(57)【要約】【課題】  時間測定部を高速にすることなく、サンプリングレートを向上させるＩＣテスタを実現することを目的にする。【解決手段】  本発明は、被試験対象を試験するＩＣテスタに改良を加えたものである。本装置は、被試験対象が出力する被測定信号を複数に分離する分離部と、この分離部が分離した信号の時間測定を行う複数の時間測定部とを備えたことを特徴とする装置である。【選択図】      図１
2005061938.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被試験対象を試験するＩＣテスタにおいて、
前記被試験対象が出力する被測定信号を複数に分離する分離部と、
この分離部が分離した信号の時間測定を行う複数の時間測定部と
を備えたことを特徴とするＩＣテスタ。
【請求項２】
分離部は、
被測定信号をクロックとし、シフトしたデータを複数の時間測定部に与えるシフトレジスタを設けたことを特徴とする請求項１記載のＩＣテスタ。
【請求項３】
被試験対象の出力を選択し、分離部に出力する選択部を設けたことを特徴とする請求項１または２記載のＩＣテスタ。
【請求項４】
分離部は、選択部の出力を通過させ、時間測定部に与えることを特徴とする請求項３記載のＩＣテスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被試験対象の試験を行うＩＣテスタに関し、時間測定部を高速にすることなく、サンプリングレートを向上させるＩＣテスタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣテスタは、被試験対象（以下ＤＵＴと略す）に試験信号（デジタル信号、アナログ信号）を与え、ＤＵＴの出力（デジタル信号）と期待値パターンとを比較し、ＤＵＴの良否の判定を行う。また、ＩＣテスタは、ＤＵＴに試験信号（デジタル信号、アナログ信号）を与え、ＤＵＴの出力（アナログ信号）を測定し、ＤＵＴの良否の判定を行っている。このような試験の中で、ＤＵＴの種類によって、時間測定を行う場合がある。例えば、特許文献１、非特許文献１に記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−１３９８１７号公報
【非特許文献１】発明協会公開技報公技番号２００１−３５３２
【０００４】
以下図４を用いて説明する。図４において、４個のＤＵＴ１は、例えばＩＣ，ＬＳＩ等で、複数のピンが設けられる。マルチプレクサ２は、４個のＤＵＴ１のピンの内、２つのピンを選択する。時間測定部３は、マルチプレクサ２が選択したピンの信号を入力し、周期、周波数、２つ信号間のタイムインターバル測定を行う。
【０００５】
このような装置の動作を説明する。各ＤＵＴ１が出力を行い、マルチプレクサ２が各ＤＵＴ１のピンを選択し、時間測定部３が周期、周波数、２つ信号間のタイムインターバル測定を行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このような装置は、測定間隔（サンプリングレート）が時間測定部３の性能に依存しているため、サンプリングレートを向上させるためには、時間測定部３を高速にする必要がある。しかし、時間測定部３を高速にさせると、回路規模が大きくなり、高価になってしまう。
【０００７】
本発明の目的は、時間測定部を高速にすることなく、サンプリングレートを向上させるＩＣテスタを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
被試験対象を試験するＩＣテスタにおいて、
前記被試験対象が出力する被測定信号を複数に分離する分離部と、
この分離部が分離した信号の時間測定を行う複数の時間測定部と
を備えたことを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、
分離部は、
被測定信号をクロックとし、シフトしたデータを複数の時間測定部に与えるシフトレジスタを設けたことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の発明において、
被試験対象の出力を選択し、分離部に出力する選択部を設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項４記載の発明は、請求項３記載の発明において、
分離部は、選択部の出力を通過させ、時間測定部に与えることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、分離部が被測定信号を分離して、複数の時間測定部に渡すので、時間測定部を高速にすることなく、サンプリングレートを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図４と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【００１４】
図１において、マルチプレクサ４は選択部で、４個のＤＵＴ１のピンを選択し、被測定信号Ａ〜Ｈとして出力する。分離部５は、高速サンプリング測定の場合、マルチプレクサ４の出力を複数に分離する。そして、分離部５は、高速サンプリング測定以外の場合、マルチプレクサ４の出力を通過させる。時間測定部６１〜６４は、Ａ，Ｂチャンネルを有し、分離部５の出力を時間測定、周期、周波数、２つの信号間のタイムインターバル測定を行う。
【００１５】
次に、分離部５の具体的構成を図２を用いて説明する。ここで、１つの被測定信号Ａを分離する構成を示す。すなわち、タイムインターバル測定を行う場合、同じ構成がもう１つ必要である。
【００１６】
図２において、Ｄフリップフロップ５１は、Ｄ端子をハイレベルに接続し、クロック端子に、図示しない制御部から測定開始信号が入力され、リセット端子に被測定信号Ａが入力される。ＯＲゲート５２は、一方の入力端にＤフリップフロップ５１の出力が入力される。Ｄフリップフロップ５３は、Ｄ端子をＯＲゲート５２の出力端に接続し、クロック端子に被測定信号Ａが入力され、時間測定部６１のＡチャンネルに出力する。Ｄフリップフロップ５４は、Ｄ端子にＤフリップフロップ５３の出力が入力され、クロック端子に被測定信号Ａが入力され、時間測定部６２のＡチャンネルに出力する。Ｄフリップフロップ５５は、Ｄ端子にＤフリップフロップ５４の出力が入力され、クロック端子に被測定信号Ａが入力され、時間測定部６３のＡチャンネルに出力する。Ｄフリップフロップ５６は、Ｄ端子にＤフリップフロップ５５の出力が入力され、クロック端子に被測定信号Ａが入力され、時間測定部６４のＡチャンネル、ＯＲゲート５２の他方の入力端に出力する。ここで、Ｄフリップフロップ５３〜５６はシフトレジスタを構成し、測定開始前に、図示しない制御部にリセットされることはいうまでもない。
【００１７】
このような装置は、並列測定モード、高速サンプリング測定モード、３信号測定モードを切り替えて測定を行っている。各モードに分けて以下に説明する。
【００１８】
（１）並列測定モード
マルチプレクサ４がＤＵＴ１の出力から８つの被測定信号を選択する。この被測定信号を、分離部５はそのまま通過させ、時間測定部６１〜６４に出力する。そして、時間測定部６１〜６４は時間測定を行う。
【００１９】
（２）高速サンプリング測定モード
高速サンプリング測定モードについて、図３を用いて説明する。（ａ）は測定開始信号、（ｂ）は被測定信号Ａ、（ｃ）は被測定信号Ｂである。
【００２０】
マルチプレクサ４がＤＵＴ１の出力から２つの被測定信号を選び、被測定信号Ａ，Ｂとして出力する。測定開始信号をＤフリップフロップ５１は入力し、ハイレベルを出力する。このハイレベルを入力して、ＯＲゲート５２はハイレベルを出力する。
【００２１】
ｔ１時点で、被測定信号Ａが立ち上がり、Ｄフリップフロップ５３は、ＯＲゲート５２の出力がハイレベルなので、出力をハイレベルにする。また、Ｄフリップフロップ５１が被測定信号Ａによりクリアされ、Ｄフリップフロップ５１の出力はロウレベルとなる。この結果、ＯＲゲート５２の出力は、ロウレベルとなる。
【００２２】
ｔ２時点で、被測定信号Ａが立ち上がり、Ｄフリップフロップ５４は、Ｄフリップフロップ５３の出力がハイレベルなので、出力をハイレベルにする。また、Ｄフリップフロップ５３は、ＯＲゲート５２の出力がロウレベルなので、出力をロウレベルにする。
【００２３】
ｔ３時点で、被測定信号Ａが立ち上がり、Ｄフリップフロップ５５は、Ｄフリップフロップ５４の出力がハイレベルなので、出力をハイレベルにする。また、Ｄフリップフロップ５４は、Ｄフリップフロップ５３の出力がロウレベルなので、出力をロウレベルにする。
【００２４】
ｔ４時点で、被測定信号Ａが立ち上がり、Ｄフリップフロップ５６は、Ｄフリップフロップ５５の出力がハイレベルなので、出力をハイレベルにする。この結果、ＯＲゲート５２はハイレベルになる。また、Ｄフリップフロップ５５は、Ｄフリップフロップ５４の出力がロウレベルなので、出力をロウレベルにする。このような動作を繰り返す。
【００２５】
この結果、時間測定部６１〜６４のＡチャンネルに、被測定信号Ａの分離した信号が順に入力される。
【００２６】
同様に、被測定信号Ｂに対しても同じような動作が行われ、時間測定部６１〜６４のＢチャンネルに被測定信号Ｂが分離され、入力される。この結果、時間測定部６１〜６４は、それぞれ、被測定信号Ａ，Ｂ間の時間差Ｔ１〜Ｔ４を測定する。また、時間測定部６１〜６４には、４倍の周期を求めることができるので、１／４にすれば、被測定信号Ａの周期、周波数を求めることができる。
【００２７】
このように、分離部５が被測定信号Ａ，Ｂを分離して、時間測定部６１〜６４に渡すので、被測定信号Ａの周期Ｔの４倍以下のサンプリングレートで、時間測定部６１〜６４は測定を行うことができる。すなわち、時間測定部６１〜６４を高速にすることなく、サンプリングレートを向上させることができる。
【００２８】
（３）３信号測定モード
マルチプレクサ４が、１つのＤＵＴ１の出力から３つの被測定信号を選択し、被測定信号Ａ〜Ｄとする。ここで、被測定信号Ａ，Ｃは同じ信号を選ぶ。この被測定信号Ａ〜Ｄを、分離部５はそのまま通過させ、時間測定部６１，６２に出力する。そして、時間測定部６１，６２は、それぞれ被測定信号Ａ，Ｂ間、被測定信号Ｃ，Ｄ間の時間測定を行う。
【００２９】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、並列測定モードと高速サンプリングモードとを組み合わせた構成でもよい。例えば、２個のＤＵＴ１の測定時に、１ＤＵＴあたり、時間測定部６１〜６４を２個交互に使用する。この場合、Ｄフリップフロップ５５，５６が不要となり、Ｄフリップフロップ５４の出力がＯＲゲート５２の他方の入力端に入力される。
【００３０】
また、高速サンプリングモードと３信号測定モードとを組み合わせた構成でもよい。この場合、図２に示す具体的構成を被測定信号Ｃ，Ｄ用に設け、時間測定部を新たに４つ追加することにより実現できる。
【００３１】
また、Ｄフリップフロップ５１、ＯＲゲート５２を設けた構成を示したが、２番目の被測定信号Ａの立ち上がりまでに、測定開始信号を立ち下がらせる構成ならば、Ｄフリップフロップ５１，ＯＲゲート５２がない構成でもよい。
【００３２】
そして、時間測定部６１〜６４の数は制限されるものではなく、２以上であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図２】分離部５の具体的構成を示した図である。
【図３】分離部５の動作を示したタイミングチャートである。
【図４】従来の時間測定装置の構成を示した図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  被試験対象
４  マルチプレクサ
５  分離部
５１，５３〜５６  Ｄフリップフロップ
５２  ＯＲゲート
６１〜６４  時間測定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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