(57)【要約】【課題】  分析条件の設定を効率良く行うために使用される分析条件シート及び分析条件記録媒体と、分析条件の設定を効率良く行うことのできる試料分析装置を提供すること。【解決手段】  分析条件シート１００は、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが表されている。分析条件記録媒体は、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが記録されている。試料分析装置は、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが記憶されている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが表された分析条件シート。
【請求項２】
試料の組成情報ごとに、照射電流値及び加速電圧値の組み合わせが設定されていることを特徴とする請求項１記載の分析条件シート。
【請求項３】
電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが記録された分析条件記録媒体。
【請求項４】
試料の組成情報ごとに、照射電流値及び加速電圧値の組み合わせが設定されていることを特徴とする請求項３記載の分析条件記録媒体。
【請求項５】
電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが記憶された試料分析装置。
【請求項６】
試料の組成情報ごとに、照射電流値及び加速電圧値の組み合わせが設定されていることを特徴とする請求項５記載の試料分析装置。
【請求項７】
照射電流値及び加速電流値の組み合わせを表示することを特徴とする請求項５若しくは６記載の試料分析装置。
【請求項８】
選択された一つの組み合わせを表示することを特徴とする請求項７記載の試料分析装置。
【請求項９】
照射電流値及び加速電流値の組み合わせの中の何れかに基づいて、試料分析を実行することを特徴とする請求項５乃至８何れかに記載の試料分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析条件シート及び分析条件記録媒体並びに試料分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子プローブマイクロアナライザ（以下、ＥＰＭＡという）を用いた試料分析においては、加速された電子線を試料の表面に照射し、これにより試料の表面から発生する特性Ｘ線を検出し、検出された特性Ｘ線のスペクトルを求める。そして、当該スペクトルからそのピークにおける波長とＸ線強度を読み取り、読み取った波長から試料に含まれている元素の種類を特定するとともに、Ｘ線強度から当該元素の濃度を分析することができる。
【０００３】
ところで、試料の表面に電子線が照射されたときにおける試料表面での特性Ｘ線の発生領域の大きさ（広がり）は、電子線の加速電圧等に依存する。この特性Ｘ線の発生領域を、プローブ径を無視したときに計算する手法として、Ｃａｓｔａｉｎｇの式が知られている。そして、試料に電子線が照射された際における試料中でのＸ線の発生領域が小さくなるほど、試料分析における空間分解能を向上させることができるようになる。
【０００４】
また、試料に照射される電子線のプローブ径も考慮に入れる必要がある。すなわち、照射される電子線の加速電圧を下げれば試料中でのＸ線の発生領域が小さくなるが、同じ照射電流条件においては電子線のプローブ径が大きくなってしまう。このように電子線のプローブ径が大きくなると、空間分解能を低下させる要因となる。
【０００５】
一方、電子線のプローブ径を小さくするために、その照射電流を小さくすると、特性Ｘ線の検出時におけるカウント数が不足して、カウント数の統計変動が大きくなり、良好な分析を行うことができなくなる場合がある。
【０００６】
すなわち、分析領域は、Ｃａｓｔａｉｎｇの式から求められるＸ線の発生領域とプローブ径によって決まる電子線照射領域とを合わせた大きさとなるので、分析の目的に応じて電子線による試料中でのＸ線の発生領域と当該電子線のプローブ径とを適切に設定し、空間分解能が高い状態で良好な分析が行えるようにする必要がある。そして、当該Ｘ線の発生領域と当該プローブ径とを適切に設定するには、試料に照射される電子線の照射電流及び加速電圧を適宜調整して、所望の分析感度において最も高い空間分解能が得られる最適な照射電流及び加速電圧を求めて設定する必要がある。
【０００７】
なお、深さ方向に均質でない試料の表面を分析する際に、Ｓ／Ｎ比が最大となるときの電子線の加速電圧値を求め、加速電圧として当該加速電圧値を設定して分析を行うようにしたものもある（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開平９−１５９６３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述のごとく、空間分解能が高い状態で良好な分析を行うために、電子線による試料中でのＸ線の発生領域と当該電子線のプローブ径とを適切に設定するには、オペレータが当該電子線の照射電流及び加速電圧を含む分析条件を変えながら測定を試行して、最適となる分析条件を探し出す必要があった。この場合、このような試行を実施するためには、時間と手間とを要することとなり、最適な分析条件の設定を効率良く行うことができなかった。
【００１０】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであって、電子プローブを用いた試料分析における分析条件の設定を効率良く行うために使用される分析条件シート及び分析条件記録媒体を提供することを目的とする。
【００１１】
また、本発明は、電子プローブを用いた試料分析における分析条件の設定を効率良く行うことのできる試料分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に基づく分析条件シートは、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが表されたことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明に基づく分析条件記録媒体は、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが記録されたことを特徴とする。
【００１４】
そして、本発明に基づく試料分析装置は、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが記憶されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明に基づく分析条件シートには、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが表されている。よって、試料分析を行うオペレータは、当該分析条件シートに表された最適条件の中から相応しいものを選択して設定し、そのまま分析を実行すればよいので、分析条件の設定を効率良く行うことができる。
【００１６】
また、本発明に基づく分析条件記録媒体には、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが記録されている。よって、試料分析を行うオペレータは、当該分析条件記録媒体に記録された最適条件を読み出し、当該最適条件の中から相応しいものを選択して設定し、そのまま分析を実行すればよいので、分析条件の設定を効率良く行うことができる。
【００１７】
そして、本発明に基づく試料分析装置には、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが記憶されている。よって、試料分析を行うオペレータは、当該試料分析装置に記憶された最適条件を読み出し、当該最適条件の中から相応しいものを選択して設定し、そのまま分析を実行すればよいので、分析条件の設定を効率良く行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１９】
図１は、本発明に基づく分析条件シート及び分析条件記録媒体が利用される試料分析において用いられる試料分析装置の例を示す概略構成図である。この試料分析装置は、ＥＰＭＡの構成を備えている。
【００２０】
同図において、１は電子銃であり、この電子銃１からは電子線６が加速されて放出される。電子銃１から放出された電子線６は、集束レンズ２及び対物レンズ４により試料７上に細く集束される。これにより、電子線６は、試料７上において電子プローブとなる。このとき、走査コイル３によって電子線６は適宜偏向される。これにより、電子線６は、試料７上の所定領域を分析領域として走査することもできるし、また試料７上の一点を分析点として固定してスポット照射することもできる。
【００２１】
電子線６が照射された試料７からは、試料７に含まれた元素及び試料７の組成に応じて特性Ｘ線８が発生する。この特性Ｘ線は、分光結晶９によって分光され、分光後の特性Ｘ線８は検出器１１により検出される。
【００２２】
検出器１１は、特性Ｘ線８の検出結果に基づいて検出信号を処理部１７に出力する。検出器１１からの検出信号は、処理部１７において増幅や波形整形等の処理が施され、その後演算制御部１８に送られる。
【００２３】
電子銃１、集束レンズ２、走査コイル３、及び対物レンズ４は、装置を構成する鏡筒１２内に配置されている。また、試料７は、試料室１３内に配置された試料ステージ機構５に載置されている。
【００２４】
鏡筒１２と試料室１３は、それぞれ図示しない排気手段によって内部が排気されて真空引きされる。そして、電子ビーム６が試料７に照射される際には、鏡筒１２内及び試料室１３内は、それぞれ所定の真空度に真空引きされる。
【００２５】
鏡筒１２内の集束レンズ２、走査コイル３、及び対物レンズ４によって電子光学系２３が構成されている。そして、電子銃１及び電子光学系２３は、駆動部１４によってそれぞれ駆動される。
【００２６】
分光結晶９と検出器１１は、駆動機構１０に取り付けられている。この駆動機構１０によって分光結晶９及び検出器１１は、それぞれ所定の方向に移動することとなる。そして、駆動機構１０は、駆動部１５によって駆動される。
【００２７】
試料７を載置する試料ステージ機構５は、駆動部１６によって駆動される。これにより、試料７は、水平方向、垂直方向、傾斜方向、及び回転方向に移動することとなる。
【００２８】
上記各駆動部１４〜１６及び処理部１７は、演算制御部１８に接続されている。さらに、この演算制御部１８には記憶部１９が接続されている。これら各駆動部１４〜１６、処理部１７、演算制御部１８、及び記憶部１９は、制御システム２０を構成している。
【００２９】
ここで、演算制御部１８は、本分析装置の各構成要素の制御を行うとともに、当該制御を実行する上で必要となる演算を行う。また、記憶部１９には、分析実行時に必要とされる分析条件等が記憶されることとなる。
【００３０】
また、演算制御部１８には、表示部２１及び入力部２２が接続されている。表示部２１は、ＬＣＤやＣＲＴ等の表示装置からなり、記憶部１９から読み出された分析条件や、分析実行後の分析結果等を必要に応じて表示する。入力部２２は、マウスやジョイスティック等のポインティングデバイス及びキーボード等を備えている。本分析装置を用いて試料７の分析を行うオペレータは、入力部２２を操作することにより、試料の組成情報及び分析対象（測定対象）となる元素を指定したり、分析条件を設定したりすることができる。
【００３１】
本発明に基づく分析条件シート及び分析条件記録媒体は、このような分析装置を使用して行われる電子プローブを用いた試料分析において、分析条件の設定の際に利用されるものである。
【００３２】
以下、図２及び図３を参照して、当該分析条件シート及び分析条件記録媒体の作成方法について説明する。ここで、図２は、本発明において実行される分析条件データの形成工程を示すフローチャートである。また、図３は、当該分析条件データの形成工程におけるデータ算出工程を説明するフローチャートである。そして、図２に示された分析条件データの形成工程を実行することにより得られた分析条件データが、分析条件シートに表されることとなり、もしくは分析条件記録媒体に記録されることとなる。
【００３３】
なお、上記においては電子プローブを用いた試料分析を説明するために分析装置の構成を図１に示したが、以下に述べる分析条件シート及び分析条件記録媒体の作成方法は、このような分析装置を用いて実行する必要はなく、演算部及び記憶部を備える図示しないパーソナルコンピュータ（以下、ＰＣという）を用いて実行することができる。以下においては、このようなＰＣを用いて実行する例として説明する。
【００３４】
分析条件データの形成工程は、図２に示すように、データ算出工程Ｓ１とテーブル作成工程Ｓ２とからなる。すなわち、データ算出工程Ｓ１において分析条件データを算出し、算出された分析条件データをもとに、テーブル作成工程Ｓ２により各分析条件をデータテーブルの形式にテーブル化する。
【００３５】
以下に、データ算出工程Ｓ１において実行される分析条件の算出について図３を参照して説明する。
【００３６】
本発明に基づく分析条件シート及び分析条件記録媒体が利用される試料分析においては、試料の平均組成及び当該平均組成における分析対象（測定対象）となる元素ごとに、電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせからなる分析条件が設定されることとなる。
【００３７】
まず、対象となる試料の平均組成に関する情報（以下、組成情報という）をＰＣに入力する。当該組成情報としては、試料の平均原子量Ａ、平均原子番号Ｚ、及び平均密度ρが該当し、これら平均原子量Ａ、平均原子番号Ｚ、及び平均密度ρをＰＣに入力する（ステップＳ１１）。
【００３８】
なお、ここでいう平均組成の例としては、例えば有機物や鉱物等といった組成があげられる。このような有機物及び鉱物等といった情報も試料の組成情報に含まれる。
【００３９】
次に、測定対象となる元素に関する情報をＰＣに入力する。当該情報としては、測定対象元素の測定に用いる特性Ｘ線種に対応する最低励起電圧Ｖｋが該当し、この最低励起電圧ＶｋをＰＣに入力する（ステップＳ１２）。
【００４０】
その後、ＰＣの演算部は、入力された試料の上記組成情報及び測定対象元素の上記情報に基づいて、電子線が照射された際における当該試料中での当該元素の特性Ｘ線の発生領域Ｚｍを表す以下の関数
Ｚｍ＝Ｆ（Ｖ０）  …（１）式
を求める。
【００４１】
ここで、当該発生領域Ｚｍを表す式について説明する。試料に電子線が照射した際に試料中で測定対象元素の特性Ｘ線の発生領域Ｚｍは、一例として、Ｃａｓｔａｉｎｇの式によって表されることが知られている。
【００４２】
すなわち、電子線の加速電圧をＶ０［ｋＶ］、当該元素の測定に用いる特性Ｘ線種の最低励起電圧をＶｋ［ｋＶ］、試料の平均原子量をＡ、平均原子番号をＺ、平均密度をρ［ｇ／ｃｍ３］とすると、当該元素の特性Ｘ線の発生領域Ｚｍ［μｍ］は次式にて表される。
Ｚｍ＝０．０３３＊（Ｖ０１．７−Ｖｋ１．７）＊Ａ／ρＺ  …（２）式
そして、上記ステップＳ１１において、対象となる試料の組成情報である平均原子量Ａ、平均原子番号Ｚ、及び平均密度ρが入力され、また、上記ステップＳ１２において、測定対象元素の情報である最低励起電圧Ｖｋが入力されている。したがって、上記（２）式における残りの変数は、電子線の加速電圧であるＶ０のみとなる。これにより、当該元素の特性Ｘ線の発生領域Ｚｍは、上記（１）式である当該加速電圧Ｖ０を変数とする関数Ｆ（Ｖ０）と表されることとなり、当該関数Ｆ（Ｖ０）を求めることができる（ステップＳ１３）。
【００４３】
なお、測定対象元素の特性Ｘ線の発生領域を表す上記（２）式は、ＰＣの記憶部に記憶させておき、ＰＣの演算部によって読み出して演算することにより、上記（１）式の関数を求めることができる。
【００４４】
次に、試料上における電子線のプローブ径を表す以下の関数
Ｄ０＝Ｇ（Ｉ，Ｖ０）  …（３）式
を読み出す（ステップＳ１４）。
【００４５】
ここで、Ｄ０は、試料上に照射される電子線のプローブ径を示す。そして、当該プローブ径Ｄ０は、当該電子線の照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０に依存するものであり、上記（３）式である照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０との関数Ｇ（Ｉ，Ｖ０）として表されることとなる。この（３）式の関数は、予めＰＣの記憶部に記憶されている。
【００４６】
なお、参考として、当該関数Ｇ（Ｉ，Ｖ０）を求めるために測定された電子線の照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０に対するプローブ径の関係を表すグラフの一例を図４に示す。同図中において、「Ｗ  ｈａｉｒｐｉｎ」や「ＬａＢ６」とある記載は、電子銃において電子が発生する陰極の材料等を示すものである。当該関数Ｇ（Ｉ，Ｖ０）は、電子線の照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０を種々変えていったときに得られたプローブ径の各測定値をもとに、フィッティング法等の手法を用いて求めることができる。
【００４７】
次いで、ステップＳ１３において求められた上記（１）式の関数と、ステップＳ１４において読み出された上記（３）式の関数とから、以下の関係式
Ｄ０／Ｚｍ＝α  …（４）式
を満足する照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０の組み合わせを算出する（ステップＳ１５）。
【００４８】
すなわち、Ｄ０とＺｍの比であるＤ０／Ｚｍが最適比αとなる照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０の組み合わせを求める。本実施の形態では、当該最適比αは、０．３としている。
【００４９】
そして、この組み合わせを求める際には、照射電流Ｉを、例えば１ｎＡ、３ｎＡ、１０ｎＡ、３０ｎＡ、及び１００ｎＡの場合に設定し、これらの値に対して最適比αが成り立つ各加速電圧Ｖ０を求める。これにより、当該元素を測定対象としたときにおける最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせを得ることができる。
【００５０】
その後、第１の判断工程であるステップＳ１６に移行し、所望とする全ての元素について最適となる照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０の組み合わせを算出したか否かが判断される（ステップＳ１６）。
【００５１】
この時点では、一つの元素についての最適条件のみ算出しているので、ＮＯの判断となり、ステップＳ１７へ移行する。
【００５２】
ステップＳ１７においては、測定対象元素を変えて、変更後の当該元素の情報をＰＣに改めて入力する。すなわち、変更後の当該元素の測定に用いる特性Ｘ線種に対応する最低励起電圧Ｖｋを入力する（ステップＳ１７）。
【００５３】
その後、ステップＳ１３に戻り、以降、ステップＳ１３〜ステップＳ１７からなるループＬ１を繰り返す。そして、このループＬ１を繰り返すことにより、所望とする全ての元素について、その分析時に所望の分析感度において最も高い空間分解能が得られる最適な照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０の組み合わせを算出することができる。
【００５４】
このようにして所望とする全ての元素について最適となる照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０の組み合わせを算出した後には、ループＬ１内の第１の判断工程であるステップＳ１６の判断工程における判断がＹＥＳとなり、次に第２の判断工程であるステップＳ１８に移行する。
【００５５】
ステップ１８では、所望とする全ての組成情報について元素ごとに最適となる照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０の組み合わせを算出したか否かが判断される（ステップＳ１８）。
【００５６】
この時点では、一つの組成情報についての最適条件のみ算出しているので、ＮＯの判断となり、ステップＳ１９へ移行する。
【００５７】
ステップＳ１９においては、試料の組成情報を変えて、変更後の組成情報をＰＣに改めて入力する。すなわち、変更後の組成情報に該当する試料の平均原子量Ａ、平均原子番号Ｚ、及び平均密度ρをＰＣに入力する（ステップＳ１７）。
【００５８】
その後、ステップＳ１２に戻り、以降、ステップＳ１２、ループＬ１、ステップＳ１８、及びステップＳ１９からなるループＬ２を繰り返す。そして、このループＬ２を繰り返すことにより、所望とする全ての組成情報について元素ごとに最適となる照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０の組み合わせを算出することができる。
【００５９】
このようにして所望とする全ての組成情報について元素ごとに最適となる照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０の組み合わせを算出した後には、ループＬ２内の第２の判断工程であるステップＳ１８の判断工程における判断がＹＥＳとなり、次工程であるテーブル作成工程Ｓ２に移行する。以上が、データ算出工程Ｓ１の説明である。
【００６０】
その後、テーブル作成工程Ｓ２へ移行し、上記データ算出工程Ｓ１において算出された最適となる照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０の組み合わせのデータをテーブル化する。
【００６１】
このようにして作成されたデータテーブルを表（テーブル）として紙もしくはフィルム等（シート）に印刷してなる分析条件シートの一例を図５に示す。同図において、１０１は分析条件シートを示し、当該分析条件シート１０１には、測定対象（分析対象）となる元素の分析に用いる特性Ｘ線種の最低励起電圧に対応して、当該元素の分析時に、所望の分析感度において最も高い空間分解能が得られる最適条件となる電子線の照射電流値Ｉ及び加速電流値Ｖ０の組み合わせとが表されている。
【００６２】
また、分析シートの他の例を図６に示す。同図において、１０２は分析シートを示し、当該分析シート１０２には、測定対象となる元素の分析に用いる特性Ｘ線のエネルギーに対応して、当該元素の分析時に、所望の分析感度において最も高い空間分解能が得られる最適条件となる電子線の照射電流値Ｉ及び加速電流値Ｖ０の組み合わせとが表されている。なお、この分析シート１０２には、当該特性Ｘ線のエネルギーに対応して、特性Ｘ線種における元素名を表示している。この場合、例えば、平均組成が有機物の試料における炭素（Ｃ）の分析にＫ線を用い、電子線の照射電流を１００ｎＡとする際には、電子線の最適加速電圧として６．２ｋＶを設定すればよいこととなる。
【００６３】
図６の例においては、測定対象となる各元素について、その特性Ｘ線のエネルギーと当該各測定対象元素とが対応付けられている。また、試料の組成情報（ここでは、平均組成）ごとに、電子線の設定照射電流値Ｉと、特性Ｘ線のエネルギーに応じた電子線の加速電圧値Ｖ０とが対応付けられている。なお、これら最適条件となる電子線の照射電流値Ｉ及び加速電流値Ｖ０の組み合わせのデータ以外に、対応する特性Ｘ線の発生領域のデータや電子線のプローブ径のデータを付加して表すようにしてもよい。
【００６４】
このような分析条件シートには、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが表されている。よって、試料分析を行うオペレータは、当該分析条件シートに表された最適条件の中から相応しいものを選択して設定し、そのまま分析を実行すればよいので、分析条件の設定を効率良く行うことができる。
【００６５】
上記の例においては、作成されたデータテーブルをシートに印刷してなる分析条件シートについて説明したが、このような例に限定されるものではない。上記例の他に、作成された当該データテーブルをＦＤ、ＣＤ、及びＤＶＤ等の記録媒体に記録し、これにより分析条件記録媒体を形成するようにしてもよい。このとき、上述と同様に、最適条件となる電子線の照射電流値Ｉ及び加速電流値Ｖ０の組み合わせのデータ以外に、対応する特性Ｘ線の発生領域のデータや電子線のプローブ径のデータを付加して記録するようにしてもよい。
【００６６】
このような分析条件記録媒体には、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが記録されている。よって、試料分析を行うオペレータは、当該分析条件記録媒体に記録された最適条件を読み出し、当該最適条件の中から相応しいものを選択して設定し、そのまま分析を実行すればよいので、分析条件の設定を効率良く行うことができる。
【００６７】
また、他の例として、作成された当該データテーブルを試料分析装置の記憶部１９（図１参照）に記憶させるようにしてもよい。このとき、上述と同様に、最適条件となる電子線の照射電流値Ｉ及び加速電流値Ｖ０の組み合わせのデータ以外に、対応する特性Ｘ線の発生領域のデータや電子線のプローブ径のデータを付加して記憶させるようにしてもよい。当該試料分析装置は、電子線の照射電流及び加速電圧の組み合わせを表示部２１（図１参照）によって表示することもできる。また、当該組み合わせの中から選択された一つの組み合わせを表示することもできる。
【００６８】
さらに、このようにして選択された一つの組み合わせを含む照射電流及び加速電圧の組み合わせの中の何れかに基づいて、試料分析装置が試料分析を自動的に実行するようにしてもよい。
【００６９】
このような試料分析装置には、電子プローブを用いた試料分析において分析対象となる元素と、当該元素の分析時に最適条件となる電子線の照射電流値及び加速電圧値の組み合わせとが記憶されている。よって、試料分析を行うオペレータは、当該試料分析装置に記憶された最適条件を読み出し、当該最適条件の中からから相応しいものを選択して設定し、そのまま分析を実行すればよいので、分析条件の設定を効率良く行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明に基づく分析条件シート及び分析条件記録媒体が利用される試料分析において用いられる試料分析装置の例を示す概略構成図である。
【図２】本発明において実行される分析条件データの形成工程を示すフローチャートである。
【図３】分析条件データの形成工程におけるデータ算出工程を説明するフローチャートである。
【図４】電子線の照射電流Ｉと加速電圧Ｖ０に対するプローブ径の関係を表すグラフの一例を示す図である。
【図５】分析条件シートの一例を示す図である。
【図６】分析条件シートの他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００７１】
１…電子銃、２…集束レンズ、３…走査コイル、４…対物レンズ、５…試料ステージ機構、６…電子線、７…試料、８…特性Ｘ線、９…分光結晶、１０…駆動機構、１１…検出器、１８…演算制御部、１９…記憶部、２１…表示部、２２…入力部、１００…分析条件シート
【図１】
2005326206.tif 000003
【図２】
2005326206.tif 000004
【図３】
2005326206.tif 000005
【図４】
2005326206.tif 000006
【図５】
2005326206.tif 000007
【図６】
2005326206.tif 000008