(57)【要約】【課題】  空気清浄ユニットにおいて、定期的に交換が必要なケミカルフィルタの交換をクリーン空間に入ることなく行なえると共にケミカルフィルタの交換に際して塵埃除去フィルタを外すことなく行えることを目的とする。【解決手段】  ファン１とモーター２のファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、その下方にケミカルフィルタ５および塵埃除去フィルタ６を設け、チャンバー４の両側面にファンユニットレール１１、ケミカルフィルタ両側面にケミカルフィルタレール１２を備え、ファンユニットレール１１に当接するファンユニット受け溝１３およびケミカルフィルタレール１２に当接するケミカルフィルタ受け溝１４を有した支持体１５を上方に移動させることで、ケミカルフィルタ５がケミカルフィルタ受け溝１４に当接してケミカルフィルタ５が引き出せることができるフィルタ交換装置が得られる。【選択図】  図１ 
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーの両側面にファンユニットレールを備え、前記ケミカルフィルタの両側面にケミカルフィルタレールを備え、前記ファンユニットレールに当接するファンユニット受け溝と、前記ケミカルフィルタレールに当接するケミカルフィルタ受け溝を持った複数の支持体を有し、前記支持体の高さを変えることにより前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置。
【請求項２】
ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーの両側面にファンユニットレールを備え、前記ケミカルフィルタの両側面にケミカルフィルタレールを備え、前記ファンユニットレールに当接するファンユニット受け溝と、前記ケミカルフィルタレールに当接するケミカルフィルタ受け溝を持った複数の支持体を有し、スクリュー部と遊動部と駆動部で構成されたスクリュージャッキにより、前記支持体の高さを変えて、前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置。
【請求項３】
複数の支持体の位置を決めるためのガイド棒を設けたことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項４】
ファンユニットレールとファンユニット受け溝間の距離をケミカルフィルタレールと前記ケミカルフィルタ受け溝間の距離より小さいことを特徴とする請求項１または２記載のフィルタ交換装置。
【請求項５】
ファンユニットレールと前記ケミカルフィルタレールが一方向にスライドすることを特徴とする請求項１または２記載のフィルタ交換装置。
【請求項６】
支持体の内側の側面が、前記ファンユニットレールと前記ケミカルフィルタレールのガイドを形成することを特徴とする請求項１または２記載のフィルタ交換装置。
【請求項７】
ケミカルフィルタの上面と塵埃除去フィルタの上面および下面にシール手段を持ったことを特徴とする請求項１または２記載のフィルタ交換装置。
【請求項８】
複数の支持体を固定する手段を有したことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項９】
複数のガイド棒を天井から吊り下げたことを特徴とする請求項３記載のフィルタ交換装置。
【請求項１０】
ケミカルフィルタ受け溝として、複数の転がり軸受けを支持体に設けたことを特徴とする請求項１記載のフィルタ交換装置。
【請求項１１】
支持体にファンユニットを固定する複数の保持体を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のフィルタ交換装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用される空気清浄ユニットのフィルタ交換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルタユニットのフィルタ交換装置は、クリーンルーム内側方向からアプローチして着脱可能に構成している（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−８４３２６号公報（［００２９］〜［００３０］図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のフィルタ交換装置ではクリーンな環境を保つべきクリーン空間内に  人が入ってケミカルフィルタの交換作業をおこなうことになり、内部のクリーンな環境に障害を及ぼすという課題がある。
【０００４】
また、最近の局所クリーン化の動きに伴い、クリーンな環境を維持すべき空間が小型化しており、内部に設けられた各種製造装置によってクリーン空間内のメンテナンススペースの確保が困難なため、クリーン空間の中に入らず、ケミカルフィルタを交換できることが要求されている。
【０００５】
また、ケミカルフィルタの交換作業についても製造装置等の稼動時間に制約を与えるために、可能な限り短時間で行なえることが要求されている。
【０００６】
また、ケミカルフィルタを交換する際に外部空間からクリーン空間へ塵埃の侵入する課題があるため、塵埃除去フィルタを外さずにケミカルフィルタの交換をおこなうことが要求されている。
【０００７】
本発明は、このような従来のフィルタ交換装置の課題を解決するものであり、クリーン空間に入ることなくケミカルフィルタの交換ができ、また、短時間に外部の塵埃をクリーン空間内に侵入させることなく交換がおこなえるフィルタ交換装置を提供する事を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のフィルタ交換装置は、上記目的を達成するためにファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーの両側面にファンユニットレールを備え、前記ケミカルフィルタの両側面にケミカルフィルタレールを備え、前記ファンユニットレールに当接するファンユニット受け溝と、前記ケミカルフィルタレールに当接するケミカルフィルタ受け溝を持った複数の支持体を有し、前記支持体の高さを変えることにより前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置である。
【０００９】
上記の目的を達成するために本発明は、前記支持体の高さを変えて前記ファンユニット受け溝をファンユニットレールに当接させると共にケミカルフィルタ受け溝をケミカルフィルタレールに当接させることにより、チャンバーを持ち上げてチャンバーとケミカルフィルタの間にすきまをつくり分離させ、さらに当接したケミカルフィルタ受け溝がケミカルフィルタを塵埃除去フィルタから分離させてケミカルフィルタをケミカルフィルタ受け溝だけで支える状態を保持して、ケミカルフィルタをスライドして取り出せるようにしたものである。
【００１０】
また、他の手段は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーの両側面にファンユニットレールを備え、前記ケミカルフィルタの両側面にケミカルフィルタレールを備え、前記ファンユニットレールに当接するファンユニット受け溝と、前記ケミカルフィルタレールに当接するケミカルフィルタ受け溝を持った複数の支持体を有し、スクリュー部と遊動部と駆動部で構成されたスクリュージャッキにより、前記支持体の高さを変えて、前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せることを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１１】
上記の目的を達成するために本発明は、複数のスクリュージャッキをガイドとして複数の支持体の位置規制を行なうようにして、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００１２】
また、他の手段は、複数の支持体の位置を決めるためのガイド棒を持ったことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１３】
上記の目的を達成するために本発明は、塵埃除去フィルタとケミカルフィルタとチャンバーの密着性をはかるために、各部材の位置関係を規制するようにしたものである。
【００１４】
また、他の手段は、ファンユニットレールとファンユニット受け溝間の距離をケミカルフィルタレールと前記とケミカルフィルタ受け溝間の距離より小さいことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１５】
上記の目的を達成するために本発明は、支持体の高さを変えてファンユニット受け溝をファンユニットレールに当接させると共にケミカルフィルタ受け溝をケミカルフィルタレールに当接させることにより、チャンバーを持ち上げてチャンバーとケミカルフィルタの間およびケミカルフィルタと塵埃除去フィルタとの間にすきまをつくり分離させるためには、ファンユニットレールとファンユニット受け溝間の距離をケミカルフィルタレールと前記ケミカルフィルタ受け溝間の距離より小さくなるようにしたものである。
【００１６】
また、他の手段は、ファンユニットレールとケミカルフィルタレールが一方向にスライドすることを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００１７】
上記の目的を達成するために本発明は、ファンユニットレールの曲がり部がファンユニット受け溝の中に入り一方向にスライドするようにしたものである。
【００１８】
また、他の手段は、支持体の内側の側面が、ファンユニットレールとケミカルフィルタレールのガイドを形成するフィルタ交換装置である。
【００１９】
上記の目的を達成するために本発明は、支持体の内側の側面をファンユニットレールに当てるとともに、ケミカルフィルタレールにも当ててガイドを形成してスライドする時と元に戻す時に上下の位置関係がかわらないようにしたものである。
【００２０】
また、他の手段は、ケミカルフィルタの上面と塵埃除去フィルタの上面および下面にパッキンを持ったことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２１】
上記の目的を達成するために本発明は、ケミカルフィルタの上面と塵埃除去フィルタ上面および下面にシール手段としてパッキン材を設けるようにしたものである。
【００２２】
また、他の手段は、複数の支持体を固定する手段を有したことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２３】
上記の目的を達成するために本発明は、ガイド棒に支持体を固定する手段として受けナットと固定ナットにより構成したものである。
【００２４】
また、他の手段は、複数のガイド棒を天井から吊り下げたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２５】
上記の目的を達成するために本発明は、複数のガイド棒を天井から吊り下げて、同様な原理でケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００２６】
また、他の手段は、複数の転がり軸受けを設けたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２７】
上記の目的を達成するために本発明は、支持体の内側面に複数の転がり軸受けを設け、
ケミカルフィルタレールに当接するようにして、ケミカルフィルタの交換を容易にしたものである。
【００２８】
また、他の手段は、支持体に複数の保持体を設けたことを特徴とするフィルタ交換装置である。
【００２９】
上記の目的を達成するために本発明は、支持体にファンユニットを固定するための複数の保持体を設け、チャンバー、ケミカルフィルタ、塵埃除去フィルタとのシール性を向上したものである。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーの両側面にファンユニットレールを備え、前記ケミカルフィルタの両側面にケミカルフィルタレールを備え、前記ファンユニットレールに当接するファンユニット受け溝と、前記ケミカルフィルタレールに当接するケミカルフィルタ受け溝を持った複数の支持体を有し、前記支持体の高さを変えることにより前記ケミカルフィルタをスライドして引き出せるようにしたので、クリーン空間に入ることなくケミカルフィルタの交換が可能になる効果が得られる。
【００３１】
また、本発明によれば、ガイド棒としてスクリュージャッキを使用することにより、支持体の上下移動が容易に行なえ、ケミカルフィルタの交換が容易に行なえる効果が得られる。
【００３２】
また、本発明によれば、複数の支持体の位置を決めるためのガイド棒を設けたことにより、支持体の上下方向の移動のみで短時間に交換が行なえる効果が得られる。
【００３３】
また、本発明によれば、ファンユニットレールとファンユニット受け溝間の距離とケミカルフィルタレールと前記ケミカルフィルタ受け溝間の距離より小さくすることにより、支持体を持ち上げることにより、チャンバーとケミカルフィルタ、およびケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの間にすきまを確保することができ、ケミカルフィルタを引き出せることになり、短時間に塵埃除去フィルタを外すことなく交換が行なえる効果が得られる。
【００３４】
また、本発明によれば、前記ファンユニットレールとケミカルフィルタレールにより、ケミカルフィルタの移動方向が規制されることにより、ケミカルフィルタのスライドが容易に行なえる効果が得られる。
【００３５】
また、本発明によれば、前記支持体の内側面がファンユニットレールと前期ケミカルフィルタレールのガイドを形成しており、ケミカルフィルタの出し入れに際して左右の位置関係が変わることなく交換が行なえる効果が得られる。
【００３６】
また、本発明によれば、前記ケミカルフィルタの上面、塵埃除去フィルタの上面および下面にパッキンを有しており、ファンユニットとケミカルフィルタ、ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタ、塵埃除去フィルタと設置枠を確実にシールできる効果が得られる。
【００３７】
また、本発明によれば、前記複数の支持体を固定する受けナットと固定ナットを有しており、支持体の固定が容易に確実に行なえ、容易にケミカルフィルタの交換が行なえる効果が得られる。
【００３８】
また、本発明によればガイド棒を天井から吊り下げたことにより、設置枠にガイド棒を固定したものと同様の原理でケミカルフィルタの交換を容易に行なえる効果が得られる。
【００３９】
また、本発明によれば、支持体に複数の転がり軸受けを受け溝の代わりとして設けることにより、ケミカルフィルタのスライドによる出し入れが容易に行なえ、ケミカルフィルタの交換が容易になる効果が得られる。
【００４０】
また、本発明によれば、支持体に複数の保持体を設けることにより、支持体を下げた状態においてチャンバーをケミカルフィルタへ密着させることになり、シール性を確保する効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４１】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモーターのファンユニットをチャンバーに内蔵し、前記ファンユニットの下流側にケミカルフィルタと塵埃除去フィルタを配設した空気清浄ユニットであって、前記チャンバーの両側面にファンユニットレールを備え、前記ケミカルフィルタの両側面にケミカルフィルタレールを備え、前記ファンユニットレールに当接するファンユニット受け溝と、前記ケミカルフィルタレールに当接するケミカルフィルタ受け溝を持った複数の支持体を有し、前記支持体の高さを変えることにより前記ケミカルフィルタをスライドして取り出せるフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタを容易に交換できるという作用を有する。
【００４２】
また、本発明の請求項２記載の発明は、スクリュー部と遊動部と駆動部を持ったスクリュージャッキを用いたフィルタ交換装置であり、支持体の上下をスクリュージャッキを使用して行なうことにより、容易にケミカルフィルタの交換が行なえる作用を有する。
【００４３】
また、本発明の請求項３記載の発明は、複数の支持体の位置を決めるためのガイド棒を持ったフィルタ交換装置であり、ガイド棒により位置を規制できるという作用を有する。
【００４４】
また、本発明の請求項４記載の発明は、ファンユニットレールとファンユニット受け溝間の距離とケカルフィルタレールと前記ケミカルフィルタ受け溝間の距離より小さくすることにより支持体を持ち上げて、チャンバーとケミカルフィルタ、およびケミカルフィルタと塵埃除去フィルタの間にすきまを確保することができるフィルタ交換装置であり、塵埃除去フィルタを外すことなくケミカルフィルタを容易に引き出せるという作用を有する。
【００４５】
また、本発明の請求項５記載の発明は、ファンユニットレールとケミカルフィルタレールにより、ケミカルフィルタの移動方向が規制されるフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタが容易に交換できる作用を有する。
【００４６】
また、本発明の請求項６記載の発明は、支持体の内側面がファンユニットレールと前記ケミカルフィルタレールのガイドを形成したフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタの交換に際しての位置決めが簡単で、容易に交換できる作用を有する。                
【００４７】
また、本発明の請求項７記載の発明は、ケミカルフィルタの上面、塵埃除去フィルタの上面および下面にパッキンを有したフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタの交換を容易に行なえ、且つシール性を確保できるという作用を有する。
【００４８】
また、本発明の請求項８記載の発明は、複数の支持体を固定する受けナットと固定ナットを有した、支持体の固定が容易に確実に行なえるフィルタ交換装置であり、容易にケミカルフィルタの交換が行なえる作用を有する。
【００４９】
また、本発明の請求項９記載の発明は、ガイド棒を天井から吊り下げたフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタの交換が容易に行なえる作用を有する。
【００５０】
また、本発明の請求項１０記載の発明は、複数の転がり軸受けを支持体の受け溝として設けたフィルタ交換装置であり、少ない力でケミカルフィルタのスライドが行なえ、容易にケミカルフィルタを交換できる作用を有する。
【００５１】
また、本発明の請求項１１記載の発明は、支持体に複数のチャンバーを押える保持体を設け、支持体を下げた状態でチャンバーを下方に押し付けるフィルタ交換装置であり、ケミカルフィルタのシール性を確保できる作用を有する。
【００５２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００５３】
（実施の形態１）
図１および図２に示すようにファン１とモーター２のファンユニット３をチャンバー４に内蔵し、その下方にケミカルフィルタ５および塵埃除去フィルタ６を設け、チャンバー４とケミカルフィルタ５のシールをするケミカルフィルタ上面パッキン７、ケミカルフィルタ５と塵埃除去フィルタ６をシールする塵埃除去フィルタ上面パッキン８、塵埃除去フィルタ６と設置枠１０をシールする塵埃除去フィルタ下面パッキン９を備え、チャンバー４の両側面にファンユニットレール１１、ケミカルフィルタ両側面にケミカルフィルタレール１２を備え、ファンユニットレール１１に当接するファンユニット受け溝１３およびケミカルフィルタレール１２に当接するケミカルフィルタ受け溝１４を有した支持体１５を両側面に配置される。
【００５４】
上記構成において支持体１５を上方へ高さを変えることにより、ファンユニット３とケミカルフィルタ５が上方へ持ち上げられ、ケミカルフィルタ５を引き出すことができる。
【００５５】
（実施の形態２）
図３に示すように支持体１５にガイドとしてのスクリュー部２０、支持体１５に固定されスクリュー部２０を遊動する遊動部２１、スクリュー部２０を駆動する駆動部２２を備えたスクリュージャッキ２３を備える構成とし、上記構成により、支持体１５を上方に移動させる場合、スクリュージャッキ２３の駆動部２２を動作させることにより、スクリュー部２０が回転し遊動部２１が移動することになる。遊動部２１は支持体１５に固定されており、遊動部２１の動きにあわせて支持体１５が上方へ移動することとなり、支持体１５を持ち上げることなく、機械装置により行なえ、ケミカルフィルタ５の交換が容易に行なうことができる。
【００５６】
（実施の形態３）
図１に示すように支持体１５の脚部に貫通してガイド棒１６を設けている。
【００５７】
上記構成において支持体１５を上下方向にのみ摺動可能とし、支持体１５の位置規制が容易になる。
【００５８】
（実施の形態４）
図４に示すようにファンユニットレール１１とファンユニット受け溝１３との距離Ｌ１、ケミカルフィルタレール１２とケミカルフィルタ受け溝１４との距離Ｌ２の関係がＬ１がＬ２より小さくなるように配置される。
【００５９】
上記構成において、支持体１５を上方に持ち上げた時、最初にファンユニットレール１１とファンユニット受け溝が当接し、ファンユニット４がケミカルフィルタ６から上方へ離れ、更に支持体１５を上方に移動させることにより、次にケミカルフィルタレール１２とケミカルフィルタ受け溝１４と当接し、ケミカルフィルタ５が塵埃除去フィルタ６から離れて上方へ持ち上げられることにより、ケミカルフィルタ５はファンユニット３および塵埃除去フィルタ６から離された状態に維持され、容易に交換できる状態になる。
【００６０】
（実施の形態５）
図５に示すようにファンユニット受け溝１３およびケミカルフィルタ受け溝１４は、それぞれ支持体１５の内側面と溝部で構成されている。
【００６１】
上記構成により、ファンユニットレール１１およびケミカルフィルタレール１２は支持体１５の内側面をガイドとし、左右の位置規制がなされることにより容易にケミカルフィルタの交換が行なうことができる。
【００６２】
（実施の形態６）
図１に示すように支持体１５が摺動するガイド棒１６にはねじが切られており、支持体１５を挟んで固定するための受けナット１７と固定ナット１８を備えている。
【００６３】
上記構成により、固定ナット１８を緩め、支持体１５を上方に移動させた後、受けナット１７を移動させることにより、支持体１５が所定の位置に保持されることになり、容易にケミカルフィルタの交換を行なうことができる。
【００６４】
（実施の形態７）
図６に示すように支持体１５の上部を貫通したガイド棒１６を天井面に固定する。
【００６５】
上記構成により、支持体１５を上下方向にのみ摺動可能とし、支持体１５の位置規制が容易になる。
【００６６】
（実施の形態８）
図７に示すようにケミカルフィルタレール１２に当接する複数の転がり軸受け１７を支持体１５に備えている。
【００６７】
上記構成により、支持体１５を上方に移動することで、ケミカルフィルタレール１２に複数の転がり軸受け１７が当接し、ケミカルフィルタ５のスライドが容易になり、ケミカルフィルタ５の交換が容易に行なうことができる。
【００６８】
（実施の形態９）
図８に示すように支持体１５の上部に複数の保持体２４を備えている。
【００６９】
上記構成により、支持体１５が下方に位置している場合は、保持体２４がチャンバー４をケミカルフィルタ５に押し付ける働きをすることにより、チャンバー４とケミカルフィルタ５、ケミカルフィルタ５と塵埃除去フィルタ６、塵埃除去フィルタ６と設置枠１０とのシール性が確保されることになる。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
以上のように本発明によれば、チャンバーにファンユニットレール、ケミカルフィルタにケミカルフィルタにケミカルフィルタレールを設け、またこの両側面に前記ファンユニットレールと当接するファンユニット受け溝、ケミカルフィルタレールと当接するケミカルフィルタ受け溝を備えた複数の支持体を配置したことにより、支持体の高さを変化させることで、ケミカルフィルタがファンユニットおよび塵埃除去フィルタから分離され、容易にケミカルフィルタの交換ができ、クリーンルーム内で用いられる空気清浄ユニット
のフィルタ交換装置の用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の実施の形態１、３、６の構成を示す正面図
【図２】本発明の実施の形態１、３、６の構成を示す平面図
【図３】本発明の実施の形態２の構成を示す正面図
【図４】本発明の実施の形態４の構成を示す正面図（部分）
【図５】本発明の実施の形態５の構成を示す正面図（部分）
【図６】本発明の実施の形態７の構成を示す正面図
【図７】本発明の実施の形態８の構成を示す正面図（部分）
【図８】本発明の実施の形態９の構成を示す正面図
【符号の説明】
【００７２】
１  ファン
２  モーター
３  ファンユニット
４  チャンバー
５  ケミカルフィルタ
６  塵埃除去フィルタ
７  ケミカルフィルタ上面パッキン
８  塵埃除去フィルタ上面パッキン
９  塵埃除去フィルタ下面パッキン
１０  設置枠
１１  ファンユニットレール
１２  ケミカルフィルタレール
１３  ファンユニット受け溝
１４  ケミカルフィルタ受け溝
１５  支持体
１６  ガイド棒
１７  受けナット
１８  固定ナット
１９  転がり軸受け
２０  スクリュー部
２１  遊動部
２２  駆動部
２３  スクリュージャッキ
２４  保持体
【図１】
2005061770.tif 000003
【図２】
2005061770.tif 000004
【図３】
2005061770.tif 000005
【図４】
2005061770.tif 000006
【図５】
2005061770.tif 000007
【図６】
2005061770.tif 000008
【図７】
2005061770.tif 000009
【図８】
2005061770.tif 000010