(57)【要約】【課題】  プラスチック基材上に透明導電層を有する透明積層導電性フィルムにおいて、プラスチック基材からのオリゴマーの析出による白化現象を防いで、光学特性の改善をはかることを課題とする。【解決手段】  プラスチック基材の紫外線照射処理面に透明接着剤層および透明導電層がこの順に積層されていることを特徴とする透明積層導電性フィルム、とくに、紫外線照射処理面における照射紫外線が波長１５０〜３００ｎｍに少なくとも１つのメインピークを有する低圧紫外線またはエキシマ紫外線である上記構成の透明積層導電性フィルム、プラスチック基材がポリエステル系ポリマーからなる上記構成の透明積層導電性フィルム、透明接着剤層が熱硬化性樹脂からなる上記構成の透明積層導電性フィルム。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラスチック基材の紫外線照射処理面に透明接着剤層および透明導電層がこの順に積層されていることを特徴とする透明積層導電性フィルム。
【請求項２】
紫外線照射処理面における照射紫外線は、波長１５０〜３００ｎｍに少なくとも１つのメインピークを有する低圧紫外線またはエキシマ紫外線である請求項１に記載の透明積層導電性フィルム。
【請求項３】
プラスチック基材は、ポリエステル系ポリマーからなる請求項１または２に記載の透明積層導電性フィルム。
【請求項４】
透明接着剤層は、熱硬化性樹脂からなる請求項１〜３のいずれかに記載の透明積層導電性フィルム。
【請求項５】
プラスチック基材の少なくとも片面を紫外線照射処理し、この処理面に透明接着剤層および透明導電層をこの順に積層して、請求項１〜４のいずれかに記載の透明積層導電性フィルムを得ることを特徴とする透明積層導電性フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラスチック基材上にインジウム錫複合酸化物（ＩＴＯ）などの透明導電層を有する透明積層導電性フィルムと、その製造方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
透明積層導電性フィルムとしては、プラスチック基材上にＩＴＯなどの透明導電層を設けたもののほか、上記基材と透明導電層との間に中間層として熱硬化性樹脂からなる透明接着剤層を設けたものが知られている（特許文献１参照）。
このような透明積層導電性フィルムの加工は、一般的に、フィルム上にレジストインキを印刷後、酸を使いパターンをエッチングしたのち、レジストインキをアルカリで除去して、導電パターンを形成し、その後、銀ペーストを印刷し、加熱硬化させる。工程としては、レジスト印刷、酸処理、アルカリ処理、銀ペースト印刷、加熱処理となる。
【特許文献１】特開昭６０−１３１７１１号公報（第１〜６頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかるに、本発明者らの研究により、上記の工程を経た透明積層導電性フィルムは、透明導電層がエッチング処理によりパターン部以外は除去されており、除去された部分より加熱処理工程でプラスチック基材からオリゴマーが析出し、この部分が白化し、光学特性が悪くなるという問題があることが判明した。
このような問題は、中間層として透明接着剤層を設けたものであっても同様に認められた。すなわち、上記の透明接着剤層が酸処理やアルカリ処理の工程中に侵されるためか、プラスチック基材からのオリゴマーの析出を防げず、白化現象がいぜんとしてみられ、光学特性を改善できないことがあった。
【０００４】
本発明は、このような事情に照らし、プラスチック基材上に透明導電層を有する透明積層導電性フィルムにおいて、プラスチック基材からのオリゴマーの析出による白化現象を防いで、光学特性の改善をはかることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記の目的を達成するため、鋭意検討した結果、プラスチック基材上に透明接着剤層および透明導電層をこの順に設けるにあたり、透明接着剤層を設ける前に、プラスチック基材の表面に紫外線照射処理を施して、表面改質し、この処理面に透明接着剤層および透明導電層を設けるようにしたときに、プラスチック基材からのオリゴマーの析出とこれに伴う白化現象が防がれて、透明性の高い光学特性にすぐれた透明積層導電性フィルムが得られることを見い出し、本発明を完成するに至った。
【０００６】
すなわち、本発明は、プラスチック基材の紫外線照射処理面に透明接着剤層および透明導電層がこの順に積層されていることを特徴とする透明積層導電性フィルムに係るものである。とくに、本発明は、紫外線照射処理面における照射紫外線が波長１５０〜３００ｎｍに少なくとも１つのメインピークを有する低圧紫外線またはエキシマ紫外線である上記構成の透明積層導電性フィルムと、プラスチック基材がポリエステル系ポリマーからなる上記構成の透明積層導電性フィルムと、透明接着剤層が熱硬化性樹脂からなる上記構成の透明積層導電性フィルムとを、提供できるものである。
また、本発明は、このような透明積層導電性フィルムの製造方法として、プラスチック基材の少なくとも片面を紫外線照射処理し、この処理面に透明接着剤層および透明導電層をこの順に積層して、上記各構成の透明積層導電性フィルムを得ることを特徴とする透明積層導電性フィルムの製造方法に係るものである。
【発明の効果】
【０００７】
このように、本発明においては、プラスチック基材の表面に低圧紫外線またはエキシマ紫外線などの紫外線を照射処理することにより、この処理面に設けた透明接着剤層の酸処理やアルカリ処理に対する耐性が著しく向上し、加熱処理によるプラスチック基材からのオリゴマーの析出が抑制され、その結果、上記処理面に透明接着剤層および透明導電層を順次設けることにより、上記オリゴマーの析出による白化現象を防がれた、透明性の高い光学特性にすぐれた透明積層導電性フィルムを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明におけるプラスチック基材としては、透明性を有するプラスチックフィルムを広く使用できる。透明積層導電性フィルムを用いてタッチパネルなどを形成する際の作業性や性能を考慮すると、厚さが通常３〜３００μｍ、好ましくは５〜２５０μｍ、とくに好ましくは１０〜２００μｍのプラスチックフィルムが用いられる。
このようなプラスチック基材の材質は、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートなどのポリエステル系ポリマー（ポリエステル系樹脂）が望ましく、その他、ポリカーボネード、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、アクリロニトリル／スチレン／ブタジエン共重合体、トリアセチルセルロース、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、セルロースアセテート、ポリイミド、ポリノルボルネン、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォンなどが用いられる。
【０００９】
本発明においては、このようなプラスチック基材の少なくとも片面を、紫外線照射処理する。ここで、照射する紫外線としては、波長１５０〜３００ｎｍに少なくとも１つのメインピークを有する低圧紫外線またはエキシマ紫外線がとくに好ましく用いられる。低圧紫外線は波長１８５ｎｍと２４５ｎｍ付近に、エキシマ紫外線は波長１７２ｎｍ付近に、主に表面改質に寄与するメインピークを有している。
このような低圧紫外線またはエキシマ紫外線を照射する方法には、バッチ式のほか、搬送系装置を用いる方法がある。後者の方法では、たとえば、ガラス板、プラスチック板、金属板の上にプラスチック基材を載せ、搬送系装置とともに移動して、照射を行う方法、繰り出し装置と巻き取り装置の間を通して照射する方法などが挙げられ、これらの方法において、搬送系のロールやコンベヤーにプラスチック基材を添わせてもよい。また、このような方法により紫外線を照射する際に、プラスチック基材を加熱しておくことにより、紫外線照射による効率を高めることもできる。
【００１０】
上記の紫外線照射処理において、紫外線の積算光量は、紫外線照射による本発明の効果を得る上で極めて重要であり、適宜の範囲に設定するのが望ましい。
低圧紫外線は、通常１，０００〜８，０００ｍＪ／cm2 、好ましくは２，０００〜４，０００ｍＪ／cm2 の積算光量とするのがよい。この積算光量が低すぎると、上記効果が得られにくく、高すぎると、この上に透明接着剤層を設けて酸処理、アルカリ処理および加熱処理を施したときに透明接着剤層に表層クラックなどの不都合を生じやすい。プラスチック基材を加熱して低圧紫外線を照射する場合、積算光量の低いうちから上記効果が得られ、２，０００ｍＪ／cm2 以下の積算光量で十分な効果が得られる。
エキシマ紫外線は、４３ｍＪ／cm2 以上の積算光量としたときに上記効果が得られるようになり、好ましくは６９０ｍＪ／cm2 で十分な効果が得られる。
【００１１】
本発明において、このような紫外線照射処理を施すことにより、プラスチック基材は、その表面エネルギーが変化する。なお、プラスチック基材の表面エネルギーは、プラスチック基材を固体試料とし、これと適宜の液体試料とを組み合わせることにより、下記の式（１）（Ｙｏｕｎｇの式）により、求めることができる。
γｓ  ＝  γＬ＋ｃｏｓθｓＬ＋γｓＬ      …（１）
γｓ  ：固体試料の表面自由エネルギー
γＬ  ：液体試料の表面自由エネルギー
θｓＬ：固体試料／液体試料の接触角
γｓＬ：固体試料／液体試料の界面自由エネルギー
【００１２】
式中、液体試料の表面自由エネルギー（γＬ）は測定可能であるのに対し、固体試料の表面自由エネルギー（γｓ）、固体試料／液体試料の界面自由エネルギー（γｓＬ）の直接の測定は困難である。しかし、固体試料／液体試料の接触角（θｓＬ）を測定し、「拡張Ｆｏｗｋｅｓの理論」を適用することで、γｓ、γｓＬなどの解析が可能である。この理論では、表面エネルギーは、式（２）のとおり、（イ）分散力成分、（ロ）双極子力成分、（ハ）水素結合成分の３成分の合計として、扱われる。
γ  ＝  γd ＋γp ＋γh                 …（２）
γ  ：表面自由エネルギー
γd ：分散力成分
γp ：双極子力成分
γh ：水素結合成分
接触角の測定に際しては、固体試料（プラスチック基材）をガラス板の上に固定して水平に保ち、この上に液体試料を注射器で約１．８μｌの液滴として滴下し、協和界面化学株式会社製の接触角計により、接触角（θｓＬ）を測定する。測定にあたり、液体試料には表面自由エネルギー（γＬ）が既知である３種の液体が用いられる。
【００１３】
本発明においては、このように測定される表面エネルギーのうち、前記の双極子力成分が１．２以下となるように、紫外線照射処理を施したときに、その理由については必ずしも明らかではないが、プラスチック基材からのオリゴマーの析出が効果的に抑制されて、これに伴う白化現象がみられず、透明性が高くて光学特性にすぐれた透明積層導電性フィルムが製造可能となるものであることがわかった。
【００１４】
本発明においては、このようにプラスチック基材の少なくとも片面を紫外線照射処理したのち、この紫外線照射処理面に透明接着剤層および透明導電層をこの順に積層することにより、透明積層導電性フィルムを製造する。
透明接着剤層は、透明性を有する粘着剤ないし接着剤からなるものが、いずれも使用できる。通常は、熱硬化性樹脂からなるものが望ましく、具体的には、シラン系樹脂またはこれにメラミン樹脂、アルキド樹脂、アクリル系樹脂などを混合した有機シラン縮合系の熱硬化性樹脂が好ましく用いられる。このような熱硬化性樹脂からなる透明接着剤層は、塗工法により、通常１０ｎｍ〜１０μｍの厚さに設けられる。
【００１５】
透明導電層は、上記の透明接着剤層の上に、真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、イオンビーム蒸着、スプレー熱分解などの物理的方法により、あるいは、化学メッキ、電気メッキ、化学気相成長などの化学的方法により、設けられる。層の形成速度や大面積化などの点より、真空蒸着やスパッタリングが好ましい。
透明導電層の材料には、酸化インジウム、酸化錫、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、錫アンチモン酸、酸化チタン、酸化カドニウム、これらの混合物などの金属酸化物や、金、銀、銅、白金、パラジウム、アルミニウム、ロジウム、クロム、チタン、鉄、コバルト、これらの合金などの金属、さらにはヨウ化銅などが用いられる。
透明導電膜の厚さは、使用目的に応じて、適宜決められる。抵抗膜式タッチパネルの電極とする場合は、１０8 Ω／□以下の表面抵抗としたものが一般的であり、とくに１０3 Ω／□以下の表面抵抗としたものが好ましい。このような表面抵抗は、金属系では３〜６０ｎｍ、金属酸化物系では８〜５００ｎｍの厚さで達成できる。
【００１６】
このように製造される本発明の透明積層導電性フィルムは、タッチパネル用などに用いる場合、このフィルムのプラスチック基材側を内側にして透明基体に貼り合わせる。この貼り合わせは、透明基体側に透明粘着剤層を設けておき、これに上記の透明積層導電性フィルムを貼り合わせてもよいし、逆に透明積層導電性フィルムのプラスチック基材側に透明粘着剤を設けておき、これに透明基体を貼り合わせてもよい。透明粘着剤層には、透明性を有する公知のものを広く使用できる。具体的には、アクリル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ゴム系粘着剤などが用いられる。透明粘着剤層の厚さは、透明導電層の耐摩擦性や打点特性の向上の観点より、５〜１００μｍとするのが望ましい。
【００１７】
以下に、本発明の実施例として、プラスチック基材の紫外線照射処理に、低圧紫外線を用いた「実施例１」と、エキシマ紫外線を用いた「実施例２」とを記載して、より具体的に説明する。なお、以下の「実施例１」中には、「比較例１」として、紫外線照射処理に代えて、公知のコロナ処理を施した例を記載し、実施例と対比して、説明する。ただし、本発明は、以下の実施例にのみ限定されるものではない。
なおまた、以下において、プラスチック基材の表面エネルギーは、本文詳記の方法にて測定算出した。ただし、接触角の測定における液体試料には、表面自由エネルギーが既知である３種の液体として、水、ジヨードメタンおよびブロモナフタレンを使用し、接触角の測定には、協和界面化学株式会社製の接触角計「ＥＧ−１１」を使用した。
【実施例１】
【００１８】
プラスチック基材として、厚さが２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを使用し、これに低圧水銀ランプにより低圧紫外線を照射した。この紫外線照射処理面上に、透明接着剤層としてシランオリゴマー混合樹脂からなる熱硬化性樹脂を、厚さが３５μｍとなるように塗工したのち、１５０℃で２分間熱硬化させた。
このように透明接着剤層を設けたのち、５重量％塩酸水溶液に２分間浸漬し、つぎに、４０℃の２重量％水酸化ナトリウム溶液に２分間浸漬し、最後に、１５０℃で６０分間、加熱処理した。この加熱処理後に、プラスチック基材からのオリゴマーの析出による表面白化現象がみられるかどうかを、目視により、観察した。
【００１９】
上記の方法において、低圧紫外線の積算光量を、プラスチック基材を加熱しない場合は１，０００ｍＪ／cm2 から８，０００ｍＪ／cm2 まで変化させ、またプラスチック基材を１００℃に加熱した場合は１，０００ｍＪ／cm2 から２，０００ｍＪ／cm2 まで変化させて、上記観察を行った。この観察にて、オリゴマーの析出による白化現象が全くみられないものを○、ごく僅か白化現象がみられるものを△、白化現象が非常に顕著であるものを×、と評価した。結果は、表１に示されるとおりであった。
また、これとは別に、透明接着剤層を設ける前の上記各積算光量の紫外線照射処理面について、表面エネルギーを測定算出した。表１に、測定した液体試料の接触角として、とくに水の接触角と、表面エネルギーの分散力成分（γd ｓ）、双極子力成分（γp ｓ）、水素結合成分（γh ｓ）およびこれらの合計（γｓ）を、併記した。
なお、表１には、参考のため、ブランクとして、紫外線照射処理を施していないプラスチック基材に対して透明接着剤層を設けたのちの上記同様の表面白化現象の観察結果と、透明接着剤層を設ける前の表面エネルギーの測定算出結果を、併記した。
【００２０】
表１
┌─────────┬─────────────────────┬─────┐
│  紫外線照射条件  │          表面エネルギーの測定            │オリゴマー│
├────┬────┼─────┬───┬───┬───┬───┤発生による│
│積算光量│基材加熱│水の接触角│γp ｓ│γh ｓ│γd ｓ│  γｓ│白化現象  │
│(mJ/cm2)│の有無  │  （度）  │      │      │      │      │          │
├────┼────┼─────┼───┼───┼───┼───┼─────┤
│  1,000 │        │  ５６．６│  1.0 │  8.3 │ 41.9 │ 51.3 │    △    │
│        │        │          │      │      │      │      │          │
│  2,000 │        │  ５３．２│  0.5 │  9.6 │ 42.9 │ 53.0 │    ○    │
│        │  なし  │          │      │      │      │      │          │
│  4,000 │        │  ４７．４│  0.8 │ 14.0 │ 43.6 │ 58.4 │    ○    │
│        │        │          │      │      │      │      │          │
│  8,000 │        │  ３２．３│  0.4 │ 22.2 │ 44.0 │ 66.6 │    ○    │
├────┼────┼─────┼───┼───┼───┼───┼─────┤
│  1,000 │  あり  │  ５８．０│  0.9 │  8.7 │ 43.2 │ 52.8 │    ○    │
│        │（１００│          │      │      │      │      │          │
│  2,000 │  ℃）  │  ５２．４│  0.6 │ 11.6 │ 43.3 │ 55.5 │    ○    │
├────┴────┼─────┼───┼───┼───┼───┼─────┤
│  ブランク        │  ６０．３│  4.2 │  6.6 │ 43.0 │ 53.7 │    ×    │
│（紫外線照射なし）│          │      │      │      │      │          │
└─────────┴─────┴───┴───┴───┴───┴─────┘
【００２１】
上記の表１の結果から明らかなように、低圧紫外線処理を施さなかったブランクでは、オリゴマーの析出が起こり表面が著しく白化するのに対し、低圧紫外線処理を施したものでは、オリゴマーの析出が抑制されて。表面白化現象が抑えられており、この傾向は紫外線の積算光量が多くなるほど顕著であり、またプラスチック基材を加熱したときには紫外線のより少ない積算光量で上記効果が現れることがわかる。
なお、紫外線の積算光量が多くなると、たとえば、基材加熱なしで積算光量を４，０００ｍｊ／cm2 以上としたり、基材加熱ありで積算光量を２，０００ｍｊ／cm2 以上としたときには、透明接着剤層にクラックが発生することがあった。このため、紫外線の積算光量は、基材加熱の有無に応じて、適度な値に設定するのが望ましい。
【００２２】
つぎに、上記した実施例１の方法により低圧紫外線処理を施しその処理面上に透明接着剤層を設けたのち、さらにスパッタリング法により、透明導電層として厚さが２３ｎｍのＩＴＯ（インジウム錫酸化物）薄膜を形成して、透明積層導電性フィルムを作製した。このフィルムについて、常法により、レジスト印刷、酸処理、アルカリ処理、銀ペースト印刷および加熱処理からなる一連の工程に供したところ、加熱処理工程後にプラスチック基材からのオリゴマーの析出による白化現象はほとんどみられず、光学特性に非常にすぐれた導電基板を作製することができた。
これに対し、ブランクとして、低圧紫外線処理を施さずに透明接着剤層を設けたのち、上記同様にＩＴＯ薄膜を形成して、透明積層導電性フィルムを作製し、このフィルムについて、上記同様に加工した結果、加熱処理工程後にプラスチック基材からのオリゴマーの析出による白化現象がみられ、光学特性の悪い導電基板しか作製できなかった。
【００２３】
比較例１
低圧紫外線の照射処理に代えて、ライン速度１０ｍ／分でコロナ処理を施すようにした以外は、実施例１と同様にして、プラスチック基材を表面処理し、この処理面に実施例１と同様にして、熱硬化性樹脂からなる透明接着剤層を設けた。
このように透明接着剤層を設けたのち、５重量％塩酸水溶液に２分間浸漬し、つぎに、４０℃の２重量％水酸化ナトリウム溶液に２分間浸漬し、最後に、１５０℃で６０分間、加熱処理した。この加熱処理後に、プラスチック基材からのオリゴマーの析出による表面白化現象がみられるかどうかを、目視により、観察した。                            
【００２４】
上記の方法において、コロナ処理の出力を１．０ｋｗから２．５ｋｗまで変化させて、上記観察を行った。この観察にて、オリゴマーの析出による白化現象が全くみられないものを○、ごく僅か白化現象がみられるものを△、白化現象が非常に顕著であるものを×、と評価した。結果は、表２に示されるとおりであった。
また、これとは別に、透明接着剤層を設ける前の上記各出力のコロナ処理面について、表面エネルギーを測定算出した。表２に、測定した液体試料の接触角として、とくに水の接触角と、表面エネルギーの分散力成分（γd ｓ）、双極子力成分（γp ｓ）、水素結合成分（γh ｓ）およびこれらの合計（γｓ）を、併記した。
【００２５】
表２
┌──────────┬────────────────────┬─────┐
│    コロナ処理条件  │        表面エネルギーの測定            │オリゴマー│
├─────┬────┼────┬───┬───┬───┬───┤発生による│
│ライン速度│  出力  │水の接触│γp ｓ│γh ｓ│γd ｓ│  γｓ│白化現象  │
│（ｍ／分）│（ｋｗ）│角（度）│      │      │      │      │          │
├─────┼────┼────┼───┼───┼───┼───┼─────┤
│    １０  │  １．０│４６．３│  1.7 │ 14.4 │ 42.9 │ 59.0 │    ×    │
│          │        │        │      │      │      │      │          │
│    １０  │  １．５│４３．８│  1.6 │ 15.6 │ 43.3 │ 60.5 │    ×    │
│          │        │        │      │      │      │      │          │
│    １０  │  ２．０│４６．７│  2.0 │ 14.0 │ 43.1 │ 59.1 │    ×    │
│          │        │        │      │      │      │      │          │
│    １０  │  ２．５│４６．５│  1.7 │ 14.1 │ 43.3 │ 59.2 │    ×    │
└─────┴────┴────┴───┴───┴───┴───┴─────┘
【００２６】
上記の表２の結果から明らかなように、プラスチック基材の表面にコロナ処理を施し、その処理面に透明接着剤層を設けたものでは、オリゴマーの抑制効果は得られず、表面白化現象を抑えることができないものであることがわかった。
つぎに、上記コロナ処理を施し、その処理面に透明接着剤層を設けたのち、実施例１と同様にＩＴＯ薄膜を形成して、透明積層導電性フィルムを作製し、このフィルムにつき、前記同様に加工した結果、加熱処理工程後にプラスチック基材からのオリゴマーの析出による白化現象がみられ、光学特性の悪い導電基板しか作製できなかった。
【実施例２】
【００２７】
低圧紫外線の照射処理に代えて、エキシマ紫外線を照射処理するようにした以外は、実施例１と同様にして、プラスチック基材を表面処理し、この処理面に実施例１と同様にして、熱硬化性樹脂からなる透明接着剤層を設けた。
このように透明接着剤層を設けたのち、５重量％塩酸水溶液に２分間浸漬し、つぎに、４０℃の２重量％水酸化ナトリウム溶液に２分間浸漬し、最後に、１５０℃で６０分間、加熱処理した。この加熱処理後に、プラスチック基材からのオリゴマーの析出による表面白化現象がみられるかどうかを、目視により、観察した。                            
【００２８】
上記の方法において、エキシマ紫外線の積算光量を、基材加熱なしの状態として、２１ｍＪ／cm2 から６９０ｍＪ／cm2 まで変化させて、上記観察を行った。この観察にて、オリゴマーの析出による白化現象が全くみられないものを○、ごく僅か白化現象がみられるものを△、白化現象が非常に顕著であるものを×、と評価した。結果は、表３に示されるとおりであった。
また、これとは別に、透明接着剤層を設ける前の上記各出力のコロナ処理面について、表面エネルギーを測定算出した。表３に、測定した液体試料の接触角として、とくに水の接触角と、表面エネルギーの分散力成分（γd ｓ）、双極子力成分（γp ｓ）、水素結合成分（γh ｓ）およびこれらの合計（γｓ）を、併記した。
【００２９】
表３
┌─────────┬─────────────────────┬─────┐
│  紫外線照射条件  │          表面エネルギーの測定            │オリゴマー│
├────┬────┼─────┬───┬───┬───┬───┤発生による│
│積算光量│基材加熱│水の接触角│γp ｓ│γh ｓ│γd ｓ│  γｓ│白化現象  │
│(mJ/cm2)│の有無  │  （度）  │      │      │      │      │          │
├────┼────┼─────┼───┼───┼───┼───┼─────┤
│    ２１│        │  ５５．３│  1.3 │ 10.7 │ 40.9 │ 53.0 │    ×    │
│        │        │          │      │      │      │      │          │
│    ４３│        │  ５３．６│  1.2 │ 11.6 │ 40.9 │ 53.7 │    △    │
│        │        │          │      │      │      │      │          │
│    ８５│        │  ４７．９│  1.2 │ 14.5 │ 41.5 │ 57.2 │    △    │
│        │  なし  │          │      │      │      │      │          │
│  １７０│        │  ４８．３│  1.0 │ 14.2 │ 41.9 │ 57.1 │    △    │
│        │        │          │      │      │      │      │          │
│  ３４０│        │  ４７．１│  0.9 │ 14.1 │ 43.7 │ 58.7 │    △    │
│        │        │          │      │      │      │      │          │
│  ６９０│        │  ４３．９│  1.1 │ 15.7 │ 43.7 │ 60.5 │    ○    │
└────┴────┴─────┴───┴───┴───┴───┴─────┘
【００３０】
上記の表３の結果から明らかなように、エキシマ紫外線の照射処理を施したものでは、エキシマ紫外線の積算光量が４３ｍｊ／cm2 以上と増加するに伴い、オリゴマーの析出が抑制されて、表面白化現象が抑えられていることがわかる。
つぎに、上記した実施例２の方法によりエキシマ紫外線を積算光量が４３ｍｊ／cm2 以上となるように紫外線処理しその処理面上に透明接着剤層を設けたのち、さらに実施例１と同様にしてＩＴＯ薄膜を形成して、透明積層導電性フィルムを作製した。このフィルムについて、実施例１と同様に加工処理した。その結果、加熱処理工程後にプラスチック基材からのオリゴマーの析出による白化現象はほとんどみられず、光学特性に非常にすぐれた導電基板を作製することができた。