(57)【要約】【課題】  高さ及び長手方向をできるだけ小さく押えて、真空側へのグリースだれを防止するシール装置を備えた流体シリンダ装置を提供する。【解決手段】  真空室の取付部に固定されるガイド部本体と、ガイド軸部と先端側が真空室内へ進退移動する出力ロッド部とを有し、ガイド部本体内に設けたガイドユニットと、ガイド部本体外側に固定され、ピストンをガイドユニットと平行に移動可能とした流体シリンダと、流体シリンダのピストンロッド先端とガイドユニットのガイド軸部とを連結する連結部材とを備え、ガイドユニットは、ガイド軸部と出力ロッド部とを一体に結合しガイド部本体内に摺動自在に配された円筒状スリーブと、円筒状スリーブ前端外周に装着した真空シール装置と、内部にガイド軸部の回り止め手段を設け、ガイド部本体後端において、円筒状スリーブ内部に嵌合された第２の円筒状スリーブとを備えた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空室の取付部に固定されるガイド部本体と、
ガイド軸部と先端側が前記真空室内へ進退移動する出力ロッド部とを有し、前記ガイド部本体内に設けたガイドユニットと、
前記ガイド部本体の外側に固定されるとともに、ピストンを前記ガイドユニットと平行に移動可能とした流体シリンダと、
前記流体シリンダのピストンロッド先端と前記ガイドユニットのガイド軸部とを連結する連結部材と
を備え、
前記ガイドユニットは、
前記ガイド軸部と前記出力ロッド部とを一体に結合するとともに前記ガイド部本体内に摺動自在に配された円筒状スリーブと、
前記円筒状スリーブの前端外周に装着した真空シール装置と、
内部に前記ガイド軸部の回り止め手段を設け、前記ガイド部本体の後端において、前記円筒状スリーブの内部に嵌合された第２の円筒状スリーブと
を備えて成ることを特徴とする流体シリンダ装置。
【請求項２】
前記回り止め手段は、前記ガイド軸部に設けたねじと係合するスプラインナットであることを特徴とする請求項１に記載の流体シリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体製造装置等のように真空環境下で用いられる流体シリンダ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の流体シリンダ装置としては、例えば、出願人が先に提案した特許文献１に記載されているものがある。
この流体シリンダ装置は、特許文献１に明示されているように、出力ロッド６のみが、真空中または特殊環境下におかれ、軸部材５と出力ロッド６を直列に連結し、出力ロッド６は、フッ素ゴム等の耐環境シール８でシールされる。
【０００３】
出力ロッド６の材質は、金属からのガスの発生の抑止や腐食性ガスによる腐食の防止を考慮した最適なものとすることができる。また、出力ロッド６の断面形状も単純な円形でよいので、安価で長寿命な市販の耐環境シールを使用することができる。
【特許文献１】特開２００２−３１０１０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、この流体シリンダ装置では、軸部材５と出力ロッド６を直列に連結し、シリンダ駆動により、耐環境シール８を通過した出力ロッド６に押し出されたグリースが、真空中へ露出し、グリースだれを起こすおそれがある。
また、シリンダ駆動により出力ロッド６が、耐環境シール８を通過する際、出力ロッド６表面に付着したグリースが真空中へ露出し、グリースだれを起こすおそれがある。
【０００５】
また、この流体シリンダでは、回り止め手段（スプライン構造）を有する軸部材５内部にピストン１０を形成し、ピストン室への流体の給排動作により軸部材５を介して出力ロッド６が軸方向へ摺動する。このため、ピストン室を形成するには軸部材５の外径を大きくとらなければならず、また、長手方向に長くなってしまい、全体として大型化を免れないため、ハイコストとなるという問題があった。
【０００６】
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、高さおよび長手方向をできるだけ小さく押えて、かつ真空側へのグリースだれを防止するシール装置を備えた流体シリンダ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る発明は、真空室の取付部に固定されるガイド部本体と、ガイド軸部と先端側が真空室内へ進退移動する出力ロッド部とを有し、ガイド部本体内に設けたガイドユニットと、ガイド部本体の外側に固定されるとともに、ピストンをガイドユニットと平行に移動可能とした流体シリンダと、流体シリンダのピストンロッド先端とガイドユニットのガイド軸部とを連結する連結部材とを備え、ガイドユニットは、ガイド軸部と出力ロッド部とを一体に結合するとともに、ガイド部本体内に摺動自在に配された円筒状スリーブと、円筒状スリーブの外周に装着した真空シール装置と、内部にガイド軸部の回り止め手段を設け、ガイド部本体の後端において、円筒状スリーブの内部に嵌合された第２の円筒状スリーブとを備えて成ることを特徴とする流体シリンダ装置である。
【０００８】
請求項２に係る発明は、回り止め手段が、ガイド軸部に設けたねじと係合するスプラインナットであることを特徴とする請求項１に記載の流体シリンダ装置である。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、流体シリンダをガイドユニットとは別に平行移動するように配置したこと、回り止め手段としてのスプライン構造をスリーブの内部に配置したので、従来構造に比べて小径化できる。
また、回り止め手段をスリーブ内に配置し、かつ流体シリンダが平行配置したことで、軸線方向（長手方向）に小型化できる。
【００１０】
さらに、ガイド部本体の中央部分に真空用のシール装置を配置し、かつグリースが洩れにくい構造としたので、従来のようなグリースの真空中への漏洩等を阻止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を図面に示す実施形態に基づいて説明する。
図１ないし図３は、本発明の一実施形態に係る流体シリンダ装置を示す。図１は、本発明の一実施形態に係る流体シリンダ装置の部分断面正面図、図２は、図１のＡ−Ａ断面図、図３は、図１のＢ矢視図である。
本実施形態に係る流体シリンダ装置は、真空室Ｖの取付本体Ｈに固定した円筒状のガイド部本体１内にガイドユニット１０を装着するとともに、ガイド部本体１の外側へガイドユニット１０と平行に移動可能に流体シリンダ２０を固定し、流体シリンダ２０のピストンロッド２１の先端部２１ａとガイドユニット１０のガイド軸部１１の後端部１１ａとを連結板１２で一体に連結し、流体シリンダ２０のピストン２２両側室への流体の流出入によりガイドユニット１０をピストンロッド２１と同時に軸方向に移動可能としてある。
【００１２】
ガイド部本体１は、２つの円筒部材１Ａと１Ｂとを連結しており、その後端に、円筒状スリーブ１４の内部に嵌合される形態で入り込む第２の円筒状スリーブ１５が固着されている。この第２のスリーブ１５内部に回り止め手段としてのスプライン構造が形成されている。すなわち、ガイド軸部１１は、先端部の外周に公知のスプライン溝を形成したねじ１１ｂを設け、第２の円筒状スリーブ１５は、ねじ１１ｂの溝と直接あるいはボール（鋼球：図示省略）を介して回転不能に軸方向のみ自在に摺動するスプラインナット１６，１６を内部に固着している。
【００１３】
また、ガイド部本体１は、第２の円筒状スリーブ１５端から長手方向に３本のロッド４０を延接し、端板４１に固着している。そして、この端板４１には、流体シリンダ２０のストローク端を設定するストッパ装置４２が取り付けてある。ストッパ装置４２は、ガイドユニット１０のガイド軸部１１と流体シリンダ２０のピストンロッド２１を連結した連結部材１２をストローク端（図の状態）で当接させる。さらに、流体シリンダ２０と端板４１の固定部には、スイッチ５０，５１が取り付けてあり、流体シリンダ２０のストローク端を検出できるように構成されている。
【００１４】
一方、ガイドユニット１０は、回り止め手段としてのねじ１１ｂを先端部に備えたガイド軸部１１と、先端側が真空室Ｖ内へ進退移動する出力ロッド部１３とを一体に結合した円筒状スリーブ１４を、ガイド部本体１内に摺動自在に装着することによって構成されている。ガイド軸部１１と出力ロッド部１３の連結部分について、もう少し詳細に説明すると、図１に示すように、ガイド軸部１１は、先端部に備えたねじ１１ａを円筒状スリーブ１４へねじ込んでいる。一方、出力ロッド部１３は、後端に形成したフランジ１３ａをねじ１７により円筒状スリーブ１４へ固定している。フランジ１３ａの外周には、シール用Ｏリング１８が装着されている。このようにしてガイド軸部１１と出力ロッド部１３とが円筒状スリーブ１４を介して一体化されている。
【００１５】
この円筒状スリーブ１４の前端外周とガイド部本体１内面間に真空シール装置３０を装着している。真空シール装置３０は、両側にバックアップリング３１，３１を介してＯリング３２，３２が装着され、両Ｏリング３２，３２間に、真空グリース３３を保持したリング部材３４が、２つの円筒部材１Ａと１Ｂの連結部分の内径部に配置されている。
流体シリンダ２０は、図２に示すように、ピストンロッド２１に固定されたピストン２２がシリンダチューブ２３内に摺動自在に装着されている。流体シリンダ２０は、ロッドカバー２４とヘッドカバー２５との部分を利用してガイド部本体１へねじ等により取り付けてある。
【００１６】
次に、このように構成した本実施形態に係る流体シリンダ装置の作用を説明する。
図１の状態が動作前とすると、図２において、ピストン２２の右側室へ流体、例えば空気圧が流入すると、ピスト２２は、左方へ移動を開始するので、同時にガイドユニット１０は連結部材１２を介して左方へ移動し出力ロッド部１３が前進し、真空室Ｖ内での作業を実行する。この時、円筒状スリーブ１４が同時に左方へ移動するが、真空シール装置３０により真空側（図で円筒状スリーブ１４の左方室を含む空間）へグリースが洩れ出ることは無く、充分な密封作用をする。
【００１７】
そして、ピストン２２が前進端まで行き、スイッチ５１がＯＮすると、図示しない制御弁が切り換わり、今度はピストン２２の左側室へ空気圧が流入し、ピストン２２およびガイドユニット１０は右方へ移動し、図の状態に戻る。
このように、本実施形態に係る流体シリンダ装置によれば、ピストン室への流体の給排気により、流体シリンダ２０が連結部材１２を介してガイドユニット１０を長手方向に平行に移動させることができるので、従来の流体シリンダ装置に比べて小型化できる。
【００１８】
また、本実施形態によれば、円筒状スリーブ１４の前端外周とガイド部本体１内面間に真空シール装置３０を装着したので、ガイドユニット１０内の円筒状スリーブ１４が移動時に真空シール装置３０により真空室Ｖ側へのグリースを洩出を阻止することができる。
また、本実施形態によれば、流体シリンダ２０をガイドユニット１０とは別に配置するとともに、ガイドユニット１０内に摺動自在に装着した円筒状スリーブ１４とガイド軸部とを回り止め手段を介して結合したので、従来の流体シリンダ装置に比べて小型化できる。
【００１９】
なお、上記実施形態において、回り止め手段のスプラインナット１６は、ダブルナットとして図示してあるが、シングルナットでも同様に実施可能である。
また、上記実施形態において、ガイド軸部１１と出力ロッド部６とを円筒状スリーブ１４に一体化するに際し、出力ロッド部１３の後端にフランジ１３ａを形成し、このフランジ１３ａをねじ１７により円筒状スリーブ１４に固定した場合について説明したが、本発明はこれに限らず、出力ロッド部６の固定方法は他の一般的な固定手段としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施形態に係る流体シリンダ装置の部分断面正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１のＢ矢視図である。
【符号の説明】
【００２１】
Ｈ  取付本体
Ｖ  真空室
１  ガイド部本体
１０  ガイドユニット
１１  ガイド軸部
１２  連結板
１３  出力ロッド部
１４  円筒状スリーブ
１５  第２の円筒状スリーブ
１６  スプラインナット
１７  ねじ
１８  シール用Ｏリング
２０  流体シリンダ
２１  ピストンロッド
２２  ピストン
３０  真空シール装置
３１  バックアップリング
３２  Ｏリング
３３  真空グリース
【図１】
2005147327.tif 000003
【図２】
2005147327.tif 000004
【図３】
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