(57)【要約】【課題】光学ユニットアレイの複数の光学ユニット間の相対的な位置を精度良く決定する。【解決手段】光学ユニットアレイ４は、光源モジュール１がそれぞれ複数配列された複数の光学ユニット２、並びに、光学ユニット２を保持する第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２を備え、複数の光学ユニット２の第１ピン２１３および第２ピン２１４が、光源モジュール１の配列方向に関して外側から第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２により保持されて光源モジュール１の配列方向におよそ垂直な上下方向に配列される。光学ユニットアレイ４では、第１ピン２１３および第２ピン２１４が、第１櫛歯部材４１に形成された溝４１１および第２櫛歯部材４２に形成された溝４２１に当接することにより、複数の光学ユニット２間の相対的な位置が精度良く決定される。【選択図】図１０
2005088231.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学ユニットアレイであって、
それぞれが第１の方向に沿って配置された複数の光学デバイス要素を備える複数の光学ユニットと、
前記複数の光学ユニットを前記第１の方向におよそ垂直な第２の方向に配列して保持する保持部と、
を備え、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、
前記第１の方向および前記第２の方向に平行であって前記複数の光学デバイス要素が配置される配置面と、
前記複数の光学デバイス要素の配置基準とされ、前記第１の方向に所定の間隔で設けられるとともに前記配置面に垂直な方向に突出する第１の突出部および第２の突出部と、
を備え、
前記保持部が、
前記複数の光学ユニットの複数の第１の突出部を前記第１の方向に関して外側から保持して前記複数の第１の突出部の位置を決定する複数の溝が形成された第１の櫛歯部と、
前記複数の光学ユニットの複数の第２の突出部を前記第１の方向に関して外側から保持して前記複数の第２の突出部の位置を決定する複数の溝が形成された第２の櫛歯部と、
を備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項２】
請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、
前記第１の櫛歯部が前記複数の第１の突出部に当接して前記複数の第１の突出部の前記第１の方向および前記第２の方向の位置を決定し、
前記第２の櫛歯部が前記複数の第２の突出部に当接して前記複数の第２の突出部の前記第２の方向の位置を決定することを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の光学デバイス要素が取り付けられるとともに前記第１の突出部および前記第２の突出部が挿入される２つの開口が形成された位置決め部材をさらに備え、
前記第１の突出部および前記第２の突出部と前記２つの開口との嵌め合いにより、前記第１の突出部および前記第２の突出部に対する前記複数の光学デバイス要素の位置が決定されることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項４】
請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが突起部を備え、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の光学デバイス要素の複数の突起部がそれぞれ挿入される複数の開口をさらに備え、
前記複数の光学デバイス要素のそれぞれの光学ユニットにおける位置が、前記突起部と開口との嵌め合いにより決定されることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項５】
請求項４に記載の光学ユニットアレイであって、
前記突起部が、前記開口に挿入される外側面を、嵌め合いにより前記光学ユニットにおける光軸の位置を決定する位置基準面として備えるレンズ部であることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項６】
請求項４または５に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の開口が形成された薄膜状の位置決め部材をさらに備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項７】
請求項６に記載の光学ユニットアレイであって、
前記位置決め部材が、前記第１の突出部および前記第２の突出部が挿入される２つの開口をさらに備え、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記第１の突出部および前記第２の突出部が設けられるとともに前記位置決め部材が当接する基準面をさらに備え、
前記第１の突出部および前記第２の突出部と前記２つの開口との嵌め合いにより、前記第１の突出部および前記第２の突出部に対する前記位置決め部材の位置が決定されることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項８】
請求項７に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記基準面との間で前記位置決め部材を挟む補強板をさらに備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項９】
請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが、光を出射する光源モジュールであることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項１０】
請求項９に記載の光学ユニットアレイであって、
前記光源モジュールが、
光ビームを出射する光源と、
前記光源からの光が入射するレンズ部と、
前記光源および前記レンズ部を保持する構造体と、
を備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項１１】
請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれにおいて、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが指向性を有する光線を出射し、
前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが、平面である前記配置面に当接することにより前記光線の出射方向を決定する角度基準面を備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項１２】
請求項１１に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれの前記配置面が当接する少なくとも１つの平面をさらに備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項１３】
請求項１１または１２に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記配置面との間で前記複数の光学デバイス要素を挟み込んで前記複数の光学デバイス要素を前記配置面側へと押圧する押圧部をさらに備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項１４】
請求項１３に記載の光学ユニットアレイであって、
前記押圧部が電力供給源に接続されており、
前記押圧部が、前記複数の光学デバイス要素と当接する部位に、前記複数の光学デバイス要素にそれぞれ電力を供給する複数の電気端子を備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項１５】
請求項１４に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の電気端子が複数の電気プローブであり、
前記押圧部が、前記複数の電気プローブが当接する配線基板をさらに備えることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項１６】
請求項１５に記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の電気プローブが、前記配線基板と前記複数の光学デバイス要素との間で押圧されて弾性収縮することを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項１７】
請求項１４ないし１６のいずれかに記載の光学ユニットアレイであって、
前記配置面が前記電力供給源に接続されており、
前記複数の光学デバイス要素のぞれぞれの前記角度基準面が電気端子であることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項１８】
請求項１４ないし１７のいずれかに記載の光学ユニットアレイであって、
前記複数の光学ユニットが互いに電気的に絶縁されていることを特徴とする光学ユニットアレイ。
【請求項１９】
対象物上にパターンを描画するパターン描画装置であって、
請求項９ないし１８のいずれかに記載の光学ユニットアレイと、
前記光学ユニットアレイからの複数の光ビームを対象物に導く光学系と、
前記対象物上において前記複数の光ビームの照射位置を走査する走査機構と、
を備えることを特徴とするパターン描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の光ビームを出射する光学ユニットが配列される光学ユニットアレイ、および、この光学ユニットアレイを使用するパターン描画装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体やガラスの基板、刷版等への描画に用いられるパターン描画装置では、複数の描画用の光ビームを出射する光源が配列された光源アレイを用いて描画速度の向上を図る技術が利用されている。例えば、ドラムタイプ走査型画像記録装置では、感光材料の巻き付けられたドラムを高速に回転させつつ、２次元配列された複数の光ビームを出射する光源アレイをドラムの回転方向（主走査方向）と垂直な副走査方向に移動させることにより、感光材料への高速な画像記録が実現されている。
【０００３】
また、光通信に用いられる光伝送路においては、複数の光ファイバ同士を接続する際に、複数の光ファイバをコネクタに２次元的に配列して接続し、コネクタ同士を接続することにより多数の光ファイバを一度に効率良く接続する技術が利用されている。
【０００４】
このような複数の光学デバイス要素の配列構造に関しては様々な技術が開示されている。例えば、特許文献１では、複数の半導体レーザを互いに電気的に絶縁して配置し、レーザ発光面とは反対側においてそれぞれ配線することにより、各半導体レーザからの光ビームのｏｎ／ｏｆｆおよび強度を制御する技術が開示されている。
【０００５】
また、特許文献２では、基台ブロックに立設された位置決めピンを、複数の半導体レーザを有する光源部材のピン穴に挿入することにより、複数の光ビームを出射する光源ユニットを簡易な構造で小型化する技術が開示されている。さらに、特許文献３では、光ビームを出射する複数の発光ダイオードが高精度に位置決めされた光学素子ブロックを支持部材の櫛歯状部により支持することにより、精度の高い２次元の光学素子結合体を形成する技術が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−１７７１８１号公報
【特許文献２】特開平６−４７９５４号公報
【特許文献３】特開２０００−３３５００９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、このような複数の光学デバイス要素の配列構造では精度の良い配列が重要となる。また、光学デバイス要素が半導体レーザ等の光源である場合は、複数の光ビームの出射位置および出射角度を精度良く揃えて決定する必要がある。
【０００７】
例えば、特許文献２に開示される光源ユニットでは、位置決めピンとピン穴とにより複数の半導体レーザを有する光源部材の位置決めが精度良く行われるが、光源部材が絶縁材料で形成されている場合には、ワイヤ放電加工（エッチング）等による加工ができず、ピン穴を高精度に形成することが難しくなる。特に、複数のピン穴を形成する際の各ピン穴間の距離を精度良く決定することが困難となる。
【０００８】
また、特許文献３に開示される光学素子結合体では、高精度に溝が形成された櫛歯部材に光学素子ブロックをはめ込むことにより、複数の光学素子ブロックの相対的な位置を決定し、さらに、ロッドレンズを利用することにより、発光ダイオードの配列方向と直交する方向の光ビームの出射位置を精度良く決定しているが、発光ダイオードの配列方向の位置については修正が不可能となっている。さらに、光学素子ブロックが１枚の基板上に複数個の発光ダイオードが直接実装される構成であるため、信頼性が高いとはいえない（すなわち、エージング等でスクリーニングをかけた場合に欠損が出る可能性のある）半導体レーザ等の光源を利用することが難しい。
【０００９】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、光源、レンズ等の光学デバイス要素を配列した光学ユニットをさらに配列した光学ユニットアレイにおいて、複数の光学ユニット間の相対的な位置を精度良く決定することを目的としている。特に、複数の光を出射する光源として光学ユニットアレイが用いられるパターン描画装置においては、光源からの複数の光の出射位置および出射角度を精度良く決定することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、光学ユニットアレイであって、それぞれが第１の方向に沿って配置された複数の光学デバイス要素を備える複数の光学ユニットと、前記複数の光学ユニットを前記第１の方向におよそ垂直な第２の方向に配列して保持する保持部とを備え、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記第１の方向および前記第２の方向に平行であって前記複数の光学デバイス要素が配置される配置面と、前記複数の光学デバイス要素の配置基準とされ、前記第１の方向に所定の間隔で設けられるとともに前記配置面に垂直な方向に突出する第１の突出部および第２の突出部とを備え、前記保持部が、前記複数の光学ユニットの複数の第１の突出部を前記第１の方向に関して外側から保持して前記複数の第１の突出部の位置を決定する複数の溝が形成された第１の櫛歯部と、前記複数の光学ユニットの複数の第２の突出部を前記第１の方向に関して外側から保持して前記複数の第２の突出部の位置を決定する複数の溝が形成された第２の櫛歯部とを備える。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、前記第１の櫛歯部が前記複数の第１の突出部に当接して前記複数の第１の突出部の前記第１の方向および前記第２の方向の位置を決定し、前記第２の櫛歯部が前記複数の第２の突出部に当接して前記複数の第２の突出部の前記第２の方向の位置を決定する。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の光学デバイス要素が取り付けられるとともに前記第１の突出部および前記第２の突出部が挿入される２つの開口が形成された位置決め部材をさらに備え、前記第１の突出部および前記第２の突出部と前記２つの開口との嵌め合いにより、前記第１の突出部および前記第２の突出部に対する前記複数の光学デバイス要素の位置が決定される。
【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが突起部を備え、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の光学デバイス要素の複数の突起部がそれぞれ挿入される複数の開口をさらに備え、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれの光学ユニットにおける位置が、前記突起部と開口との嵌め合いにより決定される。
【００１４】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の光学ユニットアレイであって、前記突起部が、前記開口に挿入される外側面を、嵌め合いにより前記光学ユニットにおける光軸の位置を決定する位置基準面として備えるレンズ部である。
【００１５】
請求項６に記載の発明は、請求項４または５に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記複数の開口が形成された薄膜状の位置決め部材をさらに備える。
【００１６】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の光学ユニットアレイであって、前記位置決め部材が、前記第１の突出部および前記第２の突出部が挿入される２つの開口をさらに備え、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記第１の突出部および前記第２の突出部が設けられるとともに前記位置決め部材が当接する基準面をさらに備え、前記第１の突出部および前記第２の突出部と前記２つの開口との嵌め合いにより、前記第１の突出部および前記第２の突出部に対する前記位置決め部材の位置が決定される。
【００１７】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記基準面との間で前記位置決め部材を挟む補強板をさらに備える。
【００１８】
請求項９に記載の発明は、請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが、光を出射する光源モジュールである。
【００１９】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の光学ユニットアレイであって、前記光源モジュールが、光ビームを出射する光源と、前記光源からの光が入射するレンズ部と、前記光源および前記レンズ部を保持する構造体とを備える。
【００２０】
請求項１１に記載の発明は、請求項１に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれにおいて、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが指向性を有する光線を出射し、前記複数の光学デバイス要素のそれぞれが、平面である前記配置面に当接することにより前記光線の出射方向を決定する角度基準面を備える。
【００２１】
請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれの前記配置面が当接する少なくとも１つの平面をさらに備える。
【００２２】
請求項１３に記載の発明は、請求項１１または１２に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットのそれぞれが、前記配置面との間で前記複数の光学デバイス要素を挟み込んで前記複数の光学デバイス要素を前記配置面側へと押圧する押圧部をさらに備える。
【００２３】
請求項１４に記載の発明は、請求項１３に記載の光学ユニットアレイであって、前記押圧部が電力供給源に接続されており、前記押圧部が、前記複数の光学デバイス要素と当接する部位に、前記複数の光学デバイス要素にそれぞれ電力を供給する複数の電気端子を備える。
【００２４】
請求項１５に記載の発明は、請求項１４に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の電気端子が複数の電気プローブであり、前記押圧部が、前記複数の電気プローブが当接する配線基板をさらに備える。
【００２５】
請求項１６に記載の発明は、請求項１５に記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の電気プローブが、前記配線基板と前記複数の光学デバイス要素との間で押圧されて弾性収縮する。
【００２６】
請求項１７に記載の発明は、請求項１４ないし１６のいずれかに記載の光学ユニットアレイであって、前記配置面が前記電力供給源に接続されており、前記複数の光学デバイス要素のぞれぞれの前記角度基準面が電気端子である。
【００２７】
請求項１８に記載の発明は、請求項１４ないし１７のいずれかに記載の光学ユニットアレイであって、前記複数の光学ユニットが互いに電気的に絶縁されている。
【００２８】
請求項１９に記載の発明は、対象物上にパターンを描画するパターン描画装置であって、請求項９ないし１８のいずれかに記載の光学ユニットアレイと、前記光学ユニットアレイからの複数の光ビームを対象物に導く光学系と、前記対象物上において前記複数の光ビームの照射位置を走査する走査機構とを備える。
【発明の効果】
【００２９】
本発明では、複数の光学ユニット間の相対的な位置を精度良く決定することができる。
【００３０】
請求項３の発明では、複数の光学デバイス要素の光学ユニットにおける位置を精度良くかつ容易に決定することができる。
【００３１】
請求項５の発明では、レンズ部の光軸の光学ユニットにおける位置を精度良く決定することができる。
【００３２】
請求項６の発明では、光学デバイス要素の向きに影響を与えることなく、光学デバイス要素の位置を決定することができる。
【００３３】
請求項７の発明では、位置決め部材の第１の突出部および第２の突出部に対する相対的な位置を簡単な構造で精度良く決定することができる。
【００３４】
請求項８の発明では、光学デバイス要素を位置決め部材に対して容易に着脱することができる。
【００３５】
請求項９の発明では、複数の光源モジュールを精度良く配置することができる。
【００３６】
請求項１１の発明では、複数の光学デバイス要素からの指向性を有する光線の光学ユニットに対する相対的な出射方向を精度良く決定することができる。
【００３７】
請求項１２の発明では、複数の光学ユニットからの複数の指向性を有する光線の光学ユニットアレイに対する相対的な出射角度を精度良く決定することができる。
【００３８】
請求項１３の発明では、光学デバイス要素からの光ビームの出射位置および出射角度の経時変化を防止することができる。
【００３９】
請求項１４および１７の発明では、光学デバイス要素への電力の供給構造を簡素化することができる。
【００４０】
請求項１５の発明では、光学ユニットを容易に組み立てることができる。
【００４１】
請求項１６の発明では、電気プローブを確実に光学デバイス要素に当接させることができる。
【００４２】
請求項１８の発明では、光学ユニットアレイへの配線を分割して１つの配線の大型化を防止することができる。
【００４３】
請求項１９の発明では、高精度なパターンの描画が実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
本発明の一の実施の形態に係る光学ユニットアレイでは、光を出射する光源モジュールをそれぞれ複数備える複数の光学ユニットが用いられる。以下、光学ユニットアレイの光学デバイス要素である光源モジュールおよび光学ユニットの構成について順に説明し、その後、光学ユニットアレイの構成について説明する。
【００４５】
図１は、光学ユニットアレイに用いられる光源モジュール１の構成を示す斜視図であり、図２ないし図５はそれぞれ、光源モジュール１の平面図、図１中の（＋Ｘ）側からの正面図、左側面図および右側面図である。図１に示すように、光源モジュール１は、指向性を有する光線（以下、「光ビーム」という。）を出射する光源である半導体レーザのベアチップ（以下、単に「半導体レーザ」という。）１１、半導体レーザ１１からの光ビームが入射するレンズ部１２、並びに、半導体レーザ１１およびレンズ部１２を保持する構造体（以下、「プラットフォーム」という。）１３を備える。
【００４６】
半導体レーザ１１は、図２および図３に示すように、サブマウント１１２に取り付けられた上で、例えば、はんだ付け等の方法によりプラットフォーム１３の内部に実装される。
【００４７】
レンズ部１２は、図２および図３中に一点鎖線にて示す光軸１２１を有するコリメータレンズ１２３（例えば、セルフォック（登録商標）レンズ）、および、コリメータレンズ１２３を内部に有する円筒形のレンズホルダ１２２を備え、レンズホルダ１２２の光軸１２１に平行なレンズ部外側面１２２ａの中心軸は光軸１２１と高精度に一致する。すなわち、レンズ部１２では、光軸１２１に垂直な面で切断した場合の断面の中心が光軸１２１と高精度に一致する。なお、レンズ部１２はコリメータレンズ１２３そのもの（または側面がメタライズされたレンズ）でもよく、この場合、コリメータレンズ１２３の側面がレンズ部外側面１２２ａとなる。
【００４８】
レンズ部１２は、光軸１２１と半導体レーザ１１から出射される光ビームの主光線とが高精度に一致するようにアライメント（位置決め）され、はんだ、ガラスパウダ、ＵＶ接着剤等を用いて、あるいはＹＡＧレーザによる溶接によりプラットフォーム１３に固定される。このとき、レンズ部１２（の一部）はプラットフォーム１３の外部に突出するよう固定され、光源モジュール１の取り付け位置を決定するための突起部となる。
【００４９】
プラットフォーム１３は、熱伝導率が高く熱膨張率が低い材料、例えば、銅タングステン（ＣｕＷ）等で形成され、レンズ部１２の周囲の３方向（図５中のレンズ部１２の（＋Ｘ）側、（−Ｘ）側および（−Ｙ）側）を囲むように略Ｕ字状に設けられた面１３１、および、半導体レーザ１１の一方の電極（本実施の形態ではアノード）にワイヤ１１４を介してワイヤボンディング法により接続されたモジュール電極１４を有し、面１３１は光軸１２１に垂直とされる。
【００５０】
モジュール電極１４は、図３に示すように、半導体レーザ１１のレンズ部１２とは反対側であって面１３１の中央部近傍と対向する位置（すなわち、（＋Ｚ）方向へと延長した光軸１２１近傍）に配置され、モジュール電極１４、半導体レーザ１１、面１３１の中央部およびレンズ部１２は光軸１２１に沿う方向にほぼ一直線状に並ぶ。図４に示すようにモジュール電極１４は絶縁材１５を介してプラットフォーム１３から絶縁された状態で接合される。また、モジュール電極１４および絶縁材１５を除いたプラットフォーム１３の表面には金メッキが施され、図２および図３に示すように、半導体レーザ１１のもう一方の電極（本実施の形態ではカソード）にワイヤ１１３を介して接続される。
【００５１】
光源モジュール１では、電力供給源からプラットフォーム１３の表面およびモジュール電極１４を介して供給される電力により半導体レーザ１１から光ビームが出射され、この光ビームがレンズ部１２に入射し、光軸１２１に平行な平行光とされてレンズ部１２から出射される。
【００５２】
図６は、複数（本実施の形態では３２個）の光源モジュール１を備える光学ユニット２を示す斜視図であり、図７は光学ユニット２の分解斜視図である。図７では、図示の便宜上、光源モジュール１を２個だけ描いているが、実際には図７中のＸ方向に沿って１６個の光源モジュール１が１列に配置され（以下、光源モジュール１が配置される方向を「光源モジュール１の配列方向」ともいう。）、さらにもう１列（１６個）の光源モジュール１が上記光源モジュール１と平行に配列される。
【００５３】
光学ユニット２は、複数の光源モジュール１の光ビームの出射側に、光源モジュール１が挿入される複数の取付開口２０１が形成された取付板２０（後述の２つの板２２，２３からなる。）、および、複数の取付開口２０１に対応する複数の開口２１１が形成されたユニット基部２１を備える。
【００５４】
取付板２０は、複数の光源モジュール１がそれぞれ挿入される複数の位置決め開口２２１がエッチングにより所定の位置に精度良く形成された薄膜状の位置決め板２２、および、位置決め開口２２１に対応する位置に位置決め開口２２１より僅かに大きい開口２３１が形成された角度決め板２３を有する。取付開口２０１は位置決め開口２２１および開口２３１を重ね合わせたものであり、角度決め板２３の（＋Ｚ）側の面は複数の光源モジュール１が配置される平面である配置面２３２となっている。
【００５５】
ユニット基部２１は、配置面２３２に平行に位置決め板２２に対向する基準面２１２を備え、基準面２１２には、配置面２３２および基準面２１２に垂直な方向に突出する突出部である第１ピン２１３、並びに、第１ピン２１３から光源モジュール１の配列方向（図７中の（−Ｘ）方向）に所定の間隔だけ離れて設けられるとともに配置面２３２および基準面２１２に垂直な方向に突出する第２ピン２１４が設けられる。第１ピン２１３および第２ピン２１４は、ユニット基部２１と一体物として形成されてもよく、また、ユニット基部２１に圧入されて取り付けられてもよい。位置決め板２２には、第１ピン２１３および第２ピン２１４がそれぞれ挿入される２つのピン用開口２２３が形成され、また、角度決め板２３にも同様に２つのピン用開口２３３が形成される。
【００５６】
光学ユニット２は、配置面２３２との間で複数の光源モジュール１を挟み込んで複数の光源モジュール１を配置面２３２側へと押圧する押圧部３０をさらに備え、押圧部３０は、複数の光源モジュール１と当接する部位に設けられて複数の光源モジュール１にそれぞれ電力を供給する電気端子である複数の電気プローブ２４（２つのみ図示）、電気プローブ２４が挿入される複数の開口２５１が形成された放熱シート２５、開口２５１に対応する複数の開口２６１が形成されるとともに開口２６１に挿入される電気プローブ２４を保持するプローブ保持板２６、および、複数の電気プローブ２４が当接する配線基板２７を備える。
【００５７】
図８は、電気プローブ２４を示す図である。電気プローブ２４は、略円柱状のプローブピン２４１、および、内部にバネ２４２ａを有する略円筒状のプローブ本体部２４２を有する。電気プローブ２４は、長手方向の両側から圧縮する方向に力が加えられることにより弾性収縮する（すなわち、バネ２４２ａが収縮してプローブピン２４１がプローブ本体部２４２の内へと移動する）。また、図７に示すプローブ保持板２６には、第１ピン２１３および第２ピン２１４にそれぞれ対応する２つのピン用開口２６３が設けられる。
【００５８】
光学ユニット２が組み立てられる際には、まず、位置決め板２２の２つのピン用開口２２３に第１ピン２１３および第２ピン２１４が挿入され、位置決め板２２が、光源モジュール１が挿入される側とは反対側の面にてユニット基部２１の基準面２１２に当接して取り付けられる。光学ユニット２では、第１ピン２１３および第２ピン２１４と位置決め板２２の２つのピン用開口２２３との嵌め合いにより、第１ピン２１３および第２ピン２１４に対する位置決め板２２の位置が決定される。続いて、角度決め板２３が、基準面２１２との間で位置決め板２２を挟んでユニット基部２１に取り付けられる。角度決め板２３の厚さは０．１ｍｍないし０．２ｍｍであり、薄い位置決め板２２をユニット基部２１との間に挟んで補強する補強板としての機能も有する。
【００５９】
次に、図２に示す複数の光源モジュール１の複数のレンズ部１２が図７に示す取付板２０の取付開口２０１（位置決め板２２の位置決め開口２２１）に挿入される。位置決め開口２２１は、中心がレンズ部１２の光軸１２１と精度良く一致し、内径がレンズ部外側面１２２ａと精度良く嵌め合うように形成されており、位置決め開口２２１に挿入されるレンズ部外側面１２２ａは、嵌め合いにより（光学ユニット２の）取付板２０の位置決め板２２に対する相対的な光軸１２１の位置、すなわち、光ビームの出射位置を決定する基準面（以下、レンズ部外側面１２２ａを「位置基準面１２２ａ」という。）となっている。上述のように、位置決め板２２は第１ピン２１３および第２ピン２１４に対して位置決めされているため、複数の光源モジュール１および光軸１２１のそれぞれの第１ピン２１３および第２ピン２１４に対する相対的な位置が、位置決め開口２２１にレンズ部１２が挿入されることにより決定される。
【００６０】
また、取付板２０を構成する角度決め板２３の配置面２３２は平坦度の高い平面として形成されており、複数の光源モジュール１のレンズ部１２の周囲に設けられた光軸１２１に垂直な面１３１（図５参照）は、配置面２３２にそれぞれ当接することにより、取付板２０に対する相対的な光ビームの出射角度（出射方向）（取付板２０の法線に対する傾斜角度および傾斜方向を指す。）を決定する基準面（以下、面１３１を「角度基準面１３１」という。）となっている。
【００６１】
以上のように、複数の光源モジュール１が取付板２０（すなわち、位置決め板２２および角度決め板２３）に取り付けられることにより、複数の光源モジュール１および光軸１２１のそれぞれの光学ユニット２に対する相対的な位置が、レンズ部１２（の位置基準面１２２ａ）と位置決め開口２２１との嵌め合いにより第１ピン２１３および第２ピン２１４を配置基準として決定され、光源モジュール１から出射される光ビームの出射方向が、光源モジュール１（の角度基準面１３１）が配置面２３２に当接することにより決定される。
【００６２】
次に、放熱シート２５およびプローブ保持板２６の複数の開口２５１および開口２６１が、それぞれ光源モジュール１のモジュール電極１４（図４参照）と位置合わせされ、配置面２３２との間で複数の光源モジュール１を挟んで、２つのピン用開口２６３にそれぞれ挿入される固定ねじ２６５によりユニット基部２１（の第１ピン２１３および第２ピン２１４）に取り付けられる。複数の開口２５１および開口２６１のそれぞれに電気プローブ２４が光源モジュール１のレンズ部１２の光軸１２１（図２および図３参照）にほぼ平行に挿入され、電気プローブ２４の先端が光源モジュール１のモジュール電極１４に当接する。
【００６３】
続いて、コネクタ２７１およびケーブル２９１を介して電力供給源２９と接続されている配線基板２７が、取付ピン２７５および取付ナット２７６により複数の電気プローブ２４のモジュール電極１４に当接する先端とは反対側の端部と当接してプローブ保持板２６（の固定ねじ２６５）に取り付けられる。電気プローブ２４と当接する配線基板２７の表面には、予め複数の電気プローブ２４に対応する配線が形成されている。複数の電気プローブ２４は、配線基板２７と複数の光源モジュール１との間で押圧されて弾性収縮し、光源モジュール１を数１０ｇ重の力で角度決め板２３の配置面２３２に向かって押圧する。より詳しくは、弾性収縮した電気プローブ２４の片側の端部に当接して直接的に押圧される被押圧部でもあるモジュール電極１４が、配線基板２７を介して電力供給源２９に接続された電気プローブ２４によりレンズ部１２の光軸１２１にほぼ平行であって角度基準面１３１へと向かう方向に押圧されることにより、角度基準面１３１が配置面２３２に対して押圧されて密着する。
【００６４】
このとき、光源モジュール１の半導体レーザ１１の一方の電極（アノード）は、モジュール電極１４、電気プローブ２４および配線基板２７を介して電力供給源２９に電気的に接続される。また、半導体レーザ１１のもう一方の電極（カソード）は、金メッキされたプラットフォーム１３の角度基準面１３１を介して取付板２０の配置面２３２に電気的に接続され、導電体である配置面２３２は、角度決め板２３のピン用開口２３３に挿入される第１ピン２１３および第２ピン２１４、第１ピン２１３および第２ピン２１４に取り付けられる固定ねじ２６５に電気的に接続される配線基板２７を介して電力供給源２９と接続される。すなわち、図２および図３に示す光源モジュール１のモジュール電極１４および角度基準面１３１は、光源モジュール１の半導体レーザ１１に接続されて半導体レーザ１１に電力を供給する電気端子としての役割を担う。
【００６５】
なお、光源モジュール１の位置基準面（レンズ部外側面）１２２ａ、および、これと嵌まり合う位置決め板２２が導電体（例えば、薄膜金属板）である場合には、角度基準面１３１の代わりに位置基準面１２２ａが光源モジュール１の一方の電気端子とされてもよい。この場合、半導体レーザ１１の電極（カソード）は、光源モジュール１の金メッキされた表面を介して位置基準面１２２ａに接続されてもよく、直接位置基準面１２２ａにワイヤボンディング法等により接続されてもよい。また、位置決め板２２は、上述の角度決め板２３の配置面２３２と同様に電力供給源２９と接続される。
【００６６】
光学ユニット２では、さらに、放熱器２８が固定ねじ２８５により配線基板２７の裏面（電気プローブ２４と当接する配線が予め形成された主面とは反対側の面）に当接して取り付けられる。図９は、組み立てられた光学ユニット２の構成を示す断面図である。
【００６７】
上述のように、複数の光源モジュール１を使用する光学ユニット２では、取付板２０に配置された複数の光源モジュール１のそれぞれが電気プローブ２４により取付板２０に押圧された上で電気プローブ２４および取付板２０を介して電力が供給され、精度良く決定された出射位置および出射角度にて複数の光ビームが出射される。このとき、複数の半導体レーザ１１から大量の熱エネルギーが放出される。放出された熱エネルギーは、熱伝導率が高い銅タングステンで形成されたプラットフォーム１３、および、放熱シート２５を介して効率良くプローブ保持板２６へと伝えられる。なお、既述のように銅タングステンは熱膨張率が低いため、半導体レーザ１１から放出される熱エネルギーによる光源モジュール１の変形が抑制され、光ビームの出射位置および出射角度の変動が抑制される。
【００６８】
プローブ保持板２６に伝えられた熱エネルギーは配線基板２７を介して放熱器２８へと伝えられ、放熱器２８により効率良く放熱される。プローブ保持板２６および配線基板２７を形成する材料としては、放熱性が高く、かつ、電力供給源２９（図７参照）からの電力を電気プローブ２４等を介して光源モジュール１に供給するための絶縁性も兼ね備えた窒化アルミニウム（ＡｌＮ）等のセラミックスやベリリア（酸化ベリリウム（ＢｅＯ））等が好ましい。以上のように、光学ユニット２では、発熱の著しい高出力光源である半導体レーザ１１を複数個使用した場合でも、光源から発生する熱エネルギーを光源モジュール１の後方（光ビームを出射する方向とは反対側）に配置される放熱器２８へと効率良く伝えることにより、十分な放熱量を確保することができる。
【００６９】
図１０は、複数の光学ユニット２（本実施の形態では５個）を用いる光学ユニットアレイ４の構成を示す分解斜視図である。図１０では、図示の便宜上、光学ユニット２を１個だけ描いているが、実際には複数の光源モジュール１の配列方向（図９中のＸ方向）におよそ垂直な上下方向（図９中のＹ方向にほぼ沿う方向）に５個の光学ユニット２が配列される。
【００７０】
光学ユニットアレイ４は、上記の配列方向に配列される複数の光学ユニット２を保持する保持部４０を備え、保持部４０は、複数の光学ユニット２の複数の第１ピン２１３を保持して第１ピン２１３の位置を決定する複数の溝４１１が形成された第１の櫛歯部である第１櫛歯部材４１、複数の第２ピン２１４を保持して第２ピン２１４の位置を決定する複数の溝４２１が形成された第２の櫛歯部である第２櫛歯部材４２、並びに、第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２が固定されるアレイ基部４３を有する。
【００７１】
第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２はセラミックス等の絶縁体により作成され、溝４１１および溝４２１が切削加工により精度良く形成される。また、アレイ基部４３はステンレスにより作成される。
【００７２】
光学ユニットアレイ４が組み立てられる際には、まず、図１１に示すように、複数の光学ユニット２の複数の第１ピン２１３が第１櫛歯部材４１の複数の溝４１１により光源モジュール１の配列方向に関して外側（すなわち、第１ピン２１３に関して第２ピン２１４とは反対側）からそれぞれ保持され、また、複数の第２ピン２１４が第２櫛歯部材４２の複数の溝４２１により光源モジュール１の配列方向の関して外側（すなわち、第２ピン２１４に関して第１ピン２１３とは反対側）からそれぞれ保持される。
【００７３】
その後、複数の光学ユニット２のそれぞれは、図１２の光学ユニットアレイ４の断面図に示すように、ユニット固定ねじ４１５により第１櫛歯部材４１に固定される。さらに、アレイ基部４３が、図１０および図１２に示すように、第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２の（−Ｚ）側の主面との間にユニット基部２１を挟み込んで、第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２に複数のねじ４３５により固定される。なお、アレイ基部４３と複数の光学ユニット２とは当接しておらず電気的に絶縁状態とされる。また、図１２では、図示の便宜上、図中の１番上の光学ユニット２については、第１ピン２１３を含む断面を示し、上から２番目の光学ユニット２については、ユニット固定ねじ４１５を含む断面を示す。
【００７４】
このとき、図１１に示す複数の第１ピン２１３がそれぞれ、第１櫛歯部材４１の各溝４１１のＸ方向に垂直な底面４１４、および、（＋Ｙ）方向を向く（図１１中の溝４１１の下側の）側面４１３に当接して第１ピン２１３のＸ方向およびＹ方向（すなわち、光源モジュール１の配列方向および光学ユニット２の配列方向）の位置が決定され、また、複数の第２ピン２１４がそれぞれ、第２櫛歯部材４２の各溝４２１の下側の側面４２３に当接して第２ピン２１４のＹ方向（すなわち、光学ユニット２の配列方向）の位置が決定される。この結果、複数の光学ユニット２の光学ユニットアレイ４における位置が決定され、複数の光学ユニット２のそれぞれに配置される複数の光源モジュール１から出射される光ビームの出射位置が決定される。
【００７５】
また、複数の光学ユニット２のそれぞれの配置面２３２は、図１０に示すように光源モジュール１および光学ユニット２の配列方向に平行とされ、ユニット固定ねじ４１５により第１櫛歯部材４１の（−Ｚ）側の主面（以下、「アレイ基準面」という。）４１２に引き寄せられて当接する。さらに、複数の光学ユニット２のそれぞれは、ユニット基部２１のアレイ基部４３側からステンレス製のユニット押圧ねじ４３６により絶縁フィルム４３７（図１２参照）を介して押圧され、配置面２３２がアレイ基準面４１２に押圧される。アレイ基準面４１２は光源モジュール１および光学ユニット２の配列方向に平行に形成された平坦な平面であり、複数の光学ユニット２の配置面２３２はアレイ基準面４１２に押圧されることにより同一平面上に配置され、複数の光学ユニット２のそれぞれに配置される複数の光源モジュール１から出射される光ビームの出射方向が決定される。
【００７６】
さらに、光学ユニットアレイ４では、絶縁フィルム４３７を介することによりアレイ基部４３と複数の光学ユニット２との間の電気的な絶縁状態が保たれ、複数の光源モジュール１に供給される電力のアレイ基部４３への漏れが防止される。また、第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２も絶縁体であるため、複数の光学ユニット２は互いに電気的に絶縁される。なお、ユニット押圧ねじ４３６がセラミックス等の絶縁材料で形成されている場合には、絶縁フィルム４３７が省略されてもよい。
【００７７】
以上のように、光学ユニットアレイ４では、複数の光学ユニット２の第１ピン２１３および第２ピン２１４が精度良く形成された第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２に当接することにより、複数の光学ユニット２間の相対的な位置、および、複数の光学ユニット２のそれぞれの光学ユニットアレイ４における位置を精度良く決定することができ、複数の光源モジュール１を精度良く配置することができる。
【００７８】
光学ユニット２では、レンズ部１２の位置基準面１２２ａが取付板２０の位置決め開口２２１に挿入され、複数の光源モジュール１が嵌め合いにより取付板２０に取り付けられることにより、各光源モジュール１の取付板２０に対する相対的な位置を精度良く決定することができる。また、位置基準面１２２ａの中心軸はレンズ部１２の光軸１２１と高精度に一致するため、レンズ部１２の光軸１２１の光学ユニット２における位置を精度良く決定することができ、光源モジュール１からの光ビームの出射位置を精度良く決定することができる。
【００７９】
さらに、第１ピン２１３および第２ピン２１４が取付板２０のピン用開口２２３に挿入され、取付板２０が嵌め合いによりユニット基部２１に取り付けられることにより、取付板２０の第１ピン２１３および第２ピン２１４に対する相対的な位置を簡単な構造で精度良く決定することができ、複数の光源モジュール１の光学ユニット２における位置を精度良くかつ容易に決定することができる。
【００８０】
また、光学ユニット２では、複数の光源モジュール１の角度基準面１３１が取付板２０の配置面２３２に当接することにより、各光源モジュール１からの光ビームの光学ユニット２に対する相対的な出射角度（出射方向）を精度良く決定することができる。また、複数の光学ユニット２の配置面２３２がアレイ基準面４１２に押圧されることにより、各光学ユニット２からの複数の光ビームの光学ユニットアレイ４に対する相対的な出射角度を精度良く決定することができる。さらに、光ビームの出射箇所（レンズ部１２の出射側の端面）、位置基準面１２２ａおよび角度基準面１３１が近接して配置されているため、光ビームの出射位置および出射角度をより精度良く決定することができ、光源モジュール１自体も容易に製作することができる。
【００８１】
さらに、光学ユニット２では、光源モジュール１の被押圧部であるモジュール電極１４が押圧されて角度基準面１３１が取付板２０の配置面２３２に押圧されることにより、光源モジュール１からの光ビームの出射位置および出射角度の経時変化を防止することができる。
【００８２】
光学ユニット２では、位置決め板２２が薄膜状であるため、光源モジュール１の向きに影響を与えることなく、光源モジュール１の位置を決定することができる。また、薄膜状の位置決め板２２がユニット基部２１と角度決め板２３とにより挟まれて補強されるため、光源モジュール１を位置決め板２２に対して容易に着脱することができる。
【００８３】
光学ユニットアレイ４では、複数の光学ユニット２が互いに電気的に絶縁されているため、光学ユニットアレイ４に供給される総電力が光学ユニット２毎に分割され、各光学ユニット２に独立して供給される（例えば、本実施の形態では、各光学ユニット２に流れる電流は約１０Ａ（アンペア）となる。）。これにより、配線を分割して１つの配線の大型化を防止することができる。
【００８４】
光学ユニット２では、配置面２３２および電気プローブ２４が電力供給源２９に接続されており、光源モジュール１では、配置面２３２に当接する角度基準面１３１（または、配置面２３２に電気的に接続される位置基準面１２２ａ）、および、電気プローブ２４に当接するモジュール電極１４が半導体レーザ１１に電力を供給する電気端子としての役割を果たすため、電力の供給構造を簡素化することができ、電気配線に拘束されずに光ビームの出射位置および出射角度を決定することができる。
【００８５】
また、電気プローブ２４が弾性収縮された状態でモジュール電極１４を押圧するため、電気プローブ２４を確実に光源モジュール１に当接させることができる。さらに、複数の電気プローブ２４と配線基板２７とが分割して形成されているため、光学ユニット２を容易に組み立てることができる。その上、光源モジュール１の取付後に行われる電力の供給構造の接続（例えば、電気端子への配線のはんだ付け）も簡素化（もしくは省略）され、既に決定されている光ビームの出射位置および出射角度のずれを防止することができる。
【００８６】
図１３は、図１０に示す光学ユニットアレイ４とほぼ同様の構造を有する光学ユニットアレイ４ａを備えるラスタ走査型の画像記録装置３の構造を示す図である。画像記録装置３は、対象物である版材上にパターンを描画するパターン描画装置であり、光学ユニットアレイ４ａからの複数の光ビームを版材に導く光学系３６、および、これらの構成を保持するベース部３４を備え、また、感材が塗布された版材を外側面に保持するドラム３５を備える。
【００８７】
画像記録装置３の光学ユニットアレイ４ａは、光源モジュール１が４個１列に配列された光学ユニットを４つ上下に並べたものである点を除いて、図１０に示す光学ユニットアレイ４と同様の構成を有する。また、光学系３６は、アパーチャ板３１、フィールドレンズ３２およびズーム光学系３３を有する。
【００８８】
画像記録装置３では、光学ユニットアレイ４ａから出射される複数の光ビームのビーム形状がアパーチャ板３１により整形され、両側テレセントリック光学系であるフィールドレンズ３２およびズーム光学系３３によりドラム３５上の版材の描画領域９１に導かれ、版材上において複数の光ビームの照射位置が走査される。版材に対する複数の光ビームの主走査はドラム３５の中心軸を中心とする回転により行われ、副走査はドラム３５の中心軸に平行な方向にベース部３４を移動することにより行われる。
【００８９】
画像記録装置３では、光学ユニットアレイ４ａにおいて、出射される複数の光ビームが所定の出射位置および出射角度にて出射されるよう複数の光源モジュール１が精度良く配置されているため、高精度なパターンの描画が実現される。
【００９０】
図１４は、図１０に示す光学ユニットアレイ４とほぼ同様の構造の光学ユニットアレイ４ｂを備える光伝送路６の構成を示す図である。光伝送路６は、光増幅器５、複数の光ファイバ６１および６４、並びに、光ファイバ６１および６４がそれぞれ２次元的に配列されて接続されるコネクタ６２および６３を備える。
【００９１】
光増幅器５は、複数のフォトダイオード（以下、「ＰＤ」という。）を有するフォトダイオードアレイ（以下、「ＰＤアレイ」という。）５１、既述の光源モジュール１を複数有する光学ユニットアレイ４ｂ、および、複数のＰＤのそれぞれを対応する光源モジュール１に接続する配線５２を備える。光学ユニットアレイ４ｂは、光源モジュール１が５個１列に配列された光学ユニットを５つ上下に並べたものである点を除いて、図１０に示す光学ユニットアレイ４と同様の構成を有する。コネクタ６２およびコネクタ６３には、それぞれ２５本の光ファイバ６１および光ファイバ６４が５×５のマトリックス状に高精度に（誤差数μｍ（マイクロメートル）の精度にて）配列される。
【００９２】
光伝送路６では、複数の光ファイバ６１により伝送される光信号が、コネクタ６２を介してＰＤアレイ５１に入力されて電気信号に変換され、配線５２を介して光学ユニットアレイ４ｂへと送信される。光学ユニットアレイ４ｂでは、受信された電気信号が光信号へと変換して光の強度が増幅された後、コネクタ６３を介して光ファイバ６４へと送信される。
【００９３】
光増幅器５では、光学ユニットアレイ４ｂにおいて、出射される複数の光信号（光ビーム）が所定の出射位置および出射角度にて出射されるよう複数の光源モジュール１が精度良く配置されているため、光信号を受信するコアの直径が数μｍの光ファイバ６４に対しても、増幅された光信号を精度良く送出することができる。
【００９４】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。例えば、光源モジュール１の光源は半導体レーザ１１に限定されず、発光ダイオード等の他の発光素子が光源として用いられてもよく、出射される光もビーム状のものには限定されない。レンズ部１２に設けられるコリメータレンズ１２３は、ボールレンズ、ドラムレンズ等が用いられてもよい。さらに、コリメータレンズ１２３に代えて他のレンズがレンズ部１２に設けられてもよい。プラットフォーム１３も、要求される熱伝導率が満たされるのであればヘビーメタル等の他の材料で形成されてもよい。
【００９５】
光源モジュール１では、角度基準面１３１を角度決め板２３に対して押圧する際に外部から直接的に押圧される被押圧部は、半導体レーザ１１への電力の供給構造の簡素化という観点からモジュール電極１４であることが好ましいが、他の方法で電力を供給することができる場合はモジュール電極１４以外の他の部位であってもよい。
【００９６】
角度基準面１３１は、レンズ部１２の光軸１２１に対して完全に垂直である必要はなく、光ビームの所定の出射角度を決定することができるのであれば、およそ垂直に設けられるのみでよい。また、角度基準面１３１はレンズ部１２の全周にわたって設けられてもよく、レンズ部１２の周囲の複数箇所に設けられてもよい。
【００９７】
また、位置基準面１２２は、光源モジュール１の構造の簡素化という観点からレンズ部外側面１２２であることが好ましいが、光源モジュール１に他の突起部が立設されている場合には、この突起部の外側面が位置基準面として他の専用の位置決め開口に挿入されることにより光源モジュール１の位置が決定されてもよい。
【００９８】
光学ユニット２において、複数の光源モジュール１は、第１ピン２１３と第２ピン２１４とを結ぶ直線方向に沿って千鳥状に配列されてもよい。
【００９９】
光学ユニット２では、複数の光源モジュール１の第１ピン２１３および第２ピン２１４に対する位置決めは、位置決め板２２の２つのピン用開口２２３と第１ピン２１３および第２ピン２１４との嵌め合いによるものには限定されず、例えば、位置決め板２２の両端に設けられた凹部（例えば、Ｕ字状に切り欠かれた開口）が第１ピン２１３および第２ピン２１４に当接することにより位置決めが行われてもよい。
【０１００】
光学ユニット２では、使用される光源モジュール１の数は上記実施の形態にて示した個数には限定されず、目的に合わせて複数の光源モジュール１が使用される。また、光学ユニット２では、光源モジュール１に代えてレンズモジュールや受光モジュール等の他の光学デバイス要素が設けられてもよい。
【０１０１】
光学ユニット２の電気プローブ２４は、長手方向に弾性収縮するのであれば、プローブ本体部２４２の内部にバネ以外の弾性体を有する構造であってもよく、適度な弾性を有する材料により形成される部材であってもよい。また、光源モジュール１への電力の供給構造の簡素化という観点からは、光源モジュール１を押圧する部位である電気プローブ２４により光源モジュール１に対して電力が供給される構造が好ましいが、光源モジュール１を押圧する部位と光源モジュール１に電力を供給する部位とが異なっていてもよい。さらに、押圧部３０では、電気プローブ２４と配線基板２７は一体物として形成されてもよい。
【０１０２】
光学ユニット２では、基準面２１２および位置決め板２２が配置面２３２と同等の平坦度を実現している場合であって、かつ、光学ユニット２に対する光源モジュール１の着脱に支障のない場合には、角度決め板２３が省略されてもよい。
【０１０３】
光学ユニットアレイ４の保持部４０では、第１櫛歯部材４１および第２櫛歯部材４２に代えて、複数の溝４１１を有する第１の櫛歯部と、第１の櫛歯部と対向する位置に配置されて複数の溝４２１を有する第２の櫛歯部とを備える一体的な櫛歯部材が設けられてもよい。
【０１０４】
光学ユニットアレイ４の放熱器２８は、複数の光学ユニット２が保持部４０に取り付けられて光学ユニットアレイ４が組み立てられた後に各光学ユニット２に取り付けられてもよく、この場合、複数の光学ユニット２に対応する１個の大型の放熱器が取り付けられてもよい。
【０１０５】
光学ユニットアレイ４ａを備えるパターン描画装置は、画像記録装置３に限定されるわけではなく、例えば、半導体基板や平面表示装置のガラス基板等にパターンを描画する装置として利用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】光源モジュールを示す斜視図である。
【図２】光源モジュールの平面図である。
【図３】光源モジュールの正面図である。
【図４】光源モジュールの左側面図である。
【図５】光源モジュールの右側面図である。
【図６】光学ユニットを示す斜視図である。
【図７】光学ユニットの構成を示す分解斜視図である。
【図８】電気プローブを示す図である。
【図９】光学ユニットの構成を示す断面図である。
【図１０】光学ユニットアレイの構成を示す分解斜視図である。
【図１１】光学ユニット並びに第１櫛歯部材および第２櫛歯部材を示す図である。
【図１２】光学ユニットアレイの構成を示す断面図である。
【図１３】画像記録装置の構成を示す図である。
【図１４】光増幅器を備える光伝送路の構成を示す図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１    光源モジュール
２    光学ユニット
３    画像記録装置
４，４ａ，４ｂ    光学ユニットアレイ
１１    半導体レーザ
１２    レンズ部
１３    プラットフォーム
２２    位置決め板
２３    角度決め板
２４    電気プローブ
２７    配線基板
２９    電力供給源
３０    押圧部
３５    ドラム
３６    光学系
４０    保持部
４１    第１櫛歯部材
４２    第２櫛歯部材
９１    描画領域
１２１    光軸
１２２ａ    位置基準面
１３１    角度基準面
２１２    基準面
２１３    第１ピン
２１４    第２ピン
２２１    位置決め開口
２２３    ピン用開口
２３２    配置面
４１１    溝
４１２    アレイ基準面
４２１    溝
【図１】
2005088231.tif 000003
【図２】
2005088231.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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