(57)【要約】【課題】  マイクロポンプに要求される小型化を維持しながら、液体の輸送効率並びにポンプ機能の信頼性を向上させること。【解決手段】  圧電素子１７の振動によってキャビティ１に減圧力が加わると、液体が供給口５から微小流路２を通ってキャビティ１に吸い込まれる。一方、キャビティ１に加圧力が加わると、キャビティ１内の液体が押されて微小流路３を通り流出口７から吐き出される。この際、微小流路３において液体の変動圧力及び圧電素子１７の振動が弾性体１６に加わるので、弾性体１６が振動して変位し、この変位によって液体の輸送量が多くなるようにする。【選択図】      図１
2005299597.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を輸送するための内部空間であるキャビティと、このキャビティに連結された流路と、この流路に液体を流入する入口と流出する出口とを基板に有し、キャビティ及び流路の少なくとも一方に振動発生手段で振動を与えることにより液体を入口及び出口間で輸送するマイクロポンプにおいて、
前記キャビティ及び前記流路の少なくとも一方に、変動圧力に応じて変位する少なくとも１つの弾性体を取り付けた
ことを特徴とするマイクロポンプ。
【請求項２】
前記流路の一部乃至は全てをディフューザ形状とした
ことを特徴とする請求項１に記載のマイクロポンプ。
【請求項３】
前記振動発生手段に、電圧印加によって所定周波数で振動する圧電素子を用いた
ことを特徴とする請求項１または２に記載のマイクロポンプ。
【請求項４】
前記基板に前記キャビティを２つ形成し、２つのキャビティを流路で連結すると共に、一方のキャビティを前記入口、他方のキャビティを前記出口に流路で連結した
ことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項５】
前記２つのキャビティを連結する流路の途中に当該流路を分岐し、この分岐部分の先端が塞がった分岐流路を連結し、前記分岐流路に前記弾性体を取り付けた
ことを特徴とする請求項４に記載のマイクロポンプ。
【請求項６】
前記入口から前記出口間の液体が流れる何れかの部分に、マイクロポンプ外部へ通じる貫通穴を形成し、この貫通穴に、当該貫通穴から突き出ない厚みの前記弾性体を挿入して取り付けた
ことを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項７】
前記貫通穴に、当該貫通穴から突き出す長さの弾性体を取り付けた
ことを特徴とする請求項６に記載のマイクロポンプ。
【請求項８】
前記弾性体は、液体が流出入できる空洞を有する
ことを特徴とする請求項７に記載のマイクロポンプ。
【請求項９】
前記基板に前記入口に連結されたキャビティと、前記出口に連結されたキャビティとを形成し、この２つのキャビティにマイクロポンプ外部へ貫通する貫通穴を形成し、各貫通穴を湾曲した筒状の弾性体で連結した
ことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項１０】
前記弾性体は、液体の変動圧力に応じて拡張及び縮小状態に変形する材料から形成され、当該弾性体の内部流路の一部分の周側壁を厚くして内部流路を狭くした狭流路部分を有し、この狭流路部分の内径が、前記振動発生手段による力が加わらない場合は、前記２つのキャビティと当該弾性体との境界部分における最狭部内径より細くなり、前記力が加わる場合は、前記境界部分における最広部内径より太くなる
ことを特徴とする請求項９に記載のマイクロポンプ。
【請求項１１】
前記弾性体を、前記振動発生手段によって、当該弾性体の共振周波数、この共振周波数の整数倍の周波数及び整数分の１の周波数のうち何れか１つの周波数で振動させる
ことを特徴とする請求項１から１０の何れか１項に記載のマイクロポンプ。
【請求項１２】
前記２つのキャビティを有し、個々のキャビティを個別の圧電素子で振動させる場合に、一方のキャビティの振動伝搬によって振動する液体の振動に合わせて、液体の輸送量が増加するように他方のキャビティの振動の位相を制御する制御手段
を更に備えたことを特徴とする請求項４から１１の何れか１項に記載のマイクロポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に形成された微小な流路を用いて、微小容量の液体の混合・反応・分離・精製・抽出・分析などを行うためのマイクロポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロマシニング技術を用いてシリコンやガラス、プラスチックなどの基板上に微小流路（マイクロチャンネル）を形成し、この流路に蓋をすることによって形成される微小空間を、各種液体の混合・反応・分離・精製・抽出・分析などの場に利用する試みが注目されている。
これらの分野に供されるデバイスや装置は、その使用目的に応じて、マイクロポンプ、マイクロミキサ、マイクロリアクタ、μＴＡＳ（マイクロトータルアナリシスシステム）等と呼ばれている。
【０００３】
このようなマイクロミキサにおいては、通常、反応流路の等価直径（流路の断面を円に換算したときの直径）が５００μｍよりも小さいものが微小流路とされている。このように、流路のスケールが微小化してくると、単位体積当たりの表面積が非常に大きくなるという特徴が得られる。
この特長によって、温度、圧力、濃度などの勾配が大きくなるため、熱伝導、物質移動拡散などの効率が向上し、反応系での反応時間の短縮、反応速度の向上等の利点が得られることになる。更に、微小反応で適量合成が可能であり、高い再現性も得られるので、薬品や触媒試薬類などの使用量を大幅に低減することができ、経済的にも有効である。
【０００４】
このような分野に供されるマイクロポンプの構成に関する従来技術として、次のような各種の方法が提案されている。
まず、図１８（ａ）に示すような、流体の運動エネルギーを圧力勾配に変換する機械要素を意味するディフューザ型と呼ばれるマイクロポンプ（ディフューザ型マイクロポンプ）が知られている。
このディフューザ型マイクロポンプは、ポンプ内部の空間であるキャビティ１にディフューザ形状の微小流路２，３が接続されている。一方の微小流路２の上流は、液体の供給源４につながる供給口５に接続され、他方の微小流路３の下流は、液体の排出部６につながる流出口７に接続されて構成されている。
【０００５】
このような構成のディフューザ型マイクロポンプの動作原理を、図１８（ｂ）及び（ｃ）の概念図を参照して説明する。
（ｂ）に示すように、キャビティ１に対して矢印Ｙ１で示すように外部から内部へ向かう力（加圧力）を加えた際に、キャビティ１内の液体が矢印Ｙ２で示すように微小流路２から供給口５へ、矢印Ｙ３で示すように微小流路３から流出口７へ向かって流れる。
また、（ｃ）に示すように、キャビティ１に対して矢印Ｙ４で示すように内部から外部へ向かう力（減圧力）を加えた際に、矢印Ｙ５で示すように、供給源４の液体が供給口５から微小流路２を通ってキャビティ１へ流れ、矢印Ｙ６で示すように排出部６の液体が流出口７から微小流路３を通ってキャビティ１へ流れる。
【０００６】
このように、液体の流れが微小流路２，３の流路形状の抵抗差によって変化することを利用して、狭い方から広い方への流れを作り出している。
即ち、流れの向きと大きさをベクトルＹ２，Ｙ３，Ｙ５，Ｙ６で表した場合、加圧力Ｙ１を加えた場合は、Ｙ２＜Ｙ３となり、流出口７から液体が吐き出される。一方、減圧力Ｙ４を加えた場合は、Ｙ５＞Ｙ６となり、供給口５から液体が吸い込まれる。
【０００７】
このように、狭い方から広い方へ向かう流れのベクトルＹ３，Ｙ５が、逆方向の流れのベクトルＹ２，Ｙ６を上回る仕組みとなっている。
この他に、圧電素子を用いると共に、バルブ（逆止弁）で液体を供給口から流出口へのみ向かって流すハルブ付きマイクロポンプの研究も多くなされている。
この種の従来のマイクロポンプとして、例えば特許文献１及び非特許文献１に記載のものがある。
【特許文献１】特開平１０−３３７１７３号公報
【非特許文献１】Ｅｒｂａｃｈｅｒ，Ｃ．；Ｂｅｓｓｏｔｈ，Ｆ．Ｇ．;Ｂｕｓｃｈ，Ｍ．；Ｖｅｒｐｏｏｒｔｅ，Ｅ．；Ｍａｎｚ，Ａ．Ｍｉｋｒｏｃｈｉｍ  Ａｃｔａ  １９９９，１３３，１９．
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、従来のディフューザ型マイクロポンプにおいては、液体の流れの向きと大きさをベクトルＹ２，Ｙ３，Ｙ５，Ｙ６で説明したように、供給口５からの液体の吸入時に当該吸入と逆方向の力が働き、また流出口７からの液体の吐出時に当該吐出と逆方向の力が働くので、液体を輸送するためのエネルギー効率が悪く、導入された駆動エネルギーの僅かしか液体の輸送に変換することができない。このため、液体の輸送効率が低下するという問題がある。
【０００９】
一方、圧電素子を利用するバルブ付きマイクロポンプにおいては、液体の粘度が高い場合などにバルブの閉塞が生じるので、ポンプ機能の信頼性が低下するという問題がある。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、マイクロポンプに要求される小型化を維持しながら、液体の輸送効率並びにポンプ機能の信頼性を向上させることができるマイクロポンプを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１によるマイクロポンプは、液体を輸送するための内部空間であるキャビティと、このキャビティに連結された流路と、この流路に液体を流入する入口と流出する出口とを基板に有し、キャビティ及び流路の少なくとも一方に振動発生手段で振動を与えることにより液体を入口及び出口間で輸送するマイクロポンプにおいて、前記キャビティ及び前記流路の少なくとも一方に、変動圧力に応じて変位する少なくとも１つの弾性体を取り付けたことを特徴としている。
【００１１】
この構成によれば、振動発生手段の振動に応じて入口及び出口間に流れる液体の変動圧力が弾性体に加わるので、弾性体が振動して変位し、この変位によって液体の輸送量を多くすることができる。従って、バルブレスでありながら、液体の輸送効率を向上させることができ、また、バルブレスなのでポンプ機能の信頼性を向上させることができる。
【００１２】
また、本発明の請求項２によるマイクロポンプは、請求項１において、前記流路の一部乃至は全てをディフューザ形状としたことを特徴としている。
この構成によれば、マイクロポンプをディフューザ型としても、キャビティ１又は流路に取り付けられた弾性体によって液体の輸送量が多くなるので、従来のディフューザ型の欠点であったエネルギー効率の低さを改善することができ、液体の輸送効率を向上させることができる。
【００１３】
また、本発明の請求項３によるマイクロポンプは、請求項１または２において、前記振動発生手段に、電圧印加によって所定周波数で振動する圧電素子を用いたことを特徴としている。
この構成によれば、既存の技術を利用して本マイクロポンプを容易に製作することができる。
また、本発明の請求項４によるマイクロポンプは、請求項１から３の何れか１項において、前記基板に前記キャビティを２つ形成し、２つのキャビティを流路で連結すると共に、一方のキャビティを前記入口、他方のキャビティを前記出口に流路で連結したことを特徴としている。
【００１４】
この構成によれば、２つのキャビティを流路（以降、連結流路とも称す）で連結したので、キャビティが１つの場合よりもポンプ輸送能力を大きくすることができ、これによって、液体の輸送量を多くすることができる。また、このように液体の輸送量が多くなると、キャビティ及び流路の少なくとも一方に取り付けられる弾性体に加わる液体の変動圧力がより大きくなるので、弾性体がより大きく振動して変位し、これによって液体の輸送量がより多くなる。従って、液体の輸送効率をより向上させることができる。
【００１５】
また、本発明の請求項５によるマイクロポンプは、請求項４において、前記２つのキャビティを連結する流路の途中に当該流路を分岐し、この分岐部分の先端が塞がった分岐流路を連結し、前記分岐流路に前記弾性体を取り付けたことを特徴としている。
この構成によれば、振動発生手段によって２つのキャビティに加圧力が加わると、出口側のキャビティ内の液体が押されて流路を通り出口から吐き出される（流出される）と共に、入口側のキャビティ内の液体が押されて連結流路を通り出口側のキャビティへ吐き出される。この際は吐き出す力が強いので、連結流路から分岐流路へ液体が流れ込む。一方、２つのキャビティに減圧力が加わると、液体が入口から流路を通ってキャビティに吸い込まれる（流入される）と共に、その入口側のキャビティの液体が連結流路を通って出口側のキャビティに吸い込まれる。この際は吸い込む力が強いので、先に分岐流路に流れ込んだ液体が連結流路へ流れ出て出口側のキャビティへ吸い込まれる。このように、分岐流路において液体の変動圧力及び振動発生手段の振動が弾性体に加わるので、弾性体が振動して変位し、この変位によって液体の輸送量が多くなる。また、連結流路の途中に流路を一部さえぎるように弾性体が配置されないので、その分、流路抵抗が低減して液体の輸送量を多くすることができる。従って、液体の輸送効率をより向上させることができる。また、分岐流路に液体が吸い込まれて吐き出されるといったバッファ効果によって、液体の輸送量をより多くすることができる。
【００１６】
また、本発明の請求項６によるマイクロポンプは請求項１から５の何れか１項において、前記入口から前記出口間の液体が流れる何れかの部分に、マイクロポンプ外部へ通じる貫通穴を形成し、この貫通穴に、当該貫通穴から突き出ない厚みの前記弾性体を挿入して取り付けたことを特徴としている。
この構成によれば、液体が入口から出口へ向かって流れると、弾性体に対しては、その流れの方向に対して垂直な方向に液体の変動圧力が加わるので、弾性体が振動して変位し、この変位によって液体の輸送量が多くなる。このように、弾性体に、液体の流れの方向と垂直な方向に液体の変動圧力が加わるようにしたので、弾性体の振動特性の自由度を向上させることができる。また、マイクロポンプに貫通穴を形成し、この貫通穴にメンブレン状の弾性体を挿入するだけでよいので、制作方法を簡易化することができる。
【００１７】
また、本発明の請求項７によるマイクロポンプは、請求項６において、前記貫通穴に、当該貫通穴から突き出す長さの弾性体を取り付けたことを特徴としている。
この構成によれば、弾性体がマイクロポンプ外部へ突出する長さであるため、液体の変動圧力による変位量が大きくなり、その分、液体の輸送量が多くなる。このことから、液体の輸送量を変えるためには弾性体の長さを変えればよい。この長さは容易に変えることができる。つまり、液体の輸送量を変えるための弾性体のマスの調整を容易に行うことができるので、弾性体の振動特性の自由度をより向上させることができる。
【００１８】
また、本発明の請求項８によるマイクロポンプは、請求項７において、前記弾性体は、液体が流出入できる空洞を有することを特徴としている。
この構成によれば、弾性体の空洞部分に液体が吸い込まれて吐き出されるといったバッファ効果によって、液体の輸送量をより多くすることができる。
【００１９】
また、本発明の請求項９によるマイクロポンプは、請求項１から３の何れか１項において、前記基板に前記入口に連結されたキャビティと、前記出口に連結されたキャビティとを形成し、この２つのキャビティにマイクロポンプ外部へ貫通する貫通穴を形成し、各貫通穴を湾曲した筒状の弾性体で連結したことを特徴としている。
この構成によれば、入口側のキャビティから吐き出される液体が、湾曲した弾性体内部を流れる際に、弾性体が湾曲しているので液体が弾性体の内壁を強く加圧しながら流れる。これによって、弾性体の変位量がより大きくなるので、液体の輸送量をより多くすることができる。
【００２０】
また、本発明の請求項１０によるマイクロポンプは、請求項９において、前記弾性体は、液体の変動圧力に応じて拡張及び縮小状態に変形する材料から形成され、当該弾性体の内部流路の一部分の周側壁を厚くして内部流路を狭くした狭流路部分を有し、この狭流路部分の内径が、前記振動発生手段による力が加わらない場合は、前記２つのキャビティと当該弾性体との境界部分における最狭部内径より細くなり、前記力が加わる場合は、前記境界部分における最広部内径より太くなることを特徴としている。
【００２１】
この構成によれば、キャビティに振動発生手段からの力を加えた時に、弾性体の狭流路部分内径の拡縮によって、弾性体の流路断面積を調節することが可能となる。上流から下流に向かう正方向の流れ発生時には、断面積を拡大して液体の輸送を促進することができる。負方向の流れ発生時には、断面積を縮小して逆送を阻止することができる。この液体の流れに対応した弾性体の断面積の拡縮により、エネルギー効率を増大させることができるので、液体の輸送効率を向上させることができる。
【００２２】
また、本発明の請求項１１によるマイクロポンプは、請求項１から１０の何れか１項において、前記弾性体を、前記振動発生手段によって、当該弾性体の共振周波数、この共振周波数の整数倍の周波数及び整数分の１の周波数のうち何れか１つの周波数で振動させることを特徴としている。
この構成によれば、このように弾性体を振動させることによって、弾性体の伸縮が増幅され、液体の輸送量がより多くなる。
【００２３】
また、本発明の請求項１２によるマイクロポンプは、請求項４から１１の何れか１項において、前記２つのキャビティを有し、個々のキャビティを個別の圧電素子で振動させる場合に、一方のキャビティの振動伝搬によって振動する液体の振動に合わせて、液体の輸送量が増加するように他方のキャビティの振動の位相を制御する制御手段を更に備えたことを特徴としている。
この構成によれば、上流（一方）のキャビティから吐き出された液体の輸送量が、下流（他方）のキャビティでの振動伝搬によって更に増加するので、液体の送液を短時間で行うことができる。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように本発明によれば、マイクロポンプに要求される小型化を維持しながら、液体の輸送効率並びにポンプ機能の信頼性を向上させることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
但し、本明細書中の全図において相互に対応する部分には同一符号を付し、重複部分においては後述での説明を適時省略する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図であり、（ａ）はマイクロポンプの平面図、（ｂ）はマイクロポンプを（ａ）に示すＡ１−Ａ２矢示線に沿って切断した際の断面図である。
【００２６】
このマイクロポンプは、図２（ａ）に平面図を示す蓋板１４と、同図（ｂ）に示す基板１５とを備えて構成されている。図２に示すように、基板１５には、キャビティ１が形成され、このキャビティ１にディフューザ形状の微小流路２，３が接続されて形成されている。また、蓋板１４には、一方の微小流路２の先端部に連結する位置に、各種溶液、薬品、試薬等を微小流路２に供給するための貫通穴による供給口５が形成され、更に、他方の微小流路３の先端部に連結する位置に、流体を取り出すための貫通穴による流出口７が形成されている。
【００２７】
そして、図１に示すように、基板１５に蓋板１４が接合され、蓋板１４の内面における微小流路３に対応する位置に円柱形状の弾性体１６が取り付けられ、また、蓋板１４の外面におけるキャビティ１に対応する位置に、電圧印加によって所定周波数で振動する圧電素子１７が取り付けられた構成となっている。更に、このような構成において、供給口５から供給された液体が、キャビティ１を経由して弾性体１６と接触しながら輸送され、流出口７から外部に取り出せるように流路が形成されている。基板１５に蓋板１４が接合されて一体となったものを基板とも見做す。
【００２８】
圧電素子１７は、キャビティ１に前述の背景技術にて説明した減圧力及び加圧力が加わるように振動するものであり、この振動によって液体がキャビティ１から流出口７へ向かって輸送されるようになっている。
弾性体１６は、外部からの何らかの圧力振動に共振する例えばシリコーンゴム等によるものである。この弾性体１６は、キャビティ１から流出口７へ流れる液体（流体）の変動圧力並びに圧電素子１７によって振動されるようになっており、この振動によって液体の輸送量を高めるようになっている。
【００２９】
このような構成のマイクロポンプにおいて、圧電素子１７の振動によってキャビティ１に減圧力が加わると、液体が供給口５から微小流路２を通ってキャビティ１に吸い込まれる。一方、キャビティ１に加圧力が加わると、キャビティ１内の液体が押されて微小流路３を通り流出口７から吐き出される。この際、微小流路３において液体の変動圧力及び圧電素子１７の振動が弾性体１６に加わるので、弾性体１６が振動して変位し、この変位によって液体の輸送量が多くなる。
【００３０】
従って、第１の実施の形態のマイクロポンプによれば、マイクロポンプに要求される小型化を維持しながら、液体の輸送効率を向上させることができる。また、バルブ付きマイクロポンプのようにバルブを用いないのでバルブの閉塞が生じることがなく、ポンプ機能の信頼性を向上させることができる。
この他、弾性体１６、圧電素子１７、供給口５、流出口７の形状や配置位置に関しては、選択肢が複数有り、次に説明するように自由度を持たせることができる。
【００３１】
弾性体１６の個数は、複数個であってもよく、弾性体１６の形状は、円柱形状である必要は無く、多角形の柱形状などの立体形状であってもよい。
弾性体１６の取り付け位置は、微小流路３の途中である必要はなく、図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、キャビティ１内であってもよい。（ａ）はキャビティ１内の基板１５の底面に弾性体１６を取り付けた構成、（ｂ）はキャビティ１内の蓋板１４の内面に弾性体１６を取り付けた構成である。
【００３２】
また、図４（ａ）に示すように、弾性体１６の下面に圧電素子１７を一体に接合し、これをキャビティ１内の底面に設置して取り付けてもよい。この構成の場合、弾性体１６は、圧電素子１７の振動圧力によって振動され、この振動によってキャビティ１内の液体を輸送するようになっている。なお、この構成の場合、圧電素子１７の取り付け位置は、弾性体１６の下面以外でも、上記のように弾性体１６を振動可能であれば弾性体１６の何処でもよい。
【００３３】
更に、図４（ｂ）に示すように、基板１５のキャビティ１の底面に対向する部分を、符号１５ａで示すような薄板状に成形し、弾性体１６の取り付け部分に対向する薄板状部分１５ａの下面に圧電素子１７を取り付けてもよい。この場合、弾性体１６は、薄板状部分１５ａを介して圧電素子１７の振動圧力によって振動され、この振動によってキャビティ１内の液体が輸送される。なお、圧電素子１７の取り付け位置は、弾性体１６を上記のように振動可能であれば基板の何処でもよい。
【００３４】
また、図５（ａ）に示すように、弾性体１６に代え、側面を波型に成形した弾性体１６ａをキャビティ１の底面に取り付けてもよい。弾性体１６ａは、側面が波型の凹凸が多い形状であるため、振動時に液体を凹凸部分で攪乱する効果が生じる。これによって、液体の輸送量がより多くなる。
この他、弾性体を凹凸の多い表面形状とした変形例を図５（ｂ）に示す。この（ｂ）に示す弾性体１６ｂは、側面をネジ型に成形したものである。このようなネジ型形状によっても、振動時に液体を凹凸部分で攪乱する効果が生じ、液体の輸送量がより多くなる。
【００３５】
また、図６（ａ）に示すように、基板１５に、液体供給側の各微小流路２の一端に基板１５の下面から貫通する供給口５と、液体流出側の微小流路３の一端に下面から貫通する流出口７を形成し、蓋板１４の供給口５及び流出口７を無くした構成としてもよい。このような構成のマイクロポンプにおいては、供給口５及び流出口７が基板１５の下面に開口しているので、上記図１〜図５に示したマイクロポンプ構成では不可能な用途や仕様部材に適合させることができる。図６に示した供給口５及び流出口７の構成は、図１〜図５のマイクロポンプにおいても適用することができる。
つまり、マイクロポンプの用途や仕様装置に応じて、供給口及び流出口の配置を変えることによって、その用途や使用装置に適合したマイクロポンプを提供することができる。このような効果を奏する供給口及び流出口の配置を変えた場合の変形例を、図６（ｂ）〜（ｄ）に示し、その説明を行う。
【００３６】
図６（ｂ）に示すマイクロポンプは、基板１５を、液体供給側の各微小流路２と、液体流出側の微小流路３とを基板側面まで貫通させて形成することによって、基板側面に供給口５及び流出口７を設けて構成したものである。
図６（ｃ）に示すマイクロポンプは、蓋板１４を、キャビティ１から流出口７に繋がる微小流路を無くして形成し、また、流出口７の位置をキャビティ１に貫通する位置にして形成したものである。
【００３７】
図６（ｄ）に示すマイクロポンプは、基板１５を、全ての微小流路２，３を無くし、キャビティ１の底面から下面に貫通して流出口７を形成し、また、蓋板１４を、流出口７を無くし、流出口７の位置をキャビティ１に貫通する位置にして形成したものである。なお、この構成おいては、弾性体１６がキャビティ１に対向する蓋板１４の面に取り付けられている。
更に、上記の各種構成のマイクロポンプの振動発生手段は、圧電素子に限定する必要は無く、他の手段であってもよい。また、マイクロポンプの微小流路２，３の一部又は全てをディフューザ形状とすることが望ましいが、他の形状であってもよい。
【００３８】
（第２の実施の形態）
図７は、本発明の第２の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図であり、（ａ）はマイクロポンプの平面図、（ｂ）はマイクロポンプを（ａ）に示すＢ１−Ｂ２矢示線に沿って切断した際の断面図である。
この図７に示すマイクロポンプは、基板１５ａに２つのキャビティ１ａ，１ｂを形成し、各キャビティ１ａ，１ｂを微小流路１８で連結し、この微小流路１８の壁面上側に弾性体１６を取り付け、また、蓋板１４ａの外面におけるキャビティ１ａに対応する位置に圧電素子１７ａを取り付け、キャビティ１ｂに対応する位置に圧電素子１７ｂを取り付けた構成となっている。
【００３９】
このような構成のマイクロポンプにおいて、圧電素子１７ａ，１７ｂの振動によってキャビティ１ａ，１ｂに減圧力が加わると、液体が供給口５から微小流路２を通ってキャビティ１ａに吸い込まれると共に、キャビティ１ａの液体が微小流路１８を通ってキャビティ１ｂに吸い込まれる。一方、キャビティ１ａ，１ｂに加圧力が加わると、キャビティ１ｂ内の液体が押されて微小流路３を通り流出口７から吐き出されると共に、キャビティ１ａ内の液体が押されて微小流路１８を通りキャビティ１ｂへ流出する。
【００４０】
この際、微小流路１８において液体の変動圧力及び圧電素子１７ａ，１７ｂの振動が弾性体１６に加わるので、弾性体１６が振動して変位し、この変位によって液体の輸送量が多くなる。
このような、第２の実施の形態のマイクロポンプによれば、２つのキャビティ１ａ，１ｂを微小流路１８で連結したので、キャビティが１つの場合よりもポンプ輸送能力を大きくすることができ、これによって、液体の輸送量を多くすることができる。
【００４１】
このように液体の輸送量が多くなると、弾性体１６に加わる液体の変動圧力がより大きくなるので、弾性体１６がより大きく振動して変位し、これによって液体の輸送量がより多くなる。従って、液体の輸送効率をより向上させることができる。
但し、微小流路１８の形状はストレートでなくてもディフューザ形状などの他の形状であってもよい。この第２の実施の形態のマイクロポンプにおいても、上記第１の実施の形態と同様に、弾性体１６、圧電素子１７ａ，１７ｂ、供給口５、流出口７の形状や配置位置に関して自由度を持たせることができる。
【００４２】
（第３の実施の形態）
図８は、本発明の第３の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図であり、（ａ）はマイクロポンプの平面図、（ｂ）はマイクロポンプを（ａ）に示すＣ１−Ｃ２矢示線に沿って切断した際の断面図である。
この図８に示すマイクロポンプは、蓋板１４ｂが、微小流路１８のキャビティ１ａと１ｂとの中間に微小流路がＴ字型となるように微小流路１９を連結し、この微小流路１９の先端部分に弾性体１６を取り付けた構成となっている。
このような構成のマイクロポンプにおいては、圧電素子１７ａ，１７ｂの振動によってキャビティ１ａ，１ｂに加圧力が加わると、キャビティ１ｂ内の液体が押されて微小流路３を通り流出口７から吐き出されると共に、キャビティ１ａ内の液体が押されて微小流路１８を通りキャビティ１ｂへ吐き出される。この際は吐き出す力が強いので、微小流路１８から微小流路１９へ液体が流れ込む。
【００４３】
一方、キャビティ１ａ，１ｂに減圧力が加わると、液体が供給口５から微小流路２を通ってキャビティ１ａに吸い込まれると共に、キャビティ１ａの液体が微小流路１８を通ってキャビティ１ｂに吸い込まれる。この際は吸い込む力が強いので、先に微小流路１９に流れ込んだ液体がキャビティ１ｂへ吸い込まれる。
このように、第３の実施の形態のマイクロポンプによれば、微小流路１９において液体の変動圧力及び圧電素子１７ａ，１７ｂの振動が弾性体１６に加わるので、弾性体１６が振動して変位し、この変位によって液体の輸送量が多くなる。
【００４４】
また、図７に示したマイクロポンプのように、キャビティ１ａと１ｂを直結する微小流路１８の途中に流路を一部さえぎるように弾性体が配置されないので、その分、流路抵抗が低減して液体の輸送量を多くすることができる。
更には、微小流路１９に液体が吸い込まれて吐き出されるといったバッファ効果によって液体の輸送量がより多くなる。従って、液体の輸送効率をより向上させることができる。
但し、微小流路１９の形状はストレートでなくてもディフューザ形状などの他の形状であってもよい。また、微小流路１８に微小流路１９をＴ字型となるように接続する必要はなく、Ｙ字型等となるように接続してもよい。更に、微小流路１８にＳ字型等の微小流路１９を接続しても上記同様の効果を得ることができる。
【００４５】
（第４の実施の形態）
図９は、本発明の第４の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図であり、（ａ）はマイクロポンプの平面図、（ｂ）はマイクロポンプを（ａ）に示すＤ１−Ｄ２矢示線に沿って切断した際の断面図である。
この図９に示すマイクロポンプは、蓋板１４ｃが、微小流路１８に対向する中間位置に貫通穴による弾性体の取付口２０を形成し、その取付口２０に蓋板と同じ厚さのメンブレン状の弾性体１６ｃを挿入して変位可能な状態で取り付けた構成となっている。
このような構成のマイクロポンプにおいては、供給口５から流出口７へ向かう液体が微小流路１８を流れると、弾性体１６ｃに対しては、その流れの方向に対して垂直な方向に液体の変動圧力が加わるので、弾性体１６ｃが振動して変位し、この変位によって液体の輸送量が多くなる。
【００４６】
このような、第４の実施の形態のマイクロポンプによれば、弾性体１６ｃに、液体の流れの方向と垂直な方向に液体の変動圧力が加わるようにしたので、弾性体１６ｃの振動特性の自由度を向上させることができる。また、蓋板１４ｃに取付口２０を形成して蓋板１４ｃと同じ厚みのメンブレン状の弾性体１６ｃを挿入するだけでよいので、制作方法を簡易化することができる。
また、弾性体１６ｃの取付口２０の配置位置は、蓋板１４ｃである必要は無く、液体の流れの方向と垂直な方向に液体の変動圧力が加わる位置であれば、上記第１の実施の形態で説明したような供給口５及び流出口７の配置位置に応じて自由に変えることが可能である。
【００４７】
（第５の実施の形態）
図１０は、本発明の第５の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す断面図である。
この図１０に示すマイクロポンプは、取付口２０に、当該取付口２０からマイクロポンプ外部へ所定長突出する形状の弾性体１６ｄを挿入して取り付けた構成となっている。
弾性体１６ｄは、取付口２０から突出する長さであるため、図９に示した弾性体１６ｃよりも体積が大きい。このため液体の流れの方向に対して垂直な方向に加わる液体の変動圧力による変位量が大きくなるので、その分、液体の輸送量が多くなる。また、弾性体１６ｄの長さは自由に変えることができる。
【００４８】
このような、第５の実施の形態のマイクロポンプによれば、弾性体１６ｄの長さを変えることによって、液体の変動圧力による変位量の大きさを変えることができるので、弾性体１６ｃの振動特性の自由度をより向上させることができる。
また、第５の実施の形態の変形例として、弾性体は、蓋板１４ｃの取付口２０に直接取り付ける必要は無く、図１１に示すように、取付口２０の外部に弾性体と異材質のジョイント部材２３を固定しておき、このジョイント部材２３に弾性体１６ｅ取り付けるようにしてもよい。このような構成とすることによって、マイクロポンプの製作方法をより簡易化することができる。
【００４９】
（第６の実施の形態）
図１２は、本発明の第６の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す断面図である。
この図１２に示すマイクロポンプは、取付口２０に、当該取付口２０からマイクロポンプ外部へ所定長突出し、且つ内部が液体を取り入れるための空洞となった形状の弾性体１６ｆを挿入して取り付けた構成となっている。但し、この構成では、ジョイント部材２３を介して弾性体１６ｆを取り付けるようになっているが、弾性体１６ｆを取付口２０に直接取り付けるようにしてもよい。
このような、第６の実施の形態のマイクロポンプによれば、弾性体１６ｆの空洞部分に液体が吸い込まれて吐き出されるといったバッファ効果によって、液体の輸送量をより多くすることができる。
【００５０】
（第７の実施の形態）
図１３は、本発明の第７の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す断面図である。
この図１３に示すマイクロポンプは、図１に示したと同構成で内部に弾性体１６を備えない２つのマイクロポンプ２６ａ，２６ｂを用い、一方のマイクロポンプ２６ａの流出口７ａと他方のマイクロポンプ２６ｂの供給口５ｂとを、チューブ材料によるＵ字型の弾性体１６ｇで結合した構成となっている。
このような構成の第７の実施の形態のマイクロポンプにおいては、弾性体１６ｇ内への吸い込みと、吐き出しが同一方向となるため、圧力損失が低減される。これによって、液体の輸送量をより多くすることができる。
【００５１】
（第８の実施の形態）
図１４は、本発明の第８の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図であり、（ａ）はマイクロポンプの平面図、（ｂ）はマイクロポンプを（ａ）に示すＥ１−Ｅ２矢示線に沿って切断した際の断面図である。
この図１４に示すマイクロポンプは、図１３に示したものと略同構成であるが、図１４に示すように弾性体１６ｈが、液体の変動圧力に応じて拡縮状態に変形するチューブ材料をＵ字型とした形状で、且つ内部流路の一部分の周側壁を厚くして流路を狭くした狭流路部分１６ｈ−１を有して成る。
【００５２】
この狭流路部分１６ｈ−１の内径２９が、特に力が加わらない平常時には、上流及び下流のキャビティ１ａ，１ｂと弾性体１６ｈとの間の微小流路１８ａ，１８ｂにおける微小流路最狭部内径３０ａ，３０ｂより細い状態であり、液体の圧力が加わる膨張時には、微小流路最広部内径３１ａ，３１ｂより太くなるような構造となっている。
なお、弾性体１６ｇの部材は、単一材質である必要は無く、異種部材を複合的に組み合わせて構成してもよい。
【００５３】
このような弾性体１６ｇの狭流路部分１６ｈ−１の変形動作を、図１５（ａ）〜（ｅ）を参照して説明する。
図１５（ａ）は、図１４に示したマイクロポンプの動作を説明するための等価図である。この図に示すように、上流キャビティ１ａに微小流路２ａ、１８ａが、下流キャビティ１ｂに微小流路１８ｂ、３ｂが接続されている。流路２ａの上流は液体の供給源４につながる入口５ａに、流路３ｂの下流は液体の排出先６につながる出口７ｂに接続されている。流路１８ａは、弾性体１６ｇにつながる接続口７ａに、流路１８ｂは、弾性体１６ｈにつながる接続口５ｂに接続されている。
【００５４】
狭流路部分１６ｈ−１の内径２９は、特に力を加えない平常時には、微小流路１８ａ，１８ｂの微小流路最狭部内径３０ａ，３０ｂより細くなり、膨張時には、微小流路最広部内径３１ａ，３１ｂより太くなるような構造となっている。
即ち、図１５（ｂ）に示すように、振動発生手段による加圧力Ｙ１１ａをキャビティ１ａに加えると、キャビティ１ａから矢印Ｙ１２ａ，Ｙ１３ａで示すように吐き出される。この際、矢印Ｙ１３ａで示す方向の力が大きいので、この液体の圧力によって弾性体１６ｈが膨張し、その狭流路部分内径２９が微小流路最狭部内径３０ａ，３０ｂよりも大きくなる。
【００５５】
図１５（ｃ）に示すように、振動発生手段による減圧力Ｙ１４ａをキャビティ１ａに加えると、キャビティ１ａに矢印Ｙ１５ａ，Ｙ１６ａで示すように吸い込まれる。この際、矢印Ｙ１５ａで示す方向の力が大きいので、この液体の圧力によって弾性体１６ｈが収縮し、その狭流路部分内径２９が微小流路最狭部内径３０ａ，３０ｂよりも小さくなる。
図１５（ｄ）に示すように、振動発生手段による加圧力Ｙ１１ｂをキャビティ１ｂに加えると、キャビティ１ａから矢印Ｙ１２ｂ，Ｙ１３ｂで示すように吐き出される。この際、矢印Ｙ１２ｂで示す方向の力は小さいので、弾性体１６ｈは変形しない。
【００５６】
図１５（ｅ）に示すように、振動発生手段による減圧力Ｙ１４ｂをキャビティ１ｂに加えると、キャビティ１ｂに矢印Ｙ１５ｂ，Ｙ１６ｂで示すように吸い込まれる。この際、矢印Ｙ１５ｂで示す方向の力が大きいので、この液体の圧力によって弾性体１６ｈが収縮し、その狭流路部分内径２９が微小流路最狭部内径３０ａ，３０ｂよりも小さくなる。
【００５７】
このように、第８の実施の形態のマイクロポンプによれば、キャビティ１ａ，１ｂに外部からの力Ｙ１１ａ，Ｙ１１ｂ，Ｙ１４ａ，Ｙ１４ｂを加えた時に、弾性体１６ｈの狭流路部分内径２９の拡縮によって、弾性体１６ｈの流路断面積を調節することが可能となる。上流から下流に向かう正方向の流れ発生時には、断面積を拡大して液体の輸送を促進することができる。負方向の流れ発生時には、断面積を縮小して逆送を阻止することができる。この液体の流れに対応した弾性体１６ｈの断面積の拡縮により、エネルギー効率を増大させることができるので、液体の輸送効率を向上させることができる。
【００５８】
以上説明した第１〜第７の実施の形態のマイクロポンプに用いる弾性体１６，１６ａ〜１６ｇは、液体の変動圧力及び圧電素子１７，１７ａ，１７ｂの振動によって、当該弾性体１６，１６ａ〜１６ｈの共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の１で振動させるのが好ましい。つまり、圧電素子１７，１７ａ，１７ｂの振動周波数は、弾性体１６，１６ａ〜１６ｇを当該弾性体１６，１６ａ〜１６ｇの共振周波数或いは、共振周波数の整数倍又は整数分の１の周波数のうち何れか１つで振動させる周波数とするのが好ましい。このように弾性体１６，１６ａ〜１６ｇを振動させることによって、弾性体１６，１６ａ〜１６ｇの伸縮が増幅され、液体の輸送量がより多くなる。
【００５９】
また、上記第２〜第８の実施の形態のマイクロポンプにおいては、弾性体１６，１６ａ〜１６ｈを、一方のキャビティ１ａの振動伝搬によって振動する液体の振動に合わせて、他方のキャビティ１ｂの振動の位相差を制御することが望ましい。この制御について説明する。
図１６は、各圧電素子１７ａ，１７ｂを駆動（振動）する駆動電圧制御部４１を備えており、駆動電圧制御部４１は、電圧発生部４２と、位相制御部４３と、可変利得型の増幅器４４，４５と、利得制御部４７とを備えて構成されている。
【００６０】
電圧発生部４２は、正弦波の電圧信号を発生する。位相制御部４３は、その発生された正弦波の電圧信号を各圧電素子１７ａ，１７ｂの数だけ分岐し、この分岐された各電圧信号Ｖ１，Ｖ２の位相を、個別に可変制御する。
増幅器４４，４５は、利得制御部４７の利得制御に応じて変化する増幅利得に応じて各電圧信号Ｖ１，Ｖ２を増幅し、これら増幅された電圧信号Ｖ１ａ，Ｖ２ａを、該当圧電素子１７ａ，１７ｂに印加する。この電圧印加によって、各圧電素子１７ａ，１７ｂが駆動するようになされている。
【００６１】
図１７に、各圧電素子１７ａ，１７ｂを駆動する電圧信号Ｖ１ａ，Ｖ２ａの波形の一例を示す。これらの電圧信号Ｖ１ａ，Ｖ２ａの位相は、位相制御部４３によって制御されるようになっているが、この制御される位相は、供給口５から供給される液体が、極力短時間で適正に送液されて流出口７から流出されるように定められる。
これに加え、各電圧信号Ｖ１ａ，Ｖ２ａの振幅（電圧レベル）ＶＬ１，ＶＬ２（図１７参照）が、液体が更に短時間で適正に送液されて流出口７から流出されるように定められる。各電圧信号Ｖ１ａ，Ｖ２ａの位相及び振幅を定める場合、例えば次のように行う。
【００６２】
まず、上流のキャビティ１ａにおいては、液体の単位時間当たりの送液量が、当該キャビティ１ａが有する送液能力の最大値又は最大値に極力近づくように、圧電素子１７ａへの印加電圧信号Ｖ１ａの位相及び振幅を調整する。
次に、下流のキャビティ１ｂにおいては、上流のキャビティ１ａで得られた送液量を更に増加又は、少なくとも上流のキャビティ１ａでの送液量の増加状態を妨げないように、圧電素子１７ｂへの印加電圧信号Ｖ２ａの位相及び振幅を調整する。
【００６３】
これらの調整を行いながら、供給口５から流出口７までの液体の送液時間を測定し、最終的には、その測定によって得られる結果の内、供給口５から流出口７までの液体の送液時間が最短となるように位相制御及び利得制御を行うことによって、各電圧信号Ｖ１ａ，Ｖ２ａの位相及び振幅を定める。
このように位相及び振幅を定めることによって、供給口５から供給された液体が、上流のキャビティ１ａにおいて、当該キャビティ１ａの送液能力の最大値又は最大値に極力近い状態で送液され、この送液された液体が更に下流のキャビティ１ｂにおいて更に増加されるか、少なくとも送液量が妨げられないように流出口７から流出される。
【００６４】
このように、位相制御部４３によって、上流のキャビティ１ａの液体に当該液体を搬送する振動が伝播され、下流のキャビティ１ｂの液体に当該液体を、前記搬送を妨げないようにする振動が伝播されるように、各圧電素子１７ａ，１７ｂに印加される電圧信号Ｖ１ａ，Ｖ２ａの位相を制御するようにした。
これによって、各キャビティ１ａ，１ｂの液体の送液量が増加するので、液体の送液を短時間で行うことができる。
また、位相制御部４３は、下流のキャビティ１ｂの液体に伝播される振動に、液体を搬送する振動成分が付加されるように電圧信号Ｖ２ａの位相を制御するようにした。これによって、液体の送液量が更に増加するので、液体の送液を、より短時間で行うことができる。
【００６５】
また、各増幅器４４，４５の利得を制御する利得制御部４７によって、上流のキャビティ１ａへの振動による液体の搬送量と、下流のキャビティ１ｂへの振動による液体の輸送量とが増加するように、各電圧信号Ｖ１ａ，Ｖ２ａの振幅（電圧レベル）を制御するようにした。これによって、上記の位相制御によって液体の送液が短時間で適正に行われていた状態において、振幅制御によって、更に液体の送液量が増加するので、送液がより短時間で適正に行われる。
この他、各圧電素子１７ａ，１７ｂを駆動する波形は、正弦波である必要は無く、矩形波、並びに各圧電素子１７ａ，１７ｂを駆動可能な波形であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図であり、（ａ）はマイクロポンプの平面図、（ｂ）はマイクロポンプを（ａ）に示すＡ１−Ａ２矢示線に沿って切断した際の断面図である。
【図２】（ａ）は第１の実施の形態に係るマイクロポンプの蓋板の平面図、（ｂ）は基板の平面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るマイクロポンプにおける弾性体の取り付け位置を示し、（ａ）はキャビティ内の基板の底面に弾性体を取り付けた構成図、（ｂ）はキャビティ１の蓋板の内面に弾性体を取り付けた構成図である。
【図４】本発明の実施の形態に係るマイクロポンプにおける弾性体の取り付け位置を示し、（ａ）はキャビティ内の基板の底面に弾性体に圧電素子を接合して取り付けた構成図、（ｂ）は基板の薄板状の底面に圧電素子と弾性体を取り付けた構成図である。
【図５】（ａ）弾性体の側面を波型に成形した状態を示す図、（ｂ）弾性体の側面をネジ型に成形した状態を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態に係るマイクロポンプにおける液体の供給口と流出口７との形成位置を示し、（ａ）は基板の下面に貫通する供給口及び流出口を示す図、（ｂ）は基板の側面に貫通する供給口及び流出口を示す図、（ｃ）は蓋板の上面に貫通する供給口及び流出口を示す図、（ｄ）は蓋板の上面に貫通する供給口及び基板の下面に貫通する流出口を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図であり、（ａ）はマイクロポンプの平面図、（ｂ）はマイクロポンプを（ａ）に示すＢ１−Ｂ２矢示線に沿って切断した際の断面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図であり、（ａ）はマイクロポンプの平面図、（ｂ）はマイクロポンプを（ａ）に示すＣ１−Ｃ２矢示線に沿って切断した際の断面図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図であり、（ａ）はマイクロポンプの平面図、（ｂ）はマイクロポンプを（ａ）に示すＤ１−Ｄ２矢示線に沿って切断した際の断面図である。
【図１０】本発明の第５の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す断面図である。
【図１１】第５の実施の形態の変形例によるマイクロポンプの構成を示す断面図である。
【図１２】本発明の第６の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す断面図である。
【図１３】本発明の第７の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す断面図である。
【図１４】本発明の第８の実施の形態に係るマイクロポンプの構成を示す図であり、（ａ）はマイクロポンプの平面図、（ｂ）はマイクロポンプを（ａ）に示すＥ１−Ｅ２矢示線に沿って切断した際の断面図である。
【図１５】（ａ）は図１４に示したマイクロポンプの動作を説明するための等価図、（ｂ）〜（ｅ）は図１４に示したマイクロポンプの動作を説明するための動作状態図である。
【図１６】上記実施の形態に係るマイクロポンプにおける２つの圧電素子を駆動（振動）する駆動電圧制御部の構成を示すブロック図である。
【図１７】上記実施の形態に係るマイクロポンプにおける２つの圧電素子を駆動する電圧信号の波形の一例を示す図である。
【図１８】従来のディフューザ型マイクロポンプの構成を示し、（ａ）は構成図、(ｂ)及び（ｃ）は動作原理の概念図である。
【符号の説明】
【００６７】
１，１ａ，１ｂ  キャビティ
２，２ａ，３，３ａ，１８，１８ａ，１８ｂ，１９  微小流路
５  供給口
７  流出口
１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ  蓋板
１５，１５ａ  基板
１６，１６ａ〜１６ｈ  弾性体
１７，１７ａ，１７ｂ  圧電素子
２０  取付口
２３  ジョイント部材
１６ｈ−１  狭流路部分
３０ａ，３０ｂ  微小流路最狭部内径
３１ａ，３１ｂ  微小流路最広部内径
４１  駆動電圧制御部
４２  電圧発生部
４３  位相制御部
４４，４５  可変利得型の増幅器
４７  利得制御部
【図１】
2005299597.tif 000003
【図２】
2005299597.tif 000004
【図３】
2005299597.tif 000005
【図４】
2005299597.tif 000006
【図５】
2005299597.tif 000007
【図６】
2005299597.tif 000008
【図７】
2005299597.tif 000009
【図８】
2005299597.tif 000010
【図９】
2005299597.tif 000011
【図１０】
2005299597.tif 000012
【図１１】
2005299597.tif 000013
【図１２】
2005299597.tif 000014
【図１３】
2005299597.tif 000015
【図１４】
2005299597.tif 000016
【図１５】
2005299597.tif 000017
【図１６】
2005299597.tif 000018
【図１７】
2005299597.tif 000019
【図１８】
2005299597.tif 000020