(57)【要約】【目的】  本発明の目的は、【構成】  プローブカードＡは、測定対象Ｂの図外の測定装置のセンシング部分であって、測定装置のプローバに保持され、これにより測定対象Ｂと対向配置される支持基板１００と、この支持基板１００の表面上に形成される半円弧状の複数のプローブ２００と、支持基板１００に設けられた略１／４円弧状の部材であり且つ当該支持基板１００のプローブ配設面とプローブ２００の頂部の反対面との間に位置する補強板３００とを具備している。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基板と、この支持基板に設けられた上下方向に弾性変形可能な部材であり且つ当該支持基板の面方向に向けて湾曲した第１の湾曲部を有する片持ち状のプローブと、前記支持基板のプローブ配設面に設けられた略１／４円弧状の部材であり且つ当該支持基板のプローブ配設面と前記プローブの湾曲部の支持基板対向面との間に位置する補強板とを具備することを特徴とするプローブカード。
【請求項２】
請求項１記載のプローブカードにおいて、前記プローブは、半円弧状のプローブであって、一端が支持基板に支持された略１／４円弧状の前記第１の湾曲部と、この第１の湾曲部の他端と連設されており且つ当該第１の湾曲部より若干短くされた略１／４円弧状の第２の湾曲部とを有しており、当該プローブのほぼ中心位置の頂部が測定対象の電極に接触する接触面となっていることを特徴とするプローブカード。
【請求項３】
請求項１記載のプローブカードにおいて、前記プローブは一端が支持基板に支持された略１／４円弧状であり、このプローブの頂部が測定対象の電極に接触する接触面となっていることを特徴とするプローブカード。
【請求項４】
請求項２又は３記載のプローブカードにおいて、前記プローブの頂部には、突起状の接触端子が設けられていることを特徴とするプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は測定対象の電気的諸特性を測定するのに使用するプローブカードに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のプローブカードとしては、支持基板と、この支持基板に設けられたプローブとを有する基本構成となっており、前記プローブを電極に接触させた後、押圧( オーバードライブ) させ、これによりプローブの所定の接触圧を確保する一方、プローブを電極の面上で横方向に滑らせ( スクラブを発生させる) 、これによりプローブと電極との電気的導通を図っているものがある( 特許文献１参照) 。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−２７７４８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、プローブカードにおいては、近年の測定対象の高集積化に伴ってプローブが微細化されている。このようにプローブを微細化すると、プローブ自体の剛性が弱くなる。このため、当該プローブの針圧が低下し、当該プローブと測定対象の電極との間の電気的導通を図るために必要な所定の接触圧を確保することができない。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みて創案されたものであって、その目的とするところは、プローブを微細化してもプローブと測定対象の電極との間の電気的導通を図るために必要な所定の接触圧を確保することができるプローブカードを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のプローブカードは、支持基板と、この支持基板に設けられた上下方向に弾性変形可能な部材であり且つ当該支持基板の面方向に向けて湾曲した第１の湾曲部を有する片持ち状のプローブと、前記支持基板のプローブ配設面に設けられた略１／４円弧状の部材であり且つ当該支持基板のプローブ配設面と前記プローブの湾曲部の支持基板対向面との間に位置する補強板とを具備することを特徴としている。
【０００７】
前記プローブは、半円弧状のプローブであって、一端が支持基板に支持された略１／４円弧状の前記第１の湾曲部と、この第１の湾曲部の他端と連設されており且つ当該第１の湾曲部より若干短くされた略１／４円弧状の第２の湾曲部とを有しており、当該プローブのほぼ中心位置の頂部が測定対象の電極に接触する接触面となっている。
【０００８】
或いは、前記プローブは一端が支持基板に支持された略１／４円弧状であり、このプローブの頂部が測定対象の電極に接触する接触面となっている。
【０００９】
これらのプローブの頂部には突起状の接触端子を設けることが可能である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の請求項１に係るプローブカードによる場合、プローブの頂部を電極に接触させ、その後、オーバードライブを行うと、当該プローブが弾性変形して略１／４円弧状の補強板の頂部に当接する。すると、補強板がプローブを受け止めつつプローブと共に弾性変形する。このように補強板をプローブと共に弾性変形させることにより、プローブの針圧を増すことができる。よって、微細化したプローブであっても、プローブと測定対象の電極との間の電気的導通を図るために必要な所定の接触圧を確保することができ、その結果、高集積化された測定対象に十分対応することが可能になる。
【００１１】
本発明の請求項２に係るプローブカードによる場合、プローブが半円弧状であるので、プローブの頂部が電極に接触し、その後、オーバードライブが行われると、当該プローブが弾性変形して補強板に当接し、当該補強板がプローブと共に弾性変形する他、当該プローブの第２の湾曲部の先端部が基板に当接する。これによっても、プローブの針圧を増すことができるので、請求項１の効果を得る上でメリットがある。
【００１２】
本発明の請求項３に係るプローブカードによる場合、前記プローブは略１／４円弧状であるので、請求項１と同様の効果を奏する。
【００１３】
本発明の請求項４に係るプローブカードによる場合、前記プローブの頂部にもうけられた接触端子が測定対象の電極に接触するので、当該測定対象の電極との安定した接触を図る上でメリットがある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態に係るプローブカードについて説明する。図１は本発明の実施の形態に係るプローブカードの模式的断面図、図２は同プローブカードの使用状態を示す模式的断面図、図３は同プローブカードの設計変更例を示す模式的断面図である。
【００１５】
図１に示すプローブカードＡは、測定対象Ｂの図外の測定装置のセンシング部分であって、測定装置のプローバに保持され、これにより測定対象Ｂと対向配置される支持基板１００と、この支持基板１００の表面上に形成される複数のプローブ２００と、支持基板１００に設けられる補強板３００とを具備した構成となっている。以下、各部を詳しく説明する。
【００１６】
支持基板１００については、例えば測定対象と線膨張係数が近いシリコン基板等を用いる。この支持基板１００の面上には、図示しない配線パターンが形成されている。また、支持基板１００の縁部には図示しない外部電極が設けられている。この外部電極は配線パターンを介して第１の湾曲部２１０の一端と電気的に接続されている。
【００１７】
プローブ２００は、支持基板１００の面上にレジストを塗布し、このレジストにパターンを形成し、このパターンにメッキを形成し、これを繰り返すことによって当該支持基板１００の面上に一体的に形成される。
【００１８】
このプローブ２００は、半円弧状のプローブであって、一端が支持基板１００に支持されており且つ当該支持基板１００の面方向に向けて湾曲した１／４円弧状の第１の湾曲部２１０と、この第１の湾曲部２１０の他端と連設されており且つ支持基板１００に向かって湾曲した１／４円弧状の第２の湾曲部２２０とを有する形状となっている。第２の湾曲部２２０は第１の湾曲部２１０より若干短く設定されており、その先端部２２１が支持基板１００に対向している。このプローブ２００のほぼ中心位置の頂部には、測定対象Ｂの電極１０に接触する突起状の接触端子２３０が設けられている。
【００１９】
補強板３００は、プローブ２００を形成する前に、プローブ２００と同じ工程で支持基板１００上に形成される１／４円弧状の部材であって、例えばタングステンやニッケル等でのプローブ２００より高弾性を有する素材で構成されている。この補強板３００は測定対象Ｂの電極１０に接触するプローブ２００の頂部の反対面と支持基板１００との間に位置している。補強板３００の高さ寸法はプローブ２００に接触しない程度の高さである。即ち、補強板３００はプローブ２００との間に空隙を有し、弾性変形するプローブ２００に当接可能になっている。
【００２０】
このように構成されたプローブカードＡは上述したように測定装置のプローバに装着され、測定対象Ｂの電気的諸特性を測定するのに使用される。以下、その使用方法について詳しく説明する。なお、測定装置のテスターとプローブカードＡとは前記外部電極を介して電気的に接続される。
【００２１】
まず、プローバの駆動装置を動作させ、支持基板１００と測定対象Ｂとを相対的に近接させる。これによりプローブ２００の接触端子２３０と測定対象Ｂの電極１０が接触する。その後、さらに支持基板１００と測定対象Ｂとを相対的に近接させ、接触端子２３０を測定対象Ｂの電極１０に押圧させる( 即ち、オーバードライブを行う) 。
【００２２】
このとき、プローブ２００は、弾性変形しつつ、第２の湾曲部２２０の先端部２２１が図２に示すように支持基板１００の面上に当接する一方、プローブ２００の頂部の反対面が補強板３００の頂部に当接する。このとき、補強板３００はプローブ２００を受け止めつつプローブ２００と共に弾性変形する。
【００２３】
このようなプローブカードＡによる場合、弾性変形したプローブ２００を受け止めつつプローブ２００と共に弾性変形する補強板３００により、プローブ２００の針圧を増すことができる。よって、プローブ２００を微細化したとしても、当該プローブ２００と測定対象Ｂの電極１０との間の所定の接触圧を確保することができるので、高集積化された測定対象Ｂに対応することが可能になる。
【００２４】
プローブ２００については、支持基板１００に設けられた上下方向に弾性変形可能な部材であり且つ当該支持基板１００の面方向に向けて湾曲した第１の湾曲部を有する片持ち状のものである限り、どのような設計変形を行ってもかまわない。例えば、図３に示すように、プローブ２００を１／４円弧状とすることができる。この場合、第１の湾曲部２１０の頂部に接触端子２３０が設けられた構成となっている。
【００２５】
支持基板１００については、上述したようなプローブ２００を形成可能な板状体であればどのようなものでも用いることが可能であり、且つ設計変形することも任意である。また、ここでは、支持基板１００がプローバに保持されるとしたが、この支持基板１００の上方に他の基板を設け、この基板をプローバに取り付けるようにしてもかまわない。この基板と支持基板１００とについては、ネジ止めにより接続するようにしても良いし、スプリングや弾性樹脂を介して接続するようにしても良い。スプリング等を介して接続した場合、当該スプリング等によってもプローブ２００の針圧を増すことができる。
【００２６】
なお、補強板３００については略１／４円弧状である限りどのような設計変形を行ってもかまわない。よって、上述した機能を実現できる限り、素材については任意に選定可能である。また、補強板３００の高さ寸法はプローブ２００に当接しない程度の高さであるとしたが、それ以上であっても良い。即ち、補強板３００がプローブ２００との間に空隙を有さず、当該プローブ２００の基板対向面に当接していても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施の形態に係るプローブカードの模式的断面図である。
【図２】同プローブカードの使用状態を示す模式的断面図である。
【図３】同プローブカードの設計変更例を示す模式的断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
Ａ    プローブカード
１００  基板
２００  プローブ
２１０  第１の湾曲部
２２０  第２の湾曲部
３００  補強板
Ｂ      測定対象
１０    電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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