(57)【要約】【課題】  鉛直上方向にマイクロイオンビーム形成用部材を極めて容易に配置するための方法及びマイクロイオンビーム形成用部材の配置のために使用されるプリズム付きプリズム調整台を提供する。【解決手段】  水平方向に出射されるイオンビームを鉛直上方向に静電偏向又は電磁偏向させて、前記イオンビームからマイクロイオンビームを形成するためのマイクロイオンビーム形成用部材を、所定の鉛直線上にその光学中心を揃えて配置するマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法であって、水平軌道をたどる入射光を鉛直上方向に偏向させるための偏向素子を前記所定の鉛直線上に配置し、更に、前記水平軌道上にトランシットを配置して、前記所定の鉛直線上に前記マイクロイオンビーム形成用部材の光学中心を揃えて配置することを特徴とする。【選択図】  図１
2005135710.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平方向に出射されるイオンビームを鉛直上方向に静電偏向又は電磁偏向させて、前記イオンビームからマイクロイオンビームを形成するためのマイクロイオンビーム形成用部材を、所定の鉛直線上にその光学中心を揃えて配置するマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法であって、水平軌道をたどる入射光を鉛直上方向に偏向させるための偏向素子を前記所定の鉛直線上に配置し、更に、前記水平軌道上にトランシットを配置して、前記所定の鉛直線上に前記マイクロイオンビーム形成用部材の光学中心を揃えて配置することを特徴とするマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法。
【請求項２】
前記マイクロイオンビーム形成用部材の端面に互いに交差する２軸を表示した透光板を設け、前記透光板の２軸の交点と前記透光板が設けられたマイクロイオンビーム形成用部材の光学中心とを揃え、前記透光板の互いに交差する２軸と前記トランシットの水平及び垂直方向の基準線とを重ね合わせることにより、前記所定の鉛直線上に前記マイクロイオンビーム形成用部材の光学中心を揃えて配置することを特徴とする請求項１に記載のマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法。
【請求項３】
前記所定の鉛直線上において、前記マイクロイオンビーム形成用部材が配置されることになる区間の下方に前記偏向素子を設け、前記区間の上方に基準点を設け、前記偏向素子に対して、前記トランシットから水平軌道をたどるレーザビームを照射して鉛直上方向に偏向させ、前記基準点に前記レーザビームが照射されるように前記偏向素子の位置を調整することにより、鉛直上方向に偏向された前記偏向素子からの出射光の軌道を前記所定の鉛直線上に重ね合わせるようにすることを特徴とする請求項１又は２に記載のマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法。
【請求項４】
水平方向に出射されるイオンビームを鉛直上方向に静電偏向又は電磁偏向させて、前記イオンビームからマイクロイオンビームを形成するためのマイクロイオンビーム形成用部材を、所定の鉛直線上にその光学中心を揃えて配置するためのプリズム付プリズム調整台であって、前記プリズム調整台は、前記プリズムを少なくとも鉛直方向の軸を中心として１８０度回転自在とする回転板と、前記プリズムを高さ方向に調整自在とする高さ調整機構とを備えることを特徴とするプリズム付プリズム調整台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、細胞にアルファ（4Ｈｅ+），プロトン（Ｈ+）等の高エネルギーイオンを照射し、放射損傷の度合いを観察したり、或いは、前記イオンを細胞に照射し、被照射体から発生する特性Ｘ線を測定したりするPIXE分析手法（Particle Induced X-ray Emission;粒子誘起Ｘ線放出）や、RBS（Rutherford Backscattering Spectroscopy;ラザフォード後方散乱分析）精密ゴニオメータシステム等の分野で用いられるマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の生物細胞へのマイクロイオンビーム形成装置を、図５のビーム工学系配置構成を用いて説明する。
図中１で示されるものは、建屋の床であり、通常はコンクリート等により施工されている。建屋の床１上には、足場２が設けられ、この上方空間が観察者用の作業室３となっている。また、作業室３の下方には、鉄骨により構成されたやぐら４が配置されている。そして、やぐら４には、マイクロイオンビーム形成用部材が搭載される架台５ａが、建屋の床１等からの振動の影響を受けないようにダンパー６を介して載置され、架台５ａの上部は、前記作業室３内まで延出されている。また、前記やぐら４の内側下方において水平方向に横設された架台５ｂ上には、偏向磁石７が載置固定されている。
【０００３】
前記やぐら４に載置された架台５ａには、イオンビームの上流側、即ち、下方から順に、対物スリット１０、ファラデーカップ１１、Ｘ−Ｙステアラー１２、ビーム径制限スリット１３、ファラデーカップ１４、３連四重極マグネット１５、コリメータ１６、ポリイミドフィルム１７及び光顕微鏡１８が搭載されている。そして、前記した対物スリット１０、ファラデーカップ１１、Ｘ−Ｙステアラー１２、ビーム径制限スリット１３、ファラデーカップ１４、３連四重極マグネット１５、コリメータ１６及び光学顕微鏡１８は、それぞれ両端部にフランジが設けられた円筒形状に構成され、一直線上に配置されて、互いに連結固定されている。
尚、前記Ｘ−Ｙステアラー１２は、イオンビームの方向を変えるように機能するもので、対向した金属平板を水平、垂直方向に一組ずつ配置することにより構成されている。ビーム径制限スリット１３は、対物スリット１０を通過し、発散するイオンビームの発散角を規定するとともに、発散することにより広がったイオンビームの裾をカットすることができるように構成されている。コリメータ１６は、直径１００μｍ・高さ１００ｍｍの円筒形状をしている。ポリイミドフィルム１７は、大気と真空とを隔離するためのものである。光学顕微鏡１８は、シャーレ等に収容された生体試料１９を観察するためのものである。
【０００４】
上記マイクロイオンビーム形成装置は、次のようにして動作する。
上流側の加速器から供給されるイオンビームは、マイクロイオンビームラインの上流側に取り付けられているレンズ（図示せず）により、イオンビーム径制限スリット２０上に結像される。このイオンビーム径制限スリット２０を出射したイオンビームは、偏向電磁石７に入射し偏向される。尚、この偏向電磁石７は、凸状の圧肉の集束レンズで構成されており、偏向されたイオンビームを偏向電磁石７のレンズ効果により対物スリット１０上に収束させる。次いで、この収束したイオンビームを対物スリット１０及びビーム径制限スリット１３を通過させて、除々にその形状をカットして細かくし、更に、発散角も制限する。このようにして形成され細いイオンビームは、ポリイミドフィルム１７を介して真空中から大気中に取り出され、試料１９に照射される。そして、観察者が光学顕微鏡１３により試料を観察し評価する。
【０００５】
上記対物スリット１０、ファラデーカップ１１、Ｘ−Ｙステアラー１２、ビーム径制限スリット１３、ファラデーカップ１４、３連四重極マグネット１５及びコリメータ１６等のマイクロイオンビーム形成用部材の配置は次のようにして行われている。
例えば、マイクロイオンビーム形成用部材がファラデーカップ１１の場合には、図７に示されるように、その側周面に軸方向に４本のケガキ線Ｌ（通常の線幅は、０．３〜０．５ｍｍ）を周方向に等分するようにして設け、同様のケガキ線Ｌを他のマイクロイオンビーム形成用部材にも設ける。そして、各マイクロイオンビーム形成用部材のケガキ線Ｌを互いに揃えて積み重ねる。
次に、図５に示されるように、垂直方向（Ｚ軸）のビーム軌道９Ｌと垂直に交わるＸＹ平面上においてＸ軸にトランシット８Ｘを配置し、Ｙ軸にトランシット８Ｙを配置する（図６）。
そして、各マイクロイオンビーム形成用部材について、前記トランシット８Ｘ及び８Ｙの垂直方向の基準線と前記ケガキ線とが重なり合うことを、前記各トランシットを上下方向に傾斜させながら確認して各マイクロイオンビーム形成用部材の調整を行う。
【０００６】
しかしながら、上記従来の配置方法では、マイクロイオンビーム形成用部材を鉛直線上に配置することは可能であるが、各部材が鉛直方向のビーム軌道９Ｌに対して有効に機能するように光学中心を揃えて配置することは非常に困難であった。
例えば、図８に示される光学系の配置図において、対物スリット１０は、プレート１０ａ、１０ａが真空中でビーム軌道９Ｌを横切るようにして直線的に移動するものであるが、このプレート１０ａ、１０ａの先端部同士が当接する際、即ち、真空中に前記プレート１０ａを最も押し込んだ際に、前記先端部がビーム軌道９Ｌに到達しなければ、対物スリット１０は有効に機能しない。同様に、ファラデーカップ１１、１４においても、ビーム軌道９Ｌ上までカップの中心部が駆動して停止しないと電流値を正確に測定することができず、また、３連四重極マグネット１５でも、ビーム軌道９Ｌ上にポールピースで形成される空間の中心が到達しないと、ビーム軌道９Ｌを正しく収束させることはできない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、鉛直上方向にマイクロイオンビーム形成用部材を極めて容易に配置するための方法及びマイクロイオンビーム形成用部材の配置のために使用されるプリズム付きプリズム調整台を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明者等は鋭意検討の結果、マイクロイオンビーム形成部材が配置されることとなる所定の鉛直線上に偏向素子を配置し、前記偏向素子を介して水平方向からトランシットを使用してマイクロイオンビーム形成用部材を配置することにより、前記所定の鉛直線上にマイクロイオンビーム形成用部材を極めて正確に作業性に良く配置することができるという知見に基づいて、上記課題を解決すること見出した。
即ち、本発明のマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法は、請求項１に記載の通り、水平方向に出射されるイオンビームを鉛直上方向に静電偏向又は電磁偏向させて、前記イオンビームからマイクロイオンビームを形成するためのマイクロイオンビーム形成用部材を、所定の鉛直線上にその光学中心を揃えて配置するマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法であって、水平軌道をたどる入射光を鉛直上方向に偏向させるための偏向素子を前記所定の鉛直線上に配置し、更に、前記水平軌道上にトランシットを配置して、前記所定の鉛直線上に前記マイクロイオンビーム形成用部材の光学中心を揃えて配置することを特徴とする。
また、請求項２に記載のマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法は、請求項１に記載のマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法において、前記マイクロイオンビーム形成用部材の端面に互いに交差する２軸を表示した透光板を設け、前記透光板の２軸の交点と前記透光板が設けられたマイクロイオンビーム形成用部材の光学中心とを揃え、前記透光板の互いに交差する２軸と前記トランシットの水平及び垂直方向の基準線とを重ね合わせることにより、前記所定の鉛直線上に前記マイクロイオンビーム形成用部材の光学中心を揃えて配置することを特徴とする。
また、請求項３に記載のマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法は、請求項１又は２に記載のマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法において、前記所定の鉛直上において、前記マイクロイオンビーム形成用部材が配置されることになる区間の下方に前記偏向素子を設け、前記区間の上方に基準点を設け、前記偏向素子に対して、前記トランシットから水平軌道をたどるレーザビームを照射して鉛直上方向に偏向させ、前記基準点に前記レーザビームが照射されるように前記偏向素子の位置を調整することにより、鉛直上方向に偏向された前記偏向素子からの出射光の軌道を前記所定の鉛直線上に重ね合わせるようにすることを特徴とする。
また、本発明のプリズム付プリズム調整台は、請求項４記載の通り、水平方向に出射されるイオンビームを鉛直上方向に静電偏向又は電磁偏向させて、前記イオンビームからマイクロイオンビームを形成するためのマイクロイオンビーム形成用部材を、所定の鉛直線上にその光学中心を揃えて配置するためのプリズム付プリズム調整台であって、前記プリズム調整台は、前記プリズムを少なくとも鉛直方向の軸を中心として１８０度回転自在とする回転板と、前記プリズムを高さ方向に調整自在とする高さ調整機構とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、マイクロイオンビーム形成用部材を、水平方向からトランシットを使用して鉛直上方向に容易に配置することが可能となり非常に作業性に優れ、しかも、精度の高い配置が可能となる。また、各マイクロイオンビーム形成用部材の周面に従来設けていたケガキ線を設ける必要がないので、部材の製造費用を下げることができ、しかも、美観に優れる。
また、本発明によれば、互いに交差する２軸が設けられた透光板を、マイクロイオンビーム形成用部材の端面に配置して、透光板の互いに交差する２軸を水平方向から偏向素子を介してトランシットの水平及び垂直方向の基準線と合わせることにより効率のよい配置が可能となる。
また、本発明によれば、トランシットからレーザビームを照射して偏向素子を介して鉛直上方向に偏向させて、所定の鉛直線上の基準点に照射されるようにすることにより、トランシット視野内の水平及び垂直方向の基準線の交点上に、所定の鉛直線が位置することになる。従って、このトランシットの視野内の交点上にマイクロイオンビーム形成用部材の光学中心を揃えるだけで正確な配置が可能となる。
また、本発明のプリズム付プリズム調整台によれば、所定の鉛直線を、水平方向からレーザビーム等を照射して容易に割り出すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明において使用されるイオンビームを加速する加速器は、静電加速器、高周波型加速器を問わない。また、静電加速器においても、シングルエンド型、タンデムタイプ型の種類を問わない。イオンビームのエネルギーは、PIXE、RBS、或いは、生体試料等の放射線損傷の研究を対象とする場合、Ｈ+：０．５ＭｅＶ〜３．４ＭｅＶ、Ｈｅ+：１ＭｅＶ〜５．１ＭｅＶ程度のエネルギー範囲を想定している。
また、装置に供給される光学上の制約は、上流側に凸型レンズが設置され、その凸型レンズによって対物スリット上に結像されていることが要求される。前記条件が満足されれば、本発明で使用されるイオンビームの仕様は問わない。もちろん、詳細には、イオン工学上のエミタンス、或いは、発散角、電流値等で規定されるが、イオンビーム工学上の詳細なパラメータや数値は通常行われる方法により適宜調整して設定等される。
【００１１】
前記マイクロイオンビーム形成用部材とは、イオンビームからマイクロイオンビームを形成するのに必要な部材をいい、例えば、仮想上の光源となるための対物スリット、集束レンズ及び発散するイオンビームを制限するための制限スリット等がこの一例として挙げられる。
【００１２】
前記マイクロイオンビーム形成用部材は、所定の鉛直線上に配置される必要があり、本発明では、水平軌道をたどるイオンビームを偏向素子により偏向させて所定の鉛直線としている。尚、本発明において「水平軌道をたどる」の「水平」とは、１８０度のみを指すものではなく略水平も含まれる。
【００１３】
本発明では、前記所定の鉛直線上に、水平方向からの入射光を鉛直方向に偏向させるための偏向素子を配置して、水平方向からトランシットを使用して、マイクロイオンビーム形成用部材を配置する。具体的には、トランシットの水平及び垂直方向の基準線の交点に前記マイクロイオンビーム形成用部材の光学中心が位置するようにマイクロイオンビーム形成用部材を調整して配置すること等により行う。
前記マイクロイオンビーム形成用部材の光学中心は、部材の光学中心が目視できるような状態で視覚化されていれば特に制限されるものではなく、例えば、マイクロイオンビーム形成用部材の端面が円形状のフランジ部を備えるものであれば、フランジ部上に等間隔に４本のボルトを立設し、対向する２本のボルトに対して糸を張設して、互いの糸が交差する点を光学中心とすることができる。好ましくは、前記マイクロイオンビーム形成用部材のイオンビームが通過する方向の端面に、互いに交差する２軸を表示した透光板を設けるようにし、透光板の２軸の交点と、マイクロイオンビーム形成用部材の光学中心とが重なるようにすれば、従来設けていたようなケガキ線を設ける必要がなくなる。尚、前記透光板は、少なくとも前記所定の鉛直線方向に透光性を有し、マイクロイオンビーム形成用部材の端面において、少なくとも、トランシットから覗いている間固定できるようなものであれば特に制限はない。
【００１４】
前記偏向素子を介して水平方向から前記所定の鉛直線上を光が通過するようにするためには、必要に応じて、前記偏向素子への光の入射又は出射角度を調整する必要がある。このため、前記所定の鉛直線上の前記マイクロイオンビーム形成用部材が配置されることになる上方に基準点を設けておいて、前記偏向素子に対してレーザビームを照射し、前記基準点にレーザビームが照射されるか否かを確認しながら調整するか、或いは、前記基準点にマーキングを設けて、前記トランシットの視野内に表れる水平及び垂直方向の基準線の交点に重なるようにして、前記偏向素子の位置を調整する。
前記基準点のマーキングは、偏向素子を介してトランシットから覗いて分かるようなものであれば特に制限はなく、例えば、マイクロイオンビーム形成用部材が配置される施設の天井等にペンやシール等により十字状のもの等を設けることができる。
前記偏向素子は、入射光を直角に偏向することができるものであれば特に制限はない。その一例として、プリズムや鏡が挙げられる。
また、本発明におけるトランシットは、水平角度及び垂直角度を計測することができ、視野内において、水平及び垂直方向の基準線が表れるようなものであれば特に制限するものではないが、トランシットの視野内の中心、即ち、水平及び垂直方向の基準線の交点を通過するようなレーザビームを照射することが可能なレーザビーム照射機能付きトランシットを使用することが好ましい。レーザビーム照射器とトランシットをそれぞれ用意する必要がなくなるためである。
【００１５】
また、本発明のプリズム付プリズム調整台は、前記プリズムを少なくとも鉛直方向の軸を中心として１８０度回転自在とする回転板と、前記プリズムを高さ方向に調整自在とする高さ調整機構とを備える必要がある。このような機構を採用することにより、水平方向から照射されるレーザビーム等を鉛直方向に偏向させて所望の軌道を通過させるためのプリズムの位置調整が容易となる。
【００１６】
尚、前記プリズム付プリズム調整台によれば、水平方向から照射されるレーザビームを上方に加えて下方にも照射することができることになる。従って、前記イオンビームが鉛直上方向に偏向される地点に、まず、プリズム付きプリズム調整台を配置して、水平方向からレーザビームを照射し、プリズムの鉛直下方に所定の鉛直線の片方の基準となるマーキングを設け、この地点に、前記鉛直方向にレーザビームを照射するレーザ照射器を配置すれば、所定の鉛直線を容易に決定することができる。
【実施例】
【００１７】
次に、本発明のマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法の一実施例を図面に基づいて説明する。尚、図中の符号で、上記背景技術の項において説明した装置と同じものには同一符号が付されている。
図１中、２１で示されるものは、垂直レーザ照射器であり、偏向電磁石７の下方の床１上に設置される。垂直レーザ照射器２１は、自動的に水平の基準を割り出して、鉛直上下方向にレーザビーム９を照射する。
架台４の内側下方の水平方向に横設された偏向電磁石架台５ｂ上には、プリズム調整台２２が配置される。このプリズム調整台２２の上面には、プリズム２３が載置される。
【００１８】
プリズム調整台２２は、図２に示されるように、水平基準を出すためのレベラ２４、載置されたプリズム２３を平面内で回転させるための回転台２５及び回転台２５上でプリズム２３を挟持固定するための固定具２６から構成される。
レベラ２４は、２枚の正方形状の平板２７（７０ｍｍ角、厚さ８ｍｍ）を対向させ、その間に調整ツマミ２８を軸支した２軸チルト機構を有しており、各調整ツマミ２８を回して、上側の平板２７を水平とするものである（神津精機株式会社製  ＴＭ０７−０１）。
また、レベラ２４の上側の平板２７上に設けられる回転台２５は、円形状の平板２９（直径７０ｍｍ）をマイクロメータヘッドにより±１８０°の範囲で回動自在としたものである（神津精機株式会社製  ＴＭ０７−０１）。
また、回転台２５の円形状の平板２９上には、中央にプリズム２３を載置するためのスペースが設けられ、その両側から固定具（ボルト）２６によりプリズム２３を挟持固定できるようになっている。
尚、前記レベラ２４の２つの平板２７の中央部には、直径２１ｍｍの円形状の貫通孔３０が設けられ、前記回転台２５の平板２９の中央部にも、直径１２ｍｍの円形状の貫通孔３１が設けられており、これら貫通孔３０と貫通孔３１の中心がほぼ重なるようにして、レベラ２４と回転台２５とは固定されている。
上記のようにして構成されたプリズム調整台２２は、貫通孔３０と貫通孔３１の中心と、架台５ｂに設けられた直径２１ｍｍの貫通孔３２の中心とがほぼ重なるようにして、架台５ｂ上に設置され、前記垂直レーザ照射器２１から照射されるレーザビーム９が、貫通孔３０、３１、３２を鉛直方向に通過することになる。
【００１９】
図１の構成において、イオンビームが鉛直上方向に偏向される地点、即ち、偏向電磁石７が設置されるべき地点を基準点Ｏとして、この基準点Ｏが床１上に射影される地点をａとし、直径２ｃｍ程度の円形状のマーキングを設ける。
前記垂直レーザ照射器２１から鉛直上下方向に照射されるレーザビーム９が、地点ａに照射されるように、垂直レーザ照射器２１の位置を調整し、レーザビーム９が作業室３の天井面３ｃに照射される地点をｂ（基準点）として、十字状のマーキングを設ける。このようにして、前記地点ａと地点ｂとを結ぶ線として所定の鉛直線が決定されることになる。
【００２０】
次に、垂直レーザ照射器２１から鉛直上方に照射されるレーザビーム９が、プリズム調整台２２の回転台２５に設けられた貫通孔３１の中心を通過するようにプリズム調整台２２を設置する。そして、回転台２５の貫通孔３１の底面の中心となる地点をｃとする。尚、回転台２２の貫通孔３１の中心をレーザビーム９が通過することの確認は、貫通孔３１の直径とほぼ同等の直径を有し、その中心には、直径１０ｍｍの貫通孔が設けられたアクリル製の円形板（中心に十字のマーキングが設けられている）を嵌合し、前記円形板の中心をレーザビーム９が通過していることを目視により確認して行うことにする。
そして、図３に示すように、プリズム２３が設置される回転台２５の上面と同じ平面上に、仮想上の直交する２軸（Ｘ軸及びＹ軸）を設け、Ｘ軸上にレーザ照射機能付きトランシット８'Ｘを設置する。尚、本実施例では、直交する２軸は、プリズム２３のために設けたものであって、レーザ照射機能付きトランシット８'Ｘは、プリズム２３が設置される回転台２５の上面と同じ平面上であれば、特にＸ軸、Ｙ軸に制限されるものではない。
このようにして、プリズム調整台２２を所定の鉛直線上に設置して、その上に３ｃｍ角の立方体形状のレーザビーム用プリズム２３を載置する。
【００２１】
前記プリズム２３に対して、レーザビーム照射機能付きトランシット８'Ｘから水平方向にレーザビームを照射して、鉛直上方向に偏向させ天井部３ｃに照射させる。
尚、一般的に、この時点では、偏向されたレーザビームは、天井部３ｃの地点ｂには照射されない。このため、レーザ照射機能付きトランシット８'Ｘからのレーザビームの照射を止めて目視でレーザ照射機能付きトランシット８'Ｘを覗くと天井部３ｃに設けられた地点ｂのマーキングは、レーザ照射機能付きトランシット８'Ｘの視野の中心から外れている。
この際、レーザ照射機能付きトランシット８'Ｘの水平方向の基準線から地点ｂのマーキングがずれていれば、プリズム調整台２２の回転台２５を回転して地点ｂのマーキングを前記水平方向の基準線と重なるように調整する。また、レーザ照射機能付きトランシット８'Ｘの垂直方向の基準線から地点ｂのマーキングが外れていれば、プリズム調整台２２の回転台２５の前記Ｘ軸上にプリズム２３を挟持固定するための固定具（ボルト）２６をゆるめて、Ｘ軸方向に移動して地点ｂのマーキングを前記垂直方向の基準線と重なるように調整する。
このようにして、プリズム調整台２２を調整することにより、鉛直上方向に偏向されたレーザビームの軌道を、トランシット８'Ｘの視野の水平及び垂直方向の基準線の交点にプリズム２３を介して重ねるようにする。
尚、本実施例では、プリズム調整台２２の回転台２５のＸ軸方向にプリズム２３が嵌合するように溝を設けてプリズム２３はＹ軸方向にずれないようにしているので、固定具（ボルト）２６による調整は容易になっている。
そして、再度、レーザ照射機能付きトランシット８'Ｘからレーザビームを照射し、天井部３ｃの地点ｂのマーキングにレーザビームが照射されているかどうかを確認し、地点ｂのマーキングにレーザビームが照射されていれば、レーザ照射機能付きトランシット８'Ｘから照射されるレーザビームの軌道が、プリズム２３→Ｏ→地点ｂと形成されたことになる。
【００２２】
上記のようにしてレーザビーム照射機能付きトランシット８'Ｘから照射されるレーザビームの軌道が、プリズム２３を介して、所定の鉛直線に重なった後、図４に示されるように、各マイクロイオンビーム形成用部材（図では、ファラデーカップ１１）の端面のフランジの外周形状と相似形のアクリル製透光板３５を配置する。この透光板３５の一方の面には、直交する２軸が表示されており、ファラデーカップ１１の光学中心を通過する軌道上に前記透光板３５の直交する２軸の交点が位置するように配置する。そして、トランシット８'Ｘからプリズム２３を介して透光板３５を覗いた際に、トランシット８'Ｘの視野の中心に透光板３５の中心が位置するように調整する。これにより、マイクロイオンビーム形成用部材の光学中心が所定の鉛直線上に揃えられることになる。
【００２３】
また、対物スリット１０のゼロ点調整（スリットの先端部がビーム軌道上に達する位置の確認）も、トランシット８'Ｘを覗きながらスリットを締めていき、ゼロ点となる位置を確認することができる。また、更に、ファラデーカップ１１、１３のカップ芯出や四重極磁石のボールピースの光学中心も、トランシット８'Ｘを覗きながら同様に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明のマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法の一実施例を説明するための構成図
【図２】本発明のマイクロイオンビーム形成用部材の配置に使用されるプリズム付きプリズム調整台の一実施例を示す側断面図
【図３】図１の平面図
【図４】本発明のマイクロイオンビーム形成用部材の配置方法に使用される透光板の説明斜視図
【図５】従来のビーム光学系配列の模式図
【図６】同平面図
【図７】従来のマイクロイオンビーム形成用部材のケガキ線を示す説明図
【図８】従来のマイクロイオンビーム形成装置の光学系配置図
【符号の説明】
【００２５】
１    建屋の床
２    足場
３    作業室
４    マイクロビーム形成用のやぐら
５    マイクロビームを形成する要素機器が搭載される架台
６    架台
７    偏向磁石
８Ｘ  トランシット（Ｘ軸上）
８Ｙ  トランシット（Ｙ軸上）
８'Ｘ  レーザ照射機能付きトランシット（Ｘ軸上）
９Ｌ  鉛直方向（Ｚ軸方向）のイオンビーム軌道
９    レーザビーム
１０    対物スリット
１１    ファラデーカップ
１２    Ｘ−Ｙステアラー
１３    ビーム径制限スリット
１４    ファラデーカップ
１５    ３連四重極マグネット
１６    コリメータ
１７    ポリイミドフィルム
１８    光学顕微鏡
１９    生体試料
２０    イオンビーム径制限スリット
２１    垂直レーザ照射器
２２    プリズム調整台
２３    プリズム
２４    レベラ
２５    回転台
２６    固定具（押しボルト）
２７    平板
２８    調整ツマミ
２９    平板
３０    貫通孔
３１    貫通孔
３２    貫通孔
３５    透光板
【図１】
2005135710.tif 000003
【図２】
2005135710.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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