(57)【要約】      （修正有） 【課題】カラーエージェント組成物が安定し、保存期間が長く、流動性が高くなる、インクジェット装置を用いたフラットパネルディスプレイのためのカラーフィルタの製造方法の提供。【解決手段】前パターン化されたマトリクス１０内のピクセル４０にカラーインク５０を注入し、この注入されたカラーインクを硬化させる。周辺部の厚さ７０、中心部の厚さ６０のピクセル４０は凹構造４５である。更に、カラーインクは、電子ビーム、レーザー、Ｘ線又は他の適した高エネルギー源を用いても硬化する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット装置を用いて前パターン化されたマトリクス内にカラーインクを注入し、
注入されたカラーインクを硬化させ、これによって硬化されたカラーインクが凹構造を有するフラットパネルディスプレイのカラーフィルタ製造方法。
【請求項２】
各々のカラーインクは、
１又はそれ以上のカラー色素及び／又は染料と、
ポリマーマトリクスを形成するための１又はそれ以上のモノマー及び／又はオリゴマーと、
１又はそれ以上の溶媒を含む請求項１記載の方法。
【請求項３】
カラーインクのカラーは
レッド、グリーン及びブルー、
レッド、グリーン、ブルー及びホワイト、
シアン、イエロー及びマゼンタ、
シアン、イエロー、マゼンタ及びホワイトからなる群から選択される請求項１記載の方法。
【請求項４】
各々のカラーインクは、
１０−３０％のカラー色素及び／又は染料と、
２０−６０％のモノマー及び／又はオリゴマーと、
３０−５０％の溶媒を含む請求項１記載の方法。
【請求項５】
各々のカラーインクは更に１又はそれ以上の光開始剤を含む請求項２記載の方法。
【請求項６】
１又はそれ以上の溶媒は、
３−メトキシブチルアセタート、
メトキシプロパノールアセタート、
エトキシエチルプロピオネート、
プロピレングリコールモノメトキシエーテルアセタート及び
これらの組合せからなる群から選択される請求項２記載の方法。
【請求項７】
前パターン化されたマトリクスは樹脂ブラックマトリクスを含む請求項１記載の方法。
【請求項８】
前パターン化されたマトリクスはクロムブラックマトリクスを含む請求項１記載の方法。
【請求項９】
前パターン化されたマトリクスは約１００００−２５０００Åの高さを有する請求項１記載の方法。
【請求項１０】
前パターン化されたマトリクスは硬化されたカラーインクの中心厚さより大きな高さを有する請求項１記載の方法。
【請求項１１】
インクジェット装置は、１又はそれ以上のノズルの１又はそれ以上のアレイを含む請求項１記載の方法。
【請求項１２】
注入されたカラーインクはＵＶ照射を用いて硬化される請求項１記載の方法。
【請求項１３】
注入されたカラーインクは、電子ビーム、レーザー又はＸ線を用いて硬化される請求項１記載の方法。
【請求項１４】
インクジェット装置を用いて前パターン化されたマトリクス内にカラーインクを注入し、
注入されたカラーインクを硬化させ、この硬化は電子ビームエネルギー源を用いて行われるフラットパネルディスプレイのカラーフィルタ製造方法。
【請求項１５】
各々のカラーインクは、
１又はそれ以上のカラー色素及び／又は染料と、
ポリマーマトリクスを形成するための１又はそれ以上のモノマー及び／又はオリゴマーと、
１又はそれ以上の溶媒からなる群から選択される物質を含む請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
前パターン化されたマトリクスは樹脂ブラックマトリクスを含む請求項１４記載の方法。
【請求項１７】
前パターン化されたマトリクスはクロムブラックマトリクスを含む請求項１４記載の方法。
【請求項１８】
前パターン化されたマトリクスは約１００００−２５０００Åの高さを有する請求項１４記載の方法。
【請求項１９】
前パターン化されたマトリクスは硬化されたカラーインクの中心厚さより大きな高さを有する請求項１４記載の方法。
【請求項２０】
インクジェット装置を用いて前パターン化されたマトリクス内にカラーインクを注入し、
注入されたカラーインクを硬化させ、この硬化は高エネルギー源を用いて行われるフラットパネルディスプレイのカラーフィルタ製造方法。
【請求項２１】
高エネルギー源は、電子ビーム源、レーザー及びＸ線源からなる群から選択される請求項２０記載の方法。
【請求項２２】
インクジェット装置を用いて前パターン化されたマトリクス内にカラーインクを注入し、
この注入されたカラーインクは凹構造を有し、
注入されたカラーインクを硬化させる方法により製造されるカラーフィルタ。
【請求項２３】
インクジェット装置を用いて前パターン化されたマトリクス内にカラーインクを注入し、
注入されたカラーインクを硬化させ、この硬化は高エネルギー源を用いて行われる方法により製造されるカラーフィルタ。
【請求項２４】
Ａ）注入されたカラーインクは凹構造を有し、
Ｂ）硬化は電子ビーム源、レーザー及びＸ線源からなる群から選択される高エネルギー源を用いて行われる請求項２３記載のカラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【発明の背景】
【０００１】
【発明の分野】
【０００２】
本発明の実施例は一般にフラットパネルディスプレイに係り、特にフラットパネルディスプレイで用いられるカラーフィルタの製造方法に関する。
【関連技術の説明】
【０００３】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）は、コンピュータ端末、ビジュアルエンターテイメントシステム、携帯電話、個人情報端末（ＰＤＡ）のような個人用電子機器において選択されるディスプレイ技術となっている。液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、特にアクティブマトリクス液晶ディスプレイ（ＡＭＬＣＤ）は、商業的に入手可能なＦＰＤの中で最も用途が多く、丈夫なものとして出現している。ＬＣＤ技術の基本的な要素はカラーフィルタであり、これを通じて光が配向され、カラービジュアル出力が形成される。カラーフィルタは、通常、レッド、グリーン及びブルーのピクセルから形成され、不透明（ブラック）マトリックス内のパターン又はアレイ中に注入され、これによってカラーフィルタでフィルタリングされた光の解像度が向上される。
【０００４】
カラーフィルタを製造するための伝統的な方法、即ち、色素法、リソグラフィー、染料分散及び電気的堆積のような方法は、３つのカラーを連続的に導入しなければならないという重大な欠点を有している。即ち、１のカラーの第１セットのピクセルが一連のステップにより製造され、その後に３つのカラー全てを形成するためにこのプロセスが２回繰り返されなければならない。このプロセスに必要とされる一連の工程は、少なくとも１の硬化フェイスを含み、これによって注入された液体状のカラーエージェントが固体状の永久的な状態に変換される。
【０００５】
カラーフィルタの製造に用いられる技術で改良可能な分野は、インクジェットのような改良された注入装置を導入することであった。インクジェットシステムを利用することにより全てのカラーを１の工程でカラーフィルタマトリックス内に形成することができ、これによってプロセスを３回行なう必要がなくなる。
【０００６】
インクジェットの利用によりカラーフィルタの製造は潜在的には単純化することができるものの、現在用いられているインクジェットシステムには欠点がある。現在用いられているカラーエージェント組成物は早期に硬化する傾向がある。即ち、これらの組成物はマトリックス内に分散される前に、劣化し、濃縮された状態になる傾向がある。このようなカラーエージェント組成物の劣化は、生産されるピクセルの黄色化（yellowing effect）を生じさせ、組成物が濃縮化された状態となると処理の際にインクジェットノズルの詰まりを生じさせる。
【０００７】
インクジェット技術の利用から生じる他の問題点は、隣接するピクセル内に組成物が漏れることなく、組成物をピクセル内に注入することである。従来のマトリックス内にインクジェットをすると、異なるカラーエージェントが混合する結果を生じさせる場合があり、これによって製造されるカラーフィルタの品質が低下する。ピクセル内においてカラーエージェントの均一性を維持する必要性は、上述した早期硬化の問題と相俟って、インクジェット技術をカラーフィルタ製造に用いることを困難にしている。
【０００８】
従って、カラーエージェント組成物が貯蔵及び処理の間安定し、保存期間が長く、流動性が高くなるインクジェット法による改良されたカラーフィルタの製造方法の開発が望まれている。更に、高品質カラーピクセルを製造するために、改良された前パターン化されたマトリックスが必要とされている。
【発明の概要】
【０００９】
本発明はカラーフィルタの製造方法及びこれにより製造されるフィルタを提供する。１の実施例において、カラーフィルタの製造方法は、基板上に前パターン化されたマトリクスを配置するプロセスを含む。電子ビームのようなエネルギー源により硬化されるカラーインクは、インクジェット装置を用いてマトリクス内に注入される。他の実施例において、硬化されたカラーインクが凹状表面を形成するカラーピクセルを含むカラーフィルタが製造される。
【好ましい実施例の詳細な説明】
【００１０】
本発明の１の実施例は、基板上で前パターン化されたマトリックスを形成し、インクジェット装置を用いてカラーインクを注入し、注入されたカラーインクを凹形状で硬化させるカラーフィルタの製造方法を含む。本発明の他の態様において、カラーフィルタの製造方法は、基板上で前パターン化されたマトリックスを形成し、インクジェット装置を用いてカラーインクを注入し、及び電子ビームで注入されたカラーインクを硬化させることを含む。他の実施例において、本発明は、基板上で前パターン化されたマトリックスを形成し、インクジェット装置を用いてカラーインクを注入し、及び高エネルギー源で注入されたカラーインクを凹形状で硬化させることを含む。更に、本発明の実施例は、本発明の方法により製造されるカラーフィルタを含む。
【００１１】
前パターン化されたマトリックスが形成される基板は、例えば、ガラスのような高い光学的透明性を有する物質であればよい。更に、基板は、基板上に形成される物質の接着性を強化するようなコーティングが施されていてもよく、又はそのような処理を受けた表面を含んでいてもよい。
【００１２】
種々の実施例は、基板上に形成された前パターン化されたマトリックス内にカラーインクを注入することを必要とする。好ましい前パターン化されたマトリックスは、樹脂マトリックス及びクロムマトリックスを含むが、これに限定されない。典型的に、マトリックスは、樹脂で基板をコーティングするか又はクロムのような非反射金属を堆積し、その後フォトリソグラフィープロセスを用いてマトリックス物質をパターニングすることにより形成される。ブラックマトリックスの形成に一般的に用いられる樹脂製物質は、アクリル又はポリミド樹脂に分散されたカーボンブラック又は有機色素のような低透明性の黒色成分を含む。本実施例を実施することによりにより製造されるマトリックスは、好ましくは約１０,０００〜２５,０００Åの高さを有するが、いかなる場合も注入されるカラーインクの望ましい厚さよりも大きく、好ましくは必要なカラーインクの厚さより１０−１００％高い。このマトリックスの幾何学的構造により、注入の際インクが１のピクセルから他のピクセルに溢れ出すことを最小にすることができる。十分な高さを有するブラックマトリックスを形成することは、樹脂プロセスが用いられる場合の問題ではない。しかしながら、クロム層は、典型的には、約５００〜１,０００Åの厚さに堆積される。この制約は、クロムがパターン化される前にフォトレジスト層を形成することにより解決され、必要なマトリックスの高さはパターニングの後堆積されたレジストの必要な高さを残すことにより達成される。クロムのパターニングの後に残っているレジストを除去する必要がなくなることにより、プロセス手順における追加的な工程を減少することができる。
【００１３】
図１は、基板３５上に形成された前パターン化されたマトリックス１０の２次元側面図である。前パターン化されたマトリックス１０はマトリックスウェル壁２０及びウェル底２５により輪郭が形成される空間部で形成されるウェル１５を含む。図１内で用いられている角度θは、ウェル底２５に対するウェル壁２０の傾斜角を示す。図１における傾斜角θは９０°より大きいが、前パターン化されたマトリックス（図２参照）に導入されるカラーインク５０で形成される凹状構造４５は角度θの度合には完全には依存しないので、９０°以下の角度θで形成されるウェル壁２０を有するマトリックスも利用することが可能である。ウェル壁２０及びウェル底２５を含む前パターン化されたマトリックス１０の表面は、好ましくは、注入されたカラーインク５０の密着性を高めるぬれ性を有しており、これによって図２に示されるような凹状構造４５における硬化されたカラーインク５０の配向を形成することが可能になる。
【００１４】
優れたカラーフィルタレーションは、カラーインクが凹形状を有しているカラーフィルタ、即ち、ブラックマトリックス内において平坦又は凸状表面配向を有するのでなく、中心部より周辺部が高くなっているカラーフィルタにより達成されることが見出されている。理論はともかく、この効果は光の散乱が減少し、これによってフィルタリングされた光の焦点が小さくなることにより達成されると考えられている。このような構造を製造するため、カラーインクが導入された前パターン化されたマトリックスは、硬化されたカラーインクの中心厚さより大きな高さを有しており、これによってカラーインクがその表面に密着することを可能にしている。
【００１５】
分散されたカラーインクの密着性を向上させる適切なぬれ性は、インク親和性を有するマトリックス表面を製造することにより達成される。これは、クロムマトリックスが採用される場合、適切なフォトレジスト基板を選択することにより、又は残っているフォトレジストを、例えば、プラズマ酸素処理によって処理することによって達成される。活性化された酸素種及びこれに随伴するイオンの衝突は、フォトレジスト表面のぬれ性を改変し、これによってカラーフィルタは凹構造を有することが可能になる。
【００１６】
図２は、前パターン化されたマトリックス１０内に配置されたピクセル４０の２次元の側面図である。ピクセル４０は、カラーインク５０が注入されたウェルを包囲している。図２は、注入されたカラーインク５０の周辺部における厚さ７０が中心表面の厚さ６０より大きなピクセル４０の凹構造４５を示す。重要なことは、注入されたカラーインク５０の厚さ７０が、前パターン化されたマトリックス１０の高さ３０より大きいことである。この高さの違いにより、図２に示される凹構造４５の形成が容易になる。
【００１７】
ここで採用されているカラーエージェント組成物は、カラー色素及び塗料、溶媒、添加剤、アクリルモノマー、アクリル及び／又はメタクリルオリゴマー及び追加的に光開始剤（フォトイニシエータ）を含む物質の混合物を含むが、これに限定されない。ここで、カラーエージェント組成物は、その組成物がＵＶリソグラフパターニングのための１又はそれ以上の光開始剤を含む場合にはカラーレジストと定義され、組成物が光開始剤を含まない場合はインク又はカラーインクと定義される。本発明はカラーインク又はカラーレジストのいずれを利用した実施例を含むものであるが、様々な例の説明を容易にするためインクと称する。
【００１８】
カラーエージェントとして作用する塗料及び／又は色素は、約３０％までの割合でインク混合物中に分散され、レッド、グリーン及びブルーのカラーフィルタピクセルの製造に適するものとして関連技術で一般的に知られている物質を含んでおり、これはＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６及びＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６のようなものであるが、これに限定されない。シアン、イエロー、マゼンダ及び（追加的に）ホワイトを用いた他のカラーシステムも用いることができる。
【００１９】
各々のカラーインクにおける溶媒又は溶媒混合物は２つの目的を有する。第１に、これはカラーインクの他の成分を溶解し、これによってインクジェット装置による注入のための最適な流動性を有するカラーインクの組成が達成される。第２に、インクジェットプロセスの際の蒸発により、マトリックス表面上でカラーインクが濃縮され、これによってマトリックス内で好ましい構造でカラーエージェントの密着が促進される。従って、溶媒又は溶媒混合物は他のカラーインク成分を溶解することができるものでなければならず、プロセスの際の完全又は部分的な蒸発によりカラーインクの必要な厚さを形成するのに十分な揮発性を有していなければならない。好ましい溶媒は、3−メトキシメチルアセタート、メトキシプロパノールアセタート、エトキシエチルプロピオネート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタート及びこれらの組み合わせを含むが、これに限定されるものではない。
【００２０】
カラーインクに含むまれる添加剤は液体が好ましい特性を有するようにすることを容易にし、この特性には溶解度、粘度及び表面張力が含まれるが、これに限定されない。一般的に採用される添加剤の種類は、界面活性剤、酸化剤及び消泡剤を含むが、これに限定されない。
【００２１】
インクに含有されるアクリルモノマー及び／又はアクリル又はメタクリルオリゴマーは一定の形式及び量のエネルギーを受けると、フリーラジカル重合される。このようにして形成された重合体は、カラーエージェントをマトリックス内に固定する固体物質を含む。上述したように、カラーエージェント組成物を分散させる前に始まる重合（早期硬化）は現在知られている技術において問題となっている。カラーレジストはＵＶ硬化性であり、貯蔵及び使用の際、背景光に露出することにより早期硬化する傾向がある。加えて、低レベル熱エネルギーの導入によって硬化可能なカラーエージェント組成物（以下、熱硬化インクという。）は、貯蔵及び使用の際、周囲の温度へ露出すると、同様に早期硬化の対象になる。伝統的なＵＶカラーレジスト又は熱硬化カラーインクは本発明の実施例の実施に利用することが可能であるが、本発明の好ましい実施例では重合を開始するために他のエネルギー源を利用する。重合を開始させるために選択されるエネルギー源は様々な実施例において利点を与える。
【００２２】
重合が必要とされるまでの貯蔵及び処理の間、反応性部分が不変であるカラーインクを利用することにより、ある実施例において特別の利点を生じさせる。早期硬化は上述したピクセルの黄色化及びノズルの詰まりといった問題を生じさせるので、ここで開示されるカラーインクは、光開始剤を含有する必要なく、周囲の光及び熱のような背景環境要素としては一般的には存在しない重合のためのエネルギー源を必要とする。ここで利用することができる高エネルギー源は、電子ビーム、レーザー及びＸ線のようなエネルギー源を含むが、これに限定されない。
【００２３】
好ましい電子ビーム源は、２００２年１月２２日に「改良型電子銃を有する電子ビームリソグラフィーシステム」の名称で出願され、共通して譲渡される米国特許出願第１０／０５５，８６９号に記載されているような電子銃であるが、これに限定されず、この文献は本明細書に矛盾しない範囲で引用により本明細書に全体的に一体化される。カラーインクに含有されるモノマー及び／又はオリゴマーに含まれる効果的な電子ビーム交差結合置換基として作用する化学的置換基の例は、（ａ）炭素−炭素二重結合（例えば、アダマンチルケージのようなペンデント基に含まれる又は結合されるアルケン作用基、（ｂ）例えばシクロアルカンの３又は４員環のような「歪んだ」環状系であって、電子ビーム照射により開環し及び交差結合する傾向があるもの、（ｃ）ハロゲン化水素（例えばＨＣ１）の押し出しに相互に関係しているプロセスを介して電子ビーム照射により交差結合する傾向があるハロメチル置換基のようなハロゲン化合物、及び（ｄ）１又はそれ以上の有機珪素化合物であり、これらは２００３年５月２８日に「Ｅビーム硬化性レジスト及びＥビームを用いたレジストの硬化方法」の名称で出願され、共通して譲渡される米国特許出願第１０／４４７，７２９号に記載されているものであり、この文献は本明細書に矛盾しない範囲において引用により全体として本明細書に一体化される。
【００２４】
本明細書中で、電子ビーム又はｅ−ビーム処理という用語は、電子のビーム、例えば、比較的均等な電子のビームに対する露光を意味するが、これに限定されない。本明細書中で、電子ビーム源、電子ビーム出射装置又はｅ−ビーム出射装置は、電子ビームを形成することが可能な装置を意味する。ｅ−ビーム処理ステップは、均一で面積の大きな電子ビーム源からの広大な電子ビームを用いて行われることが好ましく、これによって全基板面積を同時にカバーすることが可能になる。基板サイズがｅ−ビーム源より大きな製造環境において、カラーフィルタは、電子ビームに均一に露光されるように、電子ビーム出射装置により走査される。ｅ−ビーム処理は大気圧下で行なわれるのが好ましいが、これに限定されない。好ましい電子ビームチャンバーは、カリフォルニア州、サンタクララのアプライドマテリアルズインコーポレイテッドから入手可能なエレクトロンキュアー（商標名）のようなものである。このような装置の操作原理及び性能特性は、共通して譲渡される米国特許第５，００３，１７８号に記載されており、これは本明細書に矛盾しない範囲で引用により全体として本明細書に一体化される。電子ビームエネルギーは、処理圧力及び状態に応じ、約１−約２００ＫｅＶの範囲である。カラーフィルタの重合に必要な電子の総量は、カラーフィルタの種類及び厚さ、チャンバー又は容器の状態、基板移動速度及びｅ−ビームエネルギーに応じて調整される。
【００２５】
電子ビームチャンバーのガス雰囲気は、窒素、酸素、水素、アルゴン、キセノン、ヘリウム、二酸化炭素又はこれらのガスの２又はそれ以上の組み合わせを含むことができるが、これに限定されない。ｅ−ビーム処理は、好ましくは、大気圧下で行なわれる。真空チャンバーが用いられる場合、真空状態は大気圧下よりやや低い圧力から約１０‐7Ｔｏｒｒの範囲の圧力に維持される。基板の温度は約２０℃から約２００℃の間で変化させることができる。好ましくは、この温度は２０℃から８０℃の範囲で制御される。加えて、厚い物質を処理するため、電子ビーム量は電圧が減少した複数の工程に分割することができ、これによって物質が底部から上部に向かって硬化する均等量のプロセスを提供することが可能になる。従って、電子ビーム到達の深さは、処理プロセスの際、変化させることができる。本技術分野における当業者であれば、ｅ−ビーム処理の長さは、上述したパラメーターの１又はそれ以上に依存し、これらのパラメーターは本明細書の詳細な説明を参照すれば実験をすることなく日常的に決定することができることを容易に理解することができる。
【００２６】
本発明におけるカラーインクを注入するためのインクジェット装置は圧電式インクジェットプリンター装置を含むが、これに限定されない。一般的に、好ましいインクジェット装置は、レッド、グリーン、ブルー及び（追加的に）ホワイトのような異なる色のインクを注入することが可能な１又はそれ以上のノズルのアレイを含む装置を含んでいる。シアン、イエロー、マゼンダ及び（追加的に）ホワイトを用いた他のカラーシステムを用いることも可能である。カラーインクは基板上に１回に１色を注入することもでき、同時に複数色のインクを注入することも可能である。
【００２７】
図３は、本発明の実施例を実施するための装置の種々の態様を示す。インクジェットヘッドアセンブリ３２は、基板３３が支持されているステージ３４の上方に位置している。インクジェットヘッドアセンブリ３２は、１又はそれ以上のノズルの１又はそれ以上のアレイ（図示せず）を含む。アレイの数は、典型的には、採用される異なる色のインクの数に対応する。第１モータ３１はインクジェットヘッドアセンブリ３２に制御可能に連結されており、これによってアセンブリを基板３３に対し相対的に移動させることができる。第２モータ３６はステージ３４に制御可能に連結されており、これによって基板をインクジェットヘッドアセンブリ３２に対し相対的に移動させることができる。インクジェットヘッドアセンブリ３２及びステージ３４は独立して移動させることができ、処理の際に、片方又は両方を移動させることができる。１の実施例において、インクジェットヘッドアセンブリ３２は、処理の際にインクを貯蔵し及びノズルにインクを搬送するための自己収容手段（図示せず）を含む。他の実施例において、インクは、チューブ手段（図示せず）または他の好ましい垂直方向のアレンジメントを用いて処理の際に連続してインクジェットヘッドアセンブリ３２に搬送される。図面は本発明に係るカラーフィルタを形成するために適した装置を示しているが、他のインクジェット装置及びこれらのアレンジメントを有効に利用することもできる。
【００２８】
１の実施例において、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６及びＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６がカラーインクを組成するために用いられ、アクリルモノマー及びオリゴマーが重合前駆体として用いられ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセタートが溶媒として用いられた。インクの組成は、好ましくは、１０〜３０％の色素又は塗料、２０〜６０％のモノマー及び／又はオリゴマー、及び３０〜５０％の溶媒の範囲である。
【００２９】
更に、他の実施例において、ノズルのアレイを含むタイプのインクジェット装置が用いられ、前パターン化されたマトリックス内にインクが注入された。このインクはＣ．Ｉ．ピグメントレッド１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６及びＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６からなり、マトリックスは黒色樹脂からなる。注入されたインクは電子ビームを用いて硬化された。
【００３０】
上述した説明は本発明の実施例に関するものであり、本発明の他の又は追加的な実施例は本発明の基本的な範囲から逸脱することなく案出することができ、この範囲は特許請求の範囲によって決定される。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
本発明の上述した構成の詳細な理解と上記部分で要約されている本発明のより具体的な説明は実施例を参照することにより得られるものであり、これらは添付図面に記載されている。しかしながら、添付図面は本発明の典型的な実施例のみを記載したものであり、従って、本発明は他の同等に効果的な実施例を含むものであり、図面は本発明の範囲を限定するものと解釈されるべきではない。
【図１】本発明の１実施例の前パターン化されたマトリクスの側面図である。
【図２】カラーインクが前パターン化されたマトリクス内に凹構造で注入されたカラーフィルタのピクセルの側面図である。
【図３】本発明の装置の１実施例を示すブロック図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【外国語明細書】
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