(57)【要約】【課題】本発明は、所望の大きさの微小球体を製造する製造装置および製造方法を提供することを目的としている。【解決手段】微小球体の製造装置であって、前記微小球体を製造する製造部と、該微小球体の一部を採取する採取手段と前記採取された微小球体の大きさを計測する計測手段とを備えた計測部とを有する。前記計測手段は、前記採取された微小球体が分散した状態で載置される透光性を有する載置部材と、前記載置部材に載置された微小球体の検査像を形成する照明手段と、前記微小球体の検査像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像された検査像に基いて前記微小球体の大きさを算出する演算手段とを備える。【選択図】図１
2005265506.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
微小球体の製造装置であって、
前記微小球体を製造しつつ一方向へ連続的に排出する製造部と、
前記一方向に排出される微小球体の経路上に配設され該微小球体の一部を採取する採取手段と、前記採取された微小球体の大きさを計測する計測手段とを備えた計測部とを有し、前記計測手段は、
前記採取された微小球体が分散した状態で載置される透光性を有する載置部材と、
前記載置部材の一方の側に配設され載置部材に光を照射し前記載置部材に載置された微小球体の検査像を形成する照明手段と、
前記載置部材を介して前記照明手段に相対して配設され前記微小球体の検査像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段で撮像された検査像に基いて前記微小球体の大きさを算出する演算手段とを備えた製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載の製造装置において、
前記計測手段は、
前記採取手段において採取された微小球体を一方の極に付極する第１の電極と、
前記載置部材において微小球体が載置される反対の側に配設され他方の極に印圧される第２の電極と、
前記第１の電極を一方の極に、第２の電極を他方の極に印圧する電源とを
有している製造装置
【請求項３】
微小球体の製造方法であって、
所定の製造条件で製造されて連続的に一方向に排出された微小球体のうち一部の微小球体を採取し、
採取された微小球体の大きさを画像処理で求め、
求めた微小球体の大きさに基いて製造条件を制御する
製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、徴小球体の製造装置および製造方法に関し、特に半導体装置などのバンプとして採用されるマイクロソルダリング用半田ボール、ハロゲン化金属ランプの封印発光粒子、マイクロベアリングなど徴小な金属球の製造装置および製造方法に適するものである。
【背景技術】
【０００２】
金属あるいは樹脂、ガラスなどからなる徴小な球体は、溶融体を出発原料として種々な方法で製造されている。微小球体の一種であるＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｌｌａｙ）用の半田ボールを連続して製造する製造装置の一例が下記特許文献１に開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載された半田ボールの製造装置は、いわゆるＵＤＳ（Ｕｎｉｆｏｒｍ  Ｄｒｏｐｌｅｔ  Ｓｐｒａｙ）法を用いた装置であり、図８に示すように、所定量の溶融半田９１を収納するとともに、製造目的の半田ボールの直径に対応した穴径の細孔９３を底部に有する収納容器９２と、溶融半田９１を所定の温度に調整する温度調節手段９７と、配管を介して収納容器９２に接続され収納容器９２の内部を所定圧力に調整する圧力調整ユニット９６と、下方端面で細孔９３を塞ぐように細孔９３の上方に垂設された加振棒９４と、鉛直方向に加振棒９４を振動させる振動子であるピエゾ素子９５と、冷媒としての冷却油９９１が満たされ、製造された半田ボールＢを回収する回収容器９９を収納した冷却容器９８とを備えている。この製造装置９によれば、収納容器９２に収納した溶融半田９１に加振棒９４で振動を与え、該細孔９３から溶融半田９１を冷却油９９１の中に滴下し、溶融半田９１を冷却し、半田ボールＢが形成される。この後半田ボールＢは、洗浄工程で油が除去され、分級工程で粒径ごとに分級され、真球度測定工程で要求される真球度により選別され、市場に供給される。
【０００４】
ＵＤＳ法を用いた製造装置９では、半田ボールＢの大きさや組成に合わせ細孔９３の大きさが選択され、製造中の半田ボールＢの大きさが常に一定となるように収納容器９２の中の溶融半田９１の温度や量の変化に合わせ、溶融半田９１の温度や収納容器９２の中の圧力パターン、加振棒９４の振動パターンなどの製造条件が適宜調整される。
【０００５】
この従来の製造装置９は、予め実験等で求めておき与えられた製造条件にのみ制御される、いわゆるオープン制御されていたため次述する問題があった。
【０００６】
すなわち、製造された半田ボールＢの大きさの良否は分級工程で確認されるため不良品が発生する可能性が高くコスト高になる。また、製造中の溶融半田９１の温度変化または製造過程で生じる細孔９３の形状や面粗さの変化などが製造条件を設定した時と異なる場合には半田ボールＢの大きさのバラツキが大きくなり歩留が低下するという問題があった。
【０００７】
したがって、大きさのバラツキの少ない半田ボールＢを安定して得るためには、製造中における半田ボールＢの大きさを測定し、測定された大きさを元に製造装置９を制御する、いわゆるクローズド制御とすることが望ましい。
【０００８】
微小球体の大きさを計測する計測方法の例が、下記非特許文献１に記載されている。該非特許文献１には、微小球体の計測方法として、ふるい分けまたは顕微鏡等を用いて幾何学的に計測する方法、光の回折現象または散乱現象を利用し光学的に計測する方法、液中における球体の沈降速度を利用し機械的に計測する方法などが記載されている。
【０００９】
しかしながら、これらの方法は、比較的静的な状態に試料を置き測定するものであり製造中の半田ボールＢの大きさを測定することには向いていない。また、光学的に計測する方法では半田ボールＢの大きさの分布は求められるものの、個々の半田ボールＢの大きさを測定することは難しい。
【特許文献１】特開２０００−１４４２１６号公報
【非特許文献１】粉体工学会編「粒子径計測技術」  日刊工業新聞社刊１９９４年
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、連続的に微小球体を製造する製造装置および製造方法において、所望の大きさの微小球体を製造する製造装置および製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、微小球体の製造装置であって、前記微小球体を製造しつつ一方向へ連続的に排出する製造部と、前記一方向に排出される微小球体の経路上に配設され該微小球体の一部を採取する採取手段と、前記採取された微小球体の大きさを計測する計測手段とを備えた計測部とを有し、前記計測手段は、前記採取された微小球体が分散した状態で載置される透光性を有する載置部材と、前記載置部材の一方の側に配設され載置部材に光を照射し前記載置部材に載置された微小球体の検査像を形成する照明手段と、前記載置部材を介して前記照明手段に相対して配設され前記微小球体の検査像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段で撮像された検査像に基いて前記微小球体の大きさを算出する演算手段とを備えた製造装置である。
【００１２】
この製造装置によれば、製造部で連続的に製造され一方向に排出された微小球体は、計測部の採取手段によってその一部が採取される。採取された微小球体は、計測手段の透光性を有する載置部材に分散した状態で載置される。該微小球体には、照明手段によって光が照射される。光が照射されることにより形成された微小球体の検査像は撮像手段により撮像される。撮像された微小球体の検査像に基いて演算手段は該微小球体の大きさ（直径や真円度など）を算出する。該算出された微小球体の大きさに基いて微小球体の大きさが所望の大きさとなるように製造部における製造条件を調整する。このように、製造中における微小球体の大きさをインラインで測定し、その大きさに基いて製造部の製造条件をクローズド制御することにより所望の大きさの微小球体が製造される。
【００１３】
なお、前記計測手段は、前記採取手段において採取された微小球体を一方の極に付極する第１の電極と、前記載置部材において微小球体が載置される反対の側に配設され他方の極に印圧される第２の電極と、前記第１の電極を一方の極に、第２の電極を他方の極に印圧する電源を有していれば、載置部材に載置された微小球体を分散した状態で保持することができ計測中に微小球体が自由に動かないので好ましい。
【００１４】
本発明は、上記本発明の製造装置に適する微小球体の製造方法であって、所定の製造条件で製造されて連続的に一方向に排出された微小球体のうち一部の微小球体を採取し、採取された微小球体の大きさを画像処理で求め、求めた微小球体の大きさに基いて製造条件を制御する製造方法である。
【発明の効果】
【００１５】
上記説明したように、本発明によれば、連続的に微小球体を製造するにあたり、製造された微小球体から一部を抜取り、抜き取った微小球体の大きさを画像計測で計測し、計測された微小球体の大きさに基いて製造中の微小球体の大きさが所望の大きさとなるようにするので、所望の大きさの微小球体を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明について、その実施の一態様に基づき図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施態様に係る製造装置の概略構成図である。図２は、図１の計測部の測定手段の概略構成図である。図３は、図１の計測部の選別手段の概略構成図である。図４は、図２の測定手段の別の態様の概略構成図である。図５は、図１の排出手段の概略構成図である。図６は、図２の測定手段で半田ボールの面積を求める動作を説明する図である。図７は、図２の測定手段においてそのレンズの校正の動作を説明する図である。
【００１７】
なお、以下で説明する態様の製造装置は、上述したＵＤＳ法により半田ボールを製造するものである。しかしながら、本発明は、以下で述べる態様のみに限定されるものではなく、連続して微小球体を製造する製造装置として、例えば、所定の体積を持つ金属片を高温の液中や気中で溶融し連続的に徴小球体を形成する製造装置は本発明に含まれる。また、Ｓｎ又はＣｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｗ、Ｎｉ、Ｍｏ、Ａｌなどの金属からなる微小球体は本発明に含まれる。同様に、ポリプロピレン又はポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアミド、酢酸セルロース、ポリエステル系などの樹脂またはガラス、ゴムなど非金属からなる微小球体は本発明に含まれる。
【００１８】
本実施態様の半田ボールＢの製造装置１は、ＵＤＳ法で半田ボールを製造する物であり、図１に示すように、半田ボールＢを連続的に製造し下方（一方）へ排出する製造部２と、下方に排出されている半田ボールＢの一部を採取し、採取した半田ボールＢ１の大きさを測定する測定部３を有している。以下、製造部２と計測部３について説明する。
【００１９】
［製造部］
製造部２は、基本的には上記した製造装置９と同様な構成を有し、所定量の溶融半田２１を収納するとともに、半田ボールＢの直径に対応した穴径の細孔２３を底部に有する有蓋の収納容器２２と、溶融半田２１を所定の温度に調整する温度調節手段２７と、配管を介して収納容器２２に接続され収納容器２２の内部を所定圧力に調整する圧力調整ユニット２６と、下方端面で細孔２３を塞ぐように細孔２３の上方に垂設された加振棒２４と、鉛直方向に加振棒２４を振動させる振動子であるピエゾ素子２５と、収納容器２２の下方に配設され十分な高さを有する冷却容器２８を備えている。
【００２０】
収納容器２２と冷却容器２８は共に気密な状態を保持可能な圧力容器であり、それぞれの内部は真空或いは雰囲気制御されるとともに独立して所定の圧力に設定される。冷却容器２８の底部には、製造された半田ボールＢを回収する回収容器２９が配置されている。
【００２１】
上記製造部２によれば、所望の半田ボールＢの大きさに対応した細孔２３を有する収納容器２２が準備される。製造部２に、製造条件として溶融半田２１の温度パターンや収納容器２２の圧力パターン、加振棒２４の振動パターンなどの初期設定値を入力する。この初期設定値は、例えば実験的に又は操業実績に基いて求めたものである。原料の半田が収納容器２２に収納され、溶融される。温度調整手段２７は、収納容器２２の中の溶融半田２１を予め設定した温度に調整する。圧力調整手段２６は、収納容器２２の内部を予め設定した圧力に調整する。ピエゾ素子２５は、加振棒２４を鉛直方向に予め設定した振動パターン（例えば振動周期、加圧力、振れ幅）で振動させ溶融半田２１を加圧する。
【００２２】
その結果、溶融半田２１が所定の速度で細孔２３から注出される。細孔２３を通過した直後の溶融半田２１は柱状であるが、直ぐに付加された振動により分断されて滴下し、冷却容器２８の中を落下する間に冷却され、球状化し、半田ボールＢが形成される。冷却容器２８を落下したボールＢは回収容器２９で回収される。
【００２３】
［計測部］
計測部３について説明する。計測部３は、製造部２から排出される半田ボールＢの一部を採取する採取手段である採取管３２と、採取された半田ボールＢ１の大きさを測定する測定手段３４と、採取手段３２で採取された半田ボールＢ１に含まれる異形状の半田片を選別しつつ半田ボールＢ１を測定手段３４へ供給する選別手段３３と、検査の終了した半田ボールＢ１を測定手段３４から除去する排出手段３５を備えている。なお、本態様の計測部は、冷却容器２７と同じ雰囲気にするために密閉された圧力容器３４６に配設されている。
【００２４】
採取管３２は、図１に示すように、収納容器２２の細孔２３から下方に排出された半田ボールＢの排出経路の途中にその一端側の開口が配設され、他端側の開口が測定手段３４に配設されている。採取管３２の他方端部には、採取された半田ボールＢ１が採取管３２を通じて測定手段３４に到達するときに半田ボールＢ１が飛散しないように飛散防止カバーが取り付けられている。なお、採取管３２の一端側開口の形状は、半田ボールＢの採取量を適宜調整できるよう大きさを変えたものを数種類用意しておくのが望ましい。採取管３２によれば、連続的に排出される半田ボールＢを確実に採取できるとともに、冷却容器３７の気密を維持する構造を比較的容易に構成することができる。
【００２５】
本態様の選別手段３３は、図３に示すように、採取管３２の中間部に接続されている。選別手段３３は、回収された半田ボールＢ１は通過可能な大きさのメッシュを有する金属網３３１を備えている。この選別手段３３によれば、製造部２で半田ボールＢ以外の異形状の半田片が生じた場合でも、半田ボールＢ１より大きな半田片の流通は予め金属網３３１で阻止される。したがって、本態様では測定の対象としない異形状の半田片は測定手段３４へ供給されず、測定手段３４の負荷が低減される。なお、選別手段３３は、製造部２や測定手段３４の性能により適宜組込まれるものであり必ずしも組込まれる必要はない。
【００２６】
測定手段３４は、図２に示すように、採取管３２が採取しその他方端から供給された半田ボールＢ１が載置される透光性を有する載置部材である例えばガラス板、プラスチック板などの透光板３４１と、紙面において水平方向と鉛直方向に透光板３４１を移動させるステージ３４２と、前記透光板３４１の下方に配設され透光板３４１へ光を照射し透光板３４１に載置された半田ボールＢ１の検査像を形成する照明手段３４４と、透光板３４１を介して照明手段３４４に相対して配設され半田ボールＢ１の検査像を撮像する撮像手段３４５と、撮像手段３４５で撮像された検査像に基いて半田ボールＢ１の大きさを算出するとともにステージ３４２および照明手段３４４、撮像手段３４５の動作を指令する演算記憶手段３４７と、前記ボール載置手段３４２の動作を制御するステージ制御手段３４６を備えている。
【００２７】
この計測手段３４では、採取管３２から供給された半田ボールＢ１は透光板３４１に分散された状態で載置されるとともに、測定中は自由に動かないように保持される。したがって、透光板３４１に複数個載置される半田ボールＢ１は互い分散した状態で距離を置き載置されているので、半田ボールＢ１の大きさは正確に測定される。
【００２８】
測定手段の変形例を図４に示す。この例の測定手段３４´は、透光板４４１の底部側に配設された第１の電極４４３と、採取管３２から排出される半田ボールＢ１が接触可能に例えば採取管３２の他方端部に配設された第２の電極４４４と、第１の電極４４３を一方の極（例えば負極とする）に、第２の電極４４４を他方の極（この場合は正極）に印圧する電源４４６を備えている。
【００２９】
この測定手段３４´によれば、採取管３２で採取された半田ボールＢ１は、計測手段３４に供給される過程で第２の電極４４４に接し正極に帯電し、透光板３４１に載置される。透光板４４１に載置された半田ボールＢ１は、それぞれが正極に帯電しているので互いに反発する。また、第１の電極は負極に印圧されているので半田ボールＢ１を下方に引寄せる状態となり、半田ボールＢ１が自由に動かないように保持する。その結果、半田ボールＢ１は、互いに距離を保ち分散した状態で透光板４４１に載置されることとなる。
【００３０】
さらに、撮像手段３４５の視野の中央付近の領域を囲むようにステージ４４２に第３の電極４４５を周設し、第３の電極４４５を前記一方の極に印圧することが望ましい。このように印圧される第３の電極４４５を設けることにより、透光板３４１に載置された半田ボールＢ１は第３の電極４４５に対し反発し、通常レンズ等の歪みの少ない撮像手段３４５の視野の中央付近に載置され、半田ボールＢ１の大きさを精度良く測定することができる。なお、図４の計測手段３４´では、大きさをコンパクトにするために第２の電極４４４と第３の電極４４５は一つの部材で構成されているが、それぞれ別個に設けてもよい。
【００３１】
照明手段３４４は、例えばレーザー或いはＬＥＤ、ハロゲン光などの照射可能な物が選択される。照明手段３４４から照射する光が透光板３４１に斜めに当たると、半田ボールＢ１の像が楕円状になり、半田ボールＢ１の大きさを正確に測定することができなくなる。したがって、照明手段３４４から照射する光は、透光板３４１に対しほぼ垂直に当たるように照明手段３４４を配設することが望ましい。
【００３２】
撮像手段３４５は、照明手段３４４から照射された光を所定の大きさに集光するレンズと集光された光を撮像するＣＣＤカメラが組合されたものである。なお、レンズとしては、歪みの少ないテレセントリックレンズを使用することが望ましい。
【００３３】
ところで、撮像手段３４５のレンズは、レンズ毎に固有の歪曲収差がある場合が多く、特にレンズの中央部と周辺部ではその差が大きい。したがって、半田ボールＢ１の大きさを、撮像手段３４５の視野内全域で正確に測定するためには、レンズの歪曲収差を補正するキャリブレーションを行うことが望ましい。以下、キャリブレーションの方法について説明する。
【００３４】
球径と真球度が既知である複数の大きさの標準球Ｂｓｔｄを準備する。
【００３５】
まず、レンズの歪みの最も少ない位置（以下歪み中心と略す。）を求める。図７（ａ）に示すように、幾何学的なレンズの中心を仮想原点Ｏｖとし、紙面において水平方向に仮想原点Ｏｖを通る軸をＸ軸とし、鉛直方向に仮想原点Ｏｖを通る軸をＹ軸とする。なお、この仮想原点Ｏｖとレンズの歪み中心Ｏｒは必ずしも一致しない。Ｘ軸において仮想原点Ｏｖを挟んだ複数点で標準球を測定する。標準球の像の面積Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２、…を求める。この面積Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２、…と標準球を配したＸ軸の座標との関係は、図に示すように、２次式で近似されるものである。この２次式を微分し、解けば歪み中心ＯｒのＸ軸座標（Ｘｏ）を求めることができる。
【００３６】
同様にして、歪み中心ＯｒのＹ軸座標（Ｙｏ）を求める。
【００３７】
求められた歪み中心Ｏｒにおいて異なる大きさの複数の標準球を測定する。そうすると、図７（ｃ）に示すように、実際に測定された各標準球の面積（Ｓｓｔｄ１〜４）と、既知の標準球の直径（Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４）との関係を得ることができる。
【００３８】
標準球の像の面積Ｓｓｔｄ１〜４を式１に代入すると、各標準球の直径（φ１〜４）を求めることができる。
【００３９】
【数１】
2005265506.tif 000003
【００４０】
各標準球の面積Ｓｓｔｄ１〜４を式１に代入して得られる各々直径φ１〜４と、各々標準球の実寸Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４との関係は、図７（ｃ）において実線Ｆで示される関係となる。この関係を数式化すれば、半田ボールＢ１の検査像の面積に基いて直径を求めることができる。
【００４１】
撮像手段５に於ける視野内でのレンズの歪み補正について説明する。
図７（ｂ）において、上記で求められた歪み中心Ｏｒに配した半田ボールＢ１の面積をＳｒとし、該歪み中心Ｏｒから離れた位置に配された半田ボールＢ１の面積をＳ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５とすると、Ｓｒ  ≦  Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４、Ｓ５となる。これは、撮像手段５のレンズが歪み中心Ｏｒから離れるに従い歪んでいるためである。つまり、歪み中心Ｏｒからの距離をＬとし、歪み中心Ｏｒにおける半田ボールＢ１の検査像の面積をＳｒとすれば両者には下記式２の関係が成り立つ。なお、式２中のαは、歪み中心Ｏｒからの距離Ｌに依存する面積変化率である。
【００４２】
【数２】
2005265506.tif 000004
【００４３】
上記した測定手段３４によれば、採取管３２で採取されたボールＢ１は透光板３４１に載置される。載置された半田ボールＢ１に照明手段３４４で光を照射する。その結果生じた半田ボールＢ１の検査像を撮像手段３４５で撮像する。撮像手段３４５で得られた半田ボールＢ１の検査像は演算手段３４７で処理され、下記で詳述するように半田ボールＢ１の大きさが算出される。
【００４４】
排出手段３５について説明する。図５に示すように、排出手段３５は、一端がＦｉ方向にガスが流れるように加圧されたガス発生装置（図示せず）に連結され、他端が測定手段３４の内部に連結された流入管３５１と、一端が測定手段３４に内部に連結され、他端が外部に開放されたガスをＦｏ方向に流出させる流出管３５２と、流入管３５１と流出管３５２それぞれに接続された電磁弁３５３、３５４を備えている。この電磁弁３５３、３５４の開閉は演算手段３７で制御される。
【００４５】
この排出手段３５によれば、電磁弁３５３を開くことにより測定手段３４の内部へガスが流入するとともに、電磁弁３５４を開くことにより測定手段３４からガスが流出する。したがって、透光板３４１に載置されたボールＢ１は流入するガスで透光板３４１から除去されるとともにガスに乗って流出管３５２から外部へ排出される。なお、半田ボールＢ１の排出は人手等で行ってもよいが、このような機構で自動的に排出することにより連続して製造される半田ボールＢ１の大きさの計測の頻度が高くなり、したがって、フィードバックの精度が高くなり好ましい。
【００４６】
以下、計測手段３４の演算手段３４７における半田ボールＢ１の大きさの算出方法についてさらに詳細に説明する。
【００４７】
図６（ａ）に示すように、測定手段３４に於ける撮像手段３４５の視野ＣＷ内には、主に半田ボールＢ１の輪郭画像が取り込まれる。半田ボールＢ１の輪郭画像Ｒは円形状であるが、半田ボールＢ１が複数接したもの、選別手段３３の金属網３３１を通り抜けた半田片、完全に球状に形成されない半田ボールの各々輪郭画像Ｎ１、Ｎ２、Ｎ３は円形でないため、異物と判断し、この段階で、以後測定の対象から外す。
【００４８】
図６（ｂ）に示すように、抽出されたボールＢ１の輪郭に対しウィンドウＷを貼り、ボールＢ１の中心の概略座標（Ｘｃ，Ｙｃ）と概略半径（Ｒ）を求める。
【００４９】
点線Ｌ１で示すように、ボールＢ１の概略半径（Ｒ）に所定の長さＲ１を加えた領域を設定し、図６（ｃ）に示すように、動径（ρ）と偏角（θ）からなる極座標に変換する。
【００５０】
極座標に変換された画像データに基いてエッジ検出を行い、偏角ごとのエッジの動径を求める。ここでエッジとは、図６（ｃ）において、半田ボールＢ１の像である黒色の領域ＢＡと白色の領域ＷＡの境界線Ｅ１のことである。エッジＥ１を検出する場合、画像データの輝度が最も変化する点、つまり変曲点を求める方法が最も安定してエッジＥ１を検出することができる。要求される測定精度やカメラの分解能に応じて、単純に輝度の変化点をエッジとしても良い。
【００５１】
図６（ｄ）に示すように、求められた各エッジＥＰの座標を例えば各近似する曲線を求め、その近似曲線を仮想エッジ線ＥＬとする。
【００５２】
図６（ｅ）に示すように、偏角θ上のＲｉ、Ｒｉ＋１、及び仮想エッジ線ＥＬで囲まれる領域Ｓｉを、偏角θ＝０〜３６０°の範囲で式３のように積分すれば、半田ボールＢ１の面積Ｓを求めることができる。
【００５３】
【数３】
2005265506.tif 000005
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、微小球体のみならず例えば粉状や粒状の薬剤の製造やセラミックスの原材料など粉体の製造において、該薬剤や粉体の大きさを制御しつつ製造する分野にも適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施態様に係る製造装置の概略構成図である。
【図２】図１の計測部の測定手段の概略構成図である。
【図３】図1の計測部の選別手段の概略構成図である。
【図４】図２の測定手段の別の態様の概略構成図である。
【図５】図1の排出手段の概略構成図である。
【図６】図２の測定手段で半田ボールの面積を求める動作を説明する図である。
【図７】図２の測定手段においてそのレンズの校正の動作を説明する図である。
【図８】従来の製造装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００５６】
１          製造装置
２          製造部
２１        溶融半田
２２        収容容器
２３        細孔
２４        加振棒
２５        ピエゾ素子
２６        ガス圧調整ユニット
２７        温度調節手段
２８        冷却容器
２９        回収容器
３          計測部
３４        測定手段
３５        排出手段
９          従来の製造装置
Ｂ（Ｂ１）  半田ボール
【図１】
2005265506.tif 000006
【図２】
2005265506.tif 000007
【図３】
2005265506.tif 000008
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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