(57)【要約】【課題】  プリントヘッドの駆動波形の調整によってプリントヘッドが射出するインク滴の安定性を増加させる。【解決手段】  微流体のインクジェット制御方法は、下臨界駆動エネルギーと上臨界駆動エネルギーの間に駆動エネルギーの範囲を設定するステップと、駆動エネルギーが該下臨界駆動エネルギーと該上臨界駆動エネルギーの間に介在する主要駆動波形を決めるステップと、主要駆動波形中、駆動エネルギーを０以上とする少なくとも１つ以上の時間間隔を加えるステップとが含まれており、さらに、ノズル角度の調整可能なプリントヘッドモジューにあわせ、インプットした複数個のプリントパラメーターを中央演算装置から各ノズルのプリント順序及びノズル間のプリント時間差を計算し、かつ該制御モジュールへ伝送してプリントヘッドモジュールを制御し、さらに各ノズルの動作を決定する。【選択図】図１
2005088567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリントヘッドの駆動波形の調整によってプリントヘッドが射出するインク滴に伴うサテライト滴を抑制して、インク滴の安定性を増加させる微流体のインクジェット制御方法であって、
インクを射出する駆動エネルギーは、プリントヘッドのノズルからインク滴が射出され得る下限界となる下臨界駆動エネルギーとプリントヘッドのノズルから射出したインク滴が破裂し始め、不完全となる上臨界駆動エネルギーの間に、駆動エネルギーの範囲を設定するステップと、
駆動エネルギーが前記下臨界駆動エネルギーと前記上臨界駆動エネルギーの間となる主要駆動波形を提供するステップと、
主要駆動波形中、主要駆動波形を一つ以上の波形に切断し、駆動エネルギーを０以上とする１つ以上の冷却時間を加えるステップとが含まれる微流体のインクジェット制御方法。
【請求項２】
前記主要駆動波形の前に、下臨界駆動エネルギーより小さい予熱波形を加えるステップを有することを特徴とする請求項１記載の微流体のインクジェット制御方法。
【請求項３】
前記予熱波形の駆動エネルギーが前記主要駆動波形の駆動エネルギーの１／２から１／２０であることを特徴とする請求項２記載の微流体のインクジェット制御方法。
【請求項４】
ノズル角度の調整可能なプリントヘッドモジュールに適用可能であり、インプットした複数個のプリントパラメーターから中央演算装置が各ノズルのプリント順序及びノズル間のプリント時間差を計算し、かつ前記プリントヘッドモジュールを制御する制御モジュールへ伝送し、これによって各ノズルの動作を決定する微流体のインクジェット制御方法にであって、
中央演算装置がプリントパラメーターを読み込むステップと、
中央演算装置が各ノズルのプリント順序及びノズル間のプリント時間の差を計算してノズル序列表と時間遅延表を決めるステップと、
制御モジュールを用いてプリントヘッドモジュールを制御し、且つノズル序列表、時間遅延表及び駆動波形に基づいてインクを射出しプリントするステップが含まれることを特徴とする微流体のインクジェット制御方法。
【請求項５】
前記プリントパラメーターは、マトリックス幅、前置ノープリント区間幅、同一のプリントブロックにおけるインク滴間の距離、及び隣接する二つのプリントブロック間のインク滴距離、プリントブロック幅の１つを含むことを特徴とする請求項４記載の微流体のインクジェット制御方法。
【請求項６】
前記ノズル序列表は、まずある参考位置のノズルをもって各ノズルの順位参考とし、該参考位置のノズルとプリント方向によって決めることを特徴とする請求項４記載の微流体のインクジェット制御方法。
【請求項７】
前記時間遅延表は、前記ノズル間におけるプリントする時間のひらきを決定し、インクを射出する最初のノズルと第ｎノズルの遅延時間の関係式は、
xｎ/ｖ＝（Lｎ*sin（θ0＋θ））/vで、プリント速度をｖ、参考位置座標を（ｘ０、y０）とし、第ｎ点のノズル位置座標を（xｎ、yｎ）とし、最初のノズル角度（θ０）をtan−１（（xｎ-x０）/（yｎ-y０））とし、ノズルヘッドの回転角度をθとし、隣接するノズルの距離をLｎ＝（（xｎ-x０）２＋（yｎ-y０）2）0.5とし、とする請求項４記載の微流体のインクジェット制御方法。
【請求項８】
インクを射出する駆動エネルギーは、プリントヘッドのノズルからインク滴が射出され得る下限界となる下臨界駆動エネルギーとプリントヘッドのノズルから射出したインク滴が破裂し始め、不完全となる上臨界駆動エネルギーの間に、駆動エネルギーの範囲を設定するステップと、
駆動エネルギーが前記下臨界駆動エネルギーと前記上臨界駆動エネルギーの間となる主要駆動波形を決めるステップと、
主要駆動波形中、前記主要駆動波形を一つ以上の波形に切断し、駆動エネルギーを０以上とする１つ以上の冷却時間を加えるステップとを有する駆動波形調節するステップが含まれることを特徴とする請求項４記載の微流体のインクジェット制御方法。
【請求項９】
前記主要駆動波形前に、予熱波形の駆動エネルギーが下臨界駆動エネルギーにおいて小さい一つ以上の予熱波形を加えるステップを含むことを特徴とする請求項８記載の微流体のインクジェット制御方法。
【請求項１０】
前記予熱波形の駆動エネルギーが前記主要駆動波形の駆動エネルギーの１／２から１／２０であることを特徴とする請求項９記載の微流体のインクジェット制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は微流体のインクジェット制御方法で、特に熱気泡式プリントヘッドのインクジェット波形の調整を用いた微流体のインクジェット制御方法。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットのプリント技術は、各種の異なる材料の精密素子をプリントにより形成するのに応用でき、多くの電子工業製造技術において精密素子製造の自動化、小型化、コストの低下、製造時間の低下及び環境に対する衝撃の減少などの要求と傾向に対し十分需要を満たしている。たとえば液晶ディスプレイのカラーフィルター（Color  Filter）やエレクトロルミネセンス素子（Polymer  Light  Emitter  Diode、PLED）の製造に応用されている。カラーフィルターは基板と黒色マトリックス、及びマトリックスのくぼみに吹き込まれた赤、緑、青（R,G,B）三色のインク材で構成されている。そのインクジェットによる製造工程は、インク滴を直接フィルターの基板上の、黒色マトリックスによって構成されるくぼみ（concavities）内に射出する。異なる型のカラーフィルターには異なるインク材の吹き付けパターンがあり、カラーフィルターの半導体製造方法に対して、設備と製造コストを大幅に減少することができる。エレクトロルミネセンス素子のインクジェット製造方法は、上記のカラーフィルターの製造方法と似ており、唯一の相違点はエレクトロルミネセンス素子では黒色マトリックスの構造を必ずしも必要としないことにある。有機発光材料はフォトレジストによる遮壁（Bank）を備え、インク材の流動を案内し、また分離している。
【０００３】
しかし、一般的に使用されているインクジェット法はカラーフィルターあるいはエレクトロルミネセンス素子において最も深刻な問題である主インク滴に伴ってサテライト点を製造してしまうことである。サテライト点の成因は、インク滴の射出時、インク滴の断裂によって形成されるサテライト滴によるもので、主インク滴の後ろにサテライト点がついてしまうことを引き起こす。この類の特徴は無作為に発生される。サテライト点は通常主インク滴よりわずかに異なる角度に偏って移動し、小さいインク滴を任意に分布させる。この現象は、色が混ざったり、品質を低下させたりするという深刻な問題を引き起こしている。もっともひどい状況では、サテライト点は主インク滴から100μmも離れてしまう。棒状のカラーフィルターあるいはエレクトロルミネセンス素子においては、サテライト点は水平方向に対しては影響が割と小さいが、垂直方向においては色が混ざるという問題を引き起こす可能性がある。サテライト点はジェットノズルとプリント基板の距離が比較的大きいとき、主インク点よりも明らかにかけ離れている。もっとも簡単な解決方法は、インクノズルと基板の距離を少し近く調節することである。このようにすればサテライト点は主インク点のなかに隠すことができる。しかしノズルとプリント基板が接近しすぎていると、基板をこすり削ってしまうという損失を引き起こしやすく、また、近すぎる距離はインク滴が脱離（Break−Off）されず、基板上にずらされ、かえって主インク点の位置が偏って移動し、色が混ざるということを引き起こす可能性がある。
【０００４】
根本的な解決方法はサテライト点の発生率を低下させることで、インクを持続して加熱した後、濃度が上昇し、インク滴のサイズを不安定にさせ、ひいてはインクが射出孔の周りに乾き、インク滴が走行レールから逸脱し、サテライト点の発生をさらにひどくさせることになる。そのためインクの特徴（粘性率と表面張力など）及びノズル面材料の性質に基づいて、インクジェットヘッド内部の流道構造を改良する方法、或いはインクジェットノズルを駆動する駆動波形を変更し、さらにインク滴射出の状況をコントロールしてサテライト点の発生機会を低下させる方法が開示された。アメリカ特許第６３３１０３９号に提出されているインクジェットの駆動方法のように、駆動信号を２段階にわけ、第一段階信号ではインクを加熱するが、インク射出という動作は行わず、静止（rest）信号ののち、引き続き第二段階信号がインクジェット動作を発生させる。第一段階信号と静止信号をコントロールすることによって、外界温度が異なるためインク滴の量に差異が出ることを減少させることができる。
【０００５】
アメリカ特許第６３５７８４６号に述べられているように、ノズルが、ある一定の時間放っておかれる時、ノズルの外界に近いインク粘度は増加され、それによってインク滴が不安定になる。従ってインク射出波形を調整する方法を提出し、主要駆動波形後、さらに精密調整された微調整波形を加え、該微調整波形によってインクを振動し、インクが平均している状態を維持させる。信号のインプットによって以上２種の波形をそれぞれ制御し、インク滴粘度が増加して引き起こす問題を低下させる。しかし、この方法は２個の信号をもって主要駆動波形と、微調整波形をそれぞれにコントロールしなければならず、比較的に複雑なものである。
【０００６】
インクジェット工程においては射出したインクジェット量は、インクカードリッジの圧力変異、及び外界温度の変化などの影響を受けやすく、素子の均一性に影響を与える。よってインク射出波形の調整或いはそのインクヘッドの駆動方法によって適切なインクジェット信号を提供し、インクの射出を平均させる。アメリカ特許第５７９８７７２号に述べるように、脈波の幅（pulse  width）を調節（modulation）することによって異なる加熱エネルギーを提供し、その加熱エネルギーと電圧の比率を１つの常数に維持する。この方法では、インクジェットの性質を平均することができ、画像品質を改善することができる。アメリカ特許第６４３９６８７号ではプリントヘッドの駆動方法が提供されており、従来の順次にブロックを駆動する方法を変え、不規則で周期的である駆動順序方法を利用し、インクカードリッジの圧力変異がもたらす影響を低下させ、また映像の品質を上昇させる。
【０００７】
この他、インクジェット法を使用して素子を製造するには、インク滴を予定された位置に射出する相当精確な位置決めが必要とされる。しかし、各フィルター或いはエレクトロルミネセンス素子のインクジェット製造工程には異なる解析度とコンポーネントが必要であり、それぞれ相当複雑な制御システムと調整構造が必要である。タイプ毎に或いは異なる解析度の画素に対し、それぞれの特定の製造工程設備或いはインクジェットヘッド設計が必要である。これによっていかにしてインクジェット製造工程をさらに有効的で簡単な調整制御方法で各種のコンポーネントを完成させるか、つまり、インクジェット製造工程技術発展の重要目標となった。アメリカ特許第５９８４４７０号ではカラーフィルターのインクジェット校正装置を提供しており、プリントしようとするカラーフィルターとプリントヘッドのノズルとの距離を異なるとき、この装置より、ノズルがプリントしようとするカラーフィルター基板の角度に対して調整してカラーフィルター解析度に一致するプリントを行う。
しかし、上記のプリントヘッド駆動方法或いは波形調整は、異なる特定の問題に対して改良を加えているが、一方がよければ一方が悪いといった問題が発生しやすく、よってインクジェット製造制御方法を全体的に改良する必要がある。
【０００８】
【特許文献１】アメリカ特許第６３３１０３９号
【特許文献２】アメリカ特許第６３５７８４６号
【特許文献３】アメリカ特許第５７９８７７２号
【特許文献４】アメリカ特許第６４３９６８７号
【特許文献５】アメリカ特許第５９８４４７０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
そのため、本発明は、熱気泡式プリントヘッドに適用され、適切な方法で必要とするインクジェット波形の調整によって、サテライト点の発生を減少することができる微流体のインクジェット制御方法を提供する。
【００１０】
また、本発明のもう一つの目的は、ノズルプリントのインクジェットの順序及び、ノズル間のプリント時間のひらきを制御することにより、画像に必要なエレメントタイプを制御することができる。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
熱気泡式プリントヘッドの液滴形成において、そのノズル部分が加熱し始めてインク滴を射出するまでの間に、微小気泡（microbubbles）が発生する。このとき、加熱し始めてインク滴が射出されるまでの時間を増大させることにより、インクに更に多くの微小気泡が発生し、多くの微小気泡の形成により、更に強壮な完璧な気泡を構成することになる。このときインク滴を射出するノズルの力は更に強くなり、これによってインク滴の射出特徴が射出速度の上昇によって明らかに改良される。これによりインク滴の走行のずれ（devation）を低下させてサテライト点の発生が減少する。本発明は主要駆動波形を1つ以上の波形に切断し、間歇式のエネルギーの供給によって加熱し始めてからインク滴射出の発生するまでの時間を増長し、且つ加熱間において適当な中間冷却（Intercooling  stage）（冷却時間）を提供することにより、更に完璧な気泡を生産させ、インク滴が押し出される力を増加する。
【００１２】
本発明の微流体のインクジェット制御方法は、駆動波形の調整を通じて、インクジェットの過程において主インク点に伴って発生するサテライト点を減少させる。駆動波形の調整は、下記ステップによって完成する。まず、下臨界駆動エネルギーと上臨界駆動エネルギーの間に駆動エネルギーの範囲を設定する。駆動エネルギーが下臨界駆動エネルギーより大きい時、プリントヘッドのノズルはインク滴を射出し、駆動エネルギーが上臨界駆動エネルギーより大きい時、プリントヘッドのノズルから射出されたインク滴は、すぐに破裂し始め、不完全となる。次に駆動エネルギーが下臨界駆動エネルギーと上臨界駆動エネルギーとの間に介在する主要駆動波形を提供する。さらに主要駆動波形の中に、駆動エネルギーを０以上とする一つ以上の時間間隔を加え、主要駆動波形を1個以上の波形に切断し、冷却する時間を設定する。
【００１３】
この他、主要駆動波形の前にさらに一つの予熱（preheating  stage）波形を加えることにより、インク滴射出の安定性を増加させることができる。予熱はインクからの各インク滴をプリント前の開始状態に同一させることができ、さらにノズル内のインクを振動状態に維持してインクの蒸発によりノズル面に生じたインク凝固状態を防ぐことができる。つまり上記の微流体のインクジェット制御方法をあわせ、主要駆動波形前において、一つ以上の予熱波形を加えることによって、下臨界駆動エネルギーにおいてその予熱波形の駆動エネルギーが小さいと、インク滴を射出できず、インクを加熱する目的に達成し、インク凝固状態の発生を減少することができる。
【００１４】
先行技術中で述べたように、異なる解析度の画素をプリントする場合、ノズルとインクを射出する基板との間の角度を調整することにより、画素解析度に一致するインクジェットプリントを行うことができる。インクジェットシステムはノズルの回転角度を適切に調節することによって、画素の間隔を決定することができる。本発明の微流体インクジェット制御方法はさらに簡単なインクジェットプリント制御モデルを提供する。これはジェットノズルの角度調節可能なインクジェットモジュールに対応させたものであり、モジュールに直接パラメーターを入力すると、必要とするノズル序列及び時間の遅延を算出することができ、プリントヘッドモジュールの制御によって各ジェットノズルの動作を決定する。つまり簡単なパラメーターのコントロールを利用することにより、異なるタイプの画素をプリントするという目的を達成することができる。
【００１５】
本発明はノズルの角度調節可能なプリントヘッドモジュールに対応させてあり、インプットするプリントパラメーターを中央演算装置によって各ノズルのプリント順序及びノズル間のプリントの時間差を計算してコントロールモジュールへ伝送するによってプリントヘッドモジュールを制御し、各ノズルの動作を決定する。そのステップは、まず、プリント素子パラメーターを中央演算装置にインプットする。中央演算装置から各ノズルのプリント順序及びノズル間のプリントの時間差を算出し、ノズル序列表と時間遅延表を決める。最後にコントロールモジュールによりプリントヘッドモジュールを制御し、ノズル序列表、時間遅延表及び駆動波形に基づいてプリントする。異なるタイプの画素をプリントするのは、異なるプリント素子パラメーターのインプットによって設定する。このプリント素子パラメーターには、マトリックス幅、前置ノープリント区間幅（定位点と第1プリントカラーブロックにいたるまでの距離）、同一プリントカラーブロック中のインク滴の間隔、隣接する二つのプリントカラーブロック間のインク滴距離とプリントブロック幅を含む。
ノズル序列表の定義はまず参考位置のノズルをもって各ノズル間の順序の参考とする必要があり、各ノズル間の順序は参考位置のノズルとプリント方向に基づいて決定される。時間遅延表はノズル間のプリント時間差を決定し、プリントヘッドモジュールはプリントヘッドの回転によって異なる遅延時間を得ることができる。
【００１６】
本発明の目的、構造の特徴及びその機能をさらに理解させるために、ここに図面をあわせて詳しく説明を記す。
【００１７】
以上述べたことは、本発明の中でも比較的優れた例に過ぎず、これを以って本発明の実施範囲を限定するものではない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明は駆動波形を調整するステップにより、インク射出の過程において主インク点に伴って発生するサテライト点を減少させる。ノズルの部分で加熱されるとき、極小気泡が発生し、このときインクの加熱から射出するまでの時間を伸ばすために、内部の冷却（intercooling  stage）ステップを設ける。そうするとインクの加熱から射出までの時間は延長され、さらに多くの極小気泡が発生し、比較的多くの極小気泡の形成により、更に強壮な完璧な気泡が構成され、インクを射出するノズル面の力を更に強くさせる。これによってインク滴の射出特徴は射出速度の上昇によって明らかに改良され、インクの走行偏差（deviation）は低下し、さらにサテライト点の発生が減少される。主要駆動波形の前にさらに予熱（preheating  stage）の波形を加えるステップによりインク射出に安定性を増加させる。これは、各インク滴にインク射出前の状態を同一にし、さらにノズル内のインクを振動状態に維持させ、ノズル表面のインクが蒸発する状態を補償することができる。インクの蒸発によりノズル面においてインク凝固の状態が発生しやすく、このとき主要駆動波形の前に主要駆動波形の１／２から１／２０の中間とする予熱波形を加えれば、この状態の発生を減少することができる。予熱波形の大きさ及び間隔は、実験によって得ることができる。
【００１９】
本発明の微流体のインクジェット制御方法は、駆動波形の調整によってサテライト点の発生を減少させる。図１は、本発明の駆動波形調整プロセス図である。まず、ある一定値の駆動電圧を選択する（ステップ１１０）。下臨界駆動エネルギーを決定し（ステップ１２０）、つまり最小の駆動波形幅を決定する。下臨界駆動エネルギーよりも大きな駆動エネルギーで、ノズルはインク点を射出することができる。上臨界駆動エネルギーを決定する（ステップ１３０）。つまり最大の駆動波形幅を決定する。上臨界駆動エネルギーよりも大きな駆動エネルギーでは、ノズルから射出するインク点は破裂し始め、完全にならない。主要駆動波形を決定し（ステップ１４０）、その駆動エネルギーは下臨界駆動エネルギーと上臨界駆動エネルギーとの間に介在する。主要駆動波形中、駆動エネルギーを０以上とする一つ以上の時間間隔を加え（ステップ１５０）、主要な駆動波形を一つ以上の波形に切断し内部を冷却する。主要駆動波形の前に一つ以上の予熱波形を加え（ステップ１６０）、予熱波形の駆動エネルギーは下臨界駆動エネルギーよりも小さい。
【００２０】
主要駆動波形と、駆動エネルギーが０の時間間隔及び予熱波形で構成されるインク駆動波形は、次のステップによって最も好ましい条件を得ることができる。図２にあるように、これは本発明の実施例の駆動波形条件設定プロセス図である。まず、駆動電圧を常数に設定し（ステップ２１０）、本発明実施例中では１８ボルト（V）にする。射出できる完全なインク滴の最小エネルギーにより最小駆動波形幅を設定する（ステップ２２０）。本発明実施例では３マイクロ秒（μs）、18V（時間、電圧）である。インク滴が発散或いは乱れる状態のエネルギーにより最大駆動波形幅を設定する（ステップ２３０）。発明実施例では（７μs、18V）である。最小駆動波形幅のエネルギーと最大駆動波形幅のエネルギー量の平均値を得、またこれを主要駆動波形とする（ステップ２４０）。本発明実施例においては（5μs、18V）である。主要駆動波形中に、駆動エネルギーを０とする一つの時間間隔を加え（ステップ２５０）、主要駆動波形を一つ以上の波形に切断して内部を冷却し、本発明実施例における駆動波形エネルギー分布を（2μs、18V）、（0.2μs、0V）、（2.8μs、18V）、全部で5μsとする。或いは主要駆動波形に冷却時間間隔を加え（ステップ２６０）、駆動波形エネルギー分布を（2μs、18V）、（0.2μs、0V）、（3μs、18V）、全部で5.2μsとする。主要駆動波形の最も好ましい条件を決定する（ステップ２７０）。本発明実施例の駆動波形エネルギー分布を（2μs、18V）、（0.4μs、0V）、（2.8μs、18V）、全部で5.4μsとする。予熱波形を加え（ステップ２８０）、駆動波形エネルギー分布を（2μs、18V）、（0.4μs、0V）、（3μs、18V）、全部で5.4μsとする。最後に最も好ましい駆動波形を決定する（ステップ２９０）。駆動波形エネルギー分布は（0.1μs、18V）、（0.1μs、0V）、（0.1μs、18V）、（0.1μs、0V）、（2μs、18V）、（2μs、18V）、（0.4μs、0V）、（3μs、18V）、全部で5.8μsとする。
【００２１】
図７Ａから７Ｃは各種駆動波形のインクジェットの結果写真である。たとえば図７Ａでは、最初に駆動波形にはサテライト点の発生したインク滴を有し、かつプリントのインク滴の形状が平均していない。図７Ｂは、その内部冷却駆動波形のインクジェット結果であり、明らかにサテライト点が減少していることがわかる。また図７Ｃは、予熱波形が内部冷却駆動波形に添加したインクジェット結果であり、サテライト点が減少し、かつプリントのインク滴形状も平均しており、波形を変えることによって明らかにプリント品質を改善できるということが発見できる。
【００２２】
本発明はノズルの角度調節可能なプリントヘッドモジュールに対応させ、異なるプリントパラメーターをインプットすることによって異なるタイプの画素を調製する。そのプリントパラメーターには次のものを含む。マトリックス幅、前置ノープリント区間幅（定位点と第１プリントカラーブロックにいたるまでの距離）、同一のプリントカラーブロックにおけるインク滴の間隔、隣接する２つのプリントカラーブロック間のインク滴距離とプリントブロックの幅。上記のプリントパラメーターはすべて本発明のノズル序列表と時間遅延表によって設定される。一般設計においてよく見かける素子図案には２種あり、主な型は直条式とモザイク式であり、本発明は、ハード設計改良の必要がなく、直条式或いはモザイク式でプリント可能な異なるパラメーターの設定を入力することを必要とするだけである。図３は直条式素子図案略図である。また図４はモザイク式素子図案略図である。図３と図４にあるように、黒色マトリックス５２０を有する基板５００上のインク射出点５１１でプリントし、ＲＧＢ３色のプリントカラーブロック５１０を形成し、プリントパラメーターには、隣接する二つのプリントカラーブロック５１０間のインク滴距離Ｌ１、同一プリントカラーブロック５１０中のインク滴間の距離Ｌ２、マトリックス幅Ｌ３、プリントブロック幅Ｌ４及び前置ノープリント区間幅Ｌ５、つまり定位点５３０から最初のプリントカラーブロック５１０までの距離を含む。
【００２３】
プリントヘッドモジュール本体のノズル配列が一直線ではないため、本発明で定めたノズル序数表（sequence  table）は、プリントヘッドにおいてインク射出しようとするノズルを選出し、ノズルの順序を配列するものである。また時間遅延表（time  dalay  table）は、隣接するノズルのインク射出順序の遅延時間表であり、各ノズルの順序及び時間差をコントロールすることによって、各プリントパラメーターに一致するプリント形式を設定するができる。
【００２４】
素子図案の解析度の間隔とプリントヘッドのノズルの間隔が異なる時、プリントヘッドは回転してそのインク射出角度を変更し、異なる解析度の素子図案をプリントすることができる。関係式は次に記す。
【００２５】
刻印速度：ｖ
参考ジェットノズル位置座標：（ｘ０、ｙ０）
第ｎ点ジェットノズル位置座標：（ｘｎ、ｙｎ）
最初のジェットノズル角度：θ０＝tan−１（（ｘｎ-ｘ０）/（ｙｎ-ｙ０））
射出ノズル回転角度：θ
隣接する両ジェットノズルの距離：Ｌｎ＝（ｘｎ-ｘ０）２＋（ｙｎ-ｙ０）２）0.5
第ｎジェットノズルの遅延時間：ｘｎ/ｖ＝（Ｌｎ＊sin（θ０＋θ））/ｖ
【００２６】
その他のノズルが最初のノズルに対し遅延する時間は上記式で論証でき、インク滴の落下位置が射出ヘッドの回転角度に従って変更する。
【００２７】
以下凡例で説明する。図８はジェットノズルの選択、ノズル序列表と時間遅延表の略図である。それは２つのノズル区間６０１と６０２に分かれ、区間６００を間隔とする。ノズル序列６０５の８個はノズル６１０から６１７までをプリントノズルとして選択する。角度を回転させた後、ノズル序列は６０４に変わり、それはノズル８１０から８１７を含む。そのプリント方向は矢印で示した通りで、プリント順序はノズル序列表６０９で示し、プリント方向６０３は矢印で示したとおりである。隣接するノズルが同一の垂直位置上にはなく、またある角度に回転するため、最初のノズル８１０が射出完了後、ノズルの位置差時間Dt３とヘッド角度位置差時間Rt１を遅らせてから次のノズル８１１を射出することによって、一垂直の直線を得ることができる。ノズルが異なれば、それに対応した異なるヘッドの角度位置差時間Rt１〜Rt７が存在し、また異なる遅延時間も存在する。図８の時間遅延表６２９にあるように、ノズル８１０は最初に射出を行なうノズルであるため、その遅延時間は０であり、ノズル８１１は（Dt３＋Rt１）ほど遅れ、ノズル８１２は（2＊Dt３＋Rt２）ほど遅れなければならない。このような類推によって時間遅延表６２９を得ることができる。ノズル序列表と時間遅延表に対応させ、図９のような各ノズルの駆動波形遅延略図を示す。ノズル８１０〜８１７はノズル序列表に基づいて選び出した順序で、つり合わせ時間遅延表とともに最初のノズル８１０を射出完了後、時間Dt２遅らせてからその次のノズル８１１を射出させ、そして順番に則って選出されたノズルを射出完了する。
【００２８】
このことからわかるように、本発明は異なる素子図案において応用することができるインクジェット製造方法である。図５はインクジェット設備略図である。プリントヘッドモジュール１１、運動平面台１６、光学検査測定モジュール及び制御モジュールを含み、プリントヘッドモジュール１１は少なくとも1つの射出孔を有し、かつ各色それぞれのプリントヘッドを有し（一般的に赤（Ｒ）緑（Ｇ）青（Ｂ）の三色）、基板１２に対しインク滴を射出するのに用いる。運動平面台１６上部面は基板１２を支持し、プリントヘッドモジュール１１がインクを吹き付けるのに用い、プリントヘッドモジュール１１を設置するためのフレーム１４を設けている。また駆動モーター１５によってプリントヘッドモジュール１１に対し、X−Y−θの３方向へ運動する。
【００２９】
光学検査測定モジュールには、エリア電荷カップリング素子（area  CCD）１３及びライン電荷カップリング素子（Linear  CCD）１０を有し、基板１２とプリントヘッドモジュール１１の射出孔の相対位置関係を測るのに用いる。エリア電荷カップリング素子１３は基板１２の位置を測るのに用いる。ライン電荷カップリング素子１０はプリントヘッドモジュール１１の射出孔及びインク滴射出後の軌跡に相対する変移位置を測定するのに用いる。つまりエリア電荷カップリング素子１３は初歩的な定位校正を提供し、更にライン電荷カップリング素子１０を利用して即時定位や精密定位を提供する。上述したプリント設備は更に各モジュールユニットの作動を制御するための中央演算装置（図面中無表示）に連結され、中央演算装置はユーザインターフェースに連接し（無表示）、ユーザにインプットされたプリント素子パラメーターを提供し、また制御モジュールへ伝送する。
【００３０】
本発明の微流体のインクジェット制御方法は上述の設備に対応して完成される。図６は、カラーフィルター或いは有機電発光二極体素子図案を製造するインクジェット方法のプロセス略図である。まず、ガラス基板を平面台上に固定し、ユーザインターフェースを経てプリントパラメーターを中央演算装置へインプットし（ステップ３１０）、それと同時にプリントノズルパラメーターを決定する。中央演算装置から各ノズルプリントの順序及びノズル間のプリント時間のひらきを計算し、ノズル序列表と時間遅延表を決める（ステップ３２０）。モーターを駆動し、クリーニングステーションをプリントヘッドモジュールのノズルへ移動させてクリーニングする（ステップ３３０）。プリントヘッドパラメーター、ノズル序列表と時間遅延表から構成されたプリントパラメーターを命令式に解釈し、制御モジュールへ伝送し（ステップ３４０）、X−Y−θ平面台の調整によってガラス基板のアライメントを決め、この位置を開始位置とする。エリア電荷カップリング素子（ＣＣＤ）を定位点（alignment  mark）のアライメントとする（ステップ３５０）。単色インクのプリントを行う（ステップ３６０）。インク表面の平坦化処理を行う（ステップ３７０）。その後、インクを乾燥させカラーブロックに形成する（ステップ３８０）。すべてのカラーブロックのプリントが完成されたかどうか検査測定を行う（ステップ３９０）。完成されていなければステップ３６０に戻り、引き続きその他のインク色のプリントを行い、結果がＯＫならば素子図案の制作を完了する。
【００３１】
また、単色インクのプリント（ステップ３６０）前に前もって予備射出（pre-printing）により、そのプリント位置が正確であるかどうかを検査測定することができる。ガラスの余白部分で予備射出を行う（ステップ４１０）。それから、プリント位置及び解析度が正確であるかどうか、を検査測定する（ステップ４２０）。さもなければステップ３５０に戻り、正確な位置に達するようにする。
【００３２】
本発明の比較的よい実施例は上記に公開したが、しかしそれは本発明に限定された用法ではなく、習熟した関連技術者は、本発明の精神及び範囲内から離れることなく更なる修正と修飾を行うことができる。よって本発明の特許保護範囲は本明細書付随の特許請求の範囲における基準で判断されなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の駆動波形調整プロセス図である。
【図２】本発明実施例の駆動波形条件設定プロセス図である。
【図３】直条式フィルター略図である。
【図４】モザイク式フィルター略図である。
【図５】インクジェット設備略図である。
【図６】カラーフィルター或いはエレクトロルミネセンス素子を製造するインクジェット方法のプロセス図である。
【図７】各種駆動波形のインクジェット結果写真である（７Ａ〜７Ｃ）。
【図８】ノズル選択、ノズル序列表及び時間遅延表略図である。
【図９】各ノズルの駆動波形遅延略図である。
【符号の説明】
【００３４】
１０  ライン電荷カップリング素子
１１  プリントヘッドモジュール
１２、５０  基板
１３  エリア電荷カップリング素子
１４  フレーム
１５  駆動モーター
１６  運動平面台
５１０  プリントカラーブロック
５１１  インク射出点
５２０  黒色マトリックス
５３０  定位点
Ｌ１  隣接する二つのブロック間のインク滴距離
Ｌ２  同一のブロックのインク滴の間隔
Ｌ３  マトリックス幅
Ｌ４  プリントブロックの幅
Ｌ５  前置ノープリント区間幅
６０１、６０２ノズル区間
６０３  プリント方向
６０４、６０５  ノズル序列
６０９  ノズル序列表
６１０〜６１７、８１０〜８１７  ノズル
６２９時間遅延表
Dt３  ノズル位置差時間
Rt１〜Rt７  インクヘッド回転角度位置差時間
【図１】
2005088567.tif 000003
【図２】
2005088567.tif 000004
【図３】
2005088567.tif 000005
【図４】
2005088567.tif 000006
【図５】
2005088567.tif 000007
【図６】
2005088567.tif 000008
【図７】
2005088567.tif 000009
【図８】
2005088567.tif 000010
【図９】
2005088567.tif 000011