(57)【要約】【課題】被検レンズの表裏両面について偏芯測定することができる偏芯測定装置を提供する。【解決手段】被検レンズの一面に向けて光を照射するとともに被検レンズの近軸焦点に結像させる第１照明光学系１１Ａおよび被検レンズの一面からの反射光を観測して被検レンズの一面の偏芯を測定する第１観測手段１６Ａを有する第１偏芯測定ユニット１Ａと、被検レンズ６の他面に向けて光を照射するとともに被検レンズ６の近軸焦点に結像させる第２照明光学系１１Ｂおよび被検レンズ６の他面からの反射光を観測して被検レンズ６の他面の偏芯を測定する第２観測手段１６Ｂを有する第２偏芯測定ユニット１Ｂとを備える。【選択図】  図１
2005055202.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検レンズの一面に向けて光を照射するとともに前記被検レンズの近軸焦点に結像させる第１照明光学系および前記被検レンズの一面からの反射光を観測して前記被検レンズの一面の偏芯を測定する第１観測手段を有する第１偏芯測定ユニットと、
前記被検レンズの他面に向けて光を照射するとともに前記被検レンズの近軸焦点に結像させる第２照明光学系および前記被検レンズの他面からの反射光を観測して前記被検レンズの他面の偏芯を測定する第２観測手段を有する第２偏芯測定ユニットと、を備えることを特徴とする偏芯測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の偏芯測定装置において、
前記第１偏芯測定ユニットと前記第２偏芯測定ユニットとは互いの光軸を一の仮想直線上に略一致させて配設され、
前記仮想直線を回転軸として前記被検レンズを回転可能に保持する回転保持手段を備え、
前記回転保持手段は、前記被検レンズの一面側および他面側の少なくともいずれか一方側にて前記被検レンズを支持するとともに、前記仮想直線に沿って光を透過可能に形成されていることを特徴とする偏芯測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載の偏芯測定装置において、
前記回転保持手段は、前記被検レンズの一面側および他面側のいずれか一方側に配置され前記仮想直線を略中心にして回転するとともに前記仮想直線に沿った貫通孔を有する回転台部を備えることを特徴とする偏芯測定装置。
【請求項４】
請求項３に記載の偏芯測定装置において、
前記貫通孔の前記被検レンズとは反対側の開口部側に設けられ光を透過させる窓部材と、
前記貫通孔が前記被検レンズと前記窓部材とにて封じられる状態において前記貫通孔内を減圧する減圧手段と、を備えていることを特徴とした偏芯測定装置。
【請求項５】
請求項４に記載の偏芯測定装置において、
前記減圧手段は、前記貫通孔に通じるとともに外部に設置された真空ポンプに接続される通気孔であることを特徴とする偏芯測定装置。
【請求項６】
請求項３ないし請求項５のいずれかに記載の偏芯測定装置において、
前記被検レンズはこの被検レンズが組み込まれる鏡筒に支持された状態で前記回転台部に載置され、
前記回転保持手段は、前記鏡筒の側面の曲面に対して周方向に沿った二点以上で外接する挟部を有する支持部材と、
前記鏡筒の側面を前記挟部とにて挟持するとともに前記仮想直線に略平行な直線を回転軸として回転する回転ローラと、を備えていることを特徴とする偏芯測定装置。
【請求項７】
鏡筒のレンズ座面上に配設された状態のレンズに対して前記レンズ座面側から前記レンズに向けて光を照射するとともに前記レンズの近軸焦点に結像させる照明光学系および前記レンズからの反射光を観測して前記レンズの偏芯を測定する観測手段を有する偏芯測定ユニットを備えることを特徴とする偏芯測定装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の偏芯測定装置を用いてレンズ枠にレンズを取り付けるレンズ取付方法であって、
前記レンズ枠は、両端開口の円筒の内側に前記レンズを着座させるレンズ座部を有し、
前記レンズ座部に前記レンズを載置した状態において前記第１偏芯測定ユニットおよび前記第２偏芯測定ユニットのいずれか一方により前記レンズ座部側のレンズ面の偏芯を測定する初期測定工程と、
前記初期測定工程によって測定された偏芯量を予め設定された許容値と比較する比較工程と、
前記比較工程において前記レンズ座部側のレンズ面の偏芯量が前記許容値以下であった場合に、前記レンズ座部とは反対側のレンズ面について前記第１偏芯測定ユニットおよび前記第２偏芯測定ユニットのいずれか他方によって偏芯測定を行うとともに測定結果から前記レンズ座部とは反対側のレンズ面について調芯する調芯工程と、
前記調芯工程により調芯された状態で前記レンズを前記レンズ枠に取り付け固定する取付工程と、を備えることを特徴とするレンズ取付方法。
【請求項９】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の偏芯測定装置を用いてレンズ枠に取り付けられたレンズの偏芯を検査するレンズ偏芯検査方法であって、
前記レンズ枠は両端開口の円筒の内側に前記レンズを着座させるレンズ座部を有し、前記レンズは前記レンズ座部に着座した状態で取り付け固定され、
前記レンズ座部側のレンズ面の偏芯を測定する初期測定工程と、
前記初期測定工程によって測定された偏芯量を予め設定された許容値と比較する比較工程と、を備えることを特徴とするレンズ偏芯検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、偏芯測定装置、レンズ取付方法およびレンズ偏芯検査方法に関する。詳しくは、レンズの表裏両面の偏芯測定を行う偏芯測定装置、レンズを鏡筒に取り付けるレンズ取付方法、および、鏡筒に組み込まれたレンズの表裏両面の偏芯を測定するレンズ偏芯検査方法に関する。
【０００２】
【背景技術】
光学機器に用いられるレンズはレンズの光軸心と外径心との偏芯の測定が行われ、このようなレンズ偏芯を測定する偏芯測定装置が知られている（例えば、特許文献１）。例えば、図８に示す偏芯測定装置は反射式の偏芯測定装置であって、光軸Ｌを略中心にして回転可能に設けられ被検レンズ６が載置される回転テーブル８と、光軸Ｌに沿って被検レンズ６に光を照射する光源１１と、光源１１からの光を集束するコンデンサレンズ１２と、コンデンサレンズ１２の焦点に配置されたピンホール１４１を有するターゲット１４と、ピンホール１４１からの光を被検レンズ６の近軸焦点に投影する投影レンズ１５と、被検レンズ６と投影レンズ１５との間に配置され被検レンズ６からの光を観測するための観測手段１６と、を備えて構成されている。
観測手段１６は、被検レンズ６からの光を略直角に反射するビームスプリッタ１７と、このビームスプリッタ１７からの光を集光する対物レンズ１８と、対物レンズ１８からの光を観測するセンサとしてのＣＣＤカメラ１９と、を備えて構成されている。
【０００３】
このように構成された偏芯測定装置において、光源１１から発射された光はピンホール１４１を通過したのち投影レンズ１５により被検レンズ６に投影される。
このとき、投影レンズ１５の位置調整によって、被検レンズ６の近軸焦点つまり被検レンズ６が球面レンズであれば被検レンズ６のおもて面６１の曲率中心に光を結像させる。また、回転テーブル８上で被検レンズ６をずらして角度を調整することにより投影レンズ１５からの光を近軸焦点に結像させる。このようにして被検レンズ６に入射された光は、近軸焦点から発せられた光に等価であるので、被検レンズ６から平行光として反射される。この反射光は、ビームスプリッタ１７で反射されてＣＣＤカメラ１９で観測される。回転テーブル８を回転させながら被検レンズ６からの反射像を観測すると、反射像の軌跡がリサージュ図形を描き、このリサージュ図形の半径を測定することで被検レンズ６の偏芯度が測定される。
【０００４】
ここで、球面レンズである被検レンズ６を回転テーブル８上でずらしたときの状態を図９に示す。被検レンズ６はうら面６２にて回転テーブル８に支持されており、また、うら面６２は球面である。よって、被検レンズ６を回転テーブル８上でずらしてもうら面６２の曲率中心は移動せずうら面６２の偏芯は発生しない。おもて面６１の曲率中心については、被検レンズ６をずらすことに伴って変位する。したがって、おもて面６１について偏芯測定をすることでレンズ偏芯を把握することができる。
【０００５】
さて、以上の説明では被検レンズ６のおもて面６１について偏芯測定を行う例を説明した。ここで、うら面６２についても偏芯測定を行う場合には、被検レンズ６の表裏を逆にして偏芯測定すればよいのは当然である。
【０００６】
【特許文献１】
特開２０００−２０５９９８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上記の例は、レンズ単体について偏芯測定する場合である。ところが、実際にレンズ６が光学機器に組み込まれるときは、レンズ単体で使用されるのみならず、レンズ６がレンズ枠である鏡筒７に組み込まれた状態であることが多い。したがって、鏡筒７に組み込まれたレンズ６について鏡筒７の基準軸Ｌ７とレンズ６の光軸Ｌ６とのずれを測定する必要がある。また、鏡筒７にレンズ６を組み付ける際に、鏡筒７の基準軸Ｌ７にレンズ６の光軸Ｌ６を一致させる調芯を行う必要がある。
【０００８】
ここで、鏡筒７のレンズ座面７１にレンズ６を組み付けた状態において、レンズ６のおもて面６１の偏芯を測定することは可能である。そして、レンズ６のおもて面６１について調芯を行い、鏡筒７の基準軸上にレンズおもて面６１の曲率中心を位置させるように鏡筒７に対するレンズ６の角度を調整することはできる。
【０００９】
しかしながら、先の図９で説明したように高精度の回転テーブル８上で被検レンズ６をずらしてもうら面６２の曲率中心は移動しないが、鏡筒７のレンズ座面７１が傾いていたりレンズ座面７１の軸が鏡筒７の基準軸からずれていたりする場合には事情が異なる。よって、レンズおもて面６１について調芯をしても、うら面６２の偏芯については不明である。さらに、おもて面６１の調芯をした状態でうら面６２の偏芯測定を行うことはできない。
【００１０】
従来は、鏡筒７に起因する偏芯は無いか、あっても非常に小さく性能にほとんど影響しないと考えられていた。よって、鏡筒７に組み込まれたレンズおもて面６１のみを測定することで偏芯測定や調芯は十分であるとされていた。
しかし、実際の鏡筒７には機械加工上発生する軸ずれや平行の誤差が存在する。また、光学機器が高性能化するにしたがって鏡筒７のレンズ座面７１の偏芯許容限度が加工精度を上回るようになり、鏡筒７に対するレンズ６の偏芯が無視できない問題を発生させる。
その一方で、鏡筒７にレンズ６を組み付ける際に、鏡筒７に組み付けられたレンズ６のおもて面６１およびうら面６２の両面の偏芯を測定する装置や方法はなく、鏡筒７とレンズ６とを正確に調芯することは不可能である。さらに、鏡筒７とレンズ６との間で偏芯が生じていた場合であっても、レンズ６のおもて面６１しか測定できない現状ではレンズ６と鏡筒７との偏芯を認識できず、問題解決の障害になる。
【００１１】
本発明の目的は、被検レンズの表裏両面について偏芯測定することができる偏芯測定装置を提供するとともに、鏡筒とレンズとの調芯を正確にできるレン取付方法、および、鏡筒に取り付けられたレンズの偏芯を検査できるレンズ偏芯検査方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の偏芯測定装置は、被検レンズの一面に向けて光を照射するとともに前記被検レンズの近軸焦点に結像させる第１照明光学系および前記被検レンズの一面からの反射光を観測して前記被検レンズの一面の偏芯を測定する第１観測手段を有する第１偏芯測定ユニットと、前記被検レンズの他面に向けて光を照射するとともに前記被検レンズの近軸焦点に結像させる第２照明光学系および前記被検レンズの他面からの反射光を観測して前記被検レンズの他面の偏芯を測定する第２観測手段を有する第２偏芯測定ユニットと、を備えることを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、レンズの一面である例えばおもて面について第１偏芯測定ユニットにより偏芯測定を行う。つまり、第１照明光学系によりレンズおもて面の焦点に光を照射し、おもて面からの反射光を第１観測手段で観測しておもて面の偏芯を測定する。また、レンズの他面であるうら面について、レンズをひっくり返したりすることなくそのままの状態で第２偏芯測定ユニットにより偏芯測定を行うことができる。つまり、第２照明光学系によりレンズうら面の焦点に光を照射し、うら面からの反射光を第２観測手段で観測してうら面の偏芯を測定する。
【００１４】
このように第１偏芯測定ユニットと第２偏芯測定ユニットとを備えることによりレンズの表裏両面についてレンズの姿勢を変えることなく偏芯測定することができる。例えば、レンズ枠にレンズを組み付ける場合でも、レンズ枠のレンズ座部にレンズを載置したままの状態でレンズのおもて面のみならずうら面についても偏芯測定することができる。すると、レンズ座部に支持されているレンズうら面の偏芯を測定することで、うら面の曲率中心がレンズ枠の基準軸にあるかどうか確かめることができ、レンズ枠の加工誤差を評価することができる。
【００１５】
従来は、レンズがレンズ枠に組み付けられていると、レンズのおもて面しか測定できなかった。そのため、レンズうら面の曲率中心がレンズ枠の中心軸からずれているかどうかを確認する手段がなく、レンズ枠の加工誤差に起因してレンズ光軸とレンズ枠の中心軸とがずれている場合でも検知することができなかった。
しかし、表裏両面について偏芯測定することができるので、おもて面の曲率中心とうら面の曲率中心とを結んでレンズ光軸を正確に求めることができる。そして、レンズ光軸とレンズ枠の中心軸とを比較することにより、レンズ枠に取り付けられたレンズの光学性能を正確に評価することができる。そして、特にレンズうら面について偏芯測定することにより、許容できない加工誤差を有するレンズ枠にレンズを組み付けてしまうことがない。また、レンズうら面の偏芯測定により、光学的不良の原因をレンズ枠の加工誤差に特定することができる。このように、レンズおもて面のみならずレンズうら面の偏芯測定が可能となることから、より高精度の光学性能を有するレンズを提供でき、光学機器の精度を飛躍的に向上させることに大いに資する。
【００１６】
請求項２に記載の偏芯測定装置は、請求項１に記載の偏芯測定装置において、
前記第１偏芯測定ユニットと前記第２偏芯測定ユニットとは互いの光軸を一の仮想直線上に略一致させて配設され、前記仮想直線を回転軸として前記被検レンズを回転可能に保持する回転保持手段を備え、前記回転保持手段は、前記被検レンズの一面側および他面側の少なくともいずれか一方側にて前記被検レンズを支持するとともに、前記仮想直線に沿って光を透過可能に形成されていることを特徴とする。
【００１７】
このような構成によれば、仮想直線に被検レンズの光軸を略一致させて被検レンズを回転保持手段で保持し、被検レンズを回転させる。そして、第１偏芯測定ユニットと第２偏芯測定ユニットとでレンズの表裏両面についてそれぞれ偏芯測定する。すると、測定結果からレンズおもて面の曲率中心とうら面の曲率中心とを結ぶとレンズ光軸を求めることができる。また、レンズ枠に取り付けられたレンズのおもて面とうら面とについてレンズを回転させながらそれぞれの曲率中心を求めるとレンズ偏芯の立体配置を求めることができる。
被検レンズを回転保持手段で保持した場合でも、回転保持手段の側から光が透過可能である。すると、被検レンズの回転保持手段とは反対側の面について偏芯測定できるのはもちろん、被検レンズの回転保持手段側の面についても光を照射可能であり、また反射光を観測可能である。よって、被検レンズを回転保持手段で保持した状態で第１偏芯測定ユニットおよび第２偏芯測定ユニットによりレンズおもて面およびうら面について偏芯測定することができる。
【００１８】
ここで、偏芯測定ユニットの光軸とは、基本的には、光源と測定対象（被検レンズ）の中心とを結ぶ線を意味する。
第１偏芯測定ユニットの光軸と第２偏芯測定ユニットの光軸とは、一の仮想直線上で完全に一致する場合のみならず、多少ずれていてもよい。また、被検レンズの回転軸は偏芯測定ユニットの光軸に完全に一致する場合のみならず、被検レンズの回転軸と偏芯測定ユニットの光軸とは多少ずれていてもよい。例えば、被検レンズからの反射像によって描かれるリサージュ図形を観測できる程度であれば、被検レンズの回転軸は偏芯測定ユニットの光軸からずれていてもよい。
【００１９】
請求項３に記載の偏芯測定装置は、請求項２に記載の偏芯測定装置において、
前記回転保持手段は、前記被検レンズの一面側および他面側のいずれか一方側に配置され前記仮想直線を略中心にして回転するとともに前記仮想直線に沿った貫通孔を有する回転台部を備えることを特徴とする。
【００２０】
このような構成によれば、回転台部にレンズを載置するか、あるいは、レンズが組み付けられたレンズ枠を回転台部に載置すると、回転台部上において回転台部とともにレンズを回転させることができる。回転台部には、仮想直線に沿って貫通孔が貫通形成されているので、貫通孔を通してレンズに光を照射することができる。よって、回転台部とは反対側のレンズ面について偏芯測定できることはもちろん、回転台部側のレンズ面についても偏芯測定できる。
【００２１】
請求項４に記載の偏芯測定装置は、請求項３に記載の偏芯測定装置において、
前記貫通孔の前記被検レンズとは反対側の開口部側に設けられ光を透過させる窓部材と、前記貫通孔が前記被検レンズと前記窓部材とにて封じられる状態において前記貫通孔内を減圧する減圧手段と、を備えていることを特徴とする。
【００２２】
このような構成によれば、回転台部にレンズを載置すると、貫通孔の一端側はレンズで閉じられ、貫通孔の他端側は窓部材で閉じられる。減圧手段で貫通孔内を減圧すると、レンズが回転台部に向けて引かれることによりレンズの位置が固定される。すると、回転台部を回転させてもレンズがぶれることがないため、偏芯測定の精度を向上させることができる。
ここで、窓部材は、貫通孔の一端に嵌合して取り付けられてもよく、貫通孔に連続する孔がある場合には、この連続する孔に窓部材を取り付けてもよい。そして、貫通孔が封じられるとは、貫通孔に直に窓部材を付ける場合のみならず、貫通孔に連続する孔を窓部材で封じる場合も含む。
【００２３】
請求項５に記載の偏芯測定装置は、請求項４に記載の偏芯測定装置において、
前記減圧手段は、前記貫通孔に通じるとともに外部に設置された真空ポンプに接続される通気孔であることを特徴とする。
このような構成によれば、通気孔を介して真空ポンプにより貫通孔内を真空引きすることができ、レンズを回転台部に向けて引くことができる。
【００２４】
請求項６に記載の偏芯測定装置は、請求項３ないし請求項５のいずれかに記載の偏芯測定装置において、前記被検レンズは、両端開口の円筒の内側に前記被検レンズを着座させるレンズ座部を有するレンズ枠に支持された状態で前記回転台部に載置され、前記回転保持手段は、前記レンズ枠の側面の曲面に対して周方向に沿った二点以上で外接する挟部を有する支持部材と、前記レンズ枠の側面を前記挟部とにて挟持するとともに前記仮想直線に略平行な直線を回転軸として回転する回転ローラと、を備えていることを特徴とする。
【００２５】
このような構成によれば、レンズ座部にレンズが着座された状態でレンズ枠が回転台部に載置される。レンズ枠の側面は支持部材の挟部と回転ローラとにより挟持されて位置が固定される。このとき、レンズ枠は挟部と回転ローラにより三点支持されている。挟部と回転ローラとでレンズ枠を挟持した状態で回転ローラを回転させると、レンズ枠が回転される。
挟部と回転ローラとによる挟持によってレンズ枠の位置を固定することができる。また、回転ローラの回転でレンズ枠を回転させることができるので、レンズ枠を手で回転させたりする場合に比べて、レンズ枠の回転速度や回転軸を安定させることができる。その結果、偏芯測定の精度を向上させることができる。
【００２６】
請求項７に記載の偏芯測定装置は、レンズ枠のレンズ座面上に配設された状態のレンズに対して前記レンズ座面側から前記レンズに向けて光を照射するとともに前記レンズの近軸焦点に結像させる照明光学系および前記レンズからの反射光を観測して前記レンズの偏芯を測定する観測手段を有する偏芯測定ユニットを備えることを特徴とする。
【００２７】
このような構成によれば、レンズ枠のレンズ座面にレンズが配設された状態でレンズ座面側のレンズ面について偏芯測定することができる。すると、偏芯測定の結果から、レンズの曲率中心がレンズ枠の中心軸からずれているか知ることができる。例えば、レンズ座部側のレンズ面について曲率中心がレンズ枠の中心から大きくずれている場合には、レンズ座面が傾いているかまたはレンズ座面の中心軸がレンズ枠の外径基準軸からずれているなどレンズ枠に加工誤差が生じていることを検知することができる。このように従来は測定できなかったレンズ座部側からのレンズ偏芯測定が可能となることで、レンズ枠に対するレンズ偏芯を精密に検査することができ、光学機器の性能を向上させることに資する。
【００２８】
請求項８に記載のレンズ取付方法は、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の偏芯測定装置を用いてレンズ枠にレンズを取り付けるレンズ取付方法であって、前記レンズ枠は、両端開口の円筒の内側に前記レンズを着座させるレンズ座部を有し、前記レンズ座部に前記レンズを載置した状態において前記第１偏芯測定ユニットおよび前記第２偏芯測定ユニットのいずれか一方により前記レンズ座部側のレンズ面の偏芯を測定する初期測定工程と、前記初期測定工程によって測定された偏芯量を予め設定された許容値と比較する比較工程と、前記比較工程において前記レンズ座部側のレンズ面の偏芯量が前記許容値以下であった場合に、前記レンズ座部とは反対側のレンズ面について前記第１偏芯測定ユニットおよび前記第２偏芯測定ユニットのいずれか他方によって偏芯測定を行うとともに測定結果から前記レンズ座部とは反対側のレンズ面について調芯する調芯工程と、
前記調芯工程により調芯された状態で前記レンズを前記レンズ枠に取り付け固定する取付工程と、を備えることを特徴とする。
【００２９】
ここで、前記比較工程において前記レンズ座部側のレンズ面の偏芯量が前記許容値を超えた場合には前記レンズ枠を交換する交換工程を備えていることが好ましい。
このような構成によれば、まず、初期測定工程においてレンズ座部側のレンズ面（うら面）について測定し、得られた偏芯量を許容値と比較する（比較工程）。比較結果から偏芯量が許容値以内であれば、次にレンズ座部とは反対側のレンズ面（おもて面）について偏芯測定を行うとともにおもて面の曲率中心をレンズ枠の中心軸上に合わせる調芯を行う（調芯工程）。このとき、レンズうら面の偏芯量が許容値以内であれば、レンズ座部上でレンズをずらしてもうら面の曲率中心は変位せず、おもて面の調芯によりレンズ光軸とレンズ枠の中心軸とを略一致させることができる。そして、調芯された状態でレンズ枠にレンズを固定する（取付工程）。すると、レンズ枠の中心軸に対して偏芯を許容値以内に抑え、正確に調芯されたレンズを得ることができる。
【００３０】
初期測定工程においてレンズうら面の偏芯測定を行うことによりレンズ枠の加工誤差を評価することができる。そして、加工精度が許容値以内であるレンズ枠にのみレンズの組み付けを行うことができ、加工誤差の大きいレンズ枠については排除することができる。その結果、レンズ枠に組み付けられたレンズの光学性能を向上させることができ、また、製品の性能を高い水準に保つことで信頼性を向上させることができる。
【００３１】
請求項９に記載のレンズ偏芯検査方法は、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載の偏芯測定装置を用いて、レンズ枠に取り付けられたレンズの偏芯を検査するレンズ偏芯検査方法であって、前記レンズ枠は両端開口の円筒の内側に前記レンズを着座させるレンズ座部を有し、前記レンズは前記レンズ座部に着座した状態で取り付け固定され、前記レンズ座部側のレンズ面の偏芯を測定する初期測定工程と、前記初期測定工程によって測定された偏芯量を予め設定された許容値と比較する比較工程と、を備えることを特徴とする。
【００３２】
このような構成によれば、まず、初期測定工程においてレンズ座部側のレンズ面（うら面）について測定し、得られた偏芯量を許容値と比較する（比較工程）。比較結果からうら面の偏芯量が許容値を超える場合、レンズ枠の加工誤差に問題があると判断することができる。つまり、レンズ座部が傾いていたり、レンズ座部の中心軸とレンズ枠の外径中心とが大きくずれていたりするために、うら面の曲率中心がレンズ枠の中心軸からずれていると判断される。
従来は、レンズ座部側からレンズのうら面について偏芯測定することができなかったため、うら面の曲率中心がずれていても検知できなかった。そのため、レンズ枠の加工誤差に起因する光学的不良について原因を特定することができなかった。しかし、レンズ座部側からレンズうら面の偏芯測定を行うことができるので、レンズ枠の加工誤差を評価することができ、レンズの光学性能検査をより精密に細かく行うことができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図示例と共に説明する。
〔偏芯測定装置の構成〕
図１に、本発明に係る偏芯測定装置の一実施形態の正面図を示す。
この偏芯測定装置１００は、被検レンズ６（図３参照）の一面にあたるおもて面６１の偏芯を測定する第１偏芯測定ユニット１Ａと、被検レンズ６の他面にあたるうら面６２の偏芯を測定する第２偏芯測定ユニット１Ｂと、被検レンズ６を回転可能に保持する回転保持手段３と、を備えて構成されている。
図２に、偏芯測定装置１００の側面図を示す。
第１偏芯測定ユニット１Ａと第２偏芯測定ユニット１Ｂとは、略Ｕ字状のフレーム２の一端と他端にそれぞれ設けられ、フレーム２と第１偏芯測定ユニット１Ａとの間およびフレーム２と第２偏芯測定ユニット１Ｂとの間にはスライド機構２１が設けられている。
スライド機構２１は、フレーム２に固定された固定部材２２と、固定部材２２に対してスライド可能に設けられ偏芯測定ユニット１Ａ、１Ｂに一体化された可動部材２３とを備えて構成されている。可動部材のスライド方向は光軸Ｌに沿って平行方向であり、スライド機構２１のスライド量は調整ダイヤル２４によって調整可能である。
【００３４】
図３に、偏芯測定装置１００の構成概略図を示す。第１偏芯測定ユニット１Ａおよび第２偏芯測定ユニット１Ｂのそれぞれの基本的構成は図８において説明した構成に等価である。
第１偏芯測定ユニット１Ａは、被検レンズ６のおもて面６１に光を照射する第１照明光学系１１Ａと、被検レンズ６のおもて面６１からの反射像を観測する第１観測手段１６Ａとを備えて構成されている。
第２偏芯測定ユニット１Ｂは、被検レンズ６のうら面６２に光を照射する第２照明光学系１１Ｂと、被検レンズ６のうら面６２からの反射像を観測する第２観測手段１６Ｂとを備えて構成されている。
【００３５】
ここで、第１照明光学系１１Ａは、光源１２Ａから被検レンズ６を結ぶ光軸ＬＡ上に、光源１２Ａと、光源１２Ａからの光を集束するコンデンサレンズ１３Ａと、コンデンサレンズ１３Ａの焦点に配置されたピンホール１４１Ａを有するターゲット（指標）１４Ａと、ピンホール１４１Ａからの光を被検レンズ６の近軸焦点に投影する対物レンズ１５Ａと、を備えて構成されている。第１観測手段１６Ａは、対物レンズ１５Ａと被検レンズ６の間に配置され被検レンズ６からの光を略直角に反射するビームスプリッタ１７Ａと、ビームスプリッタ１７Ａからの光を集光する投影レンズ１８Ａと、ＣＣＤカメラ１９Ａとを備えて構成されている。
第２照明光学系１１Ｂは、光軸ＬＢ上に、光源１２Ｂと、コンデンサレンズ１３Ｂと、ピンホール１４１Ｂを有するターゲット１４Ｂと、対物レンズ１５Ｂと、を備えて構成されている。第２観測手段１６Ｂは、ビームスプリッタ１７Ｂと、投影レンズ１８Ｂと、ＣＣＤカメラ１９Ｂとを備えて構成されている。
【００３６】
第１偏芯測定ユニット１Ａと第２偏芯測定ユニット１Ｂとは被検レンズ６を間にして上下対称に配置されている。すなわち、第１照明光学系１１Ａは、被検レンズ６のおもて面６１に遠い側から順に光源１２Ａ、コンデンサレンズ１３Ａ、ターゲット１４Ａ、対物レンズ１５Ａが配置されている。第２照明光学系１１Ｂは、被検レンズ６のうら面６２に遠い側から順に光源１２Ｂ、コンデンサレンズ１３Ｂ、ターゲット１４Ｂ、対物レンズ１５Ｂが配置されている。さらに、第１照明光学系１１Ａの光軸ＬＡと第２照明光学系の光軸ＬＢとは、同じ直線上に乗っており、第１照明光学系１１Ａの光軸ＬＡと第２照明光学系１１Ｂの光軸ＬＢとを結ぶと一本の仮想直線としての光軸Ｌになる。
【００３７】
回転保持手段３は、光軸Ｌを回転軸として回転可能に設けられた回転台部３１と、回転時における被検レンズ６の位置決めをする支持手段４１と、被検レンズ６を回転させる回転駆動機構５１と、を備えて構成されている。
【００３８】
回転台部３１は、光軸Ｌに略直交した平坦面を有する基台３６の略中央部において基台３６に対して回転可能に設けられている。
基台３６は、第１偏芯測定ユニット１Ａと第２偏芯測定ユニット１Ｂとの間においてフレーム２に固定され、光軸Ｌに沿って貫通形成された円形孔３６１と、円形孔３６１の側壁から穿設され基台３６を横貫する通気孔３６６と、通気孔３６６に通じる接続口３６７とを備えている。この接続口３６７には別途設けられる真空ポンプ（不図示）が接続される。円形孔３６１は、第２偏芯測定ユニット１Ｂ側から第１偏芯測定ユニット１Ａ側に至る途中に平坦部３６２をもって拡径している。円形孔３６１の平坦部３６２には支持リング３６３が固定され、支持リング３６３の中央には回転台部３１を回転可能に支持する支持孔３６４が開口形成されている。
【００３９】
回転台部３１は、支持リング３６３の支持孔３６４に回転可能に挿入される回転軸部３２と、回転軸部３２の上縁部から張り出して形成された鍔状のフランジ部３３と、を備え、フランジ部３３が支持リング３６３に引っ掛かって支持リング３６３に回転台部３１が回転可能に軸承されている。回転台部３１は、フランジ部３３の上面、つまり、支持リング３６３上に載置されて図３中で第１偏芯測定ユニット１Ａ側となる上面に被検レンズ６を載置するテーブル面３４を有する。
回転台部３１には、支持リング３６３に支持された状態において光軸Ｌに沿って貫通孔３５が形成されている。貫通孔３５の第２偏芯測定ユニット１Ｂ側は円形孔３６１に連通しており、円形孔３６１の第２偏芯測定ユニット１Ｂ側に嵌合された光透過性の窓部材３６５によって封じられている。なお、通気孔３６６は円形孔３６１から貫通孔３５に連通しており、通気孔３６６から真空ポンプで引くと貫通孔３５内が減圧される。
【００４０】
支持手段４１は、基台３６に対して光軸Ｌに略平行方向にスライドする平行スライド機構４２と、平行スライド機構４２に接続され光軸Ｌに対して略直交方向にスライドする直交スライド機構４３と、光軸Ｌに略直交して設けられ先端がテーブル面３４の近傍に位置し基端が直交スライド機構４３に接続された支持部材４４と、を備えて構成されている。
平行スライド機構４２は、光軸Ｌに沿った方向にガイド軸を有する平行ガイド部材４２２と、平行ガイド部材４２２に光軸Ｌに沿った方向へ摺動可能に設けられた平行スライド部材４２３と、平行ガイド部材４２２と平行スライド部材４２３との間に設けられ平行スライド部材４２３のスライド量を調整するスライド調整手段４２４と、を備えて構成されている。平行ガイド部材４２２は、基台３６に固定された固定部材４２１に取り付けられて固定されている。スライド調整手段４２４は、平行ガイド部材４２２のガイド方向に沿って形成された溝に軸を中心に回転可能に設けられた調整ネジで構成されている。平行スライド部材４２３は、調整ネジに螺合し、調整ネジの回転により移動される。
【００４１】
直交スライド機構４３は、光軸Ｌに略直交方向にガイド軸を有する直交ガイド部材４３１と、光軸Ｌに略直交方向へ摺動可能に直交ガイド部材４３１に設けられた直交スライド部材４３２と、直交ガイド部材４３１と直交スライド部材４３２との間に設けられ直交スライド部材４３２のスライド量を調整するスライド調整手段４３３と、を備えて構成されている。
直交ガイド部材４３１は、平行スライド部材４２３にスペーサ４３４を間にして固定された連結部材４３５に取付固定されている。連結部材４３５は、光軸Ｌに略平行な取付片部４３６の一端から光軸Ｌに略直交方向へ延びるガイド固定部４３７を有する略Ｔ字型の部材であり、取付片部４３６がスペーサ４３４を間にして平行スライド部材４２３に取り付け固定され、ガイド固定部４３７に直交ガイド部材４３１が固定されている。スライド調整手段４３３は、直交ガイド部材４３１のガイド方向に沿った溝に設けられた調整ネジであって、調整ネジと直交スライド部材４３２とが螺合されている。
【００４２】
支持部材４４は、基台３６に対して略平行に設けられた長手状の部材であって、基端を直交スライド部材４３２に固定されている。支持部材４４の先端は、テーブル面３４の近傍に配置されており、また、凹状に凹まされて形成されテーブル面３４上に載置された支持対象を挟み込む挟部４５を有している。挟部４５は、回転台部３１にレンズ枠としての鏡筒７が載置されたときに、鏡筒７の側面に当接して二点支持で鏡筒７を挟める程度の曲率で凹設されている。
【００４３】
回転駆動機構５１は、回転台部３１に載置された支持対象を支持部材４４とは反対側から挟むとともに光軸Ｌに平行な軸を回転軸として回転する回転ローラ５２と、回転ローラ５２を回転させる駆動モータ５３と、駆動モータ５３の駆動力を回転ローラ５２に伝達するベルト５４とを備えている。
回転ローラ５２は、図４に示されるように、その周端面を支持対象に押し当てることにより支持対象を挟部４５とともに挟持して支持対象の位置を固定する。
また、回転ローラ５２の周端面が支持対象に押接された状態で回転ローラ５２が回転すると、支持対象が回転台部３１とともに回転される。なお、回転ローラ５２は、基台３６の上面に平行な平面上で移動可能かつ所定の位置で固定可能に設けられている。
駆動モータ５３と回転ローラ５２とにはベルト５４が渡設され、駆動モータ５３の回転駆動がベルト５４を介して回転ローラ５２に伝達される。
【００４４】
このような構成を備える偏芯測定装置の使用について説明する。
〔レンズ取付方法〕
鏡筒７にレンズ６を組み付ける場合を例示して説明する。
ここで、鏡筒７とは、望遠鏡や顕微鏡などの光学機器において、対物レンズや接眼レンズなどを固定支持する筒部材であって、鏡筒７にレンズ６を組み付ける場合、鏡筒７の内部に設けられたレンズ座面（レンズ座部、図５参照）７１にレンズを配設する。そして、鏡筒７の回転対称軸に相当する基準軸Ｌ７とレンズの光軸Ｌ６とを一致させるように調芯することが必要となる。
【００４５】
レンズ６を組み付ける鏡筒７を回転台部３１のテーブル面３４に載置する。このとき、平行スライド機構４２および直交スライド機構４３の調整手段４２４、４３３によるスライド量調整と回転ローラ５２の位置を調整とにより、鏡筒７の基準軸Ｌ７を回転台部３１の回転軸に一致させる。このとき、鏡筒７の基準軸Ｌ７が偏芯測定装置１００の光軸ＬＡ、ＬＢ（光軸Ｌ）に一致する。この状態で鏡筒７のレンズ座面７１にレンズ６を載置する（図５、図６参照）。さらに、接続口３６７に真空ポンプを接続して通気孔３６６から真空引きする。すると、貫通孔３５内が減圧されることによりレンズ６がレンズ座面７１に強く引き付けられる。
【００４６】
レンズ６が鏡筒７のレンズ座面７１に載置された状態でレンズ６のうら面６２について第２偏芯測定ユニット１Ｂにより偏芯測定する（初期測定工程）。レンズ６のうら面６２の偏芯を測定する手順については基本的に背景技術で説明したのと同様である。
つまり、光源１２Ｂから発射された光はピンホール１４１Ｂを通過したのち対物レンズ１５Ｂから窓部材３６５および貫通孔３５を通ってレンズ６に投影される。このとき、スライド機構２１によって第２偏芯測定ユニット１Ｂをスライドさせてレンズ６の近軸焦点つまりレンズ６が球面レンズであればレンズ６のうら面の曲率中心に光を結像させる。レンズ６に入射された光は、レンズ６から平行光として反射され、反射像は、ビームスプリッタ１７Ｂで反射されてＣＣＤカメラ１９Ｂで観測される。
【００４７】
この状態で、駆動モータ５３によって回転ローラ５２を回転させて回転台部３１とともに鏡筒７を回転させる。すると、レンズ６の回転にあわせて反射像が移動し、反射像の移動からうら面６２の偏芯を測定する。このとき、うら面６２の偏芯量を予め設定された許容値と比較し（比較工程）、うら面６２の偏芯量が予め設定された許容値以内であれば引き続いておもて面６１の偏芯測定を行う。
うら面６２の偏芯量が許容値を超える場合には、鏡筒７に許容値を超える加工誤差があると判断して、鏡筒７を取り替えて再びうら面６２の偏芯測定を行う。
なお、許容値は、レンズ６の光軸Ｌ６と鏡筒７の基準軸Ｌ７との調芯ずれが光学性能に影響を与えない範囲内で適宜設定される。
【００４８】
ここで、レンズ座面７１が回転台部３１のテーブル面３４に平行であってかつ鏡筒７の基準軸Ｌ７にレンズ座面７１の基準軸Ｌ７が一致していれば、うら面６２の曲率中心は必ず鏡筒７の基準軸Ｌ７上に位置して、さらに、レンズ６２を回転させてもうら面６２の曲率中心は移動しないはずである。逆に言い換えると、レンズ６のうら面６２の偏芯測定において、許容値を超える偏芯があった場合には、レンズ座面７１が傾いているか、もしくは、鏡筒７の基準軸Ｌ７がレンズ座面７１の基準軸に一致していないと判断できる。
例えば、図５のように、鏡筒７の底面に平行な基線に対してレンズ座面７１が傾斜θを有する場合がある。あるいは、図６のように、鏡筒７の基準軸Ｌ７とレンズ座面７１の基準軸Ｌ７１とがずれている場合がある。つまり、レンズ６の凸状に湾曲した部分を嵌める孔部が鏡筒７に形成され、レンズ６がこの孔部に嵌められた状態で孔部の開口端周縁のレンズ座面７１に支持されるとき、鏡筒７の中心軸（基準軸Ｌ７）と前記孔部の中心軸（基準軸Ｌ７１）とがずれていることがある。このように、レンズ座面７１の傾斜が許容量を超えていたり、鏡筒７とレンズ座面７１とで基準軸（Ｌ７、Ｌ７１）が大きくずれていたりすると、うら面６２の偏芯を測定したときに偏芯量が許容値を超えることになる。しかも、レンズ６の角度を調整してもうら面６２の曲率中心を移動させることはできない。したがって、うら面６２の偏芯測定において偏芯量が許容値を超える場合には、鏡筒７に許容できない加工誤差があるとして鏡筒を交換する（交換工程）。
【００４９】
うら面６２の偏芯量が許容値以下である場合、続いて第１偏芯測定ユニット１Ａによりレンズ６のおもて面６１の偏芯測定を行う。おもて面６１の偏芯測定の手順はうら面６２の測定の場合と基本的に同じである。このとき、おもて面６１の偏芯量に応じてレンズ６の角度をレンズ座面７１上で調整しておもて面６１の曲率中心を鏡筒７の基準軸Ｌ７上に調芯する（調芯工程）。なお、うら面６２の偏芯測定において許容値以下になっている場合、レンズ座面７１上でレンズ６の角度や位置を変化させてもうら面６２の曲率中心は変位しない。
おもて面６１の調芯により、おもて面６１の曲率中心が鏡筒７の基準軸Ｌ７上に位置した状態のままで、レンズ６を鏡筒７に固定する。すると、鏡筒７に対して表裏両面の偏芯を小さくしたレンズを得る。
【００５０】
〔レンズ偏芯検査方法〕
次に、鏡筒７に組み付けられたレンズ６の偏芯測定について説明する。
レンズ６が組み付けられた鏡筒７を回転台部３１のテーブル面３４上に載置して、おもて面６１およびうら面６２の偏芯測定を行う（初期測定工程）。偏芯測定の手順についてはレンズ取付方法で説明した手順に基本的に同じである。レンズ６のおもて面６１およびうら面６２について回転台部３１の回転角度に対して各面の偏芯量および偏芯方向を測定する。測定結果からおもて面６１およびうら面６２の曲率中心を求め、例えば図７に示されるように、おもて面６１とうら面６２の曲率中心を結ぶと、レンズ光軸Ｌ６が求められる。レンズ光軸Ｌ６からレンズ偏芯の立体配置が求められ、レンズ光軸Ｌ６の傾きを鏡筒７の基準軸Ｌ７を基準にして予め設定された許容値と比較して評価すると（比較工程）、鏡筒７に組み付けられたレンズの光学性能を評価する検査を行うことができる。
【００５１】
以上、このような構成からなる偏芯測定装置およびこの偏芯測定装置１００を用いたレンズ取付方法、レンズ偏芯検査方法によれば、次の効果を奏することができる。
（１）第１偏芯測定ユニット１Ａと第２偏芯測定ユニット１Ｂとが設けられ、レンズ６の表裏両面を測定することができる。表裏両面について偏芯測定することができるので、おもて面６１の曲率中心とうら面６２の曲率中心とを結んでレンズ光軸Ｌ６を求めることができる。レンズ６が鏡筒７に組み付けられている場合、レンズ６のうら面６２について偏芯測定することにより、鏡筒７の加工誤差を検査することができる。その結果、高精度の光学性能を有するレンズ６を提供でき、また、光学的不良が生じた場合でも鏡筒７の加工誤差を原因として特定することができる。
【００５２】
（２）回転台部３１の貫通孔３５、基台３６の円形孔３６１および窓部材３６５を通って光が透過可能であるので、基台３６を挟んでレンズ６とは反対側に配設された第２偏芯測定ユニット１Ｂによってレンズ６のうら面６２を測定することができる。
（３）貫通孔３５に通じる通気孔３６６が設けられ、この通気孔３６６から真空ポンプで真空引きすることにより、レンズ６を鏡筒７のレンズ座面７１に引き付けることができる。すると、レンズ６がレンズ座面７１から浮き上がらないので偏芯測定が正確となり、また、レンズ６の調芯をした状態でレンズ６が容易に動くことがないため、鏡筒７にレンズ６を固定する作業を確実に行うことができる。
【００５３】
（４）平行スライド機構４２および直交スライド機構４３により支持部材４４の位置が調整可能であり、また、回転ローラ５２の位置も調整可能であることから、種々のサイズの鏡筒７をテーブル面３４上に支持固定することができる。そして、支持部材４４の先端の挟部４５と回転ローラ５２との挟持で三点支持されることにより鏡筒７が光軸Ｌを回転中心として正確に回転される。その結果、偏芯測定を正確に行うことができる。
【００５４】
（５）鏡筒７のレンズ座面７１に載置された状態でレンズうら面６２の偏芯測定をすることができ、レンズ座面７１に載置された状態のレンズうら面６２の偏芯から鏡筒７の加工誤差を評価することができる。よって、鏡筒７にレンズ６を組み付ける際に、まず、レンズうら面６２の偏芯を測定することによって、鏡筒７の基準軸Ｌ７に対するレンズうら面６２の偏芯を許容値以内にできる。すると、鏡筒７に組み付けられたレンズ６の光学性能を向上させることができるとともに、組み付け不良を排除できるので製品の信頼性を向上させることができる。
【００５５】
（６）鏡筒７に組み付けられた状態のレンズ６に関してうら面６２の偏芯を測定することができるので、鏡筒７の加工誤差について検査することができる。そして、鏡筒７の加工誤差に起因する不良がある場合には、簡便に原因を特定することができる。
【００５６】
尚、本発明の偏芯測定装置、レンズ取付方法、レンズ偏芯検査方法は、上記実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
第１偏芯測定ユニット１Ａおよび第２偏芯測定ユニット１Ｂの構成は上記実施形態に限定されず、種々の構成を採用できることはもちろんである。すなわち、対物レンズ１５Ａ、１５Ｂは、アフォーカル系を利用したレンズ系に代えてもよく、またビームスプリッタ１７Ａの位置や構成も種々変更可能である。要は、反射式の偏芯測定ユニット１Ａ，１Ｂを被検レンズ６のおもて面６１側とうら面６２側とに配設して、被検レンズ６の位置や向きを変えることなくおもて面６１とうら面６２とを測定できればよい。
【００５７】
被検レンズ６が凸レンズであっておもて面６１とうら面６２とを有する場合を例示して説明したが、被検レンズ６は凹レンズであってもよい。
【００５８】
第１偏芯測定ユニット１Ａと第２偏芯測定ユニット１Ｂとを備えた構成について説明したが、レンズ６のうら面６２についてのみ偏芯測定する場合には第２偏芯測定ユニット１Ｂのみを有していてもよい。つまり、回転台部３１のテーブル面３４とは反対側に配設され、テーブル面３４上に載置された鏡筒７のレンズ座面７１側からレンズ６のうら面６２について偏芯測定すれば、鏡筒７の加工誤差を評価することができるからである。
【００５９】
回転保持手段３としては回転台部３１を有している場合について説明したが、支持部材４４と回転ローラ５２によって鏡筒７を支持できる場合には必ずしも回転台部３１は備えていなくてもよい。
【００６０】
第１偏芯測定ユニット１Ａと第２偏芯測定ユニット１Ｂとの光軸ＬＡ、ＬＢが一本の仮想直線Ｌに一致している場合を例に説明したが、多少ずれていてもよい。そして、回転保持手段３は、光軸Ｌを回転軸として回転する回転台部３１を備えているとして説明したが、回転台部３１の回転軸は光軸Ｌ（仮想直線）からずれていてもよい。偏芯測定ユニット１Ａ、１Ｂの光軸Ｌと回転台部３１の回転軸とが一致している場合、ＣＣＤカメラ１９Ａ、１９Ｂで観測される反射像は画面の中央で観測される。このとき、画面の中心点を中心とした反射像のリサージュ図形が描かれ、リサージュ図形は偏芯量に応じた半径を有する。偏芯測定ユニット１Ａ、１Ｂの光軸Ｌと回転台部３１の回転軸とがずれている場合、ずれ量に応じて画面の中心点からずれた位置を中心とした反射像のリサージュ図形が描かれ、このリサージュ図形は偏芯量に応じた半径を有する。いずれの場合においても、リサージュ図形の半径に基づいて被検レンズ６の偏芯量を測定することができる。
【００６１】
また、第１偏芯測定ユニット１Ａと第２偏芯測定ユニット１Ｂとで光軸ＬＡ、ＬＢがずれている場合、ＣＣＤカメラ１９Ａ、１９Ｂで観測される画面の中心が異なる。したがって、レンズ光軸Ｌ６を求める場合に、レンズおもて面６１を観測して得られるリサージュ図形の中心とレンズうら面６２を観測して得られるリサージュ図形の中心を画面上で結んだだけではレンズ６の光軸Ｌ６を求めることができない。この場合、まず、光軸と外径基準の中心軸とが一致しているかあるいは両者の関係がわかっているレンズを第１、第２偏芯測定ユニット１Ａ、１Ｂで測定する。測定する対象としては中心が一つである球体などでもよい。この測定結果に基づいて、第１偏芯測定ユニット１Ａと第２偏芯測定ユニット１Ｂとの光軸ＬＡ、ＬＢのずれ量を予め算出しておく。そして、このようにして求められた光軸ＬＡ、ＬＢのずれ量に基づいてレンズ６の光軸Ｌ６を補正して求めればよい。
【００６２】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明の偏芯測定装置によれば、被検レンズの表裏両面について偏芯測定することができ、本発明のレンズ取付方法によれば、鏡筒とレンズとの調芯を正確にでき、本発明のレンズ偏芯検査方法によれば、鏡筒に取り付けられたレンズの偏芯を検査できるという優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の偏芯測定装置に係る一実施形態の正面図である。
【図２】前記実施形態において、偏芯測定装置の側面図である。
【図３】前記実施形態において、内部構成を模式的に示す図である。
【図４】前記実施形態において、支持部材と回転ローラとで鏡筒を支持する様子を示す図である。
【図５】前記実施形態において、鏡筒にレンズを取り付ける様子を示す図である。
【図６】前記実施形態において、鏡筒にレンズを取り付ける様子を示す図である。
【図７】前記実施形態において、レンズの光軸の立体配置を求める様子を示す図である。
【図８】従来の偏芯測定装置の構成を示す図である。
【図９】従来のレンズ偏芯測定の様子を示す図である。
【符号の説明】
１Ａ            第１偏芯測定ユニット
１Ｂ            第２偏芯測定ユニット
３              回転保持手段
６              レンズ
７              鏡筒（レンズ枠）
１１Ａ          第１照明光学系
１１Ｂ          第２照明光学系
１２Ａ、１２Ｂ  光源
３１            回転台部
３５            貫通孔
４４            支持部材
４５            挟部
４５            窓部材
４６            通気孔
４７            接続口
５２            回転ローラ
６１            レンズおもて面
６２            レンズうら面
７１            レンズ座面（レンズ座部）
１００          偏芯測定装置
【図１】
2005055202.tif 000003
【図２】
2005055202.tif 000004
【図３】
2005055202.tif 000005
【図４】
2005055202.tif 000006
【図５】
2005055202.tif 000007
【図６】
2005055202.tif 000008
【図７】
2005055202.tif 000009
【図８】
2005055202.tif 000010
【図９】
2005055202.tif 000011