(57)【要約】【課題】  積層薄膜の少なくとも最外層膜を含む所定の膜を、短時間でかつ効率的に残さず除去する方法及び装置を提供すること。【解決手段】  板状体１０を把持する把持手段１３と、積層薄膜の略全幅以上の幅を有する粘着性テープ２０を繰り出す繰り出しロール２１と、粘着性テープを巻取るための駆動巻取りロール２２と、繰り出しロール及び駆動巻取りロール間において粘着性テープを該積層薄膜上に沿って移動させる移動ロール２４と、移動ロールと該駆動巻取りロールとの間に粘着性テープを貯留するためのアキュームレータ機構３０とを備える。【選択図】 図２
2005129634.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着性テープを用いて板状体上に貼着された積層薄膜の少なくとも最外層膜を除去する方法であって、
該板状体を把持する把持手段と、該積層薄膜の略全幅以上の幅を有する粘着性テープを繰り出す繰り出しロールと、該粘着性テープを巻取るための駆動巻取りロールと、該繰り出しロール及び駆動巻取りロール間において粘着性テープを該積層薄膜上に沿って移動させる移動ロールと、該移動ロールと該駆動巻取りロールとの間に該粘着性テープを貯留するためのアキュームレータ機構とを備えた積層薄膜からの薄膜剥離除去装置を用い、
該移動ロールが該アキュームレータ機構から粘着性テープを引き戻しながら積層薄膜上に該貼着テープを貼着させる工程、
該移動ロールを該積層薄膜上から離脱させると共に、該駆動巻取りロールを駆動して粘着性テープを所定長巻取る工程、
アキュームレータ機構において粘着性テープを引き取り、それによって積層薄膜上から粘着性テープを剥ぎ取る工程
からなる工程を繰り返し積層薄膜の剥離除去を行う
ことを特徴とする積層薄膜からの薄膜剥離除去方法。
【請求項２】
前記積層薄膜からの薄膜剥離除去方法が、
板状体が基板であり、積層薄膜が半導体薄膜及びマイカ多層膜の積層薄膜であって、該マイカ多層膜を剥離除去する際に用いる
請求項１に記載の積層薄膜からの薄膜剥離除去方法。
【請求項３】
粘着性テープを用いて板状体上に貼着された積層薄膜の少なくとも最外層膜を除去する装置であって、
該板状体を把持する把持手段と、
該積層薄膜の略全幅以上の幅を有する粘着性テープを繰り出す繰り出しロールと、
該粘着性テープを巻取るための駆動巻取りロールと、
該繰り出しロール及び駆動巻取りロール間において粘着性テープを該積層薄膜上に沿って移動させる移動ロールと、
該移動ロールと該駆動巻取りロールとの間に該粘着性テープを貯留するためのアキュームレータ機構と
を備えたことを特徴とする積層薄膜からの薄膜剥離除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層薄膜から所定の薄膜層を剥離除去する方法及び装置に関し、より詳しくは粘着性テープを用いて板状体上に貼着された積層薄膜の少なくとも最外層膜を除去する方法及び装置に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
板状体に積層薄膜を貼着した上で、その一部の薄膜を剥離除去することが行われている。例えば、ホール素子の製造工程においては、半導体薄膜とマイカ膜の積層薄膜を、半導体薄膜側が貼着面になるようにして基板上に貼着し、その後にマイカ膜を除去する。しかし、半導体薄膜にはマイカ膜が残存しているため、これを剥離除去する必要がある。
【０００３】
このような製造工程は、特許文献１において開示されており、該開示によると、表面が平滑なマイカ基板の上にＭＢＥ法を用いて０．８ミクロンの厚さのＩｎＳｂの多結晶薄膜の成長を行う。そして、薄膜の成長中にドーパメントとしてＳｎを用い、ＩｎＳｂの層に均一にドーピングを行っている。得られた積層薄膜をＮｉＺｎフェライト基板上に耐熱性の樹脂により接着し、次いでマイカ基板を剥離する、という工程が知られている。
【特許文献１】特開２０００−２７７８３０号公報
【０００４】
ここでマイカ基板の剥離後に残存した多層膜であるマイカ片は、粘着性テープを用いて粘着剥離するのが好適であるが、従来これらは全て人手によって行っていた。このため、製造効率が悪いだけでなく、粘着性テープを剥離の度に用いるとテープに無駄な部分が生じる問題がある。また、熟練した作業者でなければ効率的にマイカ片を除去することができず、簡便な方法の開発が望まれていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記従来技術の有する問題点に鑑みて創出されたものであり、その目的は、積層薄膜の少なくとも最外層膜を含む所定の膜を、短時間でかつ効率的に残さず除去する方法及び装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明による積層薄膜からの薄膜剥離除去方法は次の特徴を備える。
すなわち、請求項１に記載の発明は、粘着性テープを用いて板状体上に貼着された積層薄膜の少なくとも最外層膜を除去する方法であって、次の装置を用いる。すなわち、本剥離除去装置は、該板状体を把持する把持手段と、該積層薄膜の略全幅以上の幅を有する粘着性テープを繰り出す繰り出しロールと、該粘着性テープを巻取るための駆動巻取りロールと、該繰り出しロール及び駆動巻取りロール間において粘着性テープを該積層薄膜上に沿って移動させる移動ロールと、該移動ロールと該駆動巻取りロールとの間に該粘着性テープを貯留するためのアキュームレータ機構とを備えている。
【０００７】
そして、該装置において、該移動ロールが該アキュームレータ機構から粘着性テープを引き戻しながら積層薄膜上に該貼着テープを貼着させる工程、該移動ロールを該積層薄膜上から離脱させると共に、該駆動巻取りロールを駆動して粘着性テープを所定長巻取る工程、アキュームレータ機構において粘着性テープを引き取り、それによって積層薄膜上から粘着性テープを剥ぎ取る工程からなる工程を繰り返し積層薄膜からの薄膜剥離除去を行うことを特徴とするものである。
【０００８】
また、本発明の請求項２に係る発明によると、前記積層薄膜の剥離除去方法が、板状体が基板であり、積層薄膜が半導体薄膜及びマイカ多層膜からなる積層薄膜であって、該マイカ多層膜を剥離除去する際に用いる請求項１に記載の積層薄膜からの薄膜剥離除去方法を提供することができる。
【０００９】
さらに本発明の請求項３に記載の発明は、粘着性テープを用いて板状体上に貼着された積層薄膜の少なくとも最外層膜を除去する装置を提供するものである。該装置は、板状体を把持する把持手段と、該積層薄膜の略全幅以上の幅を有する粘着性テープを繰り出す繰り出しロールと、該粘着性テープを巻取るための駆動巻取りロールと、該繰り出しロール及び駆動巻取りロール間において粘着性テープを該積層薄膜上に沿って移動させる移動ロールと、該移動ロールと該駆動巻取りロールとの間に該粘着性テープを貯留するためのアキュームレータ機構とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上の手段により次の効果を奏する。すなわち、請求項１に発明によると、積層薄膜から自動的かつ効率的に除去すべき薄膜を剥離除去することができ、基板割れ等を生じることなく、高速かつ確実な作業に寄与する。
また、粘着性テープを最適量だけ引き出しながら、常に新しい面を積層薄膜に貼着することができるので、薄膜面に傷をつけることなく剥離除去することができる。これにより省資源化及び低コスト化、生産性の向上を図ることができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明によると、最適な角度で勢いよく引き剥がす必要のある基板上の半導体薄膜・マイカ膜の組合せにおいて請求項１の技術を適用することで、自動的かつ効率的にマイカ片を除去することができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明によると、積層薄膜から自動的かつ効率的に除去すべき薄膜を剥離除去することができ、基板割れ等を生じることなく、高速かつ確実な作業が可能な装置を提供することができる。
本装置によると、粘着性テープを最適量だけ引き出しながら、常に新しい面を積層薄膜に貼着することができるので、薄膜面に傷をつけることなく剥離除去することができる。これにより省資源化及び低コスト化、生産性の向上を図ることができる
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の最良と考えられる実施形態を、図面に示す実施例を基に説明する。なお、実施形態は下記に限定されるものではない。以下では基板上に貼着された半導体薄膜及びマイカ膜の積層薄膜から、多層膜であるマイカ膜を除去した際に残存するマイカ膜残存片を粘着性テープにより除去する方法及び装置を説述する。しかし、本発明は上記構成に限らず、広く板状体上に積層薄膜を貼着した際に、その積層薄膜の外層（上層）の薄膜を剥離除去する際に適用することができ、例えば最外層から２層など、各積層薄膜間の貼着力により、粘着テープを取り替えることによって所定の薄膜を剥離除去することもできる。
【実施例】
【００１４】
図１は本発明に係る積層薄膜の剥離除去装置（以下、本装置と呼ぶ。）（１）の構成を説明する平面説明図であり、図２は同正面説明図である。
まず、積層薄膜が貼着された基板を本装置にセットする機構につき説述すると、基板（１０）を移載ロボット（１１）により基板マガジン（１２）から移載して吸着台（１３）上に載置する。吸着台（１３）は基板（１０）の下面より吸着して把持するようになっており把持手段を構成している。
【００１５】
図２に明らかなように、吸着台（１３）の左右上方には大きな１対のロールが配設されており、その１個は粘着性テープ（２０）を繰り出す為の繰り出しロール（２１）であり、他の１個は粘着性テープを巻取る為の図示しない回転駆動手段を備えた駆動巻取りロール（２２）である。
そして、粘着性テープ（２０）は、基板（１０）上の積層薄膜の全幅と略同一か、それよりも大きな幅を有しており、積層薄膜上に貼着すると１度に全体を被覆できるようになっている。
また、繰り出しロール（２１）には回転を規制するためのブレーキ機構（２３）を備えていて、繰り出し動作を行う時以外にはブレーキが働いて該ロール（２１）は回転しない。
【００１６】
本願において必須な構成として、粘着性テープを積層薄膜上に沿って移動させることができる移動ロール（２４）と、粘着性テープを貯留するためのアキュームレータ機構（３０）とが備えられている。
アキュームレータ機構（３０）は、テープを引き取るためのテープ引き取り駆動ロール（２５）と、上下に軸心を変位させることにより巻回した粘着性テープを貯留することができるダンサーロール（２６）とが主要なロールであり、その他、テープ引き取り駆動ロール（２５）による引き取り時にスリップを防止するためのニップロール（２７）と、ダンサーロール（２６）を介在させてテープ引き取り駆動ロール（２５）と共に粘着性テープ（２０）の貯留部を構成するフリーロール（２８）とから構成されている。
【００１７】
また、移動ロール（２４）の周辺では、繰り出しロール（２１）から粘着性テープを水平方向に変じるフリーロール（４０）、後述する粘着性テープの引き剥がし動作時に、その角度を決定する角度決めフリーロール（４１）、粘着性テープの弛みを解消し、張力を保つためのテンショナー（４２）、該テンショナーにおいて垂直な粘着性テープを再び略水平に戻すフリーロール（４３）がそれぞれ配設されている。
【００１８】
そして、本発明の初期状態としては、図３に示すように移動ロール（２４）は基板（１０）の左方に位置し、ダンサーロール（２６）は下方Ｌ位置にあって粘着性テープ（２０）を多く貯留した状態である。
この状態は後述するように、剥離除去作業終了後の状態と一致しており、本初期状態から繰り返し作業を行うことができる。
【００１９】
そして、本発明の第１の工程は図４に示すように、移動ロール（２４）が積層薄膜上を右方に転動して粘着テープ（２０）を貼着させる。このとき、アキュームレータ機構（３０）から粘着性テープを引き戻しながら積層薄膜上に該貼着テープ（２０）を貼着させるので、ダンサーロール（２６）は上方に変位してＨ’位置まで上がる。
なお、テープ引き取り駆動ロール（２５）はこの時停止しており、前述のように繰り出しロール（２１）・駆動巻取りロール（２２）も静止しているため、移動ロール（２４）の移動によると自然にアキュームレータ機構（３０）から粘着性テープが引き戻されるようになっている。
【００２０】
また、第２の工程では、駆動巻取りロール（２２）が正転駆動して粘着性テープ（２０）を巻取り、ダンサーロール（２６）をＨ’位置からＨ位置へ引き上げる一方、粘着性テープ（２０）に張力を与え、同時にテンショナー（４２）によっても最適な張力に調整する。
この段階で、移動ロール（２４）は積層薄膜上から左方に移動して離脱させておく。
【００２１】
さらに、第３の工程は図６に示すように、テープ引き取り駆動ロール（２５）を駆動して粘着性テープ（２０）を引き取ることにより、積層薄膜上から粘着性テープ（２０）を剥ぎ取る作業を行う。該引き取りによって、アキュームレータ機構（３０）ではダンサーロール（２６）が下方Ｌ位置まで下降するので、再び粘着性テープ（２０）が貯留される状態になる。
図２のように該剥ぎ取りにおいては、角度決めフリーロール（４１）の位置に応じて剥ぎ取り時の粘着性テープの角度が決まるため、これを最適な角度とすることで、高速に、かつ確実な剥離除去を行うことができる。
なお、本実施例では好適なパラメータとして、テープの剥ぎ取り速度を１００〜１０００ｍｍ／ｓｅｃ、テープの粘着力を２〜６Ｎ／ｃｍ、テープの剥ぎ取り角度を１０〜４５°とした。
【００２２】
本発明の最良の実施形態としては以上の構成であるが、アキュームレータ機構（３０）でテープ引き取り駆動ロール（２５）をフリーロールとする一方、ダンサーロールを上下に駆動するロールとしてもよい。本発明の把持手段としては上述した吸着把持する構成が好適であるが、基板を固定可能な手段であればいかなる手段でもよい。
【００２３】
本発明の構成によれば、アキュームレータ機構により粘着性テープの引き戻しが自動的に、容易に行える為、従来よりも大幅に粘着性テープの使用量を削減することができる。
例えば、上記における工程に従って図７〜図１０を用いて説述すると、図７において前の段階で剥ぎ取ったマイカが粘着性テープ（２０）のＡ0の位置に貼着しているとき、次のマイカはＢ0の位置にある。
【００２４】
そして、図８において第１の工程で引き戻されるため前回のマイカはＡ1の位置になり、今回のマイカはＢ1の位置で粘着性テープに貼着される。
さらに、第２の工程では駆動巻取りロール（２２）の巻取り分はアキュームレータ機構（３０）から供給されるため、図９のように前回のマイカはＡ2の位置、今回のマイカはＢ2の位置で変わらない。
【００２５】
第３の工程では、テープ引き取り駆動ロール（２５）が回転してアキュームレータ機構（３０）に貯留するため、粘着性テープ（２０）は図１０の状態になり、このときそれぞれのマイカはＡ3の位置、Ｂ3の位置で隣接するようになっている。
また、以上のように図７と図１０とで前回のマイカの位置を比較すると、Ａ0からＡ3の位置まで進んでおり、この距離が繰り出しロール（２１）から１回の引き剥がし作業について繰り出される粘着性テープの量である。上記説述から明らかなように、この量は、第３の工程におけるアキュームレータ機構（３０）の貯留量から第１の工程における引き戻し量を差し引いた差分に相当している。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明に係る積層薄膜の剥離除去装置の平面説明図である。
【図２】同、正面説明図である。
【図３】本発明の剥離除去方法における初期状態の説明図である。
【図４】同、第１の工程における説明図である。
【図５】同、第２の工程における説明図である。
【図６】同、第３の工程における説明図である。
【図７】粘着性テープのマイカ貼着位置を示す初期状態における説明図である。
【図８】同、第１の工程における説明図である。
【図９】同、第２の工程における説明図である。
【図１０】同、第３の工程における説明図である。
【符号の説明】
【００２７】
１    積層薄膜からの薄膜剥離除去装置
１０    基板
１３    吸着台
２０    粘着性テープ
２１    繰り出しロール
２２    駆動巻取りロール
２３    ブレーキ機構
２４    移動ロール
２５    テープ引き取り駆動ロール
２６    ダンサーロール
２７    ニップロール
２８    フリーロール
３０    アキュームレータ機構
４０    フリーロール
４１    角度決めロール
４２    テンショナー
４３    フリーロール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005129634.tif 000009
【図８】
2005129634.tif 000010
【図９】
2005129634.tif 000011
【図１０】
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