(57)【要約】【課題】ハンドラでフォトマスクを載置し、取り出す際に、ハンドラが側面部に接触せず容易に取り扱え、作業台上で蓋体を開けた状態で容器は安定で、フォトマスクの載置、取り出しの自動化を容易な構造のフォトマスク収納用容器を提供する。【解決手段】本体と蓋体の内面に固定部材が設けられ、本体外面からヒンジまでの高さ（Ｈ１）と、蓋体外面からヒンジまでの高さ（Ｈ２）が等しく、本体外面からフォトマスクを支える部分面までの高さ（Ｈ３）と、Ｈ１及びＨ２との関係がＨ３＞Ｈ１＝Ｈ２で、本体外面から三側面部上部までの高さ（Ｈ４）と、Ｈ１及びＨ２との関係がＨ１＝Ｈ２＞Ｈ４で、Ｈ３とＨ４の差（Ｈ５）が自動化に適応した間隔を有する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体と蓋体がヒンジを介して開閉自在に連結されたフォトマスク収納用容器において、１）本体と蓋体の内面にはフォトマスクを固定する固定部材がそれぞれに設けられており、
２）本体外面下部から本体の一側面部に設けられたヒンジまでの高さ（Ｈ１）と、蓋体外面上部から該ヒンジまでの高さ（Ｈ２）が等しく、
３）本体外面下部から本体内面の固定部材のＬ字状形状のフォトマスクを支える部分面までの高さ（Ｈ３）と、前記Ｈ１及びＨ２との関係が、Ｈ３＞Ｈ１＝Ｈ２であり、
４）本体外面下部から本体のヒンジが設けられていない三側面部上部までの高さ（Ｈ４）と、前記Ｈ１及びＨ２との関係が、Ｈ１＝Ｈ２＞Ｈ４であり、
５）前記Ｈ３とＨ４の差（Ｈ５、Ｈ５＝Ｈ３−Ｈ４）が、フォトマスクの載置、取り出しの自動化に適応した間隔を有することを特徴とするフォトマスク収納用容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスクの収納用容器に関するものであり、特に、ハンドラでフォトマスクを容易に載置、取り出しでき、蓋体を開けた状態で安定であり、フォトマスクの載置、取り出しの自動化を容易に行うことのできるフォトマスク或いはフォトマスクブランクの収納用容器に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトマスクは、容器に収納された状態での運搬中、或いは保管中にフォトマスクに塵埃が付着しないように管理されなければならない。
【０００３】
例えば、運搬中のガタ付きによりフォトマスク基板がプラスチック製の容器を傷つけ、フォトマスク基板によって削られたプラスチック粉がフォトマスクに付着することがないように、容器に収納されているフォトマスクは容器中で確実に固定されていなければならない。
【０００４】
また、容器の蓋体を開けた時に、蓋体の上部に付着していた塵埃が容器内に入り込みフォトマスクに付着しないように、すなわち、蓋体の上部に付着していた塵埃が容器内に入り込まない構造の容器を用いなければならない。
【０００５】
また、容器の本体に蓋体が被着された状態では、本体と蓋体との間の隙間から塵埃が容器内に入り込まないように、隙間には接着テープなどで確実に簡単に目張りすることのできる容器を用いなければならない。
【０００６】
図１に示す斜視図は、上記の要件を満たすものとして考案されたフォトマスク収納用容器の一例である。また、図２は、このフォトマスク収納用容器の本体に蓋体が被着された状態の外観を拡大して表した斜視図であり、ヒンジが設けられた一側面部の外面のヒンジ近傍を示している。
【０００７】
図１、及び図２に示すように、この一例のフォトマスク収納用容器は、本体（２２）と蓋体（２３）が一側面部に設けた一対のヒンジ（２８）により、開閉自在に連結された水平断面が正方形の上下に偏平な容器である。
【０００８】
本体（２２）の内面底部のコーナー部に近い位置に、フォトマスク（２６）を確実に固定するための固定部材（２４）が立設されている。固定部材（２４）は水平方向の位置決めを行うため、Ｌ字状の形状をしている。
【０００９】
また、蓋体（２３）の内面底部のコーナー部に近い位置に、本体（２２）の内面底部の固定部材（２４）に対応して固定部材（２５）が立設されている。固定部材（２５）は、固定部材（２４）と同様に水平方向の位置決めを行うため、Ｌ字状の形状をしている。
【００１０】
このフォトマスク収納用容器は、フォトマスク（２６）を本体（２２）の固定部材（２４）に乗せ、蓋体（２３）をヒンジ（２８）を介して閉じ、係止部（図示せず）を係止することにより、フォトマスク（２６）は固定部材（２４）、（２５）によって確実に固定されるので、運搬中にフォトマスク（２６）が容器内部で移動して容器にぶつかりプラスチック粉が発生することはない。
【００１１】
また、この一例のフォトマスク収納用容器は、容器を開けて内部のフォトマスク（２６）を取り出す時には、容器を略水平に保持して蓋体（２３）をヒンジ（２８）の側に静かに開ければ、蓋体（２３）の上に例え塵埃が積もっていても、傾斜したヒンジ（２８）の方向に落ちるだけで本体（２２）内に塵埃が入り込むことはない。
【００１２】
したがって、容器に収納されたフォトマスク（２６）が蓋体（２３）の上に積もった塵埃によって汚染されることがない。
【００１３】
また、このフォトマスク収納用容器の本体（２２）の側面外周部には、開口端に平行な平板状の膨出部（１１）が設けられており、膨出部（１１）から下方に膨出部（１１ｂ）が延設され、膨出部（１１ｂ）の下端にヒンジ（２８ａ）がＬ字状に連設されている。
【００１４】
ヒンジ（２８ａ）は、本体と蓋体を開閉自在に連結する前記ヒンジ（２８）を構成する本体（２２）側のヒンジである。
【００１５】
また、本体（２２）の開口部に被着される蓋体（２３）は、側面部の開口端側が本体（２２）の前記平板状の膨出部（１１）の外面と面一の膨出部（２１）を有し、膨出部（２１）によって本体（２２）の側面部と被着可能となっている。
【００１６】
膨出部（２１）からヒンジ（２８）を構成する蓋体（２３）側のヒンジ（２８ｂ）が、本体（２２）の前記ヒンジ（２８ａ）と同様の手法によって設けられている。符号（２８ｃ）は本体（２２）のヒンジ（２８ａ）と蓋体（２３）のヒンジ（２８ｂ）を開閉自在に連結し、ヒンジ（２８）を構成するピンである。
【００１７】
図２に示すように、このフォトマスク収納用容器は、本体（２２）の膨出部（１１）と蓋体（２３）の膨出部（２１）とが面一に設けられると共に、会合する周縁（Ａ）からヒンジ（２８）が下方、すなわち、本体（２２）の側に離間して設けられているので、周縁（Ａ）を接着テープなどで簡単にしかも確実に目張りすることができる。
【００１８】
このため、運搬中、或いは保管中に塵埃が容器内に入り込み収納中のフォトマスク（２６）を汚染する恐れがない。
【００１９】
上記のように、この一例のフォトマスク収納用容器は、前記要件を満たすものとして考案されたフォトマスク収納用容器であるが、その後、いくつかの問題点が提起されている。
【００２０】
例えば、図１に示すように、フォトマスク（２６）は、ハンドラ（２７）を用いて本体（２２）の固定部材（２４）上に載置され、或いは固定部材（２４）上から取り出されるが、ハンドラ（２７）の取扱中にハンドラ（２７）の柄の部分がヒンジ（２８）が設けられた側面部の開口端に接触することがあり、フォトマスク（２６）の載置、或いは取り出し操作が行い難いといった問題である。
【００２１】
図３は、図１に示すフォトマスク収納用容器の側断面図であるが、ハンドラ（２７）の取扱中に、図３中（Ｂ）にて示す側面部の開口端にハンドラ（２７）の柄の部分が接触しがちである。
【００２２】
また、図３に示すように、蓋体（２３）をヒンジ（２８）の側に開けた状態では、本体（２２）の外面下部が傾き、本体（２２）と蓋体（２３）とが開閉自在にヒンジ（２８）で連結されている容器は、作業台の上で不安定な状態になっており、ハンドラ（２７）を用いてフォトマスク（２６）を載置、或いは取り出す際に注意を払わなければならないといった問題である。
【００２３】
蓋体（２３）をヒンジ（２８）の側に開けた状態で、容器が不安定になるのは、図２に示すように、ヒンジ（２８）が周縁（Ａ）から下方の位置、すなわち、本体（２２）の側に離間して設けられているためと推量されている。
【００２４】
図４は、図３に示すフォトマスク収納用容器のヒンジ（２８）の近傍を拡大して示す側面図である。図４（ａ）は、本体（２２）に蓋体（２３）が被着された状態を示し、また、図４（ｂ）は、蓋体（２３）を本体（２２）のヒンジ側に開けた状態を示している。
【００２５】
図４（ａ）に示すように、本体（２２）に蓋体（２３）が被着された状態で、ヒンジ（２８）は周縁（Ａ）から下方の本体（２２）の側に離間して設けられている。
【００２６】
従って、図４（ｂ）に示すように、蓋体（２３）を本体（２２）のヒンジ側に開けた状態では、本体外面下部から本体の一側面部に設けられたヒンジ（２８）までの高さ（Ｃ）と、蓋体外面上部から該ヒンジまでの高さ（Ｄ）との関係が、Ｄ＞Ｃとなり、本体（２２）と作業台の間には、Ｄ−Ｃ＝Ｅの隙間が発生し、これにより容器は不安定なものとなってしまう。
【００２７】
また、図１、及び図３に示すように、この一例のフォトマスク収納用容器においては、本体（２２）の固定部材（２４）上に載置されたフォトマスク（２６）は、本体（２２）の各側面部の高さと略同じ高さに載置されているので、フォトマスク収納用容器へのフォトマスク（２６）の載置及び取り出しを自動化しようとした際には、本体（２２）の各側面部の高さが障害となり、載置及び取り出しの自動化が困難であるといった問題である。
【特許文献１】実公平６−３０６８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２８】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、本体と蓋体がヒンジを介して開閉自在に連結されたフォトマスク収納用容器であって、ハンドラを用いてフォトマスクを本体の固定部材上に載置し、或いは固定部材上から取り出す際に、ハンドラが本体の側面部の開口端に接触することなくフォトマスクを容易に載置、或いは取り出すことができ、また、作業台上で蓋体をヒンジの側に開けた状態では、本体と蓋体がヒンジを介して開閉自在に連結された容器は不安定になることはなく、また、フォトマスクの載置、或いは取り出しの自動化を容易に行うことのできる構造を有するフォトマスク収納用容器を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
本発明は、本体と蓋体がヒンジを介して開閉自在に連結されたフォトマスク収納用容器において、
１）本体と蓋体の内面にはフォトマスクを固定する固定部材がそれぞれに設けられており、
２）本体外面下部から本体の一側面部に設けられたヒンジまでの高さ（Ｈ１）と、蓋体外面上部から該ヒンジまでの高さ（Ｈ２）が等しく、
３）本体外面下部から本体内面の固定部材のＬ字状形状のフォトマスクを支える部分面までの高さ（Ｈ３）と、前記Ｈ１及びＨ２との関係が、Ｈ３＞Ｈ１＝Ｈ２であり、
４）本体外面下部から本体のヒンジが設けられていない三側面部上部までの高さ（Ｈ４）と、前記Ｈ１及びＨ２との関係が、Ｈ１＝Ｈ２＞Ｈ４であり、
５）前記Ｈ３とＨ４の差（Ｈ５、Ｈ５＝Ｈ３−Ｈ４）が、フォトマスクの載置、取り出しの自動化に適応した間隔を有することを特徴とするフォトマスク収納用容器である。
【発明の効果】
【００３０】
本発明は、１）本体と蓋体の内面にはフォトマスクを固定する固定部材が設けられ、２）本体外面下部からヒンジまでの高さ（Ｈ１）と、蓋体外面上部から該ヒンジまでの高さ（Ｈ２）が等しく、３）本体外面下部から固定部材のフォトマスクを支える部分面までの高さ（Ｈ３）と、Ｈ１及びＨ２との関係が、Ｈ３＞Ｈ１＝Ｈ２であり、４）本体外面下部から三側面部上部までの高さ（Ｈ４）と、Ｈ１及びＨ２との関係が、Ｈ１＝Ｈ２＞Ｈ４であり、５）Ｈ３とＨ４の差（Ｈ５）が、フォトマスクの載置、取り出しの自動化に適応した間隔を有するフォトマスク収納用容器であるので、ハンドラを用いてフォトマスクを本
体の固定部材上に載置し、或いは固定部材上から取り出す際に、ハンドラが本体の側面部の開口端に接触することなくフォトマスクを容易に載置、或いは取り出すことができ、また、作業台上で蓋体をヒンジの側に開けた状態では、本体と蓋体がヒンジを介して開閉自在に連結された容器は不安定になることはなく、また、フォトマスクの載置、或いは取り出しの自動化を容易に行うことのできる構造を有するフォトマスク収納用容器となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００３２】
図５は、本発明によるフォトマスク収納用容器の一実施例を示す斜視図である。図５は、蓋体（１３）を本体（１２）のヒンジ（１８）側に開けた状態を表している。
【００３３】
図５に示すように、この一実施例のフォトマスク収納用容器は、本体（１２）と蓋体（１３）が一側面部に設けたヒンジ（１８）により、開閉自在に連結された水平断面が正方形の上下に偏平な容器である。
【００３４】
本体（１２）の内面底部のコーナー部に近い位置に、フォトマスク（１６）を確実に固定するための固定部材（１４）が立設されている。固定部材（１４）は水平方向の位置決めを行うため、Ｌ字状の形状をしている。
【００３５】
また、蓋体（１３）の内面底部のコーナー部に近い位置に、本体（１２）の内面底部の固定部材（１４）に対応して固定部材（１５）が立設されている。固定部材（１５）は、固定部材（１４）と同様に水平方向の位置決めを行うため、Ｌ字状の形状をしている。
【００３６】
このフォトマスク収納用容器は、フォトマスク（１６）を本体（１２）の固定部材（１４）に乗せ、蓋体（１３）をヒンジ（１８）を介して閉じ、係止部（図示せず）を係止することにより、フォトマスク（１６）は固定部材（１４）、（１５）によって確実に固定されるので運搬中に容器内部で移動して容器にぶつかりプラスチック粉が発生することはない。
【００３７】
また、この一実施例のフォトマスク収納用容器は、容器を開けて内部のフォトマスク（１６）を取り出す時には、容器を略水平に保持して蓋体（１３）をヒンジ（１８）の側に静かに開ければ、蓋体（１３）の上に例え塵埃が積もっていても、傾斜したヒンジ（１８）の方向に落ちるだけで本体（１２）内に塵埃が入り込むことはない。
【００３８】
したがって、容器に収納されたフォトマスク（１６）が蓋体（１３）の上に積もった塵埃によって汚染されることがない。
【００３９】
図６は、図５に示す、蓋体（１３）を本体（１２）のヒンジ（１８）の側に開けた状態のフォトマスク収納用容器の側面図である。図７は、本体（１２）に蓋体（１３）が被着された状態の側面図である。また、図８は、図６に示すフォトマスク収納用容器の側面図のヒンジ（１８）の近傍を拡大した説明図である。
【００４０】
図６、及び図８に示すように、本発明によるフォトマスク収納用容器は、本体外面下部から本体の一側面部に設けられたヒンジまでの高さ（Ｈ１）と、蓋体外面上部から該ヒンジまでの高さ（Ｈ２）が等しい。ここでヒンジまでの高さ（Ｈ１）とは、より正確にはヒンジ（１８）の回転中心軸までの高さである。
【００４１】
図８に示すように、本体外面下部からヒンジ（１８）が設けられた本体（１２）の一側面部上部までの高さは、上記ヒンジまでの高さ（Ｈ１）と同じ高さである。
【００４２】
また、蓋体外面上部からヒンジ（１８）が設けられた蓋体（１３）の一側面部上部までの高さも、上記ヒンジまでの高さ（Ｈ２）と同じ高さである。
【００４３】
すなわち、より正確には本発明によるフォトマスク収納用容器は、本体外面下部から本
体の一側面部に設けられたヒンジまで及び本体の一側面部上部までの高さ（Ｈ１）と、蓋体外面上部から該ヒンジまで及び蓋体外面上部からヒンジが設けられた蓋体の一側面部上部までの高さ（Ｈ２）とは等しくなっている。
【００４４】
従って、図６、及び図８に示すように、蓋体（１３）をヒンジ（１８）の側に開けた状態では、本体（１２）の外面下部が傾くことはなく、本体（１２）と蓋体（１３）とが開閉自在にヒンジ（１８）で連結されている容器は、作業台の上で水平に安定な状態になっている。
【００４５】
従って、例えば、ハンドラ（１７）を用いてフォトマスク（１６）を載置、或いは取り出すことが容易になる。
【００４６】
また、本発明によるフォトマスク収納用容器においては、図８に示すように、本体外面下部から本体内面の固定部材（１４）のＬ字状形状のフォトマスクを支える部分面（Ｆ）までの高さ（Ｈ３）と、前記本体外面下部から本体の一側面部に設けられたヒンジまでの高さ（Ｈ１）及び蓋体外面上部から該ヒンジまでの高さ（Ｈ２）との関係が、Ｈ３＞Ｈ１＝Ｈ２となっている。
【００４７】
従って、図６に示すように、例えば、フォトマスク（１６）を本体（１２）の固定部材（１４）上に載置し、或いは固定部材（１４）上から取り出すといったハンドラ（１７）の取扱中に、ハンドラ（１７）の柄の部分がヒンジ（１８）が設けられた側面部の開口端に接触し、フォトマスク（１６）を載置、或いは取り出すハンドラ（１７）の操作が行い難いといった問題が解消されたものとなる。
【００４８】
また、本発明によるフォトマスク収納用容器は、図８に示すように、本体外面下部から本体のヒンジが設けられていない三側面部上部までの高さ（Ｈ４）と、前記本体外面下部から本体の一側面部に設けられたヒンジまでの高さ（Ｈ１）及び蓋体外面上部から該ヒンジまでの高さ（Ｈ２）との関係が、Ｈ１＝Ｈ２＞Ｈ４である。
【００４９】
また、前記本体外面下部から本体内面の固定部材（１４）のＬ字状形状のフォトマスクを支える部分面（Ｆ）までの高さ（Ｈ３）と、前記本体外面下部から本体のヒンジが設けられていない三側面部上部までの高さ（Ｈ４）との差（Ｈ５）、（Ｈ５＝Ｈ３−Ｈ４）が、フォトマスクの載置、取り出しの自動化に適応した間隔である。
【００５０】
図９（ａ）は、本体（１２）内面の固定部材（１４）上にフォトマスク（１６）が載置された状態の側面図である。また、図９（ｂ）は、その状態での平面図である。
【００５１】
図９（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明によるフォトマスク収納用容器には、前記Ｈ３とＨ４との間に差（Ｈ５）が設けられ、この間隔が自動化に適応した間隔である。
【００５２】
従って、フォトマスク（１６）を固定部材（１４）上に載置、或いは取り出す手段として移載用ロボットを用いた自動化を行う際、フォトマスク（１６）の上方からの載置、或いは取り出しに限定されず、白太矢印で示すように、例えば、移載用ロボットのフォーク状のアーム（図示せず）でフォトマスク（１６）をその下方から支えて固定部材（１４）上に載置し、或いは固定部材（１４）上に載置されたフォトマスク（１６）の下方にアームを挿入し固定部材（１４）上から取り出すといった自動化が容易に行えるものとなる。
【００５３】
尚、この際、フォトマスク（１６）の固定部材（１４）上への載置、或いは取り出しは、図９（ｂ）に示すように、ヒンジ（１８）が設けられていない本体（１２）の三側面部の方向から行うことができるので、本発明によるフォトマスク収納用容器は、製造工程においてフォトマスク（１６）の載置、取り出しの動線を設計する上で自由度の大きなものとなる。
【００５４】
また、本発明によるフォトマスク収納用容器は、例えば、ハンドラを用いた載置、取り出しを行う場合において、フォトマスク（１６）の上方の、ヒンジ（１８）が設けられている側面部の方向からの取り扱いに限定されず、上記と同様に、ヒンジ（１８）が設けられていない本体（１２）の三側面部の方向からもハンドラを容易に取り扱うことができるものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】フォトマスク収納用容器の要件を満たすものとして考案されたフォトマスク収納用容器の一例の斜視図ある。
【図２】図１のフォトマスク収納用容器の本体に蓋体が被着された状態の外観を拡大して表した斜視図である。
【図３】図１に示すフォトマスク収納用容器の側断面図である。
【図４】（ａ）は、図３に示すフォトマスク収納用容器のヒンジの近傍を拡大し、本体に蓋体が被着された状態を示す側面図である。
【００５６】
（ｂ）は、図３に示すフォトマスク収納用容器のヒンジの近傍を拡大し、蓋体を本体のヒンジ側に開けた状態を示す側面図である。
【図５】本発明によるフォトマスク収納用容器の一実施例の、蓋体を本体のヒンジ側に開けた状態を示す斜視図である。
【図６】本発明によるフォトマスク収納用容器の一実施例の、蓋体を本体のヒンジ側に開けた状態を示す側面図である。
【図７】本発明によるフォトマスク収納用容器の一実施例の、本体に蓋体が被着された状態の側面図である。
【図８】図６に示すフォトマスク収納用容器の側面図のヒンジの近傍を拡大した説明図である。
【図９】（ａ）は、本発明によるフォトマスク収納用容器の一実施例の、本体内面の固定部材上にフォトマスクが載置された状態の側面図である。
【００５７】
（ｂ）は、本発明によるフォトマスク収納用容器の一実施例の、本体内面の固定部材上にフォトマスクが載置された状態の平面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１２、２２・・・フォトマスク収納用容器の本体
１３、２３・・・フォトマスク収納用容器の蓋体
１８、２８、２８ａ、２８ｂ・・・一側面部に設けたヒンジ
２８ｃ・・・一側面部に設けたヒンジのピン
１６、２６・・・フォトマスク
１４、１５、２４、２５・・・固定部材
１１、１１ｂ・・・本体の側面外周部の膨出部
２１、１１ａ・・・蓋体の側面外周部の膨出部
Ａ・・・本体と蓋体が会合する周縁
１７、２７・・・ハンドラ
Ｈ１・・・本体外面下部から本体の一側面部に設けられたヒンジまでの高さ
Ｈ２・・・蓋体外面上部からヒンジまでの高さ
Ｈ３・・・本体外面下部からフォトマスクを支える部分面までの高さ
Ｈ４・・・本体外面下部から三側面部上部までの高さ
Ｈ５・・・Ｈ３とＨ４の差
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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