(57)【要約】【課題】外部から埃の入り込むことがない信頼性の高い静電シャッタ装置等を提供する。【解決手段】この静電シャッタ装置は、所定の大きさを持つ露光開口部２７と複数の駆動電極４ａ、４ｂを有する固定子１と、エレクトレット化された部位を有し上記駆動電極４ａ，４ｂの電荷により駆動力を受けて上記の固定子１に対し相対移動可能な遮光性を有する先幕２４ａ，後幕２４ｂと、上記先幕２４ａ，２４ｂが移動する領域を囲むスペーサ３１，３２と、一端が上記駆動電極４に電気的に接続されて上記固定子１に設けられた接続部と、上記接続部の他端に電気的に接続され、上記スペーサ３１，３２で囲まれた領域とは異なる側の上記固定子１上の位置に設けられた給電用端子とを備える。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の大きさを持つ光線通過可能領域と複数の駆動電極を有する固定部材と、
エレクトレット化された部位を有し、上記駆動電極の電荷により駆動力を受けて、上記の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する移動部材と、
上記固定部材に設けられ、上記移動部材が移動する領域を囲むスペーサと、
上記固定部材に設けられ、一端が上記駆動電極に電気的に接続された接続部と、
上記接続部の他端に電気的に接続され、上記スペーサで囲まれた領域とは異なる側の上記固定部材上の位置に設けられた給電用端子と、
を備える静電シャッタ装置。
【請求項２】
所定の大きさを持つ光線通過可能領域と一方の表面に複数の第１の駆動電極を有し、他方の表面に第２の駆動電極を有する固定部材と、
エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動電極の電荷により駆動力を受けて、上記の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、
上記第１の駆動電極が設けられた固定部材の表面に設けられ、上記第１の移動部材が移動する領域を囲む第１のスペーサと、
エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、
上記第２の駆動電極が設けられた固定部材の表面に設けられ、上記第２の移動部材が移動する領域を囲む第２のスペーサと、
を備え、一端が上記第１の駆動電極又は上記第２の駆動電極に電気的に接続されて上記固定部材に設けられた接続部と、上記接続部の他端に電気的に接続され、上記第１又は第２のスペーサで囲まれた領域とは異なる側の上記固定部材上の位置に設けられた給電用端子とからなる静電シャッタ装置。
【請求項３】
上記第１の駆動電極又は上記第２の駆動電極と上記給電用端子とを接続する接続部は上記第１又は第２の駆動電極の上部又は下部から引き出されていることを特徴とする請求項２に記載の静電シャッタ装置。
【請求項４】
上記給電用端子と電気的に接続されたフレキシブルプリント基板を更に有することを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の静電シャッタ装置。
【請求項５】
上記給電用端子と電気的に接続された電気的な接続端子を更に有することを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の静電シャッタ装置。
【請求項６】
上記固定部材の一方の面に設けられた上記第１の駆動電極への給電用端子及び上記固定部材の他方の面に設けられた第２の駆動電極への給電用端子に電気的に接続された一体のフレキシブルプリント基板を更に有することを特徴とする請求項２に記載の静電シャッタ装置。
【請求項７】
上記移動部材を上記固定部材とで挟むように配置された保護部材を更に備え、上記給電用端子は上記保護部材に覆われていないことを特徴とする請求項１に記載の静電シャッタ装置。
【請求項８】
上記第１の移動部材を上記固定部材とで挟むように配置された第１の保護部材と上記第２の移動部材を上記固定部材とで挟むように配置された第２の保護部材とを更に備え、上記給電用端子は上記第１及び第２の保護部材に覆われてないことを特徴とする請求項２に記載の静電シャッタ装置。
【請求項９】
上記移動部材が収納されている空間は密閉されていることを特徴とする請求項７に記載の静電シャッタ装置。
【請求項１０】
上記第１及び第２の移動部材が収納されている空間は密閉されていることを特徴とする請求項８に記載の静電シャッタ装置。
【請求項１１】
上記密閉された空間は、上記固定部材と、上記保護部材と、上記固定部材と上記保護部材の間に設置されたスペーサと、により形成されることを特徴とする請求項９に記載の静電シャッタ装置。
【請求項１２】
上記密閉された空間は、上記固定部材と、上記第１又は第２の保護部材と、上記固定部材と上記第１または第２の保護部材との間に設置された第１又は第２のスペーサと、により形成されることを特徴とする請求項１０に記載の静電シャッタ装置。
【請求項１３】
上記固定部材上の上記スペーサの設置される面は環状の平面で形成されたベースを有することを特徴とする請求項１，４，５，７，９，１１のいずれかに記載の静電シャッタ装置。
【請求項１４】
上記固定部材上の上記第１又は第２のスペーサの設置される面は環状の平面で形成されたベースを有することを特徴とする請求項２，３，４，６，８，１０，１２のいずれかに記載の静電シャッタ装置。
【請求項１５】
上記請求項１乃至６いずれかの静電シャッタ装置の上記固定部材に取り付けられた撮像素子を有することを特徴とする撮像モジュール。
【請求項１６】
上記請求項７，９，１１，１３いずれかの静電シャッタ装置の上記固定部材及び上記保護部材のいずれか一方に取り付けられた撮像素子を有することを特徴とする撮像モジュール。
【請求項１７】
上記請求項８，１０，１２，１４いずれかの静電シャッタ装置の上記固定部材、上記第１及び第２の保護部材のいずれか一方に取り付けられた撮像素子を有することを特徴とする撮像モジュール。
【請求項１８】
上記請求項１乃至１４いずれかの静電シャッタ装置、或いは請求項１５乃至１７いずれかの撮像モジュールを搭載したカメラ。
【請求項１９】
露光開口部と駆動電極とを少なくとも有する固定部材と、
永久分極された誘電体が並設されており、上記駆動電極の電荷により当該誘電体が駆動力を受けることで、上記固定部材に対し相対移動する移動部材と、
上記移動部材が移動する空間を密封するスペーサと、
その一端が上記駆動電極に電気的に接続された接続部と、
上記接続部の他端に電気的に接続され、上記密封された空間外にある給電用端子と、
を備える静電シャッタ装置。
【請求項２０】
上記固定部材の一の面に配設された駆動電極と接続部を介して接続された給電用端子は当該固定部材の他の面に引き出され、当該他の面においてフレキシブルプリント基板の電極と電気的に接続されることを特徴とする請求項１９に記載の静電シャッタ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトレットシートを用いた静電シャッタ装置、撮像モジュール、及びカメラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、エレクトレットシートを用いた静電シャッタ装置に関して種々の提示がされている。例えば、特許文献１では、固定子に並設された駆動電極に周波電圧を印加し、当該駆動電極と永久分極された誘電体（以下、エレクトレットと称する）の部位との間に発生する吸引力又は反発力により、エレクトレットシートを駆動する静電シャッタ装置に関する技術が開示されている。
【特許文献１】特開平８−２２０５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１により開示された静電シャッタ装置をカメラ等に使用する場合、エレクトレットシートの駆動部に埃が外部から進入して、その駆動を妨げてしまうことがある。この不具合を解消するために、エレクトレットシートの収納されている空間を密閉構造にして駆動する方法が考えられたものの、固定子に電気信号を印加する信号線或いはフレキシブルプリント基板の取り付けにより発生する埃やフラックス等がシャッタの上記密閉空間をクリーンに制作することの妨げになっている。
【０００４】
本発明の目的とするところは、外部から埃の入り込むことがない信頼性の高い静電シャッタ装置、撮像モジュール、カメラを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の第１の態様では、所定の大きさを持つ光線通過可能領域と複数の駆動電極を有する固定部材と、エレクトレット化された部位を有し、上記駆動電極の電荷により駆動力を受けて、上記の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する移動部材と、上記固定部材に設けられ、上記移動部材が移動する領域を囲むスペーサと、上記固定部材に設けられ、一端が上記駆動電極に電気的に接続された接続部と、上記接続部の他端に電気的に接続され、上記スペーサで囲まれた領域とは異なる側の上記固定部材上の位置に設けられた給電用端子とを備える静電シャッタ装置が提供される。  
そして、本発明の第２の態様では、所定の大きさを持つ光線通過可能領域と一方の表面に複数の第１の駆動電極を有し、他方の表面に第２の駆動電極を有する固定部材と、エレクトレット化された部位を有し、上記第１の駆動電極の電荷により駆動力を受けて、上記の固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第１の移動部材と、上記第１の駆動電極が設けられた固定部材の表面に設けられ、上記第１の移動部材が移動する領域を囲む第１のスペーサと、エレクトレット化された部位を有し、上記第２の駆動電極の電荷により駆動力を受けて、上記固定部材に対し相対移動可能な遮光性を有する第２の移動部材と、上記第２の駆動電極が設けられた固定部材の表面に設けられ、上記第２の移動部材が移動する領域を囲む第２のスペーサと、を備え、一端が上記第１の駆動電極又は上記第２の駆動電極に電気的に接続されて上記固定部材に設けられた接続部と、上記接続部の他端に電気的に接続され、上記第１又は第２のスペーサで囲まれた領域とは異なる側の上記固定部材上の位置に設けられた給電用端子とからなる静電シャッタ装置が提供される。  
本発明の第３の態様では、上記第２の態様において、上記第１の駆動電極又は上記第２の駆動電極と上記給電用端子とを接続する接続部は上記第１又は第２の駆動電極の上部又は下部から引き出されていることを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。本発明の第４の態様では、上記第１又は第２の態様において、上記給電用端子と電気的に接続されたフレキシブルプリント基板を更に有することを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。本発明の第５の態様では、上記第１又は第２の態様において、上記給電用端子と電気的に接続された電気的な接続端子を更に有することを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。本発明の第６の態様では、上記第２の態様において、上記固定部材の一方の面に設けられた上記第１の駆動電極への給電用端子及び上記固定部材の他方の面に設けられた第２の駆動電極への給電用端子に電気的に接続された一体のフレキシブルプリント基板を更に有することを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。  
本発明の第７の態様では、上記第１の態様において、上記移動部材を上記固定部材とで挟むように配置された保護部材を更に備え、上記給電用端子は上記保護部材に覆われていないことを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。本発明の第８の態様では、上記第２の態様において、上記第１の移動部材を上記固定部材とで挟むように配置された第１の保護部材と上記第２の移動部材を上記固定部材とで挟むように配置された第２の保護部材とを更に備え、上記給電用端子は上記第１及び第２の保護部材に覆われてないことを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。本発明の第９の態様では、上記第７の態様において、上記移動部材が収納されている空間は密閉されていることを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。本発明の第１０の態様では、上記第８の態様において、上記第１及び第２の移動部材が収納されている空間は密閉されていることを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。本発明の第１１の態様では、上記第９の態様において、上記密閉された空間は、上記固定部材と、上記保護部材と、上記固定部材と上記保護部材の間に設置されたスペーサと、により形成されることを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。  
本発明の第１２の態様では、上記第１０の態様において、上記密閉された空間は、上記固定部材と、上記第１又は第２の保護部材と、上記固定部材と上記第１または第２の保護部材との間に設置された第１又は第２のスペーサと、により形成されることを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。本発明の第１３の態様では、上記第１，４，５，７，９，１１の態様のいずれかにおいて、上記固定部材上の上記スペーサの設置される面は環状の平面で形成されたベースを有することを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。本発明の第１４の態様では、上記第２，３，４，５，６，１０，１２の態様のいずれかにおいて、上記固定部材上の上記第１又は第２のスペーサの設置される面は環状の平面で形成されたベースを有することを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。  
本発明の第１５の態様では、上記第１乃至第６の態様のいずれかの静電シャッタ装置の上記固定部材に取り付けられた撮像素子を有することを特徴とする撮像モジュールが提供される。本発明の第１６の態様では、上記第７，９，１１，１３の態様のいずれかの静電シャッタ装置の上記固定部材及び上記保護部材のいずれか一方に取り付けられた撮像素子を有することを特徴とする撮像モジュールが提供される。本発明の第１７の態様では、上記第８，１０，１２，１４の態様のいずれかの静電シャッタ装置の上記固定部材、上記第１及び第２の保護部材のいずれか一方に取り付けられた撮像素子を有することを特徴とする撮像モジュールが提供される。本発明の第１８の態様では、上記第１乃至１４の態様のいずれかの静電シャッタ装置、或いは第１５乃至１７の態様のいずれかの撮像モジュールを搭載したカメラが提供される。  
また、本発明の第１９の態様では、露光開口部と駆動電極とを少なくとも有する固定部材と、永久分極された誘電体が並設されており、上記駆動電極の電荷により当該誘電体が駆動力を受けることで、上記固定部材に対し相対移動する移動部材と、上記移動部材が移動する空間を密封するスペーサと、その一端が上記駆動電極に電気的に接続された接続部と、上記接続部の他端に電気的に接続され、上記密封された空間外にある給電用端子とを備える静電シャッタ装置が提供される。本発明の第２０の態様では、上記第１９の態様において、上記固定部材の一の面に配設された駆動電極と接続部を介して接続された給電用端子は当該固定部材の他の面に引き出され、当該他の面においてフレキシブルプリント基板の電極と電気的に接続されることを特徴とする静電シャッタ装置が提供される。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、外部から埃の入り込むことがない信頼性の高い静電シャッタ装置、撮像モジュール、カメラを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
先ず、図１（ａ），（ｂ）及び図２を参照して、本発明の一実施の形態に係る静電シャッタ装置におけるシャッタ機構の駆動原理を詳細に説明する。尚、図１（ａ）はシャッタが開の状態を示しており、図１（ｂ）はシャッタが閉の状態を示している。
【０００８】
図１（ａ），（ｂ）及び図２に示されるように、本シャッタ機構は、固定子１と移動子２とを備えており、移動子２は固定子１に対して左右方向に移動自在に構成されている。固定子１には被写体からの光線を不図示の撮像素子に導くための光線通過可能領域部３が設けられており、更に帯状の複数の駆動電極４が所定の間隔で並べられている。移動子２は遮光性を有する部材で構成されており、更に詳細は後述するように永久分極された誘電体（以下、エレクトレットと称する）の部位を複数備えている。
【０００９】
このような構成において、駆動電極４に周波電圧を印加すると、駆動電極４と上述のエレクトレットとの間に吸引力もしくは反発力が発生し、結果的に移動子２が固定子１に対して相対移動する。従って、移動子２が固定子１の光線通過可能領域部３を開放若しくは遮蔽するように移動可能にしておけば、シャッタ機構を構成することができる。
【００１０】
固定子１には光線通過可能領域部３は必ずしも必要でなく、固定子１を透過部材として図１（ａ）に示すように駆動電極４が設けられていない領域、即ち透過領域を形成しても良い。以下では、これを便宜的に露光開口部と称する。また、このような構成に係るシャッタ機構を「エレクトレットシャッタ」と称する。
【００１１】
次に図２にはエレクトレットシャッタ７及び駆動回路１０の構成を示し説明する。
【００１２】
図２の右方には、エレクトレットシャッタ７の断面を模式的に示している。
【００１３】
すなわち、固定子１に並設されたそれぞれの駆動電極４には、駆動回路１０からの電圧信号線が接続されている。この電圧信号線には４相の電圧信号が印加される。従って、駆動電極４には、４本毎に同一の電圧信号が印加される。この図２においては、それぞれの駆動電極４にＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄの符号を付してこの電圧信号を区別している。移動子２は固定子１との対向面に永久分極されたエレクトレット５ａ，５ｂを備えている。
【００１４】
この図２はあくまでも模式図であり、実際のエレクトレットシャッタ７における電極やエレクトレット部位の数や配置間隔は、シャッタ機構の大きさや開口部の面積、エレクトレット部位の極性、その配置形態、シャッタ機構として要求される駆動分解能、そしてシャッタ最高速度等の様々な要因によって適宜決定されるものである。また、ここで例示したエレクトレットシャッタ７は、正負の極性を有するエレクトレット部位が交互に配置されたタイプであるが、いずれか一方の極性だけでも実現可能である。
【００１５】
図２の左方には、エレクトレットシャッタ７に印加する電圧信号を発生する駆動回路１０の構成を示している。パルス発生回路１２で生成した矩形波列、即ち駆動パルス信号は昇圧回路１４と位相器１３に供給される。そして、この昇圧回路１４では、入力した矩形波列を１００Ｖ程度まで昇圧すると共に、２つの極性を有する電圧信号に分岐して、駆動電極４Ａ及び４Ｃに供給する。一方、位相器１３に入力した矩形波列は９０度位相が遅れた波形となり、当該波形はその後に昇圧回路１４に入力されて、上述と同様の２つの矩形波列となり、駆動電極４Ｂ及び４Ｄに供給される。
【００１６】
ここで、図３（ａ）乃至（ｄ）は、上記駆動回路１０によって生成され駆動電極４Ａ〜４Ｄに印加される電圧信号の一例を示すタイミングチャートである。
【００１７】
より詳細には、図３（ａ）は駆動電極４Ａ、図３（ｂ）は駆動電極４Ｂ、図３（ｃ）は駆動電極４Ｃ、図３（ｄ）は駆動電極４Ｄに印加される電圧信号の状態を示すタイミングチャートである。図３（ａ）乃至（ｄ）に示すように、駆動電極４Ａ乃至４Ｄの電圧信号の状態は、時間ｔ１乃至ｔ４の４つの状態が時間経過に対応して繰り返し変化する。
【００１８】
次に図４（ａ）乃至（ｄ）を参照して、エレクトレットシャッタ７の動作を説明する。
【００１９】
尚、これら図４（ａ）乃至（ｄ）においては、同図における右側方向をエレクトレットの進行方向とし、後方側（左側）には正極（プラス）のエレクトレット５ａ、前方側（右側）には負極（マイナス）のエレクトレット５ｂが配列されているものとする。
【００２０】
図４（ａ）は、時間ｔ１に切り替わった直後のエレクトレット５ａ，５ｂと駆動電極４Ａ乃至４Ｄの電圧の状態（極性）を示している。この状態においては、正極のエレクトレット５ａは、駆動電極４Ａ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ｂ（負極）から吸引力を受ける。負極のエレクトレット５ｂは、駆動電極４Ｃ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ｄ（正極）から吸引力を受ける。この為、移動子２は、図４（ａ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分右方向に移動する。
【００２１】
図４（ｂ）は、時間ｔ２に切り替わった直後のエレクトレット５ａ，５ｂと駆動電極４Ａ乃至４Ｄの電圧の状態を示している。このような状態においては、正極のエレクトレット５ａは、駆動電極４Ｂ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ｃ（負極）から吸引力を受ける。負極のエレクトレット５ｂは、駆動電極４Ｄ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ａ（正極）から吸引力を受ける。この為、移動子２は、図４（ｂ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。
【００２２】
図４（ｃ）は、時間ｔ３に切り替わった直後のエレクトレット５ａ，５ｂと駆動電極４Ａ乃至４Ｄの電圧の状態を示している。このような状態においては、正極のエレクトレット５ａは、駆動電極４Ｃ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ｄ（負極）から吸引力を受ける。負極のエレクトレット５ｂは、駆動電極４Ａ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ｂ（正極）から吸引力を受ける。この為、移動子２は、図４（ｃ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。
【００２３】
図４（ｄ）は、時間ｔ４に切り替わった直後のエレクトレット５ａ，５ｂと駆動電極４Ａ乃至４Ｄの電圧の状態を示している。このような状態においては、正極のエレクトレット５ａは、駆動電極４Ｄ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ａ（負極）から吸引力を受ける。負極のエレクトレット５ｂは、駆動電極４Ａ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ｃ（正極）から吸引力を受ける。この為、移動子２は、図４（ｄ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。
【００２４】
上述したように、移動子２は１つの駆動電極ピッチｄ移動し、この動作が繰り返されることで、移動子２は図４（ａ）→図４（ｂ）→図４（ｃ）→図４（ｄ）のように右方向（図示の矢印Ｆ方向）に移動する。尚、移動子２を図の左方向に移動するためには、駆動電極４Ａ乃至４Ｄに印加する電圧の極性を逆に切り替えれば良い。
【００２５】
以上、本発明の一実施の形態に係る静電シャッタ装置におけるシャッタ機構の駆動原理を詳細に説明したが、以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。
【００２６】
尚、以下の説明では、適宜図１乃至図４を参照する。
【００２７】
図５（ａ）は、本発明の一実施の形態に係る静電シャッタ装置を適用した撮像モジュール２０の構成を示す図であり、図５（ｂ）は当該撮像モジュール２０の断面図である。
【００２８】
撮像モジュール２０は、シャッタユニット２１と撮像ユニット２２で構成されている。
【００２９】
シャッタユニット２１は、独立して走行し、先幕にあたる遮光幕(第１の移動部材)２４ａと後幕にあたる遮光幕(第２の移動部材)２４ｂを有するフォーカルプレーンシャッタである。この遮光幕２４ａ，２４ｂは、ここでは不図示であるが上述のエレクトレット５を備えている。エレクトレット５の対向面側には、複数の駆動電極４ａ,４ｂと光線通過可能領域部(又は透光部)を設けた固定子(固定部材)１が配設されている。
【００３０】
さらに、シャッタユニット２１の被写体側には光線通過可能領域部(透光部)を有する保護部材(第１の保護部材)２５ａが設けられており、保護部材２５ａと固定子１との間にはスペーサ３１が設けられ、固定子１と保護部材(第２の保護部材)２５ｂとの間にはスペーサ３２が設けられ、以上によりシャッタユニット２１を構成している。
【００３１】
また、保護部材２５ｂには、撮像素子４０を収納した収納容器２６が固着し、シャッタユニット２１と撮像ユニット２２は一体となり撮像モジュール２０を構成している。
【００３２】
ここで、固定子１はガラス等を基板としており、その表面に駆動電極４ａ，４ｂを形成し、更に駆動電極４ａ，４ｂ上に絶縁膜を設けている。
【００３３】
一方、遮光幕２４ａ，２４ｂはポリイミドやテフロンを基材として用い、その一方の面にコロナ放電法により複数のエレクトレットを形成する（以下、エレクトレット化と称する）。更に正負の極性を有するエレクトレット部位が交互に配置されている。また、遮光幕２４ａ，２４ｂは、駆動電極に対向しない面に金属幕を形成することによって軽量で遮光性の高く、耐熱性を持ち、大きな遮光効果を得ている。
【００３４】
ここで、図６には固定子１の詳細な構成を示す図である。
【００３５】
この図６に示されるように、固定子１には、各々の駆動電極４ａ(不図示)，４ｂに接続部４ａ−１ (不図示)，４ｂ−１により電気的に接続された給電用電極(給電用端子)４ａ−２(不図示)，４ｂ−２が設けられている。そして、固定子１には、電極２９ａ−１(不図示)，２９ｂ−１が設けられており、各電極から導電パターンが引き出されているフレキシブルプリント基板（以下、フレキと略記する）２９ａ(不図示)，２９ｂが、上記給電用端子４ａ−２(不図示)，４ｂ−２に導電接続されている。そして、開口部の上下に配置されている駆動電極４ａ(不図示)，４ｂには、上下に分かれて配置された電極をつなぐ透明電極４ａ−３(不図示)，４ｂ−３が設けられている。スペーサ３１，３２の設置される面には絶縁材料からなる、ここでは例えば環状のベース４ａ−４(不図示)，４ｂ−４が設けられており、固定子１の基板１ｃ上に設けられた接続部４ａ−１(不図示)，４ｂ−１等の突出部を覆い、平面を形成している。給電用電極４ａ−２(不図示)，４ｂ−２は、ベース４ａ−４(不図示)，４ｂ−４の外側に設けられている。
【００３６】
このように構成することで、移動部材の設けられた空間を簡単に密閉構造に構成することが可能で外部から埃の入り込むことがない信頼性の高いシャッタを実現することができる。また、上記フレキ２９ａ，２９ｂの接続部４ａ−１(不図示)，４ｂ−１である給電用電極４ａ−２(不図示)，４ｂ−２がシャッタユニットの状態で外部に露出していることから、シャッタユニット状態に組み立てた後にフレキ２９ａ,２９ｂを取り付けることが可能となり、シャッタユニット２１の製造に埃等の発生が懸念されるフレキ２９ａ,２９ｂの接続工程を持ち込むことを避けることが可能になっている。
【００３７】
尚、ここでは不図示の駆動電極４ａ、接続部４ａ−１、給電用電極４ａ−２、透明電極４ａ−３、ベース４ａ−４、電極２９ａ−１、フレキ２９ａは、図６に示されたそれぞれに対応する部材と同じ形状が固定子１の裏面側に対象に配置されている。
【００３８】
そして、撮像ユニット２２は、収納容器２６内に撮像素子４０と信号線２８を収容して固定し、収納容器２６の被写体側を光線通過可能領域部(透光部)を有する保護部材２５ｂで覆って構成している。この撮像モジュール２０は、エレクトレットシャッタ７を用いてシャッタユニット２１を構成している為、その厚さを従来のシャッタユニットと比較して大幅に減少することができ、薄型化することができる。
【００３９】
また、エレクトレットシャッタ７は、遮光幕２４ａ，２４ｂに誘導される電荷を利用するのではなく、エレクトレットに永久分極されている電荷を利用するため、立ち上がり時間を短縮してシャッタ動作を高速化することができる。また、エレクトレットの電荷量は任意に与えることが可能であることから、駆動力が最大となるような最適の電荷量を与えることができ、極めて大きな駆動力を得ることができる。従って、撮像モジュール２０のサイズに応じた最適なシャッタユニット２１を構成することができる。
【００４０】
更に、遮光幕２４ａ，２４ｂは素材として樹脂材料を用いることができるため軽量である。例えば、遮光幕２４ａ，２４ｂは、１０〜２０μの薄い膜で形成することが可能である。従って、動作に必要な電力量は少なく、且つ静かな動作が実現できる。
【００４１】
ここで、本実施の形態においては、図５（ｂ）に示すように、第２の保護部材である保護部材２５ｂに撮像素子４０を収納した収納容器２６が固着しているが、これに限定されることなく、例えば、固定部材である固定子１又は第１の保護部材である保護部材２５ａを保護部材２５ｂよりも大きくなるように高さ方向（即ち図５（ｂ）の縦方向）に伸延させ、その伸延部分に収納容器２６を固着するようにしてもよい。
【００４２】
ここで、図７（ａ）乃至（ｃ）を参照して、遮光幕(先幕)２４ａと遮光幕(後幕)２４ｂの動作を説明する。図７（ａ）に示す初期状態では全閉状態となっている。即ち先幕２４ａが露光開口部２７全体を覆い、撮像ユニット２２を被写体光から完全に遮光している。
【００４３】
次に撮影者がレリーズを操作すると、図７（ｂ）に示すように、先幕２４ａは図中の矢印Ｆ１方向に駆動されて全開状態となり、被写体光が露光開口部２７を介して撮像ユニット２２に導かれる。そして、所定の露光時間が経過したときに、図７（ｃ）に示すように後幕２４ｂが図中の矢印Ｆ２方向に駆動されて露光開口部２７を遮蔽する。その後、先幕２４ａと後幕２４ｂは図７（ａ）に示す初期状態に復帰し、撮影者のレリーズ操作に備えて待機する。
【００４４】
図８は、本発明の一実施の形態に係るシャッタ装置を用いたカメラの電気系のシステム構成を示すブロック図である。
【００４５】
図８に於いて、このカメラシステムは、ボディユニット５０と、アクセサリ装置としての例えば交換可能なレンズユニット（すなわちレンズ鏡筒）５１と、通信コネクタ５６を介して撮影した画像データを記録しておく記録メディア５２と、ストロボ通信コネクタ５７を介して外付けのストロボユニット５３とを有して構成されている。
【００４６】
上記レンズユニット５１は、上記ボディユニット５０の前面に設けられた、図示されないレンズマウントを介して着脱自在に装着可能である。そして、上記レンズユニット５１は、撮影レンズ６１ａ及び６１ｂと、絞り６２と、レンズ駆動機構６３と、絞り駆動機構６４と、レンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｌμｃｏｍと略記する）６５とから構成されている。上記撮影レンズ６１ａ及び６１ｂは、レンズ駆動機構６３内に存在する図示されないＤＣモータによって光軸方向に駆動される。絞り６２は、絞り駆動機構６４内に存在する図示されないステッピングモータによって駆動される。また、Ｌμｃｏｍ６５は、上記レンズ駆動機構６３や絞り駆動機構６４等、レンズユニット５１内の各部を駆動制御する。このＬμｃｏｍ６５は、通信コネクタ５５を介して、後述するボディ制御用マイクロコンピュータ８５と電気的に接続がなされ、該ボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｂμｃｏｍと略記する）８５の指令に従って制御される。
【００４７】
一方、ボディユニット５０は、以下のように構成されている。
【００４８】
レンズユニット５１内の撮影レンズ６１ａ及び６１ｂ、絞り６２を介して入射される図示されない被写体からの光束は、クイックリターンミラー７０で反射されて、フォーカシングスクリーン７１、ペンタプリズム７２を介して接眼レンズ７３に至る。
【００４９】
上記クイックリターンミラー７０の中央部はハーフミラーになっており、該クイックリターンミラー７０がダウン（図示の位置）した際に一部の光束が透過する。この透過した光束は、クイックリターンミラー７０に設置されたサブミラー７５で反射され、自動測距を行うためのＡＦセンサユニット７６に導かれる。尚、上記クイックリターンミラー７０のアップ時には、サブミラー７５は折り畳まれるようになっている。
【００５０】
上記クイックリターンミラー７０の後方には、光軸上のフォーカルプレーン式のシャッタユニット２１と、光学系を通過した被写体像を光電変換するためのＣＣＤ等の撮像素子４０を収容した撮像ユニット２２とを備えた撮像モジュール２０が設けられている。
【００５１】
図示されないが、クイックリターンミラー２０が光路より退避した場合、撮影レンズ６１ａ及び６１ｂを通った光束は、撮像モジュール２０内の撮像素子４０（図５及び図７参照）に結像される。このボディユニット５０は、また、上記撮像モジュール２０内の撮像素子４０に接続された撮像素子インターフェイス回路８０と、記憶領域として設けられたＳＤＲＡＭ８２と、液晶モニタ８３及び上記通信コネクタ５６を介して記録メディア５２とが画像処理を行うための画像処理コントローラ８１に接続されている。これらは、電子撮像機能と共に電子記録表示機能を提供できるように構成されている。
【００５２】
上記記録メディア５２は、各種のメモリカードや外付けのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等の外部記録媒体であり、通信コネクタ５６を介してカメラボディ５０と通信可能であり、且つ交換可能に装着される。
【００５３】
上記画像処理コントローラ８１は、通信コネクタ５５と、測光回路８６と、ミラー駆動回路８７と、ＡＦセンサ駆動回路８８と、駆動制御手段であるシャッタ駆動制御回路９０と、不揮発性メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）９１等と共に、このボディユニット５０内の各部を制御するためのＢμｃｏｍ８５に接続されている。
【００５４】
上記Ｂμｃｏｍ８５には、当該カメラの動作状態を表示出力によって撮影者へ告知するための動作表示用ＬＣＤ９２と、カメラ操作スイッチ（ＳＷ）９３と、電源回路９５を介して電池９６とが接続されている。尚、上記Ｂμｃｏｍ８５とＬμｃｏｍ６５とは、レンズユニット５１の装着時に於いて、通信コネクタ５５を介して通信可能に電気的接続がなされる。そして、デジタルカメラとしてＬμｃｏｍ６５がＢμｃｏｍ８５に従属的に協働しながら稼動するようになっている。
【００５５】
上記測光回路８６は、上記ペンタプリズム７２からの光束に基づいて測光処理する回路である。上記ミラー駆動機構８７はクイックリターンミラー７０を駆動制御する機構であり、ＡＦセンサ駆動回路８８は上記ＡＦセンサユニット７６を駆動制御するための回路である。また、シャッタ駆動制御回路９０は、上記シャッタユニット２１の先幕２５ａと後幕２５ｂの動きを制御すると共に、Ｂμｃｏｍ８５との間でシャッタの開閉動作を制御する信号とストロボと同調する信号の授受を行う。
【００５６】
不揮発性メモリ９１は、その他の記憶領域としてカメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶する記憶手段であり、Ｂμｃｏｍ８５からアクセス可能に設けられている。
【００５７】
動作表示用ＬＣＤ９２は、当該カメラの動作状態を表示出力によってユーザへ告知するためのものである。上記カメラ操作スイッチ９３は、例えば撮影動作の実行を指示するレリーズスイッチ、撮影モードと画像表示モードを切り替えるモード変更スイッチ及びパワースイッチ等、当該カメラを操作する為に必要な操作釦を含むスイッチ群で構成される。
【００５８】
更に、電源回路９５は、電源としての電池９６の電圧を、当該カメラシステムの各回路ユニットが必要とする電圧に変換して供給するために設けられている。
【００５９】
ストロボユニット５３は、閃光発光部１０１と、ＤＣ／ＤＣコンバータ１０２と、ストロボ制御用マイクロコンピュータ１０３及び電池１０４とから成っている。そして、このストロボユニット５３は、ストロボ通信コネクタ５７を介して、ボディユニット５０と通信可能に装着可能である。
【００６０】
このように構成されたデジタルカメラの各部は、次のように稼動する。
【００６１】
先ず画像処理コントローラ８１により、Ｂμｃｏｍ８５の指令に従って撮像素子インターフェイス回路８０が制御され、撮像モジュール２０から画像データが取り込まれる。この画像データは、一時保管用メモリであるＳＤＲＡＭ８２に取り込まれる。このＳＤＲＡＭ８２は、画像データが変換される際のワークエリア等に使用される。また、この画像データは、ＪＰＥＧデータに変換された後には、記録メディア５２に保管されるように設定されている。ミラー駆動機構８７は、上述したように、クイックリターンミラー７０をアップ（ＵＰ）位置とダウン（ＤＯＷＮ）位置へ駆動するための機構である。ミラー駆動機構８７によってクイックリターンミラー７０がダウン位置にある時、撮影レンズ６１ａ及び６１ｂからの光束は、ＡＦセンサユニット７６側とペンタプリズム７２側へと分割されて導かれる。ＡＦセンサユニット７６内のＡＦセンサからの出力は、ＡＦセンサ駆動回路８８を介してＢμｃｏｍ８５へ送信されて、周知の測距処理が行われる。一方、ペンタプリズム７２に隣接する接眼レンズ７３からは、撮影者が被写体を目視できる。また、上記ペンタプリズム７２を通過した光束の一部は、測光回路８６内のホトセンサ（不図示）へ導かれ、ここで検知された光量に基づいて周知の測光処理が行われる。
【００６２】
シャッタ駆動制御回路９０では、Ｂμｃｏｍ８５からシャッタを駆動制御するための信号が受取られると、その信号に基づいてシャッタユニット２１が制御される。それと共にシャッタ駆動制御回路９０から、所定のタイミングでＢμｃｏｍ８５にストロボを発光させるためのストロボ同調信号が出力される。Ｂμｃｏｍ８５からは、このストロボ同調信号に基づいて、ストロボユニット５３に通信により発光指令信号が出力される。
【００６３】
また、撮影者によって上述したカメラ操作スイッチ９３の中のモード変更スイッチが操作されて、撮影モードから画像表示モードへ切り換えられると、記録メディア５２に保管された画像データが読み出されて、液晶モニタ８３に表示可能である。記録メディア５２から読み出された画像データは、画像処理コントローラ８１に於いてビデオ信号に変換され、液晶モニタ８３にて出力表示される。本実施形態のシャッタ装置は、図８に於けるシャッタユニット２１とシャッタ駆動制御回路９０とにより構成されている。
【００６４】
図９は、シャッタ駆動制御回路９０とシャッタユニット２１との信号接続を示す構成図である。シャッタユニット２１には、上述したように、先幕２４ａと後幕２４ｂが備えられており、そのそれぞれの幕を駆動するために、図２に示されたものと同様の構成の位相器１１２ａ，１１２ｂを含む駆動手段としての駆動回路１１３ａ，１１３ｂが２系統設けられている。パルス発生回路１１１は、Ｂμｃｏｍ８５からの開閉制御信号に基づいて先幕２４ａと後幕２４ｂを駆動する。これにより、図８に示される露光開口部２７の全開全閉動作が制御される。また、Ｂμｃｏｍ８５からリセット信号を受取ったときは、先幕２４ａと後幕２４ｂが初期状態に駆動される。更に、パルス発生回路１１１からは、所定のタイミングでＢμｃｏｍ８５にストロボ同調信号が出力される。
【００６５】
次に、本実施形態に係るシャッタ装置を用いた撮像制御方法について説明する。
【００６６】
図１０は、Ｂμｃｏｍ８５の概略の撮影動作手順を示すフローチャートである。
【００６７】
この動作は、本カメラシステムの処理手順の内、レリーズ操作から画像データ生成までの動作手順を示している。撮影者によってカメラ操作スイッチ９３内のレリーズ釦が１段押下されると、本ルーチンが開始される。
【００６８】
先ず、ステップＳ１では、測光処理が実行される。すなわち、測光回路８６にて測定された被写体の輝度情報が獲得される。次いで、ステップＳ２にて、その輝度情報に基づいて露光量演算が実行され、適正な絞り値（ＡＶ：aperture value）とシャッタ速度（ＴＶ：time value）が算出される。ステップＳ３では、ＡＦ処理が実行される。つまり、被写体からの光束が、クイックリターンミラー７０及びサブミラー７５を介してＡＦセンサユニット７６で受光される。この受光された被写体像のずれ量が、ＡＦセンサ駆動回路８８を介してＢμｃｏｍ８５に出力される。Ｂμｃｏｍ８５では、被写体像のずれ量からレンズの駆動量が算出され、その値が通信コネクタ５５を介してレンズユニット５１内のＬμｃｏｍ６５に送信される。Ｌμｃｏｍ６５では、上記レンズ駆動量に基づいて、レンズ駆動機構６３を介して撮影レンズ６１ａが移動されて焦点が調整される。
【００６９】
ここで、ステップＳ４に於いて、焦点が調整された状態でレリーズ釦が更に（２段）押下されている（２ｎｄレリーズスイッチＯＮ）か否かが判断される。レリーズ釦が２段押下されていない場合は、ステップＳ５に移行してレリーズ釦が１段押下されている状態であるか否かが判断される。ここで、レリーズ釦が１段押下の状態にある場合は、ステップＳ４へ移行してレリーズ釦が２段押下されるまで待機する。しかし、レリーズ釦が２段押下されていない場合で、レリーズ釦が１段押下されていない場合は、撮影者は撮影動作を中止したものと判断されて本ルーチンが終了する。
【００７０】
上記ステップＳ４にてレリーズ釦が２段押下されている場合、撮影動作が継続され、ステップＳ６へ移行して絞り込み駆動が実行される。即ち、Ｂμｃｏｍ８５により、ＡＶ値が通信コネクタ５５を介してＬμｃｏｍ６５に送信される。Ｌμｃｏｍ６５では、送られたＡＶ値に基づいて絞り駆動機構６４を介して絞り６２が制御される。
【００７１】
次に、ステップＳ７にてミラーアップ駆動が実行される。即ち、ミラー駆動機構８７を介してクイックリターンミラー７０がアップ位置に跳ね上げられて、撮影光路が確保される。この後、ステップＳ８にて、撮像素子インターフェイス回路８０に対して撮像動作が開始されるように、Ｂμｃｏｍ８５から指示が出力される。すると、撮像素子インターフェイス回路８０では、この指示に基づいて撮像ユニット２２内の撮像素子４０を動作させる。以上の動作の後、Ｂμｃｏｍ８５によってシャッタ制御動作が実行される。
【００７２】
このシャッタ制御動作については、図１０のフローチャートと共に、図１１に示される全開露光時のシャッタ制御タイムチャートを参照して説明する。
【００７３】
ステップＳ９では、Ｂμｃｏｍ８５からシャッタ駆動制御回路９０にシャッタ開信号が出力される。すなわち、図１２のタイムチャートに示される開閉制御信号の信号レベルがアクティブにされる。次いで、ステップＳ１０にて、これを受けたシャッタ駆動制御回路９０内のパルス発生回路１１１では、先幕２４ａを駆動するため先幕駆動パルスの出力が開始される。この先幕駆動パルスのパルス数に対応して、図１２の先幕開口波形に示されるように、先幕２４ａが露光開口の全閉位置から開方向に駆動される。
【００７４】
次に、ステップＳ１１に於いて、Ｂμｃｏｍ８５により、露光時間が経過したか否かが判断される。ここで、露光時間が経過していない場合は、ステップＳ１２へ移行して、図１２に示されるストロボ同調信号がシャッタ駆動制御回路９０から出力されたか否かが判断される。ここでは、ストロボ同調信号が出力されるまで待機する。
【００７５】
ストロボ同調信号は、先幕２４ａが露光開口を全開とする位置に到達したタイミングでシャッタ駆動制御回路９０から出力される。上述したように、エレクトレットが用いられて構成された先幕２４ａ（及び後幕２４ｂ）は極めて軽量であるため、この先幕駆動パルスによって先幕２４ａを高精度、且つ高速に駆動することが可能である。したがって、露光開口が全開になったか否かを他の検出手段を用いて検出する必要がなく、先幕駆動パルスのパルス数を計数することで判断することができる。
【００７６】
そこで、シャッタ駆動制御回路９０からは、図１２に示されるように、先幕駆動パルスが所定数（ｍ）出力されたタイミングで、ストロボ同調信号（矩形信号）がＢμｃｏｍ８５に対して出力される。ステップＳ１２にて、このストロボ同調信号がアクティブになったことが検出された場合は、ステップＳ１３へ移行して、Ｂμｃｏｍ８５からストロボユニット５３に対して発光を指示する発光制御信号が出力されたか否かが判断される。ここで、発光制御信号がまだ出力されていない場合は、ステップＳ１４へ移行して発光制御信号がストロボユニット５３に対して出力された後、上記ステップＳ１１へ移行する。
【００７７】
一方、既に発光制御信号が出力されている場合は、再度の発光制御信号の出力は行われないように制御されて上記ステップＳ１１へ移行する。
【００７８】
上記ステップＳ１１にて露光時間が経過した場合は、ステップＳ１５へ移行してＢμｃｏｍ８５からシャッタ閉信号が出力される。すなわち、開閉制御信号の信号レベルがノンアクティブにされる。これを受けたシャッタ駆動制御回路９０内のパルス発生回路１１１では、後幕２４ｂを駆動するための後幕駆動パルスの出力が開始される。この後幕駆動パルスのパルス数に従って、図１２の後幕開口波形に示されるように、後幕２４ｂが露光開口の全開位置から全閉位置の方向に向けて駆動される。次に、ステップＳ１６にて、Ｂμｃｏｍ８５から撮像素子インターフェイス回路８０に対して撮像動作を停止させる旨の指示が出力される。この撮像素子インターフェイス回路８０からの指示に基づいて、撮像ユニット２２内の撮像素子４０の撮像動作が停止される。
【００７９】
ステップＳ１７では、シャッタ駆動制御回路９０にリセット信号が出力される。これを受けたシャッタ駆動制御回路９０内のパルス発生回路１１１により、先幕２４ａ及び後幕２４ｂが初期位置に駆動される（図８（ａ）参照）。
【００８０】
次いで、ステップＳ１８では、Ｂμｃｏｍ８５から画像処理コントローラ８１に、画像データの処理実行が指示される。画像処理コントローラ８１では、初めに撮像素子インターフェイス回路８０を介して撮像素子４０の蓄積電荷の読み出しが行われる。
【００８１】
そして、その信号がＡ／Ｄ変換されて画像データが生成される。そして、その画像データが処理されて、画像処理コントローラ８１から通信コネクタ５６を介して、記録メディア５２に記録される。更に、ステップＳ１９にて、Ｂμｃｏｍ８５からミラー駆動機構８７を介してクイックリターンミラー７０がダウン位置へ駆動される。また、ステップＳ２０にて、Ｌμｃｏｍ６５に対して、絞り駆動機構６４を介して絞り６２が全開とされるように指示される。このようにして、撮像動作が終了する。
【００８２】
図１２は、スリット露光時のシャッタ制御動作を説明するタイムチャートである。
【００８３】
通常の撮影時は、上述したように、露光開口部２７を全開状態にした全開露光による撮影が行われるが、被写体の輝度が高い場合は、先幕２４ａが全開となる前に露光時間が経過する場合がある。この場合、シャッタ駆動制御回路９０からは、ストロボ同調信号が出力されずに後幕駆動パルスが出力される。すると、この場合は、露光開口部２７は全開状態とはならず、先幕２４ａと後幕２４ｂで形成される所定幅を有したスリット開口が、露光開口部２７上を移動する。尚、このスリット露光時の撮像動作は、図１１に示されるフローチャートと同一であるため、その詳細の説明は省略する。
【００８４】
図１３（ａ），（ｂ）は、それぞれ本発明の一実施の形態で駆動電極４ａ，４ｂが設けられた固定子１の主要部のみ示した正面図と裏面図である。
【００８５】
これら図１３（ａ），（ｂ）に示されるように、固定子１の表面の駆動電極４ａは裏面の駆動電極４ｂと対称的な形状をしている。ここでは不図示の対象形状のフレキ２９ａ，２９ｂは、それぞれの給電用電極４ａ−２，４ｂ−２に電気的に接続される。
【００８６】
図１４（ａ），（ｂ）は、図１３で示した固定子１の給電用電極４ａ−２、４ｂ−２が一枚のフレキ２９１により電気的に接続された改良例を示し説明する。
【００８７】
即ち、この改良例では、フレキ２９１には、図１４（ｂ）に示すように、給電用電極４ａ−２，４ｂ−２に対応する給電用電極２９１ａ−１，２９１ｂ−１が対称に設けられており、装着時にはフレキ２９１は折り曲げられて給電用電極２９１ａ−１，２９１ｂ−１に導電接着剤や半田等で電気的に接続されている。そして、給電用電極２９１ａ−１，２９１ｂ−１からはフレキ２９１上に設けられた引き出し線２９１−２により、フレキ２９１の他端に設けられた接続部(ここでは不図示)、または他の回路基板(ここでは不図示)まで引き回されている。このように、この改良例では、より簡単な構成となっている。
【００８８】
図１５（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態に適用し得る別の電極の構成を採用した別の改良例の構成図である。固定子１の被写体側面に設けた電極は、図１３と同様である。
【００８９】
図１５（ｂ）に示されるように、固定子１の裏面側の駆動電極４ａの３つの給電用端子４ａ−１は、孔４ｂ−５の側面に設けた導電性の金属膜４ａ−３によって被写体側面に引出されており、被写体側面でフレキ２９の電極２９ａと電気的に接続されている。
【００９０】
さらに、図１５（ａ）に示されるように、固定子１の裏面側の駆動電極４ａの一番下の給電端子４ａ−１は、固定子１の側面を引き回して被写体側面に設けた給電用端子４ｂ−６として被写体側面でフレキ２９の電極２９ａと電気的に接続されている。
【００９１】
このような構成によれば、フレキ２９が簡単な構造になり、また、フレキ２９の接続も固定子の一方の側で可能となり、構成がより簡単になる。
【００９２】
尚、図１６は、図１５（ａ），（ｂ）に示す方法で給電用電極を固定子の片側の面に設置して当該給電用電極にコネクタ３００を電気的に接続したものである。
【００９３】
最後に、図１７，１８には、本発明の一実施の形態の別の改良例として、２つの固定子３０１ａ，３０１ｂを用いた場合の構成を示し説明する。
【００９４】
図１７，１８において、シャッタユニット３５１は、独立して走行し、先幕にあたる遮光幕(第１の移動部材)３２４ａと後幕にあたる遮光幕(第２の移動部材)３２４ｂを有するフォーカルプレーンシャッタである。この遮光幕３２４ａ，３２４ｂは、ここでは不図示であるが上述のエレクトレットを備えている。先幕３２４ａの対向面側には、駆動電極３０４ａと光線通過可能領域部(又は透光部)を設けた固定子(固定部材)３０１ａが配設されている。後幕３２４ｂの対向面側には、駆動電極３０４ｂと光線通過可能領域部(又は透光部)を設けた固定子(固定部材)３０１ｂが配設されている。
【００９５】
更に、シャッタユニット３５１の被写体側には光線通過可能領域部(透光部)を有する保護部材(第１の保護部材)３３２が設けられており、保護部材３３２と固定子３０１ａとの間にはスペーサ３３１が設けられている。固定子３０１ａと保固定子３０１ｂとの間にはスペーサ３３２が設けられ、更に固定子３０１ｂの後方には保護部材３２９が設けられ、以上によりシャッタユニット３５１を構成している。また、保護部材３２９には、撮像素子３２７を収納した収納容器３２６が固着し、シャッタユニット３５１と撮像ユニット３５２は一体となり撮像モジュール３５０を構成している。
【００９６】
このように、本改良例では、固定子３０１ｂが上記実施形態における保護部材の機能を兼ねている。また、フレキ３０２に接続される給電用電極は固定子に覆われておらず、フレキ３０３に接続される給電用電極も保護部材に覆われていない構造となっている点が特徴的である。
【００９７】
以上詳述したように、本発明の実施の形態によれば、移動部材の設けられた空間を簡単に密閉構造に構成することが可能で外部から埃の入り込むことがない信頼性の高い静電シャッタ装置等を実現することができる。シャッタユニットの製造に、埃等の発生が懸念されるフレキシブルプリント基板の接続工程を持ち込むことを避けることができる。
【００９８】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されることなくその趣旨を逸脱しない範囲で種々の改良・変更が可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態に係る静電シャッタ装置におけるシャッタ機構の駆動原理を詳細に説明するための図。
【図２】エレクトレットシャッタ７及び駆動回路１０の構成を示す図。
【図３】（ａ）乃至（ｄ）は上記駆動回路１０によって生成され駆動電極４Ａ〜４Ｄに印加される電圧信号の一例を示すタイミングチャート。
【図４】（ａ）乃至（ｄ）はエレクトレットシャッタ７の動作を説明する為の図。
【図５】（ａ）は、本発明の一実施の形態に係る静電シャッタ装置を適用した撮像モジュール２０の構成図、（ｂ）は当該撮像モジュール２０の断面図。
【図６】固定子１の詳細な構成図。
【図７】（ａ）乃至（ｃ）は先幕２４ａと後幕２４ｂの動作を説明する図。
【図８】本発明の一実施の形態に係るシャッタ装置を用いたカメラの電気系のシステム構成を示すブロック図。
【図９】シャッタ駆動制御回路９０とシャッタユニット２１との信号接続を示す図。
【図１０】Ｂμｃｏｍ８５の概略の撮影動作手順を示すフローチャート。
【図１１】全開露光時のシャッタ制御タイムチャート。
【図１２】スリット露光時のシャッタ制御動作を説明するタイムチャート。
【図１３】（ａ），（ｂ）は、それぞれ本発明の一実施の形態で駆動電極４ａ，４ｂが設けられた固定子１の主要部のみ示した正面図と裏面図。
【図１４】（ａ），（ｂ）は、固定子１の給電用電極４ａ−２、４ｂ−２が一枚のフレキ２９１により電気的に接続された改良例を示す図。
【図１５】（ａ），（ｂ）は本発明の一実施の形態に適用し得る別の電極の構成を採用した別の改良例の構成図。
【図１６】図１５（ａ），（ｂ）に示す方法で給電用電極を固定子の片側の面に設置して当該給電用電極にコネクタ３００を電気的に接続を示す図。
【図１７】本発明の一実施の形態の別の改良例として、２つの固定子３０１ａ，３０１ｂを用いた場合の構成図。
【図１８】本発明の一実施の形態の別の改良例として、２つの固定子３０１ａ，３０１ｂを用いた場合の構成図。
【符号の説明】
【０１００】
１・・・固定子、２・・・移動子、３・・・光線通過可能領域部、４・・・駆動電極、５・・・エレクトレット。
【図１】
2005326765.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005326765.tif 000009
【図８】
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【図９】
2005326765.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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