(57)【要約】【課題】            短い反応時間において１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時に除去することができる難分解性微量有害物含有水の処理方法を提供する。【解決手段】        被処理液を導入する反応塔５４において、紫外線ランプ５９による紫外線照射下で過酸化水素もしくはオゾンを供給し、あるいは過酸化水素とオゾンを供給し、さらにはオゾンと不活性ガスの窒素を交互に供給することにより、被処理液中の溶存酸素およびオゾンを脱気しつつ、反応塔５４で生成するヒドロキシラジカルによる光化学分解を促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理液を導入する反応塔において、紫外線ランプによる紫外線照射下で過酸化水素を供給し、反応塔内で生成するヒドロキシラジカルによって１,４-ジオキサンおよびダイオキシン類を分解するものであり、反応塔内に不活性ガスを散気することを特徴とする難分解性微量有害物含有水の処理方法。
【請求項２】
被処理液を導入する反応塔において、紫外線ランプによる紫外線照射下でオゾン、過酸化水素のうちで少なくともオゾンを供給し、反応塔内で生成するヒドロキシラジカルによって１,４-ジオキサンおよびダイオキシン類を分解するものであり、反応塔内にオゾンと不活性ガスを交互に散気することを特徴とする難分解性微量有害物含有水の処理方法。
【請求項３】
被処理液を導入する反応塔において、紫外線ランプによる紫外線照射下でオゾン、過酸化水素のうちで少なくともオゾンを供給し、反応塔内で生成するヒドロキシラジカルによって１,４-ジオキサンおよびダイオキシン類を分解するものであり、反応塔内において触媒の存在下で紫外線を照射することを特徴とする難分解性微量有害物含有水の処理方法。
【請求項４】
反応塔内にオゾンと不活性ガスを交互に散気することを特徴とする請求項３に記載する難分解性微量有害物含有水の処理方法。
【請求項５】
反応塔のガス中の酸素濃度をモニタリングし、酸素濃度が経験則として得る十分な脱気を示す値になるまで不活性ガスの散気を継続することを特徴とする請求項２又は４に記載する難分解性微量有害物含有水の処理方法。
【請求項６】
反応塔のガス中のオゾン濃度をモニタリングし、オゾン濃度が経験則として得る十分な脱気を示す値になるまで不活性ガスの散気を継続することを特徴とする請求項２又は４に記載する難分解性微量有害物含有水の処理方法。
【請求項７】
反応塔の被処理液中の過酸化水素濃度をモニタリングし、過酸化水素濃度が経験則として得る最も高い値になるまでオゾンの散気を継続することを特徴とする請求項２又は４に記載する難分解性微量有害物含有水の処理方法。
【請求項８】
ＰＳＡ式酸素供給装置の吸着操作時に生じる酸素濃縮空気をオゾン発生機に供給し、オゾン発生機で発生するオゾンを反応塔のオゾン散気に使用し、ＰＳＡ式酸素供給装置の再生操作時に脱離する窒素を反応塔の不活性ガス散気に使用することを特徴とする請求項２、４、５、６、７の何れか１項に記載する難分解性微量有害物含有水の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、難分解性微量有害物含有水の処理方法に関し、産業廃水、下水、上水、埋立浸出水、地下水、河川水、池水、湖沼水、不法投棄現場の地下水や浸出水等に含まれた１,４−ジオキサン等の活性炭等に吸着されにくい難分解性微量有害物を分解除去する技術に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、浸出水（最終処分場）や不法投棄現場、土壌汚染地下水等の水処理方法は、図６の（ａ）に示すように、前凝集沈殿（又はＣａ除去）１、生物処理２、後凝集沈殿３、砂ろ過／活性炭吸着４、キレート処理５の各工程を順じに経ることで行っており、あるいは図６の（ｂ）に示すように、Ｃａ除去（又は前凝集沈殿）６、生物処理７、凝集膜処理８、活性炭吸着９、キレート処理１０の各工程を経ることで行っている。これらの方法では生物処理後に被処理水に残存する難分解性微量有害物を活性炭吸着処理によって除去している。
【０００３】
また、生物処理２、７の前段や砂ろ過／活性炭吸着４における砂ろ過の後段で活性炭吸着の前段においてダイオキシン（ＤＸＮ）分解装置を配設して、被処理水に含まれたダイオキシン類を分解除去するものがある。
【０００４】
このダイオキシン（ＤＸＮ）分解装置は、図７に示すように、反応塔１１において紫外線ランプ１２による紫外線の照射下で被処理液１３にオゾン発生機１４からオゾンを供給するとともに、反応塔１１とｐＨ調整槽１５との間で被処理液１３を循環させ、ｐＨ調整槽１５においてｐＨ調整剤１６を添加し、被処理液１３を所定範囲内にｐＨ調整しながら紫外線処理とオゾン処理を併用して施すものである。
【特許文献１】特開２００３−５３３５９公報
【特許文献２】特開２００１−３００５５７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、浸出水等には生物難分解性で、かつ活性炭に吸着され難い物質も存在し、例えば難分解性微量有害物としての１,４-ジオキサン（Ｃ４Ｈ８Ｏ２）がある。１,４-ジオキサンは、通常の生物処理、凝集膜処理および活性炭吸着では除去し難く、処理水質を浄水基準５０μｇ／ｌ以下とするためには多量の活性炭が必要である。
【０００６】
この１,４-ジオキサンは紫外線処理とオゾン処理を併用することで分解できる。しかし、この方法による１,４-ジオキサンの分解速度は遅く、上述したようなダイオキシン（ＤＸＮ）分解装置において１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時に除去するために、反応に要する滞留時間を確保するために大容量の反応塔を必要とし、建設コスト、維持管理および運転コストの点において実用的ではなかった。
【０００７】
本発明は上記した課題を解決するものであり、短い反応時間において１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時に除去することができる難分解性微量有害物含有水の処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、請求項１に係る本発明の難分解性微量有害物含有水の処理方法は、被処理液を導入する反応塔において、紫外線ランプによる紫外線照射下で過酸化水素を供給し、反応塔内で生成するヒドロキシラジカルによって１,４-ジオキサンおよびダイオキシン類を分解するものであり、反応塔内に不活性ガスを散気するものである。
【０００９】
上記した構成により、紫外線照射によって過酸化水素から生成するヒドロキシラジカルによる光化学分解によって１,４-ジオキサンとダイオキシン類を除去する。この際に、不活性ガスの散気によって被処理液中の溶存酸素を脱気して溶存酸素による紫外線の吸収を抑制し、光化学分解を促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。
【００１０】
請求項２に係る本発明の難分解性微量有害物含有水の処理方法は、被処理液を導入する反応塔において、紫外線ランプによる紫外線照射下でオゾン、過酸化水素のうちで少なくともオゾンを供給し、反応塔内で生成するヒドロキシラジカルによって１,４-ジオキサンおよびダイオキシン類を分解するものであり、反応塔内にオゾンと不活性ガスを交互に散気するものである。
【００１１】
上記した構成により、オゾンに紫外線を照射するとラジカルが生成し、その反応サイクル中で過酸化水素が生成する。このオゾンに由来する過酸化水素もしくは別途に添加した過酸化水素が紫外線によって分解してヒドロキシラジカルが生成する。このヒドロキシラジカルによる光化学分解によって１,４-ジオキサンとダイオキシン類を除去する。
【００１２】
ところで、オゾンは紫外線との反応サイクルにおいて過酸化水素を生成する一方で過酸化水素を分解し、紫外線を消費する。このため、過酸化水素からヒドロキシラジカルを効果的に生成するためには、過酸化水素の生成に寄与せずに過酸化水素の分解に作用するオゾンを速やかに脱気することが望ましい。
【００１３】
よって、反応塔内にオゾンと不活性ガスを交互に散気することで、余剰なオゾン、すなわち過酸化水素の生成に寄与せずに過酸化水素の分解に作用し、かつ紫外線を吸収するオゾンおよび溶存酸素を脱気し、光化学分解を促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。
【００１４】
請求項３に係る本発明の難分解性微量有害物含有水の処理方法は、被処理液を導入する反応塔において、紫外線ランプによる紫外線照射下でオゾン、過酸化水素のうちで少なくともオゾンを供給し、反応塔内で生成するヒドロキシラジカルによって１,４-ジオキサンおよびダイオキシン類を分解するものであり、反応塔内において触媒の存在下で紫外線を照射するものである。
【００１５】
上記した構成により、オゾンに紫外線を照射するとラジカルが生成し、その反応サイクル中で過酸化水素が生成する。このオゾンに由来する過酸化水素が紫外線によって分解してヒドロキシラジカルが生成する。このヒドロキシラジカルによる光化学分解をＴｉＯ２、Ｐｂ／Ｃ（パラジウム・カーボン）等の触媒の触媒作用によって促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。
【００１６】
請求項４に係る本発明の難分解性微量有害物含有水の処理方法は、請求項３の構成において、反応塔内にオゾンと不活性ガスを交互に散気するものである。
上記した構成により、触媒作用に加えて、オゾンおよび溶存酸素の脱気によって光化学分解を促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。
【００１７】
請求項５に係る本発明の難分解性微量有害物含有水の処理方法は、請求項２又は４の構成において、反応塔のガス中の酸素濃度をモニタリングし、酸素濃度が経験則として得る十分な脱気を示す値になるまで不活性ガスの散気を継続するものである。
【００１８】
請求項６に係る本発明の難分解性微量有害物含有水の処理方法は、請求項２又は４の構成において、反応塔のガス中のオゾン濃度をモニタリングし、オゾン濃度が経験則として得る十分な脱気を示す値になるまで不活性ガスの散気を継続するものである。
【００１９】
請求項７に係る本発明の難分解性微量有害物含有水の処理方法は、請求項２又は４の構成において、反応塔の被処理液中の過酸化水素濃度をモニタリングし、過酸化水素濃度が経験則として得る最も高い値になるまでオゾンの散気を継続するものである。
【００２０】
請求項８に係る本発明の難分解性微量有害物含有水の処理方法は、ＰＳＡ式酸素供給装置の吸着操作時に生じる酸素濃縮空気をオゾン発生機に供給し、オゾン発生機で発生するオゾンを反応塔のオゾン散気に使用し、ＰＳＡ式酸素供給装置の再生操作時に脱離する窒素を反応塔の不活性ガス散気に使用するものである。
【００２１】
上記した構成において、一般的なＰＳＡ式窒素供給装置は、吸着操作として空気中の酸素を吸着することで窒素濃度を高め、再生操作において酸素を脱離する。しかし、反応塔でオゾンと不活性ガスを交互に散気するのに際し、オゾンを供給するためのＰＳＡ式酸素供給装置の再生操作時に排出する窒素ガスを不活性ガスの供給に利用することで、ＰＳＡ式窒素供給装置を必要とせずに窒素ガスを供給することができ、ＰＳＡ式酸素供給装置における吸着操作と再生操作とを反応塔においてオゾンと不活性ガスを交互に散気するための操作手段として有効に活用することができる。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように本発明によれば、反応塔内に不活性ガスを散気して、余剰なオゾン、すなわち過酸化水素の生成に寄与せずに過酸化水素の分解に作用し、かつ紫外線を吸収するオゾンおよび溶存酸素を脱気することで、光化学分解を促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去することが可能となり、１,４-ジオキサンの光化学分解に要する反応時間に律速されることなく、浸出水（最終処分場）や不法投棄現場、土壌汚染地下水等の水処理を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１において、被処理液５１は、浸出水処理施設、地下水処理施設、海面余水処理施設、産業排水処理施設等において、生物処理後、もしくは活性炭吸着後の１,４−ジオキサンおよびダイオキシン類等の難分解性微量有害物を含む被処理液である。
【００２４】
この被処理液５１を導入する処理系５２は、ｐＨ調整槽５３と反応塔５４とを循環系５５で連通させたものである。被処理液５１の供給系５６に連通するｐＨ調整槽５３には、ｐＨ調整剤供給装置５７、ｐＨ計５７ａを設け、ｐＨ調整槽５３の気相部に排オゾン処理装置５８を接続している。
【００２５】
反応塔５４には浸漬した紫外線ランプ５９と、散気管６０とを配置しており、反応塔５４の内壁面には、必要に応じてＴｉＯ２、Ｐｂ／Ｃ等の触媒６１をコーティングする。この触媒６１は、図２および図３に示すように、エレメント６２を格子状に配置してなる円筒状籠体６３にコーティングして反応塔５４の内部に配置することも可能であり、あるいは一定粒径の担体にコーティングして反応塔５４の内部に配置することも可能である。
【００２６】
散気管６０にはオゾンを供給するオゾン供給系６４と不活性ガスとしての窒素ガスを供給する窒素供給系６５とを接続している。オゾン供給系６４はオゾン発生機６６に連通し、オゾン発生機６６にＰＳＡ式酸素供給装置６７を接続し、ＰＳＡ式酸素供給装置６７に窒素供給系６５を接続している。窒素供給系６５は別途のＰＳＡ式窒素供給装置（図示省略）もしくは窒素ガスボンベを接続することも可能である。
【００２７】
ＰＳＡ式酸素供給装置６７は、単数もしくは複数の吸着器（図示省略）を有し、空気中の窒素を吸着する吸着操作時に吸着器を通過した酸素濃縮空気をオゾン発生機６６に供給し、窒素を吸着した吸着器を再生する再生操作時に吸着器から脱離した窒素を散気管６０に供給する。
【００２８】
ｐＨ調整槽５３から反応塔５４へ至る循環系５５の往路管路５５ａには過酸化水素供給装置６８を接続しており、反応塔５４からｐＨ調整槽５３へ至る循環系５５の復路管路５５ｂには過酸化水素濃度測定装置６９を接続している。反応塔５４と排オゾン処理装置５８とを連通する排ガス管路７０には酸素濃度、オゾン濃度を計測する濃度測定装置７１を設けている。濃度測定装置７１は酸素濃度測定機能、オゾン濃度測定機能を有するが何れか一方の機能において後述する操作に対応することも可能である。
【００２９】
ｐＨ調整剤供給装置５７はｐＨ計５７ａの計測値を指標として作動し、オゾン発生機６６およびＰＳＡ酸素供給装置６７によるオゾン供給および窒素ガス供給の制御は、過酸化水素濃度測定装置６９の計測値、あるいは濃度測定装置７１の計測値に基づいてコントローラ（図示省略）で行うが、供給開始・供給停止の基準設定値は実験等により経験則から求める。また、オゾン供給および窒素ガス供給の制御はタイマー等で制御することも可能であり、この場合にタイマー時間は実験等により経験則から求める。
【００３０】
以下、上記した構成における作用を説明する。供給系５６から処理系５２に供給する被処理液５１は、ｐＨ調整槽５３と反応塔５４の間を循環系５５を通して循環し、ｐＨ計５７ａの計測値を指標してｐＨ調整剤供給装置５７からｐＨ調整剤を添加することで所定範囲内のｐＨ値に維持される。
【００３１】
上述した循環状態を基本的操作として以下に各処理方法について説明する。
１．過酸化水素および不活性ガスを供給する場合
紫外線ランプ５９による所定波長の紫外線照射下で過酸化水素供給装置６８から反応塔５４へ過酸化水素を供給し、窒素供給系６５を通して散気管６０に窒素ガスを供給する。この場合に、窒素ガスの供給はＰＳＡ式窒素供給装置（図示省略）もしくは窒素ガスボンベから行うことも可能であるが、本実施の形態ではＰＳＡ酸素供給装置６７の再生操作によって吸着器から脱離する窒素ガスを供給する。
【００３２】
反応塔５４では紫外線による過酸化水素の分解によりヒドロキシラジカルが生成し、このヒドロキシラジカルによる光化学分解によって１,４-ジオキサンとダイオキシン類を除去する。
【００３３】
この際に、不活性ガスである窒素ガスの散気によって被処理液５１の溶存酸素を脱気して溶存酸素による紫外線の吸収を抑制し、光化学分解を促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。
【００３４】
この方法によって、被処理液中の１,４-ジオキサン１００μｇ／ｌを１０μｇ／ｌまで分解除去するのに、過酸化水素を供給して紫外線照射する条件では３時間の処理が必要であったが、紫外線照射下で過酸化水素を供給し、かつ窒素ガスを散気する条件では２時間以内で処理することができた。
２．オゾンのみを供給する場合
オゾン発生機６６からオゾン供給系６４を通して散気管６０へオゾンを供給し、紫外線ランプ５９による所定波長の紫外線照射下で散気管６０からオゾンを反応塔５４の被処理液５１へ散気する。
【００３５】
反応塔５４では紫外線の照射によってオゾンからラジカルが生成し、その反応サイクルの中で過酸化水素が生成される。この生成された過酸化水素がさらに紫外線で分解されてヒドロキシラジカルを生成する。このヒドロキシラジカルによる光化学分解によって１,４-ジオキサンとダイオキシン類を分解除去する。
【００３６】
この際に、ヒドロキシラジカルによる光化学分解をＴｉＯ２、Ｐｂ／Ｃ（パラジウム・カーボン）等の触媒６１の触媒作用によって促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。
【００３７】
この方法による約１時間の処理によって、ダイオキシン２０ｐｇ−ＴＥＱ／ｌが０．１ｐｇ−ＴＥＱ／ｌ以下となり、同時に１,４-ジオキサン１００μｇ／ｌが３０μｇ／ｌ以下となった。
３．オゾンおよび不活性ガスを供給する場合
オゾン発生機６６からオゾン供給系６４を通して散気管６０へオゾンを供給し、紫外線ランプ５９による所定波長の紫外線照射下で散気管６０からオゾンを反応塔５４の被処理液５１へ散気する。
【００３８】
反応塔５４では紫外線の照射によってオゾンからラジカルが生成し、その反応サイクルの中で過酸化水素が生成される。この生成された過酸化水素がさらに紫外線で分解されてヒドロキシラジカルを生成する。このヒドロキシラジカルによる光化学分解によって１,４-ジオキサンとダイオキシン類を分解除去する。
【００３９】
ところで、オゾンは紫外線との反応サイクルにおいて過酸化水素を生成する一方で過酸化水素を分解し、紫外線を消費する。このため、過酸化水素からヒドロキシラジカルを効果的に生成するためには、過酸化水素の生成に寄与せずに過酸化水素の分解に作用するオゾンを速やかに脱気することが望ましい。
【００４０】
このため、オゾン発生機６６から散気管６０へのオゾンの供給を停止し、窒素供給系６５から散気管６０へ窒素ガスを供給する。この場合に、窒素ガスの供給はＰＳＡ式窒素供給装置（図示省略）もしくは窒素ガスボンベから行うことも可能であるが、本実施の形態ではＰＳＡ酸素供給装置６７の再生操作によって吸着器から脱離する窒素ガスを供給する。
【００４１】
このように、反応塔５４にオゾンと不活性ガスである窒素ガスを交互に散気し、余剰なオゾン、すなわち過酸化水素の生成に寄与せずに過酸化水素の分解に作用し、かつ紫外線を吸収するオゾンおよび溶存酸素を脱気することで、光化学分解を促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。
【００４２】
この方法によって、被処理液中の１,４-ジオキサン１００μｇ／ｌを１０μｇ／ｌまで分解除去するのに、オゾン散気と紫外線照射の条件では２時間の処理が必要であったが、紫外線照射下でオゾン散気を１５分と不活性ガス散気を５分として交互に散気する条件では１．５時間で処理することができた。
【００４３】
また、ヒドロキシラジカルによる光化学分解をＴｉＯ２、Ｐｂ／Ｃ（パラジウム・カーボン）等の触媒６１の触媒作用によって促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。
【００４４】
オゾンの散気に際しては、過酸化水素濃度測定装置６９によって反応塔５４の被処理液５１の過酸化水素濃度をモニタリングし、過酸化水素濃度が経験則として得る最も高い値になるまでオゾンの散気を継続する。
【００４５】
窒素ガスの散気に際しては、濃度測定装置７１によって反応塔５４のガス中の酸素濃度をモニタリングし、酸素濃度が経験則として得る十分な脱気を示す低い値になるまで窒素ガスの散気を継続する。あるいは、濃度測定装置７１によって反応塔５４のガス中のオゾン濃度をモニタリングし、オゾン濃度が経験則として得る十分な脱気を示す低い値になるまで窒素ガスの散気を継続する。
【００４６】
ところで、窒素ガスの供給に一般的なＰＳＡ式窒素供給装置を使用する場合には、その吸着操作において空気中の酸素を吸着することで窒素濃度を高めて窒素濃縮空気を供給し、再生操作において酸素を脱離することになる。
【００４７】
しかし、本実施の形態ではＰＳＡ式酸素供給装置６７の吸着操作時に生じる酸素濃縮空気をオゾン発生機６６に供給して、オゾン発生機６６で発生するオゾンを反応塔５４のオゾン散気に使用し、ＰＳＡ式酸素供給装置６７の再生操作時に脱離する窒素を反応塔５４の不活性ガス散気に使用している。
【００４８】
よって、反応塔５４でオゾンと不活性ガスを交互に散気するのに際し、オゾンを供給するためのＰＳＡ式酸素供給装置６７の再生操作時に排出する窒素ガスを不活性ガスの供給源として利用することで、別途にＰＳＡ式窒素供給装置を必要とせずに窒素ガスを供給することができ、ＰＳＡ式酸素供給装置６７における吸着操作と再生操作とを反応塔５４においてオゾンと不活性ガスを交互に散気するための操作手段として有効に活用することができる。
４．オゾン、過酸化水素および不活性ガスを供給する場合
オゾン発生機６６からオゾン供給系６４を通して散気管６０へオゾンを供給し、紫外線ランプ５９による所定波長の紫外線照射下で散気管６０からオゾンを反応塔５４の被処理液５１へ散気し、過酸化水素供給装置６８から反応塔５４へ過酸化水素を供給する。
【００４９】
反応塔５４では紫外線の照射によってオゾンからラジカルが生成し、その反応サイクルの中で過酸化水素が生成される。生成された過酸化水素および反応塔５４へ供給した過酸化水素が紫外線で分解されてヒドロキシラジカルを生成する。このヒドロキシラジカルによる光化学分解によって１,４-ジオキサンとダイオキシン類を分解除去する。
【００５０】
先に説明したケースと同様に、反応塔５４にオゾンと不活性ガスである窒素ガスを交互に散気し、余剰なオゾン、すなわち過酸化水素の生成に寄与せずに過酸化水素の分解に作用し、かつ紫外線を吸収するオゾンおよび溶存酸素を脱気することで、光化学分解を促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。また、ヒドロキシラジカルによる光化学分解をＴｉＯ２、Ｐｂ／Ｃ（パラジウム・カーボン）等の触媒６１の触媒作用によって促進して反応時間を短縮し、１,４-ジオキサンとダイオキシン類を同時的に除去する。
【００５１】
図４に示すように、２つの反応塔５４もしくは３以上の反応塔５４を並列に設置することも可能である。この場合に、ＰＳＡ式酸素供給装置６７には反応塔５４と同数、もしくはそれ以上の吸着器を設ける。
【００５２】
この構成により、ＰＳＡ式酸素供給装置６７の吸着操作を行う吸着器から酸素濃縮空気をオゾン発生機６６に供給し、発生するオゾンを一つの反応塔５４へ供給し、ＰＳＡ式酸素供給装置６７の再生操作を行う吸着器から窒素ガスを他の反応塔５４へ供給することで、ＰＳＡ式酸素供給装置６７で発生する酸素濃縮空気および窒素ガスを無駄なく利用できる。
【００５３】
図５に示すように、２つの反応塔５４もしくは３以上の反応塔５４を直列に設置することも可能である。この場合にも、ＰＳＡ式酸素供給装置６７には反応塔５４と同数、もしくはそれ以上の吸着器を設けることで、ＰＳＡ式酸素供給装置６７で発生する酸素濃縮空気および窒素ガスを無駄なく各反応塔５４で利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態における難分解性微量有害物含有水を処理する設備の模式図
【図２】本発明の他の実施の形態における反応塔の構成を示す模式図
【図３】同実施の形態における触媒の形態を示す斜視図
【図４】本発明の他の実施の形態において反応塔を並列に設置する構成を示す模式図
【図５】本発明の他の実施の形態において反応塔を直列に設置する構成を示す模式図
【図６】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ従来の水処理方法を示すフローシート図
【図７】従来の水処理設備を示す模式図
【符号の説明】
【００５５】
５１    被処理液
５２    処理系
５３    ｐＨ調整槽
５４    反応塔
５５    循環系
５５ａ  往路管路
５５ｂ  復路管路
５６    供給系
５７    ｐＨ調整剤供給装置
５７ａ  ｐＨ計
５８    排オゾン処理装置
５９    紫外線ランプ
６０    散気管
６１    触媒
６２    エレメント
６３    円筒状籠体
６４    オゾン供給系
６５    窒素供給系
６６    オゾン発生機
６７    ＰＳＡ式酸素供給装置
６８    過酸化水素供給装置
６９    過酸化水素濃度測定装置
７０    排ガス管路
７１    濃度測定装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005349351.tif 000007
【図６】
2005349351.tif 000008
【図７】
2005349351.tif 000009