(57)【要約】【課題】  粘性が高く小容量のシール材の脱泡を行う場合であっても効率よく脱泡を行うことができるシール材の製造方法及び製造装置を提供する。【解決手段】  一対の基板間に介装されて両者を接合させるシール材１０を容器１３に入れて撹拌し、減圧して第１脱泡処理を行った後、前記シール材１０を長筒状の中間容器に移し変えて、前記第１脱泡処理よりもさらに減圧して前記中間容器を回転運動させることで第２脱泡処理を行う。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板間に介装されて両者を接合させるシール材を製造するシール材の製造方法であって、
前記シール材を容器に入れて撹拌し、前記容器内を減圧する第１脱泡処理工程と、
前記第１脱泡処理工程の後に、前記シール材を中間容器に移し変え、前記第１脱泡処理工程よりも前記中間容器内をさらに減圧して前記中間容器を回転運動させる第２脱泡処理工程と、を有することを特徴とするシール材の製造方法。
【請求項２】
一対の基板間に介装されて両者を接合させるシール材を製造するシール材の製造方法であって、
前記シール材を容器に入れて撹拌し、前記容器内を減圧する第１脱泡処理工程と、
前記第１脱泡処理工程の後に、前記シール材を中間容器に移し変え、前記第１脱泡処理工程よりも前記中間容器内をさらに減圧しながら前記中間容器を回転運動させる第２脱泡処理工程と、を有することを特徴とするシール材の製造方法。
【請求項３】
前記第２脱泡処理工程は、前記中間容器を所定の中心軸に沿って公転させるとともに、前記中間容器自体の軸心に沿って自転させることで行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のシール材の製造方法。
【請求項４】
前記第２脱泡工程の後に、減圧した状態を維持しつつ前記中間容器にシール材描画用シリンジを装着して、前記中間容器中のシール材を前記シール材描画用シリンジに移載することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のシール材の製造方法。
【請求項５】
前記第１脱泡処理工程は、大気圧よりも減圧された第１の圧力と、該第１の圧力よりもさらに減圧された第２の圧力との間で圧力を交互に切り換えることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のシール材の製造方法。
【請求項６】
前記第２脱泡処理工程は、大気圧よりも減圧された第３の圧力と、該第３の圧力よりもさらに減圧された第４の圧力との間で圧力を交互に切り換えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載のシール材の製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一項に記載のシール材の製造方法を含むことを特徴とする液晶装置の製造方法。
【請求項８】
一対の基板間に介装されて両者を接合させるシール材を減圧して第１脱泡処理を行う第１脱泡部と、
前記シール材を保持した中間容器を回転運動させつつ、前記中間容器内を前記第１脱泡処理よりもさらに減圧して第２脱泡処理を行う第２脱泡部とを備えることを特徴とするシール材の製造装置。
【請求項９】
前記第２脱泡部は、前記中間容器中で回転運動する回転盤と、中心軸上に一端を接続された弾性部材とを備え、
前記シール材を保持した前記中間容器を前記回転盤上に回動可能に装着するとともに、前記中間容器の基端側に前記弾性部材の先端部分を装着可能としたことを特徴とする請求項８に記載のシール材の製造装置。
【請求項１０】
請求項８又は９に記載のシール材の製造装置を備えることを特徴とする液晶装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の基板間に介装されるシール材の脱泡を行うシール材の製造方法およびその装置、液晶装置の製造方法およびその装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネル等の液晶装置には、一対の基板をシール材を介して接合し、該シール材内に液晶を封入してなるものが知られている。この種の液晶装置は、一方の基板にシール材を例えば略矩形状に描画し、描画したシール材で区画される領域に液晶を滴下した状態で、他方の基板と貼り合わせることで製造される。
【０００３】
ところで、シール材として十分に脱泡していないものを用いて液晶表示装置を製造した場合、加熱加圧によってシール材を硬化させた後も気泡痕がシール材中に残留してしまい、液晶を注入する際に気泡痕から液晶が流出する等の不具合を生じてしまう。
このような不具合を防止する技術として、例えば、特許文献１には、シール材を容器中に保持させて第１の減圧を行い、一旦大気開放した後に、第１の減圧よりもさらに真空度を高めて第２の減圧を行うことにより、シール材から気泡を脱泡する技術が提案されている。
また、特許文献２には、取扱液（シール材）を真空状態にした容器内で回転させて、取扱液を遠心力で加速させて、容器内壁面に衝突させて流下させることで、取扱液から気泡を除去する技術が提案されている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２０００−２４６００７号公報
【特許文献２】特開２００１−３４１７０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の技術においては、一旦真空状態に減圧したものを大気開放して、再度減圧を行う工程を複数繰り返すので、処理時間が長期化するという問題がある。また、取扱液を遠心力で加速させて脱泡する場合には、容器が大型化してしまいコスト負担が大きくなってしまうという問題がある。
【０００５】
さらに、上述の従来の技術においては、脱泡対象のシール材の粘性が比較的低く（例えば粘度５×１０＾４ｃｐｓ程度）、容量の多い場合には適しているものの、シール材の粘性が比較的高く（例えば粘度３０〜５０×１０＾４ｃｐｓ程度）、容量の少ない場合（例えば５０ｃｃ以下）の場合には十分な脱泡効果が得られないという問題がある。
また、脱泡されたシール材を基板上に描画するためには、ディスペンサ用シリンジ内にプランジャを挿入して描画を行う必要があるが、ディスペンサ用シリンジにシール材を移し変える際に空気が混入してしまうと、シール材の性能が損なわれてしまうため、脱泡された状態を維持しつつディスペンサ用シリンジ内にシール材を挿入することが望まれている。
【０００６】
従って本発明は、粘性が高く小容量のシール材の脱泡を行う場合であっても効率よく脱泡を行うことができるシール材の製造方法およびその装置、液晶装置の製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るシール材の製造方法は、一対の基板間に介装されて両者を接合させるシール材を製造するシール材の製造方法であって、前記シール材を容器に入れて撹拌し、前記容器内を減圧する第１脱泡処理工程と、前記第１脱泡処理工程の後に、前記シール材を中間容器に移し変え、前記第１脱泡処理工程よりも前記中間容器内をさらに減圧して前記中間容器を回転運動させる第２脱泡処理工程と、を有することを特徴とする。
【０００８】
この発明によれば、前記第１脱泡処理工程で比較的大きな気泡が脱泡され、前記第２脱泡処理工程で前記中間容器中で前記シール材を回転運動させることで、シール材中に現れた気泡が表面に案内されて脱泡できるので、静置した状態では表面まで到達しない気泡も脱泡することができるとともに、回転運動させることでシール材が中間容器中で脱泡されつつ撹拌されるので、シール材全体の脱泡精度を高めることができる。従って、粘度が高く少量のシール材であっても、高い精度で効率よく脱泡することができる。
また、他の方法として、一対の基板間に介装されて両者を接合させるシール材を製造するシール材の製造方法であって、前記シール材を容器に入れて撹拌し、前記容器内を減圧する第１脱泡処理工程と、前記第１脱泡処理工程の後に、前記シール材を中間容器に移し変え、前記第１脱泡処理工程よりも前記中間容器内をさらに減圧しながら前記中間容器を回転運動させる第２脱泡処理工程と、を有する構成とすることができる。この場合においても、粘度が高く少量のシール材であっても、高い精度で効率よく脱泡することができる。
【０００９】
また、前記第２脱泡処理工程は、前記中間容器を所定の中心軸に沿って公転させるとともに、前記中間容器自体の軸心に沿って自転させることで行うことが好ましい。
このようにすると、前記シール材が中間容器内でより細やかに撹拌されることで、より高い精度で効率よく脱泡を行うことができる。
【００１０】
また、前記第２脱泡処理工程の後に、減圧した状態を維持しつつ前記中間容器にシール材描画用シリンジを装着して、前記中間容器中のシール材をシール材描画用シリンジに移載することが好ましい。これにより、前記シール材の脱泡状態を維持しつつ に移載できるので、前記基板上に描画されるシール材の信頼性を高めることができる。
【００１１】
また、前記第１脱泡処理工程は、大気圧よりも減圧された第１の圧力と、該第１の圧力よりもさらに減圧された第２の圧力との間で圧力を交互に切り換えることが好ましい。このようにすると、大気開放する場合に比べて、短時間で圧力の切換制御することができ、その分切換制御の回数を増やすことができるので、より効率よく、脱泡処理を行うことができる。
また、前記第２脱泡処理工程は、大気圧よりも減圧された第３の圧力と、該第３の圧力よりもさらに減圧された第４の圧力との間で圧力を交互に切り換えることが好ましい。このようにした場合にも、より効率よく、脱泡処理を行うことができる。
そして、上述のシール材の製造方法を含む液晶装置の製造方法とすると、高い精度で効率よく脱泡されたシール材を用いて液晶装置を製造することができるので、液晶装置の品質や信頼性を向上することができる。
【００１２】
本発明に係るシール材の製造装置は、一対の基板間に介装されて両者を接合させるシール材を減圧して第１脱泡処理を行う第１脱泡部と、前記シール材を保持した中間容器を回転運動させつつ、前記第１脱泡処理よりもさらに減圧して第２脱泡処理を行う第２脱泡部とを備えることを特徴とする。
この発明によれば、前記第１脱泡部により比較的大きな気泡を脱泡した後で、前記第２脱泡部により前記中間容器中で前記シール材を回転運動させることで、粘度が高く少量のシール材であっても、高い精度で効率よく脱泡することができる。
【００１３】
また、前記第２脱泡部は、前記中間容器中で回転運動する回転盤と、中心軸上に一端を接続された弾性部材とを備え、前記シール材を保持した前記中間容器を前記回転盤上に回動可能に装着するとともに、前記中間容器の基端側に前記弾性部材の先端部分を装着可能とすることが好ましい。
【００１４】
このようにすると、前記回転盤上に装着された前記中間容器は、前記回転盤とともに、回転中心に対して公転運動をするが、その際に前記中間容器基端側に装着された弾性部材により前記中間容器をその軸心に沿って回転させる回転力が作用するので、前記中間容器は公転運動に伴って自転運動を行うことになる。従って、前記中間容器中のシール材は、より細やかに撹拌されることになるので、精度よく効率的に脱泡処理を行うことができる。
また、シール材の製造装置を備える液晶装置の製造装置とすると、製造される液晶装置の品質や信頼性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態における液晶装置の製造方法及び装置を図面と共に説明する。
ここで、液晶装置の製造方法としては、図９に示すように、基板上に透明電極や配向膜等の作製するＴＦＴ基板作製工程（Ｓ１）と、基板の周縁部に所定のパターンでシール材を描画するシール材描画工程（Ｓ２）と、シール材で区画された領域に液晶を滴下する液晶滴下工程（Ｓ３）と、ＴＦＴ基板に対向する対向基板を作製する対向基板作製工程（Ｓ４）と、液晶が滴下される領域に対向する部位にスペーサを散布するスペーサ散布工程（Ｓ５）と、両者の基板を貼り合わせる貼り合わせ工程（Ｓ６）を有しているものが一般的であるが、本実施の形態においては、シール材描画工程で使用されるシール材の脱泡工程について特に詳細に説明する。なお、上述した液晶装置の製造方法は、一例であり、これらの工程に適宜追加、変更を行ってもよいことはもちろんである。
【００１６】
図１は本発明の実施の形態における液晶装置の製造工程の、シール材１０の撹拌工程を示す説明図である。同図に示すように、ビーカー１３中に保持されたシール材１０中に、散布された弾性部材（ＥＢ）であるスペーサ１４を散布して、撹拌棒１２で撹拌する。これにより、シール材１０中にスペーサ１４が略均一に混入される。この撹拌工程は、作業者が直接手作業で行ってもよいし、撹拌ロボットにより機械的に行ってもよい。
なお、以下の工程において、シール材１０中にはスペーサ１４が混入されているが、スペーサ１４は以下の工程に直接関係するものではないので、スペーサ１４について図示と説明を省略する。
【００１７】
図２は本発明の実施の形態における液晶装置の製造工程の、シール材荒脱泡工程を示す説明図である。同図に示すように、シール材１０を内部に保持したビーカ１３を、真空チャンバ２１内に配置する。真空チャンバ２１は、その室内の圧力を計測する圧力計２２と、エア通路２７に接続された真空ポンプ２６と、他のエア通路２４に設けられた開閉バルブ２３とを備えている。
そして、上述の荒脱泡工程においては、真空チャンバ２１を作動させて室内のエアをエア通路２７を介して排出し、室内の減圧を行うことで、シール材１０中に混入している比較的大きい気泡１５を脱泡する。
【００１８】
ここで、この荒脱泡工程は、室内の圧力を、大気圧よりも減圧された第１の圧力（例えば、約２０００Ｐａ）と、該第１の圧力よりもさらに減圧された第２の圧力（例えば、約３〜４Ｐａ）との間で圧力を交互に切り換えることが好ましい。このようにすると、室内の圧力を減圧してから大気開放する場合に比べて、短時間で圧力の切換制御することができ、その分切換制御の回数を増やすことができるので、より効率よく、脱泡処理を行うことができる。
【００１９】
図３、図４は本発明の実施の形態における精脱泡工程を示す説明図である。同図に示すように、荒脱泡工程を行った後のシール材１０をシリンジ３１中に注入する。本実施の形態におけるシリンジ３１は、略円筒状の本体部３１ａと、本体部３１ａよりも縮径された略円筒状をなして本体部３１ａの軸心先端側に突出形成される先端部３１ｂと、本体部３１ａよりも径方向外側に突出形成されるフランジからなる基端部３１ｃとから構成されている。シリンジ３１の先端部３１ｂにはキャップ３２が装着され、これによりシリンジ３１に注入されたシール材１０が先端部３１ｂから流出するのを防止している。
【００２０】
そして、図３に示すように、シール材１０を保持したシリンジ３１を、真空雰囲気（２Ｐａ程度）中においてその先端部３１ｂを径方向外側に向けた状態で、後述する精脱泡装置５０（図５参照）により回転軸Ｐに対して矢印Ｓのように高速で（５００ｒｐｍより上の回転数で）回転運動させる。ここで、回転速度を高速にすることで、シリンジ３１に作用する遠心力を重力に対して大きくすることで、シリンジ３１の姿勢を回転軸Ｐに対して直交する水平方向に維持させることができる。これにより、シリンジ３１内に注入されたシール材１０に遠心力Ｔを作用させて、シール材１０を径方向外側に片寄せることができる。加えて、精脱泡装置５０にシリンジ３１を装着する際に、シール材１０に混入した気泡を脱泡することができる。
【００２１】
さらに、矢印Ｓの回転速度を低下させる（例えば５００ｒｐｍ以下の回転数）ことで、シリンジ３１に作用する遠心力を低下させて重力の作用を大きくすることで、シリンジ３１の先端部３１ｂを下降させて、係止部４１により係止された状態で回転する。
これにより、シリンジ３１の先端側に片寄せられていたシール材１０の表面が略水平になるように、基端側にも移動する。従って、減圧された真空雰囲気中に晒されるシール材１０の表面積を大きくすることができ、その分多くの細かい気泡３４を除去できるため、より効率的に脱泡処理を行うことができる。
【００２２】
加えて、詳細は後述するが、シリンジ３１を矢印Ｓのように回転（公転）させつつ、シリンジ３１自身の軸心に沿って矢印Ｕのように回転（自転）させる。このようにすることで、シール材１０がシリンジ３１内でより細やかに撹拌されるので、より高い精度で効率よく脱泡を行うことができる。
【００２３】
以下、より具体的に説明する。図５は、図３、図４の工程で使用される脱泡装置を示す説明図である。同図に示すように、精脱泡装置５０は、上部が開口する有底筒状のチャンバ本体５１と、このチャンバ本体５１の上部に被せられることでその上部開口を閉塞させる蓋部５２とを備えている。
チャンバ本体５１と蓋部５２とはその一端側に回動可能なヒンジ部６０を介して回動可能に接続されている。そして、チャンバ本体５１上面には、Oリング溝が加工されており、Oリング５６が装着されている。そして蓋部５２下面がOリング５６に全面接触しているためチャンバ室内に密閉空間を形成できるようにしている。
【００２４】
チャンバ本体５１には、真空ポンプ５３がシール５５を介して接続され、真空ポンプ５３を作動させることでチャンバ室内の圧力を減圧できるようにしている。また、チャンバ本体５１には、室内の圧力を計測する圧力計５４も接続され、検出された圧力に基づいて真空ポンプ５３の制御が行われる。
【００２５】
チャンバ本体５１内壁面上部には、中心方向に延在するアーム５８が横設されており、前記アーム５８には、センタシャフト４７に対向する部位に、連結部６２が設けられている。連結部６２には、フレキシブルシャフト６３の一端が装着されている。
【００２６】
チャンバ本体５１内の底面中心部には、センタシャフト４７がベアリング４８を介して回動可能に貫通している。センタシャフト４７は、その下端部に駆動モータ４９が連結されるとともに、チャンバ本体５１内に突出する上端部には、同一軸心の回転盤４６が一体的に連結されている。これにより、駆動モータ４９を作動させることにより、回転盤４６はセンタシャフト４７とともに一体的に回転することができる。
【００２７】
回転盤４６には、ホルダ部材４２と、係止部４１とがそれぞれ設けられている。ホルダ部材４２は、回転盤４６上に立設する支持脚４５と、先端側が屈曲された略Ｌ字状のホルダ本体４３と、ホルダ本体４３を支持脚４５に回動可能に連結するヒンジ部４４と、ホルダ本体４３の基端側に設けられるチャック部６４とを有している。ホルダ部材４２は、シリンジ３１を保持するためのものであり、シリンジ先端部３１ｂが回転盤４６の径方向外側を向くように、ホルダ本体４３上に配置される。また、ホルダ本体４３の先端には、開口部が形成されている。この開口部にシリンジ先端部３１ｂを挿入することで、シリンジ３１を径方向に対して位置決めされた状態で、シリンジ３１の軸心方向に対して回動可能に保持させる。また、チャック部６４には、ホルダ本体４３に対して回動可能に取り付けられ、フレキシブルシャフト６３の他端部が装着されている。
また、係止部４１は、ホルダ本体４３先端側の回動軌跡に交わるように、回転盤４６上に立設されており、自重により先端が下降したホルダ本体４３を係止できるようにしている。
【００２８】
このようにすると、前記回転盤４６上に装着されたシリンジ３１は、回転盤４６とともに、回転中心に対して公転運動をするが、その際にシリンジ３１基端側に装着されたフレキシブルシャフト６３によりシリンジ３１をその軸心に沿って回転させる回転力が作用する。これにより、シリンジ３１は回転中心Ｏに対する公転運動（図４の矢印Ｓ参照）に伴ってシリンジ３１の軸心に対する自転運動（図４の矢印Ｕ参照）を行うことになる。従って、シリンジ３１中のシール材１０は、より細やかに撹拌されることになるので、細かい気泡３４を精度よく効率的に脱泡することができる。
そして、再度、図３に示したシリンジ３１の高速回転運動を短時間（１分程度）行って、シリンジ３１中のシール材１０を先端側に片寄せた後に、プランジャ挿入工程を行う。
【００２９】
図６は本発明の実施の形態におけるプランジャ挿入工程を示す説明図である。同図に示すように、本工程を行う真空チャンバ７１には、室内を減圧する真空ポンプ７８が接続され、室内の圧力を計測する圧力計７２と、室内に空気を流通させるエア通路７６と、エア通路７６の開放や遮断を制御する開閉弁７７が設けられている。
また、チャンバ７１の天井部中心には、Oリング７４を介して上下方向に移動可能な昇降ロッド７３が貫通配置され、昇降ロッド７３の下端部には押圧板７５が装着されている。
【００３０】
一方、チャンバ７１内部には、スタンド治具８１が配設されている。スタンド治具８１は、ベース部８５と、該ベース部８５に対して垂直に立設する立設部８６と、立設部８６の上部、中部、下部からそれぞれ延在する上部アーム８２、中部アーム８３、下部アーム８４とを備えている。上部アーム８２、中部アーム８３には、それぞれシリンジ３１の本体部３１ａ、先端部３１ｂと略同一の径の開口部が形成されており、それぞれの開口部にシリンジ３１の本体部および先端部を保持させることで、シリンジ３１の先端部３１ｂが下向きに、基端部３１ｃが上向きになるように配置する。また、シリンジ３１の基端部３１ｃ上には、シリンジ３１の内壁面よりも若干拡径してなるプランジャ８９が配置される。このとき、スタンド治具８１は、プランジャ８９と押圧板７５とが互いに対向するように位置決めされている。
【００３１】
そして、シール材１０のディスペンサ移載工程を行う。図７は本発明の実施の形態におけるディスペンサ移載工程を示す説明図である。同図に示すように、プランジャ８９と押圧板７５との間にピストン９０を介装しておく。このとき、シリンジ３１の先端部からキャップ３２は取り外されており、下部アーム８４には、両端が開口した略円筒状のディスペンサ用シリンジ９１が保持されている。ディスペンサ用シリンジ９１内には、プランジャ９２が挿入されている。また、ディスペンサ用シリンジ９１の外表面先端部には、ネジ部９３が形成されている。
【００３２】
そして、開閉バルブ７６を閉じてエア通路７７を遮断した状態で、真空ポンプ７８を作動させて真空チャンバ７１内を減圧する（約１００Ｐａ以下）。この状態で、昇降ロッド７３を下降させて、押圧板７５の押し下げ力をピストン９０を介してプランジャ８９に伝達させる。これにより、プランジャ８９をシリンジ３１内部に挿入させつつ下降させる。
この動作を継続されることで、シリンジ３１内に保持されているシール材１０が、下降するプランジャ８９に押圧されてシリンジ先端部３１ｂから吐出される。一方、シリンジ３１の下側には、ディスペンサ用シリンジ９１が内部にプランジャ９２を挿入した状態で配設されている。これにより、シリンジ３１から吐出されるシール材１０をディスペンサ用シリンジ９１内に注入することができる。なお、本実施の形態においては、ピストン９０を使用してシリンジ３１からディスペンサ用シリンジ９１にシール材１０を注入させたが、ピストン９０の代わりにアダプタを用いてもよい。
【００３３】
図８は本発明の実施の形態におけるディスペンサヘッダ装着工程を示す説明図である。同図に示したように、ディスペンサヘッダ１０２は、略キャップ状に形成されている。そして、その基端側にはディスペンサ用シリンジ９１に形成されたネジ部９２に対応するネジ部１０４が形成され、先端側にはシール材１０の吐出通路１０３が形成されている。
このように構成されたヘッダ１０２を図示しない固定治具により保持しておくとともに、シール材１０を保持するディスペンサ用シリンジ９１を前記ヘッダ１０２に対向させて配置し、ディスペンサ用シリンジ９１の基端側に配置した回動棒により、対向する両者９１、１０２のネジ部９３、１０４を互いに螺合させることで、両者９１、１０２を一体化させる。これにより、脱泡されたシール材１０に気泡が混入することなく、ディスペンサに保持させることができるので、基板内に描画されるシール材１０に気泡が混入することを防止できる。従って、前記シール材１０の脱泡状態を維持しつつディスペンサ用シリンジ９１に移載できるので、前記基板上に描画されるシール材１０の信頼性を高めることができる。
【００３４】
以上説明したように、前記荒脱泡工程で比較的大きな気泡１５が脱泡され、前記精脱泡工程で前記シリンジ３１中で前記シール材１０を回転運動させることで、シール材１０中に現れた気泡３４が表面に案内されて脱泡できるので、静置した状態では表面まで到達しない気泡３４も脱泡することができるとともに、回転運動させることでシール材１０がシリンジ３１中で脱泡されつつ撹拌されるので、シール材１０全体の脱泡精度を高めることができる。従って、粘度が高く少量のシール材１０であっても、高い精度で効率よく脱泡することができる。
【００３５】
なお、本発明の適用対象は、上述した実施の形態のみに限られるものではなく、例えば、予め液晶の注入口が形成されるようにシール材を基板の一方に描画しておき、両基板を貼り合わせた後で、液晶を注入して製造される液晶装置にも適用することができる。さらに、複数のシール材が描画された基板母材の周縁部に描画されるダミーシール材についても適用することができる。また、液晶装置のタイプとしては、パッシブマトリックス型、アクティブマトリックス型、あるいは透過型、反射型、半透過反射型いずれにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態における液晶装置の製造工程の、撹拌工程を示す説明図である。
【図２】本発明の実施の形態における液晶装置の製造工程の、シール材荒脱泡工程を示す説明図である。
【図３】本発明の実施の形態における精脱泡工程を示す説明図である。
【図４】本発明の実施の形態における精脱泡工程を示す説明図である。
【図５】図３、図４の工程で使用される脱泡装置を示す説明図である。
【図６】本発明の実施の形態におけるプランジャ挿入工程を示す説明図である。
【図７】本発明の実施の形態におけるディスペンサ移載工程を示す説明図である。
【図８】本発明の実施の形態におけるディスペンサのヘッダ装着工程を示す説明図である。
【図９】本発明の実施の形態における液晶装置の製造方法の概略工程を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０  シール材、１３  ビーカ、３１  シリンジ、５０  精脱泡装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005095745.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005095745.tif 000009
【図８】
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【図９】
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