(57)【要約】【課題】  基板の底面を上方向に加圧することによって、基板が自重により垂れる現象を防止することができ、基板処理ラインを積層形に一体化することによって、一つの反転部により基板を反転させて処理ラインに供給するので、反転部を追加的に配置する必要がない基板の水平及び上下移送装置を提供する。【解決手段】  基板の水平及び上下移送装置が開示される。このような基板の水平及び上下移送装置は、フレームと、フレームの内部に装着され、基板を定位置に載置させて基板が垂れる現象を防止し、基板を反転させることができる、少なくとも一つ以上の水平移送手段と、フレームに昇降可能に配置され、水平移送手段から（へ）基板を引受けて（引継いで）基板処理ラインへ供給する（から引受ける）垂直移送手段と、そして垂直移送手段と基板処理ラインとの間に配置され、垂直移送手段から（へ）基板を引受けて（引継いで）移送させる移送ユニットとを含む。【選択図】  図２
2005019986.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フレームと；
前記フレームの内部に装着され、基板を定位置に整列させて基板が垂れる現象を防止し、基板を反転させることができる、少なくとも一つ以上の水平移送手段と；
前記フレームに昇降可能に配置され、前記水平移送手段から基板を引受けて基板処理ラインへ供給するか又は前記水平移送手段へ基板を引継いで基板処理ラインから引受ける垂直移送手段と；
前記垂直移送手段と基板処理ラインとの間に配置され、前記垂直移送手段から基板を引受けて、又は前記垂直移送手段へ基板を引継いで、移送させる移送ユニットとを含むことを特徴とする、基板の水平及び上下移送装置。
【請求項２】
前記水平移送手段は、前記フレームに装着されたレール上に設けられて滑走可能な下部ベースと、前記下部ベースの上部に装着され、基板が積置される上部ベースと、前記上部ベース上に突出形成され、前記基板を支持する複数の支持ピンと、前記基板を定位置に整列させる整列部とを含むことを特徴とする、請求項１に記載の基板の水平及び上下移送装置。
【請求項３】
前記水平移送手段は、前記基板の底面を空圧によって加圧する浮上部と、前記上部及び下部ベース間に配置され、前記上部ベースを反転させる回転部材とを追加的に含むことを特徴とする、請求項２に記載の基板の水平及び上下移送装置。
【請求項４】
前記浮上部は、前記上部ベース上に少なくとも一つ以上備えられた板と、前記各々の板の上面に備えられ、空気を噴出することによって、載置された基板を上方向に浮上させる多孔板と、前記多孔板に空気を供給する空気供給部とを含むことを特徴とする、請求項３に記載の基板の水平及び上下移送装置。
【請求項５】
前記整列部は、その上面に一対の長孔が形成されるケースと、前記ケースに装着されるモータ組立体と、前記モータ組立体に連結され、モータ組立体の駆動時に前記上部ベースの中心方向に往復運動する連結バーと、前記連結バーの両端部に上方向に突出形成され、前記長孔を貫通してケースの上部に突出し、前記基板の角部を加圧して定位置に整列させる一対の整列ピンとを含むことを特徴とする、請求項２に記載の基板の水平及び上下移送装置。
【請求項６】
前記回転部材は、下部が前記下部ベースに連結されるとともに上部が前記上部ベースに連結された直結モータを含むことを特徴とする、請求項３に記載の基板の水平及び上下移送装置。
【請求項７】
前記垂直移送手段は、
垂直あるいは水平運動が可能であり、前記水平移送手段から基板を引受け又は前記水平移送手段へ基板を引継ぐ上部ハンドと、前記上部ハンドから基板を引受けて前記移送ユニットに基板を供給し又は前記移送ユニットから供給された基板を上部ハンドに引継ぐ下部ハンドとから構成されるアップダウンユニット
を含むことを特徴とする、請求項１に記載の基板の水平及び上下移送装置。
【請求項８】
前記上部ハンドは、互いに平行に配置される第１及び第２ハンドを含み、前記第１及び第２ハンドは、その上面に複数の上部支持ピンが突出形成され、基板が載置される水平部と、前記フレームに装着され、上下及び左右移動が可能な垂直部とから構成されることを特徴とする、請求項７に記載の基板の水平及び上下移送装置。
【請求項９】
前記第１及び第２ハンドの垂直部は、下端部を互いに連結する連結バーが第１モータ組立体に連結されることによって、前記第１モータ組立体の駆動時に上下に移動することができ、前記垂直部の下端部が前記連結バーの側面に装着された水平レールに各々滑走可能に結合され、第２モータ組立体と水平連結軸によって各々連結されることによって、第２モータ組立体の駆動時に左右に移動することができることを特徴とする、請求項８に記載の基板の水平及び上下移送装置。
【請求項１０】
前記下部ハンドは、水平フレームと、前記水平フレームの上面に突出形成され、基板を積置する複数の下部支持ピンと、前記フレームに装着され、第３モータ組立体と連結されることによって、第３モータ組立体の駆動時に上下に往復運動する支持板とを含むことを特徴とする、請求項７に記載の基板の水平及び上下移送装置。
【請求項１１】
前記アップダウンユニットは、前記フレームの前後方に各々配置される第１及び第２アップダウンバッファーユニットを含むことを特徴とする、請求項７に記載の基板の水平及び上下移送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の水平及び上下移送装置に関し、より詳しくは、基板の整列、基板が垂れる現象の防止、基板の反転が可能になるようにすることによって、基板の移送効率を向上させることができる、基板の水平及び上下移送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、平板ディスプレイ（ＦＰＤ）、半導体ウエハー、ＬＣＤ、フォトマスク用ガラスなどに用いられる基板は一連の処理ラインを通過しながらエッチング、ストリップ、リンスなどの過程を経た後で洗浄を行う。
このような基板の処理ラインにおいては、ライン間に基板を移送するための移送装置が必須で適用され、前記基板移送装置に関する様々な技術が開発されている。
【０００３】
図１には、このような技術の一例として、「ガラス湿式洗浄装置」という名称で出願された特許文献１が開示されている。
【特許文献１】大韓民国特許公開第２００２-５８７９０号
【０００４】
この装置は、図示されているように、ガラス１００を反転させるための反転部１０２と、反転部１０２からガラス１００の供給を受けて洗浄部に供給するためのローダー１０４と、ガラス１００表面上の異物を順に洗浄するための第１乃至第４洗浄部１０６、１０８、１１２、１１６と、ガラス１００を所定の角度に回転させて洗浄部に供給するための上流及び下流コンベヤー１１０、１１４と、洗浄されたガラス１００を乾燥するための乾燥部１１８と、ガラス１００をアンローディングするためのアンローダー１２０とから構成される。従って、このような構造を有するガラス洗浄装置は、ガラスを矢印方向に沿って移送させることによって、一連の工程を経て洗浄する。
【０００５】
しかし、このようなガラス洗浄装置は、基板を幅方向に整列させるために適切に反転させる必要がある。
【０００６】
さらに、最近はＬＣＤなどに用いられる基板が次第に大型化される傾向にあり、従来の６５０×５５０ｍｍから、例えば８３０×６５０ｍｍ以上のように大型化された基板が要求されている。従って、このような大型基板をラインに供給する場合に、基板の長さのために干渉などが発生することがあるので、基板を反転させて長さ方向に移送する必要がある。
【０００７】
しかし、前記のような発明においては、基板の移送方向を整列させるために、多様な位置に反転部を配置しなければならないという問題点がある。また、基板が大型化されることによって、基板を移送する場合に、基板の自重などによって中間部分が垂れる現象が発生するため、基板の品質に影響を与えて不良率が増加する問題点がある。
【０００８】
そして、基板移送装置に基板を支持させてさせて移送する場合に、外部の衝撃などによって基板が一側に偏るので、このような基板をラインに供給する場合、基板を正確な位置に再び整列させなければならないという面倒さがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従って、本発明は前記の問題点を解決するためになされたものであって、本発明の目的は、基板の底面を上方向に加圧することによって、基板が自重により垂れる現象を防止することができる、基板の水平及び上下移送装置を提供することにある。
【００１０】
本発明の他の目的は、基板処理ラインを積層形に一体化することによって、一つの反転部により基板を反転させて処理ラインに供給するため、反転部を追加的に配置する必要がない、基板の水平及び上下移送装置を提供することにある。
【００１１】
本発明の他の目的は、基板移送手段に基板整列部を備え、基板移送時に定位置に整列させることにより、別途の整列部が要求されない、基板の水平及び上下移送装置を提供することにある。
【００１２】
本発明の他の目的は、基板移送手段と基板処理ラインとを上下積層形に構成する場合、上下部に基板を容易に移送させることができる、基板の水平及び上下移送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を実現するために、本発明は、フレームと；前記フレームの内部に装着され、基板を定位置に整列させて基板が垂れる現象を防止し、基板を反転させることができる、少なくとも一つ以上の水平移送手段と；前記フレームに昇降可能に配置され、前記水平移送手段から（へ）基板を引受けて（引継いで）基板処理ラインへ供給する（から引受ける）垂直移送手段と；そして前記垂直移送手段と基板処理ラインとの間に配置され、前記垂直移送手段から（へ）基板を引受けて（引継いで）移送させる移送ユニットとを含む、基板の水平及び上下移送装置を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の基板の水平及び上下移送装置は、次のような長所がある。
第一に、水平移送手段に浮上部を備えることによって、基板が垂れる現象を防止して、製品の不良率を減少させることができる。
第二に、回転部材を備えることによって、基板を移送中に予め反転させてラインに供給するので、別途の反転部をライン中に配置する必要がないので、作業が簡便で投資額を節減することができる。
第三に、水平移送手段に整列部を備えて基板の移送時に正確な位置に整列させることによって、別途に整列部が要求されないので、作業が簡便で取付費を節減することができる。
第四に、上部及び下部ハンドから構成される上下移送手段を備えることによって、基板を上下に容易に移送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付した図面を参照して、本発明の好ましい実施例による基板の水平及び上下移送装置について詳細に説明する。
図２は本発明の好ましい実施例による基板の水平及び上下移送装置が適用された基板処理ラインを示す斜視図であり、図３は図２に示された基板処理ラインの側面図である。
【００１６】
図示したように、本発明が提案する基板の水平及び上下移送装置は、通常の基板処理ラインに適用されるが、好ましくは図２に示すような積層形基板処理ラインの入側及び出側に適用される。
【００１７】
つまり、前記積層形基板処理ラインは、多層構造を有するフレーム１の内部に基板（Ｉ）を処理するための基板処理ユニット１３を小型化して備えたラインであって、その入側及び出側に基板の水平移送手段３及び上下移送手段５，７を配置することによって、基板（Ｉ）を供給したり排出したりする。
【００１８】
このような基板の水平移送手段３及び上下移送手段５，７は、フレーム１と、前記フレーム１の内部に装着され、基板（Ｉ）を定位置に整列させて基板（Ｉ）が垂れる現象を防止し、基板（Ｉ）を反転させることができる、少なくとも一つ以上の水平移送手段３と、前記フレーム１に昇降可能に配置され、前記水平移送手段３から（へ）基板（Ｉ）を引受ける（引継ぐ）垂直移送手段５，７と、そして前記垂直移送手段５，７と基板処理ユニット１３との間に配置され、前記垂直移送手段５，７から（へ）基板（Ｉ）を引受けて（引継いで）移送させる移送ユニット９，１１とを含む。
【００１９】
前記基板の水平及び上下移送装置において、前記水平移送手段３は、前記フレーム１に装着された一対のレール１７上に設けられて滑走可能な下部ベース２０と、前記下部ベース２０の上部に装着され、基板（Ｉ）が積置される上部ベース２１と、基板（Ｉ）を定位置に整列させる整列部２３と、基板（Ｉ）を一定の高さに浮上させることによって垂れる現象を防止する複数の浮上部２５とから構成される。
【００２０】
より詳細に説明すれば、図４及び図５に示したように、前記下部ベース２０の両端部にはスライディング板１８，１９が備えられ、前記スライディング板１８，１９は、フレーム１上に配置された一対のレール１７に滑走可能に設けられる。
従って、モータ組立体（図示せず）の駆動時に、前記スライディング板１８，１９がレール１７に沿って移動することによって、水平移送手段３が前後方向に移動する。
【００２１】
前記上部ベース２１には互いに対角に配置される二つの整列部２３及び複数個の支持ピン２９とが装着される。そして、この整列部２３及び複数個の支持ピン２９の上部に基板（Ｉ）が安定的に設けられる。
【００２２】
図６にはこのような整列部２３が詳細に示されている。つまり、前記整列部２３、はケース３０形状を有し、その内部にモータ組立体３２が装着される。そして、このモータ組立体３２にはモータ組立体３２の駆動時に水平移送手段３の中心方向に往復運動する連結バー３４が備えられる。
【００２３】
また、前記連結バー３４の両端部には一対の整列ピン３６が突出形成され、一対の整列ピン３６は、前記ケース３０の上面に形成された長孔４０を貫通して上方向に突出する。そして、この一対の整列ピン３６間に基板（Ｉ）の角部３８が位置する。
【００２４】
従って、一対の整列ピン３６は、モータ組立体３２の駆動によって予め設定された位置に移動し、この時、基板（Ｉ）の各角部３８を適切な範囲以内で加圧することによって基板（Ｉ）が正確な位置に整列されるようにする。このような整列部２３は、本発明では二つとして説明したが、これに限定されず、それ以上であってもよい。
【００２５】
再び、図４を参照すると、前記浮上部２５は前記上部ベース２１上に複数個が備えられ、基板（Ｉ）の底面に空気を噴出して基板（Ｉ）を上方向に加圧することにより、複数の支持ピン２９上に積置された基板（Ｉ）が垂れる現象を防止する。
【００２６】
このような浮上部２５は、図４及び図７に示したように、上部ベース２１の上部に備えられた板４２と、前記板４２の上面に備えられた補助板４４と、前記補助板４４上に装着され、基板（Ｉ）を支持し、一定の圧力の空気を噴出することによって、基板（Ｉ）を一定の高さに浮上させる多孔板４６とを含む。前記多孔板４６は、通常広く知られた多孔質材質、つまり数多くの微細孔が形成された板である。そして、このような多孔板４６は、空気供給部（図示せず）と連結される。従って、前記空気供給部（図示せず）によって供給された空気は、多孔板４６の微細孔を通って上面に噴出されることにより、一定の空気層を形成する。無論、空気の他にも適切な圧力層が形成できる物質であれば関係ない。
【００２７】
この時、基板（Ｉ）は複数の支持ピン２９に支持されている状態であり、その中間は自重によって下方向に垂れる傾向がある。従って、前記複数の浮上部２５から噴出された空気が基板（Ｉ）の底面を上方向に押し上げて、このような基板（Ｉ）が垂れる現象を防止する。結局、基板（Ｉ）は、前記浮上部２５によって優れた扁平度を維持することができるので、製品の不良率を減らすことができる。
【００２８】
以上では、空気噴射方式による浮上部について説明したが、本発明はこれに限定されず、基板を上方向に加圧する方式、つまりラバー、スポンジ、流体方式なども適用することができる。
【００２９】
そして、図５に示したように、前記上部ベース２１及び下部ベース２０間には回転部材２７が装着される。この回転部材２７は、モータ組立体２８を含み、好ましくは直結モータ（DD Motor；Direct Motor）である。この回転部材２７は、その下部が下部ベース２０上に装着された支持部２６の上面に設けられ、上部は前記上部ベース２１の底面と連結される。従って、前記回転部材２７が駆動する場合、前記上部ベース２１が一定の角度に回転する。
【００３０】
結果的に、使用者は、前記回転部材２７の回転によって上部ベース２１を回転させることができるので、支持された基板（Ｉ）の方向を幅方向あるいは長さ方向に反転させて移送することができる。もちろん、基板（Ｉ）を反転させる必要がない場合には、前記回転部材２７を駆動しない状態で基板（Ｉ）を移送する。
【００３１】
以上では、水平移送手段を一つとして説明したが、これに限定されず、水平移送手段が二つあるいはそれ以上であっても差支えない。
【００３２】
一方、このような水平移送手段３（図２）によって移送された基板（Ｉ）は、前記垂直移送手段５，７（図２）に供給されて上下に移送される。
【００３３】
つまり、図３及び図８に示したように、前記垂直移送手段５，７は、第１アップダウンバッファーユニット５と第２アップダウンバッファーユニット７とから構成され、前記第１アップダウンバッファーユニット５は、前記フレーム１の一側に昇降又は下降可能に装着されて、前記水平移送手段３から基板（Ｉ）を引受け、前記第２アップダウンバッファーユニット７は、前記第１アップダウンバッファーユニット５の反対側に装着されて、処理された基板（Ｉ）を前記水平移送手段３に引継ぐ。
【００３４】
このような第１及び第２アップダウンバッファーユニット５，７は、同一構造を有するので、以下では一つのアップダウンバッファーユニット５について説明する。
【００３５】
前記第１アップダウンバッファーユニット５は、前記水平移送手段３から基板（Ｉ）を引受けて上下に運動する一対の上部ハンド１５と、前記一対の上部ハンド１５から基板（Ｉ）を引受けてローダー９（図２）に引継ぐ下部ハンド６とからなる。前記一対の上部ハンド１５は、互いに平衡に形成される第１及び第２ハンド５１，５３から構成され、前記第１及び第２ハンド５１，５３は、各々水平部５５、５７と垂直部６２、６４とからなって“フ”字形状を有する。また、前記水平部５５、５７の上面には複数の上部支持ピン５８が上方向に突出形成される。従って、基板（Ｉ）が前記水平部５５、５７の複数の上部支持ピン５８に積置されて支持される。そして、前記第１及び第２ハンド５１，５３の垂直部６２、６４は、その下端部６５，７０が連結バー６６に滑走可能に装着されて、上下及び左右に移動する。
【００３６】
より詳細に説明すれば、パネル２の両端部にはガイド７２が各々突出形成され、このガイド７２には連結バー６６の両端部に形成された移送スロット７４が滑走可能に結合される。また、前記連結バー６６の中間にはガイドブラケット７６が突出し、このガイドブラケット７６には垂直連結軸８０が貫通する。そして、前記垂直連結軸８０は支持ブラケット７８によって回転可能に固定され、好ましくはボールスクリューである。また、垂直連結軸８０の下端部には第１モータ組立体８８が連結される。
【００３７】
従って、前記第１モータ組立体８８の駆動時に、前記垂直連結軸８０が定方向あるいは逆方向に回転し、この時、前記連結バー６６のガイドブラケット７６と垂直連結軸８０がネジ結合された状態であるので、前記連結バー６６は上下に往復運動する。
【００３８】
また、前記連結バー６６の一側面両端部には水平レール６８，６９が各々付着され、この一対の水平レール６８，６９には前記第１及び第２ハンド５１，５３の下端部７０、６５が各々滑走可能に結合される。
【００３９】
そして、前記一対の水平レール６８，６９間には第２モータ組立体９０が備えられ、第２モータ組立体９０の両側部には水平連結軸９２が各々延びている。このような水平連結軸９２は、前記垂直部６２、６４の下端部６５，７０に各々ネジ結合された状態である。
【００４０】
従って、前記第２モータ組立体９０の駆動時に、前記水平連結軸９２が定方向あるいは逆方向に回転し、前記第１及び第２ハンド５１，５３は左右方向に沿って内側あるいは外側に移動する。結果的に、前記一対の上部ハンド１５は、第１及び第２モータ組立体８８、９０の駆動によって上下あるいは左右に移動することにより、必要に応じて互いに遠くなったり近くなったりする。
【００４１】
一方、前記下部ハンド６は、基板（Ｉ）が載置される水平フレーム７３と、前記水平フレーム７３を支持し、前記水平フレーム７３を上下に往復運動させる支持板８４とからなる。
【００４２】
より詳細に説明すれば、前記水平フレーム７３は「フ」字形状を有し、その上面に複数の下部支持ピン７５が突出形成される。そして、複数の下部支持ピン７５は、後述するローダー９（図２）の搬送ローラ１０間に配置される。従って、前記下部ハンド６が上昇する場合、前記複数の下部支持ピン７５は、搬送ローラ１０間を通過して基板パスライン（Ｐ／Ｓ）の上部に上昇し、前記上部ハンド１５から移送された基板（Ｉ）を引受ける。
【００４３】
また、前記支持板８４は、その上端は前記水平フレーム７３の底面と連結され、下端は第３モータ組立体８２と連結される回転軸８６に連結される。この時、前記回転軸８６は、好ましくは前記支持板８４にネジ結合されるボールスクリューを含む。そして、前記支持板８４は、パネル２上に突出した一対のガイドバー８９によって支持される。従って、前記第３モータ組立体８２の駆動時に、前記回転軸８６が定方向あるいは逆方向に回転することにより、前記支持板８４を上下に往復運動させる。
【００４４】
このような構造を有する上部及び下部ハンド１５，６は、前記上部ハンド１５の第１及び第２ハンド５１，５３上に基板（Ｉ）が下降すれば、一定の高さで待機している前記下部ハンド６の水平フレーム７３と交差し、この時、第１及び第２ハンド５１，５３の間隔が前記下部ハンド６の幅より広く形成されるので、前記下部ハンド６が第１及び第２ハンド５１，５３間に位置する。従って、前記第１及び第２ハンド５１，５３が前記下部ハンド６を通過して下部ハンド６より低い位置に下降すれば、基板（Ｉ）が下部ハンド６の水平フレーム７３上に載置される。そして、前記第１及び第２ハンド５１，５３が左右に移動して下部ハンド６との干渉を防止することによって、下部ハンド６が円滑に下降する。
【００４５】
前記下部ハンド６が下降して基板パスライン（Ｐ／Ｓ）以下に降りると、基板（Ｉ）が移送ユニット９，１１（図２）上に載せられて基板処理ユニット１３へ移送される。
【００４６】
このような移送ユニット９，１１は、図２に示したように、基板処理ユニット１３の入側に配置されるローダー９と、出側に配置されるアンローダー１１とからなる。前記ローダー及びアンローダー９，１１は、同一な構造、つまり、駆動モータ（図示せず）によって回転可能な複数個の搬送ローラ１０から構成される。そして、前記搬送ローラ１０には基板（Ｉ）が垂れる現象を防止するためのアイドルローラ１０aが各々装着される。従って、駆動モータ（図示せず）の作動時に、前記複数個の搬送ローラ１０が回転して前記第１アップダウンバッファーユニット５から供給された基板（Ｉ）を基板処理ユニット１３へ移送したり、基板処理ユニット１３から移送された基板（Ｉ）を第２アップダウンバッファーユニット７に供給する。
【００４７】
以下、添付した図面を参照して、本発明の好ましい実施例による基板の水平及び上下移送装置の作動過程をより詳細に説明する。
【００４８】
まず、図２乃至図７を参照して基板の水平移送手段の作動過程を説明すると、前記水平移送手段３が一定の位置、好ましくは基板引受位置に到達して、基板を引受ける。基板（Ｉ）が水平移送手段３に載置される場合、基板（Ｉ）の底面は上部ベース２１に突出した複数の支持ピン２９に接触する。そして、前記整列部２３に備えられたモータ組立体３２が駆動し、前記整列ピン３６が予め設定された位置に対角方向に沿って移動する。
【００４９】
前記整列ピン３６が予め設定された位置に移動する場合、二つの整列ピン３６が基板（Ｉ）の角部３８を加圧し、これにより基板（Ｉ）が正確な位置に整列する。この時、前記浮上部２５には空気供給部（図示せず）から一定の圧力の空気が供給されて、多孔板４６の上部に空気が噴出されている状態である。従って、噴出された空気が一定の圧力の空気層を形成し、このような空気層が基板（Ｉ）の底面を上方向に押し上げることにより、基板（Ｉ）が自重などにより垂れる現象を防止することができる。
【００５０】
また、基板（Ｉ）を反転させようとする場合には、前記上部及び下部ベース２１，２０間に装着された回転部材２７を駆動させることによって、支持している基板（Ｉ）の方向を反転させることができる。つまり、８３０×６５０ｍｍあるいはそれ以上の大きさを有する大型基板の場合、長さ方向に移送して処理工程に投入する時に、干渉などが発生することがある。このような場合、前記回転部材２７を駆動させることによって、基板（Ｉ）を幅方向に反転させて処理工程に円滑に投入することができる。もちろん、基板（Ｉ）を反転させる必要がない場合には、回転部材２７を駆動させない状態で基板（Ｉ）を移送する。
【００５１】
一方、前記のような水平移送手段３は、基板（Ｉ）を積置した後、フレーム１に沿って一定距離だけ移動して垂直移送手段５，７の隣接位置に到達して、基板を引継ぐ。つまり、第１アップダウンバッファーユニット５の第１モータ組立体８８が駆動して前記連結バー６６が上昇し、この連結バー６６と結合された第１及び第２ハンド５１，５３が上昇する。そして、一定の高さまで上昇して、水平移送手段３が接近するまで待機する。
【００５２】
前記水平移送手段３が接近すれば、前記第１及び第２ハンド５１，５３は、多少上昇して基板（Ｉ）の両枠部を支持して上方に押し上げ、基板（Ｉ）を水平移送手段３から上昇させて引受ける。
【００５３】
前記上部ハンド１５が基板を引受ければ、第１モータ組立体８８が逆方向に駆動して前記上部ハンド１５が一定の位置まで下降する。この時、下部ハンド６に突出形成された複数の下部支持ピン７５は、ローダー９の搬送ローラ１０間を通過して基板パスライン（P／S）以上の高さで待機している状態である。
【００５４】
前記上部ハンド１５の第１及び第２ハンド５１，５３が下部ハンド６を通過して下降すると、前記第１及び第２ハンド５１，５３間を前記下部ハンド６が通過する。従って、前記第１及び第２ハンド５１，５３に支持された基板（Ｉ）が前記下部ハンド６の水平フレーム７３に載置されることにより引継がれる。
【００５５】
そして、第２モータ組立体９０が駆動して前記第１及び第２ハンド５１，５３が左右方向に沿って外側に移動する。従って、下部ハンド６の下降時に、干渉の発生を防止することができる。
【００５６】
前記下部ハンド６に基板（Ｉ）が引受けられると、前記第３モータ組立体８２が駆動して前記下部ハンド６の支持板８４が下降する。この時、前記水平フレーム７３の上方向に突出した複数の下部支持ピン７５は、ローダー９の搬送ローラ１０間を通過して下降する。従って、下部ハンド６が下降して複数の下部支持ピン７５が基板パスライン（Ｐ／Ｓ）以下に降りると、基板（Ｉ）は下部ハンド６から離脱してローダー９の搬送ローラ１０上部に積置される。
【００５７】
基板（Ｉ）が搬送ローラ１０の上部に載置されると、駆動モータ（図示せず）が作動して搬送ローラ１０が回転し、基板（Ｉ）は基板処理ユニット１３に供給される。この時、基板（Ｉ）の長さが長いために移送中に基板が垂れる現象が発生することがあるので、搬送ローラ１０のアイドルローラ１０ａが基板（Ｉ）を支持することによって、これを防止する。特に、８３０×６５０ｍｍあるいはそれ以上の大きさを有する大型基板の場合には垂れる現象が顕著であるので、このようなアイドルローラ１０ａの適用が要求される。
【００５８】
このような過程を通じて、基板（Ｉ）は垂直移送手段５，７からローダー９を通じて基板処理ユニット１３へ移送される。
【００５９】
一方、第２アップダウンバッファーユニット７の作動過程は、前記第１アップダウンバッファーユニット５と逆順である（第１及び第２アップダウンバッファーユニットは同一な構造を有するので、以下では第１アップダウンバッファーユニットと同一な符号によって説明する）。つまり、基板（Ｉ）がアンローダー１１によって移送されて一定の位置に到達すれば、第３モータ組立体８２が駆動することによって前記下部ハンド６が上昇する。この時、下部ハンド６の複数の下部支持ピン７５が搬送ローラ１０間を通過して基板パスライン（P／S）の上部に上昇する。この時、前記上部ハンド１５の第１及び第２ハンド５１，５３は、一定の高さで待機している状態である。
【００６０】
前記下部ハンド６が上昇して基板（Ｉ）が一定の位置に到達すると、第２モータ組立体９０が駆動して前記上部ハンド１５の第１及び第２ハンド５１，５３が左右方向に沿って内側に各々移動する。そして、前記第１及び第２ハンド５１，５３が下部ハンド６に支持された基板（Ｉ）の両枠部底面に接触したら、第１モータ組立体８８が駆動して第１及び第２ハンド５１，５３を上昇させる。従って、前記下部ハンド６に支持された基板（Ｉ）が上部ハンド１５に引継がれる。
【００６１】
上部ハンド１５が基板（Ｉ）を引受けた後、第１及び第２ハンド５１，５３が上昇して一定の高さに到達し、前記水平移送手段３に基板（Ｉ）を引継ぐ。
【００６２】
前記のように、基板は水平移送手段３及び上下移送手段５，７によって移送されることによって、基板処理工程に供給される。
【００６３】
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されず、特許請求の範囲、発明の詳細な説明、及び添付した図面の範囲内で多様に変形して実施ことができ、これも本発明の範囲に属するのは当然である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】従来の基板移送装置が適用された基板処理ラインを示す概略図である。
【図２】本発明の好ましい実施例による基板の水平及び上下移送装置が適用された基板処理ラインを示す斜視図である。
【図３】図２に示された基板処理ラインの側面図である。
【図４】図２に示された基板の水平移送手段を拡大して示す斜視図である。
【図５】図５に示された基板の水平移送手段を示す後面図である。
【図６】図４に示された基板の整列部を拡大して示す拡大斜視図である。
【図７】図４に示された基板の浮上部を拡大して示す拡大斜視図である。
【図８】図２に示された基板の上下移送手段の構造を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６５】
３  水平移送手段
５，７  上下移送手段
６  下部ハンド
９，１１  移送ユニット
１０  搬送ローラ
１０ａ  アイドルローラ
１３  基板処理ユニット
１５  上部ハンド
１７  レール
１８，１９  スライディング板
２０  下部ベース
２１  上部ベース
２３  整列部
２５  浮上部
２６  支持部
２７  回転部材
２８  モータ組立体
２９，５８  支持ピン
３０  ケース
３４，６６  連結バー
３６  整列ピン
３８  角部
４２  板
４４  補助板
４６  多孔板
５１  第１ハンド
５３  第２ハンド
５５，５７  水平部
６２，６４  垂直部
６５，７０  第１及び第２ハンドの下端部
６８，６９  水平レール
７２  ガイド
７３  水平フレーム
７５  下部支持ピン
７６  ガイドブラケット
７８  支持ブラケット
８０  垂直連結軸
８２  第３モータ組立体
８４  支持板
８６  回転軸
８８  第１モータ組立体
８９  ガイドバー
９０  第２モータ組立体
９２  水平連結軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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