(57)【要約】【課題】       本発明の目的は、複数の水晶板を組み合わせて成る光学ローパスフィルターの、光学的な厚みの測定により光学ローパスフィルターの製造方法を提供することである。【解決手段】       上記の目的を達成するために本発明は、複数の水晶板を組み合わせて成る光学ローパスフィルターのそれぞれの水晶板の厚みを測り、組み合わせる光学ローパスフィルターの製造方法において、厚みの測定のために水晶板を載台上に載置する工程と、それぞれの水晶板の厚みを光学的に測定する工程と、所望の総合厚みとするためにそれぞれの水晶板を分類する工程とにより複数枚の水晶板から成るローパスフィルターを形成し、また水晶板の厚みの測定系の光源から放射される光の波長が５０００オングストロームから８０００オングストロームであることを特徴として目的を達成する。【選択図】  図１
2005157080.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の水晶板を組み合わせて成る光学ローパスフィルターのそれぞれの水晶板の厚みを測り、組み合わせる光学ローパスフィルターの製造方法において、
厚みの測定のために水晶板を載台上に載置する工程と、
それぞれの水晶板の厚みを光学的に測定する工程と、
所望の総合厚みとするためにそれぞれの水晶板を分類する工程とにより複数枚の水晶板から成る光学ローパスフィルターを形成する光学ローパスフィルターの製造方法。
【請求項２】
水晶板の厚みの測定系の光源から放射される光の波長が５０００オングストロームから８０００オングストロームであることを特徴とする請求項１に記載の光学ローパスフィルターの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は複数の水晶板を組み合わせて成る光学ローパスフィルターの、光学的な厚みの測定による光学ローパスフィルターの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の光学ローパスフィルターに使用される水晶板である偏光解消板はXカットまたはYカットの適当な厚み(例えば水晶板の主面方向の厚みが０．５ｍｍ,  １．０ｍｍ)であるものが使用されることが一般的であった。しかしながら、これらの従来のカットアングルで例えば1/4波長板を作成しようとするとその厚みは十数μｍの厚さとなってしまい、この厚みでは薄すぎて実際に研磨することが極めて困難な為に、その結果として所望する特性の1/4波長板を得ることは不可能であった。
【０００３】
そこで偏光解消板の位相差を90°よりも大幅に大きくして偏光解消板の厚みを実際に研磨可能な厚みとすることが試みられており、この水晶板である偏光解消板の厚みを大きくすればするほど波長毎での光学ローパスフィルターの特性劣化を低減出来ることが一般に知られている。
【０００４】
このように、複数の水晶板より成る光学ローパスフィルターを製造するには、複数の水晶板を図４のように組み合わせて積層する必要があるが、それぞれの水晶板は、前記するように主面方向の厚みをその重要なパラメータとして、それぞれの水晶板の主面方向の厚みで分類されるのが一般的であった。
【特許文献１】特開２０００−１４６５３３号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来においては、複数の水晶板を組み合わせて成る光学ローパスフィルターの、それぞれの水晶板の主面方向の厚みを測定するには図６に示すようにノギスや、マイクロメーターなどを用いて主面の単一点を機械的な接触式で測定していたが、これらの方法では、光学的な用途に用いられる水晶板において最も大切な主面に直接接触して測定するために、測定の際に主面を傷つけるおそれがあり、また同時に主面を汚れなどで汚染するおそれがあるといった問題があった。
【０００７】
また、非接触式の透光体の測定方法にはレーザー光を使用したものがあるが、水晶には複屈折や旋光性といった特有の光学特性があるために、レーザー光を使用しては水晶板の主面方向の厚みを安定して測定することが出来ないといった問題があった。
【０００８】
また、それぞれの水晶板を組み合わせて積層し、ひとつの光学ローパスフィルターとして、その主面方向の厚みを一括して測定する場合においても、機械的接触式の場合では前記したように、測定の際に主面を傷つけるおそれがあり、また同時に水晶板において最も大切な主面を汚れなどで汚染するおそれもあり、また非接触式の透光体の測定方法であるレーザー光を使用した場合では前記したように、水晶の複屈折や旋光性といったその特有の光学特性のために水晶板の主面方向の厚みを安定して測定することが出来ないといった問題があった。
【０００９】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、複数の水晶板を組み合わせて成る光学ローパスフィルターの、光学的な厚みの測定による光学ローパスフィルターの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記の目的を達成するために、本発明は複数の水晶板を組み合わせて成る光学ローパスフィルターのそれぞれの水晶板の厚みを測り、組み合わせる光学ローパスフィルターの製造方法において、厚みの測定のために水晶板を載台上に載置する工程と、それぞれの水晶板の厚みを光学的に測定する工程と、所望の総合厚みとするためにそれぞれの水晶板を分類する工程とにより複数枚の水晶板から成る光学ローパスフィルターを形成する。
【００１１】
また、水晶板の厚みの測定系の光源から放射される光の波長が５０００オングストロームから８０００オングストロームであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の光学ローパスフィルターの製造方法により、光学的な用途に用いられる水晶板において最も大切な主面を測定の際に傷つけるおそれを無くし、また同時に主面を汚れなどで汚染するおそれを無くすことが出来、更に効率良く水晶板の主面方向の厚みを測定することが出来、その結果光学ローパスフィルターの製造歩留まりを大幅に向上することが出来る。
【００１３】
また、本発明の光学ローパスフィルターの製造方法により、従来は水晶板の主面上の単一点のみの主面方向の厚み測定であったのが、主面上の複数点における測定が可能となり光学ローパスフィルターの信頼性を大幅に向上することが出来る。
【００１４】
また、本発明の光学ローパスフィルターの製造方法により、それぞれの水晶板での主面方向の厚みの公差を減じ、水晶板を積層して成る光学ローパスフィルターの主面方向の厚みの累積公差を著しく減らし、その結果その製造歩留まりを著しく高めることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１６】
図１は本発明の工程フロー図である。ここで載台９は図２に示すような光学部品を載置するサファイア硝子から成る光透過体の板状の台である。まずこの載台９上に水晶板１を載置する(S101)。次に図２にあるようにＬＥＤ（Light-Emitting Diode）などから成る光源と受光部間の光路に水晶板１を載置した載台９ごと設置する。サファイア硝子から成る載台９は複数あり、それぞれの載台９上の個々の水晶板１の厚み３が光学的に測定され、個々の水晶板１の厚み３の数値は記録・演算装置に送られる(S102)。次に、前記の記録された個々の厚み３の数値を演算して所望の厚みと成るように分類する(S103)。最後に複数枚の水晶板１から成る光学ローパスフィルター２を形成する(S104)。
【００１７】
図２は本発明の、載台９のうえに載置されたそれぞれの水晶板１の厚み３を光学的に非接触で測定する様子を示した概略の模式図である。本発明によれば、従来は光学ローパスフィルター２を構成するそれぞれの水晶板１の主面８方向の厚み３を、ノギスなどを用いて機械接触式で測定していたが本発明によれば、図２に示すように、載台９ごとに個々の水晶板１の主面８方向の厚み３をマリューの法則に基づき光学的に非接触で測定することが出来る。載台９は複数用意することが出来、光源と受光部間の光路を移動する。図２中の矢印は測定の際、水晶板１を載置した載台９ごと移動する様子を示したものである。
【００１８】
図３は本発明の測定の様子を示す一枚の水晶板１を側面方向からみた概略の模式図である。光学ローパスフィルター２は一般的に複数の水晶板１から成る。図中のｔは、水晶板１での光の屈折による光路のずれを示す。ここで、図４に示すように測定の対象物が一枚の水晶板１では無く、複数の水晶板１を積層して成るものの場合でも本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。なお、光源には単一波長で経時変化が少なく、また発熱を伴わず、調光が容易で扱い易いなどの理由からＬＥＤ（Light-Emitting Diode）を使用することが好ましい。
【００１９】
図４は本発明により非接触で測定が出来る一枚の水晶板１、及び積層された水晶板の厚み５を測定する、水晶板１を側面方向からみた概略の模式図である。それぞれの水晶板１は所望の厚みをもった光学ローパスフィルター２と成るように複数枚積層される。
【００２０】
図５は従来の光学ローパスフィルター２を構成する複数枚の水晶板１のうちの一枚の水晶板１を主面８の斜め上方からみた概略の模式図である。従来は、水晶板１の主面８上の単一点のみでの厚み３（図中のｔ１）の測定であったのが本発明により主面８上の複数点における非接触での測定が可能となり、光学ローパスフィルター２の信頼性を大幅に向上することが出来る。
【００２１】
図６は、従来の一般的な光学ローパスフィルター２を構成する複数枚の水晶板１のうちの一枚の水晶板１の厚み３を機械接触式で測定する様子を示す側面方向からみた概略の模式図である。本図では、マイクロメーター７を使用して一枚の水晶板１の主面８方向の厚み（図中のｔ１）を機械接触式で測定している。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の工程フロー図である。
【図２】本発明の載台のうえに載置されたそれぞれの水晶板の厚みを光学的に非接触で測定する様子を示した概略の模式図である。
【図３】本発明の測定の様子を示す一枚の水晶板を側面方向からみた概略の模式図である。
【図４】本発明により非接触で測定が出来る一枚の水晶板、及び積層された水晶板の厚みを測定する、水晶板を側面方向からみた概略の模式図である。
【図５】従来の光学ローパスフィルターを構成するうちの一枚の水晶板をその主面の斜め上方からみた概略の模式図である。
【図６】従来の一般的な光学ローパスフィルターを構成する複数枚の水晶板のうちの一枚の水晶板の厚みを機械的接触式で測定する様子を示す、側面方向からみた概略の模式図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  水晶板
２  光学ローパスフィルター
３  厚み
４  光源
５  積層方向の厚み
６  測定点
７  マイクロメーター
８  主面
９  載台
【図１】
2005157080.tif 000003
【図２】
2005157080.tif 000004
【図３】
2005157080.tif 000005
【図４】
2005157080.tif 000006
【図５】
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【図６】
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