(57)【要約】【課題】本発明はＬＳＩチップ等の半導体デバイスの電気的諸特性を測定するプローブカードの基板を提供することを目的とする。【解決手段】半導体デバイス検査用測定器に接触されるメイン基板、半導体デバイスに接触する接触子が取り付けられるサブ基板、両者を電気的に導通する導通要素からなるプローブカード用基板であって、該メイン基板と該サブ基板とを固定的に接合して、該メイン基板のサブ基板対向面にある電極と該サブ基板のメイン基板対向面にある電極とを電気的に導通することを特徴とするプローブカード用基板。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイス検査用測定器に接触されるメイン基板、半導体デバイスに接触する接触子が取り付けられるサブ基板、両者を電気的に導通する導通要素からなるプローブカード用基板であって、該メイン基板と該サブ基板とを固定的に接合して、該メイン基板のサブ基板対向面にある電極と該サブ基板のメイン基板対向面にある電極とを電気的に導通することを特徴とするプローブカード用基板。
【請求項２】
半導体デバイス検査用測定器に接触されるメイン基板、半導体デバイスに接触する接触子が取り付けられるサブ基板、両者を電気的に導通する導通要素からなるプローブカード用基板であって、該メイン基板のサブ基板対向面にある電極と該サブ基板のメイン基板対向面にある電極との間を、導電材を用いて電気的に接続することを特徴とする請求項１記載のプローブカード用基板。
【請求項３】
半導体デバイス検査用測定器に接触されるメイン基板、半導体デバイスに接触する接触子が取り付けられるサブ基板、両者を電気的に導通する導通要素からなるプローブカード用基板であって、該メイン基板と該サブ基板との間を、電気的に絶縁する接着剤を用いて固定的に接合することを特徴とする請求項１乃至請求項２記載のプローブカード用基板。
【請求項４】
上記メイン基板の形状を円形又は楕円形に形成し、上記サブ基板の形状を円形、楕円形又は方形に形成していることを特徴とする請求項１乃至請求項３記載のプローブカード用基板。
【請求項５】
上記サブ基板のメイン基板非対向面に複数のソケット孔を設け、該サブ基板のソケット孔に被検査対象物のソケット端子を挿入可能としたことを特徴とする請求項１乃至請求項４記載のプローブカード用基板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＬＳＩチップ等の半導体デバイスの電気的諸特性を測定するプローブカードの基板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、プローブカード用基板は、図４に示すように、半導体デバイス検査用測定器と接続する第１接続用電極３’を有する第１主面１ａ’と該第１接続用電極と配線にて電気的に導通する第２接続用電極４’を有する第２主面１ｂ’とを備えたメイン基板１’、被検査対象物（半導体デバイス）に接触する接触子が接続される第４接続用電極６’を有する第２主面２ｂ’と第４接続用電極４’と配線にて電気的に導通する第３接続用電極５’を有する第１主面２ａ’とを備えたサブ基板２’、メイン基板１’とサブ基板２’との間に中間基板７’を設け、この中間基板７’より一方端をメイン基板１’の第２接続用電極４’に向けて接触し、他方端をサブ基板２’の第３接続用電極５’に向けて接触する逆「く」の字型とした接続ピン９’を設けた構造のものが存在する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、この種のプローブカード用基板では、接続ピン９’が一方端をメイン基板１’の第２接続用電極４’に、他方端をサブ基板２’の第３接続用電極５’に接触する際に、この両者の向かい合う電極間を導通する導通要素としての接続ピン９’と、接続ピン９’を保持する支持基板７’との構造上、電気的に付勢接触するポイントとして少なくともメイン基板１’の第２主面と接続ピン９’の一方の先端部、及びサブ基板２’の第１主面と接続ピン９’の他方の先端部の２カ所を持つために、各端で互いに適正に触れ合うことが難しく、電気的な接触の安定性が悪くなって接触抵抗が発生し、全体として導通不良が発生しやすいという問題点があった。又、屈曲形成された接続ピン９’が長くなり、方向、傾斜等が不ぞろいな状態で支持基板７’に保持されることになるため、接続ピン９’の先端位置が不正確となって導通不良が多く発生するという問題点があった。
【０００４】
例えば、メイン基板１’とサブ基板２’との間隔が広すぎると逆「く」の字形状で細線である接続ピン９’の両端は、メイン基板１’の第２接続用電極４’、サブ基板２’の第３接続用電極５’それぞれとの十分な接触圧が得られず接触抵抗が発生し、接触不安定となり、導通不良の原因となる。
【０００５】
逆に、メイン基板１’とサブ基板２’との間隔が狭すぎると逆「く」の字形状で細線である接続ピン９’の両端は大きく屈曲して先端位置が不安定となり、メイン基板１’の第２接続用電極４’と接触する接触範囲や、サブ基板２’の第３接続用電極５’と接触する接触範囲のそれぞれから外れる恐れが生じ、この場合も満足のいく接触ができず、導通不良の原因となる。
【０００６】
更に、接続ピン９’の細線であることによる経路抵抗はメイン基板１’とサブ基板２’との間隔にかかわらず常に存在し、導通不良発生の原因となっていた。又、細線であることにより、振動や衝撃によっても接触不良が発生し易かった。
【０００７】
そこで、本発明は、このような従来のプローブカード用基板が有していた課題を解決したものであって、本発明の目的は、メイン基板とサブ基板との接触不良を抑えて電気的な接触の安定性が高く、高い信頼性を有するプローブカード用基板を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のプローブカード用基板は、半導体デバイス検査用測定器に接触されるメイン基板、半導体デバイスに接触する接触子が取り付けられるサブ基板、両者を電気的に導通する導通要素からなるプローブカード用基板であって、メイン基板とサブ基板とを固定的に接合して、メイン基板のサブ基板対向面にある電極とサブ基板のメイン基板対向面にある電極とを電気的に導通する構成としている。
【０００９】
又、上記目的を達成するために、本発明のプローブカード用基板は、半導体デバイス検査用測定器に接触されるメイン基板、半導体デバイスに接触する接触子が取り付けられるサブ基板、両者を電気的に導通する導通要素からなるプローブカード用基板であって、メイン基板のサブ基板対向面にある電極とサブ基板のメイン基板対向面にある電極との間を、導電材を用いて電気的に接続する構成としている。
【００１０】
又、上記目的を達成するために、本発明のプローブカード用基板は、半導体デバイス検査用測定器に接触されるメイン基板、半導体デバイスに接触する接触子が取り付けられるサブ基板、両者を電気的に導通する導通要素からなるプローブカード用基板であって、メイン基板とサブ基板との間を、電気的に絶縁する接着剤を用いて固定的に接合する構成としている。
【００１１】
又、上記目的を達成するために、本発明のプローブカード用基板は、メイン基板の形状を円形又は楕円形に形成し、サブ基板の形状を円形、楕円形又は方形に形成する構成としている。
【００１２】
更に、上記目的を達成するために、本発明のプローブカード用基板は、上記サブ基板のメイン基板非対向面に複数のソケット孔を設け、該サブ基板のソケット孔に被検査対象物のソケット端子を挿入する構成としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について図に基づき説明する。
【００１４】
図中、図１は本発明実施例の断面構造を示す概略図、図２は本発明の別実施例の断面構造を示す概略図、図３は本発明基板の別実施例を示す説明図、図４は従来のプローブカード用基板の断面構造を示す概略図である。
【００１５】
プローブカードＡは、図１に示すように、テスター等の、半導体デバイス検査用測定器（図示省略）に電気的に接触される複数の第１接続用電極３，３を有するメイン基板１、被検査対象物（半導体デバイス；図示省略）に電気的に接触される複数の第４接続用電極６，６を有するサブ基板２とからなっており、このメイン基板１とサブ基板２との間を導通要素としての導電材１０，１０にて電気的に導通している。
【００１６】
メイン基板１は、図１に示すように、上記測定器の電極（図示省略）に電気的に接触する複数の第１接続用電極３，３を第１主面１ａに装備し、後述のサブ基板２に対して電気的に導通する複数の第２接続用電極４，４を第２主面１ｂに装備しており、この第１接続用電極３，３と第２接続用電極４，４とをメイン基板１内の配線にて電気的に導通している。
【００１７】
メイン基板１は、第２主面１ｂの狭い間隔の隣り合う第２接続用電極４から第１主面１ａの広い間隔の隣り合う第１接続用電極３間へと電極間隔を変換して、測定器の電極（図示省略）に電気的に接触するように、第１主面１ａの第１接続用電極３を配置している。
【００１８】
メイン基板１は、円形状又は楕円形状に形成されており、この形状によって、第１主面１ａの複数の第１接続用電極３の各配線経路の距離を一定にして抵抗のバラツキを抑えるようにしている。このメイン基板１は、円形状又は楕円形状に形成しているが、円形状又は楕円形状に近いものであってもよく、例えば八角形等の多角形形状の、ほぼ円形に近いものであってもよい。
【００１９】
サブ基板２は、図１に示すように、メイン基板１の第２主面１ｂと向かい合う第１主面２ａに複数の第３接続用電極５，５を装備し、被検査対象物の電極（図示省略）と接触する複数の第４接続用電極６，６を第２主面２ｂに装備しており、この第３接続用電極５と第４接続用電極６との間は、導電性メッキ層のスルーホール８にて電気的に導通している。
【００２０】
このサブ基板２は、サブ基板２内を貫通する複数の導電性メッキ層からなるスルーホール８を設けており、スルーホール８の上端をサブ基板２の第３接続用電極５と電気的に導通し、下端をサブ基板２の第４接続用電極６と電気的に導通している。
【００２１】
サブ基板２は、図２に示すように、第１サブ基板２１と第２サブ基板２２との二層に構成し、それぞれのサブ基板に位置をずらして第１サブ基板用スルーホール２１８、第２サブ基板用スルーホール２２８を設け、この第１サブ基板用スルーホール２１８と第２サブ基板用スルーホール２２８とを第６接続用電極２３にて電気的に導通させた構造としてもよい。
【００２２】
このようにして、サブ基板２を二層にしてサブ基板２内の二つのスルーホール２１８、２２８の位置をずらすことによって、メイン基板１の第１接続用電極３からサブ基板２の第４接続用電極６へ間隔変換する際に、サブ基板２内を二段階に間隔変換することができるために、メイン基板１から直接一つのスルーホールを介して間隔変換するよりもメイン基板１における配線の集中をサブ基板２に分散させることができ、メイン基板１の配線負荷を軽減することができる。又、このサブ基板２は、図２では第１サブ基板２１と第２サブ基板２２との二層としているが、三層以上としても良い。
【００２３】
サブ基板２は、円形状又は楕円形状に形成されているが、図３に示すように、被検査対象物（図示省略）の形状に沿って長方形状に形成してもよく、又被検査対象物（図示省略）の形状に沿うものであれば、立方形状や三角形状、五角形状等、種々の異形、方形状であってもよい。
【００２４】
サブ基板２は、一層づつ絶縁基板上に絶縁層を形成し、導体パターンを作り、層間接続して導体層を積み上げることにより多層化するビルドアップ法により製作してもよい。
【００２５】
メイン基板１の第２主面１ｂの第２接続用電極４，４とサブ基板２の第１主面２ａの第３接続用電極５，５とは、図１に示すように、半田、導電性樹脂等による導電材１０，１０にて電気的に導通している。この導電材１０，１０を使用することによって接触抵抗も経路抵抗も無視することが可能なほど小さくなり、メイン基板１とサブ基板２との電気的な接触の安定性を大きく高めることができる。
【００２６】
このメイン基板１とサブ基板２とは、導通要素としての導電材１０，１０以外のメイン基板１の第２主面１ｂと向かい合うサブ基板２の第１主面２ａとの間に絶縁性樹脂部材の接着剤１１を装填しており、メイン基板１とサブ基板２とを電気的に導通しながら電極以外の部分を絶縁し、固定的に結合するようにしている。
【００２７】
このメイン基板１の第２主面１ｂとサブ基板２の第１主面２ａとの間を電気的に絶縁する接着剤１１を用いて固定的に接合する構成とすることにより、メイン基板１とサブ基板２の位置関係が安定し、導電材１０，１０によるメイン基板１の第２接続用電極４，４とサブ基板２の第３接続用電極５，５との電気的な接触の安定性を高めることができ、更に、両者を一体としたプローブカードとしての機械的強度が向上し、繰り返し使用に際しての耐久性を格段に高めることが可能となる。
【００２８】
図３は、基板の別実施例であって、丸形に形成したメイン基板１の第２主面１ｂに、四角形に形成したサブ基板２を配置して、メイン基板１とサブ基板２の両者間の各電極（図示省略）を配線し、このサブ基板２に複数のソケット孔１２，１２を設け、このメイン基板１とサブ基板２間を導電材１０にて電気的に導通し、この導電材１０以外のメイン基板１とサブ基板２との間に絶縁性樹脂部材の接着剤１１を装填して結合しており、サブ基板２のソケット孔１２に被検査対象物（図示省略）のソケット端子（図示省略）を挿入することができ、形の異なる被検査対象物にも利用することができる。
【００２９】
以上、本発明の代表例と思われる実施例について説明したが、本発明は必ずしもこれらの実施例構造のみに限定されるものではなく、本発明にいう前記の構成要件を備え、かつ本発明にいう目的を達成し、以下にいう効果を有する範囲内において適宜改変して実施することができるものである。
【００３０】
【発明の効果】
以上の説明から既に明らかなように、本発明のプローブカード用基板は、半導体デバイス検査用測定器に接触されるメイン基板、半導体デバイスに接触する接触子が取り付けられるサブ基板、両者を電気的に導通する導通要素からなるプローブカード用基板であって、メイン基板とサブ基板とを固定的に接合して、メイン基板のサブ基板対向面にある電極とサブ基板のメイン基板対向面にある電極とを電気的に導通する構成としているので、電気的な接触の安定性が高く、メイン基板とサブ基板との接触不良を抑えて高い信頼性を獲得するという顕著な効果を期待することが出来るに至ったのである。
【００３１】
又、本発明のプローブカード用基板は、半導体デバイス検査用測定器に接触されるメイン基板、半導体デバイスに接触する接触子が取り付けられるサブ基板、両者を電気的に導通する導通要素からなるプローブカード用基板であって、メイン基板のサブ基板対向面にある電極とサブ基板のメイン基板対向面にある電極との間を、導電材を用いて電気的に接続する構成としているので、接触抵抗も経路抵抗も無視することが可能なほど小さくなり、電気的接触の安定性を大いに高めることができ、基板間の導通不良を抑えて高い信頼性を確保することができた。
【００３２】
又、本発明のプローブカード用基板は、半導体デバイス検査用測定器に接触されるメイン基板、半導体デバイスに接触する接触子が取り付けられるサブ基板、両者を電気的に導通する導通要素からなるプローブカード用基板であって、メイン基板とサブ基板との間を、電気的に絶縁する接着剤を用いて固定的に接合する構成としているので、メイン基板とサブ基板の位置関係が安定し、導電材によるメイン基板とサブ基板との電気的な接触の安定性を高めることができ、高い信頼性を確保することができた。又、両者を一体としたプローブカードとしての機械的強度が向上し、繰り返し使用に際しての耐久性を格段に高めることが可能となった。
【００３３】
又、本発明のプローブカード用基板は、サブ基板の形状を円形、楕円形又は方形に形成して被検査対象物に合わせ、メイン基板の形状を円形又は楕円形に形成して測定器までの配線長を等しくしているので、配線経路の距離が一定となって抵抗のバラツキを抑えることができ、より正確な検査が可能となった。
【００３４】
更に、本発明のプローブカード用基板は、サブ基板に複数のソケット孔を設け、ソケット孔に被検査対象物のソケット端子を挿入することができるような構成としたことにより、形の異なる被検査対象物にも利用することが可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施例の断面構造を示す概略図。
【図２】本発明の別実施例の断面構造を示す概略図。
【図３】本発明基板の別実施例を示す説明図。
【図４】従来のプローブカード用基板の断面構造を示す概略図。
【符号の説明】
Ａ        プローブカード
１、１’  メイン基板
１ａ、１ａ’  メイン基板の第１主面
１ｂ、１ｂ’  メイン基板の第２主面
２、２’  サブ基板
２ａ、２ａ’  サブ基板の第１主面
２ｂ、２ｂ’  サブ基板の第２主面
３、３’  第１接続用電極
４、４’  第２接続用電極
５、５’  第３接続用電極
６、６’  第４接続用電極
７’      中間基板
８        スルーホール
９、９’  接続ピン
１０      導電材
１１      接着剤
１２      ソケット孔
２１      第１サブ基板
２２      第２サブ基板
２３      第６接続用電極
２１８    第１サブ基板用スルーホール
２２８    第２サブ基板用スルーホール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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