(57)【要約】【課題】  本発明は磁気ヘッドスライダを含むローバーの研磨装置及び研磨方法に関し、ローバーに設けられている磁気ヘッドスライダ毎に独立して押圧制御可能にして、精度よく研磨を行うことができるようにすることを目的とする。【解決手段】  研磨装置は、回転可能なラップ定盤２２と、ラップ定盤の上方へ移動可能なハウジング２４と、ハウジングに固定され、複数の穴６２を有する剛性部材２８と剛性部材に固定された弾性部材３０とからなるローバーを保持するための治具２６と、ローバー全体を押圧するエアシリンダと、剛性部材２８の複数の穴６２を通ってローバーの複数の磁気ヘッドスライダに対応する弾性部材３０の部分を個別的に押圧する押圧手段６６とを備えた構成とする。【選択図】      図８
2005088145.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の磁気ヘッドスライダを含むローバーを研磨する研磨装置であって、
回転可能なラップ定盤と、
該ラップ定盤の上方で移動可能なハウジングと、
該ハウジングに固定され、複数の穴を有する剛性部材と該剛性部材に固定された弾性部材とからなるローバーを保持するための治具と、
ローバー全体を押圧する第１の押圧手段と、
該剛性部材の複数の穴を通ってローバーの複数の磁気ヘッドスライダに対応する弾性部材の部分を個別的に押圧する第２の押圧手段と
を備えた研磨装置。
【請求項２】
前記第２の押圧手段は、該剛性部材の各穴に挿入されたピンと、該ピンを動かす駆動機構とからなることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
前記第２の押圧手段は、該剛性部材の各穴に圧縮空気を導入する圧縮空気供給手段からなることを特徴とする請求項１に記載の研磨装置。
【請求項４】
複数の磁気ヘッドスライダを含むローバーを研磨する研磨方法であって、
移動可能なハウジングに、複数の穴を有する剛性部材と該剛性部材に固定された弾性部材とからなる治具を固定し、
ローバーを該治具に保持し、
該ハウジングをラップ定盤の上方で移動し、
該ラップ定盤を回転し、ローバーを該ラップ定盤に押圧しながらローバーを研磨し、
ローバーに設けられた抵抗素子の抵抗の変化を測定し、
ローバーに設けられた抵抗素子の抵抗の変化に応じて、該剛性部材の複数の穴を通ってローバーの複数の磁気ヘッドスライダに対応する弾性部材の部分を個別的に押圧する
工程を備えた研磨方法。
【請求項５】
ローバーに設けられた抵抗素子を中継基板に接続し、中継基板においてローバーに設けられた抵抗素子の抵抗の変化を測定することを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドスライダの研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気ディスク装置で使用される磁気ヘッドスライダの製造に関し、より詳細には、磁気ヘッドスライダを含むローバーの研磨装置及び研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置で使用される磁気ヘッドスライダは、最初に多数の磁気ヘッドスライダを成膜技術によりウエハに作り込み、ウエハを複数の磁気ヘッドスライダを含むローバーに切断し、磁気ヘッドスライダの浮上面が円滑になるようにローバーを研磨し、それから、ローバーを個々の磁気ヘッドスライダに切断する工程により製造される。
【０００３】
ローバーの研磨は、初期研磨（ＥＬＧ研磨）及び仕上げ研磨（タッチラップ研磨、クラウン研磨）の２工程で行われる（例えば、特許文献１，２参照）。仕上げ研磨は初期研磨で研磨したローバーの曲げの応力を解放し、表面の円滑性をさらに向上させ、表面にクラウンを形成するために行われる。
仕上げ研磨においては、例えば球面状の表面を有するラップ定盤を使用し、ローバーを弾性部材からなる治具に接着し、弾性部材に接着されたローバーを回転するラップ定盤に押圧しながら研磨を行う。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１５７７２３号公報
【特許文献２】米国特許第６３７５５３９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ローバーは弾性部材に接着され、弾性部材の位置決めするのが難しいために、ローバーを精密に位置決めするのに手間がかかり、ローバーの研磨が弾性部材の表面形状の変動に影響されやすいという問題があった。さらに、ローバーは弾性部材に保持されているために、ローバーの抵抗素子の端子を測定装置の端子にワイヤボンディングすることができず、インプロセスでの抵抗測定ができないため、ラップレートの影響を受けやすく、削りすぎなどの不良が発生する。
【０００６】
本発明の目的はローバーに設けられている磁気ヘッドスライダ毎に独立して押圧制御可能にして、精度よく研磨を行うことができるようにした磁気ヘッドスライダのローバーの研磨装置及び研磨方法を提供するものである。
【０００７】
また、本発明の目的はインプロセスでの抵抗測定が可能なようにした磁気ヘッドスライダのローバーの研磨装置及び研磨方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による磁気ヘッドスライダのローバーの研磨装置は、回転可能なラップ定盤と、該ラップ定盤の上方で移動可能なハウジングと、該ハウジングに固定され、複数の穴を有する剛性部材と該剛性部材に固定された弾性部材とからなるローバーを保持するための治具と、ローバー全体に圧力を印加する第１の押圧手段と、該剛性部材の複数の穴を通ってローバーの複数の磁気ヘッドスライダに対応する弾性部材の部分を個別的に押圧する第２の押圧手段とを備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、剛性部材と弾性部材とからなる治具は、ハウジングに簡単且つ確実に固定されることができ、且つ、ローバーを簡単且つ確実に所定の位置に保持することができる。ローバーは弾性部材に接着されなくても、弾性部材に密着させることにより、弾性部材に保持することができる。剛性部材の穴を通って弾性部材に与えられる押圧力はローバーに伝えられ、ローバーの形状を修正することができる。
【００１０】
本発明による磁気ヘッドスライダのローバーの研磨方法は、移動可能なハウジングに、複数の穴を有する剛性部材と該剛性部材に固定された弾性部材とからなる治具を固定し、ローバーを該治具に保持し、該ハウジングをラップ定盤の上方で移動し、該ラップ定盤を回転し、ローバーを該ラップ定盤に押圧しながらローバーを研磨し、ローバーに設けられた抵抗素子の抵抗の変化を測定し、ローバーに設けられた抵抗素子の抵抗の変化に応じて、該剛性部材の複数の穴を通ってローバーの複数の磁気ヘッドスライダに対応する弾性部材の部分を個別的に押圧する工程を備えたことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、剛性部材と弾性部材とからなる治具は、ハウジングに簡単且つ確実ローバーに設けられている抵抗素子の抵抗をインプロセスで測定することができ、その測定値に応じてローバーの複数の磁気ヘッドスライダに対応する弾性部材の部分を個別的に強度を変えて押圧し、目標抵抗値に達したら、研磨終了とすることにより、より精密な研磨を行うことができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、本発明によれば、磁気ヘッドスライダのラップ加工において、ローバー内の磁気ヘッドスライダ毎に押圧を制御することが可能となり、任意のローバー形状を限りなくまっすぐに修正できるため、精度のよい磁気ヘッドスライダを提供することが可能である。特に、静圧式においては、複雑で微小な機構を採用することがないため、本ユニットの組み立て工数や稼動中の故障が非常に少なくなる。また、圧縮空気をそのまま使用するため、個々の穴からの発生推力のバラツキが極めて小さくなるため、高精度な制御が可能になる。さらに、ローバー内の抵抗素子と中継基板の端子とをワイヤボンディングにて接続し、インプロセスでの抵抗測定を実現することにより、高精度のラップ加工が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下本発明の実施例について図面を参照して説明する。
図１は多数の磁気ヘッドスライダが作り込まれたウエハを示す図である。ウエハ１０は公知の技術によって作られた多数の磁気ヘッドスライダ１２を含む。図２は図１のウエハ１０から切断された１つのローバー１４を示す図である。ローバー１４は複数の磁気ヘッドスライダ（ＭＲヘッド）１２を含む。ＥＬＧ抵抗素子１６が２つの磁気ヘッドスライダ１２の間の境界に設けられている。
【００１４】
ローバー１４の浮上面となる表面が研磨される。ローバー１４の研磨は、初期研磨（ＥＬＧ研磨）及び仕上げ研磨（タッチラップ研磨、クラウン研磨）の２工程で行われる。本願の発明は、初期研磨が終了したローバー１４の仕上げ研磨に関する。
【００１５】
図３は複数の磁気ヘッドスライダ１２を含むローバー１４を研磨する研磨装置２０の一部であるラップ定盤２２とローバー１４を支持したハウジング２４とを示す略平面図である。ローバー１４の研磨作業は、ラップ定盤２２を矢印Ａで示されるように回転させ、ローバー１４を矢印Ｂで示されるようにラップ定盤２２の半径方向に往復運動させ、ローバー１４をラップ定盤２２に対して押圧しながら実施される。例えば、ラップ定盤２２は球面状の表面を有し、１０rpm 以下、望ましくは１rpm で回転する。ラップ定盤２２には微細なダイヤモンド砥粒が表面もしくは全体に埋め込まれている。
【００１６】
図４は研磨装置２０を示す略側面図である。治具２６がハウジング２４に固定されており、ローバー１４は治具２６に保持される。図７に示されるように、治具２６は細長いまっすぐな板状の剛性部材２８と、剛性部材２８と実質的に同じ輪郭形状を有し、剛性部材２８に固定された細長いまっすぐな板状の弾性部材（帯電防止ゴム）３０とからなる。弾性部材３０はゴムのライニング製造方法で製造され、剛性部材２８に接合されている。典型的には、弾性部材３０は接着剤により剛性部材２８に接合される。剛性部材２８はステンレス鋼からなり、焼き入れ処理を施し、ロックウェル硬さＨRCを５５以上にすることが望ましい。また、弾性部材３０は帯電防止タイプのゴム（表面抵抗＝１０6 〜１０9 Ω・cm）で作るのが望ましい。
【００１７】
剛性部材２８はローバー１４に設けられた複数の磁気ヘッドスライダ１２に対応する一連のピン挿入穴（貫通穴）３２を有し、弾性部材３０は同様の穴をもたない。剛性部材２８は一連のピン挿入穴３２の外側に治具固定用ねじ穴３４を有する。従って、治具２６は、ハウジング２４の対応する穴を通ったねじを治具固定用ねじ穴３４に螺合することにより、ハウジング２４に簡単且つ確実に固定されることができる。
【００１８】
図４において、研磨装置２０は、水平なガイド３６に沿って移動可能な摺動部材３８と、摺動部材３８に垂直な方向に移動可能に取り付けられたエレベータ４０とを有する。ハウジング２４はエレベータ４０に取り付けられる。エアシリンダ４２がエレベータ３９に配置され、ハウジング２４に固定された治具２６に保持されたローバー１４をラック定盤２２に向かって押圧する。従って、図１に示されるように、ラップ定盤２２は矢印Ａで示されるように回転し、ローバー１４は矢印Ｂで示されるようにラップ定盤２２の半径方向に往復運動し、そして、ローバー１４は全体としてラップ定盤２２に対して押圧される。
【００１９】
図５は研磨装置２０のラップ定盤２２、ハウジング２４、及び治具２６を示す拡大断面図である。ローバー１４は治具２６によって保持され、エアシリンダ４２の作用によってラップ定盤２２に対して押圧される。
【００２０】
ハウジング２４は剛性部材２８の複数のピン挿入穴３２に整列する複数のピン挿入穴４４を有し、ハウジング２４の複数のピン挿入穴３２はそれぞれ剛性部材２８の複数のピン挿入穴４４に連通している。
【００２１】
複数のピン４６が複数の組の整列したピン挿入穴３２，４４に対応して配置されている。各ピン４６は各組の整列したピン挿入穴３２，４４に挿入されている。ピン４６は矢印Ｃで示されるように個別的に押圧力を受け、ハウジング２４のピン挿入穴３２及び剛性部材２８のピン挿入穴３２を通ってローバー１４の磁気ヘッドスライダ１２に対応する弾性部材３０の部分を個別的に押圧する。従って、各ピン４６により、ローバー１４の１つの磁気ヘッドスライダ１２に対応する弾性部材３０の一点に押圧力が加わる。一般的に研磨速度はラップ圧力に比例するので、ローバー１４の押された点において局部的に研磨が進む。複数のピン４６は剛性部材２８の複数のピン挿入穴３２を通ってローバー１４の複数の磁気ヘッドスライダ１２に対応する弾性部材３０の部分を選択的に且つ個別的に押圧する。
【００２２】
図６は１つのピン４６を動かす駆動機構を示す図である。図５の複数のピン４６の数と同数の複数の駆動機構が並列的に設けられる。例えば、２８組のピン４６及び関連する駆動機構が並列され、それぞれの駆動機構は独立して関連するピン４６を押圧制御することが可能である。
【００２３】
駆動機構は、エアシリンダ４８と、ラック５０と、ピニオン５２，５４と、ピニオン５４と一体的に設けたレバー５６とからなる。エアシリンダ４８のピストンピンが伸びれば、ラック５０が前進し、ピニオン５４及びレバー５６が回転して、レバー５６がピン４６を押し下げる。ピニオン５２は空転しながらラック５０を支持する。降下するピン４６は治具２６の弾性部材３０を押圧する。
【００２４】
従って、ピン４６はローバー１４の磁気ヘッドスライダ１２に対応する弾性部材３０の部分を押圧する。この原理を利用し、ローバー１４のわずかな曲がりを修正することができる。エアシリンダ４８は押し方向のみの単動タイプのものを使用することができる。複数の組のエアシリンダ４８と、ラック５０と、ピニオン５２，５４とはそれらを支持し且つガイドすることのできるユニットケース５８に配置される。ハウジング２４はユニットケース５８に隣接して配置される。ローバー１４を全体的に押圧するためのエアシリンダ４２及びローバー１４の磁気ヘッドスライダ１２を個別的に押圧するためのエアシリンダ４８はそれぞれチューブ又はパイプを介して圧縮空気源に接続される。チューブ又はパイプの途中にはそれぞれ電気−空気圧変換レギュレータが配置され、電気−空気圧変換レギュレータ（制御弁）は制御装置によって制御される。
【００２５】
実施例では、駆動機構は、エアシリンダと、ラック＆ピニオン機構と、レバーとから構成されているが、その他のアクチュエータやその他のリンク機構を用いた構成してもよい。治具２６とハウジング２４とは２本のねじで固定されているが、ねじによる固定でなくても、メカニカルなロック方式や、真空吸着方式で固定してもよい。
【００２６】
図８は他の実施例の研磨装置２０のラップ定盤２２、ハウジング２４、及び治具２６を示す断面図である。図９は図８のハウジング２４及び治具２６並びにエアチューブを示す図である。図８及び図９の実施例の研磨装置２０は、図５の研磨装置２０と同様に、ラップ定盤２２、ハウジング２４、及び治具２６を有する。治具２６は細長いまっすぐな板状の剛性部材（ステンレス鋼）２８と、剛性部材２８と実質的に同じ輪郭形状を有し、剛性部材２８に固定された細長いまっすぐな板状の弾性部材（帯電防止ゴム）３０とからなる（図１１）。弾性部材３０はゴムのライニング製造方法で製造され、剛性部材２８に接合されている。弾性部材３０は接着剤により剛性部材２８に接合される。
【００２７】
図５の実施例の研磨装置２０はピン４６及びその駆動機構を用いているのに対して、図８の実施例の研磨装置２０はピン４６を用いていず、圧縮空気によって直接に弾性部材３０を押圧する静圧式のタイプである。すなわち、剛性部材２８はローバー１４に設けられた複数の磁気ヘッドスライダ１２に対応する一連の空気供給穴（貫通穴）６２を有し、弾性部材３０は同様の穴をもたない。剛性部材２８は一連の空気供給穴６２の外側に治具固定用ねじ穴３４を有する（図１１）。従って、治具２６は、ハウジング２４の対応する穴を通ったねじを治具固定用ねじ穴３４に螺合することにより、ハウジング２４に簡単且つ確実に固定されることができる。空気供給穴６２はローバー１４内のスライダピッチに対応して形成されるため、その幅はスライダピッチより小さくする必要がある。
【００２８】
ハウジング２４は剛性部材２８の複数の空気供給穴６２に整列する複数の空気供給穴６４を有し、ハウジング２４の複数の空気供給穴６４はそれぞれ剛性部材２８の複数の空気供給穴６４に連通している。
【００２９】
エアチューブ６６がハウジング２４の空気供給穴６４に継手６８により接続される。エアチューブ６６は圧縮空気源７０に接続され、エアチューブ６６の途中に電気−空気圧変換レギュレータ（制御弁）７２が配置される。エアチューブ６６はハウジング２４の空気供給穴６４を介して剛性部材２８の空気供給穴６２に圧縮空気を供給する。複数のエアチューブ６６はローバー１４の複数の磁気ヘッドスライダ１２の数と同じだけあり、それぞれ剛性部材２８の空気供給穴６２に接続される。
【００３０】
エアチューブ６６及ハウジング２４の空気供給穴６４から剛性部材２８の空気供給穴６２に供給された圧縮空気は、ローバー１４の複数の磁気ヘッドスライダ１２に対応する弾性部材３０の部分を個別的に押圧する。従って、図８及び図９の実施例の作用は図５の実施例の作用と同様である。
【００３１】
エアチューブ６６は例えば外径１．３mmの極細いエアチューブである。ハウジング２４の空気供給穴６４及び剛性部材２８の空気供給穴６２は、直径１mmの丸穴である。空気供給穴６２はその他の断面形状のものとすることができる。
【００３２】
図１０は図８及び図９の治具２６の剛性部材２８の空気供給穴６２の例を示す図である。図１０（Ａ）は直径１mmの丸い形状の空気供給穴６２を示す。図１０（Ｂ）は１mm×１．２mmの長円形状の空気供給穴６２を示す。図１０（Ｃ）は１mm×１．２mmの四角形状の空気供給穴６２を示す。
【００３３】
１つのエアチューブ６６から圧縮空気が供給されると、剛性部材２８の空気供給穴２６に圧力がかかる。弾性部材３０にかかる推力をＦ、空気供給穴６２の断面積をＳ、圧縮空気の圧力をＰとすると、Ｆ＝Ｓ×Ｐの関係がある。ここで、圧縮空気の圧力Ｐを０．５MPa とする。剛性部材２８の空気供給穴６２の形状が直径１mmの丸穴の場合、推力Ｆは３９．２５gfになる。１mm×１．２mmの長円穴の場合、推力Ｆは４９．２５gf、になる。１mm×１．２mmの角穴Ｃの場合、推力Ｆは６０．２５gfとなる。
【００３４】
一方、実際のラップ加工時の加工圧力は、過去の経験から、１ローバー１４あたり１Kgf 以下である。１つのローバー１４は３０個の磁気ヘッドスライダ１２を含むとすると、１つの磁気ヘッドスライダ１２にかかる力は、単純に計算すれば、１Kgf ／３０＝３３gfとなる。従って、丸穴の発生推力Ｆ＝３９．２５gfよりも小さいので、圧縮空気によって磁気ヘッドスライダ１４を十分に曲げ修正を行わせることができる。
【００３５】
継手６８は、外径１．３mmのエアチューブ６６が嵌合される部分、ハウジング２４の表面に当接する膨径部分及び直径１mmのハウジング２４の空気供給穴６４に嵌合される部分を有する特別の形状をもったものである。このような継手６８を用いることにより、空気供給穴６２，６４の大きさに適合し、エアチューブ６６とハウジング２４との間での空気の漏れを防止することができる。また、ハウジング２４の下面及び剛性部材２８の上面は平坦化加工が行われ、ハウジング２４の下面と剛性部材２８の上面とは密に接触してメカニカルシールを構成し、ハウジング２４と剛性部材２８との間での空気の漏れを防止することができる。さらに、剛性部材２８の空気供給穴６２はストレートな穴であるので、弾性部材３０を剛性部材２８にライニングするときに、空気供給穴６２にマスキングをしておき、ライニング終了後にマスキングを除去すれば、空気供給穴６２が詰まることがない。
【００３６】
図１２はインプロセスでの抵抗測定を行うことができるようにした実施例を示す図である。支持板７４が研磨装置２０のハウジング２４に取り付けられ、中継基板（プリント基板）７６が支持板７４に取り付けられている。上記したように、ローバー１４は２つの磁気ヘッドスライダ１２の間の境界にＥＬＧ抵抗素子１６の端子２ヶを有する。ボンディングワイヤ７８がＥＬＧ抵抗素子１６と中継基板７６の端子８０とを接続している。多くのＥＬＧ抵抗素子１６が設けられ、ボンディングワイヤ７８はＥＬＧ抵抗素子１６の端子と同数だけ接続することが望ましい。
【００３７】
中継基板７６はプロービング用の端子８２を有しており、抵抗測定手段のプローブ（図示せず）をプロービング用の端子８２と接触させることで、インプロセス抵抗測定を行うことができる。
【００３８】
図１３は図１２の実施例に対してワイヤボンディングを行う例を示す図である。治具２６、ハウジング２４、及び中継基板７６を組み立てた状態で、この組み立て体をワイヤボンディング用ベース８２にセットする。これは真空吸着方式にて行う。次にローバー１４にアテ板８４を当接し、ローバー１４を弾性部材３０に対して押しつけた状態でアテ板８４をねじ８６で固定する。それから、ワイヤボンダーを用いてワイヤボンディングを行う。
【００３９】
ローバー１４は弾性部材３０を構成するゴムの粘着力だけで治具２６に保持されているため、ワイヤボンディング時にローバー１４が弾性部材３０から剥がれる恐れがあるので、このようにローバー１４を弾性部材３０に対して押しつけておくのがよい。また、ローバー１４が弾性部材３０を構成するゴムに接しているため、ワイヤボンディングを行うための超音波振動がゴムに吸収されて正しくワイヤボンディングができない。図１３に示された構成にすると、ゴムの超音波振動吸収作用が緩和されて正しくワイヤボンディングを行うことができる。従って、図１２に示されるようにインプロセスでの抵抗測定を行いながら、ローバー１４の研磨作業を行うことができる。
【００４０】
以上説明した実施例は下記の特徴を含む。
（付記１）  複数の磁気ヘッドスライダを含むローバーを研磨する研磨装置であって、
回転可能なラップ定盤と、
該ラップ定盤の上方で移動可能なハウジングと、
該ハウジングに固定され、複数の穴を有する剛性部材と該剛性部材に固定された弾性部材とからなるローバーを保持するための治具と、
ローバー全体に圧力を印加する第１の押圧手段と、
該剛性部材の複数の穴を通ってローバーの複数の磁気ヘッドスライダに対応する弾性部材の部分を個別的に押圧する第２の押圧手段と
を備えた研磨装置。  （１）
【００４１】
（付記２）  前記ハウジングはラップ定盤の半径方向に往復運動可能であることを特徴とする付記１に記載の研磨装置。
（付記３）  前記治具の弾性部材は剛性部材に接着されていることを特徴とする付記１に記載の研磨装置。
（付記４）  前記治具はねじにより該ハウジングに固定されていることを特徴とする付記１に記載の研磨装置。
【００４２】
（付記５）  前記ローバーに設けられた抵抗素子の抵抗の変化に応じて該第２の押圧手段を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする付記１に記載の研磨装置。
（付記６）  前記第２の押圧手段は、該剛性部材の各穴に挿入されたピンと、該ピンを動かす駆動機構とからなることを特徴とする付記１に記載の研磨装置。  （２）
（付記７）  前記駆動機構はエアシリンダと、エアシリンダの作動を該ピンに伝達する伝達機構とを含むことを特徴とする付記６に記載の研磨装置。
【００４３】
（付記８）  前記第２の押圧手段は、該剛性部材の各穴に圧縮空気を導入する圧縮空気供給手段からなることを特徴とする付記１に記載の研磨装置。  （３）
（付記９）  前記圧縮空気圧供給手段は、圧縮空気源に接続された導管と、該導管に配置された制御弁とからなることを特徴とする付記８に記載の研磨装置。
（付記１０）  前記ハウジングは該剛性部材の複数の穴に整列する複数の穴を有し、該ハウジングの複数の穴はそれぞれ該剛性部材の複数の穴に連通していることを特徴とする付記９に記載の研磨装置。
（付記１１）  前記導管は前記ハウジングの各穴に接続されることを特徴とする付記１０に記載の研磨装置。
【００４４】
（付記１２）  複数の磁気ヘッドスライダを含むローバーを研磨する研磨方法であって、
移動可能なハウジングに、複数の穴を有する剛性部材と該剛性部材に固定された弾性部材とからなる治具を固定し、
ローバーを該治具に保持し、
該ハウジングをラップ定盤の上方で移動し、
該ラップ定盤を回転し、ローバーを該ラップ定盤に押圧しながらローバーを研磨し、
ローバーに設けられた抵抗素子の抵抗の変化を測定し、
ローバーに設けられた抵抗素子の抵抗の変化に応じて、該剛性部材の複数の穴を通ってローバーの複数の磁気ヘッドスライダに対応する弾性部材の部分を個別的に押圧する
工程を備えた研磨方法。  （４）
【００４５】
（付記１３）  ローバーに設けられた抵抗素子を中継基板に接続し、中継基板においてローバーに設けられた抵抗素子の抵抗の変化を測定することを特徴とする付記１２に記載の磁気ヘッドスライダの研磨方法。  （５）
（付記１４）  ローバーに設けられた抵抗素子をボンディングワイヤによって中継基板に接続することを特徴とする付記１３に記載の磁気ヘッドスライダの研磨装置。
【００４６】
（付記１５）  ローバーを治具と当て板の間で保持しながらワイヤボンディングを行うことを特徴とする付記１４に記載の研磨方法。
（付記１６）  該剛性部材の各穴に挿入されたピンにより弾性部材の部分を押圧することを特徴とする付記１２に記載の研磨方法。
（付記１７）  該剛性部材の各穴に挿入された圧縮空気により弾性部材の部分を押圧することを特徴とする付記１２に記載の研磨装置。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】図１は多数の磁気ヘッドスライダが作り込まれたウエハを示す図である。
【図２】図２は図１のウエハから切断された１つのローバーを示す図である。
【図３】図３はローバーを研磨する研磨装置の一部であるラップ定盤とローバーを支持したハウジングとを示す略平面図である。
【図４】図４は研磨装置を示す略側面図である。
【図５】図５は研磨装置のラップ定盤、ハウジング、及び治具を示す拡大断面図である。
【図６】図６はピンに力を印加してピンを動かす駆動機構を示す図である。
【図７】図７は剛性部材と弾性部材とからなる治具を示す斜視図である。
【図８】図８は他の実施例の研磨装置のラップ定盤、ハウジング、及び治具を示す断面図である。
【図９】図９は図８のホルダ及び治具並びにエアチューブを示す図である。
【図１０】図１０は図８及び図９の治具の空気供給穴を示す図である。
【図１１】図１１は剛性部材と弾性部材とからなる治具を示す斜視図である。
【図１２】図１２はインプロセスでの抵抗測定を行うことができるようにした実施例を示す図である。
【図１３】図１３は図１２の実施例に対してワイヤボンディングを行う例を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０…ウエハ
１２…磁気ヘッドスライダ
１４…ローバー
２０…研磨装置
２２…ラップ定盤
２４…ハウジング
２６…治具
２８…剛性部材
３０…弾性部材
３２…ピン挿入穴
３４…ねじ穴
４２…エアシリンダ
４４…ピン挿入穴
４６…ピン
４８…エアシリンダ
５０…ラック
５２…ピニオン
５４…ピニオン
５６…レバー
６２…空気供給穴
３８…空気供給穴
６６…エアチューブ
６８…継手
７０…圧縮空気源
７２…レギュレータ
７４…支持板７４
７６…中継基板
７８…ボンディングワイヤ
８４…アテ板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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