(57)【要約】      （修正有）【課題】  保護部材に被膜が残らず製品の歩留まりが良好なインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】  インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面は塗布した処理液が固化したことにより、被膜３２が形成されている。同時に気密保持部材１０にも処理液が付着しているため、この処理液３０が固化することで不用な被膜３４が気密保持部材１０に形成されている。気密保持部材１０の被膜３４をブラシ５４で斜線矢印の方向に摺擦し、機械的な摩擦力で被膜３４を除去する。同時に、気密保持部材１０の被膜３４に、吹き付け装置５２により被膜が可溶な溶剤５０を吹き付け、斜線矢印のように吹き付け装置５２を移動させて被膜３４を溶解し、洗い流す。その一方でアスピレータ５６により溶剤５０を黒矢印のように吸引除去する。これによって気密保持部材１０から被膜３４を溶解し、洗浄除去する。【選択図】        図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク吐出口の設けられたインク吐出面を備える記録ヘッドチップの前記インク吐出面に被膜を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、
保護部材にて前記記録ヘッドチップを保持しつつ前記記録ヘッドチップのインク流路へ気体を供給し前記インク吐出口から前記気体を吐出させながら前記被膜を形成する処理液を前記インク吐出面に塗布する工程と、
前記処理液を塗布後に前記記録ヘッドチップと離間させた前記保護部材に付着した処理液を除去する工程とを備えたことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記保護部材が前記記録ヘッドチップの側面に密着し前記インク流路と連通する気体供給口が形成された気密保持部材であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記処理液を除去する工程が、前記保護部材を前記処理液を溶解する溶剤で洗浄することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記処理液を除去する工程が、前記保護部材を機械的に摺擦することを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記処理液を除去する工程の終了後に、前記溶剤を前記保護部材から除去することを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記溶剤を前記保護部材から除去する工程が前記溶剤を吸引する手段であることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、インクジェット記録ヘッドの製造方法の一環として、記録ヘッドの開口部を有する部分の外側に塗布膜を形成する表面処理工程が知られている。
【０００３】
インクジェット記録法は、インク吐出口より記録液体であるインクの液滴を飛翔させ、それを紙などの被記録部材に付着させて記録を行うものである。このインクジェット記録法に用いられる記録ヘッドのインク吐出面の表面物性は、記録液体であるインクの吐出安定性に多大の影響を与える。たとえば、インクの吐出口周辺にインクの飛散などによりインク溜りが生じると、インク吐出面の表面状態が不均一になり、インク噴射時の吐出方向が変化したり、インク滴の飛翔速度や粒径にばらつきなどが発生して、記録品位が低下することがあり、さらに、インク吐出口周辺部の全面がインクに覆われる状態になってしまうと、インク滴吐出不能に陥ることもある。
【０００４】
これらの問題点を解決する手段として一般的にはインク吐出口の周辺部に表面処理剤の被膜を形成して、インク吐出口の周辺部にインクが付着しにくいように加工する処理が行われている。この表面被膜の被膜形成方法として、インクジェット記録ヘッドのインク吐出面に表面処理剤をスプレー塗布するスプレー法や、インクジェット記録ヘッドを表面処理剤中に浸漬するＤｉｐ法、あるいは、蒸着、スパッタリング法などの方法が知られている。
【０００５】
しかし、上述した従来の方法では表面処理剤がインク吐出口内のインク流路内に廻り込んでしまうことがあり、この廻り込み量が多いとインク吐出口を塞いでしまうこともあった。また、表面処理剤が撥インク性である場合に、インク吐出口のインク流路内に表面処理剤の廻り込みが生じると、インク流路内壁が撥インク性になり、インクメニスカスの後退が生じてしまう。その結果、インクの安定噴射が可能な周波数の低下や飛翔効率の低下などが発生するという問題があった。
【０００６】
この表面処理剤のインク吐出口内への廻り込みを防止するため、インク吐出口から気体を噴出させながら表面処理を行う方法もある。この方法ではインク吐出口内に充填物の残留がないという利点がある。
【０００７】
また、インク吐出口より気体を噴出しながら少量の処理液を針先から溢れさせ、その処理液にインク吐出面が接触するように、一定の間隙を保ちながらインク吐出口並びに沿って、インク吐出面あるいは針先の一方を移動させ塗布する方法もある（例えば、特許文献１参照）。この方法は、ヘッド全体を処理液に浸漬するＤｉｐ法に比べ高価な処理液の消費量を大幅に節減できるため製造コストを低減できるというメリットがある。
【特許文献１】特開２０００−３１８１６５号公報（図１、第３頁〜第４頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
前述の表面処理工程において、気体が漏れることなくインク吐出口から噴出するように、ヘッドチップに気体を供給するための気体流路を確保するゴム製のアダプタなどを密着させて用いるが、被膜形成用の表面処理材がアダプタにも接触するため、アダプタの表面にも被膜が形成されてしまう。工程を繰り返すとアダプタに付着した被膜が浮き上がってインク吐出面に付着し、インク吐出口を塞いでしまう等、製品の歩留まりを低下させる問題が発生する。
【０００９】
従来はアダプタに付着した被膜を除去するために、余分の表面処理材をバキューム吸引したり、付着した皮膜に溶剤を吹き掛けるなどの方法を用いてきたが、その効果は充分とは言えない。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インク吐出口の設けられたインク吐出面を備える記録ヘッドチップの前記インク吐出面に被膜を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、保護部材にて前記記録ヘッドチップを保持しつつ前記記録ヘッドチップのインク流路へ気体を供給し前記インク吐出口から前記気体を吐出させながら前記被膜を形成する処理液を前記インク吐出面に塗布する工程と、前記処理液を塗布後に前記記録ヘッドチップと離間させた前記保護部材に付着した処理液を除去する工程とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
上記構成の発明では、記録ヘッドチップの吐出面に被膜を形成する工程において、記録ヘッドチップを保持する保護部材に処理液が付着しても、この処理液を除去する工程を備えたことで、保護部材に被膜が形成され記録ヘッドチップに影響する恐れがない。
【００１２】
請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、保護部材が前記記録ヘッドチップの側面に密着し前記インク流路と連通する気体供給口が形成された気密保持部材であることを特徴とする。
【００１３】
上記構成の発明では、保護部材が記録ヘッドチップへ気体を供給する気密保持部材であることで、部品点数の少ない単純な構造とすることができる。
【００１４】
請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、処理液を除去する工程が、前記保護部材を前記処理液を溶解する溶剤で洗浄することを特徴とする。
【００１５】
上記構成の発明では、保護部材から処理液を除去する工程を、処理液を溶解する溶剤で洗浄する方法とすることで、保護部材に傷を付けずに処理液を除去することができる。
【００１６】
請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、処理液を除去する工程が、前記保護部材を機械的に摺擦することを特徴とする。
【００１７】
上記構成の発明では、保護部材から処理液を除去する工程を、保護部材を機械的に摺擦する方法とすることで、単純な構成で処理液を除去することができる。
【００１８】
請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、処理液を除去する工程の終了後に、前記溶剤を前記保護部材から除去することを特徴とする。
【００１９】
上記構成の発明では、溶剤で保護部材を洗浄し処理液を除去する工程の終了後に、溶剤を保護部材から除去することで保護部材を傷めず、溶剤中の処理液が保護部材に残留することを防ぐこともできる。
【００２０】
請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、溶剤を前記保護部材から除去する工程が前記溶剤を吸引する手段であることを特徴とする。
【００２１】
上記構成の発明では、保護部材から溶剤を吸引除去することで、効果的に溶剤を取り除くことができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は上記構成としたので、保護部材に被膜が残らず製品の歩留まりが良好なインクジェット記録ヘッドの製造方法とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１には、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの構造が示されている。
【００２４】
図１は、本発明に用いられるインクジェット記録ヘッド１の概略の断面図である。インクジェット記録ヘッド１は、ヒートシンク１９と、このヒートシンク１９の前面に配置されたインクジェット記録ヘッドチップ１２を備えており、インクジェット記録ヘッドチップ１２の前端面はインク吐出面１３を形成している。インクジェット記録ヘッドチップ１２は、ヒーター基板１６とチャンネル基板１４から構成されている。ヒーター基板１６のインク吐出口１５側には図示しないヒータが設けられ、ヒータの上部がインク流路１８を構成している。チャンネル基板１４に形成されたインク供給口１１はインク流路１８を経由し、インク吐出口１５に連通している。
【００２５】
本発明の第１実施形態において、被膜の形成工程では、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３に塗布用針２０から噴出させた処理液３０を塗布して被膜を形成する。
【００２６】
このとき、インク吐出口１５から処理液３０の浸入を防ぐためインクジェット記録ヘッドチップ１２のインク流路１８を介してインク吐出口１５から気体４０を噴出させ、インク吐出口１５を確保する。
【００２７】
このために気密保持用部材（保護部材）１０をインクジェット記録ヘッドチップ１２のインク供給口１１のある面に圧接し、気体４０をインク供給口１１から送入してインク流路１８を経てインク吐出口１５から排気する。
【００２８】
この気密保持部材１０の材質は、本実施例においては処理液３０への耐性、及び圧接によるインクジェット記録ヘッドチップ１２の損傷を回避するためなどの理由からブチルゴムを使用するものとするが、特にゴム材料に指定するものではなく、気密が充分に確保でき、且つインクジェット記録ヘッドチップ１２の損傷などが回避できるのであれば金属材料を使用してもよい。
【００２９】
インク吐出口１５から噴出させる気体４０は、本実施例ではインク供給口１１より供給する気体として窒素を用いたが、たとえばヘリウムやアルゴンなどのように処理液３０に対して不活性であり、インク流路１８に残留物をもたらさないものであればよい。
【００３０】
塗布方法は、本発明においては処理液３０を必要最低限の消費に抑えることができる、噴流法（塗布用針２０の針先から処理液３０を高さ４００μｍ程度出し、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３を処理液３０に接触させながらインク吐出口１５の並び方向に直線的に移動させる方法）を用いたが、処理液３０をインク吐出面１３に接触させることができればよく、Ｄｉｐ法のようにインクジェット記録ヘッドチップ１２全体を処理液３０に浸漬して塗布する方法でもよい。
【００３１】
本実施例では処理液３０としてフッ素樹脂（旭ガラス製：ＣＹＴＯＰ ＣＴＬ−１０７Ｍ）溶液を用いた場合の例を取り上げたが、これに限定されるものではない。
【００３２】
塗布工程の完了後、気体４０の供給を停止し、圧接していた気密保持用部材１０をインクジェット記録ヘッドチップ１２から離間する。
【００３３】
離間後、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３には処理液３０が固化した所望の被膜が形成される。このとき、気密保持用部材１０の一部にも処理液３０が付着するため、被膜が形成される。
【００３４】
この被膜に、被膜が可溶な溶剤（例えば旭ガラス製：ＣＴ−ＳＯＬＶ１００や住友３Ｍ製：ＰＦ５０８０など）を吹きかけ、気密保持部材１０に付着した被膜を洗い流す。
【００３５】
本実施例においては、溶剤を気密保持部材１０に吹きかける方法として被膜を形成する方法と同様の噴流法を用いたが、これもこの方法に限定されるものではなく、気密保持部材１０の被膜付着箇所が溶剤に適切に接触すればよく、溶剤に浸漬するＤｉｐ法のような方法であっても良い。
【００３６】
溶剤により気密保持部材１０が洗浄された後、次のインクジェット記録ヘッドチップ１２に再び気密保持部材１０を圧接し、処理工程を繰り返す。
【００３７】
図２には、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法が示されている。
【００３８】
図２ではインクジェット記録ヘッドチップ１２に被膜を形成する塗布工程について、順を追って説明する。
【００３９】
先ず図２（ａ）のように、被膜形成前のインクジェット記録ヘッド１に気密保持用部材１０を密着させ、インク供給口１１を設けた面を気密保持用部材１０で覆う。
【００４０】
次いで図２（ｂ）のように気密保持用部材１０の内部に設けた図示しない気体流路を経由して気体４０をインク供給口１１に供給し、気体４０はそのままインク流路１８を経由してインク吐出口１５から噴出させる。
【００４１】
次に、図２（ｃ）のように、この状態のまま処理液３０を噴出させた塗布用針２０をインク吐出口１５の並びに沿って移動させ、インク吐出面１３に処理液３０を塗布する。
【００４２】
塗布の終了後には気体４０の供給を停止し、図２（ｄ）のように気密保持部材１０を図２（ａ）とは逆方向（白矢印）に移動してインクジェット記録ヘッドチップ１２と離間させる。
【００４３】
このとき、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３は塗布した処理液３０が固化したことにより、被膜３２が形成されている。
【００４４】
しかし、同時に気密保持部材１０にも処理液３０が付着しているため、この処理液３０が固化することで不用な被膜３４が気密保持部材１０に形成されてしまう。これが以降の作業中に製品故障を発生させ、製品の歩留まりを悪化させる原因となっている。
【００４５】
そこで図２（ｅ）のように、気密保持部材１０の被膜３４に、吹き付け装置５２により溶剤５０を吹き付け、白矢印のように吹き付け装置５２を移動させて被膜３４を溶解し、洗い流すことで気密保持部材１０から除去する。
【００４６】
すでに気密保持部材１０と離間したインクジェット記録ヘッド１ａ（被膜形成済み）は次の工程へと進むために移動し、被膜形成前のインクジェット記録ヘッド１ｂが新たに作業位置に搬送される。
【００４７】
被膜３４を除去し終わった気密保持部材１０が再びインクジェット記録ヘッド１ｂへと密着するように移動し、図２（ａ）に戻って次回の処理工程を繰り返すことになる。
【００４８】
このとき、気密保持部材１０からは被膜３４を完全に洗浄除去してあるため、処理工程に悪影響を及ぼす恐れはない。
【００４９】
本実施例では気密保持部材１０に溶剤５０を吹き付けることで被膜３４を除去しているので、気密保持部材１０を傷付けることなく被膜３４の除去作業が行なえる。
【００５０】
図３には、本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法が示されている。
【００５１】
図３ではインクジェット記録ヘッドチップ１２に被膜を形成する塗布工程について、順を追って説明する。
【００５２】
インクジェット記録ヘッドチップ１２に気密保持部材１０を圧着し、処理液３０を塗布して離間させるまでは第１実施例と全く同様なので省略し、以後の相違点のみ説明する。
【００５３】
処理液３０の塗布の終了後には、気体４０の供給を停止し、図３（ａ）のように気密保持部材１０を白矢印方向に移動してインクジェット記録ヘッドチップ１２と離間させる。
【００５４】
この段階までは図２で説明した第１実施例と同様である。
【００５５】
この段階で、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３は塗布した処理液３０が固化したことにより、被膜３２が形成されている。
【００５６】
同時に気密保持部材１０にも処理液３０が付着しているため、この処理液３０が固化することで不用な被膜３４が気密保持部材１０に形成されている。
【００５７】
そこで図３（ｂ）に示すように、気密保持部材１０の被膜３４をブラシ５４で斜線矢印の方向に摺擦し、機械的な摩擦力で被膜３４を除去する。
【００５８】
本実施例においては、摺擦方法としては本実施例においてはブラシによる摺擦を例に挙げいるが、ワイパーブレードなどによる摺擦でもよい。
【００５９】
このとき、すでに気密保持部材１０と離間したインクジェット記録ヘッド１ａ（被膜形成済み）は次の工程へと進むために移動し、被膜形成前のインクジェット記録ヘッド１ｂが新たに作業位置に搬送される。
【００６０】
次に図３（ｃ）のように被膜３４を除去し終わった気密保持部材１０が再びインクジェット記録ヘッド１ｂへと密着するように移動し、図２（ａ）に戻って次回の処理工程を繰り返すことになる。
【００６１】
このとき、気密保持部材１０からは被膜３４を完全に摺擦除去してあるため、処理工程に悪影響を及ぼす恐れはない。
【００６２】
本実施例では気密保持部材１０をブラシ５４で摺擦することで被膜３４を除去しているので、気密保持部材１０に被膜３４が硬く固着していても確実に除去作業が行なえる。
【００６３】
気密保持部材１０の材質は、本実施例においては処理液３０への耐性、及び圧接によるインクジェット記録ヘッドチップ１２の損傷を回避するためなどの理由からブチルゴムを使用するものとするが、特にゴム材料に指定するものではなく、気密が充分に確保でき、且つインクジェット記録ヘッドチップ１２の損傷などが回避できるのであれば金属材料を使用してもよい。
【００６４】
インク吐出口１５から噴出させる気体４０も、本実施例ではインク供給口１１より供給する気体として窒素を用いたが、たとえばヘリウムやアルゴンなどのように処理液３０に対して不活性であり、インク流路１８に残留物をもたらさないものであればよい。
【００６５】
塗布方法は、本発明においては処理液３０を必要最低限の消費に抑えることができる、噴流法（塗布用針２０の針先から処理液３０を高さ４００μｍ程度出し、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３を処理液３０に接触させながらインク吐出口１５の並び方向に直線的に移動させる方法）を用いたが、処理液３０をインク吐出面１３に接触させることができればよく、Ｄｉｐ法のようにインクジェット記録ヘッドチップ１２全体を処理液３０に浸漬して塗布する方法でもよい。
【００６６】
また本実施例では処理液３０としてフッ素樹脂（旭ガラス製：ＣＹＴＯＰ ＣＴＬ−１０７Ｍ）溶液を用いた場合の例を取り上げたが、これに限定されるものではない。
【００６７】
図４には、本発明の第３実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法が示されている。
【００６８】
図４ではインクジェット記録ヘッドチップ１２に被膜を形成する塗布工程について、順を追って説明する。
【００６９】
インクジェット記録ヘッドチップ１２に気密保持部材１０を圧着し、処理液３０を塗布して離間させるまでは第１実施例と全く同様なので省略し、以後の相違点のみ説明する。
【００７０】
処理液３０の塗布の終了後には、気体４０の供給を停止し、図４（ａ）のように気密保持部材１０を白矢印方向に移動してインクジェット記録ヘッドチップ１２と離間させる。
【００７１】
この段階までは図２で説明した第１実施例と同様である。
【００７２】
この段階で、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３は塗布した処理液３０が固化したことにより、被膜３２が形成されている。
【００７３】
同時に気密保持部材１０にも処理液３０が付着しているため、この処理液３０が固化することで不用な被膜３４が気密保持部材１０に形成されている。
【００７４】
そこで図４（ｂ）に示すように、気密保持部材１０の被膜３４に、吹き付け装置５２により被膜が可溶な溶剤５０（例えば旭ガラス製：ＣＴ−ＳＯＬＶ１００や住友３Ｍ製：ＰＦ５０８０など）を吹き付け、斜線矢印のように吹き付け装置５２を移動させて被膜３４を溶解し、洗い流す。
【００７５】
その一方でアスピレータ５６により溶剤５０を黒矢印のように吸引除去する。これによって気密保持部材１０から被膜３４を溶解し、洗浄除去する。
【００７６】
本実施例においては、溶剤を気密保持部材１０に吹きかける方法として被膜を形成する方法と同様の噴流法を用いたが、これもこの方法に限定されるものではなく、気密保持部材１０の被膜付着箇所が溶剤に適切に接触すればよく、溶剤に浸漬するＤｉｐ法のような方法であっても良い。
【００７７】
このとき、すでに気密保持部材１０と離間したインクジェット記録ヘッド１ａ（被膜形成済み）は次の工程へと進むために移動し、被膜形成前のインクジェット記録ヘッド１ｂが新たに作業位置に搬送される。
【００７８】
次に図４（ｃ）のように被膜３４を除去し終わった気密保持部材１０が再びインクジェット記録ヘッド１ｂへと密着するように移動し、図２（ａ）に戻って次回の処理工程を繰り返すことになる。
【００７９】
このとき、気密保持部材１０からは被膜３４を完全に洗浄除去してあるため、処理工程に悪影響を及ぼす恐れはない。
【００８０】
本実施例では気密保持部材１０を溶剤５０で洗浄、かつアスピレータで洗浄後の溶剤５０を吸引除去することで、被膜３４を溶解した溶剤５０が気密保持部材１０に滞留することがなく、溶剤５０を効率よく使用できるので気密保持部材１０に被膜３４が多量に固着していても確実に除去作業が行なえる。
【００８１】
気密保持部材１０の材質は、本実施例においては処理液３０への耐性、及び圧接によるインクジェット記録ヘッドチップ１２の損傷を回避するためなどの理由からブチルゴムを使用するものとするが、特にゴム材料に指定するものではなく、気密が充分に確保でき、且つインクジェット記録ヘッドチップ１２の損傷などが回避できるのであれば金属材料を使用してもよい。
【００８２】
インク吐出口１５から噴出させる気体４０も、本実施例ではインク供給口１１より供給する気体として窒素を用いたが、たとえばヘリウムやアルゴンなどのように処理液３０に対して不活性であり、インク流路１８に残留物をもたらさないものであればよい。
【００８３】
塗布方法は、本発明においては処理液３０を必要最低限の消費に抑えることができる、噴流法（塗布用針２０の針先から処理液３０を高さ４００μｍ程度出し、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３を処理液３０に接触させながらインク吐出口１５の並び方向に直線的に移動させる方法）を用いたが、処理液３０をインク吐出面１３に接触させることができればよく、Ｄｉｐ法のようにインクジェット記録ヘッドチップ１２全体を処理液３０に浸漬して塗布する方法でもよい。
【００８４】
また本実施例では処理液３０としてフッ素樹脂（旭ガラス製：ＣＹＴＯＰ ＣＴＬ−１０７Ｍ）溶液を用いた場合の例を取り上げたが、これに限定されるものではない。
【００８５】
図５には、本発明の第４実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法が示されている。
【００８６】
図５ではインクジェット記録ヘッドチップ１２に被膜を形成する塗布工程について、順を追って説明する。
【００８７】
インクジェット記録ヘッドチップ１２に気密保持部材１０を圧着し、処理液３０を塗布して離間させるまでは第１実施例と全く同様なので省略し、以後の相違点のみ説明する。
【００８８】
処理液３０の塗布の終了後には、気体４０の供給を停止し、図５（ａ）のように気密保持部材１０を白矢印方向に移動してインクジェット記録ヘッドチップ１２と離間させる。
【００８９】
この段階までは図２で説明した第１実施例と同様である。
【００９０】
この段階で、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３は塗布した処理液３０が固化したことにより、被膜３２が形成されている。
【００９１】
同時に気密保持部材１０にも処理液３０が付着しているため、この処理液３０が固化することで不用な被膜３４が気密保持部材１０に形成されている。
【００９２】
そこで図５（ｂ）に示すように、気密保持部材１０の被膜３４をブラシ５４で斜線矢印の方向に摺擦し、機械的な摩擦力で被膜３４を除去する。本実施例においては、摺擦方法としては本実施例においてはブラシによる摺擦を例に挙げいるが、ワイパーブレードなどによる摺擦でもよい。
【００９３】
これと同時に、ブラシ５４に、吹き付け装置５２により被膜が可溶な溶剤５０（例えば旭ガラス製：ＣＴ−ＳＯＬＶ１００や住友３Ｍ製：ＰＦ５０８０など）を吹き付け、斜線矢印のように吹き付け装置５２を移動させて被膜３４を溶解し、洗い流す。
【００９４】
本実施例においては、溶剤を気密保持部材１０に吹きかける方法として被膜を形成する方法と同様の噴流法を用いたが、これもこの方法に限定されるものではなく、気密保持部材１０の被膜付着箇所が溶剤に適切に接触すればよく、溶剤に浸漬するＤｉｐ法のような方法であっても良い。
【００９５】
このとき、すでに気密保持部材１０と離間したインクジェット記録ヘッド１ａ（被膜形成済み）は次の工程へと進むために移動し、被膜形成前のインクジェット記録ヘッド１ｂが新たに作業位置に搬送される。
【００９６】
次に図５（ｃ）のように被膜３４を除去し終わった気密保持部材１０が再びインクジェット記録ヘッド１ｂへと密着するように移動し、図２（ａ）に戻って次回の処理工程を繰り返すことになる。
【００９７】
このとき、気密保持部材１０からは被膜３４を完全に洗浄除去してあるため、処理工程に悪影響を及ぼす恐れはない。
【００９８】
本実施例では気密保持部材１０をブラシ５４で摺擦、かつ溶剤５０で洗浄することで、被膜３４を物理的・化学的に清掃可能であり、気密保持部材１０に被膜３４が多量に固着していても確実に除去作業が行なえる。
【００９９】
気密保持部材１０の材質は、本実施例においては処理液３０への耐性、及び圧接によるインクジェット記録ヘッドチップ１２の損傷を回避するためなどの理由からブチルゴムを使用するものとするが、特にゴム材料に指定するものではなく、気密が充分に確保でき、且つインクジェット記録ヘッドチップ１２の損傷などが回避できるのであれば金属材料を使用してもよい。
【０１００】
インク吐出口１５から噴出させる気体４０も、本実施例ではインク供給口１１より供給する気体として窒素を用いたが、たとえばヘリウムやアルゴンなどのように処理液３０に対して不活性であり、インク流路１８に残留物をもたらさないものであればよい。
【０１０１】
塗布方法は、本発明においては処理液３０を必要最低限の消費に抑えることができる、噴流法（塗布用針２０の針先から処理液３０を高さ４００μｍ程度出し、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３を処理液３０に接触させながらインク吐出口１５の並び方向に直線的に移動させる方法）を用いたが、処理液３０をインク吐出面１３に接触させることができればよく、Ｄｉｐ法のようにインクジェット記録ヘッドチップ１２全体を処理液３０に浸漬して塗布する方法でもよい。
【０１０２】
また本実施例では処理液３０としてフッ素樹脂（旭ガラス製：ＣＹＴＯＰ ＣＴＬ−１０７Ｍ）溶液を用いた場合の例を取り上げたが、これに限定されるものではない。
【０１０３】
図６には、本発明の第５実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法が示されている。
【０１０４】
図６ではインクジェット記録ヘッドチップ１２に被膜を形成する塗布工程について、順を追って説明する。
【０１０５】
インクジェット記録ヘッドチップ１２に気密保持部材１０を圧着し、処理液３０を塗布して離間させるまでは第１実施例と全く同様なので省略し、以後の相違点のみ説明する。
【０１０６】
処理液３０の塗布の終了後には、気体４０の供給を停止し、図６（ａ）のように気密保持部材１０を白矢印方向に移動してインクジェット記録ヘッドチップ１２と離間させる。
【０１０７】
この段階までは図２で説明した第１実施例と同様である。
【０１０８】
この段階で、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３は塗布した処理液３０が固化したことにより、被膜３２が形成されている。
【０１０９】
同時に気密保持部材１０にも処理液３０が付着しているため、この処理液３０が固化することで不用な被膜３４が気密保持部材１０に形成されている。
【０１１０】
そこで図６（ｂ）に示すように、気密保持部材１０の被膜３４をブラシ５４で斜線矢印の方向に摺擦し、機械的な摩擦力で被膜３４を除去する。本実施例においては、摺擦方法としては本実施例においてはブラシによる摺擦を例に挙げいるが、ワイパーブレードなどによる摺擦でもよい。
【０１１１】
これと同時に、気密保持部材１０の被膜３４に、吹き付け装置５２により被膜が可溶な溶剤５０（例えば旭ガラス製：ＣＴ−ＳＯＬＶ１００や住友３Ｍ製：ＰＦ５０８０など）を吹き付け、斜線矢印のように吹き付け装置５２を移動させて被膜３４を溶解し、洗い流す。
【０１１２】
その一方でアスピレータ５６により溶剤５０を黒矢印のように吸引除去する。これによって気密保持部材１０から被膜３４を溶解し、洗浄除去する。
【０１１３】
本実施例においては、溶剤を気密保持部材１０に吹きかける方法として被膜を形成する方法と同様の噴流法を用いたが、これもこの方法に限定されるものではなく、気密保持部材１０の被膜付着箇所が溶剤に適切に接触すればよく、溶剤に浸漬するＤｉｐ法のような方法であっても良い。
【０１１４】
このとき、すでに気密保持部材１０と離間したインクジェット記録ヘッド１ａ（被膜形成済み）は次の工程へと進むために移動し、被膜形成前のインクジェット記録ヘッド１ｂが新たに作業位置に搬送される。
【０１１５】
次に図６（ｃ）のように被膜３４を除去し終わった気密保持部材１０が再びインクジェット記録ヘッド１ｂへと密着するように移動し、図２（ａ）に戻って次回の処理工程を繰り返すことになる。
【０１１６】
このとき、気密保持部材１０からは被膜３４を完全に洗浄除去してあるため、処理工程に悪影響を及ぼす恐れはない。
【０１１７】
本実施例では気密保持部材１０をブラシ５４で摺擦、溶剤５０で洗浄、かつアスピレータで洗浄後の溶剤５０を吸引除去することで、被膜３４を物理的・化学的に清掃可能であり、被膜３４を溶解した溶剤５０が気密保持部材１０に滞留することがなく、溶剤５０を効率よく使用できるので気密保持部材１０に被膜３４が多量に固着していても確実に除去作業が行なえる。
【０１１８】
気密保持部材１０の材質は、本実施例においては処理液３０への耐性、及び圧接によるインクジェット記録ヘッドチップ１２の損傷を回避するためなどの理由からブチルゴムを使用するものとするが、特にゴム材料に指定するものではなく、気密が充分に確保でき、且つインクジェット記録ヘッドチップ１２の損傷などが回避できるのであれば金属材料を使用してもよい。
【０１１９】
インク吐出口１５から噴出させる気体４０も、本実施例ではインク供給口１１より供給する気体として窒素を用いたが、たとえばヘリウムやアルゴンなどのように処理液３０に対して不活性であり、インク流路１８に残留物をもたらさないものであればよい。
【０１２０】
塗布方法は、本発明においては処理液３０を必要最低限の消費に抑えることができる、噴流法（塗布用針２０の針先から処理液３０を高さ４００μｍ程度出し、インクジェット記録ヘッドチップ１２のインク吐出面１３を処理液３０に接触させながらインク吐出口１５の並び方向に直線的に移動させる方法）を用いたが、処理液３０をインク吐出面１３に接触させることができればよく、Ｄｉｐ法のようにインクジェット記録ヘッドチップ１２全体を処理液３０に浸漬して塗布する方法でもよい。
【０１２１】
また本実施例では処理液３０としてフッ素樹脂（旭ガラス製：ＣＹＴＯＰ ＣＴＬ−１０７Ｍ）溶液を用いた場合の例を取り上げたが、これに限定されるものではない。
【０１２２】
本発明は以上の構成としたので、塗布工程直後に冶具に付着した被膜除去を物理的あるいは化学的、さらには物理的かつ化学的な作用を利用し洗浄を行うことができ、被膜の除去が効率よく進行し、繰り返し処理が行われても清浄な冶具状態を安定して維持することができる。そのため常に清浄な冶具でインクジェット記録ヘッドを処理することができ、歩留まりの高い製造方法とすることができた。
【図面の簡単な説明】
【０１２３】
【図１】本発明の第１形態に係るインクジェット記録ヘッドチップを示す断面図である。
【図２】本発明の第１形態に係るインクジェット記録ヘッドチップの製造工程を示す斜視図である。
【図３】本発明の第２形態に係るインクジェット記録ヘッドチップの製造工程を示す斜視図である。
【図４】本発明の第３形態に係るインクジェット記録ヘッドチップの製造工程を示す斜視図である。
【図５】本発明の第４形態に係るインクジェット記録ヘッドチップの製造工程を示す斜視図である。
【図６】本発明の第５形態に係るインクジェット記録ヘッドチップの製造工程を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１２４】
１      インクジェット記録ヘッド
１０    気密保持部材
１２    インクジェット記録ヘッドチップ
２０    塗布用針
３０    処理剤
３２    被膜
３４    被膜
４０    気体
５０    溶剤
５２    吹き付け装置
５４    ブラシ
５６    アスピレータ
【図１】
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【図２】
2005035161.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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