(57)【要約】    【課題】  複数の部品保持部材により複数の部品を吸着保持して回路基板上に装着する部品装着ヘッドにおいて、上記部品保持部材における上記吸着保持のための吸着圧力を、上記部品保持部材に導圧する導圧通路を通過する塵埃除去のための除塵用フィルタのメンテナンス性を向上させる。    【解決手段】  上記吸着保持のための吸着圧力と上記吸着保持の解除のための吸着解除圧力とを選択的に上記夫々の部品保持部材に導圧可能に出力する圧力選択装置に形成された複数の装置内導圧通路の途中に、当該装置内導圧通路を通過する塵埃を捕獲する除塵用フィルタを、上記夫々の部品保持部材の上記脱着とは無関係に脱着可能に装備させる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品（１）を解除可能に吸着保持する複数の部品保持部材（２）を脱着可能に備え、上記夫々の部品保持部材において、その先端部（２ａ）を一端としてその内部に形成された保持部材導圧通路（２ｂ）の他端（２ｃ）より上記保持部材導圧通路を通じて、上記先端部に吸着圧力を付加することにより、上記先端部に当接された状態の上記部品の吸着保持が可能であり、上記他端より上記保持部材導圧通路を通じて、上記先端部に吸着解除圧力を付加することにより、上記部品の吸着保持の解除が可能であって、上記吸着保持された部品を基板上の所定位置にて上記吸着保持の解除を行うことで、上記部品の上記基板への装着を行う部品装着ヘッド（１００）において、
上記吸着圧力を発生可能な吸着圧力源（９０）、及び上記吸着解除圧力を発生可能な吸着解除圧力源（９２）から導圧される夫々の圧力が個別に入力可能であり、かつ、上記入力された夫々の圧力のうちのいずれかの圧力を選択的にかつ個別に上記各々の保持部材導圧通路の上記他端に導圧可能に出力する圧力選択装置（５０）を備え、
上記圧力選択装置内に形成された複数の装置内導圧通路（５４、５８）の途中に、当該装置内導圧通路を通過する塵埃を捕獲する除塵用フィルタ（６０）を、上記夫々の部品保持部材の上記脱着とは無関係に脱着可能に装備させることを特徴とする部品装着ヘッド。
【請求項２】
上記夫々の部品保持部材と一対一に対応し、上記部品保持部材をその一端に装備可能であって、上記圧力選択装置より出力される上記いずれかの圧力を、上記装備された状態の上記部品保持部材の上記保持部材導圧通路の上記他端に導圧する軸部導圧通路（１１ｂ）がその内部に形成された複数の軸部（１１）を備える請求項１に記載の部品装着ヘッド。
【請求項３】
上記圧力選択装置は、
上記吸着圧力源から導圧される上記吸着圧力が入力される吸着圧力入力部（５１）と、
上記吸着解除圧力源から導圧される上記吸着解除圧力が入力される吸着解除圧力入力部（５２）と、
上記吸着圧力又は上記吸着解除圧力を選択的かつ個別に上記各々の保持部材導圧通路に導圧可能に出力可能であって、上記夫々の部品保持部材と一対一に対応された複数の圧力出力部（５３）とを備え、
上記夫々の装置内導圧通路は、
上記吸着圧力入力部と上記圧力出力部とを連通する装置内吸着圧力導圧通路（５４）と、
上記吸着解除圧力入力部と上記圧力出力部とを連通する装置内吸着解除圧力導圧通路（５５）とを備え、
上記夫々の除塵用フィルタは、上記夫々の装置内吸着圧力導圧通路の途中に装備されている請求項１又は２に記載の部品装着ヘッド。
【請求項４】
上記圧力選択装置は、
上記夫々の装置内吸着圧力導圧通路の途中に取り付けられ、その開放動作により当該通路を連通可能とし、その閉止動作により当該通路を遮断可能とする第１開閉弁（５６）と、
上記夫々の装置内吸着解除圧力導圧通路の途中に取り付けられ、その開放動作により当該通路を連通させ、その閉止動作により当該通路を遮断する第２開閉弁（５７）とをさらに備え、
上記夫々の除塵フィルタは、上記第１開閉弁と上記圧力出力部との間における上記装置内吸着圧力導圧通路の途中に装備されている請求項３に記載の部品装着ヘッド。
【請求項５】
上記圧力選択装置において、
上記夫々の装置内吸着圧力導圧通路と上記夫々の装置内吸着解除圧力導圧通路とは互いに合流されて１つの通路（５８）として上記夫々の圧力出力部と連通され、
上記夫々の除塵用フィルタは、上記夫々の１つの通路の途中に装備されている請求項３又は４に記載の部品装着ヘッド。
【請求項６】
上記夫々の除塵用フィルタは略円筒形状を有し、上記略円筒形状の内側（６０ａ）を上記圧力出力部側とし、その外側（６０ｂ）を上記吸着圧力入力部側として装備される請求項３から５のいずれか１つに記載の部品装着ヘッド。
【請求項７】
上記夫々の除塵用フィルタは、上記略円筒形状の軸心が略横向き、下向き、又は下方斜め向きのいずれかの方向に配置された状態として装備され、当該配置状態の姿勢を保持したまま、上記脱着が可能である請求項３から６のいずれか１つに記載の部品装着ヘッド。
【請求項８】
上記圧力選択装置は、
上記各々の除塵用フィルタをその装備位置（６１）に配置可能に、当該装置外部より挿入可能とするフィルタ挿入孔（６４）と、
上記各々の除塵用フィルタに解除可能に固定され、当該固定された除塵用フィルタを上記装備位置に位置させることで、上記フィルタ挿入孔を閉止可能なフィルタ取付部材（６２）と、
上記除塵用フィルタが上記装備位置に位置された状態で、上記フィルタ取付部材の配置を解除可能に固定する固定部材（６３）とを備える請求項１から７のいずれか１つに記載の部品装着ヘッド。
【請求項９】
上記夫々のフィルタ取付部材は、上記除塵用フィルタが上記装備位置に位置された状態で、上記装置外部より把持可能に露出する把持部（６２ｃ）を備えている請求項８に記載の部品装着ヘッド。
【請求項１０】
上記フィルタ取付部材は、その先端部に略円筒形状の上記除塵用フィルタの内側と解除可能に螺合されるネジ部（６２ａ）を備える請求項８又は９に記載の部品装着ヘッド。
【請求項１１】
上記フィルタ取付部材は、上記フィルタ挿入孔に挿入可能であって、当該挿入された状態で、上記固定部材と係止される凹部（６２ｂ）を備える請求項８から１０のいずれか１つに記載の部品装着ヘッド。
【請求項１２】
上記吸着圧力は、真空排気により形成される負圧力であって、上記吸着解除圧力は、圧縮空気により形成される正圧力である請求項１から１１のいずれか１つに記載の部品装着ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の部品保持部材により複数の部品を保持して回路基板上に装着する部品装着ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、部品の一例である電子部品の基板への装着においては、部品保持部材の一例である吸着ノズルを備える部品装着ヘッドにおける当該吸着ノズルにより当該電子部品の吸着保持及び吸着保持解除を行なうことにより行われている（例えば、特許文献１及び２参照）。このような吸着ノズルにおいては、その先端部に当接された状態の電子部品を、負圧力である吸着圧力でもって吸着保持することができるとともに、当該吸着圧力を正圧力である吸着解除圧力に切り換えることで、上記吸着保持された状態の電子部品の吸着保持を解除することが可能となっている。このような吸着ノズルの機能を用いて、上記吸着保持された電子部品を、基板上における所定の位置に配置させて、上記吸着保持の解除を行なうことにより、上記電子部品を上記基板に装着することができる。このような従来の部品装着ヘッドが備える吸着ノズルの一例として、吸着ノズル５０１の模式的な断面図を図６に示し、吸着ノズル５０１の構成及び機能について図６を用いて説明する。
【０００３】
図６に示すように、吸着ノズル５０１は、電子部品の吸着保持を行なうノズル先端部５０３と、ノズル先端部５０３を支持するノズル本体部５０２とを備えている。ノズル本体部５０２は、上下方向に貫通して形成され、上記吸着圧力等をノズル先端部５０３に導圧可能な通路であるノズル本体導圧管路５０２ｃを有している。また、ノズル先端部５０３は、このノズル本体導圧管路５０２ｃに挿入されるように形成されており、ノズル本体部５０２から露出されたその図示下端部分が、電子部品を吸着保持する吸着部５０３ａとなっている。また、ノズル先端部５０３においても、上下方向に貫通して形成され、ノズル本体導圧管路５０２ｃから導圧される上記吸着圧力等を吸着部５０３ａにまで導圧可能なノズル先端導圧管路５０３ｃが備えられている。すなわち、図６に示すように、吸着ノズル５０１において、ノズル本体導圧管路５０２ｃとノズル先端導圧管路５０３ｃとが互いに一体的とされてノズル導圧管路が形成され、吸着ノズル５０１の図示上端であるノズル本体部５０２の上端部５０２ａに上記吸着圧力等の圧力が付加されることにより、上記ノズル導圧管路を通じて、当該圧力を吸着部５０３ａに導圧することが可能となっている。
【０００４】
また、図６に示すように、ノズル本体部５０２のノズル本体導圧管路５０２ｃの途中には、その図示上方側の径よりも下方側の径が大きくなるような段部５０２ｂが形成されており、ノズル先端部５０３のノズル先端導圧管路５０３ｃの途中には、逆にその図示上方側の径よりも下方側の径が小さくような段部５０３ｂが形成されている。また、段部５０２ｂの下端と段部５０３ｂの上端との間に挟まれるようにして、スプリング５０４が配置されている。このようにスプリング５０４が配置されていることにより、ノズル先端部５０３が常時下方に付勢された状態とされるとともに、ノズル先端部５０３に図示上向きに外力が付加された場合に、スプリング５０４が圧縮されることで、当該外力による衝撃を緩和することが可能となっている。さらに、このようなスプリング５０４が設けられていることにより、例えば、複数の吸着ノズル５０１が部品装着ヘッドに装備されるような場合にあっては、夫々の吸着ノズル５０１の吸着部５０３ａの高さのバラツキを吸収することが可能となる。なお、ノズル先端部５０３の外周側面には、溝部５０３ｄが形成されており、ノズル本体部５０２に取り付けられた固定ピン５０６がこの溝部５０３ｄに係合されることにより、スプリング５０４の付勢力に抗して、ノズル先端部５０３のノズル本体部５０２よりの飛び出しが未然に防止されている。
【０００５】
また、図６に示すように、ノズル本体部５０２のノズル本体導圧管路５０２ｃにおける上端部５０２ａの近傍には、環状の溝部であるフィルタ取付部５０７が形成されている。また、このフィルタ取付部５０７には、ノズル本体導圧管路５０２ｃを通過する塵埃等（異物を含む）を捕獲可能なように、略円盤状の除塵用フィルタ５０５が脱着可能に取り付けられている。
【０００６】
また、ノズル本体部５０２は、その上端部５０２ａの近傍における外周部に、環状の溝部である係合部５０８が形成されており、この係合部５０８が、図示しない部品装着ヘッドのシャフト部に係合されることで、当該吸着ノズル５０１が脱着可能に部品装着ヘッドに装備されることとなる。
【０００７】
このような構成を有する吸着ノズル５０１において、電子部品の上面に吸着部５０３ａを当接させた状態で、ノズル本体部５０２の上端部５２ａに吸着圧力を付加させることで、ノズル本体導圧管路５０２ｃ及びノズル先端導圧管路５０３ｃを通して吸着部５０３ａに上記吸着圧力を導圧して、上記電子部品の吸着保持を行なうことができる。また、このような吸着保持の状態において、上端部５０２ａに上記吸着圧力に切り換えて吸着解除圧力を付加させることで、吸着部５０３ａに上記吸着解除圧力を導圧して、上記電子部品の吸着保持の解除を行なうことができる。
【０００８】
また、このように吸着ノズル５０１において、上記電子部品の吸着保持が行なわれるような場合においては、吸着部５０３ａを通して、塵埃等が吸引されて、ノズル先端導圧管路５０３ｃ及びノズル本体導圧管路５０２ｃ内に当該塵埃等が吸い込まれる場合がある。このような場合であっても、除塵用フィルタ５０５が設けられていることにより、当該塵埃等がノズル本体導圧管路５０２ｃよりもさらに先の導圧管路内に吸い込まれることを防止することができる。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−１０１２９２号公報
【特許文献２】特開２００２−３０１６７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
このような構成の吸着ノズル５０１においては、電子部品の吸着保持動作が繰り返し行なわれると、除塵用フィルタ５０５による塵埃等の堆積量が増加し、除塵用フィルタ５０５の交換や清掃を行なう必要が生じる。
【００１１】
しかしながら、除塵用フィルタ５０５を吸着ノズル５０１から取り外すためには、まず、上記部品装着ヘッドから吸着ノズル５０１を取り外して、その後、当該取り外された吸着ノズル５０１のフィルタ取付部５０７より除塵用フィルタ５０５を取り外さなければならず、当該作業に時間と労力を要するという問題がある。
【００１２】
また、ノズル本体導圧管路５０２ｃを通過する塵埃を確実に捕獲するために、除塵用フィルタ５０５のフィルタ取付部への確実な固定を目的として、フィルタ取付部５０７の形状は、除塵用フィルタ５０５の外形と略同じ大きさ若しくは僅かに大きくなるように形成されている。そのため、フィルタ取付部５０７からの除塵用フィルタ５０５の取り外しや、フィルタ取付部５０７への除塵用フィルタ５０５の取り付けの作業は容易なものではなく、当該作業には慣れを要し、誰にでもできる作業ではないという問題がある。
【００１３】
特に、近年においては、このような電子部品の装着における作業効率を高めてその生産性を向上させることが強く望まれており、このような生産性の向上の実現を目的として、部品装着ヘッドに複数の吸着ノズルを備えさせることが多い。このような場合にあっては、上記部品装着ヘッドにおいて、夫々の吸着ノズル毎に除塵用フィルタを備えさせることとなり、これらの除塵用フィルタのメンテナンスを行なうには、夫々の吸着ノズルを取り外す必要があり、当該メンテナンスにさらに多大な時間と労力を要することとなり、上記生産性の向上を妨げる１つの要因となるという問題がある。
【００１４】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、複数の部品保持部材により複数の部品を吸着保持して回路基板上に装着する部品装着ヘッドにおいて、上記部品保持部材における上記吸着保持のための吸着圧力を、上記部品保持部材に導圧する導圧通路を通過する塵埃除去のための除塵用フィルタの交換や清掃等のメンテナンス性を向上させることができる部品装着ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１６】
本発明の第１態様によれば、部品を解除可能に吸着保持する複数の部品保持部材を脱着可能に備え、上記夫々の部品保持部材において、その先端部を一端としてその内部に形成された保持部材導圧通路の他端より上記保持部材導圧通路を通じて、上記先端部に吸着圧力を付加することにより、上記先端部に当接された状態の上記部品の吸着保持が可能であり、上記他端より上記保持部材導圧通路を通じて、上記先端部に吸着解除圧力を付加することにより、上記部品の吸着保持の解除が可能であって、上記吸着保持された部品を基板上の所定位置にて上記吸着保持の解除を行うことで、上記部品の上記基板への装着を行う部品装着ヘッドにおいて、
上記吸着圧力を発生可能な吸着圧力源、及び上記吸着解除圧力を発生可能な吸着解除圧力源から導圧される夫々の圧力が個別に入力可能であり、かつ、上記入力された夫々の圧力のうちのいずれかの圧力を選択的にかつ個別に上記各々の保持部材導圧通路の上記他端に導圧可能に出力する圧力選択装置を備え、
上記圧力選択装置内に形成された複数の装置内導圧通路の途中に、当該装置内導圧通路を通過する塵埃を捕獲する除塵用フィルタを、上記夫々の部品保持部材の上記脱着とは無関係に脱着可能に装備させることを特徴とする部品装着ヘッドを提供する。
【００１７】
本発明の第２態様によれば、上記夫々の部品保持部材と一対一に対応し、上記部品保持部材をその一端に装備可能であって、上記圧力選択装置より出力される上記いずれかの圧力を、上記装備された状態の上記部品保持部材の上記保持部材導圧通路の上記他端に導圧する軸部導圧通路がその内部に形成された複数の軸部を備える第１態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００１８】
本発明の第３態様によれば、上記圧力選択装置は、
上記吸着圧力源から導圧される上記吸着圧力が入力される吸着圧力入力部と、
上記吸着解除圧力源から導圧される上記吸着解除圧力が入力される吸着解除圧力入力部と、
上記吸着圧力又は上記吸着解除圧力を選択的かつ個別に上記各々の保持部材導圧通路に導圧可能に出力可能であって、上記夫々の部品保持部材と一対一に対応された複数の圧力出力部とを備え、
上記夫々の装置内導圧通路は、
上記吸着圧力入力部と上記圧力出力部とを連通する装置内吸着圧力導圧通路と、
上記吸着解除圧力入力部と上記圧力出力部とを連通する装置内吸着解除圧力導圧通路とを備え、
上記夫々の除塵用フィルタは、上記夫々の装置内吸着圧力導圧通路の途中に装備されている第１態様又は第２態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００１９】
本発明の第４態様によれば、上記圧力選択装置は、
上記夫々の装置内吸着圧力導圧通路の途中に取り付けられ、その開放動作により当該通路を連通可能とし、その閉止動作により当該通路を遮断可能とする第１開閉弁と、
上記夫々の装置内吸着解除圧力導圧通路の途中に取り付けられ、その開放動作により当該通路を連通させ、その閉止動作により当該通路を遮断する第２開閉弁とをさらに備え、
上記夫々の除塵フィルタは、上記第１開閉弁と上記圧力出力部との間における上記装置内吸着圧力導圧通路の途中に装備されている第３態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２０】
本発明の第５態様によれば、上記圧力選択装置において、
上記夫々の装置内吸着圧力導圧通路と上記夫々の装置内吸着解除圧力導圧通路とは互いに合流されて１つの通路として上記夫々の圧力出力部と連通され、
上記夫々の除塵用フィルタは、上記夫々の１つの通路の途中に装備されている第３態様又は第４態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２１】
本発明の第６態様によれば、上記夫々の除塵用フィルタは略円筒形状を有し、上記略円筒形状の内側を上記圧力出力部側とし、その外側を上記吸着圧力入力部側として装備される第３態様から第５態様のいずれか１つに記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２２】
本発明の第７態様によれば、上記夫々の除塵用フィルタは、上記略円筒形状の軸心が略横向き、下向き、又は下方斜め向きのいずれかの方向に配置された状態として装備され、当該配置状態の姿勢を保持したまま、上記脱着が可能である第３態様から第６態様のいずれか１つに記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２３】
本発明の第８態様によれば、上記圧力選択装置は、
上記各々の除塵用フィルタをその装備位置に配置可能に、当該装置外部より挿入可能とするフィルタ挿入孔と、
上記各々の除塵用フィルタに解除可能に固定され、当該固定された除塵用フィルタを上記装備位置に位置させることで、上記フィルタ挿入孔を閉止可能なフィルタ取付部材と、
上記除塵用フィルタが上記装備位置に位置された状態で、上記フィルタ取付部材の配置を解除可能に固定する固定部材とを備える第１態様から第７態様のいずれか１つに記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２４】
本発明の第９態様によれば、上記夫々のフィルタ取付部材は、上記除塵用フィルタが上記装備位置に位置された状態で、上記装置外部より把持可能に露出する把持部を備えている第８態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２５】
本発明の第１０態様によれば、上記フィルタ取付部材は、その先端部に略円筒形状の上記除塵用フィルタの内側と解除可能に螺合されるネジ部を備える第８態様又は第９態様に記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２６】
本発明の第１１態様によれば、上記フィルタ取付部材は、上記フィルタ挿入孔に挿入可能であって、当該挿入された状態で、上記固定部材と係止される凹部を備える第８態様から第１０態様のいずれか１つに記載の部品装着ヘッドを提供する。
【００２７】
本発明の第１２態様によれば、上記吸着圧力は、真空排気により形成される負圧力であって、上記吸着解除圧力は、圧縮空気により形成される正圧力である第１態様から第１１態様のいずれか１つに記載の部品装着ヘッドを提供する。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の上記第１態様又は上記第２態様によれば、部品装着ヘッドにおいて、部品の吸着保持及び吸着保持解除を行なうための吸着圧力及び吸着解除圧力の導圧通路の途中に設けられている除塵用フィルタが、各々の部品保持部材に備えられているのではなく、上記吸着圧力と上記吸着解除圧力との選択を行なう圧力選択装置において脱着可能に備えられていることにより、上記夫々の部品保持部材の脱着の作業とは無関係に、上記夫々の除塵用フィルタの脱着の作業を行なうことができる。
【００２９】
また、このような上記圧力選択装置は、元々、その装置の機能及び特性上、メンテナンス性が考慮されて、上記部品装着ヘッドにおいて作業者がアクセスし易い位置に配置されていることが多い。よって、このような上記圧力選択装置に上記夫々の除塵用フィルタを装備させることで、上記除塵用フィルタの交換や清掃等のメンテナンス性を向上させることができる。
【００３０】
本発明の上記第３態様によれば、上記メンテナンス性の向上を図りながら、さらに、このような上記夫々の除塵用フィルタが、上記圧力選択装置において、夫々の装置内吸着圧力導圧通路の途中に装備されていることにより、上記吸着圧力付加により、上記部品保持部材の先端部より導圧通路内に吸い込まれる塵埃を確実に捕獲して、吸着圧力源等への流入を防止することができる。
【００３１】
本発明のその他の態様によれば、さらに上記圧力選択装置が上記吸着圧力と上記吸着解除圧力の選択機構を担う第１開閉弁と第２開閉弁とを備え、上記第１開閉弁と上記圧力出力部との間における上記装置内吸着圧力導圧通路の途中に、上記除塵用フィルタが装備されていることにより、上記吸い込まれる塵埃を確実に捕獲して、上記第１開閉弁への上記塵埃の堆積を防止し、当該堆積による作動不良等の発生を未然に防止することができる。
【００３２】
また、上記圧力選択装置において、装置内吸着圧力導圧通路と装置内吸着解除圧力導圧通路とが互いに合流されて形成された１つ通路の途中に、上記除塵用フィルタが装備されることにより、上記装置内吸着圧力導圧通路に吸い込まれる上記塵埃を捕獲することができるだけでなく、上記装置内吸着解除圧力導圧通路より流れ込む上記塵埃をも捕獲することができる。
【００３３】
また、上記夫々の除塵用フィルタを略円筒形状とすることにより、上記除塵用フィルタの大きさを大幅に大きくすることなく、そのろ過面積を増大させることができる。よって、上記夫々の除塵用フィルタの使用期間を長くすることができ、交換・清掃等のメンテナンスの頻度を低減することができ、そのメンテナンス性を向上させることができる。
【００３４】
また、上記夫々の除塵用フィルタが、上記略円筒形状の内側を上記圧力出力部側として、その外側を上記吸着圧力入力部側として装備されることにより、比較的に塵埃の捕獲量が多い上記吸着圧力付加の際に捕獲された塵埃を、上記内側に堆積させることができる。よって、上記除塵用フィルタの交換等の際に上記捕獲された塵埃を飛散や落下することを防止することができ、そのメンテナンス性を良好なものとすることができる。
【００３５】
また、このような効果は、上記夫々の除塵用フィルタが、上記略円筒形状の軸心を略横向き、下向き、又は下方斜め向きのいずれかの方向に配置された状態として装備され、当該配置状態を保持したまま、上記脱着が可能であることにより、さらに有効なものとなる。
【００３６】
また、上記圧力選択装置において、当該装置外部より上記除塵用フィルタを挿入して、その装備位置に配置させることが可能なフィルタ挿入孔と、上記除塵用フィルタを解除可能に固定するフィルタ取付部材とが備えられていることにより、上記フィルタ取付部材に固定された状態の上記除塵用フィルタを上記フィルタ挿入孔に挿入して上記装備位置に位置させるとともに、上記フィルタ取付部材により上記フィルタ挿入孔を閉止することができ、上記除塵用フィルタの取り付けを容易に行なうことができる。また、上記除塵用フィルタが上記装備位置に位置された状態にて、上記フィルタ取付部材の配置を解除可能に固定する固定部材がさらに備えられていることにより、上記除塵用フィルタの装備位置への確実な固定を容易に行なうことができる。
【００３７】
さらに、上記夫々のフィルタ取付部材が、上記除塵用フィルタが上記装備位置に位置された状態で、上記装置外部より把持可能に露出している把持部を備えていることにより、上記除塵用フィルタの上記フィルタ挿入孔への挿入作業及び上記フィルタ挿入孔からの取り出し作業を容易なものとすることができる。よって、部品装着ヘッドにおいて、上記夫々の除塵用フィルタの脱着作業を容易なものとすることができ、そのメンテナンス性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３９】
本発明の一の実施形態にかかる部品装着ヘッドの一例であるヘッド部１００の構成を示す模式断面図を図１に示す。
【００４０】
図１に示すように、ヘッド部１００は、部品の一例としてチップ部品等の電子部品１を解除可能に吸着保持する部品保持部材の一例である吸着ノズル２を備えている。このヘッド部１００は、図示しないが、機台上に保持された回路基板に対して電子部品１の装着を行う電子部品装着装置に装備されて用いられる。例えば、ヘッド部１００は、上記機台の上方においてＸＹロボットにより上記回路基板の表面の大略平行に移動可能に支持されており、ヘッド部１００の吸着ノズル２に電子部品１を解除可能に保持させた後、上記回路基板における電子部品１の装着位置と上記保持された電子部品１との位置合わせを行い、吸着ノズル２を下降させて電子部品１を上記回路基板の装着位置に装着させるという電子部品の装着動作を行うことができる。なお、上記位置合わせは、ヘッド部１００自体の上記ＸＹロボットによる移動に加えて、ヘッド部１００においても、吸着ノズル２をその軸芯である回転中心回りに回転移動（すなわちθ回転）させることによっても行われる。すなわち、ヘッド部１００において、吸着ノズル２は昇降移動及び回転移動が可能となっている。また、上記電子部品１の保持及び装着の動作の際には、夫々の吸着ノズル２の昇降動作が行われる。
【００４１】
このようなヘッド部１００の構造について詳細に説明する。図１に示すように、ヘッド部１００は、吸着ノズル２を着脱可能に装備する軸部の一例であるシャフト部１０と、このシャフト部１０を介してシャフト部１０に装備された吸着ノズル２を昇降させる昇降装置２０と、シャフト部１０を介して吸着ノズル２をその回転中心回りに回転させる（すなわちθ回転させる）回転装置３０とを備えている。
【００４２】
また、このようなヘッド部１００が装備されるような電子部品装着装置においては、上記回路基板への電子部品１の装着に要する時間を短縮化して装着効率を向上させるために、ヘッド部に吸着ノズル２を複数本装備させて、一度に保持可能な電子部品１の数量を増加させる手法が多く用いられている。本実施形態のヘッド部１００においても、吸着ノズル２を一例として８本装備させることが可能となっている。すなわち、ヘッド部１００には、シャフト部１０及び昇降装置２０が８組備えられており、夫々のシャフト部１０が一定の間隔ピッチでもって一列に配列（すなわち、夫々のシャフト部１０に装備される夫々の吸着ノズル２が上記一定の間隔ピッチでもって一列に配列）されているとともに、夫々のシャフト部１０と一対一に対応するように、夫々の昇降装置２０が一列に配列されている。また、上記８組のシャフト部１０及び昇降機構２０の夫々は、ヘッド部１００に備えられているヘッドフレーム４０に上記配列でもって支持されている。また、回転装置３０は、互いに隣接する４つのシャフト部１０に装備された４本の吸着ノズル２に対して上記回転を行うことが可能となっており、８本の吸着ノズル２を装備可能なヘッド部１００においては、２つの回転装置３０がヘッドフレーム４０に支持されて備えられている。
【００４３】
（シャフト部）
このような構成のヘッド部１００において、まず、シャフト部１０の詳細な構造について説明する。なお、ヘッド部１００が備える８つのシャフト部１０は夫々同様な構造を有しているため、以降のシャフト部１０の構造の説明においては、特記しない限り、これらのうちの１つのシャフト部１０の構造について説明するものとする。
【００４４】
図１に示すように、夫々のシャフト部１０は、吸着ノズル２を脱着可能に装備する保持部材取付部の一例であるノズル取付部１１ａがその先端部（図示下端）に形成された軸部の一例であるスプラインシャフト１１を備えている。また、ノズル取付部１１ａに装備された吸着ノズル２がスプラインシャフト１１を介して回転可能とさせるため、スプラインシャフト１１は、対応する回転装置３０によりその回転中心Ｒ（スプラインシャフト１１の軸芯でもある）回りに回転可能となっている。また、同様に、装備された吸着ノズル２をスプラインシャフト１１を介して昇降可能とするため、スプラインシャフト１１は、対応する昇降装置２０により回転中心Ｒ沿いに昇降可能となっている。
【００４５】
また、図１に示すように、シャフト部１０は、略円筒状の形状を有してその内周面がスプラインシャフト１１の外周面に接するように、スプラインシャフト１１の回転中心Ｒ沿いに互いに離間して配置され、かつ、スプラインシャフト１１を上記昇降可能に支持する２つのスプラインナットである第１スプラインナット１２（図示上側に設置）と第２スプラインナット１３（図示下側に設置）とを、さらに備えている。
【００４６】
また、図１に示すように、シャフト部１０は、大略円筒状の形状を有してその内周面が第１スプラインナット１２の外周面に固定された第１外筒カラー１４と、同様に、大略円筒状の形状を有してその内周面が第２スプラインナット１３の外周面に固定された第２円筒部材の一例である第２外筒カラー１５とが、さらに備えられている。
【００４７】
また、図１に示すように、第１外筒カラー１４及び第２外筒カラー１５の夫々においては、その外周面に段部が夫々形成されており、ヘッドフレーム４０が備える大略円筒状の形状を有するシャフトフレーム４１（軸部支持部の一例である）の内周面に、夫々段部において、夫々の軸受け部を介して、第１外筒カラー１４及び第２外筒カラー１５の夫々が回転可能に支持されている。
【００４８】
なお、上述のように第１スプラインナット１２と第２スプラインナット１３とが互いに離間して配置されているため、図２に示すように、第１スプラインナット１２とそれを支持している上記軸受け部とは、シャフトフレーム４１の図示上端近傍に配置されており、第２スプラインナット１３とそれを支持している上記軸受け部とは、シャフトフレーム４１の図示下端近傍に配置されている。
【００４９】
また、図１に示すように、第１スプラインナット１２の外周面における下側の一部と、第２スプラインナット１３の外周面における上側の一部とが、第１外筒カラー１４及び第２外筒カラー１５より露出されており、上記夫々の露出されている外周面に、略円筒状の形状を有する連結用円筒部材の一例である中間カラー１６がその略円筒形状の内周面を接着されて、シャフト部１０に備えられている。
【００５０】
シャフト部１０が、このような構造を有していることにより、シャフト部１０において、スプラインシャフト１１が、第１スプラインナット１２及び第２スプラインナット１３の内側において回転中心Ｒ沿いに昇降可能となるとともに、スプラインシャフト１１が、第１スプラインナット１２及び第２スプラインナット１３、さらに、第１外筒カラー１４、第２外筒カラー１５、及び中間カラー１６とともに、回転中心Ｒ回りに回転可能となっている。
【００５１】
（回転装置）
次に、回転装置３０の詳細な構造について説明する。図１に示すように、回転装置３０は、略円筒状の形状を有し、その内部においてスプラインシャフト１１が貫通されるように配置され、かつ、その外周面に複数の歯が形成された伝達歯車部の一例であるシャフト歯車３１を備えている。また、シャフト歯車３１は、その回転中心がスプラインシャフト１１の回転中心Ｒと略一致するように配置されており、その回転中心回りに回転されることにより、上記一体的な状態とされている第１スプラインナット１２及び第２スプラインナット１３を回転させて、スプラインシャフト１１を回転中心Ｒ回りに回転させることが可能となっている。
【００５２】
さらに、回転装置３０は、シャフト歯車３１の上記夫々の歯と互いに係合可能な複数の歯をその内周面に備え、かつ、シャフト歯車３１と互いに係合された歯付きベルト３２と、歯付きベルト３２の上記夫々の歯と互いに係合可能な複数の歯が形成された駆動歯車３３と、駆動歯車３３をその駆動軸３４ａ（回転駆動軸の一例である）の先端に固定し、かつ、駆動軸３４ａを正逆いずれかの回転方向に回転させることができる回転駆動モータ３４とを備えている。なお、本実施形態においては駆動歯車３３と回転駆動モータ３４とが、歯付きベルト３２を回転駆動（あるいは走行駆動）させる回転駆動部の一例となっている。
【００５３】
（昇降装置）
次に、昇降装置２０の構造について詳細に説明する。なお、ヘッド部１００が備える８つの昇降装置２０は夫々同様な構造を有しているため、以降の昇降装置２０の説明においては、特記しない限り、これらのうちの１つの昇降装置２０の構造について説明するものとする。
【００５４】
まず、図１に示すように、昇降装置２０は、スプラインシャフト１１の回転中心Ｒと略平行に配置されたその回転中心Ｓ回りに回転可能に、ヘッドフレーム４０が備える昇降フレーム４２に支持されたボールねじ軸部の一例であるボールねじ軸２１を備えている。さらに、昇降装置２０は、ボールねじ軸２１の図示上端部に固定され、かつ、ボールねじ軸２１を回転中心Ｓ回りの正逆いずれかの回転方向に回転させる回転駆動部の一例である昇降駆動モータ２２と、ボールねじ軸２１に螺合され、かつ、ボールねじ軸２１の上記回転により回転中心Ｓに沿って昇降される昇降ナット部２３とを備えている。また、さらに、昇降装置２０は、一端が昇降ナット部２３に固定され、昇降ナット部２３の上記昇降とともに一体的に昇降される大略Ｌ字形状を有する剛体で形成された係合部材の一例である昇降バー２４が備えられている。また、スプラインシャフト１１の上部に互いに夫々が離間するように固定された２個の軸受け部２５の間に、この昇降バー２４の他端である先端部２４ａが位置するように、昇降バー２４が配置されている。
【００５５】
また、図１に示すように、スプラインシャフト１１に固定されている上記２個の軸受け部２５のうちの図示下側に位置される軸受け部２５の下面には、環状のスプリング受け部２６が固定されており、このスプリング受け部２６の下端には、スプラインシャフト１１の外周に環状に配置されたスプリング２７の上端が取り付けられている。さらに、図１に示すように、シャフト部１０の第１外筒カラー１４の歯車固定部１４ｅの内周面には環状の段部１４ｆが形成されており、この段部１４ｆの上面にスプリング２７の下端が取り付けられている。
【００５６】
このスプリング２７は、回転中心Ｒ沿いに昇降可能に第１スプラインナット１２及び第２スプラインナット１３により支持されているスプラインシャフト１１が、その自重等により落下しないように支持するとともに、スプラインシャフト１１を常に上方に付勢して、上記２個の軸受け部２５の内の図示下側に位置する軸受け部２５の上面を、昇降バー２４の先端部２４ａに常時当接させた状態とさせる役割を担っている。
【００５７】
昇降装置２０が、このような構造を有していることにより、昇降駆動モータ２２を正逆いずれかの回転方向に回転駆動させて、ボールねじ軸２１を回転中心Ｓ回りに上記回転方向にて回転させ、ボールねじ軸２１に螺合されている昇降ナット部２３を回転中心Ｓ沿いに上昇又は下降させることができる。さらに、昇降ナット部２３とともに、この昇降ナット部２３に固定されている昇降バー２４が、回転中心Ｓ沿いに上昇又は下降されることとなるが、スプリング２７の付勢力により昇降バー２４の先端部２４ａが上記２個の軸受け部２５の図示下側に位置する軸受け部２５の上面に常時当接された状態となっていることにより、この当接状態を保持したまま、スプラインシャフト１１を回転中心Ｒ沿いに上昇又は下降させることができる。このスプラインシャフト１１は、第１スプラインナット１２及び第２スプラインナット１３の夫々の内周面に沿って上昇又は下降される。なお、昇降バー２４の先端部２４ａは上記下側の軸受け部２５に常時当接された状態とされていることにより、昇降ナット部２３の上昇量又は下降量をそのままスプラインシャフト１１の上昇量又は下降量とすることができる。すなわち、昇降駆動モータ２２の上記回転駆動量を制御することにより、スプラインシャフト１１の昇降量を制御することができる。なお、昇降バー２４の先端部２４ａは、上記下側の軸受け部２５を介してスプラインシャフト１１を昇降させることとなるため、スプラインシャフト１１の回転動作に影響を与えることはない。
【００５８】
（制御部）
また、図１に示すように、ヘッド部１００は、夫々の吸着ノズル２による電子部品１の吸着保持動作、夫々の昇降装置２０における昇降動作、及び夫々の回転装置３０における回転動作を制御する制御部９を備えている。この制御部９により、夫々の吸着ノズル２、夫々の昇降装置２０、及び夫々の回転装置３０の夫々の動作が互いに関連付けられるようにして制御されることにより、ヘッド部１００において、電子部品１の装着動作を行なうことが可能となっている。
【００５９】
（電子部品の装着動作）
このような構成を有するヘッド部１００において、電子部品１を回路基板上における所定の位置に装着するような場合には、回路基板に装着されるべき電子部品１の上方に、ヘッド部１００が備える夫々の吸着ノズル２のうちの１本の吸着ノズル２を位置させた後、昇降装置２０によりスプラインシャフト１１を下降させることで、当該１本の吸着ノズル２を下降させて、その下方先端部を電子部品１の上面に当接させる。それとともに、吸着ノズル２の上記先端部に、例えば、真空排気により生じさせることができる「負圧力」である「吸着圧力」が付加されて、当該吸着圧力により上記当接された状態の電子部品１が吸着ノズル２に吸着保持される。その後、昇降装置２０により吸着ノズル２を上昇させるとともに、ヘッド部１００を移動させて、当該吸着ノズル２を回路基板上における電子部品１の装着位置の上方に位置させる。当該移動の後、再び、昇降装置２０により吸着ノズル２を下降させて、電子部品１を上記装着位置に配置する。その後、吸着ノズル２の上記先端部に、例えば、圧縮空気により生じさせることができる「正圧力」である「吸着解除圧力」が、上記吸着圧力に代わって付加されて、当該吸着解除圧力により電子部品１の吸着保持を解除して、それとともに吸着ノズル２を上昇させることで、回路基板の上記装着位置に電子部品１を装着することができる。なお、このような夫々の動作の制御は、制御部９により互いの動作を関連付けながら統括的に行なわれる。
【００６０】
ここで、「吸着圧力」とは、吸着ノズル２のノズル導圧通路２ｂ内をその外部（すなわち、吸着ノズル２の外部）に対して「負圧力」とするような圧力であって、吸着ノズル２の下方先端部である吸着部２ａに当接された状態の電子部品１を、上記外部との圧力差でもって吸引して吸着保持可能となるような圧力のことである。吸着圧力としては、例えば、−８０ｋＰａ程度の圧力が用いられる。
【００６１】
また、「吸着解除圧力」とは、吸着ノズル２のノズル導圧通路２ｂ内をその外部に対して「正圧力」とするような圧力であって、上記吸着保持された状態の電子部品１と吸着部２ａとの当接を当該圧力付加によって確実に解除可能となるような圧力のことである。吸着解除圧力としては、例えば、＋２０ｋＰａ程度の圧力が用いられる。
【００６２】
（吸着保持・吸着保持解除機能を担う構成）
ここでヘッド部１００において、このような吸着ノズル２による電子部品１の吸着保持及び吸着保持の解除を夫々の動作を行なう構成について、以下に説明する。
【００６３】
図１に示すように、吸着ノズル２の図示下方側の先端部は、電子部品１と当接されることで、その吸着保持を可能とする吸着部２ａである。吸着ノズル２においては、その内部を図示上下方向に貫通するように、保持部材導圧通路の一例であるノズル導圧通路２ｂが形成されており、上記吸着圧力等の圧力がその上端部２ｃに付加されることで、当該圧力をノズル導圧通路２ｂを通して吸着部２ａに導圧することが可能となっている。
【００６４】
また、図１に示すように、スライドシャフト１１には、その内部を上下方向に貫通するように、軸部導圧通路の一例であるシャフト導圧通路１１ｂが形成されており、スライドシャフト１１の上端部１１ｃに付加された圧力をシャフト導圧通路１１ｂを通してその下端部１１ｄに連結された吸着ノズル２の上端部２ｃに導圧することが可能となっている。
【００６５】
また、図１に示すように、ヘッド部１００においては、上記吸着圧力及び上記吸着解除圧力が入力されるとともに、夫々の圧力のうちのいずれかの圧力を選択して、ヘッド部１００が備える夫々の吸着ノズル２に個別に、当該選択された圧力を導圧可能に出力する圧力選択装置の一例であるマニホールド５０が備えられている。
【００６６】
また、このマニホールド５０とスライドシャフト１１の上端部１１ｃとは、フレキシブル導圧管路（あるいは導圧チューブ）４９により互いに接続されて連通されており、マニホールド５０から夫々の吸着ノズル２の吸着部２ａまで、一続きの導圧通路が形成されている。また、マニホールド５０とスライドシャフト１１との接続が、フレキシブル導圧管路４９にて行われていることにより、当該接続が昇降装置２０によるスライドシャフト１１の昇降動作を阻害することはない。
【００６７】
ここで、このようなマニホールド５０の構成、及びヘッド部１００における上記夫々の圧力を導圧する空気回路の構成を示す空気回路図を図２に示す。
【００６８】
図２に示すように、ヘッド部１００におけるマニホールド５０は、上記吸着圧力を発生可能な吸着圧力源である真空発生器９０と導圧通路９１で接続され、上記吸着圧力が入力される吸着圧力入力部５１と、上記吸着解除圧力を発生可能な吸着解除圧力源であるブロー減圧器９２と導圧通路９３で接続され、上記吸着解除圧力が入力される吸着解除圧力入力部５２とを備えている。なお、以降においては、この「吸着解除圧力」を「ブロー圧力」と記載するものとする。よって、吸着解除圧力入力部５２は、ブロー圧力入力部５２と記載するものとする。
【００６９】
また、「圧力が入力される」とは、圧力源等から導圧通路を通じて圧力が導圧されて、装置等の内部に所定の圧力が伝達されることをいい、「圧力を出力する」とは、上記伝達された所定の圧力を、上記装置等の内部より他の装置あるいは導圧通路等に導圧可能に、上記装置等の外部へ上記所定の圧力を伝達することをいう。
【００７０】
また、真空発生器９０には、圧縮空気源９５からの導圧管路９６が接続されており、また、ブロー減圧器９２には、圧縮空気源９５からの導圧管路９７が接続されている。これにより、真空発生器９０において、所定の負圧力である上記吸着圧力を発生させることが可能となり、ブロー減圧器９２において、所定の正圧力である上記ブロー圧力を発生させることが可能となっている。
【００７１】
また、マニホールド５０には、夫々の吸着ノズル２に一対一に対応する複数の圧力出力部５３が備えられている。さらに、マニホールド５０には、夫々の圧力出力部５３と吸着圧力入力部５１とを個別に連通する装置内吸着圧力導圧通路の一例である複数の吸着圧力導圧通路５４と、夫々の圧力出力部５３とブロー圧力入力部５２とを個別に連通する装置内吸着解除圧力導圧通路の一例である複数のブロー圧力導圧通路５５とが形成されている。
【００７２】
また、図２に示すように、マニホールド５０においては、夫々の吸着圧力導圧通路５４の途中に取り付けられ、その開放動作により当該通路を連通可能とし、その閉止動作により当該通路を遮断可能とする第１開閉弁の一例である複数の吸着バルブ５６と、夫々のブロー圧力導圧通路５５の途中に取り付けられ、その開放動作により当該通路を連通可能とし、その閉止動作により当該通路を遮断可能とする第２開閉弁の一例である複数のブローバルブ５７とが備えられている。このように、夫々の吸着ノズル２と一対一に対応して、夫々の吸着バルブ５６及びブローバルブ５７が備えられていることにより、吸着バルブ５６又はブローバルブ５７のいずれか一方を開放させて、かつ、他方を閉止させることで、上記吸着圧力又は上記ブロー圧力のいずれかを選択的に吸着ノズル２の吸着部２ａに導圧して付加することが可能となっている。なお、上記吸着圧力及び上記ブロー圧力のいずれをも付加する必要が内場合には、吸着バルブ５６及びブローバルブ５７が共に閉止されることになる。なお、夫々の吸着バルブ５６及びブローバルブ５７としては、例えば、空気用の電磁弁を用いることができる。また、図２に示すように、夫々の吸着バルブ５６及びブローバルブ５７には、バルブの開閉駆動用の圧縮空気を供給可能に、導圧管路９７から分岐された導圧管路９８が接続されている。
【００７３】
また、図２に示すように、マニホールド５０内において、夫々の吸着圧力導圧通路５４と夫々のブロー圧力導圧通路５５とは、吸着バルブ５６及びブローバルブ５７の圧力出力部５３側において、互いに合流されて１つの導圧通路（選択圧力導圧通路５８と示す）として夫々の圧力出力部５３と連通されている。また、夫々の選択圧力導圧通路５８の途中には、当該通路内を通過する塵埃（異物も含む）を捕獲する除塵用フィルタ６０が脱着可能に装備されている。
【００７４】
ヘッド部１００において、このような空気回路の一部を構成するマニホールド５０の構成を示す側面図（一部断面図）を図３に示す。
【００７５】
図３に示すように、マニホールド５０は、吸着ノズル２の装備本数に対応する数量の吸着バルブ５６をその上部に一列に配列（図３に紙面に直交する方向に配列）させて備え、また、これと同数のブローバルブ５７をその下部に一列に配列（上記同方向に配列）させて備えている。また、マニホールド５０の側面には、ブロー圧力入力部５２と、吸着圧力入力部５１とが備えられており、ブロー圧力入力部５２と夫々のブローバルブ５７とは、ブロー圧力導圧通路５５にて連通されており、吸着圧力入力部５１と夫々の吸着バルブ５６とは、吸着圧力導圧通路５４にて連通されている。
【００７６】
また、図１のヘッド部１００の全体図にて明らかに示すように、図３に示すマニホールド５０においては、図示左側をヘッド部１００の本体内側、図示右側をヘッド部１００の本体外側として、ヘッド部１００に取り付けられている。図３のマニホールド５０における上記本体外側の上部には、夫々の除塵用フィルタ６０が脱着可能に内蔵されて装備されている。
【００７７】
ここで、これらの除塵用フィルタ６０の上記装備構造について詳細に説明する。図４に示すように、除塵用フィルタ６０は、略円筒状の形状を有しており、その円筒状の内周面６０ａと外周面６０ｂとの間において、空気を通過させることで、当該空気中に含まれている塵埃等をそのろ過機能により取り除くことが可能となっている。このような除塵用フィルタ６０は、例えば、粒径２５μｍのポリエチレン焼結品により形成される。また、除塵用フィルタ６０の上記略円筒形状の孔部分の内径は、例えば１．５ｍｍ程度に形成されている。
【００７８】
また、図５は、除塵用フィルタ６０の内周面６０ａと係合されることで、除塵用フィルタ６０と一体的に固定された状態とされるフィルタ取付部材の一例である取付けピン６２の側面図である。取付けピン６２は、その図示左側の先端部が除塵用フィルタ６２の内周面６０ａと略同径、あるいは僅かに大きくなるように形成されたネジ部６２ａ（例えば、Ｍ２のネジ）を有しており、このネジ部６２ａが除塵用フィルタ６０の内周面６０ａと係合（すなわち螺合）されるように、除塵用フィルタ６０の円筒状の孔部に指し込まれることにより、除塵用フィルタ６０が取付けピン６２に固定される。
【００７９】
また、図３に示すように、マニホールド５０の図示左側上部に内蔵されて形成されている選択圧力導圧通路５８と交差して連通するように、図示略水平方向にフィルタ挿入孔６４が形成されている。このフィルタ挿入孔６４は、その図示右側にてマニホールド５０の外部に連通されており、また、その内径が除塵用フィルタ６０の外径及び取付けピン６２胴体部分の外径と略同じ径となるように形成されており、上記外部への連通部分より取付けピン６２に固定された状態の除塵用フィルタ６０を挿入することが可能となっている。また、夫々のフィルタ挿入孔６４は、マニホールド５０の上部に備えられた夫々の圧力出力部５３と連通されている。
【００８０】
また、図５に示すように、取付けピン６２は、その図示左側の部分が除塵用フィルタ６０と共にフィルタ挿入孔６４に挿入された際に、マニホールド５０の外部に連通されているフィルタ挿入孔６４の周部と当接することで、フィルタ挿入孔６４を密閉可能なフランジ状の密閉部６２ｄを備えている。このように密閉部６２ｄが備えられていることで、図３に示すように、取付けピン６２に固定された状態の除塵用フィルタ６０を、当該当接により、常に一定の位置であるフィルタ装備位置６１に位置させることができる。また、このフィルタ装備位置６１に除塵用フィルタ６０が位置されることで、上記選択圧力導圧通路５８との交差部分が、除塵用フィルタ６０により覆われることとなる。
【００８１】
また、図３及び図５に示すように、取付けピン６２の密閉部６２ｄとネジ部６２ａとの間の部分は、フィルタ挿入孔６４と略同径に形成された胴体部分となっているが、この胴体部分には、環状の凹部６２ｂが形成されている。また、図３に示すように、マニホールド５０には、フィルタ挿入孔６４に挿入された状態の取付けピン６２の凹部６２ｂと係合されることにより、取付けピン６２の挿入位置を固定する固定部材の一例であるロックボールプランジャ６３が備えられている。このロックボールプランジャ６３は緩めることで、取付けピン６２のフィルタ挿入孔６４沿いの移動を可能とし、締結して凹部６２ｂと係合（すなわち係止）させることで、取付けピン６２の挿入位置を固定して、確実に除塵用フィルタ６４をフィルタ装備位置６１に位置させることができる。
【００８２】
また、図３及び図５に示すように、取付けピン６２の右側端部には、取付けピン６２がフィルタ挿入孔６４に挿入されてその挿入位置が固定された状態、すなわち、除塵用フィルタ６０が装備された状態において、マニホールド５０の外部より取付けピン６２を取り出し可能にフィルタ挿入孔６４より露出して、把持することができる把持部６２ｃが形成されている。このように把持部６２ｃが形成されていることで、除塵用フィルタ６０の脱着の際の作業を容易なものとすることができる。
【００８３】
なお、上記説明においては、マニホールド５０において、フィルタ挿入孔６４が略水平方向に形成され、除塵用フィルタ６０がその軸心を略横向きの状態を保つように装備されている場合について説明したが、本実施形態はこのような場合にのみ限定されるものではない。例えば、このような場合に代えて、フィルタ挿入孔６４が下向き又は下方斜め向きに形成されて、夫々の向きの方向に上記軸心が配置されるように、除塵用フィルタ６０が装備されるような場合であってもよい。
【００８４】
（除塵用フィルタの脱着手順）
次に、このような構成を有するヘッド部１００において、除塵用フィルタ６０の交換や清掃のための脱着手順について、図３を用いて説明する。
【００８５】
図３に示すように、マニホールド５０において、取り外したい除塵用フィルタ６０に対応するロックボールプランジャ６３を緩め、取付けピン６２の固定を解除する。その後、取付けピン６２の把持部６２ｃを把持して、フィルタ挿入孔６４から取付けピン６２を抜き出すことで、取付けピン６２とともに、この取付けピン６２に固定されている除塵用フィルタ６０をフィルタ装備位置から取り出す。さらに、取付けピン６２のネジ部６２ａと除塵用フィルタ６０の内周面６０ａとの係合を解除させることで、取付けピン６２から除塵用フィルタ６０を取り外すことができる。
【００８６】
また、上記除塵用フィルタ６０に代えて、新たな除塵用フィルタ６０を装備する場合には、図３に示すように、当該新たな除塵用フィルタ６０の内周面６０ａに取付けピン６２のネジ部６２ａをねじ込んで、除塵用フィルタ６０を取付けピン６２に固定させる。その後、上記固定された状態の除塵用フィルタ６０の先端部を、フィルタ挿入孔６４に挿入し、取付けピン６２の密閉部６２ｄがマニホールド５０の外面におけるフィルタ挿入孔６４の周部に当接するまで、取付けピン６２をフィルタ挿入孔６４に挿入する。これにより、除塵用フィルタ６０がフィルタ装備位置６１に位置されることとなる。その後、緩められた状態にあるロックボールプランジャ６３を締結して、ロックボールプランジャ６３の図示下方先端部を、取付けピン６２の凹部６２ｂに係合させて、取付けピン６２の挿入位置を固定するとともに、フィルタ挿入孔６４を密閉部６２ｄにより閉止する。これにより、除塵用フィルタ６０の挿入位置をフィルタ装備位置６１に固定することができる。
【００８７】
また、このように、除塵用フィルタ６０が脱着可能に装備された状態にて、例えば、吸着バルブ５６を開放状態とし、かつ、ブローバルブ５７を閉止状態とさせた場合には、図１〜図３において、圧力出力部５３から吸着ノズル２の吸着部２ａに導圧された吸着圧力により、吸着部２ａから圧力出力部５３への空気の流れが生じる。この空気の流れにより、図３に示す除塵用フィルタ６０においては、圧力出力部５３側に位置されているその内周面６０ａから、吸着圧力入力部５１側に位置されているその外周面６０ｂの方向への空気の流れが生じることとなる。従って、吸着部２ａから吸い込まれた塵埃等は、主に除塵用フィルタ６０の内周面６０ａ側にて捕獲されることとなる。
【００８８】
一方、吸着バルブ５６を閉止状態とし、かつ、ブローバルブ５７を開放状態とさせた場合には、上記とは逆に、図１〜図３において、ブローバルブ５７から圧力出力部５３を通じて吸着部２ａへの空気の流れが生じる。この空気の流れにより、図３に示す除塵用フィルタ６０においては、ブロー圧力入力部５２側に位置されているその外周面６０ｂから、圧力出力部５３側に位置されているその内周面６０ａの方向への空気の流れが生じることとなる。従って、ブロー圧力入力部５２に入力される圧縮空気中に塵埃等が含まれているような場合であっても、このような塵埃は主に除塵用フィルタ６０の外周面６０ｂ側にて捕獲されることとなる。
【００８９】
なお、マニホールド５０において備えられている夫々の吸着バルブ５６及びブローバルブ５７の開閉動作の制御は、ヘッド部１００におけるその他構成部の制御動作と互いに関連付けられながら統括的に、制御部９により行なわれる。
【００９０】
また、本実施形態においては、図２における夫々の選択圧力導圧通路５８の途中に、夫々の除塵用フィルタ６０が装備されている場合について説明したが、このような場合にのみ限られるものではない。例えば、このような場合に代えて、少なくとも、夫々の吸着バルブ５６と夫々の圧力出力部５３との間における吸着圧力導圧通路５４の途中に、夫々の除塵用フィルタ６０が備えられているような場合であってもよい。このように、夫々の吸着圧力導圧通路５４の途中に、夫々の除塵用フィルタ６０が設けられていることで、吸着ノズル２の吸着部２ａに吸着圧力が導圧されて、塵埃等を含む空気が吸着部２ａ及び圧力出力部５３を通じて吸着圧力導圧通路５４に吸い込まれるような場合であっても、当該塵埃等を除塵用フィルタ６０にて捕獲することができ、当該塵埃等より吸着バルブ５６を確実に保護することができるからである。
【００９１】
上記実施形態によれば、以下のような種々の効果を得ることができる。
【００９２】
まず、ヘッド部１００において、電子部品１の吸着保持及び吸着保持解除を行なうための吸着圧力及びブロー圧力の導圧通路の途中に設けられている除塵用フィルタ６０が、各々の吸着ノズル２に備えられているのではなく、吸着圧力とブロー圧力との切り換えを行なう夫々の吸着バルブ５６及びブローバルブ５７が備えられているマニホールド５０に脱着可能に備えられていることにより、夫々の吸着ノズル２の脱着作業とは無関係に夫々の除塵用フィルタ６０の脱着作業を行なうことができる。
【００９３】
また、このようなマニホールド５０は、元々、夫々の吸着バルブ５６やブローバルブ５７のメンテナンス性が考慮されて、ヘッド部１００において作業者がアクセスし易い位置に配置されていることからも、このようなマニホールド５０に夫々の除塵用フィルタ６０を装備させることで、除塵用フィルタ６０の交換や清掃等のメンテナンス性を向上させることができる。
【００９４】
具体的には、従来のヘッド部においては、除塵用フィルタの交換頻度が１回／週、その交換作業時間が略１２０分／部品装着装置（内訳：（１０〜２０分／吸着ノズル）×（装備本数１０〜２０本））を要していたのに対して、上記実施形態のヘッド部１００においては、同一交換頻度の条件にて、その作業時間を略１０分／部品装着装置（内訳：（０．５分／吸着ノズル）×（装備本数１０〜２０本））というように大幅に短縮することができ、除塵用フィルタ６０の交換や清掃等のメンテナンス性を向上させることができる。
【００９５】
また、マニホールド５０においては、夫々の除塵用フィルタが略円筒形状に形成されて、その内周面６０ａと外周面６０ｂとの間で、塵埃等を含む空気のろ過（すなわち、塵埃の捕獲）を行なうことが可能となっていることにより、従来の円盤状の除塵用フィルタと比べて、除塵用フィルタ６０の大きさ大幅に増大させることなく、そのろ過面積を増大させることができる。よって、効率的なろ過を行なうことができる除塵用フィルタを提供することができる。
【００９６】
また、除塵用フィルタ６０がこのように略円筒形状に形成されるとともに、当該略円筒形状の軸心を略水平に保ちながら、その脱着が可能とされていることにより、除塵用フィルタ６０の内周面６０ａ側にて捕獲された塵埃を、上記脱着の際にその周囲に飛散や落下させることなく、上記脱着を行なうことができる。なお、このような効果は、例えば、除塵用フィルタ６０が下向き又は下方斜め向きの状態で配置装備され、当該配置状態の姿勢を保ちながら脱着されるような場合であっても同様な効果を得ることができる。さらに、除塵用フィルタ６０の内周面６０ａが圧力出力部５６側、その外周面６０ｂが吸着バルブ５６側となるように除塵用フィルタ６０が装備されることにより、比較的塵埃が堆積され易い吸着圧力付加時の塵埃を、除塵用フィルタ６０の内周面６０ａに捕獲して堆積させることができ、上記効果を効果的に発揮することができる。
【００９７】
また、除塵用フィルタ６０が取付けピン６２に解除可能に固定された状態にて、フィルタ挿入孔６４への挿入やフィルタ挿入孔６４からの取り出しが可能とされていることにより、除塵用フィルタ６０の脱着作業に「慣れ」等を必要せず、より容易な作業として行なうことができる。特に、取付けピン６２に、除塵用フィルタ６０の装備状態において、マニホールド５０の外面より突出している把持部６２ｃが設けられていることにより、上記脱着作業をさらに容易なものとすることができる。
【００９８】
また、このような除塵用フィルタ６０のフィルタ装備位置６１への固定は、取付けピン６２の胴体部分に形成された環状の凹部６２ｂとロックボールプランジャ６３との係合により行なうことができるため、装備された除塵用フィルタ６０を取り外す際には、締結されたロックボールプランジャ６３を緩めることで行なうことができる。よって、除塵用フィルタ６０の脱着作業をより簡単なものとすることができる。
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】本発明の一実施形態にかかる部品装着ヘッドの模式断面図である。
【図２】上記部品装着ヘッドにおける吸着保持機能のための空気回路を示す空気回路図である。
【図３】上記部品装着ヘッドにおけるマニホールドの側面図（一部断面図）である。
【図４】除塵用フィルタの断面図である。
【図５】取付ピンの側面図である。
【図６】従来の吸着ノズルの構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１００】
１…電子部品、２…吸着ノズル、２ａ…吸着部、９…制御部、１０…シャフト部、１１…スプラインシャフト、１１ｂ…シャフト導圧通路、１２…第１スプラインナット、１３…第２スプラインナット、１４…第１外筒カラー、１５…第２外筒カラー、１６…中間カラー、２０…昇降装置、２１…ボールねじ軸、２２…昇降駆動モータ、２３…昇降ナット部、２４…昇降バー、２４ａ…先端部、２５…軸受け部、２６…スプリング受け部、２７…スプリング、３０…回転装置、３１…シャフト歯車、３２…歯付きベルト、３３…駆動歯車、３４…回転駆動モータ、４０…ヘッドフレーム、４１…シャフトフレーム、４２…昇降フレーム、５０…マニホールド、５１…吸着圧力入力部、５２…ブロー圧力入力部、５３…圧力出力部、５４…吸着圧力導圧通路、５５…ブロー圧力導圧通路、５６…吸着バルブ、５７…ブローバルブ、５８…選択圧力導圧通路、６０…除塵用フィルタ、６１…フィルタ装備位置、６２…取付けピン、６２ａ…ネジ部、６２ｂ…凹部、６２ｃ…把持部、６２ｄ…密閉部、６３…ロックボールプランジャ、６４…フィルタ挿入孔、１００…ヘッド部、Ｒ…回転中心、Ｓ…回転中心。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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