(57)【要約】【課題】      表示用パネルの電極に付着した塵などを取り除くことにある。【解決手段】  検査装置は、矩形状の表示用パネルを受けるパネル受けを有するステージユニットと、前記パネル受けに配置された表示用パネルの複数の電極を清掃する清掃テープを有するパネル清掃装置と、パネル清掃装置を前記電極が配列された第１の方向に移動させる移動装置とを含む。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形の表示用パネルを受けるパネル受けを備えるステージと、表示用パネルにこれと平行の面内で第１の方向に間隔をおいて形成された複数の第１の電極を清掃する第１の清掃テープを備える第１の清掃装置と、該第１の清掃装置及び表示用パネルを前記第１の方向に相対的に移動させる第１の移動装置とを含む、表示用パネルの検査装置。
【請求項２】
さらに、複数のプローブを有するプローブブロックであってプローブの先端が各第１及び第２の電極に電気的に接続する複数のプローブブロックを含む、請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記第１の清掃装置は、さらに、前記第１の清掃テープの一端側が巻かれた第１の部材と、
前記第１の清掃テープの少なくとも他端側が巻かれた第２の部材であって前記第１の部材から前記第１の方向に間隔をおいた第２の部材と、
前記第１の清掃テープが前記第１及び第２の部材の間の箇所において前記第１の電極に当接するように掛けられた第３の部材と、
前記第１の清掃テープと前記第１の電極とを前記第１の方向に相対的に移動させる第１の駆動装置とを備える、請求項１又は２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記第１の清掃装置は、さらに、前記第１、第２及び第３の部材が支持された第１の支持部材を備え、
前記第１及び第２の部材は、それぞれ、前記第１の方向に間隔をおいて表示用パネルと平行の面内で前記第１の方向と交差する第２の方向に互いに平行に伸びる第１及び第２の長尺部を有し、
前記第３の部材は、前記第１及び第２の長尺部と平行に伸びる第３の長尺部であって、前記第１の清掃テープが表示用パネルの側に掛けられた第３の長尺部を有し、
第１の駆動装置は、前記第１の清掃テープを前記第２の長尺部に巻き取らせるべく前記第２の長尺部を回転させて前記第１の長尺部を前記第１の清掃テープにより従動させる、請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
さらに、前記第１の清掃装置を表示用パネルと平行の面内で前記第１の方向と交差する第２の方向に移動させる第２の移動装置を有する、請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項６】
さらに、前記第１の清掃装置を表示用パネルに垂直の第３の方向に移動させる第３の移動装置であって、前記第１の清掃テープを前記第３の長尺部の位置において前記第１の電極に接触させる押圧力を制御する第１の制御装置を有する第３の移動装置を有する、請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記第１、第２又は第３の移動装置は、前記第１の清掃装置が移動する前記第１、第２又は第３の方向に長い第１の固定子と、前記第１の固定子に前記第１の清掃装置が移動する前記第１、第２又は第３の方向に移動可能に組み付けられた第１の可動子とを有する第１のリニアガイド装置を有する、請求項６に記載の検査装置。
【請求項８】
前記ステージは、前記パネル受けを表示用パネルに垂直の第３の方向に伸びる軸線の周りに少なくとも角度的に回転させる回転装置を有する、請求項１から７のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項９】
前記回転装置の回転可能な角度は、少なくとも９０°である、請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記ステージは、さらに、前記パネル受けを表示用パネルに平行の第４の方向に伸びる軸線の周りに少なくとも角度的に回転させる転向装置を有する、請求項１から９のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１１】
さらに、表示用パネルにこれと平行の面内で前記第１の方向と交差する第２の方向に間隔をおいて形成された複数の第２の電極を清掃する第２の清掃テープを備える第２の清掃装置と、該第２の清掃装置及び表示用パネルを前記第２の方向に相対的に移動させる第４の移動装置とを含む、請求項１から１０のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記第２の清掃装置は、さらに、前記第２の清掃テープの一端側が巻かれた第４の部材と、
前記第２の清掃テープの少なくとも他端側が巻かれた第５の部材であって前記第４の部材から前記第２の方向に間隔をおいた第５の部材と、
前記第２の清掃テープが前記第４及び第５の部材の間の箇所において前記第２の電極に当接するように掛けられた第６の部材と、
前記第２の清掃テープと前記第２の電極とを前記第２の方向に相対的に移動させる第２の駆動装置とを備える、請求項１１に記載の検査装置。
【請求項１３】
前記第２の清掃装置は、さらに、前記第４、第５及び第６の部材が支持された第２の支持部材を備え、
前記第４及び第５の部材は、それぞれ、前記第２の方向に間隔をおいて表示用パネルと平行の面内で前記第１の方向に互いに平行に伸びる第４及び第５の長尺部を有し、
前記第６の部材は、前記第４及び第５の長尺部と平行に伸びる第６の長尺部であって、前記第２の清掃テープが表示用パネルの側に掛けられた第６の長尺部を有し、
第２の駆動装置は、前記第２の清掃テープを前記第５の長尺部に巻き取らせるべく前記第５の長尺部を回転させて前記第４の長尺部を前記第２の清掃テープにより従動させる、請求項１２に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示用パネルの通電試験前に表示用パネルの電極を清掃する装置を備えた検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルのような表示用パネルを検査する検査装置は、一般に、表示用パネルの電極に接触される複数の接触子をベースプレートに組み付け、そのベースプレートを装置のフレームに組み付け、表示用パネルをフレーム内に配置された検査テージに載せ、表示用パネルを検査ステージによりＸ，Ｙ，Ｚの三方向へ移動させ、それにより表示用パネルの電極と接触子とを押圧する構造となっている（例えば、特許文献１，２を参照）。
【０００３】
そのような検査装置において、接触子と表示用パネルの電極との電気的接続状態は、表示用パネルの電極に付着した塵埃に大きく影響され、時には電気的接続不良となって、表示用パネルの正確な検査をすることができないことがある。
【０００４】
【特許文献１】特開平１−１２４７４０号公報
【特許文献２】特開平８−２５４６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、表示用パネルの電極に付着した塵埃を除去することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る検査装置は、矩形の表示用パネルを受けるパネル受けを備えるステージと、表示用パネルにこれと平行の面内で第１の方向に間隔をおいて形成された複数の第１の電極を清掃する第１の清掃テープを備える第１の清掃装置と、該第１の清掃装置及び表示用パネルを前記第１の方向に相対的に移動させる第１の移動装置とを含む。
【発明の効果】
【０００７】
第１の電極に付着している塵埃は、第１の清掃テープを第１の電極の少なくとも一部に接触させた状態で、表示用パネルと第１の清掃装置とを第１の方向に相対的に移動させることにより、第１の清掃テープにより清掃されて、第１の電極から確実に除去される。このため、検査装置は、清掃された表示用パネルの第１の電極に検査装置の接触子を確実に電気的接触させることができ、表示用パネルの検査をすることができる。
【０００８】
検査装置は、さらに、複数のプローブを有するプローブブロックであってプローブの先端が各第１及び第２の電極に電気的に接続する複数のプローブブロックを含んでもよい。
【０００９】
前記第１の清掃装置は、さらに、前記第１の清掃テープの一端側が巻かれた第１の部材と、前記第１の清掃テープの少なくとも他端側が巻かれた第２の部材であって前記第１の部材から前記第１の方向に間隔をおいた第２の部材と、前記第１の清掃テープが前記第１及び第２の部材の間の箇所において前記第１の電極に当接するように掛けられた第３の部材と、前記第１の清掃テープと前記第１の電極とを前記第１の方向に相対的に移動させる第１の駆動装置とを備えていてもよい。
【００１０】
前記第１の清掃装置は、さらに、前記第１、第２及び第３の部材が支持された第１の支持部材を備え、前記第１及び第２の部材は、それぞれ、前記第１の方向に間隔をおいて表示用パネルと平行の面内で前記第１の方向と交差する第２の方向に互いに平行に伸びる第１及び第２の長尺部を有し、前記第３の部材は、前記第１及び第２の長尺部と平行に伸びる第３の長尺部であって、前記第１の清掃テープが表示用パネルの側に掛けられた第３の長尺部を有し、第１の駆動装置は、前記第１の清掃テープを前記第２の長尺部に巻き取らせるべく前記第２の長尺部を回転させて前記第１の長尺部を前記第１の清掃テープにより従動させてもよい。そのようにすれば、第１の清掃テープは、第３の長尺部の表示用パネルの側を第１の長尺部から第２の長尺部向けて移動される。このため、第１の清掃テープが第３の長尺部を介して表示用パネルの第１の電極に押圧された状態で移動されることにより、表示用パネルの第１の電極に付着している塵埃は、第１の清掃テープにより確実に拭き取られ、その結果検査装置の接触子は表示用パネルの第１の電極に電気的に確実に接触される。
【００１１】
検査装置は、さらに、前記第１の清掃装置を表示用パネルと平行の面内で前記第１の方向と交差する第２の方向に移動させる第２の移動装置を有していてもよい。そのようにすれば、第１の清掃テープと第１の電極とが第２の方向にずれていても、表示用パネルを正しい位置に配置し直すことなく、第１の清掃テープと第１の電極との相対的位置関係を第２の移動装置により修正することができ、その結果第１の電極を確実に清掃することができる。
【００１２】
検査装置は、さらに、前記第１の清掃装置を表示用パネルに垂直の第３の方向に移動させる第３の移動装置であって、前記第１の清掃テープを前記第３の長尺部の位置において前記第１の電極に接触させる押圧力を制御する第１の制御装置を有する第３の移動装置を有していてもよい。そのようにすれば、第１の電極に付着している塵埃を適切な押圧力で除去することができる。
【００１３】
前記第１、第２又は第３の移動装置は、前記第１の清掃装置が移動する前記第１、第２又は第３の方向に長い第１の固定子と、前記第１の固定子に前記第１の清掃装置が移動する前記第１、第２又は第３の方向に移動可能に組み付けられた第１の可動子とを有する第１のリニアガイド装置を有していてもよい。そのようにすれば、第１のパネル清掃装置を、第１、第２又は第３の方向に精度良く移動させることができる。
【００１４】
前記ステージは、前記パネル受けを表示用パネルに垂直の第３の方向に伸びる軸線の周りに少なくとも角度的に回転させる回転装置を有していてもよい。そのようにすれば、第１の電極の配列方向と第１の清掃テープ又は第１の清掃装置の移動方向の不一致を修正することができる。
【００１５】
前記回転装置の回転可能な角度は、少なくとも９０°にすることができる。そのようにすれば、第１の電極を清掃した後に、表示用パネルの他の辺に形成された複数の第２の電極を清掃することができる。
【００１６】
前記ステージは、さらに、前記パネル受けを表示用パネルに平行の第４の方向に伸びる軸線の周りに少なくとも角度的に回転させる転向装置を有していてもよい。そのようにすれば、表示用パネルの清掃が完了した後に、表示用パネルを検査担当者が検査しやすい角度に傾けて待機させることができる。
【００１７】
検査装置は、さらに、表示用パネルにこれと平行の面内で前記第１の方向と交差する第２の方向に間隔をおいて形成された複数の第２の電極を清掃する第２の清掃テープを備える第２の清掃装置と、該第２の清掃装置及び表示用パネルを前記第２の方向に相対的に移動させる第４の移動装置とを含むことができる。そのようにすれば、第１及び第２の電極を同時に清掃することができるから、清掃時間が短縮する。
【００１８】
前記第２の清掃装置は、さらに、前記第２の清掃テープの一端側が巻かれた第４の部材と、前記第２の清掃テープの少なくとも他端側が巻かれた第５の部材であって前記第４の部材から前記第２の方向に間隔をおいた第５の部材と、前記第２の清掃テープが前記第４及び第５の部材の間の箇所において前記第２の電極に当接するように掛けられた第６の部材と、前記第２の清掃テープと前記第２の電極とを前記第２の方向に相対的に移動させる第２の駆動装置とを備えていてもよい。
【００１９】
前記第２の清掃装置は、さらに、前記第４、第５及び第６の部材が支持された第２の支持部材を備え、前記第４及び第５の部材は、それぞれ、前記第２の方向に間隔をおいて表示用パネルと平行の面内で前記第１の方向に互いに平行に伸びる第４及び第５の長尺部を有し、前記第６の部材は、前記第４及び第５の長尺部と平行に伸びる第６の長尺部であって、前記第２の清掃テープが表示用パネルの側に掛けられた第６の長尺部を有し、第２の駆動装置は、前記第２の清掃テープを前記第５の長尺部に巻き取らせるべく前記第５の長尺部を回転させて前記第４の長尺部を前記第２の清掃テープにより従動させるようにしてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１から図６を参照するに、検査装置１０は、液晶表示パネルを長方形の表示用パネル１２とする目視点灯検査に用いられる。検査装置１０は、表示用パネル１２を斜めに配置した状態で、作業者の肉眼による検査に用いられるように製造されている。
【００２１】
本実施例では、表示用パネル１２の長い端縁の方向をＸ方向（第１の方向）といい、表示用パネル１２の短い端縁の方向をＹ方向（第２の方向）といい、表示用パネル１２に垂直の方向をＺ方向（第３の方向）という。また、Ｘ，Ｙ及びＺ方向へ伸びる軸線を、それぞれ、Ｘ，Ｙ及びＺ軸線という。
【００２２】
表示用パネル１２は、長方形の辺のうち、隣り合うＸ方向及びＹ方向の端縁に、Ｘ方向及びＹ方向に配列された複数の第１及び第２の電極１４及び１６（図３参照）を有している。
【００２３】
検査装置１０は、筐体１８と、表示用パネル１２の電極１４及び１６を清掃する清掃部２０と、表示用パネル１２の点灯検査をする検査部２２とを含む。清掃部２０及び検査部２２は、Ｘ方向に間隔をおいて筐体１８の内部に備えられた支持部材（図示せず）に組み付けられている。
【００２４】
筐体１８の前面上部は、傾斜面部２４とされている。傾斜面部２４は、清掃部２０及び検査部２２の位置に対応した箇所に表示用パネル１２の受渡し及び目視検査に用いる開口２６及び２８を有する。開口２６及び２８は、表示用パネル１２より大きくかつ隅角部を丸くされた矩形の形を有している。
【００２５】
検査部２２は、開口３０が形成されているプローブベース３２と、プローブベース３２に配置された複数のプローブブロック３４と、表示用パネル１２を受ける検査ステージ３６とを含む。開口３０は、表示用パネル１２より大きくかつ隅角部を丸くされた矩形の形を有している。
【００２６】
プローブブロック３４は、これをＺ方向から見たとき、プローブブロック３４のプローブの先端が検査ステージ３６に配置された表示用パネル１２の電極１４及び１６に重なるように、先端側を開口３０の中心側に突出させている。プローブベース３２及び検査ステージ３６は、いずれも、筐体１８に支持されている。プローブは、ニードルタイプ、ブレードタイプ等、いずれの種類のものであってもよい。
【００２７】
図３及び図４に示すように、清掃部２０は、表示用パネル１２を受ける清掃ステージ４０と、清掃ステージ４０の周りにあって筐体１８内に配置されたＸ方向及びＹ方向のパネル清掃装置（第１及び第２の清掃装置）４２及び４４を含む。
【００２８】
Ｘ方向のパネル清掃装置（第１の清掃装置）４２は、Ｘ方向に配列された電極１４を清掃するように、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸移動装置（第１，第２及び第３の移動装置）４８，５０及び５２により、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向に移動される。
【００２９】
Ｙ方向のパネル清掃装置（第２の清掃装置）４４は、Ｙ方向に配列された電極１６を清掃するように、Ｙ軸、Ｘ軸及びＺ軸移動装置（第４，第５及び第６の移動装置）５６，５８及び６０により、Ｙ方向、Ｘ方向及びＺ方向に移動される。
【００３０】
検査装置１０は、また、清掃部２０及び検査部２２に配置されている表示用パネル１２及び１２をそれぞれ検査部２２から清掃部２０へ及び清掃部２０から検査部２２へ同時期に搬送する一対の搬送装置６２，６２を含む。
【００３１】
各搬送装置６２は、筐体１８に支持された一対のキャリア移動機構６４，６６と、キャリア移動機構６４，６６によりＸ方向へ個々に移動される一対のキャリア６８，７０と、キャリア６８，７０に組み付けられた一対のアーム７２，７４とを有する。
【００３２】
アーム７２及び７４のそれぞれは、Ｙ方向に間隔をおいた２つのホルダ８９を有している。両アーム７２及び７４は、エアーシリンダのような挟持装置７６によりＹ方向に移動されて、それらのホルダ８９による表示用パネル１２の挟持と解放を行う。
【００３３】
両アーム７２及び７４が相寄る方向へ移動されると、それら両アーム７２，７４のホルダ８９は清掃部２０又は検査部２２に配置されている表示用パネル１２のＸ方向へ伸びる一対の辺を共同して挟持する。
【００３４】
両アーム７２，７４のホルダ８９に挟持された表示用パネル１２は、キャリア６８及び７０がＸ方向へ移動することにより、清掃部２０から検査部２２へ又はその逆に搬送される。
【００３５】
検査部２２又は清掃部２０に搬送された表示用パネル１２は、アーム７２及び７４が検査部２２又は清掃部２０において挟持装置７６により相離れる方向へ移動されることにより、ホルダ８９から解放されて、検査部２２又は清掃部２０に渡される。
【００３６】
検査ステージ３６は、筐体１８に支持されたＺステージ７８と、Ｚステージ７８に組み付けられたＸＹθステージ８０と、ＸＹθステージ８０に組み付けられたチャックトップ８２とを含む。
【００３７】
チャックトップ８２は、これに配置された表示用パネル１２を真空的に吸着する。図示してはいないが、背面からの照明用のバックライトは、チャックトップ８２内に配置されている。
【００３８】
チャックトップ８２は、受けた表示用パネル１２の電極１４及び１６の配置位置をプローブブロック３４の位置に対応させるいわゆる位置決めのための２組のプッシャー８８及び位置決めピン９０を備えている。
【００３９】
表示用パネル１２がチャックトップ８２の上面に配置されると、その表示用パネル１２は、２組のプッシャー８８及び８８によりそれらと反対側に配置された位置決めピン９０に短時間押圧される。これにより、表示用パネル１２はチャックトップ８２ひいてはプローブブロック３４に対して位置決められる。
【００４０】
ＸＹθステージ８０は、チャックトップ８２ひいてはこれに受けられた表示用パネル１２をプローブブロック３４に対して、Ｘ方向及びＹ方向に移動させると共に、Ｚ方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転させる。これにより、チャックトップ８２及びこれに受けられた表示用パネル１２はプローブブロック３４に対して正確に位置決められる。
【００４１】
検査部２２のＺステージ７８は、ＸＹθステージ８０を介してチャックトップ８２ひいてはこれに受けられた表示用パネル１２をプローブブロック３４に対してＺ方向に移動させる。これにより、チャックトップ８２に取り付けられた表示用パネル１２の電極１４及び１６とプローブブロック３４のプローブとが、接触して電気的に接続される。
【００４２】
清掃ステージ４０は、筐体１８の支持部材に組み付けられたＺステージ８４と、Ｚステージ８４に組み付けられたパネル受け８６とを含む。
【００４３】
パネル受け８６は、受けた表示用パネル１２をパネル受け８６の中央位置に配置するための２組のセンターリングアーム９２及び９２を備えている。
【００４４】
表示用パネル１２がパネル受け８６の上面に配置されると、２組のセンターリングアーム９２が相寄る方向へ移動されることにより、表示用パネル１２はセンターリングをされる。これにより、その表示用パネル１２はパネル受け８６ひいてはパネル清掃装置４２，４４及びキャリア６８，７０に対して位置決めされる。
【００４５】
清掃部２０のＺステージ８４は、パネル受け８６を２組のキャリア６８，７０に対してＺ方向に直接移動させて、パネル受け８６に取り付けられた表示用パネル１２をＸ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４２及び４４の清掃待機位置に移動させることができる。
【００４６】
図４及び図５に示すように、Ｘ方向のパネル清掃装置４２用のＹ軸移動装置５０は、筐体１８に支持されてＹ方向へ伸びるリニアレール９４と、Ｙ方向に移動可能にリニアレール９４に組み付けられたリニアブロック９６とを有している。
【００４７】
Ｘ方向のパネル清掃装置４２用のＸ軸移動装置４８は、リニアブロック９６に片持ち梁状に組み付けられてＸ方向へ伸びるリニアレール９８と、Ｘ方向に移動可能にリニアレール９８に組み付けられたリニアブロック１００とを有している。
【００４８】
Ｘ方向のパネル清掃装置４２用のＺ軸移動装置５２は、リニアブロック１００に組み付けられてＺ方向へ伸びるリニアレール１０２と、Ｚ方向に移動可能にリニアレール１０２に組み付けられたリニアブロック１０４とを有している。
【００４９】
Ｙ方向のパネル清掃装置４４のＸ軸移動装置５８は、筐体１８に支持されてＸ方向へ伸びるリニアレール１０６と、Ｘ方向に移動可能にリニアレール１０６に組み付けられたリニアブロック１０８とを有している。
【００５０】
Ｙ方向のパネル清掃装置４４のＹ軸移動装置５６は、リニアブロック１０８に片持ち梁状に組み付けられてＹ方向へ伸びるリニアレール１１０と、Ｙ方向に移動可能にリニアレール１１０に組み付けられたリニアブロック１１２とを有している。
【００５１】
Ｙ方向のパネル清掃装置４４のＺ軸移動装置６０は、リニアブロック１１２に組み付けられてＺ方向へ伸びるリニアレール１１４と、Ｚ方向に移動可能にリニアレール１１４に組み付けられたリニアブロック１１６とを有している。
【００５２】
リニアレール９４，９８，１０２，１０６，１１０及び１１４とリニアブロック９６，１００，１０４，１０８，１１２及び１１６とは、少なくともリニアガイド装置の一部を構成している。
【００５３】
図５に示すように、Ｚ軸移動装置５２及び６０は、それぞれ、Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４２及び４４の清掃テープ１２０及び１１８をテンションロール１２４及び１２２の位置において電極１４及び１６に接触させる押圧力を制御する制御装置としても作用する。
【００５４】
図６に示すように、Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４２及び４４は、それぞれ、清掃テープ１１８及び１２０並びにテンションロール１２２及び１２４のほかに、さらに、支持部材として作用する取付板１２６及び１２８と、取付板１２６及び１２８にＸ方向及びＹ方向に間隔をおいて配置されたテープロール１３０及び１３２と、巻取ロール１３４及び１３６とを有する。
【００５５】
Ｘ方向のパネル清掃装置４２のテンションロール１２２、テープロール１３０及び巻取ロール１３４は、Ｘ方向へ間隔をおいてＹ方向へ互いに平行に伸びている。Ｙ方向のパネル清掃装置４４のテンションロール１２４、テープロール１３２及び巻取ロール１３６は、Ｙ方向に間隔をおいてＸ方向へ互いに平行に伸びている。
【００５６】
テンションロール１２２及び１２４は、それぞれ、Ｘ方向及びＹ方向においてテープロール１３０及び１３２と巻取ロール１３４及び１３６との間に配置されていると共に、テープロール１３０及び１３２並びに巻取ロール１３４及び１３６よりも表示用パネル１２の側とされている。
【００５７】
清掃テープ１１８及び１２０は、それぞれ、テープロール１３０及び１３２に巻かれている。清掃テープ１１８及び１２０は、それぞれ、テンションロール１２２及び１２４の表示用パネル１２の側を経て少なくとも先端部を巻取ロール１３４及び１３６に巻かれている。
【００５８】
Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４２及び４４は、それぞれ、巻取ロール１３４及び１３６を駆動装置１３８及び１４０により回転させてテープロール１３０及び１３２を清掃テープ１１８及び１２０により従動させる。
【００５９】
清掃テープ１１８，１２０として、微細な研磨剤や粘着材を樹脂テープの一方の面にコーティングしたテープ、布テープ等を用いることができる。後者の場合、清掃時に水のような液体を布テープに添加される。
【００６０】
ロール１２２，１２４，１３０，１３２，１３４，１３６は、長尺部を備えている。それらロールの代わりに、リールのように他の部材を用いてもよい。
【００６１】
検査装置１０は、例えば、以下のように動作する。
【００６２】
先ず、表示用パネル１２が人手により清掃部２０の清掃ステージ４０に配置される。この表示用パネル１２は、パネル受け８６に配置された一対のセンターリングアーム９２によりセンターリングをされて、パネル受け８６の中央に位置決めされる。
【００６３】
次いで、Ｚ方向から見たとき、清掃テープ１１８及び１２０が電極１４及び１６に重なるように、Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４２及び４４がそれぞれＹ軸移動装置５０及びＸ軸移動装置５８により微動される。
【００６４】
次いで、Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４２及び４４がそれぞれＺ軸移動装置５２及び６０により表示用パネル１２に向けて移動されることにより、テンションロール１２２及び１２４の表示用パネル１２の側に位置している清掃テープ１１８及び１２０の箇所が電極１４及び１６に接触される。
【００６５】
次いで、巻取ロール１３４及び１３６が、それぞれ、駆動装置１３８及び１４０により回転されて、清掃テープ１１８及び１２０を巻き取る。これにより、テープリール１３０及び１３２は、それぞれ、引き出される清掃テープ１１８及び１２０により巻取ロール１３４及び１３６の回転に従動される。
【００６６】
上記状態で、Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４２及び４４が、それぞれ、Ｘ軸移動装置４８及びＹ軸移動装置５６によって移動される。このとき、清掃テープ１１８及び１２０が、それぞれ、テンションロール１２２及び１２４の表示用パネル１２の側の箇所において電極１４及び１６に接触しつつ、Ｘ方向及びＹ方向に接触移動されるから、清掃テープ１１８及び１２０は電極１４及び１６に付着している塵埃を確実に拭き取る。
【００６７】
上記のように清掃部２０において清掃している間、検査部２２に配置された表示用パネル１２は、ＸＹθステージ８０により位置決められた後、Ｚステージ７８によりＺ方向に移動されて、電極１４及び１６をそれぞれプローブブロック３４のプローブに押圧される。
【００６８】
上記状態で、検査部２２に配置された表示用パネル１２に通電されて、その表示用パネル１２が点灯され、その表示用パネル１２の目視検査が行われる。
【００６９】
電極１４及び１６に付着していた塵埃は、上述のように予め清掃テープ１１８及び１２０によって確実に取り除かれているから、電極１４及び１６はプローブブロック３４のプローブに電気的に確実に接触する。これにより、表示用パネル１２の点灯検査を正確に行うことができる。
【００７０】
次いで、清掃部２０における清掃及び検査部２２における検査が終了した後、清掃部２０に配置されている表示用パネル１２が一方の搬送装置６２により検査部２２に搬送されると共に、検査部２２に配置されている表示用パネル１２を他方の搬送装置６２により清掃部２０に搬送する。
【００７１】
本発明は、表示用パネル１２を斜めの状態で検査する装置のみならず、表示用パネル１２を上向きの状態で検査する装置等、他のタイプの検査装置にも適用することができる。
【００７２】
図７に示すように、検査対象の表示用パネル１２のタイプによっては、検査装置は、Ｘ方向及びＹ方向のパネル清掃装置４２及び４４のいずれか一方のみを備えていてもよい。
【００７３】
図７に示す例では、Ｘ方向のパネル清掃装置４２のみを備えていると共に、パネル受け８６を角度的に回転させるθステージ１５０を清掃ステージ４０に備えている。この例においては、Ｘ方向のパネル清掃装置４２は、電極１６を清掃した後、θステージ１５０を９０°だけ回転させ、電極１４を清掃する。
【００７４】
しかし、電極１４，１６の配置位置によっては、θステージ１５０によるパネル受け８６の回転可能の角度は９０°以外であってもよく、例えば、１８０°であってもよい。そのようにすれば、矩形の対向する一対辺の電極又は矩形の対向する一対辺とそれらの辺と交差する方向の辺の電極は、共通のパネル清掃装置４２で清掃することができる。
【００７５】
図８に示すように、検査装置は、清掃ステージ４０にＸ軸の周りを角度的に回転可能の転向装置１７０を備えていてもよい。そのようにすれば、清掃ステージ４０は、清掃ステージ４０に対する表示用パネル１２の受渡しを水平状態で行い、表示用パネル１２の向きを転向装置１７０により傾斜状態に配置されている搬送装置６２と平行の位置まで転向させ、搬送装置６２に表示用パネル１２を搬送させることができる。
【００７６】
図８に示す検査装置は、さらに、複数の表示用パネル１２を水平状態にカセット１７４に格納したカセット部１７６と、カセット１７４に格納された表示用パネル１２を清掃ステージ４０及びカセット１７４に対し受渡しをするロボット１７２とを備えている。
【００７７】
本発明は、液晶が封入された液晶表示パネルのみならず、それ用のガラス基板、有機ＥＬ等、他の表示用パネルの検査装置にも適用することができる。
【００７８】
本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明に係る検査装置の外観を示す正面図である。
【図２】図１に示す検査装置の右側面図である。
【図３】図１に示す検査装置の内部に配置されている清掃部及び検査部の付近の外観斜視図である。
【図４】図１に示す検査装置の内部に配置されているパネル清掃装置及び各種の移動装置の拡大斜視図である。
【図５】図４に示すパネル清掃装置による清掃作業を説明するための斜視図である。
【図６】図４に示すパネル清掃装置の拡大斜視図である。
【図７】パネル清掃装置の他の実施例を示す斜視図である。
【図８】本発明に係る検査装置のさらに他の実施例を示す図である。
【符号の説明】
【００８０】
１０  検査装置
１２  表示用パネル
１４，１６  表示用パネルの電極
１８  筐体
２０  清掃部
２２  検査部
２４  傾斜面部
２６  開口
２８  開口
３０  開口
３２  プローブベース
３４  プローブブロック
３６  検査ステージ
４０  清掃ステージ
４２  Ｘ方向のパネル清掃装置
４４  Ｙ方向のパネル清掃装置
４８，５０，５２  移動装置（第１，第２及び第３の移動装置）
５８，５６，６０  移動装置（第４，第５及び第６の移動装置）
６２  搬送装置
６４，６６  キャリア移動機構
６８，７０  キャリア
７２，７４  アーム
７６  挟持装置
７８  検査部のＺステージ
８０  検査部のＸＹθステージ
８２  チャックトップ
８４  清掃部のＺステージ
８６  パネル受け
８８  プッシャー
８９  ホルダ
９０  位置決めピン
９２  センターリングアーム
９４，９８，１０２，１０６，１１０，１１４  リニアレール
９６，１００，１０４，１０８，１１２，１１６  リニアブロック
１１８，１２０  第１及び第２の清掃テープ
１２２，１２４  テンションロール（第３及び第６の部材）
１２６，１２８  取付板（支持部材）
１３０，１３２  テープロール（第１及び第４の部材）
１３４，１３６  巻取ロール（第２及び第５の部材）
１３８，１４０  第１及び第２の駆動装置
１５０  清掃部のθステージ
１７０  清掃部の転向装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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