(57)【要約】【課題】  保護フィルムや離型処理済み支持フィルム使用しないで済む保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法を提供する。【解決手段】  支持フィルム１と、その支持フィルム１上に順に積層した感光性樹脂層（第一の樹脂層）２及び感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層（第二の樹脂層）３とからなる感光性フィルムであって、その第二の樹脂層３の支持フィルム１に対する接着力は、第一の樹脂層２の支持フィルム１に対する接着力よりも小さく、そして、感光性フィルムの２枚を、上下同じ向きにして重ね押圧して密着させたあとに剥離したとき、その密着させた界面で容易に剥がれて、押圧・密着前の元の状態に回復可能である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持フィルムと、その支持フィルム上に積層した感光性樹脂層とからなる感光性フィルムであって、
前記支持フィルムは、表裏ともに同じ被着体特性を有し、かつ、感光性フィルムの２枚を、上下同じ向きにして重ね押圧して密着させたあとに剥離したとき、その密着させた界面で容易に剥がれて、押圧・密着前の元の状態に復する感光性フィルム。
【請求項２】
支持フィルムと、その支持フィルム上に順に積層した感光性樹脂層（第一の樹脂層）及び感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層（第二の樹脂層）とからなる感光性フィルムであって、
前記第二の樹脂層の支持フィルムに対する接着力は、前記第一の樹脂層の支持フィルムに対する接着力よりも小さく、そして、感光性フィルムの２枚を、上下同じ向きにして重ね押圧して密着させたあとに剥離したとき、その密着させた界面で容易に剥がれて、押圧・密着前の元の状態に復する感光性フィルム。
【請求項３】
支持フィルムは、表裏ともに同じ被着体特性を有している請求項２の感光性フィルム。
【請求項４】
第二の樹脂層に含有するポリマーのＴｇは、第一の樹脂層に含有するポリマーのＴｇよりも高い、請求項２又は３の感光性フィルム。
【請求項５】
第一の樹脂層には、支持フィルムとの密着性を向上させる添加剤が含まれている、請求項２〜４のいずれかの感光性フィルム。
【請求項６】
ロール状に巻かれている請求項１〜５のいずれかの感光性フィルム。
【請求項７】
支持フィルムを外側にして、最初に、巻芯に感光性樹脂層を巻き付けながら、ロール状に巻かれている請求項６の感光性フィルム。
【請求項８】
支持フィルム上に、支持フィルムに対して接着力のある感光性樹脂層（第一の樹脂層）を形成し、更にその上に、支持フィルムに対して接着力の弱い感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層（第二の樹脂層）を形成し、その後、支持フィルムを外側にして、最初に巻芯に樹脂層を巻き付けロール状に巻き取ることを特徴とする感光性フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、保護フィルムのない保護フィルムレス型感光性フィルム、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板の製造において、エッチング、めっき等に用いられるレジスト材料としては、従来、支持体（支持フィルム）上に感光性樹脂層を形成させ、これを保護フィルムで覆った感光性フィルムが広く用いられている。
また、プリント配線板は、通常、感光性フィルムを銅基板上にラミネートして、ポジ型では、パターン露光した後、硬化部分を現像液で除去し、エッチング又はめっき処理を施して、基板上にパターンを形成させた後、硬化部分を基板上から剥離除去する方法によって製造されている。
そして、感光性フィルムとしては、支持フィルム、感光性樹脂層及び保護フィルムの３層構造や、あるいは、シリコン系もしくは非シリコン系の離型処理を施した支持フィルムと感光性樹脂層との２層構造が知られている（特許文献１〜３参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平０９−２３０５８０号公報
【特許文献２】特開２００３−１９５４９１号公報
【特許文献３】特開２００３−１９５４９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、近年、廃棄物による環境問題や、感光性フィルムのコスト削減等の要求から、機能面で割愛可能な保護フィルムや高価な離型処理済み支持フィルムを使用しないで済む感光性フィルムが強く望まれている。
本発明の目的は、このような保護フィルムや離型処理済み支持フィルム使用しないで済む保護フィルムレス型感光性フィルム及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、要するに、支持フィルム１と、その支持フィルム１上に積層した感光性樹脂層とからなる感光性フィルムであって、その支持フィルム１は表裏ともに同じ被着体特性を有し、かつ、その感光性フィルムの２枚を、上下同じ向きにして重ね押圧して密着させたあとに剥離したとき、その密着させた界面（上側に感光性樹脂層がある場合、上方側の支持フィルム１と下方側の感光性樹脂層との間）で容易に剥がれて、押圧・密着前の元の状態に復することのできる感光性フィルムである。
【０００６】
）
また、本発明は、支持フィルム１と、その支持フィルム１上に順に積層した感光性樹脂層（第一の樹脂層）２及び感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層（第二の樹脂層）３とからなる感光性フィルムであって、その第二の樹脂層３の支持フィルム１に対する接着力は、第一の樹脂層２の支持フィルム１に対する接着力よりも小さく、そして、感光性フィルムの２枚を、上下同じ向きにして重ね押圧して密着させたあとに剥離したとき、その密着させた界面（支持フィルム１と第二の樹脂層３との間）で容易に剥がれて、押圧・密着前の元の状態に復することのできる感光性フィルムでもある。ここで、第一の樹脂層２と第二の樹脂層３との間に、更に第三の樹脂層があってもよい。
【０００７】
前者の感光性フィルムにおいては、支持フィルム１は表裏ともに同じ被着体特性を有するものであることは前述の通りであるが、後者の感光性フィルムにおいても、その支持フィルムの表裏は同じような被着体特性をもつことが好ましい。そのためには、その支持フィルムの積層構造は、通常、単層か３層である。
【０００８】
また、ここで、第二の樹脂層３に含有するポリマーのＴｇは、第一の樹脂層２に含有するポリマーのＴｇよりも高いものを用いることが好ましい。
【０００９】
また、ここで、第一の樹脂層２には、支持フィルム１との密着性を向上させる添加剤を添加する（第二の樹脂層３には、そのような添加剤を添加しない）ことが好ましい。
【００１０】
本発明の感光性フィルムの形態は、一枚ずつのラベル状の形態とすることもできるが、通常は、巻芯にぐるぐる巻かれてなるロール状の形態である。すなわち、支持フィルムを外側にして、最初に、巻芯に感光性樹脂層（又は、第二の樹脂層３）を巻き付けたロール状感光性フィルムである。ロール状感光性フィルムの最外層は、遮光シートやブラックポリエチレンシート等の保護シートで巻いてもよい。
【００１１】
本発明は、感光性フィルムの製造方法も提供する。すなわち、その製造方法は、支持フィルム１上に、支持フィルム１に対して接着力のある感光性樹脂層（第一の樹脂層）２を形成し、更にその上に、支持フィルムに対して接着力の弱い感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層（第二の樹脂層）３を形成し、その後、支持フィルム１を外側にして、最初に巻芯に樹脂層（厳密には、第二の樹脂層３）を巻き付けロール状に巻き取ることを特徴とするものである。こうすることにより、感光性フィルムの断面が、支持フィルム１、第一の樹脂層２及び第二の樹脂層３の順で繰り返す構造のロール状感光性フィルムが得られる。
【００１２】
（作用）
本発明の感光性フィルムは、支持フィルム１と、その支持フィルム１上に順に積層した感光性樹脂層（第一の樹脂層）２及び感光性であっても非感光性であってもよい樹脂層（第二の樹脂層）３とからなる感光性フィルムであって、上で述べたように、その第二の樹脂層３の支持フィルム１に対する接着力は、第一の樹脂層２の支持フィルム１に対する接着力よりも小さい。そのため、感光性フィルムの２枚（又は２枚以上）を同じ向きに重ねて押圧・密着させても、剥がすときは、その密着させた界面（支持フィルム１と第二の樹脂層３との間）で容易に剥がれ、押圧・密着前の元の状態に復することができる。支持フィルム１の片面は、従来の保護フィルムの機能を果たす訳である。
支持フィルム１が、表裏ともに同じ被着体特性を有するものであれば、その表裏のどちら側にも感光性樹脂層を形成できるので、作業がやり易く、また、幅広く製造装置を選択できる。支持フィルム１の再利用もしやすい。
【発明の効果】
【００１３】
本発明により、保護フィルムを使用せずに、従来と同等以上の特性をもつ保護フィルムレス型の感光性フィルムを提供できた。また、離型処理剤や高価な離型処理済み支持フィルムも使用しないので、製造コストの低減にも寄与する。また、保護フィルムを使用しないので廃棄物（ゴミ）の排出量の低減にも貢献する。また、保護フィルムを使用しないので、ロール状品においては、所定の巻き径で多くの感光性フィルム（製品）を巻くことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、実施例により本発明を更に具体的に詳細に説明する。
実施例１  保護フィルムレス型感光性フィルムの製造
第一の樹脂層に用いる溶液を調製した。材料の配合を表１に示した。
【００１５】
【表１】
2005157205.tif 000003
【００１６】
第二の樹脂層に用いる溶液を調製した。材料の配合は表２に示した。
【００１７】
【表２】
2005157205.tif 000004
【００１８】
得られた第一の樹脂層に用いる溶液を、１６μｍ厚のポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム）に均一に塗布し、９０℃の熱風に１０分間乾燥し、続いて、その上に、第二の樹脂層に用いる溶液をに均一に塗布し、９０℃の熱風に１０分間乾燥して、図１に示すような感光性フィルムを得た。樹脂層の厚みの合計は３０μｍであった。
【００１９】
別途、接着力測定用に、ＰＥＴフィルム上に第一の樹脂層を均一に塗布・乾燥したもの、並びにＰＥＴフィルム上に第二の樹脂層を均一に塗布・乾燥した試験フィルムも用意した。
用意した試験フィルム（第一の樹脂層／ポリエチレンテレフタレートフィルムと、第二の樹脂層／ポリエチレンテレフタレートフィルム）の接着力の測定結果を表３に示した。第一の樹脂層とＰＥＴフィルムとの接着力は７．０（Ｎ／ｍ）であるのに対して、第二の樹脂層とＰＥＴフィルムとの接着力は２．０（Ｎ／ｍ）で小さいことが分かる。
なお、比較としては、保護フィルム（ポリエチレン（ＰＥ）フィルム）を使用した感光性フィルムの樹脂層とＰＥフィルムとの接着力を測定した。
【００２０】
【表３】
2005157205.tif 000005
【００２１】
ここで、接着力測定用試験片の調製は、図２に示す通りとした。すなわち、ガラスエポキシ材の両面に銅箔（厚み３５μｍ）を積層した銅張り積層板５（日立化成工業株式会社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）に、両面テープ１１（ニチバン株式会社製、商品名：ナイスタック）を、５ｍｍ幅に２本（又は１０ｍｍ幅に１本）貼り、その上に、先に用意した試験フィルム１２（２０ｍｍ×１００ｍｍ）を樹脂層側を内側にして貼り付け、予めその試験フィルム１２（又はＰＥフィルム）を剥がすような状態にしておく。
【００２２】
接着力の測定方法は、接着力測定用試験片を図３に示す治具に取付け、昇降テーブルを一定速度で降し、接着している試験フィルム１２（又はＰＥフィルム）の接着力をレオメータ（株式会社レオテック製、ＲＴ−３０１０Ｄ−ＣＷ）で測定した。
【００２３】
プリント配線板への応用例
ガラスエポキシ材であるの両面に銅箔（厚み３５μｍ）を積層した銅張り積層板（日立化成工業株式会社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を、＃６００相当のブラシを持つ研磨機（三啓株式会社製）を用いて研磨し、水洗後、空気流で乾燥し、得られた銅張り積層板を８０℃に加温し、その銅表面上に、先に製造した感光性フィルムを１１０℃のヒートロールを用い３ｍ／分の速度でラミネートした。
次に、高圧水銀灯ランプを有する露光機（株式会社オーク製作所製）ＨＭＷ−２０１Ｂを用いて、６０ｍＪ／ｃｍ２で露光したのち、これを所定の現像液で現像し、水洗・乾燥し、続いてプリント配線板の回路形成プロセスを実施し、プリント配線板を完成した。得られたプリント配線板は、比較例（従来の感光性フィルム）と同レベルの性能であることを確認した。また、そのときの１０００ｍ２あたりの廃棄物（ゴミ）の排出量を表４に示した。廃棄物（ゴミ）の排出量は従来の感光性フィルムを用いた場合の約半分であることが分かる。
【００２４】
【表４】
2005157205.tif 000006
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】（イ）は積層状態も合わせて示した本発明のロール状感光性フィルムの断面図であり、（ロ）は積層部分の拡大図である。
【図２】接着力測定用試験片の調製手順を示す模式図（平面図）である。
【図３】試験フィルムの接着力を測定する装置及び測定方法を示す概略図（縦断面図）である。
【符号の説明】
【００２６】
１：支持フィルム
２：第一の樹脂層
３：第二の樹脂層
５：銅張り積層板
６：昇降テーブル
７：荷重
８：留め金
９：ゴムシール
１０：基板抑え
１１：両面テープ
１２：試験フィルム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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