(57)【要約】【課題】  チップのピックアップミスによる不具合を未然に防止することができる吸着検出装置を提供する。【解決手段】  ヘッドツールにチップを吸着するバキューム穴を設け、両バキューム穴が開放された状態で、ヘッドツール内部の真空圧が第１圧力値２１となるように構成する。また、一方のバキューム穴がチップで閉鎖された状態で、真空圧が第２圧力値２２となるように構成し、両バキューム穴がチップで閉鎖された状態で、第３圧力値２３となるように構成する。ヘッドツールに圧力センサを接続し、圧力センサによる第１閾値４１を、第１圧力値２１から第２圧力値２２の間に設定する。また、圧力センサによる第２閾値４２を、第２圧力値２２から第３圧力値２３の間に設定する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッドツールに設けられた二箇所のバキューム穴でチップを吸着する際に、前記ヘッドツールの内圧が、両方のバキューム穴が開放された状態での第１圧力値と、片方のバキューム穴が前記チップで閉鎖された状態での第２圧力値と、両方のバキューム穴が前記チップで閉鎖された状態での第３圧力値とに変化する前記ヘッドツールにおける前記チップの吸着状態を検出する吸着検出装置において、
前記ヘットツールの内圧を検出し、検出した内圧が前記第１圧力値から前記第２圧力値の間に設定された第１閾値より低いか否かを検出するとともに、前記第２圧力値から前記第３圧力値の間に設定された第２閾値より低いか否かを検出するセンサを備えたことを特徴とする吸着検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップの吸着状態を検出する吸着検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ダイボンダには、チップを移送するヘッドツールが設けられており、該ヘッドツールに設けられたバキューム穴に負圧を供給することで、チップを吸着してピックアップできるように構成されている。
【０００３】
このヘッドツールにおいて、チップのピックアップミスを検出する際には、バキューム穴より進入する光を検出する方式が用いられているが、二つのチップを同時に吸着するヘッドツールにおいては、この方式を採用することは困難であった。
【０００４】
そこで、チップを吸着した際の吸着圧、つまり真空圧からチップをピックアップしたか否かを判断する方式を用いることが考えられる。
【０００５】
すなわち、バキューム穴が二箇所に設けられたヘッドツールにおいて、ヘッドツールで検出される真空穴は、図３に示すように、吸着したチップが０個であって両方のバキューム穴が開放された状態で最も低い第１圧力値１０１となり、吸着したチップが１個であって片方のバキューム穴が閉鎖された状態での第２圧力値１０２が次に低くなる。そして、吸着したチップが２個であって両方のバキューム穴が閉鎖された状態では、前記真空圧が最も高い第３圧力値１０３となる。
【０００６】
このため、両方のバキューム穴が開放された状態での第１圧力値１０１と、両方のバキューム穴が閉鎖された状態での第３圧力値１０３との間に、閾値を設定するとともに、この閾値でオンオフするセンサを設けることによって、両方のバキューム穴にチップが吸着されているか否かを判断することが可能となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、このような吸着検出装置にあっては、チップが一つも吸着されていないことを検出できるようにセンサの閾値を設定した場合、片方のバキューム穴にチップが吸着されていても、ボンディング動作を継続してしまう。
【０００８】
この場合、ボンディング先において、チップが吸着されていないバキューム穴からハンダを吸込み、ヘッドツールがハンダ詰まりを起こす恐れがあった。
【０００９】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、チップのピックアップミスによる不具合を未然に防止することができる吸着検出装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するために本発明の吸着検出装置にあっては、ヘッドツールに設けられた二箇所のバキューム穴でチップを吸着する際に、前記ヘッドツールの内圧が、両方のバキューム穴が開放された状態での第１圧力値と、片方のバキューム穴が前記チップで閉鎖された状態での第２圧力値と、両方のバキューム穴が前記チップで閉鎖された状態での第３圧力値とに変化する前記ヘッドツールにおける前記チップの吸着状態を検出する吸着検出装置において、前記ヘットツールの内圧を検出し、検出した内圧が前記第１圧力値から前記第２圧力値の間に設定された第１閾値より低いか否かを検出するとともに、前記第２圧力値から前記第３圧力値の間に設定された第２閾値より低いか否かを検出するセンサを備えている。
【００１１】
すなわち、ヘッドツールに設けられた両バキューム穴でチップの吸着に失敗した際には、両バキューム穴が開放され、負圧の供給されたヘッドツールの内圧が第１圧力値となる。このとき、前記ヘットツールの内圧を検出するセンサが、前記内圧が前記第１圧力値から第２圧力値の間に設定された第１閾値より低いことを検出することによって、前記両バキューム穴にチップが吸着されていないことが検出される。
【００１２】
また、片方のバキューム穴のみでチップを吸着した際には、片方のバキューム穴が閉鎖され、負圧の供給されたヘッドツールの内圧が第２圧力値となる。このとき、前記センサは、前記内圧が前記第１圧力値から第２圧力値の間に設定された第１閾値より高く、かつ前記第２圧力値から前記第３圧力値の間に設定された第２閾値よりも低いことを検出することによって、片方のバキューム穴にチップが吸着されていることが検出される。
【００１３】
そして、両方のバキューム穴でチップを吸着していた場合には、両バキューム穴が閉鎖され、負圧の供給されたヘッドツールの内圧が第３圧力値となる。このとき、前記センサは、前記内圧が前記第１圧力値から第２圧力値の間に設定された第１閾値より高く、かつ前記第２圧力値から前記第３圧力値の間に設定された第２閾値よりも高いことを検出することにより、両方のバキューム穴にチップが吸着されていることが検出される。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように本発明の吸着検出装置にあっては、ヘッドツールに設けられた両方のバキューム穴にチップが吸着されていないことと、片方のバキューム穴のみでチップを吸着したことと、両方のバキューム穴でチップを吸着したこととを、それぞれ知ることで、両方のバキューム穴にチップを吸着したこととのみならず、両方のバキューム穴にチップが吸着されてい無いことを検出することができる。
【００１５】
したがって、ピックアップしたチップをボンディングポイントへ移送する際には、両方のバキューム穴にチップが吸着されていることの確認を行うことで、両方あるいは片方のバキューム穴が開放されている場合には、これを検出することができる。このため、この時点でボンディング動作を停止させることによって、ボンディングポイントに塗布されたハンダをバキューム穴に吸い込み、ハンダ詰まりを起こすといった問題の発生を確実に回避することができる。
【００１６】
また、ボンディング後のヘッドツールをピックアップポイントへ移動してチップをピックアップする際には、両方のバキューム穴にチップが吸着されてい無いことの確認を行うことで、いずれか一方のバキューム穴にチップが残っている場合には、これを検出することができる。このため、この時点でピックアップ動作を停止することによって、チップの二重取りを未然に防止することができる。これにより、ヘッドツールへの大きな荷重の入力を防止することができ、ヘッドツールの傷付きや変形を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかる吸着検出装置１を示す模式図であり、該吸着検出装置１は、ヘッドツール２へのチップ３の吸着状態を検出する装置である。
【００１８】
すなわち、チップ３をボンディングするダイボンダは、前記チップ３を移送する前記ヘッドツール２を備えており、該ヘッドツール２は、チップ３が載置されたピックアップポイントと前記チップ３をボンディングするボンディングポイントとの間を図外の移動機構によって移動されるように構成されている。
【００１９】
このヘッドツール２は、中空状に形成されており、内部には、図外のバキュームポンプによって負圧１１が供給されるように構成されている。前記ヘッドツール２の先端には、内部に連通する第１バキューム穴１２及び第２バキューム穴１３が開設されており、各バキューム穴１２，１３に生じる負圧によって前記チップ３，３を吸着してピックアップできるように構成されている。
【００２０】
これにより、前記ヘッドツール２の各バキューム穴１２，１３でチップ３，３を吸着する際には、図２に示すように、負圧が供給された前記ヘッドツール２の内圧、つまり該ヘッドツール２内部の真空圧が、前記両バキューム穴１２，１３が開放された状態で第１圧力値２１となるように構成されている。また、前記真空圧は、一方のバキューム穴が前記チップ３で閉鎖された状態で第２圧力値２２となるように構成されており、前記両バキューム穴１２，１３が前記チップ３，３で閉鎖された状態で第３圧力値２３となるように構成されている。
【００２１】
前記ヘッドツール２には、図１に示したように、圧力センサ３１が接続されている。該圧力センサ３１は、前記ヘッドツール２内部の前記真空圧を検出するセンサであり、検出結果を第１信号線３２及び第２信号線３３より電気信号として出力するように構成されている。
【００２２】
この圧力センサ３１は、図２に示したように、検出する圧力を二点設定できるように構成されており、その一方の第１閾値４１は、前記第１圧力値２１から前記第２圧力値２２の間に設定されている。これにより、例えば検出した真空圧が前記第１閾値４１より低い場合には、前記第１信号線３２から「Ｌ」を、前記真空圧が前記第１閾値４１より高い場合には、前記第１信号線３２から「Ｈ」を出力するように構成されている。
【００２３】
また、他方の第２閾値４２は、前記第２圧力値２２から前記第３圧力値２３の間に設定されている。これにより、例えば検出した真空圧が前記第２閾値４２より低い場合には、前記第２信号線３３から「Ｌ」を、前記真空圧が前記第２閾値４２より高い場合には、前記第２信号線３３から「Ｈ」を出力するように構成されている。
【００２４】
そして、前記第１及び第２信号線３２，３３は、前記ヘッドツール２の動作を制御する制御装置５１に接続されており、前記各信号線３２，３３からの出力に基づいて、前記ヘッドツール２を制御できるように構成されている。
【００２５】
以上の構成にかかる本実施の形態において、ヘッドツール２に設けられた両バキューム穴１２，１３によるチップ３，３の吸着に失敗した際には、両バキューム穴１２，１３が開放され、負圧の供給されたヘッドツール２の真空圧が第１圧力値２１となる。このとき、前記ヘットツール２の真空圧を検出する圧力センサ３１が、前記真空圧が前記第１圧力値２１から第２圧力値２２の間に設定された第１閾値４１より低いことを検出することによって、前記両バキューム穴１２，１３にチップ３が吸着されていないことを検出することができる。
【００２６】
また、片方のバキューム穴のみでチップ３を吸着した際には、片方のバキューム穴が閉鎖され、負圧の供給されたヘッドツール２の真空圧が第２圧力値２２となる。このとき、前記圧力センサ３１は、前記真空圧が前記第１圧力値２１から第２圧力値２２の間に設定された第１閾値４１より高く、かつ前記第２圧力値２２から前記第３圧力値２３の間に設定された第２閾値４２よりも低いことを検出することによって、片方のバキューム穴にチップ３が吸着されていることを検出することができる。
【００２７】
そして、両方のバキューム穴１２，１３でチップ３，３を吸着していた場合には、両バキューム穴１２，１３が閉鎖され、負圧の供給されたヘッドツール２の真空圧が第３圧力値２３となる。このとき、前記圧力センサ３１は、前記真空圧が前記第１圧力値２１から第２圧力値２２の間に設定された第１閾値４１より高く、かつ前記第２圧力値２２から前記第３圧力値２３の間に設定された第２閾値４２よりも高いことを検出することによって、両方のバキューム穴１２，１３にチップ３，３が吸着されていることを検出することができる。
【００２８】
このように、前記ヘッドツール２の両方のバキューム穴１２，１３にチップ３，３が吸着されていないことと、片方のバキューム穴のみでチップ３を吸着したことと、両方のバキューム穴１２，１３でチップ３，３を吸着したこととを、それぞれ知ることで、両方のバキューム穴１２，１３にチップ３，３を吸着したこととのみならず、両方のバキューム穴１２，１３にチップ３，３が吸着されてい無いことを検出することができる。
【００２９】
したがって、ピックアップしたチップ３，３をボンディングポイントへ移送する際には、両方のバキューム穴１２，１３にチップが吸着されていることの確認を行うことで、両方あるいは片方のバキューム穴が開放されている場合には、これを検出することができる。このため、この時点で制御装置５１がボンディング動作を停止させることによって、ボンディングポイントに塗布されたハンダを各バキューム穴１２，１３に吸い込み、ハンダ詰まりを起こすといった問題の発生を確実に回避することができる。
【００３０】
また、ボンディング後のヘッドツール２をピックアップポイントへ移動してチップ３をピックアップする際には、両方のバキューム穴１２，１３にチップ３，３が吸着されていないことの確認を行うことで、いずれか一方のバキューム穴にチップが残っている場合には、これを検出することができる。このため、この時点で前記制御装置５１がピックアップ動作を停止することによって、チップ３の二重取りを未然に防止することができる。これにより、ヘッドツール２への大きな荷重の入力を防止することができ、ヘッドツール２の傷付きや変形を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の一実施の形態を示す模式図である。
【図２】同実施の形態の動作を示す説明図である。
【図３】従来例を示す図である。
【符号の説明】
【００３２】
１    吸着検出装置
２    ヘッドツール
３    チップ
１１    負圧
１２    第１バキューム穴
１３    第２バキューム穴
２１    第１圧力値
２２    第２圧力値
２３    第３圧力値
４１    第１閾値
４２    第２閾値
３１    圧力センサ
【図１】
2005230940.tif 000003
【図２】
2005230940.tif 000004
【図３】
2005230940.tif 000005