(57)【要約】【課題】  媒体上にヘッドを浮上させるときの限界グライドハイトを求めることである。【解決手段】  媒体及びヘッドをチャンバ内に収容してその内部を段階的に減圧していき各段階におけるヘッドの浮上量及びヘッドと媒体の接触頻度を測定する第１ステップと、ヘッドバニッシュを行う第２ステップと、第１ステップの測定を再度測定するステップと、第１及び第３ステップにおける接触頻度の測定値の比較により、隣り合う気圧条件で接触頻度の変化率の差が最も大きい低い方の気圧に対応するヘッドの浮上量（限界グライドハイト）を求める第４のステップとから構成する。【選択図】        図５
2005135581.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転駆動される記録用の媒体上にヘッドを浮上させるときの限界グライドハイトを求める方法であって、
（ａ）上記媒体及び上記ヘッドをチャンバ内に収容して該チャンバ内を段階的に減圧していき各段階における上記ヘッドの浮上量及び上記ヘッドの上記媒体に対する接触頻度を測定するステップと、
（ｂ）上記ヘッドが上記媒体に少なくとも間欠的に接触する条件の下で上記ヘッドが上記媒体上の突起を削り取るヘッドバニッシュを行うステップと、
（ｃ）上記ステップ（ａ）における各段階の気圧を再現して、各段階における上記ヘッドの浮上量及び上記ヘッドの上記媒体に対する接触頻度を再度測定するステップと、
（ｄ）上記ステップ（ａ）における各段階の接触頻度の測定値と上記ステップ（ｃ）における各段階の接触頻度の測定値とを比較して、隣り合う気圧条件で接触頻度の変化率の差が最も大きい低い方の気圧に対応する上記ヘッドの浮上量として定義される限界グライドハイトを求めるステップと、
を備えたことを特徴とするヘッドの限界グライドハイトを求める方法。
【請求項２】
上記ヘッドの上記媒体に対する接触頻度の測定は、上記ヘッドに生じる弾性波の検出によって行われる請求項１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転駆動される記録（例えば磁気記録）のための媒体上にヘッドを浮上させるときの限界グライドハイトを求める方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータシステムにおいて取り扱うデータ量が増大したことに伴い、磁気ディスク装置においても小型で大容量の装置が要求されてきている。そのため、単位面積あたりの記録密度を大きくするために、ヘッドと媒体間のスペーシングを小さくすることが必要になってきている。
【０００３】
そこで、スペーシングが小さい状況下でのヘッドと媒体の接触の回避、ヘッドと媒体の間のスペーシングの最適化及び耐久性のあるヘッド・媒体の開発のための評価装置又は方法が要望されている。
【０００４】
磁気ディスク装置において、ヘッドと媒体の接触を回避するための技術として、ヘッドバニッシュにより媒体の突起を削り取る方法が特開平６−０５２５４３号公報等に開示されている。
【０００５】
いずれの方法においても、バニッシュ用に特別に設計された専用ヘッドを用い、バニッシュされた媒体を磁気ディスク装置に実装することにより、磁気ディスク装置の製造が行われる。
【０００６】
一方、ヘッド・媒体の耐久性評価に関しては、実機のランニングによる評価では評価に時間がかかるため、耐久性評価用に特殊なヘッド・媒体を製作し、加速試験により評価期間を短くする試みがなされている。
【０００７】
また、減圧することによりヘッド浮上量を小さくし、ヘッド・媒体の耐久性を評価する方法が特開平２−８０９７５号公報、特開平３−５２１７７号公報に開示されているが、いずれの方法も評価を行う気圧条件の設定が明確ではなかった。
【０００８】
他方、ヘッド・媒体の磨耗状態を知る方法として、磁気ディスク装置内の塵埃測定が一般に行われているが、装置を減圧チャンバ内に収容している場合には、塵埃測定のためのパーティクルカウンタ側の吸引力が減圧チャンバの真空ポンプに負けてしまい塵埃測定のための吸引を行うことができず、減圧下でのランニング評価に際しては、ランニング後に一旦気圧を大気圧まで戻してから塵埃測定を行う必要があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明の目的は、回転駆動される記録媒体上にヘッドを浮上させるときの限界グランドハイトを求める方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明によると、回転駆動される記録用の媒体上にヘッドを浮上させるときの限界グライドハイトを求める方法であって、（ａ）上記媒体及び上記ヘッドをチャンバ内に収容して該チャンバ内を段階的に減圧していき各段階における上記ヘッドの浮上量及び上記ヘッドの上記媒体に対する接触頻度を測定するステップと、（ｂ）上記ヘッドが上記媒体に少なくとも間欠的に接触する条件の下で上記ヘッドが上記媒体上の突起を削り取るヘッドバニッシュを行うステップと、（ｃ）上記ステップ（ａ）における各段階の気圧を再現して、各段階における上記ヘッドの浮上量及び上記ヘッドの上記媒体に対する接触頻度を再度測定するステップと、（ｄ）上記（ａ）ステップにおける各段階の接触頻度の測定値と上記ステップ（ｃ）における各段階の接触頻度の測定値とを比較して、隣り合う気圧条件で接触頻度の変化率の差が最も大きい低い方の気圧に対応する上記ヘッドの浮上量として定義される限界グライドハイトを求めるステップとを備えたことを特徴とするヘッドの限界グライドハイトを求める方法が提供される。
【００１１】
望ましくは、ヘッドの媒体に対する接触頻度の測定は、ヘッドに生じる弾性波の検出によって行われる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、回転駆動される記録用の媒体上にヘッドを浮上させるときの限界グライドハイトを求めることができるようになるという効果が生じる。
【発明の実施する為の最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に従って詳細に説明する。
【００１４】
図１は本発明方法に適用可能な装置の基本構成を示す図である。この装置は、磁気ディスク装置に組み込む前の媒体（記録媒体；例えば磁気ディスク）を単独で処理するのに適している。媒体２はスピンドルモータ４により回転駆動される。スピンドルモータ４は基板６上に設けられている。
【００１５】
符号８は架台１０により媒体２の径方向に移動可能（即ちシーク動作可能）に支持されるヘッドであり、このヘッド８はディスク２が静止している状態にあっては媒体２上に接触し、媒体２が回転駆動されているときには、媒体２上に浮上する。そのときの浮上量は、媒体２の回転における周速及び気圧等によって決定される。
【００１６】
媒体２、スピンドルモータ４、基板６、ヘッド８及び架台１０は減圧可能なチャンバ１２内に収容されており、このチャンバ１２内は真空ポンプ１４によって減圧することができるようになっている。
【００１７】
図２は本発明方法に適用可能な装置の他の基本構成を示す図である。この装置は、磁気ディスク装置に組み込まれた媒体を処理するのに適している。尚、全図を通して実質的に同一の部分には同一の符号が付されている。
【００１８】
媒体２は、密閉可能なディスクエンクロージャ１６を有する磁気ディスク装置１８内に実装されている。磁気ディスク装置１８は、ディスクエンクロージャ１６内に設けられた媒体２、スピンドルモータ２０、ヘッド２２、アクチュエータ２４及び循環フィルタ２６を有している。
【００１９】
スピンドルモータ２０は媒体２を回転駆動するためのものであり、ヘッド２２は図１のヘッド８に対応している。ヘッド２２は磁気記録／再生に用いられるという点においてのみヘッド８（図１参照）に対して限定的である。
【００２０】
アクチュエータ２４はヘッド２２を媒体２の半径方向に移動可能に支持するためのものである。また、循環フィルタ２６はディスクエンクロージャ１６内の塵埃をトラップするためのものである。
【００２１】
磁気ディスク装置１８は、真空ポンプ１４に接続される減圧可能なチャンバ１２内に収容されている。ディスクエンクロージャ１６内の気圧は、ディスクエンクロージャ１６に設けられた図示しない呼吸フィルタの作用によって、チャンバ１２内の気圧と等しい。
【００２２】
図１及び図２においては、媒体及びヘッドがそれぞれ１つずつ図示されているが、複数の媒体及びヘッドが用いられていてもよい。
【００２３】
図１又は図２に示される装置を用いて本発明において特徴的な限界グライドハイトを求める方法について説明する。
【００２４】
図３は、媒体上におけるヘッドの浮上高さの気圧依存性を示すグラフである。縦軸はヘッドの浮上高さ（ｎｍ）、横軸は媒体の径方向におけるヘッドの位置を示している。横軸において、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４は、それぞれ、ヘッドがＣＳＳゾーン、データゾーンの最も内側、データゾーンの中央、データゾーンの最も外側に位置していることを表す。ＣＳＳゾーンは、媒体におけるデータゾーンよりも内側に設定されており、ヘッドは通常媒体の静止時にこのＣＳＳゾーンに位置する。
【００２５】
図３のグラフから明らかなように、気圧を減少させていくのに従って、媒体の径方向のどの位置においてもヘッドの浮上高さが減少していることが明らかである。従って、媒体の径方向の位置を特定すれば、気圧からヘッドの浮上高さを知ることができる。
【００２６】
次に図４によりヘッドの媒体に対する接触頻度の測定方法の一例を説明する。この測定方法では、ヘッドの媒体に対する接触頻度は、ヘッドに生じる弾性波の検出によって測定される。
【００２７】
具体的には、図４に示されるように、ヘッド８（又は２２）の近傍にＡＥ（アコースティック・エミッション）センサ等の弾性波検出手段２８を設けておき、その出力信号に基づき接触頻度の測定が行われる。
【００２８】
弾性波検出手段２８は架台１０（又はアクチュエータ２４）に設けられていてもよい。接触頻度は弾性波検出手段２８の出力パルスのカウント値に対応するので、カウンタを含む通常のデジタル回路を用いることによって、接触頻度を測定することができる。また、弾性波検出手段２８の出力信号をＲＭＳメータ（実効値計）に入力し、出力信号の実効値により接触頻度を測定してもよい。
【００２９】
図４において、符号Ｐは媒体の突起を表しており、その高さはＦ１〜Ｆ５で表されている。Ｆ５は最大突起高さを表し、この例ではＦ２が後述する限界グライドハイトを表している。
【００３０】
図５は限界グライドハイトを求める方法の説明図である。図５の（Ａ）において、上側部分の縦軸は浮上量（ｎｍ）及び気圧（ａｔｍ）を表し、下側部分の縦軸は接触頻度を表し、それぞれ横軸は経過時間を表している。また、図５の（Ｂ）において、縦軸は接触頻度の変化率（％）、横軸は気圧及び浮上量を表している。
【００３１】
図１又は図２の装置を用いた限界グライドハイトを求める方法について、順を追って説明する。
【００３２】
（１）大気圧（１．０ａｔｍ）状態でヘッドを媒体のＣＳＳゾーンにロードする。
【００３３】
（２）媒体を回転させてヘッドを浮上させる。
【００３４】
（３）ヘッドを媒体のデータゾーンの外側（アウタ）から内側（インナ）へ往復動作させながら、チャンバ１２内を徐々に減圧してヘッドの浮上量を下げてゆく。
【００３５】
（４）弾性波検出手段２８によりヘッドと媒体の接触し始めを検知し、そのときの気圧ａ５を記録しておく。
【００３６】
（５）ヘッドと媒体の接触し始めの気圧ａ５を基準として段階的に気圧を減少させながらヘッドを媒体上で往復動作させ、そのときの気圧と接触頻度を記録していく。気圧は例えばａ５からａ４，ａ３，ａ２，ａ１のように段階的に減少する。
【００３７】
（６）ヘッドが媒体に少なくとも間欠的に接触する条件の下で、例えば、気圧ａ１よりも小さい気圧ａ０の下で、ヘッドをデータゾーンのアウタからインナへ往復動作させることにより媒体をヘッドバニッシュする。
【００３８】
（７）気圧をａ５に戻す。
【００３９】
（８）再度気圧ａ５を基準として段階的に気圧を減少させながら、ヘッドを媒体上で往復動作させ、そのときの気圧と接触頻度を記録していく。
【００４０】
（９）（５）と（８）のデータから各気圧での接触頻度の変化率を求め、隣り合う気圧条件で接触頻度の変化率の差が最も大きい低い方の気圧（この例ではａ２気圧）に相当する浮上量の値を媒体の限界グライドハイトとする。
【００４１】
尚、気圧ａ０，ａ１，ａ２，ａ３，ａ４及びａ５にそれぞれ対応するヘッドの浮上量ｆ０，ｆ１，ｆ２，ｆ３，ｆ４及びｆ５は、図３のグラフ等に基づき容易に知ることができる。
【００４２】
従って、図示された例では、限界グライドハイトはｆ２となる。
【００４３】
このようにして求められた限界グライドハイトは、ヘッドクラッシュが生じる状態であるか生じない状態であるかを判別する上で、極めて有用である。ここで、ヘッドクラッシュとは、媒体及びヘッドの少なくともいずれか一方が損傷することを言う。
【００４４】
例えば図５において説明すると、浮上量がｆ５よりも大きい状態は、ヘッドが完全浮上しておりヘッドが媒体に接触することがない第１モードに対応しており、浮上量がｆ２からｆ５の範囲にある状態は、ヘッドが媒体に間欠的に接触するがヘッド又は媒体の損傷は進行しない第２モードに対応し、浮上量が限界グライドハイトｆ２よりも小さい状態は、ヘッドが媒体に間欠的に接触し、ヘッド又は媒体の損傷が進行し、ヘッドクラッシュに至る第３モードに対応している。
【００４５】
従って、ヘッドの浮上量を限界グライドハイトに設定してヘッドバニッシュを行うことによって、媒体上の突起を良好に削り取ることができ、あるいはヘッドの浮上量を限界グライドハイトに設定して媒体及びヘッドの耐久性の加速評価を行うことによって、磁気ディスク装置の実機に即した耐久性の評価を行うことができる。
【００４６】
図６は限界グライドハイトを求める他の方法の説明図である。まず、媒体の回転速度を増大させてゆき、ヘッドに生じる弾性波の大きさと回転速度との関係を表すアバランシュカーブを得る。図６の上側部分において、縦軸は弾性波の大きさに対応するＡＥ出力（ｍＶｒｍｓ）を表し、横軸は媒体の回転速度（ｒｐｍ）を表している。
【００４７】
媒体の回転速度を増大させてゆくと、まずＡＥ出力が増大していき、最大になった後次第に低下し、ある回転速度（この例では１６２０ｒｐｍ）以上の領域では一定になる。この領域をアバランシュカーブの平坦領域と称する。
【００４８】
図６の下側部分において、縦軸は媒体の径方向におけるヘッドの位置を表し、横軸は媒体の回転速度に対応して算出されるヘッドの浮上高さを表している。符号３２は媒体の径方向における最大突起高さの分布を示しており、符号３４は限界グライドハイトの分布を示している。
【００４９】
図６の上側部分及び下側部分の対応関係から、限界グライドハイトは、アバランシュカーブ３０において平坦領域を与え始める回転速度によって決定されることがわかる。この方法によって求められた限界グライドハイトは、図５により説明した方法によって求められた限界グライドハイトと同様、第２モードと第３モードの間の境界に相当する。
【００５０】
次に、図１の装置を用いたヘッドバニッシュの方法について説明する。まず、図１のように、媒体２及びヘッド８をチャンバ１２内に収容し、スピンドルモータ４を回転させることで、ヘッド８を浮上させる。
【００５１】
この状態で、チャンバ１２内の気圧を真空ポンプ１４によって低下させて、ヘッド８の浮上高さを所定の浮上量に設定し、ヘッド８を媒体２に接触させることによって、媒体２上の突起をヘッド８により削り取るようにする。
【００５２】
このヘッドバニッシュに際しては、架台１０によりヘッド８を媒体２の径方向に往復動作させることによって、データゾーンの突起を均一に削り取るようにする。ヘッド８の媒体２の径方向における移動範囲は、例えばデータゾーンの最インナから最アウタである。
【００５３】
この方法では、バニッシュ専用のヘッドを用いてもよいが、実機に使用するヘッドも採用可能である。チャンバ１２内の気圧を変化させてヘッド８の浮上量を変化させることによって、バニッシュ条件を種々設定することができるので、簡単に最適な条件で媒体２をヘッドバニッシュすることができる。
【００５４】
所定の浮上量を図５又は図６の方法により求めた限界グライドハイトに設定することによって、ヘッドクラッシュに至らせることなく良好にヘッドバニッシュを行うことができる。
【００５５】
図２の装置を用いたヘッドバニッシュの方法は次の通りである。この方法では、ディスクエンクロージャ１６内に収容されて記録／再生のために用いられる磁気ヘッド２２によってヘッドバニッシュが行われる。
【００５６】
この方法では、まずチャンバ１２内に磁気ディスク装置１８を収容し、真空ポンプ１４によってチャンバ１２内の気圧を低下させることによって、磁気ディスク装置１８におけるヘッド２２の浮上高さを所定の浮上量に設定して、ヘッド２２が媒体２に接触するようにする。
【００５７】
そしてこの状態で、アクチュエータ２４によりヘッド２２を媒体２の径方向に移動させることによって、媒体２がヘッドバニッシュされる。バニッシュにより生じた媒体２の磨耗粉は、循環フィルタ２６にトラップされる。
【００５８】
この方法では、磁気ディスク装置を組み立ててから減圧状態でバニッシュを行うので、この磁気ディスク装置の実使用環境ではヘッド２２は媒体２に接触しなくなる。また、磁気ディスク装置を組み立ててからバニッシュを行うようにしているので、磁気ディスク装置の製造が容易になる。
【００５９】
ヘッド２２及び媒体２がそれぞれ複数ある場合には、一回のバニッシュ動作により同時に各媒体についてのバニッシュが完了するので、全体でのバニッシュに要する時間を短縮することができる。
【００６０】
更に、図１の装置を用いた方法におけるのと同様に、ヘッド２２の所定の浮上量を図５又は図６の方法により求めた限界グライドハイトに設定しておくことによって、ヘッドクラッシュを生じさせることなく良好にバニッシュを行うことができる。
【００６１】
次に、図１又は図２の装置を用いた媒体及びヘッドの耐久性の加速評価方法について説明する。この方法は例えば次の順序で行われる。
【００６２】
（１）図５又は図６の方法により限界グライドハイトを求める。
【００６３】
（２）真空ポンプ１４によってチャンバ１２内の気圧を低下させ、ヘッド８又は２２の浮上高さが（１）で求められた限界グライドハイトにほぼ等しくなるようにする。
【００６４】
（３）この限界グライドハイトにて媒体２の回転を開始し、媒体及びヘッドの少なくともいずれか一方が損傷するまでの時間を測定する。
【００６５】
従来方法では、減圧によりヘッド浮上量を下げる量が適切に設定されていなかったので、加速評価における損傷するまでの時間の測定結果と実機の評価結果との間に相関が取れないという問題があったものであるが、本実施形態の方法では限界グライドハイトが得られるようにチャンバ内の気圧を制御しているので、加速評価に最適なヘッドの浮上高さを得ることができ、実機のランニング評価と十分相関の取れる加速評価が可能になる。
【００６６】
尚、この加速評価方法においては、ヘッドを媒体の径方向に移動させながら試験を行ってもよいし、ヘッドを媒体の径方向の予め定められた位置に固定して試験を行ってもよい。
【００６７】
損傷するまでの時間は、ヘッドの媒体との接触頻度の変化、媒体に対するリード／ライト特性の変化、或いはディスクエンクロージャ内の塵埃数の変化により測定することができる。
【００６８】
図７は図１の装置の実施形態を示す図である。チャンバ１２は、評価対象物が収容されるチャンバ本体３６と、チャンバ本体３６に対して開閉可能な扉３８と、チャンバ本体３６及び扉３８間に介在する密閉用のパッキン４０とからなる。
【００６９】
チャンバ１２内は、バキュームバルブ４２を介して真空ポンプ１４により吸引可能であり、これによりチャンバ１２内を減圧することができるようになっている。又、チャンバ１２には、減圧されたチャンバ１２内を大気圧に戻す等の動作を行わせるために、リークバルブ４４が設けられている。
【００７０】
チャンバ１２内の気圧は圧力センサ４６によって検出され、その検出信号は制御装置４８へ供給される。制御装置４８は、圧力センサ４６からの信号及び予め記憶されたプログラムに従って真空ポンプ１４の動作並びにバキュームバルブ４２及びリークバルブ４４の開閉を制御する。
【００７１】
符号５０はヘッド８の媒体２に対する接触数又は接触頻度を測定するためのタッチカウンタを表し、このタッチカウンタ５０には、弾性波検出手段２８の出力信号がタッチ信号線５２によって入力される。
【００７２】
ドライバ５４は、制御信号線５６を介してスピンドルモータ４の回転と架台１０の媒体径方向の動作とを制御する。タッチ信号線５２及び制御信号線５６はいずれもハーメチック端子５８を介してチャンバ１２から引き出されており、これによりチャンバ１２内の密閉が保たれることになっている。
【００７３】
制御装置４８はこれまでに説明した本発明方法を実行するようにプログラムされており、重複を避けるためにその説明は省略する。
【００７４】
図８は図２の装置の実施形態を示す図である。この装置は、図７の実施形態と対比して、チャンバ１２内に組み立てが完了した磁気ディスク装置１８を収容するためのいくつかの変更が施されている点で特徴付けられる。
【００７５】
磁気ディスク装置１８におけるヘッドの媒体に対する接触回数又は接触頻度を示すタッチ信号は、タッチ信号線５２を介してタッチモニタシステムへ供給される。また、媒体上におけるヘッドの円周方向及び径方向の位置情報は、ＤＥ制御信号線６２を介してタッチモニタシステムへ供給される。
【００７６】
タッチモニタシステム６０は、例えば、信号線５２及び６２により供給された信号に基づき演算を行い、ヘッドが媒体のどの位置に接触したかを明らかにするためのタッチマップを作成する。
【００７７】
シークテスタ６４は、インタフェースケーブル６６を介して磁気ディスク装置１８を制御するためのものである。信号線５２及び６２並びにインタフェースケーブル６６はハーメチック端子５８を介してチャンバ１２から引き出されており、これによりチャンバ１２内の密閉が保たれるようになっている。
【００７８】
組み立てが完了した磁気ディスク装置１８においてヘッドバニッシュを行う場合には、制御装置４８が圧力センサ４６から得られる情報に基づいて真空ポンプ１４、バキュームバルブ４２及びリークバルブ４４を制御してチャンバ１２内の気圧を必要な値に維持しながら、シークテスタ６４が磁気ディスク装置１８を動作させる。そして、その時のタッチ信号をタッチモニタシステム６０で検出しながら、ヘッドバニッシュが実行される。
【００７９】
また、限界グライドハイトを求める方法を実施する場合にも、チャンバ１２内の気圧の制御により、ヘッドバニッシュとタッチ検出とを行う。
【００８０】
媒体及びヘッドの耐久性の加速評価方法を実施する場合には、ヘッド浮上量が限界グライドハイトと等しくなるような気圧条件を基準にしてランニングを行う。この場合、タッチモニタシステム６０は動作させなくてもよい。
【００８１】
図９は本発明方法を実施する場合に有用な塵埃数測定装置の実施形態を示す図である。チャンバ１２はバキュームバルブ４２を介して真空ポンプ１４に接続される。チャンバ１２にはリークバルブ４４が設けられている。
【００８２】
チャンバ１２内に収容される磁気ディスク装置１８は、媒体２及びヘッド２２等が収容されるディスクエンクロージャ１６を有しており、このディスクエンクロージャ１６にはディスクエンクロージャ１６の内外の気圧を等しくするための呼吸フィルタ６８が設けられている。
【００８３】
ディスクエンクロージャ１６内の塵埃数を測定するための粒子カウンタ７０は、通過する空気中の単位時間あたりの塵埃数を測定するための光散乱タイプ或いは凝縮核タイプのセンサ７２と、単位時間あたりの空気流量が一定になるように吸引を行うマスフローコントローラ７４と、流通空気中の塵埃をトラップするためのフィルタ７６とを含む。
【００８４】
ディスクエンクロージャ１６内の塵埃を含む空気は、吸入側チューブ７８を介してセンサ７２へ取り込まれる。センサ７２の空気出力はマスフローコントローラ７４へ供給され、マスフローコントローラ７４の空気出力はフィルタ７６へ供給される。そして、フィルタ７６の空気出力が排出側チューブ８０を介してチャンバ１２内に戻される。
【００８５】
マスフローコントローラ７４は、センサ７２及び吸入側チューブ７８を介してディスクエンクロージャ１６内を吸引するためのブラシレスＤＣブロア８２と、ブロア８２の空気出力を２分岐するためのフローバイパスエレメント８４と、分岐空気出力の一方の単位時間あたりの空気流量を測定するためのマスフローセンサ８６と、マスフローセンサ８６の出力レベルが一定になるようにブロア８２を制御するＰＷＭスピードコントローラ８８とからなる。
【００８６】
そして、フローバイパスエレメント８４の他方の分岐空気出力がフィルタ７６へ供給される。排出側チューブ８０の空気出力は、ディスクエンクロージャ１６内に供給されてもよい。
【００８７】
この構成によると、チャンバ１２内の気圧の変化により一時的に空気流通経路内に圧力勾配が発生したとしても直ちに吸引流量を一定にすることができるので、減圧下においても塵埃数を良好に測定することができる。また、吸入側チューブ７８及び排出側チューブ８０を用いて閉じた径を構成しているので、ブラシレスＤＣブロア８２として容量の小さいものを用いることができる。
【００８８】
尚、本発明は磁気ディスクだけでなく、光ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明方法に適用可能な装置の基本構成を示す図である。
【図２】本発明方法に適用可能な装置の他の基本構成を示す図である。
【図３】ヘッドの浮上高さの気圧依存性を示すグラフである。
【図４】ヘッドの媒体に対する接触頻度の測定方法の説明図である。
【図５】限界グライドハイトを求める方法の説明図である。
【図６】限界グライドハイトを求める他の方法の説明図である。
【図７】図１の装置の実施形態を示す図である。
【図８】図２の装置の実施形態を示す図である。
【図９】塵埃数測定装置の実施形態を示す図である。
【符号の説明】
【００９０】
２  媒体
４  スピンドルモータ
８，１１  ヘッド
１０  架台
１２  チャンバ
１４  真空ポンプ
１６  ディスクエンクロージャ
２４  アクチュエータ
２８  弾性波検出手段
【図１】
2005135581.tif 000003
【図２】
2005135581.tif 000004
【図３】
2005135581.tif 000005
【図４】
2005135581.tif 000006
【図５】
2005135581.tif 000007
【図６】
2005135581.tif 000008
【図７】
2005135581.tif 000009
【図８】
2005135581.tif 000010
【図９】
2005135581.tif 000011