(57)【要約】【課題】  インナーカップが大径化しても回転バランスを簡単に調整することができる回転塗布装置を提供する。【解決手段】  インナーカップ用蓋体１４の上面には爪部材１７がビス１８にて固着されている。一方、インナーカップ１３の外周面で前記爪部材１７に対応する箇所には爪受け部材２０が取り付けられている。爪受け部材２０は係合部２１とバランスウェイト挿着部２２からなり、係合部２１には雌テーパ状の凹部１９に嵌り込む雄テーパ状の凸部２３が形成され、バランスウェイト挿着部２２にはバランスウェイト２４を挿入する穴２５が形成されている。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定されたアウターカップ内に板状被処理物を収納するインナーカップが回転可能に配置され、これらアウターカップ及びインナーカップの上面開口にそれぞれアウターカップ用蓋体及びインナーカップ用蓋体を着脱可能に設け、前記インナーカップとインナーカップ用蓋体の一方には爪部材を他方には当該爪部材が係合する爪受け部材を設けた回転塗布装置において、前記爪部材および爪受け部材の少なくとも一方に、インナーカップを均一に回転せしめるためのバランスウェイトが取り付けられていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の回転塗布装置において、前記アウターカップまたはアウターカップ用蓋体に、前記バランスウェイトの取り付け及び取り外しを行うための窓部が設けられていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の回転塗布装置において、前記アウターカップまたはアウターカップ用蓋体に、前記爪部材を洗浄する洗浄機構が設けられていることを特徴とする回転塗布装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の回転塗布装置において、前記インナーカップ用蓋体でインナーカップの上面開口を閉じた状態で、インナーカップの上面開口とインナーカップ用蓋体との間には１０ｍｍ以下の隙間が形成されることを特徴とする回転塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）用のガラス基板や半導体ウェーハ等の板状被処理物表面にレジスト液等を塗布する回転塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板状被処理物の表面にレジスト液等を塗布する方法として、板状被処理物の表面に塗布液を滴下するとともに回転せしめ、回転によって生じる遠心力で塗布液を均一な厚さで拡散せしめる方法が特許文献１〜３に知られている。
【０００３】
特許文献１には、図４（ａ）に示すように、アウターカップ内にインナーカップが回転自在に配置され、インナーカップ用蓋体の外端部に切欠きを形成し、またインナーカップの上端には前記切欠きが係合するビスの頭部を突出せしめ、インナーカップとインナーカップ用蓋体とを位置決めするとともに一体的に回転せしめるようにしている。
【０００４】
また、同様の目的で特許文献２には、図４（ｂ）に示すように、インナーカップの外周部に突起を設け、この突起が係合する凹部をインナーカップ用蓋体に設けている。
【０００５】
また、特許文献３は、カップの上面開口を閉塞する蓋体がないオープンカップタイプを示しているが、基板載置回転体に取り付けた係止手段を構成する袋ナット内にバランスウェイトを設けた構造が開示されている。
【０００６】
【特許文献１】特許第２９３７５４９号公報  段落（００２２）  図６
【特許文献２】特開平１１−１７９２６４号公報  段落（００５４）図１３
【特許文献３】特開２００３−２２９４０５号公報  段落（００２０）図２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
最近では、板状被処理物の大型化に伴ってカップの寸法も大径になっている。そしてカップの径が大きくなると回転させた際に微妙な重さの不均一によって回転がアンバランスになり、その結果、板状被処理物の表面に塗膜の厚みなどに影響を及ぼす。
【０００８】
上記特許文献１，２はいずれもインナーカップとインナーカップ蓋体とを一体的に回転せしめる構造になっているが、大径化した場合に顕著となる上記の問題解決手段が示されていない。
【０００９】
一方、特許文献３にはバランスウェイトが開示されているが、このバランスウェイトは、基板載置回転体の上面と下面との間の遠心力の差に起因する基板載置回転体の撓みが生じないようにするものであり、インナーカップの回転の安定化（均一化）を図るものではなく、また袋ナットの中にバランスウェイトを入れてしまっているので、バランスウェイトを増減して微調整することができない。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため本発明は、固定されたアウターカップ内に板状被処理物を収納するインナーカップが回転可能に配置され、これらアウターカップ及びインナーカップの上面開口にそれぞれアウターカップ用蓋体及びインナーカップ用蓋体を着脱可能に設け、前記インナーカップとインナーカップ用蓋体の一方には爪部材を他方には当該爪部材が係合する爪受け部材を設けた回転塗布装置において、前記爪部材および爪受け部材の少なくとも一方に、インナーカップを均一に回転せしめるためのバランスウェイトを取り付けた。
バランスウェイトの取り付け箇所は複数とし、ウェイトの増減で微調整ができるようにすることが好ましい。
【００１１】
また、アウターカップまたはアウターカップ用蓋体にバランスウェイトの取り付け及び取り外しを行うための窓部を設けることで、バランスウェイトの微調整をいちいちアウターカップ用蓋体を開けることなく行うことができる。
【００１２】
また、アウターカップまたはアウターカップ用蓋体に、爪部材を洗浄する洗浄機構を設けることで、蓋体を閉じた状態で洗浄することができる。
【００１３】
更に、インナーカップ用蓋体でインナーカップの上面開口を閉じた状態で、インナーカップの上面開口とインナーカップ用蓋体との間には１０ｍｍ以下、好ましくは０．５〜２ｍｍの隙間を形成することで、処理終了後にインナーカップ用蓋体を開ける際に、外部からのミストの流入を防ぎ、良好な膜を形成することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る回転塗布装置によれば、インナーカップの回転が均一化されるので、板状被処理物の大型化に伴うインナーカップの大径化に対処することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る回転塗布装置の全体図、図２（ａ）は爪部材と爪受け部材との係合状態を示す拡大側断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ方向矢示図、（ｃ）は（ａ）のＣ方向矢示図である。
【００１６】
回転塗布装置は、ベース１上に３本または４本の高さ調整部材２を介してアウターカップ３が支持され、このアウターカップ３の上面開口はアウターカップ用蓋体４で閉塞され、このアウターカップ用蓋体４は支持部５を介してアーム６に取り付けられ、アーム６を移動することでアウターカップ３の上面開口が開放される。
【００１７】
また前記ベース１にはモータ７と軸受け８が設けられ、軸受け８にはプーリ９が固着され、このプーリ９とモータ７の駆動軸に固着したプーリ１０間にベルト１１を張設し、モータ７の駆動をプーリ１０、ベルト１１、プーリ９、スピンナー軸１２を介してインナーカップ１３（図２参照）に伝達している。
【００１８】
尚、図示は省略しているが、回転塗布装置は塗布ノズルを備え、この塗布ノズルはインナーカップ１３内にセットされたガラス基板などの板状被処理物の表面にレジスト液などの塗布液を供給する。塗布ノズルとしてスリットノズルを用いる場合には、当該スリットノズルを板状被処理物に対して相対的に移動することで、板状被処理物の略全面に塗布液を供給する。
【００１９】
図２に示すように、アウターカップ３内にはインナーカップ１３が配置され、このインナーカップ１３の上面開口はインナーカップ用蓋体１４で閉塞され、このインナーカップ用蓋体１４も前記アウターカップ用蓋体４と同様に支持部５を介してアーム６に取り付けられている。ただし、アウターカップ用蓋体４とインナーカップ用蓋体１４とは独立して支持部５に支持されている。
【００２０】
前記インナーカップ用蓋体１４の下面には乱流を防止する整流板１５が取り付けられ、またインナーカップ用蓋体１４の上面には爪部材１７がビス１８にて固着されている。この爪部材１７を取り付ける箇所は１箇所若しくはインナーカップ用蓋体１４の周方向に等間隔で複数個取り付けてもよい。
【００２１】
前記爪部材１７はアングル状をなし、外側部が下方に折曲され、この折曲された部分に雌テーパ状の凹部１９が形成されている。
【００２２】
一方、インナーカップ１３の外周面で前記爪部材１７に対応する箇所には爪受け部材２０が取り付けられている。爪受け部材２０は係合部２１とバランスウェイト挿着部２２からなり、係合部２１には前記雌テーパ状の凹部１９に嵌り込む雄テーパ状の凸部２３が形成され、バランスウェイト挿着部２２にはバランスウェイト２４を挿入する穴２５が形成されている。尚、バランスウェイト２４は回転中の抜け落ちを防止するため、例えばいもネジ状とし、穴２５の内周面には雌ネジを刻設することが望ましい。
【００２３】
また、前記アウターカップ３及びアウターカップ用蓋体４には、前記アウターカップ３内にインナーカップ１３を配置した状態で、バランスウェイト２４の取り付け及び取り外しを行うための調整窓２６，２７を設けている。
尚、図示例では調整窓２６，２７を設けたが、アウターカップ３またはアウターカップ用蓋体４の一方のみに調整窓を設けてもよい。
【００２４】
更に、アウターカップ３には前記爪部材１７及び爪受け部材２０を洗浄する洗浄機構２８を設け、爪部材１７及び爪受け部材２０に付着した汚れを落とし、蓋を開けなくても洗浄することができる。この洗浄機構２８は、洗浄液の供給量や供給方向によっては、爪部材１７及び受け部材２０だけでなく、インナーカップ上面開口とインナーカップ蓋体との間に形成された隙間から流れ出て、アウターカップ３の内周壁やインナーカップ１３の外周に付着した処理液を洗い流すことができる。
【００２５】
以上において、アーム６を移動してアウターカップ３の上面開口をアウターカップ用蓋体４で、インナーカップ１３の上面開口をインナーカップ用蓋体１４で閉じ、モータ７を駆動してインナーカップ１３とインナーカップ用蓋体１４を一体的に回転せしめる。そして、回転にアンバランスがあった場合には、回転を停止し、調整窓２６，２７を介してバランスウェイト２４の追加・削除を行う。これを繰り返すことで、バランス調整を終了する。
【００２６】
図３（ａ）は別実施例に係る爪部材と爪受け部材との係合状態を示す拡大側断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ方向矢示図、（ｃ）は（ａ）のＣ方向矢示図であり、この実施例にあっては爪部材１７の一部にもバランスウェイト挿着部２９を設け、また爪受け部材２０に設けたバランスウェイト挿着部２２にはバランスウェイト２４を上下方向ではなく外側から挿入するようにしている。
【００２７】
以上の図示例では、爪部材１７に凹部を、爪受け部材２０に凸部を設けたが、逆でもよい。
【００２８】
更に図２（ａ）に図示したように、インナーカップ１３上面開口とインナーカップ用蓋体１４との間に１０ｍｍ以下、好ましくは０．５〜２ｍｍの隙間を形成することで、インナーカップ１３内がインナーカップ用蓋体１４で密閉されることを緩和し、インナーカップ蓋体１４を開ける際に外部からミスト等が流入することを防止できる。隙間をこれ以上大きくするとインナーカップ１３内の整流効果がなくなり、乱流がインナーカップ１３内の四隅に発生し、均一な膜形成ができなくなる。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明に係る回転塗布装置は、例えば液晶ディスプレイの製造工程に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係る回転塗布装置の断面図
【図２】（ａ）は爪部材と爪受け部材との係合状態を示す拡大平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ方向矢示図、（ｃ）は（ａ）のＣ方向矢示図
【図３】（ａ）は別実施例に係る爪部材と爪受け部材との係合状態を示す拡大側断面図、（ｂ）は（ａ）のＢ方向矢示図、（ｃ）は（ａ）のＣ方向矢示図
【図４】（ａ）及び（ｂ）は従来装置の要部拡大図
【符号の説明】
【００３１】
１…ベース、２…高さ調整部材、３…アウターカップ、４…アウターカップ用蓋体、５…支持部、６…アーム、７…モータ、８…軸受け、９，１０…プーリ、１１…ベルト、１２…スピンナー軸、１３…インナーカップ、１４…インナーカップ用蓋体、１５…整流板、１７…爪部材、１８…ビス、１９…凹部、２０…爪受け部材、２１…係合部、２２，２９…バランスウェイト挿着部、２３…凸部、２４…バランスウェイト、２５…穴、２６，２７…調整窓、２８…洗浄機構。
【図１】
2005349360.tif 000003
【図２】
2005349360.tif 000004
【図３】
2005349360.tif 000005
【図４】
2005349360.tif 000006