(57)【要約】      （修正有）【課題】交互に配置されたチャンネル間の熱交換を最大にしながらも、簡略、且つ確実な製造方法を提供する。【解決手段】マイクロ流体素子を形成する方法は、金型７８を供給するステップと、前記金型全面上にガラスまたはセラミック化可能なガラスからなる軟化シート７６を位置決めするステップと、前記軟化シートを前記金型に密着させるように前記軟化シートにガス圧力差を与えて前記軟化シートの少なくとも一方の面上にマイクロチャンネル９０を形成するステップと、前記金型全面上にガラスまたはセラミック化可能なガラスからなるシート８２を接着して前記シートの前記少なくとも一方の面に前記マイクロチャンネル９０を実質的に閉塞させるステップとを備えている。【選択図】図１４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラスまたはガラスセラミック物質からなる少なくとも一枚のシートに接着させたガラスまたはガラスセラミックからなる成形シートを含むマイクロ流体素子であって、前記成形シートがマイクロチャンネルを形成することを特徴とするマイクロ流体素子。
【請求項２】
ガラスまたはガラスセラミック物質からなる前記成形シートが、各々がガラスまたはガラスセラミック物質からなる２枚のシートの間に接着されて、相補的なマイクロチャンネルを形成することを特徴とする請求項１に記載のマイクロ流体素子。
【請求項３】
前記成形シートは第一のガラス物質からなり、前記2枚のシートは各々が第２のガラス物質からなり、前記第一のガラス物質が前記第二のガラス物質よりも高い軟化点を有することを特徴とする請求項１または２に記載のマイクロ流体素子。
【請求項４】
前記成形シートにより隔てられた隣接するマイクロチャンネル間にある前記成形シートが、約０．２ｍｍから約０．７ｍｍの範囲の厚さを有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項５】
前記成形シートにより隔てられた隣接するマイクロチャンネル間にある前記成形シートが、約０．７ｍｍから約３ｍｍの範囲の厚さを有することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項６】
前記成形シートを通して貫通した少なくとも一つの貫通孔を更に含むマイクロ流体素子であって、前記貫通孔が、隣接した一対の前記マイクロチャンネル間の流体のやり取りを可能にすることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のマイクロ流体素子。
【請求項７】
マイクロ流体素子を形成する方法であって、
金型を供給するステップと、前記金型全面上にガラスまたはセラミック化可能なガラスからなる軟化シートを位置決めするステップと、前記軟化シートを前記金型に密着させるように前記軟化シートにガス圧力差を与えて前記軟化シートの少なくとも一方の面上にマイクロチャンネルを形成するステップと、前記金型全面上にガラスまたはセラミック化可能なガラスからなるシートを接着して前記軟化シートの少なくとも一方の面に前記マイクロチャンネルを実質的に閉塞させるステップとを備えていることを特徴とする方法。
【請求項８】
前記シートと前記軟化シートをセラミック化するステップを更に含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記シートを前記金型に密着させるように前記シートにガス圧力差を与えるステップが、前記シートと前記金型間に真空を形成することからなることを特徴とする請求項７または８に記載の方法。
【請求項１０】
前記金型全面上にガラスまたはセラミック化可能なガラスからなるシートを接着して、前記シートの前記少なくとも一方の面上に前記マイクロチャンネルを実質的に閉塞させるステップが、前記密着シート上に軟化ガラスシートを展開し、前記密着シートに前記軟化ガラスシートを接着することからなることを特徴とする請求項７から９のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、広くはマイクロ流体素子、及びかかる素子の製造方法に関し、特に高熱効率ガラス、ガラス−セラミックまたはセラミックマイクロチャンネルまたはマイクロ流体素子、及びかかる素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
マイクロチャンネルまたはマイクロ流体素子は、広くは内部で流体がさまざまな方法で方向づけられたり処理されたりするように、大体１０μｍから１０００μｍの範囲にある特有の寸法を持った流路を有する素子として理解されている。かかる素子は、化学的及び生物学的な処理技術における革新的な変化を可能にする為、大いに有望であると考えられている。その理由は、特にマイクロ流体素子の熱及び物質伝達率が、従来の化学的な処理システムにおいて達成し得る率を桁違いに超えて増加するからである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ガラスまたはガラス−セラミックでのマイクロ流体の回路は、すぐれた耐化学性を有するという利点を有している。しかし、ガラスやガラス−セラミックは相対的に熱の伝導性が悪い一方、ほとんどの化学的合成においては、熱交換が重要である。正確且つ安全な局所的な熱管理が、広くは相対的により高い濃度、圧力、温度での化学的処理を可能にし、結果として、ほとんどの場合において、よりよい歩留まりとより高効率化へとつながるのである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、良好な表面特性と十分な強度とを有する薄いガラス、ガラス−セラミックまたはセラミックのシート材料から形成されるマイクロ流体チャンネルを有する素子を提供し、更にはかかる素子とチャンネルを確実に且つ効率的に製造するための方法を提供する。薄壁性のマイクロチャンネルは、すぐれた化学的耐久性と熱抵抗を示しながらも効率的な熱交換を可能にすることができる。本発明の成形工程は、得られた素子が熱交換を最大化にしながらも、簡略且つ確実な製造工程を提供する。
【０００５】
本発明の一つ実施例によれば、マイクロ流体素子は、ガラスまたはセラミックの物質からなる成形シートを含む。成形シートは、その第１の面上に１つまたはそれ以上の第１のマイクロチャンネル、そして第１の面とは反対側の第２の面上に、１つまたはそれ以上の第２のマイクロチャンネルを有するように形成される。第２のチャンネルは、第１のチャンネルに対し相補的である。第１のチャンネルは、成形シートの第１の面に接着させたガラスまたはガラス−セラミック物質からなる第１の平板によって実質的に閉塞されており、第２のチャンネルは、第２の面に接着させたガラスまたはガラス−セラミック物質からなる第２の平板によって実質的に閉塞され得る。
【０００６】
本発明の他の実施例によれば、マイクロ流体素子を形成するための方法が提供されている。この方法は、単一表面の金型を提供し、金型上にガラスまたはセラミック化可能なガラスのシートを位置決めし、金型とシートを加熱し、そして金型にシートを密着させるようにシートにガス圧力差を与えることを含む。結果として、シートの少なくとも一方の面、広くは両面にマイクロチャンネルが形成される。次に、マイクロチャンネルを含むシートの少なくとも一方の面全面上に、ガラスまたはセラミック化可能なガラスを接着することにより、マイクロチャンネルは実質的に閉塞されたり、または取り囲まれる。
【０００７】
本発明のさらに他の実施例によれば、マイクロ流体素子を形成する方法が提供され、この方法は、動いている金型全面上に第１の軟質ガラスシートを展開するステップを含む。第１の軟質ガラスシートは金型の反対側に第１の面を有し、第１の面と反対側には金型上にある第２の面を有する。この方法は更に、金型に前記軟質ガラスシートを密着させるようにする真空成形を含み、その結果、第１及び第２の両面上にマイクロチャンネルを有する密着シートを形成する。この方法は更に、第２の軟質ガラスシートを前記密着シートの前記第１の面上に展開することを含み、その結果、前記第２の軟質ガラスシートを前記密着シートに接着させ、前記第１の面上に前記マイクロチャンネルを実質的に閉塞させることになる。この方法は更に、前記金型から前記密着シートを取り外すことを含む。この方法は更に、第３の軟質ガラスシートを前記密着シートの前記第２の面上に展開することを含み、その結果、前記第２の軟質ガラスシートを前記密着シートに接着させ、前記第２の面上に前記マイクロチャンネルを実質的に閉塞させることになる。
【０００８】
前述の概要及び以下の詳細な説明は、共に本発明の実施例を示したものであり、請求されている本発明の本質及び特性を理解するための概略、または構成を提供することを目的としている、という事を理解すべきである。添付図は、本発明の更なる理解を提供するように、この明細書の一部に取り込まれ構成要素となっている。添付図は、本発明の種々の実施例を図示したものであり、解説とともに本発明の原理、及び工程を説明するための働きをなしている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明は、良好な表面特性と十分な強度を有する薄いガラス、ガラス−セラミックまたはセラミックのシート材料から形成されるマイクロ流体チャンネルを有する素子を提供し、更には、かかる素子とチャンネルを確実に且つ効率的に製造するための方法を提供するものである。本発明の方法は、所望の薄壁性で且つ高表面品質を有するガラス、ガラス−セラミックまたはセラミックのマイクロチャンネルを実現するために、ガス圧力差による成形を与える。得られた薄壁性のマイクロチャンネルは、すぐれた化学的耐久性と熱抵抗を示しながら、効率的な熱交換を可能にする。本発明の成形工程は、得られた素子が熱交換を最大化にしながらも、簡略且つ確実な製造方法を提供する。
【００１０】
本発明によれば、マイクロチャンネルは、単にミクロ構造の平板を積み重ねることによるのではなく、３次元のガラス、ガラス−セラミックまたはセラミック状のものを閉塞させることを含む方法により作られる。本発明の一形態を構成する具体例としての方法を、図１から図７に関連して以下に記述する。
【００１１】
図１は、本発明の一形態に関連して有用な装置１０の断面図を示している。装置１０は、あらかじめ機械加工されているか、または別の方法として、ティッセン−フランス社（Thyssen-France,78 Maurepas,France）から入手できる耐熱性鋼板「ＮＳ  ３０／ＡＳＩ  ３１０」のような適当な材料から形成される流体回路金型２０を含む。金型２０は真空分布のためのミクロ通路２２を含む。金型２０は、これを取り囲むような真空密閉のための面、または出っ張り２６を有する真空ボックス２４のような真空密閉構造中に置かれる。真空ボックス２４の内部容積は、図中で示されていないが真空ポンプのような真空源に接続されている。
【００１２】
使用に先立ち、金型２０をカルシウム水酸化物（例えば、アルコール＋「Ｄｉｓｐｅｒｂｉｃｋ１９０」の０．５％検査液）のような適当な離型剤でコーティングする。Ｄｉｓｐｅｒｂｉｃｋ１９０はＢＹＫ−Ｃｈｅｍｉｅ社（BYK-Chemie Gmbh,Abelstr.14D-46483 Wesel,Germany）から簡単に入手することができる。離型剤は、金型２０の全面上に均一に噴霧することが望ましい。
【００１３】
図２に示されているように、その後、適当なガラス物質からなり、面または出っ張り２６を覆うような大きさの表面積を有する薄板３０を、金型２０に取り付ける。ガラスは、例えばコーニング社（Corning Incorporated,Corning NY,USA）から入手できる「Ｃｏｒｎｉｎｇ  １７３７」であることができる。
【００１４】
薄板３０と金型２０は、その後、ガラス物質の焼きなまし点以上の温度まで共に加熱されるが、ガラス物質の軟化点以下近辺であることが望ましい。約７２１℃の焼きなまし点と約９２５℃の軟化点を有する「Ｃｏｒｎｉｎｇ  １７３７」の場合には、金型と薄板は約２０分以上、約８７０℃まで加熱され得る。
【００１５】
その後、金型２０の側面に薄板３０が密着するような十分な時間、真空が真空ボックス２４に付与される。その結果、図３に描写されているような成形シートが得られる。代替案として、ガス圧力を金型２０の反対側の薄板３０の面に付与することができ、ミクロ通路２２は圧力を解放するためだけに使用される。さらなる代替案として、金型の外側からの陽圧と金型中の真空を、同時に働かせることもできる。
【００１６】
薄板３０を成形シート３２に再整形することに加え、真空成形は薄板３０を再吸引する（真空再吸引）効果をも有する。その結果、成形シート３２は、概して本来の薄板３０よりも薄くなり、物質が金型に吸い込まれた領域は特に薄くなる。この真空成形方法は、それ故に、０．３ｍｍかそれ以下の薄さ、望ましくは約０．２ｍｍから約０．７ｍｍの範囲かそれ以下の範囲の薄さの壁構造形成を、確実に且つ再現性良く行うことを可能にする。
他方、適当な厚さの出発物質を使用して、より厚さのある壁構造をも、この方法を使用することにより形成することができ得る。これは、高圧、または超高圧用途での使用に有効である約０．７ｍｍから約３ｍｍの範囲の厚さを含む。
【００１７】
真空成形後、金型２０と成形シート３２は、成形シート３２がその成形された形を保持できるような十分低い温度まで冷却されるが、金型２０からの取り外しが容易であるように十分高い温度であることが望ましい。例えば、「Ｃｏｒｎｉｎｇ  １７３７」では、薄板３０は２分間以上かけて約７５０℃まで冷却され得る。その後、金型２０から成形シート３２を取り外すために、軽い空気圧が真空チャンネル２２に付与される。離型剤は、このステップを著しく容易にする。得られた成形シート３２が、図４に断面で示されている。
【００１８】
次に、上部と下部の平板３４、３６を図５の断面に示されるように、成形シート３２に対向して配置し、組立品３８を形成する。組立品３８をともに接着する前に、穴あけ、研削または他の適当な方法により、所望の入力及び出力穴が上部平板３４  と／または  下部平板３６を貫通して（必要に応じて前記成形シート３２をも貫通して）形成される。図５に示されているように、アクセス穴は（図の右側にある）穴４２と４４の場合のように反対側の平板に形成されるか、または、必要に応じて穴４６と４８の場合のように同一の平板に形成される。アクセス穴は、穴４８の場合のように上部平板３４と成形シート３２の両方を貫通して延長してもよい。
【００１９】
その後、図６に示されているように、組立品３８は実例アクセス穴４２、４４、４６、４８を持つ閉塞された、または取り囲まれたマイクロチャンネル、または通路４０を有するマイクロ流体素子５０を形成するように接着される。組立品３８の接着は、「Ｃｏｒｎｉｎｇ１７３７」ガラス平板と「Ｃｏｒｎｉｎｇ１７３７」成形シートのガラス対ガラス熱接着により、組立品３８を約９０分間約８７０℃に保持することにより仕上げることが望ましい。接着する前に穴あけや別の方法でアクセス穴を形成することにより、穴形成工程から生じるミクロな亀裂や表面損傷が少しでもあった場合には焼きなますことができる。
【００２０】
上記の発明方法例は、同じ方法の段階において薄いガラス層によって隔てられた対の回路を形成することができる。例えば、０．５ｍｍの厚さのシートから始まると、側壁５８の厚さは０．４ｍｍから０．３ｍｍの範囲であることができ、熱交換に対しほんの僅かな障壁を示す。必要に応じて０．７ｍｍまたは１ｍｍの厚さのシートから始めることにより、側壁はより厚くなり得る。
【００２１】
図７に示された標準の流体コネクタ５２は、重合接着、または他の互換性があるガラス接着手段により接着することができる。
【００２２】
上述の成形方法は、成形シート３２の上部及び下部面上に、対の相補的なチャンネルパターンを容易に製作できるので、このように形成されたマイクロ流体素子の一つの固有の用途は熱交換である。図８に示されるように、成形シート３２の片側のチャンネルは第１の流体Ｆ１を含有し、一方、成形シート３２の反対側にあるチャンネルは、第２の流体Ｆ２を含有し得る。交互のチャンネルは最低限の薄さのガラス板によって隔てられているため、素早く効率的な熱伝達が可能である。
【００２３】
図９は、マイクロ流体回路における図８のような交互のチャンネルの、一つの可能な配置の平面図を示している。チャンネル５４は、各チャンネルの各端に設けられたアクセス穴５６を含め一直線で平行に配置され得る。図で矢印と陰影付けにより示唆されているように、かかるチャンネルは逆の流れをもつ交互のチャンネル中の二つの流体のために使用することができる。または必要に応じて、平行な流れをもつような他の形態では高性能熱交換のために使用することができる。
【００２４】
図１０は、図８のような交互のチャンネルの、他のあり得る配置の平面図を示している。図１０において、二つの交互のチャンネル５４は外縁及びらせん形の中心にあるアクセス穴５６を含み、同軸のらせん形中に共に配置される。
【００２５】
ここに記述された方法によって作られたマイクロチャンネルの配置は、図９、１０に示されたもののように交互で且つ非連通なチャンネル配置に限定される必要はない。
【００２６】
例えば、必要に応じて成形シート３２が形成される金型は、成形シート３２の片側の幾つかまたは全てのチャンネルを最小にするように設計され得る。結果として、図１１のマイクロ流体素子５０に示されているように、最小化されたチャンネル６０に普通のチャンネルが散在することになる。得られた最小化されたチャンネルは、その後、流体回路デザインから完全に削除しても良い。必要に応じて、他の方法として近接した流体回路チャンネル同士を断熱する為の補助として、最小化されたチャンネル６０を空気、ヘリウム、他のガス、または不完全真空でも満たすことができる。逆に、高い熱質量、相対的に高い熱伝導率、及び温度均一性が要求される場合には、最小化されたチャンネルを水、または他の流体で満たすこともできる。
【００２７】
成形シートの片側に、最小化されたチャンネルサイズを有する本発明に準ずる素子の実施例が、図１２の平面図に示されている。この実施例においては、最小化されたチャンネル６０はマイクロ流体回路に含まれておらず、最小化されていないチャンネル５４がアクセス穴５６を含み提供されている。図１２に示されているような実施例においては、最小化されていないチャンネルを単板で閉塞させることが可能である。
【００２８】
本発明におけるマイクロ流体素子の他の実施例では、流体のやり取りのための開口を、成形シート３２の片側の流体チャンネルと反対側の相補的な流体チャンネルとの間に、要望どおりに設けることができ、これは成形シート３２中のチャンネル壁の選択箇所を除去することによりなされる。例えば、図１３に示された破線の境界４１中の物質を成形シート３２から（研削、穴あけ、または他の適当な方法により）除去することにより、隣接する交互のチャンネル４３と４５の間に流体結合、または貫通孔を設けることができる。除去される物質は、（図の内外の方向において）チャンネルに沿って長々と延長する必要はないので、成形シートは略その構造的完全性を保つことができる。
【００２９】
本発明のマイクロ流体素子は、コーニング社（Corning Incorporated,Corning,New York,USA）から入手できる「Ｃｏｒｎｉｎｇ０２１１」、「Ｃｏｒｎｉｎｇ７０５９」、「Ｃｏｒｎｉｎｇ１７３７」と、Ｇｌａｖｅｒｂｅｌグループ（Glaverbel Group,1170 Brussels,Belgium）から入手できる「Ｇｌａｖｅｒｂｅｌ  Ｄ  ２６３」を含む種々のガラス構成物を使用して製造することに成功している。これらの中で、「Ｃｏｒｎｉｎｇ１７３７」は約３７．６ｘ１０-7Ｃという最も小さい熱膨張率を示す。「Ｃｏｒｎｉｎｇ１７３７」から形成されるマイクロ流体素子は、流体温度が６５０℃以下での使用に適している。Ｋｅｒａｇｌａｓｓ社（77 Bagneau sur Loing,France）から入手できる「Ｋｅｒａｂｌａｃｋ」のようなアルミニウムホウ化ケイ酸塩も使用することができる。マイクロ流体素子が上記のように形成された後、「Ｋｅｒａｂｌａｃｋ」をセラミック化することによりセラミックガラス（Vitroceram）になり、約-２ｘ１０-7という超低の熱膨張率を示す。
【００３０】
本発明の更に他の実施例として、適度に近い熱膨張率を有する二つのガラス物質を、単一のマイクロ流体素子を形成するために使用することができる。例えば、素子５０中の通路を閉塞する為に使用する上部及び下部シートを、「Ｐｙｒｅｘ７７４０」（図５、６参照）から形成する一方、成形シート３２は「Ｃｏｒｎｉｎｇ１７３７」から形成することができる。これら二つのガラス物質の約１００℃の軟化点の違いは、約７８０℃での熱封止を可能にする。このより低い熱封止温度は、場合によって成形シート３２の真空成形後の変形を防止するために役立つ。
【００３１】
＜好ましい製造工程＞
上述の等温工程は試作品構築のために行われているものであり、極めて小規模製造に適している。より費用効率が高く、効率的な生産工程を図１４（Ａ）から図１４（Ｆ）に関連して以下に説明する。
【００３２】
図１４（Ａ）に示されているように、粘着性のあるガラス物質の塊７０が、タンク供給機（図示せず）から加熱された回転ローラーの７２、７４の上に供給される。軟ガラスシート７６は、動いている金型７８上に展開された後すぐに真空成形され、図１４（Ｂ）に示されているような成形シート８０を形成し、その厚さは真空引きにより軟ガラスシート７６に対して減じられる。次に直ちに行われる第２の段階で、第２の軟ガラスシート８２が、図１４（Ｃ）に示されているように成形シート８０上に置かれる。第二の軟ガラスシートは、図１４（Ｄ）に示されているように直ちに成形シート８０の上面を閉じ、閉塞された上部チャンネル９０を形成する。従って、上部チャンネル９０は約５秒から１０秒という短い時間で、素早く形成され閉塞される。閉塞された上部チャンネル９０を有する成形シートは、その後、金型から取り外され支持材８２の上に反転した状態で置かれる。前の段階で閉塞されていない相補的な流体回路は、その後、図１４（Ｅ）で示されるように第三の軟ガラスシート８４で覆われ、閉塞された下部チャンネル１００を形成し、結果として図１４（Ｆ）のマイクロ流体素子５０が得られる。
【００３３】
例えば、「７７４０Ｐｙｒｅｘ」を形成する為に好ましい温熱条件は６５０℃に加熱したローラーと金型上への１３５０℃のガラス送り出しである。離型材は、アセチレンクラッキングに由来するガスブラックが望ましい。ガラスシートが薄くなるに従い、ローラー温度は高くするべきである。０．８ｍｍに圧延されて、真空成形されたシートが実例説明されており、成形シートの底部のガラス厚は０．２ｍｍ未満を示している。
【００３４】
本発明のマイクロ流体素子及び本発明の工程により製造されるマイクロ流体素子は、ほぼ垂直のチャンネル壁を有するデザインに限定される必要はない。図１５は、三角形のチャンネル４０を有するマイクロ流体素子５０の断面図を示している。この構造及び他の構造が本発明により容易に達成可能である。
【００３５】
本発明の工程及び方法は、再現可能で且つ確実な極めて薄壁性のガラスマイクロチャンネルの形成を可能にする。結果として得られる本発明のマイクロ流体素子は、特に高性能マイクロ流体熱交換に適している。
【００３６】
マイクロ流体素子を形成する他の方法と比較して、現行の発明はチャンネルの断面積に対する隣接したチャンネル間の壁面積を大きくすることを可能にする。大きい壁面積は主に、開示された方法で達成可能である比較的高いチャンネルアスペクト比（チャンネル高さのチャンネル幅に対する割合）が２：１或いはそれ以上であることに帰する。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に関連して有用な金型２０と真空ボックス２４の断面図である。
【図２】薄板３０を金型上に配した後の図１の断面図である。
【図３】成形シート３２を形成するように薄板３０を真空成形した後の図２の断面図である。
【図４】図３の成形シート３２を金型２０から取り外した後の断面図である。
【図５】図４の成形シート３２と上部平板３４と下部平板３６を含む組立品３８の断面図である。
【図６】図５の組立品を共に接着することにより形成される、本発明の実施例によるマイクロ流体素子５０の断面図である。
【図７】流体コネクタ５２を含む図６のマイクロ流体素子５０の断面図である。
【図８】第１の流体Ｆ１と第２の流体Ｆ２が割り付けられ得る交互のチャンネルを示した図６のマイクロ流体素子の断面図である。
【図９】場合によっては本発明の素子に有用な、各々が二つのアクセス穴５６を含む平行したチャンネル５４を有するマイクロ流体回路デザインの平面図である。
【図１０】場合によっては本発明の素子に有用な、各々がらせん形の端と中心にア            クセス穴を含む同心らせん形の交互チャンネルを有する、もう一つのマイクロ流体回路デザインの平面図である。
【図１１】最小化したチャンネル６０を含むマイクロ流体素子５０の断面図である。
【図１２】場合によっては本発明の素子に有用な、最小化したチャンネル６０を含むもう一つのマイクロ流体回路デザインの平面図である。
【図１３】隣接した交互チャンネル４３と４５の間の流体のやり取りを可能にするように、物質が除去され得る位置（破線の境界４１内部）を示した図４の成形シート３２の断面図である。
【図１４】（Ａ）〜（Ｆ）は、本発明の素子を形成する、現在のより好ましい発明方法の特定段階を示した断面である。
【図１５】三角形のチャンネル４０を有するマイクロ流体素子５０の、他の実施例の断面である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2005336049.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【外国語明細書】
2005336049000001.pdf