(57)【要約】    【課題】  排気系統のレイアウトを簡素化して肥大化を防止できるとともに、コストを低減できる減圧処理装置を提供する。    【解決手段】  減圧処理装置１００は、ガラスパネル６０６における減圧層６０２を減圧するための本排気室１０４及び板ガラス６００に吸着するための差動排気室１０５を有する排気カップ１０１と、排気カップ１０１に接続される本排気系統１０２と、同じく排気カップ１０１に接続される差動排気系統１０３とを備え、本排気系統１０２は、配管１０７、該配管１０７の途中において排気カップ１０１側から順に直列に配されたバルブ１１１、高真空ポンプ１０８及び低真空ポンプ１０９を備え、配管１０７の一端は本排気室１０４と連通し、差動排気系統１０３は、配管１１０からなり、配管１１０の一端は差動排気室１０５と連通し、配管１１０の他端は低真空ポンプ１０９及び高真空ポンプ１０８の間において配管１０７に連通する。【選択図】      図１
2005129266.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する複数の板ガラス、前記複数の板ガラスの間に設けられた層状空間及び該層状空間と外部を連通する連通部を有するガラスパネルに接触すると共に前記層状空間に存在する気体を排出する排気装置であって、前記板ガラスとの接触面において、前記連通部を収容する第１の排気室及び該第１の排気室を囲う溝状の第２の排気室を有する排気装置と、前記第１の排気室と連通する第１の配管を有する第１の排気系統と、前記第２の排気室と連通する第２の配管を有する第２の排気系統とを備える減圧処理装置において、
前記第１の排気系統は前記第１の配管に接続された減圧器を有し、前記第２の配管が、前記第１の排気室及び前記減圧器の間において前記第１の配管に連通することを特徴とする減圧処理装置。
【請求項２】
前記第１の排気系統は前記第１の排気室及び前記減圧器の間において前記第１の配管に接続される他の減圧器を有し、前記第２の配管が前記他の減圧器及び前記減圧器の間において前記第１の配管に連通することを特徴とする請求項１記載の減圧処理装置。
【請求項３】
前記第２の排気系統のコンダクタンスが前記第１の排気系統のコンダクタンスより小さいことを特徴とする請求項１記載の減圧処理装置。
【請求項４】
前記第２の配管の断面積が前記第１の配管の断面積より小さいことを特徴とする請求項３記載の減圧処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の板ガラスから成り、当該複数の板ガラスの間に層状空間を有するガラスパネルの減圧処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空ガラス、例えば「スペーシア」（登録商標）やプラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）等に好適な基本構造を有するガラスパネルとして、図６（ａ）及び（ｂ）に示すような対向する２枚の板ガラス６００，６０１と、該板ガラス６００，６０１の間に形成される減圧層６０２と、該減圧層６０２の周縁をシールする低融点ガラスからなる周縁シール材６０３と、板ガラス６００を貫通する穴に一端が埋め込まれ、該一端側において低融点ガラスからなる封着材６０４によって板ガラス６００に溶着されるガラス製の排気管６０５とを備えるガラスパネル６０６が知られている。このガラスパネル６０６における減圧層６０２は、真空ガラスにおいては真空とされ、ＰＤＰにおいては減圧された後、キセノン（Ｘｅ）やネオン（Ｎｅ）等の希ガスが充填される。
【０００３】
そして、このガラスパネル６０６は、ペアリングされた板ガラス６００，６０１の周縁部に塗布された周縁シール材６０３と、板ガラス６００及び排気管６０５の接合部に塗布された封着材６０４とを焼成により溶融して板ガラス６００，６０１を接合し且つ排気管６０５を板ガラス６００に溶着した後、排気管６０５を介して減圧層６０２を減圧し、さらに排気管６０５の他端を封止することによって製造される。この減圧層６０２の減圧及び排気管６０５の封止には、下記に示す減圧処理装置が使用される。
【０００４】
図７は、減圧層６０２の減圧及び排気管６０５の封止に使用される減圧処理装置の概略構成を示す断面図である。
【０００５】
図７において、減圧処理装置７００は、円柱状の排気カップ７０１と、排気カップ７０１に接続される本排気系統７０２と、同じく排気カップ７０１に接続される差動排気系統７０３とを備える。
【０００６】
排気カップ７０１は、その下面においてそのほぼ中央に設けられた本排気室７０４と、同じく下面において本排気室７０４を囲うように設けられた溝状の差動排気室７０５と、本排気室７０４内に配設されるフィラメント７０６とを有する。
【０００７】
本排気系統７０２は、ターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）等の高真空ポンプ７０７と、中真空ポンプ７０８と、ロータリーポンプ（ＲＰ）等の低真空ポンプ７０９と、これらのポンプを直列に接続する配管７１０とを有し、配管７１０は本排気室７０４と連通する。差動排気系統７０３は、中真空ポンプ７１１と、低真空ポンプ７１２と、これらのポンプを直列に接続する配管７１３とを有し、配管７１３は差動排気室７０５と連通する。
【０００８】
減圧層６０２の減圧の際、排気カップ７０１は板ガラス６００上に装着され、差動排気系統７０３が差動排気室７０５を減圧するので、排気カップ７０１は板ガラス６００に吸着する。また、本排気系統７０２は、本排気室７０４及び排気管６０５を介して減圧層６０２を減圧する。そして、減圧層６０２が所定の圧力まで減圧されると、フィラメント７０６は排気管６０５の先端に熱線を照射し、該先端を溶融して封止する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００９】
このとき、差動排気室７０５内の圧力は排気カップ７０１が板ガラス６００に吸着可能な程度の負圧であれば十分であるため、大気圧を多少下回る程度の負圧でよいが、本排気室７０４内の圧力は減圧層６０２の圧力以下にする必要があるため、大気圧を大きく下回る必要があり、それ故、本排気系統７０２及び差動排気系統７０３を別個に設け、本排気系統７０２に高真空ポンプ７０７を配置する必要がある。
【特許文献１】特表２００２−５３０１８４号公報（第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来の減圧処理装置７００では、本排気系統７０２及び差動排気系統７０３の２つの排気系統を必要とするため、排気系統のレイアウトが複雑化して減圧処理装置そのものが肥大化するという問題がある。
【００１１】
また、従来の減圧処理装置７００では、数多くの真空ポンプを必要とするため、必然的に減圧処理装置のコストが高くなるという問題がある。
【００１２】
本発明の目的は、排気系統のレイアウトを簡素化して肥大化を防止できるとともに、コストを低減できる減圧処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、請求項１記載の減圧処理装置は、対向する複数の板ガラス、前記複数の板ガラスの間に設けられた層状空間及び該層状空間と外部を連通する連通部を有するガラスパネルに接触すると共に前記層状空間に存在する気体を排出する排気装置であって、前記板ガラスとの接触面において、前記連通部を収容する第１の排気室及び該第１の排気室を囲う溝状の第２の排気室を有する排気装置と、前記第１の排気室と連通する第１の配管を有する第１の排気系統と、前記第２の排気室と連通する第２の配管を有する第２の排気系統とを備える減圧処理装置において、前記第１の排気系統は前記第１の配管に接続された減圧器を有し、前記第２の配管が前記第１の排気室及び前記減圧器の間において前記第１の配管に連通することを特徴とする。
【００１４】
請求項２記載の減圧処理装置は、請求項１記載の減圧処理装置において、前記第１の排気系統は前記第１の排気室及び前記減圧器の間において前記第１の配管に接続される他の減圧器を有し、前記第２の配管が前記他の減圧器及び前記減圧器の間において前記第１の配管に連通することを特徴とする。
【００１５】
請求項３記載の減圧処理装置は、請求項１記載の減圧処理装置において、前記第２の排気系統のコンダクタンスが前記第１の排気系統のコンダクタンスより小さいことを特徴とする。
【００１６】
請求項４記載の減圧処理装置は、請求項３記載の減圧処理装置において、前記第２の配管の断面積が前記第１の配管の断面積より小さいことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１記載の減圧処理装置によれば、第１の排気系統における第１の配管は、第１の排気室に連通すると共に、減圧器に接続され、第２の排気室に連通する第２の排気系統における第２の配管が第１の排気室及び減圧器の間において第１の配管に連通するので、第１の排気系統及び第２の排気系統を１つの排気系統にまとめることができると共に、第１の排気室及び第２の排気室を１つの減圧器で減圧でき、もって、排気系統のレイアウトを簡素化して減圧処理装置の肥大化を防止できるとともに、減圧処理装置のコストを低減できる。
【００１８】
請求項２記載の減圧処理装置によれば、第１の排気系統は第１の排気室及び上記減圧器の間において第１の配管に接続される他の減圧器を有し、第２の配管が他の減圧器及び減圧器の間において第１の配管に連通するので、第１の排気系統及び第２の排気系統を１つの排気系統にまとめることができると共に、第１の排気室を減圧する減圧器の数を第２の排気室を減圧する減圧器の数より多くすることができ、もって、排気系統のレイアウトを簡素化しつつ、第１の排気室の圧力を大気圧を大きく下回らせ且つ第２の排気室の圧力を大気圧を多少下回る程度に維持することができる。
【００１９】
請求項３記載の減圧処理装置によれば、第２の排気系統のコンダクタンスが第１の排気系統のコンダクタンスより小さいので、第１の排気室及び第２の排気室を１つの減圧器で減圧できると共に、第２の排気系統の減圧能力を第１の排気系統の減圧能力より下げることができ、もって、減圧処理装置のコストを低減しつつ、第１の排気室の圧力を大気圧を大きく下回らせ且つ第２の排気室の圧力を大気圧を多少下回る程度に維持することができる。
【００２０】
請求項４記載の減圧処理装置によれば、第２の配管の断面積が第１の配管の断面積より小さいので、追加デバイスを必要とすることなく、第２の排気系統のコンダクタンスを第１の排気系統のコンダクタンスより小さくできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の第１の実施の形態に係る減圧処理装置について図面を参照しながら説明する。ここで、本第１の実施の形態に係る減圧処理装置によって製造されるガラスパネルは従来のガラスパネル６０６と同じである。
【００２２】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る減圧処理装置１００の概略構成を示す図である。
【００２３】
減圧処理装置１００は、円柱状の排気カップ１０１（排気装置）と、排気カップ１０１に接続される本排気系統１０２（第１の排気系統）と、同じく排気カップ１０１に接続される差動排気系統１０３（第２の排気系統）とを備える。
【００２４】
排気カップ１０１はステンレス製の円柱材であり、その下面（接触面）において板ガラス６００に接触し、該下面には、円柱の中心軸に沿って穿孔された本排気室１０４（第１の排気室）と、該本排気室１０４を囲うように下面の中心を中心とする円周上に設けられた溝状の差動排気室１０５（第２の排気室）とが配される。本排気室１０４及び差動排気室１０５は溶接加工等によって形成される。また、本排気室１０４の内部にはコイル状のフィラメント１０６が横置きに配せられ、フィラメント１０６の上記下面からの円柱における高さ方向に関する距離は、排気管６０５の板ガラス６００からの突出量に所定の隙間量を加算した値に設定される。
【００２５】
本排気系統１０２は、金属のパイプからなる配管１０７（第１の配管）と、該配管１０７の途中において排気カップ１０１側から順に直列に配されたＴＭＰ等の高真空ポンプ１０８（他の減圧器）及びＲＰ等の低真空ポンプ１０９（減圧器）と、配管１０７において本排気室１０４及び高真空ポンプ１０８の間に配された開閉自在なバルブ１１１とを備え、配管１０７の一端は本排気室１０４と連通し、配管１０７の他端は大気開放される。
【００２６】
差動排気系統１０３は、金属のパイプからなる配管１１０（第２の配管）からなり、配管１１０の一端は差動排気室１０５と連通し、配管１１０の他端は低真空ポンプ１０９及び高真空ポンプ１０８の間において配管１０７に連通する。
【００２７】
減圧層６０２（層状空間）の減圧の際、差動排気系統１０３は、低真空ポンプ１０９によって差動排気室１０５を減圧し、差動排気室１０５に負圧を発生させることによって排気カップ１０１を板ガラス６００に吸着させ、本排気系統１０２は、高真空ポンプ１０８及び低真空ポンプ１０９によって本排気室１０４を減圧し、さらには排気管６０５を介して減圧層６０２を減圧する。
【００２８】
このとき、差動排気室１０５を減圧するのは低真空ポンプ１０９のみであるが、差動排気室１０５内の圧力として必要な負圧が本排気室１０４内の圧力および大気圧の中間程度の圧力でよいため、当該必要な負圧は低真空ポンプ１０９のみで容易に実現される。
【００２９】
次に、減圧処理装置１００を使用する減圧層６０２の減圧処理について説明する。
【００３０】
図２は、図１の減圧処理装置１００を使用する減圧層６０２の減圧処理のフローチャートである。
【００３１】
まず、バルブ１１１を閉じて本排気室１０４及び低真空ポンプ１０９の連通を遮断した後、板ガラス６０１上に所定の間隔を保って板ガラス６００を載置し、板ガラス６００及び６０１の全周縁に周縁シール材６０３を塗布することによってペアリングを行う（ステップＳ２０１）。
【００３２】
次いで、排気カップ１０１をフィラメント１０６が排気管６０５に対向するように、板ガラス６００上に装着し、低真空ポンプ１０９を作動させる（ステップＳ２０２）。これにより、差動排気室１０５に負圧を発生させて排気カップ１０１を板ガラス６００に吸着させる。
【００３３】
その後、排気カップ１０１が装着された板ガラス６００及び６０１を不図示の炉内で焼成して周縁シール材６０３を溶融させた後、当該板ガラス６００及び６０１を冷却して周縁シール材６０３を凝固させることによって板ガラス６００及び６０１を封着する（ステップＳ２０３）。これにより、板ガラス６００及び６０１の間に減圧層６０２が形成され、板ガラス６００，６０１及び周縁シール材６０３の組み合わせはガラスパネル６０６となる。
【００３４】
次いで、炉内の温度を一定時間維持することによって減圧層６０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させ、さらに、バルブ１１１を開いて本排気室１０４及び低真空ポンプ１０９を連通させた後、高真空ポンプ１０８を作動させる（ステップＳ２０４）。これにより、上記ガス及び空気を排出して減圧層６０２を減圧するベーキングを行う。
【００３５】
減圧層６０２の圧力が所定の値を下回ると、ガラスパネル６０６の冷却を開始すると共に、フィラメント１０６に通電して、これを発熱させる。これにより、フィラメント１０６が対向する排気管６０５の端部を溶融させて減圧層６０２を封止する（ステップＳ２０５）。
【００３６】
その後、高真空ポンプ１０８及び低真空ポンプ１０９の作動を停止する（ステップＳ２０６）。これにより、排気カップ１０１を板ガラス６００から離脱させ、本処理を終了する。
【００３７】
本第１の実施の形態に係る減圧処理装置１００によれば、本排気系統１０２は、配管１０７と、該配管１０７の途中において排気カップ１０１側から順に直列に配された高真空ポンプ１０８及び低真空ポンプ１０９とを備え、配管１０７の一端は本排気室１０４と連通し、配管１０７の他端は大気開放されると共に、差動排気室１０５と連通する差動排気系統１０３における配管１１０が、低真空ポンプ１０９及び高真空ポンプ１０８の間において配管１０７と連通するので、本排気系統１０２及び差動排気系統１０３を１つの排気系統にまとめることができ、もって、排気系統のレイアウトを簡素化して減圧処理装置１００の肥大化を防止でき、さらに、差動排気室１０５を低真空ポンプ１０９だけで減圧すると共に、本排気室１０４を低真空ポンプ１０９だけでなく、高真空ポンプ１０８によっても減圧することができ、本排気室１０４の圧力を大気圧を大きく下回らせ且つ差動排気室１０５の圧力を排気カップ１０１が板ガラス６００に吸着可能な負圧に留めることができる。
【００３８】
本第１の実施の形態では、本排気系統１０２が高真空ポンプ１０８及び低真空ポンプ１０９を備えたが、本排気系統１０２が低真空ポンプ１０９のみを備えていてもよく、このとき、低真空ポンプ１０９は、配管１０７を介して本排気室１０４を減圧し且つ配管１１０を介して差動排気室１０５を減圧するため、１つの真空ポンプで本排気室１０４及び差動排気室１０５を減圧することができ、もって、減圧処理装置１００のコストを低減できる。
【００３９】
また、本第１の実施の形態では、配管１０７において独立したバルブ１１１を配したが、高真空ポンプ１０８がシャッタ機構を備え、当該シャッタ機構の開閉により本排気室１０４及び低真空ポンプ１０９の連通を制御してもよい。
【００４０】
さらに、本第１の実施の形態では、低融点ガラスからなる周縁シール材６０３が溶融された際（ステップＳ２０３）、減圧層６０２が低真空ポンプ１０９によって減圧されていると、溶融した周縁シール材６０３の減圧層６０２への引き込みが発生してしまうため、該引き込みの発生を防止すべく、図２の処理におけるベーキング（ステップＳ２０４）までは、本排気室１０４及び低真空ポンプ１０９の連通がバルブ１１１によって遮断されるが、周縁シール材６０３として後述するように金属製の溶融ハンダを用いた場合、板ガラス６００及び６０１の間隙に流し込まれた溶融ハンダは直ちに凝固するため、上述したような減圧層６０２への引き込みが発生しない。従って、配管１０７においてバルブ１１１を設けることなく、本排気室１０４及び低真空ポンプ１０９を常に連通させてもよい。
【００４１】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る減圧処理装置について図面を参照しながら説明する。本第２の実施の形態は、その構成、作用が上述した本第１の実施の形態と基本的に同じであるので、重複した構成、作用については説明を省略し、以下に異なる構成、作用についての説明を行う。ここで、本第２の実施の形態に係る減圧処理装置によって製造されるガラスパネルも従来のガラスパネル６０６と同じである。
【００４２】
図３は、本発明の第２の実施の形態に係る減圧処理装置３００の概略構成を示す図である。
【００４３】
減圧処理装置３００は、排気カップ１０１と、排気カップ１０１に接続される本排気系統３０１と、同じく排気カップ１０１に接続される差動排気系統３０２とを備える。ここで排気カップ１０１の構成は、図１の減圧処理装置１００における排気カップ１０１の構成と同じである。
【００４４】
本排気系統３０１は、金属のパイプからなる配管３０３と、該配管３０３の途中において配されたＴＭＰ等の高真空ポンプ３０４と、配管３０３において本排気室１０４及び高真空ポンプ３０４の間に配された開閉自在なバルブ３０６とを備え、配管３０３の一端は本排気室１０４と連通し、配管３０３の他端は大気開放される。
【００４５】
差動排気系統３０２は、金属のパイプからなる配管３０５からなり、該配管３０５の一端は差動排気室１０５と連通し、配管３０５の他端は本排気室１０４及び高真空ポンプ３０４の間において配管３０３に連通し、さらに、配管３０５は、差動排気室１０５及び配管３０３の間においてその断面積が配管３０３の断面積より小さい狭小部３０５ａを有する。従って、差動排気系統３０２のコンダクタンスは本排気系統３０１のコンダクタンスより小さい。
【００４６】
減圧層６０２の減圧の際、差動排気系統３０２は、高真空ポンプ３０４によって差動排気室１０５を減圧し、差動排気室１０５に負圧を発生させることによって排気カップ１０１を板ガラス６００に吸着させ、本排気系統３０１は、高真空ポンプ３０４によって本排気室１０４を減圧し、さらには排気管６０５を介して減圧層６０２を減圧する。
【００４７】
このとき、差動排気室１０５は高真空ポンプ３０４によって減圧されるが、差動排気系統３０２のコンダクタンスが小さいので、差動排気室１０５内の圧力は排気カップ１０１が板ガラス６００に吸着可能な負圧に留まる。
【００４８】
次に、減圧処理装置３００を使用する減圧層６０２の減圧処理について説明する。
【００４９】
図４は、図３の減圧処理装置３００を使用する減圧層６０２の減圧処理のフローチャートである。
【００５０】
まず、バルブ３０６を閉じて本排気室１０４及び高真空ポンプ３０４の連通を遮断した後、図２の処理におけるステップＳ２０１と同様にペアリングを行い（ステップＳ４０１）、排気カップ１０１をフィラメント１０６が排気管６０５に対向するように、板ガラス６００上に装着し、高真空ポンプ３０４を作動させる（ステップＳ４０２）。これにより、差動排気室１０５に負圧を発生させて排気カップ１０１を板ガラス６００に吸着させる。
【００５１】
その後、図２の処理におけるステップＳ２０３と同様に板ガラス６００及び６０１を封着し（ステップＳ４０３）、次いで、ガラスパネル６０６を加熱して減圧層６０２に存在する水分、有機物、油脂等をガス化させ、さらに、バルブ３０６を開いて本排気室１０４及び高真空ポンプ３０４を連通させる。このとき、既に高真空ポンプ３０４は作動しているので、ガス化された水分等や空気が減圧層６０２から、本排気室１０４及び高真空ポンプ３０４を連通する配管３０１を介して排出されてベーキングが行われる。
【００５２】
次いで、図２の処理におけるステップＳ２０５と同様に減圧層６０２を封止し（ステップＳ４０４）、高真空ポンプ３０４の作動を停止する（ステップＳ４０５）。これにより、排気カップ１０１を板ガラス６００から離脱させ、本処理を終了する。
【００５３】
本第２の実施の形態に係る減圧処理装置３００によれば、本排気系統３０１は、配管３０３と、該配管３０３の途中において配された高真空ポンプ３０４とを備え、配管３０３の一端は本排気室１０４と連通し、配管３０３の他端は大気開放されると共に、差動排気室１０５と連通する差動排気系統３０２における配管３０５が、本排気室１０４及び高真空ポンプ３０４の間において配管３０３と連通し、差動排気室１０５及び配管３０３の間においてその断面積が配管３０３の断面積より小さい狭小部３０５ａを有するので、差動排気系統３０２のコンダクタンスを本排気系統３０１のコンダクタンスより小さく設定でき、本排気室１０４及び差動排気室１０５を１つの高真空ポンプ３０４で減圧できると共に、差動排気系統３０２の減圧能力を本排気系統３０１の減圧能力より下げることができ、もって、減圧処理装置３００のコストを低減しつつ、本排気室１０４の圧力を大気圧を大きく下回らせ且つ差動排気室１０５の圧力を排気カップ１０１が板ガラス６００に吸着可能な負圧に留めることができる。また、追加デバイスを必要とすることなく、差動排気系統３０２のコンダクタンスを本排気系統３０１のコンダクタンスより小さくできる。
【００５４】
以上、本発明の減圧処理装置の具体例として、図１の減圧処理装置１００及び図３の減圧処理装置３００について説明したが、本発明の減圧処理装置は、これに限定されるものではなく、減圧処理装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよく、例えば、排気系統が中真空ポンプを備えていてもよい。このとき、図５に示すように、減圧処理装置５００は、排気カップ１０１と、排気カップ１０１に接続される本排気系統５０１と、同じく排気カップ１０１に接続される差動排気系統５０２とを備える。本排気系統５０１は、配管５０３と、該配管５０３の途中において排気カップ１０１側から順に直列に配された高真空ポンプ５０４、中真空ポンプ５０５及び低真空ポンプ５０６とを備え、配管５０３の一端は本排気室１０４と連通し、配管５０３の他端は大気開放される。差動排気系統５０２は、配管５０７からなり、配管５０７の一端は差動排気室１０５と連通し、配管５０７の他端は中真空ポンプ５０５及び高真空ポンプ５０４の間において配管５０３に連通する。
【００５５】
また、上述した図３の減圧処理装置３００では、差動排気系統３０２のコンダクタンスを本排気系統３０１のコンダクタンスより小さく設定するために、差動排気系統３０２における配管３０５が、差動排気室１０５及び配管３０３の間においてその断面積が配管３０３の断面積より小さい狭小部３０５ａを有するが、コンダクタンスの設定手段もこれに限られず、例えば、差動排気系統における配管の途中に流量調整弁、例えば、スライドバルブ等を配し、該流量調整弁を半閉じする等して差動排気系統のコンダクタンスを小さくしてもよい。
【００５６】
また、減圧処理装置１００，３００によって減圧処理が行われるガラスパネルは、真空ガラスやＰＤＰに限られず、建築物や乗り物（自動車、鉄道車両、船舶）用の窓ガラス、又は、冷蔵庫や保温装置等のような各種装置の扉や壁部等、種々の用途に使用されるガラスパネルであってもよい。
【００５７】
また、排気管６０５等に熱を与える熱源としては、フィラメントだけでなく赤外線輻射ヒータ等を用いてもよい。
【００５８】
上述したガラスパネル６０６では、周縁シール材６０３や封着材６０４を形成する材料として低融点ガラスを使用する例を示したが、これに代えて、金属製の溶融ハンダを使用してもよい。
【００５９】
板ガラス６００，６０１に使用される板ガラスとしては、フロートガラスに限られるものではなく、ガラスパネルの用途や目的に応じて、例えば、型板ガラス、表面処理により光拡散機能を備えたすりガラス、網入りガラス、線入りガラス、強化ガラス、倍強化ガラス、低反射ガラス、高透過ガラス、セラミック印刷ガラス、熱線や紫外線吸収機能を備えた特殊ガラス、又は、これらの組み合わせ等、種々のガラスを適宜選択して使用することができる。これらガラスの組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ほう珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る減圧処理装置１００の概略構成を示す図である。
【図２】図１の減圧処理装置１００を使用する減圧層６０２の減圧処理のフローチャートである。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る減圧処理装置３００の概略構成を示す図である。
【図４】図３の減圧処理装置３００を使用する減圧層６０２の減圧処理のフローチャートである。
【図５】本発明に係る減圧処理装置の変形例の概略構成を示す図である。
【図６】従来のガラスパネルの概略構成を示す図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は断面図である。
【図７】従来の減圧処理装置の概略構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６１】
１００，３００，５００  減圧処理装置
１０１  排気カップ
１０２，３０１，５０１  本排気系統
１０３，３０２，５０２  差動排気系統
１０４  本排気室
１０５  差動排気室
１０７，１１０，３０３，３０５，５０３，５０７  配管
１０８，３０４，５０４  高真空ポンプ
１０９，５０６  低真空ポンプ
３０５ａ  狭小部
５０５  中真空ポンプ
６０２  減圧層
【図１】
2005129266.tif 000003
【図２】
2005129266.tif 000004
【図３】
2005129266.tif 000005
【図４】
2005129266.tif 000006
【図５】
2005129266.tif 000007
【図６】
2005129266.tif 000008
【図７】
2005129266.tif 000009