(57)【要約】【課題】  半導体デバイスを搬送ヘッドからキャリアテープへ安定した挿入を行い、不良品の発生に対しては修正または交換を容易に行える構造にすることによって収納効率を高める。【解決手段】  半導体デバイスの収納を、キャリアテープ収納部を減圧することで確実にし、さらに半導体デバイスをキャリアテープ収納部に挿入した後、キャリアテープを移動させることなく、その位置で半導体デバイスの外観検査および収納姿勢検査を行い、検査不良が発生しても、迅速に修正や交換を行い、収納効率を高める。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
収納部に半導体デバイスを挿入する手段と、該収納部を移動させることなく、挿入された前記半導体デバイスの外観および収納姿勢を検査する手段と、前記収納部を振動させる手段と、前記収納部上面を移動式カバーで覆う手段と、前記収納部を移動し、蓋部形成部で蓋部を形成する手段とを備え、
前記半導体デバイスを前記収納部に挿入した後、前記半導体デバイスの外観検査および収納姿勢検査を行い、外観検査結果が不良の場合、前記半導体デバイスを収納部から取出し、収納姿勢検査が不良の場合、正常な収納姿勢とするため前記収納部を振動させ、収納姿勢が正常状態とならない場合、前記半導体デバイスを前記収納部から取出し、外観検査、収納姿勢検査ともに良の場合、前記収納部上面を前記移動式カバーで覆った後、前記蓋部形成部へ前記収納部を移動させ、前記収納部上面に前記蓋部を形成することを特徴とする半導体デバイス収納装置。
【請求項２】
前記収納部を振動させる手段として、圧電素子を用い、該圧電素子に供給する電圧によって振動の大きさを可変とすることを特徴とする請求項１記載の半導体デバイス収納装置。
【請求項３】
前記半導体デバイスを前記収納部に挿入する際、あるいは前記収納部を移動させる際、前記収納部底面に開けられた穴を通して、前記半導体デバイスを吸引する手段を設けたことを特徴とする請求項１または２いずれか記載の半導体デバイス収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスをキャリアテープあるいは収納容器に自動的に収納する半導体デバイス収納装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は、従来のこの種の装置の一例であって、半導体デバイスをキャリアテープに収納する装置の概略を示したものである。半導体デバイス８は、搬送ヘッド１でキャリアテープ収納部４上の所定位置まで運ばれ、キャリアテープ収納部４へ挿入される。挿入後、キャリアテープはスプロケットで搬送されるが、キャリアテープ上面カバー７によって半導体デバイス８が搬送時の振動による飛び出しを防止している。半導体デバイス８の検査は、挿入時にキャリアテープ上面を横からセンサーで確認することによりキャリアテープ収納部４から飛び出していないことを確認するとともに、図に示すように、キャリアテープを移動させた後、画像検査用カメラ２を用いて上部より検査する。ここでは、半導体デバイス８のボイド、欠け、マーク、文字、リード曲がりなどの外観の他、挿入姿勢を検査する。検査の結果、不良と判定された半導体デバイス８は不良品排出部において除去され、良品はキャリアテープ上にカバーテープをかぶせ、両側端を熱圧着してシールドすることによりテーピング工程は完了する。
【０００３】
また、半導体デバイスをキャリアテープ内に収納する方法に関しては、特開平１１−１７１１２５号公報が以下の技術を開示している。すなわち、半導体デバイスの外観検査を画像処理によって自動的に行い、半導体デバイスをキャリアテープ内に挿入する前後に、第１検査手段と第２検査手段を設け不良品を確実に除去するものである。この従来例では、第２の検査手段は半導体デバイスをテープ内に挿入した後で行われる画像検査であり、発見された不良品は除去されるが、この段階で修正または新品と交換する工程は設けられていない。なお、最後のキャリアテープをシールドする工程で、シールド状態を検査する第３の検査手段を設けており、ここではシールド状態を修正することができる構成となっている。
【特許文献１】特開平１１−１７１１２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以上説明したように、従来の装置においては、収納容器に収納された半導体デバイスの外観検査あるいは収納姿勢検査は、半導体デバイス挿入工程よりも後に設定されており、キャリアテープに収納された半導体デバイスの検査結果が不良と判定された場合、不良品はピックアップして除去されるが、修正または交換することは工程を後戻りさせるか、収納設備を二重に持つ必要があり、生産経済性の点から好ましくないという問題点がある。
【０００５】
また、キャリアテープに収納された半導体デバイスはスプロケットで搬送されるが、搬送時の振動で半導体デバイスがキャリアテープ収納部から飛び出し、キャリアテープ上面カバーと接触してキャリアテープの破損、カバーテープシールド位置ズレ、シール剥がれなどの不具合が発生してしまう。また、半導体デバイスはキャリアテープ上の所定位置で搬送ヘッドからキャリアテープ収納部へ挿入されるが、その際の真空破壊の強さによっては良好な状態で挿入できないという問題もある。
【０００６】
本発明は上記問題点を解消し、半導体デバイスを搬送ヘッドからキャリアテープへ安定に挿入でき、不良品の発生に対しては修正、あるいは再挿入を容易に行うことができる半導体デバイス収納装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため本願請求項１記載の発明は、収納部に半導体デバイスを挿入する手段と、該収納部を移動させることなく、挿入された半導体デバイスの外観および収納姿勢を検査する手段と、前記収納部を振動させる手段と、前記収納部上面を移動式カバーで覆う手段と、前記収納部を移動し、蓋部形成部で蓋部を形成する手段とを備え、前記半導体デバイスを前記収納部に挿入した後、前記半導体デバイスの外観検査および収納姿勢検査を行い、外観検査結果が不良の場合、前記半導体デバイスを収納部から取出し、収納姿勢検査が不良の場合、正常な収納姿勢とするため前記収納部を振動させ、収納姿勢が正常状態とならない場合、前記半導体デバイスを前記収納部から取出し、外観検査、収納姿勢検査ともに良の場合、前記収納部上面を前記移動式カバーで覆った後、前記蓋部形成部へ前記収納部を移動させ、前記収納部上面に前記蓋部を形成することを特徴とする。
【０００８】
また請求項２記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記収納部を振動させる手段として、圧電素子を用い、該圧電素子に供給する電圧によって振動の大きさを可変とすることを特徴とする。
【０００９】
さらに請求項３に記載の発明は、請求項１あるいは２に記載の発明において、前記半導体デバイスを前記収納部に挿入する際、あるいは前記収納部を移動させる際、前記収納部底面に開けられた穴を通して、前記半導体デバイスを吸引する手段を設けたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、収納姿勢や外観不良が発生しても迅速に修正または交換できる構成となっているため、収納効率が高い。また、収納部は挿入後、移動することなく移動式カバーが半導体デバイスを覆うため、収納部が移動する際に発生する振動で半導体デバイスが飛び出すことを防ぐことができ、挿入工程より後に、半導体デバイスの飛び出しを検知するためのセンサーが必要なくなる。さらに、半導体デバイスの挿入時に収納部底面側から吸引する構成を加えることで、確実に収納部に挿入することができる。本発明は、製品収納トレイ等にも応用することができ、波及効果が大きい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。図１は本発明の半導体デバイス収納装置を示す図、図２は本装置の動作をフローチャートで表現したものである。
【００１２】
搬送ヘッド１の先端に吸着された半導体デバイス８はキャリアテープ収納部４上の所定位置まで運ばれ、収納部４へ挿入される。半導体デバイス８の挿入時には、図に示す移動式カバー３はキャリアテープ収納部４上から待避している。半導体デバイス８が挿入されると、搬送ヘッド１が待避し、キャリアテープを移動させることなく、そのままの位置で、画像検査用カメラ２が挿入された半導体デバイス８の上面に移動してくる。画像検査用カメラ２からの画像を取り込み、ボイド、欠けの有無、マーク、文字等の鮮明さ、リード曲がりなどの外観検査を行う。同時に収納姿勢検査を行う。なお、図２のフローチャート上は外観検査と姿勢検査は別工程になっているが検査結果は、実際上ほとんど同時に行われる。
【００１３】
外観検査結果が不良の場合、搬送ヘッド１が不良の半導体デバイス８をキャリアテープ収納部４から取出して除去し、別の半導体デバイス８と交換して挿入する。挿入された半導体デバイス８は、再度検査される。外観検査結果が良で収納姿勢検査が不良の場合、正常な姿勢に修正するため、キャリアテープ収納部４を一定時間振動させる。しかし正常な姿勢に修正されない場合は、搬送ヘッド１が不良の半導体デバイス８をキャリアテープ収納部４から取出し、別の半導体デバイス８を再挿入し、再検査する。外観検査、収納姿勢検査ともに良の場合、移動式カバー３がキャリアテープ収納部４上面に移動して、上面を覆い、図面には表示していないがカバーテープシールド部へキャリアテープを順次移動させる。カバーテープシールド部に到達したキャリアテープは、順次カバーテープでシールドされる。以上の操作を繰返し、半導体デバイスを連続してキャリアテープに収納することができる。
【００１４】
本発明の装置では、半導体デバイスをキャリアテープに挿入した後、外観不良が発見された場合、良品と交換し、収納姿勢不良が発見された場合は一定時間の振動の印加により修正する。修正ができない場合は、再度挿入する。その結果、全ての収納部に半導体デバイスを収納することができることになる。これは、半導体デバイス挿入工程（交換、再挿入工程を含む）、検査工程がキャリアテープを移動させることなく同一の場所で行う構成としているためである。これが、従来例で示したように各工程が異なった場所で、独立の装置で実施される場合と異なる点であり、本発明では半導体デバイスの挿入、検査、修正を効率良く実施することはできる。
【００１５】
半導体デバイスの収納姿勢が不良である場合、図２のフローチャートに示すようにキャリアテープ収納部４に一定時間振動を加えて修正をはかっているが、この手段として図１に示すように、圧電素子６に電圧を与えることで励振させる方法を採ることができる。圧電素子６により発生した振動は、キャリアテープガイド５を経由して半導体デバイスに伝えられ、キャリアテープ収納部４を振動させる。この振動により半導体デバイスは正常な収納姿勢に修正することができる。圧電素子６は厚さを選定することによって広範な周波数に対応でき、印加する電圧を変化させることで振動の大きさを可変とすることができ、所望の振動が与えられるように、印加電圧を制御すればよい。
【００１６】
さらに、半導体デバイス挿入時の安定性確保や、移動式カバー３の移動時に生じる振動で半導体デバイスが浮き上がらないようにするため、図１に示すように配管９を通して、予めキャリアテープ収納部４の底部に開けた穴から半導体デバイス下面に負圧（減圧）をかけることができる。負圧により半導体デバイスは吸引され、キャリアテープ収納部４内で固定される。
【００１７】
なお本発明は、キャリアテープの収納部に半導体デバイスを収納するための装置に限定して適用されるものではなく、通常の収納容器に半導体デバイスを収納する際にも適用することが可能である。収納容器に蓋部を形成する方法も、シールドテープによるシールドに限定されるものでないことはいうまでもない。また、収納姿勢の検査工程をした後に外観検査工程を行うことも可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態を示す模式図である。
【図２】本装置の動作を説明するフローチャートである。
【図３】従来の実施例である収納装置の概略図である。
【符号の説明】
【００１９】
１：搬送ヘッド
２：画像検査用カメラ
３：移動式カバー
４：キャリアテープ収納部
５：キャリアテープガイド 
６：圧電素子
７：キャリアテープ上面カバー
８：半導体デバイス
９：配管
【図１】
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【図２】
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【図３】
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