(57)【要約】【課題】  レジストの現像のパターニング精度を向上させ、信頼性の高い現像装置及び現像方法を提供する。【解決手段】  レジストの現像装置は、現像液１２の液面へ向けてテープ１０を中心１６ａの回りにガイドする第１のガイド１６と、液面から排出されたテープ１０をガイドする第２のガイド２０と、現像液１２中で、テープ１０を第２のガイド２０へ向けてガイドし、液面の下降に応じて下降する第３のガイド１８と、テープ１０の側方から現像液１２を吐出する吐出部２２と、吐出部２２を支持し第１のガイド１６の中心１６ａを支点に回転移動可能な吐出部サポート３０とを有する。テープ１０は、第３のガイド１８の下降に従って液面への進入角度が変化し、第３のガイド１８の下降と吐出部サポート３０の回転移動とが、吐出部２２とテープ１０との距離が一定になるように連動する。【選択図】        図１
2005055681.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像装置であって、
前記現像液の液面へ向けて前記テープを、中心点の回りにガイドする第１のガイドと、
前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドする第２のガイドと、
前記現像液中で、前記テープを前記第２のガイドへ向けてガイドし、かつ、前記現像液の液面の下降に応じて下降する第３のガイドと、
前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出する吐出部と、
前記吐出部を支持し、前記第１のガイドの前記中心点を支点として回転移動可能な吐出部サポートと、
を有し、
前記テープは、前記第３のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記第３のガイドの下降と前記吐出部サポートの回転移動とが、前記吐出部と前記テープとの距離が一定になるように連動するレジストの現像装置。
【請求項２】
エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像装置であって、
前記現像液の液面へ向けて前記テープを、中心点の回りにガイドする第１のガイドと、
前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドする第２のガイドと、
前記現像液中で、前記テープを前記第２のガイドへ向けてガイドし、かつ、前記現像液の液面の下降に応じて下降する第３のガイドと、
前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出する吐出部と、
前記吐出部を支持し、前記第１のガイドの前記中心点を支点として回転移動可能な吐出部サポートと、
を有し、
前記テープは、前記第３のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記吐出部サポートは、前記吐出部の前記テープに対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材を有するレジストの現像装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレジストの現像装置において、
前記位置決め部材は、前記吐出部サポートに折りたたみ可能に設けられているレジストの現像装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のレジストの現像装置において、
前記テープは、金属箔及びレジストが設けられ、回路パターンに対応して露光されてなるフレキシブルフィルムであるレジストの現像装置。
【請求項５】
エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像方法であって、
第１のガイドによって、前記テープを、前記現像液の液面へ向けて前記第１のガイドの中心点の回りにガイドすることと、
第２のガイドによって、前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドすることと、
第３のガイドによって、前記現像液中にて、前記テープを前記第２のガイドへ向けてガイドすることと、
吐出部サポートにより支持された吐出部によって、前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出することと、
前記第３のガイドを、前記現像液の液面の下降に応じて下降させることと、
前記吐出部サポートを、前記第１のガイドの前記中心点を支点として回転移動させることと、
を含み、
前記テープは、前記第３のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記第３のガイドの下降と前記吐出部サポートの回転移動とを、前記吐出部と前記テープとの距離が一定になるように連動させるレジストの現像方法。
【請求項６】
エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像方法であって、
第１のガイドによって、前記テープを、前記現像液の液面へ向けて前記第１のガイド中心点の回りにガイドすることと、
第２のガイドによって、前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドすることと、
第３のガイドによって、前記現像液中にて、前記テープを前記第２のガイドへ向けてガイドすることと、
吐出部サポートにより支持された吐出部によって、前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出することと、
前記第３のガイドを、前記現像液の液面の下降に応じて下降させることと、
前記吐出部の前記テープに対する位置を、調整することと、
を含み、
前記吐出部サポートは、前記吐出部の前記テープに対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材を有し、
前記吐出部の調整は、前記位置決め部材を使用しながら、前記吐出部サポートを、前記第１のガイドの前記中心点を支点として回転移動させることで行うレジストの現像方法。
【請求項７】
請求項６に記載のレジストの現像方法において、
前記位置決め部材は、前記吐出部サポートに折りたたみ可能に設けられているレジストの現像方法。
【請求項８】
請求項５から請求項７のいずれかに記載のレジストの現像方法において、
前記テープは、金属箔及びレジストが設けられ、回路パターンに対応して照射されてなるフレキシブルフィルムであるレジストの現像方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レジストの現像装置及び現像方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の実装技術としてＴＣＰ（Tape Carrier Package）技術が開発されている。ＴＣＰは、半導体パッケージの多ピン化、リードピッチの縮小化、薄型、小型実装化の要求に応えるものとして多用されている。
【０００３】
ＴＣＰは多くの工程を経て製造される。すなわち、フレキシブルフィルムに銅などの金属箔を貼り付ける工程、フォトレジストを塗布する工程、回路パターンを露光する工程、回路パターンを現像する工程、回路パターンが残るようにエッチングする工程、フォトレジストを除去する工程、メッキする工程などを経て、ＴＣＰは製造される。
【０００４】
これらの工程のうち、回路パターンを現像する工程（現像工程）は、レジストの現像装置を用いて行われる方法が知られていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
従来の現像工程では、テープ（現像対象物、例えば、フレキシブルフィルム）が現像液中に入るとき、現像液の液面周辺の空気を巻き込み、テープの面に気泡が付着する可能性があった。テープに気泡が付着した状態で現像されると、現像の程度にバラツキが生じる。特に、回路パターンのピッチが細密な場合には、後のエッチング工程で、そのバラツキが原因で回路パターンの断線やショートが発生する。
【特許文献１】国際公開第ＷＯ９８/０２７８６パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、リソグラフィにおけるレジストの現像のパターニング精度を向上させ、信頼性の高い現像装置及び現像方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係るレジストの現像装置は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像装置であって、
前記現像液の液面へ向けて前記テープを、中心点の回りにガイドする第1のガイドと、
前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドする第２のガイドと、
前記現像液中で、前記テープを前記第２のガイドへ向けてガイドし、かつ、前記現像液の液面の下降に応じて下降する第３のガイドと、
前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出する吐出部と、
前記吐出部を支持し、前記第１のガイドの前記中心点を支点として回転移動可能な吐出部サポートと、
を有し、
前記テープは、前記第３のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記第３のガイドの下降と前記吐出部サポートの回転移動とが、前記吐出部と前記テープとの距離が一定になるように連動する。本発明によれば、現像液の液面の高さが下降すると、テープの現像液への浸漬時間を確保するように第３のガイドが下降する。第３のガイドが下降しテープの液面への進入角度が変化しても、吐出部とテープとの距離を一定に保つように、吐出部サポートが連動して移動する。つまり、現像液の液面の高さが如何に変化しようとも、吐出部とテープとの距離を一定にすることができる。そのため、吐出部の吐出孔より吐出された現像液が、確実にテープの気泡付着面の近傍を液流となって流れることができる。これにより、テープが第１のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
（２）本発明に係るレジストの現像装置は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像装置であって、
前記現像液の液面へ向けて前記テープを、中心点の回りにガイドする第１のガイドと、
前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドする第２のガイドと、
前記現像液中で、前記テープを前記第２のガイドへ向けてガイドし、かつ、前記現像液の液面の下降に応じて下降する第３のガイドと、
前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出する吐出部と、
前記吐出部を支持し、前記第１のガイドの前記中心点を支点として回転移動可能な吐出部サポートと、
を有し、
前記テープは、前記第３のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記吐出部サポートは、前記吐出部の前記テープに対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材を有する。本発明によれば、吐出部サポートに設けられた位置決め部材を用い、吐出部サポートを位置決めすることによって、吐出部サポートに設けられた吐出部とテープとの距離を一定に調整することができる。これにより、テープが第１のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を、手動による距離調整が可能な簡単な構造で、確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
（３）このレジストの現像装置において、
前記位置決め部材は、前記吐出部サポートに折りたたみ可能に設けられていてもよい。
（４）このレジストの現像装置において、
前記テープは、金属箔及びレジストが設けられ、回路パターンに対応して露光されてなるフレキシブルフィルムであってもよい。
（５）本発明に係るレジストの現像方法は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像方法であって、
第１のガイドによって、前記テープを前記現像液の液面へ向けて前記第１のガイドの中心点の回りにガイドすることと、
第２のガイドによって、前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドすることと、
第３のガイドによって、前記現像液中にて、前記テープを前記第２のガイドへ向けてガイドすることと、
吐出部サポートにより支持された吐出部によって、前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出することと、
前記第３のガイドを、前記現像液の液面の下降に応じて下降させることと、
前記吐出部サポートを、前記第１のガイドの前記中心点を支点として回転移動させることと、
を含み、
前記テープは、前記第３のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記第３のガイドの下降と前記吐出部サポートの回転移動とを、前記吐出部と前記テープとの距離が一定になるように連動させる。本発明によれば、現像液の液面の高さが下降すると、テープの現像液への浸漬時間を確保するように、第３のガイドを下降させる。第３のガイドが下降し、テープの液面への進入角度が変化しても、吐出部とテープとの距離を一定に保つよう、吐出部サポートを連動させて移動させる。つまり、現像液の液面の高さが如何に変化しようとも、吐出部とテープとの距離を一定にすることができる。そのため、吐出部の吐出孔より吐出された現像液が、確実にテープの気泡付着面の近傍を液流となって流れることができる。これにより、テープが第１のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像方法を提供することができる。
（６）本発明に係るレジストの現像方法は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像方法であって、
第1のガイドによって、前記テープを、前記現像液の液面へ向けて前記第1のガイド中心点の回りにガイドすることと、
第２のガイドによって、前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドすることと、
第３のガイドによって、前記現像液中にて、前記テープを前記第２のガイドへ向けてガイドすることと、
吐出部サポートにより支持された吐出部によって、前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出することと、
前記第３のガイドを、前記現像液の液面の下降に応じて下降させることと、
前記吐出部の前記テープに対する位置を調整することと
を含み、
前記吐出部サポートは、前記吐出部の前記テープに対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材を有し、
前記吐出部の調整は、前記位置決め部材を使用しながら、前記吐出部サポートを、前記第１のガイドの前記中心点を支点として回転移動させることで行う。本発明によれば、吐出部サポートに設けられた位置決め部材を用い、吐出部サポートを位置決めすることによって、吐出部サポートに設けられた吐出部とテープとの距離を一定に調整することができる。これにより、テープが第１のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を、手動による距離調整が可能な簡単な構造で、確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
（７）このレジストの現像方法において、
前記位置決め部材は、前記吐出部サポートに折りたたみ可能に設けられていてもよい。
（８）このレジストの現像方法において、
前記テープは、金属箔及びレジストが設けられ、回路パターンに対応して照射されてなるフレキシブルフィルムであってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【０００９】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るレジストの現像装置を示す概略図である。図２は図１のＡ矢視図である。
【００１０】
現像装置は、テープ１０（現像対象物）を現像液１２に浸し、所望の回路パターンを現像する。現像装置は、現像液１２を溜めた容器１４を有してもよい。ここで、テープ１０は、例えば、金属箔及びレジストが設けられ、所望の回路パターンに対応して照射されてなるフレキシブルフィルムであってもよい。テープ１０は、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープであってもよい。テープ１０の基材は、一般に、ポリイミド系基材が使用されるが、ポリエステル系基材であってもよい。必要な回路パターンに応じてのエネルギーの照射は、紫外線露光若しくは電子ビーム照射であってもよい。
【００１１】
現像装置は、テープ１０を搬送するための複数のガイドを有する。第１のガイド１６は、現像液１２の液面へ向けて、テープ１０を第１のガイド１６の中心点１６ａの回りにガイドする。第２のガイド２０は、現像され、現像液１２の液面から排出されるテープ１０をガイドする。第３のガイド１８は、現像液１２中にて、テープ１０を第２のガイド２０へ向けてガイドする。ここで、ガイドは、例えば、丸棒であってもよいし、自在に回転するローラであってもよい。
【００１２】
テープ１０は、供給方向から第１のガイド１６を経て搬入され、連続的に現像液１２中に入り、現像液１２中の第３のガイド１８を経て、第２のガイド２０を経由して搬出される。テープ１０が現像液１２中に浸され連続的に搬送されるときに、現像処理が行われる。
【００１３】
現像装置は、容器１４の現像液１２中で、テープ１０に対し側方から現像液１２を吐出する吐出部２２を有する。吐出部２２は、現像液１２を吐出する吐出孔２４を有する。ここで、現像液１２は、容器１４の壁に設けられた取入口（図示しない）からポンプ（図示しない）を経由し加圧され、屈曲自在なホース３２を経由して、吐出部２２の吐出孔２４から吐出される。吐出された現像液１２は、テープ１０の現像される面の近傍を加圧された液流となって流れる（図２参照）。
【００１４】
テープ１０が連続的に現像液１２内に搬入されるとき、液面に対し鋭角に進入する側のテープの面２６に気泡が付着しやすい。本実施の形態では、図１及び図２で示すように、現像液１２の液面に対し鋭角に進入するテープ１０の面２６側で、テープ１０の搬送方向に対し略直角の方向に、テープ１０の面２６に沿って、現像液１２が吐出される。このように、現像液１２がテープ１０に対し側方から吐出されると、現像液１２は加圧された液流となってテープ１０に付着した気泡を除去することができる。
【００１５】
現像液１２の液流は、テープ１０が現像液１２に入る時に、テープ１０の面に付着した気泡を除去する役割を担う。また、現像液１２を撹拌させ、現像液１２の濃度の安定及びテープ１０に新鮮な現像液１２を常に供給する役割をも担う。
【００１６】
本実施の形態では、上述の様に現像液１２を吐出しているが、テープ１０の鋭角に進入する面２６と該面２６の反対に位置する面２８の双方に係るように、現像液１２を吐出してもよい。又、テープ１０の鋭角に進入する面２６に直接若しくは斜めに当たるように、現像液１２を吐出してもよい。気泡の付着状態によっては、ポンプ（図示しない）を操作し吐出部２２の加圧レベルを調整してもよい。
【００１７】
吐出部２２は、吐出部サポート３０で支持されている。吐出部サポート３０は、第１のガイド１６の中心点１６ａを支点として、回転移動可能に設けられており、吐出部２２の吐出孔２４の位置をテープ１０に対し最適な位置（距離）に設定することができる。
【００１８】
本実施の形態は、上述のように構成されており、以下にその作用について図３（Ａ）〜図３（Ｂ）を用い説明する。図３（Ａ）〜図３（Ｂ）は、本実施の形態であるレジストの現像装置の概略図である。
【００１９】
図３（Ａ）で示されるように、テープ１０は、第１のガイド１６の中心点１６ａの回りでガイドされ、液面から現像液１２中に搬入される。テープ１０は、現像液中１２に設けられている第３のガイド１８で、第２のガイド２０に向けてガイドされ、現像液１２中を搬送される。その後、第２のガイド２０を経て、排出される。テープ１０が現像液１２の液面に進入する時に、空気を巻き込み、気泡が付着しやすい。付着した気泡は、前述のように、吐出部２２の吐出孔２４から吐出される現像液１２の加圧された液流で除去され、安定した現像処理が施される。又、排出されたテープ１０は乾燥機（図示しない）によって乾燥される。
【００２０】
現像作業がさらに進むと、現像液１２は、テープ１０に付着して容器１４外に運び出され、若しくは蒸発等により減少する。そのため、現像液１２の液面の高さは低くなる。現像液１２の液面の高さが低くなると、テープ１０が現像液１２に浸っている時間及び距離が短くなり、現像の程度が不十分となり現像不良が起こる恐れがある。それを防止するため、現像液１２の液面検出部（図示しない）を容器１４に設け、液面の高さの下降を検出すると、第３のガイド１８は、容器１４の深さ方向に下降するように設けられている。それにより、テープ１０が現像液１２に浸っている時間及び距離を、常に一定にすることができ、安定した現像を提供できる。
【００２１】
但し、この時、テープ１０と吐出部２２の吐出孔２４との距離は変化してしまう。テープ１０と吐出部２２の吐出孔２４との距離を一定に保つため、吐出部サポート３０は、第３のガイド１８の移動に連動し移動するように設けられている。
【００２２】
例えば、第３のガイド１８及び吐出部サポート３０とも、第１のガイド１６の中心点１６ａを支点として、回転移動可能に設けられていてもよい。現像液１２の液面検出部（図示しない）が液面の高さの下降を検出すると、第３のガイド１８の駆動モータ（図示しない）が駆動し、第３のガイド１８を、第１のガイド１６の中心点１６ａを支点として、矢印Ｂ方向に所定の角度だけ回転させる。第３のガイド１８の動きと連動し、吐出部サポート３０も矢印Ｃに所定の角度だけ回転させる。吐出部サポート３０の回転移動は、独立した吐出部サポート３０の駆動モータ（図示しない）を用いてもよいし、第１のガイド１６の中心点１６ａ周辺に歯車列を設け、第３のガイド１８の回転移動を吐出部サポート３０に伝達してもよい。また、第３のガイド１８と吐出部サポート３０を一体に設け、同一の駆動モータを用い回転移動させてもよい。
【００２３】
第３のガイド１８は、現像液１２の液面の高さの変動に応じて、上下に移動してもよい。この時、前述と同様に、テープ１０と吐出部２２の吐出孔２４との距離の変化を防止するため、吐出部サポート３０は、第３のガイド１８の移動に連動し回転移動するように設けられていてもよい。
【００２４】
具体的には、第３のガイド１８は、現像液１２の液面検出部（図示しない）が液面の下降を検出すると、第３のガイド１８の駆動モータ（図示しない）が駆動し、第３のガイド１８を、所定の距離だけ下方向に移動させる。第３のガイド１８の直線移動を、例えば、ピニオンラック機構を用いて、吐出部サポート３０の回転移動に変換してもよい。また、リンク機構を用いてもよい。その他、周知の直線移動から回転移動への変換技術を用いてもよい。吐出部サポート３０の回転運動は、独立した吐出部サポート３０の駆動モータ（図示しない）を用いてもよい。
【００２５】
上記の説明では、現像液１２の減少について説明したが、現像液１２の補充による液面の上昇に関しても、液面の下降と同様な作用、効果をもたらすことができる。
【００２６】
上述のように、如何に現像液１２の液面の高さが変化しようとも、現像液１２を吐出する吐出部２２（吐出孔２４）とテープ１０との距離を一定に保ち、テープ１０に付着した気泡を吐出部２２から吐出する現像液１２の液流で安定的に除去することができる。つまり、現像のバラツキを防止し、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
【００２７】
また、上述のレジストの現像装置を用いることによって、同様の作用、効果を奏するレジストの現像方法を提供することができる。
【００２８】
（第２の実施の形態）
図４（Ａ）〜図４（Ｃ）は、本発明の第２の実施の形態に係るレジストの現像装置を示す概略図である。図４（Ａ）〜図４（Ｃ）に示す現像装置は、吐出部サポート５０の構成及び動作以外については、第１の実施の形態に係るレジストの現像装置と同様であるので、同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００２９】
吐出部サポート５０は、吐出部２２のテープ１０に対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材５２を有する。位置決め部材５２は、折りたたみ可能に設けられている。位置決め部材５２は、吐出部サポート５０に設けられている吐出部２２とテープ１０との距離を、一定に保つように調整する役割を担う。位置決め部材５２は、吐出部サポート５０の現像液１２中の部分に設けられてもよいが、吐出部サポート５０の現像液１２の外に露出した部分に設けられている方が望ましい。これにより、オペレーターは、保護具を付け現像液１２中に手を入れて調整する必要はなく、現像液１２外で、吐出部２２とテープ１０との距離の調整を簡単に行うことができる。
【００３０】
図４（Ａ）は、第１の実施の形態で示したのと同様な通常の現像作業時を示す。この時は、位置決め部材５２は、吐出部サポート５０の現像液１２の外に露出した部分に、折りたたまれて収納されている。
【００３１】
現像作業が進むと、前述の理由で、現像液１２が減少する。液面検出部（図示しない）が、現像液１２面の下降を検出すると、第３のガイド１８は、それに対応して、深さ方向に移動する。このままでは、吐出部２２の吐出孔２４の位置がテープ１０の気泡の付着した面２６からずれてしまう。
【００３２】
そこで、現像液１２面が下降していることを検知したオペレーターは、吐出部サポート５０に設けられた位置決め部材５２を、図４（Ｂ）で示すように立てる。その後、手動で第１のガイド１６の中心点１６ａを支点として、吐出部サポート５０を回転移動させ、図４（Ｃ）で示すように位置決め部材５２をテープ１０の位置に合せて、吐出部サポート５０を固定部材（図示しない）で固定する。吐出部サポート５０の調整固定後は、位置決め部材５２を、吐出部サポート５０に図４（Ａ）と同様に折りたたんで収納してもよい。
【００３３】
上述のように、如何に現像液１２の液面の高さが変化しようとも、現像液１２を吐出する吐出部２２（吐出孔２４）とテープ１０との距離を一定に保ち、テープ１０に付着した気泡を、吐出部２２から吐出する現像液１２の液流で安定的に除去することができる。つまり、現像のバラツキを防止し、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
【００３４】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１は、本発明の第１の実施の形態に係るレジストの現像装置を示す図である。
【図２】図２は、図１のＡ矢視図である。
【図３】図３（Ａ）〜図３（Ｂ）は、第１の実施の形態に係るレジストの現像方法を説明する図である。
【図４】図４（Ａ）〜図４（Ｃ）は、本発明の第２の実施の形態に係るレジストの現像装置及び現像方法を説明する図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０…テープ  １２…現像液  １４…容器  １６…第１のガイド  １８…第３のガイド  ２０…第２のガイド  ２２…吐出部  ２４…吐出孔  ３０…吐出部サポート  ３２…ホース  ５０…吐出部サポート  ５２…位置決め部材
【図１】
2005055681.tif 000003
【図２】
2005055681.tif 000004
【図３】
2005055681.tif 000005
【図４】
2005055681.tif 000006