(57)【要約】【課題】デバイス試験を制御する為の方法及びシステムを提供する。【解決手段】上記課題は、スレーブ・モードと制御モードを有し、前記制御モードにある場合は、デバイスの試験を制御して前記デバイスへと印加すべき１つ以上の試験命令を起動し、前記スレーブ・モードにある場合は、リモート・コントローラから受信したリモート試験命令をテスタへと通過させることを特徴とするローカル・コントローラと、前記ローカル・コントローラに通信可能に結合し、前記１つ以上の試験命令、及びリモート試験命令の仕方を前記デバイスに印加する前記テスタとを具備したシステムにより、解決される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スレーブ・モードと制御モードを有し、前記制御モードにある場合は、デバイスの試験を制御して前記デバイスへと印加すべき１つ以上の試験命令を起動し、前記スレーブ・モードにある場合は、リモート・コントローラから受信したリモート試験命令をテスタへと通過させることを特徴とするローカル・コントローラと、
前記ローカル・コントローラに通信可能に結合し、前記１つ以上の試験命令、及びリモート試験命令の仕方を前記デバイスに印加する前記テスタとを具備したシステム。
【請求項２】
前記ローカル・コントローラが、前記スレーブ・モードにある場合に複数デバイスの試験を制御する為に、前記ローカル・コントローラへと通信可能に結合した前記リモート・コントローラを更に具備する請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記スレーブ・モードにある場合、前記ローカル・コントローラが、更に前記リモート試験命令の結果を前記リモート・コントローラへ通過させることを特徴とする請求項１または２に記載のシステム。
【請求項４】
前記ローカル・コントローラが、前記リモート試験命令を検出した場合に前記制御モードから前記スレーブ・モードへと切り替わることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のシステム。
【請求項５】
前記制御モードにある場合、前記ローカル・コントローラが、前記１つ以上の試験命令を印加した結果、前記テスタから受信した少なくとも１つの試験結果を更に管理することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のシステム。
【請求項６】
前記制御モードにある場合、前記ローカル・コントローラが第二のデバイスの試験を更に制御して前記第二のデバイスへの１つ以上の試験命令を起動し、テスタが前記第二のデバイス向けの前記１つ以上の試験命令を前記第二のデバイスへと更に印加するものであることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のシステム。
【請求項７】
前記テスタがシステム・オン・チップ（ＳＯＣ）テスタを含むものであることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載のシステム。
【請求項８】
リモート・コントローラから受信したリモート試験命令を検出するステップと、
前記リモート試験命令の検出に伴い、デバイスの試験を制御し、１つ以上の試験命令を前記デバイスへと印加する制御モードから、前記リモート試験命令をテスタへと通過させるスレーブ・モードへと切り替わるステップとを有する方法。
【請求項９】
前記リモート試験命令を前記テスタへと通過させるステップと、
前記リモート試験命令を前記デバイスへと印加するステップとを更に有する請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記リモート試験命令の結果を前記リモート・コントローラへと通過させるステップと、
前記結果を前記リモート・コントローラへと送られる複数の更なる結果と併せてローカルにコンパイルするステップとを更に有する請求項８または９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
システム・オン・ア・チップ（ＳＯＣ）等のデバイスは、それが不具合無く製造され、完全に機能するものであるかどうかを判定する試験が出荷前に実施されなければならない。このような試験には様々なテスタが使用される。テスタは一般に非常に大型かつ高価な機械であり、論理信号の遷移位置を高速で正確に配置出来るように設計されている。殆どのテスタは、デバイスが最終的に使用されるであろう環境を模倣した「機能環境」を作り出し、これによりそのデバイスがその環境下で期待通りに動作するかを証明することを目的としたものである。
【０００２】
機能試験の場合、テスタは一連の「テストベクター」をデバイスの入力へと印加する。テストベクターとは、「ベクターサイクル」と呼ばれる厳しく時間を管理された短期間の事象サイクルである。１ベクターサイクル中、テスタ中の論理信号ドライバは刺激を正確に計算されたタイミングでデバイス入力へと印加する。これと同時に、或いは正確な遅延時間が経過した後に、テスタ中の論理信号比較器がデバイス出力における応答をモニタする。多数のテストベクターが順次実行される間、モニタされたデバイス出力と期待されるデバイス出力との間に矛盾があった場合、デバイスの不具合として記録される。
【０００３】
機能試験の代わり、或いは機能試験に加えて行われる試験は「構造」試験（例えばスキャン試験）である。構造試験はデバイス深くに埋め込まれた構造物の試験を可能とするものである。デバイスの入力に刺激を印加することによりデバイスの内部構造を試験するかわりに、構造試験ではデバイスのコアへと一連のテストベクターがシフトインされ、各テストベクターがシフトインされた後、テストベクターを起動して応答が捕捉される。その後各応答はデバイスからシフトアウトされる。このように、テスタはデバイスの各要素が全て存在し、作動可能であることを確認することが出来るのである。構造試験において仮定されているのは、全ての要素が存在し、作動可能であるならば、それらの要素がデバイスのより多数の、そして意図した機能（例えば加算、桁送り等）の実行に寄与するものであり、デバイスが設計通りに作動するはずであるということである。
【０００４】
試験においては、同じ設計を持つ数百ものデバイスを試験しなければならない。加えて、被検デバイスの各々には、様々な種類の複数の試験が実施される場合もある。一部のケースにおいては、実行すべき試験の選択は、先に行った試験結果によっては変わる場合もある。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
デバイス試験を制御する為の方法及びシステムを開示する。一実施例においては、システムはスレーブ・モードと制御モードを持つローカル・コントローラを具備している。制御モードにある場合、ローカル・コントローラはデバイスの試験を制御し、デバイスに印加されるべき１つ以上の試験命令を起動する。スレーブ・モードにある場合、ローカル・コントローラはリモート・コントローラから受けたリモート試験命令をテスタへと通過させる。システムは更にローカル・コントローラと通信可能な状態で結合するテスタを含み、これが１つ以上の試験命令及びリモート試験命令のうちの一方をデバイスへと印加するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
１つ以上のデバイスを試験する為に使用することが出来るシステムの一実施例を図１に示した。システムは、制御モード及びスレーブ・モードの、少なくとも２つの作動モードを持つローカル・コントローラ１６０を含んでいる。制御モードにある場合、ローカル・コントローラ１６０はデバイス１５０の試験を制御する。試験制御には、デバイス１５０へと印加すべき１つ以上の試験命令を起動することが含まれる。一例として、ローカル・コントローラ１６０の起動する試験命令は、試験ファイル又は他の場所に格納された試験群の中から選択することが出来る。先に行われた１つ以上の試験命令の結果や試験ファイル中に見つかった命令等、何らかの要因に応じてローカル・コントローラ１６０は試験ファイル中の試験が分岐、反復、及びループするように制御し、状況に応じてテスタ１００へと試験命令を起動することが出来る。
【０００７】
制御モードにある場合、ローカル・コントローラ１６０は更に試験命令が複数のデバイスへと印加されるように制御することが可能である。例えばローカル・コントローラ１６０はプローバ／ハンドラ（図示せず）と通信することにより、試験完了時にデバイス１５０が除去され、他の被検デバイスが挿入されることになるように命令することが出来る。第二のデバイスはデバイス１５０と同じ構成を持つものとすることが出来る。従って、ローカル・コントローラ１６０は複数ロット、カセット又はその他の単位のデバイス群の試験を管理することが出来るのである。代わりに、第二のデバイスは、異なる試験を実施しなければならない異なる構成を持っているものであっても良い。
【０００８】
制御モードにおいては、ローカル・コントローラ１６０は、デバイス１５０へと印加された１つ以上の試験命令の結果としてテスタ１００から受けた試験結果を管理することも可能である。先に述べたように、試験結果はローカル・コントローラ１６０がどの試験命令をテスタ１００へと送るべきかを判定する為に使用することが出来る。加えて、一部の実施例においては、試験結果の管理には、デバイス１５０へと印加した複数の試験命令から得られた複数の試験結果をコンパイルすることも含まれる。同じ構成を持つ複数のデバイスが試験される場合、ローカル・コントローラはロット、カセット又はその他の単位のデバイスについての結果をコンパイルすることも出来る。一部の実施例においては、個々の、又はコンパイルされた結果をローカル・コントローラ又は他の部品が使用することにより、デバイス単体、ロット、カセット又はその他の単位のデバイス群がデバイス試験を合格したかどうかを判定することが出来る。
【０００９】
図２に示したように、第二の構成例においては、ローカル・コントローラ１６０はリモート・コントローラ２００へと通信可能に接続することが出来るものである。一例として、リモート・コントローラ２００はＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ  ａｎｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）ステーション・コントローラ構造に定義されるもののようなステーション・コントローラとすることが出来る。この構成においては、リモート・コントローラ２００がデバイス１５０の試験を制御するものであり、ローカル・コントローラはスレーブ・モードで作動することになる。スレーブ・モードにある場合、ローカル・コントローラ１６０はリモート・コントローラ２００から受けた試験命令を、テスタ１００へと転送することが出来る。スレーブ・モードにあるローカル・コントローラ１６０は更に、試験命令の結果をリモート・コントローラ２００へと転送することも出来る。また、リモート・コントローラ２００へと転送された結果は、ローカルでの照会用にローカル・コントローラ１６０がコンパイルすることも可能である。
【００１０】
一部の実施例においては、ローカル・コントローラ１６０は、リモート・コントローラ２００からの試験命令を受信する為のメモリ（図示せず）へと通信可能に接続しているものであっても良い。ローカル・コントローラ１６０はメモリをポーリングすることによりリモート・コントローラ２００により起動された試験命令の存在を検出する。ローカル・コントローラ１６０が制御モードにある間にリモート・コントローラ２００からの命令が検出された場合、ローカル・コントローラ１６０は制御モードからスレーブ・モードへと切り替わることが出来る。他の実施例においては、ローカル・コントローラ１６０の２モード間の切り替えにフラグ、又はセマフォを利用することが出来る。代わりに、ローカル・コントローラ１６０にスレーブ・モード或いは制御モードいずれかでの作動を命令する為の何らかのパラメータを構成しても良い。モードの切り替えには、他の方法を使用することも出来ることは言うまでもない。更に、ローカル・コントローラ１６０はソフトウエア、ファームウエア、ハードウエア、或いはこれらの組み合わせとすることも、一部の実施例においてはテスタ１００の一部とすることも勿論可能である。
【００１１】
図１及び図２の構成のいずれにおいても、ローカル・コントローラ１６０はテスタ１００へと通信可能に結合している。一例として、テスタ１００はシステム・オン・ア・チップ（ＳＯＣ）テスタである。テスタ１００は複数のボード１０２〜１０６を含む場合がある。各ボードは、ローカル・コントローラ１６０から受けた試験命令に基づいて被検デバイス１５０へと論理信号を印加する為の複数のピン（図示せず）を含むものとすることが出来る。これらのピンは、デバイス１５０からの出力を受信する為に使用することも出来る。一実施例においては、各ピンはデバイスの試験中に使用する為の独自のメモリを含むものであっても良い。メモリは、そのピンに特定的なベクター情報を記憶しておく為に用いることが出来る。他の実施例においては、メモリはピンごとに含まれてはおらず、かわりに各ボード又はテスタ１００の他の部品ごとに含まれている。他の実施例においては、デバイス１５０へと試験命令を印加する為に他の種類及び他の構成を持つテスタを使用することも出来る。
【００１２】
一実施例においては、被検デバイス１５０はシステム・オン・ア・チップ（ＳＯＣ）とすることが出来る。他の実施例においては、デバイス１５０は複数の被検デバイス又は他の種類の回路デバイスを含むウエハである場合もある。更に、デバイス試験の合間においては、テスタ１００はデバイス１５０に結合されないものである。
【００１３】
テスタ１００及びローカル・コントローラ１６０は、試験のローカル制御が必要とされる構成、及び試験制御にリモート・コントローラ２００が使用される構成において使用することが出来る点に留意が必要である。これにより、業者は様々な顧客の構成向けに同じテスタ１００及びローカル・コントローラ１６０を販売することが出来る。更に顧客においても、テスタ１００又はローカル・コントローラ１６０に変更を加える必要なくローカル制御及びリモート制御間で切り替えることが可能である。
【００１４】
図３は、ローカル・コントローラ１６０が試験制御モードを切り替える為に採用し得る方法例を説明するものである。始めに、リモート・コントローラ２００から受信された試験命令が検出される（ステップ３００）。一例として、試験命令はメモリからのポーリング又はセマフォを確認することにより検出する（ステップ３００）ものとすることが出来る。試験命令の検出（ステップ３００）後、ローカル・コントローラ１６０は制御モードからスレーブ・モードへと切り替わる（ステップ３０５）。
【００１５】
ローカル・コントローラ１６０がスレーブ・モードへと切り替えられた（ステップ３０５）後、試験命令はテスタ１００へと送られることが可能となり、テスタ１００はこの試験命令をデバイス１５０へと印加することが出来るようになる。その後ローカル・コントローラ１６０は試験結果をリモート・コントローラ２００へと送ることが出来る。一部の実施例においては、ローカル・コントローラ１６０が結果を先にリモート・コントローラ２００へと送られた１つ以上の更なる結果と併せてコンパイルすることが可能であり、従ってこの情報をローカルで利用することが出来るのである。
【００１６】
他の実施例においては、ローカル・コントローラを試験制御モード間で切り替える為に他の方法を採用しても良いことは言うまでもない。一例として、変更可能なパラメータを設けてローカル・コントローラ１６０がスレーブ・モードで作動するか、制御モードで作動するかを決定することも可能である。代わりに、ローカル・コントローラ１６０を最初はスレーブ・モードで作動するようにしておき、事象が生じた場合に制御モードへと切り替わるようにすることも出来る。
【００１７】
ローカル・コントローラ１６０がスレーブ・モードにある場合と、ローカル・コントローラ１６０が制御モードにある場合の違いを示す簡単な説明を図４及び図５に示した。図４は、ローカル・コントローラ１６０がスレーブ・モードにある場合に実施可能な試験フローの一例を示すものである。スレーブ・モードにおいては、リモート・コントローラからの試験命令がローカル・コントローラ１６０により受信される（ステップ４００）。試験命令は、その後テスタ１００へと送られる（ステップ４０５）。
【００１８】
試験命令がテスタ１００によりデバイス１５０へと印加された後、試験命令の結果がリモート・コントローラ２００へと送られる（ステップ４１０）。この処理は、更なる試験命令があった場合に繰り返される。従って、スレーブ・モードにある間、デバイス１５０の試験は、試験命令の選択を含めてリモート・コントローラ２００により実施される。
【００１９】
図５に説明するように、逆に制御モードにある場合、ローカル・コントローラ１６０がデバイス１５０の試験を制御する。ローカル・コントローラ１６０は試験命令をテスタ１００へと送る（ステップ５０５）。先に述べたように、ローカル・コントローラ１６０は試験ファイル又は他の位置にある試験群からテスタ１００へと送るべき試験命令を取得することが出来る。
【００２０】
テスタ１００が試験命令をデバイス１５０へと印加した後、ローカル・コントローラ１６０は試験結果を受信する（ステップ５１０）。次にローカル・コントローラ１６０は、現在被検下にあるデバイス１５０へと印加すべき更なる試験が存在するかどうかを判定する（ステップ５１５）。更なる試験がある場合、ローカル・コントローラ１６０は次の命令をテスタ１００へと送る（ステップ５０５）。試験中、ローカル・コントローラ１６０は試験ファイル中にある試験群を通じて分岐、反復及びループさせることが可能であり、テスタ１００にどの命令を送るべきかを判定する為に試験結果を調べることが出来る。
【００２１】
デバイス１５０へのこれ以上の試験がない場合（ステップ５１５）、ローカル・コントローラ１６０は、デバイス１５０と同じ構成を持ち、試験を必要とする更なるデバイスが無いかどうかを判定する（ステップ５２０）。無い場合、試験は終了する（ステップ５３０）。更なるデバイスがある場合、ローカル・コントローラ１６０はプローバ／ハンドラ（又は他の機構）に命令し、デバイスを、試験を必要とするデバイスに交換する（ステップ５２５）。次に新たなデバイスへと印加すべき試験命令がテスタ１００へと送られる（ステップ５０５）。このように、ローカル・コントローラ１６０が制御モードにある場合は、ローカル・コントローラ１６０によりデバイス試験の制御が実行されるのである。
【００２２】
本明細書において本発明の説明及び現在推奨される実施例を詳細に説明してきたが、本発明の発明的概念は他の態様で様々に実現、採用することが可能であり、請求項は従来技術による制約の無い限りにおいては、そのような変更形態を含むと解釈されるべきものである。
【００２３】
最後に、本発明の代表的な実施態様をあげる。
（実施態様１）
スレーブ・モードと制御モードを有し、前記制御モードにある場合は、デバイスの試験を制御して前記デバイスへと印加すべき１つ以上の試験命令を起動し、前記スレーブ・モードにある場合は、リモート・コントローラから受信したリモート試験命令をテスタへと通過させることを特徴とするローカル・コントローラと、
前記ローカル・コントローラに通信可能に結合し、前記１つ以上の試験命令、及びリモート試験命令の仕方を前記デバイスに印加する前記テスタとを具備したシステム。
【００２４】
（実施態様２）
前記ローカル・コントローラが、前記スレーブ・モードにある場合に複数デバイスの試験を制御する為に、前記ローカル・コントローラへと通信可能に結合した前記リモート・コントローラを更に具備する実施態様１に記載のシステム。
【００２５】
（実施態様３）
前記スレーブ・モードにある場合、前記ローカル・コントローラが、更に前記リモート試験命令の結果を前記リモート・コントローラへ通過させることを特徴とする実施態様１または２に記載のシステム。
【００２６】
（実施態様４）
前記ローカル・コントローラが、前記リモート試験命令を検出した場合に前記制御モードから前記スレーブ・モードへと切り替わることを特徴とする実施態様１から３のいずれかに記載のシステム。
【００２７】
（実施態様５）
前記制御モードにある場合、前記ローカル・コントローラが、前記１つ以上の試験命令を印加した結果、前記テスタから受信した少なくとも１つの試験結果を更に管理することを特徴とする実施態様１から４のいずれかに記載のシステム。
【００２８】
（実施態様６）
前記制御モードにある場合、前記ローカル・コントローラが第二のデバイスの試験を更に制御して前記第二のデバイスへの１つ以上の試験命令を起動し、テスタが前記第二のデバイス向けの前記１つ以上の試験命令を前記第二のデバイスへと更に印加するものであることを特徴とする実施態様１から５のいずれかに記載のシステム。
【００２９】
（実施態様７）
前記テスタがシステム・オン・チップ（ＳＯＣ）テスタを含むものであることを特徴とする実施態様１から６のいずれかに記載のシステム。
【００３０】
（実施態様８）
リモート・コントローラから受信したリモート試験命令を検出するステップと、
前記リモート試験命令の検出に伴い、デバイスの試験を制御し、１つ以上の試験命令を前記デバイスへと印加する制御モードから、前記リモート試験命令をテスタへと通過させるスレーブ・モードへと切り替わるステップとを有する方法。
【００３１】
（実施態様９）
前記リモート試験命令を前記テスタへと通過させるステップと、
前記リモート試験命令を前記デバイスへと印加するステップとを更に有する実施態様８に記載の方法。
【００３２】
（実施態様１０）
前記リモート試験命令の結果を前記リモート・コントローラへと通過させるステップと、
前記結果を前記リモート・コントローラへと送られる複数の更なる結果と併せてローカルにコンパイルするステップとを更に有する実施態様８または９に記載の方法。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】１つ以上のデバイスを試験する為に用いることが出来るシステムの第一の構成例を描いた図である。
【図２】１つ以上のデバイスを試験する為に用いることが出来るシステムの第二の構成例を描いた図である。
【図３】試験制御モード間を切り替える為に図１又は図２のローカル・コントローラが採用することが出来る一方法例を説明するものである。
【図４】デバイス試験中に図２の構成によって採用可能な一方法例を説明するものである。
【図５】デバイス試験中に図１の構成によって採用可能な一方法例を説明するものである。
【符号の説明】
【００３４】
１００  テスタ
１５０  被検デバイス
１６０  ローカル・コントローラ
２００  リモート・コントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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