(57)【要約】【課題】  ＤＵＴボードにおけるリレーの搭載を抑制できるＩＣテスタを実現することを目的にする。【解決手段】  本発明は、コレクタを被試験対象に接続するトランジスタ、トランジスタのコレクタに接続するダイオードを、ＤＵＴボードに設け、トランジスタのベースに接続し、バイアス電圧と直流試験部とを切り替える第１のスイッチ、トランジスタのエミッタに接続し、論理駆動回路と直流試験部とを切り替える第２のスイッチ、ダイオードに接続し、ダイオードがオンしない電圧と前記直流試験部とを切り替える第３のスイッチをＤＵＴボード外に設け、論理試験を行うとき、第１のスイッチはバイアス電圧に切り替え、第２のスイッチは論理駆動回路に切り替えると共に、第３のスイッチはダイオードがオンしない電圧に切り替え、直流試験を行うとき、第１〜３のスイッチは直流試験部に切り替えることを特徴とするものである。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験対象をＤＵＴボートと電気的に接続して、デジタル信号の電流を流す論理駆動回路、直流特性試験を行う直流試験部によりＤＵＴボードを介して試験を行うＩＣテスタにおいて、
前記ＤＵＴボードに設けられ、前記コレクタを前記被試験対象に接続するトランジスタと、
前記ＤＵＴボードに設けられ、前記トランジスタのコレクタに、トランジスタがＮＰＮトランジスタの場合、アノードを接続し、ＰＮＰトランジスタの場合、カソードを接続するダイオードと、
前記ＤＵＴボード外に設けられ、前記トランジスタのベースに接続し、バイアス電圧と前記直流試験部とを切り替える第１のスイッチと、
前記ＤＵＴボード外に設けられ、前記トランジスタのエミッタに接続し、前記論理駆動回路と前記直流試験部とを切り替える第２のスイッチと、
前記ＤＵＴボード外に設けられ、前記トランジスタがＮＰＮトランジスタの場合、前記ダイオードのカソードに接続し、ＰＮＰトランジスタの場合、アノードに接続し、ダイオードがオンしない電圧と前記直流試験部とを切り替える第３のスイッチと
を備え、論理試験を行うとき、前記第１のスイッチはバイアス電圧に切り替え、前記第２のスイッチは前記論理駆動回路に切り替えると共に、前記第３のスイッチは前記ダイオードがオンしない電圧に切り替え、直流試験を行うとき、前記第１〜３のスイッチは前記直流試験部に切り替えることを特徴とするＩＣテスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験対象、例えば、ＩＣ、ＬＳＩ等を試験するＩＣテスタに関し、ＤＵＴボードにおけるリレーの搭載を抑制できるＩＣテスタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ等の被試験対象（以下ＤＵＴと略す）の試験には、回路の動作試験を行う論理試験と、入力リーク測定などの静的特性試験がある。このような装置は例えば特許文献１に記載されている。このような装置の概観図を図２に示し説明する。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−２４４１２５号公報
【０００４】
図２において、テストヘッドＴＨは、内部にピンエレクトロニクスボードと呼ばれるプリント基板を複数枚搭載し、装置の制御を司る制御部等が格納される本体（図示せず）と接続する。パフォーマンスボード１は、テストヘッドＴＨのコンタクトピンと電気的に接続する。ＤＵＴボード２は、パフォーマンスボード１とスタッドによりネジ固定され、ケーブルを介して電気的に接続する。ＤＵＴ３は、ＤＵＴボード２に図示しないソケットを介して電気的に接続される。
【０００５】
次に、構成図を図３に示し説明する。ここで、図２と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【０００６】
図３において、論理駆動回路４は、デジタル信号の電流を流し、ＤＵＴ３の論理試験を行う。電源・電流測定部５は直流試験部で、電圧を印加し、電流を測定し、ＤＵＴ３の入力インピーダンス、入力リーク電流を測定する。そして、論理駆動回路４、電源・電流測定部５はテストヘッド内に設けられる。電源６は、本体に設けられ、電力を出力する。ＤＵＴボード２は、電流転送回路２１、リレー２２が設けられる。電流転送回路２１は、電源６から電力を供給され、論理駆動回路４からの電流を転送する。リレー２２は、電流転送回路２１と電圧源・電流測定部５とを切り替えて、ＤＵＴ３に電気的に接続する。
【０００７】
このような装置の動作を以下に説明する。
論理試験の場合、リレー２２が電流転送回路２１に切り替える。そして、論理駆動回路４がデジタル信号（電流駆動）を出力し、電流転送回路２１、リレー２２を介して、ＤＵＴ３に出力する。ＤＵＴ３は、入力した信号に基づいた信号を出力し、図示しない回路により良否の判定を行っている。
【０００８】
次に、静的特性試験の場合、リレー２２が電圧源・電流測定部５に切り替える。そして、電圧源・電流測定部５は、電圧をリレー２２を介して、ＤＵＴ３に与え、電流測定を行う。
【０００９】
さらに詳細に電流転送回路２１について説明する。図４は電流転送回路２１の動作を説明する図で、（ａ）はＤＵＴ３の入力回路構成の一例を示した図、（ｂ）はＤＵＴ３、論理駆動回路４の等価回路と電流転送回路２１の具体的構成を示した図である。
【００１０】
図４（ａ）において、入力端子３１は信号を入力する。ＣＭＯＳトランジスタ３２はソースを入力端子３１に接続する。バイアス回路３３はＣＭＯＳトランジスタ３２のゲートにバイアス電圧を出力する。Ｉ／Ｖ変換回路３４は、ＣＭＯＳトランジスタ３２のドレインに接続し、電流を電圧に変換し、図示しない内部ロジック回路に与える。
【００１１】
図４（ｂ）において、電流転送回路２１は、バイポーラトランジスタ２１１、バイアス回路２１２で構成される。トランジスタ２１１はコレクタを入力端子３１に接続し、ベースにバイアス回路２１２から電圧が与えられる。ＤＵＴ３は、入力端子３１から見た内部等価回路として、等価入力抵抗３５、電源３６で示される。等価入力抵抗３５は主にＣＭＯＳトランジスタ３２のソース入力抵抗で、一端が入力端子３１に接続され、ソース抵抗値ｒはそのプロセスが原因で、数１００Ωから数ｋΩの比較的高い抵抗値を示す。電源３６は抵抗３５の他端に接続される。電流源４１は論理駆動回路４の等価回路で、トランジスタ２１１のエミッタに接続する。浮遊容量Ｃは、電流源４１とトランジスタ２１１との間の配線に寄生する容量である。
【００１２】
電流源４１と入力端子３１とを直接接続した場合、電流源４１、入力端子３１間に距離があるため、浮遊容量も大きくなり、時定数τ＝ｒ×Ｃ（ｒ：抵抗３５の抵抗値）が大きくなる。このため、論理駆動回路４の信号伝達が遅くなり、高速動作を行うことができない。
【００１３】
この問題を解決する方法として、インピーダンスマッチングを施す方法があるが、ＣＭＯＳトランジスタ３２の場合、ソース抵抗の製造ばらつきが大きく、適切なマッチングを定常的に実現することができない。
【００１４】
そこで、バイポーラトランジスタ２１１の入力抵抗はＣＭＯＳトランジスタ３２に比べ一桁程度低いので、時定数を小さくすることができる。また、電流転送回路２１をＤＵＴボード２上に設けることで、ＤＵＴ３までの距離が短くなり、浮遊容量が小さくなり、高速駆動が可能になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
近年、ＩＣの多ピン化に伴い、電流転送回路２１、リレー２２を入力ピンごとに設けなければならず、ＤＵＴボード２上に搭載する回路が増加している。また、ＤＵＴボード２搭載する回路も増加傾向にある。特に、静的特性測定は微小電流を測定するので、オフリークが存在すると、測定誤差になるので、リレー２２を用いなくてはならない。この結果、リレー２２は搭載面積を必要とし、リレー２２増加に伴い、必要な回路をＤＵＴボード２上に搭載できなくなってしまう。また、ＤＵＴボード２は、ＤＵＴ３を取り替えるハンドラの要求等により大きさに制限があり、大きくすることができない。
【００１６】
そこで、本発明の目的は、ＤＵＴボードにおけるリレーの搭載を抑制できるＩＣテスタを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
被試験対象をＤＵＴボートと電気的に接続して、デジタル信号の電流を流す論理駆動回路、直流特性試験を行う直流試験部によりＤＵＴボードを介して試験を行うＩＣテスタにおいて、
前記ＤＵＴボードに設けられ、前記コレクタを前記被試験対象に接続するトランジスタと、
前記ＤＵＴボードに設けられ、前記トランジスタのコレクタに、トランジスタがＮＰＮトランジスタの場合、アノードを接続し、ＰＮＰトランジスタの場合、カソードを接続するダイオードと、
前記ＤＵＴボード外に設けられ、前記トランジスタのベースに接続し、バイアス電圧と前記直流試験部とを切り替える第１のスイッチと、
前記ＤＵＴボード外に設けられ、前記トランジスタのエミッタに接続し、前記論理駆動回路と前記直流試験部とを切り替える第２のスイッチと、
前記ＤＵＴボード外に設けられ、前記トランジスタがＮＰＮトランジスタの場合、前記ダイオードのカソードに接続し、ＰＮＰトランジスタの場合、アノードに接続し、ダイオードがオンしない電圧と前記直流試験部とを切り替える第３のスイッチと
を備え、論理試験を行うとき、前記第１のスイッチはバイアス電圧に切り替え、前記第２のスイッチは前記論理駆動回路に切り替えると共に、前記第３のスイッチは前記ダイオードがオンしない電圧に切り替え、直流試験を行うとき、前記第１〜３のスイッチは前記直流試験部に切り替えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、論理試験を行うとき、第１のスイッチはバイアス電圧に切り替え、第２のスイッチは論理駆動回路に切り替えると共に、第３のスイッチはダイオードがオンしない電圧に切り替え、直流試験を行うとき、第１〜３のスイッチは直流試験部に切り替えるので、ＤＵＴボードにおけるリレーの搭載を抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、概観図は図２と同じことはいうまでもなく、図２，３と同じものは同一符号を付し説明を省略する。また、図１は、ＤＵＴ３の入力ピンの１つに対する例を図示しており、複数のピンに対して、各部が設けられることはいうまでもない。
【００２０】
図１において、ＮＰＮトランジスタ２３は、ＤＵＴボード２に設けられ、コレクタをＤＵＴ３に接続する。ダイオード２４は、ＤＵＴボード２に設けられ、トランジスタ２３のコレクタにアノードを接続する。電源７は電圧を与える。第１のスイッチＳＷ１は、ＤＵＴボード２外に設けられ、トランジスタ２３のベースに接続し、電源６と電圧源・電流測定部５とを切り替える。第２のスイッチＳＷ２は、ＤＵＴボード２外に設けられ、トランジスタ２３のエミッタに接続し、論理駆動回路４と電圧源・電流測定部５とを切り替える。第３のスイッチＳＷ３は、ＤＵＴボード２外に設けられ、ダイオード２４のカソードに接続し、電源７と電圧源・電流測定部５とを切り替える。ここで、スイッチＳＷ１〜ＳＷ３は通常リレーである。なお、複数ピンに対して設けた場合、電源６，７は共通化できる。
【００２１】
このような装置の動作を以下に説明する。
論理試験を行う場合、図示しない制御部が、第１のスイッチＳＷ１を電源６に切り替え、第２のスイッチＳＷ２を論理駆動回路４に切り替え、第３のスイッチＳＷ３を電源７に切り替える。そして、電源６は、トランジスタ２３にバイアス電圧に与え、トランジスタ２３をオンとする。電源７はダイオード２４がオンしない電圧、トランジスタ２３のコレクタ電圧より高い電圧をダイオード２４に与える。これにより、電源７とダイオード２４の信号ライン上の浮遊容量を防止している。次に、論理駆動回路４はデジタル信号の電流を流し、トランジスタ２３を介して、ＤＵＴ３の論理試験を行う。
【００２２】
直流特性試験を行う場合、図示しない制御部が、スイッチＳＷ１〜ＳＷ３を電圧源・直流測定部５に切り替える。そして、電圧源・電流測定部５からＤＵＴ３に電流が流れ込む方向のときは、トランジスタ２３のベース−コレクタ接合のＰＮダイオードを通じて流れる。また、ＤＵＴ３から電圧源・電流測定部５に電流が流れ出す方向のときは、ダイオード２４を通じて電流が流れる。これにより、電圧源・電流測定部５は直流特性試験を行うことができる。なお、トランジスタ２３のエミッタも電圧源・電流測定部５に接続されるので、ベース−エミッタ間のリーク電流は測定誤差とはならない。
【００２３】
このように、論理試験を行うとき、第１のスイッチＳＷ１は電源６に切り替え、第２のスイッチＳＷ２は論理駆動回路４に切り替えると共に、第３のスイッチＳＷ３は電源７に切り替え、直流試験を行うとき、第１〜３のスイッチＳＷ１〜ＳＷ３は電圧源・電流測定部５に切り替えるので、ＤＵＴボード２におけるリレーの搭載を抑制できる。つまり、他の回路をＤＵＴボード２に実装することができる。
【００２４】
なお、ＮＰＮトランジスタ２３の例を示したが、ＰＮＰトランジスタでもよい。この場合、ダイオード２４はアノード、カソードの接続が逆になる。すなわち、ＰＮＰトランジスタのコレクタにカソードを接続し、スイッチＳＷ３にアノードを接続する。
【００２５】
また、図示しない制御部がスイッチＳＷ１〜ＳＷ３を制御する構成を示したが、手動で切り替える構成でもよい。
【００２６】
また、ＤＵＴボード２にソケットを介してチップのＤＵＴ３を試験する構成を示したが、ＤＵＴボード２にプローブを設け、ウェハのＤＵＴ３を試験する構成でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】ＩＣテスタの概観図を示す。
【図３】従来のＩＣテスタの構成を示した図である。
【図４】図３に示す装置の電流転送回路２１の動作を説明する図である。
【符号の説明】
【００２８】
２  ＤＵＴボード
２３  ＮＰＮトランジスタ
２４  ダイオード
３  ＤＵＴ
４  論理駆動回路
５  電圧源・電流測定部
６，７  電源
ＳＷ１〜ＳＷ３  スイッチ
【図１】
2005061891.tif 000003
【図２】
2005061891.tif 000004
【図３】
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【図４】
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