(57)【要約】【課題】  小型化を図ることができる光モニタ機能付きの光デバイスを提供する。【解決手段】  光可変減衰器１は、平面導波路２とアクチュエータ構造体３とを備えている。平面導波路２には、光導波路コア４Ａ〜４Ｄが溝部５を挟んで形成されている。光導波路コア４Ａは、光信号を入力する入力光導波路コアであり、光導波路コア４Ｂは、光導波路コア４Ａからの光信号を出力する出力光導波路コアである。光導波路コア４Ｃは、光導波路コア４Ａからの光信号のうち光導波路コア４Ｂに入射されない光を導波させる補助光導波路コアである。アクチュエータ構造体３は、入力光導波路コア４Ａから出射された光信号を出力光導波路コア４Ｂに向けて反射させる可動ミラー７を有している。また、平面導波路２の一端面には、光導波路コア４Ｃを通る光を受光する受光器１０が設けられている。【選択図】  図１
2005157163.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光信号を入力する入力光導波路と、
前記入力光導波路からの光信号を出力する出力光導波路と、
前記入力光導波路からの光信号のうち前記出力光導波路に入射されない光を導波させる補助光導波路と、
前記入力光導波路からの光信号を前記出力光導波路または前記補助光導波路に向けて反射させる可動ミラーと、
前記可動ミラーを動かす駆動手段と、
前記入力光導波路、前記出力光導波路及び前記補助光導波路の少なくとも１つを通る光をモニタする光モニタ手段とを備えることを特徴とする光デバイス。
【請求項２】
前記光モニタ手段は、前記補助光導波路の出射端側に設けられ、前記補助光導波路を通る光を受光する受光器を有することを特徴とする請求項１記載の光デバイス。
【請求項３】
前記光モニタ手段は、前記入力光導波路及び前記出力光導波路の少なくとも一方を通る光の一部を取り出す光分岐手段と、前記光分岐手段により取り出された光を受光する受光器とを有することを特徴とする請求項１または２記載の光デバイス。
【請求項４】
前記光分岐手段は、方向性結合器を形成する分岐光導波路であり、
前記受光器は、前記分岐光導波路の出射端側に設けられていることを特徴とする請求項３記載の光デバイス。
【請求項５】
前記光分岐手段は、分岐用フィルタであり、
前記受光器は、前記分岐用フィルタにより取り出された光を受光する位置に設けられていることを特徴とする請求項３記載の光デバイス。
【請求項６】
前記光分岐手段は、分岐用ミラーであり、
前記受光器は、前記分岐用ミラーにより取り出された光を受光する位置に設けられていることを特徴とする請求項３記載の光デバイス。
【請求項７】
光信号を入力する入力光導波路と、
前記入力光導波路からの光信号を出力する第１出力光導波路及び第２出力光導波路と、
前記入力光導波路からの光信号を前記第１出力光導波路または前記第２出力光導波路に向けて反射させる可動ミラーと、
前記可動ミラーを動かす駆動手段と、
前記第１出力光導波路及び前記第２出力光導波路を通る光をそれぞれモニタする光モニタ手段とを備えることを特徴とする光デバイス。
【請求項８】
前記可動ミラーはナイフエッジ形状を有していることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項記載の光デバイス。
【請求項９】
前記駆動手段は、前記可動ミラーを支持した可動電極と、前記可動電極と対向するように設けられた固定電極と、前記可動電極と前記固定電極との間に静電気力を発生させる手段とを有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項記載の光デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信で用いられる光可変減衰器等を含む光デバイスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光可変減衰器を含む光デバイスとしては、光可変減衰器と光モニタ部品とを光ファイバで接続したものや、例えば特許文献１に記載されているように光可変減衰器と光モニタ部品とを一体化したものが知られている。
【特許文献１】米国特許６２９２６１６号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来技術においては、光デバイスの構成要素が多いため、光デバイスのサイズが全体的に大きくなり、コストアップにつながる。
【０００４】
本発明の目的は、小型化を図ることができる光モニタ機能付きの光デバイスを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の光デバイスは、光信号を入力する入力光導波路と、入力光導波路からの光信号を出力する出力光導波路と、入力光導波路からの光信号のうち出力光導波路に入射されない光を導波させる補助光導波路と、入力光導波路からの光信号を出力光導波路または補助光導波路に向けて反射させる可動ミラーと、可動ミラーを動かす駆動手段と、入力光導波路、出力光導波路及び補助光導波路の少なくとも１つを通る光をモニタする光モニタ手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００６】
このような光デバイスは、例えば光可変減衰器として使用可能である。この場合は、駆動手段によって可動ミラーでの反射光量が変化するように可動ミラーをアナログ的に動かして、入力光導波路から出力光導波路に向かう光信号の光量を変えることにより、光減衰量を調整する。ここで、例えば入力光導波路、出力光導波路及び補助光導波路を平面導波路で形成し、その平面導波路に光モニタ手段を設けることにより、光モニタ機能付きの光可変減衰器（光デバイス）の小型化を図ることができる。また、出力光導波路または補助光導波路を通る光をモニタすることにより、出力光導波路を通る減衰後の光信号の光量を知ることができる。
【０００７】
好ましくは、光モニタ手段は、補助光導波路の出射端側に設けられ、補助光導波路を通る光を受光する受光器を有する。この場合には、光モニタ手段の構成を簡素化できるので、低コスト化を図ることが可能となる。
【０００８】
また、好ましくは、光モニタ手段は、入力光導波路及び出力光導波路の少なくとも一方を通る光の一部を取り出す光分岐手段と、光分岐手段により取り出された光を受光する受光器とを有する。この場合には、入力光導波路を通る減衰前の光信号の光量または出力光導波路を通る減衰後の光信号の光量を容易に知ることができる。
【０００９】
このとき、好ましくは、光分岐手段は、方向性結合器を形成する分岐光導波路であり、受光器は、分岐光導波路の出射端側に設けられている。この場合には、入力光導波路に分岐光導波路を接続することで、入力光導波路を通る減衰前の光信号の光量が直ちに分かり、出力光導波路に分岐光導波路を接続することで、出力光導波路を通る減衰後の光信号の光量が直ちに分かる。
【００１０】
また、光分岐手段は、分岐用フィルタであり、受光器は、分岐用フィルタにより取り出された光を受光する位置に設けられている構成であってもよい。この場合には、入力光導波路に対して分岐用フィルタを設けることで、入力光導波路を通る減衰前の光信号の光量が直ちに分かり、出力光導波路に対して分岐用フィルタを設けることで、出力光導波路を通る減衰後の光信号の光量が直ちに分かる。
【００１１】
さらに、光分岐手段は、分岐用ミラーであり、受光器は、分岐用ミラーにより取り出された光を受光する位置に設けられている構成であってもよい。この場合には、入力光導波路に対して分岐用ミラーを設けることで、入力光導波路を通る減衰前の光信号の光量が直ちに分かり、出力光導波路に対して分岐用ミラーを設けることで、出力光導波路を通る減衰後の光信号の光量が直ちに分かる。
【００１２】
また、本発明の光デバイスは、光信号を入力する入力光導波路と、入力光導波路からの光信号を出力する第１出力光導波路及び第２出力光導波路と、入力光導波路からの光信号を第１出力光導波路または第２出力光導波路に向けて反射させる可動ミラーと、可動ミラーを動かす駆動手段と、第１出力光導波路及び第２出力光導波路を通る光をそれぞれモニタする光モニタ手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１３】
このような光デバイスは、例えば２出力の光スイッチとして使用可能である。この場合、駆動手段により可動ミラーを動かして、第１出力光導波路と第２出力光導波路との光路切り換えを行う。ここで、例えば入力光導波路、第１出力光導波路及び第２出力光導波路を平面導波路で形成し、その平面導波路に光モニタ手段を設けることにより、光モニタ機能付きの光スイッチ（光デバイス）の小型化を図ることができる。また、第１出力光導波路及び第２出力光導波路を通る光をそれぞれモニタすることにより、光路切り換えが実施されたことを確実に知ることができる。
【００１４】
好ましくは、可動ミラーはナイフエッジ形状を有している。これにより、可動ミラーのエッジ部における光の回折の影響による偏波依存損失を低減することができる。
【００１５】
また、好ましくは、駆動手段は、可動ミラーを支持した可動電極と、可動電極と対向するように設けられた固定電極と、可動電極と固定電極との間に静電気力を発生させる手段とを有する。このように静電気力を利用して可動ミラーを動かすことにより、電流を殆ど流さずに済むため、省電力化を図ることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、光デバイスが光可変減衰器や光スイッチを含む場合に、光モニタ機能を有していても、光デバイスの小型化を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係わる光デバイスの好適な実施形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は、本発明に係わる光デバイスの第１の実施形態を示す平面図である。同図において、本実施形態の光デバイス１は光可変減衰器である。光可変減衰器１は、石英ガラス等で形成された平面導波路２と、この平面導波路２上に設けられ、導電性を有するシリコン等で形成されたアクチュエータ構造体３とを備えている。
【００１９】
平面導波路２には、４本の光導波路コア４Ａ〜４Ｄが設けられている。光導波路コア４Ａ〜４Ｄは、平面導波路２の幅方向に延在する溝部５を挟んで略クロス状に形成されている。光導波路コア４Ａは、光信号を入力する入力光導波路コアである。光導波路コア４Ｂは、入力光導波路コア４Ａからの光信号を出力する出力光導波路コアである。光導波路コア４Ｃは、入力光導波路コア４Ａからの光信号のうち出力光導波路コア４Ｂに入射されない光を導波させる補助光導波路コアであり、溝部５に対して光導波路コア４Ａ，４Ｂの反対側に形成されている。なお、光導波路コア４Ｄは、未使用の光導波路コアである。
【００２０】
このような平面導波路２上に設けられたアクチュエータ構造体３は、微小電子機械システム（ＭＥＭＳ）技術を用いて形成されたものである。アクチュエータ構造体３は、基板（図示せず）に片持ち支持された可動電極６を有し、この可動電極６の先端側部分には櫛歯６ａが設けられている。
【００２１】
可動電極６の先端には、可動ミラー７が固定・支持されている。この可動ミラー７は、平面導波路２の溝部５内に入り込むように構成され、入力光導波路コア４Ａから出射された光信号を出力光導波路コア４Ｂに向けて反射させる。可動ミラー７の表面には、Ａｕ等がコーティングされている。これにより、赤外光のような光通信用波長帯域の光に対して反射率が高くなるため、挿入損失を低減することができる。
【００２２】
また、可動ミラー７は、エッジ先端角が０度よりも大きく９０度よりも小さいナイフエッジ形状を有しているのが好ましい。これにより、入力光導波路コア４Ａから出射された光が可動ミラー７に当たった時に、可動ミラー７のエッジ部に生じる光の回折の影響が低減されるため、光の回折効果に起因した偏波依存損失（ＰＤＬ）を抑えることができる。
【００２３】
また、アクチュエータ構造体３は、平面導波路２の上面に設けられた固定電極８を有している。この固定電極８には、可動電極６の櫛歯６ａと対向するように櫛歯８ａが設けられている。
【００２４】
可動電極６と固定電極８とは電圧源９を介して接続されている。そして、この電圧源９により可動電極６と固定電極８との間に電圧を印加することで、両者間に静電気力を発生させ、入力光導波路コア４Ａを横切る方向に可動ミラー７を動かす（図３参照）。このように静電気力を利用して可動ミラー７を駆動することにより、電流を流すことがないため、省電力化を図ることができる。また、可動電極６及び固定電極８を櫛歯型構造とすることにより、可動電極６と固定電極８との間に生じる静電気力が増大するため、可動ミラー７を低電圧で駆動することができる。
【００２５】
また、平面導波路２の一端面における補助光導波路コア４Ｃの出射端位置には、補助光導波路コア４Ｃを通る光を受光する受光器（例えばフォトダイオード）１０が設けられている。この受光器１０は、補助光導波路コア４Ｃを通る光の強度（光量）をモニタする為のものである。
【００２６】
受光器１０は、図１及び図２に示すように、補助光導波路コア４Ｃと対向するように平面導波路２の一端面に樹脂１１で固定されている。また、平面導波路２の一端面は、その樹脂１１によりサブマウント１２と固定されている。サブマウント１２の実装面にはワイヤパッド１３が設けられ、このワイヤパッド１３と受光器１０とがワイヤボンディング１４で接続されている。なお、平面導波路２の一端面は、受光器１０による反射防止のために斜めに形成されている。また、平面導波路２の一端部にはリッド１５が設けられている。
【００２７】
以上のような光可変減衰器１において、電圧源９による印加電圧がゼロである初期状態では、図１に示すように可動電極６が真っ直ぐに延びている。この状態では、入力光導波路コア４Ａから出射された光信号の大部分が、可動ミラー７で反射せずに溝部５内を透過して補助光導波路コア４Ｃに入射されるため、出力光導波路コア４Ｂに入射される光は殆どない。これにより、光可変減衰器１の光減衰量はほぼ最大（シャッタ状態）となる。
【００２８】
このような初期状態から、電圧源９による印加電圧を上げていくと、図３に示すように、可動電極６と固定電極８との間に生じる静電気力によって可動電極６の先端側部分が固定電極８に引き寄せられて撓み、それに伴って可動ミラー７が固定電極８側に移動する。これにより、入力光導波路コア４Ａから出射された光信号のうち、可動ミラー７で反射する光が多くなり、これに伴って出力光導波路コア４Ｂに入射される光が多くなる。従って、可動ミラー７の移動量に応じて光可変減衰器１の光減衰量が減少していく。
【００２９】
なお、上記とは逆に、初期状態では、光可変減衰器１の光減衰量が最小であり、印加電圧を上げていくに従って、光可変減衰器１の光減衰量が増加していくような構成としてもよい。
【００３０】
このとき、受光器１０によって補助光導波路コア４Ｃを通る光の光量を適宜モニターすることにより、出力光導波路コア４Ｂを通る減衰後の光信号の光量を知ることができる。つまり、入力光導波路コア４Ａを通る光信号の光量が予め分かっていれば、入力光導波路コア４Ａを通る光信号の光量から補助光導波路コア４Ｃを通る光の光量を差し引くことで、減衰後の光信号の光量が得られる。
【００３１】
従って、光可変減衰器１自体の特性ばらつきや温度変化等があっても、受光器１０によるモニタ結果に基づいて電圧源９の印加電圧を調整して、光減衰量を制御することにより、常に所望の光減衰量を得ることができる。これにより、光可変減衰器１の信頼性が向上する。
【００３２】
以上のように本実施形態にあっては、光可変減衰器１を平面導波路２とアクチュエータ構造体３とで構成し、補助光導波路コア４Ｃを通る光の光量をモニタするための受光器１０を平面導波路２に実装したので、光量モニタ機能付きの光可変減衰器の構造を簡素化・小型化することができ、低コスト化を図ることが可能となる。
【００３３】
図４は、上記実施形態の変形例として光可変減衰器アレイを示す平面図である。同図において、光可変減衰器アレイ２０は平面導波路２１を有し、この平面導波路２１には、複数組の光導波路コア４Ａ〜４Ｄ及び溝部５が並列に設けられている。平面導波路２１上には、各組の光導波路コア４Ａ〜４Ｄに対応して、複数のアクチュエータ構造体３が並列に設けられている。また、平面導波路２１の一端面における各補助光導波路コア４Ｃの出射端位置には、受光器１０がそれぞれ実装されている。
【００３４】
各組の光導波路コア４Ａ〜４Ｄの配列ピッチ、各アクチュエータ構造体３の配列ピッチは、各受光器１０の配列ピッチは、いずれも５００μｍ以下である。これにより、上記の光可変減衰器をアレイ化した場合でも、小型化を図ることが可能となる。
【００３５】
図５は、本発明に係わる光デバイスの第２の実施形態を示す平面図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００３６】
同図において、本実施形態の光デバイスである光可変減衰器３０は、平面導波路３１と、この平面導波路３１上に設けられたアクチュエータ構造体３とを有している。平面導波路３１には、上記の光導波路コア４Ａ〜４Ｄ及び溝部５が設けられている。
【００３７】
また、平面導波路３１には、入力光導波路コア４Ａと接続された分岐光導波路コア３２が設けられている。この分岐光導波路コア３２は、入力光導波路コア４Ａと協働して方向性結合器（光カプラ）３３を形成するものであり、入力光導波路コア４Ａを通る光信号の一部を分岐させる。
【００３８】
平面導波路３１の一端面において、補助光導波路コア４Ｃの出射端位置には、補助光導波路コア４Ｃを通る光を受光する受光器１０が設けられ、分岐光導波路コア３２の出射端位置には、分岐光導波路コア３２を通る光（分岐光）を受光する受光器３４が設けられている。この受光器３４によって分岐光導波路コア３２を通る光の強度（光量）をモニタすることで、入力光導波路コア４Ａを通る減衰前の光信号の光量を確実に知ることができる。
【００３９】
なお、本実施形態では、出力光導波路コア４Ｂを通る減衰後の光信号の光量を把握すべく、補助光導波路コア４Ｃの出射端側に受光器１０を設ける構成としたが、特にこれに限らず、出力光導波路コア４Ｂに分岐光導波路コアを接続して、出力光導波路コア４Ｂを通る光信号の一部を分岐させる方向性結合器を形成し、当該分岐光導波路コアの出射端側に受光器１０を設ける構成としてもよい。
【００４０】
図６は、本発明に係わる光デバイスの第３の実施形態を示す平面図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００４１】
同図において、本実施形態の光デバイスである光可変減衰器４０は、平面導波路４１と、この平面導波路４１上に設けられたアクチュエータ構造体３とを有している。平面導波路４１には、上記の光導波路コア４Ａ〜４Ｄ及び溝部５が設けられている。
【００４２】
また、平面導波路４１には、入力光導波路コア４Ａ及び出力光導波路コア４Ｂの一部を露出させるように凹部４２Ａ，４２Ｂが形成されている。凹部４２Ａ内には、入力光導波路コア４Ａを通る光信号の一部を取り出す分岐用フィルタ４３Ａと、この分岐用フィルタ４３Ａにより取り出された光を受光する受光器４４Ａとが収容されている。凹部４２Ｂ内には、出力光導波路コア４Ｂを通る光信号の一部を取り出す分岐用フィルタ４３Ｂと、この分岐用フィルタ４３Ｂにより取り出された光を受光する受光器４４Ｂとが収容されている。
【００４３】
この場合には、入力光導波路コア４Ａを通る減衰前の光信号の光量を確実に知ることができる。また、出力光導波路コア４Ｂを通る減衰後の光信号の光量を直接モニタするので、減衰後の光信号の光量を直ちに知ることができる。
【００４４】
図７は、本発明に係わる光デバイスの第４の実施形態を示す平面図である。図中、第３の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００４５】
同図において、本実施形態の光デバイスである光可変減衰器５０は、第３の実施形態における分岐用フィルタ４３Ａ，４３Ｂの代わりに、分岐用ミラー５１Ａ，５１Ｂを有している。分岐用ミラー５１Ａは、入力光導波路コア４Ａを通る光信号の一部を反射させるものであり、分岐用ミラー５１Ｂは、出力光導波路コア４Ｂを通る光信号の一部を反射させるものである。そして、受光器４４Ａ，４４Ｂは、分岐用ミラー５１Ａ，５１Ｂで反射された光をそれぞれ受光する。
【００４６】
図８は、本発明に係わる光デバイスの第５の実施形態を示す平面図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００４７】
同図において、本実施形態の光デバイス６０は、１×２（１入力２出力）型の光スイッチである。光スイッチ６０は、平面導波路６１と、この平面導波路６１上に設けられたアクチュエータ構造体６２とを有している。アクチュエータ構造体６２は、第１の実施形態におけるアクチュエータ構造体３と同様の構造を有している。
【００４８】
平面導波路６１には、光導波路コア６３Ａ〜６３Ｄが溝部６４を挟んで略クロス状に形成されている。光導波路コア６３Ａは、光信号を入力する入力光導波路コアである。光導波路コア６３Ｂは、入力光導波路コア６３Ａからの光信号を出力する第１出力光導波路コアである。光導波路コア６３Ｃは、入力光導波路コア６３Ａからの光信号を出力する第２出力光導波路コアであり、溝部６４に対して光導波路コア６３Ａ，６３Ｂの反対側に形成されている。なお、光導波路コア６３Ｄは、未使用の光導波路コアである。
【００４９】
また、平面導波路６１には、出力光導波路コア６３Ｂ，６３Ｃとそれぞれ接続された分岐光導波路コア６５Ｂ，６５Ｃが設けられている。この分岐光導波路コア６５Ｂ，６５Ｃは、出力光導波路コア６３Ｂ，６３Ｃと協働して方向性結合器（光カプラ）６６Ｂ，６６Ｃを形成するものであり、出力光導波路コア６３Ｂ，６３Ｃを通る光信号の一部を分岐させる。
【００５０】
平面導波路６１の一端面における分岐光導波路コア６５Ｂの出射端位置には、分岐光導波路コア６５Ｂを通る分岐光を受光する受光器６７Ｂが設けられている。また、平面導波路６１の他端面における分岐光導波路コア６５Ｃの出射端位置には、分岐光導波路コア６５Ｃを通る分岐光を受光する受光器６７Ｃが設けられている。
【００５１】
このような光スイッチ６０において、電圧源９による印加電圧がゼロである初期状態では、図８に示すように可動電極６が真っ直ぐに延びている。この状態では、入力光導波路コア６３Ａから出射された光信号が、可動ミラー７で反射されて第１出力光導波路コア６３Ｂに入射される。一方、電圧源９により可動電極６と固定電極８との間に所定電圧を印加すると、両者間に生じる静電気力によって可動電極６の先端側部分が固定電極８に引き寄せられて撓み、それに伴って可動ミラー７が固定電極８側に移動する。この状態では、入力光導波路コア６３Ａから出射された光信号が、可動ミラー７で反射されずに溝部６４内を透過して第２出力光導波路コア６３Ｃに入射される。
【００５２】
このとき、受光器６７Ｂ，６７Ｃによって出力光導波路コア６５Ｂ，６５Ｃを通る光信号の光量をモニタすることで、光信号を出力する出力光導波路コア６３Ｂ，６３Ｃが切り換えられたかどうかを確実に知ることができる。
【００５３】
なお、本実施形態の光デバイス６０は１×２型の光スイッチであるが、光導波路コア６３Ｄをもう１つの入力光導波路コアとして使用する２×２型の光スイッチを構成することも可能である。
【００５４】
図９は、本発明に係わる光デバイスの第６の実施形態を示す概略平面図である。同図において、本実施形態の光デバイス７０は、光可変減衰器と２×２型の光スイッチとを組み合わせたものであり、光分岐挿入（Add／Drop）機能を有している。
【００５５】
光デバイス７０は平面導波路７１を有し、この平面導波路７１には、溝部（図示せず）を挟んで略クロス状に形成された光導波路コア７２〜７５と、溝部（図示せず）を挟んで略クロス状に形成された光導波路コア７６〜７９とが設けられている。光導波路コア７３，７６同士は、直接接続されている。光導波路コア７２は、光信号を入力する入力光導波路コアであり、光導波路コア７７は、入力光導波路コア７２からの光信号を出力する出力光導波路コアである。光導波路コア７８は、入力光導波路コア７２からの光信号のうち出力光導波路コア７７に入射されない光を導波させる補助光導波路コアである。また、光導波路コア７４は、Add光導波路コアであり、光導波路コア７５は、Drop光導波路コアである。
【００５６】
また、平面導波路７１には、入力光導波路コア７２を通る光信号の一部を分岐させる方向性結合器８０を形成する分岐光導波路コア８１と、出力光導波路コア７７を通る光信号の一部を分岐させる方向性結合器８２を形成する分岐光導波路コア８３とが設けられている。平面導波路７１の一端面における分岐光導波路コア８１，８３の出射端位置には、分岐光導波路コア８１，８３を通る分岐光を受光する受光器８４，８５が設けられている。
【００５７】
このような平面導波路７１の光導波路コア７６〜７９は、光可変減衰器の一部を形成し、光導波路コア７２〜７５は、光スイッチの一部を形成している。また、平面導波路上７１には、光可変減衰器の一部を形成するアクチュエータ構造体３と、光スイッチの一部を形成するアクチュエータ構造体６２とが設けられている。
【００５８】
このような光デバイス７０において、通常状態では、入力光導波路コア７２に入力された光信号は、アクチュエータ構造体６２の可動ミラー７で反射されて光導波路コア７３に入射される。そして、その光信号は、光導波路コア７６を通り、アクチュエータ構造体３の可動ミラー７により所定の光量に減衰された状態で、出力光導波路コア７７から出力される。
【００５９】
一方、光分岐挿入を行うときは、アクチュエータ構造体６２の可動ミラー７を移動させる。これにより、入力光導波路コア７２に入力された光信号は、Drop光導波路コア７５から出力される。また、Add光導波路コア７４に挿入された光は、光導波路コア７３，７６を介して出力光導波路コア７７から出力される。
【００６０】
図１０は、本発明に係わる光デバイスの第７の実施形態を示す概略構成図である。同図において、本実施形態の光デバイス９０は、光可変減衰器と２×２型の光スイッチとを含む光分岐挿入マルチプレクサ（ＯＡＤＭ）である。
【００６１】
光デバイス９０は、分波器９１と、光スイッチアレイ９２と、上述した図４に示す光可変減衰器アレイ２０と、合波器９３と、コントローラ９４とを備えている。分波器９１は、波長の異なる複数の光信号を各波長毎に分波する。
【００６２】
光スイッチアレイ９２は、複数の２×２型の光スイッチを有している。光スイッチアレイ９２は、複数本の光ファイバ９５を介して分波器９１と接続されていると共に、複数本の光ファイバ９６を介して光可変減衰器アレイ２０と接続されている。また、光スイッチアレイ９２には、複数本のAdd用の光ファイバ９７と複数本のDrop用の光ファイバ９８とが接続されている。光スイッチアレイ９２は、光ファイバ９５〜９８の光路切り換えを行うものである。
【００６３】
光可変減衰器アレイ２０は、複数本の光ファイバ９９を介して合波器９３と接続されている。合波器９３は、光可変減衰器アレイ２０によって減衰された各波長の光信号を合波する。
【００６４】
光可変減衰器アレイ２０の各受光器１０の出力信号は、コントローラ９４に送られる。コントローラ９４は、光スイッチアレイ９２に電圧を供給する電圧源と、光可変減衰器アレイ２０に電圧を供給する電圧源とを有している。コントローラ９４は、光スイッチアレイ９２に電圧信号を送出して光路切り換え制御を行うと共に、各受光器１０の出力値に基づいて、光減衰量が所望値となるように光可変減衰器アレイ２０に電圧信号を送出する。
【００６５】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態の光可変減衰器では、可動ミラー７で反射した光信号が入射される光導波路コア４Ｂを出力光導波路コアとし、可動ミラー７で反射しない光が入射される光導波路コア４Ｃを補助光導波路コアとしたが、特にこれには限らず、光導波路コア４Ｃを出力光導波路コアとし、光導波路コア４Ｂを補助光導波路コアとしてもよい。
【００６６】
また、上記実施形態では、可動電極６と固定電極８との間に生じる静電気力によって可動ミラー７を駆動させる構成としたが、可動ミラー７を駆動させる手段としては、電磁力を利用した電磁アクチュエータ等を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明に係わる光デバイスの第１の実施形態を示す平面図である。
【図２】図１に示す受光器の固定構造を示す断面図である。
【図３】図１に示す光デバイスの動作状態を示す平面図である。
【図４】本発明に係わる光デバイスの第１の実施形態の変形例を示す平面図である。
【図５】本発明に係わる光デバイスの第２の実施形態を示す平面図である。
【図６】本発明に係わる光デバイスの第３の実施形態を示す平面図である。
【図７】本発明に係わる光デバイスの第４の実施形態を示す平面図である。
【図８】本発明に係わる光デバイスの第５の実施形態を示す平面図である。
【図９】本発明に係わる光デバイスの第６の実施形態を示す概略平面図である。
【図１０】本発明に係わる光デバイスの第７の実施形態を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００６８】
１…光可変減衰器（光デバイス）、２…平面導波路、４Ａ…入力光導波路コア、４Ｂ…出力光導波路コア、４Ｃ…補助光導波路コア、６…可動電極（駆動手段）、７…可動ミラー、８…固定電極（駆動手段）、９…電圧源（駆動手段）、１０…受光器（光モニタ手段）、２０…光可変減衰器アレイ（光デバイス）、２１…平面導波路、３０…光可変減衰器（光デバイス）、３１…平面導波路、３２…分岐光導波路コア（光モニタ手段）、３３…方向性結合器（光モニタ手段）、３４…受光器（光モニタ手段）、４０…光可変減衰器（光デバイス）、４１…平面導波路、４３Ａ，４３Ｂ…分岐用フィルタ（光モニタ手段）、４４Ａ，４４Ｂ…受光器（光モニタ手段）、５０…光可変減衰器（光デバイス）、５１Ａ，５１Ｂ…分岐用ミラー（光モニタ手段）、６０…光スイッチ（光デバイス）、６１…平面導波路、６３Ａ…入力光導波路コア、６３Ｂ…第１出力光導波路コア、６３Ｃ…第２出力光導波路コア、６５Ｂ，６５Ｃ…分岐光導波路コア（光モニタ手段）、６６Ｂ，６６Ｃ…方向性結合器（光モニタ手段）、６７Ｂ，６７Ｃ…受光器（光モニタ手段）、７０…光デバイス、７１…平面導波路、７２…入力光導波路コア、７７…出力光導波路コア、７８…補助光導波路コア、８０…方向性結合器（光モニタ手段）、８１…分岐光導波路コア（光モニタ手段）、８２…方向性結合器（光モニタ手段）、８３…分岐光導波路コア（光モニタ手段）、８４，８５…受光器（光モニタ手段）、９０…光デバイス、９４…コントローラ。
【図１】
2005157163.tif 000003
【図２】
2005157163.tif 000004
【図３】
2005157163.tif 000005
【図４】
2005157163.tif 000006
【図５】
2005157163.tif 000007
【図６】
2005157163.tif 000008
【図７】
2005157163.tif 000009
【図８】
2005157163.tif 000010
【図９】
2005157163.tif 000011
【図１０】
2005157163.tif 000012