(57)【要約】【課題】ボールが転動するボール転動溝を容易に且つ高精度に形成することが可能なボール転動溝の製造方法を提供することにある。【解決手段】ボールねじ２を構成する駆動力伝達軸４及び軸受部材６の摺動部位に形成されるボール転動溝である螺旋状凹部８、１４は、ダイヤモンドチップ、ＣＢＮチップ、ダイヤモンドの電着工具、ダイヤモンドの焼結工具、ＣＢＮの電着工具、ＣＢＮの焼結工具等のいずれか１つを用いた精密切削法によって形成される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヤモンド切削工具又はＣＢＮ切削工具によって、ボールが転動するボール転動溝が形成されることを特徴とするボール転動溝の製造方法。
【請求項２】
請求項１記載の方法において、
前記切削工具は、ダイヤモンド電着工具又はＣＢＮ電着工具からなることを特徴とするボール転動溝の製造方法。
【請求項３】
請求項１記載の方法において、
前記切削工具は、ダイヤモンド焼結工具又はＣＢＮ焼結工具からなることを特徴とするボール転動溝の製造方法。
【請求項４】
請求項１記載の方法において、
前記切削工具は、ダイヤモンドチップ又はＣＢＮチップからなることを特徴とするボール転動溝の製造方法。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法において、
仕上げ加工として、少なくとも、ダイヤモンド電着タップ又はブローチタップのいずれか１つが用いられることを特徴とするボール転動溝の製造方法。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の方法において、
前記ボール転動溝は、アクチュエータのガイド機構とガイドレールとの間に形成されて複数のボールが転動する周回溝からなることを特徴とするボール転動溝の製造方法。
【請求項７】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の方法において、
前記ボール転動溝は、ボールねじ軸及び前記ボールねじ軸に外嵌される軸受部材に形成された螺旋状凹部からなることを特徴とするボール転動溝の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ボール転動溝の製造方法に関し、一層詳細には、フレームに沿って移動テーブルを変位させてワークを搬送するアクチュエータにおいて、前記フレームと前記移動テーブルとの間に介装された複数のボールを円滑に転動させることが可能なボール転動溝の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワーク等を搬送するために種々のアクチュエータが用いられ、前記アクチュエータには、移動テーブルをフレームの長手方向に沿って円滑に変位させるためのガイド機構が設けられている。
【０００３】
この種のガイド機構として、例えば、直線状に延在するガイドレールと、前記ガイドレールに形成された溝部に摺接して転動するボールを介して該ガイドレールに沿って変位するガイドブロックとから構成されるリニアガイドが知られている。
【０００４】
そこで、本出願人は、レールボデイに形成された凹部内に対し、焼き入れ処理が施された線状部材をかしめて固定し、あるいはろう付けして固定することにより、該レールボデイに曲がり、捻れ等が発生することを阻止して生産効率を向上させることが可能なリニアガイド及びその製造方法を提案している（特許文献１及び特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開平８−４７６４号公報
【特許文献２】特開平８−１４２５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、前記の提案の関連してなされたものであり、ボールが転動するボール転動溝を容易に且つ高精度に形成することが可能なボール転動溝の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するために、本発明は、ダイヤモンド切削工具又はＣＢＮ切削工具によって、ボールが転動するボール転動溝が形成されることを特徴とする。
【０００８】
本発明によれば、ボール転動溝をダイヤモンド切削工具又はＣＢＮ切削工具によって形成することにより、該ボール転動溝を容易に且つ高精度に製造することができる。
【０００９】
この場合、前記切削工具として、ダイヤモンド電着工具又はＣＢＮ電着工具が用いられ、あるいは、ダイヤモンド焼結工具又はＣＢＮ焼結工具が用いられ、若しくは、ダイヤモンドチップ又はＣＢＮチップが用いられるとよい。さらに、仕上げ加工として、少なくとも、ダイヤモンド電着タップ又はブローチタップのいずれか１つが用いられるとよい。
【００１０】
なお、前記ボール転動溝として、アクチュエータのガイド機構とガイドレールとの間に形成されて複数のボールが転動する周回溝に適用し、あるいは、ボールねじ軸及び前記ボールねじ軸に外嵌される軸受部材に形成される螺旋状凹部に適用してもよい。その際、前記ボールねじ軸と軸受部材の摩耗及び両者の摺動部位における摺動抵抗を一層軽減することができる。
【００１１】
また、アルミニウム又はアルミニウム合金で形成された前記ボールねじ軸及び軸受部材の表面が、ニッケルメッキ処理、無電解ニッケルメッキ処理又はカニゼンメッキ処理の各方法を用いて表面処理され、あるいは前記ボールねじ軸及び軸受部材の表面が、アルミニウム陽極酸化（アルマイト）処理、又はマグネシウム陽極酸化処理により表面処理されるとよい。この場合、これらの方法を用いることにより、表面処理された層をさらに熱硬化処理することができて好適である。
【００１２】
これにより、アルミニウム又はアルミニウム合金で形成された前記ボールねじ軸及び軸受部材の表面の硬度と平滑性が高められ、各部材の摩耗及び摺動部位の摩擦抵抗を一層軽減することができる。また、前記陽極酸化処理により表面処理されたボールねじ軸及び軸受部材をさらに熱硬化処理することにより、陽極酸化処理層及びアルミニウム又はアルミニウム合金地金層が応力弛緩される効果を得ることができる。さらに、前記陽極酸化処理を着色陽極酸化処理としてもよく、また、前記陽極酸化された層をさらに通常よりも軽度の封孔処理を施すようにしても好適である。
【００１３】
さらにまた、アルミニウム又はアルミニウム合金で形成された前記ボールねじ軸及び軸受部材の表面が、粒径の異なる２種類の粒子を用いて複数回ショットピーニングにより表面処理され、また、メッキ処理あるいは陽極酸化処理により表面処理されたボールねじ軸及び軸受部材が、ショットピーニングにより表面仕上げ処理されるとよい。これにより、表面の粗さや残留応力が軽減された良好な送りねじを得ることができる。
【００１４】
粒径の異なる２種類の粒子を用いて複数回のショットピーニングにより表面処理する場合、その複数回の処理の間に液体ホーニング仕上げ、ラップ仕上げ又はサンドブラスト仕上げ等の表面仕上げ処理を施すことができる。また、複数回のショットピーニング処理により表面の粗さや残留応力を軽減する方法として、予め、比較的大きな粒子であってかつ被加工材料であるアルミニウム又はアルミニウム合金に最適なショットピーニング用粒子の寸法を実験的に求めてプログラム化しておき、その条件でショットピーニング処理し、引き続いて粒子寸法を含むショットピーニング条件を深い処理から浅い処理まで段階的に変化させて行うことが好適であり、これらの処理作業は自動化されていることが望ましい。このような段階的なショットピーニング処理を、ボールねじ軸及び軸受部材のメッキ処理加工等の前に１回又は２回以上行うようにしてもよく、また表面の微細なバリを除去するために段階的なショットピーニング処理の前後若しくはその間に、サンドブラスト仕上げ、バフ仕上げ、又は液体ホーニング仕上げを行うことも好適である。
【００１５】
ショットピーニングにより表面処理又は表面仕上げ処理する前記の方法において、前記ボールねじ軸及び軸受部材の表面に弾性液圧潤滑（Elasto Hydraulic Lubrication）効果を有する傾斜面又は油溜めを形成することができる。このとき、ショットピーニングに用いる粒子が、所望の前記傾斜面又は油溜めを形成するのに対応する所定寸法のボール状又は多面体状の形状であれば、より好適である。また、ショットピーニング処理により、前記ボールねじ軸及び軸受部材の表面近傍を再結晶硬化し、又は、部分発熱により熱処理硬化することにより、ボールねじ軸及び軸受部材の表面の硬度を一層高くすることができる。一方、ショットピーニング処理により、前記ボールねじ軸及び軸受部材の表面がショットピーニングに用いる粒子に含有される金属により浸透処理されて、金属浸透による表面改質効果を得ることができる。
【００１６】
なお、メッキ処理、アルミニウム陽極酸化（アルマイト）処理、マグネシウム陽極酸化処理あるいはショットピーニング処理により表面処理された前記ボールねじ軸及び軸受部材を、超仕上げ、バフ仕上げ、ラップ仕上げ、液体ホーニング仕上げ、バニシ仕上げ、ローラ仕上げ、化学研磨仕上げ、電解研磨仕上げ、サンドブラスト仕上げ、ダイヤモンド砥石若しくはＣＢＮ砥石研削仕上げ、ドレッシング機構付きダイヤモンド砥石若しくはＣＢＮ砥石研削仕上げからなる群から選ばれた少なくとも１つの方法により表面仕上げ処理するとよい。これにより、ボールねじ軸及び軸受部材の表面の平滑性等の性状を一層好適なものとすることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、以下の効果を奏する。
【００１８】
すなわち、ボール転動溝をダイヤモンド切削工具又はＣＢＮ切削工具によって形成することにより、該ボール転動溝を容易に且つ高精度に製造することができる。しかも、各部材の摩耗及び摺動部位の摩擦抵抗を一層軽減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明に係るボール転動溝の製造方法について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００２０】
本発明の実施の形態に係るボール転動溝の製造方法が適用されたボールねじ２を図１及び図２に示す。このボールねじ２は、駆動力伝達軸（ボールねじ軸）４と、前記駆動力伝達軸４に外嵌される軸受部材６とから構成され、この場合、前記駆動力伝達軸４の本体はアルミニウム又はアルミニウム合金で形成され、また、前記軸受部材６は超高分子量のポリエチレン樹脂材料で形成されている。アルミニウム製の駆動力伝達軸４には断面が湾曲した一条の螺旋状凹部（ボール転動溝）８が形成され、この駆動力伝達軸４には前記軸受部材６が嵌合する。
【００２１】
該軸受部材６は円柱部１０とこれと一体的なフランジ部１２とを有し、前記駆動力伝達軸４に対応して断面が湾曲した一条の螺旋状凹部（ボール転動溝）１４が形成されている。前記螺旋状凹部８と前記螺旋状凹部１４とによって形成される断面円形状の一条の螺旋溝に複数個のボール１６が介装される。なお、図２中、参照符号１８は、軸受部材６の円柱部１０の一方の端部から他方の端部へと前記ボール１６を返送するための溝を示す。
【００２２】
図３は、前記ボールねじ２を装備したアクチュエータの要部分解斜視図である。
【００２３】
このアクチュエータ２０は、長手方向に沿って貫通する複数の流体通路２２ａ〜２２ｄ及び溝部２４ａ、２４ｂを有するフレーム２６と、前記フレーム２６の対向する側面部に前記溝部２４ａ、２４ｂを介して着脱自在に設けられた一対のサイドカバー２８ａ、２８ｂと、前記フレーム２６の長手方向の両端部に夫々装着されるエンドカバー３０ａ、３０ｂとを含む。なお、前記サイドカバー２８ａ、２８ｂ及びエンドカバー３０ａ、３０ｂによって閉塞される部分を除く上部開口部は、図示しないトップカバーにより閉塞されている。
【００２４】
前記フレーム２６の上面部には、長手方向に沿って該フレーム２６と一体的に設けられた一対のガイドレール３２ａ、３２ｂを含むガイド機構３４が設けられる。前記一対のガイドレール３２ａ、３２ｂ間にはモータ３６が固設され、ブロック体３８内に配設された図示しないカップリング部材によって前記モータ３６の回転駆動力をボールねじ２に伝達している。前記駆動力伝達軸４は、一端部が支持ブロック４０によって回動自在に支持されている。
【００２５】
前記駆動力伝達軸４及び軸受部材６をアルミニウム又はアルミニウム合金で形成した場合、前記駆動力伝達軸４及び軸受部材６の摺動部位に形成されるボール転動溝である螺旋状凹部８、１４は、ダイヤモンドチップ、ＣＢＮチップ、ダイヤモンドの電着工具、ダイヤモンドの焼結工具、ＣＢＮの電着工具、ＣＢＮの焼結工具等のいずれか１つを用いた精密切削法によって容易に且つ高精度に形成される。
【００２６】
図４に本発明の参考例に係るすべりねじ２ａを示す。このすべりねじ２ａは、図示しない駆動源からの回転駆動力を伝達する駆動力伝達軸４ａをアルミニウム又はアルミニウム合金とし、前記駆動力伝達軸４ａに係合する軸受部材６ａをポリアセタール樹脂としている。なお、図４中、参照符号８ａは一条の螺旋状凹部を示し、参照符号１０ａは円柱部を示し、参照符号１２ａはフランジ部を示す。また、参照符号１４ａは軸受部材６ａに形成された一条の螺旋状凹部を示す。
【００２７】
本発明の実施の形態に係るボール転動溝の製造方法によれば、駆動力伝達軸４がアルミニウム又はアルミニウム合金で構成され、軸受部材６が合成樹脂材料で構成されているために、駆動力伝達軸４と軸受部材６との摺動部位における摩擦抵抗を軽減するとともに、軽量化を図ることができる。
【００２８】
また、本発明の実施の形態に係るボール転動溝の製造方法では、前記ボールねじ２のみならず、アクチュエータ２０を構成する駆動力伝達手段（駆動力伝達軸４、４ａ）以外の支持ブロック４０、移動体４２、ガイドレール３２ａ、３２ｂを含むガイド機構３４等の各構成要素に対して適用することができ、さらにアクチュエータ２０全体をアルミニウム又はアルミニウム合金で形成することもできる。
【００２９】
さらにまた、アクチュエータ２０を戴置する機械装置をアルミニウム又はアルミニウム合金で形成してもよく、前記アクチュエータ２０のボールねじ２と直交若しくは任意の角度で組み合わされて一体的に動作する他のアクチュエータとの接続部材や他のアクチュエータ本体にも適用することができる。
【００３０】
ここで、アクチュエータと接続部材等を一体的に形成する方法としては、鋳造、押し出し、引き抜き、鍛造等の各方法を用いることができる。このように構成されたアクチュエータは半導体製造装置としても好適に用いることができる。一方、前記ボールねじ２は、アクチュエータばかりでなく、一般工作機械あるいはロボット装置等の駆動力伝達手段として好適に用いることができる。
【００３１】
図５〜図７にアクチュエータ全体をアルミニウム又はアルミニウム合金で形成した例を示す。図５〜図７においては、ともにモータ及びボールねじが固設されたガイド機構と該ガイド機構を受けるフレーム部分を示すアクチュエータの部分断面図であるが、構造上、図３に示すアクチュエータ２０とは異なる。
【００３２】
すなわち、図３に示すアクチュエータ２０では、ガイドレール３２ａ、３２ｂ上をガイド機構３４が摺動する構造となっているが、図５〜図７に示すアクチュエータでは、ガイド機構４４ａ〜４４ｃとガイドレール４６ａ、４６ｂ、４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂとの間に形成される各４カ所の周回溝（ボール転動溝）５２ａ〜５２ｄ、５４ａ〜５４ｄ、５６ａ〜５６ｄにボール５７が介装されており、該周回溝５２ａ〜５２ｄ、５４ａ〜５４ｄ、５６ａ〜５６ｄを転動する該ボール５７を介して該ガイドレール４６ａ、４６ｂ、４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ上を該ガイド機構４４ａ〜４４ｃが移動する構造となっている。
【００３３】
また、これに関連して、ボールねじ５８ａ〜５８ｃとモータ６０ａ〜６０ｃとの直結部分のセンタリングがある程度変位しても安定した駆動動作を行うことができるようにオルダム継手６２ａ〜６２ｃによりボールねじ５８ａ〜５８ｃとモータ６０ａ〜６０ｃとが接続されている。
【００３４】
なお、図６に示されるアクチュエータを例にとって説明すると、４カ所の周回溝５４ａ〜５４ｄは、前記ガイド機構４４ｂの外壁に形成されたボール転動溝と、前記ガイド機構４４ｂのボール転動溝と対向しフレーム６４ｂの側部であるガイドレール４８ａの内壁に形成されたボール転動溝とによって構成される。
【００３５】
さらに、図５〜図７に示すアクチュエータには、個別の構造上の相違がある。図５に示すアクチュエータにおいては、フレーム６４ａは３分割構造となっており、相互にねじ止めされている。３分割された前記フレーム６４ａの中央に位置するフレーム部位の両端部にはガイドレール４６ａ、４６ｂが上向きに設けられており、これに嵌合して凹形状の溝が下向きに形成されたガイド機構４４ａが戴置されており、ガイド機構４４ａの中央部にはボールねじ５８ａとモータ６０ａとが配設されている。
【００３６】
図６に示すアクチュエータにおいては、矩形状に形成されたガイド機構４４ｂの中央部にボールねじ５８ｂとモータ６０ｂとが設けられ、該ガイド機構４４ｂは、上部を除く３方向から一体型のフレーム６４ｂによって囲まれた構造となっている。ガイド機構４４ｂは前記フレーム６４ｂの側面に設けられたガイドレール４８ａ、４８ｂの周回溝５４ａ〜５４ｄ間を転動するボール５７を介してガイドレール４８ａ、４８ｂに支持されている。この場合、周回溝５４ａ〜５４ｄのうち、ボール５７が周回する内側の溝部位はガイド機構４４ｂの荷重を直接には受けない位置に形成されている。
【００３７】
図７は、図５に示すアクチュエータの変形例を示しており、フレーム６４ｃでは、図５のアクチュエータに設けられていた両端部のフレーム部位を有しない一方、図６のアクチュエータと同様に、各周回溝５６ａ〜５６ｄのうち、ボール５７が転動される外側の溝部位では荷重を直接には受けない構成を採用している。円滑な摺動とボール５７の返送動作を確保するためである。
【００３８】
これらの例において、図８に示すように、前記ガイドレール４６ａ、４６ｂ、４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂの前記周回溝５２ａ〜５２ｄ、５４ａ〜５４ｄ、５６ａ〜５６ｄの断面形状をゴチックアーチ６５の形状に形成すれば、ボール５７との摺動部位の摩耗抵抗がより好適に軽減される。
【００３９】
前記駆動力伝達軸４及び軸受部材６をアルミニウム又はアルミニウム合金で形成した場合、前記駆動力伝達軸４及び軸受部材６の摺動部位に形成されるボール転動溝である螺旋状凹部８、１４、並びに、ガイド機構４４ａ〜４４ｃ側のボール転動溝及びガイドレール４６ａ、４６ｂ、４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ側のボール転動溝である周回溝５２ａ〜５２ｄ、５４ａ〜５４ｄ、５６ａ〜５６ｄは、ダイヤモンドチップ、ＣＢＮチップ、ダイヤモンドの電着工具、ダイヤモンドの焼結工具、ＣＢＮの電着工具、ＣＢＮの焼結工具等を用いたいずれか１つの精密切削法によって容易に且つ高精度に形成される。
【００４０】
この場合、ボールねじ２を回転数が１００００〜３００００ｒｐｍの超高速切削工具により切削することもでき、また、これらの方法に代えて、前記ボールねじ２の駆動力伝達軸４及び軸受部材６の少なくとも一方を汎用のチップ切削工具で切削し、又は軸受部材６をタップ又はブローチタップのうちのいずれかの切削工具で切削することにより、所望の表面性状をもつボールねじ２を簡便に製造することができる。
【００４１】
また、図９に示すように、アルミニウム又はアルミニウム合金で形成された前記ボールねじ２の内面研削をスパイラル動作するグラインディングセンタ６６により行うことも好適であり、その際、切削油に代えて、吹き付け部６８より高圧空気あるいは高圧ガスを吹き付けることができる。グラインディングセンタ６６は、研削工具６９と、テーブル７０と、ターンテーブル７２と、ヘッド７４と、フレーム７６とから構成されており、研削工具６９を除く各部材がアルミニウム又はアルミニウム合金で形成されている。
【００４２】
研削工具６９はテーブル７０に固設され、該テーブル７０はフレーム７６の立設する部材に昇降自在に係合されている。被加工材であるボールねじ（図示せず）を載せるターンテーブル７２は、ヘッド７４上に置かれている。前記ターンテーブル７２の下部に形成された２条の突起部７７ａ、７７ｂと前記ヘッド７４の上部に形成された２条の溝部７８ａ、７８ｂとが嵌合され、案内機構を構成することにより該ターンテーブル７２の溝方向の移動を自在にするとともに、グラインディングセンタ６６の使用時には、該ターンテーブル７２がねじ７９ａにより任意の位置で固定される構造となっている。
【００４３】
一方、前記ヘッド７４の下部に形成された２条の突起部７７ｃ、７７ｄと前記フレーム７６の上部に形成された２条の溝部７８ｃ、７８ｄとが嵌合され、案内機構を構成することにより該ターンテーブル７２を介して前記ターンテーブル７２の溝方向の移動を自在にするとともに、グラインディングセンタ６６の使用時には、該ターンテーブル７２がねじ７９ｂにより任意の位置で固定される構造となっている。前記溝部７８ａ〜７８ｄは直溝切り加工されている。
【００４４】
なお、図９中、参照符号８０は研削時に発生する研削屑を吸引排出するための負圧源に接続された吸引機構を示す。グラインディングセンタ６６は、研削と切削の両方を行うことができるものであることが望ましく、さらにまた、被加工材であるボールねじを自動交換することが可能であること、あるいはパレット若しくはパーツ送り手段を有するものであることが好ましい。
【００４５】
前記した方法によりアルミニウム又はアルミニウム合金等で形成されたボールねじ２は、その表面を表面処理し、好ましくは、さらに表面仕上げ処理することにより摩擦抵抗が著しく減少し、各部材の摩耗がより一層好適に軽減され、また、硬度等の表面性状が改善される。
【００４６】
表面処理方法としては、ニッケルメッキ処理、アルミニウム陽極酸化処理等を施し、また、前記した表面処理を施した部材の表面処理層を熱硬化処理等により改質し、あるいはショットピーニング、バフ仕上げ、ラップ仕上げ、液体ホーニング仕上げ、バニシ仕上げ、ローラ仕上げ、化学研磨、電解研磨、サンドブラスト仕上げ等の各種仕上げを行う。
【００４７】
また、前記ボールねじ２のボールとして７０００番前後のアルミニウムボールを用いると好適である。この際、前記アルミニウムボールの表面をショットピーニングにより表面処理し、油溜め、又はＥＨＬ効果を有する傾斜面を形成することができる。また、前記アルミニウムボールの表面をショットピーニング条件の異なる複数回のショットピーニング処理を行い、表面の残留応力及び不純物を除去するとともに、表面にショットピーニング粒子の材料である金属を浸透させることができる。
【００４８】
なお、ボールねじ２以外の前記した各部材、装置においても、転造法若しくはダイヤモンドチップ等を用いた精密切削法等の切削法、汎用切削工具を用いた切削法等の形成方法や、メッキ処理等の各表面処理、超仕上げ等の表面仕上げ処理等の各方法を用いて好適にボール転動溝を形成することができる。
【００４９】
例えば、図５に示されるガイドレール４６ａに形成された周回溝（ボール転動溝）５２ａ〜５２ｄ、図６に示されるフレーム６４ｂの側部であるガイドレール４８ａ、４８ｂに形成された周回溝（ボール転動溝）５４ａ〜５４ｄに対して、ダイヤモンドチップ等を用いた精密切削法等の切削法、汎用切削工具を用いた切削法等の形成方法や、メッキ処理等の各表面処理、超仕上げ等の表面仕上げ処理等の各方法を好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施の形態に係るボール転動溝の製造方法が適用されたボールねじの斜視図である。
【図２】図１のボールねじの一部省略断面図である。
【図３】図１のボールねじを装備したアクチュエータの要部分解斜視図である。
【図４】本発明の参考例に係るすべりねじの一部省略断面図である。
【図５】各部材全体がアルミニウム又はアルミニウム合金で形成されたアクチュエータのガイド機構及びフレーム部分の概略説明図である。
【図６】図５のアクチュエータの他の例のガイド機構及びフレーム部分の概略説明図である。
【図７】図５のアクチュエータのさらに他の例のガイド機構及びフレーム部分の概略説明図である。
【図８】図５〜図７のアクチュエータのガイドレールのボール周回溝の一部省略断面斜視図である。
【図９】図１に示すボールねじを内面研削加工するグラインディングセンタの概略斜視図である。
【符号の説明】
【００５１】
２、５８ａ〜５８ｃ…ボールねじ      ２ａ…すべりねじ
４、４ａ…駆動力伝達軸              ６、６ａ…軸受部材
８、８ａ、１４、１４ａ…螺旋状凹部  １６、５７…ボール
２０…アクチュエータ                ２６、６４ａ〜６４ｃ、７６…フレーム
３２ａ、３２ｂ、４６ａ、４６ｂ、４８ａ、４８ｂ、５０ａ、５０ｂ…ガイドレール
３４、４４ａ〜４４ｃ…ガイド機構    ３６、６０ａ〜６０ｃ…モータ
４０…支持ブロック
５２ａ〜５２ｄ、５４ａ〜５４ｄ、５６ａ〜５６ｄ…周回溝
６２ａ〜６２ｃ…オルダム継手        ６５…ゴチックアーチ
６６…グラインディングセンタ
【図１】
2005147407.tif 000003
【図２】
2005147407.tif 000004
【図３】
2005147407.tif 000005
【図４】
2005147407.tif 000006
【図５】
2005147407.tif 000007
【図６】
2005147407.tif 000008
【図７】
2005147407.tif 000009
【図８】
2005147407.tif 000010
【図９】
2005147407.tif 000011