(57)【要約】【課題】故障箇所特定が容易に行える、ロジックLSI等を対象とした半導体装置の故障解析方法を提供する。【解決手段】  半導体装置の故障解析を目的とする故障診断システムにより出力された故障箇所候補リスト１から、インスタンスの配置情報が記述されたレイアウトデータダンプファイル２を参照して、故障箇所候補リスト１に記述されているインスタンスの配置座標を配置座標ファイルに抽出する工程（８）と、配置座標ファイルをもとにインスタンスと対応するレイアウトデータのノードを抽出するためのルールファイル３を作成する工程と、検証ツール４を利用してルールファイル３を実行しレイアウトデータ５に対応する故障箇所候補を出力する工程とを含む。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置の故障解析を目的とする故障診断システムにより出力された故障箇所候補リストから、インスタンスの配置情報が記述されたレイアウトデータダンプファイルを参照して、前記故障箇所候補リストに記述されているインスタンスの配置座標を配置座標ファイルに抽出する工程と、前記配置座標ファイルをもとに前記インスタンスと対応するレイアウトデータのノードを抽出するためのルールファイルを作成する工程と、検証ツールを利用して前記ルールファイルを実行し前記レイアウトデータに対応する故障箇所候補を出力する工程とを含む半導体装置の故障解析方法。
【請求項２】
検証ツールにより出力されたデータをレイアウトビューア上でレイアウトデータと重ね合わせて表示させる請求項１記載の半導体装置の故障解析方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ロジックLSI等の半導体装置の故障解析方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ロジックLSIの故障解析方法を実施するシステムの一つに故障診断システムがある。このシステムは、ネットリスト（回路接続情報）とLSIテスターの測定結果（フェイル情報）を利用し故障している可能性の高い箇所について故障シミュレーションを行い、ネットリスト上で絞り込み、推定する手法である。推定された故障箇所候補については、レイアウトデータを参照し、既に実用化されているソフトウェア等のレイアウト表示手段によりワークステーション画面上で視覚的に確認することができる。（特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２００２−１５６４１８号公報（第７頁、第一図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、故障診断システムで推定された故障箇所候補というのは、ノード名だけが出力されるだけで故障箇所の物理的位置は特定されていない。そのためレイアウトデータ上での座標を特定する必要がある。
【０００４】
既に実用化されているCADナビゲーションソフトウェア、例えばKnights Technology社製のMerlin's Framework等を使用すればネットリストやレイアウトデータ、等電位情報等を含む設計データを利用することでレイアウトデータ上での故障箇所特定が可能となるが、このソフトウェアはとても高価なものであるという問題点がある。
【０００５】
一方、このソフトウェアを使用しないで故障箇所の特定を人手で行う場合には、設計者の協力が必要となる。すなわち、故障箇所候補について設計データからセル配置座標や回路接続情報等を段階的に調査し、この情報をもとにレイアウトデータ上で故障ノードを直接マウス等で指定してハイライト表示させ、回路の接続関係を確認しながら故障箇所の追跡を行っている。
【０００６】
しかしながら、故障解析において人手での故障ノードの追跡作業では、年々集積度が上がっているLSIには十分に対応できず故障ノード追跡に限界が来ているというのが事実である。それは大規模化したLSIにおいてはゲート数の増加とともに追跡工数が増え解析時間が長大化するという問題が、また、配線の多層化によっては故障ノードの配線経路が複雑化して追跡の困難さが増大するという問題が生じているからである。
【０００７】
また、ハードウェア面では故障ノードをハイライト表示させるコンピュータのメモリ容量等の限界により、巨大化した大規模なLSIのレイアウトデータの読み込みや表示だけで多大な時間が費やされ、場合によっては全く表示ができないという問題があり作業効率が大幅に低下している。
【０００８】
本発明の目的は、故障箇所の特定を容易に行える半導体装置の故障解析方法を提供することにある。
【０００９】
その概要は、故障診断システムの診断結果として出力される故障箇所候補リストと、レイアウトデータダンプファイルを用いて、故障候補となったインスタンスの配置座標をファイルに抽出し、このファイルをもとにレイアウトデータに対応する故障箇所ノードを検証ツールで利用して実行・出力させて、レイアウトデータと重ね合わせ表示する、というものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の半導体装置の故障解析方法は、半導体装置の故障解析を目的とする故障診断システムにより出力された故障箇所候補リストから、インスタンスの配置情報が記述されたレイアウトデータダンプファイルを参照して、故障箇所候補リストに記述されているインスタンスの配置座標を配置座標ファイルに抽出する工程と、配置座標ファイルをもとにインスタンスと対応するレイアウトデータのノードを抽出するためのルールファイルを作成する工程と、検証ツールを利用してルールファイルを実行しレイアウトデータに対応する故障箇所候補を出力する工程とを含むものである。
【００１１】
上記構成において、検証ツールにより出力されたデータをレイアウトビューア上でレイアウトデータと重ね合わせて表示させるものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の半導体装置の故障解析方法によると、故障箇所候補リストとレイアウトデータダンプファイルを用いて、故障候補となったインスタンスの配置座標をファイルに抽出し、このファイルからルールファイルを作成しレイアウトデータに対応する故障箇所ノードを検証ツールを利用して処理実行させ、抽出できるので、ノード抽出処理でネットリストを使用する必要がなくルールファイルのみでレイアウトデータから故障箇所候補ノードの抽出ができるものである。
【００１３】
しかも、故障ノードについてはレイアウトビューア上でレイアウトデータと重ね合わせて表示させ、故障箇所候補を確認すれば、故障箇所の特定が容易に行えるものである。
【００１４】
また、コンピュータの能力、メモリ容量等でレイアウトデータの表示に関係するレイアウトビューアについても重ね合わせする故障ノードデータを最小限のデータとすることで負荷を与えることがないため、結果として故障解析の時間短縮が実現できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の半導体装置の故障解析方法の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態の構成を示すブロック図である。
【００１６】
まず、はじめに故障診断システムにより出力された故障箇所候補リスト１に列挙されているインスタンスに関して、物理的な位置を特定する。そのためには、配置座標情報等が記述されたレイアウトデータダンプファイル２を参照して該当インスタンスに対応する配置座標ファイル８を抽出する。
【００１７】
次に、抽出した配置座標ファイル８をもとに該当するインスタンスに対応するノードを抽出するためのルールファイル３を作成し、検証ツール４を利用してルールファイル３をコンピュータで実行する。この検証ツール４は、既に実用化されているものを使用する。例えば、メンターグラフィックス社のCalibre（キャリバー）等がある。検証ツール４の処理では、レイアウトデータ５から故障箇所候補リスト１に列挙されているインスタンスに対応するノードを抽出する。そして、コンピュータでの処理実行が終了すると故障ノードデータ６がマスクレイアウトデータフォーマット（GDSフォーマット）で出力される。
【００１８】
次に、出力された故障ノードデータ６とレイアウトデータ５を用いて故障箇所候補について実際のレイアウト上での物理的な確認を行う。手段としては、レイアウトビューア７上で、レイアウトデータ５と故障ノードデータ６を重ね合わせて表示させて確認を行う。故障ノードの確認においては、視覚的に違いを出すために故障ノード毎に色や図柄を変更したり、ハイライト表示させることもできる。このレイアウトビューア７は、レイアウトデータ５を参照することによりLSIのレイアウトを２次元図形としてコンピュータ画面上に表示するソフトウェアで既に実用化されている。例えば、（株）松下ソフトリサーチのGoodview（グッドビュー）等がある。
【００１９】
以上、本発明の一実施の形態により、故障解析において故障箇所候補の確認が容易に行え、故障箇所の特定ができるようになる。
【００２０】
このように、本実施の形態では、ルールファイル３をもとにレイアウトデータ５を用いて故障箇所候補ノードを抽出できるので、コンピュータ上でのノード抽出処理でネットリストを使用する必要がない。つまり、CADナビゲーション等の高価なツールを使うことなく、ルールファイル３のみでレイアウトデータ５から故障解析候補ノードを容易に抽出できる。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明にかかる半導体装置の故障解析方法は、故障箇所の特定を容易に行える等の効果があり、半導体装置の故障解析方法等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施の形態の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  故障箇所候補リスト
２  レイアウトデータダンプファイル
３  ルールファイル
４  検証ツール
５  レイアウトデータ
６  出力データ
７  レイアウトビューア
８  配置座標抽出ファイル
【図１】
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