(57)【要約】【課題】ガラス面の温度が非常に高くなるような反射鏡でも耐熱性があり、反射面精度に優れ、しかも廉価なプロジェクター用ガラス製反射鏡及びその製造方法を提供すること。【解決手段】熱膨張係数が３０〜４５×１０−７／℃の非晶質ガラスから成り、光源から発射される光を反射する反射面部と光源バルブ又は光源バルブへの導線を挿入する開孔部とを有するプロジェクター用ガラス製反射鏡であって、前記開孔部は孔開け加工後に表面をエッチングによって平滑化されることにより加工部の機械的損傷が取り除かれているプロジェクター用ガラス製反射鏡。【選択図】図１
2005055633.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱膨張係数が３０〜４５×１０−７／℃の非晶質ガラスから成り、光源から発射される光を反射する反射面部と光源バルブ又は光源バルブへの導線を挿入する開孔部とを有するプロジェクター用ガラス製反射鏡であって、前記開孔部は孔開け加工後に表面をエッチングによって平滑化されることにより加工部の機械的損傷が取り除かれていることを特徴とするプロジェクター用ガラス製反射鏡。
【請求項２】
前記反射面部が回転楕円面又は回転放物面の形状を有し、前記開孔部近傍における面精度が、理想曲面に対して±２０μｍ以内であることを特徴とする請求項１記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡。
【請求項３】
光源から発せられる光を反射する反射面部と光源バルブ又は光源バルブへの導線を挿入する開孔部とを有するプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法であって、  溶融ガラスをボトム金型とプランジャとを有する金型により所定の反射鏡形状にプレス成形するプレス成形工程と、この工程により成形された反射鏡の前記開孔部に当たる部位のガラスを除去することにより前記開孔部を形成する開孔部形成工程と、この工程により形成された前記開孔部にエッチングを施してその表面を平滑化することにより加工部の機械的損傷を取り除く表面平滑化工程と、を有することを特徴とするプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法。
【請求項４】
前記エッチング処理により除去される前記開孔部加工面のエッチング量が、３０μｍ以上であることを特徴とする請求項３記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高圧水銀放電灯等の光源と共に用いられるガラス製反射鏡とその製造方法に係わり、特に液晶プロジェクターやＤＬＰプロジェクターなどプロジェクターの光源に好適なガラス製反射鏡とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶プロジェクターやＤＬＰプロジェクターなど（ここではこれらをまとめてプロジェクターという）の光源として、初期にはハロゲンランプと硼珪酸ガラスなどの耐熱ガラス製の反射鏡との組合せが用いられたが、投射画像の明るさや、より白色に近い光色、ランプ寿命などの点で優れる高圧放電灯がこれに置き換わってきた。この置き換わりには放電灯の小型化、高出力化の進展が貢献している。
【０００３】
プロジェクターは、パーソナルコンピュータやＤＶＤなどの映像機器の普及に伴って、業務用プレゼンテーションから家庭用に至るまで、用途が拡大しており、そのためにプロジェクター自体の小型化が進む一方で、明るさを損なわない、即ちランプの出力を落とさない、ニーズが拡大している。ランプ出力の増大はランプからの発熱量の増大を招き、プロジェクター筐体の小型化の影響もあって光源部分の温度上昇は著しく、反射鏡のネック部において６００℃を超えることもある。
【０００４】
従来のプロジェクターでは、ガラス面の最高温度が４００〜４５０℃程度であったが、最近のプロジェクターでは、ガラス面の最高温度が４５０〜５５０℃にも上昇している。したがって、プロジェクターの用途では、従来用いられてきた硼珪酸ガラスなどを用いた耐熱ガラス製反射鏡よりも耐熱性に優れる低熱膨張の結晶化ガラス製反射鏡が主流になっている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
これは、反射鏡の上昇温度が、従来用いられていた硼珪酸ガラスの転移点を越える可能性があること、５５０℃に達する温度では従来の硼珪酸ガラス製反射鏡はクラックや割れを生ずる確率が高いと信じられていたことによる。
【０００６】
一方、ガラス製反射鏡は所望の光学設計に基づいて製作された金型を用いて、溶融ガラスをプレス成型して製作される。
【０００７】
ところで、光源用の反射鏡は反射面の頂部に光源ランプを挿入固定するために開孔部が必要であるので、プレス成型時に反射面の裏面側に反射鏡の光軸に沿って突出するネック部を形成しておき、これを切断または孔開け加工することにより行なっていた。
【０００８】
また、一般に板ガラス製品では、周縁部に傷があると、その傷が微細なものであっても、応力が加わったときに、その傷が伸長して板ガラスの破壊につながることがあるため、周縁部を機械研削によって面取りして、傷の除去や欠けの防止を図ることが行われている。従来は、機械研削によって板ガラス一枚ずつに面取りを実施していたが、この方法では手間がかかるため、エッチングによって複数枚の板ガラスに面取りを同時に施す方法も知られている（特許文献２）。
【０００９】
【特許文献１】特公平７−３７３３４号公報
【特許文献２】特開昭５４−２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記結晶化ガラス製反射鏡では、ガラスを結晶化させる必要から、母ガラスのガラス転移点以上の温度に再加熱するため、このときのガラスの変形および結晶化時の収縮により、反射面形状が理想曲面から外れ、光源からの光の反射方向が乱れ反射効率が悪化する結果、プロジェクターにおいては投射像の明るさ(照度)が低下する。
【００１１】
また、この種反射鏡は、反射面に可視光を反射し赤外線を透過する誘電体多層膜を被着し、被照射物の赤外線による加熱を防止する手段が講じられる。したがって、光源が発した赤外線は多層膜を透過し反射鏡基体を通過するが、結晶化ガラスは結晶界面等で赤外線が散乱されるため、プロジェクターなどの筐体内では、反射鏡周辺に熱がこもりやすい。
【００１２】
結晶化工程を必要としない非晶質耐熱ガラスを用いた反射鏡は、成型後の再加熱を受けないため、結晶化ガラス製に比べて反射面精度が理想曲面に近く、プロジェクター光源に使用した場合の投射面照度に優れるが、上記のとおり高温の使用環境では破損にいたる危険があるため、比較的低出力光源との組合せに限定使用されているのが現状である。
【００１３】
非晶質ガラス製反射鏡で破損に至ったものを解析した結果、そのほとんどが上記ネック部に設けられた開孔部の切断面または孔開け加工面を起点として亀裂が入っていることが判明した。
【００１４】
上述のように板ガラス製品などでは、周縁部の傷を除去するために面取り加工が行われているが、反射鏡の開孔部はネック部端面または内周面にあるため、面取り加工は困難であり非常に効率が悪い。しかも、面取り加工そのものが機械加工であるため、微細なマイクロクラックまで完全に除去することは難しい。
【００１５】
本発明は上述のような、従来のプロジェクター用反射鏡の問題点にかんがみてなされたもので、高出力光源との組合せに耐えうる耐熱性を有し、反射面精度に優れ、かつ安価なガラス製反射鏡とその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１によれば、熱膨張係数が３０〜４５×１０−７／℃の非晶質ガラスから成り、光源から発射される光を反射する反射面部と光源バルブ又は光源バルブへの導線を挿入する開孔部とを有するプロジェクター用ガラス製反射鏡であって、前記開孔部は孔開け加工後に表面をエッチングによって平滑化されることにより加工部の機械的損傷が取り除かれていることを特徴とするプロジェクター用ガラス製反射鏡を提供する。
【００１７】
ここで、熱膨張係数が３０×１０−７／℃より低いと、成形性が悪くなり精密な反射面を要する反射鏡では歩留が低下し、４５×１０−７／℃を越えると、耐熱性が十分でなく高出力光源との組合せに耐えない。好ましくは４０×１０−７／℃までである。
【００１８】
また、加工部の機械的損傷が取り除かれているとは、機械的加工による欠け、表面荒れや表面に存在する数μｍのマイクロクラックが存在しない状態であることを意味し、反射鏡破損の起点となる機械的損傷が取り除かれていることにより、ガラス面の温度が非常に高くなるような反射鏡でも破損の発生を抑えることができる。
【００１９】
本発明の請求項２によれば、前記反射面部が回転楕円面又は回転放物面の形状を有し、前記開孔部近傍における反射面精度が、理想曲面に対して±２０μｍ以内であることを特徴とする請求項１記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡を提供する。
【００２０】
この場合の開孔部近傍とは、ネック部開孔端部から半径方向に２０ｍｍ程度までの範囲を意味し、開孔部近傍における面精度は理想曲面に対して±２０μｍ以内であればよい。反射鏡からの投射光の明るさにもっとも影響の有るのがネック部周辺の精度であるため、特にこの部分の反射面精度を良好にすることが効果的である。
【００２１】
本発明の請求項３によれば、光源から発せられる光を反射する反射面部と光源バルブ又は光源バルブへの導線を挿入する開孔部とを有するプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法であって、溶融ガラスをボトム金型とプランジャとを有する金型により所定の反射鏡形状にプレス成形するプレス成形工程と、この工程により成形された反射鏡の前記開孔部に当たる部位のガラスを除去することにより前記開孔部を形成する開孔部形成工程と、この工程により形成された前記開孔部にエッチングを施してその表面を平滑化することにより加工部の機械的損傷を取り除く表面平滑化工程と、を有することを特徴とするプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法を提供する。
【００２２】
本発明の請求項４によれば、前記エッチング処理により除去される前記開孔部加工面のエッチング量が、３０μｍ以上であることを特徴とする請求項３記載のプロジェクター用ガラス製反射鏡の製造方法を提供する。
【００２３】
後述するように機械加工により孔開けされた開孔部加工面は、微細な凹凸やクラックが多数存在する状態にあり、その影響をなくすためには、３０μｍ以上のエッチング量が必要である。
【００２４】
なお、前記開孔部形成工程は、前記反射面の側からドリルにより前記開孔部を形成してもよいし、前記開孔部に当たる部位をカッターにより切断して前記開孔部を形成してもよい。ドリルによる開孔部形成を反射面側からドリルを入れて行なうのは、切削くずやガラス片を反射面に付着させずに落下させるためである。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、耐熱性が高く反射精度が優れ廉価なプロジェクター用に好適なガラス反射鏡及びその製造方法が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。実施例及び比較例の反射鏡のガラスとして次に示す成分などを有する２種類のガラス（Ａ）、（Ｂ）を用いた。％はいずれも質量％である。
【００２７】
（Ａ）ＳｉＯ２  ８０．９％、Ａｌ２Ｏ３  ２．３％、Ｎａ２Ｏ  ４％、Ｂ２Ｏ３  １２．７％、熱膨張係数(0〜300℃)：３２．５×１０−７／℃。
【００２８】
（Ｂ）ＳｉＯ２  ７８％、Ａｌ２Ｏ３  ２．１％、Ｎａ２Ｏ  ５．２％、Ｂ２Ｏ３  １４．５％、熱膨張係数(0〜300℃)：３８×１０−７／℃。
【００２９】
また実施例及び比較例のサンプルは、光軸方向から見て外形寸法が縦５０ｍｍ、横５０ｍｍであり、焦点距離Ｆが６ｍｍの回転楕円面を有する変形反射鏡である。ネック部の長さは、反射面との境目から５ｍｍ、焦点付近における肉厚は４．５ｍｍ、ネック部内径（開孔面径）φ１０ｍｍ、開孔径φ９ｍｍの寸法のものを用いた。
【００３０】
＜実施例１＞
実施例１として、上記ガラス組成となるように原料を調合し、約１６００℃で溶融した後、所定重量のガラスゴブを、図４に示すようなボトム金型４１に落とし、その上方からプランジャ４２などで押圧して、上記の寸法の反射鏡４の形状にプレス加工する（なお、ここまでは、以下に述べる実施例２及び比較例１でも同様である）。このプレス加工を行なう際、ガラス温度が約８００℃以下になるまで押圧すると、反射面となるプランジャ形状の転写精度がよく、反射面の精度を良好にすることができる。
【００３１】
上記のようにプレス成型した反射鏡１を、図１（Ａ）に示す。実施例１では、プレス加工するとき、開孔予定部１１の肉厚ｄを孔開け加工に支障をきたさない範囲で、できるだけ薄く設定することが好ましい。この部分の肉厚ｄは、金型間の空隙によって定まるが、例えばこの厚さを１．５〜３ｍｍとする。
【００３２】
なお、開孔予定部１１の肉厚が厚いと孔開け加工及び該加工面のエッチングに時間がかかり、薄すぎると、孔開け加工時にエッチングで除去できない大きさのクラックを生ずることがあるので好ましくない。また、この種のガラスでは、溶融ガラスをプレスする際、ガラスは金型との接触によって肉厚が薄くなる程急速に熱を奪われ固化するので、実際には通常肉厚１ｍｍ程度が成型の限界である。
【００３３】
また、前記開孔予定部１１は、反射面１３から凹入したできるだけ反射面から遠い位置に設けておくことが望ましい。この部分は、孔開け加工後にエッチングされるため、開孔面と反射面１３とに距離を設けることにより、ネック部１２のみをエッチング液に浸漬する場合、エッチング液による反射面１３への影響を小さくできる。
【００３４】
次に、この反射鏡１をダイス１４の上に載置し、反射面側からドリル、例えばダイヤモンドコアドリル１５を当てて矢印１６方向に回転させることにより、開孔予定部１１に孔をあけ開孔部１７を形成する（図1（Ｂ））。
【００３５】
この状態で、開孔部内周面を観察すると、その表面はすりガラス状の細かな凹凸が存在し、表面粗さはＲａで１μｍ程度、最大で１７〜１８μｍの凹凸を有する粗面であった。
【００３６】
開孔部１７を形成された反射鏡１は、図１（Ｃ）に示すように、ネック部側をエッチング液２０に浸し、エッチング処理する。すなわち、保持装置１８によって反射面開口端を保持された反射鏡１は、耐蝕性の液槽１９に張られたエッチング液２０に開孔部加工面が浸かるまで液面の上下に浸したり引き上げたりを適宜繰り返した。エッチング液２０は、重量濃度５％のフッ酸を使用し、液温２５℃で実施した。
【００３７】
エッチング処理の際、エッチング液が反射面に付着すると、しみ様の跡が残り、その後の反射膜形成や反射特性に悪影響を及ぼすことが考えられるため、あらかじめ反射面に熱軟化性ワックスなどを塗布し反射面を保護してもよい。この場合には、反射鏡基体全体をエッチング液に浸漬することも可能である。反射面に塗布した熱軟化性ワックスは、エッチング処理終了後、加熱軟化させて反射鏡基体から分離し、付着分を洗剤で洗浄除去する。
【００３８】
エッチング処理した反射鏡は、充分に洗浄、乾燥させてサンプル基体とした。
【００３９】
＜実施例２＞
第２の実施例では、上記実施例１よりもネック部３１を長めに設定した金型を用いて、ネック部後端３２を閉塞状態にした反射鏡３をプレス加工により造る（図２（Ａ））。次に、この反射鏡３を徐冷した後、ネック部３１の後端を、残存するネック部の長さが上記実施例１と同じ位置の、光軸に直交する面３３でカッター３４により、ネック部後端を切断除去する（図２（Ｂ））。
【００４０】
次にこの切断面３３を、図２（Ｃ）に示すように、上記実施例１と同様にしてエッチング処理し、洗浄、乾燥を経てサンプル基体とした（図２（Ｄ））。
【００４１】
＜比較例１＞
比較例１は、硼珪酸ガラスを用いプレス成型して反射鏡を製造し徐冷を経た後、上記実施例１と同様にコアドリルにより孔開けして開孔部を設けるが、その後エッチング処理していないものである。
【００４２】
＜比較例２＞
比較例２は、硼珪酸ガラスを用い上記実施例２のように、ネック部後端を閉塞状態にした反射鏡をプレス加工により製造して徐冷を経た後、ネック部後端を切除して孔開け加工するが、その後その加工面をエッチング処理しないものである。
【００４３】
＜比較例３＞
比較例３は、結晶化ガラスを用いた例であり、特公昭７−３７３３４号公報の実施例（１）に準ずる結晶化ガラス製のもので、上記実施例３の場合と同様に成型後、ネック部後端を光軸に直交する面で切断除去するが、その後の切断面のエッチングを行なわないものである。
【００４４】
この比較例３は具体的には、ＳｉＯ２  ６０％、Ａｌ２Ｏ３  ２１％、Ｌｉ２Ｏ  ５．５％、ＴｉＯ２＋ＺｒＯ２  ４％、Ｐ２Ｏ５  ５％、Ｂ２Ｏ３  ２．５％、ＺｎＯ＋ＭｇＯ  ４％、Ｋ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ  １．５％の組成になるように原料を調合し、１５００℃で溶融してガラス化しこれをプレス法により反射鏡の基材形状に成形した。このガラス成形体を５７０℃に１時間保持した後、毎分３℃の昇温速度で７７０℃に昇温し。この温度で１時間保持してから冷却した。熱処理前には透明であった成形体は乳白色となり、β−スポジュウメン固溶体から成る。熱膨張係数は６×１０−７／℃の結晶化ガラスである。
【００４５】
したがって、実施例１、比較例１により作成された反射鏡のネック部内周には図1（Ｄ）に示すような環状の突起２１が残るが、実施例２、比較例２，３により作成された反射鏡のネック部内周には突起はない。
【００４６】
以上述べたように実施例、比較例により作成した反射鏡基体の反射面に、真空蒸着によってＴｉＯ２膜とＳｉＯ２膜とを交互に３０層から成る反射膜を積層して、反射鏡サンプルとした。
【００４７】
＜実施例、比較例の評価結果＞
これらの実施例及び比較例についての評価結果を、各サンプル１０個の平均値で図４に示す。なお表中の相対照度の欄は、比較例３の投射面平均照度に対する各実施例、比較例の投射面平均照度の比を示す。
【００４８】
（１）加工部の機械的損傷の有無
まず、目視で加工部の傷、欠け、表面荒れを観察した。上記実施例の反射鏡はいずれも傷、欠けが認められず、開孔端のエッジが取れた滑らかな表面状態であった。これに対して、上記各比較例の加工面は機械加工の痕跡が認められ、すりガラス状の粗面であり、開孔部のエッジに細かな欠けが認められた。次に、加工部表面にレーザー光を入射させ、散乱光を観察した。実施例の反射鏡はいずれもクラックに起因する光の散乱は認められず、加工部の機械的損傷が取り除かれていると判断した。
【００４９】
また、エッチング液への浸漬時間を変えることにより、エッチング量をそれぞれおよそ１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、５０μｍ、１００μｍとしたサンプルの加工部表面状態を比較した。エッチング量１０μｍでは、まだ表面の凹凸が残っている状態であり、２０μｍでは、表面の凹凸はほぼ取り除かれ平滑な表面状態になっているもののレーザー光を入射させて散乱光を観察すると、微小クラックによると思われる光の散乱が散見された。これに対し、３０μｍ以上では、レーザー光の散乱もほとんど観測されなかったため、エッチング量３０μｍ以上のものを以下の評価に使用した。
【００５０】
したがって、加工部の機械的損傷を取り除くために必要なエッチング量は、少なくとも３０μｍ以上であることが好ましく、機械加工治具の損耗等による加工精度の影響を考慮して５０μｍ以上とすることがより好ましく、エッチング処理時間や他の部位の精度等を考慮して１００μｍ程度までとすることが望ましい。
【００５１】
（２）加工部の表面粗さ
触針式表面粗さ計を用い、各サンプルの加工部表面粗さを測定した。実施例１，２、比較例１は、反射鏡を光軸に沿って２分割し、ネック部内周面を露出させて開孔部内周面を光軸方向に１ｍｍに亘って測定、比較例２，３ではネック部端面を切断面に沿って測定した。各実施例は、平均粗さＲａで０．０３μｍ程度であったのに対して、各比較例は平均粗さＲａで１μｍ程度、最大で１７〜１８μｍの凹凸を有する粗面であった。
【００５２】
（３）反射面精度
各サンプルの反射面を半径方向に沿って触針式三次元形状測定装置を用いて測定した結果、反射面設計値に対して実施例１，２及び比較例１，２では±１０〜１５μｍの精度であった。これに対して比較例３では、およそ±７０μｍのずれがあることが確認された。実施例１（Ａ）と比較例３の三次元測定データの測定結果を図５及び図６に示す。これらの図において、測定値は理想曲面（曲線）に対する各測定点の法線方向に拡大して示す。反射面曲線（測定値）は、５０倍の拡大表示であり、中心線と上下の線との間隔は、それぞれ５０μｍを示している。
【００５３】
（４）点灯評価
各サンプルの反射鏡に１５０Ｗの超高圧水銀灯（ＵＨＰ）を装着し、反射鏡のネック部から１０ｃｍの距離に直径１０ｃｍの電動ファンを設置し、熱電対で反射鏡ネック部の温度を測定しながら、温度上昇後の温度が設定温度（４５０℃、５５０℃）になるようにファンの風量を制御して２．５時間連続点灯し、０．５時間消灯を繰り返す点灯評価を実施した。これをサンプル数、各１０個について各実施例、比較例について行なった。
【００５４】
この結果、図４の表に示すような結果になった。図４に示す点灯評価において、分子は１０サンプルのうちの割れやクラックが生じたサンプル数を意味する。このように、ガラス（Ａ）を用いた実施例及び比較例３では２０００時間経過後も反射鏡に割れやクラックは生じなかった。これに対して、比較例１，２では、４５０℃、１０００時間でクラックが発生したものがあり、５５０℃では５０時間でサンプル１０個のうち半数にクラックや割れが発生した。これは、本発明の各実施例において、加工部の機械的損傷が取り除かれた結果と考えられる。ここで、加工部の機械的損傷が取り除かれた、とは、機械的加工による欠け、傷や表面に存在する数μｍ以下の微小クラックが存在しない状態であることを意味する。
【００５５】
（５）投射面照度（ｌｘ）
上記点灯評価で割れ、クラックの発生しなかった実施例１，２及び比較例３の反射鏡に、１５０Ｗの超高圧水銀灯（ＵＨＰ）を装着し、実際の液晶プロジェクターに実装して、投射画面サイズが対角４０インチになる距離においてスクリーンに無画像の光を投射し、投射面を３×３列の９区分に等分した各区画の中央に置いた照度計で照度を測定し、明るさを評価した。
【００５６】
９区画の照度の平均で比較したところ、比較例３の測定値に対して各実施例の測定値はいずれも３〜５％程上回っていた。各実施例の反射鏡を用いたものでは、同一光学系での比較において、中央の区画と周辺区画との照度差が、比較例３の反射鏡を用いた場合に比べて小さくなっており、周辺部までの比較的均一な投射照度が得られた。この結果から、結晶化ガラスを用いていない本発明による反射鏡の方が、反射面精度に優れていると判断できた。
【００５７】
なお、上記実施例では硼珪酸ガラスを用いた例について説明したが、本発明に用いる非晶質ガラスは、熱膨張係数が３０〜４５×１０−７／℃の範囲のものであればよい。熱膨張係数が３０×１０−７／℃より低いと、成形性が悪くなり、精密な反射面を要する反射鏡では歩留まりが低下する。また、熱膨張係数が４５×１０−７／℃を超えると、耐熱性が十分でなく高出力光源と組み合わせることができなくなる。本発明における非晶質ガラスとして更に好ましくは熱膨張係数が３０〜４０×１０−７／℃の範囲のものである。具体的には、硼珪酸ガラスの他にアルミノシリケート系ガラスも好適に使用できる。
【００５８】
また、使用するエッチング液はフッ酸に限らず、フッ酸と硫酸との混酸水溶液等でもよく、その濃度やエッチング処理時間は、反射鏡基体のガラス材質やエッチング量に応じて適宜調整すればよい。
【００５９】
本発明では、孔開け加工による機械的損傷を取り除いたことにより、非晶質ガラスを用いているが割れやクラックが発生しない高耐熱の反射鏡を得ることができる効果がある。
【００６０】
また、本発明による反射鏡では、非晶質ガラスを使用しているので、結晶化ガラスにおいて避けられない結晶化工程による変形や収縮がなく、反射面精度を理想局面により近づけることができ、したがって投射照度が明るくかつ中心部と周辺部との照度差が少ない、即ちプロジェクター光源に好適な反射鏡が得られる効果がある。
【００６１】
また、赤外線に対して透明な非晶質ガラスでは、結晶化ガラスと異なり光源が発し多層膜を透過して反射鏡基体に入射した赤外線を散乱せず直線的に透過するため、反射鏡背面で集中的な放熱対策が採りやすい利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施例１による反射鏡を製造する工程を説明するための図。
【図２】本発明の実施例２による反射鏡を製造する工程を説明するための図。
【図３】本発明の実施例などの反射鏡のプレス加工に用いる金型の構造を示す図。
【図４】本発明の各実施例と比較例の特性の測定結果を示す図。
【図５】本発明の実施例１（Ａ）による反射基体の反射面三次元形状測定の結果を示す図。
【図６】比較例３による反射基体の反射面三次元形状測定の結果を示す図。
【符号の説明】
【００６３】
１，３，４・・・・反射鏡、
１１・・・開孔予定部、
１２・・・ネック部、
１４・・・ダイス、
１５・・・コアドリル、
１７・・・開孔部、
１９・・・液槽、
２０・・・エッチング液
３１・・・ネック部、
３２・・・カッター、
４１・・・ボトム金型、
４２・・・プランジャ、
【図１】
2005055633.tif 000003
【図２】
2005055633.tif 000004
【図３】
2005055633.tif 000005
【図４】
2005055633.tif 000006
【図５】
2005055633.tif 000007
【図６】
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