(57)【要約】【課題】  色再現性の良いカラー画像の撮像を可能とする固体撮像素子を提供する。【解決手段】  固体撮像素子１０は、Ｐ型半導体基板５の表面からその内部に向かって、Ｐ型半導体層１、Ｎ型半導体層２、Ｐ型半導体層３、Ｎ型半導体層４がこの順に重層された構造となっている。Ｐ型半導体層１とＮ型半導体層２との間のＰＮ接合は青色の光を吸収するフォトダイオード６を形成し、Ｎ型半導体層２とＰ型半導体層３との間のＰＮ接合はエメラルド色の光を吸収するフォトダイオード７を形成し、Ｐ型半導体層３とＮ型半導体層４との間のＰＮ接合は緑色の光を吸収するフォトダイオード８を形成し、Ｎ型半導体層４とＰ型半導体基板５とのＰＮ接合は赤色の光を吸収するフォトダイオード９を形成する。フォトダイオード６〜９に光が吸収された際に生じる電位差を読み出し回路によって読み出すことで、青色、赤色、緑色、エメラルド色の色信号を読み出し、赤色の色信号量からエメラルド色の色信号量を減算することで、人間の赤色に対する感度の再現域を広げる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板内の深さ方向に、画素毎に複数のフォトダイオードが重層され、前記複数のフォトダイオードに吸収される光によって各フォトダイオードに生じる電位差に応じた色信号を外部に読み出す固体撮像素子であって、
前記複数のフォトダイオードは、青色の光を吸収する深さに設けられる第１のフォトダイオードと、緑色の光を吸収する深さに設けられる第２のフォトダイオードと、赤色の光を吸収する深さに設けられる第３のフォトダイオードと、前記赤色の光の負感度成分の光を吸収する深さに設けられる第４のフォトダイオード、前記緑色の光の負感度成分の光を吸収する深さに設けられる第５のフォトダイオード、及び前記青色の光の負感度成分の光を吸収する深さに設けられる第６のフォトダイオードの少なくとも１つとを含み、
前記複数のフォトダイオードの各々に生じる前記電位差に応じた色信号を読み出す色信号読み出し回路を備える固体撮像素子。
【請求項２】
請求項１記載の固体撮像素子であって、
前記複数のフォトダイオードは、前記第１のフォトダイオード、前記第２のフォトダイオード、前記第３のフォトダイオード、及び前記第４のフォトダイオードの４つフォトダイオードであり、
前記第１のフォトダイオードの接合部は、前記半導体基板表面から約０．２μｍの深さに形成され、
前記第２のフォトダイオードの接合部は、前記半導体基板表面から約０．６μｍの深さに形成され、
前記第３のフォトダイオードの接合部は、前記半導体基板表面から約２．０μｍの深さに形成され、
前記第４のフォトダイオードの接合部は、前記半導体基板表面から約０．３μｍの深さに形成されている固体撮像素子。
【請求項３】
被写体を撮像してカラー画像データを生成する撮像装置であって、
請求項１記載の固体撮像素子と、
前記第１のフォトダイオードから読み出された色信号量から前記第６のフォトダイオードから読み出された色信号量を減算して青色の色信号を求める青色信号算出手段、前記第２のフォトダイオードから読み出された色信号量から前記第５のフォトダイオードから読み出された色信号量を減算して緑色の色信号を求める緑色信号算出手段、及び前記第３のフォトダイオードから読み出された色信号量から前記第４のフォトダイオードから読み出された色信号量を減算して赤色の色信号を求める赤色信号算出手段の少なくとも１つとを備える撮像装置。
【請求項４】
被写体を撮像してカラー画像データを生成する撮像装置であって、
請求項２記載の固体撮像素子と、
前記第３のフォトダイオードから読み出された色信号量から前記第４のフォトダイオードから読み出された色信号量を減算して赤色の色信号を求める赤色信号算出手段とを備える撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板内の深さ方向に、画素毎に複数のフォトダイオードが重層され、複数のフォトダイオードに吸収される光によって各フォトダイオードに生じる電位差に応じた色信号を外部に読み出す固体撮像素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体基板内の深さ方向に青色（Ｂ）の光を検出するフォトダイオード、緑色（Ｇ）の光を検出するフォトダイオード、赤色（Ｒ）の光を検出するフォトダイオードの３つのフォトダイオードがこの順に重層され、これらのフォトダイオードに入射された光によって各フォトダイオードに生じる電位差に基づいて、ＲＧＢ３色の色信号を得ることが可能な光検出素子が知られている（特許文献１、２参照）。この光検出素子を撮像素子として用いることで、モアレが発生しない、解像度及び感度が向上する、信号処理が単純化される、偽色がない等、半導体基板上に複数のフォトダイオードを配列する従来の撮像素子に比べ、様々な効果を得ることができる。
【０００３】
【特許文献１】特表２００２−５１３１４５号公報
【特許文献２】特開昭６１−１８７２８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
人間の視感度は、図６にα，β，γとして示す様に、青色（Ｂ），緑色（Ｇ），赤色（Ｒ）で負の感度を持っている。このため、固体撮像素子でＲ，Ｇ，Ｂの正感度成分の光のみ検出して色再現を行っても、人間の見た画像を再現することはできない。特許文献１，２記載の光検出素子では、Ｒ，Ｇ，Ｂの正感度成分の光のみを検出して色再現を行うものであるため、十分な色再現性を得ることができない。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、半導体基板内にフォトダイオードを重層して固体撮像素子を構成する場合に、色再現性の良いカラー撮像を可能とする固体撮像素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の固体撮像素子は、半導体基板内の深さ方向に、画素毎に複数のフォトダイオードが重層され、前記複数のフォトダイオードに吸収される光によって各フォトダイオードに生じる電位差に応じた色信号を外部に読み出す固体撮像素子であって、前記複数のフォトダイオードは、青色の光を吸収する深さに設けられる第１のフォトダイオードと、緑色の光を吸収する深さに設けられる第２のフォトダイオードと、赤色の光を吸収する深さに設けられる第３のフォトダイオードと、前記赤色の光の負感度成分の光を吸収する深さに設けられる第４のフォトダイオード、前記緑色の光の負感度成分の光を吸収する深さに設けられる第５のフォトダイオード、及び前記青色の光の負感度成分の光を吸収する深さに設けられる第６のフォトダイオードの少なくとも１つとを含み、前記複数のフォトダイオードの各々に生じる前記電位差に応じた色信号を読み出す色信号読み出し回路を備える。
【０００７】
この構成により、カラーフィルタを用いることなく色分離を行うことができる。又、負感度成分の光も検出することができるため、色再現性の良いカラー撮像が可能となる。
【０００８】
又、本発明の固体撮像素子は、前記複数のフォトダイオードが、前記第１のフォトダイオード、前記第２のフォトダイオード、前記第３のフォトダイオード、及び前記第４のフォトダイオードの４つフォトダイオードであり、前記第１のフォトダイオードの接合部は、前記半導体基板表面から約０．２μｍの深さに形成され、前記第２のフォトダイオードの接合部は、前記半導体基板表面から約０．６μｍの深さに形成され、前記第３のフォトダイオードの接合部は、前記半導体基板表面から約２．０μｍの深さに形成され、前記第４のフォトダイオードの接合部は、前記半導体基板表面から約０．３μｍの深さに形成されている。
【０００９】
この構成により、赤色、緑色、青色、及び緑色と青色の中間色の４色を良好に分離することができる。
【００１０】
本発明の撮像装置は、被写体を撮像してカラー画像データを生成する撮像装置であって、前記固体撮像素子と、前記第１のフォトダイオードから読み出された色信号量から前記第６のフォトダイオードから読み出された色信号量を減算して青色の色信号を求める青色信号算出手段、前記第２のフォトダイオードから読み出された色信号量から前記第５のフォトダイオードから読み出された色信号量を減算して緑色の色信号を求める緑色信号算出手段、及び前記第３のフォトダイオードから読み出された色信号量から前記第４のフォトダイオードから読み出された色信号量を減算して赤色の色信号を求める赤色信号算出手段の少なくとも１つとを備える。
【００１１】
この構成により、人間の視感度に応じた青色、赤色、緑色の再生が可能となる。
【００１２】
本発明の撮像装置は、被写体を撮像してカラー画像データを生成する撮像装置であって、前記固体撮像素子と、前記第３のフォトダイオードから読み出された色信号量から前記第４のフォトダイオードから読み出された色信号量を減算して赤色の色信号を求める赤色信号算出手段とを備える。
【００１３】
この構成により、人間の視感度に応じた赤色の再生が可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、半導体基板内にフォトダイオードを重層して固体撮像素子を構成する場合に、色再現性の良いカラー撮像を可能とする固体撮像素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１（ａ）は、本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子の１画素分の断面模式図である。図１（ｂ）は、（ａ）に示す固体撮像素子１０の等価回路図である。
図１に示す固体撮像素子１０は、Ｐ型半導体基板（例えば、シリコン基板）５の表面からその内部に向かって、Ｐ型半導体層１、Ｎ型半導体層２、Ｐ型半導体層３、Ｎ型半導体層４がこの順に重層された構造となっている。Ｐ型半導体層１には電極ａが接続され、Ｎ型半導体層２には電極ｂが接続され、Ｐ型半導体層３には電極ｃが接続され、Ｎ型半導体層４には電極ｄが接続され、Ｐ型半導体基板５には電極ｅが接続されている。
【００１６】
固体撮像素子１０は、Ｐ型半導体基板５にＮ型半導体をドープしてＮ型半導体層４を形成し、Ｎ型半導体層４にＰ型半導体をドープしてＰ型半導体層３を形成し、Ｐ型半導体層３にＮ型半導体をドープしてＮ型半導体層２を形成し、Ｎ型半導体層２にＰ型半導体をドープしてＰ型半導体層１を形成することで完成する。図１に示す構造は１画素分であるが、これらの画素が同一平面上にアレイ状に設けられる。
【００１７】
Ｐ型半導体層１とＮ型半導体層２とのＰＮ接合の接合部のＰ型半導体基板５の表面からの深さは約０．２μｍとなっている。この深さは、４００ｎｍ〜４８０ｎｍの波長を持つ青色の光を吸収する深さである。したがって、Ｐ型半導体層１とＮ型半導体層２との間のＰＮ接合は、それらの２つの領域の間に、青色の光を吸収するＢ感光フォトダイオード６を形成する（図１（ｂ）参照）。
【００１８】
Ｎ型半導体層２とＰ型半導体層３とのＰＮ接合の接合部のＰ型半導体基板５の表面からの深さは約０．３μｍとなっている。この深さは、４８０ｎｍ〜５２０ｎｍの波長を持つエメラルド（ＥＭ）色の光を吸収する深さである。したがって、Ｎ型半導体層２とＰ型半導体層３との間のＰＮ接合は、それらの２つの領域の間に、エメラルド色の光を吸収するＥＭ感光フォトダイオード７を形成する（図１（ｂ）参照）。エメラルド色の光は、図６に示したように、赤色の光の負感度成分の光に相当する。
【００１９】
Ｐ型半導体層３とＮ型半導体層４とのＰＮ接合の接合部のＰ型半導体基板５の表面からの深さは約０．６μｍとなっている。この深さは、５２０ｎｍ〜５７５ｎｍの波長を持つ緑色の光を吸収する深さである。したがって、Ｐ型半導体層３とＮ型半導体層４との間のＰＮ接合は、それらの２つの領域の間に、緑色の光を吸収するＧ感光フォトダイオード８を形成する（図１（ｂ）参照）。
【００２０】
Ｎ型半導体層４とＰ型半導体基板５とのＰＮ接合の接合部のＰ型半導体基板５の表面からの深さは約２．０μｍとなっている。この深さは、５７５ｎｍ〜７００ｎｍの波長を持つ赤色の光を吸収する深さである。したがって、Ｎ型半導体層４とＰ型半導体基板５とのＰＮ接合は、それらの２つの領域の間に、赤色の光を吸収するＲ感光フォトダイオード９を形成する（図１（ｂ）参照）。
【００２１】
エメラルドの光を検出する利点は、人間の視感度に応じて赤色を補正するためである。人間の視感度は、上述したようにＢ，Ｇ，Ｒで負の感度を持っているため、固体撮像素子でＲ，Ｇ，Ｂの正の感度のみ検出して色再現を行っても、人間の見た画像を再現することはできない。そこで、負感度の一番大きいβすなわち赤色の負感度成分の光をＥＭ感光フォトダイオード７によって検出し、Ｒ感光フォトダイオード９で検出した赤の感度から、この負感度分を差し引くことで、人間の赤色に対する感度の再現域を広げることができ、色再現性を向上させることができる。この処理については後述する。
【００２２】
次に、固体撮像素子１０の動作について説明する。
まず、固体撮像素子１０に図１（ａ）の上方から入射した光のうち、Ｂの光はＰ型半導体層１とＮ型半導体層２とのＰＮ接合に吸収され、図１（ｂ）に示すようにＢ感光フォトダイオード６の光電流Ｉｂとなり、ＥＭの光はＮ型半導体層２とＰ型半導体層３とのＰＮ接合に吸収され、図１（ｂ）に示すようにＥＭ感光フォトダイオード７の光電流Ｉｅｍとなり、Ｇの光はＰ型半導体層３とＮ型半導体層４とのＰＮ接合に吸収され、図１（ｂ）に示すようにＧ感光フォトダイオード８の光電流Ｉｇとなり、Ｒの光はＮ型半導体層４とＰ型半導体基板５とのＰＮ接合に吸収され、図１（ｂ）に示すようにＲ感光フォトダイオード９の光電流Ｉｒとなる。
【００２３】
電極ａ〜ｅにバイアス電圧をかけることで、各フォトダイオードの両端に電位差が生じるため、この電位差を読み出すことで、電位差に応じた４つの色信号（色信号Ｂ、色信号ＥＭ、色信号Ｇ、色信号Ｒ）を読み出すことができる。つまり、Ｂ感光フォトダイオード６からは青色の色信号Ｂが読み出され、ＥＭ感光フォトダイオード７からはエメラルド色の色信号ＥＭが読み出され、Ｇ感光フォトダイオード８からは緑色の色信号Ｇが読み出され、Ｒ感光フォトダイオード９からは赤色の色信号Ｒが読み出されることになる。
色信号の読み出し回路としては、上記電位差を読み出すことができるものであればどのような構成でも良く、例えば図２に示すような各フォトダイオードに対して３つのトランジスタ（リセットトランジスタ、アンプトランジスタ、セレクトトランジスタ）を設けたものを用いることができる。尚、色信号の読み出し回路は、図２のものに限らず、特許文献１，２に記載されているものを応用することも可能である。
【００２４】
図３は、図１に示す固体撮像素子１０の分光感度特性を示す図である。図３において、横軸は光の波長、縦軸はフォトダイオードの空乏層のフォトンの吸収率である。空乏層に吸収されたフォトンが全て電子に変換されれば、それを図２に示すようなアンプトランジスタを通して電流値（色信号）として取り出すことが可能になる。
図３の符号３１で示す波形は、Ｐ型半導体基板５の表面から０．１９１μｍ〜２．８７μｍの深さで光電変換された場合の分光感度特性を示すものである。図３の符号３２で示す波形は、Ｐ型半導体基板５の表面から０．２８μｍ〜０．５μｍの深さで光電変換された場合の分光感度特性を示すものである。図３の符号３３で示す波形は、Ｐ型半導体基板５の表面から０．５７μｍ〜０．９μｍの深さで光電変換された場合の分光感度特性を示すものである。図３の符号３４で示す波形は、Ｐ型半導体基板５の表面から１．９１μｍ〜２．８７２μｍの深さで光電変換された場合の分光感度特性を示すものである。図３に示すように、図１の固体撮像素子１０によれば４つの色を検出することができるのが分かる。
【００２５】
次に、固体撮像素子１０から読み出した４つの色信号の信号処理について説明する。
図４は、固体撮像素子１０によって被写体の撮像を行う撮像装置の一例であるデジタルカメラの内部ブロックを示す図である。
図４に示すデジタルカメラは、図１に示す固体撮像素子１０と、Ａ／Ｄ変換部４１と、色差マトリクス（ＭＴＸ）４２と、ホワイトバランス（ＷＢ）調整部４３と、γ補正部４４と、Ｙ／Ｃ処理部４５と、圧縮処理部４６とを備える。色差ＭＴＸ４２、ＷＢ調整部４３、γ補正部４４、Ｙ／Ｃ処理部４５、及び圧縮処理部４６は、例えばＤＳＰにより構成される。
【００２６】
図４に示すデジタルカメラでは、固体撮像素子１０から読み出された４つの色信号（色信号Ｒ、色信号ＥＭ、色信号Ｇ、色信号Ｂ）がＡ／Ｄ変換部４１に入力されて、デジタルの色信号Ｑ［Ｒ］，Ｑ［ＥＭ］，Ｑ［Ｇ］，Ｑ［Ｂ］に変換される。Ａ／Ｄ変換部４１から出力されたデジタルの色信号Ｑ［Ｒ］，Ｑ［ＥＭ］，Ｑ［Ｇ］，Ｑ［Ｂ］は、色差ＭＴＸ４２において所定のマトリクス演算処理が行われ、各色信号から光の三原色に対応した原色信号Ｑ［Ｒ］，Ｑ［Ｇ］，Ｑ［Ｂ］が出力される。このマトリクス演算処理では、色信号Ｑ［Ｒ］の信号量から色信号Ｑ［ＥＭ］の信号量を減算する処理がなされ、減算処理後の色信号を原色信号Ｑ［Ｒ］として出力する。色差ＭＴＸ４２から出力された原色信号Ｑ［Ｒ］，Ｑ［Ｇ］，Ｑ［Ｂ］は、ＷＢ調整部４３においてホワイトバランスが調整され、γ補正部４４にてγ補正がなされる。γ補正後の原色信号Ｑ［Ｒ］，Ｑ［Ｇ］，Ｑ［Ｂ］は、Ｙ／Ｃ処理部４５において輝度信号Ｙと色差信号Ｃｒ，Ｃｂに変換され、圧縮処理部４６に入力される。輝度信号Ｙと色差信号Ｃｒ，Ｃｂは、圧縮処理部４６で圧縮され、記録メディアに記録される。
【００２７】
以上のように、図４に示すデジタルカメラによれば、色差ＭＴＸ４２において、デジタルの色信号Ｑ［Ｒ］の信号量からデジタルの色信号Ｑ［ＥＭ］の信号量を減算する処理を行い、減算処理後の色信号を原色信号Ｑ［Ｒ］とすることで、人間の赤色に対する感度の再現域を広げることができ、色再現性を向上させることができる。
【００２８】
尚、信号処理は以下の図５に示す構成にて行っても良い。
図５は、固体撮像素子１０によって被写体の撮像を行う撮像装置の一例であるデジタルカメラの内部ブロックを示す図である。図４と同様の構成には同一符号を付してある。
図５に示すデジタルカメラは、図１に示す固体撮像素子１０と、減算回路５１と、Ａ／Ｄ変換部４１と、ＷＢ調整部４３と、γ補正部４４と、Ｙ／Ｃ処理部４５と、圧縮処理部４６とを備える。ＷＢ調整部４３、γ補正部４４、Ｙ／Ｃ処理部４５、及び圧縮処理部４６は、例えばＤＳＰにより構成される。
【００２９】
図５に示すデジタルカメラでは、固体撮像素子１０から読み出された４つの色信号（色信号Ｒ、色信号ＥＭ、色信号Ｇ、色信号Ｂ）のうち、色信号Ｇと色信号ＢがＡ／Ｄ変換部４１に入力され、色信号Ｒと色信号ＥＭが減算回路５１に入力される。減算回路５１は、色信号Ｒの信号量から色信号ＥＭの信号量を減算し、減算後の色信号を新たな色信号Ｒとして出力する。減算回路５１から出力された色信号Ｒは、Ａ／Ｄ変換部４１に入力される。
Ａ／Ｄ変換部４１に入力された色信号Ｒ，Ｇ，Ｂは、デジタルの色信号Ｑ［Ｒ］，Ｑ［Ｇ］，Ｑ［Ｂ］に変換される。Ａ／Ｄ変換部４１から出力された色信号Ｑ［Ｒ］，Ｑ［Ｇ］，Ｑ［Ｂ］は、ＷＢ調整部４３においてホワイトバランスが調整され、γ補正部４４にてγ補正がなされる。γ補正後の色信号Ｑ［Ｒ］，Ｑ［Ｇ］，Ｑ［Ｂ］は、Ｙ／Ｃ処理部４５において輝度信号Ｙと色差信号Ｃｒ，Ｃｂに変換され、圧縮処理部４６に入力される。輝度信号Ｙと色差信号Ｃｒ，Ｃｂは、圧縮処理部４６で圧縮され、記録メディアに記録される。
以上のようにすることでも、人間の赤色に対する感度の再現域を広げることができ、色再現性を向上させることができる。
【００３０】
以上のように固体撮像素子１０によれば、Ｐ型半導体基板５内に異なる色を検出するフォトダイオード６〜９を重層した構造をとることにより、様々な利点を有することができる。例えば、撮像画像にモアレが発生しない、一つの画素でＲ，Ｇ，Ｂ，ＥＭを一緒に検出できるため光学ローパスフィルタが不要となり高解像度が得られる、輝度，色とも解像度が良く色にじみがない、信号処理が単純でしかも擬信号が発生しないため色再現性が良くなる等である。
又、固体撮像素子１０によれば、ＥＭ感光フォトダイオード７を設けているため、人間の赤色に対する感度の再現域を広げることができ、色再現性をより向上させることができる。
【００３１】
又、上記信号処理の方法としては、特許第２８７２７５９号公報にも詳細が記載されているため、これを参照されたい。
【００３２】
尚、本実施形態では、固体撮像素子１０にフォトダイオード６〜９を設ける例を説明したが、ＥＭ感光フォトダイオード７の代わりに、緑色の負感度成分の光を吸収する深さにフォトダイオードを設けたり、青色の負感度成分の光を吸収する深さにフォトダイオードを設けたりする構成としても良い。又は、ＥＭ感光フォトダイオード７の代わりに、赤色の負感度成分の光を吸収するフォトダイオード、緑色の負感度成分の光を吸収するフォトダイオード、及び青色の負感度成分の光を吸収するフォトダイオードのうちの少なくとも２つを、それぞれの光を吸収する深さに設ける構成としても良い。
緑色の負感度成分の光を吸収するフォトダイオードを設けた場合には、そのフォトダイオードから読み出される色信号を、Ｇ感光フォトダイオード８から読み出される色信号Ｇの信号量から減算したものを新たな色信号Ｇとして処理を行えば良い。青色の負感度成分の光を吸収するフォトダイオードを設けた場合には、そのフォトダイオードから読み出される色信号を、Ｂ感光フォトダイオード６から読み出される色信号Ｂの信号量から減算したものを新たな色信号Ｂとして処理を行えば良い。
例えば、赤色の負感度成分の光を吸収するフォトダイオードと、緑色の負感度成分の光を吸収するフォトダイオードと、青色の負感度成分の光を吸収するフォトダイオードとを形成した場合には、色再現性を更に向上させることができる。
【００３３】
又、本実施形態では、Ｐ型半導体基板５にフォトダイオードを重層する構造をとっているが、図１（ａ）に示すＰ型半導体基板５をＮ型半導体基板にし、Ｐ型半導体層１，３をＮ型半導体層にし、Ｎ型半導体層２，４をＰ型半導体層にしても、上記効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】（ａ）は本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子の１画素分の断面模式図、（ｂ）は（ａ）に示す固体撮像素子１０の等価回路図
【図２】本発明の実施形態を説明するための固体撮像素子から色信号を読み出す回路を示す図
【図３】図１に示す固体撮像素子の分光感度特性を示す図
【図４】固体撮像素子によって被写体の撮像を行う撮像装置の一例であるデジタルカメラの内部ブロックを示す図
【図５】固体撮像素子によって被写体の撮像を行う撮像装置の一例であるデジタルカメラの内部ブロックを示す図
【図６】人間の視感度を示すグラフ
【符号の説明】
【００３５】
１，３  Ｐ型半導体層
２，４  Ｎ型半導体層
５  Ｐ型半導体基板
６，７，８，９  フォトダイオード
１０  固体撮像素子
【図１】
2005353716.tif 000003
【図２】
2005353716.tif 000004
【図３】
2005353716.tif 000005
【図４】
2005353716.tif 000006
【図５】
2005353716.tif 000007
【図６】
2005353716.tif 000008