(57)【要約】【課題】リッチシフトの発生し難いガスセンサ素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】固体電解質体１１と該固体電解質体１１の表面に設けた基準電極１１２と被測定ガス側電極１１１とを有し、上記被測定ガス側電極１１１の被測定ガスと接する側の表面は多孔質層２２で覆われてなるガスセンサ素子１において、上記多孔質層２２は窒化物を含有する。上記多孔質層２２に窒素原子を含むプラズマジェットを吹き付けることで、上記多孔質層２２に窒化物を含有させる。上記多孔質層２２における被測定ガスと接する表面を中心に窒化物を含有してなることが好ましい。また、上記多孔質層が含有する酸素原子数に対して、窒素原子数の比率は０．２〜１００％であることが好ましい。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体電解質体と該固体電解質体の表面に設けた基準電極と被測定ガス側電極とを有し、上記被測定ガス側電極の被測定ガスと接する側の表面は多孔質層で覆われてなるガスセンサ素子において、
上記多孔質層は窒化物を含有することを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２】
請求項１において、上記多孔質層における被測定ガスと接する表面を中心に窒化物を含有してなることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項３】
請求項１または２において、上記多孔質層が含有する酸素原子数に対して、窒素原子数の比率は０．２％以上であることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項において、上記多孔質層は酸化アルミニウムからなり、上記窒化物は窒化アルミニウムからなることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項において、上記ガスセンサ素子はコップ型、積層型のいずれかであることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項６】
固体電解質体と該固体電解質体の表面に設けた基準電極と被測定ガス側電極とを有し、上記被測定ガス側電極の被測定ガスと接する側の表面は窒化物を含有する多孔質層で覆われてなるガスセンサ素子を製造するに当たり、
上記多孔質層に原子状窒素を含むプラズマジェットを吹き付けることで、上記多孔質層に窒化物を形成することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両用の内燃機関の燃焼制御のために、排気管等に設置するガスセンサ等、各種ガスセンサに内蔵して用いるガスセンサ素子及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車エンジン等の車両用内燃機関の排気系に、酸素センサ、空燃比（Ａ／Ｆ）センサ等のガスセンサを設け、排気ガス中の酸素濃度等から空燃比（Ａ／Ｆ）を検出し、これを利用して燃焼制御を行うことがある（排気ガス制御フィードバックシステム）。
特に、三元触媒を用いて効率よく排気ガスを浄化するためには車両用内燃機関の燃焼室において空燃比が特定の値となるように制御することが重要である。
そして、上記ガスセンサに内蔵して用いるガスセンサ素子としては、以下の特許文献１にあるようなガスセンサ素子が一般的に用いられる。
このようなガスセンサ素子の構成として、特許文献１にあるように、先端部が多孔質層にて覆われているものがある。
多孔質層は、例えば限界電流式のガスセンサ素子の場合は拡散抵抗層として、例えば酸素濃淡起電力式のガスセンサ素子の場合は被測定ガス側電極を被毒物から保護するための保護層として用いられることが多い。
【０００３】
【特許文献１】特開平１２−０６５７８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、発明者らは車両の排気管内にて長時間放置されたガスセンサ内蔵のＡ／Ｆセンサ素子が、内燃機関の始動後１０数秒程度の間に、出力のリッチシフトをおこすという現象を見いだした。
この現象は、いつでも発生するというわけではなく、例えば、ごく短時間のエンジン停止の間に車両用内燃機関を再始動した場合には発生しない。また、シフト量は放置時間に依存して増加するものの、１〜２日程度の放置でほぼ飽和する。
このリッチシフトは車両用内燃機関の燃焼を著しく不安定にする。
即ち、リッチ信号を受けたシステムは車両用内燃機関の空燃比をリーン側に制御する方向に働くものの、実際の排気ガスの状態は空燃比センサの指示値よりリーンであるため、最悪の場合、失火（エンジン停止）に至る恐れもある。また、制御点が大きくずれることから、排気ガスにおいてＮＯｘ等の大気汚染ガスの濃度が高くなる恐れもある。
【０００５】
ところでリッチシフト現象は、排気管内へのガスセンサの長時間放置によって発生することから、Ａ／Ｆセンサ素子に付着する何らかの排気ガス成分の影響と考えられる。
この事象を確認するために、排気管に長時間放置したガスセンサ素子および各種のテスト片を用い、それぞれを加熱することで発生する脱離ガスの成分および脱離量を調査し、その結果を図８、図９に記載した。
なお、図８、図９共に縦軸は相対付着量である。
【０００６】
図８、図９より明らかであるが、ガスセンサ素子に付着するガス種の大半はＨ2Ｏ、すなわち水蒸気（水）であることが判明した。
そして、付着水分は殆どが拡散抵抗層、すなわち多孔質層に付着していることが判明した。
さらに、ガスセンサを高湿雰囲気に放置したところ、リッチシフトの再現を確認することができた。
【０００７】
また、高湿雰囲気に放置したガスセンサを加熱し、発生する水分について調べたところ、付着水分の脱離が１５０℃近傍および４００℃近傍を中心とした２つの温度領域において顕著に表れることが判明した。
付着水分は、物理的な吸着、および結晶化を伴う化学的な吸着により拡散抵抗層に付着していると考えられ、特に化学吸着においては、例えば多孔質層が酸化アルミニウムからなる場合は、
Ａｌ2Ｏ3（多孔質層、固体）＋３Ｈ2Ｏ（気体）→２Ａｌ（ＯＨ）3（多孔質層、固体）
の様な反応によって多孔質層表面に水分が強固に付着しているものと考えられる。
さらに上記反応は一体化反応であり、運動量保存の観点から比較的進行が遅いものと推定される（これは湿った排気管内にガスセンサを長時間放置しないとリッチシフトが発生しないという事実と矛盾しない。）。
【０００８】
以上より、上記リッチシフトは次の様なプロセスにより発生〜消滅に至ると考えられる。
すなわち、リッチシフトは、ガスセンサを車両用内燃機関の排気管等といった高湿雰囲気に放置した後に発生し、高湿雰囲気にガスセンサを放置した場合、ガスセンサ内部に設置したＡ／Ｆセンサ素子に気化水分（水蒸気）が侵入し、主としてＡ／Ｆセンサ素子の多孔質層に対し水分が物理吸着及び／または化学吸着する。
この水分はＡ／Ｆセンサ素子を加熱することで多孔質層から脱離、気化する。
気化した水分、つまり水蒸気は体積膨張しつつ多孔質層を通じて外部に排出されようとするが、多孔質層は大なり小なり拡散抵抗を有するため、水蒸気の多孔質層通過にはそれなりの時間を要する。
従って、Ａ／Ｆセンサ素子の内部（特に被測定ガス側電極近傍）で水蒸気圧が上昇し、相対的に酸素分圧が低下する。これによってガスセンサの出力にリッチシフトが発生する。
そして水蒸気は多孔質層を通じて少しずつ外部に抜け、同時に素子周辺の排気ガスがＡ／Ｆセンサ素子内部に取り込まれ始める。これによって、時間の経過と共にリッチシフトが収まり、通常の出力を得る。
【０００９】
このように、水分の脱離→気化による水蒸気の急激な体積膨張が、１〜２Ａ／Ｆ程度の大きなリッチシフトを引き起こすと考えられる。
勿論放置される雰囲気が乾燥していればこのような問題は発生しないが、駐車車両の排気管内は排気ガスに燃焼生成物として含まれる水分によって高湿雰囲気となっており、リッチシフトの発生しやすい環境と考えられる。
【００１０】
なお、上記のメカニズムによるリッチシフトは、Ａ／Ｆセンサ素子のような、限界電流式の酸素センサ素子を応用した素子において発生するが、酸素濃淡起電力式の酸素センサ素子を応用した素子においても、同様のメカニズムによるリッチシフト現象が確認されている。酸素濃淡起電力式の酸素センサ素子であっても被測定ガス側電極を多孔質層で覆って構成することが多く、また多孔質層は気孔が粗くともそれなりの拡散抵抗を有するため、素子内部から水蒸気が抜けるのにそれなりの時間が必要となるためである。
以上、本発明は、リッチシフトの発生し難いガスセンサ素子及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
第１の発明は、固体電解質体と該固体電解質体の表面に設けた基準電極と被測定ガス側電極とを有し、上記被測定ガス側電極の被測定ガスと接する側の表面は多孔質層で覆われてなるガスセンサ素子において、
上記多孔質層は窒化物を含有することを特徴とするガスセンサ素子にある（請求項１）。
【００１２】
第１の発明にかかるガスセンサ素子は、多孔質層が窒化物を含有する。
ガスセンサ素子のリッチシフト現象は、水分の吸着と、その後の加熱による水分の脱離によって発生する。
ここで多孔質層が窒化物を含有することで、多孔質層が疎水性となり、水分の吸着が防止される。
従ってリッチシフト現象が発生し難くなる。
【００１３】
第２の発明は、固体電解質体と該固体電解質体の表面に設けた基準電極と被測定ガス側電極とを有し、上記被測定ガス側電極の被測定ガスと接する側の表面は窒化物を含有する多孔質層で覆われてなるガスセンサ素子を製造するに当たり、
上記多孔質層に原子状窒素を含むプラズマジェットを吹き付けることで、上記多孔質層に窒化物を形成することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法にある（請求項６）。
【００１４】
窒化物を含む粉体等を多孔質層製造時に添加して、多孔質層と共に焼結、あるいは窒化物を多孔質層に対して溶射する方法が考えられるが、窒化物が酸素と結びついて酸化物となるおそれがある。
従って、第２の発明では、原子状窒素を含むプラズマジェットを多孔質層に吹き付けて、反応性に富んだ窒素を多孔質層内部に十分進入させ、内部まで窒化処理を施す。
これにより、十分に窒化物を含んだ多孔質層を得て、疎水性の多孔質層を得ることができる。従って、水分の吸着が生じ難くなり、リッチシフト現象が発生し難いガスセンサ素子を得ることができる。
以上、第１、第２の発明によれば、リッチシフトし難いガスセンサ素子及びその製造方法を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
第１、第２の発明にかかるガスセンサ素子は、酸素イオン導電性の固体電解質体に被測定ガス側電極と基準電極を設け、これらの電極から構成する電気化学セルを流れる酸素イオン電流に基づいて、所定のガス濃度を測定するものである。
このようなガスセンサ素子として、被測定ガス中の酸素濃度を測定する酸素センサ素子の他、特定のガスを分解して酸素イオンを生成し、この酸素イオンに基づいて特定ガスの濃度を測定するような構成のガスセンサ素子が知られている。ここでいう特定ガスは、例えばＮＯｘやＣＯ、ＨＣ等がある。
さらに、第１、第２の発明にかかるガスセンサ素子として、車両用内燃機関等の排気系に設置し、排気ガス中の酸素濃度を測定して、その測定値に基づいて内燃機関の機関室、燃焼室におけるＡ／Ｆを測定するものがある（Ａ／Ｆセンサ素子）。
【００１６】
そして、第１、第２の発明にかかるガスセンサ素子は、被測定ガス側電極と基準電極との間のガス濃度差から生じる酸素イオン電流に基づいて測定を行うが、このようなガスセンサ素子として限界電流式の素子と、酸素濃淡起電力式の素子とがあり、本発明はそのいずれに対しても適用することができる。
これらのセンサの被測定ガス側電極には通常、被測定ガスからの被毒を防止するための保護層が設けられている。また、Ａ／Ｆセンサ等の限界電流式のセンサにおいては多孔質の拡散抵抗層によって限界電流が得られる。
【００１７】
また、第１の発明において、上記多孔質層における被測定ガスと接する表面を中心に窒化物を含有してなることが好ましい（請求項２）。
これにより、被測定ガスの導入入り口となる表面を中心に多孔質層を疎水化できるため、より確実に多孔質層の水分吸着を抑制して、リッチシフトを防止することができる。
【００１８】
また、第１の発明において、上記多孔質層が含有する酸素原子数に対して、窒素原子数の比率は０．２％以上であることが好ましい（請求項３）。
０．２％以上とすることで、最低限多孔質層の表面を覆うだけの窒化物を確保することができ、被測定ガスと接しやすい表面を中心に多孔質層を疎水化できるため、より確実に水分吸着を抑制して、リッチシフトを防止することができる。
上記の水分吸着を防止するためには、多孔質層表面における数ｎｍ程度の層が窒化されていれば十分な効果が得られるが、それ以上であっても機能上問題はない。
【００１９】
また、酸素や窒素原子数の比率を測定する場合、Electron
Probe Microscope Analysis（ＥＰＭＡ）、オージェ電子分光法（ＡＥＳ）、２次イオン質量分析法（SIMS）等の方法を一例としてあげることができる。これらの方法は原子の量を直接測定することができる。
それ以外にもＸ線プローブ分光法（XPS）の様に、多孔質層が酸化アルミニウムからなる場合等に利用することができる酸素と窒素原子数の比率測定方法がある。つまり、Ａｌ−ＮとＡｌ−Ｏの割合を比較することで、酸素と窒素の原子数の比率を測定することができる。
【００２０】
また、第１の発明によれば、上記多孔質層は酸化アルミニウムからなり、上記窒化物は窒化アルミニウムからなることが好ましい（請求項４）。
多孔質層は被測定ガス側電極と接触して配置されることが多く、従って絶縁性を備えており、またガスセンサ素子の使用環境として高温雰囲気もありえるため、耐熱性を備えていることが望ましく、酸化アルミニウムは上記要求を満たしている。
そして、窒化アルミニウムは安価であり、実用上十分安定した材料であり、更に酸化アルミニウムを加工することで簡単に得ることができる。
なお、多孔質層をスピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）から構成することもあり、この場合、窒化物として窒化マグネシウム、窒化アルミニウムを用いることがある。
【００２１】
また、第１の発明は、上記ガスセンサ素子はコップ型、積層型のガスセンサ素子のいずれに対しても適用することができる（請求項５）。
積層型のガスセンサ素子の一例を実施例１に、コップ型ガスセンサ素子の一例を実施例５に記載した。
【実施例】
【００２２】
（実施例１）
本発明にかかるガスセンサ素子について、図１、図２を用いて説明する。
本例のガスセンサ素子１は、図１に示すごとく、固体電解質体１１と該固体電解質体１１の表面に設けた基準電極１１２と被測定ガス側電極１１１とを有し、上記被測定ガス側電極１１１の被測定ガスと接する側の表面は多孔質層２２で覆われている。
そして、上記多孔質層２２は窒化物を含有する。
上記多孔質層２２は酸化アルミニウムからなり、図２に示すごとく、層内の全域において被測定ガスと接する表面が窒化物２２２で構成されており、かつ上記多孔質層２２は、含まれる酸素原子数に対して、含まれる窒素原子数の比率が０．２％以上であり、更に上記窒化物２２２は窒化アルミニウムからなる。
【００２３】
以下、詳細に説明する。
本例にかかるガスセンサ素子１は、図１に示すごとく、積層型の平板状素子で、限界電流式の素子である。そして、通電により発熱する発熱体１４０を設けた発熱体基板１４と、基準ガスとなる大気を導入する基準ガス室１２０を設けた絶縁性スペーサ１２と、表面に基準電極１１２と被測定ガス側電極１１１を設けた酸素イオン導電性の固体電解質体１１と、被測定ガス側電極１１１を設けた固体電解質体の表面側を覆って積層した拡散抵抗層２とよりなる。拡散抵抗層２は緻密層２１と多孔質層２２とからなる。緻密層２１は被測定ガスを透過させないため、ガスセンサ素子１の側面１０１に面した多孔層２２の端面２２０から被測定ガスが導入される。
上記多孔質層２２は酸化アルミニウムのセラミックからなり、後述する実施例２による方法で窒化処理が施されて、その内部の被測定ガスと接する表面が窒化アルミニウムに覆われている。
【００２４】
ここで図２は、多孔質層２２のセラミック組織の模式図である。
多孔質層２２は酸化アルミニウムのセラミック組織であるため、多数の酸化アルミニウムの粒２２１と該粒２２１の間に形成された粒の隙間からなる。
上記多孔質層２２は図１に示される端面２２０（被測定ガス導入口）から原子状窒素を導入することによる窒化処理が施されており（窒化処理の詳細は実施例２参照）、従ってその表面には酸化アルミニウムから酸素原子が置換された形で窒化アルミニウム（窒化物２２２）が形成されている。
窒化処理の際に活性且つ高エネルギー状態の原子状窒素は粒の隙間をつたって、多孔質層２２の十分奥までたどり着くことが可能であり、所定の時間窒化処理を行うことで、多孔質層全体を窒化することも可能である。
【００２５】
このように、本例にかかるガスセンサ素子１では、多孔質層２２で素子１の外部に面した端面２２０からの多孔質層２２内の窒化処理によって、層全体に窒化物２２２である窒化アルミニウムを含有している。
ガスセンサ素子１のリッチシフト現象は、放置時の水分吸着と、その後のエンジン始動時加熱による水分の脱離によって発生する。多孔質層２２が窒化物２２２を含有することで、多孔質層２２が疎水性となり、水分の吸着が防止される。
従って、本例によればリッチシフト現象が発生し難いガスセンサ素子を得ることができる。
【００２６】
（実施例２）
本例は、実施例１にかかるガスセンサ素子を製造する方法について説明する。
すなわち、発熱体基板用のシート、スペーサ用成形体、固体電解質体用シート、多孔質層用シート、緻密層用シートを所定のセラミック材料及びバインダを用いて作製する。
得られた発熱体基板用シートに対し、発熱体や基準電極、被測定ガス側電極等となる印刷部を設ける。その後、図１にかかる素子が得られるようにこれらのシートを積層、圧着し、一体化して、未焼積層体を得る。
未焼積層体を所定の温度プロファイルで熱せられた加熱炉を用いて焼成し、焼成体を得た。その後、焼成体を研磨して所定の寸法となし、最後に胴体中央部をガラス封着して、ガスセンサ素子を得た。
【００２７】
上記製法の中で、焼成体の段階で多孔質層の端面に窒素原子を含むプラズマジェットを吹き付けて、多孔質層に窒化物を含有させるプロセスを行った。
このプラズマジェットを実施する方法について、以下に詳細に説明する。
まず、プラズマジェット３５を焼成体に当てる窒化処理装置３について説明する。
図３に示すごとく、上記窒化処理装置３は、密閉可能な処理室３０に、プラズマジェット３５を焼成体１９に吹き付けるプラズマノズル３４と、焼成体１９を固定するホルダ３６とを有する。
上記プラズマノズル３４に対しパイプ３２２によって、ガスタンク３２から処理用ガス３２１が導入される。
また、プラズマノズル３４には、冷却水３３１を循環させる循環装置３３が設けてある。符号３３２が冷却水３３１の循環パイプである。
また、プラズマノズル３４に電圧を印加して、処理用ガスをプラズマ化する電源３１とリード線３１１が設けてある。
【００２８】
プラズマジェット３５を吹き付ける工程について説明する。
まず、ホルダ３６に焼成体１９を、多孔質層の端面がプラズマノズル３４の真下にくるよう固定する。
次に、上記処理室３０の内部を図示を略した真空ポンプを用いて、真空とする。
次に、処理用ガス３２１をプラズマノズル３４に供給して、電源３１を入れて、プラズマノズル３４に電圧を印加する。
ここで処理用ガス３２１としてはＮ2を用いたが、他にＨ2（〜５％）／Ｎ2、ＮＨ3（〜１０％）／Ｎ2等の、水素−窒素ガス、アンモニア−窒素ガス等を用いることができる。
また、印加する電圧は、１０〜１０００Ｗの範囲で出力を調整することができる。また、電源３１から供給する電力は直流、交流いずれも可能であり、交流の場合、工業的に他用される１３．５６ＭＨｚの高周波が便利である。
処理用ガス３２１の流量は１〜１０リットル／分で、プラズマジェット３５の一方の端面について照射時間を５〜３０秒とした。
素子の多孔質層内部に対し上記プラズマジェット３５による窒化処理を施すために、図１における端面２２０（左右とも）にプラズマジェットを噴射してプラズマ処理を行った。具体的には、まず左側からジェットを噴射し、次に素子を反転させて右側からジェットを噴射することで多孔質層内の窒化処理を確実なものにしている。
以上により、窒化物を含有する多孔質層を備えたガスセンサ素子を得ることができる。
なお、プラズマジェットを吹き付ける工程は、焼成体を研磨した後に行うこともできる。
【００２９】
（実施例３）
本例は、実施例１にかかる窒化物含有多孔質層を備えたガスセンサ素子と、そうでない素子との性能を次の方法で評価した。
すなわち、本発明にかかる実施例１のガスセンサ素子（実施例２にかかる製法で製造した）を自動車エンジンの排気管に設置した状態で１５分または１日間放置した。排気管内部は、エンジン停止直後には２００℃以上の高温雰囲気にて、室温における１００％での水蒸気量を上回る水蒸気を含んでいたものの、２時間以内には室温レベルとなり、さらに２０時間以内で外気と入れ替わり、外気と同等の湿度雰囲気となることを確認している。
また、比較試料として、実施例１と同様のガスセンサ素子であるが、実施例２にかかる方法で窒化処理を施してないものを準備して、これを自動車エンジンの排気管に上記と同様の条件で放置した。
そして、自動車エンジンを始動させ、始動後２０秒間のガスセンサ素子の出力を得て、図４、図５にかかる線図に記載した。
【００３０】
図４より明らかであるが、１５分間放置した後の測定では本発明、比較試料共に大体正常なセンサ出力が得られたが、１日放置した後では、比較試料において大きなリッチシフトが現れた。しかし、本発明にかかる素子からのセンサ出力は明確なリッチシフトが発現せず、空燃比制御に十分有効であることが判った。
【００３１】
（実施例４）
本例は、実施例２にかかる方法で作製したガスセンサ素子について、多孔質層が含有する酸素原子数に対する窒素原子数の比率（＝窒素／酸素比、単位はatomic％）とリッチシフトが原因の異常出力量との関係について測定し、図６の線図に記載した。
本例では、窒素／酸素比の異なる素子（窒素／酸素比＝０、０．０５、０．１０、０．１５、０．２０、０．３０、窒素／酸素比が０であるものは窒化物を多孔質層に含んでいない比較試料）をプラズマジェットに当てる時間を適宜変更することで作製した。また、各比率ごとに５本の素子を作製した。
また異常出力量は、シフト量のピーク値（Ａ／Ｆ加減値）を以って算出し、この結果を図６にかかる線図に記載した。
同図より、窒素／酸素比がある程度大きくなると、異常出力が殆ど０に近づくため、窒素／酸素比が０．２０atomic％となるように窒化物を含有させることが好ましいことがわかった。
【００３２】
（実施例５）
また、本発明をコップ型ガスセンサ素子に適用したのが本例である。
図７に示すごとく、内部に大気を導入する基準ガス室４０を備えた有底コップ型の固体電解質体１１と内側面に設けた基準電極１１２、外側面に設けた被測定ガス側電極１１１と、該被測定ガス側電極１１１を覆うように設けた多孔質層２２からなる。
基準ガス室４０内には棒状のセラミックヒータ４９が挿入してある。
そして、多孔質層２２の全体に均一に窒化物を含有してなる。
その他詳細な構成は実施例１と同様であり、実施例１と同様の作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施例１にかかる、ガスセンサ素子の断面説明図。
【図２】実施例１にかかる、多孔質層の組織を示す説明図。
【図３】実施例２にかかる、ガスセンサ素子の多孔質層に窒化物を含有させる際に用いる窒化処理装置の説明図。
【図４】実施例３にかかる、本発明と比較試料にかかるガスセンサ素子における、１５分放置後のセンサ出力の時間変化を示す線図。
【図５】実施例３にかかる、本発明と比較試料にかかるガスセンサ素子における、１日放置後のセンサ出力の時間変化を示す線図。
【図６】実施例４にかかる、異常出力量と窒素／酸素比との関係を示す線図。
【図７】実施例５にかかる、コップ型センサ素子の断面説明図。
【図８】ガスセンサ素子に付着するガスの種類と相対付着量とを示す線図。
【図９】ガスセンサ素子の拡散抵抗層と被測定ガス側電極に付着したＨ2Ｏの相対付着量の線図。
【符号の説明】
【００３４】
１  ガスセンサ素子
１１  固体電解質体
１１１  被測定ガス側電極
１１２  基準電極
２２  多孔質層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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