(57)【要約】【課題】フィルム表面へのスクラッチが入ることを防止可能とする機構を備えるフィルム貼付装置を提供する。【解決手段】偏光板セットテーブル３１０は、偏光板２０との間に間隙（Ｃ）を設けて、非接触支持状態により偏光板２０を支持し、偏光板非接触支持装置として、偏光板対向面３１０Ｓからエアーを吹出すための吐出ノズル３１０Ａと、偏光板対向面３１０Ｓからエアーを吸込むための吸引ノズル３１０Ｂとが設けられている。【選択図】        図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板（１０）を保持するための基板保持装置（２３０）と、フィルム（２０）を前記基板（１０）の表面に対向配置させた状態で前記フィルム（２０）を保持するためのフィルム保持装置（３１０）とを備え、前記基板（１０）と前記フィルム（２０）との所定領域を相対的に近接させ、前記基板（１０）と前記フィルム（２０）とを所定方向に送りながら、前記基板（１０）の表面にフィルム（２０）を順次貼付るためのフィルム貼付装置であって、
前記フィルム保持装置（３１０）は、
前記フィルム（２０）に対向するフィルム対向面（３１０Ｓ）と前記フィルム（２０）との間を非接触状態にして、前記フィルム（２０）を支持するためのフィルム非接触支持装置（３１０Ａ，３１０Ｂ）と、
前記フィルム（２０）に吸着し、前記フィルム対向面（３１０Ｓ）に対する前記フィルム（２０）の初期位置決め状態を保持する吸着状態と、この吸着状態を解除する開放状態との選択が可能なフィルム位置保持装置（３７０）と、
を有するフィルム貼付装置。
【請求項２】
前記フィルム非接触支持装置は、
前記フィルム（２０）と前記対向面（３１０Ｓ）との間隙に気体を吹出すための第１吐出ノズル（３１０Ａ）と、
前記フィルム（２０）と前記対向面（３１０Ｓ）との間隙から気体を吸込むための第１吸引ノズル（３１０Ｂ）と、
を含む、請求項１に記載のフィルム貼付装置。
【請求項３】
前記基板保持装置（２３０）は、
前記基板（１０）に対向する基板対向面（２３０Ｓ）と前記基板（１０）との間を非接触状態にして、前記基板（１０）を支持するための基板非接触支持装置（２３０Ａ，２３０Ｂ）と、
前記基板（１０）に吸着し、前記基板対向面（２３０Ｓ）に対する前記基板（１０）の初期位置決め状態を保持する吸着状態と、この吸着状態を解除する開放状態との選択が可能な基板位置保持装置（２４０）と、
を有する、請求項２に記載のフィルム貼付装置。
【請求項４】
前記基板非接触支持装置は、
前記基板（１０）と前記基板対向面（２３０Ｓ）との間隙に気体を吹出すための第２吐出ノズル（２３０Ａ）と、
前記基板（１０）と前記基板対向面（２３０Ｓ）との間隙から気体を吸込むための第２吸引ノズル（２３０）と、
を含む、請求項３に記載のフィルム貼付装置。
【請求項５】
前記基板（１０）は、液晶パネルに用いられる液晶セル基板であり、
前記フィルムは、液晶パネルに用いられる偏光板である、請求項１から４のいずれかに記載のフィルム貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、基板にフィルムを貼り付けるための、フィルム貼付装置の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
基板にフィルムを貼り付けるためのフィルム貼付装置としては様々な装置が挙げられる。その中で、液晶パネルに用いられる液晶セル基板（ガラス基板）に偏光板（フィルム）を貼り付けるための偏光板貼付装置について、図８〜図１０を参照して説明する。なお、偏光板貼付装置における偏光板の貼付方式には、「ローラ貼付方式」と「プレート貼付方式」とが代表的である。「ローラ貼付方式」は、液晶セル基板を保持する基板セットテーブルと、偏光板を保持する偏光板セットテーブルとを静止させ、液晶セル基板と偏光板とを送りながら液晶セル基板に偏光板を貼付ける方式である。また、「プレート貼付方式」は、偏光板セットテーブルを静止させ、基板セットテーブルを偏光板とともに送りながら液晶セル基板に偏光板を貼付ける方式である。以下の説明においては、一例として「ローラ貼付方式」を採用した偏光板貼付装置１Ｂについて説明する。
【０００３】
＜偏光板貼付装置１Ｂの構成＞
図８は、偏光板貼付装置１Ｂのラインを模式的に示す全体側面図であり、清掃ステージ１００、アライメント（位置決め）ステージ２００、偏光板貼付ステージ３００、基板反転ステージ４００、および基板収容ステージ５００を備えている。
【０００４】
清掃ステージ１００には、液晶セル基板１０を載置し所定方向に搬送するための搬送ローラ１１０および清掃ローラ１２０が設けられている。アライメントステージ２００には、搬送ローラ１１０、仮アライメントローラ２２０、昇降可能に設けられ液晶セル基板１０の吸着固定が可能なアライメントテーブル２１０、および、ＣＣＤカメラ２７０が設けられている。また、搬送ローラ１１０の上方には、液晶セル基板１０を吸着固定するための複数の吸盤２６０が設けられた基板搬送セットテーブル２５０が設けられている。この基板搬送セットテーブル２５０は、偏光板貼付ステージ３００との間を移動可能な搬送機構が設けられている。
【０００５】
偏光板貼付ステージ３００には、液晶セル基板１０を載置し搬送するためのフリーローラ３５０が設けられ、フリーローラ３５０の搬送方向上流側（基板反転ステージ４００側）には、昇降機構を備える上貼付けローラ３２０が設けられている。また、フリーローラ３５０の下方には、偏光板２０を位置決め固定するための、吸着ノズル３６０ａを備える偏光板セットテーブル３６０が設けられている。この偏光板セットテーブル３６０には、搬送方向上流側（基板反転ステージ４００側）がチルトアップする機構が採用されている。また、偏光板セットテーブル３６０の搬送方向上流側（基板反転ステージ４００側）には、昇降機構を備える下貼付けローラ３３０が設けられている。
【０００６】
基板反転ステージ４００には、搬送ローラ１１０、および、液晶セル基板１０の上下面を反転させるための反転アーム４１０が設けられている。また、基板収容ステージ５００には、反転アーム４１０から、液晶セル基板１０を受取るためのチャックバー５１０、搬送ローラ１１０、および、液晶セル基板１０を格納するための基板カセット５２０が設けられている。
【０００７】
＜貼付ステップ＞
次に、図８〜図１０を参照して、上記偏光板貼付装置１Ｂにおける液晶セル基板１０への偏光板２０の貼付ステップについて説明する。
【０００８】
まず、図８を参照して、清掃ステージ１００に搬入された液晶セル基板１０は、搬送ローラ１１０により送られながら、偏光板２０が貼付られる面（たとえばＣＦ面）が清掃ローラ１２０により清掃される。その後、液晶セル基板１０は、搬送ローラ１１０により、アライメントステージ２００に搬送される。
【０００９】
アライメントステージ２００においては、仮アライメントローラ２２０により、液晶セル基板１０が仮アライメントされる。仮アライメントが終了した後、アライメントテーブル２１０が１段上昇して、このアライメントテーブル２１０により液晶セル基板１０が吸着固定される。その後、ＣＣＤカメラ２７０により液晶セル基板１０の位置情報が読取られ、アライメントテーブル２１０による液晶セル基板１０の本アライメントが行なわれる。
【００１０】
次に、液晶セル基板１０の本アライメントが完了した後、液晶セル基板１０を吸着固定したアライメントテーブル２１０がさらに１段上昇して、基板搬送セットテーブル２５０に液晶セル基板１０を受け渡す。基板搬送セットテーブル２５０においては、吸盤２６０を用いて液晶セル基板１０が吸着固定される。このとき、液晶セル基板１０の先端部が、基板搬送セットテーブル２５０から偏光板貼付ステージ３００側に約５０ｍｍ程度突出するように、液晶セル基板１０を吸着固定する。
【００１１】
次に、図９を参照して、基板搬送セットテーブル２５０が液晶セル基板１０を吸着固定した状態で、偏光板貼付ステージ３００の所定位置に移動した後、基板搬送セットテーブル２５０が数ミリ下降して、液晶セル基板１０をパネル受けフリーローラ３５０に載置させる。基板搬送セットテーブル２５０の下降量は、液晶セル基板１０の厚さに応じて調節可能となっている。
【００１２】
一方、液晶セル基板１０に対して対向配置され、位置決め固定された偏光板２０を有する偏光板セットテーブル３６０の一端側（基板反転ステージ４００）をチルトアップすることにより、偏光板２０の先端が液晶セル基板１０の先端と近接する状態となる。
【００１３】
ここで、図１０を参照して、液晶セル基板１０への偏光板２０の貼付けについて詳細に説明する。上貼付けローラ３２０が下降し、液晶セル基板１０の先端部に上貼付けローラ３２０が当接する。また、下貼付けローラ３３０が上昇して、偏光板２０の先端部に下貼付けローラ３３０が当接する。これにより、液晶セル基板１０の先端部と偏光板２０の先端部とが、上貼付けローラ３２０および下貼付けローラ３３０により圧接された状態となる。
【００１４】
次に、基板搬送セットテーブル２５０の吸盤２６０による液晶セル基板１０の吸引が解除されるとともに、基板搬送セットテーブル２５０は退避するため上昇する。また、偏光板セットテーブル３６０の吸着ノズル３６０ａによる偏光板２０の吸引も解除される。
【００１５】
次に、上貼付けローラ３２０および下貼付けローラ３３０が回転することにより、液晶セル基板１０と偏光板２０とがともに送られながら、液晶セル基板１０の表面に偏光板２０が順次貼付られることになる。
【００１６】
再び、図９を参照して、偏光板２０が貼付られた液晶セル基板１０は、基板反転ステージ４００の反転アーム４１０に受取られ、液晶セル基板１０の上下面が反転させられる。その後、液晶セル基板１０は、基板収容ステージ５００のチャックバー５１０により、基板カセット５２０内に格納される。その後、カセット５２０内に格納された液晶セル基板１０（一方の表面（ＣＦ面）にのみ偏光板２０が貼付）は、上記と同様の貼付ステップにより、他方の表面（ＴＦＴ面）に偏光板２０が貼付けられることになる。また、基板反転ステージ４００と基板収容ステージ５００との間に、液晶セル基板１０の他方の表面側に偏光板２０を貼付けるため、清掃ステージ１００、アライメントステージ２００、偏光板貼付ステージ３００をさらに設ける構成として、両面に偏光板２０が貼付けられた液晶セル基板１０をカセット５２０内に格納させるライン構成を採用することも可能である。
【００１７】
なお、以上本願に係る発明についての従来の技術を、出願人の知得した一般的技術情報に基づいて説明したが、出願人の記憶する範囲において、本願の出願前までに先行技術文献情報として開示すべき情報を出願人は有しておらず、かつ、本願に先行する出願人自身の特許出願等についても認識していない。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】
上述した偏光板貼付装置１Ｂにおいては、以下に示す課題を有していると考えられる。
【００１９】
第１に、偏光板貼付ステージ３００において、上貼付けローラ３２０および下貼付けローラ３３０が回転することにより、液晶セル基板１０と偏光板２０とがともに送られながら、液晶セル基板１０の表面に偏光板２０が順次貼付られる。このとき、偏光板２０は偏光板セットテーブル３６０に接触した状態で送られるために、偏光板２０の表面にスクラッチ（ヘアライン状の擦り傷）が入るおそれがある。
【００２０】
第２に、アライメントステージ２００および偏光板貼付ステージ３００において、液晶セル基板１０は基板搬送セットテーブル２５０に設けられた吸盤２６０により吸着固定および搬送されるが、液晶セル基板１０が大型化し、液晶セル基板１０の重量が重くなると（約１０ｋｇ程度）、吸盤２６０による吸着力が大きくなるため、液晶セル基板１０に与える歪（ストレス）が大きくなり、液晶セル基板１０に歪を生じさせる要因となる。
【００２１】
第３に、偏光板貼付ステージ３００において、液晶セル基板１０の表面に偏光板２０を貼付る際には、液晶セル基板１０と偏光板２０との交差角度（図９中θ２）は小さいほうが好ましい。これは、交差角度（θ２）が大きくなると、下貼付けローラ３３０への偏光板２０の巻付き量（偏光板２０が下貼付けローラ３３０に曲げられる量）が多くなる。その結果、偏光板２０がカールし、液晶セル基板１０への貼付に対して悪影響を与えることになる。
【００２２】
上記のような課題は、偏光板貼付装置に限らず、基板とフィルムとを所定方向に送りながら、基板の表面にフィルムを順次貼付るため、上記のような構成を採用するフィルム貼付装置においては、共通の課題として生じるものである。
【００２３】
したがって、この発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、第１の目的は、フィルム表面へのスクラッチが入ることを防止可能とする機構を備えるフィルム貼付装置を提供することにある。
【００２４】
また、この発明の第２の目的は、基板の支持時における歪付与の低減を可能とする機構を備えるフィルム貼付装置を提供することにある。
【００２５】
また、この発明の第３の目的は、フィルムのカールを防止し、フィルムを基板に対して良好に貼付けることを可能とする機構を備えるフィルム貼付装置を提供することにある。
【００２６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に基づいたフィルム貼付装置においては、基板を保持するための基板保持装置と、フィルムを上記基板の表面に対向配置させた状態で上記フィルムを保持するためのフィルム保持装置とを備え、上記基板と上記フィルムとの所定領域を相対的に近接させ、上記基板と上記フィルムとを所定方向に送りながら、上記基板の表面にフィルムを順次貼付るためのフィルム貼付装置であって、以下の構成を備えることを特徴とする。
【００２７】
上記フィルム保持装置は、上記フィルムに対向するフィルム対向面と上記フィルムとの間を非接触状態にして、上記フィルムを支持するためのフィルム非接触支持装置と、上記フィルムに吸着し、上記フィルム対向面に対する上記フィルムの初期位置決め状態を保持する吸着状態と、この吸着状態を解除する開放状態との選択が可能なフィルム位置保持装置とを有する。
【００２８】
このように、フィルム非接触支持装置を用いて、フィルムをフィルム対向面に接触させることなく支持できるため、フィルム対向面によるフィルム表面へのスクラッチが入ることを回避させることが可能となる。また、フィルムの位置決めにおいては、フィルム位置保持装置によりフィルムを吸着状態により固定することができるため、フィルムの不要な移動も防止することができる。また、フィルムの移動の際には、吸着状態を解除することで、フィルムの搬送に影響を与えることもない。
【００２９】
また、上記フィルム貼付装置において好ましくは、上記フィルム非接触支持装置は、上記フィルムと上記フィルム対向面との間隙に気体を吹出すための第１吐出ノズルと、上記フィルムと上記フィルム対向面との間隙にから気体を吸込むための第１吸引ノズルとを含む。たとえば、フィルム保持装置の上面側においてフィルムを支持する場合、第１吐出ノズルからフィルムの下面側に向けて気体が吹出されることにより、フィルムは浮上状態となり、フィルムをフィルム対向面に接触させることなく支持できる。さらに、第１吸引ノズルを用いて、フィルムとフィルム対向面との間の気体を吸込むことにより、フィルムの浮上状態（フィルムとフィルム対向面との間隔（ギャップ））をより安定させることが可能となる。
【００３０】
また、上記フィルム貼付装置において好ましくは、上記基板保持装置は、上記基板に対向する基板対向面と上記基板との間を非接触状態にして、上記基板を支持するための基板非接触支持装置と、上記基板に吸着し、上記基板対向面に対する上記基板の初期位置決め状態を保持する吸着状態と、この吸着状態を解除する開放状態との選択が可能な基板位置保持装置とを有する。
【００３１】
このように、基板非接触支持装置を用いて、基板を基板対向面に接触させることなく基板の全面にわたって基板を支持できるため、基板の支持時における歪付与の低減を可能とする。
【００３２】
また、基板の位置決めにおいては、基板位置保持装置により基板を吸着状態により固定することができるため、基板の不要な移動も防止することができる。また、基板の移動の際には、吸着状態を解除することで、基板の搬送に影響を与えることもない。
【００３３】
さらに、たとえば、基板保持装置の下面側において基板を支持する場合、従来のように基板の下面側を支持するためのローラを設ける必要がなくなる。その結果、基板保持装置とフィルム貼付装置との間隔を可能な限り小さくすることができるため、フィルムの基板への貼付け時におけるフィルムのカールを防止し、フィルムを基板に対して良好に貼付けることが可能となる。
【００３４】
また、上記フィルム貼付装置において好ましくは、上記基板非接触支持装置は、上記基板と上記基板対向面との間隙に気体を吹出すための第２吐出ノズルと、上記基板と上記基板対向面との間隙から気体を吸込むための第２吸引ノズルとを含む。たとえば、基板非接触支持装置の下面側において基板を支持する場合、第２吸引ノズルから基板の上面側の気体が吸込まれることにより、基板は吸引されて浮遊状態となり、基板を基板対向面に接触させることなく支持できる。さらに、第２吐出ノズルを用いて、基板と基板対向面との間に体を吹出すことにより、基板の浮遊状態（基板と基板対向面との間隔（ギャップ））をより安定させることが可能となる。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に基づいた実施の形態におけるフィルム貼付装置としての一例として、偏光板貼付装置について図を参照しながら説明する。
【００３６】
本発明に基づいた偏光板貼付装置１Ａは、上述した偏光板貼付装置１Ｂと同様に、「ローラ貼付方式」を採用したものである。また、全体の基本構成は、同じであるため、以下の説明において、偏光板貼付装置１Ｂと同一または相当部分については同一の参照番号を付して、重複する説明は繰返さないこととする。
【００３７】
＜偏光板貼付装置１Ａ＞
まず、図１および図２を参照して、本実施の形態における偏光板貼付装置１Ａの全体構成の概略について説明する。なお、図１および図２は、本実施の形態における偏光板貼付装置１Ａの全体構成を示す第１および第２全体側面図である。
【００３８】
この偏光板貼付装置１Ａは、上記偏光板貼付装置１Ｂと同様に、清掃ステージ１００、アライメント（位置決め）ステージ２００、偏光板貼付ステージ３００、基板反転ステージ４００、および基板収容ステージ５００を備えている。
【００３９】
本偏光板貼付装置１Ａの特徴的構成としては、アライメントステージ２００および偏光板貼付ステージ３００の間を移動可能に設けられる、基板保持装置としての基板搬送セットテーブル２３０の構成、および、偏光板貼付ステージ３００に設けられるフィルム保持装置としての偏光板セットテーブル３１０の構成にある。
【００４０】
＜基板搬送セットテーブル２３０の構成＞
次に、図３〜図５を参照して、基板搬送セットテーブル２３０の構成について詳細に説明する。なお、図３は、基板搬送セットテーブル２３０が、偏光板貼付ステージ３００に位置する状態を示す側面図である。また、図４は基板搬送セットテーブル２３０における液晶セル基板１０の保持状態を示す横断面図であり、図５は基板搬送セットテーブル２３０における液晶セル基板１０の支持状態を示す横断面図である。
【００４１】
基板搬送セットテーブル２３０は、図４および図５に示すように、液晶セル基板１０との間に間隙（Ｃ）を設けて、非接触支持状態により液晶セル基板１０を支持することを特徴とし、そのために基板非接触支持装置を有している。
【００４２】
この基板搬送セットテーブル２３０は、平板状のテーブルからなり、液晶セル基板１０に対向する基板対向面２３０Ｓを有している。また、基板非接触支持装置として、基板対向面２３０Ｓからエアーを吹出すための吐出ノズル（第２吐出ノズル）２３０Ａと、基板対向面２３０Ｓからエアーを吸込むための吸引ノズル（第２吸引ノズル）２３０Ｂとが設けられている。なお、吐出ノズル２３０Ａにエアーを送る機構、および、吸引ノズル２３０Ｂからエアーを吸引する機構については、公知の技術を適用することが可能であるため、詳細な構造の図示は省略する。
【００４３】
基板搬送セットテーブル２３０の、基板対対向面２３０Ｓに設けられる吐出ノズル２３０Ａおよび吸引ノズル２３０Ｂの合計数は約２０００個／ｍ２〜６０００個／ｍ２程度、液晶セル基板１０と基板対向面２３０Ｓの間隙（Ｃ）は約３０μｍ〜約１００μｍ程度、吐出ノズル２３０Ａにおけるエアーの作動正圧は約３０ｍｂａｒ〜１３０ｍｂａｒ程度、吸引ノズル２３０Ｂにおけるエアーの作動負圧は約１１０ｍｂａｒ〜２００ｍｂａｒ程度である。なお、各パラメータは、液晶セル基板１０の大きさ、重量、間隙（Ｃ）の距離に応じて、適宜設定されるものである。
【００４４】
ここで、吸引ノズル２３０Ｂからの負圧のみで、基板搬送セットテーブル２３０の下面側に液晶セル基板１０を支持することも可能であるが、吸引ノズル２３０Ｂからの負圧と、吐出ノズル２３０Ａからの正圧とを適宜組み合わせることにより、液晶セル基板１０と基板対向面２３０Ｓとの間に存在するエアーに液晶セル基板１０の吸引力だけでなく反発力（空気バネ）の作用も生じさせることが可能になり、吸引力と反発力との組み合わせから、基板１０と基板対向面２３０Ｓの間隙（Ｃ）を安定させることを可能としている。
【００４５】
また、基板搬送セットテーブル２３０の基板対向面２３０Ｓに対して、液晶セル基板１０を支持しつつ、液晶セル基板１０のアライメント位置を固定するために、基板搬送セットテーブル２３０には、基板位置保持装置が設けられている。この基板位置保持装置としては、液晶セル基板１０への吸着時（初期位置決め状態を保持する吸着状態時）には、基板対向面２３０Ｓから液晶セル基板１０側に突出し（図４に示す状態）、液晶セル基板１０への吸着の解除時には、液晶セル基板１０の移動に伴う液晶セル基板１０との干渉を回避するため、基板対向面２３０Ｓから内方に収容される（図５に示す状態）吸盤機構２４０が設けられている。なお、吸盤機構２４０の基板搬送セットテーブル２３０からの突出および収納機構、および、基板搬送セットテーブル２３０のアライメントステージ２００と偏光板貼付ステージ３００との間の移動機構については、公知の技術を用いることにより実現可能であるため、詳細な構造の図示は省略する。
【００４６】
＜偏光板セットテーブル３１０の構成＞
次に、図３、図６および図７を参照して、偏光板セットテーブル３１０の構成について詳細に説明する。なお、図６は偏光板セットテーブル３１０における偏光板２０の保持状態を示す横断面図であり、図７は偏光板セットテーブル３１０における偏光板２０の支持状態を示す横断面図である。
【００４７】
偏光板セットテーブル３１０は、図６および図７に示すように、偏光板２０との間に間隙（Ｃ）を設けて、非接触支持状態により偏光板２０を支持することを特徴とし、そのために偏光板（フィルム）非接触支持装置を有している。
【００４８】
この偏光板セットテーブル３１０は、平板状のテーブルからなり、偏光板２０に対向する偏光板対向面３１０Ｓを有している。また、基板非接触支持装置として、偏光板対向面３１０Ｓからエアーを吹出すための吐出ノズル（第１吐出ノズル）３１０Ａと、偏光板対向面３１０Ｓからエアーを吸込むための吸引ノズル（第１吸引ノズル）３１０Ｂとが設けられている。なお、吐出ノズル３１０Ａにエアーを送る機構、および、吸引ノズル３１０Ｂからエアーを吸引する機構については、公知の技術を適用することが可能であるため、詳細な構造の図示は省略する。
【００４９】
偏光板セットテーブル３１０の偏光板対向面３１０Ｓに設けられる吐出ノズル３１０Ａおよび吸引ノズル３１０Ｂの合計数は約２０００個／ｍ２〜６０００個／ｍ２程度、偏光板２０と偏光板対向面３１０Ｓの間隙（Ｃ）は約３０μｍ〜約１００μｍ程度、吐出ノズル３１００Ａにおけるエアーの作動正圧は約１１０ｍｂａｒ〜２００ｍｂａｒ程度、吸引ノズル２３０Ｂにおけるエアーの作動負圧は約３０ｍｂａｒ〜１３０ｍｂａｒ程度である。なお、各パラメータは、偏光板２０の大きさ、重量、間隙（Ｃ）の距離に応じて、適宜設定されるものである。
【００５０】
ここで、吐出ノズル３１０Ａからの正圧のみで、偏光板セットテーブル３１０の上面側に偏光板２０を支持することも可能であるが、吐出ノズル３１０Ａからの正圧と吸引ノズル２３０Ｂからの負圧とを適宜組み合わせることにより、偏光板２０と偏光板対向面３１０Ｓとの間に存在するエアーに偏光板２０の浮力だけでなく吸引に伴う反発力（空気バネ）の作用も生じさせることが可能になり、吸引力と反発力（浮力）との組み合わせから、基板１０と偏光板対向面３１０Ｓの間隙（Ｃ）を安定させることを可能としている。
【００５１】
また、偏光板セットテーブル３１０の偏光板対向面３１０Ｓに対して、偏光板２０を支持しつつ、偏光板２０のアライメント位置を固定するために、偏光板セットテーブル３１０には、偏光板（フィルム）位置保持装置が設けられている。この偏光板位置保持装置としては、偏光板２０への吸着時（初期位置決め状態を保持する吸着状態時）には、偏光板対向面３１０Ｓから偏光板２０側に突出し（図６に示す状態）、偏光板２０への吸着を解除する時には、偏光板２０の移動に伴う偏光板２０との干渉を回避するため、偏光板対向面３１０Ｓから内方に収容される（図７に示す状態）吸盤機構３７が設けられている。なお、吸盤機構３７０の偏光板セットテーブル３１０からの突出・収納機構、および、偏光板セットテーブル３１０のチルトアップ機構については、公知の技術を用いることにより実現可能であるため、詳細な構造の図示は省略する。
【００５２】
＜貼付ステップ＞
次に、図１〜図３を参照して、上記偏光板貼付装置１Ａにおける液晶セル基板１０への偏光板２０の貼付ステップについて説明する。
【００５３】
まず、図１を参照して、清掃ステージ１００に搬入された液晶セル基板１０は、搬送ローラ１１０により送られながら、偏光板２０が貼付られる面（たとえばＣＦ面）が清掃ローラ１２０により清掃される。その後、液晶セル基板１０は、搬送ローラ１１０により、アライメントステージ２００に搬送される。
【００５４】
アライメントステージ２００においては、仮アライメントローラ２２０により、液晶セル基板１０が仮アライメントされる。仮アライメントが終了した後、アライメントテーブル２１０が１段上昇して、このアライメントテーブル２１０により液晶セル基板１０が吸着固定される。その後、ＣＣＤカメラ２７０により液晶セル基板１０の位置情報が読取られ、アライメントテーブル２１０による液晶セル基板１０の本アライメントが行なわれる。
【００５５】
次に、液晶セル基板１０の本アライメントが完了した後、液晶セル基板１０を吸着固定したアライメントテーブル２１０がさらに１段上昇して、基板搬送セットテーブル２３０に液晶セル基板１０を受け渡す。基板搬送セットテーブル２３０においては、上記したように非接触支持状態により液晶セル基板１０を支持する。なお、液晶セル基板１０のアライメント位置を崩さないように、基板位置保持装置としての吸盤機構２４０により液晶セル基板１０はその位置が固定される。このとき、液晶セル基板１０の先端部が、基板搬送セットテーブル２３０から偏光板貼付ステージ３００側に約５０ｍｍ程度突出するように、液晶セル基板１０を吸着固定する。
【００５６】
次に、図２を参照して、基板搬送セットテーブル２３０が液晶セル基板１０を支持固定した状態で偏光板貼付ステージ３００の所定位置に移動する。このとき、従来のように、フリーローラ等に液晶セル基板１０を載置させる必要はない。
【００５７】
一方、液晶セル基板１０に対して対向配置され、非接触支持状態により位置決め固定された偏光板２０を有する偏光板セットテーブル３１０の一端側（基板反転ステージ４００）をチルトアップすることにより、偏光板２０の先端が液晶セル基板１０の先端と近接する状態となる。
【００５８】
ここで、図３を参照して、液晶セル基板１０への偏光板２０の貼付けについて詳細に説明する。上貼付けローラ３２０が下降し、液晶セル基板１０の先端部に上貼付けローラ３２０が当接する。また、下貼付けローラ３３０が上昇して、偏光板２０の先端部に下貼付けローラ３３０が当接する。これにより、液晶セル基板１０の先端部と偏光板２０の先端部とが、上貼付けローラ３２０および下貼付けローラ３３０により圧接された状態となる。
【００５９】
次に、基板搬送セットテーブル２５０の吸盤機構２４０による液晶セル基板１０の吸引が解除されるとともに、この吸盤機構２４０は基板搬送セットテーブル２５０内に収容される。また、偏光板セットテーブル３１０の吸盤機構３７０による偏光板２０の吸引も解除されるとともに、この吸盤機構３７０は偏光板セットテーブル３１０内に収容される。
【００６０】
次に、上貼付けローラ３２０および下貼付けローラ３３０が回転することにより、基板搬送セットテーブル２５０および偏光板セットテーブル３６０に対して非接触状態を保ちながら、液晶セル基板１０と偏光板２０とがともに送られ、液晶セル基板１０の表面に偏光板２０が順次貼付られることになる。
【００６１】
その後の、基板反転ステージ４００および基板収容ステージ５００での動作は、上述した偏光板貼付装置１Ｂの場合と同じである。
【００６２】
（作用・効果）
以上、本実施の形態における偏光板貼付装置１Ａによれば、偏光板非接触支持装置を用いて、偏光板２０を偏光板対向面３１０Ｓに接触させることなく支持できるため、偏光板対向面３１０による偏光板２０の表面へのスクラッチが入ることを回避させることが可能となる。
【００６３】
また、基板非接触支持装置を用いて、液晶セル基板１０を基板対向面２３０Ｓに接触させることなく液晶セル基板１０の全面にわたって液晶セル基板１０を支持できるため、液晶セル基板１０の支持時における歪付与の低減を抑えることが可能となる。
【００６４】
また、基板搬送セットテーブル２３０の下面側において液晶セル基板１０を支持する構成を採用していることから、従来のように液晶セル基板１０の下面側を支持するためのローラを設ける必要がなくなる。その結果、基板搬送セットテーブル２３０と偏光板セットテーブル３１０との交差角度（図２中のθ１：本実施の形態においては、約５°）を可能な限り小さくすることができるため、偏光板２０の液晶セル基板１０への貼付け時における偏光板２０のカールを防止し、偏光板２０を液晶セル基板１０に対して良好に貼付けることが可能となる。
【００６５】
なお、基板反転ステージ４００と基板収容ステージ５００との間に、液晶セル基板１０の他方の表面側に偏光板２０を貼付けるため、清掃ステージ１００、アライメントステージ２００、偏光板貼付ステージ３００をさらに設ける構成として、両面に偏光板２０が貼付けられた液晶セル基板１０をカセット５２０内に格納させるライン構成を採用することも可能である。
【００６６】
なお、上記偏光板貼付装置１Ａは、液晶セル基板１０を保持する基板セットテーブル２３０と、偏光板２０を保持する偏光板セットテーブル３１０とを静止させ、液晶セル基板１０と偏光板２０とを送りながら液晶セル基板１０に偏光板２０を貼付ける「ローラ貼付方式」を採用した場合について説明したが、偏光板セットテーブル３１０を静止させ、基板セットテーブル２３０を偏光板２０とともに送りながら液晶セル基板１０に偏光板２０を貼付ける「プレート貼付方式」に上記構成を適用することも可能である。また、偏光板セットテーブル３１０にのみ、偏光板２０の非接触支持機構を採用する構成も可能である。
【００６７】
また、上記非接触支持機構の採用において、気体としてエアーを用いる場合について説明したが、エアーに限らず不活性ガスを用いることも可能である。
【００６８】
また、偏光板貼付装置に限らず、基板とフィルムとを所定方向に送りながら、基板の表面にフィルムを順次貼付るための偏光板貼付装置に対して、上記構成を採用することも可能である。
【００６９】
したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００７０】
【発明の効果】
本発明におけるフィルム貼付装置によれば、フィルム表面へのスクラッチが入ることを防止可能とし、また、基板の支持時における歪付与の低減を可能とし、さらに、フィルムのカールを防止し、フィルムを基板に対して良好に貼付けることを可能とする。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態における偏光板貼付装置の全体構成を示す第１全体側面図である。
【図２】本実施の形態における偏光板貼付装置の全体構成を示す第２全体側面図である。
【図３】本実施の形態における基板搬送セットテーブルが、偏光板貼付ステージに位置する状態を示す側面図である。
【図４】本実施の形態における基板搬送セットテーブルの液晶セル基板の保持状態を示す横断面図である。
【図５】本実施の形態における基板搬送セットテーブルの液晶セル基板の支持状態を示す横断面図である。
【図６】本実施の形態における偏光板セットテーブルの偏光板の保持状態を示す横断面図である。
【図７】本実施の形態における偏光板セットテーブルの偏光板の支持状態を示す横断面図である。
【図８】従来の技術における偏光板貼付装置の全体構成を示す第１全体側面図である。
【図９】従来の技術における偏光板貼付装置の全体構成を示す第２全体側面図である。
【図１０】従来の技術における基板搬送セットテーブルが、偏光板貼付ステージに位置する状態を示す側面図である。
【符号の説明】
１Ａ  偏光板貼付装置、１００  清掃ステージ、１１０  搬送ローラ、１２０清掃ローラ、２００  アライメント（位置決め）ステージ、２１０  アライメントテーブル、２２０  仮アライメントローラ、２３０  基板搬送セットテーブル、２３０Ａ  吐出ノズル（第２吐出ノズル）、２３０Ｂ  吸引ノズル（第２吸引ノズル）、２３０Ｓ  基板対向面、２４０，３７０  吸盤機構、２７０  ＣＣＤカメラ、３００  偏光板貼付ステージ、３１０  偏光板セットテーブル、３１０Ａ  吐出ノズル（第１吐出ノズル）、３１０Ｂ  吸引ノズル（第１吸引ノズル）、３１０Ｓ  偏光板対向面、３２０  上貼付けローラ、３３０  下貼付けローラ、４００  基板反転ステージ、４１０  反転アーム、５００  基板収容ステージ、５１０  チャックバー、５２０  基板カセット。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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