(57)【要約】【課題】配線が簡略化され又作成が容易な圧電アクチュエータアレイを提供する。【解決手段】複数の圧電アクチュエータ（１００）から構成される圧電アクチュエータアレイに、Ｌ型規制面（２０４）を有する細長いＬ型基板（２０１）と一部（２０６）を上記Ｌ型規制面（２０４）に露出した状態で上記Ｌ型基板（２０１）の長軸方向に所定の間隔をあけて保持された複数の棒状電極（２０５）とを備えた端子台（２００）を、各圧電アクチュエータ（１００）の一端部が上記Ｌ型規制面（２０４）に当てて規制され且つ一方の外部電極（１０４）が上記Ｌ型規制面（２０４）に露出した棒状電極（２０５）の一部（２０６）と電気的に接続した状態で備える。【選択図】        図３
2005019726.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｌ型規制面を有する細長いＬ型基板と、一部を上記Ｌ型規制面に露出した状態で上記Ｌ型基板の長軸方向に所定の間隔をあけて保持された複数の棒状電極を備えた端子台と、
対向する一対の面にそれぞれ外部電極を設けた複数の圧電アクチュエータであって、各圧電アクチュエータはその一端部が上記Ｌ型規制面に当てて規制されており且つ一方の外部電極が上記Ｌ型規制面に露出した棒状電極の一部と電気的に接続した状態で上記端子台に固定された複数の圧電アクチュエータを備えたことを特徴とする圧電アクチュエータアレイ。
【請求項２】
上記端子台に固定された複数の圧電アクチュエータの他方の外部電極を相互に電気的に接続する共通電極板とを備えたことを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータアレイ。
【請求項３】
上記複数の棒状電極の少なくとも一つと上記共通電極板が導電部材を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の圧電アクチュエータアレイ。
【請求項４】
上記複数の圧電アクチュエータを保持できる複数の溝を有する板を有し、上記複数の圧電アクチュエータが上記板の溝に保持されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一に記載の圧電アクチュエータアレイ。
【請求項５】
上記Ｌ型基板に対応する溝と上記棒状電極が貫通可能な孔を有する配列基板を備え、上記Ｌ型基板を上記溝に配置するとともに上記孔に上記棒状電極を貫通して上記配列基板に保持されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一に記載の圧電アクチュエータアレイ。
【請求項６】
対向する一対の面にそれぞれ外部電極を設けた複数の圧電アクチュエータを固定するものであって、Ｌ型規制面と、上記複数の圧電アクチュエータを保持できる複数の溝と、一部を上記Ｌ型規制面に露出した状態で上記Ｌ型基板の長軸方向に所定の間隔をあけて保持された複数の棒状電極とを備えた端子台と、
上記各圧電アクチュエータはその一端部が上記Ｌ型規制面に当てて規制されており且つ上記複数の圧電アクチュエータが上記の溝に保持されており且つ一方の外部電極が上記Ｌ型規制面に露出した棒状電極の一部と電気的に接続した状態で上記端子台に固定された複数の圧電アクチュエータを備えたことを特徴とする圧電アクチュエータアレイ。
【請求項７】
複数の圧電アクチュエータをそれらの一端を配列基板に固定して配列する工程と、
上記複数の圧電アクチュエータの間の隙間に樹脂を充填する工程と、
上記複数の圧電アクチュエータの他端面を研削して高さを揃える工程と、
上記樹脂を除去する工程とを備えたことを特徴とする圧電アクチュエータアレイの製造方法。
【請求項８】
対向する一対の側面にそれぞれ外部電極を設けた棒状の圧電アクチュエータと、
上記圧電アクチュエータの一端部を支持するベースと、
上記ベースを貫通しており、上記圧電アクチュエータ側に位置する一端が上記外部電極と電気的に接続された一対の電極ピンと、
上記圧電アクチュエータに外装された筒と、
上記筒の内側で上記圧電アクチュエータの周囲に充填された絶縁樹脂とを備えた圧電アクチュエータアセンブリ。
【請求項９】
複数の圧電アクチュエータを平行に配列した圧電アクチュエータアレイを製造するための位置決め部材であって、
直線状に伸びる段部を介して隣接する第１と第２の平面であって、上記第１の平面は上記第２の平面よりも高い位置に形成された平面を有し、
上記第１の平面は上記段部と平行な方向に所定の間隔をあけ且つ上記段部と直交する方向に伸びる複数の溝が形成されている圧電アクチュエータアレイ製造用位置決め部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一次元および二次元圧電アクチュエータアレイ及びその製造方法、並びに圧電アクチュエータアセンブリ及び圧電アクチュエータアレイ製造用位置決め部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電アクチュエータアレイは、例えば特開昭６１−１６０９８３号公報（特許文献１）に開示されているように、複数の細い棒状圧電アクチュエータを一次元又は二次元に配列して構成されている。また、各圧電アクチュエータの破損を防止するために、隣接する圧電アクチュエータはそれらの間にはエポキシ樹脂等が充填されて固定される。さらに、特開平７−６６４６３号公報（特許文献２）に開示されているように、複数の圧電アクチュエータの端面の高さを揃えてそこに形状可変鏡を取り付けるために、樹脂等で固定された圧電アクチュエータアレイの先端面が研磨される。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭６１−１６０９８３号公報
【特許文献２】
特開平７−６６４６３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の圧電アクチュエータアレイ及びその製造方法は以下の問題を有する。まず、圧電アクチュエータは小型部品であるために該圧電アクチュエータの表面に形成されている電極への配線が容易でない。また、細長い棒状の圧電アクチュエータは加工等の衝撃によって折損することがある。さらに、圧電アクチュエータを保護する樹脂がその硬化過程において収縮することで、圧電アクチュエータに偏った力が作用してこれが傾斜することがある。そして、細長い圧電アクチュエータを二次元配列用ベースに正確に組み付けることは容易なことでない。そのため、圧電アクチュエータアレイを高精度に作成することが難しく、またその製造に多くの時間と労力を要していた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために、本発明に係る圧電アクチュエータアレイは、
Ｌ型規制面を有する細長いＬ型基板と、一部を上記Ｌ型規制面に露出した状態で上記Ｌ型基板の長軸方向に所定の間隔をあけて保持された複数の棒状電極とを備えた端子台と、
対向する一対の面にそれぞれ外部電極を設けた複数の圧電アクチュエータであって、各圧電アクチュエータはその一端部が上記Ｌ型規制面に当てて規制されており且つ一方の外部電極が上記Ｌ型規制面に露出した棒状電極の一部と電気的に接続した状態で上記端子台に固定された複数の圧電アクチュエータとを備えたことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の好適な実施形態を説明する。なお、複数の図面において、同一の部材又は部品には同一の符号が付されている。
【０００７】
実施の形態１．
図１は、本発明の圧電アクチュエータアレイに利用される圧電アクチュエータ１００を示す。圧電アクチュエータ１００は、横断面が四角形の棒状本体１０１を有する。棒状本体１０１は、長手方向に伸びる一対の側面１０２に外部電極１０３（一方の面及びそれに対応する外部電極１０４は図示せず。）を支持しており、これにより一対の外部電極１０３、１０４の間に電圧が印加されることで長手方向に変形するように設計されている。
【０００８】
図２と図３は、本発明に係る一次元圧電アクチュエータアレイを構成する際に用いる端子台２００を示す。端子台２００は、絶縁材料（例えば、セラミックス）からなる断面Ｌ型の細長いＬ型基板２０１を有する。図示するように、Ｌ型基板２０１は、底板部分２０２と該底板部分２０２の一端から直角に伸びる壁板部分２０３からなり、これら底板部分２０２と壁板部分２０３によって圧電アクチュエータを規制するＬ型規制面２０４が形成されている。また、Ｌ型基板２０１は、底板部分２０２に対して垂直に伸び、かつ、該Ｌ型基板の長軸方向に一定の間隔をあけて配置された複数の棒状電極２０５が一体的に保持されている。棒状電極２０５のピッチは、端子台２００に搭載する圧電アクチュエータ１００の幅よりも僅かに大きく決められている。本実施の形態において、棒状電極２０５は、円柱型電極ピンの一部（図面の上端部分）がその中心軸と平行な面に沿って切除された部分（コンタクト面２０６）が形成されており、このコンタクト面２０６をＬ型規制面２０４を構成する壁板部分２０３の内側表面に一致させてＬ型基板２０１に一体的に成形されて固定されている。このコンタクト面２０６はＬ型基板２０１をＬ型に加工する際に同時に形成される。例えば、Ｌ型基板となる断面四角形の棒状基板に円柱型電極ピンを一定間隔で埋め込み、棒状基板をＬ型に切削加工する際に同時に電極ピンの一端側を切削してそこにコンタクト面２０６を形成する。そのため、本実施形態において、電極ピンは良好な被削性を有する材料（例えば、コバール）から作成される。
【０００９】
このようにして形成されたＬ型基板２０１に対し、複数の圧電アクチュエータ１００は、図３に示すように、各圧電アクチュエータ１００の一端をＬ型基板２０１のＬ型規制面２０４に当てて位置規制するとともに、一方の外部電極１０４（図３には図示されていない方の外部電極）をコンタクト面２０６に対向させて接触させた状態で配置され、接着剤（図示せず）により接着される。圧電アクチュエータ１００の配置方法については後に詳細に説明する。このとき、図示するように、Ｌ型基板２０１の少なくとも一方の端部に配置された棒状電極２０５’はこれが後に共通電極として機能するように、圧電アクチュエータ１００に接続されることなく残される。以後、この棒状電極を共通電極２０５’という。次に、図３（ｂ）に示すように、圧電アクチュエータ１００の他方の外部電極１０３（図示されている外部電極）を有する面に細長い板状の共通電極板２０７が接着剤等で固定され、これにより複数の圧電アクチュエータ１００の外部電極１０３が相互に接続される。図面から省略されているが、共通電極板２０７と共通電極２０５’の共通コンタクト面２０６’は適当な導電部材（例えば、図７〜図９に示す導電性接着剤３１０）を用いて相互に接続される。これにより、複数の圧電アクチュエータの他方の外部電極１０３が少なくとも一本の電極ピンでグランドに電気的に接続され、それによって従来は各圧電アクチュエータ毎に設けていたグランドを共通化して電極ピンの本数が削減できる。また、接続の都合上適宜両端に共通電極２０５’を設けても良い。
【００１０】
Ｌ型基板２０１に複数の圧電アクチュエータ１００を配置するための手段として用いる位置決め部材（治具）を図４と図５に示す。この位置決め部材３００は、四角形の板からなり、複数の圧電アクチュエータ１００を保持して整列するためのアクチュエータ位置決め領域（第１の平面）３０１とＬ型基板位置決め領域（第２の平面）３０２を有し、両領域３０１，３０２の境界部分には直線状の段部３０３が形成され、Ｌ型基板位置決め領域３０２がアクチュエータ位置決め領域３０１よりも低くしてある。アクチュエータ位置決め領域３０１には、段部３０３と直交する方向に伸びる複数の溝３０４が一定の間隔をあけて平行に形成されている。溝３０４の幅は圧電アクチュエータ１００の外部電極１０４を支持する側面１０２（図１参照）の横幅とほぼ同一に決められ、Ｌ型基板位置決め領域３０２から溝３０３の底面までの高さ（距離）がＬ型基板２０１の壁板部分２０３の厚さとほぼ等しく決められている。
【００１１】
位置決め部材３００を使用する場合、図６に示すように、位置決め部材３００に対して端子台２００を位置決めする。このとき、Ｌ型基板２０１の壁板部分２０３の上端面を位置決め部材３００の段部３０３に当てる。また、溝３０４の中心に棒状電極２０５の中心を一致させる。そのために、位置決め部材３００とＬ型基板２０１にそれぞれ係合部（図示せず）を設け、Ｌ型基板２０１の係合部を位置決め部材３００の係合部に係合することで、棒状電極２０５の中心が溝３０４の中心に位置するようにするのが好ましい。
【００１２】
次に、図７に示すように、Ｌ型基板２０１の底板部分２０２に接着剤（図示せず）を塗布し、複数の圧電アクチュエータ１００を溝３０４に嵌める。このとき、圧電アクチュエータ１００の一方の外部電極１０４を支持した側面１０２を溝３０４の底面に向け、外部電極１０４を棒状電極のコンタクト面２０６に対向させて接触させる。共通電極２０５’と同一線上にある溝に圧電アクチュエータが配置されることはない。続いて、図７に示すように、共通コンタクト面２０６’の上に導電性接着剤３１０を塗布する。そして、図８に示すように、共通電極板２０７を外部電極１０３のある圧電アクチュエータ１００の他方の側面１０２に導電性接着剤で接着し、この共通電極板２０７と共通コンタクト面２０６’を導電性接着剤３１０で電気的に接続する。最後に、図９に示すように、接着剤が十分に硬化した後、圧電アクチュエータ１００から位置決め部材３００を取り外し、これにより、所定の間隔をあけて複数の圧電アクチュエータ１００を一次元配列した一次元圧電アクチュエータアレイ２１０が完成される。
【００１３】
実施の形態２．
図１０は実施の形態２の一次元圧電アクチュエータアレイを示す。この実施の形態２の一次元圧電アクチュエータアレイ４００は、並列に配置された複数の圧電アクチュエータ１００の位置と姿勢とを維持する保護板４０１を備えている。図１１に示すように、保護板４０１は、絶縁材料（例えば、セラミックス）からなる長方形の板からなり、短辺方向に伸びる複数の溝４０２が長辺方向に所定のピッチで形成されている。溝４０２の深さと幅はそこに圧電アクチュエータ１００を安定して保持できる大きさであればよい。
【００１４】
このような構成の保護板４０１を利用すれば、実施の形態１で説明した方法により形成された一次元配列圧電アクチュエータアレイ２１０の各圧電アクチュエータ１００を安定して保持できる。また、一次元配列又は二次元配列された複数の圧電アクチュエータの隙間に適当な樹脂を充填してブロックを形成する場合、充填された樹脂が硬化するときの収縮によって圧電アクチュエータに偏った力が作用することがあり得るが、保護板４０１で保護された本実施の形態２の圧電アクチュエータアレイでは個々の圧電アクチュエータが保護板にしっかりと保持されているので、樹脂の収縮に起因して圧電アクチュエータが変形したり位置ずれすることがない。なお、圧電アクチュエータをブロック化するために使用する樹脂は限定的ではないが、圧電アクチュエータと溝底面との間隙に樹脂が十分浸透する低粘度の熱硬化性樹脂を用いるのが好ましく、本実施形態は粘度約４００ｃｐのシリカ樹脂を使用している。
【００１５】
上述の実施形態において、保護板４０１と端子台２００の両方は個別の部品として圧電アクチュエータアレイに構成される。しかしながら、両方を一体として（例えば、同材料から作成される一の部品として）単一の部品を構成し、それにより両方の機能を実施することも可能である。
【００１６】
実施の形態３．
図１２と図１３は、二次元圧電アクチュエータアレイの製造プロセスを示す。この図に示すように、二次元圧電アクチュエータアレイ５００の製造には、四角形の配列基板５０１が用いられる。配列基板５０１の上面には、実施の形態１で説明した一次元圧電アクチュエータアレイ２１０のＬ型基板２０１を嵌めこむことができる大きさと形を有する複数の帯状の窪み５０２が所定の間隔をあけて平行に形成されている。また、窪み５０２の底部には、配列基板５０１を貫通する複数の貫通孔５０３が一定の間隔で形成されており、一次元圧電アクチュエータアレイ２１０を窪み５０２に装着した状態でその棒状電極２０５が貫通孔５０３を介して配列基板５０１の下方に突出できるようにしてある。
【００１７】
二次元圧電アクチュエータアレイを製造する場合、配列基板５０１に対し、図示するように、実施の形態１で説明した複数の一次元圧電アクチュエータアレイ２１０が装着される。このとき、各一次元圧電アクチュエータアレイ２１０のＬ型基板２０１が窪み５０２に嵌めこまれる。その際、棒状電極２０５は貫通孔５０３を介して配列基板５０１の下方に突出される。配列基板５０１とＬ型基板２０１は接着剤で接着するのが好ましい。この場合、両者の間に配置された接着剤が窪みの全体に薄く広がるため、高い接着強度が得られる。
【００１８】
実施の形態２のように、一次元圧電アクチュエータアレイ２１０が保護板４０１を備えている場合、図１４と図１５に示すように、配列基板５０１の上には窪み５０２の長手方向両端側にそれぞれ側板５０４を設ける。側板５０４の固定は例えばボルトとナットの組合せからなる固定具５０５又は接着剤を用いて行う。それぞれの側板５０４は、他方の側板に対向する面に、一次元圧電アクチュエータアレイ２１０に固定された保護板４０１の端部がガイドされる挿入溝５０６が形成されている。したがって、このような側板５０４を有する配列基板５０１を利用すれば、保護板４０１の動きが挿入溝５０６によって規制されるので、この保護板４０１に保持された各圧電アクチュエータ１００の位置が安定する。また、挿入溝５０６の内面に接着剤を塗布しておき、側板５０４と保護板４０１を接着してもよい。これらにより二次元圧電アクチュエータアレイの各圧電アクチュエータが正確に配列され、またアレイ全体の強度が従来の形態に比べて増加する。
【００１９】
図１４と図１５の実施形態では配列基板５０１の上に２枚の側板を配置しているが、４枚の側板で四角の枠を形成し、その枠で囲まれた空間内に複数の一次元圧電アクチュエータアレイを配置してもよい。
【００２０】
実施の形態４．
上述の二次元圧電アクチュエータアレイにおいて、特に二次元圧電アクチュエータアレイの被制御物に厳格な制御精度が要求される場合、例えば光スイッチを作成するために可変鏡が取り付けられる場合、各圧電アクチュエータの高さを正確に同一にする必要がある。
【００２１】
そのために、実施の形態４の二次元圧電アクチュエータアレイ及びその製造方法は以下の構成を採用している。具体的に、本実施の形態では、図１６と図１７に示すように、四角形の配列基板５０１の上に４枚の側板５０４からなる枠５０７を固定した基台５０８を用意し、この基台５０８を支持台５０８’で支持する。次に、実施の形態３と同様に、配列基板５０１の上に形成された複数の帯状の窪み５０２に一次元圧電アクチュエータ１００を配置するとともに帯状窪み５０２の底面に形成された貫通孔５０３に棒状電極２０５を貫通させる。また、側板５０４に形成された挿入溝５０６に保護板４０１の端部を挿入し、配列基板５０１に対して二次元圧電アクチュエータアレイ及び各圧電アクチュエータを位置決めする。なお、側板５０４の高さは、枠５０７内に装着された各圧電アクチュエータ１００の上端面が側板５０４の上端面とほぼ同じ高さ又はそれよりも上方に僅かに突出するように決められている。続いて、枠５０７の内側にホットメルト系接着剤５０９を充填し、圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータアレイを保持する。ホットメルト系接着剤を使うことにより、研磨時の各圧電アクチュエータの固定及び保護が従来のエポキシ樹脂等に比べて堅固に行える。これは、ホットメルト系接着剤５０９が通常、水や溶剤を含まず、室温では固体であり、１００％不揮発性の熱可塑性材料から構成されるためである。そのため、従来のエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂に比べて、その硬化過程において収縮しない。また、本実施形態では、５０〜１００℃で液化し、アルコール系溶剤に対して可溶性のホットメルト系接着剤を使用している。そして、図１７、１８に示すように、接着剤の硬化後、適切な研磨手段５１０によって、硬化した接着剤と圧電アクチュエータの上端面を研磨し、その高さを揃える。このとき、図示するように、一つの圧電アクチュエータアレイにおける圧電アクチュエータ１００の配列方向に研削方向（図面の左右方向）を一致させるのが好ましい。それは、各圧電アクチュエータアレイ及びこれを保持する保護板の同方向への移動が側板によって規制されているからである。研磨手段５１０には、水平な回転軸を中心として回転するドラム状の研削機（例えば平面研削盤）が好適に利用される。また、圧電アクチュエータ１００の上端面の研削時に側板５０４の上端面を併せて研削してもよい。このようにすれば、研磨後の枠５０７を取付け基準面として使用できる。最後に、溶剤等を用いてホットメルト系接着剤を除去するとともに、研磨された二次元アクチュエータアレイを洗浄する。また、洗浄後、圧電アクチュエータ１００の間に補強用の樹脂を充填してもよい。このように、本実施の形態によれば、二次元圧電アクチュエータアレイに含まれている複数の圧電アクチュエータの上端面を極めて高い精度（例えば、±１μｍの精度）で揃えることができる。
【００２２】
なお、以上の説明では二次元圧電アクチュエータアレイを取り扱ったが、一次元圧電アクチュエータアレイにおける圧電アクチュエータの高さも同様の方法で高精度に揃えることができる。
【００２３】
実施の形態５．
図１９と図２０は、一つの圧電アクチュエータを一つの保護管に収容した圧電アクチュエータアセンブリ及びその製造方法を示す。図示するように、圧電アクチュエータアセンブリ６００の製造にあたって、絶縁材料からなる保護管６０１と電極ステム６０２を用意する。保護管６０１は絶縁材料からなり、圧電アクチュエータ１００の外径より大きな内径を有する中空の管である。電極ステム６０２は、絶縁材料からなるステムベース６０３と、両端が突出した状態でステムベース６０３に保持された２本の平行な電極ピン６０４からなり、これら電極ピン６０４の間隔が圧電アクチュエータ１００の横幅（図１において、２つの外部電極１０３を支持する両側面１０２の距離に相当する。）とほぼ等しく設定されている。これら圧電アクチュエータ１００、保護管６０１、ステムベース６０３は、まずステムベース６０３の一方の面から突出する一対の電極ピン６０４の間に圧電アクチュエータ１００を配置し、これらの電極ピン６０４とそれに対向する圧電アクチュエータ１００の外部電極１０３を電気的に接続する。この電気的接続は、はんだや導電性接着剤などの適当な手段を用いて行う。また、必要であれば、圧電アクチュエータ１００とステムベース６０３を接着剤で接着する。次に、圧電アクチュエータ１００に保護管６０１を外装し、必要であれば、保護管６０１とステムベース６０３を接着剤で接着する。最後に、保護管６０１と圧電アクチュエータ１００との間の隙間６０５にシリカ樹脂などの絶縁樹脂６０６を充填する。圧電アクチュエータ１００が単体で保護されるため、例えば、これを使用してアレイを構成する場合に折損（欠け）が生じる可能性が減少し、また、これを使用する圧電アクチュエータアレイの強度も向上する。
【００２４】
図２１は、上述した圧電アクチュエータアセンブリ６００を用いた一次元又は二次元圧電アクチュエータアレイを示す。図示するように、圧電アクチュエータアレイ７００は、絶縁材料からなるアセンブリ取付台７０１を有する。アセンブリ取付台７０１には、圧電アクチュエータアセンブリ６００のステムベース６０３よりも僅かに大きな窪み７０２又は溝が所定の間隔をあけて形成され、窪み７０２又は溝の底部にアセンブリ取付台７０１を貫通する電極ピン貫通孔７０３が形成されている。このようなアセンブリ取付台７０１に対して、圧電アクチュエータアセンブリ６００はその電極ピン６０４を貫通孔７０３に挿通し、ステムベース６０３を窪み７０２又は溝にはめ込み、適当な接着剤でステムベース６０３をアセンブリ取付台７０１に接着して固定される。
【００２５】
図２２に示すように、上述のようにしてアセンブリ取付台７０１に取り付けられた複数の圧電アクチュエータアセンブリ６００を固定板７０４を用いて保持することが好ましい。固定板７０４としては、例えば、圧電アクチュエータアセンブリ６００の配列ピッチに合わせて保護管６０１の外径とほぼ同一の内径を有する複数の保護管挿入孔７０５を形成したものが利用でき、この場合、各圧電アクチュエータアセンブリ６００は保護管挿入孔７０５に挿入されて接着剤で固定される。
【００２６】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る圧電アクチュエータアレイは、端子台を備えることによって、それを構成する圧電アクチュエータそれぞれの外部電極への配線が容易になる。更に、端子台を備える一次元の圧電アクチュエータアレイを使用することによって、二次元の圧電アクチュエータアレイが高精度に且つ容易に作成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】圧電アクチュエータの拡大斜視図である。
【図２】本発明に係る一次元圧電アクチュエータアレイを構成する際に用いる端子台を示す図で、図２（ａ）は正面図、図２（ｂ）は平面図、図２（ｃ）は側面図である。
【図３】圧電アクチュエータアレイの製造プロセスを説明するための図で、図３（ａ）は端子台とこれに装着する複数の圧電アクチュエータアレイの斜視図、図３（ｂ）は圧電アクチュエータアレイの斜視図である。
【図４】複数の圧電アクチュエータを端子台に対して整列するための位置決め部材の斜視図である。
【図５】図４と共に位置決め部材を示す図で、図５（ａ）は正面図、図５（ｂ）は平面図、図５（ｃ）は側面図である。
【図６】位置決め部材に対して端子台を配置した状態を示す図で、図６（ａ）は正面図、図６（ｂ）は側面図である。
【図７】端子台を装着した位置決め部材に複数の圧電アクチュエータを配置した状態を示す図で、図７（ａ）は正面図、図７（ｂ）は側面図である。
【図８】圧電アクチュエータを装着した位置決め部材に共通電極板を配置した状態を示す図で、図８（ａ）は正面図、図８（ｂ）は側面図である。
【図９】位置決め部材から取り外された圧電アクチュエータアレイを示す図で、図９（ａ）は正面図、図９（ｂ）は側面図である。
【図１０】保護板を供えた圧電アクチュエータアレイを示す図で、図１０（ａ）は正面図、図１０（ｂ）は平面図、図１０（ｃ）は側面図である。
【図１１】複数の圧電アクチュエータと保護板の斜視図である。
【図１２】圧電アクチュエータ配列基板を示す図で、図１２（ａ）は正面図、図１２（ｂ）は側面図である。
【図１３】図１２の配列基板上に複数の圧電アクチュエータを配列した二次元圧電アクチュエータアレイを示す図で、図１３（ａ）は正面図、図１３（ｂ）は側面図である。
【図１４】一対の側板の間に複数の圧電アクチュエータを配列した二次元圧電アクチュエータアレイの正面図である。
【図１５】図１４に示す二次元圧電アクチュエータアレイの断面図である。
【図１６】他の形態の二次元圧電アクチュエータアレイの製造方法を説明するための断面図である。
【図１７】図１６と共に他の形態の二次元圧電アクチュエータアレイの製造方法を説明するための断面図である。
【図１８】図１６と図１７に示す方法により製造された二次元圧電アクチュエータアレイの断面図である。
【図１９】圧電アクチュエータに保護管を外装して保護した圧電アクチュエータアセンブリを示す図で、図１９（ａ）は分解正面図、図１９（ｂ）は分解斜視図である。
【図２０】圧電アクチュエータに保護管を外装して保護した圧電アクチュエータアセンブリを示す図で、図２０（ａ）は正面図、図２０（ｂ）は斜視図である。
【図２１】圧電アクチュエータアセンブリを用いた圧電アクチュエータアレイの一部を切除した側面図である。
【図２２】圧電アクチュエータアセンブリを用いた二次元圧電アクチュエータアレイを示す図で、図２２（ａ）は平面図、図２２（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
１００  圧電アクチュエータ、  １０１  本体、  １０２  側面、  １０３  外部電極、  １０４  外部電極、  ２００  端子台、  ２０１  Ｌ型基板、  ２０２  底板部分、  ２０３  壁板部分、  ２０４  Ｌ型規制面、  ２０５  棒状電極、  ２０５’  共通電極、  ２０６  コンタクト面、  ２０６’  共通コンタクト面、  ２０７  共通電極板、  ２１０  一次元圧電アクチュエータアレイ、  ３００  位置決め部材、  ３０１  アクチュエータ位置決め領域（第１の平面）、  ３０２  Ｌ型基板位置決め領域（第２の平面）、  ３０３  段部、  ３０４  溝、  ３１０  導電性接着剤、  ４００  一次元圧電アクチュエータアレイ、  ４０１  保護板、  ４０２  溝、  ５００  二次元圧電アクチュエータアレイ、  ５０１  配列基板、  ５０２  窪み、  ５０３  貫通孔、  ５０４  側板、  ５０５  固定具、  ５０６  挿入溝、  ５０７  枠、  ５０８  基台、  ５０８’  支持台、  ５０９  ホットメルト系接着剤、  ５１０  研磨手段、  ６００  圧電アクチュエータアセンブリ
６０１  保護管、  ６０２  電極ステム、  ６０３  ステムベース、  ６０４電極ピン、  ６０５  隙間、  ６０６  絶縁樹脂、  ７００  二次元圧電アクチュエータアレイ、  ７０１  アセンブリ取付台、  ７０２  窪み、  ７０３  電極ピン貫通孔、  ７０４  固定板、  ７０５  保護管挿入孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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