(57)【要約】【課題】  透過法と反射法、いずれのＸ線回折測定にも対応可能で、複数の試料を保持でき、しかも保持した各試料の任意の部位をＸ線照射位置へ配置することができる試料保持装置を提供する。【解決手段】  透過法によるＸ線回折測定に適合する透過型試料ホルダ４０を、着脱自在に装着可能な透過型試料ホルダ支持部材４２と、反射法によるＸ線回折測定に適合する反射型試料ホルダを、着脱自在に装着可能な反射型試料ホルダ支持部材とを備える。各試料ホルダ支持部材は、複数の試料を長手方向に装着でき、かつ支持台２０へ選択して装着可能である。支持台２０には、装着された試料ホルダ支持部材を移動させる駆動モータが搭載されている。駆動モータの駆動力により、透過型試料ホルダまたは反射型試料ホルダに保持された試料の任意の部位をＸ線回折装置のＸ線照射位置へ配置することができる。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線回折装置の試料台に組み込まれる試料保持装置であって、
透過法によるＸ線回折測定に適合する透過型試料ホルダを、着脱自在に装着可能な透過型試料ホルダ支持部材と、
反射法によるＸ線回折測定に適合する反射型試料ホルダを、着脱自在に装着可能な反射型試料ホルダ支持部材と、
前記各試料ホルダ支持部材を選択して装着可能な支持台と、
この支持台に装着された試料ホルダ支持部材を移動させ、前記透過型試料ホルダまたは反射型試料ホルダに保持された試料の任意の部位を前記Ｘ線回折装置のＸ線照射位置へ配置する駆動手段と、を備えたことを特徴とする試料保持装置。
【請求項２】
前記透過型試料ホルダは、前記透過型試料ホルダ支持部材の長手方向に複数並べて配置可能な大きさで、かつ試料を充填保持する透孔が形成された板状片からなり、
前記透過型試料ホルダ支持部材は、前記透過型試料ホルダを長手方向へ並べて装着可能な複数のホルダ支持部を有することを特徴とする請求項１の試料保持装置。
【請求項３】
前記反射型試料ホルダは、前記反射型試料ホルダ支持部材の長手方向に複数並べて配置可能な大きさで、かつ試料を充填保持する溝が上面に形成された小形容器からなり、
前記反射型試料ホルダ支持部材は、前記反射型試料ホルダを長手方向へ並べて装着可能な複数のホルダ支持部を有することを特徴とする請求項１の試料保持装置。
【請求項４】
前記反射型試料ホルダは、試料を保持する複数の溝が長手方向に並べて形成された平板部材からなり、
前記反射型試料ホルダ支持部材は、前記一枚の反射型試料ホルダを装着可能なホルダ支持部を有することを特徴とする請求項１の試料保持装置。
【請求項５】
前記反射型試料ホルダは、表面に試料を任意の間隔で並べて配置可能な平板部材からなり、
前記反射型試料ホルダ支持部材は、前記一枚の反射型試料ホルダを装着可能なホルダ支持部を有することを特徴とする請求項１の試料保持装置。
【請求項６】
各試料ホルダ支持部材は、前記支持台に対する共通の被装着部を有し、
前記支持台には、当該被装着部を固定する装着部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の試料保持装置。
【請求項７】
前記支持台は、装着された前記各ホルダ支持部材の長手方向に少なくとも移動自在な移動ステージを有し、
前記駆動手段は、前記移動ステージを前記長手方向に駆動する駆動モータを含むことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の試料保持装置。
【請求項８】
試料台と、この試料台に組み込まれる試料保持装置と、Ｘ線を発生するＸ線源と、このＸ線源から放射されたＸ線を前記試料保持装置に保持された試料の任意の部位へ収束させるコリメータと、前記試料保持装置に保持された試料から回折してくるＸ線を検出するＸ線検出器とを備え、
前記試料保持装置に、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の試料保持装置を適用したことを特徴とするＸ線回折装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、Ｘ線回折測定において、測定対象となる試料を保持するための試料保持装置と、同装置が組み込まれたＸ線検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線回折装置は、試料に対しＸ線を照射したとき、試料から回折してくるＸ線の強度を検出して、試料の結晶構造等を分析するための装置である。近年、このＸ線回折装置において、複数試料について短時間で測定を行いたいという要望が高まっている。本出願人は、かかる要望に応えるべく先に特許文献１の発明を提案している。
本出願人が先に提案した特許文献１の試料交換装置は、同文献の図２および図３に示されるとおり、一つの試料ホルダ（１）の試料固着面（１ａ）に、複数の試料固着領域（１４，２４）を設け、複数の試料（１５）をそれら試料固着領域（１４，２４）に一個ずつ個別に装着し、試料ホルダ（１）を平行移動させて、各試料（１５）を順次一個ずつＸ線照射位置へ移動させ、個々の試料（１５）について、順次個別にＸ線回折測定を行う構成を備えている。
【０００３】
さて、Ｘ線回折測定には、試料の表面にＸ線を照射したとき、試料表面から反射してくる回折Ｘ線をＸ線検出器によって検出するいわゆる反射法と、試料を透過してくる回折Ｘ線をＸ線検出器によって検出するいわゆる透過法とがある。
上記特許文献１の発明は、このうち反射法によるＸ線回折測定に適合した構成となっており、したがって、透過法によるＸ線回折測定には利用できないという制限があった。
【０００４】
【特許文献１】特開平４−２３２８３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、次の（ａ）乃至（ｃ）に記載した特徴を有し、Ｘ線回折装置に好適な試料保持装置の提供を目的とする。
（ａ）透過法と反射法、いずれのＸ線回折測定にも対応可能である。
（ｂ）複数の試料を保持できる。
（ｃ）保持した各試料の任意の部位をＸ線照射位置へ配置することができる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の試料保持装置は、Ｘ線回折装置の試料台に組み込まれる試料保持装置であって、
透過法によるＸ線回折測定に適合する透過型試料ホルダを、着脱自在に装着可能な透過型試料ホルダ支持部材と、
反射法によるＸ線回折測定に適合する反射型試料ホルダを、着脱自在に装着可能な反射型試料ホルダ支持部材と、
各試料ホルダ支持部材を選択して装着可能な支持台と、
この支持台に装着された試料ホルダ支持部材を移動させ、透過型試料ホルダまたは反射型試料ホルダに保持された試料の任意の部位をＸ線回折装置のＸ線照射位置へ配置する駆動手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
上記構成の本発明によれば、透過型試料ホルダ支持部材と反射型試料ホルダ支持部材のいずれか一方を選択して支持台に装着することで、透過法と反射法いずれの方式によるＸ線回折測定にも対応することができる。
また、駆動手段によって支持台に装着された試料ホルダ支持部材を移動させることで、試料の任意の部位をＸ線回折装置のＸ線照射位置へ配置することができる。
【０００８】
ここで、透過型試料ホルダは、透過型試料ホルダ支持部材の長手方向に複数並べて配置可能な大きさで、かつ試料を充填保持する透孔が形成された板状片で構成することができ、透過型試料ホルダ支持部材は、透過型試料ホルダを長手方向へ並べて装着可能な複数のホルダ支持部を有する構成とすることができる。
【０００９】
また、反射型試料ホルダは、反射型試料ホルダ支持部材の長手方向に複数並べて配置可能な大きさで、かつ試料を充填保持する溝が上面に形成された小形容器で構成することができ、反射型試料ホルダ支持部材は、反射型試料ホルダを長手方向へ並べて装着可能な複数のホルダ支持部を有する構成とすることができる。
【００１０】
さらに、反射型試料ホルダは、試料を保持する複数の溝が長手方向に並べて形成された平板部材で構成してもよく、反射型試料ホルダ支持部材は、一枚の反射型試料ホルダを装着可能なホルダ支持部を有する構成としてもよい。
【００１１】
さらにまた、反射型試料ホルダは、表面に試料を任意の間隔で並べて配置可能な平板部材で構成することもでき、反射型試料ホルダ支持部材は、一枚の反射型試料ホルダを装着可能なホルダ支持部を有する構成とすることもできる。
【００１２】
上記構成の各試料ホルダと試料ホルダ支持部材を用いることで、複数の試料を装着して連続的に測定することができる。
しかも、上述のような種々の構成をした試料ホルダと試料ホルダ支持部材とを用意しておき、それらを選択して支持台に装着することで、目的に応じた好適な測定環境を構築することが可能となる。
なお、試料ホルダおよび試料ホルダ支持部材は、上記構成に限定されることなく、必要に応じて各種構成のものを製作してもよい。
【００１３】
ここで、各試料ホルダ支持部材は、支持台に対する共通の被装着部を有し、支持台には、当該被装着部を固定する装着部を形成することが好ましい。これにより支持台を共通化して、各種の試料ホルダ支持部材を同一の支持台に装着することが可能となり、操作性の向上を図ることができる。
【００１４】
さらに、支持台は、装着された各ホルダ支持部材の長手方向に少なくとも移動自在な移動ステージを有した構成とすることができ、駆動手段は、移動ステージを長手方向に駆動する駆動モータを含む構成とすることができる。
【００１５】
本発明のＸ線回折装置は、試料台と、この試料台に組み込まれる試料保持装置と、Ｘ線を発生するＸ線源と、このＸ線源から放射されたＸ線を試料保持装置に保持された試料の任意の部位へ収束させるコリメータと、試料保持装置に保持された試料から回折してくるＸ線を検出するＸ線検出器とを備え、
試料保持装置に、上述した構成の試料保持装置を適用したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
上述した本発明によれば、透過型試料ホルダ支持部材と反射型試料ホルダ支持部材のいずれか一方を選択して支持台に装着することで、透過法と反射法いずれの方式によるＸ線回折測定にも対応することができる。
また、駆動手段によって支持台に装着された試料ホルダ支持部材を移動させることで、試料の任意の部位をＸ線回折装置のＸ線照射位置へ配置することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
図１は本発明の実施形態に係るＸ線回折装置の概要を示す模式図である。
Ｘ線回折装置は、試料台１と、この試料台１に組み込まれる試料保持装置２と、Ｘ線を発生するＸ線源３と、このＸ線源３から放射されたＸ線を試料保持装置２に保持された試料の任意の部位へ収束させるコリメータ４と、試料からの回折Ｘ線を検出するＸ線検出器５とを備えている。
【００１８】
試料は試料保持装置２に保持される。この試料の任意の微小部に対し、Ｘ線源３から発生したＸ線をコリメータ４で収束して照射すると、試料からはその結晶構造に応じて所定の回折角度に回折Ｘ線が現れる。この回折Ｘ線の強度をＸ線検出器５で検出することにより、試料の結晶構造を分析することができる。
【００１９】
図２および図３はそれぞれ試料台の搭載された試料保持装置の外観を示す正面図である。なお、図２は透過法によるＸ線回折測定に好適な試料ホルダを装着した試料保持装置の構成例を示し、一方、図３は反射法によるＸ線回折測定に好適な試料ホルダを装着した試料保持装置の構成例を示している。
【００２０】
試料台１は、基台１０にＺ軸移動ステージ１１を備えている。Ｚ軸移動ステージ１１は、Ｚ軸調整ねじ１２を回転操作することで、Ｚ軸方向に移動自在となっている。
なお、本明細書においては、後述する試料ホルダ支持部材（４２，５３，６２，７２）の長手方向をＸ軸、同試料ホルダ支持部材の前後方向をＹ軸、そして、これらＸ軸およびＹ軸を含む平面に直交する方向をＺ軸とする。
【００２１】
試料台１のＺ軸移動ステージ１１には、円盤状の搭載部１３が設けてあり、この搭載部１３に試料保持装置２が搭載される。したがって、試料保持装置２は、試料台１のＺ軸移動ステージ１１と一体にＺ軸方向へ移動自在である。
【００２２】
試料保持装置２は、試料ホルダと、試料ホルダ支持部材と、支持台とを備えている。
図４乃至図７は試料保持装置２の支持台２０を示す図である。
これらの図に示すように、支持台２０は、試料台１の搭載部１３に搭載される基部２１と、この基部２１の上部にＹ軸方向へ移動自在に組み込まれたＹ軸移動ステージ２２と、このＹ軸の上部にＸ軸方向へ移動自在に組み込まれたＸ軸移動ステージ２３とを有している。
【００２３】
基部２１には、底面に凹部２４が形成してある。この凹部２４は、試料台１の搭載部１３と対応した形状となっており、この凹部２４に搭載部１３が嵌合される。さらに、基部２１には、ねじ等からなる締結具２５が設けてあり、この締結具２５によって凹部２４に嵌合された試料台１の搭載部１３を固定する構成となっている。なお、図７に示すように、試料台１の搭載部１３は、外周面に切欠部１３ａが形成してあり、この切欠部１３ａに締結具２５の先端が当接することで、搭載部１３からの基部２１の脱落を確実に防止している。
【００２４】
基部２１とＹ軸移動ステージ２２との間には、図４に示すように、Ｙ軸方向（図４の紙面垂直方向）へ延在するスライダ２６が設けてあり、このスライダ２６に沿ってＹ軸移動ステージ２２が移動自在となっている。Ｙ軸の移動は、基部２１に設けたＹ軸調整ねじ２７によって手動で行うことができる。すなわち、Ｙ軸調整ねじ２７の回転操作によって、Ｙ軸移動ステージ２２が、Ｙ軸方向へ移動する。
【００２５】
さらに、Ｙ軸移動ステージ２２とＸ軸移動ステージ２３との間には、図６および図７に示すように、Ｘ軸方向（図６，図７の紙面垂直方向）へ延在するスライダ２８が設けてあり、このスライダ２８に沿ってＸ軸移動ステージ２３が移動自在となっている。本実施形態では、駆動モータ２９（駆動手段）からの駆動力をもって、Ｘ軸移動ステージ２３を移動させる構成としてある（図５参照）。駆動モータ２９は、Ｙ軸移動ステージ２２に固定してある。
さらに、Ｙ軸移動ステージ２２には、駆動力伝達手段としてのねじ機構が、Ｘ軸方向に延在して設けてある。ねじ機構は、駆動ねじ３０とこれに螺合するナット部材３１で構成されており、駆動ねじ３０の一端に、従動プーリ３２が装着されている。駆動モータ２９の駆動軸には、駆動プーリ３３が装着してあり、これら各プーリ３２，３３に駆動ベルト３４が巻掛けてある。
駆動モータ２９の回転駆動力は、駆動ベルト３４を介して駆動ねじ３０に伝えられる。駆動ねじ３０が回転すると、これに螺合するナット部材３１が、駆動ねじ３０の中心軸に沿ってＸ軸方向へ直線移動する。ナット部材３１は、Ｘ軸移動ステージ２３に固定されており、したがって、ナット部材３１と一体にＸ軸移動ステージ２３が移動する。
【００２６】
Ｘ軸移動ステージ２３には、試料ホルダ支持部材の装着するための装着部３５が形成されている。この装着部３５は、図７に示すように、Ｘ軸移動ステージ２３の上面中央部から下方に掘り下げて形成した孔からなり、後述する試料ホルダ支持部材４２，５３，６２，７２の被装着部４７，５５，６４，７５がこの装着部３５に嵌め込まれる。
Ｘ軸移動ステージ２３の前面から装着部３５にかけては、ねじ孔が形成してあり、このねじ孔にねじで形成された締結具３６がねじ込まれている。締結具３６は、回転操作によってその先端部が装着部３５内に突き出し自在となっており、装着部３５に嵌め込まれた試料ホルダ支持部材の被装着部４７，５５，６４，７５に側方から当接し、同被装着部４７，５５，６４，７５を装着部３５内でがたつきなく固定する。
【００２７】
試料ホルダは、透過型試料ホルダと反射型試料ホルダとが用意されており、これらに対応して、試料ホルダ支持部材も透過型試料ホルダ支持部材と反射型試料ホルダ支持部材とが用意されている。
【００２８】
透過型試料ホルダは、透過法によるＸ線回折測定の実施に適合する構成となっている。また、反射型試料ホルダは、反射法によるＸ線回折測定の実施に適合する構成となっている。
透過法によるＸ線回折測定とは、既述したとおり、試料を透過してきた回折Ｘ線をＸ線検出器５で検出する測定法である。また、反射法によるＸ線回折測定とは、試料から反射してきた回折Ｘ線をＸ線検出器５で検出する測定法である。
【００２９】
図８は透過型試料ホルダとその支持部材の構成例を示す図である。
同図（ａ）に示す透過型試料ホルダ４０は、金属製の板状小片で形成されている。透過型試料ホルダ４０には、透孔４１が形成されており、この透孔４１に微小試料を充填保持できる構成となっている。
同図（ｂ）（ｃ）に示す透過型試料ホルダ支持部材４２には、上面に、複数のホルダ支持部４３が長手方向（すなわち、Ｘ軸方向）に並べて形成してある。これらのホルダ支持部４３には、透過型試料ホルダ４０の背面を支持する支持壁４４と、この支持壁４４と対向する位置に設けられた固定ばね４５とが設けられている。
透過型試料ホルダ４０は、背面を支持壁４４に沿って配置し、固定ばね４５によって正面から支持壁４４に押さえつけられた状態で、ホルダ支持部４３に装着される。
【００３０】
複数のホルダ支持部４３には、それぞれ透過型試料ホルダ４０を装着できるが、同試料ホルダ４０の装着枚数および装着するホルダ支持部４３の位置は、測定内容に応じて任意に決めることができる。勿論、すべてのホルダ支持部４３へ、透過型試料ホルダ４０を装着することもできる。
【００３１】
透過型試料ホルダ支持部材４２の下面中央部には、被装着部４７が下方へ突き出して設けてある。既述したように、被装着部４７は、支持台２０のＸ軸移動ステージ２３に形成された装着部３５に嵌め込まれ、締結具３６によって固定される（図７参照）。被装着部４７の下端部は、フランジ形状をしており、このフランジ部４７ａに締結具３６の先端部が係合して、抜けとがたつきが防止される。
【００３２】
図９は反射型試料ホルダとその支持部材の構成例を示す図である。
同図（ａ）（ｂ）に示す反射型試料ホルダ５０は、試料を充填保持する溝５１が上面に形成された小形容器で形成されており、底面中央部から棒状の被支持部５２が延出している。
同図（ｃ）（ｄ）に示す反射型試料ホルダ支持部材５３には、上面に、反射型試料ホルダ５０の被支持部５２を差し込み固定できる溝からなる複数のホルダ支持部５４が、長手方向（すなわち、Ｘ軸方向）に並べて形成してある。
【００３３】
複数のホルダ支持部５４には、それぞれ反射型試料ホルダ５０を装着できるが、同試料ホルダ５０の装着個数および装着するホルダ支持部５４の位置は、測定内容に応じて任意に決めることができる。勿論、すべてのホルダ支持部５４へ、反射型試料ホルダ５０を装着することもできる。
【００３４】
透過型試料ホルダ支持部材５３の下面中央部には、被装着部５５が下方へ突き出して設けてある。この被装着部５５は、既述した透過型試料ホルダ支持部材４２の被装着部４７と同じ寸法形状としてあり、支持台２０のＸ軸移動ステージ２３に形成された装着部３５に装着可能となっている。
【００３５】
図１０は反射型試料ホルダとその支持部材の他の構成例を示す図である。
同図（ａ）に示す反射型試料ホルダ６０は、試料を充填保持する複数の溝６１が長手方向に並べて形成された平板部材で構成されている。
同図（ｂ）（ｃ）に示す反射型試料ホルダ支持部材６２は、上面が平坦面となっており、この上面がホルダ支持部６３を形成している。ホルダ支持部６３の両端部分には、板状の押えばね６４が設けてあり、ホルダ支持部６３に配置した反射型試料ホルダ６０を、これら押さえばね６４で押さえ込んで、ホルダ支持部６３に固定できる構成となっている。
【００３６】
この透過型試料ホルダ支持部材６２の下面中央部にも、被装着部６４が下方へ突き出して設けてある。この被装着部６４も、既述した透過型試料ホルダ支持部材４２（図８（ｃ）参照）や反射型試料ホルダ支持部材５３（図９（ｄ）参照）の被装着部４７，５５と同じ寸法形状としてあり、支持台２０のＸ軸移動ステージ２３に形成された装着部３５に装着可能となっている。
【００３７】
図１１は反射型試料ホルダとその支持部材の更に他の構成例を示す図である。
同図（ａ）に示す反射型試料ホルダ７０は、任意の間隔で並べて配置可能な平板部材で構成されている。反射型試料ホルダの平面には、試料を一定間隔に配置する際の目安となる指示線７１が描かれており、この指示線７１の交点を目安として試料を配置すれば、一定間隔ごとに複数の試料を容易に配置することができる。
【００３８】
同図（ｂ）（ｃ）に示す反射型試料ホルダ支持部材７２は、上面が平坦面となっており、この上面がホルダ支持部７３を形成している。ホルダ支持部７３の両端部分には、板状の押えばね７４が設けてあり、ホルダ支持部７３に配置した反射型試料ホルダ７０を、これら押さえばね７４で押さえ込んで、ホルダ支持部７３に固定できる構成となっている。
【００３９】
この透過型試料ホルダ支持部材７２の下面中央部にも、被装着部７５が下方へ突き出して設けてある。この被装着部７５も、既述した透過型試料ホルダ支持部材４２（図８（ｃ）参照）や反射型試料ホルダ支持部材５３，６２（図９（ｄ），図１０（ｃ）参照）の被装着部４７，５５，６４と同じ寸法形状としてあり、支持台２０のＸ軸移動ステージ２３に形成された装着部３５に装着可能となっている。
【００４０】
上述した各試料ホルダ４０，５０，６０，７０と試料ホルダ支持部材４２，５３，６２，７２からなるユニットを、適宜選択して利用し、支持台２０の装着部３５へ装着するだけで、透過法によるＸ線回折測定と、反射法によるＸ線回折測定のいずれも同じＸ線回折装置によって実施することが可能となる。
しかも、各試料ホルダ４０，５０，６０，７０には、複数の試料を長手方向（Ｘ軸方向）に並べて装着できるので、駆動モータ２９の制御により支持台２０のＸ軸移動ステージ２３をＸ軸方向へ移動調整することで、試料ホルダ支持部材４２，５３，６２，７２に装着された各試料の任意の部位を、Ｘ線回折装置におけるＸ線の照射位置に位置決めすることができる。
【００４１】
例えば、図８に示した透過型試料ホルダ４０とその支持部材４２を用いた場合は、透過型試料ホルダ４０の透孔４１に充填保持された試料の表面に、Ｘ線源３からのＸ線が照射される。そして、試料の裏面側に透過してきた回折Ｘ線が、Ｘ線検出器５によって検出される。
【００４２】
また、図９乃至図１１に示した反射型試料ホルダ５０，６０，７０とその支持部材５３，６２，７２を用いた場合には、反射型試料ホルダ５０，６０，７０に保持された試料の表面が、Ｘ線源３からのＸ線が照射される。そして、試料の表面から反射してきた回折Ｘ線が、Ｘ線検出器５によって検出される。
【００４３】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。
透過型試料ホルダとその支持部材、あるいは反射型試料ホルダとその支持部材は、図８乃至図１１に示した以外の構成とすることもできる。また、支持台２０は、Ｘ軸方向にのみ駆動モータ２９によって自動的に移動できる構成としたが、Ｙ軸方向にも自動的に移動できるように駆動機構を付加することもできる。さらに、Ｚ軸方向の駆動機構を支持台２０に付加することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態に係るＸ線回折装置の概要を示す模式図である。
【図２】試料台の搭載された試料保持装置の外観を示す正面図である。
【図３】試料台の搭載された試料保持装置の外観を示す正面図である。
【図４】試料保持装置の支持台を示す正面図である。
【図５】試料保持装置の支持台を示す平面図である。
【図６】試料保持装置の支持台を示す左側面図である。
【図７】図５のＡ−Ａ線断面図である。
【図８】（ａ）は透過型試料ホルダの正面図、（ｂ）は透過型試料ホルダ支持部材の平面図、（ｃ）は同じく正面図である。
【図９】（ａ）は反射型試料ホルダの平面図、（ｂ）は同じく正面図、（ｃ）は反射型試料ホルダ支持部材の平面図、（ｄ）は同じく正面図である。
【図１０】（ａ）は反射型試料ホルダの平面図、（ｂ）は反射型試料ホルダ支持部材の平面図、（ｃ）は同じく正面図である。
【図１１】（ａ）は反射型試料ホルダの平面図、（ｂ）は反射型試料ホルダ支持部材の平面図、（ｃ）は同じく正面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１：試料台、２：試料保持装置、３：Ｘ線源、４：コリメータ、５：Ｘ線検出器、１０：基台、１１：Ｚ軸移動ステージ、１２：Ｚ軸調整ねじ、１３：搭載部、１３ａ：切欠部、２０：支持台、２１：基部、２２：Ｙ軸移動ステージ、２３：Ｘ軸移動ステージ、２４：凹部、２５：締結具、２６：スライダ、２７：Ｙ軸調整ねじ、２８：スライダ、２９：駆動モータ、３０：駆動ねじ、３１：ナット部材、３２：従動プーリ、３３：駆動プーリ、３４：駆動ベルト、３５：装着部、４０：透過型試料ホルダ、４１：透孔、４２：透過型試料ホルダ支持部材、４３：ホルダ支持部、４４：支持壁、４５：固定ばね、４７：被装着部、４７ａ：フランジ部、５０：反射型試料ホルダ、５１：溝、５２：被支持部、５３：反射型試料ホルダ支持部材、５４：ホルダ支持部、５５：被装着部、６０：反射型試料ホルダ、６１：溝、６２：反射型試料ホルダ支持部材、６３：ホルダ支持部、６４：被装着部、７０：反射型試料ホルダ、７１：指示線、７２：反射型試料ホルダ支持部材、７３：ホルダ支持部、７４：押さえばね、７５：被装着部
【図１】
2005265566.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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