(57)【要約】【課題】  リークガス量を安定的かつ適正に評価判定することができ、形状や大きさの異なるワークを効率的に検査することのできるリークガス検出装置を提供する。【解決手段】  開口部が密封処理された被検査体Ｗを内部に保持するチャンバ１１と、チャンバ１１の密閉空間内の基台１１ａ上に載置され記被検査体Ｗのトレーサガス導入部Ａにその先端が接続され被検査体Ｗにトレーサガスを供給するトレーサガス供給部１２と、チャンバ１１に設けられたガス吸引口１１ｂとガス吹出口１１ｃとを介して被検査体Ｗ周囲のガスを循環させるガス循環部１３と、循環ガス中のトレーサガス濃度を測定するガス検知部１４と、を備えてリークガス検出装置１０とした。【選択図】図１
2005055263.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体を内部に保持するチャンバと、
前記チャンバの密閉空間内の基台上に載置された前記被検査体のトレーサガス導入部に、その先端が接続され前記被検査体にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、
前記チャンバに設けられたガス吸引口とガス吹出口とを介して、前記被検査体周囲のガスを循環させるガス循環部と、
前記チャンバ内を循環するガス中のトレーサガス濃度を測定するガス検知部と、
を備えたことを特徴とするリークガス検出装置。
【請求項２】
前記トレーサガス供給部を制御して、前記チャンバ内に供給されるトレーサガスの圧力や供給量を所定値に維持すると共に、前記ガス検知部から前記循環ガス中のトレーサガス濃度を取得し、予め設定されたトレーサガス濃度とリークガス量との対照データと比較して、前記被検査体の合否判定を行う制御部を備えている、ことを特徴とする請求項１に記載のリークガス検出装置。
【請求項３】
前記トレーサガスが、窒素と水素を所定比率で混合した混合ガスである、ことを特徴とする請求項１又は２に記載のリークガス検出装置。
【請求項４】
前記チャンバが、可撓性材により被検査体Ｗ周りに空洞が形成されるようにして形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のリークガス検出装置。
【請求項５】
前記ガス循環部を介して前記チャンバ内に供給されるガスの循環供給量が、前記チャンバの内容積Ｖに対して、毎秒２〜１０倍の範囲であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のリークガス検出装置。
【請求項６】
前記チャンバの内容積Ｖが、測定される被検査体の外容積Ｙに対して、１．２〜４倍の範囲であることを特徴とする請求項１〜５に記載のリークガス検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンダブロックやオイルクーラ、ブレーキパイプ、燃料タンク、ラジェータ等の自動車関連部品やその他の機械部品などの被検査体の内部に、トレーサガスを導入して、その気密性を検査するためのリークガス検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、被検査体（ワーク）の気密性を検査するためのリークガスの検出技術としては、
（１）密閉容器内に収容されたワーク内を真空引きした後、ワーク内にトレーサガスを供給して、容器内に漏れ出すトレーサガスをガスセンサで検出するベルジャー法や、
（２）トレーサガスが供給されるワークの各検査箇所周辺のガスを吸引して、吸引ガス中のトレーサガスを検出して、検査箇所の漏れの有無の検査するスニファー法が知られている。
これらの技術に関連して、例えば以下のようなものが知られている。
【０００３】
特許文献１には、中空状のワークを出し入れ可能に収容して密封可能な容器と、ワーク内にトレーサガスを供給可能なトレーサガス供給器と、容器内のガスを排出可能なポンプと、同ポンプの排気部に近接して配置されて排気部を通過するガスの一部を吸引するスニファープローブと、同スニファープローブにて吸引されたガス中のトレーサガス量を検出するスニファー用リークディテクターとを備える構成としたワークの漏れ検査装置が記載されている。
【０００４】
また、特許文献２には、内部側を密閉空間部にしたワークの外面における被検査部分の周囲にシール部を密着させた状態で、前記被検査部分を被覆し、前記被検査部分の周囲に密閉空間部を形成するチャンバと、前記ワークおよび前記チャンバの一方に接続手段を介して接続されて、同一方にトレースガスを供給するトレースガス供給装置と、前記ワークおよび前記チャンバの他方に接続手段を介して接続されて、同他方に漏れてくるトレースガスを検出する検出装置とを備えたワークの漏れ検査装置が記載されている。
【特許文献１】特開２００２−２６７５６４号公報
【特許文献２】特開２００３−３５６２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、前記従来の技術のものでは以下のような課題を有していた。
（１）特許文献１に記載の漏れ検査装置においては、ポンプの排気部からガスを取り出すので、常時ポンプを作動させていなければならないために、検出されるトレーサガスの量が時間と共に変動して、その漏れ量を安定的かつ適正に評価判定することが困難であるという課題があった。
（２）特許文献２に記載の漏れ検査装置においては、ワーク外面の被検査部分の周囲にシール部を被覆するので、形状や大きさの異なる大量のワークを効率的に検査するためには、煩雑な設定作業を要して、検査を迅速かつ効率的に行うことできないという課題があった。
本発明は、前記従来の課題を解決するためになされたもので、リークガス量を安定的かつ適正に検出してその気密性を評価判定することができると共に、被検査体測定のための設定作業を容易にでき、形状や大きさの異なるワークを効率的に検査することのできるリークガス検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）本発明のリークガス検出装置は、開口部が密封処理された被検査体を内部に保持するチャンバと、前記チャンバの密閉空間内の基台上に載置された前記被検査体のトレーサガス導入部にその先端が接続され前記被検査体にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバに設けられたガス吸引口とガス吹出口とを介して前記被検査体周囲のガスを循環させるガス循環部と、前記チャンバ内を循環するガス中のトレーサガス濃度を測定するガス検知部と、を備えるように構成されている。
（２）本発明のリークガス検出装置は、前記（１）において、前記トレーサガス供給部を制御して、前記チャンバ内に供給されるトレーサガスの圧力や供給量を所定値に維持すると共に、
前記ガス検知部から前記循環ガス中のトレーサガス濃度を取得し、予め設定されたトレーサガス濃度とリークガス量との対照データと比較して、前記被検査体の合否判定を行う制御部を備えていることにも特徴を有している。
（３）本発明のリークガス検出装置は、前記（１）又は（２）において、前記トレーサガスが窒素と水素を所定比率で混合した混合ガスである、ように構成することもできる。
（４）本発明のリークガス検出装置は、前記（１）〜（３）において、前記チャンバが、可撓性材により被検査体Ｗ周りに空洞が形成されるようにして形成されていることにも特徴を有している。
（５）本発明のリークガス検出装置は、前記（１）〜（４）において、前記ガス循環部を介して前記チャンバ内に循環供給されるトレサーガスの供給量が、前記チャンバの内容積Ｖに対して、毎秒２〜１０倍の範囲である、ことにも特徴を有している。
（６）本発明のリークガス検出装置は、前記チャンバの内容積Ｖが、測定される被検査体の外容積Ｙに対して、１．２〜４倍の範囲であることにも特徴を有する。
【発明の効果】
【０００７】
（１）本発明のリークガス検出装置は、開口部が密封処理された被検査体を内部に保持するチャンバと、前記チャンバの密閉空間内の基台上に載置された前記被検査体のトレーサガス導入部にその先端が接続され、前記被検査体にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバに設けられたガス吸引口とガス吹出口とを介して、前記被検査体周囲のガスを循環させるガス循環部と、前記チャンバ内を循環するガス中のトレーサガス濃度を測定するガス検知部と、を備えるようにしているので、チャンバ内に循環ガスの流れを生成して、循環ガスから検出されるリークガス量を、安定的かつ適正に評価判定することができる。
さらに、被検査体をチャンバ内の所定位置に載置するだけで、その設定作業を容易に行うことができるので、形状や大きさの異なるような大量のワークを、効率的に検査することができる。
【０００８】
（２）本発明は、前記トレーサガス供給部を制御して、前記チャンバ内に供給されるトレーサガスの圧力や供給量を所定値に維持すると共に、前記ガス検知部から前記循環ガス中のトレーサガス濃度を取得し、予め設定されたトレーサガス濃度とリークガス量との対照データと比較して、前記被検査体の合否判定を行う制御部を備えることもできるので、被検査体周囲とその内部の圧力差やトレーサガス濃度などの条件を一定に保持させ、その設定条件に応じたリークガス量の評価を、適正かつ迅速に行うことができる。
【０００９】
（３）本発明は、前記トレーサガスが、窒素と水素を所定比率で混合した混合ガスであるように構成することもできるので、適用される被検査体の形状や種類、温度などに応じて、混合ガス比率を調整して、所定の粘性を有したトレーサガスを被検査体に供給して、その漏れ検査を的確かつ経済的に行うことができると共に、水素ガスが、発火、爆発しないような条件に管理して、安全性に優れた試験条件下で被検査体の検査作業を行うこともできる。
【００１０】
（４）本発明は、前記チャンバが、可撓性材により可撓性材により被検査体Ｗ周りに空洞が形成されるようにすることもできるので、被検査体を現場から持ち出せないような場合でも、薄肉の金属などからなる可撓性材で形成されたチャンバを被検査体にかぶせて、これにトレーサガス供給部やガス循環部、ガス検知部を直接接続して、被検査体の漏れチェックを簡便かつ容易に行うことができる。
（５）本発明は、前記ガス循環部を介して前記チャンバ内に供給されるガスの循環供給量が、前記チャンバの内容積Ｖに対して特定範囲になるようにしているので、ガス検知部における検知精度を適正に維持することができ、その測定データの信頼性をさらに向上させることができる。
（６）本発明は、前記チャンバの内容積Ｖが、測定される被検査体の外容積Ｙに対して特定範囲としているので、チャンバ内にトレーサガスが滞留するデッドスペース部分を抑制でき、リークガスに対する検出感度が高められるとともに、最小必要限度のトレーサガスを用いて、リークガス検出装置を経済的に運用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明は、検出されるリークガス量を安定的かつ適正に評価判定することができると共に、被検査体を測定するための設定が容易にでき、形状や大きさの異なるワークを効率的に検査することのできるリークガス検出装置を提供するという目的を、開口部が密封処理された被検査体を内部に保持するチャンバと、前記チャンバの密閉空間内の基台上に載置された前記被検査体のトレーサガス導入部にその先端が接続され前記被検査体にトレーサガスを供給するトレーサガス供給部と、前記チャンバに設けられたガス吸引口とガス吹出口とを介して前記被検査体周囲のガスを循環させるガス循環部と、前記チャンバ内を循環するガス中のトレーサガス濃度を測定するガス検知部とをリークガス検出装置に備えることで実現したものである。
以下このようなリークガス検出装置の具体的構成について説明する。
【実施例】
【００１２】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１に係るリークガス検出装置の模式構成図である。
図１において、実施の形態１のリークガス検出装置１０を模式的に示す。１１はチャンバであり、そのパイプ端などの開口部が予めキャップなどで密封処理された、ラジェータパイプなどの被検査体Ｗを内部に載置して保持する。
１２はトレーサガス供給部であり、チャンバ１１の密閉空間内の基台１１ａ上に載置された被検査体Ｗのトレーサガス導入部Ａに、その先端が接続され、密封処理された被検査体Ｗにトレーサガスを供給する。
１３はガス循環部であり、チャンバ１１に設けられたガス吸引口１１ｂとガス吹出口１１ｃとを介して、被検査体Ｗ周囲のガスを循環させるための循環ファン１３ａと循環ガス流路１３ｂとを備える。
１４はガス検知部であり、チャンバ１１内を循環するガス中のトレーサガス濃度を測定する。１５はパソコンなどの制御部であり、トレーサガス供給部１２を制御してチャンバ１１内に供給されるトレーサガスの圧力や供給量を所定値に維持し、ガス検知部１４を介して循環ガス中のトレーサガス濃度を取得して、被検査体Ｗの合否判定を行う。
【００１３】
被検査体Ｗは、例えば、自動車のシリンダブロックやオイルクーラ、ブレーキパイプ、燃料タンク、ラジェータ等の機械部品であって、そのパイプ端などの開口部を予めキャップやねじ蓋などで封止してその気密性を確保した後、被検査体Ｗに設けられた既存のオイル挿入孔などをトレーサガス導入部として、トレーサガスやパージガスの供給及び、被検査体Ｗ内部の排気が行えるようにしている。
【００１４】
チャンバ１１は、基台１１ａ上に着脱自在に覆設されて内部に密閉空間を形成させるカバー部１１ｄと、基台１１ａ下部に設けられガス循環部１３が内蔵される基底部１１ｅとを備えて構成されている。チャンバ１１は、カバー部１１ｄを取り外して被検査体Ｗのトレーサガス導入部Ａをトレーサガス供給部１２の先端部に接続して配置した後、カバー部１１ｄを密閉状態に覆設することができるようになっている。
なお、チャンバ１１の内容積Ｖは、測定される被検査体の外容積Ｙに対して１．２〜４倍とすることが好ましく、１．４〜２倍の範囲とすることがさらに好ましい。これは、適用されるトレーサガスの種類や圧力、被検査体の形態などにもよるが、チャンバ１１の内容積Ｖが、被検査体の外容積Ｙに対してその１．４倍より小さくなるにつれ、被検査体周囲のガスの流れが阻害されて、リークガスの検出に支障が出る傾向が見られる。
逆に２倍を超えると、被検査体周囲にデットスペース（トレーサガスが循環しないで滞留する場所）が生じて、検出感度が低下するような傾向が見られ、これらの傾向は１．２倍より小さくなるか、又は４倍を超えるとさらに顕著になるからである。
このように、チャンバ１１内におけるデッドスペース部分の発生が少なくなるように、チャンバの形状を設計することが重要であり、被検査体の形状に合わせてチャンバ形状を設定したり、ファンやダクト系を活用したりすることで、チャンバ内のガス拡散性を良くするなどの工夫や操作によって、その測定データの信頼性をさらに向上させることができる。
【００１５】
トレーサガス供給部１２は、被検査体Ｗのトレーサガス導入部Ａに接続されるガス供給パイプ１２ａを介してトレーサガスボンベ１２ｂなどに保持されたトレーサガスや圧縮空気供給部１２ｃから導入される圧縮空気などのパージ用ガスを、被検査体Ｗに供給することができる。また、必要に応じてガス供給パイプ１２ａを介して被検査体Ｗ内を排気するためのエジェクタや吸引ポンプなどを備えることもできる。
トレーサガスとしては、水素と窒素を所定比率、例えば水素：５％、窒素９５％の混合ガスとしたり、窒素、水素、ヘリウムや空気などを含む混合ガスを適用したりすることができ、被検査体Ｗの種類や形状、必要とする検出精度などに応じて、トレーサガスの粘性をこれらの混合ガス比率を適宜所定範囲に変更することにより調整することができる。
【００１６】
ガス循環部１３は、チャンバ１１の基台１１ａ下部に配置され、その循環ガス流路１３ｂに設けられた単数もしくは複数の循環ファン１３ａによって、チャンバ１１内の密閉空間のガスを循環させることができる。なお、循環ガス流路１３ｂにおける循環ガスの流量や循環ファン１３ａのオンオフ操作は制御部１５を介して制御することもでき、これによって、ガス検知部１４で測定される循環ガスの測定値のバラツキを抑制することも可能にしている。
【００１７】
ここで、ガス循環部１３を介してチャンバ１１に供給されるガスの循環供給量は、チャンバ１１の内容積Ｖに対してその２〜１０倍、また、４〜８倍の範囲とすることがさらに好ましい。これは、被検査体Ｗの周囲を流れるガスの循環供給量がチャンバ内容積Ｖの４倍より少なくなると、循環ガス量が少なくなってリークガスの検出感度が低下する傾向が見られ、逆に８倍を超えるとリークガスの濃度が減少して検出が困難になる傾向が見られ、これらの傾向は２倍より少なくなるか、１０倍を超えるとさらに顕著になるからである。
【００１８】
ガス検知部１４は、例えばセンシスターテクノロジー社（スエーデン）製の型式Ｈ−２０００などのようなガス検知機器を備え、チャンバ１１内を流れる循環ガス中の水素の濃度を０．５ｐｐｍのバックグラウンドにおいて感度５×１０-7ｃｃ／ｓで検知することができる。なお、ガス検知部１４のセンサ部やガス採取部は、チャンバ１１のカバー部１１ｄ内や、その基台１１ａ下部の循環ガス流路１３ｂに設けることができ、循環ガス流路１３ｂに設けた場合には、カバー部１１ｄの基台１１ａ上への取り付け取り外しの際にガス検知部１４のブローブ１４ａがカバー部１１ｄと干渉しないのでこれらの作業を容易に行うことができる。
【００１９】
制御部１５は、パソコンやシーケンサなどの制御機器であって、トレーサガス供給部１２やガス循環部１３、ガス検知部１４からなるガスリーク検知システムを統合制御して、種類やサイズなどの異なる大量の被検査体Ｗを適正条件で効率的に処理して、その合否を判定できるようにしている。
なお、制御部１５の記憶部には、循環ガス中のトレーサガス濃度と所定形状の被検査体Ｗから漏れ出すリークガス量との関係を、実験的に取得して得られた検量線などの対照データが記憶されており、この対照データに基づいて、ガス検知部１４で得られるトレーサガス濃度を評価することにより、それぞれ異なる種類の被検査体の合否判定を迅速かつ的確に行うことも可能にしている。
【００２０】
本実施の形態１のリークガス検出装置１０は、以上のように構成されたリークディテクターシステムであり、被検査体Ｗ内に空気中に少ない異種ガス（水素５％／窒素９５％）をトレーサガスとして注入し、被検査体Ｗを覆う容器（チャンバ）内に漏れたガスをガス検知機器で検知し測定すると共に、これに伴う操作を一括して制御する装置である。これによって、リークガス検出装置１０はチャンバ１１内を真空状態にする必要が無いため安価であり、かつ、トレーサガスの性質を利用してチャンバ内のガスを循環させるので、その測定値が安定して信頼性の高いデータを得ることができる。
【００２１】
以下、リークガス検出装置１０を適用して被検査体Ｗの漏れ検査を行う際の作業手順（１）〜（１２）を列記する。
（１）機器電源を投入する。
（２）校正ガスによりガス検知機器（Ｈ−２０００）の校正処理をし、センサーの確認をする（キャリブレーション）。
（３）漏れマスターを実測定と同様にセットする。
（４）漏れマスターによる測定器検定（トレーサガス使用）を行い、構成機器の確認をする。
（５）ＯＫ／ＮＧの判定をする。漏れていれば通常測定準備がＯＫである。
（６）対象ワークにガス注入ホースを接続し、ワークをチャンバへセットする（前準備）。
（７）Ｓ／Ｗ  ＯＮにてチャンバが閉じて循環ファンを作動する。トレーサガス供給部１２のガス供給パイプをバルブなどを介して、図示しないエジェクタや真空ポンプに切り換えることにより、チャンバ１１内を、一旦、約１〜２分間吸引して排気してワーク内を真空にし、次にトレーサガスを注入する。そのまま待機して検知機器へ信号を送る（測定開始）。
（８）機器内制御を用いて、堆積・サンプリング・解析を行う。測定終了後判定を行う。
この際、ワークからトレーサガスが漏れていれば水素が検知される（検知精度は、設定レベルにより出力させる）。
（９）ワーク内のトレーサガスを排気し、同時に循環ファン停止する（後処理）。
（１０）ワーク内を真空引き排気する。
（１１）ワーク内を新鮮な大気開放する。
（１２）チャンバ開にし、ホースをはずしワークをリセットする（検査終了）。
なお、ガス検知機器（Ｈ−２０００）のみを用いての検査だと前記（８）しか自動で行わず、この場合において、作業者がガスの供給からバルブの操作まで行うとすると、煩雑で誤動作が起きるため、同一条件でなければデータの信頼性が無い。
これに対して、本発明のリークガス検出装置では、ワークのセットとＯＮのボタン操作のみで上記の（１）〜（１２）の一連の検査を行うことができる。さらに、（９）〜（１２）の操作を実行することによってチャンバ付近に滞留する水素が無くなりホースなどのリセットが容易になる。なお、本発明のリークガス検出装置では、前記（７）における実質的な測定は約２分間とすることが好ましい。
【００２２】
（実施の形態２）
図２は、本発明の実施の形態２に係るリークガス検出装置の模式構成図である。
図２において、実施の形態２のリークガス検出装置２０を模式的に示す。２１はチャンバであり、開口部が密封処理された被検査体Ｗを、段ボールなどをアルミホイールなどの金属薄肉シート被覆した素材（可撓性素材）を用いて被覆し、被検査体Ｗ周りに空洞が形成されるようにして、基台２１ａ上に置かれている。
２２はトレーサガス供給部であり、そのトレーサガス供給管２２ａがチャンバ２１及び基台２１ａを貫通して、被検査体Ｗのトレーサガス導入部Ａにその先端が接続されている。
２３はガス循環部であり、チャンバ２１の両側部にそれぞれ設けられた、ガス吸引口２１ｂとガス吹出口２１ｃとを介して、被検査体Ｗ周囲のガスを循環させるための循環ファン２３ａと、ガスが流れるホース部２３ｂと、を備えている。
２４はガス検知部であり、そのプローブ２４ａの先端が循環ファン２３ａの上流側に配置され、チャンバ２１内を循環するガス中のトレーサガス濃度を測定する。
２５は制御部であり、トレーサガス供給部２２及びガス循環部２３の循環ファン２３ａを制御して、チャンバ２１内に供給されるトレーサガスの圧力や供給量を所定値に維持して、取得される循環ガス中のトレーサガス濃度に基づいて被検査体Ｗの合否判定を行って、そのデータを記録管理したり、データをプリンタに送信して印刷を行ったりする。
【００２３】
実施の形態２のリークガス検出装置２０は、以上のようにチャンバ２１が可撓性材で形成され、これをホース部２３ｂを介して循環ファン２３ａに連結して用いるので、分離及び組み立てが容易であり、被検査体Ｗの種類や形状、大きさが異なる場合でも、循環ファン２３ａは１台で足り、経済的かつ効率的にリークガス検出装置２０を稼働運営させることができる。
また、被検査体Ｗを現場から持ち出せない場合でも、フレキシブル（可撓性）な素材からなるチャンバ２１を被検査体Ｗにかぶせ、離れたところに循環ファン２３ａを設置することもできるので、現場における設置条件による各種の制約を回避することができ、汎用性と操作性に優れている。
なお、フレキシブル（可撓性）な素材は、前述した例に限定されず、折り畳み可能な素材で、ガスの透過性がないものであれば、用いることが可能である。
【００２４】
（実施の形態３）
図３は本発明の実施の形態３に係るリークガス検出装置の模式構成図である。
図３において、実施の形態３のリークガス検出装置３０を模式的に示す。３１はチャンバであり、被検査体Ｗを内部に保持して、段ボールなどをアルミホイールなどの金属薄肉シートで被覆して形成され、基台３１ａ上に配置されている。
３２はトレーサガス供給部であり、基台３１ａを貫通して被検査体Ｗのトレーサガス導入部Ａにその先端が接続される。
３３はガス循環部であり、チャンバ３１の両側部にそれぞれ設けられたガス吸引口３１ｂとガス吹出口３１ｃとを介して、被検査体Ｗ周囲のガスを循環させるための循環ファン３３ａと、ガスが流れるホース部３３ｂと、を備える。
３３ｃはバルブ切換器であり、ホース部３３ｂに設けられた循環ガスの一部又は全部を排気管３３ｄを介して外部に排気する。
３４はガス検知部であり、そのプローブの先端がチャンバ３１内に配置され、チャンバ３１内を循環するガス中のトレーサガス濃度を測定する。
このような循環方式による濃度上昇型のリークテスタシステムにおいては、エジェクタや真空ポンプによりチャンバ３１内の空気を吸引する。
吸引の最初は排気するが、その後バルブ切換えて、吸引した空気をチャンバ３１内に戻すようにして循環させる。チャンバ３１の形状やワーク容量により、測定時間を変更することができる。
これらを実行することにより、チャンバ３１内に循環流れを形成して、ガス検知部３４のセンサから遠い流れにも感知させることができる。
なお、このとき最初の吸引分を排気管３３ｄから排気することにより、その後にチャンバ３１内を循環する空気に被検査体Ｗから漏れ出すトレーサガスの濃度を高いものとすることができる。
このとき、被検査体にトレーサガスを充満させてから検査を始めるまでの遅延時間で定義される堆積時間：Ｔ（秒）、
被検査体から漏れ出すトレサーガスの漏れ量：Ｌ（ｃｃ／秒）、
被検査体に充填されるトレサーガスの水素濃度：Ｃ（％）、
（チャンバー内容積−被検査体の外容積）で定義されるチャンバ内のデッドゾーンの容量：Ｄ（ｃｃ）、
換算係数：ｋ（ｋ＝１／１００００００）、
を用いて、循環ガス中の水素濃度：Ｘ（ｐｐｍ）は、Ｘ＝ｋ×Ｌ×Ｔ×Ｃ／Ｄのように関係付けることができる。トレサーガスの水素濃度：Ｃを５％とした場合、その漏れ判定レベルを、循環ガス中の水素濃度Ｘを、例えば、１〜５ｐｐｍの間に適宜に設定して、効果的に上記式を用いて、被検査体の気密性の合否判定作業を自動化して行うことができる。
なお、堆積時間：Ｔを設定したのは、検査に用いるチャンバーの感度を向上させるためである。チャンバー内のトレーサガスの濃度は、堆積時間：Ｔの間、直線的に増加する。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明は、シリンダブロックやオイルクーラ、ブレーキパイプ、燃料タンク、ラジェータ等の自動車関連部品やその他の機械部品などの被検査体の気密性検査の分野に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】実施の形態１に係るリークガス検出装置の模式構成図である。
【図２】実施の形態２に係るリークガス検出装置の模式構成図である。
【図３】実施の形態３に係るリークガス検出装置の模式構成図である。
【符号の説明】
【００２７】
１０  実施の形態１のリークガス検出装置
１１  チャンバ
１１ａ  基台
１１ｂ  ガス吸引口
１１ｃ  ガス吹出口
１１ｄ  カバー部
１１ｅ  基底部
１２  トレーサガス供給部
１２ａ  ガス供給パイプ
１２ｂ  トレーサガスボンベ
１２ｃ  圧縮空気供給部
１３  ガス循環部
１３ａ  循環ファン
１３ｂ  循環ガス流路部
１４  ガス検知部
１４ａ  プローブ
１５  制御部
２０  実施の形態２のリークガス検出装置
２１  チャンバ
２１ａ  基台
２１ｂ  ガス吸引口
２１ｃ  ガス吹出口
２２  トレーサガス供給部
２３  ガス循環部
２３ａ  循環ファン
２３ｂ  ホース部
２４  ガス検知部
２４ａ  プローブ
２５  制御部
３０  実施の形態３のリークガス検出装置
３１  チャンバ
３１ａ  基台
３１ｂ  ガス吸引口
３１ｃ  ガス吹出口
３２  トレーサガス供給部
３３  ガス循環部
３３ａ  循環ファン
３３ｂ  ホース部
３３ｃ  バルブ切換器
３３ｄ  排気管
３４  ガス検知部
Ｗ  被検査体
Ａ  トレーサガス導入部
【図１】
2005055263.tif 000003
【図２】
2005055263.tif 000004
【図３】
2005055263.tif 000005