(57)【要約】【課題】本発明では、高い透光性と密着性を示し、経時によるバリア性の劣化を伴わない、信頼性の高い積層体の提供を課題とする。また、この積層体を用いた表示媒体の提供を課題とする。【解決手段】少なくともプラスティックフィルムなどの基材上に無機酸化物層と、分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物及び分子内にアルコキシシリル基を持つ（メタ）アクリル化合物とを含む（メタ）アクリル樹脂層が積層されていることを特徴とする積層体を提供するものである。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも基材上に、無機酸化物層（Ａ）と、分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）及び分子内にアルコキシシリル基を持つ（メタ）アクリル化合物（Ｃ）とを含む（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が積層されていることを特徴とする積層体。
【請求項２】
前記無機酸化物層（Ａ）と前記（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）がそれぞれ複数積層されていることを特徴とする請求項１に記載の積層体。
【請求項３】
前記無機酸化物層（Ａ）と前記（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が、基材上に無機酸化物層（Ａ）、（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）の順に積層されてなることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載の積層体。
【請求項４】
前記無機酸化物層（Ａ）と前記（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が、基材上に（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）、無機酸化物層（Ａ）の順に積層されてなることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載の積層体。
【請求項５】
前記無機酸化物層（Ａ）と前記（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が、真空中で連続して成膜されることを特徴とした請求項１〜４のいずれかに記載の積層体。
【請求項６】
前記、分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）が下記化学式（１）または（２）で示される化合物であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の積層体。
【化１】
2005007741.tif 000007
【化２】
2005007741.tif 000008
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の積層体を用いた表示媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高いガスバリア性を示し、且つ透明性、基材密着性に優れた積層体に関するものである。また、それをＥＬ素子などの表示媒体の前面保護層として用いた表示媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＥＬ素子などのディスプレイ等の分野において、高いガスバリア性を有するフィルムの要求が高まっている。
前述のＥＬ素子は、少なくとも一方が透明な２枚の電極の間に発光媒体層を挟持した構造であり、両電極間に電流を流すことにより発光媒体層で発光が生じるものである。ただし、ＥＬ素子は、大気中の水分や酸素などの影響により劣化する。ＥＬ素子劣化の具体例として、ダークスポットと呼ばれる非発光領域が発生し、時間の経過と共に拡大するといった現象がある。特に、ガスバリア性が低いプラスチックフィルムを基材として使用した場合には、ＥＬ素子の劣化はさらに早く進行する。
【０００３】
背面側（光取り出し面と反対側）に配置するガスバリアフィルムとしては、透光性である必要が無く、特にガスバリア性が高いアルミニウム箔などの金属箔を積層したフィルムで封止することが効果的である。それに対して、前面側（光取り出し面側）は、透光性であることが必要なため、無機薄膜蒸着フィルムなどを積層したフィルムが用いられてきた。しかしながら、これらのバリアフィルムは、基材となるプラスティックフィルムに対して、無機蒸着層を単層で設けおり、そのバリア性は高いものではなかった。そこでバリア性を高めるためにプラスティックフィルムへ、無機蒸着層＋コート層あるいはアンカー層＋無機蒸着層のような積層構成が用いられている。
【０００４】
前記コート層あるいはアンカー層として、例えば（メタ）アクリル基を有するシランカップリング剤が用いられている（特許文献１参照）。しかしながら、（メタ）アクリル層の強度と、密着性を同時に保持することが困難であり、経時での密着性及びバリア性の低下がみられることがある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−４４３０３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記課題を解決するために、高い透光性と密着性を示し、経時によるバリア性の劣化を伴わない、信頼性の高い積層体を提供するものである。また、この積層体を用いた表示媒体を提供するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、少なくとも基材上に、無機酸化物層（Ａ）と、分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）及び分子内にアルコキシシリル基を持つ（メタ）アクリル化合物（Ｃ）とを含む（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が積層されていることを特徴とする積層体である。
【０００８】
請求項２の発明は、前記無機酸化物層（Ａ）と前記（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）がそれぞれ複数積層されていることを特徴とする請求項１に記載の積層体である。
【０００９】
請求項３の発明は、前記無機酸化物層（Ａ）と前記（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が、基材上に無機酸化物層（Ａ）、（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）の順に積層されてなることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載の積層体である。
【００１０】
請求項４の発明は、前記無機酸化物層（Ａ）と前記（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が、基材上に（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）、無機酸化物層（Ａ）の順に積層されてなることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに記載の積層体である。
【００１１】
請求項５の発明は、前記無機酸化物層（Ａ）と前記（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が、真空中で連続して成膜されることを特徴とした請求項１〜４のいずれかに記載の積層体である。
【００１２】
請求項６の発明は、前記の分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）が下記化学式（１）または（２）で示される化合物であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の積層体である。
【００１３】
【化３】
2005007741.tif 000002
【００１４】
【化４】
2005007741.tif 000003
【００１５】
請求項７の発明は、請求項１〜６のいずれかに記載の積層体を用いた表示媒体である。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施形態について詳細に説明する。
本発明は、基材上に、無機酸化物層（Ａ）と、分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）及び分子内にアルコキシシリル基を持つ（メタ）アクリル化合物（Ｃ）とを含む（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が交互に積層されていることを特徴とするものである。
【００１７】
前記無機酸化物層（Ａ）と（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）の積層数は特に限定するものではないが、それぞれ２層以上積層することが好ましい。そうすることにより、バリア性の向上がみられる。より好ましくは２〜１０層積層していると良い。２回より少ないと十分なバリア性が発現せず、１０層を越えるとバリア層にクラックが発生したり、密着性低下などが生じるためである。更に好ましくは２〜５層積層していると良く、このとき高いバリア性と基材の密着性、バリアフィルムの信頼性が得られる。
【００１８】
無機酸化物層（Ａ）と（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）はどちらを基材側に設けてもよく、基材と高い密着性を示す層を最初に形成すればよい。また、最上層には（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）を設けることが好ましい。これは、（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が保護層としての役割を果たすためである。
【００１９】
本発明に用いる基材は、特に限定するものではなく様々な公知の基材を用いることができる。例えばプラスティックフィルムからなる基材は、透光性、可撓性の点から好ましいものである。このようなプラスティックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、トリアセチルセルロース（ＴＡＣ）やポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）等を用いることができる。
【００２０】
本発明の無機酸化物層（Ａ）は、水蒸気や酸素等のガスの透過を防ぐ、いわゆるガスバリア層となるものである。無機酸化物層（Ａ）を形成する材料は特に限定されるものではなく、珪素、アルミニウム、クロム、マグネシウム等の金属の酸化物、窒化物フッ化物や、錫含有インジウム酸化物（ＩＴＯ）などの複合酸化物、窒化物等、透明でかつ酸素、水蒸気等のガスバリア性を有するものであればよい。
なかでも、無機酸化物を好ましく用いることができる。例えば、酸化珪素は、より高いバリア性と、（メタ）アクリル樹脂層（Ｃ）と高い密着性を得られるために好ましい。
【００２１】
これらの無機酸化物層（Ａ）は公知の方法で成膜することができる。例えば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法やプラズマ気相成長法（ＣＶＤ）などを用いることもできる。
【００２２】
無機酸化物層（Ａ）の膜厚は１．０〜３００ｎｍの範囲が好適である。１．０ｎｍ未満のときは膜厚が十分ではないことから、バリア材としての機能を十分に果たすことができない場合がある。また膜厚が３００ｎｍを超える場合にはクラックが発生するためである。より好ましくは１０〜１５０ｎｍの範囲であり、この時高いバリア性が得られる。
【００２３】
本発明の（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は、無機酸化物との層間密着性を高める、いわゆる中間接着剤の役割を果たすものである。前記（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は、分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）及び分子内にアルコキシシリル基を持つ（メタ）アクリル化合物（Ｃ）とを含むものである。
【００２４】
本発明の分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）は、活性エネルギー線照射により、架橋構造を形成しアクリル樹脂層のベースとなるものである。更に、分子内に三個以上の水酸基を有することから、アルコキシシリル基を持つ（メタ）アクリル化合物（Ｃ）の、アルコキシル基との高い相互作用が生じる。
【００２５】
前記（メタ）アクリル化合物（Ｂ）は、特に限定されるものではないが、分子内に三個以上の水酸基を有することが好ましい。三個以上の水酸基を有することにより、密着性が向上する。
【００２６】
前記（メタ）アクリル化合物（Ｂ）としては、下記化学式（１）及び（２）で示される化合物が挙げられる。化学式（１）の例としては、商品名デナコールアクリレートＤＡ−３１４（ナガセケムテックス社製）が挙げられ、化学式（２）の例としては、商品名エポキシエステル８０ＭＦＡ（共栄社化学株式会社製）が挙げられる。
【００２７】
【化５】
2005007741.tif 000004
【００２８】
【化６】
2005007741.tif 000005
【００２９】
前記（メタ）アクリル化合物（Ｃ）は、アルコキシシリル基と（メタ）アクリル基を併せ持つことから、無機酸化物層（Ａ）と（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）との強い密着性が得られるものである。
【００３０】
（メタ）アクリル化合物（Ｃ）は特に限定されるものではなく、分子内にアルコキシシリル基を有していればよく、γ−（メタ）アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−（メタ）アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−（メタ）アクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−（メタ）アクリロキシプロピル−トリス（β−メトキシエトキシ）シラン等が挙げられる。
【００３１】
本発明の（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）の配合量は、分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）１０〜９５重量部に対して、アルコキシシリル基を含む（メタ）アクリル化合物（Ｃ）９０〜５重量部とすると良い。分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）が１０重量部より少なく、またはアルコキシシリル基を含む（メタ）アクリル化合物（Ｃ）が９０重量部を越えると、硬度及び擦傷性が低下し、一方分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）が９５重量部を越え、またはアルコキシシリル基を含む（メタ）アクリル化合物（Ｃ）の配合量が５重量部より少ないと、十分な密着性を得られない。より好ましくは、分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）２５〜７５重量部に対して、アルコキシシリル基を含む（メタ）アクリル化合物（Ｃ）７５〜２５重量部であるとき、高い密着性と、膜強度を得ることができる。
【００３２】
更に、本発明の（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）には、（メタ）アクリル化合物（Ｅ）を配合することができる。
（メタ）アクリル化合物（Ｅ）は特に限定されるものではなく、分子内に（メタ）アクリル基を有すれば良く、屈曲性、擦傷性、硬度など目的に応じて単官能、多官能のアクリル化合物を用いることができる。単官能としてはテトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等が挙げることができる。多官能としては１，６ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げることができるがこれに限定させるものではない。（メタ）アクリル化合物（Ｅ）は１種類、あるいは２種類以上を同時に用いることができる。
【００３３】
本発明の（メタ）アクリル化合物（Ｅ）の配合量は、分子内に三個以上の水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）とアルコキシシリル基を含む（メタ）アクリル化合物（Ｃ）とを合わせて１００重量部としたときに、それに対して５〜５０重量部、好ましくは１０〜２５重量部とされる。５重量部より少ないと、配合目的を達成することができず、５０重量部を越えるとバリア層（Ｄ）の密着性が低下するためである。
【００３４】
本発明の（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は、ＥＢ等の活性エネルギーを照射することにより架橋させると好ましい。このとき重合を効率良く進行させるために、重合開始剤（Ｆ）を配合することができる。
重合開始剤（Ｆ）は特に限られる物ではなく、活性エネルギーを照射した際に、ラジカルを発生する化合物であればよい。たとえば、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、２−メチル［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、ベンゾフェノン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル１−プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等が使用できる。
【００３５】
本発明の重合開始剤（Ｆ）の配合量は（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）１００重量部に対して０．１〜１０重量部、好ましくは１〜７重量部、更に好ましくは１〜５重量部とされる。０．１重量部未満の場合は、（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）の硬度が不十分となり、１０重量部を越えると（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）にクラックが生じ易くなる場合がある。重合開始剤（Ｆ）の配合量を１〜５重量部に設定すると、（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）が効率よく硬化し、クラックの発生を防ぐことができ好ましい。
【００３６】
本発明の（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）の膜厚は０．０１〜１０μｍとするとよく、０．０１μｍ未満であると十分な中間層として働かないため、高い密着性が得られず、１０μｍを越えるとクラックが発生するためである。より好ましくは０．１〜５．０μｍであり、更に好ましくは０．２〜１．０μｍである。この時高い密着性とバリア性が得られる。
【００３７】
本発明の無機酸化物層（Ａ）と（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は真空中で連続して成膜することができる。このとき（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は、フラッシュ蒸着法にて成膜したのち、ＥＢなどの活性エネルギー線にて重合する。通常、無機金属酸化物（Ａ）と（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は、それぞれ単独で成膜する。このとき、成膜装置間の移動における汚染や、傷付きが発生するが、同一装置にて連続して成膜する事により、これらを防ぐことができ、良好なバリア性と、高い信頼性が得られる物である。
【００３８】
本発明で得られた積層体は、ＥＬ素子、液晶表示素子などの各種表示媒体のバリア性保護フィルムとして用いることができる。
たとえば、有機ＥＬ素子は、通常観察面側から、ガラスやフィルムなどの透光性基板の上にＩＴＯなどの透明電極、有機化合物からなる発光層、Ａｌなどの金属電極、背面封止剤の順に形成した構成が基本となるが、本発明の積層体は透光性基板や、背面封止剤として用いることができる。このとき、透光性基板として用いた場合には、フレキシブル性を持つ有機ＥＬディスプレイとして用いることができる。
また液晶表示素子は、液晶を挟んでＴＦＴ側の基材とカラーフィルター側の基材を有する構成が基本となるが、本発明の積層体は前記基材として用いることができる。この時も有機ＥＬ素子の場合と同様にフレキシブルな表示体とすることができ、軽量化を達成することができる。
【００３９】
【実施例】
以下に、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００４０】
＜実施例１＞
基材としてＰＥＴフィルム（厚さ１００μｍ）を用いた。この基材上に、無機酸化物層（Ａ）と（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）を順次交互に連続して２層づつ積層し、積層体を得た。無機酸化物層（Ａ）はＳｉＯｘをスパッタ法により２０ｎｍの厚さで形成した。（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は、分子内に３個以上水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）として商品名デナコールアクリレートＤＡ−３１４（ナガセケムテックス社製）９５重量部とアルコキシシリル基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｃ）として２−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン５重量部とをフラッシュ蒸着法で４．５μｍの厚さで積層した。
【００４１】
＜実施例２＞
基材としてＰＥＴフィルム（厚さ１００μｍ）を用いた。この基材上に、無機酸化物層（Ａ）と（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）を順次交互に連続して２層づつ積層し、積層体を得た。無機酸化物層（Ａ）はＳｉＯｘをスパッタ法により１０ｎｍの厚さで形成した。（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は、分子内に３個以上水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）として商品名エポキシエステル８０ＭＦＡ（共栄社化学株式会社）８０重量部とアルコキシシリル基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｃ）として３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン２０重量部とをフラッシュ蒸着法で０．５μｍの厚さで積層した。
【００４２】
＜実施例３＞
基材としてＰＥＳフィルム（厚さ１００μｍ）を用いた。この基材上に、この基材上に、（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）と無機酸化物層（Ａ）を順次交互に連続して３層づつ積層し、積層体を得た。（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は、分子内に３個以上水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）として商品名エポキシエステル８０ＭＦＡ（共栄社化学株式会社）２０重量部とアルコキシシリル基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｃ）として２−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン８０重量部の混合物を用い、フラッシュ蒸着法で０．２μｍの厚さで積層した。無機酸化物層（Ａ）はＡｌ２Ｏ３を蒸着法により３０ｎｍの厚さで積層した。さらに、最上層に商品名エポキシエステル８０ＭＦＡ（共栄社化学株式会社）を２０重量部と３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン８０重量部の混合物をフラッシュ蒸着法で０．２μｍの厚さで積層した。
【００４３】
＜実施例４＞
基材としてＰＥＮフィルム（厚さ１００μｍ）を用いた。この基材上に、この基材上に、（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）と無機酸化物層（Ａ）を順次交互に連続して３層づつ積層し、積層体を得た。（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は、分子内に３個以上水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）として商品名デナコールアクリレートＤＡ−３１４（ナガセケムテックス社製）を６０重量部とアルコキシシリル基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｃ）として３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン２０重量部と（メタ）アクリル化合物（Ｅ）としてジメチロールトリシクロデカンジアクリレート２０重量部との混合物を用い、フラッシュ蒸着法で１．０μｍの厚さで積層した。無機酸化物層（Ａ）はＳｉＯｘをＣＶＤ法により１８０ｎｍの厚さで積層した。さらに、最上層に（メタ）アクリル化合物（Ｂ）として商品名エポキシエステル８０ＭＦＡ（共栄社化学株式会社）６０重量部と３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン２０重量部と、（メタ）アクリル化合物（Ｅ）としてジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（共栄化学社製、ライトアクリレートＤＣＰ−Ａ）２０重量部との混合物をフラッシュ蒸着法で１．０μｍの厚さで積層した。
【００４４】
＜実施例５＞
基材としてＰＥＴフィルム（厚さ１００μｍ）を用いた。この基材上に、無機酸化物層（Ａ）と（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）を順次交互に連続して５層ずつ積層し、積層体を得た。無機酸化物層（Ａ）はＩＴＯをスパッタ法により５ｎｍの厚さで形成した。（メタ）アクリル樹脂層（Ｄ）は、分子内に３個以上水酸基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｂ）として商品名デナコールアクリレートＤＡ−３１４（ナガセケムテックス社製）７０重量部とアルコキシシリル基を有する（メタ）アクリル化合物（Ｃ）として３−アクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン３０重量部とをフラッシュ蒸着法で０．２μｍの厚さで積層した。
【００４５】
＜比較例１＞
基材としてＰＥＳフィルム（厚さ１００μｍ）を用いた。この基材上に、無機酸化物層（Ａ）としてＡｌ２Ｏ３を蒸着法で３５ｎｍの厚さで積層した。
【００４６】
＜比較例２＞
基材としてＰＥＮフィルム（厚さ１００μｍ）を用いた。この基材上に、無機酸化物層（Ａ）としてＩＴＯをスパッタ法により８０ｎｍの厚さで形成し、更に連続してＩＴＯをスパッタ法で８０ｎｍの厚さで積層した。
【００４７】
＜比較例３＞
基材としてＰＥＴフィルム（厚さ１００μｍ）を用いた。この基材上に、無機酸化物層（Ａ）とアクリル樹脂層を順次交互に連続して２層ずつ積層し、積層体を得た。無機酸化物層（Ａ）はＳｉＯｘをスパッタ法により５０ｎｍの厚さで形成した。アクリル樹脂層はペンタエルスルトールテトラアクリレートをフラッシュ蒸着法で０．８μｍの厚さで積層した。
【００４８】
上記の実施例１〜５および比較例１〜３は、以下に示す測定方法を用いて、水蒸気バリア性、透過率、密着性および信頼性を評価した。
（水蒸気バリア性）
ＪＩＳ  Ｚ０２２２に準拠して行った。
（透過率）
ＡＳＴＭ  Ｄ  １００３−６１に準拠して行った。
（密着性）
ＪＩＳ  Ｋ５４００に準拠し、バリアフィルムを碁盤目状に切断後、テープを用いて１８０℃剥離を行い残存率（％）を測定した。
（信頼性）
得られたＥＬ素子を４０℃９０％ＲＨの恒温槽で１０００時間保存した後に、ＥＬ素子を発光させ発光面積を初期面積と比較した。
【００４９】
【表１】
2005007741.tif 000006
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、基材上に無機金属酸化物と、分子内に３個以上水酸基を有する（メタ）アクリル化合物とアルコキシシリル基を有する（メタ）アクリル化合物とを含む（メタ）アクリル樹脂層を積層することにより、高いバリア性と透明性と密着性を示す積層体を信頼性良く得ることができる。
また、本発明の積層体は、バリア性、透明性に優れ、ＥＬ素子などの表示媒体に用いることができる。