(57)【要約】【課題】  個々のＨＥＰＡフィルタとその周囲のリークを検出できると共にそれぞれＨＥＰＡフィルタのリークの原因等を判断できるクリーンルームブースのリーク検査システムをを提供する。【解決手段】  ＨＥＰＡフィルタ１１の直下に、空気を吸引するサンプリングプローブ２２をＸ−Ｙ軸方向にスキャンニングさせ、サンプリングプローブで、ＨＥＰＡフィルタ１１の上流から流したエアロゾルのリークを検出するためのクリーンルームブースのリーク検査システムにおいて、サンプリングプローブ２２の近傍にＨＥＰＡフィルタ１１の枠３２、７０とフィルタメディア３０を識別する枠検出センサ６４，６５を設け、その枠検出センサ６４，６５で、フィルタメディア３０と枠３２、７０を検出しながらスキャンニングさせて、ＨＥＰＡフィルタ１１毎に、リーク測定を行うと共にそのデータを保存するものである。【選択図】  図１０
2005300263.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＨＥＰＡフィルタの直下に、空気を吸引するサンプリングプローブをＸ−Ｙ軸方向にスキャンニングさせ、サンプリングプローブで、ＨＥＰＡフィルタ上流から流したエアロゾルのリークを検出するためのクリーンルームブースのリーク検査システムにおいて、サンプリングプローブの近傍にＨＥＰＡフィルタの枠とフィルタメディアを識別する枠検出センサを設け、その枠検出センサで、フィルタメディアと枠を検出しながらスキャンニングさせて、ＨＥＰＡフィルタ毎に、リーク測定を行うと共にそのデータを保存することを特徴とするクリーンルームブースのリーク検査システム。
【請求項２】
サンプリングプローブのスキャンニングは、ＨＥＰＡフィルタの枠で加減速し、フィルタメディアで定速走行させ、その定速走行時にサンプリングプローブでサンプリングを行う請求項１記載のクリーンルームブースのリーク検査システム。
【請求項３】
サンプリングプローブは、枠の一端から他端にかけて主走査方向に走行した後、副走査方向にサンプリングプローブの幅分移動し、その枠の他端から一端にかけて主走査方向に走行し、さらにその枠の一端に達した後、プローブの幅分移動してフィルタメディアをスキャンニングする請求項２記載のクリーンルームブースのリーク検査システム。
【請求項４】
サンプリングプローブは、フィルタメディア枠の廻りを移動して、そのフィルタ枠廻りのリーク測定を行う請求項１記載のクリーンルームブースのリーク検査システム。
【請求項５】
サンプリングプローブは、複数のフィルタメディアを支持する枠体の廻りのリーク測定を行う請求項１記載のクリーンルームブースのリーク検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、医薬品などを製造する際のクリーンルームブースに係り、特にクリーンブースのリーク検査システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
医薬品は、有効性・安全性について高い品質を確保することが重要であるため、研究開発から製造・流通・使用に至るまでの一貫した品質管理体制を確立することが必要となっている。医薬品の製造に対しては、医薬品ＧＭＰ（Good Manufacturing Practice)が規定されており、その中では品質が確保されていることを検証するため、定期的な設備の検証（バリデーション）が求められてきている。
【０００３】
従来、設備のバリデーションの中で特に実施に手間のかかるものとして、ＨＥＰＡフィルタの完全性試験がある。
【０００４】
このＨＥＰＡフィルタのバリデーションとして、特許文献１及び特許文献２に示されるようなリーク試験がある。
【０００５】
このリーク試験は、ＨＥＰＡフィルタの上流側の給気チャンバからＤＯＰ（dioctyl phthalate ：フタル酸ジオクチル）等のエアロゾル（塵埃濃度が対象粒径０．５μｍ以上で、１００又は１８０万個／ｃｆ以上）を供給し、下流側のサンプリングプローブによりエアーを吸引してエアーに含まれるパーティクルをパーティクルカウンタでカウントするものである。
【０００６】
このサンプリングプローブは、ＨＥＰＡフィルタの直下２５〜５０ｍｍ間隔に保ちながら、走査速度５０ｍｍ／ｓｅｃ以下でスキャンニングされる。
【０００７】
このため、特許文献１、２に示されるように、ＨＥＰＡフィルタの直下に、一対のＸ軸走行レールを設け、そのＸ軸レール上を走行するＹ軸走行レールを設け、そのＹ軸走行レールに沿ってサンプリングプローブを移動させることで、サンプリングプローブをＸ軸とＹ軸にスキャンニングしてリーク検査を行うようにしている。
【０００８】
【特許文献１】特公平３−５０２１０号公報
【特許文献２】特許第３２８０２８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、ＨＥＰＡフィルタの性能低下を考えると、リークの原因は、
（１）ＨＥＰＡフィルタの輸送・取付作業の損傷によるリーク
（２）設置時、取付部周囲からのリーク（取付が不十分）
（３）長期使用によるリーク（フィルタの損傷・取付部のゆるみ等）
などが考えられる。
【００１０】
しかしながら、上述した特許文献１，２のリーク試験は、サンプリングプローブをＨＥＰＡフィルタの全体に渡ってスキャンニングして、いずれかのＨＥＰＡフィルタや、ＨＥＰＡフィルタと枠との接続部などからのエアロゾルのリークを検出するものであり、リークがあることが分かっても、より具体的にリークの原因が、上述した（１）〜（３）のいずれかにあるのかを検出すること、或いは個々のＨＥＰＡフィルタの経年変化や、リークの原因を総合的に判断することができない問題がある。
【００１１】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、個々のＨＥＰＡフィルタとその周囲のリークを検出できると共にそれぞれＨＥＰＡフィルタのリークの原因等を判断できるクリーンルームブースのリーク検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、ＨＥＰＡフィルタの直下に、空気を吸引するサンプリングプローブをＸ−Ｙ軸方向にスキャンニングさせ、サンプリングプローブで、ＨＥＰＡフィルタ上流から流したエアロゾルのリークを検出するためのクリーンルームブースのリーク検査システムにおいて、サンプリングプローブの近傍にＨＥＰＡフィルタの枠とフィルタメディアを識別する枠検出センサを設け、その枠検出センサで、フィルタメディアと枠を検出しながらスキャンニングさせて、ＨＥＰＡフィルタ毎に、リーク測定を行うと共にそのデータを保存することを特徴とするクリーンルームブースのリーク検査システムである。
【００１３】
請求項２の発明は、サンプリングプローブのスキャンニングは、ＨＥＰＡフィルタの枠で加減速し、フィルタメディアで定速走行させ、その定速走行時にサンプリングプローブでサンプリングを行う請求項１記載のクリーンルームブースのリーク検査システムである。
【００１４】
請求項３の発明は、サンプリングプローブは、枠の一端から他端にかけて主走査方向に走行した後、副走査方向にサンプリングプローブの幅分移動し、その枠の他端から一端にかけて主走査方向に走行し、さらにその枠の一端に達した後、プローブの幅分移動してフィルタメディアをスキャンニングする請求項２記載のクリーンルームブースのリーク検査システムである。
【００１５】
請求項４の発明は、サンプリングプローブは、フィルタメディア枠の廻りを移動して、そのフィルタ枠廻りのリーク測定を行う請求項１記載のクリーンルームブースのリーク検査システムである。
【００１６】
請求項５の発明は、サンプリングプローブは、複数のフィルタメディアを支持する枠体の廻りのリーク測定を行う請求項１記載のクリーンルームブースのリーク検査システムである。
【発明の効果】
【００１７】
以上要するに本発明によれば、以下に示すごとく優れた効果を発揮するものである。
（１）ＨＥＰＡフィルタのリーク試験を、フィルタメディア毎に自動的に行うことができる。
（２）フィルタ枠毎にリーク試験を行うことで、各フィルタの管理が容易に行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の好適な一実施形態を添付図面に基づいて詳述する。
【００１９】
図１において、１０はクリーンルーム１１内に設けられたクリーンブースで、上部に給気チャンバ１２が形成され、その給気チャンバ１２からの空調空気をクリーンブース１０内に清浄化して流すＨＥＰＡフィルタ１４が設けられ、そのＨＥＰＡフィルタ１４と床Ｆの周囲にクリーンブース１０を区画するカーテン或いはパネル１５が設けられる。
【００２０】
このＨＥＰＡフィルタ１４の下方には、蛍光灯等の照明灯１６が設けられ、更にその下方に降下気流速度を均一にするためと、照明灯１６の光を透過するためのスクリーン１７が設けられる。
【００２１】
このクリーンブース１０では、ファン１８から空調空気が給気チャンバ１２内に供給され、ＨＥＰＡフィルタ１４で清浄化され、スクリーン１７にて降下気流が均一になるようにされてクリーンブース１１内に供給され、そのクリーンブース１０内で、医薬品の製造がなされる。また照明灯１６は、スクリーン１７を通してクリーンブース１０内を照明する。
【００２２】
クリーンブース１０内の気流は、カーテン或いはパネル１５の下方からクリーンルーム１１に流れ、ファン１８に戻されて循環されたり或いはクリーンルーム１１外に排気され、再度クリーンルーム１１に循環される。
【００２３】
このＨＥＰＡフィルタ１４の直下で、かつ照明灯１６の上部には、プローブスキャンニング装置２０が設けられる。
【００２４】
このプローブスキャンニング装置２０は、楕円で囲った斜視図で示すように、一対のＸ軸走行レール１９と、そのＸ軸走行レール１９，１９上を走行するＹ軸走行レール２１と、そのＹ軸走行レール２１に沿って走行するサンプリングプローブ２２からなる。
【００２５】
このプローブスキャンニング装置２０は、詳細は後述するが、クリーンブース１０内の検査制御装置２４と通信ケーブル２５で接続されて、Ｘ、Ｙ軸方向のスキャンニング制御がなされ、またサンプリングプローブ２２からの吸引空気が、サンプリングチューブ２６を通して、検査制御装置２４に設けたパーティクルカウンタ２７に導入されるようになっている。
【００２６】
また、リーク検査時には、所定の濃度に調整されたＤＯＰ、ＰＯＡ（ポリ−α−ポリオレフィン）、シリカ粒子＋エアーなどのエアロゾルが供給ライン２８よりファン１８を介して給気チャンバ１２に供給されるようになっている。
【００２７】
図２は、給気チャンバ１２側から見たＨＥＰＡフィルタ１４の平面図を示したものである。
【００２８】
ＨＥＰＡフィルタ１４は、そのフィルタメディア３０が７９０（Ｘ軸）×７２０（Ｙ軸）ｍｍで、枠体３２により支持され、図では枠体３２が２ブロックに分けて形成され、それぞれの枠体３２に、Ｘ軸方向に沿った縦枠３１とＹ軸方向に沿った横枠３３が設けられて、８個（２×４）のフィルタメディア３０が支持されると共に、各枠体３２に、Ｘ軸走行レール１９とＹ軸走行レール２１が設けられて、プローブスキャンニング装置２０が構成される。
【００２９】
図３〜図５は、プローブスキャンニング装置２０の詳細を示したもので、図３は全体正面図、図４は平面図、図５は図３のサンプリングプローブ２２近傍の拡大正面図を示したものである。
【００３０】
先ず、図３に示すように、Ｘ軸走行レール１９、１９には、リニアレール３５，３５が設けられ、Ｙ軸走行レール２１の下部には、そのリニアレール３５，３５と係合してＸ軸方向に移動案内するためのＸ軸スライダ３６，３６が設けられる。
【００３１】
またこのＸ軸スライダ３６、３６間には駆動軸３７が回転自在に設けられ、その駆動軸３７の両端にＸ軸ピニオンギヤ３８，３８が設けられ、そのＸ軸ピニオンギヤ３８，３８と噛合するＸ軸ラックギヤ３９，３９がＸ軸走行レール１９，１９に設けられる。
【００３２】
Ｙ軸走行レール２１には、Ｘ軸駆動モータ４０が設けられると共に、そのＸ軸駆動モータ４０と駆動軸３７とを連結するギヤボックス４１が設けられ、そのギヤボックス４１に駆動モータ４０に連結された駆動ギヤ４２と駆動軸３７に連結された従動ギヤ４３とが噛合して設けられる。
【００３３】
Ｙ軸走行レール２１のＸ軸の走行は、Ｘ軸駆動モータ４０の回転により、ギヤボックス４１を介して駆動軸３７が回転され、Ｘ軸ピニオンギヤ３８がＸ軸ラックギヤ３９に噛合しながら転動することで、Ｙ軸走行レール２１がリニアレール３５，３５とＸ軸スライダ３６、３６に案内されながらＸ軸方向に走行移動する。
【００３４】
詳細は図示しないが、Ｙ軸走行レール２１とＸ軸走行レール１９とは、Ｙ軸走行レール２１の走行に追従しながら変形するＵ字状のＸ軸走行ケーブルベア４５で連結され、そのＸ軸走行ケーブルベア４５内に図１に示した通信ケーブル２５が設けられて、Ｘ軸駆動モータ４０を駆動制御するようになっている。
【００３５】
Ｙ軸走行レール２１の端部には、Ｘ軸位置検出用ドグ４６が設けられ、Ｘ軸走行レール１９には、そのＸ軸位置検出用ドグ４６を検出するＸ軸位置検出センサ４７が設けられる。
【００３６】
図４、図５に示すようにサンプリングプローブ２２は、Ｙ軸スライダ５０に支持され、そのＹ軸スライダ５０がＹ軸走行レール２１に沿って移動自在に設けられる
Ｙ軸スライダ５０には、Ｙ軸走行レール２１の一側に接して転動する一対の案内ローラ５１、５１と、Ｙ軸スライダ５０の他側に接して転動する案内ローラ５２とが設けられ、これら案内ローラ５１，５２で、Ｙ軸走行レール２１を挟んで転動することで、Ｙ軸スライダ５０が、Ｙ軸走行レール２１に対して走行移動自在に設けられる。
【００３７】
また、Ｙ軸スライダ５０には、Ｙ軸駆動モータ５４が設けられ、その駆動モータ５４に、Ｙ軸走行レール２１の一側に設けたＹ軸ラックギヤ５５に噛合して転動するＹ軸ピニオンギヤ５６が設けられる。
【００３８】
Ｙ軸スライダ５０のＹ軸の走行は、Ｙ軸駆動モータ５４の回転により、Ｙ軸ピニオンギヤ５６がＹ軸ラックギヤ５５に噛合しながら転動することで、Ｙ軸走行レール２１に沿ってＹ軸方向に走行移動する。
【００３９】
図４，図５に示すようにサンプリングプローブ２２は、断面四角形のロート状に形成されたプローブカップ２２ｃからなり、その下端にサンプリングチューブ２６が接続されてなる。
【００４０】
サンプリングプローブ２２のＹ軸スライダ５０の取付は、プローブカップ２２ｃが取付ベース５７に支持され、その取付ベース５７が、Ｙ軸スライダ５０上に設けた一対の固定ネジ軸５８に挿入され、上下を高さ位置調整ナット５９、５９にて締め付け固定されることで、Ｙ軸スライダ５０に支持されると共に高さ位置調整ナット５９、５９の位置を調整することで、ＨＥＰＡフィルタ１４との間隔を調整できるようになっている。
【００４１】
Ｙ軸スライダ５０とＹ軸走行レール２１とは、Ｙ軸スライダ５０の走行に追従しながら変形するＵ字状のＹ軸走行ケーブルベア６０で連結される。
【００４２】
Ｙ軸走行ケーブルベア６０には、Ｘ軸ケーブルベア４５からＹ軸走行レール２１に引き出された通信ケーブル２５とサンプリングチューブ２６が挿通され、通信ケーブル２５にてＹ軸駆動モータ５４が駆動制御され、またサンプリングプローブ２２で吸引されたエアーがサンプリングチューブ２６より図１で説明したパーティクルカウンタ２７に導入されるようになっている。
【００４３】
Ｙ軸スライダ５０の両側には、Ｙ軸走行レール２１の両端に設けたＹ軸位置検出用ドグ（図示せず）を検出するＹ軸位置検出センサ６２、６３が設けられる。
【００４４】
Ｙ軸スライダ５０に設けた固定軸５８には、プローブカップ２２ｃの両側に位置してＨＥＰＡフィルタ１４の枠を検出するための光ファイバセンサ６４，６５が、オフセットプレート６６により取り付けられる。この光ファイバセンサ６４，６５のうち、走行方向に対して前方となる側、すなわち図５の位置でＹ軸スライダ５０が左方向に移動するときには、その後方側の光ファイバセンサ６４が、Ｙ軸枠位置原点を検出し、前方側の光ファイバセンサ６５がオーバランを防止するためのセンサとして機能する。また逆方向（右方向）に移動する際にはその機能は反対となる。
【００４５】
またＸ軸方向には、両光ファイバセンサ６４，６５は、Ｙ軸走行レール２１のオーバランのためのセンサとして機能し、Ｘ軸方向の枠の原点位置を検出するようになっている。
【００４６】
両光ファイバセンサ６４，６５は、ＨＥＰＡフィルタ１４に向けてレーザ光を出射し、その反射光を取り込んで、Ｙ軸走行レール２１に設けた枠検出センサ用ファイバアンプ６６（図３参照）にて、その光信号を増幅してフィルタメディア３０と枠体３２、縦枠３１及び横枠３３の反射率の違いから枠を検出するようになっている。
【００４７】
図６は、ＨＥＰＡフィルタ１４のリークを検出するために、サンプリングプローブ２２のスキャンニングパターンＳＰの一例を示したものである。
【００４８】
このサンプリングプローブ２２のスキャンニングパターンＳＰは、基本的には、フィルタメディア３０毎に、そのフィルタ枠７０と共にスキャンニングし、主走査方向としてＹ軸方向に、副走査方向としてＸ軸に走査するが、図１で説明したパーティクルカウンタ２７のサンプリング周期は、サンプリングプローブ２２のプローブカップ２２ｃが、主走査方向で、その幅分移動したときにパーティクルをカウントするように、また副走査方向は、プローブカップ２２ｃの幅分移動するようにする。これにより、図示の点線で示したように、プローブカップ２２ｃが実質的にＨＥＰＡフィルタ１４の全面を隈無くなぞることが可能となる。すなわち、図６の６１０×６１０ｍｍ、プローブカップ２２ｃのサイズ３０×３０ｍｍでは、２０×２０（＝４００）とする。
【００４９】
この場合、Ｙ軸方向の走査で、図６のＳＴＡＲＴ位置から主走査する際に、図７に示すように、加速ＡＣと減速ＤＣがあるため、スキャン速度が定速ＣＳで走行しているときのデータをプローブカップ２２ｃでサンプリングする。
【００５０】
このように、フィルタメディア３０で定速走行となるようにし、その定速走行範囲を有効測定データとすることで、一定条件でリーク試験が行える。
【００５１】
また、図８は、フィルタ枠７０廻りをスキャンニングする例を示し、図９は、枠体３２のＸ軸方向に沿った外側縦枠３１ｏとＹ軸方向に沿った外側横枠３３ｏとを検出する例を示している。
【００５２】
図１０は、本発明のクリーンルームブースのリーク検査システムのブロック図を示したものである。
【００５３】
先ず、サンプリングプローブ２２を走行させるＸ軸駆動モータ４０は、Ｘ軸モータ駆動回路８０により駆動され、またＹ軸駆動モータ５４は、Ｙ軸モータ駆動回路８１により駆動される。
【００５４】
これらＸ軸モータ駆動回路８０とＹ軸モータ駆動回路８１は、測定制御装置８２のＸ−Ｙ位置制御部８３で動作される。このＸ−Ｙ位置制御部８３には、Ｘ軸位置センサ４７とＹ軸位置センサ６２、光ファイバセンサ６４，６５の検出値が入力され、その検出値に基づいてＸ−Ｙ位置制御部８３が、プローブ２２のＸ−Ｙ方向の位置を認識し、これに基づいて、Ｘ軸モータ駆動回路８０とＹ軸モータ駆動回路８１に指令し、その指令値に基づいてＸ軸駆動モータ４０とＹ軸駆動モータ５４が制御されるようになっている。
【００５５】
またサンプリングプローブ２２で吸引された空気中のパーティクルはパーティクルカウンター２７でカウントされ、その検出値が測定制御装置８２のパーティクル検出部８４に入力される。
【００５６】
測定制御装置８２は、各種の操作と制御を行うメニュー画面制御モジュール８５を備え、メニュー画面制御モジュール８５が、Ｘ−Ｙ位置制御部８３、パーティクル検出部８４、測定画面部８６、再測定しきい値変更部８７、機械原点復帰部８８、ブース・フィルタ情報入力部８９、Ｘ−Ｙ位置走行パターン９０、データ保存部９１、データ出力部９２、データ登録部９３を制御するようになっている。
【００５７】
また、測定制御装置８２には、ディスプレイ９４、データ保存装置９５、プリンター９６、データ入力部９７が接続されている。
【００５８】
図１１は、メニュー画面制御モジュール８５により機械原点復帰部８８を介して、ディスプレイ９４に表示される原点復帰画面９８で、機械原点選択ボタン１２５をマウスでクリックし、起動ボタン１２６を押すことで、プローブは、その機械原点（ｘ＝０，ｙ＝０）にされ、中止ボタン１２７を押すことで中止される。
【００５９】
この機械原点の復帰が終えたならば図１２に示したメニュー画面１００が表示される。
【００６０】
このメニュー画面１００中には、リーク試験１０１、ブース・フィルター情報入力１０２、フィルタ位置測定１０３、フィルタ呼出・印刷１０４、終了１０５の各操作ボタンが表示され、また操作モード選択欄１０６に、フィルタ→周囲１０７、フィルタ１０８，枠周囲１０９、フィルタブース間１１０、手動操作１１１の各選択ボタンが表示され、リーク試験１０１を選択したときに、これらボタンを選択できるようになっている。
【００６１】
このメニュー画面１００で、リーク試験１０１を行う前に、ブース・フィルター情報入力１０２とフィルタ位置測定１０３を行う。
【００６２】
図１３は、フィルタ位置測定１０３の操作により表示されるフィルタ位置設定画面１２０と、ブース・フィルター情報入力１０２の操作により表示されるブース設定条件設定画面１３０とを示したものである。
【００６３】
先ず、ブース設定条件設定画面１３０にて、ブースＮｏ．入力欄１３１に測定すべきブースＮｏ．を入力し、ブースサイズ入力欄１３２にそのブースサイズを入力し、フィルタ枚数入力欄１３３にＸ方向とＹ方向の各枚数を入力し、枠サイズ入力欄１３４に枠サイズを入力し、フィルタサイズ入力欄１３５に、そのフィルタのＸ方向とＹ方向のサイズ（ｍｍ）を入力する。この場合、測定すべきブースとそのブースに取り付けられているフィルタ枠とフィルタサイズは既知であり、リーク測定前に予め入力しておく。
【００６４】
入力後は、登録ボタン１３６を操作することで、設定条件が記憶され、また削除ボタン１３７を操作することで、設定条件を適宜変更できると共に一覧印刷ボタン１３８でこれら条件を印刷できる。またフィルタ位置ボタン１３９を操作することで、フィルタ位置設定画面１２０に、各フィルタＮｏ．１〜８の原点位置（この原点位置は機械原点（ｘ＝０，ｙ＝０）に対して最も近い位置のフィルタの角（図６で説明したスタート位置））の原点位置表示欄１２１が表示される。  なお、１４０は、メニュー画面１００に戻るための終了ボタンである。
【００６５】
このブース設定条件設定画面１３０で設定されたブース設定条件に対して、プローブ自体の位置は、その機械原点（ｘ＝０，ｙ＝０）に対して各フィルタ（本例の場合、Ｘ方向に４枚で、Ｙ方向に２枚の計８枚）の位置をプローブ側が認識する必要があるため、各フィルタＮｏ．１〜８の原点位置を認識する必要がある。
【００６６】
このため、フィルタ位置設定画面１２０に各フィルタＮｏ．１〜８の機械原点位置表示欄１２１に各フィルタＮｏ．１〜８の原点位置（ｘ、ｙ）を入力する。
【００６７】
この入力した原点位置（ｘ、ｙ）は、機械的誤差を考慮していないため、図１４に示すように、フィルタ位置検出画面１４４を表示し、その画面１４４にフィルタ枠とフィルタの表示画面１４５と、位置検出操作画面１４６とを表示し、位置検出操作画面１４６の実行ボタン１４７を押すことで、実際にプローブをＸ方向、Ｙ方向に移動させ、Ｘ軸位置センサ４７とＹ軸位置センサ６２で、各フィルタの原点位置を測定し、図１３で入力した原点位置（ｘ、ｙ）を訂正することができるようになっている。
【００６８】
なお、図１４において、１４８は測定停止ボタン、１４９は、フィルタ位置設定画面１２０に戻す終了ボタンである。
【００６９】
図１３に戻り、各フィルタＮｏ．１〜８の原点位置（ｘ、ｙ）の設定が終了したならば、登録ボタン１３６にてその設定情報を記憶し、終了ボタン１４０にて、フィルタ位置設定画面１２０を終了し、メニュー画面１００に戻る。なお、１３７は削除ボタン、１３８は一覧印刷ボタンである。
【００７０】
さて、図１５は、図１２のメニュー画面１００でリーク試験１０１を操作したときの画面である。このリーク試験１０１においては、操作選択モード１０６で、フィルタ→周囲１０７、フィルタ１０８，枠周囲１０９、フィルタブース間１１０、手動操作１１１の各選択ボタンのいずれかが選択されるが、これらに共通した測定中画面１５０を示している。この測定中画面１５０にはリーク測定の対象とするフィルタや枠を表示する画面１５１と、自動操作測定画面１５２が表示される。
【００７１】
自動操作測定画面１５２には、担当者１５３、フィルタＮｏ．１５４、フィルタ上流から流すＤＯＰ等のエアロゾル濃度１５５、ファイル名１５６、メディア寸法１５７，枠寸法１５８、再測定条件１５９，しきい値１６０の各入力乃至表示欄が設けられ、測定開始ボタン１６１を操作することで、測定が開始され、測定中止ボタン１６２を操作することで測定が中止される。
【００７２】
図１６は、フィルタのリーク試験を行っている際の測定中画面１５０を示したもので、画面１５１中に、測定しているフィルタメディア３０の各箇所のパーティクル数（リークがない場合「０」表示、リークがある場合は、その個数）を表示するフィルタと共に表示する測定結果画面１６２が表示される。
【００７３】
この測定結果画面１６２には、フィルタ枠７０の周囲のパーティクル数も同時に表示される。
【００７４】
この測定結果画面１６２は、測定中リアルタイムでそのパーティクル数が表示され、オペレータは、画面１６２と、自動操作測定画面１５２のフィルタ等の情報を見ることで、そのフィルタＮｏ．でのパーティクルのリーク状態を判別することができる。
【００７５】
リーク試験を行う際の上流側エアロゾル濃度は、例えば、１．８（１８０万個／ｆｔ3 （１．８×１０6 ）であり、リーク許容のしきい値１６０の値として０．０３％以内（表示パーティクル数として「３」であれば、合格とし、また再測定条件として、上流側エアロゾル濃度０．０１％、パーティクル数で「１」検出されたならば、再測定をおこなう。
【００７６】
図１７は、フィルタ枠の測定結果画面１６４を示したもので、フィルタ枠１６５に沿ってパーティクル数が表示される。
【００７７】
また、自動操作測定画面１５２には、フィルタ測定と違ってブースＮｏ．１６６、ブース寸法１６７の欄が表示される。
【００７８】
このフィルタ、フィルタ枠等のリーク試験において、上述のようにフィルタサイズ、枠サイズは、予め既知であり、フィルタメディアには、それぞれＮｏ．が付されており、その番号順にリーク試験が行われ、図１０で説明したＸ−Ｙ位置制御部８３が、プローブ２２のＸ，Ｙ位置を制御して、フィルタＮｏ．順に自動的にリーク測定を行うようにされる。
【００７９】
図１８は、上述した図１１の原点復帰、図１２のフィルターリーク試験のフローチャートを示したものである。
【００８０】
先ず、プログラムが開始１７０され、プローブの原点復帰１７１がなされたのち、ブースフィルタ情報ブースＮｏ．の確認１７２がなされ、メニュー選択１７３にて、リーク試験１７４，ブースフィルタ情報入力１７５，フィルタ位置の測定１７６，ファイル呼出印刷１７７が選択され、これらのいずれかが実行され、終了操作１７８にてプログラムが終了１７９される。
【００８１】
図１８は、リーク試験のフローチャートを示すもので、図１７でリーク試験１７３が選択され、リーク試験が開始１８０されると、対象とする測定の操作モード選択１８１にて、フィルタ＋枠周囲測定１８２，フィルタ（メディア）測定１８３、枠周囲測定１８４，フィルタブース間測定１８５の選択操作がなされ、その測定結果が保存１８６された後、次のフィルタ測定１８７の操作を行う時には、フィルタ＋枠周囲測定１８２或いはフィルタ（メディア）測定１８３に戻して次の測定を行い、操作モードを変更１８８する時には、操作モード選択１８１に戻して操作モードを変更する。このようにして各測定１８１〜１８４を順次行ったならリーク試験を終了１９０する。
【００８２】
また、選択モード１８１にて、手動操作測定１９１を選択した場合には、プローブは手動操作にて測定対象箇所のフィルタ乃至枠の位置に移動されてその位置でリーク測定が行われる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の一実施の形態を示す図である。
【図２】図１の平面図を示す図である。
【図３】本発明において、プローブスキャンニング装置の詳細を示す全体正面図である。
【図４】図３のプローブスキャンニング装置の平面図である。
【図５】図３のサンプリングプローブ近傍の拡大正面図である。
【図６】本発明において、ＨＥＰＡフィルタのリークを検出する際のサンプリングプローブのスキャンニングパターンの一例を示す図である。
【図７】本発明において、フィルタ位置とサンプリングプローブの走行速度の関係を示す図である。
【図８】本発明において、フィルタ枠廻りをスキャンニングする例を示す図である。
【図９】本発明において、枠体廻りをスキャンニングする例を示す図である。
【図１０】本発明において、リーク検査システムのブロック図を示す図である。
【図１１】本発明において、サンプリングプローブの原点復帰画面を示す図である。
【図１２】本発明において、フィルタリーク試験を行う際のメニュー画面を示す図である。
【図１３】本発明において、フィルタ位置設定画面とブース条件設定画面を示す図である。
【図１４】本発明において、フィルタ位置を自動測定する際の画面を示す図である。
【図１５】本発明において、リーク試験を行う際の測定画面を示す図である。
【図１６】本発明において、リーク試験の際のフィルタ、フィルタ枠廻りの測定画面を示す図である。
【図１７】本発明において、リーク試験の際の枠体廻りの測定画面を示す図である。
【図１８】本発明において、リーク検査システムの全体のフローチャートを示す図である。
【図１９】本発明において、リーク検査システムにおけるリーク試験のフローチャートを示す図である。
【符号の説明】
【００８４】
１０  クリーンブース
１１  クリーンルーム
１３  クリーンブース
１４  ＨＥＰＡフィルタ
１９  Ｘ軸走行レール
２０  プローブスキャンニング装置
２１  Ｙ軸走行レール
２２  サンプリングプローブ
３０  フィルタメディア
３２  枠体
６４，６５  光ファイバセンサ（枠検出センサ）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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