(57)【要約】 【課題】  液滴吐出ヘッドの空走や吐出までの待機の後、本吐出における１ショット目での吐出を可能にし、しかもその着弾精度を良好にすることができるようにした、液滴吐出装置とその駆動方法、表示装置の製造方法、表示装置を提供する。【解決手段】  圧力発生素子ＰＺＴを収縮させる収縮信号と、圧力発生素子を収縮状態に維持させる維持信号と、圧力発生素子を定常状態に回復させる回復信号とを、駆動信号として送出する駆動手段６１を備えている。駆動手段６１には、液滴を吐出させるための吐出波形を圧力発生素子ＰＺＴに送出する前に、液滴を吐出させることなく、液滴吐出ヘッドのキャビティ内の液状体に微振動を付与する微振動波形として、回復信号の送出時間を、１μｓ以上１００μｓ以下としかつキャビティの固有振動周期のほぼ整数倍となる時間にする駆動信号を、圧力発生素子に送出する制御部６０が設けられている。【選択図】    図３
2005095746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を収容するキャビティと、このキャビティに連通するノズルと、前記キャビティを振動させてその内容積を変化させることにより、該キャビティ内の液状体を前記ノズルから液滴として吐出させる圧力発生素子とを備えた液滴吐出ヘッドを、具備してなる液滴吐出装置において、
前記圧力発生素子を所定状態から連続的に収縮させる収縮信号と、収縮した圧力発生素子を該収縮状態にて維持させる維持信号と、該圧力発生素子の収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を定常状態に回復させる回復信号とを、前記圧力発生素子に対する駆動信号として送出する駆動手段を備え、
前記駆動手段には、前記ノズルより液滴を吐出させるための前記駆動信号からなる吐出波形を前記圧力発生素子に送出する前に、前記ノズルから液滴を吐出させることなく、キャビティ内の液状体に微振動を付与する微振動波形として、前記収縮信号と維持信号と回復信号とからなり、該回復信号の送出時間を、１μｓ以上１００μｓ以下としかつ前記キャビティの固有振動周期のほぼ整数倍となる時間にする駆動信号を、前記圧力発生素子に送出する制御部が設けられていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記制御部より送出される前記微振動波形となる駆動信号は、その収縮信号の送出時間が、前記圧力発生素子の固有振動周期と同じかこれより長く、かつ、前記キャビティの固有振動周期より短いことを特徴とする請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記制御部より送出される前記微振動波形となる駆動信号は、その収縮信号の送出時間と維持信号の送出時間との和が、前記キャビティの固有振動周期の整数倍となる時間と該キャビティの固有振動周期の半分となる時間との和にほぼ等しいことを特徴とする請求項１又は２記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記制御部より送出される前記微振動波形となる駆動信号は、その維持信号の電圧値が、前記吐出波形となる駆動信号における維持信号の電圧値の３０％以上６０％以下であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記液状体は、その粘度が１０ｍＰａ・ｓ以上のものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
液状体を収容するキャビティと、このキャビティに連通するノズルと、前記キャビティを振動させてその内容積を変化させることにより、該キャビティ内の液状体を前記ノズルから液滴として吐出させる圧力発生素子とを備えた液滴吐出ヘッドを、具備してなる液滴吐出装置の駆動方法であって、
前記圧力発生素子を所定状態から連続的に収縮させる収縮信号と、収縮した圧力発生素子を該収縮状態にて維持させる維持信号と、該圧力発生素子の収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を定常状態に回復させる回復信号とを、前記圧力発生素子に対する駆動信号として送出するに際して、
前記ノズルより液滴を吐出させるための前記駆動信号からなる吐出波形を前記圧力発生素子に送出する前に、前記ノズルから液滴を吐出させることなく、キャビティ内の液状体に微振動を付与する微振動波形として、前記収縮信号と維持信号と回復信号とからなり、該回復信号の送出時間を、１μｓ以上１００μｓ以下としかつ前記キャビティの固有振動周期のほぼ整数倍となる時間にする駆動信号を、前記圧力発生素子に送出することを特徴とする液滴吐出装置の駆動方法。
【請求項７】
前記制御部より送出される前記微振動波形となる駆動信号は、その収縮信号の送出時間が、前記圧力発生素子の固有振動周期と同じかこれより長く、かつ、前記キャビティの固有振動周期より短いことを特徴とする請求項６記載の液滴吐出装置の駆動方法。
【請求項８】
前記制御部より送出される前記微振動波形となる駆動信号は、その収縮信号の送出時間と維持信号の送出時間との和が、前記キャビティの固有振動周期の整数倍となる時間と該キャビティの固有振動周期の半分となる時間との和にほぼ等しいことを特徴とする請求項６又は７記載の液滴吐出装置の駆動方法。
【請求項９】
前記制御部より送出される前記微振動波形となる駆動信号は、その維持信号の電圧値が、前記吐出波形となる駆動信号における維持信号の電圧値の３０％以上６０％以下であることを特徴とする請求項６〜８のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の駆動方法。
【請求項１０】
前記液状体は、その粘度が１０ｍＰａ・ｓ以上のものであることを特徴とする請求項６〜９のいずれか一項に記載の液滴吐出装置の駆動方法。
【請求項１１】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液滴吐出装置を用い、あるいは請求項６〜１０のいずれか１項に記載の液滴吐出装置の駆動方法を用いて前記液状体を吐出する工程を、表示装置の製造工程の１つとして備えたことを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項１１記載の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置とその駆動方法、さらにこれらを用いた表示装置の製造方法及び表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
所定量の液状材料を所望する位置に配することのできる方法として、インクジェット法等の液滴吐出法が知られている。
この液滴吐出法に用いられる液滴吐出ヘッドは、例えば液状体を収容するキャビティと、このキャビティに連通するノズルを有したノズルプレートと、前記キャビティを振動させてその内容積を変化させることにより、該キャビティ内の液状体を前記ノズルの吐出口から吐出させる圧力発生素子とを備えて構成されている。
【０００３】
ところで、このような液滴吐出ヘッドによる液滴吐出プロセスでは、吐出準備のときや吐出中に液詰まりが生じたときなど、液滴吐出ヘッドの吐出面側にキャップを被着し、このキャップを介して真空ポンプ等で吸引することにより、液滴吐出ヘッド中の気泡を除去し、またはその液詰まりをなくすようにしている。そして、このようにして吸引を行った後、液滴吐出ヘッドの吐出面をワイピング材でワイピングすることにより、吐出面上に残った液状体を拭い取るようにしている。
【０００４】
しかしながら、このようにして液状体を吸引したりワイピングを行っても、その後、被滴下部材上に実際に液滴を吐出する本吐出を行うまでには、液滴吐出ヘッドの空走や吐出までの待機など、どうしても吐出しない時間ができてしまう。そして、この時間中において、キャビティ内の液状体の、ノズル内でのメニスカス表面が乾燥し、増粘が起こることによって吐出１ショット目に液状体の吐出がなされないといった不都合が生じることがある。
そこで、従来のインクジェット装置（例えば特許文献１、特許文献２参照）では、ノズル内でのメニスカスが外気に触れて表面が膜化することを防止するため、例えば圧力発生素子によってキャビティ内の液状体に対し、液滴を吐出しない程度の微振動を与えるようにしている。
【特許文献１】特開平９−１１４５７号公報
【特許文献２】特開平９−２９９９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、このように微振動を与えることにより、本吐出における１ショット目での吐出は可能になったものの、微振動によってノズル内でのメニスカスを大きく揺らしてしまうことから、吐出した液滴の着弾精度が悪くなるといった新たな課題が生じてしまう。このような着弾精度の悪化は、特に粘度が１０ｍＰａ・ｓ以上の高粘度の液状体の吐出の場合に顕著となる。
【０００６】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、液滴吐出ヘッドの空走や吐出までの待機の後、本吐出における１ショット目での吐出を可能にし、しかもその着弾精度を良好にすることができるようにした、液滴吐出装置とその駆動方法、さらにこれらを用いた表示装置の製造方法及び表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明の液滴吐出装置は、液状体を収容するキャビティと、このキャビティに連通するノズルと、前記キャビティを振動させてその内容積を変化させることにより、該キャビティ内の液状体を前記ノズルから液滴として吐出させる圧力発生素子とを備えた液滴吐出ヘッドを、具備してなり、前記圧力発生素子を所定状態から連続的に収縮させる収縮信号と、収縮した圧力発生素子を該収縮状態にて維持させる維持信号と、該圧力発生素子の収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を定常状態に回復させる回復信号とを、前記圧力発生素子に対する駆動信号として送出する駆動手段を備え、前記駆動手段には、前記ノズルより液滴を吐出させるための前記駆動信号からなる吐出波形を前記圧力発生素子に送出する前に、前記ノズルから液滴を吐出させることなく、キャビティ内の液状体に微振動を付与する微振動波形として、前記収縮信号と維持信号と回復信号とからなり、該回復信号の送出時間を、１μｓ以上１００μｓ以下としかつ前記キャビティの固有振動周期のほぼ整数倍となる時間にする駆動信号を、前記圧力発生素子に送出する制御部が設けられていることを特徴としている。
【０００８】
また、本発明の液滴吐出装置の駆動方法は、液状体を収容するキャビティと、このキャビティに連通するノズルと、前記キャビティを振動させてその内容積を変化させることにより、該キャビティ内の液状体を前記ノズルから液滴として吐出させる圧力発生素子とを備えた液滴吐出ヘッドを、具備してなる液滴吐出装置の駆動方法であって、前記圧力発生素子を所定状態から連続的に収縮させる収縮信号と、収縮した圧力発生素子を該収縮状態にて維持させる維持信号と、該圧力発生素子の収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を定常状態に回復させる回復信号とを、前記圧力発生素子に対する駆動信号として送出するに際して、前記ノズルより液滴を吐出させるための前記駆動信号からなる吐出波形を前記圧力発生素子に送出する前に、前記ノズルから液滴を吐出させることなく、キャビティ内の液状体に微振動を付与する微振動波形として、前記収縮信号と維持信号と回復信号とからなり、該回復信号の送出時間を、１μｓ以上１００μｓ以下としかつ前記キャビティの固有振動周期のほぼ整数倍となる時間にする駆動信号を、前記圧力発生素子に送出することを特徴としている。
【０００９】
前記液滴吐出装置およびその駆動方法によれば、キャビティ内の液状体に微振動を付与する微振動波形として、その回復信号の送出時間を、１μｓ以上１００μｓ以下としかつキャビティの固有振動周期のほぼ整数倍となる時間にする駆動信号を、制御部より前記圧力発生素子に送出するようにしたので、この駆動信号による液状体のノズル内でのメニスカスの揺れが、キャビティの固有振動周期に同期することによって減衰し、より速く停止するようになる。
したがって、微振動効果によって本吐出における１ショット目での吐出は可能になり、しかも、微振動によるメニスカスの揺れがより速く停止することにより、このメニスカスの揺れに起因する前記１ショット目の吐出の際の着弾精度の悪化が防止される。
また、回復信号の送出時間を１μｓ以上とすることにより、メニスカスの揺れを減衰させる効果が確保され、１００μｓ以下とすることにより、ノズル内でのメニスカス表面の乾燥による増粘が抑えられる。
【００１０】
また、前記液滴吐出装置およびその駆動方法においては、前記制御部より送出される前記微振動波形となる駆動信号は、その収縮信号の送出時間が、前記圧力発生素子の固有振動周期と同じかこれより長く、かつ、前記キャビティの固有振動周期より短いのが好ましい。
このようにすれば、収縮信号の送出時間を、圧力発生素子の固有振動周期と同じかこれより長くするので、圧力発生素子に過大な負荷がかかるのが防止される。また、キャビティの固有振動周期より長くすると本吐出における１ショット目での吐出が困難になるが、これより短くしたので、本吐出における１ショット目での吐出が可能になる。
【００１１】
また、前記液滴吐出装置およびその駆動方法においては、前記制御部より送出される前記微振動波形となる駆動信号は、その収縮信号の送出時間と維持信号の送出時間との和が、前記キャビティの固有振動周期の整数倍となる時間と該キャビティの固有振動周期の半分となる時間との和にほぼ等しいのが好ましい。
このようにすれば、微振動波形における収縮信号と維持信号との送出時間の和が、キャビティの固有振動周期の整数倍プラス半分となるので、キャビティの固有振動が前記微振動波形を打ち消すように作用する。したがって、微振動波形によるメニスカスの揺れの減衰が速められ、これによってメニスカスの揺れがより速く停止するようになる。
【００１２】
また、前記液滴吐出装置およびその駆動方法においては、前記制御部より送出される前記微振動波形となる駆動信号は、その維持信号の電圧値が、前記吐出波形となる駆動信号における維持信号の電圧値の３０％以上６０％以下であるのが好ましい。
微振動波形となる駆動信号における維持信号の電圧値を、吐出波形の場合の３０％以上とすることにより、メニスカスをキャビティ側に引き込むことで、メニスカスの揺れを良好に生じさせることが可能になる。また、６０％以下としたことにより、メニスカスの揺れが大きくなって液状体の一部がノズルの外に出てしまい、ノズルを形成したノズルプレートの外面を汚してしまうことにより、吐出性が低下するのが防止される。
【００１３】
また、前記液滴吐出装置およびその駆動方法においては、前記液状体は、その粘度が１０ｍＰａ・ｓ以上のものであってもよい。
液状体がこのようなの高粘度のものである場合に、従来では着弾精度の悪化が特に顕著となるものの、前述したように微振動によるメニスカスの揺れをより速く停止することにより、着弾精度の悪化を防止することができる。
【００１４】
本発明の表示装置の製造方法は、前記の液滴吐出装置を用い、あるいは前記の液滴吐出装置の駆動方法を用いて前記液状体を吐出する工程を、表示装置の製造工程の１つとして備えたことを特徴としている。
この表示装置の製造方法によれば、液状体を吐出する工程を備えた表示装置の製造工程が、本吐出における１ショット目での吐出が可能となり、しかも着弾精度の悪化が防止されているので、得られる表示装置の信頼性が高められる。
【００１５】
本発明の表示装置は、前記表示装置の製造方法を用いて製造されたことを特徴としている。
この表示装置によれば、前述したように信頼性が高いものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を詳しく説明する。 
（液滴吐出装置の全体構成）
図１は、本発明の液滴吐出装置をインクジェット装置に適用した場合の一実施形態を示す斜視図であり、図１中符号１０はインクジェット装置（液滴吐出装置）である。
このインクジェット装置１０では、キャリッジ１１がタイミングベルト１２を介してパルスモータ１３に接続され、ガイド部材１４に案内されて被滴下部材１５の幅方向に往復動するように構成されている。キャリッジ１１は、被滴下部材１５と対向する面側、すなわちその下面側にインクジェット式のヘッド（液滴吐出ヘッド）１６が取り付けられている。
【００１７】
ヘッド１６は、キャリッジ１１の上部に載置されているインクカートリッジ１７からインク（液状体）の補給を受け、キャリッジ１１の移動に合わせてインク滴（液滴）をドットとして吐出することにより、インク滴を被滴下部材１５上の所望位置に配するものである。また、インクジェット装置１０の非滴下領域にはキャッピング装置１８が配設されており、休止中にヘッド１６のノズルの吐出口を封止する一方、滴下動作中に行われるフラッシング動作によりヘッド１６からインク滴を受けるようになっている。さらに、キャッピング装置１８の近傍にはクリーニング装置１９が配置されており、このクリーニング装置１９では、ヘッド１６の表面をブレードなどのワイピング材でワイピングすることにより、そこに付着したインク滓等を拭き取るようになっている。
【００１８】
（ヘッドの構成）
図２は、ヘッド１６の概略構成を示す断面図である。
図２に示すように、ヘッド１６にはノズルプレート１１０が設けられており、このノズルプレート１１０にはノズル１１１が形成されている。ノズルプレート１１０の外面側には撥液膜１１０ａが形成されており、この撥液膜１１０ａが形成された側のノズル１１１の開口が吐出口１１１ａとなっている。
【００１９】
撥液膜１１０ａは、フッ素系樹脂からなるプラズマ重合膜である。この撥液膜１１０ａの形成方法としては、例えば大気雰囲気中でテトラフルオロメタンやその他のフルオロカーボン系ガスを処理ガスとする、プラズマ処理法が採用される。このようなプラズマ処理の条件を適宜に設定することにより、得られるプラズマ重合膜（撥液膜１１０ａ）の液状体に対する静的接触角と後退接触角とを所望の角とすることができる。
【００２０】
また、ヘッド１６においてその流路形成板１１２には、キャビティ１１３を区画する通孔、キャビティ１１３に両側で連通する２つのインク供給口１１４を区画する通孔または溝、およびこれらインク供給口１１４にそれぞれ連通する２つの共通のインク室１１５を区画する通孔が形成されている。振動板１１６は、弾性変形可能な薄板から構成されたもので、ピエゾ素子などの圧電振動子（圧力発生素子）ＰＺＴの先端に当接したものであり、流路形成板１１２を挟んでノズルプレート１１０と液密に一体に固定されたことにより、流路ユニット１１８を構成するものである。
【００２１】
基台１１９には、圧電振動子ＰＺＴを振動可能に収容する収容室１２０と、流路ユニット１１８を支持する開口１２１とが構成され、圧電振動子ＰＺＴの先端を開口１２１から露出させた状態で圧電振動子ＰＺＴを固定基板１２２で固定している。また、基台１１９は、振動板１１６のアイランド部１１６ａを圧電振動子ＰＺＴに当接させた状態で、流路ユニット１１８を開口１２１に固定してヘッド１６を纏めている。
【００２２】
このような構成により、圧電振動子ＰＺＴが収縮して振動板１１６が撓曲し、キャビティ１１３が振動してその内容積が大きくなると、共通のインク室１１５内のインク（液状体）がインク供給口１１４を経由してキャビティ１１３に流れ込む。また、所定時間経過後、圧電振動子ＰＺＴが伸長して振動板１１６が元の状態に戻り、キャビティ１１３が収縮してその内容積が小さくなると、キャビティ１１３のインクが圧縮されてノズル１１１の吐出口１１１ａからインク滴（液滴）が吐出される。
【００２３】
（制御系および駆動系の構成）
次に、インクジェット装置１０の制御系および駆動系の構成を図３を参照して説明する。
図３に示すように、このインクジェット装置１０における制御回路６０は、例えばホストからの吐出指令信号や吐出データを受け、駆動信号発生装置６１、メモリ６２、シフトレジスタ６３、ラッチ回路６４をそれぞれ制御するよう構成されたもので、本発明における制御部となるものである。
【００２４】
駆動信号発生装置６１は、前記圧電振動子ＰＺＴ（圧力発生素子）に印加する電圧としての駆動波形として、キャビティ１１３内のインク（液状体）に微振動を付与する微振動波形と、インクを吐出させるための吐出波形とを発生するヘッド駆動回路を有し、このヘッド駆動回路で発生した各波形を送出するよう構成されたもので、本発明における駆動手段となるものである。
メモリ６２は、制御回路６０を経て入力された吐出データを記憶しておくものである。
シフトレジスタ６３は、メモリ６２からシリアル転送された吐出データを記憶しておくものである。
ラッチ回路６４は、シフトレジスタ６３に記憶された吐出データをいっせいにラッチするもので、トランジスタＴのオン・オフを制御することにより、圧電振動子ＰＺＴに対して駆動信号発生装置６１からの駆動信号（駆動電圧）を選択的に印加させるものである。
【００２５】
（駆動回路および駆動パルスの説明）
次に、前記駆動信号発生装置６１におけるヘッド駆動回路の一例、およびそこで形成される駆動信号（駆動パルス）を、図４及び図５を参照して説明する。なお、図４はヘッド駆動回路３０の回路図である。また、図５（ａ）、（ｂ）はヘッド駆動回路で形成される駆動信号（駆動パルス）の波形図であり、（ａ）は吐出波形Ａを示す図、（ｂ）は吐出波形Ａと微振動波形Ｂとを示す図である。ここで、微振動波形Ｂは、吐出を行わせるための吐出波形Ａを送出する前に、図５（ｂ）に示すように圧電振動子（圧力発生素子）ＰＺＴに送出されるものである。
【００２６】
図４に示すように、ヘッド駆動回路３０の駆動電圧発生回路３１では、制御回路６０からのタイミング信号４９を一定幅のパルス信号に変換するワンショットマルチバイブレータ５０が構成され、このワンショットマルチバイブレータ５０は、タイミング信号４９に同期して出力端子から正信号および負信号を出力するようになっている。この一方の端子には、抵抗を介してＮＰＮ型トランジスタ５１のベースが接続され、これには抵抗を介してＰＮＰ型トランジスタ５２が接続されているので、タイミング信号が入力された時点で、第１の電源（図示せず）からキャパシタ５３に対してその端子電圧が第１の電源の電圧に概ね到達するまで一定電流での充電が行われる。ここで、第１の電源は主電源から生成された電源である。このときの充電電流は、トランジスタ５４のベース−エミッタ間電圧、および抵抗５６の抵抗値で規定されるので、それによりキャパシタ５３の立ち上がり勾配が規定される。
【００２７】
また、ワンショットマルチバイブレータ５０の他方の端子にはＮＰＮ型トランジスタ５８が接続されており、タイミング信号が切り換わった時点で、ＰＮＰ型トランジスタ５２がオフになる代わりに、ＮＰＮ型トランジスタ５８がオンになる。その結果、キャパシタ５３に充電されていた電荷は、その端子電圧が所定値になるまで一定電流で放電される。このときの放電電流は、トランジスタ５５のベース−エミッタ間電圧、および抵抗５７の抵抗値で規定されるので、それによりキャパシタ５３の立ち下がり勾配が規定される。したがって、キャパシタ５３の端子電圧（駆動パルスＶｉｎ）は、例えば図５（ａ）の吐出波形Ａに示すように、一定の勾配で上昇する領域ＶＡ（立ち上がり信号ＶＡとも言う）と、一定値を保持する飽和領域ＶＢ（維持信号ＶＢとも言う）と、一定の勾配で降下する領域ＶＣ（立ち下がり信号ＶＣとも言う）と、中間電圧として１０Ｖの引き込み電圧を印加する領域（引き込み信号ＶＤ）とを備えた波形となる。
【００２８】
その結果、キャパシタ５３の端子電圧は駆動パルスＶｉｎとして、駆動電圧発生回路３１の電流増幅回路に構成されているＮＰＮ型のトランジスタＱ１およびＰＮＰ型のトランジスタＱ２のベースに出力され、この電流増幅回路おいて電流増幅され、圧電振動子ＰＺＴにトランジスタＱ１、Ｑ２の接続点Ｐ０を経由して出力される。この間、一方のトランジスタＱ１を介して圧電振動子ＰＺＴの充電が行われ、他方のトランジスタＱ２を介して圧電振動子ＰＺＴからの放電が行われる。
【００２９】
このように生成した波形の駆動パルスＶｉｎは、立ち上がり信号ＶＡにおいてその電圧値が中間電位から最大電位まで一定の勾配で上昇した後、維持信号ＶＢにおいてこの最大電位を所定時間だけ維持する。次に、立ち下がり信号ＶＣにおいて駆動パルスは最低電位まで一定の勾配で下降する。次いで、その状態で所定時間維持された後、引き込み信号ＶＤにおいて中間電位にまで復帰し、その後、この中間電位を維持する構成とされている。
【００３０】
したがって、図２に示すヘッド１６において、駆動パルスＶｉｎの電圧値が中間電位から最大電位まで上昇すると圧電振動子ＰＺＴが収縮し、キャビティ１１３の内容積が大きくなってキャビティ１１３内に負圧が生じ、この状態が維持されている間にキャビティ１１３にインクが流入する。続いて、電圧値が最低電位まで下降すると、圧電振動子ＰＺＴの収縮が解放され、キャビティ１１３の内容積が小さくなる方向に形状復帰してキャビティ１１３に正圧が発生し、吐出口１１１ａからインク滴が吐出される。さらに、電圧値が最低電位から中間電位まで上昇することで、圧電振動子ＰＺＴが僅かに収縮し、キャビティ１１３の内容積が少し大きくなることにより、ノズル１１１内の吐出口１１１ａ近傍にあったインク（液状体）のメニスカス（図示せず）がキャビティ１１３側に引き戻され、次の吐出のための初期状態（所定状態）となる。
【００３１】
ここで、この駆動パルス（駆動信号）Ｖｉｎの構成についてインク滴の吐出態様と対比して説明すると、駆動パルスＶｉｎは、図５（ａ）に示したように、所定状態から圧電振動子ＰＺＴをインク滴吐出の前段階の収縮状態まで連続的に収縮させる収縮信号ＶＡと、この収縮状態を維持する維持信号ＶＢと、圧電振動子ＰＺＴの収縮状態を連続的に解放することにより、該圧電振動子ＰＺＴを定常状態に回復させてキャビティ１１３の内容積を縮小させる回復信号ＶＣとを備えたものである。なお、このように吐出波形Ａを構成する収縮信号ＶＡ、維持信号ＶＢ、収縮信号ＶＣは、図５（ｂ）に示す微振動波形Ｂにおいても、この微振動波形Ｂを構成する各要素となっている。
【００３２】
すなわち、本発明における微振動波形Ｂにおいても、その駆動パルス（駆動信号）Ｖｉｎは、所定状態から圧電振動子ＰＺＴを連続的に収縮させる収縮信号ＶＡと、この収縮状態を維持する維持信号ＶＢと、圧電振動子ＰＺＴの収縮状態を連続的に解放することにより、該圧電振動子ＰＺＴを定常状態に回復させてキャビティ１１３の内容積を縮小させる回復信号ＶＣとを有したものである。ここで、この微振動波形Ｂは、前記吐出波形Ａによる本吐出を行う前の、ヘッド１６の空走時や吐出までの待機時などにおいて送出されるものであり、キャビティ１１３内の液状体に微振動を与えてそのノズル１１１内でのメニスカスを揺らし、このメニスカス部分の溶媒蒸発による増粘化を防止することによって本吐出における１ショット目での吐出を可能にするためのものである。したがって、この微振動波形Ｂでは、その維持信号ＶＢの電圧値が、前記吐出波形Ａとなる駆動信号における維持信号ＶＢの電圧値より小さく、これによってノズル１１１からの液滴の吐出を行わせないようになっている。
【００３３】
そして、特にこの微振動波形Ｂにおける各信号は、以下のように設定されている。
すなわち、この微振動波形Ｂにおいて回復信号ＶＣは、その送出時間が前記キャビティ１１３の固有振動周期のほぼ整数倍となる時間であり、かつ、１μｓ以上１００μｓ以下となっている。
このように設定されていることにより、この回復信号ＶＣ（駆動信号）によって圧電振動子ＰＺＴが回復することで生じる液状体のノズル１１１内でのメニスカスの揺れは、キャビティ１１３の固有振動周期に同期するようになる。そして、このように同期することにより、前記のメニスカスの揺れはキャビティ１１３の固有振動によって減衰され、このためキャビティ１１３の固有振動周期に同期しない場合に比べて速く減衰するようになり、結果としてメニスカスの揺れはより速く停止するようになる。
【００３４】
したがって、メニスカスの揺れが速く停止することにより、図５（ｂ）に示したようにこの微振動波形Ｂの後に吐出波形Ａが送出されると、この吐出波形Ａによる１ショット目の吐出では前記微振動波形Ｂによる影響をほとんど受けなくなり、したがって、その着弾精度が悪化することなく良好となる。
なお、微振動が与えられたことによってキャビティ１１３内の液状体は、ノズル１１１内のメニスカスが揺れてこのメニスカス部分での溶媒蒸発による局所的な増粘化が防止されることにより、本吐出における１ショット目での吐出が良好になされるようになっている。
【００３５】
また、回復信号の送出時間を１μｓ以上としているので、メニスカスの揺れを減衰させる効果がこれによって確保される。一方、１００μｓ以下としているので、ノズル１１１内でのメニスカス表面の乾燥による増粘が抑えられ、前述したように本吐出における１ショット目での吐出が良好になされるようになる。
【００３６】
また、前記微振動波形Ｂにおいては、その収縮信号ＶＡの送出時間が、前記圧電振動子ＰＺＴの固有振動周期と同じかこれより長く、かつ、前記キャビティ１１３の固有振動周期より短くなっている。
このように収縮信号ＶＡの送出時間を、圧電振動子ＰＺＴの固有振動周期と同じかこれより長くすることにより、圧電振動子ＰＺＴに過大な負荷がかかるのを防止することができ、したがって、この圧電振動子ＰＺＴの劣化や破壊を防止することができる。また、収縮信号ＶＡの送出時間をキャビティ１１３の固有振動周期より長くすると、本吐出における１ショット目での吐出が困難になる傾向にあることが実験によって分かっているが、これより短くしたので、本吐出における１ショット目での吐出を良好に行うことができるようになる。
【００３７】
これは、収縮信号ＶＡの送出時間をキャビティ１１３の固有振動周期より長くすると、ノズル１１内のメニスカス部分が膜化した状態のままに維持されてしまうためと考えられる。すなわち、収縮信号ＶＡの送出時間をキャビティ１１３の固有振動周期より短くすれば、ノズル１１内で膜化したメニスカス部分が圧電振動子ＰＺＴの急激な収縮によって壊され、メニスカス部分の液状体がキャビティ１１３内やノズル１１１内の液状体と同じ状態となるからである。
【００３８】
また、前記微振動波形Ｂにおいては、その収縮信号ＶＡの送出時間と維持信号ＶＢの送出時間との和が、前記キャビティ１１３の固有振動周期の整数倍となる時間と該キャビティ１１３の固有振動周期の半分となる時間との和にほぼ等しくなっている。
このようにすることにより、微振動波形Ｂにおける収縮信号ＶＡと維持信号ＶＢとの送出時間の和が、キャビティ１１の固有振動周期の整数倍プラス半分となる。すると、微振動波形Ｂにおける残りの回復信号ＶＣは、前述したようにその送出時間が前記キャビティ１１３の固有振動周期のほぼ整数倍となっていることから、微振動波形Ｂの全体の送出時間も、キャビティ１１の固有振動周期の整数倍プラス半分にほぼ等しくなる。
【００３９】
すると、微振動波形Ｂによって生じる圧電振動子ＰＺＴの振動（微振動）とキャビティ１１３の固有振動とは、例えばサインカーブで表される振動の位相が半周期ずれることにより、キャビティ１１３の固有振動が圧電振動子ＰＺＴの微振動を打ち消すように作用する。したがって、圧電振動子ＰＺＴの微振動が減衰してなくなるまでの時間が速められることから、この圧電振動子ＰＺＴの微振動によるメニスカスの揺れの減衰も速められ、これによってメニスカスの揺れがより速く停止するようになる。
よって、メニスカスの揺れが速く停止することにより、図５（ｂ）に示したようにこの微振動波形Ｂの後に吐出波形Ａが送出されると、この吐出波形Ａによる１ショット目の吐出では前記微振動波形Ｂによる影響をほとんど受けなくなり、前述したようにその着弾精度が良好となるのである。
【００４０】
また、前記微振動波形Ｂにおいては、その維持信号ＶＢの電圧値Ｖｈ（Ｂ）が、前記吐出波形Ａとなる駆動信号における維持信号ＶＢの電圧値Ｖｈ（Ａ）の３０％以上６０％以下となっている。
このように微振動波形Ｂにおける維持信号の電圧値Ｖｈ（Ｂ）を、吐出波形Ａの場合の３０％以上とすることにより、ノズル１１１内のメニスカスをキャビティ１１３側に良好に引き込むことが可能となる。そして、このようにメニスカスを引き込むことができることから、メニスカスに揺れを良好に生じさせることができ、したがってキャビティ１１３及びノズル１１１内の液状体を撹拌し、その溶媒濃度等を均一化することができる。
また、６０％以下とすることにより、メニスカスの揺れが大きくなって液状体の一部がノズル１１１の外に出てしまい、ノズルプレート１１０の外面を汚してしまうことにより、吐出性が低下するのを防止することができる。
【００４１】
なお、このようなインクジェット装置１０では、ヘッド１６から吐出する液状体として、例えばその粘度が１０ｍＰａ・ｓ以上の高粘度のものを用いることができる。
液状体がこのようなの高粘度のものである場合に、従来では着弾精度の悪化が特に顕著となるものの、前述したように微振動によるメニスカスの揺れをより速く停止することにより、着弾精度の悪化を防止して良好な吐出を行うことができる。
【００４２】
（表示装置）
次に、前記インクジェット装置（液滴吐出装置）１０を用いて製造された表示装置の一例について説明する。
図６は、前記インクジェット装置１０によって一部の構成要素が製造された有機ＥＬ表示装置の側断面図である。まず、この有機ＥＬ表示装置の概略構成を説明する。
図６に示すようにこの有機ＥＬ表示装置３０１は、基板３１１、回路素子部３２１、画素電極３３１、バンク部３４１、発光素子３５１、陰極３６１（対向電極）、および封止基板３７１から構成された有機ＥＬ素子３０２に、フレキシブル基板（図示略）の配線および駆動ＩＣ（図示略）を接続したものである。回路素子部３２１は、ＴＦＴ等からなるアクティブ素子が基板３１１上に形成され、複数の画素電極３３１が回路素子部３２１上に整列して構成されたものである。そして、各画素電極３３１間にはバンク部３４１が格子状に形成されており、バンク部３４１により生じた凹部開口３４４に、発光素子３５１が形成されている。陰極３６１は、バンク部３４１および発光素子３５１の上部全面に形成され、陰極３６１の上には封止用基板３７１が積層されている。
【００４３】
有機ＥＬ素子を含む有機ＥＬ装置３０１の製造プロセスは、バンク部３４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子３５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子３５１を構成する各機能層を形成するための発光素子形成工程と、陰極３６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板３７１を陰極３６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。
【００４４】
発光素子形成工程は、凹部開口３４４、すなわち画素電極３３１上に正孔注入層３５２および発光層３５３からなる各機能層を形成することにより、発光素子３５１を形成するもので、正孔注入層形成工程と発光層形成工程とを具備している。そして、正孔注入層形成工程は、正孔注入層３５２を構成するための液状材料を各画素電極３３１上に吐出する吐出工程と、吐出された液状材料を乾燥させて正孔注入層３５２を形成する乾燥工程とを有し、発光層形成工程は、発光層３５３を構成するための液状材料を正孔注入層３５２の上に吐出する吐出工程と、吐出された液状材料を乾燥させて発光層３５３を形成する乾燥工程とを有している。
【００４５】
なお、特に正孔注入層３５２を形成するための液状材料としては、その構成材料である高分子材料（ポリチオフェン誘導体（ＰＥＤＯＴ））を所定の媒体（水及び水に可溶の有機溶媒を含んだものが好ましい）に溶解ないし分散させたものが用いられるが、この液状材料は比較的高粘度の液状体となる。
【００４６】
このような発光素子形成工程において、正孔注入層形成工程における吐出工程と、発光層形成工程における吐出工程とで前記のインクジェット装置１０を用いている。
したがって、この有機ＥＬ表示装置３０１の製造においても、特に正孔注入層３５２を形成するための液状材料のように高粘度の液状体からなる材料について、本吐出の１ショット目から良好な着弾精度で液滴吐出を行い、前記凹部開口３４４に液滴を高精度に配し、塗布することができ、したがって得られる有機ＥＬ表示装置３０１の発光特性等の信頼性を高めることができる。
【００４７】
なお、本発明の表示装置としては、前記有機ＥＬ装置に限定されることなく、液晶表示装置など各種の表示装置に適用することができる。
また、このような表示装置は、ワープロ、パソコン等の携帯型情報処理装置、携帯電話、腕時計型電子機器など、各種の電子機器における表示部として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】インクジェット装置の概略構成図である。
【図２】ヘッドの概略構成図である。
【図３】制御系および駆動系を説明するためのブロック図である。
【図４】ヘッド駆動回路の回路図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は駆動パルスの波形図である。
【図６】有機ＥＬ表示装置の側断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０…インクジェット装置（液滴吐出装置）、１６…ヘッド（液滴吐出ヘッド）、
６０…制御回路（制御部）、６１…駆動信号発生装置（駆動手段）、
１１１…ノズル、１１３…キャビティ、ＰＺＴ…圧電振動子（圧力発生素子）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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