(57)【要約】【課題】  ウエーハの内部に分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射することにより変質層を形成し、この変質層に沿って効率良く分割することができるウエーハの分割方法を提供する。【解決手段】  ウエーハを所定の分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法であって、ウエーハに対して透過性を有するパルスレーザー光線を該分割予定ラインに沿って照射しウエーハの内部に該分割予定ラインに沿って変質層を形成する変質層形成工程と、変質層形成工程を実施する前または変質層形成工程を実施した後にウエーハの一方の面に伸長可能な保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、変質層形成工程を実施した後にウエーハに貼着された保護テープを拡張することによりウエーハを変質層に沿って分割する分割工程とを含む。【選択図】        図１３
2005129607.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエーハを所定の分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
該ウエーハに対して透過性を有するパルスレーザー光線を該分割予定ラインに沿って照射し、該ウエーハの内部に該分割予定ラインに沿って変質層を形成する変質層形成工程と、
該変質層形成工程を実施する前または該変質層形成工程を実施した後に、該ウエーハの一方の面に伸長可能な保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、
該変質層形成工程を実施した後に、該ウエーハに貼着された保護テープを拡張することにより該ウエーハを該変質層に沿って分割する分割工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの分割方法。
【請求項２】
該変質層形成工程において、パルスレーザー光線の繰り返し周波数をＹ（Ｈｚ）、パルスレーザー光線の集光スポット径をＤ（ｍｍ）、加工送り速度（ウエーハとパルスレーザー光線との相対移動速度）をＶ（ｍｍ／秒）とした場合に、１．０≦Ｖ／（Ｙ×Ｄ）≦２．５を満たす加工条件に設定する、請求項１記載のウエーハの分割方法。
【請求項３】
該変質層形成工程における該パルスレーザー光線の周波数は、２００ｋＨｚ以上に設定されている、請求項２記載のウエーハの分割方法。
【請求項４】
該変質層形成工程において形成される該変質層は、溶融再固化層である、請求項１から３のいずれかに記載のウエーハの分割方法。
【請求項５】
該変質層形成工程において形成される該変質層は、該ウエーハの一方の面から他方の面に渡って形成される、請求項１から４のいずれかに記載のウエーハの分割方法。
【請求項６】
該粘着テープ貼着工程において該ウエーハの一方の面に貼着する該保護テープは、外周部が環状のダイシングフレームに装着されている、請求項１から５のいずれかに記載のウエーハの分割方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に分割ラインが形成されたウエーハを分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状であるシリコン等の半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる切断予定ラインによって多数の矩形領域を区画し、該矩形領域の各々にＩＣ、ＬＳＩ等の回路を形成する。このように多数の回路が形成された半導体ウエーハを切断予定ラインに沿って分離することにより、個々の半導体チップを形成する。この半導体チップは、携帯電話やパソコン等の電気機器に広く利用されている。この切断予定ラインに沿った分割は、通常ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、半導体ウエーハ等の板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に移動せしめる移動手段とを具備している。切削手段は、高速回転せしめられる回転スピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードを含んでいる。切削ブレードは円盤状の基台と該基台の側面外周部に装着された環状の切れ刃からなっており、切れ刃は例えば粒径３μｍ程度のダイヤモンド砥粒を電鋳によって基台に固定し厚さ２０μｍ程度に形成されている。
【０００３】
一方、近年半導体ウエーハ等の板状の被加工物を分割する方法として、その被加工物に対して透過性を有するパルスレーザー光線を用い、分割すべき領域の内部に集光点を合わせてパルスレーザー光線を照射するレーザー加工方法も試みられている。このレーザー加工方法を用いた分割方法は、被加工物の一方の面側から内部に集光点を合わせて被加工物に対して透過性を有する赤外光領域のパルスレーザー光線を照射し、被加工物の内部に分割予定ラインに沿って改質層を連続的に形成し、この改質層が形成されることによって強度が低下した分割予定ラインに沿って外力を加えることにより、被加工物を分割するものである。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開平２００２−１９２３６７号公報
【０００４】
上記特開平２００２−１９２６６７号公報に開示された技術によれば、パルスレーザー光線のパルス幅を１μｓ以下とし、加工部のピークパワー密度を１×１０８  （Ｗ／ｃｍ２  ）以上とする条件で改質層が形成されることが示されている。そして、上記公報にはレーザー光線の波長が１．０６μｍ、パルス幅が３０μｓ、パルス繰り返し周波数が１００ｋＨｚ、加工送り速度が１００ｍｍ／秒の加工条件で改質層が形成できることが示されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
而して、上述した分割方法においては、ウエーハの内部にストリートに沿って改質層を形成しただけでは分割予定ラインに沿って分割されず、分割予定ラインに沿って改質層を形成した後に分割予定ラインのそれぞれに外力を加える必要があり、生産性が悪いという問題がある。
【０００６】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、ウエーハの内部に分割予定ラインに沿ってレーザー光線を照射することにより変質層を形成し、この変質層に沿って効率良く分割することができるウエーハの分割方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、ウエーハを所定の分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
該ウエーハに対して透過性を有するパルスレーザー光線を該分割予定ラインに沿って照射し、該ウエーハの内部に該分割予定ラインに沿って変質層を形成する変質層形成工程と、
該変質層形成工程を実施する前または該変質層形成工程を実施した後に、該ウエーハの一方の面に伸長可能な保護テープを貼着する保護テープ貼着工程と、
該変質層形成工程を実施した後に、該ウエーハに貼着された保護テープを拡張することにより該ウエーハを該変質層に沿って分割する分割工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの分割方法が提供される。
【０００８】
上記変質層形成工程において、パルスレーザー光線の繰り返し周波数をＹ（Ｈｚ）、パルスレーザー光線の集光スポット径をＤ（ｍｍ）、加工送り速度（ウエーハとパルスレーザー光線との相対移動速度）をＶ（ｍｍ／秒）とした場合に、１．０≦Ｖ／（Ｙ×Ｄ）≦２．５を満たす加工条件に設定することが望ましい。また、上記変質層形成工程におけるパルスレーザー光線の周波数は、２００ｋＨｚ以上に設定されていることが望ましい。更に、上記変質層形成工程において形成される該変質層は溶融再固化層であることが望ましく、ウエーハの一方の面から他方の面に渡って形成されることが望ましい。
【０００９】
また、上記保護テープ貼着工程においてウエーハの一方の面に貼着する保護テープは、外周部が環状のダイシングフレームに装着されている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明においては、ウエーハに対して透過性を有するパルスレーザー光線を分割予定ラインに沿って照射することによりウエーハの内部に分割予定ラインに沿って変質層を形成し、該変質層が形成されたウエーハの一方の面に貼着された伸長可能な保護テープを拡張することにより該ウエーハを該変質層に沿って分割するので、ウエーハを効率良く分割することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明によるウエーハの分割方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１２】
図１には、本発明に従って分割されるウエーハとしての半導体ウエーハの斜視図が示されている。図１に示す半導体ウエーハ２は、例えば厚さが３００μｍのシリコンウエーハからなっており、表面２ａに複数の分割予定ライン２１が格子状に形成されているとともに該複数の分割予定ライン２１によって区画された複数の領域に回路２２が形成されている。以下、この半導体ウエーハ２を個々の半導体チップに分割する分割方法について説明する。
【００１３】
半導体ウエーハ２を個々の半導体チップに分割するには、ウエーハに対して透過性を有するパルスレーザー光線を分割予定ラインに沿って照射し、該ウエーハの内部に分割予定ラインに沿って変質層を形成する変質層形成工程を実施する。この変質層形成工程は、図２乃至４に示すレーザー加工装置を用いて実施する。図２乃至図４に示すレーザー加工装置３は、被加工物を保持するチャックテーブル３１と、該チャックテーブル３１上に保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段３２と、チャックテーブル３１上に保持された被加工物を撮像する撮像手段３３を具備している。チャックテーブル３１は、被加工物を吸引保持するように構成されており、図示しない移動機構によって図２において矢印Ｘで示す加工送り方向および矢印Ｙで示す割り出し送り方向に移動せしめられるようになっている。
【００１４】
上記レーザー光線照射手段３２は、実質上水平に配置された円筒形状のケーシング３２１を含んでいる。ケーシング３２１内には図３に示すようにパルスレーザー光線発振手段３２２と伝送光学系３２３とが配設されている。パルスレーザー光線発振手段３２２は、ＹＡＧレーザー発振器或いはＹＶＯ４レーザー発振器からなるパルスレーザー光線発振器３２２ａと、これに付設された繰り返し周波数設定手段３２２ｂとから構成されている。伝送光学系３２３は、ビームスプリッタの如き適宜の光学要素を含んでいる。上記ケーシング３２１の先端部には、それ自体は周知の形態でよい組レンズから構成される集光レンズ（図示せず）を収容した集光器３２４が装着されている。上記パルスレーザー光線発振手段３２２から発振されたレーザー光線は、伝送光学系３２３を介して集光器３２４に至り、集光器３２４から上記チャックテーブル３１に保持される被加工物に所定の集光スポット径Ｄで照射される。この集光スポット径Ｄは、図４に示すようにガウス分布を示すパルスレーザー光線が集光器３２４の対物レンズ３２４ａを通して照射される場合、Ｄ（μｍ）＝４×λ×ｆ／（π×Ｗ）、ここでλはパルスレーザー光線の波長（μｍ）、Ｗは対物レンズ３２４ａに入射されるパルスレーザー光線の直径（ｍｍ）、ｆは対物レンズ３２４ａの焦点距離（ｍｍ）、で規定される。
【００１５】
上記レーザー光線照射手段３２を構成するケーシング３２１の先端部に装着された撮像手段３３は、図示の実施形態においては可視光線によって撮像する通常の撮像素子（ＣＣＤ）の外に、被加工物に赤外線を照射する赤外線照明手段と、該赤外線照明手段によって照射された赤外線を捕らえる光学系と、該光学系によって捕らえられた赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子（赤外線ＣＣＤ）等で構成されており、撮像した画像信号を後述する制御手段に送る。
【００１６】
上述したレーザー加工装置３を用いて実施する変質層形成工程について、図２、図５および図６を参照して説明する。
この変質層形成行程は、先ず上述した図２に示すレーザー加工装置３のチャックテーブル３１上に半導体ウエーハ２を裏面２ｂを上にして載置し、該チャックテーブル３１上に半導体ウエーハ２を吸着保持する。半導体ウエーハ２を吸引保持したチャックテーブル３１は、図示しない移動機構によって撮像手段３３の直下に位置付けられる。
【００１７】
チャックテーブル３１が撮像手段３３の直下に位置付けられると、撮像手段３３および図示しない制御手段によって半導体ウエーハ２のレーザー加工すべき加工領域を検出するアライメント作業を実行する。即ち、撮像手段３３および図示しない制御手段は、半導体ウエーハ２の所定方向に形成されている分割予定ライン２１と、分割予定ライン２１に沿ってレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段３２の集光器３２４との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理を実行し、レーザー光線照射位置のアライメントを遂行する。また、半導体ウエーハ２に形成されている上記所定方向に対して直角に延びる分割予定ライン２１に対しても、同様にレーザー光線照射位置のアライメントが遂行される。このとき、半導体ウエーハ２の分割予定ライン２１が形成されている表面２ａは下側に位置しているが、撮像手段３３が上述したように赤外線照明手段と赤外線を捕らえる光学系および赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子（赤外線ＣＣＤ）等で構成された撮像手段を備えているので、裏面２ｂから透かして分割予定ライン２１を撮像することができる。
【００１８】
以上のようにしてチャックテーブル３１上に保持されている半導体ウエーハ２に形成されている分割予定ライン２１を検出し、レーザー光線照射位置のアライメントが行われたならば、図５の（ａ）で示すようにチャックテーブル３１をレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段３２の集光器３２４が位置するレーザー光線照射領域に移動し、所定の分割予定ライン２１の一端（図５の（ａ）において左端）をレーザー光線照射手段３２の集光器３２４の直下に位置付ける。そして、集光器３２４から透過性を有するパルスレーザー光線を照射しつつチャックテーブル３１即ち半導体ウエーハ２を図５の（ａ）において矢印Ｘ１で示す方向に所定の送り速度で移動せしめる。そして、図５の（ｂ）で示すようにレーザー光線照射手段３２の集光器３２４の照射位置が分割予定ライン２１の他端の位置に達したら、パルスレーザー光線の照射を停止するとともにチャックテーブル３１即ち半導体ウエーハ２の移動を停止する。この変質層形成工程においては、パルスレーザー光線の集光点Ｐを半導体ウエーハ２の表面２ａ（下面）付近に合わせることにより、表面２ａ（下面）に露出するとともに表面２ａから内部に向けて変質層２１０が形成される。この変質層２１０は、溶融再固化層として形成される。
【００１９】
なお、上記変質層形成工程における加工条件は、例えば次のように設定されている。
光源                    ；ＬＤ励起ＱスイッチＮｄ：ＹＶＯ４スレーザー
波長                    ；１０６４ｎｍのパルスレーザー
パルス出力              ：１０μＪ
集光スポット径          ；φ１μｍ
パルス幅                ；１００ｎｓ
集光点のピークパワー密度；１．３×１０１０Ｗ／ｃｍ２  
繰り返し周波数          ：２００〜４００ｋＨｚ
加工送り速度            ；２００〜４００ｍｍ／秒
【００２０】
なお、半導体ウエーハ２の厚さが厚い場合には、図６に示すように集光点Ｐを段階的に変えて上述した変質層形成工程を複数回実行することにより、複数の変質層２１０を形成する。なお、上述した加工条件においては１回に形成される変質層の厚さは約５０μｍであるため、図示の実施形態においては厚さが３００μｍのウエーハ２に対して６層の変質層を形成する。この結果、半導体ウエーハ２の内部に形成される変質層２１０は、分割予定ライン２１に沿って表面２ａから裏面２ｂに渡って形成される。
【００２１】
上記加工条件においては、パルスレーザー光線の繰り返し周波数Ｙ（Ｈｚ）、パルスレーザー光線の、集光スポット径Ｄ（ｍｍ）、加工送り速度Ｖ（ｍｍ／秒）によって規定される係数ｋ、ｋ＝Ｖ／（Ｙ×Ｄ）を１．０乃至２．５に設定することが望ましい。換言すれば、繰り返し周波数Ｙ、集光スポット径Ｄおよび加工送り速度Ｖの関係を、１．０≦Ｖ／（Ｙ×Ｄ）≦２．５に設定することが望ましい。
【００２２】
更に詳述すると、レーザー光線照射手段３２の集光器３２４から繰り返し周波数Ｙのパルスレーザー光線を集光スポット径Ｄで半導体ウエーハ２に照射し、チャックテーブル３１即ち半導体ウエーハ２を加工送りする場合、上記係数ｋが１である場合には図７に示すようにパルスレーザー光線のスポットのピッチｐは集光スポット径Ｄと同一、従ってパルスレーザー光線を集光スポットは相互の接した状態（即ち互いに重なり合うことがなく且つ隣接するスポット間に隙間が生じない状態）で、分割予定ライン２１に沿って連続して照射されることになる。また、上記係数ｋが１未満になると、図８に示すようにパルスレーザー光線のスポットは相互に重なり合って、分割予定ライン２１に沿って連続して照射されることになる。一方、上記係数ｋが１より大きくなると図９に示すようにパルスレーザー光線のスポットは隣接するスポット間に隙間を設けて、分割予定ライン２１に沿って連続して照射されることになり、上記係数ｋが２になると隣接するスポット間の間隔ｓは集光スポット径Ｄと同じ長さとなる。
【００２３】
実験例
直径が６インチで厚さが３００μｍの半導体ウエーハに上述した加工条件で上記係数ｋを０．１から４．０の変位に変化させて上記変質層を形成し、それぞれの場合に分割予定ラインに沿って半導体ウエーハを破断するために要した応力を測定した。応力測定の際には、半導体ウエーハの裏面を分割予定ラインから両側に２．０ｍｍ離れた部位に分割予定ラインに沿って支持し、半導体ウエーハの表面に分割予定ラインに沿って荷重を加える三点曲げ試験を実施し、測定された応力は半導体ウエーハが破断した時の荷重に基づいた断面における応力である。測定結果は図１０に示すとおりであり、係数ｋが１．０〜２．５の場合には半導体ウエーハを破断するのに要する応力が小さいことが判る。
【００２４】
上述した変質層形成工程によって半導体ウエーハ２の内部に分割予定ライン２１に沿って変質層２１０を形成したならば、ウエーハの一方の面に拡張可能な保護テープを貼着する保護テープ貼着工程を実施する。即ち、図１１に示すように環状のダイシングフレーム４１の内側開口部を覆うように外周部が装着された伸長可能な保護テープ４２の表面を半導体ウエーハ２の裏面２ｂに貼着する。なお、上記保護テープ４２は、図示の実施形態においては厚さが７０μｍのポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）からなるシート基材の表面にアクリル樹脂系の糊が厚さが５μｍ程度塗布されている。この糊は紫外線等の外的刺激によって粘着力が低下する性質を有するものが用いられている。なお、保護テープ貼着工程は、上述した変質層形成工程を実施する前に実施してもよい。即ち、半導体ウエーハ２の裏面２ｂを上側にして表面２ａにして保護テープ４２に貼着し、ダイシングフレーム４１に支持された状態で変質層形成工程を実施する。
【００２５】
上述した変質層形成工程および保護テープ貼着工程を実施したならば、半導体ウエーハ２に貼着された保護テープ４２を伸長することにより半導体ウエーハ２を変質層２１０に沿って分割する分割工程を実施する。この分割工程は、図１２および図１３に示すピックアップ装置５によって実施される。ここで、ピックアップ装置５について説明する。図示のピックアップ装置５は、上記ダイシングフレーム４１を載置する載置面５１１が形成された円筒状のベース５１と、該ベース５１内に同心的に配設されダイシングフレーム４１に装着された保護テープ４２を押し広げるための拡張手段５２を具備している。拡張手段５２は、上記保護テープ４２における半導体ウエーハ２が存在する領域４２１を支持する筒状の拡張部材５２１を具備している。この拡張部材５２１は、図示しない昇降手段によって図１３の（ａ）に示す基準位置と該基準位置から上方の図１３の（ｂ）に示す拡張位置の間を上下方向（円筒状のベース５１の軸方向）に移動可能に構成されている。なお、図示の実施形態においては拡張部材５２１内には、紫外線照射ランプ５３が配設されている。
【００２６】
上述したピックアップ装置５を用いて実施する分割工程について、図１２および図１３を参照して説明する。
上述したように半導体ウエーハ２の裏面に貼着された保護テープ４２を装着したダイシングフレーム４１は、図１２および図１３の（ａ）に示すように円筒状のベース５１の載置面５１１上に載置され、クランプ５４によってベース５１に固定される。次に、図１３の（ｂ）に示すように上記保護テープ４２における半導体ウエーハ２が存在する領域４２１を支持した拡張手段５２の拡張部材５２１を図示しない昇降手段によって図１３（ａ）の基準位置から上方の図１３の（ｂ）に示す拡張位置まで移動する。この結果、伸長可能な保護テープ４２は拡張されるので、保護テープ４２が貼着されている半導体ウエーハ２は放射状に引張力が作用する。このように半導体ウエーハ２に放射状に引張力が作用すると、分割予定ラインに沿って形成された変質層２１０は強度が低下せしめられているので、半導体ウエーハ２は変質層２１０に沿って破断され個々の半導体チップ２０に分割される。なお、上記分割工程における保護テープ４２の拡張量即ち伸び量は拡張部材５２１の上方への移動量によって調整することができ、本発明者等の実験によると保護テープ４２を２０ｍｍ程度を引き伸ばしたときに半導体ウエーハ２を変質層２１０に沿って破断することができた。
【００２７】
実験例
直径が６インチで厚さが３００μｍの半導体ウエーハ（シリコンウエーハ）を上述した方法によって２ｍｍ×２ｍｍの半導体チップに分割した。このとき、上記変質層形成工程において照射するパルスレーザー光線の繰り返し周波数を１００ｋＨｚ、１５０ｋＨｚ、２００ｋＨｚ、３００ｋＨｚ、４００ｋＨｚとした場合（なお、上記係数ｋは１で実施した）に、上述した分割工程（以下、テープエキスパンド法という）を実施することにより半導体ウエーハが変質層に沿って破断され分割された半導体チップの割合を示したのが図１５である。図１５において横軸は上記変質層形成工程において照射するパルスレーザー光線の繰り返し周波数、縦軸は上記半導体ウエーハが上述したテープエキスパンド法を実施することにより個々の半導体チップに分割された個数を上記半導体ウエーハに形成された半導体チップの個数で除算した値に１００を乗算したチップ化率である。
【００２８】
図１５から判るように、上記変質層形成工程において照射するパルスレーザー光線の繰り返し周波数が１００ｋＨｚの場合には、上述したテープエキスパンド法によって約半分しかチップ化されず、残りの約半分はチップ化されない。このチップ化されないものに対して保護テープ４２の引張力を増加したが変質層が破断することはなかったが、変質層に曲げ荷重を作用せしめ曲げ応力を発生させると容易に破断した。また、上記変質層形成工程において照射するパルスレーザー光線の繰り返し周波数が１５０ｋＨｚの場合には、上述したテープエキスパンド法によって９５％がチップ化された。これに対して上記変質層形成工程において照射するパルスレーザー光線の繰り返し周波数が２００ｋＨｚ以上になると、チップ化率が１００％に達することが判る。
【００２９】
次に、上記変質層形成工程において照射するパルスレーザー光線の繰り返し周波数が１５０ｋＨｚ以下の場合にチップ化率が低下した理由について検討する。なお、上記各繰り返し周波数のパルスレーザー光線を照射して形成した変質層の破断面を観察したが、いずれも半導体チップの厚さ方向全域に変質層が形成されていた。これを確認したのは、変質層が形成されていない部分が存在すると、分割に必要な応力が著しく大きくなるため、これが起因してチップ化率が低下する可能性があるためである。
図１６は、三点曲げ試験法により上記変質層を破断するのに必要な曲げ応力を測定した試験結果であり、横軸は変質層を形成したパルスレーザー光線の繰り返し周波数（ｋＨｚ）、縦軸は変質層を破断するのに必要な曲げ応力（ＭＰａ）である。図１６から判るように変質層を形成するパルスレーザー光線の繰り返し周波数が１５０ｋＨｚ以下では変質層を破断するのに必要な曲げ応力が増大していくが、変質層を形成するパルスレーザー光線の繰り返し周波数が２００ｋＨｚ以上では変質層を破断するのに必要な曲げ応力が２ＭＰａ以下となる。なお、変質層を破断するのに必要な応力と上述したテープエキスパンド法によるチップ化率には関係があり、応力が大きいほどテープエキスパンド法によるチップ化率は低下するが、所定の応力以下になればテープエキスパンド法によるチップ化率は１００％となる。従って、上記変質層形成工程において照射するパルスレーザー光線の繰り返し周波数は、２００ｋＨｚ以上に設定することが望ましい。
【００３０】
上述したようにテープエキスパンド法による分割工程を実施することにより、ダイシングテープ６２と半導体チップ２０との間にズレが生じ密着性が低下するため、半導体チップ２０が保護テープ４２から容易に離脱できる状態となるとともに、図１３の（ｂ）に示すように個々の半導体チップ２０間には隙間は形成される。
【００３１】
次に、図１２に示すようにピックアップ装置５の上方に配置されたピックアップコレット６を作動して、個々の半導体チップ２０を保護テープ４２の上面から離脱し、図示しないトレーに搬送する。このとき、拡張部材５２１内に配設された紫外線照射ランプ５３を点灯して保護テープ４２に紫外線を照射し、保護テープ４２の粘着力を低下せしめることにより、より容易に離脱することができる。このようにして、保護テープ４２から離脱された半導体チップ２０は、図１４に示すように半導体チップ２０が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明によるウエーハの分割方法によって分割される半導体ウエーハの斜視図。
【図２】本発明によるウエーハの分割方法の変質層形成工程を実施するレーザー加工装置の要部斜視図。
【図３】図２に示すレーザー加工装置に装備されるレーザ光線照射手段の構成を簡略に示すブロック図。
【図４】パルスレーザー光線の集光スポット径を説明するための簡略図。
【図５】本発明によるウエーハの分割方法における変質層形成行程の説明図。
【図６】図５に示す変質層形成行程においてウエーハの内部に変質層を積層して形成した状態を示す説明図。
【図７】図５に示す変質層形成行程において係数ｋが１の場合の、ウエーハに照射されるパルスレーザー光線のスポット配列を示す図式図。
【図８】図５に示す変質層形成行程において係数ｋが１未満の場合の、ウエーハに照射されるパルスレーザー光線のスポット配列を示す図式図。
【図９】図５に示す変質層形成行程において係数ｋが１を越える場合の、ウエーハに照射されるパルスレーザー光線のスポット配列を示す図式図。
【図１０】係数ｋの変動による、ウエーハの破断に要する外力の変化示すグラフ。
【図１１】本発明によるウエーハの分割方法における保護テープ貼着工程の説明図。
【図１２】本発明によるウエーハの分割方法における分割工程を実施するピックアップ装置の斜視図。
【図１３】本発明によるウエーハの分割方法における分割工程の説明図。図。
【図１４】本発明によるウエーハの分割方法によって分割された半導体チップの斜視図。
【図１５】本発明によるウエーハの分割方法における変質層形成行程において照射するパルスレーザー光線の繰り返し周波数と、ウエーハが変質層に沿って破断され分割されたチップの割合を示すグラフ。
【図１６】本発明によるウエーハの分割方法における変質層形成行程において照射するパルスレーザー光線の繰り返し周波数と、変質層を破断するのに必要な曲げ応力との関係を示すグラフ。
【符号の説明】
【００３３】
２：半導体ウエーハ
２０：半導体チップ
２１：分割予定ライン
２２：回路
２１０：変質層
３：レーザー加工装置
３１：レーザー加工装置のチャックテーブル
３１：レーザー光線照射手段
３３：撮像手段
４１：ダイシングフレーム
４：保護テープ
５：ピックアップ装置
５１：円筒状のベース
５２：拡張手段
５２１：拡張部材
５３：紫外線照射ランプ
６：ピックアップコレット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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