(57)【要約】【課題】  検波回路と検波回路の出力信号に応じて出力信号を変化させる回路とを有するＩＣの試験時間を短縮するＩＣの試験装置を提供する。【解決手段】  本発明のＩＣの試験装置は、入力端子と検波用平滑用コンデンサを接続し検波電圧を出力する検波端子と検波電圧に応じた信号を出力する出力端子とを有する被試験ＩＣに信号を入力する信号源と、測定器と、検波端子に接続される小容量コンデンサと、大容量コンデンサと、保持用コンデンサと、検波電圧と同一電圧に大容量コンデンサ及び保持用コンデンサを充電する充電用バッファと、大容量コンデンサと検波端子又は充電用バッファ出力端子とを選択的に接続する切換器と、保持用コンデンサと充電用バッファとの間に接続され開閉する第１の断続器と、保持用コンデンサの電圧と同一の電圧を出力する保持用バッファと、保持用バッファの出力端子と検波端子との間に接続され開閉する第２の断続器と、を有する。【選択図】図１
2005121554.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力端子と、検波回路と、前記検波回路が出力する検波電圧に応じた信号を出力する被試験回路と、前記検波回路に平滑用コンデンサを接続するための端子であって前記検波電圧を出力する検波端子と、前記被試験回路の出力信号を出力する出力端子と、を有する被試験ＩＣの前記入力端子に信号を入力する入力信号源と、
前記出力端子からの出力信号を入力する測定器と、
前記検波端子に一端が直接接続され他端が接地される小容量コンデンサと、
一端が接地され前記小容量コンデンサより大きな容量を有する大容量コンデンサと、
一端が接地された保持用コンデンサと、
前記検波電圧を入力して、前記検波電圧と同一の電圧に前記大容量コンデンサ及び保持用コンデンサを充電する充電用バッファと、
前記大容量コンデンサの一端を、前記検波端子又は前記充電用バッファの出力端子に選択的に切り換えて接続する切換器と、
前記保持用コンデンサと前記充電用バッファとの間に接続され開閉動作する第１の断続器と、
前記保持用コンデンサの一端が入力端子に接続され、その電圧と同一の電圧を出力する保持用バッファと、
前記保持用バッファの出力端子と前記検波端子との間に接続され開閉動作する第２の断続器と、
を有することを特徴とするＩＣの試験装置。
【請求項２】
第１の期間において、前記切換器が前記大容量コンデンサの一端を前記充電用バッファの出力端子に接続し、前記第１の断続器は前記保持用コンデンサと前記充電用バッファとを接続し、前記第２の断続器は前記保持用バッファの出力端子と前記検波端子とを切り離し、前記入力信号源は前記入力端子に入力信号を入力し、前記充電用バッファは前記大容量コンデンサ及び前記保持用コンデンサを急速充電し、
前記第１の期間に続く第２の期間において、前記切換器が前記大容量コンデンサの一端を前記検波端子に接続し、前記測定器は前記入力信号に対応する前記出力端子からの出力信号を測定し、
前記第２の期間に続く第３の期間において、前記第１の断続器は前記保持用コンデンサと前記充電用バッファとを切り離し、前記第２の断続器は前記保持用バッファの出力端子と前記検波端子とを接続し、前記保持用バッファは前記保持用コンデンサの電圧と同一の電圧を前記検波端子に出力し、前記入力信号源は、前記入力信号を一瞬中断した後再び出力し、
前記第３の期間に続く第４の期間において、前記第１の断続器は前記保持用コンデンサと前記充電用バッファとを接続し、前記第２の断続器は前記保持用バッファの出力端子と前記検波端子とを切り離し、前記測定器は前記入力信号に対応する前記出力端子からの出力信号を測定する、
ことを特徴とする請求項１に記載のＩＣの試験装置。
【請求項３】
入力端子と、検波回路と、前記検波回路が出力する検波電圧に応じた信号を出力する被試験回路と、前記検波回路に平滑用コンデンサを接続するための端子であって前記検波電圧を出力する検波端子と、前記被試験回路の出力信号を出力する出力端子と、を有する被試験ＩＣの試験方法であって、
第１の期間において、前記入力端子に入力信号を入力し、前記検波回路に小容量コンデンサを接続し、その検波電圧を小容量コンデンサで平滑し、充電用バッファを用いて大容量コンデンサ及び保持用コンデンサを前記検波回路の出力電圧と同一の電圧に急速充電する第１のステップと、
前記第１の期間に続く第２の期間において、前記大容量コンデンサの一端を前記充電用バッファの出力端子と切り離して前記検波端子に接続し、前記入力信号に対応する前記出力端子からの出力信号を測定する第２のステップと、
前記第２の期間に続く第３の期間において、前記保持用コンデンサと前記保持用バッファとを切り離し、前記保持用コンデンサの電圧と同一の電圧を出力する保持用バッファの出力端子を前記検波端子に接続し、前記入力信号を一瞬中断した後再び前記入力端子に入力する第３のステップと、
前記第３の期間に続く第４の期間において、前記保持用コンデンサと前記充電用バッファとを接続し、前記保持用バッファの出力端子と前記検波端子とを切り離し、前記入力信号に対応する前記出力端子からの出力信号を測定する第４のステップと、
を有することを特徴とするＩＣの試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣ（半導体集積回路）の試験装置及び試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
種々の半導体集積回路（以下、「ＩＣ」と言う。）が検波回路と、検波回路の出力信号（検波電圧）に応じて出力信号を変化させる回路と、を有する。例えば放送信号の検波電圧を用いて一定の出力レベルの放送信号を出力する増幅器を有するＩＣ、音声信号の検波電圧を用いて一定の出力レベルの音声信号を出力するオートゲインコントロール機能付き増幅器を有するＩＣ、又はＮＴＳＣ方式又はＰＡＬ方式の映像信号に含まれるカラーバーストの検波電圧を用いて一定の出力レベルのカラーバーストを有する映像信号を出力するオートカラーコントロール機能付き増幅器を有するＩＣである。
【０００３】
特開昭５８−６２５７５号公報に、検波回路及び検波電圧に応じて出力を変化させる回路（例えば増幅器）を有するＩＣの従来例の試験方法が開示されている。図１０、図１１及び図１２を用い、検波回路及び検波電圧に応じて出力を変化させる回路（例えば増幅器）を有する被試験ＩＣを試験する従来例のＩＣの試験方法を説明する。図１０及び図１１はそれぞれ、従来の半導体集積回路の試験方法を可能にする試験装置の初期状態及び測定状態での構成図である。図１０及び図１１において、９００は試験回路、９０は被試験ＩＣ、１は入力信号源、１８は測定器である。試験装置は、試験回路９００、入力信号源１及び測定器１８を有し、被試験ＩＣ９０を試験する。
【０００４】
被試験ＩＣ９０は、入力端子２、被試験回路３（検波電圧に応じた信号を出力する回路）、検波回路４、検波回路４に平滑用コンデンサを接続するための端子であって検波電圧を出力する検波端子５、及び被試験回路の出力信号を出力する出力端子１７を有する。入力信号源１は、入力端子２に接続され定格のＡＣ信号を被試験ＩＣ９０に供給する。入力信号源１から入力端子２に入力された信号は、被試験回路３及び検波回路４に入力される。入力信号は、検波端子５において検波（平滑）され被試験回路３に入力される。被試験回路３は、検波電圧に制御されて動作し、出力信号を出力端子１７に出力する。測定器１８は、出力端子１７に接続され被試験ＩＣ９０の出力信号の特性を測定する。
【０００５】
試験回路９００の構成を説明する。被試験ＩＣ９０の外部に、入力信号を平滑するための外付けコンデンサとして、大容量コンデンサ６と小容量コンデンサ７とが設けられる。小容量コンデンサ７は、検波端子５に一端が直接接続され他端が接地される。大容量コンデンサ６は一端が接地され小容量コンデンサ７よりも容量が大きく、切換器１１の接点１１１を介して小容量コンデンサ７に並列に接続される。大容量コンデンサ６は、被試験ＩＣ９０の推奨実用回路において、検波端子５に接続される平滑用コンデンサと同一の容量を有する。
【０００６】
切換器１１は、大容量コンデンサ６の一端を、検波端子５又は充電用バッファ９の出力端子に選択的に切り換えて接続する。切換器１１の接点１１２には、検波端子５の端子電圧を正確に検出して大容量コンデンサ６をその電圧に急速に充電する充電用バッファ９が、保護抵抗１０を介して接続される。充電用バッファ９は、被試験ＩＣ９０を駆動する電源とは別の電源で駆動され、被試験ＩＣ９０が小容量コンデンサ７を充電する電圧と同一の電圧に、大容量コンデンサ６を急速に充電する。充電用バッファ９の電流能力は、検波回路の電流能力に比べ充分に大きく設定されている。保護抵抗１０は、過渡電流を抑制し、大容量コンデンサ６の充電電流を制御する。８は、検波された電圧を充電用バッファ９に伝達するためのバイアス抵抗である。
【０００７】
大容量コンデンサ６の充電の時定数は、保護抵抗１０の抵抗値と大容量コンデンサ６の容量との積で表される。図１２に、コンデンサの容量をパラメータとするインピーダンス−周波数特性を示す。コンデンサのインピーダンスは容量で決まる下限値を有する。保護抵抗１０の抵抗値が十分小さい場合には、大容量コンデンサ６の充電の時定数は、それ自身のインピーダンスに制御される。
【０００８】
初期状態（図１０）において、切換器１１の接点１１２が選択され、大容量コンデンサ６に充電用バッファ９が保護抵抗１０を介して接続される。入力端子２に定格のＡＣ信号が入力される。被試験ＩＣ９０の検波回路４は、小容量コンデンサ７のみで入力信号を平滑する。ただし、小容量コンデンサ７は、入力信号を完全に平滑できるほど大きな容量を持たないので、検波端子５の電圧は安定せず、被試験ＩＣ９０の出力信号も安定しない。一方、検波端子５が出力する検波電圧はバイアス抵抗８を介して充電用バッファ９に入力される。充電用バッファ９は、検波端子５が出力する検波電圧と同一の電圧で、保護抵抗１０を介して大容量コンデンサ６を充電する。大容量コンデンサ６が完全に充電された（検波端子５が出力する検波電圧と同一の電圧にプリチャージされた）後、切換器１１の接点１１１が選択される（図１１）。この測定状態において大容量コンデンサ６が検波端子５に接続されるので、検波端子５が出力する検波電圧は安定する。これにより、被試験回路３の出力信号は安定する。測定器１８は出力端子１７の出力信号の特性を測定する。
【０００９】
推奨実用回路と同一の構成で被試験ＩＣ９０を試験した場合、被試験ＩＣ９０の検波回路４が直接、大容量コンデンサ６と同一の容量の平滑用コンデンサを充電する。しかし、検波回路４の出力電流は小さい故に、平滑用コンデンサが完全充電されるまでに（充電電圧が変化しなくなるまでに）長時間を有する。検波回路４の出力電圧が安定しないうちは、被試験回路３の出力信号も安定しない。それ故に、測定器１８は検波回路４の出力電圧が安定するまで長時間待機した後、出力端子１７の出力信号の特性を測定しなければならない。
以上のように上記従来の半導体集積回路の試験方法においては、始めに充電用バッファ９を用いて大容量コンデンサ６を急速充電し、その電圧を検波端子５の検波電圧と同一にする。充電完了後これを検波端子５に接続することにより、検波端子５に大容量コンデンサ６を直接接続する場合に比べて、被試験ＩＣの試験時間を大幅に短縮できる。
【特許文献１】特開昭５８−６２５７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
一般に、ＩＣの交流諸特性の試験では、１つの被試験回路３に対して、入力信号波形、電源電圧などの動作条件を様々に変えて複数の試験が連続して行われる。また、１つの被試験ＩＣ９０が有する複数の被試験回路に同一の試験を連続し行う場合がある。このように１つの被試験ＩＣ９０に対して複数の試験を連続して行う場合、試験と試験との間の時間帯は、入力信号波形が途絶えた状態となる。従来の半導体集積回路の試験方法によれば、入力信号波形が途絶えた時に、検波端子５の電圧が不安定になるため、次の試験開始時に出力信号が安定するまで待つ必要があった。
【００１１】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、検波回路と、検波回路の出力信号（検波電圧）に応じて出力信号を変化させる回路と、を有するＩＣの試験を２つ以上連続して行うにあたり、試験時間の短縮を行うことができるＩＣの試験装置及び試験方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明は以下の構成を有する。請求項１に記載の発明は、入力端子と、検波回路と、前記検波回路が出力する検波電圧に応じた信号を出力する被試験回路と、前記検波回路に平滑用コンデンサを接続するための端子であって前記検波電圧を出力する検波端子と、前記被試験回路の出力信号を出力する出力端子と、を有する被試験ＩＣの前記入力端子に信号を入力する入力信号源と、前記出力端子からの出力信号を入力する測定器と、前記検波端子に一端が直接接続され他端が接地される小容量コンデンサと、一端が接地され前記小容量コンデンサより大きな容量を有する大容量コンデンサと、一端が接地された保持用コンデンサと、前記検波電圧を入力して、前記検波電圧と同一の電圧に前記大容量コンデンサ及び前記保持用コンデンサを充電する充電用バッファと、前記大容量コンデンサの一端を、前記検波端子又は前記充電用バッファの出力端子に選択的に切り換えて接続する切換器と、前記保持用コンデンサと前記充電用バッファとの間に接続され開閉動作する第１の断続器と、前記保持用コンデンサの一端が入力端子に接続され、その電圧と同一の電圧を出力する保持用バッファと、前記保持用バッファの出力端子と前記検波端子との間に接続され開閉動作する第２の断続器と、を有することを特徴とするＩＣの試験装置である。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、第１の期間において、前記切換器が前記大容量コンデンサの一端を前記充電用バッファの出力端子に接続し、前記第１の断続器は前記保持用コンデンサと前記充電用バッファとを接続し、前記第２の断続器は前記保持用バッファの出力端子と前記検波端子とを切り離し、前記入力信号源は前記入力端子に入力信号を入力し、前記充電用バッファは前記大容量コンデンサ及び前記保持用コンデンサを急速充電し、前記第１の期間に続く第２の期間において、前記切換器が前記大容量コンデンサの一端を前記検波端子に接続し、前記測定器は前記入力信号に対応する前記出力端子からの出力信号を測定し、前記第２の期間に続く第３の期間において、前記第１の断続器は前記保持用コンデンサと前記充電用バッファとを切り離し、前記第２の断続器は前記保持用バッファの出力端子と前記検波端子とを接続し、前記保持用バッファは前記保持用コンデンサの電圧と同一の電圧を前記検波端子に出力し、前記入力信号源は、前記入力信号を一瞬中断した後再び出力し、前記第３の期間に続く第４の期間において、前記第１の断続器は前記保持用コンデンサと前記充電用バッファとを接続し、前記第２の断続器は前記保持用バッファの出力端子と前記検波端子とを切り離し、前記測定器は前記入力信号に対応する前記出力端子からの出力信号を測定する、ことを特徴とする請求項１に記載のＩＣの試験装置である。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、入力端子と、検波回路と、前記検波回路が出力する検波電圧に応じた信号を出力する被試験回路と、前記検波回路に平滑用コンデンサを接続するための端子であって前記検波電圧を出力する検波端子と、前記被試験回路の出力信号を出力する出力端子と、を有する被試験ＩＣの試験方法であって、第１の期間において、前記入力端子に入力信号を入力し、前記検波回路に小容量コンデンサを接続し、その検波電圧を小容量コンデンサで平滑し、充電用バッファを用いて大容量コンデンサ及び保持用コンデンサを前記検波回路の出力電圧と同一の電圧に急速充電する第１のステップと、前記第１の期間に続く第２の期間において、前記大容量コンデンサの一端を前記充電用バッファの出力端子と切り離して前記検波端子に接続し、前記入力信号に対応する前記出力端子からの出力信号を測定する第２のステップと、前記第２の期間に続く第３の期間において、前記保持用コンデンサと前記保持用バッファとを切り離し、前記保持用コンデンサの電圧と同一の電圧を出力する保持用バッファの出力端子を前記検波端子に接続し、前記入力信号を一瞬中断した後再び前記入力端子に入力する第３のステップと、前記第３の期間に続く第４の期間において、前記保持用コンデンサと前記充電用バッファとを接続し、前記保持用バッファの出力端子と前記検波端子とを切り離し、前記入力信号に対応する前記出力端子からの出力信号を測定する第４のステップと、を有することを特徴とするＩＣの試験方法である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、検波回路と、検波回路の出力信号（検波電圧）に応じて出力信号を変化させる回路と、を有するＩＣの試験を２つ以上連続して行うにあたり、試験時間の短縮を行うことができるＩＣの試験装置及び試験方法を提供できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下本発明の実施をするための最良の形態を具体的に示した実施の形態について、図面とともに記載する。
【００１７】
《実施の形態１》
図１〜図３、図８及び図９を用い、本発明の実施の形態１のＩＣの試験装置及び試験方法を説明する。図１〜図３はそれぞれ、本発明の実施の形態１のＩＣの試験装置の第１の期間（第１のステップ）、第２及び第４の期間（第２及び第４のステップ）、第３の期間（第３のステップ）での各状態を示す構成図である。実施の形態１のＩＣの試験装置において、従来の試験装置（図１０及び図１１）と同じ箇所には同じ符号を付し、説明を省略する。
【００１８】
実施の形態１のＩＣの試験装置は、従来例の試験回路９００を試験回路１００に置き換えたものである。試験回路１００は試験回路９００に、第１の断続器１２、第２の断続器１６、保持用コンデンサ１３、保持用バッファ１４、保護抵抗１５を加えたものである。保持用コンデンサ１３の一電極は、第１の断続器１２及び保護抵抗１０を介して充電用バッファ９に接続され、他の電極は接地される。保持用バッファ１４は、保持用コンデンサ１３の高電位側の電極が入力端子に接続され、その電圧と同一の電圧を出力する。保持用バッファ１４の出力端子は、保護抵抗１５及び第２の断続器１６を介して検波端子５に接続される。小容量コンデンサ７は、大容量コンデンサ６及び保持用コンデンサ１３に比べて十分に小さな容量を有する。保持用バッファ１４の電流能力は、検波電流より大きく設定されている。第１の断続器１２は、保持用コンデンサ１３と充電用バッファ９との間に接続され開閉動作する。第２の断続器１６は、保持用バッファ１４の出力端子と検波端子５との間に接続され開閉動作する。
【００１９】
以上のように構成された実施の形態１のＩＣの試験装置の動作（ＩＣの試験方法）を、図８及び図９を用いて説明する。図８は、本発明の実施の形態１のＩＣの試験方法のフローチャートである。図９は、本発明の実施の形態１のＩＣの試験装置の動作波形図である。図９に、入力端子２の電圧波形、検波端子５の電圧波形を示す。比較のため、従来の試験装置の検波端子５の電圧波形も併せて示す。図９では、説明のため、各ステップで時間軸を拡大して表示している。
【００２０】
ステップＳ１で、切換器１１が大容量コンデンサ６の一端を充電用バッファ９の出力端子に接続する（接点１１２が接続される。）。第１の断続器１２は保持用コンデンサ１３と充電用バッファ９とを接続する。第２の断続器１６は保持用バッファ１４の出力端子と検波端子５とを切り離す。
【００２１】
ステップＳ２で、１つ目の試験の入力条件が設定され、入力信号源１は被試験ＩＣ９０の入力端子２に入力信号を入力する。検波回路４は、小容量コンデンサ７のみで入力信号を検波する。小容量コンデンサ７は、入力信号を完全に平滑できるほど大きな容量を持たないので、検波端子５の電圧は入力信号に追従して不安定であり、被試験ＩＣ９０の出力信号（出力端子１７）も安定しない。
【００２２】
ステップＳ３で、検波電圧信号はバイアス抵抗８を介して充電用バッファ９に入力され、充電用バッファ９は保護抵抗１０を介して大容量コンデンサ６及び保持用コンデンサ１３を、検波電圧と同一の電圧で急速充電する。大容量コンデンサ６及び保持用コンデンサ１３の電圧は、検波端子５の電圧と同一に保たれる。ステップＳ１〜Ｓ３は、図１の状態であり、初期状態、第１の期間又は第１のステップと呼ぶ。
【００２３】
ステップＳ４で、大容量コンデンサ６が完全に充電された（検波端子５の電圧と同一にプリチャージされた）後、切換器１１が大容量コンデンサ６の一端を検波端子５に接続する（接点１１１が接続される。図２）。第１の断続器１２及び第２の断続器１６の状態は保持される。この時、大容量コンデンサ６の充電電圧と小容量コンデンサ７の検波電圧とは同じであるため、検波端子５の検波電圧は過応答なく、安定した電圧Ｖ１を維持する。
ステップＳ５で、測定器１８は出力端子１７からの出力信号を測定する。第１の断続器１２は閉じたままであるため、保持用コンデンサ１３は引き続き充電される。検波端子５の電圧と保持用コンデンサ１３の電圧は、同じに保たれる。ステップＳ４〜Ｓ５は、図２の状態であり、測定状態、第２の期間又は第２のステップと呼ぶ。
【００２４】
ステップＳ６で、第１の断続器１２は保持用コンデンサ１３と充電用バッファ９とを切り離す。第２の断続器１６は保持用バッファ１４の出力端子と検波端子５とを接続する（図３）。その後、入力信号源１は一旦信号の出力を停止する。保持用バッファ１４は保持用コンデンサ１３の電圧と同一の電圧を保護抵抗１５を介して検波端子５に出力する。検波端子５の電圧は、ステップＳ５での保持用コンデンサ１３の電圧Ｖ１に固定される。ステップＳ６は、図３の状態であり、保持状態、第３の期間又は第３のステップと呼ぶ。
【００２５】
ステップＳ７で、次の試験の入力条件が設定され、入力信号源１は入力信号を再び被試験ＩＣ９０に入力する。中断の前後で入力信号の振幅はわずかに変化する。第１の断続器１２は保持用コンデンサ１３と充電用バッファ９とを接続する。第２の断続器１６は保持用バッファ１４の出力端子と検波端子５とを切り離す（図２）。切換器１１の状態は保持される。検波端子５の電圧は、初めの試験での電圧Ｖ１から次の試験での安定電圧であるＶ２に速やかに変化する。
ステップＳ５（図９のステップＳ８）に戻る。検波端子５の電圧がＶ２に安定した後、測定器１８は出力端子１７からの出力信号の特性を測定する。第１の断続器１２は閉じたままであるため、保持用コンデンサ１３は引き続き充電される。検波端子５の電圧と保持用コンデンサ１３の電圧は、同じに保たれる。ステップＳ８、Ｓ５は、図２の状態であり、測定状態、第４の期間又は第４のステップと呼ぶ。以下、ステップＳ６以下を繰り返す。
【００２６】
以上のように、実施の形態１においては、検波電圧が過渡的に乱れることが無い故に、検波電圧が安定するための待機時間を設けることなく、１つの被試験回路３に対して複数の試験を連続して行う。
【００２７】
次に、従来の試験装置の検波端子５の電圧波形を説明する。従来の試験装置における切換器１１は、図８のフローチャートにおけるステップＳ１〜ステップＳ３では接点１１１を選択し（図１０）、ステップＳ４以降は接点１１２を選択する（図１１）。従来の試験装置の検波端子５の電圧は、ステップＳ１〜ステップＳ５では実施の形態１の検波端子５の電圧と同様に振る舞う。しかし、ステップＳ６で入力信号が途絶えると、検波電流が検波用の大容量コンデンサ６及び小容量コンデンサ７に直接作用するため、検波端子５の電圧が急激に低下する。従って、ステップＳ７で次の試験の入力条件が設定され、入力信号源１が再び入力信号を被試験ＩＣ９０に入力開始してから、検波端子５の電圧がＶ２に安定するまで出力信号を評価できない。
【００２８】
本発明のＩＣの試験装置及び試験方法では、被試験ＩＣ９０へ入力される入力信号が途絶えたときに、予め充電しておいた保持用コンデンサ１３により、検波端子５の電圧を前の試験の状態のまま保持するので、１つの被試験ＩＣ９０に複数の試験を行う場合に過渡的な検波電圧の乱れが生じない故に、試験時間を短縮できる。
試験回路１００は、個々の被試験ＩＣ９０に応じた検波電圧を保持する故に、生産用試験プログラム上で、一定の最小待ち時間の設定が可能になる。従って、本発明のＩＣの試験装置及び試験方法を、大量にＩＣを試験する量産試験に適用することにより極めて大きな実益が得られる。
【００２９】
《実施の形態２》
図４〜図７を用いて本発明の実施の形態２のＩＣの試験装置及び試験方法を説明する。図４〜図７はそれぞれ、本発明の実施の形態２のＩＣの試験装置の初期状態、第１の試験での測定状態、保持状態、第２の試験での測定状態での構成図である。実施の形態２のＩＣの試験装置において、実施の形態１の試験装置（図１〜図３）と同じ箇所には同じ符号を付し、説明を省略する。
【００３０】
実施の形態２のＩＣの試験装置は、実施の形態１のＩＣの試験装置の入力信号源１を入力信号源１９及び２１に置き換えたものである。実施の形態２のＩＣの試験装置は、被試験ＩＣ９１を試験する。被試験ＩＣ９１は、入力端子２０、入力端子２２、回路切換器５０及び５１、被試験回路３１、被試験回路３２、検波回路４、検波端子５、出力端子１７を有する。入力信号源１９は、入力端子２０に接続され定格の電圧のＡＣ信号を被試験ＩＣ９１に供給する。入力信号源２１は、入力端子２２に接続され定格の電圧のＡＣ信号を被試験ＩＣ９１に供給する。入力端子２０に入力された信号は、回路切換器５０を介して被試験回路３１又は被試験回路３２に供給される。入力端子２２に入力された信号は、検波回路４に入力され、検波端子５において検波（平滑）され被試験回路３１及び被試験回路３２に入力される。被試験回路３１及び被試験回路３２は、検波された入力信号に制御されて動作する。回路切換器５１は、被試験回路３１及び被試験回路３２のいずれかの出力信号を選択し、出力端子１７から出力する。測定器１８は、出力端子１７に接続され被試験ＩＣ９１の出力信号を測定する。
【００３１】
実施の形態２のＩＣの試験装置は、始めに回路切換器５０、５１を被試験回路３１側に設定して被試験回路３１の試験（第１の試験）を行う。次に、回路切換器５０、５１を被試験回路３２側に設定して被試験回路３２の試験（第２の試験）を行う。第１の試験及び第２の試験で、入力信号源２１から検波回路４へ入力される信号は同じである。
【００３２】
以上のように構成された実施の形態２のＩＣの試験装置の動作（ＩＣの試験方法）を図８（実施の形態１のＩＣの試験方法のフローチャート）を援用して説明する。実施の形態２でのステップＳ１〜ステップＳ７での試験回路１００の動作は、実施の形態１での試験回路１００と同じである（入力信号源１を入力信号源１９及び２１に置き換える。）。
【００３３】
ステップＳ１で、切換器１１が大容量コンデンサ６の一端を充電用バッファ９の出力端子に接続する（接点１１２が接続される。）。第１の断続器１２は保持用コンデンサ１３と充電用バッファ９とを接続する。第２の断続器１６は保持用バッファ１４の出力端子と検波端子５とを切り離す（図４）。
【００３４】
ステップＳ２で、１つ目の試験の入力条件が設定され、回路切換器５０、５１は、被試験回路３１を入力端子２０及び出力端子１７に接続する。入力信号源１９は被試験ＩＣ９１の入力端子２０に入力信号を入力する。入力信号源２１は被試験ＩＣ９１の入力端子２２に入力信号を入力する。検波回路４は、小容量コンデンサ７のみで入力信号を検波する。小容量コンデンサ７は、入力信号を完全に平滑できるほど大きな容量を持たないので、検波端子５の電圧は入力信号に追従して不安定であり、被試験ＩＣ９１の出力信号（出力端子１７）も安定しない。
【００３５】
ステップＳ３で、検波電圧信号はバイアス抵抗８を介して充電用バッファ９に入力され、充電用バッファ９は保護抵抗１０を介して大容量コンデンサ６及び保持用コンデンサ１３を、検波電圧と同一の電圧で急速充電する。大容量コンデンサ６及び保持用コンデンサ１３の電圧は、検波端子５の電圧と同一に保たれる。ステップＳ１〜Ｓ３は、図４の状態であり、初期状態、第１の期間又は第１のステップと呼ぶ。
【００３６】
ステップＳ４で、大容量コンデンサ６が完全に充電された（検波端子５の電圧と同一にプリチャージされた）後、切換器１１が大容量コンデンサ６の一端を検波端子５に接続する（接点１１１が接続される。図５）。第１の断続器１２及び第２の断続器１６の状態は保持される。この時、大容量コンデンサ６の充電電圧と小容量コンデンサ７の検波電圧とは同じであるため、検波端子５の検波電圧は過応答なく、安定した電圧Ｖ１を維持する。
ステップＳ５で、測定器１８は出力端子１７からの出力信号を測定する。第１の試験の測定を終了する。第１の断続器１２は閉じたままであるため、保持用コンデンサ１３は引き続き充電される。検波端子５の電圧と保持用コンデンサ１３の電圧は、同じに保たれる。ステップＳ４〜Ｓ５は、図５の状態であり、第１の試験での測定状態、第２の期間又は第２のステップと呼ぶ。
【００３７】
ステップＳ６で、第１の断続器１２は保持用コンデンサ１３と充電用バッファ９とを切り離す。第２の断続器１６は保持用バッファ１４の出力端子と検波端子５とを接続する（図６）。その後、入力信号源１９及び２１は一旦信号の出力を停止する。保持用バッファ１４は保持用コンデンサ１３の電圧と同一の電圧を保護抵抗１５を介して検波端子５に出力する。検波端子５の電圧は、ステップＳ５での保持用コンデンサ１３の電圧Ｖ１に固定される。この時、検波回路４は入力信号が無信号であると判断し、検波端子５に接続されている負荷の、大容量コンデンサ６及び小容量コンデンサ７に新たな検波電流値を供給する。しかし、保持用バッファ１４の電流能力が検波電流より大きく設定されているので、検波端子５の電圧はステップＳ５での保持用コンデンサ１３の電圧に固定される。ステップＳ６は、図６の状態であり、保持状態、第３の期間又は第３のステップと呼ぶ。
【００３８】
ステップＳ７で、第２の試験の入力条件が設定され、回路切換器５０、５１は、被試験回路３２を入力端子２０及び出力端子１７に接続する。入力信号源１９及び２１は入力信号を再び被試験ＩＣ９１に入力する。中断の前後で入力信号のレベルは変化しない。検波端子５の電圧は、入力信号の中断の前後で変化せず、電圧Ｖ１を維持する。第１の断続器１２は保持用コンデンサ１３と充電用バッファ９とを接続する。第２の断続器１６は保持用バッファ１４の出力端子と検波端子５とを切り離す（図７）。切換器１１の状態は保持される。ステップＳ５（図９のステップＳ８）に戻る。
検波端子５の電圧は、初めの試験での電圧Ｖ１のまま固定される。測定器１８は出力端子１７からの出力信号の特性を測定する。第１の断続器１２は閉じたままであるため、保持用コンデンサ１３は引き続き充電される。検波端子５の電圧と保持用コンデンサ１３の電圧は、同じに保たれる。ステップＳ８及びＳ５は、図５及び図７の状態であり、測定状態、第４の期間又は第４のステップと呼ぶ。以下、ステップＳ６以下を繰り返す。
【００３９】
以上のように、実施の形態２においては、検波電圧が過渡的に乱れることが無い故に、検波電圧が安定するための待機時間を設けることなく、複数つの被試験回路３１、３２に対して試験を連続して行う。
【００４０】
本発明のＩＣの試験装置及び試験方法では、被試験ＩＣ９１へ入力される入力信号が途絶えたときに、予め充電しておいた保持用コンデンサ１３により、検波端子５の電圧を前の試験の状態のまま保持するので、１つの被試験ＩＣ９１の複数の回路に複数の試験を行う場合に過渡的な検波電圧の乱れが生じない故に、試験時間を短縮できる。
試験回路１００は、個々の被試験ＩＣ９１に応じた検波電圧を保持する故に、生産用試験プログラム上で、一定の最小待ち時間の設定が可能になる。従って、本発明のＩＣの試験装置及び試験方法を、大量にＩＣを試験する量産試験に適用することにより極めて大きな実益が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明のＩＣの試験装置及び試験方法は、検波回路と、検波回路の出力信号に応じて出力信号を変化させる回路と、を有するＩＣの試験装置及び及び試験方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施の形態１のＩＣの試験装置の初期状態（第１のステップ）での構成図
【図２】本発明の実施の形態１のＩＣの試験装置の測定状態（第２及び第４のステップ）での構成図
【図３】本発明の実施の形態１のＩＣの試験装置の保持状態（第３のステップ）での構成図
【図４】本発明の実施の形態２のＩＣの試験装置の初期状態（第１のステップ）での構成図
【図５】本発明の実施の形態２のＩＣの試験装置の第１の試験での測定状態（第２のステップ）での構成図
【図６】本発明の実施の形態２のＩＣの試験装置の保持状態（第３のステップ）での構成図
【図７】本発明の実施の形態２のＩＣの試験装置の第２の試験での測定状態（第４のステップ）での構成図
【図８】本発明の実施の形態１のＩＣの試験方法のフローチャート
【図９】本発明の実施の形態１のＩＣの試験装置の動作波形図
【図１０】従来のＩＣの試験装置の初期状態での構成図
【図１１】従来のＩＣの試験装置の測定状態での構成図
【図１２】コンデンサの容量をパラメータとするインピーダンス−周波数特性を示す図
【符号の説明】
【００４３】
１、１９、２１  入力信号源
２、２０、２２  入力端子
３、３１、３２  被試験回路
４              検波回路
５              検波端子
６              大容量コンデンサ
７              小容量コンデンサ
８              バイアス抵抗
９              充電用バッファ
１０、１５      保護抵抗
１１            切換器
１２            第１の断続器
１３            保持用コンデンサ
１４            保持用バッファ
１６            第２の断続器
１７            出力端子
１８            測定器
５０、５１      回路切換器
９０、９１      被試験ＩＣ
１００、９００  試験回路
１１１、１１２  接点
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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