(57)【要約】【課題】高い接合信頼性が確保され、立体形状であるろう材成型体およびその製造方法を提供する。【解決手段】金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にある箔状ろう材を、断面凹型の第１の治具（２１）および断面凸型の第２の治具の間に弾性変形させつつ挟んで保持して、ろう材または治具をろう材の溶融温度未満で加熱した後、ろう材を常温まで冷却することにより、ろう材を塑性変形させる。ろう材を筒型状とするには、さらに、第１の治具（２１）および中空部分と同じ形状の入れ子治具に、形成された部分を形状維持のまま挟み、ろう材を保持して、入れ子治具および断面凹型の第３の治具に、ろう材の残部を挟んで保持し、ろう材の溶融温度未満で加熱し、常温まで冷却する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にある箔状ろう材において、曲げ加工が施されていることを特徴とするろう材成型体。
【請求項２】
金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にある箔状ろう材を、断面凹型の第１の治具および断面凸型の第２の治具の間に挟んで弾性変形させつつ保持して、ろう材または治具をろう材の溶融温度未満で加熱した後、ろう材を常温まで冷却することにより、ろう材の一部を塑性変形させることを特徴とするろう材成型体の製造方法。
【請求項３】
金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にある箔状ろう材を、断面凹型の第１の治具および断面凸型の第２の治具の間に実質的に弾性変形させずに挟んで保持し、ろう材または治具をろう材の溶融温度未満で加熱して、ろう材を弾性変形させつつ、第１の治具と第２の治具をかみ合わせた後、ろう材を常温まで冷却することにより、ろう材の一部を塑性変形させることを特徴とするろう材成型体の製造方法。
【請求項４】
金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にある箔状ろう材を、断面凹型の第１の治具および断面凸型の第２の治具の間に、一部を挟んで弾性変形させつつ保持し、ろう材または治具をろう材の溶融温度未満で加熱した後、ろう材を常温まで冷却することにより、ろう材の一部を塑性変形させ、その後、断面凹型の第１の治具および成型しようとする形状の中空部分と同じ形状の入れ子治具に、塑性変形した部分を形状維持のまま挟んで、ろう材を保持した状態で、入れ子治具および断面凹型の第３の治具に、ろう材の残部を挟んで弾性変形させつつ保持して、ろう材または治具をろう材の溶融温度未満で加熱した後、ろう材を常温まで冷却することにより、ろう材を筒形状に塑性変形させることを特徴とするろう材成型体の製造方法。
【請求項５】
金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にある箔状ろう材を、断面凹型の第１の治具および断面凸型の第２の治具の間に、一部を実質的に弾性変形させずに挟んで保持し、ろう材または治具をろう材の溶融温度未満で加熱して、ろう材を弾性変形させつつ、第１の治具と第２の治具をかみ合わせた後、ろう材を常温まで冷却することにより、ろう材の一部を塑性変形させ、その後、断面凹型の第１の治具および成型しようとする形状の中空部分と同じ形状の入れ子治具に、塑性変形した部分を形状維持のまま挟んで、ろう材を保持した状態で、入れ子治具および断面凹型の第３の治具に、ろう材の残部を実質的に弾性変形させずに挟んで保持し、ろう材または治具をろう材の溶融温度未満で加熱して、ろう材の残部を弾性変形させつつ、ろう材を第１の治具、第３の治具および入れ子治具で挟んだ後、ろう材を常温まで冷却することにより、ろう材を筒形状に塑性変形させることを特徴とするろう材成型体の製造方法。
【請求項６】
入れ子治具の断面が、円または楕円であり、円筒状にろう材を形成することを特徴とする請求項４または５に記載の製造方法。
【請求項７】
入れ子治具の断面が、正多角形、多角形および閉じた輪郭のいずれかであることにより、角筒状にろう材を形成することを特徴とする請求項５または６に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主に接合用に用いられるＡｕ／Ｓｎ合金（Ｓｎ濃度は例えば２０質量％）、Ａｕ／Ｇｅ合金（Ｇｅ濃度は例えば１２質量％）、Ａｕ／Ｓｉ合金（Ｓｉ濃度は例えば３．１５質量％）などのように、金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にあるろう材成型体およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にあるろう材は、半導体装置の組立てにおいて、信頼性の高い接合を実現するための材料として広く使用されている。例えば、Ａｕ／Ｓｎ合金は、セラミックパッケージの気密封止用として、また、Ａｕ／Ｇｅ合金やＡｕ／Ｓｉ合金は、シリコンチップや化合物半導体チップのダイボンディング用として、それぞれ使用されている。これらのろう材は、金系合金ろう材と呼ばれる。
【０００３】
しかし、金系合金ろう材は、常温においては非常に硬くて脆いという機械的特性があり、ほとんど塑性を示さないため、金系合金ろう材を半導体装置の組立てに使用するために箔状に加工する場合、特に圧延工程においては、圧延ロールを加熱することによってろう材を軟化させながら加工している。その後、打抜き加工により一定寸法の箔形状の成型体に加工することは常温下でも可能である。しかし、金系合金ろう材が常温では塑性を示さないことから、常温において曲げ加工により立体的な形状としようとしても、バネ性で元の形状に戻るか、無理に曲げすぎて割れてしまう結果となり、曲げ加工は事実上不可能であった。
【０００４】
金系合金ろう材の機械的特性に起因する難加工性を解消する手段として、例えば、特開平５−３２９６８１号公報には、Ａｕ箔とＳｎ箔を圧接した複数層構造からなる箔を使用し、該箔を接合部に配置し加熱することで合金化し、ろう材として機能させる方法が開示されている。
【０００５】
この方法によれば、Ａｕ箔とＳｎ箔は、両方とも柔軟な素材であり、加工性に富むため、冷間で圧延することも可能であり、曲げ加工もできる。しかしながら、Ａｕ箔とＳｎ箔のそれぞれが柔軟な素材であるため、曲げ加工を行った成型体として提供しようとすると、その後の輸送による振動などの影響により、容易に変形する。そのため、結果として曲げ加工による成型体としてろう材を供給することは困難であった。
【０００６】
また、例えば、特開２０００−２４６４８７号公報には、Ｓｎ含有量が２０質量％であるＡｕ／Ｓｎ合金ろうの線材および成型治具の両方か、もしくは一方を、１００〜２５０℃に加熱して、線材を所望形状のリングに曲折加工する製造方法が開示されている。該製造方法の実施例として、線径２ｍｍのＡｕ／Ｓｎ合金ろうの線材を、外径１０ｍｍ、内径６ｍｍの丸リングに成型した例、線径１ｍｍのＡｕ／Ｓｎ合金ろうの線材を、一辺の外側長さ１５ｍｍ角の角リングに成型した例、および線径０．５ｍｍのＡｕ／Ｓｎ合金ろうの線材を、外径６ｍｍ、内径５ｍｍのリングに成型した例が、開示されている。
【０００７】
この製造方法によれば、Ａｕ／Ｓｎ合金ろうの線材に対する曲げ加工を実現することは可能である。しかしながら、例えば、円柱形状あるいは角柱形状の部材の表面上に、面積は広く、厚さは薄く、Ａｕ／Ｓｎ合金のろう材層を溶融形成させたいような場合には、細い線材から成型加工したリングを、多数個使用する必要が発生し、ろう材層を形成する作業の効率が非常に悪いという問題があった。
【０００８】
【特許公報１】
特開平５−３２９６８１号公報
【０００９】
【特許公報２】
特開２０００−２４６４８７号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高い接合信頼性が確保され、立体形状であるろう材成型体およびその製造方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のろう材成型体は、金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にある箔状ろう材において、曲げ加工が施されていることを特徴とする。
【００１２】
本発明のろう材成型体の製造方法の一態様は、金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にある箔状ろう材を、断面凹型の第１の治具および断面凸型の第２の治具の間に挟んで弾性変形させつつ保持して、ろう材または治具をろう材の溶融温度未満で加熱した後、ろう材を常温まで冷却することにより、ろう材の一部を塑性変形させる。
【００１３】
本発明のろう材成型体の製造方法の異なる態様は、金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にある箔状ろう材を、断面凹型の第１の治具および断面凸型の第２の治具の間に、一部を挟んで弾性変形させつつ保持して、ろう材または治具をろう材の溶融温度未満で加熱した後、ろう材を常温まで冷却することにより、ろう材の一部を塑性変形させ、その後、断面凹型の第１の治具および成型しようとする形状の中空部分と同じ形状の入れ子治具に、塑性変形した部分を形状維持のまま挟んで、ろう材を保持した状態で、入れ子治具および断面凹型の第３の治具に、ろう材の残部を挟んで弾性変形させつつ保持して、ろう材または治具をろう材の溶融温度未満で加熱した後、常温まで冷却することにより、ろう材を塑性変形させ、筒形状とする。
【００１４】
なお、板厚が厚い場合には、ろう材を実質的に弾性変形させない状態で治具間に挟んで保持し、ろう材またはろう材を溶融温度未満で加熱して、ろう材を弾性変形させつつ、徐々に治具をかみ合わせていくことにより、ろう材を成型することができる。
【００１５】
入れ子治具の断面が、円または楕円の場合には、円筒状にろう材を形成することができる。また、入れ子治具の断面が、正多角形、多角形および閉じた輪郭のいずれかである場合には、角筒状にろう材を形成することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明者らは、金を主体元素とし、溶融温度が２５０〜３８０℃の範囲内にあるろう材を、いったん箔状に加工した後、断面が凹型に加工された形状を持つ治具と、該治具と噛みあう形状で、断面が凸型に加工された形状を持つ治具との間に挟み、その後、ろう材または治具をろう材が溶融しない温度で加熱することによって、前記２つの治具で挟まれることによる圧力で、当該挟まれた部分のろう材は塑性変形を起こして曲がり、その後、ろう材を常温まで冷却することによって、ろう材の形状が永久変形となり、曲げ加工を完成させることができることを見い出し、本発明を完成するに至った。
【００１７】
本発明の第１態様を、図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施例による断面凹型の第１の治具を示す平面図および断面図であり、図２は、断面凸型の第２の治具を示す平面図および断面図であり、図３は、断面凹型の第３の治具を示す平面図および断面図であり、図４は、入れ子治具を示す斜視図である。
【００１８】
例えば、断面が凹型に加工された形状を持つステンレス製の第１の治具（２１）と、断面が第１の治具（２１）と噛みあうような形状の凸型に加工された形状を持つステンレス製の第２の治具（３１）を準備する。また、断面が凹型に加工された形状を持ち、第１の治具（２１）と対向させることによって、断面が円形になるようなステンレス製の第３の治具（４１）と、第１の治具（２１）と第３の治具（４１）を対向させて形成される円形と、断面形状がほぼ等しくなるステンレス製の円柱状の入れ子治具（５１）を準備する。ここで言う「ほぼ等しく」とは、第１の治具（２１）と第３の治具（４１）を対向させてできる円の直径に対し、円柱状の入れ子治具（５１）の断面の直径が、箔状合金ろう材の厚さの２倍程度小さく、それぞれを形成することになるが、箔が非常に薄いことから、ほぼ等しいことを示している。入れ子治具（５１）は、目的とするろう材成型体（１３）の形状を反映している。
【００１９】
本発明の製造方法を、図面を参照して説明する。図５から図９は、本発明の製造方法を示す一連の断面図である。図１０は、本発明の製造方法により得られたろう材成型体を示す斜視図である。
【００２０】
図５および図６のように、前述の治具を用いて、箔状の金系合金ろう材（１１）を、第１の治具（２１）および第２の治具（３１）で、上下から挟み、金系合金ろう材（１１）が溶融はしないが、塑性変形を起こすことのできる温度まで加熱する。これにより、第１の治具（２１）および第２の治具（３１）による圧力で、金系合金ろう材（１１）は前記挟まれた部分で塑性変形を起こして曲がる。その冷却後には、曲がった形状が永久変形として残り、図７に示したように断面Ｕ字型の曲げ加工（１２）が完了する。これは、目的とする円筒形状の半分が形成されている点で、目的製品に対する半製品である。
【００２１】
加熱前には、特性が硬くて脆い状態で、金系合金ろう材（１１）に曲げ応力が作用する。しかし、板厚が０．１５ｍｍ程度以下の場合には、曲げに対してのバネ性を有するので、割れずに、第１の治具（２１）および第２の治具（３１）の間に挟み込んで弾性変形させることが可能である。しかし、この状態とするだけでは塑性変形を生じず、曲げ加工を得られないので、挟み込んでから加熱することにより曲げ加工を施す。
【００２２】
また、板厚が０．１５ｍｍを超える場合には、第２の治具（３１）の質量を軽くして、常温において金系合金ろう材（１１）がほとんど曲がらない程度に、金系合金ろう材（１１）を第１の治具（２１）および第２の治具（３１）の間に挟み、その後、加熱して金系合金ろう材（１１）を柔らかくすることで、第２の治具（３１）が第１の治具（２１）とかみ合うように沈み込んで、金系合金ろう材（１１）に、曲げ加工を施す。
【００２３】
このようにして、まずＵ字型に曲げ加工を行った金系合金ろう材（１２）を、図８に示したように、第１の治具（２１）と、入れ子治具（５１）および第３の治具（４１）で挟み込み、図９に示すように、先に塑性変形した部分を第１の治具（２１）と入れ子治具（５１）との間に、残部を第３の治具（４１）と入れ子治具（５１）との間に挟んだ状態で、金系合金ろう材（１２）が溶融はしないが塑性変形を起こすことのできる温度まで加熱する。これにより、治具による圧力で、金系合金ろう材（１２）の残部は塑性変形を起こして曲がるので、その後、冷却した際には曲がった形状が永久変形として残る。その結果、金系合金ろう材（１２）は、円柱形の入れ子治具（５１）の曲面に沿って円柱状に曲げ加工され、その後、入れ子治具（５１）を軸方向に抜き取ることによって、最終的に図１０に示したような円筒形に成型されたろう材成型体（１３）を得る。
【００２４】
治具（２１、３１、４１、５１）の断面形状を、正方形あるいは長方形となるように形成することによって、各角筒状のろう材成型体を得ることも可能である。
【００２５】
なお、例えば、断面直径が３ｍｍ、長さを５ｍｍに加工したろう材成型体（１３）を得たい場合には、最初に準備しておく金系合金ろう材（１１）の寸法を、縦寸法が３ｍｍに円周率を掛けた寸法である約９．４２ｍｍ、横寸法が５ｍｍという具合に、曲げ加工後の寸法に対して適切な寸法に予め加工しておく。
【００２６】
本発明の第２態様を、図面を参照して説明する。図１１は、本発明の一実施例による断面凹型の第１の治具を示す平面図および断面図であり、図１２は、断面凸型の第２の治具を示す平面図および断面図である。
【００２７】
断面が凹型に加工された形状を持つステンレス製の第１の治具（２２）と、断面が、第１の治具（２２）と噛みあうような形状で、凸型に加工された形状を持つステンレス製の第２の治具（３２）とを作製する。
【００２８】
本発明の製造方法を、図面を参照して説明する。図１３および図１４は、本発明の製造方法を示す一連の断面図である。図１５は、本発明の製造方法により得られたろう材成型体を示す斜視図である。
【００２９】
図１３および図１４のように、箔状の金系合金ろう材（１１）を、第１の治具（２２）および第２の治具（３２）で、上下から挟み、金系合金ろう材（１１）が溶融はしないが塑性変形を起こすことのできる温度まで加熱する。これにより、第１の治具（２２）および第２の治具（３２）による圧力で、金系合金ろう材（１１）の前記挟まれた部分は塑性変形を起こして曲がる。その後、冷却により曲がった形状が永久変形として残り、図１５に示したように断面Ｖ字型の曲げ加工が完了する。
【００３０】
本発明の第３態様を、図面を参照して説明する。図１６は、本発明の一実施例による断面凹型の第１の治具を示す平面図および断面図であり、図１７は、断面凸型の第２の治具を示す平面図および断面図である。
【００３１】
同様にして、第１の治具（２３）および第２の治具（３３）を使用して、図１８および図１９に一連の断面図を示したような製造方法により、図２０に示す屈曲部が複数箇所あるようなろう材成型体（１５）を得ることも可能である。
【００３２】
第２態様および第３態様においても、箔状の金合金ろう材（１１）の板厚などにより、第２の治具（３２、３３）の設計や加工方法が変更されることは、第１態様と同様である。
【００３３】
以上、説明したように、本発明の製造方法により、常温では曲げることができないろう材に対して曲げ加工を行うことが可能であり、冷却後の常温下では、ろう材成型体が再び難加工性となるために、接合作業に供されるまでその曲げ形状を保つことが可能なろう材成型体を得ることができる。
【００３４】
なお、加熱に際しては、窒素雰囲気下、あるいは水素と窒素の混合雰囲気下で、行うことによって、ろう材成型体の表面が酸化することを防止しておくことが好ましい。
【００３５】
【実施例】
（実施例１）
純度９９．９９％のＡｕ２，４００ｇと、純度９９．９９％のＳｎ６００ｇとを、黒鉛坩堝に入れ、真空中で誘導加熱溶解し合金化させた後、黒鉛の鋳型に鋳込み、直径５０ｍｍ、高さ約１００ｍｍの、Ａｕ／２０質量％Ｓｎなる金錫共晶合金の円筒形状インゴットを得た。その後、プレス能力２．９４×１０６  Ｎ（３００ｔｏｎ）の油圧プレス装置を用いて、温間押出し加工を行い、幅３０ｍｍ、厚さ３ｍｍ、長さ約１，５００ｍｍの板材とした。
【００３６】
次に、この板材を、圧延ロールの表面温度が約２１０℃である圧延装置によって、幅３０ｍｍ、板厚０．０５０ｍｍのコイル状になるまで圧延加工を行った。
【００３７】
その後、プレス加工を施して縦寸法が６．２８ｍｍ、横寸法が２．５ｍｍの長方形の箔状の金系合金ろう材を得た。
【００３８】
また、一方で、図１から図４に示したように、ステンレス製の第１の治具（２１）、第２の治具（３１）、第３の治具（４１）、入れ子治具（５１）を作製した。凹部（２１ａ）、（４１ａ）および凸部（３１ａ）は、直径が２ｍｍの半円形状とした。平坦部（２１ｂ）は、箔状の金系合金ろう材を、容易に位置決めが可能となるように設けた。また、入れ子治具（５１）は、円柱とし、断面の直径を１．９ｍｍとした。また、入れ子治具（５１）の長さは、金錫共晶合金箔の横寸法と等しい２．５ｍｍとし、それぞれの治具は、入れ子治具（５１）の外形寸法を基準として、互いにちょうど噛みあうように、形成した。
【００３９】
ろう材成型体の製造方法を、図面を参照して説明する。図５から図９は、本実施例の製造方法を示す一連の断面図である。図１０は、本実施例の製造方法により得られたろう材成型体を示す斜視図である。
【００４０】
まず、箔状の金系合金ろう材（１１）を、図５のような位置関係になるように第１の治具（２１）および第２の治具（３１）で、図６のように挟み、窒素１００％雰囲気に保ったコンベア炉（図示せず）に載せ、ピーク温度２７０℃、２５０℃以上の温度での加熱時間が５分となる条件で加熱し、その後、常温まで自然冷却した。その結果、図７に示したように、第１の治具（２１）および第２の治具（３１）の断面形状に沿ったＵ字型に、曲げ加工されたろう材成型体（１２）を得た。
【００４１】
次いで、Ｕ字型に曲げ加工されたろう材成型体（１２）を、第１の治具（２１）、入れ子治具（５１）および第３の治具（４１）により、ろう材成型体（１２）が、円柱状の入れ子治具（５１）の曲面に沿って密着して曲がるようにして、図８および図９に示したような位置関係で挟み、窒素１００％雰囲気に保ったコンベア炉に載せ、ピーク温度２７０℃、２５０℃以上の温度での加熱時間が５分となる条件で加熱し、その後、常温まで自然冷却し、入れ子治具（５１）から抜き取ることによって、図１０に示したろう材成型体（１３）を得た。
【００４２】
２０個のろう材成型体（１３）を作製したが、割れてしまうようなことはなく、安定した曲げ加工が可能であった。
【００４３】
（実施例２）
実施例１と同様に作製した圧延加工後のろう材に、プレス加工を施して２．０ｍｍ角の正方形の箔状の金系合金ろう材を得た。
【００４４】
また、一方で、図１１および図１２に示したように、ステンレス製で、第１の治具（２２）および第２の治具（３２）を作製した。凹部（２２ａ）および凸部（３２ａ）は、直角に連続する２つの平面とした。平坦部（２２ｂ）は、箔状の金系合金ろう材を、容易に位置決めが可能となるように設けた。
【００４５】
ろう材成型体の製造方法を、図面を参照して説明する。図１３および図１４は、本実施例の製造方法を示す一連の断面図である。図１５は、本実施例の製造方法により得られたろう材成型体を示す斜視図である。
【００４６】
まず、箔状の金系合金ろう材（１１）を、図１３のような位置関係になるように第１の治具（２２）および第２の治具（３２）で、図１４のように挟み、窒素１００％雰囲気に保ったコンベア炉（図示せず）に載せ、ピーク温度２７０℃、２５０℃以上の温度での加熱時間が５分となる条件で加熱し、その後、常温まで自然冷却した。その結果、図１５に示したように、第１の治具（２２）および第２の治具（３２）の断面形状に沿ったＶ字型に、曲げ加工されたろう材成型体（１４）を得た。
【００４７】
２０個のろう材成型体（１４）を作製したが、割れてしまうようなことはなく、安定した曲げ加工が可能であった。
【００４８】
（実施例３）
純度９９．９９％のＡｕ１，４０８ｇと、純度９９．９９％のＧｅ１９２ｇとを、黒鉛坩堝に入れ、真空中で誘導加熱溶解し合金化させた後、黒鉛の鋳型に鋳込み、幅５０ｍｍ、厚さ１０ｍｍ、長さ約２００ｍｍの、Ａｕ／１２質量％Ｇｅなる金ゲルマニウム共晶合金の板状インゴットを得た。さらに、この板状インゴッドを、圧延ロールの表面温度が約３００℃である圧延装置によって、板厚０．０５０ｍｍのコイル状になるまで圧延加工を行った後、プレス加工を施して幅１．０ｍｍ、長さ４．０ｍｍの長方形の箔を得た。
【００４９】
また。一方で、図１６および図１７に示したように、ステンレス製で、第１の治具（２３）および第２の治具（３３）を作製した。凹部（２３ａ）および凸部（３３ａ）は、箔を挟んで噛み合う断面コ字状とした。平坦部（２３ｂ）は、箔状の金系合金ろう材を、容易に位置決めが可能となるように、かつ、平坦部（３３ｂ）とで挟んで平坦面を形成可能となるように、設けた。
【００５０】
ろう材成型体の製造方法を、図面を参照して説明する。図１８および図１９は、本実施例の製造方法を示す一連の断面図である。図２０は、本実施例の製造方法により得られたろう材成型体を示す斜視図である。
【００５１】
まず、箔状の金系合金ろう材（１１）を、図１８のような位置関係になるように第１の治具（２３）および第２の治具（３３）で、図１９のように挟み、窒素１００％雰囲気に保ったコンベア炉（図示せず）に載せ、ピーク温度３４５℃、３２０℃以上の温度での加熱時間が５分となる条件で加熱し、その後、常温まで自然冷却した。その結果、図２０に示したように、第１の治具（２３）および第２の治具（３３）の断面形状に沿った溝型に、曲げ加工されたろう材成型体（１５）を得た。
【００５２】
２０個のろう材成型体（１５）を作製したが、割れてしまうようなことはなく、安定した曲げ加工が可能であった。
【００５３】
前記実施例では、０．０５０ｍｍの箔を使用したが、約０．１５ｍｍ以下の箔を同様に成型することができた。
【００５４】
【発明の効果】
本発明により、高い接合信頼性が確保され、立体形状であるろう材成型体およびその製造方法を提供することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例による断面凹型の第１の治具を示す平面図および断面図である。
【図２】本発明の一実施例による断面凸型の第２の治具を示す平面図および断面図である。
【図３】本発明の一実施例による断面凹型の第３の治具を示す平面図および断面図である。
【図４】本発明の一実施例による入れ子治具を示す斜視図である。
【図５】本発明の製造方法を示す断面図である。
【図６】本発明の製造方法を示す断面図である。
【図７】本発明の製造方法を示す断面図である。
【図８】本発明の製造方法を示す断面図である。
【図９】本発明の製造方法を示す断面図である。
【図１０】本発明の製造方法により得られたろう材成型体を示す斜視図である。
【図１１】本発明の一実施例による断面凹型の第１の治具を示す平面図および断面図である。
【図１２】本発明の一実施例による断面凸型の第２の治具を示す平面図および断面図である。
【図１３】本発明の製造方法を示す断面図である。
【図１４】本発明の製造方法を示す断面図である。
【図１５】本発明の製造方法により得られたろう材成型体を示す斜視図である。
【図１６】本発明の一実施例による断面凹型の第１の治具を示す平面図および断面図である。
【図１７】本発明の一実施例による断面凸型の第２の治具を示す平面図および断面図である。
【図１８】本発明の製造方法を示す断面図である。
【図１９】本発明の製造方法を示す断面図である。
【図２０】本発明の製造方法により得られたろう材成型体を示す斜視図である。
【符号の説明】
１１、１２、１３、１４、１５  箔状ろう材
２１、２２、２３  第１の治具
２１ａ、２２ａ、２３ａ  凹部
２１ｂ、２２ｂ、２３ｂ  平坦部
３１、３２、３３  第２の治具
３１ａ、３２ａ、３３ａ  凸部
３３ｂ  平坦部
４１  第３の治具
４１ａ  凹部
５１  入れ子治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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