(57)【要約】  【課題】  全体をシート状に薄肉小型化できるとともに可撓性にも優れ、曲面を呈する部位でも高い測定精度が得られ、しかも、使い捨て使用の実現が容易となるように製作コストの低減が図れるようにする。  【解決手段】  ＩＳＦＥＴセンサチップ３と、折曲げ微小ケース１０の上面にＡｇＣｌ／Ａｇ電極１２が作成され、かつ、折曲げ微小ケース１０裏面の凹部１０ａ内に固定化ＫＣｌゲルシート７が格納されてなるＲＥ電極５とが、フレキシブル基板２上に横並びに実装されているとともに、ＲＥ電極５の液絡部用穴６に対応するフレキシブル基板２部分には多孔質シート７が貼付けられている。  【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサチップの感応部用穴及び接続用パッドを有する領域と参照電極の液絡部用穴及び接続用パッドを有する領域とが横並び形成されているとともに外部接続用コネクタ電極及び配線パターンが形成されているフレキシブル基板の前記横並び領域のうち一方の領域には、イオン感応形電界効果トランジスタからなるセンサチップがその感応部を前記感応部用穴に臨ませて前記接続用パッドに接続させる状態で取付けられているとともに、他方の領域には、前記フレキシブル基板の接続用パッド上面に直接に内部電極を形成し、別途内部液を固相化したシートもしくは内部液を含浸させたシートまたは内部液を収容したケースをフレキシブル基板に接着してなる参照電極が取り付けられ、かつ、前記液絡部用穴に対応するフレキシブル基板部分には多孔質シートが貼付けられていることを特徴とするイオンセンサ。
【請求項２】
センサチップの感応部用穴及び接続用パッドを有する領域と参照電極の液絡部用穴及び接続用パッドを有する領域とが横並び形成されているとともに、外部接続用コネクタ電極及び配線パターンが形成されているフレキシブル基板の前記横並び領域のうち一方の領域には、イオン感応形電界効果トランジスタからなるセンサチップがその感応部を前記穴に臨ませて前記接続用パッドに接続させる状態で取付けられているとともに、他方の領域には、その上面に内部電極を作成した保護シートにより内部液を固相化したシートもしくは内部液を含浸させたシートまたは内部液を充填した容器を被覆させてなる参照電極がその内部電極を前記接続用パッドに接続される状態で取付けられ、かつ、前記液絡部用穴に対応するフレキシブル基板部分には多孔質シートが貼付けられていることを特徴とするイオンセンサ。
【請求項３】
前記センサチップには、前記接続用パッドの他に感応部を挟んで対向する位置にバランス用パッドが設けられ、これら感応部を挟んで対向する接続用及びバランス用パッドを半田バンプすることによりセンサチップがフレキシブル基板に取付けられている請求項１または２に記載のイオンセンサ。
【請求項４】
前記センサチップとフレキシブル基板との隙間には樹脂が注入され、この注入樹脂により前記感応部用穴を除くセンサチップ表面部分が樹脂封止されているとともに、前記センサチップの側面部及び裏面部は樹脂モールドされている請求項１〜３のいずれかに記載のイオンセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば口腔内に差し入れ、歯の表面や皮膚などのｐＨ測定、血液成分の測定等に用いられるイオンセンサに関する。詳しくは、イオン感応形電界効果トランジスタ（以下、ＩＳＦＥＴという）からなるセンサチップと電位基準となる液絡付き参照電極（以下、ＲＥ電極という）とを備えているイオンセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のイオンセンサとして、従来、センサチップの感応部用穴及び参照電極の液絡部用穴を有し、内部に電気配線回路が形成されているフレキシブルプリント基板に、前記各穴に対向する箇所に開口部が形成されている補強板を貼付け等によって一体化し、この補強板の一方の開口部内にＩＳＦＥＴセンサチップをその感応部が前記感応部用穴に臨むように挿入した上、その開口部を絶縁樹脂で封止してシート状イオンセンサを構成し、一方、飽和ＫＣｌ(塩化カリウム)ゲルを充填した微小ケースの内部に金属疑似電極を埋設してなるＲＥ電極用のケースを飽和ＫＣｌゲルが前記液絡部用穴に接するようにシート状イオンセンサに重ね合わせ一体化したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、導電パターンを形成したガラス基板上にＫＣｌ／ＡｇＣｌ／Ａｇ構造の内部電極を作成してなる液絡付きの微小ＲＥ電極と、ＡｇＣｌ電極を形成したガラス基板にイオン感応膜及び電解液を貯溜するための微小容器を形成したシリコン層を貼り合わせてなる微小イオン電極とを硬化性接着剤などを用いて重合接着してなるワンチップＣａ2＋イオンセンサも知られている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特許第３０９６０８７号公報
【非特許文献１】田浦巧、鈴木博章、「ダブルジャンクション型微小参照電極とそのワンチップＣａ2＋イオンセンサへの応用」、電気学会誌Ｅ、Ｖｏｌ．１２１−Ｅ、Ｎｏ．８、２００１、ｐ．４５２−４５７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記した従来のイオンセンサはいずれもＩＳＦＥＴセンサチップとＲＥ電極とが重ね合わせ一体化された立体的な構造であって、シート状に薄肉化、小型化することが難しく、特に、ガラス基板を用いる後者のイオンセンサの場合は可撓性が悪いために、歯の表面や皮膚などのように、平坦でなく複雑な曲面を呈する部位を測定対象とする場合、その部位表面に密着させることができず、それだけ測定精度の低下を招きやすい。また、従来の重ね合わせ構造のイオンセンサは、製作プロセスが複雑で製作コストが高くつくために、使い回しによる感染症などを予防する上で望まれる使い捨て使用の実現が難しいという問題があった。
【０００６】
本発明は上記のような実情に鑑みてなされたもので、その目的は、全体をシート状に薄肉小型化できるとともに可撓性にも優れて、いかなる曲面を呈する部位であっても高い測定精度が得られ、しかも、使い捨て使用の実現が容易となるほどに製作コストの低減が図れるイオンセンサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の請求項１に係るイオンセンサは、センサチップの感応部用穴及び接続用パッドを有する領域と参照電極の液絡部用穴及び接続用パッドを有する領域とが横並び形成されているとともに外部接続用コネクタ電極及び配線パターンが形成されているフレキシブル基板の前記横並び領域のうち一方の領域には、イオン感応形電界効果トランジスタからなるセンサチップがその感応部を前記感応部用穴に臨ませて前記接続用パッドに接続させる状態で取付けられているとともに、他方の領域には、前記フレキシブル基板の接続用パッド上面に直接に内部電極を形成し、別途内部液を固相化したシートもしくは内部液を含浸させたシートまたは内部液を収容したケースをフレキシブル基板に接着してなる参照電極が取り付けられ、かつ、前記液絡部用穴に対応するフレキシブル基板部分には多孔質シートが貼付けられていることを特徴としている。
【０００８】
また、本発明の請求項２に係るイオンセンサは、センサチップの感応部用穴及び接続用パッドを有する領域と参照電極の液絡部用穴及び接続用パッドを有する領域とが横並び形成されているとともに、外部接続用コネクタ電極及び配線パターンが形成されているフレキシブル基板の前記横並び領域のうち一方の領域には、イオン感応形電界効果トランジスタからなるセンサチップがその感応部を前記穴に臨ませて前記接続用パッドに接続させる状態で取付けられているとともに、他方の領域には、その上面に内部電極を作成した保護シートにより内部液を固相化したシートもしくは内部液を含浸させたシートまたは内部液を充填した容器を被覆させてなる参照電極がその内部電極を前記接続用パッドに接続される状態で取付けられ、かつ、前記液絡部用穴に対応するフレキシブル基板部分には多孔質シートが貼付けられていることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
上記のような特徴構成を有する本発明の請求項１及び請求項２に係るイオンセンサは、ＩＳＦＥＴセンサチップとＲＥ電極とが単一のフレキシブル基板上に横並びで一体的に取付けられた構造であるから、従来の重ね合わせ構造のものに比べて、必要な剛性を確保しつつも、全体をシート状に薄肉化、小型化することができるとともに、優れた可撓性も持たせることができる。したがって、歯の表面や皮膚などのように、複雑な曲面を呈する部位を測定対象とする場合でも、その部位表面に密着させて高精度な測定を行うことができる。しかも、横並びにすることにより、ＩＳＦＥＴセンサチップとＲＥ電極との重ね合わせ位置精度等に特別な配慮が不要となり、それだけ製作プロセスの簡略合理化が図れて製作コストを低減することができ、これによって、使い回しによる感染症などを予防する上で望ましい使い捨て使用を容易に実現することができるという効果を奏する。
【００１０】
本発明に係るイオンセンサにおいて、請求項３に記載のように、前記センサチップに、前記接続用パッドの他に感応部を挟んで対向する位置にバランス用パッドを設け、これら感応部を挟んで対向する接続用及びバランス用パッドを半田バンプすることによりセンサチップをフレキシブル基板に取付ける構成を採用することによって、半田バンプ時の力をＩＳＦＥＴセンサチップに均等にかけることが可能となり、補強板等の余分な部材を用いなくてもセンサチップ割れなどの不良事態の発生をなくすることができる。したがって、所定どおりの薄肉化、小型化を確保しつつ、製作歩留りの向上を図ることができる。
【００１１】
また、本発明に係るイオンセンサにおいて、請求項４に記載のように、前記センサチップとフレキシブル基板との隙間に樹脂を注入し、この注入樹脂により感応部用穴を除くセンサチップ表面部分を樹脂封止するとともに、前記センサチップの側面部及び裏面部を例えばエポキシ樹脂等で樹脂モールドする構成を採用することによって、従来から周知のアンダーフィル技術の活用で製作プロセスをより簡略化、効率化することが可能となり、一層のコストダウンを図りながら、ＩＳＦＥＴセンサチップの裏面が唾液等の測定液に浸食されない高性能なイオンセンサの歩留り向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
図１は本発明に係るイオンセンサの第１実施例を示す全体概略斜視図、図２は図１のＡ−Ａ’線断面図であり、この第１実施例のイオンセンサ１は、ポリイミド等の絶縁性フレキシブル基板２の長手方向一端の幅広部２Ａでその幅方向の一端寄り領域には、後述するＩＳＦＥＴセンサチップ３が取付けられているとともに、このセンサチップ３の側面部及び裏面部はエポキシ樹脂等により樹脂モールド４が施されている。
【００１３】
また、前フレキシブル基板２の幅広部２Ａでその幅方向他端寄り領域には、後述するＲＥ電極５が取付けられているとともに、その領域に形成されている液絡部用穴６に対応するフレキシブル基板２の表面部分には、ゼオライト等のセラミック多孔質薄膜やポリイミド多孔質膜で不織布を挟んだもの、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）多孔質膜、あるいは、紫外線照射により部分的に多孔質部分が形成されたポリシランシート（詳細は後述する）やプラズマ重合膜などの有機薄膜を用いた多孔質シート７が貼付けられている。
【００１４】
さらに、前記フレキシブル基板２の長手方向他端の幅狭部２Ｂには、外部接続用コネクタ電極８が形成されているとともに、このコネクタ電極８と前記センサチップ３及びＲＥ電極５とを接続する配線パターン９がフレキシブル基板２の裏面側にプリント形成されている。
【００１５】
前記ＩＳＦＥＴセンサチップ３は、図３に示すように、研磨等により必要な厚さにまで薄くしたシリコンウエハ３ａの中央部にセンシング部となるイオン感応膜部３ｂが形成されており、このイオン感応膜部３ｂを挟んで相対向するシリコンウエハ３ａ部分には配線接続用パッド３ｄ及びバランス用パッド３ｅが設けられている。
【００１６】
一方、前記ＲＥ電極５は、図４に示すように、ＰＥＴシートやポリイミドシート等の折曲げにより裏面に内部液の一例としての固相化ＫＣｌゲルシート１１の厚さ分に相当する深さの凹部１０ａが形成されている微小ケース１０の上面に銀ペースト印刷もしくは銀メッキによりＡｇ極パターン１２ａを形成し、かつ、このＡｇ極パターン１２ａのフレキシブル基板２に対する接触部を除いた部分を塩化処理してＡｇＣｌ膜１２ｂを形成してなるＡｇＣｌ／Ａｇ電極(内部電極の一例)１２を有するとともに、前記折曲げ微小ケース１０裏面の凹部１０ａ内に固体化ＫＣｌゲルシート１１を嵌合し接着保持させることにより構成されている。なお、フレキシブル基板２とＡｇパターン１２ａとの接続部の接触抵抗を低減するために、例えばＣｒ＋Ａｕスパッタや電解メッキ等の金メッキ処理を施してもよい。
【００１７】
なお、内部液としては、前記固相化ＫＣlゲルシート１１に代えて、粉末状のＫＣlを充填したシートや内部液を含浸させたシートあるいは内部液を充填した容器を用い、それを前記微小ケース１０裏面の凹部１０ａ内に嵌合させたものであってもよく、また、シートに含浸させる、あるいは、容器に充填する内部液としては、塩化カリウム(ＫＣｌ)、塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）、塩化アンモニウム（ＮＨ4Ｃｌ）などの塩化物や酢酸リチウム（ＬｉＣＨ3 ＣＯＯＨ）等の電解質、あるいは、エタノールやイソプロピルアルコール等の有機溶媒を使用してもよい。さらに、ＲＥ電極５としては、前記折曲げ微小ケース１０に代えて、前記固相化ＫＣlゲルシート１１や粉末状のＫＣlを充填したシート、前記の内部液を含浸させたシートあるいは内部液を充填した容器を被覆する可撓性保護シートを使用し、この可撓性保護シートの上面にＡｇＣｌ／Ａｇ電極などの内部電極１２を形成させたものであってもよい。
【００１８】
上記のごとき構成のＩＳＦＥＴセンサチップ３及びＲＥ電極５をフレキシブル基板２に取付ける（実装する）ことによって、図１、図２に示すイオンセンサ１が製作されるが、以下、その製作手順について説明する。
図５は、実装前の前記フレキシブル基板２を示し、このフレキシブル基板２の長手方向一端の幅広部２Ａでその幅方向の一端寄り領域には、前記ＩＳＦＥＴセンサチップ３における配線接続用パッド３ｄ及びバランス用パッド３ｅに対応する接続用パッド１３ｄ及びパランス用パッド１３ｅとＩＳＦＥＴセンサチップ３のイオン感応膜部３ｂに対応する感応部用穴１４が形成されている一方、幅方向の他端寄り領域には、前述した液絡部用穴６とＲＥ電極５におけるＡｇＣｌ／Ａｇ電極１２への接続用パッド１５が形成されている。
【００１９】
そして、前記フレキシブル基板２一端の幅広部２Ａでその幅方向の横並び領域のうち、一方の領域に、図６に示すように、ＩＳＦＥＴセンサチップ３をその感応膜部３ｂが前記感応部用穴１４に臨み、また、パッド３ｄ，３ｅと１３ｄ，１３ｅ同士が図７に明示するように、半田バンプ１６，１６を介して接続され、かつ、センサチップ３の側面部及び裏面部がエポキシ樹脂等により樹脂モールド４される状態で取付けるとともに、他方の領域にＲＥ電極５をそのＡｇＣｌ／Ａｇ電極１２のＡｇ極パターン１２ａが接続用パッド１５に確実に接触するように圧接、圧着、スルーホールによるハンダ付け、銀ペーストによる接着、あるいは、折曲げ微小ケース１０全周の熱圧着等の手段により取付けることによって、薄肉シート状のイオンセンサ１を製作する。
【００２０】
なお、前記多孔質シート７の一例として挙げたポリシランシートの一部に多孔質部分を形成する手段について説明すると、図７の（ａ）〜（ｄ）に示すように、ＲＥ電極５の固体化ＫＣＩゲルシート１１にポリシランシート２５を重ねるとともに、このポリシランシート２５の液絡部用穴１４に対応する部分２５ａを除く箇所にレジストシート２６を重ねた上で、このポリシランシート２５に紫外線を照射することで前記液絡部用穴１４に対応する部分２５ａを多孔質に形成し、この多孔質部分２５ａが液絡部用穴１４に臨む状態でＲＥ電極５をフレキシブル基板２に取付ける。このように液絡部となる多孔質部分２５ａを有するポリシランシート２５をＲＥ電極５側に一体化して、その多孔質部分２５ａを多孔質シートとして用いることによって、製作プロセスのより単純化が図れて一層のコストダウンが図れるとともに、ＲＥ電極５に必要な液の消費量を抑制することができる。
【００２１】
以上のように製作されたイオンセンサ１は、ＩＳＦＥＴセンサチップ３とＲＥ電極５とが単一のフレキシブル基板２上に横並びで一体的に取付けられたものであるから、必要な剛性は確保しつつも、全体をシート状に薄肉化、小型化することが可能であるとともに、可撓性にも優れており、したがって、歯の表面や皮膚などのように、複雑な曲面を呈する部位を測定対象とする場合でも、その部位表面にセンサチップ３及びＲＥ電極５を密着させることが可能で口腔内ｐＨなどを高精度に測定することができる。また、横並びにすることにより、両者３，５の重ね合わせ位置精度等に特別な配慮が不要で製作プロセスを簡略合理化して製作コストの低減が図れ、これによって、使い回しによる感染症などを予防する上で望まれる使い捨て使用を容易に実現することができる。
【００２２】
また、図８で示したように、ＩＳＦＥＴセンサチップ３の感応膜部３ｂを挟んで対向する接続用及びバランス用パッド３ｄ，３ｅをフレキシブル基板２側に同様に形成されたパッド１３ｄ，１３ｅに半田バンプ１６，１６を介して接続することにより、半田バンプ時の力をＩＳＦＥＴセンサチップ３に均等にかけることが可能となり、補強板等の余分な部材を用いないで薄肉化、小型化を確保しつつ、センサチップ割れなどの不良事態の発生をなくして製作歩留りの向上を図ることができる。
【００２３】
さらに、前記ＩＳＦＥＴセンサチップ３とフレキシブル基板２の隙間に、図９の（ａ）に示すように、樹脂１７を注入すると、この注入樹脂１７がＩＳＦＥＴセンサチップ３とフレキシブル基板２との間の毛細管現象により感応膜部３ｂを除くセンサチップ表面部分を樹脂封止することができ、その後、更に図９の（ｂ）に示すような樹脂モールド４を施すことによって、従来から周知のアンダーフィル技術の活用で製作プロセスをより簡略化、効率化することが可能となり、一層のコストダウンを図りながら、ＩＳＦＥＴセンサチップ３の裏面が唾液等の測定液に浸食されない高性能なイオンセンサ１の歩留りを一層向上することができる。
【００２４】
図１０は本発明に係るイオンセンサの第２実施例を示す全体平面図であり、この第２実施例のイオンセンサ１は、フレキシブル基板２の長手方向一端の幅広部２ＡにＩＳＦＥＴセンサチップ３とＲＥ電極５とが横並びに取付けられているとともに、長手方向他端側にも幅広部２Ｃを形成し、この幅広部２Ｃに図１１に示すような構成の信号処理用回路部１８及び外部接続用コネクタ電極８を形成したものである。その他の構成は第１実施例と同一であるため、該当する構成要素に同一の符号を付してそれらの説明を省略する。なお、信号処理用回路部１８には、図１０の太実線で外郭を示したような保護カバー１９が装着されている。
【００２５】
図１２及び図１３は本発明に係るイオンセンサの第３実施例を示す全体平面図及び側面図であり、この第３実施例のイオンセンサ１は、フレキシブル基板２の長手方向一端の幅広部２Ａの表面にＩＳＦＥＴセンサチップ３とＲＥ電極５とが横並びに取付けられているとともに、前記幅広部２Ａの裏面にセンサ駆動増幅部２０が取付けられ、かつ、前記フレキシブル基板２の長手方向他端側の表裏面にデジタルペーパー技術や無線タグ技術を応用して、演算処理部２１、測定値表示部２２及び給電・通信アンテナ付きＩＣチップからなる外部インターフェイス回路２３等を組付け、これら各部２１，２２，２３及び２０をフレキシブル基板２への配線パターン９印刷により前記ＩＳＦＥＴセンサチップ３及びＲＥ電極５に電気的に接続し、さらに、前記センサ駆動増幅部２０、演算処理部２１及び外部インターフェイス回路２３等を保護する保護膜２４をフレキシブル基板２の裏面側に被覆形成してなる。なお、前記した各部２０〜２３を全て有機半導体技術を用いてフレキシブル基板２に形成してもよい。
【００２６】
このように構成された第３実施例のイオンセンサ１は、第１実施例のものと同様に、シート状に薄肉化、小型化が図れ、かつ、可撓性にも優れているだけでなく、外部と有線あるいは無線でデータ通信することが可能で、例えばｐＨセンシングシステムやイオン濃度センシングシステムなどにも応用できるといった広汎な適用性を有する。
【００２７】
なお、上記各実施例では、図４に示したように、折曲げ微小ケース１０上面にＡｇＣｌ／Ａｇ電極１２を形成するとともに、折曲げ微小ケース１０裏面の凹部１０ａ内に固体化ＫＣｌゲルシート１１や粉末状のＫＣlを充填したシート、ＫＣl液等の内部液を含浸させたシートあるいはＫＣl液等の内部液を充填した容器を嵌合してなるＲＥ電極５をフレキシブル基板２の幅広部２Ａの他方の領域に取り付けたもので説明したが、請求項２に記載のように、フレキシブル基板２の前記領域上面にＡｇＣｌ／Ａｇ電極１２を直接にパターニングし、別途裏面凹部１０ａ内に固相化ＫＣｌゲルシート１１、粉末状のＫＣlを充填したシート、ＫＣl液等の内部液を含浸させたシートまたはＫＣl液等の内部液を充填した容器を嵌合した折曲げ微小ケース１０をフレキシブル基板２に接着したものであっても、また、前記固相化ＫＣlゲルシート１１や粉末状のＫＣlを充填したシート、ＫＣl液等の内部液を含浸させたシートあるいはＫＣl液等の内部液を充填した容器を被覆した可撓性保護シートをフレキシブル基板２に接着したものであってもよい。
【００２８】
また、上記各実施例では、１つのフレキシブル基板２の幅広部２Ａの幅方向の一端寄り領域及び他端寄り領域にそれぞれ１つのＩＳＦＥＴセンサチップ３及びＲＥ電極５が横並びに取付けられているもので示したが、それら領域に複数個のＩＳＦＥＴセンサチップ３及びＲＥ電極５を取り付けて差動構成のイオンセンサを製作してもよく、この場合も薄肉化、小型化が図れるとともに、優れた可撓性を確保することができる。
【００２９】
さらに、上記各実施例では、ＲＥ電極５における基材シート１０として、ＰＥＴやポリイミド等を用いたが、高アルカリの耐性を持たせるために液晶ポリマー等の材質を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明に係るイオンセンサの第１実施例を示す全体概略斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ’線断面図である。
【図３】イオンセンサにおけるＩＳＦＥＴセンサチップを示す平面図である。
【図４】イオンセンサにおけるＲＥ電極の構成を示す概略斜視図である。
【図５】第１実施例で用いるフレキシブル基板の実装前の構成を示す斜視図である。
【図６】フレキシブル基板にＩＳＦＥＴセンサチップを取付けた状態を示す斜視図である。
【図７】（ａ）〜（ｄ）は多孔質シートに代替するＲＥ電極の液絡部の作製要領を説明する図である。
【図８】ＩＳＦＥＴセンサチップのフレキシブル基板への取付け状態を説明する要部の拡大側面図である。
【図９】（ａ）はアンダーフィル技術によるセンサチップ表面部分の樹脂封止状態、（ｂ）は樹脂モールドの状態を示す要部の拡大側面図である。
【図１０】本発明に係るイオンセンサの第２実施例を示す全体平面図である。
【図１１】第２実施例のイオンセンサにおける信号処理回路の具体構成図である。
【図１２】本発明に係るイオンセンサの第３実施例を示す全体平面図である。
【図１３】第３実施例のイオンセンサの全体側面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  イオンセンサ
２  フレキシブル基板
３  ＩＳＦＥＴセンサチップ
３ｂ  感応膜部
３ｄ  接続用パッド
３ｅ  バランス用パッド
４  樹脂モールド
５  ＲＥ電極
６  液絡部用穴
７  多孔質シート
８  外部接続用コネクタ電極
９  配線パターン
１０  折曲げ微小ケース
１０ａ  凹部
１１  固体化ＫＣｌゲルシート
１２  ＡｇＣｌ／Ａｇ電極(内部電極の一例)
１４  感応部用穴
１５  接続用パッド
１６  半田バンプ
１７  注入樹脂
２５  ポリシランシート
２５ａ  多孔質部分（液絡部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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