(57)【要約】【課題】走査型光学顕微鏡観察と通常の透過照明観察の切換を高速に行うことが可能であり、かつコンパクトでコストも安い透過検出と透過照明ランプの切換を行うこと。【解決手段】  第１の光源からの光を試料上に集光するためのレンズ系６と、試料を挟んでレンズ系と対向する光路上に配置されるコンデンサレンズ３０と、試料を透過した第１の光源からの光を、コンデンサレンズを介して検出する光検出器１１と、コンデンサレンズを介して試料を照明する第２の光源９と、試料を透過した第１の光源からの光をコンデンサレンズを介して光検出器へ導く第１の光路と第２の光源からの光をコンデンサレンズを介して試料へ導く第２の光路との切り換えを行う光路切換手段１３と、光路切換手段と連動して第２の光源からの光を第２の光源と光路切換手段との問で遮断するシャッター機構２６とを備えた。【選択図】      図１
2005326544.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光源と、
前記第１の光源からの光を試料上に集光するためのレンズ系と、
前記第１の光源からの光を偏向させて前記試料上を走査するための光偏向器と、
前記試料を挟んで前記レンズ系と対向する光路上に配置されるコンデンサレンズと、
前記試料を透過した前記第１の光源からの光を、前記コンデンサレンズを介して検出する光検出器と、
前記コンデンサレンズを介して前記試料を照明する第２の光源と、
前記試料を透過した前記第１の光源からの光を前記コンデンサレンズを介して前記光検出器へ導く第１の光路と、前記第２の光源からの光を前記コンデンサレンズを介して前記試料へ導く第２の光路との切り換えを行う光路切換手段と、
前記光路切換手段と連動して、前記第２の光源からの光を、第２の光源と光路切換手段との問で自動的に遮断するシャッター機構とを具備したことを特徴とする走査型光学顕微鏡。
【請求項２】
前記光路切換手段とシャッター機構は、検鏡状態に合わせて自動的に外部装置から制御できることを特徴とする請求項１に記載の走査型光学顕微鏡。
【請求項３】
第１の光源から発せられた光で試料上を走査し、試料からの光を光検出器で検出して試料像を得ると共に、第２の光源からの透過照明による試料観察などの通常の観察も行えるようにした走査型光学顕微鏡に適用される光路切り換え装置において、
前記第１の光源により試料像を得る場合には、前記光路切り換え装置と連動して前記第２の光源からの照明光を遮断するシャッター機構を具備することを特徴とする光路切り換え装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー光源から発せられたレーザー光で試料上を走査し、該試料からの光を光検出器で検出して試料像を得ると共に、透過照明による観察などの通常の観察も行えるようにした走査型光学顕微鏡及び走査型光学顕微鏡に適用される光路切り換え装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザー光源からのレーザー光を、対物レンズで微小なスポットに絞って試料上を走査し、この試料からの透過光や反射光を光検出器で電気信号に変換して陰極線管（ＣＲＴ）上に、試料像を可視表示するようにした走査型光学顕微鏡が提案されている（特許文献１、特許文献２、又は特許文献３参照）。これらはいずれも前記走査型光学顕微鏡による検鏡の他、通常の光学顕微鏡としてハロゲンランプなどを用いた透過照明観察もできるようになっている。図８は、これらの顕微鏡の一例である透過型の倒立型顕微鏡を示す概略図である。以下、図８を用いて説明をする。
【０００３】
図８において、透過検出ユニット本体１０は、光路切換ミラー１３と、瞳投影レンズ１２と、光検出器１１を備えている。このうち、光路切換ミラー１３は、図８の矢印方向に移動可能であって、透過照明ランプ９から発せられる透過照明光により試料８の観察を行う場合には、光検出器１１に対して遠方（図中破線の位置）に、また図示しない光源から発せられたレーザービーム１９により試料８の観察を行う場合には、光検出器１１に対して近方（図中実線の位置）にそれぞれ切り換えられるようになっている。
【０００４】
まず、光路切換ミラー１３が光検出器１１に対して遠方（図中破線の位置）にある状態では、透過照明ランプ９から発せられた光は、透過検出ユニット本体１０を素通りしてレンズ１５、ミラー１４を介してコンデンサ７へ入射され、試料８を照射する。試料８を透過した光は、レボルバー４に取り付けられた対物レンズ６を通り、第１の切換ミラー１７で９０度の偏向を受けた後、リレーレンズ１８を経て第２のミラー１６で再び偏向されて鏡簡２に取り付けられた接眼レンズ３の直前で試料８の像を結ぶ。一方、光路切換ミラー１３が光検出器１１に対して近方（図中実線の位置）にある状態で、かつ第２のミラー１６が光路上から除かれた状態においては、図示しない光源から発せられたレーザービーム１９はリレーレンズ１８へ入射され、続いて第１のミラー１７でその光路が変えられた後、対物レンズ６へ入射されて試料８上にレーザースポットを生じる。試料８を通過した透過ビームはコンデンサ７を通過した後、ミラー１４で９０度偏向され、レンズ１５を介して透過検出ユニット本体１０へ入射する。そして光路切換ミラー１３で透過ビームは、その光路が光検出器１１へ向かうように変えられて、瞳投影レンズ１２を透過した後、光検出器１１で検出される。
【０００５】
以上のように、走査型顕微鏡の検鏡から、通常の透過照明観察に切り換える場合には、光路切換ミラー１３によって光路を切り換え、さらに肉眼で検鏡するための光路とレーザーを導入する光路を切り換え、光検出器１１によって透過ビームを検出する場合には、透過照明ランプ９を消灯する必要がある。
【０００６】
図９は特許文献４に開示される従来例を示した図である。この方式ではミラーやその切換装置を使わず、２股の光伝送ファイバー２０を用いている。２股の光伝送ファイバー２０は、一端が１本のファイバーとなって顕微鏡本体１の透過光源接続部にマウントされている。もう一端は２本のファイバーに分かれており、１本は透過照明ランプ９に接続され、もう１本は光検出器１１を内蔵した透過検出ユニット本体１０にそれぞれ接続されている。この方式によると、走査型顕微鏡の検鏡をする場合は透過照明ランプ９を完全に消灯しておけば、図示しない透過ビームが顕微鏡側からファイバーを経由して透過検出ユニット本体１０に、その約半分の量だけ導かれ、光検出器１１に検出される。通常の透過照明観察を行う場合は透過照明ランプ９を点灯すれば、顕微鏡へ導入される光量は効率が悪くなるものの、やはり通常の透過照明ができ、顕微鏡観察が可能となる。
【特許文献１】特開平６−２７３８４号公報
【特許文献２】特開平７−１２０６８０号公報
【特許文献３】特開平９−１５５０５号公報
【特許文献４】特開平１１−２６４９３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
以上に述べてきた従来の走査型光学顕微鏡では、通常の透過照明観察から走査型光学顕微鏡の観察に切り換えるときに、透過照明ランプ９が完全に消灯するまでは走査型光学顕微鏡の観察が行えないという不具合があった。透過照明ランプ９が完全に消灯するまでには数秒かかってしまい、すみやかな切換ができない。この間に光検出器１１による検出を開始すると、光検出器１１の感度が非常に高いため、透過照明ランプ９の残光を検出してしまい、正しい走査型光学顕微鏡画像が生成できないためである。この不具合は２股の光伝送ファイバー２０を使った方式でも同様で、ファイバーを経由して残光が混じり込み、不具合となってしまう。これを防ぐためには透過照明ランプ９側にシャッターを設ける方法が考えられるが、そのための駆動装置や信号伝達装置を装備すると、装置が大がかりになるだけでなく、コストも大きくアップしてしまう。２股の光伝送ファイバー２０を使う方式では、透過照明ランプ９側に電動シャッターと駆動装置、信号伝達装置が必要となり、ただでさえ二つの装置を別体に設置して設置スペースを圧迫するのに、さらに透過照明ランプ９に新規の電動シャッター装置を設ける必要があり、装置が大型化するだけでなく、高価な２股の光伝送ファイバーに加え、コストも大幅に増大してしまう。
【０００８】
本発明は、走査型光学顕微鏡観察と通常の透過照明観察の切換を高速に行うことが可能であり、かつコンパクトでコストも安い透過検出と透過照明ランプの切換装置を備えた走査型光学顕微鏡及び走査型光学顕微鏡に適用される光路切り換え装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の局面に係る発明は、第１の光源と、前記第１の光源からの光を試料上に集光するためのレンズ系と、前記第１の光源からの光を偏向させて前記試料上を走査するための光偏向器と、前記試料を挟んで前記レンズ系と対向する光路上に配置されるコンデンサレンズと、前記試料を透過した前記第１の光源からの光を、前記コンデンサレンズを介して検出する光検出器と、前記コンデンサレンズを介して前記試料を照明する第２の光源と、前記試料を透過した前記第１の光源からの光を前記コンデンサレンズを介して前記光検出器へ導く第１の光路と、前記第２の光源からの光を前記コンデンサレンズを介して前記試料へ導く第２の光路との切り換えを行う光路切換手段とを具備し、前記光路切換手段と連動して、前記第２の光源からの光を、第２の光源と光路切換手段との問で自動的に遮断するシャッター機構とを更に具備したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、素早い走査型光学顕微鏡観察と通常の透過照明観察の切換が可能で、なおかつコンパクトでコストも安い透過検出と透過照明ランプの切換装置を備えた走査型光学顕微鏡を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１２】
（第１の実施の形態・実施例）  
本発明の第１の実施の形態について、図面を参照して説明する。  
図１及び図２は、第１の実施の形態における透過検出ユニットと透過照明ランプの構成を示した図であって、図１の（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の１Ｂ矢視図である。また、図２の（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の２Ｂ矢視図である。図１は、走査型光学顕微鏡観察を行う時の状態を示しており、図２は通常の透過照明観察を行う時の状態を示している。なお、全体の概略構成は、図８とほぼ同様であるので、本実施形態では、光学系の切り換え部のみを示す。なお、本実施形態においては、透過検出ユニット本体１０と顕微鏡本体１とはファイバで接続された場合の構成を示している。以下、透過検出ユニット本体１０の構成について詳細に説明する。
【００１３】
図１において、透過検出ユニット本体１０は箱形の形状を有しており、内部の構成物はすべて外光から遮断された状態となっている。ただしファイバーマウント２８にはファイバー２１を挿入・固定するための開口部がファイバーマウント２８に設けられ、反対側には透過照明ランプ９を挿入・固定するための開口部がランプマウント２９に設けられている。ファイバー２１の一端はファイバーマウント２８に接続されている。また、ファイバー２１の図示しない他端は、顕微鏡の透過光源を接続する部分に配置されたコンデンサレンズ３０を有する光学系を介して接続されている。顕微鏡の試料を透過したレーザービーム１９が顕微鏡の透過光源を接続する部分から出射されるときに、コンデンサレンズ３０を通ることで光束径が細くされ、ファイバー２１を通ってファイバーマウント２８まで導かれる。ファイバーマウント２８内には、コンデンサレンズ３０を逆向きにしたレンズが固定されている。レーザービーム１９が、コンデンサレンズ３０を通過することで、顕微鏡側を出る前の光束に戻される。透過ビームはその後４５度に配置される光路切換ミラー１３に反射され、光検出器１１の方向へ偏向される。偏向されたレーザービームは、光検出器１１の手前に固定されたコンデンサレンズ３０を通過することで、光束が再度細くなり、光検出器１１にて検出されて、走査型光学顕微鏡の画像が生成されることとなる。
【００１４】
この時シャッター２６は透過照明ランプ９の光路を完全に遮断しており、透過照明ランプ９の残光が透過検出ユニット本体１０内部に僅かでも進入してくることはない。
【００１５】
図２は通常の透過照明観察を行う時の状態を示す図である。図１から図２の状態になるまでの動作を図３を使って説明する。光路切換ミラー１３は長方形の枠に固定されており、縦方向の１辺を中心にして歯車２３ｃと一体に回転できるようになっている。歯車２３ｃは歯車２３ｂとかみ合っており、この歯車２３ｂは減速ギヤとなっていて、ステッピングモーター２２に固定された歯車２３ａの回転を減速して歯車２３ｃに伝える。ステッピングモーター２２が反時計方向に回転すると、歯車２３ａも反時計方向に回転し、歯車２３ｂは時計方向に回転する。歯車２３ｃは減速された上で反時計方向に回転し、光路切換ミラー１３は光検出器１１の光路を塞ぐような形でファイバー２１からの光路に平行になる。一方歯車２３ａにはもう一つの歯車２３ｄがかみ合っている。この歯車２３ｄはさらに歯車２３ｅにかみ合っている。歯車２３ｅの歯面には、歯面に垂直にピン２４が設けられている。このピン２４によって駆動されるシャッター２６は図４のような構成になっている。図４は、シャッターの開閉状態を示す図であり、（ａ）は上断面図であり、（ｂ）は（ａ）をシャッター側から見た図である。図４の（ｂ）に示すように、透過照明ランプ９からの光を遮断する部分は透過照明ランプ９から出る光束より一回り大きな円形となっており、シャッター２６の反対側の中心軸３１を中心に回転可能に固定されている。さらにシャッター２６はバネ２７によって常にシャッターインの状態になるようなカが加えられている。そしてシャッター２６の面に垂直に図のようなシャッターピン２５が固定されていて、ピン２４に常に接触している。上記のような構成において、まずステッピングモーター２２が反時計方向に回転すると、歯車２３ａが反時計方向に回転し、それにかみ合う歯車２３ｄは時計方向に回転する。歯車２３ｅは減速されて反時計方向に回転するが、この時ピン２４はシャッターピン２５を押しながら回転するので、シャッター２６は中心軸３１を中心に、ファイバー２１側から見て時計方向に回転して、透過照明ランプ９の光路を解放するような位置に移動する。
【００１６】
以上の動作が完了すると、図２の状態（すなわち、透過照明ランプ９の光路が開放された状態）になる。従って、透過照明ランプ９を点灯し、図８の第２のミラー１６を光路に挿入すれば、即座に通常の透過照明観察がおこなえるようになる。これにより、上述したように、透過照明ランプ９から出射された照明光はファイバーマウント２８内のコンデンサレンズ３０でその光束径を細くされてファイバー２１を通過し、顕微鏡側の図示しない逆に配置されたコンデンサレンズ３０によってまた元の光束に戻されて、通常の透過照明観察用の光として利用される。この状態からまた走査型光学顕微鏡の観察に切り換える場合には、上述の動作を逆に行えば良い。なお、この場合において、光路切換ミラー１３が４５度の位置になると同時にシャッター２６が透過照明ランプ９の光路を遮断するので、光検出器１１による検出を、素早くタイムロス無く行える。遮光板３２が、ランプマウント２９と共にシャッター２６を挟み込むよラに構成されており、この遮光板３２には、透過照明ランプ９の光束径とほぼ同じで、シャッター２６の光路を遮断する部分の径より若干小さい円形の穴が透過照明ランプ９の光路上に設けられている。これにより、シャッター２６とランプマウント２９の僅かな隙間から漏れる可能性のある僅かな光も、この遮光板３２で透過検出ユニット本体１０内に入れないようになっている。
【００１７】
光路切換ミラー１３の固定された枠の上部には、光路切換ミラー１３の２カ所の停止位置に設けたストッパー３７に光路切換ミラー１３が確実に突き当たるように付勢するためのバネ３８が設けられている。このバネ３８により、ステッピングモーター２２によって回転するときの精度のばらつきと、ギヤのバックラッシ分の回転方向のガタで光路切換ミラー１３の角度の位置精度が悪化しないようになっている。光路切換ミラー１３の現在の位置情報は、ステッピングモーター２２の回転方向と回転角度で認識することができるので、その情報を、図示しない電気系統を介してＰＣなどの制御装置に信号伝達することができる。さらに光路切換ミラー１３の正確な位置決めをするには、光路切換ミラー１３の枠の一部にクリック機構を設けたり、各位置でセンサーを用いてより正確な位置情報を取得したりするなどの方法が考えられる。
【００１８】
本第１の実施の形態によれば、光路切換ミラー１３とシャッター２６が機械的に連動しているので、ステッピングモーター２２を１例とする駆動装置や、位置情報を伝達する信号伝達機構は１系統で済むという利点がある。従って、コストアップを防ぎ、装置自体もコンパクトにできる。
【００１９】
（第２の実施の形態）  
本発明の第２の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、図１と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００２０】
図５は、透過検出ユニットと透過照明ランプと、これらが装着された顕微鏡の一部の断面図である。図５において、透過検出ユニット本体１０には透過照明ランプ９を取り付けるためのランプマウント２９が設けられ、その反対側には透過照明ランプ９を顕微鏡に固定するためのマウント部に、透過検出ユニット本体１０を取り付けるためのマウント部が設けられている。走査型光学顕微鏡の観察を行う場合と、通常の透過照明観察を行う場合の各部分の動作は、図８と同様であるが、本実施形態では、光路切換ミラー１３は光路からはずれた位置に設けられたベース部３４に立てるように固定されており、このベース部３４は直動ガイド３３の図示しない可動部に固定されている。
【００２１】
図５に示すように、直動ガイド３３のレール部は透過検出ユニット本体１０に固定されていて、光検出器１１への光路の中心軸上を直線で移動可能になっている。この光路切換ミラー１３が固定されたベース部３４を直線移動することで、光路を光検出器１１に偏向したり、透過照明ランプ９の光束を顕微鏡に導いたりすることの切換が可能である。ベース部３４には光路切換ミラー１３の他にシャッター２６も垂直に固定されていて、図５のように光路切換ミラー１３が光路に入った状態の時は透過照明ランプ９の光束を透過検出ユニット本体１０に取り込むためにあけられた開口部を、隙間無くふさぐように構成されている。ベース部３４が光検出器１１から遠ざかる方向に移動して光路切換ミラー１３が光路からはずれると、同時にシャッター２６も透過検出ユニット本体１０に設けた透過照明ランプ９からの光束を導く開口部を解放することとなり、透過照明ランプ９を用いた通常の透過照明観察が可能となる。なお、ベース部３４には図示しないモーターやギヤなどの駆動手段が接続されており、自動的に光路切換ミラー１３とシャッター２６を光路へ挿脱することができる。同時に光路切換ミラー１３の状態をＰＣなどの制御装置に認識させるための図示しない信号伝達機構も装備されているため、検鏡者は観察の切換を、ＰＣなどの制御装置から容易に実行できる。その切換の速度は第１の実施形態と同様に、光路切換ミラー１３の切換時間とほぼ同等に、非常に短い時間で行うことができるので、検鏡者にストレスを与えることがない。駆動機構や信号伝達機構も、光路切換ミラー１３とシャッター２６が連動するために、１系統で済み、コストアップや装置の大型化を防ぐことができる。また、透過検出ユニット本体１０の下方の外側に図示しないレバーを設け、直接ベース部３４を手動で移動可能にすることで、モーターやギヤなどの駆動手段や、光路切換ミラー１３の状態をＰＣなどの制御装置に認識させるための信号伝達機構を設けなくても、検鏡の切換が手動で出来る。この時、上記と同様に、操作は一度で光路切換ミラー１３の切換とシャッター２６の挿脱ができ、どちらかだけ操作し忘れると言うこともないので、簡単、確実に、しかも短い時間で検鏡の切換ができる。装置の大型化やコストアップも電動の場合より少なくて済む。
【００２２】
（第３の実施の形態）  
本発明の第３の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、図１と同じ部分には同じ符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００２３】
図６は透過検出ユニットと透過照明ランプの内部を示した断面図である。図６に示すように、透過検出ユニット本体１０には、第１の実施の形態と同様に、顕微鏡とファイバー２１を介して接続するためのファイバーマウント２８と透過照明ランプ９を接続するためのランプマウント２９を備えている。透過検出ユニット本体１０の内部には透過照明ランプ９からの光束に直交する方向に、一つ、または複数の直動ガイド３３が設けられ、その可動部には光検出器１１とコンデンサレンズ３０を内蔵する筒状部材３９が固定されている。直動ガイド３３のレール部は透過検出ユニット本体１０に固定されていて、筒状部材３９は透過照明ランプ９の光束に直角に移動可能となっている。筒状部材３９が透過照明ランプ９の光束上に移動して、筒状部材３９の中心軸と透過照明ランプ９の光束中心が一致する位置に来ると、光検出器１１の中心も光束中心に合致し、顕微鏡側からの透過ビームを検出して走査型光学顕微鏡の観察を行うことができる。このとき、筒状部材３９の透過照明ランプ９側の端面には、ランプマウント２９の開口部を完全に遮蔽するシャッター部分３５が設けられているので、透過照明ランプ９の光が透過検出ユニット本体１０内部に漏れてくることはない。従って、筒状部材３９の移動が完了すると素早く光検出器１１による検出が開始できる。この状態から、筒状部材３９が透過照明ランプ９の光束から完全に逃げる状態（すなわち、光路から外れる位置）に移動すると、同時にシャッター部分３５もランプマウント２９の開口部からはずれて、透過照明ランプ９を使った通常の透過照明観察を行うことができる。筒状部材３９の位置決めは、図示しないストッパーやクリック機構によって行われる。また、透過検出ユニット本体１０の内部には、筒状部材３９を自動的に移動させるための図示しないモーターやギヤなどの駆動機構が内蔵されている。本実施形態によれば、透過検出ユニット本体１０内部に光路切換ミラー１３を必要としないので、透過検出ユニット本体１０をよりコンパクトにすることができる。ただし、観察方法の切換時間は、光路切換ミラー１３よりも筒状部材３９の方が重いため、若干遅くなる場合もあるが、他の実施の形態と同様、駆動機構や信号伝達機構は１系統で済むという利点がある。
【００２４】
（変形例）  
本発明の変形例について、図面を用いて説明する。なお図３と同じ部分には同じ符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００２５】
図７は、透過検出ユニット本体１０の一部を示した図であって、光路切換ミラー１３とシャッター２６の駆動部の変形例を示した図である。図７に示す構成は第１の実施形態と類似しているが、シャッター２６の動作が異なっている。図３では、歯車２３ｅにはピン２４が設けられていたが、図７では、そのかわりに歯車２３ｅに噛み合うラック３６を設けている。ラック３６の先端にはシャッター２６が取り付けられ、ステッピングモーター２２が回転すると、噛み合うギヤの回転によってラック３６が直線運動し、先端に取り付けられたシャッター２６が直線的に移動することにより透過照明ランプ９の光路を遮蔽したり開放したりする。この場合、ステッピングモーター２２側の歯車２３ａに対して、歯車２３ｅでは回転は増速しなくてはならないので、それぞれの歯車の歯数は第一の実施形態とは異なる。このように光路切換ミラー１３の作動とシャッター２６の作動を連動させる方法は、請求の範囲を逸脱しない限りで変形が可能である。例えば、シャッター２６を、カムによる駆動で、光路へ挿脱する方法や、シャッター２６を絞りのように分割した複数の遮光板によって、光路を開閉することもできる。
【００２６】
上記のように、本発明の実施形態によれば、光路切換手段と連動したシャッターを光源と光路切換手段の間に設けたので、光路切換が終了すると同時に透過検出器を機能させることができ、素早い検鏡の切換が可能となる。また光路切換手段と同一の駆動系を用いることで、コストを抑え、装置もコンパクトにできる。更に、光路切換手段を制御する信号伝達手段と電動駆動機構を設けるだけで、同時にシャッターをも制御できることになるので、コストを安く、装置をコンパクトにできる。
【００２７】
本発明は、上記各実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記各実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。
【００２８】
また、例えば各実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られるような場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１の実施の形態における透過検出ユニットと透過照明ランプの構成を示した図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の１Ｂ矢視図。
【図２】第１の実施の形態における透過検出ユニットと透過照明ランプの構成を示した図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の２Ｂ矢視図。
【図３】図１から図２の状態になるまでの動作を説明するための図。
【図４】シャッターの開閉状態を示す図であり、（ａ）は上断面図であり、（ｂ）は（ａ）をシャッター側から見た図。
【図５】透過検出ユニットと透過照明ランプと、これらが装着された顕微鏡の一部の断面図。
【図６】透過検出ユニットと透過照明ランプの内部を示した断面図。
【図７】透過検出ユニット本体の一部を示した図であって、光路切換ミラーとシャッターの駆動部の変形例を示した図。
【図８】走査型光学顕微鏡による検鏡の他、通常の光学顕微鏡としてハロゲンランプなどを用いた透過照明観察もできる顕微鏡の一例である透過型の倒立型顕微鏡を示す概略図。
【図９】従来の顕微鏡の他の例を示した図。
【符号の説明】
【００３０】
１…顕微鏡本体
２…鏡簡
３…接眼レンズ
４…レボルバー
６…対物レンズ
６…レンズ系
７…コンデンサ
８…試料
９…透過照明ランプ
１０…透過検出ユニット本体
１１…光検出器
１２…瞳投影レンズ
１３…光路切換ミラー
１４…ミラー
１５…レンズ
１６…第２のミラー
１７…第１の切換ミラー
１８…リレーレンズ
１９…レーザービーム
２０…光伝送ファイバー
２１…ファイバー
２２…ステッピングモーター
２３ａ〜２３ｅ…歯車
２４…ピン
２５…シャッターピン
２６…シャッター
２７…バネ
２８…ファイバーマウント
２９…ランプマウント
３０…コンデンサレンズ
３１…中心軸
３２…遮光板
３３…直動ガイド
３４…ベース部
３５…シャッター部分
３６…ラック
３７…ストッパー
３８…バネ
３９…筒状部材
９１…透過照明ランプ
【図１】
2005326544.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2005326544.tif 000006
【図５】
2005326544.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005326544.tif 000009
【図８】
2005326544.tif 000010
【図９】
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