(57)【要約】【課題】  水等の液体の通水性に優れ、上記基板等に対する耐傷付き性に優れるウエハーラック用吸水性部材及びその製造方法並びにウエハーラックを提供する。【解決手段】  本発明のウエハーラック用吸水性部材１は、アルミナ等からなる多孔性基材１１と、この多孔性基材１１の少なくとも１開口表面に配設され、貫通孔１３を有する高分子膜１２と、を備え、上記高分子膜は、感光性樹脂組成物から形成されている。本発明のウエハーラック用吸水性部材の製造方法は、多孔性基材の開口面の少なくとも一部に感光性樹脂組成物からなる膜を設けて複合体とする複合体作製工程と、所定のパターンを有するマスクを上記膜の上に配して露光し、硬化膜とする露光工程と、上記マスクを取り除いた後現像処理して上記硬化膜に貫通孔を形成する現像工程とを備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔性基材と、該多孔性基材の開口面の少なくとも一部に配設され、且つ、貫通孔を有する高分子膜と、を備えるウエハーラック用吸水性部材であって、上記高分子膜は、感光性樹脂組成物から形成された硬化膜であることを特徴とするウエハーラック用吸水性部材。
【請求項２】
上記多孔性基材の気孔の平均径が５〜１００μｍであり、且つ、気孔率が３０％以上である請求項１に記載のウエハーラック用吸水性部材。
【請求項３】
上記多孔性基材は、珪素化合物又はアルミニウム化合物から構成される請求項１又は２に記載のウエハーラック用吸水性部材。
【請求項４】
上記貫通孔の開口径が１０〜１０００μｍである請求項１乃至３のいずれかに記載のウエハーラック用吸水性部材。
【請求項５】
上記高分子膜の厚さが５〜１００μｍである請求項１乃至４のいずれかに記載のウエハーラック用吸水性部材。
【請求項６】
本ウエハーラック用吸水性部材の通気率は、上記多孔性基材の通気率を１００％とした場合、６０％以上である請求項１乃至５のいずれかに記載のウエハーラック用吸水性部材。
【請求項７】
多孔性基材の開口面の少なくとも一部に感光性樹脂組成物からなる膜を設けて複合体とする複合体作製工程と、所定のパターンを有するマスクを上記膜の上に配して露光し、硬化膜とする露光工程と、上記マスクを取り除いた後現像処理して上記硬化膜に貫通孔を形成する現像工程とを備えることを特徴とするウエハーラック用吸水性部材の製造方法。
【請求項８】
上記複合体作製工程における上記複合体は、上記膜を上記多孔性基材に圧着して得られたものである請求項７に記載のウエハーラック用吸水性部材の製造方法。
【請求項９】
上記複合体作製工程における上記複合体は、上記膜がベースフィルム上に形成されてなる積層体から転写されたものである請求項７に記載のウエハーラック用吸水性部材の製造方法。
【請求項１０】
請求項１乃至６のいずれかに記載のウエハーラック用吸水性部材を備えることを特徴とするウエハーラック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水等の液体の通水性に優れ、上記基板等に対する耐傷付き性に優れるウエハーラック用吸水性部材及びその製造方法並びにそれを用いたウエハーラックに関する。
本発明のウエハーラック用吸水性部材は、ウエハー等の各種基板等を水等の液体で洗浄した後の保持部材、保護部材、支持部材等として用いられ、この部材を必要箇所に固定する等によってウエハーラック等の保持部品、保護部品、支持部品等として用いることができる。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化が進むに従い、半導体分野ではウエハーの薄膜化等が進展している。この半導体分野におけるチップコスト削減は、ウエハーのサイズアップ、製造プロセスの時間短縮によるところが大きく貢献している。ウエハーは、一連の工程においてレジストを用いたフォトプロセスを通過する毎に数回の洗浄を繰り返されるために、フォトプロセスに費やす時間の全体に占める割合が大きくなってきている。これは、チップの構造が複雑化、多層化することによって更に顕著になり、洗浄工程での時間短縮はコストに大きく影響するようになってきた。その対策の１つに、水による洗浄後のウエハーの水切り速度、乾燥速度を大きくすることが挙げられている。水洗後のウエハーは、様々な支持台や保持具等で待機するが、この間に、ウエハーと、支持台あるいはホルダーとが接する接点に残る水はそのまま残ってしまい、即ち、水切れが完全でなく、時間短縮が達成されない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、水等の液体の通水性に優れ、上記基板等に対する耐傷付き性に優れるウエハーラック用吸水性部材及びその製造方法並びにそれを用いたウエハーラックを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、以下の通りである。
（１）多孔性基材と、この多孔性基材の開口面の少なくとも一部に配設され、且つ、貫通孔を有する高分子膜と、を備えるウエハーラック用吸水性部材であって、上記高分子膜は、感光性樹脂組成物から形成された硬化膜であることを特徴とするウエハーラック用吸水性部材。
（２）上記多孔性基材の気孔の平均径が５〜１００μｍであり、且つ、気孔率が３０％以上である上記（１）に記載のウエハーラック用吸水性部材。
（３）上記多孔性基材は、珪素化合物又はアルミニウム化合物から構成される上記（１）又は（２）に記載のウエハーラック用吸水性部材。
（４）上記貫通孔の開口径が１０〜１０００μｍである上記（１）乃至（３）のいずれかに記載のウエハーラック用吸水性部材。
（５）上記高分子膜の厚さが５〜１００μｍである上記（１）乃至（４）のいずれかに記載のウエハーラック用吸水性部材。
（６）本ウエハーラック用吸水性部材の通気率は、上記多孔性基材の通気率を１００％とした場合、６０％以上である上記（１）乃至（５）のいずれかに記載のウエハーラック用吸水性部材。
（７）多孔性基材の開口面の少なくとも一部に感光性樹脂組成物からなる膜を設けて複合体とする複合体作製工程と、所定のパターンを有するマスクを上記膜の上に配して露光し、硬化膜とする露光工程と、上記マスクを取り除いた後現像処理して上記硬化膜に貫通孔を形成する現像工程とを備えることを特徴とするウエハーラック用吸水性部材の製造方法。
（８）上記複合体作製工程における上記複合体は、上記膜を上記多孔性基材に圧着して得られたものである上記（７）に記載のウエハーラック用吸水性部材の製造方法。
（９）上記複合体作製工程における上記複合体は、上記膜がベースフィルム上に形成されてなる積層体から転写されたものである上記（７）に記載のウエハーラック用吸水性部材の製造方法。
（１０）上記（１）乃至（６）のいずれかに記載のウエハーラック用吸水性部材を備えることを特徴とするウエハーラック。
【発明の効果】
【０００５】
本発明のウエハーラック用吸水性部材によれば、繊細表面を有する基板、部材等との接触部において水等の液体を内部に浸透させ、部材表面に液体を残さず、通水性に優れる。また、高分子膜が配設されているので繊細表面を有する基板、部材等に傷を付けることがない。
上記多孔性基材の気孔の平均径が５〜１００μｍであり、且つ、気孔率が３０％以上である場合、また、上記貫通孔の開口径が１０〜１０００μｍである場合には、より通水性に優れる。
上記高分子膜の厚さが５〜１００μｍである場合には、繊細表面を有する基板、部材等に対する耐傷付き性に優れる。
本発明のウエハーラック用吸水性部材の製造方法によれば、所望の開口径を有する貫通孔を効率よく、且つ、精度よく形成することができる。
本発明のウエハーラックによれば、洗浄等の後の基板、部材等の通水性に優れ、傷を付けることなく保持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明を更に詳しく説明する。
１．ウエハーラック用吸水性部材
本発明に関わる「多孔性基材」としては、１面から他面に貫通する気孔を有するものであれば、その構成材料、物性等が特に限定されるものではない。但し、気孔の平均径は、好ましくは５〜１００μｍであり、より好ましくは５〜８０μｍ、更に好ましくは１０〜５０μｍである。上記平均径が小さすぎると、高分子膜と多孔性基材との密着性が不十分となる傾向にあり、一方、大きすぎると、開口部が外観上、凹部となり、高分子膜自体に強度がない場合には、本ウエハーラック用吸水性部材表面の平面性が不十分となる場合がある。
また、気孔率は、好ましくは３０％以上であり、より好ましくは３０〜９０％、更に好ましくは３５〜８０％である。気孔率が小さすぎると、通水性が不十分となる傾向にある。
【０００７】
上記多孔性基材の構成材料としては、セラミックス、ガラス、金属（合金を含む）等の無機材料が挙げられる。
セラミックスとしては、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化ケイ素、ムライト、コーディライト、酸化アルミニウム−酸化ケイ素、酸化チタン等の酸化物、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の窒化物、炭化ケイ素等の炭化物等が挙げられる。
ガラスとしては、シリカ系ガラス等が挙げられる。
金属としては、アルミニウム、アルミニウム合金等が挙げられる。
上記各材料のうち、ケイ素化合物、アルミニウム化合物が好ましい。
【０００８】
上記多孔性基材のヤング率は、好ましくは３０ＧＰａ以上であり、より好ましくは３０〜２００ＧＰａ、更に好ましくは４０〜１００ＧＰａである。ヤング率が３０ＧＰａ未満では、本ウエハーラック用吸水性部材に接する基板等を安定に支持あるいは保持できない場合がある。
【０００９】
上記多孔性基材の形状は、目的、用途等により選択され、板状（平面、曲面）、棒状、筒状、球状体、多面体等とすることができる。各表面には凹凸を有してもよい。また、上記多孔性基材の厚さも特に限定されないが、例えば、板状の場合、通常、１〜５０ｍｍ、好ましくは１〜３０ｍｍ、より好ましくは３〜１０ｍｍである。
【００１０】
本発明に関わる「高分子膜」は、貫通孔を有するものであれば、どのような感光性樹脂組成物から形成された硬化膜であってもよい。この高分子膜は、上記多孔性基材の開口面の少なくとも一部に配設されるものであり、開口面の全面であってもよいし、一部であってもよい。
尚、上記感光性樹脂組成物としては、公知の光分解型感光性樹脂、ポリビニルケイ皮酸系等の光二量化型感光性樹脂、不飽和ポリエステル系、アクリレート系、エン・チオール系、エポキシ系等の光重合型感光性樹脂等を用いることができる。
【００１１】
上記貫通孔の断面形状は、例えば、円形、楕円形、半円形、角形（三角形、四角形、五角形等）、星形等とすることができる。
上記貫通孔の開口径（開口部の最大長さをいう。）は特に限定されないが、好ましくは１０〜１０００μｍ、より好ましくは５０〜５００μｍ、更に好ましくは１００〜３００μｍである。また、隣り合う貫通孔どうしの間隔は、好ましくは５０〜１００００μｍ、より好ましくは１００〜５０００μｍ、更に好ましくは２００〜１０００μｍである。このように、上記貫通孔が所定の開口径及び間隔を有することにより、本ウエハーラック用吸水性部材はより通水性に優れる。
尚、上記貫通孔は、断面形状及び開口径を維持しながら柱状にまっすぐ伸びたものであってもよいし、中間部において断面形状又は径が異なることによって、高分子膜内部において折れ曲がっていてもよい。
【００１２】
また、高分子膜表面において、全貫通孔が占める面積は、上記高分子膜の表面積に対して、好ましくは５〜５０％であり、より好ましくは１０〜４０％、更に好ましくは１０〜３０％である。この割合が５％未満では、本ウエハーラック用吸水性部材の通水性が劣る傾向にあり、一方、５０％を超えると、上記高分子膜が多孔性基材と密着する面積が小さくなりすぎ、剥がれが発生する場合がある。
【００１３】
上記高分子膜の厚さは、好ましくは５〜１００μｍ、より好ましくは５〜８０μｍ、更に好ましくは１０〜５０μｍである。このように、上記厚さを有することにより、高分子膜に接する部材と高分子膜の耐摩耗性、多孔性基材に対する高分子膜の密着性を確保することができる。尚、上記厚さが５μｍ未満では、高分子膜が多孔性基材から剥がれる場合があり、更には、高分子膜を部分的に失うことによって繊細表面を有する基板、部材等への耐傷付き性能が低下する傾向にある。一方、１００μｍを超えると、貫通孔の作製時にパターニングが難しくなる場合がある。
尚、上記高分子膜は、１種単独の膜からなるものであってもよいし、全体として貫通孔を形成するものであれば、構成材料あるいは開口径の異なる２種以上の膜を積層してなるものであってもよい。
【００１４】
本発明のウエハーラック用吸水性部材は、多孔性基材と、この多孔性基材の少なくとも１開口表面に配設される高分子膜とを備えるものであるが、これらはどのような構造によって本ウエハーラック用吸水性部材を構成していてもよい。即ち、本ウエハーラック用吸水性部材１は、図１に示すように、多孔性基材１１と、貫通孔１３を有する高分子膜１２が完全に接合され（密着し）てなるものであってもよいし、図２及び図３に示すように、多孔性基材１１及び高分子膜１２が部分的に接合され（密着し）てなるものであってもよい。図２は、高分子膜１２が多孔性基材１１よりはみ出した部分を有するウエハーラック用吸水性部材を示し、図３は、凹部１４を有する多孔性基材１１に高分子膜１２が形成されているウエハーラック用吸水性部材を示す。
また、本ウエハーラック用吸水性部材は、多孔性基材の形状に大きく依存するが、目的、用途に応じた形状及び構造とすることができる。高分子膜は、多孔性基材の表面の一部に有してもよいし、全表面に高分子膜を有してもよいが、少なくとも基板等と接触する部位においては、高分子膜を備えることが必要である。高分子膜が複数の位置に配設される場合には、各高分子膜が異なる性質を有するものであってもよい。
上記多孔性基材及び上記高分子膜は、接合部（密着部）においては高い密着性を有することが好ましく、例えば、接着、粘着、圧着、融着等の方法等によってウエハーラック用吸水性部材を構成することができる。尚、本ウエハーラック用吸水性部材の具体的な製造方法は、以下で述べる。
【００１５】
本発明のウエハーラック用吸水性部材は、その通気率が、上記多孔性基材単独の通気率を１００％とした場合、好ましくは６０％以上、より好ましくは７０％以上、更に好ましくは８０％以上である。上記通気率が高いほど、より高い吸水性を維持することができる。尚、上記通気率が６０％未満では、吸水能力が大幅に低下し、水洗後等のウエハーの水切りに要する時間が長くなる場合がある。
【００１６】
本発明のウエハーラック用吸水性部材は、多孔性基材の高分子膜の存在しない側に、更に支持層を備えることができる。この支持層によって、ウエハーラック用吸水性部材の強度をより高めることができる。また、この支持層を構成する材料、厚さ等は特に限定されない。
【００１７】
本発明のウエハーラック用吸水性部材は、固体成分を実質含有しない水、水溶液、有機溶剤等に対して好適である。これら水等は、高分子膜表面に存在する間もなく、貫通孔を通じ、内部の多孔性基材の中へ吸水されるように浸透する。尚、溶質の濃度が高い水溶液を用いる場合、浸透性、通水性は粘度に左右されることがあるが、高分子膜の存在しない側から真空引きをする等によって、通水性を発揮させることもできる。
また、本発明のウエハーラック用吸水性部材は、用途に応じた形状で用いることができ、例えば、平板形状のウエハーラック用吸水性部材をそのまま吸水部品、通水部品等として用いてもよいし、溝形状、凹部等を有するウエハーラック用吸水性部材を必要箇所に固定した吸水部品、通水部品等として用いてもよい。
【００１８】
上記吸水部品の例としては、図４及び図５に示すウエハーラックが挙げられる。図４のウエハーラック２は、ウエハー３を１枚ずつ保持するための溝部と、ウエハーラック２及びウエハー３の下端の接触部に配設された長尺状のウエハーラック用吸水性部材１と、を備える。このウエハーラック２を用い、水洗後等のウエハーを１枚ずつ立てかけて待機させるが、ウエハー３に付着している水等は、次第に下方へ滴れ、ウエハー３の下部に溜まり、高分子膜の表面に触れた瞬間、貫通孔を通して、ウエハーラック用吸水性部材１の内部に移動する。
また、図５のウエハーラック２は、４本の保持棒２１ａ〜２１ｄの溝にウエハー（図示せず）を立てかけるものである。ウエハーの下端部が接触する溝の内面には、ウエハーの接触端部と完全接触するようにウエハーラック用吸水性部材１が配設されている。尚、図５は、ウエハーラック用吸水性部材１の配設された溝を明示するために、ウエハーラック２を回転させて示した。
このように、ウエハーの端部に残った水を瞬時に除去することで、清浄なウエハーを次工程で用いることができる。ウエハーの端部に水が残ったまま乾いてしまうと、乾燥痕が残ってしまい、後の工程における汚染源となりかねない。
【００１９】
３．ウエハーラック用吸水性部材の製造方法
本発明のウエハーラック用吸水性部材の製造方法を以下に説明する。
本発明のウエハーラック用吸水性部材の製造方法は、多孔性基材の開口面の少なくとも一部に感光性樹脂組成物からなる膜を設けて複合体とする複合体作製工程と、所定のパターンを有するマスクを上記膜の上に配して露光し、硬化膜とする露光工程と、上記マスクを取り除いた後現像処理して上記硬化膜に貫通孔を形成する現像工程とを備える。
【００２０】
上記複合体作製工程は、多孔性基材の所望の位置に感光性樹脂組成物からなる膜（未硬化膜）を設けるものである。この多孔性基材は、上記における説明をそのまま適用することができるが、特に、ヤング率が３０ＧＰａ以上である多孔性基材を用いることによって、以下で説明する圧着、転写等による複合体の作製をより容易なものとすることができる。
上記感光性樹脂組成物としては、例えば、特開平６−４３６３８号公報に記載された感放射線性樹脂組成物、特開２０００−６６３８６号公報等に記載された光重合性組成物等公知の組成物を用いることができる。
【００２１】
本発明において、均一面を有するウエハーラック用吸水性部材を製造する場合には、特に感光性樹脂組成物からなる未硬化フィルムを用いることが好ましい。このような未硬化フィルムを用いると、所望の膜厚の高分子膜を備えるのみならず、多孔性基材の開口部を過度に塞ぐことなく、所望の物性を備えるウエハーラック用吸水性部材とすることができる。上記未硬化フィルムとしてはドライフィルムレジストを用いて複合体とすることが特に好ましく、このドライフィルムレジストとしては、上記公報により得られるもの以外に、市販のアルカリ現像型のネガ型ドライフィルム、例えば、旭化成社製「サンフォートシリーズ」、日立化成社製「フォテックシリーズ」等のプリント基板用ドライフィルム等を用いることもできる。このようなドライフィルムレジストは、多孔性基材の所望の位置に、そのまま圧着してもよいし、あるいは、感光性樹脂組成物からなる膜がベースフィルム上に形成されてなる積層体から転写してもよい。
【００２２】
ドライフィルムを多孔性基材に圧着する際には、圧力、速度、温度及びドライフィルムのガラス転移温度の４つから選ばれるパラメーターを調節することにより密着性を高めることができる。即ち、ドライフィルムの接触面が多孔性基材の開口部に食い込むことにより高い密着性が得られる。尚、このドライフィルムの食い込み度は、上記パラメーターをうまく制御することで調節することができる。その食い込み量は、配設しようとするドライフィルムの膜厚の５〜５０％が好ましく、より好ましくは１０〜３０％である。食い込み量が少ないと、多孔性基材との密着が不十分となる傾向にあり、一方、食い込み量が多過ぎると、多孔性基材の気孔を塞ぐこととなり、結果として通気率の低下したウエハーラック用吸水性部材を得ることとなる。
また、感光性樹脂組成物からなる膜がベースフィルム上に形成されてなる積層体から転写する場合も上記と同様であり、感光性樹脂組成物からなる膜は、ベースフィルムからの剥離と同時に多孔性基材上に転写される。
【００２３】
上記のいずれの方法においても、上記膜の厚さを５〜１００μｍとすることが好ましい。このような厚さとすることによって、後の工程を効率よく行うことができる。即ち、多孔性基材に対し、上記膜（未硬化膜）の密着性を高くすることができ、現像処理による未露光部の除去がより容易となる。より好ましい厚さは１０〜７０μｍであり、特に好ましくは２０〜６０μｍである。尚、上記厚さが５μｍ未満では、上記膜を感光して得られる硬化膜が多孔性基材から剥がれる場合があり、また、硬化膜に接するウエハーとの摩擦による硬化膜の摩耗が著しくなる傾向にあり、一方、１００μｍを超えると、貫通孔を形成するためのパターニングが難しくなる傾向にある。
【００２４】
上記複合体作製工程によって得られた複合体は、露光工程によって、感光性樹脂組成物からなる未硬化膜を硬化させた後に形成することとなる貫通孔の形状及び大きさに基づいたパターンを描く。貫通孔の形状及び大きさは、上記のとおりである。
上記露光工程において、高分子膜を形成しようとする多孔性基材の表面積に対して、５〜５０％の面積に相当する部分に貫通孔が形成されるようなパターンを有するマスク（フォトマスク）を用いることが好ましい。更には、貫通孔の大きさ、及び、隣り合う貫通孔どうしの間隔をそれぞれ同じとすることが好ましい。
尚、この露光工程における露光条件等は特に限定されず、上記複合体の形成に用いた感光性樹脂組成物によって適宜選択すればよい。
【００２５】
上記露光工程の後、マスクを取り除き、現像処理によって硬化膜に貫通孔を形成する現像工程に移る。この現像工程における現像処理条件は特に限定されず、上記複合体の形成に用いた感光性樹脂組成物によって適宜選択すればよい。通常、アルカリ現像液によって行われる。尚、この現像処理においては、アルカリ現像液が多孔性基材中にしみ込み、しみ込んだ現像液による現像に留意する必要があり、現像処理は、上記多孔性基材にしみ込もうとする現像液を吸引しながら行うことが好ましい。
【００２６】
上記現像工程の後、必要に応じて、残った硬化膜を熱、光等により処理して貫通孔を有する高分子膜とし、本発明のウエハーラック用吸水性部材を得ることができる。例えば、感光性樹脂組成物に光硬化剤を含む場合には、残った硬化膜の内部において、この光硬化剤が経時変化をすることがあるので、加熱によって、光硬化反応を完結することができる。このときの温度は、組成物に含まれる重合体成分のガラス転移温度より５〜３０℃低いことが好ましい。
【００２７】
以上のようにして得られた本発明のウエハーラック用吸水性部材は、目的、用途に応じて、高分子膜表面を、薬品、蒸気等の化学的処理、紫外線、電子線、レーザー、イオンビーム等の放射線照射、プラズマ処理、コロナ放電等の物理的処理に例示される公知の表面処理法によって改質し、所望の性質に調整することができる。
【００２８】
尚、本発明のウエハーラック用吸水性部材は、例えば、（ａ）多孔性基材の表面に、貫通孔のない高分子膜を接合した後、貫通孔を形成する方法、（ｂ）多孔性基材の表面に、貫通孔を有する高分子膜を接合する方法、（ｃ）多孔性基材の表面に、高分子膜を形成することとなる組成物を塗布し、膜形成させた後、貫通孔を形成する方法等によって得ることもできる。
【実施例】
【００２９】
以下、例を挙げて本発明を具体的に説明する。尚、以下に示す例において、特記しない限り、「部」及び「％」は質量基準である。
【００３０】
１．感光性樹脂組成物用アクリル樹脂の製造
合成例１
メタクリル酸メチル（ＭＭＡ）３５ｇ、メタクリル酸フェニル（ＰＭＡ）４０ｇ、メタクリル酸プロピレングリコールポリエチレングリコール２０ｇ、コハク酸モノ２−メタクリロイルオキシエチル（ＣＭＥ）２５ｇ及び２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１ｇの混合溶液を、８０℃に加温したプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１２０ｇの中に２時間かけて滴下し、８０℃に維持したまま更に３時間重合反応を行った。
得られた反応溶液を３０℃まで冷却した後、グリシジルメタクリレート３ｇを加えて１時間反応させ、側鎖カルボキシル基を部分的に修飾した。次いで、得られた反応物をヘキサン中に投入して再沈精製を行った。その後、精製物を乾燥させ、９５ｇのアクリル樹脂（Ａ）を回収した。
【００３１】
合成例２
メタクリル酸メチル（ＭＭＡ）５５ｇ、メタクリル酸メトキシポリエチレングリコール（ＰＥＭＡ）２０ｇ、コハク酸モノ２−メタクリロイルオキシエチル（ＣＭＥ）２５ｇ及び２，２’−アゾビスイソブチロニトリル１ｇの混合溶液を、８０℃に加温したプロピレングリコールモノメチルエーテル１２０ｇの中に２時間かけて滴下し、８０℃に維持したまま更に３時間重合反応を行った。
得られた反応溶液を３０℃まで冷却した後、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート（商品名「カレンズＭＯＩ」、昭和電工社製）５ｇを加えて１時間反応させ、側鎖カルボキシル基を部分的に修飾した。次いで、得られた反応物をヘキサン中に投入して再沈精製を行った。その後、精製物を乾燥させ、９０ｇのアクリル樹脂（Ｂ）を回収した。
【００３２】
２．ウエハーラック用吸水性部材の製造及び評価
実施例１
長さ１８０ｍｍ、幅１０ｍｍ及び厚さ５ｍｍの多孔質炭化珪素基板（平均気孔径３０μｍ、気孔率４０％及びヤング率６０ＧＰａ）の片側全面に、アルカリ現像型感光性フィルム（商品名「フォテックＨ２３５０」、日立化成工業社製）を９０℃、２ｋｇｆ／ｃｍ２及び１ｍ／ｍｉｎの条件でラミネート塗布し、基板表面からの膜厚が４０μｍである膜とし、複合体を得た。
その後、上記膜上に、露光用マスク（口径１５０μｍの円形パターンを全面積の１５％に形成するマスク）を配し、超高圧水銀灯を用いて、ｉ線（波長３６５ｎｍの紫外線）を照射し（照射量２００ｍＪ／ｃｍ２）、露光処理を行った。次いで、露光処理後のレジスト膜に対して、０．２％のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）水溶液を現像液とするシャワー法による現像処理を３０℃で５０秒間行った。その後、上記基板の裏側からしみ込み液を吸引しながら超純水による水洗処理を行い、紫外線が照射されていない部分の未硬化部分を除去し、図１に示すような部材（Ａ）を得た。
得られた部材（Ａ）の高分子膜の表面を顕微鏡（×１００倍）により観察し、口径１５０μｍの貫通孔が形成されていることを確認した。
また、上記部材（Ａ）の通気性を高分子膜形成前の炭化珪素基板単独の場合と比較すると、圧力損失は５％の低下に留まり、十分な通気性を示した。
更に、部材（Ａ）の高分子膜表面に水を滴下してみると瞬時に内部に浸透し、膜表面には全く水が残っておらず、吸水性能も十分であることが分かった。
上記部材（Ａ）を吸水性部材として、図４に示すウエハーラックの底部の、ウエハーと接する部分に配設し、水洗した８インチウエハーを２５枚入れたところ、ウエハー上の水滴は、吸水性部材の表面から内部へ瞬時に吸水され、５秒で完全に水切りできた。一方、吸水性部材を配設しないウエハーラックでは６０秒を要した。
【００３３】
尚、上記多孔性基材（多孔質炭化珪素基板）の平均気孔径、気孔率及びヤング率、並びに、得られた部材（Ａ）の通気性は、以下に示す方法で測定した。
（ａ）平均気孔径
非破壊法であるバブルポイント法により測定した。多孔性基材（多孔質炭化珪素基板）に、表面張力γ及び多孔性基材構成材料（炭化珪素）に対する接触角θの明らかな液体を予め含浸させ、多孔性基材（多孔質炭化珪素基板）全体を液体中に浸漬した後に、多孔性基材（多孔質炭化珪素基板）の内側からガス圧をかけて気孔内の液体を置換し気泡を発生させる。気泡が初めて発生したときの圧力ΔＰ（液面からの深さに相当する圧力を差し引いた）を元に、最大気孔径ｒがｒ＝２γｃｏｓθ／ΔＰの計算式で求まるという原理を用いた。
（ｂ）気孔率
特開平８−１８９９２３号公報に記載の超音波を用いた方法により測定した。
（ｃ）ヤング率
非破壊打音式固有振動数／ヤング率測定器（商品名「グラインドソニック」、マツボー社製）を用いて測定した。
（ｄ）通気性
測定試料形状を直径２０ｍｍ及び厚さ５ｍｍの円盤状とし、これを内径２０ｍｍの筒の中央にセットし、試料を介して隔てた両側の圧力損失率を測定し、これを通気性の指標とした。
【００３４】
実施例２
アクリル樹脂（Ａ）２０部、エポキシ樹脂（商品名「エピコート１５４」、油化シェルエポキシ社製）１０部、光硬化剤（＝架橋剤、商品名「ＡＨ−６００」、共栄社製）８部、光重合開始剤として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルジフェニルホスフィンオキサイド６部及び２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン３部、染料として１−フェニル−３−メチル−４−（４−メチルフェニルアゾ）−５−オキシピラゾール１部、及び、希釈溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４２部を、３本ロールにて混練りすることにより、ペースト状の感光性樹脂組成物（ｉ）を調製した。
得られた感光性樹脂組成物（ｉ）を、幅１００ｍｍ、長さ１４０ｍｍ及び厚さ３８μｍのＰＥＴフィルム上にブレード式自動塗工装置を用いて流延塗布して、塗膜を９０℃で１０分間乾燥して溶媒を完全に除去し、厚さ５０μｍの皮膜を形成し、転写フィルム（ｘ）を作製した。
直径１６０ｍｍ及び厚さ５ｍｍの多孔質アルミナプレート（平均気孔径６０μｍ、気孔率３３％及びヤング率５０ＧＰａ）の片側全面に、上記で得られた転写フィルム（ｘ）を９０℃、２ｋｇｆ／ｃｍ２及び０．２ｍ／ｍｉｎの条件でラミネート塗布し、基板表面からの膜厚が３４μｍ（走査型電子顕微鏡による）である膜とし、複合体を得た。
その後、上記膜上に、露光用マスク（口径４０μｍの円形パターンを全面積の１５％に形成するマスク）を配し、上記超高圧水銀灯により、ｉ線を照射し（照射量２００ｍＪ／ｃｍ２）、露光処理を行った。次いで、露光処理後のレジスト膜に対して、０．２％のＴＭＡＨ水溶液を現像液とするシャワー法による現像処理を３０℃で５０秒間行った。その後、上記基板の裏側からしみ込み液を吸引しながら超純水による水洗処理を行い、紫外線が照射されていない部分の未硬化部分を除去した。
そして、この硬化膜付き複合体を更に２００℃で１時間熱処理し、追加硬化させ、部材（Ｂ）を得た。
得られた部材（Ｂ）の高分子膜の表面を顕微鏡（×２００倍）により観察し、口径５０μｍの貫通孔が形成されていることを確認した。
また、上記部材（Ｂ）の通気性を実施例１と同様にして測定したところ、圧力損失は２０％の低下であった。
次に、上記部材（Ｂ）を吸水性部材として、図４に示すウエハーラック２の底部の、ウエハーと接する部分に配設し、水洗した８インチウエハーを２５枚入れたところ、ウエハー上の水滴は、吸水性部材の表面から内部へ吸水され、１０秒で完全に水切りできた。更に、この操作を１０００回繰り返しても吸水性能は初期と同等であり、ウエハーには全く傷が付かなかった。一方、多孔質アルミナを高分子膜で被覆しなかった場合は、ウエハーの端部に、接触による小さな傷が認められた。
【００３５】
実施例３
アクリル樹脂（Ｂ）２０部、上記エポキシ樹脂「エピコート１５４」１０部、上記光硬化剤「ＡＨ−６００」（共栄社製）８部、光重合開始剤として２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルジフェニルホスフィンオキサイド６部及び２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン３部、染料として１−フェニル−３−メチル−４−（４−メチルフェニルアゾ）−５−オキシピラゾール１部、及び、希釈溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート４２部を、３本ロールにて混練りすることにより、ペースト状の感光性樹脂組成物（ｉｉ）を調製した。
得られた感光性樹脂組成物（ｉｉ）を、幅１００ｍｍ、長さ１４０ｍｍ及び厚さ３８μｍのＰＥＴフィルム上にブレード式自動塗工装置を用いて流延塗布して、塗膜を９０℃で１０分間乾燥して溶媒を完全に除去し、厚さ５０μｍの皮膜を形成し、転写フィルム（ｙ）を作製した。
長さ１８０ｍｍ、幅１０ｍｍ及び厚さ５ｍｍの多孔質セラミックス真空チャック（商品名「ＰＣ−ＶＡＣ」、フォトニクス社製、平均気孔径３０μｍ、気孔率３０％及びヤング率７０ＧＰａ）の全面に、上記で得られた転写フィルム（ｙ）を９０℃、２ｋｇｆ／ｃｍ２及び１ｍ／ｍｉｎの条件でラミネート塗布し、基板表面からの膜厚が３８μｍ（走査型電子顕微鏡による）である膜とし、複合体を得た。
その後、上記膜上に、露光用マスク（一辺が１５０μｍの四角パターンを全面積の１５％に形成するマスク）を配し、上記超高圧水銀灯により、ｉ線を照射し（照射量２００ｍＪ／ｃｍ２）、露光処理を行った。次いで、露光処理後のレジスト膜に対して、０．２％のＴＭＡＨ水溶液を現像液とするシャワー法による現像処理を３０℃で５０秒間行った。その後、上記真空チャックの裏側からしみ込み液を吸引しながら超純水による水洗処理を行い、紫外線が照射されていない部分の未硬化部分を除去した。
そして、この硬化膜付き複合体を更に２００℃で１時間熱処理し、追加硬化させ、部材（Ｃ）を得た。
上記部材（Ｃ）の高分子膜の表面を顕微鏡（×２００倍）により観察し、１５０μｍ角の貫通孔が形成されていることを確認した。
また、上記部材（Ｃ）の通気性を実施例１と同様にして測定したところ、圧力損失は２０％の低下であった。
次に、上記部材（Ｃ）を、図５に示すウエハーラック２の４本の保持棒２１ａ〜２１ｄの溝に合った所定形状としてこれを吸水性部材とした後、溝を残すようにして、高分子膜を表出させつつ吸水性部材を上記保持棒に埋め込み加工した。このウエハーラック２に水洗した８インチウエハーを２５枚入れたところ、ウエハー上の水滴は、吸水性部材の表面から内部へ吸水され、１０秒で完全に水切りできた。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明のウエハーラック用吸水性部材は、高分子膜の貫通孔を水等の液体の通り道とした透水部材、吸水部材等として用いることができ、水切りラック等の保持部品、保護部品、支持部品等に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明のウエハーラック用吸水性部材の一例を示す説明断面図である。
【図２】本発明のウエハーラック用吸水性部材の他の例を示す説明断面図である。
【図３】本発明のウエハーラック用吸水性部材の他の例を示す説明断面図である。
【図４】ウエハーラックの一例を示す説明斜視図である。
【図５】ウエハーラックの他の例を示す説明斜視図である。
【符号の説明】
【００３８】
１；ウエハーラック用吸水性部材、１１；多孔性基材、１２；高分子膜、１３；貫通孔、１４；多孔性基材の凹部、２；ウエハーラック、２１ａ〜２１ｄ；保持棒、３；ウエハー。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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