(57)【要約】【課題】操作性が改善されてなる磁気シールドルームの扉構造を提供する。【解決手段】本発明の磁気シールドルームの扉構造Ｋは、扉１０が閉められた状態で扉１０先端部を押さえる動力駆動による押さえ機構６０を少なくと扉部上下に備えてなるものであって、前記押さえ機構６０は、例えば扉１０先端部を押さえる押さえ部材６１と、該押さえ部材を空気圧により駆動する駆動部６２とを備えてなるものとされる。これにより、磁気シールドルームの扉１０の開閉時における操作性が向上し、またその扉部におけるシールド性能が向上する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
扉が閉められた状態で扉先端部を押さえる動力駆動による押さえ機構を少なくと扉部上下に備えてなることを特徴とする磁気シールドルームの扉構造。
【請求項２】
前記押さえ機構は、扉先端部を押さえる押さえ部材と、該押さえ部材を空気圧により駆動する駆動部とを備えてなるものとされることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルームの扉構造。
【請求項３】
前記押さえ機構は、扉閉状態で作動可能とされてなることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルームの扉構造。
【請求項４】
前記押さえ機構をカバーするカバーが設けられてなることを特徴とする請求項１記載の磁気シールドルームの扉構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気シールドルームの扉構造に関する。さらに詳しくは、操作性が向上されてなる磁気シールドルームの扉構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、脳磁計測や心磁計測のように微弱な磁気を測定・検出する場合や、半導体製造において微細な回路パターンを電子線で描画する場合には、測定磁気や電子線が外部から磁気的な影響を受けるのを防止する必要があり、その手段として磁気シールドルームが用いられている。
【０００３】
磁気シールドルームは、角形アルミ管などの非磁性枠部材を箱型体に骨組みするとともに、この箱型体の全外周面にパーマロイなどの高透磁率合金からなる所要数の板材を隙間なく取り付けて壁面としてなるものとされ、地磁気や外部変動磁界の磁束を高透磁率板材の壁に集中して流すことにより、磁束（磁気）が室内へ漏洩するのを防止している。そして、この磁気シールドルームにおける入退室は、磁気シールドルームに設けられた扉を開閉することによりなされる。
【０００４】
図９に従来の磁気シールドルームの扉部の一例を示す。この扉部２００においては、扉本体２０１と各室壁２０２との隙間２０３を塞ぐように、電波シールド片２０４が扉本体２０１の各室壁対向端面２０５に取り付けられる一方で、扉２０１が閉められたときに各隙間２０３を室内側および室外側の両側から塞ぐように長板状の磁気遮蔽部材２０６が配設されるものとされ、磁気遮蔽部材２０６は各室壁２０２の表面を被うように配設されるものとされる。
【０００５】
このように、従来の磁気シールドルームにおいては、磁気シールドルーム内に設置して使用する微小磁界測定器（例えば心磁計や脳磁計など）は超伝導量子干渉素子センサなどを用いており、センサおよび回路部分が外部からの電波の影響を受けると正確な測定が行なえない場合があるなどの理由で、磁気シールドルーム内への電波の侵入を排除する必要性が高く、扉本体２０１と室壁２０２との隙間等に電波シールド用部材が設けられるのが一般的である。したがって、扉本体２０１と室壁２０２との隙間を塞ぐための磁気遮蔽用部材・構造を設置する設置スペースおよび設置態様に制約を受けることがあるという問題がある。
【０００６】
その上、各室壁対向端面２０５に取り付けられる電波シールド片２０４は、扉２０１が開けられたときに露出するので、外観を損なうばかりでなく、電波シールド片２０４に誤って触れた場合に切創するおそれもある。さらに、磁気シールドルームが心磁計測に用いられている場合、その部屋で計測をなす患者に非常な圧迫感を与えるという問題もある。
【０００７】
かかる状況に鑑み、本発明者は磁気シールドルームにおける扉に関する問題が解消された磁気シールドルームの扉部遮蔽構造を既に提案している（特開２００３−６０３７７号公報参照）。
【０００８】
しかしながら、本発明者の先の提案に係る磁気シールドルームの扉部遮蔽構造においては、扉の密閉をローラ締まりノブによりなすようにしているため、操作性が悪いという問題があることが判明した。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、操作性が改善されてなる磁気シールドルームの扉構造を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気シールドルームの扉構造は、扉が閉められた状態で扉先端部を押さえる動力駆動による押さえ機構を少なくと扉部上下に備えてなることを特徴とする。
【００１１】
本発明の磁気シールドルームの扉構造においては、前記押さえ機構は、例えば扉先端部を押さえる押さえ部材と、該押さえ部材を空気圧により駆動する駆動部とを備えてなるものとされる。
【００１２】
さらに、本発明の磁気シールドルームの扉構造においては、前記押さえ機構は、扉閉状態で作動可能とされてなるのが好ましい。
【００１３】
さらに、本発明の磁気シールドルームの扉構造においては、前記押さえ機構をカバーするカバーが設けられてなるのが好ましい。
【００１４】
【作用】
本発明の磁気シールドルームの扉構造は、前記の如く構成されているので、扉開閉時における操作性が向上する。また、少なくとも扉の上下を押さえ機構により押さえるようにしているので、扉部におけるシールド性能が向上する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【００１６】
本発明の一実施形態に係る磁気シールドルームの扉構造（以下、単に扉構造という）を図１〜図３に概略図で示す。
【００１７】
扉構造Ｋは、図１〜図３に示すように、扉１０と、動力駆動されて扉１０先端部の上側を押さえる上側押さえ機構２０と、動力駆動されてて扉１０先端部の下側を押さえる下側押さえ機構３０と、両押さえ機構２０，３０の動力駆動を制御する駆動制御部４０とを主要構成要素として備えてなるものとされる。
【００１８】
扉１０は、図１に示すように、扉本体１１を室壁Ｗにヒンジ１によって開閉・支持するものとされる。扉本体１１は、図３に示すように、内側が小さくなる段状体、つまり外側に位置する大本体部材１２とそれに載置された状態の小本体部材１３とからなるものとされる。ここで、扉本体１１のサイズは、例えば高さが２４００ｍｍ程度で、幅が１４００ｍｍ程度とされる。
【００１９】
大本体部材１２の外側周縁には、図１に示すように、縁取り部材１４が設けられており、開閉中心側（以下、扉基端側という）の縁取り部材１４ａにヒンジ１の先端部１ａが固着されている。（なお、図示例においては、３個のヒンジ１，１，１により扉本体１１の開閉・支持がなされている。）また、扉基端側と反対側（以下、扉先端側という）の縁取り部材１４ｂの内縁部から、後述する上側押さえ機構２０および下側押さえ機構３０の各押さえ部材をカバーする扉本体側カバー１５が垂設されている。
【００２０】
扉本体側カバー１５は、図３に示すように、断面が略Ｌ字状とされている。このＬ字の底部に相当する水平部１５ａの中央には、図２に示すように、取っ手（外側取っ手）１６が設けられている。また、この水平部１５ａの先端１５ｂは内側に折り曲げられて、図３に示すように、後述する上側押さえ機構２０および下側押さえ機構３０の各駆動部をカバーするルーム側カバー５０近傍まで延伸されている。
【００２１】
また、大本体部材１２の段状とされた内側周縁部１２ａは、図３に示すように、磁気シールドルームの扉開口部Ｗｏに形成された大本体部材受け部２に当接するようにされ、小本体部材１３の内側周縁部１３ａは、磁気シールドルームの扉開口部Ｗｏに形成された小本体部材受け部３に当接するようにされて、扉部におけるシールドが確保されている。この小本体部材１３の内側の扉先端側適宜位置には、取っ手（内側取っ手）１７が設けられている。
【００２２】
この扉本体１１の外殻を構成している板材１８は、高透磁率材からなる平板材のみの場合や図４（ａ）に示すように、高導電率材からなる平板１８ａと高透磁率材からなる平板１８ｂとを接着や圧着などにより組み合わせてなるもの、あるいは同図（ｂ）に示すように、高導電率材からなる平板１８ａと高透磁率材からなる平板１８ｂと高導電率材からなる平板１８ｃとを接着や圧着などにより組み合わせてなるものとされる。
【００２３】
高導電率材としては、例えば銅や銅合金またはアルミ合金などを用いることができ、また高透磁率材としては、例えばＦｅ−４５Ｎｉ合金、８０Ｎｉ−Ｍｏ−Ｆｅ合金、７８Ｎｉ−Ｍｏ−Ｃｕ−Ｆｅ合金、７０Ｎｉ−１０Ｃｕ−１２Ｍｎ−Ｆｅ合金などを用いることができる。
【００２４】
なお、扉本体１１のその余の構成は、特開２００３−６０３７７号公報に記載されているものと同様とされているので、その構成の詳細な説明は省略する。
【００２５】
図５〜図７に、上側押さえ機構２０の詳細を示す。なお、下側押さえ機構３０は駆動部が下側に設けられている他は、上側押さえ機構２０と同様とされているので、以下単に押さえ機構６０として説明する。
【００２６】
押さえ機構６０は、図５〜図７に示すように、扉本体１１先端部を垂直方向に押さえる押さえ部材６１と、この押さえ部材６１を駆動する駆動部６２とを備えてなるものとされる。そして、この押さえ機構６０は、磁気シールドルームに配設されたルーム側カバー５０によりカバーされている。
【００２７】
押さえ部材６１は、所定の剛性を有する所定長さの帯状部材（例えば幅が３０ｍｍで長さが６５０ｍｍ程度）とされる。
【００２８】
駆動部６２は、駆動リンク６３と、この駆動リンク６３を駆動するエアシリンダ６４とを備えてなるもとのされる。
【００２９】
駆動リンク６３は、第１リンク部材６５とロッド６６と一対の第２リンク部材６７．６７とからなるものとされる。第１リンク部材６５の一端（基端）６５ａはエアシリンダ６４のピストンロッド６４ａと回動自在に接合され、その他端（先端）６５ｂはロッド６６の一端（基端）６６ａと相対回転が不能につまり一体回転するように接合されている。ロッド６６は両端部が磁気シールドルームの扉開口部Ｗｏ近傍に所定の間隔を設けて垂直に配設された軸受４，４に軸支されて回転可能とされ、また前記軸受４，４間の適宜位置には前記一対の第２リンク部材６７．６７の一端（基端）６７ａがロッド６６と相対回転が不能につまり一体回転するように接合されている。
【００３０】
第２リンク部材６７の他端（先端）６７ｂは、前記押さえ部材６１の端部表面（扉本体１１との当接面と反対の面）６１ａに接合例えばビス留めされている。また、第２リンク部材６７の長さは、押さえ部材６１が扉本体１１先端部周縁を押圧できるように調整されている。
【００３１】
エアシリンダ６４は、基端６４ｂが磁気シールドルームに上端あるいは下端の適宜位置に配設された支持部材６により旋回可能に保持されている。このエアシリンダ６４のピストンロッド６４ａのストロークは、最も後退した待機位置から所定量進出した状態で、押さえ部材６１が扉本体１１先端を所定の押圧力で押圧できるように調整されている。
【００３２】
図８に、駆動制御部４０の回路構成を示す。
【００３３】
駆動制御部４０は、図１〜図３および図８に示すように、圧縮空気源４１と、圧縮空気源４１からの空気のエアシリンダ６４への供給方向、つまり空気をエアシリンダの開方向と閉方向とに切替る切替弁４２と、切替弁４２を開方向に切替る室内外にそれぞれ配設された開釦４３ａ，４３ｂと、切替弁４２を閉方向に切替る室内外にそれぞれ配設された閉釦４４ａ，４４ｂと、扉本体１１が閉状態で前記開釦４３ａ，４３ｂおよび閉釦４４ａ，４４ｂを操作可能とする扉閉確認リミットスイッチ４５と、操作不能時に手動で押さえ機構６０の押圧を解除する室内外にそれぞれ配設された扉開手動弁４６ａ，４６ｂと、それらを前記の如く作動させるよう配管された空気配管４７とを主要構成要素として備えてなるものとされる。
【００３４】
駆動制御部４０がかかる構成とされていることにより、扉閉状態で開釦４３ａあるいは開釦４３ｂを押すと、圧縮空気源４１からの空気がエアシリンダ６４が開となる方向に切替弁４２が切替えられて押さえ機構６０、つまり上側押さえ機構２０および下側押さえ機構３０による扉本体１１の押圧が解除されて扉１０を開放することができる。その逆に、扉閉状態で閉釦４４ａあるいは閉釦４４ｂを押すと、圧縮空気源４１からの空気がエアシリンダ６４が閉となる方向に切替弁４２が切替えられて押さえ機構６０、つまり上側押さえ機構２０および下側押さえ機構３０による扉本体１１の押圧がなされて磁気シールドルームの遮蔽を確実なものとなし得る。
【００３５】
一方、扉開状態で開釦４３ａ、４３ｂあるいは閉釦４４ａ、４４ｂを押しても扉閉確認リミットスイッチ４５により各釦４３ａ、４３ｂ、４４ａ、４４ｂの操作が可能とはされていないので、押さえ部材が扉開口部Ｗｏに倒されることはない。そのため、扉開状態で誤って押さえ部材が扉開口部Ｗｏに倒されることによる危険性が防止される。
【００３６】
以上、本発明を実施形態に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、本実施形態では、扉本体は、大本体部材と小本体部材とを載置した段状体とされているが、大本体部材と中本体部材と小本体部材とを載置した段状体とされてもよい。また、本実施形態では、押さえ機構は上下２ヵ所に配置されているが、中央部にも配置されるようにされてもよい。
【００３７】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、磁気シールドルームにおける扉開閉時における操作性が向上するという優れた効果が得られる。また、少なくとも扉の上下を押さえ機構により押さえるようにしているので、扉部におけるシールド性能が向上するという優れた効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る磁気シールドルームの扉構造の概略正面図である。
【図２】同概略側面図である。
【図３】図１の要部断面図である。
【図４】扉本体の外殻を構成している平板の断面図である。
【図５】上側押さえ機構の正面図である。
【図６】同平面図である。
【図７】同背面図である。
【図８】駆動制御部の回路図である。
【図９】従来の磁気シールドルーム用遮蔽構造の扉部を示す断面図である。
【符号の説明】
１              ヒンジ
２              大本体部材受け部
３              小本体部材受け部
１０              扉
１１              扉本体
１２              大本体部材
１３              小本体部材
１５              扉本体側カバー
１８              板材
２０              上側押さえ機構
３０              下側押さえ機構
４０              駆動制御部
４１              圧縮空気源
４２              切替弁
４３ａ，４３ｂ    開釦
４４ａ，４４ｂ    閉釦
４５              扉閉確認リミットスイッチ
４６ａ，４６ｂ    扉開手動弁
４７              空気配管
５０              ルーム側カバー
６０              押さえ機構
６１              押さえ部材
６２              駆動部
６３              駆動リンク
６４              エアシリンダ
Ｋ              磁気シールドルームの扉構造
Ｗｏ            扉開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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