(57)【要約】【課題】  様々なサイズの試料でも、簡単な構成で容易に、かつ、短時間で、試料表面の撥液性及び面内分布を高精度で評価できるようにする。【解決手段】  開示される撥液性評価装置は、試料１１上に試料１１の撥液性を評価するための液剤１２を塗布するダイコータ１と、液剤１２の塗布直後から試料１１上に複数の液玉が形成されるまで試料１１の表面を撮影して複数の撮影画像を出力するカメラ２と、複数の撮影画像について画像解析して試料１１の撥液性及び面内分布を評価する制御部３及びメモリ４とを備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料上に前記試料の撥液性を評価するための液剤を塗布する塗布手段と、
前記液剤の塗布直後から前記試料上に複数の液玉が形成されるまで前記試料表面を撮影して複数の撮影画像を出力するカメラと、
前記複数の撮影画像について画像解析して前記試料の撥液性及び面内分布を評価する評価手段と
を備えていることを特徴とする撥液性評価装置。
【請求項２】
前記塗布手段は、ダイコータ又はスプレーユニットであることを特徴とする請求項１記載の撥液性評価装置。
【請求項３】
前記カメラは、前記試料表面を複数のブロックに分割した前記複数のブロックごとに設けられ、
前記評価手段は、前記複数のカメラから出力される前記複数のブロックごとの前記撮影画像を合成した画像について前記評価を行うことを特徴とする請求項１又は２記載の撥液性評価装置。
【請求項４】
前記カメラは、前記塗布手段による前記液剤の塗布動作とともにスキャンして、前記試料表面を撮影することを特徴とする請求項１又は２記載の撥液性評価装置。
【請求項５】
前記評価手段は、前記ブロック又はスキャンした領域に応じて前記評価の結果を補正することを特徴とする請求項３又は４記載の撥液性評価装置。
【請求項６】
前記評価手段は、前記複数の撮影画像を２値化した複数の２値化画像について、前記液剤の塗布直後から前記複数の液玉が形成されるまでの時間、前記複数の液玉の真円度、前記複数の液玉の面積を合計した面積の前記試料表面全体で占める割合、前記複数の液玉の形状や大きさの前記試料表面全体における均一性、前記複数の液玉の間隔の前記試料表面全体における均一性のいずれかを評価項目として、評価することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の撥液性評価装置。
【請求項７】
試料上に前記試料の撥液性を評価するための液剤を塗布するとともに、前記液剤の塗布直後から前記試料上に液玉が形成されるまで前記試料表面を撮影して得られた複数の撮影画像について画像解析して前記試料の撥液性及び面内分布を評価することを特徴とする撥液性評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料表面の撥液性やその撥液性の当該表面における均一性（面内分布）を評価する撥液性評価装置及び撥液性評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の撥液性評価装置は、板状試料を保持する試料ホルダーと、試料ホルダーに取り付けられた軸体と、軸体を回動させて板状試料を徐々に傾斜させる駆動手段と、板状試料の傾斜角度を測定する試料傾斜角度読取手段と、板状試料の表面に水滴を形成させる水供給手段とを有している（例えば、特許文献１参照。）。以下、この技術を第１の従来例と呼ぶ。
【０００３】
また、従来の撥液性評価方法には、試料上の撥液膜の所定ポイントに光を照射し、その反射光から当該ポイントにおける光屈折率を測定し、得られた光屈折率を予め求めた撥液膜の膜厚と光屈折率の関係マップと比較して撥液膜の膜厚を求め、さらに該撥液膜の膜厚と対液体接触角の関係と照合して撥液膜の特性を評価しているものもある（例えば、特許文献２参照。）。以下、この技術を第２の従来例と呼ぶ。
【０００４】
【特許文献１】実開平７−２６７５１号公報（請求項１，［００１０］〜［００１２］、図１）
【特許文献２】特開平１０−２０６３２５号公報（請求項１，［０００８］，［００１８］〜［００２０］、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した第１の従来例では、水滴の滴下という手法を採用しているため、大面積の試料全体の撥液性を評価する場合には、膨大な時間（３００ｍ×３００ｍｍの試料で約１時間）を要し、また試料表面の撥液性の均一性を評価する場合には、時間の点はもちろん、試料全体にわたって評価条件を一定にする必要があり、容易に評価結果が得られないという課題があった。このように評価時間がかかるため、複数の液剤について撥液性を評価しなければならない試料であっても、１種類の液剤（例えば、純水）のみを用いて撥液性を評価しなければならず、評価結果の信頼性が低いという課題があった。また、上記した第１の従来例では、試料の重量が大きい場合には、試料ホルダーが試料を保持できなかったり、駆動手段が試料を所望の速度で傾斜させることができないという課題があった。さらに、上記した第１の従来例において、曲面を有する試料表面の撥液性を評価する場合には、当該試料の形状に合わせた試料ホルダーが必要であり、使い勝手が悪いという課題があった。
【０００６】
一方、上記した第２の従来例では、撥液膜の膜厚と光屈折率の関係マップや撥液膜の膜厚と対液体接触角の関係を予め求めておく必要があり、手間がかかるとともに、簡単な構成で容易に試料表面の撥液性を評価することができないという課題があった。また、上記した第２の従来例では、装置の構造上、大面積の試料や曲面を有する試料を高精度で評価することはできないという課題があった。
【０００７】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、様々なサイズの試料や曲面を有する試料であっても、簡単な構成で容易に、かつ、短時間で、試料表面の撥液性及び面内分布を高精度で評価することができる撥液性評価装置及び撥液性評価方法を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る撥液性評価装置は、試料上にこの試料の撥液性を評価するための液剤を塗布する塗布手段と、液剤の塗布直後から試料上に複数の液玉が形成されるまで試料表面を撮影して複数の撮影画像を出力するカメラと、複数の撮影画像について画像解析して試料の撥液性及び面内分布を評価する評価手段とを備えているものである。本発明によれば、様々なサイズの試料であっても、簡単な構成で容易に、かつ、短時間で、試料表面の撥液性及び面内分布を高精度で評価することができる。
【０００９】
また、上記の装置において、塗布手段は、ダイコータ又はスプレーユニットである。これにより、試料上に液剤を均一に塗布することができる。また、塗布手段がスプレーユニットである場合には、曲面を有する試料であっても、簡単な構成で容易に、かつ、短時間で、試料表面の撥液性及び面内分布を高精度で評価することができる。
また、上記の装置において、カメラは、試料表面を複数のブロックに分割した複数のブロックごとに設けられ、評価手段は、複数のカメラから出力される複数のブロックごとの撮影画像を合成した画像について評価を行うものである。これにより、試料のサイズが大きくても、簡単な構成で容易に、かつ、短時間で、試料表面の撥液性及び面内分布を高精度で評価することができる。
【００１０】
また、上記の装置において、カメラは、塗布手段による液剤の塗布動作とともにスキャンして、試料表面を撮影するものである。これにより、試料のサイズが大きくても、簡単な構成で容易に、かつ、短時間で、試料表面の撥液性及び面内分布を高精度で評価することができる。
また、上記の装置において、評価手段は、ブロック又はスキャンした領域に応じて評価の結果を補正するものである。これにより、評価結果の信頼性を高めることができる。
【００１１】
また、上記の装置において、評価手段は、複数の撮影画像を２値化した複数の２値化画像について、液剤の塗布直後から複数の液玉が形成されるまでの時間、複数の液玉の真円度、複数の液玉の面積を合計した面積の試料表面全体で占める割合、複数の液玉の形状や大きさの試料表面全体における均一性、複数の液玉の間隔の試料表面全体における均一性のいずれかを評価項目として、評価するものである。これにより、試料の撥液性及び面内分布を定量的に評価することができる。
【００１２】
また、本発明に係る撥液性評価方法は、試料上にこの試料の撥液性を評価するための液剤を塗布するとともに、液剤の塗布直後から試料上に液玉が形成されるまで試料表面を撮影して得られた複数の撮影画像について画像解析して試料の撥液性及び面内分布を評価するものである。本発明によれば、様々なサイズの試料であっても、簡単な構成で容易に、かつ、短時間で、試料表面の撥液性及び面内分布を高精度で評価することができる。
【００１３】
また、上記の方法において、液剤は、ダイコータ又はスプレーユニットを用いて塗布するものである。これにより、試料上に液剤を均一に塗布することができる。また、スプレーユニットを用いた場合には、曲面を有する試料であっても、簡単な構成で容易に、かつ、短時間で、試料表面の撥液性及び面内分布を高精度で評価することができる。
また、上記の方法において、試料表面を複数のブロックに分割し、複数のブロックごとに試料表面を撮影して得られた複数のブロックごとの撮影画像を合成した画像について評価を行うものである。これにより、試料のサイズが大きくても、簡単な構成で容易に、かつ、短時間で、試料表面の撥液性及び面内分布を高精度で評価することができる。
また、上記の方法において、液剤の塗布動作とともにスキャンして、試料表面を撮影するものである。これにより、試料のサイズが大きくても、簡単な構成で容易に、かつ、短時間で、試料表面の撥液性及び面内分布を高精度で評価することができる。
また、上記の方法において、ブロック又はスキャンした領域に応じて評価の結果を補正するものである。これにより、評価結果の信頼性を高めることができる。
【００１４】
また、上記の方法において、複数の撮影画像を２値化した複数の２値化画像について、液剤の塗布直後から複数の液玉が形成されるまでの時間、複数の液玉の真円度、複数の液玉の面積を合計した面積の試料表面全体で占める割合、複数の液玉の形状や大きさの試料表面全体における均一性、複数の液玉の間隔の試料表面全体における均一性のいずれかを評価項目として、評価を行うものである。これにより、試料の撥液性及び面内分布を定量的に評価することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１である撥液性評価装置の構成を示すブロック図である。
この例の撥液性評価装置は、ダイコータ１と、カメラ２と、制御部３と、メモリ４と、モニタ５とから概略構成されている。ダイコータ１は、制御部３から供給される制御信号に基づいて、机上に固定された試料１１上にその表面の撥液性を評価するための液剤１２を均一に所定速度で塗布する。なお、ダイコータ及びダイコータを用いた塗布方法の詳細については、例えば、特開２００４−３３９６５号公報又は特開２００４−４１８５６号公報を参照されたい。
【００１６】
ここで、試料１１としては、例えば、ディスプレイ、半導体素子等の電子デバイス、その表面に撥液性の膜（撥液膜）が形成された電子部品や電子機器のハウジング、自動車や自動二輪車等の車両の車体、レインコート等の衣類、眼鏡や傘等の日常品、家具、建材等がある。このうち、ディスプレイとしては、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ： Liquid Crystal Display）、ＣＲＴディスプレイ、エレクトロルミネセンス（ＥＬ：electroluminescence）ディスプレイ、蛍光表示管（ＶＦＤ：Vacuum Fluoresent Display）（特に、その一種である電界電子放射型ディスプレイ（ＦＥＤ：Field Emission Display））、あるいはプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ；Plasma Display Panel）等がある。本発明は、特に、各ディスプレイの表示面又はこれらのマザー基板上に形成された保護膜の撥液性を評価するのに適している。
【００１７】
電子デバイスとしては、例えば、製造途中の半製品や半導体集積回路等がある。電子デバイスの製造過程では、例えば、シリコンウェハ等の表面全面に撥液性を有するフォトレジスト膜を形成し、マスクを介してＵＶ光等を照射することによりマスクで覆われていない部分のフォトレジスト膜を分解して親液性を有するように変質させ、パターニングするための液を塗布した後、親液性を有する部分のみを残し、その部分を焼結してパターニングしている。そこで、シリコンウェハの表面に形成する撥液膜の撥液性を評価することが必要である。
【００１８】
建材としては、例えば、屋内では、居住者等が手を触れるドアノブや取っ手、台所、トイレ、風呂等の水回りに用いられるもの、屋外では、雨や雪に晒される壁や屋根などがある。また、試料１１の撥水性を評価するための液剤１２が触れる最も外側の面（最表面）の材質としては、金属系のもの、ガラス系のもの、あるいは樹脂系のもの等がある。さらに、試料１１のサイズとしては、この実施の形態１では、例えば、１０ｍ×２０ｍｍ程度から３０ｍ×３０ｍｍ程度まで評価対象とすることができる。液剤１２としては、例えば、純水、蒸留水、表面自由エネルギー解析法で用いられるもの（シクロヘキシルベンゼン、ジヨードメタン、ブロモナフタレン、エチレングリコール、ヘキサン、オクタン、デカン）、フッ素系表面防汚コーティング剤、グリセリン等の粘性の高いもの、あるいはフォトレジスト剤、水溶性又は油溶性のインクなど、試料１１の表面に直接触れるものであって、それに対する撥液性を確保したいものを用いる。
【００１９】
カメラ２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）センサ又はＣＭＯＳ（Complimentary Metal Oxide Semiconductor）センサ等の撮像素子やレンズ等を有し、制御部３から供給される制御信号に基づいて、試料１１の直上に配置され、試料１１の表面全体を撮影して１画素あたり複数ビット（例えば、１２ビット）のデジタルの画像データ（撮影画像）を出力する。カメラ２は、モノクロ用でもカラー用でもいずれでも良い。
【００２０】
制御部３は、中央処理装置（ＣＰＵ）、デジタルシグナルプロセッサ（ＤＳＰ）、シーケンサ等からなり、メモリ４に記憶されている撥液性評価プログラム等に基づいて、撥液性評価処理等を実行することにより、装置各部を制御する。すなわち、例えば、撥液性評価プログラムが読み出されると、制御部３に読み込まれ、制御部３の動作を制御する。制御部３は、撥液性評価プログラムが起動されると、撥液性評価プログラムの制御により、後述する撥液性評価処理を実行するのである。撥液性評価処理は、試料１１の表面に液剤１２を塗布した直後の状態から所定時間経過した後の状態（例えば、図４に示すように、試料１１上に複数の液玉１３が形成された状態。）までを連続的に撮影したカメラ２からの撮影画像に基づいて、試料１１の撥液性を評価し、評価結果をモニタ５に表示させる処理である。
【００２１】
メモリ４は、ＲＡＭやＲＯＭ、あるいはフラッシュメモリ等の半導体メモリ、ＦＤ（フロッピー（登録商標）・ディスク）が装着されるＦＤドライブ、ＨＤ（ハード・ディスク）が装着されるＨＤドライブ、ＭＯ（光磁気）ディスクが装着されるＭＯディスクドライブ、あるいはＣＤ（コンパクト・ディスク）−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ（Recordable）、ＣＤ−ＲＷ（ReWritable）やＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ等が装着されるＣＤ／ＤＶＤドライブ等からなる。
【００２２】
メモリ４には、上記した制御部３が実行すべき上記撥液性評価プログラムその他の各種プログラムが予め記憶されている。また、メモリ４には、カメラ２によって撮影された撮影画像、制御部３により生成された２値化画像その他の画像が記憶される画像記憶領域や、制御部３が上記撥液性評価プログラムその他の各種プログラムを実行する際に作業用として用いるワーキング記憶領域が確保されている。モニタ５は、ＬＣＤ、ＣＲＴディスプレイ、ＥＬディスプレイ、あるいはＰＤＰなどからなり、制御部３から供給された画像等を表示する。
【００２３】
次に、上記構成の撥液性評価装置の制御部３の撥液性評価処理について、図２に示すフローチャートを参照して説明する。図１に示すように、試料１１が机上に固定された状態において、制御部３は、図２に示すステップＳＰ１の処理へ進み、ダイコータ１に液剤１２の塗布開始を指示するための制御信号を供給した後、ステップＳＰ２へ進む。これにより、ダイコータ１は、制御部３から供給された制御信号に基づいて、机上に固定された試料１１上に対して、ホームポジション（図１において、試料１１の左端）から図中矢印で示す方向（図１において、試料１１の右端）に向かって、所定の速度（スキャン速度）でスキャンしつつ、液剤１２をその試料１１上における膜厚が所定の厚さとなるように吐出する動作を開始する。
【００２４】
具体的には、液剤１２が水溶性の塗料の場合、所定速度を例えば、１００ｍｍ／ｓｅｃとし、液剤１２の膜厚は例えば、１〜５μｍとする。なお、液剤１２の吐出量（又は試料１１上に形成される液剤１２の膜厚）やダイコータ１のスキャン速度は、撥液性及び液剤物性（主に、液剤１２の粘性）の影響を受けるので、それらに応じて設定する必要がある。すなわち、液剤１２の粘性が大きい場合にはスキャン速度を遅くする必要があり、液剤１２の粘性が小さい場合にはスキャン速度を速くする必要がある。また、液剤１２の吐出量（又は試料１１上に形成される液剤１２の膜厚）やダイコータ１のスキャン速度は、評価室内（撥液性評価装置全体をチャンバー内に収容した場合にはその内部）の周囲温度や湿度、あるいはカメラ２を構成する撮像素子のサンプリングレートの影響も受けるので、それらに応じて設定する必要がある。
【００２５】
ステップＳＰ２では、制御部３は、液剤１２の塗布が終了したか否かを判断する。この判断結果が「ＮＯ」の場合には、制御部３は、同判断を繰り返す。この判断は、例えば、試料１１の右端近傍に設けられた図示せぬ位置検出センサがダイコータ１が試料１１の右端に到達したことを検出して位置検出信号を制御部３に供給したか否かにより行う。そして、ダイコータ１が試料１１の右端に到達し、例えば、図示せぬ位置検出センサが上記位置検出信号を制御部３に供給すると、ステップＳＰ２の判断結果が「ＹＥＳ」となり、制御部３は、ステップＳＰ３へ進む。
【００２６】
ステップＳＰ３では、制御部３は、カメラ２に試料１１の表面全体の撮影開始を指示するための制御信号を供給した後、ステップＳＰ４へ進む。これにより、カメラ２は、液剤１２の塗布直後から試料１１の表面全体を撮影する動作を開始し、試料１１の液剤１２の塗布直後の状態から所定時間経過した後の状態までの１画素あたり複数ビット（例えば、１２ビット）のデジタルの画像データ（撮影画像）を制御部３へ供給する。
【００２７】
図３は、試料１１に液剤１２が塗布された直後の状態を示す平面図、図４は、試料１１に液剤１２が塗布されてから所定時間経過した後の状態を示す平面図である。図３において、正方形状の平面を有する試料１１の表面に無数のドットを描いているのは、塗布直後では、液剤１２が試料１１の表面全面に所定の膜厚で均一に塗布されていることを示しているのである。一方、図４においては、試料１１の表面に、所定の直径を有する液玉１３が所定の間隔で並んでいる。これは、試料１１の表面に図示せぬ撥液膜が形成されていることにより、液剤１２の塗布後に、時間の経過とともに液剤１２が撥液膜に弾かれて玉状になったためである。なお、実際上は、図４に示すように、液玉１３が幾何学的に形成されるものではなく、図４はあくまでも模式的に示しているに過ぎない。
【００２８】
ステップＳＰ４では、制御部３は、カメラ２から連続的に供給される撮影画像を、所定時間（例えば、１秒）ごとに抽出してメモリ４の画像記憶領域に順次記憶していくとともに、供給された撮影画像をモニタ５に表示させた後、ステップＳＰ５へ進む。ステップＳＰ５では、制御部３は、撮影が終了したか否かを判断する。この判断結果が「ＮＯ」の場合には、制御部３は、ステップＳＰ４へ戻る。この判断は、例えば、制御部３は、ステップＳＰ３の処理でカメラ２に撮影開始を指示するための制御信号を供給すると同時に、その内部に設けられたハードタイマ又はプログラムタイマを始動させ、ハードタイマ又はプログラムタイマが動作して予め設定された所定時間が経過することにより、ハードタイマから所定時間が経過した旨の信号が供給されたか否か又は、プログラムタイマが所定時間が経過した旨のフラグをセットしたか否かにより行う。そして、撮影を開始してから所定時間が経過すると、ステップＳＰ５の判断結果が「ＹＥＳ」となり、制御部３は、ステップＳＰ６へ進む。
【００２９】
ステップＳＰ６では、制御部３は、メモリ４の画像記憶領域から複数の撮影画像を読み出し、読み出した複数の撮影画像について撥液性の評価を行い、その評価結果をメモリ４の所定の記憶領域に記憶するとともに、モニタ５に表示させた後、ステップＳＰ７へ進む。ここで、撮影画像に関する撥液性評価としては、例えば、以下に示すものがある。まず、各撮影画像の輝度値を所定のしきい値で２値化して２値化画像とすることにより、例えば、液剤１２又は液玉１３を黒色で表示し、液剤１２又は液玉１３が存在しない試料１１の表面を白色で表示する。
【００３０】
次に、上記各２値化画像について、一般的な画像解析プログラムを用いて、各液玉１３によって形成されている模様及び各液玉１３の挙動等を画像解析する。この画像解析の項目としては、（１）液剤１２の塗布直後から液玉１３が形成されるまでの時間はどれだけか、（２）各液玉１３の真円度が高いか否か、（３）各液玉１３の面積を合計した面積が試料１１全体で占める割合はどの程度か、（４）各液玉１３の形状や大きさが試料１１全体で均一であるかばらついているか、（５）各液玉１３の間隔（密度）が試料１１全体で均一であるかばらついているかなどがある。（４）及び（５）は、上記した面内分布に関するものである。
【００３１】
ステップＳＰ７では、制御部３は、メモリ４の所定の記憶領域に記憶されている撥液性の評価結果を読み出し、その評価結果に基づいて当該試料１１の良否判定を行い、その結果をモニタ５に表示させた後、ステップＳＰ７へ進む。ここで、良否判定の指標としては、例えば、試料１１に数μｍの膜厚で塗布した場合、（ａ）液玉１３の直径が２ｍｍ以下であること、（ｂ）各液玉１３の真円度として液玉１３の長軸と短軸との２０％以内であることなどを挙げることができ、これらの指標が満たされれば、当該試料１１は良品と判定される。ステップＳＰ８では、制御部３は、評価完了信号を出力し、評価完了をモニタ５に表示させた後、一連の処理を終了する。
以上説明した処理により、１個の試料１１の評価が終了すると、作業者は、その試料１１を机上から取り外し、次に評価すべき試料１１を机上に固定して、新たな試料１１の評価を開始する。
【００３２】
このように、この例の構成によれば、ダイコータ１を用いて試料１１上に液剤１２を均一に高速で塗布するとともに、液剤１２の塗布直後から液玉１３が形成されるまでの挙動を連続的にカメラ２で撮影して得られた複数の撮影画像について画像解析して試料表面の撥液性及び面内分布を定量的に評価している。したがって、試料全体にわたって評価条件を容易に一定に設定することができるので、様々なサイズの試料についても定量的にその表面全体わたる撥液性及びその面内分布が容易にかつ短時間に評価することができる。また、評価時間が短いことから、複数の液剤について撥液性を評価しなければならない試料であっても、すべての種類の液剤を用いて撥液性を評価することができ、評価結果の信頼性が高い。また、試料は机上に固定するだけで良いので、試料の重量が大きくても何ら支障はない。また、この例の構成によれば、試料表面の撥液性及び面内分布の評価に必要なデータはカメラ２からの撮影画像だけであるので、手間がかからず、簡単な構成で容易に試料表面の撥液性を評価することができる。
【００３３】
実施の形態２．
上述した実施の形態１では、試料１１の表面が平面である例を示したが、本発明はこれに限定するものではない。例えば、本発明は、試料の表面が曲面であっても適用することができる。この場合、比較的粘性の高い液剤を微細ミストとして均一に噴射して試料表面に液剤を液だれしない程度に成膜するスプレー成膜法が適用されたスプレーユニットを用いる。この構成によれば、例えば、眼鏡レンズのような表面が曲面である試料表面の撥液性及び面内分布を評価することができる。
【００３４】
実施の形態３．
上述した実施の形態１では、１０ｍ×２０ｍｍ程度から３０ｍ×３０ｍｍ程度までのサイズの試料１１の表面全体を１台のカメラ２を用いて撮影する例を示したが、本発明はこれに限定するものではない。例えば、大きいサイズ（例えば、１８００ｍ×１８００ｍｍ）の試料を複数のブロックに分割するとともに、ブロックの数と同数のカメラを用意し、各ブロックの表面全体を対応するカメラを用いて撮影して得られた撮影画像を合成しても良い。また、横長の試料については、１台のカメラをダイコータと一緒にスキャンさせ、ダイコータによる液剤の塗布直後から試料表面をカメラにより撮影して撮影画像を得るようにしても良い。いずれの場合でも、１台のカメラで限られた面積の試料表面を撮影する場合と比べて、試料表面における液剤の状態が試料の位置によって異なる場合があり得るので、撮影タイミング（例えば、当該ブロック又はスキャンした領域の塗布直後から２秒後に撮影するなど）や液剤の粘性、後者の場合にはダイコータとともにスキャンさせるカメラのスキャン速度等に応じて、評価結果について主に時間的な補正しなければならない場合がある。この構成によれば、例えば、サイズが１ｍ×２ｍ程度までの試料を評価対象とすることができる。また、時間の点では、例えば、３００ｍ×３００ｍｍの試料であれば５分以内で評価することができる。補正を行えば、その評価結果の信頼性を高めることができる。
【００３５】
以上、この実施の形態を図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態１を示す撥液性評価装置のブロック図。
【図２】制御部の撥液性評価処理を説明するためのフローチャート。
【図３】試料に液剤が塗布された直後の状態を示す平面図。
【図４】試料に液剤が塗布されてから所定時間経過した後の状態を示す平面図。
【符号の説明】
【００３７】
１  ダイコータ（塗布手段）、２  カメラ、３  制御部（評価手段）、４  メモリ（評価手段）、５  モニタ、１１  試料、１２  液剤、１３  液玉。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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