(57)【要約】【課題】潤滑剤の流出がほとんどない又は全くない、回転駆動軸の回転を往復動に変換する機構を備えた往復動型ポンプを提供することを目的とする。他の目的は、このような往復動型ポンプを利用した真空ポンプを提供することである。【解決手段】ダイアフラムポンプ４８は、ダイアフラム５０と変換機構５３とを備えている。カム溝５６、ローラ６０及びラジアルベアリング６１は、ダイアフラム５０を軸線５５３の方向へ概略平行に往復させるための変換機構５３を構成する。変換機構５３は、嵌合体６２の筒内部の空間に閉塞されている。回転駆動軸５５の周面５５２には螺旋溝６３が形成されている。螺旋溝６３の螺旋の向きは、回転駆動軸５５の回転方向Ｒ１へ辿るにつれてカム溝５６から遠ざかる向きとなっている。【選択図】  図１
2005299595.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作用室を区画し、かつ前記作用室の容積を変更する容積変更体と、
回転駆動軸と、
前記回転駆動軸の回転運動を往復運動に変換する変換機構と、
流動性の潤滑剤と前記変換機構とを内蔵する閉塞室を形成するように前記回転駆動軸に相対回転可能に嵌合され、かつその一部が前記変換機構と接続し、他の一部が前記容積変更体と接続し、前記変換機構による往復運動が伝達されて往復され、この往復運動を前記容積変更体に伝えて当該容積変更体を往復動させる嵌合体と、
前記嵌合体と前記回転駆動軸との間に入り込んだ潤滑剤を、前記回転駆動軸の回転運動を用いて前記閉塞室へ押し戻すポンピング手段とを備えた往復動型ポンプ。
【請求項２】
前記変換機構は、前記回転駆動軸の周面に設けられたカム溝と、一部が当該カム溝に入り込んだ状態で他の部分が前記嵌合体と接続可能にされた可動体とによって構成され、前記可動体は、前記回転駆動軸が回転することによって前記カム溝によって案内されて前記回転駆動軸の軸線の方向と概略平行な方向へ往復し、前記嵌合体と接続して、当該嵌合体を前記回転駆動軸の軸線の方向と概略平行な方向へ往復させる請求項１に記載の往復動型ポンプ。
【請求項３】
前記ポンピング手段は、前記回転駆動軸における、前記嵌合体が嵌合された周面に形成されたポンプ溝である請求構１又は請求項２に記載の往復動型ポンプ。
【請求項４】
前記ポンプ溝の始端は、前記嵌合体の内周面によって常に被覆されている前記回転駆動軸の周面に形成されている請求項３に記載の往復動型ポンプ。
【請求項５】
前記ポンピング手段は、前記嵌合体における、前記回転駆動軸に嵌合する周面に形成されたポンプ溝である請求構１又は請求項２に記載の往復動型ポンプ。
【請求項６】
前記ポンプ溝の一端は、前記閉塞室と連通している請求項３乃至請求項５のいずれか１項に記載の往復動型ポンプ。
【請求項７】
前記ポンプ溝は、その一端が前記カム溝と連通している請求項３又は請求項４に記載の往復動型ポンプ。
【請求項８】
前記ポンプ溝の終端は、前記回転駆動軸の回転方向へ辿るにつれて前記容積変更体側に近づいてゆくカム溝の側面側に配置されている請求項７に記載の往復動型ポンプ。
【請求項９】
前記カム溝の一方の側面における開放縁が前記回転駆動軸の軸線に対して傾斜した傾斜面に形成され、前記ポンプ溝の前記一端が当該傾斜面と連通している請求項７又は請求項８に記載の往復動型ポンプ。
【請求項１０】
前記可動体は、一部又は全部がローラで構成されており、当該ローラの一部又は全部が前記カム溝に入り込んでいる請求項２乃至請求項９のいずれか１項に記載の往復動型ポンプ。
【請求項１１】
往復動型ポンプは、ダイアフラムを前記容積変更体として備えるダイアフラムポンプである請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の往復動型ポンプ。
【請求項１２】
回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かして吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、
真空ポンプにおける主ポンプの排気空間の下流側に逆流防止手段を設け、前記排気空間から排気を行う補助ポンプを前記排気空間に接続し、前記補助ポンプの排気容量を前記主ポンプの排気容量よりも小さくし、前記補助ポンプとして請求項１乃至請求項１１のいずれか１項の往復動型ポンプを用いた真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容積変更体を往復させて流体の吸入及び吐出を行う往復動型ポンプ、及びこの往復動型ポンプを利用した真空ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回転する駆動軸の回転駆動力を駆動軸の軸方向の駆動力に変換して可動体を往復させ、可動体に連結されたダイアフラムを往復させてポンプ作用をもたらす往復動型の流体ポンプに関する従来技術が提案されている（例えば、特許文献１を参照。）。この従来技術において駆動軸の回転駆動力を駆動軸の軸方向の駆動力に変換する機構は、駆動軸の周面に形成されたトラバース溝と、トラバース溝の側面に係合するようにトラバース溝に遊嵌された摺動子と、駆動軸に対して相対回転可能に嵌合された筒形状の可動体とによって構成されている。摺動子は、可動体に設けられた収容室に収容されている。駆動軸が回転すると、摺動子がトラバース溝によって駆動軸の軸方向へ往復するように案内され、この摺動子の往復動が可動体を介してダイアフラムに伝達される。
【０００３】
上記従来技術において、摺動子は、駆動軸が回転すると、トラバース溝の側面に摺接するため、摺動子やトラバース溝の側面等が摩耗してしまう。そのため、さらに以下のような問題も生じることがある。この問題は、摺動子やトラバース溝の側面等が摩耗することによって、摺動子のストローク量が増大してしまうという問題である。この問題が生じると、駆動軸の軸方向と概略平行な方向へ往復動する部材と、この部材の往復方向に位置する固定部材とが接触してしまう場合がある。そのため、設計段階において上記往復動する部材と固定部材との間の間隔に、初期状態で必要とされる間隔以上の余裕を持たせたり、接触するようになった場合に部品の交換や修理等を行ったりしなければならない。前者の対応策を採用する場合には、往復動型ポンプの体格増に繋がってしまい、後者の対応策を採用する場合には、メインテナンスの工数増や回数増に繋がってしまう。
【０００４】
また、摺動子とトラバース溝の側面との摺接によって生じる抵抗は、回転駆動軸の負荷となり、動力損失が生じてしまう。
そこで、摺動子とトラバース溝の側面との間に潤滑剤が介在するようにすることで、上記諸問題を解決することができる。駆動軸に対して相対回転可能に嵌合された筒形状の可動体は、トラバース溝を閉塞しているため、潤滑剤は、流動性を有するものを、トラバース溝内を潤滑するように筒形状の可動体内に封入すればよい。
【０００５】
なお、本明細書において流動性を有する潤滑剤とは、往復動型ポンプの使用状態において流体であり、潤滑性能を付与する潤滑剤を意味する。
【特許文献１】特開２００２−１０６４６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記したように潤滑剤を封入しても、筒形状の可動体が往復するので、封入された潤滑剤は可動体の筒外へ僅かずつ押し出されていってしまうという問題がある。このように潤滑剤の漏洩が生じると、例えば、摺動子とトラバース溝の側面との間における潤滑が不良となり、摩耗や動力損失が顕著になってしまい、潤滑剤を封入したにも関わらず、前記したような問題が生じてしまう。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、潤滑剤の流出がほとんどない又は全くない、回転駆動軸の回転を往復動に変換する機構を備えた往復動型ポンプを提供することを目的とする。
【０００８】
本発明は、このような往復動型ポンプを利用した真空ポンプを提供することを他の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る往復動型ポンプは、作用室を区画し、かつ作用室の容積を変更する容積変更体と、回転駆動軸と、回転駆動軸の回転運動を往復運動に変換する変換機構と、流動性の潤滑剤と変換機構とを内蔵する閉塞室を形成するように回転駆動軸に相対回転可能に嵌合され、かつその一部が変換機構と接続し、他の一部が容積変更体と接続し、変換機構による往復運動が伝達されて往復され、この往復運動を容積変更体に伝えて当該容積変更体を往復動させる嵌合体と、嵌合体と回転駆動軸との間に入り込んだ潤滑剤を、回転駆動軸の回転運動を用いて閉塞室へ押し戻すポンピング手段とを備えるように構成されている。
【００１０】
つまり、本発明に係る往復動型ポンプは、作用室を区画し、かつ作用室の容積を変更する容積変更体を往復させ、流体を作用室に吸入し、作用室から流体を吐出する往復動型ポンプであって、容積変更体を駆動する回転駆動軸と、回転駆動軸の回転運動を往復運動に変換して容積変更体に伝達する変換機構と、変換機構と流動性の潤滑剤とを内蔵する閉塞室を形成するように回転駆動軸に相対回転可能に嵌合され、かつ容積変更体と連動して往復される嵌合体と、回転駆動軸の回転に伴い、嵌合体と回転駆動軸との間における潤滑剤を閉塞室に向けて押し戻すポンピング手段とを備えるように構成されている。
【００１１】
上記往復動型ポンプは、嵌合体と回転駆動軸との間に入り込んだ潤滑剤をポンピング手段によって閉塞室へ戻す。従って、閉塞室から外部への潤滑剤の漏洩を極めて少なくしたり、防止したりすることが可能となる。
【００１２】
上記往復動型ポンプは、前記変換機構が、前記回転駆動軸の周面に設けられたカム溝と、一部が当該カム溝に入り込んだ状態で他の部分が前記嵌合体と接続可能にされた可動体とによって構成され、前記可動体が、前記回転駆動軸が回転することによって前記カム溝によって案内されて前記回転駆動軸の軸線の方向と概略平行な方向へ往復し、前記嵌合体と接続して、当該嵌合体を前記回転駆動軸の軸線の方向と概略平行な方向へ往復させる往復動型ポンプとしてもよい。つまり、上記往復動型ポンプは、回転駆動軸の周面に設けられたカム溝と、カム溝に入り込んだ状態で容積変更体に結合された可動体とを備えた変換機構を有し、嵌合体が、回転駆動軸の周面に嵌合されており、回転駆動軸が回転する状態では、カム溝によって可動体を案内して回転駆動軸の軸線の方向へ可動体を往復させ、可動体の往復によって容積変更体を回転駆動軸の軸線の方向へ往復させる往復動型ポンプとしてもよい。
【００１３】
カム溝と可動体との接触部分は、閉塞室内にあり、当該室内には潤滑剤が封入されるため、潤滑剤が必要な部分であるカム溝と可動体との接触部分は、潤滑される。また、潤滑剤は、ポンピング手段によって閉塞室からの流出を阻止されるため、上記部分は極めて長期にわたり潤滑される。また、上記部分の潤滑に必要最低限の量の潤滑剤を閉塞室に封入するだけでも、極めて長期間にわたって上記部分を潤滑することが可能となる。
【００１４】
上記ポンピング手段は、前記回転駆動軸における、前記嵌合体が嵌合された周面に形成されたポンプ溝としてもよい。回転駆動軸が回転すると、ポンプ溝は、嵌合体の周面と回転駆動軸の周面との間に入り込んだ潤滑剤を閉塞室側へ送る。このように、回転駆動軸にポンプ溝を設けるだけという極めて簡素な構成によって上記作用が得られる。
【００１５】
上記ポンプ溝は、嵌合体側の嵌合周面に対向する回転駆動軸側の嵌合周面に形成された螺旋溝とし、螺旋溝は、回転駆動軸の回転方向へ辿るにつれて閉塞室から遠ざかってゆく螺旋溝としてもよい。回転駆動軸が回転すると、回転駆動軸側に設けた螺旋溝は、嵌合体側の嵌合周面と回転駆動軸側の嵌合周面との間に入り込んだ潤滑剤を閉塞室側へ送る。
【００１６】
上記ポンプ溝の始端は、嵌合体の内周面によって常に被覆されている回転駆動軸の周面に形成してもよい。このような構成は、潤滑剤が螺旋溝を通って外部へ押し出されるのを阻止する。
【００１７】
前記ポンピング手段は、嵌合体における、回転駆動軸に嵌合する周面に形成されたポンプ溝としてもよい。回転駆動軸が回転すると、ポンプ溝は、嵌合体の周面と回転駆動軸の周面との間に入り込んだ潤滑剤を閉塞室側へ送る。このように、嵌合体にポンプ溝を設けるだけという極めて簡素な構成によって上記作用が得られる。
【００１８】
上記ポンプ溝は、回転駆動軸側の嵌合周面に対向する嵌合体側の嵌合周面に形成された螺旋溝とし、螺旋溝は、回転駆動軸の回転方向へ辿るにつれて閉塞室に近づいてゆく螺旋溝としてもよい。
【００１９】
上記ポンプ溝の一端は、閉塞室と連通してもよい。この構成により、嵌合体の周面と回転駆動軸の周面との間に入り込んだ潤滑剤を閉塞室へより効果的に戻す。
上記ポンプ溝は、その一端がカム溝と連通してもよい。ポンプ溝がカム溝に達しているため、嵌合体の周面と回転駆動軸の周面との間に入り込んでいる潤滑剤をカム溝に供給することが可能となる。
【００２０】
上記ポンプ溝は、カム溝に達するように、かつ回転駆動軸の回転方向へ辿るにつれてカム溝から遠ざかってゆくように、嵌合体側の嵌合周面に対向する回転駆動軸側の嵌合周面に形成された螺旋溝としてもよい。
【００２１】
上記ポンプ溝は、その終端が回転駆動軸の回転方向へ辿るにつれて容積変更体側に近づいてゆくカム溝の側面側に配置されるようにしてもよい。回転駆動軸が回転すると、ポンプ溝内の潤滑剤がカム溝側へと吸い出し作用を受け、螺旋溝のポンピング作用が助勢される。
【００２２】
上記カム溝は、その一方の側面における開放縁が前記回転駆動軸の軸線に対して傾斜した傾斜面に形成され、上記ポンプ溝の一端が当該傾斜面と連通されているようにしてもよい。このように構成すれば、可動体が傾斜面におけるポンプ溝の一端に当接することを確実に防止できる。
【００２３】
上記可動体は、一部又は全部がローラで構成されており、当該ローラの一部又は全部がカム溝に入り込んでいるようにしてもよい。つまり、可動体は、ローラとし、回転駆動軸の回転力は、ローラの周面とカム溝の側面との係合を介してローラを往復させる往復駆動力に変換されるようにしてもよい。このように可動体の一部又は全部をローラで構成することで、動力損失を効果的に抑制できる。また、本発明においては、カム溝とローラとの接触部分に、十分に長期にわたり潤滑剤を供給できるため、両者の接触（摺動）による動力損失は極めて小さなものにできる。
【００２４】
上記往復動型ポンプは、ダイアフラムを容積変更体として備えるダイアフラムポンプとしてもよい。
ダイアフラムポンプは、部品点数が少ないので、簡素な機構であって製作容易な往復動型ポンプとして好適である。
【００２５】
上記往復動型ポンプは、回転駆動軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かして吸引作用をもたらす真空ポンプにおける補助ポンプとして用いてもよい。つまり、真空ポンプにおける主ポンプの排気空間の下流側に逆流防止手段を設け、排気空間から排気を行う補助ポンプを排気空間に接続し、主ポンプの排気容量よりも小さくした排気容量の補助ポンプとして上記往復動型ポンプを用いてもよい。
【００２６】
補助ポンプは、排気空間の圧力を下げる役割を果たす。排気空間おける圧力の低減は、ポンプ室における圧力の低減をもたらす。その結果、ルーツポンプにおける消費動力は、補助ポンプのないルーツポンプに比べて低減する。補助ポンプにおける閉塞室からの潤滑剤の流出防止は、変換機構における運動抵抗の増加を防止する。運動抵抗増の防止は、ルーツポンプにおける動力損失増の防止に寄与する。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、回転駆動軸の回転を往復動に変換する機構を備えた往復動型ポンプにおける変換機構の良好な潤滑を確保できる。また、このような往復動型ポンプを利用した真空ポンプを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の第１の実施の形態に係る真空ポンプをルーツポンプに適用した形態を図１〜図７に基づいて説明する。
まず、図５〜図７に示すルーツポンプ１１の全体構成について説明する。図５に示すように、ルーツポンプ１１のロータハウジング１２の前端にはフロントハウジング１３が接合されており、ロータハウジング１２の後端にはリヤハウジング１４が接合されている。リヤハウジング１４にはギヤハウジング３９が組み付けられており、ギヤハウジング３９には電動モータＭが組み付けられている。電動モータＭには補助ポンプとしてのダイアフラムポンプ（往復動型ポンプ）４８が組み付けられている。
【００２９】
ロータハウジング１２は、一対のシリンダブロック１５と複数の隔壁１６とで構成される。フロントハウジング１３と隔壁１６との間の空間、及び隣り合う隔壁１６の間の空間は、それぞれポンプ室１７，１８，１９，２０となっている。リヤハウジング１４と隔壁１６との間の空間は、ポンプ室２１となっている。
【００３０】
図６に示すように、フロントハウジング１３とリヤハウジング１４とには回転軸２２がラジアルベアリング２４，２５を介して回転可能に支持されている。フロントハウジング１３とリヤハウジング１４とには回転軸２３がラジアルベアリング２６，２７を介して回転可能に支持されている。両回転軸２２，２３は、互いに平行に配置されている。
【００３１】
回転軸２２にはガス移送体としての複数のロータ２８，２９，３０，３１，３２が一体形成されており、回転軸２３には同数のロータ３３，３４，３５，３６，３７が一体形成されている。ロータ２８〜３７は、回転軸２２，２３の軸線２２１，２３１の方向に見た際に同一形状で同一の大きさである。ロータ２８〜３２の厚みは、符合の順に小さくなってゆくようにしてあり、ロータ３３〜３７の厚みもこの順に小さくなってゆくようにしてある。つまり、フロントハウジング１３側のロータからリヤハウジング１４側のロータへ順次薄いものを採用している。
【００３２】
ロータ２８と３３は、僅かの隙間を保って互いに噛合した状態でポンプ室１７に収容されており、ロータ２９と３４も同様に互いに噛合した状態でポンプ室１８に収容されている。以下同様にしてロータ３０と３５はポンプ室１９に、ロータ３１と３６はポンプ室２０に、ロータ３２と３７はポンプ室２１にそれぞれ収容されている。ポンプ室１７〜２１の容積の大きさは、前記同様、符合の順に小さくなってゆくようにしてある。ポンプ室１７〜２１及びロータ２８〜３７は、主ポンプ３８を構成する。
【００３３】
回転軸２２，２３は、リヤハウジング１４を貫通してギヤハウジング３９内に突出しており、各回転軸２２，２３の突出端部には歯車４０，４１が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウジング３９に組み付けられた電動モータＭの回転駆動軸５５は、軸継ぎ手１０を介して回転軸２２に連結されている。電動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手１０を介して回転軸２２に伝えられ、回転軸２２は、電動モータＭによって図７の矢印Ｒ１の方向に回転される。回転軸２３は、歯車４０，４１を介して電動モータＭから駆動力を得て、図７の矢印Ｒ２で示すように回転軸２２とは逆方向に回転する。
【００３４】
図５に示すように、互いに隣り合うポンプ室１７〜２１は、隔壁１６内の通路１６１を介して互いに連通している。シリンダブロック１５に形成された吸入口１５１からポンプ室１７に導入されたガス（流体）は、ロータ２８，３３の回転によって通路１６１を経由して隣のポンプ室１８へ移送される。以下、同様にガスは、ポンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ室１８，１９，２０，２１の順（リヤハウジング１４側のポンプ室）に移送される。最もリヤハウジング１４側のポンプ室であるポンプ室２１へ移送されたガスは、シリンダブロック１５に形成された排気口１５２を介してロータハウジング１２の外部へ排出される。ポンプ室２１の一部は、ロータ３２，３７によって排気口１５２に連通する準排気室２１１に区画される。
【００３５】
排気口１５２には接続フランジ４２が接続されている。接続フランジ４２にはマフラ４３が接続されており、マフラ４３にはガイド管４４が接続されている。さらにガイド管４４には排出管４５が接続されている。排出管４５は、図示しない排ガス処理装置に接続されている。
【００３６】
ガイド管４４の管内には弁体４６及び復帰ばね４７が収容されている。ガイド管４４にはテーパ形状の弁孔４４１が形成されており、弁体４６は弁孔４４１を開閉する。復帰ばね４７は、弁孔４４１を閉じる位置に向けて弁体４６を付勢する。ガイド管４４、弁体４６及び復帰ばね４７は、逆流防止手段を構成する。準排気室２１１、排気口１５２、接続フランジ４２の内部空間４２１及びマフラ４３の内部空間４３１は、主ポンプ３８の排気空間Ｈを構成する。
【００３７】
次に、図１〜図４に基づいて往復動ポンプであるダイアフラムポンプ４８について説明する。図１及び図２に示すように、ダイアフラムポンプ４８を構成するポンプハウジング４９は、円筒形状の筒部状のハウジング（筒部）４９１と、筒部４９１のリヤハウジング１４側を塞ぐハウジング（蓋部）４９２とを有する。電動モータＭの回転駆動軸５５は、筒部４９１の筒内に突出している。このように、ダイアフラムポンプ４８は、筒部４９１と蓋部４９２とに挟持された円形状のダイアフラム５０と、逆流防止用の吸入弁５１と、逆流防止用の吐出弁５２と、変換機構５３とを備えている。吸入弁５１及び吐出弁５２は、蓋部４９２に接合された弁押さえ５４と、蓋部４９２の内端面との間に挟まれて保持されている。ポンプハウジング４９に止着されたダイアフラム５０と弁押さえ５４との間の空間は、作用室４８１である。つまり、ダイアフラム５０は、作用室４８１を区画している。
【００３８】
ポンプハウジング４９内に突出する回転駆動軸５５の円柱形状の突出部（カム部）５５１には、カム溝５６が、周面５５２を一周するように形成されている。カム溝５６は、回転駆動軸５５の軸線５５３に対して傾けてある。カム部５５１には嵌合体６２が相対回転可能かつスライド可能に嵌合されている。
【００３９】
嵌合体６２は、カム部５５１の周面５５２に相対回転可能かつスライド可能に嵌合された円筒状の軸受け５７と、軸受け５７に嵌合して止着された筒状のガイド体５８とを有する。回転駆動軸５５（カム部５５１）の周面５５２及び嵌合体６２（軸受け５７）の内周面６２３は、それぞれ互いに嵌合して対向する、いわゆる嵌合周面である。
【００４０】
ガイド体５８の端壁５８１は、ダイアフラム５０の概略中央部（回転駆動軸５５側表面の概略中心部）に止着されている。ガイド体５８の筒部５８２には収容フランジ５９が形成されており、収容フランジ５９内は収容室５９１となっている。収容フランジ５９には蓋６２１が設けられており、蓋６２１を嵌合体６２から取り外すことで、収容室５９１は、筒部５８２を貫通する。つまり、収容室５９１の開放部が蓋６２１によって閉じられている。蓋６２１は、嵌合体６２の一部となる。
【００４１】
図３に示すように、収容室５９１にはローラ６０及びラジアルベアリング６１が収容されている。収容フランジ５９とローラ６０との間にラジアルベアリング６１が介在されているため、ローラ６０は、収容フランジ５９に対して回転可能である。ローラ６０の一端部は、軸受け５７に形成された挿入口５７１を通してカム溝５６内に入り込んでいる。ローラ６０の周面６０１は、カム溝５６の側面５６１又は側面５６３に係合する。従って、回転駆動軸５５が回転すると、ローラ６０の周面６０１とカム溝５６の側面５６１，５６３との係合によって、ローラ６０が軸線５５３の方向へ往復する。つまり、ローラ６０は、一部がカム溝５６に入り込んだ状態で、他の一部がダイアフラム５０を往復可能に接続可能とされた可動体である。
【００４２】
このように、カム溝５６、ローラ６０及びラジアルベアリング６１は、回転駆動軸５５の回転運動を、回転駆動軸５５の軸線５５３の方向と概略平行な方向における往復運動に変換するための（容積変更体としてのダイアフラム５０を軸線５５３の方向と概略平行な方向へ往復させるための）変換機構５３を構成する。変換機構５３は、収容室５９１内の空間及び嵌合体６２の一部である軸受け５７の筒内部の空間に閉塞されている。別言すると、嵌合体６２の筒内部の空間６２２、収容室５９１及びカム溝５６の溝内は、変換機構５３を内蔵する閉塞室６８を構成する。閉塞室６８には流動性の潤滑剤（例えば、グリース）が封入されている。
【００４３】
カム部５５１の周面５５２には螺旋溝６３が形成されている。螺旋溝６３の螺旋の向きは、回転駆動軸５５の回転方向（回転軸２２の回転方向と同じであって矢印Ｒ１で示す）へ辿るにつれてダイアフラム５０及び閉塞室６８から遠ざかってゆく向きとなっている。つまり、螺旋溝６３は、回転駆動軸５５の回転方向Ｒ１へ辿るにつれてカム溝５６から遠ざかってゆく。換言すると、螺旋溝６３は、ポンプ溝／ポンピング手段として機能するように、カム部５５１の周面５５２に設けられている。ポンピング手段としての螺旋溝６３の始端６３１は、カム部５５１の周面５５２上における軸受け５７によって常に被覆されている部分上に設定されている。
【００４４】
図４に示すように、螺旋溝６３の終端６３２は、カム溝５６の側面５６１の範囲Ｌ１側に配置されている。範囲Ｌ１の側面５６１は、回転駆動軸５５の回転方向Ｒ１へ辿るにつれてダイアフラム５０側に近づいてゆく。図４に示す範囲Ｌ２の側面５６１は、回転駆動軸５５の回転方向Ｒ１へ辿るにつれてダイアフラム５０から遠ざかる。図４では、範囲Ｌ１が右側にあって範囲Ｌ２が左側にあるように図示されているが、図４の状態から回転駆動軸５５が半回転すると、範囲Ｌ１と範囲Ｌ２とが左右入れ替わる。
【００４５】
カム溝５６の一方の側面５６１側（始端６３１）における開放縁は、傾斜面５６２に形成されている。つまり、螺旋溝６３は、傾斜面５６２に連なっている（連通している）。螺旋溝６３の溝深さは、略一定にしてある。
【００４６】
図４に示すように、カム部５５１の半径方向における傾斜面５６２の最下位位置（傾斜面５６２と側面５６１との接続位置）は、螺旋溝６３の溝底よりも深くしてある。つまり、螺旋溝６３の終端６３２は、傾斜面５６２上に位置するようにしてある。
【００４７】
図１及び図２に示すように、ポンプハウジング４９を構成する蓋部４９２の端壁と弁押さえ５４とには吸入通路６４及び吐出通路６５が貫通するように設けられている。図５に示すように、吸入通路６４は、吸入管６６を介して接続フランジ４２の内部空間４２１に連通しており、吐出通路６５は、吐出管６７を介してガイド管４４の内部空間に連通している。
【００４８】
次に、ルーツポンプ１１の作用を説明する。図５に示す電動モータＭが作動すると回転駆動軸５５が回転し、回転軸２２，２３が回転する。図示しない吸引作用対象領域内のガスは、吸入口１５１を経由して主ポンプ３８のポンプ室１７へ吸入される。ポンプ室１７へ吸入されたガスは、ポンプ室１８〜２１側へ圧縮されながら移行する。ポンプ室２１へ移行したガスは、排気口１５２を介して接続フランジ４２内へ排出される。即ち、ルーツポンプ１１（真空ポンプ）は、回転軸２２，２３の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体（ロータ２８〜３７）を動かして吸引作用をもたらす。
【００４９】
回転駆動軸５５の一部であるカム部５５１が回転すると、カム溝５６内に入り込んでいるローラ６０がカム溝５６に沿って相対的に案内される。回転可能に支持されたローラ６０は、カム溝５６の側面５６１又は側面５６３上を相対的に転動する。
【００５０】
ローラ６０と嵌合体６２とは、カム溝５６の相対的なガイド作用を受けながら軸線５５３の方向と概略平行な方向へ一体的に移動する。即ち、一部がカム溝５６に入り込んだ状態で他の部分が嵌合体６２と接続可能にされたローラ６０（可動体）は、回転駆動軸５５が回転することによってカム溝５６によって案内されて回転駆動軸５５の軸線５５３の方向と概略平行な方向へ往復する。そして、嵌合体６２と接続したローラ６０（可動体）は、嵌合体６２を回転駆動軸５５の軸線５５３の方向と概略平行な方向へ往復させる。図１は、ローラ６０及び嵌合体６２が弁押さえ５４から最も離れた下死点位置にある状態を示す。この状態では、作用室４８１における容積が最大となる。
【００５１】
図１の状態から回転駆動軸５５が回転すると、ローラ６０及び嵌合体６２が弁押さえ５４に向けて移動する。図１の状態から回転駆動軸５５が半回転すると、ローラ６０及び嵌合体６２は、図２に示すように弁押さえ５４に最も近づいた上死点位置に移行する。この状態では、作用室４８１における容積が最小となる。図２の状態から回転駆動軸５５が半回転すると、ローラ６０及び嵌合体６２は、図１に示す下死点位置へ移行する。つまり、回転駆動軸５５が１回転すると、ローラ６０及び嵌合体６２は、軸線５５３の方向と概略平行な方向に１往復する。
【００５２】
嵌合体６２が上死点位置から下死点位置へ移行すると、嵌合体６２に止着されたダイアフラム５０の中心部が嵌合体６２と一体的に移動する。そのため、作用室４８１を区画し、かつ作用室４８１の容積を変更するダイアフラム５０が弁押さえ５４から離れてゆき、作用室４８１における容積が増大してゆく。この容積増大により、排気空間Ｈ内のガスが吸入弁５１を押し退けて作用室４８１内に吸入される。嵌合体６２が下死点位置から上死点位置へ移行すると、ダイアフラム５０が弁押さえ５４に近づいてゆき、作用室４８１における容積が減少してゆく。この容積減少により、作用室４８１内のガスが吐出弁５２を押し退けてガイド管４４内へ吐出される。
【００５３】
回転駆動軸５５の回転運動を往復運動に変換する変換機構５３は、回転駆動軸５５が１回転すると、ダイアフラム５０を軸線５５３の方向と概略平行な方向に１往復させる。即ち、一部が変換機構５３と接続された嵌合体６２は、変換機構５３による往復運動が伝達されて往復され、嵌合体６２の他の一部が接続されたダイアフラム５０は、嵌合体６２の往復運動が伝えられて往復動される。即ち、変換機構５３の往復動部（ローラ６０）に接続する嵌合体６２は、往復動部（ローラ６０）の往復運動が伝えられて軸線５５３の方向と概略平行な方向に往復され、嵌合体６２に接続されたダイアフラム５０は、嵌合体６２の往復運動が伝えられて往復動される。即ち、変換機構５３の往復動部（ローラ６０）の往復運動は、嵌合体６２を介してダイアフラム５０に伝えられ、ダイアフラム５０が軸線５５３の方向と概略平行な方向に往復される。即ち、変換機構５３の往復動部（ローラ６０）と嵌合体６２とは、連動して軸線５５３の方向と概略平行な方向に往復される。
【００５４】
ダイアフラムポンプ４８の排気容量は、主ポンプ３８の排気容量よりも小さくしてある。主ポンプ３８の排気容量よりも小さい排気容量のダイアフラムポンプ４８は、ルーツポンプ１１（真空ポンプ）の駆動源である電動モータＭを駆動源として、排気空間Ｈから排気を行なう補助ポンプである。
【００５５】
回転駆動軸５５が回転すると、カム部５５１の周面５５２と嵌合体６２の内周面６２３との間に入り込んでいる潤滑剤は、軸線５５３の周りに周回する螺旋溝６３内に入り込む。回転駆動軸５５における、嵌合体６２が嵌合された周面５５２に形成されたポンプ溝としての螺旋溝６３内に入り込んだ潤滑剤は、軸線５５３の周りにおける螺旋溝６３の周回によって、カム溝５６に押し戻される。即ち、嵌合体６２とカム部５５１（回転駆動軸５５）との互いに対向する周面（内周面６２３）と周面５５２との間に設けられたポンプ溝（螺旋溝６３）が軸線５５３の周りに周回することにより、カム部５５１の周面５５２と嵌合体６２の内周面６２３との間に入り込んでいる潤滑剤がカム溝５６に押し戻される。即ち、一端（終端６３２）がカム溝５６と連通している螺旋溝６３内に入り込んだ潤滑剤は、軸線５５３の周りにおける螺旋溝６３の周回によって、カム溝５６に押し戻される。即ち、一端（終端６３２）が閉塞室６８と連通している螺旋溝６３内に入り込んだ潤滑剤は、軸線５５３の周りにおける螺旋溝６３の周回によって、閉塞室６８に押し戻される。
【００５６】
第１の実施形態に係る真空ポンプからは例えば以下の効果が得られる。
（１−１）排気空間Ｈにおけるガスは、主ポンプ３８の排気容量よりも小さい排気容量のダイアフラムポンプ４８によって排気され、排気空間Ｈにおける圧力は、補助ポンプのないルーツポンプに比べて低減する。排気空間Ｈにおける圧力の低減は、ポンプ室１７〜２１における圧力の低減をもたらす。その結果、ルーツポンプ１１における消費動力は、補助ポンプのないルーツポンプに比べて低減する。
【００５７】
このような効果をもたらすダイアフラムポンプ４８における変換機構５３は、閉塞室６８に封入された流動性の潤滑剤によって潤滑される。閉塞室６８内の潤滑剤の一部は、嵌合体６２が上死点位置側から下死点位置側へ移動するのに伴って、嵌合体６２の内周面６２３（軸受け５７の内周面）と回転駆動軸５５の周面５５２との間から嵌合体６２の筒外へ付勢される。
【００５８】
嵌合体６２の内周面６２３と回転駆動軸５５の周面５５２との間の潤滑剤は、軸線５５３の周りに周回する螺旋溝６３内に入り込む。螺旋溝６３内に入り込んだ潤滑剤は、軸線５５３の周りにおける螺旋溝６３の周回によって、カム溝５６に向けて付勢される。つまり、螺旋溝６３は、閉塞室６８から嵌合体６２の筒外への潤滑剤の漏洩を防止する。その結果、閉塞室６８内の潤滑剤の量が不足してしまうことはなく、変換機構５３の潤滑必要部位における良好な潤滑が確保される。また、ポンプ溝が設けられていないポンプと比べ、閉塞室から漏洩する分多めに潤滑剤を封入する必要がないために、閉塞室６８を広くする必要もない。閉塞室を本実施の形態に係る閉塞室６８と同等の容積に設定した従来のポンプと比べると、潤滑剤の補充に起因するメインテナンス回数を少なくできる。
【００５９】
（１−２）回転駆動軸５５の周面５５２に設けた螺旋溝６３の形状（溝幅、螺旋のピッチ等）や本数等は、潤滑剤を閉塞室６８に戻し易いように、使用される潤滑剤の物性（例えば、粘性）に応じて適正に設定するだけでよい。例えば、潤滑剤として粘度の高いグリースを用いた場合、グリースが螺旋溝６３に詰まる場合があるので、螺旋溝６３の溝の幅を太くしたり、溝の深さを深くしたり、螺旋溝６３の本数を多くしたりするとよい。このように、螺旋溝６３は、簡素な構成であって、適正な形状に形成が容易なため、閉塞室６８からの潤滑剤の漏洩を防止するポンピング手段として好適である。
【００６０】
（１−３）螺旋溝６３は、閉塞室６８内のカム溝５６に達しているので、螺旋溝６３内に入り込んだ潤滑剤は、その多くがカム溝５６内に戻される。従って、嵌合体６２の内周面６２３とカム部５５１の周面５５２との間に入り込んだ潤滑剤を閉塞室６８へ戻すだけでなく、潤滑剤を最も必要とするカム溝５６内へも潤滑剤の供給量を多くすることが可能となる。
【００６１】
また、上記間に入り込んだ潤滑剤のみならず、閉塞室６８にある潤滑剤の一部又は全部をカム溝５６内方向へ付勢することも可能となる。
（１−４）螺旋溝６３は、側面５６１側に形成された傾斜面５６２に連なっており、螺旋溝６３の終端６３２は、傾斜面５６２上に配置されている。カム溝５６の側面５６１を相対的に転動するローラ６０は、傾斜面５６２上にある終端６３２と確実に当接しない。
【００６２】
（１−５）螺旋溝６３の始端６３１は、軸受け５７によって常に被覆されているカム部５５１の周面５５２上に設定されており、螺旋溝６３は、往復動する嵌合体６２の内周面６２３によって常に被覆されている。螺旋溝６３を嵌合体６２の筒外に連通させない構成は、嵌合体６２が上死点位置側から下死点位置側へ移動する際に潤滑剤が螺旋溝６３を通って嵌合体６２の筒外に押し出されるのを極めて有効に阻止する。
【００６３】
（１−６）グリースの一種として、フッ素油を基油に、ポリテトラフルオロエチレンを増稠剤に用いたフッ素系のグリースがある。フッ素系のグリース以外には、鉱油を基油に、バリウムコンプレックスを増稠剤に用いたグリース、合成炭化水素油を基油に、バリウムコンプレックスを増稠剤に用いたグリース、エーテル系油と合成炭化水素油とを基油に、バリウムコンプレックスを増稠剤に用いたグリース等がある。本願発明者らは、粘度が同程度である場合には、フッ素系以外のグリースがフッ素系のグリースに比べて閉塞室６８から漏洩し難いという実験結果を得た。つまり、閉塞室６８内に封入する流動性の潤滑剤としては、フッ素系以外の前記したグリースが好適であることを見いだした。
【００６４】
（１−７）ローラ６０の代わりに回転しない可動体を用いることもできるが、ラジアルベアリング６１を介してガイド体５８に回転可能に支持されたローラ６０は、カム部５５１の回転に伴って、側面５６１上又は側面５６３上を相対的に転動するので、動力損失を極めて小さくすることができる。つまり、ローラ６０は、動力損失を抑制する上で好ましい可動体である。
【００６５】
（１−８）回転駆動軸５５の回転に伴い、カム溝５６内の潤滑剤は、カム溝５６の側面５６１の範囲Ｌ２（図４に図示）に押し付けられる。一方、螺旋溝６３の終端６３２は、範囲Ｌ１の側面５６１側に配置されているので、螺旋溝６３のポンピング作用が阻害されることはなく、逆に、回転駆動軸５５の回転に伴い、終端６３２の付近の螺旋溝６３内の潤滑剤がカム溝５６側へと吸い出し作用を受ける。範囲Ｌ１の側面５６１側に螺旋溝６３の終端６３２を配置した構成は、螺旋溝６３のポンピング作用を助勢する上で好ましい構成である。
【００６６】
（１−９）ダイアフラムポンプ４８は、吸入弁５１、吐出弁５２及びダイアフラム５０を備えたダイアフラムポンプである。ダイアフラムポンプは、部品点数が少なく、かつガスの逆流をほぼ完璧に阻止するので、簡素な機構であって製作容易な上に小型の往復動型ポンプとして好適である。本実施形態では、ダイアフラムポンプ４８は、主ポンプ３８と同様に電動モータＭから駆動力を得ている。即ち、ダイアフラムポンプ４８の駆動源と主ポンプ３８の駆動源とは、電動モータＭであって同一である。補助ポンプ専用の駆動源を用いない構成は、補助ポンプ専用の駆動源のための占有スペースを不要とし、ルーツポンプ１１の大型化の抑制に寄与する。
【００６７】
（１−１０）閉塞室６８からの潤滑剤の流出防止は、変換機構５３における運動抵抗（ローラ６０が回転するときの抵抗、嵌合体６２とカム部５５１の周面５５２との間の摺動抵抗等）の増加を抑えてルーツポンプ１１における動力損失増の防止に寄与する。閉塞室６８からの潤滑剤の流出防止を行なう螺旋溝６３を備えたダイアフラムポンプ４８をルーツポンプ１１に組み込んだ構成は、ルーツポンプ１１における動力損失増を防止する上で好ましい構成である。
【００６８】
次に、第２の実施形態に係る真空ポンプを、図８を用いて説明する。なお、第１の実施形態に係る真空ポンプと同等若しくは類似の構成部には同じ符号を用い、説明を省略している。
【００６９】
第２の実施形態に係る真空ポンプは、螺旋溝６９が軸受け５７の内周面６２３に形成されている。螺旋溝６９の螺旋の向きは、回転駆動軸５５の回転方向Ｒ１へ辿るにつれてダイアフラム５０及び閉塞室６８に近づいてゆく向きとなっている。つまり、螺旋溝６９は、回転駆動軸５５の回転方向Ｒ１へ辿るにつれてカム溝５６に近づいてゆく。ポンピング手段としての螺旋溝６９の終端６９１は、カム溝５６の周回領域内にあり、螺旋溝６９は、カム溝５６に常に連通している。
【００７０】
次に、第２の実施形態に係る真空ポンプの作用並びに効果を説明する。なお、第１の実施形態に係る真空ポンプの作用並びに効果と同等若しくは類似の作用・効果については、その記載を省略する。
【００７１】
嵌合体６２の内周面６２３と回転駆動軸５５の周面５５２との間の流動性の潤滑剤は、内周面６２３に設けられた螺旋溝６９内に入り込む。螺旋溝６９内に入り込んだ潤滑剤は、カム部５５１の周面５５２の周回によって、カム溝５６に向けて付勢される。つまり、螺旋溝６９は、閉塞室６８から嵌合体６２の筒外への潤滑剤の漏洩を防止する。その結果、閉塞室６８内の潤滑剤の量が不足してしまうことを防止したり、又は長期にわたって防止したりすることが可能となる。また、前記したような各効果も奏する。そのため、変換機構５３の潤滑必要部位における良好な潤滑を確保でき得る。
【００７２】
次に、第３の実施形態に係る真空ポンプを、図９を用いて説明する。なお、第１の実施形態に係る真空ポンプと同等若しくは類似の構成部には同じ符号を用い、説明を省略している。
【００７３】
第３の実施形態に係る真空ポンプは、カム部５５１Ａが大径部５５４と小径部５５５とからなり、大径部５５４と小径部５５５との境には軸線５５３に対してねじれの関係にあるポンピング段差７０が形成されている。ポンピング段差７０は、回転駆動軸５５の回転方向Ｒ１へ辿るにつれてダイアフラム５０及び閉塞室６８から遠ざかる形状となっている。つまり、ポンピング段差７０は、回転駆動軸５５の回転方向Ｒ１へ辿るにつれてカム溝５６から遠ざかってゆく。
【００７４】
次に、第３の実施形態に係る真空ポンプの作用並びに効果を説明する。なお、第１の実施形態に係る真空ポンプの作用並びに効果と同等若しくは類似の作用・効果については、その記載を省略する。
【００７５】
小径部５５５の周面と嵌合体６２の内周面６２３との間の流動性の潤滑剤は、軸線５５３の周りにおけるポンピング段差７０の周回によって、カム溝５６に向けて付勢される。つまり、ポンピング段差７０は、閉塞室６８から嵌合体６２の筒外への潤滑剤の漏洩を防止する。その結果、閉塞室６８内の潤滑剤の量が不足してしまうことを防止したり、又は長期にわたって防止したりすることが可能となる。また、前記したような各効果も奏する。そのため、変換機構５３の潤滑必要部位における良好な潤滑を確保でき得る。
【００７６】
上記各実施の形態は、本発明の趣旨の範囲内において、例えば以下のように変形して構成することも可能である。また、各変形例は、互いに矛盾しない範囲内で組み合わせて採用することも可能である。
【００７７】
（１）第１の実施形態において、２本以上の螺旋溝をカム部５５１の周面５５２に設けてもよい。カム部５５１の周面５５２に設ける螺旋溝の本数を増やすことにより、回転駆動軸５５と嵌合体６２との間に入り込んだ潤滑剤をカム溝５６へ戻し易くなり、閉塞室からの潤滑剤の漏洩が一層効果的に抑制される。
【００７８】
（２）第２の実施形態において、２本以上の螺旋溝を嵌合体６２の内周面６２３に設けてもよい。嵌合体６２の内周面６２３に設ける螺旋溝の本数を増やすことにより、回転駆動軸５５と嵌合体６２との間に入り込んだ潤滑剤をカム溝５６へ戻し易くなり、閉塞室からの潤滑剤の漏洩が一層効果的に抑制される。
【００７９】
（３）第１の実施形態において、螺旋溝６３の代わりに螺旋突条をカム部５５１の周面５５２に設けたポンピング手段を構成してもよい。回転駆動軸５５が回転すると、カム部５５１の周面５５２に設けた螺旋突条は、回転駆動軸５５と嵌合体６２との間に入り込んだ潤滑剤をカム溝５６へ戻し、閉塞室からの潤滑剤の漏洩を防止する。
【００８０】
（４）第２の実施形態において、螺旋溝６９の代わりに螺旋突条を嵌合体６２の内周面６２３に設けたポンピング手段を構成してもよい。回転駆動軸５５が回転すると、嵌合体６２の内周面６２３に設けた螺旋突条は、回転駆動軸５５と嵌合体６２との間に入り込んだ潤滑剤をカム溝５６へ戻し、閉塞室からの潤滑剤の漏洩を防止する。
【００８１】
（５）ポンピング手段としての螺旋溝がカム溝に達していない構成とした実施形態も可能である。この場合にも、螺旋溝は、流動性の潤滑剤を閉塞室側へ付勢する役割を果たす。
【００８２】
（６）円周面を有する嵌合孔を回転駆動軸５５（図３参照）の端面〔端壁５８１（図３参照）に対向する回転駆動軸５５の面〕に凹設し、ダイアフラムに連結された円柱形状の嵌合体を嵌合孔に相対回転可能に嵌入し、嵌合孔の底面に対向する嵌合体の端面と嵌合孔の底面との間に変換機構を設けた実施形態も可能である。この場合、例えば、嵌合体の端面を傾斜したカム面とし、嵌合孔の底面とカム面との間にボールを回転自在かつ嵌合孔の底面に対して不動配設して変換機構を構成することができる。回転駆動軸５５が回転すると、ボールが周回し、嵌合体及びダイアフラムが回転駆動軸５５の軸線５５３（図１参照）の方向に往復する。嵌合孔の底面と嵌合体の端面との間の空間は、変速機構と流動性の潤滑剤とを内蔵する閉塞室となる。
【００８３】
ポンピング手段は、嵌合孔の円周面に螺旋溝を設けたり、円柱形状の嵌合体の周面に螺旋溝を設けたりして構成することができる。嵌合孔の円周面に設けた螺旋溝の螺旋の向きは、回転駆動軸５５の回転方向へ辿るにつれて閉塞室から遠ざかってゆく向きとすればよい。円柱形状の嵌合体の周面に設けた螺旋溝の螺旋の向きは、回転駆動軸５５の回転方向へ辿るにつれて閉塞室に近づいてゆく向きとすればよい。
【００８４】
この実施形態においても、嵌合孔の円周面と嵌合体の周面との間の潤滑剤は、回転駆動軸５５が回転するに伴い、閉塞室に向けて戻される。その結果、閉塞室内の潤滑剤の量が不足してしまうことはなく、変換機構の潤滑必要部位における良好な潤滑が確保される。
【００８５】
（７）容積変更体としてベローズやピストンを用いてもよい。ベローズやピストンを容積変更体として用いたポンプは、ダイアフラムポンプのように、部品点数が少ない簡素な機構であって製作容易な上に小型の往復動型ポンプとして好適である。
【００８６】
（８）ルーツポンプ以外の真空ポンプ（例えばスクリューポンプ）に本発明の往復動型ポンプを補助ポンプとして用いるようにしてもよい。ルーツポンプ以外の真空ポンプにおける主ポンプの排気空間から排気を行うための補助ポンプとして本発明の往復動型ポンプを用いれば、ルーツポンプ以外の真空ポンプにおける動力損失増を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】第１の実施形態を示す往復動型ポンプの側断面図。
【図２】往復動型ポンプの側断面図。
【図３】要部拡大側断面図。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図。
【図５】ルーツポンプの全体構成を示す側断面図。
【図６】ルーツポンプの平断面図。
【図７】図６のＢ−Ｂ線断面図。
【図８】第２の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【図９】第３の実施の形態を示す要部拡大側断面図。
【符号の説明】
【００８８】
１１…真空ポンプであるルーツポンプ。１７〜２１…ポンプ室。２２，２３…回転軸。２８〜３７…ガス移送体としてのロータ。３８…主ポンプ。４６…逆流防止手段を構成する弁体。４７…逆流防止手段を構成する復帰ばね。４８…補助ポンプであるダイアフラムポンプ。４８１…作用室。５０…容積変更体としてのダイアフラム。５３…変換機構。５５…回転駆動軸。５５２…嵌合周面としての周面。５５３…軸線。５６…カム溝。５６１…側面。５６２…傾斜面。６０…可動体としてのローラ。６０１…ローラの周面。６２…嵌合体。６２３…嵌合周面としての内周面。６３，６９…螺旋溝。６３１…始端。６３２，６９１…終端。６８…閉塞室。Ｈ…排気空間。Ｒ１…回転方向。
【図１】
2005299595.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005299595.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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