(57)【要約】【課題】  デバイスとソケットの間に機械的な位置決め機構なしにコンタクトを成立させ、デバイス搬送エラーの発生率を低下させ、チェンジキットを安価にするとともに、品種交換の段取りにかかる時間を短縮したテストトレイを実現する。【解決手段】  検査対象デバイスが格納され、ハンドラによって検査位置へ搬送されるテストトレイにおいて、トレイ本体に対して位置決めされて取り付けられたポケットと、トレイ本体に付加されたアライメントマークとを有する。【選択図】                    図１
2005055244.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象デバイスが格納され、ハンドラによって検査位置へ搬送されるテストトレイにおいて、
トレイ本体に対して位置決めされて取り付けられたポケットと、
トレイ本体に付加されたアライメントマークと、
を備えたことを特徴とするテストトレイ。
【請求項２】
前記ポケットと前記アライメントマークの位置関係は既知であることを特徴とする請求項１記載のテストトレイ。
【請求項３】
前記アライメントマークを少なくとも２箇所に付加したことを特徴とする請求項１または２記載のテストトレイ。
【請求項４】
前記アライメントマークを前記トレイ本体の４隅に付加したことを特徴とする請求項１または２記載のテストトレイ。
【請求項５】
前記アライメントマークはトレイ本体に開けた穴、トレイ本体に印刷したマーク、トレイ本体に開けた穴に樹脂を埋め込んだ構成のいずれかであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のテストトレイ。
【請求項６】
前記ポケットは、ピンと穴の嵌め合わせによりトレイ本体に取り付けられることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のテストトレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、個片の検査対象デバイスを同時に多数テストするために用いられるテストトレイに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
テストトレイは、ハンドラ内にあるトレイであって、検査対象デバイスが格納される。検査対象デバイスを格納したテストトレイがハンドラによって検査位置へ搬送され、テスタによりテストが実行される。
【０００３】
メモリテスタ用ハンドラは、製造工程内で使用する搬送容器であるユーザトレイからハンドラ内の搬送容器であるテストトレイに移し替え、テスタのヘッド部に検査対象デバイスを搬送していた。
【０００４】
図４は検査対象デバイスの流れを示した説明図である。
図４で、検査対象デバイスはユーザトレイ１からテストトレイ２に移し替えられる。テストトレイ２に載せられた検査対象デバイスは測定部３へ搬送され、検査位置に位置決めされる。ここでテスタにより検査対象デバイスを検査する。検査結果に応じて検査対象デバイスをユーザトレイ１に振り分ける。
【０００５】
図５は従来におけるテストトレイの構成図である。
図５で、トレイ本体１０には、個々の検査対象デバイス１１を格納するトレイインサート１２が複数装着されている。検査対象デバイス１１とコンタクトするソケット側にもトレイインサート１２と機械的に結合する機構（図示せず）がある。
【０００６】
図６はトレイインサートの構成図である。
トレイインサート１２の凹部１３に検査対象デバイスが格納される。格納された検査対象デバイスは、ロック部材１４により抜け出さないように保持されている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−２０２３４６号公報
【特許文献２】特許第３４０５５３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このように従来におけるテストトレイでは、トレイインサータのような機械的にテストトレイからフローティング構造となる部材に検査対象デバイスを格納し、検査対象デバイスをソケット側のピンに当て、コンタクトを成立させる構成になっていた。
【０００９】
このような構成から従来におけるテストトレイでは次の問題点があった。
（ａ）搬送機構を含めて機構が複雑になるため、故障、デバイス搬送エラーの発生率が高くなる。
（ｂ）デバイスの品種毎に必要なチェンジキットが高価になる。
（ｃ）品種交換の段取りにかかる時間が長くなる。
【００１０】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、トレイ本体に位置決めされて取り付けられたポケットとアライメントマークを設けることによって、デバイスとソケットの間に機械的な位置決め機構なしにコンタクトを成立させ、デバイス搬送エラーの発生率を低下させ、チェンジキットを安価にするとともに、品種交換の段取りにかかる時間を短縮したテストトレイを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
このような課題を達成するために、本発明は次のとおりの構成になっている。
（１）検査対象デバイスが格納され、ハンドラによって検査位置へ搬送されるテストトレイにおいて、
トレイ本体に対して位置決めされて取り付けられたポケットと、
トレイ本体に付加されたアライメントマークと、
を備えたことを特徴とするテストトレイ。
【００１２】
（２）前記ポケットと前記アライメントマークの位置関係は既知であることを特徴とする（１）記載のテストトレイ。
【００１３】
（３）前記アライメントマークを少なくとも２箇所に付加したことを特徴とする（１）または（２）記載のテストトレイ。
【００１４】
（４）前記アライメントマークを前記トレイ本体の４隅に付加したことを特徴とする（１）または（２）記載のテストトレイ。
【００１５】
（５）  前記アライメントマークはトレイ本体に開けた穴、トレイ本体に印刷したマーク、トレイ本体に開けた穴に樹脂を埋め込んだ構成のいずれかであることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載のテストトレイ。
【００１６】
（６）前記ポケットは、ピンと穴の嵌め合わせによりトレイ本体に取り付けられることを特徴とする（１）乃至（５）のいずれかに記載のテストトレイ。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項１に記載の発明では、トレイ本体上に位置決めされて取り付けられたポケットと、アライメントマークを設けた。これによって、次の効果が得られる。
（ａ）従来例にあるようなトレイインサータのような機械的な位置決め機構なしに、デバイスとソケットでコンタクトを成立させることができる。これにより、搬送機構を簡略化でき、故障、デバイス搬送エラーの発生率が低減される。
（ｂ）機械的な位置決め機構がないため、デバイスの品種毎に必要なチェンジキットを安価にすることができる。
（ｃ）機構が簡略化されたため、デバイスの品種交換の段取りにかかる時間が短縮される。
【００１８】
請求項２に記載の発明では、ポケットとアライメントマークの位置関係は既知であるため、アライメントマークを目印に検査対象デバイスの位置を容易に求めることができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明では、アライメントマークを少なくとも２箇所に付加したため、トレイの位置や角度を求めることができる。
【００２０】
請求項４に記載の発明では、アライメントマークをトレイ本体の４隅に付加したため、トレイの位置や角度を求めることができる。
【００２１】
請求項５に記載の発明では、アライメントマークはトレイ本体に開けた穴、トレイ本体に印刷したマークで構成することによって、トレイ本体に対して容易にアライメントマークを付加できる。
【００２２】
請求項６に記載の発明では、ポケットはピンと穴の嵌め合わせによりトレイ本体に取り付けられるため、位置決め機構が簡単になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を用いて本発明を詳細に説明する。
図１及び図２は本発明の一実施例を示す構成図である。図２は図１のＡ方向から見た図である。これらの図で前出の図と同一のものは同一符号を付ける。
【００２４】
図１で、トレイ本体２０に検査対象デバイスを格納するポケット２１を設ける。トレイ本体２０は４辺に凸部が形成されていて、これらの凸部で検査対象デバイスを保持する。
ポケット２１はトレイ本体２０上に高精度に位置決めされて取り付けられている。トレイ本体２０に立てたピン２２をポケット２１の穴２３に嵌め合わせることによって、ポケット２１をトレイ本体２０上に取り付ける。ピン２２は高精度に位置決めされている。
【００２５】
ポケット２１内では検査対象デバイスはフリーな状態で格納されている。ポケット２１はマトリクス状に配列されている。
アライメントマーク２４はトレイ本体２０に付加されている。図の例ではトレイ本体２０の四隅にアライメントマーク２４が付加されているが、アライメントマーク２４は最低２箇所に存在すれば、トレイの位置や角度を検出することができる。
アライメントマーク２４は、例えばトレイ本体に開けた穴、トレイ本体に印刷したマーク、トレイ本体に開けた穴に樹脂を埋め込んだ構成等である。また、アライメントマーク２４は、トレイ本体にドーナッツ形の穴を開けた構成にしてもよい。
【００２６】
ポケット２１とアライメントマーク２４の位置関係は既知になっている。これにより、アライメントマーク２４の位置を画像計測すると、ポケット２１の位置を算出できる。ポケット２１の位置をもとに、テストヘッドのピンを当てる検査対象デバイスの位置を検出する。
【００２７】
図３はテストトレイとソケットの位置関係を示した図である。
図３で、ソケット３０はソケット取り付け基板３１に取り付けられている。ソケット取り付け基板３１はテストヘッド３２に取り付けられている。ソケット３０にはピン３３が設けられている。ピン３３は例えばポゴピンである。
【００２８】
検査対象デバイス４０はポケット２１に格納されている。搬送装置（図示せず）によりトレイ本体２０を上方へ移動し、検査対象デバイス４０の端子がピン３３に当たるように位置決めする。これによってコンタクトが成立する。この状態で検査対象デバイスの電気的特性を検査する。
【００２９】
ポケット２１はトレイ本体２０上に対して高精度に位置決めされている。
ソケットも規定の位置精度内で配置された状態でテストヘッドに取り付けられている。これにより、検査対象デバイスとソケットの間で機械的な位置決め機構なしにコンタクトを成立させ、デバイスのテストができる状態を作り出している。
【００３０】
通常のメモリハンドラは、テストヘッドにソケットが上向きに付いていて、検査対象デバイスを上から下に押すことによって検査対象デバイスとソケットをコンタクトさせる。
これに対して本発明が適用されるハンドラでは、テストヘッドにソケットが下向きに付いていて、検査対象デバイスを下から上に押すことによって検査対象デバイスとソケットをコンタクトさせる。
【００３１】
なお、実施例ではポケットに穴を設け、トレイ本体にピンを立てているが、ポケットにピンを立て、トレイ本体に穴を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施例を示す構成図である。
【図３】テストトレイとソケットの位置関係を示した図である。
【図４】検査対象デバイスの流れを示した説明図である。
【図５】従来におけるテストトレイの構成図である。
【図６】トレイインサートの構成図である。
【符号の説明】
【００３３】
２０  トレイ本体
２１  ポケット
２２  ピン
２３  穴
２４  アライメントマーク
４０  検査対象デバイス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2005055244.tif 000006
【図５】
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【図６】
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