(57)【要約】【課題】  ＥＧＲガスによる煤塵，排気ガスによる煤塵等が圧力センサの圧力導入孔入り口付近に堆積することによって、圧力センサの圧力導入孔が塞がれることを防止した圧力センサを提供することにある。【解決手段】  圧力センサの圧力導入孔に煤塵流入防止壁を設けることによって、入り口部付近に堆積する塵埃の流入量を低減する。この壁は圧力センサを取り付けた管の内面から突出する形状となっており、管の内壁面を伝わってくる煤塵の圧力導入孔への流入を防止するし、この煤塵流入防止壁をゴム状弾性体を使用することで、圧力導入孔部近傍の圧力測定媒体の流量変化で壁が振動することにより、壁に付着した煤塵を振り落とす効果がある。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力導入孔を介して、被測定媒体の圧力変化を電気信号に変換する半導体を用いた圧力センサにおいて、前記圧力導入孔を構成する部材の一部に煤塵流入防護壁を形成したことを特徴とした半導体を用いた圧力センサ。
【請求項２】
請求項１において、前記煤塵流入防護壁は、ゴム状弾性体により形成されていることを特徴とした半導体を用いた圧力センサ。
【請求項３】
請求項１または２において、前記煤塵流入防護壁は、導入孔内壁に防護壁を複数枚設けたことを特徴とした半導体を用いた圧力センサ。
【請求項４】
請求項１，２、または３において、前記煤塵流入防護壁は、スリットを複数設けたことを特徴とした半導体を用いた圧力センサ。
【請求項５】
請求項１，２，３、または４において、前記煤塵流入防護壁の壁厚は０.３〜１.０mmとしたことを特徴とした半導体を用いた圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内燃機関各部の圧力を測定用する半導体を用いた圧力センサに関するもので、特に圧力導入孔が煤塵などで塞がれることを防止構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
ディーゼルエンジンは最近排気ガス規制、特にＮＯｘ（窒素酸化物）の低減が厳しくなり、そのために燃焼温度を下げる必要がある。このため、ＥＧＲ（Exhaust Gas 
Recirculation）の還流量を増加させ、これに伴ってカーボン等の粒子状物質が多量インテーク側に出てくる。一般的にはＥＧＲの流量測定用として圧力センサを使用している。
【０００３】
また排気ガス中のカーボン等の粒子状物質低減には、ＤＰＦ（Diesel Particle Filter：ディーゼルパーティクルフィルター）方法が現時点最も有効であり、フィルターの目詰り検知用として、圧力センサが使用されている。
【０００４】
いずれの圧力センサ取り付け環境は、多量のカーボン等の粒子状物質にさらされる環境にある。
【０００５】
従来の圧力センサは、図１に示すようにインテークマニホールド又はＥＧＲ還流通路１に半導体圧力センサ２が取付けられる。この時通常の圧力センサの圧力導入孔３は、内径の大小はあるが何れも防護壁は設けられていないため、時間の差はあるが、通路１の壁面４に堆積した煤塵５は壁面を伝わり、堆積して行き遂には導入孔を塞いでしまう欠点があった。特に、最近はＥＧＲの経路にクーラー機構を設け、還流させる排気ガスの温度を下げるため、湿った煤塵となり、壁面に塵埃が付着しやすく、付着した煤塵が壁面を伝わって圧力センサの圧力導入孔を塞ぎ易い。圧力導入孔が塞がると、圧力を圧力センサへ正確に伝える事ができず、圧力センサが正しい圧力信号をエンジン制御用コントロールユニットへ伝達することが出来ず、エンジン制御等に悪影響を及ぼす問題がある。
【０００６】
特開２００２−１８１６５１号公報には圧力センサのセンサチップの汚れ防止構造が示されている。この構造はセンサチップのセンシング部に汚れが付着しないようにした構造であるが、圧力導入孔の入り口部に煤塵などが付着し、導入孔を塞いでしまう問題に対する配慮がなされていない。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１８１６５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前記背景技術に示すように、ＥＧＲガスによる煤塵，排気ガスによる煤塵等が圧力センサの圧力導入孔入り口付近に堆積することによって、圧力センサの圧力導入孔が塞がれることを防止した圧力センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の圧力センサは、圧力センサの圧力導入孔に煤塵流入防止壁を設けることによって、入り口部付近に堆積する塵埃の流入量を低減する。この壁は圧力センサを取り付けた管の内面から突出する形状となっており、管の内壁面を伝わってくる煤塵の圧力導入孔への流入を防止する。
【００１０】
請求項２に記載の圧力センサは、圧力導入孔付近に設けた煤塵流入防止壁をゴム状弾性体を使用することで、圧力導入孔部近傍の圧力測定媒体の流量変化で壁が振動することにより、壁に付着した煤塵を振り落とす効果がある。
【００１１】
請求項３に記載の圧力センサは、圧力導入孔内に煤塵流入防止壁を複数設けることによって、導入孔に流入堆積する煤塵の流入量減少を図る。この壁の材質をゴム状弾性体とすることで、圧力導入孔部近傍の圧力測定媒体の流量変化で壁が振動することにより、壁に付着した煤塵を振り落とす効果がある。
【００１２】
請求項４に記載の圧力センサは、煤塵防止壁に溝を設け複数に分割することで、圧力導入孔内の圧力変動に伴う流量変化で、圧力導入孔内に乱流を起こさせ煤塵を落下させるとともに、煤塵防止壁がゴム状弾性体の場合にはさらにこの壁の振動しやすさを向上させ、壁に付着した煤塵を振り落とす効果をさらに向上させる。
【００１３】
請求項５に記載の圧力センサは、煤塵流入防止壁を０.３〜１.０mmとすることで、小型化を実現し且つ、防止壁の材料をゴム状弾性体とした場合の可動性を向上させる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、圧力センサの圧力導入孔付近に堆積する煤塵などの物質により圧力導入孔を塞ぐ不具合を防止することが可能となり、特にディーゼルエンジンなどへ使用した場合の高汚染環境条件下でも、圧力導入孔が煤塵で塞がれることなく、エンジン制御に悪影響を及ぼすことがなくなり、信頼性を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態について、図面に従って説明する。
【実施例１】
【００１６】
図２は本発明の一実施例である半導体圧力センサをインテークマニホールドなどの通路へ装着した場合の断面図である。
【００１７】
圧力センサは、ハウジング１０に設けられた圧力導入孔３を介して、測定媒体の圧力を半導体ひずみゲージを搭載したセンサチップ１１に圧力が伝達される。センサチップは保護のためゲル上物質１２で保護されている。センサチップはケース１３に搭載されケースに設けたターミナル１４にワイヤボンディング１５で接続され電源の供給，信号の出力を行う。ターミナル１４はハウジング１０にインサートモールドされたコネクタ端子１６にプロジェクション部１７で溶接により接続している。ケース１３はエポキシ樹脂１８を注型することにより固定されるとともに、このエポキシ樹脂１８は圧力リークを防止する。コネクタ部１９はコネクタ端子１６とともに外部の電源供給・信号出力用ハーネスと接される。
【００１８】
本実施例では、圧力導入孔へ設置した煤塵流入防護壁２０をゴム状弾性体を使用し別体としている。まず、先端部の防護壁２１を通路へ突き出す構造とすることで、圧力導入孔内へ壁面を伝わってくる煤塵の流入を防止する。この時、この防護壁２１の材料をゴム状弾性体（例えばシリコーンゴム，フッ素ゴム，フロロシリコーンゴムなど）で製作することによって、通路の圧力媒体の流速が変化したときにこの防護壁２１が振動し、防護壁
２１に煤塵が付着した場合でも振り落とす効果がある。この時に、この防護壁が振動しやすい様にスリット部２２を設けておくとさらに効果がある。
【００１９】
さらに、圧力導入孔内面となる部分に防護壁２３を設け内部への煤塵の流入を抑制する。この防護壁２３は下向きにすることで、煤塵が付着しても落下しやすい形状としている。この防護壁２３は、防護壁２１部と同様に、ゴム状弾性体で本防護壁を製作した場合に、圧力測定媒体の流速変化による圧力変化に伴い振動し、この防護壁へ付着した煤塵を落下させる。さら防護壁２１と同様にスリット部を設けることにより防護壁を振動しやすくし、付着した煤塵の落下させる効果を向上させる。圧力導入孔３内部に防護壁２３を複数個所設けることにより、さらに内部へ進入する煤塵を抑制させる効果がある。
【００２０】
煤塵流入防護壁２０には過挿入防止用の鍔部２４と落下防止用の鍔部２５を設置し、圧力センサ圧力導入孔へ設置する。
【００２１】
図３は、本発明の一実施例である図２の圧力センサ圧力導入孔へ設置した煤塵流入防護壁２０のみを抜き出した図である。
【００２２】
図３の上部は煤塵流入防護壁２０を上から見た図である。中部は縦断面図、下部はしたから見た図である。圧力導入孔３は上または下からみると防護壁２３のスリット部によって分割された形状となっている。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明は、内燃機関用半導体圧力センサの煤塵による圧力導入孔が煤塵などで塞がれることを防止することを目的としているが、圧力測定媒体に煤塵などが含まれる環境下で使用される圧力センサの圧力導入孔構造へも適用可能であると考える。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】従来圧力センサの圧力導入孔部断面図。
【図２】本発明の煤塵防護壁を設けた圧力センサの断面図。
【図３】図２の煤塵防護壁のみを抜き出した断面図と上下から見た図。
【符号の説明】
【００２５】
１…通路、２…圧力センサ、３…圧力導入孔、４…壁面、５…煤塵、２３…防護壁。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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