(57)【要約】      （修正有）【課題】  圧力差が大きくても信頼性のあるシールが可能で構造単純なスライド弁【解決手段】  開口部を介して相互接続された２つのモジュール或いはチャンバを流体分離するための、特にコーティング装置のためのスライド弁に、少なくとも一枚のスライドプレートと少なくとも封止駆動装置とが設けられている。スライドプレートは、前記開口部が貫通するハウジング内に組み込まれていると共に、前記開口部を開放する非作動位置と前記開口部を完全に覆う動作位置との間を双方向に移動できる。封止駆動装置は、動作位置にある前記スライドプレートに作用するように作動させることができ、これにより該プレートは、閉止位置において、前記ハウジングを貫通する開口部を取り囲むシール面と密閉接触するように構成されている。本発明によると、前記スライドプレートの作動動作に関し、前記封止駆動装置の少なくとも一方がハウジング内に強固に取付られている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続する２つのモジュール（１、２）或いはチャンバを分離するためのスライド弁（５）、特にコーティングユニット用のスライド弁（５）であって、前記モジュールは、内部を異なる圧力レベル、例えば真空と大気圧に調整できるものであり、開口部（４）が貫通するハウジング（６）内には少なくとも一枚のスライドプレート（７）が設けられ、該スライドプレート（７）は、開口部（４）を開放する非作動位置と、完全に開口部（４）を覆う動作位置との間を双方向に移動可能であり、スライドプレート（７）の面積は開口部（４）の自由横断方向断面より大きく、少なくとも１つの封止駆動装置（８、１０）を有しており、該封止駆動装置（８、１０）は、動作位置にあるスライドプレート（７）に作用するように作動させることができ、これにより該プレートは、閉止位置において、ハウジング（６）を貫通する開口部（４）を取り囲むシール面（９、１１）に押し当てられて密閉接触するように構成されているスライド弁において、
スライドプレート（７）の調節運動に関し、好ましくは懸吊位置で、少なくとも１つの封止駆動装置（８、１０）がハウジング（６）に強固に取付けられていることを特徴とするスライド弁。
【請求項２】
前記封止駆動装置（８、１０）及びこれに対応するシール面（９、１１）が、スライドプレート（７）の両側においてハウジング（６）に強固に取付けられている、請求項１に記載のスライド弁。
【請求項３】
ハウジング（６）内の前記スライドプレート（７）の両側に、少なくとも１つの封止駆動装置（８、１０）が設けられており、ハウジング（６）は、互いに対向する２つのシール面を有し、該シール面は前記貫通開口部（４）を取り囲んでおり、スライドプレート（７）は、封止駆動装置（８、１０）の一方により、スライドプレート（７）を挟んで前記封止駆動装置（８、１０）の反対側に設けられたシール面（１１、９）に対し常時付勢することができる、請求項１又は２に記載のスライド弁。
【請求項４】
前記スライドプレート（７）は、単純な、滑らかで薄いプレートとして形成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のスライド弁。
【請求項５】
ハウジング（６）が少なくとも２つの好ましくは互いにねじ止めされる部分（６．１、６．２）を含み、該２つの部分の間にはスライドプレート（７）のためのガイドスロット（６Ｓ）が形成されており、前記ガイドスロット（６Ｓ）は前記開口部の軸に対して角度が付けられたもの、特に垂直に形成されたものであり、該スロットは、その片側において、開口部（４）を開放する非作動位置に置かれたスライドプレート（７）を十分収容できる開口部（４）の拡大部を含むと共に、その反対側において、スライドプレート（７）が適切に挿入されて動作位置となることを許容する開口部（４）の延長部を含む、請求項１〜４のいずれか１項に記載のスライド弁。
【請求項６】
組み付けられた位置において、開口部（４）の下方に位置するガイドスロット（６Ｓ）の部分は、前記スライドプレート（７）の進入を許容するリップシール（１２）により覆われている、請求項５に記載のスライド弁。
【請求項７】
前記スライドプレート（７）のための各封止駆動装置（８、１０）及び各シール面（９、１１）は、ガイドスロット（６Ｓ）の壁に配置又は埋設されている、請求項５又は６に記載のスライド弁。
【請求項８】
各封止駆動装置（８、１０）は、流体の圧力により作動させることができ、少なくとも閉じた区画を有し、該区画は流体圧接続を有すると共に少なくとも１つの可動壁部分を有する、請求項１〜７のいずれか１項に記載のスライド弁。
【請求項９】
前記封止駆動装置は、前記開口部の周縁に沿って均等に配置された個別のアクチュエータユニットを含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載のスライド弁。
【請求項１０】
封止駆動装置（８、１０）は、開口部（４）の上下に配置された２つのアクチュエータを有する、請求項１〜８のいずれか１項に記載のスライド弁。
【請求項１１】
封止駆動装置（８、１０）は、前記開口部（４）の周りに延設された、円周状に閉じた個別のアクチュエータを含む、請求項１〜８のいずれか１項に記載のスライド弁。
【請求項１２】
前記シール面（９、１１）が環状シールを有し、該環状シールに対し前記スライドプレート（７）が前記封止駆動装置（８、１０）により押圧される、請求項１〜１１のいずれか１項に記載のスライド弁。
【請求項１３】
前記環状シール（９、１１）及び封止駆動装置（８、１０）は、開口部（４）の境界の周りに、平行な経路で配置されている、請求項１２に記載のスライド弁。
【請求項１４】
封止駆動装置（８、１０）の前記可動壁は、加圧されると前記スライドプレート（７）に直接的に作用する、請求項１〜１３のいずれか１項に記載のスライド弁。
【請求項１５】
前記スライドプレート（７）を非作動位置と動作位置との間で調節するための少なくとも１つのアクチュエータ（７Ａ）、特に並進アクチュエータを有する、請求項１〜１４のいずれか１項に記載のスライド弁。
【請求項１６】
スライドプレート（７）が、調節方向に対して横断方向にフレキシブル且つ前記ハウジング（６）を貫通するような接続手段により、少なくとも１つのアクチュエータ（７Ａ）に結合されている、請求項１５に記載のスライド弁。
【請求項１７】
処理のための、特に通過する基材をコーティングするための装置であって、通路開口部（４）を介して相互接続された少なくとも２つのモジュール（１、２）と、前記開口部（４）を封止するための、請求項１〜１６のいずれか１項に記載の少なくとも一つのスライド弁（５）とを含む装置。
【請求項１８】
スライド弁（５）のハウジング（６）が、隣接するモジュール（１、２）の一方の内壁に取り付けられている、請求項１８に記載の装置。
【請求項１９】
スライド弁のハウジング（６）が、前記隣接する２つのモジュール間の溝に取り付けられている、請求項１８に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の前段に記載した形状を有するスライド弁、及びこのような弁を備えたコーティングユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
このタイプの弁は、プラスチックホイル、磁気テープ、フィルム等の可撓性ベルト基材やプラスチック、板ガラス等の剛性基材を真空コーティングするために設計された連続コーティングユニットに用いられることが多い。
【０００３】
従って、ロール状或いはドラム状に巻かれ支持軸上に配置されたベルト基材或いはホイルを、所定の時間間隔でユニット内に導入し、コーティングユニットを通過する間にロールから引き出すことができるようにする必要がある。
【０００４】
コーティングチャンバの下流には、巻取りドラムを備えた別の軸が設けられており、コーティングされたベルト基材はこの巻取りドラムに再び巻き取られる。
【０００５】
剛性基材は、ローラ上に配置され、ローディングステーションとアンローディングステーションの間を連続的に移送されるが、各ステーションには、順番がくると規則的に通気される。
【０００６】
このような連続的コーティングユニットは基本的にいくつかのモジュールに分割されており（ローディングモジュール、コーティングモジュール、アンローディングモジュール）、それらのモジュールは順次的に配置され、開口部によって相互に接続されており、基材はその開口部を通って隣のモジュールに運ばれる。例えば、隣接するモジュールの現状圧力レベルは維持したまま、スプレーカソードを交換する或いはその他のメンテナンスをするため、１つのコーティングモジュールだけに通気することが必要な場合がある。
【０００７】
従って、両方向仕切弁がモジュール間に組み込まれている。これにより、１つのステーションのみに通気し、その他のステーションは真空状態のままとすることができるため、ユニットモジュールの真空引き操作時に排気すべき量は明らかに低減されている。必要に応じ、全ユニットに通気できることは言うまでもない。
【０００８】
従って、上記弁は絶え間なく連続的に両方向即ち双方向に動作する必要はないが、少なくとも、装填物の入れ替え等のユニットの停止状態には使用しなければならず（即ち動作させなければならず）、そのような場合は大気圧と真空の間の圧力差をシールしなければならない。このような弁の有効な組み付け位置は、基材移送システムの領域の途中である。ガラスコーティングユニットの場合には、これら移送システムはローラ部分として構成されており、ローラ間は所定の距離だけ離間している。基材をより小さくしたい、通過速度をより速くしたい等の益々高まる顧客の要望に応えるには、移送ローラ間の距離を短くする必要がある。このため、（上流側）モジュールに設けられるローラトランスポータとこれに続く（下流側）モジュールに設けられるローラトランスポータの間に組み付けられるセパレータ、即ち仕切弁を非常に幅の狭いものとしなければならない。
【０００９】
ＤＥ１９８５７２０１Ａ１には、２つの真空チャンバ間に設けた互いに位置合せされた二本の通路の開口部を同時に塞ぐ或いは開放するための、背が低く幅が広い平坦な仕切弁が記載されている。この弁は、大判ガラスの連続コーティングユニットのために設計されたものである。
【００１０】
この開口部を封止する目的で、２つの対向する弁プレート、即ちスライドプレートが設けられている。これらは１つの構成ユニットを構成しており、このユニットは、第１のアクチュエータにより、開口部が閉止されていない非作動位置と動作位置との間を両方向に並進移動可能である。動作位置では、スライドプレートは開口部間に置かれ、完全に開口部を覆っている。
【００１１】
２枚のスライドプレートは、非作動位置においては弾性的に互いに押圧されており、動作位置でも最初は開口部を閉止せずシールしない。該プレート間には、ストロークの短い流体封止（空気圧作動式）機構が追加的に設けられており、２枚のスライドプレートが動作位置に移動した後、該機構は加圧されて膨張し、両プレートを封止位置まで持っていく。両プレートは、開口部の周りの対応するシール部に対して同時に押し当てられ、前記開口部を密閉する。封止駆動装置の反作用力は、対向する弁プレートにより相殺される。
【００１２】
前記弁を開ける場合、アクチュエータから圧力を抜く。これに加え、前記アクチュエータには、前記スライドプレートにかかる反対向きの力を補強するために、反対方向に負圧をかけることができる。この既知の弁では、弾性のシールリングがスライドプレートの溝に挿入されている。
【００１３】
米国特許第４１５７１６９号公報には別の仕切弁が記載されている。この弁は基本的には、上に記載したユニットと極めて類似しているが、２つの円形の通路開口部を開閉するように設計されたものである。この弁には、ソフトシールリングは設けられていないが、ソフトメタルで形成された弁座が開口部の縁部に設けられており、それに対して、スライドプレートに設けられたソフトメタル製のシールリングが対応している。
【００１４】
この二つの解決手段では、スライドプレートの流体封止駆動装置とその駆動系統は、両方向の動作手順の間、非作動位置と動作位置の間を両方向に移動しなければならない。その結果、スライド部品が可動であるため比較的構造が複雑で且つ高価である。
【００１５】
ＤＥ４４４６９４６Ｃ１には、別の類似のスライド弁が記載されている。この弁の弁ディスクは非作動位置から動作位置へ移動可能であり、単純なプレート形状である。この文献は、弁ディスクを弁座に対して押圧しシールすることや、使用したシールの構成形態についていかなる示唆もしていない。更に、スライド弁の片側のみに弁シートが設けられているので、このスライド弁は一方向にのみ動作するものである。
【特許文献１】ドイツ特許出願公開第１９８５７２０１号明細書
【特許文献２】米国特許第４１５７１６９号明細書
【特許文献３】ドイツ特許第４４４６９４６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明の目的は、特に、連続コーティングユニットの連続的に近接して設けられた２つのローラ間に組み付けられるのに適し、圧力差が大きくても信頼性のある方法でシールが可能な、特に平坦なスライド弁を提供することである。その可動部分はできるだけ単純に構成すべきである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明では、請求項１に記載される特徴によりこの課題を解決する。従属項１７には、本発明のスライド弁を備えたユニット記載している。これに続く従属項の特徴は、本発明の好ましい各種展開例を示している。
【００１８】
本発明は、メンテナンス弁として、或いは使用率が低い、即ち動作頻度がそれ程高くない弁として使用するのに有利な弁について記載している。この構造は、両側で真空シールを行う非常に平坦なスライド弁（最大５０ｍｍ)と同様である。この動作原理によれば、非常に長い亀裂状の開口部をも確実に密閉できる。この弁は、スライドプレートを非常にフレキシブルな形態で構成したときには、封止対象の開口部に広範な凹凸がある場合にもこれを補って閉止することができる。
【００１９】
本発明に係る弁では、ハウジング内部の単純なプレートが、閉止対象の開口部の前で非作動位置から動作位置に移動するが、この移動は、外部から給電される任意のアクチュエータにより行われるのが好ましい。基本的には、スライド弁を、非作動位置と動作位置の間で手動により開閉することも可能であろう。既存のアクチュエータによる開閉に加え、このように手動で開閉できるようにして緊急の場合に備えることもできる。
【００２０】
開口部を閉止するには、ハウジングの一部をなす封止駆動装置により、前記プレートを、対応するシール面が設けられたハウジングの壁に向けて押圧する。
【００２１】
その結果、封止駆動装置の反作用力は直接的に堅固なハウジング内部で打ち消されるので有利である。
【００２２】
本発明による弁の、即ちスライドプレートの封止動作は、スライドプレートの非作動位置と動作位置の間の作動運動方向に対して何らかの角度、好ましくは直角方向に向けて行われる。
【００２３】
標準技術における場合と同様、本発明のスライド弁においても、アクチュエータと、有効な封止駆動装置とは異なるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
特に好ましい実施形態においては、本発明のスライド弁の２つの封止駆動装置同士及び２つのシール面同士は、スライド弁に２つの異なる封止位置が形成されるように面対称に構成される。本発明の有利な実施形態によると、圧力差の方向に従って、前記スライド弁は、常に、片側に加えられたより強力な圧力がシール効果を更に補強するように選択的に封止することができる。
【００２５】
スライドプレートは、シール方向に懸吊状態で上から吊設されているため、非作動位置と動作位置との間の調節動作の間、基本的には摩擦は発生しない。これにより、シール面の磨耗や損耗を極力少なくできる、或いは避けられる。「懸吊状態」という表現は、より長い経路即ちストロークに亘って可動であるということを意味するものではない。反対に、非作動位置と動作位置との間の横断方向の位置の調節においては、スライドプレートの自由度は更に小さい、即ち横方向のクリアランスは少ししかない。スライド弁の機能を確実に果たすには、動作位置から対応するシール位置にスライドプレートを０．２〜０．３ｍｍだけ移動、即ち変位させれば十分であろう。
【００２６】
好ましくは、封止駆動装置は流体の圧力により作動できるものである。即ち、封止駆動装置は、流体圧接続を備えた少なくとも１つの閉じたコンパートメントを含み、少なくとも１つの可動壁を有する。封止駆動装置は、必ずしも開口部全体を完全に取り囲むように延設する必要はなく、基本的には（このタイプの装置を形成する標準技術において同様に記述されているように）個別の制御機構の各種セグメントに分割された封止駆動装置とすることができる。本実施形態の場合においては、封止対象の開口部の縁部に沿って各駆動要素が均等に分散配置されることが好ましいのは明白であるが、機能的観点からは必ずしもその様にする必要はない。
【００２７】
特に、封止駆動装置はリングやタイヤチューブのように閉じた形態であるのが好ましい。これは、この形態では、封止駆動装置が追加的なシールリングとして、滑らかな壁のスライドプレートに押し当てられるため、例えば、遥々真空チャンバから開口部や弁まで到達したコーティング粒子が実際のシールリングに塗布されてしまうという好ましくない事象（オーバースプレーともいう）を阻止できるからである。
【００２８】
封止駆動装置及びそれに対応するシール（これらは好ましくは円形断面の環状シール等として製造され、溝に挿入される）は封止対象の開口部の周りに同心的に設けられた経路に組み込まれるのが好ましいが、封止駆動装置は、これらのシール内の領域の外側或いは内側に配置することができる。
【００２９】
上述の第２（内側）の配置では、既に指摘したように、封止駆動装置はシールリングに好ましくない付着物が着かないよう広く保護する。
【００３０】
簡単な且つ滑らかなスライドプレートを用いるこの実施形態は、全体として、シール面の長い波状の凹凸が、広い範囲に亘って設けられ封止対象の開口部の全周を囲むスライドプレートの特定のフレキシビリティにより補われるという大きな利点がある。これにより、シール部の座に寸法誤差や表面の凹凸、ねじの締めが均一でないこと等による小さな歪みが生じていても、本発明のスライド弁では漏れは生じないであろう。例えば、幅が３ｍを超えるガラスプレートのための連続コーティング装置には、メートル単位の様々な幅の大きな細長の開口部が必要であり、広く使用されているが、真空と大気圧との圧力差があってもこのような開口を安全にシールすることも可能である。
【００３１】
本発明のスライド弁の動作態様として、駆動装置とシール面との組み合わせを含む２つの封止駆動装置（周方向に封止する）を同時に作動させることも考えられる。しかしながら、別体のシールリングまでなくしてしまうことは無理であろう。コーティングプロセスによって（好ましくない）付着物が封止駆動装置に付着する可能性を絶えず考慮しなければならないからである。このような付着物は、長期の運転によりシール性能に悪影響を与えかねない。
【００３２】
本発明の目的の他の詳細や利点は、実施例を示す図面及び以下の詳細な説明から分かるであろう。
【実施例】
【００３３】
図１の断面図は、連続コーティング装置のモジュール１とモジュール２との間の移行部を示している。この図では、各基材（図では単に水平移送平面Ｔとして示す）はこの移行部を左から右に横切り、すぐ隣のローラ３（図の装置断面は比較的狭い範囲であるため、１つのローラ３のみを概略的に示す）により支持されていることとする。
【００３４】
モジュール１とモジュール２との間には、開口部４が設けられている。図面の面に対して垂直な方向における開口部４の寸法は、図に示した高さよりも大きい、即ち開口部はスロット状のものと考えることができるが、全体として、横断方向の断面は可能な限り小さいものとして製造される。好ましい使用例においては、幅が３メートルを超える滑らかなガラスプレートの通過を可能とするために十分に大きいものでなければならない。
【００３５】
この開口部４をスライド弁で閉止しモジュール１を通気したままモジュール２内を真空状態にする等の場合には副次的な流れが形成される恐れがあるが、これを避けるために、２つのモジュールは開口部４の領域において極めてしっかりと密接して相互接続されていることが認識されよう。このスライド弁について次に説明する。
【００３６】
スライド弁５はハウジング６を含み、ハウジング６は２つのハウジング部６．１及び６．２を有する。このハウジング６は、種々の構成要素から構成されており、特に極めて良く密閉されているということが分かる。例えば、ハウジング部６．１とハウジング部６．２との間の溝にはシールリング６Ｄがあり、開口部４の領域においてハウジング６が組み付けられている移行部の壁とハウジング部６．２との間の溝には別のシールリング６Ｄがあることが分かる。
【００３７】
開口部４はハウジング６を完全に貫通している、即ちハウジング６は通路を有し、通路は前記開口部４の延長部を形成している。延長部は、均一形状の自由断面を有する。
【００３８】
既に述べた標準技術とは異なり、このスライド弁はモジュール１とモジュール２との間に組み込む必要はなく、ハウジング６の一方の側部をモジュール１の壁にねじ止めできることが分かる。このようにして、モジュール間の距離を或る程度短縮できる。同様に、装置の種類や構成スペースにより異なることは明白であるが、２つのモジュールの開口部の間に通路を配置することができれば、本発明に係る弁は、２つのモジュール間の溝、中間部或いは移行部に組み付けることも可能であり、これによりモジュール同士は直接的に相互接続される。
【００３９】
ハウジング部６．１と６．２との間には、ガイドスロット６Ｓが形成されている。ガイドスロット６Ｓ内には、スライド弁７が懸吊状態で取り付けられており、スライド弁の横方向のクリアランス、即ち主要領域に対して垂直方向の間隙は小さくなっている。スライド弁は、並進アクチュエータ７Ａ（詳細は示していない）から下方につり下げられている。
【００４０】
前記アクチュエータユニットのアクチュエータ構成要素は、詳細には図示していないが、スライドプレート７の横方向の変位を可能にするために、適切にスライドプレート７に結合されている。アクチュエータ７Ａとスライドプレート７との間の接続部は前記ハウジング６を貫通している。アクチュエータ７Ａがモジュール１の外部に設けられる場合、即ち真空引きされる部分の外側に設けられる場合にのみ、この貫通部に特別なシール対策が必要であろう。
【００４１】
（鉛直方向の）ガイドスロット６Ｓ自体は、内部に組み込まれたスライドプレートと同様、開口部４の横断方向（水平）軸に沿って、移送面Ｔの両側にセグメント状に延びている。その長手方向主要部（長い方）は移送面Ｔの上方に配置されているが、下方にも短いセグメントが設けられている。
【００４２】
ガイドスロット６Ｓの内部において、スライドプレート７は、開口部４が完全に開いて基材の通過が可能な非作動位置（図２参照）と、スライドプレート７が前記溝状の開口部４を完全に覆っている（図１に示す）動作位置即ち閉止位置との間で双方向に調節できる。
【００４３】
非作動位置においては、スライドプレート７はガイドスロット６Ｓの上方部分に完全に取り込まれている。動作位置においては、スライドプレート７の下方縁部は、刃物が突き刺すようにガイドスロット６Ｓの下方セグメント内に進入しているが、上方部分はガイドスロット６Ｓの上方セグメント内に留まっている。スライドプレート７は、開口部４の縁部の全領域を覆うことが必須である。
【００４４】
スライドプレート７は、ガイドスロット６Ｓ内でそれ程密接していない状態で移動するため、即ち摩擦は無視できるため、アクチュエータ７Ａによって双方向に即ち両方向に自由に動かすことができる。そのため、アクチュエータ７Ａが調節に要する力はそれ程大きくない。アクチュエータは、例えば、空気圧作動式或いは油圧作動式のリフティングシリンダ、ラック・ピニオンによる駆動装置、或いは電磁リニアエンジン等とすることができる。アクチュエータは、大きなストローク（数センチ）をカバーする必要はなく、比較的小さな動作だけで前記スライドプレートを動作位置に向けて移動させるものがよい。
【００４５】
しかしながら、既に述べたように、アクチュエータとスライドプレートの接続は、或る程度、弾力性を有するか或いは関節運動をするものである必要がある。これは、スライドプレート７は、次に述べるように、ストロークは小さいが、リニアアクチュエータ７Ａの調節方向に対して垂直方向にも移動できなければならないからである。アクチュエータ７Ａの調節部品の端部を例えば二股にし、二股の二辺を一又は二以上の軸により相互接続し、その軸にスライドプレート７を所望の態様で移動可能に吊設することができる。
【００４６】
尚、スライドプレート７が図面の面に対して垂直方向にメートル単位の様々な長さに亘って延びている場合、アクチュエータ７Ａを、同時に指令を受ける各種の同様の複数のアクチュエータとして、必要に応じて使用してもよい。
【００４７】
左半分のハウジング部６．１には、第１の封止駆動装置８が設けられている。好ましくは、この封止駆動装置は、膨張可能なシールとして形成され、ハウジングの壁に設けた円周方向の環状スロット内に導入され、開口部４の周囲全体を取り囲んでいる。この封止駆動装置８と機能的に対応して、環状シール９が、同様に環状スロットに挿入されて且つ開口部４全体を包囲するように設けられる。
【００４８】
図示の例では、（ガイドスロット６Ｓ及びスライドプレート７の中央面に対して）前記封止駆動装置８の丁度反対側において、封止駆動装置８と同様の形式の第２の封止駆動装置１０が反対側のハウジング部６．２の壁に挿入されている。この封止駆動装置１０は、環状シール９に取り囲まれた領域の内部に配置されている。
【００４９】
封止駆動装置１０には、環状シール１１が機能的に対応する。該シール１１は、環状シール９の丁度反対側においてハウジング部６．１の壁に挿入されており、封止駆動装置８の周囲を取り囲んでいる。
【００５０】
実際には、実施形態によっては、封止駆動装置８及び１０を、シールリング９及び１１により囲まれた領域の内側に配置することも外側に配置することも可能である。外側に配置した場合、閉止された側の封止駆動装置は真空による影響から保護される。内側に配置した場合、封止駆動装置は、同じ側に配置されているシールリングをオーバースプレーから保護する。
【００５１】
上に示したように、封止駆動装置８及び／又は１０は、必ずしも、チューブタイヤのように均一に周囲を取り囲むチャンバとして形成する必要はない。特に、開口部４の周囲を取り囲むように封止駆動装置を設けるのではなく、単なる二本の平行な細長いセグメントとして開口部４の両側に封止駆動装置を設けることも考えられる。この場合でも、シールリングをオーバースプレーから保護するという必須の機能を確実に果たすことができる。
【００５２】
更に、複数の個別のチャンバを、シール面の周囲に沿って均等に分散配置することもできる。これらチャンバは、相互に流体連通関係にあり、圧力が同時に加えられなければならないことは明らかである。この実施形態は、この装置において封止駆動装置と互換性のない他の機能的要素を各セクションに組み付けなければならない場合に有利である。
【００５３】
また、これらの様々な配置では、スライド弁の断面は必ずしも図示の断面と異なるものではなく、配置は断面線の位置によって決まる。
【００５４】
本発明においては、シール方向が片側のみである位置にスライドプレートを配置する場合、封止駆動装置の一方のみを設けることも考えられる。
【００５５】
本明細書に記載した封止駆動装置８及び１０を周囲に設ける構成は、外側部分を適切な形状とした場合、封止駆動装置８及び１０の内部領域を加圧すれば、封止駆動装置８及び１０を第２のシールとしてスライドプレート７の滑らかな面に押し付けることにより、シールリング９及び１１のシール作用をそれぞれ補強できるため有利である。
【００５６】
ハウジング内の開口部４及びガイドスロット６Ｓの領域における移送平面Ｔの下方に、永久弾性材料で形成されたストリップ１２が交換可能に取り付けられている。これにより、ガイドスロット６Ｓにおける移送平面の下方部分を封止し、ガイドスロット６Ｓの下方部分に粒子が混入するのを阻止することができる。ストリップは、リップシールとして分割して設けられ、スライドプレート７が移動して動作位置に入る際にスライドプレート７が自由に進入可能となっている。
【００５７】
シールリング９及び１１は、封止駆動装置８及び１０と同様、各ハウジングの壁にある程度入り込んで配置され、負圧を受けることにより最終的に各ハウジングの壁に入り込んで配置される。このことにより、スライドプレート７が非作動位置と動作位置の間を両方向に移動する際に、シールリング９及び１１がスライドプレート７と接触することによって損傷や摩擦さえもすることはないことが分かる。
【００５８】
これに加え、封止駆動装置８又は１０が加圧されているときは、適切な保護手段によりアクチュエータ７Ａの作動を阻止すべきであることは言うまでもない。封止駆動装置８又は１０が作動状態にある場合には、スライドプレート７を手動で作動させることさえも、強力な押圧力により不可能にすべきであろう。
【００５９】
ハウジング部６．１及び６．２の厚さに比べ、スライドプレート７は極めて薄く且つ軽く作ることができることが分かる。封止駆動装置８及び１０が発生する封止力をできるだけ均一に分散させることにより、シールリング９及び１１が理想的なシール面から長い波状に若干ずれた場合であっても、スライドプレート７はシールリング９及び１１の配置されている箇所に正確に合わせることができる。
【００６０】
通常の場合、スライドプレート７がアクチュエータ７Ａにより作動するのは、互いに分離されたままの或いは再び互いに分離される両モジュール内の圧力が等しいとき、即ち例えば、両側が大気圧となっているか或いは両側が真空引きされているときである。
【００６１】
スライドプレート７が一旦動作位置にくる（下方縁部がガイドスロット６Ｓの下方部分に埋まる）と、最終的に達成すべき（形成しようとする）圧力差の方向（例えばモジュール２が真空でモジュール１が大気圧であるか、その逆）に従って、好ましくは圧力レベルが低くない方の封止駆動装置８又は１０を作動させ、内部に圧力を導入する。
【００６２】
例えば、スライド弁５の閉止位置においてモジュール２を真空引きすべきとき、（左の）封止駆動装置８を作動させる。これによりチューブが横断方向断面で見て膨張するため、スライドプレート７は（右の）環状シール９に対して押し当てられる。
【００６３】
反対に、スライド弁５の閉止位置においてモジュール１内の圧力をモジュール２内の圧力より低くすべき場合には、スライドプレート７を（左の）環状シール１１に押し当てるために（右の）封止駆動装置１０を作動させる。
【００６４】
この方法では、封止駆動装置８及び１０の可撓性の凸状の面に過剰な圧力差（真空に対する内圧）が発生して負荷がかかることを防止することができる。
【００６５】
モジュール１と２との間の圧力差が大きくなると、スライドプレート７の片側にかかる圧力がより大きくなり、その力が環状シール９及び１１をより強く押すため、封止駆動装置８及び１０の押圧力が更に増強されることは明らかである。
【００６６】
更に、封止駆動装置８及び１０は、シール機能を確実に果たせる有効な弁駆動装置であることが分かる。アクチュエータ７Ａは、圧力差がどちらの向きかに関わらず、前記スライドプレートを全体としての動作位置に配置するためだけに設けられている。このため、スライド弁５、即ちその主要な部分であるスライドプレート７の有効なシール機能は、封止駆動装置８又は１０を任意で作動させることにより両方向に使用できる。
【００６７】
上に示し図示したスライド弁５の実施例は、シール機能を有する構成要素を備えたものであり、面対称に構成されており、スライドプレート７の面を挟んで大きな圧力差がどちらの方向に発生しても保持することができることが分かる。しかしながら、封止駆動装置８及び環状シール１０或いは封止駆動装置９及び環状シール１１のどちらか一方を削除すれば、片側方向のみをシールする実施形態も考えられるであろう。
【００６８】
スライド弁５によって解消すべき圧力差が小さくなった後、作動させておいた封止駆動装置８又は１０を収縮させ、アクチュエータ７Ａによりスライドプレートを非作動位置へと移動させる。その際、スライドプレート７を環状シール９又は１１から緩めるときに、これを板バネ又はダイアフラムスプリングを用いて補強することができる。これらの復元力は、当然、封止駆動力よりも小さいものでなければならない。
【００６９】
本発明のスライド弁を、大判の個々の基材を連続コーティングする装置のための好ましい実施形態に基づき説明してきたが、本発明は、この用途以外の他の用途にも使用できるものと理解される。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】図１は、本発明のスライド弁の概略断面図であり、スライドプレートが動作位置にある状態を示す。
【図２】図２は、同様の断面図であり、スライドプレートが非作動位置にある状態を示す。
【符号の説明】
【００７１】
１、２  モジュール
４  開口部
５  スライド弁
６  ハウジング
７  スライドプレート
８、１０  封止駆動装置
９、１１  シール面
【図１】
2005265177.tif 000003
【図２】
2005265177.tif 000004