(57)【要約】    【課題】  磁気記録装置において、小型のシリンダ型媒体面上で磁気ヘッドスライダを安定浮上させることができ、高記録密度化、高速データ転送、高信頼性化及び小型化可能とする。    【解決手段】  磁気記録装置５０は、外周円弧面に磁気記録媒体面３ａを有するシリンダ型媒体３と、シリンダ型媒体３を回転駆動する媒体駆動部３１と、磁気記録媒体面３ａに対して空気流により浮上し且つ記録再生素子部を有する磁気ヘッドスライダ１と、磁気ヘッドスライダ１を支持するスライダ支持体２と、磁気ヘッドスライダ１をスライダ支持体２と共にシリンダ型媒体３の回転軸方向に移動するスライダ駆動部３２とを備える。磁気記録装置５０は、磁気ヘッドスライダ１に磁気記録媒体面３ａ方向に押付荷重を与える手段と、押付荷重の作用点より流入側から押付荷重に対して復元力を与える手段とを設けている。【選択図】  図１
2005129147.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外周円弧面に磁気記録媒体面を有するシリンダ型媒体と、
前記シリンダ型媒体を回転駆動する媒体駆動部と、
前記磁気記録媒体面に対して空気流により浮上し且つ記録再生素子部を有する磁気ヘッドスライダと、
前記磁気ヘッドスライダを支持するスライダ支持体と、
前記磁気ヘッドスライダを前記支持体と共に前記シリンダ型媒体の回転軸方向に移動するスライダ駆動部とを備えた磁気記録装置において、
前記磁気ヘッドスライダに前記磁気記録媒体面方向に押付荷重を与える手段と、前記押付荷重の作用点より流入側から前記押付荷重に対して復元力を与える手段とを設けた
ことを特徴とする磁気記録装置。
【請求項２】
前記シリンダ型媒体は直径が２５．４ｍｍから５．０８ｍｍの小型のものであることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録装置。
【請求項３】
前記押付荷重を与える手段は、前記磁気ヘッドスライダを装着したジンバル部と、前記ジンバル部の一側を支持し且つ前記磁気ヘッドスライダに荷重用突起部を介して押付荷重を与える荷重用ビーム部とを備えた前記スライダ支持体で構成したことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録装置。
【請求項４】
前記復元力を与える手段は、前記押付荷重の作用点より前記磁気ヘッドスライダの流入側に、前記磁気記録媒体面側に突出する流入パッドを備えて構成したことを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の磁気記録装置。
【請求項５】
前記流入パッドは前記磁気記録媒体面に沿った傾斜面を有することを特徴とする請求項４に記載の磁気記録装置。
【請求項６】
前記流入パッドの傾斜面を前記磁気記録媒体面の円弧面の曲率半径と同じか或は大きな曲率半径の円弧面で形成したことを特徴とする請求項５に記載の磁気記録装置。
【請求項７】
前記磁気ヘッドスライダの記録再生素子部を前記磁気記録媒体面側に突出する流出パッドを備えると共に、前記流入パッドを前記磁気ヘッドスライダの流入側で且つ前記流出パッドに対して両側に位置して一対で形成したことを特徴とする請求項４から６の何れかに記載の磁気記録装置。
【請求項８】
前記磁気ヘッドスライダの記録再生素子部を前記磁気記録媒体面側に突出する流出パッドを備えると共に、前記押付荷重を与える手段は、前記磁気ヘッドスライダを装着したジンバル部と、前記ジンバル部の一側を支持し且つ前記磁気ヘッドスライダに荷重用突起部を介して押付荷重を与える荷重用ビーム部とを備えた前記スライダ支持体で構成し、前記復元力を与える手段は、前記磁気ヘッドスライダに押付荷重を与える荷重用突起部の周りに前記磁気ヘッドスライダの流入側の浮上量が大きくなる方向にモーメントを加える前記ジンバル部の構造としたことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気記録装置に係わり、特にシリンダ型磁気記録媒体を用いた磁気記録装置に好適なものである。これらは国の委託（平成１４年度、文部科学省、科学技術試験研究（ＲＲ２００２、超小型大容量ハードディスクの開発））に係る成果である。
【背景技術】
【０００２】
シリンダ型媒体を用いた磁気ドラム装置は、昭和３４年頃に製品化されているが、磁気ヘッドは固定されていて、空気力学的に浮上させる浮上方式の磁気ヘッドとは異なっている。このシリンダ型媒体は直径が１６０ｍｍ、長さが１６０ｍｍと大きいものであった。
【０００３】
そして、シリンダ型媒体及び浮上方式の磁気ヘッドスライダを用いた磁気ドラム装置は、昭和４０年頃に製品化されたが、シリンダ型媒体の直径が２５０ｍｍ、長さが４２０ｍｍであり、現行の８８．９ｍｍ（３．５インチ）ディスク型媒体に比べて極めて大きいものであった。
【０００４】
従来の磁気ドラム装置としては、特開昭６４−４９９２号公報（特許文献１）に記載されたものがある。この磁気ドラム装置は、シリンダ型媒体の頂点（中心位置）より流入側に磁気ヘッドスライダを設けることによって、磁気ヘッドスライダの下部全面を正圧にし、磁気ヘッドスライダとシリンダ型媒体とのスペース寸法を前側を流出側より大きくして安定性を高めようとしたものである。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６４−４９９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１の磁気記録装置では、シリンダ型媒体が小型化した場合に、磁気ヘッドスライダがシリンダ型媒体面上で安定浮上できないという課題があった。即ち、シリンダ型媒体が小型化、例えば直径を２５．４ｍｍ（１インチ）以下にすると、磁気ヘッドスライダとシリンダ型媒体との流入側のスペース寸法が流出側に比較して大幅に大きくなってしまうため、前側の浮上力が殆ど得られなくなり、磁気ヘッドスライダがシリンダ型媒体面上で安定浮上できなくなってしまうものであった。このため、特許文献１の磁気記録装置では、高記録密度化、高速データ転送、高信頼性化及び小型化を図ることが難しいと言う課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、係る点に鑑みてなされたものであり、外周円弧面に磁気記録媒体面を有するシリンダ型媒体と、前記シリンダ型媒体を回転駆動する媒体駆動部と、前記磁気記録媒体面に対して空気流により浮上し且つ記録再生素子部を有する磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダを支持するスライダ支持体と、前記磁気ヘッドスライダを前記支持体と共に前記シリンダ型媒体の回転軸方向に移動するスライダ駆動部とを備えた磁気記録装置において、前記磁気ヘッドスライダに前記磁気記録媒体面方向に押付荷重を与える手段と、前記押付荷重の作用点より流入側から前記押付荷重に対して復元力を与える手段とを設けたものである。
【０００８】
本発明の具体的でより好ましい構成は次の通りである。
（１）前記シリンダ型媒体は直径が２５．４ｍｍから５．０８ｍｍの小型のものである。
（２）前記押付荷重を与える手段は、前記磁気ヘッドスライダを装着したジンバル部と、前記ジンバル部の一側を支持し且つ前記磁気ヘッドスライダに荷重用突起部を介して押付荷重を与える荷重用ビーム部とを備えた前記スライダ支持体で構成したものである。
（３）前記復元力を与える手段は、前記押付荷重の作用点より前記磁気ヘッドスライダの流入側に、前記磁気記録媒体面側に突出する流入パッドを備えて構成したものである。
（４）前記流入パッドは前記磁気記録媒体面に沿った傾斜面を有する。
（５）前記流入パッドの傾斜面は前記磁気記録媒体面の円弧面の曲率半径と同じか或は大きな曲率半径の円弧面で形成したものである。
（６）前記磁気ヘッドスライダの記録再生素子部を前記磁気記録媒体面側に突出する流出パッドを備えると共に、前記流入パッドを前記磁気ヘッドスライダの流入側で且つ前記流出パッドに対して両側に位置して一対で形成したものである。
（７）前記磁気ヘッドスライダの記録再生素子部を前記磁気記録媒体面側に突出する流出パッドを備えると共に、前記押付荷重を与える手段は、前記磁気ヘッドスライダを装着したジンバル部と、前記ジンバル部の一側を支持し且つ前記磁気ヘッドスライダに荷重用突起部を介して押付荷重を与える荷重用ビーム部とを備えた前記スライダ支持体で構成し、前記復元力を与える手段は、前記磁気ヘッドスライダに押付荷重を与える荷重用突起部の周りに前記磁気ヘッドスライダの流入側の浮上量が大きくなる方向にモーメントを加える前記ジンバル部の構造としたものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、小型のシリンダ型媒体面上で磁気ヘッドスライダを安定浮上させることができ、高記録密度化、高速データ転送、高信頼性化及び小型化可能な磁気記録装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の複数の実施例について図を用いて説明する。各実施例の図における同一符号は同一物または相当物を示す。
【００１１】
本発明の実施例１の磁気記録装置を図１から図６を用いて説明する。
【００１２】
最初に、本発明の実施例１の磁気記録装置の全体構成に関して図１及び図２を参照しながら説明する。図１は本発明の実施例１の磁気記録装置を側面から見た断面図、図２は同磁気記録装置を正面から見た断面図である。
【００１３】
磁気記録装置５０は、磁気記録式のシリンダ型媒体３と、シリンダ型媒体３を回転駆動する媒体駆動部３１と、磁気ヘッド１ｃ（図３（ａ）参照）を搭載した磁気ヘッドスライダ１と、磁気ヘッドスライダ１を支持するスライダ支持体２と、磁気ヘッドスライダ１をスライダ支持体２と共にシリンダ型媒体３の回転軸方向にリニアに移動させるスライダ駆動部３２と、位置決めする支持アーム３３と、磁気ヘッド１ｃの記録再生信号を処理する処理回路３４と、これらを密閉して収納するケース３６と、ケース３６から突出するＵＳＢ等のコネクタ３５と、を備えて構成されている。
【００１４】
シリンダ型媒体３は、横長の円筒状に形成され、媒体駆動部３１により回転可能に支持されている。シリンダ型媒体３はその回転軸が水平となるように媒体駆動部３１で両側から支持されている。シリンダ型媒体３の外周円弧面が磁気記録媒体面３ａとなっており、この磁気記録媒体面３ａに周方向に延びる記録用トラックがスパイラル状に連続して設けられ、この記録用トラックに情報が磁気記録される。中心線平均面粗さＲaが１ｎｍ以下、中心線最大高さＲｐが５ｎｍ以下の平滑な面を有するシリンダ型の磁気記録媒体面３ａが使用されている。
【００１５】
シリンダ型媒体３は、直径Ｄｍが１インチ以下で、長さＷｍが５０．８ｍｍ（２インチ）に形成されており、小型で、例えば１テラビット超高記録密度とギガビット超高速データ転送を同時に達成することができるように構成されている。特に、ヨー角の影響がないリニアアクチュエータであるスライダ駆動部３２と最内外周の周速差のないシリンダ型の直径が小さい磁気記録媒体の組合せによって、より一層の高記録密度と高速データ転送、磁気記録装置の小型化を同時に達成することができる。
【００１６】
このシリンダ型媒体３の磁気記録表面積と同じ磁気記録表面積を直径１インチのディスク型媒体で得るためには、現状では４枚のディスク型媒体の両面を磁気記録面とすることが必要となる。従って、ディスク型媒体を用いた磁気記録装置では、その両側に配置する８つの磁気ヘッドスライダで記録再生をすることが必要となる。これに対して、本実施例のシリンダ型媒体３を用いた磁気記録装置５０では、磁気ヘッドスライダ１を最小限の１つにすることが可能であり、ディスク型媒体を用いた磁気記録装置に比べて、低コスト化、低ビットコスト化を図ることが可能である。但し、本実施例では、より一層の性能向上を図るために、複数の磁気ヘッドスライダ１を用いている。
【００１７】
なお、本発明においては、シリンダ型媒体３の直径Ｄｍが少なくとも１インチ以下で５．０８ｍｍ（０．２インチ）までの小型のものに適用可能である。
【００１８】
磁気ヘッドスライダ１は、スライダ支持体２に支持され、シリンダ型媒体３の回転時に磁気記録媒体面３ａとの間に生ずる空気流による浮上力を利用して磁気記録媒体面３ａから浮上して記録再生するようになっている。そして、磁気ヘッドスライダ１は、シリンダ型媒体３の回転軸と平行に複数（図示例では４つ）設置され、スライダ駆動部３２によりシリンダ型媒体３の回転軸と平行にリニアに移動するようになっている。
【００１９】
スライダ支持体２は、シリンダ型媒体３の回転軸に交叉する方向に長く延びて配置され、その一側には磁気ヘッドスライダ１が搭載され、その他側にはスライダ駆動部３２が取付けられている。スライダ支持体２はスライダ駆動部３２に支持されている。磁気ヘッドスライダ１、スライダ支持体２およびスライダ駆動部３２は、一体的に構成されて支持アーム３３に支持されており、これらが複数設けられている。
【００２０】
支持アーム３３はシリンダ型媒体３の回転軸と平行に設置され、スライダ駆動部３２をシリンダ型媒体３の回転軸と平行に移動可能に支持している。スライダ駆動部３２を駆動することにより、スライダ駆動部３２が支持アーム３３に沿って磁気ヘッドスライダ１の外周円弧面と平行に移動し、これに伴ってスライダ支持体２および磁気ヘッドスライダ１もシリンダ型媒体３の外周円弧面と平行に移動する。
【００２１】
ケース３６は、上部がシリンダ型媒体３の外周円弧面に略一致するように円弧状に形成されている。ケース３６の幅Ｗｃは５３ｍｍである。
【００２２】
次に、磁気ヘッドスライダ１に関して図３を参照しながら具体的に説明する。図３は図１の磁気ヘッドスライダの説明図で、図３（ａ）は同磁気ヘッドスライダの斜視図、図３（ｂ）は同磁気ヘッドスライダにおける圧力分布図である。
【００２３】
磁気ヘッドスライダ１は、流入側に形成された２つ（一対）の厚膜の平面パッドで構成される流入パッド１１と、流出側に形成された１つの平面パッドで構成される流出パッド１２と、を備えて構成された３パッドタイプのスライダである。これらのパッド１１、１２は、磁気ヘッドスライダ１のディスク対向面１１６に磁気記録媒体面３ａ側に突出するように形成されている。このディスク対向面１１６は流入側の面１１６ａと流出側の面１１６ｂとの間に段差部１１６ｃを有し、流出側の面１１６ｂは流入側の面１１６ａより段差部１１６ｃだけ低くなっている。流入側の面１１６ａの長さＬａは０．３６ｍｍである。
【００２４】
流入パッド１１は、流入側の面１１６ａの両側に位置する一対の平面パッドで形成され、シリンダ型媒体３の外周円弧面３ａに沿うように傾斜面１１ａを有して形成されている。流出パッド１２は流出側の面１１６ｂの中央に位置する１つのパッドで形成されている。流出パッド１２は磁気ヘッドスライダ１の流出端面１１６ｅまで延びている。流入パッド１１は流出パッド１２より高く突出し且つその流出パッド１２に対して両側に位置して形成されている。
【００２５】
流出パッド１２の流出端部には、再生用ＭＲヘッドのＭＲ素子の露出部と記録用ＭＲヘッドのギャップ部から構成する記録再生素子１ｂが設けられている。また、磁気ヘッドスライダ１の流出端面１１６ｅには、磁気ヘッド１ｃ及び接続端子１ｄが設けられている。
【００２６】
磁気ヘッドスライダ１の外形寸法は、長さＬ＝１．２５ｍｍ、幅ｗ＝１．０ｍｍ、厚さｔ＝０．３ｍｍのピコサイズである。以後に示す実施例２〜１０の磁気ヘッドスライダ１の外形寸法もピコサイズである。
【００２７】
本実施例の磁気ヘッドスライダ１の浮上面は直径１インチ以下のシリンダ型媒体３の磁気記録媒体面３ａ上に浮上させるための形状に設定しているが、以下に、シリンダ型媒体３を直径１インチ以下に設定できる理由及び本実施例の磁気ヘッドスライダ１の機能について説明する。
【００２８】
ディスク型媒体の直径を現行の最小外径である１インチ以下にしたい場合、ディスク型媒体ではその中央にスピンドル取付用穴が必要なために、磁気記録表面積が小さくならざるを得ず、磁気記録装置の大容量化が難しく、例えば１テラビット超高記録密度とギガビット超高速データ転送を同時に達成することは困難である。これに対し、シリンダ型媒体３では、外周円弧面が磁気記録媒体面３ａとなるため、スピンドル取付用穴に影響されることなく、磁気記録表面積を確保することができる。これによって、本実施例の磁気記録装置５０では、小型のシリンダ型媒体３を用いて、例えば１テラビット超高記録密度とギガビット超高速データ転送を同時に達成することが可能である。
【００２９】
現行の１インチの小型磁気ディスク装置に実装しているディスク型媒体の数は１〜２枚である。そこで、１インチの小型磁気ディスク装置のディスク型媒体の実装数の技術的な限度を２枚とした場合、シリンダ型媒体３で係るディスク型媒体の磁気記録表面積と同じ磁気記録表面積を得るためには、直径１インチ、長さ１インチのシリンダ型媒体を用いればよい。そして、磁気記録表面積が同じで低コスト化を考えると、直径１インチ、長さ１インチのシリンダ型媒体の最小限必要なスライダ数は１個であるのに対して、直径１インチのディスク型媒体の最小限必要なスライダ数は４個であるので、本実施例のようにシリンダ型媒体３を用いることが低コスト化に有利である。但し、本実施例では、上述したように、性能を向上するために、スライダ数を複数にすると共にシリンダ型媒体３の長さを２インチとしている。さらに、高記録密度化に対応した連続媒体をスパッタするためには、チャンバ内に入る直径１インチ以下のシリンダ型媒体が有利である。
【００３０】
しかし、直径１インチ以下にしたシリンダ型媒体３の磁気記録媒体面３ａ上で従来の磁気ヘッドスライダを浮上させた場合には、シリンダ型媒体３の直径Ｄｍが極めて小さいために起こるシリンダ型媒体面３ａと磁気ヘッドスライダの平面との間に幾何学的な問題が発生する。つまり、シリンダ型媒体面３ａと磁気ヘッドスライダの流入側の平面との隙間が極端に大きくなることである。例えば、１．２５ｍｍの長さの従来の磁気ヘッドスライダにおいて、その一方の端部（記録再生素子１ｂを有する部分）がシリンダ面と接触している場合、他方の端部と磁気記録媒体面３ａ面との隙間は約６４μｍとなり、極めて大きくなってしまう。このように、磁気記録媒体面３ａと磁気ヘッドスライダ面との隙間がミクロン単位で大きくなると、両者間に空気力学的に発生する圧力は極めて小さくなる。従って、従来の磁気ヘッドスライダの圧力ピークは一方の端部に発生する１つのみとなる。これによって、従来の磁気ヘッドスライダを用いた場合には、磁気ヘッドスライダの上下、ピッチ、ロール方向の３自由度の運動に対して復元力が作用しなくなり、安定浮上しなくなる。
【００３１】
これに対して、本実施例の磁気ヘッドスライダ１では、流入パッド１１が流出パッド１２より高く突出し且つ流入端部の両側に位置して形成されているので、流入パッド１１の流出端面に圧力ピークが流出パッド１２の圧力ピークの両側に位置して発生する。これによって、磁気ヘッドスライダ１は、上下、ピッチ、ロール方向の３自由度の運動に対して復元力が作用して、動的に安定浮上する。
【００３２】
特に、本実施例では、流入パッド１１が傾斜面を有して形成されているので、流入パッド１１の流出端面１１ｂに発生する圧力ピークを大きなものとすることができる。これによって、磁気ヘッドスライダ１における動的に安定浮上を良好なものとすることができる。さらには、一対の流入パッド１１と１つの流出パッド１２とにより、それぞれに発生する圧力ピークを容易にバランスさせることができるので、この点からも磁気ヘッドスライダ１における動的に安定浮上させることができる。
【００３３】
なお、直径１インチのシリンダ型媒体面３ａ上に周速が１０ｍ/ｓで安定浮上している時の磁気ヘッドスライダ１の圧力分布は、図３（ｂ）に示す通りである。図３（ｂ）から明らかな通り、磁気ヘッドスライダ１には、シリンダ型媒体面３ａに沿うように流入パッド１１に設けた傾斜面１１ａと流出パッド１２の平坦面１２ａのそれぞれの流出端に圧力ピークが３つ発生していることが分かる。したがって、磁気ヘッドスライダ１は、上下、ピッチ、ロール方向の３自由度の運動に対して復元力が作用して動的に安定浮上する。そして、直径１インチ以下に小型化したシリンダ型媒体３の磁気記録媒体面３ａに対して、傾斜面１１ａを磁気記録媒体面３ａに沿うように設けることによって、安定浮上が可能である。
【００３４】
次に、図３（ａ）を参照しながら磁気ヘッドスライダ１の製造手順を説明する。
（１）磁気ヘッドスライダ１の本体部１０における流入端１１６ｄから流出端１１６ｅまでのディスク対向面を平面に形成する。この平面は記録再生素子１ｂが露出した平面（流出パッド１２の平面）と同一平面である。
（２）流出パッド１２を、公知のリソグラフィ技術を適用して、エッチング加工で製造する。これによって、ディスク対向面１１６は流入側の面１１６ａと流出側の面１１６ｂとの間に段差部１１６ｃを有することとなる。流出パッド１２の高さδｒは段差部１１６ｃの深さ（溝深さ）δｒと同じである。段差部１１６ｃの深さδｒは、その段差面に浮上力が発生しにくい溝深さである２μｍに設定する。流出パッド１２の形状は長さＬ２が０．２２ｍｍ、幅ｗ２が０．２４２ｍｍである。
（３）磁気ヘッドスライダ１の流入端面１１６ｄから長さＬ１が０．２６ｍｍで、流入側の面１１６ａから高さｔ１が５５．０μｍの厚膜の流入パッド１１を形成する。流入パッド１１の幅ｗ１は０．２５ｍｍである。流入パッド１１の厚膜構造は、公知のＳｉＯ２膜、アルミナ膜によるスパッタ及び蒸着、樹脂（レジスト）コーティング、スプレーコーティング等の膜付技術で製造する。また、流入パッド１１の厚膜の材料をダンパ材である高分子材料で形成する。これによって、磁気ヘッドスライダ１とシリンダ型媒体３とが接触した時の接触力を低減できる。
（４）流入パッド１１の傾斜面１１ａはスパッタのマスクを移動させて形成する。流入パッド１１の傾斜面角度θ１は４．２７度であり、流出端の高さｔ１ａは３５．０μｍである。
【００３５】
なお、磁気ヘッドスライダ１の外径寸法を、長さＬ＝０．８５ｍｍ、幅ｗ＝０．７ｍｍ、厚さｔ＝０．２３ｍｍのフェムトサイズにしてもよい。この場合には、磁気ヘッドスライダ１の流入パッド１１の厚膜厚さが約２８．５μｍ以下になり、加工時間の短縮、低コスト化に有効である。
【００３６】
次に、磁気ヘッドスライダ１とスライダ支持体２との機能に関して、図４から図６を参照しながら説明する。図４は図１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の分解斜視図、図５は図１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の要部平面図、図６は図１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の動作説明図で、図６（ａ）はその側面図、図６（ｂ）はその正面図である。
【００３７】
スライダ支持体２は、図４に示すように、スライダ駆動部３２に取付けるための支持部２０と、磁気ヘッドスライダ１を磁気記録媒体面３ａ側に押すための荷重用ビーム部２１と、磁気ヘッドスライダ１の自由度を確保して支持するためのジンバル部２２と、を備えて構成されている。
【００３８】
図４から図６に示すように、荷重用ビーム部２１は、弾力性を有する金属製板部材で形成され、支持部２０から磁気記録媒体面３ａに接近するように延びている。ジンバル部２２は、弾力性を有する金属製板部材で形成され、その一側が荷重用ビーム部２１に支持され、その他側が遊端となっている。ジンバル部２２の遊端部の磁気記録媒体面３ａ側に磁気ヘッドスライダ１が装着されている。ジンバル部２２の遊端部の反スライダ側に荷重用ビーム部２１から突出した荷重用突起部であるディンプル２３が当接されている。ディンプル２３は荷重用ビーム部２１を塑性変形して構成されている。磁気ヘッドスライダ１は、ディンプル２３を中心として自由に傾斜することができるようにジンバル部２２に支持されている。
【００３９】
ディンプル２３は、図６に示すように、荷重用ビーム部２１から押し付けられた押付荷重Ｆを磁気ヘッドスライダ１に作用させる荷重作用点として設けられている。磁気ヘッドスライダ１は、荷重作用点を支点として、上下、ピッチ、ロール方向の３自由度の運動に対して復元力が作用するように構成されている。ここで、荷重作用点であるディンプル２３の位置（Ｘｐ，Ｙｐ）は、ピッチ方向に対してはＸｐ＝ｘｐ/Ｌ、ロール方向に対してはＹｐ＝ｙｐ/ｗの無次元化した値として表わす。ただし、ｘｐは磁気ヘッドスライダ１の流入端との距離、ｙｐは磁気ヘッドスライダ１の側面との距離である。
【００４０】
磁気ヘッドスライダ１は、ディンプル２３の位置で押付荷重Ｆと空気力学的に発生する浮上力Ｑとが釣り合い、ピッチ方向、ロール方向の浮上姿勢を表わすピッチ角度θｐ、ロール角度θｒ、流出端浮上量ｈ２、記録再生素子１ｂにおける素子位置浮上量ｈgapを一定に保ちながら動的に安定浮上する。ここで、押付荷重Ｆは２９．４ｍＮ、ディンプル位置Ｘｐ＝ｘｐ/Ｌは０．５、Ｙｐ＝ｙｐ/ｗは０．５である。
【００４１】
シリンダ型媒体３に対するスライダ流出端に設けた記録再生素子１ｂの位置は、シリンダ型媒体３の頂点に対応した位置にある。以後に示す実施例２〜１０の磁気ヘッドスライダ１の記録再生素子１ｂの位置もシリンダ頂点にある。周速１０ｍ/ｓの時、素子位置浮上量ｈgapは３０．８ｎｍ、流出端浮上量ｈ２は４６．１ｎｍである。素子位置浮上量ｈgapの位置を記録再生素子１ｂの位置にするために、浮上状態のスライダ姿勢はほぼフラット（θｐ＝５４．７ｎｍ）になるように設計されている。以後に示す実施例２〜９の磁気ヘッドスライダ１の浮上状態のスライダ姿勢もほぼフラットになるように設計されている。
【００４２】
次に、本発明の実施例２について図７を参照しながら説明する。図７は本発明の実施例２の磁気ヘッドスライダの説明図で、図７（ａ）は同磁気ヘッドスライダの斜視図、図７（ｂ）は同磁気ヘッドスライダにおける圧力分布図である。実施例２は、以下に述べる通り実施例１と相違するものであり、その他の点については実施例１と基本的には同一である。実施例２のものにおいて、実施例１と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００４３】
実施例２の磁気ヘッドスライダ１の本体部１０は、実施例１の磁気ヘッドスライダ１の流出側の面１１６ｂにおける厚さと同じ厚さで形成されると共にディスク対向面１１６が平坦面に形成されており、実施例１のような流出パッド１２及び段差部１１６ｃを有していないものである。従って、実施例２の磁気ヘッドスライダ１の厚さｔａは実施例１の厚さｔ＝０．３ｍｍより流出パッド１２の高さ（段差部１１６ｃの深さ）δｒ＝６μｍ分だけ薄くなっている。実施例２の流入パッド１１は、係る本体部１０のディスク対向面１１６の流入側に実施例１と同じ製造方法でほぼ同じ形状に形成されているが、流入パッド１１の幅ｗ１ａが０．３５ｍｍである点で実施例１と異なっている。そして、実施例２の記録再生素子１ｂは、係る本体部１０の平坦なディスク対向面１１６の流出側端部に形成されている。また、実施例２では、磁気ヘッドスライダ１に対する押付荷重Ｆは９９．９ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ/Ｌは０．７６、ｙｐ/ｗは０．５である。
【００４４】
実施例２の磁気ヘッドスライダ１の周速が１０ｍ/ｓの場合における磁気ヘッドスライダ１の圧力分布は図７（ｂ）に示す通りである。ここで、素子位置浮上量ｈgapは３０．０ｎｍ、流出端浮上量ｈ２は４５．８ｎｍである。図７（ｂ）から明らかなように、磁気ヘッドスライダ１には、シリンダ型媒体面３ａに沿うように設けた一対の傾斜面１１ａと流出端１１６ｅの近傍に圧力ピークが３つ発生し、磁気ヘッドスライダ１は動的に安定浮上する。
【００４５】
この流出端近傍に発生する圧力ピークは、磁気ヘッドスライダ１の幅ｗの全体にわたって発生するので、実施例１よりも大幅に大きい。これによって、実施例２の磁気ヘッドスライダ１の押付荷重Ｆ（＝９９．９ｍＮ）は実施例１の押付荷重Ｆ（＝２９．３ｍＮ）に比べて大幅に大きくすることができ、空気膜剛性も大幅に大きくすることができるので、実施例２の磁気ヘッドスライダ１は実施例１に比べてより一層安定浮上される。また、実施例２では、実施例１のように流出パッドを製造するためのエッチング加工が不要なため、加工工程を簡単にすることができる。
【００４６】
次に、本発明の実施例３について図８を参照しながら説明する。図８は本発明の実施例３の磁気ヘッドスライダの説明図で、図８（ａ）は同磁気ヘッドスライダの斜視図、図８（ｂ）は同磁気ヘッドスライダにおける圧力分布図である。実施例３は、以下に述べる通り実施例２と相違するものであり、その他の点については実施例２と基本的には同一である。実施例３のものにおいて、実施例２と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００４７】
実施例３の流入パッド１１は、実施例２の流入パッド１１の流入側を平坦面１１ｃとし、流出側にのみシリンダ型媒体面３ａに沿うように傾斜面１１ａを設けた構造である。実施例３の流入パッド１１の平坦面１１ｃは、その厚さｔ１ｂが４３．０８μｍであり、その長さＬ１ｂが０．１６ｍｍであり、その幅ｗ１ａが０．３５ｍｍである。実施例３の流入パッド１１の傾斜面１１ａは、角度θが４．２７ｄｅｇであり、その幅ｗ１ａが０．３５ｍｍである。この傾斜面１１ａは平坦面１１ｃの流出側にスパッタのマスクを移動させて形成する。そして、実施例３の磁気ヘッドスライダ１に作用する押付荷重Ｆは９１．４ｍＮであり、ディンプル位置ｘｐ/Ｌは０．８２、ｙｐ/ｗは０．５である。
【００４８】
実施例３の磁気ヘッドスライダ１の周速が１０ｍ/ｓの場合における磁気ヘッドスライダ１の圧力分布は図８（ｂ）に示す通りである。ここで、素子位置浮上量ｈgapは３０．０ｎｍ、流出端浮上量ｈ２は４５．８ｎｍである。図８（ｂ）から明らかなように、磁気ヘッドスライダ１には、シリンダ型媒体面３ｂに沿うように設けた一対の傾斜面１１ａと流出端１１６ｅの近傍に圧力ピークが３つ発生し、磁気ヘッドスライダ１は動的に安定浮上する。実施例３の傾斜面１１ａに発生する圧力分布は、実施例２の傾斜面１１ａに発生する圧力分布と殆ど変わらないため、実施例３の磁気ヘッドスライダ１の浮上性能は実施例２の磁気ヘッドスライダ１の浮上性能と殆ど変わらない。実施例３の磁気ヘッドスライダ１は、流入パッド１１の膜厚さが小さいため、実施例２の磁気ヘッドスライダ１に比べて加工時間が短縮できる。
【００４９】
なお、実施例３の本体部１０を、実施例１の本体部１０と同じ形状で且つ同じ製造方法で形成してもよい。この場合には、流出端１１６ｅの近傍の圧力ピークが実施例１と同様に得られる。
【００５０】
次に、本発明の実施例４について図９を参照しながら説明する。図９は本発明の実施例４の磁気ヘッドスライダの説明図で、図９（ａ）は同磁気ヘッドスライダの斜視図、図９（ｂ）は同磁気ヘッドスライダにおける圧力分布図である。実施例４は、以下に述べる通り実施例１と相違するものであり、その他の点については実施例１と基本的には同一である。実施例４のものにおいて、実施例１と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００５１】
実施例４の磁気ヘッドスライダ１は、流入側に形成された厚膜の１つの流入パッド１１と、流出側に形成された１つの流出パッド１２とから構成する２パッドスライダである。実施例４の流入パッド１１は、実施例１の流入パッド１１の流出端と同じ高さの平坦面１１ｃとした構造であり、幅ｗ１ｂは１ｍｍである。そして、実施例４の磁気ヘッドスライダ１に作用する押付荷重Ｆは４．０ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ/Ｌは０．８６、ｙｐ/ｗは０．５である。実施例４の流出パッド１２の高さ（段差部１１６ｃの深さ）δｒは実施例１と同じ６μｍであるが、流出パッド１２の形状は長さＬ２ａが０．０９ｍｍで、幅ｗ２ａが０．２ｍｍである。
【００５２】
磁気ヘッドスライダ１の流入端から長さｘが０．２６ｍｍで、厚さｙが３５．６２μｍの厚膜を形成することにより、流入パッド１１としている。この厚膜の厚さｙは次の式（１）で計算できる。
ｙ＝(ｃ/(Ｌ×Ｌ))ｘ、ｃ＝Ｒ−√(Ｒ×Ｒ−Ｌ×Ｌ)、ｘ＝Ｌ−(ｘ＋０．０４)…（１）
ここで、Ｒはシリンダ型媒体３の半径、Ｌは磁気ヘッドスライダ１の長さ、ｘは磁気ヘッドスライダ１の流入端からの距離である。
【００５３】
実施例４の磁気ヘッドスライダ１の周速が１０ｍ/ｓの場合における磁気ヘッドスライダ１の圧力分布は図９（ｂ）に示す通りである。ここで、素子位置浮上量ｈgapは３０．０ｎｍ、流出端浮上量ｈ２は４５．７ｎｍである。図９（ｂ）から明らかなように、磁気ヘッドスライダ１には、流入パッド１１の流出端と流出パッド１２とに圧力ピークが２つ発生し、磁気ヘッドスライダ１は動的に安定浮上する。実施例４の磁気ヘッドスライダ１は、流入パッドの傾斜面がないため、実施例１〜３の磁気ヘッドスライダ１に比べて加工時間が短縮できる。
【００５４】
次に、本発明の実施例５について図１０を参照しながら説明する。図１０は本発明の実施例５の磁気ヘッドスライダの説明図で、図１０（ａ）は同磁気ヘッドスライダの斜視図、図１０（ｂ）は同磁気ヘッドスライダにおける圧力分布図である。実施例５は、以下に述べる通り実施例４と相違するものであり、その他の点については実施例４と基本的には同一である。実施例５のものにおいて、実施例４と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００５５】
実施例５の磁気ヘッドスライダ１は、流入側に形成された２つ（一対）の厚膜の流入パッド１１と、流出側に形成された流出パッド１２から構成する３パッドスライダであり、実施例４の１つの流入パッド１１を２つに分割した点で実施例４と異なる。実施例５の各流入パッド１１は、幅ｗ１ｃが０．４ｍｍであり、長さｘ及び厚さｙが実施例４の流入パッド１１と同じである。そして、実施例４の磁気ヘッドスライダ１に作用する押付荷重Ｆは４．０ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ/Ｌは０．８８、ｙｐ/ｗは０．５である。実施例５の流出パッド１２及び段差部１１６ｃの形状は実施例４の形状と全く同じである。実施例５の各流入パッド１１は、磁気ヘッドスライダ１の流入端から０．２６ｍｍまで３５．６２μｍの厚膜を形成することにより製造される。
【００５６】
実施例５の磁気ヘッドスライダ１の周速が１０ｍ/ｓの場合における磁気ヘッドスライダ１の圧力分布は図１０（ｂ）に示す通りである。ここで、素子位置浮上量ｈgapは３０．０ｎｍ、流出端浮上量ｈ２は４５．７ｎｍである。図１０（ｂ）から明らかなように、磁気ヘッドスライダ１には、各流入パッド１１の流出端と流出パッド１２に圧力ピークが３つ発生し、磁気ヘッドスライダ１は動的に安定浮上する。実施例５の磁気ヘッドスライダ１は、流入パッド１１に傾斜面がないため、実施例１〜３の磁気ヘッドスライダ１に比べて加工時間が短縮できる。
【００５７】
次に、本発明の実施例６について図１１及び図１２を参照しながら説明する。図１１は本発明の実施例６の磁気ヘッドスライダの斜視図、図１２は図１１の磁気ヘッドスライダの製造途中を示す斜視図である。実施例６は、以下に述べる通り実施例１と相違するものであり、その他の点については実施例１と基本的には同一である。実施例６のものにおいて、実施例１と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００５８】
実施例６の磁気ヘッドスライダ１の形状は、実施例１の磁気ヘッドスライダ１の形状と段差部１１６ｃを有しないことを除いてほぼ同じである。
【００５９】
実施例６の磁気ヘッドスライダ１の製造手順は、次の通りである。
（１）磁気ヘッドスライダ１の本体部１０における流入端１１６ｄから流出端１１６ｅまでのディスク対向面を平面に形成する。この平面は記録再生素子１ｂが露出した平面（流出パッド１２の平面）と同一平面である。
（２）流出パッド１２を、公知のリソグラフィ技術を適用して、エッチング加工で製造する。流出パッド１２の高さδｒは実施例１と同じ６μｍに設定してある。
（３）磁気ヘッドスライダ１の流入端面１１６ｄから長さＬ１が０．２６ｍｍで深さｔ１ｄが１５０μｍの溝を公知の機械加工を適用して形成する。
（４）流入パッド１１を、公知の機械加工を適用して製造する。この流入パッド１１は、二つの傾斜面１１ａを有するパッド部を連結部１１ｄを介して一体に形成している。この連結部１１ｄの厚さｔ１ｅは、ｔ１ｄと同じ１５０μｍである。
（５）磁気ヘッドスライダ１と流入パッド１１を接着させる。
【００６０】
このようにして製造した磁気ヘッドスライダ１においても、実施例１と同様の機能を有する。
【００６１】
次に、本発明の実施例７について図１３を参照しながら説明する。図１３は本発明の実施例７の磁気ヘッドスライダの説明図で、図１３（ａ）は同磁気ヘッドスライダの斜視図、図１３（ｂ）は同磁気ヘッドスライダにおける圧力分布図である。実施例７は、以下に述べる通り実施例６と相違するものであり、その他の点については実施例６と基本的には同一である。実施例７のものにおいて、実施例６と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００６２】
実施例７の磁気ヘッドスライダ１は、流入側に形成された１つの流入パッド１１と流出側に形成された１つの流出パッド１２から構成する２パッドスライダである。流入パッド１１には、シリンダ型媒体面３ａに沿うように傾斜面１１ａを設けている。実施例４の磁気ヘッドスライダ１に作用する押付荷重Ｆは６９．１ｍＮ、ディンプル位置ｘｐ/Ｌは０．５、ｙｐ/ｗは０．５である。実施例７の流出パッド１２の高さδｒは実施例６と同じ６μｍであるが、流出パッド１２の形状は長さＬ２ｂが０．２２ｍｍで、幅ｗ２ｂが０．５２８ｍｍである。実施例７の磁気ヘッドスライダ１の製造手順は実施例６の磁気ヘッドスライダ１と同じである。
【００６３】
実施例７の磁気ヘッドスライダ１の周速が１０ｍ/ｓの場合における磁気ヘッドスライダ１の圧力分布は図１３（ｂ）に示す通りである。ここで、素子位置浮上量ｈgapは３０．０ｎｍ、流出端浮上量ｈ２は４５．７ｎｍである。図１３（ｂ）から明らかなように、磁気ヘッドスライダ１には、流入パッド１１の流出端と流出パッド１２に圧力ピークが２つ発生し、磁気ヘッドスライダ１は動的に安定浮上する。実施例７の磁気ヘッドスライダ１は、流入パッド部が１つであるため、実施例６の磁気ヘッドスライダ１に比べて加工が容易である。
【００６４】
次に、本発明の実施例８について図１４を参照しながら説明する。図１４は本発明の実施例８の磁気ヘッドスライダの斜視図である。実施例８は、以下に述べる通り実施例７と相違するものであり、その他の点については実施例７と基本的には同一である。実施例８のものにおいて、実施例７と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００６５】
実施例８の磁気ヘッドスライダ１は、流入側に形成された１つの流入パッド１１と流出側に形成された１つの流出パッド１２から構成する２パッドスライダである。流入パッド１１の傾斜面１１ａは、シリンダ型媒体面３ａの凸面に沿うようにシリンダ型媒体３の半径と同じ１２．７ｍｍかあるいはやや大きい曲率半径Ｒ１の凹面の曲面としている。これによって、流入パッド１１で発生する圧力ピークを大きなものとすることができる。流入パッド１１の曲面は、公知の加工技術で製造する。磁気ヘッドスライダ１の製造手順は実施例７の磁気ヘッドスライダ１と同じである。
【００６６】
実施例６〜８の磁気ヘッドスライダ１は、流入パッド１１と流出パッド１２を別々に加工した後、接着させる方法で製造するが、流入パッド１１と流出パッド１２とを一体で製造して本体部１０に接着することも可能である。
【００６７】
次に、本発明の実施例９について図１５及び図１６を参照しながら説明する。図１５は本発明の実施例９の磁気ヘッドスライダの説明図で、図１５（ａ）は同磁気ヘッドスライダの斜視図、図１５（ｂ）は同磁気ヘッドスライダの正面図、図１５（ｃ）は同磁気ヘッドスライダの動作状態を示す正面図である。図１６は図１５の磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する工程図である。実施例９は、以下に述べる通り実施例１と相違するものであり、その他の点については実施例１と基本的には同一である。実施例９のものにおいて、実施例１と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００６８】
実施例９の磁気ヘッドスライダ１は、サイドレール１３と、空気力学的に正圧力が発生する２つの流入パッド１１及び１つの流出パッド１２とから構成する負圧力利用型の３パッドステップスライダである。
【００６９】
実施例９の磁気ヘッドスライダ１は、浮上面全体をシリンダ型媒体面３ａの凸面に対して凹面になるように磁気ヘッドスライダ１の長手方向に曲げている。また、磁気ヘッドスライダ１の浮上面全体の曲率半径Ｒ２は、シリンダ型媒体面の半径Ｒと同じかあるいは大きな曲率半径である。この構成により、実施例９の磁気ヘッドスライダ１のシリンダ型媒体面上での浮上性能は、従来の平面の磁気ヘッドスライダのディスク型媒体面上と同様な浮上性能を得ることができる。シリンダ型媒体の半径Ｒが１２．７ｍｍの場合、スライダ浮上面全体の曲率半径Ｒ２も１２．７ｍｍかあるいはそれ以上となり、磁気ヘッドスライダ１の長手方向に曲げ量δｃは１５．３８８μｍとなる。
【００７０】
実施例９の磁気ヘッドスライダ１の製造手順は、次の通りである。
（１）スライダバー９Ａを図１６（ａ）に示すように作製する。即ち、再生用ＭＲヘッド及び記録用電磁誘導型磁気ヘッドから構成する記録再生素子１ｂ、磁気ヘッド１ｃ及び接続端子１ｄをリソグラフィ技術を適用して複数組形成する。
（２）次いで、係るスライダバー９Ａを図１６（ｂ）に示すように作成する。即ち、スライダバー９Ａの表面（記録再生素子１ｂがある面）をシリンダ型媒体面の凸面に対して曲率半径Ｒ２の凹面になるように曲げ成形する。このスライダバー９Ａは、裏面（記録再生素子１ｂのない面）あるいは表面（記録再生素子１ｂある面で深溝部分）に、細長い形状の溝を、先端が尖った硬い棒でスライダバー９Ａの長手方向あるいは幅方向に引掻いて作製する。この細長い溝によりスライダの厚さ方向に残留応力状態が変化するため、スライダバー９Ａの表面を凹面になるように曲げることが可能である。
（３）次いで、リソグラフィ技術を適用して、スライダバー９Ａの凹面に浮上面を形成する。
（４）次いで、スライダバー９Ａを各組毎に切断して図１５に示す磁気ヘッドスライダ１を作製する。
【００７１】
次に、本発明の実施例１０について図１７から図１８を参照しながら説明する。図１７は本発明の実施例１０の磁気ヘッドスライダの説明図で、図１７（ａ）は同磁気ヘッドスライダの斜視図、図１７（ｂ）は同磁気ヘッドスライダにおける圧力分布図である。図１８は図１７の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の動作説明図で、図１８（ａ）〜（ｃ）は磁気ヘッドスライダの異なる傾き状態の正面図である。実施例１０は、以下に述べる通り実施例１と相違するものであり、その他の点については実施例１と基本的には同一である。実施例１０のものにおいて、実施例１と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００７２】
実施例１０の磁気ヘッドスライダ１は、流出側に形成された流出パッド１２から構成する１パッドスライダである。実施例１０の磁気ヘッドスライダの周速が１０ｍ/ｓの場合における圧力分布を図１７（ｂ）に示す。この図より明なように、磁気ヘッドスライダ１には、流出パッド１２にのみ圧力ピークが発生する。
【００７３】
実施例１０の磁気ヘッドスライダ１の製造手順は、次の通りである。
（１）磁気ヘッドスライダ１の本体部１０における流入端１１６ｄから流出端１１６ｅまでのディスク対向面を平面に形成する。この平面は記録再生素子１ｂが露出した平面（流出パッド１２の平面）と同一平面である。
（２）流出パッド１２を、公知のリソグラフィ技術を適用して、エッチング加工で製造する。流出パッド１２の長さＬ２、幅ｗ２及び高さδｒは実施例１と同じである。
【００７４】
実施例１０の磁気ヘッドスライダ１は、流入パッドがないため、実施例１の磁気ヘッドスライダ１に比べて加工が容易である。
【００７５】
実施例１０の磁気ヘッドスライダ１の浮上状態は、図１８（ａ）の側面図に示す通りである。ディンプル２３は、荷重用ビーム部２１から押し付けられた押付荷重Ｆを磁気ヘッドスライダに作用させる荷重作用点として設けられている。磁気ヘッドスライダ１の姿勢高さをＡＧとすると、スライダ支持体２は、ＡＧ＝０にするために、ディンプル２３の周りにピッチ方向にピッチ角度θｐが大きくなる方向に荷重モーメントＭｐを加えるように構成されている。磁気ヘッドスライダ１は、ディンプル２３の位置で押付荷重Ｆ、荷重モーメントＭｐ、空気力学的に発生する浮上力Ｑとが釣り合い、流出端浮上量ｈ２、素子位置浮上量ｈgapを一定に保ちながら動的に安定浮上している。
【００７６】
ここで、磁気ヘッドスライダ１の押付荷重Ｆは６９．１ｍＮ、荷重モーメントＭｐは２．４５４ｍNｍｍ、ディンプル位置ｘｐ/Ｌは０．５、ｙｐ/ｗは０．５である。δｒは６μｍである。流出パッド１２の形状は長さ０．１ｍｍ、幅０．２ｍｍである。素子位置浮上量ｈgapは２９．９ｎｍ、流出端浮上量ｈ２は４５．４ｎｍである。
【００７７】
ディンプル２３の周りに荷重モーメントＭｐを加える方法としては、図１８（ｂ）に示すように、ジンバル部２２の曲げ角度θmpで調整する。ただし、図１８（ｃ）に示すように、曲げ角度θmpには限界があり、曲げ過ぎるとジンバル部２２が荷重用ビーム部と接触する。この曲げ角度θmpの最大値をθmpmaxとする。このθmpmaxは、ディンプル２３の高さ、ジンバル部２２の長さに依存する。従来のサスペンションのθmpmaxは、約２００ｍｉｎである。ディンプル位置Ｘｐと荷重モーメントＭｐとの関係式は、Ｘｐ＝Ｘp0−Ｍp／（ＦＬ）となる。ここで、Ｘp0はＭp＝０時のディンプル２３の位置を表わす。
【００７８】
次に、実施例１０の磁気ヘッドスライダ１を用いた場合の各種特性について図１９及び図２０を参照しながら説明する。
【００７９】
図１９（ａ）に、実施例１０の磁気ヘッドスライダを用いて、周速１０ｍ/ｓ、荷重モーメントＭｐ、流出パッド幅０.２ｍｍを一定にした条件で、溝深さδｒを０．２μｍから６μｍまで変化した時の、流出パッド長Ｌ２と素子位置浮上量ｈgapとの関係を計算した結果を示す。
【００８０】
図１９（ｂ）に、図１９（ａ）の入力データとして、溝深さδｒに対する荷重モーメントＭｐを示す。この荷重モーメントＭｐは、素子位置浮上量ｈgapが３０ｎｍの場合、スライダ姿勢がほぼフラット（ＡＧ＝８〜４０ｎｍ）になるように求めた値である。
【００８１】
図２０（ａ）に、流出パッド長Ｌと押付荷重Ｆの関係を計算した結果を示す。図より、流出パッド長Ｌが大きくなっても、スライダ姿勢がほぼフラット（ＡＧ＝８〜４０ｎｍ）になる時の押付荷重Ｆの変化は小さい。また、溝深さδｒが小さくなると、押付荷重が大きくなることが分かる。
図２０（ｂ）に、溝深さδｒに対する曲げ角度θmpを示す。スライダ姿勢がほぼフラット（ＡＧ＝８〜４０ｎｍ）になる時の曲げ角度θmpは大きくなることが分かる。図２０（ａ）（ｂ）より、溝深さδｒが小さくなると、流出パッド以外の流出端近傍に圧力が発生する。その大きな浮上力Qと釣り合い、スライダ姿勢をフラットにさせるためには、大きな押付荷重と大きな荷重モーメントが必要になることが分かる。ただし、曲げ角度θmpには限界があり、図２０（ｂ）に示すように、溝深さδｒは１．５μｍ以上となる。
【００８２】
次に、本発明の実施例１１について図２１、図２２及び図２３を参照しながら説明する。図２１は本発明の実施例１１の磁気ヘッドスライダの斜視図、図２２及び図２３は図２１の磁気ヘッドスライダの製造途中を示す斜視図である。実施例１１は、以下に述べる通り実施例１と相違するものであり、その他の点については実施例１と基本的には同一である。実施例１１のものにおいて、実施例１と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００８３】
実施例１１の磁気ヘッドスライダ１の形状は、実施例１の磁気ヘッドスライダ１の形状とほぼ同じである。
【００８４】
実施例１１の磁気ヘッドスライダ１の製造手順は、次の通りである。
（１）磁気ヘッドスライダ１の本体部１０における流入端１１６ｄから流出端１１６ｅまでのディスク対向面を平面に形成する。この平面は記録再生素子１ｂが露出した平面（流出パッド１２の平面）と同一平面である。
（２）後工程の流入パッドを高精度に位置決めして、接着させるための溝１１７と流出パッド１２を、従来のリソグラフィ技術を適用して、エッチング加工で製造する。δｒは２μｍに設定する。溝１１７の溝深さδｒ1は流出パッド１２の溝深さδｒと同じ２μｍに設定する必要がないが、同じであれば、エッチング加工の回数は減り、低コスト化になるため、δｒ1＝２μｍに設定する。また、治具等を使って位置決めできるならば、溝１１７がなくてもよい。
（３）流入パッド１１を、従来のリソグラフィ技術を適用して、エッチング加工で製造する。流入パッド１１はアルミナチタンカーバイドあるいはエッチング加工のし易いシリコンの材料で形成する。
（４）磁気ヘッドスライダ１の本体部１０と流入パッド１１を位置決め用の溝１１７に合わせて接着させる。
【００８５】
このようにして製造した磁気ヘッドスライダ１においても、実施例１と同様の機能を有する。
【００８６】
次に、本発明の実施例１２について図２４及び図２５（ａ）（ｂ）（ｃ）を参照しながら説明する。図２４は本発明の実施例８の磁気ヘッドスライダの斜視図、図２５（ａ）（ｂ）（ｃ）は図２４の磁気ヘッドスライダの製造途中を示す斜視図である。実施例１２は、以下に述べる通り実施例１と相違するものであり、その他の点については実施例１と基本的には同一である。実施例１２のものにおいて、実施例１と共通する構成においては同じ効果を奏する。
【００８７】
実施例１２の磁気ヘッドスライダ１の形状は、実施例１の磁気ヘッドスライダ１の形状と段差部１１６ｃを有しないことを除いてほぼ同じである。
【００８８】
実施例１２の磁気ヘッドスライダ１の製造手順は、次の通りである。
（１）磁気ヘッドスライダ１の本体部１０における流入端１１６ｄから流出端１１６ｅまでのディスク対向面を平面に形成する。この平面は記録再生素子１ｂが露出した平面（流出パッド１２の平面）と同一平面である。
（２）流入パッド１１と流出パッド１２を、従来のリソグラフィ技術を適用して、エッチング加工で製造する。δｒは２μｍに設定する。
（３）磁気ヘッドスライダ１の本体部１０における流入端１１６ｄから０．５２ｍｍの位置に、後工程の曲げ加工を容易にするため、深さ約０．２５ｍｍ、幅約０．１ｍｍの溝１１８を従来の機械加工を適用して表面（浮上面）あるいは裏面に形成する。
（４）磁気ヘッドスライダ１の本体部１０における流入端１１６ｄから０．５２ｍｍ、曲げ量０．０５５ｍｍ、角度４．２７ｄｅｇで塑性変形させて曲げる。本発明の実施例８の磁気ヘッドスライダはスライダ１と流入パッド１１との接着工程が不要なため、量産性に適している。
【００８９】
このようにして製造した磁気ヘッドスライダ１においても、実施例１と同様の機能を有する。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の実施例１の磁気記録装置を側面から見た断面図である。
【図２】同磁気記録装置を正面から見た断面図である。
【図３】図１の磁気ヘッドスライダの説明図である。
【図４】図１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の分解斜視図である。
【図５】図１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の要部平面図である。
【図６】図１の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の動作説明図である。
【図７】本発明の実施例２の磁気ヘッドスライダの説明図である。
【図８】本発明の実施例３の磁気ヘッドスライダの説明図である。
【図９】本発明の実施例４の磁気ヘッドスライダの説明図である。
【図１０】本発明の実施例５の磁気ヘッドスライダの説明図である。
【図１１】本発明の実施例６の磁気ヘッドスライダの斜視図である。
【図１２】図１１の磁気ヘッドスライダの製造途中を示す斜視図である。
【図１３】本発明の実施例７の磁気ヘッドスライダの説明図である。
【図１４】本発明の実施例８の磁気ヘッドスライダの斜視図である。
【図１５】本発明の実施例９の磁気ヘッドスライダの説明図である。
【図１６】図１５の磁気ヘッドスライダの製造方法を説明する工程図である。
【図１７】本発明の実施例１０の磁気ヘッドスライダの説明図である。
【図１８】図１７の磁気ヘッドスライダおよびその支持体の動作説明図である。
【図１９】本発明の実施例１０の磁気ヘッドスライダの溝深さ及び流出パッド長と素子位置浮上量との関係、溝深さと荷重モーメントとの関係を示す図である。
【図２０】実施例１０の磁気ヘッドスライダの溝深さ及び流出パッド長と押付荷重との関係、溝深さと曲げ角度との関係を示す図である。
【図２１】本発明の実施例１１の磁気ヘッドスライダの斜である。
【図２２】図２１の磁気ヘッドスライダの製造途中を示す斜視図である。
【図２３】図２１の磁気ヘッドスライダの製造途中を示す斜視図である。
【図２４】本発明の実施例８の磁気ヘッドスライダの斜視図である。
【図２５】図２４の磁気ヘッドスライダの製造途中を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００９１】
１…磁気ヘッドスライダ、１ｂ…記録再生素子、１ｃ…磁気ヘッド、１ｄ…接続端子、２…スライダ支持体、３…シリンダ型媒体、３ａ…磁気記録媒体面、１０…本体部、１１…流入パッド、１１ａ…傾斜面、１１ｂ…流出端面、１２…流出パッド、１２ａ…平坦面、１３…サイドレール、２０…支持部、２１…荷重用ビーム部、２２…ジンバル部、２３…ディンプル（荷重用突起部）、３１…媒体駆動部、３２…スライダ駆動部、３３…支持アーム、３４…処理回路、３５…コネクタ、３６…ケース、５０…磁気記録装置、１１６…ディスク対向面、１１６ａ…流入側の面、１１６ｂ…流出側の面、１１６ｃ…段差部、１１６ｄ…流入端面、１１６ｅ…流出端面、１１７…流入パッドの接着用の溝、１１８…曲げ加工用の溝。
【図１】
2005129147.tif 000003
【図２】
2005129147.tif 000004
【図３】
2005129147.tif 000005
【図４】
2005129147.tif 000006
【図５】
2005129147.tif 000007
【図６】
2005129147.tif 000008
【図７】
2005129147.tif 000009
【図８】
2005129147.tif 000010
【図９】
2005129147.tif 000011
【図１０】
2005129147.tif 000012
【図１１】
2005129147.tif 000013
【図１２】
2005129147.tif 000014
【図１３】
2005129147.tif 000015
【図１４】
2005129147.tif 000016
【図１５】
2005129147.tif 000017
【図１６】
2005129147.tif 000018
【図１７】
2005129147.tif 000019
【図１８】
2005129147.tif 000020
【図１９】
2005129147.tif 000021
【図２０】
2005129147.tif 000022
【図２１】
2005129147.tif 000023
【図２２】
2005129147.tif 000024
【図２３】
2005129147.tif 000025
【図２４】
2005129147.tif 000026
【図２５】
2005129147.tif 000027