(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、配線パターンの断線を防止することにある。【解決手段】  半導体装置は、相互に反対を向く第１及び第２の面２２，２４を有して第１の面２２に配線パターン２６が形成されてなるインターポーザ２０と、インターポーザ２０の第１の面２２に搭載されて配線パターン２６と電気的に接続された電極１２を有する半導体チップ１０と、を有する。インターポーザ２０は、第２の面２４の半導体チップ１０とのオーバーラップ領域内に形成されてなるスペーサ３４と、第２の面２４の半導体チップ１０とのオーバーラップ領域外に形成されてなるランド３２と、を有する。スペーサ３４は、配線パターン２６と電気的に接続されないように形成されている。ランド３２は、配線パターン２６と電気的に接続されてなる。【選択図】        図１
2005129845.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に反対を向く第１及び第２の面を有し、前記第１の面に配線パターンが形成されてなるインターポーザと、
前記インターポーザの前記第１の面に搭載され、前記配線パターンと電気的に接続された電極を有する半導体チップと、
を有し、
前記インターポーザは、前記第２の面の前記半導体チップとのオーバーラップ領域内に形成されてなるスペーサと、前記第２の面の前記半導体チップとのオーバーラップ領域外に形成されてなるランドと、を有し、
前記スペーサは、前記配線パターンと電気的に接続されないように形成され、
前記ランドは、前記配線パターンと電気的に接続されてなる半導体装置。
【請求項２】
請求項１記載の半導体装置において、
前記半導体チップは、前記電極が前記配線パターンと対向するように、前記インターポーザにフェースダウンボンディングされ、
前記スペーサは、前記電極とオーバーラップするように形成されてなる半導体装置。
【請求項３】
請求項２記載の半導体装置において、
前記半導体チップは、複数の前記電極を有し、
前記スペーサは、全ての前記電極とオーバーラップする部分が連続するように形成されてなる半導体装置。
【請求項４】
請求項３記載の半導体装置において、
前記スペーサは、全ての前記電極を囲む領域全体が隙間なくオーバーラップするように形成されたベタパターンである半導体装置。
【請求項５】
請求項３記載の半導体装置において、
前記スペーサは、全ての前記電極を囲む領域全体がオーバーラップするように形成され、かつ、メッシュ状に形成されてなる半導体装置。
【請求項６】
請求項１又は請求項２記載の半導体装置において、
前記スペーサは、複数の部分に分割されてなる半導体装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の半導体装置において、
前記インターポーザは、前記第２の面に、少なくとも前記ランドの一部を露出させる開口を有するように形成された樹脂層をさらに有する半導体装置。
【請求項８】
請求項７記載の半導体装置において、
前記樹脂層は、前記スペーサの少なくとも一部を露出させる開口をさらに有するように形成されてなる半導体装置。
【請求項９】
請求項７記載の半導体装置において、
前記樹脂層は、前記スペーサを完全に覆うように形成されてなる半導体装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれかに記載の半導体装置において、
前記スペーサ及び前記ランドは、同じ材料で形成されてなる半導体装置。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれかに記載の半導体装置が実装されてなる回路基板。
【請求項１２】
請求項１から請求項１０のいずれかに記載の半導体装置を有する電子機器。
【請求項１３】
相互に反対を向く第１及び第２の面を有して前記第１の面に配線パターンが形成されてなるインターポーザを、前記第２の面を下にして台に載せること、及び、
前記インターポーザの前記第１の面に、電極を有する半導体チップを、前記電極が前記配線パターンと対向するようにフェースダウンボンディングすること、
を含み、
前記インターポーザは、前記第２の面の前記半導体チップとのオーバーラップ領域内に形成されてなるスペーサと、前記第２の面の前記半導体チップとのオーバーラップ領域外に形成されてなるランドと、を有し、
前記スペーサは、前記配線パターンと電気的に接続されないように形成され、
前記ランドは、前記配線パターンと電気的に接続されてなる半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置のパッケージとして知られるＢＧＡ（Ball Grid Array）では、インターポーザに多数のハンダボールが設けられる。ハンダボールを設けるために、インターポーザにはランドが形成されている。ＢＧＡの一形態として、ＦＡＮ−ＯＵＴ型では、半導体チップとオーバーラップする領域には、ハンダボールを設けずに、その外側にのみハンダボールを設ける。この形態では、半導体チップとオーバーラップする領域にはランドが設けられず、その外側にのみランドが設けられる。したがって、インターポーザに半導体チップを搭載するときに、半導体チップの下方においてインターポーザが支持されないので、インターポーザが撓むことがあった。インターポーザの撓みが大きいと、配線パターンが断線する可能性があるのでこれを防止することが要求されている。
【特許文献１】特開２０００−２２３４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の目的は、配線パターンの断線を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
（１）本発明に係る半導体装置は、相互に反対を向く第１及び第２の面を有し、前記第１の面に配線パターンが形成されてなるインターポーザと、
前記インターポーザの前記第１の面に搭載され、前記配線パターンと電気的に接続された電極を有する半導体チップと、
を有し、
前記インターポーザは、前記第２の面の前記半導体チップとのオーバーラップ領域内に形成されてなるスペーサと、前記第２の面の前記半導体チップとのオーバーラップ領域外に形成されてなるランドと、を有し、
前記スペーサは、前記配線パターンと電気的に接続されないように形成され、
前記ランドは、前記配線パターンと電気的に接続されてなる。本発明によれば、インターポーザの第２の面には、半導体チップとのオーバーラップ領域内にスペーサが形成されているので、スペーサによってインターポーザが支持される。そのため、インターポーザが撓みにくいので、配線パターンの断線を防止することができる。
（２）この半導体装置において、
前記半導体チップは、前記電極が前記配線パターンと対向するように、前記インターポーザにフェースダウンボンディングされ、
前記スペーサは、前記電極とオーバーラップするように形成されていてもよい。
（３）この半導体装置において、
前記半導体チップは、複数の前記電極を有し、
前記スペーサは、全ての前記電極とオーバーラップする部分が連続するように形成されていてもよい。
（４）この半導体装置において、
前記スペーサは、全ての前記電極を囲む領域全体が隙間なくオーバーラップするように形成されたベタパターンであってもよい。
（５）この半導体装置において、
前記スペーサは、全ての前記電極を囲む領域全体がオーバーラップするように形成され、かつ、メッシュ状に形成されていてもよい。
（６）この半導体装置において、
前記スペーサは、複数の部分に分割されていてもよい。
（７）この半導体装置において、
前記インターポーザは、前記第２の面に、少なくとも前記ランドの一部を露出させる開口を有するように形成された樹脂層をさらに有してもよい。
（８）この半導体装置において、
前記樹脂層は、前記スペーサの少なくとも一部を露出させる開口をさらに有するように形成されていてもよい。
（９）この半導体装置において、
前記樹脂層は、前記スペーサを完全に覆うように形成されていてもよい。
（１０）この半導体装置において、
前記スペーサ及び前記ランドは、同じ材料で形成されていてもよい。
（１１）本発明に係る回路基板は、上記半導体装置が実装されてなる。
（１２）本発明に係る電子機器は、上記半導体装置を有する。
（１３）本発明に係る半導体装置の製造方法は、相互に反対を向く第１及び第２の面を有して前記第１の面に配線パターンが形成されてなるインターポーザを、前記第２の面を下にして台に載せること、及び、
前記インターポーザの前記第１の面に、電極を有する半導体チップを、前記電極が前記配線パターンと対向するようにフェースダウンボンディングすること、
を含み、
前記インターポーザは、前記第２の面の前記半導体チップとのオーバーラップ領域内に形成されてなるスペーサと、前記第２の面の前記半導体チップとのオーバーラップ領域外に形成されてなるランドと、を有し、
前記スペーサは、前記配線パターンと電気的に接続されないように形成され、
前記ランドは、前記配線パターンと電気的に接続されてなる。本発明によれば、インターポーザの第２の面には、半導体チップとのオーバーラップ領域内にスペーサが形成されているので、スペーサによってインターポーザが支持される。そのため、インターポーザが撓みにくいので、配線パターンの断線を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
【０００６】
図１及び図２は、本発明の実施の形態に係る半導体装置を説明する図である。なお、図２は、半導体装置の底面図であり、図１は、図２に示す半導体装置のＩ−Ｉ線断面図である。
【０００７】
半導体装置は、半導体チップ１０を有する。半導体チップ１０は、電極（図１の例では複数の電極）１２を有する。電極１２は、パッド及びその上のバンプを含んでもよい。電極１２は、半導体チップ１０の端部（半導体チップ１０が矩形であれば、反対側の２辺に沿った両端部あるいは４辺に沿った周端部）に配列されている。電極１２は、半導体チップ１０の内部に電気的に接続されている。半導体チップ１０（例えば電極１２が形成された面）には、集積回路１４が作り込まれている。全ての電極１２又は全てではないが複数の電極１２が、集積回路１４に電気的に接続されている。
【０００８】
半導体装置は、インターポーザ２０を有する。インターポーザ２０は、基板又はフィルムということもできる。インターポーザ２０は、ポリイミドなどの樹脂で構成されている。インターポーザ２０は、相互に反対方向を向く第１及び第２の面２２，２４を有する。第１の面２２には、配線パターン２６が形成されている。配線パターン２６は、パッド（配線ラインよりも幅の広い部分）２８を含んでいてもよい。
【０００９】
半導体チップ１０は、インターポーザ２０（その第１の面２２）に搭載される。半導体チップ１０は、電極１２が形成された面がインターポーザ２０に対向する。すなわち、半導体チップ１０は、インターポーザ２０にフェースダウンボンディングされる。電極１２は、配線パターン２６（例えばそのパッド２８）と対向する。配線パターン２６は、その一部（例えばパッド２８を含む部分）が半導体チップ１０の下に配置され、他の部分が半導体チップ１０の外側に位置してもよい。
【００１０】
半導体チップ１０とインターポーザ２０は、接着剤３０によって接着されてもよい。接着剤３０の一部は、半導体チップ１０とインターポーザ２０の間に位置してもよい。接着剤３０の一部は、半導体チップ１０の側面に付着してもよい。
【００１１】
電極１２は、配線パターン２６と電気的に接続される。電気的接続のために、電極１２と配線パターン２６（例えばそのパッド２８）が金属接合されてもよい。接着剤３０が導電粒子を含む異方性導電材料（異方性導電膜又は異方性導電ペースト等）であれば、電極１２と配線パターン２６の間に導電粒子を介在させて、両者を電気的に接続してもよい。
【００１２】
インターポーザ２０の第２の面２４には、半導体チップ１０とのオーバーラップ領域外にランド３２が形成されている。ランド３２は、銅などの導電材料で形成されており、配線パターン２６と同じ材料で形成してもよい。ランド３２は、スルーホール等を介して配線パターン２６と電気的に接続されている。
【００１３】
インターポーザ２０の第２の面２４には、半導体チップ１０とのオーバーラップ領域内にスペーサ３４が形成されている。スペーサ３４は、電極１２（又はパッド２８）とオーバーラップするように形成されていてもよい。スペーサ３４は、全ての電極１２（又はパッド２８）とオーバーラップする部分が連続するように形成されていてもよい。例えば、図２に示す例では、スペーサ３４は、リング形状をなしている。スペーサ３４は、半導体チップ１０の中央部とオーバーラップする領域を避けて配置されている。
【００１４】
スペーサ３４は、配線パターン２６と電気的に接続されないように形成されていてもよい。スペーサ３４は、ランド３２と同じ材料で形成してもよいし、ランド３２とは異なる材料（例えば樹脂）で形成してもよい。スペーサ３４は、ランド３２と同じ厚みであってもよいし、ランド３２よりも薄く形成されていてもよいし、ランド３２よりも厚く形成されていてもよい。
【００１５】
本実施の形態によれば、インターポーザ２０の第２の面２４には、半導体チップ１０とのオーバーラップ領域内にスペーサ３４が形成されているので、スペーサ３４によってインターポーザ２０が支持される。そのため、インターポーザ２０が撓みにくいので、配線パターン２６の断線を防止することができる。
【００１６】
図３及び図４は、インターポーザの変形例を説明する図である。図３に示すように、インターポーザ２０の第２の面には樹脂層（例えばソルダレジスト層）３６を形成してもよい。樹脂層３６は、少なくともランド３２の一部を露出させる開口を有するように形成されている。樹脂層３６は、スペーサ３４の少なくとも一部を露出させる開口をさらに有していてもよい。樹脂層３６の変形例として、図４に示すように、樹脂層３８を、スペーサ３４を完全に覆うように形成してもよい。その場合、スペーサ３４を外部から電気的に絶縁することができるので、スペーサ３４と配線パターン２６が電気的に接続されていてもよい。
【００１７】
図５は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。本実施の形態では、インターポーザ２０を、第２の面２４を下にして台４０に載せる。インターポーザ２０の構成は、上述した通りである。例えば、インターポーザ２０の第２の面２４には、半導体チップ１０とのオーバーラップ領域内にスペーサ３４が形成されている。
【００１８】
台４０は、図示しないヒータを有し、インターポーザ２０（配線パターン２６）を加熱できるものであってもよい。インターポーザ２０の第１の面２２には、接着剤３０を配置してもよい。図５に示す接着剤３０は、ペースト状であるが、シート（フィルム）状であってもよい。
【００１９】
インターポーザ２０の第１の面２２に、電極１２を有する半導体チップ１０を、電極１２が配線パターン２６と対向するようにフェースダウンボンディングする。詳しくは、半導体チップ１０を、ボンディングツール４２によって、インターポーザ２０に加圧する。なお、ボンディングツール４２は、図示しないヒータを有し、半導体チップ１０を加熱できるようになっていてもよい。
【００２０】
半導体チップ１０が加圧されると、例えば電極１２及びパッド２８を介して、インターポーザ２０に力が加えられる。しかし、本実施の形態では、スペーサ３４によってインターポーザ２０が台４０上で支持される。そのため、インターポーザ２０が撓みにくいので、配線パターン２６の断線を防止することができる。
【００２１】
本実施の形態では、スペーサ３４が、半導体チップ１０の中央部とオーバーラップする領域を避けて配置されている。したがって、インターポーザ２０の半導体チップ１０の中央部とオーバーラップする部分が、例えば接着剤３０を介して、第２の面２４が凸になるように撓んでも、第１の面２２が凸になる撓みは生じにくい。このことから、インターポーザ２０（特にその上の配線パターン２６）と半導体チップ１０との接触を防止することができる。
【００２２】
半導体装置の製造方法は、上述した半導体装置の内容から導き出すことができる内容を含む。さらに、図６に示すように、ランド３２にハンダボール４４を設けてもよい。ハンダボール４４は、スペーサ３４上には設けない。本実施の形態に係る半導体装置は、ハンダボール４４を有してもよい。
【００２３】
図７〜図９は、インターポーザに形成されたスペーサの変形例を説明する図である。
【００２４】
図７に示すスペーサ５０は、複数の部分に分割されている。スペーサ５０は、例えば、図１に示す半導体チップ１０の電極１２とオーバーラップする複数の第１の部分５２を含む。第１の部分５２は、図２に示すスペーサ３４を分割した構成を有する。スペーサ５０は、第１の部分５２の内側に、１つ又はそれ以上の第２の部分５４を含む。第２の部分５４は、半導体チップ１０の中央部とオーバーラップする領域に配置されている。したがって、インターポーザ２０の半導体チップ１０の中央部とオーバーラップする部分が、第２の面２４が凸になるように撓むことを防止することができる。また、インターポーザ２０のスペーサ５０からの露出面が断続的に表れるので、図３又は図４に示す樹脂層３６，３８を形成する場合、これらの樹脂層３６，３８をインターポーザ２０に密着させることができる。こうして、樹脂層３６，３８の剥離を防止することができる。その他の内容は、上述した実施の形態で説明した内容が該当する。
【００２５】
図８に示すスペーサ６０は、図１に示す全ての電極１２を囲む領域全体が隙間なくオーバーラップするように形成されたベタパターンである。これによれば、インターポーザ２０は、その広い範囲がスペーサ６０によって覆われるので、吸湿が防止される。また、インターポーザ２０の半導体チップ１０の中央部とオーバーラップする部分が、第２の面２４が凸になるように撓むことを防止することができる。その他の内容は、上述した実施の形態で説明した内容が該当する。
【００２６】
図９に示すスペーサ７０は、図１に示す全ての電極１２を囲む領域全体がオーバーラップするように形成され、かつ、メッシュ状に形成されている。これによれば、インターポーザ２０の半導体チップ１０の中央部とオーバーラップする部分が、第２の面２４が凸になるように撓むことを防止することができる。また、インターポーザ２０のスペーサ７０からの露出面が断続的に表れるので、図３又は図４に示す樹脂層３６，３８を形成する場合、これらの樹脂層３６，３８をインターポーザ２０に密着させることができる。こうして、樹脂層３６，３８の剥離を防止することができる。その他の内容は、上述した実施の形態で説明した内容が該当する。
【００２７】
図１０には、上述した実施の形態で説明した半導体装置１が取り付けられた回路基板１０００が示されている。この半導体装置を有する電子機器として、図１１にはノート型パーソナルコンピュータ２０００が示され、図１２には携帯電話３０００が示されている。
【００２８】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。さらに、本発明は、実施の形態で説明した技術的事項のいずれかを限定的に除外した内容を含む。あるいは、本発明は、上述した実施の形態から公知技術を限定的に除外した内容を含む。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係る半導体装置を説明する図であり、図２に示す半導体装置のＩ−Ｉ線断面図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の底面図である。
【図３】図３は、インターポーザの変形例を説明する図である。
【図４】図４は、インターポーザの変形例を説明する図である。
【図５】図５は、本発明の実施の形態に係る半導体装置の製造方法を説明する図である。
【図６】図６は、本発明の実施の形態に係る半導体装置及びその製造方法を説明する図である。
【図７】図７は、インターポーザに形成されたスペーサの変形例を説明する図である。
【図８】図８は、インターポーザに形成されたスペーサの変形例を説明する図である。
【図９】図９は、インターポーザに形成されたスペーサの変形例を説明する図である。
【図１０】図１０は、本実施の形態に係る半導体装置が取り付けられた回路基板を示す図である。
【図１１】図１１は、本実施の形態に係る半導体装置を有する電子機器を示す図である。
【図１２】図１２は、本実施の形態に係る半導体装置を有する電子機器を示す図である。
【符号の説明】
【００３０】
１０…半導体チップ  １２…電極  １４…集積回路  ２０…インターポーザ  ２６…配線パターン  ２８…パッド  ３０…接着剤  ３２…ランド  ３４…スペーサ  ３６…樹脂層  ３８…樹脂層  ４２…ボンディングツール  ４４…ハンダボール  ５０…スペーサ  ５２…第１の部分  ５４…第２の部分  ６０…スペーサ  ７０…スペーサ
【図１】
2005129845.tif 000003
【図２】
2005129845.tif 000004
【図３】
2005129845.tif 000005
【図４】
2005129845.tif 000006
【図５】
2005129845.tif 000007
【図６】
2005129845.tif 000008
【図７】
2005129845.tif 000009
【図８】
2005129845.tif 000010
【図９】
2005129845.tif 000011
【図１０】
2005129845.tif 000012
【図１１】
2005129845.tif 000013
【図１２】
2005129845.tif 000014