(57)【要約】      （修正有）【課題】熱処理工程時に、搬送用治具からディスプレイパネル基板に異物が付着して、この異物によって基板の製品不良が発生するのを防止する。【解決手段】熱処理が行われるディスプレイパネル基板を載せたセッタ・ガラスSが焼成炉2内に搬入され、焼成炉2内を通過後、基板が降ろされたセッタ・ガラスSが、リターンコンベア11によって焼成炉2の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、焼成炉2内に搬入されるディスプレイパネル基板製造装置において、リターンコンベア11と焼成炉2の入口側との間に、リターンコンベア11によって搬送されてきたセッタ・ガラスSの洗浄を行う湿式洗浄部12が設けられている。【選択図】図２
2005019324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱処理が行われるディスプレイパネル基板を保持した搬送用治具が熱処理工程が行われる第１搬送路に沿って搬送され、基板の保持を解除された搬送用治具が第２搬送路に沿って第１搬送路の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、第１搬送路に沿って搬送されるディスプレイパネル基板製造装置において、
前記第２搬送路に、この第２搬送路に沿って搬送される搬送用治具の洗浄を行う洗浄部が設けられていることを特徴とするディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項２】
前記洗浄部が湿式洗浄部である請求項１に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項３】
前記洗浄部が、第２搬送路上の搬送用治具に向かって洗浄液を噴射する洗浄用ノズル部材を備えている請求項２に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項４】
前記洗浄用ノズル部材が、第２搬送路の上方位置と下方位置にそれぞれ配置されて、第２搬送路上の搬送用治具に向かって上方と下方から洗浄液が噴射される請求項３に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項５】
前記洗浄用ノズル部材の設置位置の搬送路に沿って下流側位置に、第２搬送路上の搬送用治具に向かって仕上げ用洗浄液を噴射する仕上げ洗浄用ノズル部材が配置されている請求項３に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項６】
前記仕上げ洗浄用ノズル部材が、第２搬送路の上方位置と下方位置にそれぞれ配置されて、第２搬送路上の搬送用治具に向かって上方と下方から仕上げ用洗浄液が噴射される請求項５に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項７】
前記洗浄部が、第２搬送路上の搬送用治具に接触される洗浄用ブラシを備えている請求項２に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項８】
前記洗浄用ブラシが、第２搬送路の上方位置と下方位置にそれぞれ配置されて、第２搬送路上の搬送用治具に上方と下方から接触される請求項７に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項９】
前記洗浄部が、第２搬送路上の搬送用治具に向かって洗浄液を噴射する洗浄用ノズル部材と、第２搬送路上の搬送用治具に接触される洗浄用ブラシとを備えていて、洗浄用ブラシが、第２搬送路の洗浄用ノズル部材から洗浄液が噴射される区間内に配置されている請求項２に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項１０】
前記洗浄部が、第２搬送路上の搬送用治具に接触される水切り用吸水部材を備えている請求項２に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項１１】
前記水切り用吸水部材が、第２搬送路の上方位置と下方位置にそれぞれ配置されて、第２搬送路上の搬送用治具に上方と下方から接触される請求項１０に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項１２】
前記洗浄部が、第２搬送路上の搬送用治具に向かって圧縮空気を噴射する水切り用エア噴射部材を備えている請求項２に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項１３】
前記水切り用エア噴射部材が、第２搬送路の上方位置と下方位置にそれぞれ配置されて、第２搬送路上の搬送用治具に上方と下方から圧縮空気を噴射する請求項１２に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【請求項１４】
前記搬送用治具が耐熱ガラス板である請求項１に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ディスプレイパネルの基板を製造する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）やフィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）等のフラットディスプレイパネルは、二枚のガラス基板が互いに対向するように配置され、この二枚の基板の間に、画像形成のための構造物が形成された構造を備えている。
【０００３】
図１は、このような構造物が形成されたディスプレイパネル基板の焼成を行うための従来のディスプレイパネル基板製造装置を示している。
【０００４】
このようなディスプレイパネル基板製造装置においては、ＰＤＰ等の基板は、焼成炉内での高温処理に伴って軟化や変形が発生するのを防止するために、基板よりも耐熱性が高い耐熱ガラスによって構成されるセッタと呼ばれる搬送用治具に載せられて、焼成炉内を搬送される。
【０００５】
このセッタ・ガラスに載せられた基板は、図１において、搬入部１から焼成炉２内に搬入されて、この焼成炉２内をコンベアによって搬送されながら加熱されることにより、基板上に形成されている構造物の焼成が行われる。
【０００６】
そして、焼成炉２内から搬出部３に基板を載せたセッタ・ガラスが搬出されてくると、セッタ・ガラスから基板が降ろされて次工程に送られ、基板が降ろされたセッタ・ガラスは、リターンコンベア４によって搬入部１に返送される。
【０００７】
この搬入部１に戻されたセッタ・ガラスには、新しい基板が搭載されて、再度、焼成炉２に搬入される。
このようにして、セッタ・ガラスが循環されながら、基板の焼成工程が連続して行われる（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００３−６５６７８号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような基板の焼成工程に使用される従来のディスプレイパネル基板製造装置において、循環されて繰り返し使用されるセッタ・ガラスには、コンベア等の搬送機構に付着している異物や基板との接触によって発生する研磨粉，セッタ・ガラス自体の摩耗による研磨粉，基板の割れや欠け等が発生した際に残ったガラス小片等が付着して、そのセッタ・ガラスの使用回数が増加するにしたがって蓄積されてゆく。
【００１０】
このため、このセッタ・ガラスが繰り返し使用される際に、セッタ・ガラスに付着している異物がセッタ・ガラスから新たに搭載される基板に付着されることによって、この異物による基板の製品不良を発生させてしまうという問題が発生する。
【００１１】
このような問題は、搬送用治具として金属製のキャリア・カート等を使用する場合などにも、高温による錆等が発生するために、同様に生じる。
【００１２】
この発明は、上記のような従来のディスプレイパネル基板製造装置において発生する問題点を解決することを、その解決課題の一つとしているものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
第１の発明によるディスプレイパネル基板製造装置は、上記目的を達成するために、熱処理が行われるディスプレイパネル基板を保持した搬送用治具が熱処理工程が行われる第１搬送路に沿って搬送され、基板の保持を解除された搬送用治具が第２搬送路に沿って第１搬送路の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、第１搬送路に沿って搬送されるディスプレイパネル基板製造装置において、前記第２搬送路に、この第２搬送路に沿って搬送される搬送用治具の洗浄を行う洗浄部が設けられていることを特徴としている。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の最も好適と思われる実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明を行う。
【００１５】
図２は、この発明によるディスプレイパネル基板製造装置の実施形態における一例を示す平面図である。
【００１６】
この図２において、ディスプレイパネル基板製造装置１０は、焼成を行う基板をセッタ・ガラス上に搭載させる搬入部１と、この搬入部１に隣接して配置された焼成炉２と、この焼成炉２の搬送方向の下流側に配置された搬出部３とを備えている。
【００１７】
以上の構成は、図１の従来のディスプレイパネル基板製造装置と同様である。
【００１８】
このディスプレイパネル基板製造装置１０には、搬出部３から焼成炉２に沿って搬入部１の方向に平行に延びるリターンコンベア１１が配置されている。
【００１９】
このリターンコンベア１１の先端部は、搬入部１に対して所定の間隔を開けた手前位置に位置されており、このリターンコンベア１１の先端部と搬入部１との間に、湿式洗浄部１２が配置されている。
【００２０】
図３は、この湿式洗浄部１２の内部の構造を示す側断面図である。
この図３において、湿式洗浄部１２のケーシング１２Ａの内部には、水平方向に複数のローラコンベア１２Ｂが配置されており、この複数のローラコンベア１２Ｂによって、リターンコンベア１１の搬送面ｍと同一高さにおいて直線状に延びる搬送面ｎが形成されていて、ローラコンベア１２Ｂの駆動によって、セッタ・ガラスＳが、この搬送面ｎ上を矢印ｆの方向に搬送されるようになっている。
【００２１】
そして、このケーシング１２Ａ内には、入口側（図３において右側）に、搬送面ｎに沿ってその上方と下方位置に、それぞれ複数個（図示の例では、それぞれ３個）ずつの洗浄用シャワ・ノズル１２Ｃが搬送面ｎと平行に配列されるように取り付けられていて、この各洗浄用シャワ・ノズル１２Ｃに接続されている図示しない洗浄液循環ポンプの駆動によって、後述するように、洗浄用シャワ・ノズル１２Ｃから、搬送面ｎ上を搬送されてくるセッタ・ガラスＳの上面と下面に向かって洗浄液が吹き付けられるようになっている。
【００２２】
この第１洗浄用シャワ・ノズル１２Ｃが配列されている区間の途中の搬送面ｎを挟んだ上下位置に、互いに対向されて対になっている洗浄用ブラシ・ローラ１２Ｄが取り付けられている。
【００２３】
この上下一対の洗浄用ブラシ・ローラ１２Ｄは、互いに搬送面ｎにおいて接しているかセッタ・ガラスＳの厚さ以下の間隔で対向されていて、搬送面ｎ上を搬送されてきたセッタ・ガラスＳがこの上下の洗浄用ブラシ・ローラ１２Ｄ間を通過する際に、セッタ・ガラスＳの上面と下面にそれぞれ押接されるようになっている。
【００２４】
そして、この洗浄用ブラシ・ローラ１２Ｄは、それぞれ、搬送面ｎと直交する方向に延びる水平向きの回転軸１２Ｄａを中心に回転自在になっていて、図示しない駆動モータによって回転されるようになっている。
【００２５】
洗浄用シャワ・ノズル１２Ｃの取付位置の下流側には、搬送面ｎの上方と下方位置に、それぞれ仕上げ洗浄用シャワ・ノズル１２Ｅが（図示の例では、一個ずつ）取り付けられていて、この各仕上げ洗浄用シャワ・ノズル１２Ｅに接続されている図示しない洗浄液供給ポンプの駆動によって、後述するように、搬送面ｎ上を搬送されてくるセッタ・ガラスＳの上面と下面に向かって仕上げ用洗浄液が吹き付けられるようになっている。
【００２６】
さらに、この仕上げ洗浄用シャワ・ノズル１２Ｅの取付位置の下流側には、搬送面ｎの上下において対になっている（この図示の例では二対の）水切り用スポンジ・ローラ１２Ｆが、取り付けられている。
【００２７】
この水切り用スポンジ・ローラ１２Ｆは、上下のスポンジ・ローラが、各対毎に、搬送面ｎの位置で互いに接するか、または、セッタ・ガラスＳの厚さよりも小さい間隔を開けた状態で配置されていて、搬送面ｎ上を搬送されてきたセッタ・ガラスＳがこの水切り用スポンジ・ローラ１２Ｅの上下のスポンジ・ローラ間を通過する際に、各スポンジ・ローラがセッタ・ガラスＳの上面と下面にそれぞれ押接されるようになっている。
【００２８】
この水切り用スポンジ・ローラ１２Ｆの下流側には、さらに、搬送面ｎを挟んで上方と下方の位置に、セッタ・ガラスＳの厚さ以上の間隔を開けて互いに対向される一対の水切り用エアナイフ１２Ｇが配置されていて、この水切り用エアナイフ１２Ｇに接続された図示しないコンプレッサの駆動によって、搬送面ｎに沿って搬送されてきたセッタ・ガラスＳの上面と下面に、水切り用の圧縮空気を吹き付けるようになっている。
【００２９】
次に、上記ディスプレイパネル基板製造装置１０の作動について説明を行う。
【００３０】
図２において、焼成処理を行う基板は、前工程の処理が終わった後に矢印ａの方向から搬入部１に搬入されて、セッタ・ガラス上に載せられる。
【００３１】
この後、基板は、このセッタ・ガラスに載せられた状態で焼成炉２内に搬入され、この焼成炉２内を矢印ｂの方向に搬送されながら高温で加熱されることによって、基板上に形成された構成物の焼成処理が行われる。
【００３２】
そして、焼成炉２内を通過して、搬出部３上に搬出されてきた基板は、この搬出部３においてセッタ・ガラス上から降ろされて、次の工程に向けて矢印ｃの方向に送られる。
【００３３】
一方、セッタ・ガラスは、基板が降ろされた後、矢印ｄの方向に反転されてリターンコンベア１１上に載せられ、このリターンコンベア１１によって、湿式洗浄部１２に向けて焼成炉２における搬送方向ｂとは逆の矢印ｅの方向に搬送される。
【００３４】
次いで、図３に示されるように、湿式洗浄部１２の搬入口までリターンコンベア１１によって搬送されてきたセッタ・ガラスＳは、ローラコンベア１２Ｂによって搬送されて、ケーシング１２Ａ内を搬送面ｎに沿って矢印ｆの方向に搬送されてゆく。
【００３５】
そして、先ず、セッタ・ガラスＳに、搬送面ｎの上方と下方に配置されている洗浄用シャワ・ノズル１２Ｃから洗浄液が吹き付けられ、さらに、上下に対になって回転されている洗浄用ブラシ・ローラ１２Ｄの間を通過することによって、このセッタ・ガラスＳの上面と下面の一次洗浄が行われて、セッタ・ガラスＳに付着している研磨粉などの異物が除去される。
【００３６】
この一次洗浄が行われたセッタ・ガラスＳは、次に、搬送面ｎを挟んで上下に配置されている一対の仕上げ洗浄用シャワ・ノズル１２Ｅの間を通過して、この仕上げ洗浄用シャワ・ノズル１２Ｅからセッタ・ガラスＳの上面と下面に仕上げ用の洗浄液が吹き付けられることにより、一次洗浄に使用された洗浄液が洗い流される。
【００３７】
この仕上げ洗浄が行われたセッタ・ガラスＳは、次に、水切り用スポンジ・ローラ１２Ｆの間を通過して、この水切り用スポンジ・ローラ１２Ｆによってセッタ・ガラスＳの上面と下面に付着している仕上げ用洗浄液が吸収される。
【００３８】
そして、この水切り用スポンジ・ローラ１２Ｆによる水切りが行われたセッタ・ガラスＳは、最後に、搬送面ｎの上方と下方に配置されて対になっている水切り用エアナイフ１２Ｇ間を通過して、この一対の水切り用エアナイフ１２Ｇから圧縮空気が吹き付けられることにより、セッタ・ガラスＳの上面と下面が乾燥される。
【００３９】
以上のようにして、湿式洗浄部１２内を通過して、その上面と下面の洗浄が行われたセッタ・ガラスＳは、図２に示されるように、湿式洗浄部１２から搬入部１上に搬出され、この搬入部１上で矢印ｇの方向に反転されて、再度、焼成炉２の搬入口に位置されるとともに、矢印ａの方向から搬入されてきた新しい基板が搭載される。
【００４０】
そして、この新しい基板が搭載されたセッタ・ガラスＳは、再び焼成炉２内に搬入されることによって、上述したような焼成工程および洗浄工程が繰り返される。
【００４１】
以上のように、上記ディスプレイパネル基板製造装置１０によれば、湿式洗浄部１２において、繰り返し使用されるセッタ・ガラスＳの上面と下面が、その使用の都度に洗浄液と洗浄用ブラシによってほぼ完全に洗浄されるので、セッタ・ガラスＳに研磨粉などの異物が蓄積してそれが基板に付着することより基板の製品不良が発生するのを、有効に防止することが出来るようになる。
【００４２】
なお、上記の例においては、搬送用治具として耐熱ガラスによるセッタ・ガラスを用いた場合について説明を行ったが、金属製のキャリア・カートを搬送用治具として使用する場合も同様に洗浄を行うことによって、基板への異物の付着を防止することが出来るようになる。
【００４３】
なお、上記においては、この発明をディスプレイパネルの焼成炉に適用した例について説明を行ったが、この発明は、上記に限らず、他の熱処理装置、例えば、乾燥炉や封着炉，ベーク炉などについても適用が可能である。
【００４４】
上記例のディスプレイパネル基板製造装置は、熱処理が行われるディスプレイパネル基板を保持した搬送用治具が熱処理工程が行われる第１搬送路に沿って搬送され、基板の保持を解除された搬送用治具が第２搬送路に沿って第１搬送路の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、第１搬送路に沿って搬送されるディスプレイパネル基板製造装置において、前記第２搬送路に、この第２搬送路に沿って搬送される搬送用治具の洗浄を行う洗浄部が設けられている実施形態のディスプレイパネル基板製造装置を、その上位概念の実施形態としているものである。
【００４５】
この上位概念を構成する実施形態のディスプレイパネル基板製造装置は、構造物の焼成処理等を行う基板が、前工程の処理が終わった後に搬送用治具に保持されて、この搬送用治具とともに第１搬送路上を搬送されてゆく。
【００４６】
そして、この第１搬送路上を搬送されてゆく間に、焼成炉等を通過して、基板に対して焼成等の熱処理が行われる。
【００４７】
この後、熱処理が終了した基板は、搬送用治具による保持状態から開放されて次工程に送られ、搬送用治具は、第２搬送路上を、第１搬送路の入口側に返送される。
このとき、この基板が降ろされた搬送用治具は、第２搬送路に設けられた洗浄部において洗浄されて、付着している異物等が除去される。
【００４８】
そして、この洗浄されて付着している異物等が除去された搬送用治具は、第１搬送路の入口側において、他の新たな基板を保持した後、再び第１搬送路上を搬送されることによって、基板の熱処理が行われる。
【００４９】
以上のように、上記実施形態のディスプレイパネル基板製造装置によれば、洗浄部において、搬送用治具が再使用のために第２搬送路に沿って返送される都度に洗浄されるので、搬送用治具に異物が蓄積してそれが基板に付着することより基板の製品不良が発生するのを、有効に防止することが出来るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のディスプレイパネル基板製造装置を示す概略平面図である。
【図２】この発明によるディスプレイパネル基板製造装置の一例を示す概略平面図である。
【図３】同例における湿式洗浄部の構成を示す側断面図である。
【符号の説明】
１        …搬入部
２        …焼成炉（第１搬送路）
３        …搬出部
１１      …リターンコンベア（第２搬送路）
１２            …湿式洗浄部（洗浄部）
１２Ａ    …ケーシング
１２Ｂ    …ローラコンベア
１２Ｃ    …洗浄用シャワ・ノズル（洗浄用ノズル部材）
１２Ｄ    …洗浄用ブラシ・ローラ（洗浄用ブラシ）
１２Ｅ    …仕上げ洗浄用シャワ・ノズル（仕上げ洗浄用ノズル部材）
１２Ｆ    …水切り用スポンジ・ローラ（水切り用吸水部材）
１２Ｇ    …水切り用エアナイフ（水切り用エア噴射部材）
ｎ        …搬送面（第２搬送路）
【図１】
2005019324.tif 000003
【図２】
2005019324.tif 000004
【図３】
2005019324.tif 000005