(57)【要約】  吸着口を上向きにした場合でも、吸着力を失うことがなく、基板を確実に吸着し続けることができる基板吸着装置を提供する。【解決手段】  負圧発生装置１２に吸気管１３を介して連結され、内部にエア吸引路２０および弁機構を有する縦型シリンダ状の吸着ヘッド１５を備える。吸着ヘッド１５は、エア吸引路２０の上端側に吸気孔２１を有するとともに、下端側に吸着口２２を有し、弁機構は、吸着ヘッド１５の上端側に設けられた弁座部２４と、エア吸引路２０に内装され上下方向に移動可能な弁体２７を有する。エア吸引２０路内に、弁体２７を弁座部２４側から吸着口２２側に向って離間する方向に付勢するスプリング２８を設ける。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
負圧発生装置に吸気管を介して連結され、内部にエア吸引路および弁機構を有する縦型シリンダ状の吸着ヘッドを備えた基板吸着装置であって、
前記吸着ヘッドは、前記エア吸引路の上端側に吸気孔を有するとともに、下端側に吸着口を有し、
前記弁機構は、前記吸着ヘッドの上端側に設けられた弁座部と、前記エア吸引路に内装され上下方向に移動可能な弁体を有し、
前記エア吸引路内に、前記弁体を前記弁座部側から前記吸着口側に向って離間する方向に付勢するスプリングを設けたことを特徴とする基板吸着装置。
【請求項２】
前記弁体は、一定重量のボールであり、前記スプリングは、一端が前記弁座側に固定され他端が前記ボールの表面に接する圧縮コイルばねであることを特徴とする請求項１記載の基板吸着装置。
【請求項３】
前記弁座部は、前記吸着ヘッドの上端側中心位置に突出し、前記ボールの径よりも小径な先端開口状の筒体により構成されていることを特徴とする請求項２記載の基板吸着装置。
【請求項４】
前記弁座部は、先端のボール受け部にオリフィスが形成される構成とされていることを特徴とする請求項３記載の基板吸着装置。
【請求項５】
前記エア吸引路内における吸引力（Ｆ１）は、および前記スプリングの弾性力（Ｆ２）および前記弁体の重量による力（Ｆ３）よりも大に設定されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の基板吸着装置。
【請求項６】
前記吸着ヘッドは、前記吸着口の向きが天地逆となる回動または傾動が可能とされていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の基板吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板、セラミック基板等、多数の孔を有する基板を姿勢変化または移送する基板吸着装置に係り、特に積層された基板を順次１枚ずつ吸着することができる構成のものにおいて、吸着している基板を天地逆にしたり傾斜させる場合でも、吸着状態で、保持することができる基板吸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えばプリント基板、セラミック基板等のような多数の孔を有する基板の製造ラインにおいては、基板を姿勢変化または移送する手段として、負圧吸引力を利用した基板吸着装置が多用されている。
【０００３】
そして、この種の基板吸着装置として、従来では、負圧発生装置に吸気管を介して連結された吸着ヘッドを有し、その内部にエア吸引路および弁機構を有する構成のものが提案されている（例えば、特許文献１参照。）
図９は、この基板吸着装置の従来例を示したものである。
【０００４】
図９に示すように、この基板吸着装置１は、図示しない負圧発生装置に吸気管を介して連結された吸着ヘッド２を備えている。
【０００５】
この吸着ヘッド２はブロック状のもので、吸気口３およびヘッダ４を有している。ヘッダ４の下方には、それぞれシリンダ孔からなる複数のエア吸引路５が並列に設けられている。
【０００６】
エア吸引路５の上端部は、吸気孔６を介してヘッダ４に連通している。また、エア吸引路５の下端側には、基板を吸着するための吸着口７としてパッドが設けられている。
【０００７】
エア吸引路５の内部には、上下方向に移動可能な弁体８としてのボールが内装されている。
【０００８】
この弁体８は、吸気孔６の径よりも大径であり、この吸気孔６の下端部を弁座部として、エア吸引時に気流により上昇して受け止められ、吸気孔６を塞ぐように構成されている。
【０００９】
また、吸着物としての基板９は、多数の孔１０を有しており、図９に示すように、複数枚積層されている。
【００１０】
基板９の吸着時には、吸着ヘッド２を下降させ、吸着口７を基板９の表面に当てる。
【００１１】
この時、吸着口７が基板９の孔１０部位ではなく平坦面に当るエア吸引路５では、内部空気が最初しか流入しないため、弁体８は最初に上昇して吸引孔６を塞いだ後、自重で下方に移動し、気流により弁体８が上昇し、以後は吸盤状態による吸着状態が持続する。
【００１２】
一方、吸着口７が基板９の孔１０の部位に当るエア吸引路５では、基板９の孔１０から下方の空気が吸引されるため、気流により弁体８が上昇する。そして、弁体８により吸引孔６を塞ぎ続ける状態となる。
【００１３】
これにより、最上部から２枚目の基板９は吸着されず、積層された基板９が２枚同時に吸着されることなく、最上部の１枚の基板９のみが常時吸着されるため、１枚ずつ順次に吸着して持上げることができる。
【００１４】
また、基板９の孔１０の部位に当るエア吸引路５では、エア吸引が行われないため、基板９の平坦部に当るエア吸引路では、能率よく負圧吸引が行われる。
【特許文献１】特開平１１−４２５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、従来のものでは、基板９の吸着に寄与しているエア吸引路５の弁体８が、エア吸引路５内で自重により自由に上下方向に移動できる状態となっている。
【００１６】
このため、吸着状態で基板吸着装置１を例えば水平軸上で１８０°回転させ、吸着口７を基板９の下側に配置する状態にすると、弁体８が吸引孔６を塞いで、吸着力を失ってしまい、基板が落下する場合がある。
【００１７】
したがって、基板の向きや姿勢を変化させる持上げ作用を行う場合に、落下により基板が破損したり、何らかの保持機構を必要とするなどの不都合が生じる。
【００１８】
本発明は、このような事情に鑑み、吸着口を上向きにした場合でも、吸着力を失うことがなく、基板を確実に吸着し続けることができる基板吸着装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
前記の目的を達成するために、請求項１の発明に係る基板吸着装置は、負圧発生装置に吸気管を介して連結され、内部にエア吸引路および弁機構を有する縦型シリンダ状の吸着ヘッドを備えた基板吸着装置であって、前記吸着ヘッドは、前記エア吸引路の上端側に吸気孔を有するとともに、下端側に吸着口を有し、前記弁機構は、前記吸着ヘッドの上端側に設けられた弁座部と、前記エア吸引路に内装され上下方向に移動可能な弁体を有し、前記エア吸引路内に、前記弁体を前記弁座部側から前記吸着口側に向って離間する方向に付勢するスプリングを設けたことを特徴とする。
【００２０】
請求項２の発明に係る基板吸着装置は、前記弁体が一定重量のボールであり、前記スプリングは一端が前記弁座側に固定され他端が前記ボールの表面に接する圧縮コイルばねであることを特徴とする。
【００２１】
請求項３の発明に係る基板吸着装置は、前記弁座部は、前記吸着ヘッドの上端側中心位置に突出し、前記ボールの径よりも小径な先端開口状の筒体により構成されていることを特徴とする。
【００２２】
請求項４の発明に係る基板吸着装置は、前記弁座部が、先端のボール受け部にオリフィスが形成される構成とされていることを特徴とする。
【００２３】
請求項５の発明に係る基板吸着装置は、前記エア吸引路内における吸引力（Ｆ１）は、および前記スプリングの弾性力（Ｆ２）および前記弁体の重量による力（Ｆ３）よりも大に設定されていることを特徴とする。
【００２４】
請求項６の発明に係る基板吸着装置は、前記吸着ヘッドは、前記吸着口の向きが天地逆となる回動または傾動が可能とされていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明の請求項１に係る発明の基板吸着装置によれば、内部にエア吸引路および弁機構を有する縦型シリンダ状の吸着ヘッド内に、弁体を弁座部側から吸着口側に向って離間する方向に付勢するスプリングを設けたので、基板持上げ時には、スプリングによって弁体が常に弁座部側から吸着口側に向って離間する。
【００２６】
このため、吸着した基板が天地逆さま状態になった場合でも、弁体が自重によって落下して吸気孔を塞ぐようなことがない。したがって、吸着した基板を下から吸着保持した状態で基板を持ち上げるだけでなく、天地逆さまとした状態、または傾斜状態でも確実に保持することができる。
【００２７】
したがって、基板の向きや姿勢を変化させる持上げ作用を行う場合に、落下により基板が破損したり、何らかの保持機構を必要とすることがなく、作業能率の向上、設備の簡素化等の効果が得られる。
【００２８】
また、本発明の請求項２の発明の基板吸着装置では、弁体が一定重量のボールであり、スプリングは一端が弁座側に固定され他端がボールの表面に接する圧縮コイルばねとされている。
【００２９】
これにより、シリンダ状の吸着ヘッド内に容易に内装できるとともに、圧縮コイルばねの輪状の先端にボールからなる弁体の表面がフィットする状態で係合するため、弁体保持機能が高まる。
【００３０】
また、本発明の請求項３の発明の基板吸着装置では、弁座部が、吸着ヘッドの上端側中心位置に突出し、ボールの径よりも小径な先端開口状の筒体により構成されているので、構成が簡素で、しかも確実な弁機能を得ることができる。
【００３１】
また、本発明の請求項４の発明の基板吸着装置では、弁座部は、先端のボール受け部にオリフィスが形成される構成とされているので、弁座部に弁体が一旦接触した後に離間させる機能が増し、吸気孔の閉塞を確実に防止して基板の吸着を一層効果的なものとすることができる。
【００３２】
また、本発明の請求項５の発明の基板吸着装置では、エア吸引路内における吸引力（Ｆ１）は、および前記スプリングの弾性力（Ｆ２）および前記弁体の重量による力（Ｆ３）よりも大に設定されているので、上記の各機能を確実に発揮することができる。
【００３３】
さらに、本発明の請求項６の発明の基板吸着装置では、吸着ヘッドは、吸着口の向きが天地逆となる回動または傾動が可能とされているので、基板の操作が各種の姿勢あるいは向きとなり、上記の各機能を確実に発揮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明の最良の実施形態について図面を参照して説明する。
［第１実施形態］（図１〜図６）
図１は、本発明の第１実施形態による基板吸着装置の全体構成を示す説明図である。図２は、図１に示した吸着装置のシリンダ部を拡大して示す縦断面図である。図３は、図２のＡ−Ａ線断面図である。
【００３５】
まず、構成から説明すると、図１〜図３に示すように、本実施形態の基板吸着装置１１は、負圧発生装置１２に吸気管１３および分岐管１４を介して連結された縦型シリンダ状の吸着ヘッド１５を複数１組として備えている。
【００３６】
この吸着ヘッド１５は、例えば水平軸を中心として回動できるように、回転機構１６により支持されている。
【００３７】
吸着ヘッド１５は、縦長な管体１７と、管体１７の上端に装着された上キャップ１８と、管体１７の下端に装着された下キャップ１９とによって外郭が形成されている。
【００３８】
吸着ヘッド１５の内部空間は、エア吸引路２０とされており、上端側に吸気孔２１を有している。この吸気孔２１が分岐管１４に接続されている。
【００３９】
吸着ヘッド１５の下端側は基板吸着用の吸着口２２とされている。この吸着口２２には、例えば吸盤状のパッド２３が設けられている。
【００４０】
さらに、エア吸引路２０内の上端側には、弁機構として弁座部２４が設けられている。この弁座部２４は、エア吸引路２０内の上端側中心位置に下向きに突出した先端開口状の筒体２５により構成されている。この筒体２５は、後述の弁体であるボールの径よりも小径である。
【００４１】
弁座部２４の下向き先端の周壁には、例えば四角形状の開口からなるオリフィス２６が形成されている。
【００４２】
このオリフィス２６は、吸着口２２に吸着物がなく、弁体２７が弁座部２４の開口面を塞いだ状態から、吸着物（基板９）が吸着口２２のパッド２３に当たった時に、弁体２７が弁座部２４から離れ易くする機能を付与するために形成されている。
【００４３】
また、エア吸引路２０内には、一定重量のボールからなる弁体２７が内装されている。この弁体２７は、エア吸引路２０内で上下方向に移動可能とされている。
【００４４】
そして、エア吸引路２０内には、弁体２７を弁座部２４側から吸着口２２側に向って離間する方向、即ち下方に付勢するスプリング２８が設けられている。
【００４５】
このスプリング２８は、圧縮コイルばねとされており、その一端が、弁座部２４側に固定され、他端が自由端として、弁体２７であるボールの表面に接するようになっている。即ち、圧縮コイルばねの先端は輪状であり、弁体２７であるボールにフィットする状態で支持することができる。
【００４６】
なお、エア吸引路２０内の下端側、つまり吸着口２２側には、上下１対の網状の保持具２９，３０によりフィルタ３１が保持されている。
【００４７】
また、本実施形態では、管体１７の内側断面積をＳ１、弁体２７の中央断面積をＳ２、分岐管１４内の断面積をＳ３、オリフィスの開口面積をＳ４としたとき、Ｓ１＞Ｓ２＞Ｓ３＞Ｓ４の関係に設定されている。
【００４８】
また、Ｓ３＞Ｓ１−Ｓ２＞Ｓ４の関係に設定されている。
【００４９】
これらの断面積の関係と、後述する力学的関係とに基づいて、最適な基板保力を得ることができる。
【００５０】
次に、この第１実施形態の基板吸着装置１１の作用について説明する。
図４は、基板吸着装置１１によって基板９を吸着した後、天地逆の配置にまで姿勢を変更する場合の様子を、（イ）〜（ホ）までに分けて、順次に示している。
【００５１】
この（イ）は、水平に配置された基板９の上面に対し、基板吸着装置１１を垂直姿勢で降下させ、基板９を吸着し始めた状態を示している。吸着口２２のパッド２３は、基板９の孔１０が無い部位と、孔１０がある部位とに設置されている。吸着作用が行われるのは、基板９の孔１０が無い部位に設置された吸着口２２のパッド２３による部分である。
【００５２】
この（イ）の状態から、吸着後において、水平軸心回りに回転し、（ロ）、（ハ）、（ニ）のように、次第に傾斜角度が増大してゆく。
【００５３】
この（ニ）の状態では、基板９の吸着面が下向きとなり始めている。この状態において、従来例では、弁体が吸気孔を塞ぎ、吸着力を失って基板９の落下が始まっていた。
【００５４】
そして、最終的には、（ホ）のように、天地逆の状態となり、基板９が落下していた。
【００５５】
これに対し、本実施形態では、弁体２７によって吸気孔２１が塞がれることが無く、吸着状態が維持され、落下が起こらない。
【００５６】
この落下防止機能について、図５および図６を参照して説明する。
【００５７】
図５（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、基板吸着装置１１の作用説明図であり、吸着物である基板の孔が無い部分の表面を吸着する場合を示している。なお、この図５（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）では、図４の（ホ）の状態、即ち図１および図２の状態から天地逆とした状態を示している。
【００５８】
図５（Ａ）は、吸着口２２のパッド２３が基板９に当たり、吸着がまだ行われない状態を示している。この状態では、何らの吸引作用もなされないため、弁体２７の全重量がスプリング２８で支持されている。この場合には、弁体２７がエア吸引路２０内の上下方向略中央位置に保持されている。
【００５９】
図５（Ｂ）は、吸着開始時の状態を示している。この状態では、吸引作用が開始した直後であり、この図５（Ｂ）に矢印ａで示すように、パッド２３と基板９との間の空間内の空気が吸引され、下向きの吸引力が作用する。
【００６０】
このため、弁体２７は、図５（Ｂ）に矢印ｂで示すように、負圧吸引力（Ｆ１）と、自重による力（Ｆ３）との和（Ｆ１＋Ｆ３）により、下方への移動力が増す。スプリング２８の緩んだ状態におけるばね力を（Ｆ２）とすると、本実施形態では、（Ｆ１＞Ｆ２＋Ｆ３）の関係が設定されている。
【００６１】
なお、（Ｆ２）と（Ｆ３）との関係は、（Ｆ２＞Ｆ３）に設定されている。
【００６２】
これらの力学的関係により、弁体２７はエア吸引路２０内の下方、すなわち、吸気孔２１側に移動する。そして、スプリング２８は収縮し、弁体２７は弁座部２４の先端に当接して停止する。
【００６３】
さらに、図５（Ｃ）は、吸引を続行した状態を示している。この場合には、パッド２３内の空気は無くなり、エア吸引路２０内は真空状態となっているため、負圧吸引力（Ｆ１）は作用しない。このため、図５（Ｃ）に矢印ｃで示すように、スプリング２８のばね力（Ｆ２）により、再び図５（Ａ）と同様に、弁体２７がエア吸引路２０内の上下方向略中央位置に保持される。即ち、吸気孔２１は塞がれず、基板９は常時、吸着ヘッド１５に確実に吸着された状態に保持される。したがって、基板９が脱落することはない。
【００６４】
この場合、本実施形態では、上述したように、弁座部２４にオリフィス２６を設けたことにより、吸着口２２に基板９がなく、弁体２７が弁座部２４の開口面を塞いだ状態から、基板９が吸着口２２のパッド２３に当たった時に、弁体２７が弁座部２４から離れ易くなっている。
【００６５】
図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の第１実施形態による基板吸着装置１１の作用説明図であり、基板９の孔１０の位置にパッド２３が有る場合を示すものである。
【００６６】
なお、この図６（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）も、図１および図２の状態から天地逆とした状態を示している。
【００６７】
図６（Ａ）は、吸着口２２のパッド２３が基板９に当たり、吸着がまだ行われない状態を示している。この状態では、何らの吸引作用もなされないため、弁体２７の全重量がスプリング２８で支持されている。この場合には、弁体２７がエア吸引路２０内の上下方向略中央位置に保持されている。
【００６８】
図６（Ｂ）は、吸着開始時の状態を示している。この状態では、吸引作用が開始した直後であり、この図６（Ｂ）に矢印ａ１で示すように、基板９の孔１０から外気が導入され、下向きの吸引力が作用する。
【００６９】
このため、弁体２７は、図６（Ｂ）に矢印ｂで示すように、負圧吸引力（Ｆ１）と、自重による力（Ｆ３）との和（Ｆ１＋Ｆ３）により、下方への移動力が増す。この場合の力学的関係については、図５（Ｂ）の場合と同様であり、ここでは説明を省略する。
【００７０】
この場合においても、弁体２７はエア吸引路２０内の下方、すなわち吸気孔２１側に移動する。そして、スプリング２８は収縮し、弁体２７は、弁座部２４５の先端に当接して停止する。なお、孔１０から外気が導入されるため、基板９に対する吸着力は発生しない。
【００７１】
図６（Ｃ）は、吸引を続行した状態を示している。この場合には、パッド２３は圧縮されているが、このパッド２３を介しての吸着力によるものではない。
【００７２】
上述の図５（Ｃ）に示した吸着作用によって、基板９が移動するため、パッド２３は圧縮されたものである。
【００７３】
なお、この場合、外気が吸引され続けるため、図６（Ｃ）に矢印ｂで示すように、負圧吸引力（Ｆ１）と、自重による力（Ｆ３）との和（Ｆ１＋Ｆ３）により、下方への移動力が増す状態が継続している。
【００７４】
以上の第１実施形態によれば、内部にエア吸引路２０および弁機構を有する吸着ヘッド１５内に、弁体２７を弁座部２４側から吸着口２２側に向って離間する方向に付勢するスプリング２８を設けたことにより、基板９を持上げる際には、スプリング２８によって弁体２７が常に弁座部２４側から吸着口側に向って離間する。
【００７５】
このため、吸着した基板９が天地逆さま状態になった場合でも、弁体２７が自重によって落下して吸気孔を塞ぐようなことがない。
【００７６】
したがって、吸着した基板９を下から吸着保持した状態で基板９を持ち上げるだけでなく、天地逆さまとした状態、または傾斜状態でも確実に保持することができる。
【００７７】
このように、基板９の向きや姿勢を変化させる持上げ作用を行う場合に、落下により基板９が破損したり、何らかの保持機構を必要とすることがなく、作業能率の向上、設備の簡素化等の効果が得られる。
【００７８】
また、弁体２７が一定重量のボールであり、スプリング２８の一端が弁座部２４側に固定され、他端がボールの表面に接する圧縮コイルばねとされている。
【００７９】
これにより、シリンダ状の吸着ヘッド１５内に容易にスプリング２８を内装できるとともに、圧縮コイルばねの輪状の先端にボールからなる弁体２７の表面がフィットする状態で係合するため、弁体保持機能が高まる。
【００８０】
また、弁座部２４が、吸着ヘッド１５の上端側中心位置に突出し、ボールの径よりも小径な先端開口状の筒体２５により構成されているので、構成が簡素で、しかも確実な弁機能を得ることができる。
【００８１】
また、弁座部２４は、先端のボール受け部にオリフィス２６が形成されている。そして、管体１７の内側断面積をＳ１、弁体２７の中央断面積をＳ２、分岐管１４内の断面積をＳ３、オリフィスの開口面積をＳ４としたとき、Ｓ１＞Ｓ２＞Ｓ３＞Ｓ４の関係に設定されている。
【００８２】
また、Ｓ３＞Ｓ１−Ｓ２＞Ｓ４の関係に設定されている。
【００８３】
これにより、本実施形態では、弁体２７が弁座部２４の開口面を塞いだ状態から、基板９が吸着口２２のパッド２３に当たった時に、弁体２７が弁座部２４から離れ易くなる。
【００８４】
また、エア吸引路内における吸引力（Ｆ１）は、スプリングの弾性力（Ｆ２）および弁体の重量による力（Ｆ３）よりも大に設定されているので、上記の各機能を確実に発揮することができる。
【００８５】
さらに、吸着ヘッド１５は、吸着口２２の向きが天地逆となる回動または傾動が可能とされているので、基板９の操作が各種の姿勢あるいは向きとなり、上記の各機能を確実に発揮することができる。
［第２実施形態］（図７）
図７は、本発明の第２実施形態による基板吸着装置の全体構成を示す説明図である。
【００８６】
まず、構成から説明すると、本実施形態の基板吸着装置１１は、第１実施形態における吸盤状のパッド２３に変えて、柔軟素材による角型パッド３２を適用したものである。
【００８７】
この角型パッド３２は長尺な構成とされ、複数の吸着口２２が形成されている。角型パッド３２に、複数の吸着ヘッド１５が一括して連結されている。
【００８８】
次に、この第２実施形態の作用について説明する。
【００８９】
このように構成された第２実施形態の基板吸着装置１１によると、第１実施形態のパッド２３に変えて、柔軟素材による大型の角型パッド３２を適用し、この角型パッド３２に複数の吸着ヘッド１５が一括して連結されているので、構成部材数の減少、組立て工数の低減等の効果が奏される。
【００９０】
他の構成、及び作用効果については、前記第１実施形態と同一乃至均等であるので説明を省略する。
［第３実施形態］（図８）
図８は、本発明の第３実施形態による基板吸着装置を示す説明図である。
【００９１】
本実施形態では、弁座部２４には開口としてのオリフィス２６が形成されていない。そして、図８に示すように、ボールからなる弁体１２７ａ表面に凹凸が形成されている。この凹凸により、弁体１２７ａが弁座部２４に当接した際に、オリフィスが形成される構成とされている。
【００９２】
このような構成によっても、オリフィスを介して、弁座部２４に弁体１２７ａが当接後、弁座部２４から弁体１２７ａを確実に離間させ、離間し易いものとすることができる。
【００９３】
他の構成、及び作用効果については、前記第１実施形態と同一乃至均等であるので説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の第１実施形態による吸着装置の全体構成を示す説明図である。
【図２】図１に示した吸着装置のシリンダ部を拡大して示す縦断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】本発明の第１実施形態による吸着装置の作用説明図であり、吸着物を天地逆にした場合の落下防止機能を示すものである。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の第１実施形態による吸着装置の作用説明図であり、吸着物に孔が無い場合を示すものである。
【図６】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、本発明の第１実施形態による吸着装置の作用説明図であり、吸着物に孔が有る場合を示すものである。
【図７】本発明の第２実施形態による吸引装置の全体構成を示す説明図である。
【図８】本発明の第３実施形態による吸引装置を示す説明図である。
【図９】従来例による吸着装置の構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００９５】
１１  基板吸着装置
１２  負圧発生装置
１３  吸気管
１４  分岐管
１５  吸着ヘッド
１６  回転機構
１７  管体
１８  上キャップ
１９  下キャップ
２０  エア吸引路
２１  吸気孔
２２  吸着口
２３  パッド
２４  弁座部
２５  筒体
２６  オリフィス
２７，１２７ａ  弁体
２８  スプリング
２９  保持具
３０  保持具
３１  フィルタ
３２  角型パッド
【図１】
2005230944.tif 000003
【図２】
2005230944.tif 000004
【図３】
2005230944.tif 000005
【図４】
2005230944.tif 000006
【図５】
2005230944.tif 000007
【図６】
2005230944.tif 000008
【図７】
2005230944.tif 000009
【図８】
2005230944.tif 000010
【図９】
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