(57)【要約】【課題】液面高さを制御可能とした細穴放電加工装置と、型彫り・細穴複合放電加工装置および同装置を使用した型彫り・細穴複合放電加工方法の提供。【解決手段】少なくとも細穴加工用の棒状電極３７の昇降を制御するＺ軸と、棒状電極の下端部をガイドする電極ガイド３９の昇降を制御するＷ軸とを備えた細穴放電加工装置において、加工液１３を充填排出自在に設けた加工槽１５内にワークＷを載置固定すると共に、加工液の液面高さを調節する仕切板７７を前記加工槽に設けた切欠き窓５７に沿って昇降可能に設け、前記電極ガイドを下端部に備えたＷ軸スライド３５を昇降可能に設け、該Ｗ軸スライドの昇降に連動して昇降作動するマスターシリンダ９９を設け、該マスターシリンダに管路を介して結合されたスレーブシリンダ９３を仕切板駆動機構を介して連結して設け、前記Ｗ軸スライドの昇降に連動して前記仕切板を昇降作動させることを特徴とする細穴放電加工装置。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも細穴加工用の棒状電極の昇降を制御するＺ軸と、前記棒状電極の下端部をガイドする電極ガイドの昇降を制御するＷ軸とを備えた細穴放電加工装置において、加工液を充填排出自在に設けた加工槽内にワークを載置固定すると共に、前記加工液の液面高さを調節する仕切板を前記加工槽に設けた切欠き窓に沿って昇降可能に設け、前記電極ガイドを下端部に備えたＷ軸スライドを昇降可能に設け、該Ｗ軸スライドの昇降に連動して昇降作動するマスターシリンダを設け、該マスターシリンダに管路を介して結合されたスレーブシリンダを仕切板駆動機構を介して連結して設け、前記Ｗ軸スライドの昇降に連動して前記仕切板を昇降作動させることを特徴とする細穴放電加工装置。
【請求項２】
請求項１に記載の細穴放電加工装置において、前記仕切板駆動機構は、前記切欠き窓外部の両側を該切欠き窓に沿って上下に回転走行自在の一対の第一環状チェーン設け、前記仕切板の下端部を該一対の第一環状チェーンに回転駆動されるローラを介して上方に開口したＵ字形に折り返して設け、該Ｕ字形の仕切板上部の両端部を前記一対の第一環状チェーンに連結して設け、該一対の第一環状チェーンを回転駆動する第二環状チェーンを前記第一環状のチェーンに並列して設け、該第二環状チェーンに前記スレーブシリンダを連結して設けたことを特徴とする細穴放電加工装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の細穴放電加工装置において、前記加工槽内に前記ワークを載置固定するターンテーブルを設け、該ターンテーブルが前記Ｚ軸に平行な軸心を回転中心とするＡ軸と、該Ａ軸に直交する軸心を回転中心とするＢ軸とを備えたことを特徴とする細穴放電加工装置。
【請求項４】
請求項２または請求項３に記載の細穴放電加工装置において、前記Ｕ字形の仕切板の上端部に前記切欠き窓を介して前記加工槽内部に突出した設定水準が相違する二つの液面検出用フロートスイッチを設けたことを特徴とする細穴放電加工装置。
【請求項５】
少なくとも細穴加工用の棒状電極の昇降を制御するＺ軸と、前記棒状電極の下端部をガイドする電極ガイドの昇降を制御するＷ軸とを備えた細穴放電加工装置において、加工液を充填排出自在に設けた加工槽内にワークを載置固定すると共に、前記加工液の液面高さを調節する仕切板を前記加工槽に設けた切欠き窓に沿って昇降可能に設け、前記電極ガイドを下端部に備えたＷ軸スライドを昇降可能に設け、該Ｗ軸スライドの昇降に連動して昇降作動するマスターシリンダを設け、該マスターシリンダに管路を介して結合されたスレーブシリンダを仕切板駆動機構を介して連結して設け、前記電極ガイドを回転自在に設けるけと共に、該電極ガイドのＺ軸回りの回転を制御するＣ軸とを設け、前記電極ガイドに前記棒状電極を貫通自在の貫通孔を備えた型彫り用の成形電極を着脱自在に設け、前記Ｗ軸スライドの昇降に連動して前記仕切板を昇降作動自在に設けたことを特徴とする型彫り・細穴複合放電加工装置。
【請求項６】
請求項５に記載の型彫り・細穴複合放電加工装置において、前記ターンテーブルが、前記Ｚ軸に平行な軸心を回転中心とするＡ軸と、該Ａ軸に直交する軸心を回転中心とするＢ軸とを備えると共に、前記加工槽をＸ、Ｙ軸に移動位置決め自在に設けてなることを特徴とする型彫り・細穴複合放電加工装置。
【請求項７】
少なくとも細穴加工用の棒状電極の昇降を制御するＺ軸と、前記棒状電極の下端部をガイドする電極ガイドの昇降を制御するＷ軸とを備えた細穴放電加工装置において、加工液を充填排出自在に設けた加工槽内にワークを載置固定すると共に、前記加工液の液面高さを調節する仕切板を前記加工槽に設けた切欠き窓に沿って昇降可能に設け、前記電極ガイドを下端部に備えたＷ軸スライドを昇降可能に設け、該Ｗ軸スライドの昇降に連動して昇降作動するマスターシリンダを設け、該マスターシリンダに管路を介して結合されたスレーブシリンダを仕切板駆動機構を介して連結して設け、前記電極ガイドを回転自在に設けるけと共に、該電極ガイドのＺ軸回りの回転を制御するＣ軸とを設け、前記電極ガイドに前記棒状電極を貫通自在の貫通孔を備えた型彫り用の成形電極を着脱自在に設け、前記Ｗ軸スライドの昇降に連動して前記仕切板を昇降作動自在に設けたことを特徴とする型彫り・細穴複合放電加工装置において、前記Ｗ軸およびＣ軸の制御の下に前記成形電極でワークに成形加工を行った後、前記Ｚ軸の下に前記細穴加工用の棒状電極で前記ワークに細穴加工を行うことを特徴とする型彫り・細穴複合放電加工方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は細穴放電加工装置並びに型彫り・細穴複合放電加工装置および同装置を使用した型彫り・細穴複合放電加工方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
水または油からなる加工液中で加工面に対して種々の傾斜角度を有する細穴加工を行う場合、前記加工液を充填した加工槽の中にチルト（ｔｉｌｔ；傾斜）が可能なターンテーブルを設けた細穴放電加工装置が使用される（例えば、特許文献１）。
【０００３】
上述の細穴放電加工装置において、ターンテーブルのチルト機能を用いて、液面からの深さの異なる位置に放電加工を行う場合、加工位置が液面から深い位置にあるときには、Ｚ軸サーボ軸や電極ガイド部分が加工液中に没入するので、加工位置の高さに合わせて液面高さが加工部より若干上方に位置するようにオーバーフロー用ゲートの高さを手動で変更調節する必要がある。そのため放電加工の自動連続運転ができないという問題がある。
【０００４】
加工液の液面高さを調節するオーバーフロー用のゲートを加工槽に昇降自在に設け、このゲートの昇降動作をサーボモータで駆動調節する方法もあるが、複雑な形状を有するワークの場合にはプログラミングが難しいという問題がある。
【０００５】
また、図８〜図１０に示す如き型彫り加工された形状の中に細穴が貫通したような形状の放電加工は、従来は棒状の総型成形加工電極を使用した油中での型彫り加工の後に、棒状またはパイプ状の電極を使用する細穴放電加工装置で貫通孔の追加加工がなされており、このような加工方法は段取り時間が長くなり結果として加工費用が高くなる。
【０００６】
また、上述の型彫り加工は電極の消耗が多いため、一般的には油（鉱油）を加工液とする油中での加工となり加工時間が長くなるという問題もある。
【０００７】
【特許文献１】
特開平２００２−３０７２４８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述の如き問題を解決するためになされたものであり、本発明の課題は、ワークの加工位置の高さ（Ｗ軸座標値）に連動して加工液の液面高さをメカニカルに制御可能とした細穴放電加工装置の提供と、型彫り・細穴複合放電加工装置および同装置を使用した型彫り・細穴複合放電加工方法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決する手段として請求項１に記載の細穴放電加工装置は、少なくとも細穴加工用の棒状電極の昇降を制御するＺ軸と、前記棒状電極の下端部をガイドする電極ガイドの昇降を制御するＷ軸とを備えた細穴放電加工装置において、加工液を充填排出自在に設けた加工槽内にワークを載置固定すると共に、前記加工液の液面高さを調節する仕切板を前記加工槽に設けた切欠き窓に沿って昇降可能に設け、前記電極ガイドを下端部に備えたＷ軸スライドを昇降可能に設け、該Ｗ軸スライドの昇降に連動して昇降作動するマスターシリンダを設け、該マスターシリンダに管路を介して結合されたスレーブシリンダを仕切板駆動機構を介して連結して設け、前記Ｗ軸スライドの昇降に連動して前記仕切板を昇降作動させることを要旨とするものである。
【００１０】
請求項２に記載の細穴放電加工装置は、請求項１に記載の細穴放電加工装置において、前記仕切板駆動機構は、前記切欠き窓外部の両側を該切欠き窓に沿って上下に回転走行自在の一対の第一環状チェーン設け、前記仕切板の下端部を該一対の第一環状チェーンに回転駆動されるローラを介して上方に開口したＵ字形に折り返して設け、該Ｕ字形の仕切板上部の両端部を前記一対の第一環状チェーンに連結して設け、該一対の第一環状チェーンを回転駆動する第二環状チェーンを前記第一環状のチェーンに並列して設け、該第二環状チェーンに前記スレーブシリンダを連結して設けたことを要旨とするものである。
【００１１】
請求項３に記載の細穴放電加工装置は、請求項１または請求項２に記載の細穴放電加工装置において、前記加工槽内に前記ワークを載置固定するターンテーブルを設け、該ターンテーブルが前記Ｚ軸に平行な軸心を回転中心とするＡ軸と、該Ａ軸に直交する軸心を回転中心とするＢ軸とを備えたことを要旨とするものである。
【００１２】
請求項４に記載の細穴放電加工装置は、請求項２または請求項３に記載の細穴放電加工装置において、前記Ｕ字形の仕切板の上端部に前記切欠き窓を介して前記加工槽内部に突出した設定水準が相違する二つの液面検出用フロートスイッチを設けたことを要旨とするものである。
【００１３】
請求項５に記載の型彫り・細穴複合放電加工装置は、少なくとも細穴加工用の棒状電極の昇降を制御するＺ軸と、前記棒状電極の下端部をガイドする電極ガイドの昇降を制御するＷ軸とを備えた細穴放電加工装置において、加工液を充填排出自在に設けた加工槽内にワークを載置固定すると共に、前記加工液の液面高さを調節する仕切板を前記加工槽に設けた切欠き窓に沿って昇降可能に設け、前記電極ガイドを下端部に備えたＷ軸スライドを昇降可能に設け、該Ｗ軸スライドの昇降に連動して昇降作動するマスターシリンダを設け、該マスターシリンダに管路を介して結合されたスレーブシリンダを仕切板駆動機構を介して連結して設け、前記電極ガイドを回転自在に設けるけと共に、該電極ガイドのＺ軸回りの回転を制御するＣ軸とを設け、前記電極ガイドに前記棒状電極を貫通自在の貫通孔を備えた型彫り用の成形電極を着脱自在に設け、前記Ｗ軸スライドの昇降に連動して前記仕切板を昇降作動自在に設けたことを要旨とするものである。
【００１４】
請求項６に記載の型彫り・細穴複合放電加工装置は、請求項５に記載の型彫り・細穴複合放電加工装置において、前記ターンテーブルが、前記Ｚ軸に平行な軸心を回転中心とするＡ軸と、該Ａ軸に直交する軸心を回転中心とするＢ軸とを備えると共に、前記加工槽をＸ、Ｙ軸に移動位置決め自在に設けてなることを特徴とする型彫り・細穴複合放電加工装置。
【００１５】
請求項７に記載の型彫り・細穴複合放電加工装置は、少なくとも細穴加工用の棒状電極の昇降を制御するＺ軸と、前記棒状電極の下端部をガイドする電極ガイドの昇降を制御するＷ軸とを備えた細穴放電加工装置において、加工液を充填排出自在に設けた加工槽内にワークを載置固定すると共に、前記加工液の液面高さを調節する仕切板を前記加工槽に設けた切欠き窓に沿って昇降可能に設け、前記電極ガイドを下端部に備えたＷ軸スライドを昇降可能に設け、該Ｗ軸スライドの昇降に連動して昇降作動するマスターシリンダを設け、該マスターシリンダに管路を介して結合されたスレーブシリンダを仕切板駆動機構を介して連結して設け、前記電極ガイドを回転自在に設けるけと共に、該電極ガイドのＺ軸回りの回転を制御するＣ軸とを設け、前記電極ガイドに前記棒状電極を貫通自在の貫通孔を備えた型彫り用の成形電極を着脱自在に設け、前記Ｗ軸スライドの昇降に連動して前記仕切板を昇降作動自在に設けたことを特徴とする型彫り・細穴複合放電加工装置において、前記Ｗ軸およびＣ軸の制御の下に前記成形電極でワークに成形加工を行った後、前記Ｚ軸の下に前記細穴加工用の棒状電極で前記ワークに細穴加工を行うことを要旨とするものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面によって説明する。
【００１７】
図１、図２は本発明に係る６軸制御（Ｘ，Ｙ，Ｗ，Ｚ，Ａ，Ｂ）の細穴放電加工機の一実施の形態を示したものである。さて、図１および図２を参照するに、総括的に示す細穴放電加工装置１の基台３上には、図示省略の駆動手段及びＹ軸駆動モータＭＹによりＹ軸方向に移動位置決め可能なＹ軸テーブル５が設けてある。
【００１８】
前記Ｙ軸テーブル５には受け皿７を一体的に固定して設け、この受け皿７上に絶縁体である石定盤９を設けると共に、この石定盤９上にＬ字形のブラケット部材１１が一体的に設けてある。
【００１９】
上述のブラケット部材１１上には、電気伝導度の小さい純水などの加工液１３を入れるための加工槽１５が取り付てあり、この加工槽１５内にワークＷを固定するためのチルト可能な公知のターンテーブル装置１７が設けてある（例えば、特開２００２−３０７２４８号公報）。
上述のターンテーブル装置１７は、Ｚ軸（図１、図２の上下方向）に平行な軸心を回転中心とするＡ軸と、Ａ軸に直交（Ｙ軸に平行、Ｘ軸に直交）する軸心を回転中心とするＢ軸（チルト軸）とを備えている。
【００２０】
上述のＢ軸駆動部としてのＢ軸回転軸１９は、前記Ｌ字形ブラケット部材１１の水平底部１１ａから前記加工槽１５の後側（図２において右側）の壁面に沿って上方に延伸するＢ軸取付部１１ｂに回転自在に軸支してある。このＢ軸回転軸１９は前記加工槽１５の後側壁面を貫通して加工槽１５内部のほぼ中央部まで延伸させて設けてある。
【００２１】
前記Ｂ軸回転軸１９の左端の上部には、減速機（図示省略）を介してターンテーブル２１が回転可能に取付けてある。Ｂ軸回転軸１９の回転駆動は前記加工槽１５の外部に設けたＢ軸駆動モータ（図示省略）で行われ、またターンテーブル２１の回転駆動は、Ｂ軸回転軸１９の軸心に沿って設けた外部に開口した「めくら穴」（図示省略）を介してＡ軸駆動モータ（図示省略）により回転駆動ができるように設けてある。
【００２２】
前記ターンテーブル２１の裏面には、環状の通電リング（図示省略）が設けてあり、ターンテーブル２１はこの通電リングを介して放電電源（図示省略）に接続してある。
【００２３】
上記構成において、制御装置２３の制御の下にＡ軸駆動モータを適宜に回転駆動させれば、ターンテーブル２１をＡ軸中心に適宜な角度回転させることができる。
【００２４】
また、同様にＢ軸駆動モータを適宜に正転または逆転駆動させれば、ターンテーブル２１を図１において時計方向または反時計方向へチルト（Ｔｉｌｔ；傾斜）させることができる。さらに、前記Ｙ軸駆動モータＭＹを適宜に回転駆動することにより、ターンテーブル２１をＹ軸方向の任意の位置に位置決めすることができる。
【００２５】
前記加工槽１５の後方（図２において右方）の前記基台３上には左右の支柱２５（ａ，ｂ）と、この左右の支柱２５（ａ，ｂ）に水平に懸架した梁部材２７からなる門型フレーム２９が設けてある。門型フレーム２９の梁部材２７には、蛇腹３１に保護されたＸ軸ガイドレール（図示省略）が設けてあり、このＸ軸ガイドレールにＸ軸キャリッジ３３が移動自在に設けてある。
【００２６】
上述のＸ軸キャリッジ３３には、Ｗ軸スライド３５が前記Ｚ軸に平行なＷ軸に沿って昇降自在に係合してあり、このＷ軸スライド３５はこのＷ軸スライド３５の上端部に設けたＷ軸駆動モータＭＷによりＷ軸の任意の位置に位置決め可能に設けてある。
【００２７】
また、前記Ｗ軸スライド３５の下端部には、細穴加工用の中実または中空の棒状電極３７をＺ軸方向にガイドする電極ガイド３９を装着した電極ガイドホルダ４１が設けてある。また、前記Ｗ軸スライド３５には、前記棒状電極３７を着脱可能に装着する電極保持体４３がＺ軸方向へ昇降可能にガイドされており、かつこの電極保持体４３はＷ軸スライド３５に設けたＺ軸駆動モータＭＺによりＺ軸の任意の位置へ移動位置決め可能に設けてある。
【００２８】
なお、前記Ｘ軸キャリッジ３３は前記門型フレーム２９の梁部材２７に設けたＸ軸駆動モータＭＸによりＸ軸の任意の位置へ位置決め自在に設けてある。
【００２９】
また、前記中実または中空の棒状電極３７に対しては、棒状電極３７の軸心を中心に回転させるためのモータ（図示省略）が設けてあり、さらに中空の棒状電極（すなわちパイプ電極）に対しては、加工液（純水等）を供給する加工液供給手段（図示省略）が設けてある。
【００３０】
上記構成において、前記制御装置２３の制御の下に前記Ｗ軸駆動モータＭＷを適宜に回転駆動すれば、前記Ｗ軸スライド３５をＺ軸上の適宜な位置へ位置決めすることができる。すなわち、中実または中空の棒状電極３７をＺ軸方向にガイドする電極ガイド３９をＺ軸上の適宜な位置へ位置決めすることができる。
【００３１】
また、Ｚ軸駆動モータＭＺにより電極保持体４３に保持された中実または中空の棒状電極３７をＺ軸の任意の位置へ移動位置決めできる。
【００３２】
また、前記Ｘ軸キャリッジ３３はＸ軸駆動モータＭＸによりＸ軸の任意の位置へ位置決めできるので、棒状電極３７をワークＷのＸ、Ｙ座標上の任意の位置へ移動位置決めすることが可能であり、また、ワークＷをＡ、Ｂ軸に回転できるので、ワークＷの上面の他に底面以外の任意の位置へも位置決めすることが可能である。
【００３３】
次に、加工槽の中の液面高さを調節する仕切板と、仕切板を昇降駆動する仕切板駆動機構について説明する。
【００３４】
図１、図５、図６に示すように、仕切板７７は前記加工槽１５の後側右方（図５において右側）の側壁に設けてある。加工槽１５の後側右方には、加工液を排出するための切欠き窓部５３が上下に延伸するように設けてある。
【００３５】
切欠き窓部５３の外側には、ほぼ方形断面のオーバーフロー貯留槽５５がボルト接合などの適宜な手段により一体的に固定してある。このオーバーフロー貯留槽５５には、前記加工槽１５に設けた切欠き窓部５３にほぼ一致する形状の切欠き窓５７が形成してある。このオーバーフロー貯留槽５５の底部には、後述する加工液加工液供給タンク１２１に連通するドレイン口５４が設けてある。
【００３６】
仕切板７７を昇降させる仕切板駆動機構は、後述するマスターシリンダ９９に管路を介して結合されたスレーブシリンダ９３により回転駆動される３組のチェーン機構を介して行われるようになっている。以下、仕切板駆動機構についてより詳細に説明する。
【００３７】
図３、図５および図６を参照するに、上述のオーバーフロー貯留槽５５の切欠き窓５７上部の左右側壁５５（ａ，ｂ）に設けた軸受け６３（ａ，ｂ）には、前記加工槽１５にほぼ平行に、かつ水平に延伸する回転軸６１ｕが回転自在に設けてあり、この回転軸６１ｕにおいて、前記切欠き窓５７の左右の幅より若干広い位置には、一対のスプロケット５９（ａ，ｂ）が適宜な手段で固定してある。
【００３８】
また、前記オーバーフロー貯留槽５５の切欠き窓５７下部の左右側壁５５（ａ，ｂ）に設けた軸受け６９（ａ，ｂ）には、上述の回転軸６１ｕに平行に、かつ水平に延伸する回転軸６１ｌが回転自在に設けてあり、前記一対のスプロケット５９（ａ，ｂ）と平行な位置に一対のスプロケット６５（ａ，ｂ）が適宜な手段で固定してある。
【００３９】
そして、前記スプロケット６５（ａ，ｂ）の間の回転軸６１ｌには、ローラ６７が回転自在に取りつけてある。また、前記スプロケット５９ａとスプロケット６５ａおよびスプロケット５９ｂとスプロケット６５ｂの間にはそれぞれ第一環状チェーン７１（ａ，ｂ）が巻回してある。
【００４０】
前記オーバーフロー貯留槽５５に設けた切欠き窓５７の両側に沿って上下方向に延伸するガイド部材７３が設けてある。このガイド部材７３にはガイド溝７５が対向するように設けてあり、このガイド溝７５に薄板のスチール板の如き弾性部材のからなる長方形の仕切板７７の長手方向の両端部が摺動可能に係合させてある。
【００４１】
上述の仕切板７７の下方は前記ローラ６７にＵ字形に巻回されており、この仕切板７７の前記ガイド部材７３側の上端部は連結板７９を介して加工槽１５側を走行する前記第一環状チェーン７１（ａ，ｂ）に結合してある。
【００４２】
また、前記Ｕ字形の仕切板７７の他方の上端部は連結板８１を介して背面側を走行する前記第一環状チェーン７１（ａ，ｂ）に結合してある。
【００４３】
前記ガイド部材７３にガイドされた仕切板７７の上部には、前記連結板７９に設けたスペーサー８３を介して前記加工槽内部に突出した液面検出用の第一フロートスイッチ８５と、この第一フロートスイッチ８５より若干上方において液面を検出する第二フロートスイッチ８７とが取付けてある。
【００４４】
図３、図６によく表れているように、前記上下の回転軸６１ｕ、６１ｌは、回転軸６１ｕ、６１ｌの右側を軸支する前記軸受け６３ｂから前記オーバーフロー貯留槽５５の外部へ突出させて設けてあり、この突出した軸端部にスプロケット８９（ｕ、ｌ）が取付けてある。
【００４５】
上述のスプロケット８９（ｕ、ｌ）には、前記第一環状のチェーン７１（ａ，ｂ）の上下の回転軸６１ｕ、６１ｌを回転駆動する第二環状チェーン９１が係合してあり、この第二環状チェーン９１には、前記オーバーフロー貯留槽５５の外部にブラケット９２を介して固定したロッドレスシリンダからなるスレーブシリンダ９３のスライド９５がブラケット９７を介して連結してある。
【００４６】
図１、図２に示すように、前記Ｘ軸キャリッジ３３には、ロッドレスシリンダからなるマスターシリンダ９９が垂直に取り付けてある。そして、このマスターシリンダ９９のスライド１０１が前記Ｗ軸スライド３５上部に固定してある。
【００４７】
上述のマスターシリンダ９９のスライド１０１と、前記スレーブシリンダ９３のスライド９５の下方のシリンダーチューブ内には、作動油を充満した流体室（図示省略）が設けてあり、このマスターシリンダ９９の流体室（図示省略）と、前記スレーブシリンダ９３の流体室（図示省略）とを管路１０３で連結してある。
【００４８】
また、前記スレーブシリンダ９３のスライド９５の上方には、空気室（図示省略）が設けてあり、このスレーブシリンダ９３の空気室（図示省略）は管路１０５、レギュレーター１０７を介して空圧源１０９に接続してある。
【００４９】
なお、マスターシリンダ９９の空気室（図示省略）は大気へ開放した状態にしてある。
【００５０】
また、前記マスターシリンダ９９の流体室（図示省略）とほぼ同水準の位置には、作動油補充タンク１１１が前記Ｘ軸キャリッジ３３上に設けたブラケット１１３を介して取付けてあり、この作動油補充タンク１１１と前記管路１０３が管路１１５を介して接続してある。また、作動油補充タンク１１１と管路１１５の間にはストップバルブ１１７が設けてある。
【００５１】
マスターシリンダ９９とスレーブシリンダ９３の流体室および管路１０３、１１５に作動油補充タンク１１１から作動油を充填し、充填が完了したらストップバルブ１１７を閉じて作動油が作動油補充タンク１１１に逆流しないようにする。
【００５２】
図２を参照するに、前記加工槽１５の底部には加工液を供給する供給口１１９が設けてある。この供給口１１９と加工液供給タンク１２１とが管路１２３で接続してあり、管路１２３には加工液供給用のポンプ１２５とポンプ駆動用のモータＭが設けてある。
【００５３】
上記構成の細穴放電加工装置１において放電加工を行う場合の操作の説明をする。
【００５４】
始めに、ターンテーブル２１上に固定されたワークに対して、加工が行える位置まで電極ガイド３９を下降させるべく、制御装置２３の制御の下にＷ軸スライド３５をＷ軸駆動モータＭＷにより下降させる。
【００５５】
Ｗ軸スライド３５が下降すると、Ｗ軸スライド３５に固定されたマスターシリンダ９９のスライド１０１がＷ軸スライド３５と共に下降する。その結果、マスターシリンダ９９の流体室内の作動油がスレーブシリンダ９３の流体室に流入し、スレーブシリンダ９３のスライド９５が上昇する。
【００５６】
その結果、第二環状チェーン９１がスライド９５と共に上昇し、この第二環状チェーン９１は反時計方向（図２、図４において）に回転駆動されることになる。この第二環状チェーン９１の回転に同期して、第一環状のチェーン７１（ａ，ｂ）が同様に反時計方向（図５において）に回転駆動され、この第一環状のチェーン７１（ａ，ｂ）に連結板７９を介して固定された仕切板７７が下降する。
【００５７】
次に、加工液供給タンク１２１から、加工液１３を加工槽１５内にワークＷの表面より若干高い第一フロートスイッチ８５の水準まで充填し、第一フロートスイッチ８５がオンになると、加工液１３の供給を停止する。
【００５８】
Ｗ軸スライド３５の下降量と仕切板７７の下降量は比例しているので、電極ガイド３９の位置と液面との距離が常に一定の状態での放電加工を行うことができる。なお、液面の上限位置をＵＬ、下限位置をＬＬで示してある。
【００５９】
また、スレーブシリンダ９３のスライド９５の上方に設けた空気室に、適宜な圧力に調整した空圧を与えてあるので、Ｗ軸スライド３５が上昇する時に、スレーブシリンダ９３のピストンを強制的に押し上げてシリンダ内が負圧になるのを防止している。
【００６０】
また、Ｗ軸スライド３５が上昇する時には、加工液供給タンク１２１から加工液１３が加工槽１５に供給される。このとき、液面検出用の第一フロートスイッチ８５がオンになると加工液の供給を停止して、電極ガイド３９の位置と液面との距離が一定に保持されるようになっている。
【００６１】
なお、第一フロートスイッチ８５より若干上方において液面を検出する第二フロートスイッチ８７が液面を検出してオンになったとき、Ｗ軸スライド３５の下降を停止させるように設定することにより、加工液の排出が遅れた場合に電極ヘッド部が液中に没入するのを防止することができる。
【００６２】
次に、本発明に係る型彫り・細穴複合放電加工装置の実施の形態について説明する。
【００６３】
図７は本発明に係る型彫り・細穴複合放電加工装置２０１の構成を説明する模式図である。型彫り・細穴複合放電加工装置２０１におけるＸ、Ｙ、Ｚ、Ｗの各軸および加工槽１５における仕切板７７の昇降機構の構成は前記細穴放電加工装置１と共通であり、共通部分には同一の参照符号を付し詳細な説明を省略する。
【００６４】
前記Ｗ軸スライド３５の下端部にガイドスリーブ２０３を設け、このガイドスリーブ２０３に前記電極ガイド３９を装着した前記電極ガイドホルダ４１がＺ軸を軸心に回転自在に嵌合してある。そして、前記電極ガイドホルダ４１の下部は、前記棒状電極３７を貫通自在の貫通孔２０５を備えた型彫り用の成形電極２０７が着脱可能に設けてある。
【００６５】
また、電極ガイドホルダ４１上部のフランジ部には歯車が形成してあり、この歯車に係合するピニオンギヤを備えたＣ軸駆動モータＭＣが前記Ｗ軸スライド３５に設けてある。
【００６６】
上記構成において、図８、図９および図１０に示したような座繰り穴、皿もみ穴または不定形穴などの成形加工された穴の先に細穴を有する形状の加工を行う場合について説明する。
【００６７】
始めに、図１１に示す如き成形電極に細穴加工に使用する棒状電極３７が貫通可能な穴を備えた成形電極２０７を使用して、Ｗ軸のサーボ送りにより成型加工を行う。なおこの時、Ｃ軸駆動モータＭＣを使用すれば、成形形状をＺ軸回りのＣ軸において、成形電極２０７を適宜に回転した形状とすることも可能である。
【００６８】
次いで、パイプ電極３７を使用して、Ｚ軸サーボ送りにより細穴加工を行う。
【００６９】
以上の行程により、前述の座繰り穴、皿もみ穴または不定形穴などの成形加工された穴の先に細穴を有する形状の加工が極めて容易に行うことが可能である。
【００７０】
また、ターンテーブル２１が、前記Ｚ軸に平行な軸心を回転中心とするＡ軸と、該Ａ軸に直交する軸心を回転中心とするＢ軸（チルト）とを備えている場合には、Ｚ軸に直交していない面に対しても同様な加工を容易に行うことができる。
【００７１】
また、ターンテーブル２１のチルト機能を使用した加工において、製品のＺ軸方向の高さが変化した場合においても、前述のように、Ｗ軸スライド３５の下降量と仕切板７７の下降量は比例しているので、電極ガイド３９の位置と液面との距離が常に一定の状態での放電加工を行うことができ、かつ連続自動運転が可能である。
【００７２】
【発明の効果】
請求項１〜請求項７の発明によれば、加工液の液面高さがＷ軸に連動して昇降するので、液面と加工位置との距離が常に一定に保持できる。そのため、加工位置の高さが異なるワークを加工する場合においても、液面設定変更により加工を中断することなく自動連続運転を行うことができる。
【００７３】
また、複雑な形状を有するワークの場合でも液面高さをＮＣ制御する必要がないので複雑なプログラミングを作成する工数を低減できる。
【００７４】
請求項２〜請求項４の発明によれば、加工液の液面高さを調節する仕切板を上方に開口したＵ字形に設けたので、仕切板駆動機構の上下方向の高さをコンパクトにすることができる。
【００７５】
請求項４の発明によれば、仕切板に設定水準が相違する二つの液面検出用フロートスイッチを設けたので、一方のフロートスイッチより若干上方において液面を検出するフロートスイッチが液面を検出したときに、Ｗ軸スライドの下降を停止させるように設定することにより、Ｗ軸スライドの下降速度に対して加工液の排出が遅れた場合でも、電極ヘッド部が液中に没入するのを防止することができる。
【００７６】
請求項７の発明によれば、型彫り加工された形状の先に細穴が貫通したような形状の放電加工を同一の装置で同時に加工することができる。これにより、段取り時間を大きく短縮することができて、加工費用を安くすることができる。また、水中での加工となり加工時間も短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る６軸制御（Ｘ，Ｙ，Ｗ，Ｚ，Ａ，Ｂ）細穴放電加工装置の一例の説明図（正面図）。
【図２】本発明に係る６軸制御（Ｘ，Ｙ，Ｗ，Ｚ，Ａ，Ｂ）細穴放電加工装置の一例の説明図（側面図）。
【図３】図１におけるＰ部詳細図。
【図４】図３の右側面図。
【図５】図３におけるＢ−Ｂ断面図。
【図６】図３におけるＡ−Ａ断面図。
【図７】本発明に係る６軸制御（Ｘ，Ｙ，Ｗ，Ｚ，Ａ，Ｂ）型彫り・細穴複合放電加工装置の構成を説明する模式図。
【図８】型彫り放電加工による座繰り穴の先に細穴を有する形状の加工例、図８ａは上面、図８ｂは断面図。
【図９】型彫り放電加工による皿もみ穴の先に細穴を有する形状の加工例、図９ａは上面、図９ｂは断面図。
【図１０】型彫り放電加工による不定形穴の先に細穴を有する形状の加工例、図１０ａは上面、図１０ｂは断面図。
【図１１】型彫り放電加工と細穴放電加工を同時に行うときに使用する成形加工電極の例で、図１１ａは図８に示した座繰り穴加工用、図１１ｂは図９に示した皿もみ穴加工用、図１１ｃは図１０に示した不定形穴加工用の電極の例である。
【符号の説明】
１  細穴放電加工装置
３  基台
５  Ｙ軸テーブル
７  受け皿
９  石定盤
１１  ブラケット部材
１３  加工液
１５  加工槽
１７  ターンテーブル装置
１９  Ｂ軸回転軸
２１  ターンテーブル
２３  制御装置
２５  支柱
２７  梁部材
２９  門型フレーム
３１  蛇腹
３３  Ｘ軸キャリッジ
３５  Ｗ軸スライド
３７  棒状電極
３９  電極ガイド
４１  電極ガイドホルダ
４３  電極保持体
５３  切欠き窓部
５４  ドレイン口
５５  オーバーフロー貯留槽
５７  切欠き窓
５９（ａ，ｂ）  スプロケット
６１ｕ  回転軸
６１ｌ  回転軸
６３（ａ，ｂ）  軸受け
６５（ａ，ｂ）  スプロケット
６７  ローラ
６９（ａ，ｂ）  軸受け
７１（ａ，ｂ）  第一環状チェーン
７３  ガイド部材
７５  ガイド溝
７７  仕切板
７９  連結板
８１  連結板
８３  スペーサー
８５  第一フロートスイッチ
８７  第二フロートスイッチ
８９（ｕ、ｌ）  スプロケット
９１  第二環状チェーン
９２  ブラケット
９３  スレーブシリンダ
９５  スライド
９７  ブラケット
９９  マスターシリンダ
１０１  スライド
１０３  管路
１０５  管路
１０７  レギュレーター
１０９  空圧源
１１１  作動油補充タンク
１１３  ブラケット
１１５  管路
１１７  ストップバルブ
１１９  供給口
１２１  加工液供給タンク
１２３  管路
１２５  ポンプ
２０３  ガイドスリーブ
２０５  貫通孔
２０７  成形電極
Ｍ  ポンプ駆動モータ
ＭＣ  Ｃ軸駆動モータ
ＭＸ  Ｘ軸駆動モータ
ＭＹ  Ｙ軸駆動モータ
ＭＷ  Ｗ軸駆動モータ
ＭＺ  Ｚ軸駆動モータ
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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