(57)【要約】【課題】第１ブロック１に対し第２ブロック２を精度良く位置決めする位置決め装置において、テーパ係合及びその解除をスムーズに行わせることが可能な構成を提供する。【解決手段】前記第２ブロック２には位置決め孔２３が開口されるとともに、この位置決め孔２３へ挿入されるように前記第１ブロック１からプラグ部２７が突出される。径方向へ拡大及び縮小可能な中間部材３０が、前記プラグ部２７に支持され、前記プラグ部２７の軸線方向に沿って移動自在とされる。中間部材３０には、前記位置決め孔２３に対してテーパ係合が可能なテーパ面３３を形成している。前記テーパ係合を緊密にする方向に前記中間部材３０を押動するために、押動体２９が備えられる。この押動体２９には、圧力流体の圧力を受ける受圧面２９ａが設けられている。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１ブロック（１）と第２ブロック（２）とを位置決めする位置決め装置であって、
前記第２ブロック（２）に開口された位置決め孔（２３）と、
この位置決め孔（２３）へ挿入されるように前記第１ブロック（１）から突出させたプラグ部（２７）と、
前記プラグ部（２７）に支持され、当該プラグ部（２７）の軸線方向に沿って移動自在とされるとともに、前記位置決め孔（２３）に対してテーパ係合が可能なテーパ面（３３）を形成した、径方向へ拡大及び縮小可能な中間部材（３０）と、
前記テーパ係合を緊密にする方向に前記中間部材（３０）を押動するために前記の第１ブロック（１）側に設けられた、押動体（２９）と、
この押動体（２９）に備えられる、圧力流体の圧力を受ける受圧面（２９ａ）と、
を備える、位置決め装置。
【請求項２】
請求項１に記載の位置決め装置であって、
前記第１ブロック（１）と前記第２ブロック（２）との間の固定が解除されるときには、前記中間部材（３０）の前記テーパ面（３３）を前記テーパ係合させるときに比して、前記押動体（２９）が前記中間部材（３０）を押動する力が弱くなるように前記の圧力流体の圧力が制御されることを特徴とする、位置決め装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の位置決め装置であって、
前記第１ブロック（１）の接触面（２６）と前記第２ブロック（２）の接触面（２４）とを接触させた後、前記中間部材（３０）の前記テーパ面（３３）を強力にテーパ係合させるように、前記圧力流体の圧力が制御されることを特徴とする、位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は位置決め装置に関し、例えば、工作機械のテーブル又はクランプパレットにワークパレットを位置決めするのに好適な装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の位置決め装置には、従来では、特許文献１に開示されたものがある。この従来技術は、ワークパレット（第２ブロック）の下面の周辺部から複数の位置決めピンを下向きに突出して、これら複数の位置決めピンを介して上記ワークパレットを工作機械のテーブル（第１ブロック）の上面に位置決めするものである。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−１０４６８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記特許文献１の構成は、前記テーブルに前記ワークパレットをスムーズに装着するには、前記の各位置決めピンと上記テーブルの各接当面との間に水平方向の嵌合隙間が要求されるので、この隙間の存在によって、テーブルに対するワークパレットの位置決め精度が低くなってしまうという不具合があった。
【０００５】
本発明はかかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、テーブル又はクランプパレット等の第１ブロックにワークパレット等の第２ブロックをスムーズかつ精密に位置決めできる構成を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項１の発明は、例えば図３又は図１０に示すように、位置決め装置を次のように構成した。
即ち、第１ブロック１と第２ブロック２とを位置決めする位置決め装置であって、前記第２ブロック２に開口された位置決め孔２３と、この位置決め孔２３へ挿入されるように前記第１ブロック１から突出させたプラグ部２７と、前記プラグ部２７に支持され、当該プラグ部２７の軸線方向に沿って移動自在とされるとともに、前記位置決め孔２３に対してテーパ係合が可能なテーパ面３３を形成した、径方向へ拡大及び縮小可能な中間部材３０と、前記テーパ係合を緊密にする方向に前記中間部材３０を押動するために前記の第１ブロック（１）側に設けられた、押動体２９と、この押動体２９に備えられる、圧力流体の圧力を受ける受圧面２９ａと、を備えることを特徴とする。
【０００７】
この請求項１の発明は、次の作用効果を奏する。
即ち、第１ブロックと第２ブロックとを互いに接近させることで、中間部材のテーパ面のガイド作用によって位置決め孔が自動的に調心移動し、最終的には、中間部材のテーパ面は、位置決め孔に対しテーパ係合する。そして、上記の位置決め孔が、上記のテーパ係合によって縮径された中間部材を介して前記のプラグ部に拘束される。この結果、第２ブロックと第１ブロックとをスムーズかつ精密に位置決めできる。
また、圧力流体の圧力を調節することで、前記テーパ係合を緊密にする方向に中間部材を押動して進出させる力を調節することができる。なお、第１ブロック側に中間部材および押動体を配設しているので、一つの第１ブロックに対して多数の第２ブロックを着脱する構成の場合には、中間部材および押動体の必要数量（部品点数）を少なくでき、位置決め装置を簡素に構成できる。また、第１ブロック側に押動体を備える結果として、一つの第１ブロック側に圧力流体の給排流路を形成できるので、この意味でも構成を簡素とすることができる。
【０００８】
また、請求項２の発明に示すように、請求項１の発明において、前記第１ブロック１と前記第２ブロック２との間の固定が解除されるときには、前記中間部材３０の前記テーパ面３３を前記テーパ係合させるときに比して、前記押動体２９が前記中間部材３０を押動する力が弱くなるように前記の圧力流体の圧力が制御されることが望ましい。ここで「弱くなる」とは、押動体２９が中間部材３０を全く押さない（押す力がゼロである）場合も含む。
【０００９】
この請求項２の発明は、第１ブロック−第２ブロック間の固定が解除された際に押動体が中間部材を押す力が弱いので、中間部材が第１ブロック−第２ブロック間を離間させるように押す力も弱くすることができ、固定が解除された瞬間に第１ブロック又は第２ブロックに衝撃が加わることを防止できる。
【００１０】
請求項３の発明に示すように、請求項１又は請求項２の発明において、前記第１ブロック１の接触面２６と前記第２ブロック２の接触面２４とを接触させた後、前記中間部材３０の前記テーパ面３３を強力にテーパ係合させるように、圧力流体の圧力が制御されるように構成することも可能である。
【００１１】
この請求項３の発明では、いわゆる着座調心を実現できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
〔第１実施形態〕
本発明の第１実施形態を、図１〜図３を参照して説明する。図１は本発明を適用したクランプシステムの概略立面図、図２（ａ）は図１におけるａ−ａ線矢視図、図２（ｂ）は図１におけるｂ−ｂ線矢視図である。
【００１３】
図１に示すように、マシニングセンタのテーブルＴの上面に、第１ブロックとしてのクランプパレット１が固設される。第２ブロックとしてのワークパレット２は、クランプシステムを介して、クランプパレット１に対し着脱自在に構成されている。
【００１４】
図では１個のみしか図示していないが、ワークパレット２は複数個用意されており、必要に応じて交換してクランプパレット１に対し装着可能となっている。このワークパレット２がクランプパレット１に対し装着される際は、図１および図２に示す第１及び第２の位置決め装置１１，１２によって位置決めされるとともに、二つのクランプ装置１０，１０によって固定される。クランプシステムは、これら位置決め装置１１，１２とクランプ装置１０，１０とによりなる。
【００１５】
図２（ａ），（ｂ）に示すように、第１の位置決め装置１１は、クランプパレット１に複数のボルト６によって固定した第１ハウジング１１ａと、ワークパレット２に複数のボルト７によって固定した第１リング１１ｂと、を備える。図３に示すように、前記第１リング１１ｂにはテーパ状の位置決め孔２３が形成されている。第１ハウジング１１ａにはプラグ部２７が上方突出状に形成されており、このプラグ部２７に環状の中間部材３０が外嵌される。中間部材３０の外周面はテーパ面３３とされている。
【００１６】
以上の構成の第１の位置決め装置１１において、中間部材３０の前記テーパ面３３に対し、第１リング１１ｂの位置決め孔２３を基準軸心Ｇ（図２（ａ）に図示）上で精密に嵌合できるようになっている。
【００１７】
第２の位置決め装置１２は、前記の第１の位置決め装置１１とほぼ同様に構成されている。即ち第２の位置決め装置１２は、図２（ａ），（ｂ）に示すように、クランプパレット１にボルト８によって固定した第２ハウジング１２ａと、ワークパレット２にボルト９によって固定した第２リング１２ｂと、を備える。
【００１８】
第２ハウジング１２ａのプラグ部２７には中間部材３０が外嵌され、この中間部材３０にはテーパ面３３が形成されている。
第２リング１２ｂの位置決め孔２３’は、第１の位置決め装置１１の第１リング１１ｂの位置決め孔２３の構成と異なる。即ち図２（ａ）に示すように、第２リング１２ｂの位置決め孔２３’は、テーパ部分が孔の全周にわたって形成されず、一対のテーパ面２３ｂと一対の逃がし面２３ａが形成されている。
【００１９】
以上の構成の第２の位置決め装置１２において、二つの前記クランプ装置１０，１０のクランプ動作に伴い、第２ハウジング１２ａのプラグ部２７に外嵌した中間部材３０のテーパ面に対して、上記の第２リング１２ｂの位置決め孔２３’を嵌合する。すると、テーパ面２３ｂによって上記ワークパレット２の上記の基準軸心Ｇに対する周方向の正確な位置決めを行うとともに、前記逃がし面２３ａの存在によって、上記の基準軸心Ｇに対する半径方向の誤差を吸収できるようになっている。
【００２０】
第１の位置決め装置１１の具体的な構成を図３に沿って説明する。なお、第２の位置決め装置１２の構成は、位置決め孔２３’の形状が上記のように異なるのみであるので、説明を省略し、ここでは第１の位置決め装置１１について説明する。
図３は第１の位置決め装置の分離状態を示す縦断面図である。
【００２１】
図３の上側に示すように、ワークパレット２の下面には、第１円形穴２１が形成される。この第１円形穴２１には前記第１リング１１ｂが嵌合され、複数の前記ボルト７（図２（ａ）参照）によって固定される。図３に示すように、第１リング１１ｂには前記位置決め孔２３が形成されている。位置決め孔２３は、上に行くに従って窄まるような（位置決め孔２３の奥側に行くに従って窄まるような）、テーパ状の孔として形成される。また、位置決め孔２３が第１リング１１ｂの下面になす開口を取り囲むようにして、環状突設部が下向きに少量突出するよう形成されており、この環状突設部の下面には、平坦な被支持面（接触面）２４が構成されている。
【００２２】
第１ハウジング１１ａにはプラグ部２７が、上向き突出状に、即ち前記位置決め孔２３へ挿入されるように突出させて、設けられている。このプラグ部２７は、前記第１ハウジング１１ａから上方に突出するように一体形成される筒部２７ａと、該筒部２７ａの筒孔に対し上側からネジ止めした蓋ボルト２７ｂと、によって構成される。
【００２３】
上記筒部２７ａには、前記中間部材３０が上下移動自在に外嵌される。また、第１ハウジング１１ａの下面には環状溝２８が形成され、当該環状溝２８に、環状ピストン（押動体）２９が保密状にかつ上下移動自在に設けられる。中間部材３０と環状ピストン２９との間には、第１ハウジング１１ａに上下摺動自在に支持された、複数本のピン３１が介在される。それぞれのピン３１は、下端を前記環状ピストン２９に、上端を前記中間部材３０に、それぞれ接触させている。また、前記環状ピストン２９を上向きに押圧するための圧縮空気（圧力流体）を供給するために、クランプパレット１に空気路５０が形成されている。環状ピストン２９の下面は、前記空気路５０からの圧縮空気の圧力を受けるための、受圧面２９ａとされている。空気路５０は、図示しない適宜の配管を介して図略の圧力制御手段（例えば、圧力調整バルブ）に接続されており、前記受圧面２９ａに作用する圧縮空気の圧力を制御可能とされている。
【００２４】
なお、前記ピン３１は、環状ピストン２９が圧縮空気から受圧面２９ａを介して受ける上向きの押圧力を、中間部材３０へ伝達させる役割を果たすものである。
【００２５】
また、上記の環状ピストン２９の下側には、付勢力の小さい進出バネ６６が装着される。その進出バネ６６が、上記の環状ピストン２９とピン３１を介して、前記の中間部材３０を上方へ常時付勢している。この構成とすることで、環状ピストン２９の下側に圧縮空気が供給されていないときでも、進出バネ６６の付勢力によって中間部材３０を上昇位置に保持できる。このため、その中間部材３０の上端面と蓋ボルト２７ｂの頭部の下面との間の隙間を無くすことが可能となる。これにより、上記の中間部材３０のストレート面３２とプラグ部２７の外周面との間に切り粉などの異物が侵入するのを防止できる。
【００２６】
中間部材３０の具体的な構成を詳しく説明する。環状の中間部材３０は、その内周面をストレート面（円柱面）３２によって構成するとともに、外周面をテーパ面（円錐面）３３によって構成している。図１に示すように、中間部材３０には斜めスリット状の切れ目３４が形成されている。この切れ目３４により、中間部材３０が（換言すれば、上記テーパ面３３及びストレート面３２が）径方向に拡大及び縮小するよう変形できるように構成している。なお、切れ目３４は、斜め方向とする代わりに、垂直な方向であっても良い。
【００２７】
そして図３に示すように、上記ストレート面３２が、前記プラグ部２７の筒部２７ａの外周面に対し摺動自在に嵌合されることで、中間部材３０がプラグ部２７に支持され、プラグ部２７の軸線方向に移動自在とされている。上記テーパ面３３は、前記位置決め孔２３の形状に対応させて、上側すなわちプラグ部２７の先端側に行くに従って細くなるような（位置決め孔２３の奥側に行くに従って細くなるような）テーパ形状に構成している。
【００２８】
第１リング１１ｂの前記被支持面２４に対向するように、前記第１ハウジング１１ａにも、上向きに少量突出する環状突設部が形成されている。この環状突出部の上面には、平坦な支持面（接触面）２６が構成されている。
【００２９】
クリーニング用の圧縮空気を供給するために、クランプパレット１には第１縦路３６が形成される。この第１縦路３６は、第１ハウジング１１ａ内に形成されている第１Ｌ字流路３７に接続される。第１Ｌ字流路３７は、第１ハウジング１１ａに一体形成される前記筒部２７ａの筒孔内部に通じている。この筒孔に螺入される前記蓋ボルト２７ｂの軸部外周面には、溝状の上向き路３８が形成されるとともに、この上向き路３８は、蓋ボルト２７ｂの頭部下面に形成される横溝３９に接続される。
【００３０】
この構成で、クリーニング用の圧縮空気は、第１縦路３６から第１Ｌ字流路３７を経由して筒部２７ａの筒孔内に至り、ここから上向き路３８を経て横溝３９から噴出される。また圧縮空気は、前記第１Ｌ字流路３７の中途から、前記中間部材３０のストレート面３２の嵌合隙間及びテーパ面３３の嵌合隙間を通過して、外部へ噴出される。噴出された圧縮空気は、プラグ部２７の周囲の塵挨や切り粉等を吹き飛ばして清掃するようになっている。
【００３１】
また、ワークパレット２の着座確認用の圧縮空気を供給するために、クランプパレット１には第２縦路４１が形成され、この第２縦路４１は、第１ハウジング１１ａ内に形成された第２Ｌ字流路４２に接続される。第２Ｌ字流路４２の先端は、第１ハウジング１１ａに形成される縦路４４に接続される。縦路４４は第１ハウジング１１ａの前記支持面２６に開口を形成しており、この開口が第１出口ノズル４３を構成する。
【００３２】
更に、前記ワークパレット２の上面の所定位置には、ワークＷが図３の鎖線で示すように着座しているか否かを確認する手段が設けられる。この確認手段は、プラグ部２７の中心部分でクランプパレット１側に設けた第１継手７７と、前記位置決め孔２３の中心部分でワークパレット２側に設けた第２継手７８と、を備える。
【００３３】
第１継手７７の構成を説明する。
前記プラグ部２７の前記蓋ボルト２７ｂの筒孔には、スライド筒７９が挿入される。このスライド筒７９の下部は、前記第１ハウジング１１ａの筒孔４５に上下移動可能に挿入される。筒孔４５の内周面とスライド筒７９の外周面との間には、両者間を保密とするためのＯリング８０が介設される。
【００３４】
このスライド筒７９は、前記筒部２７ａの筒孔内に収納されている進出バネ８１によって、プラグ部２７の先端方向である上方に付勢されている。ただし、スライド筒７９の所定距離以上の進出は、筒部２７ａの筒孔内にネジ止めされる前記蓋ボルト２７ｂの下端部によって阻止されている。
【００３５】
スライド筒７９の筒孔内壁の上端部には、テーパ状の第１弁座８３が設けられている。スライド筒７９の筒孔の内部には、その長手方向中央部分に、第１バネ受け８８が固定される。第１バネ受け８８と第１弁座８３との間には、第１弁室８２が構成されている。
【００３６】
前記第１弁室８２には、弁体としての第１鋼球８６が収納されている。第１鋼球８６と第１バネ受け８８との間には第１弁バネ８７が介在され、この第１弁バネ８７は、第１鋼球８６を第１弁座８３に接当させる方向（閉弁方向）に常時付勢している。なお、第１弁バネ８７の付勢力は、前記進出バネ８１の付勢力よりも、小さい値に設定してある。前記第１バネ受け８８の大径部には、周方向に所定の間隔をあけて、第１貫通孔８９を形成している。
【００３７】
前記第１ハウジング１１ａの筒孔４５に連通するように、当該筒孔４５から下方に向かって中央孔７３が形成される。この中央孔７３は第１ハウジング１１ａの下面に開口して、クランプパレット１に形成される第４縦路７２に接続する。従って、第４縦路７２は、中央孔７３、筒孔４５、第１貫通孔８９を介して、第１弁室８２に通じている。
【００３８】
前記スライド筒７９の上端面は、前記第１弁座８３を取り囲むように、平坦な第１先端面８４が構成されている。この第１先端面８４には環状の封止具８５が嵌着され、この封止具８５の先端は、上記第１先端面８４よりも上方に突出されている。なお、第１弁座８３に接当した状態の前記第１鋼球８６は、前記第１先端面８４及び前記封止具８５よりも上方に突出した状態とされている。
【００３９】
第２継手７８の構成を説明する。
前記位置決め孔２３の奥側においてワークパレット２に形成されるネジ穴２２に、筒状ボルト９１が下側から螺入される。この筒状ボルト９１の筒孔内壁の下端部には、テーパ状の第２弁座９３が設けられている。筒状ボルト９１の下端面において、第２弁座９３を取り囲むように平坦な第２先端面９４が構成され、この第２先端面９４は、第１継手７７の前記第１先端面８４に対向する。筒状ボルト９１の筒孔には、第２バネ受け９８が固定される。第２バネ受け９８と第２弁座９３との間に、第２弁室９２が構成されている。第２バネ受け９８の大径部には、周方向に所定の間隔をあけて、第２貫通孔９９を形成している。
【００４０】
ワークパレット２には、前記ネジ穴２２の天井面に連通するように、上下方向の通路が形成される。この通路はワークパレット２の上面に開口を形成し、当該開口部を第２出口ノズル７４としている。第２出口ノズル７４の形成位置は、ワークパレット２の所定位置にワークＷが鎖線に示すように着座したときに、そのワークＷによって第２出口ノズル７４が塞がれるような位置とされる。第２出口ノズル７４は、前記第２貫通孔９９を介して、前記第２弁室９２に通じている。
【００４１】
第２弁室９２には、弁体としての第２鋼球９６が収納されている。第２鋼球９６と第２バネ受け９８との間には第２弁バネ９７が介在され、この第２弁バネ９７は、第２鋼球９６を第２弁座９３へ接当させる方向（閉弁方向）に常時付勢している。第２弁座９３に接当した状態の第２鋼球９６は、前記第２先端面９４よりも下方に突出した状態とされている。
【００４２】
次に、前記クランプ装置１０の具体的な構造を図６を参照して説明する。図６はクランプ装置の分離状態を示す縦断面図である。
【００４３】
図６に示すように、前記ワークパレット２の下面には、第２円形穴４６が下向きに開口される。この第２円形穴４６には、被駆動リング１０ｂが嵌合され、複数のボルト５（図２（ａ）参照）によって固定される。図６に示すように、この被駆動リング１０ｂの孔の内周面には、テーパ面を有する環状の被係止部４８が、内方突出状に設けられている。被係止部４８の下面には、下向きに少量突出する環状突設部が形成されており、この環状突設部の下面には平坦な被支持面４９が形成されている。
【００４４】
クランプ１０ａはクランプ用ハウジング５１を備え、このクランプ用ハウジング５１はクランプパレット１にボルト４（図２（ｂ）参照）にて固定される。図６に示すように、クランプパレット１には円穴状のシリンダ穴６０が形成され、このシリンダ穴６０にピストン５２が、保密状かつ上下移動自在に挿入される。前記クランプ用ハウジング５１は、シリンダ穴６０を塞ぐようにしながら、クランプパレット１に固定される。シリンダ穴６０内において、ピストン５２の上側にはクランプ作動室５３が、下側にはアンクランプ作動室５４が、それぞれ構成されている。
【００４５】
クランプパレット１には二つの給排ポート５５，５６が形成され、第１給排ポート５５はクランプ作動室５３に対し圧油を給排するためのものとされ、第２給排ポート５６はアンクランプ作動室５４に対し圧油を給排するためのものとされる。第２給排ポート５６は、クランプ用ハウジング５１に形成した逆Ｕ字状路５７を経由して、前記クランプ作動室５３に連通している。
【００４６】
上記ハウジング５１の中央部から環状壁５９が上向きに突出され、当該環状壁５９は、前記の被駆動リング１０ｂの孔内へ挿入可能に構成している。また、クランプ用ハウジング５１の前記環状壁５９の根元部周囲において、上向きに少量突出する環状突設部が形成されており、この環状突出部の上面には、平坦な支持面５８が構成されている。この支持面５８は、前記被駆動リング１０ｂの被支持面４９に対向するよう形成されている。
【００４７】
前記ピストン５２と一体的にプルロッド６１が形成され、このプルロッド６１は、環状壁５９の筒孔に対し保密状に挿入される。この結果、ピストン５２とプルロッド６１とは、前記環状壁５９の軸線方向に移動自在とされている。
【００４８】
上記の環状壁５９の軸線方向中途の位置には、周方向に所定間隔をあけて、径方向の軸線を有する複数の貫通孔６２が放射状に形成されている。貫通孔６２のそれぞれには係合鋼球６３が支持され、この係合鋼球６３は、径方向外側の係合位置と、径方向内側の係合解除位置と、に移動可能とされている。なお、上記貫通孔６２の外端には図示しない縮径部が形成されており、この縮径部によって、係合鋼球６３が貫通孔６２から外れて落下することが防止される。また、上記プルロッド６１の外周面の上部には、上記貫通孔６２に対応する位置に、押圧面６４と退避溝６５とが連ねて形成してある。
【００４９】
クランプ装置１０をクリーニングするために、前記クランプパレット１には第３縦路６７が形成される。この第３縦路６７は、クランプ用ハウジング５１内に形成されている第３Ｌ字流路６８に接続される。第３縦路６７は、環状壁５９とプルロッド６１との間に形成される、環状隙間６９に通じている。環状壁５９の上部には噴出孔７０が複数形成され、この噴出孔７０が前記環状隙間６９に連通している。
【００５０】
この構成で、クリーニング用の圧縮空気は、第３縦路６７から第３Ｌ字流路６８を経由して環状隙間６９に至り、ここから噴出孔７０を経て、斜め上向きに噴出される。
【００５１】
ワークパレット２には、図２（ａ）に示すように、前記の二つの位置決め孔２３と前記の二つの被係止部４８とが、水平方向へ所定の間隔を空けて配置される。また、前記クランプパレット１には、図２（ｂ）に示すように、前記二つのプラグ部２７と二つの環状壁５９とが、水平方向へ所定の間隔を空けて配置されている。
【００５２】
上記構成におけるクランプ動作及び位置決め動作を、以下詳細に説明する。
図４は位置決め装置において図３の状態からワークパレットが下降された様子を示す縦断面図、図５は更にワークパレットが下降して位置決めが行われた様子を示す縦断面図である。
図７はクランプ装置において図６の状態からワークパレットが下降された様子を示す縦断面図、図８は更にワークパレットが下降し、支持面と被支持面同士が接当した様子を示す縦断面図、図９はワークパレットをクランプした様子を示す縦断面図である。
【００５３】
図１に示すアンクランプ状態では、クランプ装置１０は図６に示す状態とされる。即ち、前記クランプ作動室５３の圧油が排出されるとともに前記アンクランプ作動室５４に圧油が供給される結果、ピストン５２及びプルロッド６１が上昇され、前記各係合鋼球６３に退避溝６５が対面する。このため、各係合鋼球６３は内方の係合解除位置へ移動可能である（図６では実際に係合解除位置に移動した様子を示す）。
【００５４】
またアンクランプ状態では、第１の位置決め装置１１（第２の位置決め装置１２）は図３に示す状態とされる。即ち、空気路５０に圧縮空気が供給されることによって、環状ピストン２９がピン３１を介して前記中間部材３０を押し上げる結果、当該中間部材３０は、蓋ボルト２７ｂの頭部下面に接触する位置（上昇位置）に保持されている。更に、前記スライド筒７９が前記進出バネ８１によって上昇位置にある。また、第１継手７７において前記第１鋼球８６が第１弁座８３に接当するとともに、第２継手７８において第２鋼球９６が第２弁座９３に接当している。
【００５５】
この状態からワークパレット２を下降させていくと、図４及び図７に示す状態とされる。
第１の位置決め装置１１においては図４に示すように、プラグ部２７が位置決め孔２３の内部に差し込まれ始める。このとき、第１縦路３６に供給されるクリーニング用の圧縮空気が、位置決め孔２３や、前記の中間部材３０の外周のテーパ面３３や、前記被支持面２４や支持面２６等を清掃する。
同時に、クランプ装置１０，１０においては図７に示すように、環状壁５９が被駆動リング１０ｂの孔に差し込まれ始める。このとき、第３縦路６７に供給されるクリーニング用の圧縮空気が、クランプ装置１０の被係止部４８や被支持面４９や支持面５８等を清掃する。
【００５６】
ワークパレット２の下降を継続すると、第１の位置決め装置１１においては図５に示すように、前記位置決め孔２３が、上昇位置にある前記中間部材３０の外周のテーパ面３３にテーパ係合して調心移動し、その位置決め孔２３の軸心（前記基準軸心Ｇ；図２（ａ）参照）がプラグ部２７の軸心と精密に合致する。これと同時に、上記中間部材３０が前記環状ピストン２９の押上げ力に抗して前記上昇位置から僅かに下降し、また、前記の第１リング１１ｂの被支持面２４が前記の第１ハウジング１１ａの支持面２６に接当する。
【００５７】
上述のように第１の位置決め装置１１において被支持面２４と支持面２６とが接当するのと同時に、クランプ装置１０，１０において図８に示すように、被駆動リング１０ｂの被支持面４９がクランプ用ハウジング５１の支持面５８に接当することが好ましい。ただし、被支持面４９と支持面５８との間に僅かな接当隙間が形成される構成であっても良い。
【００５８】
第１の位置決め装置１１においては、上記の接当とほぼ同時に、図５に示すように、筒状ボルト９１の頭部の第２先端面９４がスライド筒７９の第１先端面８４に封止接当するとともに当該スライド筒７９を押し下げて下降させ、更に前記の第１鋼球８６と第２鋼球９６とが接触する。こうして、第１鋼球８６が第１弁座８３から離間し、第２鋼球９６が第２弁座９３から離間する。この結果、前記クランプパレット１の第４縦路７２が、前記第１ハウジング１１ａの中央孔７３、第１鋼球８６の開弁隙間、及び第２鋼球９６の開弁隙間を経て、前記ワークパレット２の第２出口ノズル７４へ連通される。
【００５９】
なお、スライド筒７９を上方に付勢する進出バネ８１によって第１先端面８４が第２先端面９４に対し押圧される結果、両先端面８４・９４間の保密状態は、上記封止具８５によって確実に維持されている。
【００６０】
クランプ装置１０，１０は図８においてアンクランプ状態とされているが、これをクランプ状態に切り換える。具体的には、クランプ装置１０において、アンクランプ作動室５４の圧油を排出するとともにクランプ作動室５３へ圧油を供給する。すると、図９に示すように、前記ピストン５２が前記プルロッド６１を下降させ、そのプルロッド６１の押圧面６４が係合鋼球６３を径方向外側へ押動し、係合鋼球６３は貫通孔６２から一部突出して、前記被係止部４８のテーパ面に接触する。係合鋼球６３に加えられる径方向外側への押圧力は、被係止部４８のテーパ面を介して下向きの力へ変換され、その下向き力がワークパレット２を押し下げ、クランプパレット１に対しワークパレット２を押圧する。
【００６１】
以上により、ワークパレット２は、前記位置決め孔２３によって縮径変形された前記中間部材３０を介して、前記プラグ部２７によって水平方向に拘束されるとともに（図５参照）、前記支持面２６（及び前記の支持面５８）によって、上下方向に拘束される（図５・図９参照）。その結果、上記ワークパレット２をクランプパレット１に精密に位置決め固定できる。
【００６２】
また第１の位置決め装置１１においては図５に示すように、前記被支持面２４と支持面２６とが接当したときに、前記第１出口ノズル４３が閉じられるので、前記第２縦路４１に供給された着座確認用の圧縮空気の圧力が上昇する。この圧力上昇を図示しない圧力センサによって検出することにより、接当状態を確認できるようになっている。
【００６３】
更に、第１の位置決め装置１１においては、前記第２出口ノズル７４が前記ワークＷによって閉じられているので、前記の第４縦路７２に供給されたワーク着座確認用の圧縮空気の圧力が上昇する。この圧力上昇を図示しない圧力センサによって検出することにより、ワークＷが着座していることを確認できる。
【００６４】
上記のクランプ状態からアンクランプ状態へ切り換えるときは、クランプ作動室５３から圧油を排出するとともに、アンクランプ作動室５４に圧油を供給し、その油圧力によって前記ピストン５２を介して前記プルロッド６１を上昇させる。すると、前記係合鋼球６３が退避溝６５に対面するので、係合鋼球６３が係合解除位置へ切り換わることが許容される。この状態で、ワークパレット２を上昇（リフト）させれば良い。
【００６５】
なお、ワークパレット２を上昇させる際に中間部材３０のテーパ面３３と位置決め孔２３とが強力にテーパ係合していると、係合部分の摩擦力がワークパレット２の上昇に抗するので不都合である。従って、ワークパレット２の上昇前に、中間部材３０のテーパ面３３と位置決め孔２３とのテーパ係合を何らかの方法で解除することが望ましい。例えば、前記ワークパレット２に押しボルト（図略）を予め上下方向に螺合させておき、ワークパレット２の上昇前に押しボルトを回転させて、進出するボルトの端部をクランプパレット１の上面に押し当てて、ワークパレット２をクランプパレット１から少量上昇させることが考えられる。こうすれば、中間部材３０と位置決め孔２３とのテーパ係合を解除でき、摩擦力を消失させることが可能である。
【００６６】
この第１実施形態の効果は、以下のとおりである。
即ち、中間部材３０を押動する環状ピストン２９に、圧力流体の圧力を受ける受圧面２９ａが形成されている。言い換えれば、環状ピストン２９は、空気路５０に供給される圧縮空気の圧力を受圧面２９ａを介して受けることにより、ピン３１を介して中間部材３０を上方向（即ち、テーパ面３３と位置決め孔２３とのテーパ係合を緊密にする方向）に進出させる押動力を加える。
従って、空気路５０への圧縮空気の給排を制御することで、中間部材３０の上方向への進出力を自在に調整することができる。具体的には、以下のようなメリットを有する。
【００６７】
例えば、クランプ装置１０をクランプ状態からアンクランプ状態へ切り換えるときに、第１の位置決め装置１１において、空気路５０の圧縮空気を排出しておく（あるいは、中間部材３０のテーパ面３３を位置決め孔２３にテーパ係合させるとき（図３〜図５）よりも減圧する）。こうすることで、環状ピストン２９によって押される中間部材３０の上方への進出力をゼロとする（あるいは、図３〜図５に示すときよりも弱める）ことができる。従って、クランプ装置１０がアンクランプ状態に切り替わって上下方向の拘束から開放された瞬間にワークパレット２が跳ね上げられ、ワークパレット２や、当該ワークパレット２上のワークＷに衝撃が加えられてしまうことを防止できる。
【００６８】
更には、環状ピストン２９によって押される中間部材３０の上方への進出力をゼロとする（あるいは弱める）ことで、中間部材３０のテーパ面３３と位置決め孔２３との間のテーパ係合部分の摩擦力を弱めることができる。従って、このテーパ係合の解除のために必要な力を低減できる。即ち、位置決めを解除してワークパレット２を上昇（リフト）させる動作をスムーズとできる。
【００６９】
また、前述のようにワークパレット２を下降させてゆく途中で中間部材３０を位置決め孔２３にテーパ係合させ調心移動させる態様（空中調心）とするほか、ワークパレット２の下降を完了し支持面２６と被支持面２４とを接触させ、この状態で初めて中間部材３０を進出させて位置決め孔２３にテーパ係合させ調心移動させる態様（着座調心）も可能である。
この着座調心は、以下のようにして実現できる。即ち、支持面２６と被支持面２４とが離間している状態では空気路５０を圧抜きした状態としておく。次いで、ワークパレット２を下降させる。すると、前記の位置決め孔２３が、前記の進出バネ６６の弱い力で上昇されている中間部材３０に軽くテーパ係合して、その中間部材３０を下降させていく。引き続いて、前記の支持面２６と被支持面２４とが接触する。その後、空気路５０に圧縮空気を供給して圧力を上昇させ、環状ピストン２９を介して中間部材３０を押動して進出させ、その中間部材３０のテーパ面３３と位置決め孔２３とを強力にテーパ係合させる。これにより、前記ワークパレット２が、上記の位置決め孔２３と、上記の強力なテーパ係合によって縮径された中間部材３０とを介して、前記プラグ部２７に水平方向に拘束される。
【００７０】
この第１実施形態においては前述のとおり、前記位置決め孔２３をテーパ面によって構成して、この位置決め孔２３に前記中間部材３０の前記テーパ面３３をテーパ係合可能に構成している。また、前記中間部材３０の内周面をストレート面３２によって構成し、このストレート面３２を前記プラグ部２７に支持し、前記押動体２９は前記第１ブロック１側の第１ハウジング１１ａに備えられている。
【００７１】
このように、第１ブロック１側（クランプパレット１側）に中間部材３０および押動体２９を配設しているので、本実施形態のように一つのクランプパレット１に対して多数のワークパレット２を交換して着脱する構成の場合には、中間部材３０および押動体２９の必要数量（部品点数）を少なくでき、位置決め装置を簡素に構成できる。
また、クランプパレット１に押動体を備える結果として、一つのクランプパレット１に圧力流体の給排流路（空気路５０）を形成できるので、個々のワークパレット２に空気路５０を備える構成よりも簡素とすることができる。
【００７２】
更に、第１実施形態は、クランプパレット１上に位置決め装置（１１，１２）とクランプ装置１０，１０とが互いに別々に設けられているので、それぞれの全高（プラグ部２７や環状壁５９の突出高さ）を小さくできる。従って、ワークパレット２の取外し時の必要リフト量を小さくすることができている。加えて、圧力流体を流通させるための継手機能が第１の位置決め装置１１に備えられているため、継手を別個に設ける構成に比して装置全体の構成を簡素とすることができている。
【００７３】
上記第１実施形態は、次のように変更可能である。
ワークパレット２を下降させたときには、前記の中間部材３０が前記の環状ピストン２９の上方向進出力に抗して僅かに下降して前記の被支持面２４が支持面２６に接当するとしたが、これに代えて、上記のように中間部材３０が僅かに下降した状態では被支持面２４と支持面２６との両面間に接当隙間が僅かに形成されるようにしておき、前記クランプ装置１０のクランプ動作によって当該接当隙間を消失させ、上記の両接触面２４・２６同士を強力に接当させるようにしても良い。
【００７４】
また、ワークパレット２をクランプパレット１に固定する手段としては、前記のクランプ装置１０に限られず、ワークパレット２をクランプパレット１へ引っ張るものであれば十分である。例えば、公知のボルトを単純に用いて、ワークパレット２をクランプパレット１に固定する方法を用いることも可能である。更には、クランプ装置１０を、例示した複動式に代えて、単動式に構成することもできる。単動式の場合には、バネ復帰式とバネクランプ式とが考えられる。なお、図１０に示す後述の第２実施形態では、皿バネ１００によってクランプし、圧油によって復帰する形式のクランプ装置を例示している。
また、クランプ装置１０では作動流体として圧油を採用しているが、圧油に代えて、他の種類の液体や圧縮空気等の気体であっても良い。
【００７５】
〔第２実施形態〕
図１０には、第２実施形態の位置決め装置を示す。この位置決め装置１１’は、前記第１実施形態の位置決め装置１１において備えられていた継手７７・７８を省略する代わりに、クランプ機能を持たせたものである。
【００７６】
図１０に示すように、ワークパレット２の下面に形成した第１円形穴２１に、第１リング１１ｂ’が固定される。第１リング１１ｂ’には、位置決め孔２３が、当該位置決め孔２３の奥に行くに従って窄まるような、テーパ状の穴として形成されている。位置決め孔２３が第１リング１１ｂ’の下面になす開口を取り囲むようにして環状突設部が下向きに少量突出するよう形成されており、この環状突出部の下面には、平坦な被支持面２４が構成されている。また位置決め孔２３の内周面には、テーパ面を有する環状の被係止部４８が、内方突出状に設けられている。
【００７７】
クランプパレット１の上面には円穴状のシリンダ穴６０が形成され、このシリンダ穴６０を塞ぐように、クランプパレット１上に第１ハウジング１１ａ’が固定される。前記シリンダ穴６０にピストン５２が、保密状かつ上下移動自在に挿入される。ピストン５２の下側にはアンクランプ作動室５４が構成されている。
【００７８】
ピストン５２の上面と第１ハウジング１１ａ’の下面との間には、複数の皿バネ１００が積層され収納される。この皿バネ１００はピストン５２に対し、下方向（退入方向）の付勢力を常時作用させる。
【００７９】
第１ハウジング１１ａ’には、筒状のプラグ部２７’が、上向き突出状に一体形成されている。このプラグ部２７’には、環状の中間部材３０が、上下移動自在に外嵌される。この中間部材３０の構成は、図２に示す実施形態における中間部材３０と同様である。中間部材３０のストロークの上端を規定するために、プラグ部２７’には止め輪１１３が嵌着される。また、プラグ部２７’の筒孔内には、前記ピストン５２と一体的に形成されたプルロッド６１が保密状に挿入される。従って、プルロッド６１及びピストン５２は、プラグ部２７’の軸線方向（上下方向）に沿って移動自在とされている。
【００８０】
第１ハウジング１１ａ’の上面には、上記中間部材３０の下面に対向する部分（プラグ部２７’の根元部分周囲）に、上側を開放させる環状溝２８’が形成される。この環状溝２８’には、環状ピストン２９’が保密状にかつ上下移動自在に設けられる。なお、第２実施形態では、前記第１実施形態において備えられていたピン３１が省略されており、前記中間部材３０は、この環状ピストン２９’の上に直接載置されている。
【００８１】
環状ピストン２９’を上向きに押圧するための圧縮空気を供給するために、クランプパレット１に空気路５０が形成されている。この空気路５０は、第１ハウジング１１ａ’に形成された第４Ｌ字流路１０１を介して、前記環状溝２８’に連通している。環状ピストン２９’の下面には、空気路５０を介して供給される圧縮空気の圧力を受ける、受圧面２９ａ’が構成されている。また、上記の環状ピストン２９’の下側には、付勢力の小さい進出バネ６６が装着される。その進出バネ６６が、上記の環状ピストン２９’を介して、前記の中間部材３０を上方へ常時付勢している。
【００８２】
第１リング１１ｂ’の前記被支持面２４に対向するように、前記第１ハウジング１１ａ’にも、上向きに少量突出する環状突設部が形成されている。環状突設部の上面には、平坦な支持面２６が構成されている。
【００８３】
プラグ部２７’の軸線方向中途の位置には、周方向に所定間隔を空けて、径方向の軸線を有する複数の貫通孔６２が放射状に形成されている。貫通孔６２のそれぞれには係合鋼球６３が支持され、この係合鋼球は、径方向外側の係合位置と、径方向内側の係合解除位置と、に移動可能とされている。また、上記プルロッド６１の外周面の上部には、上記貫通孔６２に対応する位置に、押圧面６４と退避溝６５とが連ねて形成してある。
【００８４】
クリーニング用の圧縮空気を供給するために、クランプパレット１には第１縦路３６が形成される。この第１縦路３６は、第１ハウジング１１ａ’内に形成されている第１Ｌ字流路３７に接続される。前記プラグ部２７’の筒孔内に挿入された前記プルロッド６１にはリング溝１１０が形成されており、前記第１Ｌ字流路３７はこのリング溝１１０に連通する。プルロッド６１の内部には、径方向の第１孔１１１、軸方向の第２孔１１２が形成されている。前記リング溝１１０は、第１孔１１１、第２孔１１２を介して、プルロッド６１の上端面に連通している。
【００８５】
プルロッド６１の先端には、カップ状の伝動具１０２が設置されている。この伝動具１０２はプラグ部２７’の上端に保密状に嵌合され、上下移動自在とされている。伝動具１０２の上端には噴出孔７０が複数形成されている。伝動具１０２の外周面とプラグ部２７’との間には、プラグ部２７’の筒孔内部に切り粉等が入り込まないようにするために、シール部材１１４が設けられる。また、伝動具１０２の内部には付勢バネ１１５が収納される。この付勢バネ１１５は伝動具１０２とプルロッド６１の先端面との間に介在され、プラグ部２７’から上方へ突出する方向の弾発力を当該伝動具１０２に対し常時作用させる。
【００８６】
クリーニング用の圧縮空気は、第１縦路３６から第１Ｌ字流路３７、リング溝１１０、第１孔１１１、第２孔１１２を経由して、伝動具１０２の内部空間に至り、ここから前記噴出孔７０を経て斜め上向きに噴出される。
【００８７】
上記構成において、クランプ動作は以下のように行われる。
【００８８】
アンクランプ状態では、位置決め装置１１’は図１０に示す状態とされる。即ち、前記アンクランプ作動室５４に圧油が供給される結果、ピストン５２及びプルロッド６１が皿バネ１００の弾発力に抗して上昇され、前記各係合鋼球６３に退避溝６５が対面する。このため、各係合鋼球６３は内方の係合解除位置へ移動可能である（図１０では実際に移動した状態を図示している）。またアンクランプ状態では、空気路５０から第４Ｌ字流路１０１を介して環状溝２８’に圧縮空気が供給されることによって、環状ピストン２９’が前記中間部材３０を押し上げる結果、当該中間部材３０は上昇位置に保持されている。
【００８９】
この状態からワークパレット２を下降させていくと、第１縦路３６に供給されるクリーニング用の圧縮空気が、位置決め孔２３や、被係止部４８や、前記の中間部材３０の外周のテーパ面３３や、前記被支持面２４や支持面２６等を清掃する。
【００９０】
更にワークパレット２の下降を継続すると、前記位置決め孔２３が前記中間部材３０の外周のテーパ面３３にテーパ係合して調心移動し、その位置決め孔２３の軸心（基準軸心Ｇ）がプラグ部２７の軸心と精密に合致するとともに、上記中間部材３０が前記環状ピストン２９’の押上げ力に抗して僅かに下降し、前記の第１リング１１ｂ’の被支持面２４が前記の第１ハウジング１１ａ’の支持面２６に接当する。
【００９１】
続いて、アンクランプ状態の位置決め装置１１’をクランプ状態に切り換える。即ち、クランプ装置１０において、アンクランプ作動室５４の圧油を排出する。すると、図１１に示すように、前記皿バネ１００の作用によって前記ピストン５２及び前記プルロッド６１が下降し、そのプルロッド６１の押圧面６４が係合鋼球６３を径方向外側へ押動し、係合鋼球６３は貫通孔６２から一部突出して、前記被係止部４８のテーパ面に接触する。係合鋼球６３に加えられる径方向外側への押圧力は、被係止部４８のテーパ面を介して下向きの力へ変換され、その下向き力がワークパレット２を押し下げ、クランプパレット１に対し押圧する。
【００９２】
以上により、ワークパレット２は、前記位置決め孔２３によって縮径された前記中間部材３０を介して、前記プラグ部２７によって水平方向に拘束されるとともに、前記支持面２６によって、上下方向に拘束される。その結果、上記ワークパレット２をクランプパレット１に精密に位置決め固定できる。
【００９３】
このクランプ状態では、付勢バネ１１５により上向きに付勢される伝動具１０２は、図１１上側の拡大図に示すように、その上端面が第１円形穴２１の内底面に接触し、下向きに少量押し込まれた状態とされる。この状態のとき、プルロッド６１の上端面と伝動具１０２との間に、上下方向の隙間ｇが形成されている。
【００９４】
上記のクランプ状態からアンクランプ状態へ切り換えるときは、アンクランプ作動室５４の油圧力によって前記ピストン５２を介して前記プルロッド６１を上昇させる。すると、前記係合鋼球６３が退避溝６５に対面するので、係合鋼球６３が係合解除位置へ切り換わることが許容される。
またこのとき、プルロッド６１の上昇によって前記隙間ｇが消失し、プルロッド６１に接触するとともに押し上げられる伝動具１０２が、ワークパレット２に形成される第１円形穴２１の内底面を押す。この結果、ワークパレット２がクランプパレット１に対し僅かに上昇するので、中間部材３０と位置決め孔２３とのテーパ係合を解除し、当該テーパ係合部分の摩擦力を消失させることができる。この結果、ワークパレット２をクランプパレット１から上昇させて取り外すことが容易になっている。即ち、第２実施形態の構成は、テーパ係合を解除するための特別な構成（例えば、第１実施形態において備えられていた前記押しボルト等）を不要とできている。
【００９５】
なお、クランプ状態において伝動具１０２とプルロッド６１の上端面との間には前述のとおり隙間ｇが形成されているので、プルロッド６１がストローク上端位置にある状態（アンクランプ状態）においても、伝動具１０２の突出高さは、前記隙間ｇの分だけ小さくできる。この結果、第１円形穴２１の形成深さを浅くでき、位置決め装置１１’の全高を小さくしてコンパクトとすることができている。
【００９６】
この第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、空気路５０への圧縮空気の圧力やその給排タイミングを制御することで、中間部材３０の上方向への進出力や進出タイミングを自在に調整することができる。従って、中間部材３０の進出力を弱めることで、クランプ状態からアンクランプ状態に切り換えたときにワークパレット２が中間部材３０に押されて跳ね上げられてしまうことを防止できる。また、中間部材３０の進出力を弱めれば、中間部材３０のテーパ面３３と位置決め孔２３との間のテーパ係合部分の摩擦力を弱めることができるので、位置決めを解除してワークパレット２を上昇（リフト）させる際に必要な力を低減できる。更には、空気路５０への圧縮空気の供給を支持面２６と被支持面２４との接触後に行うことで、着座調心を行わせることが可能になる。
【００９７】
更に第２実施形態では、位置決め装置１１’自体にクランプ機能を備えているので、構成を簡素とすることが可能となっている。
【００９８】
ワークパレット２のクランプパレット１に対する着脱の方向は、第１・第２実施形態で例示した上下方向（垂直方向）に代えて、水平方向又は斜め方向であっても良い。また、工作機械はマシニングセンタに限定されない。加えて、第１ブロックと第２ブロックは、前記のクランプパレット１とワークパレット２との組み合わせに限定されるものではない。例えば、テーブルとクランプパレットとの組み合わせ等が考えられる。
【００９９】
前記中間部材３０は、第１・第２実施形態に示す構成に限定されず、直径方向へ拡大及び縮小されるものであればよい。従って、環状であって切れ目３４を設けたものに代えて、環状体に上溝と下溝とを周方向へ交互に設けたものや、環状体の内周面（ストレート面３２）に上下方向の溝を設けたもの等の各種の構成を採用できる。更に、前記の中間部材３０は、例示した環状体に限定されるものでもなく、円弧状の複数の分割体を環状に並べたものであってもよい。
【０１００】
前記の進出バネ６６は、ゴム等で代替可能である。また、その進出バネ６６は、クランプシステムの態様に応じて、省略可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を適用したクランプシステムの概略立面図。
【図２】（ａ）は図１におけるａ−ａ線矢視図、（ｂ）は図１におけるｂ−ｂ線矢視図。
【図３】第１の位置決め装置の分離状態を示す縦断面図。
【図４】図３の状態からワークパレットが下降された様子を示す縦断面図。
【図５】更にワークパレットが下降して位置決めが行われた様子を示す縦断面図。
【図６】クランプ装置の分離状態を示す縦断面図。
【図７】図６の状態からワークパレットが下降された様子を示す縦断面図。
【図８】更にワークパレットが下降し、支持面と被支持面同士が接当した様子を示す縦断面図。
【図９】ワークパレットをクランプした様子を示す縦断面図。
【図１０】第２実施形態の位置決め装置の分離状態を示す縦断面図。
【図１１】図１０の状態からワークパレットが下降され、位置決めかつクランプが行われた様子を示す縦断面図。
【符号の説明】
１  クランプパレット（第１ブロック）
２  ワークパレット（第２ブロック）
２３  位置決め孔
２４  被支持面（接触面）
２６  支持面（接触面）
２７  プラグ部
２９  環状ピストン（押動体）
２９ａ  受圧面
３０  中間部材
３２  ストレート面
３３  テーパ面
【図１】
2005007504.tif 000003
【図２】
2005007504.tif 000004
【図３】
2005007504.tif 000005
【図４】
2005007504.tif 000006
【図５】
2005007504.tif 000007
【図６】
2005007504.tif 000008
【図７】
2005007504.tif 000009
【図８】
2005007504.tif 000010
【図９】
2005007504.tif 000011
【図１０】
2005007504.tif 000012
【図１１】
2005007504.tif 000013