(57)【要約】【課題】この発明は基板を傾斜させて処理チャンバで処理する場合、処理チャンバに対する基板の受け渡しを能率よく行なうことができる基板の搬送装置を提供することにある。【解決手段】水平な状態で送られてきた基板を所定の傾斜角度に傾斜させて処理チャンバ６に受け渡す搬入受け渡し部３と、搬入受け渡し部で所定の角度に傾斜された上記基板を受けてその傾斜角度で上記処理部内を搬送する傾斜搬送部４と、所定の傾斜角度で処理部チャンバ内を搬送されて処理された基板を傾斜搬送部から受けて水平な状態に戻す搬出受け渡し部５とを具備し、搬入受け渡し部と搬出受け渡し部との少なくとも一方は、基板の搬送方向に沿って順次並設されているとともに、それぞれ別々に基板の傾斜角度の設定ができ、かつ長さ寸法が基板の搬送方向に沿う長さ寸法よりも短く設定された第１、第２の搬入若しくは搬出コンベア３１〜３４によって構成されている。【選択図】      図１
2005343639.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理部で処理される基板を搬送する搬送装置であって、
水平な状態で送られてきた基板を所定の傾斜角度に傾斜させて上記処理部に受け渡す搬入受け渡し部と、
この搬入受け渡し部で所定の角度に傾斜された上記基板を受けてその傾斜角度で上記処理部内を搬送する傾斜搬送部と、
所定の傾斜角度で上記処理部内を搬送されて処理された基板を上記傾斜搬送部から受けて水平な状態に戻す搬出受け渡し部とを具備し、
上記搬入受け渡し部と搬出受け渡し部との少なくとも一方は、基板の搬送方向に沿って順次並設されているとともに、それぞれ別々に基板の傾斜角度の設定ができ、かつ長さ寸法が上記基板の搬送方向に沿う長さ寸法よりも短く設定された複数のコンベアによって構成された角度変換手段を備えていることを特徴とする基板の搬送装置。
【請求項２】
上記搬入受け渡し部の角度変換手段は、基板の搬送方向に沿って順次並設された第１の搬入コンベアと第２の搬入コンベアとによって構成されていて、第１、第２の搬入コンベアは水平状態で基板を受けて所定の角度に傾斜して基板を上記傾斜搬送部に搬送するとともに、基板の長さ寸法のほぼ半分が第１の搬入コンベアから外れた時点でこの第１の搬入コンベアはつぎの基板の受け渡しが可能な水平状態に倒伏させられることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項３】
上記搬出受け渡し部の角度変換手段は、基板の搬送方向に沿って順次並設された第１の搬出コンベアと第２の搬出コンベアとによって構成されていて、第１、第２の搬出コンベアは所定の角度で傾斜した状態で基板を受けて水平に倒伏してから基板を搬送するとともに、基板が第１の搬出コンベアから外れた時点でこの第１の搬入コンベアはつぎの基板の受け渡しが可能な傾斜状態に起立されることを特徴とする請求項１記載の基板の搬送装置。
【請求項４】
処理部で処理される基板を搬送する搬送方法であって、
水平な状態で送られてきた基板を上記処理部に搬入する搬入工程と、
上記処理部に搬入された基板を所定の傾斜角度に傾斜されて搬送する搬送工程と、
上記処理部で処理された基板を受ける搬出工程とを具備し、
上記搬入工程と搬出工程との少なくとも一方の工程は、基板の傾斜角度を変換する角度変換工程を備えていることを特徴とする基板の搬送方法。
【請求項５】
上記搬入工程における角度変換工程は、基板を水平な状態で受ける第１の工程と、水平状態で受けた基板を傾斜させる第２の工程と、傾斜させた基板を上記処理部に受け渡すとともに上記第１の工程を同時に行う第３の工程とを具備したことを特徴とする請求項４記載の基板の搬送方法。
【請求項６】
上記搬出工程における角度変換工程は、上記搬送工程から基板を傾斜した状態で受ける第１の工程と、傾斜状態で受けた基板を水平にする第２の工程と、水平にされた基板を搬出するとともに上記第１の工程を同時に行う第３の工程とを具備したことを特徴とする請求項４記載の基板の搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は処理部で処理液によって処理される基板を搬送するための搬送装置及び搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。
【０００３】
つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、基板のレジストが除去された部分をエッチングし、エッチング後にレジストを除去するなどの一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。
【０００４】
このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液などの処理液としての薬液によって基板を処理する工程、さらに薬液による処理後に処理液としての洗浄液によって洗浄する工程などがあり、洗浄後には基板に付着残留した洗浄液を除去する乾燥工程が必要となる。
【０００５】
基板に対して上述した一連の処理を行う場合、上記基板は軸線を水平にして配置された搬送ローラによって水平な状態で処理部に搬送し、そこで処理液によって処理するようにしている。
【０００６】
ところで、最近では液晶表示装置に用いられるガラス製の基板が大型化及び薄型化する傾向にある。そのため、基板を水平搬送すると、搬送ローラ間における基板の撓みが大きくなるため、各処理チャンバでの処理が基板の板面全体にわたって均一に行えなくなるということが生じる。しかも、基板の上面に多量の処理液が残留した状態で、基板が処理部から搬出されることになるため、処理液を回収して再利用する場合、処理液の消費量が多くなり、ランニングコストの上昇を招く一因になっていた。
【０００７】
そこで、最近では基板を所定の角度で傾斜させて搬送することで、基板の板面に供給された処理液を円滑に流れるようにしている。それによって、基板とともに処理部から持ち出される処理液の量を少なくしたり、基板の板面全体を均一に処理できるようにするということが行なわれている。
【０００８】
処理部で基板を傾斜させて搬送しながら処理する場合、水平な状態で搬送されてきた基板を所定の傾斜角度に傾斜させて処理部に供給する。そして、基板が処理部で処理されたならば、傾斜状態から水平に戻して次工程に受け渡すようにすることになる。
【０００９】
従来、基板を傾斜させたり、傾斜した基板を水平に戻すためには、基板の長さ寸法よりも長尺で、傾斜角度の調整可能なコンベアを上記処理部の搬入側と搬出側とにそれぞれ１つずつ配置する。そして、搬入側においては、水平状態の搬入コンベアに基板が供給されたならば、この搬入コンベアを処理部に所定の傾斜角度で設けられた搬送コンベアの傾斜角度と同じ角度に傾斜させてから基板を処理部に受け渡すようにしている。
【００１０】
一方、搬出側では搬出コンベアを所定の傾斜角度で待機させておき、この搬出コンベアが処理部から搬出された基板を受けた後、水平に倒伏させることで、次工程に受け渡すということが行なわれている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、搬入側と搬出側とにおいて、それぞれ１つのコンベアによって基板を所定の角度に傾斜させて処理部へ受け渡したり、処理部で処理された基板を受けて水平に戻すようにすると、搬入側においては少なくとも基板の長さ寸法の２分の１以上が処理部の搬送コンベアに受け渡されるまでは搬入側の搬入コンベアを水平に倒伏させてつぎの基板を受け取ることができない。そのため、搬入コンベアがつぎの基板を受けることが可能になるまでに要するタクトタイム、つまり受け渡しに要するタクトタイムが長くなるということが生じるということがある。
【００１２】
また、搬出側においては、搬出コンベアが処理部の搬送コンベアから基板を受けて水平に倒伏した後、搬出コンベアから基板全体が送り出されるまでは、この搬出コンベアを所定の傾斜角度に傾斜させてつぎの基板を受け取ることができないから、搬入側と同様、基板の受け渡しに要するタクトタイムが長くなるということが生じる。
【００１３】
この発明は、処理部において、基板を所定の角度で傾斜させて搬送する場合に、基板の受け渡しに要するタクトタイムを短縮することができるようにした基板の搬送装置及び搬送方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明は、処理部で処理される基板を搬送する搬送装置であって、
水平な状態で送られてきた基板を所定の傾斜角度に傾斜させて上記処理部に受け渡す搬入受け渡し部と、
この搬入受け渡し部で所定の角度に傾斜された上記基板を受けてその傾斜角度で上記処理部内を搬送する傾斜搬送部と、
所定の傾斜角度で上記処理部内を搬送されて処理された基板を上記傾斜搬送部から受けて水平な状態に戻す搬出受け渡し部とを具備し、
上記搬入受け渡し部と搬出受け渡し部との少なくとも一方は、基板の搬送方向に沿って順次並設されているとともに、それぞれ別々に基板の傾斜角度の設定ができ、かつ長さ寸法が上記基板の搬送方向に沿う長さ寸法よりも短く設定された複数のコンベアによって構成された角度変換手段を備えていることを特徴とする基板の搬送装置にある。
【００１５】
上記搬入受け渡し部の角度変換手段は、基板の搬送方向に沿って順次並設された第１の搬入コンベアと第２の搬入コンベアとによって構成されていて、第１、第２の搬入コンベアは水平状態で基板を受けて所定の角度に傾斜して基板を上記傾斜搬送部に搬送するとともに、基板の長さ寸法のほぼ半分が第１の搬入コンベアから外れた時点でこの第１の搬入コンベアはつぎの基板の受け渡しが可能な水平状態に倒伏させられることが好ましい。
【００１６】
上記搬出受け渡し部の角度変換手段は、基板の搬送方向に沿って順次並設された第１の搬出コンベアと第２の搬出コンベアとによって構成されていて、第１、第２の搬出コンベアは所定の角度で傾斜した状態で基板を受けて水平に倒伏してから基板を搬送するとともに、基板が第１の搬出コンベアから外れた時点でこの第１の搬入コンベアはつぎの基板の受け渡しが可能な傾斜状態に起立されることが好ましい。
【００１７】
この発明は、処理部で処理される基板を搬送する搬送方法であって、
水平な状態で送られてきた基板を上記処理部に搬入する搬入工程と、
上記処理部に搬入された基板を所定の傾斜角度に傾斜されて搬送する搬送工程と、
上記処理部で処理された基板を受ける搬出工程とを具備し、
上記搬入工程と搬出工程との少なくとも一方の工程は、基板の傾斜角度を変換する角度変換工程を備えていることを特徴とする基板の搬送方法にある。
【００１８】
上記搬入工程における角度変換工程は、基板を水平な状態で受ける第１の工程と、水平状態で受けた基板を傾斜させる第２の工程と、傾斜させた基板を上記処理部に受け渡すとともに上記第１の工程を同時に行う第３の工程とを具備したことが好ましい。
【００１９】
上記搬出工程における角度変換工程は、上記搬送工程から基板を傾斜した状態で受ける第１の工程と、傾斜状態で受けた基板を水平にする第２の工程と、水平にされた基板を搬出するとともに上記第１の工程を同時に行う第３の工程とを具備したことが好ましい。
【発明の効果】
【００２０】
この発明よれば、搬入受け渡し部と搬出受け渡し部との少なくとも一方に、複数のコンベアによって構成された角度変換手段を設けるようにしたから、搬入受け渡し部では基板を傾斜させて処理部へ受け渡すと同時に、新たな基板を水平な状態で受けることができ、搬出受け渡し部では処理部から搬出された基板を水平な状態で搬出すると同時に、処理部で処理された基板を傾斜した状態で受けることができる。そのため、基板の処理部への搬入或いは処理部からの搬出などの受け渡しに要するタクトタイムを短縮することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００２２】
図１は基板Ｗの処理装置１の概略的構成を示し、この処理装置１にはこの発明の搬送装置２が用いられている。搬送装置２は搬入受け渡し部３と、傾斜搬送部４と、搬出受け渡し部５とによって構成されていて、上記傾斜搬送部４は基板Ｗをたとえばエッチング液などの処理液によって処理するための処理部としての処理チャンバ６内に設けられている。
【００２３】
図２は上記処理チャンバ６の縦断面図である。この処理チャンバ６は基板Ｗの搬送方向に沿う一端面に鎖線で示す搬入口７が形成され、他端面に搬出口（図示せず）が形成されている。処理チャンバ６内には基板Ｗの搬送方向と交差する幅方向の両端部にそれぞれ受け部材８が設けられている。これら受け部材８には上記傾斜搬送部４が上記幅方向に対して所定の角度、たとえば５〜１５度の角度で傾斜して設けられている。
【００２４】
上記傾斜搬送部４は上記受け部材８に幅方向の両端部が支持されるフレーム１１を有する。このフレーム１１の幅方向一端部は上記受け部材８に直接支持され、幅方向他端部は角度調整部材１０を介して支持されている。それによって、上記フレーム１１は上記幅方向に対して所定の角度、たとえば５〜１５度の範囲内の角度で傾斜している。なお、フレーム１１の傾斜角度は５〜１５度の範囲内に限定されず、それ以下であっても、それ以上であっても差し支えない。
【００２５】
上記フレーム１１には、フレーム１１の幅方向に軸線を沿わせた複数の搬送軸１２（１本のみ図示）が幅方向と交差する基板Ｗの搬送方向に沿って所定間隔で回転可能に設けられている。搬送軸１２には基板Ｗの下面を支持する複数の搬送ローラ１３が所定間隔で設けられている。したがって、搬送ローラ１３に下面が支持された基板Ｗはフレーム１１と同じ角度で傾斜して搬送される。
【００２６】
上記フレーム１１の傾斜方向の上端側に位置する幅方向一側の外面には、伝達軸１４が軸線を基板Ｗの搬送方向に沿わせて回転可能に架設されている。この伝達軸１４の中途部には従動歯車１５が設けられている。この従動歯車１５には駆動歯車１６が噛合している。この駆動歯車１６は処理チャンバ６の外部に設けられた駆動源１７の出力軸１８に嵌着されている。
【００２７】
詳細は図示しないが、上記搬送軸１２の上記伝達軸１４側に位置する一端部には第１のかさ歯車が設けられている。第１のかさ歯車は上記搬送軸１２に設けられた第２のかさ歯車が噛合している。したがって、上記駆動源１７が作動して上記駆動歯車１６及び従動歯車１５を介して上記伝達軸１４が回転されれば、上記第１、第２のかさ歯車を介して上記搬送軸１２が回転駆動される。それによって、搬送ローラ１３に支持された基板Ｗが搬送されるようになっている。
【００２８】
なお、フレーム１１内には、搬送軸１２の傾斜方向下端部に対応する位置に基板Ｗの傾斜方向下端面、つまり搬送方向と交差する幅方向の一側面を支持するラジアルローラ１９が設けられている。
【００２９】
処理チャンバ６内を搬送される基板Ｗの上方には、基板Ｗの幅方向に沿う複数のシャワーパイプ２１（１つのみ図示）が基板Ｗの搬送方向に対して所定間隔で配置されている。各シャワーパイプ２１には複数のノズル２２が所定間隔で設けられている。上記シャワーパイプ２１はヘッダパイプ２３に連通管２４を介して接続されている。このヘッダパイプ２３はエッチング液などの処理液の供給源（図示しない）に連通している。それによって、処理チャンバ６内を搬送される基板Ｗの上面には上記ノズル２２から処理液が噴射されるようになっている。
【００３０】
上記処理チャンバ６の搬入側には上記搬入受け渡し部３が設けられ、搬出側には上記搬出受け渡し部５が設けられている。図１に示すように、搬入受け渡し部３は基板Ｗの搬送方向に沿って順次並設された第１の搬入コンベア３１と第２の搬入コンベア３２とによって構成され、搬出受け渡し部５は基板Ｗの搬送方向に沿って順次並設された第１の搬出コンベア３３と第２の搬出コンベア３４とによって構成されている。
【００３１】
上記搬入受け渡し部３の上流側には搬入水平コンベア３ａが設けられ、上記搬出受け渡し部５の下流側には搬出水平コンベア５ａが設けられている。  
なお、第１の搬入コンベア３１と第２の搬入コンベア３２及び第１の搬出コンベア３３と第２の搬出コンベア３４は、それぞれ基板Ｗの傾斜角度を変換する角度変換手段を構成している。
【００３２】
上記各コンベア３１〜３４は配置位置が異なるだけで、同じ構成になっていて、以下、図３と図４を参照しながら説明する。すなわち、上記コンベア３１〜３４は矩形枠状のフレーム３６を有する。このフレーム３６は上記処理チャンバ６内に設けられた傾斜搬送部４のフレーム１１と同じ幅寸法に設定されていて、その枠内の幅方向両端部には支持板３７が幅方向と直交する方向に沿って架設されている。なお、この実施の形態では、各コンベア３１〜３４のフレーム３６の基板Ｗの搬送方向に沿う長さ寸法は、この基板Ｗの長さ寸法よりも小さく、しかも基板Ｗの長さ寸法の約半分よりも長く設定されている。
【００３３】
一対の支持板３７には両端部が軸受３８によって回転可能に支持された複数の搬送軸３９が所定間隔で架設されている。各搬送軸３９には軸方向に所定間隔で複数の搬送ローラ４１が設けられている。一方の支持板３７から突出した各搬送軸３９の一端部には第１のかさ歯車４２が設けられている。
【００３４】
上記フレーム３６の上記搬送軸３９の一端部側には、搬送軸３９の配置方向に沿って伝動軸４３が回転可能に支持されている。この伝達軸４３には上記第１のかさ歯車４２に噛合する第２のかさ歯車４４が設けられている。
【００３５】
上記伝達軸４３の軸方向中途部には従動プーリ４５が設けられている。上記フレーム３６の外側面で、上記従動プーリ４５に対応する部位には駆動源４６が設けられている。この駆動源４６の出力軸４７には駆動プーリ４８が設けられ、この駆動プーリ４８と上記従動プーリ４５とには図３に鎖線で示すチェーン４９が張設されている。
【００３６】
したがって、上記駆動源４６が作動すれば、駆動プーリ４８と従動プーリ４５に張設されたチェーン４９を介して上記伝達軸４３が回転駆動されるから、この伝達軸４３に設けられた第２のかさ歯車４４及びこの第２のかさ歯車４４に噛合した第１のかさ歯車４２を介して搬送軸３９が所定方向に回転駆動される。それによって、各搬送軸３９に設けられた搬送ローラ４１によって支持された基板Ｗが所定方向に搬送されることになる。
【００３７】
図４に示すように、上記フレーム３６の下面側には、このフレーム３６とほぼ同じ大きさの下部フレーム５１が連結部材５２によって所定の間隔で並行に離間して連結されている。
【００３８】
上記フレーム３６に設けられた搬送軸３９の軸方向中央部に対応する、下部フレーム５１の幅方向中央部であって、この幅方向と交差する方向の両端部にはそれぞれ支軸５３（一方のみ図示）が軸線を搬送軸３９の軸線と直交させて設けられている。
【００３９】
上記搬入受け渡し部３及び搬出受け渡し部５を構成する架台５４の上面には支持部材５５が立設されている。この支持部材５５には上記支軸５３が回転可能に支持されている。それによって、上記フレーム３６は、架台５４の上面に、下部フレーム５１とともに搬送軸３９の軸方向である、基板Ｗの幅方向に沿って揺動可能となっている。
【００４０】
上記架台５４には、上記下部フレーム５１の幅方向一端部に対応する部位に揺動機構を構成する駆動シリンダ５６が軸線を垂直にして設けられている。この駆動シリンダ５６の駆動軸５７の先端部はフレーム３６の幅方向と交差する方向に沿って長い取り付け板５８が設けられている。この取り付け板５８の両端部にはそれぞれローラ５９（一方のみ図示）が設けられている。一対のローラ５９は下部フレーム５１の幅方向一端部で、この幅方向と交差する方向の両端部に設けられた当接板６１に当接している。
【００４１】
したがって、上記駆動シリンダ５６が作動してその駆動軸５７が突出方向に駆動されれば、ローラ５９が当接板６１を介して下部フレーム５１の幅方向一端部を押し上げるから、この下部フレーム５１とともに搬送ローラ４１が設けられたフレーム３６の幅方向一端部が上昇する。
【００４２】
つまり、フレーム３６は駆動シリンダ５６によって幅方向中心部を支点として幅方向一端部が他端部よりも高くなる方向に傾動するようになっている。フレーム３６の傾動角度は、上記処理チャンバ６に設けられた傾斜搬送部４のフレーム１１と同じ傾斜角度になるよう設定されている。なお、図４はフレーム３６が傾斜した状態を示している。
【００４３】
つぎに、上記構成の搬送装置２が用いられた処理装置１によって基板Ｗを処理する場合について図５（ａ）〜（ｃ）と図６（ａ）〜（ｃ）を参照しながら説明する。
【００４４】
未処理若しくは前工程で所定の処理がなされた基板Ｗは、図５（ａ）に示すように搬入水平コンベア３ａによって水平な状態で搬入受け渡し部３の第１の搬入コンベア３１上に供給される。このとき、搬入受け渡し部３の第１の搬入コンベア３１と第２の搬入コンベア３２とは水平で基板Ｗを受け取る。
【００４５】
基板Ｗは第１の搬入コンベア３１によって第２の搬入コンベア３２の方向へ搬送される。図５（ｂ）に示すように基板Ｗの搬送方向に沿う長手方向の先端部が第２の搬入コンベア３２上に載ると、第１の搬入コンベア３１と第２の搬入コンベア３２とが駆動シリンダ５６によって処理チャンバ６内の傾斜搬送部４と同じ傾斜角度になるよう傾斜方向に駆動される。
【００４６】
このとき、第１、第２の搬入コンベア３１，３２は基板Ｗを搬送しながら傾斜する。このとき、基板Ｗの後端部は水平搬入コンベア３ａ上にあるが、基板Ｗの長さの２分の１以上が第１、第２の搬入コンベア３１，３２上にあるため、これらコンベア３１，３２によって基板Ｗは傾斜される。
【００４７】
図５（ｃ）に示すように、基板Ｗが傾斜した状態で第２の搬入コンベア３２上に搬送され、第１の搬入コンベア３１上に残る基板Ｗの長さ寸法が全長の２分の１以下になると、第１の搬入コンベア３１が駆動されて傾斜状態から水平状態に戻る。
【００４８】
このとき、第１の搬入コンベア３１上に残る基板Ｗの長さ寸法が全長の約２分の１以下であるから、基板Ｗは第２の搬入コンベア３２によって確実に支持される。そのため、基板Ｗは第２の搬入コンベア３２と同じ角度で傾斜した傾斜搬送部４に確実に受け渡されることになる。
【００４９】
つまり、第１の搬入コンベア３１上に基板Ｗの一部が残っている状態でこの第１の搬入コンベア３１が水平に倒伏しても、基板Ｗが第２の搬入コンベア３２から落下することなく傾斜搬送部４に搬送される。
【００５０】
第１の搬入コンベア３１が水平に倒伏すると、つぎの基板Ｗが搬入水平コンベア３ａによって水平な状態で第１の搬入コンベア３１に供給され、この第１の搬入コンベア３１によって２枚目の基板Ｗが搬送される。それとほぼ同時、最初の基板Ｗが第２の搬入コンベア３２から傾斜搬送部４の搬送ローラ１３に受け渡され、この第２の搬入コンベア３２が傾斜状態から水平状態に駆動される。
【００５１】
そして、第２の搬入コンベア３２が第１の搬入コンベア３１によって水平な状態で搬送された２枚目の基板Ｗをこの第１の搬入コンベア３１とともに受けると、これら搬入コンベア３１，３２が水平状態から傾斜状態に駆動されて２枚目の基板Ｗを処理チャンバ６内へ搬送する一方、第１の搬入コンベア３２に残留する２枚目の基板Ｗの長さ寸法が２分の１以下になると、この第１の搬入コンベア３１が水平に倒伏し、このコンベア３１に３枚目の基板Ｗが供給されるという動作が繰り返される。
【００５２】
このように、搬入受け渡し部３を、水平状態と傾斜状態との角度調整可能な第１の搬入コンベア３１と第２の搬入コンベア３２とで構成した。そのため、基板Ｗが水平に倒伏した第１、第２の搬入コンベア３１，３２上に供給されて搬送され、第１の搬入コンベア３１上に残る長さ寸法が２分の１以下になったならば、第２の搬入コンベア３２によって基板Ｗを傾斜した状態で搬送している間に、第１の搬入コンベア３１を水平に倒伏させてつぎの基板Ｗを水平な状態で受けることができる。
【００５３】
つまり、搬入受け渡し部３は、その第１の搬入コンベア３１が基板Ｗを搬入水平コンベア３ａから水平な状態で受けながら、第２の搬入コンベア３２によって処理チャンバ６の傾斜搬送部４に受け渡すことができるから、基板の受け取りと受け渡しとを別々に行なう場合に比べてタクトタイムを短縮することができる。
【００５４】
処理チャンバ６内の傾斜搬送部４に受け渡された基板Ｗには、その上面にノズル２２から処理液が噴射供給される。基板Ｗの上面に供給された処理液は、基板Ｗが所定の角度で傾斜して搬送されているため、幅方向の上端から下端に向かって所定の速度で円滑に流れることになる。そのため、基板Ｗの上面に処理液が残留し難いばかりか、処理液が所定方向に沿って流れることで、処理速度が向上するばかりか、処理の均一性も向上することになる。
【００５５】
このようにして処理チャンバ６内で処理されて傾斜搬送部４によって搬送された基板Ｗは搬出受け渡し部５に受け渡されて次工程に搬送される。基板Ｗを傾斜搬送部４から搬出受け渡し部５に受け渡すにはつぎのように行なわれる。すなわち、搬出受け渡し部５の第１の搬出コンベア３３と第２の搬出コンベア３４とは傾斜搬送部４と同じ傾斜角度で傾斜して処理チャンバ６で処理された基板Ｗが搬出されるのを待機している。
【００５６】
処理チャンバ６内で処理された基板Ｗは図６（ａ）に示すように傾斜した状態で第１の搬出コンベア３３に受け渡され、この第１の搬出コンベア３３から第２の搬出コンベア３４へと搬送される。図６（ｂ）に示すように、基板Ｗが傾斜搬送部４から搬出されて第１、第２の搬出コンベア３３，３４上に搬送されると、これら第１、第２の搬出コンベア３３，３４は傾斜状態から水平状態に駆動される。そして、基板Ｗは水平な状態で第１、第２の搬出コンベア３３，３４上を搬送される。
【００５７】
図６（ｃ）に示すように、基板Ｗの後端が第１の搬出コンベア３３から外れると、この第１の搬出コンベア３３は水平状態から傾斜状態に駆動される。そして、上記傾斜搬送部４によって処理チャンバ６から所定の傾斜角度で搬出されてくるつぎの基板Ｗを受ける。
【００５８】
第１の搬出コンベア３３がつぎの基板Ｗを受ける間に、基板Ｗは第２の搬出コンベア３４から搬出水平コンベア５ａに受け渡されて搬出される。基板Ｗを搬出水平コンベア５ａに受け渡すと、第２の搬出コンベア３４は水平状態から、第１の搬出コンベア３３と同じ傾斜角度に駆動される。
【００５９】
それによって、傾斜搬送部４から搬出されたつぎの基板Ｗは、第１の搬出コンベア３３と第２の搬出コンベア３４とによって所定の傾斜角度で傾斜して搬出され、後端が傾斜搬送部４から外れると、これら搬出コンベア３３，３４が傾斜状態から水平状態に倒伏する。
【００６０】
そして、基板Ｗの後端が第１の搬出コンベア３３から外れると、この第１のコンベア３３が水平状態から傾斜状態に駆動されて処理チャンバ６から搬出されてくる基板Ｗを受けるということが繰り返される。
【００６１】
このように、搬出受け渡し部５を、第１の搬出コンベア３３と第２の搬出コンベア３４とで構成したことで、第２の搬出コンベア３４が水平に倒伏した状態で、基板Ｗを搬出水平コンベア５ａに受け渡している間に、第１の搬出コンベア３３を傾斜させて処理チャンバ６の傾斜搬送部４によって搬出される基板Ｗを受けることができる。
【００６２】
つまり、搬出受け渡し部５は処理チャンバ６から搬出される基板Ｗを第１の搬出コンベア３３によって受けながら、第２の搬出コンベア３４によって水平搬出コンベア５ａへ受け渡すことができるから、傾斜搬送部４からの基板Ｗの受け取りと搬出水平コンベア３４への受け渡しとを別々に行なう場合に比べてタクトタイムを短縮することができる。
【００６３】
なお、上記一実施の形態では処理チャンバ６の搬入側と搬出側とに、それぞれ水平状態と所定の傾斜角度に起立させることができる２つのコンベアを並設したが、搬入側と搬出側とのどちらか一方だけに２つのコンベアを設けるようにしてもよい。それであっても、処理チャンバで基板を傾斜させて処理する場合に、基板の受け渡しに要するタクトタイムを短縮することができる。
【００６４】
また、搬入受け渡し部と搬出受け渡し部とを構成するコンベアの数は２つに限られず、３つ或いはそれ以上であっても差し支えない。
【００６５】
また、搬入受け渡し部の上流側と搬出受け渡し部の下流側とに水平コンベアを設けて基板の受け渡しを行なうようにしたが、水平コンベアに代わりロボットなどで行なうようにしてもよい。
【００６６】
また、第１、第２の搬入及び搬出コンベアを水平状態と傾斜状態との間で駆動するために、これらコンベアはフレームの幅方向の中央部分を支点として架台に回動可能に支持するようにしたが、フレームは幅方向他端を架台に開度塚脳に支持し、幅方向の一端を駆動シリンダで駆動する揺動させる構成であってもよく、要は各コンベアが基板の搬送方向と交差する幅方向に沿って揺動できる構成であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】この発明の一実施の形態を示す処理装置の概略的説明図。
【図２】処理チャンバの縦断面図。
【図３】搬入側と搬出側とに設けられるコンベアの平面図。
【図４】図３に示すコンベアの幅方向一側から見た側面図。
【図５】搬入受け渡し部における基板の受け渡しの説明図。
【図６】搬出受け渡し部における基板の受け渡しの説明図。
【符号の説明】
【００６８】
３…搬入受け渡し部、４…傾斜搬送部、５…搬出受け渡し部、６…処理チャンバ、３１…第１の搬入コンベア、３２…第２の搬入コンベア、３３…第１の搬出コンベア、３４…第２の搬出コンベア、５６…駆動シリンダ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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