(57)【要約】 【課題】  測定対象物に光を照射してその反射光を検出する場合と、測定対象物から発せられる光を検出する場合とで容易に使い分けることが出来るオートコリメータを提供する。【解決手段】  測定対象物Ｍからの光を受光して、この受光した光の光軸の傾きを検出するオートコリメータにおいて、測定対象物Ｍに光を照射するＬＤ光源１２を備え、このＬＤ光源１２が測定対象物Ｍからの光を受光するオートコリメータ本体１１に対して着脱自在に装着される。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物からの光を受光して、この受光した光の光軸の傾きを検出するオートコリメータにおいて、
測定対象物に光を照射する光源部を備え、
この光源部が測定対象物からの光を受光する本体部に対して着脱自在に装着されることを特徴とするオートコリメータ。
【請求項２】
前記光源部がレーザダイオードを内蔵している請求項１に記載のオートコリメータ。
【請求項３】
前記本体部が、光源部が取り付けられる部分に平面状の第１取付面を備え、光源部が、本体部に取り付けられる部分に平面状の第２取付面を備え、この光源部の第２取付面が本体部の第１取付面に平行に当接されることによって、光源部の本体部に対する装着時の姿勢が規制される請求項１に記載のオートコリメータ。
【請求項４】
前記本体部内に、光源部からの光を反射して測定対象物の方向に照射するとともに測定対象物から反射されてきた光をそのまま通過させる光分岐素子が備えられ、本体部の第１取付面が、測定対象物から反射されてきた光の光軸に対して平行になるように形成され、光源部の第２取付面が、この光源部から射出される光の光軸に対して直角になるように形成されている請求項３に記載のオートコリメータ。
【請求項５】
前記光源部の第２取付面に光を射出するための光射出部が設けられ、本体部の第１取付面に光源部の光射出部が嵌合される取付孔が形成されている請求項３に記載のオートコリメータ。
【請求項６】
前記本体部の第１取付面が、この本体部のケーシングの壁面に固定されたプレート部材上に形成されている請求項３に記載のオートコリメータ。
【請求項７】
前記プレート部材が、本体部のケーシングの幅よりも大きい幅を有し、本体部のケーシングから側方に張り出しているプレート部材の部分に、光源部をプレート部材に固定するための取付部が形成されている請求項６に記載のオートコリメータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、オートコリメータに関する。
【背景技術】
【０００２】
オートコリメータは、例えば、ミラーやレンズ，プリズム等の光学部品の取り付け検査，ＣＤやＤＶＤのディスクの揺れや傾き検査，ＣＤ装置やＤＶＤ装置のピックアップの組み付け調整，レーザ・ダイオード（ＬＤ）の光軸傾き調整，ＨＤＤのヘッド傾き検査，ＣＣＤ素子とカバーガラスの平行度測定，定盤やテーブル，部品等の各種平面の傾きや平行度測定などの種々の検査や測定，調整に使用される。
【０００３】
図１は、従来のレーザ・オートコリメータの概略構成図である。
【０００４】
この図１において、オートコリメータ１は、略箱形状のケーシング２の一方の端面（図１においては左側端面）に形成された開口部に、カバーガラス３が嵌め込まれており、さらに、ケーシング２の他方の端部（図１においては右側端部）の側面に形成された開口部に、確認用スクリーン４が取り付けられている。
【０００５】
このケーシング２内には、カバーガラス３側から順に、ビームスプリッタ５と凸レンズ６，凹レンズ７が、それぞれ、ケーシング２の軸線と平行な軸線ａに沿って互いに同軸になる位置に固定されている。
【０００６】
凹レンズ７は、凸レンズ６の焦点位置に位置されている。
【０００７】
そして、ケーシング２の確認用スクリーン４が取り付けられている側の端部内には、軸線ａと交差する位置に、第１反射ミラー８が、その法線が軸線ａに対して確認用スクリーン４と反対側に傾斜した状態で固定され、さらに、確認用スクリーン４と対向する位置に、第２反射ミラー９が、確認用スクリーン４の法線に対して第１反射ミラー８側に傾斜した状態で固定されている。
【０００８】
この第１反射ミラー８および第２反射ミラー９のそれぞれの法線の傾斜角度は、後述するように、カバーガラス３側からビームスプリッタ５および凸レンズ６，凹レンズ７を介して入射してくる光が、第１反射ミラー８および第２反射ミラー９による反射によって確認用スクリーン４に入射される角度に設定されている。
【０００９】
ケーシング２内のビームスプリッタ５に対向する部分には、レーザダイオードを有する光源Ｓが、レーザ光Ｌをビームスプリッタ５に対して射出する向きに取り付けられている。
【００１０】
このオートコリメータ１は、ＬＤ光源Ｓから射出されたレーザ光Ｌをビームスプリッタ５によって直角向きに反射して、カバーガラス３を通して測定対象物Ｍに照射する。
【００１１】
この測定対象物Ｍからカバーガラス３を通してケーシング２内に反射されてきたレーザ光Ｌの戻り光Ｌａは、ビームスプリッタ５を通過した後、凸レンズ６によって集光され、さらに、凹レンズ７によって平行光にされる。
【００１２】
測定対象物Ｍの法線が軸線ａに対して傾斜している（ぶれている）場合には、戻り光Ｌａにぶれが生じており、この戻り光Ｌａが凹レンズ７によって平行光にされる際に、そのぶれが拡大される。
【００１３】
そして、凹レンズ７を通過した戻り光Ｌａは第１反射ミラー８と第２反射ミラー９によって反射されて、確認用スクリーン４に映し出される。
【００１４】
この確認用スクリーン４には、中心位置とこの中心位置からのぶれを示す目盛りが表示されており、その中心位置が測定対象物Ｍの法線にぶれが生じていない場合の戻り光Ｌａの光点Ｐと一致するように設定されている。
【００１５】
したがって、測定対象物Ｍの取付状態等によってその法線にぶれが生じている場合には、戻り光Ｌａの光点Ｐが確認用スクリーン４の中心位置からずれた位置に映し出され、これによって、オペレータは、測定対象物Ｍの法線のぶれを検出することが出来る（例えば、特許文献１参照）。
【００１６】
上記従来のオートコリメータ１は、ケーシング２内に内蔵されたＬＤ光源Ｓから発せられるレーザ光Ｌを測定対象物Ｍに照射して、この測定対象物Ｍからの戻り光Ｌａを検出することにより測定対象物Ｍの法線のぶれを判定するようになっているものであるが、一般に、オートコリメータは、測定対象物に光を照射してその反射光の検出を行う場合のみならず、測定対象物から発せられる光を検出して、その光の傾きを判定する場合にも使用される。
【００１７】
このように、測定対象物から発せられる光を検出してその傾きを判定するような場合には、上記のようにオートコリメータ１に内蔵されているＬＤ光源Ｓは使用価値が無く、無駄になる。
【００１８】
また、上記従来のオートコリメータ１は、内蔵するＬＤ光源Ｓから発せられるレーザ光Ｌを測定対象物Ｍに照射する場合でも、測定対象物Ｍの種類に対応して、ＬＤ光源Ｓから発せられるレーザ光の波長等を変更しなければならないような場合が生じたときには、オートコリメータ１自体を交換しなければならず、設備投資の増加により製品の製造コストの大幅な上昇を招いてしまうといった問題を有している。
【００１９】
【特許文献１】特公昭５５−２５６０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
この発明は、上記のような従来のオートコリメータが有している問題点を解決することをその解決課題の一つとしているものである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記目的を達成するために、この発明（請求項１に記載の発明）によるオートコリメータは、測定対象物からの光を受光して、この受光した光の光軸の傾きを検出するオートコリメータにおいて、測定対象物に光を照射する光源部を備え、この光源部が測定対象物からの光を受光する本体部に対して着脱自在に装着されることを特徴としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
この発明によるオートコリメータは、測定対象物からの光を受光してこの受光した光の光軸の傾きを検出するオートコリメータの本体部と、測定対象物に光を照射する光源部が別体に構成され、この光源部が本体部に対して着脱自在に装着されるようになっている実施形態を、その最良の実施形態としているものである。
【００２３】
この実施形態によるオートコリメータは、測定対象物に対してオートコリメータから光を照射してその反射光の検出を行う場合には、光源部が本体部に装着された態様で使用されて、この光源部から射出される光を測定対象物に対して照射するが、測定対象物が自ら光を発するようになっていて、オートコリメータがその測定対象物から発せられる光を検出するような場合には、光源部が本体部から取り外された態様で使用される。
【００２４】
このように、この実施形態によるオートコリメータによれば、光源部がオートコリメータの本体部に対して着脱自在になっていることによって、測定対象物から発せられる光を検出してその光軸調整を行うような場合には、光源部を本体部から取り外して本体部のみを使用するようにすることが出来る。
【００２５】
そして、この場合には、例えば、オートコリメータの取り付けの際の基準光源として、複数台の本体部に対して一台の光源部を用意する等の方法によって、設備費用を大幅に削減することが出来るようになる。
【００２６】
さらに、オートコリメータから照射する光の波長を変更する必要が生じたような場合でも、光源部のみを交換するだけで良くなるので、設備費用を大幅に削減することが出来る。
【実施例】
【００２７】
図２ないし４は、この発明によるオートコリメータの実施形態における一実施例を示しており、図２はこの実施例におけるオートコリメータの正面図であり、図３は同オートコリメータの側面図であり、図４は、同オートコリメータの内部構造を示す概略構成図である。
【００２８】
なお、以下においては、図１の従来のオートコリメータと同様の構成部分については、図１と同一の符号を用いて説明を行う。
【００２９】
図２ないし４において、オートコリメータ１０は、オートコリメータ本体１１と、このオートコリメータ本体１１に対して着脱自在に装着されるＬＤ光源１２の二つの部分から構成されている。
【００３０】
オートコリメータ本体１１は、図４に示されるように、略箱形状のケーシング１１Ａの下端面に形成された開口部に、カバーガラス３が嵌め込まれており、さらに、ケーシング１１Ａの上端部の正面側壁面に形成された開口部に、確認用スクリーン４が取り付けられている。
【００３１】
このケーシング１１Ａ内には、さらに、カバーガラス３側から順に、ビームスプリッタ５と凸レンズ６，凹レンズ７が、それぞれ、ケーシング１１Ａの軸線と平行な軸線ａに沿って互いに同軸になる位置に固定されている。
【００３２】
凹レンズ７は、凸レンズ６の焦点位置に位置されている。
【００３３】
そして、ケーシング１１Ａの確認用スクリーン４が取り付けられている側の端部内には、軸線ａと交差する位置に、第１反射ミラー８が、その法線が軸線ａに対して確認用スクリーン４と反対側に傾斜した状態で固定され、さらに、確認用スクリーン４と対向する位置に、第２反射ミラー９が、確認用スクリーン４の法線に対して第１反射ミラー８側に傾斜した状態で固定されている。
【００３４】
この第１反射ミラー８および第２反射ミラー９のそれぞれの法線の傾斜角度は、後述するように、カバーガラス３側からビームスプリッタ５および凸レンズ６，凹レンズ７を介して入射してくる光が、第１反射ミラー８および第２反射ミラー９による反射によって確認用スクリーン４に入射される角度に設定されている。
【００３５】
そして、ケーシング１１Ａの確認用スクリーン４が取り付けられている側と同じ側の外壁面のビームスプリッタ５に対向する部分に、ＬＤ光源取付用のジョイントプレート１１Ｂが固定されている。
【００３６】
このジョイントプレート１１Ｂは、図５および６に示されるように、左右の幅ｍがケーシング１１Ａの左右の幅ｎよりも大きくなるように成形されていて、その両縁部分がケーシング１１Ａの正面から見てケーシング１１Ａの側面からそれぞれ側方に所定の幅だけ張り出されている。
【００３７】
このジョイントプレート１１ＢのＬＤ光源１２が当接される取付面１１Ｂａは、ケーシング１１Ａ内に配置されているプレート５および凸レンズ６，凹レンズ７の軸線ａに対して完全な平行面になるように成形加工されている。
【００３８】
そして、このジョイントプレート１１Ｂの取付面１１Ｂａの中央部には、後述するようにＬＤ光源１２が取り付けられる際に、このＬＤ光源１２のレーザ光射出部が嵌合される円形の取付孔１１Ｂｂが形成されている。
【００３９】
さらに、このジョイントプレート１１Ｂには、その両縁部のケーシング１１Ａの側面から張り出されている部分のそれぞれ上下に、ねじ用取付孔１１Ｂｃが形成されている。
【００４０】
ＬＤ光源１２は、レーザダイオードが内蔵されているケーシング１２Ａのオートコリメータ本体１１への取付面１２Ｂの中央部に、レーザダイオードから照射されるレーザ光が射出される円筒形のレーザ光射出部１２Ｃが形成されている。
【００４１】
そして、このＬＤ光源１２の取付面１２Ｂは、レーザ光射出部１２Ｃから射出されるレーザ光の光軸に対して、完全な垂直面になるように成形加工されている。
【００４２】
さらに、この取付面１２Ｂのレーザ光射出部１２Ｃを挟んだ両側縁部のジョイントプレート１１Ｂに形成されたねじ用取付孔１１Ｂｃに対応する位置に、それぞれ一対ずつのねじ穴１２Ｄが形成されている。
【００４３】
上記オートコリメータ１０は、オートコリメータ本体１１に対してＬＤ光源１２が、以下の様な態様で、着脱自在に装着される。
【００４４】
すなわち、ＬＤ光源１２は、そのレーザ光射出部１２Ｃがオートコリメータ本体１１のジョイントプレート１１Ｂに形成されている取付孔１１Ｂｂ内に嵌合された状態で、取付面１１Ｂａがジョイントプレート１１Ｂの取付面１１Ｂａに平行に当接される。
【００４５】
そして、この状態で、ジョイントプレート１１Ｂの背面側から、それぞれ、ねじ用取付孔１１Ｂｃにねじ１３（図４参照）が通されて、このねじ用取付孔１１Ｂｃに対向する位置に位置されるＬＤ光源１２のねじ穴１２Ｄに螺合され、このねじ１３によって、ＬＤ光源１２がジョイントプレート１１Ｂを介してオートコリメータ本体１１に固定される。
【００４６】
このとき、ジョイントプレート１１Ｂの取付面１１Ｂａが、ケーシング１１Ａ内に配置されているビームスプリッタ５および凸レンズ６，凹レンズ７の軸線ａに対して完全な平行面であり、ＬＤ光源１２の取付面１２Ｂが、レーザ光射出部１２Ｃから射出されるレーザ光Ｌ１の光軸に対して完全な垂直面であることから、ＬＤ光源１２がオートコリメータ本体１１に対して、図４に示されるように、ＬＤ光源１２から射出されるレーザ光Ｌ１の光軸が、ケーシング１１Ａ内に配置されているビームスプリッタ５および凸レンズ６，凹レンズ７の軸線ａに対して完全な直角向きとなる。
【００４７】
ここで、このＬＤ光源１２をオートコリメータ本体１１に装着する際には、オートコリメータ本体１１の軸線ａに対するＬＤ光源１２から射出されるレーザ光Ｌ１の光軸の傾きだけが問題となり、ＬＤ光源１２のレーザ光Ｌ１の光軸回りの傾きやオートコリメータ本体１１に対する軸線ａと平行な方向への位置ずれは問題とならない。
【００４８】
従って、ＬＤ光源１２は、オートコリメータ本体１１に対して、ジョイントプレート１１Ｂの取付面１１ＢａにＬＤ光源１２の取付面１２Ｂを平行に当接させてねじ１３によって固定するだけで、ＬＤ光源１２のオートコリメータ本体１１に対する光軸調整を必要とすることなく、装着することが出来る。
【００４９】
このようにしてオートコリメータ本体１１にＬＤ光源１２が装着されたオートコリメータ１０は、図４に示されるように、ＬＤ光源１２からレーザ光Ｌ１を射出して、このレーザ光Ｌ１をビームスプリッタ５によって直角向きに反射して、カバーガラス３を通して測定対象物Ｍに照射する。
【００５０】
この測定対象物Ｍからカバーガラス３を通してケーシング２内に反射されてきたレーザ光Ｌの戻り光Ｌａは、ビームスプリッタ５を通過した後、凸レンズ６によって集光され、さらに、凹レンズ７によって平行光にされる。
【００５１】
測定対象物Ｍの法線が軸線ａに対して傾斜している（ぶれている）場合には、戻り光Ｌａにぶれが生じており、この戻り光Ｌａが凹レンズ７によって平行光にされる際に、そのぶれが拡大される。
【００５２】
そして、凹レンズ７を通過した戻り光Ｌａは第１反射ミラー８と第２反射ミラー９によって反射されて、確認用スクリーン４に映し出される。
【００５３】
この確認用スクリーン４には、中心位置とこの中心位置からのぶれを示す目盛りが表示されており、その中心位置が測定対象物Ｍの法線にぶれが生じていない場合の戻り光Ｌａの光点Ｐと一致するように設定されている。
【００５４】
したがって、測定対象物Ｍの取付状態等によってその法線にぶれが生じている場合には、戻り光Ｌａの光点Ｐが確認用スクリーン４の中心位置からずれた位置に映し出され、これによって、測定対象物Ｍの法線のぶれが検出される。
【００５５】
このオートコリメータ１０が、測定対象物から発せられる光を検出してその光軸調整に使用される場合には、ねじ１３の螺合を解除することによって、ＬＤ光源１２をオートコリメータ本体１１から容易に取り外すことが出来る。
【００５６】
そして、このＬＤ光源１２が取り外されたオートコリメータ１０は、測定対象物から発せられる光を受光し、上記と同様にして、その測定対象物から発せられる光の光軸の傾きを検出する。
【００５７】
以上のように、上記オートコリメータ１０は、ＬＤ光源１２がオートコリメータ本体１１に対して着脱自在になっていることによって、測定対象物から発せられる光を検出してその光軸調整を行う場合には、ＬＤ光源１２を取り外してオートコリメータ本体１１のみを使用するようにすることが出来、この場合には、例えば、オートコリメータ１０の取り付けの際の基準光源として、複数台のオートコリメータ本体１１に対して一台のＬＤ光源１２を用意すれば良くなるので、設備費用を大幅に削減することが出来るようになる。
【００５８】
また、オートコリメータ１０からレーザ光Ｌ１を照射して測定対象物Ｍの法線のぶれを検出する際に、検査用レーザ光の波長を変更するような場合でも、ＬＤ光源１２のみを交換するだけで良くなるので、設備費用を大幅に削減することが出来るとともに、ＬＤ光源１２のオートコリメータ本体１１に対する取り付けの際に、その都度ＬＤ光源１２の光軸調整を行う必要が無いので、その交換を容易に行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】従来のオートコリメータの構成を概略的に示す構成図である。
【図２】この発明によるオートコリメータの一実施例を示す正面図である。
【図３】同実施例の側面図である。
【図４】同実施例のオートコリメータの構成を概略的に示す構成図である。
【図５】同実施例におけるオートコリメータ本体を示す正面図である。
【図６】同オートコリメータ本体の側面図である。
【図７】同実施例におけるＬＤ光源を示す正面図である。
【図８】同ＬＤ光源の側面図である。
【符号の説明】
【００６０】
５          …ビームスプリッタ（光分岐素子）
１０        …オートコリメータ
１１        …オートコリメータ本体（本体部）
１１Ａ      …ケーシング
１１Ｂ      …ジョイントプレート（プレート部材）
１１Ｂａ    …取付面（第１取付面）
１１Ｂｂ    …取付孔
１１Ｂｃ    …ねじ用取付孔（取付部）
１２        …ＬＤ光源（光源部）
１２Ａ      …ケーシング
１２Ｂ      …取付面（第２取付面）
１２Ｃ      …レーザ光射出部（光射出部）
１３        …ねじ
Ｍ          …測定対象物
Ｌ１        …レーザ光
Ｌａ        …戻り光
ａ          …軸線
【図１】
2005121447.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005121447.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005121447.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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