(57)【要約】【課題】  本発明は磁気ヘッドの製造に適したラッピングマシン及びラッピング方法に関し、加工精度を高めることが主な課題である。【解決手段】  本発明は複数のヘッドスライダを有するロウバーを研磨するためのラッピングマシンに関連している。ラッピングマシンは、ラッピング面１４Ａを提供するラップ定盤１４と、ロウバーをラッピング面に抗して押し付けるワーク面を有するロウツール３２と、与えられた圧力分布がロウバーとラッピング面との間に生じるようにロウツールに作用するメカニズムとを備えている。ロウツールはワーク面に沿って配列される複数の穴を有している。メカニズムは、各々穴内にてワーク面と垂直な方向の力をロウツールに与える作用点を有する複数のリンク３６，３８を含む。複数のリンクの各々は、その回転中心となる支点と、ワーク面と概ね平行な方向に力を受ける力点とを有している。作用点及び支点間の距離と力点及び支点間の距離の比はほぼ一定である。この構成によると、ロウツールの穴の間隔を狭めるのが容易であり、加工精度が高まる。【選択図】図５
2005007571.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヘッドスライダを得るためのロウバーを研磨するためのラッピングマシンであって、
ラッピング面を提供するラップ定盤と、
上記ロウバーを上記ラッピング面に抗して押し付けるワーク面を有するロウツールと、
与えられた圧力分布が上記ロウバーと上記ラッピング面との間に生じるように上記ロウツールに作用するメカニズムとを備え、
上記ロウツールは上記ワーク面に沿って配列される複数の穴を有し、
上記メカニズムは、各々上記穴内にて上記ワーク面と垂直な方向の力を上記ロウツールに与える作用点を有する複数のリンクを含み、
該複数のリンクの各々は、その回転中心となる支点と、上記ワーク面と概ね平行な方向に力を受ける力点とを有し、
上記作用点及び上記支点間の第１の距離と上記力点及び上記支点間の第２の距離の比はほぼ一定であるラッピングマシン。
【請求項２】
請求項１に記載のラッピングマシンであって、
上記複数のリンクは交互に配列される複数の第１のリンクと複数の第２のリンクとを含み、
上記各第１のリンクの上記第１の距離は上記各第２のリンクの上記第１の距離よりも長く、
上記各第１のリンクの上記支点は上記第１の複数のリンクを回転可能に支える第１のシャフトによって提供され、
上記各第２のリンクの上記支点は上記第２の複数のリンクを回転可能に支える第２のシャフトによって提供され、該第２のシャフトは上記第１のシャフトと上記作用点の間に位置し、
上記各第１のリンクは上記第２のシャフトが遊貫される穴を有し、
上記各第２のリンクは上記第１のシャフトが遊貫される穴を有しているラッピングマシン。
【請求項３】
請求項１に記載のラッピングマシンであって、
上記ロウツールは、その各々が上記各穴を囲むように形成され上記ワーク面に向かって開いた概ねＣ字形状を有する複数の第１のスリットと、その各々が隣り合う２つの上記第１のスリットの端部を囲むように形成され上記ワーク面と反対側に向かって開いた概ねＣ字形状を有する複数の第２のスリットとを有するラッピングマシン。
【請求項４】
複数のヘッドスライダを得るためのロウバーを研磨するためのラッピングマシンであって、
ラッピング面を提供するラップ定盤と、
上記ロウバーを上記ラッピング面に抗して押し付けるワーク面を有するロウツールと、
与えられた圧力分布が上記ロウバーと上記ラッピング面との間に生じるように上記ロウツールに作用するメカニズムとを備え、
上記ロウツールは、
上記ワーク面に沿って配列される複数の穴と、
その各々が上記各穴を囲むように形成され上記ワーク面に向かって開いた概ねＣ字形状を有する複数の第１のスリットと、
その各々が隣り合う２つの上記第１のスリットの端部を囲むように形成され上記ワーク面と反対側に向かって開いた概ねＣ字形状を有する複数の第２のスリットとを有し、
上記メカニズムは、各々上記穴内にて上記ワーク面と垂直な方向の力を上記ロウツールに与える複数のリンクを含み、
上記複数のリンクの各々は、上記各穴内にて上記ロウツールに接触する作用点と、当該リンクの回転中心となる支点と、上記ワーク面と概ね平行な方向に力を受ける力点とを有し、
上記作用点及び上記支点間の第１の距離と上記力点及び上記支点間の第２の距離の比はほぼ一定であるラッピングマシン。
【請求項５】
請求項４に記載のラッピングマシンであって、
上記複数のリンクは交互に配列される複数の第１のリンクと複数の第２のリンクとを含み、
上記各第１のリンクの上記第１の距離は上記各第２のリンクの上記第１の距離よりも長く、
上記各第１のリンクの上記支点は上記第１の複数のリンクを回転可能に支える第１のシャフトによって提供され、
上記各第２のリンクの上記支点は上記第２の複数のリンクを回転可能に支える第２のシャフトによって提供され、該第２のシャフトは上記第１のシャフトと上記作用点の間に位置し、
上記各第１のリンクは上記第２のシャフトが遊貫される穴を有し、
上記各第２のリンクは上記第１のシャフトが遊貫される穴を有しているラッピングマシン。
【請求項６】
複数のヘッドスライダが形成されたロウバーを研磨するラッピング方法において、
支点を中心に回動するリンクの一端をラップ定盤に平行な方向に押圧し、該リンクの他端にて前記ロウバーを支持するロウツールを前記ラップ定盤と垂直な方向に加圧するステップと、
前記ラップ定盤と前記ロウツールとを相対移動させて前記ロウバーを研磨するステップと、
を有することを特徴とするラッピング方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に、ワークをラップ加工するためのラッピングマシン及びロウツールに関し、更に詳しくは、均質な磁気ヘッドを大量生産するのに適したラッピングマシン及びロウツールに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、磁気ヘッドの製造工程において、磁気ヘッド薄膜を基板上に形成した後、磁気ヘッド薄膜をラップ加工することが行なわれている。このラップ加工によって、磁気ヘッド薄膜の磁気抵抗層やギャップの高さが一定にされる。磁気抵抗層やギャップの高さには、サブミクロン単位の精度が要求されている。このため、ラッピングマシンにも、高い精度でワークを加工することが求められている。
【０００３】
図１の（Ａ）及び（Ｂ）は複合型磁気ヘッドの説明図である。複合型磁気ヘッドは、図１の（Ａ）に示されるように、基板１上に形成された磁気抵抗素子２と、書き込み素子５とを有する。
【０００４】
磁気抵抗素子２は、図１の（Ｂ）に示されるように、磁気抵抗膜３と、磁気抵抗膜３の両端に接続される一対の導体膜４とからなる。磁気抵抗素子２は、外部磁界によりその抵抗値が変化する素子である。従って、磁気抵抗素子２を用いることによって、例えば磁気ディスクのトラックＴの磁化に応じた大きさの電流を出力することができ、磁気ディスクに記録されたデータを読み取ることができる。
【０００５】
磁気抵抗素子２は読み取りのみを行なうことができるので、書き込みが必要である場合には書き込み素子が別に設けられる。ここでは、書き込み素子５はインダクティブヘッドからなる。
【０００６】
書き込み素子５は、下部磁極６と、下部磁極６とギャップを持って対向する上部磁極８とを有する。これら磁極６及び８間には、磁極６及び８を励磁するコイル７が設けられている。コイル７の周囲には非磁性絶縁層９が設けられている。
【０００７】
このような複合型磁気ヘッドにおいては、磁気抵抗素子２の磁気抵抗膜３の抵抗値が各ヘッドで一定であることが望ましい。しかし、磁気ヘッドの薄膜製造工程のみによって抵抗値を一定にするのは困難である。このため、磁気ヘッドの薄膜が形成された後、磁気抵抗膜３の高さ（幅）ｈが一定になるように加工することによって、一定の抵抗値を得ている。
【０００８】
図２の（Ａ）〜（Ｃ）及び図３の（Ａ）〜（Ｄ）は複合型磁気ヘッドの製造工程を説明する図である。
【０００９】
図２の（Ａ）に示されるように、薄膜技術によりウエハー１０上に多数の複合型磁気ヘッド１１が形成される。次に、図２の（Ｂ）に示されるように、ウエハー１０を短冊状にカットすることによって、ロウバー１１が作製される。ロウバー１１は、１列の磁気ヘッド１２からなる。また、ロウバー１１の例えば左端、中央及び右端には加工モニタ用の抵抗素子１２ａが設けられている。
【００１０】
磁気ヘッド１２は、前述のように、磁気抵抗膜３の高さが一定になるようにラップ加工される。しかし、ロウバー１１は極めて薄く、例えばその厚みは０．３ｍｍ程度である。このため、ロウバー１１をラッピングマシンに直接取り付けることが困難であり、ロウバー１１は、図２の（Ｃ）に示されるように、一旦ロウツール１３に熱溶融性ワックスにより接着される。
【００１１】
そして、図３の（Ａ）に示されるように、ロウツール１３に接着されたロウバー１１はラップ定盤１４上でラップ加工される。このとき、特開平２−１２４２６２号公報（米国特許５０２３９９１）や特開平５−１２３９６０号公報等で知られているように、ロウバー１１の加工モニタ用抵抗素子１２ａの抵抗値は、ラップ加工中常時測定される。そして、測定された抵抗値により、磁気ヘッド１２の磁気抵抗膜が目標の高さになったか否かが検出される。
【００１２】
抵抗値の測定により磁気抵抗膜が目標の高さまで加工されたことが検出されると、ラップ加工は停止される。その後、図３の（Ｂ）に示されるように、ロウバー１１の下面１１−１に多数のスライダが形成される。
【００１３】
更に、図３の（Ｃ）に示されるように、ロウバー１１はロウツール１３に接着されたまま複数の磁気ヘッド１２にカットされる。そして、図３の（Ｄ）に示されるように、ロウツール１３を加熱して熱溶融性ワックスを溶かしながら、各磁気ヘッド１２が取り出される。
【００１４】
このようにして、１列の磁気ヘッド１２からなるロウバー１１を作製して、ロウバー１１毎にラップ加工を行なうため、多数の磁気ヘッド１２の磁気抵抗膜を一度にラップ加工することができる。
【特許文献１】国際公開第９８／１９８２８号パンフレット
【特許文献２】特開平１１−４２５２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかし、ロウバー１１内の個々の磁気ヘッドの磁気抵抗膜３の高さにあっては、貼り付け精度や成膜の精度等によりサブミクロンのオーダーではばらつきが存在する。従って、均一な特性の磁気ヘッドを大量生産するためには、この種のばらつきを矯正しながらラッピングを行なう必要がある。
【００１６】
このような技術的課題に鑑みて、従来は、ロウバー１１が接着されるワーク面の近傍にてロウツール１３を貫通する穴を設けておき、この穴を介してアクチュエータからの力をロウツール１３に作用させて、ロウバー１１とラップ定盤１４のラッピング面との間に所望の圧力分布が生じるようにされていた。しかし、穴が１つであるとすると、種々のばらつきに対応することができず、高精度な加工精度を得るのが困難であるという問題があった。
【００１７】
これに対処するために、米国特許第５，６０７，３４０号のようにロウツール１３に複数の穴を形成し、各穴を介してアクチュエータの力をロウツール１３に作用させることが提案されている。
【００１８】
しかし、所望の圧力分布を得るためには、各アクチュエータに比較的大きな力を印加する能力が要求されるので、このような複数の作用点に作用するためのアクチュエータの製造上の困難性から作用点（穴）の間隔をさほど小さくすることができず、やはり加工精度を高めるのが困難であるという問題がある。
【００１９】
よって、本発明の目的は、加工精度を高めるのに適したラッピングマシン及びラッピング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明の第１の側面によると、複数のヘッドスライダを得るためのロウバーを研磨するためのラッピングマシンが提供される。ラッピングマシンは、ラッピング面を提供するラップ定盤と、ロウバーをラッピング面に抗して押し付けるワーク面を有するロウツールと、与えられた圧力分布がロウバーとラッピング面との間に生じるようにロウツールに作用するメカニズムとを備えている。ロウツールはワーク面に沿って配列される複数の穴を有している。メカニズムは、各々穴内にてワーク面と垂直な方向の力をロウツールに与える作用点を有する複数のリンクを含む。複数のリンクの各々は、その回転中心となる支点と、ワーク面と概ね平行な方向に力を受ける力点とを有している。作用点及び支点間の第１の距離と力点及び支点間の第２の距離の比はほぼ一定である。
【００２１】
この構成によると、例えば、作用点が１列に配列され且つ力点が交互にずれて配置される場合であっても力点から作用点に至る力の伝搬効率を一定に保つことができるので、作用点の間隔を小さくするのが容易になり、ロウバーとラッピング面との間に所望の圧力分布を生じさせることができるようになる。その結果、加工精度が向上し、本発明の目的が達成される。
【００２２】
本発明の第２の側面によると、複数のヘッドスライダを得るためのロウバーを研磨するためのラッピングマシンが提供される。ラッピングマシンは、ラッピング面を提供するラップ定盤と、ロウバーをラッピング面に抗して押し付けるワーク面を有するロウツールと、与えられた圧力分布がロウバーとラッピング面との間に生じるようにロウツールに作用するメカニズムとを備えている。ロウツールは、本発明の第２の側面に従うロウツールである。また、メカニズムは、各々穴内にてワーク面と垂直な方向の力をロウツールに与える複数のリンクを含む。
【００２３】
本発明の第３の側面によると、複数のヘッドスライダが形成されたロウバーを研磨するラッピング方法において、支点を中心に回動するリンクの一端をラップ定盤に平行な方向に押圧し、該リンクの他端にて前記ロウバーを支持するロウツールを前記ラップ定盤と垂直な方向に加圧するステップと、前記ラップ定盤と前記ロウツールとを相対移動させて前記ロウバーを研磨するステップと、を有することを特徴とするラッピング方法が提供される。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によると、加工精度を高めるのに適したラッピングマシン及びラッピング方法の提供が可能になるという効果が生じる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の望ましい実施の形態を詳細に説明する。
【００２６】
図４、図５及び図６は本発明によるラッピングマシンの実施形態を示す平面図、部分破断側面図及び部分破断正面図である。
【００２７】
図４に良く示されるように、ラッピング面１４Ａを提供するラップ定盤１４は、図示しないモータにより矢印Ａ方向に回転される。このラッピングマシンに固定された回転軸２０には、アーム２２を介してラップベース２４が支持されており、ラッピングに際しては、図示しない駆動機構によって、ラップベース２４は回転軸２０を中心に矢印Ｂ方向に揺動する。
【００２８】
図５に示されるように、ラップベース２４に固定されたボール２８によりアダプタ２６が点支持されている。ラップベース２４の下面には複数の（例えば４つの）座面３０が設けられており、座面３０はラッピング面１４Ａ上で摺動する。アダプタ２６の下部にはロウツール３２が装着される。
【００２９】
図７に示されるように、ロウツール３２は、ロウツール３２をアダプタ２６に装着するための一対の穴３２１と、後述するメカニズムによりロウツール３２を弾性変形させるための複数の（ここでは７つの）穴３２２と、ロウバー１１が例えば熱溶融性ワックスにより接着されるワーク面３２３とを有している。ワーク面３２３には、ロウバー１１をダイシングするときのために複数の溝３２４が形成されている。穴３２２はワーク面３２３に沿って配列され、ここでは等間隔である。
【００３０】
再び図５を参照すると、ロウツール３２は、アダプタ２６に設けられた一対の突起３４がロウツール３２の穴３２１に挿入されることによって、アダプタ２６に装着される。アダプタ２６はボール２８により点支持されているので、ロウバー１１はロウツール３２のワーク面３２３によってラッピング面１４Ａに抗して押しつけられる。
【００３１】
与えられた圧力分布をロウバー１１とラッピング面１４Ａとの間に生じさせるために、この実施形態では、４つの短リンク３６と３つの長リンク３８とエアシリンダ４０とが用いられている。リンク３６及び３８の各々は、コネクタ４２によりエアシリンダ４０のシリンダロッド４４に接続されている。
【００３２】
図８は長リンク３８及び短リンク３６の動作を説明するための図である。短リンク３６及び長リンク３８の各々は、シリンダロッド４４によってワーク面３２３と概ね平行な方向に力を受ける力点Ｐ１と、回転中心となる支点Ｐ２と、穴３２２内にてワーク面３２３と概ね垂直な方向の力をロウツール３２に与える作用点Ｐ３とを有している。
【００３３】
例えば、シリンダロッド４４が押し出されて力点Ｐ１が図８において右方向に変位すると、作用点Ｐ３は同下方向に変位し、ロウバー１１をラッピング面１４Ａに抗して押し付ける力が増大する。一方、シリンダロッド４４が引き込まれて力点Ｐ１が同左方向に変位すると、作用点Ｐ３は同上方向に変位し、ロウバー１１をラッピング面１４Ａに抗して押し付ける力が減少する。
【００３４】
図９に示されるように、短リンク３６及び長リンク３８は交互に配列される。短リンク３６の支点Ｐ２は短リンク３６を回転可能に支えるシャフト４６によって提供される。また、長リンク３８の支点Ｐ２は、長リンク３８を回転可能に支えるシャフト４８によって提供される。
【００３５】
短リンク３６における支点Ｐ２及び作用点Ｐ３間の距離は長リンク３８における同距離よりも短いので、シャフト４６はシャフト４８と作用点Ｐ３との間に位置している。各短リンク３６はシャフト４８が遊貫される穴５１を有しており、同様に、長リンク３８はシャフト４６が遊貫される図示しない穴を有している。シャフト４６及び４８はアダプタ２６に固定されている。
【００３６】
図１０の（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ長リンク３８及び短リンク３６の設計例を示す図である。図１０の（Ａ）に示されるように、長リンク３８にあっては、支点Ｐ２及び作用点Ｐ３間の距離はＬ１に設定され、支点Ｐ２及び力点Ｐ１間の距離はＬ２に設定される。
【００３７】
図１０の（Ｂ）に示されるように、短リンク３６にあっては、支点Ｐ２及び作用点Ｐ３間の距離はＬ３（Ｌ３＜Ｌ１）に設定され、支点Ｐ２及び力点Ｐ１間の距離はＬ４に設定される。
【００３８】
本発明の第１の側面に従うと、Ｌ２／Ｌ１＝Ｌ４／Ｌ３が満足される。
【００３９】
図９に示されるような短リンク３６及び長リンク３８の組み合わせによると、短リンク３６の４つの力点Ｐ１が沿う直線と長リンク３８の３つの力点Ｐ１が沿う直線とは異なるので、図１１に示されるようにシリンダロッド４４が互い違いに配列されてなるエアシリンダ４０の適用が可能になる。
【００４０】
各シリンダロッド４４は一対のエアチューブ５０及び５２によって制御される。エアチューブ５０側を正圧にしエアチューブ５２側を負圧にした場合には、シリンダロッド４４はエアシリンダ４０内に引き込まれ、これとは逆に、エアチューブ５０側を負圧にしエアチューブ５２側を正圧にした場合には、シリンダロッド４４はエアシリンダ４０から押し出される。
【００４１】
本発明の第１の側面に従うと、前述の関係式が満足されていることにより、短リンク３６と長リンク３８とで作用点Ｐ３に同じ大きさの力を生じさせるために力点Ｐ１に必要とされる力を同じにすることができる。
【００４２】
また、図１１に示されるようにシリンダロッド４４を互い違いに配置することによって、各シリンダロッド４４によって与えられる力を十分大きくしつつ短リンク３６及び長リンク３８の間隔を小さくすることができるので、加工精度が高くなる。
【００４３】
再び図６を参照すると、ラップベース２４に固定されたテーブル５４には加圧シリンダ５６と一対のバランスシリンダ５８及び６０とが設けられている。加圧シリンダ５６は、ロウツール３２に一様な押圧力を与えるために、アダプタ２６の概ね中央部を押し付ける。
【００４４】
加圧シリンダ５６を用いることによって、エアシリンダ４０は必要な圧力分布における偏差を生じさせる程度の能力を有していれば足りるようになり、エアシリンダ４０の容量を小さくすることができる。
【００４５】
バランスシリンダ５８及び６０は、ロウツール３２に与えられる押圧力のロウツール３２長手方向のバランスを補正するために、それぞれ図６におけるアダプタ２６の上面の左端と右端とを押し付ける。バランスシリンダ５８及び６０を用いることによっても、加圧シリンダ５６を用いた場合と同様に、エアシリンダ４０の容量を小さくすることができる。
【００４６】
図１２に示されるように、ロウバー１１は、複数の磁気ヘッド１２と、加工モニタ用抵抗素子（ＥＬＧ素子（ＥＬＧはＥｌｅｃｔｉｃａｌ  Ｌａｐｐｉｎｇ  Ｇｕｉｄｅの略））１２ａとを有している。ここでは、ＥＬＧ素子１２ａは、ロウバー１１の左端、中央及び右端の３ヶ所に設けられている。
【００４７】
図１３に示されるように、ＥＬＧ素子１２ａは、アナログ抵抗１２−１及びデジタル抵抗１２−２からなる。アナログ抵抗１２−１は抵抗膜の減少に応じて抵抗値が上昇していくパターンを有する。デジタル抵抗１２−２は抵抗膜が一定値まで減少するとオフするパターンを有する。
【００４８】
従って、ＥＬＧ素子１２ａの等価回路は図１４の（Ａ）に示されるようになり、アナログ抵抗１２−１は可変抵抗で示される。そして、図１４の（Ｂ）に示されるように、ＥＬＧ素子１２ａの高さの減少につれて、抵抗値は上昇する。
【００４９】
デジタル抵抗１２−２の等価回路は、図１４の（Ａ）に示されるように、５つのスイッチ抵抗で示される。そして、図１４の（Ｂ）に示されるように、抵抗のオフ位置で折れ線状の変化を示す。
【００５０】
ＥＬＧ素子１２ａの抵抗値はＥＬＧ素子１２ａの高さを示す。アナログ抵抗１２−１の抵抗値ＲａとＥＬＧ素子１２ａの高さｈとの関係は次式で近似される。
【００５１】
Ｒａ＝ａ／ｈ＋ｂ
係数ａ及びｂは予め実験により求めることができる。しかし、この特性は各ウエハーのプロセス条件等により変化する。デジタル抵抗１２−２はこれを補うために設けられる。
【００５２】
デジタル抵抗１２−２のオフ位置ｈ１〜ｈ５は予め判っている。デジタル抵抗１２−２のオフを検出して、そのときの測定抵抗値とオフ位置とを上式に代入する。デジタル抵抗１２−２の２点のオフを検出すれば、上式の係数ａ及びｂが得られる。
【００５３】
この式により、アナログ抵抗値ＲａをＥＬＧ素子１２ａの高さｈに換算する。このように、ＥＬＧ素子１２ａの測定値を測定することにより、ＥＬＧ素子１２ａの高さを得ることができる。従って、ＥＬＧ素子１２ａの高さが目標値に達したか否かを判定することができる。ＥＬＧ素子１２ａの高さが目標値に達すると、ラッピング加工は停止される。
【００５４】
図１２に示されるロウバー１１においては、３つのＥＬＧ素子１２ａが図示されているが、本実施形態のように７つのリンク３６及び３８を用いてこれらを独立に制御するためには、より多くのＥＬＧ素子１２ａ（例えば３１個）を用いることが望ましい。
【００５５】
ラッピングに際しては、これらのＥＬＧ素子１２ａの抵抗値が均等になるように、ロウバー１１とラッピング面１４Ａとの間に生じるように圧力分布が設定される。このような圧力分布の設定は、各ＥＬＧ素子１２ａの抵抗測定値に基づきリンク３６及び３８の各々をフィードバック制御することにより可能である。
【００５６】
あるいはまた、ＥＬＧ素子１２ａの抵抗値に基づき計算によりリンク３６及び３８の各々の操作量を求め、フィードフォワード制御によりロウバー１１とラッピング面１４Ａとの間の圧力分布を設定してもよい。
【００５７】
更にまた、加圧シリンダ５６並びにバランスシリンダ５８及び６０の加圧量の制御に関しても、ＥＬＧ素子１２ａの抵抗測定値に基づきフィードバック制御又はフィードフォワード制御により行なうことができる。
【００５８】
ところで、図７に示されるロウツール３２は一般的には金属から形成されているので、ワーク面３２３を変形させるために穴３２２だけが用いられていると、ワーク面３２３を単位変形させるための力が大きくなってしまう。
【００５９】
また、１つの穴３２２に力を作用させたときに、その力によるワーク面３２３の変形が広範囲に渡ってしまい、各穴３２２による独立した制御が困難になることがある。この点を改良したロウツールの実施形態を以下に説明する。
【００６０】
図１５は本発明に適用可能な他のロウツール３２´の正面図である。ロウツール３２´は図７に示されるロウツール３２と対比して、複数の（図では７つの）第１のスリット３２５及び複数の（図では６つの）第２のスリット３２６とを更に有している点で特徴付けられる。
【００６１】
各第１のスリット３２５は、各穴３２２を囲むように形成され、ワーク面３２３に向かって開いた概ねＣ字形状を有している。各第２のスリット３２６は、隣り合う２つの第１のスリット３２５の端部を囲むように形成され、ワーク面３２３と反対側に向かって開いた概ねＣ字形状を有している。
【００６２】
この実施形態では、両端の２つの穴３２２を他の穴３２２と同様の性質にするために、両端の２つの穴３２２の近傍にはそれぞれＬ字形状の第３のスリット３２７が形成されている。
【００６３】
各スリットは例えばワイヤー放電加工により形成することができる。図１５において各スリットの端部又は途中の膨らんだ部分は、この種のワイヤー放電加工の初期設定を行なうために予め形成された小穴に対応している。
【００６４】
図１６の（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ図１５に示されるロウツール３２´の変形を有限要素法により解析したモデルを示す図である。図１６の（Ａ）は、右から２番目の穴３２２に下に向けて荷重をかけた場合の変形の解析モデルを示し、図１６の（Ｂ）は同じ穴３２２に上に向けて荷重をかけた場合の変形の解析モデルを示している。
【００６５】
本発明のロウツール３２´に従って、第１及び第２のスリット３２５及び３２６を形成していることにより、第１に、ワーク面３２３を単位変形するために必要な各穴３２２への荷重が図７に示されるロウツール３２と比較して十分小さくなっていることが明らかであり、第２に、１つの穴３２２に荷重をかけた場合にワーク面３２３の変形が広範囲に及ばないことが明らかである。従って、このロウツール３２´は、ロウバー１１とラッピング面１４Ａとの間の圧力分布をきめこまやかに設定するのに適しており、加工精度を高めることができる。
【００６６】
図１７は図１５に示されるロウツール３２´の各穴３２２に単位荷重をかけた場合におけるワーク面３２３の変位とワーク面３２３上の位置との関係を示すグラフである。
【００６７】
具体的には、７つの穴３２２の各々に１ｋｇの荷重を上方向及び下方向にかけた場合におけるワーク面３２３の変位量が示されている。スリット３２５及び３２６を形成したことにより、上方向及び下方向に関してほぼ対称な変形が可能になっており、しかも、１つの穴３２２に荷重をかけた場合におけるワーク面３２３の変形の範囲が狭くなっていることがわかる。
【００６８】
前者の特長により、ＥＬＧ素子１２ａの抵抗測定値に基づく制御が容易になるという効果が生じ、後者の特長により各穴３２２について独立した制御が可能になるという効果が生じる。
【００６９】
図１８は図１５に示されるロウツール３２´の隣り合う２つの穴３２２に同じ方向で単位荷重をかけた場合におけるワーク面３２３の変位とワーク面３２３上の位置との関係を示すグラフである。
【００７０】
具体的には、右から２番目と３番目の穴３２２にそれぞれ１ｋｇの荷重を上方向及び下方向にかけた場合におけるワーク面３２３の変位とワーク面３２３上の位置との関係が示されている。
【００７１】
図７に示されるロウツール３２のように、スリットが形成されていない場合、２つの穴３２２に同じ方向で荷重をかけると、図１８に示されるカーブに対応するカーブにおいては頂点が２つ生じてしまうことがある。
【００７２】
この場合、ＥＬＧ素子１２ａの抵抗測定値に基づく制御が困難になることがある。これに対して、図１５に示されるロウツール３２´にあっては、スリット３２５及び３２６が形成されていることから、図１８に示される各カーブの頂点が１つとなり、制御不能になることはない。これは２点以上の場合であっても同様であり、ロウバー１１とラッピング面１４Ａとの間の圧力分布をきめこまやかに設定することが可能になる。
【００７３】
図１９は本発明に適用可能な更に他のロウツール３２″の正面図である。ロウツール３２″は、図１５に示されるロウツール３２´と対比して、更に多い１５個の穴３２２と、更に多い１５個の第１のスリット３２５と、更に多い１４個の第２のスリット３２６とが形成されている点で特徴付けられる。
【００７４】
このように多くの穴３２２が形成される場合、穴３２２の間隔は例えば数ｍｍと小さくなるので、例えば図９に示されるような本発明の第１の側面に従うメカニズムと組み合わせてラッピングマシンを提供することによって、極めて高精度な加工が可能になる。
【００７５】
以上の説明では、ロウツールに作用するアクチュエータとしてエアシリンダを含むものを例示したが、ソレノイド及び圧電素子等の他の駆動部分を含むアクチュエータが採用されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】図１の（Ａ）及び（Ｂ）は複合型磁気ヘッドの説明図である。
【図２】図２の（Ａ），（Ｂ）及び（Ｃ）は複合型磁気ヘッドの製造工程の説明図（その１）である。
【図３】図３の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）及び（Ｄ）は複合型磁気ヘッドの製造工程の説明図（その２）である。
【図４】図４は本発明が適用されるラッピングマシンの平面図である。
【図５】図５は図４に示されるラッピングマシンの部分破断側面図である。
【図６】図６は図４に示されるラッピングマシンの部分破断正面図である。
【図７】図７は本発明に適用可能なロウツールの正面図である。
【図８】図８は図５に示される長リンク及び短リンクの動作の説明図である。
【図９】図９は図５に示される長リンク及び短リンクの斜視図である。
【図１０】図１０の（Ａ）及び（Ｂ）は図５に示される長リンク及び短リンクの設計例を示す図である。
【図１１】図１１は図５に示されるエアシリンダの斜視図である。
【図１２】図１２は本発明に適用可能なロウバーの説明図である。
【図１３】図１３は図１２に示されるＥＬＧ素子の構成図である。
【図１４】図１４の（Ａ）及び（Ｂ）は図１３に示されるＥＬＧ素子の説明図である。
【図１５】図１５は本発明に適用可能な他のロウツールの正面図である。
【図１６】図１６の（Ａ）及び（Ｂ）は図１５に示されるロウツールの変形の解析モデルを示す図である。
【図１７】図１７は図１５に示されるロウツールの各穴に単位荷重をかけた場合におけるワーク面の変位とワーク面上の位置との関係を示すグラフである。
【図１８】図１８は図１５に示されるロウツールの隣り合う２つの穴に同じ方向で単位荷重をかけた場合におけるワーク面の変位とワーク面上の位置との関係を示すグラフである。
【図１９】図１９は本発明に適用可能な更に他のロウツールの正面図である。
【符号の説明】
【００７７】
１４  ラップ定盤
１４Ａ  ラッピング面
２４  ラップベース
２６  アダプタ
３２，３２´，３２″  ロウツール
３６  短リンク
３８  長リンク
４０  エアシリンダ
４４  シリンダロッド
５６  加圧シリンダ
５８，６０  バランスシリンダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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