(57)【要約】【課題】本発明はワークを吸着テーブルから離間させる際の静電気を効率良く除去することを課題とする。【解決手段】吸着テーブル１６は、ワーク１２が載置されるワーク載置面１６ａにワーク１２を吸着するための複数のエア吸引孔２４と、ワーク１２をワーク載置面１６ａから持ち上げるための複数のリフトピン２６とを有する。エア吸引孔２４に連通された水平方向の通路３０は、吸着テーブル１６の側面に接続された吸引管路３２に連通されている。吸引管路３２には、イオン化気体を供給するためのイオン化気体供給管路３８の一端が分岐接続されている。イオン化気体供給管路３８の他端は、イオン化気体を生成するイオン発生器４０の吐出口４０ａに接続されている。そのため、吸引管路３２を介してワーク載置面１６ａにイオン化気体を供給することが可能になり、ワーク１２に帯電した静電気を効率良く短時間で除去することができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが載置される吸着テーブルと、
該吸着テーブルのワーク載置面に形成された複数のエア吸引孔と、
該エア吸引孔に連通されたエア吸引経路と、
該エア吸引経路を介して前記ワーク載置面のエアを吸引するエア吸引ポンプと、
前記エア吸引経路から分岐された静電気除去気体供給経路と、
該静電気除去気体供給経路及び前記エア吸引経路を介して前記ワーク載置面に静電気除去気体を供給する静電気除去気体生成手段と、
を備えたことを特徴とする吸着テーブルの静電気除去システム。
【請求項２】
前記静電気除去気体供給経路及び前記エア吸引経路に切替手段を設け、
前記切替手段を切り替える制御手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の吸着テーブルの静電気除去システム。
【請求項３】
前記切替手段は、
前記静電気除去気体供給経路が分岐される分岐点よりもポンプ側の前記エア吸引経路に設けられた第１の開閉弁と、
前記静電気除去気体供給経路に設けられた第２の開閉弁と、
からなることを特徴とする請求項２記載の吸着テーブルの静電気除去システム。
【請求項４】
前記制御手段は、
前記ワークが前記ワーク載置面から離間させる際に前記静電気除去気体生成手段で生成された静電気除去気体を前記静電気除去気体供給経路及び前記エア吸引経路を介して前記ワーク載置面から前記ワークに吹き付けるように前記切替手段を切り替えることを特徴とする請求項２記載の吸着テーブルの静電気除去システム。
【請求項５】
前記静電気除去気体生成手段は、
静電気を除去するためのイオン化気体を生成することを特徴とする請求項１記載の吸着テーブルの静電気除去システム。
【請求項６】
前記請求項１乃至５何れか記載の吸着テーブルの静電気除去システムを備えたレーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吸着テーブルのワーク載置面に吸着されたワークをワーク載置面から離間させる際に発生する静電気を効率良く除去するよう構成された吸着テーブルの静電気除去システム及びレーザ加工機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、液晶ディスプレイ等に使用されるガラス基板のように薄い板状ワークを加工する工程においては、平板状に形成された吸着テーブルのワーク載置面にワークを載置して隙間の無い状態にワークをワーク載置面に密着させる必要がある。吸着テーブルのワーク載置面に多数のエア吸引孔を設け、エア吸引孔からポンプにより吸引することでワークを吸着テーブルのワーク載置面に密着させていた。
【０００３】
そのため、ワークに対してレーザ光を照射して精密加工を施すレーザ加工機では、レーザ光による加工が終了するまでワークが吸着テーブルのワーク載置面から浮き上がらないようにエア吸引孔を介してエアを吸引しており、加工終了後に吸着テーブルに設けられたリフトピンが上昇してワークをワーク載置面から持ち上げる。そして、ワーク搬送用のロボットがワークを保持して次の工程にワークを搬送していた。
【０００４】
このようにエアの吸引によりワーク載置面に密着されていたワークがリフトピンの上昇によりワーク載置面から離間する過程で摩擦が生じ、これにより、ワークに静電気が帯電する。
【０００５】
静電気が帯電したワークは、平板状態を保つことが難しく、次の工程への搬送や加工などが正確に行えなくなる。そのため、ワークに帯電した静電気を除去する必要があり、例えば、ワーク搬送途中に静電気除去気体をワークに吹き付ける方法、あるいはワークを加工するためのチャンバ内に静電気除去気体を供給する方法などがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平６−１４０２９４号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のようにワーク搬送途中に静電気除去気体をワークに吹き付ける方法では、ワークに帯電した静電気を効率良く除去することが難しいという問題がある。
【０００８】
また、ワークを加工するためのチャンバ内に静電気除去気体を供給する方法では、チャンバ内部に静電気除去気体を充満させるまでに時間がかかり、ワークを次工程に搬送するのが遅れてしまうばかりか、静電気除去気体の供給量が増大して静電気除去気体発生装置の負担が大きくなり、静電気除去気体発生装置の寿命が短くなっていた。
【０００９】
そこで、本発明は上記課題を解決した吸着テーブルの静電気除去システム及びレーザ加工機を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するため、以下のような特徴を有する。
上記請求項１記載の発明は、ワークが載置される吸着テーブルと、吸着テーブルのワーク載置面に形成された複数のエア吸引孔と、エア吸引孔に連通されたエア吸引経路と、エア吸引経路を介してワーク載置面のエアを吸引するエア吸引ポンプと、エア吸引経路から分岐された静電気除去気体供給経路と、静電気除去気体供給経路及びエア吸引経路を介してワーク載置面に静電気除去気体を供給する静電気除去気体生成手段と、を備えたものであり、エア吸引経路を介してワーク載置面に静電気除去気体を供給することが可能になり、ワークに帯電した静電気を効率良く短時間で除去することができ、且つエア吸引経路が静電気除去気体供給経路を兼ねることにより静電気除去気体供給経路を簡素化することができる。
【００１１】
また、請求項２記載の発明は、静電気除去気体供給経路及びエア吸引経路に切替手段、及び切替手段を切り替える制御手段を設けたものであり、ワーク加工時にはエア吸引によりワークをワーク載置面に吸着し、ワーク加工終了後に静電気除去気体をワーク載置面に供給するように切り替えることが可能になる。
【００１２】
また、請求項３記載の発明の切替手段は、静電気除去気体供給経路が分岐される分岐点よりもポンプ側のエア吸引経路に設けられた第１の開閉弁と、静電気除去気体供給経路に設けられた第２の開閉弁と、からなるものであり、第１の開閉弁及び第２の開閉弁を開弁または閉弁させることにより、ワーク加工時にはエア吸引によりワークをワーク載置面に吸着し、ワーク加工終了後に静電気除去気体をワーク載置面に供給するように切り替えることが可能になる。
【００１３】
また、請求項４記載の発明の制御手段は、ワークがワーク載置面から離間させる際に静電気除去気体生成手段で生成された静電気除去気体を静電気除去気体供給経路及びエア吸引経路を介してワーク載置面からワークに吹き付けるように前記切替手段を切り替えるものであり、ワークに静電気が帯電するときにワークの表面に静電気除去気体を吹き付けることが可能になり、ワークに帯電した静電気を効率良く短時間で除去することが可能になる。
【００１４】
また、請求項５記載の発明の静電気除去気体生成手段は、静電気を除去するためのイオン化気体を生成するものであり、イオン化気体をワークの表面に吹き付けることが可能になり、ワークに帯電した静電気を効率良く短時間で除去することが可能になる。
【００１５】
また、請求項６記載の発明は、請求項１乃至５何れか記載の吸着テーブルの静電気除去システムを備えたレーザ加工機であり、エア吸引経路を介してワーク載置面に静電気除去気体を供給することが可能になり、ワークに帯電した静電気を効率良く短時間で除去することが可能になり、且つエア吸引経路が静電気除去気体供給経路を兼ねることにより静電気除去気体供給経路を簡素化することが可能になる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明の一実施例について説明する。
図１は本発明になる吸着テーブルの静電気除去システム及びレーザ加工機の一実施例を示す概略構成図である。図２（Ａ）〜（Ｄ）はワークを加工する際の昇降動作を説明するための工程図である。
【００１７】
図１及び図２（Ａ）に示されるように、レーザ加工機１０は、例えば、液晶ディスプレイ等に使用されるガラス基板のように薄い板状に形成されたワーク１２にレーザ光を照射するように構成されている。そして、ワーク１２が収納されるチャンバ１４内には、ワーク１２が載置される吸着テーブル１６が設けられている。
【００１８】
吸着テーブル１６は、ＸＹステージ１８に搭載されており、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能に支持されている。また、チャンバ１４の側壁には、ワーク１２を搬入または搬出するための開口２０が設けられている。そして、チャンバ１４の外壁には、開口２０を開放または遮断するゲートバルブ２２が取り付けられている。
【００１９】
吸着テーブル１６は、ワーク１２が載置されるワーク載置面１６ａにワーク１２を吸着するための複数のエア吸引孔２４と、ワーク１２をワーク載置面１６ａから持ち上げるための複数のリフトピン２６が昇降するための貫通孔２８とが設けられている。このエア吸引孔２４及びリフトピン２６は、ワーク１２の大きさをカバーする領域に設けられており、ワーク１２の全面積を吸着するように形成されている。
【００２０】
複数のエア吸引孔２４は、Ｘ方向及びＹ方向に所定間隔で整列されており、ワーク１２の下面側の全面積を均等に吸着するように設けられている。そして、エア吸引孔２４に連通された水平方向の通路３０は、吸着テーブル１６の側面に接続された吸引管路（エア吸引経路）３２に連通されている。
【００２１】
また、吸引管路３２には、例えば、電磁弁からなる第１の開閉弁（切替手段）３４が配設されている。第１の開閉弁３４は、リフトピン２６の下降動作によりワーク載置面１６ａにワーク１２が載置される際に開弁される。
【００２２】
吸引管路３２の他端は、エアを吸引するドライポンプ（真空ポンプ）３６の吸い込み口３６ａに接続されている。ドライポンプ３６は、第１の開閉弁３４の開弁により吸引管路３２及びエア吸引孔２４を介してワーク載置面１６ａとワーク１２との間のエアを吸引する。
【００２３】
また、吸引管路３２には、静電気除去気体としてのイオン化気体を供給するためのイオン化気体供給管路（静電気除去気体供給経路）３８の一端が分岐接続されている。イオン化気体供給管路３８の他端は、イオン化気体を生成するイオン発生器（静電気除去気体生成手段）４０の吐出口４０ａに接続されている。このように、吸引管路３２を介してワーク載置面１６ａにイオン化気体を供給することが可能になり、ワーク１２に帯電した静電気を効率良く短時間で除去することができ、且つ吸引管路３２が静電気除去気体供給経路を兼ねることにより配管経路を簡素化することができる。
【００２４】
また、イオン化気体供給管路３８には、例えば、電磁弁からなる第２の開閉弁（切替手段）４２が配設されている。この第２の開閉弁４２は、複数のリフトピン２６の上昇動作によりワーク１２をワーク載置面１６ａから持ち上げる際に開弁される。
【００２５】
イオン発生器４０において、イオン化された空気は、第２の開閉弁４２の開弁によりイオン化気体供給管路３８及び吸引管路３２、通路３０を介してエア吸引孔２４からワーク１２に直接吹き付けられる。このように、ワーク加工時には、第１の開閉弁３４が開弁してエア吸引によりワーク１２をワーク載置面１６ａに吸着し、ワーク加工終了後にイオン化気体をワーク載置面１６ａに供給するように切り替えることが可能になる。
【００２６】
静電気には、＋と−とがあるが、金属との摩擦によりガラス基板に帯電する静電気は、＋であるので、イオン発生器４０では、＋イオンよりも−イオンをより多く生成する。そして、エア吸引孔２４から噴出された−イオンを含むイオン化気体は、ワーク１２の下面に吹き付けられて＋の静電気と電気的に中和（中性）される。
【００２７】
複数のリフトピン２６は、吸着テーブル１６の下面側から貫通孔２８に昇降可能に挿入されており、吸着テーブル１６の下面側に横架された支持部４４により支持されている。さらに、空圧シリンダ４６は、圧縮空気の供給により支持部４４を昇降駆動するように設けられている。従って、複数のリフトピン２６は、空圧シリンダ４６の駆動により支持部４４が昇降すると共に、貫通孔２８より上方に突出してワーク１２をワーク載置面１６ａから持ち上げたり、あるいは貫通孔２８に引込むことでワーク１２をワーク載置面１６ａに載置させる。
【００２８】
制御回路４８は、例えば、マイクロコンピュータなどから構成されており、予め設定された制御プログラムに基づいてＸＹステージ１８、ドライポンプ３６、イオン発生器４０、空圧シリンダ４６を駆動制御すると共に、第１の開閉弁３４及び第２の開閉弁４２の開閉制御を行う。
【００２９】
ここで、図２（Ａ）〜（Ｄ）を参照してレーザ加工機１０の各工程の概略動作について説明する。図３は制御回路４８が実行する制御処理の手順を説明するためのフローチャートである。
【００３０】
図３に示されるように、制御回路４８は、Ｓ１１でワーク１２をチャンバ１４に搬入させる。このワーク搬入工程では、予めゲートバルブ２２を開放し、搬送用ロボット（図示せず）がワーク１２を挿入口２０からチャンバ１４に挿入する。尚、吸着テーブル１６は、ＸＹステージ１８により挿入口２０の近傍に移動している。さらに、制御回路４８は、Ｓ１２で、空圧シリンダ４６を駆動させてリフトピン２６を上昇させて貫通孔２８より上方に突出させる。
【００３１】
次のＳ１３では、ガラス基板からなるワーク１２を、ワーク載置面１６ａの上方で複数のリフトピン２６に支持されるように載置させる（図２（Ａ）参照）。そして、搬送ロボットのアーム（図示せず）がチャンバ１４から退出すると、ゲートバルブ２２を閉じて挿入口２０を遮断する。
【００３２】
次のＳ１４では、空圧シリンダ４６を駆動して支持部４４を下降させると共に、複数のリフトピン２６を貫通孔２８に収納させる。これにより、複数のリフトピン２６に支持されていたワーク１２は、ワーク載置面１６ａに載置される（図２（Ｂ）参照）。
【００３３】
続いて、Ｓ１５では、ドライポンプ３６を起動させると共に、第１の開閉弁３４を開弁させる。そのため、Ｓ１６では、ワーク載置面１６ａに設けられた複数のエア吸引孔２４からワーク載置面１６ａとワーク１２下面との間のエアが吸引され、ワーク１２が吸着される。よって、ワーク１２は、ワーク載置面１６ａに隙間なく密着される。
【００３４】
Ｓ１７では、このようにワーク１２がワーク載置面１６ａに吸着された状態でレーザ加工が開始される。レーザ加工工程では、このようにワーク１２がワーク載置面１６ａに密着された状態でレーザ光源（図示せず）からのレーザ光がワーク１２に照射される。
【００３５】
Ｓ１８でレーザ加工工程が終了すると、Ｓ１９に進み、ワーク吸着を解除する。すなわち、Ｓ２０でドライポンプ３６を停止させると共に、第１の開閉弁３４を閉弁させてエア吸引を停止する（図２（Ｃ）参照）。
【００３６】
次のＳ２１では、ワーク１２に帯電した静電気を除電する。すなわち、Ｓ２２で、イオン発生器４０を起動させてイオン化気体を生成させると共に、第２の開閉弁４２を開弁させてイオン化気体をイオン化気体供給管路３８及び吸引管路３２、通路３０を介してエア吸引孔２４からワーク１２に直接吹き付ける（図２（Ｄ）参照）。これにより、ワーク１２に帯電された静電気が除去される。
【００３７】
同時に、Ｓ２３で、空圧シリンダ４６の駆動によりリフトピン２６を上昇させてワーク１２をワーク載置面１６ａより持ち上げる。その際、ワーク１２がワーク載置面１６ａから離間する際の摩擦により静電気が発生してもイオン化気体がエア吸引孔２４からワーク１２に吹き付けられているので、直ぐに静電気が除去される。
【００３８】
次のＳ２４では、ＸＹステージ１８により吸着テーブル１６を挿入口２０の近傍に移動させる。同時に、Ｓ２５でイオン発生器４０を停止させると共に、第２の開閉弁４２を閉弁させてイオン化気体の供給を停止させる。
【００３９】
続いて、Ｓ２６に進み、ゲートバルブ２２を開放して搬送用ロボット（図示せず）のアームがチャンバ１４に挿入されてワーク１２を取り上げて搬出する。そして、Ｓ２７では、搬送用ロボット（図示せず）によるワーク１２の搬出動作と共に、空圧シリンダ４６を駆動してリフトピン２６を下降させ、貫通孔２８に収納させる（図２（Ｅ）参照）。その後、搬送ロボットのアーム（図示せず）がチャンバ１４から退出すると、ゲートバルブ２２を閉止させる。
【００４０】
ここで、吸着テーブル１６及びＸＹステージ１８の構成について説明する。
図４は吸着テーブル１６及びＸＹステージ１８の構成を示す平面図である。図５は吸着テーブル１６及びＸＹステージ１８の構成を示す側面図である。図６は吸着テーブル１６及びＸＹステージ１８の構成を示す正面図である。
【００４１】
図４乃至図６に示されるように、吸着テーブル１６は、ワーク載置面１６ａにワーク１２を吸着する複数のエア吸引孔２４が一定間隔でＸ方向及びＹ方向に整列配置され、且つワーク１２の吸着位置を位置決めするアライメント機構５０が設けられている。
【００４２】
アライメント機構５０は、長方形のワーク１２が横方向に延在する横置きとされた場合の横置き用位置合わせ部材５０ａ〜５０ｄと、長方形のワーク１２が縦方向に延在する縦置きとされた場合の縦置き用位置合わせ部材５０ｅ〜５０ｈとを有する。
【００４３】
横置き用位置合わせ部材５０ａ〜５０ｄ及び縦置き用位置合わせ部材５０ｅ〜５０ｈは、ワーク１２の角部に当接する一対の当接ピン５２が起立しており、一対の当接ピン５２がワーク１２の角部の位置を規制する。
【００４４】
ＸＹステージ１８は、吸着テーブル１６をＸ方向に摺動可能に支持する第１のベース５４と、第１のベース５４をＹ方向に摺動可能に支持する第２のベース５６とを有する。
【００４５】
また、第１のベース５４と第２のベース５６との間には、空圧シリンダ４６を支持する支持ベース５８が設けられている。支持ベース５８は、第１のベース５４を支持する複数の支柱６０を有し、第１のベース５４と一体にＸ方向に移動する。
【００４６】
空圧シリンダ４６に接続される複数の空気配管６２及び吸引管路３２は、支持ベース５８の下面に沿って配設され、且つ第１のベース５４上から側方に引き出される。尚、複数の空気配管６２及び吸引管路３２は、吸着テーブル１６の移動方向となるＸ方向に延在するように配設されており、支持ベース５８の移動に伴って絡まったりせず、一定の曲率半径で湾曲するようにガイド機構（図示せず）によりガイドされている。
【００４７】
空圧シリンダ４６の軸４６ａは、支持部４４の中央に連結されており、支持部４４を昇降駆動する。また、支持部４４は、支持ベース５８に設けられた複数の軸受６４に挿通されたガイドピン６４ａにより昇降位置をガイドされている。
【００４８】
支持部４４より上方に起立したリフトピン２６は、図５の右半分に示すように、下降して吸着テーブル１６のエア吸引孔２４に引込んでおり、図５の左半分に示すように、空圧シリンダ４６により支持部４４が上昇されることによりエア吸引孔２４より上方に突出する。このように、リフトピン２６が下降することによりワーク１２がワーク載置面１６ａに載置され、リフトピン２６が上昇することによりワーク１２をワーク載置面１６ａから離間させることができる。
【００４９】
そして、支持ベース５８は、下面に第１のベース５４上に設けられたＸ方向のリニアガイドレール６６を摺動する摺動部６８を有する。また、第１のベース５４上には、支持ベース５８をＸ方向に移動させるためのボールねじ機構７０が設けられている。従って、支持ベース５８の上方に支持された吸着テーブル１６は、ボールねじ機構７０を介してモータ７１に駆動されてＸ方向に移動する。
【００５０】
図６に示されるように、第１のベース５４は、下面に第２のベース５６上に設けられたＹ方向のリニアガイドレール７２を摺動する摺動部７４を有する。また、第２のベース５６上には、第１のベース５４をＹ方向に移動させるためのボールねじ機構７６が設けられている。従って、第１のベース５４及び支持ベース５８の上方に支持された吸着テーブル１６は、ボールねじ機構７６を介してモータ７７に駆動されてＹ方向に移動する。
【００５１】
ここで、吸着テーブル１６の吸引経路について図７及び図８を参照して説明する。
図７及び図８（Ａ）（Ｂ）に示されるように、吸着テーブル１６は、四角形状の上板８０と下板８２とを組み合わせたものであり、上板８０には、前述した複数のエア吸引孔２４が上下方向に貫通している。
【００５２】
また、下板８２は、上面にエア吸引孔２４の配置に合わせて通路３０（図７及び図８（Ａ）（Ｂ）中、破線で示す）が設けられている。この通路３０は、Ｙ方向に延在する複数の通路３０１〜３０ｎと、Ｘ方向に延在する３０ａ〜３０ｆとを有し、これらが格子状のパターンに設けられている。
【００５３】
また、通路３０の通路３０１〜３０ｎは、３０ａ〜３０ｆを介して連通されており、且つ断面がＵ字状とされた溝からなるため、上板８０によって上部開口が閉塞されてトンネル状通路となる。さらに、通路３０には、左右側面に延在する管路接続通路８４（図７及び図８（Ａ）（Ｂ）中、破線で示す）が４箇所に連通されている。
【００５４】
４箇所の管路接続通路８４のうち接続し易い１箇所のみに前述した吸引管路３２が接続される。残りの３箇所の管路接続通路８４は、閉止栓８６により閉塞される。また、第１のベース５４の右側には、第１の開閉弁３４及び第２の開閉弁４２を支持するブラケット８８が取り付けられている。
【００５５】
尚、上記実施の形態では、吸引管路３２に第１の開閉弁３４を設け、イオン化気体供給管路３８に第２の開閉弁４２を設けた構成を一例として挙げたが、これに限らず、例えば、吸引管路３２とイオン化気体供給管路３８との接続部分に三方弁を設け、三方弁の連通方向を切り替えるようにしても良いのは勿論である。
【００５６】
また、上記実施の形態では、イオン発生器４０により生成されたイオン化気体を静電気除去気体として用いた構成を一例として挙げたが、これに限らず、静電気を除去するガスであれば他の気体を供給しても良い。
【００５７】
【発明の効果】
上述の如く、請求項１記載の発明によれば、ワークが載置される吸着テーブルと、吸着テーブルのワーク載置面に形成された複数のエア吸引孔と、エア吸引孔に連通されたエア吸引経路と、エア吸引経路を介してワーク載置面のエアを吸引するエア吸引ポンプと、エア吸引経路から分岐された静電気除去気体供給経路と、静電気除去気体供給経路及びエア吸引経路を介してワーク載置面に静電気除去気体を供給する静電気除去気体生成手段と、を備えたため、エア吸引経路を介してワーク載置面に静電気除去気体を供給することが可能になり、ワークに帯電した静電気を効率良く短時間で除去することができ、且つエア吸引経路が静電気除去気体供給経路を兼ねることにより静電気除去気体供給経路を簡素化することができる。
【００５８】
また、請求項２記載の発明によれば、静電気除去気体供給経路及びエア吸引経路に切替手段、及び切替手段を切り替える制御手段を設けたため、ワーク加工時にはエア吸引によりワークをワーク載置面に吸着し、ワーク加工終了後に静電気除去気体をワーク載置面に供給するように切り替えることができる。
【００５９】
また、請求項３記載の発明によれば、静電気除去気体供給経路が分岐される分岐点よりもポンプ側のエア吸引経路に設けられた第１の開閉弁と、静電気除去気体供給経路に設けられた第２の開閉弁と、からなるため、第１の開閉弁及び第２の開閉弁を開弁または閉弁させることにより、ワーク加工時にはエア吸引によりワークをワーク載置面に吸着し、ワーク加工終了後に静電気除去気体をワーク載置面に供給するように切り替えることができる。
【００６０】
また、請求項４記載の発明によれば、、ワークがワーク載置面から離間させる際に静電気除去気体生成手段で生成された静電気除去気体を静電気除去気体供給経路及びエア吸引経路を介してワーク載置面からワークに吹き付けるように前記切替手段を切り替えるため、ワークに静電気が帯電するときにワークの表面に静電気除去気体を吹き付けることが可能になり、ワークに帯電した静電気を効率良く短時間で除去することができる。
【００６１】
また、請求項５記載の発明によれば、静電気を除去するためのイオン化気体を生成するため、イオン化気体をワークの表面に吹き付けることが可能になり、ワークに帯電した静電気を効率良く短時間で除去することができる。
【００６２】
また、請求項６記載の発明によれば、請求項１乃至５何れか記載の吸着テーブルの静電気除去システムを備えたレーザ加工機でるため、エア吸引経路を介してワーク載置面に静電気除去気体を供給することができ、ワークに帯電した静電気を効率良く短時間で除去することができる。さらに、エア吸引経路が静電気除去気体供給経路を兼ねることにより静電気除去気体供給経路を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明になる吸着テーブルの静電気除去システム及びレーザ加工機の一実施例を示す概略構成図である。
【図２】ワークを加工する際の昇降動作を説明するための工程図である。
【図３】制御回路４８が実行する制御処理の手順を説明するためのフローチャートである。
【図４】吸着テーブル１６及びＸＹステージ１８の構成を示す平面図である。
【図５】吸着テーブル１６及びＸＹステージ１８の構成を示す側面図である。
【図６】吸着テーブル１６及びＸＹステージ１８の構成を示す正面図である。
【図７】吸着テーブル１６の吸引経路を示す平面図である。
【図８】吸着テーブル１６の構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。
【符号の説明】
１０  レーザ加工機
１２  ワーク
１４  チャンバ
１６  吸着テーブル
１６ａ  ワーク載置面
１８  ＸＹステージ
２２  ゲートバルブ
２４  エア吸引孔
２６  リフトピン
２８  貫通孔
３０  通路
３２  吸引管路
３４  第１の開閉弁
３６  ドライポンプ
３８  イオン化気体供給管路
４０  イオン発生器
４２  第２の開閉弁
４６  空圧シリンダ
４８  制御回路
５０  アライメント機構
５４  第１のベース
５６  第２のベース
５８  支持ベース
６６，７２  リニアガイドレール
７０，７６  ボールねじ機構
８０  上板
８２  下板
８４  管路接続通路
【図１】
2005019529.tif 000003
【図２】
2005019529.tif 000004
【図３】
2005019529.tif 000005
【図４】
2005019529.tif 000006
【図５】
2005019529.tif 000007
【図６】
2005019529.tif 000008
【図７】
2005019529.tif 000009
【図８】
2005019529.tif 000010