(57)【要約】【課題】  発熱体の熱処理を循環系の温調機器の大型化を招くことなく露光装置本体への熱影響を除去し、位置決め精度向上並びに高スループット化を達成できる露光装置の提供を目的とする。【解決手段】  発熱体の熱処理を熱排気系と循環系の２系統に分割し、熱排気系の熱をチャンバー環境外のクリーンルームエアを取り込んで工場排気に排出することにより、循環系で処理する熱量の低減化を図る。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気循環による空調機構を有する半導体露光装置において、循環系と別に熱排気系を備え、前記循環系を循環する循環空気と半導体露光装置外部の空気を取り込み、熱を外部に排気することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記排気系は排気ファンの吸込み側に接続され、陰圧に保たれていることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記排気系の外側に前記循環系の空気通路を設けたことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体製造装置に関し、特に温度環境を制御する温度調整装置を有する露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造等に用いられる露光装置は、温度変化による熱膨張の影響あるいは位置情報を検出する干渉計の誤差を防ぐために、露光装置本体をチャンバーで囲い該チャンバー内空間を空調し恒温に維持している。
【０００３】
図３に従来例の空調システムの概略を示す。露光装置本体２１が収容されるチャンバー２２から循環エア２３あるいはチャンバー２２外部からクリーンルームエア２４が冷却器２５に供給され冷却される。冷却エア２６はヒーター２７により所定の温度に加熱され温調エア２８となり、フィルター２９を通過しチャンバー２２の内部環境に吹き出される。
【０００４】
また、温度センサー３１が温調エア２８の温度を検出しその信号が温調器３２に入力される。温調器３２は、温度センサー３１の信号をもとにＰＩＤフィードバック制御を行い、その出力をヒーター２７に供給し、常に温調エア２８が一定温度になるように制御を行う。このエア循環は、シロッコファン，ターボファン，あるいはラジアルファン等の送風機３０により行われる。
【０００５】
循環エア２３の詳細を図４に示す。チャンバー内には電装機器等の発熱体１１が多数存在する。発熱体１１からの熱が露光装置本体２１に影響しない様にカバ−１２が発熱体１１を囲む様に載置され、チャンバー内エア１５がカバー１２内部に導入され、発熱体１１の熱排気を行う。チャンバー内エア１５はダクト１３を通り、集合管１４にて集められ循環エア２３となる。つまり、循環エア２３はチャンバー内部の発熱体の熱排気を兼ねている。
【特許文献１】特開平１１−３２９９５１号公報
【特許文献２】特開２０００−０２３８９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら近年の転写パターンの微細化あるいは高スループット化に伴い、電装機器等の発熱は指数的に増大する傾向にある。
【０００７】
従来の熱処理では送風量を増やす必要があり、これは送風機、冷却器、フィルター、ヒーター等循環エア系の温調機器全ての大型化を招く。また、装置の大型化は振動伝播による露光装置本体の位置決め精度等の性能劣化を招く。
【０００８】
本発明は上記従来技術の課題を鑑みてなされたものであり、発熱体の熱処理を循環系の温調機器の大型化を招くことなく露光装置本体への熱影響を除去し、位置決め精度向上並びに高スループット化を達成できる露光装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明の露光装置は、発熱体の熱処理を熱排気系と循環系の２系統に分割し、熱排気系の熱をチャンバー環境外のクリーンルームエアを取り込んで工場排気に排出することにより、循環系で処理する熱量の低減化を図る。この時熱排気系は循環系と異なりエア上昇温度を厳しく管理する必要がないが、チャンバー内部の空調空間にそのまま実装すれば露光装置本体へ熱影響を与えてしまう。
【００１０】
そこでダクトを２重構造とし内側を高温の熱排気系、外側を低温の循環系のダクトとすることにより、熱排気系からの露光装置本体への熱影響を除去することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
排気系を設けることにより空調系の処理熱量が低減し、装置のコンパクト化に寄与し、さらに振動伝播による露光装置の位置決め精度の悪化を防止する。
【００１２】
また、露光装置本体への排気系熱影響を防止することにより、熱膨張変化が低減し位置決め，焼き付け及び重ね合わせの各精度の向上が図れる。また、ステージ空間のエアの温度変化が低減することにより干渉計の計測誤差が減少し、計測再現性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施例を図１に示す。
【００１４】
熱排気系に接続する発熱体１１を囲むカバー１２にチャンバー環境外のクリーンルームエア２４を導入する供給ダクト１を設ける。またカバー１２には熱排気ダクト２が接続され、該熱排気ダクトは排気ファン３の吸込み口に接続される。排気用ファンの排出口は工場排気ダクト４に接続される。以上が熱排気系のライン構成で空気の流れは、チャンバー環境外のクリーンルームエア２４が供給ダクト１を通りカバー１２内部に導かれ発熱体１１の熱を奪い、熱排気ダクト１，排気ファン３を経由し工場排気ダクト４へ排出される。この時供給ダクト２，カバー１２，熱排気ダクト２からなる熱排気ラインは排気ファン３の吸込み側に接続されているため陰圧となり、チャンバー内部５に熱排気ラインを実装してもチャンバー内部５を陽圧に管理すれば熱排気エア６のチャンバー内部５への洩れこみを防止でき、コンタミ混入および熱排気エア６による直接的な本体への熱影響は防止できる。
【００１５】
ただし、熱排気エア６がチャンバー内部５へ進入しなくても熱排気エア６がもつ熱はチャンバー内部５へ移動できるため熱排気ダクト２の外側に循環エアダクト７を設け２重構造とすることにより、熱排気エア６による本体側への熱影響を極めて小さくすることができる。ここで外側の循環エアダクト７を通過する循環エア２３は本体に熱影響を与えないように上昇温度が低くなるように管理されたエアとする。
【００１６】
図２に別の実施例を示す。本実施例では発熱体１１を内部に含むカバー１２の本体側の壁に循環系ダクト７で包み込む形状とし、カバー１２からの熱影響を低減することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例１を説明する説明図。
【図２】実施例２を説明する説明図。
【図３】従来例の循環エアを説明する説明図。
【図４】従来例の循環エアを説明する説明図。
【符号の説明】
【００１８】
１  供給ダクト
２  熱排気ダクト
３  排気ファン
４  工場排気ダクト
５  チャンバー内部
６  熱排気エア
７  循環エアダクト
１１  発熱体
１２  カバー
１３  ダクト
１４  集合管
１５  チャンバー内エア
２１  露光装置本体
２２  チャンバー
２３  循環エア
２４  クリーンルームエア
２５  冷却器
２６  冷却エア
２７  ヒーター
２８  温調エア
２９  フィルター
３０  送風機
３１  温度センサー
３２  温調器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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