(57)【要約】【課題】ワークの正しい着座を検知できるようにしつつ、コンパクトに形成できるクランプ装置を提供する。【解決手段】元バルブ３６を切り換えて、元圧のエアーが供給ポートＰ、着座バルブ４２および切換制御バルブ１０を介して第１および第２クランプエアー室１１，１３に供給される。すると、第１および第２ピストン３，４が下降し、ワーク８がクランプ部材６とクランプ台座９との間に挟圧されてクランプされる。着座バルブ４２を切り換えて、着座検出用の通路３３に元圧より低い着座元圧のエアーが導入される。ワーク８とクランプ台座９との隙間からのエアーの漏れによる圧力低下が着座検出手段４１によって検出されることで、ワーク８の正しくない着座が検出される。これにより、着座検出用の通路３３を設けても、供給ポートＰは１つで済むようになる。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブルに着座したワークをクランプするワーククランプ部材と、このワーククランプ部材に前記ワークのクランプ動作およびアンクランプ動作を行わせるピストンを有するクランプシリンダ装置と、前記ピストンの一側のクランプ側室に対して圧力流体の供給、排出を選択的に切り換えるクランプ・アンクランプ切換手段とを備えたクランプ装置において、
前記ワークがテーブルに着座したことを検出するワーク着座検出部を備えていることを特徴とするクランプ装置。
【請求項２】
前記圧力流体の供給ポートと前記圧力流体の排出ポートとを備え、
前記クランプ・アンクランプ切換手段は、少なくとも前記ワークのクランプ動作開始時に前記供給ポートを前記クランプ側室に連通させるとともに、前記ワークのアンクランプ動作開始時に前記排出ポートを前記クランプ側室に連通させる切換制御弁で構成されていることを特徴とする請求項１記載のクランプ装置。
【請求項３】
前記テーブルのワーク着座面に開口しかつ圧力流体が導入される着座検出用圧力流体通路を備え、
前記ワーク着座検出部は、前記着座検出用圧力流体通路の開口部で構成されていることを特徴とする請求項１または２記載のクランプ装置。
【請求項４】
前記着座検出用圧力流体通路は、前記供給ポートと前記切換制御弁とを接続する圧力流体通路から分岐されて設けられていることを特徴とする請求項３記載のクランプ装置。
【請求項５】
前記着座検出用圧力流体通路は、この着座検出用圧力流体通路の圧力に応じて前記ワークの着座を検出する着座検出手段に接続可能であり、前記着座検出用圧力流体通路の前記着座検出手段に接続時には、前記着座検出用圧力流体通路に導入される圧力流体の圧力は、前記クランプ動作開始時に前記供給ポートに供給される圧力流体の圧力より低く設定されていることを特徴とする請求項３または４記載のクランプ装置。
【請求項６】
前記圧力流体はエアーであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１記載のクランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークを機械加工するマシニングセンタ（以下、Ｍ／Ｃともいう）等の工作機械の技術分野に属し、特に、ワークを工作機械のテーブル（あるいはパレット）にクランプするクランプ装置の技術分野に属するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、自動変速機（以下、Ａ／Ｔともいう）の構成部品であるワークに対して、例えばＭ／Ｃ等の工作機械により種々の機械加工が行われている。これらの機械加工においては、ワークを工作機械のテーブル（あるいはパレット）にクランプした状態で、切削工具やドリル等の加工具によりワークを機械加工している。
【０００３】
従来の工作機械において、ワークをクランプするクランプ装置として、ワークをクランプするワーククランプ爪と、このワーククランプ爪にワークのクランプおよびアンクランプ動作を行わせるピストンを有するクランプシリンダ装置と、ピストンの一側のクランプ側室およびピストンの他側のアンクランプ側室に対して選択的に圧力流体の供給、排出を切り換える切換制御弁からなるクランプ・アンクランプ切換手段とを備えたワーククランプ装置は提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
このワーククランプ装置によれば、クランプ・アンクランプ切換手段により圧力流体をクランプシリンダ装置のクランプ側室に供給し、ピストンがワーククランプ爪を作動することで、ワーククランプ爪がワークをテーブル（あるいはパレット）にクランプしている。また、クランプ・アンクランプ切換手段により圧力流体をクランプシリンダ装置のアンクランプ側室に供給し、ピストンがワーククランプ爪を非作動にすることで、ワーククランプ爪によるワークのクランプを解除（アンクランプ）している。
【特許文献１】
特開平８−３２３５７０号公報。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述の特許文献１に開示のクランプ装置では、クランプ爪でワークをテーブル（あるいはパレット）に単にクランプするだけである。このため、ワークがテーブル（あるいはパレット）に傾いて正規の姿勢で着座してクランプされているかどうかを知ることができない。ワークがわずかでも傾いて着座していると、工作機械による高精度の機械加工を行うことはできない。そこで、ワークの正しい着座を検知できるようにすることが望ましいが、このようにした場合、クランプ装置が大型になってしまう。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、ワークの正しい着座を検知できるようにしつつ、コンパクトに形成できるクランプ装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するために、請求項１の発明の工作機械は、テーブルに着座したワークをクランプするワーククランプ部材と、このワーククランプ部材に前記ワークのクランプ動作およびアンクランプ動作を行わせるピストンを有するクランプシリンダ装置と、前記ピストンの一側のクランプ側室に対して圧力流体の供給、排出を選択的に切り換えるクランプ・アンクランプ切換手段とを備えたクランプ装置において、前記ワークがテーブルに着座したことを検出するワーク着座検出部を備えていることを特徴としている。
【０００８】
また、請求項２の発明は、前記圧力流体の供給ポートと前記圧力流体の排出ポートとを備え、前記クランプ・アンクランプ切換手段が、少なくとも前記ワークのクランプ動作開始時に前記供給ポートを前記クランプ側室に連通させるとともに、前記ワークのアンクランプ動作開始時に前記排出ポートを前記クランプ側室に連通させる切換制御弁で構成されていることを特徴としている。
【０００９】
更に、請求項３の発明は、前記テーブルのワーク着座面に開口しかつ圧力流体が導入される着座検出用圧力流体通路を備え、前記ワーク着座検出部が、前記着座検出用圧力流体通路の開口部で構成されていることを特徴としている。
更に、請求項４の発明は、前記着座検出用圧力流体通路が、前記供給ポートと前記切換制御弁とを接続する圧力流体通路から分岐されて設けられていることを特徴としている。
【００１０】
更に、請求項５の発明は、前記着座検出用圧力流体通路が、この着座検出用圧力流体通路の圧力に応じて前記ワークの着座を検出する着座検出手段に接続可能であり、前記着座検出用圧力流体通路の前記着座検出手段に接続時には、前記着座検出用圧力流体通路に導入される圧力流体の圧力は、前記クランプ動作開始時に前記供給ポートに供給される圧力流体の圧力より低く設定されていることを特徴としている。
更に、請求項６の発明は、前記圧力流体がエアーであることを特徴としている。
【００１１】
【発明の作用および効果】
このように構成された請求項１ないし６の発明のクランプ装置によれば、ワーク着座検出部を備えているので、このワーク着座検出部により、ワークがテーブルに着座したことを検出することができるようになる。
特に、請求項２の発明によれば、クランプ・アンクランプ切換手段を、供給ポートおよび排出ポートと、クランプ側室およびアンクランプ側室との連通を選択的に切り換える切換制御弁で構成しているので、構成が簡単でありかつコンパクトに形成することができる。
【００１２】
また、請求項３の発明によれば、ワーク着座検出部を、テーブルのワーク着座面に開口する着座検出用圧力流体通路の開口部で構成しているので、ワーク着座検出部の構成をきわめて簡単にできる。そして、テーブルにワークを着座させた状態で着座検出用圧力流体通路に圧力流体を導入し、そのときの着座検出用圧力流体通路の圧力変化を検出することで、ワークがテーブルに傾くことなく、正規の姿勢で着座しているかどうかを検出することができる。
【００１３】
更に、請求項４の発明によれば、着座検出用圧力流体通路を、供給ポートと切換制御弁とを接続する圧力流体通路から分岐して設けているので、着座検出用圧力流体通路に圧力流体を導入するための着座検出用ポートを、クランプ側室に圧力流体を供給するための供給ポートと共通にすることができる。したがって、着座検出用圧力流体通路を設けても、供給用のポートは専用の着座検出用ポートを設けることなく１つで済み、その分、構成が更に簡単になる。これにより、例えばテーブルが回転可能に設けられている場合には、回転継ぎ手を小さくできるとともに、クランプ治具に複雑な流体圧回路孔を形成することがなくなり、治具をコンパクトに形成することができる。更に、クランプ、アンクランプ、およびワークの着座検知を１つの供給ポートと１つの排出ポートで制御することができるので、それらの制御もより簡単になる。
【００１４】
更に、請求項５の発明によれば、着座検出用圧力流体通路に導入される圧力流体の圧力を、クランプ動作開始時にクランプ側室に供給される圧力流体の圧力より低く設定しているので、ワークがテーブルにわずかに傾いて着座して、着座検出用圧力流体通路内の圧力流体が開口部からわずかに漏れることで、着座検出用圧力流体通路内の圧力がわずかに低下するような場合にも、このわずかな圧力低下をより確実に検出することができる。これにより、テーブルに対するワークの着座姿勢のわずかなずれも検出することができ、ワークあの機械加工精度をより一層高めることができる。
更に、請求項６の発明によれば、圧力流体にエアーを用いることで、エアーの戻し通路が不要となり、クランプ装置を小型化かつ簡略化することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。
図１は、本発明にかかるワークのクランプ装置の実施の形態の一例を示す断面図、図２はこの例のクランプ装置のエアー回路を示す図である。
図１に示すように、この例のワークのクランプ装置（クランパユニット）１は、ハウジング２と、このハウジング２の孔内を気密にかつ摺動可能に設けられかつタンデムに配設された第１および第２ピストン３，４と、これらの第１および第２ピストン３，４を連結するとともに、第１ピストン３から上方に延びてハウジング２を気密にかつ摺動可能に貫通してハウジング２の外に突出するピストンロッド５と、ハウジング２から外部に突出したピストンロッド５の突出端部５ａに固定されたクランブ部材６と、このクランブ部材６の先端部に設けられたクランプ部７と、ワーク８が着座するテーブルのクランプ台座９と、ハウジング２に設けられ、第１および第２ピストン３，４を作動するためのエアーの供給切換を行う切換制御バルブ１０とを備えている。
【００１６】
第１および第２ピストン３，４は摺動するハウジング２の各孔内を、それぞれ第１クランプエアー室１１と第１アンクランプエアー室１２、および第２クランプエアー室１３と第２アンクランプエアー室１４に区画している。
また、図２に示すようにクランプ装置１のハウジング２には、大気に連通する大気ポートＴと後述するエアー圧源に連通する供給ポートＰとの２つのポートが設けられている。
【００１７】
切換制御バルブ１０は、エアーの供給排出側が第１ないし第３ポート１５，１６，１７の３ポートで各エアー室１１，１２，１３，１４側が第４および第５ポート１８，１９を有する２ポートの２位置５ポート弁から構成されている。その場合、図２に示すように第１および第３ポート１５，１７はともにエアー排出通路２０を介して大気ポートＴに常時連通しているとともに、第２ポート１６はエアー供給通路２１を介して供給ポートＰに常時連通している。また、第４ポート１８はエアー通路２２を介して第１および第２クランプエアー室１１，１３に常時連通しているとともに、第５ポート１９はエアー通路２３を介して第１アンクランプエアー室１２に常時連通している。
【００１８】
エアー通路２２には、エアーの流量を絞る第１可変絞り２４が設けられているとともに、この第１可変絞り２４をバイパスして第１チェックバルブ２５が第１可変絞り２４と並列に設けられている。また、エアー通路２３にも、エアーの流量を絞る第２可変絞り２６が設けられているとともに、この第２可変絞り２６をバイパスして第２チェックバルブ２７が第２可変絞り２６と並列に設けられている。第１および第２チェックバルブ２５，２７は、いずれも、エアー室１１，１３および１２から切換制御バルブ１０の方に向かうエアーの流れを許容し、かつその逆方向のエアーの流れを阻止するようになっている。
【００１９】
切換制御バルブ１０は２つの位置を選択的に切り換えるようになっている。これらの２つの位置は、第２ポート１６と第４ポート１８とを連通するとともに第３ポート１７と第５ポート１９とを連通する図１に示すクランプ位置と、第１ポート１５と第４ポート１８とを連通するとともに第２ポート１６と第５ポート１９とを連通するアンクランプ位置とからなっている。
【００２０】
また、第４ポート１８の圧力による第１パイロット圧Ｐ１が切換制御バルブ１０にクランプ位置が設定される方向に作用するとともに、第５ポート１９の圧力による第２パイロット圧Ｐ２が切換制御バルブ１０にアンクランプ位置が設定される方向に作用するようになっている。更に、第１スプリング２８のばね力が切換制御バルブ１０にクランプ位置が設定される方向に作用するとともに、第２スプリング２９のばね力が切換制御バルブ１０にアンクランプ位置が設定される方向に作用するようになっている。その場合、第１スプリング２８のばね力は第２スプリング２９のばね力より大きく設定されている。
【００２１】
更に、ハウジング２にはバルブ切換レバー３０が回動可能に支持されている。このバルブ切換レバー３０は、第２ピストン４の下降する際、その一端３０ａが第２ピストン４に固定された押圧部材３１によって押圧されることで回動し、その他端３０ｂが押し上げ部材３２および第２スプリング２９を介して切換制御バルブ１０を押し上げるようになっている。
【００２２】
図２に示すように、ワーク８がクランプ台座９に正規の姿勢で着座しているか否かを検出するための着座検出用エアー通路３３が、供給ポートＰと切換制御バルブ１０との間のエアー供給通路２１から分岐して設けられている。この着座検出用エアー通路３３は、クランプ台座９の上面に開口し、この開口部はワーク８がテーブルのクランプ台座９に正規の姿勢で正しく着座しているか否かを検出するワーク着座検出部を構成している。
【００２３】
また、クランプ装置１の供給ポートＰはエアー圧源３４に接続されている。これを具体的に説明すると、エアー圧源３４は、予め決められた設定圧の元圧を得るための元圧設定手段３５に接続されている。この元圧設定手段３５はソレノイドバルブからなる元バルブ３６に接続されており、この元バルブ３６は、元圧設定手段３５で得られた元圧のクランプ装置１側への供給およびクランプ装置１側からのエアー圧の排出を切換制御するようになっている。元バルブ３６は、クランプ装置１の非作動時は図２に示すエアー圧排出位置に設定され、また、クランプ装置１の作動時はエアー圧供給位置に設定される。この元バルブ３６は、クランプ装置１に対するエアー圧の制御回路３７に接続されている。
【００２４】
この制御回路３７は、２系統の第１および第２エアー回路３８，３９に分岐されて構成されている。第１エアー回路３８は元バルブ３６を供給ポートＰに直接接続可能にしている。また、第２エアー回路３９は、ワーク８のクランプ台座９への着座検出を行うための回路である。この第２エアー回路３９には、元バルブ３６側から順に、予め決められかつ前述の元圧設定手段３５の元圧よりかなり低い設定圧の着座元圧を得るための着座元圧設定手段４０、着座検出手段４１がそれぞれ設けられている。
【００２５】
第１および第２エアー回路３８，３９はともにソレノイドバルブからなる着座バルブ４２に接続されており、この着座バルブ４２の反対側は供給ポートＰに接続されている。そして、着座バルブ４２は、通常時は図２に示すように第１エアー回路３８を供給ポートＰに直接接続する位置に設定され、作動時に第２エアー回路３９を供給ポートＰに接続する位置に設定されるようになっている。
【００２６】
次に、この例のクランプ装置１の作動について説明する。
クランプ装置１が非作動であるときは、図２に示すように第１および第２ピストン３，４がともに上昇位置にある。したがって、クランプ部材６が上昇位置となり、アンクランプ状態に設定されている。また、切換制御バルブ１０、元バルブ３６、および着座バルブ４２は図示位置に設定されている。したがって、クランプ装置１の供給ポートＰは大気に連通し、その結果、第１および第２クランプエアー室１１，１３がともに供給ポートＰを介して大気に連通し、また、第１および第２アンクランプエアー室１２，１４がともに大気ポートＴを介して大気に連通している。
【００２７】
図２に示すように、クランプ台座９にワーク８を着座した後、元バルブ３６をエアー圧供給位置に設定すると、エアーの元圧が供給ポートＰを介して第１および第２クランプエアー室１１，１３に供給される。すると、第１および第２ピストン３，４がともに下降するので、クランプ部材６も下降する。クランプ部材６のクランプ部７が二点鎖線で示すクランプ位置になると、ワーク８はクランプ部７とクランプ台座９との間に挟圧されてクランプされる。
【００２８】
また、第２ピストン４が下降すると、この第２ピストン４の押圧部材３１がバルブ切換レバー３０の一端に当接してこのバルブ切換レバー３０を図２において反時計回りに回動させる。このバルブ切換レバー３０の回動により、バルブ切換レバー３０の他端３０ｂが押し上げ部材３２を上方へ押圧するので、押し上げ部材３２は第２スプリング２９を縮ませながら上昇する。このため、第２スプリング２９が縮むことでそのばね力が増大し、このばね力により切換制御バルブ１０が上方に押圧される。しかし、このとき第４ポート１８のパイロット圧Ｐ１による力と第１スプリング８のばね力との合力が第２スプリング２９のばね力より大きいので、切換制御バルブ１０は上昇しない。すなわち、切換制御バルブ１０はクランプ位置に保持される。
【００２９】
この状態で、ワーク８がクランプ台座９に正規の姿勢で着座しているか否かを検出するために、着座バルブ４２が着座検出側に切換設定される。すると、供給ポートＰには、クランプ用の元圧よりかなり低い着座検出用の元圧が供給されるようになる。これにより、第４ポート１８の圧力が着座検出用の元圧に低下するが、この着座検出用の元圧がパイロット圧Ｐ１として切換制御バルブ１０を下方に押圧するため、切換制御バルブ１０は依然としてクランプ位置を保持する。したがって、第１および第２クランプエアー室１１，１３内にはエアー圧が保持されるとともに、クランプ部材６はワーク８をクランプした状態に保持される。
【００３０】
ワーク８がクランプ台座９に正規の姿勢で着座していると、ワーク８の下面とクランプ台座９の上面とが密着する。このため、着座検出用エアー通路３３内に導入されている着座検出用元圧のエアーはワーク８の下面とクランプ台座９の上面との間から外部に漏出しないので、着座検出用エアー通路３３内の圧力は変化しない。この圧力無変化が着座検出手段４１により検出されることで、ワーク８がクランプ台座９に正規の姿勢で着座していることが確認される。
【００３１】
そして、このようにワーク８はクランプ台座９に正規の姿勢で着座しかつクランプされた状態でＭ／Ｃによる機械加工が行われる。なお、このワーク８の機械加工時には、着座バルブ４１を切り換えて第１および第２クランプエアー室１１，１３に第１エアー回路３８の元圧を導入するようにしてもよい。この場合には、第１エアー回路３８の元圧が高いことから、ワーク８のクランプ力が大きくなり、機械加工時にワークのクランプがより堅固になる。
【００３２】
ワーク８の機械加工が終了すると、図２に示すように元バルブ３６が第１エアー回路３８側に切り換えられるとともに着座バルブ４２がエアー圧排出位置に切り換えられ、供給ポートＰが大気に連通する。すると、第４ポート１８の圧力が大気圧となってパイロット圧Ｐ１がなくなる。このため、切換制御バルブ１０に加えられる第１スプリング２８のばね力より縮んだ状態の第２スプリング２９のばね力の方が大きくなるので、切換制御バルブ１０が上昇してアンクランプ位置となる。
【００３３】
この状態で、元バルブ３６がエアー圧供給位置に切り換えられると、元圧が供給ポートＰの第５ポート１９を介して第１および第２アンクランプエアー室１２，１４に供給される。すると、第１および第２ピストン３，４は上昇するので、クランプ部材６も上昇し、クランプ部材６によるワーク８のクランプが解除される。第１および第２ピストン３，４は図１に示す最上位置になると停止する。これにより、ワーク８はクランプ台座９から取り外し可能となる。
【００３４】
このとき、第５ポート１９の圧力がパイロット圧Ｐ２として切換制御バルブ１０にこの切換制御バルブ１０を上方に押圧するようにして加えられる。このため、切換制御バルブ１０はアンクランプ位置に保持される。また、第５ポート１９の圧力によるパイロット圧Ｐ２は押し上げ部材３２にも作用し、この押し上げ部材３２を下方に押圧する。これにより、押し上げ部材３２は切換レバー３０を図１において時計回りに回動しながら下降する。そして、押し上げ部材３２は図１に示す初期位置になったとき停止するとともに、切換レバー３０もその回動を停止して図１に示す初期位置となる。
【００３５】
最後に、元バルブ３６をエアー圧排出位置に設定することで、第１および第２アンクランプエアー室１２，１４に供給されたエアーが排出される。これと同時に第５ポート１９の圧力によるパイロット圧Ｐ２がなくなるので、第１スプリング２８のばね力が第２スプリング２９のばね力に打ち勝ち、切換制御バルブ１０は第１スプリング２８のばね力で図１に示すクランプ位置に設定される。こうして、第１および第２ピストン３，４、クランプ部材６，切換制御バルブ１０，切換レバー３０、元バルブ３６、および着座バルブ４２が、いずれも、図２に示す初期位置（非作動位置）に設定される。
【００３６】
一方、ワーク８がクランプ台座９に対してわずかに傾いた姿勢で着座していると、ワーク８の下面とクランプ台座９の上面との間に部分的にわずかの隙間ができる。このため、着座検出用エアー通路３３内に導入されている着座検出用元圧のエアーがこの隙間から外部に漏出するので、この着座検出用エアー通路３３内の圧力が若干低下する。この圧力低下が着座検出手段４１により検出されることで、ワークがクランプ台座９に正規の姿勢で着座していないことが検出される。このため、前述と同様にして、クランプ部材６によるワーク８のクランプを解除し、ワーク８のクランプ台座９に対する着座姿勢を正しくした後、再び前述と同様にしてワーク８をクランプ台座９に正規の姿勢で着座した状態にクランプする。
【００３７】
この例のクランプ装置１によれば、テーブルのクランプ台座９にワーク８を着座させた状態で着座検出用エアー通路３３に着座元圧のエアーを導入し、そのときの着座検出用エアー通路３３の圧力変化を着座検出手段４１で検出することで、ワーク８がテーブルのクランプ台座９に傾くことなく、正規の姿勢で着座しているかどうかを検出することができる。
【００３８】
また、ワーク着座検出部を、テーブルのワーク着座面に開口する着座検出用エアー通路３３の開口部で構成しているので、ワーク着座検出部の構成をきわめて簡単にできる。
更に、供給ポートおよび排出ポートと、クランプ側室およびアンクランプ側室との連通を選択的に切り換えるために、切換制御バルブ１０を用いているので、構成が簡単でありかつコンパクトに形成することができる。
【００３９】
更に、着座検出用エアー通路３３を、供給ポートＰと切換制御バルブ１０とを接続するエアー供給通路２２から分岐して設けているので、着座検出用エアー通路３３にエアーを導入するための着座検出用ポートを、クランプ側１２室にエアーを供給するための供給ポートＰと共通にすることができる。したがって、着座検出用エアー通路３３を設けても、供給用のポートは専用の着座検出用ポートを設けることなく１つで済み、その分、構成が更に簡単になる。これにより、例えばテーブルが回転可能に設けられている場合には、回転継ぎ手を小さくできるとともに、クランプ治具に複雑な流体圧回路孔を形成することがなくなり、治具をコンパクトに形成することができる。更に、クランプ、アンクランプ、およびワークの着座検知を１つの供給ポートと１つの排出ポートで制御することができるので、それらの制御もより簡単になる。
【００４０】
更に、着座検出用エアー通路３３に導入されるエアーの圧力を、クランプ動作開始時にクランプ側室１２に供給されるエアーの圧力より低く設定しているので、ワーク８がテーブルのクランプ台座９にわずかに傾いて着座して、着座検出用エアー通路３３内のエアーが着座検出用エアー通路３３の開口からわずかに漏れることで、着座検出用エアー通路３３内の圧力がわずかに低下するような場合にも、このわずかな圧力低下をより確実に検出することができる。これにより、テーブルに対するワーク８の着座姿勢のわずかなずれも検出することができ、ワーク８の機械加工精度をより一層高めることができる。
【００４１】
なお、前述の例のクランプ装置１では、圧力流体としてエアーを用いるものとしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、液圧を用いることもできる。しかし、液圧を用いると、作動液のドレーンのための戻し通路が必要となるため、圧力流体にエアーを用いることが、エアーの戻し通路を不要にできて、クランプ装置を小型化かつ簡略化することができるので、好ましい。
また、前述の例では、タンデム型のピストンを用いているが、これに代えてシングル型のピストンを用いることもできる。更に、前述の例では、復動型のピストンをを用いているが、これに代えて単動型のピストンを用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるワークのクランプ装置の実施の形態の一例を示す断面図である。
【図２】図１に示す例のクランプ装置のエアー回路を示す図である。
【符号の説明】
１…クランプ装置、２…ハウジング、３…第１ピストン、４…第２ピストン、６…クランブ部材、７…クランプ部、８…ワーク、９…クランプ台座、１０…切換制御バルブ、１１…第１クランプエアー室、１２…第１アンクランプエアー室、１３…第２クランプエアー室、１４…第２アンクランプエアー室、２０…エアー排出通路、２１…エアー供給通路、２８…第１スプリング、２９…第２スプリング、３０…バルブ切換レバー、３１…押圧部材、３２…押し上げ部材、３３…着座検出用エアー通路、３４…エアー圧源、３５…元圧設定手段、３７…制御回路、４０…着座元圧設定手段、４１…着座検出手段、４２…着座バルブ、Ｐ…供給ポート、Ｔ…排出ポート、Ｐ１…第１パイロット圧、Ｐ２…第２パイロット圧
【図１】
2005046918.tif 000003
【図２】
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