(57)【要約】【課題】  スラリーなど、被測定粒子群が高濃度で分散している試料液体を、希釈することなく高濃度のまま、その分散質である粒子群の粒度分布を正確に、しかも効率よく連続的に測定することのできる粒度分布測定装置を提供する。【解決手段】  ガラス板Ｇの上に試料液体供給手段４によって試料液体Ｌを滴下させた後、その上に別のガラス板Ｇを重ね、次いでその上から押圧手段５によって設定圧力のもとに押圧することにより、試料液体Ｌの厚みを一定にした状態で、レーザ光の照射位置（測定部）６に搬送してレーザ光を照射して得られる回折・散乱光の空間強度分布を測定して粒度分布に換算する。２枚のガラス板Ｇの間に試料液体Ｌを挟み込んだ状態で設定圧力のもとに押圧した後にレーザ光を照射することで、試料液体Ｌ中でのレーザ光の光路長を一定の短い距離として高濃度に起因する多重散乱を防止し、かつ、このような試料のサンプリングを自動的に行うことを可能とすることで、効率よく連続的な粒度分布の測定を可能とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分散状態の被測定粒子群にレーザ光を照射して得られる回折・散乱光の空間強度分布を測定し、その測定結果から被測定粒子群の粒度分布を算出するレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置において、
被測定試料群が媒液中に分散してなる試料液体をガラス板の上に滴下供給する試料液体供給手段と、その試料液体が供給されたガラス板の上に他のガラス板を重ねて試料液体を２枚のガラス板で挟み込む試料液体挟み込み手段と、試料液体を挟み込んだ２枚のガラス板を設定された圧力のもとに押圧する押圧手段と、その押圧後の２枚のガラス板を、上記レーザ光の照射位置に当該各ガラス板がレーザ光の光軸に対して交差する姿勢のもとに搬入し、回折・散乱光の空間強度分布の測定後に当該照射位置から搬出する搬送手段を備えていることを特徴とする粒度分布測定装置。
【請求項２】
上記搬送手段がベルトコンベアであって、上記試料液体供給手段、試料液体挟み込み手段、押圧手段およびレーザ光の照射位置が、そのベルトコンベアの搬送路上に設けられているとともに、このベルトコンベアのベルトは、上記レーザ光の照射位置においてレーザ光を通過させるための孔が形成されているか、もしくは搬送方向に直交する方向に所定の間隔を開けた２本のベルトによって構成されていることを特徴とする請求項１に記載の粒度分布測定装置。
【請求項３】
分散状態の被測定粒子群にレーザ光を照射して得られる回折・散乱光の空間強度分布を測定し、その測定結果から被測定粒子群の粒度分布を算出するレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置において、
上記レーザ光の照射位置に、狭い間隔を開けて互いに対向して固定され、かつ、その両側縁部が密封された２枚のガラス板が、当該各ガラス板が上記レーザ光の光軸と交差する姿勢のもとに配置されているとともに、その２枚のガラス板の間に、被測定試料群が液体中に分散してなる試料液体をあらかじめ設定された一定量ずつ注入する試料液体注入手段を備えていることを特徴とする粒度分布測定装置。
【請求項４】
上記試料液体注入手段と上記２枚のガラス板とを繋ぐ試料液体の注入経路の断面積が一様であり、かつ、その断面積が上記２枚のガラス板の間の空間の断面積と同一とされていることを特徴とする請求項３に記載の粒度分布測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置に関し、特に、被測定試料群が液体中に高濃度に分散した、例えばスラリー状の液体中に分散している粒子の粒度分布を測定するのに適した粒度分布測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置においては、一般に、分散状態の被測定粒子群に対してレーザ光を照射して得られる回折・散乱光の空間強度分布を測定し、その測定結果をミーの散乱理論ないしはフラウンホーファの回折理論を用いて粒度分布に換算する。
【０００３】
このようなレーザ回折・散乱式粒度分布測定装置における被測定粒子群の分散方法としては、通常、測定すべき粉・粒体を適当な媒液中に分散させて懸濁液を作る方法が採用されている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
ところで、レーザ回折・散乱式粒度分布測定装置においては、被測定粒子群の媒液中での濃度をある一定の濃度以下とする必要がある。すなわち、懸濁液中の粒子濃度が高すぎると、一つの粒子により回折・散乱した光が、別の粒子によって再度回折・散乱する、いわゆる多重散乱が生じる。このような多重散乱が生じた場合、その回折・散乱光の空間強度分布の測定結果から算出した粒度分布は、当然のことながら被測定粒子群の粒度分布を正しく表したものとはならない。
【０００５】
このようなことから、被測定粒子群を媒液中に分散させた懸濁液の粒子濃度は、多重散乱を生じさせない濃度範囲として測定しなければならないのであるが、例えばハンドクリームや乳液、軟膏、あるいはある種のインクなど、試料そのものがスラリー状の液体である場合で、しかも希釈が困難であったり、あるいは希釈により粒子が崩壊、凝集、ないしは分散して粒度分布が変化してしまうような試料については、レーザ回折・散乱式の粒度分布測定が困難であるとされていた。
【０００６】
このような問題を解決するため、従来、媒液中に被測定粒子群が高濃度に分散した試料懸濁液を、２枚のガラス板の間に挟み込むことにより、極めて薄い懸濁液層を形成し、その懸濁液層にレーザ光を照射して回折・散乱光の空間強度分布を測定するようにした粒度分布測定装置が提案されている（特許文献２参照）。
【０００７】
この提案技術によれば、懸濁液中のレーザ光の光路長が可及的に短くなり、同じ粒子濃度であっても、多重散乱が発生する確率が小さくなり、高い粒子濃度の懸濁液にレーザ光を照射して回折・散乱光の空間強度分布を測定せざるを得ない試料でも、正確な粒度分布を測定することが可能となる。
【特許文献１】特開平６−２４１９７５号公報
【特許文献２】特開平８−１７８８２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、以上のように２枚のガラス板の間に被測定粒子が分散した懸濁液を挟み込んでレーザ光を照射する方式の装置においては、懸濁液を２枚のガラス板の間に挟み込む作業や、懸濁液を挟み込んだ２枚のガラス板を回折・散乱光の測定位置であるレーザ光の照射位置に設置する作業は人手により行う、いわゆるバッチ式の測定とならざるを得ず、そのために以下に示す問題が生じる。
【０００９】
すなわち、人手により２枚のガラス板の間に懸濁液を挟み込むため、懸濁液層の厚さのばらつきが生じて測定結果にばらつきが生じるという問題や、試料の作成に手間を要するためにその測定効率が悪いという問題がある。また、例えば製造ラインにおいて比較的短い周期で連続的に粒度分布を測定してその結果をフィードバックして製造条件等の調整に供するといった使用方法の採用が困難であるという問題もある。
【００１０】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、スラリーなどの、被測定粒子群が高濃度で分散している試料液体を、希釈することなく高濃度のまま、その分散質である粒子群の粒度分布を常に正確に、しかも効率よく連続的に測定することのできる粒度分布測定装置の提供をその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するため、請求項１に係る発明の粒度分布測定装置は、分散状態の被測定粒子群にレーザ光を照射して得られる回折・散乱光の空間強度分布を測定し、その測定結果から被測定粒子群の粒度分布を算出するレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置において、被測定試料群が媒液中に分散してなる試料液体をガラス板の上に滴下供給する試料液体供給手段と、その試料液体が供給されたガラス板の上に他のガラス板を重ねて試料液体を２枚のガラス板で挟み込む試料液体挟み込み手段と、試料液体を挟み込んだ２枚のガラス板を設定された圧力のもとに押圧する押圧手段と、その押圧後の２枚のガラス板を、上記レーザ光の照射位置に当該各ガラス板がレーザ光の光軸に対して交差する姿勢のもとに搬入し、回折・散乱光の空間強度分布の測定後に当該照射位置から搬出する搬送手段を備えていることによって特徴づけられる。
【００１２】
ここで、請求項１に係る発明の粒度分布測定装置においては、上記搬送手段をベルトコンベアとし、上記試料液体供給手段、試料液体挟み込み手段、押圧手段およびレーザ光の照射位置を、そのベルトコンベアの搬送路上に設けるとともに、このベルトコンベアのベルトを、レーザ光の照射位置においてレーザ光を通過させるための孔が形成されているか、もしくは搬送方向に所定の間隔を開けた２本のベルトによって構成すること（請求項２）ができる。
【００１３】
また、上記した同じ課題を解決するため、請求項３に係る発明の粒度分布測定装置は、同じく分散状態の被測定粒子群にレーザ光を照射して得られる回折・散乱光の空間強度分布を測定し、その測定結果から被測定粒子群の粒度分布を算出するレーザ回折・散乱式の粒度分布測定装置において、上記レーザ光の照射位置に、狭い間隔を開けて互いに対向して固定され、かつ、その両側縁部が密封された２枚のガラス板が、当該各ガラス板が上記レーザ光の光軸と交差する姿勢のもとに配置されているとともに、その２枚のガラス板の間に、被測定試料群が液体中に分散してなる試料液体をあらかじめ設定された一定量ずつ注入する試料液体注入手段を備えていることによって特徴づけられる。
【００１４】
そして、この請求項３に係る発明においては、上記試料液体注入手段と上記２枚のガラス板とを繋ぐ試料液体の注入経路の断面積を一様とし、かつ、その断面積を上記２枚のガラス板の間の間隔の断面積と同一とすること（請求項４）が好ましい。
【００１５】
本発明は、スラリーなどの高濃度で被測定粒子が分散している試料液体を、２枚のガラス板で挟み込んだ状態でレーザ光を照射して回折・散乱光の空間強度分布を測定することによって試料液体内でのレーザ光の光路長を短くして多重散乱の発生を防止する技術を応用したものであるが、２枚のガラス板に試料液体を挟み込んでレーザ光を照射するまでの動作を、人手によらずに自動的に行うことによって前記した課題を一挙に解決しようとするものである。
【００１６】
すなわち、請求項１に係る発明では、試料液供給手段によりガラス板の表面に試料液体を滴下供給した後、試料液挟み込み手段によりそのガラス板の上に別のガラス板を重ねることによって試料液体を挟み込み、その後、押圧手段によりガラス板を設定圧力のもとに押圧した後、搬送手段によりレーザ光の照射位置に対して搬入／搬出するという一連の動作によって、試料液体のサンプリングから測定までを自動化し、効率よく連続的な粒度分布の測定が可能となる。そして、２枚のガラス板に試料液体を挟み込んだ状態で、押圧手段により設定圧力のもとに押圧した後にレーザ光を照射して回折・散乱光の空間強度分布を測定するため、試料液体中でのレーザ光の光路長を一定とすることが可能なる。
【００１７】
また、請求項２に係る発明によると、レーザ光を通過させるための孔を有するベルト、あるいは搬送方向に直交する方向に間隔を開けた２本のベルトを有するベルトコンベアの搬送路上に試料液供給手段、試料液挟み込み手段、押圧手段およびレーザ光の照射位置を並べるという比較的簡単な構成のもとに、上記した作用効果を奏することができる。
【００１８】
一方、請求項３に係る発明では、レーザ光の照射位置に狭い間隔を開けて２枚のガラス板を対向して固定してその両側縁部を密封し、その間に試料液体を設定量ずつ注入することにより、高濃度の試料液体を実質的に２枚のガラス板で挟み込んだ状態でレーザ光を照射して回折・散乱光の測定を連続的に可能とし、しかも、試料液体中のレーザ光の光路長が不変とすることができる。
【００１９】
また、請求項４に係る発明のように、２枚のガラス板の間に試料液体を注入する経路の断面積を一様とし、かつ、その断面積が２枚のガラス板の間の空間の断面積と同一とすることにより、試料液体の注入時に、先の測定に際して２枚のガラス板間に既に注入されている試料液体が滞留したり、あるいは気泡が発生して無用な回折・散乱を生起させて測定誤差が生じてしまうことを防止することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、スラリーなどの、液体中に被測定粒子群が高濃度で分散している試料液体を、そのままの濃度で多重散乱を生じさせることなく、しかもサンプリングに起因する誤差を生じさることなく、正確に、かつ、効率よく連続的に測定することができ、この種の試料では従来装置において不可能であった製造ライン上でのオンライン測定や、製造ラインへのフィードバック等も行うことが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図１は請求項１に係る発明の実施の形態の全体構成を示す図であり、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００２２】
ベルトコンベア１の搬送方向上流側の一端部に、未使用の複数のガラス板Ｇをストックするためのガラスストッカ２が配置されている。また、ベルトコンベア１の上方には、搬送方向上流側から下流側へと向けて、ガラスストッカ２内のガラス板Ｇを１枚ずつベルトコンベア１の搬送路上に供給するガラス板供給装置３、ベルトコンベア１の搬送路上のガラス板Ｇの表面に試料液体Ｌを滴下させる試料液体滴下装置４、および、後述するように２枚のガラス板Ｇにより試料液体Ｌを挟み込んだ状態でその上から押圧する押圧装置５が順に設けられている。そして、その押圧装置５の下流側には測定部６が設けられており、ベルトコンベア１の下流側である他端部には、測定後の試料液体Ｌをガラス板Ｇとともに廃棄する廃棄ボックス７が設けられている。
【００２３】
ベルトコンベア１は駆動プーリ１１ａと従動プーリ１１ｂの間にベルト１２を掛け回した通常のものであるが、ベルト１２には、図２にその平面図を示すように、一定の間隔で貫通孔１２１が形成されている。
【００２４】
ガラス板供給装置３は、ガラス板Ｇを負圧で吸着する吸着パッド３１と、その吸着パッド３１を上下動させる上下動機構３２、および吸着パッド３１をベルトコンベア１による搬送方向に前後動させる移動機構３３を主体として構成されており、ガラスストッカ２内のガラス板Ｇを１枚ずつ吸着して、図中Ａで示す位置と、図中Ｂで示す押圧装置５の配設位置に供給することができる。
【００２５】
試料液体滴下装置４は、高濃度・高粘性の液体を低容量・定容量で吐出できるマイクロ液送ポンプ４１と、その吐出口に装着されたノズル４２を主体として構成されており、マイクロ液送ポンプ４１の吸引口は、試料液体Ｌが収容された容器に接続されるか、あるいは製造ラインに接続されて製造中の試料液体Ｌの一部を分取し、ガラス板供給装置３により図中Ａで示す位置に供給されたガラス板Ｇの表面に、試料液体Ｌを一定の微小量ずつ滴下させることができる。
【００２６】
押圧装置５は、例えば油圧ないしは空圧駆動のシリンダ５１を駆動源として、押圧パッド５２によって、後述するように試料液体Ｌを挟み込んだ２枚のガラス板Ｇを上から設定圧力のもとに押圧する。なお、ベルト１２を挟んで押圧パッド５２の直下には、押圧台５３が設けられており、２枚のガラス板Ｇはこの押圧台５３と押圧パッド５２の間で加圧される。
【００２７】
測定部６は、レーザ回折・散乱法に基づいて粒度分布を測定するものであって、照射光学系６１と測定光学系６２とを対向させた構造を有し、測定光学系６２による回折・散乱光の測定結果は布データはデータサンプリング部６３を介して演算装置６４に取り込まれる。
【００２８】
照射光学系６１は、レーザ光源６１ａ，集光レンズ６１ｂ、空間フィルタ６１ｃおよびコリメートレンズ６１ｄからなり、レーザ光源６１ａからの出力光は集光レンズ６１ｂで集光された後、空間フィルタ６１ｃを経てコリメートレンズ６１ｄによって平行なレーザ光に成形され、その平行レーザ光を、後述するように測定光学系６２との間のレーザ照射位置に搬入された試料液体Ｌに対して照射する。
【００２９】
測定光学系６２は、集光レンズ６２ａとその焦点位置に配置されたリングディテクタ６２ｂによって構成されている。リングディテクタ６２ｂは、互いに半径の異なるリング状もしくは半リング状あるいは１／４リング状の受光面を有する複数の光センサを同心状に並べたものであり、レーザ照射位置に搬入された試料液体Ｌ中の粒子群による回折・散乱光をこのリングディテクタ６２ｂに集光することによって、複数の回折・散乱角度ごとの光強度、つまり回折・散乱光の空間強度分布を測定することができる。
【００３０】
リングディテクタ６２ｂを構成する各光センサの出力は、データサンプリング部６３に取り込まれる。データサンプリング部６３は、各光センサの出力を個別に増幅する複数のアンプおよび増幅後の各出力をデジタル化するＡ−Ｄ変換器を主体として構成されている。リングディテクタ６２ｂの出力はこのデータサンプリング部６３を経ることによって、回折・散乱光の空間強度分布データとなり、演算装置６４に送られる。
【００３１】
上記したベルトコンベア１、ガラス板供給装置３、試料液体滴下装置４および押圧装置５は、制御装置８からの制御信号によって以下に示すタイミングで動作するように駆動制御され、また、演算装置６４についてもこの制御装置８とリンクしている。
【００３２】
次に、以上の本発明の実施の形態の動作について説明する。
ベルトコンベア１を停止させた状態で、まず、ガラス板供給装置３の駆動によりガラスストッカ２内の１枚のガラス板Ｇを図中Ａで示す位置に供給する。この供給に際しては、図２に示すように、ベルト１２に形成されている貫通孔１２１の中心に、ガラス板Ｇの中心が略一致するようにする。
【００３３】
次に、ベルトコンベア１を駆動して、そのガラス板Ｇを試料液体滴下装置４のノズル４２の直下にまで搬送し、高濃度・高粘性の試料液体Ｌをそのガラス板Ｇの上に設定された量だけ滴下させる。その後、ベルトコンベア１の駆動により、試料液体Ｌが滴下されたガラス板Ｇを図中Ｂで示す押圧装置５の直下にまで搬送した後、ガラス板供給装置３を再度駆動して、そのガラス板Ｇの上に、ガラスストック２内の別のガラス板Ｇを重ねる。これにより、試料液体Ｌが２枚のガラス板Ｇによって挟み込まれた状態となる。
【００３４】
次に、試料液体Ｌを挟み込んだ２枚のガラス板Ｇの上から、押圧装置５によって設定された圧力のもとに押圧され、これにより、２枚のガラス板Ｇの間の厚さ、つまり試料液体Ｌの厚さを、次段の測定部６における測定に際して最適化することができる。
【００３５】
次いでベルトコンベア１を駆動して、２枚のガラス板Ｇで挟まれた試料液体Ｌを、測定部６のレーザ光の照射位置にまで搬送し、ベルト１２に形成されている貫通孔１２１を介してレーザ光を照射し、試料液体Ｌ中の粒子による回折・散乱光の空間強度分布を測定する。その測定結果はデータサンプリング部６３を介して演算装置６４に送られ、レーザ回折・散乱式粒度分布測定法に基づく公知の演算によって粒度分布に換算される。
【００３６】
以上の動作を所定の周期で繰り返すことにより、高濃度で被測定粒子群が液体中に分散してなる試料液体Ｌを、希釈等を行わずにその分散質である粒子の粒度分布を連続的に測定することが可能となり、しかも、試料液体Ｌを通るレーザ光の光路長が、押圧装置５による押圧圧力に応じた一定の長さとなるため、試料のサンプリングに起因する測定誤差を生じることもない。
【００３７】
ここで、以上の実施の形態においては、２枚のガラス板Ｇで挟まれた試料液体Ｌに対してレーザ光を照射するために、ベルト１２に貫通孔１２１を形成したが、これに代えて、図３に示すように、搬送方向に直交する方向に所定の間隔Δを開けた２本のベルト１２ａ，１２ｂを用いて、その各ベルト１２ａ，１２ｂにガラス板Ｇを差し渡すようにすることもできる。
【００３８】
また、以上の実施の形態で用いるマイクロ液送ポンプ４１としては、例えばチュービングポンプやシリンジポンプなどを好適に採用することができる。
【００３９】
次に、請求項３に係る発明の実施の形態について説明する。
図４はその全体構成図であり、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【００４０】
この例は、照射光学系１０１と測定光学系１０２とを筐体１００内に収容して互いに対向させ、その間に、２枚のガラス板Ｇを狭い間隔で対向して固定してなる試料セル１０３を配置し、その試料セル１０３の２枚のガラス板Ｇの間に、チュービングポンプ１０４によって高濃度・高粘性の試料液体Ｌを一定量ずつ供給するように構成している。
【００４１】
照射光学系１０１は、先の例において用いたものと同等であり、レーザ光源１０１ａ，集光レンズ１０１ｂ、空間フィルタ１０１ｃおよびコリメートレンズ１０１ｄからなっているとともに、測定光学系１０２についても先の例で用いたものと同等であって、集光レンズ１０２ａおよびリングディテクタ１０２ｂによって構成されている。
【００４２】
筐体１００内には、先の例と同等のデータサンプリング部１０５が収容されており、リングディテクタ１０２ｂの出力はこのデータサンプリング部１０５によって増幅およびデジタル化される。筐体１００内にはまたは、このデータサンプリング部１０５並びにチュービングポンプ１０４を制御するとともに、データサンプリング部１０５によりサンプリングされて増幅・デジタル化された回折・散乱光の空間強度分布データを、筐体１００の外部に設けられているパーソナルコンピュータ１０７に転送するための制御・通信部１０６が収容されている。
【００４３】
パーソナルコンピュータ１０７には、回折・散乱光の空間強度分布データを粒度分布に換算する先の例における演算装置による換算と同等のプログラムが書き込まれている。
【００４４】
さて、試料セル１０３は、図５に外観図を、図６（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）にそれぞれそのＡ−Ａ断面図、Ｂ−Ｂ断面図およびＣ−Ｃ断面図を示すように、２枚のガラス板Ｇを僅かな隙間δを開けて対向させた状態で、その両側縁部をシール部材１０３ａで封止するとともに、その各シール部材１０３ａを介在させた状態で、ガラス板Ｇの外側から固定部材１０３ｂによりこれらの各部材を相互に固定・一体化した構造を有している。
【００４５】
チュービングポンプ１０４の吐出口はチューブ１０８ａを介して試料セル１０３の隙間δの上部開口に連通しているとともに、このチュービングポンプ１０４の吸引口は、例えば製造ライン中の試料液体Ｌが流れる管Ｐなどにチューブ１０８ｂを介して接続される。  
【００４６】
一端がチュービングポンプ１０４の吐出口に接続されているチューブ１０８ａの他端と試料セル１０３とは、チューブ接続用アダプタ１０９ａを介在させて相互に接続されている。チューブ接続用アダプタ１０９ａの内面の断面形状は、チューブ１０８ａに対する接続部分は当該チューブ１０８ａの内面の断面形状と等しい円形であり、また、試料セル１０３に対する接続部分は当該試料セル１０３の２枚のガラス板Ｇの間の隙間δの断面形状と等しい極偏平な矩形であって、その中間部分の内面の断面形状は、チューブ１０８ａから試料セル１０３へと向けて円形から極偏平矩形へと徐々に変化していくようになっている。
【００４７】
そして、チューブ１０８ａの断面積は、試料セル１０３の２枚のガラス板Ｇの間に形成されている隙間δのガラス板Ｇに直交する方向に切断した断面積と等しく、かつ、チューブ接続用アダプタ１０９ａは、チューブ１０８ａ側から試料セル１０３側へと内面の断面形状が変化しつつも、その断面積は一様であって、上記した隙間δの断面積と等しくなっている。
【００４８】
また、試料セル１０３の隙間δの下端開口は、上記したチューブ接続用アダプタ１０９ａと同等のチューブ接続用アダプタ１０９ｂおよびチューブ１０８ｃを介して管Ｐに接続されている。
【００４９】
以上の実施の形態は、チュービングポンプ１０４を定期的に、あるいは連続的に駆動して、試料セル１０３の２枚のガラス板Ｇの間の隙間に試料液体Ｌを順次供給し、レーザ光を照射して試料液体Ｌ内の粒子による回折・散乱光の空間強度分布を測定し、粒度分布に換算する。このとき、チュービングポンプ１０４と試料セル１０３の隙間δを繋ぐチューブ１０８ａおよびチューブ接続用アダプタ１０８ａの内面の断面積が一様であり、しかも試料セル１０３のδの断面積と等しくなっているので、チュービングポンプ１０４の駆動により新たな試料液体Ｌを供給したとき、既に試料セル１０３内に入っている試料液体Ｌはスムーズに流れて排出され、試料セル１０３内やチューブ１０８ａないしはチューブ接続用アダプタ１０９ａ内に滞留することがなく、また、気泡が発生することがない。従って、管Ｐ内を流れる試料液体Ｌ中の粒子の粒度分布の経時的変化を、正確に測定することができる。
【００５０】
なお、以上の実施の形態では、試料セル１０３に対して供給される試料液体Ｌを、製造ライン中で試料液体Ｌが流れる管からチュービングポンプ１０４の駆動により分取した例を示したが、試料液体Ｌが入った容器からチュービングポンプ１０４で抽出してもよいことは勿論である。また、チュービングポンプに代えてシリンジポンプ等の他のポンプを用い得ることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】請求項１に係る発明の実施の形態の全体構成図で、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図２】図１のベルトコンベア１に用いられているベルト１２の要部平面図である。
【図３】図１のベルトコンベア１に用いるベルトの他の構成例を示す要部平面図である。
【図４】請求項３に係る発明の実施の形態の全体構成図で、機械的構成を表す模式図と電気的構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
【図５】図４の試料セル１０３の拡大斜視図である。
【図６】図５の試料セル１０３のＡ−Ａ断面図（Ａ）、Ｂ−Ｂ断面図（Ｂ）およびＣ−Ｃ断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１  ベルトコンベア
１２  ベルト
１２１  貫通孔
２  ガラスストック
３  ガラス板供給装置
４  試料液体滴下装置
５  押圧装置
６  測定部
６１  照射光学系
６２  測定光学系
６３  データサンプリング部
６４  演算装置
７  廃棄ボックス
８  制御装置
１０１  照射光学系
１０２  測定光学系
１０３  試料セル
１０３ａ  シール部材
１０３ｂ  固定部材
１０４  チュービングポンプ
１０５  データサンプリング部
１０６  制御・通信部
１０７  パーソナルコンピュータ
１０８ａ，１０８ｂ  チューブ
１０９ａ，１０９ｂ  チューブ接続用アダプタ
Ｇ  ガラス板
Ｌ  試料液体
Ｐ  管
【図１】
2005121414.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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