(57)【要約】【課題】複数の機能を備えるモジュール式テスタ用モジュールにおいて、所要のトリガ受信用端子を確保する。【解決手段】モジュール式テスタに内蔵されるモジュールにおいて、トリガ信号用のトリガバスと、サブモジュールとを備え、該サブモジュールは、該トリガバスから該トリガ信号を受信する端子と、該トリガバスに該トリガ信号を出力する端子とを具備する少なくとも１つのサブモジュールとを具備し、該サブモジュールのうち少なくとも１つは、モジュール外部から与えられる該トリガ信号を測定信号用端子もしくは被測定信号用端子において受信し、受信した該トリガ信号を該出力端子を介してトリガバスへ出力する。【選択図】図３
2005265619.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モジュール式テスタに内蔵されるモジュールであって、
トリガ信号を受信できるようにした測定信号用端子、または、該トリガ信号を受信できるようにした被測定信号用端子を備えることを特徴とするモジュール。
【請求項２】
モジュール式テスタに内蔵されるモジュールであって、
トリガ信号用のトリガバスと、
測定信号用端子もしくは被測定信号用端子を具備し、モジュール外部から与えられる該トリガ信号を該測定信号用端子もしくは該被測定信号用端子において受信し、受信した該トリガ信号を該トリガバスへ出力するサブモジュールと、
を備えることを特徴とするモジュール。
【請求項３】
モジュール式テスタに内蔵されるモジュールであって、
トリガ信号用のトリガバスと、
該トリガバスから該トリガ信号を受信する複数のサブモジュールと、
を備えることを特徴とするモジュール。
【請求項４】
前記サブモジュールのうち少なくとも１つは、測定信号用端子もしくは被測定信号用端子を具備し、モジュール外部から与えられる該トリガ信号を該測定信号用端子もしくは該被測定信号用端子において受信し、受信した該トリガ信号を該トリガバスへ出力する、
ことを特徴とする請求項３に記載のモジュール。
【請求項５】
モジュール式テスタに内蔵されるモジュールであって、トリガ信号用のトリガバスと、モジュール外部から該トリガ信号を受信し該トリガバスに出力するサブモジュールと、該トリガバスから該トリガ信号を受信するサブモジュールとを備えるモジュールにおいて、該サブモジュールの応答タイミングを校正する方法であって、
該トリガ信号を発生し、モジュールに入力するステップと、
該トリガ信号を実際に使用するサブモジュールのそれぞれにおいて受信される該トリガ信号の位相または伝搬遅延量を調べるステップと、
調べた該位相または該伝搬遅延量に応じて該トリガ信号を遅延させるステップと、
を含むタイミング校正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モジュール式テスタに内蔵されるモジュール係り、特にトリガ信号を受信するモジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のモジュール式テスタの一例である半導体テスタは、テストヘッド、その他の測定装置、冷却装置、および、電源装置などを備える。半導体テスタの一部であるテストヘッドは、被測定物と接触し、測定するための装置である（例えば、特許文献１を参照。）。ここで、テストヘッドを図１に示す。図１において、テストヘッド２００は、被測定物１００の端子（不図示）と電気的に接続される複数のモジュールを備える。図１において、その複数のモジュールの一例として、モジュール２１０、モジュール２２０、および、モジュール２３０が示されている。
【０００３】
次に、図２を参照する。図２は、モジュール２１０の内部構成を示す図である。図２において、モジュール２１０は、被測定物１００からの信号を受信するための信号入力端子２１１と、端子２１１に接続されたマルチプレクサ２１２と、アナログ・ディジタル変換器２１３と、トリガ信号入力端子２１４と、クロック信号源２１５とを備える。信号入力端子２１１で受信した被測定信号は、マルチプレクサ２１２により選択されて、アナログ・ディジタル変換器２１３に供給される。被測定物１００または他の装置などから供給されるトリガ信号は、トリガ信号入力端子２１４を介してクロック信号源２１５に供給される。クロック信号源２１５は、入力されるトリガ信号に応じてクロック信号をアナログ・ディジタル変換器２１３へ出力する。そして、アナログ・ディジタル変換器２１３は、供給されるクロック信号に応じて被測定信号を変換する。
【０００４】
【特許文献１】特表２００１−５１２５７５号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、半導体テスタは、複数の被測定物を同時に測定するマルチサイトテストが実施できることが要求されている。マルチサイトテストを実現しようとした場合、例えば、モジュール内に複数の機能を備える必要がある。図２に示すモジュール２１０を例に説明すると、モジュール２１０は、マルチプレクサ２１２が除去され、複数のアナログ・ディジタル変換器が入力端子２１１に直結されるようになる。被測定物１００とモジュール２１０との間でやりとりされる信号数には、被測定物１００からの信号である被測定信号、被測定物１００に印加する信号である測定信号、および、トリガ信号がある。上記のようにモジュール２１０内に複数の機能を備えると、トリガ信号線の数が増加する。一方、図１に示すテストヘッド２００は、被測定物１００と電気的に接触するための端子（不図示）を複数有する。そして、その端子数は、互換性を維持するために固定されている。従って、その固定された端子数は、被測定物とモジュールとの間でやりとりされるべきトリガ信号線の数を制限し、結果として、マルチサイトテストを困難なものにしている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものである。すなわち、本第一の発明は、モジュール式テスタに内蔵されるモジュールであって、トリガ信号を受信できるようにした測定信号用端子、または、該トリガ信号を受信できるようにした被測定信号用端子を備えることを特徴とするものである。
【０００７】
また、本第二の発明は、モジュール式テスタに内蔵されるモジュールであって、トリガ信号用のトリガバスと、測定信号用端子もしくは被測定信号用端子を具備し、モジュール外部から与えられる該トリガ信号を該測定信号用端子もしくは該被測定信号用端子において受信し、受信した該トリガ信号を該トリガバスへ出力するサブモジュールとを備えることを特徴とするものである。
【０００８】
さらに、本第三の発明は、モジュール式テスタに内蔵されるモジュールであって、トリガ信号用のトリガバスと、該トリガバスから該トリガ信号を受信する複数のサブモジュールとを備えることを特徴とするものである。
【０００９】
またさらに、本第四の発明は、本第三の発明のモジュールにおいて、前記サブモジュールのうち少なくとも１つは、測定信号用端子もしくは被測定信号用端子を具備し、モジュール外部から与えられる該トリガ信号を該測定信号用端子もしくは該被測定信号用端子において受信し、受信した該トリガ信号を該トリガバスへ出力することを特徴とするものである。
【００１０】
また、本第五の発明は、モジュール式テスタに内蔵されるモジュールであって、トリガ信号用のトリガバスと、モジュール外部から該トリガ信号を受信し該トリガバスに出力するサブモジュールと、該トリガバスから該トリガ信号を受信するサブモジュールとを備えるモジュールにおいて、該サブモジュールの応答タイミングを校正する方法であって、該トリガ信号を発生し、モジュールに入力するステップと、該トリガ信号を実際に使用するサブモジュールのそれぞれにおいて受信される該トリガ信号の位相または伝搬遅延量を調べるステップと、調べた該位相または該伝搬遅延量に応じて該トリガ信号を遅延させるステップとを含むものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、モジュール式テスタの互換性を保ちながら、より多くの機能をモジュール式テスタ用モジュールに備えたうえで、それらの機能を同時に利用することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の実施形態を、添付の図面を適宜参照しながら、以下に説明する。本発明の第一の実施形態は、モジュール式テスタに備えられるモジュールである。ここで、図３を参照する。図３は、被測定物１００を測定するためのテストヘッド２００を示すブロック図である。図３において、テストヘッド２００は、被測定物１００と電気的に接続されるモジュール３００を備える。モジュール３００は、サブモジュール４００と、サブモジュール５００と、サブモジュール６００と、サブモジュール７００と、トリガバス８００とを備える。また、モジュール３００は、端子３１１、端子３１２、端子３１３、端子３１４、端子３１５、端子３１６、端子３１７、および、端子３１８とを備える。端子３１１、端子３１２、端子３１３、端子３１４、端子３１５、端子３１６、端子３１７、および、端子３１８は、被測定物１００などと電気的に接続される。
【００１３】
サブモジュール４００は、アナログ・ディジタル変換器４２１と、アナログ・ディジタル変換器４２２と、クロック信号源４３０と、コンパレータ４４０と、スイッチ４５１と、スイッチ４５２とを具備する。また、サブモジュール４００は、端子４１１と、端子４１２と、端子４１３と、端子４１４とを具備する。端子４１１は、端子３１１に接続され、端子３１１で受信した被測定信号をアナログ・ディジタル変換器４２１へ供給する。端子４１２は、端子３１２に接続され、端子３１２で受信した被測定信号またはトリガ信号をスイッチ４５１へ供給する。スイッチ４５１は、端子４１２からの信号をアナログ・ディジタル変換器４２２またはスイッチ４５２へ供給する。スイッチ４５２は、スイッチ４５１からの信号または端子４１３からの信号のどちらかをコンパレータ４４０へ供給する。端子４１３は、スイッチ８４１を介してトリガ信号線８１０と、スイッチ８４２を介してトリガ信号線８２０とに、接続されている。トリガ信号線８１０およびトリガ信号線８２０は、トリガバス８００を構成する信号線である。コンパレータ４４０は、入力信号をある閾値に基づいて判定し、判定結果を出力する。コンパレータ４４０の出力信号は、クロック信号源４３０および端子４１４へ供給される。端子４１４は、スイッチ８４３を介してトリガ信号線８１０と、スイッチ８４４を介してトリガ信号線８２０とに、接続されている。クロック信号源４３０は、コンパレータ４４０の出力信号に応答して、クロック信号をアナログ・ディジタル変換器４２１およびアナログ・ディジタル変換器４２２に供給し始める。
【００１４】
サブモジュール５００は、アナログ・ディジタル変換器５２１と、アナログ・ディジタル変換器５２２と、クロック信号源５３０と、コンパレータ５４０と、スイッチ５５１と、スイッチ５５２とを具備する。また、サブモジュール５００は、端子５１１と、端子５１２と、端子５１３と、端子５１４とを具備する。端子５１１は、端子３１３に接続され、端子３１３で受信した被測定信号をアナログ・ディジタル変換器５２１へ供給する。端子５１２は、端子３１４に接続され、端子３１４で受信した被測定信号またはトリガ信号をスイッチ５５１へ供給する。スイッチ５５１は、端子５１２からの信号をアナログ・ディジタル変換器５２２またはスイッチ５５２へ供給する。スイッチ５５２は、スイッチ５５１からの信号または端子５１３からの信号のどちらかをコンパレータ５４０へ供給する。端子５１３は、スイッチ８５１を介してトリガ信号線８１０と、スイッチ８５２を介してトリガ信号線８２０とに、接続されている。コンパレータ５４０は、入力信号をある閾値に基づいて判定し、判定結果を出力する。コンパレータ５４０の出力信号は、クロック信号源５３０および端子５１４へ供給される。端子５１４は、スイッチ８５３を介してトリガ信号線８１０と、スイッチ８５４を介してトリガ信号線８２０とに、接続されている。クロック信号源５３０は、コンパレータ５４０の出力信号に応答して、クロック信号をアナログ・ディジタル変換器５２１およびアナログ・ディジタル変換器５２２に供給し始める。
【００１５】
サブモジュール６００は、ディジタル・アナログ変換器６２１と、ディジタル・アナログ変換器６２２と、クロック信号源６３０と、コンパレータ６４０と、スイッチ６５１と、スイッチ６５２とを具備する。また、サブモジュール６００は、端子６１１と、端子６１２と、端子６１３と、端子６１４とを具備する。端子６１１は、端子３１５に接続され、ディジタル・アナログ変換器６２１が出力する測定信号を端子３１５へ供給する。端子６１２は、端子３１６に接続され、ディジタル・アナログ変換器６２２が出力する測定信号を端子３１６へ供給する。また、端子６１２は、端子３１６で受信したトリガ信号をスイッチ６５１へ供給する。スイッチ６５１は、端子６１２をディジタル・アナログ変換器６２２またはスイッチ６５２のいずれかと導通させる。スイッチ６５２は、スイッチ６５１からの信号または端子６１３からの信号のどちらかをコンパレータ６４０へ供給する。端子６１３は、スイッチ８６１を介してトリガ信号線８１０と、スイッチ８６２を介してトリガ信号線８２０とに、接続されている。コンパレータ６４０は、入力信号をある閾値に基づいて判定し、判定結果を出力する。コンパレータ６４０の出力信号は、クロック信号源６３０および端子６１４へ供給される。端子６１４は、スイッチ８６３を介してトリガ信号線８１０と、スイッチ８６４を介してトリガ信号線８２０とに、接続されている。クロック信号源６３０は、コンパレータ６４０の出力信号に応答して、クロック信号をディジタル・アナログ変換器６２１およびディジタル・アナログ変換器６２２に供給し始める。
【００１６】
サブモジュール７００は、ディジタル・アナログ変換器７２１と、ディジタル・アナログ変換器７２２と、クロック信号源７３０と、コンパレータ７４０と、スイッチ７５１と、スイッチ７５２とを具備する。また、サブモジュール７００は、端子７１１と、端子７１２と、端子７１３と、端子７１４とを具備する。端子７１１は、端子３１７に接続され、ディジタル・アナログ変換器７２１が出力する測定信号を端子３１７へ供給する。端子７１２は、端子３１８に接続され、ディジタル・アナログ変換器７２２が出力する測定信号を端子３１８へ供給する。また、端子７１２は、端子３１８で受信したトリガ信号をスイッチ７５１へ供給する。スイッチ７５１は、端子７１２をディジタル・アナログ変換器７２２またはスイッチ７５２のいずれかと導通させる。スイッチ７５２は、スイッチ７５１からの信号または端子７１３からの信号のどちらかをコンパレータ７４０へ供給する。端子７１３は、スイッチ８７１を介してトリガ信号線８１０と、スイッチ８７２を介してトリガ信号線８２０とに、接続されている。コンパレータ７４０は、入力信号をある閾値に基づいて判定し、判定結果を出力する。コンパレータ７４０の出力信号は、クロック信号源７３０および端子７１４へ供給される。端子７１４は、スイッチ８７３を介してトリガ信号線８１０と、スイッチ８７４を介してトリガ信号線８２０とに、接続されている。クロック信号源７３０は、コンパレータ７４０の出力信号に応答して、クロック信号をディジタル・アナログ変換器７２１およびディジタル・アナログ変換器７２２に供給し始める。
【００１７】
図３において、スイッチ４５１は、ａ２側を選択している。スイッチ４５２は、ｂ１側を選択している。スイッチ８４４およびスイッチ８５２は、ＯＮしている。スイッチ５５１は、ｃ１側を選択している。スイッチ５５２は、ｄ２側を選択している。これらのスイッチの選択により、破線矢印ｐ１が示すように、端子３１２で受信するトリガ信号は、サブモジュール４００を介してトリガバス８２０に供給され、さらに、サブモジュール５００に供給される。また、スイッチ６５１は、ｅ２側を選択している。スイッチ６５２は、ｆ１側を選択している。スイッチ８６３およびスイッチ８７１は、ＯＮしている。スイッチ７５１は、ｇ１側を選択している。スイッチ７５２は、ｈ２側を選択している。これらのスイッチの選択により、破線矢印ｐ２が示すように、端子３１６で受信するトリガ信号は、サブモジュール６００を介してトリガバス８１０に供給され、さらに、サブモジュール７００に供給される。この場合、３つのアナログ・ディジタル変換と３つのディジタル・アナログ変換を同時に実施することができる。
【００１８】
次に、図４を参照する。図４は、図３と同一構成のテストヘッド２００を示す図である。図３と図４との相違は、内部のスイッチの選択状態である。従って、図４において、図３と同一の構成要素については、同一の参照符号を付して、詳細な説明を省略する。図４において、スイッチ４５１は、ａ２側を選択している。スイッチ４５２は、ｂ１側を選択している。スイッチ８４４およびスイッチ８５２は、ＯＮしている。スイッチ５５１は、ｃ１側を選択している。スイッチ５５２は、ｄ２側を選択している。スイッチ６５１は、ｅ１側を選択している。スイッチ６５２は、ｆ２側を選択している。スイッチ８６２およびスイッチ８７２は、ＯＮしている。スイッチ７５１は、ｇ１側を選択している。スイッチ７５２は、ｈ２側を選択している。これらのスイッチの選択により、破線矢印ｐ３が示すように、端子３１２で受信するトリガ信号は、サブモジュール４００を介してトリガバス８２０に供給され、さらに、サブモジュール５００とサブモジュール６００とサブモジュール７００とに供給される。この場合、３つのアナログ・ディジタル変換と４つのディジタル・アナログ変換を同時に実施することができる。
【００１９】
もし、トリガ信号のための専用端子をモジュール３００に設けた場合、モジュール３００は最大で４つしか同時に変換処理できない。本発明では、モジュール３００は、必要な数だけ被測定信号用の端子または測定信号用の端子をトリガ端子として利用するようにしたので、モジュール３００内に複数の機能（サブモジュール）を備えた場合であっても、それらの機能（サブモジュール）を効果的に使用することができる。
【００２０】
ところで、モジュール３００が複数の機能（サブモジュール）を備えると、その機能によっては、必ずトリガ端子が必要とされる場合がある。その場合、モジュールにトリガ専用端子を設けるようにしても良い。
【００２１】
ここで、本発明の第二の実施形態として、トリガ専用端子を具備するモジュールについて説明する。ここで、図５を参照する。図５は、被測定物１００を測定するためのテストヘッド２００を示すブロック図である。なお、図５において、図３と同一の構成要素については、同一の参照符号を付して、詳細な説明を省略する。モジュール９００は、図３に示すモジュール３００にトリガ信号用の専用端子３２０が付加されたものである。トリガ端子３２０は、スイッチ８８１を介してトリガ信号線８１０と、スイッチ８８２を介してトリガ信号線８２０とに接続されている。トリガ端子３２０は、被測定物１００などと電気的に接続される。
【００２２】
以上に説明したように、必要最小限のトリガ端子をモジュール９００に備えるようにしたので、測定信号または被測定信号とトリガ信号とを扱う端子を削減し、構成を簡素化することができる。もちろん、他の幾つかの端子は、測定信号または被測定信号とトリガ信号とを扱えるようにしているので、第一の実施形態と同様に、モジュール９００内に備えられた複数の機能（サブモジュール）を効果的に使用することができる。
【００２３】
以上に説明した２つの実施形態において、コンパレータ４４０、コンパレータ５４０、コンパレータ６４０、および、コンパレータ７４０は、バッファであっても良い。
【００２４】
さて、以上に説明したように、本発明のモジュールは、内部にトリガバスを設けてトリガ信号をサブモジュール間で送受するので、ある端子で受信したトリガ信号に対する各サブモジュールの応答タイミングが、スイッチの選択状態により複雑に変化する。そこで、スイッチの選択状態が確定した後でタイミング校正を行う。校正は、以下の手順に従う。すなわち、実際に使用予定の端子のそれぞれにトリガ信号を入力し、トリガ信号を実際に使用するサブモジュールのそれぞれにおいて受信されるトリガ信号の位相または伝搬遅延量を調べ、調べたトリガ信号の位相または伝搬遅延量に応じてサブモジュールがトリガ信号に応答するタイミングを調整する。応答タイミングの調整は、トリガ信号を遅延させて行う。例えば、図３において、コンパレータ４４０とクロック信号源との間に制御可能な遅延素子を挿入すると良い。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】従来の半導体テスタを示すブロック図である。
【図２】従来の半導体テスタ内に備えられるモジュールを示すブロック図である。
【図３】本発明の第一の実施形態であるモジュール３００を示すブロック図である。
【図４】本発明の第一の実施形態であるモジュール３００を示すブロック図である。
【図５】本発明の第二の実施形態であるモジュール９００を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００２６】
１００  被測定物
２００  テストヘッド
３００，９００  モジュール
４００，５００，６００，７００  サブモジュール
８００  トリガバス
【図１】
2005265619.tif 000003
【図２】
2005265619.tif 000004
【図３】
2005265619.tif 000005
【図４】
2005265619.tif 000006
【図５】
2005265619.tif 000007