(57)【要約】【課題】  高い信頼性で、かつ、効率的な積層型電子部品の製造を可能とする、塗膜形成装置および塗膜形成方法を提供する。【解決手段】  調合済みスラリーが投入された保存タンク１１と、シート形成装置１５と、は、配管１６によって接続され、シート形成装置１５にスラリーが供給される。シート形成装置１５の直前には、スラリー中の凝集を分散させる分散機３０が設けられている。シート形成装置１５は、分散機３０によって凝集体が分散されたスラリーを用いて、シートを形成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
無機粒子粉末を含むスラリーを保存するための保存タンクと、
前記保存タンクに接続され、前記保存タンクからスラリーの供給を受けて塗膜を形成する塗膜形成部と、を備え、
前記保存タンクと前記塗膜形成部との間に設けられ、前記保存タンクから前記塗膜形成部へ供給されるスラリーを分散させる分散機をさらに備える、ことを特徴とする塗膜形成装置。
【請求項２】
前記保存タンクには、所定程度に分散されたスラリーが投入されて保存される、ことを特徴とする請求項１に記載の塗膜形成装置。
【請求項３】
前記分散機は、拡散衝突型の分散装置から構成される、ことを特徴とする請求項１または２に記載の塗膜形成装置。
【請求項４】
前記保存タンクには、少なくとも１０ＭＰａの圧力で衝突分散されたスラリーが投入され、
前記分散装置は、１０ＭＰａ〜８０ＭＰａの圧力でスラリーを衝突分散する、ことを特徴とする請求項３に記載の塗膜形成装置。
【請求項５】
無機粒子粉末を含むスラリーを保存するための保存タンクと、
前記保存タンクに一端が接続された第１の配管と、
前記第１の配管に設けられ、前記保存タンクからスラリーを前記第１の配管内に通流させるポンプと、
前記第１の配管の他端に接続され、前記第１の配管を通じて供給されたスラリーを用いて所定シート上に塗膜を形成する塗膜形成部と、
前記保存タンクと前記塗膜形成部との間に設けられたフィルタと、
前記フィルタの上流に設けられ、前記第１の配管を流れるスラリーを分散させる分散機と、
前記第１の配管を流れるスラリーを、前記フィルタの下流から前記保存タンクに循環させるよう導く第２の配管と、
を備える、ことを特徴とする塗膜形成装置。
【請求項６】
無機粒子粉末を含むスラリーを保存するための保存タンクと、前記保存タンクに接続され、前記保存タンクからスラリーの供給を受けて塗膜を形成する塗膜形成部と、を備える塗膜形成装置を用いた塗膜形成方法であって、
前記保存タンクから前記塗膜形成部へ供給されるスラリーを分散する工程を備える、ことを特徴とする塗膜形成方法。
【請求項７】
前記保存タンクに、所定程度に分散したスラリーを投入して保存する、ことを特徴とする請求項６に記載の塗膜形成方法。
【請求項８】
前記分散工程は、拡散衝突型の分散装置を用いて行う、ことを特徴とする請求項６または７に記載の塗膜形成方法。
【請求項９】
前記保存タンクに、少なくとも１０ＭＰａの圧力で衝突分散したスラリーを投入し、
前記分散工程では、１０ＭＰａ〜８０ＭＰａの圧力でスラリーを衝突分散する、ことを特徴とする請求項８に記載の塗膜形成方法。
【請求項１０】
無機粒子粉末を含むスラリーを保存するための保存タンクと、前記保存タンクに一端が接続された第１の配管と、前記第１の配管に設けられ、前記保存タンクからスラリーを前記第１の配管内に通流させるポンプと、前記第１の配管の他端に接続され、前記第１の配管を通じて供給されたスラリーを用いて所定シート上に塗膜を形成する塗膜形成部と、前記保存タンクと前記塗膜形成部との間に設けられたフィルタと、を備えた塗膜形成装置を用いる塗膜形成方法であって、
前記フィルタの上流で、前記第１の配管を流れるスラリーを分散させ、
前記第１の配管を流れるスラリーを、前記フィルタの下流から前記保存タンクへ循環させる、ことを特徴とする塗膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型電子部品の製造に用いる塗膜形成装置および塗膜形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックコンデンサ、積層型バリスタ、チップインダクタ等の積層型電子部品は、通常、セラミックグリーンシートを積層、圧着し、熱処理して、所定サイズに切断後、焼結工程を経て製造される。
【０００３】
例えば、積層セラミックコンデンサは、以下のような方法で製造される。まず、チタン酸化物等のセラミック粉末、アクリル系、ブチラール系の樹脂バインダー、可塑剤、有機溶剤等を組成成分として、これらを分散混合させて得たセラミックスラリーを準備する。
【０００４】
次に、このセラミックスラリーをドクターブレード法などを用いてＰＥＴフィルム等のキャリアフィルム上に塗膜を形成し、これを加熱乾燥させてセラミックグリーンシートを形成する。その後、形成したセラミックグリーンシート上に金属粒子等を含む電極ペースト（内部電極）の塗膜を形成し、乾燥させる。
【０００５】
次に、キャリアフィルムからセラミックグリーンシートを剥離し、これを複数枚積層し、圧着した後、所定のサイズに切断してグリーンチップとする。これらのグリーンチップに、焼成、外部電極形成等の処理を施して積層セラミックコンデンサを得る。
【０００６】
近年、上記積層型電子部品に対しては、小型化、高性能化が求められるようになっている。このため、積層電子部品の製造に用いられるグリーンシートや電極膜などの層構造には、薄さとともに、高い均一性が求められるようになっている。例えば、塗膜時の塗布ムラ、成分不均一などのわずかのシート欠陥であっても、これが電子部品電気特性や信頼性に与える影響が無視できないレベルとなっている。
【０００７】
しかし、塗膜の形成に用いる無機物粉末（セラミック粉末、誘電体粉末等）の中には、異物や粗大粒子が混入している場合が多く、これらが薄く、均一性の高い塗膜の形成を困難にする。例えば、セラミック粉末の平均粒径はサブミクロンオーダまで微細であっても、粗大な粒子が存在したり、また、微粒子化により逆に凝集が起こりやすくなってしまう場合がある。したがって、塗膜の形成前に、スラリーからこのような異物や凝集体を除去し、また、無機物粉末を十分に分散させて凝集を防ぐことが重要である。
【０００８】
凝集を抑える技術として、誘電体粉末を必要量の溶剤と混練し、凝集をほぐしてから残りの溶剤、バインダおよびその他の添加物を添加して混練し、誘電体塗料とする方法が開発されている（特許文献１参照）。また、高圧分散により、均一に分散されたスラリーを製造する方法が開発されている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平７−１０２１９８号公報
【特許文献２】特開２００１−３９７７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記のような方法によれば、十分に分散されたスラリーを用いることにより、均一性の高い塗膜形成が可能となる。しかし、上記手法は基本的に分散処理の直後に得られたスラリーを用いる場合に有効である。通常、積層型電子部品の量産工程においては、製造ラインが常に動いているというわけではなく、セラミックスラリーを塗布前に一時タンクに保管して用いる場合が多い。このため、タンクに投入する時点で十分に分散されていたとしても、時間が経つにつれ凝集が起こり、当初のような分散効果が得られないこととなる。
【００１０】
タンク内における凝集を抑えるため、通常、プロペラ等による撹拌が行われているが、長時間の保存を考慮すると、過酷な条件での分散処理することはできない。また、使用直前に凝集体の少ないスラリーを得るにはフィルタを用いて直前に除去すればよいが、除去により組成が変化することも考えられ、また、原料の無駄ともなる。
【００１１】
このように、従来より、スラリー等をしばらく保管しておいた場合にも、無機物粉末が十分に分散されたスラリー等を無駄なく使用して、均一性の高い塗膜を形成することができ、したがって、生産性および信頼性の高い積層型電子部品の製造に寄与し得る塗膜形成装置およびその方法が求められていた。
【００１２】
上記事情を鑑みて、本発明は、生産性および信頼性の高い積層型電子部品の製造を可能とする、塗膜形成装置および塗膜形成方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、効率的にスラリー等を使用でき、かつ、信頼性の高い塗膜形成の可能な塗膜形成装置および塗膜形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点にかかる塗膜形成装置は、
無機粒子粉末を含むスラリーを保存するための保存タンクと、
前記保存タンクに接続され、前記保存タンクからスラリーの供給を受けて塗膜を形成する塗膜形成部と、を備え、
前記保存タンクと前記塗膜形成部との間に設けられ、前記保存タンクから前記塗膜形成部へ供給されるスラリーを分散させる分散機をさらに備える。
【００１４】
上記構成において、前記保存タンクには、所定程度に分散されたスラリーが投入されて保存されることが好ましい。
【００１５】
上記構成において、前記分散機は、例えば、拡散衝突型の分散装置から構成される。
【００１６】
上記構成において、前記保存タンクには、例えば、少なくとも１０ＭＰａの圧力で衝突分散されたスラリーが投入され、
前記分散装置は、例えば、１０ＭＰａ〜８０ＭＰａの圧力でスラリーを衝突分散する。
【００１７】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点にかかる塗膜形成装置は、
無機粒子粉末を含むスラリーを保存するための保存タンクと、
前記保存タンクに一端が接続された第１の配管と、
前記第１の配管に設けられ、前記保存タンクからスラリーを前記第１の配管内に通流させるポンプと、
前記第１の配管の他端に接続され、前記第１の配管を通じて供給されたスラリーを用いて所定シート上に塗膜を形成する塗膜形成部と、
前記保存タンクと前記塗膜形成部との間に設けられたフィルタと、
前記フィルタの上流に設けられ、前記第１の配管を流れるスラリーを分散させる分散機と、
前記第１の配管を流れるスラリーを、前記フィルタの下流から前記保存タンクに循環させるよう導く第２の配管と、
を備える。
【００１８】
上記目的を達成するため、本発明の第３の観点にかかる塗膜形成方法は、
無機粒子粉末を含むスラリーを保存するための保存タンクと、前記保存タンクに接続され、前記保存タンクからスラリーの供給を受けて塗膜を形成する塗膜形成部と、を備える塗膜形成装置を用いた塗膜形成方法であって、
前記保存タンクから前記塗膜形成部へ供給されるスラリーを分散する工程を備える。
【００１９】
上記方法において、前記保存タンクに、所定程度に分散したスラリーを投入して保存することが好ましい。
【００２０】
上記方法において、前記分散工程は、例えば、拡散衝突型の分散装置を用いて行う。
【００２１】
上記構成において、前記保存タンクに、例えば、少なくとも１０ＭＰａの圧力で衝突分散したスラリーを投入し、
前記分散工程では、例えば、１０ＭＰａ〜８０ＭＰａの圧力でスラリーを衝突分散する。
【００２２】
上記目的を達成するため、本発明の第４の観点にかかる塗膜形成方法は、
無機粒子粉末を含むスラリーを保存するための保存タンクと、前記保存タンクに一端が接続された第１の配管と、前記第１の配管に設けられ、前記保存タンクからスラリーを前記第１の配管内に通流させるポンプと、前記第１の配管の他端に接続され、前記第１の配管を通じて供給されたスラリーを用いて所定シート上に塗膜を形成する塗膜形成部と、前記保存タンクと前記塗膜形成部との間に設けられたフィルタと、を備えた塗膜形成装置を用いる塗膜形成方法であって、
前記フィルタの上流で、前記第１の配管を流れるスラリーを分散させ、
前記第１の配管を流れるスラリーを、前記フィルタの下流から前記保存タンクへ循環させる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、高い信頼性で、かつ、効率的な積層型電子部品の製造を可能とする、塗膜形成装置および塗膜形成方法が提供される。
また、本発明によれば、効率的にスラリー等を使用でき、かつ、信頼性の高い塗膜形成の可能な塗膜形成装置および塗膜形成方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の実施の形態に係る塗膜形成装置および塗膜形成方法について、以下詳細に説明する。なお、以下では、ペーストの塗膜を形成して、セラミックグリーンシートを形成する場合を例として説明する。
【００２５】
図１に、本発明の一実施の形態に係るセラミックグリーンシート製造装置の構成を示す。
図１に示すように、本実施の形態に係るセラミックグリーンシート製造装置１０は、保存タンク１１と、ポンプ１２と、フィルタ１３と、供給制御装置１４と、シート形成装置１５と、を有し、それぞれ配管１６によって接続されている。セラミックグリーンシート製造装置１０の動作は、コントローラ１７によって制御されている。
【００２６】
保存タンク１１には、セラミックグリーンシートの製造に用いられる組成物の調製済みスラリーが保存されている。組成物は、例えば、チタン酸化物等のセラミック粉末と、アクリル系やブチラール系樹脂等のバインダと、アルコール、ケトン等の溶剤と、その他可塑剤等の添加剤と、から構成される。
【００２７】
保存タンク１１には、上記組成物に、分散混合、濾過、脱泡等を施した調製済みのスラリーがバッチあるいは連続的に投入される。すなわち、保存タンク１１には、さらに分散処理等の処理を施すことなくシート製造に用いることができる状態のスラリーが投入される。バッチまたは連続のいずれの場合にも、保存タンク１１には、グリーンシートの製造が中断している間でも、スラリーが保存されている。保存タンク１１は、撹拌用のプロペラ等を備え、内部で撹拌する構成であってもよい。
【００２８】
保存タンク１１に投入されるスラリーは、所定程度まで分散されており、例えば、ボールミル、またはメディア分散機で分散後、衝突型の分散装置を用い、少なくとも１０ＭＰａ以上、より好ましくは、２０ＭＰａ以上の圧力で分散されている。
【００２９】
ポンプ１２は、保存タンク１１に吸引側が接続されている。ポンプ１２は、保存タンク１１から後述するシート形成装置１５へと至る配管１６内にスラリーのフローを形成する。ポンプ１２はギアポンプなどが望ましい。
【００３０】
フィルタ１３は、ポンプ１２の排出側に設けられている。フィルタ１３は、遠心分離器や所定のメッシュサイズのフィルタから構成されている。フィルタ１３は、分散機から後述するシート形成装置１５へ供給されるスラリーに含まれる異物、特に、セラミック粉末の所定サイズ以上の凝集体を除去する。
なお、フィルタ１３はできる限り、シート形成装置１５に近く配置されることが好ましい。
【００３１】
供給制御装置１４は、流量制御装置等から構成されている。供給制御装置１４の一端は、バルブ１８を介してフィルタ１３の排出側に接続されている。供給制御装置１４の他端は、シート形成装置１５に接続されており、フィルタ１３を通過したスラリーは、ポンプ１２の駆動およびバルブ１８の開閉によってシート形成装置１５へのその供給の開始および停止が制御され、また、その供給量は供給制御装置１４によって制御される。
【００３２】
このように、保存タンク１１、ポンプ１２、配管１６等は、シート形成装置１５にスラリーを供給するスラリー供給ラインを構成する。
【００３３】
シート形成装置１５は、スラリー供給ラインから供給されたスラリーから、セラミックグリーンシートを形成する。シート形成装置１５の構成の一例を図２に示す。
図２に示すように、シート形成装置１５は、リール２０と、ロール２１と、塗布部２２と、乾燥部２３と、を備える。
【００３４】
リール２０には、連続する支持体シート２４、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルムシートが巻回されており、ロール２１によって巻き取られるよう連続的に供給されている。
【００３５】
塗布部２２は、上述したスラリー供給ラインに接続され、より具体的には、供給制御装置１４に接続された配管１６に接続されている。塗布部２２は、連続する支持体シート２４の表面にスラリーをドクターブレード法等により塗布し、塗膜を形成する。
【００３６】
乾燥部２３は、赤外線、熱風等を利用する乾燥炉等から構成され、その内部を通過するスラリーが塗膜が形成された支持体シート２４を所定温度に加熱する。加熱により、スラリー中の溶剤が蒸発し、除去される。これにより、支持体シート２４上にはセラミックグリーンシートが形成され、この状態でロール２１に巻き取られる。
【００３７】
本実施の形態に係る上記構成のセラミックグリーンシート製造装置１０は、分散機３０を備えている。分散機３０は、配管１６の供給制御装置１４の上流に設けられ、特に、フィルタ１３の上流に設けられていることが好ましい。また、分散機３０からシート形成装置１５までの配管１６はできる限り短いことが好ましい。
【００３８】
分散機３０は、衝突型の分散装置から構成され、セラミック粉末の凝集を効果的に分散させる。保存タンク１１への投入の前に衝突型分散機を用いて少なくとも２０ＭＰａ以上で、スラリーを分散させる場合、分散機３０の分散圧力は、好ましくは、１０ＭＰａ〜８０ＭＰａであり、より好ましくは、２０ＭＰａ〜６０ＭＰａである。
【００３９】
シートの製造中断時には、保存タンク１１や配管１６内でセラミック粉末の凝集が発生しやすい。特に、粉末の微細度が高いときには、凝集が発生しやすい。したがって、たとえ保存タンク１１内に十分に分散されたスラリーを投入したとしても、このような凝集体の発生により、塗膜均一性等が低下してしまうおそれがある。また、このような凝集体の内、所定サイズのものは、フィルタ１３によって除去されることとなるが、原料の無駄となってしまい、また、所望のスラリー組成から乖離してしまうおそれがある。
【００４０】
しかし、分散機３０は、配管１６を流れるスラリー中の、スラリーの保管時およびフロー時に発生する凝集体をほぐし、分散させる。これにより、分散機３０を通過したスラリー中の粉末の凝集度は低下し、保存タンク１１に投入された当初に近い、十分に分散された状態でスラリーはシート形成装置１５での使用に供される。このため、均一性等の信頼性の高いシート形成が可能となる。
【００４１】
また、フィルタ１３の上流で分散されるため、フィルタ１３で除去されるセラミック粉末は減少し、また、フィルタの交換頻度も低減されるなど、生産性の高いシート製造が可能となる。さらに、フィルタによる粉末の除去量が少ないため、スラリーの組成変化も抑制され、信頼性の向上が図られる。
【００４２】
上記のような分散効果は、少なくとも、保存タンク１１に強力な分散装置を取り付けることにより一部は可能である。しかし、製造中断時には保存タンク１１内にスラリーが長期間保存される場合があることを考えると、このような構成は好ましいものではない。
一方で、本実施の形態の分散機３０を設けた構成によれば、使用（供給）の直前でスラリーを分散させるので、このような不都合はなく、さらに、配管１６における凝集体をも分散させることが可能である。
【００４３】
続いて、本発明の一実施の形態に係るセラミックグリーンシートの製造方法について詳細に説明する。
まず、セラミック粉末、溶剤、結合剤及び可塑剤を投入して、所定時間分散混合、ろ過等して、その状態でシート製造に使用可能なスラリーを調製する。このスラリーを保存タンク１１にバッチまたは連続的に輸送して保存する。
【００４４】
このように、保存タンク１１には、調製済みスラリーが保存されており、コントローラ１７は、セラミックグリーンシートの形成工程が進行されているか否かに関わらず、スラリーが保存されている限り、ポンプ１２を駆動して配管１６内にスラリーのフローを形成している。
【００４５】
シートの形成工程を進行する際には、コントローラ１７は、バルブ１８を開放し、供給制御装置１４を制御して、シート形成装置１５のシート形成速度に合わせた所定の供給速度でスラリーをシート形成装置１５の塗布部２２に供給する。これにより、シート形成装置１５では、セラミックグリーンシートが連続的に形成される。
【００４６】
ここで、スラリーの供給ラインには分散機３０が設けられており、保存タンク１１や配管１６で発生する凝集体はシート形成装置１５への供給直前に再分散される。このため、シート形成装置１５に供給されるスラリーは、保存タンク１１に投入された状態の分散度に戻され、または、これに近い程度まで分散される。したがって、塗布ムラ等の抑制された均一性の高い塗膜形成が可能となり、信頼性の高いシート形成が可能となる。
【００４７】
以上のようにして、本実施の形態に係るセラミックグリーンシートの製造方法によるセラミックグリーンシートは製造される。その後、製造されたセラミックグリーンシートの表面には、内部電極を構成する電極ペーストの塗膜が形成され、乾燥される。次いで、このセラミックグリーンシートは、支持体シート２４より剥離され、複数枚積層され、圧着される。得られた積層体は、所定のサイズに切断してチップとされ、このチップに焼成、外部電極形成等の処理が施されて、所望の積層型電子部品となる。
【００４８】
以上説明したように、本発明に係る塗膜形成装置および塗膜形成方法によれば、スラリーの使用直前にスラリーを分散させるため、均一性の高い塗膜形成が可能となり、ひいては信頼性の高いシートおよびその積層体の製造が可能となる。
また、凝集体としての粉末の除去量を低減させることができ、スラリーの組成の安定化、効率的な原料の使用が可能となり、生産性の高い塗膜形成が可能となり、ひいては、生産性の高いシートおよびその積層体の製造が可能となる。
【００４９】
なお、本発明は、上記実施の形態に限られず、種々の変形、応用が可能である。
【００５０】
上記実施の形態では、分散機３０は、衝突型の分散装置を用いる構成とした。しかし、分散機３０は他の方式のものでもよく、超音波型、高圧型、撹拌型等、セラミック粉末の凝集を効果的に分散させるものであればいかなるものであっても同様の効果が得られる。この場合、分散機３０の分散能力は、保存タンク１１に投入されるスラリーの分散度等に応じて、スラリーの所望の均一性と組成が実現されるように選択される。
【００５１】
上記実施の形態において、さらに、図３に示すような構成として、スラリーの一部を保存タンク１１に循環させる構成としてもよい。
図３に示す構成では、ポンプ１２と供給制御装置１４とを結ぶ配管１６には、フィルタ１３の下流に三方弁２５が設けられ、配管１６から分岐するように循環用配管２６が保存タンク１１まで接続されている。
【００５２】
三方弁２５は、例えば、シート形成装置１５の動作にかかわらず、３つの弁を開放している。この場合、シート形成装置１５へのスラリー供給の有無にかかわらず、保存タンク１１から供給されるスラリーの一部が循環用配管２６を通って保存タンク１１に還流する。すなわち、セラミックグリーンシートの製造時（シート形成装置１５の動作時）にスラリーの一部が保存タンク１１に還流するとともに、グリーンシートの非製造時においてもスラリーの循環は維持される。
【００５３】
このような循環用配管２６を備えた循環構造によれば、シート製造時だけでなく、製造中断時における保存タンク１１からシート形成装置１５までの配管１６内でのセラミック粉末の凝集をもさらに抑制、防止することができる。よって、均一性の一層高い塗膜の形成を可能とし、したがって、セラミックグリーンシートの種々のシート欠陥（塗布ムラ、成分不均一等）をより高度に抑制することが可能となる。
【００５４】
上記実施の形態では、セラミック粉末を含むスラリーから塗膜を形成してセラミックグリーンシートを形成する場合を例として説明した。しかし、勿論、本発明にかかる塗膜形成装置および塗膜形成方法は、無機粒子粉末を含有するスラリーまたはペーストから塗膜を、特に薄い塗膜を高い均一性で形成しようとするいかなる装置および方法も適用可能である。
例えば、上記例において、セラミックグリーンシートの表面に、内部電極を構成する電極ペーストの塗膜を形成する場合にも、本発明に係る装置および方法を同様に適用可能であり、これにより、均一性の高い塗膜、すなわち、シート欠陥の少ないシートを形成することができる。
【実施例】
【００５５】
本実施の形態の、図１に示す装置構成を用いて製造したセラミックグリーンシートを用いて、積層セラミックコンデンサ（実施例１）を製造し、その信頼性を調べた。また、スラリーを循環させて使用する、図３に示す装置構成を用いて製造した積層セラミックコンデンサ（実施例２）についても調べた。これらの結果を、スラリーの分散および循環のいずれも行わない通常の装置で製造した積層セラミックコンデンサ（比較例１）の結果と比較した。
【００５６】
なお、実験において、セラミックスラリーの組成は、誘電体材料（４５重量部）、有機バインダー（２．７重量部）、有機溶剤量（５０．５重量部）、その他（１．８重量部）であり、衝突型分散装置を用いて、３０ＭＰａの圧力で分散させたものを用いた。
また、セラミックグリーンシートの厚みは４μｍとし、焼成後のコンデンサチップのサンプルは、厚み３μｍの誘電体層を１００層積層したものであり、チップ外形寸法は３．２ｍｍ×１．６ｍｍ×１．６ｍｍとした。また、分散機３０での分散は、３０ＭＰａでの高圧型衝突分散によって行った。
【００５７】
結果を表１に示す。なお、信頼性は、ショート不良、耐圧不良および破壊電圧平均について調べた。ショート不良は、抵抗値が２Ｖ電圧の印加で１０5Ω以下になるものを不良品として判断した。耐圧不良は、抵抗値が１５０Ｖ電圧の印加で１０6Ω以下になるものを不良品として判断した。破壊電圧は、自動昇圧試験機によって測定した。なお、サンプル数は、ショート不良および耐圧不良で１００００個とし、破壊電圧は１００個とした。
【００５８】
【表１】
2005088418.tif 000003
【００５９】
表１に示されるように、スラリーを再分散させてセラミックグリーンシートを形成してコンデンサチップを製造したもの（実施例１）は、循環させなかったもの（比較例１）と比較して、ショート不良については１％、耐圧不良については３％の向上が見られ、また、破壊電圧平均についても向上が見られた。向上の程度が数％程度であっても、生産（量産）工程においては非常に重要であることはいうまでもない。このように、スラリーを再分散させてセラミックグリーンシートを形成することにより、積層型電子部品の製造信頼性の向上が図れることがわかる。
【００６０】
また、再分散させたスラリーの一部を循環させて使用して製造した場合（実施例２）には、ショート不良については同等であったものの、耐圧不良および破壊電圧平均についてはさらなる向上が見られた。これにより、スラリーを再分散および循環させてグリーンシートを形成することにより、チップのさらなる信頼性の向上が図れることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施の形態にかかるセラミックグリーンシート製造装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態にかかるシート形成装置の構成を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態にかかるセラミックグリーン製造装置の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００６２】
１０  セラミックグリーンシート製造装置
１１  保存タンク
１２  ポンプ
１３  フィルタ
１４  供給制御装置
１５  シート形成装置
１６  配管
１７  コントローラ
１８  バルブ
２５  三方弁
２６  循環用配管
３０  分散機
【図１】
2005088418.tif 000004
【図２】
2005088418.tif 000005
【図３】
2005088418.tif 000006