Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】  従来はカップインスタント食品にお湯を注いだ後すぐに時計を見て、その時の時間を覚えておき、出来上がりの時間まで、常に時計を見ておかなくてはいけなかった。それをカップインスタント食品の蓋に、お湯を注いでからの時間を表示する機能を提供する。【解決手段】  カップインスタント食品の蓋に穴をあけ、その穴から出る蒸気をカップインスタント食品の蓋の上から貼り付けた吸水性素材に吸わせ、吸水性素材には水分がつくと色が変わる成分を含ませてあるため、水分がついた所のみ色が変わり、色のつくスピードによって、カップインスタント食品の出来上がり時間を表示することを特徴とするカップインスタント食品の出来上がり時間表示機能具。【選択図】  図１
2005265822.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カップインスタント食品の蓋に穴をあけ、その穴から出る蒸気をカップインスタント食品の蓋の上から貼り付けた吸水性素材に吸わせ、吸水性素材には水分がつくと色が変わる成分を含ませてあるため、水分がついた所のみ色が変わり、色のつくスピードによって、カップインスタント食品の出来上がり時間を表示することを特徴とするカップインスタント食品の出来上がり時間表示機能具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、カップインスタント食品の蓋に、時間表示機能をもったアイテムを取り付け、カップインスタント食品の出来上がり時間を表示する物である。
【背景技術】
【０００２】  従来、カップインスタント食品にお湯を注いだ後すぐに時計を見ておかないと、お湯を注いでからの時間が何分経過したかがわからない為に、食べるのが早いと麺が硬かったり、遅いと麺が伸びてしまったりして、おいしく食べることが出来なかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  そのために次のような問題点があった。
カップインスタント食品にお湯を注いでから、すぐに時計を見ておき、出来上がり時間を頭で計算し、常に時計を意識しなければならなかった。
本発明は以上の問題点を解決しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  カップ麺の蓋に穴をあけ、蓋の上から穴をふさぐように吸水性素材を貼り付け、お湯を注いでから出る蒸気を、その穴から吸水性素材に吸わせ、蒸気の染み込む時間をもって出来上がり時間を表示する機能である。
【発明の効果】
【０００５】  本発明は、カップインスタント食品にお湯を注ぎ、そのお湯の蒸気の水分を利用し、時間が経てば蒸気の量が増える事から、その水分を吸水性素材に吸わせ、染み込むスピードを時間換算する事で、カップインスタント食品の出来上がり時間を表示するものである。よってお湯を注いでからの時間が一目で見えることで、時計を見て残り時間を計算する手間が省ける事になる。
【発明を実施するための最良の形態】以下、本発明の形態を説明する。【０００６】  （イ）カップ麺（１）の蓋（２）に、蓋を開ける口（３）よりなるべく遠い位置に穴（５）をあける。
（ロ）カップ麺の蓋（２）の上から、穴（５）をふさぐように横長の吸水性素材（６）を貼り付ける。
（ハ）吸水性素材（６）の保護材（７）を吸水性素材（６）の上にかぶせるように貼り付ける。
（ニ）吸水性素材（６）は、水分がつくと色が変わるような成分を含んでおく。
本発明は、以上の構成によりなっている。
本発明を使用するときは、カップインスタント食品にお湯を注ぐ。
お湯を注ぎ蓋をすると、カップ麺（１）の内部に蒸気（４）がたまる。
その蒸気は、カップ麺の蓋（２）に、カップ麺の蓋を開ける口（３）より遠い所に、穴（５）をあけたことにより、逃げようとする。
カップ麺の蓋（２）にあけた穴（５）の上には、吸水性素材（６）が貼り付けてある。蒸気（４）はその吸水性素材（６）に吸われてしまう。時間が経てば経つほど、蒸気（４）の量は増えるため、どんどん吸水性素材（６）に吸われ、時間と共に染み込んでいく。吸水性素材（６）は、水分が付くと色が変わる成分を含んでいるため、水分が染み込んだ所のみ色が変わる。その色の変わり具合で、お湯を注いでからの時間が目に見える形となり、食べ頃時間の正確な表示が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】  本発明の正面図である
【図２】  本発明の平面図である
【符号の説明】
【０００８】  １  カップ麺
２  カップ麺の蓋
３  カップ麺の蓋を開ける口
４  蒸気
５  穴
６  吸水性素材
７  保護材
【図１】
2005265822.tif 000003
【図２】
2005265822.tif 000004
(57)【要約】【課題】光ファイバーを用いた情報通信は光ファイバーを曲げて光の屈折回数が増えると通信速度が遅くなると言う欠点があり、またＬＡＮなどを構築する際には情報を分岐、統合できるようにする必要があるが、それらの問題点を解決し、安価に提供できるようにする。【解決手段】特に端末付近で光ファイバーを曲げることが想定されるが、関節となるジョイントをプリズムを用いて構成し、光の屈折回数を最小限に抑えることで解決すると同時に、ＬＡＮなどを構築する際に必要とされる信号分岐装置を半透過ミラーを用いることで安価に提供することを実現する。【選択図】図１
2005265960.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバーケーブル内を通る情報を分岐若しくは統合するため、半透過ミラー（ペリクルミラー）様の加工をした部品を用いた分岐装置。
【請求項２】
光ファイバーケーブルの関節となるように鏡を用いたジョイント部分。
【請求項３】
プリズムとクッション性のある材料を用いることで必要な部位に光ファイバーを容易に装着でき、外部から不要な光が入らないように構成された本体構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバーケーブルの分岐を安価かつ簡便に行う光ファイバー分岐装置及び、それに伴うジョイントブロック（関節）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバーを用いた情報通信は、高速で大容量の情報をやり取りすることができるために今後ますますの発達が予想される。
【０００３】
しかし、光ファイバーケーブルは曲げると情報通信の速度が落ちるためにケーブルを曲げる回数を減らす必要があり、特に端末付近においては接続するために曲げざるを得ない場合が多く、通信の速度を確保するためには、その状況に応じた関節部が必要不可欠である。
【０００４】
また、光ファイバーケーブルを用いてＬＡＮを形成しようとした場合などに分岐点を設ける必要があり、その分岐点を安価かつ容易に作れるようにする必要があるといえる。
【０００５】
この改善策として、暗箱の中に鏡面を取り付けて光の進路を確保することで一度の光の屈折のみで光信号の進行方向を変えるようにし、通信速度の低下を防ぐことができるようにすることが求められる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
解決しようとする問題点は、光ファイバーケーブルの関節となる部分を設けること及び分岐点を簡便に設けることである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、鏡面を用いて光ファイバーケーブルの関節となる部分を設けること、及び半透過ミラーを用いて分岐点を設けるものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の光ファイバー関節分岐装置を用いることで、特に端末付近において光ファイバーの関節部や分岐を設けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
スポンジやウレタン状のハウジングを用いてケーブルを差込易く、また外部からの光が内部に入り込まないように工夫をし、内部に鏡面を設けたプリズム部を用いることで光の進行方向を変える、若しくは分岐させることを可能とする。
【実施例１】
【００１０】
図１に示すように、光ファイバー挿入口５〜７を設けてプリズム１及びプリズム３に示す部位まで光ファイバーを差込めるようにし、スポンジやウレタン状のハウジング４を用いてケーブルを差込易く、また外部からの光が内部に入り込まないようにする。２に示す鏡面で光信号を屈折若しくは分光させる。
【００１１】
鏡面２をプリズム１若しくはプリズム３に金属を蒸着させるなどの方法で部品点数を減らし、またその金属の量で鏡面を半透過鏡とすることで光信号を２つの方向に分岐させることができ、図２に示すようにプリズム１と組み合わせて構成し光ファイバーが必要な位置まで挿入されるようにすることで光信号の伝達を妨げることなく容易な使用方法の実現し、かつ安価で求められる機能を提供できるようにした。
【００１２】
鏡面２に半透過性を持たせることで光信号の分岐装置として使用することができるが、鏡面２を半透過性をもたない鏡面にし光ファイバー挿入口６を塞ぐことで単純に関節としてのみ機能させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
関節部を設けることで光の屈折回数を減らして、屈折回数の増加で遅くなる通信速度を確保することができ、また関節部やジョイント部を設けることで、特に周辺端末付近で屈折回数を減らすことをできるようにすると同時に、光ファイバーを用いたＬＡＮなどを形成する際の分岐点を簡便かつ安価に構築できる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】光ファイバー関節分岐装置の実施方法を示した説明図である。（実施例１）
【図２】光ファイバー関節分岐装置の実施方法を示した説明図である。（実施例１）
【符号の説明】
【００１５】
１    プリズム
２    鏡面
３    プリズム
４    ハウジング
５    光ファイバー挿入口
６    光ファイバー挿入口
７    光ファイバー挿入口
【図１】
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【図２】
2005265960.tif 000004
(57)【要約】【要  約】【課  題】    外皮にかかる張力を軽減して長寿命のじゃばら体を実現する。【解決手段】  外皮２に骨材１を固定してなるじゃばら体において、骨材１をばね鋼、あるいはステンレス鋼のスパイラル状に連続したもので構成する。【選択図】    図１
2005265040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外皮に骨材を固定してなる全体形状が略円筒形あるいは円錐台形のじゃばら体において、前記骨材がスパイラル状に連続したものであることを特徴とするじゃばら体。
【請求項２】
前記骨材の材質がばね鋼、あるいはステンレス鋼である請求項１に記載のじゃばら体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、防塵等の目的で機械の可動部分に取り付けるじゃばら体に関する。
【背景技術】
【０００２】
プレス装置のラム、シリンダ装置のロッド等、直線状に往復移動する機械装置の可動部分に、これを覆うように防塵、防水等の目的でじゃばら体が取り付けられる。
【０００３】
じゃばら体は一般に伸縮性の略円筒状で、自動車のサスペンション部分のダストカバー等のような小寸法のものはゴムや樹脂をブロー加工した一体成型品が使用されるが、大型のものでは帆布、ゴム引き布、樹脂シート等の外皮に、所定間隔でリング状の骨材を取り付けて構成される。耐熱性が必要な場合は外皮にガラス繊維やニトリル系、シリコン系の布が使用される。防塵、防水等の本来の機能は外皮により達成されるが、外皮のみでは形状が維持出来ず、また張力が局部的に作用すると破れの原因となるため、形状の保持、張力伝播の補助として骨材が配置される。リング状の骨材相互は独立しており、張力などを伝達することはないから、じゃばら体全体に外力が作用した場合、外皮を経由することになり、破れ等の破損の原因となる。
【０００４】
外皮と骨材の結合は、外皮を２枚重ねとするか、部分的に当て布を使用し、骨材をその内側にして接着するか、骨材の両側をミシン掛けして縫い合わせるのが一般的である。
【０００５】
機械装置の可動部分が伸びようとするとき、じゃばら体全体の挙動を観察すると、端部枠に近い外皮から伸び始め、伸び量に従い順次隣接する部分が伸びてゆく。収縮する場合は逆に中央部分がまず収縮し、ついで順次両端の部分が収縮するという現象が見られる。この場合都合の悪いことは、円筒状のまま収縮するのでなく、中央部分が中心線から外れて半径方向に突出する所謂「胴曲がり現象」が発生し、じゃばら体の内面と内側の可動部分が接触することである。この対策として、特許文献１にはじゃばら体の少なくとも一方の端部が中央部に比べて先に収縮を始めるように、じゃばら体の山の形状を工夫することが記載されている。
【０００６】
特許文献１に記載の実施例の内の一部を図４に示す。（ａ）は中央部分に比べて端部のじゃばら体の山の高さを低くしたもの、（ｂ）はじゃばら体の山あるいは谷のアールを中央部分に比べて端部で小さくしたもの、（ｃ）はじゃばら体の中央部分の山あるいは谷をアールを持たず平坦状にしたもので、いずれも中央部分が端部に比べて先に収縮するように工夫されている。
【０００７】
伸縮が完全に１直線状の動きであれば、外皮に発生する張力はさほど大きなものにはならないが、機械装置によっては複雑な動きを示すものがある。１例として図３に温間鍛造プレス機に付属してワークを保持するトランスファーアームの作動サイクルを示す。この図は片側のアームの先端の軌跡を斜視図の形で示したもので、破線で示した左右（ｘ）方向のストローク320ｍｍ、奥行き（ｙ）方向のストローク100ｍｍ、昇降（ｚ）方向のストローク170ｍｍの範囲内を3次元で移動するのである。待機位置をＡ点とし、ｙ方向にＢ点まで移動してワークをクランプし、Ｃ点まで上昇すると同時にｘ方向へ前進してＤ点を通過後は下降し、ストローク一杯まで前進してＥ点で下降限に達し、ｙ方向に戻りながらＦ点でワークをアンクランプ（解放）し、連続作業の場合はＧ点から再びＢ点に戻って同じサイクルを繰り返すのである。1周に要するサイクルタイムは2.0秒である。
【０００８】
１日11時間稼動するとして１日におよそ20,000サイクル、月間では40万サイクルに達し、この間前記のような3次元の動きを繰り返すため、これまでのじゃばら体では約1カ月で部分的な孔開きが発生していた。
【特許文献１】特開平１０−２６７１２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
過酷な使用条件でも長期にわたって孔開きが発生しないじゃばら体を実現する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、外皮に骨材を固定してなる全体形状が略円筒形あるいは円錐台形のじゃばら体において、前記骨材がスパイラル状に連続したものであることを特徴とするじゃばら体であり、望ましくは前記骨材の材質がばね鋼、あるいはステンレス鋼である前記のじゃばら体である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、じゃばら体に作用する外力は骨材が負担し、外皮には直接張力が作用しないので繰り返し荷重による外皮の破れがなく、長期にわたって孔開きが発生しないため、じゃばら体自体の寿命が延びるだけでなく、孔開きの発生による内側の機械部品の汚れが防止され、メンテナンスコストが低減されるという、すぐれた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の実施例を図面により説明する。図１は円筒形のじゃばら体を示す正面図で、１は骨材、２は外皮、3a、3bはフランジである。骨材１がスパイラル状に連続したものであるから、機械の固定部分および移動部分に取り付けられる両側のフランジ3a、3bがｘ、ｙ、ｚいかなる方向に相対移動しても収縮、変形は骨材１を介して行われ、外皮２にはほとんど張力が作用しないので、長期に使用しても孔開きは発生しない。
【００１３】
図２は円錐台形のじゃばら体を示す正面図である。寸法および材質例を示すと、骨材１は直径4.0ｍｍのＳＵＳ３０４ステンレス鋼線、巻き数７、外皮２は厚さ0.48ｍｍのネオプレン製シート、小径側のフランジは取り付けボルトのピッチ径で240ｍｍ、大径側は同じく取り付けボルトのピッチ径で510ｍｍで、軸方向長さは最長540ｍｍ、最短90ｍｍである。
【００１４】
本発明のじゃばら体の伸長、収縮はスパイラル状に連続した骨材によって行われるため、挙動はコイルばねと同様であり、これまでのように端部から伸び始めるというようなことはなく全体が一律に伸縮する。したがってその意味においても外皮に負荷が集中することがなく、また胴曲がり現象なども発生することがない。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】実施例の円筒形のじゃばら体を示す正面図である。
【図２】実施例の円錐台形のじゃばら体を示す正面図である。
【図３】本発明に係わるトランスファーアームの作動サイクルを示す説明図である。
【図４】従来の技術におけるじゃばら体の片側のみの断面図である。
【符号の説明】
【００１６】
１    骨材
２    外皮
3a、3b    フランジ
【図１】
2005265040.tif 000003
【図２】
2005265040.tif 000004
【図３】
2005265040.tif 000005
【図４】
2005265040.tif 000006
(57)【要約】【課題】  溶接作業が不要となり、部品点数が少なくコンパクトであり、加工性、組付性，経済性に優れるようにする。【解決手段】  シリンダ１０の下部に取付筒部１２を設け、当該取付筒部１２を抱持するブラケットを介して車輪側ナックル部材に結合させている単筒式又は複筒式の油圧緩衝器において、取付筒部１２をシリンダ１０を延長して一体に成形する。【選択図】      図１
2005265090.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダの下部に取付筒部を設け、当該取付筒部を抱持するプラケットを介して車輪側ナックル部材に結合させている単筒式又は複筒式の油圧緩衝器において、取付筒部をシリンダを延長して一体に成形したことを特徴とする油圧緩衝器。
【請求項２】
取付筒部の外周に位置決め用のストッパと、凹溝とを形成している請求項１に記載の油圧緩衝器。
【請求項３】
取付筒部の内側にガイド筒を起立し、このガイド筒内にガス室を区画するフリーピストンが移動自在に挿入されている請求項１又は２に記載の油圧緩衝器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両用サスペンションとして使用される油圧緩衝器に関し、特に、車輪側ナックル部材にブラケットを介して結合される油圧緩衝器の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、車両用サスペンションは、車体側と車輪側との間に油圧緩衝器が介装されて車体を懸架している。
【０００３】
この場合、油圧緩衝器を車輪側に結合する場合、例えば、特許文献１に開示された取付構造が開発されている。即ち、油圧緩衝器のシリンダ下部がブラケットを介して車輪側ナックル部材に設けたアッパジョイントに結合されている。
【０００４】
油圧緩衝器は、例えば、図４に示すようにシリンダ１の下端に取付筒部２の上端を溶接して当該取付筒部２を下方に延長させ、この取付筒部２をナックル部材側のブラケットで抱持している。
【０００５】
この場合、取付筒部２には溶接時に利用する逃げ用の環状溝３と、ブラケット側の取付ボルトをガイドする溝４とが形成されている。
【特許文献１】特開平５−２５４３１８号公報（図１，図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記図４に示すような油圧緩衝器は、機能上特に欠陥があるわけではないが、次のような不具合の改善が望まれている。
【０００７】
第１に、シリンダ１の下部に他の取付筒部２を溶接で結合しているため、部品点数が多く、加工性，組付性，経済性に劣り、溶接時にシリンダ１に溶接歪みが発生するおそれがある。
【０００８】
第２に、溶接時に治具を装着する環状溝３を形成する必要があるため、やはり加工性，組付性に劣り、加工費用が嵩み経済的コストアップとなる。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、溶接作業が不用となり、部品点数が少なくコンパクトであり、加工性，組付性，経済性にすぐれた油圧緩衝器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するため、本発明の手段は、シリンダの下部に取付筒部を設け、当該取付筒部を抱持するブラケットを介して車輪側ナックル部材に結合させている単筒式又は複筒式の油圧緩衝器において、取付筒部をシリンダを延長して一体に成形したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、次の効果が得られる。
【００１２】
１）シリンダと取付筒部とを一体に成形しているのでシリンダの加工工程と同時に取付筒部が成形されるため、加工性，組付性が向上し、部品点数がシリンダ一つとなり、構造が簡単でシンプルとなり、コストダウンが図れる。
【００１３】
２）取付筒部がシリンダと一体であるから溶接作業が不要となり、溶接時のシリンダにおける溶接歪みの発生を防止でき、又、溶接治具を取付ける溝も不要となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明の実施の形態を図にもとづいて説明するが、本発明の一実施の形態に係る油圧緩衝器は、図１に示すように、シリンダ１０の下部に取付筒部１２を設け、当該取付筒部１２を抱持するブラケットを介して車輪側ナックル部材に結合させている単筒式の油圧緩衝器であって、取付筒部１２をシリンダ１０を下方に延長して一体に成形したことを特徴としている。
【００１５】
この場合、取付筒部１２の外周に位置決め用のストッパ２２と凹溝１４とを形成している。
【００１６】
更に詳しく説明すると、油圧緩衝器Ａは、シリンダ１０と、シリンダ１０内にピストンを介してピストンロッド１５が移動自在に挿入され、ピストンの下方にはフリーピストン１６が摺動自在に挿入され、フリーピストン１６は、シリンダ１０下部と取付筒部１２内にガス室１７が区画されている。
【００１７】
シリンダ１０の下部内には中空な補強部材１８が挿入され、外部からロールカシメ１９で固定されている。
【００１８】
取付筒部１２の下端にボトム２０が固定され、このボトム２０の中央にはガス封入用のバルブ２１が設けられている。
【００１９】
又、取付筒部１２の外周に設けたストッパ２２は、ナックル部材側ブラケットに挿入した時下降を規制する位置決め部材として利用される。
【００２０】
同じく凹溝１４は、ブラケット側に装着しているボルトと干渉するのを防止するボルトのガイド溝として利用される。
【００２１】
上記の油圧緩衝器は、単筒式であるが、シリンダの外側にアウターシリンダを設け、このアウターシリンダの下部に取付筒部を一体に形成した複筒式の油圧緩衝器にも適用できる。
【００２２】
図２は、本発明の他の実施の形態を示すもので、これは、取付筒部１２をシリンダ１と一体に成形した構造は図１の場合と同じであるが、更に、取付筒部１２の内側にガイド筒２３を起立し、このガイド筒２３内にガス室２４を区画するフリーピストン１８を移動自在に挿入したものである。
【００２３】
この場合は、フリーピストン１８が取付筒部１２側に位置しているからシリンダ１０の全域に亘ってピストンのストロークを大きくすることができる。
【００２４】
その他の構造，作用効果は、図１の実施の形態と同じである。
【００２５】
図３は、更に別の実施の形態を示し、これは、図２の油圧緩衝器を更に改良したものである。
【００２６】
即ち、ガイド筒２３の外周上部とシリンダ１との間にスペーサ２６を介装し、このスペーサ２６の下方に通孔２６を介してガス室２４に連通する他のガス室２５を設けたものである。
【００２７】
この場合には、他のガス室２５を設けた分ガス室の容積が拡大し、フリーピストン１８のストロークを大きくできる。
【００２８】
他の構造，作用効果は、図２の場合と同じである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施の形態に係る油圧緩衝器の一部切欠き縦断正面図である。
【図２】他の実施の形態に係る油圧緩衝器の縦断正面図である。
【図３】他の実施の形態に係る油圧緩衝器の縦断正面図である。
【図４】従来の油圧緩衝器の一部切欠き縦断正面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１０  シリンダ
１２  取付筒部
１４  凹溝
１６  フリーピストン
２２  ストッパ
２３  ガイド筒
２４  ガス室
【図１】
2005265090.tif 000003
【図２】
2005265090.tif 000004
【図３】
2005265090.tif 000005
【図４】
2005265090.tif 000006
(57)【要約】【課題】ユーザの位置姿勢を高精度で検出できる位置及び姿勢センサを提供する。【解決手段】本発明による位置及び姿勢センサは、多面体を形成することができる頂点数と同一個数の赤外光受光体１〜１０を具え、これら赤外光受光体１〜１０の受光領域が全方向をカバーするように、赤外光受光体１〜１０を３次元的に配置する。【選択図】図１
2005265668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多面体を形成することができる頂点数と同一個数の赤外光受光体を具え、
これら赤外光受光体の受光領域が全方向をカバーするように、前記赤外光受光体を、正多角形の頂点においてその頂点の法線方向に向けてそれぞれ配置したことを特徴とする位置及び姿勢センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ユーザの位置姿勢を検出する位置及び姿勢センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
ウェアラブルコンピュータの急激な発達に伴い、それらを装着したユーザに対する情報サービスに関する研究が多くなされている。そのなかでも、ユーザのナビゲーションなどのように、ユーザの位置・姿勢を推定する要求が高まっている。特に、屋内におけるユーザの位置同定は大きな課題となっている。
【０００３】
従来、識別信号をビーコンとして送信する赤外線送信ユニットをインフラとして配置し、赤外線受信ユニットとウェアラブルコンピュータを装着したユーザの位置を同定する手法（例えば、非特許文献１参照）や、複数の赤外光受光体を同一平面上に配置したもの（例えば、非特許文献２参照）が提案されている。
【非特許文献１】R. Tenmoku et al. “A Wearable Augmented Reality System Using Positioning Infrastructures and a Pedometer,” Proc. Int. Symp. on Wearable Computers, pp. 110 ‐ 117, 2003
【非特許文献２】D. Hallaway et al. “Coarse, Inexpensive Infrared Tracking for Wearable Computing,” Proc. Int. Symp. on Wearable Computers, pp. 69 ‐ 78, 2003
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記非特許文献１に記載された手法では、１個の赤外光受光体を利用しているため、ユーザの位置姿勢を大まかにしか推定できない。また、上記非特許文献２に記載された手法では、２次元的な位置及び方位角度の推定に止まっている。
【０００５】
本発明の目的は、ユーザの位置姿勢を高精度で検出できる位置及び姿勢センサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による位置及び姿勢センサは、
多面体を形成することができる頂点数と同一個数の赤外光受光体を具え、
これら赤外光受光体の受光領域が全方向をカバーするように、前記赤外光受光体を、正多角形の頂点においてその頂点の法線方向に向けてそれぞれ配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、多面体を形成することができる頂点数と同一個数の赤外光受光体を具え、これら赤外光受光体の受光領域が全方向をカバーするように、前記赤外光受光体を、正多角形の頂点においてその頂点の法線方向に向けてそれぞれ配置している。これによって、ユーザの位置姿勢を高精度で検出できるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明による位置及び姿勢センサの実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明による位置及び姿勢センサの実施の形態を示す図である。この位置及び姿勢センサは、１０個の赤外光受光体１〜１０を具え、図１に示す形態を二つ組み合わせることによって、全方向をカバーすることができる。
【０００９】
本実施の形態では、赤外光受光体１〜５が、正五角形の頂点においてその頂点の法線方向に向けてそれぞれ配置され、この正五角形内において、赤外光受光体６〜１０が、正五角形の頂点においてその頂点の法線方向に向けてそれぞれ配置される。赤外光受光体１〜１０はそれぞれ、広角の信号を受信可能であるため、それぞれにカバーを取り付け、約９０°の範囲で受光可能にした。
【００１０】
また、赤外光受光体１〜１０のそれぞれにおいて赤外線ビーコンのＩＤを識別することができるので、本発明による位置及び姿勢センサでは、どの向きからどの赤外線ビーコンを受信したかを認識することができる。したがって、インフラとして、現実環境に設置されている赤外線ビーコンの設置位置が既知であれば、位置及び姿勢がそれぞれ３自由度で推定可能となる。
【００１１】
本発明による位置及び姿勢センサと、図示しない計算機とのデータ通信は、例えばＬＡＮインタフェースを使用し、バッテリで動作可能となる。
【００１２】
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、幾多の変更及び変形が可能である。
例えば、上記実施の形態において、二つの平面上に２０個の赤外光受光体を具える場合について説明したが、本発明による位置及び姿勢センサは、多面体を形成することができる頂点数と同一個数の赤外光受光体を具えることができる。すなわち、２０個の赤外光受光体を具え、２０個の赤外光受光体を、正二十面体の頂点においてその頂点の法線方向に向けてそれぞれ（３次元的に）配置することで全方向をカバーすることもできる。
【００１３】
また、図１において、赤外光受光体１〜５を地面に対して３０°傾斜して配置するとともに、赤外光受光体６〜１０を地面に対して６０°傾斜して配置した場合を示したが、赤外光受光体の地面に対する傾斜角を任意の値に設定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明による位置及び姿勢センサの実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
【００１５】
１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０  赤外光受光体
【図１】
2005265668.tif 000003
(57)【要約】      （修正有）【課題】取付ける場所や向きを選ばないフックの提供。【解決手段】  クリップ１が付いている事によりクリップ１で挟める場所があれば、どんな所にでも取付けられる。上向き、横向きに取付けてもフック２が付いていて可動するのでどのような向きでも使用出来る様になる。簡単にフック２を増設する事が出来る。【選択図】図５
2005265172.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フックが付いたクリップは、止められる出っ張りさえあれば縦にしても、横にしても、使用出来る。フックの増設が容易になる。
クリップ式可動フック。
【請求項２】
縦・横向きに取付けても２方向・３方向フックが、可動するのでどこにでも取付き。
重力によりフックが下へ向き物が吊り下げられる。
クリップ式可動フック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、空間の有効利用を図ったクリップ式可動フックに関する。
【背景技術】
【０００２】  従来のフックは、どこにでも取付く物ではなかった。【０００３】  フックは固定されていると１方の方向にしか使用することが出来ない物である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  フックを増やそうとしてもなかなか取付けられそうな場所はない。しかし空間の中には、クリップが止められそうな場所はいくらでもある。
たとえば、鋲にフックが取付いていると、壁に穴をあけられない所には取付ける事が出来ない。又、外壁などは、特殊な接着剤を使用しなければ取付けられない。【０００５】  クリップに付くフックが固定されていると取付ける方向が限られてくる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】  クリップが取付けられそうな部分はいくらでもあり、鋲や接着剤などを使用しなくてもクリップさえ取付く場所があれば、取付く相手の資材に傷を付けず、取付けることが可能となる。そして、容易にフックを増やす事が出来る。【０００７】  クリップに取付くフックが２方向・３方向可動するため、クリップを縦向きに使用しても、横向きに使用しても、重力によりフックが下を向き、物などが掛けられる様になる。だから、フックの向きが１方だけでなく２・３方向増え取付ける位置もいろいろ増えるので簡単に設置する事が出来るようになる。
【発明の効果】
【０００８】  クリップで取付けを行ない、フックを可動させることで、簡単にフックを増設する事が可能になる。
【発明の実施するための最良の形態】
【０００９】  図５・６において縦向きに使用、フックは重力により下向きになり物を掛ける事が出来る。
【００１０】  図７・８において横向きに使用、フックは重力により下向きになり物を掛ける事が出来る。
【００１１】  図９において図８とは違う横向きに使用、フックは重力により下向きになり物を掛ける事が出来る。
【００１２】  上記構成の動作をする事でクリップによりどこにでも取付けられ、かつ２・３方向にフックが可動するため、フックの向きを考える事がなく、どこにでも簡単に取付ける事が可能となる。で、あるから空間を有効利用出来る効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施形態を示すクリップ式可動フック（２方向式）本体を示した正面図である。
【図２】本発明の実施形態を示すクリップ式可動フック（３方向式）本体を示した正面図である。
【図３】同クリップ式可動フック（２方向式）本体を示した側面図である。
【図４】同クリップ式可動フック（３方向式）本体を示した側面図である。
【図５】同クリップ式可動フック（２方向式）縦向きに取付けた時を示した外観図である。
【図６】同クリップ式可動フック（３方向式）縦向きに取付けた時を示した外観図である。
【図７】同クリップ式可動フック（２方向式）横向きに取付けた時を示した外観図である。
【図８】同クリップ式可動フック（３方向式）横向きに取付けた時を示した外観図である。
【図９】同クリップ式可動フック（３方向式）図８とは違った横向きに取付けた時を示した外観図である。
【図１０】クリップ式可動フック（２方向式）上記図内の▲イ▼部分を示した部分詳細図である。
【図１１】クリップ式可動フック（３方向式）上記図内の▲ロ▼部分を示した部分詳細図である。
【図１２】図１０の▲Ｂ▼部品を示す図である。
【図１３】図１０の▲Ｃ▼部品を示す図である。
【図１４】図１１の▲Ｄ▼部品を示す図である。
【図１５】図１１の▲Ｅ▼部品を示す図である。
【図１６】図１１の▲Ｆ▼部品を示す図である。
【符号の説明】
【００１４】Ａ  可動する部分で、可動方向を示す。
【図１】
2005265172.tif 000003
【図２】
2005265172.tif 000004
【図３】
2005265172.tif 000005
【図４】
2005265172.tif 000006
【図５】
2005265172.tif 000007
【図６】
2005265172.tif 000008
【図７】
2005265172.tif 000009
【図８】
2005265172.tif 000010
【図９】
2005265172.tif 000011
【図１０】
2005265172.tif 000012
【図１１】
2005265172.tif 000013
【図１２】
2005265172.tif 000014
【図１３】
2005265172.tif 000015
【図１４】
2005265172.tif 000016
【図１５】
2005265172.tif 000017
【図１６】
2005265172.tif 000018
(57)【要約】【課題】本発明は、シート体と輪状板ばね及びグリスを用いて気密シールを形成し、摩擦負荷を低下させることを目的とする。【解決手段】本発明による回転機構のシール構造は、軸受(3)に隣接して、シート体(5)と輪状板ばね(6)及びグリス(7)とからなる気密シール(8)を設け、軸方向における内気側(31)と外気側(30)の気密を保持し、回転時の摩擦負荷を低減させる構成である。【選択図】図１
2005265105.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定側(2)に設けられたマウント(1)と、前記マウント(1)の外周に軸受(3)を介して回転自在に設けられた輪状ハウジング(4)と、前記輪状ハウジング(4)の外周に設けられた筒状カバー(21)と、前記軸受(3)の軸方向に沿う隣接位置でかつ前記輪状ハウジング(4)とマウント(1)間に設けられたシート体(5)と、前記シート体(5)を前記輪状ハウジング(4)に押付けるように設けられた輪状板ばね(6)と、前記輪状板ばね(6)と前記マウント(1)との間に設けられたグリス(7)とを備え、前記シート体(5)、輪状板ばね(6)及びグリス(7)により気密シール(8)を構成し、前記輪状ハウジング(4)の軸方向に沿って内気側(31)と外気側(30)に分離されていることを特徴とする回転機構のシール構造。
【請求項２】
前記輪状板ばね(6)は、断面凹型をなし、前記シート体(5)、輪状板ばね(6)及びグリス(7)は、前記軸受(3)よりも前記外気側(30)に位置していることを特徴とする請求項１記載の回転機構のシール構造。
【請求項３】
前記グリス(7)は前記マウント(1)の外周に直接接していることを特徴とする請求項１又は２記載の回転機構のシール構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転機構のシール構造に関し、特に、シート体と輪状板ばね及びグリスを用いて気密シールを形成し、ゴム等の固形物によるシールに比べて摩擦負荷を大幅に低下させるための新規な改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、用いられていたこの種の回転機構のシール構造としては、社内製作であるため、特許文献等は特に開示していないが、Ｏリング等の固形物を主として用い、内気側と外気側の気密封止を行っていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の回転機構のシール構造は、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、ゴム等の固形物からなるＯリング等をシール部材として用いているため、固定側に対して回転側を回転させると、摩擦負荷が大きく、負荷トルクを小さくすることが困難であった。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明による回転機構のシール構造は、固定側に設けられたマウントと、前記マウントの外周に軸受を介して回転自在に設けられた輪状ハウジングと、前記輪状ハウジングの外周に設けられた筒状カバーと、前記軸受の軸方向に沿う隣接位置でかつ前記輪状ハウジングとマウント間に設けられたシート体と、前記シート体を前記輪状ハウジングに押付けるように設けられた輪状板ばねと、前記輪状板ばねと前記マウントとの間に設けられたグリスとを備え、前記シート体、輪状板ばね及びグリスにより気密シールを構成し、前記輪状ハウジングの軸方向に沿って内気側と外気側に分離されている構成であり、また、前記輪状板ばねは、断面凹型をなし、前記シート体、輪状板ばね及びグリスは、前記軸受よりも前記外気側に位置している構成であり、また。前記グリスは前記マウントの外周に直接接している構成である。
【発明の効果】
【０００５】
本発明による回転機構のシール構造は、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、シート体と輪状板ばね及びグリスによって形成された気密シールが輪状ハウジングとマウントとの間に設けられ、グリスがマウントの外周に直接接触しているため、摩擦負荷が従来よりも大幅に低減され、円滑な回転と気密性の保持を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明は、シート体と輪状板ばね及びグリスによって形成した気密シールを用いることにより、気密性と摩擦負荷の低減を達成することを目的とする。
【実施例】
【０００７】
以下、図面と共に、本発明による回転機構のシール構造の好適な実施の形態について説明する。
図１において、符号１で示されるものは固定側２の円柱状をなすマウントであり、このマウント１の外周には軸受３を介して輪状ハウジング４が回転自在に設けられている。
【０００８】
前記マウント１と輪状ハウジング４との間における前記軸受３の軸方向における隣接位置の空隙２０内には、テフロン（登録商標）等からなるシート体５と輪状板ばね６及びグリス７からなる気密シール８が設けられている。
【０００９】
前記シート体５は、前記軸受３とストッパ１０の内側に輪状形として配設され、前記輪状板ばね６は、断面形状がほぼ凹状をなし、かつ、前記各シート体５を軸受３とストッパ１０に押付ける状態で配設されている。
【００１０】
前記空隙２０内の前記輪状板ばね６の内側にはグリス７が充填されており、このグリス７は前記マウント１の外周に直接接触するように配設されている。
【００１１】
前記輪状ハウジング４の外周には、筒状カバー２１が設けられており、前記輪状ハウジング４の前記マウント１側は外気側３０に位置し、前記輪状ハウジング４の前記軸受３側は内気側３１に位置し、前記気密シール８によって内気側３１と外気側３０とは互いに連通しないように気密が保持され、この気密シール８は前記軸受３の軸方向における外気側３０すなわちストッパ１０側に位置している。
【００１２】
従って、前述の状態で、内気側３１と外気側３０を気密シール８で気密分離した状態で、輪状ハウジング４を回転させると、軸受動作としては軸受３によって行われ、気密動作としては気密シール８によって行われる。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
本発明は、回転機構の内外気の気密シールだけではなく、水中におけるシールにも適用可である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明による回転機構のシール構造を示す断面図である。
【符号の説明】
【００１５】
１    マウント
２    固定側
３    軸受
４    輪状ハウジング
５    シート体
６    輪状板ばね
７    グリス
８    気密シール
２０    空隙
２１    筒状カバー
３０    外気側
３１    内気側
【図１】
2005265105.tif 000003
(57)【要約】【課題】  半導体ウエハーのめっきにおいて、洗浄が十分行われず、ウエハーにレジスト異物やゴミなどが付着していると、無電解めっき処理時に、異物の付着している部分にめっきが成膜しない問題が起こる。【解決手段】  脱脂液の浸漬洗浄だけでは全ての異物が取れない為、脱脂液に超音波振動を与え、ウエハー上の異物を取り除く。【選択図】  図1
2005336523.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
無電解及び電気めっきの前処理として、ウエハー表面の異物を除去する為に超音波洗
浄を行うことを特徴とする。
【請求項２】
洗浄液及び処理液の入った容器を超音波の入っている水洗層に入れ、間接照射により
ウエハーの洗浄を行う。この時、洗浄液及び処理液の入っている容器が水洗槽の1/20乃至1/10と小さい容器であることを特徴している装置であること。
【請求項３】
上記処理に、ウエハーの向きを縦置き、平置きと、簡単に変更できることを特徴と
する装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
表面処理及び半導体分野に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの電極部分を外部と接続する為に、半田接合が使用されてきてい
る。
【０００３】
半田接合において、デバイス電極の半田濡れ性を良くする為、アルミニウム及びアルミニウム合金素材の電極上にウエットプロセスによるニッケルおよび金めっきを行う方法がある。これは、半導体デバイスの電極部分のめっきを行うことにより、半田濡れ性が良くなり半田接合を容易にするために行っている。
【０００４】
しかし、めっき前の電極上に、レジスト残差やゴミ・異物などが付着していると、
電極面にめっきが成膜せず、部分的に半田濡れ性が悪くなってしまう問題がある。
【特許文献１】公開番号  ：  特開2003−209086（P2003−209086A）
【特許文献２】公開番号  ：  特開2004−130215（P2004−130215A）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体ウエハーのめっきにおいて、洗浄が十分行われず、ウエハーにレジスト異物やゴミなどが付着していると、無電解めっき処理時に、異物の付着している部分にめっきが成膜しない問題が起こる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
脱脂液の浸漬洗浄だけでは全ての異物が取れない為、脱脂液に超音波振動を与え、ウエハー上の異物を取り除く。
【発明の効果】
【０００７】
アルミニウム及びアルミニウム合金素材の電極上に異物が無くなることにより、めっき膜の成膜が出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
超音波装置を水の中に入れ、間接照射により脱脂液及びウエハーを振動させる。
また、間接照射をする事により、水洗槽が40乃至100リットルに対し、洗浄液及び処理液の液量を2乃至10リットルと少量で行う事が可能となり、超音波装置１台で多品種の薬液を使用することが出来る。
【０００９】
上記処理は、ウエハーを固定する治具によりウエハーの向きを縦置き及び平置
きと簡単に変更できる。
【実施例】
【００１０】
純アルミニウムやアルミニウム99％-シリコン1％合金とニッケルめっき及び金めっきを行う工程は次の通りである。
【００１１】
超音波洗浄−脱脂−エッチング−亜鉛置換−亜鉛剥離−亜鉛置換
−無電解ニッケルめっき−置換金めっき
【００１２】
ウエハーの超音波洗浄装置は図1に示すように洗浄装置に水３を50リットル張り、底部に超音波振動板２を設置する。超音波振動板２は超音波制御装置で振動を制御して、洗浄液が5リットル入った容器４に入ったウエハー５を洗浄する。
【００１３】
超音波洗浄液は表1に示すものを使用する。
【表１】
2005336523.tif 000003
【００１４】
ウエハーの入れ方は洗浄液の入った容器に図2に示す縦置き治具9および平置き治具10を使って縦向き又は平置きにすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】装置図
【図２】ウエハー治具
【符号の説明】
【００１６】
1  超音波制御装置
2  超音波振動板
3  純水
4  洗浄液の入った容器
5  ウエハー  
6  コード
7  水洗槽
8  押さえ棒
9  縦置き治具  
10  平置き治具
【図１】
2005336523.tif 000004
【図２】
2005336523.tif 000005
(57)【要約】【課題】アルミニウムやアルミニウム-シリコン合金とニッケルめっきの密着性向上の為、金めっきを施したウエハーに熱処理が加えられる。熱処理後に半田接合が行われるが、熱処理を行った後は、はんだ濡れ性が著しく劣化する問題点が発生する。半田作業は電極間を接合するために必要な作業であるために、半田濡れ性を改善することが必要である。【解決手段】本発明はアルミニウムやアルミニウム-シリコン合金とニッケルめっきの密着性向上の為、金めっきを施したウエハーに熱処理が加えた後に置換金めっきを行うことにより半田濡れ性が向上した。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウムやアルミニウム-シリコン合金からなる半導体電極表面に1乃至30μｍのニッケルめっきを施し、該ニッケルめっき上に0.05乃至0.07μｍの金めっきを施した後に、熱処理を施し、その後、該金めっき上に0.01乃至0.03μｍの金めっきを施した製品
【請求項２】
アルミニウムやアルミニウム-シリコン合金からなる半導体電極表面に1乃至30μｍのニッケルめっきを施し、該ニッケルめっき上に0.05乃至0.07μｍの金めっきを施した後に、熱処理を施し、その後、該金めっき上に0.01乃至0.03μｍの金めっきを施したダイオード
【請求項３】
アルミニウムやアルミニウム-シリコン合金からなる半導体電極表面に1乃至30μｍのニッケルめっきを施し、該ニッケルめっき上に0.05乃至0.07μｍの金めっきを施した後に、熱処理を施し、その後、該金めっき上に0.01乃至0.03μｍの金めっきを施したトランジスタ
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理分野に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
トランジスタやダイオードの接続には、半田接合が用いられている。
【０００３】
しかし、トランジスタやダイオードにおける接続部の素材はアルミニウムやアルミニウム-シリコン合金である為、表面酸化が起こりやすく、半田濡れ性が悪くなる。
【０００４】
通常、トランジスタやダイオードにおいては、アルミニウムやアルミニウム-シリコン合金である電極表面の酸化を抑える為に無電解ニッケル・金めっき皮膜を形成することにより、半田濡れ性を向上させている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
トランジスタやダイオードにおけるアルミニウムやアルミニウム-シリコン合金とニッケルめっきの密着性は重要なファクターである。電極表面にニッケルめっきしたままでは密着力が不十分である。従って、密着性向上の為、金めっきを施した後にウエハーに熱処理が加えられる。
【０００６】
しかし、熱処理後に半田接合すると、ニッケル・金めっきされた電極表面のはんだ濡れ性が著しく劣化するという問題点が発生する。
【０００７】
半田作業は電極間を接合するために必要な作業であるために、半田濡れ性を改善することが必要となった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明はアルミニウムやアルミニウム-シリコン合金とニッケルめっきの密着性向上の為、金めっきを施したウエハーに熱処理が加えた後に置換金めっきを行うことにより半田濡れ性を向上させた。
【発明の効果】
【０００９】
熱処理後に再び置換金めっきを行うことにより、はんだ濡れ性が良好になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
アルミニウムやアルミニウム-シリコン合金とニッケルめっき及び金めっきを行う工程は次のようなものである。
【００１１】
表面酸化物除去前処理−水洗−ニッケルめっき−水洗−金めっき−熱処理−アルゴンプラズマ洗浄−脱脂−水洗−置換金めっき
の順で処理が行われる。
【実施例】
【００１２】
ウエハー上のパッドの金属組成は純アルミニウムやアルミニウム98%-シリコン2%合金であり、パッドにニッケルめっき及び金めっきを行う。
【００１３】
工程は
表面酸化物除去前処理−ニッケルめっき−金めっき−熱処理−アルゴンプラズマ洗浄−脱脂−置換金めっき
の順で処理が行われる。
【００１４】
表面酸化物の除去は1％のHFで室温で30秒から90秒の処理を行う。
【００１５】
ニッケルめっきは表1の組成のニッケルめっき液を用いて、80℃から90℃、4分から300分の処理を行い、めっき厚さを1μｍから30μｍにした。
【表１】
2005336522.tif 000002
【００１６】
ニッケルめっき厚さが1μｍ以下では耐錆性が不十分であり、30μｍを超えるとニッケルめっきによる応力発生によりウエハーにひずみに出るため、ニッケル厚さは30μｍ以下とした。
【００１７】
ニッケルめっき後は水洗工程でニッケルめっき液の残渣を取り除いた後に、表2に示す金めっき液で80℃から90℃、10分から25分で厚さ0.05μｍから0.07μｍ付けた。
【表２】
2005336522.tif 000003
【００１８】
金めっき厚さが0.05μｍ以下では半田濡れ性が悪く、0.07μｍ以上は置換金めっきでは付着しない。
【００１９】
その後、熱処理を行うが、熱処理条件と密着性の関係を表3に示す。
【表３】
2005336522.tif 000004
*ＦＥ−ＳＥＭによる断面観察  
**金がニッケル内部に拡散しすぎる
評価：○：良好、×：不良        
【００２０】
熱処理後、プラズマクリーナにより、アルゴンプラズマ洗浄を２００Ｗ、3分行い、表4に示す脱脂液で処理した。
【表４】
2005336522.tif 000005
【００２１】
次に、ニッケルめっきの密着性が良好である熱処理温度250℃、15分の条件で処理したものを表2に示す置換金めっき液を用いて、80℃から90℃、2分から6分で金めっき処理を行い、金めっき厚さと半田濡れ性試験の関係を表5に示す。半田の濡れ性試験はＳｎ−Ａｇ半田ボールを２７０℃  １分加熱後、半田の濡れ広がりを観察している。
表5に示すように金めっき厚さが0.01μｍ未満では半田濡れ性が悪く、0.04μｍ以上になると半田濡れ性は良好であるが、金めっきの色調が赤くなり商品価値を失う。
【表５】
2005336522.tif 000006
【産業上の利用可能性】
【００２２】
トランジスタやダイオードにおいて、電極表面とニッケルめっきの密着性を確保し、且つ、半田濡れ性のよい皮膜を形成することにより、信頼性の高い製品を確保することが出来る。