(57)【要約】【課題】記録用の光スポットのサイズに制限されることなく、記録を多値化して大容量化し、しかも安定なトラッキング特性を得る。【解決手段】光ディスクなどの光情報記録媒体２０におけるトラック２１に一定面積で連続してセル２２を設け、各セル２２の中央部に凹凸状の多値データパターン１０を形成し、さらに、各セル２２の四隅にトラッキング用の凹凸状のパターン１１を形成する。【選択図】図１
2005353255.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定面積を有する２次元領域であるセルがスパイラル状にトラックに沿って連続して仮想的に存在し、１つの前記セル内の反射光量を変化させることによって３値以上のデジタルデータを記録した光情報記録媒体において、
前記セルの中心部に記録データに対応する凹凸を形成し、前記セルの四隅にトラッキング用の凹凸を形成したことを特徴とする光情報記録媒体。
【請求項２】
該光情報記録媒体における半径方向に隣り合う前記セルを円周方向に整列し、前記凹凸を隣接する４つのセルと共通するセルの隅に形成して、前記隣接する４つのセルにおいて前記凹凸を共用したことを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体。
【請求項３】
該光情報記録媒体における円周方向に隣り合うセルとは該セルの四隅に形成された前記凹凸を共用し、該光情報記録媒体における半径方向に隣り合うセルとは前記凹凸を共用しないことを特徴とする請求項１記載の光情報記録媒体。
【請求項４】
前記セルの中心部の前記凹凸と、前記セルの四隅に形成した前記凹凸との深さを同一にし、前記セルの中心部の前記凹凸の面積を可変にすることにより、１つの前記セル内の反射光量を変化させることによって３値以上のデジタルデータを記録することを特徴とする請求項１〜３記載の光情報記録媒体。
【請求項５】
前記セルの四隅に形成した前記凹凸部を、半径方向よりトラック方向に長い凹凸形状としたことを特徴とする請求項１〜３記載の光情報記録媒体。
【請求項６】
前記セルの四隅に形成した前記凹凸部の形状を、前記セルの中心部の前記凹凸の形状に関係なく、一定としたことを特徴とする請求項１〜３記載の光情報記録媒体。
【請求項７】
前記セルの四隅に形成した前記凹凸部の半径方向断面をＶ字形状としたことを特徴とする請求項１〜３記載の光情報記録媒体。
【請求項８】
前記セルの中心部の前記凹凸と、前記セルの四隅に形成した前記凹凸とを分離して設けたことを特徴とする請求項１〜３記載の光情報記録媒体。
【請求項９】
一定面積を有する２次元領域であるセルがスパイラル状にトラックに沿って連続して仮想的に存在し、１つのセル内の反射光量を変化させることによって３値以上のデジタルデータを記録する請求項１〜８いずれか１項に記載の光情報記録媒体の原盤の露光方法であって、前記セルの中心部と、前記セルの隅とを交互に露光することを特徴とする情報記録媒体用原盤の露光方法。
【請求項１０】
前記セルの隅を露光する際には、露光ビームを断続的に照射することを特徴とする請求
項９記載の情報記録媒体用原盤の露光方法。
【請求項１１】
請求項９または１０記載の情報記録媒体用原盤の露光方法により露光された原盤から作成されたことを特徴とする情報記録媒体用スタンパ。
【請求項１２】
請求項９記載の情報記録媒体用スタンパから作成されたことを特徴とする情報記録媒体用基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスクなどの光情報記録媒体、およびその情報記録媒体用の原盤の露光方法および情報記録媒体用スタンパならびに情報記録媒体用基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光ディスクにおいては、渦巻状または同心円状のトラック上に、２値のデジタルデータが、エンボス加工などによる凹凸のピット（ＲＯＭディスク）、あるいは無機・有機記録膜への穴形成（追記型ディスク），結晶状態の違い（相変化ディスク）などによって記録されている。
【０００３】
これらの記録データを再生する際には、トラック上にレーザビームを照射して、その反射光の強度差などを検出して再生信号を得る。そして得られた再生信号を、例えば一定のしきい値で判断して２値のデータを検出している。
【０００４】
ＲＯＭディスクは、ＣＤ，ＣＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ−ＲＯＭなどのように、原盤に形成された凹凸のピットを成形板に転写することにより、安価に大量に作成することができ、配布用として使用される。
【０００５】
原盤の凹凸ピットは、ガラス基板などの上にレジストを形成し、これにレーザ光を照射して潜像を形成し、現像して形成される。前記追記型ディスクあるいは相変化ディスクなどは、ＣＤ−Ｒ，ＣＤ−ＲＷ，ＤＶＤ−Ｒ，ＤＶＤ＋ＲＷなどのように、トラッキングのための案内溝などがＲＯＭディスクと同様な方法で形成された原盤から案内溝などを成形板に転写し、この上に無機・有機記録膜などの記録材料を付与して作成され、記録再生装置（ＣＤ−Ｒドライブなど）にてユーザにより情報が記録される。
【０００６】
このような情報記録媒体の容量を増加させる方法としては、案内溝あるいはピットを微細化する方法がある。しかし、レーザ光は、波長λと集光レンズの開口数ＮＡで集光ビーム径が決まるため、現状では波長４０５ｎｍ（ＮＡ＝０.８５）が限界である。ここで、集光レンズのＮＡを０.８５のように大きくすると、ピックアップと基板の距離が短くな
り、衝突による危険の増加，ゴミの影響の増加などの問題がある。また、現在広く使われているＤＶＤメディアとの互換が取り難いという問題も生じる（ＤＶＤドライブのレンズＮＡは０.６５）。
【０００７】
情報記録媒体の容量を増加させるもう一つの方法として、２値データではなく３値以上の多値データを記録する方法が考えられている。特許文献１に記載された技術では、相変化ディスクの記録ビットの大きさを変えることにより、１つの記録ビットで６値データを得ている。
【０００８】
図１２（ａ）〜（ｄ）は多値データを記録可能な情報記録媒体の説明図であり、図１２（ａ）は記録媒体の記録トラック部分の拡大図、図１２（ｂ）は記録媒体の斜視図であって、２０は光情報記録媒体、２１はデータが記録されるトラック、２２はトラック２１上に一定面積に形成されたセル、２３は再生ビームの光スポット、２４はセル２２に記録された記録ビット、２５は光情報記録媒体２０の基板である。
【０００９】
前記トラック２１が形成された基板２５には、記録材料，反射膜，保護膜などが形成されて光情報記録媒体２０が作成される。この光情報記録媒体２０に対して図示しない情報記録装置により、集光した光スポット２３を照射して記録ビット２４を形成する。記録ビット２４は、トラック２１に形成されたセル２２に１つずつ大きさを変えて形成される。
【００１０】
前記光情報記録媒体２０を情報再生装置で再生すると、図１２（ｃ），（ｄ）に示すように、ＲＦ信号は、記録ビット２４の大きさに従って、反射光量が変化し、この反射光量に従って所定のレベルに変換され、変換データに基づいて情報が再生される。この場合、各セル２２にて０〜５の値を表現することができ、従来の０〜１の値に比べ多くの情報を記録することができる。
【００１１】
多値情報を記録するＲＯＭディスクの従来例としては、ピットの深さを複数段階にすることによって多値情報を得る方法（特許文献２参照）、パターンの幅を複数段階にすることによって多値情報を得る方法（特許文献３参照）、ピット長さを複数段階にすることによって多値情報を得る方法（特許文献４参照）などがある。
【００１２】
特許文献３に記載された多値情報記録について図１３（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。この方法はパターンの幅を複数段階に設定して多値記録を行っている。図１３（ａ）が記録パターン３０、図１３（ｂ）が再生されたＲＦ信号、図１３（ｃ）が検出レベルを示しており、この例では０〜４の５値の記録になっている。
【００１３】
他にも、特許文献５に記載されているように、多値情報を記録するＲＯＭディスクのトラッキング特性の改善を目的として、多値パターンと多値パターンとの間を浅い溝でつなぐようにした構成のものもある。
【特許文献１】特許第２６４２４２２号公報
【特許文献２】特開平８−７７５９９号公報
【特許文献３】特開平６−１２４４５０号公報
【特許文献４】特開２００２−８２３３号公報
【特許文献５】特開２００３−２３３９３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
前記従来の技術において、特許文献２に記載の方法では、ピットの深さを複数段階に変化させることにより多値記録を行う。しかし、深さの異なるパターンを安定して形成することは、実際では困難であり、安価なＲＯＭディスクに採用することは不可能である。
【００１５】
特許文献３に記載の方法では、パターンの幅を複数段階に設定して多値記録を行う。しかし、狭い幅のグルーブの作成には限界がある。仮に１００ｎｍ幅のグルーブが形成できる場合には、同じ露光装置により、グルーブより狭い８０ｎｍ幅のピットが形成できる。しかも、セルからの反射光量を考えた場合、８０ｎｍ幅のピットは、長さも約８０ｎｍであるため、このピットと同等な反射光量を、長さがセル長であるグルーブにおいて実現するためには、ピットの場合の数分の１にする必要がある。実際には、このような幅のグルーブは形成することはできないため、最も狭いグルーブにおける反射光量が落ちてしまい、ダイナミックレンジの小さいＲＯＭディスクしか作成することができないという問題があった。
【００１６】
特許文献４に記載の方法では、ピットの長さをナノメータ（ｎｍ）オーダーで可変する必要があり、非常に高精度で高価な電子ビーム描画装置が必要であり、しかも基板の成形なども同等な精度が要求されるため、安価なＲＯＭディスクの実現することは不可能である。
【００１７】
特許文献５に記載の方法では、セルの中心のパターンを深さλ／４ｎ（ｎは基板の屈折率）、セルの中心のパターン周辺の案内溝をλ／８ｎとすることにより、トラッキング特性を改善しているが、λ／８ｎであってもＲＦ信号は、λ／４ｎの場合により５０％低下するため、ダイナミックレンジの小さいＲＯＭディスクしか作成できないという問題があった。さらに、特許文献１に記載の方法と同様に、１つの原盤で複数の深さを作成することは困難なため、安価なＲＯＭディスクに採用することは不可能である。
【００１８】
本発明の目的は、前記従来技術の問題を解決するため、記録用の光スポットのサイズに制限されることなく、記録を多値化して大容量化し、しかも安定なトラッキング特性が得られる光情報記録媒体，情報記録媒体用原盤の露光方法および情報記録媒体用スタンパならびに情報記録媒体用基板を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、一定面積を有する２次元領域であるセルがスパイラル状にトラックに沿って連続して仮想的に存在し、１つの前記セル内の反射光量を変化させることによって３値以上のデジタルデータを記録した光情報記録媒体において、前記セルの中心部に記録データに対応する凹凸を形成し、前記セルの四隅にトラッキング用の凹凸を形成したことを特徴とし、この構成によって、セルの四隅にトラッキング用のパターンが形成されているので、安定したプッシュプル信号が出力され安定したトラッキング特性が得られる。またセルの四隅にトラッキング用のパターンが形成されているため、この四隅のパターンによるＲＦ信号の低下が小さいため、反射率変化のダイナミックレンジを大きくし、多値レベルの判定を容易にすることができる。
【００２０】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の光情報記録媒体において、該光情報記録媒体における半径方向に隣り合うセルを円周方向に整列し、凹凸を隣接する４つのセルと共通するセルの隅に形成して、隣接する４つのセルにおいて凹凸を共用したことを特徴とし、この構成によって、トラックに沿って連続して仮想的に存在するセルを円周方向にも整列して形成し、四隅に形成したトラッキング用の凹凸を隣接するセルと共用することにより、安定したトラッキング特性と、ダイナミックレンジの大きい多値レベルを得ることができる。
【００２１】
請求項３に記載の発明は、請求項１記載の光情報記録媒体において、該光情報記録媒体における円周方向に隣り合うセルとは該セルの四隅に形成された凹凸を共用し、該光情報記録媒体における半径方向に隣り合うセルとは凹凸を共用しないことを特徴とし、この構成によって、半径方向に隣り合うセルとはトラッキング用凹凸を共用せず、別々にトラッキング用凹凸を形成するため、半径方向に隣り合うセルが、円周方向に整列しないＣＬＶ（Constant Linear Velocity：線速度一定）記録型の光情報記録媒体においても安定したトラッキング特性と、ダイナミックレンジの大きい多値レベルを得ることができ、大容量の光情報記録媒体を実現することができる。
【００２２】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３記載の光情報記録媒体において、セルの中心部の凹凸と、セルの四隅に形成した凹凸との深さを同一にし、セルの中心部の凹凸の面積を可変にすることにより、１つのセル内の反射光量を変化させることによって３値以上のデジタルデータを記録することを特徴とし、この構成によって、面内の凹凸パターン全ての深さが一定で、かつ１つのセルで３値以上のデジタルデータを記録することができるため、作成が容易で、かつ安価な大容量記録媒体を作成することができる。
【００２３】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜３記載の光情報記録媒体において、セルの四隅に形成した凹凸部を、半径方向よりトラック方向に長い凹凸形状としたことを特徴とし、この構成によって、セルの四隅に形成した凹凸部が、半径方向よりトラック方向に長い凹凸とすることにより、円形パターンに比べてＲＦ信号を低下させることなく、プッシュプル信号を改善することができる。
【００２４】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜３記載の光情報記録媒体において、セルの四隅に形成した凹凸部の形状を、セルの中心部の凹凸の形状に関係なく、一定としたことを特徴とし、この構成によって、セルの四隅に形成した凹凸部パターンをセルの中心部のパターンサイズに関係なく一定としたことによって、プッシュプル信号の変動を少なくできるため、安定したトラッキング特性を得られる。
【００２５】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜３記載の光情報記録媒体において、セルの四隅に形成した凹凸部の半径方向断面をＶ字形状としたことを特徴とし、この構成によって、例えばセルの中心部のパターンを台形形状、またセルの四隅にトラッキング用のパターンをＶ字形状とすることにより、ＲＦ信号とプッシュプル信号とを大きくすることができるため、安定したトラッキング特性と、ダイナミックレンジの大きい多値レベルとを得ることができる。
【００２６】
請求項８に記載の発明は、請求項１〜３記載の光情報記録媒体において、セルの中心部の凹凸と、セルの四隅に形成した凹凸とを分離して設けたことを特徴とし、この構成によって、セルの中心部のパターンと、セルの四隅のトラッキング用のパターンとを分離することにより、セルの中心部のパターンと四隅のパターンとの干渉を防止することができ、露光時のセルの中心部のパターンサイズの変動を低減することができる。
【００２７】
請求項９に記載の発明は、一定面積を有する２次元領域であるセルがスパイラル状にトラックに沿って連続して仮想的に存在し、１つのセル内の反射光量を変化させることによって３値以上のデジタルデータを記録する請求項１〜８いずれか１項に記載の光情報記録媒体の原盤の露光方法であって、前記セルの中心部と、前記セルの隅とを交互に露光することを特徴とし、この露光方法によって、セルの中心部とセルの隅とを交互に露光することにより、１本の露光ビームで、セル中心パターンと、四隅のトラッキング用パターンとを露光することができる。さらに、２ビームでの露光に比べ、セル中心パターンと、四隅のトラッキング用パターンとの相対位置を一定にすることができるため、精度の高い多値原盤を作成することができる。
【００２８】
請求項１０に記載の発明は、請求項９記載の情報記録媒体用原盤の露光方法において、セルの隅を露光する際には、露光ビームを断続的に照射することを特徴とし、この露光方法によって、露光ビームを断続照射することにより、パターン幅を広くすることなくパターン長さを長くすることができるため、プッシュプル信号を改善することができるパターンを形成できる。
【００２９】
請求項１１に記載の発明は、請求項９または１０記載の情報記録媒体用原盤の露光方法により露光された原盤から作成されたことを特徴とし、この情報記録媒体用スタンパの構成によって、安定したトラッキング特性とダイナミックレンジの大きい多値信号が得られる情報記録媒体を作成することができる。
【００３０】
請求項１２に記載の発明は、請求項１１記載の情報記録媒体用スタンパから作成されたことを特徴とし、この情報記録媒体用基板の構成によって、安定したトラッキング特性とダイナミックレンジの大きい多値信号が得られる情報記録媒体を作成することができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、セルの四隅にトラッキング用のパターンが形成されているので、安定したプッシュプル信号が出力され安定したトラッキング特性が得られる。またセルの四隅にトラッキング用のパターンが形成されているため、この四隅のパターンによるＲＦ信号の低下が小さいため、反射率変化のダイナミックレンジを大きくし、多値レベルの判定を容易にすることができる光情報記録媒体を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。なお、以下の説明において既述した部材に対応する部材には同一符号を付した。
【００３３】
従来の技術では、図１２に示すように、波長４０５ｎｍの青色レーザ光で、ＤＶＤドライブと同等な対物レンズＮＡ０.６５を想定すると、トラックピッチ０.４６μｍ、セル長は０.２３μｍ程度までセルを小さくしても、８値程度の反射光レベルの再生を行うことができる。前記特許文献１に記載の技術のように、パターンの面積で多値信号を作ると、図１０に示すようになる。
【００３４】
図１０において、１０はトラック２１のセル２２ごとに形成された凹凸状かつ円形状の多値データパターンであり、層変化材料では記録した円形ビットを消去することにより三日月状の幅の狭いパターン（図１２参照）を作成することができるが、原盤では記録したパターンを消去することができないため、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、円形パターンのサイズを可変して多値データパターン１０を作成している。
【００３５】
この従来の技術の場合では、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、レベル７のように凹凸パターンのない場合とか、レベル６，５のように凹凸パターンが小さい場合には、プッシュプル信号が小さくなってしまうという問題がある。
【００３６】
図１は本発明の実施形態１を説明するための光情報記録媒体の記録トラック部分の拡大図であって、本実施形態１では、前記従来の問題を解消するために、図１に示すように、トラック２１に一定面積で設けられたセル２２の中央部に形成された凹凸状の多値データパターン１０以外に、セル２２の四隅にトラッキング用の凹凸状のパターン１１を形成している。
【００３７】
前記多値データパターン１０に対する再生ビームの光スポット２３の走査による光学的な読み取りと光電変換によって、図２（ａ），（ｂ）に示すようにＲＦ信号が得られる。
【００３８】
前記トラッキング用のパターン１１を再生ビームの光スポット２３の中心から最も離れたセル２２の四隅に設けることにより、図２（ｃ）に示すように、ＲＦ信号の低下は１割程度で、プッシュプル信号は約５０％改善される（パターン深さはλ／６ｎに相当する４０ｎｍ）。
【００３９】
実施形態１の光情報記録媒体では、１本の露光ビームの偏向を図５（ｃ）のように、また露光ビームの強度を図５（ｂ）のように制御することにより、図５（ａ）に示すパターン１０，１１をセル２２部分に露光することができる。
【００４０】
また、図３（ａ）に示す本発明の実施形態２の光情報記録媒体のように、四隅のパターン１１を細長く露光することにより、ＲＦ信号の低下を抑え、プッシュプル信号を改善することができる。図３（ｂ）はパターンの深さ（高さ）を示すための図３（ａ）におけるｉ−ｉ’断面図である。
【００４１】
実施形態２においても、実施形態１と同様に、多値データパターン１０に対する再生ビームの光スポット２３の走査による光学的な読み取りと光電変換によって、図４（ａ），（ｂ）に示すようにＲＦ信号が得られる。
【００４２】
実施形態２の光情報記録媒体では、１本の露光ビームの偏向を図６（ｃ）のように、また露光ビームの強度を図６（ｂ）のように制御することにより、図６（ａ）のパターン１０，１１をセル２２部分に露光することができる。
【００４３】
また、１本の露光ビームの偏向と強度とを、図６（ｃ），図６（ｄ）のように制御することにより、図６（ａ）のパターンを露光することができる。この場合、強度変調は、アナログ変調でなく、デジタル変調であっても図６（ａ）のパターンとすることができる。
【００４４】
図７は本発明の実施形態３を説明するための光情報記録媒体の記録トラック部分の拡大図であって、本実施形態３では、図７に示すように、トラック２１に一定面積で設けられたセル２２の中央部に形成された凹凸状の多値データパターン１０以外に、セル２２の四隅にトラッキング用の凹凸状のパターン１１を形成し、トラック方向に隣接するセル２２は、１つのトラッキング用の凹凸状のパターン１１を隣のセル２２と共用するが、半径方向に隣接するセル２２は、セル毎に別々のトラッキング用の凹凸状のパターン１１を有する。
【００４５】
ＣＡＶ（Constant Angular Velocity：角速度一定）記録型の光情報記録媒体では、実施形態１，２のようにセル２２は、円周方向にも半径方向にも整列するため、四隅に形成されたトラッキング用凹凸状のパターン１１を隣接するセル２２と共用することができるが、ＣＬＶ（Constant Linear Velocity：線速度一定）記録型の光情報記録媒体においては、半径方向に隣り合うセルが、円周方向に整列しないため、図７のように、半径方向に隣接するセル２２は、セル毎に別々のトラッキング用の凹凸状のパターン１１を設ける。
【００４６】
実施形態３の光情報記録媒体では、レーザ露光する場合は、１本の露光ビームの偏向を図８（ｃ）のように、また露光ビームの強度を図８（ｂ）のように制御することにより、図８（ａ）のパターン１０，１１をセル２２部分に露光することができる。図８（ｃ）は、露光ビームを一時的にビームを半径方向に均等に２つに分離することを意味する。入力周波数により偏向角が変わる偏向素子に、２つの周波数を重畳した信号を入力することにより、露光ビームは半径方向に均等に２つに分離する。
【００４７】
また、電子ビーム露光する場合は、露光ビーム強度をアナログ変調することができないこと、露光ビームを２つに分割することができないため、１本の露光ビームの偏向を図９（ｃ）のように、また露光ビームの強度（ＯＮ／ＯＦＦ制御）を図１３（ｂ）のように制御することにより、図９（ａ）のパターン１０，１１をセル２２部分に露光することができる。
【００４８】
次に、本発明を具体的実施例によって、より詳細に説明する。
【００４９】
（実施例１）
実施例１では、ガラス原盤にレジストを塗布し、波長２５７ｎｍのレーザ光で、回転数600rpm、トラックピッチ０.４６μｍで１トラックが６０万セルになるように露光した。露光ビーム強度と露光ビームの半径方向の偏向制御は、図５（ｂ），図５（ｃ）のように制御した。セルの中心部の多値データパターンとして、照射時間を０ｎｓｅｃ〜８０ｎｓｅｃで制御することにより、０〜７値の凹凸パターン（パターン幅８０ｎｍ〜２３０ｎｍ）を露光した。また、四隅のトラッキング用のパターンとして、１４０ｎｍの凹凸パターンを露光した。
【００５０】
前記原盤を現像してパターンを作成し、この原盤を、導電化処理後、電鋳して剥離し、表面に図３（ａ）のようなパターンを形成したスタンパを作成した。このスタンパから成形により、０.６ｍｍ厚みのポリカーボネイト（ＰＣ）基板を作成した。この基板にＡｌをスパッタして反射膜を形成し、２枚を張り合わせて情報記録媒体を作成した。
【００５１】
前記情報記録媒体を、波長４０５ｎｍ，ＮＡ０.６５のピックアップを具備する再生ドライブで再生したところ、安定してトラッキングでき、図４（ａ），図４（ｂ）に示すように０〜７値の再生ができた。
【００５２】
次に、本発明の比較例を説明する。
【００５３】
実施例１と同様に情報記録媒体を作成した。ただし、パターンは四隅のパターンのない図１０に示す構成のものとした。これを波長４０５ｎｍ，ＮＡ０.６５のピックアップを具備する再生ドライブで再生したところ、７値が連続するところで、トラッキングがはずれ、再生することができなかった。
【００５４】
（実施例２）
実施例２では実施例１と同様に情報記録媒体を作成した。ただし、露光ビームの強度と露光ビームの半径方向の偏向制御は、図６（ｂ），図６（ｃ）のように制御した。この結果、四隅のトラッキング用のパターンは、図３（ａ）のように、幅８０ｎｍ，長さ１６０ｎｍのパターンとなった。これを波長４０５ｎｍ，ＮＡ０.６５のピックアップを具備する再生ドライブで再生したところ、実施例１よりＲＦ信号は２％強くなり、プッシュプル信号も１５％改善した。
【００５５】
（実施例３）
実施例３では実施例１と同様に情報記録媒体を作成した。ただし、露光ビーム強度を実施例２より弱くして、四隅のトラッキング用のパターンの底幅が、０〜３０ｎｍ程度になるように露光した。四隅のトラッキング用のパターンの開口幅は、半径方向７５ｎｍ，円周方向１６０ｎｍのパターンとなった。これを波長４０５ｎｍ，ＮＡ０.６５のピックアップを具備する再生ドライブで再生したところ、ＲＦ信号は殆んど変化しなかったが、プッシュプル信号は実施例２よりも４０％改善した。
【００５６】
（実施例４）
実施例４では実施例１と同様に情報記録媒体を作成した。ただし、露光ビームの強度と露光ビームの半径方向の偏向制御は、図６（ｃ），図６（ｄ）のように制御した。この結果、四隅のトラッキング用のパターンは、図３（ａ）のように幅８０ｎｍ，長さ１６０ｎｍのパターンとなり、実施例２と同様なパターンが形成できた。
【００５７】
（実施例５）
ガラス原盤にレジストを塗布し、波長２５７ｎｍのレーザ光で、線速度１ｍ／ｓｅｃ，トラックピッチ０.４６μｍ，セル長０.２３μｍになるように露光した。露光ビーム強度と露光ビームの半径方向の偏向制御は、図８（ｂ），図８（ｃ）のように制御した。セルの中心部の多値データパターンとして、照射時間を０ｎｓｅｃ〜８０ｎｓｅｃで制御することにより、図８（ａ）のように０〜７値の凹凸パターン（パターン幅８０ｎｍ〜２３０ｎｍ）を露光した。
【００５８】
また、四隅のトラッキング用のパターンとして、図８（ａ）のように幅８０ｎｍ，長さ１６０ｎｍのパターンを露光した。これを波長４０５ｎｍ，ＮＡ０.６５のピックアップを具備する再生ドライブで再生したところ、実施例２と同等なプッシュプル信号が得られ、ＲＦ信号は約５％低下したが、記録容量は約２倍に向上した。
【００５９】
（実施例６）
実施例６ではガラス原盤にレジストを塗布し、ビーム直径８０ｎｍの電子ビームで、線速度１ｍ／ｓ，トラックピッチ０.４６μｍ，セル長０.２３μｍになるように露光した。露光ビーム強度と露光ビームの半径方向の偏向制御は、図９（ｂ），図９（ｃ）のように制御した。セルの中心部の多値データパターンとして、照射時間を０ｎｓｅｃ〜３０ｎｓｅｃで制御することにより、図９（ａ）のように０〜７値の凹凸パターン（パターン幅８０ｎｍ〜２００ｎｍ）を露光した。
【００６０】
また、四隅のトラッキング用のパターンとして、図９（ｂ）のように断続的にセルの半径方向の両側を交互に照射することにより、図９（ａ）のように凹凸パターンを露光した。これを波長４０５ｎｍ，ＮＡ０.６５のピックアップを具備する再生ドライブで再生したところ、実施例５と同等なプッシュプル信号、ＲＦ信号が得られた。
【００６１】
なお、前記実施例において、レーザ露光機により露光してパターンを作成すると説明したものであっても、このパターン作成方法に限定されない。例えば実施例２，４における露光ビーム制御では電子ビーム露光も適用できる。
【００６２】
また、セルの四隅に形成したトラッキング用の凹凸形状は、情報記録媒体のディスク半径方向断面をＶ字形状とすることも考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明は、光ディスクなどの光情報記録媒体に適用され、特に予め多値情報を記録して再生する記録媒体（ＲＯＭディスク）などの情報の記録方法に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施形態１を説明するための光情報記録媒体の記録トラック部分の拡大説明図
【図２】実施形態１におけるパターンと出力レベル，ＲＦ信号などの関連を示す説明図
【図３】本発明の実施形態２を説明するための光情報記録媒体の記録トラック部分の拡大説明図
【図４】実施形態２におけるパターンと出力レベル，ＲＦ信号の関連を示す説明図
【図５】実施形態１における露光ビームによるパターン形成の説明図
【図６】実施形態２における露光ビームによるパターン形成の説明図
【図７】本発明の実施形態３を説明するための光情報記録媒体の記録トラック部分の拡大説明図
【図８】実施形態３における露光ビームによるパターン形成の説明図
【図９】実施形態３における他の露光ビームによるパターン形成の説明図
【図１０】従来の光情報記録媒体の記録トラック部分の拡大説明図
【図１１】従来例のパターンと出力レベル，ＲＦ信号の関連を示す説明図
【図１２】従来の多値データを記録可能な情報記録媒体の説明図
【図１３】従来の光情報記録媒体のパターンと出力レベルの関連を示す説明図
【符号の説明】
【００６５】
１０  多値データパターン
１１  トラッキング用のパターン
２０  光情報記録媒体
２１  トラック
２２  セル
２３  再生ビームの光スポット
【図１】
2005353255.tif 000003
【図２】
2005353255.tif 000004
【図３】
2005353255.tif 000005
【図４】
2005353255.tif 000006
【図５】
2005353255.tif 000007
【図６】
2005353255.tif 000008
【図７】
2005353255.tif 000009
【図８】
2005353255.tif 000010
【図９】
2005353255.tif 000011
【図１０】
2005353255.tif 000012
【図１１】
2005353255.tif 000013
【図１２】
2005353255.tif 000014
【図１３】
2005353255.tif 000015