(57)【要約】【課題】  接合不良を防止することのできるノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供すること。製造工程を簡素化することができるノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供すること。【解決手段】  記録ヘッド１１は、複数の流路が形成された流路基板１６を備える。また、流路基板１６に接合されるとともに、各第２の供給路２１にそれぞれ連通し、インクを吐出する複数のノズル１３を備えたノズルプレート１２を備える。ノズル１３は、上面１２ａにおいて開口した第１ストレート部と、傾斜面を有し、その傾斜面とノズル１３の軸方向とがなす角度が、第１ストレート部の内面とノズル１３の軸方向とがなす角度よりも大きいとともに、その一端が第１ストレート部に拡開して第１ストレート部に接続する第２テーパ部を備える。また、第２テーパ部の他端に接続し、ノズルプレート１２の吐出側の面において開口した第２ストレート部を備える。【選択図】      図３
2005088229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が供給される液体流路が形成された流路基板に接合され、前記液体流路に連通し且つ前記液体流路内の液体を吐出するノズルを備えたノズルプレートであって、
前記ノズルプレートに貫通形成されたノズルは、
前記ノズルプレートの前記液体流路側の面において開口した第１供給孔と、
傾斜面を有し、その傾斜面と前記ノズルの軸方向とがなす角度が、前記第１供給孔の内面と前記ノズルの軸方向とがなす角度よりも大きいとともに、その一端が前記第１供給孔側に拡開して前記第１供給孔に接続する第２供給孔と、
前記第２供給孔の他端に接続され、内面と前記ノズルの軸方向とがなす角度が、前記第２供給孔の傾斜面と前記ノズルの軸方向とがなす角度よりも小さい第３供給孔と
を備えたことを特徴とするノズルプレート。
【請求項２】
請求項１に記載のノズルプレートにおいて、
前記第１供給孔及び第３供給孔は、そのノズルの軸方向と略平行な方向に略円柱形状に形成されていることを特徴とするノズルプレート。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のノズルプレートにおいて、
前記第１供給孔及び第３供給孔の内面は、前記ノズルプレートの前記液体流路側の面及び前記吐出側の面に対して略垂直な方向に伸びていることを特徴とするノズルプレート。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一つに記載のノズルプレートにおいて、
前記第１供給孔の軸方向の長さは、前記第２供給孔の軸方向の長さよりも大きいことを特徴とするノズルプレート。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一つに記載のノズルプレートにおいて、
前記第１供給孔の内径は、前記第３供給孔の内径よりも大きいことを特徴とするノズルプレート。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一つに記載のノズルプレートにおいて、
前記ノズルプレートは、１枚の板状部材から形成されることを特徴とするノズルプレート。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一つに記載のノズルプレートにおいて、
前記ノズルは、前記ノズルプレートの前記液体流路側の面と前記第１供給孔との間にテーパ部を備えていることを特徴とするノズルプレート。
【請求項８】
液体が供給される液体流路が形成された流路基板に接合され、前記液体流路に連通し且つ前記液体流路内の液体を吐出するノズルを貫通形成したノズルプレートを備えた液体噴射ヘッドにおいて、
前記ノズルプレートに貫通形成されたノズルは、
前記ノズルプレートの前記液体流路側の面において開口した第１供給孔と、
傾斜面を有し、その傾斜面と前記ノズルの軸方向とがなす角度が、前記第１供給孔の内面と前記ノズルの軸方向とがなす角度よりも大きいとともに、その一端が前記第１供給孔側に拡開して前記第１供給孔に接続する第２供給孔と、
前記第２供給孔の他端に接続され、内面と前記ノズルの軸方向とがなす角度が、前記第２供給孔の傾斜面と前記ノズルの軸方向となす角度よりも小さい第３供給孔と
を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項９】
請求項８に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、インクジェット式記録装置等に具体化される液体噴射装置は、液体収容体から導出された液体を、ノズルを備えた液体噴射ヘッドから吐出する。この液体噴射ヘッドは、一般的に、液体収容体に連通された液体流路としての貯留室（リザーバ）と、この貯留室に連通している複数の圧力発生室とが形成された流路基板を備える。さらに、電圧の印加により変形し、圧力発生室の体積を変える複数の圧力発生素子と、各圧力発生室にそれぞれ連通した複数のノズルを有するノズルプレートとを備える。ノズルプレートの各ノズルからは、圧力発生素子により圧力発生室が加圧された際に、圧力発生室内の液体が吐出される。
【０００３】
このノズルプレートは、圧力発生室等が形成された前記流路基板の下面に固着されている。そして、ノズルプレートの中には、図７及び図８に示すように、流路基板側（液体流路側）の開口を拡開させ、液体を流入しやすくして、液体吐出量、吐出速度等の吐出性能を向上させるものがある。このノズルプレート５０，５５に穿孔されたノズル５１，５６は、主に、上面５０ａ，５５ａ側で拡開したテーパ部５２，５７と、図中略垂直な方向に延び、下面５０ｂ，５５ｂ側（吐出側）で開口したストレート部５３，５８とから構成されていた。このノズルプレート５０，５５を前記流路基板に接合する際は、各テーパ部５２，５７の開口の間のスペースが接合面となり、ノズルプレート５０，５５は、その接合面に接着剤等を塗布する等して流路基板に接合されていた（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００３−１１２４２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、ノズルプレート５０，５５に、所定の液体容積を確保したノズル５１，５６を穿孔すると、流路基板側、すなわち上面５０ａ，５５ａのノズル開口内径が比較的大きくなる。このため、図７に示すように、上面５０ａ側の各ノズル開口の間隔ｍ１は、小さくなり、その結果、前記流路基板に対する接合面が狭くなってしまう。接合面が狭くなると、そのノズルプレート５０を流路基板に接合する際に、ノズルプレート５０の接合面と、前記流路基板との位置合わせを精度よく行う必要が生じ、製造工程数が増加してしまうことがある。特に、ノズルプレート５０にノズル５１を高密度に配列した場合には、ノズルプレート５０の接合位置が僅かにずれただけで、ノズル５１が隣接する圧力発生室等の流路と連通する等の接合不良が生じることがある。このような接着不良が生じた場合、インクの吐出不良が生じるおそれがある。
【０００５】
また、図８に示すように、ノズルプレート５５に、上面５５ａ側の各ノズル開口の間隔ｍ２（間隔ｍ２＞間隔ｍ１）が充分な大きさになるようにノズル５６を形成すると、下面５５ｂ側の各ノズル開口の間隔ｍ３が大きくなってしまうことがある。このため、ノズルプレートにノズルを高密度に形成することができず、液体噴射ヘッドの大型化を招くことがある。
【０００６】
本発明の目的は、接合不良を防止することができるノズルプレート、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することにある。
また、本発明の別の目的は、製造工程を簡素化することができるノズルプレート、液体
噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のノズルプレートは、液体が供給される液体流路が形成された流路基板に接合され、前記液体流路に連通し且つ前記液体流路内の液体を吐出するノズルを備えたノズルプレートであって、前記ノズルプレートに貫通形成されたノズルは、前記ノズルプレートの前記液体流路側の面において開口した第１供給孔と、傾斜面を有し、その傾斜面と前記ノズルの軸方向とがなす角度が、前記第１供給孔の内面と前記ノズルの軸方向とがなす角度よりも大きいとともに、その一端が前記第１供給孔側に拡開して前記第１供給孔に接続する第２供給孔と、前記第２供給孔の他端に接続され、内面と前記ノズルの軸方向とがなす角度が、前記第２供給孔の傾斜面と前記ノズルの軸方向とがなす角度よりも小さい第３供給孔とを備えた。
【０００８】
これによれば、ノズルプレートに形成されたノズルは、第１の供給孔と、前記第１供給孔の内面と前記ノズルの軸方向とがなす角度よりも大きな傾斜角を有する傾斜面を備え、第１供給孔側に拡開する第２供給孔とを備える。さらに、第２供給孔に接続し、ノズルプレートの吐出面側の面において開口した第３の供給孔を備える。そして、ノズルが形成されたノズルプレートは、液体流路が形成された流路基板に接合される。
【０００９】
つまり、第１供給孔の内面は、第２供給孔の内面より傾斜が少なくとも小さい。従って、第１供給孔を省略した、単に内面が傾斜した第２供給孔と第３供給孔とからなる形状のノズルと比較して、ノズル内の液体容積を減少させずに、液体流路側の開口を小さくすることができる。このため、ノズルプレートの吐出側の面に形成した第３供給孔のノズル開口の間隔を変更せずに、ノズルプレートの液体流路側に形成した第１供給孔のノズル開口の間隔を大きくすることができ、各ノズル間に設けられた、流路基板に対する接合面となるスペースが大きくなる。このため、吐出側のノズル開口の密度を大きくしながら、流路基板との接合面を大きくすることができる。従って、ノズルプレートの流路基板に対する位置合わせが容易となり、接合不良の発生を防止することができる。又は、接合面が大きくなるので、ノズルプレートを流路基板に対して強固に接合できる。
【００１０】
このノズルプレートにおいて、前記第１の供給孔及び第３の供給孔は、そのノズルの軸方向と略平行な方向に略円柱形状に形成されている。
これによれば、第１の供給孔及び第３の供給孔は、そのノズルの軸方向と略平行な方向に形成されている。すなわち、ほぼ円柱状に形成されるため、液体流路側で拡開するようなことがなく、第１供給孔を省略したノズルに比べて液体流路側の開口を小さくすることができる。従って、液体流路側のノズル開口の間隔を比較的大きくすることができるため、流路基板との接合面を大きくすることができる。また、第３の供給孔は、軸方向と略平行に形成されているため、液体を軸方向と略平行な方向に吐出することができる。
【００１１】
このノズルプレートにおいて、前記第１供給孔及び第３供給孔の内面は、前記ノズルプレートの前記液体流路側の面及び前記吐出側の面に対して略垂直な方向に伸びている。
これによれば、第１供給孔は、液体流路側の面で拡開するようなことがないため、第１供給孔を省略した形状のノズルに比べて液体流路側の開口を比較的小さくすることができる。従って、液体流路側のノズル開口の間隔を比較的大きくすることができるため、流路基板との接合面を大きくすることができる。第３の供給孔の内面は、液体流路側の面及び吐出側の面に対して略垂直な方向になるように形成されているため、液体をノズル開口面から垂直方向に吐出することができる。
【００１２】
このノズルプレートにおいて、前記第１供給孔の軸方向の長さは、前記第２供給孔の軸方向の長さよりも大きい。
これによれば、第１供給孔の軸方向の長さは、第２供給孔の軸方向の長さよりも大きいため、傾斜の小さい内面を有する第１供給孔に収容する液体量を多くすることができる。このため、液体流路側のノズル開口の内径が同じであって、第１供給孔を省略した形状のノズルよりも、ノズル内の液体容積を多くすることができる。又は、必要な液体量を確保しつつ、第１供給孔の内径（開口）を小さくすることができる。このため、流路基板とノズルプレートとの接合面を大きくすることができる。
【００１３】
このノズルプレートにおいて、前記第１供給孔の内径は、前記第３供給孔の内径よりも大きい。
これによれば、液体流路側に配置される第１供給孔の内径は、第３供給孔の内径よりも大きいため、第３供給孔と比較して、孔の単位長さあたりの液体容積を大きくすることができる。従って、第１供給孔において必要な液体容積を確保することができ、充分な量の液体を第３供給孔から吐出することができる。
【００１４】
このノズルプレートにおいて、前記ノズルプレートは、１枚の板状部材から形成される。
これによれば、ノズルプレートは、１枚の板状部材から形成される。このため、複数の板状部材を互いに取着して形成した場合に生じる、各板状部材間の接合不良を防止することができる。
【００１５】
このノズルプレートにおいて、前記ノズルは、前記ノズルプレートの前記液体流路側の面と前記第１供給孔との間にテーパ部を備えている。
これによれば、ノズルは、液体流路側の面と第１供給孔との間にテーパ部をさらに備えている。このため、そのテーパ部の開口を介して、液体がノズル内に流れ込みやすくすることができる。
【００１６】
本発明の液体噴射ヘッドは、液体が供給される液体流路が形成された流路基板に接合され、前記液体流路に連通し且つ前記液体流路内の液体を吐出するノズルを貫通形成したノズルプレートを備えた液体噴射ヘッドにおいて、前記ノズルプレートに貫通形成されたノズルは、前記ノズルプレートの前記液体流路側の面において開口した第１供給孔と、傾斜面を有し、その傾斜面と前記ノズルの軸方向とがなす角度が、前記第１供給孔の内面と前記ノズルの軸方向とがなす角度よりも大きいとともに、その一端が前記第１供給孔側に拡開して前記第１供給孔に接続する第２供給孔と、前記第２供給孔の他端に接続され、内面と前記ノズルの軸方向とがなす角度が、前記第２供給孔の傾斜面と前記ノズルの軸方向となす角度よりも小さい第３供給孔とを備えた。
【００１７】
これによれば、ノズルプレートの第１供給孔の内面は、第２供給孔の内面より傾斜が少なくとも小さい。従って、第１供給孔を省略した、単に内面が傾斜した第２供給孔と第３供給孔とからなる形状のノズルと比較して、ノズル内の液体容積を減少させずに、液体流路側の開口を小さくすることができる。このため、ノズルプレートの吐出側の面に形成した第３供給孔のノズル開口の間隔を変更せずに、ノズルプレートの液体流路側に形成した第１供給孔のノズル開口の間隔を大きくすることができ、各ノズル間に設けられた、流路基板に対する接合面となるスペースが大きくなる。このため、吐出側のノズル開口の密度を大きくしながら、流路基板との接合面を大きくすることができる。従って、ノズルプレートの流路基板に対する位置合わせが容易となり、液体噴射ヘッドにおける接合不良の発生を防止することができる。又は、接合面が大きくなるので、ノズルプレートを流路基板に対して強固に接合できる。
【００１８】
本発明の液体噴射装置は、上記に記載の液体噴射ヘッドを備えた。
これによれば、液体噴射装置は、前記した第１供給孔、第２供給孔及び第３供給孔から
構成されるノズルを有するノズルプレートを具備した液体噴射ヘッドを備えるので、接合不良による液体の吐出不良を生じにくくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を具体化した液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置の一実施形態を図１〜図６にしたがって説明する。図１は、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという。）の要部斜視図、図２は、記録ヘッドに備えられるノズルプレートの下面図である。図３は、液体噴射ヘッドとしての記録ヘッドの要部断面図であり、図２中Ａ−Ａ線の断面を示す。
【００２０】
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、フレーム２を有している。このフレーム２には、主走査方向（図１中ｘ方向）に延びるプラテン３が設けられている。さらに、同プリンタ１は、送りモータ４を備えた、図示しない送り機構を有している。この送りモータ４は、送り機構に備えられた図示しない駆動ローラを駆動して、副走査方向（図１中ｙ方向）にターゲットとしての記録媒体Ｐを搬送し、プラテン３上に記録媒体Ｐを導くようになっている。
【００２１】
また、フレーム２には、駆動プーリ５ａ及び従動プーリ５ｂが回転可能に支持固定されている。同駆動プーリ５ａは正逆回転可能な可逆モータのキャリッジモータ６が連結されている。また、一対の駆動プーリ５ａ，従動プーリ５ｂには、タイミングベルト７が掛け装されており、タイミングベルト７にはキャリッジ８が固着されている。
【００２２】
キャリッジ８は、フレーム２内に架設されたガイド部材９に摺動可能に固定されている。このキャリッジ８は、キャリッジモータ６の駆動により、タイミングベルト７を介して主走査方向に往復移動する。キャリッジ８には、内部にインクを収容したインクカートリッジ１０が着脱可能に搭載されている。本実施形態では、インクカートリッジ１０は、内部に６つに区画された収容部を有し、各収容部には、シアン、ライトシアン、マゼンタ、ライトマゼンタ、イエロ、ブラックの６色の液体としてのインクをそれぞれ収容している。また、同キャリッジ８は、液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド１１を下面に有しており、記録ヘッド１１はプラテン３と対向している。記録ヘッド１１は、下面にノズルプレート１２（図３参照）を備えている。このノズルプレート１２の下面１２ｂには、図２に示すように６本のノズル列Ｌ１〜Ｌ６が形成されている。このノズル列Ｌ１〜Ｌ６は、一列に並んだ複数のノズル１３（図３参照）から構成されており、各ノズル列Ｌ１〜Ｌ６は、記録ヘッド１１をキャリッジ８に搭載した際に、ノズルプレート１２の副走査方向（ｙ方向）に平行になるように形成されている。また、ノズル列Ｌ１〜Ｌ６は、各インクカートリッジ１０にそれぞれ対応しており、列ごとに１色ずつ、シアン、ライトシアン、マゼンタ、ライトマゼンタ、イエロ、ブラックのインクをノズル開口から、記録媒体Ｐに向かって吐出する。
【００２３】
図３に示すように、この記録ヘッド１１は、本体１４を備えている。本体１４には、６本のインク供給路（図示せず）が形成されている。このインク供給路は、各インクカートリッジ１０から送出された各色のインクをそれぞれ内部に流入させるようになっている。
【００２４】
本体１４の下方には、流路基板１６が、封止板１７により本体１４と区画された状態で設けられている。封止板１７は、例えばステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属層Ｍと、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）等の樹脂層Ｒとが積層されて構成されている。この樹脂層Ｒは、フィルム状に形成されている。さらに、この封止板１７は、樹脂層Ｒ上に部分的に設けられた金属層Ｍからなる島部１７ａと、樹脂層Ｒからなる変位領域１７ｂとを有している。変位領域１７ｂは、封止板１７の金属層Ｍ側をエッチングして形成される。
【００２５】
この島部１７ａには、圧力発生素子としての圧電振動子２２が接続されている。圧電振動子２２は、本体１４に形成された収容部１４ｄに収容されており、本体１４に取着された取付部１４ｅを介して本体１４に固定されている。
【００２６】
封止板１７の下面に固着された流路基板１６には、液体流路を構成するリザーバ１８が形成されている。リザーバ１８は、流路基板１６に凹状に設けられ、封止板１７によって、その開口を封止されている。本体１４に設けられた前記インク供給路は、封止板１７を貫通し、このリザーバ１８に連通している。リザーバ１８は、前記インク供給路から送出されたインクを一時貯留する。
【００２７】
封止板１７において、リザーバ１８の開口を封止した領域は、樹脂層Ｒからなる変位領域１７ｂとなっている。このため、リザーバ１８を封止する変位領域１７ｂは、リザーバ１８にインクが導入されることにより発生する、インク圧の変動を吸収する緩衝材として機能する。
【００２８】
このリザーバ１８には、液体流路を構成する複数の第１の供給路１９が連通されている。各第１の供給路１９は、リザーバ１８を構成する側面１８ｃで開口している。第１の供給路１９は、図３中略水平方向に、流路基板１６の上面１６ａに溝状に形成されている。従って、第１の供給路１９は、上面１６ａ側で開口した状態となっており、封止板１７によってその開口を封止されている。
【００２９】
各第１の供給路１９は、各第１の供給路１９ごとに形成された圧力発生室２０に連通されている。各圧力発生室２０は、流路基板１６内に凹状に形成され、流路基板１６の上面１６ａ側で開口し、封止板１７にて封止されている。各圧力発生室２０を封止する領域は、変位領域１７ｂとなっており、各圧力発生室２０の上方には、それぞれ圧電振動子２２が接続された島部１７ａが設けられている。そして、圧力発生室２０の下方には、その底面から、図３中下方に向かって、液体流路を構成する第２の供給路２１が形成されている。この第２の供給路２１は、ノズルプレート１２に穿孔された各ノズル１３にそれぞれ連通されている。
【００３０】
圧力発生室２０の上方に設けられた圧電振動子２２に駆動信号が印加されて、圧電振動子２２が縮むように変形すると、圧電振動子２２に固定された島部１７ａ及び島部１７ａ付近の変位領域１７ｂが収容部１４ｄ側に変位し、圧力発生室２０の体積が大きくなる。その結果、リザーバ１８から圧力発生室２０にインクが供給される。そして、圧電振動子２２が延びるように変形すると、島部１７ａ及び変位領域１７ｂが圧力発生室２０側に変位する。その結果、圧力発生室２０のインクが押し出され、ノズル１３から微量のインクが粒状になって吐出される。
【００３１】
次に、ノズルプレート１２について詳述する。図４はノズルプレート１２のノズル１３の配列を示す説明図である。図５は、ノズルプレート１２の要部断面図であり、図２中Ｂ−Ｂ線の断面を示す。また、図６は、図５に示すノズル１３のうち一つの断面図を示す。尚、図５のノズルプレート１２は、液体流路側の面としての上面１２ａが流路基板１６側に接合され、吐出側の面としての下面１２ｂがインク吐出面になっている。
【００３２】
ノズルプレート１２は、１枚のステンレス鋼（ＳＵＳ）等からなる板状部材から形成される。そして、ノズルプレート１２の各ノズル列Ｌ１〜Ｌ６は、図４に示すように、ノズルプレート１２に穿孔された一列のノズル１３からなり、例えば、一つのノズル列Ｌ１〜Ｌ６に９６個〜１８０個等のノズル１３が形成されている。本実施形態では、長さ約２．５４センチメートル（１インチ）の各ノズル列Ｌ１〜Ｌ６にそれぞれ１８０個のノズル１３が穿孔されている。これらのノズル１３は、ノズルプレート１２を図示しないプレス機
によりプレス加工することで穿孔される。尚、図４には、便宜上、一つのノズル列Ｌ１（Ｌ２〜Ｌ６）の５個のノズル１３を示している。
【００３３】
このノズル１３は、図５及び図６に示すように、第１テーパ部Ｔ１、第１ストレート部Ｓ１、第２テーパ部Ｔ２、及び第２ストレート部Ｓ２を備えている。第１テーパ部Ｔ１は、ノズルプレート１２のノズル開口面としての上面１２ａ側で開口及び拡開しており、第１ストレート部Ｓ１に連通している。この第１テーパ部Ｔ１は、ノズル１３の穿孔の際に、図示しないパンチを上面１２ａ側から打ち込むことにより生じる、いわゆるだれによって形成される。この第１テーパ部Ｔ１のｚ方向の長さは、ノズル１３の全体の長さ（ｚ方向の長さ）、第１ストレート部Ｓ１等のｚ方向の長さに比較して短くなっている。尚、第１ストレート部Ｓ１、第２テーパ部Ｔ２、第２ストレート部Ｓ２、及び第１テーパ部Ｔ１は、特許請求の範囲の第１供給孔、第２供給孔、第３供給孔、テーパ部にそれぞれ対応している。
【００３４】
第１ストレート部Ｓ１は、ノズルプレート１２の上面１２ａ側から下面１２ｂ側に向かって、ノズル１３の軸方向（図５中ｚ方向）と略平行方向に延びている。そして、第１ストレート部Ｓ１の内面は、上面１２ａ及び下面１２ｂに対して略垂直方向に伸びている。このため、第１ストレート部Ｓ１は、略円柱形状に形成されている。図６に示すように、この第１ストレート部Ｓ１の軸方向のｚ方向の長さは、長さａとなっている。第２テーパ部Ｔ２は、第１ストレート部Ｓ１の一端から連続して形成され、上面１２ａ側から下面１２ｂ側になるにつれて断面積が小さくなるような、テーパ状の傾斜面を有している。すなわち、第２テーパ部Ｔ２は、第１ストレート部Ｓ１側に拡開している。図６に示すように、第２テーパ部Ｔ２の傾斜面と軸方向（垂直方向であって、図５中ｚ方向）とがなす傾斜角φは、本実施形態では約３５°となっており、第１ストレート部Ｓ１の内面と軸方向とがなす角度よりも大きい。また、第２テーパ部Ｔ２の軸方向の長さは、長さｂとなっており、第１ストレート部Ｓ１の長さａよりも小さい。
【００３５】
第２テーパ部Ｔ２の下面１２ｂ側の一端には、第２ストレート部Ｓ２が連続して形成されている。第２ストレート部Ｓ２は、上端が第２テーパ部Ｔ２に連通し、下端はノズルプレート１２の下面１２ｂで開口している。第２ストレート部Ｓ２は、軸方向（垂直方向であって、図５中ｚ方向）と略平行に延びている。そして、第２ストレート部Ｓ２の内面は、上面１２ａ及び下面１２ｂに対して略垂直な方向に伸びている。このため、第２ストレート部Ｓ２は、略円柱形状に形成されている。また、図６に示すように、第２ストレート部Ｓ２の長さは、長さｃとなっている。本実施形態では、第２ストレート部Ｓ２の長さｃは、少なくとも第２テーパ部Ｔ２の長さｂよりも大きくなっている。そして、流路基板１６に設けられた第２の供給路２１から供給されたインクは、第１テーパ部Ｔ１から流入し、図５中ｚ方向に流れ、第２ストレート部Ｓ２の開口から、外部に吐出される。
【００３６】
また、図６に示すように、第１ストレート部Ｓ１の内径Ｗ１は、この第２ストレート部の内径Ｗ２よりも大きくなっている。このため、比較的内径の大きな第１ストレート部Ｓ１を設けることによって、ノズル１３内に必要な吐出量のインクが確保される。そして、第１ストレート部Ｓ１に流れこんだインクは、第２テーパ部Ｔ２を介して、細い第２ストレート部Ｓ２に導出される。その結果、第１ストレート部Ｓ１から第２テーパ部Ｔ２に導出されたインクは、徐々に流速を大きくし、第２ストレート部Ｓ２の開口から吐出されることになる。尚、この第２ストレート部Ｓ２の長さｃは、インクを充分な速度で吐出できる長さが確保されているものとする。
【００３７】
また、図５に示すように、各ノズル１３の第１テーパ部Ｔ１側、すなわち上面１２ａにおける各ノズル開口の間隔は、間隔Ｍ１となっている。このノズル開口の間に設けられたスペースは、流路基板１６に接合される接合面として機能する。さらに、各ノズル１３の
第２ストレート部Ｓ２側、すなわち下面１２ｂ側のノズル開口の間隔は、間隔Ｍ２となっている。そして、上面１２ａのノズル開口の間隔Ｍ１は、下面１２ｂのノズル開口の間隔Ｍ２よりも小さくなっているが、ノズル１３に第１ストレート部Ｓ１を設けることで、上面１２ａ側の間隔Ｍ１、すなわち接合面の面積を比較的大きくしている。
【００３８】
詳述すると、図５の各ノズル１３に２点鎖線で示すように、ノズル１３とほぼ同じインク容積を有した、単にテーパ部と、第２ストレート部Ｓ２とからなる形状のノズルに比較すると、本実施形態のノズル１３の上面１２ａ側の開口の内径は小さくなっている。その結果、ノズル１３の上面１２ａ側の間隔Ｍ１を大きくすることができ、接合面の面積が比較的大きくなる。このため、ノズルプレート１２が、流路基板１６に対して接合される際に、図２中ｘ方向又はｙ方向に僅かな誤差が生じても、ノズル１３が、同じノズル列Ｌ１（Ｌ２〜Ｌ６）の、隣接する流路に連通したり、別のインクに対応するノズル列Ｌ２（Ｌ１，Ｌ３〜Ｌ６）の流路に連通したりするようなことが防止される。また、接合面の面積が比較的大きくなるため、ノズルプレート１２を流路基板１６に対して強固に固着することができる。
【００３９】
また、上述した第１ストレート部Ｓ１を省略した、図５中２点鎖線で示す形状のノズルを、上面１２ａ側のノズル開口の間隔が、間隔Ｍ１となるように穿孔すると、そのノズルプレートのストレート部側（下面側）の開口の間隔は大きくなる。つまり、ノズルプレートの上面側の接合面を大きくしながら、単にテーパ部及びストレート部からなるノズルを形成すると、ノズルプレートにノズルを高密度に穿孔することができない。
【００４０】
さらに、上述した、第１ストレート部Ｓ１を省略し、単にテーパ部とストレート部からなる形状のノズルの内径を小さくすることで、上面側のノズル開口の間隔を大きくすると、ノズルのインク容積が小さくなり、インク吐出量が小さくなってしまう。従って、ノズル１３に第１ストレート部を設けることで、上面１２ａ側の接合面を大きくしながら、必要なインク吐出量を確保し、下面１２ｂ側のノズル開口を高密度にすることができる。
【００４１】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態では、ノズルプレート１２に設けられるノズル１３を、第１テーパ部Ｔ１、第１ストレート部Ｓ１、第２テーパ部Ｔ２及び第２ストレート部Ｓ２から構成し、第１テーパ部Ｔ１を圧力発生室２０等の各流路側に配置するようにした。そして、第１ストレート部Ｓ１は、ノズル１３の軸方向と略平行な方向に略円柱形状に形成される。すなわち、ノズル１３の内面は、上面１２ａ及び下面１２ｂに対して略垂直な方向に伸びているため、上面１２ａ側で拡開するようなことがない。
【００４２】
このため、ほぼ同じインク容積を有するとともに第１ストレート部Ｓ１を省略した単に流路側で拡開するテーパ部と、ストレート部からなるノズルと比較して、ノズルプレート１２の上面１２ａ側の開口の内径を小さくすることができる。従って、各ノズル開口の間隔Ｍ１を大きくすることができるため、流路基板１６との接合面を大きくすることができる。従って、各ノズル１３と、圧力発生室２０に連通する第２の供給路２１との位置合わせが比較的容易になり、ノズル１３が隣接する他の流路に連通するような接合不良の発生を防止することができる。このため、ノズルプレート１２と流路基板１６との接合不良によるインクの吐出不良の発生を防止することができる。また、接合面の面積が比較的大きくなるため、ノズルプレート１２を流路基板１６に対して強固に固着することができる。
【００４３】
（２）上記実施形態では、第２テーパ部Ｔ２の軸方向の長さｂは、第１ストレート部Ｓ１の軸方向の長さａ及び第２ストレート部Ｓ２の軸方向の長さｃよりも小さくなるようにした。つまり、傾斜面を有するノズルのテーパ部分よりも、インク容積の大きな円柱形状の第１ストレート部Ｓ１がノズル１３全体に対して占める割合を大きくすることができる
。従って、単にテーパ部とストレート部とからなる形状のノズルと比較して、上面１２ａ側のノズル開口を大きくすることなく、ノズル１３の体積を比較的大きくすることができる。
【００４４】
（３）上記実施形態では、第１ストレート部Ｓ１の内径Ｗ１を、この第２ストレート部の内径Ｗ２よりも大きくした。このため、第１ストレート部Ｓ１によって、ノズル１３内に必要な吐出量のインクが確保される。また、比較的内径の大きい第１ストレート部Ｓ１に流れこんだインクが、第２テーパ部Ｔ２を介して、内径の細い第２ストレート部Ｓ２に導出されるため、インクは徐々に流速を大きくし、第２ストレート部Ｓ２の開口から吐出されることになる。従って、充分なインク吐出量及び吐出速度を確保することができる。
【００４５】
（４）上記実施形態では、ノズルプレート１２は、１枚の板状部材から形成される。従って、ノズル１３の内面を連続的に形成することができる。すなわち、第１ストレート部Ｓ１、第２テーパ部Ｔ２、第２ストレート部Ｓ２等を別途穿孔した複数の板状部材を積層して構成されたノズルプレートのように、前記各板状部材の間で接合不良が発生するおそれがない。
【００４６】
なお、本実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、プリンタ１は、６色のインクを収容したインクカートリッジ１０を備え、液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド１１は、各インクに対応した流路、リザーバ１８、ノズル１３等を有する構成としたが、インクの種類の数は、６色に制限されることはない。
【００４７】
・上記実施形態では、ノズルプレート１２に、長さ約２．５４センチメートル（１インチ）のノズル列Ｌ１〜Ｌ６を形成し、各ノズル列Ｌ１〜Ｌ６は、１８０個のノズル１３から構成されるようにしたが、この個数に限定されることはなく、ノズル個数は適宜変更してよい。
【００４８】
・上記実施形態では、封止板１７は金属層Ｍ及び樹脂層Ｒが積層された構成としたが、可撓性を備えた金属板でもよい。また、記録ヘッド１１の構成は、上記の構成に限られることはなく、リザーバ、各供給路、圧力発生室等の位置を適宜変更してもよい。
【００４９】
・上記実施形態では、第２テーパ部Ｔ２の傾斜面と、ノズル１３の軸方向（垂直方向であって、図５中ｚ方向）とのなす傾斜角φは、約３５°としたが、傾斜角φは、３５°に限られることはなく、適宜変更してもよい。
【００５０】
・上記実施形態においては、ノズルプレート１２に貫通形成されたノズル１３は、第１の供給孔に対応する第１ストレート部Ｓ１、第２の供給孔に対応する第２テーパ部Ｔ２、第３の供給孔に対応する第２ストレート部Ｓ２を少なくとも備えていればよい。従って、ノズルは、さらにテーパ部又はストレート部を備えた形状でもよく、例えば、第２ストレート部Ｓ２とノズルプレート１２の下面１２ｂとの間に、さらにテーパ部又はストレート部等を設けてもよい。又は、ノズル１３は、第２テーパ部Ｔ２と第２ストレート部Ｓ２との間に、テーパ部又はストレート部を備えた形状でもよい。
【００５１】
・上記実施形態においては、液体噴射装置として、インクを吐出するプリンタ１について説明したが、その他の液体噴射装置であってもよい。例えば、ファックス、コピア等を含む印刷装置や、液晶ディスプレイ、ＥＬディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材などの液体を噴射する液体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとしての試料噴射装置であってもよい。また、流体（液体）もインクに限られず、他の流体（液体）に応用してもよい
。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本実施形態のプリンタの斜視図。
【図２】同記録ヘッドのノズルプレートの下面図。
【図３】同プリンタに備えられる記録ヘッドの要部断面図。
【図４】同ノズルプレートに設けられたノズル列の説明図。
【図５】同ノズルプレートの要部断面図。
【図６】同ノズルプレートのノズルを説明するための要部断面図。
【図７】従来のノズルプレートの要部断面図。
【図８】従来のノズルプレートの要部断面図。
【符号の説明】
【００５３】
１…液体噴射装置としてのプリンタ、１１…液体噴射ヘッドとしての記録ヘッド、１２…ノズルプレート、１２ａ…液体流路側の面、ノズル開口面としての上面、１２ｂ…吐出側の面、ノズル開口面としての下面、１３…ノズル、１６…流路基板、１８…液体流路を構成するリザーバ、１９…液体流路を構成する第１の供給路、２０…圧力発生室、２１…液体流路を構成する第２の供給路、２２…圧力発生手段としての圧電振動子、Ｓ１…第１供給孔としての第１ストレート部、Ｓ２…第３供給孔としての第２ストレート部、Ｔ１…テーパ部としての第１テーパ部、Ｔ２…第２供給孔としての第２テーパ部、φ…傾斜角。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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