(57)【要約】【課題】  実装部側への封止材の流れ込みを防止してインクジェットヘッドの小型化を実現することのできる静電アクチュエータを提供する。【解決手段】  本発明の静電アクチュエータは、振動板６と、この振動板６に対向する対向電極７が形成された基板４とを備え、振動板６と対向電極７との隙間の周囲が封止材１２によって気密封止されている。対向電極７の封止材１２と反対側の位置にこの対向電極７の外部端子１５が形成されており、この外部端子１５と対向電極７との間に封止材１２の外部端子１５側への流れを堰き止めるための段差４ｂが形成されている。【選択図】    図２
2005343137.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動板を有する第１の基板と、該振動板に対向する対向電極が形成された第２の基板とを備え、前記振動板と前記対向電極との間の静電気力によって前記振動板を弾性変形させる静電アクチュエータであって、
前記対向電極と該対向電極の端部に形成された外部端子との間に、前記振動板と前記対向電極との隙間の空間を気密封止するための封止材が形成され、前記外部端子と前記封止材との間に前記封止材の前記外部端子側への流れを堰き止めるための段差が形成されていることを特徴とする、静電アクチュエータ。
【請求項２】
前記第２の基板が溝を有し、前記対向電極が前記溝の底面に形成され、前記外部端子が前記溝の外側の段差となった部分の上面に形成されており、前記振動板が前記第２の基板の前記溝が形成された面に貼り合わされ、前記溝の一部に前記封止材を充填することによって前記振動板と前記対向電極との隙間の空間が気密封止されていることを特徴とする、請求項１記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
振動板を有する第１の基板と、該振動板に対向する対向電極が形成された第２の基板とを備え、前記振動板と前記対向電極との間の静電気力によって前記振動板を弾性変形させる静電アクチュエータの製造方法であって、
溝を有する前記第２の基板の当該溝の底面に前記対向電極を形成し、前記溝の外側の段差となった部分の上面に前記対向電極の外部端子を形成する工程と、前記第２の基板の前記溝が形成された面に前記振動板を形成する工程と、前記溝の一部に封止材を充填して前記振動板と前記対向電極との間の隙間の空間を気密封止する工程とを備えたことを特徴とする、静電アクチュエータの製造方法。
【請求項４】
前記振動板の形成工程が、前記第２の基板に第１の基板を貼り合わせる工程と、前記第２の基板の前記外部端子の表面に密着した前記第１の基板の一部を保護層として残しつつ、前記溝の上部に位置する前記第１の基板を薄板化して前記振動板を形成する工程とを含み、前記封止工程の後に前記保護層を除去して前記外部端子を露出させる工程を備えたことを特徴とする、請求項３記載の静電アクチュエータの製造方法。
【請求項５】
前記外部端子が形成される前記段差の上面に、当該外部端子の厚みによる凹凸を平坦化するための平坦化膜を形成することを特徴とする、請求項４記載の静電アクチュエータの製造方法。
【請求項６】
インクを収容する圧力室と、該圧力室に連通するノズルと、前記圧力室の前記ノズルと反対側に配置された振動室とを備え、前記振動室が、振動板を有する第１の基板と、該振動板に対向する対向電極が形成された第２の基板とを備え、前記振動板と前記対向電極との間の静電気力によって前記圧力室に圧力変動を生じさせ、前記圧力室内に収容されたインクを前記ノズルを介して吐出するインクジェットヘッドであって、
前記対向電極と該対向電極の端部に形成された外部端子との間に、前記振動板と前記対向電極との隙間の空間を気密封止するための封止材が形成され、前記外部端子と前記封止材との間に前記封止材の前記外部端子側への流れを堰き止めるための段差が形成されていることを特徴とする、インクジェットヘッド。
【請求項７】
前記第２の基板が溝を有し、前記対向電極が前記溝の底面に形成され、前記外部端子が前記溝の外側の段差となった部分の上面に形成されており、前記振動板が前記第２の基板の前記溝が形成された面に貼り合わされ、前記溝の一部に前記封止材を充填することによって前記振動板と前記対向電極との隙間の空間が気密封止されていることを特徴とする、請求項６記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
請求項６又は７記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする、インクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド等の駆動機構として用いられる静電アクチュエータとその製造方法、並びに、静電アクチュエータをインク吐出用の駆動機構として用いた静電駆動式のインクジェットヘッド、インクジェットプリンタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタのインクジェットヘッドは、半導体の微細加工技術を用いて形成された一種のアクチュエータである。このような微細構造のアクチュエータとしては、その駆動源として静電気力を利用したものが知られている（特許文献１，２参照）。この静電駆動式のインクジェットヘッドは、ノズルに連通しているインク流路の底面が弾性変形可能な振動板として形成され、この振動板のインク流路と反対側には対向電極が形成されたガラス基板が配置されている。ガラス基板には振動室を構成する溝が形成されており、対向電極はこの溝の底面に形成されている。この構成において、振動板と対向電極との間に電圧を印加すると、それらの間に発生する静電気力によって振動板はガラス基板側に静電吸引されて振動する。そして、この振動板の振動によって生じるインク流路の内圧変動によってノズルからインク液滴が吐出される。
【特許文献１】特開平１０−３０４６８５号公報
【特許文献１】特開２００１−１７９９７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この静電アクチュエータでは、振動室内の空間（即ち、溝内の空間）が大気と連通しているため、この空間に大気中の水分が侵入し、振動板と対向電極との間に貼り付きを生じることがある。このため、特許文献１では溝内にエポキシ系等の接着剤を充填し、振動室を気密封止する方法が提案されている。しかしこの方法では、封止材として塗布される接着剤が実装部に掛からないように封止材塗布のためのスペースを確保する必要があり、チップサイズの小型化の妨げとなる。そこで、特許文献２では、ガラス基板に封止材を注入するための注入孔を形成し、この注入孔を介して前記溝に封止材を充填する方法が提案されている。しかしこの方法では、封止材として塗布した接着剤が、振動板側だけでなく外部端子が形成された実装部側にも流れ込み、実装部の一部を覆ってしまうという問題がある。この実装部側の封止代はアクチュエータの気密構造には影響しないので、この部分を削除或いは短くできれば、仕様変更を伴うことなくインクジェットの寸法を小さくすることができる。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、実装部側への封止材の流れ込みを防止してインクジェットヘッドの小型化を実現することのできる静電アクチュエータとその製造方法、並びにこの静電アクチュエータを備えたインクジェットヘッド、インクジェットプリンタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記の課題を解決するため、本発明の静電アクチュエータは、振動板を有する第１の基板と、該振動板に対向する対向電極が形成された第２の基板とを備え、前記振動板と前記対向電極との間の静電気力によって前記振動板を弾性変形させる静電アクチュエータであって、前記対向電極と該対向電極の端部に形成された外部端子との間に、前記振動板と前記対向電極との隙間の空間を気密封止するための封止材が形成され、前記外部端子と前記封止材との間に前記封止材の前記外部端子側への流れを堰き止めるための段差が形成されていることを特徴とする。具体的には、前記第２の基板が溝を有し、前記対向電極が前記溝の底面に形成され、前記外部端子が前記溝の外側の段差となった部分の上面に形成されており、前記振動板が前記第２の基板の前記溝が形成された面に貼り合わされ、前記溝の一部に前記封止材を充填することによって前記振動板と前記対向電極との隙間の空間が気密封止されている構成を採用することができる。
本構成では、封止材の流れを外部端子の手前で確実に堰き止めることができるため、封止材の乗り上げによる封止代を考慮する必要がなくなり、外部端子の形成される実装部の面積を必要最小限の広さに設定することができる。
【０００５】
本発明の静電アクチュエータの製造方法は、振動板を有する第１の基板と、該振動板に対向する対向電極が形成された第２の基板とを備え、前記振動板と前記対向電極との間の静電気力によって前記振動板を弾性変形させる静電アクチュエータの製造方法であって、溝を有する前記第２の基板の当該溝の底面に前記対向電極を形成し、前記溝の外側の段差となった部分の上面に前記対向電極の外部端子を形成する工程と、前記第２の基板の前記溝が形成された面に前記振動板を形成する工程と、前記溝の一部に封止材を充填して前記振動板と前記対向電極との間の隙間の空間を気密封止する工程とを備えたことを特徴とする。
本方法では、溝の外側に外部端子を形成しているため、溝内に封止材を充填した際に濡れ広がった封止材が溝の側壁（段差）によって堰き止められ、その先の外部端子の表面にかかることはない。このため、封止材の乗り上げによる封止代を考慮する必要がなくなり、外部端子の形成される実装部の面積を必要最小限の広さに設定することができる。
【０００６】
本発明の製造方法では、前記振動板の形成工程が、前記第２の基板に第１の基板を貼り合わせる工程と、前記第２の基板の前記外部端子の表面に密着した前記第１の基板の一部を保護層として残しつつ、前記溝の上部に位置する前記第１の基板を薄板化して前記振動板を形成する工程とを含み、前記封止工程の後に前記保護層を除去して前記外部端子を露出させる工程を備えたものとすることができる。本方法では、第１の基板をパターニングする際にその一部を保護層として外部端子の表面に残すので、封止材を堰き止める段差の高さが保護層の厚み分だけ高くなる。また、本方法では保護層が外部端子の表面に密着配置されているので、仮に封止材が外部端子側に濡れ広がったとしても、この上に付着した封止材は保護層の除去工程において保護層と一緒に除去される。このため、封止材の乗り上げを略完全に排除することができ、封止代を略ゼロとすることができる。
【０００７】
本発明の製造方法では、前記外部端子が形成される前記段差の上面に、当該外部端子の厚みによる凹凸を平坦化するための平坦化膜を形成することができる。こうすることで、外部端子の形成される部分（実装部）と保護層との密着性を高めることができる。
【０００８】
本発明のインクジェットヘッドは、インクを収容する圧力室と、該圧力室に連通するノズルと、前記圧力室の前記ノズルと反対側に配置された振動室とを備え、前記振動室が、振動板を有する第１の基板と、該振動板に対向する対向電極が形成された第２の基板とを備え、前記振動板と前記対向電極との間の静電気力によって前記圧力室に圧力変動を生じさせ、前記圧力室内に収容されたインクを前記ノズルを介して吐出するインクジェットヘッドであって、前記対向電極と該対向電極の端部に形成された外部端子との間に、前記振動板と前記対向電極との隙間の空間を気密封止するための封止材が形成され、前記外部端子と前記封止材との間に前記封止材の前記外部端子側への流れを堰き止めるための段差が形成されていることを特徴とする。具体的には、前記第２の基板が溝を有し、前記対向電極が前記溝の底面に形成され、前記外部端子が前記溝の外側の段差となった部分の上面に形成されており、前記振動板が前記第２の基板の前記溝が形成された面に貼り合わされ、前記溝の一部に前記封止材を充填することによって前記振動板と前記対向電極との隙間の空間が気密封止されている構成を採用することができる。
本構成では、封止材の流れを外部端子の手前で確実に堰き止めることができるため、封止材の乗り上げによる封止代を考慮する必要がなくなり、外部端子の形成される実装部の面積を必要最小限の広さに設定することができる。
【０００９】
本発明のインクジェットプリンタは、前述の本発明のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする。本構成によれば、信頼性の高い小型のインクジェットプリンタを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態として、インクジェットプリンタ、インクジェットヘッド、及びインクジェットヘッドの製造方法について、図面を参照しつつ説明する。尚、以下の実施の形態は本発明の技術範囲を限定するものではない。
【００１１】
［インクジェットプリンタ］
以下、本発明の一実施の形態である、インクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタについて説明する。尚、本実施形態では記録紙等に文字や画像を印刷するプリンタを例示して説明するが、本発明におけるインクジェットプリンタは、記録紙等に印刷する形態に限らず、工業的に用いられる液滴吐出装置（例えばカラーフィルタ製造装置や、有機ＥＬ素子製造装置、配線パターン形成装置等）も含めたものである。
【００１２】
図１は、本発明のインクジェットプリンタを、紙等に印刷する一般的なプリンタに適用した場合の一実施形態を示す概略構成図であり、図１中符号６０はインクジェットプリンタである。尚、以下の説明では、図１のＺ方向上側を「上部」、Ｚ方向下側を「下部」と言う。
【００１３】
インクジェットプリンタ６０は、装置本体６２を備えたもので、上部後方に記録用紙を設置するトレイ６２１を有し、下部前方に記録用紙を排出する排出口６２２を有しており、上部面には、操作パネル６７を有している。操作パネル６７は、例えば液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、ＬＥＤランプディスプレイ等の表示デバイスにて構成されたもので、エラーメッセージ等を表示する表示部（図示せず）と、各種スイッチ等で構成される操作部（図示せず）とを備えたものである。装置本体６２の内部には、主に、往復動するヘッドユニット６３を備えた印刷装置６４と、記録用紙を１枚ずつ印刷装置６４に送り込む給紙装置６５と、印刷装置６４および給紙装置６５を制御する制御部６６とが設けられている。制御部６６の制御により、給紙装置６５は、記録用紙を一枚ずつ間欠送りするようになっている。間欠送りされる記録用紙は、ヘッドユニット６３の下部近傍を通過する。このとき、ヘッドユニット６３が記録用紙の送り方向とほぼ直交する方向に往復移動し、記録用紙への印刷を行うようになっている。すなわち、ヘッドユニット６３の往復動と、記録用紙の間欠送りとが、印刷における主走査および副走査となり、インクジェット方式の印刷が行なわれるようになっている。
【００１４】
印刷装置６４は、ヘッドユニット６３と、ヘッドユニット６３の駆動源となるキャリッジモータ６４１と、キャリッジモータ６４１の回転を受けて、ヘッドユニット６３を往復動させる往復動機構６４２とを備えたものである。ヘッドユニット６３は、その下部に、多数のノズルを備えるインクジェットヘッド１と、このインクジェットヘッド１にインクを供給するインクカートリッジ６３１と、インクジェットヘッド１およびインクカートリッジ６３１を搭載したキャリッジ６３２とを有したものである。尚、インクカートリッジ６３１として、イエロー、シアン、マゼンタ、ブラック（黒）の４色のインクを充填したものを用いることにより、フルカラー印刷が可能となる。この場合、ヘッドユニット６３０には、各色にそれぞれ対応したインクジェットヘッド１が設けられることになる。
【００１５】
往復動機構６４２は、その両端がフレーム（図示せず）に支持されたキャリッジガイド軸６４４と、キャリッジガイド軸６４４と平行に延びて走行動作するタイミングベルト６４３とを有している。そして、キャリッジ６３２は、キャリッジガイド軸６４４に往復動自在に支持されるとともに、タイミングベルト６４３の一部に固定されたものである。キャリッジモータ６４１の作動により、プーリを介してタイミングベルト６４３を正逆走行させると、キャリッジガイド軸６４４に案内されて、ヘッドユニット６３が往復動する。そして、この往復動の際に、インクジェットヘッド１から適宜インクが吐出され、記録用紙への印刷が行われるようになっている。
【００１６】
給紙装置６５は、その駆動源となる給紙モータ６５１と、給紙モータ６５１の作動により軸周りに回転する給紙ローラ６５２とを有したものである。給紙ローラ６５２は、記録用紙の送り経路を挟んで上下に対向する従動ローラ６５２ａと、駆動ローラ６５２ｂとで構成されたものであり、駆動ローラ６５２ｂは、給紙モータ６５１に連結されたものである。このような構成によって給紙ローラ６５２は、トレイ６２１に設置した多数枚の記録用紙を、印刷装置６４に向かって１枚ずつ送り込めるようになっている。尚、トレイ６２１に代えて、記録用紙を収容する給紙カセットを着脱自在に装着し得るような構成としてもよい。
【００１７】
制御部６６は、例えばパーソナルコンピュータやディジタルカメラ等のホストコンピュータから入力された印刷データに基づいて、印刷装置６４や給紙装置６５等を駆動することにより印刷動作の制御を行うものである。この制御部６６には、いずれも図示しないものの、主に各部を制御する制御プログラム等を記憶するメモリ、インクジェットヘッド１を駆動してインクの吐出タイミングを制御するヘッド駆動回路、印刷装置６４（キャリッジモータ６４１）を駆動する制御回路、給紙装置６５（給紙モータ６５１）を駆動する駆動回路、およびホストコンピュータからの印刷データを入手する通信回路と、これらに電気的に接続され、各部での各種制御を行うＣＰＵとが備えられている。
【００１８】
また、ＣＰＵには、例えば、インクカートリッジ６３１のインク残量、ヘッドユニット６３の位置、温度、湿度等の印刷環境等を検出可能な各種センサが、それぞれ電気的に接続されている。制御部６６は、通信回路を介して印刷データを入手してメモリに格納する。ＣＰＵは、この印刷データを処理し、この処理データおよび各種センサからの入力データに基づき、各駆動回路に駆動信号を出力する。この駆動信号によりインクジェットヘッド１、印刷装置６４および給紙装置６５は、それぞれ作動する。これにより、記録用紙に所望の印刷がなされる。
【００１９】
［インクジェットヘッド］
次に、図１に示したインクジェットヘッド１の構成について説明する。図２〜図４は、それぞれ本実施形態のインクジェットヘッド１の概略構造を示す断面模式図、平面模式図、正面模式図である。以下の説明では、インクジェットヘッド１を単にヘッド１と称することもある。
【００２０】
ヘッド１は、図２及び図３に示すように、シリコン製のキャビティプレート（第１の基板）３を挟み、上側に同じくシリコン製のノズルプレート２、下側にシリコンと熱膨張率が近いホウ珪酸ガラス基板（第２の基板）４がそれぞれ積層された３層構造となっている。中央のキャビティプレート３には、その表面からエッチングを施すことにより、独立した５つの圧力室５と、１つの共通インク室９と、この共通インク室９を各圧力室５に連通しているインク供給路１９としてそれぞれ機能する溝が形成されている。このキャビティプレート３の上面（溝形成側の基板表面）に接合されるノズルプレート２において、圧力室５の上面を規定する壁部分には各圧力室５に連通する複数のノズル８が形成されている。ノズル８は段状断面をしており、インク液滴の吐出方向の前側には円形の小断面ノズル部分が形成され、後側には円形の大断面ノズル部分が形成されている。
【００２１】
このノズルプレート２およびキャビティプレート３を相互に重ね合わせることにより、これらのプレート２、３の間に、圧力室５、インク供給路１９、および共通インク室９とが平面方向に配列された状態に区画形成されている。独立した各圧力室５はその底壁６が薄肉とされており、この底壁６が、面外方向、すなわち、図１において上下方向に弾性変位可能な振動板として機能するようになっている。また、キャビティプレート３には共通電極１０が形成されており、この共通電極１０を介して振動板６に共通電位が供給されるようになっている。
【００２２】
キャビティプレート３の下面に接合されるガラス基板４において、共通インク室９の底面に対応する壁部分にはインク供給孔１８が形成されている。このインク供給孔１８は共通インク室９まで延びている。インク供給孔１８には接続パイプを介してインクタンク等の外部のインク供給源（図示略）が接続されており、インク供給源からインク供給孔１８を介して共通インク室９にインクが供給可能な状態となっている。
【００２３】
ガラス基板４において、その上面であるキャビティプレート３との接合面には、キャビティプレート３の各圧力室５に対向する位置及びそれに連通する位置に、電極形成用の溝が形成されている。この溝において各圧力室５に対向する位置に形成された部分は振動室１６として構成され、これに連通する部分は通路１７及び封止溜まり部４ａとして構成されている。封止溜まり部４ａは、各通路１７に交差するように通路の長手方向と直交する方向に細長く形成されており、ディスペンサ等から供給された封止用接着剤（封止材）１２を各通路１７に供給するための共通の供給源として機能する。封止材は毛細管現象によって各通路１７の入口付近に充填され、これによって振動室１６の内部が気密封止されている。溝の底面にはＩＴＯ等からなる対向電極が形成されている。この対向電極は、振動板６に対向する個別電極７と、この個別電極に接続された配線部１４とを有する。個別電極７及び配線部１４はそれぞれ振動室１６及び通路１７の底面に形成されている。本実施形態において配線部１４は、溝の外側の段差となった部分４ｂの上面に延設されており、この段差４ｂの上面において外部端子１５を形成している。各外部端子１５には図示略のリード線がボンディングされている。なお、段差４ｂの上面には、図４に示すように、外部端子１５の厚みによる凹凸を平坦化する目的で、外部端子１５の周囲（即ち、外部端子１５の形成されない部分）に絶縁膜１９が形成されている。
【００２４】
キャビティプレート２に形成した各圧力室５の底面を規定している振動板６は、共通電極として機能し、この共通電極と各個別電極７の外部端子１５との間にはドライバ（図示略）が接続されている。ドライバによって個別電極７に電圧を印加すると、電圧が印加された個別電極７と対峙している振動板６が静電気力によって振動（弾性変形）し、これに伴って圧力室５の圧力が変動してノズル８からインク液滴が吐出される。例えば、正の電圧パルスを印加して個別電極７の表面を正の電位に帯電させると、対応する振動板６の下面は負の電位に帯電される。したがって、振動板６は静電気力によって吸引されて下方へ撓む。次に、個別電極７へ印加している電圧パルスをオフにすると、振動板６が元の位置に復帰する。この復帰動作によって、圧力室５の内圧が急激に上昇し、該圧力室５に連通するノズル８からインク液滴が吐出される。そして、振動板６が下方に撓むことにより、インクが共通インク室９からインク供給路１９を経由して圧力室５に補給される。
【００２５】
［インクジェットヘッドの製造方法］
次に、インクジェットヘッド１の製造方法を図５を用いて説明する。
まず、図５（ａ）に示すシリコン基板３０及びガラス基板４を用意する。ガラス基板４は、前述した構造のものを用いる。すなわち、ガラス基板４の表面には振動室１６、通路１７、封止溜まり部４ａとなる溝が形成されており、これらの溝の底面に個別電極７、配線部１４が形成され、溝の外側の段差となった部分４ｂの上面に外部端子１５が形成されている。シリコン基板（板材）３０は、振動板６等を加工する前の状態のキャビティプレート３である。後述のように、本実施形態ではガラス基板４の実装部１３にシリコン基板３０の一部を保護層として残すため、シリコン基板３０は少なくとも実装部１３の一部にかかる部分を有する形状とする。また、エッチングによって基板表面を加工した際にそれに付随して封止溜まり部４ａの部分が開口されるように、シリコン基板３０の表面には封止溜まり部４ａに対向する位置に溝３ａが形成されている。また、シリコン基板３０の表面には、振動板６と個別電極７との短絡防止等を目的として酸化珪素等からなる絶縁膜１１が形成されている。ただし、全面に絶縁膜１１を形成すると、外部端子１５が配置される実装部１３の表面までシリコン基板３０が接合されてしまうので、実装部１３に対向する部分の表面には絶縁膜１１は形成されていない。
【００２６】
次に、シリコン基板３０を陽極接合によってガラス基板４の前記溝が形成された面に貼り合わせる。この際、実装部１３では外部端子１５とシリコン基板３０とは絶縁膜を介さずに直接密着しているため、両者は等電位となり接合されない。しかし、段差表面は高い平坦性を有するため、両者は吸着力によって強固に密着した状態となる。
【００２７】
次に、図５（ｂ）に示すように、シリコン基板３０を上側（ガラス基板４と反対側）からウェットエッチングして、図１に示したキャビティプレート３の形状に加工する。すなわち、振動室上部のシリコン基板３０を薄板化して振動板６及び圧力室５を形成し、通路上部のシリコン基板３０を薄板化して共通インク室９及びインク供給路１９を形成する。この際、実装部１３の上に密着配置されたシリコン基板３０の一部を保護層３ｂとして残すようにする。なお、シリコン基板３０には前述のように封止溜まり部４ａに対向する位置に溝３ａが形成されているので、このようなエッチング工程により、シリコン基板３０には封止溜まり部４ａの部分に貫通孔３ｃが形成される。
【００２８】
次に、図５（ｃ）に示すように、ディスペンサ２０によって、キャビティプレート３の貫通孔３ｃからガラス基板４の封止溜まり部４ａに封止材１２を充填する。この封止材１２は封止溜まり部４ａの溝に沿って広がり、各通路１７の内部に毛細管力によって浸透する。一方、実装部１３側には、溝によって形成される段差４ｂ及び保護層３ｂによって形成される段差が存在するため、これらの段差が土手となって実装部１３側への封止材１２の流動が阻止される。以上により通路１７に封止材を充填したら、加熱や紫外線照射等により封止材を硬化する。
次に、外部端子１５の表面に密着配置された保護層３ｂをエッチングにより除去して、外部端子１５を露出させる。この後、図１に示したノズルプレート２をキャビティプレート３に接合する。以上により、インクジェットヘッド１が製造される。
【００２９】
以上説明したように、本実施形態では封止材１２の形成位置と実装部１３との間に段差４ｂが形成されているので、封止材１２によって通路１７を気密封止する際に濡れ広がった封止材１２がこの段差によって堰き止められ、その先の実装部１３の表面にかかることはない。このため、封止材１２の乗り上げによる封止代を考慮する必要がなくなり、外部端子１５の形成される実装部１３の面積を必要最小限の広さに設定することができる。特に本実施形態では、シリコン基板３０を加工する際に実装部１３上に位置する部分を保護層３ｂとして一部残すため、封止材１２を堰き止める段差の高さが保護層３ｂの厚み分だけ高くなる。また、この保護層３ｂは実装部１３の表面に密着配置されているので、仮に封止材１２が実装部１３側に濡れ広がったとしても、この上に付着した封止材１２は保護層３ｂの除去工程において保護層３ｂと一緒に除去される。このため、封止材１２の乗り上げを略完全に排除することができ、封止代を略ゼロとすることができる。また、本実施形態では、段差４ｂの上面に外部端子１５の厚みによる凹凸を平坦化するための平坦化膜（絶縁膜１１）を形成しているので、保護層３ｂと実装部１３との密着性が良くなり、封止材１２の流れ込み防止を更に確実なものとすることができる。
【００３０】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。例えば、本実施形態では実装部１３を溝の外側の段差４ｂの上面に形成した。しかし、封止材１２を堰き止めるための段差は少なくとも実装部と封止材との間に配置されていればよく、例えば個別電極７、配線部１４、外部端子１５を同一平面上に配置した状態で配線部１４と外部端子との間に段差を形成しても本実施形態と同様の効果が得られる。また、上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明のインクジェットプリンタの一例を示す斜視図。
【図２】インクジェットヘッドの断面模式図。
【図３】インクジェットヘッドの平面模式図。
【図４】インクジェットヘッドの断面模式図。
【図５】インクジェットヘッドの製造方法の一例を示す工程図。
【符号の説明】
【００３２】
１…インクジェットヘッド、２…ノズルプレート、３…キャビティプレート（第１の基板）、３ｂ…保護層、４…ガラス基板（第２の基板）、４ｂ…段差、５…圧力室、６…振動板、７…個別電極（対向電極）、８…ノズル、１２…封止用接着剤（封止材）、１３…実装部、１５…外部端子、１６…振動室、３０…シリコン基板、３１…絶縁膜（平坦化膜）、６０…インクジェットプリンタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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