(57)【要約】【課題】  圧電素子に対して緩衝材を設けた場合でも圧電素子の振動特性にばらつきや経時変化が発生せず、安定した発電を行うことのできる発電装置を提供すること。【解決手段】  発電装置１は、外力により回転駆動される回転体７と、この回転体７の近傍に配置された打撃子８５と、この打撃子８５で打撃される圧電素子９とを有している。圧電素子９は、可撓性基板９５によって保持されており、圧電素子９は、打撃子８５によって打撃された際、可撓性基板９５の弾性変形により、後方に退避する。【選択図】    図１
2005168168.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子と、該圧電素子を繰り返し打撃する打撃子とを有する発電装置において、
さらに、前記圧電素子を保持する可撓性基板と、該可撓性基板を支持する基板支持部とを有し、
前記撓性基板は、前記打撃子が前記圧電素子を打撃した際に弾性変形して当該圧電素子を変位させるとともに、当該可撓性基板の形状復帰力により元の形状に復帰して前記圧電素子を元の位置に復帰させることを特徴とする発電装置。
【請求項２】
請求項１において、前記打撃子が前記圧電素子を打撃した際、前記可撓性基板の前記基板支持部による被支持位置、あるいは前記可撓性基板に対する前記基板支持部の支持位置がずれ、当該可撓性基板が元の形状に復帰する際、前記可撓性基板の前記基板支持部による被支持位置、あるいは前記可撓性基板に対する前記基板支持部の支持位置が元に戻ることを特徴とする発電装置。
【請求項３】
請求項２において、前記可撓性基板と前記基板支持部との間には、前記圧電素子が前記打撃子によって打撃された際に、前記可撓性基板の被支持位置、あるいは前記可撓性基板に対する支持位置のある程度以上の変位を阻止するストッパ手段が構成されていることを特徴とする発電装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかにおいて、前記可撓性基板は、前記圧電素子の保持位置と前記基板支持部による被支持位置との間に細く延びた細幅部分を備え、
前記可撓性基板は、前記打撃子が前記圧電素子を打撃した際に前記細幅部分が弾性変形して当該圧電素子を変位させるとともに、当該細幅部分の形状復帰力により元の形状に復帰して前記圧電素子を元の位置に復帰させることを特徴とする発電装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかにおいて、前記可撓性基板は、前記圧電素子が搭載されるランド、および当該ランドに接続する配線パターンを備えていることを特徴とする発電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を利用した発電装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
外力によって発電を行う発電装置としては、例えば、振動などの外力によって回転駆動する回転体によって打撃された打撃子が、圧電素子に衝撃を付与するものが案出されている。また、圧電素子としては、一般に、ＰＺＴ系セラミックスに代表される圧電セラミックスなどが用いられ、このような圧電セラミックスは衝撃に弱い。このため、圧電素子を緩衝材を介してケースに取り付ける構成が提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
ここで、緩衝材は、発泡ウレタンやゴム等により形成されており、その体積変動を伴う弾性変形を利用して緩衝作用を発揮する。なお、緩衝材は、衝撃により発生する圧電素子の振動を長く持続させる効果を併せ持つ。
【特許文献１】特開２００１−３２０８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような発電装置において、圧電素子の衝撃による振動特性は、そのばらつきが小さくても、発電効率において大きなばらつきとして顕在化し易いという性質があるが、発泡ウレタンやゴム等からなる緩衝材は、特性が製造ロット間でばらつくのは勿論、同一ロット間でさえも場所によってばらついてしまう。このため、発泡ウレタンやゴム等からなる緩衝材を用いた場合、発電装置毎に発電能力に差が発生してしまうという問題点がある。また、発泡樹脂やゴムは、経年劣化によって硬化していくという性質があるため、圧電素子の緩衝用に用いた場合、振動を急激に減衰させる抑制効果が発生し、発電能力が経時的に低下していくという問題点がある。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、圧電素子に対して緩衝材を設けた場合でも圧電素子の振動特性にばらつきや経時変化が発生せず、安定した発電を行うことのできる発電装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明では、圧電素子と、該圧電素子を繰り返し打撃する打撃子とを有する発電装置において、さらに、前記圧電素子を保持する可撓性基板と、該可撓性基板を支持する基板支持部とを有し、前記可撓性基板は、前記打撃子が前記圧電素子を打撃した際に弾性変形して当該圧電素子を変位させるとともに、当該可撓性基板の形状復帰力により元の形状に復帰して前記圧電素子を元の位置に復帰させることを特徴とする。
【０００７】
本発明において、前記打撃子が前記圧電素子を打撃した際、前記可撓性基板の前記基板支持部による被支持位置、あるいは前記可撓性基板に対する前記基板支持部の支持位置がずれ、当該可撓性基板が元の形状に復帰する際、前記可撓性基板の前記基板支持部による被支持位置、あるいは前記可撓性基板に対する前記基板支持部の支持位置が元に戻ることが好ましい。このように構成すると、例えば、可撓性基板の両端を固定した場合と比較して、打撃により発生した振動を抑制することがないため、圧電素子は、長時間にわたって、振動し続けることになる。
【０００８】
本発明において、前記可撓性基板と前記基板支持部の間には、前記圧電素子が前記打撃子によって打撃された際に、前記可撓性基板の被支持位置、あるいは前記可撓性基板に対する支持位置のある程度以上の変位を阻止するストッパ手段が構成されていることが好ましい。このように構成すると、可撓性基板が過剰に変形して他の部材と緩衝すること、また可撓性基板が過剰に変形して元の状態に復帰不能になることを防止することができる。
【０００９】
本発明において、前記可撓性基板は、前記圧電素子の保持位置と前記基板支持部による被支持位置との間に細く延びた細幅部分を備え、前記可撓性基板は、前記打撃子が前記圧電素子を打撃した際に前記細幅部分が弾性変形して当該圧電素子を変位させるとともに、当該細幅部分の形状復帰力により元の形状に復帰して前記圧電素子を元の位置に復帰させることが好ましい。このように構成すると、打撃により発生した振動を抑制することがないため、圧電素子は、長時間にわたって、振動し続けることになる。
【００１０】
本発明において、前記可撓性基板は、前記圧電素子が搭載されるランド、および当該ランドに接続する配線パターンを備えていることが好ましい。このように構成すると、可撓性基板から圧電素子からの出力を取り出すことができるので、出力を取り出すための手段を別途設ける必要がない。また、配線等の出力を取り出すための手段を別途、圧電素子に接続する必要がないので、圧電素子の振動や可撓性基板による緩衝作用を妨げることがない。
【発明の効果】
【００１１】
本発明において、打撃子が圧電素子を打撃すると、圧電素子が変形して起電力が発生し、発電が行われる。また、圧電素子は、可撓性基板に支持されているので、打撃子が圧電素子を打撃すると、可撓性基板が弾性変形し、圧電素子が変位する。その間、圧電素子は、変位した位置で振動し続け、発電が継続される。その際、可撓性基板の緩衝作用によって、圧電素子に過大な力が加わることを防止することができるので、圧電素子の損傷を防止することができる。また、可撓性基板であれば、打撃子が圧電素子を打撃した際の変形の度合いが製造ロット間、あるいは同一ロット内でばらつきにくいので、発電装置毎の発電能力に大きな差が発生しない。また、可撓性基板であれば、経年劣化が問題にならないほど小さいので、発電能力が経時的に低下することもない。それ故、圧電素子に対して緩衝材を設けた場合でも圧電素子の振動特性にばらつきや経時変化が発生せず、安定した発電を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した発電装置の一例を説明する。
【００１３】
（全体構成）
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明を適用した発電装置において、上ケースを外した状態における平面図、およびＡ−Ａ′断面図である。図２は、図１に示す発電装置を示す分解斜視図である。図１（ａ）、（ｂ）および図２に示すように、本形態の発電装置１は、上ケース２１および下ケース２２からなるボックス状のケース２から作動軸３の先端部分３１が突出した構造になっており、ケース２の内部には、作動軸３と機構的に接続された歯車部材５と、この歯車部材５に同軸状に連結された慣性板６と、この慣性板６とともに回転する回転体７とが配置されている。回転体７の外周面７１には、周方向（移動方向）に沿って等間隔に複数の突起７２（推力付与部）が同一の形状および大きさに形成されている。
【００１４】
回転体７の近傍には、打撃子保持機構８によって打撃子８５が配置、保持されている。打撃子保持機構８は、下ケース２２と一体形成された軸部２３と、この軸部２３に嵌る筒状の円筒部８１と、この円筒部８１から突き出た撚り線あるいは単線からなるサスペンションワイヤ８２とを有しており、打撃子８５は、サスペンションワイヤ８２の先端部に取り付けられている。このようにして、打撃子８５は、打撃子保持機構８によって、以下に説明する圧電素子９の被打撃面９０を打撃する打撃位置と、この打撃位置から退避した退避位置との間を移動可能に保持されている。すなわち、打撃子８５に隣接する位置には、被打撃面９０を打撃子８に向ける薄板状の圧電素子９が横向きに配置されており、打撃子８５は、サスペンションワイヤ８２によって、圧電素子９の被打撃面９０を打撃する打撃位置と、この打撃位置から後方に退避した回転体７と圧電素子９との中立位置（退避位置）との間を移動可能に支持されている。
【００１５】
圧電素子９は、ケース２の内部に対して、後述する可撓性基板９５を介して取り付けられている。本形態では、圧電素子９としてＰＺＴ系セラミックスのものを用いている。この種の圧電素子９は、一般的に衝撃に弱いので、本形態においては、後述するように、可撓性基板９５が弾性変形することにより圧電素子９に加わった衝撃を緩和するようになっている。
【００１６】
本形態において、作動軸３の先端部分３１は、ケース２の側面に形成された矩形円筒状の開口部２４から突出している。これに対して、作動軸３の基端部は、細径部３２になっており、この細径部３２は、下ケース２２に形成された受け部２５に嵌って軸線方向に移動可能に支持されている。細径部３２の周りにはコイルばね２０が装着されており、このコイルばね２０は、作動軸３の長さ方向の略中央位置に形成された段部３５と受け部２５との間に保持されている。
【００１７】
作動軸３の長さ方向における所定の範囲にはラック３０が形成されており、このラック３０は、歯車部材５の一方側端面に形成されたピニオン５１と噛み合っている。但し、作動軸３が軸線方向における先端側位置にあるときには、ラック３０とピニオン５１の噛合が解除され、作動軸３がケース２の内部に押圧されたとき、ラック３０とピニオン５１が噛み合う。換言すれば、作動軸３が外力で押圧された後、その外力から解放されたとき、作動軸３は、コイルばね２０に付勢されて変位前の位置に戻るが、変位前の位置に戻るまでの間にラック３０とピニオン５１とは噛合した状態にあり、作動軸３が変位前の位置に完全に戻った以降、ラック３０とピニオン５１との噛合が解除される。このため、ラック３０とピニオン５１の噛み合いが解除された状態では、歯車部材５はフリーな状態にある。
【００１８】
歯車部材５の他方側端面には円筒状の突起５２が形成されており、この突起５２は、慣性板６の中心穴６０を通って回転体７の中心穴７０に嵌っている。また、歯車部材５、慣性板６、および回転体７は、歯車部材５において突起５２の周りに形成された複数の穴、慣性板６において中心穴６０の周りに形成された複数の穴、および回転体７において中心穴７０の周りに形成された複数の穴に連結ピン（図示せず）が嵌められて連結されている。この状態で、歯車部材５の突起５２の中空部５２１にはケース２に両端が保持された回転中心軸２８が差し込まれ、歯車部材５、慣性板６、および回転体７は、回転中心軸２８周りに回転可能である。なお、慣性板６は、比重が重い材料、例えば、真鍮によって形成されている。
【００１９】
（圧電素子のケースへの取り付け構成）
図３は、図１に示す発電装置に用いた圧電素子と可撓性基板とを斜め下方からみた斜視図である。
【００２０】
図３に示すように、本形態では、圧電素子９の被打撃面９０とは反対側の面が、可撓性基板９５の表面に接着される接着面になっている。ここで、可撓性基板９５は、フィルム基板である。可撓性基板９５において、圧電素子９が接着固定される部分には、その長手方向に溝状の切欠き９５１が延びるように形成され、この切欠き９５１の両側で延びている細幅部分９５８、９５９に対して、圧電素子９が接着剤により固定されている。また、可撓性基板９５には、２本の配線パターン９６２、９６３が形成され、配線パターン９６２、９６３の先端には、圧電素子９の電極９１、９２が半田により接続されるランド９６８、９６９が形成されている。可撓性基板９５の左右両端部には、圧電素子９と重なることなく上下に張り出した張出部９５６、９５７が形成され、張出部９５６、９５７の根元部分には首部９５４、９５５が形成されている。
【００２１】
図２に示すように、下ケース２２の内壁には一対の突出部２６、２７が形成され、これらの突出部２６、２７には、それぞれ先端面から根元に向かうスリット２６１、２７１（基板支持部）が形成されている。
【００２２】
従って、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、スリット２６１、２７１に対して、可撓性基板９５の首部９５４、９５５を差し込めば、可撓性基板９５は、スリット２６１、２７１に両端が保持された状態となる。この状態で、可撓性基板９５の張出部９５６、９５７と、突出部２６、２７との間には、隙間Ｇ1、Ｇ2（図１（ｂ）参照）が形成されている。また、突出部２６、２７と圧電素子９との間にも、それぞれ隙間Ｇ3、Ｇ4（図１（ｂ）参照）が形成されており、これらの隙間の寸法は、以下の条件式
Ｇ1＜Ｇ4
Ｇ2＜Ｇ3
を満たしている。このため、可撓性基板９５が左右いずれの方向にずれたとき、ある程度以上のずれを防止するように可撓性基板９５の張出部９５６、９５７が突出部２６、２７に当接してストッパ手段として機能し、圧電素子９と突出部２６、２７とが干渉しない。
【００２３】
なお、上ケース２１の内壁には、下ケース２２の突出部２６、２７に対応する位置に一対の突出部２８、２９が形成されており、上ケース２２と下ケース２１とを重ねた状態で、突出部２８、２９は、スリット２６１、２７１の端部を塞ぐ。このため、可撓性基板９５の首部９４５、９５５がスリット２６１、２７１から脱落することがない。
【００２４】
（発電動作）
図４（ａ）、（ｂ）は、図１に示す圧電素子が後方に変位した状態を示す平面図、および断面図である。
【００２５】
本形態の発電装置１では、図１に示す状態から、外力によって作動軸３が矢印Ｄで示す方向に押圧されると、ラック３０とピニオン５１が噛合して歯車部材５、慣性板６、および回転体７が時計周りＣＷの方向に回転するとともに、コイルばね２０が圧縮される。その間、コイルばね２０には、作動軸３の変位が弾性エネルギーとして蓄えられる。
【００２６】
この状態で、作動軸３に対する押圧が解除されると、コイルばね２０の付勢力によって、作動軸３は矢印Ｕで示す方向に押し出され、作動軸３は、元の位置に戻る。
【００２７】
この状態になる途中までは、ラック３０とピニオン５１とが噛み合っているので、コイルばね２０は、作動軸３を押し出すとともに、歯車部材５、慣性板６、および回転体７を反時計周りＣＣＷの方向に回転させる。但し、作動軸３が元の位置に戻る直前に、ラック３０とピニオン５１との噛合が解除されるので、それ以降、回転体７は慣性板６の慣性力によって反時計周りＣＣＷに回転し続ける。
【００２８】
これにより、打撃子８５の端部近傍を回転体７の外周面７１が移動し、回転体７の外周面７１に形成された突起７２が打撃子８５の端部近傍を通過する際、打撃子８５が中立位置、あるいは、そこより回転体７の側にあれば、打撃子８５は、突起７２に打撃されることになる。従って、打撃子８５は、圧電素子９に向かう推力が付与され、圧電素子９の被打撃面９０を打撃する。
【００２９】
そして、打撃子８５は、圧電素子９を打撃した反動、およびサスペンションワイヤ８２の形状復帰力により、圧電素子９に対する打撃位置から退避位置（中立位置、および中立位置より回転体７の側の位置）に変位する。このタイミングに合わせて、回転体７の突起７２は、再び、打撃子８５を打撃する。
【００３０】
ここで、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、可撓性基板９５によって中立位置に静止状態で支持されていた圧電素子９は、打撃子８５で被打撃面９０を打撃されると、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、可撓性基板９５の細幅部分９５８、９５９が弾性変形し、後方に変位する。その際、可撓性基板９５のスリット２６１、２７１による被支持位置は、可撓性基板９５の張出部９５６、２５７から離間している位置から、張出部２５６、２５７の根元位置に移動するので、このような変位によっても、可撓性基板９５は後方に大きく湾曲し、圧電素子９は、後方に大きく変位する。但し、可撓性基板９５が後方に湾曲した際、張出部９５６、２５７が突出部２６、２７に当接してストッパ手段として機能するため、それ以上の変形や変位は阻止される。また、可撓性基板９５の変形によって、打撃子８５による衝撃は緩和されるが、可撓性基板９５は、厚さ方向に変形しても、幅方向には変形しないので、圧電素子９での発電効率は高いレベルを維持できる。
【００３１】
そして、打撃子８５による被打撃面９０の打撃が中断する間に、可撓性基板９５は、その弾性復帰力により元の形状に復帰し、それにより、圧電素子９は、図１（ａ）に示す中立位置に復帰する。
【００３２】
このような動作を繰り返すことによって回転体７ｂの回転は徐々に減速していく。また、打撃子８５が圧電素子９を打撃することにより得られた電力は、整流回路（図示せず）に導かれる。よって、本形態の発電装置１は、さまざまな用途に応用することができる。例えば、外部侵入者が窓を開けたときにその外力が駆動源として回転体７を回転させれば、発電装置１で得られた電力をトリガーにして発信装置の起動や監視センターへの通報などを行う機器として利用できる。また、発電装置１で得た電力で異常を放置するためのＬＥＤを点灯させてもよい。
【００３３】
（本形態の効果）
以上説明したように、本形態の発電装置１では、打撃子８５が圧電素子９を打撃すると、圧電素子９が変形して起電力が発生し、発電が行われる。ここで、圧電素子９は、可撓性基板９５に支持されているので、打撃子８５が圧電素子９を垂直方向から打撃すると、可撓性基板９５が弾性変形し、圧電素子９が変位する。その間、圧電素子９は、変位した位置で振動し続け、発電が継続される。その際、可撓性基板９５の緩衝作用によって、圧電素子９に過大な力が加わることを防止することができるので、圧電素子９としてＰＺＴ系セラミックスのものを用いた場合でも、圧電素子９の損傷を防止することができる。
【００３４】
また、可撓性基板９５であれば、打撃子８５が圧電素子９を打撃した際の変形の度合いが可撓性基板９５の製造ロット間、あるいは同一ロット内でばらつきにくいので、発電装置１毎の発電能力に大きな差が発生しない。また、可撓性基板９５であれば、経年劣化が問題にならないほど小さいので、発電能力が経時的に低下することもない。それ故、圧電素子９に対して緩衝材を設けた場合でも圧電素子９の振動特性にばらつきや経時変化が発生せず、安定した発電を行うことができる。
【００３５】
また、可撓性基板９５は、圧電素子９の搭載位置とスリット２６１、２７１による被支持位置との間に細く延びた細幅部分９５８、９５９を備えており、細幅部分９５８、９５９が大きく変形するので、圧電素子９を確実に変位させることができる。
【００３６】
さらに、可撓性基板９５が後方に湾曲した際、張出部９５６、２５７が突出部２６、２７に当接してストッパとして機能するため、それ以上の変形や変位は阻止される。このため、可撓性基板９５が過剰に変形して他の部材と緩衝すること、また可撓性基板９５が過剰に変形してスリット２６１、２７１から抜けて元の状態に復帰不能になることを防止することができる。
【００３７】
さらにまた、圧電素子９を支持する可撓性基板９５として、ランド９６８、９６９、および配線パターン９６２、９６３が形成されたＦＰＣ基板（配線基板）を用いたので、可撓性基板９５から圧電素子９からの出力を取り出すことができる。それ故、圧電素子９から出力を取り出すための手段を別途設ける必要がないので、この別途、設けた手段によって、圧電素子９の振動や可撓性基板９５による緩衝作用を妨げられることがない。
【００３８】
［その他の実施の形態］
上記形態では、圧電素子９が可撓性基板９５に接着剤により固定したが、可撓性基板９５のランド９６８、９６９と、圧電素子９の電極９１、９２との半田付けのみにより圧電素子９を可撓性基板９５に固定してもよい。
【００３９】
また、上記形態では、可撓性基板９５の首部９５４、９５５を突出部２６、２７のスリット２６１、２７１で支持する構成であったが、可撓性基板９５に長穴を形成し、ケース２の側に、長穴に嵌る凸部（基板支持部）を形成することにより、可撓性基板９５を移動可能に支持する構成を採用してもよい。
【００４０】
さらに、可撓性基板９５に凸部を形成し、ケース２の側に、凸部が嵌る長穴（基板支持部）を形成することにより、可撓性基板９５を移動可能に支持する構成を採用してもよい。このように構成した場合、打撃子８５が圧電素子９を打撃した際に可撓性基板９５に対する長穴の支持位置がずれることになる。また、ケース２の長穴を可撓性基板９５のある程度以上の変位を阻止するストッパ手段として機能させることができる。
【００４１】
さらにまた、上記形態では、ギャップＧ1、Ｇ2の範囲内で首部９５４、９５５がスリット２６１、２７１内を移動可能に支持されているが、図５に示すように、張出部９５６、９５７と、圧電素子９が搭載される細幅部分９５８、９５９の間に、さらに長い細幅部分９５２、９５３を蛇行した形状、あるいは図示を省略するが、渦巻き形状に配置すれば、細幅部分９５８、９５９の弾性変形に加えて、細幅部分６５４、６５５での大きな弾性変形を利用することができる。このため、ケース２に対して可撓性基板９５を移動可能に支持する必要がないので、張出部９５６、９５７を直接、ケース２に固定することができる。このように構成した場合、可撓性基板９５をスリット２６１、２７１内に保持した構成と違って、摺動摩耗による塵埃が一切発生しないので、打撃子８５や回転体７などの動作部材の動作不良を抑制できるという利点がある。
【００４２】
なお、上記形態では、回転体７に形成した突起７２で打撃子８５に推力を付与する構成であったが、このような構成に限定されるものでない。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明の発電装置において、圧電素子は、可撓性基板に支持されているので、打撃子が圧電素子を打撃すると、可撓性基板が弾性変形し、圧電素子が変位する。その間、圧電素子は、変位した位置で振動し続け、発電が継続される。その際、可撓性基板の緩衝作用によって、圧電素子に過大な力が加わることを防止することができるので、圧電素子の損傷を防止することができる。また、可撓性基板であれば、打撃子が圧電素子を打撃した際の変形の度合いが製造ロット間、あるいは同一ロット内でばらつきにくいので、発電装置毎の発電能力に大きな差が発生しない。また、可撓性基板であれば、経年劣化が問題にならないほど小さいので、発電能力が経時的に低下することもない。それ故、圧電素子に対して緩衝材を設けた場合でも圧電素子の振動特性にばらつきや経時変化が発生せず、安定した発電を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】（ａ）、（ｂ）は、本発明を適用した発電装置において、上ケースを外した状態における平面図、およびＡ−Ａ′断面図である。
【図２】図１に示す発電装置を示す分解斜視図である。
【図３】図１に示す発電装置に用いた圧電素子と可撓性基板を斜め下方からみた斜視図である。
【図４】（ａ）、（ｂ）は、図１に示す圧電素子が後方に変位した状態を示す平面図、および断面図である。
【図５】本発明のその他の実施の形態に係る発電装置において、圧電素子を保持する可撓性基板の平面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  発電装置
７  回転体
８  打撃子保持機構
９  圧電素子
２６１、２７１  スリット（基板支持部）
８５  打撃子
９０  圧電素子の被打撃面
９５  可撓性基板
【図１】
2005168168.tif 000003
【図２】
2005168168.tif 000004
【図３】
2005168168.tif 000005
【図４】
2005168168.tif 000006
【図５】
2005168168.tif 000007