(57)【要約】【課題】  電気部品、精密機械部品、特にそのドリル孔内およびネジ孔内の洗浄乾燥する方法およびその装置、また偏光板、モジュール板等の基板の洗浄する方法およびその装置を提供することを目的とする。【解決手段】  ２つのエアーノズルの噴出し口を対向させて配置し、２つのエアーノズル間のほぼ中央の位置に排気ダクトを設置し、かつその排気ダクトは上方に排気機能を有し、前記エアーノズルの噴出し口と前記排気ダクトの間を流れるエアーが周囲に拡散しないように囲いを設け、２つのエアーノズル間のほぼ中央の位置と排気ダクトの上方との間で生ずる吸引力により洗浄、乾燥を行う。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つのエアーノズルの噴出し口を対向させて配置し、該２つのエアーノズル間のほぼ中央の位置に排気ダクトを設置し、かつその排気ダクトは上方に排気機能を有し、前記エアーノズルの噴出し口と前記排気ダクトの間を流れるエアーが周囲に拡散しないように囲いを設け、かつ該囲いには前記中央部付近にアパーチュアを設けたエアーブロー装置。
【請求項２】
前記少なくとも２つのエアーノズルの噴出し口を対向させて配置し、前記エアーノズルの噴出し口から噴出したほとんどのエアーが前記２つのエアーノズル間のほぼ中央で衝突するようにエアーが周囲に拡散しないように囲いを設け、かつ該囲いには前記中央部付近にアパーチュアを設けたエアーブロー装置。
【請求項３】
ウェット洗浄後の機械部品または電気部品を前記請求項１または請求項２に記載のエアーブロー装置により発生する吸引力により乾燥させることを特徴とする乾燥方法。
【請求項４】
ウェット洗浄後の機械部品または電気部品を搬送するコンベアと、前記請求項１または請求項２に記載の一または複数の上下に対向させたエアーブロー装置を配置した機械部品または電気部品の乾燥装置。
【請求項５】
前記少なくとも２つのエアーノズルの噴出し口から噴出するエアーを予め加熱した後の温風を噴出させることを特徴とする請求項４に記載の乾燥装置。
【請求項６】
薄板状基板を前記請求項１または請求項２に記載のエアーブロー装置により発生する吸引力により該薄板状基板の汚染物を除去する洗浄方法。
【請求項７】
薄板状基板を搬送するコンベアと、前記請求項１または請求項２に記載のエアーブロー装置を一または複数の上下に対向させて配置した薄板状基板の洗浄装置。
【請求項８】
機械部品または電気部品を真空容器に入れた後に真空引きを行い、該真空容器内を真空に維持したまま洗浄液を前記真空容器に入れて、洗浄を行う洗浄方法。
【請求項９】
機械部品または電気部品を真空容器に入れた後に前記真空容器の真空引き後、洗浄液を前記真空容器に入れ、かつ前記真空容器内を加圧して洗浄を行う洗浄方法。
【請求項１０】
機械部品または電気部品を真空容器に入れた後に前記真空容器の真空引き後、洗浄液を前記真空容器に入れ、かつ前記真空容器内を４〜６ｋｇ／ｃｍ２とする請求項９に記載の洗浄方法。
【請求項１１】
機械または電気部品を真空容器に入れた後に前記真空容器の真空引き後、洗浄液を前記真空容器に入れ、前記真空容器内を真空状態および加圧状態を交互に繰り返して洗浄を行う洗浄方法。
【請求項１２】
洗浄方法として超音波または超振動により洗浄を行う請求項８，９，１０，１１に記載の洗浄方法。
【請求項１３】
真空容器内に攪拌器を入れ、真空容器内の洗浄液を攪拌させることを特徴とする請求項８，９，１０，１１，１２に記載の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、機械・電気部品を洗浄および乾燥する洗浄乾燥方法および洗浄乾燥装置また偏光板等の基板洗浄方法および基板洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  機械部品特に精密機械部品等は油、パーティクル等で汚染され、それら汚染された部品を使用して組み立てられた製品は、その品質に悪影響を与えるため、電気部品、精密機械部品等からこれら油、パーティクル等を除去し、清浄状態を維持することが必要である。洗浄剤を使用して超音波洗浄し純水によりリンスを行って、これら電気部品または機械部品から付着したパーティクルを除去し、また脱脂洗浄を行っている。洗浄後、機械部品をオーブンに入れて乾燥を行い、一連の洗浄乾燥工程が終了する。【０００３】  また、偏光板、モジュール板等の基板には汚染物がその基板上に付着しており、これらの汚染物が最終製品の品質に悪影響を及ぼすため、これらを洗浄しクリーン状態に維持する必要がある。これは主としてこれら基板上にエアーを吹き付けてパーティクル等の汚染物を除去するエアーブロー洗浄を行っている。【０００４】
【特許文献１】特開２０００−２５８０５７
上記文献には回転の遠心力と、渦巻き状の空気流とによってシミを発生させることなく、短時間で乾燥する部品を回転させながら乾燥させる乾燥方法が記載されている。これは部品の表面は乾燥するものの盲ネジ孔内まで乾燥することはできない。【特許文献２】特開平８−３０９２９９
上記文献には機械部品のように凸凹が多く表面が複雑な形状をしている機械部品に洗浄液を吹きつけて洗浄を行う方法が記載されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  しかしながら、機械部品等を洗浄乾燥するにあたり機械部品にはさまざまなドリル孔やネジ孔があり、これらの特に貫通していない、いわゆる盲状のドリル孔やネジ孔内を洗浄および乾燥することは非常に困難であり、特に孔径が小さく深さの深い孔ほど洗浄および乾燥が困難で、これらの問題をいかに解決するか従来からの永遠の課題であった。従来、これらドリル孔やネジ孔の内部の洗浄を行うことはできず、また、また乾燥はオーブンにいれ２０分くらい加熱することにより行っている。従って、これら機械部品等の洗浄・乾燥の能率が悪く生産性向上に大きな障害になっている。【０００６】  盲状のドリル孔内、ネジ孔内の洗浄が困難なことは２つの理由がある。１つは、ドリル孔内、ネジ孔内に空気が存在し、この空気がネジ孔等から抜け難く、また抜けきらずドリル孔内、ネジ孔内に洗浄液が入り込まないことである。もう１つの理由は、洗浄液自体に表面張力を持っており、この表面張力の作用でドリル孔、ネジ孔の入り口で洗浄液を入りにくくしていることである。【０００７】  また、ドリル孔内、ネジ孔内の乾燥も真空吸着やエアーブローでは、ドリル孔内、ネジ孔内の残留している洗浄液を排除することはできず、クリーンオーブン内に２０分間入れて加熱蒸発することにより乾燥させている。【０００８】  しかしながらこの方法では乾燥に多くの時間と労力を必要とし、生産性が向上せず、これらをいかに解決すべきか大きな課題であった。
昨今の機械部品、特に、ハードディスク等に使用する精密機械部品は孔径の小さなドリル孔やネジ孔が多く、また微小なパーティクルの汚染物が製品の性能に大きく影響するためこれらのドリル孔、ネジ孔内を以下に洗浄および乾燥すべきかは永遠の課題であった。【０００９】  また、パーソナル・コンピュータ等には偏光板や、ＬＳＩ等を搭載したモジュール板を使用しており、これら基板の洗浄も下記の理由によりウェット洗浄ができず、いかにドライよる洗浄を行うべきかも大きな課題である。【００１０】  偏光板はその表裏の両面が接着剤で貼り付けて保護膜で覆われており、これをウェット洗浄すると保護膜が剥離する。またモジュール板もＬＳＩ等、電子部品が装着しているためウェット洗浄には不適である。いずれの場合も水などの液体洗浄をすることは困難であり、極力、水等を使用しないドライ洗浄が望まれる。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【００１１】このような問題を解決するため本発明は、以下の手段を採用する。
まず初めに課題の洗浄乾燥を行うために本発明による以下の構成を有するエアーブロー装置を使用する。少なくとも２つのエアーノズルの噴出し口を対向させて配置し、該少なくとも２つのエアーノズル間のほぼ中央の位置に排気ダクトを設置し、かつその排気ダクトは上方に排気機能を有し、前記エアーノズルの噴出し口と前記排気ダクトの間を流れるエアーが周囲に拡散しないように囲いを設け、かつこの囲いには前記中央部付近にアパーチュアを設ける。
【００１２】  このような構成を採ることによりエアーノズルの噴出し口と排気ダクトの間を流れるエアーが周囲に拡散しないように設けた囲いによりエアーノズルから噴出したほとんどのエアーが２つのエアーノズル間の中央で正面衝突し、大きな圧力が両エアーノズルの中央で発生する。排気ダクトの上方が排気されているためこの上方部分は負圧となり、前記正面衝突する位置と排気ダクトの上方部分の間で大きな圧力差が生じ、その結果この位置に置いて竜巻現象が生ずる。この竜巻の力により、汚染物や水分が吸引により剥ぎ取られ洗浄および乾燥ができる。また、この囲いは例えば、遮蔽板により構成する。この遮蔽板には２つのエアーノズル間のほぼ中央位置にアパーチュアを設け、正面衝突したエアーを排気ダクトに導く。
【００１３】  上述した本発明の要点は少なくとも２つのエアーノズルの噴出し口を対向させて配置し、前記エアーノズルの噴出し口から噴出したほとんどのエアーが前記少なくとも２つのエアーノズル間のほぼ中央で衝突するようにエアーが周囲に拡散しないように囲いを設けることにある。このような構成によりエアーノズルから噴出したエアーのほとんどが有効に働き、機械部品の盲状のドリル孔およびネジ孔に残留する水分を吸引排除し、また、偏光板等の薄板状基板に付着した汚染物等を剥ぎ取り除去する力が発生する。
【００１４】  ウェット洗浄後の機械部品または電気部品を搬送するコンベアを使用し、このエアーブロー装置を一つまたは複数を上下に対向させて配置することにより自動的搬送を行い、また機械部品等の表裏両面のドリル孔およびネジ孔内を乾燥させることができる。上下に対向させて配置したエアーブロー装置を複数配置し、より乾燥効果を向上させることができる。また上下同時の吸引作用により機械部品等が上方に浮き上がることもなく、また上下吸引の相乗効果により機械部品等の側面のドリル孔およびネジ孔内をも乾燥させることができる。前記少なくとも２つのエアーノズルの噴出し口から噴出すエアーを予め加熱した後の温風を噴出させることにより、乾燥効果を一層高めることができる。
【００１５】  薄板状基板を搬送するコンベアを使用し、このエアーブロー装置を一つまたは複数を上下に対向させて配置することにより自動的搬送を行い、薄板状基板の表裏両面の汚染物を剥離除去できる。
【００１６】  また、機械部品または電気部品を真空容器に入れた後に真空引きを行い、真空容器内を真空に維持したまま洗浄液を真空容器に入れることにより機械部品等のドリル孔およびネジ孔内の空気を除去した後に洗浄液を入れるため、洗浄液がこれらドリル孔およびネジ孔内に入り易くなるためドリル孔およびネジ孔内の洗浄を行うことができるようになる。
【００１７】  機械部品または電気部品を真空容器に入れた後に前記真空容器の真空引き後、洗浄液を前記真空容器に入れ、かつ前記真空容器内を加圧することによりドリル孔内およびネジ孔内に洗浄液を入りにくくしている洗浄液自体の持つ表面張力に打ち勝って洗浄液がこれら孔内に入るようにする。
【００１８】  また、機械部品または電気部品を真空容器に入れた後に前記真空容器の真空引き後、洗浄液を前記真空容器に入れ、かつ前記真空容器内を４〜６ｋｇ／ｃｍ２とする。この程度の加圧が表面張力を打ち破るのに十分な圧力である。
【００１９】  機械部品または電気部品を真空容器に入れた後に前記真空容器の真空引き後、洗浄液を前記真空容器に入れ、前記真空容器内を真空状態および加圧状態を交互に繰り返して洗浄を行う。この方法により、洗浄液をドリル孔内およびネジ孔内に押し込む力をより増大させる。
【００２０】  また、洗浄方法として超音波または超振動により洗浄を行う。この超音波洗浄または超振動洗浄はドリル孔内およびネジ孔内の洗浄により適切であり、これら孔内から汚染物を掻き出させる力を発揮する。
また真空容器内には攪拌器を入れ、真空容器内の洗浄液を攪拌させることにより、ドリル孔およびネジ孔上に漂う汚染物を拡散させて洗浄効果をより高める。なお、この真空容器は、その容器内部を加圧状態にすることもあるため、真空・加圧両方に適用できる構成とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】  本発明の実施の形態を適宜、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明によるエアーブロー装置の構成を示す図である。図１において、ベルトコンベア１上に乾燥すべき機械部品等や薄板状基板などの対象物２が載せられている。その直上に本発明によるエアーブロー装置が配置されている。エアーブロー装置の２つのエアーノズル３から噴出しているエアーが２つのエアーノズル３の間の中央に向かって対象物２に沿ってほぼ水平に流れる。【００２２】  このときエアーノズル３から噴出しているエアーは遮蔽板４により直ぐ上方の排気管７に引っ張り込まれることはなくほとんど全てのエアーは遮蔽板４の下側を流れ、２つのエアーノズル３の間の中央部で正面衝突する。従って、この中央部では大きな圧力Ｐｃが発生する（ベルヌーイの定理）。【００２３】  このエアーはアパーチュア５を通り抜け排気ダクト６内を上昇し、排気管７により排出される。排気管７においては排気ファンによりエアーを引いているため負圧Ｐｕが発生し、従って、２つのエアーノズル３の間のエアーが正面衝突する中央部と排気管７の間で大きな圧力差（Ｐｃ）Ｐｕ）が発生し、これらの間で竜巻現象が生ずる。この竜巻の力により物体を上方に舞い上げる大きな吸引力が発生する。この吸引力により機械部品のネジ孔部等に存在する水分を除去したり、薄板状基板の汚染物を除去できる。【００２４】  図２は、本発明による乾燥装置の実施形態を示す図である。図２において、エアーブロー装置８がベルトコンベア１を挟んで上下に対向して配置されている。また、エアーノズル３が排気ダクト６を挟んで左右に対向して配置されている。ウェット洗浄後の濡れた機械部品を収納したバスケット９をベルトコンベア１に載置する。ベルトコンベア１が左から右へ矢印方向に移動し、ベルトコンベア１上のバスケット９も併せて移動する。バスケット９が上下のエアーブロー装置８を通過するときに前記のエアーブロー装置８で生ずる竜巻現象により機械部品に付着した、特にドリル孔やネジ孔内に存在する水分を吸い上げてバスケット９に収納された機械部品が乾燥する。【００２５】  エアーブロー装置８で発生する竜巻現象による剥離力が非常に強烈なため、機械部品の盲ネジ孔内に存在する水分でさえ掻き出されて完全に乾燥する。また、上下に対向して配置されている両方のエアーブロー装置８が同時に竜巻を引き起こすため、その相乗効果によりより剥離力が向上し、乾燥力も増大させる。また、さらに、乾燥力を増大させるため上下に対向して配置されているエアーブロー装置８を複数連並べて配置すればより効果が上がる。【００２６】  また、盲ネジ孔内に存在する切り屑に水滴が強力にへばり付いていることもあり、これらを除去するためエアーノズル３に多少加熱した温風を送り込み、竜巻を引き起こすのも有力な手段である。この温風温度は４０℃〜１００℃が適当である。また電気部品または機械部品が樹脂製など熱に弱いものにあっては４０℃〜６０℃程度の加熱エアーとし、ベルトコンベア速度は０．８ｍ／ｍｉｎ〜１．５ｍ／ｍｉｎとする。ベルトコンベア１が移動し、エアーブロー装置８を通過して出てきたバスケット９内の機械部品はその表面はもちろんのこと盲ネジ孔内、またハードディスク機械部品のようにモータコイルが内臓されたコイル線隙間も完��に乾燥する。【００２７】  以下に乾燥実験を行った被洗浄物およびその結果を示す。
乾燥実験
（１）乾燥対象物
▲１▼  ハードディスク用モータ回転子
▲２▼  ハードディスクケース    ２インチ
▲３▼  ハードディスクケース    ３  １／２インチ【００２８】  ハードディスク用モータ回転子（材料；  アルミ）を水に濡らし、特に図３に示すネジ孔部内に水を満杯に入れてこのハードディスク用モータ回転子を乾燥装置で乾燥させた後の状態を顕微鏡で観察した。今回の実験の条件では８０〜９０％は水滴が全く残らず完全に乾燥しているが、しかし残り１０〜２０％は図４のように僅かに水滴が残っている。ただし、エアーノズル３に６０℃程度の温風を送り込んだ場合は、ほとんど水滴が残らず乾燥している。温風によりこれらの残留した水滴が蒸発乾燥したと思われる。【００２９】  図５は本発明による薄板基板１０の洗浄装置の実施形態を示す図である。ここでいう薄板基板１０は、例えば、モジュール板、偏光板等があり、製造過程でこれらの薄板基板１０が汚染されていることがあり、また、偏光板に至ってはその表裏の両面を接着剤により保護シートを貼り付けているため、そのとき更に糸片なども併せて付着していることがある。【００３０】  図５において、エアーブロー装置８、エアーノズル３の配置およびベルトコンベア１の設置等についてまたエアーブロー装置８で生ずる竜巻現象は、図１の乾燥装置と同様であるため、ここでは説明を省略する。ベルトコンベア１に載置された薄板基板１０はエアーブロー装置８を通過するときに竜巻による強力な剥離力により、薄板基板１０上のごみ等の汚染物や偏光板に貼り付いた糸片なども剥ぎ取ることにより洗浄される。【００３１】  本発明による薄板基板の洗浄実験の条件を下記に示す。
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吹出量（給気量）と吸込量（排気量）は、ほぼ同一で給気エアーが有効に使用されていることが分かる。【００３２】  ここで本発明の洗浄または乾燥の原理を図６を参照してまとめて説明する。図６において、両サイドのエアーノズル２からの噴射流がエアーブロー装置８の中央部に向かって流れる。ここで図６の全体はエアーブロー装置８を表す。このときエアーノズル３からの噴射流が中央部で正面衝突する確立を高めるため遮蔽板４を設ける。【００３３】  この遮蔽板４によりエアーノズル３からの噴射流が中央部でぶつかり合う前に上部に吸引されるのを防止し、大多数のエアーノズル３からの噴射流が中央部でぶつかり合う。この位置でぶつかり合って噴射流の速度が０となり、中央部で大きな圧力Ｐｃが発生する。上部では排気しているため、負圧Ｐｕが生じており、ＰｃとＰｕは相対的に大きな圧力差Ｐｕ≪Ｐｃが発生し、エアーブロー装置８の中央部において、排気ダクト６の下部から上部にかけて竜巻発生領域１１に竜巻現象が生ずる。なお、この中央部付近では遮蔽板４にアパーチュア５を設けている。【００３４】  この竜巻現象が水分、ゴミ等の剥離に大きな作用をする。なお、エアーブロー装置８の中央部には遮蔽板４にアパーチュア５が開いており、エアーがエアーノズル３からの噴射流のぶつかり合う中央部からこのアパーチュア５を通過して排気ダクト６内に入り込む。【００３５】  すなわち、この部分で両側からくるエアーがぶつかり合い上昇気流が発生し、水分、ゴミ等が上方に舞い上げられ、排気管７（吸引ノズル）に吸込まれる。
エアーのぶつかりにより遮蔽板４内に流れるエアーの気流速度は極端に減り、圧力が上昇する。上側の吸引により大きな圧力差が生じ、ゴミが上方に吸い上げられる。この現象はベルヌーイの定理により裏付けられる。ベルヌーイの定理によると流体の速度が速いところほど、流体による圧力が小さくなる。逆に、流体の速度が遅いところほど、流体による圧力が大きくなる。
従って、両エアーノズル３から噴出したエアーが正面衝突するとエアーの流速は０になり、その分、圧力が上昇する。【００３６】  図７に本発明による機械部品の洗浄装置の実施形態を示す。機械部品の洗浄方法の流れを図８に示し、これを順を追って説明する。
真空容器１３内に洗浄しようとする機械部品を収納したバスケット９を支持台１４の上に載せて入れる。このとき真空容器１３は、未だ大気状態にある。次に真空ポンプ１７により真空容器１３内を真空に引く。真空ポンプ１７はロータリポンプであり、真空装置１３内をおよそ１〜３×１０−３ｔｏｒｒぐらいに引く。この時点で機械部品のネジ孔内のエアーがほとんど全て抜け出るため洗浄液はネジ孔内に入りやすくなる。【００３７】  その状態の下で貯蔵タンク１５内にある洗浄液を洗浄液供給ポンプ１６により真空容器１３内に送り込む。しかしながら、前述のように洗浄液に表面張力があるため、ネジ孔入り口で洗浄液が入り込むのがまだ阻止される場合がある。そこで、真空容器１３内を一旦、真空状態から大気に戻し、更にアキュムレータ２０により５〜６ｋｇ／ｃｍ２程度に加圧する。この圧力により洗浄液が洗浄液の表面張力の排除する力に打ち勝って洗浄液がネジ孔内に入り込む。その上で真空容器１３に取り付けられた超音波発振器１８により超音波洗浄を行えば従来、困難とされたネジ孔内の洗浄が可能となる。また、アキュムレータ２０は常にコンプレッサー１９により一定の圧力に維持している。【００３８】  また超音波発振器１８に変えて、または超音波発振器１８と共に超振動撹拌機２１により洗浄を行えば従来困難とされたネジ孔内の洗浄が可能となる。また、アキュムレータ２０は常にコンプレッサー１９により一定の圧力に維持している。超振動撹拌機とは１５〜５０Ｈｚの低周波の出力で発生する振動を多段式の振動羽根（材質各種）に伝達し、その振動により発生する流体の高速三次元の乱流を基本とした撹拌機である。【００３９】  更に、真空容器１３内を真空状態および５〜６ｋｇ／ｃｍ２の加圧状態を一定の時間を置いて交互に繰り返しながら超音波洗浄を行えば洗浄液そのものに揺さぶりをかけて行うので、洗浄液がよりネジ孔内に入り込み易くなり、いっそう洗浄効果が高まる。また、真空容器１３内で攪拌器２２により洗浄液の流れを起こしてやればネジ孔付近に淀んでいる汚染物が拡散し、散ってしまうため再びネジ孔に入り込む可能性も少なくなる。また、洗浄終了後、排液管２３により洗浄液を排出する。
【産業上の利用可能性】
【００４０】    この機械部品の乾燥装置は、ハードディスク等の精密機械部品をウェット洗浄後、高速に乾燥させる装置で、特に、盲ドリル孔、盲ネジ孔等に残存する洗浄液（薬液、純水等）を確実に除去乾燥させる装置である。【００４１】  一般に、これら盲ドリル孔、盲ネジ孔の孔径が小さく、孔深さが深いほど洗浄液（薬液、純水等）の除去は困難であるが、本発明による乾燥装置は、従来にない独自の乾燥方法でこれらの除去を可能とした。また、偏光板等の薄板状基板の汚染物の剥離力を高め、洗浄効率を向上させることができる。また、盲ドリル孔内、盲ネジ孔内の洗浄についてこれら孔内のエアー抜きと真空―加圧の繰り返し動作により盲ドリル孔内、盲ネジ孔内の洗浄も行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明によるエアーブローユニットの構造を示す図。
【図２】本発明による乾燥装置の実施の形態を示す図。
【図３】機械部品に明けられた盲ネジ孔の断面図。
【図４】盲ネジ孔内の乾燥状態を示す図（水滴が僅かに残った状態）。
【図５】本発明による基板洗浄用エアーブロー装置。
【図６】本発明によるエアーブロー洗浄および乾燥の原理を示す図。
【図７】本発明によるウェット洗浄装置。
【図８】本発明によるウェット洗浄の洗浄工程を示す図。
【符号の説明】
【００４３】１            ベルトコンベア
２            対象物
３            エアーノズル
４            遮蔽板
５            アパーチュア
６            排気ダクト
７            排気管
８            エアーブロー装置
９            バスケット
１０          薄板基板
１１          竜巻発生領域
１２          エアー通路
１３          真空容器
１４          支持台
１５          貯蔵タンク
１６          洗浄液供給ポンプ
１７          真空ポンプ
１８          超音波発振子
１９          コンプレッサー
２０          アキュムレーター
２１          超振動攪拌機
２２          攪拌器
２３          排液管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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