(57)【要約】【課題】  金属ボルトを使用せずに容易に組立可能で且つコンパクトな弁及びその弁を有するシステムを提供する。【解決手段】  弁は、軸線方向に弁体７を駆動するピストン４を備えた駆動部２と、弁体７を収容する弁室１７を軸線方向の一端に有した弁本体１と、台座３とを備える。駆動部２は軸線方向における一端から垂下する脚部１１を備え、脚部１１がその内側に弁本体１を収容する受容部を形成している。受容部内に弁本体１を挿入して弁本体１の弁室１７内に駆動部２の弁体７を収容させ、軸線方向における弁本体１の他端に台座３を当接させた状態で台座３を脚部１１に固定することにより、台座３と駆動部２との間に弁本体１を挟持させる。かかる弁は流体供給システムや流体排出システムなどの流体システムにおいて使用することができる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に弁体を駆動する駆動部と、前記軸線方向の一端に前記弁体を収容する弁室を有した弁本体とを備える弁において、
前記弁が台座をさらに備えると共に前記駆動部が前記軸線方向に垂下する脚部を備え、該脚部がその内側に前記弁本体を収容する受容部を形成し、該受容部内に前記弁本体を挿入して前記弁本体の前記弁室内に前記駆動部の前記弁体を収容させ、前記軸線方向における前記弁本体の他端に前記台座を当接させた状態で該台座を前記脚部に固定することにより、前記台座と前記駆動部との間に前記弁本体を挟持するようにしたことを特徴とする弁。
【請求項２】
前記脚部は前記軸線方向における前記駆動部から対向して垂下する一対の脚部であり、前記受容部は前記一対の脚部の間に形成される、請求項１に記載の弁。
【請求項３】
接着又は溶着により、前記脚部と前記台座とを固定する、請求項１又は請求項２に記載の弁。
【請求項４】
前記軸線方向と垂直方向に突出する凸部及び該凸部と係合する凹部の一方を前記脚部に設け、該凸部及び凹部の他方を前記台座に設け、前記凸部と前記凹部とを係合させることにより、前記脚部と前記台座とを固定する、請求項１又は請求項２に記載の弁。
【請求項５】
前記台座は中央部に窪みを有し、前記凸部が前記軸線方向における前記脚部の一端部の外側面に形成され、前記凹部が前記窪みの内壁に形成される、請求項４に記載の弁。
【請求項６】
前記台座は前記受容部内に挿入される突出部を有し、前記凹部が前記脚部の内側面に形成され、前記凸部が前記突出部の周面における前記脚部の内側面と対面する部分に形成される、請求項４に記載の弁。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の弁を有することを特徴とする流体システム。
【請求項８】
前記流体システムは、流体供給システム又は流体排出システムである、請求項７に記載の流体システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、腐食性の高い流体や腐食性ガスの雰囲気下でも使用することができるように、弁本体と駆動部の連結に金属ボルト等を使用しない弁およびその弁を有する流体システムに関するものであり、更に詳しくはコンパクトで組立が容易な弁およびその弁を有する流体システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、各種化学薬液、純水、電解液等の流体を輸送するラインで用いられる弁は、図１５に示すような弁本体６７と駆動部６８とが金属ボルト６９で連結された構造を有している（例えば、特許文献１及び特許文献２を参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−１５９３０７号公報（第１−４頁、第１図）
【特許文献２】特開平１１−３０４０３０号公報（第１−７頁、第４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の弁においては、弁本体６７と駆動部６８との隙間から洩れ或いは透過した腐食性の流体や弁の設置されている雰囲気に含まれる腐食性ガスによって金属ボルト６９が腐食し、最悪の場合では金属ボルト６９が破断して弁が破壊してしまうという問題がある。この問題を解決する手段として、金属ボルト６９に耐食性のコーティングを施すという方法や金属ボルト６９を樹脂化するといった方法が試みられている。しかしながら、前者の方法では特にナットと螺合する部分を完全にコーティングすることは困難であり、コストも大幅に増加する。また、後者の方法では、樹脂製のボルトが十分な強度を有さないことから、使用できる流体の圧力範囲が限られるといった問題があった。
【０００５】
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みなされたもので、金属ボルトを使用せずに容易に組立可能で且つコンパクトな弁およびその弁を有する流体システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、第１の態様として、軸線方向に弁体を駆動する駆動部と、前記軸線方向の一端に前記弁体を収容する弁室を有した弁本体とを備える弁において、前記弁が台座をさらに備えると共に前記駆動部が前記軸線方向に垂下する脚部を備え、該脚部がその内側に前記弁本体を収容する受容部を形成し、該受容部内に前記弁本体を挿入して前記弁本体の前記弁室内に前記駆動部の前記弁体を収容させ、前記軸線方向における前記弁本体の他端に前記台座を当接させた状態で該台座を前記脚部に固定することにより、前記台座と前記駆動部との間に前記弁本体を挟持するようにした弁を提供する。
【０００７】
上記弁では、前記脚部は前記軸線方向における前記駆動部から対向して垂下する一対の脚部であり、前記受容部は前記一対の脚部の間に形成されることが好ましい。
【０００８】
また、上記弁では、接着又は溶着により、前記脚部と前記台座とを固定することが可能である。
【０００９】
また、上記弁では、前記軸線方向と垂直方向に突出する凸部及び該凸部と係合する凹部の一方を前記脚部に設け、該凸部及び凹部の他方を前記台座に設け、前記凸部と前記凹部とを係合させることにより、前記脚部と前記台座とを固定することが可能である。
【００１０】
好ましい実施形態では、前記台座は前記軸線方向における前記脚部の一端部を収容する窪みを有し、前記凸部及び凹部の一方が前記脚部の一端部の外側面に形成され、該凸部と凹部の他方が前記窪みの側壁に形成される。
【００１１】
他の好ましい実施形態では、前記台座は前記受容部内に挿入される突出部を有し、前記凸部及び凹部の一方が前記脚部の内側面に形成され、該凸部及び凹部の他方が前記突出部の周面における前記脚部の内側面と対面する部分に形成される。
【００１２】
また、本発明は、第２の態様として、上記のいずれかの弁を有する流体システムを提供する。このような流体システムには、流体供給システム又は流体排出システムが含まれる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の弁およびその弁を有する流体システムは以上のような構造をしており、以下の優れた効果が得られる。
【００１４】
本発明の弁は、弁本体を駆動部と台座の間に挟持することにより弁本体を保持するので、弁本体と駆動部との接合にボルトを用いる必要がなく、腐食性の流体やガスによって締結部に損傷が生じて弁を破損させる恐れがない。特に、協働する凸部及び凹部の係合、接着、溶着により台座と脚部とを固定することは、弁の組み立てにボルトなどの締結具を必要としなくなるので有効である。また、本発明の弁は、その構造が単純であるためコンパクトであり、組立が容易でメンテナンス性にも優れる。そのため、例えば流体供給システム又は流体排出システムといった本発明の弁を有する流体システムは、システム自体を小さく収めることができ、メンテナンスにおける作業の省力化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明するが、本発明が本実施の形態に限定されないことは言うまでもない。
【実施例１】
【００１６】
図１は本発明の弁の閉状態を示す縦断面図である。図２は図１を側面（流路垂直方向）から見た縦断面図である。図３は本発明の弁の開状態を示す縦断面図である。図４は本発明の斜視図である。図５は本発明の弁の駆動部の斜視図である。図６は本発明の弁の台座の斜視図である。図７は本発明の弁の駆動部と弁本体を組み合わせた状態を示す斜視図である。図８は本発明の弁の組立方法を示す斜視図である。図９は本発明の弁の第二の実施例を示す斜視図である。図１０は本発明の弁の第三の実施例の駆動部を示す斜視図である。図１１は本発明の弁の第三の実施例の台座を示す斜視図である。図１２は本発明の弁を有する流体供給システムを示す概念構成図である。図１３は本発明の弁を有する他の流体供給システムを示す概念構成図である。図１４は本発明の弁を有する流体排出システムを示す概念構成図である。
【００１７】
図１において１は弁本体であり、軸線方向上端の中央に弁室１７と、該弁室１７と連通した入口流路９と出口流路１０とを有している。また、弁本体１の上面における弁室１７の外側には環状溝１８が設けられている。
【００１８】
２は駆動部であり、内部に円筒状のシリンダ部１３が設けられ、駆動部２の下部には該駆動部２の側面を下方に延長するように一対の脚部１１が設けられており、該脚部１１の下部内壁は、流路軸方向に延び且つ断面矩形に形成された溝１２を有している。両脚部１１の間には弁本体１が嵌挿される受容部が形成されており、脚部の下部は溝１２の上面が弁本体１の下端面と面一になるように設定されている。さらに、駆動部２の側面にはシリンダ部１３の上側及び下側にそれぞれ連通された一対の作動流体供給口１４，１５が設けられている。
【００１９】
３は台座であり、基部と、基部の上方に設けられ脚部１１の間に挿入される突出部とを備える。突出部の上部両側には、流路軸方向に延びる嵌合用の矩形状凸部１６が設けられている。また、基部は突出部よりもさらに水平方向外側に延びており、その幅は駆動部２の幅と同じでも良いし、それより長くても良い。矩形状凸部１６は駆動部２の溝１２と相補的な形状を有しており、駆動部２の溝１２と嵌合又は係合することによって弁本体１を駆動部２と台座３との間に挟持固定する。
【００２０】
４はピストンであり、駆動部２のシリンダ部１３内に密封状態且つ軸線方向に上下動自在に嵌挿されており、底面中央にロッド部５が垂下して設けられている。
【００２１】
６はダイヤフラム押さえであり、中央部にピストン４のロッド部５が貫通する貫通孔１９を有しており、弁本体１と駆動部２の間に挟持されている。
【００２２】
７は弁室１７に収容されている弁体であり、ダイヤフラム押さえ６の貫通孔１９を貫通し且つダイヤフラム押さえ６の下面から突出した前記ピストン４のロッド部５の先端に螺着されており、ピストン４の上下動に合わせて軸線方向に上下するようになっている。弁体７は外周にダイヤフラム８を有しており、該ダイヤフラム８の外周縁は弁本体１の環状溝１８内に嵌挿されており、ダイヤフラム押さえ６と弁本体１との間に挟持され、内部流体が外部へ漏洩することを防止している。
【００２３】
尚、本発明において駆動部の形式はエア駆動式だけでなく、手動式、電動式でも良く、特に限定されるものではない。弁の形式についても、ダイヤフラム弁だけでなく、ニードル弁、ピンチ弁等でも良く、特に限定されるものではない。
【００２４】
また、本発明において本体等の部材はＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）などのフッ素樹脂が好適に使用されるが、ポリ塩化ビニル、ポリプロピレン等の他のプラスチックでも良く、特に限定されるものではない。
【００２５】
以上説明したように、本発明の弁は部品点数が少なく、その構造が簡単であり、コンパクトな構成となっている。
【００２６】
次に本実施の形態の弁の組立方法について説明する。
【００２７】
まず、弁本体１を駆動部２の一対の脚部１１の間へ嵌め込み、弁本体１の弁室１７内に弁体７を収容させる（図７の状態）。このとき脚部１１の先端は弁本体１の下面より下方へ突出し、脚部１１の内壁の溝１２の上面と弁本体１の下面が面一となる。尚、ダイヤフラム８はダイヤフラム押さえ６を介して弁本体１と駆動部２との間に挟持されることとなる。
【００２８】
さらに、弁本体１の下端に台座３の突出部の上端を当接させた状態で、脚部１１の溝１２に、該溝１２と対応する形状を有した台座３の矩形状凸部１６を嵌め込む（図８の状態）。これにより弁本体１が駆動部２と台座３とによって挟持固定されることとなる（図４の状態）。
【００２９】
このように、本発明の弁は、組立が極めて容易であり、ボルトなどの締結具も一切不要であるため、腐食性の流体や弁の設置されている雰囲気に含まれる腐食性ガスによって金属製のボルトが腐食することでボルトが破断して弁が破壊することがない。さらに、弁の各部品は樹脂製なので、樹脂の特性に応じて各種薬液ラインでの使用が可能である。特にフッ素樹脂を用いた場合、腐食の心配をすることなく使用することができる。また、分解方法については、上記組立方法を逆の手順で行えばよく、分解も極めて容易であり、メンテナンス性に優れている。
【００３０】
加えて、脚部１１と台座３の固定は嵌合に限らず、接着、熱溶着、超音波溶着または振動溶着等の溶着でもよい。さらに、嵌合と接着或いは溶着を併用しても構わない。
【００３１】
接着による組立方法では、脚部の端面及び台座の延長部の上面（すなわち接合面）の少なくともどちらか一方に接着剤を塗布し、両脚部の間に弁本体が嵌挿された状態で脚部と台座とを圧接し、接着剤を硬化させる。尚、ここで用いる接着剤の種類は特に限定されず、脚部及び台座の材質に対して十分な接着強度が得られるものであればよい。
【００３２】
溶着による組立方法では、ヒーター等による加熱、振動や超音波を用いた摩擦熱等によって脚部の端面及び台座の延長部の接合面を溶融させ、圧接して接合する。
【００３３】
上記の構成からなる本実施の形態の弁の作動は次の通りである。
【００３４】
図１及び図２は弁の閉状態を示しており、駆動部２の側面に設けられた作動流体供給口１４から外部より作動流体（例えば圧縮された空気等）が注入されると、該作動流体の圧力でピストン４が押し上げられるためこれと接合されているロッド部５は上方へ引き上げられ、該ロッド部５の下端部に接合された弁体７も上方へ引き上げられ弁は開状態となる（図３の状態）。
【００３５】
一方、作動流体供給口１５から作動流体が注入されると、ピストン４が押し下げられ、それにともなって、ロッド部５とその下端部に接合された弁体７も下方へ押し下げられ、弁は閉状態となる。（図１及び図２の状態）。
【実施例２】
【００３６】
図９に本発明の弁の第二の実施例を示す。
【００３７】
図９において２０は弁本体であるが、その各構成部分については前記第一の実施例と同様なので説明は省略する。
【００３８】
２１は駆動部であり、前記第一の実施例と異なる点は、脚部２２の先端に外側に向かって突出した矩形状凸部２３が形成されていることである。
【００３９】
２４は台座であり、中央部が流路軸方向に延び且つ断面矩形状に窪んだ溝形状となっており、内壁には駆動部２１の矩形状凸部２３と対応した形状を有し且つ該矩形状凸部２３が嵌合される流路軸方向に延びた断面矩形状の凹状溝部２５が設けられている。
【００４０】
前記第一の実施例と同様に、台座２４と脚部２２とを嵌合固定することによって、駆動部２１の脚部２２の間に嵌挿された弁本体２０を駆動部２１と台座２４との間に挟持している。
【００４１】
このように、第二の実施例は、前記第一の実施例と同様に、構造が簡単であり、コンパクトで組立が容易な構成となっている。
【００４２】
尚、第二の実施例の弁の作動については前記第一の実施例と同様であるので説明は省略する。
【実施例３】
【００４３】
図１０及び図１１に本発明の弁の第三の実施例を示す。
【００４４】
図１０において２６は駆動部であり、前記第一の実施例と異なる点は、脚部２７の溝２８が円環状に形成されていることである。
【００４５】
２９は台座であるが、中央部が板状の基部から円柱状に突出しており、該円柱の上部外周には半径方向に突出した一対の凸部３０が設けられている。
【００４６】
脚部２７と台座２９との固定は以下のようにして行われる。
【００４７】
まず凸部３０を弁本体の流路軸方向と同じ方向に向けた状態で、脚部２７と台座２９を嵌合させる。
【００４８】
次に台座を９０度回転させて凸部３０を脚部２７の溝２８に嵌合させることにより、脚部２８と台座２９とを固定し、弁本体を挟持する。
【００４９】
このように、第三の実施例は、前記第一の実施例と同様に、構造が簡単であり、コンパクトで組立が容易な構成となっている。
【００５０】
尚、第三の実施例の弁の作動については前記第一の実施例と同様であるので説明は省略する。
【実施例４】
【００５１】
図１２に本発明の弁を有する流体供給システムである第四の実施例を示す。
【００５２】
図１２に示されているように、循環ライン３１が、タンク３２から、ポンプ３３、弁３４を経由してタンク３２へと循環するように配置されている。また、供給ライン３５が、循環ライン３１の途中から分岐して延びており、上流側から弁３６、レギュレータ３７、流量計３８、電動ピンチ弁３９がこの順で直列に配置されている。循環ライン３１のポンプ３３の下流側に圧力計４０を、供給ライン３５のレギュレータ３７の下流側に圧力センサ４１を配置しても良い。また、各ラインを流れる流体として薬液を使用している。以下に各ラインに配置される部材について詳細に説明する。
【００５３】
タンク３２は、ユースポイントへ供給するための薬液を貯留するものである。本実施例では流体として薬液（塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、水酸化ナトリウム、アンモニア水など）を使用しているが、純水、レジスト、ＣＭＰ用スラリーなどを使用して良く、ユースポイントで好適に用いられる流体であれば特に限定されるものではない。
【００５４】
ポンプ３３は、各々のラインに流体を圧送するベローズポンプである。本実施例ではベローズポンプを用いているが、脈動の発生の有無にかかわらず、いかなるポンプを用いても良く、特に限定されるものではない。
【００５５】
弁３４、３６は、例えば第一の実施例に示されているような本発明の弁であり、その作動については前記第一の実施例と同様であるので説明を省略する。
【００５６】
レギュレータ３７は、流体の脈動を抑制し、圧力を概略一定に制御するためのものである。
【００５７】
流量計３８は、超音波の伝播時間差を利用して流体の流量を計測する超音波式流量計である。本実施例では超音波式流量計を用いているが、カルマン渦式流量計、羽根車式流量計、電磁流量計、差圧式流量計、容積式流量計、熱線式流量計、または質量流量計などの他の流量計を用いても良い。
【００５８】
電動ピンチ弁３９は、電気駆動によって開度を変化させて流量制御を行う電気駆動式自動ピンチ弁である。本実施例では電気駆動式だが、自動で開閉操作を行える駆動方式であればエア駆動式などでも良く、特に限定されるものではない。
【００５９】
上記の構成からなる第四の実施例の作動は次の通りである。
【００６０】
弁３６が開状態の場合、ポンプ３３から圧送される薬液は、循環ライン３１から分岐する供給ライン３５にも流れる。レギュレータ３７により一定の圧力に制御された後、流量計３８で計測した計測値は電気信号に変換され、制御部（図示せず）によってフィードバック制御され、電動ピンチ弁３９の開度を変化させ、電動ピンチ弁３９は流体の流量を設定された流量値に収束させるように制御される。このため、供給ライン３５を通過した薬液は、任意に設定された流量で安定してユースポイントに供給される。
【００６１】
このとき、本発明の弁はコンパクトであり、流量制御を行う構成もコンパクトであるため、システム自体を小さく収めることができる。また、本発明の弁のメンテナンスが容易であるため、システムのメンテナンスにおける作業の省力化を図ることができる。
【実施例５】
【００６２】
図１３に本発明の弁を有する他の流体供給システムである第五の実施例を示す。
【００６３】
図１３に示されているように、４２は第一供給ラインであり、第一供給ライン４２に沿って、上流側からタンク４３、ポンプ４４、弁４５、流量計４６、弁４７がこの順で直列に配置されている。４８は第二供給ラインであり、第二供給ライン４８に沿って、上流側からタンク４９、ポンプ５０、弁５１、流量計５２、弁５３がこの順で直列に配置されている。弁５４が、第一供給ライン４２と第二供給ライン４８を連通させるライン上に配置されている。また、第一供給ライン４２のポンプ４４の下流側に圧力計５５を、第二供給ライン４８のポンプ５０の下流側に圧力計５６を配置しても良い。また、各ラインを流れる流体として薬液を使用している。
【００６４】
各ラインに配置される各構成部分であるタンク４３、４９、ポンプ４４、５０、弁４５、４７、５１、５３、５４、流量計４６、５２については前記第四の実施例と同様なので説明を省略する。
【００６５】
上記構成からなる第五の実施例の作動は次の通りである。
【００６６】
まず弁５４が閉状態で、弁４５、４７、５１、５３は開状態で使用する場合、タンク４３内に貯留された薬液はポンプ４４によって圧送され、第一供給ライン４２を通過してユースポイントに供給される。同様にタンク４９内に貯留された薬液はポンプ５０によって圧送され、第二供給ライン４８を通過してユースポイントに供給される。
【００６７】
次に、弁５４が開状態の場合、弁４５、４７、５１、５３の開閉操作によって用途に応じてさまざまな形態で使用することができる。例えば弁４５、５３を開状態にして弁４７、５１を閉状態にすることで、薬液のユースポイントを変更して供給することができる。また、例えば弁４５、５１、５３を開状態にして弁４７を閉状態にすることで、タンク４３、４９のそれぞれの薬液を混合してユースポイントに供給することができる。
【００６８】
タンク４３、４９に貯留された薬液は、それぞれ同じであっても異なっていてもよく、第一供給ライン４２と第二供給ライン４８の流量は、それぞれ同じであっても異なっていてもよい。
【００６９】
このとき本実施例のシステムには多数の本発明の弁が使用されているが、本発明の弁はコンパクトであるため、システム内の配置において場所をとらず、システム自体も小さく収めることができる。また、本発明の弁のメンテナンスが容易であるため、上記システムのメンテナンスにおける作業の省力化を図ることができる。
【００７０】
なお、本発明の弁を有する流体供給システムは、第四及び第五の実施例に示されている流体供給システムに限定されるものではなく、本発明の弁を有していればシステムの構成はいずれのタイプのものでもよい。
【実施例６】
【００７１】
図１４に本発明の弁を有する流体排出システムである第六の実施例を示す。
【００７２】
図１４に示されているように、排出ライン５７が、タンク５８からポンプ５９を経由して濃縮タンク６０まで延びている。また、循環ライン６１が、濃縮タンク６０から、ポンプ６２、ろ過装置６３、弁６４を経由して濃縮タンク６０へと循環するように配置されている。さらに、弁６５が、ポンプ６２とろ過装置６３との間から分流して濃縮液を排出するライン上に配置され、弁６６が、ろ過装置６３によって透過された透過液を排出するライン上に配置されている。各ラインを流れる流体としてはＣＭＰ用スラリーを使用している。以下に各ラインに配置される部材について詳細に説明する。
【００７３】
タンク５８は、ユースポイントから排出されたＣＭＰ用スラリーの排液を貯留するものである。本実施例では流体にＣＭＰ用スラリーを用いているが、薬液（塩酸、硫酸、硝酸、フッ酸、水酸化ナトリウム、アンモニア水など）、純水、レジストなどを使用しても良く、ユースポイントで好適に用いられる流体であれば特に限定されるものではない。
【００７４】
濃縮タンク６０は、排出ライン５７からのＣＭＰ用スラリーの排液を貯留し、また循環ライン６１でろ過装置６３によって透過されないＣＭＰ用スラリーの濃縮液を循環によって貯留するものである。
【００７５】
ろ過装置６３は、ＣＭＰ用スラリーの排液をろ過して、透過液と、透過されないＣＭＰ用スラリーの濃縮液とに分けるものである。本実施例ではろ過装置は単一であるが、流体が複数のろ過装置を通過するような構成にしても良い。
【００７６】
ポンプ５９、６２、弁６４、６５、６６については前記第四の実施例のポンプ及び弁と同様なので説明を省略する。
【００７７】
上記構成からなる第六の実施例の作動は次の通りである。
【００７８】
ユースポイントから排出されたＣＭＰ用スラリーの排液はタンク５８に一旦貯留され、まずポンプ５９でタンク５８から濃縮タンク６０へ圧送される。次に、ポンプ６２によりＣＭＰ用スラリーは循環ライン６１を循環する。このとき、ろ過装置６３でろ過された透過液は開状態の弁６６を通過して排出される。排出された透過液は、リサイクルされて使用されたり、排液処理されて放流される。また、透過されないＣＭＰ用スラリーの濃縮液は、循環ライン６１を循環して濃縮された状態で濃縮タンク６０へ貯留される。濃縮タンク６０に貯留された濃縮液は、弁６５を開状態にして排出する。排出した濃縮液は産廃処理される。
【００７９】
このように本発明の弁を用いたシステムは用いる弁がコンパクトなため、システム内の配置において場所をとらずに済む。特に流体排出システムでは複雑な配管を組む場合が多く、配管の随所に弁が設けられているが、本発明の弁を用いればシステム内で場所をとらないため、システム自体を小さく収めることができる。また、本発明の弁のメンテナンスが容易であるため、本発明の弁を多く用いた流体排出システムでは、設置した弁において本発明の弁が占める割合が多いほど、メンテナンスにおける作業の省力化を図ることができる。
【００８０】
なお、本発明の弁を有する流体排出システムは、第六の実施例に示されている流体排出システムに限定されるものではなく、本発明の弁を有していればシステムの構成はいずれのタイプのものでもよい。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明の弁は、化学工場、食品分野、医薬分野等の製造ライン、半導体製造装置、液晶等のＦＰＤ製造装置、メッキや薬液供給等の各種装置で用いられ、金属ボルトを用いると腐食性の流体やガスによる腐食によって締結部に損傷が生じる恐れのあるような流体供給システムや流体排出システムにおいて使用できる。また、コンパクトなので、配管スペースの小さいところに使用できる。本発明の弁を用いたシステムは、システム自体を小さく収めることができ、メンテナンスにおける作業の省力化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の弁の閉状態を示す縦断面図である。
【図２】図１を側面（流路軸に垂直な方向）から見た縦断面図である。
【図３】図１の弁の開状態を示す縦断面図である。
【図４】本発明の斜視図である。
【図５】本発明の駆動部の斜視図である。
【図６】本発明の台座の斜視図である。
【図７】本発明の実施例１において、弁本体を嵌め込んだ状態を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施例１において、台座を嵌め込んだ状態を示す斜視図である。
【図９】本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図１０】本発明の他の実施例を示す斜視図である。
【図１１】本発明の他の実施例の台座の斜視図である。
【図１２】本発明の弁を有する流体供給システムを示す概念構成図である。
【図１３】本発明の弁を有する他の流体供給システムを示す概念構成図である。
【図１４】本発明の弁を有する流体排出システムを示す概念構成図である。
【図１５】従来の弁を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００８３】
１…弁本体
２…駆動部
３…台座
４…ピストン
５…ロッド部
６…ダイヤフラム押さえ
７…弁体
８…ダイヤフラム
９…入口流路
１０…出口流路
１１…脚部
１２…溝
１３…シリンダ部
１４…作動流体供給口
１５…作動流体供給口
１６…矩形状凸部
１７…弁室
１８…環状溝
１９…貫通孔
２０…弁本体
２１…駆動部
２２…脚部
２３…矩形状凸部
２４…台座
２５…溝
２６…駆動部
２７…脚部
２８…溝
２９…台座
３０…凸部
３１…循環ライン
３２…タンク
３３…ポンプ
３４…弁
３５…供給ライン
３６…弁
３７…レギュレータ
３８…流量計
３９…電動ピンチ弁
４０…圧力計
４１…圧力センサ
４２…第一供給ライン
４３…タンク
４４…ポンプ
４５…弁
４６…流量計
４７…弁
４８…第二供給ライン
４９…タンク
５０…ポンプ
５１…弁
５２…流量計
５３…弁
５４…弁
５５…圧力計
５６…圧力計
５７…排出ライン
５８…タンク
５９…ポンプ
６０…濃縮タンク
６１…循環ライン
６２…ポンプ
６３…ろ過装置
６４…弁
６５…弁
６６…弁
６７…弁本体
６８…駆動部
６９…金属ボルト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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