(57)【要約】【課題】  不感帯領域をなくして、低流量調整範囲を広く確保することができる電磁式比例弁を提供すること。【解決手段】  中空孔を備えるコイルボビン１２にコイル１１を巻回し、コイルボビン１２の一端開口部に固定コア１３を固設するとともに、コイルボビン１２の他端開口部からプランジャ１４を摺動可能に挿入し、固定コア１３とプランジャ１４との間に配設した第１スプリング２２により、プランジャ１４の先端部に取り付けた弁体２１を弁座９方向に付勢しており、コイル１１への電流値に応じて弁体２１を弁座９から離間させることにより入力ポート４から出力ポート５に供給する流体の流量調整を行う電磁式比例弁１であって、弁体２１が弁座９に当接しているときに自由長となり、プランジャ１４の摺動方向に所定長の隙間ｈを空けるように第２スプリング２３をプランジャ１４に装着する。【選択図】    図１
2005061589.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空孔を備えるコイルボビンにコイルを巻回し、前記コイルボビンの一端開口部に固定コアを固設するとともに、前記コイルボビンの他端開口部からプランジャを摺動可能に挿入し、固定コアとプランジャとの間に配設した第１弾性部材により、前記プランジャの先端部に取り付けた弁体を弁座方向に付勢しており、前記コイルへの電流値に応じて前記プランジャを移動させて前記弁体を前記弁座から離間させることにより入力ポートから出力ポートに供給する流体の流量調整を行う電磁式比例弁において、
前記弁体が前記弁座に当接しているときに自由長となり、前記プランジャの摺動方向に所定長の隙間を空けて前記プランジャに装着される第２弾性部材を有すること、を特徴とする電磁式比例弁。
【請求項２】
請求項１に記載する電磁式比例弁において、
前記隙間の長さは、前記プランジャが全閉位置から全開位置まで移動するストローク範囲の１０〜２０％であること、を特徴とする電磁式比例弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スプリング荷重とコイルの吸引力とのバランスを取ることにより弁開度を調整する電磁式比例弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、供給電流量に比例して弁開度を調整する電磁式比例弁は、例えば、産業機械や医療器械など空気等の気体を容器に充填する装置に使用される。これらの装置では、容器への充填時間を速くするために流量を多く流し、充填後容器から外部漏れ等により圧力低下を補うために流体を微量に充填することが行われており、電磁式比例弁には、微量流量と大流量とを精度良く制御することが望まれている。
【０００３】
電磁式比例弁の一例としては、例えば、固定コアとプランジャとの間に１個のスプリングを縮設したものが知られている。固定コアは、コイルを巻回されたコイルボビンの一端に装填されて固定され、固定コアと同軸上にプランジャがコイルボビンの他端から摺動可能に挿入されている。プランジャの下端部には、弁体が固設され、その弁体が当接又は離間する弁座は、入力ポートと出力ポートとの間に配設されている。固定コアとプランジャとの間には、スプリングが縮設され、弁体に弁座方向の力を常時作用させている。
【０００４】
かかる電磁式比例弁は、図５のＬに示すように、プランジャのストロークと、吸引力の反力として作用する荷重とが比例するため、コイルの吸引力を調整することによりプランジャのストローク（弁開度）を制御することができる。コイルの吸引力は、電流値と比例関係にあるため、図６に示すように電流値を制御することによりプランジャのストロークを制御し、流量調整をすることができる。
【０００５】
ここで、電磁式比例弁は、コイルへの電流値に応じて発生するコイルの吸引力によりプランジャを摺動させて弁の開閉を行うため、プランジャのストローク範囲が狭く（例えば、１ｍｍ以下）、例えば、図５に示すように、定格電流値（図中Ｇ１参照）をコイル１１に供給した場合と定格電流値に対して５０％の電流値（図中Ｇ４参照）をコイル１１に供給した場合とを比較すると、前者のスプリング荷重が後者のスプリング荷重の約５倍となる。そのため、弁開度を全開付近で精度良く制御するためには、バネ定数の大きいスプリングを用いる必要がある。ところが、バネ定数の大きいスプリングを用いると、低流量調整範囲（図６のＣ部参照）が極めて狭くなり、低流量調整範囲内で微流量調整することが殆どできない。一方、バネ定数を小さくすると、スプリングの荷重と変位との関数の傾きが小さくなるため、低流量調整範囲内で微流量調整できるようになるが、全開付近で精度良く流量調整することができない。よって、低流量調整と大流量調整を精度良く行うためには、電磁式比例弁を２個設けなければならなかった。
【０００６】
これに対して、図７の断面図に示すように、電磁式比例弁１００に弾圧力の異なる２個のスプリング１１０，１１１を設けることが考えられる。電磁式比例弁１００は、コイル１０１を巻回されたコイルボビン１０２を備え、コイルボビン１０２の図中上端開口部に固定コア１０３が固設され、コイルボビン１０２の図中下端開口部から固定コア１０３と同軸上に略円柱形上のプランジャ１０４が摺動可能に挿入されている。プランジャ１０４は、軸方向に貫通孔１０４ａが形成され、図中下端開口部を塞ぐように弁体１０５が取り付けられている。入力ポート１０６と出力ポート１０７との間には、弁座１０８が弁体１０５と同軸上に設けられている。固定コア１０３とプランジャ１０４との間には、第１スプリング１１０が縮設され、弁体１０５に常に弁座１０８方向の力を作用させている。また、プランジャ１０４の貫通孔１０４ａには、第２スプリング１１１が図中上端開口部から弁体１０５に突き当てるように挿入され、ピストン１１２で圧縮保持されている。第２スプリング１１１は、第１スプリング１１０より弾圧力が強く、固定コア１０３の下端面に下向きに突設された凸部１０３ａによってピストン１１２を介して押し縮められるようになっている。
【０００７】
かかる電磁式比例弁１００は、コイル１０１に弱い電流を供給すると、プランジャ１０４が第１スプリング１１０を圧縮しながら上昇し、やがてピストン１１２が固定コア１０３の凸部１０３ａに突き当たる。第２スプリング１１１は、第１スプリング１１０より弾圧力が大きいため、ピストン１１２が固定コア１０３の凸部１０３ａに当接しても押し縮められない。そのため、プランジャ１０４は、弁体１０５を弁座１０８から僅かに離間させた位置で停止し、低流量調整を行う。その後、コイル１０１に供給する電流を徐々に強くしていくと、コイル１０１の吸引力が第２スプリング１１１の弾圧力に打ち勝ち、プランジャ１０４が第１スプリング１１０と第２スプリング１１２とを押し縮めながら上昇して弁体１０５を弁座１０８から大きく離間させ、大流量調整を行う。従って、電磁式比例弁１００は、単独で微小流量調整と大流量調整とを行うことができる（例えば、特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開平６−５０４５９号公報（段落０００５〜０００９、第１図。）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、従来の電磁式比例弁１００は、第２スプリング１１１がプランジャ１０４の貫通孔１０４ａ内に圧縮保持され、図８のＮ２に示すように、定格電流値（１００％：図中Ｈ１参照）に対して約８０％の電流値（図中Ｈ２参照）をコイル１０１に供給するまで変位しない。電磁式比例弁１００は、例えば、定格電流値に対して７０％の電流値（図中Ｈ３参照）がコイル１０１に供給される前は、ピストン１１２が固定コア１０３の凸部１０３ａに当接せず、プランジャ１０４に第１スプリング１１０の弾圧力のみが作用するが、定格電流値に対して７０％以上の電流値がコイル１０１に供給されると、ピストン１１２が固定コア１０３に当接し、プランジャ１０４に第１スプリング１１０と第２スプリング１１１とを合成した荷重が作用する（図中Ｎ３参照）。そのため、電磁式比例弁１００は、定格電流値に対して８０％の電流値をコイル１０１に供給しても、コイル１０１の吸引力（図中Ｈ２参照）が、第１スプリング１１０と第２スプリング１１１とを合成した荷重（図中Ｎ３参照）より小さく、コイル１０１に供給する電流値を定格電流値の７０％から８０％へと強くしても、プランジャ１０４を固定コア１０３側に吸引することができない。このように、第１スプリング１１０と第２スプリング１１１とを合成した荷重（図中Ｎ３参照）と、第１スプリング１１０の荷重（図中Ｎ１参照）との間にギャップが生じるため（図中Ｄ部参照）、図９に示すように、電流値に対して流量をリニアに調整できない不感帯領域Ｚが発生していた。また、不感帯領域Ｚが存在する分だけ、低流量調整範囲Ｘ２が狭くなる問題があった。
【００１０】
そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、不感帯領域をなくして、低流量調整範囲を広く確保することができる電磁式比例弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係る電磁式比例弁は、次のような構成を有している。
（１）中空孔を備えるコイルボビンにコイルを巻回し、コイルボビンの一端開口部に固定コアを固設するとともに、コイルボビンの他端開口部からプランジャを摺動可能に挿入し、固定コアとプランジャとの間に配設した第１弾性部材（例えば、スプリングなど）により、プランジャの先端部に取り付けた弁体を弁座方向に付勢しており、コイルへの電流値に応じてプランジャを移動させて弁体を弁座から離間させることにより入力ポートから出力ポートに供給する流体の流量調整を行う電磁式比例弁において、弁体が弁座に当接しているときに自由長となり、プランジャの摺動方向に所定長の隙間を空けてプランジャに装着される第２弾性部材（例えば、スプリングなど）を有すること、を特徴とする。
【００１２】
（２）（１）に記載の発明において、隙間の長さは、プランジャが全閉位置から全開位置まで移動するストローク範囲の１０〜２０％であること、を特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
次に、上記構成を有する発明の作用効果について説明する。
上記（１）に記載の構成を有する発明では、コイルに弱い電流を供給すると、コイルの吸引力でプランジャが第１弾性部材の弾圧力に抗して固定コア側に摺動し、弁体を弁座から離間させる。プランジャが所定長の隙間分だけ摺動するまでは、第２弾性部材は自由長のままで弾圧力を発生せず、コイルの吸引力に対する反力が小さいので、プランジャを所定長の隙間分だけ摺動させるために必要な電流値より小さい電流をコイルに供給すれば、入力ポートから出力ポートに供給する流体を低流量調整範囲内で微流量調整することができる。その後、コイルに供給する電流を強くしていくと、プランジャが所定長の隙間分だけ摺動し、それと同時に弾性部材が圧縮されて弾圧力を発生し始める。そのため、プランジャは、停止することなく第１弾性部材と第２弾性部材に抗して摺動し続け、流量調整を行う。よって、本発明によれば、不感帯領域をなくして、低流量調整範囲を広く確保することができる。
【００１４】
上記（２）に記載の構成を有する発明によれば、（１）に記載の発明の作用効果に加え、プランジャが全閉位置からストローク範囲の１０〜２０％の範囲内で固定コア側に摺動するときには、第１弾性部材の弾圧力のみがプランジャに作用して低流量調整し、プランジャが全閉位置からストローク範囲の１０〜２０％の範囲を超えて固定コア側に摺動するときには、第１弾性部材の弾圧力と第２弾性部材の弾圧力の合成力がプランジャに作用して大流量調整するので、低流量調整と大流量調整を単独で行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本発明に係る電磁式比例弁の一実施の形態について図面を参照して説明する。図１及び図２は、電磁式比例弁１の断面図である。
本実施の形態の電磁式比例弁１は、産業機械、医療機械などの空気等の気体を容器に充填する装置に使用され、第１，第２スプリング２２，２３の弾圧力の差を利用して気体の微小流量調整と大流量調整とを単独で行うよう構成されている。
【００１６】
電磁式比例弁１は、流量制御を行う弁部２と、弁部２に駆動力を与える駆動部３とを備える。弁部２は、入力ポート４と出力ポート５が側面から図中水平方向に穿設されるとともに、弁孔６が図中上端面から垂直方向に穿設されたボディ７を有する。ボディ７の図中上端面には、弁孔６と同軸上に取付孔８が開設され、取付孔８と弁孔６とが連通する開口部分に弁座９が設けられている。よって、入力ポート４に流入した気体は、取付孔８、弁座９、弁孔６を通って出力ポート５から流出されるようになっている。
【００１７】
一方、駆動部３は、コイル１１を巻回された中空円筒形状のコイルボビン１２を有する。固定コア１３は、コイルボビン１２の図中上端開口部に装填されて固定され、コイルボビン１２の図中下端開口部からプランジャ１４が摺動可能に挿入されている。コイルボビン１２とプランジャ１４との間には、プランジャガイド１５が配設され、プランジャ１４の摺動に対する剛性を確保している。配線１６はコイル１１に接続し、ブッシュ１７から外部に取り出されている。固定コア１３は、磁気フレーム１８にカシメ固定され、ブッシュ１７や磁気フレーム１８などに樹脂が充填されてソレノイドを構成している。
【００１８】
駆動部３は、プランジャ１４が弁部２の弁座９と同軸上となるようにボディ７に取り付けられている。駆動部３とボディ７との間には、Ｏリングなどのシール部材１９が配設されて流体漏れを防止している。プランジャ１４の下端部は、駆動部２から弁部３へと突き出し、その下端面に弁体２１が取り付けられている。弁体２１は、ゴムなどの弾性体や耐熱性の高いＰＴＦＥなどの樹脂で成形され、弁座９に気密に当接するようになっている。固定コア１３は、プランジャ１４と対向する下端面に円柱状の凸部１３ａが突設され、プランジャ１４の上端面には、固定コア１３の凸部１３ａに対応する位置に凹部１４ｂが設けられている。プランジャ１４の凹部１４ｂは、固定コア１３の凸部１３ａより直径の大きい円柱状に形成され、凸部１３ａが遊嵌されるようになっている。
【００１９】
また、プランジャ１４は、上端面から有底孔１４ｃが形成され、固定コア１３の凸部１３ａとプランジャ１４の有底孔１４ｃとの間にコイル状の第１スプリング（「第１弾性部材」に相当するもの。）２２が圧縮保持されている。そのため、弁体２１には、第１スプリング２２によって弁座９方向の力が常時作用している。プランジャ１４は、貫通孔１４ａ，１４ｅが形成され、第１スプリング２２の変位に従って有底孔１４ｃの圧力調整をするようになっている。プランジャ１４の下端外周は、外径方向に突出する拡径部１４ｄが設けられ、コイル状の第２スプリング（「第２弾性部材」に相当するもの。）２３が拡径部１４ｄに突き当てられられてプランジャ１４に装着されている。第２スプリング２３は、弁体２１が弁座９に当接しているときに自由長となり、プランジャガイド１５との間に隙間ｈを軸方向に所定の長さ持つように配設されている。ここで、隙間ｈの所定の長さとは、低流量調整範囲において最大流量を制御するためにプランジャ１４が上昇するストロークと同程度の長さをいう。従って、隙間ｈの長さを変更することにより、低流量調整範囲を任意に設定することが可能である。尚、電磁式比例弁１が低流量調整と大流量調整とを行うためには、隙間ｈの長さは、プランジャ１４が全閉位置から全開位置まで移動するストローク範囲の１０〜２０％とすることが望ましい。本実施の形態では、コイル１１に２００ｍＡの電流を供給すると、プランジャ１４が１．００ｍｍ上昇して弁を全開させるものとし、隙間ｈの長さは、プランジャ１４が全閉位置から全開位置まで移動するストローク範囲（１．００ｍｍ）の１５％（０．１５ｍｍ）とする。
【００２０】
固定コア１３とプランジャ１４との間には、スペーサ（「非磁性部材」に相当するもの。）２４が介在している。スペーサ２４は、樹脂、黄銅、アルミなどの非磁性材料をドーナツ板状に成形したものである。スペーサ２４は、中心部の貫通孔に固定コア１３の凸部１３ａを貫き通された状態で固定コア１３とプランジャ１４との間に軸方向に移動自在に配設されている。従って、スペーサ２４は、非通電時には、自重でプランジャ１４の上端面に載置されており、プランジャ１４が上昇すると、固定コア１３の凸部１３ａに沿って持ち上げられ、プランジャ１４が下降すると、自重で固定コア１３の凸部１３ａに沿ってプランジャ１４とともに下方に移動することとなる。
【００２１】
上記構成を有する電磁式比例弁１の作用効果について図面を参照して説明する。図３は、吸引力特性とバネ特性との関係を示す図であって、縦軸に吸引力とスプリング力を示し、横軸にストロークとスプリング変位を示す。図４は、電流値と流量との関係を示す図である。
コイル１１に電流を供給していない間、電磁式比例弁１は、図１に示すように、第１スプリング２２の荷重がプランジャ１４を介して弁体２１に作用し、弁体２１が所定のシール荷重で弁座９に当接している。従って、入力ポート４に気体を供給しても、出力ポート５から出力されない。ここで、第２スプリング２３は、プランジャガイド１５との間に隙間ｈを有するため、弁体２１には、第１スプリング２２の荷重のみが作用している。
【００２２】
電磁式比例弁１に弱い電流（例えば、５０ｍＡ）を供給すると、コイル１１に吸引力が発生し、プランジャ１４が第１スプリング２２に抗して上昇する。このとき、第２スプリング２３は、自由長を保ったまま、プランジャ１４の拡径部１４ｄによって固定コア１３側に持ち上げられて隙間ｈを移動する。第２スプリング２３がプランジャガイド１５との間に隙間ｈを有する間は、プランジャ１４には、第１スプリング２２の弾圧力（図３のＭ１参照）のみが作用する。そのため、プランジャ１４に作用するバネ特性（図３のＭ３参照）は、定格電流値（２００ｍＡ）に対して７０％の電流値（１４０ｍＡ：図中Ｆ３参照）をコイル１１に供給するまで第１スプリング２２のバネ特性（図３のＭ１参照）と一致してバネ定数が小さく、傾きが小さい。よって、電磁式比例弁１は、０〜１４０ｍＡの範囲内でコイル１１に電流を供給すれば、図４に示すように、電流値に対して流量をリニアに調整し、低流量調整範囲Ｘ１内で気体を精度良く微流量調整することが可能である。
【００２３】
また、定格電流値（２００ｍＡ）に対して７０％の電流値（１４０ｍＡ：図中Ｆ３参照）をコイル１１に供給すると、プランジャ１４が全閉位置から０．１５ｍｍ上昇し、第２スプリング２３がプランジャガイド１５に突き当たる。これと同時に、第２スプリング２３がプランジャガイド１５とプランジャ１４の拡径部１４ｄとの間で圧縮されて荷重を発生し始める（図３のＭ２参照）。そのため、図３のＡ部に示すように、第１スプリング２２と第２スプリング２３とを合成した荷重（図中Ｍ３）と、第１スプリング２２の荷重（図中Ｍ１）との間にギャップがなく、定格電流値の７０％以上の電流値をコイル１１に供給していったときに、プランジャ１４は、図４のＢ部に示すように、停止することなく全閉位置から０．１５ｍｍを超えて上昇し続け、低流量調整から大流量調整へと移行して電流値に対して流量をリニアに調整することができる。
【００２４】
コイル１１に定格電流値（図中Ｆ１参照）の７０％（図中Ｆ３参照）以上の電流値を供給すると、プランジャ１４には、図３のＭ３に示すように、第１スプリング２２に加えて第２スプリング２３の荷重が作用する。そのため、バネ定数が大きくなってバネ特性の傾きが大きくなり、コイル１１に定格電流値（２００ｍＡ：図中Ｆ１参照）を供給したときに、図２に示すようにプランジャ１４が全閉位置から固定コア１３側に１．００ｍｍ上昇して全開位置まで移動し、弁を全開させる。これにより、プランジャ１４のストローク範囲が広く確保され、１４０〜２００ｍＡの範囲内で電流をコイル１１に供給すれば、プランジャ１４を電流値に比例して全開付近、すなわち、全閉位置から固定コア１３側に０．１５〜１．００ｍｍ移動した範囲で位置調整し、図４に示すように、大流量調整範囲Ｙ１内で気体を精度良く流量調整することが可能である。
【００２５】
これに対して、閉弁方向に弁開度を調整する場合には、コイル１１への電流値を下げれば、第１，第２スプリング２２，２３の弾圧力でプランジャ１４が弁座方向に押し下げられ、弁開度を小さくする。このとき、プランジャ１４が全開位置まで移動した後に閉弁方向に弁開度を調整する場合、プランジャ１４の端面と固定コア１３の端面とが吸着し、吸引力が強くなっている。そのため、コイル１１への電流値を下げても、プランジャ１４が固定コア１３に吸着した状態が続き、ヒステリシスが大きくなる。しかし、固定コア１３とプランジャ１４との吸着面には、スペーサ２４が介在しているため、図３に示す吸引力特性では図示を省略しているが、吸着時の吸引力が下がり、ヒステリシスが小さくなる。よって、電磁式比例弁１は、コイル１１への電流値に応じてプランジャ１４を全開位置から弁座９方向へ移動させ、閉弁方向の弁開度調整を精度良く行うことができる。
【００２６】
ところで、電磁式比例弁１は、プランジャ１４が下降して固定コア１３から離間するほど、プランジャ１４にコイル１１の吸引力が作用しにくい。しかし、電磁式比例弁１では、プランジャ１４の凹部１４ｂに固定コア１３の凸部１３ａが挿入されるようになっているため、プランジャ１４が下降しても、プランジャ１４の凹部１４ｂ内周面と固定コア１３の凸部１３ａ外周面との間で磁気回路の一部が構成される。よって、電磁式比例弁１は、図３のＦ１〜Ｆ４に示すように、吸引力特性の急激な低下が抑えられ、この点からも、流量調整範囲を広く確保するとともに低流量調整範囲で気体を微流量調整することが可能である。
【００２７】
尚、流量調整を終了する場合には、コイル１１への通電を停止する。プランジャ１４は、第１スプリング２２と第２スプリング２３の弾圧力で弁座９方向に下降し、さらに、第１スプリング２２の弾圧力で弁座９に当接して入力ポート４と出力ポート５を遮断する。
【００２８】
従って、本実施の形態の電磁式比例弁１によれば、中空孔を備えるコイルボビン１２にコイル１１を巻回し、コイルボビン１２の一端開口部に固定コア１３を固設するとともに、コイルボビン１２の他端開口部からプランジャ１４を摺動可能に挿入し、固定コア１３とプランジャ１４との間に配設した第１スプリング２２により、プランジャ１４の先端部に取り付けた弁体２１を弁座９方向に付勢しており、コイル１１への電流値に応じてプランジャ１４を移動させて弁体２１を弁座９から離間させることにより入力ポート４から出力ポート５に供給する流体の流量調整を行うものであって、弁体２１が弁座９に当接しているときに自由長となり、プランジャ１４の摺動方向に所定長の隙間ｈを空けてプランジャ１４に装着される第２スプリング２３を有しているので、不感帯領域をなくして、低流量調整範囲Ｘ１（図４参照）を広く確保することができる。
【００２９】
また、本実施の形態の電磁式比例弁１によれば、隙間ｈの長さは、プランジャ１４が全閉位置から全開位置まで移動するストローク範囲の１５％であるので、低流量調整と大流量調整を単独で行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００３１】
（１）例えば、上記実施の形態では、プランジャ１４に有底孔１４ｃを形成し、固定コア１３の凸部１３ａとプランジャ１４の有底孔１４ｃとの間に第１スプリング２２を縮設した。これに対して、固定コア１３とプランジャ１４との間に、板バネなどバネ定数の大きい弾性部材を配設するようにしてもよい。
【００３２】
（２）例えば、上記実施の形態では、第２スプリング２３をプランジャ１４の拡径部１４ｄとプランジャガイド１５との間に配設した。それに対して、第１スプリング２２の外側であって固定コア１３とプランジャ１４との間に第２スプリング２３を配設してもよい。この場合にも、第２スプリング２３はプランジャ１４の摺動方向に所定長の隙間を空けて自由長となるように配設するようにする。
【００３３】
（３）例えば、上記実施の形態では、固定コア１３の凸部１３ａとプランジャ１４の凹部１４ｂとを円柱状に成形したが、円錐形状や多角柱形状などに成形してもよい。
【００３４】
（４）例えば、上記実施の形態では、２００ｍＡを定格電流値としたが、定格電流値はこれに限定されるものではなく、電磁式比例弁の使用用途に合わせて適宜変更可能である。
【００３５】
（５）例えば、上記実施の形態では、隙間ｈが第２スプリング２３とプランジャガイド１５との間に設けられている。それに対して、隙間ｈは、プランジャ１４の摺動方向に設けられていれば良く、例えば、第２スプリング２３の一端をプランジャガイド１５に溶接し、プランジャ１４の拡径部１４ｄと第２スプリング２３の他端との間に隙間ｈを設けるようにしてもよい。また、スプリング２３は、プランジャ１４やプランジャガイド１５などに固定してもよいし、プランジャ１４の摺動に従って第２スプリング１４を圧縮できれば、プランジャ１４に移動可能に装着するようにしてもよい。
【００３６】
（６）例えば、上記実施の形態では、電磁式比例弁１の入力ポート４から出力ポート５へと気体が流れる場合について説明した。それに対して、電磁式比例弁１は、出力ポート５から入力ポート４へと流体を供給するように産業機械などの配管に接続し、ＩＮとＯＵＴとを両加圧構造にしてもよい。
【００３７】
（７）例えば、上記実施の形態では、スペーサ２４を固定コア１３とプランジャ１４との間に軸方向に移動自在に配設したが、固定コア１３又はプランジャ１４に固定するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の形態に係り、電磁式比例弁の断面図であって、全閉状態を示す。
【図２】同じく、電磁式比例弁の断面図であって、全開状態を示す。
【図３】同じく、吸引力特性とバネ特性との関係を示す図であって、縦軸に吸引力とスプリング力を示し、横軸にストロークとスプリング変位を示す。
【図４】同じく、電流値と流量との関係を示す図である。
【図５】従来の電磁式比例弁における吸引力特性とバネ特性との関係を示す図であって、縦軸に吸引力とスプリング力を示し、横軸にストロークとスプリング変位を示す。
【図６】従来の電磁式比例弁における電流値と流量との関係を示す図である。
【図７】従来の電磁式比例弁の一例を示す図である。
【図８】図７に示す電磁式比例弁における吸引力特性とバネ特性との関係を示す図であって、縦軸に吸引力とスプリング力を示し、横軸にストロークとスプリング変位を示す。
【図９】図７に示す電磁式比例弁における電流値と流量との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  電磁式比例弁
４  入力ポート
５  出力ポート
９  弁座
１１  コイル
１２  コイルボビン
１３  固定コア
１３ａ  凸部
１４  プランジャ
１４ｂ  凹部
２１  弁体
２２  第１スプリング
２３  第２スプリング
２４  スペーサ
ｈ  隙間
【図１】
2005061589.tif 000003
【図２】
2005061589.tif 000004
【図３】
2005061589.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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