(57)【要約】【課題】  基板表面の特定部位に水分を集中させることなく、また、除去した水分の基板への再付着を阻止して、基板表面全体から確実に水分を除去することができる極めて実用性に秀れた水分除去装置並びに基板洗浄装置を提供するものである。【解決手段】  所定速度の流体が一側から他側に向かって管路内を流通する流通部１に、この流通部１から分岐する分岐部２を設け、この分岐部２の端部２ａに基板４表面に近接せしめる吸引用開口部３を設け、前記流通部１を所定速度で流通する前記流体によりこの流通部１を前記分岐部２に対して減圧状態とすることで、前記基板４表面に付着した水分５を前記吸引用開口部３から分岐部２内へ吸引し得る吸引力が生じるように構成したものである。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定速度の流体が一側から他側に向かって管路内を流通する流通部に、この流通部から分岐する分岐部を設け、この分岐部の端部に基板表面に近接せしめる吸引用開口部を設け、前記流通部を所定速度で流通する前記流体によりこの流通部を前記分岐部に対して減圧状態とすることで、前記基板表面に付着した水分を前記吸引用開口部から分岐部内へ吸引し得る吸引力が生じるように構成したことを特徴とする水分除去装置。
【請求項２】
前記流通部に、この流通部の一側と連通してこの流通部に圧縮空気を送出するコンプレッサ若しくは流通部の他側と連通してこの流通部の空気を吸引するポンプを設け、このコンプレッサ若しくはポンプにより流通部に所定速度の空気を流通させるように構成したことを特徴とする請求項１記載の水分除去装置。
【請求項３】
前記流通部の他側に、前記吸引用開口部から吸引され、分岐部と流通部とを通ってこの流通部の他側から排出される前記水分を貯留する貯留部を設けたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の水分除去装置。
【請求項４】
前記吸引用開口部は、基板の長辺方向若しくは短辺方向と略同じ長さを有する長尺の吸引用開口部に設定したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の水分除去装置。
【請求項５】
前記流通部を複数並設状態に配設すると共に、この流通部から分岐する分岐部を複数並設状態に配設し、この隣接する分岐部の吸引用開口部同志を夫々連結することで、前記基板の長辺方向若しくは短辺方向と略同じ長さを有する一の吸引用開口部を形成したことを特徴とする請求項４記載の水分除去装置。
【請求項６】
前記流通部に対して略垂直に前記分岐部をこの流通部から分岐したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の水分除去装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項に記載の水分除去装置を設けた基板洗浄装置であって、基板を搬送するラインに、一若しくは複数の、ブラッシング（ポリシング）装置，高圧ジェット洗浄装置，前記水分除去装置，乾燥装置を夫々並べて各処理が一連に行える一体化構成としたことを特徴とする基板洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば基板洗浄装置に設けられ、基板の水分を除去する水分除去工程で用いられる水分除去装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、有機ＥＬは、陰極と陽極の間に有機膜を約１５０ｎｍ構成し電極間に電流を流し有機膜を光らせるものであるが、電極間隔が非常に狭い為電極間にリークが発生し素子の寿命を短くしている。電極間のリークはガラス基板ＩＴＯ膜の表面の異物、スパッタリングのスパイク状の突起、前工程の有機物等の残渣等に起因することが多い。その為信頼性の高い寿命の長い有機ＥＬを製作するためには、ガラス基板上のＩＴＯ膜面の清浄度をサブミクロンの異物やパーティクル、スパッタリングのスパイク状突起、有機物や金属の残渣、酸化膜が全くない清浄な状態にすることが重要である。
【０００３】
基板の清浄度を上げる従来の方法としてはブラシ洗浄、超音波洗浄、高圧ジェット洗浄等の各種の洗浄工程を担うユニットを並べて設置するものがあるが、これらの方法により基板を洗浄する際にはこの基板表面に水分が付着し、この水分には上記洗浄工程により基板表面から離脱した異物等が含まれているため、放置しておくとこの水分のみが蒸発して異物が基板表面に残ってしまう。そのため、基板洗浄時に基板表面に付着した水分の効率的な除去が求められている。
【０００４】
そこで、従来は一般にエアーナイフを用いて基板表面の水分をこの基板表面から外部に押し流すことで除去していたが、基板と外部との境界部である基板端縁に水分が残りやすく、また、このエアーナイフにより水分を除去する際、吹き飛ばして舞い上がった水滴が基板に再付着して基板を汚してしまうという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上述のような現状に鑑み、エアーナイフで基板表面に付着した水分を押し流す際、この基板端縁に基板上の水分が集中し且つこの基板端縁は外部との境界部であるためこの端縁を越えて押し流しにくいため、この基板端縁に水分が残りやすかったという知見に基づき成されたもので、基板表面に付着した水分を押し流さずに吸引することで、基板表面の特定部位に水分を集中させることなく、また、除去した水分の基板への再付着を阻止して、基板表面全体から確実に水分を除去することができる極めて実用性に秀れた水分除去装置並びに基板洗浄装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【０００７】
所定速度の流体が一側から他側に向かって管路内を流通する流通部１に、この流通部１から分岐する分岐部２を設け、この分岐部２の端部２ａに基板４表面に近接せしめる吸引用開口部３を設け、前記流通部１を所定速度で流通する前記流体によりこの流通部１を前記分岐部２に対して減圧状態とすることで、前記基板４表面に付着した水分５を前記吸引用開口部３から分岐部２内へ吸引し得る吸引力が生じるように構成したことを特徴とする水分除去装置に係るものである。
【０００８】
また、前記流通部１に、この流通部１の一側と連通してこの流通部１に圧縮空気を送出するコンプレッサ若しくは流通部１の他側と連通してこの流通部１の空気を吸引するポンプを設け、このコンプレッサ若しくはポンプにより流通部１に所定速度の空気を流通させるように構成したことを特徴とする請求項１記載の水分除去装置に係るものである。
【０００９】
また、前記流通部１の他側に、前記吸引用開口部３から吸引され、分岐部２と流通部１とを通ってこの流通部１の他側から排出される前記水分５を貯留する貯留部を設けたことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の水分除去装置に係るものである。
【００１０】
また、前記吸引用開口部３は、基板４の長辺方向若しくは短辺方向と略同じ長さを有する長尺の吸引用開口部３に設定したことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の水分除去装置に係るものである。
【００１１】
また、前記流通部１を複数並設状態に配設すると共に、この流通部１から分岐する分岐部２を複数並設状態に配設し、この隣接する分岐部２の吸引用開口部３同志を夫々連結することで、前記基板４の長辺方向若しくは短辺方向と略同じ長さを有する一の吸引用開口部３を形成したことを特徴とする請求項４記載の水分除去装置に係るものである。
【００１２】
また、前記流通部１に対して略垂直に前記分岐部２をこの流通部１から分岐したことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の水分除去装置に係るものである。
【００１３】
また、請求項１〜６のいずれか１項に記載の水分除去装置を設けた基板洗浄装置であって、基板４を搬送するラインに、一若しくは複数の、ブラッシング（ポリシング）装置，高圧ジェット洗浄装置，前記水分除去装置，乾燥装置を夫々並べて各処理が一連に行える一体化構成としたことを特徴とする基板洗浄装置に係るものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は上述のように構成したから、基板表面の特定部位に水分を集中させることなく、また、除去した水分の基板への再付着を阻止して、基板表面全体から確実に水分を除去することができる極めて実用性に秀れた水分除去装置並びに基板洗浄装置となる。
【００１５】
また、請求項２記載の発明においては、本発明を一層容易に実現できるより実用性に秀れた水分除去装置となる。
【００１６】
また、請求項３記載の発明においては、除去した水分の基板表面への再度の付着を確実に阻止して基板の清浄度を一層高めることができる一層実用性に秀れた水分除去装置となる。
【００１７】
また、請求項４記載の発明においては、基板表面から一層効率良く短時間で水分を除去できる一層実用性に秀れた水分除去装置となる。
【００１８】
また、請求項５記載の発明においては、分岐部への流通部を流通する流体の流入を阻止できる一層実用性に秀れた水分除去装置となる。
【００１９】
また、請求項６記載の発明においては、基板表面に残る（前記離脱した異物を含む）水分を確実に処理でき、基板の清浄度をより一層高めることができる極めて実用性に秀れた基板洗浄装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
好適と考える本発明の実施の形態（発明をどのように実施するのが最良か）を、図面に基づいてその作用効果を示して簡単に説明する。
【００２１】
基板４表面を純水等で洗浄した後、この基板４表面に付着した水分５を除去する際、この基板４表面に吸引用開口部３を近接せしめ、この吸引用開口部３から基板４表面の水分を吸引することで基板４表面から水分５を除去する。
【００２２】
具体的には、流通部１に所定速度の流体を流通させ、この流体の速度に応じてこの流通部１の圧力を低下させて分岐部２に対して減圧状態とすることで、この分岐部２内の空気が流通部１に引き込まれ、この分岐部２の吸引用開口部３から分岐部２内へ向かって吸引力が生じ、この吸引力により前記吸引用開口部３から前記基板４表面に付着した水分５を吸引し、この水分５を流通部１を流れる流体と共にこの流通部１の他側から排出する。
【００２３】
即ち、従来のエアーナイフのように高圧の空気を吹き付けて基板４表面から水分を押し流して除去するのではなく、基板４表面に付着した水分５を吸引用開口部３から吸引することで除去するから、この基板４表面に付着した水分５はこの吸引用開口部３により、この吸引用開口部３との当接部分若しくは近接部分から徐々に吸引され、基板４表面の特定部位に集中することがない。
【００２４】
従って、基板４表面から水分５を押し流して除去するエアーナイフを用いた場合のように、基板４表面に付着した水分５を基板４端縁に向かって押動してこの端縁に集中してしまうことも、この水分５をまとめて越えにくい基板端縁から押し流す必要もなく、基板４表面から少しずつ確実に水分５を除去することができるから、基板４表面全体から確実に水分を除去することができ、基板４端縁に水分５が残らず、基板４表面からの水分除去を極めて良好に行うことができる。
【００２５】
更に、基板４表面から水分５を吹き飛ばさないから、吹き飛んで舞い上がった水分５が基板４表面に再付着することがなく、この点からも、基板４表面からの水分除去を良好に行えることになる。
【００２６】
即ち、例えば、基板洗浄装置によりブラッシング（ポリシング），高圧ジェット洗浄，水分除去及び乾燥等の各工程を経て基板４を洗浄する際、ブラッシング等により基板４表面の異物をこの基板４表面から離脱させ、高圧ジェット洗浄により除去した後、この基板４表面に残る（前記離脱した異物を含む）水分５を確実に処理できることになり、基板４の清浄度を一層高めることが可能となる。
【００２７】
また、例えば、前記流通部１の他側に、前記吸引用開口部３から吸引され、分岐部２と流通部１とを通ってこの流通部１の他側から排出される前記水分５を貯留する貯留部を設けた場合には、吸引した水分５が直接外部に排出されず、基板４への再付着をより一層阻止できることになり、一層この基板４の清浄度を高めることができることになる。
【００２８】
また、例えば、前記分岐部２の吸引用開口部３を、基板４の長辺方向若しくは短辺方向と略同じ長さを有する長尺の吸引用開口部３に設定した場合には、この吸引用開口部３を基板４表面上で何度も往復させる必要なく、基板４表面上を一度通過するだけでこの基板４表面から水分５を除去することができ、極めて効率良く短時間で基板４表面に付着した水分５を除去できることになる。
【００２９】
従って、本発明は、基板表面の特定部位に水分を集中させることなく、また、除去した水分の基板への再付着を阻止して基板表面全体から確実に水分を除去することができる極めて実用性に秀れた水分除去装置並びに基板洗浄装置となる。
【実施例】
【００３０】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００３１】
本実施例は、所定速度の流体が一側から他側に向かって管路内を流通する流通部１に、この流通部１から分岐する分岐部２を設け、この分岐部２の端部２ａに基板４表面に近接せしめる吸引用開口部３を設け、前記流通部１を所定速度で流通する前記流体によりこの流通部１を前記分岐部２に対して減圧状態とすることで、前記基板４表面に付着した水分５を前記吸引用開口部３から分岐部２内へ吸引し得る吸引力が生じるように構成したものである。
【００３２】
具体的には、ブラッシング（ポリシング），高圧ジェット洗浄，水分除去及び乾燥の各工程を行うブラッシング（ポリシング）装置10，高圧ジェット洗浄装置11，水分除去装置12及び乾燥装置13を夫々一若しくは複数並設し、搬送される基板４を洗浄する基板洗浄装置に組み込んで用いるものである。尚、基板洗浄装置に組み込まずに別体で使用しても良いのは勿論である。
【００３３】
更に具体的には、図１，２に図示したように、基板４を搬送するラインに、２台のブラッシング（ポリシング）装置10，３台の高圧ジェット洗浄装置11，一台の本実施例にかかる水分除去装置12及び２台の乾燥装置13を並設し、この搬送される基板４を洗浄するように構成している。
【００３４】
本実施例は、基板４表面に近接する吸引用開口部３からこの基板４表面に付着した水分５を吸引する構成であり、具体的には、流通部１の一側にホースを介してコンプレッサ（図示省略）を接続し、このコンプレッサから導出される圧縮空気をこの流通部１に流通させることで吸引用開口部３から水分５を吸引する。
【００３５】
具体的には、この流通部１を流通する圧縮空気の速度が、この圧縮空気を一側から他側（図３中左側から右側）に流通させることで流通部１を減圧状態とし、分岐部２側から流通部１側にこの圧力差に伴う吸引力を生じさせ、吸引用開口部３から基板４表面に付着した水分を吸引し得る速度となるように、前記コンプレッサから前記圧縮空気を送出する。
【００３６】
また、この吸引用開口部３から吸引される水分は、分岐部２及び流通部１を通ってこの流通部１の他側からホースを介して排出される。
【００３７】
尚、本実施例は、一側から他側に流体を送出することで、この流通部１を分岐部２に対して減圧状態とするように構成しているが、前記流通部１の他側にこの流通部１を流れる流体を吸引するポンプを設け、このポンプによる吸引によりこの流通部１に流体を所定速度で流通させるように構成しても良い。この場合、図６に図示したように流通部１の一側を閉塞してこのポンプによる吸引により吸引用開口部３に吸引力を生じさせる。
【００３８】
従って、基板４表面に付着した水分５を、エアーナイフのようにこの基板４表面を移動させて基板端縁からまとめて押し流して除去する構成ではなく、この基板４にして前記吸引用開口部３と近接する部位から徐々に吸引して除去する構成であるから、基板４表面全体から確実に水分５を除去することができ、基板４表面の中央部から端縁に向かって押し流す場合のようにこの表面の水分５が端縁に集中せず、少しずつ確実に除去することができるから、従来のように基板端縁に水分が残りやすいという問題が生ぜず、この基板４表面から確実に水分５を除去できることになる。
【００３９】
しかも、基板４表面から水分を吹き飛ばすおそれもないから、舞い上がった水分が基板４表面に再付着することがなく、この点からも、基板４表面からの水分除去を確実に行えることとなる。
【００４０】
また、流通部１の他側からは前記圧縮空気と一緒に吸引された水分５が導出されるが、例えば、この導出側である流通部１の他側に、流通部１を流通する空気と区別して前記水分５を貯留する貯留部（図示省略）を設けることで、この水分５を直接外部に排出せずにある程度溜めてから処分することができることになり、一度基板４表面から除去した水分５が基板４表面への再付着を確実に阻止することができ、この基板４表面の清浄度を高めることが可能となる。
【００４１】
各部を具体的に説明すると、図３に図示したように流通部１と分岐部２とは夫々直線状であり、この分岐部２の分岐角度は、流通部１に対して垂直方向に分岐する角度（即ち９０度）に設定している。従って、この分岐部２に流通部１を流通する流体が流入しにくい構成である。尚、更にこの分岐部２に流通部１を流通する流体が流入しにくいように、分岐部２を前記流通部１の一側に向かって傾斜するような角度で流通部１から分岐させても良い。
【００４２】
また、本実施例は、流通部１と分岐部２とを夫々管体で形成した構成であり、具体的には、流通部１を形成する管体の周壁に形成された連通孔を介して前記分岐部２が流通部１と連通するようにこの流通部１を形成する管体の周壁と分岐部２を形成する管体の連結部とを連結することで、流通部１から分岐部２を分岐している。
【００４３】
吸引用開口部３は、基板４の短辺方向と略同じ長さを有する長尺の吸引用開口部３に設定している。具体的には、より確実にこの基板４表面に付着した水分５を吸引し得るようにこの基板４の短辺よりやや長くなるように設定している。従って、基板４がこの基板４の長辺方向に対して平行方向に搬送される場合、吸引用開口部３を基板４の搬送方向に対して直交方向に近接させることで効率良く短時間で基板４表面に付着した水分５を吸引できる。
【００４４】
尚、この吸引用開口部３を基板４の長辺方向と略同じ長さを有する長尺の吸引用開口部３に設定しても良く、この場合には基板４の短辺方向に対して平行方向に搬送される場合でも効率良く水分５を除去できることになる。
【００４５】
また、特に、大きな基板４表面から水分を吸引除去する場合には、図５に図示したように前記流通部１を複数並設状態に配設すると共に、この流通部１から分岐する分岐部２を複数並設状態に配設し、この隣接する分岐部２の吸引用開口部３同志を夫々連結することで、一の吸引用開口部３を形成しても良い。
【００４６】
即ち、基板４が大きく、これに合わせてその長さを設定した吸引用開口部３に対して一の流通部１による吸引力では足りない場合には、複数の流通部１により基板４表面に付着した水分５をこの吸引用開口部３から分岐部２内へ吸引し得る吸引力が生じるようにし、これら複数の流通部１を用いて大きな吸引開口部３でも充分な前記吸引力を発揮できるように構成することで、簡易且つ確実に大きな基板４表面からの水分５の除去を行えることになる。
【００４７】
更に吸引用開口部３は、図４に図示したように先端ほど幅狭となる先細り形状に設定しており、従って、この吸引用開口部３は、前述のように長尺形状とすることで基板４表面の水分５を効率良く吸引できるのは勿論、この吸引用開口部３からの吸引力は吸引用開口部３の開口面積に反比例するため、幅狭で長尺の細長い吸引用開口部３とすることで、この吸引用開口部３における吸引力は十分なものとなり、基板４表面に付着した水分５を確実に吸引し得ることになる。
【００４８】
また、この吸引用開口部３から吸引された水分５が通過する分岐部２の中央部２ｂは、この吸引用開口部３に比して巾広に設定している。従って、この吸引用開口部３から吸引された水分は分岐部２の内壁に付着しにくく良好に基部２ｃを通って流通部１から排出される。
【００４９】
基部２ｃは中央部２ｂに比べて断面積を小さく設定している。従って、この基部２ｃに生じる吸引力は大きく、一度吸引用開口部３から吸引した水分を基板４に再付着させることなく確実に流通部１に排出し得る構成である。
【００５０】
また、流通部１にして分岐部２が分岐する部分には他の部位に比して断面積の小さい径小部６を設けている。この径小部６の圧力はより高くなり、空気はこの径小部６をより速い速度で流通することになる。従って、この流通部１と分岐部２との分岐部分における流通部１の圧力は特に減圧されることになり、分岐部２内の空気は一層良好にこの流通部１に引き込まれ、一層良好に吸引用開口部３から基板４表面の水分５を吸引できることになる。
【００５１】
しかも、流通部１の径小部６より他側には、この流通部１の他側に向かって拡径する逆流防止部７を設けた構成としている。この逆流防止部７は、前記径小部６側に設けられるこの径小部６よりやや径大な流入部７ａと、この流入部７ａから前記流通部１の他側に向かって徐々に拡径する傾斜面７ｂとから成り、この傾斜面７ｂの他側に向かう程抵抗が小さくなるように設定しているから、この逆流防止部７を通る前記水分５の逆流を確実に阻止してこの水分５の基板４への再付着を確実に阻止することができる。尚、図中符号８は基板４を搬送する搬送部であり、９は基板が載置される載置台である。
【００５２】
本実施例は上述のように構成したから、基板４表面を純水等で洗浄した後、この基板４表面に付着した水分５を除去する際、この基板４表面に吸引用開口部３を近接せしめ、この吸引用開口部３から基板４表面の水分を吸引することで基板４表面から水分５を除去する。
【００５３】
具体的には、流通部１に所定速度の流体を流通させ、この流体の速度に応じてこの流通部１の圧力を低下させて分岐部２に対して減圧状態とすることで、この分岐部２内の空気が流通部１に引き込まれ、この分岐部２の吸引用開口部３から分岐部２内へ向かって吸引力が生じ、この吸引力により前記吸引用開口部３から前記基板４表面に付着した水分５を吸引し、この水分５を流通部１を流れる流体と共にこの流通部１の他側から排出する。
【００５４】
即ち、従来のエアーナイフのように高圧の空気を吹き付けて基板表面から水分を押し流して除去するのではなく、基板４表面に付着した水分５を吸引用開口部３から吸引することで除去するから、この基板４表面に付着した水分５はこの吸引用開口部３により、この吸引用開口部３との近接部分から徐々に吸引され、基板４表面の特定部位に集中することがない。
【００５５】
従って、基板表面から押し流して除去するエアーナイフを用いた場合のように、基板表面に付着した水分を基板端縁に向かって押動し、この水分をまとめて基板端縁から押し流す必要なく基板４表面から少しずつ確実に水分を除去することができるから、基板４表面全体から確実に水分を除去することができ、基板４端縁に水分が残ることが阻止される。
【００５６】
更に、基板４表面から水分を吹き飛ばさないから、吹き飛んで舞い上がった水分が基板４表面に再付着することがなく、この点からも、基板４表面からの水分除去を良好に行えることになる。
【００５７】
即ち、基板洗浄装置によりブラッシング（ポリシング），高圧ジェット洗浄，水分除去及び乾燥の各工程を経て基板４を洗浄する際、ブラッシング等により基板４表面の異物をこの基板４表面から離脱させ、高圧ジェット洗浄により除去した後、この基板４表面に残る（前記離脱した異物を含む）水分５を確実に処理できることになり、基板４の清浄度を一層高めることが可能となる。
【００５８】
従って、本実施例は、基板表面の特定部位に水分を集中させることなく、また、除去した水分の基板への再付着を阻止して基板表面全体から確実に水分を除去することができる極めて実用性に秀れた水分除去装置並びに基板洗浄装置となる。
【００５９】
本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本実施例の概略説明側面図である。
【図２】本実施例の概略説明平面図である。
【図３】本実施例の概略説明正断面図である。
【図４】本実施例の概略説明側断面図である。
【図５】本実施例の概略説明正断面図である。
【図６】別例の概略説明側断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  流通部
２  分岐部
２ａ  端部
３  吸引用開口部
４  基板
５  水分
【図１】
2005177586.tif 000003
【図２】
2005177586.tif 000004
【図３】
2005177586.tif 000005
【図４】
2005177586.tif 000006
【図５】
2005177586.tif 000007
【図６】
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