(57)【要約】【課題】  吸着板を正しい高さおよび位置に継続的に確実に保持することができ、また基台を損傷することなく吸着板の交換や着脱を簡易に行うことができるチャックテーブルを提供する。【解決手段】  セラミックスポーラスなどの多孔質材料からなる吸着板１と、この吸着板１が対面して配置される平面２０を有する基台２とを備えており、吸着板１を基台２の平面２０に配置し、吸着板４と基台２とを吸着板固定手段３を用いて固定する。詳しくは、吸着板固定手段３のネジ３０の頭と吸着板１とで基台２を挟んで、言わば押えボルト状態で吸着板１を基台２に固定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
多孔質材料からなる吸着板と、この吸着板が対面して配置される平面を有し且つこの平面に被加工物を吸引保持するための負圧を伝達する空気通路を有した基台とを備えるチャックテーブルであって、
上記基台の平面に配置された上記吸着板を上記基台にネジによって固定する吸着板固定手段を設けた、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項２】
請求項１に記載のチャックテーブルにおいて、
上記吸着板固定手段は、上記基台の平面側に開口した非貫通のネジ穴と、上記基台に穿設され上記ネジ穴と連通した通し孔と、ネジとを備えて成り、このネジを、上記基台の通し孔に挿通すると共に上記吸着板のネジ穴に螺入して、当該吸着板を上記基台に固定するものである、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項３】
請求項２に記載のチャックテーブルにおいて、
上記ネジが螺入される上記吸着板のネジ穴の部位に硬化剤を含浸させて、当該部分における機械的強度を強化した、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項４】
請求項２に記載のチャックテーブルにおいて、
上記吸着板のネジ穴と上記ネジとの間に接着剤を充填した、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項５】
請求項１に記載のチャックテーブルにおいて、
上記吸着板固定手段は、ネジと、上記吸着板を厚さ方向に貫通し且つ被加工物が載置される方の平面における端部に上記ネジの頭部分を収容する沈頭段差を有した通し孔と、上記基台を貫通または非貫通のネジ孔とを備えて成り、上記ネジを、上記吸着板の通し孔に挿通させると共に、上記基台のネジ孔に螺入することにより、沈頭ボルト状態で上記吸着板を上記基台に固定するものである、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項６】
請求項５に記載のチャックテーブルにおいて、
上記ネジが挿通される沈頭段差を含む上記吸着板の通し孔の部位に硬化剤を含浸させて、当該部分における機械的強度を強化した、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項７】
請求項３または請求項６に記載のチャックテーブルにおいて、
上記硬化剤は、有機金属化合物をゾル又はゲル状にして上記吸着板のネジ穴内に塗布及び加熱することにより、金属酸化物を生成することで、当該ネジ穴の内面を硬化させるものである、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のチャックテーブルにおいて、
上記吸着板は、多孔質のセラミックポーラスまたは金属焼結体からなるものである、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のチャックテーブルにおいて、
上記基台に、上記吸着板を収容する平面的大きさの縦穴を設け、この縦穴の中に網を収納してその上に上記吸着板を配置し、当該網によって上記基台の平面と上記吸着板との間に間隙を保持すると共に、この間隙および上記網の網目によって、上記空気通路を形成する、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載のチャックテーブルにおいて、
上記ネジが、上記吸着板と同じ材料または上記吸着板と同等の機械的材質からなるものである、
ことを特徴とするチャックテーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば半導体ウェハのダイシング工程などでワーク（被加工物）の半導体ウェハを吸着保持するために用いられるチャックテーブルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体ウェハにデバイスを複数個作り込み、それをダイシング工程で切断分離して、個々の半導体チップに分割する際などに、ワーク（被加工物）である半導体ウェハを吸着保持するためにチャックテーブルが用いられる。
【０００３】
図８は、そのようなチャックテーブルを、吸着板を省略して表した平面図であり、図９は、図８に表したチャックテーブルの矢視Ａ−Ａ断面図である。
このチャックテーブルは、半導体ウェハのようなワーク２００が載置される吸着板１０１と、その吸着板１０１を保持または収容する基台１０２とを有している。基台１０２には、吸着板１０１が配置される平面が設けられていて、その平面のほぼ全体に亘って、穴や溝などからなる空気通路１０３が設けられている。
これにより、外部の真空ポンプ（図示省略）などによって作り出される負圧（低圧状態）を効率良く伝達させる。吸着板１０１は、多数の気孔（図示省略）を有しており、その気孔を介して基台１０２から伝達される負圧によって、上面に載置されたワーク２００を吸着して保持する。
また、吸着板１０１としては、多数のランダムな気孔を有する材質である多孔質材料が好適であることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このような従来のチャックテーブルでは、吸着板１０１が基台１０２の平面上で不安定に移動したり歪んだりすることを防ぐために、吸着板１０１と基台１０２との間を、接着剤１０４によって接合するようにしている。
具体的には、チャックテーブルとしての吸着機能を極力妨害しないように、吸着板１０１の周縁部に接着剤１０４を塗布して吸着板１０１を基台１０２に接着している。
【０００５】
ところが、接着剤自体に含水性があるので、例えばウェット状態（湿式状態）でチャックテーブルを使用する場合や、あるいは大気中に含まれる水分等に起因して、接着剤が膨脹（膨潤）・収縮を繰り返す。これが要因となって、ワークが載置される吸着板の上面の高さが変化して、正しい定位置を継続的に保持することができなくなる場合がある。特に半導体ウェハのダイシングやＣＭＰ加工などを行うプロセス（および半導体加工装置）では、薄くかつ緻密なシリコンウェハを高精度に機械加工することが要請されるので、上記のような吸着板の上面の高さの変化が数ミクロンでも生じると、加工不良を引き起こす要因となるおそれがある。
【０００６】
そこで、図１０に示すように、余剰のボンド（接着剤１０４）を溜めることができるボンド溜部１０５を、基台１０２の吸着板１０１を収容する凹部（段差）の内側側壁に設けて、そのボンド溜部１０５に余剰のボンドを退避させることで、余剰のボンドが吸着板１０１と基台１０２との間に存在することやそれが膨脹することなどに起因した吸着板の上面の高さの増大を解消する、という発明が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−２９１０４３号公報
【特許文献２】特開２０００−３２３４４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、上記した従来のチャックテーブルでは、次のような問題がある。
上記のように余剰の接着剤１０４をボンド溜部１０５に退避させてもなお、基台１０２と吸着板１０１とを接着するために両者の対面する平面の間には接着剤１０４が介在されているので、その部分の接着剤１０４が膨脹・収縮するという問題を解消することができない。その結果、従来の技術では、上記のような発明を利用してもなお、吸着板１０１の上面の高さが変化して、正しい定位置に継続的に保持することができなくなるおそれがある。
【０００９】
また、外部環境に因る接着剤への内部応力の発生や、経年変化に因る接着剤の劣化、接着条件の差異（ばらつき）に因る接着性や密着性のばらつき、接着剤の塗布量の差異（ばらつき）など、種々の要因によって、吸着板１０１と基台１０２との間に剥がれや浮き等が発生し、チャックテーブルとして基本的に要請される精度や信頼性を得ることが困難なものとなるおそれがあるという問題があった。
【００１０】
また、品質管理の手法等によって、接着剤１０４を用いた接着に因る吸着板１０１の上面の高さのばらつきや変位量を可能な限り減少ないしは解消するためには、接着剤１０４の塗布量や作業環境など様々なパラメータを精緻に管理しなければならないが、これは容易なことではない。あるいは、一種類の接着剤で低温から高温まで耐え得るものは実際上存在していないので、前述のような精緻なパラメータ管理を行うためには、使用温度や作業環境などに対応した接着剤を選択し、その種類に応じた極めてきめの細かい品質管理を行わなければならない。しかし、これは実際上は極めて繁雑でコストも掛かることになり、実際的ではない。また、多孔質からなる吸着板１０１と、例えばチタンのような金属からなる基台１０２と、有機材料からなる接着剤１０４とでは、外部温度の変化に対応した形状変化の度合いが異なっているので、上記のように吸着板１０１の外周部に塗布された接着剤１０４で吸着板１０１と基台１０２とを長期に亘って確実に強固に固着させることは困難であることが想定される。
【００１１】
また、例えば経年変化や損傷等に起因して吸着板１０１を修理あるいは新しいものに交換することが必要となった場合、基台１０２と吸着板１０１とを接着剤１０４によって接合していると、基台１０２から吸着板１０１を引き剥がすことは容易ではなく、その際に吸着板１０１のみならず基台１０２も損傷させてしまうおそれがある。例えばチャックテーブルを高温に熱することで接着剤１０４を炭化させてその接着力を失わせて、吸着板１０１を引き剥がすことなども考えられるが、このようにしても炭化した接着剤１０４の残渣が基台１０２に残ってしまうという問題や、炭化した接着剤１０４を基台１０２から除去する際などに基台１０２を損傷させてしまうといった新たな問題が生じる。
【００１２】
この発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、吸着板を正しい高さおよび位置に継続的に確実に保持することができ、また基台を損傷することなく吸着板の交換や着脱を簡易に行うことができるチャックテーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、多孔質材料からなる吸着板と、この吸着板が対面して配置される平面を有し且つこの平面に被加工物を吸引保持するための負圧を伝達する空気通路を有した基台とを備えるチャックテーブルであって、基台の平面に配置された吸着板を基台にネジによって固定する吸着板固定手段を設けた構成としている。
すなわち、この発明のチャックテーブルでは、吸着板と基台との間に接着剤を介在させるのではなくて、吸着板固定手段によるネジの螺入によって吸着板と基台とを固定する。このようにすることにより、従来のような接着剤を用いた吸着板と基台との接着では不可避的に生じるおそれのあった前述のような種々の問題を一挙に全て解消することができる。
【００１４】
ここで、吸着板固定手段のさらに詳細な態様としては、種々のものがある。
【００１５】
その主要な第１態様として、請求項２の発明は、請求項１に記載のチャックテーブルにおいて、吸着板固定手段は、基台の平面側に開口した非貫通のネジ穴と、基台に穿設されネジ穴と連通した通し孔と、ネジとを備えて成り、このネジを、基台の通し孔に挿通すると共に吸着板のネジ穴に螺入して、当該吸着板を基台に固定するものである構成とした。
すなわち、基台にはその厚さ方向を貫通する通し孔を設け、他方、吸着板における基台と対面する方の面には、非貫通のネジ穴を設けて、基台を貫通して吸着板にネジを螺入させるようにすることで、ネジの頭と吸着板とで基台を挟んで、言わば押えボルト状態で、吸着板を基台に固定することなどが可能である。
【００１６】
そして、この場合、請求項３の発明は、請求項２に記載のチャックテーブルにおいて、ネジが螺入される吸着板のネジ穴の部位に硬化剤を含浸させて、当該部分における機械的強度を強化した構成としてある。
これは、例えばセラミックポーラスのような多孔質材料は一般的に機械的強度の観点からは材質的に脆いので、そのような多孔質材料からなる吸着板におけるネジを捩じ込んだ際に生じる剪断応力等に対する機械的強度を強化するためである。
また、他の構成として、請求項４の発明は、請求項２に記載のチャックテーブルにおいて、吸着板のネジ穴とネジとの間に接着剤を充填した。これにより、接着剤の硬化によって吸着板の機械的強度を図ることができる。
【００１７】
また、主要な第２態様として、請求項５の発明は、請求項１に記載のチャックテーブルにおいて、吸着板固定手段は、ネジと、吸着板を厚さ方向に貫通し且つ被加工物が載置される方の平面における端部にネジの頭部分を収容する沈頭段差を有した通し孔と、基台を貫通または非貫通のネジ孔とを備えて成り、ネジを、吸着板の通し孔に挿通させると共に、基台のネジ孔に螺入することにより、沈頭ボルト状態で吸着板を基台に固定するものである構成とした。
【００１８】
この場合において、請求項６の発明は、請求項５に記載のチャックテーブルにおいて、ネジが挿通される沈頭段差を含む吸着板の通し孔の部位に硬化剤を含浸させて、当該部分における機械的強度を強化した構成としてある。
これは、例えばセラミックポーラスのような多孔質材料は一般的に機械的強度の観点からは材質的に脆いので、そのような多孔質材料からなる吸着板における、ネジの頭を沈頭ボルト状に受ける沈頭段差を含む通し孔の部分およびその近傍の機械的強度を強化して、その部分の破損を防ぐためである。
【００１９】
なお、上記の硬化剤の好適例として、請求項７の発明は、請求項３または請求項６に記載のチャックテーブルにおいて、硬化剤は、有機金属化合物をゾル又はゲル状にして吸着板のネジ穴内に塗布及び加熱することにより、金属酸化物を生成することで、当該ネジ穴の内面を硬化させるものである構成とした。
【００２０】
また、請求項８の発明は、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のチャックテーブルにおいて、吸着板は、多孔質のセラミックポーラスまたは金属焼結体からなるものである構成とした。
【００２１】
特に、請求項９の発明は、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のチャックテーブルにおいて、基台に、吸着板を収容する平面的大きさの縦穴を設け、この縦穴の中に網を収納してその上に吸着板を配置し、当該網によって基台の平面と吸着板との間に間隙を保持すると共に、この間隙および網の網目によって、空気通路を形成する構成とした。
【００２２】
また、請求項１０の発明は、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載のチャックテーブルにおいて、ネジが、吸着板と同じ材料または吸着板と同等の機械的材質からなるものである構成とした。
かかる構成により、ネジの螺入の際などにセラミックポーラスのような脆い傾向にある多孔質の吸着板がネジの螺入に伴う剪断応力等で破損することを防ぐことができ、また吸着板とネジとの結合性をさらに良好なものとすることができる。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように、請求項１ないし請求項１０の発明に係るチャックテーブルによれば、その吸着板と基台とをネジによって固定する吸着板固定手段を備えているので、吸着板と基台との間に接着剤を介在させることなく、吸着板と基台とを直接に対面して接触させて固定して、吸着板を正しい高さおよび位置に継続的に確実に保持することができ、また、基台を損傷することなく吸着板の交換や着脱を簡易に行うことが可能となるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、この発明の最良の実施形態について図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００２５】
図１は、この発明に係る第１実施例のチャックテーブルの概要構成を表した斜視図であり、図２は基台の平面図であり、図２（ａ）は基台を上面から見た状態を示し、図２（ｂ）は下面から見た状態を示し、図３は、チャックテーブルの内部構造を示す断面図である。
【００２６】
このチャックテーブルは、図１に示すように、多孔質材料からなる吸着板１と、その吸着板１が対面して配置される基台２と、それら吸着板１と基台２とをネジ固定する吸着板固定手段３とから、その主要部が構成されている。そして、このチャックテーブルでは、半導体ウェハのようなワーク（被加工物）２００が吸着板１の上面にを載置され、外部の真空ポンプ２０１がエアホース２０２を介して基台２に接続されている。これにより、いわゆる真空引き（負圧の伝達）を行うことで、ワーク２００を吸着板１の上面に吸引保持するようになっている。
【００２７】
吸着板１は、外形が基台２の平面形と近似したほぼ円板状で、例えばセラミックポーラスのような多孔質材料からなる（換言すれば比較的目の粗い砥石や陶器のような）ものであり、このような材料では、小さな粒子が焼結されていて微細な隙間が縦横に繋がっているので、その多孔質の隙間が空気の通路となる。したがって、基台２から伝達される負圧（いわゆる真空引き）は、さらにこの吸着板１の下面から上面へと、この吸着板１の材質自体が有している多孔質の隙間を通って伝達されて、上面に載置された半導体ウェハのようなワーク２００が吸引保持される。
この吸着板１の形成材料としては、セラミックポーラスの他にも、例えば金属焼結体を用いることなども可能である。但し、形成材料としてはこれらのみには限定されないことは言うまでもない。
【００２８】
基台２は、図２に示すように、吸着板１が対面して配置される吸着板１と同様の平面形状の平面２０を有しており、その平面２０には吸引保持のための負圧を伝達する空気通路２１が設けられている。この基台２は、例えばステンレス、アルミニウム等の金属材料から形成される。あるいは使用用途によっては、軽量化、汚れ付着防止、精度保持等の要求を満たすために、チタンを用いることもできる。
空気通路２１は、図２及び図３に示すように、吸着板１が配置される平面２０に放射状および同心円状に刻設された溝２１ａと、これらの溝２１ａと繋がった中央部の通気孔２１ｂと、基台２の内部の通気構造２１ｃとを一つに繋がりにして形成したものであり、通気構造２１ｃの開口部は、真空ポンプ２０１からのエアホース２０２に接続されている。
【００２９】
吸着板固定手段３は、上記のような基台２の平面２０に配置された吸着板１をネジ固定するための手段であり、図１及び図４に示すように、ネジ３０と通し孔３１とネジ穴３２とで構成されている。
【００３０】
ネジ３０は、通し孔３１に通してネジ穴３２に螺入（捩じ込んで締結）するためのもので、ステンレスや真鍮のような金属で形成されている。
なお、このネジ３０は、吸着板１と同じ材料または吸着板１と同等の機械的材質からなるものであるようにしてもよい。このようにすることにより、このネジ３０の螺入の際などにセラミックポーラスのような脆い傾向にある多孔質の吸着板１が、ネジ３０の螺入に伴う剪断応力等で破損することを防ぐことができ、また吸着板１とネジ３０との結合性をさらに良好なものとすることができるからである。
また、図１では図示の簡略化のために、ネジ３０は１本のみが描かれているが、実際には通し孔３１の数に対応して複数本のネジ３０が分散配置される。
【００３１】
通し孔３１は、基台２を貫通したいわゆるバカ穴と俗称されるようなスルーホールであり、溝２１ａを避けた位置に複数個穿設されている（図２（ａ）参照））。
なお、通し孔３１の代わりに、基台２の厚さ方向を貫通するネジ孔を設けるようにしてもよいが、この実施例では通し孔３１で十分である。
【００３２】
ネジ穴３２は、ネジ３０の先端を螺入するためのもので、吸着板１に基台２の平面２０側に開口した非貫通の穴を設け、その内面にタップを切って形成したものである。
【００３３】
吸着板固定手段３がかかる構成をとり、図４に示すように、ネジ３０を基台２の通し孔３１に挿通させ、その先端部を吸着板１のネジ穴３２に螺入させることで、ネジ３０の頭と吸着板１とで基台２を挟み、言わば押えボルト状態で吸着板１を基台２に固定している。
【００３４】
さらに、この実施例では、吸着板１におけるネジ３０が捩じ込まれるネジ穴３２を中心としてその周囲に硬化剤３３を含浸・固化させて、その部分における機械的強度を強化している。これにより、一般的に機械的強度の観点からは材質的に脆い多孔質材料からなる吸着板１における、ネジ３０を捩じ込んだ際に生じる剪断応力等に対する機械的強度を強化することができる。
この硬化剤３３の好例としては、ＴＥＯＳ（TetraEthOxySilane）等の有機金属化合物をゾル又はゲル状にしたものを用いる。そして、この硬化剤を吸着板のネジ穴３２内に塗布した後、加熱する。すると、金属酸化物がネジ穴３２の部位に生成され、ネジ穴３２の内面が硬化する。
【００３５】
この実施例のチャックテーブルがかかる構成をとることにより、吸着板１と基台２との間に従来技術のような接着剤を介在させるのではなくて、ネジ３０を用いた固定方法によって、ネジ３０の頭と吸着板１とで基台２を挟んで、言わば押えボルト状態で吸着板１を基台２に固定することができる。この結果、従来のような接着剤を用いた吸着板１と基台２との接着では不可避的に生じるおそれのあった温度の問題など、種々の問題を一挙に全て解消して、吸着板１を正しい高さおよび位置に継続的に確実に保持することが可能で、かつ基台２を損傷することなく吸着板１の交換や着脱を簡易に行うことが可能なチャックテーブルを実現することができる。
【実施例２】
【００３６】
図５は、この発明に係る第２実施例のチャックテーブルにおける、特にネジ３０によって吸着板１を基台２に固定した部位を抜き出し拡大して表したものである。
なお、この第２実施例では、説明および図示の繁雑化および説明の重複記載等を避けるために、第１実施例とは異なっている点についてを中心として詳述するものとする。また、以下、第１実施例と同様の部位については、同様の符号を付して同様の名称で呼ぶものとする。
【００３７】
この第２実施例のチャックテーブルでは、ネジ３０の頭と基台２とで吸着板１を挟み、かつ、ネジ３０をいわゆる沈頭ボルト状態で用いることで、吸着板１を基台２に固定する吸着板固定手段４を用いた点が、上記第１実施例と異なる。
【００３８】
すなわち、ネジ３０と沈頭段差４１ａを有した通し孔４１とネジ孔４２とで吸着板固定手段４を構成した。
具体的には、吸着板１に、その厚さ方向に貫通する通し孔４１を設けると共に、ワーク２００が載置される方の通し孔４１の端部に、ネジ３０の頭部分を収容する沈頭段差４１ａを設けた。他方、基台２には、吸着板１と対面する方の表面に貫通のネジ孔４２を設けておき、このネジ孔４２にネジ３０を螺入させるようにしている。ここで、基台２の裏面にはワーク２００等を載置するわけではないので、ここは平坦にする必要がないから、基台２に設けるネジ孔４２については貫通していても非貫通であっても構わない。
さらに、この実施例においても、吸着板１のネジ３０が挿通される沈頭段差４１ａを含む通し孔４１の周囲の部位に硬化剤３３を含浸させて、その部分における機械的強度を強化するようにしている。すなわち、沈頭段差４１ａを含む通し孔４１の部分およびその周囲の機械的強度を強化することにより、吸着板１がネジ３０の挿通やネジ３０に対して相対的に移動しようとする際などに、ネジ３０から受ける機械的応力等に起因して沈頭段差４１ａや通し孔４１などが破損することを防ぐことができる。
【実施例３】
【００３９】
図６は、この発明に係る第３実施例のチャックテーブルの概要構成を表した断面図である。
この第３実施例のチャックテーブルでは、基台２に吸着板１をすっぽりと収容する大きさの縦穴２４が設けられており、その縦穴２４の中に緊密に編まれた網５を収納して、その上に吸着板１を配置している。
このような構成にすることにより、網５によって基台２の平面２０と吸着板１の裏面との間に間隙を保持することができ、この結果、この間隙および網５の網目によって実質的に吸着板１の裏面ほぼ全面に亘って負圧を伝達する空気通路を形成することができる。換言すれば、真空引き（低圧化）される空気は網５の網目を縫うようしてくぐり抜けた後、基台２内の通気構造２１′を通じて、基台２の外部に吸引される。
なお、この場合、網５は基台２と吸着板１とにの間に介挿されるのであるから、その両者を固定するために挿通されるネジ３０を貫通可能な孔を、網５の該当する位置に設けておく必要があることは言うまでもない。
【００４０】
以上、各実施例で説明したように、この発明に係るチャックテーブルでは、従来のような接着剤を用いた吸着板と基台との接着では不可避的に生じるおそれのあった種々の問題を一挙に全て解消して、吸着板を正しい高さおよび位置に継続的に確実に保持することが可能となり、また基台を損傷することなく吸着板の交換や着脱を簡易に行うことが可能となる。
【００４１】
なお、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記実施例では、吸着板１のネジ穴や通し孔の周囲に硬化剤を含浸・固化させて、その部分における機械的強度を強化した例について説明したが、硬化剤の代わりに接着剤をネジ穴や通し孔内に充填して、接着剤の硬化によって、当該部分の機械的強度を強化するようにすることもできる。
【００４２】
また、上記第２実施例では、ネジ３０を用い、このネジ３０をいわゆる沈頭ボルト状態で用いることにより、吸着板１を基台２に固定するようにしたが、ネジ３０の代わりに、突起部材を用いて、吸着板１を基台２に固定するようにしても良い。
具体的には、図７に示すように、ネジ山のないリベット状、または釘状の突起部材３０′を吸着板１の裏面に突出するように付設し、その突起部材３０′が遊間嵌合される（適度な寸法的余裕を持って突起部材が差し込まれる）ような寸法の受け孔３２′を、吸着板１が配置される基台２の平面２０に設けておく。そして、吸着板１の裏面に突出した突起部材３０′の先端部側面に接着剤またはハンダなどの接着剤３４を塗布しておき、その突起部材３０′を受け孔３２′に挿入して、吸着板１を基台２の平面２０に密着させる。これにより、接着剤３４が突起部材３０′と受け孔３２′とを固着させ、吸着板１が基台２に固定される。
但し、この場合、接着剤３４が突起部材３０′の先端に付着していると、それが突起部材３０′を受け孔３２′に挿入した際に、基台２の受け孔３２′の底面と突起部材３０′の先端との間に接着剤３４が溜ってしまい、突起部材３０′が受け孔３２′の正しい位置（高さ）まで深く入り込むことを妨げる要因となるおそれがある。このような不都合を回避するためには、受け孔３２′に挿入される突起部材３０′の側面にのみ接着剤３４を塗布することや、受け孔３２′の深さを突起部材３０′の挿入される長さよりも長く設定しておくこと、あるいは受け孔３２′を貫通穴とすることなどが有効である。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
半導体ウェハのダイシング工程、あるいはＣＭＰ加工のような研磨工程などで、平坦度の高い吸着板１の上面にワーク２００である半導体ウェハなどを確実に吸着保持することのできるチャックテーブルとして広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】この発明に係る第１実施例のチャックテーブルの概要構成を表した斜視図である。
【図２】基台の平面図であり、図２（ａ）は基台を上面から見た状態を示し、図２（ｂ）は下面から見た状態を示す。
【図３】チャックテーブルの内部構造を示す断面図である。
【図４】ネジで固定される部分を抜き出し拡大して表した断面図である。
【図５】この発明に係る第２実施例のチャックテーブルにおける、特にネジによって吸着板を基台に固定した部位を抜き出し拡大して表した断面図である。
【図６】この発明に係る第３実施例のチャックテーブルの概要構成を表した断面図である。
【図７】突起部材と受け孔とによって吸着板を基台に固定する構成の主要部を表した断面図である。
【図８】従来のチャックテーブルを吸着板を省略して表した平面図である。
【図９】図８に表したチャックテーブルの矢視Ａ−Ａ断面図である。
【図１０】余剰のボンドを溜めることができるボンド溜部を備えたチャックテーブルの断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１…吸着板、  ２…基台、  ３，４…吸着板固定手段、  ５…網、  ２０…平面、  ２１…空気通路、  ２１ａ…溝、  ２１ｂ…通気孔、  ２１ｃ…通気構造、  ２４…縦穴、  ３０…ネジ、  ３１，４１…通し孔、  ３２…ネジ穴、  ３３…硬化剤、  ４１ａ…沈頭段差、  ４２…ネジ孔、  ２００…ワーク、  ２０１…真空ポンプ、  ２０２…エアホース。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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