(57)【要約】    【課題】  製品製造ラインでワークを対象の収納箱に搬送して収納するワーク搬送収納装置において、ワーク１枚当りのタクトタイムを短縮し、その生産効率を向上する。    【解決手段】  製品製造ラインに設置されたガイド部材３，３に沿って水平移動する基台部４と、この基台部４に対して上下方向に昇降すると共に水平面内で回転可能に配設されたアーム駆動部８と、このアーム駆動部８上にて水平方向を向いて搭載されガラス基板２を保持すると共に該ガラス基板２を水平方向にスライドさせて対象の収納箱７７に収納可能とするアーム部材９ａ，９ｂとを備えて成るワーク搬送収納装置において、基台部４とアーム駆動部８との連結部７に、アーム駆動部８が垂直面内で回動可能とする垂直回動機構１０を設け、各アーム部材９ａ，９ｂの動作により縦型のワーク収納ケースにガラス基板２を受け渡し可能としたものである。【選択図】  図２
2005046964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品製造ラインに設置されたガイド部材に沿って水平移動する基台部と、この基台部に対して上下方向に昇降すると共に水平面内で回転可能に配設されたアーム駆動部と、このアーム駆動部上にて水平方向を向いて搭載されワークを保持すると共に該ワークを水平方向にスライドさせて対象となる収納箱に収納可能とするアーム部材とを備えて成るワーク搬送収納装置において、
上記基台部とアーム駆動部との連結部に、該アーム駆動部が垂直面内で回動可能とする垂直回動機構を設け、該アーム駆動部のアーム部材の動作により対象となる縦型のワーク収納ケースにワークを受け渡し可能としたことを特徴とするワーク搬送収納装置。
【請求項２】
上記垂直回動機構は、連結部にて水平方向に配設され上記アーム駆動部を連結部に対して回動可能に軸支する回転軸部と、上記連結部に取り付けられ回転駆動力を発生するアクチュエータと、上記回転軸部及びアクチュエータの回転軸に掛け渡されたベルトとから成ることを特徴とする請求項１記載のワーク搬送収納装置。
【請求項３】
上記アーム駆動部の一側端部に、該アーム駆動部のアーム部材の動作によりワークを収納する縦型のワーク収納ケース内におけるワークの収納位置を検出するセンサを備えたことを特徴とする請求項１記載のワーク搬送収納装置。
【請求項４】
上記アーム部材は、アーム駆動部の上面側に上下複数段に搭載されていることを特徴とする請求項１記載のワーク搬送収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製品製造ラインに設置されたガイド部材に沿って水平移動する基台部に対して昇降すると共に水平面内で回転可能に配設されたアーム駆動部上にて水平方向を向いて搭載されたアーム部材によりワークを対象の収納箱に搬送して収納するワーク搬送収納装置に関し、詳しくは、縦型のワーク収納ケース内のワークを取り出し、横型の収納箱に搬送して収納可能とすると共に、ワーク１枚当りのタクトタイムを短縮してワークの生産効率を向上することができるワーク搬送収納装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のワーク搬送収納装置は、製品製造ラインに設置されたガイド部材に沿って水平移動する基台部と、この基台部に対して上下方向に昇降すると共に水平面内で回転可能に配設されたアーム駆動部と、このアーム駆動部上にて水平方向を向いて搭載されワークを保持すると共に該ワークを水平方向にスライドさせて対象の収納箱に収納可能とする上下２段のアーム部材とを備えて成っており、この上下２段のアーム部材が独立駆動するようになっていた。そして、各アーム部材によって、前処理工程が施されたワークを処理装置の収納箱から取り出すと共に、このワークを後処理工程の処理装置の収納箱に搬送して収納するようになっていた（例えば、特許文献１又は２参照。）。
【０００３】
しかし、このような従来のワーク搬送収納装置においては、アーム駆動部が上下２段のアーム部材を水平方向にのみスライドするようになっていたので、製品製造ラインの所定の部位にて複数枚のワークが垂直に立てられた状態で収納された縦型のワーク収納ケース内からワークを取り出し、水平状態に保持して各処理装置の収納箱に搬送することができなかった。また、各種の処理装置で所定の処理工程が施され水平状態で搬送されたワークを、上記縦型のワーク収納ケース内に再び収納することもできなかった。したがって、ワーク収納ケース内へのワークの受け渡しは、作業者が手作業で行うか、或いは他の収納装置を用いなければならず、製品製造ラインにおけるワーク１枚当りのタクトタイムが長くなるという問題点があった。
【特許文献１】特開平１１−２３８７７５号公報
【特許文献２】特開２００１−２５３５３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明が解決しようとする問題点は、製品製造ラインにおいて、縦型のワーク収納ケース内のワークを取り出し、横型の収納箱に搬送して収納可能とすると共に、ワーク１枚当りのタクトタイムを短縮してワークの生産効率を向上することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によるワーク搬送収納装置は、製品製造ラインに設置されたガイド部材に沿って水平移動する基台部と、この基台部に対して上下方向に昇降すると共に水平面内で回転可能に配設されたアーム駆動部と、このアーム駆動部上にて水平方向を向いて搭載されワークを保持すると共に該ワークを水平方向にスライドさせて対象となる収納箱に収納可能とするアーム部材とを備えて成るワーク搬送収納装置において、上記基台部とアーム駆動部との連結部に、該アーム駆動部が垂直面内で回動可能とする垂直回動機構を設け、該アーム駆動部のアーム部材の動作により対象となる縦型のワーク収納ケースにワークを受け渡し可能としたものである。
【０００６】
また、上記垂直回動機構は、連結部にて水平方向に配設され上記アーム駆動部を連結部に対して回動可能に軸支する回転軸部と、上記連結部に取り付けられ回転駆動力を発生するアクチュエータと、上記回転軸部及びアクチュエータの回転軸に掛け渡されたベルトとから成るものである。
【０００７】
さらに、上記アーム駆動部の一側端部に、該アーム駆動部のアーム部材の動作によりワークを収納する縦型のワーク収納ケース内におけるワークの収納位置を検出するセンサを備えている。
【０００８】
そして、上記アーム部材は、アーム駆動部の上面側に上下複数段に搭載されている。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１に係る発明によれば、上記基台部とアーム駆動部との連結部に垂直回動機構を備えたことにより、上記アーム駆動部を垂直面内で回動可能とし、該アーム駆動部のアーム部材の動作により対象となる縦型のワーク収納ケースにワークを受け渡しすることができる。これにより、製造ラインの所定の部位にて複数枚のワークが垂直に立てられた状態で収納された縦型のワーク収納ケース内からワークを取り出し、水平状態に保持して各処理装置の横型の収納箱に搬送することができる。また、各種の処理装置で所定の処理工程が施され水平状態で搬送されたワークを、上記縦型のワーク収納ケース内に再び収納することもできる。したがって、製品製造ラインにおけるワーク１枚当りのタクトタイムを短縮し、ワークの生産効率を向上することができる。
【００１０】
また、請求項２に係る発明によれば、上記垂直回動機構において連結部に水平方向に配設された回転軸部により上記アーム駆動部を連結部に対して回動可能に軸支し、該連結部に取り付けられたアクチュエータで回転駆動力を発生することによって、その駆動力をベルトを介して回転軸部に伝達させ、連結部に対してアーム駆動部を回動させることができる。したがって、アーム駆動部に搭載されたアーム部材を垂直方向に向けることができる。
【００１１】
さらに、請求項３に係る発明によれば、上記アーム駆動部の一側端部に備えられたセンサによって、縦型のワーク収納ケース内におけるワークの収納位置を検出することができる。したがって、アーム駆動部のアーム部材の動作により、ワーク収納ケースへのワークの受け渡しを確実に行うことができる。
【００１２】
そして、請求項４に係る発明によれば、上記アーム駆動部の上面側に上下複数段に搭載されたアーム部材によって、縦型のワーク収納ケース内のワークを複数枚同時に取り出して水平状態に保持すると共に、該複数枚のワークを水平方向にスライドさせて対象の収納箱に収納することができる。したがって、製品製造ラインにおけるワーク１枚当りのタクトタイムを短縮し、ワークの生産効率を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明によるワーク搬送収納装置の実施形態を示す正面図である。このワーク搬送収納装置１は、例えば液晶ディスプレイのカラーフィルタの製造ラインにおいて、カラーフィルタのベース部材となる平板状のガラス基板（ワーク）２を所定の処理装置の収納箱から取り出して後処理工程の処理装置の収納箱に搬送し収納するための装置であって、ガイド部材３，３と、基台部４と、第１の昇降部５と、第２の昇降部６と、連結部７と、アーム駆動部８と、アーム部材９ａ，９ｂとを有し、さらに垂直回動機構１０を備えて成る。
【００１４】
製品製造ラインに並べられた各種の処理装置（図示省略）の近傍には、図２及び図３に示すように、複数本の支柱部材１２，１２，…と、これらの支柱部材１２を固定するために水平に張り渡された梁部材１３とから成るフレーム構造体１１が設置されている。このフレーム構造体１１の長手方向には、図１に示すように、上下２本のガイド部材３，３が平行に取り付けられている。このガイド部材３は、図１に示す基台部４が左右方向に移動するのを案内する部材となるもので、細長い鋼材でできている。この上下２本のガイド部材３，３に挟まれた位置には、図１に示すように、第１のボールネジ軸１４が軸受部（図示せず）に軸支された状態で回転可能に取り付けられている。この第１のボールネジ軸１４は、後述する基台部４をガイド部材３，３に沿って左右方向に移動させるための手段となるものである。
【００１５】
また、図２及び図３に示すように、フレーム構造体１１の略中央部には基台部４が配設されている。この基台部４は、図１に示すガイド部材３，３に沿って移動可能とされた部材であって、上下方向に長く延びた鋼材でできており、その背面の所定位置には上下２本のガイド部材３，３に係合するガイド片１５，１５と、第１のボールネジ軸１４に螺合されるボールネジナット１６と、第１のボールネジ軸１４を回転させるための第１のサーボモータ１７とが配設されている。そして、この第１のボールネジ軸１４と、第１のサーボモータ１７の回転軸とには、タイミングベルト１８が掛け渡されている。これにより、第１のサーボモータ１７の回転軸を所定の速度で回転させると、その駆動力がタイミングベルト１８を介して第１のボールネジ軸１４に伝達され、第１のボールネジ軸１４が所定の速度で回転するようになる。したがって、第１のサーボモータ１７の駆動力によって、第１のボールネジ軸１４に螺合されたボールネジナット１６に力を作用させることができ、図１に示す基台部４をガイド部材３，３に沿って左右方向に移動することができる。
【００１６】
さらに、図２及び図３に示すように、基台部４の背面下部には、後述する第２のボールネジ軸２１を回転させるための第２のサーボモータ１９が配設されており、その回転軸の下端部にはプーリ２４が取り付けられている。また、図１に示すように、基台部４の前面の所定位置には、左右２本の上下ガイド部材２０，２０が垂直方向に平行に取り付けられている。この上下ガイド部材２０，２０は、後述する第１の昇降部５が上下方向に昇降するのを案内する部材となるものであって、細長い鋼材でできている。この左右２本の上下ガイド部材２０，２０に挟まれた位置には、第２のボールネジ軸２１が、上下の軸受部２２，２２に軸支された状態で回転可能に取り付けられている。この第２のボールネジ軸２１は、後述する第１の昇降部５を上下ガイド部材２０，２０に沿って上下方向に昇降させるための手段となるものであって、その下端部にはプーリ２３が取り付けられている。そして、図２及び図３に示す第２のボールネジ軸２３のプーリ２３と、上記第２のサーボモータ１９のプーリ２４とには、タイミングベルト（図示省略）が掛け渡されている。これにより、第２のサーボモータ１９の回転軸を所定の速度で回転させると、その駆動力が図示省略のタイミングベルトを介して第２のボールネジ軸２１に伝達され、第２のボールネジ軸２１が所定の速度で回転するようになる。
【００１７】
さらにまた、図２及び図３に示すように、この第２のボールネジ軸２１には、ボールネジナット２５が螺合された状態で第１の昇降部５が配設されている。この第１の昇降部５は、上下ガイド部材２０，２０に沿って上下方向に昇降可能とされた部材であって、縦断面Ｌ字型の形状を有し、その背面の略中央部にボールネジナット２５が取り付けられている。これにより、第２のサーボモータ１９の駆動力によって、第２のボールネジ軸２１を任意の速度で回転させて、該ボールネジ軸２１に螺合されたボールネジナット２５に力を作用させることができ、図１に示す第１の昇降部５を上下ガイド部材２０，２０に沿って上下方向に昇降することができる。
【００１８】
また、図１に示すように、第１の昇降部５の前面の所定位置には、左右２本の他の上下ガイド部材２６，２６が垂直方向に平行に取り付けられている。この上下ガイド部材２６，２６は、後述する第２の昇降部６が上下方向に昇降するのを案内する部材となるものであって、細長い鋼材でできている。この左右２本の上下ガイド部材２６，２６に挟まれた位置には、第３のボールネジ軸２７が上下の軸受部２８，２８に軸支された状態で回転可能に取り付けられている。この第３のボールネジ軸２７は、後述する第２の昇降部６を上下ガイド部材２６，２６に沿って上下方向に昇降させるための手段となるものであって、その下端部にはプーリ２９が取り付けられている。また、図２及び図３に示すように、第１の昇降部５の底面部の上面側には、第３のボールネジ軸２７を回転させるための第３のサーボモータ３０が取り付けられており、その回転軸の下端部にも、同様のプーリ３１が取り付けられている。そして、上記第３のボールネジ軸２７のプーリ２９と、第３のサーボモータ３０のプーリ３１とには、タイミングベルト（図示省略）が掛け渡されている。これにより、第３のサーボモータ３０の回転軸を所定の速度で回転させると、その駆動力が図示省略のタイミングベルトを介して第３のボールネジ軸２７に伝達されて所定の速度で回転するようになる。
【００１９】
さらに、図２及び図３に示すように、この第３のボールネジ軸２７には、ボールネジナット３３が螺合された状態で第２の昇降部６が配設されている。この第２の昇降部６は、図１に示す他の上下ガイド部材２６，２６に沿って上下方向に昇降可能とされた部材であって、図２及び図３に示すように、その縦断面の略中央部にて上下方向には中板部材３２が配設されており、この中板部材３２の背面にはボールネジナット３３が取り付けられている。これにより、第３のサーボモータ３０の駆動力によって、第３のボールネジ軸２７に螺合されたボールネジナット３３に力を作用させることができ、図１に示す第２の昇降部６をガイド部材２６，２６に沿って上下方向に昇降することができる。
【００２０】
さらにまた、図１に示すように、第２の昇降部６の上端部には水平支持板３４が配設されており、この水平支持板３４の上面の所定位置には、連結部７が水平回転軸部３５に軸支された状態で取り付けられている。この連結部７は、後述するアーム駆動部８を水平支持板３４に連結するための部材であって、水平回転軸部３５により水平支持板３４に対して水平に回転可能とされている。また、この水平回転軸部３５の下端部にはプーリ３６が取り付けられている。さらに、上記水平支持板３４の下面の所定位置には、第４のサーボモータ３７が取り付けられており、この第４のサーボモータ３７の回転軸の上端部にも同様のプーリ３８が取り付けられている。そして、水平回転軸部３５のプーリ３６と、第４のサーボモータ３７のプーリ３８とには、タイミングベルト（図示省略）が掛け渡されている。これにより、第４のサーボモータ３７の回転軸を回転させると、その駆動力が図示省略のタイミングベルトを介して水平回転軸部３５に伝達され、連結部７及びその上面側に取り付けられたアーム駆動部８を水平面内で回転させることができる。
【００２１】
また、図１に示すように、上記連結部７の上面側にはアーム駆動部８が取り付けられている。このアーム駆動部８は、上下２段のアーム部材９ａ，９ｂを駆動するための機構部となるもので、上段のアーム部材９ａを水平方向に移動させるためのスライド機構と、下段のアーム部材９ｂを水平方向に移動させるためのスライド機構とを備えている。この上段のアーム部材９ａを移動させるスライド機構の具体的な構成は、図４に示すように、スライド部４０と、左右２本のスライドレール４１，４１と、第４のボールネジ軸４２と、第５のサーボモータ４３とを備えて成る。
【００２２】
上記スライド部４０は、その上面側にアーム部材９ａ（図５参照）を取り付けるための部材であって、その下面の所定位置には、後述するスライドレール４１に係合するガイド片４４と、後述するボールネジ軸４２に螺合するボールネジナット４５とが取り付けられている。また、上記アーム駆動部８の長手方向には、スライド部４０が移動するのを案内する左右２本のスライドレール４１，４１が配設されている。さらに、この左右２本のスライドレール４１，４１に挟まれた位置には、第４のボールネジ軸４２が軸受部４６に軸支された状態で回転可能に取り付けられており、その先端部にはプーリ４７が取り付けられている。そして、この第４のボールネジ軸４２の先端部の下方には、第５のサーボモータ４３が配設されており、その回転軸（図７参照）と上記プーリ４７にはタイミングベルト（図示せず）が掛け渡されている。
【００２３】
これにより、第５のサーボモータ４３の回転軸を回転させると、その駆動力が図示省略のタイミングベルトを介して第４のボールネジ軸４２に伝達されるので、この第４のボールネジ軸４２に螺合されたボールネジナット４５に力を作用させることができ、図４に示すスライド部４０をスライドレール４１，４１に沿って左右方向にスライドすることができる。したがって、図２に示すように、上段のアーム部材９ａを水平方向に左右にスライドさせることができる。
【００２４】
また、図４に示すように、下段のアーム部材９ａを移動させるスライド機構の具体的な構成についても、上述したものと同様に、スライド部５０と、左右２本のスライドレール５１，５１と、第５のボールネジ軸５２と、第６のサーボモータ５３とを備えて成っている。したがって、第６のサーボモータ５３の回転軸を回転させると、その駆動力が第５のボールネジ軸５２に伝達されて回転するようになるので、図３に示すように、下段のアーム部材９ｂを水平方向に左右にスライドさせることができる。
【００２５】
図５は、例えば図４に示すスライド部４０に取り付けられた上段のアーム部材９ａの具体的な形状を示す平面図であって、ワークとしてのガラス基板２が保持された状態を示している。このアーム部材９ａには、基端部６０から先端部に向けて延びた左右２本の支持腕部６１Ｌ，６１Ｒが設けられている。この左右２本の支持腕部６１Ｌ，６１Ｒの先端には、ガラス基板２の一端部２ａを引っ掛けて保持するための爪状の保持部６２Ｌ，６２Ｒが取り付けられている。また、各支持腕部６１Ｌ，６１Ｒの所定位置には、片側２個ずつの吸着パッド６３が左右対象の位置に取り付けられると共に、複数個の突起状の保持ピン６４が所定の間隔で配列されている。これにより、上記複数個の保持ピン６４上にガラス基板２を載置し、この状態のガラス基板２の裏面を各吸着パッド６３で吸着して保持することができる。
【００２６】
また、図５に示すように、アーム部材９ａの基端部６０の上面には、押圧部材６５が配設されている。この押圧部材６５は、上述のように保持されたガラス基板２の他端部２ｂの略中央部を上面から押さえつけて保持する部材であって、図６に示すように、その先端部の下面にはガラス基板２を押圧したときに弾性変形するゴム部材６６が取り付けられている。さらに、この押圧部材６５の所定位置には、前後２つの連結部材６７，６８が回動可能に軸支された状態で配設されている。前側に配置された連結部材６７は、その下端部が上記アーム部材９ａの基端部６０に軸支された状態で取り付けられている。また、後ろ側に配置された連結部材６８は、その中央部が上記アーム部材９ａの基端部６０に軸支された状態で取り付けられると共に、その下端部がシリンダ部６９のピストン棒６９ａの先端に連結されている。
【００２７】
これにより、図６に示すように、シリンダ部６９のピストン棒６９ａが前方に押し出された状態のときには、連結部材６７，６８に連結された押圧部材６５は、後方の退避位置に位置してガラス基板２に接触しない状態となる。このとき、アーム部材９ａにガラス基板２を載置することができる。これに対し、図示省略したが、シリンダ部６９のピストン棒６９ａが後方に引き戻された状態のときには、上記押圧部材６５は、連結部材６７，６８を介して破線で示す位置に移動し、アーム部材９ａに載置されたガラス基板２を上面から押圧して保持する状態となる。したがって、シリンダ部６９を駆動して押圧部材６５を前後方向に移動させることによって、図５に示すアーム部材９ａによりガラス基板２を着脱可能に保持することができる。
【００２８】
ここで、本発明においては、上記基台部４とアーム駆動部８との連結部７に、垂直回動機構１０が設けられている。この垂直回動機構１０は、アーム駆動部８を垂直面内で回動可能とし、このアーム駆動部８に搭載されたアーム部材９ａ，９ｂが垂直方向に向くようにするものであって、図７に示すように、垂直回転軸部７０と、第７のサーボモータ７１と、タイミングベルト７２とを備えて成る。この垂直回転軸部７０は、アーム駆動部８を連結部７に対して回動可能に軸支するもので、図８に示すように、連結部７の一端部にて水平方向に配設されており、連結部７の右側壁部７Ｒの内側面の近傍にはプーリ７３が取り付けられている。また、この連結部７の右側壁部７Ｒの内側面にて垂直回転軸部７０の後方には、第７のサーボモータ７１が取り付けられている。この第７のサーボモータ７１は、垂直回転軸部７０に回転駆動力を与えるためのアクチュエータとなるものであって、任意の速度で回転可能とされており、その軸部にはプーリ７４が取り付けられている。そして、第７のサーボモータ７１のプーリ７４と、垂直回転軸部７０のプーリ７３とには、図７に示すように、タイミングベルト７２が掛け渡されている。
【００２９】
これにより、第７のサーボモータ７１を回転させると、その駆動力がタイミングベルト７２を介して伝達されて垂直回転軸部７０を回転させ、図９及び図１０に示すように、連結部７に対してアーム駆動部８を回動させて、該アーム駆動部８に搭載された上下２段のアーム部材９ａ，９ｂを垂直方向に回動することができる。
【００３０】
また、図７に示すように、上記アーム駆動部８の一側端部には、スロット検出センサ７５が取り付けられている。このスロット検出センサ７５は、アーム駆動部８のアーム部材９ａ，９ｂの動作により例えばガラス基板２を受け渡しする縦型のワーク収納ケース７６（図９参照）内におけるガラス基板２の収納位置を検出するものであって、対象物に対して光を照射すると共に、対象物で反射された反射光を受光し、それらの変化量を検出するようになっている。これにより、上記スロット検出センサ７５によって、例えば図９に示すワーク収納ケース７６に形成されたワークを嵌め込むための溝部の位置を検出することができ、その溝部に嵌め込まれて収納されたガラス基板２の位置を正確に検出することができる。したがって、ワーク収納ケース７６へのガラス基板２の受け渡しを確実に行うことができるようになる。
【００３１】
次に、このように構成されたワーク搬送収納装置の動作について説明する。まず、図１〜図３に示すように、ワーク搬送収納装置の基台部４に配設されたアーム駆動部８は、水平方向を向いており、上下２段のアーム部材９ａ，９ｂが水平方向を向いた状態とされている。このとき、上下２段のアーム部材９ａ，９ｂには、ガラス基板２が保持されていない状態とする。ここで、上述したように、第１のサーボモータ１７を駆動することによって、基台部４をガイド部材３，３に沿って左右方向に水平移動すると共に、第２のサーボモータ１９及び第３のサーボモータ３０を駆動することによって、第１の昇降部５及び第２の昇降部６を基台部４に対し上下方向に昇降し、アーム駆動部８に搭載された上下２段のアーム部材９ａ，９ｂを製品製造ラインの所定位置に移動する。さらに、図９及び図１０に示すように、連結部７に設けられた垂直回動機構１０を駆動することによって、アーム駆動部８を垂直面内で回動し、該アーム駆動部８に搭載されたアーム部材９ａ，９ｂが垂直方向に向くようにする。具体的には、図７に示す第７のサーボモータ７１を回転させることによって、タイミングベルト７２を介して垂直回転軸部７０を回転させ、図９に示すように、アーム駆動部８を連結部７に対して回動させて、上下２段のアーム部材９ａ，９ｂを垂直方向に向ける。
【００３２】
次に、図７に示す第５のサーボモータ４３を回転させることによって、その駆動力を図示省略のタイミングベルトを介して第４のボールネジ軸４２に伝達し、ボールネジナット４５に力を作用させる。これにより、図９に示すように、上段のアーム部材９ａを下方向にスライドさせることができる。このとき、アーム駆動部８の一側端部にはスロット検出センサ７５が取り付けられているので、ワーク収納ケース７６に形成されたガラス基板２を嵌め込むための溝部の位置を検出することができ、ワーク収納ケース７６の溝部に嵌め込まれて収納されたガラス基板２の位置を正確に検出することができる。そして、上段のアーム部材９ａが最下降位置にまでスライドした状態のとき、その先端部に設けられた保持部６２Ｌ，６２Ｒ（図５参照）によって、ガラス基板２の下端部２ａを引っ掛けて保持する。さらに、図６に示すシリンダ部６９を駆動することによって、そのピストン棒６９ａに連動する押圧部材６５でガラス基板２を上面から押圧して保持する。この状態で、図７に示す第５のサーボモータ４３を逆回転させ、上段のアーム部材９ａを上方向にスライドさせ、最上昇位置にまで戻す。これにより、上段のアーム部材９ａでワーク収納ケース７６からガラス基板２を上向きに取り出して保持することができる。
【００３３】
また、下段のアーム部材９ｂについても、同様に作動させる。具体的には、図４に示す第６のサーボモータ５３を回転させることによって、その駆動力を上述と同様に第５のボールネジ軸５２に伝達し、ボールネジナット５５に力を作用させる。これにより、図１０に示すように、下段のアーム部材９ｂを下方向にスライドさせることができる。そして、下段のアーム部材９ｂが最下降位置にまでスライドした状態のとき、その先端部に設けられた保持部６２Ｌ，６２Ｒ（図５参照）によって、ガラス基板２の下端部２ａを引っ掛けて保持し、図６に示すシリンダ部６９に連動する押圧部材６５でガラス基板２を上面から押圧して保持する。この状態で、図４に示す第６のサーボモータ５３を逆回転させ、下段のアーム部材９ｂを上方向にスライドさせ、最上昇位置にまで戻す。これにより、下段のアーム部材９ｂでワーク収納ケース７６からガラス基板２を上向きに取り出して保持することができる。
【００３４】
このように上下２段のアーム部材９ａ，９ｂでガラス基板２を保持した状態で、連結部７に設けられた垂直回動機構１０を駆動することによって、図２及び図３に示すように、アーム駆動部８を垂直面内で回動し、上下２段のアーム部材９ａ，９ｂが水平方向を向く状態に戻す。そして、上述した第５のサーボモータ４３（図４参照）を回転させることによって、図２に示すように、上段のアーム部材９ａを水平方向にスライドさせ、ガラス基板２を処理装置の横型の収納箱７７内に搬送して収納する。同様に、上述した第６のサーボモータ４３（図４参照）を回転させることによって、図３に示すように、下段のアーム部材９ｂを水平方向にスライドさせ、ガラス基板２を処理装置の横型の収納箱７７内に搬送して収納する。したがって、ガラス基板２を垂直に立てた状態で収納する縦型のワーク収納ケース７６（図９又は図１０参照）からガラス基板２を取り出し、水平状態に保持して処理装置の横型の収納箱７７（図２又は図３参照）に搬送して収納することができる。
【００３５】
また、以上の説明と逆の手順によって、各種の処理装置の横型の収納箱７７で所定の処理工程が施され、水平状態で搬送されたガラス基板２を、上下２段のアーム部材９ａ，９ｂで取り出して保持し、垂直回動機構１０を駆動してアーム駆動部８を垂直面内で回動することにより、２枚のガラス基板２を同時に縦型のワーク収納ケース７６内に再び収納することもできる。したがって、製品製造ラインにおけるワーク１枚当りのタクトタイムを短縮し、ワークの生産効率を向上することができる。
【００３６】
なお、以上の説明において、上記連結部７に設けられた垂直回動機構１０は、垂直回転軸部７０と、第７のサーボモータ７１と、タイミングベルト７２とを備えて成るものとしたが、本発明はこれに限られず、上下２段のアーム部材９ａ，９ｂが垂直方向を向くように回動可能とされたものであれば、どのような構成でもよい。また、上記アーム駆動部８の上面側には、上下２段のアーム部材９ａ，９ｂが搭載されているとして説明したが、本発明はこれに限られず、アーム駆動部８上に１段のアーム部材、或いは３段以上のアーム部材を搭載してもよい。特に、３段以上のアーム部材を搭載した場合には、製品製造ラインにおけるワーク１枚当りのタクトタイムをさらに短縮し、ワークの生産効率をさらに向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明によるワーク搬送収納装置の実施形態を示す正面図である。
【図２】上記ワーク搬送収納装置の右側面図であって、上段のアーム部材に保持されたガラス基板を処理装置の横型の収納箱に収納する状態を示す図である。
【図３】上記ワーク搬送収納装置の右側面図であって、下段のアーム部材に保持されたガラス基板を処理装置の横型の収納箱に収納する状態を示す図である。
【図４】上記ワーク搬送収納装置のアーム駆動部の拡大平面図であって、上下２段のアーム部材の移動機構を示す図である。
【図５】上記アーム部材の構造を示す平面図であって、ガラス基板が保持された状態を示す図である。
【図６】上記アーム部材に配設された押圧部材の動作機構を示す説明図である。
【図７】上記ワーク搬送収納装置の連結部の右側面図であって、アーム駆動部が垂直方向を向くように回動可能とされた垂直回動機構を示す拡大図である。
【図８】上記垂直回動機構の構成を示す平面図である。
【図９】上記垂直回動機構の動作により垂直方向を向くように回動された上段のアーム部材がワーク収納ケースからガラス基板を取り出す状態を示す図である。
【図１０】上記垂直回動機構の動作により垂直方向を向くように回動された下段のアーム部材がワーク収納ケースからガラス基板を取り出す状態を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１…ワーク搬送収納装置
２…ガラス基板
３…ガイド部材
４…基台部
５…第１の昇降部
６…第２の昇降部
７…連結部
８…アーム駆動部
９ａ…上段のアーム部材
９ｂ…下段のアーム部材
１０…垂直回動機構
７０…垂直回転軸部
７１…第７のサーボモータ
７２…タイミングベルト
７３，７４…プーリ
７５…スロット検出センサ
７６…ワーク収納ケース
７７…処理装置の収納箱
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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