(57)【要約】【課題】  幅が２ｍ以上のワ−クを研磨（ラップ）加工できる研磨装置の提供。【解決手段】  回転軸８に軸承された直径が４〜１２ｍの金属製タ−ンテ−ブル１０上に直径が４〜１２ｍの円板状石材を格子状に等間隔に９〜１２１個に切断した砥石セグメントを接着剤で固着して形成した研磨加工具９表面に、キャリア４で保持した板状体ワ−ク１５を押し付け、キャリアおよび研磨下定盤を回転させて板状体ワ−ク表面を研磨する研磨装置１であって、前記金属製タ−ンテ−ブルは前記回転軸８の軸受の直径よりは幅広の略長尺状柱の中央セグメント１０ａと、この中央セグメントの左右に継がれた円弧状柱の右セグメント１０ｂおよび左セグメント１０ｂの金属製三部材で構成されており、金属製タ−ンテ−ブルの各セグメント継ぎ目面１７と前記石材の砥石セグメントの格子状接着面１４が成す平面は平行ではなく、交差するように設けられている研磨装置。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸に軸承された直径が４〜１２ｍの円板状もしくは円環状の金属製タ−ンテ−ブル上に直径が４〜１２ｍの円板状もしくは円環状石材を格子状に９〜１２１個に切断した砥石セグメントを接着剤で固着して形成した円板状もしくは円環状石材表面に、キャリアで保持した板状体ワ−クを載せ、キャリアおよび研磨定盤を回転させて板状体ワ−ク表面を研磨する研磨装置であって、前記金属製タ−ンテ−ブルは前記回転軸の軸受の直径よりは幅広の略長尺状柱の中央セグメントと、この中央セグメントの左右に継がれた円弧状柱の右セグメントおよび左セグメントの金属製三部材で構成されており、金属製タ−ンテ−ブルの各セグメント継ぎ目面と前記石材の砥石セグメントの格子状接着面が成す平面は平行ではなく、交差するように設けられていることを特徴とする、板状体ワ−クの平面研磨に用いる研磨装置。
【請求項２】
上記石材は、各砥石セグメントを無機粉含有硬化型樹脂接着剤で接着・硬化して円板状もしくは円環状石材と成した後、この硬化した無機粉含有硬化型樹脂接着剤の上面を研削加工もしくは研磨加工して石材の表面を面一に形成したものであることを特徴とする、請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
石材が大理石、花崗岩、黒御影石より選ばれたものであり、無機粉硬化型樹脂接着剤が鉄粉を５〜６５重量％含有する硬化型エポキシ樹脂接着剤であることを特徴とする、請求項２に記載の研磨装置。
【請求項４】
金属製タ−ンテ−ブルと石材の間には、タ−ンテ−ブルを構成する金属の硬度よりは小さい硬度を有するスペ−サが撓み改良材として同心円状に複数挿入されていることを特徴とする、請求項１に記載の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置用ガラスプレ−トや鉄プレ−ト、セラミックプレ−ト、ＫＮｂＯ３光学結晶、フォトマスク基板等の一辺の寸法が１０００〜３５００ｍｍ大型の板状体ワ−ク平面を研磨（ラップ）加工する直径が４〜１２ｍの研磨定盤（ラップ定盤）を備える研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
高精度の平面研磨が要求される上記板状体ワ−クの寸法としては、大型化が顕著となり、従来は高々１３００ｍｍｘ１１００ｍｍ寸法のフォトマスク基板を研磨できる研磨装置であった（たとえば、非特許文献１参照）。
かかる研磨装置として、研磨定盤にキャリアに保持したワ−クを押し付け、キャリアおよび定盤を回転させてワ−ク面が定盤によってサイクロイド曲線で掃引されて研磨する平面研磨装置が提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
また、研磨定盤の回転軸を中心とする同心円状に３分割された３重同心円定盤より構成された研磨定盤に、キャリアに保持したワ−ク（ＬＣＤ用ガラス板）を押し付け、キャリアおよび研磨定盤を回転させてワ−ク面を研磨定盤によって研磨する平面研磨装置が提案されている（たとえば、特許文献２参照）。
さらに、平坦な砥石接着面を有する円板状台座に砥石板を接着剤で接着するとともに、該砥石板の上面に前記台座の砥石接着面にまで達する複数の切り溝を形成し、該砥石板を複数のセグメント状の砥石板に分割し、該セグメント状の砥石板と砥石板の間に該切り溝に相当する格子状隙間を設けた基板研磨用砥石も提案されている（たとえば、特許文献３参照）。
および、円環セグメント、規則的な多角形の輪郭を有する円環または角隅セグメントの２〜４０００個を砥石基台の上に円環状に並べて鋳造金属製円環状砥石を形成した研磨定盤（ラップ盤）も提案されている（たとえば、特許文献４参照）。
【非特許文献１】゛週刊ダイヤモンド”、２００２年９月７日号、ｐ．６２−６３
【特許文献１】特開２０００−４２９１１号公報
【特許文献２】特開２００２−３４６９１７号公報
【特許文献３】特開平１１−２７７４４５号公報
【特許文献４】特開２００１−８８０３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近時、スパッタ装置用鉄プレ−ト、ガラスプレ−ト、ＥＬＤやフォトマスク基板として一辺の長さが２０００〜３５００ｍｍの板状体が要求され、従来の大型の研磨装置（ラッピング装置）では研磨が応じきれない。
また、上記特許文献１、特許文献２は研磨定盤の素材を開示していないが、研磨定盤の素材としては、金属よりも軽く、熱伝導率、熱膨張率が小さい石材がよい。花崗岩、大理石、黒御影石等の石材は、熱伝導率が２．４〜２．７Ｋｃａｌ／ｍｈ℃と小さく、熱膨張率７〜７．５ｘ１０−6／℃も小さく、かつ、比重が２．４〜２．９と軽く、耐熱性が４５５〜５７０℃と高く、圧縮強度も１４００〜１６００ｋｇ／ｃｍ２と高いので、金属やＡＢＳ等の樹脂を用いるよりも精密寸法性、平坦性の優れた加工されたワ−クを与えるので好ましい。
【０００４】
【表１】
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【０００５】
研磨されるワ−クの寸法が小さいうちは、一枚の石材で研磨定盤を賄うことができるが、ワ−ク寸法が数十インチの角型液晶ディスプレイ用ガラスプレ−ト、スパッタリング装置用の次世代の２０００ｍｍ鉄プレ−ト、次々世代の２５００ｍｍ鉄プレ−トのように大型のものとなると、研磨定盤の直径も４〜１２ｍと大型となる。しかし、研磨定盤素材の石材を搬送・搬入する作業において道路交通法で定められた幅があり、日本における現状では高々幅が４．５ｍの石材の搬送・搬入が可能というのが実情である。本発明は、石材を研磨工具として用いる研磨装置において、直径が４〜１２ｍの研磨定盤を有する研磨装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、回転軸に軸承された直径が４〜１２ｍの円板状もしくは円環状の金属製タ−ンテ−ブル上に直径が４〜１２ｍの円板状もしくは円環状石材を格子状に等間隔に９〜１２１個に切断した砥石セグメントを接着剤で固着して形成した円板状もしくは円環状石材表面に、キャリアで保持した板状体ワ−クを載せ、キャリアおよび研磨定盤を回転させて板状体ワ−ク表面を研磨する研磨装置であって、前記金属製タ−ンテ−ブルは前記回転軸の軸受の直径よりは幅広の略長尺状柱の中央セグメントと、この中央セグメントの左右に継がれた円弧状柱の右セグメントおよび左セグメントの金属製三部材で構成されており、金属製タ−ンテ−ブルの各セグメント継ぎ目面と前記石材の砥石セグメントの格子状接着面が成す平面は平行ではなく、交差するように設けられていることを特徴とする、板状体ワ−クの平面研磨に用いる研磨装置を提供するものである。
【０００７】
請求項２の発明は、前記研磨装置において、上記石材は、各砥石セグメントを無機粉含有硬化型樹脂接着剤で接着・硬化して円板状もしくは円環状石材と成した後、この硬化した無機粉含有硬化型樹脂接着剤の上面を研削加工もしくは研磨加工して石材の表面を面一に形成したものであることを特徴とする。
【０００８】
請求項３の発明は、前記研磨装置において、石材が大理石、花崗岩、黒御影石より選ばれたものであり、無機粉硬化型樹脂接着剤が鉄粉を５〜６５重量％含有する硬化型エポキシ樹脂接着剤であることを特徴とする。
【０００９】
請求項４の発明は、前記研磨装置において、金属製タ−ンテ−ブルと石材の間には、タ−ンテ−ブルを構成する金属の硬度よりは小さい硬度を有するスペ−サが撓み改良材として同心円状に複数挿入されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
表面に石材セグメントを接着する金属製タ−ンテ−ブルを、回転軸の軸受の直径よりは幅広の略長尺状柱の中央セグメントと、この中央セグメントの左右に接着された円弧状柱の右セグメントおよび左セグメントの３部材に分割して構成することにより、各セグメントの搬送を可能とし、各セグメントの継ぎ目面積を小さくし、かつ、タ−ンテ−ブルの金属が撓むのを小さくすることができた。
なお、円板状石材を中央で２分割する方が継ぎ目面積をより小さくすることができるが、継ぎ目面が研磨定盤の回転軸上に架かり、回転軸の振動応力が円柱状石材の継ぎ目面に集中し、研磨定盤の寿命を短くする。金属製タ−ンテ−ブルを扇状に４〜８分割した形状のセグメントを繋ぐことは、継ぎ目面積が増大するし、継ぎ目面が研磨定盤の回転軸上に架かり、回転軸の振動応力が金属製タ−ンテ−ブルの継ぎ目面に集中し、研磨定盤の寿命を短くする。
【００１１】
金属製タ−ンテ−ブルの各セグメント継ぎ目面と前記石材の砥石セグメントの格子状接着面が成す平面を平行ではなく、交差するように設けることにより金属製タ−ンテ−ブルの継ぎ目面にかかる石材の荷重が分散され、金属製タ−ンテ−ブルの撓みが小さくなる。
【００１２】
接着剤に鉄粉、銅粉等の金属粉や花崗岩粉、石灰粉、タルク等の石粉などの無機粉を含有させることにより接着剤層の熱伝導率、熱膨張率をより石材のそれらに近づけることができ、加工ワ−クの寸法精度を向上できる。また、石材と無機粉含有硬化型樹脂接着剤との外観を類似させることができる。石材の熱伝導率は２．５〜２．７Ｋｃａｌ／ｍｈ℃であり、鉄の熱伝導率は４５〜５０Ｋｃａｌ／ｍｈ℃、鉄粉含有硬化型樹脂接着剤の熱伝導率は４０〜４４Ｋｃａｌ／ｍｈ℃である。鉄は、他の金属である銅、アルミニウム合金と比較して熱伝導度が小さく、熱による変形が小さいので寸法精度の良好な加工ワ−クを与える。
【００１３】
直径が４〜１２ｍの石材の荷重による金属製タ−ンテ−ブルが撓むと、ワ−ク加工時に回転している石材上面の軌跡が回転軸中心回りの同一円周上からブレるので厚み分布の良好な加工ワ−クが得られない。本発明のように撓み改良材のスペ−サを、石材裏面と金属製タ−ンテ−ブル表面間に存在させることにより石材の荷重により撓んだ金属製タ−ンテ−ブルの撓みを補正し、ワ−ク加工時に回転している石材上面の軌跡が回転軸中心回りの同一円周上からブレるのを防ぐ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を用いて本発明を詳細に説明する。
図１は研磨装置の正面図、図２は研磨装置の下定盤の平面図、および図３は円板状または円環状石材を載せる前のタ−ンテ−ブルの平面図、図４は石材の格子状接着面（実線）とタ−ンテ−ブルの継ぎ目面（仮想線）の位置関係を示す石材の平面図、および図５は別の態様を示す研磨装置の平面図である。
【００１５】
図１から図３に示す研磨装置１において、研磨装置１は主に研磨定盤（下定盤）２と下面にキャリア４を備える上定盤３とより構成される。
研磨定盤２は、図に示されていない駆動モ−タにより回転駆動される回転軸８とこの回転軸の上方部に設けられたベアリング５を備える軸受６と、前記回転軸８に軸承された中央部が空洞の円環状の金属製タ−ンテ−ブル１０と、このタ−ンテ−ブル表面上にボルトナットで固定された撓み改良材スペ−サ１１と、タ−ンテ−ブル１０表面上に載置された直径が４〜１２ｍの円板状または円環状石材よりなる加工具９とから構成される。１２は基台、１３は研磨剤供給管、１４は接着剤、１５は平板状ワ−ク、１８は修正リング（サ−フェ−サ−）である。
【００１６】
上記タ−ンテ−ブル１０の金属素材としては、鋳鉄、ステンレス鋼、真鍮、銅等が挙げられるが、安価で剛性の高いステンレス鋼が好ましい。金属は石材と比較して比重が大きい（鉄の比重は、７．９）ので□状の枠体とし、中央部１０ｃを空洞化して全体の重さを軽くするのが好ましい。具体的には、金属製タ−ンテ−ブルを回転軸の軸受の直径よりは幅広の略長尺状柱の中央セグメント１０ａと、この中央セグメントの左右に継ながれる円弧状柱の右セグメント１０ｂおよび左セグメント１０ｂの３部材に分割して構成する。各セグメント１０ａ，１０ｂ，１０ｂの中央部を利用し、中央セグメント１０ａと左右のセグメント１０ｂ，１０ｂの継ぎ目面をボルトナットで連結し、中央部１０ｃが空洞化した円柱状タ−ンテ−ブル１０とする。各□状セグメント１０ａ，１０ｂ，１０ｂの連結により上面は円板状または円環状を呈する。このタ−ンテ−ブル１０下側の円環状の内側を軸受６に固定する。
【００１７】
セグメント１０ａ，１０ｂ，１０ｂの金属板厚みは５０〜１５０ｍｍ、高さは３００〜１０００ｍｍである。円柱状タ−ンテ−ブル１０の直径は、円柱状石材９の直径に略等しく、４〜１２ｍである。
【００１８】
金属製タ−ンテ−ブル１０と円板状または円環状石材９の間に分散して介在されるスペ−サ１１は、円柱状タ−ンテ−ブル１０の素材金属の硬さよりは小さい（柔らかい）硬さを有するアルミニウム板、亜鉛板、加硫ゴム板、エラストマ−板、合成樹脂板などが用いられる。撓み改良材であるスペ−サ１１の厚みは、２５〜１００ｍｍであり、形状は扇形、長方形、三角形、正方形、楕円、円盤、円環、ド−ナッツリング等、いずれであってもよい。スペ−サ１１は、金属製タ−ンテ−ブル１０の表面に予め同心円状に複数分散して固定され（図２参照）、その上に石材９が載置される。金属製タ−ンテ−ブル１０と石材９間に介在されたスペ−サ１１は、平板状ワ−ク１５の研磨加工時に回転している石材上面外縁の移動軌跡が回転軸中心回りの同一円周上からブレるのを小さくするかブレを無くする。スペ−サ１１がなす同心円の条数は２〜６が好ましい。
【００１９】
回転軸８の直径は、１，０００〜２，８００ｍｍ、軸受６の直径１，０２０〜２，８４０ｍｍである。
【００２０】
石材としては、圧縮強度、曲げ強度の面から大理石、花崗岩、黒御影石より選ばれたものが好ましい。搬送・搬入の制約から切断された石材セグメント幅の上限が決定される。現在は、幅が４．５ｍ以下である。従って、現在では直径４．５ｍを越えるものは、分割して搬送し、研磨装置を設置する現場で分割したセグメントを接着剤１４で接着し、円板状または円環状とする。
【００２１】
平板状ワ−クの研磨（ラップ）加工具である石材９は、図４に示すように、直径４〜１２ｍの円板状または円環状石材を縦および横方向、それぞれｎ本（ｎは２〜１０本）の平行で等間隔な直線状切断面で切断した砥石セグメントを接着剤で接着させて１枚の石材とした構造を取る。よって、砥石セグメントの総数は、円板状石材のときは、（ｎ＋１）の二乗本数の９個以上、１２１個以下となる。図４ａは、ｎ＝２の９個に分割された砥石セグメントを接着した石材９を、図４ｂは、ｎ＝３の１６個に分割された砥石セグメントを接着した石材９を、図４ｃは、ｎ＝８の７３個に分割された砥石セグメントを接着した石材９を示す。石材９の高さは、３００〜６００ｍｍが好ましい。
【００２２】
石材の各砥石セグメントを接着する接着剤１４は、エポキシ樹脂などの構造接着剤が好ましく、更に無機粉が５〜６５重量％含有されている硬化型樹脂接着剤がより好ましい。無機粉としては、炭酸カルシウム、クレイ、大理石粉、黒御影石粉、花崗岩粉、シリカ粉、大谷石粉、カ−ボン粉末等の無機充填剤、１００〜４００メッシュ篩を通過した鋳鉄粉、鉄粉、銅粉、亜鉛粉、真鍮粉、アルミニウム粉等の金属粉が挙げられる。金属粉と無機充填剤を併用してもよい。金属粉や無機充填剤の配合は、金属粉含有硬化型樹脂接着剤１４の熱伝導率を鋳鉄や石材の熱伝導率に近似させるのに使用する。
混合系接着剤である無機粉含有硬化型樹脂接着剤の熱伝導率αは、配合される物質の体積率Ｖｉとその熱伝導率αｉとの積の和で近似できる。
α＝ΣＶｉ  ｘ  αｉ
【００２３】
無機粉含有硬化型樹脂接着剤の熱伝導率の調整し易さから金属粉としては鉄粉が、無機充填剤としては、大理石粉、花崗岩粉、黒御影石粉を用いるのが好ましい。構造接着剤である硬化型樹脂接着剤としては、硬化剤、必要により硬化促進剤が配合された一液型または二液型エポキシ樹脂、エポキシ・ノボラック／フェノリック樹脂、ポリイミド、不飽和ポリエステル樹脂、芳香族ポリベンゾイミダゾ−ル系接着剤が使用できる。耐熱性、価格の面から二液硬化型エポキシ樹脂が好ましい。
【００２４】
エポキシ樹脂としては、ビスフェノ−ルＡのジグリシジルエ−テル、ビスフェノ−ルＦのジグリシジルエ−テル、ビフェニルジグリシジルエ−テル、水添化ビフェニルジグリシジルエ−テルなどが、硬化剤としては、ジシアンジアミド、バ−サアミドなどが、促進剤としては、２−メチルイミダゾ−ル、２−ウンデシルイミダゾ−ル、２，４−ジメチルイミダゾ−ルなどが挙げられる。
【００２５】
鉄粉含有二液硬化型エポキシ樹脂接着剤は、デブコン（Devcon）社からDEVCON  A（登録商標）の商品名で市販されている。DEVCON  Aは、線熱膨張率１１．５〜１３．５ｘ１０−６／℃、熱伝導率０．１２０〜０．１３０cal／cm・sec・degree、比重７．２である。
【００２６】
砥石セグメントを接着させる接着剤を砥石セグメント側面全面に塗布せずに砥石セグメント表面より１〜１５ｍｍ低い位置の側面高さまで接着剤を塗布し、硬化させて石材９の表面に研磨剤の流れる深さ１〜１５ｍｍの格子状溝を形成してもよい。
【００２７】
図１に示すように、金属製タ−ンテ−ブル１０はその下面において回転軸８に軸承される。回転軸８は図示されていない駆動モ−タの駆動力を歯車７で受けて金属製タ−ンテ−ブル１０を０．０１〜１０ｒｐｍの回転数で回転させる。
【００２８】
図４に示すように、下定盤２の金属製タ−ンテ−ブル１０上に載置される直径４〜１２ｍの石材９は、金属製タ−ンテ−ブルの各砥石セグメント継ぎ目面と前記石材の砥石セグメントの格子状接着面が成す平面が、平行ではなく、交差するように設けられる。交差角は、３０〜６０度が好ましく、より好ましい交差角は４５度である。
【００２９】
図１に示す研磨装置１を用い、平板状のワ−ク１５を研磨するには、上定盤３のキャリア４の下面にワ−ク１５を固定し、ワ−ク下面を研磨下定盤２の石材９表面に圧接（５〜１００ｋＰａ）し、研磨剤供給管１３より石材９表面上に研磨剤を１０〜１００リットル／分の割合で供給しつつ、金属製タ−ンテ−ブル１０を０．０１〜１０ｒｐｍの回転数で回転させることにより下定盤２を水平方向に回転させる。この際、ワ−ク１５を下面に固定している上定盤３のスピンドル１９は図示されていない駆動用モ−タにより回転駆動される。研磨剤としては、セリア、シリカ、アルミナ、ベ−マイト等の砥粒を含有する水分散液を用いる。
【００３０】
図５に示すラッピング装置１は、図２に示す研磨装置の上定盤３の代わりに、駆動ロ−ラ１６ａと固定ロ−ラ１６ｂで回転駆動されるリング状キャリア４下面またはリング内にワ−ク１５を固定する機構のもので、かつ、調整リング（サ−フェ−シング）１８をスピンドル２０で軸承して図示されていない昇降機構を用いて下定盤２の石材９表面に当てるようにした研磨装置１である。ワ−ク１５をクレ−ンで吊るし、下定盤２上のリング状キャリア４内に移し、下定盤２上にワ−クを載せるか、キャリア４下面にワ−クを固定し、ワ−クごとキャリアをクレ−ンで吊るし、下定盤２上に載せる。
【実施例】
【００３１】
実施例１
直径１０ｍ、高さ４５０ｍｍの黒御影石製円柱体を、縦方向２本、横方向２本の等間隔な格子状の切断面で切断し、合計で９個の砥石セグメント（セグメントの最大の一辺長は約３．３３３ｍ）を得、これを作業現場に搬入した。これら砥石セグメントの切断面に、鉄粉含有二液硬化型エポキシ樹脂接着剤  ＤＥＶＣＯＮ  Ａ（登録商標）を厚み４０μｍとなるよう塗布し、各黒御影石製セグメントを接着して直径約１０ｍ、高さ４５０ｍｍの円柱状となし、１０日放置して接着剤の硬化を完全となした後、この黒御影石製円柱状石材の表裏面を研磨して面一とし、円柱状黒御影石製石材の研磨加工具を製造した。
【００３２】
径方向の上面幅が３７６０ｍｍ、高さ５８０ｍｍ、最大長さ１００００ｍｍ、厚み４０ｍｍのステンレス鋼（ＳＳ４００）製の中央部が空洞の断面□状枠中央セグメントと、径方向の上面幅が２９４０ｍｍ、高さ８００ｍｍ、厚み４０ｍｍのステンレス鋼（ＳＳ４００）製の中央部が空洞の断面□状枠右セグメントおよび左セグメント一対の合計３個の枠セグメントを作業現場に搬入した。これら枠セグメントの継ぎ目部をボルトナットで閉め付け、直径約１０ｍの円柱状の金属製タ−ンテ−ブルを製造した。
【００３３】
このステンレス鋼製タ−ンテ−ブルの上面に、厚み２０ｍｍ、幅１５０ｍｍの扇状アルミニウム製板を素材とするスペ−サを図２に示すように同心円状に５条となるように敷設し、ボルトナットでタ−ンテ−ブル表面に固定した。
【００３４】
前記スペ−サを備えた鋳鉄製タ−ンテ−ブルを直径２１００ｍｍの回転軸に軸承させ、更に、その鋳鉄製タ−ンテ−ブルのスペ−サを備える上面に前記円柱状黒御影石製石材を載置し、直径１０ｍの下定盤を作成した。
【００３５】
縦２５００ｍｍ、横３２００ｍｍ、厚み４ｍｍの長方形鉄プレ−トを、図５に示す研磨装置の下定盤上に設けられたリング状キャリア内に搬送し、キャリア内に固定し、キャリアを０．４ｒｐｍで回転させるとともに、研磨剤供給管より御影石材表面上にセリア水分散液（研磨剤）を２０リットル／分の割合供給しつつ、金属製タ−ンテ−ブルを０．２ｒｐｍの回転数で回転させることにより研磨下定盤を水平方向に回転させ、４８時間かけて鉄プレ−トの研磨を行った。得られた研磨加工鉄プレ−トの表面は、平坦性の優れたものであった。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明の研磨装置は、直径が４ｍ以上の石材よりなる研磨加工具を備えるので、１辺の長辺長さが２ｍ以上の平板状ワ−クを研磨することができる。
また、石材は、トラック搬送が許可を得ることなく搬送できる幅が４ｍ以下の砥石セグメントを接着して形成されたものであり、かつ、石材を載せる金属タ−ンテ−ブルもトラック搬送が許される最大の幅が４ｍ以下の３つの型枠セグメントを繋いで形成されたもので、この型枠セグメントは、研磨定盤の回転軸の軸受の直径よりは幅広の略長尺状柱の中央セグメントと、この中央セグメントの左右に継がれる円弧状柱の右セグメントおよび左セグメントの３部材で構成され、かつ、金属製タ−ンテ−ブルの各セグメント継ぎ目面と前記石材の砥石セグメントの格子状接着面が成す平面は平行ではなく、交差するように設けられているので、石材の荷重が金属製タ−ンテ−ブルの各セグメント継ぎ目に集中することなく分散されるので、金属製タ−ンテ−ブルの撓みが小さい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の研磨装置の正面図である。
【図２】本発明の実施に用いる下定盤の平面図である。
【図３】石材が載置される前のタ−ンテ−ブルの平面図である。
【図４】石材の格子状接着面とタ−ンテ−ブルの継ぎ目面の位置関係を示す石材の平面図である。
【図５】別の態様を示す研磨装置の平面図である
【符号の説明】
【００３８】
１  研磨装置
２  研磨定盤（下定盤）
３  上定盤
４  キャリア
５  ベアリング
６  軸受
８  下定盤の回転軸
９  石材よりなる研磨加工具
１０  金属製タ−ンテ−ブル
１０ａ  中央枠セグメント
１０ｂ  左枠セグメント、右枠セグメント
１１  撓み改良材（スペ−サ）
１４  接着剤
１５  平板状ワ−ク
１７  枠セグメントの継ぎ目
１８  修正リング
１９  上定盤の回転軸
【図１】
2005177961.tif 000004
【図２】
2005177961.tif 000005
【図３】
2005177961.tif 000006
【図４】
2005177961.tif 000007
【図５】
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