(57)【要約】【課題】  レーザ光全反射観察または白色光全反射観察または白色光落射照明による観察を１台で行うことを可能とする顕微鏡装置を提供すること。【解決手段】  対物レンズＧ６を介して標本を照明する照明装置において、レーザ光照明光学系２と、白色光照明光学系４とを有し、前記レーザ光照明光学系２は前記標本Ｏにレーザ全反射照明光を出射し、前記白色光照明光学系４は、前記標本Ｏに白色光落射照明光または白色光全反射照明光を出射し、前記レーザ全反射照明光と前記白色光落射照明光と前記白色光全反射照明光の少なくとも１つの照明光を前記標本に照射する切換手段Ｍ２を有する照明装置。【選択図】  図１
2005300614.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズを介して標本を照明する照明装置において、
レーザ光照明光学系と、白色光照明光学系とを有し、
前記レーザ光照明光学系は、前記標本にレーザ全反射照明光を出射し、
前記白色光照明光学系は、前記標本に白色光落射照明光または白色光全反射照明光を出射し、
前記レーザ全反射照明光と前記白色光落射照明光と前記白色光全反射照明光の少なくとも１つの照明光を前記標本に照射する切換手段を有することを特徴とする照明装置。
【請求項２】
前記白色照明光学系は、前記白色光落射照明光と白色光全反射照明光を切換える白色光全反射照明切換手段を有することを特徴とする請求項１に記載の照明装置。
【請求項３】
前記白色光全反射照明切換手段は、前記白色光照明光学系の光軸に対して傾斜可能なハービングガラスと、円弧状開口絞を有し、前記白色光照明光学系の光軸に挿脱可能であることを特徴とする請求項２に記載の照明装置。
【請求項４】
前記切換手段は、前記レーザ光照明光学系からのレーザ光と前記白色光照明光学系からの白色光の少なくとも一方の光を透過または反射するミラーからなることを特徴とする請求項１に記載の照明装置。
【請求項５】
前記照明装置は、前記白色光全反射照明光と前記レーザ光全反射照明光とを同時に前記標本に照射可能であることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の照明装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の照明装置を有することを特徴とする顕微鏡装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡の照明装置、特に落射照明または全反射照明可能な照明装置とこれを有する顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、全反射照明によりカバーガラスと標本の境界面の極浅い限定された領域の蛍光像が、コントラスト良く得られることが知られている。全反射照明に於いては、標本の屈折率とカバーガラスの屈折率の僅かな違いを利用するため、標本の屈折率より大きな開口（ＮＡ）を有する対物レンズの瞳の最周辺部のみに集光された照明光が使用される。このため明るい光源が必要となりレーザ光が一般的に用いられている（例えば、特許文献１参照。）。しかし、光量を得るためにレーザ光は有効であるが、レーザゆえの可干渉性（コヒーレンシー）が観察像に影響を与えることや、励起光となるレーザ波長が固定されること、あるいは複数の励起光の波長に対応するためには高価になることなどが問題となる。
【０００３】
これを解決するために、高輝度水銀ランプの白色光源を用いた全反射照明装置が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００４】
また、現在では多彩な顕微鏡観察手段が要求され、蛍光観察に於いても通常の落射照明と全反射照明とを簡単に切換えられることが必須となっている。
【特許文献１】特許第３０９３１４５号公報
【特許文献２】特開２００２−２３６２５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、これまで、レーザ光を用いてレーザ光落射蛍光観察またはレーザ光全反射蛍光観察、あるいは白色光を用いて白色光落射蛍光観察または白色光全反射蛍光観察を一台の顕微鏡で行うことは提案されているが、レーザ光全反射観察または白色光全反射観察または白色光落射照明による観察を１台で行うことを可能とする顕微鏡装置は提案されていない。
【０００６】
本発明は、上記課題に鑑みて行われたものであり、レーザ光全反射観察または白色光全反射観察または白色光落射照明による観察を１台で行うことを可能とする顕微鏡装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、対物レンズを介して標本を照明する照明装置において、レーザ光照明光学系と、白色光照明光学系とを有し、前記レーザ光照明光学系は、前記標本にレーザ全反射照明光を出射し、前記白色光照明光学系は、前記標本に白色光落射照明光または白色光全反射照明光を出射し、前記レーザ全反射照明光と前記白色光落射照明光と前記白色光全反射照明光の少なくとも１つの照明光を前記標本に照射する切換手段を有することを特徴とする照明装置を提供する。
【０００８】
また、本発明にかかる照明装置では、前記白色照明光学系は、前記白色光落射照明光と白色光全反射照明光を切換える白色光全反射照明切換手段を有することが好ましい。
【０００９】
また、本発明にかかる照明装置では、前記白色光全反射照明切換手段は、前記白色光照明光学系の光軸に対して傾斜可能なハービングガラスと、円弧状開口絞を有し、前記白色光照明光学系の光軸に挿脱可能であることが好ましい。
【００１０】
また、本発明にかかる照明装置では、前記切換手段は、前記レーザ光照明光学系からのレーザ光と前記白色光照明光学系からの白色光の少なくとも一方の光を透過または反射するミラーからなることが好ましい。
【００１１】
また、本発明にかかる照明装置では、前記照明装置は、前記白色光全反射照明光と前記レーザ光全反射照明光とを同時に前記標本に照射可能であることが好ましい。
【００１２】
また、本発明は、前記照明装置を有することを特徴とする顕微鏡装置を提供する。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、レーザ光全反射観察または白色光全反射観察または白色光落射照明による観察を１台で行うことを可能とする顕微鏡装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施の形態に関し図面を参照しつつ説明する。
【００１５】
図１は、本発明の一実施の形態にかかる照明光学系とこれを有する顕微鏡装置の概略構成図を示す。図２は、図１に示す顕微鏡装置を用いた照明観察の第１実施例を示し、落射照明観察時の概略構成図を示す。図３は、図１に示す顕微鏡装置を用いた照明観察の第２実施例を示し、全反射照明観察時の概略構成図を示す。図４は、図１に示す顕微鏡装置を用いた照明観察の第３実施例を示し、白色光の全反射照明観察を実現する別の例を示す概略構成図である。
【００１６】
（実施の形態）
図１において、不図示のレーザ光源からの光を伝達するファイバＳ１（以後、レーザ
光源Ｓ１と記す）によりレーザ光がレーザ光照明光学系２に導入される。レーザ光源Ｓ１はレーザ光照明光学系２の光軸Ｊの略垂直方向に移動可能なレーザ光全反射照明切換手段に支持され、レーザ光全反射照明時に光軸Ｊから所定の距離離れた位置にセットされ、あるいはレーザ光落射照明時に光軸Ｊ位置にセットされる。レーザ光源Ｓ１から出射したレーザ光は、コリメートレンズＧ１で略平行光で視野絞りＦに入射する光となり、光路偏向ミラーＭ１に入射される。
【００１７】
白色光源Ｓ２（例えば、Ｈｇ光源）を出射した光は、コリメートレンズＧ２で略平行光となり、励起光の波長を決める励起フィルタＧ８により所定の波長の光が取り出され、集光レンズＧ３で開口絞りＡに結像される。開口絞りＡからの光はコリメートレンズＧ４でコリメートされ切換えミラーＭ２で反射されて視野絞りＦに入射する光となる。
【００１８】
レーザ光と白色光との切換手段である切換えミラーＭ２を切換えることによって、レーザ光または白色光またはレーザ光と白色光の合成光を標本面Ｏに照射することが可能となる。切換えミラーＭ２は、種々の特性を有する複数のミラーを、図１中の紙面に垂直な方向に光軸Ｌに対して交換可能に配置し、レーザ光と白色光の選択切換えを可能としている。
【００１９】
例えば、レーザ光と白色光とを透過する特性とし、標本面Ｏにレーザ光のみを照射するようにしたり、レーザ光と白色光とを反射する特性とし、標本面Ｏに白色光のみを照射したりすることが可能である。また、切換えミラーＭ２をハーフミラーにして、レーザ光と白色光との合成光を同時に標本面Ｏに照射するようにすることも可能である。また、切換えミラーＭ２をダイクロイックミラーにして、レーザ光と白色光とを同時に、あるいはどちらか一方の光のみを標本面Ｏに照射するようにすることも可能である。また、切換えミラーＭ２をハーフミラーやダイクロイックミラーにして光軸Ｊと光軸Ｋ内にシャッタを設けてレーザ光、白色光、またはレーザ光と白色光の合成光に切換えるように構成しても良い。その他にも、色々な切換えの構成が可能である。
【００２０】
レーザ光源Ｓ１からの光も白色光源Ｓ２からの光も視野絞りＦでは略平行光となり、集光レンズＧ５で集光され、ダイクロイックミラーＭ３で反射され、対物レンズＧ６の瞳面Ａ’に再び結像され、標本面Ｏを略平行光で照明する。
【００２１】
標本面Ｏからの蛍光は、対物レンズＧ６で集光され、ダイクロイックミラーＭ３を透過してバリアフィルタＧ９に入射し、所定の波長の蛍光のみが通過して結像レンズＧ１０で像面Ｉに配置された撮像素子（例えば、ＣＣＤ素子）で撮像され不図示のモニターで観察される。
【００２２】
白色光照明光学系４には、白色光全反射照明時に用いる白色光全反射照明切換手段Ｍが、白色光照明光学系４の光軸Ｋに挿脱可能に設けられている。白色光全反射照明切換手段Ｍは、光軸Ｋに対し傾斜可能なハービングガラスＧ７と、開口絞りＡと同等の位置に配置される円弧状開口絞りＡＣとから構成されている。
【００２３】
ハービングガラスＧ７は平行平板ガラスにより構成され、ハービングガラスＧ７の入射面と光軸Ｋとがなす角を垂直から傾けることにより、ハービングガラスＧ７から出射する光の光軸をハービングガラスＧ７に入射した光の光軸に対してほぼ平行にずらすことができる。
【００２４】
なお、ハービングガラスＧ７を白色照明光学系４の光路に、光軸Ｋに対して傾斜可能に配置し、円弧状開口絞りＡＣと開口絞りＡとを交換可能に構成しても良い。この際、落射照明時にはハービングガラスＧ７は光軸Ｋに対して略垂直に配置して開口絞りＡを光軸Ｋに挿入し、全反射照明時には円弧状開口絞りＡＣを光路に挿入し、ハービングガラスＧ７を光軸Ｋに対して所定の角度傾けて、ハービングガラスＧ７を透過した光が円弧状開口絞りＡＣの開口部ＡＳを通るように構成すればよい。
【００２５】
なお、ハービングガラスＧ７をレーザ光照明光学系２のレーザ光源Ｓ１とコリメートレンズＧ１との間に光軸Ｊに対して傾斜可能に配置して、レーザ光を全反射照明と落射照明とに切換えるようにしても良い。
【００２６】
本実施の形態では、レーザ光照明光学系２と白色光照明光学系４を有し、レーザ光または白色光またはレーザ光と白色光の合成光を標本の照明光とする切換手段を有しているため、レーザ光全反射蛍光観察、レーザ光落射蛍光観察、白色光落射蛍光観察、白色光全反射蛍光観察、レーザ光と白色光の合成光による落射蛍光観察またはレーザ光と白色光の合成光による全反射蛍光観察を可能にする顕微鏡装置が構成できる。
【００２７】
以下、本発明にかかる照明装置とこれを有する顕微鏡装置の実施例について図面を参照しつつ説明する。
【００２８】
（第１実施例）
図２は、レーザ光または白色光またはレーザ光と白色光との合成光で標本面Ｏを落射照明観察する場合の概略構成図である。
【００２９】
図２において、レーザ光源Ｓ１はレーザ光照明光学系２の光軸Ｊの略垂直方向に移動可能なレーザ光全反射照明切換手段に支持され、レーザ光がレーザ光照明光学系２の略光軸Ｊ位置に導入される。レーザ光源Ｓ１から出射したレーザ光は、コリメートレンズＧ１で視野絞りＦの開口を満たす光に広げられ、光路偏向ミラーＭ１に入射される。
【００３０】
白色光源Ｓ２（例えば、Ｈｇ光源）を出射した光は、コリメートレンズＧ２で略平行光となり、励起光の波長を決める励起フィルタＧ８により所定の波長の光が取り出され、集光レンズＧ３で開口絞りＡの開口に結像される。開口絞りＡからの光はコリメートレンズＧ４でコリメートされ切換えミラーＭ２で反射されて視野絞りＦの開口を満たす光となる。
【００３１】
切換えミラーＭ２は特性の異なる複数のミラーが光軸Ｌに交換可能に配置され、切換えミラーＭ２を切換えることによって、レーザ光源Ｓ１または白色光源Ｓ２またはレーザ光源Ｓ１と白色光源Ｓ２との合成光を選択して標本面Ｏに照射する。なお、切換えミラーＭ２の構成は前述の実施の形態と同様であり説明を省略する。
【００３２】
レーザ光源Ｓ１からの光も白色光源Ｓ２からの光も視野絞りＦでは略平行光となり、集光レンズＧ５で集光され、ダイクロイックミラーＭ３で反射され、対物レンズＧ６の瞳面Ａ’に再び結像され、標本面Ｏを略平行光で照明する。
【００３３】
標本面Ｏからの蛍光は、対物レンズＧ６で集光され、ダイクロイックミラーＭ３を透過してバリアフィルタＧ９に入射し、所定の波長の蛍光のみが通過して結像レンズＧ１０で像面Ｉに配置された撮像素子（例えば、ＣＣＤ素子）で撮像され不図示のモニターで観察される。
【００３４】
このように、本第１実施例では、レーザ光または白色光による落射蛍光観察が、あるいはレーザ光と白色光との合成光で落射蛍光観察が、切換えミラーＭ２の切換えによって可能となる。特に、レーザ光と白色光との合成光で標本を励起することによって異なる波長の励起光で励起された蛍光を同時に観察することが可能となる。
【００３５】
なお、レーザ光と白色光との光量に差があるときには、レーザ光照明光学系２の光路中にニュートラルデンシティフィルタ（ＮＤフィルタ）のような光量調整手段を設け、レーザ光の光量を減少させることによって標本に照射する２種の励起光（λ１、λ２）のバランスを調整することが可能である。
【００３６】
本第１実施例のように、一方の光源を白色光とし励起フィルタにより照射する波長を選択することにより、波長選択の自由度が高くなる。さらに、高価なレーザ光源を多数用意する必要がなくなるため、安価に装置を構成することができる。
【００３７】
（第２実施例）
図３は、レーザ光または白色光またはレーザ光と白色光との合成光で標本面Ｏを全反射照明観察する場合の概略構成図である。全反射照明観察に於いては対物レンズＧ６の瞳面Ａ’の最周辺部のみに入射する光束を照明光として使用するため、瞳面Ａ’に入射する光束はそれに応じた照明光束とする必要がある。
【００３８】
照明光源としてレーザ光源Ｓ１を使用する場合、光源像を対物レンズＧ６の瞳面Ａ’の最周縁部に結像させる手段として光源倍率に応じてレーザ光源Ｓ１の位置を光軸Ｊに対して略垂直方向にシフトさせる方法が用いられる。
【００３９】
白色光源Ｓ２を全反射照明の光源に用いる場合、例えば、Ｈｇ光源Ｓ２は陰極と陽極の極間距離が０．５ｍｍ程度であり、全反射照明観察に使用される対物レンズＧ６の瞳径は最大１０ｍｍφ弱である。この比から単純に光源倍率を算出すると２０倍以上が必要となるが、照野の関係、光源としての角度特性からこのような大きな倍率は使用できず、白色光照明光学系４の全体のバランスから１０倍程度が実効的な倍率となる。また、Ｈｇ光源Ｓ２の輝度分布は両電極付近が高く両電極間の中央部は相対的に低くなっている。従って、白色光源Ｓ２を用いた全反射照明観察では、白色光源Ｓ２の最も輝度の高い部分を対物レンズＧ６の瞳面Ａ’の最周辺部と共役な位置（円弧状開口絞りＡＣ内での光軸Ｋを中心とした半径方向での位置）に一致するように白色光源Ｓ２像を光軸Ｋに略垂直な方向にシフトさせる。
【００４０】
図３において、レーザ光源Ｓ１は、レーザ照明光学系２の光軸Ｊの略垂直方向に移動可能なレーザ光全反射照明切換手段に支持され、レーザ光がレーザ光照明光学系２の光軸Ｊに対して略垂直な方向に所定量ずらして配置されている。このレーザ光源Ｓ１から出射したレーザ光は、コリメートレンズＧ１の周辺部分に入射し視野絞りＦの開口を通過する光となり光路偏向ミラーＭ１に入射される。
【００４１】
白色光源Ｓ２（例えば、Ｈｇ光源）の光源位置は、光軸Ｋに対して略垂直な方向に所定量ずらして配置されている。Ｈｇ光源Ｓ２のようなアークランプの場合、最大の輝度を得るために最も輝度の高い部分が所定位置に来るように配置される。白色光源Ｓ２を出射した光は、コリメートレンズＧ２で略平行光となり、励起光の波長を決める励起フィルタＧ８により所定の波長の光が取り出され、集光レンズＧ３で円弧状開口絞りＡＣの開口部ＡＳに結像される。円弧状開口絞りＡＣの断面は図１に示すように光軸Ｋから離れた位置に開口部ＡＳが設けられており、開口部ＡＳの位置は透過した光が対物レンズの瞳面Ａ’の最周辺部のみに入射するように設定されている。円弧状開口絞りＡＣからの光はコリメートレンズＧ４でコリメートされ切換えミラーＭ２で反射されて視野絞りＦの開口部を通過する光となる。
【００４２】
切換えミラーＭ２を切換えることによって、レーザ光源Ｓ１または白色光源Ｓ２またはレーザ光源Ｓ１と白色光源Ｓ２との合成光の選択を行う。なお、切換えミラーＭ２の構成は前述の実施の形態と同様であり説明を省略する。
【００４３】
レーザ光源Ｓ１からの光も白色光源Ｓ２からの光も視野絞りＦでは光軸Ｌに対して傾いた光となり、集光レンズＧ５の周辺部分に入射する。集光レンズＧ５を出射した光は、ダイクロイックミラーＭ３で反射され、対物レンズＧ６の瞳面Ａ’の最周辺部に再び結像される。
【００４４】
対物レンズＧ６の瞳面Ａ’の最周辺部に結像された光は、標本面Ｏに対して全反射角度以上の入射角度で対物レンズＧ６から出射し、標本面Ｏを全反射照明する。この全反射照明光により標本面Ｏのカバーガラスと標本との境界近傍にエバネッセント波が発生し標本を励起する。
【００４５】
エバネッセント波で励起されて発生した標本面Ｏからの蛍光は、対物レンズＧ６で集光され、ダイクロイックミラーＭ３を透過してバリアフィルタＧ９に入射し、所定の波長の蛍光のみが通過し、結像レンズＧ１０で像面Ｉに配置された撮像素子（例えば、ＣＣＤ素子）で撮像され不図示のモニターで観察される。
【００４６】
このように、本第２実施例では、切換えミラーＭ２を適宜選択することによって、レーザ光全反射照明観察、白色光全反射照明観察、またはレーザ光源Ｓ１と白色光源Ｓ２との合成光による全反射照明観察が可能となる。特に、レーザ光と白色光との合成光で標本を励起することによって異なる波長の励起光で励起された蛍光を同時に観察することが可能となる。
【００４７】
（第３実施例）
図４は、第２実施例と同様にレーザ光または白色光またはレーザ光と白色光との合成光で標本面Ｏを全反射照明観察する場合の別の概略構成図である。全反射照明観察に於いては対物レンズＧ６の瞳面Ａ’の最周辺部のみに入射する光束を照明光として使用するため、瞳面Ａ’に入射する光束はそれに応じた照明光とする必要がある。
【００４８】
照明光源としてレーザ光源Ｓ１を使用する場合、光源像を対物レンズＧ６の瞳面Ａ’の最周縁部に結像させる手段として光源倍率に応じて単にレーザ光源Ｓ１の位置をレーザ光照明光学系２の光軸Ｊに対して略垂直な方向にシフトさせる方法が用いられる。なお、レーザ光源Ｓ１のシフトのために図１に示すハービングガラスＧ７をレーザ光源Ｓ１とコリメートレンズＧ１との間に光軸Ｊに対して傾斜可能に配置しても良い。
【００４９】
白色光源Ｓ２を全反射照明の光源に用いる場合、例えば、Ｈｇ光源Ｓ２は陰極と陽極の極間距離が０．５ｍｍ程度であり、全反射照明観察に使用される対物レンズＧ６の瞳径は最大１０ｍｍφ弱である。この比から単純に光源倍率を算出すると２０倍以上が必要となるが、照野の関係、光源としての角度特性からこのような大きな倍率は使用できず、白色光照明光学系２の全体のバランスから１０倍程度が実効的な倍率となる。また、Ｈｇ光源Ｓ２の輝度分布は両電極付近が高く両電極間の中央部は相対的に低くなっている。従って、白色光源Ｓ２を用いた全反射照明観察では、光源の最も輝度の高い部分を対物レンズＧ６の瞳面Ａ’の最周辺部と共役な位置（円弧状開口絞りＡＣ内での光軸を中心とした半径方向での位置）に一致するように光源像を光軸Ｋに対して略垂直な方向にシフトさせることが必要となる。
【００５０】
このために、本第３実施例では、図１に示すように、光軸Ｋに対して傾斜可能なハービングガラスＧ７と円弧状開口絞りＡＣからなる白色光全反射照明切換手段Ｍを、白色光照明光学系４に挿脱可能に構成し、ハービングガラスＧ７の光軸Ｋに対しての傾きを調整することにより、円弧状開口絞りＡＣの開口部ＡＳを最も輝度が高い部分が透過するように調整することを可能としている。ハービングガラスＧ７に入射する光束がハービングガラスＧ７を出射する際の光束の光軸Ｋからのシフト量は、ガラスの厚さと光軸Ｋに対するハービングガラスＧ７の傾き角で容易に変更が可能であり、対物レンズＧ６の交換に伴う瞳径Ａ’の変更に容易に対応することが可能となる。
【００５１】
対物レンズＧ６は、高ＮＡを有する必要があるため、６０倍から１００倍が一般に使用される。６０倍と１００倍とでは、対物レンズＧ６の瞳面Ａ’の最周辺部と共役な位置（円弧状開口絞りＡＣ内での光軸Ｋを中心とした半径方向での位置）が異なる。従って、対物レンズＧ６の交換に対応するためにも光束のシフト量は可変とすることが望ましい。
【００５２】
図４において、レーザ照明光学系２の光軸Ｊの略垂直方向に移動可能なレーザ光全反射照明切換手段に支持され、レーザ光がレーザ光照明光学系２の光軸Ｊに対して略垂直な方向に所定の量ずらして配置されている。このレーザ光源Ｓ１から出射したレーザ光は、コリメートレンズＧ１で視野絞りＦの開口を通過する光であり、光路偏向ミラーＭ１に入射される。
【００５３】
白色光源Ｓ２（例えば、Ｈｇ光源）の最も輝度の高い光源位置は、略光軸Ｋの位置に配置されている。白色光源Ｓ２を出射した光は、コリメートレンズＧ２で略平行光となり、励起光の波長を決める励起フィルタＧ８により所定の波長の光が取り出され、集光レンズＧ３で集光され、ハービングガラスＧ７に入射し、光束が光軸Ｋから所定量ずらされ円弧状開口絞りＡＣの開口部ＡＳに結像される。円弧状開口絞りＡＣからの光はコリメートレンズＧ４でコリメートされ切換えミラーＭ２で反射されて視野絞りＦを通過する光となる。
【００５４】
切換えミラーＭ２を切換えることによって、レーザ光源Ｓ１まはた白色光源Ｓ２またはレーザ光源Ｓ１と白色光源Ｓ２との合成光の選択を行う。なお、切換えミラーＭ２の構成は前述の実施の形態と同様であり説明を省略する。
【００５５】
レーザ光源Ｓ１からの光も白色光源Ｓ２からの光も視野絞りＦでは光軸Ｌに対して傾いた光となり、集光レンズＧ５の周辺部分に入射する。集光レンズＧ５を出射した光束は、ダイクロイックミラーＭ３で反射され、対物レンズＧ６の瞳面Ａ’の最周辺部に再び結像される。
【００５６】
瞳面Ａ’の最周辺部に結像された光束は、標本面Ｏに対して全反射角度以上の入射角度で対物レンズＧ６から出射し、標本面Ｏを全反射照明する。この全反射照明光により標本面Ｏのカバーガラスと標本との境界近傍にエバネッセント波が発生し標本を励起する。
【００５７】
エバネッセント波で励起されて発生した標本面Ｏからの蛍光は、対物レンズＧ６で集光され、ダイクロイックミラーＭ３を透過してバリアフィルタＧ９に入射し、所定の蛍光のみが通過し、結像レンズＧ１０で像面Ｉに配置された撮像素子（例えば、ＣＣＤ素子）で撮像され不図示のモニターで観察される。
【００５８】
このように、本第３実施例では、レーザ光源Ｓ１をレーザ光照明光学系２の光軸Ｊに対して略垂直な方向に所定量ずらすことによってレーザ光全反射照明観察を可能にすることができる。また、ハービングカラスＧ７を集光レンズＧ３と円弧状開口絞りＡＣとの間に傾斜可能に挿入することによって、白色光源Ｓ１の最大輝度位置を白色光照明光学系４の光軸Ｋに対して略垂直な方向に所定量ずらすことができ、白色光全反射照明観察を可能にすることができる。さらに、レーザ光と白色光の合成光による全反射照明観察が切換えミラーＭ２の切換えによって可能となる。特に、レーザ光と白色光との合成光で標本を励起することによって異なる波長の励起光で励起された蛍光を同時に観察することが可能となる。
【００５９】
このように、本発明によれば、レーザ光または白色光またはレーザ光と白色光との合成光を用い、落射照明または全反射照明を可能にする照明装置とこれを用いた落射蛍光顕微鏡または全反射蛍光顕微鏡を提供することができる。
【００６０】
また、落射蛍光観察／レーザ光全反射蛍光観察／白色光全反射蛍光観察等の蛍光観察が、１台の顕微鏡に於いて照明装置の簡単な切換えで実現できるため、低コストの顕微鏡を提供することができる。
【００６１】
また、白色光における全反射照明では、全反射条件を達成するには厳密な調整が必要であるが、白色光照明光学系にハービングガラスと円弧状開口絞りを挿脱可能に構成することによって、調整を容易に行うことができる。
【００６２】
なお、上述の実施の形態は例に過ぎず、上述の構成や形状に限定されるものではなく、本発明の範囲内において適宜修正、変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の一実施の形態にかかる照明光学系とこれを有する顕微鏡装置の概略構成図を示す。
【図２】図１に示す顕微鏡装置を用いた照明観察の第１実施例を示し、落射照明観察時の概略構成図を示す。
【図３】図１に示す顕微鏡装置を用いた照明観察の第２実施例を示し、全反射照明観察時の概略構成図を示す。
【図４】図１に示す顕微鏡装置を用いた照明観察の第３実施例を示し、白色光の全反射照明観察を実現する別の例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００６４】
２      レーザ光照明光学系
４      白色光照明光学系
Ｓ１    ファイバ（レーザ光源）
Ｓ２    白色光源（Ｈｇ光源）
Ｇ１、Ｇ２、Ｇ４    コリメートレンズ
Ｇ３、Ｇ５    集光レンズ
Ｇ６    対物レンズ
Ｇ７    ハービングガラス
Ｇ８    励起フィルタ
Ｇ９    バリアフィルタ
Ｇ１０  結像レンズ
Ｍ１    ミラー
Ｍ２    切換えミラー
Ｍ３    ダイクロイックミラー
Ｏ      標本面
Ｉ      像面
Ａ      開口絞り
Ｆ      視野絞り
ＡＣ    円弧状開口絞り
ＡＳ    開口部
【図１】
2005300614.tif 000003
【図２】
2005300614.tif 000004
【図３】
2005300614.tif 000005
【図４】
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