(57)【要約】      （修正有）【課題】ディスペンス法や電界ジェット法による塗布方法で、ＰＤＰ背面板のように凹凸のある面に蛍光体ペ−ストを塗布した場合に生じる塗布泡、塗布ムラや混色を低減する方法および装置を提供する。【解決手段】ディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布装置において、塗布ノズルよりも塗布前の位置に負圧を発生させるスリットノズルを具備している塗布装置であり、または、ディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布装置において、塗布ノズルよりも塗布後の位置に加圧を発生させるスリットノズルを具備している塗布装置である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペ−ストを充填した塗布ノズルと被塗布面のいずれか一方を他方に対して相対的に移動させながら、塗布ノズル内に圧力を印加してペ−ストを被塗布面に塗布する機構を有するディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布装置において、塗布ノズルよりも塗布前の位置に負圧を発生させるスリットノズルを具備していることを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
請求項１に記載の塗布装置において、前記負圧を発生させるスリットノズルがペースト塗布方向に直角に１つの長方形の開口部を有し、塗布ノズルの複数の吐出口の塗布前の位置に同時に負圧を発生させることを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項１に記載の塗布装置において、前記負圧を発生させるスリットノズルに多数の孔が開いていることを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の塗布装置おいて、前記負圧を発生させるスリットノズルが塗布ノズルと一体になっていることを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の塗布装置おいて、前記負圧を発生させるスリットノズルが負圧を調整できる機構を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の塗布装置を用いることを特徴とするペ−ストの塗布方法。
【請求項７】
ペ−ストを充填した塗布ノズルと被塗布面のいずれか一方を他方に対して相対的に移動させながら、塗布ノズル内に圧力を印加してペ−ストを被塗布面に塗布するディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布装置において、塗布ノズルよりも塗布後の位置に加圧を発生させるスリットノズルを具備していることを特徴とする塗布装置。
【請求項８】
請求項７に記載の塗布装置において、前記加圧を発生させるスリットノズルがペースト塗布方向に直角に１つの長方形の開口部を有し、塗布ノズルの複数の吐出口の塗布後の位置に同時に加圧を発生させることを特徴とする塗布装置。
【請求項９】
請求項７に記載の塗布装置において、前記加圧を発生させるスリットノズルに多数の孔が開いていることを特徴とする塗布装置。
【請求項１０】
請求項７ないし９のいずれかに記載の塗布装置おいて、前記加圧を発生させるスリットノズルが塗布ノズルと一体になっていることを特徴とする塗布装置。
【請求項１１】
請求項７ないし１０のいずれかに記載の塗布装置おいて、前記加圧を発生させるスリットノズルが加圧を調整できる機構を有することを特徴とする塗布装置。
【請求項１２】
請求項７ないし１１のいずれかに記載の塗布装置を用いることを特徴とするペ−ストの塗布方法。
【請求項１３】
請求項６および請求項１２に記載のペ−ストが、プラズマディスプレイパネルの蛍光体ペ−ストであることを特徴とするペ−ストの塗布方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイや液晶ディスプレイ等の平面ディスプレイ、プリント基板、半導体等の製造分野に使用されるものであり、特に高粘度塗布液である蛍光体ペ−ストを塗布するプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）の技術分野に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量であること、鮮明な表示と視野角が広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。一般に、ＰＤＰは、２枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体とするガスを封入した構造になっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。特に情報表示をするためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。
【０００３】
ここで、ＰＤＰの構成を、図４に示すＡＣ型ＰＤＰの一例をあげて説明しておく。図４はＰＤＰ構成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス基板４１）と背面板（ガラス基板４２）を実際より離した状態で示してある。図示のように２枚のガラス基板４１、４２が互いに平行に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基板４２上に互いに平行に設けられたリブ（障壁ともいう）４３により、一定の間隔に保持されるようになっている。前面板となるガラス基板４１の背面側には、透明電極よりなる放電維持電極４４と金属電極よりなるバス電極４５とで構成される複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体層４６が形成されており、さらにその上に保護層４７（ＭｇＯ層）が形成されている。また、背面板となるガラス基板４２の前面側には、前記複合電極と直交するようにリブ４３の間に位置してアドレス電極４８が互いに平行に形成されており、これを覆って誘電体層４９が形成され、さらにリブ４３の壁面とセル底面を覆うようにして蛍光体５０が設けられている。リブ４３は放電空間を区画するためのもので、区画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合電極間に交流電圧を印加し、放電させる構造である。この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫外線により蛍光体５０を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認するようになっている。なお、ＤＣ型ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被覆されていない構造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同じである。
【０００４】
上記の如きＰＤＰの背面板は、ガラス基板４２の上にアドレス電極４８を形成し、必要に応じて、それを覆うように誘電体層４９を形成した後、リブ４３を形成して、そのリブ４３の間に蛍光体層５０を設けることで製造される。電極４８の製造方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、めっき法、厚膜法等によってガラス基板２上に電極材料の膜を形成し、これをフォトリソグラフイ法によってパタ−ニングする方法と、厚膜ペ−ストを用いたスクリ−ン印刷法とが知られている。また、誘電体層４９はスクリ−ン印刷等により形成される。リブ４３はスクリ−ン印刷による重ね刷り、あるいはサンドブラスト法等によってパタ−ン形成される。
【０００５】
そして、蛍光体層５０は、リブ４３の間に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各色用の蛍光体ペ−ストを選択的に充填した後、乾燥させてから焼成することで形成されており、従来、その蛍光体ペ−ストの充填にはスクリ−ン印刷法やフォトリソグラフイ法が用いられている。スクリーン印刷法は、蛍光体ペ−ストをスクリ−ン印刷でリブ間に選択的に充填して乾燥させる工程を３回繰り返し、その後焼成するようにしている。ところが、スクリーン印刷法は、ＰＤＰの高精細化および大面積化に伴い、それに対応したスクリーン版を使用する必要があるが、このようなスクリ−ン版は、伸びたり歪んだりするために、背面板のガラス基板との位置合せが難しく、蛍光体ペ−ストの充填を正確に行えないという問題があった。
【０００６】
また、フォトリソグラフイ法は、感光性の蛍光体ペ−ストを塗布し、露光、現像し、乾燥させる工程を３回繰り返し、その後焼成して蛍光体層を形成する。しかし、ペ−スト中の蛍光体が紫外線の透過を阻害し感度が低くなるために、感光性蛍光体ペ−ストの塗布厚を厚くすることができず、そのために、得られる蛍光面の輝度が十分でないという問題があった。さらに、フォトリソグラフイ法ゆえに、相当量の蛍光体ペーストは現像時に除去されてしまい、蛍光体の回収が困難であることにより、使用する蛍光体の有効利用率が低く、コスト面で不利であった。
【０００７】
そこで、最近では、塗布方向と直角な方向に吐出孔を有するペ−スト塗布用ノズルを使用し、塗布ノズルを基板と対向させ、基板もしくは塗布ノズルのどちらか一方を相対的に移動させながら、塗布ノズル内に圧力を印加して、蛍光体ペ−ストをリブ間に充填するようにしたディスペンス法による塗布方法が提案されている。塗布ノズルを複数設ければ、一度の塗布工程で３色の蛍光体ペ−ストを大面積に塗布することも可能である。ディスペンス法は、さらに、塗布ノズルのペ−スト吐出口近傍に設けた電極と被塗布物との間に電圧を印加しながらペ−ストを塗布する電界ジェット法と称する方法へと発展してきている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００８】
ディスペンス法や電界ジェット法による塗布方法では、ＰＤＰ背面板のように凹凸のある面に塗布する場合、塗布ムラを軽減するために、例えば、塗布したいセルの両側にあるリブ頂部に蛍光体ペーストを吐出し触れさせながら充填する方法が行われる（例えば、特許文献２参照。）。図３にその時の塗布状態を、塗布ノズル進行方向に沿って断面模式図として示す。
【特許文献１】特開２００１−８８３０６号公報
【特許文献２】特開２００１−３４７２１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、図３に示される従来の塗布方法では、塗布ノズル３３から基板３１上の被塗布面３２であるリブ上に塗布した蛍光体ペースト３４は、高粘度のため被塗布面３２に対し塗布ノズル進行方向と逆な水平な方向に大きく曲げられてしまう。そのため、塗布されたペ−スト３４内に泡が入り易くなり、リブ間にペ−スト３４を充填してからペ−スト３４が自然にレベリングするまでの間に、リブとペーストで囲まれた空間にある空気が抜け出しきれずに、ペ−スト内に泡を噛んでしまう現象が生じる。特に塗布速度を高速化するほど、この泡噛み現象は顕著に表れてくる。一度ペ−スト内に入ってしまった空気は、蛍光体ペ−ストが５０〜２００ｐｏｉｓｅ程度の高粘度であるために、時間をおいて抜け出る際に、周辺の蛍光体を押し出すために、蛍光体の混色や塗布ムラの原因となる。
【００１０】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、ディスペンス法や電界ジェット法の塗布方法によりＰＤＰの蛍光体ペ−ストのような高粘度ペ−ストを塗布する場合に、吐出ペーストが被塗布面に対し水平な方向に曲げられ、泡を巻き込むのを抑え、塗布泡による欠陥発生を低減し、蛍光体の混色や塗布ムラをなくし、蛍光体層を均一に形成することができるペ−スト塗布方法及びペ−スト塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明に係わる塗布装置は、ペ−ストを充填した塗布ノズルと被塗布面のいずれか一方を他方に対して相対的に移動させながら、塗布ノズル内に圧力を印加してペ−ストを被塗布面に塗布する機構を有するディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布装置において、塗布ノズルよりも塗布前の位置に負圧を発生させるスリットノズルを具備しているようにしたものである。
【００１２】
請求項２の発明に係わる塗布装置は、前記負圧を発生させるスリットノズルがペースト塗布方向に直角に１つの長方形の開口部を有し、塗布ノズルの複数の吐出口の塗布前の位置に同時に負圧を発生させるようにしたものである。
【００１３】
請求項３の発明に係わる塗布装置は、前記負圧を発生させるスリットノズルに多数の孔が開いているようにしたものである。
【００１４】
請求項４の発明に係わる塗布装置は、前記負圧を発生させるスリットノズルが塗布ノズルと一体になっているようにしたものである。
【００１５】
請求項５の発明に係わる塗布装置は、前記負圧を発生させるスリットノズルが負圧を調整できる機構を有するようにしたものである。
【００１６】
請求項６の発明に係わるペ−ストの塗布方法は、請求項１ないし５のいずれかに記載の塗布装置を用いることを特徴とするものである。
【００１７】
請求項７の発明に係わる塗布装置は、ペ−ストを充填した塗布ノズルと被塗布面のいずれか一方を他方に対して相対的に移動させながら、塗布ノズル内に圧力を印加してペ−ストを被塗布面に塗布するディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布装置において、塗布ノズルよりも塗布後の位置に加圧を発生させるスリットノズルを具備しているようにしたものである。
【００１８】
請求項８の発明に係わる塗布装置は、前記加圧を発生させるスリットノズルがペースト塗布方向に直角に１つの長方形の開口部を有し、塗布ノズルの複数の吐出口の塗布後の位置に同時に加圧を発生させるようにしたものである。
【００１９】
請求項９の発明に係わる塗布装置は、前記加圧を発生させるスリットノズルに多数の孔が開いているようにしたものである。
【００２０】
請求項１０の発明に係わる塗布装置は、前記加圧を発生させるスリットノズルが塗布ノズルと一体になっているようにしたものである。
【００２１】
請求項１１の発明に係わる塗布装置は、前記加圧を発生させるスリットノズルが加圧を調整できる機構を有するようにしたものである。
【００２２】
請求項１２の発明に係わるペ−ストの塗布方法は、請求項７ないし１１のいずれかに記載の塗布装置を用いることを特徴とするものである。
【００２３】
請求項１３の発明に係わるペ−ストの塗布方法は、請求項６および請求項１２に記載のペ−ストが、プラズマディスプレイパネルの蛍光体ペ−ストであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２４】
ディスペンス法もしくは電界ジェット法におけるペ−スト塗布において、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布ノズルに負圧発生用のスリットノズルを設置し、塗布ノズルより吐出される塗布ペーストを被塗布面に対してより垂直な塗布角度で塗布することで、塗布泡が生じず、塗布ムラ、混色がない良質な塗布膜面が均一に得られる。さらに、塗布速度を従来の２倍にしても塗布泡による欠陥が生じないので、塗布ラインの高速化が可能となる。
【００２５】
また、塗布角度が垂直に近いので、ＡＣ型ＰＤＰのストライプ状のリブへの蛍光体ペーストの塗布はもとより、マトリックス状のリブへの蛍光体ペーストの塗布も容易とするものである。
【００２６】
また、ディスペンス法もしくは電界ジェット法におけるペ−スト塗布において、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布ノズルに加圧発生用の加圧ノズルを設置し、塗布されたペーストを、泡の混入が生じる前に強制的にリブ間に押し込むことで、塗布泡が生じず、塗布ムラ、混色がない良質な塗布膜面が均一に得られる。さらに、塗布速度を従来の２倍にしても塗布泡による欠陥が生じないので、塗布ラインの高速化が可能となる。
【００２７】
また、塗布角度が垂直に近いので、ＡＣ型ＰＤＰのストライプ状のリブへの蛍光体ペーストの塗布はもとより、マトリックス状のリブへの蛍光体ペーストの塗布も容易とするものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１は本発明に係わる第１の実施形態を説明する断面模式図であり、基板１１上に被塗布面１２が形成されており、塗布ノズルは矢印方向へ移動している。塗布ノズル１３はディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布ノズルを示す。なお、電界ジェット法の場合には、塗布ノズルのペ−スト吐出口近傍に設けた電極と被塗布物との間に電圧を印加しながらペ−ストを塗布するが、図１ではその部分は省略してある。
【００２９】
図１では、塗布ノズル１３の塗布前の位置には、負圧を発生させるスリットノズル１５が設置されており、負圧スリットノズル１５はチャンバー１６を介して真空ポンプなどの負圧発生用吸引装置に繋がっている。チャンバー１６は塗布ノズル１３に接続されて、負圧スリットノズル１５は塗布ノズル１３と一体になっており、スリットノズル１５が塗布ノズル１３に連動してＸＹ方向に同じ動きをし、スリットノズル１５の先端にある負圧発生部は塗布ノズルの吐出口１３ａに対して、ペ−ストの吸引効果が得られるように近接して設けられている。
【００３０】
図１では、塗布ノズル１３のノズル先端斜面が被塗布面に対し４５°で形成されているので、負圧スリットノズルの先端１５ａは塗布ノズル１３に近接し得るように、４５°の傾斜角度で長方形の開口部がペースト塗布方向に直角に設けられている例を示す。塗布ノズル１３から吐出されるペ−スト１４は、スリットノズル１５の負圧によりスリットノズル１５側に引き寄せられて、被塗布面１２に対してほぼ垂直方向に吐出されるようになる。その結果、塗布されたペ−スト１４内に泡が巻き込まれることが抑制される。負圧の真空度としては、１×１０-2Ｔｏｒｒ以下が好ましい。また、本発明において、負圧スリットノズル１５には負圧を調整できる機構を持たせることが好ましい。
【００３１】
上記のように、負圧スリットノズル１５の形状は、塗布ノズル１３の形状に合せた形状にするのが好ましい。塗布ノズル１３の吐出口形状は円または多角形が用いられることも多いが、例えば、塗布ノズル１３が横長の長方形断面形状の場合には、スリットノズル１５の先端部分も横長の長方形断面形状とするのが好ましい。
【００３２】
さらに、本発明においては、ペースト塗布ノズルの各吐出口１３ａに相当する数の穴を持つスリットノズルを配置することもできるし、塗布ノズル１３の複数の各吐出口１３ａをペースト塗布方向に直角に１つの長方形の開口部を有する１つの負圧スリットノズルで同時に負圧を発生させて吸引する形態も可能である。
【００３３】
また、本発明において、負圧スリットノズル１５の吐出ペ−ストを引き寄せる吸引効果を高めるために、塗布ノズルの吐出口１３ａ近くのスリットノズル１５の先端部分に、多数の小孔を設けた形状とすることも好ましい形態である。さらに、本発明においては、塗布ノズル１３と負圧スリットノズル１５は一定間隔でＸＹ方向に同じ動きをするので、塗布ノズル１３と負圧スリットノズル１５を一体とすることも好ましい形態である。
【００３４】
本発明の塗布ノズル１３の材質としては、従来と同じく、セラミック、樹脂が使用できる。負圧スリットノズル１５の材質としては、ステンレス、セラミック、樹脂が用いられる。
【００３５】
上記のように、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布ノズル１３より吐出される塗布ペースト１４を被塗布面に対してより垂直な塗布角度で塗布することで、塗布泡が生じず、塗布ムラ、混色がない良質な塗布膜面が均一に得られる。
【００３６】
また、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布角度が垂直に近いので、図４に示したようなＡＣ型ＰＤＰのストライプ状のリブ４３を有する背面板への蛍光体ペーストの塗布はもとより、図５および図６に示すような、リブ５１ａ、５１ｂ、５１ｃと補助リブ５２ａ〜５２ｄまたは６２ａ〜６２ｄを設けたマトリックス状のリブを有する背面板５３への蛍光体ペーストの塗布も容易となる。図５、図６は、ＡＣ型ＰＤＰのリブ形状の一例を示す斜視図であり、図５において、補助リブ５２ａ〜５２ｄの断面は台形または長方形に近い形状であり、図６において、補助リブ６２ａ〜６２ｄの断面における２つの稜は背面版５３の表面に向かって広がる形状を有している。通常、補助リブの高さはリブの高さよりも低くしている。
【００３７】
図２は本発明の第２の実施形態を説明する断面模式図で、基板２１上に被塗布面２２が形成されており、塗布ノズルは矢印方向へ移動している。塗布ノズル２３はディスペンス法もしくは電界ジェット法の塗布ノズルを示す。電界ジェット法の場合には、塗布ノズルのペ−スト吐出口近傍に設けた電極と被塗布物との間に電圧を印加しながらペ−ストを塗布するが、図２では、その部分は省略してある。
【００３８】
塗布ノズル２３よりも塗布後の位置には、加圧を発生させるスリットノズル２５が設置されており、スリットノズル２５はコンプレッサー等の加圧空気発生機に繋がっている。スリットノズル２５は塗布ノズル２３に連動してＸＹ方向に同じ動きをし、その先端近傍にある加圧発生スリットノズルの先端２５ａは塗布ノズル２３の吐出口２３ａに近接して設けられる。塗布ノズル２３からペ−スト２４が塗布されると、すぐにスリットノズル２５が加圧を発生させながら塗布後のペ−スト２４を強制的にリブ間に押し込むことにより、塗布されたペ−スト２４内に泡が巻き込まれるのを抑制する。加圧の圧力としては、３０〜２００ｋＰａ程度が好ましい。また、本発明において、加圧スリットノズル２５には加圧を調整できる機構を持つことが好ましい。
【００３９】
加圧スリットノズル２５の形状は、塗布ノズル２３の吐出口形状に合せた形状にするのが好ましい。例えば、塗布ノズル２３が横長の長方形断面形状の場合には、スリットノズル２５の先端部分も横長の長方形断面形状とするのが好ましい。
【００４０】
さらに、本発明においては、ペースト塗布ノズルの各吐出口２３ａに相当する数の穴を持つスリットノズルを配置することもできるし、塗布ノズル２３の複数の各吐出口２３ａをペースト塗布方向に直角に１つの長方形の開口部を有する１つのスリットノズルで同時に加圧を発生させる形態も可能である。
【００４１】
また、本発明において、ペ−スト塗布後、塗布されたペ−スト２４をリブ間に押し込む効果を高めるためには、スリットノズル２５の先端部分に、多数の小孔を設けた形状とすることも好ましい形態である。さらに、本発明において、塗布ノズル２３と加圧スリットノズル２５は一定間隔でＸＹ方向に同じ動きをするので、塗布ノズル２３と加圧スリットノズル２５を一体とすることも好ましい形態である。
【００４２】
本発明の塗布ノズル２３の材質としては、前述の第１の実施形態と同じくセラミック、樹脂が使用でき、また、加圧スリットノズル２５の材質としては、ステンレス、セラミック、樹脂が用いられる。
【００４３】
上記のように、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布ノズル２３より吐出される塗布ペーストを、泡の混入が生じる前に強制的にリブ間に押し込むことで、塗布泡が生じず、塗布ムラ、混色がない良質な塗布膜面が均一に得られる。
【００４４】
また、本発明のペ−スト塗布方法および装置によれば、塗布角度が垂直に近いので、図４に示したようなＡＣ型ＰＤＰのストライプ状のリブ４３への蛍光体ペーストの塗布はもとより、図５および図６に示すような、リブ５１ａ、５１ｂ、５１ｃと補助リブ５２ａ〜５２ｄまたは６２ａ〜６２ｄを設けたマトリックス状のリブを有する背面板５３への蛍光体ペーストの塗布も容易となる。
【実施例１】
【００４５】
４２インチのＡＣ型ＰＤＰ背面板の蛍光体ペ−ストの形成を、第１の実施形態により電界ジェット法で行った。まず、ガラス基板の上にアドレス電極をパタ−ン形成した後、それを覆って誘電体層を形成し、その誘電体層の上にサンドブラスト法でライン状のリブを形成した。形成したリブのピッチは３００μｍ、高さは１２０μｍ、リブ頂部幅は６０μｍ、リブ底部幅は１１０μｍ、セル断面積は０．０２６ｍｍ2 である。
【００４６】
塗布装置は、ＸＹＺ方向に移動機能を持つ電界ジェット法による塗布ノズルと、負圧を発生させるスリットノズルより構成した。スリットノズルは塗布ノズルに固定し、一体となる動きが可能となるようにした。
【００４７】
塗布ノズルおよび負圧スリットノズルの材料には、ＭＣナイロン樹脂を用いた。塗布ノズルの吐出部は、楕円形（進行方向に対して垂直辺長さが７００μｍ、平行辺長さが４００μｍ）の吐出口を、ピッチ０．９ｍｍで有している。負圧スリットノズルの先端のスリット部の開口幅は、４ｍｍの横長のスリット形状とし、塗布ノズルの複数の各吐出口を１つのスリットノズルで吸引できるようにした。
【００４８】
塗布条件は、塗布ノズル吐出部先端と被塗布面との距離を０．４ｍｍ、塗布速度を７０ｍｍ／秒とし、高圧パルスとして、振幅が５ｋＶでオフセット０Ｖの矩形波の電圧パルスを８００Ｈｚの周波数で印加するようにした。負圧スリットノズル先端と被塗布面との距離は０．９ｍｍとし、負圧スリットノズル先端と塗布ノズル吐出口先端との距離は１ｍｍとした。負圧発生は負圧スリットノズルをチャンバーを介して吸引装置に接続することにより行った。
【００４９】
次に、基板のリブ方向と塗布ノズル、スリットノズルの位置合せを行い、電圧パルスを印加し、負圧スリットノズルで吸引しながら塗布を行った。塗布状態の評価は、ＣＣＤカメラにより塗布状態を観察することで行った。
【００５０】
ペ−スト塗布後、塗布基板を評価したところ、負圧発生スリットノズルを用いた基板は塗布泡が生じず、塗布ムラのない良質な塗布膜面が得られた。
【００５１】
さらに、塗布速度のみを２倍の１４０ｍｍ／秒とし、他は同じ条件で塗布したところ、比較のために実施した負圧発生スリットノズルを用いない場合には、基板の被塗布面の全面に塗布泡が発生したのに対し、負圧発生スリットノズルを用いた基板は塗布泡が生じず、塗布ムラ、混色がない良質な塗布膜面が得られた。
【実施例２】
【００５２】
４２インチのＡＣ型ＰＤＰ用背面板の蛍光体ペ−ストの形成を、第２の実施形態により電界ジェット法で行った。基板、塗布ノズル、蛍光体ペ−ストは実施例１と同じである。
【００５３】
塗布装置は、ＸＹＺ方向に移動機能を持つ電界ジェット法による実施例１と同じ塗布ノズルと、加圧を発生させるスリットノズルより構成した。
【００５４】
加圧スリットノズルの材料は、易切削性セラミックを用いた。加圧を発生させるスリットノズルは、塗布ノズルと同じく長方形の形状であり、加圧スリットノズルのスリット部の進行方向に対する垂直辺長さは７００μｍ、平行辺長さは２００μｍである。加圧発生は加圧スリットノズルにコンプレッサ−から圧搾空気を送り込むことにより実施した。
【００５５】
次に、基板のリブ方向に対し、塗布ノズルおよびスリットノズルの位置合せを行い、塗布ノズル吐出部先端と被塗布面との距離を０．５ｍｍ、塗布速度を７０ｍｍ／秒とし、高圧パルスとして、振幅が５ｋＶでオフセット０Ｖの矩形波の電圧パルスを８００Ｈｚの周波数で印加するようにした。加圧スリットノズル先端と被塗布面との距離は０．５ｍｍとし、加圧スリットノズル先端と塗布ノズル吐出口先端との距離は５ｍｍに保つようにした。続いて、電圧を印加し、塗布ノズルでペ−ストを吐出塗布した直後に、背圧０．１５ｋｇ／ｃｍを印加した加圧スリットノズルで、塗布ペ−ストを強制的にリブ間に押し込みながら塗布を行った。塗布状態の評価は、ＣＣＤカメラにより塗布状態を観察することで行った。
【００５６】
ペ−スト塗布後、塗布状態を評価したところ、加圧発生スリットノズルを用いた基板は塗布泡が生じず、塗布ムラのない良質な塗布膜面が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の第１の実施形態を説明する断面模式図
【図２】本発明の第２の実施形態を説明する断面模式図
【図３】従来の塗布方法を説明する断面模式図
【図４】ＡＣ型ＰＤＰの一構成例を示す分解斜視図
【図５】本発明を適用し得るＡＣ型ＰＤＰのリブ形状の一例（その１）を示す斜視図
【図６】本発明を適用し得るＡＣ型ＰＤＰのリブ形状の一例（その２）を示す斜視図
【符号の説明】
【００５８】
１１、２１、３１  基板
１２、２２、３２  被塗布面
１３、２３、３３  塗布ノズル
１３ａ、２３ａ、３３ａ  塗布ノズル吐出口
１４、２４、３４  ペースト
１５  負圧発生スリットノズル
１５ａ  負圧発生スリットノズルの先端
１６  チャンバー
２５  加圧発生スリットノズル
２５ａ  加圧発生スリットノズルの先端
４１、４２  ガラス基板
４３  リブ
４４  放電維持電極
４５  バス電極
４６、４９  誘電体層
４７  保護層（ＭｇＯ層）
４８  アドレス電極
５０  蛍光体層
５１ａ、５１ｂ、５１ｃ  リブ
５２ａ、５２ｂ、５２ｃ、５２ｄ、６２ａ、６２ｂ、６２ｃ、６２ｄ  補助リブ
５３  背面板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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