(57)【要約】【課題】従来、ディスプレイ用のガラス基板は、熱処理を加えたり、金属薄膜など膨張率の異なる薄膜を基板上に形成しているため、ガラス基板の端面が反ったり捻れが生じたりしており、正確な検査が実施できない。【解決手段】本発明は、ガラス基板７の反り状態を検出する距離検出センサ２６と、コンプレッサ２７からの空気を吐出するノズル２２と、距離検出センサ２６により反りが検出された際にノズル２２から空気が吐出されるようにバルブ２８を開閉する制御部２９とで構成され、距離検出センサ２６により検出された距離データの変化により、ガラス基板７に生じた反り上がりの状態（反り量）を把握し反りが生じているガラス基板７の先端部分が撮像位置に達する直前に、ノズル２２から空気を吐出して、反りを空気の圧力により基板ステージ９側に押し付けて平坦化させる基板の平坦化機能を有する検査装置である。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査領域に存在する基板の反り部分又は捻れた部分に気体を吹き付けて、検査期間中には上記基板の反り又は捻れた部分を補正して、検査を行う基板の平坦化機能を有する検査装置。
【請求項２】
基板を搬送させる搬送部と、
上記搬送部に設けられ、搬送される上記基板の全表面を撮像して検査に用いる画像を得る撮像部と、
上記撮像部の撮像領域に沿って、等間隔に複数配置され、気体を吐出するノズルと、
上記搬送される上記基板との距離の変化から、該基板の反り状態を検出する反り検出部と、を具備し、
上記反り検出部により搬送される上記基板の反りを検出した際に、上記ノズルから検出された反り部分に気体を吐出して該反りを平坦化する基板の平坦化機能を有する検査装置。
【請求項３】
上記ノズルは、上記基板に生じる反りの方向に対して、垂直に対向する方向から吐出する請求項２に記載の基板の平坦化機能を有する検査装置。
【請求項４】
上記ノズルは、搬送される上記基板の前端の反りを平坦化する第１のノズルと、搬送される上記基板の後端の反りを平坦化する第２のノズルと、で構成される請求項３に記載の基板の平坦化機能を有する検査装置。
【請求項５】
上記搬送部は、上記基板を載置し移動可能な基板ステージを備え、
上記基板ステージの基板載置面には、気体を吐出する複数の空気孔と、
上記基板ステージの搬送方向側の両端で、上記基板を吸着する吸着パッド対と、を具備し、
上記基板を浮上させつつ、保持する請求項２に記載の基板の平坦化機能を有する検査装置。
【請求項６】
上記上記基板ステージの基板載置面の中央に、上記空気孔から吐出された気体を吸引する吸引口が設けられた吸引溝を、具備し、
上記空気孔から吐出された気体により上記基板を浮上させつつ、吸引溝で吸引保持し、上記ノズルから吐出された気体による上記基板への振動を防止する請求項２に記載の基板の平坦化機能を有する検査装置。
【請求項７】
基板を搬送させる搬送部と、
上記搬送部に設けられ、搬送される上記基板の全表面を撮像して検査に用いる画像を得る撮像部と、
上記撮像部の撮像領域に沿って、等間隔に複数配置され、気体を吐出するノズルと、
上記ノズルを回動可能で且つ、上記基板の表面と平行に移動させる移動機構と、
上記搬送される上記基板との距離の変化から、該基板の反り状態を検出する反り検出部と、
上記反り検出部により検出された反り部分の反り状態、上記基板の材料及び厚さと、該反り部分を平坦にするノズルから吐出される吐出の圧力、吐出量及び吐出方向とを関連づけて記憶する参照テーブルと、
を具備し、
上記反り検出部により搬送される上記基板の反りを検出した際に、その反り状態を上記参照テーブルに参照して、吐出する気体の圧力、吐出量及び吐出方向を算出して、上記ノズルを調整し、上記反り部分に気体を吐出して平坦化する基板の平坦化機能を有する検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大型基板、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）又はプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等のディスプレイ用の基板の検査時における改善に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、従来の表示装置であるブラウン管等に代わって、小型軽量化や省消費電力を実現するＬＣＤやＰＤＰ等のフラットパネルディスプレイ（以下、単にディスプレイと称する）が普及しつつある。
【０００３】
これらのディスプレイは、テレビジョンやパーソナルコンピュータ等の表示部に多用されており、テレビジョンにおいては、大画面化が強く望まれている。この要望に伴い、ディスプレイ基板のサイズが大型化され、製造装置においても、そのサイズに沿って大型化されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平８−２７４１４８号公報
【０００５】
【特許文献２】
特開２０００−２１３４４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前述したようなディスプレイ用の基板は主としてガラス基板が用いられており、複数の製造工程を経て、そのガラス基板上に多数の画素や駆動回路等が形成されている。これらの製造工程においては、不良個所の有無を検出するために、外観検査や電気的な検査など種々の検査工程が含まれている。
【０００７】
この外観検査としては、基板表面をＣＣＤ等の撮像素子を用いて撮像して、得られた画像を観察するパターン検査や欠陥検査がある。このような撮像には、顕微鏡と同等な光学系（鏡筒）を用いて高解像度の画像を得るため、基板表面に正確にピントを合わせなければならない。
【０００８】
よって上記ガラス基板が大型化されるに伴い、製造時においてもガラス基板の平坦化が重要となっている。つまり、製造前に平坦なガラス基板であっても、ＣＶＤ等による成膜時に伴う熱やアニール処理等の熱処理が加わると、ガラス基板に大きく影響を与え、特に金属膜等がガラス基板に成膜された場合には、室温であってもガラスと金属膜との熱膨張率の違いから応力が働き、ガラス基板に捻れや反りを発生させている。従って、ガラス基板が大型化されるほど、反りが発生しやすくなり、又その反り量（反り角度）も大きくなっている。特に、ガラス基板の端部ほど反りが大きくなっている。
【０００９】
通常、ガラス基板が大型化したとしても、その端部の近傍まで回路素子やパターンが形成されているため、反りの部分であっても検査しなければならない。
【００１０】
例えば、特許文献１においては、基板を押圧部材で押圧して固定する技術が開示されている。また、特許文献２においては、基板（ウエハ）を押さえピンにより押さえて固定する技術が開示されている。
【００１１】
これらの技術は、共に機械的部品で基板を押さえ込み、反りや捻れを解消する構造であるため、基板に接触することとなり、汚れ等の問題が生じる。また、本発明では、基板として薄いガラス基板を対象としているため、引用文献１，２の様に突起部やピンで押さえた場合には、その箇所に応力が生じて傷やひび割れが発生して破損する虞がある。特にガラス基板にひび割れが生じると製造工程途中で割れてしまうため、このひび割れが生じたガラス基板を早期に検出して廃棄処分しなければならない。このガラス基板は小さな傷からひび割れが生じることから、機械的な部材を用いて固定することは好ましくない。
【００１２】
そこで本発明は、基板に反りや捻れによる浮きが発生していた場合に、基板検査時には反りによる浮き上がりを解消して、適切な検査画像を得ることができる基板の平坦化機能を有する検査装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために、検査領域に存在する基板の反り部分又は捻れた部分に気体を吹き付けて、検査期間中には上記基板の反り又は捻れた部分を補正して、検査を行う基板の平坦化機能を有する検査装置を提供する。
【００１４】
また、基板を搬送させる搬送部と、上記搬送部に設けられ、搬送される上記基板の全表面を撮像して検査に用いる画像を得る撮像部と、上記撮像部の撮像領域に沿って、等間隔に複数配置され、気体を吐出するノズルと、上記搬送される上記基板との距離の変化から、該基板の反り状態を検出する反り検出部と、を具備し、上記反り検出部により搬送される上記基板の反りを検出した際に、上記ノズルから検出された反り部分に気体を吐出して該反りを平坦化する基板の平坦化機能を有する検査装置を提供する。
【００１５】
さらに、基板を搬送させる搬送部と、上記搬送部に設けられ、搬送される上記基板の全表面を撮像して検査に用いる画像を得る撮像部と、上記撮像部の撮像領域に沿って、等間隔に複数配置され、気体を吐出するノズルと、上記ノズルを回動可能で且つ、上記基板の表面と平行に移動させる移動機構と、上記搬送される上記基板との距離の変化から、該基板の反り状態を検出する反り検出部と、上記反り検出部により検出された反り部分の反り状態、上記基板の材料及び厚さと、該反り部分を平坦にするノズルから吐出される吐出の圧力、吐出量及び吐出方向とを関連づけて記憶する参照テーブルとを具備し、上記反り検出部により搬送される上記基板の反りを検出した際に、その反り状態を上記参照テーブルに参照して、吐出する気体の圧力、吐出量及び吐出方向を算出して、上記ノズルを調整し、上記反り部分に気体を吐出して平坦化する基板の平坦化機能を有する検査装置を提供する。
【００１６】
以上のような構成の基板の平坦化機能を有する検査装置は、基板ステージに吸着されたガラス基板を搬送して、距離検出センサの下方を通過した際に、順次、基板までの距離データを検出し、制御部は、距離データの変化により、ガラス基板に生じた反り上がりの状態（反り量）を把握する。反りが生じているガラス基板の先端部分が検査部の撮像位置に達する直前に、空気を吐出して、反り部分が空気の圧力により基板ステージ側に押し付けられて平坦化される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の外観構成例を示し、図２，図３は、基板検査装置の検査部における基板平坦化部の配置例及び構成例を示す図である。以下、これらの図面を参照して説明する。
【００１９】
この基板検査装置は、大別して、基板搬入部１、装置本体（基板搬送部）２、検査部３、基板搬出部４及び基板搬送ロボット５，６とで構成される。
【００２０】
基板搬入部１は、基板搬送ロボット５の搬送アーム８に吸着保持されているディスプレイのガラス基板７を基板ステージ９で受け取る。基板ステージ９の上面（基板載置面）には多数の空気孔１０と、搬送アーム８が受け渡し時に入り込むための溝１１が設けられている。また、基板ステージ９の搬送方向側の両端には、ガラス基板７を吸着する吸着パッド１２，１３がそれぞれ設けられている。
【００２１】
この基板搬入部１は、吸着パッド１２，１３でガラス基板７の裏面端部を吸着しつつ、基板ステージ９上の空気孔１０から圧搾空気を吐出してガラス基板７を浮上させた状態で保持する。また、基板ステージ９の前方の両端には、装置本体の両サイドに設けられたスライダ１４，１５に沿って移動可能な支持部１７が設けられている。基板搬出部４は、基板搬入部１と同様な構成であり、基板搬送ロボット６は、基板搬送ロボット５と同様な構成である。
【００２２】
さらに、装置本体２の両サイドに前述したスライダ１４，１５、その内側には基板ステージ１８の移動のための２本のレール（溝）１１が設けられ、装置本体２上（図１では中央）には検査部３が設けられている。本実施形態では検査部３として、鏡筒を含む撮像部と照明部とで構成される撮像ユニット２１ａ〜２１ｆが６台配列され、門柱アームににそれぞれ固定されている。搬送するガラス基板７の全面に亘る検査画像を取り込いでいる。これらの撮像ユニット２１（２１ａ〜２１ｆ）では、撮像光軸と照明光軸との交点（検査領域又は撮像位置）が被写体となるガラス基板７の表面に位置するように調整される。この交点の合焦位置でガラス基板の検査（撮像）を行う。
【００２３】
また、これらの撮像ユニット２１ａ〜２１ｆには、ガラス基板７の撮像領域に対して等間隔となるように、それぞれに一組のノズル２２（２２ａ，２２ｂ）が固定金具２３により取り付けられている。これらのノズル２２は後述する様に空気（又は、ガス）を吐出する。これらのうち、ノズル２２ａは、ガラス基板７の前端側に発生している反りや捻れを平坦化するように作用し、ノズル２２ｂは、ガラス基板７の後端側に発生している反りや捻れを平坦化するように作用する。
【００２４】
本実施形態では、図３に示すように、ノズル２２ａ，２２ｂは共にガラス基板の表面（撮像面）又はその近傍として、これと直交する垂線に対して前後に３０°傾いて前述した交点に気体（空気又はガス）を吐出するように取り付けられている。勿論、この取り付け角度（吐出角度）は、限定されるものではなく、適宜変更でき、反りを効率的に押さえる様に吐出する、好ましくは、反り方向に垂直に対向する方向が望ましい。
【００２５】
また固定金具２３には、曲線的なスリットが形成され、少なくとも２つの調整ビス２４によりそれぞれ固定されている。これらの調整ビス２４をゆるめて、固定金具２３のスリットに沿って移動させると、ノズル２２ａ，２２ｂの吐出方向を可変することができ、基板の厚み等に応じて適正な吐出方向に調整することができる。
【００２６】
以下の説明において、気体としては、空気を一例として説明する。その他、ガスとしては窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスが好適する。また、供給源として、空気はコンプレッサを用い、ガスはボンベ等を用いる。尚、ノズル２２は、ノズル本体内に空気の通路が形成されており、ノズル先端部には、空気の通路に比べて狭い吐出口が開口されている。また、空気の通路内に例えば、バルブに用いられると同様なスプリッタを設けて、ノズル先端部を前後移動させることにより通路の広さを可変して、吐出される吐出量を調整することもできる。前述した固定金具２３及びノズル先端部の前後移動により、吐出方向、吐出圧力及び吐出量を変更することができる。
【００２７】
また、各撮像ユニット２１ａ〜２１ｆには、レーザ等を用いて非接触により、ガラス基板７まで距離を検出する距離検出センサ２６が設けられている。この距離検出センサ２６は、搬送するガラス基板７までの距離を連続的に検出することにより、ガラス基板７の反り状態即ち、反り量（反り角度）を検出する反り検出部として機能する。
【００２８】
図４に基板平坦化部のブロック構成を示して説明する。
この基板平坦化部は、ガラス基板７の反り状態を検出する距離検出センサ２６と、空気を吐出するノズル２２（２２ａ，２２ｂ）と、ノズル２２へ空気を圧縮して送出するコンプレッサ２７と、ノズル２２とコンプレッサ２７との配管途中に設けられるバルブ２８と、距離検出センサ２６により反りが検出された際に、ノズル２２から空気が吐出されるようにバルブ２８を開閉する制御部２９とで構成される。
【００２９】
このように構成された基板平坦化部の作用について説明する。
【００３０】
図５（ａ）に示すように、基板ステージ１８にエアー浮上保持されたガラス基板７が搬送して、距離検出センサ２６の下方を通過した際に、距離検出センサ２６は順次、距離データを検出して制御部２９へ送出する。制御部２９は、距離データの変化により、ガラス基板７に生じた反り上がりの状態（反り量や反り方向）を把握する。
【００３１】
図５（ｂ）に示すように、反りが生じているガラス基板７の先端部分が光軸の交点即ち撮像位置に達する直前に、制御部２９の制御により、バルブ２８を開けて、ノズル２２から空気を吐出して、反り部分が空気の圧力により基板ステージ９側に押し付けられて、平坦化される。撮像が終了した後は、空気の吐出を停止する。即ち、検査期間中（撮像中）にガラス基板が平坦化されていればよい。空気を吐出する場合、反り部分が撮像位置を通り抜ける間、連続して空気を吐出したままであってもよいし、反り部分が撮像位置に達する直前から撮像するまでの間だけ空気を吐出していてもよい。従って、撮像する時間が短ければ、空気の吐出は連続せずに、パルス的に間欠して吐出する場合がある。尚、反りを平坦化させている際に、ガラス基板７と基板ステージ９の載置面とが接触しないように、吐出する空気の圧力や吐出量を予め経験的に求めておき、この時に求められた数値に基づいて調整を行う。
【００３２】
以上説明したように本実施形態によれば、基板検査時にガラス基板に生じている反りを平坦化することにより、ピントが合った検査画像を撮像することができ、得られた検査画像により適正な検査判断を実現することができる。
【００３３】
次に、第２の実施形態について説明する。
通常、ディスプレイに用いられる基板、例えばガラス基板に生じる反りや捻れは、一様な反り状態（捻れ具合）では発生しない。これは、ガラス基板の材質や厚さ、金属薄膜が形成されたガラス基板、熱処理が異なっている等、種々の形態により異なっている。本実施形態では、ガラス基板に生じている反り状態に適正な空気の吐出により平坦化を図る。尚、本実施形態における基板平坦化部は、第１の実施形態において説明した基板検査装置に搭載するものとして説明している。
【００３４】
図６は、第２の実施形態における基板平坦化部の構成例を示す図である。
【００３５】
この基板平坦化部は、ノズル３１が回動及び平行移動する移動機構３０を有しており、且つ、１つのノズルにより前述したノズル２２ａ，２２ｂを兼用する機能を有している。ノズル３１は、ノズルベース部３２に回転可能に設けられた回動ギヤ３３に取り付けられる。ノズルベース部３２は、撮像ユニット２１の本体に形成された水平溝３４に沿って移動可能に設けられている。またノズルベース部３２の上側には、数個のギヤが形成された平行移動用ギヤ部３５が設けられている。
【００３６】
ノズル３１を回動及び平行移動させるために、これらの回動ギヤ３３または、平行移動用ギヤ部３５のいずれか一方に噛み合うウォームギア３７と、このウォームギヤ３７を回転させるモータ３８と、モータ３８を固定し、垂直溝３９に沿って移動可能なモータベース部４０とで構成された駆動機構を備えている。
【００３７】
図６において、モータベース部４０がＡ位置にある場合には、ウォームギア３７と回動ギヤ３３とが噛み合った状態であり、ノズル３１を回動させて、吐出方向を変更することができる。また、モータベース部４０がＢ位置にある場合には、ウォームギア３７と平行移動用ギヤ部３５とが噛み合った状態であり、ノズル３１を平行移動させることができる。モータベース部４０におけるＡ位置とＢ位置との切換は、図示しない磁石等を用いて移動させることができる。
【００３８】
また、ノズルベース部３２がＣ位置にある場合には、ガラス基板７の前端部に生じている反りに対する平坦化を図り、Ｄ位置にある場合には、ガラス基板７の後端部に生じている反りに対して平坦化を図る。
【００３９】
図７には、基板平坦化部のブロック構成を示して説明する。
【００４０】
ここで、この実施形態の構成部位において、前述した図４に示した構成部位  と同等のものには同じ参照符号を付している。
【００４１】
この基板平坦化部は、ガラス基板７の反り状態を検出する距離検出センサ２６と、空気を吐出するノズル３１と、ノズル３１へ空気を圧縮して送出するコンプレッサ２７と、ノズル３１とコンプレッサ２７との配管途中に設けられ通過する流量を調整可能な可変バルブ４１と、反りを平坦化するためのデータを予め記憶する参照テーブル４２と、距離検出センサ２６により検出された反り状態（反り量）を参照テーブル４２に照らし合わせて、吐出する空気の圧力や吐出量及び吐出方向を求め、移動機構３０によりノズル３１を回動及び平行移動させた後、空気を反り部分に吐出して平坦化を図る制御部２９とで構成される。
【００４２】
この参照テーブル４２の記憶される参照データは、予め経験的に求めて記憶させるものであり、例えば、基板の材質や厚さや反り状態（反り量）に応じて、反り部分の平坦化に必要な空気の圧力、吐出量及び吐出方向を求めて、テーブル化しておく。
【００４３】
このように構成された基板平坦化部の作用について説明する。
まず、ノズルベース部３２をＣ位置側に配置させる。基板ステージ９にエアー浮上保持されたガラス基板７が搬送され、距離検出センサ２６の下方を通過した際に、距離検出センサ２６は順次、距離データを検出して制御部２９へ送出する。制御部２９は、距離データの変化により、ガラス基板７に生じた反り上がりの状態（反り量）を把握する。
【００４４】
そして制御部２９は、検査前に予め設定されたガラス基板の材質、厚さ及び金属膜等の有無で分けられた参照テーブルから該当する参照テーブル４２を読み出し、その反り状態における吐出圧力、吐出量及び吐出方向を決定する。制御部２９は、これらの決定事項に基づき移動機構３０を駆動して、ノズル３１を回動及び平行移動させる。搬送するガラス基板７の反り部分が撮像位置に到着する直前に、制御部２９の制御により、可変バルブ４１を適量開けて、空気を反り部分に吐出して平坦化を図りつつ、撮像部により検査画像が撮像される。尚、反りを平坦化させている際に、ガラス基板７と基板ステージ９の載置面とが接触しないように吐出する。
【００４５】
その後、移動機構３０を駆動して、ノズルベース部３２を平行移動させると共に図２に示したバルブ２２ｂと同様な向きに回動させて、ガラス基板７の後端部に生じている反りに対応できるようにする。
【００４６】
以上説明した第２の実施形態によれば、ガラス基板の反り状態を検出して、その反り状態に対応させて、ノズルから吐出される空気における吐出圧力、吐出量及び吐出方向を求めることができる。また、ガラス基板の材料や厚さだけでなく、ガラス基板上に金属膜が形成される状態であっても適宜、その反りを撮像時には解消することができる。尚、本実施形態では、１個の可動式ノズルを用いた例であったが、前述した第１の実施形態のノズル２２ａ，２２ｂを可動式ノズルに置き換えて構成してもよい。
【００４７】
次に、第３の実施形態について説明する。
前述した第１，第２の実施形態のノズルは、複数の点を配列した状態であったが、本実施形態では、ノズルからスリット状に空気を吐出するように変形した例である。
【００４８】
図８（ａ）に示すように、ノズル５１の外形をスカート形状として、撮像ユニット２１間に配置する。図８（ｂ）、（ｃ）に示すように、このノズル５１は、内部の幅を狭めて、吐出口をスリット状に形成する。このような形状とすることにより、反り上がりを点から線状の力により押さえることができ、平坦化することができる。
【００４９】
次に、第４の実施形態について説明する。
前述した第１，第２の実施形態においては、ノズルによりガラス基板の反りを平坦化するために、反り部分に圧力の高い空気を吐出している。空気が吹き付けられている反り部分で振動が発生する場合があり、浮き上がった状態のガラス基板７にこの振動が伝わる場合がある。
【００５０】
そこで本実施形態では、図９に示すように、基板ステージ９において、基板載置面の中央部分を一段低くして、この部分に吸引溝５２を形成する。この吸引溝５２の底部には１つ以上の吸引口５３を設ける。この吸引溝５２の両側の基板載置面には、前述した空気孔１０が形成され、空気孔１０から圧搾空気を吐出してガラス基板７を浮上させ、且つ吸引溝５２によりガラス基板７の中央部分を吸着する。また、前述した実施形態と同様に、吸着パッド１２，１３によりガラス基板７の端部を吸着する。
【００５１】
以上説明した第４の実施形態によれば、ガラス基板７の中央部分を吸着しつつ、浮上させている保持しているため、反りを平坦化するために吹き付けた空気のより発生する振動を防止することができる。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、基板に反りや捻れによる浮きが発生していた場合に、基板検査時には反りによる浮き上がりを解消して、適切な検査画像を得ることができる基板の平坦化機能を有する検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の外観構成例を示す図である。
【図２】第１の実施形態の検査部における基板平坦化部の配置例を示す図である。
【図３】第１の実施形態の検査部における基板平坦化部の構成例を示す図である。
【図４】第１の実施形態の検査部における基板平坦化部のブロック構成を示す図である。
【図５】第１の実施形態の基板平坦化部の作用について説明するための図である。
【図６】第２の実施形態における基板平坦化部の構成例を示す図である。
【図７】第２の実施形態の検査部における基板平坦化部のブロック構成を示す図であ
【図８】第３の実施形態に係るノズルの形状を示す図である。
【図９】第４の実施形態における基板平坦化部の基板ステージの構成例を示す図である。
【符号の説明】
１…基板搬入部、２…装置本体（基板搬送部）、３…検査部、４…基板搬出部、５，６…基板搬送ロボット、７…ガラス基板、８…搬送アーム、９…基板ステージ、１０…空気孔、１１…溝（レール）、１２，１３…吸着パッド、１４，１５…スライダ、１７…支持部、２１（２１ａ〜２１ｆ）…撮像ユニット、２２（２２ａ，２２ｂ）…ノズル、２３…固定金具。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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