(57)【要約】【課題】  キャビティユニットの側面に対する被記録媒体及び払拭部材の衝突を、低コストで且つ容易な構造で防止できるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】  キャビティユニット１は、ノズルが穿設されたノズルプレートと、このノズルプレートの背面に配置されたスペーサプレートとを含む複数枚のプレートが積層されて構成され、キャビティユニット１を構成するプレートのうち、少なくともノズルプレートとスペーサプレートとを含む前面寄りの複数枚のプレートは、被記録媒体に対する相対移動方向の側端部のうち少なくとも被記録媒体の端縁に対して進入側となる側端部に、その他のプレートの側縁よりも外方に延長し且つ背面側に屈曲して形成された屈曲片を有している。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被記録媒体にインクを吐出するノズルが前面に備えられたキャビティユニットを有し、前記被記録媒体に対して相対的に移動するインクジェットヘッドにおいて、
前記キャビティユニットは、前記ノズルが穿設されたノズルプレートと、このノズルプレートの背面に配置されたスペーサプレートとを含む複数枚のプレートが積層されて構成され、
前記キャビティユニットを構成するプレートのうち、少なくとも前記ノズルプレートとスペーサプレートとを含む前面寄りの複数枚のプレートは、前記相対移動方向の側端部のうち少なくとも前記被記録媒体の端縁に対して進入側となる側端部に、その他のプレートの側縁よりも外方に延長し且つ背面側に屈曲して形成された屈曲片を有していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記屈曲片は、前記キャビティユニットのノズル面に対する払拭部材から、前記キャビティユニットにおける前記相対移動方向の側面を保護するように設けられていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記屈曲片を有する複数枚のプレートのうち、前記ノズルプレートは樹脂製で、その他のプレートは金属製であり、金属製プレートにおける屈曲片は、塑性変形により屈曲して形成され、樹脂製ノズルプレートの屈曲片は、金属製プレートの屈曲片に沿って貼り付けされていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記金属製プレートの屈曲片の基端部における背面側には、前記相対移動方向に直交する方向に沿って、背面側への屈曲を促す溝部が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記屈曲片を有する金属製プレートは、前記ノズルプレートのノズルの位置に対応して連通孔を有し、その金属製プレートとノズルプレートは、前記その他のプレートとの積層前に、あらかじめ一体化されて前記連通孔を通して前記ノズルプレートにノズルが加工されていることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被記録媒体に対して相対的に移動しながら、インクを吐出するインクジェットヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先行技術のインクジェットヘッドとしては、前面に設けられた複数個のノズル及びそのノズル毎に対応する圧力室等を備え複数のプレートを重ね接合して形成されたキャビティユニットと、このキャビティユニットの背面に積層され各圧力室を選択的に駆動してインクを吐出させる圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータに電気的信号を供給するフレキシブルフラットケーブルとを具備する構造が知られている。前記ノズルは、被記録媒体が移動する（搬送される）副走査方向（Ｘ方向）に沿って列状に配置されており、インクジェットヘッドが副走査方向に直交する主走査方向（Ｙ方向）に移動しながらインクを吐出することにより、被記録媒体に対して記録が行われる。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドでは、被記録媒体とノズル面との間隙は極めて狭く設定されているので、被記録媒体との間の相対的な移動に際して、キャビティユニットの側面に被記録媒体の先端が衝突し易い。衝突が生じると、移動が適正に行われないため、記録品質に悪影響を及ぼす。また、ノズル面に付着したインクや紙紛等を払拭して除去するために、払拭部材がノズル面を摺接するように設けられている。この払拭部材が摺接時にキャビティユニットの側面を擦ると、キャビティユニットとして接合されているプレートにそれを剥離させる力が働くとともに、払拭部材自体がキャビティユニットの端縁（エッジ等）で損傷する。
【０００４】
そのため、インクジェットヘッド（キャビティユニット）の側面を覆う構造として、本出願人は、特許文献１等にて、インクジェットヘッドの前面に、ノズルを露出する開口窓を有した保護カバープレートを取り付ける構造を示している。前記開口窓は、ノズルの列を露出するだけの大きさを有して、保護カバープレートの底部に穿設されている。そして、前記底部がインクジェットヘッドの前面側に重なるように保護カバープレートが取り付けられ、主走査方向と直交する当該ヘッドの側面は、別部品から突出した壁で覆われている。
【０００５】
また、本出願人は、特許文献２にて、インクジェットヘッドのノズルプレートの側端部を、インクジェットヘッドのホルダ（背面）側に折り曲げる構造を示している。この特許文献２では、最前面にノズルプレートを有する流路ユニット（キャビティユニットに相当）が、その背面側に配置されたホルダに、アクチュエータユニット、フレキシブルフラットケーブル及びインク溜まり等を介して固着されている。そして、ノズルプレートの側端部をホルダ側に折り曲げることにより、被記録媒体とインクジェットヘッドの側面との衝突を防止するだけでなく、フレキシブルフラットケーブルをホルダの外側に沿わせて安定的に保持することも目的としている。
【特許文献１】特開２００２−６７３４５号公報（図４参照）
【特許文献２】特開２００３−３１１９５３号公報（図３及び図１２参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の構造では、保護カバープレートを付加し、ノズル列が露出するように保護カバープレートとインクジェットヘッドとを接着固定しているため、部品コストが嵩み、その取り付けのために製造工程も増えるという課題を有している。
【０００７】
一方、特許文献２の構造は、既存のノズルプレートの側端部を活用して、部品コストの低減を図っている。しかし、前記ノズルプレートの折り曲げ部分は、ホルダの外側に沿うように設けられるから、前記折り曲げの形成は、流路ユニットやフレキシブルフラットケーブル等の複数の部品をその所定位置に正しく組み付けた後にしかできず、折り曲げ工程が大掛かりになっていた。そのため、その製造をさらに容易化したいという要望があった。
【０００８】
本発明は、上記課題を解消するものであり、キャビティユニットの側面に対する被記録媒体及び払拭部材の衝突を、低コストで且つ容易な構造で防止できるインクジェットヘッドの提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明におけるインクジェットヘッドは、被記録媒体にインクを吐出するノズルが前面に備えられたキャビティユニットを有し、前記被記録媒体に対して相対的に移動するインクジェットヘッドにおいて、前記キャビティユニットは、前記ノズルが穿設されたノズルプレートと、このノズルプレートの背面に配置されたスペーサプレートとを含む複数枚のプレートが積層されて構成され、前記キャビティユニットを構成するプレートのうち、少なくとも前記ノズルプレートとスペーサプレートとを含む前面寄りの複数枚のプレートは、前記相対移動方向の側端部のうち少なくとも前記被記録媒体の端縁に対して進入側となる側端部に、その他のプレートの側縁よりも外方に延長し且つ背面側に屈曲して形成された屈曲片を有していることを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記屈曲片は、前記キャビティユニットのノズル面に対する払拭部材から、前記キャビティユニットにおける前記相対移動方向の側面を保護するように設けられていることを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記屈曲片を有する複数枚のプレートのうち、前記ノズルプレートは樹脂製で、その他のプレートは金属製であり、金属製プレートにおける屈曲片は、塑性変形により屈曲して形成され、樹脂製ノズルプレートの屈曲片は、金属製プレートの屈曲片に沿って貼り付けされていることを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記金属製プレートの屈曲片の基端部における背面側には、前記相対移動方向に直交する方向に沿って、背面側への屈曲を促す溝部が形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項５に記載の発明は、請求項３に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記屈曲片を有する金属製プレートは、前記ノズルプレートのノズルの位置に対応して連通孔を有し、その金属製プレートとノズルプレートは、前記その他のプレートとの積層前に、あらかじめ一体化されて前記連通孔を通して前記ノズルプレートにノズルが加工されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に記載の発明によれば、ノズルプレートとスペーサプレートとを含む前面寄りの複数枚のプレートが、その他のプレートの側縁よりも外方に延長し且つ背面側に屈曲して屈曲片が形成されているから、屈曲片は、ノズル面に連続して背面側に傾斜し、キャビティユニットの側面を覆う。これにより、屈曲片は、被記録媒体の端縁がキャビティユニットの側面に衝突することを防止し、且つノズルプレートに対向する所定位置に被記録媒体を速やかに案内する。その結果、被記録媒体とインクジェットヘッドとの相対移動が適正に行われるので、記録品質が損なわれることを防止することができる。
【００１５】
そして、前記屈曲片は、キャビティユニットを構成するプレートに形成されているから、キャビティユニットの製造工程、換言するとインクジェットヘッドの製造工程における早い段階で、その折り曲げ加工を行うことができ、製造の容易化を図ることができる。
【００１６】
請求項２に記載の発明によれば、前記屈曲片により、キャビティユニットの側面と払拭部材との摺接が妨げられるから、払拭部材がキャビティユニットとして積層されたプレートを剥離するように作用することや、払拭部材自体がキャビティユニットの側面によって損傷することを防止することができる。
【００１７】
請求項３に記載の発明によれば、ノズルプレートは樹脂製で、金属プレートよりも柔軟性が高いから、屈曲片が複数枚のプレートで構成されて、その剛性が高められていても、屈曲片を形成する際の曲げ加工が容易となる効果を奏する。
【００１８】
請求項４に記載の発明によれば、前記相対移動方向に直交する方向に沿って、背面側への屈曲を促す溝部が形成されているから、屈曲片が複数枚のプレートで構成されて、その剛性が高められていても、屈曲片を形成する際の曲げ加工が容易となる効果を奏する。
【００１９】
請求項５に記載の発明によれば、屈曲片が形成される樹脂製プレートと金属製プレートとは、ノズル加工のためにあらかじめ一体化されているものであるから、前記プレートを屈曲片を曲げ加工するためにわざわざ一体化させる必要が無く、製造工程を簡略化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は実施形態のインクジェットプリンタにおける記録部周辺の平面図、図２は記録部の下面（ノズル面）側からの斜視図、図３はキャビティユニットの分解斜視図、図４はキャビティユニットの拡大分解斜視図、図５はインクジェットヘッドの部分断面図、図６（ａ）はキャビティユニットの側端部近傍の縦断面図、図６（ｂ）は屈曲片の屈曲前の縦断面図、図６（ｃ）は屈曲片の屈曲後の縦断面図、図７はヘッドホルダにキャリッジが固定された状態の部分縦断面図、図８は払拭部材によるクリーニング動作を示す縦断面図である。
【００２１】
本発明のインクジェットヘッド１０が搭載されたインクジェットプリンタは、被記録媒体としての用紙Ｐにインクを吐出させて記録する記録部１００（図１参照）を、本体フレーム（図示せず）の内部に備えている。このインクジェットプリンタは、例えば、コピー機能、スキャナ機能、ファクシミリ機能等を備えた多機能装置（ＭＦＤ：Multi Function Device ）のプリンタ機能として適用されるものである。
【００２２】
前記記録部１００は、図１に示すように、Ｙ方向（用紙搬送方向Ｘと直交する方向、主走査方向）に平行に延びる横長の板状のガイドレール５１、５２と、インクジェットヘッド１０を搭載しガイドレール５１、５２に摺動可能に跨って往復移動するキャリッジ５３と、このキャリッジ５３を往復移動させるタイミングベルト５６と、タイミングベルト５６が掛け渡される駆動プーリ５７及び従動プーリ５８と、タイミングベルト５６を駆動するために駆動プーリ５７に連結された駆動モータ（図示せず）等を備えている。
【００２３】
キャリッジ５３には、図２に示すように、略箱状の本体部５４ａとこの本体部５４ａから用紙搬送方向下流側（図１及び図２の矢印Ａ方向）に突出する連結支持片５４ｂとを備えるヘッドホルダ５４、そのヘッドホルダ５４の底板５４ｃの下面側において用紙Ｐに対向するように固定されたインクジェットヘッド１０、及びこのインクジェットヘッド１０にインクを供給するように連通し前記底板５４ｃの上面側に固定されたバッファタンク（図示せず）等が搭載されている。
【００２４】
この実施形態では、キャリッジ５３のＹ方向への往復移動により、インクジェットヘッド１０は、用紙ＰのＸ方向に延びる両端縁を通過するように移動し、これら用紙Ｐの両端縁は、相対的に交互にインクジェットヘッド１０の下面側に進入するように構成されている。
【００２５】
また、搬送される用紙Ｐの幅（用紙Ｐの短辺）より外側には、その一端側（実施形態では図１における左側）にインク受け部５９が、また他端側（図１における右側）にメンテナンス手段としてのメンテナンスユニット５０がそれぞれ配置されている。これにより、インクジェットヘッド１０は、インク受け部５９に設けられたフラッシング位置にて、記録動作中に定期的にノズルの目詰まり防止のためのインク吐出を行い、そのインクをインク受け部５９が受ける。メンテナンスユニット５０に対応して設けられたキャリッジ５３の待機位置では、メンテナンスユニット５０におけるキャップ部（図示せず）がインクジェットヘッド１０のノズル面を下方から覆って色毎にインクを選択的に吸引したり、前記バッファタンク（図示せず）内の気泡を除去する回復処理等を行ったりする。そして、キャリッジ５３がメンテナンスユニット５０部分に横方向に接近移動するとき、払拭部材６０としてのワイパーブレード（図８参照）がノズル面を拭いてクリーニングを行う。
【００２６】
このインクジェットプリンタには、フルカラー記録のためのインク供給源として、イエローインク（Ｙ）、マゼンタインク（Ｍ）、シアンインク（Ｃ）、ブラックインク（Ｂｋ）の個別のインクタンク（図示せず）が、本体フレーム内に静置されており、これらの各インクタンクからインク供給管（図示せず）及びバッファタンク（図示せず）等を介してインクジェットヘッド１０にインクが供給される。
【００２７】
インクジェットヘッド１０は、図３及び図５に示すように、用紙Ｐに対してインクを吐出するための多数のノズル４を外部に露出する面（前面）に有するキャビティユニット１と、このキャビティユニット１の背面に積層固定されるプレート型の圧電アクチュエータ２と、圧電アクチュエータ２の背面に外部機器との接続のために積層固定されるフレキシブルフラットケーブル３とを備えている。
【００２８】
前記キャビティユニット１は、図３に示すように、ノズルプレート１１、スペーサプレート１２、ダンパープレート１３、２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６、及びキャビティプレート１７の合計８枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合した構造となっている。
【００２９】
実施形態では、各プレート１１〜１７は５０〜１５０μｍ程度の厚さを有し、ノズルプレート１１はポリイミド等の合成樹脂製で、その他のプレート１２〜１７は４２％ニッケル合金鋼板製である。前記ノズルプレート１１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のインク吐出用のノズル４が微小間隔で多数個穿設されている。このノズル４は、当該ノズルプレート１１における長辺方向（Ｘ方向）に沿って、千鳥配列状で５列に配列されている。
【００３０】
また、前記キャビティプレート１７には、図４に示すように、複数の圧力室３６がキャビティプレート１７の長辺（前記Ｘ方向）に沿って千鳥配列状で５列に配列されている。実施形態では、前記各圧力室３６は、平面視細長形状に形成され、その長手方向がキャビティプレート１７の短辺方向（Ｙ方向）に沿うようにして穿設され、長手方向の一端部３６ａがノズル４と連通し、他端部３６ｂが後述する共通インク室７と連通する。
【００３１】
各圧力室３６における先端部３６ａは、ベースプレート１６、サプライプレート１５、２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、ダンパープレート１３、及びスペーサプレート１２に、同じく千鳥配列状にて穿設されている微小径の連通孔３７を介して、ノズルプレート１１における前記各ノズル４に連通している。
【００３２】
キャビティプレート１７の下面に隣接するベースプレート１６には、各圧力室３６の他端部３６ｂに接続するために、前記各他端部３６ｂに対応する位置に貫通孔３８が穿設されている。
【００３３】
ベースプレート１６の下面に隣接するサプライプレート１５には、後述する共通インク室７から前記各圧力室３６へインクを供給するための接続流路４０が設けられる。そして各接続流路４０には、共通インク室７からインクが入る入口孔と、圧力室３６側（前記貫通孔３８）に開口する出口孔と、入口孔と出口孔との間にあって、接続流路４０中で最も大きな流路抵抗となるように断面積を小さくして形成された絞り部とが備えられている。
【００３４】
２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂには、その長辺方向（Ｘ方向）に沿って長い５つの共通インク室７が前記ノズル４の各列に沿って延びるように板厚さを貫通して形成されている。すなわち、図３及び図５に示すように、２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂを積層し、かつその上面をサプライプレート１５にて覆い、下面をダンパープレート１３にて覆うことにより、合計５つの共通インク室（マニホールド室）７が密閉状に形成される。各共通インク室７は、各プレートの積層方向から平面視したときに、前記圧力室３６の一部と重なって圧力室３６の列方向（ノズル４の列方向）に沿って長く延びている。
【００３５】
図４及び図５に示すように、マニホールドプレート１４ａの下面に隣接するダンパープレート１３の下面側には、共通インク室７と隔絶されたダンパ室４５が凹み形成されている。この各ダンパ室４５の位置および形状は、図３に示すように、前記各共通インク室７と一致させている。このダンパプレート１３は、適宜弾性変形し得る金属素材であるため、ダンパ室４５の薄い板状の天井部は、共通インク室７側にも、ダンパ室４５側にも自由に振動することができる。インク吐出時に、圧力室３６で発生した圧力変動が共通インク室７に伝播しても、前記天井部が弾性変形して振動することにより、前記圧力変動を吸収減衰させるというダンパ効果を奏し、圧力変動が他の圧力室３６へ伝播するというクロストークを防止することができるものである。
【００３６】
また、図３に示すように、キャビティプレート１７、ベースプレート１６、及びサプライプレート１５の一方の短辺側の端部には、上下の位置を対応させて、それぞれ４つのインク供給口４７が穿設されている。バッファタンク（図示せず）の出口開口が、これらインク供給口４７を介して共通インク室７の一端部に連通するようになっている。４つのインク供給口４７を、図３の右側から順に個別に４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄと付す。
【００３７】
インク供給口４７からノズル４に至るインク流通路では、インク供給源側から供給されたインクが、インク供給口４７からインク供給チャンネルとしての共通インク室７に供給された後、図４及び図５に示すように、サプライプレート１５の接続流路４０及びベースプレート１６の貫通孔３８を経由して各圧力室３６に分配供給される。そして、後述するように、圧電アクチュエータ２の駆動により、インクは各圧力室３６内から前記連通孔３７を通って、その圧力室３６に対応するノズル４に至るという構成になっている。
【００３８】
この実施形態では、図３に示すように、インク供給口４７が４つ設けられているのに対して、共通インク室７が５つ設けられており、インク供給口４７ａだけが、２つの共通インク室７，７に接続されている。インク供給口４７ａには、ブラックインクが供給されるように設定されており、ブラックインクがその他のカラーインクに比べて使用頻度が高いことを考慮したものである。他のインク供給口４７ｂ、４７ｃ、４７ｄには、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクがそれぞれ単独に供給される。インク供給口４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄには、それぞれの開口に対応する濾過部２０ａを有するフィルタ体２０が接着剤等で貼着されている。
【００３９】
そして、前記ノズルプレート１１とスペーサプレート１２とは、図３及び図６（ａ）に示すように、Ｘ方向に延びる両側端部のうち少なくとも用紙Ｐの端縁に対して進入側となる側端部に、その他のプレートの側縁よりも外方に延長し且つ背面側に屈曲して形成された屈曲片２１を有している。換言すれば、キャビティユニット１を構成する複数のプレートのうち、ノズルプレート１１及びスペーサプレート１２は、その他のプレートよりも、Ｙ方向の寸法があらかじめ長く作られており、積層時にその他のプレートの側縁より外方に延長する部分が、背面側に屈曲されて屈曲片２１となっている。この屈曲片２１の屈曲角度は、ノズル面に対して９０°よりも小さく、また、屈曲片２１の長さ寸法は、キャビティユニット１の残りのプレート１３〜１７の積層側面を確実に覆う長さに設定されている。
【００４０】
この実施形態では、ノズルプレート１１とスペーサプレート１２のＸ方向に延びる両方の側端部がいずれも用紙Ｐに対して進入側となり得るため、これら両側端部に屈曲片２１が設けられている。これらの屈曲片２１は、説明のために、ノズルプレート１１の屈曲片を屈曲片２１ａ、２１ｂ、スペーサプレート２１の屈曲片を屈曲片２１ｃ、２１ｄと個別に符号を付す。後述するメンテナンスユニット５０に近い側の屈曲片は、屈曲片２１ｂ、２１ｄとなる。
【００４１】
キャビティユニット１は、製造工程において、ノズルプレート１１とスペーサプレート１２との２枚からなる第１サブユニット１ａと、ダンパープレート１３、マニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６、及びキャビティプレート１７の計６枚からなる第２サブユニット１ｂとが別個に作製された後に、これら第１サブユニット１ａと第２サブユニット１ｂとが積層接着される（図５参照）。
【００４２】
前述したようにスペーサプレート１２は金属製で、ノズルプレート１１は樹脂製であるので、第１サブユニット１ａの製造工程では、スペーサプレート１２にノズルプレート１１が貼り付けられて製造される。そのため、スペーサプレート１２の屈曲片２１ｃ、２１ｄは塑性変形により屈曲して形成されるが、ノズルプレート１１の屈曲片２１ａ、２１ｂは前記屈曲片２１ｃ、２１ｄに沿って貼り付くことで屈曲している。
【００４３】
そして、スペーサプレート１２の屈曲片２１ｃ、２１ｄの基端部の背面側には、Ｘ方向に沿って、背面側への屈曲を促す溝部２２が形成されている（図６（ｂ）及び図６（ｃ）参照）。ここでは、溝部２２は、スペーサプレート１２のＹ方向に延びるの両端縁（短辺）を結ぶように連続的に形成されているが、断続的に形成されてもよい。また、この溝部２２は、後述する第１サブユニット１ａにおけるノズル４の加工工程で溝加工されるが、スペーサプレート１２の連通孔３７を穿設する工程で同時に加工されてもよい。
【００４４】
前記各金属製のプレート１２〜１７におけるインク供給口４７、共通インク室７、連通孔３７、貫通孔３８、接続流路４０、ダンパ室４５等の凹み形成や貫通する孔等は、エッチング加工、放電加工、プラズマ加工、レーザ加工等により形成されている。ポリイミド等の合成樹脂製で平面視ほぼ矩形薄シート状の１枚のフィルタ体２０には、レーザ加工等にて極小孔が穿設された濾過部２０ａが形成される。フィルタ体２０を金属製にする場合には、電鋳加工により形成すればよい。
【００４５】
一方、前記圧電アクチュエータ２は、特開平４−３４１８５３号公報等で公知のものと同様に、図示しないが複数枚の圧電シートを積層した構造で、１枚の厚さが３０μｍ程度の各圧電シートのうち下から偶数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、前記キャビティユニット１における各圧力室３６に対応した箇所ごとに細幅の個別電極が長辺方向（Ｘ方向）に沿って列状に形成されている。下から奇数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、複数個の圧力室３６に対して共通のコモン電極が形成されており、最上段のシートの上面には、表面電極４８として、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極と、前記コモン電極に対して電気的に接続される表面電極とが設けられている。
【００４６】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２における下面（圧力室３６と対面する広幅面）全体に、接着剤としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート（図示せず）を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット１に対して、圧電アクチュエータ２が、その各個別電極を前記キャビティユニット１における各圧力室３６の各々に対応させて接着・固定される。また、この圧電アクチュエータ２における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル３（図４参照）が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル３における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極４８に電気的に接合される。
【００４７】
このように構成された実施形態では、その製造において、まず、あらかじめノズル４に対応する位置に連通孔３７を穿設したスペーサプレート１２に、ノズルプレート１１の素材板（ノズル未加工の状態）が貼り付けられる。そして、特開平１１−１４７３１６号公報に示す公知の方法と同様に、ノズルプレート１１の素材板に対して、スペーサプレート１２側から連通孔３７を通してレーザ光が照射され、ノズル４が多数穿設される。これにより第１サブユニット１ａが形成される（図５参照）。
【００４８】
一方、それぞれに必要な穴加工等が施された、ダンパープレート１３、マニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６、キャビティプレート１７が積層され、接着により一体化されて第２サブユニット１ｂ（図５参照）が形成される。この第２サブユニット１ｂが、前記第１サブユニット１ａに対して積層され、接着により一体化されて、キャビティユニット１が形成される（図５参照）。
【００４９】
この第１サブユニット１ａと第２サブユニット１ｂとの接着に際して、押圧のための治具（接着装置）が使用されるが、この治具に、第１サブユニット１ａの両側端部を屈曲させる構造２３（図６（ａ）の二点鎖線参照）を付加することにより、接着時の押圧を利用して同時に屈曲片２１が形成される。これにより、工数の削減を図ることができるが、屈曲片２１の形成工程は、これに限定するものではなく、例えば、第１サブユニット１ａの状態で屈曲片２１を形成し、その後に第２サブユニット１ｂと接着してもよく、あるいは、第１サブユニット１ａと第２サブユニット１ｂとを接着した後、別工程で屈曲片２１を形成してもよい。
【００５０】
次に、キャビティユニット１が圧電アクチュエータ２と接合され、さらにフレキシブルフラットケーブル３が接合されてインクジェットヘッド１０が形成される。
【００５１】
そして、このインクジェットヘッド１０は図７及び図８に示すように、フレーム６１を介してヘッドホルダ５４の底板５４ｃの下面側に接着固定される。ここでは、底板５４ｃの下面側に凸設されたリブ５４ｄに囲まれた領域にインクジェットヘッド１０が嵌め込まれる。インクジェットヘッド１０とリブ５４ｄとの間隙はシール部材６２で封止され、前記間隙へのインクや紙紛等の入り込みを防止している。
【００５２】
この記録部１００では、用紙Ｐへの記録中は、キャリッジ５３のＹ方向（主走査方向）への往復移動と、用紙ＰのＸ方向（副走査方向）への搬送が組み合わされる。従って、記録中には、用紙Ｐは相対的にノズル面と対向する位置へ何度も進入することになるが、用紙Ｐの進入側となる端縁は、屈曲片２１に案内されるから、キャビティユニット１の側面に衝突することなく、所定位置に速やかに入り込む。その結果、用紙Ｐの搬送及びキャリッジ５３の移動が適正に行われ、記録品質が損なわれることはない。
【００５３】
そして、記録動作の途中あるいは後には、キャリッジ５３がメンテナンスユニット５０の位置に移動して（図８の矢印Ｃ方向）、ノズル面のクリーニングやバッファタンク（図示せず）の気泡除去等が行われるが、移動の際に、メンテナンスユニット５０に設けられ払拭部材６０が相対的にノズル面を摺接する。この払拭部材６０は、直ちに屈曲片２１（２１ｂ、２１ｄ）に当接し、その傾斜に沿って摺接するので、キャビティユニット１の側面に払拭部材６０が触れることがない。そのため、払拭部材６０がプレートを剥離させる力が作用することを防止でき、また、払拭部材６０自体が、キャビティユニット１の側縁で損傷することも防止できる。特に、キャビティユニット１の金属プレートの端縁がエッチング加工されていると、払拭部材６０を傷つけ易いので、屈曲片２１により、払拭部材６０に対する大きな保護効果が得られる。
【００５４】
また、上記実施形態で示したように、屈曲片２１は、キャビティユニット１の製造工程というインクジェットヘッドの製造における早い段階で曲げ加工される、換言すれば、比較的単純な部品形成の段階で曲げ加工されるから、曲げ加工に要する装置や作業等を容易化することができる。
【００５５】
また、屈曲片２１がノスルプレート１１だけを曲げ加工して形成されている場合には、払拭部材６０や用紙Ｐが繰り返し屈曲片２１に当接すると、曲げ部分の損傷を招き、屈曲片２１が脱落することも心配されるが、本実施形態では、ノズルプレート１１とスペーサプレート１２とを重ねた状態で屈曲片２１を曲げ加工して形成し、その剛性を高めているため、屈曲片２１自体の耐久性が大幅に向上される。
【００５６】
また、本実施形態では、屈曲片２１の基端部の背面側に溝部２２を設け、また、ノズルプレート１１をポリイミドのように柔軟性の高い樹脂製にしているため、屈曲片２１の剛性を高めながらも、屈曲片２１の曲げ加工性を向上させ、生産効率を上げることができる。
【００５７】
なお、本実施形態では、屈曲片２１をキャビティユニット１の両方の側端部に設けたが、屈曲片２１の設ける部位（キャビティユニット１の両側端部、あるいはいずれか一方の側端部）は、用紙Ｐ及びメンテナンスユニット５０と、キャビティユニット１との位置関係で適宜決められる。
【００５８】
また、屈曲片２１を有するプレートは、本実施形態のノズルプレート１１とスペーサプレート１２の２枚に限定するものではなく、前面寄りのプレートであれば３枚以上で構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】実施形態のインクジェットプリンタにおける記録部周辺の平面図である。
【図２】記録部の下面（ノズル面）側からの斜視図である。
【図３】キャビティユニットの分解斜視図である。
【図４】キャビティユニットの拡大分解斜視図である。
【図５】インクジェットヘッドの部分断面図である。
【図６】（ａ）はキャビティユニットの側端部近傍の縦断面図、（ｂ）は屈曲片の屈曲前の縦断面図、（ｃ）は屈曲片の屈曲後の縦断面図である。
【図７】ヘッドホルダにキャリッジが固定された状態の部分縦断面図である。
【図８】払拭部材によるクリーニング動作を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１      キャビティユニット
１ａ    第１サブユニット
１ｂ    第２サブユニット
２      圧電アクチュエータ
３      フレキシブルフラットケーブル
４      ノズル
１０    インクジェットヘッド
１１    ノズルプレート
１２    スペーサプレート
２１    屈曲片
２２    溝部
３６    圧力室
３７    連通孔
５０    メンテナンスユニット
５３    キャリッジ
５４    ヘッドホルダ
５９    インク受け部
６０    払拭部材
６１    フレーム
６２    シール部材
１００  記録部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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