(57)【要約】【課題】  単数または複数の被測定対象を測定する半導体集積回路のテストシステムで、各測定ユニットを効率良く使用することで検査効率を向上し、検査コストを抑える。【解決手段】  半導体集積回路の製造工程における良否検査、あるいは機能・性能評価を目的として、被測定対象とアナログ信号、デジタル信号のやりとりを行う測定ユニット１０と、測定ユニットを制御するユニットコントローラ１１と、予め作成された試験手順データ１５を読み込み、試験手順データ１５の内容を解釈するテストコントローラ１４と、ユニットコントローラからの信号を元に測定ユニットを制御する際の試験手順データ１５の試験順番を変える機能を持つスケジュール機能１２とを備えた。スケジュール機能により、測定ユニットの使用状況に応じて試験項目の順番の変更を行うことで、検査効率を向上させ、検査時間を削減することが可能となる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体集積回路の製造工程における良否検査、あるいは機能・性能評価を目的として、被測定対象とアナログ信号、デジタル信号のやりとりを行う測定ユニットと、前記測定ユニットを制御するユニットコントローラと、予め作成された試験手順データを読み込み、試験手順データの内容を解釈するテストコントローラと、前記ユニットコントローラからの信号を元に前記測定ユニットを制御する際の前記試験手順データの試験順番を変える機能を持つスケジュール機能とを備えた半導体集積回路のテストシステム。
【請求項２】
前記スケジュール機能は、同種類の複数の被測定対象を同時に検査する際、各々の被測定対象毎に試験順番を変える機能を有する請求項１記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項３】
前記ユニットコントローラは、前記測定ユニットが使用中か否かの信号を発信する機能を有し、前記スケジュール機能は、前記測定ユニットが使用中か否かに基づいて、現在使用されていない前記測定ユニットを使用する試験項目を先に実施させる機能を有する請求項１または２記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項４】
前記測定ユニットの使用優先度を決定するユニット使用優先度決定機能を有し、前記スケジュール機能は、前記ユニット使用優先度決定機能により決定された使用優先度に基づいて使用優先度がより高い前記測定ユニットを使用する試験項目をより優先的に実施させる機能を有する請求項１，２または３記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項５】
前記測定ユニットの使用履歴を保存するユニット使用履歴保存機能を有し、前記ユニット使用優先度決定機能は、前記ユニット使用履歴保存機能により保存された使用履歴に基づいて使用頻度がより低い前記測定ユニットを使用する試験項目をより優先度を高く決定する機能を有する請求項４記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項６】
各被測定対象の使用優先度を保存する測定対象優先度保存機能を有し、前記スケジュール機能は、前記測定対象優先度保存機能により保存された使用優先度に基づいて測定対象優先度がより高い測定対象の試験項目をより優先的に実施させる機能を有する請求項１，２，３，４または５記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項７】
前記スケジュール機能は、一部またはすべての試験項目の実施順番を強制的に設定する機能を有する請求項１，２，３，４，５または６記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項８】
半導体集積回路の製造工程における良否検査、あるいは機能・性能評価を目的として、被測定対象とアナログ信号、デジタル信号のやりとりを行う測定ユニットと、前記測定ユニットを制御するユニットコントローラと、予め作成された試験手順データを読み込み、試験手順データの内容を解釈するテストコントローラと、テストシステム内に存在する全ての前記測定ユニットの機能を保存する測定ユニット機能保存機能と、前記測定ユニットを制御する際に前記測定ユニット機能保存機能で保存された情報を元に機能が同一の他の測定ユニットを代わりに使用する機能を持つスケジュール機能とを備えた半導体集積回路のテストシステム。
【請求項９】
前記測定ユニットの不良を判定するユニット不良判定機能を有し、前記スケジュール機能は、前記ユニット不良判定機能で不良と判定された前記測定ユニットと機能が同一の他の測定ユニットを代わりに使用する機能を有する請求項８記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項１０】
前記測定ユニットでの測定値が規格内であるか規格外であるかの判定の履歴を保存するユニット測定値判定履歴機能を有し、前記ユニット不良判定機能は、前記ユニット測定値判定履歴機能に基づいて、前記測定ユニットの不良を判定する機能を有する請求項９記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項１１】
不良のある前記測定ユニットに診断を実施するユニット診断機能を有し、前記スケジュール機能は、不良の測定ユニットがあるとき、前記ユニット診断機能による測定ユニットの診断を前記ユニットコントローラに指示する機能を有する請求項８，９または１０記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項１２】
前記測定ユニットは、テストシステムが稼動中でもユニット自身の電源を切ることができる機能を有し、前記ユニットコントローラは、前記測定ユニットに電源を切る制御を行う機能を有し、前記ユニット不良判定機能は、不良と判定された前記測定ユニットの前記ユニットコントローラに電源切断の信号を発信する機能を有する請求項９，１０または１１記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項１３】
テストシステム稼動中でも前記測定ユニットをテストシステムから抜き取る機能を有する請求項８，９，１０，１１または１２記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項１４】
前記測定ユニットの使用履歴を保存するユニット使用履歴保存機能と、前記ユニット使用履歴保存機能を外部に出力する機能とを有する請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２または１３記載の半導体集積回路のテストシステム。
【請求項１５】
前記スケジュール機能は、試験順番を変更してかつ被測定対象が不良品であったとき、変更する前の試験順番で最初に不良となる試験項目を追跡する機能を有する請求項１，２，３，４，５，６または７記載の半導体集積回路のテストシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体集積回路の製造工程における良否検査を目的としたテストシステムに関し、検査コストの削減を可能とする半導体集積回路のテストシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
図３７は従来までの各測定ユニットの構成を示す概略図である。テストシステム５内の各測定ユニット３は、測定対象１に電圧・電流等を印加する、または測定対象１からの電圧・電流等を測定するための計測器である。テストコントローラ６は、あらかじめ作成された試験手順データ７どおりに、必要な測定ユニットのコントローラ４を制御する。測定ユニットのコントローラ４は、テストコントローラ６からの制御により、測定ユニット３を動作させる。測定ユニット３からの出力は、信号マルチプレクス機構２を介して測定対象１に印加される。また測定対象１からの電圧・電流は信号マルチプレクス機構２を介して、測定ユニット３で測定され、結果値は、コントローラ４を経由してテストコントローラ６に収集される。これは、測定対象１が複数となった場合も同様の方法で試験される。
【０００３】
ところで、昨今の集積回路の高機能化に伴い、集積回路の検査コストは増加する傾向があり、検査コストは、集積回路の製造コスト削減の重要な要素となっている。その中で、下記特許文献１では、試験順番を入れ替えて、不良率の高い試験を先に実施することで、検査時間を短縮する手法が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−３９１８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記図３７の従来の構成では、試験手順データ７の記載どおりに検査が実行されており、また特許文献１では検査の実行順番は変更されているが、検査中の測定ユニットの構成、故障状況や、動作状況を考慮することができず、検査効率が悪い。例えば、複数個の測定対象が同時に同じ測定ユニットを使用する試験項目を実行しようとした場合、片方の被測定対象の測定が終了するまで、もう片方の測定を開始することができず、無駄な待ち時間が生じる。また、測定ユニットのひとつが故障した場合、同じ機能を有する測定ユニットがあっても故障した測定ユニットを使用する試験を実行することはできない。
【０００５】
したがって、この発明の目的は、上記のような従来の課題を解決するものであり、単数または複数の被測定対象を測定する半導体集積回路のテストシステムで、各測定ユニットを効率良く使用することで検査効率を向上し、検査コストを抑えることであり、具体的には上記構成に測定ユニットの状況に合わせて試験順番の変更や、使用するユニットの変更を行うスケジュール機能を追加することで、検査効率を向上させ、検査時間の短縮と、故障によるテストシステム停止時間の低減および最小の測定ユニット構成による検査を行うことができる半導体集積回路のテストシステムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するためにこの発明の請求項１記載の半導体集積回路のテストシステムは、半導体集積回路の製造工程における良否検査、あるいは機能・性能評価を目的として、被測定対象とアナログ信号、デジタル信号のやりとりを行う測定ユニットと、前記測定ユニットを制御するユニットコントローラと、予め作成された試験手順データを読み込み、試験手順データの内容を解釈するテストコントローラと、前記ユニットコントローラからの信号を元に前記測定ユニットを制御する際の前記試験手順データの試験順番を変える機能を持つスケジュール機能とを備えた。
【０００７】
請求項２記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項１記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、前記スケジュール機能は、同種類の複数の被測定対象を同時に検査する際、各々の被測定対象毎に試験順番を変える機能を有する。
【０００８】
請求項３記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項１または２記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、前記ユニットコントローラは、前記測定ユニットが使用中か否かの信号を発信する機能を有し、前記スケジュール機能は、前記測定ユニットが使用中か否かに基づいて、現在使用されていない前記測定ユニットを使用する試験項目を先に実施させる機能を有する。
【０００９】
請求項４記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項１，２または３記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、前記測定ユニットの使用優先度を決定するユニット使用優先度決定機能を有し、前記スケジュール機能は、前記ユニット使用優先度決定機能により決定された使用優先度に基づいて使用優先度がより高い前記測定ユニットを使用する試験項目をより優先的に実施させる機能を有する。
【００１０】
請求項５記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項４記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、前記測定ユニットの使用履歴を保存するユニット使用履歴保存機能を有し、前記ユニット使用優先度決定機能は、前記ユニット使用履歴保存機能により保存された使用履歴に基づいて使用頻度がより低い前記測定ユニットを使用する試験項目をより優先度を高く決定する機能を有する。
【００１１】
請求項６記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項１，２，３，４または５記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、各被測定対象の使用優先度を保存する測定対象優先度保存機能を有し、前記スケジュール機能は、前記測定対象優先度保存機能により保存された使用優先度に基づいて測定対象優先度がより高い測定対象の試験項目をより優先的に実施させる機能を有する。
【００１２】
請求項７記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項１，２，３，４，５または６記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、前記スケジュール機能は、一部またはすべての試験項目の実施順番を強制的に設定する機能を有する。
【００１３】
請求項８記載の半導体集積回路のテストシステムは、半導体集積回路の製造工程における良否検査、あるいは機能・性能評価を目的として、被測定対象とアナログ信号、デジタル信号のやりとりを行う測定ユニットと、前記測定ユニットを制御するユニットコントローラと、予め作成された試験手順データを読み込み、試験手順データの内容を解釈するテストコントローラと、テストシステム内に存在する全ての前記測定ユニットの機能を保存する測定ユニット機能保存機能と、前記測定ユニットを制御する際に前記測定ユニット機能保存機能で保存された情報を元に機能が同一の他の測定ユニットを代わりに使用する機能を持つスケジュール機能とを備えた。
【００１４】
請求項９記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項８記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、前記測定ユニットの不良を判定するユニット不良判定機能を有し、前記スケジュール機能は、前記ユニット不良判定機能で不良と判定された前記測定ユニットと機能が同一の他の測定ユニットを代わりに使用する機能を有する。
【００１５】
請求項１０記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項９記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、前記測定ユニットでの測定値が規格内であるか規格外であるかの判定の履歴を保存するユニット測定値判定履歴機能を有し、前記ユニット不良判定機能は、前記ユニット測定値判定履歴機能に基づいて、前記測定ユニットの不良を判定する機能を有する。
【００１６】
請求項１１記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項８，９または１０記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、不良のある前記測定ユニットに診断を実施するユニット診断機能を有し、前記スケジュール機能は、不良の測定ユニットがあるとき、前記ユニット診断機能による測定ユニットの診断を前記ユニットコントローラに指示する機能を有する。
【００１７】
請求項１２記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項９，１０または１１記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、前記測定ユニットは、テストシステムが稼動中でもユニット自身の電源を切ることができる機能を有し、前記ユニットコントローラは、前記測定ユニットに電源を切る制御を行う機能を有し、前記ユニット不良判定機能は、不良と判定された前記測定ユニットの前記ユニットコントローラに電源切断の信号を発信する機能を有する。
【００１８】
請求項１３記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項８，９，１０，１１または１２記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、テストシステム稼動中でも前記測定ユニットをテストシステムから抜き取る機能を有する。
【００１９】
請求項１４記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項１，２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１，１２または１３記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、前記測定ユニットの使用履歴を保存するユニット使用履歴保存機能と、前記ユニット使用履歴保存機能を外部に出力する機能とを有する。
【００２０】
請求項１５記載の半導体集積回路のテストシステムは、請求項１，２，３，４，５，６または７記載の半導体集積回路のテストシステムにおいて、前記スケジュール機能は、試験順番を変更してかつ被測定対象が不良品であったとき、変更する前の試験順番で最初に不良となる試験項目を追跡する機能を有する。
【発明の効果】
【００２１】
この発明の請求項１記載の半導体集積回路のテストシステムによれば、ユニットコントローラからの信号を元に測定ユニットを制御する際の試験手順データの試験順番を変える機能を持つスケジュール機能を備えているので、複数の被測定対象に対して試験を行う際、各被測定対象の試験手順データをもとに、スケジュール機能により、検査が効率よく実行できるように全試験項目の順番を試験開始前に変更することが可能となる。このようにスケジュール機能により、測定ユニットの使用状況に応じて試験項目の順番の変更を行うことで、検査効率を向上させ、検査時間を削減することが可能となる。また、故障測定ユニットがある場合でもテストシステムを停止させる可能性が減少する。また、最小の測定ユニット構成による検査を可能とする。被測定対象は、複数の機能ブロックであってもよい。
【００２２】
請求項２では、スケジュール機能は、同種類の複数の被測定対象を同時に検査する際、各々の被測定対象毎に試験順番を変える機能を有するので、測定対象が複数の場合、１つの試験手順データをもとに、スケジュール機能により、検査効率が最も高くなるように、各測定対象の全試験順番を試験開始前に変更することが可能となり、検査効率が向上する。複数の被測定対象は、複数の機能ブロックであってもよい。
【００２３】
請求項３では、ユニットコントローラは、測定ユニットが使用中か否かの信号を発信する機能を有し、スケジュール機能は、測定ユニットが使用中か否かに基づいて、現在使用されていない測定ユニットを使用する試験項目を先に実施させる機能を有するので、複数の被測定対象を検査する場合、２個以上の測定対象の検査で、同時に同じ測定ユニットが使用されないように制御することが可能となり、複数個の被測定対象が同時に測定可能となる。その結果、検査時間の短縮となる。
【００２４】
請求項４では、測定ユニットの使用優先度を決定するユニット使用優先度決定機能を有し、スケジュール機能は、ユニット使用優先度決定機能により決定された使用優先度に基づいて使用優先度がより高い測定ユニットを使用する試験項目をより優先的に実施させる機能を有するので、次に実施する被測定対象の試験項目を決定する際、同じ測定ユニットを使用しない試験項目が複数ある場合、複数ある試験項目からランダムに試験項目を決定するのではなく、優先度が高く設定された測定ユニットを使用する試験項目を優先して実施することが可能となり、測定ユニットの優先度を決めることで、いっそう検査効率が向上する。
【００２５】
請求項５では、測定ユニットの使用履歴を保存するユニット使用履歴保存機能を有し、ユニット使用優先度決定機能は、ユニット使用履歴保存機能により保存された使用履歴に基づいて使用頻度がより低い測定ユニットを使用する試験項目をより優先度を高く決定する機能を有するので、次に実施する被測定対象の試験項目を決定する際、同じ測定ユニットを使用しない試験項目が複数ある場合、ユニットの使用頻度の少ない測定ユニットを使用する検査を優先して実施することが可能となり、２個以上の測定対象の検査で、同時に同じ測定ユニットが使用される可能性をさらに減らすことにより、複数個の被測定対象が同時に測定可能となる可能性を向上させることが可能となる。
【００２６】
請求項６では、各被測定対象の使用優先度を保存する測定対象優先度保存機能を有し、スケジュール機能は、測定対象優先度保存機能により保存された使用優先度に基づいて測定対象優先度がより高い測定対象の試験項目をより優先的に実施させる機能を有するので、複数の被測定対象に、次に実施する試験項目を割り当てる際、優先度の高い被測定対象から試験項目を割り当てることにより、各被測定対象のスループットの優先度を決定することが可能となる。
【００２７】
請求項７では、スケジュール機能は、一部またはすべての試験項目の実施順番を強制的に設定する機能を有するので、測定ユニットの状況によらず、必ず一定の順番で実施する必要のある試験項目を指定することができる。
【００２８】
この発明の請求項８記載の半導体集積回路のテストシステムによれば、テストシステム内に存在する全ての測定ユニットの機能を保存する測定ユニット機能保存機能と、測定ユニットを制御する際に測定ユニット機能保存機能で保存された情報を元に試験手順データに記載された測定ユニットと機能が同一の他の測定ユニットを代わりに使用する機能を持つスケジュール機能とを備えているので、外部から与えた試験手順データで指定された、試験項目で使用する測定ユニットと同等の機能を持つ測定ユニットを代わりに使用することも可能となり、検査効率の向上となる。このようにスケジュール機能により、測定ユニットの使用状況に応じて試験項目で使用する測定ユニットの変更を行うことで、検査効率を向上させ、検査時間を削減することが可能となる。また、故障測定ユニットがある場合でもテストシステムを停止させる可能性が減少する。また、最小の測定ユニット構成による検査を可能とする。
【００２９】
請求項９では、測定ユニットの不良を判定するユニット不良判定機能を有し、スケジュール機能は、ユニット不良判定機能で不良と判定された測定ユニットと機能が同一の他の測定ユニットを代わりに使用する機能を有するので、スケジュール機能により、不良と判定された測定ユニットを使用せず、試験項目で使用する測定ユニットと同等の機能を持つ測定ユニットを代わりに使用することで、テストシステムを停止することなく、検査を続行させ続けることが可能となる。
【００３０】
請求項１０では、測定ユニットでの測定値が規格内であるか規格外であるかの判定の履歴を保存するユニット測定値判定履歴機能を有し、ユニット不良判定機能は、ユニット測定値判定履歴機能に基づいて、測定ユニットの不良を判定する機能を有するので、測定ユニットの測定結果が、判定基準から外れている回数などから、測定ユニットの不良と判断することが可能となる。測定ユニットが不良と判断された後、請求項８と同等に、不良と判定された測定ユニットを使用せず、試験項目で使用する測定ユニットと同等の機能を持つ測定ユニットを代わりに使用することで、テストシステムを停止することなく、検査を続行させ続けることが可能となる。
【００３１】
請求項１１では、不良のある測定ユニットに診断を実施するユニット診断機能を有し、スケジュール機能は、不良の測定ユニットがあるとき、ユニット診断機能による測定ユニットの診断をユニットコントローラに指示する機能を有するので、検査を停止させることなく、不良と判定された測定ユニットに、測定ユニットの診断を実施することが可能となる。
【００３２】
請求項１２では、測定ユニットは、テストシステムが稼動中でもユニット自身の電源を切ることができる機能を有し、ユニットコントローラは、測定ユニットに電源を切る制御を行う機能を有し、ユニット不良判定機能は、不良と判定された測定ユニットのユニットコントローラに電源切断の信号を発信する機能を有するので、不良のある測定ユニットを検知したとき、自動で不良と判定されたユニットの電源を切ることが可能となる。
【００３３】
請求項１３では、テストシステム稼動中でも測定ユニットをテストシステムから抜き取る機能を有するので、不具合があると判定された測定ユニットを、テストシステムの電源を切ることなく、テストシステムから抜き取ることが可能となる。
【００３４】
請求項１４では、測定ユニットの使用履歴を保存するユニット使用履歴保存機能と、ユニット使用履歴保存機能を外部に出力する機能とを有するので、ユニット使用履歴から頻繁に使用されている測定ユニットを特定することが可能であり、特定された頻繁に使用されている測定ユニットと同等の測定ユニットをテストシステムに追加することにより、さらなる検査効率向上を行うことが可能となる。
【００３５】
請求項１５では、スケジュール機能は、試験順番を変更してかつ被測定対象が不良品であったとき、変更する前の試験順番で最初に不良となる試験項目を追跡する機能を有するので、被測定対象が不良品であった場合、原因を特定することが容易となる。すなわち、この特徴がない場合、試験手順データで、被測定対象の不良原因が特定しやすいように試験順番を定めておいても、スケジュール機能により試験手順が変更されると、不良原因が特定しにくくなる場合がある。この特徴のスケジュール機能は、不良と判定された試験があった場合、試験手順データ内で不良と判定された試験以前に実行されているべき試験を実施する。結果、試験手順データどおりの試験手順で試験が行われたとしたときに、最初に不良となる試験項目を追跡することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図１から図３６に対して、対応する部分に同じ符号を付し、重複説明を省略する。
【００３７】
この発明の第１の実施の形態を図１〜図９に基づいて説明する。図１は本発明の実施形態の半導体集積回路のテストシステムの構成を示す概略図である。
【００３８】
図１に示すように、半導体集積回路の製造工程における良否検査、あるいは機能・性能評価を目的として、被測定対象８と信号マルチプレクス機構９によりアナログ信号、デジタル信号のやりとりを行う測定ユニット１０と、測定ユニット１０を制御するユニットコントローラ１１と、予め作成された試験手順データ１５を読み込み、試験手順データ１５の内容を解釈するテストコントローラ１４と、ユニットコントローラ１１からの信号を元に測定ユニット１０を制御する際の試験手順データ１５の試験順番を変える機能を持つスケジュール機能１２とをテストシステム１３内に備えている。
【００３９】
図２は本発明の第１の実施形態の半導体集積回路のテストシステムを示す概略図である。
【００４０】
図２において、２１はテストシステム、１６は複数個の被測定対象である２個のＬＳＩ、１７は信号マルチプレクス機構、１８はＤＣ電圧を印加するユニットやＤＣ電圧を測定するユニット、電源電圧を印加するユニットなどの総称である測定ユニット、１９はユニットコントローラ、２０はスケジュール機能、２２はテストコントローラの機能を有するＥＷＳまたはＰＣ、２３は試験手順データであるテストプログラムである。以上のように構成された実施の形態のテストシステムについて、その一動作例を以下に説明する。
【００４１】
テストプログラム２３では、図３に示すとおり、各試験項目の番号２３ａと、使用する測定ユニットの設定及び、測定の手順２３ｂが記述されている。図４に示すとおり、このテストプログラム２３をテストコントローラであるＥＷＳ/ＰＣ２２に入力する。その後、各試験項目がどの測定ユニット１８を使用しているかがＥＷＳ/ＰＣ２２で解析される。ＥＷＳ/ＰＣ２２は、スケジュール機能２０に全試験項目の試験手順と、各試験項目がどの測定ユニット１８を使用しているか等の情報を渡す。スケジュール機能２０は、図５に示すとおり、２つのＬＳＩ１６を同時に測定するため、測定ユニット１８が同時に２つのＬＳＩで使用されないように試験順番を入れ替え、測定を開始する前に全試験項目を決定する。たとえば、図３のテストプログラムであると、ＬＳＩ１に関しては、テストプログラム通りＴｅｓｔ Ｎｏ１,Ｎｏ２の順に試験し、ＬＳＩ２に関しては、試験順番を変更し、Ｔｅｓｔ Ｎｏ２,Ｔｅｓｔ Ｎｏ１の順に試験すると、測定ユニット１８が同時に２つのＬＳＩ１６で使用されずに、試験を実施することが可能となる。各試験項目の順番を決定後、図６で示すとおり、決定された順番に基づいて、使用する測定ユニット１８に対応するコントローラ１９に対して、測定ユニット１８により、ＬＳＩ１６へ電圧や電流を印加またはＬＳＩ１６からの電圧・電流を測定するよう、指示する。結果、図７の通り、同時に測定するＬＳＩ１のＴｅｓｔ Ｎｏ１とＬＳＩ２のＴｅｓｔ Ｎｏ２の対２３ｃ及び、ＬＳＩ１のＴｅｓｔ Ｎｏ２とＬＳＩ２のＴｅｓｔ Ｎｏ１の対２３ｄに関して、両対ともＬＳＩ１とＬＳＩ２で使用する測定ユニットが互いに異なり、測定ユニットの使用終了を待つことなく、同時に２つのＬＳＩの試験を実行することができ、テストプログラムで記述された試験順番で行う場合に比べ、検査時間が短縮される。
【００４２】
また、試験順番を入れ替えても、２つのＬＳＩが同時に測定できない場合を図８に示す。ＬＳＩ１のＴｅｓｔ Ｎｏ１と同時に実行する試験項目として、ＬＳＩ２のＴｅｓｔ Ｎｏ１,Ｎｏ２どちらを選択しても、ＬＳＩ１,ＬＳＩ２の試験を同時に実行することはできない。この場合、同時に測定する試験項目で使用する測定ユニットの重複がなるべく少ないように、試験項目の入れ替えを行う。図９に示すとおりＬＳＩ２の試験順番をＴｅｓｔ Ｎｏ２,Ｔｅｓｔ Ｎｏ１の順に並べ替えると、同時に測定する試験項目で使用する測定ユニットの重複が最も少ない。すなわち、図９において、同時に測定するＬＳＩ１のＴｅｓｔ Ｎｏ１,ＬＳＩ２のＴｅｓｔ Ｎｏ２の対２３ｅで、使用する測定ユニットの重複は、測定ユニットＡの１つであり、ＬＳＩ１のＴｅｓｔ Ｎｏ２,ＬＳＩ２のＴｅｓｔ Ｎｏ１の対２３ｆで、使用する測定ユニットの重複はない。
【００４３】
このように、試験項目を変更する機能を持つスケジュール機能を持つことにより、テストプログラム作成者がテストプログラムを書き換え、検査時間が短くなるよう試験順番を決定することなく、自動的に検査時間が最短となるように試験項目の順番を決定することが可能となる。
【００４４】
なお、被測定対象が複数の機能ブロックである場合や、テストヘッドを複数にし、各テストヘッドに単数または複数のＬＳＩがある場合も同様に制御可能であり、本発明に含まれる。被測定対象の数も、２個に限らず、複数個の被測定対象に対して制御可能であり、本発明に含まれる。テストプログラムの内容も図示したテストプログラム２３の内容に限らず、どのような測定内容でも対応可能である。また、被測定対象として、同種類の複数のＬＳＩや、同機能の複数の機能ブロックである場合も同様に制御可能である。同種・同機能の被測定対象の場合、入力されるテストプログラム２３は、１種類となる場合があるが、同じテストプログラムが２つ入力されたのと等価であり、制御可能である。
【００４５】
この発明の第２の実施の形態を図１０〜図２１に基づいて説明する。図１０は本発明の第２の実施形態の半導体集積回路のテストシステムを示す概略図である。
【００４６】
図１０において、２６は測定ユニットが使用中か否かに基づいて、現在使用されていないユニットを使用する試験項目を先に実行するスケジュール機能、１９は測定ユニットが使用中であるか否かの信号を発信する機能を持つユニットコントローラである。２４は複数個の被測定対象である２個のＬＳＩである。以上のように構成された実施の形態のテストシステムについて、その一動作例を以下に説明する。
【００４７】
テストプログラム２３は、図１１に示すとおり、試験項目の番号２３ｇと、使用する測定ユニットの設定及び、測定の手順２３ｈが記述されているものとする。図１２に示すとおり、実施の形態１での説明同様、テストプログラム２３から、ＥＷＳ/ＰＣ２２により、スケジュール機能２６に全試験項目の試験手順と、各試験項目がどの測定ユニット１８を使用しているか等の情報が渡される。その後、スケジュール機能２６は、まず、ＬＳＩ１で実行する試験項目を決定するため、ＥＷＳ/ＰＣ２２から渡された試験項目を順に走査し、試験項目で使用する測定ユニットが使用中であるかを確認する。すなわち、図１３で示すとおり、Ｔｅｓｔ Ｎｏ１で使用する測定ユニットである、測定ユニットＡ及び測定ユニットＢのユニットコントローラ１９に、測定ユニットが使用中であるかを問い合わせる。結果、測定ユニットＡ及び測定ユニットＢのユニットコントローラ１９から、未使用との信号を受けるので、Ｔｅｓｔ Ｎｏ１が実行可能であることがわかる。その後、図１４に示すとおり、スケジュール機能２６は、測定ユニットＡ及びＢに測定指示を発信し、ＬＳＩ１にＴｅｓｔ Ｎｏ１の試験を実行する。試験の実行制御は、ユニットコントローラ１９が行ってもよいし、スケジュール機能２６が行ってもよい。その結果、測定ユニットＡ及び測定ユニットＢは使用中となる。ＬＳＩ１にＴｅｓｔ Ｎｏ１を実行している間に、スケジュール機能２６は、ＬＳＩ２で実行する試験項目を、ＬＳＩ１で試験項目を決定した方法と同様に決定する。すなわち、図１５で示すとおり、Ｔｅｓｔ Ｎｏ１で使用する測定ユニットである、測定ユニットＡ及び測定ユニットＢのユニットコントローラ１９に、測定ユニットが使用中であるかを問い合わせる。結果、測定ユニットＡ及び測定ユニットＢとも、使用中との信号が得られ、Ｔｅｓｔ Ｎｏ１が実行できないことがわかる。次に、図１６で示すとおり、Ｔｅｓｔ Ｎｏ２で使用する測定ユニットである、測定ユニットＣのユニットコントローラ１９に測定ユニットが使用中であるかを問い合わせる。結果、測定ユニットＣのユニットコントローラ１９から、未使用との信号が得られ、Ｔｅｓｔ Ｎｏ２が実行可能であることがわかる。図１７で示すとおり、スケジュール機能２６は、測定ユニットＣに測定指示を発信し、ＬＳＩ２にＴｅｓｔ Ｎｏ２の試験を実行する。
【００４８】
次に、ＬＳＩ２で実行中のＴｅｓｔ Ｎｏ２の実行が終わり、ＬＳＩ１で実行中のＴｅｓｔ Ｎｏ１は、まだ終了していないとする。スケジュール機能２６は、ＬＳＩ２で次に実行する試験項目を決定する。ＬＳＩ２で実行していないＴｅｓｔ Ｎｏ１及びＴｅｓｔ Ｎｏ３で使用する測定ユニットＡ,Ｂのユニットコントローラに測定ユニットが使用中であるかを問い合わせる。測定ユニットＡ,Ｂ両方ともＬＳＩ１で使用中であるので、Ｔｅｓｔ Ｎｏ１、Ｔｅｓｔ Ｎｏ２両方とも実行できないことがわかる。このように、次に実行可能な試験項目が見つからない状態を以下、使用測定ユニットの競合と呼ぶ。使用測定ユニットの競合が発生した場合は、使用できない測定ユニットがより少ない試験項目を次に実行するよう、スケジューリングする。この場合であれば、Ｔｅｓｔ Ｎｏ３を次に実行することを決定し、使用中の測定ユニットＡが終了するのを待ち、測定ユニットＡが使用終了された時点で、Ｔｅｓｔ Ｎｏ３を実行する。また、使用中の測定ユニットすべてを監視し続け、使用が終了した測定ユニットが発生した時点で、次に実行する試験項目を決定することも可能である。
【００４９】
２個の各ＬＳＩに対し、全試験項目がすべて実行されるまで、以上で述べた、各試験項目で使用する測定ユニットの使用中・未使用に基づいて、次に実行する試験項目を決定する。このように、試験項目の順番を試験開始前に決定するのではなく、測定ユニットが使用中か否かに基づいて、次に実行する試験項目を試験実施中に決定するスケジュール機能を使用することで、測定ユニットの使用率を向上させることが可能であり、検査時間の短縮が可能である。
【００５０】
なお、各試験項目で使用する測定ユニットの使用中・未使用に基づいて、次に実行する試験項目を決定する際、複数の試験項目が実施可能となる場合がある。例えば、上記の図１０から図１７での例であれば、試験開始前にＬＳＩ１で実施する試験項目を決定する際、全測定ユニットは未使用であるので、Ｔｅｓｔ Ｎｏ１からＴｅｓｔ Ｎｏ３まで、いずれの試験項目も実施可能である。このとき、図１８に示すとおり、測定ユニットの使用優先度を決定する機能２７と、ユニット使用優先度決定機能２７での優先度が高い測定ユニットを使用する試験項目を次に実施するスケジュール機能２８を追加すると、各測定ユニットに使用優先度をつけることが可能である。スケジュール機能２８で次に実施する試験項目を決定する際、複数の試験項目が実施可能となった場合、スケジュール機能はユニット使用優先度決定機能２７での優先度が高い測定ユニットを使用する試験項目を次に実施する。図１８で示すとおり、ユニット使用優先度決定機能２７の内容が、測定ユニットＡの優先度３で優先度がもっとも低く、測定ユニットＢの優先度は２、測定ユニットＣの優先度１で優先度がもっとも高い場合、スケジュール機能２８は、優先度の高い測定ユニットＣを使用する試験項目である、Ｔｅｓｔ Ｎｏ２を次に実施する。
【００５１】
ユニット使用優先度決定機能２７により、各測定ユニットの使用頻度や、測定ユニットが使用される時間に基づき、ユーザがユニット使用優先度決定機能２７に各測定ユニットの優先度を記録することが可能となり、使用測定ユニットの競合が発生しにくくすることが可能となる。
【００５２】
さらに、図１９に示すとおり、測定ユニットの使用回数を保存する機能（ユニット使用履歴保存機能）２９を用いることも可能である。上記の図１０から図１７で説明した中で、スケジュール機能が測定ユニットのユニットコントローラに測定指示を与える際、使用した測定ユニットの使用回数を１増加させ、ユニット使用頻度保存メモリ２９に保存することで、各測定ユニットの使用回数を数える。ユニット使用頻度保存メモリ２９が更新された後、ユニット使用優先度決定機能３０は、ユニット使用頻度保存メモリ２９から各測定ユニットの使用頻度を読み出し、使用頻度が少ない測定ユニットほど、高い優先度をつける。図１９であると、ユニット使用頻度保存メモリ２９の内容が測定ユニットＡの使用回数３回、測定ユニットＢの使用回数１回、測定ユニットＣの使用回数１０回であるので、ユニット使用優先度決定機能２７は、測定ユニットＡの優先度２、測定ユニットＢの優先度は１で優先度がもっとも高く、測定ユニットＣの優先度３で優先度がもっとも低く決定される。
【００５３】
この優先度の決定により、使用頻度の少ない測定ユニットを使用する試験項目が先に実施され、使用測定ユニットの競合が発生しにくくなる。測定ユニットの使用回数を保存する機能２９を用いると、使用測定ユニットの競合がなるべく発生しにくくなるように、ユニット使用優先度決定機能２７で自動的に各測定ユニットの優先度を決定することが可能となる。
【００５４】
また、図２０に示すとおり、測定対象の優先度を保存する機能３１と、測定対象優先度保存機能３１からの情報を基に、被測定対象のＬＳＩ２４のうち、優先度の高いＬＳＩに先に試験項目を割り当てるスケジュール機能３２を追加することにより、複数の被測定対象のうち、いくつかの被測定対象を他の被測定対象より、早く終了させるよう設定することも可能である。上の図１０から図１７で説明した、スケジュール機能による試験項目決定の際、もし被測定対象の複数のＬＳＩに同時に試験項目を割り当てる必要が出た場合、スケジュール機能３２は、測定対象優先度保存機能３１から被測定対象のＬＳＩの優先度を知り、優先度の高いＬＳＩから、試験項目を割り当てる。図２０での測定対象優先度保存機能３１であれば、ＬＳＩ１の優先度より、ＬＳＩ２の優先度のほうが高く設定されている。一例として、試験開始前を考えると、ＬＳＩ１,ＬＳＩ２両方に同時に試験項目を割り当てる必要があるので、試験開始直後は、ＬＳＩ２から試験項目を割り当てる。
【００５５】
測定対象の優先度を保存する機能３１を用いると、複数の被測定対象のうち、いくつかの被測定対象を他の被測定対象より、早く終了させるよう設定することも可能であり、例えばＬＳＩの現場でより多くの数を検査する必要あるＬＳＩが出た場合、本機能を用いて実現することが可能である。
【００５６】
加え、図２１に示すとおり、各試験項目の手順とともに、試験項目の一部に対して試験順番を強制する命令も含むテストプログラム３４、テストプログラム３４中で強制されている試験順番に対して、テストプログラム３４に従って試験順番を決定するスケジュール機能３３を追加することにより、試験項目の一部の順番を強制することが可能である。今、テストプログラム３４で、必ずＴｅｓｔ Ｎｏ２はＴｅｓｔ Ｎｏ１の後に実行することが指定されているとする。上記図１０から図１７での説明中、スケジュール機能による試験項目決定の際、テストプログラム３４でＴｅｓｔ Ｎｏ１の後に実行するように指示されているＴｅｓｔ Ｎｏ２は、次に実行する試験項目の候補には入れない。以前に実行した試験項目と、テストプログラム３４で試験順番を強制されている試験項目Ｔｅｓｔ Ｎｏ１を比較し、Ｔｅｓｔ Ｎｏ１が以前に実行されていれば、測定ユニットの状況にかかわらず、試験項目Ｔｅｓｔ Ｎｏ２を次に実行する。
【００５７】
試験項目の一部に対して試験順番を強制することが可能になることで、例えば、Ｔｅｓｔ Ｎｏ２での測定には、Ｔｅｓｔ Ｎｏ１でのＬＳＩへの設定が必要な場合、Ｔｅｓｔ Ｎｏ２の測定の前にＴｅｓｔ Ｎｏ１を実行する必要が発生するが、本機能を用いて実現することが可能である。
【００５８】
加え、スケジュール機能に試験順番を変更してかつ被試験対象が不良品であった場合、変更する前の試験順番で最初に不良となる試験項目を追跡する機能を持たせることも可能である。このスケジュール機能は、例えば、ＬＳＩ１に対して、最初にＴｅｓｔ Ｎｏ３を実行し、不良と判定された場合、テストプログラム３４ではＴｅｓｔ Ｎｏ３より前に実行するように記述されていたＴｅｓｔ Ｎｏ１，Ｔｅｓｔ Ｎｏ２を順に実行する機能である。この機能により、試験順番が入れ替わってもテストプログラム３４で指定された試験順番で実行したとしたときに最初に不良と判定される試験項目を知ることができる。たとえば、量産現場にて不良品の解析等でどの試験項目で最初に不良と判定されるかが重要な場合、本機能を用いて実現することが可能である。
【００５９】
なお、被測定対象が複数の機能ブロックである場合や、テストヘッドを複数にし、各テストヘッドに単数または複数のＬＳＩがある場合も同様に制御可能であり、本発明に含まれる。被測定対象の数も、２個に限らず、制御可能であり、本発明に含まれる。テストプログラムの内容も図示したテストプログラムの内容に限らず、どのような測定内容でも対応可能である。また、被測定対象として、同種類・異種類の複数のＬＳＩや、同機能・異なる機能の複数の機能ブロックである場合も同様に制御可能である。
【００６０】
この発明の第３の実施の形態を図２２〜図２６に基づいて説明する。図２２は本発明の第３の実施形態の半導体集積回路のテストシステムを示す概略図である。
【００６１】
この半導体集積回路のテストシステムは、半導体集積回路の製造工程における良否検査、あるいは機能・性能評価を目的として、被測定対象とアナログ信号、デジタル信号のやりとりを行う測定ユニットと、測定ユニットを制御するユニットコントローラと、予め作成された試験手順データを読み込み、試験手順データの内容を解釈するテストコントローラと、テストシステム内に存在する全ての測定ユニットの機能を保存する測定ユニット機能保存機能と、測定ユニットを制御する際に測定ユニット機能保存機能で保存された情報を元に機能が同一の他の測定ユニットを代わりに使用する機能を持つスケジュール機能とを備えている。
【００６２】
図２２において、４０はテストシステム、３５は２個の被測定対象であるＬＳＩ、３６は信号マルチプレクス機構、３７はＤＣ電圧を印加するユニットやＤＣ電圧を測定するユニット、電源電圧を印加するユニットなどの総称である測定ユニット、３８はユニットコントローラ、４３は試験手順データであるテストプログラム、３９はテストプログラム４３で指定された測定ユニットと同機能の測定ユニットを使用するようスケジューリングすることができるスケジュール機能、４１はテストコントローラの機能を有するＥＷＳまたはＰＣ、４２はテストシステム内に存在する全測定ユニットの機能を保存しているメモリ（測定ユニット機能保存機能）である。以上のように構成された実施の形態のテストシステムについて、その一動作例を以下に説明する。
【００６３】
テストプログラム４３は、前に使用した図１１に示すとおり、試験項目の番号２３ｇと、使用する測定ユニットの設定及び、測定の手順２３ｈが記述されているものとする。図２３に示すとおり、図１０から図１７での説明同様、テストプログラム４３から、ＥＷＳ/ＰＣ４１により、スケジュール機能３９に全試験項目の試験手順と、各試験項目がどの測定ユニット３７を使用しているか等の情報が渡される。スケジュール機能３９は、２つのＬＳＩ３５を同時に測定するため、測定ユニット３７が同時に２つのＬＳＩで使用されないように、試験項目で使用する測定ユニットを変更する。すなわち、図２４に示すとおり、測定ユニット機能保存メモリ４２に問い合わせ、各測定ユニットの機能から、交換可能な測定ユニットを検索する。例えば、測定ユニットＡ,Ｂの機能は図２４より、それぞれ機能Ａ,機能Ｂを持ち、機能Ａと機能Ｂを併せ持つ測定ユニットＣで代用が可能である。図１１のテストプログラムの場合、図２５で示すとおり、ＬＳＩ２で実行するＴｅｓｔ Ｎｏ１で使用する測定ユニットＡ,Ｂを測定ユニットＣに置き換えることにより、同時にＬＳＩ１とＬＳＩ２で同じ測定ユニットを使用することなく、ＬＳＩ１とＬＳＩ２で同時にＴｅｓｔ Ｎｏ１を実行することが可能となる。試験開始前に全試験項目で使用する測定ユニットを上記の方法で決定した後、図２６で示すとおり、スケジュール機能３９は、使用する測定ユニットのコントローラ３８に測定指示を出し、順に試験項目を実施する。
【００６４】
本機能により、同時にＬＳＩ１とＬＳＩ２で同じ測定ユニットを使用することなく、ＬＳＩ１とＬＳＩ２で同時にＴｅｓｔ Ｎｏ１を実行することが可能となり、測定ユニットに使用効率が向上し、検査時間の短縮となる。
【００６５】
なお、被測定対象が複数の機能ブロックである場合や、テストヘッドを複数にし、各テストヘッドに単数または複数のＬＳＩがある場合も同様に制御可能であり、本発明に含まれる。被測定対象の数も、２個に限らず、任意の複数個に対して制御可能であり、本発明に含まれる。テストプログラムの内容も図示したテストプログラムの内容に限らず、どのような測定内容でも対応可能である。また、被測定対象として、同種類・異種類の複数のＬＳＩや、同機能・異なる機能の複数の機能ブロックである場合も同様に制御可能である。
【００６６】
この発明の第４の実施の形態を図２７〜図３５に基づいて説明する。図２７は本発明の第４の実施形態の半導体集積回路のテストシステムを示す概略図である。
【００６７】
図２７において、４０はテストシステム、３５は単数個の被測定対象であるＬＳＩ、３７はＤＣ電圧を印加するユニットやＤＣ電圧を測定するユニット、電源電圧を印加するユニットなどの総称である測定ユニット、３８はユニットコントローラ、４３は試験手順データであるテストプログラム、４４は測定ユニットの不良を判定する機能、４５はユニット不良判定機能４４で不良と判定された測定ユニットの機能と同一の測定ユニットを変わりに使用するスケジュール機能、４１はテストコントローラの機能を有するＥＷＳまたはＰＣ、４２はテストシステム内に存在する全測定ユニットの機能を保存しているメモリである。以上のように構成された実施の形態のテストシステムについて、その一動作例を以下に説明する。
【００６８】
テストプログラム４３は、前に使用した図１１に示すとおり、試験項目の番号２３ｇと、使用する測定ユニットの設定及び、測定の手順２３ｈが記述されているものとする。図２８に示すとおり、図１０から図１７での説明同様、テストプログラム４３から、ＥＷＳ/ＰＣ４１により、スケジュール機能４５に全試験項目の試験手順と、各試験項目がどの測定ユニット３７を使用しているか等の情報が渡される。スケジュール機能４５は、試験を開始する前に、ユニット不良判定機能４４に問い合わせ、不良のある測定ユニットがないかを確認する。不良のある測定ユニットがある場合、測定ユニット機能保存メモリ４２を参照し、試験項目で使用されている不良のある測定ユニットを使用する代わりに、不良のある測定ユニット同じ機能を持つ測定ユニットを使用するよう、変更する。今、測定ユニットＢが故障しており、測定ユニットＣが測定ユニットＢの機能を包含しているとすると、図２９の４３ｂで示すとおり、Ｔｅｓｔ Ｎｏ１で使用されている測定ユニットＢの代わりに、測定ユニットＣを使用するよう、試験項目を変更する。全試験項目について、不良のある測定ユニットの置き換えを完了した時点で、図３０に示すとおり、スケジュール機能４５は、使用する測定ユニットのコントローラ３８に測定指示を出し、各試験項目を順次実施する。
【００６９】
本機能により、測定ユニットに不良が発生しても、不良の発生した同じ機能の測定ユニットを使用することにより検査を停止することなく、検査を続行することが可能となる。
【００７０】
ユニット不良判定機能４４の代わりに、テストシステム内に存在しない測定ユニットの機能を保存する機能を使用することも可能で、この場合、上記不良のある測定ユニットがある場合と同様な方法で、存在しない測定ユニットと同じ機能を持つ測定ユニットを代わりに使用することが可能となる。本機能により、存在する測定ユニットが異なるテストシステムがあった場合でも、同じ機能をもつ測定ユニットがあれば、テストプログラムの変更なしに、どのテストシステムでも検査が実施可能となる。
【００７１】
また、図３１で示すとおり、測定ユニットでの測定値が規格内であるか規格外であるかの判定の履歴を保存する機能、すなわち測定ユニットが被測定対象を不良であると判定した回数を数える機能４６、ユニット測定値判定履歴機能４６からの情報を元に、不良のある測定ユニットを判定する機能４７を追加することが可能である。本追加により、ユニット不良判定機能４７は、ユニット測定値判定履歴機能４６から、各測定ユニットが被測定対象を不良と判定した回数を読み取り、あらかじめ設定しておいた閾値を超えた回数だけ不良と判定した場合は、測定ユニットが不良であると判断することが可能である。図３１で示すとおり、測定ユニットＡが試験回数１０回中１回不良判定、測定ユニットＢが試験回数１５回中１５回不良判定、測定ユニットＣが試験回数５回中０回不良判定し、不良ユニットと判断する不良判定回数の閾値を試験回数の９０％と設定した場合、ユニット不良判定機能４７は、測定ユニットＢが不良であると判定する。
【００７２】
本機能により、測定ユニットによるＬＳＩの測定判定で不良が多い場合、自動的に測定ユニット自身の不良と判定することが可能であり、測定ユニット不良によるＬＳＩの良品率低下等の問題を未然に防ぐことが可能である。
【００７３】
さらに、図３２に示すとおり、不良のある測定ユニットに診断を実施する機能４８、不良のある測定ユニットがある場合、ユニット診断機能４８に測定ユニットの診断を実施する指示を与える機能を持つスケジュール機能４９を追加することが可能である。図２７から図３０で説明したとおり、スケジュール機能４９が、試験を開始する前に、ユニット不良判定機能４４に問い合わせ、不良のある測定ユニットがないかを確認する。ユニット不良判定機能４４に問い合わせた結果、不良のある測定ユニットがある場合、不良のある測定ユニットを使用する試験項目に対し、同じ機能をもつ測定ユニットを代わりに使用するよう、試験項目を変更する。その際、スケジュール機能４９は、ユニット診断機能４８に、不良のある測定ユニットのコントローラ３８に対して診断をかけるよう指示する。
【００７４】
この機能により、不良のある測定ユニットがある場合でも、検査を続行させながら、不良のある測定ユニットの診断を実施することが可能となり、テストシステムの使用効率が向上する。この一連のフローを図３３に示す。
【００７５】
加え、図３４に示すとおり、テストシステムが稼働中であっても電源を切ることのできる機能を持つ測定ユニット５０、測定ユニット５０に対して電源を切るよう指示できる機能を持つコントローラ５１、不良のあるユニットコントローラ５１に、電源切断の信号を発信する機能、すなわち測定ユニットを停止するよう指示する機能を持つユニット不良判定機能５２を持つことが可能である。実施の形態４で示したとおり、スケジュール機能４９が、試験を開始する前に、ユニット不良判定機能４４に問い合わせ、不良のある測定ユニットがないかを確認する。ユニット不良判定機能４４に問い合わせた結果、不良のある測定ユニットがある場合、不良のある測定ユニットを使用する試験項目に対し、同じ機能をもつ測定ユニットを代わりに使用するよう、試験項目を変更する。その際、ユニット不良判定機能３２は、不良のある測定ユニットのユニットコントローラ５１に対し、電源をＯＦＦするよう、指示を出す。
【００７６】
本機能により、不良のある測定ユニットがある場合でも、検査を続行させながら、不良のある測定ユニットの電源を切ることが可能となる。
【００７７】
さらに、図３５に示すとおり、テストシステムが稼働中であっても測定ユニットを抜き取ることができる機能をもつテストシステム５３を追加することが可能である。ユニット不良判定機能５２は、不良のある測定ユニットのコントローラ３８に対し、不良のある測定ユニットの停止を指示した後、テストシステム５３は、不良のある測定ユニットをテストシステム稼働中に抜き取るように設定する。設定後、ユーザは不良のある測定ユニットを抜き取ることが可能となり、検査を続行させながら、例えば、不良のある測定ユニット単体でのメンテナンスを実施することなどが可能となる。
【００７８】
なお、被測定対象は、単数である必要はなく、複数でも制御可能であり、本発明に含まれる。テストプログラムの内容も図示したテストプログラムの内容に限らず、どのような測定内容でも対応可能である。また、被測定対象として、同種類の複数のＬＳＩや、同機能の複数の機能ブロックである場合も同様に制御可能である。また、試験開始前に全試験項目で使用する測定ユニットを決定することも可能であるし、試験を実施中に、次に実施する試験項目に対してのみ使用する測定ユニットを決定することも可能である。
【００７９】
この発明の第５の実施の形態を図３６に基づいて説明する。図３６は本発明の第５の実施形態の半導体集積回路のテストシステムを示す概略図である。
【００８０】
図３６において、２１はテストシステム、２４は複数個の被測定対象である２個のＬＳＩ、１８はＤＣ電圧を印加するユニットやＤＣ電圧を測定するユニット、電源電圧を印加するユニットなどの総称である測定ユニット、１９はユニットコントローラ、２６はスケジュール機能、２２はテストコントローラの機能を有するＥＷＳまたはＰＣ、２３は試験手順データであるテストプログラム、２９は測定ユニット１８の使用回数を保存する機能（ユニット使用履歴保存機能）、５４はユニット使用頻度保存メモリ２９の内容を外部に出力する機能である。以上のように構成された実施の形態のテストシステムについて、その一動作例を以下に説明する。
【００８１】
テストプログラム２３をテストコントローラであるＥＷＳ/ＰＣ２２に入力し、その後、各試験項目がどの測定ユニット１８を使用しているかがＥＷＳ/ＰＣ２２で解析される。ＥＷＳ/ＰＣ２２は、スケジュール機能２６に全試験項目の試験手順と、各試験項目がどの測定ユニット１８を使用しているか等の情報を渡す。スケジュール機能２６は、試験項目を実施するため、使用する測定ユニットのユニットコントローラ１９に測定信号を発信する。その際、スケジュール機能２６は測定ユニットを使用するごとに、使用した測定ユニットの使用回数に１加え、ユニット使用頻度保存メモリ２９に保存する。テストシステムのユーザから要望があったとき、ユニット使用履歴出力機能５４は、ユニット使用頻度保存メモリ２９の内容を外部に接続されたディスプレイやプリンタ等に出力する。
【００８２】
本機能により、各測定ユニットの使用頻度を観測することが可能となる。例えば、もっとも頻繁に使用されている測定ユニットの機能を持つ新しい測定ユニットをテストシステムのユーザが追加し、テストシステムがさらに効率よく動作するよう測定ユニットの構成を変更することが可能となる。なお、本実施形態を第１〜４の実施形態に適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８３】
本発明にかかる半導体集積回路のテストシステムは、スケジュール機能により、測定ユニットの使用状況に応じて試験項目の順番や試験項目で使用する測定ユニットの変更を行うことで、検査効率を向上させ、検査時間を削減することが可能となり、半導体集積回路の製造工程における良品検査を目的としたテストシステムとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明のテストシステムの構成を示す概略図である。
【図２】実施の形態１のテストシステムを示す概略図である。
【図３】実施の形態１の入力テストプログラム内容を示す図である。
【図４】実施の形態１の動作（その１）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図５】実施の形態１の動作（その２）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図６】実施の形態１の動作（その３）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図７】実施の形態１の試験項目入れ替え後の説明を示す図である。
【図８】実施の形態１のＬＳＩ１とＬＳＩ２で同時に測定できない入力テストプログラム内容を示す図である。
【図９】実施の形態１のＬＳＩ１とＬＳＩ２で同時に測定できない入力テストプログラムに対し、試験順番を入れ替え後の内容を示す図である。
【図１０】実施の形態２に係るテストシステムを示す概略図である。
【図１１】実施の形態２に入力されるテストプログラム内容を示す図である。
【図１２】実施の形態２の動作（その１）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図１３】実施の形態２の動作（その２）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図１４】実施の形態２の動作（その３）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図１５】実施の形態２の動作（その４）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図１６】実施の形態２の動作（その５）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図１７】実施の形態２の動作（その６）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図１８】実施の形態２に対して、ユニット使用優先度決定機能を追加したテストシステムを示す概略図である。
【図１９】実施の形態２に対して、ユニット使用優先度決定機能と、ユニット使用頻度保存機能を追加したテストシステムを示す概略図である。
【図２０】実施の形態２に対して、測定対象優先度保存機能を追加したテストシステムを示す概略図である。
【図２１】実施の形態２に対して、一部の試験順番を強制する機能を追加したスケジュール機能を使用したテストシステムを示す概略図である。
【図２２】実施の形態３のテストシステムを示す概略図である。
【図２３】実施の形態３の動作（その１）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図２４】実施の形態３の動作（その２）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図２５】実施の形態３の測定ユニット変更後の試験内容を示す図である。
【図２６】実施の形態３の動作（その３）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図２７】実施の形態４のテストシステムを示す概略図である。
【図２８】実施の形態４の動作（その１）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図２９】実施の形態４の不良のある測定ユニットを別測定ユニットに変更した後の試験内容を示す図である。
【図３０】実施の形態４の動作（その２）に係るテストシステムを示す概略図である。
【図３１】実施の形態４にユニット測定値判定機能を追加したテストシステムを示す概略図である。
【図３２】実施の形態４にユニット診断機能を追加したテストシステムを示す概略図である。
【図３３】実施の形態４に係るテストシステムの動作フローを示す図である。
【図３４】実施の形態４に測定ユニットの電源切断機能をもつユニット不良判定機能を追加したテストシステムを示す概略図である。
【図３５】実施の形態４に測定ユニットの電源切断機能をもつユニット不良判定機能と、測定ユニットをテストシステムから抜き取る機能を追加したテストシステムを示す概略図である。
【図３６】実施の形態５に係るテストシステムを示す概略図である。
【図３７】従来のテストシステムの構成を示す概略図である。
【符号の説明】
【００８５】
８  測定対象
１０  測定ユニット
１１  ユニットコントローラ
１２  スケジュール機能
１３  テストシステム
１４  テストコントローラ
１５  試験手順データ
１６  ＬＳＩ
１８  測定ユニット
１９  ユニットコントローラ
２０  スケジュール機能
２１  テストシステム
２２  ＥＷＳ/ＰＣ
２３  テストプログラム
２４  ＬＳＩ
２６  スケジュール機能
２７  ユニット使用優先度決定機能
２８  スケジュール機能
２９  ユニット使用頻度保存メモリ
３０  ユニット使用優先度決定機能
３１  測定対象優先度保存機能
３２  スケジュール機能
３３  スケジュール機能
３４  テストプログラム
３５  ＬＳＩ
３７  測定ユニット
３８  ユニットコントローラ
３９  スケジュール機能
４０  テストシステム
４１  ＥＷＳ/ＰＣ
４２  測定ユニット機能保存メモリ
４３  テストプログラム
４４  ユニット不良判定機能
４５  スケジュール機能
４６  ユニット測定値判定履歴機能
４７  ユニット不良判定機能
４８  ユニット診断機能
４９  スケジュール機能
５０  測定ユニット
５１  ユニットコントローラ
５２  ユニット不良判定機能
５３  テストシステム
５４  ユニット使用履歴出力機能
【図１】
2005300344.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005300344.tif 000005
【図４】
2005300344.tif 000006
【図５】
2005300344.tif 000007
【図６】
2005300344.tif 000008
【図７】
2005300344.tif 000009
【図８】
2005300344.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2005300344.tif 000012
【図１１】
2005300344.tif 000013
【図１２】
2005300344.tif 000014
【図１３】
2005300344.tif 000015
【図１４】
2005300344.tif 000016
【図１５】
2005300344.tif 000017
【図１６】
2005300344.tif 000018
【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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