(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の製造時において、ＰＤＰのディメンジョンを容易にチェック検査を行うことができ、ＰＤＰ製造における歩留まりを向上したＰＤＰを提供する。【解決手段】ＰＤＰを構成するバックパネル１３、またはフロントパネル７において、ＰＤＰの画像を表示する画像表示領域Ａの外側の領域である表示領域外Ｂにディメンジョンチェック用パターン１６を形成し、更に、バックパネル１３における放電セル１４を構成する隔壁１１を表示領域外Ｂにも延長して隔壁のテストパターン部１１ａを形成した構成を有する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
隔壁が形成されたバックパネルとこのバックパネルに対向するフロントパネルとに挟まれた放電空間を有するプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記バックパネル、または前記フロントパネルの表示領域外にディメンジョンチェック用パターンを形成したことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記ディメンジョンチェック用パターンは、長さを示す目盛で構成されることを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記目盛が、スケール状目盛であることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記目盛が、リミットゲージ状目盛であることを特徴とする請求項２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記バックパネルの表示領域外に形成されるディメンジョンチェック用パターンは、前記バックパネルを構成するデータ電極の形成時に用いるマスク、または隔壁露光時に用いるマスクに形成されたことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記ディメンジョンチェック用パターンは、前記バックパネルの外周周辺部の所定の部分、または周囲全域に複数形成したことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記ディメンジョンチェック用パターンが、前記フロントパネルを構成する表示電極の形成時に用いるマスクに形成されたことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記ディメンジョンチェック用パターンは、前記フロントパネルの外周周辺部の所定の部分、または周囲全域に複数形成したことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記隔壁が形成された前記バックパネルの前記表示領域外に前記隔壁のテストパターン部を形成したことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス放電によって発生した紫外線によって蛍光体を励起、発光させ、画像表示するプラズマディスプレイパネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネルは、ガス放電によって発生した紫外線によって蛍光体を励起、発光させ、画像表示するディスプレイであり、その放電の形成手法から交流（ＡＣ）型と直流（ＤＣ）型に分類することができる。
【０００３】
ＡＣ型の特徴は、輝度、発光効率、寿命の点でＤＣ型より優れている点である。更に、ＡＣ型の中でも反射型面放電タイプは輝度、発光効率の点で特に際だって優れているため、このタイプが最も一般的である。
【０００４】
次に、従来のＡＣ型プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと呼ぶ）について、図４を用いて説明する。
【０００５】
図４は従来のＰＤＰのパネル構造の概要を説明するためのＰＤＰの電極配列を上面から見て示す概念図である。
【０００６】
図４において、前面側基板１上には走査電極２及び維持電極３からなる表示電極４がストライプ状に複数対形成され、それらの表示電極４を覆うように誘電体層５が形成されており、更に、誘電体層５上に保護層６が形成されて、フロントパネル７が構成されている。
【０００７】
また、背面側基板８には、前面側基板１上の走査電極２及び維持電極３からなる表示電極４と直交する方向に、下地誘電体層９で覆われた複数のストライプ状のデータ電極１０が形成されている。この下地誘電体層９上には、データ電極１０と平行に、及び直交するようにそれぞれ所定のピッチで井桁状の複数の隔壁１１が隣接するデータ電極１０の間に配置され、この隔壁１１の側面及び下地誘電体層９の表面に蛍光体層１２が設けられ、これらによりバックパネル１３が構成されている。
【０００８】
走査電極２及び維持電極３からなる表示電極４とデータ電極１０とが直交するように、且つ、微小な放電空間を形成するようにフロントパネル７とバックパネル１３が対向配置されるとともに、周囲が封止されており、更に、放電空間には、放電ガスとして、ネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）の混合ガスが充填されている。また、放電空間は、隔壁１１によって複数の区画に縦横に仕切られることにより、表示電極４とデータ電極１０との交点が位置する複数の放電セル１４が設けられ、各放電セル１４には、放電による紫外線で赤色、緑色及び青色にそれぞれ励起、発光する蛍光体層１２が一色ずつ順次配置されて、ＰＤＰ４１を構成している。
【０００９】
それぞれの電極はｍ列×ｎ行のマトリックス構成であり、列方向にはｍ列のデータ電極Ｄ１〜Ｄｍが配列されており、行方向にはｎ行の走査電極ＳＣＮ１〜ＳＣＮｎ及び維持電極ＳＵＳ１〜ＳＵＳｎが配列されており、電極間に数十ｋＨｚ〜数百ｋＨｚのＡＣ電圧を印加して放電空間に放電を発生させ、励起されたキセノン（Ｘｅ）原子からの紫外線によって蛍光体層１２を励起させて可視光を発生させ、周知の表示動作を行っており、表示電極４とデータ電極１０との交点が位置する複数の放電セル１４で構成される領域、即ち、全体の放電セル１４を囲む外周部のそれぞれの放電セル１４の周囲にある隔壁１１の最外周部の隔壁１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ及び１１ｅで取り囲まれた領域がＰＤＰ４１の画像表示領域Ａとなり、画像表示領域Ａにおいて周知の表示動作を行って画像が表示される。
【００１０】
更に、ＰＤＰ４１は、背面側基板８上の画像表示領域Ａの外側の表示領域外Ｂにおける複数個所の所定位置に設けられた位置合わせマーク４２を用いて、製造工程におけるバックパネル１３の構成要素であるデータ電極１０、隔壁１１及び蛍光体層１２等の形成のための位置合わせがなされており、また、前面側基板１上に形成された位置合わせマーク４３を用いて、フロントパネル７とバックパネル１３のアライメントの位置決めが行われている（例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３、特許文献４参照）。
【００１１】
【特許文献１】
特開平８−１１５６５８号公報（第４頁、第４図）
【特許文献２】
特開平２−１９７８８９号公報（第２頁、第１図）
【特許文献３】
特開平８−３０４７８０号公報（第４頁、第１図）
【特許文献４】
特開昭５８−１５０２４３号公報（第２頁、第４図）
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記の従来のＰＤＰにおいて、位置合わせマーク４２及び４３はＰＤＰを構成するそれぞれの要素をフォトリソ法やスクリーン印刷法等の周知の方法で形成する際の製造過程におけるそれぞれの工程でのそれぞれの要素間の位置決めを行うためのものであり、例えば、隔壁１１の形成後或いはＰＤＰ完成後の隔壁１１の精度を位置合わせマーク４２及び４３によってチェックすることは不可能に近く、精度を確保できて位置合わせも可能なマークを実現することは、製造工程の工数削減や製品の品質向上の面で大きな課題であった。
【００１３】
また、従来のＰＤＰでは、製造時のディメンジョン用のチェックは抜き取り検査で行われ、不良が出てからその結果がフィードバックされるまで時間がかかり歩留まりの低下を招いていた。また、製造ラインにディメンジョン計測器を入れ検査を行うとコストが高くなるという課題があった。
【００１４】
本発明は、上記の課題を解決し、低コストでディメンジョン用のチェック検査を容易に行うことができ、歩留まりを向上させ、信頼性の高い高性能のＰＤＰを提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために本発明のＰＤＰは、隔壁が形成されたバックパネルとこのバックパネルと対向するフロントパネルとに挟まれた放電空間を有するＰＤＰにおいて、バックパネル、またはフロントパネルの表示領域外にディメンジョンチェック用パターンを形成した構成を有する。また、ディメンジョンチェック用パターンが、長さを示す目盛であり、更に、目盛が、スケール状目盛、或いはリミットゲージ状目盛である構成を有する。
【００１６】
これらの構成によって、隔壁の井桁状のリブの縦と横のディメンジョン、即ち、隔壁の縦横のリブの底部幅と頂部幅を容易にチェックすることができ、また、放電セルにおけるデータ電極の相対的位置やフロントパネルの表示電極の放電セルに対する相対位置を容易にチェックすることができ、従って、バックパネルとフロントパネルのアライメントを容易にチェックすることもできる。
【００１７】
また、本発明のＰＤＰは、バックパネルの表示領域外に形成されるディメンジョンチェック用パターンが、バックパネルを構成するデータ電極の形成時に用いるマスク、または隔壁露光時に用いるマスクに形成された構成を有する。また、ディメンジョンチェック用パターンが、バックパネルの外周周辺部の所定の部分、または周囲全域に複数形成した構成を有する。
【００１８】
この構成によって、非破壊で光学顕微鏡等により隔壁のディメンジョンを容易にチェックすることができ、特別な測定装置を用いることなくディメンジョンのチェック検査を容易に行うことができる。
【００１９】
また、本発明のＰＤＰは、ディメンジョンチェック用パターンが、フロントパネルを構成する表示電極の形成時に用いるマスクに形成された構成を有し、また、ディメンジョンチェック用パターンが、フロントパネルの外周周辺部の所定の部分、または周囲全域に複数形成した構成を有している。
【００２０】
この構成によって、バックパネルとフロントパネルのアライメントを容易にチェックすることができ、更に、バックパネルとフロントパネルを対向させて組み立てた状態で光学顕微鏡等を用いた非破壊により隔壁のディメンジョンを容易にチェックすることができ、特別な測定装置を用いることなくディメンジョンのチェック検査を容易に行うことができる。
【００２１】
また、本発明のＰＤＰは、隔壁が形成されたバックパネルの表示領域外に隔壁のテストパターン部を形成した構成を有している。
【００２２】
この構成によって、画像表示領域における隔壁の底部幅及び頂部幅と、表示領域外における隔壁のテストパターン部の底部幅及び頂部幅との相関を予めチェックしていれば、表示領域外における隔壁のテストパターン部の底部幅及び頂部幅を測定して、画像表示領域内の隔壁の底部幅及び頂部幅を容易にチェックすることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて詳しく説明する。
【００２４】
図１及び図２は、本発明の実施の形態におけるＰＤＰを説明するための図であり、図１はＰＤＰのパネルの構造を説明する破断部分斜視図、図２はＰＤＰの構造を概略説明する上面概念図である。尚、図１及び図２において、従来の図４における構成要素と対応する要素には、図４における符号と同じ符号を付している。
【００２５】
図１において、ガラス基板等の透明な前面側基板１上には、放電ギャップをあけて平行に配置された走査電極２と維持電極３とで対をなすストライプ状の表示電極４が複数対形成されている。この走査電極２及び維持電極３は、それぞれ例えば、ＩＴＯや酸化スズ（ＳｎＯ２）等からなる透明電極２ａ、３ａと、この透明電極２ａ、３ａに電気的に接続された、例えば、銀（Ａｇ）等の厚膜や、また例えば、アルミニウム（Ａｌ）薄膜やクロム／銅／クロム（Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ）等の積層薄膜によるバス電極２ｂ、３ｂとから構成されている。また、前面側基板１には、複数対の表示電極４群を覆うように、例えば、低融点ガラス等からなる誘電体層５が形成され、その誘電体層５上には、例えば、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護膜６が形成され、これらによりフロントパネル７が構成されている。
【００２６】
また、前面側基板１に対向配置される背面側基板８上には、前面側基板１上の走査電極２及び維持電極３からなる表示電極４と直交する方向に、下地誘電体層９で覆われた複数のストライプ状のデータ電極１０が形成されている。この下地誘電体層９上には、データ電極１０と平行に、及び直交するようにそれぞれ所定のピッチで井桁状の複数の隔壁１１が隣接するデータ電極１０の間に配置され、この隔壁１１の側面及び下地誘電体層９の表面に蛍光体層１２が設けられ、これらによりバックパネル１３が構成されている。
【００２７】
これらのフロントパネル７とバックパネル１３は、走査電極２及び維持電極３からなる表示電極４とデータ電極１０とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周囲が封止されており、更に、放電空間には、放電ガスとして、例えば、ネオン（Ｎｅ）とキセノン（Ｘｅ）の混合ガスが充填されている。本発明の実施の形態では、放電ガスはおよそ６６．５ｋＰａ（５００Ｔｏｒｒ）の圧力で充填した。尚、放電ガスの種類、充填圧は、ここに示した例に限定されるものではない。また、放電空間は、隔壁１１によって複数の区画に縦横に仕切られることにより、表示電極４とデータ電極１０との交点が位置する複数の放電セル１４が設けられ、各放電セル１４には、放電による紫外線で赤色、緑色及び青色にそれぞれ励起、発光する蛍光体層１２が一色ずつ順次配置されて、ＰＤＰ１５を構成している。
【００２８】
このＰＤＰ１５において、図２に示すように、電極はマトリックス構成であり、列方向には複数のデータ電極が配列されており、行方向には複数の走査電極及び維持電極が配列されており、電極間に数十ｋＨｚ〜数百ｋＨｚのＡＣ電圧を印加して放電空間に放電を発生させ、励起された放電ガス中のキセノン（Ｘｅ）原子からの紫外線によって蛍光体層１２を励起することにより可視光を発生させて表示動作を行っている。
【００２９】
また、画像表示領域Ａは、表示電極４とデータ電極１０との交点が位置する複数の放電セル１４で構成される領域であり、この画像表示領域Ａにおいて画像が表示されることになる。
【００３０】
図２に示すように、ＰＤＰ１５の画像表示領域Ａの外側の表示領域外Ｂに画像表示領域Ａ内の隔壁１１を延長して隔壁のテストパターン部１１ａを形成し、その周辺の複数の所定の部分Ｃに長さを表すディメンジョンチェック用パターン１６を形成する。尚、隔壁のテストパターン部１１ａ及びディメンジョンチェック用パターン１６の両方を設けることに限ることはなく、ディメンジョンチェック用パターン１６のみを設けても良い。また、ディメンジョンチェック用パターン１６は、データ電極１０を形成する時に用いるマスクに形成しても良いし、或いは、放電セル１４を区切る隔壁１１のリブ露光時に用いるマスクに形成しても良い。
【００３１】
隔壁のテストパターン部１１ａとディメンジョンチェック用パターン１６を設けることによって、非破壊で光学顕微鏡等により隔壁１１のディメンジョンをチェックすることができる。即ち、隔壁１１の井桁状のリブの縦と横のディメンジョン、即ち、隔壁１１の縦横のリブの底部幅ｗ１と頂部幅ｗ２をチェックすることができ、底部幅ｗ１をチェックすることによって、輝点の発生や不灯の原因となる隔壁１１のリブ欠けやはがれの発生を検出することができ、また、頂部幅ｗ２のチェックによって、隣接する放電セル１４への放電の拡散、誤放電や不灯の発生の原因となる隔壁１１頂部近傍のリブ欠けやはがれの発生を検出することができ、或いは、輝度低下の原因となる放電セル１４の空間の大きさを検出することができ、信頼性を向上させることにつながる。尚、隔壁１１の底部幅ｗ１及び頂部幅ｗ２について、画像表示領域Ａにおける隔壁１１の底部幅ｗ１及び頂部幅ｗ２と、表示領域外Ｂにおける隔壁のテストパターン部１１ａの底部幅ｗ１及び頂部幅ｗ２との相関を予めチェックしておくことによって、表示領域外Ｂにおける隔壁のテストパターン部１１ａの底部幅ｗ１及び頂部幅ｗ２を測定して、画像表示領域Ａ内の隔壁１１の底部幅ｗ１及び頂部幅ｗ２をチェックすることができる。
【００３２】
また、隔壁のテストパターン部１１ａとディメンジョンチェック用パターン１６を用いて、放電セル１４におけるデータ電極１０の相対的位置、即ち隔壁１１に挟まれたデータ電極１０が両側の隔壁１１の略中央を横切っていることをチェックすることができる。また、フロントパネル７における表示電極４の放電セル１４に対する相対位置をチェックすることができ、バックパネル１３とフロントパネル７のアライメントをチェックすることもできる。
【００３３】
図２の部分Ｃに相当するディメンジョンチェック用パターン１６の例を図３に部分拡大図で示す。ディメンジョンチェック用パターン１６は、図３（ａ）に示すように、長さを表すスケール状目盛としても良く、或いは、図３（ｂ）に示すように、規格の最大・最小幅を表すリミットゲージ状目盛を入れても良い。
【００３４】
尚、ディメンジョンチェック用パターン１６は、図２に示すように、バックパネル１３における外周周辺部の複数個所の所定の部分に形成しても良く、或いは、表示領域外Ｂの外周部周辺の周囲全域に設けても良い。
【００３５】
また、バックパネル１３側にディメンジョンチェック用パターン１６を形成しているが、何らこれに限ることはなく、フロントパネル７側に形成しても良い。尚、フロントパネル７側に設けられるディメンジョンチェック用パターンは、上述のバックパネル１３側に設けられたディメンジョンチェック用パターン１６と同様に、表示電極４用のマスクに形成しても良いのは言うまでもない。
【００３６】
また、バックパネル１３側とフロントパネル７側の両側にディメンジョンチェック用パターンを形成する構成としても良く、バックパネル１３側とフロントパネル７側の両側に形成することによっても、バックパネル１３とフロントパネル７のアライメントをチェックすることができる。尚、バックパネル１３側とフロントパネル７側の両側に形成する場合には、バックパネル１３側のディメンジョンチェック用パターン１６とフロントパネル７側のディメンジョンチェック用パターンが前面側基板１及び背面側基板８の平面に垂直な方向において重複しない位置に形成することが望ましい。
【００３７】
以上説明したように本発明の実施の形態によれば、隔壁の井桁状のリブの縦と横、或いは放電セルのディメンジョンを容易にチェックすることができ、更に、放電セルにおけるデータ電極の相対的位置及び放電セルに対するフロントパネルの表示電極の相対位置を容易にチェックすることができ、発光強度や表示画面上の明るさムラの発生を抑制することができ、低コストでディメンジョン用のチェック検査を容易に行うことができるという効果が得られ、従って、低コストでディメンジョン用のチェック検査を容易に行うことができるということから、抜き取り検査の間隔を短縮して、検査頻度を増加させても大きなコストを必要とせず、ＰＤＰ製造における歩留まりを向上させることができ、信頼性の高い高性能のＰＤＰを実現することができる。
【００３８】
また、バックパネル及びフロントパネルの少なくともいずれか一方にディメンジョンチェック用パターンを設けることによって、バックパネルとフロントパネルのアライメントを容易にチェックすることができ、ＰＤＰの製造過程における抜き取り検査の間隔を短縮して、検査頻度を増加させても大きなコストを必要とせず、ＰＤＰ製造における歩留まりを向上させることができるという効果が得られる。また、画像表示領域のそれぞれの放電セルにおけるディメンジョンがバラツキの少ない、安定したものとなり、それぞれの放電セルにおける輝度が一様となり、更に、放電効率が向上したＰＤＰを実現することができる。
【００３９】
【発明の効果】
以上のように本発明は、前面側基板、表示電極、誘電体層及び保護層により構成されるフロントパネルと背面側基板、データ電極、下地誘電体層、隔壁及びＲＧＢの蛍光体層で構成されるバックパネルが、表示電極とデータ電極とが直交するように、微小な放電空間を挟んで対向配置されるとともに、周囲が封止され、そして放電空間には、放電ガスが充填されて構成されたＰＤＰにおいて、ＰＤＰの表示領域外に画像表示領域内の隔壁を延長して表示領域外に隔壁のテストパターン部を形成し、バックパネル或いはフロントパネルの少なくともいずれか一方の周辺における複数の所定の部分或いは全周にディメンジョンチェック用パターンを形成した構成を有するＰＤＰとしたものである。
【００４０】
このようなＰＤＰの構成とすることによって、隔壁の井桁状リブの縦と横、或いは放電セルのディメンジョンをチェックすることができ、更に、放電セルに対する表示電極、或いはデータ電極の相対的位置をチェックすることができ、また、バックパネルとフロントパネルのアライメントをチェックすることもできる。従って、低コストでディメンジョン用のチェック検査を行うことができるため、ＰＤＰの製造工程における抜き取り検査の間隔を短縮して、検査頻度を増加させても大きなコストを必要とせず、ＰＤＰ製造における歩留まりを向上させることができ、信頼性の高い高性能のＰＤＰを実現することができるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態におけるＰＤＰのパネルの構造を説明する破断部分斜視図
【図２】本発明の実施の形態におけるＰＤＰの構造を概略説明する上面概念図
【図３】本発明の実施の形態におけるディメンジョンチェック用パターンの例を示す部分拡大図
【図４】従来のＰＤＰの電極配列を上面から見て示す概念図
【符号の説明】
１  前面側基板
２  走査電極
２ａ，３ａ  透明電極
２ｂ，３ｂ  バス電極
３  維持電極
４  表示電極
５  誘電体層
６  保護層
７  フロントパネル
８  背面側基板
９  下地誘電体層
１０  データ電極
１１  隔壁
１１ａ  隔壁のテストパターン部
１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ  （最外周部）隔壁
１２  蛍光体層
１３  バックパネル
１４  放電セル
１５，４１  ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）
１６  ディメンジョンチェック用パターン
４２，４３  位置合わせマーク
Ａ  画像表示領域
Ｂ  表示領域外
ｗ１  底部幅
ｗ２  頂部幅
【図１】
2005019010.tif 000003
【図２】
2005019010.tif 000004
【図３】
2005019010.tif 000005
【図４】
2005019010.tif 000006