(57)【要約】【課題】サスペンション上における、より小型の磁気ヘッドスライダを搭載する適切な位置を得る測定装置および当該測定装置を有する磁気ヘッドの製造装置を提供する。【解決手段】サスペンションの延在平面とは平行な平面内に撮影光軸を有し且つサスペンションに向かう正面カメラと当該平行平面内であって正面カメラの撮影光軸とは異なる撮影光軸を有する横カメラとを配置して、これらカメラによってサスペンションに形成されたディンプルの凸面頂部の座標を求めることとする。当該座標とディンプル凹面最深部の座標とを相関させることにより、実際の磁気ヘッドスライダの搭載時において、認識容易なディンプル凹面最深部を測定することで適切な磁気ヘッドの搭載位置を得ることが可能となる。【選択図】図５
2005135467.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基準部分を有するサスペンション上の所定位置において所定方向に向けて磁気ヘッドスライダを搭載してなる磁気ヘッドにおいて、前記サスペンション上の前記磁気ヘッドスライダが搭載される所定位置を測定する方法であって、
前記サスペンションが延在するＸＹ平面内の前記基準部分の中心を基にした第一のＸＹ座標を求める工程と、
サスペンション上に形成された前記磁気ヘッドスライダが搭載される側に凸面を有するディンプルに対して、前記凸面の裏面に形成された凹面に対して前記平面と略垂直な方向から光を当てることによって得られる像を撮影し、前記像に基づいて前記平面と平行な平面における前記ディンプル中心部分の第一のＸＹ座標を求める工程と、
前記基準部分の中心部分と前記ディンプルの中心部分とを撮影し、撮影されたこれら影像と前記第一のＸＹ座標の少なくとも何れか基づいて各々の第二のＸＹ座標を求め、これら第二のＸＹ座標を用いて前記所定の方向を求める工程と、
前記磁気ヘッドスライダの前記平面上での前記サスペンションの延在方向における中心線および中心点のＸＹ座標を求める工程と、
前記磁気ヘッドスライダの中心線を前記所定の方向と一致させ、前記磁気ヘッドスライダの中心点のＸＹ座標と前記ディンプル中心部分の第二のＸＹ座標とを一致させて、前記サスペンションに前記磁気ヘッドスライダを搭載する位置を求めることを特徴とする磁気ヘッドスライダの搭載位置測定方法。
【請求項２】
前記ディンプルの中心部分の第一のＸＹ座標を求める工程は、前記ディンプルの凸面を前記ＸＹ平面とは平行な平面における異なる方向から撮影してこれら影像から前記凸面における頂部の前記平面における第一のＸＹ座標を求める工程を有し、
前記ディンプル中心部分の第二のＸＹ座標は、前記凸面上部の第一のＸＹ座標と前記像に基づいて得られた前記ディンプル中心部分の第一のＸＹ座標とのずれ量を加味して定められることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの搭載位置測定方法。
【請求項３】
指標および基準部分を有するサスペンション上の所定位置において所定方向に向けて磁気ヘッドスライダを搭載してなる磁気ヘッドにおいて、前記サスペンション上の前記磁気ヘッドスライダが搭載される所定位置を測定する方法であって、
前記サスペンションが延在するＸＹ平面における前記指標および基準部分における各々の中心を基にした第一のＸＹ座標を求める工程と、
サスペンション上に形成された前記磁気ヘッドスライダが搭載される側に凸面を有するディンプルに対して、前記ディンプルの凸面を前記ＸＹ平面とは平行な平面における異なる方向から撮影してこれら影像から前記凸面における頂部の前記平面における第一のＸＹ座標を求める工程と、
前記指標或いは前記基準部分の中心部分を撮影し、撮影されたこれら影像および前記第一のＸＹ座標の少なくとも何れかから得られる各々の第二のＸＹ座標に基づいて前記凸面頂部の第二のＸＹ座標を求め、これら第二のＸＹ座標を用いて前記所定の方向を求める工程と、
前記磁気ヘッドスライダの前記平面上での前記サスペンションの延在方向における中心線および中心点のＸＹ座標を求める工程と、
前記磁気ヘッドスライダの中心線を前記所定の方向と一致させ、前記磁気ヘッドスライダの中心点のＸＹ座標と前記凸面頂部の第二のＸＹ座標とを一致させて、前記サスペンションに前記磁気ヘッドスライダを搭載する位置を求めることを特徴とする磁気ヘッドスライダの搭載位置測定方法。
【請求項４】
サスペンション上の所定位置において所定方向に向けて磁気ヘッドスライダを搭載してなる磁気ヘッドにおいて、前記サスペンション上の前記磁気ヘッドスライダが搭載される所定位置を測定する磁気ヘッドスライダ搭載位置の測定装置であって、
前記サスペンションが延在する平面に対して垂直であり且つ各々対向する撮影光軸を有する上カメラおよび下カメラと、
前記サスペンションが延在する平面とは平行な平面内であって前記サスペンションに向かう撮影光軸を有する正面カメラと、
前記サスペンションが延在する平面とは平行な平面内であって前記正面カメラの撮影光軸とは異なる方向から前記サスペンションに向かう撮影光軸を有する横カメラと、
前記上カメラ、下カメラ、正面カメラおよび横カメラから得られる前記サスペンションの影像に基づいて、前記サスペンションの前記磁気ヘッドスライダが搭載される側に形成される凸面の頂部と、前記サスペンションに形成された基準部分との位置関係を求める制御手段とを有することを特徴とする磁気ヘッドスライダ搭載位置の測定装置。
【請求項５】
磁気ヘッドスライダが搭載される側に形成される凸面と基準部分とを有するサスペンション上の所定位置において所定方向に向けて前記磁気ヘッドスライダを搭載する磁気ヘッド製造装置であって、
前記サスペンション上の前記磁気ヘッドスライダが搭載される所定位置を測定する磁気ヘッドスライダ搭載位置の測定装置と、
前記サスペンション上の所定位置に前記磁気ヘッドスライダを搭載する磁気ヘッドスライダ搭載装置とを有し、
前記磁気ヘッドスライダ搭載位置の測定装置は、
前記サスペンションが延在する平面に向かい且つ各々対向する撮影光軸を有する上カメラおよび下カメラと、
前記サスペンションが延在する平面とは平行な平面内であって前記サスペンションに向かう撮影光軸を有する正面カメラと、
前記サスペンションが延在する平面とは平行な平面内であって前記正面カメラの撮影光軸とは異なる方向から前記サスペンションに向かう撮影光軸を有する横カメラと、
前記上カメラ、下カメラ、正面カメラおよび横カメラから得られる前記サスペンションの影像に基づいて、前記サスペンションの前記磁気ヘッドスライダが搭載される側に形成される凸面の頂部と、前記サスペンションに形成された基準部分との位置関係を求める制御手段とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブ（以下HDDと称する。）等、磁気記録装置において用いられる磁気ヘッドスライダを、これを支持するいわゆるサスペンションに対して搭載する際の搭載位置の測定方法及び測定装置に関する。また、当該測定装置を用いて磁気ヘッドスライダの搭載位置を確認した後に、これをサスペンションに固定し、且つその固定状態を評価する磁気ヘッドの製造装置にも関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッド先端部の概略構成について、これを側面より見たものを図１０Ａに、上面から見たものを図１０Ｂにそれぞれ示す。磁気ヘッドは、金属製の板バネからなるロードビーム３と、その先端部を除いて、ロードビーム３に貼り付けられてこれに支持されるフレキシャー５と、フレキシャー５に貼り付けられてこれに支持される磁気ヘッドスライダ１とを有する。フレキシャー５とロードビーム３とは、貼り付けられて略一体化し、磁気ヘッドにおけるサスペンション７として作用する。フレキシャー５は、本体部５ａと、その先端部において、先端部の辺のみがフレキシャー本体部分５ａに対して接続され且つその他の辺が切断された長方形状のタング５ｂとを有している。
【０００３】
ロードビーム３の先端部にはフレキシャー５側に突出したディンプル１１が形成されている。ディンプル１１は、タング５ｂがフレキシャー本体部５ａとは独立してロードビーム３と略平衡となるように、タング５ｂに対して付勢力を与える。磁気ヘッドスライダ１は、当該スライダが固定されたタング５ｂを介してこのディンプル１１によって付勢され、実際の記録、再生操作において最適な姿勢を保つことを可能としている。(特許文献１或いは２参照)
【０００４】
従来、ロードビーム３に対する磁気ヘッドスライダ１の取り付け操作は、サスペンション７自身、或いはサスペンション７に形成されたビューホール７ａおよびツーリングホール７ｂの位置を測定し、その測定結果に基づいてスライダ１の固定位置が決定されていた。また、磁気ヘッドスライダ１の中心線を求めることとし、当該中心線もこの測定用のパラメータとして用いられていた。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１８５４１６号公報
【特許文献２】特開平０６−２１５５１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
HDDの高記録密度化に伴って、ハードディスクのトラック幅が狭くなり、これに対応する磁気ヘッドも小型化、軽量化が進められている。この場合、小型化された磁気ヘッドにおける磁気ヘッドスライダの取り付け、搭載精度も、同時により高精度化すると共に、実際の記録、再生操作時における磁気ヘッドコアの姿勢安定性の向上が求められる。本来、磁気ヘッドコアをサスペンションに固定する際には、その操作時の姿勢安定性を考慮すれば、ディンプルの形成位置を基準としてその搭載位置が決定されなければならない。
【０００７】
しかしながら、先に参照した図面からも明らかなように、ディンプルの上面にはタングが張り出しているために、ディンプルの形成位置を直接測定することはこれまで不可能とされていた。また、磁気ヘッドコアおよびディンプルが小型化するに伴って、従来のコア中心線、ビューホールおよびツーリングホールを用いた磁気ヘッドスライダの搭載位置の測定方法では、適切な固定位置を認識することが困難となりつつある。
【０００８】
本発明は、上記状況に鑑みて為されたものであり、サスペンションにおけるディンプル位置の正確な認識と、磁気ヘッドスライダの搭載位置の正確な認識とを可能とする、磁気ヘッドスライダのサスペンションに対する搭載位置の測定方法及び測定装置を提供することを目的とする。また、本発明は、当該測定装置を用いて磁気ヘッドスライダの搭載位置を確認した後に、これをサスペンションに固定する磁気ヘッドの製造装置を提供することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係る磁気ヘッドスライダの搭載位置測定方法は、基準部分を有するサスペンション上の所定位置において所定方向に向けて磁気ヘッドスライダを搭載してなる磁気ヘッドにおいて、サスペンション上の磁気ヘッドスライダが搭載される所定位置を測定する方法であって、サスペンションが延在するＸＹ平面内の基準部分における各々の中心を基にした第一のＸＹ座標を求める工程と、サスペンション上に形成された磁気ヘッドスライダが搭載される側に凸面を有するディンプルに対して、当該凸面の裏面に形成された凹面に対して平面と略垂直な方向から光を当てることによって得られる像を撮影し、像に基づいて平面と平行な平面におけるディンプル中心部分の第一のＸＹ座標を求める工程と、基準部分の中心部分とディンプルの中心部分とを撮影し、撮影されたこれら影像と第一のＸＹ座標の少なくとも何れかに基づいて各々の第二のＸＹ座標を求め、これら第二のＸＹ座標を用いて所定の方向を求める工程と、磁気ヘッドスライダの平面上でのサスペンションの延在方向における中心線および中心点のＸＹ座標を求める工程と、磁気ヘッドスライダの中心線を所定の方向と一致させ、磁気ヘッドスライダの中心点のＸＹ座標とディンプル中心部分の第二のＸＹ座標とを一致させて、サスペンションに磁気ヘッドスライダを搭載する位置を求めることを特徴としている。
【００１０】
なお、上述の測定方法においては、ディンプルの中心部分の第一のＸＹ座標を求める工程は、ディンプルの凸面をＸＹ平面とは平行な平面における異なる方向から撮影してこれら影像から凸面における頂部の平面における第一のＸＹ座標を求める工程を有し、ディンプル中心部分の第二のＸＹ座標は、凸面上部の第一のＸＹ座標と像に基づいて得られたディンプル中心部分の第一のＸＹ座標とのずれ量を加味して定められることが好ましい。
【００１１】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る磁気ヘッドスライダ搭載位置の測定方法は、指標および基準部分を有するサスペンション上の所定位置において所定方向に向けて磁気ヘッドスライダを搭載してなる磁気ヘッドにおいて、サスペンション上の磁気ヘッドスライダが搭載される所定位置を測定する方法であって、サスペンションが延在するＸＹ平面における指標および基準部分における各々の中心を基にした第一のＸＹ座標を求める工程と、サスペンション上に形成された磁気ヘッドスライダが搭載される側に凸面を有するディンプルに対して、ディンプルの凸面をＸＹ平面とは平行な平面における異なる方向から撮影してこれら影像から凸面における頂部の平面における第一のＸＹ座標を求める工程と、指標或いは基準部分の中心部分を撮影し、撮影されたこれら影像と第一のＸＹ座標の少なくとも何れかから得られる各々の第二のＸＹ座標に基づいて凸面頂部の第二のＸＹ座標を求め、これら第二のＸＹ座標を用いて所定の方向を求める工程と、磁気ヘッドスライダの平面上でのサスペンションの延在方向における中心線および中心点のＸＹ座標を求める工程と、磁気ヘッドスライダの中心線を所定の方向と一致させ、磁気ヘッドスライダの中心点のＸＹ座標と凸面頂部の第二のＸＹ座標とを一致させて、サスペンションに磁気ヘッドスライダを搭載する位置を求めることを特徴としている。
【００１２】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る磁気ヘッドスライダ搭載位置測定器は、サスペンション上の所定位置において所定方向に向けて磁気ヘッドスライダを搭載してなる磁気ヘッドにおいて、サスペンション上の磁気ヘッドスライダが搭載される所定位置を測定する磁気ヘッドスライダ搭載位置の測定装置であって、サスペンションが延在する平面に対して垂直であり且つ各々対向する撮影光軸を有する上カメラおよび下カメラと、サスペンションが延在する平面とは平行な平面内であってサスペンションに向かう撮影光軸を有する正面カメラと、サスペンションが延在する平面とは平行な平面内であって正面カメラの撮影光軸とは異なる方向からサスペンションに向かう撮影光軸を有する横カメラと、上カメラ、下カメラ、正面カメラおよび横カメラから得られるサスペンションの影像に基づいて、サスペンションの磁気ヘッドスライダが搭載される側に形成される凸面の頂部と、サスペンションに形成された基準部分との位置関係を求める制御手段とを有することを特徴としている。
【００１３】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る磁気ヘッドの製造装置は、磁気ヘッドスライダが搭載される側に形成される凸面と基準部分とを有するサスペンション上の所定位置において所定方向に向けて磁気ヘッドスライダを搭載する磁気ヘッド製造装置であって、サスペンション上の磁気ヘッドスライダが搭載される所定位置を測定する磁気ヘッドスライダ搭載位置の測定装置と、サスペンション上の所定位置に磁気ヘッドスライダを搭載する磁気ヘッドスライダ搭載装置とを有し、磁気ヘッドスライダ搭載位置の測定装置は、サスペンションが延在する平面に向かい且つ各々対向する撮影光軸を有する上カメラおよび下カメラと、サスペンションが延在する平面とは平行な平面内であってサスペンションに向かう撮影光軸を有する正面カメラと、サスペンションが延在する平面とは平行な平面内であって正面カメラの撮影光軸とは異なる方向からサスペンションに向かう撮影光軸を有する横カメラと、上カメラ、下カメラ、正面カメラおよび横カメラから得られるサスペンションの影像に基づいて、サスペンションの磁気ヘッドスライダが搭載される側に形成される凸面の頂部と、サスペンションに形成された基準部分との位置関係を求める制御手段とを有することを特徴としている。
【００１４】
なお、上述した第一のＸＹ座標は、横カメラ、正面カメラおよび下カメラによってディンプルの凸面頂部或いは凹面最深部を求める際に用いられる座標系を示し、第二のＸＹ座標は、例えばサスペンションの延在方向に延びるサスペンションの中心線等の磁気ヘッドスライダを取り付ける際に用いられる座標系を示す。個々のカメラの配置は、各々直交する座標軸上に配置されることが好ましい。しかしながら、目的とするポイントの第一および第二のＸＹ座標が最終的に得られるのであれば、個々のカメラの配置は当該直交座標系の軸上に限定されない。また、基準部分として実施例等では第一および第二の基準穴であるビューホール或いはツーリングホールとして述べているが、サスペンションの中心線、ある部分の位置等を特定できる指標となるものであればこれら穴に限定されない。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、これまで基準として用いたビューホールおよびツーリングホールとディンプルとの正確な位置関係の把握が可能となる。従って、サスペンションに搭載された磁気ヘッドスライダの搭載位置を、これを支持するディンプルの中心位置を基準として評価し、定めることが可能となる。その結果、小型化された磁気ヘッドにおける磁気ヘッドスライダの搭載精度が向上すると共に、実際の記録、再生操作時における磁気ヘッドコアの姿勢安定性も向上するといった効果が得られる。
【００１６】
ディンプルは、通常ロードビームを構成する金属薄板に対して、プレス処理を施すことによって得られている。通常プレス処理は、凹面状の部分を有する下型と凸面状の部分を有する上型との間に、金属薄板を挟みこんでこれを変形させることによって行われる。この下型の凹面の頂部（最も窪んだ位置）と上型の凸面の頂部とが位置ずれを有する場合も考えられる。本発明によれば、これら頂部の位置ずれについても着目し、これを認識することを可能としている。従って、このような位置ずれが生じた場合であっても、ディンプルの頂部に対して磁気ヘッドスライダを正確に搭載することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施の形態に係る測定装置の主要部の概略構成に関し、以下図面を参照して説明する。図１Ａは本発明に係る測定装置の平面概略を、図１Ｂは側面概略を示す図である。本発明に係る測定装置１００は、サスペンション７が載置されるＸステージ１５、Ｘステージ１５を支持するＹステージ１７、Ｙステージ１７を支持する架台１９、下カメラ２１、横カメラ２３、正面カメラ２５、および上カメラ２７から構成される。Ｘステージ１５は、Ｙステージ１７によって図中矢印方向（Ｘ方向）に駆動可能に支持される。またＹステージ１７は、架台１９によって、紙面中Ｘ方向と垂直な方向に対して駆動可能に支持される。
【００１８】
正面カメラ２５は、サスペンション７の延在平面に含まれる或いはこれと平行な光軸であってサスペンション７に向かう撮影光軸を有している。また横カメラ２３は、サスペンション７の延在平面に含まれる或いはこれと平行な光軸であって、サスペンション７に向かうと共に正面カメラ２５の撮影光軸に垂直な撮影光軸を有している。下カメラ２１は、ディンプルの中心の略真下に配置され且つロードビーム３の延在平面に垂直な撮影光軸を有している。なお、正面カメラ２５と横カメラ２３とは、各々が前述した延在平面と平行な平面内に存在し且つ異なる撮影光軸となる配置であっても良い。
【００１９】
Ｘステージ１５は、当該ステージ上からサスペンション７の先端部分をＸ方向に張り出すように支持する。この状態で、Ｘ方向に駆動することによって、サスペンション７上の要測定部分であるビューホール、ツーリングホールおよびディンプルを上、下、側面および正面の各カメラの視野内部に入れる。なお、例えば図中に示す横カメラ用透過照明２９のように、サスペンション７を挟んでカメラと対向する位置に透過照明を配置し、当該カメラによって得られるサスペンション像のコントラストを高めることとしても良い。
【００２０】
次に、上述した図１Ａおよび図１Ｂに示した構成を用いて、実際にディンプルを撮影し、その凸部分の頂部を求める方法について述べる。ディンプル１１は、金属の薄板からなるロードビーム３の端部近傍に、プレスによって上面側に突出する部分を形成することによって得られている。本発明においては、下カメラ２１によってディンプル１１の凹面を撮影することで、その中心を得ることとしている。具体的には、下カメラ２１の周囲に不図示のリング状の光源もしくは同軸光源を配置し、これら光源によってディンプル１１をその裏面側から照らすことにより、図２に示す影像が得られる。ディンプル１１を照らす光は、ディンプル凹面の最深部或いはその近傍によって反射され、ディンプル内部に像１２を形成する。
【００２１】
当該影像においては、凹面の外周１１Ｃが環状の暗部の外周として示され、照明光の光軸に対して略垂直となる最深部１１ａが暗部の中の輝点(像１２)として示される。不図示のリング状光源の配置を適当なものとすることにより、この像１２の中心は、ディンプル１１の中心と一致する。ディンプル１１の凹面はその周囲のロードビーム裏面と同じ材料からなることから本来は影像としてその境界等を識別することは困難であるが、この像１２を用いることで、ディンプル中心部分のＸＹ座標を容易に求めることが可能となる。なお、このＸＹ座標を規定する平面は、サスペンション７の延在する平面と略平行な平面とする。
【００２２】
以上の構成を用いることにより、ディンプル中心部分のＸＹ座標を容易に認識することが可能となる。従来の構成により得られていたビューホール７ａおよびツーリングホール７ｂの中心部分のＸＹ座標と、このディンプル中心部分のＸＹ座標との相関関係を用いることよって、磁気ヘッドスライダ１の中心をディンプルの中心と一致させることが可能となる。また、磁気ヘッドスライダ１の取り付け方向も、容易に所望する方向と一致させることが可能となる。従って、より小型の磁気ヘッドスライダを用いた場合であっても、記録、再生時のスライダ浮上量を低減し且つその際の姿勢が安定した磁気ヘッドを提供することが可能となる。
【００２３】
ここで、前述したように、ディンプル１１は、その形成面における表側（凸面）での頂部と裏側（凹面）での最も窪んだ部分との間において、位置ずれを有している場合がある。磁気ヘッドスライダは、ディンプル１１の凸面の頂部とその中心とを一致させることを要するが、この位置ずれの影響で下カメラでは正確な頂部位置が認識できない可能性がある。この傾向は、磁気ヘッドスライダの大きさが小型化するにつれて、無視しきれなくなると考えられる。
【００２４】
そこで、本発明においては、ディンプル１１の凸面頂部を実際に求めることとしている。実際の測定時における各カメラとサスペンション７との位置関係を概略的に図３に示す。ディンプル１１の頂部認識のために、ディンプル１１を正面カメラ２５と、正面カメラ２５と略同一平面上であって当該カメラの撮影方向と垂直な方向からの撮影を可能とする横カメラ２３とによりディンプル１１の撮影を行うこととしている。個々のカメラの撮影領域中で認識されたディンプル頂部の位置に基づいて、サスペンション７の延在平面上におけるディンプル頂部のＸＹ座標が求められる。
【００２５】
通常、ディンプル１１は、フレキシャー５に形成されたタング５ｂに密着し、タング５ｂを本体部５ａから押し上げている。従って、ディンプル１１の頂部は、フレキシャー本体部５ａに設けられたタング５ｂ形成用の穴に入り込んでおり、通常の姿勢では横カメラ２３或いは正面カメラ２５による撮影は困難である。このため、本実施の形態においては、タング５ｂを吸着、保持可能なタング吸着ノズル３１を配置することとしている。当該ノズル３１によってタング５ｂを吸着し、その状態でタング吸着ノズルを上方に移動させることでタング５ｂをディンプル１１頂部から離間させ、これらカメラによるディンプル１１頂部の撮影を可能にしている。
【００２６】
なお、当該ノズル３１の移動量が過剰である場合、或いは移動状態での保持時間が過度に長い場合にはフレキシャー５に変形を与える可能性がある。従って、タング吸着ノズル３１によるタング５ｂとディンプル１１頂部との離間量および離間時間は可能な限り小さくすることが好ましい。また、タング吸着ノズル３１を用いてディンプル１１の頂部を認識する工程は、タング５ｂ上に磁気ヘッドスライダ１を実際に搭載する工程とは別個に行う場合もある。
【００２７】
次に、ディンプル１１の形成面における表側（凸面）での頂部と裏側（凹面）での最も窪んだ部分（最深部）との間の位置ずれの求め方について述べる。図４は、当該位置ずれを求める際の各カメラの配置を示している。ディンプル１１の凹面を下カメラ２１によって撮影し、ＸＹ平面（サスペンション７の延在面）における当該凹面における最も窪んだ部分１１ａの座標を求める。同時に、正面カメラ２５と横カメラ２３とによるディンプル１１の凸面撮影により、凸面の頂部１１ｂのＸＹ平面における座標を求める。これらＸＹ平面は実際にはサスペンション７の延在方向とは平行な平面であるが、これら平面間の距離に関係無く、得られた凹面最深部１１ａと凸面頂部１１ｂとの座標上のずれ量を算出する。
【００２８】
予め、以上の操作によって、ディンプル１１の凹面最深部１１ａと凸面頂部１１ｂとの座標上のずれ量およびずれ方向を求めておく。実際の磁気ヘッドスライダの搭載工程においては、当該ずれ量等を加味した下カメラによるディンプル１１の位置確認のみを行い、磁気ヘッドスライダの搭載位置を決定する。このようにして、磁気ヘッドスライダの搭載位置を定めることにより、磁気ヘッドスライダがより小型化、軽量化し、その浮上量が狭くなった場合であっても、良好な記録、再生操作を行い得る磁気ヘッドを製造することが可能となる。
【００２９】
なお、本発明においては、ディンプル凸面の頂部１１ｂのＸＹ座標と磁気ヘッドスライダ１におけるＸＹ座標上の中心位置とを一致させ、且つ頂部１１ｂとビューホール７ａとを結ぶ線を磁気ヘッドスライダが整列すべき所定方向と一致させることを目的としている。従って、ディンプルの凹面最深部と凸面頂部とのＸＹ座標が一致していれば、凸面頂部の座標を求める工程は不要となる。また、凸面頂部のＸＹ座標を類推することが可能となる目標を、凹面最深部とは異なる部分に設定することが可能であれば、凹面最深部を求める工程をこの目標物の座標を求める工程と換えることとしても良い。また、本実施の形態においては、サスペンション中に設けられたビューホールおよびツーリングホールを基準部分として用いている。しかしながら、当該基準部分の構成はこれら基準穴の形態に限定されず、マーク、サスペンションの外形等種々の形態からなる構成を基準部分として用いることが可能である。
【実施例１】
【００３０】
本発明に係るディンプル位置の測定装置、およびこれを含む磁気ヘッドスライダをサスペンションに搭載する磁気ヘッドの製造装置に関し、これをブロック図として示す図５を参照して以下に説明する。なお、当該構成の主要部の詳細については先に図１Ａおよび１Ｂを用いて述べているため、ここでの説明は省略する。測定装置１００は、上カメラ２７、下カメラ２１、正面カメラ２３、および横カメラ２５を有しており、これらカメラは制御手段３５に接続されている。制御手段３５は、各カメラから得られた影像の画像解析を行い、例えばビューホール、ディンプル中心等の座標、配置等を求める。
【００３１】
また、サスペンション７を固定保持するＸステージ１５およびＹステージ１７を駆動してサスペンション７を各カメラの中心部に位置させる、或いは、サスペンションの移載装置３７或いはスライダ搭載装置に搬送する等の操作を実施する。また、得られたディンプル中心の座標等に基づいて、サスペンション７に対する磁気ヘッドスライダの搭載位置等を求めスライダ搭載装置３９での位置制御を行う。なお、得られたディンプル中心座標等に関するデータは全て記憶手段４１に記憶されており、当該データは、スライダ搭載時等に読み出されて搭載装置の位置制御に用いられる。
【００３２】
当該測定装置１００はユニット化されて、好適な搭載工程が実施可能となるように、後に続く磁気ヘッドスライダの搭載装置３９等と適宜接続される。この場合、例えば直接サスペンションを搭載装置３９に移載するのではなく、独立した移載装置３７を介して搭載装置３９に運ぶこととしても良い。当該測定装置１００は、これら装置と接続されることにより、磁気ヘッドの製造装置を構成する。
【００３３】
図６は、測定装置１００を用いて、実際にディンプル中心を求める工程を示すフローチャートである。サスペンション７上のディンプル１１形成位置の測定に際しては、サスペンション７をＸステージ１５上にセットし、実際の測定工程を開始する。測定工程においては、まずステップ３において、基準穴１、例えばビューホール７ａを下カメラ２１により撮影し、基準穴１中心の第一のＸＹ座標を求める。続くステップ４において、基準穴２、例えばツーリングホール７ｂを下カメラにより撮影し、基準穴２中心の第一のＸＹ座標を求める。これら操作によってサスペンション７のＸステージ１５に対する載置状態が確認される。これら基準穴の中心座標等に関するデータは、記憶手段４１に全て記憶される。
【００３４】
以上の各工程を経た後、ステップ５において下カメラ２１によるディンプル１１の凹面部分の撮影を行う。図２に示す形態で得られたディンプル１１中の像１２に基づいて、制御装置３５はディンプル凹面最深部１１ａの第一のＸＹ座標を求める。先に得られている基準穴１および２における中心各々の第一のＸＹ座標に基づいて、サスペンション７（ロードビーム３）上の実際のディンプル中心（この場合凹面部分の最深部）の配置が求められる。後述するディンプル１１の凸面頂部と凹面最深部とのＸＹ座標上の位置ずれが存在しない場合には、ここまでの操作で得られたデータに基づいて、サスペンション７に対する磁気ヘッドスライダ１の搭載工程を行うこととしても良い。
【００３５】
次に、ディンプル１１の凸面頂部１１ｂと、凹面最深部１１ａとのずれ量を求める工程について、図７のフローチャートを用いて説明する。当該工程においては、Ｘステージ１５上に載置されたサスペンション７におけるタング５ｂに対してタング吸着ノズル３１を接近させる（ステップ１３）。タング５ｂを吸着し、更にこれを所定量持ち上げることによって、ディンプル１１凸面の撮影が可能な状態を得る（ステップ１４および１５）。
【００３６】
この状態にて、実際のディンプル中心のずれ量を求める操作を開始する（ステップ１６）。当該操作においては、まずステップ１７において、ディンプル１１の凹面を下カメラ２１により撮影し、その影像に基づいて制御手段３５において最深部１１ａの第一のＸＹ座標が求められる。続いて、ステップ１８において、横カメラ２３を用いてディンプル１１凸面を撮影し、制御手段３５によって凸面頂部１１ｂのＸ方向における第一の座標が求められる。また、ステップ１９において、正面カメラ２１を用いてディンプル１１凸面を撮影し、制御手段３５によって凸面頂部１１ｂのＹ方向における第一の座標が求められる。
【００３７】
求められた凹面最深部１１ａの第一のＸＹ座標と、凸面頂部１１ｂの第一のＸＹ座標とから、これらのずれ量およびずれ方向が求められる。このようにして得られた凹面最深部１１ａ、凸面頂部１１ｂ各々の座標およびこれらの位置ずれ量等は、記憶手段に記憶される。その後、タング吸着ノズル３１による吸着操作を停止し、当該ノズルの退避を行う（ステップ２０〜２２）。以上の操作により、ディンプル１１の凸面頂部１１ｂと、凹面最深部１１ａとのずれ量が得られる。
【００３８】
次に、以上の操作によって得られた各測定値に基づいて、磁気ヘッドスライダ１をサスペンション７に対して搭載する工程について述べる。図８は、当該工程の流れを示すフローチャートである。当該工程においては、Ｘステージ１５上に載置されたサスペンション７における基準穴の１或いは２を、下カメラ２１によって撮影し第二のＸＹ座標を求める（ステップ３３）。得られた中心の第二のＸＹ座標を予め記憶手段に記憶された中心の第一のＸＹ座標と比較する。続くステップ３４において、下カメラ２１によってディンプル１１の凹面を撮影し、最深部１１ａの第二のＸＹ座標を求める。その際予め得られている基準穴の第一のＸＹ座標、および凹面最深部と凸面頂部との第一のＸＹ座標から得られたずれ量を記録手段から読み出し、これらデータに基づいて、磁気ヘッドスライダ１の搭載基準となる第二のＸＹ座標系および基準点が求められる。
【００３９】
続いて、上カメラ２７による磁気ヘッドスライダ１の撮影が行われる（ステップ３５）。磁気ヘッドスライダ１は、略直方体形状を有している。従って、これを上面から撮影しこの影像を画像解析することにより、サスペンション７が延在する平面と平行な面における中心部分および中心線が得られる。実際に搭載工程においては、この磁気ヘッドスライダ１のＸＹ座標上の中心部分とディンプル凸面の頂部１１ｂとのＸＹ平面（サスペンション７の延在面）上の第二のＸＹ座標とが一致するようにタング５ｂに対する磁気ヘッドスライダ１の搭載が行われる。なお、実際の搭載工程を行う装置に関しては、従来より用いられている装置と特に異なる部分を有さないことからここでの説明は省略する。また、その際、同時に磁気ヘッドスライダ１の中心線と、ディンプルおよび基準穴から得られた磁気ヘッドスライダが整列すべき所定方向とが一致させられる。
【実施例２】
【００４０】
本発明においては、ディンプル凸面の頂部１１ｂのＸＹ座標と磁気ヘッドスライダ１におけるＸＹ座標上の中心位置とを一致させ、且つ頂部１１ｂとビューホール７ａとを結ぶ線を磁気ヘッドスライダが整列すべき所定方向と一致させることを目的としている。実施例１においては、サスペンション７が従来と同じビューホール７ａとツーリングホール７ｂを有する場合について述べたが、これらホールは横カメラ２３による側面からの撮影が不可能となっている。このため、実施例１においてはディンプル凹面の最深部１１ａを求めこれと頂部１１ｂとの位置関係を得ることによって、実際の磁気ヘッドスライダ搭載工程では不可能な頂部１１ｂのＸＹ座標をディンプル凹面の測定により求めることとしている。
【００４１】
本実施例においては、図９Ａおよび９Ｂに示されるように、ビューホール７ａに換えて、サスペンション７上に横カメラ２３、正面カメラ２１、および下カメラ２１にてＸＹ座標上の位置測定が可能な突起７ａ'を形成することとしている。即ち、当該突起７ａ'は、サスペンション７における磁気ヘッドスライダ１の搭載面とは反対の面に突出するように形成されている。当該突起７ａ'を横カメラ２３で撮影して得られる影像から、横カメラ２３により得られる座標上の凸面頂部１１ｂと突起７ａ'との位置関係が得られる。また当該突起７ａ'を正面カメラ２５で撮影して得られる影像から、正面カメラ２５により得られる座標上の凸面頂部１１ｂと突起７ａ'との位置関係が得られる。
【００４２】
以上のようにして得られた突起７ａ'とディンプル凸面の頂部１１ｂとの座標の関係を用いることにより、実際の搭載工程において頂部１１ｂの座標を、個々のサスペンションに対して直接測定しなくとも、突起７ａ'と基準穴との座標に基づいて、頂部１１ｂの座標を得ることが可能となる。従って、実施例１において行ったディンプル凹面の最深部１１ａを求める工程に変えて、この突起７ａ'を求める工程を付加することにより、実施例１と同等の効果が得られる。なお、前記突起７ａ'の形状は突起に限定されず、正面カメラおよび横カメラによってその存在位置が確認できる指標となる形状或いはものであれば良い。また、その他の構成に関しては、実施例１と異なるところが無いことからここでの各構成の説明は省略する。
【００４３】
以上述べたように、本発明を実施することにより、小型化された磁気ヘッドにおける磁気ヘッドスライダの搭載精度が向上すると共に、実際の記録、再生操作時における磁気ヘッドコアの姿勢安定性も向上するといった効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１Ａ】本発明の実施の形態に係る測定装置の主要部の概略構成を示す平面図である。
【図１Ｂ】本発明の実施の形態に係る測定装置の主要部の概略構成を示す側面図である。
【図２】ディンプル１１の凹面最深部を求める方法を説明する図である。
【図３】ディンプル１１の凸面頂部を求める方法を説明する図である。
【図４】ディンプル１１における凹面最深部と凸面頂部とのＸＹ座標上のずれ量を求める方法を説明する図である。
【図５】本発明の実施例１に係る装置構成を示すブロック図である。
【図６】ディンプル１１の凹面最深部を求める手順を示すフローチャートである。
【図７】ディンプル１１における凹面最深部と凸面頂部とのＸＹ座標上のずれ量を求める手順を示すフローチャートである。
【図８】ディンプル凸面頂部と磁気ヘッドスライダの中心とをＸＹ座標上で一致させる手順を示すフローチャートである。
【図９Ａ】本発明の実施例２に係るサスペンションに対する磁気ヘッドスライダの搭載状態を示す主要部の側面概略図である。
【図９Ｂ】本発明の実施例２に係るサスペンションに対する磁気ヘッドスライダの搭載状態を示す主要部の平面概略図である。
【図１０Ａ】サスペンションに対する磁気ヘッドスライダの搭載状態を示す主要部の側面概略図である。
【図１０Ｂ】サスペンションに対する磁気ヘッドスライダの搭載状態を示す主要部の平面概略図である
【符号の説明】
【００４５】
１：磁気ヘッドスライダ
３：ロードビーム
５：フレキシャー
７：サスペンション
１１：ディンプル
１２：環状像
１５：Ｘステージ
１７：Ｙステージ
１９：架台
２１：下カメラ
２３：横カメラ
２５：正面カメラ
２７：上カメラ
３１：タング吸着ノズル
３５：制御手段
３７：移載装置
３９：スライダ搭載装置
４１：記憶手段、１００：測定装置
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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