(57)【要約】【課題】  OLED表示装置を製造するためのLTT法におけるマルチチャネル式レーザープリントヘッドをアラインし、較正し、そして維持する方法およびそのための装置を提供すること。【解決手段】  供与体から基板へ材料を熱転写する際に使用されるマルチチャネル式レーザープリントヘッドを５つの自由度においてアラインする方法およびそのための装置。供与体から基板へ材料を熱転写する際に使用されるアラインされたマルチチャネル式レーザープリントヘッドからの異なるチャネルの出力性能を測定するための方法。【選択図】      図１
2005035297.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供与体から基板へ材料を熱転写する際に使用されるマルチチャネル式レーザープリントヘッドを５つの自由度においてアラインする方法であって、
ａ）該供与体における材料転写面に平行な平面に配置された狭い開口部を形成する検出システムと、該狭い開口部を通過するレーザー光に応答して信号を発生する光検出器と、第１および第２系列のレーザー放射照度プロフィールを発生させるように適合されたコントローラとを用意し、
ｂ）該材料転写面に平行なｘ方向およびｙ方向において該マルチチャネル式レーザープリントヘッドを配置し、
ｃ）動作制御システムを使用して、該狭い開口部に垂直な方向において、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの少なくとも１つのチャネルについて、次いで該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの他の少なくとも１つのチャネルについて、該開口部に対し、焦点が合っていない位置から焦点より上方の位置へ、順次位置を定めて走査することにより、該コントローラが該光検出器および該動作制御システムからの信号を受信して該第１および第２系列のレーザー放射照度プロフィールを発生させ、
ｄ）該第１および第２系列のレーザー放射照度プロフィールを使用して、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドのロールおよび片揺れに必要な補正値ならびに該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの該材料転写面からの距離を決定し、
ｅ）該補正値に従い該マルチチャネル式レーザープリントヘッドをアラインすることにより、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドを、熱転写操作を行わずにアラインし、そして
ｆ）該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの各チャネルのｘ座標およびｙ座標を、該動作制御システムのｘ座標およびｙ座標に関して確立する
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
さらに該光検出器と該狭い開口部との間に減衰器を配置する、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
さらに該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの少なくとも１つのチャネルの異なる３つのグループから少なくとも３組のレーザー放射照度プロフィールを提供する、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
さらに該材料転写面と該狭い開口部面との間のオフセット距離を測定し、該オフセット距離に従い該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの位置を調整する、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
供与体から基板へ材料を熱転写する際に使用されるマルチチャネル式レーザープリントヘッドを５つの自由度において検出してアラインするための装置であって、
ａ）該供与体における材料転写面に平行な平面に配置された狭い開口部、該狭い開口部を通過するレーザー光に応答して信号を発生する光検出器、ならびに第１および第２系列のレーザー放射照度プロフィールを発生させるように適合されたコントローラを含む検出システムを含み、
ｂ）該材料転写面に平行なｘ方向およびｙ方向において該マルチチャネル式レーザープリントヘッドを配置するための動作制御システムであって、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドのロールおよび片揺れならびに該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの該材料転写面からの距離を調整するための手段を含むものを含み、
ｃ）該動作制御システムは、該狭い開口部に垂直な方向において、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの少なくとも１つのチャネルについて、次いで該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの他の少なくとも１つのチャネルについて、該開口部に対し、焦点が合っていない位置から焦点より上方の位置へ、順次位置を定めて走査することにより、該コントローラが該光検出器および該動作制御システムからの信号を受信して該第１および第２系列のレーザー放射照度プロフィールを発生させ、
ｄ）該第１および第２系列のレーザー放射照度プロフィールを使用して、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドのロールおよび片揺れに必要な補正値ならびに該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの該材料転写面からの距離を決定するための手段を含み、そして
ｅ）各チャネルのｘ座標およびｙ座標を、該動作制御システムのｘ座標およびｙ座標に関して確立する
ことを特徴とする装置。
【請求項６】
さらに、該補正値に従い該マルチチャネル式レーザープリントヘッドをアラインすることにより熱転写操作を行わずに該マルチチャネル式レーザープリントヘッドをアラインするための手段を含む、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
さらに該光検出器と該狭い開口部との間に配置された減衰器を含む、請求項５に記載の装置。
【請求項８】
さらに該プリントヘッドの少なくとも１つのチャネルの異なる３つのグループから少なくとも３組のレーザー放射照度プロフィールを提供する、請求項５に記載の装置。
【請求項９】
供与体から基板へ材料を熱転写する際に使用されるアラインされたマルチチャネル式レーザープリントヘッドからの異なるチャネルの出力性能を測定するための方法であって、
ａ）該供与体における材料転写面に平行な平面に配置された狭い開口部を形成する検出システムと、該狭い開口部を通過するレーザー光に応答して信号を発生する光検出器と、レーザー放射照度プロフィールを発生させるように適合されたコントローラとを用意し、
ｂ）動作制御システムを使用して、該材料転写面に平行なｘおよびｙ方向において該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの位置を定め、かつ、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドのロールおよび片揺れならびに該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの該材料転写面からの距離を調整するための手段を提供し、そして
ｃ）該動作制御システムを使用して、該狭い開口部に垂直な方向において、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの複数のチャネルについて、該開口部に対し、該チャネルが転写閾値より高いフル出力のレーザー光を発生する活性化されたオン状態において、および該チャネルが該転写閾値より低い出力のレーザー光を発生する活性化されたオフ状態において、順次位置を定めて走査することにより、該コントローラが該光検出器および該動作制御システムからの信号を受信してレーザー放射照度プロフィールを発生させ、該活性化されたオン状態と活性化されたオフ状態とにおけるチャネル間のばらつきを示す
ことを特徴とする方法。
【請求項１０】
さらに、該レーザー放射照度プロフィールが不十分なチャネルコントラスト、放射照度、放射照度均一性またはチャネル故障という問題の存在を示した時に、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドを交換または補正する、請求項９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機発光表示装置、特に、有機発光ダイオード（OLED）の製造に用いられるマルチチャネル式レーザープリントヘッドをアラインし、維持し、そして較正する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
OLEDは、分離型発光デバイスや、発光配列もしくはディスプレイ、例えば、腕時計、電話、デジタルカメラ、ラップトップコンピュータ、ページャ、携帯電話、計算機、他の活性素子のように様々な用途において有用である。
【０００３】
従来型OLEDディスプレイ構造体は、ガラス基板上に、画像表示のための二次元OLED配列が形成されるように構築される。配列に含まれる各OLEDは、一般に、基板上に形成される透光性第１電極から始まり、第１電極上に配設される有機電場発光（EL）媒体、および有機電場発光媒体上に配設される金属電極を含む、複数の重複層を含む。電極間に電位差をかけると、アノードとカソードからそれぞれ正孔と電子が有機ゾーンに注入される。デバイス内部で正孔と電子が再結合する結果、発光が生じる。
【０００４】
OLED技術に関する技術的難題の一つに、加工製作がある。OLEDの製造には、従来型真空チャンバを使用した周知のシャドーマスクによる真空蒸着法が採用されることが多い。しかしながら、シャドーマスクによる真空蒸着法は、蒸着形状の精度に制約がある。従来型蒸着法より有利となり得るOLED製造用の新興の熱転写付着技法の一例として、レーザー熱転写（LTT）法が挙げられる。LTTは、有機材料をドナー（供与体）から基板へ転写させるために熱を利用する方法である。より具体的には、レーザービームが供与体に当たることにより熱が発生し、その熱で材料を気化させ目標基板上に所定のパターンで付着させる、というものである。LTT法によるOLEDの製造には、いくつかの技術的課題が存在する。例えば、プリントヘッド、特にマルチチャネル式レーザープリントヘッドの初期セットアップ、メンテナンスおよび較正である。
【０００５】
例えば、米国特許第６３６２８４７号明細書に、カラーレーザープリンタの書込線を電子制御配置によってプリンタの動作中に実質的に等しく維持する方法が記載されている。工場において、カラーレーザープリンタのすべての光導電体上の書込線を実質的に等しくなるように較正し、そして各光導電体について測定線に対する各書込線の比率を確定する。プリンタの動作中、各測定線の長さを、工場較正時に決められた一定の周波数で動作するPELスライスクロックから発生するPELスライスクロックタイミングパルスの数をカウントすることにより周期的に決定する。米国特許第６３６２８４７号明細書は、レーザープリンタを較正する好適な方法を記載するが、OLED表示装置を製造するためのLTT法におけるマルチチャネル式レーザープリントヘッドの初期セットアップ、メンテナンスおよび較正のための方法を提供するものではない。
【０００６】
【特許文献１】米国特許第６３６２８４７号明細書
【特許文献２】米国特許第５３２３１７９号明細書
【特許文献３】米国特許第６２４９３００号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、本発明の目的は、OLED表示装置を製造するためのLTT法におけるマルチチャネル式レーザープリントヘッドをアラインし、較正し、そして維持する方法およびそのための装置を提供することにより、処理加工の誤差を最小限にすることにある。
【０００８】
本発明の別の目的は、補正またはチャネルバランス調整アルゴリズムを適用すること（含まれない）ができるように、OLED表示装置を製造するためのLTT法における印刷の均一性に影響を及ぼし得るレーザー光線を測定することにある。
【０００９】
本発明のさらに別の目的は、OLED表示装置を製造するためのLTT法におけるマルチチャネル式レーザープリントヘッドの動作状態を評価または確認する簡単な検出方法を提供することにある。
【００１０】
したがって、本発明の目的は、OLEDデバイスの製造において供与体から基板へ有機材料を転写するためにマルチチャネル式レーザープリントヘッドをより有効に使用することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的は、供与体から基板へ材料を熱転写する際に使用されるマルチチャネル式レーザープリントヘッドを５つの自由度においてアラインする方法であって、
ａ）該供与体における材料転写面に平行な平面に配置された狭い開口部を形成する検出システムと、該狭い開口部を通過するレーザー光に応答して信号を発生する光検出器と、第１および第２系列のレーザー放射照度プロフィールを発生させるように適合されたコントローラとを用意し、
ｂ）材料転写面に平行なｘ方向およびｙ方向において該マルチチャネル式レーザープリントヘッドを配置し、
ｃ）動作制御システムを使用して、該狭い開口部に垂直な方向において、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの少なくとも一つのチャネルについて、次いで該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの他の少なくとも一つのチャネルについて、該開口部に対し、焦点が合っていない位置から焦点より上方の位置へ、順次位置を定めて走査することにより、該コントローラが該光検出器および該動作制御システムからの信号を受信して該第１および第２系列のレーザー放射照度プロフィールを発生させ、
ｄ）該第１および第２系列のレーザー放射照度プロフィールを使用して、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドのロールおよび片揺れに必要な補正値ならびに該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの該材料転写面からの距離を決定し、
ｅ）該補正値に従い該マルチチャネル式レーザープリントヘッドをアラインすることにより、該マルチチャネル式レーザープリントヘッドを、熱転写操作を行わずにアラインし、そして
ｆ）該マルチチャネル式レーザープリントヘッドの各チャネルのｘ座標およびｙ座標を、該動作制御システムのｘ座標およびｙ座標に関して確立する
ことを特徴とする方法、によって達成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明は、レーザー熱（LT）プリントシステムにおけるマルチチャネル式レーザープリントヘッドのアラインメント、メンテナンスおよび較正の方法およびそのための装置に関する。マルチチャネル式レーザープリントヘッドは、異なる複数の位置から選択的にレーザービーム出力を発生させることができるものである。このようなプリントヘッドの一例として、空間変調器を照明する単一線形レーザーバー光源を具備したものが挙げられ、その一例が米国特許第６５８２８７５号明細書に記載されている。
【００１３】
本発明のマルチチャネル式レーザープリンタシステムは、動作制御システムとその上に搭載されたLTステーションおよび検出システムを包含する。検出システムは、最良の焦点と相関するＺ位置において供与体と同一平面に、またはＺにおいて小さな測定オフセットを含み、配置されることにより、LTプリンタシステムのマルチチャネル式レーザープリントヘッドを交換もしくは較正する時またはマルチチャネル式レーザープリントヘッドの調子を確認する時に使用される信頼できる基準を提供する。マルチチャネル式レーザープリントヘッドの最良の焦点平面は、マルチチャネル線形レーザー光線の放射照度（パワー／面積）が最大となる平面である。Ｚ値が異なる他のいずれの平面も、焦点が合っていない（out of focus）とみなされる。
【００１４】
図１に、OLEDの製作プロセスに使用されるレーザー熱（LT）プリンタシステム１００のハイレベルブロック図を示す。LTプリンタシステム１００は、真空チャンバ１２２、コントローラ１１１、動作制御システム１１０とその上に搭載されたレーザー熱（LT）ステーション１１２、および検出システム１１４を含む。レーザー光線は、動作制御システム１１０に送られる位置的指令１１３に依存して、さらにはコントローラ１１１によってLTステーション１１２に送られるプリントヘッド制御指令１１５に依存して、真空チャンバ１２２または検出システム１１４のどちらにも向けられることができる。検出システム１１４の正しい位置に向けられたレーザー光線の受光に応じて、かつ、コントローラ１１１からの指令に際して、検出システム１１４は放射照度データ１１７をコントローラ１１１へ戻す。放射照度データ１１７を収集する際に、コントローラ１１１は、動作制御システム１１０から位置データをも収集する。
【００１５】
図１−Ａおよび図１−Ｂに、動作制御システム１１０とその上に搭載されたLTステーション１１２および検出システム１１４を含むレーザー熱（LT）プリンタシステム１００の一部を、それぞれ側面図および上面図で詳細に示す。
【００１６】
LTステーション１１２は、典型的に、照明光学素子を具備した半導体レーザーバー光源、空間光変調器および、線形レーザー光線チャネル１〜ｎ（ｎは、例えば２５６である）を提供するためのポスト変調器光学素子を使用するマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６をさらに含む。マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６は、各チャネルの個別オン／オフ制御を可能にする。マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６は、例えば、米国特許第６１６９５６５号または欧州特許第１２５２０２４号明細書に記載のマルチチャネル式レーザープリントヘッドに類似する。LTステーション１１２はさらに動作制御システム１１０を含む。動作制御システム１１０は、従来型の精密動作制御システムであって、従来型真空チャンバ１２２の内部に搭載された供与体１２０に関して、精密なＸ、Ｙ、Ｚならびにシータ-Ｚ（ΘＺ）（Ｚ軸周りの回転または片揺れ）およびシータ-Ｙ（ΘＹ）（Ｙ軸周りの回転またはロール）の動作を行うマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を提供するものである。その態様の各軸における動作の慣行は次の通りである。Ｘ軸を低速走査中にステップさせ、Ｙ軸を迅速に走査し、そしてＺ軸を使用してレーザー光線の焦点を合わせる。マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の設置に際し、供与体１２０の平面に焦点が合うようにすべてのレーザー光線を配向させるための別のマルチチャネル式レーザープリントヘッド角調整シータ-Ｙ（ΘＹ）（ここで採用された慣行に従うＹ軸周りの回転またはロール）が存在する。供与体１２０は、当該プリントヘッドレーザー波長に対して支配的に透明な支持体層とエネルギー吸収層とからなり、その上に、典型的には電場発光性有機材料で形成された有機転写層が堆積される。最後に、LTステーション１１２は、真空チャンバ１２２のチャンバ壁１２６の内部に取り付けられた窓１２４を含む。
【００１７】
同様に、検出システム１１４は、窓１２８、スリット１３２を有するＸ-スリット開口部１３０、スリット１３６を有するＹ-スリット開口部１３４、Ｘ-減衰器１３５、Ｙ-減衰器１３７、Ｘ-光検出器１３８およびＹ-光検出器１４０を含み、これらのすべてが、真空チャンバ１２２のチャンバ壁１２６に機械的に取り付けられた包囲体１４２によって囲まれている。窓１２８は、真空チャンバ１２２のチャンバ壁１２６の内部に取り付けられている。窓１２８は、Ｘ-スリット開口部１３０およびＹ-スリット開口部１３４に対してアラインされている。Ｘ-スリット開口部１３０はＸ-光検出器１３８に対してアラインされ、またＹ-スリット開口部１３４はＹ-光検出器１４０に対してアラインされている。Ｘ-スリット開口部１３０とＸ-光検出器１３８の間隔およびＹ-スリット開口部１３４とＹ-光検出器１４０の間隔は、光学的に有利な所定の距離において固定されている。包囲体１４２は、検出システム１１４を真空チャンバ１２２の真空環境から隔離するのに役立つ。別態様として、窓の除去により顕著な光学収差が導入されない場合には、小開口数（例、０．０６ＮＡ）レーザー光線のために窓１２８を使用しないことも可能である。
【００１８】
均一間隙の狭い開口部（スリット開口部とも呼ばれる）を、図１−ＢにおいてＸ-スリット開口部１３０として示し、別の開口部をＹ-スリット開口部１３４として示す。これらは、光が通過する狭い開口部（すなわち、スリット１３２およびスリット１３６）を有するカスタム開口部デバイスである。スリット１３２およびスリット１３６は、図１−Ｂに示したように、互いに直交するように配向されている。Ｘ-光検出器１３８およびＹ-光検出器１４０は、レーザー光波長帯を検出するための、United Detector Technology PIN 6DIのような、従来型の光センサーである。
【００１９】
窓１２４は供与体１２０に対し、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のレーザー出力が窓１２４を介して真空チャンバ１２２に入り、動作中、最小の歪みで、供与体１２０に当たることができるように、アラインされる。同様に、窓１２８はＸ-スリット開口部１３０およびＹ-スリット開口部１３４に対し、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のレーザー出力が窓１２８を介して包囲体１４２に入り、動作中、最小の歪みで、Ｘ-光検出器１３８およびＹ-光検出器１４０に当たることができるように、アラインされる。動作制御システム１１０により、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＸ-Ｙ動作が窓１２４および１２８の領域の全域にわたり可能である。
【００２０】
ＣＣＤカメラ１４４は電荷結合素子カメラであって、当業者によく知られている位置測定デバイスであり、例えば、Spiricon社のＣＣＤカメラ画像形成システムがある。ＣＣＤカメラ１４４を使用して、動作制御システム１１０のＸ座標およびＹ座標に対して、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の各チャネルのＸ-Ｙ座標を確立する。
【００２１】
LTステーション１１２の動作は次の通りである。マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６が、所定のパターンに基づく１または２以上の選ばれたレーザー光線１１８を発生させる。次いで、レーザー光線１１８は、真空チャンバ１２２の窓１２４を通過し、この所定のパターンで供与体１２０に当たる。レーザーエネルギーの大部分が、供与体１２０の内部の吸光層によって吸収されて熱に変換される。レーザーのエネルギーが熱に変換することにより供与体１２０の上層を形成している有機材料を昇華させ、該有機材料を気化させて蒸気を形成させ、これがOLED表示装置を形成するための基板（図示なし）上に所望の副画素パターンで付着する。供与体１２０の内部の吸光層および供与体１２０の上層により画定された平面領域を材料転写面と称する。
【００２２】
検出システム１１４のＸ-スリット開口部１３０およびＹ-スリット開口部１３４は、供与体１２０と同一面内に、または該供与体面に対してＺのオフセットを有し平行に、設定されることで、それらは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を交換する時または単にマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の状態をチェックする時に使用される信頼できる基準となる。検出システム１１４のセットアップおよび動作について、図２〜図８を参照しながら説明する。
【００２３】
図２に、検出システム１１４の第１部分の代表である分解図２００を示す。より詳細には、分解図２００は、Ｙ-光検出器１４０から一定の距離に設定された、Ｙ-スリット開口部１３４と連関しているマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の動作を例証する。図２は、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の３つの位置を例証する。最低Ｚ高さ位置は、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を取り外して交換する位置であって、−Ｄ位置として指定されている。ピークレーザー放射照度を生じる交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さは、Ｎ位置として指定されている。交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さの最高位は、＋Ｄ位置として指定されている。さらに、図２は、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６から出て、窓１２４を通過し、その後Ｙ-スリット開口部１３４のスリット１３６を通過するレーザー光線１１８であって、そこでその光の一部がその後Ｙ-光検出器１４０に当たることを例証する。さらに、その光を減衰させるためのＹ-減衰器１３７がＹ-スリット開口部１３４とＹ-光検出器１４０の間に配置されている。Ｙ-減衰器１３７は、損失を誘発することにより光信号のパワーを減少させる周知のデバイスである。スリット１３６の幅は、例えば、レーザー光線１１８の半値全幅（ＦＷＨＭ）相当値、例えば９μｍに設定される。マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６がＹ軸に沿って走査される際に、レーザー光線１１８がＹ-光検出器１４０に当たる。レーザー放射照度プロフィールは、図３に示したもののように、Ｙ-光検出器１４０マルチチャネルレーザーにより測定される。このレーザー放射照度プロフィールは放射照度データ１１７を、動作制御システム１１０から走査プロセス中に収集されたプリントヘッドのＹにおける位置を示す位置データ１１９と関連させる。レーザー放射照度プロフィールは、Ｙ-スリット開口部１３４に対するマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さに依存し、−Ｄ位置もしくは＋Ｄ位置のいずれかで焦点が合わない状態またはＮ位置において焦点が合う状態に一致して、変動する。
【００２４】
図３は、Ｙ-光検出器１４０によって測定された３つの典型的なレーザー放射照度プロフィールの代表であるプロット３００を例証する。レーザー放射照度プロフィールは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＹ-スリット開口部１３４に対するＺ高さに依存して変化する。例えば、曲線３１０、曲線３２０および曲線３３０は、Ｙ-スリット開口部１３４に対するマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の各種Ｚ高さ設定に関連するサンプルのレーザー放射照度プロフィールである。曲線３３０は、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＹ-スリット開口部１３４に対する最良に焦点の合うＺ高さ設定の代表であり、放射照度の最大値が達成されている。LTプリンタシステム１００におけるこれらの放射照度プロフィールの使用方法についての詳細は、図６、図７および図８を参照して説明する。
【００２５】
図４に、検出システム１１４の第２部分の代表である分解図４００を示す。より詳細には、分解図４００は、Ｘ-光検出器１３８から一定の距離に設定された、Ｘ-スリット開口部１３０と連関しているマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の動作を例証する。図４は、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６から出て、窓１２４を通過し、その後Ｘ-スリット開口部１３０のスリット１３２の平面に到達するレーザー光線１１８であって、そこでその光の一部がその後Ｘ-光検出器１３８に当たることを例証する。さらに、その光を減衰させるためのＸ-減衰器１３５がＸ-スリット開口部１３０とＸ-光検出器１３８の間に配置されている。Ｘ-減衰器１３５は、損失を誘発することにより光信号のパワーを減少させる周知のデバイスである。スリット１３２の幅は、例えば、Ｘ次元における単一レーザー光線チャネルのＦＷＨＭ相当値、例えば２０μｍに設定される。マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６がＸ軸に沿って走査される際に、チャネル１〜ｎに関連するすべてのレーザー光線１１８がＸ-光検出器１３８に順次当たる。レーザー光線１１８の放射照度プロフィールは、図５に示したプロフィールのように、Ｘ-光検出器１３８マルチチャネルレーザーにより測定される。このレーザー放射照度プロフィールは放射照度データ１１７を、動作制御システム１１０から走査プロセス中に収集されたプリントヘッドのＸにおける位置データ１１９と関連させる。レーザー光線放射照度プロフィールは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６における光学素子およびレーザー光源の不均一性により変動し得る。Ｘ-スリット開口部１３０は、先にＹ-スリット開口部１３４について定義したように、最良に合焦されていることが必要である。Ｘ-スリット開口部１３０とＸ-光検出器１３８の組立体は、Ｙ-スリット開口部１３４とＹ-光検出器１４０の組立体と同一平面内において機械的に結合されており、両者は最良の焦点面にある。
【００２６】
図５に、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＸ位置に対してＸ-光検出器１３８で検出された放射照度の関数としてマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のすべてのチャネルの２つの典型的なレーザー光線チャネル放射照度プロフィールの測定の代表であるプロット５００を例証する。ＯＮ曲線５１０は、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６をＸ軸に沿って走査した際にすべてのチャネル１〜ｎをオンにした代表プロットであり、放射照度の最大値が達成されており、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＸ-スリット開口部１３０に対する最良に合焦されたＺ高さ設定を仮定したものである。ＯＦＦ曲線５２０は、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６をＸ軸に沿って走査した際にすべてのチャネル１〜ｎをオフにした代表プロットであり、放射照度データ１１７の最小値が達成されており、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＸ-スリット開口部１３０に対する最良に合焦されたＺ高さ設定を仮定したものである。LTプリンタシステム１００におけるＯＮ曲線５１０およびＯＦＦ曲線５２０で表される測定値の使用方法についての詳細は、図６および図８を参照して説明する。
【００２７】
図６に、本発明によるOLED製造のLTTプロセスにおいてマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を交換する方法６００の流れ図を示す。図１〜５に示したようなLTプリンタシステム１００を、方法６００のステップ全体を通して参照する。方法６００は以下のステップを含む。
【００２８】
ステップ６１０：プリントヘッドを設置
このステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を取り外して、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を設置する。方法６００はステップ６１２へ進む。
【００２９】
ステップ６１２：プリントヘッドの第１端部を活性化
交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の第１端部に位置しているマルチチャネル式レーザープリントヘッドの少なくとも一つのチャネルを活性化する。方法６００はステップ６１４へ進む。
【００３０】
ステップ６１４：交換プリントヘッドのＺ高さを−Ｄ位置まで低下
このステップでは、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さを、マイクロメートルＺ位置トランスレータを使用して、焦点が合っていない位置としても知られている−Ｄ位置まで低下させる。ここで、−Ｄは、例えば、Ｎから−２５０μｍの位置である。ここで、Ｎは、先に追加のプロセスによって決められる。方法６００はステップ６１６へ進む。
【００３１】
ステップ６１６：マルチチャネル式レーザープリントヘッドをＹ-スリット検出器に対して位置調整
このステップでは、動作制御システム１１０を使用して、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６をLTプリンタシステム１００のＸ軸およびＹ軸に沿って並進させ、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の活性チャネルをＹ-スリット開口部１３４に整列するように配置する。動作制御システム１１０はこの位置のＸ座標およびＹ座標を記録する。方法６００はステップ６１８へ進む。
【００３２】
ステップ６１８：マルチチャネル式レーザープリントヘッドを走査して、レーザー放射照度プロフィールを測定
このステップでは、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の少なくとも一つのチャネルを、動作制御システム１１０を使用して、Ｙ軸に沿って、Ｙ-スリット開口部１３４を横断するように走査する。得られたレーザー光線１１８は、Ｙ-スリット開口部１３４のスリット１３６を通過し、Ｙ-光検出器１４０に当たる。方法６００はステップ６２０へ進む。
【００３３】
ステップ６２０：放射照度プロフィール測定値を保存
このステップでは、Ｙ-光検出器１４０がレーザー光線１１８の放射照度を検出して、これに従う出力信号を発生させ、この信号をＬＴプリンタシステム１００のコントローラ１１１が受信して記録する。さらに、動作制御システム１１０が、走査中のプリントヘッドのＹ位置を示す出力信号を発生させ、この信号をＬＴプリンタシステム１００のコントローラ１１１が受信して記録する。方法６００はステップ６２２へ進む。
【００３４】
ステップ６２２：プリントヘッドのＺ高さを上昇
このステップでは、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さを、マイクロメートルＺ位置トランスレータを使用して所定の増分ΔＤだけ上昇させる。ΔＤは、例えば＋２５μｍである。方法６００はステップ６２４へ進む。
【００３５】
ステップ６２４：マルチチャネル式レーザープリントヘッドを走査して、放射照度プロフィールを測定
このステップでは、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の少なくとも一つのチャネルを、動作制御システム１１０を使用して、Ｙ軸に沿ってＹ-スリット開口部１３４を横断するように走査する。得られたレーザー光線１１８は、Ｙ-スリット開口部１３４のスリット１３６を通過して、Ｙ-光検出器１４０に当たる。方法６００はステップ６２６へ進む。
【００３６】
ステップ６２６：放射照度プロフィールを保存
このステップでは、Ｙ-光検出器１４０がレーザー光線１１８の放射照度を検出して、これに従う出力信号を発生させ、この信号をＬＴプリンタシステム１００のコントローラ１１１が受信して記録する。さらに、動作制御システム１１０が、走査中のプリントヘッドのＹ位置を示す出力信号を発生させ、この信号をＬＴプリンタシステム１００のコントローラ１１１が受信して記録する。方法６００はステップ６２８へ進む。
【００３７】
ステップ６２８：＋Ｄ位置に到達したか？
この決定ステップでは、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さが、合焦位置より高い位置としても知られる＋Ｄ位置に設定されているかどうかを決定する。「はい」の場合、方法６００はステップ６３０へ進む。「いいえ」の場合、方法６００はステップ６２２へ戻る。
【００３８】
ステップ６３０：ピーク放射照度に従いマルチチャネル式レーザープリントヘッドのＺ高さを保存
このステップでは、ＬＴプリンタシステム１００のコントローラ１１１によって測定された、図３のプロット３００の曲線３３０のように、ピークレーザー放射照度を発生する交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さを決定し、そして交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の１または２以上の活性チャネルについて保存する。方法６００はステップ６３２へ進む。
【００３９】
ステップ６３２：マルチチャネル式レーザープリントヘッドの中央チャネルが走査されたか？
この決定ステップでは、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の中央の１または２以上の活性チャネルが、動作制御システム１１０を使用してＹ軸に沿って、Ｙ-スリット開口部１３４を横断するように走査されたかどうかを決定する。「はい」の場合、方法６００はステップ６３６へ進む。「いいえ」の場合、方法６００はステップ６３４へ進む。
【００４０】
ステップ６３４：プリントヘッドの中央チャネルを活性化
このステップでは、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のすべてのチャネルを脱活性化する。その後、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の中央に位置する１または２以上のチャネルを活性化させる。方法６００はステップ６１４へ戻る。
【００４１】
ステップ６３６：マルチチャネル式レーザープリントヘッドの両端部が走査されたか？
この決定ステップでは、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の両端部が、動作制御システム１１０を使用して、Ｙ軸に沿って、Ｙ-スリット開口部１３４を横断するように走査されたかどうかを決定する。「はい」の場合、方法６００はステップ６４０へ進む。「いいえ」の場合、方法６００はステップ６３８へ進む。
【００４２】
ステップ６３８：プリントヘッドの第２端部を活性化
このステップでは、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のすべてのチャネルを脱活性化する。その後、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の第２端部に位置する１または２以上のチャネルを活性化させる。方法６００はステップ６１４へ戻る。
【００４３】
ステップ６４０：マルチチャネル式レーザープリントヘッドのシータ-Ｙ、シータ-Ｚおよび高さＺを決定
このステップでは、プリントヘッドの両端チャネル（複数可）および所望であれば中央チャネルからステップ６１８および６２４において測定された放射照度データならびにステップ６３０において測定されたＺ高さデータを使用して、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のシータ-Ｙ（ΘＹ）、シータ-Ｚ（ΘＺ）および高さＺを計算する。マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のシータ-Ｙ（ΘＹ）、シータ-Ｚ（ΘＺ）および高さＺは、チャネル１〜チャネルｎの最良の焦点位置を達成するように決定される。マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のシータ-Ｙ（ΘＹ）、シータ-Ｚ（ΘＺ）および高さＺに対する対応する調整の補正値または振幅についても決定する。方法６００はステップ６４２へ進む。
【００４４】
ステップ６４２：マルチチャネル式レーザープリントヘッドのシータ-Ｙ、シータ-Ｚおよび高さＺを調整してロッキング
このステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を、３つの自由度において、必要であればステップ６４０で計算されたシータ-Ｙ（ΘＹ）、シータ-Ｚ（ΘＺ）および高さＺを使用して、補正値に基づき調整して、材料転写面においてチャネル１〜チャネルｎの最良の焦点位置Ｎを達成する。それはスリット検出器面からＺにおいてオフセットされることができる。また、レーザー光線１１８はＹ軸に直交する。プリントヘッド配向（シータ-Ｙ（ΘＹ）、シータ-Ｚ（ΘＺ））およびＺ高さの調整は、上述の動作制御システム１１０において追加の制御軸を使用して、手動でまたは自動的に、行うことができる。交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の配向およびＺ高さを所定の位置にロックする。方法６００はステップ６４４へ進む。
【００４５】
ステップ６４４：プリントヘッドのＸ-Ｙ座標を確立
このステップでは、交換マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の、例えば第１および最終（第ｎ）チャネルをＣＣＤカメラ１４４で画像化し、動作制御システム１１０のＸ座標およびＹ座標に関して各チャネルセントロイドのＸ-Ｙ座標を確立する。このステップは、プリントヘッドの動作制御システム１１０に対する最後の２つの自由度、ＸおよびＹ、におけるアラインメントを提供する。方法６００は終了する。再検討するに、上記方法は、マルチチャネル式レーザープリントヘッドを５つの自由度においてアラインする。
【００４６】
方法６００の別態様として、Ｙ-スリット開口部１３４およびＹ-光検出器１４０の代わりに、ピーク光量を決定する画像処理ソフトウェアおよび適切な減衰器を備えたＣＣＤカメラを使用して、ステップ６１６〜６２６においてＺ高さについてレーザー光線チャネルピーク放射照度を決定してもよい。レーザー光線チャネルＸ，Ｙセントロイド位置は、例えば、Spiricon社のＣＣＤカメラ画像形成システムを使用し、適当なＣＣＤ画像処理ソフトウェアで決定される。この別態様の測定方法を成功裏に実施するためには、良好な均一ＣＣＤ画素応答およびカメラ較正が重要である。
【００４７】
要するに、方法６００は、本発明によるOLED製造のためのLTTプロセスにおいてマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を交換する方法である。これは、供与体１２０に関してＹ-スリット開口部１３４およびＸ-スリット開口部１３０のＺ次元における位置を定めることにより、実際に印刷作業を実行する必要なく、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の最良の焦点位置をセットアップするための基準としてＹ-スリット開口部１３４およびＸ-スリット開口部１３０を使用することを可能にする。Ｘ-スリット開口部１３０とＸ-光検出器１３８の組立体およびＹ-スリット開口部１３４とＹ-光検出器１４０の組立体は、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を交換もしくは較正する時またはマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の状態を確認する時に使用するための信頼できる基準を提供する。方法６００に概説した方法は、マルチチャネル式レーザープリントヘッドの少なくとも一つのチャネルの異なる３つのグループからの少なくとも３組のレーザー放射照度プロフィールの使用に基づく３つの自由度においてプリントヘッドのアラインを可能にする。次いで、動作制御システムのＸ座標およびＹ座標に関して、最後の２つの自由度ＸおよびＹを確立する。
【００４８】
図７に、本発明によるOLED製造のためのLTTプロセスに含まれるＬＴプリンタシステムでプリントヘッドの初期セットアップする方法７００の流れ図を示す。図１〜５に記載したＬＴプリンタシステム１００を、方法７００のステップ全体について参照する。方法７００は、材料転写面と狭い開口部面との間のオフセット距離を決定し、そのオフセット距離に従いマルチチャネル式レーザープリントヘッドの位置を調整する。
【００４９】
方法７００は次のステップを含む。
ステップ７１０：供与体と受容体を転写チャンバ内に設置
このステップでは、ＬＴプリンタシステム１００のＬＴステーション１１２の真空チャンバ１２２の内部に、供与体１２０および組み合わされた受容体（基板）を設置する。方法７００はステップ７１２へ進む。
【００５０】
ステップ７１２：マルチチャネル式レーザープリントヘッドのＺ高さを−Ｄ位置まで低下
このステップでは、概算された公称最良焦点位置Ｎ（図２参照）から、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さを−Ｄ位置、例えば、Ｎから−２５０μｍまで、マイクロメートルＺ位置トランスレータを使用して低下させる。ここで、Ｎは分析的に決定される。方法７００はステップ７１４へ進む。
【００５１】
ステップ７１４：供与体から有機材料を部分転写させるためのレーザー出力レベルを設定
このステップでは、レーザー供給マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のパワーレベルを、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を最良の焦点Ｚ高さに設定した場合に、供与体１２０から材料の一部が（全部ではない）転写されるように、設定する。この操作により、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６が、焦点が最良ではないＺ高さ設定にある場合に、基板に転写される材料がほとんどまたはまったく無いことが確実になる。方法７００はステップ７１６へ進む。
【００５２】
ステップ７１６：第１帯域を印刷
このステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さ位置を−Ｄに設定した状態で、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を、動作制御システム１１０により高速走査方向（Ｙ軸）に、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の全チャネルを活性化させた状態で並進させながら第１帯域の印刷を行い、レーザー光線１１８を供与体１２０に当てる。この帯域（swath）に関連するマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さの値をＬＴプリンタシステム１００のシステムコントローラ１１１に保存する。方法７００はステップ７１８へ進む。
【００５３】
ステップ７１８：マルチチャネル式レーザープリントヘッドのＺ高さを上昇
このステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さを、マイクロメートルＺ位置トランスレータを使用して、所定の増分ΔＤだけ上昇させる。ΔＤは、例えば＋２５μｍである。方法７００はステップ７２０へ進む。
【００５４】
ステップ７２０：次の帯域を印刷
このステップでは、動作制御システム１１０により低速走査方向（Ｘ軸）においてマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を１段階並進させる。動作制御システム１１０により高速走査方向（Ｙ軸）において並進するマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６により、先に印刷済の帯域に隣接する次の帯域の印刷を行い、その際マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の全チャネルを活性化させて、レーザー光線１１８を供与体１２０に当てる。この帯域に関連するマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さの値をＬＴプリンタシステム１００のシステムコントローラ１１１に保存する。方法７００はステップ７２２へ進む。
【００５５】
ステップ７２２：＋Ｄ位置に到達したか？
この決定ステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さが＋Ｄ位置に設定されているかどうかを決定する。「いいえ」の場合には、方法７００はステップ７１８へ戻る。「はい」の場合には、方法７００はステップ７２４へ進む。
【００５６】
ステップ７２４：供与体と受容体のシートを取り出す
このステップでは、供与体１２０および組み合わされた受容体（基板）を、ＬＴプリンタシステム１００のＬＴステーション１１２の真空チャンバ１２２から取り出して、光検査ステーションへ移送する。方法７００はステップ７２６へ進む。
【００５７】
ステップ７２６：受容体シート上の帯域を検査
このステップでは、受容体（基板）を目視検査し、供与体からの材料が最も多い帯域を捜し出す。方法７００はステップ７２８へ進む。
【００５８】
ステップ７２８：マルチチャネル式レーザープリントヘッドのＺ高さの最良焦点位置を決定
このステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッドのＺ高さの最良焦点位置を、ステップ７２６において（ＬＴプリンタシステム１００のコントローラ１１１から検索されて）捜し出された材料転写量の最も多い帯域に対応するＺ高さにおけるものとして決定する。同時に、対応するマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の高さＺに対する調整の振幅または補正値も決定する。方法７００はステップ７３０へ進む。
【００５９】
ステップ７３０：マルチチャネル式レーザープリントヘッドのＺ高さを最良焦点位置に設定
このステップでは、ステップ７２８において材料転写量が最も多くなった位置に対応する補正値に基づくＺ高さに、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さを設定する。方法７００はステップ７３２に進む。
【００６０】
ステップ７３２：マルチチャネル式レーザープリントヘッドのＺ高さの最良焦点位置を保存
このステップでは、ステップ７２８で決定された位置に対応するマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＺ高さ、および供与体１２０の材料転写面と狭い開口面またはＹ-スリット開口部１３４との間のオフセット距離または高低差を、ＬＴプリントシステム１００のコントローラ１１１に保存する。方法７００は終了する。
【００６１】
要するに、方法７００は、本発明によるOLED製造のためのＬＴＴプロセスにおけるマルチチャネル式レーザープリントヘッドの初期セットアップのために供与体１２０の材料転写面に関してマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の最良焦点設定を決定する方法である。方法７００は、供与体１２０の材料転写面とＹ-スリット開口部１３４またはＸ-スリット開口部１３０との間に位置変化が発生する場合にも使用される。
【００６２】
図８に、本発明によるOLED製造のためのＬＴプロセスにおいてレーザー光線の放射照度プロフィールを測定してプリントヘッドの全パワーを測定する方法８００の流れ図を示す。方法８００を開始する前に方法６００および７００が既に実行されており、マルチチャネル式レーザープリントヘッドの焦点がＸ-スリットおよびＹ-スリットの開口部平面に合わされているものと仮定する。方法８００のステップ全体を通して、図１〜図５に記載したようなＬＴプリンタシステム１００を参照する。すべてのチャネルを活性化されたオンにした時に、それらはＬＴステーション１１２内の受容体へ供与体材料の大部分または全部を転写させるに十分なレーザー放射照度および均一性を提供する必要があり、例えば、転写閾値より十分に高いことが必要である。すべてのチャネルを活性化されたオフにした時には、それらはＬＴステーション１１２内の受容体へ供与体材料をほとんどまたはまったく転写しないように十分低い放射照度ならびに高いコントラストおよび均一性を提供する必要があり、例えば、転写閾値より十分に低いことが必要である。
【００６３】
方法８００は次のステップを含む。
ステップ８１０：マルチチャネル式レーザープリントヘッド変調器の第１極性状態を設定
このステップでは、レーザープリントヘッド変調器の２つの極性状態、例えば電圧極性の第１を設定する。方法８００はステップ８１２へ進む。
【００６４】
ステップ８１２：マルチチャネル式レーザープリントヘッドをＸ-スリット開口部に対して位置調整
このステップでは、動作制御システム１１０を使用して、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６をＬＴプリンタシステム１００のＸ軸およびＹ軸に沿って並進させ、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を、Ｘ-スリット開口部１３０に対して整列するように配置する。方法８００はステップ８１４へ進む。
【００６５】
ステップ８１４：マルチチャネル式レーザープリントヘッドをＸ-スリット開口部を横断するように走査して、レーザー放射照度プロフィールを測定
このステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の全チャネルは活性化されたオン状態にあり、そして動作制御システム１１０を使用してマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６をＸ軸に沿ってＸ-スリット開口部１３０を横断するように走査する。得られたレーザー光線１１８は、Ｘ-スリット開口部１３０のスリット１３２を順次通過して、Ｘ-光検出器１３８に当たる。Ｘ-光検出器１３８は、レーザー光線１１８の放射照度を検出し、これに従い、ＬＴプリンタシステム１００のコントローラ１１１が受信して記録する出力信号を発生する。Ｘ-光検出器１３８の出力信号は、移動制御システム１１０から受信され、例えば、図５のプロット５００のＯＮ曲線５１０によって示されるように、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＸ位置の関数として収集される。方法８００はステップ８１６へ進む。
【００６６】
ステップ８１６：放射照度が許容誤差範囲内にあるか？
この決定ステップでは、図５に示したようにＩONmax〜ＩONminの範囲内にあるレーザー光線１１８の放射照度値が所定の限界内、例えば、ＩONmaxの１５％以内にあることを確認する。放射照度値が許容誤差範囲内にある場合には、方法８００はステップ８２４へ進む。ない場合には、方法８００はステップ８１７へ進む。
【００６７】
ステップ８１７：マルチチャネル式レーザープリントヘッドは故障か？
この決定ステップでは、ステップ８１４において測定されたレーザー光線放射照度値に基づきマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のグロス故障があるかどうかを決定する。その場合、またはマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６がチャネルバランス取り作業を何回も（例、５回以上）必要とすることが決定された場合には、方法８００はステップ８１８へ進む。そうでない場合は、方法８００はステップ８２０へ進む。
【００６８】
ステップ８１８：補正を実行？
この決定ステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６を密接に監視し、交換し、または修復すべきであるかどうかを決定する。
【００６９】
ステップ８２０：チャネルバランス
この決定ステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１６６が、ステップ８１４で測定されたレーザー放射照度値に基づいてチャネルバランス取り手順を必要とするかどうかを決定する。「はい」の場合、方法８００はステップ８２２へ進む。「いいえ」の場合、方法８００はステップ８２４へ進む。
【００７０】
ステップ８２２：チャネルバランス取りを実行
このステップでは、各レーザー光線チャネル（または欧州特許第１０９４９２５号明細書にあるように、２以上のレーザー光線の各グループ）の放射照度レベルを、放射照度値が同等になるように調整する。別態様として、相反則不軌を考慮し、供与体１２０の材料へ同等のエネルギーが送られるように書込み時の各光線チャネルのパルス幅を調整する。その後、方法８００はステップ８１２へ戻る。
【００７１】
ステップ８２４：コントラストを決定
このステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１６６の全チャネルを脱活性化（Ｉoff）するかまたは活性化されたオフ状態にし、そして動作制御システム１１０を使用してＸ軸に沿ってＸ-スリット開口部１３０を横断するようにマルチチャネル式レーザープリントヘッド１６６を走査する。残りのレーザー光線チャネル放出はＸ-スリット開口部１３０のスリット１３２を通過し、そしてＸ-光検出器１３８がすべてのチャネル放出を検出し、これに従い出力信号を発生させ、その信号をＬＴプリンタシステム１００のコントローラ１１１が受信して記録する。Ｘ-光検出器１３８の出力信号は、移動制御システム１１０から受信され、例えば、図５のプロット５００のＯＦＦ曲線５２０によって示されるように、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＸ位置の関数として収集される。マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の各チャネルについてＩON／ＩOFF比を計算し、そしてＬＴプリンタシステム１００のコントローラ１１１によって記録する。方法８００はステップ８２６へ進む。
【００７２】
ステップ８２６：コントラスト故障？
この決定ステップでは、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の各チャネルについて計算されたＩON／ＩOFF比を所定の許容可能値（例、≧１０）と比較することにより、コントラストが故障しているチャネルがあるかどうかを決定する。計算されたＩON／ＩOFF比がこの所定の許容可能値を越えているマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のチャネルは、コントラスト故障として分類される。故障しているチャネルが見つかった場合には、方法８００はステップ８２８へ進む。故障しているチャネルが無い場合には、方法８００はステップ８３０へ進む。
【００７３】
ステップ８２８：不良チャネルを同定
このステップでは、故障しているＩON／ＩOFF値と相関するマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のＸ位置に基づき、故障したチャネルを同定する。方法８００はステップ８１８へ進む。
【００７４】
ステップ８３０：レーザー電流を設定
このステップでは、コントローラ１１１から現在検出されているレーザー駆動電流およびステップ８１４で測定されたマルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６の全チャネルのＩON値の合計を使用して、レーザー駆動電流と全プリントヘッド出力パワーとの関係を決定する。この合計値は、曲線を積分した時の全プリントヘッド出力レーザーパワーの表示となる。方法８００はステップ８３２へ進む。
【００７５】
ステップ８３２：変調器の両極性状態を測定？
この決定ステップでは、チャネル放射照度プロフィールを、変調器の両極性状態について測定したかどうかを決定する。「はい」の場合、方法８００は終了する。「いいえ」の場合、方法８００はステップ８３４へ進む。
【００７６】
ステップ８３４：変調器の極性状態を反転
このステップでは、２つの極性状態の第２番目に設定する。方法８００はステップ８１２へ戻る。
【００７７】
要するに、動作制御システム１１０の上に搭載されたＬＴステーション１１２および検出システム１１４を含むＬＴプリンタシステム１００は、ＯＬＥＤ表示装置を製造するためのＬＴＴプロセスにおいて、マルチチャネル式レーザープリントヘッド１１６のようなマルチチャネル式レーザープリントヘッドをアラインし、較正し、そして維持する方法（すなわち、それぞれ方法６００、方法７００および方法８００）およびそのためのシステムを提供することにより、ＯＬＥＤ表示装置を製造するためのＬＴＴプロセスにおいて、処理の誤差を最小にし、均一な印刷を達成し、そしてマルチチャネル式レーザープリントヘッドの健全状態を評価または確認する簡単な検出方法を提供するものである。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】レーザー熱（LT）プリンタシステムを示すハイレベルブロック図である。
【図１−Ａ】OLED製造プロセスに用いられる、図１のレーザー熱（LT）プリンタシステムを示す側面図である。
【図１−Ｂ】OLED製造プロセスに用いられる、図１のレーザー熱（LT）プリンタシステムを示す上面図である。
【図２】本発明によるマルチチャネル式レーザープリンタシステムの検出システムの第１部分を示す分解図である。
【図３】本発明によるＹ-光検出器により測定されたマルチチャネル式レーザープリントヘッドのＹ位に対する典型的なレーザー放射照度プロフィールを代表する一連のプロットである。
【図４】本発明によるマルチチャネル式レーザープリンタシステムの検出システムの第２部分を示す分解図である。
【図５】マルチチャネル式レーザープリントヘッドのＸ位に対するＸ-光検出器により測定された放射照度の関数としてマルチチャネル式レーザープリントヘッドの全チャネルの典型的なレーザー放射照度プロフィールを代表する二つのプロットである。
【図６】本発明によるOLED製造のためのLTTプロセスに含まれるプリントヘッドの交換方法を示す流れ図である。
【図７】本発明によるOLED製造のためのLTTプロセスに含まれるプリントヘッドの初期セットアップ方法を示す流れ図である。
【図８】本発明によるOLED製造のためのLTTプロセスに含まれるプリントヘッドのチャネル放射照度および全出力を測定する方法を示す流れ図である。
【符号の説明】
【００７９】
１００    レーザー熱（LT）プリンタシステム
１１０    動作制御システム
１１１    コントローラ
１１２    LTステーション
１１３    位置的指令
１１４    検出システム
１１５    プリントヘッド制御指令
１１６    マルチチャネル式レーザープリントヘッド
１１７    放射照度データ
１１８    レーザー光線
１１９    位置データ
１２０    供与体
１２２    真空チャンバ
１２４    窓
１２６    チャンバ壁
１２８    窓
１３０    Ｘ-スリット開口部
１３２    スリット
１３４    Ｙ-スリット開口部
１３５    Ｘ-減衰器
１３６    スリット
１３７    Ｙ-減衰器
１３８    Ｘ-光検出器
１４０    Ｙ-光検出器
１４２    包囲体
１４４    ＣＣＤカメラ
５１０    ＯＮ曲線
５２０    ＯＦＦ曲線
【図１】
2005035297.tif 000003
【図１−Ａ】
2005035297.tif 000004
【図１−Ｂ】
2005035297.tif 000005
【図２】
2005035297.tif 000006
【図３】
2005035297.tif 000007
【図４】
2005035297.tif 000008
【図５】
2005035297.tif 000009
【図６】
2005035297.tif 000010
【図７】
2005035297.tif 000011
【図８】
2005035297.tif 000012