(57)【要約】【課題】  処理液を貯めこむマニホールド内で処理液に作用する圧力を均一にしたスリットノズルを提供する。【解決手段】  スリットノズル１を構成するそれぞれの半体２，３にマニホールド４，５が形成されている。一方の半体２に形成したマニホールド４の断面形状は、上下方向を長軸方向とした略楕円形をなし、また他方の半体３に形成したマニホールド５の断面形状は、斜め上方向を長軸方向とした略楕円形をなし、マニホールド４，５は、スリットノズルの長さ方向を基準として天井部の中央が最も高くなるように形成され、マニホールド５の最も高くなった箇所に空気抜き穴８が開口している。  【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布するスリットノズルにおいて、このスリットノズルは左右の半体を接合してなり、一方の半体には処理液供給穴が開口するマニホールドが形成され、他方の半体には空気抜き穴が開口するマニホールドが形成され、前記空気抜き穴の開口位置は処理液供給穴の開口位置よりも上方とされていることを特徴とするスリットノズル。
【請求項２】
請求項１に記載のスリットノズルにおいて、前記左右の半体に形成するマニホールドは互いに形状が異なることを特徴とするスリットノズル。
【請求項３】
請求項２に記載のスリットノズルにおいて、前記左右の半体に形成するマニホールドの天井部は、スリットノズルの長さ方向を基準として中央部が最も高くなっていることを特徴とするスリットノズル。
【請求項４】
請求項２に記載のスリットノズルにおいて、一方の半体に形成されるマニホールドの断面形状は上下方向を長軸とする略楕円形状をなし、また他方の半体に形成されるマニホールドの断面形状は斜め上方向を長軸とする略楕円形状をなすことを特徴とするスリットノズル。
【請求項５】
請求項２に記載のスリットノズルにおいて、前記左右の半体のどちらか一方の吐出口形成面の近傍に凸状壁部を設けることを特徴とするスリットノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板や半導体ウェーハなどの被処理物の表面に所定幅で、例えばホトレジスト液やカラーフィルタとなる塗布液を塗布するスリットノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
スリットノズルは一般的に左右の半体を接合して構成される。特許文献１にはドラムに巻回された磁気テープや、フィルムに下方から塗布液を塗布するスリットノズルとして、左右の半体の一方に断面半円形のマニホールドを形成し、他方の半体の接合面はフラットにした構造のものが示されている。
【０００３】
また特許文献２には、左右の半体の一方に断面半円形または半楕円形のマニホールドを形成し、他方の半体の接合面はフラットにし、且つノズルの長さ方向中央部に形成した処理液供給穴から前記マニホールドに処理液（塗布液）を供給する構造のものが示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−７０８１１号公報
【特許文献２】特開２００３−７１３５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
スリットノズルにあっては、処理液をマニホールドに供給した際にエアを噛み込むことがある。エア噛みによってマニホールド内にエアが溜まると、塗布液の圧力分布が不均一になり、スリットノズルからの長さ方向に沿って吐出される処理液の量が長さ方向に沿って異なり、均一な厚さの塗膜が得られない。またエア噛みによって処理液中に気泡が混入したまま塗布されると、膜厚が不均一になったり、品質の低下を来たす。
しかしながら、特許文献１，２に開示されたいずれのスリットノズルにあっても、マニホールド内にエアが入り込むと、そのまま内部に残るか処理液と共にスリットから吐出されてしまうので、いずれにしても塗布に悪影響を及ぼす。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決すべく本発明に係るスリットノズルは、左右の半体を接合してなり、一方の半体には処理液供給穴が開口するマニホールドが形成され、他方の半体には空気抜き穴が開口するマニホールドが形成され、前記空気抜き穴の開口位置は処理液供給穴の開口位置よりも上方とする構成とした。
このように、従来にあっては、マニホールドを形成しない他方の半体にマニホールドを形成し、このマニホールドに空気抜き穴を開口せしめることで、処理液供給に伴ってマニホールド内に入り込んだエアを効果的に排除することができる。
【０００７】
尚、一方の半体に形成したマニホールドに処理液供給穴と空気抜き穴の両方を開口させた場合には、マニホールド内で処理液の流れに乱れが生じ、スムーズな塗布が行えない。
【０００８】
前記左右の半体に形成するマニホールドの形状は互いに異なる形状にすれば、マニホールド内での処理液の流れをスムーズにすることができる。
【０００９】
また、左右の半体に形成するマニホールドの形状としては、スリットノズルの長さ方向を基準として天井部の中央が最も高くなるようにすることが好ましい。天井部の中央を高くすることで、エアはこの高くなった箇所に集中する。そこで、この箇所に空気抜き穴を開口せしめれば、エアの排除が効率よく行える。しかし、空気抜き穴は１つに限定する必要はなく、ノズルの長さなどの条件において随時変更することができる。
【００１０】
更に、具体的なマニホールドの形状としては、一方の半体に形成されるマニホールドの断面形状を上下方向を長軸とする略楕円形状とし、他方の半体に形成されるマニホールドの断面形状を斜め上方向を長軸とする略楕円形状とすることが考えられる。斯かる形状とすることで、一方の半体のマニホールド内に供給された処理液が他方の半体のマニホールド内に移りやすく、更に両半体間に形成されるスリットまで抵抗なく流れる。
【００１１】
前記の形状にこだわることはないが、長軸方向が変わっても略楕円形状とすることが処理液の流れもエアの流れも速やかである。
更に、両半体間のどちらか一方（望ましくは処理液供給穴が開口している方のマニホールド）の吐出口形成面の近傍に凸状壁部を設けることで、マニホールドに供給された処理液が均一な状態で凸状壁部を越え、吐出口形成面を通ってスリット状吐出口より吐出される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、処理液供給穴から供給された処理液が、マニホールドに入り、凸状壁部を乗り越えることで、スリットノズルのマニホールド内に入り込んだエアを確実且つ簡単に抜くことができる。したがって、マニホールド内は処理液のみが充填されエアの部分がないため、スリットノズルの長手方向に沿った圧力分布が一定となり、安定した塗布が行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１は本発明に係るスリットノズルを適用した塗布装置の側面図、図２は同スリットノズルの斜視図、図３は同スリットノズルのノズル本体の端面図、図４は同スリットノズルのノズル本体の中央部分での断面図である。
【００１４】
スリットノズル１は水平動と昇降動が可能なフレーム２０に支持され、このフレーム２０の一端側上面には送液ポンプ２１を設け、この送液ポンプ２１に塗布液タンクから供給管２２を介して塗布液を供給し、スリットノズル１に送液ポンプ２１から供給管２３を介して塗布液を供給するようにしている。また、スリットノズル１の側面にはギャップセンサ２４が取り付けられている。
【００１５】
スリットノズル１は左右の半体２，３からなり、それぞれの半体２，３にマニホールド４，５が形成されている。一方の半体２に形成したマニホールド４の断面形状は、上下方向を長軸方向とした略楕円形をなし、また他方の半体３に形成したマニホールド５の断面形状は、斜め上方向を長軸方向とした略楕円形をなし、それぞれのマニホールド４，５は連通部６で形状的にスムーズに連続している。
【００１６】
前記マニホールド４には処理液供給穴７が開口している。この処理液供給穴７は斜め上方からマニホールド４に向けて形成され、一端は半体２の外側面に開口し、他端はマニホールド４の低部近傍に開口し、マニホールド４の低部近傍の接線と処理液供給穴７の軸線とが略等しくなるようにすることで、処理液がスムーズにマニホールド４内に入るように設計している。
【００１７】
また、マニホールド４，５は、スリットノズルの長さ方向を基準として天井部の中央が最も高くなるように形成され、マニホールド５の最も高くなった箇所に空気抜き穴８が開口している。この空気抜き穴８は垂直に形成され、半体３の上面に開口している。
【００１８】
更に左右の半体２，３にはスリット状吐出口１０を画成するための吐出口形成面１２，１３を形成している。吐出口形成面１２は左右の半体２，３の接合面２ａと面一に形成され、一方、吐出口形成面１３は接合面３ａに対して後退して２段状に形成されている。
また、半体２の吐出口形成面１２近傍には、マニホールド４の一部を構成している凸状壁部９が形成されている。
【００１９】
以上において、処理液供給穴７からマニホールド４内に供給された処理液は、マニホールド４から凸状壁部９を乗り越えてマニホールド５に入り、マニホールド４，５内に残っているエアを空気抜き穴８から排出するとともに、スリット状吐出口１０からカーテン状に連続して吐出される。
【００２０】
空気抜き穴８には連続して配管が接続され、前記配管の延長上にはバルブが取り付けられている。空気抜きを終了して塗布液供給開始時には、バルブは閉じられている。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係るスリットノズルを適用した塗布装置の側面図
【図２】同スリットノズルの斜視図
【図３】同スリットノズルのノズル本体の端面図
【図４】同スリットノズルのノズル本体の中央部分での断面図
【符号の説明】
【００２２】
１…スリットノズル、２，３…左右の半体、２ａ，２ｂ…接合面、４，５…マニホールド、６…連通部、７…処理液供給穴、８…空気抜き穴、９…凸状壁部、１０…スリット状吐出口、１１…バルブ、１２，１３…吐出口形成面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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