(57)【要約】【課題】ノズルに流れる洗浄液に超音波を載せ、洗浄液とともに超音波を照射する洗浄装置も知られているが、この洗浄装置では、被洗浄板を乾燥する手段を必要とするという欠点があった。【解決手段】ハウジング１は上部に支持孔１ａが形成され、下部に解放部１ｂが形成され、又、ハウジング１にバキュームポンプ２が連結され、ハウジング１の支持孔１ａに間隔を開けて支持部材２がネジ３で装着され、超音波振動子５の金属ブロック５ｃにホーン５ｅが固着され、このホーン５ｅの端部５ｆが円板状又は長方形状に構成されてハウジング１の下部の解放部１ｂの近傍に位置するように設けられており、超音波振動子５の圧電体振動子５ｄに発振器６から発振出力が印加されている。【選択図】        図１
2005019722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホーンの端部に平板状部材を構成した超音波振動子と、前記ホーンの平板状部材を解放部近傍に位置するように前記超音波振動子の振動の節の部分を支持するハウジングと、該ハウジングに装着したバキュームポンプと、前記ハウジングの解放部に対向するように配置する被洗浄板とからなり、前記超音波振動子に発振器から発振出力を印加して、前記超音波振動子のホーンを超音波振動させ、前記被洗浄板のパーティクル及び塵を浮かして前記バキュームポンプで空気とともに吸引することを特徴とする超音波基板洗浄装置。
【請求項２】
前記ホーンの端部の平板状部材は円板であることを特徴とする請求項１記載の超音波基板洗浄装置。
【請求項３】
前記ホーンの端部の平板状部材は長方形であることを特徴とする請求項１記載の超音波基板洗浄装置。
【請求項４】
前記ハウジングの解放部に対向して前記被洗浄板を搬送する搬送コンベアを装着することを特徴とする請求項１記載の超音波基板洗浄装置。
【請求項５】
ホーンの端部に円筒状部材を設けた超音波振動子と、前記ホーンの円筒状部材のほぼ中央に対向して挿入口及び排出口を設け、前記超音波振動子の振動の節の部分を支持するハウジングと、該ハウジングに装着したバキュームポンプと、前記ハウジングの前記挿入口から前記超音波振動子のホーンの端部の円筒状部材を通って前記排出口に装着された搬送ローラとからなり、前記超音波振動子に発振器から発振出力を印加して、前記超音波振動子の前記ホーンを超音波振動させ、前記搬送ローラで搬送される前記被洗浄板の表面のパーティクル及び塵を前記ホーンの円筒状部材で発生する超音波振動で浮かして前記バキュームポンプで空気とともに吸引することを特徴とする超音波基板洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体デバイス形成に用いられる基板の洗浄をする超音波基板洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程における基板洗浄装置としては、基板にスポンジなどを接触されて接触を行うスクラブ洗浄装置が最も一般的であるが、近年、半導体製造において、回路形成面に低誘電率膜などの柔らかい材質で被覆したり、回路の微細化が進んで、回路が非常に小さくなっていることにより、スクラブ洗浄では、回路形成面が破壊されるという問題があり、又、スポンジを使用したスクラブ洗浄では、フラットな基板面を洗浄する能力には長けているが、凹凸のある回路形成面などをスクラブ洗浄する場合は、スクラブによって逆に凹凸の段差にパーティクルを溜め込んでしまうという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
この欠点を解消するために、現在公知の非接触方式の洗浄装置として、ノズルに流れる洗浄液に超音波を載せ、洗浄液とともに超音波を照射する洗浄装置も知られているが、この超音波洗浄装置では、超音波振動子から発生した超音波振動が基板に到達するまでに、ノズル内で減衰してしまうので、基板表面の洗浄能力が小さくなってしまうため、凹凸に挟まっているパーティクルを洗浄することは困難である。又、ノズル式の超音波洗浄装置における超音波の減衰を避けるために、基板表面に対向した位置に超音波振動子を設置し、基板表面に載っている洗浄液に超音波振動を伝達する洗浄装置も知られているが、この洗浄装置は洗浄能力が向上して要るものの、基板からの反射波の影響を超音波振動子が受けるために、振動子自体に負荷がかかり振動子の劣化が速いという問題があり、さらに、洗浄液を使用する洗浄装置では、被洗浄板を乾燥する手段を必要とするという欠点があった。
【０００４】
【課題を解決しようとする手段】
本発明は、ホーンの端部に平板状部材を構成した超音波振動子と、前記ホーンの平板状部材を解放部近傍に位置するように前記超音波振動子の振動の節の部分を支持するハウジングと、該ハウジングに装着したバキュームポンプと、前記ハウジングの解放部に対向するように配置する被洗浄板とからなり、前記超音波振動子に発振器から発振出力を印加して、前記超音波振動子のホーンを超音波振動させ、前記被洗浄板のパーティクル及び塵を浮かして前記バキュームポンプで空気とともに吸引するものであり、又、前記ホーンの端部の平板状部材は円板であり、さらに、前記ホーンの端部の平板状部材は長方形であり、又、前記ハウジングの解放部に対向して前記被洗浄板を搬送する搬送ローラを装着するものであり、さらに、ホーンの端部に円筒状部材を設けた超音波振動子と、前記ホーンの円筒状部材のほぼ中央に対向して挿入口及び排出口を設け、前記超音波振動子の振動の節の部分を支持するハウジングと、該ハウジングに装着したバキュームポンプと、前記ハウジングの前記挿入口から前記超音波振動子のホーンの端部の円筒状部材を通って前記排出口に装着された搬送コンベアとからなり、前記超音波振動子に発振器から発振出力を印加して、前記超音波振動子の前記ホーンを超音波振動させ、前記搬送ローラで搬送される前記被洗浄板の表面のパーティクル及び塵を前記ホーンの円筒状部材で発生する超音波振動で浮かして前記バキュームポンプで空気とともに吸引するものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】
本発明は、ハウジングの内部にホーンが位置するように超音波振動子を装着し、この超音波振動子を超音波振動させて、ホーンの円板状部材又は平板状部材に対向するように被洗浄板を設けることにより、被洗浄板の表面のパーティクルを浮かしてハウジングに装着したバキュームポンプで吸引して除去するか、又は、超音波振動子に装着したホーンの円筒状部材の内部を被洗浄板を通過させ、被洗浄板の両面に付着したパーティクルを超音波振動で浮かして、バキュームポンプの吸引により除去するようにしたので、乾式のため、洗浄システムがシンプルになり、駆動周波数が低くてよく、又、幅広い面積を一度に洗浄することができ、回路の高密度化に伴う洗浄時のダメージが少なくなる。
【０００６】
【実施例】
図１は本発明の実施例の超音波基板洗浄装置の構成図で、ハウジング１は上部に支持孔１ａが形成され、下部に解放部１ｂが形成され、又、ハウジング１にバキュームポンプ２が連結され、さらに、ハウジング１の支持孔１ａに間隔を開けて支持部材２がネジ３で装着され、支持孔１ａの周囲と支持部材２の間に装着されたリング状のパッキン４でランジュバン型の超音波振動子５の振動の節の部分に装着された支持部材５ａが支持され、このランジュバン型の超音波振動子５は金属ブロック５ｂ、５ｃの間に圧電体振動子５ｄが装着されたものであり、又、超音波振動子５の金属ブロック５ｃにホーン５ｅが固着され、このホーン５ｅの端部５ｆが円板状又は長方形状に構成されてハウジング１の下部の解放部１ｂの近傍に位置するように設けられており、又、超音波振動子５の圧電体振動子５ｄに発振器６から発振出力が印加されている。
【０００７】
このように構成した本実施例の超音波基板洗浄装置では、ハウジング１の解放部１ｂに対向した位置に搬送コンベア７で被洗浄板８が搬送されると、発振器６から発振出力が圧電体振動子５ｄに印加されて、ホーン５ｅが超音波振動することにより、超音波振動が被洗浄板８の表面に照射されて被洗浄板８の表面に付着しているパーティクル及び塵が浮遊し、バキュームポンプ２を駆動することにより、この浮遊したパーティクル及び塵が周囲の空気とともに吸引され、被洗浄板８の表面を洗浄することができる。
【０００８】
本実施例では、このように、被洗浄板８の表面に超音波振動を照射して、この超音波振動により被洗浄板８を洗浄するようにしているため、洗浄液を使用することなく、乾式のため、洗浄システムがシンプルになり、広い面積を一度に洗浄することができ、回路の高密度に伴う洗浄時のダメージがなく、さらに、超音波振動子５を駆動する周波数は低くてもよいという利点がある。
【０００９】
図２は本発明の他の実施例の超音波基板洗浄装置の構成図、図３は図２の超音波振動子の側面図で、１はハウジング、２は支持部材、３はネジ、４はパッキン、５はランジュバン型の超音波振動子、６は発振器、７は搬送コンベア、８は被洗浄板で、これらの構成は上記実施例と同じであるので説明は省略するが、本実施例では、ランジュバン型の超音波振動子５のホーン５ｅの端部に円筒状部材５ｇを形成し、ハウジング１の挿入口１ｃを通り、超音波振動子５のホーン５ｅの円筒状部材５ｇを通ってハウジング１の排出口１ｄに搬送ローラ７が装着されており、この搬送ローラ７の上で被洗浄板８が搬送される。
【００１０】
このように構成した本実施例においても、上記実施例と同様に超音波振動子５のホーン５ｅの円筒状部材５ｇを通過する被洗浄板８は円筒状部材５ｇによって上下から超音波振動が照射され、これによって、被洗浄板５の両面に付着したパーティクル及び塵が円筒状部材５ｇを通過する間に除去される。
【００１１】
従って、上記実施例と同様に、洗浄液を使用することなく、乾式のため、洗浄システムがシンプルになり、広い面積を一度に洗浄することができ、回路の高密度に伴う洗浄時のダメージがなく、さらに、超音波振動子５を駆動する周波数は低くてもよいという利点がある。
【００１２】
なお、上記図１の実施例において、ハウジング１の解放部１ｂの近傍に搬送コンベア７を装着したが、この搬送ローラ７を装着することなく、置いてある被洗浄板８にハウジング１を移動するようにしてもよい。
【００１３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の超音波基板洗浄装置では、ハウジングの内部にホーンが位置するように超音波振動子を装着し、この超音波振動子を超音波振動させて、ホーンの端部に設けた円板状又は平板状の振動板に対向する被洗浄板の表面のパーティクルを浮かしてハウジングに装着したバキュームポンプで吸引して除去するか、又は、超音波振動子のホーンに装着した円筒状部材の内部を被洗浄板を通過させ、被洗浄板の両面に付着したパーティクルを超音波振動で浮かして、バキュームポンプの吸引により除去するようにしたので、乾式のため、洗浄システムがシンプルになり、駆動周波数が低くてよく、又、幅広い面積を一度に洗浄することができ、回路の高密度化に伴う洗浄時のダメージが少なくなる。という利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の実施例の超音波基板洗浄装置の構成図である。
【図２】図２は本発明の実施例の超音波基板洗浄装置の側面図である。
【図３】図３は図１の超音波基板洗浄装置の構成図である。
【符号の説明】
１          ハウジング
２          支持部材
３          ネジ
４          パッキン
５          超音波振動子
６          発振器
７          搬送コンベア
８          被洗浄板
【図１】
2005019722.tif 000003
【図２】
2005019722.tif 000004
【図３】
2005019722.tif 000005