(57)【要約】  【課題】  積層型磁気ヘッドにおいて、高トラック幅精度を実現するヘッド構造、製造方法を提供する。  【解決手段】  非磁性基板２の両面に金属磁性層１、接着層が形成された基板を積み重ねて、接着層の接合で固着作成した積層ブロックを、前記金属磁性層面１に対して直交する面で切断して対となる積層基板８を作成し、この積層基板８の切断ギャップ面に巻き線溝加工した後、前記巻き線溝に窓部金属磁性層を付着し、ギャップ面を研磨して巻線窓部にのみ窓部金属磁性層を残し、ギャップ材を付着し、対となる積層基板のギャップ面同士をつき合わせて接合したギャップドプレートを作成し、このギャップドプレートを短冊状に切断して得たギャップドバーをアジマス角度分傾けて切断してヘッドチップを作成する。  【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性基板と、両側を前記非磁性基板で挟持される金属磁性層と、巻線窓内側に設けられた窓部金属磁性層とを備えたことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
前記金属磁性層および窓部金属磁性層が１層で、又は金属磁性層と絶縁層が交互に複数積層された構成の磁路層で、構成されたことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
前記巻線窓のアペックス側の側面が磁気ギャップ面に対して実質上直角になっていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
非磁性基板の両面に金属磁性層、接着層が形成された基板を積み重ねて、接着層の接合で固着作成した積層ブロックを、前記金属磁性層面に対して直交する面で切断して対となる積層基板を作成し、この積層基板の切断ギャップ面に巻き線溝加工した後、前記巻き線溝に窓部金属磁性層を付着し、ギャップ面を研磨して巻線窓部にのみ窓部金属磁性層を残し、ギャップ材を付着し、対となる積層基板のギャップ面同士をつき合わせて接合したギャップドプレートを作成し、このギャップドプレートを短冊状に切断して得たギャップドバーをアジマス角度分傾けて切断してヘッドチップを作成することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記巻線窓のアペックス側の側面が、窓部金属磁性層を付着する際に陰となる配置として、巻線窓アペックス側側面に金属磁性層が付着させないことを特徴とする請求項４記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＶＴＲやストリーマ等に用いられる積層型磁気ヘッドおよび積層型磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気記録の高密度化に伴い、磁気ヘッドの挟トラック化が要求されている。挟トラックを実現するためには、トラック幅精度をより向上させる必要がある。
【０００３】
従来の磁気ヘッドの構造を図２１に示す。金属磁性層１の両側を非磁性基板２で挟時した構造であり、磁気ギャップ面５と金属磁性層１の層面との成す角βは直角でない。
【０００４】
次に、このヘッドの製造方法を図１４〜図２１を用いて説明する。先ず、図１４に示すように、非磁性基板２の片面にガラスを成分とする接着層３を形成した第１基板６と、非磁性基板２の片面に金属磁性層１、もう片面に接着層３を形成した第２基板６１と、非磁性基板２の片面に金属磁性層１を形成した第３基板６ｂを作成する。
【０００５】
次に、図１５に示すように、第１基板６と第３基板ｂ２で第２基板６ａを複数枚重ねたものを挟み、接着層３で融着して積層ブロック７を作成する。次に、図１６に示すように、この積層ブロック７を斜めに短冊状に切断し、一対の積層基板８，８ａを作成する。
【０００６】
次に、図１７に示すように、積層基板８の磁気ギャップ面５に巻き線溝１０とガラスだめ溝１１を設け、磁気ギャップ面５を平滑に研磨した後、ギャップ長に応じた厚みのＳｉＯ2と低融点ガラスの非磁性層をスパッタリング等で形成する。
【０００７】
そうして、図１８に示すように、両積層基板８，８ａを磁気ギャップ面５でつき合わせて、巻線溝とガラスだめ溝に低融点ガラスを入れ、この融着により接合してギャップドプレート９を作成する。
【０００８】
次に、図１９、図２０に示すようにギャップドプレート９を切断してギャップドバー１２を得、さらにギャップドバー１２を所定のコア幅で切断してヘッドチップ１３を得、前面のテープ摺動面を研磨して図２１に示すような磁気ヘッドを得る。
【０００９】
このような構造の従来のヘッドでは、トラック幅を高精度、高歩留まりで生産することができないという問題があった。すなわち図１６に示すように、積層基板８，８ａの切断は金属磁性層１に対して直角ではなく、アジマス角を付けるために傾けて（図中のα）切断される。ここで、切断角度αが図２８に示すように正規の値からずれたり、また、磁気ギャップ面５が傾いて研磨されるとすると、このときの金属磁性層１同士の配列ピッチＰ２は、本来のピッチＰ１と異なったものとなり、ずれａが起こる。
【００１０】
こうして傾いた磁気ギャップ面５をつき合わせて、トラック合わせをすると、図２９に示すように、ピッチが異なるために、トラックずれａが発生してしまう。加工による傾きを押さえることができれば、このような問題は防げる。しかし、実際にトラックずれが無視できるほど小さくなるよう加工時の傾きを小さくすることは難しい。
【００１１】
そこで、上記課題を解決するものとして、図２２〜図２７に示す構造、製造法の磁気ヘッドが提案されている。まず、この製造法について述べる。積層ブロック７の作成までは先に説明した従来例と同様である。すなわち、先ず、図１４に示すように、非磁性基板２の片面にガラスを成分とする接着層３を形成した第１基板６と、非磁性基板２の片面に金属磁性層１、もう片面に接着層３を形成した第２基板６１と、非磁性基板２の片面に金属磁性層１を形成した第３基板６ｂを作成する。
【００１２】
次に、図１５に示すように、第１基板６と第３基板ｂ２で第２基板６ａを複数枚重ねたものを挟み、接着層３で融着して積層ブロック７を作成する。
【００１３】
以降の工程は次のとおりである。
【００１４】
積層ブロック７を磁路層２１に対して直角な面で短冊状に切断し、図２２のような一対の積層金属磁性層基板８，８ａを作成する。
【００１５】
先の従来の技術では、この工程においてアジマス角度分傾けて切断しており、この直角に切断する点が改良された点である。
【００１６】
次に、図２３に示すように、巻線溝１０の加工後、磁気ギャップ面５を平滑に研磨し、所定のギャップ長に応じた厚みの非磁性材の第１のギャップ材１９と接合のための第２のギャップ材１９ａをスパッタ等によって付着する。
【００１７】
次に、図２４に示すように、磁気ギャップ面５をつき合わせ、巻線窓１６に入れたガラス棒１４を溶融流し込み一体化してギャップドバープレート９を作成後、図中一点鎖線の位置で切断して図２５に示すようなギャップドバー１２を得る。
【００１８】
次にこのギャップドバー１２を図中の線で示すように、磁気ギャップ面５に対してアジマス角度分傾けて切断し、テープ摺動面を研磨して図２６に示すような磁気ヘッドを得る。テープ摺動面から見ると、図２７に示すようになり、磁気ギャップ面５とトラック端面１５は直交している。
【００１９】
このように、磁気ギャップ面５とトラック端面１５が直交しているがゆえに、先にも説明したように、図２２に示した積層基板８の短冊切断工程おいて切断角度が多少狂ったり、磁気ギャップ面５の研磨工程で多少傾いて加工されたりしてもトラックずれを防止することができるようになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
しかしながら、この構造の磁気ヘッドにおいては図２６に示すように、巻線窓が大きくなると、金属磁性層１で構成される磁路が巻線窓１６のところで途切れてしまい、小さな巻線窓しか設けることができないという問題がある。
【００２１】
本発明は、従来の磁気ヘッドの課題に鑑み、トラック幅精度の高い磁気ヘッド及び、製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記課題を解決するために、本発明に係る磁気ヘッドは、非磁性基板と、両側を前記非磁性基板で挟持される金属磁性層と、巻線窓内側に設けられた窓部金属磁性層を有しているものである。
【００２３】
また、本発明に係る磁気ヘッドは巻線窓のアペックス側の側面が磁気ギャップ面に対して実質的に直角になっているものである。
【００２４】
また、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、非磁性基板の両面に金属磁性層、接着層が形成された基板を積み重ねて、接着層の接合で固着作成した積層ブロックを、前記金属磁性層面に対して直交する面で切断して対となる積層基板を作成し、この積層基板の切断ギャップ面に巻き線溝加工した後、前記巻き線溝に窓部金属磁性層を付着し、ギャップ面を研磨して巻線窓部にのみ窓部金属磁性層を残し、ギャップ材を付着し、対となる積層基板のギャップ面同士をつき合わせて接合したギャップドプレートを作成し、このギャップドプレートを短冊状に切断して得たギャップドバーをアジマス角度分傾けて切断してヘッドチップを作成するものである。
【００２５】
また、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、巻線窓のアペックス側の側面が、窓部金属磁性層を付着する際に陰となる配置として、巻線窓アペックス側側面に金属磁性層が付着させないものである。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように本発明によれば、磁路の途切れを解消することが可能となり、高精度なトラック幅の磁気ヘッドを高歩留まりで生産することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（実施の形態１）
本実施の形態１は、上記トラックずれを解消しつつ、磁路が巻線窓で途切れることを防止するものであり、図６に示すように、磁路が巻線窓１６で途切れることを防ぐために巻線窓１６の内側にも金属磁性層４がある構成となっている。以下その製造方法について説明する。
【００２８】
図１に示す積層基板８，８ａを作成するところまでは、上述した２番目の従来の技術と同様である。すなわち、先ず、図１４に示すように、非磁性基板２の片面にガラスを成分とする接着層３を形成した第１基板６と、非磁性基板２の片面に金属磁性層１、もう片面に接着層３を形成した第２基板６１と、非磁性基板２の片面に金属磁性層１を形成した第３基板６ｂを作成する。
【００２９】
次に、図１５に示すように、第１基板６と第３基板ｂ２で第２基板６ａを複数枚重ねたものを挟み、接着層３で融着して積層ブロック７を作成する。
【００３０】
次に、積層ブロック７を磁路層２１に対して直角な面で短冊状に切断し、図１のような一対の積層金属磁性層基板８，８ａを作成する。
【００３１】
次に、図１に示すトラック部金属磁性層１と非磁性基板２が交互に並んで構成される積層基板８の磁気ギャップ面５に、図２に示すように、巻線溝１０を加工した後、窓部金属磁性層４をスパッタリング等で付ける。
【００３２】
次に、図３に示すように、磁気ギャップ面５を研磨して、巻線溝１０にのみ窓部金属磁性層４を残す。
【００３３】
次に、図４に示すように、アペックス部分の窓部金属磁性層４を取り除くためのノッチ７を加工する。このようにノッチ７を設けるのは、対向する窓部金属磁性層４同士が接合すると、ここに磁路ができて磁束が漏れ込むので、これを防ぐためである。
【００３４】
以降の工程は従来の技術と同様であり、図５、図６に示すように、ギャップドバープレート９の作成、ギャップドバー１２の切断、テープ摺動面研磨を経て、図７に示すような磁気ヘッドを得る。
【００３５】
このように、本実施の形態１の磁気ヘッドでは巻線窓１６の内側には窓部金属磁性層４が付いており、巻線窓巻１６の大小に関わらず磁路が途切れることはない。
【００３６】
（実施の形態２）
本実施の形態２の製造方法について図面を用いて説明する。図８に示す積層基板８を作成するところまでは、実施の形態１と同様である。
【００３７】
すなわち、先ず、図１４に示すように、非磁性基板２の片面にガラスを成分とする接着層３を形成した第１基板６と、非磁性基板２の片面に金属磁性層１、もう片面に接着層３を形成した第２基板６１と、非磁性基板２の片面に金属磁性層１を形成した第３基板６ｂを作成する。
【００３８】
次に、図１５に示すように、第１基板６と第３基板ｂ２で第２基板６ａを複数枚重ねたものを挟み、接着層３で融着して積層ブロック７を作成する。
【００３９】
次に、積層ブロック７を磁路層２１に対して直角な面で短冊状に切断し、図８のような一対の積層金属磁性層基板８，８ａを作成する。
【００４０】
次に、図９に示すように、磁気ギャップ面５に巻線溝１０を加工する際、アペックス部１７の部分は磁気ギャップ面５に対して直角に加工する。
【００４１】
次に、窓部金属磁性層４をスパッタリング等で付けるが、アペックス部１７は磁気ギャップ面５に直角になっているため、アペックス部１７には金属磁性層がほとんど付かない。
【００４２】
さらに、積層基板８を傾けるなどしてアペックス部１７をスパッタリング時に陰になるよう配置すればより完全に金属磁性層の付着を防ぐことができる。
【００４３】
こうして、実施の形態１と同ように、図１０に示すギャップ面研磨、図１１に示すギャップドプレート９の作成、図１２に示すギャップドバー１２の作成を経て、図１３に示すヘッドチップが得られる。
【００４４】
本実施の形態２では、アペックス部１７に金属磁性層がないので、実施の形態１で必要であった図４に示すノッチ７の加工が不要であることが特徴となっている。
【００４５】
なお、本実施の形態２では、アペックス部１７に金属磁性層を付けない目的のため、アペックス部１７を磁気ギャップ面５に対して直角に加工したが、アペックス部１７をスパッタリング時に陰になるよう配置することができれば、同様の効果が得られるので、必ずしも、アペックス部１７を磁気ギャップ面５に対して直角に加工しなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
以上説明したように本発明は、磁路の途切れを解消することが可能となり、高精度なトラック幅の磁気ヘッドを高歩留まりで生産することが可能となるので、トラック幅精度の高い磁気ヘッド及び、製造方法が要望される分野に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の形態１における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図２】本発明の実施の形態１における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図３】本発明の実施の形態１における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図４】本発明の実施の形態１における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図５】本発明の実施の形態１における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図６】本発明の実施の形態１における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図７】本発明の実施の形態１における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図８】本発明の実施の形態２における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図９】本発明の実施の形態２における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図１０】本発明の実施の形態２における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図１１】本発明の実施の形態２における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図１２】本発明の実施の形態２における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図１３】本発明の実施の形態２における磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図１４】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図１５】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図１６】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図１７】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図１８】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図１９】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図２０】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図２１】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図２２】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図２３】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図２４】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図２５】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図２６】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図２７】従来の磁気ヘッドの構成図および加工工程図
【図２８】トラックずれ発生説明図
【図２９】トラックずれ発生説明図
【符号の説明】
【００４８】
１  金属磁性層
２  非磁性基板
３  接着層
４  窓部金属磁性層
６  第１基板
６ａ  第２基板
８  積層基板
１０  巻線溝
２１  磁路層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
2005222652.tif 000028
【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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