(57)【要約】【課題】液体金属潤滑材の漏出を確実に防止し、長期にわたり安定な軸受動作を維持し、良好な耐電圧性能を確保できる回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を提供すること。【解決手段】Ｘ線を放出する陽極ターゲット１１と、対向部分の複数領域にラジアル方向のすべり軸受Ｒａ、Ｒｂが設けられ、相違する対向部分にスラスト方向のすべり軸受Ｓａ、Ｓｂが設けられた回転体１５および固定体２０を有し、陽極ターゲット１１を回転可能に支持する回転支持機構１４と、すべり軸受領域Ｒａ、Ｒｂ、Ｓａ、Ｓｂに供給される液体金属潤滑材ＬＭとを具備した回転陽極型Ｘ線管において、一端が固定体２０の内部で閉じ、他端がラジアル方向のすべり軸受Ｒａ、Ｒｂで挟まれた非軸受領域Ｒｃに開口する止まり穴形状の潤滑材格納室２６ａ、２６ｂを設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、対向部分の管軸方向に離れた複数領域に軸受面が管軸に平行なラジアル方向のすべり軸受が設けられ、前記対向部分と相違する対向部分に軸受面が管軸に垂直なスラスト方向のすべり軸受が設けられた回転部分および固定部分を有し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転支持機構と、前記すべり軸受領域に供給される液体金属潤滑材とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、一端が前記固定部分の内部で閉じ、他端が、前記ラジアル方向のすべり軸受領域よりも対向間隙が大きい非軸受領域に位置する前記固定部分の外周面で、かつ前記ラジアル方向のすべり軸受で挟まれた領域に開口する止まり穴形状の潤滑材格納室を設けたことを特徴とする回転陽極型Ｘ線管。
【請求項２】
潤滑材格納室の開口を囲む固定部分の外周面に、液体金属潤滑材でよく濡れる皮膜を付着した請求項１記載の回転陽極型Ｘ線管。
【請求項３】
Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、対向部分の管軸方向に離れた複数領域に軸受面が管軸に平行なラジアル方向のすべり軸受が設けられ、前記対向部分と相違する対向部分に軸受面が管軸に垂直なスラスト方向のすべり軸受が設けられた回転部分および固定部分を有し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転支持機構と、前記陽極ターゲットおよび前記回転支持機構を収納する真空容器とを具備した回転陽極型Ｘ線管の製造方法において、一端が前記固定部分の内部で閉じ、他端が前記ラジアルすべり軸受領域よりも対向間隙が大きい非軸受領域に位置する前記固定部分の外周面で、かつ前記ラジアル方向のすべり軸受で挟まれた領域に開口する止まり穴形状の潤滑材格納室内に、必要とする液体金属潤滑材の実質的な全容量を格納する第１工程と、回転軸と重力方向とのなす角度を前記液体金属潤滑材が前記潤滑材格納室内に留まる範囲内に保ったまま、前記真空容器内を真空排気する第２工程と、この第２工程の真空排気を開始した後に、前記回転軸と前記重力方向とのなす角度を変更し、前記液体金属潤滑材の少なくとも一部を前記潤滑材格納室から前記ラジアル方向のすべり軸受および前記スラスト方向のすべり軸受へと移動させる第３工程とからなることを特徴とする回転陽極型Ｘ線管の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
回転陽極型Ｘ線管は、Ｘ線を放出する陽極ターゲットおよび電子ビームを発生する陰極などを真空容器に収納して構成され、陽極ターゲットは回転支持機構によって回転可能に支持されている。回転支持機構は回転部分および固定部分を有し、回転部分と固定部分との間に軸受が設けられている。
【０００３】
上記した構成で、真空容器外に配置した電磁コイルが発生する回転磁界によって陽極ターゲットを高速回転させる。この状態で、陽極ターゲットに向って陰極から電子ビームを照射し、陽極ターゲットからＸ線を放出させる。
【０００４】
回転陽極型Ｘ線管の軸受には、ころがり軸受が数多く使用されている。しかし、近年は、軸受面にらせん溝を形成するとともに、ガリウム（Ｇａ）あるいはガリウムーインジウムー錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金などの液体金属潤滑材を用いた動圧式すべり軸受の採用が進んでいる。
【０００５】
動圧式すべり軸受を用いた例は、以下の特許文献１〜特許文献８に開示されている。
【特許文献１】特許第２９３０２６６号公報
【特許文献２】特許第２９３０２７２号公報
【特許文献３】特許第２９８９０８５号公報
【特許文献４】特許第２９９１３９１号公報
【特許文献５】特許第３０６８９５１号公報
【特許文献６】特許第３０６８９５２号公報
【特許文献７】特開平９−１３４６９０号公報
【特許文献８】特開平９−１６１６９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の回転陽極型Ｘ線管は、その軸受部分に動圧式すべり軸受を用いた場合、真空排気工程前の軸受組み立て工程において、固定体と回転体の隙間、たとえば軸受領域に液体金属潤滑材が充填される。
【０００７】
しかし、液体金属潤滑材を充填する際に、軸受隙間の一部に大気圧の雰囲気ガスが混入する場合がある。軸受隙間にガスが混入すると、Ｘ線管を真空排気する工程において、圧力差により軸受外部に放出するガスの気泡とともに、液体金属潤滑材の一部が軸受外部に噴き出すことがある。また、真空排気工程で、混入したガスが除去し切れない場合は、真空排気が終了した後の実使用時にガスが軸受外部に放出し、これと同時に液体金属潤滑材の一部が軸受外部に噴き出すことがある。
【０００８】
このような現象が発生すると、長時間にわたる安定な軸受作用が得られない。また、Ｘ線管を構成する真空容器内の空間に液体金属潤滑材が飛散し、耐電圧性能を低下させ、致命的な障害を発生する原因になる。
【０００９】
本発明は、上記した欠点を解決し、液体金属潤滑材の漏出を確実に防止し、長期にわたり安定な軸受動作を維持し、良好な耐電圧性能を確保できる回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、対向部分の管軸方向に離れた複数領域に軸受面が管軸に平行なラジアル方向のすべり軸受が設けられ、前記対向部分と相違する対向部分に軸受面が管軸に垂直なスラスト方向のすべり軸受が設けられた回転部分および固定部分を有し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転支持機構と、前記すべり軸受領域に供給される液体金属潤滑材とを具備した回転陽極型Ｘ線管において、一端が前記固定部分の内部で閉じ、他端が、前記ラジアル方向のすべり軸受領域よりも対向間隙が大きい非軸受領域に位置する前記固定部分の外周面で、かつ前記ラジアル方向のすべり軸受で挟まれた領域に開口する止まり穴形状の潤滑材格納室を設けたことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、対向部分の管軸方向に離れた複数領域に軸受面が管軸に平行なラジアル方向のすべり軸受が設けられ、前記対向部分と相違する対向部分に軸受面が管軸に垂直なスラスト方向のすべり軸受が設けられた回転部分および固定部分を有し、前記陽極ターゲットを回転可能に支持する回転支持機構と、前記陽極ターゲットおよび前記回転支持機構を収納する真空容器とを具備した回転陽極型Ｘ線管の製造方法において、一端が前記固定部分の内部で閉じ、他端が前記ラジアルすべり軸受領域よりも対向間隙が大きい非軸受領域に位置する前記固定部分の外周面で、かつ前記ラジアル方向のすべり軸受で挟まれた領域に開口する止まり穴形状の潤滑材格納室内に、必要とする液体金属潤滑材の実質的な全容量を格納する第１工程と、回転軸と重力方向とのなす角度を前記液体金属潤滑材が前記潤滑材格納室内に留まる範囲内に保ったまま、前記真空容器内を真空排気する第２工程と、この第２工程の真空排気を開始した後に、前記回転軸と前記重力方向とのなす角度を変更し、前記液体金属潤滑材の少なくとも一部を前記潤滑材格納室から前記ラジアル方向のすべり軸受および前記スラスト方向のすべり軸受へと移動させる第３工程とからなることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、液体金属潤滑材の漏出を確実に防止し、長期にわたり安定な軸受動作を維持し、良好な耐電圧性能を確保できる回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の実施形態について図１を参照して説明する。
【００１４】
回転陽極型Ｘ線管を構成する真空容器１０は、その一部が図示され、真空容器１０内に、Ｘ線を放出する陽極ターゲット１１が配置されている。陽極ターゲット１１はナット１２で継手部１３に固定され、継手部１３は回転支持機構１４に連結されている。回転支持機構１４は回転部分と固定部分とで構成され、たとえば継手部１３を介して陽極ターゲット１１を回転可能に支持している。
【００１５】
回転支持機構１４の回転部分は継手部１３が連結した有底円筒状の回転体１５などから構成されている。回転体１５は、たとえば内径および外径が大きい径大部１５ａと、内径および外径が径大部１５ａよりも小さい径小部１５ｂとで構成され、径大部１５ａと径小部１５ｂとの内側境界部分に段差面１５ｃが設けられている。径小部１５ｂの外側に筒状ロータ１６が接合され、径大部１５ａの開口はスラストリング１７で封止されている。
【００１６】
筒状ロータ１６およびスラストリング１７は、回転体１５とともに回転支持機構１４の回転部分を構成している。スラストリング１７は、第１潤滑材捕捉リング１８とともに回転体１５の径大部１５ａにボルト１９で固定されている。回転体１５およびスラストリング１７で囲まれた内部空間に、回転支持機構１４の固定部分を構成する円柱状の固定体２０が配置されている。
【００１７】
固定体２０は、たとえば回転体１５の径大部１５ａ内側に嵌合する径大部２０ａおよび径大部２０ａよりも外径が小さく回転体１５の径小部１５ｂ内側に嵌合する第１径小部２０ｂ、径大部２０ａよりも外径が小さくスラストリング１７部分を貫通する第２径小部２０ｃなどから構成されている。
【００１８】
第２径小部２０ｃは真空容器１０の外側まで伸び、その図示上端は陽極構体部分を支持する支持部として利用される。第２径小部２０ｃに封止用補助リング２１が気密溶接されている。封止用補助リング２１に封着用金属リング２２の一端が気密溶接され、封着用金属リング２２の他端は真空容器１０に気密封止されている。封止用補助リング２１に第２潤滑材捕捉リング２３が固定されている。
【００１９】
回転体１５の径小部１５ｂと固定体２０の第１径小部２０ｂとの対向部分で、管軸ｍ方向に離れた２つの領域に、軸受面が管軸に並行なラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂが設けられている。また、固定体径大部２０ａの図示下面と回転体１５の段差面１５ｃとの対向部分、および、固定体径大部２０ａの図示上面とスラストリング１７との対向部分に、軸受面が管軸に垂直なスラスト方向の動圧式すべり軸受Ｓａ、Ｓｂが設けられている。動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂ、Ｓａ、Ｓｂは、たとえば固定体２０表面にらせん溝が設けられ、らせん溝や軸受間隙に液体金属潤滑材が供給されて形成される。
【００２０】
また、固定体２０内部に、その図示下端面から管軸ｍに沿ってくり抜いたリザーバ２４が設けられている。リザーバ２４の管軸ｍ方向における所定位置、たとえばラジアル方向の２つの動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂで挟まれた位置およびスラスト方向の動圧式すべり軸受Ｓａ、Ｓｂが設けられた位置に、それぞれダクト２５ａ〜２５ｃが半径方向に設けられている。リザーバ２４およびダクト２５ａは液体金属潤滑材を貯蔵し、軸受部分に供給するための通路となっている。
【００２１】
また、固定体２０内部に、複数たとえば２個の潤滑材格納室２６ａ、２６ｂが設けられている。
【００２２】
潤滑材格納室２６ａ、２６ｂは固定体２０内部をくりぬいて形成され、管軸ｍ方向に所定間隔に形成されている。潤滑材格納室２６ａ、２６ｂの一端は固定体２０内部で閉じ、他端はラジアル方向の２つの動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂで挟まれた領域、たとえば動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂ部分の軸受間隙よりも大きい間隙の非軸受領域Ｒｃに開口し、いわゆる止まり穴形状になっている。潤滑材格納室２６ａ、２６ｂは、たとえば一端の閉じた側が他端の開口よりも陽極ターゲット１１の近くに位置し、管軸ｍに傾斜して形成されている。そして、潤滑材格納室２６ａ、２６ｂの開口を囲む固定体２０外周壁面の少なくとも一部に、液体金属潤滑材によく濡れ、かつ液体金属潤滑材と反応して金属間化合物を生成しにくい皮膜２７ａ、２７ｂ、たとえば金が付着されている。皮膜２７ａ、２７ｂは、開口周辺の一部のみに付着してもよく、動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂで挟まれた非軸受間隙領域全体に付着してもよい。また、固定体２０の外周壁面全体に付着してもよい。
【００２３】
上記の回転陽極型Ｘ線管を製造する場合、潤滑材格納室２６ａ、２６ｂ内に、たとえば動作時に必要とされる液体金属潤滑材ＬＭの全容量、あるいは、実質上全容量に等しい容量を格納する。その後、回転軸たとえば管軸ｍと重力方向とのなす角度を、潤滑材格納室２６ａ、２６ｂから液体金属潤滑材が流出しない範囲に保ったまま真空排気する。その後、真空排気開始後の所定時期、たとえば真空排気中や真空排気完了後などに回転軸と重力方向とのなす角度を変更し、たとえば液体金属潤滑材の少なくとも一部を、潤滑材格納室２６ａ、２６ｂから軸受隙間へと移動させる。
【００２４】
上記した構成によれば、液体金属潤滑材ＬＭを潤滑材格納室２６ａ、２６ｂ内に収納し、Ｘ線管の真空排気開始後の所定時期に、潤滑材格納室２６ａ、２６ｂから軸受隙間へと液体金属潤滑材ＬＭを移動させている。この場合、液体金属潤滑材ＬＭは、軸受隙間などへ移動するまで、潤滑材格納室２６ａ、２６ｂの閉じた底の方に貯蔵され、ガスが混入するようなことがない。そのため、液体金属潤滑材ＬＭに混入した気泡が、真空排気時や使用時に、液体金属潤滑材ＬＭを軸受外部に噴き出すようなことがなくなる。したがって、長期にわたり安定な軸受動作および耐電圧性能を維持できる動圧式すべり軸受が得られ、信頼性の高い回転陽極型Ｘ線管およびその製造方法が実現される。
【００２５】
図１では、２個の潤滑材格納室２６ａ、２６ｂが示されている。しかし、図１に示すような２個ずつの組を固定体２０の円周方向に複数組設けてもよい。また、２個の潤滑材格納室２６ａ、２６ｂが動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂで挟まれた非軸受領域Ｒｃに開口しているが、少なくともその１つが非軸受領域Ｒｃに開口する構造であればよい。
【００２６】
また、潤滑材格納室２６ａ、２６ｂが２つのラジアル方向の動圧式すべり軸受に挟まれた非軸受間隙領域に開口している。この場合、非軸受間隙領域は、ラジアル方向およびスラスト方向の各動圧式すべり軸受に近い場所に位置するため、液体金属潤滑材ＬＭが各動圧式すべり軸受に行き渡りやすい。また、潤滑材格納室２６ａ、２６ｂの開口周辺に液体金属潤滑材ＬＭでよく濡れる皮膜２７ａ、２７ｂが付着しているため、各動圧式すべり軸受への液体金属潤滑材ＬＭの供給が確実に行われる。
【００２７】
なお、液体金属潤滑材でよく濡れる皮膜は回転体の表面に設けてもよく、固定体および回転体の両方に設けてもよい。
【００２８】
次に、本発明の他の実施形態について図２を参照して説明する。図２は図１に対応する部分に同じ符号を付し重複する説明を一部省略する。
【００２９】
この実施形態の場合、固定体２０内部に管軸ｍに沿って、冷却媒体が流れる冷却用通路を構成するための空洞３１が形成されている。空洞３１は、図示上端が真空容器１０外に開口し、陽極ターゲット１１側の図示下端が閉じている。また、空洞３１を避けた固定体２０内部に、リザーバ３２および潤滑材格納室３３が形成されている。
【００３０】
リザーバ３２は、その一端が固定体２０の図示下端面に開口し、他端は固定体２０の径大部２０ａと第２径小部２０ｃとの境界領域および動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂで挟まれた非軸受領域Ｒｃに開口している。潤滑材格納室３３は、その一端３３ａ、たとえば固定体２０下端面側の開口が栓３４で閉じられている。１つの他端３３ｂは管軸ｍに並行に伸び、固定体２０の径大部２０ａ外周面と回転体の径大部２０ａ内周面とが対向する非軸受領域に開口している。もう１つの他端３３ｃは、潤滑材格納室３３の中間で分岐し、ラジアル方向の２つの動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂで挟まれた非軸受領域Ｒｃに開口している。
【００３１】
上記の回転陽極型Ｘ線管は、潤滑材格納室３３の一端開口３３ａは栓３４で閉じられ、図１の場合と同様、止まり穴形状になっている。そして、製造工程では、潤滑材格納室３３内に、たとえば動作時に必要とされる液体金属潤滑材ＬＭの全容量、あるいは、実質的に全容量に等しい容量を格納する。その後、回転軸たとえば管軸ｍと重力方向とのなす角度を、潤滑材格納室３３から液体金属潤滑材ＬＭが流出しない範囲に保ったまま真空排気する。その後、真空排気開始後の所定時期に、回転軸と重力方向とのなす角度を変更し、たとえば液体金属潤滑材ＬＭの少なくとも一部を、潤滑材格納室３３から軸受隙間へと移動させる。
【００３２】
この場合も、液体金属潤滑材ＬＭは、軸受隙間へ移動するまでは、潤滑材格納室３３の閉じた底の方に貯蔵され、ガスが混入するようなことがない。したがって図１の実施形態と同様の効果が実現される。
【００３３】
次に、本発明の他の実施形態について図３を参照して説明する。
【００３４】
回転陽極型Ｘ線管を構成する真空容器４１は、その一部たとえば一端に位置する筒状部４１ａと、他端に位置する平板状部４１ｂが示されている。真空容器４１内にリング状陽極ターゲット４２が配置され、陽極ターゲット４２は継手部４３に接合固定されている。
【００３５】
継手部４３は筒状部４３ａおよび筒状部４３ａの図示上端から内側に突出する第１突出部４３ｂ、図示下端から外側に突出する第２突出部４３ｃを有している。第１突出部４３ｂが回転支持機構４４に連結され、第２突出部４３ｃが陽極ターゲット４２に接合されている。
【００３６】
回転支持機構４４は回転部分と固定部分を有し、回転部分は筒状回転体４５および筒状回転体４５の上下開口をそれぞれ封止する第１スラストリング４６や第２スラストリング４７、第２スラストリング４７に接合された筒状ロータ４８などから構成されている。筒状回転体４５の外周面に環状突出部４５ａが設けられ、環状突出部４５ａに継手部４３の第１突出部４３ｂが接合され、同時に両者はボルト４９で強固に固定されている。また、筒状回転体４５および第１スラストリング４６、第２スラストリング４７で囲まれた内部空間に、回転支持機構４４の固定部分を構成する固定体５０が配置されている。
【００３７】
固定体５０は筒状回転体４５に嵌合する径大部５０ａおよびこの径大部５０ａの上下にそれぞれ連続する第１径小部５０ｂ、第２径小部５０ｃから構成され、第１径小部５０ａは第１スラストリング４６を貫通し、真空容器４１の外側まで伸び、真空容器４１ａに気密に固定されている。第２径小部５０ｃの図示下端は真空容器４１ｂに固定されている。
【００３８】
たとえば真空容器４１ｂの一部に円筒状の第１固定部材５２が気密接合され、第１固定部材５２下端の内側に折り曲げられた折曲部５２ａに筒状の第２固定部材５３が気密接合され、さらに第２固定部材５３の内側に筒状の第３固定部材５４が気密接合されている。そして、第３固定部材５４の内側に固定体５０の第２径小部５０ｃが気密に固定されている。
【００３９】
固定体５０はその上端面から下端面まで管軸方向に貫通する空洞５５が設けられている。空洞５５は冷却媒体が流れる冷却路を形成し、冷却媒体はたとえば矢印Ｙで示すように、真空容器４１外に位置する上端開口５５ａから入り、真空容器４１外に位置する下端開口５５ｂから出ていく。
【００４０】
また、筒状回転体４５および第１スラストリング４６、第２スラストリング４７などの回転部分と固定体５０の径大部５０ａとの対向部分、いわゆる嵌合部分に動圧式すべり軸受が形成されている。たとえば径大部５０ａ外周部分の管軸ｍ方向に離れた２つの領域に軸受面が管軸に並行なラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂが形成され、径大部５０ａの上下両面部分に軸受面が管軸に垂直なスラストの動圧式すべり軸受Ｓａ、Ｓｂが形成されている。
【００４１】
そして、管軸ｍ方向に所定間隔で、固定体径大部５０ａ内部をくり抜いた複数、たとえば３個の潤滑材格納室５６が設けられている。潤滑材格納室５６の一端５６ａは固定体５０内部で閉じ、他端５６ｂは２つのラジアル方向の動圧式すべり軸受Ｒａ、Ｒｂで挟まれた非軸受領域Ｒｃに開口する止まり穴形状になっている。この場合、たとえば一端５６ａが他端５６ｂよりも第２スラストリング４７の近くに位置し、管軸ｍに傾斜して形成されている。また、潤滑材格納室５６の開口部を囲む固定体５０外周壁面の少なくとも一部に、潤滑材によく濡れ、かつ液体金属潤滑材と反応して金属間化合物を生成しにくい皮膜６１が付着されている。
【００４２】
上記の構成で、回転陽極型Ｘ線管の製造工程では、潤滑材格納室５６内に動作時に必要とされる液体金属潤滑材ＬＭの実質上の全容量を格納する。その後、回転軸と重力方向とのなす角度を、液体金属潤滑材ＬＭが潤滑材格納室５６内に留まる範囲内に保ったまま真空排気する。その後、真空排気開始後の所定時期に、回転軸と重力方向とのなす角度を変更し、たとえば液体金属潤滑材ＬＭの少なくとも一部を、潤滑材格納室５６から軸受隙間へと移動させる。
【００４３】
上記した構成の場合も、軸受隙間へ移動するまでは、液体金属潤滑材ＬＭが潤滑材格納室５６の閉じた底の方に貯蔵され、ガスが混入するようなことがない。したがって図１や図２の実施形態と同様の効果が実現される。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態を説明する要部縦断面図である。
【図２】本発明の他の実施形態を説明する要部縦断面図である。
【図３】本発明の他の実施形態を説明する要部縦断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０…真空容器
１１…陽極ターゲット
１３…継手部
１４…回転支持機構
１５…回転体
１６…筒状ロータ
１７…スラストリング
２０…固定体
２４…リザーバ
２５ａ、２５ｂ、２５ｃ…ダクト
２６ａ、２６ｂ…潤滑材格納室
２７…皮膜
Ｒａ、Ｒｂ…ラジアル方向のすべり軸受
Ｓａ、Ｓｂ…スラスト方向のすべり軸受
Ｒｃ…非軸受領域
ＬＭ…液体金属潤滑材
【図１】
2005135784.tif 000003
【図２】
2005135784.tif 000004
【図３】
2005135784.tif 000005