(57)【要約】【課題】ガスの噴射を不用とした液式洗浄乾燥装置を提供すること。【解決手段】吸引口３ａを上方にして配置され、駆動モータ１１に接続されて回転軸６により回転駆動されるシロッコファン３と、シロッコファン３の回転軸を対称点とするようにワークをシロッコファン３の内部領域に保持する固定具１３と、ワークに洗浄液を噴射するノズル１４、１５とを備え、洗浄液の照射中は遠心力よる強い流れを作用させてワークの表面を洗浄し、洗浄の照射が終了した段階では、遠心力により表面の洗浄液を除去し、ファン３による強い気流により急速に乾燥させる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動手段より回転駆動され、吸引口を上方にして配置されたシロッコファンの回転軸を対称点とするようにワークを保持して、前記シロッコファンを回転させながら前記ワークに洗浄液を噴射して洗浄する工程と、前記洗浄液の噴射を停止して前記シロッコファンを回転させてワークを乾燥させる工程とからなる液式洗浄乾燥方法。
【請求項２】
吸引口を上方にして配置され、駆動手段に接続されて回転軸により回転駆動されるシロッコファンと、前記シロッコファンの回転軸を対称点とするようにワークを前記シロッコファンの内部領域に保持するワーク固定手段と、前記ワークに洗浄液を噴射する洗浄液散布手段と、を備えた液式洗浄乾燥装置。
【請求項３】
前記回転軸が中空体として構成され、前記回転軸を通じて前記洗浄液を前記ワークの下面に噴射する洗浄液散布手段を備えた請求項２に記載の液式洗浄乾燥装置。
【請求項４】
前記シロッコファンのファンケーシングに通気量を調整するためのシャッタが設けられている請求項２に記載の液式洗浄乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品やこれを構成する材料を純水などの洗浄液で洗浄すると共に、洗浄後に乾燥させるための液式洗浄乾燥技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品やこれを構成する材料を液により洗浄する装置は、例えば特許文献１に見られるように被洗浄物を回転させながら液洗いし、液洗の後に被洗浄物を高速回転させて遠心力により液を被洗浄物から排除し、引き続いガスを被洗浄物に噴射して洗浄液を確実に被洗浄物から排除することが行われている。
【特許文献１】特開平７−３７８５５号公報
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
これによれば、洗浄液の排除が容易に行えるものの、少なくとも塵埃や油分を含まない高圧ガス発生装置が必要となり、コストが上昇するばかりでなく、ガスを被洗浄物に確実に照射の部材が余分に必要となり構造が複雑化するという問題がある。
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、ガスの噴射を不用とした液式洗浄乾燥装置を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
このような問題を解消するために請求項１の発明においては、駆動手段より回転駆動され、吸引口を上方にして配置されたシロッコファンの回転軸を対称点とするようにワークを保持して、前記シロッコファンを回転させながら前記ワークに洗浄液を噴射して洗浄する工程と、前記洗浄液の噴射を停止して前記シロッコファンを回転させてワークを乾燥させる工程とを備えるようにした。
また、請求項２の発明においては、吸引口を上方にして配置され、駆動手段に接続されて回転軸により回転駆動されるシロッコファンと、前記シロッコファンの回転軸を対称点とするようにワークを前記シロッコファンの内部領域に保持するワーク固定手段と、前記ワークに洗浄液を噴射する洗浄液散布手段と、を備えように構成されている。
【０００５】
【作用】
洗浄液の照射中は遠心力よる強い流れを作用させてワークの表面を洗浄し、洗浄の照射が終了した段階では、遠心力により表面の洗浄液を除去し、ファンによる強い気流により急速に乾燥させる。
また、シロッコファンの内部にワークを配置するため、洗浄中の洗浄液は、翼に当たってワークが存在しない方向に飛散し、ワークへの跳ね返りを確実の防止でき、また周囲の翼の慣性により、可及的に動的バランスを維持して振動の発生を抑制できる。
【０００６】
【発明の実施の態様】
そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例に基づいて説明する。
図１乃至図３は、本発明の液式洗浄乾燥装置の一実施例を示すものであって、上部に開口１を有する筐体２には、吸引口３ａが上部となるようにしてシロッコファン３が配置されている。
シロッコファン３は、筐体２に設けられた基台４に防振材４ａを介して支持された基板５に、回転軸６を基板５の下方に突出させるように軸受け７を介して取り付けられている。
シロッコファン３は、周知のように回転円板３ｂの周縁部に翼３ｃを等間隔に複数枚固定し、その外周にファンケーシング８を配置して構成されている。
【０００７】
回転軸６は、中心軸に貫通孔６ａを有するパイプにより構成され、その下端がプーリ９を固定されてベルト１０を介して駆動モータ１１に接続され、また上部は基板５から被洗浄物が翼３ｃの高さ方向の領域内に位置する程度まで突出され、突出した下部領域に回転円板３ｂが固定されている。
【０００８】
回転軸６の上端には貫通孔６ａを大気に開放するようにワーク載置台１２が固定され、またワーク載置台１２の表面にワークを所定距離上方に浮かせた状態で支持する固定具１３が回転中心に略対象に少なくとも３個設けられている。これらの固定具１３は、平板状のワークを回転円板３ｂに略平行に保持するように同一の高さを有している。シロッコファン３の回転中心の上方と下方にはそれぞれ洗浄液散布手段、この実施例では噴出用ノズル１４、１５が配置されている。
【０００９】
またファンケーシング８の排出口１６には、開度の調整が可能なシャッタ１７が配置され、その外側にファンケーシング８に接続された液溜部１８が配置されている。
【００１０】
この実施例において、ワークＷ、例えばウエファを固定具１３に取り付けて駆動モータ１１を作動させ、洗浄液噴出用ノズル１４、１５から純水などを洗浄液として連続的、または間欠的に噴射すると、上部の洗浄液噴出用ノズル１４からの洗浄液がウエファＷの上面に、また下部の洗浄液噴出用ノズル１５からの洗浄液が貫通孔６ａを通過してワークＷの下面に当たる。
【００１１】
回転状態のワークＷに当たった洗浄液は、遠心力を受けてウエファＷの表面を高速流下して塵埃等を洗い流し、翼３ｃにより吸引された大気の流れにも乗って外周の翼３ｃに到達する。
【００１２】
一方、シロッコファン３を構成している個々の翼３ｃは、図４に示したように径方向に対して斜めに配置されているため、翼３ｂに当たった洗浄液Ｃは中心方向に跳ね返ることなく、吸引口３ａから流れ込む大気の流れに吸引されてファンケーシング８に流れ込む。なお、シャッタ１７の開度を調節することにより、翼３ｃの吸引力を制限して、遠心力と大気の流れとを最適な状態に調整することもできる。
【００１３】
このようにして、所定時間が経過した時点で洗浄液の供給を停止するとともに、必要に応じてファンの回転数を上げながら所定時間さらに回転駆動する。これにより、ワークＷの表面に残留している洗浄液の液滴が強力な遠心力を受けて弾き飛ばされ、またシロッコファン３の開口３ａと、回転軸６の貫通孔６ａとから吸い込まれた空気がワークＷの表面及び裏面に当たって表裏の液を乾燥させる。
【００１４】
なお、ワークＷは、略回転中心に対称に配置され、また外周にはワークＷに比較して慣性の大きな翼３ｃが配置されいるから、可及的に動的バランスが取られ、振動が可及的に抑えられえる。なお、洗浄を実行する環境は、塵埃などが除去された空気が供給されているから、乾燥用の特別のガスを容易する必要がなく、乾燥の工程で塵埃が再付着することはない。
【００１５】
洗浄が終了した段階で、駆動モータ１１を停止させてワークＷを固定具１３から取り外す。
【００１６】
なお、上述の実施例では回転軸を翼を固定する回転円板よりも上方に突出させて固定具を配置しているが、図５に示したようにワークが翼に対向する領域に位置する程度の高さ（長さ）の固定具１３’を回転円板３ｂに直接設けても同様の作用を奏する。
【００１７】
また、上述の実施例では回転軸６の下部にノズル１５を配置しているが、図５に示したようにノズル１５に接続する管を回転軸６を貫通させてワークの直下まで延長してもよい。また、洗浄液散布手段としてノズルばかりでなく、シャワーを使用することもできる。
【００１８】
さらに、上述の実施例においては、ワークの表裏両面に洗浄液を噴射する場合について説明したが、プリント回路基板を被洗浄体とする場合には、一方の側、例えば上部にだけ噴射ノズルを配置しても同様の作用効果を奏することは明らかである。
プリント回路基板のように矩形状の物体であっても、上述したようにその周囲の側に慣性の大きな翼３ｃが存在するから、可及的にバランスを取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図（イ）、（ロ）は、それぞれ本発明の液式洗浄乾燥装置の一実施例を示す上面図と、要部を拡大して示す断面図である。
【図２】本発明の液式洗浄乾燥装置の一実施例を示す側面図である。
【図３】本発明の液式洗浄乾燥装置の一実施例を示す側面図である。
【図４】洗浄時の洗浄液の飛散状態を模式的に示す図である。
【図５】本発明の液式洗浄乾燥装置の他の実施例を、その要部を拡大して示す斜視図である。
【符号の説明】
１  開口
２  筐体
３  シロッコファン
３ａ  吸引口
３ｃ  翼
６  回転軸
６ａ  貫通孔
８  ファンケーシング
１３  固定具
１４、１５  洗浄液散布手段を構成する洗浄液噴出用ノズル
１７  シャッタ
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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