(57)【要約】【課題】準備や操作に手間を要することなく簡単に管路の閉塞を防止するとともに、所定範囲の管路の堆積物を同時に掻き落として排出することができる管路の閉塞防止装置を提供すること。【解決手段】流体が流通する管路１の一端部に回転駆動装置３を設置し、この回転駆動装置３の回転軸３１から管路１内に弾性を有する掻き落とし部材４を延設する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が流通する管路の一端部に回転駆動装置を設置し、該回転駆動装置の回転軸から管路内の下流側に弾性を有する掻き落とし部材を延設したことを特徴とする管路の閉塞防止装置。
【請求項２】
前記掻き落とし部材が起毛した撚りワイヤからなることを特徴とする請求項１記載の管路の閉塞防止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体、例えば、粉体等の固形分を含有する気体や液体が流通する管路の閉塞防止装置に関し、特に、準備や操作に手間を要することなく簡単に管路の閉塞を防止するとともに、所定範囲の管路の堆積物を同時に掻き落として排出することができる管路の閉塞防止装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体の製造に用いた処理排ガスには細かい粉体が含まれており、このような処理排ガスの輸送配管には、粉体等の堆積物による閉塞を未然に防止するために管路の閉塞防止装置が準備されている。
従来の管路の閉塞防止装置としては、先端にブラシを装着したワイヤと、該ワイヤを繰り出してまた巻き取りする巻取器とを備え、管路にワイヤを挿入して抜き出すことにより、管路内の粉体等の堆積物をブラシによって掻き落とす装置があった。
【０００３】
しかしながら、この管路の閉塞防止装置は、使用の度に管路の一部を取り外して開口させ、この開口部から前記ワイヤを挿入して堆積物を掻き落とすことから、準備や操作が煩雑で手間を要するとともに、ワイヤ先端のブラシを摺動させることにより堆積物を掻き落とすことから、ブラシがある部分しか管路の掻き落としができないという問題を有している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記従来の管路の閉塞防止装置が有する問題点に鑑み、準備や操作に手間を要することなく簡単に管路の閉塞を防止するとともに、所定範囲の管路の堆積物を同時に掻き落として排出することができる管路の閉塞防止装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明の管路の閉塞防止装置は、流体が流通する管路の一端部に回転駆動装置を設置し、該回転駆動装置の回転軸から管路内に弾性を有する掻き落とし部材を延設したことを特徴とする。
【０００６】
この場合において、前記掻き落とし部材を起毛した撚りワイヤによって構成することができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の管路の閉塞防止装置によれば、流体が流通する管路の一端部に回転駆動装置を設置し、該回転駆動装置の回転軸から管路内に弾性を有する掻き落とし部材を延設することから、予め既設の管路に閉塞防止装置を設置しておき、必要時に回転駆動装置を駆動して掻き落とし部材を回転させることにより、管路内の堆積物を掻き落とすことができ、これにより、準備や操作に手間を要することなく簡単に管路の閉塞を防止するとともに、管路内に延設した掻き落とし部材を回転させることにより、所定範囲の管路の堆積物を同時に掻き落とし、この掻き落とした堆積物を排出することができる。
【０００８】
また、前記掻き落とし部材を起毛した撚りワイヤによって構成することにより、効率的に管路内の粉体等を掻き落として、管路の閉塞を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の管路の閉塞防止装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１〜図３に、本発明の管路の閉塞防止装置の一実施例を示す。
この管路の閉塞防止装置は、気体や液体が流通する管路１の一端部に開口部２を設けるとともに、該開口部２に回転駆動装置３を設置し、該回転駆動装置３の回転軸３１から管路１内の下流側に弾性を有する掻き落とし部材４を偏心するように延設している。
【００１１】
開口部２は、図１〜図２に示すように、管路１のエルボの外側や直線部の途中に、管路１と略同形の配管２１を接続することにより形成されている。
この配管２１は、管路１の流れ方向に対し略平行又はやや傾斜するように接続されている。
【００１２】
回転駆動装置３はモータ３４と変速機３５を備え、配管２１の開口部２にフランジ３２とパッキンを介して気密又は液密に固定されており、図示省略する制御装置により、定期的又は任意に自動又は手動でモータ３４を駆動することができる。
回転駆動装置３の回転軸３１の先端部には、該回転軸３１と直交するようにワイヤ固定部材３３が固定されており、該ワイヤ固定部材には掻き落とし部材４が固定されている。
【００１３】
掻き落とし部材４は、本実施例では起毛した撚りワイヤ、すなわちモールによって構成されており、回転駆動装置３の回転軸３１から管路１内の下流側に、例えば、１０ｃｍ〜２ｍの長さで延設することができる。
この掻き落とし部材４は、ステンレス、フッ素樹脂やセラミック加工した鉄、インコネル、ハステロイ、セラミック、ナイロン等の合成樹脂、又は各種繊維などを素材として、所定の弾性及び可撓性を有する部材として構成することができる。
一方、掻き落とし部材４を回転駆動装置３の回転軸３１から管路１内に延設する場合、例えば、図３（ａ）に示すように、先端をＵ字状に折り曲げて延設したワイヤの基部をそれぞれ回転軸３１から偏心した位置に固定したり、図３（ｂ）に示すように、直線状に延設したワイヤの基部を回転軸３１から偏心した位置に固定したりすることができる。
また、図３（ｃ）に示すように、螺旋状に形成したワイヤの基端を回転軸３１に固定することも可能であり、さらに、波形の線材やブラシ状のものなど適宜の構造を採用することもできる。
【００１４】
かくして、本実施例の管路の閉塞防止装置は、流体が流通する管路１の一端部に開口部２を設けるとともに、該開口部２に回転駆動装置３を設置し、該回転駆動装置３の回転軸３１から管路１内の下流側に弾性を有する掻き落とし部材４を延設することから、予め既設の管路１に閉塞防止装置を設置しておき、必要時に回転駆動装置３を駆動して掻き落とし部材４を回転させることにより、管路１内の堆積物を掻き落とすことができ、これにより、準備や操作に手間を要することなく簡単に管路１の閉塞を防止するとともに、管路１内の下流側に延設された掻き落とし部材４を回転させることにより、所定範囲の管路１の堆積物を同時に掻き落とし、この掻き落とした堆積物を流体の流れに乗せて下流側に排出することができる。
【００１５】
以上、本発明の管路の閉塞防止装置について、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実施例に記載した構成を適宜組み合わせる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【００１６】
本発明の管路の閉塞防止装置は、準備や操作に手間を要することなく簡単に管路の閉塞を防止するとともに、所定範囲の管路の堆積物を同時に掻き落として排出ことができるという特性を有していることから、半導体処理排ガスの輸送配管の閉塞防止の用途に好適に用いることができるほか、粉体等の固形分を含有する気体や液体が流通する管路の閉塞防止の用途に広く用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の管路の閉塞防止装置の一実施例を示す断面図である。
【図２】同閉塞防止装置を示し、（ａ）は配管の直線部に合流する例を示す断面図、（ｂ）は曲線の配管に設置した例を示す断面図である。
【図３】掻き落とし部材の例を示し、（ａ）はＵ字状に設けた例を示す正面図、（ｂ）は直線状に設けた例を示す正面図、（ｃ）は螺旋状に設けた例を示す正面図である。
【符号の説明】
【００１８】
１    管路
２    開口部
２１  配管
３    回転駆動装置
３１  回転軸
３２  フランジ
３３  ワイヤ固定部材
３４  モータ
３５  変速機
４    掻き落とし部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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