(57)【要約】【課題】  膜メッキなどの余分な加工を実施する必要がなく、加工手数が簡潔で、安価に行なえる薄膜特性改善方法を提供する。【解決手段】剥離膜と保護膜とからなる薄膜を使用し、その薄膜において剥離膜と保護膜とを分離させた後に、前記保護膜とＴＡＣ薄膜とを貼り付け、貼り付け終わった前記のＴＡＣ薄膜に対して、抗反射塗布や抗眩しさ塗布や表面硬度処理などの関連する塗布加工を実施してから、オーブンにて加熱して乾燥した後、前記保護膜と前記ＴＡＣ薄膜とを分離させるように処置する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離膜と保護膜とからなる薄膜を使用し、前記薄膜の剥離膜と保護膜とを分離させる第１ステップと、
前記保護膜とＴＡＣ薄膜とを貼り付ける第２ステップと、
貼り付けられた後の前記ＴＡＣ薄膜に対し塗布を実施してから、オーブンにて乾燥化する第３ステップと、
前記保護膜と前記ＴＡＣ薄膜とを分離させする第４ステップと、
を少なくとも有することを特徴とする薄膜特性改善方法。
【請求項２】
前記薄膜はポリエチレン薄膜であることを特徴とする請求項１に記載の薄膜特性改善方法。
【請求項３】
前記薄膜はＰＥＴ薄膜であることを特徴とする請求項１に記載の薄膜特性改善方法。
【請求項４】
前記第１ステップは、ＰＥ薄膜またはＰＥＴ薄膜を用意するステップ１Ａと、
前記薄膜をローリング・シャフトに巻回するステップ１Ｂと、前記ローリング・シャフトより薄膜を引き出すステップ１Ｃと、引き出された薄膜より保護膜と剥離膜とを分離させるステップ１Ｄとを有することを特徴とする請求項１に記載の薄膜特色改善方法。
【請求項５】
前記第２ステップは、保護膜とＴＡＣ薄膜とを貼り付けるステップ２Ａと、貼り付けた後のＴＡＣ薄膜を巻回収納するステップ２Ｂとを有することを特徴とする請求項１に記載の薄膜特性改善方法。
【請求項６】
前記第３ステップは、貼り付けし終わったＴＡＣ薄膜を引き出すステップ３Ａと、前記ＴＡＣ薄膜に対し塗布を実施するステップ３Ｂと、オーブンを起動するステップ３Ｃと、塗布を実施したＴＡＣ薄膜をオーブンにて加熱するステップ３Ｄと、加熱されたＴＡＣ薄膜と巻回収納するステップ３Ｅと、オーブンを閉じるステップ３Ｆと、乾燥化したＴＡＣ薄膜を巻回収納するステップ３Ｇとを有することを特徴とする請求項１に記載の薄膜特性改善方法。
【請求項７】
前記第４ステップ４は、加熱乾燥化されたＴＡＣ薄膜を引き出すステップ４Ａと、ＴＡＣ薄膜と保護膜とを分離させるステップ４Ｂと、分離された後のＴＡＣ薄膜を巻回収納するステップ４Ｃとを有することを特徴とする請求項１に記載の薄膜特性改善方法。
【請求項８】
前記ステップ３Ｂの塗布加工は、抗反射塗布や抗眩しさ膜塗布や表面硬度処理などのいずれ一種の加工処理を実施することを特徴とする請求項６に記載の薄膜特性改善方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜特性改善方法に係わり、特に、剥離膜（Release Film)と保護膜（Protective Film）によって薄膜を構成し、それから、その薄膜における剥離膜と保護膜とを分離させてから、保護膜とＴＡＣ（Triacetyl Cellulose）薄膜とを貼り付け、貼り付け終わった前記ＴＡＣ薄膜に対し、例えば、抗反射塗布や、抗眩しさ膜塗布や、表面硬度処理などの、関連する塗布を実施してから、オーブンにて加熱乾燥化し、それから保護膜とＴＡＣ薄膜とを分離させるようにする薄膜特性改善方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近の科学技術の進歩は、その進みの幅が一日千里にも及ぶほど日進月歩が目覚しく、特に高度の科学技術製品では、一般に軽薄短小と言われる超小型化・超薄型化を追求して止まない。しかしながら、製品を超小型化・超薄型化方向に進める場合には、製造プロセスのそれぞれの部分において注意すべき箇所や改良すべき箇所が従来よりも多くなり、そのため、製造プロセスにおいて遭遇する課題も従来より多くなる。また、薄膜製品はその厚みがあまりにも薄いので、製造プロセスにおいて容易に破裂や切断や湾曲などを起こしやすいため、原材料の消費量が増えて、コストアップを招くことが多い。この産業においては、現在、関連する解決手段が提案されていないので、他の産業の従来技術を参考として後記のように列挙して説明する。
【０００３】
日立エンジニア・テクニック株式会社が出願した台湾公告第５２４７４８号に示す“薄膜貼り付け方法”は、一種の薄膜貼り付け方法を提案しており、これは、薄膜本体のそれぞれの側に底薄膜と面薄膜とを貼り付けて三層式の構造を製造した一体化の薄膜を巻回してから、それより一体化された薄膜を引き出し、まず、その中の面薄膜を剥離し、且つ薄膜本体のベース・ピースへ向かうように搬送し、それから、それを前記ベース・ピースと一緒に圧着接合加工をし、前記ベース・ピースに前記薄膜本体を貼り付け、且つ前記ベース・ピースと前記薄膜本体との粘着を要しない部分と前記圧着接合加工を実施したくない部分の薄膜本体を取り除くことによって前記二つの部分の底薄膜を露呈させた後に、前記圧着接合加工によって前記薄膜本体を前記ベース・ピースに貼り付けるようにする。
【０００４】
また、三井化学株式会社の出願した台湾公告第５４６７２８号に示す“半導体ウェハ表面保護用の粘着薄膜とその粘着薄膜を利用する半導体ウェハの保護法法”においては、一種の半導体ウェア表面保護用の粘着薄膜を提案している。この発明は、基本材料の薄膜の単一の表面に少なくとも一層の中間層と粘着剤層とを設け、且つ粘着剤を摂氏５０〜１００度の下での貯蔵弾性率Ｇ’の最小の値Ｇ’ｍｉｎを０.０７〜５ＭＰａに決め、且つ中間層の少なくとも一層のものが摂氏５０度における貯蔵弾性率を０.００１ＭＰａ以上、且つ０.０７ＭＰａ以下に設定し、且つ粘着剤層Ｂの厚さｔｂ，単位：μｍと前記貯蔵弾性率が設定される中間層とのトータルな厚さｔｃ，単位：μｍをｔｃ≧３ｔｂ、というような関係を有するように設定する。
【０００５】
また、安内華株式会社の出願した台湾公告第４９８３１８号に示す“情報記録ディスク用の保護膜制作方法と情報記録ディスク用薄膜の製造装置”においては、一種の情報記録ディスク用の保護膜の製造方法を提案しており、この発明では、情報記録ディスク用の基板の表面に情報記録層としての磁気膜を形成してから、その磁性膜に保護膜を形成し、前記保護膜を形成する際の前記基板に与えられる温度を、前記磁性膜を形成する際の前記基板に与えられる温度より高く設定するとともに、前記磁性膜を形成してから前記基板に対し加熱を実施し、それによって前記保護膜を形成する際に所定の温度を与えるように処理する。
【０００６】
また、日立産業株式会社の出願した台湾公告第５５３８２８号に示す“薄膜粘着方法及びその装置”においては、一種の薄膜粘着方法を提案し、加圧粘着ローラによって基板の表面の形状に該当する形状に形成される薄膜をその基板に粘着する方法を開示している。この発明は、その加圧粘着ローラとして保護膜を保持できる能力を有する物品を使用し、その加圧粘着ローラの外周面によって粘着しようとする形状に形成される薄膜を保持し、且つその加圧粘着ローラを旋回させることによってその粘着しようとする形状に成形される薄膜を基板に移送し、且つその先端部を基板の粘着しようとする部分の端部と一致させるように設定し、それからその薄膜を前記基板にぴたりと粘着し、その粘着しようとする薄膜の後端部をも前記加圧粘着ローラによって保持し、そして、前記粘着しようとする薄膜を全体にわたって前記下圧粘着ローラを旋回させることによって、前記基板における粘着しようとする表面に前記薄膜をぴたりと貼り付けるように加工を実施している。
【０００７】
前記に説明したそれぞれの解決手段は、他の設備手段を合せて使用しなければならないため、設備のコストが増加するおそれがあり、あるいは、前記のそれぞれの手段には、特殊な加工を実施する必要があるので、そのトータルのコストアップを招くような課題を有しており、更には、煩雑な処理のプロセスも手数を増加させるとともに、歩留まりを低下させるおそれがあるので、好ましい手段とは言いがたい。
【特許文献１】台湾公告第５２４７４８号
【特許文献２】台湾公告第５４６７２８号
【特許文献３】台湾公告第４９８３１８号
【特許文献４】台湾公告第５５３８２８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そのため、本発明は、一種の薄膜特性改善方法を提供し、薄膜はその薄さ故に製造プロセスの途中で容易に破裂したり切断されたり湾曲してしまったりして製品の歩留りが悪く、原材料の大量消費を招き、その結果、製造コストが増加してしまう、という課題を解消することをその主要な目的とする。
【０００９】
また、本発明は、実施コストが安価であり、且つ貴重な設備を導入する必要がなく、且つ膜をメッキするなどの余分な加工は一切不要にし、処理プロセスが簡潔で煩雑でない薄膜特性改善方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記それぞれの目的を図るために、本発明の薄膜特性改善方法は、剥離膜と保護膜とからなる薄膜を使用し、その薄膜における剥離膜と保護膜とを分離させる後に、前記保護膜とＴＡＣ薄膜とを貼り付け、貼り付け終わった前記のＴＡＣ薄膜に対し、関連する塗布加工、例えば、抗反射塗布や抗眩しさ塗布や表面硬度処理などを実施してから、且つオーブンにて加熱乾燥化後に前記保護膜と前記ＴＡＣ薄膜とを分離させるように処置する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
当該分野における技術者に本発明の目的と特徴とその効果を明確に理解されるよう、以下に、添付図面を参照しながら、本発明の優れた実施形態を詳細に具体的に説明することによって本発明の実質的内容を例示して説明する。
【実施例】
【００１２】
図１は、本発明の薄膜特性改善方法による処理手順を示すフローチャートであり、本発明の処理手順は大体三つの段階に区分できる。
第一段階は薄膜貼り付け加工であり、ステップ１１１〜ステップ１１６に相当する。また、第二段階は塗布加工することであり、ステップ１１７〜ステップ１２２に相当する。また、第三段階は薄膜剥離加工であり、ステップ１２３〜ステップ１２６に相当する。以下に本発明方法を詳細に説明する。
【００１３】
図２は、本発明のＴＡＣ薄膜と保護膜との貼り付けの様子を示す説明図である。この図２により、上記第一の段階での薄膜を貼り付けプロセスを、図１に示すステップ１１１〜ステップ１１６を参照して述べる。
まず、ポリエチレンＰＥ薄膜２０１を選択使用する。ポリエチレン薄膜２０１は、粘着剤を有しない剥離膜と、粘着剤を有する保護膜とからなる（図１のステップ１１１）。しかしながら、実際には、ポリエチレン・テレフタレートＰＥＴ薄膜を前記ＰＥ薄膜に代えて使用してもよく、ＰＥ薄膜に限定して使用する必要のないことは言うまでもない。次に、ＰＥ薄膜２０１をローリング・シャフトに巻回し（図１におけるステップ１１２）、次いで、ＰＥ薄膜２０１を引き出し（図１におけるステップ１１３）、次に、ローリング・シャフト同士２０２，２０３，２０４の助けによってそのＰＥ薄膜２０１をオーブン２０５に導入する。この時、前記オーブン２０５は起動されていない。
【００１４】
前記ＰＥ薄膜２０１はオーブン２０５から導出された後、ローリング・シャフト同士２０６，２０７，２０８の助けによって保護膜と剥離膜とを分離させるステップへ移行させる。ＰＥ薄膜２０１がローリング・シャフト２０９に至ると、粘着剤を有しない剥離膜が剥離され、前記保護膜と分離されるようになり（図１におけるステップ１１４）、分離された剥離膜が剥離膜ローリング・シャフト２１０に巻回収集される。この場合、前記剥離膜と前記保護膜とを分離するための関連するパラメータが、所定のテンションと所定のローリング・シャフトの回転速度などの要件に応じて適切に調整設定される。
【００１５】
前記保護膜と前記剥離膜とを分離させてから、ローリング・シャフト２１１，２１２によってＴＡＣ薄膜２１３と貼り付ける加工を実施する（図１におけるステップ１１５）。この保護膜とＴＡＣ薄膜とを貼り付ける際に注意すべきパラメータについては、テンションと巻回速度と貼り付け速度と保護膜の粘着程度などのパラメータを含み、貼り付けが終わると、保護膜とＴＡＣ薄膜とを貼り付けてなる薄膜２１４を巻回収納する（図１におけるステップ１１６）。ここまでは、第一段階の薄膜貼り付けプロセスである。
【００１６】
また、図３は、本発明に実施される塗布加工を示す説明図である。この図３により、第二段階での塗布加工プロセスを、図１に示すステップ１１７〜ステップ１２２を参照して述べる。
この塗布加工は、例えば、抗反射塗布加工や抗眩しさ塗布加工や表面硬度処理加工などを実施するものである。まず、保護膜と前記貼り付け後のＴＡＣ薄膜３０１を引き出し（図１におけるステップ１１７）、次に、ローリング・シャフト３０２を介して引き出し、関連する塗布加工、例えば、抗反射塗布加工や抗眩しさ塗布加工や表面硬度処理加工などを実施する（図１におけるステップ１１８）。この塗布の際に注意すべきパラメータには、例えば、テンションや塗布装置のスピードやオーブンの温度などを含んでおり、本発明においては、いずれの塗布方式でも採用でき、且つ塗布の形式には特別な制限を有しなく、その塗布される対象については、厚型や薄型などのＴＡＣ薄膜に対してはすべて対応できる。塗布後は、オーブン３０５を起動し（図１におけるステップ１１９）、ローリング・シャフト３０３，３０４によって塗布後のＴＡＣ薄膜３０１をオーブン３０５にて加熱乾燥する（ステップ１２０）。また、ローリング・シャフト３０６，３０７，３０８によって加熱乾燥後の薄膜を巻回収納する（ステップ１２１）。巻回収納後は、オーブン３０５を閉じる（ステップ１２２）。ここまでが、第二段階の塗布加工プロセスである。
【００１７】
図４は、抗反射ＴＡＣ薄膜と保護膜とを分離させる加工を示す説明図である。この図４により、第三段階での薄膜剥離加工プロセスを、図１に示すステップ１２３〜ステップ１２６を参照して述べる。
即ち、関連する塗布加工、例えば抗反射塗布加工や抗眩しさ塗布加工や表面硬度処理加工などを実施した後のＴＡＣ薄膜４０１を引き出して（図１におけるステップ１２３）、ローリング・シャフト４０２，４０３，４０４を経由して前記ＴＡＣ薄膜４０１をオーブン４０５内に導入する。この場合、オーブン４０５は閉じており、前記ＴＡＣ薄膜４０１がそのオーブン４０５を経過後に、ローリング・シャフト４０６，４０７，４０８によって保護膜とそのＴＡＣ薄膜４０１とを分離させるプロセスへ移行するように用意する。
【００１８】
前記ＴＡＣ薄膜４０１がローリング・シャフト４０９，４０１に至ると、保護膜が分離して出され、前記ＴＡＣ薄膜と分離される（図１におけるステップ１２４）。分離して出された保護膜が保護膜ローリング・シャフト４１１に巻回収納される。この場合、前記ＴＡＣ薄膜と前記保護膜とを分離させるためのパラメータについては、例えば、テンションや引き出し速度や巻回収納速度などのパラメータを適切に設定することに注意すべきである。また、分離し出されたＴＡＣ薄膜をＴＡＣ薄膜ローリング・シャフト４１２に巻回収納する（図１におけるステップ１２５）。ここまでが、第三段階の薄膜剥離加工プロセスである。
【００１９】
本発明の薄膜特性改善方法によれば、薄膜の加工途中で容易に破裂したり、切断されたり、湾曲しやすかったりすると言った課題を効果的に解消でき、且つ原材料の浪費や設備等のコストアップや加工コストが高くなるといった従来手段でのそれぞれの課題を解消でき、且つ膜メッキなどの余分な加工を実施する必要もないので、加工手数が簡潔で、安価である、という薄膜特性改善方法を提供できる。
【００２０】
本発明については、前記のような具体的な実施手段を開示したが、これらの実施手段は単に本発明の実施可能な実施例に過ぎなく、本発明の請求範囲を狭義的に定義するものではなく、当該分野における技術者であれば前記の実施内容に基づいて同等の効果を有する他の変更実施例も実行でき、それら変更例も本発明の保護範囲内に入ることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のフローを示すフローチャートである。
【図２】本発明のＴＡＣ薄膜と保護膜との貼り付け加工を示す説明図である。
【図３】本発明の抗反射塗布加工や抗眩しさ塗布加工や表面硬度処理加工などの塗布加工を示す説明図である。
【図４】本発明のＴＡＣ薄膜と保護膜とを分離させる薄膜剥離加工プロセスを示す説明図である。
【符号の説明】
【００２２】
２０１    ＰＥ薄膜またはＰＥＴ薄膜
２０２    ローリング・シャフト
２０３    ローリング・シャフト
２０４    ローリング・シャフト
２０５    オーブン
２０６    ローリング・シャフト
２０７    ローリング・シャフト
２０８    ローリング・シャフト
２０９    ローリング・シャフト
２１０    剥離膜ローリング・シャフト
２１１    ローリング・シャフト
２１２    ローリング・シャフト
２１３    ＴＡＣ薄膜
２１４    保護膜とＴＡＣ薄膜とを貼り付けてなる薄膜
３０１    保護膜と貼り付けた後のＴＡＣ薄膜
３０２    ローリング・シャフト
３０３    ローリング・シャフト
３０４    ローリング・シャフト
３０５    オーブン
３０６    ローリング・シャフト
３０７    ローリング・シャフト
３０８    ローリング・シャフト
３０９    抗反射塗布加工や抗眩しさ塗布加工や表面硬度処理加工などの関連する塗布加工を実施した後のＴＡＣ薄膜
４０１    抗反射塗布加工や抗眩しさ塗布加工や表面硬度処理加工などの関連する塗布加工を実施した後のＴＡＣ薄膜
４０２    ローリング・シャフト
４０３    ローリング・シャフト
４０４    ローリング・シャフト
４０５    オーブン
４０６    ローリング・シャフト
４０７    ローリング・シャフト
４０８    ローリング・シャフト
４０９    ローリング・シャフト
４１０    ローリング・シャフト
４１１    保護膜ローリング・シャフト
４１２    ＴＡＣ薄膜ローリング・シャフト
【図１】
2005230803.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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