(57)【要約】【課題】プランジャの凹溝３の側壁面のように向い合う平行な２つの平面を研磨するのに、高精度で、効率的にその研磨ができるようにする。【解決手段】  ２つの砥石ホルダ１４１に、平面からなる砥石面１６３を有する砥石１６１を、その砥石面１６３の間隔を調節可能に、ガイド軸１５１に設ける。２つの砥石ホルダ１４１の間に楔部材１７１を押し込んで２つの砥石１６１の各砥石面１６３が、ワーク１の前記２つの平面をそれぞれ押し付けている状態に保持しておき、この状態の下で、２つの砥石１６１を、ワーク１の２つの平面に平行な方向に直線往復運動をさせて、ワーク１の２つの平面を同時に研磨する。【選択図】  図１
2005088115.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークにおいて向い合う平行な２つの平面を研磨する方法であって、
平面からなる砥石面を有する２つの砥石を、その各砥石面を外側に向かせて２つの砥石ホルダにそれぞれ固定し、
該２つの砥石ホルダーを介して前記２つの砥石面が、前記ワークの前記２つの平面のそれぞれに平行に対面するように配置しておくとともに、
前記２つの砥石の前記砥石面相互間の間隔を、前記砥石ホルダをガイド手段にてガイドさせて調節可能にしておく一方、
前記２つの砥石ホルダの間に押し込み可能でありかつそれ自身の押し込みによって前記砥石面相互間の間隔が広がるように形成された接触面を有する楔部材を、前記２つの砥石ホルダーの間に押し込んで前記２つの砥石の各砥石面が、前記ワークの前記２つの平面をそれぞれ押し付けている状態に保持しておき、
この状態の下で、
前記２つの砥石ホルダーに固定された前記２つの砥石を、前記ワークの前記２つの平面に平行な方向に、該ワークに対して相対的な直線往復運動をさせることによって前記ワークの前記２つの平面を同時に研磨することを特徴とする研磨方法。
【請求項２】
前記楔部材を前記２つの砥石ホルダーの間に押し込む方向を、その楔の頂角を二等分する直線に沿う方向としたことを特徴とする請求項１に記載の研磨方法。
【請求項３】
前記２つの砥石を、前記ワークの前記２つの平面に平行な方向に、該ワークに対して相対的な直線往復運動をさせることに加えて、前記ワークの前記２つの平面に平行な方向であって、前記直線往復運動の運動方向と交差する方向に、相対的な直線往復運動をさせることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨方法。
【請求項４】
前記２つの砥石を、前記ワークの前記２つの平面に平行な方向に、該ワークに対して相対的な直線往復運動をさせることに加えて、前記ワークの前記２つの平面に平行な方向であって、前記直線往復運動の運動方向と略直角に交差する方向に、相対的な直線往復運動をさせることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨方法。
【請求項５】
前記楔部材の楔の頂角が、１度〜１０度の範囲にあることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の研磨方法。
【請求項６】
凹溝付きのワークであってその凹溝の向い合う２つの平面が平行であるものにおけるその２つの平面を研磨することによって該ワークを製造する方法において、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の研磨方法によって研磨することを特徴とする凹溝付のワークの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークにおいて向い合う平行な２つの平面を研磨する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図７は、向い合う平行な２つの平面の研磨を要するワーク（工作物）の１例を示したものであり、人工血液透析器用の複式プランジャポンプに使用されるプランジャである。このプランジャ１は、セラミック製で、全体としては、円柱状をなしており、複式プランジャポンプのシリンダ５１内に往復運動するように設けられる。そして、往復運動をさせるため、その運動方向である円柱の軸線Ｇ方向に対して直角に横断する形で、周面の一側が開口するように凹溝３が設けられている。凹溝３は、その奥所にさらに幅の狭い凹溝３ｂを備えており、その凹溝３ｂ内に、その凹溝に沿って（軸線Ｇ方向に対し直角の方向に）スライドするスライダ６１が配置され、そのスライダ６１と、シリンダ５１に回転軸ａを中心として回転自在に取付けられた回転リンク７１とが、回転軸ｂを中心として回り対偶で連結され、スライダクランク機構を構成している。これにより、回転リンク７１を回転することで、スライダ６１が回転軸ａを中心として回転しつつ、その凹溝３ｂ内を軸線Ｇ方向に対し直角の方向にスライドして往復運動し、プランジャ１をシリンダ５１内で軸線Ｇ方向に往復運動させるように構成されている。
【０００３】
このような、凹溝における対向する２つの側壁面５は平面（以下、側壁面ともいう）であり、用途からして、その側壁面５間の寸法Ｓ及びその平行度は極めて高度に設定される。また、スライダ６１がスライドするところであるが、潤滑油の使用ができないし、摩耗粉の発生も許されない。このため、両側壁面５は同じく超高度の面粗度を有する仕上面（鏡面）であることが要求される。
【０００４】
このような、凹溝３における両側壁面５のように、高度の平行度で、しかも鏡面に仕上げる方法としては、従来、円板形のダイヤモンド砥石（砥石車）の側面で、対向する一方の側壁面５を研磨してから、対向する他方の側壁面５を研磨するというのが、基本的な研磨方法であった。或いは、幅広の凹溝に形成しておき、それとは別途に、鏡面に仕上た側壁面５を有する直方体形状の別部材４１を製造し、これを、その幅広の凹溝内に接着することが行なわれていた。なお、このようなワークの研磨方法については、かかる公知、公用の従来技術の他の文献公知発明は出願人において不知である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した従来技術のうち、前者の手法では、一方の側壁面５の研磨後、研磨の段取りをし直して他方の側壁面５を研磨することになる。ところが、このような段取りのし直しを行うと、どうしても要求される高度の平行度が得られない。というのは、段取り過程で、ワークや砥石の微妙な位置ずれが生じるためである。また、同様の理由から、両側壁面５に要求される高度の面粗度の同一性が得られない。さらには、研磨工程が２回となるため、研磨効率が悪いといった問題があった。
【０００６】
一方、後者の手法では、別部材４１を要することから、部品点数が増加する。また、接着を要するため、工程が複雑化する。さらに、別部材４１の接着に際しては、シムシートを介在させて角度調整をし、或いは平行度をだしながらの作業となるため、要求される両側壁面５相互間の寸法や平行度をだすのが極めて難しく、作業効率が悪いといった問題があった。さらに、別部材４１の接着による構造のため、分離、脱落の危険性があるとの指摘もあり、血液透析用のプランジャポンプのプランジャのような用途には安全面での難点があった。
【０００７】
本発明が解決しようとする問題点は、上記したプランジャの凹溝の側壁面のように向い合う平行な２つの平面を研磨するのに、高精度で効率的にその研磨ができるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の課題を解決するための請求項１にかかる発明は、ワークにおいて向い合う平行な２つの平面を研磨する方法であって、
平面からなる砥石面を有する２つの砥石を、その各砥石面を外側に向かせて２つの砥石ホルダにそれぞれ固定し、
該２つの砥石ホルダーを介して前記２つの砥石面が、前記ワークの前記２つの平面のそれぞれに平行に対面するように配置しておくとともに、
前記２つの砥石の前記砥石面相互間の間隔を、前記砥石ホルダをガイド手段にてガイドさせて調節可能にしておく一方、
前記２つの砥石ホルダの間に押し込み可能でありかつそれ自身の押し込みによって前記砥石面相互間の間隔が広がるように形成された接触面を有する楔部材を、前記２つの砥石ホルダーの間に押し込んで前記２つの砥石の各砥石面が、前記ワークの前記２つの平面をそれぞれ押し付けている状態に保持しておき、
この状態の下で、
前記２つの砥石ホルダーに固定された前記２つの砥石を、前記ワークの前記２つの平面に平行な方向に、該ワークに対して相対的な直線往復運動をさせることによって前記ワークの前記２つの平面を同時に研磨することを特徴とする研磨方法である。
【０００９】
また、請求項２にかかる発明は、前記楔部材を前記２つの砥石ホルダーの間に押し込む方向を、その楔の頂角を二等分する直線に沿う方向としたことを特徴とする請求項１に記載の研磨方法である。
【００１０】
請求項３にかかる発明は、前記２つの砥石を、前記ワークの前記２つの平面に平行な方向に、該ワークに対して相対的な直線往復運動をさせることに加えて、前記ワークの前記２つの平面に平行な方向であって、前記直線往復運動の運動方向と交差する方向に、相対的な直線往復運動をさせることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨方法である。
【００１１】
請求項４にかかる発明は、前記２つの砥石を、前記ワークの前記２つの平面に平行な方向に、該ワークに対して相対的な直線往復運動をさせることに加えて、前記ワークの前記２つの平面に平行な方向であって、前記直線往復運動の運動方向と略直角に交差する方向に、相対的な直線往復運動をさせることを特徴とする請求項１又は２に記載の研磨方法である。そして、請求項５にかかる発明は、前記楔部材の楔の頂角が、１度〜１０度の範囲にあることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の研磨方法である。
【００１２】
また、請求項６にかかる発明は、凹溝付きのワークであってその凹溝の向い合う２つの平面が平行であるものにおけるその２つの平面を研磨することによって該ワークを製造する方法において、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の研磨方法によって研磨することを特徴とする凹溝付のワークの製造方法である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の請求項１に記載の発明は、２つの砥石が楔部材によってワークの前記両平面（側壁面）に押し付けられた状態で、その各平面に沿って平行に往復直線運動することで、その各平面を研磨するものである。このため、両平面を高い平行度で、同時に研磨することができるため、高精度で、研磨効率の良い作業となすことができる。したがって、両砥石に、同じ素材の砥粒、同じ粒度等、同じ性能の砥石を用いることで、両平面とも同一で高度の仕上げ面粗度で、平行度の高い仕上げ面が効率よく得られる。
【００１４】
また、請求項２に記載の発明によれば、両砥石のワークの平面に対する接触面圧を一定に保ちやすく、砥石が各平面を押えつける力にアンバランスが生じない。このため、両平面とも、より均等な仕上げ面が得られる。そして、請求項３または請求項４に記載の発明によれば、砥石の目詰まりもなく効率的な研磨をすることができ、研磨時にワークに筋が入ることを抑制できる。
【００１５】
なお、前記楔部材の楔の頂角は、適宜の大きさに設定すればよいが、請求項５に記載のように、１度〜１０度の範囲にするとよい。１度以上であると加圧が最適となり、１０度を超えると微調整ができないためである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明を実施するための最良の形態について説明する。ただし、以下の説明においては、ワーク（工作物）が図７に示したのと同様のセラミック製のプランジャ（以下、ワークという）１であり、その駆動用の凹溝３において向い合う平行な２つの平面（溝奥の側壁面）５を研磨すべき面としている。そして、具体的には次のようである（図７参照）。すなわち、本形態の凹溝付のワーク（工作物）であるプランジャ１は、例えばアルミナセラミックからなる一体のものであり、したがって、プランジャ本体１ａのみからなっている。そして、このものは、外径４０ｍｍ、長さ１００ｍｍの円柱体をべースに、その中間部位に、円柱の軸線Ｇ方向に対して直角に横断する形で、周面の一側が開口するように凹溝３が形成されている。凹溝３は、本形態では、正面視、幅３６ｍｍ、深さ２４ｍｍで割円状に形成された外周面寄りの凹溝３ａと、その溝底の中央に、正面視、幅１６ｍｍ、深さ８ｍｍで切り込まれた幅の狭い凹溝３ｂの部分とからなっている。この凹溝３における幅の狭い凹溝３ｂ部分は、プランジャ１の直径分の長さをなす溝をなしている。以下、本発明にかかる研磨方法を具体化した、図１〜６に示した研磨装置１０１に基づいて説明する。
【００１７】
この研磨装置１０１は、ベッド１０３の上に、図１〜図３において左右に直線で往復運動するようにテーブル１０５が設けられている。このテーブル１０５は、ベッド１０３上に設けられた２本の平行な軌道（例えばレール）１０７に取り付けられた適数の直線運動軸受１０９の上に固定されており、軌道１０７上を、たとえば、６ｍｍのストロークで、所定の速度で水平方向に往復直線運動するように構成されている。なお、この往復直線運動をさせる駆動手段（水平方向往復直線運動の駆動機構ともいう）としては、例えばテーブル１０５の裏面（図３の下）側に設けられた図示しない、クランク機構やシリンダ、カムなどの公知の手段で構成されている。
【００１８】
一方、このテーブル１０５上には、上記の軌道（往復直線運動の方向）１０７と平面視、直交する方向をワーク１の軸Ｙとしてワーク１が位置決め、セットされる凹所（例えば円弧状又はＶブロック状の溝）１２０のあるワーク受け部１２１が設けられている。ワーク１はこのワーク受け部１２１の凹所１２０にセットされることで、ワーク１の軸Ｙ方向、そして、それと直交する方向への移動が規制されるように構成されている。また、本形態ではワーク１は、その軸Ｙ方向の中央の凹溝３を下向きに開口してセットされるように設定されている。そして、このワーク受け部１２１は、ここにワーク１をセットした際において、ワーク１の凹溝３の溝奥の側壁面５相互の間の溝幅Ｓの中央と、テーブル１０５における往復直線運動の方向に沿うテーブル１０５の幅の中央を通る直線Ｘが一致するように設定されている。ただし、ワーク受け部１２１は、平面視、ワーク１の凹溝３に対応する部位を開放するように、直線Ｘを挟んで２つに分割されている（図４参照）。これにより、ワーク１は、２つのワーク受け部１２１にて形成された凹所１２０に、凹溝３を下向きに開口して橋架状にセットされる構成とされている。なお、各ワーク受け部１２１は、上記した左右に往復直線運動するテーブル１０５とは縁が切られており、ベッド１０３に対し、平面的（図１の平面から見たとき）には動かないように取り付けられている。
【００１９】
このような各ワーク受け部１２１は、その両方が、同じ高さを保持しつつ同じ速さで、本形態ではテーブル１０５面に対して、たとえば、０．５ｍｍのストロークで、所定の速度で上下方向に往復直線運動するように構成されており、ワーク１に同一姿勢のまま上下に送りをかけるようにされている。なお、この往復直線運動をさせる駆動手段（上下方向往復直線運動の駆動機構ともいう）としては、各ワーク受け部１２１の下に上下方向に設けられた支持バー１３０を、たとえば偏心カム１３１をその軸１３２の回りに回転させることで、所定ストローク、所定の速度で上下動させるようにしている。このため、図１において、各ワーク受け部１２１の外寄りの両側には、その上下動のためのガイド穴１２３が設けられたガイド部１２５が設けられており、そのガイド穴１２３が、それぞれベッド１０３から上向きに立設されたガイドポスト１２６に、上下にのみスライドをするように嵌っている。なお、図示はしないが、ワーク１は、ばね部材を介して、研磨装置１０１の上方から押え付けてクランプできるようにされており、このようなワーク１の上下動をそのばね部材の伸縮で許容しつつ、ワーク受け部１２１に対するワーク１の固定が保持されている。
【００２０】
さて一方、上記したテーブル１０５の上（図１左方）には、そのテーブル１０５の往復直線運動方向（図１左右方向）と直角方向（直線Ｙ方向）にのみに若干移動するように、平面視、Ｈ形状を呈するようにして、直線Ｘに対称に２つの砥石ホルダ１４１が設けられている。ただし、各砥石ホルダ１４１の平面視における左右の両端部には外（図１における上又は下）向きにボス１４２が突出状に形成されており、このボス１４２が、テーブル１０５上にて、直線Ｘと平行に伸びるように配置された左右２本のガイド軸１５１の端部に固定されている。そして、各ガイド軸１５１は、図６に示したように、テーブル１０５の側部に固定されて立ち上げられたブラケット１５５の上部に、平面視（図１において）、直線Ｘと直角方向にスライド自在に挿通されて支持され、砥石ホルダ１４１を同直角方向にスライドさせるガイド手段をなしている。ただし、各ガイド軸１５１のうち、ブラケット１５５の上部と砥石ホルダ１４１のボス１４２との間には、圧縮コイルスプリング１５０が嵌められており（図１、２、６参照）、そのばね作用により、常時、各ボス１４２を直線Ｘ側に押し、２つの砥石ホルダ１４１が互いに押し付けあう方向に付勢している。
【００２１】
また、このような各砥石ホルダ１４１のうちの両端部のボス１４２に挟まれる部位は、砥石取り付け部１４４をなしており、本形態では、それぞれ、図１における中央の外側（上側又は下側）が、直線Ｘと平行に形成され、一定厚さで矩形板状の砥石（ダイヤモンド砥石）１６１が接着等により固定されている。そして、各砥石１６１の外側の面は、常時、互いに平行な平面からなる砥石面１６３をなすように形成されており、その各砥石面１６３は、ワーク１の研磨すべき平面（側壁面５）と平行に対面するように配置されている。こうして、砥石ホルダ１４１が砥石取り付け部１４４相互で押し付けあう状態において、しかも、固定された両側の砥石１６１の砥石面１６３と、ワーク１の凹溝３の側壁面５との間に若干の隙間を保持するように配置されている。ただし、砥石１６１は、砥石取り付け部１４４のうち、その断面（図４参照）において、取り付け部１４４相互で押し付けあう面１４５に対して反対側の面１４６のうち、上部の角に設けられた切り欠き部１４７に固定されており、砥石１６１はワーク１の凹溝３の対向する研磨すべき側壁面（平面）５に対し、その幅方向には若干小さいがその高さの全体に当接するように設定されている（図４、５参照）。なお、両砥石１６１は、大きさ、形状のほか、砥粒、粒度等も同じものとされている。
【００２２】
一方、両砥石ホルダ１４１の砥石取り付け部１４４のうち、両者が互いに押し付けあう面１４５は、両者が押し付けあっているとき、図１、２に示したように、平面視において、右側が幅広で、左側が幅０で、直線Ｘに関して対称の楔形の空所Ｋができるように形成されている。ここで、その楔形の空所Ｋの頂角θは、例えば３度とされている。そして、この楔形の空所Ｋには、楔の頂角が空所Ｋの頂角θと同じである楔部材１７１が、テーブル１０５の往復直線運動方向に、図１において右から左に押し込まれる形で配置されている。ただし、本形態では、楔部材１７１は、その平面視における中心線が常に直線Ｘと一致して押し込まれるように構成されている。すなわち、本形態では、テーブル１０５上に、直線Ｘと平行に２本の子軌道１７５を設けるとともに、それに適数の直線運動軸受１７７を設け、その上に子テーブル１７９を設け、その子テーブル１７９の上に楔部材１７１がその中心線を直線Ｘと一致させて固定されている。しかして、子テーブル１７９を子軌道１７５に沿って直線運動させるときには、楔部材１７１は、その姿勢を変えることなく、直線Ｘに沿って、子テーブル１７９とともに移動する。そして、楔部材１７１を２つの両砥石ホルダ１４１間の楔形の空所Ｋに押し込むときには、楔部材１７１の両接触面１７３が各砥石ホルダ１４１を、楔作用により、それぞれ同量、砥石面１６３相互間が平行のまま押し広げ、各砥石１６１の砥石面１６３はワーク１の側壁面５に同じ圧力で押し付けられるように設定されている。なお、楔部材１７１の押し込み（及び引き抜き）は、本形態では、子テーブル１７９の下のテーブル１０５上に固定したエアシリンダ１８１によっている。すなわち、平面視において、エアシリンダ１８１のロッド１８２の軸と直線Ｘとを一致させて、楔部材１７１の基端部にシリンダ１８１のロッド１８２の先端を連結部材１８５を介して連結しており、楔部材１７１の押し込み及び引き抜きを行うように構成されている。
【００２３】
しかして、このような研磨装置１０１においては、ワーク１をその凹溝３が下を向くようにしてワーク受け部１２１の凹所１２０にセットし、それを上からクランプする。そして、前記エアシリンダ１８１を駆動して楔部材１７１をその幅狭の先端から両砥石ホルダ１４１間の楔形の空所Ｋに押し込み、所定の押し込み力をかけた状態で保持しておく。これにより、楔作用により、両砥石ホルダ１４１は、ガイド軸１５１に沿って、互いに、同量押し広げられ、各砥石１６１の砥石面１６３はワーク１の側壁面５に、同じ圧力で押し付けられる。
【００２４】
そして、この状態において、上記したテーブル１０５を水平方向に往復直線運動させる駆動機構を駆動する。これにより、テーブル１０５に、ブラケット１５５や砥石ホルダ１４１を介して取り付けられた砥石１６１は、楔部材１７１の押し込みによってその各砥石面１６３がワーク１の両側壁面５にそれぞれ均等の圧力で押し付けられながら、直線Ｘに沿って水平方向に往復直線運動する。かくして、こうして往復直線運動を継続している間、ワーク１の両側壁面（平面）５は、平行な平面に、砥石１６１によって均等圧を受けながら同時に研磨される。なお、研磨終了後は、シリンダ１８１を駆動して楔部材１７１を引き抜く。こうすることで、砥石ホルダ１４１はコイルスプリング１５０により押し付けあう方向に戻されるため、砥石１６１はワーク１の研磨された平面（側壁面）５から分離する。
【００２５】
なお、本形態では、楔部材１７１を２つの砥石ホルダ１４１の間に押し込む方向を、その楔の頂角θを二等分する直線に沿う方向としたため、両砥石１６１のワーク１の側壁面５に対する接触面圧を一定に保ち易く、しかも、楔部材１７１の押し付け機構の複雑化も招かない。また、両砥石ホルダ１４１間に、楔部材１７１の楔の頂角θと同じ角度の楔形の空所Ｋが形成されるようにしたため、両砥石面１６３相互の平行が容易に保持される。すなわち、両砥石ホルダ１４１間が直線Ｘに平行に面接触する場合でも、両砥石面１６３が、ワーク１の研磨すべき平面（直線Ｘに平行な面）と常に平行にして広がるように砥石ホルダ１４１がガイド手段にてガイドされていれば、上記のような楔形の空所が形成されるようにしておく必要はない。しかし、上記形態のように平面視、楔形の空所Ｋが形成されるようにしておけば、その構成より明らかなように、両砥石面１６３は、簡易なガイド手段で、ワーク１の研磨すべき平面に平行の状態を保持しつつその間隔が広げられるため、ガイド手段の構成の単純化が図られる。
【００２６】
また、上記の形態では、楔部材１７１を押し込む方向を楔の頂角を二等分する直線に沿う方向としたが、本発明においてはこれに限定されるものでない。すなわち、２つの砥石ホルダ１４１の間に押し込んで２つの砥石１６１の各砥石面１６３が、ワーク１の２つの平面５をそれぞれ押し付けている状態に保持できればよいためである。楔部材１７１を押し込む方向を楔の頂角を二等分する直線に沿う方向としない場合には、楔部材１７１が、その押し込み過程中、図１においてその押し込み方向と交差する方向にも移動できるように、別途に例えば、スライダ機構などを設けておけばよい。
【００２７】
本形態では、ワークを上記したプランジャとし、その凹溝のうちの向い合う平行な２つの平面を加工（研磨）する場合で説明したが、研磨対象は、このような凹溝に限定されるものではない。また、本形態では、側壁面５の表面粗さを設計値で中心線平均粗さＲａで０．２μｍとした。そして、このような表面粗さは、例えば、＃２３０の砥石で研磨した後で、＃４００以上の砥石で研磨し、さらにその後バフ仕上げすることで得ることができる。また、中心線平均粗さＲａで０．１μｍを得るには、＃２３０の砥石で研磨した後で、＃２０００の砥石で研磨することで得ることができる。
【００２８】
また、本形態に用いた装置１０１では、上記したように、ワーク１がワーク受け部１２１とともに、所定量上下動できる上下方向往復直線運動の駆動機構を備えている。このため、上記の研磨中において、ワーク１にも上下動（直線往復運動）を付与することができる。これにより、２つの砥石１６１をワーク１に対して、その２つの平面５に平行な方向であって、テーブル１０５による上記した水平方向への直線往復運動に加えて、その運動方向と略直角に交差する上下方向にも、相対的な直線往復運動をさせることができる。このため、砥石１６１の目詰まりも起き難く、仕上り時のワークにおける筋（加工による条線）の発生を抑制し、好ましい仕上げ面が得られる。なお、ワーク１に上下の送りをかける場合には、ワーク１の下限位置において、砥石１６１や砥石ホルダ１４１がワーク１の凹溝３の底に干渉又は衝突しないように、砥石１６１の高さや上下動のストローク等を適切に調節、設定しておけばよい。
【００２９】
本発明は、上記した実施の形態のものに限定されるものではなく、適宜に、変更して具体化できる。例えば、前記形態では、楔部材１７１についてはその楔の頂角θが、３度のものを用いたが、適宜の角度に設定すればよい、ただし、好ましくは、１〜１０度の範囲である。また、上記の装置では、砥石１６１をワークに対して水平方向へ相対的な直線往復運動をさせるのに、ワークを固定して砥石１６１を水平方向に直線往復運動をさせる構成としたが、本発明では、これに限定されるものではなく、逆に、砥石１６１を固定してワークを水平方向に直線往復運動をさせる構成としてもよい。また、砥石１６１、ワークともに同様の直線往復運動をさせる構成としてもよい。
【００３０】
さらに、上記においては、水平方向への往復運動に加えて、ワークの平面５と平行な方向であって、その運動方向と略直角に交差する上下方向にも、相対的な直線往復運動をさせる場合を説明したが、その交差角は、直角でなくともよい。また、この場合において、ワーク１を上下動させることで、砥石１６１を、ワーク１に対して上下方向への相対的な直線往復運動をさせたが、これについても逆にしてもよい。すなわち、砥石１６１を上下動させることで、砥石１６１を、ワーク１に対して上下方向への相対的な直線往復運動をさせるようにしてもよいし、砥石１６１、ワーク１ともに直線往復運動をさせる構成としてもよい。
【００３１】
また、上記の実施の形態では、ワーク１の凹溝３が下向き開口状態となるようにしてワーク受け部１２１にセットしたが、逆に上向きに開口状態となるようにしてワーク受け部１２１にセットするようにしても具体化できる。この場合において、ワーク１の側壁面５に、砥石１６１を相対的に上下動させる場合には、上記装置における上下動の駆動機構及びワークを押えるクランプを上下逆にして設ければよい。
【００３２】
なお、楔部材１７１の押し込み手段は、上記形態では、エアシリンダ１８１を用いたが、油圧シリンダを用いることもできるし、ばね部材を用いるようにしてもよい。また、水平方向往復直線運動の駆動機構、上下方向往復直線運動の駆動機構についても、適宜のストローク、速度が得られる機構のものにおいて具体化できる。例えば、リンク装置、クランク、カム、シリンダなどを用いることができる。
【００３３】
なお、本発明において研磨対象とされるワーク（被研磨物）は、プランジャポンプのプランジャに限定されるものではないことはいうまでもない。各種の機械部品等の各工作物であって、凹溝のように向かい合う平行な２つの平面を有するもののその両平面を研磨する場合に広く適用できる。また、本発明の製造方法は、凹溝付きのワークであってその凹溝の向い合う２つの平面が平行であるものであれば、上記したプランジャに限定されることなく、広く適用できる。当然のことながら、ワークの材質に限定されるものでもない。また、砥石についても、ワークの材質や要求される仕上げ面粗度に応じたものを適宜に選択して用いればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の研磨方法を具体化した研磨装置の概略構成一部破断平面図。
【図２】図１におけるＡ部拡大図。
【図３】図１におけるＢ−Ｂ線断面図。
【図４】図１におけるＣ−Ｃ線一部破断面図及びその部分拡大図。
【図５】図４の部分拡大図におけるＥ−Ｅ線断面図。
【図６】図１におけるＤ−Ｄ線断面図及びその部分拡大図。
【図７】複式プランジャポンプのプランジャを説明する図であり、Ａは正面図、Ｂは平面図。
【符号の説明】
【００３５】
１  ワーク
５  向い合う平行な２つの平面をなす側壁面
１４１  砥石ホルダ
１５１  砥石ホルダのガイド手段であるガイド軸
１６１  砥石
１６３  平面からなる砥石面
１７１  楔部材
Ｘ  楔部材を２つの砥石ホルダーの間に押し込む方向
θ  楔の頂角
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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