(57)【要約】【課題】  ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高い、より高い耐薬品性を有する、より小型化することが可能なマイクロチップ及びマイクロチップ系を提供する。【解決手段】  流体を流動させることが可能な流路が設けられたガラス製の本体及び流路に対して流体を誘導する貫通穴が設けられたガラス製の誘導部材を有するマイクロチップにおいて、誘導部材は、直接ガラス接合によって本体に接合されている。流体を流動させることが可能な流路が設けられた複数のガラス製の本体及び流路に対して流体を誘導する貫通穴が設けられた少なくとも一つのガラス製の誘導部材を有するマイクロチップ系において、少なくとも一つの誘導部材は、直接ガラス接合によって複数の本体に接合されている。【選択図】  図２
2005326176.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を流動させることが可能な流路が設けられたガラス製の本体及び前記流路に対して前記流体を誘導する貫通穴が設けられたガラス製の誘導部材を有するマイクロチップにおいて、
前記誘導部材は、直接ガラス接合によって前記本体に接合されていることを特徴とするマイクロチップ。
【請求項２】
前記本体は、前記誘導部材が挿入される貫通穴を有し、
前記誘導部材は、前記本体の前記貫通穴の内周面と対向する外周面を有し、
前記誘導部材の前記外周面は、前記本体の前記貫通穴の内周面に直接ガラス接合されていることを特徴とする請求項１記載のマイクロチップ。
【請求項３】
前記本体の前記貫通穴の内周面は、複数の面からなり、
前記誘導部材の外周面は、前記内周面の前記複数の面と対向する複数の面を有することを特徴とする請求項２記載のマイクロチップ。
【請求項４】
前記誘導部材の貫通穴の前記流路と反対側における口の径は、前記誘導部材の貫通穴の前記流路側における口の径と異なることを特徴とする請求項１乃至３いずれか１項記載のマイクロチップ。
【請求項５】
前記本体の前記貫通穴の前記流路と反対側における径は、前記本体の前記貫通穴の前記流路側における径と異なることを特徴とする請求項２乃至４いずれか１項記載のマイクロチップ。
【請求項６】
前記誘導部材の前記貫通穴の断面積は、前記本体に設けられた前記流路の断面積と略同一であることを特徴とする請求項１乃至５いずれか１項記載のマイクロチップ。
【請求項７】
前記誘導部材の前記流路側における面は、前記本体の前記貫通穴の前記流路側における口に位置するか、又は前記本体の前記貫通穴の前記流路側における口と前記本体の前記貫通穴の前記流路と反対側における口との間に位置することを特徴とする請求項２乃至６いずれか１項記載のマイクロチップ。
【請求項８】
前記誘導部材の前記貫通穴の内周面及び前記本体の前記流路の内面は、撥水処理されていることを特徴とする請求項１乃至７いずれか１項記載のマイクロチップ。
【請求項９】
流体を流動させることが可能な流路が設けられた複数のガラス製の本体及び前記流路に対して前記流体を誘導する貫通穴が設けられた少なくとも一つのガラス製の誘導部材を有するマイクロチップ系において、
前記少なくとも一つの誘導部材は、直接ガラス接合によって前記複数の本体に接合されていることを特徴とするマイクロチップ系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロチップ及びマイクロチップ系に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロマシニング技術を用いて、ガラス、シリコン、又はプラスチックのチップに、流体を流動させることができる微細な流路が設けられたマイクロチップに関する研究開発が、近年、盛んに行なわれている。マイクロチップには、通常、互いに交わる複数の流路が設けられている。
【０００３】
マイクロチップにおいては、複数の微細な流路に複数種の反応物を供給して、微細な流路において複数種の反応物を反応させて、生成物を生成させ、生成物を流路から取り出すことができる。具体的には、例えば、互いに交わる第一、第二、及び第三の微細な流路が設けられたマイクロチップにおいては、第一の流路の入口から第一の流路に第一の流体の反応物を供給し、第二の流路の入口から第二の流路に第一の反応物と反応する第二の反応物を供給し、マイクロチップを操作して、第一の反応物と第二の反応物を、第一の流路と第二の流路とが交わる場所で互いに接触させて反応させる。次に、第一の反応物と第二の反応物が反応して生成した生成物を、第一の流路と第二の流路とが交わる場所に続く第三の流路に沿って移動させ、第三の流路の出口から生成物を取り出すことができる。すなわち、マイクロチップについては、化学反応をチップの微細な流路で行なうことができるラボラトリー・オン・ア・チップ（ＬＯＣ）としての用途が期待されている。より具体的には、微細な流路で一般的な化学反応を実現するマイクロリアクターチップ、生体外のタンパク質合成用のマイクロチップ、及び遺伝子増幅反応用のマイクロチップが挙げられる。
【０００４】
また、マイクロチップに設けられた複数の流路に供給する複数の反応物として、試料と試薬の組み合わせを用いると、マイクロチップ内で試料と試薬とを接触させて混合し、試料と試薬の混合による結果を観察することによって、又は試料と試薬の混合物を取り出して分析することによって、マイクロチップにおいて試料の試薬で検出される特性を分析することができる。上記の具体例において、第一の反応物が試料であり、第二の反応物が試薬である。例えば、試料としてのヒトから採取した血液に、血液中に存在する特定のＤＮＡと反応すると発光する試薬を反応させて、血液を採取したヒトにおけるそのＤＮＡの存在を、発光を観察することによって分析することができる。
【０００５】
さらに、マイクロチップと電気泳動の技術を組み合わせであることで、ＤＮＡ及びタンパク質などのような生体分子の混合物から、所望の成分を分離及び分析するナノバイオチップとしての用途も考えられている（例えば、非特許文献１及び２参照）。このように、マイクロチップについては、微細な流路で試料の分析を行なうことができるマイクロ・トータル・アナリシス・システム（μ−ＴＡＳ）としての利用も期待されている。
【０００６】
このようなＬＯＣやμ−ＴＡＳとして利用されるマイクロチップには、使い捨ての用途を目的とした分子材料を使用して安価に製造される普及型のマイクロチップ及び繰り返しの使用を目的としたガラス材料を加工して製造されるマイクロチップが挙げられる。マイクロチップは、使用の目的に応じて、異なる耐環境性、寿命、及び耐溶液性等を有する。
【０００７】
図１は、従来のガラス製のマイクロチップの概略図であり、（ａ）は、マイクロチップの平面図であり、（ｂ）は、マイクロチップの流体の注入口付近における断面図である。図１（ａ）及び（ｂ）に示すように、従来のマイクロチップは、流体を流動させることが可能な流路１１２が設けられたガラス製の本体及び流路に対して流体を誘導する貫通穴１１１が設けられたガラス製の誘導部材を有する。ガラス製の本体は、二枚のガラス部材１０１、１０２で構成されており、下側のガラス部材１０２には、流体を流動させることが可能な流路１１２が設けられている。さらに、下側のガラス部材１０２には、流路１１２に接続された貫通穴１１３が設けられ、貫通穴１１３に続く導出口（流体の取り出し口）を介して流路１１２を流動する生成物又は廃棄物のような流体をマイクロチップの外へ導出することができる。また、上側のガラス部材１０１は、ガラス製の誘導部材に設けられた貫通穴１１１と対応する貫通穴が設けられており、誘導部材の貫通穴１１１に続く導入口（流体の供給口）から導入される反応物、試料及び試薬のような流体を、誘導部材の貫通穴１１１を通じて、下側のガラス部材１０２に設けられた流路１１２へ導入することができる。また、上側のガラス部材１０１は、下側のガラス部材１０２に設けられた流路を覆っている。ガラス製の誘導部材は、微量の流体を誘導部材の貫通穴１１１まで導入するシリコーン製のゴム管などを接続するための上側の小径部１０３ａ、及び上側のガラス部材１０１に誘導部材を固定するための下側の大径部１０３ｂを有する。誘導部材は、誘導部材に設けられた貫通穴１１１と上側のガラス部材１０１に設けられた貫通穴とが対応するように、上側のガラス部材１０１に固定される。
【０００８】
ここで、大径部１０３ｂの底面に接着剤を塗布して誘導部材の大径部１０３ｂと上側のガラス部材とを接着させると、接着剤、特に粘度の低い接着剤が、毛細管現象によって、誘導部材に設けられた貫通穴１１１や上側のガラス部材に設けられた貫通穴に侵入し、硬化した接着剤が、誘導部材及び上側のガラス部材１０１に設けられた貫通穴の一部を埋めてしまう。このため、流体が、誘導部材及び上側のガラス部材１０１に設けられた貫通穴を通じて下側のガラス部材１０２に設けられた流路に導入することを妨害してしまう。よって、誘導部材を上側のガラス部材１０１に固定するために、誘導部材の大径部１０３ｂの周辺にシリコーンゴムの接着剤１０４を付着させて、誘導部材を上側のガラス部材１０１に固定している。
【０００９】
なお、マイクロチップには、単数又は複数の貫通穴を有する上側のガラス部材に、上側のガラス部材に設けられた貫通穴に対応する単数又は複数の誘導部材が設けられている。例えば、図１（ａ）に示すように、上側のガラス部材に三つの貫通穴１１１及び三つの貫通穴１１１に対応する流体を導入するための三つの誘導部材（簡便のため、一つの誘導部材のみを図示してある）が設けられており、上側のガラス部材１０２に一つの貫通穴１１３及び一つの貫通穴１１３に対応する流体を導出するための一つの誘導部材（簡便のため、図示していない）が設けられている。
【００１０】
図１に示すような、三つの誘導部材を有するマイクロチップにおいては、例えば、第一及び第二の誘導部材の導入口から第一及び第二の誘導部材の貫通穴１１１を通じて第一及び第二の反応物を流路１１２に導入し、流路１１２において第一及び第二の反応物を互いに反応させ、さらに流路１１２においてそれらの生成物を第三の誘導部材から導入される第三の反応物と反応させて、最終的な生成物を下側のガラス部材１０２に設けられた貫通穴１１３を介して下側のガラス部材１０２に設けられた誘導部材の導出口から取り出すことができる。
【００１１】
図１に示すように、従来のガラス製のマイクロチップにおいては、接着剤を用いて、流体を流動させることが可能な流路が設けられたガラス製の本体に、流路に対して流体を誘導する貫通穴が設けられたガラス製の誘導部材を接着している。特に、図１に示すように、ガラス製の本体とガラス製の誘導部材との接合面に接着剤を塗布せずに、ガラス製の誘導部材の周辺に接着剤を付着させてガラス製の本体にガラス製の誘導部材を固定している。このため、ガラス製の本体とガラス製の誘導部材との境界面における接着力は無く、硬化した接着剤の強度並びにガラス製の本体と接着剤との間の接着力及びガラス製の誘導部材と接着剤との間の接着力によって、ガラス製の本体にガラス製の誘導部材を固定している。よって、このような接着剤を用いてガラス製の誘導部材をガラス製の本体に接着させたマイクロチップにおいては、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度が低く、マイクロチップを長期間繰り返し利用すると、ガラス製の誘導部材が、ガラス製の本体と分離するという問題がある。このため、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度が高い、高い耐久性を備えたマイクロチップが要望されている。
【００１２】
また、従来のガラス製のマイクロチップにおいては、ガラス製の本体にガラス製の誘導部材を接着剤で接着しているため、強酸性や強アルカリ性の流体を用いてマイクロチップを繰り返し使用していると、図１に示すようなガラス製の本体及びガラス製の誘導部材の貫通穴並びにガラス製の本体及びガラス製の誘導部材の境界面を通じて、強酸性や強アルカリ性の流体が接着剤に接触し、接着剤の黄変及び接着剤における亀裂の発生のような接着剤の劣化が起こりやすい。すなわち、従来のガラス製のマイクロチップは、耐薬品性に劣るものである。このため、ガラス製の本体及びガラス製の誘導部材が、耐薬品性の高い接合手段で接合されたマイクロチップも要望されている。
【００１３】
さらに、図１に示すように、従来のガラス製のマイクロチップにおいては、ガラス製の誘導部材の周辺に接着剤を付着させているため、ガラス製の本体におけるガラス製の誘導部材を固定する面に、接着剤を付着させる場所が必要となる。このため、ガラス製の本体における一つの面に複数のガラス製の誘導部材を設ける場合には、接着剤を付着する複数の場所を確保することが必要となり、マイクロチップの小型化を妨げる要因となる。よって、ガラス製の本体及びガラス製の誘導部材が、小型化することが可能な接合手段で接合されたマイクロチップも要求されている。
【非特許文献１】ＢＭＥ  Ｖｏｌ．１５，Ｎｏ．１０，２００１，ｐ４３−５０
【非特許文献２】応用物理  第７２巻  第１１号（２００３）  ｐ１４０４−１４０７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
本発明は、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高い、より高い耐薬品性を有する、より小型化することが可能なマイクロチップ及びマイクロチップ系を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１記載の発明は、流体を流動させることが可能な流路が設けられたガラス製の本体及び前記流路に対して前記流体を誘導する貫通穴が設けられたガラス製の誘導部材を有するマイクロチップにおいて、前記誘導部材は、直接ガラス接合によって前記本体に接合されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項１記載の発明によれば、前記誘導部材は、直接ガラス接合によって前記本体に接合されているので、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高い、より高い耐薬品性を有する、より小型化することが可能なマイクロチップを提供することができる。
【００１７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のマイクロチップにおいて、前記本体は、前記誘導部材が挿入される貫通穴を有し、前記誘導部材は、前記本体の前記貫通穴の内周面と対向する外周面を有し、前記誘導部材の前記外周面は、前記本体の前記貫通穴の内周面に直接ガラス接合されていることを特徴とする。
【００１８】
請求項２記載の発明によれば、前記本体は、前記誘導部材が挿入される貫通穴を有し、前記誘導部材は、前記本体の前記貫通穴の内周面と対向する外周面を有し、前記誘導部材の前記外周面は、前記本体の前記貫通穴の内周面に直接ガラス接合されているので、誘導部材の外周面及び本体の貫通穴の内周面に加わる力のうち誘導部材の外周面及び本体の貫通穴の内周面に垂直な方向の成分に対して、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高いマイクロチップを提供することができる。
【００１９】
請求項３記載の発明は、請求項２記載のマイクロチップにおいて、前記本体の前記貫通穴の内周面は、複数の面からなり、前記誘導部材の外周面は、前記内周面の前記複数の面と対向する複数の面を有することを特徴とする。
【００２０】
請求項３記載の発明によれば、前記本体の前記貫通穴の内周面は、複数の面からなり、前記誘導部材の外周面は、前記内周面の前記複数の面と対向する複数の面を有するので、誘導部材の外周面における複数の面と本体の貫通穴の内周面における複数の面とを直接ガラス接合によって接合することで、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がさらに高いマイクロチップを提供することができる。
【００２１】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３いずれか１項記載のマイクロチップにおいて、前記誘導部材の貫通穴の前記流路と反対側における口の径は、前記誘導部材の貫通穴の前記流路側における口の径と異なることを特徴とする。
【００２２】
請求項４記載の発明によれば、前記誘導部材の貫通穴の前記流路と反対側における口の径は、前記誘導部材の貫通穴の前記流路側における口の径と異なるので、誘導部材の貫通穴を通じてガラス製の本体に設けられた流路に対して流体をより容易に誘導することができる。
【００２３】
請求項５記載の発明は、請求項２乃至４いずれか１項記載のマイクロチップにおいて、前記本体の前記貫通穴の前記流路と反対側における径は、前記本体の前記貫通穴の前記流路側における径と異なることを特徴とする。
【００２４】
請求項５記載の発明によれば、前記本体の前記貫通穴の前記流路と反対側における径は、前記本体の前記貫通穴の前記流路側における径と異なるので、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体により容易に位置決めすることができる。
【００２５】
請求項６記載の発明は、請求項１乃至５いずれか１項記載のマイクロチップにおいて、前記誘導部材の前記貫通穴の断面積は、前記本体に設けられた前記流路の断面積と略同一であることを特徴とする。なお、本願の請求の範囲及び明細書において、誘導部材の貫通穴の断面積は、本体に設けられた流路の断面積と略同一であるとは、誘導部材の貫通穴の断面積が、本体に設けられた流路の断面積と完全に同一である場合、及び誘導部材の貫通穴の断面積が、本体に設けられた流路の断面積と実質的に同一であるとみなせる場合の両方を含むことを意味する。
【００２６】
請求項６記載の発明によれば、前記誘導部材の前記貫通穴の断面積は、前記本体に設けられた前記流路の断面積と略同一であるので、流路に対して流体をより容易に誘導すると共に流路において流体をより容易に流動させることができる。
【００２７】
請求項７記載の発明は、請求項２乃至６いずれか１項記載のマイクロチップにおいて、前記誘導部材の前記流路側における面は、前記本体の前記貫通穴の前記流路側における口に位置するか、又は前記本体の前記貫通穴の前記流路側における口と前記本体の前記貫通穴の前記流路と反対側における口との間に位置することを特徴とする。
【００２８】
請求項７記載の発明によれば、前記誘導部材の前記流路側における面は、前記本体の前記貫通穴の前記流路側における口に位置するか、又は前記本体の前記貫通穴の前記流路側における口と前記本体の前記貫通穴の前記流路と反対側における口との間に位置するので、流路における流体の流動が誘導部材によって妨げられることを低減し、流路において流体をさらに容易に流動させることができる。
【００２９】
請求項８記載の発明は、請求項１乃至７いずれか１項記載のマイクロチップにおいて、前記誘導部材の前記貫通穴の内周面及び前記本体の前記流路の内面は、撥水処理されていることを特徴とする。
【００３０】
請求項８記載の発明によれば、前記誘導部材の前記貫通穴の内周面及び前記本体の前記流路の内面は、撥水処理されているので、流体が水性である場合に、誘導部材の貫通穴の内周面及び本体の流路の内面に残留する流体の量を低減し、誘導部材の貫通穴及び本体の流路において流体をより容易に及びより確実に流動させることができる。
【００３１】
請求項９記載の発明は、流体を流動させることが可能な流路が設けられた複数のガラス製の本体及び前記流路に対して前記流体を誘導する貫通穴が設けられた少なくとも一つのガラス製の誘導部材を有するマイクロチップ系において、前記少なくとも一つの誘導部材は、直接ガラス接合によって前記複数の本体に接合されていることを特徴とする。
【００３２】
請求項９記載の発明によれば、前記少なくとも一つの誘導部材は、直接ガラス接合によって前記複数の本体に接合されているので、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高い、より高い耐薬品性を有する、より小型化することが可能なマイクロチップ系を提供することができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高い、より高い耐薬品性を有する、より小型化することが可能なマイクロチップ及びマイクロチップ系を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
次に、本発明の実施の形態を図面と共に説明する。
【００３５】
本発明によるマイクロチップは、流体を流動させることが可能な流路が設けられたガラス製の本体及び流路に対して流体を誘導する貫通穴が設けられたガラス製の誘導部材を有する。本体及び誘導部材の両方が、ガラス製であるため、貫通穴及び流路を形成する材料の流体に対する安定性が高い。特に、本体及び誘導部材の両方が、同一のガラス材料から形成されている場合には、貫通穴及び流路を形成する材料の流体に対する均一な安定性を得ることができる。ガラス製の誘導部材の流路に対して流体を誘導する貫通穴は、ガラス製の本体の流体を流動させることが可能な流路に継続する。ガラス製の誘導部材は、ガラス製の誘導部材の貫通穴が流体を流路に導入する導入口を有する場合には、流体の導入部材であり、ガラス製の誘導部材の貫通穴が流体を流路から導出する導出口を有する場合には、流体の導出部材である。ガラス製の本体は、流路が設けられた一つのガラス部材であってもよいし、流路が設けられた第一のガラス部材と流路を覆う第二のガラス部材を有してもよい。なお、ガラス製の本体が、流路が設けられた第一のガラス部材及び流路を覆う第二のガラス部材を有する場合には、第一のガラス部材及び第二のガラス部材を直接ガラス接合で接合してもよい。また、ガラス製の本体は、ガラス製の誘導部材の貫通穴に対応すると共に流路に継続する貫通穴を有する。誘導部材は、本体と接合する接合面を有し、誘導部材は、接合面を介して直接ガラス接合によって本体に接合されている。
【００３６】
流路が設けられたガラス製の本体は、公知のリソグラフィ法による流路及び貫通穴のパターニング及び公知のウェットエッチング法又はドライエッチング法による流路及び貫通穴の形成により、製作することができる。また、貫通穴を有するガラス製の誘導部材は、例えば碌々産業（株）社製高精度高速小径微細加工機ＭＥＧＡII−３６０機のような加工機を用いて製作することができる。すなわち、ガラス製の誘導部材の（直径１００μ程度の径を有する）貫通穴を穴あけ加工により形成することができるため、ガラスの原料から所望のガラス製の誘導部材を製造することができる。このような加工機を使用すれば、適切な径の貫通穴を備えた様々な形状の誘導部材を製作することができるため、本体の貫通穴の形状や寸法（内径及び厚さ）や本体と誘導部材との間の接合に要求される強度に応じて、適切な径の貫通穴を備えた任意の適切な形状の誘導部材を提供することができる。
【００３７】
本発明によるマイクロチップにおいては、両方ともガラス材料で製作された本体及び誘導部材を直接ガラス接合によって接合する。誘導部材を本体に接合するための直接ガラス接合としては、有機系の接着剤を用いることなく複数のガラス部材同士を接合する、公知の直接ガラス接合の方法を用いることができる。例えば、誘導部材及び本体のそれぞれの接合面に、０．５〜１重量％程度のフッ酸水溶液、バッファードフッ化水素酸（フッ化アンモニウムとフッ化水素酸の混合液）、ＫＯＨ、ＮａＯＨ若しくはＮＨ４ＯＨの水溶液のような無機アルカリ溶液、又はＴＭＡＨ（水酸化テトラメチルアンモニウム）などのような有機アルカリ溶液を介在させ、誘導部材及び本体の接合面を合わせて、接合面に対して３ｋＰ（３１ｇｆ／ｃｍ２）〜１ＭＰ程度の圧力を加えて適当な時間の間放置する方法、ガラスの徐冷点以上まで誘導部材及び本体の温度を上げて誘導部材及び本体の接合面を融着させて接合させる融着法、５５０℃以上の融着温度で高融点ガラスによって誘導部材及び本体を接合させる方法、比較的低温で加熱しながら低融点ガラスによって誘導部材及び本体を接合させる方法、水ガラス（ケイ酸ナトリウム）、水ガラス及びガラス粉末の混合物を加熱して得られる変性した水ガラス、準安定相のメタリン酸アルミニウム、スルホアルミン酸カルシウムのような水ガラス硬化剤を混合した水ガラス、粉末化、酸処理、若しくはエステル化した珪酸塩ガラス若しくはホウ珪酸ガラス、及び層状珪酸アルミニウム鉱物粉を混合した水ガラスなどのような水ガラスを接合面に塗布し、加熱することにより誘導部材及び本体を接合させる方法、並びにホウケイ酸ガラス層を接合面に設けてホウケイ酸ガラス層に電圧を印加させて誘導部材及び本体を接合させる陽極接合の方法などが挙げられる。なお、高融点ガラス又は低融点ガラスを用いる方法では、誘導部材及び本体を、高融点ガラス又は低融点ガラスで製作して、誘導部材及び本体を加熱して接合してもよい。
【００３８】
本発明によれば、誘導部材が、直接ガラス接合によって本体に直接接合されているので、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高いマイクロチップを提供することができる。これにより、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との接合部における耐久性を向上させることができるため、マイクロチップを繰り返し使用しても誘導部材と本体とが剥離せず、より長寿命のマイクロチップを提供することができる。また、本発明によるマイクロチップにおいては、誘導部材が、接着剤よりも耐薬品性の高い直接ガラス接合によって本体に接合されているので、本発明によるマイクロチップは、強酸性や強アルカリ性の流体に対して、より高い耐薬品性を有する。さらに、本発明によるマイクロチップにおいては、接着剤によって誘導部材を本体に接合しないので、本体に接着剤を塗布する場所を確保する必要が無く、よって、本発明によるマイクロチップは、より小型化することが可能となる。
【００３９】
また、本発明によるマイクロチップにおいては、好ましくは、ガラス製の本体は、ガラス製の誘導部材が挿入される貫通穴を有し、誘導部材は、本体の貫通穴の内周面と対向する外周面を有し、誘導部材の外周面は、本体の貫通穴の内周面に直接ガラス接合される。誘導部材の外周面及び本体の貫通穴の内周面の形状は、誘導部材が本体に挿入されたとき、互いに接触する形状である必要があるが、特に限定されない。ただし、誘導部材の外周面及び本体の貫通穴の内周面における互いに対向する面の面積が大きいことが好ましい。誘導部材の外周面及び本体の貫通穴の内周面における互いに対向する面の面積が大きいほど、誘導部材の外周面と本体の貫通穴の内周面との接合面の面積を増加させることができる。例えば、誘導部材の外周面と本体の貫通穴の内周面とが両方とも単一の面で構成されている場合、誘導部材の外周面と本体の貫通穴の内周面の両方は、円筒形の内周面よりも円錐台形の内周面であることが好ましい。
【００４０】
このように、本体が、誘導部材を挿入するための貫通穴を有し、誘導部材が本体の前記貫通穴の内周面と対向する外周面を有し、誘導部材の外周面が、本体の貫通穴の内周面に直接ガラス接合されるので、誘導部材の外周面及び本体の貫通穴の内周面に加わる力のうち誘導部材の外周面及び本体の貫通穴の内周面に垂直な方向の成分に対して、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高くなる。すなわち、ガラス製の誘導部材をガラス製の本体の表面に直接ガラス接合で接合したマイクロチップよりも、誘導部材の外周面及び本体の貫通穴の内周面に垂直な方向の力に対する誘導部材と本体との接合強度が高くなる。よって、特に、誘導部材の外周面及び本体の貫通穴の内周面に垂直な方向の力に対して誘導部材と本体との接合強度がより高いマイクロチップを提供することができる。
【００４１】
また、本発明によるマイクロチップにおいては、好ましくは、ガラス製の本体における貫通穴の内周面が、複数の面からなり、ガラス製の誘導部材の外周面が、ガラス製の本体における貫通穴の内周面を構成する複数の面と対向する複数の面を有する。そして、ガラス製の誘導部材の外周面を構成する複数の面とそれらに対応するガラス製の本体における貫通穴の内周面を構成する複数の面とは、直接ガラス接合によって接合される。
【００４２】
このように、本体の貫通穴の内周面が、複数の面からなり、誘導部材の外周面は、ガラス製の本体における貫通穴の内周面における複数の面と対向する複数の面を有するので、誘導部材の外周面における複数の面と本体の貫通穴の内周面における複数の面とを直接ガラス接合によって接合することができる。すなわち、誘導体の外周面と本体の貫通穴の内周面とを複数の接合面を介して直接ガラス接合で接合させることができるため、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接合の強度をさらに向上させることができる。そして、本体の貫通穴の内周面を構成する面の数及び誘導部材の外周面を構成する面の数が多いほど、直接ガラス接合を適用することができる面が増加し、本体の貫通穴の内周面及び誘導部材の外周面における接合強度を向上させることが可能になる。よって、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接合の強度がより高いマイクロチップを提供することができる。
【００４３】
また、本発明によるマイクロチップにおいては、好ましくは、誘導部材の貫通穴の流路と反対側における口の径は、誘導部材の貫通穴の流路側における口の径と異なる。具体的には、誘導部材が、流路に流体を導入する導入部材である場合には、誘導部材の貫通穴の流路と反対側における口（流体の導入口）の径は、誘導部材の貫通穴の流路側における口の径よりも大きい。一方、誘導部材が、流路から流体を導出する導出部材である場合には、誘導部材の貫通穴の流路と反対側における口（流体の導出口）の径は、誘導部材の貫通穴の流路側における口の径よりも小さい。
【００４４】
このように、誘導部材の貫通穴の流路と反対側における口の径は、誘導部材の貫通穴の流路側における口の径と異なるので、誘導部材の貫通穴を通じてガラス製の本体に設けられた流路に対して流体を徐々に誘導することができる。具体的には、誘導部材が、流路に流体を導入する導入部材である場合には、誘導部材の貫通穴の流路と反対側における口（流体の導入口）の径が、誘導部材の貫通穴の流路側における口の径よりも大きいので、誘導部材の貫通穴を通じてガラス製の本体に設けられた流路に流体を徐々に導入することができる。一方、誘導部材が、流路から流体を導出する導出部材である場合には、誘導部材の貫通穴の流路と反対側における口（流体の導出口）の径が、誘導部材の貫通穴の流路側における口の径よりも小さいので、誘導部材の貫通穴を通じてガラス製の本体に設けられた流路から流体を徐々に導出することができる。
【００４５】
特に、導入部材は、導入部材の貫通穴の流路と反対側における口（流体の導入口）の径が導入部材の貫通穴の流路側における口の径よりも大きい円錐台状の貫通穴を有することが好ましい。導入部材が、導入部材の貫通穴の流路と反対側における口（流体の導入口）の径が導入部材の貫通穴の流路側における口の径よりも大きい円錐台状の貫通穴を有すると、導入部材の貫通穴を通じてガラス製の本体に設けられた流路に流体をより滑らかに導入することができる。また、導出部材は、導出部材の貫通穴の流路と反対側における口（流体の導出口）の径が、導出部材の貫通穴の流路側における口の径よりも小さい円錐台状の貫通穴を有することが好ましい。導出部材が、導出部材の貫通穴の流路と反対側における口（流体の導出口）の径が、導出部材の貫通穴の流路側における口の径よりも小さい円錐台状の貫通穴を有すると、導出部材の貫通穴を通じてガラス製の本体に設けられた流路から流体をより滑らかに導出することができる。
【００４６】
また、本発明によるマイクロチップにおいては、好ましくは、本体の貫通穴の流路と反対側における径は、本体の貫通穴の流路側における径と異なる。具体的には、誘導部材が、流路に流体を導入する導入部材である場合には、本体の貫通穴の流路と反対側における径は、本体の貫通穴の流路側における径よりも大きい。すなわち、導入部材が、導入部材の貫通穴の流路と反対側における口（流体の導入口）の径が導入部材の貫通穴の流路側における口の径よりも大きい円錐台状の貫通穴を有し、本体も、本体の貫通穴の流路と反対側における径が本体の貫通穴の流路側における径よりも大きい対応する円錐台状の貫通穴を有する。一方、誘導部材が、流路から流体を導出する導出部材である場合には、本体の貫通穴の流路と反対側における径は、本体の貫通穴の流路側における径よりも小さい。すなわち、導出部材が、導出部材の貫通穴の流路と反対側における口（流体の導出口）の径が、導出部材の貫通穴の流路側における口の径よりも小さい円錐台状の貫通穴を有し、本体も、本体の貫通穴の流路と反対側における径が本体の貫通穴の流路側における径よりも小さい対応する円錐台状の貫通穴を有する。
【００４７】
このように、本体の貫通穴の流路と反対側における径は、本体の貫通穴の流路側における径と異なるので、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体により容易に位置決めすることができる。より詳しくは、ガラス製の誘導部材の寸法及びガラス製の本体の貫通穴の寸法に関する許容誤差が大きくても、ガラス製の誘導部材をガラス製の本体の貫通穴に落とし込むことによって、ガラス製の誘導部材をガラス製の本体により容易に位置決めすることができる。具体的には、誘導部材が、流路に流体を導入する導入部材である場合には、本体の貫通穴の流路と反対側における径が、本体の貫通穴の流路側における径よりも大きいので、本体の貫通穴の流路と反対側から導入部材を本体の貫通穴へ落とし込むことによって、誘導部材を本体へ位置決めすることができる。一方、誘導部材が、流路から流体を導出する導出部材である場合には、本体の貫通穴の流路と反対側における径が、本体の貫通穴の流路側における径よりも小さいので、本体の貫通穴の流路側から導出部材を本体の貫通穴へ落とし込むことによって、導出部材を本体へ位置決めすることができる。よって、マイクロチップをより容易に製作することができ、マイクロチップの製作に係る費用及び時間を低減することができる。
【００４８】
また、本発明によるマイクロチップにおいては、好ましくは、誘導部材の貫通穴の断面積は、本体に設けられた流路の断面積と略同一である。ここで、誘導部材の貫通穴の断面積は、本体に設けられた流路の断面積と略同一であるとは、誘導部材の貫通穴の断面積が、本体に設けられた流路の断面積と完全に同一である場合、及び誘導部材の貫通穴の断面積が、本体に設けられた流路の断面積と実質的に同一であるとみなせる場合の両方を含む。なお、誘導部材の貫通穴及び本体に設けられた流路の両方が、円筒形である場合には、誘導部材の貫通穴の径が、本体に設けられた流路の径と略同一である。ここでも、誘導部材の貫通穴の径が、本体に設けられた流路の径と略同一であるとは、誘導部材の貫通穴の径が、本体に設けられた流路の径と完全に同一である場合、及び誘導部材の貫通穴の径が、本体に設けられた流路の径と実質的に同一であるとみなせる場合の両方を含む。
【００４９】
このように、誘導部材の貫通穴の断面積が、本体に設けられた流路の断面積と略同一であるので、流路に対して流体をより容易に誘導すると共に流路において流体をより容易に流動させることができる。すなわち、誘導部材の貫通穴の断面積が、本体に設けられた流路の断面積と略同一である場合には、誘導部材の貫通穴及び本体に設けられた流路を通じて流体の流速をより容易に制御することができる。このため、マイクロチップの流路内で複数の流体の反応物を所望の割合で反応させること、及びイクロチップの流路における試料及び試薬を所望の割合で反応させることが容易となる。
【００５０】
また、本発明によるマイクロチップにおいては、好ましくは、誘導部材の流路側における面は、本体の貫通穴の流路側における口に位置するか、又は本体の貫通穴の流路側における口と本体の貫通穴の流路と反対側における口との間に位置する。
【００５１】
このように、誘導部材の流路側における面を、本体の貫通穴の流路側における口の位置に位置させるか、又は本体の貫通穴の流路側における口と本体の貫通穴の流路と反対側における口との間の位置に位置させることで、流路における流体の流動が、誘導部材によって妨げられることを低減し、流路において流体をさらに容易に流動させることができる。
【００５２】
また、本発明によるマイクロチップにおいては、好ましくは、誘導部材の貫通穴の内周面及び本体の流路の内面は、撥水処理されている。このように、誘導部材の貫通穴の内周面及び本体の流路の内面が、撥水処理されているので、流体が水性である場合に、誘導部材の貫通穴の内周面及び本体の流路の内面に残留する流体の量を低減し、誘導部材の貫通穴及び本体の流路において流体をより容易に及びより確実に流動させることができる。
【００５３】
図２は、本発明による第一の実施形態のマイクロチップを説明する図であり、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、流体の導入口付近における断面図である。図２（ａ）及び（ｂ）に示すように、本発明による第一の実施形態のマイクロチップは、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられたガラス製の本体及び流路に対して流体を誘導する貫通穴１１が設けられたガラス製の誘導部材を有する。ガラス製の本体は、二枚のガラス部材１及び２で構成されており、下側のガラス部材２には、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられている。さらに、下側のガラス部材２には、流路１２に接続された貫通穴１３が設けられ、貫通穴１３に続く導出口（流体の取り出し口）を介して流路１２を流動する生成物又は廃棄物のような流体をマイクロチップの外へ導出することができる。ガラス製の誘導部材は、微量の流体を誘導部材の貫通穴１１まで導入するシリコーン製のゴム管などを接続するための上側の小径部３ａ、及び上側のガラス部材１に誘導部材を固定するための下側の大径部３ｂを有する。ガラス製の誘導部材によって、誘導部材の貫通穴１１の流路と反対側の導入口（流体の供給口）から導入される反応物、試料及び試薬のような流体を、誘導部材の貫通穴１１を通じて、下側のガラス部材２に設けられた流路１２へ導入することができる。また、上側のガラス部材１は、ガラス製の誘導部材の小径部３ａ及び大径部３ｂの外周面と対応する内周面を有する貫通穴が設けられている。また、上側のガラス部材１は、下側のガラス部材２に設けられた流路を覆っている。誘導部材は、誘導部材の大径部３ｂの外周面と上側のガラス部材１における貫通穴の下側の内周面とが対応し、誘導部材の小径部３ａの外周面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面とが対応するように、上側のガラス部材１に固定される。
【００５４】
本発明による第一の実施形態のマイクロチップにおいては、誘導部材の大径部３ｂの外周面と上側のガラス部材１における貫通穴の下側の内周面との境界面の一部である接合面４で、誘導部材の大径部３ｂの外周面と上側のガラス部材１における貫通穴の下側の内周面とが直接ガラス接合で接合されている。ただし、マイクロチップにおける誘導部材と本体との接合強度における要求に応じて、誘導部材の大径部３ｂの上面と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面及び下側の内周面との境界面とを直接ガラス接合でさらに接合させてもよく、また、誘導部材の小径部３ａの外周面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面とを直接ガラス接合でさらに接合させてもよい。すなわち、本発明による第一の実施形態のマイクロチップにおいては、誘導部材の三つの面と上側のガラス部材１における貫通穴の三つの面とを直接ガラス接合で接合させることができるため、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高いマイクロチップを提供することができる。
【００５５】
このような本発明による第一の実施形態のマイクロチップは、上側のガラス部材１における貫通穴に誘導部材を流路側から挿入し、誘導部材の大径部３ｂの外周面と上側のガラス部材１における貫通穴の下側の内周面とを直接ガラス接合で接合し、誘導部材を接合した上側のガラス部材１を下側のガラス部材２と直接ガラス接合で接合して製造することができる。
【００５６】
なお、マイクロチップには、単数又は複数の貫通穴を有する上側又は下側のガラス部材２に、上側又は下側のガラス部材２に設けられた貫通穴に対応する単数又は複数の誘導部材が設けられている。例えば、図２（ａ）に示すように、上側のガラス部材１に三つの貫通穴１１及び三つの貫通穴１１に対応する流体を導入するための三つの誘導部材（簡便のため、一つの誘導部材のみを図示してある）が設けられており、上側のガラス部材２に一つの貫通穴１３及び一つの貫通穴１３に対応する流体を導出するための一つの誘導部材（簡便のため、図示していない）が設けられている。
【００５７】
図２に示すような、四つの誘導部材を有するマイクロチップにおいては、例えば、第一及び第二の誘導部材の導入口から第一及び第二の誘導部材の貫通穴１１を通じて第一及び第二の反応物を流路１２に導入し、流路１２において第一及び第二の反応物を互いに反応させ、さらに流路１２においてそれらの生成物を第三の誘導部材から導入される第三の反応物と反応させて、最終的な生成物を下側のガラス部材２に設けられた貫通穴１３を介して下側のガラス部材２に儲けられた誘導部材の導出口から取り出すことができる。
【００５８】
図３は、本発明による第二の実施形態のマイクロチップの流体の導入口付近における断面図である。図３に示すように、本発明による第二の実施形態のマイクロチップは、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられたガラス製の本体及び流路に対して流体を誘導する貫通穴１１が設けられたガラス製の誘導部材を有する。ガラス製の本体は、二枚のガラス部材１及び２で構成されており、下側のガラス部材２には、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられている。ガラス製の誘導部材は、微量の流体を誘導部材の貫通穴１１まで導入するシリコーン製のゴム管などを接続するための上側の小径部３ａ、及び上側のガラス部材１に誘導部材を固定するための下側の大径部３ｂを有する。ガラス製の誘導部材によって、誘導部材の貫通穴１１の流路と反対側の導入口（流体の供給口）から導入される反応物、試料及び試薬のような流体を、誘導部材の貫通穴１１を通じて、下側のガラス部材２に設けられた流路１２へ導入することができる。また、上側のガラス部材１は、ガラス製の誘導部材の大径部３ｂの外周面と対応する内周面を有する貫通穴が設けられている。また、上側のガラス部材１は、下側のガラス部材２に設けられた流路を覆っている。誘導部材は、誘導部材の大径部３ｂの外周面と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面とが対応するように、上側のガラス部材１に固定される。
【００５９】
本発明による第二の実施形態のマイクロチップにおいては、誘導部材の大径部３ｂの底面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面及び下側の内周面との境界面の一部である接合面４で、誘導部材の大径部３ｂの底面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面及び下側の内周面の境界面の一部とが直接ガラス接合で接合されている。ただし、マイクロチップにおける誘導部材と本体との接合強度における要求に応じて、誘導部材の大径部３ｂの外周面と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面とを直接ガラス接合でさらに接合させてもよい。すなわち、本発明による第二の実施形態のマイクロチップにおいては、誘導部材の二つの面と上側のガラス部材１における貫通穴の二つの面とを直接ガラス接合で接合させることができるため、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高いマイクロチップを提供することができる。このような本発明による第二の実施形態のマイクロチップは、上側のガラス部材１における貫通穴に誘導部材を流路と反対側から挿入し、誘導部材の大径部３ｂの底面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面及び下側の内周面の境界面の一部とを直接ガラス接合で接合し、誘導部材を接合した上側のガラス部材１を下側のガラス部材２と直接ガラス接合で接合して製造することができる。
【００６０】
図４は、本発明による第三の実施形態のマイクロチップの流体の導入口付近における断面図である。図４に示すように、本発明による第三の実施形態のマイクロチップは、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられたガラス製の本体及び流路に対して流体を誘導する貫通穴１１が設けられたガラス製の誘導部材を有する。ガラス製の本体は、二枚のガラス部材１及び２で構成されており、下側のガラス部材２には、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられている。ガラス製の誘導部材は、微量の流体を誘導部材の貫通穴１１まで導入するシリコーン製のゴム管などを接続するための上側の小径部３ａ、及び上側のガラス部材１に誘導部材を固定するための大径部３ｂ及び下側の小径部３ｃを有する。ガラス製の誘導部材によって、誘導部材の貫通穴１１の流路と反対側の導入口（流体の供給口）から導入される反応物、試料及び試薬のような流体を、誘導部材の貫通穴１１を通じて、下側のガラス部材２に設けられた流路１２へ導入することができる。また、上側のガラス部材１は、ガラス製の誘導部材の大径部３ｂの外周面及び下側の小径部３ｃの外周面と対応する内周面を有する貫通穴が設けられている。また、上側のガラス部材１は、下側のガラス部材２に設けられた流路を覆っている。誘導部材は、誘導部材の大径部３ｂの外周面と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面とが対応するように、また、誘導部材の下側の小径部３ｃと上側のガラス部材１における貫通穴の下側の内周面とが対応するように、上側のガラス部材１に固定される。
【００６１】
本発明による第三の実施形態のマイクロチップにおいては、誘導部材の下側の小径部３ｃの一部と上側のガラス部材１における下側の内周面の一部である接合面４で、誘導部材の小径部３ｃの外周面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の下側の内周面の一部とが直接ガラス接合で接合されている。ただし、マイクロチップにおける誘導部材と本体との接合強度における要求に応じて、誘導部材の大径部３ｂの外周面と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面とを直接ガラス接合でさらに接合させてもよく、誘導部材の大径部３ｂの底面と上側のガラス部材１における貫通穴の上側の内周面及び下側の内周面の境界面とを直接ガラス接合でさらに接合させてもよい。すなわち、本発明による第三の実施形態のマイクロチップにおいては、誘導部材の三つの面と上側のガラス部材１における貫通穴の三つの面とを直接ガラス接合で接合させることができるため、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高いマイクロチップを提供することができる。このような本発明による第三の実施形態のマイクロチップは、上側のガラス部材１における貫通穴に誘導部材を流路と反対側から挿入し、誘導部材の下側の小径部３ｃの一部と上側のガラス部材１における貫通穴の下側の内周面の一部とを直接ガラス接合で接合し、誘導部材を接合した上側のガラス部材１を下側のガラス部材２と直接ガラス接合で接合して製造することができる。
【００６２】
図５は、本発明による第四の実施形態のマイクロチップの流体の導入口付近における断面図である。図５に示すように、本発明による第四の実施形態のマイクロチップは、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられたガラス製の本体及び流路に対して流体を誘導する貫通穴１１が設けられたガラス製の誘導部材３を有する。ガラス製の本体は、二枚のガラス部材１及び２で構成されており、下側のガラス部材２には、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられている。ガラス製の誘導部材３は、微量の流体を誘導部材の貫通穴１１まで導入するシリコーン製のゴム管などが接続される共に上側のガラス部材１に固定される円筒形の誘導部材である。ガラス製の誘導部材３によって、誘導部材３の貫通穴１１の流路と反対側の導入口（流体の供給口）から導入される反応物、試料及び試薬のような流体を、誘導部材３の貫通穴１１を通じて、下側のガラス部材に設けられた流路１２へ導入することができる。また、上側のガラス部材１は、ガラス製の誘導部材３の外周面と対応する円筒形の内周面を有する貫通穴が設けられている。また、上側のガラス部材１は、下側のガラス部材に設けられた流路を覆っている。誘導部材３は、誘導部材３の外周面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面とが対応するように、上側のガラス部材１に固定される。
【００６３】
本発明による第四の実施形態のマイクロチップにおいては、誘導部材３の外周面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面の一部である接合面４で、誘導部材の外周面３の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面の一部とが直接ガラス接合で接合されている。ここで、誘導部材３及び上側のガラス部材１の貫通穴が、大径部及び小径部を有さずに、より単純な円筒形であるため、より簡単な構造を有する誘導部材３及び上側のガラス部材１の両方を、それぞれ、より簡単な工程で、より容易に製作することができる。このため、誘導部材３及び上側のガラス部材１を安価に製作することができ、より安価なマイクロチップを提供することができる。
【００６４】
このような本発明による第四の実施形態のマイクロチップは、上側のガラス部材１における貫通穴に誘導部材を流路側又は流路と反対側から挿入し、誘導部材の外周面３の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面の一部とを直接ガラス接合で接合し、誘導部材を接合した上側のガラス部材１を下側のガラス部材２と直接ガラス接合で接合して製造することができる。
【００６５】
図６は、本発明による第五の実施形態のマイクロチップの流体の導入口付近における断面図である。図６に示すように、本発明による第五の実施形態のマイクロチップは、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられたガラス製の本体及び流路に対して流体を誘導する貫通穴１１が設けられたガラス製の誘導部材３を有する。ガラス製の本体は、二枚のガラス部材１及び２で構成されており、下側のガラス部材２には、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられている。
【００６６】
ガラス製の誘導部材３は、微量の流体を誘導部材の貫通穴１１まで導入するシリコーン製のゴム管などが接続される共に上側のガラス部材１に固定される円筒形の誘導部材である。特に、誘導部材３は、円錐台形の貫通穴１１を有し、流路と反対側における円錐台形の貫通穴１１の口の径（導入口の径）は、流路側における円錐台形の貫通穴１１の口の径よりも大きい。ガラス製の誘導部材３によって、誘導部材３の貫通穴１１の流路と反対側の導入口から導入される反応物、試料及び試薬のような流体を、誘導部材３の貫通穴１１を通じて、下側のガラス部材２に設けられた流路１２へ導入することができる。ここで、流路と反対側における円錐台形の貫通穴１１の口の径（導入口の径）が、流路側における円錐台形の貫通穴１１の口の径よりも大きいため、流路と反対側における貫通穴１１の口から流路側における貫通穴１１の口へ流体を徐々に流し込むことができる。よって、流体を誘導部材３の貫通穴１１を通じて側のガラス部材２に設けられた流路１２へ徐々に導入することができる。
【００６７】
また、上側のガラス部材１は、ガラス製の誘導部材３の外周面と対応する円筒形の内周面を有する貫通穴が設けられている。また、上側のガラス部材１は、下側のガラス部材２に設けられた流路を覆っている。誘導部材３は、誘導部材３の外周面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面とが対応するように、上側のガラス部材１に固定される。
【００６８】
本発明による第五の実施形態のマイクロチップにおいては、誘導部材３の外周面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面の一部である接合面４で、誘導部材の外周面３の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面の一部とが直接ガラス接合で接合されている。ここで、誘導部材３及び上側のガラス部材１の貫通穴が、大径部及び小径部を有さずに、より単純な円筒形であるため、より簡単な構造を有する誘導部材３及び上側のガラス部材１の両方を、それぞれ、より簡単な工程で、より容易に製作することができる。このため、誘導部材３及び上側のガラス部材１を安価に製作することができ、より安価なマイクロチップを提供することができる。
【００６９】
このような本発明による第五の実施形態のマイクロチップは、上側のガラス部材１における貫通穴に誘導部材を流路側又は流路と反対側から挿入し、誘導部材の外周面３の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面の一部とを直接ガラス接合で接合し、誘導部材を接合した上側のガラス部材１を下側のガラス部材２と直接ガラス接合で接合して製造することができる。
【００７０】
図７は、本発明による第六の実施形態のマイクロチップの流体の導入口付近における断面図である。図７に示すように、本発明による第六の実施形態のマイクロチップは、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられたガラス製の本体及び流路に対して流体を誘導する貫通穴１１が設けられたガラス製の誘導部材３を有する。ガラス製の本体は、二枚のガラス部材１及び２で構成されており、下側のガラス部材２には、流体を流動させることが可能な流路１２が設けられている。
【００７１】
ガラス製の誘導部材３は、微量の流体を誘導部材の貫通穴１１まで導入するシリコーン製のゴム管などが接続される共に上側のガラス部材１に固定される円錐台形の誘導部材である。特に、誘導部材３は、流路と反対側における誘導部材３の上面の径が、流路側における誘導部材の底面の径よりも小さい円錐台形の形状を有する。ただし、誘導部材３は、流路と反対側における誘導部材の上面の径が、流路側における誘導部材の底面の径よりも大きい円錐台形の形状を有してもよい。ガラス製の誘導部材３によって、誘導部材３の貫通穴１１の流路と反対側の導入口から導入される反応物、試料及び試薬のような流体を、誘導部材３の貫通穴１１を通じて、下側のガラス部材２に設けられた流路１２へ導入することができる。
【００７２】
また、上側のガラス部材１は、ガラス製の誘導部材３の外周面と対応する円錐台形の内周面を有する貫通穴が設けられている。すなわち、流路と反対側における誘導部材３の上面の径が、流路側における誘導部材の底面の径よりも小さい円錐台形の誘導部材３に対しては、上側のガラス部材１の円錐台形の貫通穴における流路と反対側における円錐台形の貫通穴の径が、流路側における円錐台形の貫通穴の径よりも小さい。また、流路と反対側における誘導部材の上面の径が、流路側における誘導部材の底面の径よりも大きい円錐台形の誘導部材に対しては、上側のガラス部材の円錐台形の貫通穴における流路と反対側における円錐台形の貫通穴の径が、流路側における円錐台形の貫通穴の径よりも大きい。このような円錐台形の誘導部材３及び円錐台形の貫通穴を有する上側のガラス部材１を採用することで、誘導部材３及び上側のガラス部材１の貫通穴の寸法に関する許容誤差を大きくしても、誘導部材３を、落とし込みによって、上側のガラス部材１の貫通穴に挿入すると共に誘導部材３の外周面と上側のガラス部材１の貫通穴の内周面とを十分に接触させることができる。よって、誘導部材３を、上側のガラス部材１の貫通穴に対して、容易に、位置決めすると共に直接ガラス接合によって接合することができる。
【００７３】
また、上側のガラス部材１は、下側のガラス部材２に設けられた流路を覆っている。誘導部材３は、誘導部材３の外周面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面とが対応するように、上側のガラス部材１に固定される。
【００７４】
本発明による第六の実施形態のマイクロチップにおいては、誘導部材３の外周面の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面の一部である接合面４で、誘導部材の外周面３の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面の一部とが直接ガラス接合で接合されている。ここで、誘導部材３及び上側のガラス部材１の貫通穴が、大径部及び小径部を有さずに、より単純な円錐台形であるため、より簡単な構造を有する誘導部材３及び上側のガラス部材１の両方を、それぞれ、より簡単な工程で、より容易に製作することができる。このため、誘導部材３及び上側のガラス部材１を安価に製作することができ、より安価なマイクロチップを提供することができる。
【００７５】
図７に示すような本発明による第六の実施形態のマイクロチップは、上側のガラス部材１における貫通穴に誘導部材を流路側から挿入し、誘導部材の外周面３の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面の一部とを直接ガラス接合で接合し、誘導部材を接合した上側のガラス部材１を下側のガラス部材２と直接ガラス接合で接合して製造することができる。また、流路と反対側における誘導部材の上面の径が、流路側における誘導部材の底面の径よりも大きい円錐台形の誘導部材を有するマイクロチップは、上側のガラス部材１における貫通穴に誘導部材を流路と反対側から挿入し、誘導部材の外周面３の一部と上側のガラス部材１における貫通穴の内周面の一部とを直接ガラス接合で接合し、誘導部材を接合した上側のガラス部材１を下側のガラス部材２と直接ガラス接合で接合して製造することができる。
【００７６】
さらに、複数の本発明によるマイクロチップを組み合わせて使用することもできる。すなわち、第一のマイクロチップにおける導入口を有する誘導部材を第二のマイクロチップにおける導出口を有する本体の貫通穴に挿入すると共に接着することで、又は第一のマイクロチップにおける導出口を有する誘導部材を第二のマイクロチップにおける導入口を有する本体の貫通穴に挿入すると共に接着することで、第一及び第二のマイクロチップを積層させると共に接続することができる。同様に、三つ以上のマイクロチップを積層させると共に接続させて、三つ以上のマイクロチップからなる多層構造のマイクロチップ系を構築することができる。このような多層構造のマイクロチップ系を構成するマイクロチップは、同種の（流路を有する）マイクロチップであっても、異種の（流路を有する）マイクロチップであってもよい。
【００７７】
なお、第一のマイクロチップにおける導入口を有する誘導部材を第二のマイクロチップにおける導出口を有する本体の貫通穴に接着するために、又は第一のマイクロチップにおける導出口を有する誘導部材を第二のマイクロチップにおける導入口を有する本体の貫通穴に挿入すると共に接着するためには、誘導部材及び本体がガラス製であるため、誘導部材を本体の貫通穴に直接ガラス接合で接着すればよい。ここで、誘導部材を、本体の貫通穴に挿入するだけで、誘導部材を本体の貫通穴に位置決めし、複数のマイクロチップを組み合わせることができるため、多層構造のマイクロチップ系を容易に構築することができる。特に、誘導部材の外周面が円錐台形であり、本体の貫通穴の内周面も対応する円錐台形である場合には、誘導部材及び本体の貫通穴の寸法に関する誤差が大きくても、誘導部材を本体の貫通穴に容易に位置決めすると共に接合することができる。さらに、複数の本発明によるマイクロチップを、誘導部材を介して直接ガラス接合で互いに接合しているので、マイクロチップの本体と誘導部材との接合強度がより高い多層構造のマイクロチップ系を提供することができる。
【００７８】
このような多層構造のマイクロチップ系を多段階反応用のマイクロリアクターとして用いることができる。すなわち、複数のマイクロチップにおける一つのマイクロチップの流路において反応物同士又は試料及び試薬を反応させて、第一の生成物を生成させ、貫通穴を有する誘導部材を介して、第一の生成物を次のマイクロチップの流路において別の反応物又は試薬と反応させて、第二の生成物を生成させて、貫通穴を有する誘導部材を介して、マイクロチップから取り出すか、又はさらに次のマイクロチップの流路に供給することができる。
【００７９】
図８は、本発明によるマイクロチップからなる多層構造のマイクロチップ系の接続部分付近における断面図である。図８に示すような多層構造のマイクロチップ系においては、上側のマイクロチップの本体及び下側のマイクロチップの本体が、それぞれ、上側のガラス部材１及び下側のガラス部材２を有し、上側のガラス部材１及び下側のガラス部材２の間に流路１２が設けられている。上側のマイクロチップにおける下側のガラス部材２には、流路側の径が流路と反対側の径よりも大きい円錐台形の貫通穴が設けられており、下側のマイクロチップにおける上側のガラス部材１には、流路側の径が流路と反対側の径よりも小さい円錐台形の貫通穴が設けられている。さらに、円錐台形の外周面を有する誘導部材３が、上側のマイクロチップの下側のガラス部材２における円錐台形の貫通穴の内周面及び下側のマイクロチップの上側のガラス部材１における円錐台形の貫通穴の内周面と対応して設けられている。ここで、誘導部材３の円錐台形の外周面は、上側のマイクロチップの下側のガラス部材２における円錐台形の貫通穴の内周面及び下側のマイクロチップの上側のガラス部材１における円錐台形の貫通穴の内周面と直接ガラス接合で接合されている。
【００８０】
なお、図８に示すような多層構造のマイクロチップ系においては、上側のマイクロチップに設けられた流路１２の断面積、誘導部材３の貫通穴の断面積、及び下側のマイクロチップに設けられた流路１２の断面積は、略同一であるため、流体の流速を容易に制御することができる。また、誘導部材３の上面の位置は、上側のマイクロチップの本体に設けられた貫通穴の流路側の口と同一の位置か又はより下側であり、誘導部材３の底面の位置は、下側のマイクロチップの本体に設けられた貫通穴の流路側の口と同一の位置か又はより上側であるため、誘導部材３が、流路における流体の流れを妨げない。さらに、上側のマイクロチップに設けられた流路１２、誘導部材３の貫通穴、及び下側のマイクロチップに設けられた流路１２の内面は、撥水処理されており、流体が水性である場合には、上側のマイクロチップ及び下側のマイクロチップに設けられた流路１２及び貫通穴を介して流体をより容易に流動させることができる。
【００８１】
図８に示すような多層構造のマイクロチップ系においては、外部から流体が上側のマイクロチップの上側のガラス部材１に設けられた貫通穴を介して上側のマイクロチップの流路１２に導入され、誘導部材３の貫通穴を介して、下側のマイクロチップの流路１２に誘導され、下側のマイクロチップの下側のガラス部材２に設けられた貫通穴を介して、下側のマイクロチップの外部へ導出される。
【００８２】
図８に示すような多層構造のマイクロチップ系は、以下のように製作することができる。まず、上側のマイクロチップの下側のガラス部材２における円錐台形の貫通穴に誘導部材３を挿入すると共に直接ガラス接合で接合する。次に、誘導部材３が接合された上側のマイクロチップの下側のガラス部材２を上側のマイクロチップの上側のガラス部材１と直接ガラス接合で接合させる。一方、下側のマイクロチップの上側のガラス部材１を下側のマイクロチップの下側のガラス部材２と直接ガラス接合で接合させる。最後に、上側のマイクロチップの誘導部材を、下側のマイクロチップの貫通穴に挿入すると共に直接ガラス接合で接合させて、誘導部材が接合された上側のマイクロチップを下側のマイクロチップと接続する。
【実施例１】
【００８３】
実施例１として、図４に示すような上側の小径部、大径部、及び下側の小径部を有する誘導部材を、上側のガラス部材の貫通穴にガラス直接接合で接合させたマイクロチップの製造工程を説明する。実施例１においては、図４におけるマイクロチップの上側のガラス部材、誘導部材、及び下側のガラス部材を、それぞれ、マイクロリアクターのカバーガラス、配管コネクター、及びガラス基板と呼ぶことにする。また、マイクロリアクターのカバーガラス及び配管コネクターの製作には、碌々産業（株）社製の高精度高速小径微細加工機ＭＥＧＡＩＩ−３６０機を用いた。なお、マイクロリアクターのガラス基板には、通常のリソグラフィー法によるパターニング及びエッチング法によって流路が形成されたガラス基板を入手した。よって、以下では、マイクロリアクターの配管コネクター及びカバーガラスの製作及び接合について詳細に説明する。
【００８４】
｛配管コネクターの製作｝
石英からなる厚さ５．０ｍｍの板材料に、Ｃｒ等の金属材料を用いたフォトリソグラフィー法によって、予め加工基準となる基準点及び基準線、並びにマイクロリアクターの外形を定義する基準線を高精度に形成し、この石英の板材料を、熱溶融するワックスを用いて、加工台座としてのＢＫ７のガラス平板材料に対して平行に固定した。まず、高精度高速小径微細加工機に円筒形の穴開け加工用のダイヤモンド砥石を取り付け、石英の板材料に専用の切削加工液を吹付けながら、石英の板材料に内径Φ１．５ｍｍの貫通丸穴（図４における誘導部材の貫通穴）を形成した。次に、外周加工用の円管形のダイヤモンド砥石を加工機に取り付け、貫通丸穴の中心を中心とした外径Φ４．０ｍｍ及び深さ２．０ｍｍの円筒部分の外部を研削して管状の溝を形成し、すなわち、貫通丸穴の中心を中心とした外径Φ４．０ｍｍ及び深さ２．０ｍｍの円筒部分（図４における上側の小径部）を形成した。次に、石英の板材料を裏返して、石英の板材料を、ワックスを用いて、別のＢＫ７ガラス平板材料に対して固定した。具体的には、ワックスで管状の溝を埋めると共に、ワックスで石英の板材料を固定するために、管状の溝を埋める管状のワックスの高さは、管状の溝の深さ（２．０ｍｍ）より僅かに大きくした。次に、外周加工用の円管形のダイヤモンド砥石を用いて、同様に、貫通丸穴の中心を中心とした外径Φ４．０ｍｍ及び深さ１．５ｍｍの円筒部分の外部を研削して管状の溝を形成し、すなわち、貫通丸穴の中心を中心とした外径Φ４．０ｍｍ及び深さ１．５ｍｍの円筒部分（図４における下側の小径部）を形成した。次に、最外周加工用の円管形のダイヤモンド砥石を用いて、貫通丸穴の中心を中心とした外径Φ６．０ｍｍ及び高さ１．５ｍｍの円筒部分の外部を研削し、すなわち、貫通丸穴の中心を中心とした外径Φ６．０ｍｍ及び高さ１．５ｍｍの円筒部分（図４における大径部）を形成した。次に、石英の板材料及びＢＫ７のガラス平板材料を一緒に加熱して、ワックスを溶解させ、配管コネクターをＢＫ７のガラス平板材料から取り外し、残留するワックスを除去するために、有機溶剤で洗浄し、さらに専用の洗浄治具に入れて有機溶剤中で超音波洗浄した。最後に、洗浄した配管コネクターを温風乾燥して、配管コネクターの製品を得た。
【００８５】
｛カバーガラスの製作｝
石英からなる厚さ３．０ｍｍの板材料に、Ｃｒ等の金属材料を用いたフォトリソグラフィー法によって、予め加工基準となる基準点及び基準線、並びにマイクロリアクターの外形を定義する基準線を高精度に形成し、この石英の板材料を、熱溶融するワックスを用いて、加工台座としてのＢＫ７のガラス平板材料に対して平行に固定した。まず、高精度高速小径微細加工機に円筒形の穴開け加工用のダイヤモンド砥石を取り付け、石英の板材料に専用の切削加工液を吹付けながら、石英の板材料に内径Φ４．０５ｍｍの貫通丸穴を形成した。次に、高精度高速小径微細加工機に別の円筒形の穴開け加工用のダイヤモンド砥石を取り付け、石英の板材料に専用の切削加工液を吹付けながら、石英の板材料に内径Φ６．０５ｍｍ及び深さ２．０ｍｍの丸穴を形成した。次に、石英の板材料及びＢＫ７のガラス平板材料を一緒に加熱して、ワックスを溶解させ、カバーガラスをＢＫ７のガラス平板材料から取り外した。配管コネクターの製作と同様に洗浄及び乾燥を行い、カバーガラスの製品を得た。
【００８６】
｛カバーガラス、配管コネクター、及びガラス基板の接合｝
製作した配管コネクターの外径Φ６．０ｍｍ及び高さ１．５ｍｍの円筒部分の外周面、外径Φ４．０ｍｍ及び深さ１．５ｍｍの円筒部分の外周面、及びそれらの外周面の境界面の三つの面（接合面）に１％フッ酸を薄く塗布し、カバーガラスに設けられた内径Φ６．０５ｍｍ及び深さ２．０ｍｍの丸穴及び内径Φ４．０５ｍｍ及び深さ１．０ｍｍの丸穴からなる面と接触させた。次に、配管コネクターを接触させたカバーガラスを、配管コネクター及びカバーガラスの接合面に１ＭＰａの圧力を加え、室温で２４時間放置した。その後、有機溶剤による洗浄及び真空乾燥を通じて、配管コネクターが接合したカバーガラスを得ることができた。得られた配管コネクターが接合したカバーガラスを、同様にして、カバーガラスとガラス基板の接合面に１％フッ酸を薄く塗布し、カバーガラスとガラス基板を互いに接触させ、カバーガラスとガラス基板の接合面に１ＭＰａの圧力を加え、室温で２４時間放置して、流路が設けられたガラス基板と接合させた。有機溶剤による洗浄及び真空乾燥を通じて、目的のマイクロチップを得ることができた。
【実施例２】
【００８７】
実施例２として、図７に示すような円錐台形の誘導部材を、上側のガラス部材における円錐台形の貫通穴にガラス直接接合で接合させたマイクロチップの製造工程を説明する。実施例２においては、図４におけるマイクロチップの上側のガラス部材、誘導部材、及び下側のガラス部材を、それぞれ、マイクロリアクターのカバーガラス、配管コネクター、及びガラス基板と呼ぶことにする。また、マイクロリアクターのカバーガラス及び配管コネクターの製作には、碌々産業（株）社製の高精度高速小径微細加工機ＭＥＧＡＩＩ−３６０機を用いた。なお、マイクロリアクターのガラス基板には、通常のリソグラフィー法によるパターニング及びエッチング法によって流路が形成されたガラス基板を入手した。よって、以下では、マイクロリアクターの配管コネクター及びカバーガラスの製作及び接合について詳細に説明する。
【００８８】
｛配管コネクターの製作｝           
石英からなる厚さ５．０ｍｍの板材料に、Ｃｒ等の金属材料を用いたフォトリソグラフィー法によって、予め加工基準となる基準点及び基準線、並びにマイクロリアクターの外形を定義する基準線を高精度に形成し、この石英の板材料を、熱溶融するワックスを用いて、加工台座としてのＢＫ７のガラス平板材料に対して平行に固定した。まず、高精度高速小径微細加工機に円筒形の穴開け加工用のダイヤモンド砥石を取り付け、石英の板材料に専用の切削加工液を吹付けながら、石英の板材料に内径Φ１．５ｍｍの貫通丸穴（図７における誘導部材の貫通穴）を形成した。次に、外周加工用の円錐形のダイヤモンド砥石を加工機に取り付けた。このダイヤモンド砥石の円錐の頂点から底面まで延びる線と円錐面とのなす角が約２０°であった。この円錐形のダイヤモンド砥石を用いて、貫通丸穴の中心を中心とした下側の最大外径Φ６．０ｍｍ及び深さ５．０ｍｍの円錐台形部分の外部を研削して管状の溝を形成し、すなわち、貫通丸穴の中心を中心とした最大外径Φ６．０ｍｍ及び深さ５．０ｍｍの円錐台形部分（図４における誘導部材）を形成した。次に、石英の板材料及びＢＫ７のガラス平板材料を一緒に加熱して、ワックスを溶解させ、配管コネクターをＢＫ７のガラス平板材料から取り外し、残留するワックスを除去するために、有機溶剤で洗浄し、さらに専用の洗浄治具に入れて有機溶剤中で超音波洗浄した。最後に、洗浄した配管コネクターを温風乾燥して、配管コネクターの製品を得た。
【００８９】
｛カバーガラスの製作｝
石英からなる厚さ３．０ｍｍの板材料に、Ｃｒ等の金属材料を用いたフォトリソグラフィー法によって、予め加工基準となる基準点及び基準線、並びにマイクロリアクターの外形を定義する基準線を高精度に形成し、この石英の板材料を、熱溶融するワックスを用いて、加工台座としてのＢＫ７のガラス平板材料に対して平行に固定した。まず、高精度高速小径微細加工機に円錐形の穴開け加工用のダイヤモンド砥石を取り付けた。このダイヤモンド砥石の円錐の頂点から底面まで延びる線と円錐面とのなす角が約２０°であった。この円錐形のダイヤモンド砥石を用いて、石英の板材料に専用の切削加工液を吹付けながら下側の最大内径Φ６．０５ｍｍ及び高さ３．０ｍｍの円錐台形の貫通穴（図７における上側のガラス部材の貫通穴）を形成した。次に、石英の板材料及びＢＫ７のガラス平板材料を一緒に加熱して、ワックスを溶解させ、カバーガラスをＢＫ７のガラス平板材料から取り外した。配管コネクターの製作と同様に洗浄及び乾燥を行い、カバーガラスの製品を得た。
【００９０】
｛カバーガラス、配管コネクター、及びガラス基板の接合｝
製作した配管コネクターの最大外径Φ６．０ｍｍ及び底面から高さ３．０ｍｍの円錐台形部分の外周面に１％フッ酸を薄く塗布し、カバーガラスに設けられた最大内径Φ６．０５ｍｍ及び深さ３．０ｍｍの円錐台形の貫通穴の内周面と接触させた。次に、配管コネクターを接触させたカバーガラスを、配管コネクター及びカバーガラスの接合面に１ＭＰａの圧力を加え、室温で２４時間放置した。その後、有機溶剤による洗浄及び真空乾燥を通じて、配管コネクターが接合したカバーガラスを得ることができた。得られた配管コネクターが接合したカバーガラスを、同様にして、カバーガラスとガラス基板の接合面に１％フッ酸を薄く塗布し、カバーガラスとガラス基板を互いに接触させ、カバーガラスとガラス基板の接合面に１ＭＰａの圧力を加え、室温で２４時間放置して、流路が設けられたガラス基板と接合させた。有機溶剤による洗浄及び真空乾燥を通じて、目的のマイクロチップを得ることができた。
【００９１】
以上、本発明の実施の形態及び実施例を具体的に説明してきたが、本発明は、これらの実施の形態及び実施例に限定されるものではなく、これら本発明の実施の形態及び実施例を、本発明の主旨及び範囲を逸脱することなく、変更又は変形することができる。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明は、ガラス製の誘導部材とガラス製の本体との間における接着の強度がより高い、より高い耐薬品性を有する、より小型化することが可能なマイクロチップ及びマイクロチップ系に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】従来のガラス製のマイクロチップの概略図であり、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、流体の導入口付近における断面図である。
【図２】本発明による第一の実施形態のマイクロチップを説明する図であり、（ａ）は、平面図であり、（ｂ）は、流体の導入口付近における断面図である。
【図３】本発明による第二の実施形態のマイクロチップの流体の導入口付近における断面図である。
【図４】本発明による第三の実施形態のマイクロチップの流体の導入口付近における断面図である。
【図５】本発明による第四の実施形態のマイクロチップの流体の導入口付近における断面図である。
【図６】本発明による第五の実施形態のマイクロチップの流体の導入口付近における断面図である。
【図７】本発明による第六の実施形態のマイクロチップの流体の導入口付近における断面図である。
【図８】本発明によるマイクロチップからなる多層構造のマイクロチップ系の接続部分付近における断面図である。
【符号の説明】
【００９４】
１、１０１    上側のガラス部材
２、１０２    下側のガラス部材
３    誘導部材
３ａ、３ｃ、１０３ａ    誘導部材の小径部
３ｂ、１０３ｂ    誘導部材の大径部
４    接合面
１１、１１１    貫通穴
１２、１１２    流路
１３、１１３    貫通穴
１０４    接着剤
【図１】
2005326176.tif 000003
【図２】
2005326176.tif 000004
【図３】
2005326176.tif 000005
【図４】
2005326176.tif 000006
【図５】
2005326176.tif 000007
【図６】
2005326176.tif 000008
【図７】
2005326176.tif 000009
【図８】
2005326176.tif 000010