(57)【要約】【課題】  生産計画立案において、ロット割り付けルールの蓄積、評価、検証が可能であり、最適な割り付けルールの適用によりサイクルタイムを短縮することができる技術を提供する。【解決手段】  生産管理に関する情報（製品の納期、仕掛り、原価および工程など）を記憶する生産管理情報部１４と、装置管理に関する情報（処理装置の状態および処理条件など）を記憶する装置管理情報部１５と、生産管理情報部１４または／および装置管理情報部１５の情報と割り付けルールから得られた割り付け情報（処理候補リスト記憶部１６１の情報）と人が実際に処理装置および処理順序の指示を行った情報（処理指示結果記憶部１７１の情報）との一致度（ヒットレート）を算出する演算部（ヒットレート演算部１９）と、を有する生産計画立案支援システム。【選択図】  図１
2005135117.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
工業製品の生産ラインにおける処理装置および処理順序の指示を支援する生産計画立案支援システムであって、
生産管理に関する情報を記憶する生産管理情報部と、
装置管理に関する情報を記憶する装置管理情報部と、
前記生産管理情報部または／および前記装置管理情報部の情報と割り付けルールから得られた割り付け情報と、人が実際に処理装置および処理順序の指示を行った情報と、の一致度を算出する演算部と、
を有することを特徴とする生産計画立案支援システム。
【請求項２】
請求項１記載の生産計画立案支援システムにおいて、
算出された前記一致度の結果に基づいて前記割り付けルールを評価する演算部をさらに有することを特徴とする生産計画立案支援システム。
【請求項３】
請求項１記載の生産計画立案支援システムにおいて、
算出された前記一致度を評価し、前記評価を前記割り付けルールにフィードバックして前記割り付けルールを最適化する演算部をさらに有することを特徴とする生産計画立案支援システム。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の生産計画立案支援システムにおいて、
前記生産管理に関する情報には、製品の納期、仕掛り、原価および工程の情報が含まれており、
前記装置管理に関する情報には、処理装置の状態および処理条件の情報が含まれていることを特徴とする生産計画立案支援システム。
【請求項５】
工業製品の生産ラインにおける処理装置および処理順序の指示を行う生産計画立案方法であって、
生産管理に関する情報を記憶する工程と、
装置管理に関する情報を記憶する工程と、
前記生産管理に関する情報または／および前記装置管理に関する情報と割り付けルールから得られた割り付け情報と、人が実際に処理装置および処理順序の指示を行った情報と、の一致度を算出する工程と、
を有することを特徴とする生産計画立案方法。
【請求項６】
請求項５記載の生産計画立案方法において、
算出された前記一致度の結果に基づいて前記割り付けルールを評価する工程をさらに有することを特徴とする生産計画立案方法。
【請求項７】
請求項５記載の生産計画立案方法において、
算出された前記一致度を評価し、前記評価を前記割り付けルールにフィードバックして前記割り付けルールを最適化する工程をさらに有することを特徴とする生産計画立案方法。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか１項に記載の生産計画立案方法において、
前記生産管理に関する情報には、製品の納期、仕掛り、原価および工程の情報が含まれており、
前記装置管理に関する情報には、処理装置の状態および処理条件の情報が含まれていることを特徴とする生産計画立案方法。
【請求項９】
請求項５〜８のいずれか１項に記載の生産計画立案方法を利用することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産計画立案支援システム、生産計画立案方法および半導体装置の製造方法に関し、特に工業製品の生産ラインにおける処理装置および処理順序などのロット（生産単位）割り付けに適用して有効な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置などの工業製品を製造する生産ラインでは、各種処理装置を使用して多数の処理工程を経て製品が生産され、同一の処理装置において異なる品種のロットや異なる工程の処理が行われる。そのため、生産計画立案に際して、どの処理装置で、どの順番で、どのロットを処理するか、というロットの割り付け（割り当て、割り振り）が生産効率を上げるために重要である。
【０００３】
本発明者が検討した技術として、例えば、半導体装置などの工業製品の生産ラインの生産計画立案においては、生産ラインにおけるロット割り付けの過程で、情報蓄積手段に蓄積された生産計画立案の専門家の知識に基づいて、ロット割り付け状態の判定、変更をすることにより、人の介入を最小限にする技術が考えられる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平６−３１８２１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、前記のような生産計画立案の技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。
【０００５】
例えば、ロット割り付け状態の判定、変更の結果が割り付けルールにフィードバックされないので、その判定、変更の結果が新たな割り付けに反映されない。また、蓄積された生産計画立案の専門家の知識を前提にしているため、専門家の介入が容易ではない。
【０００６】
そのため、割り付けルールの蓄積、評価、検証ができず、サイクルタイムの短縮が困難であることが考えられる。
【０００７】
そこで、本発明の目的は、生産計画立案において、ロット割り付けルールの蓄積、評価、検証が可能であり、最適な割り付けルールの適用によりサイクルタイムを短縮することができる技術を提供することにある。
【０００８】
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１０】
（１）本発明による生産計画立案支援システムは、生産管理に関する情報（製品の納期、仕掛り、原価および工程など）を記憶する生産管理情報部と、装置管理に関する情報（処理装置の状態および処理条件など）を記憶する装置管理情報部と、前記生産管理情報部または／および前記装置管理情報部の情報と割り付けルールから得られた割り付け情報と人が実際に処理装置および処理順序の指示を行った情報との一致度（ヒットレート）を算出する演算部（ヒットレート演算部）と、を有するものである。
【００１１】
（２）前記（１）の生産計画立案支援システムは、算出された前記一致度の結果に基づいて前記割り付けルールを評価・検証・蓄積・最適化する演算部（ディスパッチロジック演算部）をさらに有するものである。
【００１２】
（３）本発明による生産計画立案方法は、生産管理に関する情報（製品の納期、仕掛り、原価および工程など）を記憶する工程と、装置管理に関する情報（処理装置の状態および処理条件など）を記憶する工程と、前記生産管理に関する情報または／および前記装置管理に関する情報と割り付けルールから得られた割り付け情報と人が実際に処理装置および処理順序の指示を行った情報との一致度（ヒットレート）を算出する工程と、を有するものである。
【００１３】
（４）前記（３）の生産計画立案方法は、算出された前記一致度の結果に基づいて前記割り付けルールを評価・検証・蓄積・最適化する工程をさらに有するものである。
【００１４】
（５）本発明による半導体装置の製造方法は、前記（３）、（４）の生産計画立案方法を利用するものである。
【発明の効果】
【００１５】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００１６】
（１）割り付けルールから得られた割り付け結果と実際に人が行った指示内容との一致度（ヒットレート）を算出するので、割り付けルールの蓄積、評価、検証が可能となる。
【００１７】
（２）割り付けルールから得られた割り付け結果と実際の指示結果との一致度を算出することによって、割り付けルールを定量的に評価することができるので、最適な割り付けルールの適用によるサイクルタイムの短縮が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１の生産計画立案支援システムおよび生産計画立案方法を示すブロック図である。
【００２０】
まず、図１により、本実施の形態１の生産計画立案支援システムの構成の一例を説明する。本実施の形態１の生産計画立案支援システム１０は、例えば、半導体装置などの工業製品の生産ラインにおいて処理されるロットの割り付けを行うシステムとされ、表示部１１、入力部１２、仕掛り製品情報部１３、生産管理情報部１４、装置管理情報部１５、処理候補情報部１６、処理指示部１７、ディスパッチロジック演算部１８、ヒットレート演算部１９などからなり、仕掛り製品情報部１３は仕掛り製品リスト記憶部１３１などから構成され、生産管理情報部１４は生産管理割付条件記憶部１４１および生産管理割付結果記憶部１４２などから構成され、装置管理情報部１５は装置管理割付条件記憶部１５１および装置管理割付結果記憶部１５２などから構成され、処理候補情報部１６は処理候補リスト記憶部１６１などから構成され、処理指示部１７は処理指示結果記憶部１７１などから構成されている。
【００２１】
表示部１１および入力部１２は、各機能で共通のインタフェースである。
【００２２】
仕掛り製品情報部１３は、仕掛り情報の表示を行い、仕掛り製品リスト記憶部１３１において仕掛り情報の記録・管理を行うものである。
【００２３】
生産管理情報部１４は、生産管理割付条件記憶部１４１において、製品の納期、仕掛り、原価、工程などの生産管理に関する割り付け条件の記憶を行い、生産管理割付結果記憶部１４２において、その割り付け結果の記憶を行うものである。
【００２４】
装置管理情報部１５は、装置管理割付条件記憶部１５１において、処理装置の状態（処理室状態を含む）、処理条件などの装置管理に関する割り付け条件の記憶を行い、装置管理割付結果記憶部１５２において、その割り付け結果の記憶を行うものである。
【００２５】
処理候補情報部１６は、処理候補リスト記憶部１６１において、ロット割り付け候補の記憶を行うものである。
【００２６】
処理指示部１７は、人が実際にロット処理の指示を行った結果を処理指示結果記憶部１７１において記憶するものである。
【００２７】
ディスパッチロジック演算部１８は、割り付けルールを推定し、その推定した割り付けルールに従ってロット割り付けを行い、ヒットレート演算部１９のヒットレート演算結果により割り付けルールの評価・検証を行い、割り付けルールの変更・追加・蓄積を行うものである。
【００２８】
ヒットレート演算部１９は、処理候補リスト記憶部１６１および処理指示結果記憶部１７１の情報からヒットレート（一致度）を演算し、その演算結果をディスパッチロジック演算部１８へ伝送するものである。
【００２９】
次に、図１により、本実施の形態１の生産計画立案システムを利用した生産計画立案方法を説明する。本実施の形態１の生産計画立案方法は、例えば半導体装置などの工業製品の生産ラインにおいて処理されるロットの割り付けを行う方法とされ、以下の工程からなり、順に実行される。
【００３０】
（１）仕掛り製品情報部１３において、各処理装置における処理待ちのロット情報などの仕掛り情報を記録・管理する。その仕掛り情報は、仕掛り製品リスト記憶部１３１に記録される。
【００３１】
（２）生産管理情報部１４において、製品の納期、仕掛り、原価、工程などの生産管理に関する割り付け条件の記憶を行う。その割り付け条件は、生産管理割付条件記憶部１４１に記録される。
【００３２】
（３）ディスパッチロジック演算部１８において、生産管理割付条件記憶部１４１に記録されている割り付け条件および割り付けルールに基づいてロット割り付けを行い、その割り付け結果を生産管理割付結果記憶部１４２に記録する。また、割り付け結果は、装置管理情報部１５へ伝送される。
【００３３】
（４）装置管理情報部１５において、処理装置の状態（処理室状態を含む）、処理条件などの装置管理に関する割り付け条件の記憶を行う。その割付条件は、装置管理割付条件記憶部１５１に記録される。
【００３４】
（５）ディスパッチロジック演算部１８において、装置管理割付条件記憶部１５１に記録されている割り付け条件および割り付けルールに基づいてロット割り付けを行い、その割り付け結果を装置管理割付結果記憶部１５２に記録する。また、割り付け結果は、処理候補情報部１６へ伝送される。
【００３５】
（６）処理候補情報部１６において、ロット割り付け候補の記憶を行う。そのロット割り付け候補は、処理候補リスト記憶部１６１に記録される。
【００３６】
（７）処理指示部１７において、人が実際にロット処理を指示した結果の記憶を行う。その指示結果は、処理指示結果記憶部１７１に記録される。
【００３７】
（８）ヒットレート演算部１９において、処理候補リスト記憶部１６１の情報と処理指示結果記憶部１７１の情報から、ヒットレート（一致度）を演算し、その演算結果をディスパッチロジック演算部１８へ伝送する。
【００３８】
（９）ディスパッチロジック演算部１８において、ヒットレート演算部１９から伝送されたヒットレート演算結果から割り付けルールの評価・検証を行い、割り付けルールの変更・追加・蓄積を行い、その結果を新たなロット割り付けにフィードバックする。
【００３９】
したがって、本実施の形態１の生産計画立案支援システムおよび生産計画立案方法によれば、割り付けルールから得られた割り付け結果（処理候補リスト）と、実際に人が行った指示内容とのヒットレートを算出するので、割り付けルールの蓄積、評価、検証が可能となる。
【００４０】
また、人が判断して指示していた内容をデータベースに蓄積し、解析することによって、割り付けルールを推定し、その割り付けルールから得られた割り付け結果と、実際の指示結果とのヒットレートを算出することによって、割り付けルールを定量的に評価することができるので、最適な割り付けルールの適用によるサイクルタイムの短縮が可能となる。
【００４１】
（実施の形態２）
図２は、本発明の実施の形態２の生産計画立案支援システムおよび生産計画立案方法を示すブロック図である。
【００４２】
まず、図２により、本実施の形態２の生産計画立案支援システムの構成の一例を説明する。本実施の形態２の生産計画立案支援システム２０は、例えば、表示部２１、入力部２２、仕掛り製品情報部２３、生産管理情報部２４、装置管理情報部２５、処理候補情報部２６ａ，２６ｂ、処理指示部２７ａ，２７ｂ、ディスパッチロジック演算部２８、ヒットレート演算部２９ａ，２９ｂなどからなり、仕掛り製品情報部２３は仕掛り製品リスト記憶部２３１などから構成され、生産管理情報部２４は生産管理割付条件記憶部２４１および生産管理割付結果記憶部２４２などから構成され、装置管理情報部２５は装置管理割付条件記憶部２５１および装置管理割付結果記憶部２５２などから構成され、処理候補情報部２６ａは処理候補リスト記憶部２６１ａなどから構成され、処理候補情報部２６ｂは処理候補リスト記憶部２６１ｂなどから構成され、処理指示部２７ａは処理指示結果記憶部２７１ａなどから構成され、処理指示部２７ｂは処理指示結果記憶部２７１ｂなどから構成されている。
【００４３】
本実施の形態２の生産計画立案支援システム２０は、前記実施の形態１の変形例であり、処理候補情報部１６と処理指示部１７をそれぞれ生産管理情報と装置管理情報の２つに分けて、処理候補情報部２６ａ，２６ｂ、処理指示部２７ａ，２７ｂとしたものである。各構成機能は、前記実施の形態１と同じであるので、説明を省略する。
【００４４】
次に、図２により、本実施の形態２の生産計画立案システムを利用した生産計画立案方法を説明する。本実施の形態２の生産計画立案方法は、例えば、前記実施の形態１の変形例とされ、以下の工程からなり、順に実行される。
【００４５】
（１）仕掛り製品情報部２３において、各処理装置における処理待ちのロット情報などの仕掛り情報を記録・管理する。その仕掛り情報は、仕掛り製品リスト記憶部２３１に記録される。
【００４６】
（２）生産管理情報部２４において、製品の納期、仕掛り、原価、工程などの生産管理に関する割り付け条件の記憶を行う。その割り付け条件は、生産管理割付条件記憶部２４１に記録される。
【００４７】
（３）ディスパッチロジック演算部２８において、生産管理割付条件記憶部２４１に記録されている割り付け条件および割り付けルールに基づいてロット割り付けを行い、その割り付け結果を生産管理割付結果記憶部２４２に記録する。また、割り付け結果は、処理候補情報部２６ａへ伝送される。
【００４８】
（４）処理候補情報部２６ａにおいて、生産管理割付結果記憶部２４２からのロット割り付け候補の記憶を行う。そのロット割り付け候補は、処理候補リスト記憶部２６１ａに記録される。
【００４９】
（５）処理指示部２７ａにおいて、人が実際にロット処理を指示した結果の記憶を行う。その指示結果は、処理指示結果記憶部２７１ａに記録される。
【００５０】
（６）ヒットレート演算部２９ａにおいて、処理候補リスト記憶部２６１ａの情報と処理指示結果記憶部２７１ａの情報から、ヒットレート（一致度）を演算し、その演算結果をディスパッチロジック演算部２８へ伝送する。
【００５１】
（７）装置管理情報部２５において、処理装置の状態（処理室状態を含む）、処理条件などの装置管理に関する割り付け条件の記憶を行う。その割付条件は、装置管理割付条件記憶部２５１に記録される。
【００５２】
（８）ディスパッチロジック演算部２８において、装置管理割付条件記憶部２５１に記録されている割り付け条件および割り付けルールに基づいてロット割り付けを行い、その割り付け結果を装置管理割付結果記憶部２５２に記録する。また、割り付け結果は、処理候補情報部２６ｂへ伝送される。
【００５３】
（９）処理候補情報部２６ｂにおいて、装置管理割付結果記憶部２５２からのロット割り付け候補の記憶を行う。そのロット割り付け候補は、処理候補リスト記憶部２６１ｂに記録される。
【００５４】
（１０）処理指示部２７ｂにおいて、人が実際にロット処理を指示した結果の記憶を行う。その指示結果は、処理指示結果記憶部２７１ｂに記録される。
【００５５】
（１１）ヒットレート演算部２９ｂにおいて、処理候補リスト記憶部２６１ｂの情報と処理指示結果記憶部２７１ｂの情報から、ヒットレート（一致度）を演算し、その演算結果をディスパッチロジック演算部２８へ伝送する。
【００５６】
（１２）ディスパッチロジック演算部２８において、ヒットレート演算部２９ａ，２９ｂから伝送されたヒットレート演算結果から割り付けルールの評価・検証を行い、割り付けルールの変更・追加・蓄積を行い、その結果を新たなロット割り付けにフィードバックする。
【００５７】
したがって、本実施の形態２の生産計画立案支援システムおよび生産計画立案方法によれば、前記実施の形態１と同様の効果が得られるほか、処理候補情報部と処理指示部を生産管理情報と装置管理情報とに分けることにより、指示をする専門家が異なる場合などに、別々にヒットレートを求めることになるので、割り付けルールを個別に管理、評価することができる。
【００５８】
（実施の形態３）
図３は、本発明の実施の形態３の生産計画立案支援システムおよび生産計画立案方法を示すブロック図である。
【００５９】
まず、図３により、本実施の形態３の生産計画立案支援システムの構成の一例を説明する。本実施の形態３の生産計画立案支援システム３０は、例えば、表示部３１、入力部３２、仕掛り製品情報部３３、生産管理情報部３４、装置管理情報部３５、処理候補情報部３６、処理指示部３７、ディスパッチロジック演算部３８、ヒットレート演算部３９などからなり、仕掛り製品情報部３３は仕掛り製品リスト記憶部３３１などから構成され、生産管理情報部３４は生産管理割付条件記憶部３４１および生産管理割付結果記憶部３４２などから構成され、装置管理情報部３５は装置管理割付条件記憶部３５１および装置管理割付結果記憶部３５２などから構成され、処理候補情報部３６は処理候補リスト記憶部３６１などから構成され、処理指示部３７は処理指示結果記憶部３７１などから構成されている。
【００６０】
本実施の形態３の生産計画立案支援システム３０、およびその生産計画立案支援システム３０を利用した生産計画立案方法は、前記実施の形態１の変形例であり、生産管理情報による割り付けと、装置管理情報による割り付けの順序を入れ替えたものである。各構成機能は、前記実施の形態１と同じであるので説明を省略する。
【００６１】
したがって、本実施の形態３の生産計画立案支援システムおよび生産計画立案方法によれば、前記実施の形態１と同様の効果が得られるほか、割り付けの順序を入れ替えることにより、装置管理情報による影響が大きい場合に、処理のパフォーマンスが向上する。一方、生産管理情報による影響の方が大きい場合には、前記実施の形態１の方が有利である。
【００６２】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６３】
例えば、前記実施の形態においては、半導体装置などの工業製品の生産ラインについて説明したが、これに限定されるものではなく、他の工業製品の生産ラインについても適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
以上に述べたように、本願において開示される発明は、半導体装置などの工業製品の生産ラインについて適用可能であり、特に、同一の装置で異なる品種、工程のロットを処理する運用があるものについては効果が大きい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施の形態１の生産計画立案支援システムおよび生産計画立案方法を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態２の生産計画立案支援システムおよび生産計画立案方法を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態３の生産計画立案支援システムおよび生産計画立案方法を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０，２０，３０  生産計画立案支援システム
１１，２１，３１  表示部
１２，２２，３２  入力部
１３，２３，３３  仕掛り製品情報部
１４，２４，３４  生産管理情報部
１５，２５，３５  装置管理情報部
１６，２６ａ，２６ｂ，３６  処理候補情報部
１７，２７ａ，２７ｂ，３７  処理指示部
１８，２８，３８  ディスパッチロジック演算部
１９，２９ａ，２９ｂ，３９  ヒットレート演算部
１３１，２３１，３３１  仕掛り製品リスト記憶部
１４１，２４１，３４１  生産管理割付条件記憶部
１４２，２４２，３４２  生産管理割付結果記憶部
１５１，２５１，３５１  装置管理割付条件記憶部
１５２，２５２，３５２  装置管理割付結果記憶部
１６１，２６１ａ，２６１ｂ，３６１  処理候補リスト記憶部
１７１，２７１ａ，２７１ｂ，３７１  処理指示結果記憶部
【図１】
2005135117.tif 000003
【図２】
2005135117.tif 000004
【図３】
2005135117.tif 000005