(57)【要約】【課題】        本発明の目的は、炭酸ガススノーを用いた圧電振動子や光学部品、及びそれらを搭載したマスクやトレーといった被洗浄物の洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置、及び対象物に炭酸ガススノーを噴射する炭酸ガススノー噴射装置を提供することである。【解決手段】       上記の目的を達成するために本発明は、炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置において、アシストガス源、及び炭酸ガス源から噴射するガスのそれぞれの流量、及び温度を噴射ノズル毎に調整する制御装置部と、先の制御装置部と少なくとも二つ以上の自在に動く管を介して接続され、それぞれアシストガスと炭酸ガススノーを被洗浄物に噴射する複数の噴射ノズルを有することを特徴として課題を解決する。【選択図】  図１
2005046974.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭酸ガススノーを用いて対象物に炭酸ガススノーを噴射する炭酸ガススノー噴射装置において、
アシストガス源、及び炭酸ガス源から噴射するガスのそれぞれの流量、及び温度を噴射ノズル毎に調整する制御装置部と、該制御装置部と少なくとも二つ以上の自在に動く管を介して接続され、それぞれアシストガスと炭酸ガススノーを対象物に噴射する複数の該噴射ノズルを有することを特徴とする炭酸ガススノー噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、炭酸ガススノーを用いた圧電振動子や光学部品、及びそれらを搭載したマスクやトレーといった被洗浄物の洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置、及び対象物に炭酸ガススノーを噴射する炭酸ガススノー噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置は、一台の炭酸ガスの制御装置にひとつの炭酸ガススノー噴射口を具備した単ノズルとなっており、この単ノズル若しくは被洗浄物を水平、及び垂直方向に移動する移動装置の上に載置して被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄することが一般的であった。
【０００３】
【特許文献１】特願平１１−３６８４８７
【０００４】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、近年圧電振動子や光学部品といった部品は搭載して使用される機器の小型化に伴い、極めて急激なその容器形状の外形サイズの小型化、及び低背化の市場からの要求があり、その結果としてアルミナセラミックなどの材質から成るそれら圧電振動子、及び光学部品といった部品を搭載する基板や容器壁の厚さも極力薄くなっており、囲まれた容器のサイズも非常に小さく、かつ薄くなっているのが現状である。
【０００６】
したがって、ひとつのマスクやトレー上に搭載される、前記の圧電振動子やオプティカルフィルターといった光学部品の数量も増加しており、その結果一洗浄工程で扱われる被洗浄物の数量も急激に増えているのが現状である。
【０００７】
そのため、従来の被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄する、炭酸ガススノー洗浄用の単ノズルのみが制御装置に接続された形態の炭酸ガススノー噴射装置では、洗浄の効率が悪いという問題があった。
【０００８】
また、従来は多数の被洗浄物をひとつずつ制御装置に接続された単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄するため、垂直、及び水平方向に移動する移動装置の設定が複雑になり、その結果として被洗浄物の洗浄コストが高くなるといった問題があった。
【０００９】
本発明は、このような技術的背景のもとでなされたものである。
したがって、本発明の目的は、先述の問題を解決する少なくとも二つ以上の複数の炭酸ガススノー噴射ノズルが、一台の制御装置に接続された洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために本発明は、炭酸ガススノーを用いて対象物に炭酸ガススノーを噴射する炭酸ガススノー噴射装置において、アシストガス源、及び炭酸ガス源から噴射するガスのそれぞれの流量、及び温度を噴射ノズル毎に調整する制御装置部と、この制御装置部と少なくとも二つ以上の自在に動く管を介して接続され、それぞれアシストガスと炭酸ガススノーを対象物に噴射する複数の噴射ノズルを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の炭酸ガススノー噴射装置によれば、複数の炭酸ガス噴射ノズルが制御装置に接続されて、同時に複数の被洗浄物に対して炭酸ガスの噴射を行うことが出来るために効率的に洗浄ができ、洗浄のコストを大幅に削減できるといった効果を奏する。
【００１２】
また、噴射ノズルと制御装置を接続するそれぞれの管は自在に動かすことが出来るため、複数の炭酸ガス噴射ノズルの噴射方向を一つにまとめることも出来、それぞれの炭酸ガス噴射ノズルの対象物、もしくは被洗浄物に対する角度を変えて使用することも出来る。
【００１３】
また、ガスを用いて被洗浄物を洗浄するために、一例を挙げればチリ状の微粒子を含んだ洗浄する部分に付着する微細物をガスで弾き飛ばしながら洗浄し、ガスが液体とはならず気体であるために、洗浄しながら別に被洗浄物の近辺に設けるダクトを通して吸引するだけで先のチリ状の微粒子を含んだ微細物を除去することができる。
【００１４】
また、本発明によれば５μｍよりもさらに小さな１μｍ以下のチリ状の微粒子を含んだ洗浄する部分に付着する微細物を効率的に、汚れの被洗浄物への再付着を防止しながら除去する効果を奏する。
【００１５】
また、本発明は複数の炭酸ガススノー噴射ノズルを有するため、焦電効果をもつ例えば板状の被洗浄物の表裏から同時に炭酸ガススノーを噴射することが出来、洗浄する部分に付着する微細物の被洗浄物への再付着を効率よく低コストで防止することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付の図面に従がってこの発明の実施例を説明する。なお各図において、同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１７】
図１は本発明の炭酸ガススノー洗浄装置を用いて同時に複数の被洗浄物を洗浄する様子を示した炭酸ガススノー噴射装置を斜めから見た概略の模式図である。ボンベなどに収容されたアシストガス源、及び炭酸ガス源とそれぞれの炭酸ガススノー噴射ノズルとは噴射ノズル毎にガス源、及び炭酸ガス源の流量、温度などを制御する制御装置を通して接続されている。また、それぞれの炭酸ガススノー噴射ノズルと制御装置のあいだは、各々自在に動く同軸構造をもった管で繋がっている。
【００１８】
それぞれのガス噴射ノズルの中心には図２にあるように炭酸ガススノー噴射孔が位置して、その外側にはアシストガスの噴出孔がある。また、ひとつの被洗浄物に対して本発明の炭酸ガススノー洗浄装置のように複数の炭酸ガススノー噴射ノズルから噴射される炭酸ガススノーにより洗浄を行った場合、被洗浄物を効率良く、点状ではなく面状に洗浄できマスク上に載置された被洗浄物を効率よく洗浄することができる。
【００１９】
また、炭酸ガススノー噴射ノズルを横方向に並べてひとつの被洗浄物を洗浄した場合、ひとつの噴射ノズルでひとつの被洗浄物を洗浄する際に生じることのある噴射ガスの洗浄面付近での巻き込みが発生しないといった効果を奏する。
【００２０】
図２には本発明の炭酸ガススノー噴射装置を構成するひとつのガス噴射ノズルの概略の側面図が示されている。中心に位置する直径１０ミリメートルほどの炭酸ガススノー噴射孔の外側には、本実施例でのアシストガスである窒素（N２）ガスの噴出孔がある。炭酸ガススノーよりも温度の高い窒素（N２）ガスで炭酸ガススノーを囲むように、その外側から噴射することにより炭酸ガススノーを被洗浄物に誘導するようにして吹き付け、また被洗浄物に結露を起こさないといった効果を奏する。また、噴射ノズルと制御装置を接続するそれぞれの管、及び噴射ノズル内での凍結、つまり、結露を防止するのにも良い。なお、アシストガスは窒素（N２）ガスに限るものではなく、他のガスの場合も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【００２１】
本発明の炭酸ガススノー噴射ノズルのガス噴射口と被洗浄物との距離は５０ミリメートル程度とすると、一度吹き飛ばし除去した被洗浄物上の汚れが再び洗浄面に戻ってしまうといった噴射ガスの巻き込みの現象もなく効率的に被洗浄物を洗浄することができる。
【００２２】
図３は従来のひとつのノズルのみを有する炭酸ガススノー洗浄装置を用いて、マスクに設置された圧電部品を炭酸ガススノー噴射により洗浄する様子を示した概略の模式図である。
なお、本実施例では洗浄用の噴射装置について述べたが、洗浄に限らずガスの噴射装置に使用することができ、これも本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の炭酸ガススノーを用いて同時に複数の被洗浄物を洗浄する様子を示した炭酸ガススノー噴射装置の概略の側面から見た模式図である。なお、図１の中では省略しているが、制御装置と複数のそれぞれの洗浄ノズルは各々自在に動く同軸構造をもった管で繋がっている。
【図２】本発明の炭酸ガススノー噴射装置のひとつの噴射ノズルの概略の側面図である。
【図３】従来の単ノズルを用いて、マスクに設置された圧電部品を炭酸ガススノー噴射によりひとつずつ洗浄する様子を示す概略の模式図である。
【符号の説明】
【００２４】
１  炭酸ガススノー
２  被洗浄物
３  炭酸ガススノー噴射装置
４  アシストガス源
５  炭酸ガス源
６  制御装置部
７  管
８  アシストガス
９  噴射ノズル
【図１】
2005046974.tif 000003
【図２】
2005046974.tif 000004
【図３】
2005046974.tif 000005