(57)【要約】【課題】  走査ミラーが損傷して交換の必要が生じた場合には、該走査ミラーと共に可及的に少ない光学部品を交換するだけで走査ミラーを交換することができるようにしたミラーユニット、光走査装置及び画像表示装置を提供する。【解決手段】  ミラー支持部４と、光を走査可能に該ミラー支持部４に設けられた走査ミラー２とを備えたミラーユニット１であって、ミラーユニット受部５に対して着脱可能に取付けられる取付部１９，２０を備えたものである。【選択図】    図２
2005157078.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミラー支持部と、光を走査可能に該ミラー支持部に設けられた走査ミラーとを備えたミラーユニットであって、
ミラーユニット受部に対して着脱可能に取付けられる取付部を備えたことを特徴とするミラーユニット。
【請求項２】
前記走査ミラーを走査動作させる駆動部と、該駆動部に電力を供給するための電力被供給端子とが設けられたことを特徴とする請求項1に記載のミラーユニット。
【請求項３】
前記電力被供給端子は前記ミラーユニットの前記差込み方向の先端部に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のミラーユニット。
【請求項４】
前記走査ミラーに対向し、光透過性のカバー部を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のミラーユニット。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載のミラーユニットを着脱可能に支持するミラユニット受部を備えたことを特徴とする光走査装置。
【請求項６】
前記ミラーユニット受部には差込溝が形成され、前記ミラーユニットは該差込溝に差込まれて前記ミラーユニット受部に支持されることを特徴とする請求項５に記載の光走査装置。
【請求項７】
前記ミラーユニット受部には、前記駆動部に電力を供給するための電力供給端子を備え、前記ミラーユニットが前記ミラーユニット受部に支持された状態で前記電力供給端子と前記電力被供給端子とが電気的に接触することを特徴とする請求項５または請求項６に記載の光走査装置。
【請求項８】
前記差込み方向に直交する方向において互いに対向する前記ミラーユニットの一対の側部が当接するように、前記差込溝は前記ミラーユニット受部に一対設けられていることを特徴とする請求項６または請求項７に記載の光走査装置。
【請求項９】
前記ミラーユニットが前記ミラーユニット受部に支持された状態で前記ミラーユニットを位置決めする位置決め部を、前記ミラーユニット受部が備えたことを特徴とする請求項５乃至請求項８の何れか1項に記載の光走査装置。
【請求項１０】
前記位置決め部は、前記差込み方向に直交する方向に押圧して、前記ミラーユニット受部に支持された前記ミラーユニットを前記差込み方向に直交する方向に対して位置決めする第1押圧部材を備えたことを特徴とする請求項９に記載の光走査装置。
【請求項１１】
前記位置決め部は、前記ミラーユニットを前記差込み方向に押圧して、前記ミラーユニット受部支持された前記ミラーユニットを前記差込み方向に対して位置決めする第2押圧部材を備えたことを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の光走査装置。
【請求項１２】
前記位置決め部は、前記ミラーユニットを前記走査ミラー面が向いている方向に押圧して、前記ミラーユニットを位置決めする第３押圧部材を備えたことを特徴とする請求項９乃至請求項１１の何れか1項に記載の光走査装置。
【請求項１３】
第1押圧部材，第２押圧部材，第３押圧部材の少なくとも一つは前記ミラーユニット受部に支持された状態の前記ミラーユニットの振動を吸収する弾性部材によって形成したことを特徴とする請求項１０乃至請求項１２の何れか１項に記載の光走査装置。
【請求項１４】
前記ミラーユニット受部に支持された状態のミラーユニットを該ミラーユニット受部に対して固定する固定部材を備えたことを特徴とする請求項５乃至請求項１３の何れか1項に記載の光走査装置。
【請求項１５】
前記固定部材は、前記第２押圧部材を兼用することを特徴とする請求項１４に記載の光走査装置。
【請求項１６】
光を画像情報で変調して被変調光として出力する被変調光出力部と、該被変調光を走査して画像を表示する光走査部とを備えた画像表示装置であって、
前記光走査部として、請求項５乃至請求項１５の何れか１項に記載の光走査装置を用いたことを特徴とする画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ミラーユニット、ミラーユニットを用いた光走査装置および画像表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光を走査する装置に関する発明が知られている（特許文献１）。この装置は、光を走査することにより、バーコードを光学的に読み取る装置である。この装置は、光をバーコード上に走査してバーコードを光学的に読み取る走査部と、走査部によって読み取られたバーコードの意味を解読するデコード部とから大略構成されている。
【０００３】
そして、走査部とデコード部は、別体であって、互いに着脱自在に取付られる構成であるため、仮に、走査部又はデコード部が損傷した場合には、損傷した走査部又はデコード部のみを交換するだけで足り、全体を交換する必要がない。
【特許文献１】特開平６−１３９３８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、前述の光走査に関する装置においては、走査部内に、電源部、光源、反射ミラー等の多数の光学部品が収納されているため、仮に、反射ミラーは損傷して交換の必要があるが、電源部や光源等は交換の必要がない場合であっても、走査部を交換する場合には、結果として、反射ミラーと一緒に電源部や光源等の多数の光学部品も交換されることになるため、未だ、交換の必要のない電源部や光源等の多数の光学部品が無駄になるという問題があった。
【０００５】
本発明は前述の従来技術の実情に鑑みてなされたもので、その目的は、走査ミラーが損傷して交換の必要が生じた場合には、該走査ミラーと共に可及的に少ない光学部品を交換するだけで走査ミラーを交換することができるようにしたミラーユニット、光走査装置及び画像表示装置を提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、ミラー支持部と、光を走査可能に該ミラー支持部に設けられた走査ミラーとを備えたミラーユニットであって、ミラーユニット受部に対して着脱可能に取付けられる取付部を備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項1に記載のミラーユニットにおいて、走査ミラーを走査動作させる駆動部と、該駆動部に電力を供給するための電力被供給端子とが設けられたことを特徴とするものである。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のミラーユニットにおいて、電力被供給端子は前記ミラーユニットの前記差込み方向の先端部に設けられていることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載のミラーユニットにおいて、走査ミラーに対向し、光透過性のカバー部を備えたことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載のミラーユニットを着脱可能に支持するミラユニット受部を備えたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の光走査装置において、ミラーユニット受部には差込溝が形成され、ミラーユニットは該差込溝に差込まれて前記ミラーユニット受部に支持されることを特徴とするものである。
【００１２】
請求項７に記載の発明は、請求項５または請求項６に記載の光走査装置において、ミラーユニット受部には、前記駆動部に電力を供給するための電力供給端子を備え、前記ミラーユニットが前記ミラーユニット受部に支持された状態で前記電力供給端子と前記電力被供給端子とが電気的に接触することを特徴とするものである。
【００１３】
請求項８に記載の発明は、請求項６または請求項７に記載の光走査装置において、差込み方向に直交する方向において互いに対向する前記ミラーユニットの一対の側部が当接するように、前記差込溝は前記ミラーユニット受部に一対設けられていることを特徴とするものである。
【００１４】
請求項９に記載の発明は、請求項５乃至請求項８の何れか1項に記載の光走査装置において、ミラーユニットがミラーユニット受部に支持された状態でミラーユニットを位置決めする位置決め部を、ミラーユニット受部が備えたことを特徴とするものである。
【００１５】
請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の光走査装置において、位置決め部は、前記差込み方向に直交する方向に押圧して、前記ミラーユニット受部に支持された前記ミラーユニットを前記差込み方向に直交する方向に対して位置決めする第1押圧部材を備えたことを特徴とするものである。
【００１６】
請求項１１に記載の発明は、請求項９または請求項１０に記載の光走査装置において、位置決め部は、前記ミラーユニットを前記差込み方向に押圧して、前記ミラーユニット受部支持された前記ミラーユニットを前記差込み方向に対して位置決めする第2押圧部材を備えたことを特徴とするものである。
【００１７】
請求項１２に記載の発明は、請求項９乃至請求項１１の何れか1項に記載の光走査装置において、位置決め部は、前記ミラーユニットを前記走査ミラー面が向いている方向に押圧して、前記ミラーユニットを位置決めする第３押圧部材を備えたことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項１３に記載の発明は、請求項１０乃至請求項１２の何れか１項に記載の光走査装置において、第1押圧部材，第２押圧部材，第３押圧部材の少なくとも一つは前記ミラーユニット受部に支持された状態のミラーユニットの振動を吸収する弾性部材によって形成したことを特徴とするものである。
【００１９】
請求項１４に記載の発明は、請求項５乃至請求項１３の何れか1項に記載の光走査装置において、ミラーユニット受部に支持された状態のミラーユニットを該ミラーユニット受部に対して固定する固定部材を備えたことを特徴とするものである。
【００２０】
請求項１５に記載の発明は、請求項１４に記載の光走査装置において、固定部材は、前記第２押圧部材を兼用することを特徴とするものである。
【００２１】
請求項１６に記載の発明は、光を画像情報で変調して被変調光として出力する被変調光出力部と、該被変調光を走査して画像を表示する光走査部とを備えた画像表示装置であって、光走査部として、請求項５乃至請求項１５の何れか１項に記載の光走査装置を用いたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１に記載の発明によれば、走査ミラーが損傷等して交換の必要が生じた場合には、ミラーユニットをミラーユニット受部に対して交換することができる。従って、走査ミラーの交換に際して、交換の必要のない多数の光学部品を交換する必要を無くすことができる。
【００２３】
請求項２に記載の発明によれば、走査ミラーを電源部に対して別体に構成することができるため、仮に、走査ミラーが損傷等した場合には、走査ミラーを有するミラーユニットのみを交換するだけで、電源部は交換の必要がない。このため、交換の必要のない電源部を無駄にすることがない。
【００２４】
請求項３に記載の発明によれば、ミラーユニットを差込むことにより、該ミラーユニットに設けられている電力被供給端子が電源部側の端子に接続して、電源部から電力の供給が可能となる。
【００２５】
請求項４に記載の発明によれば、ミラーユニットは光透過性のカバー部を備えているため、走査ミラーの清浄が保たれる。
【００２６】
請求項５に記載の発明によれば、走査ミラーを備えているミラーユニットは、ミラーユニット受部によって着脱可能に支持されるので、走査ミラーが損傷した場合には、光走査装置全体を交換するのではなく、ミラーユニットのみを交換することができる。。
【００２７】
請求項６に記載の発明によれば、ミラーユニットを差込溝に差し込むことにより、ミラーユニット受部に容易に着脱可能に取付けられることができる。
【００２８】
請求項７に記載の発明によれば、ミラーユニットを差込溝に差し込むことにより、走査ミラーを駆動するための電力の供給が可能となる。
【００２９】
請求項８に記載の発明によれば、ミラーユニットの一対の側部が差込溝に当接するため、ミラーユニットは一対の側部において差込溝に支持される。
【００３０】
請求項９に記載の発明によれば、ミラーユニットは位置決め部によって適切な位置に位置決めされる。
【００３１】
請求項１０に記載の発明によれば、第１押圧部材によってミラーユニットは該ミラーユニットの差込方向と直交する方向に対して位置決めされる。
【００３２】
請求項１１に記載の発明によれば、第２押圧部材によってミラーユニットは該ミラーユニットの差込方向に対して位置決めされる。
【００３３】
請求項１２に記載の発明によれば、第３押圧部材によってミラーユニットは走査ミラー面に入射する光の入射方向に対して位置決めされる。
【００３４】
請求項１３に記載の発明によれば、第１押圧部材、第２押圧部材、第３押圧部材の少なくとも1つによってミラーユニットの振動は吸収されるため、ミラーユニットは安定感良く支持される。
【００３５】
請求項１４に記載の発明によれば、固定部材によってミラーユニットはミラーユニット受部に固定される。
【００３６】
請求項１５に記載の発明によれば、第２押圧部材によってミラーユニットはミラーユニット受部に位置決めされた状態で固定される。
【００３７】
請求項１６に記載の発明によれば、請求項６乃至請求項１５の何れか１項に記載の光走査装置を用いて画像表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
図１乃至図９は本発明の実施形態に係るミラーユニット１を示す。図１に示すように、このミラーユニット１は、走査ミラー２と該走査ミラー２を図中矢示α―β方向へ揺動させるように駆動する駆動部３がミラー支持部４に設けられた構成である。ここで、ミラーユニット１とは、走査ミラー２を前述のように、揺動させることにより、該走査ミラー２に入射する入射光Ｎを当該揺動に応じた方向へ走査光Ｈとして反射させる光学機器である。図２に示すように、このミラーユニット１は、ミラーユニット受部５に着脱可能に取付けられる構成になっている。
【００３９】
図３に示すように、ミラーユニット１がミラーユニット受部５に取付けられることにより光走査装置６が構成されるものである。光走査装置６とは、前述のように、走査ミラー２の揺動を制御することにより、走査ミラー２からの走査光Ｈを例えば、スクリーン等に走査してスクリーン上に画像を表示等する光学機器である。
【００４０】
次ぎに、図１に戻って、ミラーユニット１の前記ミラー支持部４の具体的な構成について説明する。ミラー支持部４は、筐体７と該筐体７に設けられる基板８とを備えている。基板８上には、前記走査ミラー２と駆動部３とが設けられている。前記筐体７は例えば、直方体で形成され、一面には凹状の基板設置部９が形成されている。基板設置部９には基板８が設置されるものである。基板設置部９の底面には、中継端子１０〜１７が設けられている。基板設置部９の上側は、光透過性の透明カバーで覆われることにより、凹状の基板設置部９を密閉状態にし、埃，チリ等の侵入を防ぐようにしても良い。
【００４１】
そして、図２に示すように、ミラーユニット１がミラーユニット受部５に対して着脱可能に取付けられるものであるが、ミラーユニット１がミラーユニット受部５に対して着脱可能に取付ける一態様として、ミラーユニット１がミラーユニット受部５に対して抜き差し可能に取付けられる構成について説明する。ミラーユニット１の筐体７における差込み方向下流側の端部の走査ミラー２側の面には、ミラーユニット１を抜き差しする際に、作業者が摘み易いように、摘み部１８が設けられている。又、該筐体７の側部は前記ミラーユニット受部５に対して差込可能な取付部１９，２０である。更に、該筐体７の差込み方向の先端部の差込み方向側の面には電力被供給端子２１〜２８が設けられている。この電力被供給端子２１〜２８は配線等（図示せず）によって前記中継端子１０〜１７に接続されている。
【００４２】
次ぎに、図４及び図５に基づき、前記走査ミラー２及び駆動部３について説明する。図４は、基板８上に設けられた走査ミラー２と該走査ミラー２を駆動する駆動部３の外観を示す。図４に示すように、走査ミラー２は板状に形成され、該走査ミラー２の図中上面が反射面になっている。該走査ミラー２からは該走査ミラー２の回転中心となる一対の回転軸２９，３０が延設している。該各回転軸２９，３０は途中で二股になって先端が連結部２９ａ，２９ｂ、３０ａ，３０ｂになっている。各連結部２９ａ，２９ｂ、３０ａ，３０ｂの図中上面には、ピエゾ素子３１のような圧電効果素子が設けられている。
【００４３】
前記駆動部３は、図５に示すように、前記各ピエゾ素子３１と、該各ピエゾ素子３１を挟むように該ピエゾ素子３１の両面に設けられた下部電極３２〜３５と上部電極３６〜３９を備えている。ここで、例えば、下部電極３２と上部電極３６とで挟まれているピエゾ素子３１の動作について説明すると、下部電極３２と上部電極３６との間に印加される電圧の向きを変えることにより、ピエゾ素子３１は、図５（１）に示す状態から、図５（２）又は図５（３）に示すように、撓む方向が上下に変わる。
【００４４】
従って、図４に示す下部電極３２と上部電極３６に挟まれているピエゾ素子３１と、下部電極３４と上部電極３８に挟まれているピエゾ素子３１を仮に、図５（１）に示すように、上方へ撓ませ、一方、下部電極３３と上部電極３７に挟まれているピエゾ素子３１と、下部電極３５と上部電極３９に挟まれているピエゾ素子３１を図５（２）に示すように、下方へ撓ませることにより、回転軸２９，３０は図４中実線で示す矢示方向へ回転し、走査ミラー２も同方向へ揺動するものである。このため、下部電極３２〜３５と上部電極３６〜３９に印加する電圧を制御し、当該走査ミラー２の揺動を制御することにより、入射光Ｎを所望の方向に走査光Ｈとして反射させて、走査ミラー２としての機能を奏することができるものである。図１に示すように、前記下部電極３２〜３５と上部電極３６〜３９は、ボディングワイヤＷによって、前記筐体７に設けられた中継端子１０〜１７に電気的に接続されている。
【００４５】
図２に示すように、ミラーユニット受部５は、前記ミラーユニット１を着脱可能に支持するものであるが、前述のように、ミラーユニット１を抜き差し可能に受け止めする形状とすることができる。次ぎに、ミラーユニット１を抜き差し可能に受け止めするようにしたミラーユニット受部５の具体的な構成について、図２，図３に基づき説明する。図２に示すように、ミラーユニット受部５は、ミラーユニット１の先端を受止める先端受止部４１と、該先端受止部４１から立設されてミラーユニット１側部の取付部１９，２０を受止める側部受止部４２，４３とを備え、側部受止部４２，４３には、ミラーユニット１の筐体７に設けられた取付部１９，２０が抜差し可能に差込まれる差込溝４４，４５が形成されている。該差込溝４４，４５は、差込み方向先端側が前記先端受止部４１によって閉鎖され、後端側は差込口４６，４７として開放されている。
【００４６】
又、図３に示すように、ミラーユニット１がミラーユニット受止部５に受止められた状態で、ミラーユニット１の摘み部１８がミラーユニット受止部５から突出するように、ミラーユニット受止部５の側部受止部４２，４３は、差込み方向においてミラーユニット１よりも短尺に形成されている。又、図２に示すように、前記先端受止部４１には電力供給端子Ｐ１〜Ｐ８が設けられている。該電力供給端子Ｐ１〜Ｐ８には、図３に示すように、ミラーユニット受止部５にミラーユニット１が差込まれた状態で該ミラーユニット１の電力被供給端子２１〜２８が電気的に接触する。従って、外部電源から供給される電力は、電力供給端子Ｐ１〜Ｐ８，電力被供給端子２１〜２８及び中継端子１０〜１７を経て、前記下部電極３２〜３５及び上部電極３６〜３９に供給されるものである。
【００４７】
又、図３に示すように、前記ミラーユニット１が前記ミラーユニット受部５に取付けられた状態でミラーユニット１を位置決めする位置決め構造を設けることができる。次ぎに、図６乃至図９に基づき、当該位置決め構造について説明する。
【００４８】
前記位置決め構造として、第１位置決め部と、第２位置決め部と、第３位置決め部とが設けられている。先ず、図６に基づき、第１位置決め部について説明する。図６は、図２のＡ−Ａ線断面図である。第１位置決め部は、前記ミラーユニット受部５の二つの差込溝４４，４５の一方の差込溝４４内に設けられた第１押圧部材４８を備えている。該第１押圧部材４８は弾性を有している素材によって形成されるものである。第１押圧部材４８は、一方の差込溝４４の溝底４４ａの長手方向の全域に亘って設けられている。該第１押圧部材４８は、差込溝４４，４５内に差込まれた状態のミラーユニット１を他方の差込溝４５ヘ向けて弾性的に押圧するものである。当該押圧によって、ミラーユニット１は、筐体７の側面が該他方の差込溝４５の溝底４５ａに押し付けられるようにして、ミラーユニット１の差込方向とは直交する方向であって、且つ、走査ミラー２の反射面と平行な方向に対する位置決めがされるものである。そして、ミラーユニット１の筐体７の側面が押し付けられる差込溝４５の溝底４５ａと、該筐体７の側面とは互いに面接触するように互いに平坦面状に形成されることにより、ミラーユニット１の位置決めは一層、高精度に達成される。
【００４９】
又、図７（図７は、図６のＢ―Ｂ線断面図）に示すように、差込溝４５の溝底４５ａと先端受部４１とが所定角度、例えば、９０度を成すように形成されることにより、ミラーユニット１の位置決めは更に、高精度に達成されるものである。該第１位置決め部は、図６に示す第１押圧部材４８と、ミラーユニット１の筐体７の平坦面状の側面と、前記差込溝４５の平坦面上の溝底４５ａによって構成されるものである。
【００５０】
次ぎに、第２位置決め部について説明する。該第２位置決め部は、ミラーユニット１を差込方向へ押圧してミラーユニット１の位置決めするものである。第２位置決め部としては、図８に示すように、ミラーユニット１には、差込み方向において湾曲して突出する凸部４９が形成され、ミラーユニット受部５には差込み方向において湾曲して窪む凹部５０が形成されている。凸部４９は第２押圧部材としての凹部５０に弾性的に嵌り込む構造である。凸部４９と凹部５０は、ミラーユニット１が差込溝４４，４５に差込まれて、図３に示すように、ミラーユニット１の先端面がミラーユニット受部５の先端受止部４１に当接した状態で、図８に示すように、凸部４９が凹部５０に嵌り込む位置に設けられている。このように構成された第２位置決め部においては、ミラーユニット１がミラーユニット受部５の差込溝４４，４５に差込まれると、凸部４９が凹部５０によってミラーユニット１を差込み方向に押圧され、ミラーユニット１の先端面がミラーユニット受部５の先端受止部４１に面接触した状態で、ミラーユニット１の差込方向の位置が固定されるものである。尚、凸部４９をミラーユニット受部５に設け、凹部５０をミラーユニット１に設けてもよい。
【００５１】
前記第３位置決め部は、図６に示すように、前記差込溝４４，４５内に設けられた第３押圧部材５１を備えている。該第３押圧部材５１は、差込溝４４，４５中に差込まれたミラーユニット１の筐体７の後面を前記走査ミラー２の反射面の向いている方向、即ち、走査ミラー２への光入射側である前方（図６中、矢示Ｆ方向）へ押圧するように付勢するものである。当該押圧によって、ミラーユニット１は、筐体７の前面が差込溝４４，４５の溝壁４４ｂ，４５ｂに押し付けられてミラーユニット１の差込み方向とは直交する方向であって、且つ、走査ミラー２の反射面と直交する方向に対する位置決めがされる。この場合、ミラーユニット１の筐体７の取付部１９，２０の前面と、差込溝４４，４５の溝壁４４ｂ，４５ｂ（図６に示す）とが面接触するように互いに平坦面で形成されれば、ミラーユニット１の位置決めが一層、高精度に達成されるものである。
【００５２】
又、図９（図９は、図６のＣ―Ｃ線断面図である）に示すように、前記差込溝４４，４５の溝壁４４ｂ，４５ｂと、先端受部４１とが所定角度、例えば、９０度を成すように形成すれば、ミラーユニット１の位置決めが更に、高精度に達成されるものである。図６に示す第３押圧部材５１と、筐体７の取付部１９，２０の前面と、差込溝４４，４５の溝壁４４ｂ，４５ｂとによって前記第３位置決め部が構成されるものである。
【００５３】
次に、以上のように構成されたミラーユニット１とミラーユニット受部５との組付けについて説明する。図２に示すように、ミラーユニット１をミラーユニット受部５に近づけ、ミラーユニット１の取付部１９，２０をミラーユニット受部５の差込溝４４，４５の開口４６，４７にあてがって差込む。そして、図３に示すように、ミラーユニット１の先端面がミラーユニット受部５の先端受止部４１に当接した状態において、ミラーユニット１の位置決めがなされる。
【００５４】
即ち、図８に示すように、凸部４９が凹部５０に嵌り込むことにより、ミラーユニット１は差込方向の位置決めがなされる。又、図６に示す第１押圧部材４８がミラーユニット１を差込溝４５の溝底４５ａに押し付けるようにして、該ミラーユニット１の横方向への位置決めがなされる。更に、図６に示す第３押圧部材５１が、ミラーユニット１を前方（図中、Ｆ方向）へ押し圧してミラーユニット１の前面を差込溝４４，４５の溝壁４４ｂ，４５ｂに押し付けるようにして該ミラーユニット１の前方向への位置決めがなされる。
【００５５】
以上のようにしてミラーユニット１の位置決めがなされた状態において、該ミラーユニット１の電力被供給端子２１〜２８が、ミラーユニット受部５の電力供給端子Ｐ１〜Ｐ８に電気的に接触することにより、走査ミラー２の駆動部３に対して外部電源からの電力の供給が可能になる。
【００５６】
そして、図１に示すように、外部電源から供給された電力によって駆動部３が走査ミラー２の駆動を駆動させることにより、走査ミラー２が当該揺動に応じた方向へ光を反射させ、その反射光をスクリーン等に走査することにより、スクリーン等に画像を表示することができる。
【００５７】
次ぎに、ミラーユニット１を構成する走査ミラー２又は駆動部３等が損傷したとする。この場合には、図３に示す状態において、作業者がミラーユニット１の摘み部１８を摘んでミラーユニット１をミラーユニット受部５から引っ張ると、図８に示す凸部４９が凹部５０から外れるため、ミラーユニット１はミラーユニット受部５から引き抜かれるようにして外れる。その後、新たなミラーユニット１をミラーユニット受部５に対して差込むことにより、ミラーユニット１とミラーユニット受部５とを組付ける。
【００５８】
以上のように構成されたミラーユニット１、ミラーユニット受部５、及び、これらミラーユニット１とミラーユニット受部５を組み付けて構成された光走査装置６においては、ミラーユニット１がミラーユニット受部５に対して着脱自在に構成されているため、例えば、走査ミラー２や該走査ミラー２の駆動部３が損傷した場合には、ミラーユニット１のみを交換し、ミラーユニット受部５は交換の必要がない。ところで、前述のように、ミラーユニット１とミラーユニット受部５で構成された光走査装置６を、例えば、画像表示装置の構成部品として用いる場合には、ミラーユニット１を適切な光路中に設置されていなければ適切な画像を表示することができない。このため、例えば、ミラーユニット１を交換するような場合には、ミラーユニット１の交換に伴って、新たなミラーユニット１の設置位置の調整作業が改めて必要になる。しかし、本実施形態においては、ミラーユニット１を交換する場合には、ミラーユニット受部５は交換せずにそのままの位置であるために、新たなミラーユニット１を単にミラーユニット受部５に差込むだけで、新たなミラユニット１を光路中の適切な位置に位置決めされるという作用効果を奏する。
【００５９】
次ぎに、以上のように構成された光走査装置６を用いて画像表示装置６１を形成する場合について、図１０に基づき説明する。画像表示装置６１は、被変調光Ｓを出力する被変調光出力部６２と、被変調光Ｓを水平走査する水平走査部６３と、被変調光Ｓを垂直走査する垂直走査部６４と、コリメートレンズ６５と、反射ミラー６６と、光学リレー系６７，６８とから大略構成される。
【００６０】
水平走査部６３および垂直走査部６４は、前述した光走査装置６を用いて構成される。水平走査部６３を光走査装置６を用いて構成した場合、光走査装置６の走査ミラー２は、被変調光Ｓを水平走査するように揺動するものである。又、垂直走査部６４を光走査装置６を用いて構成した場合、光走査装置６の走査ミラー２は、被変調光Ｓを垂直走査するように揺動するものである。
【００６１】
該画像表示装置６１においては、被変調光出力部６２においてレーザ光を外部信号に基づき変調することにより、被変調光Ｓを出力する。被変調光出力部６２から出力された被変調光Ｓは、コリメートレンズ６５によって収束した後、反射ミラー６６で反射して水平走査部６３に入射する。該水平走査部６３に入射した被変調光Ｓは該水平走査部６３において水平走査されて出射される。該水平走査部６３で水平走査され被変調光Ｓは、光学リレー系６７，６８を介して垂直走査部６４に入射する。該垂直走査部６４に入射した被変調光Ｓは該垂直走査部６４で垂直走査されて出射し、スクリーン等を走査して該スクリーン等に画像を表示する。
【００６２】
このように、本発明の実施形態に係る光走査装置６を用いて画像表示装置６１を形成した場合には、光路中の適切な位置にミラーユニット受部５を設置しておけば、該ミラーユニット受部５に対してミラーユニット１を交換する場合、新たなミラーユニット１をミラユニット受部５に装着するだけで、ミラーユニット１は光路中の適切な位置に設置されることができるという作用効果を奏する。
【００６３】
又、前述の画像表示装置６１において、被変調光Ｓを観察者の網膜上に走査し、該網膜上に画像を表示するようにすれば、該画像表示装置６１を網膜走査画像表示装置として用いることができるものである。又、光走査装置６をレーザプリンタに設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】ミラーユニットの斜視図である。
【図２】ミラーユニットをミラーユニット受部に対して差込む途中の状態を示        す説明図である。
【図３】ミラーユニットとミラーユニット受部とを組付けて、光走査装置を形成      した状態を示す光走査装置の斜視図である。
【図４】基板上に走査ミラーと駆動部を基板上に設けた状態の斜視図である。
【図５】ピエゾ素子の動作を示すために、下部電極と上部電極とでピエゾ素子を挟んだ          状態を示す図である。
【図６】図２のＡ―Ａ線断面図である。
【図７】図６のＢ―Ｂ線断面図である。
【図８】第２押圧部材の構成を示す図である。
【図９】図６のＣ―Ｃ線断面図である。
【図１０】光走査装置を用いて画像表示装置を形成した状態を示す画像表示          装置の光学部品の配置図である。
【符号の説明】
【００６５】
１  ミラーユニット
２  走査ミラー
３  駆動部
４  ミラー支持部
５  ミラーユニト受部
６  光走査装置
１９，２０  取付部
２１〜２８  電力被供給端子
４４，４５  差込溝
４８  第１押圧部材
５０  凹部（第２押圧部材）
５１  第３押圧部材
６１  画像表示装置
Ｐ１〜Ｐ８  電力供給端子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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