(57)【要約】【課題】本発明の目的は、テープの折れ曲がりを防止することができる半導体装置を提供することにある。【解決手段】フィーダ３０に送り込まれる手前で、テープ１０の送り込み部分１２を、フィーダ３０への送り込み方向がフィーダ３０からの送り出し方向と一致する高さでサポート４０が支持する。テープ１０の送り込み部分１２がサポート４０から上方に離れたことを認識するための情報をセンサ５０が感知する。センサ５０によって感知された情報を使用して、テープ１０の送り込み部分１２がサポート４０から上方に離れたことを検出して、演算部６２は検出信号を出力する。駆動制御部６４は、検出信号が入力されたときにリール２０の回転を速めるようにアクチュエータ２２を制御する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープを巻き出すように回転駆動されるリールと、
前記リールを回転駆動するアクチュエータと、
前記リールの斜め下方に位置し、前記リールから巻き出された前記テープの送り出し駆動を行うフィーダと、
前記フィーダに送り込まれる手前で、前記テープの送り込み部分を、前記フィーダへの送り込み方向が前記フィーダからの送り出し方向と一致する高さで支持するサポートと、
前記テープの前記送り込み部分が前記サポートから上方に離れたことを認識するための情報を感知するセンサと、
前記センサによって感知された前記情報を使用して、前記テープの前記送り込み部分が前記サポートから上方に離れたことを検出して、検出信号を出力する演算部と、
前記演算部と接続され、前記検出信号が入力されたときに前記リールの回転を速めるように前記アクチュエータを制御する駆動制御部と、を有するテープ搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載のテープ搬送装置において、
前記送り込み部分よりも前記リールに近い、前記テープの引き出し部分の高さを検出するための第２の情報を感知する第２のセンサをさらに有し、
前記演算部は、前記第２のセンサによって感知された前記第２の情報を使用して、前記テープの前記引き出し部分が予め決められた高さよりも低い位置にあることを検出して、第２の検出信号を出力し、
前記駆動制御部は、前記第２の検出信号が入力されたときに前記リールの回転を遅くするように前記アクチュエータを制御するテープ搬送装置。
【請求項３】
請求項２記載のテープ搬送装置において、
前記サポートは、前記テープの前記引き出し部分も支持するように形成されてなるテープ搬送装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のテープ搬送装置において、
前記リールと前記フィーダの間で、前記テープの浮き上がりを規制するストッパをさらに有するテープ搬送装置。
【請求項５】
テープを巻き出すようにリールを回転駆動すること、及び、前記リールの斜め下方に位置するフィーダによって、前記リールから巻き出された前記テープの送り出し駆動を行うこと、を含み、
前記フィーダに送り込まれる手前で、前記テープの送り込み部分を、前記フィーダへの送り込み方向が前記フィーダからの送り出し方向と一致する高さでサポートによって支持し、
前記テープの前記送り込み部分が前記サポートから上方に離れたときに、前記リールの回転速度を速くするテープ搬送方法。
【請求項６】
請求項５記載のテープ搬送方法において、
前記送り込み部分よりも前記リールに近い、前記テープの引き出し部分が、予め決められた高さよりも低くなったときに、前記リールの回転速度を遅くするテープ搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テープ搬送装置及びテープ搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−３２６０５５号公報
【特許文献２】
特開平５−１６２９１０号公報
【０００４】
【発明の背景】
半導体装置の組み立てにおいて、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）やＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）実装の工程では、テープの搬送を、一定の速度であるいは間欠運転によって行うことが必要であった。そのため、テープがリールから巻き出されると、ピンチローラやスプロケットホイール等の送り装置によって、その搬送速度が制御されていた。従来、リールと送り装置との間で、テープに衝撃を与えないようにするため、テープをたわませていた。例えば、送り装置の手前で、テープが下の方に垂れ下がるようになっており、送り装置からテープは水平方向に搬送されるようになっていた。その場合、テープは、送り装置に接触し始めるときの方向（鉛直方向）と、送り装置から離れるときの方向（水平方向）との角度が急峻になるので、テープが折れないようにすることが難しかった。
【０００５】
本発明の目的は、テープの折れ曲がりを防止することができる半導体装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
（１）本発明に係るテープ搬送装置は、テープを巻き出すように回転駆動されるリールと、
前記リールを回転駆動するアクチュエータと、
前記リールの斜め下方に位置し、前記リールから巻き出された前記テープの送り出し駆動を行うフィーダと、
前記フィーダに送り込まれる手前で、前記テープの送り込み部分を、前記フィーダへの送り込み方向が前記フィーダからの送り出し方向と一致する高さで支持するサポートと、
前記テープの前記送り込み部分が前記サポートから上方に離れたことを認識するための情報を感知するセンサと、
前記センサによって感知された前記情報を使用して、前記テープの前記送り込み部分が前記サポートから上方に離れたことを検出して、検出信号を出力する演算部と、
前記演算部と接続され、前記検出信号が入力されたときに前記リールの回転を速めるように前記アクチュエータを制御する駆動制御部と、
を有する。本発明によれば、テープは、フィーダへの（からの）送り込み及び送り出し方向が一致する高さで支持されている。したがって、テープが折れ曲がらないようになっている。また、テープのフィーダへの送り込み部分は、サポートから上方に離れると、リールの回転を速めることで元に戻される。これにより、テープの、フィーダへの（からの）送り込み及び送り出し方向が大きくずれることを防止することができる。
（２）このテープ搬送装置は、
前記送り込み部分よりも前記リールに近い、前記テープの引き出し部分の高さを検出するための第２の情報を感知する第２のセンサをさらに有し、
前記演算部は、前記第２のセンサによって感知された前記第２の情報を使用して、前記テープの前記引き出し部分が予め決められた高さよりも低い位置にあることを検出して、第２の検出信号を出力し、
前記駆動制御部は、前記第２の検出信号が入力されたときに前記リールの回転を遅くするように前記アクチュエータを制御してもよい。
（３）このテープ搬送装置において、
前記サポートは、前記テープの前記引き出し部分も支持するように形成されていてもよい。
（４）このテープ搬送装置は、
前記リールと前記フィーダの間で、前記テープの浮き上がりを規制するストッパをさらに有してもよい。
（５）本発明に係るテープ搬送方法は、テープを巻き出すようにリールを回転駆動すること、及び、
前記リールの斜め下方に位置するフィーダによって、前記リールから巻き出された前記テープの送り出し駆動を行うこと、を含み、
前記フィーダに送り込まれる手前で、前記テープの送り込み部分を、前記フィーダへの送り込み方向が前記フィーダからの送り出し方向と一致する高さでサポートによって支持し、
前記テープの前記送り込み部分が前記サポートから上方に離れたときに、前記リールの回転速度を速くする。本発明によれば、テープは、フィーダへの（からの）送り込み及び送り出し方向が一致する高さで支持されている。したがって、テープが折れ曲がらないようになっている。また、テープのフィーダへの送り込み部分は、サポートから上方に離れると、リールの回転を速めることで元に戻される。これにより、テープの、フィーダへの（からの）送り込み及び送り出し方向が大きくずれることを防止することができる。
（６）このテープ搬送方法において、
前記送り込み部分よりも前記リールに近い、前記テープの引き出し部分が、予め決められた高さよりも低くなったときに、前記リールの回転速度を遅くしてもよい。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。図１は、本発明の実施の形態に係るテープ搬送装置を説明する図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【０００８】
本実施の形態では、テープ１０を搬送する。テープ１０は屈曲できる程度の柔軟性を有する。搬送されるテープ１０は、ポリイミド樹脂等の樹脂で形成されたベース基板のみから形成されていてもよい。あるいは、テープ１０は、配線基板（例えば、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）で使用されるＴＡＢテープや、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）実装の工程で使用されるテープ）であってもよい。その場合、テープ１０は、例えばポリイミド樹脂等の樹脂で形成されたベース基板と、その上に形成された配線パターンを有する。テープ１０には、搬送の必要に応じてスプロケットホール（図示せず）が形成されていてもよいし、工程の必要に応じてデバイスホール（図示せず）等の穴が形成されていてもよい。
【０００９】
テープ搬送装置は、リール２０を有する。リール２０にはテープ１０が巻き取られている。リール２０は、テープ１０を巻き出すように回転駆動される。そのため、テープ搬送装置は、リール２０を回転駆動するアクチュエータ（モータ等）２２を有する。テープ搬送装置は、リール２０から巻き出されたテープ１０を巻き取るリール２４を有していてもよい。リール２４も、アクチュエータ２６によって駆動されてもよい。
【００１０】
リール２０，２４の間でテープ１０を掛け渡して種々の工程が行われる。その工程とは、例えば、テープ１０を打ち抜いて穴を形成すること、テープ１０に金属箔（銅箔等）を貼り付けること、テープ１０にフォトレジスト層を形成すること、テープ１０に形成されたフォトレジスト層を露光又は現像すること、テープ１０に形成された配線パターンを検査すること、テープ１０に半導体チップを実装すること、半導体チップが実装されたテープ１０を個片に打ち抜くことなどである。
【００１１】
テープ搬送装置は、フィーダ３０を有する。フィーダ３０は、リール２０から巻き出されたテープ１０の送り出し駆動を行う。送り出し駆動は、一定速度でのテープ１０の送り出しであってもよいし、間欠駆動（送り出しと停止を交互に行う駆動）によるテープ１０の送り出しであってもよい。本実施の形態では、フィーダ３０は、ピンチローラを含むが、その代わりに、スプロケットホイールを有していてもよい。フィーダ３０は、テープ１０を巻き出すリール２０の斜め下方に位置する。フィーダ３０は、リール２０よりも低い位置（直下の位置を除く）に配置されている。フィーダ３０は、リール２０から、その回転軸に直交する方向に離れて位置する。
【００１２】
テープ搬送装置は、サポート４０を有する。サポート４０は、テープ１０を下から支持する。サポート４０は、図２に示すように、テープ１０の幅方向の両端部を支持してもよい。その場合、テープ１０の幅方向の中央部は、下方に露出していてもよい。サポート４０は、テープ１０のサポート面４２を有する。サポート４０は、リール２０とフィーダ３０との間に配置されている。サポート４０は、フィーダ３０に送り込まれる手前で、テープ１０の送り込み部分１２を支持する。サポート面４２は、テープ１０のリール２０からの引き出し部分１４（送り込み部分１２よりもリール２０に近い部分）も支持するようになっている。すなわち、サポート面４２は、フィーダ３０とリール２０との間で、両者の間隔方向（水平方向）に延びるようになっている。図１に示すように、引き出し部１４がサポート４０上に接しない場合、リール２０とフィーダ３０との間で、テープ１０にたるみを持たせることができる。そして、フィーダ３０によって引っ張られるときの、テープ１０への衝撃を減らすことができる。
【００１３】
サポート４０は、フィーダ３０への送り込み方向がフィーダ３０からの送り出し方向と一致する高さで、テープ１０（詳しくは送り込み部分１２）を支持する。図１に示す例では、フィーダ３０からのテープ１０の送り出し方向は水平になっている。フィーダ３０へのテープ１０（詳しくは送り込み部分１２）の送り込み方向も水平になるように、サポート４０がテープ１０（詳しくは送り込み部分１２）を支持している。そのため、サポート面４２は水平に延びている。サポート面４２は、水平に、リール２０よりも低いフィーダ３０に向かって延びるので、リール２０よりも低くなっている。すなわち、サポート面４２は、リール２０の斜め下方に位置する。したがって、テープ１０のリール２０からの引き出し部分１４は、リール２０から斜めに垂れ下がるようになっている。また、サポート面４０は、フィーダ３０からのテープ１０の送り出し位置と同じ高さで、送り込み部分１２を支持している。
【００１４】
本実施の形態によれば、テープ１０は、フィーダ３０への（からの）送り込み及び送り出し方向が一致する高さで支持されているので、テープ１０が折れ曲がらないようになっている。
【００１５】
テープ搬送装置は、センサ（第１のセンサ）５０を有する。センサ５０は、テープ１０に接触しないものであってもよい。センサ５０は、テープ１０の送り込み部分１２がサポート４０から上方に離れたことを認識するための情報（第１の情報）を感知する。本実施の形態では、送り込み部分１２は、サポート４０上では水平に配置され（図４参照）、サポート４０から離れると傾斜するようになる（図３参照）。センサ５０は、送り込み部分１２からの反射光を受けて、受光量を信号（例えば電気信号）に変換するものであってもよい。その場合、送り込み部分１２が水平に配置されたときに、受光量が最も大きくなるようにセンサ５０を配置する。そして、センサ５０は、受光量を情報として感知し、その情報を受光量に応じた信号（例えば電気信号）として出力する。なお、センサ５０は、これ以外の距離センサ等であってもよい。
【００１６】
テープ搬送装置は、第２のセンサ５２を有する。第２のセンサ５２は、テープ１０に接触しないものであってもよい。第２のセンサ５２は、テープ１０の引き出し部分１４の高さを検出するための第２の情報を感知する。第２のセンサ５２は、引き出し部分１４からの反射光を受けて、受光量を信号（例えば電気信号）に変換するものであってもよい。第２のセンサ５２は、受光量を第２の情報として感知し、その第２の情報を受光量に応じた信号（例えば電気信号）として出力する。なお、第２のセンサ５２は、これ以外の距離センサ等であってもよい。
【００１７】
テープ搬送装置は、処理部（例えば中央処理装置）６０を有する。処理部６０は、演算部６２を含む。演算部６２は、センサ５０によって感知された情報を使用して、テープ１０の送り込み部分１２がサポート４０から上方に離れたことを検出して、検出信号を出力する。詳しくは、センサ５０によって感知された受光量（信号）の値が、予め記憶された最大値であるか否かを判断する。受光量（信号）の値が、予め記憶された最大値であれば、送り込み部分１２は水平になっている（すなわちサポート４０上に配置されている）ことが認識される。その値が、予め記憶された最大値でない（すなわちそれよりも小さい）場合、送り込み部分１２は傾斜している（すなわちサポート４０から離れている）ことが検出され、検出信号が出力される。
【００１８】
また、演算部６２は、第２のセンサ５２によって感知された第２の情報を使用して、テープ１０の引き出し部分１４が予め決められた高さよりも低い位置にあること（例えばサポート４０上にあること）を検出して、第２の検出信号を出力する。例えば、第２のセンサ５２によって感知された受光量（信号）を使用して、引き出し部分１４の位置（例えば第２のセンサ５２から引き出し部分１４までの距離）を検出する。そして、引き出し部分１４の位置が、予め記憶された位置（例えばサポート４０上の位置）にあるか否かを判断する。その位置にあると判断されると、第２の検出信号が出力される。
【００１９】
処理部６０は、駆動制御部６４を含む。駆動制御部６４はアクチュエータ２２を制御する。駆動制御部６４は、演算部６２と接続されている。駆動制御部６４は、演算部６２から、上述した検出信号（センサ５０からの情報を使用した検出結果に対応する信号）が入力されたときにリール２０の回転を速めるようにアクチュエータ２２を制御する。こうして、テープ１０のフィーダ３０への送り込み部分１２は、サポート４０から上方に離れると、リール２０の回転を速めることで元の位置（サポート４０上の位置）に戻される。これにより、テープ１０の、フィーダ３０への（からの）送り込み及び送り出し方向が大きくずれることを防止することができる。
【００２０】
また、駆動制御部６４は、演算部６２から、上述した第２の検出信号（第２のセンサ５２からの情報を使用した検出結果に対応する信号）が入力されたときにリール２０の回転を遅くするようにアクチュエータ２２を制御する。その結果、テープ１０のフィーダ３０による送り出しが、リール２０の巻き出しに対して相対的に速くなる。そして、リール２０とフィーダ３０の間で、テープ１０のたるみが減らされる。これにより、テープ１０の、たるみ過ぎによる折れ曲がりを防止することができる。
【００２１】
処理部６０は、さらに、演算部６２及び駆動制御部６４等を制御するための制御部を含んでもよい。テープ搬送装置は、さらに、入力部（リール２０の回転速度やフィーダ３０の駆動態様又は送り出し速度を変更又は調整するための信号を入力する装置等）、出力部（運転状態を表示するディスプレイ等）、記憶部（上述した受光量（信号）の最大値等を記憶する）等を有していてもよい。
【００２２】
図３〜図４は、本発明の実施の形態に係るテープ搬送方法を説明する図である。本実施の形態では、テープ１０を巻き出すようにリール２０を回転駆動する。また、リール２０の斜め下方に位置するフィーダ３０によって、リール２０から巻き出されたテープ１０の送り出し駆動を行う。なお、フィーダ３０に送り込まれる手前で、テープ１０の送り込み部分１２を、フィーダ３０への送り込み方向がフィーダ３０からの送り出し方向と一致する高さでサポート４０によって支持する。
【００２３】
図３に示すように、テープ搬送中に、テープ１０の送り込み部分１２がサポート４０から上方に離れることがあり得る。その場合、フィーダ３０への（からの）送り込み及び送り出し方向がずれることなる。これを防止するため、リール２０の回転速度を速くする。
【００２４】
詳しくは、センサ５０によって、送り込み部分１２がサポート４０から上方に離れたことを認識するための情報（例えば、送り込み部分１２で反射した光の受光量）が感知される。その情報は、例えば電気信号に変換されて、図１に示すように、演算部６２に入力される。演算部６２は、その情報を使用して、送り込み部分１２がサポート４０から上方に離れたことを検出する。
【００２５】
具体的には、送り込み部分１２がサポート４０上にある場合の受光量を記憶部（図示せず）に予め記憶しておき、その受光量と、感知された受光量を比較する。感知された受光量が、予め記憶された受光量よりも小さければ、送り込み部分１２がサポート４０から上方に離れたことが検出される。演算部６２は、その検出結果を、検出信号として、駆動制御部６４に入力する。駆動制御部６４は、検出信号が入力されたときにリール２０の回転を速めるようにアクチュエータ２２を制御する。
【００２６】
こうすることで、テープ１０の、フィーダ３０への（からの）送り込み及び送り出し方向が大きくずれることを防止することができる。その他の詳細は、上述したテープ搬送装置の説明から導き出すことができる。
【００２７】
図４に示すように、テープ搬送中に、送り込み部分１２よりもリール２０に近い、テープ１０の引き出し部分１４が、予め決められた高さよりも低くなることがあり得る。その場合には、テープ１０は、たるみ過ぎで折れ曲がる可能性がある。これを防止するため、リール２０の回転速度を遅くする。
【００２８】
詳しくは、第２のセンサ５２によって、引き出し部分１４の高さを検出するための第２の情報（例えば、引き出し部分１４で反射した光の受光量）が感知される。第２の情報は、例えば電気信号に変換されて、図１に示すように、演算部６２に入力される。演算部６２は、第２の情報を使用して、引き出し部分１４が予め決められた高さよりも低い位置にあること（例えばサポート４０上にあること）を検出し、第２の検出信号を出力する。
【００２９】
具体的には、第２のセンサ５２によって感知された受光量（信号）を使用して、引き出し部分１４の位置（例えば第２のセンサ５２から引き出し部分１４までの距離）を検出する。引き出し部分１４がサポート４０上にある場合の位置の情報を予め記憶しておき、その情報と、検出された位置の情報を比較して、一致するか否か（所定の誤差の範囲内において一致するか否か）を判断する。一致する場合（引き出し部分１４がサポート４０上にあると判断された場合）に、第２の検出信号が出力される。第２の検出信号は、駆動制御部６４に入力される。駆動制御部６４は、第２の検出信号が入力されたときにリール２０の回転を遅くするようにアクチュエータ２２を制御する。
【００３０】
こうすることで、テープ１０のフィーダ３０による送り出しが、リール２０の巻き出しに対して相対的に速くなるので、テープ１０のたるみを減らすことができる。そして、テープ１０の、たるみ過ぎによる折れ曲がりを防止することができる。その他の詳細は、上述したテープ搬送装置の説明から導き出すことができる。
【００３１】
図５は、本発明の実施の形態に係るテープ搬送装置の変形例を説明する図である。この例では、テープ搬送装置は、ストッパ７０を有する。ストッパ７０は、リール２０とフィーダ３０の間で、テープ１０の浮き上がりを規制する。ストッパ７０は、テープ１０の送り込み部１２、引き出し部１４及び引き出し部１４よりもリール２０に近い部分のうち、少なくとも１つの部分の浮き上がりを規制する。こうすることで、テープ１０の、フィーダ３０への（からの）送り込み及び送り出し方向が大きくずれることを、さらに防止することができる。
【００３２】
ストッパ７０は、テープ１０に擦る面を有していてもよいし、回転するローラ等であってもよい。あるいは、テープ１０がストッパ７０に接触しないように、リール２０の回転を制御してもよい。上述したセンサ５０及び第２のセンサ５２の少なくとも一方によって感知された情報を使用して、テープ１０はストッパ７０に接触しないように制御してもよい。
【００３３】
その他の構成及び制御には、上述した実施の形態と同じ内容を適用することができ、同じ構成は同じ作用効果を達成する。また、この変形例に係るテープ搬送方法については、上述したテープ搬送装置の内容から導き出される内容のほか、上述した実施の形態で説明した内容が該当する。
【００３４】
図１及び図２には、テープ１０のみの搬送が示されているが、図６に示すように、テープ１０には、半導体チップなどの電子部品８０を実装していてもよい。その場合、センサ５０（及び第２のセンサ５２）は、テープ１０の、電子部品８０が実装された面とは反対側の面を向くように配置する。こうすることで、電子部品８０の表面をテープ１０の表面と誤認して、間違った情報を感知することを防止できる。図６に示す例では、テープ１０の、サポート４０とは反対側の面に電子部品８０が実装されており、その場合は、テープ１０のサポート４０を向く面に対向するように（すなわちテープ１０の下方に）、センサ５０（及び第２のセンサ５２）を配置する。
【００３５】
図７に示す例では、テープ１０の、サポート４０側の面に電子部品８０が実装されており、その場合は、テープ１０の、サポート４０とは反対側の面に対向するように（すなわちテープ１０の上方に）、センサ５０（及び第２のセンサ５２）を配置する。
【００３６】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係るテープ搬送装置を説明する図である。
【図２】図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態に係るテープ搬送方法を説明する図である。
【図４】図４は、本発明の実施の形態に係るテープ搬送方法を説明する図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態に係るテープ搬送装置の変形例を説明する図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態に係るテープ搬送装置の使用形態の変形例を説明する図である。
【図７】図７は、本発明の実施の形態に係るテープ搬送装置の変形例を説明する図である。
【符号の説明】
１０…テープ  １２…送り込み部分  １４…引き出し部分  ２０…リール  ２２…アクチュエータ  ２４…リール  ２６…アクチュエータ  ３０…フィーダ  ４０…サポート  ４２…サポート面  ５０…センサ  ５２…第２のセンサ  ６０…処理部  ６２…演算部  ６４…駆動制御部  ７０…ストッパ  ８０…電子部品
【図１】
2005019812.tif 000003
【図２】
2005019812.tif 000004
【図３】
2005019812.tif 000005
【図４】
2005019812.tif 000006
【図５】
2005019812.tif 000007
【図６】
2005019812.tif 000008
【図７】
2005019812.tif 000009