(57)【要約】【課題】  磁気ヘッドの試験を的確に行うことができ、磁気ヘッドの良品を確実に提供することを可能にする磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法を提供する。【解決手段】  被試験品である磁気ヘッド１４を用いて磁気媒体１２に書き込み、読み取り操作を行って磁気ヘッド１４の性能を試験する磁気ヘッド試験機の位置決め精度を評価する方法であって、前記磁気ヘッド試験機に装着した同一の磁気ヘッド１４について、GAPオフセット量を計測するGAPS試験を複数回行うことにより複数個のGAPSプロファイルを取得し、取得された複数個のGAPSプロファイルからGAPオフセット変動量を算出し、その算出結果を磁気ヘッドの位置再現性を評価する指標とするとして評価する。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験品である磁気ヘッドを用いて磁気媒体に書き込み、読み取り操作を行って磁気ヘッドの性能を試験する磁気ヘッド試験機の位置決め精度を評価する方法であって、
前記磁気ヘッド試験機に装着した同一の磁気ヘッドについて、GAPオフセット量を計測するGAPS試験を複数回行うことにより複数個のGAPSプロファイルを取得し、
取得された複数個のGAPSプロファイルからGAPオフセット変動量を算出し、その算出結果を磁気ヘッドの位置再現性を評価する指標とすることを特徴とする磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法。
【請求項２】
被試験品である磁気ヘッドを用いて磁気媒体に書き込み、読み取り操作を行って磁気ヘッドの性能を試験する磁気ヘッド試験機の位置決め精度を評価する方法であって、
前記磁気ヘッド試験機に装着した同一の磁気ヘッドについて、GAPオフセット量を計測するGAPS試験を複数回行うことにより複数個のGAPSプロファイルを取得し、
取得された複数個のGAPSプロファイルからライトコア幅変動量を算出し、その算出結果を磁気ヘッド試験機の移動量のリニアリティ精度を評価する指標とすることを特徴とする磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法。
【請求項３】
被試験品である磁気ヘッドを用いて磁気媒体に書き込み、読み取り操作を行って磁気ヘッドの性能を試験する磁気ヘッド試験機の位置決め精度を評価する方法であって、
前記磁気ヘッド試験機に装着した同一の磁気ヘッドについて、GAPオフセット量を計測するGAPS試験を行うことによりGAPSプロファイルを取得し、
取得されたGAPSプロファイルのピーク値の５０％近傍位置における５０％ポジション感度を算出するとともに、GAPSプロファイルの５０％位置に磁気ヘッドを移動させて当該移動位置で任意の時間間隔で出力レベルを測定し、
出力レベルの変動量と前記５０％ポジション感度とから５０％位置変動量算出し、
その算出結果を磁気ヘッドの位置安定精度の指標とすることを特徴とする磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法。
【請求項４】
請求項３記載の磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法において、
任意の時間間隔で出力レベルを測定する方法にかえて、５０％位置で出力レベルを測定した後、磁気ヘッドを任意位置に移動させ、再度５０％位置に復帰させて出力レベルを測定して得られた出力レベルの変動量と５０％ポジション感度とから５０％位置変動量を算出することを特徴とする磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気ディスク装置に搭載される磁気ヘッドの性能を試験する磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドの製造工程では、磁気ヘッドの性能を検査するため実際に磁気ヘッドを用いて磁気媒体に信号を書き込み、読み取りする試験が行われる。
図１は、磁気ヘッド試験機の概略構成を示す。この磁気ヘッド試験機は、スピンドルモータ等の磁気ディスク駆動機構１０と、磁気ディスク駆動機構１０により回転駆動される磁気媒体１２と、被試験品である磁気ヘッド１４を支持するヘッド取付機構２０を備える。ヘッド取付機構２０は被試験品である磁気ヘッドを交換してセットできるように構成されている。ヘッド取付機構２０は磁気ヘッドを径方向に移動させるヘッド駆動機構２２に支持され、ヘッド駆動機構２２は磁気ヘッドを磁気媒体１２の表面に対して接離させるロード／アンロード機構２４に支持されている。
【０００３】
この磁気ヘッド試験機を用いて磁気ヘッドを試験する場合は、被試験品である磁気ヘッド１４をヘッド取付機構２０に取り付け、ヘッド駆動機構２２およびロード／アンロード機構２４により、磁気ヘッド１４を磁気媒体１２の所定位置に位置決めし、ライト制御回路１６により磁気媒体１２に信号を書き込み、次いでレベル測定回路１８を用いて磁気ヘッド１４により磁気媒体１２に記録されている信号を読み取ることによってなされる。制御部２５はヘッド駆動機構２２を駆動して磁気ヘッドを径方向にピッチ送りしてレベル測定回路１８によって読み取り信号の出力レベルを検知するといった操作を行う。
【０００４】
ところで、磁気ヘッド１４に設けられている書き込みヘッドと読み取りヘッドは、トラック方向（磁気媒体の径方向）にわずかにオフセットされて配置される。書き込みヘッドと読み取りヘッドとのオフセット量は、スライダに形成されている書き込みヘッドと読み取りヘッドとの間隔に依存するものであり、製造上のばらつきにより製品ごとに異なる。したがって、磁気ヘッド試験機でオフセット量を計測し、オフセット量が許容値を超えている場合には不良品とされる（たとえば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平９−２８８８１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
磁気ヘッド試験機では、書き込みヘッドと読み取りヘッドとのオフセット量を計測する他に種々の検査項目がある。これらの試験では、磁気ヘッド１４が数十ｎｍ程度位置ずれするだけで試験結果が大きく変化する。したがって、磁気ヘッドの良否を的確に試験できるようにするには、磁気ヘッド１４を磁気媒体１２に対して正確に位置決めすることができなければならない。
【０００６】
しかしながら、磁気ヘッド１４を位置ずれさせる要因には、回転機構部の障害、取付ねじの緩み、ごみの付着による位置ずれ、スピンドルによる振動、床振動、環境温度変化による磁気媒体やヘッドサスペンションの熱膨張／熱収縮、磁気ヘッド取り付け部の固定力不足による位置ずれ等のさまざまな要因がある。磁気ヘッドの試験機では、試験時に磁気ヘッド１４が位置ずれしないように装置の剛性を高めたり、振動を低減させたりすることが行われているのであるが、必ずしも十分とは言い難い。
【０００７】
また一方、磁気記録の高密度化とともに、磁気媒体のトラック幅が狭くなってきているため、磁気ヘッド試験機自体について、高度の位置決め安定性、セット位置の繰り返し再現性といった性能が求められるようになってきた。このため、磁気ヘッドを試験する磁気ヘッド試験機自体が所要の精度を備えているか否かを確認し、所要の精度を備えている磁気ヘッド試験機を使用して試験することが必要になってきた。
磁気ヘッドの書き込み、読み取り試験は磁気ヘッドの全数に対して行うから、試験作業は実際には複数台の磁気ヘッド試験機を使用して行われている。したがって、これらの磁気ヘッド試験機について、所要の精度を備えていることを確認して試験することは、磁気ヘッドの良否を正確に判定し、磁気ヘッドの良品を提供する上で重要となる。
【０００８】
本発明は、このように磁気ヘッドの精度を正確に評価することを可能にし、これによって磁気ヘッドの良品を確実に提供することを可能にする磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法を提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、被試験品である磁気ヘッドを用いて磁気媒体に書き込み、読み取り操作を行って磁気ヘッドの性能を試験する磁気ヘッド試験機の位置決め精度を評価する方法であって、前記磁気ヘッド試験機に装着した同一の磁気ヘッドについて、GAPオフセット量を計測するGAPS試験を複数回行うことにより複数個のGAPSプロファイルを取得し、取得された複数個のGAPSプロファイルからGAPオフセット変動量を算出し、その算出結果を磁気ヘッドの位置再現性を評価する指標とすることを特徴とする。
【００１０】
また、被試験品である磁気ヘッドを用いて磁気媒体に書き込み、読み取り操作を行って磁気ヘッドの性能を試験する磁気ヘッド試験機の位置決め精度を評価する方法であって、前記磁気ヘッド試験機に装着した同一の磁気ヘッドについて、GAPオフセット量を計測するGAPS試験を複数回行うことにより複数個のGAPSプロファイルを取得し、取得された複数個のGAPSプロファイルからライトコア幅変動量を算出し、その算出結果を磁気ヘッド試験機の移動量のリニアリティ精度を評価する指標とすることを特徴とする。
【００１１】
また、被試験品である磁気ヘッドを用いて磁気媒体に書き込み、読み取り操作を行って磁気ヘッドの性能を試験する磁気ヘッド試験機の位置決め精度を評価する方法であって、前記磁気ヘッド試験機に装着した同一の磁気ヘッドについて、GAPオフセット量を計測するGAPS試験を行うことによりGAPSプロファイルを取得し、取得されたGAPSプロファイルのピーク値の５０％近傍位置における５０％ポジション感度を算出するとともに、GAPSプロファイルの５０％位置に磁気ヘッドを移動させて当該移動位置で任意の時間間隔で出力レベルを測定し、出力レベルの変動量と前記５０％ポジション感度とから５０％位置変動量算出し、その算出結果を磁気ヘッドの位置安定精度の指標とすることを特徴とする。この評価方法によれば磁気ヘッドが時間経過とともに位置ずれする様子を正確に把握することができ、磁気ヘッド試験機の位置決め精度をより正確に評価することができる。
【００１２】
また、前記磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法において、任意の時間間隔で出力レベルを測定する方法にかえて、５０％位置で出力レベルを測定した後、磁気ヘッドを任意位置に移動させ、再度５０％位置に復帰させて出力レベルを測定して得られた出力レベルの変動量と５０％ポジション感度とから５０％位置変動量を算出することを特徴とする。この評価方法によれば、磁気ヘッドがシーク移動する際における位置決め精度を正確に把握して評価することができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法は、磁気ヘッドを試験する際に取得するGAPSプロファイルを磁気ヘッド試験機自体の位置決め精度の評価に利用することで、正確にかつ容易に磁気ヘッド試験機の位置決め精度を評価することが可能になる。この評価方法によれば磁気ヘッド試験機の精度を随時評価することが可能であり、磁気ヘッドの試験が的確になされているか磁気ヘッド試験機自体を監視しながら磁気ヘッドを試験することが可能となり、的確で信頼性の高い磁気ヘッド試験を行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明に係る磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法は、磁気ヘッド試験機を用いて磁気ヘッドの性能を試験する際の計測データを、磁気ヘッド試験機自体の位置決め精度を評価するデータとして利用することを特徴とする。すなわち、磁気ヘッド試験機では、製品の試験項目の一つとして書き込みヘッドと読み込みヘッドのオフセット（GAPオフセット）を計測する試験を行うが、このGAPオフセットを計測する際の測定データ（GAPSプロファイル）を磁気ヘッド試験機の精度を評価する評価データとして使用して磁気ヘッド試験機の精度を評価する。
【００１５】
〔GAPSプロファイルの取得〕
図２は、本発明に係る磁気ヘッド試験機の位置決め精度を測定するためにGAPSプロファイルを取得する工程を示す。
すなわち、まず、磁気ディスク駆動機構１０を駆動して磁気媒体１２を回転開始し（ステップ５０）、磁気ヘッド１４をヘッド取付機構２０に取り付け（ステップ５１）、ロード／アンロード機構２４を用いて試験位置に磁気ヘッド１４をロードする（ステップ５２）。
【００１６】
次に、磁気ヘッド１４をロードした位置を原点とし、ヘッド駆動機構２２を用いてインナー側５μｍから、アウター側５μｍの範囲をイレーズするイレーズ処理を施す（ステップ５３）。
次いで、ロードした位置（原点）に、ライト制御回路１６を用いて任意の周波数で信号を書き込みする（ステップ５４）。
次に、インナー側からアウター側に向け、ヘッド駆動機構２２を使用して０．０２μｍピッチで磁気ヘッド１４を移動させ、読み取りヘッドにより、各トラックでの出力レベルをレベル測定回路１８を用いて読み取る（ステップ５５）。これによって１つのGAPSプロファイルを得ることができる。
【００１７】
次に、得られたGAPSプロファイルの出力レベルがピークとなる位置からGAPオフセット値を決定する（ステップ５６）。また、得られたGAPSプロファイルで出力レベルのピーク値の５０％となるインナー側の位置とアウター側の位置の間隔からライトコア幅を決定する（ステップ５７）。
こうして、この１回目のGAPSプロファイルからオフセット値と、ライトコア幅を取得した後、２回目のGAPSプロファイルを取得する試験に進む。
【００１８】
２回目のGAPSプロファイルを取得する場合は、磁気ヘッドをロード位置からいったんアンロードし（ステップ５８）、磁気ヘッド１４を磁気媒体１２上から磁気ヘッドを退避位置まで戻した後、磁気ヘッド１４をヘッド取付機構２０からアンクランプする（ステップ５９）。
次いで、上記試験で使用した磁気ヘッド１４を再度ヘッド取付機構２０にクランプして装着し（ステップ５１）、磁気媒体１２上の所定位置に磁気ヘッド１４をロードし（ステップ５２）、上述したと同様のステップ５３〜５７によってGAPSプロファイルを取得する。なお、ステップ５３〜５７は磁気ヘッドのGAPオフセット量を検知するためのGAPS試験に相当する。
【００１９】
こうして、繰り返し磁気ヘッドをヘッド取付機構２０にクランプし直し、そのつどGAPSプロファイルを取得する。GAPSプロファイルの取得数は磁気ヘッド試験機の位置精度を見積もることができる程度とすればよい。本実施形態では、ステップ５１〜５９を１０回繰り返し、１０個のGAPSプロファイルを取得した。なお、これらの測定は制御部２５によりヘッド駆動機構２２、ロード／アンロード機構２４およびライト制御回路１６、レベル測定回路１８等を制御することによって自動化して行うことができる。
図３は、図２に示す工程によって得られたGAPSプロファイルの例を示す。なお、図３では、説明上、１〜５回の測定で得られたGAPSプロファイルを示す。
【００２０】
〔磁気ヘッドの位置再現性について〕
磁気ヘッド試験機の位置決め精度が完全であれば、各測定で取得されるGAPSプロファイルは一致したパターンとして得られる筈であるが、実際には、図３に示すように、各回のGAPSプロファイルは僅かに位置ずれしたデータとして得られる。
図３でＡ１は得られたGAPSプロファイルのうちGAPオフセット値の最大値、Ａ２はGAPオフセット値の最小値を示す。すなわち、図３に示したGAPSプロファイルの測定データから、本磁気ヘッド試験機のGAPオフセット変動量を以下のように見積もることができる。
GAPオフセット変動量＝GAPオフセット最大値(A1)−GAPオフセット最小値(A2)
【００２１】
この測定では同一の試験機で同一の磁気ヘッドを用いているから、GAPオフセット値は一定値として得られるものであるが、図３に示すようにGAPオフセット値が変動するということは、磁気ヘッド試験機自体に何らかの位置ずれ要因があることを示す。この位置ずれとしては、ねじ緩み等による位置ずれ、スピンドルの振動、磁気媒体とヘッドサスペンションとの熱膨張差、磁気ヘッド取り付け部の位置ずれ等が考えられる。
すなわち、GAPSプロファイルの測定データから得られたGAPオフセット変動量を見ることによって、磁気ヘッド試験機自体の位置（セット位置）再現性能を評価することができる。そして、所定精度の試験を可能とするためにはGAPオフセット変動量が一定値以下でなければならないことがわかるから、磁気ヘッドを試験する際に磁気ヘッド試験機の位置精度が所要のGAPオフセット変動量以下であることを確認することによって、正確な試験を行うことができる。
【００２２】
〔移動量のリニアリティ精度について〕
ライトコア幅は、GAPSプロファイルの出力レベルがピーク値の５０％となるインナー位置とアウター位置の差（間隔）として求めることができる。図３では、取得されたGAPSプロファイルのうちで、Ｂ１がライトコア幅の最大値、Ｂ２がライトコア幅の最小値を示す。したがって、本磁気ヘッド試験機のライトコア幅の変動量を以下のように見積もることができる。
ライトコア幅変動量＝ライトコア幅最大値(B1)−ライトコア幅最小値(B2)
【００２３】
ライトコア幅が変動する理由は、読み取りヘッドにより出力レベルを測定している際に、位置ずれ現象が起きている、あるいは、ヘッド駆動機構２２によってピッチ送りする際に、ピッチ移動がリニアになされていないことによるものと考えられる。すなわち、磁気ヘッドを移動させて出力レベルを測定する際に、ヘッド駆動機構２２の障害等によって移動がリニアになされないと、ライトコア幅が変動するようになる。したがって、ライトコア幅の変動量から、磁気ヘッド試験機の移動量のリニアリティ精度を評価することができる。
【００２４】
この移動量のリニアリティも磁気ヘッド試験機の位置決め精度を評価する指標となる。すなわち、測定試験で取得されたGAPSプロファイルから求めたライトコア幅変動量が一定値以下となっていることを確認することにより、磁気ヘッド試験機による磁気ヘッドの試験結果の信頼性を確保することが可能になる。
【００２５】
〔位置安定精度について〕
位置安定精度とは、磁気ヘッドを所定位置に移動させた際に、その位置で磁気ヘッドが位置ずれせずに安定して位置決めできる精度をいう。
本実施形態では、この位置安定精度を評価する方法として、上記測定で得られたGAPSプロファイルの出力レベルのピークの５０％位置における直線部分について着目し、この位置における出力レベルの変化量を位置変動量に換算することによって磁気ヘッドの位置安定精度を評価するようにした。
【００２６】
図３のＣ点に示すように、GAPSプロファイルで出力レベルが５０％の近傍部分は、出力レベルが直線的に変動している。この直線的に変動する部分での感度（５０％ポジション感度）を次式で定義する。
５０％ポジション感度
＝(トラック位置Y2−トラック位置Y1)/（出力レベルX2−出力レベルX1)
図４は、GAPSプロファイルで、５０％ポジション感度を算出する例を示す。５０％ポジション感度はＣ点近傍の適宜領域をとって算出する。同図に示すGAPSプロファイルの例では、Ｘ１＝186、Ｘ２＝295、Ｙ１＝2.518、Ｙ２＝2.598であり、５０％ポジション感度＝(2.598-2.518)／(295-186)/1000000(μm/V)となる。なお、５０％ポジション感度は、GAPSプロファイルの傾きが大きい場合には小さく、傾きが小さい場合には大きくなる。
【００２７】
位置安定精度の測定は、GAPSプロファイルで出力レベルが５０％近傍となる位置（Ｃ点）に磁気ヘッドを位置合わせし、その位置で一定時間磁気ヘッドを保持しながら、出力レベルを測定することによってなされる。すなわち、GAPSプロファイルから５０％近傍位置でのポジション感度が算出できるから、出力レベルがどのように変動するかを測定することによって、出力レベルの変動値から磁気ヘッドの位置ずれ量を換算して求めることができる。磁気ヘッドの位置変動量（５０％位置変動量）は、出力レベルの変動値から次式によって求めることができる。
５０％位置変動量＝（最大出力レベル−最小出力レベル）×５０％ポジション感度
なお、この式における最大出力レベルとは、Ｃ点に磁気ヘッドを置いて、所定時間にわたって出力レベルを測定したうちでの最大出力レベルであり、最小出力レベルとはその所定時間内における最小出力レベルである。
【００２８】
上式は、最大出力レベルと最小出力レベルの差が小さければ、磁気ヘッドの位置ずれは小さく、磁気ヘッドは所定位置に正確に保持され、磁気ヘッド試験機として精度の高い試験が可能であることを意味する。一方、最大出力レベルと最小出力レベルの差が大きくあらわれる場合には、磁気ヘッドが所定位置から位置ずれしやすく、磁気ヘッド試験機の試験制度が低いことを意味する。また、５０％ポジション感度が大きい場合には磁気ヘッドの位置ずれによって磁気ヘッド試験機の精度が低下しやすく、５０％ポジション感度が小さい場合には磁気ヘッドの位置ずれによる磁気ヘッド試験機の精度が低下しにくいことを意味する。
【００２９】
図５、６はGAPSプロファイルの５０％レベル位置のレベル変動から磁気ヘッドの位置安定精度を測定する工程を示す。図５は、磁気ヘッドの位置安定性を測定するノーマルモードの測定方法を示す。
すなわち、まず、磁気ディスク駆動機構１０を駆動して磁気媒体１２を回転開始し（ステップ５０）、磁気ヘッド１４をヘッド取付機構２０に取り付け（ステップ５１）、試験位置に磁気ヘッド１４をロードする（ステップ５２）。
次いで、GAPS試験を行い（ステップ６０）、５０％ポジション感度を算出する（ステップ６１）。なお、GAPS試験とは、図２におけるステップ５３〜５７の工程をいう。このGAPS試験によりGAPSプロファイルを取得する。また、このGAPSプロファイルから５０％ポジション感度を算出することができる。
【００３０】
次に、磁気ヘッド１４をGAPSプロファイルで出力レベルが５０％位置となっている点（Ｃ点）に移動させる（ステップ６２）。このＣ点に磁気ヘッド１４を移動させた後、たとえば２０秒間その位置で停止させ、その停止時間内でたとえば２秒間隔でレベル測定回路１８により出力レベルを測定する（ステップ６３）。次いで、ステップ６３で得られた磁気ヘッド１４の出力レベルから当該磁気ヘッドの５０％位置での変動量を変動量を算出する（ステップ６４）。このステップ６４による算出結果が、磁気ヘッド試験機の位置安定精度をあらわすものとなる。
【００３１】
図６は、磁気ディスクのシークモードに対応して磁気ヘッドの位置安定精度を測定する工程を示す。この測定で特徴的な工程は、GAPSプロファイルから５０％ポジション感度を算出し（ステップ６１）、磁気ヘッド１４を５０％位置に移動させて（ステップ６２）、その位置での出力レベルを測定した後（ステップ６５）、磁気ヘッド１４を任意位置に移動させ（ステップ６６）、再度、５０％位置に移動させ（ステップ６２）て出力レベルを測定するようにしたことである。
すなわち、ステップ６２、６５、６６において、磁気ヘッド１４を５０％位置から任意位置に移動させる操作は、磁気ヘッド１４をシーク動作させることに対応するもので、シーク動作させた際に、磁気ヘッド１４が正確に５０％位置に復帰するか否かを測定している。
【００３２】
このように磁気ヘッド１４を動作させて、そのつど出力レベルを測定し、その出力レベルの最大値と最小値から、磁気ヘッドをシーク動作させた際の位置変動量を算出することができる（ステップ６４）。すなわち、ステップ６４の算出結果は、磁気ヘッド試験装置を用いて磁気ヘッドをシーク動作させてその特性を試験する際の精度をあらわすものとなる。
図５、６に示した測定工程によれば、磁気ヘッド試験装置について、磁気ヘッドを所定位置に移動させた際に、その位置で磁気ヘッドを位置ずれさせずに安定して位置決めできる精度を評価することが可能となる。
【００３３】
なお、上記実施形態は磁気ヘッド１４を磁気媒体１２の特定位置に位置決めしたところで、その位置ずれを評価する方法を示している。この評価方法は磁気ヘッド１４が磁気媒体１２の何れの位置にある場合においても適用できる方法であり、磁気媒体１２上における磁気ヘッド１４の位置決め位置を変えることによって、適宜位置における精度を評価することができる。
【００３４】
以上説明したように、本発明に係る磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法によれば、磁気ヘッド試験機の測定精度を正確に評価することができ、その評価結果に基づいて磁気ヘッド試験機を使用することができる。本発明方法では、磁気ヘッド試験機によって実際に取得されるGAPSプロファイルを評価データとしているから、GAPS試験に内包されている機械的誤差等の要因が含まれた状態で評価することができ、磁気ヘッド試験に関わる精度を評価する方法として好適に使用することができる。
また、磁気ヘッド試験機によって磁気ヘッドを試験する試験操作を利用して磁気ヘッド試験機自体を評価することができるから、試験開始時あるいは試験途中においても随時評価、監視することが容易にできるという利点もある。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係る磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法を利用して精度を評価する磁気ヘッド試験機の概略構成を示すブロック図である。
【図２】本発明に係る磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法による測定工程を示すフロー図である。
【図３】本発明に係る磁気ヘッド試験機の位置決め精度評価方法による測定工程で得られたGAPSプロファイルの例を示す図である。
【図４】５０％ポジション感度の算出方法を示す説明図である。
【図５】位置安定精度の測定工程を示すフロー図である。
【図６】位置安定精度の他の測定工程を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０  磁気ディスク駆動機構
１２  磁気媒体
１４  磁気ヘッド
１６  ライト制御回路
１８  レベル測定回路
２０  ヘッド取付機構
２２  ヘッド駆動機構
２４  ロード／アンロード機構
２５  制御部
【図１】
2005353119.tif 000003
【図２】
2005353119.tif 000004
【図３】
2005353119.tif 000005
【図４】
2005353119.tif 000006
【図５】
2005353119.tif 000007
【図６】
2005353119.tif 000008