(57)【要約】【課題】  本発明は帯状ワークをＹ方向に移動させる際に損傷することを防止すると共に、構成のコンパクトを図ることを課題とする。【解決手段】  レーザ加工機１０は、レーザ光照射部１４と、ワーク移送機構１６と、吸着テーブル１８と、ＸＹステージ２０とを有する。ワーク移送機構１６は、吸着テーブル１８の両側にワーク巻き出し部３４と、ワーク巻き取り部３６とを有する。そして、吸着テーブル１８、ワーク巻き出し部３４、ワーク巻き取り部３６は、支持ベース３８に搭載されており、一つのユニットとしてＸ方向及びＹ方向に移動する。従って、帯状ワークＷは、吸着テーブル１８がＹ方向に移動させる際に損傷することがない。さらに、レーザ加工機１０では、構成がコンパクトになり、装置全体の小型化を図ることができる。【選択図】  図１
2005088015.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工前の帯状ワークを巻き出しするワーク巻き出し部と、
該ワーク巻き出し部から引き出された帯状ワークを保持するテーブルと、
該テーブルに保持された前記帯状ワークにレーザ光を照射するレーザ照射部と、
該レーザ照射部からのレーザ光を照射された加工済み帯状ワークを巻き取るワーク巻き取り部と、
前記テーブルをＸ方向及びＹ方向に移動させるＸＹステージと、
を有するレーザ加工機において、
前記ワーク巻き出し部を前記テーブルを支持する支持ベースのワーク供給側に一体的に設け、
前記ワーク巻き取り部を前記支持ベースのワーク排出側に一体的に設けたことを特徴とするレーザ加工機。
【請求項２】
前記帯状ワークを加工するとき、前記帯状ワークが前記テーブルに保持されるように前記ワーク巻き出し部及び前記ワーク巻き取り部を降下させ、前記帯状ワークを巻き取るとき、前記帯状ワークが前記テーブルから離間するように前記ワーク巻き出し部及び前記ワーク巻き取り部を上昇させる昇降手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のレーザ加工機。
【請求項３】
前記支持ベースは、
前記テーブルを支持する第１のベースと、
前記ワーク巻き出し部を支持する第２のベースと、
前記ワーク巻き取り部を支持する第３のベースと、
を有することを特徴とする請求項２記載のレーザ加工機。
【請求項４】
前記第１のベースは、前記ＸＹステージによりＸ方向及びＹ方向に駆動されることを特徴とする請求項３記載のレーザ加工機。
【請求項５】
前記第２のベースに前記ワーク巻き出し部を駆動する第１の駆動部を設け、
前記第３のベースに前記ワーク巻き取り部を駆動する第２の駆動部を設けたことを特徴とする請求項３記載のレーザ加工機。
【請求項６】
前記ワーク巻き出し部から引き出された前記帯状ワークに、所定の張力を付与する第１の張力付与手段と、
前記テーブル上に装架された前記帯状ワークに、所定の張力を付与する第２の張力付与手段と、
を有することを特徴とする請求項１記載のレーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレーザ加工機に係り、特にテープ状に形成された帯状ワークをＸ方向及びＹ方向に移動させて連続的に加工するのに好適なレーザ加工機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のレーザ加工機では、帯状ワークにレーザ光を照射して微細な孔加工を施す場合、巻き出しリールから引き出された帯状ワークの被加工領域を吸着テーブルに対向させ、被加工領域を真空吸着により吸着テーブルに吸着させた状態でレーザ光を帯状ワークに照射する。
【０００３】
そして、吸着テーブルは、レーザ照射部に対して相対移動するようにＸＹステージによりＸ方向及びＹ方向に駆動される。吸着テーブルの一側には、帯状ワークが巻回された巻き出しリールが固定ベースに設けられ、吸着テーブルの他側には、吸着テーブルを通過した帯状ワークを巻き取る巻き取りリールが固定ベースに設けられている。
【０００４】
さらに、吸着テーブルの一側と巻き出しリールとの間、及び吸着テーブルの他側と巻き取りリールとの間には、帯状ワークに張力を付与するテンションローラや帯状ワークをガイドする段差ローラとが設けられている。このテンションローラや段差ローラは、固定ベースに支持された軸により回転自在に支持されており、且つ帯状ワークのＹ方向幅よりも長く形成されている。
【０００５】
そして、吸着テーブルをＹ方向（装置の前後方向）に移動して被加工領域の加工点をレーザ照射位置に移動させる場合、吸着テーブルの両側に装架された帯状ワークがテンションローラや段差ローラの外周に摺接しながら軸方向（Ｙ方向）にずれることになる。これにより、帯状ワークは、テンションローラや段差ローラに擦られて損傷するおそれがあった。特に幅寸法の大きい帯状ワークを加工する場合には、それだけ軸方向（Ｙ方向）への移動距離が大きくなるため、帯状ワークのローラ摺接部分が損傷しやくなる。
【０００６】
このような問題を解消するため、テンションローラや段差ローラ及び巻き出しリール、巻き取りリールを支持するリール支持台を軸方向（Ｙ方向）に移動可能に設ける構成のものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
このものは、吸着テーブルがＹ方向に移動する際、上記リール支持台をモータによりＹ方向に移動させることで帯状ワークがローラに対してＹ方向に擦られることを防止しており、帯状ワークが損傷しないように構成されている。
【特許文献１】特開２００１−１０５１７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のレーザ加工機では、上記のように吸着テーブルのＹ方向への移動に同期して上記支持台をＹ方向に移動させるため、支持台をＹ方向にガイドするリニアガイドや支持台をＹ方向に駆動するボールねじ機構やＹ方向駆動モータを設ける必要があり、構成が複雑化するばかりか、装置全体が大型化して設置スペースをより大きくしなければならないという問題があった。
【０００９】
また、上記従来のレーザ加工機では、吸着テーブルのＹ方向への移動速度と、上記リール支持台のＹ方向への移動速度とが一致しない場合には、両者の動作タイミングがずれてしまうため、帯状ワークがローラに擦られて損傷するおそれがある。
【００１０】
さらに、上記従来のレーザ加工機では、帯状ワークを巻き取り動作する際にテーブルを降下させて帯状ワークが吸着テーブルに接触しないようにしているが、吸着テーブルの重量が大きいので、装置が大型化していた。
【００１１】
そこで、本発明は上記課題を解決したレーザ加工機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１記載の発明は、加工前の帯状ワークを巻き出しするワーク巻き出し部と、ワーク巻き出し部から引き出された帯状ワークを保持するテーブルと、テーブルに保持された帯状ワークにレーザ光を照射するレーザ照射部と、レーザ照射部からのレーザ光を照射された加工済み帯状ワークを巻き取るワーク巻き取り部と、テーブルをＸ方向及びＹ方向に移動させるＸＹステージと、を有するレーザ加工機において、ワーク巻き出し部をテーブルを支持する支持ベースのワーク供給側に一体的に設け、ワーク巻き取り部を支持ベースのワーク排出側に一体的に設けたものであり、構成のコンパクト化が図られている。
【００１３】
請求項２記載の発明は、帯状ワークを加工するとき、帯状ワークがテーブルに保持されるようにワーク巻き出し部及びワーク巻き取り部を降下させ、帯状ワークを巻き取るとき、帯状ワークがテーブルから離間するようにワーク巻き出し部及びワーク巻き取り部を上昇させる昇降手段を設けたものであり、帯状ワークの損傷を防止する。
【００１４】
請求項３記載の発明は、支持ベースが、テーブルを支持する第１のベースと、ワーク巻き出し部を支持する第２のベースと、ワーク巻き取り部を支持する第３のベースと、を有しており、第１のベースに対して第２、第３のベースを個別に昇降させられる。
【００１５】
請求項４記載の発明は、第１のベースが、ＸＹステージによりＸ方向及びＹ方向に駆動され、第１のベースと共に第２、第３のベースを一体的に移動させられる。
【００１６】
請求項５記載の発明は、第２のベースにワーク巻き出し部を駆動する第１の駆動部を設け、第３のベースにワーク巻き取り部を駆動する第２の駆動部を設けており、ワーク巻き取り部及びワーク巻き取り部を一体的に移動させられる。
【００１７】
請求項６記載の発明は、ワーク巻き出し部から引き出された帯状ワークに、所定の張力を付与する第１の張力付与手段と、テーブル上に装架された帯状ワークに、所定の張力を付与する第２の張力付与手段と、を有し、帯状ワークの損傷を防止する。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１記載の発明によれば、ワーク巻き出し部、テーブル、ワーク巻き取り部が一体的に移動できるように支持ベースに搭載された状態でＸＹステージによりＸ方向及びＹ方向に駆動されるため、テーブルをＹ方向に移動させる際に帯状ワークが損傷せず、且つ構成がコンパクトになり、装置全体の小型化を図ることができる。そのため、レーザ加工機の設置スペースも小さくて済み、狭い場所にも設置することが可能になる。
【００１９】
請求項２記載の発明によれば、帯状ワークを巻き取るとき、ワーク巻き出し部及びワーク巻き取り部を上昇させることにより、帯状ワークを移送する際に帯状ワークをテーブルから離間させ、帯状ワークを移送する過程で帯状ワークがテーブルに擦られず、帯状ワークが損傷することを防止できると共に、テーブルよりも軽量なワーク巻き出し部及びワーク巻き取り部を昇降させることで装置の小型化が図れる。
【００２０】
請求項３記載の発明によれば、テーブルを支持する第１のベースに対して、ワーク巻き出し部を支持する第２のベースと、ワーク巻き取り部を支持する第３のベースとを独立に昇降させて、帯状ワークを移送する過程で帯状ワークがテーブルに擦られず、帯状ワークが損傷することを防止できる。
【００２１】
請求項４記載の発明によれば、第１のベースをＸＹステージによりＸ方向及びＹ方向に駆動することにより、第１のベースの両側に設けられた第２、第３のベースを第１のベースと一体的にＸ方向及びＹ方向に移動させることが可能になり、Ｘ方向及びＹ方向に移動させて移動中でも帯状ワークがテーブルに擦られず、帯状ワークが損傷することを防止できる。
【００２２】
請求項５記載の発明によれば、第２のベースに巻き出しリールを回転駆動する第１の駆動部を設け、第３のベースに前記巻き取りリールを回転駆動する第２の駆動部を設けることにより、第１、第２の駆動部をテーブルと共に、Ｘ方向及びＹ方向に移動させることが可能になる。
【００２３】
請求項６記載の発明によれば、第１、第２の張力付与手段により帯状ワークに所定の張力を付与することにより、第１、第２の張力付与手段をテーブルと共に、Ｘ方向及びＹ方向に移動させて移動中でも帯状ワークがテーブルに擦られず、帯状ワークが損傷することを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面と共に本発明の一実施例について説明する。
【実施例】
【００２５】
図１は本発明になるレーザ加工機の一実施例を示す正面図である。図２はレーザ加工機の側面図である。図３はレーザ加工機の平面図である。尚、図１及び図２において２点鎖線は、動作範囲を示している。
【００２６】
図１乃至図３に示されるように、レーザ加工機１０は、箱状に形成された筐体１２の内部に、レーザ光照射部１４と、ワーク移送機構１６と、吸着テーブル１８と、ＸＹステージ２０とが収納されている。ＸＹステージ２０は、吸着テーブル１８を支持する支持ベース３８をＸ方向に駆動するＸ方向リニア駆動部２０Ａと、Ｘ方向リニア駆動部２０ＡをＹ方向に駆動するＹ方向リニア駆動部２０Ｂとを有する。
【００２７】
また、筐体１２の両側には、上記レーザ光照射部１４、ワーク移送機構１６、吸着テーブル１８、ＸＹステージ２０を制御する制御装置２６が配置されている。レーザ光照射部１４は、制御装置２６からの制御により帯状ワークＷの所定領域（以下「被加工領域」という）に対してレーザ光を照射して微細な孔加工を施す。そのときの帯状ワークＷの加工点とレーザ光照射部１４の光軸との位置合わせは、制御装置２６がＸＹステージ２０を駆動して吸着テーブル１８及びワーク移送機構１６をＸ方向及びＹ方向に駆動させて行う。そして、ワーク移送機構１６は、帯状ワークＷの被加工領域に対するレーザ加工が終了すると、帯状ワークＷを巻き取って次の被加工領域を吸着テーブル１８のワーク吸着面１８ａに対向する位置に移送する。
【００２８】
吸着テーブル１８は、ワーク吸着面１８ａに空気を吸引する複数の空気吸引孔１８ｂ（図６参照）がＸ、Ｙ方向に整列しており、真空発生装置（図示せず）により空気吸引孔１８ｂの空気が吸引されることで帯状ワークＷの被加工領域を吸着する。
【００２９】
筐体１２の上部には、レーザ光を出力するレーザ発振部２８と、レーザ発振部２８からのレーザ光をレーザ光照射部１４に導く光学系３０と、レーザ発振部２８を駆動する光源装置３１と、各制御データ（パラメータ）を入力するパーソナルコンピュータ３２とが取り付けられている。
【００３０】
ワーク移送機構１６は、吸着テーブル１８の一側に配置されたワーク巻き出し部３４と、吸着テーブル１８の他側に配置されたワーク巻き取り部３６とを有する。吸着テーブル１８は、支持ベース３８に支持されており、ＸＹステージ２０は支持ベース３８をＸ方向及びＸ方向と直交するＹ方向に移動させる。また、支持ベース３８には、ワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６も搭載されており、吸着テーブル１８、ワーク巻き出し部３４、ワーク巻き取り部３６が一つのユニットとしてＸ方向及びＹ方向に移動する。
【００３１】
従って、レーザ光照射部１４に対して吸着テーブル１８をＸ方向及びＹ方向に移動させる際は、ワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６も一体的に移動することができるので、ワーク巻き出し部３４とワーク巻き取り部３６との間に装架された帯状ワークＷは、吸着テーブル１８がＹ方向に移動させる際に帯状ワークＷが損傷することがない。
【００３２】
さらに、レーザ加工機１０では、ワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６の構成がコンパクトになり、装置全体の小型化を図ることができるため、設置スペースも小さくて済み、狭い場所にも設置することが可能になる。
【００３３】
ここで、ワーク移送機構１６及び吸着テーブル１８の構成について図４乃至図６を併せ参照して説明する。図４はワーク移送機構１６及び吸着テーブル１８を拡大して示す正面図である。図５はワーク移送機構１６及び吸着テーブル１８を拡大して示す側面図である。図６はワーク移送機構１６及び吸着テーブル１８を拡大して示す平面図である。尚、図４及び図５において２点鎖線は、動作範囲を示している。
【００３４】
図４乃至図６に示されるように、支持ベース３８は、吸着テーブル１８が搭載された第１のベース４０と、ワーク巻き出し部３４が搭載された第２のベース４２と、ワーク巻き取り部３６が搭載された第３のベース４４とを組み合わせた構成である。そして、第１のベース４０の両側には、昇降機構（昇降手段）４６，４８が設けられている。
【００３５】
第１のベース４０には、吸着テーブル１８の空気吸引孔１８ｂに連通される空気吸引経路（図示せず）が設けられており、この空気吸引経路には真空発生装置（図示せず）からのチューブが連通されている。
【００３６】
第２のベース４２は、昇降機構４６により第１のベース４０に対して昇降可能に設けられている。また、第３のベース４４は、昇降機構４８により第１のベース４０に対して昇降可能に設けられている。この昇降機構４６，４８は、帯状ワークＷにレーザ光を照射して加工するとき、帯状ワークＷが吸着テーブル１８に吸着されるようにワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６を降下させ、帯状ワークＷを巻き取るとき、帯状ワークＷが吸着テーブル１８から離間するようにワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６を上昇させる。
【００３７】
このように、帯状ワークＷを巻き取るとき、ワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６を上昇させることにより、帯状ワークＷを移送する際に帯状ワークＷを吸着テーブル１８から離間させ、帯状ワークＷを移送する過程で帯状ワークＷが吸着テーブル１８に擦られず、帯状ワークＷが損傷することを防止できる。さらに、昇降機構４６，４８は、吸着テーブル１８よりも軽量なワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６を昇降させる構成であるので、装置の小型化が図れる。
【００３８】
ワーク巻き出し部３４は、帯状ワークＷが巻回された巻き出しリール５０と、巻き出しリール５０から引き出された帯状ワークＷに所定の張力（テンション）を付与する第１の張力付与部５２とを有する。また、第１の張力付与部５２は、帯状ワークＷの移送方向に回転する駆動ローラ５４と、駆動ローラ５４の外周に帯状ワークＷを押圧する押圧ローラ５６と、押圧ローラ５６と吸着テーブル１８との間に介在して帯状ワークＷの高さ位置を吸着テーブル１８のワーク吸着面１８ａに位置合わせするためのガイドローラ５８とを有する。
【００３９】
さらに、第２のベース４２の背面には、巻き出しリール５０の軸５０ａを回転駆動する駆動モータ６０と、駆動ローラ５４の軸５４ａを回転駆動する駆動モータ６２とが取り付けられている。これらの駆動モータ６０，６２は、帯状ワークＷの被加工領域に対するレーザ光照射部１４による加工が終了すると駆動されるように制御装置２６により回転を制御される。
【００４０】
また、駆動ローラ５４は、巻き出しリール５０の回転が回転・停止して帯状ワークＷの所定長さ（被加工領域に対応する長さ）が移送された後、帯状ワークＷの移送方向に対して逆方向に回転して帯状ワークＷにバックテンションを付与する張力付与手段として機能する。
【００４１】
ワーク巻き取り部３６は、帯状ワークＷを巻き取る巻き取りリール６４と、吸着テーブル１８を通過した帯状ワークＷに所定の張力（テンション）を付与する第２の張力付与部６６とを有する。また、第２の張力付与部６６は、帯状ワークＷの移送方向に回転するテンションローラ６８と、テンションローラ６８の外周に帯状ワークＷを押圧する押圧ローラ７０と、押圧ローラ７０と吸着テーブル１８との間に介在して帯状ワークＷの高さ位置を吸着テーブル１８のワーク吸着面１８ａに位置合わせするためのガイドローラ７２とを有する。
【００４２】
さらに、第３のベース４４の背面には、巻き取りリール６４の軸６４ａを回転駆動する駆動モータ７４と、テンションローラ６８の軸６８ａを回転駆動する駆動モータ７６とが取り付けられている。これらの駆動モータ７４，７６は、帯状ワークＷの被加工領域に対するレーザ光照射部１４による加工が終了すると駆動されるように制御装置２６により回転を制御される。
【００４３】
また、テンションローラ６８は、巻き取りリール６４が回転・停止して帯状ワークＷの所定長さ（被加工領域に対応する長さ）が移送された後も、帯状ワークＷの移送方向に回転して帯状ワークＷにテンションを付与する張力付与手段として機能する。
【００４４】
ここで、制御装置２６が実行する制御処理の手順について図７のフローチャートを参照して説明する。
【００４５】
図７のＳ１１で制御装置２６は、未加工の帯状ワークＷが巻回された巻き取りリール６４を装着してスタートスイッチ（図示せず）がオンに操作されると、ワーク巻き取り指示が入力されたかどうかを確認する。そして、ワーク巻き取り指示が入力された場合には、Ｓ１２に進み、昇降機構４６，４８によりワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６を所定高さ上昇させて帯状ワークＷを吸着テーブル１８のワーク吸着面１８ａから離間させる。
【００４６】
続いて、Ｓ１３に進み、上記巻き出し側の駆動モータ６０，６２及び巻取り側の駆動モータ７４，７６を回転駆動させて巻き出しリール５０、駆動ローラ５４を巻き出し方向に回転させると共に、巻き取りリール６４、テンションローラ６８を巻き取り方向に回転させる。
【００４７】
次のＳ１４では、帯状ワークＷの所定長さ（被加工領域に対応する長さ）が移送されたかどうかを確認する。Ｓ１４において、帯状ワークＷが所定長さ移送されて次の被加工領域が吸着テーブル１８のワーク吸着面１８ａに対向すると、Ｓ１５に進み、巻き出し側の駆動モータ６０，６２及び巻取り側の駆動モータ７４，７６への通電を止めて、巻き出しリール５０、駆動ローラ５４及び巻き取りリール６４、テンションローラ６８の回転を停止させる。
【００４８】
この停止制御を行う際は、駆動ローラ５４を帯状ワークＷの移送方向に対して逆方向に回転させ、帯状ワークＷにバックテンションを付与する。これで、帯状ワークＷの被加工領域は、皺の無い平面状態で吸着テーブル１８のワーク吸着面１８ａに対向することができる。
【００４９】
次のＳ１６では、昇降機構４６，４８によりワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６を降下させて帯状ワークＷを吸着テーブル１８のワーク吸着面１８ａに近接させる。続いて、Ｓ１７では、ワーク吸着面１８ａに形成された空気吸引孔１８ｂの空気が真空発生装置（図示せず）により吸引されることで帯状ワークＷの被加工領域をワーク吸着面１８ａに吸着させる。
【００５０】
このように、帯状ワークＷがワーク吸着面１８ａに吸着されると、Ｓ１８に進み、加工点のＸＹ座標データに基づいてＸＹステージ２０を駆動して帯状ワークＷをＸ方向及びＹ方向に移動させる。ＸＹステージ２０が駆動する支持ベース３８には、ワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６も搭載されているため、吸着テーブル１８、ワーク巻き出し部３４、ワーク巻き取り部３６が一体的にＸ方向及びＹ方向に移動する。そのため、ワーク吸着面１８ａに吸着された帯状ワークＷをＸ方向及びＹ方向に移動させる際は、ワーク巻き出し部３４及びワーク巻き取り部３６も一体的に移動することができるので、帯状ワークＷが損傷しないように動作させることができる。
【００５１】
次のＳ１９では、帯状ワークＷがＸ方向及びＹ方向に移動して帯状ワークＷの加工点がレーザ光照射部１４の光軸と一致すると、レーザ発振部２８から出力されたレーザ光が光学系３０を介してレーザ光照射部１４に入射され、レーザ光照射部１４から帯状ワークＷの加工点に照射させる。続いて、Ｓ２０に進み、当該被加工領域の加工が終了したかどうかを確認する。Ｓ２０において、まだ加工していないＸＹ座標データが残っているときは、上記Ｓ１８に戻り、次の加工点のＸＹ座標データに基づいてＸＹステージ２０を駆動して帯状ワークＷをＸ方向及びＹ方向に移動させる。
【００５２】
上記Ｓ２０において、まだ加工していないＸＹ座標データが残っていないときは、Ｓ２１に進み、レーザ発振部２８を停止させると共に、吸着テーブル１８によるワーク吸着を停止させる。続いて、Ｓ２２では、次の被加工領域の加工データが登録されているかどうかを確認する。
【００５３】
Ｓ２２において、次の被加工領域の加工データが登録されている場合は、Ｓ２３に移行して巻き出しリール５０に帯状ワークＷが巻回されているかどうかを確認する。また、上記Ｓ２２において、次の被加工領域の加工データが登録されていない場合は、今回の処理を終了する。
【００５４】
Ｓ２３において、巻き出しリール５０に帯状ワークＷが巻回されている場合は、上記Ｓ１２に戻り、Ｓ１２以降の処理を繰り返す。また、Ｓ２３において、巻き出しリール５０に帯状ワークＷが巻回されていない場合は、Ｓ２４に進み、巻き出しリール５０の交換を作業者に報知して今回の処理を終了する。
【００５５】
このように、レーザ光照射部１４の光軸に対して帯状ワークＷをＸ方向及びＹ方向に移動させる際は、巻き出しリール５０、吸着テーブル１８、巻き取りリール６４が一体的に移動するため、吸着テーブル１８をＹ方向に移動させる際に帯状ワークＷがローラにこすられて損傷することがなく、且つ構成がコンパクトになり、装置全体の小型化を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
上記実施例では、帯状ワークＷにレーザ光を照射して孔加工する場合を例に挙げて説明したが、これに限らず、本発明のレーザ加工機は、孔加工以外も適用することができるのは勿論である。
【００５７】
また、上記実施例では、吸着テーブルの上面に空気吸引孔を設けて帯状ワークを吸着する構成について説明したが、これに限らず、真空吸着以外の方法で帯状ワークを保持するように構成されたテーブルを用いることは可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明になるレーザ加工機の一実施例を示す正面図である。
【図２】レーザ加工機の側面図である。
【図３】レーザ加工機の平面図である。
【図４】ワーク移送機構１６及び吸着テーブル１８を拡大して示す正面図である。
【図５】ワーク移送機構１６及び吸着テーブル１８を拡大して示す側面図である。
【図６】ワーク移送機構１６及び吸着テーブル１８を拡大して示す平面図である。
【図７】制御装置２６が実行する制御処理の手順を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００５９】
１０  レーザ加工機
１４  レーザ光照射部
１６  ワーク移送機構
１８  吸着テーブル
２０  ＸＹステージ
２６  制御装置
２８  レーザ発振部
３４  ワーク巻き出し部
３６  ワーク巻き取り部
３８  支持ベース
４０  第１のベース
４２  第２のベース
４４  第３のベース
４６，４８  昇降機構
５０  巻き出しリール
５２  第１の張力付与部
５４  駆動ローラ
６０，６２，７４，７６  駆動モータ
６４  巻き取りリール
６６  第２の張力付与部
６８  テンションローラ
【図１】
2005088015.tif 000003
【図２】
2005088015.tif 000004
【図３】
2005088015.tif 000005
【図４】
2005088015.tif 000006
【図５】
2005088015.tif 000007
【図６】
2005088015.tif 000008
【図７】
2005088015.tif 000009