(57)【要約】【課題】  光学素子の受光部表面（主面）のコンタミネーションの改善と、製造工程の作業効率を改善しコスト低減を実現するスクライブライン形成と分割処理方法を得ることを目的とする。【解決手段】  課題を解決するために本発明は、水晶材料からなる光学素子の分割方法において、該光学素子の表裏の主面で各々直交するスクライブラインを形成する工程と、表裏に成膜処理を施す工程と、その後個々の光学素子に分割する工程からなる光学素子の分割方法で、直交するスクライブラインとは、主面の一方が該光学素子の端面に平行なスクライブラインを０度としたとき、もう一方の主面にはこれと直交する９０度のスクライブラインを形成することにより課題を解決する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶材料からなる光学素子において、
該光学素子の表裏の主面で、該主面の一方のスクライブラインと、もう一方の該主面には前記スクライブラインと直交する９０度のスクライブラインを形成したことを特徴とする光学素子。
【請求項２】
水晶材料からなる光学素子の分割方法において、
該光学素子の表裏の主面で各々直交するスクライブラインを形成する工程と、表裏に成膜処理を施す工程と、その後個々の光学素子に分割する工程からなる光学素子の分割方法。
【請求項３】
請求項２記載の直交するスクライブラインとは、主面の一方が該光学素子の端面に平行なスクライブラインを０度としたとき、もう一方の主面にはこれと直交する９０度のスクライブラインを形成することを特徴とする光学素子の分割方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばビデオカメラや携帯電話用カメラ等に使用される受光部分に配置する光学素子とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光学ローパスフィルタに代表する光学素子はビデオカメラや最近では携帯電話カメラのレンズから受光する画像信号の特定の周波数成分を減衰させることを目的として産業用から民生用、一般家庭用まで広範囲に導入されている。ここでの信号のやりとりは、カメラのレンズで得た受像映像は、固体撮像素子（ＣＣＤ）で電気信号に変換されるが、変換時にビデオカメラのレンズによって結像された映像の中に固体撮像素子のサンプリング周波数の１／２以上の高周波数成分が含まれると、モアレ状の疑似信号が発生してしまい、この疑似信号は電気回路などの信号処理では取り除くことが困難であり、その改善を目的として光学素子が用いられている。
【０００３】
光学ローパスフィルタの構成は、ガラス材料の表面コーティング、水晶材料の表面コーティングがあり、一般的に水晶複屈折板同士、あるいは水晶複屈折板と水晶位相板を複数枚接着剤で貼り合わされたものが用いられており、電気回路などの信号処理では取り除くことが困難な疑似信号を、ビデオカメラのレンズによって結像された映像信号が固体撮像素子に到達する間に光学ローパスフィルタを配置することにより疑似信号の発生を大幅に改善するものである。
【０００４】
要するに、水晶複屈折板における光学ローパスフィルタとしての疑似信号の改善特性は複屈折による光線の分離幅、および光線の分離パターンで決定し、この分離幅は（水晶）複屈折板の板厚に比例する。上述するように光学ローパスフィルタの板厚と分離幅とは複屈折板の屈折率に依存するもので、複屈折板に高複屈折率を持つニオブ酸リチウムの単結晶板を用いると光学ローパスフィルタ全体の厚みを薄くすることは既知のことである。
【０００５】
また、光学素子の主面にはフィルタ効果を得るためには上述する水晶材料からなる屈折板の主面、あるいはガラス材料表面に処理するなど多層膜の成膜処理を行う必要があり、この多層膜の成膜には高精度の蒸着技術が用いられている。そしてこの成膜処理の工程後に光学素子の外形切りだし（分割）工程がなされている現状にある。
【特許文献１】特開２００３−７５６１５号公報
【特許文献２】特開平８−２２０３５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
背景技術に記載するように、フィルタ効果を得るためには上述する水晶材料からなる屈折板の主面に多層膜の成膜処理を行う必要があり、そこには高精度の蒸着技術が用いられている。そしてこの成膜技術と光学素子の外形切りだし、そして光学素子表面の微細なキズを排除（限りなく平坦に近づけること）することが必要でありその一方で、光学素子のコストの低減と小型化の要求が強く、高精度、高品質の光学素子を安定的にそして安価に供給することが必須にある。
【発明の効果】
【０００７】
本発明により高精度で高品質の光学素子の供給を実現し製造工程での歩留まりと作業効率を改善することにより、コストの低減を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明は水晶材料からなる光学素子の分割方法において、該光学素子の表裏の主面で各々直交するスクライブラインを形成する工程と、表裏に成膜処理を施す工程と、その後個々の光学素子に分割する工程からなる光学素子の分割方法で、直交するスクライブラインとは、主面の一方が該光学素子の端面に平行なスクライブラインを０度としたとき、もう一方の主面にはこれと直交する９０度のスクライブラインを形成することを特徴とするものである。そしてこのようなスクライブラインを形成した光学素子に特徴を持たせたものである。
【実施例】
【０００９】
以下本発明による一実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は本発明の光学素子１のスクライブラインの概念を説明する概念図である。全体としては水晶材料２からなる四角形状のウエハから、個々に細分するスクライブと分割処理工程に着目したものである。この四角形状にの水晶材料２から光学素子のなる部品の外形切りだしを行う工程での発明である。なお本発明は、スクライブラインを形成し、成膜処理を行った後分割処理を行うが、この分割処理は光学素子に軽くねじれの作用を加えることで分割できるというところも意図して、光学素子表裏に直交するスクライブラインを形成するものである。ここでスクライブラインは誇張して描画している。
【００１０】
図１（ａ）は一方の主面に形成するスクライブライン、図１（ｂ）はその側面図、図１（ｃ）は他方の主面に形成するスクライブラインである。そして図１（ｄ）は図１（ａ）と図１（ｃ）のスクライブラインに注目しその要部を拡大した斜視図である。スクライブラインとして後の分割がし易いようにＶ溝構造が望ましい。また深さとしては素子の表面から５〜１０μｍを目安にして溝形成がなされる。
【００１１】
図１に示すようにスクライブラインの溝形成を光学素子１の表裏に加工し、同時に従来の成膜処理とスクライブライン形成、分割処理の工程を改善するものである。そこで本発明は、水晶材料２からなる光学素子１の分割方法において、該光学素子の表裏の主面で各々直交するスクライブラインを形成する工程と、表裏に成膜処理を施す工程と、その後個々の光学素子１に分割する工程からなる光学素子１の分割方法となる。また直交するスクライブラインとは、主面の一方が該光学素子１の端面に平行なスクライブラインを０度としたとき、もう一方の主面にはこれと直交する９０度のスクライブラインを形成するものである。
【００１２】
図２は本発明と従来の成膜処理とスクライブライン形成、分割処理工程の差異を示した製造工程の一部を説明するフロー図である。図２（ａ）は本発明で、図２（ｂ）は従来例を示すものである。大きな差異は成膜処理工程とスクライブラインの溝形成加工の順番が入れ替わったところである。本発明によるとスクライブラインを光学素子１の両面に直交するように形成することで、従来のように光学素子１の片面にスクライブラインを形成することに比べソリに対する剛性を持たせることができるため、安定した成膜処理が行える。
【００１３】
図２に示すように製造工程を入れ替えることで、スクライブラインを形成するときに発生する光学素子１から発生する加工屑を要因とするコンタミネーションなどを大幅に解消することに注目できる。
【００１４】
なお、図３には従来のスクライブライン形成工程の概念を示す斜視図で、スクライブラインが光学素子１の主面処理で同じ方向にあることを描画するものである。またスクライブラインは誇張して描画している。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
本発明の実施例では水晶材料からなる光学素子を対象としているが、他の電子部品、薄片素子などで表面に何かしらの成膜処理を施し、その後に切断を必要とする部品などにも応用することができる。本発明により成膜処理を施した表面に対するコンタミネーションの付着を大幅に改善、解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の光学素子の概念図である。
【図２】本発明と従来例の製造工程の違いを示すフロー図である。
【図３】従来の光学素子の概念図である。
【符号の説明】
【００１７】
１    光学素子
２    水晶材料
【図１】
2005157024.tif 000003
【図２】
2005157024.tif 000004
【図３】
2005157024.tif 000005