(57)【要約】【課題】水等の使用量が少なく、しかも細部にまで水等が当たり洗浄効果の高いシャワー方法。【解決手段】一側面に噴霧口を設けた洗浄ヘッドの当該一側面を被処理体に近接させた状態で、上記洗浄ヘッドに水を供給し、水の粒子の径を約１００μ以内にしてほぼ均一にそろえ、上記洗浄ヘッドの噴霧口から超音波振動により被処理体に上記水を噴霧し、当該噴霧された微粒子に上記洗浄ヘッドの当該一側面から超音波振動を当て、これにより当該超音波振動を微粒子又は被処理体に伝え、この状態でこれらの粒子を被処理体に当てる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水の粒子の径を約１００μ以内にしてほぼ均一にそろえ、超音波振動により、被処理体に上記水を噴霧し、噴霧された微粒子にさらに超音波振動を当て当該超音波振動を微粒子又は被処理体に伝え、この状態で上記微粒子を被処理体に当てることを特徴とするシャワー洗浄方法とした。
【請求項２】
一側面に噴霧口を設けた洗浄ヘッドの当該一側面を被処理体に近接させた状態で、上記洗浄ヘッドに水を供給し、水の粒子の径を約１００μ以内にしてほぼ均一にそろえ、上記洗浄ヘッドの噴霧口から超音波振動により被処理体に上記水を噴霧し、当該噴霧された微粒子に上記洗浄ヘッドの当該一側面から超音波振動を当て、これにより当該超音波振動を微粒子又は被処理体に伝え、この状態でこれらの粒子を被処理体に当てることを特徴とするシャワー方法とした。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電子部品や精密機械等の洗浄に用いるシャワー方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のシャワーは水道圧やその他の圧力を用いて多数の小孔から温水又は水を細粒化して吐出している。これを電子部品や精密機械等にかけて洗浄している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この従来のシャワー方法であると、温水又は水の使用量が多く、その割には、細部にまで温水等が当たらず洗浄効果が上がらないことが多い。
この発明はこれらの点に鑑み、水等の使用量が少なく、しかも細部にまで水等が当たり洗浄効果の高いシャワー方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
そこで、請求項１の発明は、水の粒子の径を約１００μ以内にしてほぼ均一にそろえ、超音波振動により、被処理体に上記水を噴霧し、噴霧された微粒子にさらに超音波振動を当て当該超音波振動を微粒子又は被処理体に伝え、この状態で上記微粒子を被処理体に当てるシャワー洗浄方法とした。
また、請求項２の発明は、一側面に噴霧口を設けた洗浄ヘッドの当該一側面を被処理体に近接させた状態で、上記洗浄ヘッドに水を供給し、水の粒子の径を約１００μ以内にしてほぼ均一にそろえ、上記洗浄ヘッドの噴霧口から超音波振動により被処理体に上記水を噴霧し、当該噴霧された微粒子に上記洗浄ヘッドの当該一側面から超音波振動を当て、これにより当該超音波振動を微粒子又は被処理体に伝え、この状態でこれらの粒子を被処理体に当てるシャワー方法とした。
【発明の効果】
【０００５】
請求項１及び２の発明によれば、噴霧された水の微粒子を介して、被処理体に超音波振動が伝わり、当該微粒子又は被処理体が超音波振動している状態で水の微粒子が被処理体に当たり、水の微粒子が被処理体の細部まで浸透する。従って、少量の水でも被処理体の細部まで洗浄できる。しかも上記水の粒子は被処理体の面に強力に当たる。それ故、従来のシャワーによる洗浄方法と比べ、強力な洗浄ができ、被処理体の洗浄効果は極めて高い。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
水の粒子の径を約１００μ以内にしてほぼ均一にそろえ、超音波振動により、被処理体に上記水を噴霧し、噴霧された微粒子にさらに超音波振動を当てて、微粒子又は被処理体に超音波振動を与え、この状態で水の微粒子を被処理体に当てるシャワー洗浄方法とした。
【実施例１】
【０００７】
図１及び図２はこの発明の実施例を示し、円柱状の洗浄ヘッド本体１の上下面を貫通する孔２を設け、この孔２は下部がやや大きな径の大径孔部２ａとなっている。この大径孔部２ａの、噴霧口となる下端開口部（噴霧口）３のやや上方の大径孔部２ｂを略水平に塞ぐ金属板から成る振動板４を設け、この振動板４には、上記大径孔部２ａの位置に対向するように小径孔４ａを多数設けている。またこの振動板４の、上記孔２の大径孔部２ａの内周縁の位置に、圧電セラミック（ＰＺＴ）等の環状の振動子５を設けている。さらに、この振動板４の上面の、上記孔２の大径孔部２ａの内周縁の位置にシリコンゴムからなる環状の弾性体６を設け、この弾性体６により当該洗浄ヘッド本体１に支持されている振動板４の振動を吸収している。
【０００８】
具体的には、図２に示すように洗浄ヘッド本体１は２つの部材１ａと１ｂとに分かれ、部材１ａは上記孔２の上部を有する下面中央部が突出し、下面外周部が引っ込んでおり、部材１ｂは上記孔２の下部を有する上面中央部が凹部となり、上面外周部が環状に突出し、部材１ｂの上面中央部の凹部に上記振動板４を載せ、これらの部材１ａと部材１ｂとを図２にしめすように嵌めあわせ、これらを接着剤やネジ止めにより固定して円柱状の洗浄ヘッド本体１を形成しているものである。
また、この洗浄ヘッド本体１はアーム７に支持され、このアーム７の一端、上記孔２の開口部２ｂに相対する箇所に孔７ａを設けている。さらに上記洗浄ヘッド本体１の孔２の上面開口部２ｂにチュ-ブ８の一端が挿入、固定され、水や炭酸ガスが当該チュ-ブ８を通して、洗浄ヘッド本体１の孔２内に供給される。
【０００９】
また、図２において、洗浄ヘッド１の下面１ｃが右半分は直線形状となっており、左半分は波形状となっているが、このように下面１ｃの形状は、直線形状で表される平面であってもよく、また、波形状で表される環状凹凸を設けた形状であっても良い点を示している。また、下端開口部（噴霧口）３及び下面１ｃと被処理体１０の間の多数の点は噴霧された微粒子を表している。
【００１０】
この洗浄ヘッド本体１を用いて、半導体素子等の電子機器や精密機器の被処理体１０を洗浄する例を図２に基いて説明する。
まず、被処理体１０の表面に、洗浄ヘッド本体１の下面１ｃを近接させ、その状態を維持する。そして、上記チューブ８内に水（純水又は超純水を含む）を注入する。さらに当該水の液圧を安定させるため炭酸ガスを当該チューブ８に注入する。これは上記孔２内の水が少なくなってくるに従い炭酸ガスを注入し、振動板４の付近の水の圧力を一定にするものである。また、上記振動子５を作動させるとこの振動子５は３５〜１３０ｋHzで振動し、これにより、振動板４も同様に振動する。そこで、洗浄ヘッド本体１の孔２に入った水は、振動板４の多数の小径孔４ａから、多数の微粒子となって下端開口部（噴霧口）３から噴霧される。この水の微粒子は径を約１００μ以内にしてほぼ均一にそろっている。
【００１１】
そして、噴霧された多数の微粒子は当該洗浄ヘッド本体１の下面１ｃと被処理体１０との間で下端開口部３の外周にひろがり、これらの洗浄ヘッド本体１の下面１ｃと被処理体１０との間隔が狭いため。これらの間の微粒子は相互にくっ付いて液状化し、洗浄ヘッド本体１の下面からでる、上記振動子５の超音波振動が当該液状化した多数の微粒子を通して被処理体１０の上面に伝わり、微粒子及び被処理体１０も振動し、上記液乃至微粒子が当該被処理体１０の微細な凹凸や孔部に入る。なお超音波は、空中に比べ、液体や固体中を伝達し易い。  
【００１２】
さらに、上記実施例においては、洗浄ヘッド本体１の孔２に供給する水の圧力を安定させるため、当該孔２に炭酸ガスを供給しているが、この炭酸ガスが分子状態で水に溶け、一部が解離して、水素イオンと炭素イオンとなる。分子状態でとけている炭酸ガス、その他のガスは超音波の影響を受けて泡状となる。そしてこれらの泡が微粒子とともに空中に噴霧された後、破裂して強烈な超音波を発生し、この超音波により微粒子乃至これらの液化物を振動させ、より一層被処理体に強力にぶつかる。また、この方法により、シャワーを電子部品等の被処理体に当てた場合、噴霧された各粒子は微粒子のため、吸着力が増し、電子部品等の被処理体の表面に付着し易い。従って、被処理体の表面に付着している汚れを表面から遊離させ、水の薄い膜の上に載せて浮かしてしまう。これは水の各粒子が非常に小さいためである。
【００１３】
また、上記実施例においては、上述の様に、当該孔２に炭酸ガスを供給しているが、この炭酸ガスが水に溶け、Ｈ２ＣＯ３となり、これが水素イオン（２Ｈ＋）と炭酸イオン（ＣＯ３２−）となる。これにより被処理体１０に静電気が生じた場合、＋又は−の電荷にこれらのプラス又はマイナスのイオンがくっ付き、電荷を中和させ、静電気が生じない効果を有している。
【００１４】
また、上記被処理体１０を回転又は移動させ、これと同時に、上記洗浄ヘッド本体１及びチュ-ブ８を動かしながら被処理体１０の表面に水を当て、被処理体を迅速に洗浄することが出来る。また、被処理体が大きい場合、上記洗浄ヘッド１を多数個連結して、噴霧範囲を広げ、迅速に洗浄処理することが出来る。
さらに、上記水による洗浄の前処理として、薬剤の液を噴霧し、その後上記実施例の水による洗浄を行う場合がある。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
この発明は、電子機器や精密機器及びこれらの部品等に限らず、種々の被処理体の洗浄に使用でき、また、上記実施例のように水と炭酸ガスを供給する場合は、これと同時に被処理体の静電気除去もできる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】この発明の実施例の洗浄ヘッドの断面斜視図である。
【図２】この発明の実施例の使用状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００１７】
１      洗浄ヘッド                  ２      孔
３      下端開口部（噴霧口）        ４      振動板
５      振動子                      ６      弾性体
７      アーム                      ８      チューブ
１０    被処理体
【図１】
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【図２】
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