(57)【要約】【課題】  ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した磁性粉を完全に除去し、かつ粘着物の残存も無く後処理の不要な清浄化方法を提供する。【解決手段】  ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路を構成する磁石及びヨークの表面の付着物を、粘着力１〜５Ｎ／ｃｍの粘着テープを用いて除去する。【選択図】  図１
2005353167.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路を構成する磁石及びヨークの表面の付着物を粘着テープの粘着面に粘着させて除去する方法であって、前記粘着テープとして粘着力１〜５Ｎ／ｃｍの粘着テープを用いることを特徴とするハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路の清浄化方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法により清浄化されたことを特徴とするハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路。
【請求項３】
請求項２に記載のハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路を備えることを特徴とするハードディスクドライブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着するパーティクル、特に磁性粉を有効に除去することができる清浄化方法に関する。また、本発明は、このような手法により清浄化されたハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路、並びに清浄化された磁気回路を備えるハードディスクドライブに関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路は、例えば図1に示すように、永久磁石ａと、ヨーク部品ｂとで構成されており（なお、図中ｃはボイスコイルである）、ハードディスクの記憶容量増大化に伴う磁気ヘッド浮上量の減少により、ヘッドクラッシュに至らないよう近年ますますその清浄化が切望されている。特に、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路を汚染させるパーティクルのうち、磁性粉による汚染は、それらがハードディスク上に付着した場合、ハードディスク上の磁気データを破損させる可能性があり、これらを完全に除去する必要がある。
【０００３】
永久磁石ａには、そのほとんどがニッケルメッキを施したＲ−Ｆｅ−Ｂ（ＲはＹを含む希土類元素の少なくとも1種）希土類磁石が用いられており、その全面がニッケルメッキに覆われているので、基本的にそれ自身から磁性粉が発生することはない。しかしながら、希土類磁石は焼結体であり、メッキがその全面を覆う直前までは磁粉が激しく発生するため、メッキの前洗浄工程やメッキ液槽は磁粉で汚染されてしまい、メッキライン全体を完全に磁粉で汚染されないようにすることは極めて困難である。そのため、メッキ工程中及びメッキ後でも、ニッケルメッキを施したＲ−Ｆｅ−Ｂ希土類磁石はメッキラインからの磁性粉の汚染を受けてしまい、ニッケルメッキ表面に磁性粉が付着する場合がある。
【０００４】
そのため、ハードディスクドライブを組み立てるクリーンルームにニッケルメッキを施した希土類磁石を搬送する前に、超音波洗浄、スプレー洗浄、ブラシスクラビングなどの手法により、ニッケルメッキを施した希土類磁石に付着した磁性粉を十分に除去する必要がある。これら手法に関しては、スポンジ等でスクラビングする手法などが挙げられる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−３５４３６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の手法により、ニッケルメッキされた希土類磁石をクリーンルームへ搬送する際の磁性粉の持込を低減することは可能であるが、完全に防ぐことは困難である。そのため、クリーンルーム内での組立中及び組立後に再度、超音波洗浄やスプレー洗浄などの湿式洗浄、エアブローやドライアイスブローなどの乾式洗浄、アルコール拭きやゴム粘土や粘着力の強い粘着テープを用いた除去などの物理的除去法を用いて、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した磁性粉を含むパーティクルを除去する場合がほとんどである。
【０００６】
ここで、一般的なハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路組立工程に関し簡単に説明すると、まず未着磁の磁石とヨーク部品とを接着し、磁石を着磁した上で、必要であれば上下それぞれの磁気回路を合体させる工程を取るが、客先で合体させる製品もあり、着磁工程が最終工程の場合もある。無論、付属部品が追加で組み込まれたり、磁石の接着位置や磁束量などの各検査工程が上記組立工程間及び工程後に追加されたり、詳細な工程はハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路の機種によってそれぞれ異なる。なお、磁石を着磁してから接着すると、強力な磁石同士の吸着力により、接着工程のハンドリングが困難となるため、接着してから着磁する場合がほとんどである。また、上下ヨークを合体させる場合においては、上下ヨークの合体後に着磁を行うことは、狭いギャップ内に強力な磁界を発生することの困難さにより、一般的には行われていない。
【０００７】
これら組立工程の中で、特に磁石を着磁する工程以降において、上記洗浄方法はハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した磁性粉以外のパーティクルの除去には有効であるものの、磁性粉を容易に除去することは困難である。なぜならば、上記湿式及び乾式洗浄を用いた場合、物理的に除去する介在物が流体であるため、磁性粉は付着面上を移動するものの、磁気回路から離れにくく、再度、磁化された磁石及びその周辺のヨーク部品に付着したままとなってしまうためである。更に、洗浄設備は高額であることから、コストアップの要因にもなる。同様に、アルコール拭きも磁性粉に対しては磁気回路上を移動させるのみに留まり、有効な除去方法ではない。
【０００８】
ゴム粘土や粘着テープを用いた除去では、磁性粉を粘着して除去するため、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した磁性粉を除去する有効な手段であるが、ゴム粘土や粘着テープの粘着物が、粘着力が強すぎて、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に残存したり転写してしまい、磁性粉をこれら手法で除去した後に、再度アルコール等で新たに付着した粘着物を拭き取る必要が生じ、ハードディスクドライブに傷を付けたり、拭き取り工程によるコンタミを発生する欠点があり、その煩雑さからコストアップの原因となっている。また、粘着物がハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に転写するのを防ぐため、粘着力の低い粘土及び粘着テープを使用すると、アルコール等で新たに付着した粘着物を拭き取る必要は生じないものの、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した磁性粉の除去能力としては不十分であり、その完全な除去は成し得ない。更には、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着している磁性粉は、その大半がサブミクロンから数ミクロンの大きさであるため、１０倍程度の顕微鏡などを用いても、その存在を確認することは困難であり、磁性粉の除去をいっそう難しいものにしている原因となっていた。
【０００９】
このように、クリーンルーム搬入後、特に着磁工程以降で磁性粉を含む全てのパーティクルをハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路から完全に除去できる安価で簡便な清浄化方法が望まれている。そこで、本発明は、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した磁性粉を完全に除去し、かつその後ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した粘着物をアルコール等で拭き取る等の後処理が不要な、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した磁性粉を除去する清浄化方法、及び係る清浄化方法が施された磁性粉の付着がないハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路、並びに磁性粉の付着がないハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路を備え、磁性粉のコンタミによるデータの破損が無く信頼性の高いハードディスクドライブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、上記目的を達成するために鋭意検討を行った結果、粘着力１〜５Ｎ／ｃｍの粘着テープを用いることにより、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した磁性粉を完全に除去し、かつ粘着物の転写が無く、除去後にアルコール等で拭き取る必要が生じなくなることを知見し、本発明をなすに至った。
【００１１】
即ち、本発明は、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路を構成する磁石及びヨークの表面の付着物を粘着テープの粘着面に粘着させて除去する方法であって、前記粘着テープとして粘着力１〜５Ｎ／ｃｍの粘着テープを用いるハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路の清浄化方法を提供する。また、本発明は、前記清浄化方法により清浄化されたハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路、並びに前記ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路を備えるハードディスクドライブを提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、粘着力１〜５Ｎ／ｃｍの粘着テープを用いることにより、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路の表面から磁性粉を確実に除去し、かつ除去後のアルコール拭きなどの後処理となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明について詳細に説明する。
【００１４】
本発明のハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路は、例えば図１に示したように、永久磁石ａと、ヨーク部品ｂとで構成することができる。永久磁石ａは、ニッケルメッキされたＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石合金（Ｒは、Ｙを含む希土類元素の少なくとも一種）とすることができる。Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石合金は、Ｒ、Ｆｅ、Ｂを主要元素とし、その組成は、Ｒが５〜４０重量％、Ｆｅが５０〜９０重量％、Ｂが０．２〜８重量％であることが好ましい。Ｒの量が５重量％未満ではα−Ｆｅの析出量が多くなり過ぎて高保磁力が得られず、また４０重量％を超えるとＲを含む非磁性相が多くなり過ぎて、残留磁束密度が低下してしまう。Ｆｅの量は５０重量％未満では残留磁束密度が低くて磁石特性が得られず、９０重量％より多いと、α−Ｆｅの析出量が多くなり過ぎて高保磁力が得られない。Ｂ量は０．２重量％未満では高保磁力が得られず、８重量％より多いとＢリッチな非磁性相が多くなり過ぎて、残留磁束密度が低下する。また、磁気特性改善のために、Ｃ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｓｎ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ等の元素を添加してもよい。これら添加元素の添加量は、Ｃｏが３０重量％以下、好ましくは０．５〜２０重量％であり、その他の添加元素は合計で８重量％以下とするのが良い。Ｃｏは残留磁束密度改善のために添加するものであるが、その量が３０重量％を超えると保磁力が低下する。その他の添加元素は、合計で８重量％を超えると磁気特性が劣化してしまうので避けるべきである。
【００１５】
磁石とするには、先ず上記の組成になるように原料を配合し、高周波溶解炉などを用いて溶解、鋳造してインゴットを作成し、そのインゴットをジョークラッシャー、スタンプミルなどで粗粉砕した後、ボールミル、ジェットミルなどで微粉砕し、平均粒径１〜２０μｍの微粉末を得る。次いで、この微粉末を磁場中で成型し、１０００〜１２５０℃で０．５〜１０時間焼結し、最後に４００〜９００℃で熱処理して、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石が得られる。なお、Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系合金は非常に酸化しやすいため、上記の工程は真空中またはアルゴンガス等の不活性雰囲気中で行われる。
【００１６】
永久磁石ａとするには、得られた焼結磁石合金を、製品のサイズに加工を施した後に、ニッケルメッキを含む表面処理を行う。ニッケルメッキの場合、光沢、無光沢ニッケルメッキや銅メッキなどを中間層に設ける多層メッキでもよい。その場合、最表面層は光沢ニッケルメッキを用いると、光沢に優れた良好な外観を得ることができる。また、ヨーク部材は低炭素鋼板、ケイ素鋼板、強磁性ステンレス板等から選択され、無電解メッキ等の表面処理が施されていてもよい。
【００１７】
上記永久磁石ａ及びヨーク部材ｂは、磁気回路を製造するためのクリーンルーム（例えばクラス１０００以下）に搬入する前に、従来と同様に、超音波洗浄、スプレー洗浄などを主体にした超純水または溶剤洗浄される。超音波洗浄を用いる場合には、減圧脱気を行うことにより超音波洗浄能力を向上させることができる。この代替洗浄、あるいは上記洗浄との複合洗浄または前洗浄として、界面活性剤を用いた洗浄やスポンジ、ブラシなどを用いたスクラビングを用いることにより、洗浄効果を高めることができる。ただし、界面活性剤を用いて洗浄する場合、洗浄後のリンスが不十分な場合、界面活性剤が永久磁石ａやヨーク部品ｂの表面に残留してしまい、次工程の接着で接着強度が低下する可能性があるので、超純水を用いた超音波洗浄、スプレー洗浄などで界面活性剤を十分に洗い落とす必要がある。なお、次工程の接着後に、接着された永久磁石ａとヨーク部品ｂを再度洗浄し、別室のクラス１０００または１００程度の着磁、組立工程エリアに搬送する場合には、永久磁石ａやヨーク部品ｂの表面を最初に搬入する接着工程エリアでのクリーンルームの環境を、クラス１０００より低い準クリーンルームレベルとしてもよいが、完成したハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路の清浄度を十分に確認した上で、選択すべきである。
【００１８】
これらの手法によって洗浄された永久磁石ａとヨーク部品ｂとを、次工程で接着する。  接着剤は特に限定されるものではないが、エポキシ、アクリル系の耐熱性接着剤が挙げられ、有害ガス発生によるハードディスクへの影響が少ない嫌気性硬化型接着剤が用いられる場合が多い。これらは、その硬化促進剤であるプライマーを永久磁石ａまたはヨーク部品ｂの一方または両方の接着面に塗布することや接着直後に紫外線（ＵＶ）を照射することにより、短時間で硬化する性質をあわせ持つものが多く、短時間で高い接着強度を得ることができる。なお、この接着剤の硬化促進にＵＶ照射を用いる場合には、そのＵＶ照射装置として紫外線ランプの直下に接着体を暴露するオープン法と光ファイバーを用いて局所的に照射するスポット法とがあるが、いずれを用いてもよい。また、永久磁石ａとヨーク部品ｂとの接着体からのハードディスクに影響を及ぼす有害ガスの発生を最小化するために、両者を接着後に１００℃前後のオーブンで１時間程度加熱してもよい。
【００１９】
次に、ヨーク部品ｂに接着された永久磁石ａを着磁する。通常、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に使用する永久磁石ａは、単面２極以上の複雑な着磁パターンを持つものが多く、パルス磁場着磁を用いて着磁する場合がほとんどであり、例えば、大容量のコンデンサーに電荷をチャージし、必要な着磁パターンに合わせて巻き線されたコイルに、一般には１ｍｓ以下の短時間で、瞬時にチャージされた電荷を放出する。その際の発生磁界は、永久磁石ａの磁気特性を最大限に得るために、例えばR−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石では３０ｋＯｅ以上の印加磁場が好ましい。着磁以降の工程において、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータのヨーク部品ｂに接着された永久磁石ａから磁性粉を含むパーティクルを除去するために超音波洗浄やスプレー洗浄などの湿式洗浄を行うことは好ましくない。なぜならば、僅かでも洗浄槽中に磁性粉があった場合、それらが液中の対流により、着磁された永久磁石ａ及びその周辺のヨーク部品ｂに、磁力により選択的に付着してしまうためである。
【００２０】
このようにして着磁された永久磁石ａとヨーク部品ｂとの接着体は、必要に応じて、上下それぞれを磁気回路とするために合体させる工程を取る。無論、付属部品が追加で組み込まれたり、磁石の接着位置や磁束量などの各検査工程が上記組立工程間及び工程後に追加されることもある。上記の通り、全組立及び検査工程を終えたハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路は、最後に外観検査工程を得て製品化される。本最終外観検査において、裸眼、または拡大鏡、顕微鏡などを用いてハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路をくまなく観察し、パーティクル、しみなどを作業者が見つけた場合、その部分のしみのアルコール拭きやゴム粘土を用いた除去またはテーピングなどの物理的除去法を用いて、パーティクルを除去する事が一般的であるが、本発明の清浄化方法においては、粘着力が１〜５Ｎ／ｃｍの粘着テープを用いて付着物を除去する。
【００２１】
粘着テープの使用形態としては、図２（ａ）に示すように、φ１ｍｍ程度のＶＣＭギャップに挿入可能な太さで、クリーンルーム内で発塵しない材質の棒１、例えばステンレス製の細棒や竹串等の棒の先端に、本発明で用いる粘着力が１〜５Ｎ／ｃｍの片面粘着テープ２を、その粘着面２ａを棒側にして５〜３０ｍｍの幅で巻きつけた後、図２（ｂ）に示すように、巻き方向を反転させてその粘着面２ａが露出するように二重巻きしたもの、あるいはいずれも図示は省略するが、他の適当な粘着テープを、その粘着面２ａが棒側になるように５〜３０ｍｍの幅で巻きつけ、その上に本発明で用いる片面粘着テープ２を、その粘着面２ａが露出するように二重巻きしたもの、あるいは棒の先端に本発明で用いる片面粘着テープを、その粘着面が露出するように５〜３０ｍｍの幅で直接巻きつけたもの、あるいは粘着力が１〜５Ｎ／ｃｍの両面粘着テープを巻きつけたもの等を用意し、粘着面をハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路上に置き、棒を回転させて粘着面が磁気回路全面にわたり転がるようにすればよい。特に、図２に示したような二重巻き構造とすることにより、粘着力が小さくとも磁気回路全体の磁性粉を除去できる。また、棒を磁気回路全面にわたり往復動させてもよい。その際、棒を押し付けながら回転や往復動させてもよいが、強く押し付けすぎると粘着テープの粘着物が磁気回路に付着するおそれがあり、粘着物が残らないように押し付ける力に留意する必要がある。尚、上下ヨークを合体させる製品に関しては、そのギャップ内に粘着テープを巻きつけた棒が通るように、棒径を選択する。
【００２２】
また、上下ヨークを合体せずに顧客に納入する場合には、粘着力が１〜５Ｎ／ｃｍの片面粘着テープをヨーク部品ｂと着磁後の永久磁石ａの接着体全面に貼り付け、その後剥離することもできる。
【００２３】
粘着テープの粘着力は、１〜５Ｎ／ｃｍでなければならず、好ましくは２〜４Ｎ／ｃｍである。１Ｎ／ｃｍ未満では粘着力が弱いため、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した磁性粉を完全に除去することができず、また、５Ｎ／ｃｍを越えると粘着力が強いため、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に付着した磁性粉の除去には有効であるが、粘着物が付着してしまうため、本清浄化方法の後にアルコール等で拭き取る必要が新たに生じるためである。
【００２４】
粘着テープの粘着剤に関しては、クリーンルーム内で発塵しない材質で、ハードディスクに対し有害な成分を含有しないまたは極力少ないという点を除いて特に制限はないが、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータのヨーク部品ｂと永久磁石ａはいずれもほとんどがＮｉメッキなどの表面処理を施しているので、それと相性が良い、良好な磁性粉除去能力と粘着剤を残さない材料を選定した方がよい。具体的には、天然ゴム、ブタジエゴム、アクリル樹脂等が適当である。磁性粉除去能力の調査に関しては、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路に導電性テープを貼り付け、剥離して粘着面に付着した磁性粉の数をＳＥＭ−ＥＤＸで調べる方法が一般的である。また、粘着物の付着に関しては、顕微鏡などでハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路の表面を観察すればよい。
【００２５】
粘着テープの基材に関しても、クリーンルーム内で発塵しない材質で、ハードディスクに対し有害な成分を含有しないまたは極力少ないという点を除いて特に制限はないが、粘着力が１〜５Ｎ／ｃｍの片面粘着テープを用いてステンレス棒または竹串などの細い棒に巻きつけて使用する場合には、例えば基材（テープ）は薄くてやわらかいポリエステルやポリイミドなどの材質を選ぶことが好ましい。
【００２６】
本清浄化方法は目視で行うことができるが、拡大鏡や顕微鏡などを用いて行う場合には、倍率が高すぎると視野が狭くなってしまうため、１個あたりの処理時間が長くなったり、異物を見逃ししてしまうなどの問題があり、最大でも４０倍以下、好ましくは２〜２０倍程度に設定するとよい。
【００２７】
本清浄化方法は磁性粉以外のパーティクルの除去にも有効な手法であるが、ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路上のしみを除去することはできない。従って、本清浄化方法を実施する前または後に、アルコール等でしみの拭き取りが必要である。なお、本清浄化方法の前にエアブローやドライアイスブローなどの乾式洗浄を行っても良いが、本清浄化方法の後に乾式洗浄を行うと、洗浄槽の中または周辺に存在する磁性粉が、気流の流れによりハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路上に新たに付着する可能性があるため、好ましくない。
【００２８】
このように、本発明の清浄化方法では、粘着力１〜５Ｎ／ｃｍの粘着テープを用いることにより、磁性粉の完全な除去が可能となり、かつ粘着物の除去のための後処理が不要になる。
【実施例】
【００２９】
以下、実験例を挙げて更に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
（実施例１）
重量％で３２Ｎｄ−５９．３Ｆｅ−７Ｃｏ−１．２Ｂ−０．５Ａｌ組成となるように、純度９９．９重量％以上の各原料金属を、誘導加熱高周波溶解炉を用いてアルゴン雰囲気中で溶解、鋳造し合金インゴットを作製した。この合金インゴットをアルゴン雰囲気中１１００℃×２４時間の均質化熱処理を行った後、アルゴン雰囲気中でジョークラッシャー、ブラウンミルを用いて粗粉砕し、次いで、窒素ガスを用いたジェットミルで微粉際を行い、平均粒径５μｍのＲ−Ｆｅ−Ｂ系永久磁石粉を作製した。この磁石粉に１５ｋＯｅの磁場を印加して、磁場印加方向に対し垂直方向に１ｔｏｎ/ｃｍ２の圧力をかけて成型を行った。この成型体をアルゴン雰囲気中にて１０６０℃で９０分間焼結を行い、その後、さらに５４０℃で時効熱処理を行い、永久磁石とした。得られた永久磁石から３０ｍｍ×３０ｍｍ×２ｍｍの磁石試験片を切り出した後に、単層の光沢ニッケルメッキを１０μｍ施した。
【００３０】
また、プレスにてＳＰＣＣ鋼を４０ｍｍ×４０ｍｍ×２ｍｍに切断し、無電解ニッケルメッキを５μｍ施してヨーク試験片を作製した。
【００３１】
これら磁石試験片及びヨーク試験片を１８ＭΩの超純水中にて６０℃で２分間４５ｋＨｚの超音波で洗浄し、乾燥させた上で、クラス１０００のクリーンルーム内に搬入した。  その後、ロックタイト製ＵＶ接着剤３６６をヨーク接着面に２０ｍｇ塗布し、磁石接着面にロックタイト製プライマー７６４９を全面に塗布した上で、両者を１０ｋｇｆにて加圧しながら３０秒間固定した。こうして接着初期強度が得られた上で、ヨークを接着した磁石に高圧水銀灯を用いて３６５ｎｍの紫外線を１００ｍＷ／ｃｍ２の照射強度で２０秒間暴露して、ＵＶ硬化を行った。次いで、クリーンオーブンを用いて８０℃にて１時間加熱した。次いで、これら接着体を洗浄することなく、３０ｋＯｅのパルス磁場を用いて２極に着磁した。
【００３２】
そして、接着体上に認められるしみを、イソプロピルアルコールを染み込ませたクリーンウエスで拭き取った後、粘着テープによる清浄化を行った。即ち、粘着力：３．４Ｎ／ｃｍ、粘着剤：ゴム系、基材：ポリエステルの片面粘着テープを、φ１．５ｍｍのステンレス製棒の先端に、粘着面を棒側にしてテープ幅に相当する幅１９ｍｍとなるように巻きつけ、その上に同一の片面粘着テープを、粘着面が露出するように巻きつけたものを用意し（図２参照）、これを接着体に載せ、粘着体が接着体の全面に行きわたるように棒を回転させた。尚、この清浄化の後は、アルコール等による拭き取りは、一切行わなかった。
【００３３】
このようにして得られた接着体の全面を１０倍顕微鏡で観察し、粘着物残りを観察した。その上で、１ｃｍ角の導電性両面テープをＳＥＭ−ＥＤＸの試料ホルダーに貼り付け、磁石面上の任意の異なる５点及びヨーク面の任意の異なる５点に、同一の導電性テープにてテーピングした。これにより、この粘着面上には接着体上の１０ｃｍ２の面積におけるパーティクルが付着することになる。その上で、ＳＥＭ−ＥＤＸにて反射電子像を用いて粘着面全面を観察し、明るく見える金属粉など重元素が構成するパーティクルを観察し、個々に定性分析したうえで、それらの中での磁性粉の数をそれぞれ計測した。尚、金属パーティクルとしてＲ−Ｆｅ−Ｂ永久磁石粉及びＮｉ粉が観察され、その他にもＮｉとＰが同時に検出される粉が観察されたが、これらは一般に非磁性とされる、ヨークに施した無電解ニッケルメッキからの発塵であるため、計測しなかった。
【００３４】
測定は、上記の接着体を５個作製し、それぞれについて計５回行った。磁性粉の付着数の平均値を表１に示す。なお、表１中の単位は個／１０ｃｍ２である。また、接着体上に残存する粘着物の有無を光学顕微鏡で観察し、粘着物がまったく認められない場合を「○」、サンプル５個中複数個に粘着物の残りが認められる場合を「△」、サンプル５個中全部に粘着物の残りが認められる場合を「×」として表１に示した。
【００３５】
（実施例２）
実施例１と同一の片面粘着テープを巻きつけたステンレス製棒を、接着体の表面に繰り返し押し付けるようにして清浄化した。それ以外は実施例１と同じにした。
【００３６】
（実施例３）
実施例１と同一の片面粘着テープを接着体の全面に貼り付け、それを剥離して清浄化した。それ以外は実施例１と同じにした。
【００３７】
（実施例４）
実施例１と同一の片面粘着テープを巻きつけたステンレス製棒を、接着体の表面に擦り付けるようにして清浄化した。それ以外は実施例１と同じにした。
【００３８】
（実施例５）
粘着力：２．１Ｎ／ｃｍ、粘着剤：合成ゴム系、基材：ポリエステルの片面粘着テープを用いた以外は実施例１と同様にして清浄化を行った。
【００３９】
（比較例１）
実施例１の接着体を、何の清浄化を行うことなく、磁性粉の付着数の計測及び残存粘着物の観察を行った。
【００４０】
（比較例２）
粘着力：０．７５Ｎ／ｃｍ、粘着剤：合成ゴム系、基材：ポリエチレンの片面粘着テープを用いた以外は実施例１と同様にして清浄化を行った。
【００４１】
（比較例３）
粘着力：５．４９Ｎ／ｃｍ、粘着剤：合成ゴム系、基材：ポリエステルの片面粘着テープを用いた以外は実施例１と同様にして清浄化を行った。
【００４２】
【表１】
2005353167.tif 000003
【００４３】
表１に示すように、本発明に従い粘着力１〜５Ｎ／ｃｍの粘着テープを用いた各実施例では、磁性粉が完全に除去され、かつ粘着物の残存も見られない。これに対し、粘着力が１Ｎ／ｃｍ未満の粘着テープを用いた比較例２では粘着力不足により磁性粉の除去が不十分であり、粘着力５Ｎ／ｃｍを超える粘着テープを用いた比較例３では粘着物が多く残存している。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】ハードディスクドライブ用ボイスコイルモータの磁気回路を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の正常化における粘着テープの使用形態（二重巻き）を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  棒
２  粘着テープ
２ａ  粘着面
【図１】
2005353167.tif 000004
【図２】
2005353167.tif 000005