(57)【要約】【課題】塗工装置の塗工ノズルが基材へ塗工を行っていないときに、塗工ノズルから吐出される塗工液を除去できる塗工ノズル清浄装置を提供する。【解決手段】  塗工装置１０の塗工ノズルが基材Ｗへ塗工を行っていないときに塗工ノズル１４から吐出される塗工液を除去するものであり、除去ローラ５２を回転させて吐出口１８から吐出された塗工液を除去ローラ５２の表面に付着させ、この付着した塗工液をバキュームドクター装置６４によって掻き取って吸引するものである。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗工装置の塗工ノズルが対象物へ塗工を行っていないときに、前記塗工ノズルから吐出される塗工液を清浄する塗工ノズル清浄装置であって、
除去ローラが前記塗工ノズルの吐出口の近傍に配され、
前記除去ローラの表面に付着した塗工液を取り除く取り除き手段が配され、
前記除去ローラを回転させて前記吐出口から吐出された塗工液を前記除去ローラの表面に付着させ、前記付着した塗工液を前記取り除き手段によって取り除く
ことを特徴とする塗工ノズル清浄装置。
【請求項２】
前記除去ローラの表面に付着した塗工液に洗浄液を噴射する噴射手段が設けられ、
前記除去ローラの付着した塗工液に洗浄液を前記噴射手段で噴射した後に前記取り除き手段によって塗工液を取り除く
ことを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置。
【請求項３】
前記取り除き手段は、
前記除去ローラの表面に接触して、前記除去ローラの表面に付着した塗工液を掻き取るドクターブレードと、
前記ドクターブレードによって掻き取られた塗工液を吸引する吸引手段とを有する
ことを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置。
【請求項４】
前記除去ローラの表面を洗浄する洗浄手段が、前記取り除き手段の次に設けられ、
前記洗浄手段は、
前記除去ローラの表面を覆うチャンバーと、
前記チャンバー内に洗浄液を送る洗浄液送出手段と、
前記チャンバー内にあって前記除去ローラの表面に付着した洗浄液を掻き取るドクターブレードと、
前記ドクターブレードによって掻き取られた塗工液を吸引する洗浄液吸引手段とを有する
ことを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置。
【請求項５】
前記除去ローラは、前記塗工ノズルの吐出口の上方に配されている
ことを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置。
【請求項６】
前記除去ローラは、前記塗工ノズルの吐出口の下方に配されている
ことを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置。
【請求項７】
前記塗工ノズルは毛管状隙間を有し、前記毛管状隙間の端部が吐出口であり、
毛細管現象によって塗工液を前記対象物に塗工する
ことを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置。
【請求項８】
塗工装置の塗工ノズルが対象物へ塗工を行っていないときに、前記塗工ノズルから吐出される塗工液を除去する塗工ノズル清浄装置であって、
除去ローラが前記塗工ノズルの吐出口の近傍に配され、
前記除去ローラによって拭き取りウエブを走行させ、前記吐出口から吐出された塗工液を前記拭き取りウエブに付着させる
ことを特徴とする塗工ノズル清浄装置。
【請求項９】
塗工装置の塗工ノズルが対象物へ塗工を行っていないときに、前記塗工ノズルから吐出される塗工液を除去する塗工ノズル清浄装置であって、
複数の案内ローラによって拭き取りウエブを前記塗工ノズルの吐出口の近傍に走行させ、前記吐出口から吐出された塗工液を前記拭き取りウエブに付着させる
ことを特徴とする塗工ノズル清浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗工装置の塗工ノズルが対象物へ塗工を行っていないときに、塗工ノズルから吐出される塗工液を除去する塗工ノズル清浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本出願人は、先に毛管現象を利用して塗工液を基材に薄く塗工できる塗工装置を提供した（特許文献１）。
【０００３】
この塗工装置は、基材を塗工ノズルに対し移動させながら、塗工タンクから塗工ノズルの毛管状隙間に塗工液を供給し、塗工タンクの塗工液の高さを調整することによって、吐出口から塗工液を基材の下面に接液させ、所定位置まで塗工が終了すると、塗工タンクを下げて離液を行うものである。
【特許文献１】特開２００３−１１７１公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記構成の塗工装置において、塗工作業の待機時間においては、塗工ノズルは基材に塗工を行っていないため、吐出口は大気に開放された状態となっている。そのため、この吐出口の付近に塗工液が乾燥あるいはゲル化して塗工液が付着し、その後塗工作業を行うと基材の塗工面に縦筋が生じたり、異物の付着を招き、製品の品質を劣化させるという問題点がある。
【０００５】
そのため、従来は塗工作業を行う前に人の手によって塗工ノズルの付近に付着した塗工液をウエスなどで拭き取り、吐出口の周りを洗浄している。
【０００６】
しかしながら、このような塗工作業を行う前に人手によって洗浄作業を行うことは煩雑であり、また、生産効率も低下するという問題点があった。
【０００７】
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、塗工装置の塗工ノズルが基材へ塗工を行っていないときに、塗工ノズルから吐出される塗工液を除去できる塗工ノズル清浄装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に係る発明は、塗工装置の塗工ノズルが対象物へ塗工を行っていないときに、前記塗工ノズルから吐出される塗工液を除去する塗工ノズル清浄装置であって、除去ローラが前記塗工ノズルの吐出口の近傍に配され、前記除去ローラの表面に付着した塗工液を取り除く取り除き手段が配され、前記除去ローラを回転させて前記吐出口から吐出された塗工液を前記除去ローラの表面に付着させ、前記付着した塗工液を前記取り除き手段によって取り除くことを特徴とする塗工ノズル清浄装置である。
【０００９】
請求項２に係る発明は、前記除去ローラの表面に付着した塗工液に洗浄液を噴射する噴射手段が設けられ、前記除去ローラの付着した塗工液に洗浄液を前記噴射手段で噴射した後に前記取り除き手段によって塗工液を取り除くことを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置である。
【００１０】
請求項３に係る発明は、前記取り除き手段は、前記除去ローラの表面に接触して、前記除去ローラの表面に付着した塗工液を掻き取るドクターブレードと、前記ドクターブレードによって掻き取られた塗工液を吸引する吸引手段とを有することを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置である。
【００１１】
請求項４に係る発明は、前記除去ローラの表面を洗浄する洗浄手段が、前記取り除き手段の次に設けられ、前記洗浄手段は、前記除去ローラの表面を覆うチャンバーと、前記チャンバー内に洗浄液を送る洗浄液送出手段と、前記チャンバー内にあって前記除去ローラの表面に付着した洗浄液を掻き取るドクターブレードと、前記ドクターブレードによって掻き取られた塗工液を吸引する洗浄液吸引手段とを有することを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置である。
【００１２】
請求項５に係る発明は、前記除去ローラは、前記塗工ノズルの吐出口の上方に配されていることを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置である。
【００１３】
請求項６に係る発明は、前記除去ローラは、前記塗工ノズルの吐出口の下方に配されていることを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置である。
【００１４】
請求項７に係る発明は、前記塗工ノズルは毛管状隙間を有し、前記毛管状隙間の端部が吐出口であり、毛細管現象によって塗工液を前記対象物に塗工することを特徴とする請求項１記載の塗工ノズル清浄装置である。
【００１５】
請求項８に係る発明は、塗工装置の塗工ノズルが対象物へ塗工を行っていないときに、前記塗工ノズルから吐出される塗工液を除去する塗工ノズル清浄装置であって、除去ローラが前記塗工ノズルの吐出口の近傍に配され、前記除去ローラによって拭き取りウエブを走行させ、前記吐出口から吐出された塗工液を前記拭き取りウエブに付着させることを特徴とする塗工ノズル清浄装置である。
【００１６】
請求項９に係る発明は、塗工装置の塗工ノズルが対象物へ塗工を行っていないときに、前記塗工ノズルから吐出される塗工液を除去する塗工ノズル清浄装置であって、複数の案内ローラによって拭き取りウエブを前記塗工ノズルの吐出口の近傍に走行させ、前記吐出口から吐出された塗工液を前記拭き取りウエブに付着させることを特徴とする塗工ノズル清浄装置である。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に係る発明の塗工ノズル清浄装置について説明する。
【００１８】
塗工装置の塗工ノズルが対象物へ塗工を行っていないときに、除去ローラを回転させて吐出口から吐出された塗工液を除去ローラの表面に付着させ、付着した塗工液を取り除き手段によって取り除く。これによって、塗工ノズルから吐出される塗工液を除去でき、吐出口の周りを洗浄することができる。また、取り除き手段によって除去ローラの表面も洗浄されるため、除去ローラの表面に付着した塗工液が１回転して再び塗工ノズルの吐出口に付着したりすることがない。
【００１９】
請求項２に係る塗工ノズル清浄装置について説明する。
【００２０】
塗工ノズルの吐出口から除去ローラの表面に付着した塗工液に噴射手段が洗浄液を噴射し、その後取り除き手段によってこの洗浄液が噴射された塗工液を取り除く。そのため、取り除き手段によって塗工液を確実に取り除くことができる。  請求項３に係る発明の塗工ノズル清浄装置について説明する。
【００２１】
取り除き手段が、ドクターブレードと、ドクターブレードによって掻き取られた塗工液を吸引する吸引手段とよりなり、除去ローラの表面にドクターブレードが接触してその表面に付着している塗工液を掻き取り、掻き取られた塗工液を吸引手段が吸引することにより、塗工液を確実に掻き取ることができると共に、連続して塗工液を掻き取ることができる。
【００２２】
請求項４に係る発明の塗工ノズル清浄装置について説明する。
【００２３】
取り除き手段の次に除去ローラの表面を洗浄する洗浄手段を設け、この洗浄手段がチャンバー内部に洗浄液を送り、この除去ローラ表面に付着している洗浄液及び塗工液をドクターブレードによって掻き取って吸引することによってより確実に除去ローラの表面を洗浄することができる。
【００２４】
請求項５に係る発明の塗工ノズル清浄装置であると、除去ローラを塗工ノズルの吐出口の上方に配することにより、塗工ノズルの吐出口の上端部から吐出された塗工液を確実に除去することができる。
【００２５】
請求項６に係る発明の塗工ノズル清浄装置であると、除去ローラが塗工ノズルの吐出口の下方に配されることにより、塗工ノズルの吐出口の下端から吐出される塗工液を確実に除去することができる。
【００２６】
請求項７に係る発明の塗工ノズル清浄装置においては、塗工ノズルから毛細管現象によって塗工液が吐出されるため、この毛細管現象によって吐出した塗工液を除去ローラによって確実に除去することができる。
【００２７】
請求項８に係る発明の塗工ノズル清浄装置について説明する。
【００２８】
塗工装置の塗工ノズルが対象物へ塗工を行っていないときに、除去ローラを塗工ノズルの吐出口の近傍に配し、除去ローラによって拭き取りウエブを走行させ、吐出口から吐出された塗工液を前記拭き取りウエブに付着させる。これによって、吐出口付近の塗工液を確実に除去することができる。
【００２９】
請求項９に係る発明の塗工ノズル清浄装置について説明する。
【００３０】
塗工装置の塗工ノズルが対象物へ塗工を行っていないときに、複数の案内ローラによって拭き取りウエブを塗工ノズルの吐出口の近傍に走行させ、吐出口から吐出された塗工液を拭き取りウエブに付着させる。これによって確実に吐出口付近の塗工液を除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態の塗工装置１０と塗工ノズル清浄装置５０について図１及び図２に基づいて説明する。
【００３２】
本実施形態の塗工装置１０は、板状の基材Ｗに塗工液を塗工するものである。例えば、液晶表示装置の製造工程において、ガラス板の表面にフォトレジストや反射防止層や保護膜を形成するためのものであり、その塗工厚さはドライ状態で０．０１μｍ〜１０μｍである。なお、これは例示であり、液晶セルのガラス板に限らず、板状の基材Ｗであれば塗工可能であり、また、塗工液の種類も限定されない。
【００３３】
塗工ノズル清浄装置５０は、塗工装置１０が基材Ｗに対し塗工を行っていないとき、即ち、待機時間において、吐出される塗工液を除去するものである。
【００３４】
（１）塗工装置１０の構成
図２は、塗工装置１０の構成図である。
【００３５】
ガラス板等の板状である基材Ｗは、下面に複数の吸引口を有したサクションテーブルに吸引された状態で支持されたものであり、このサクションテーブル１２は、モータ１３によって前後方向（図２においては、右側から左側）に移動可能となっている。
【００３６】
サクションテーブル１２の下方には、基材Ｗの下面に塗工液を塗工するための塗工ノズル１４が配されている。この塗工ノズル１４は、上部がくちばし状に尖った形状をなし、左右方向に沿って毛管状隙間１６が設けられ、この毛管状隙間１６の上端部が塗工液の吐出口１８となっている。また、毛管状隙間１６の下端部には、供給された塗工液を左右方向に均等に配分する空間である液溜め部１９が設けられている。
【００３７】
塗工ノズル１４は、その下方に配されたエアシリンダまたはモータよりなる上下動装置２０によって上下動可能となっている（図２における点線の状態から実線の状態）。
【００３８】
塗工ノズル１４の外部には、塗工液を供給するための塗工タンク２２が設けられている。すなわち、塗工ノズル１４の壁に固定された支持部２４には垂直方向にネジ棒２６が回転自在に配され、このネジ棒２６にラック２８が設けられている。このラック２８に前記した塗工タンク２２が取り付けられている。ネジ棒２６は減速機付きのモータ３０によって回動自在であり、モータ３０を回動させるとネジ棒２６は回転し、それと共にラック２８、すなわち、塗工タンク２２が塗工ノズル１４に対し上下動する。また、支持部２４は塗工ノズル１４に固定されているため、塗工ノズル１４が上下動装置２０によって上下動するとそれと共に塗工タンク２２も上下動する。
【００３９】
塗工タンク２２は、塗工液が貯留されており、その上部が開口し、大気に開放された状態となっている。
【００４０】
塗工タンク２２の底面から、塗工ノズル１４の側面に向かって塗工液を供給するための供給パイプ３４が設けられている。この供給パイプ３４から供給された塗工液は液溜め部１９に至る。
【００４１】
支持部２４の上部から非接触式（例えば、光学式）の液面センサ３２が突出している。この液面センサ３２は、塗工タンク２２に溜まっている塗工液の液面高さを検出する。
【００４２】
塗工タンク２２に塗工液を供給するための補充タンク３６が設けられている。この補充タンク３６から塗工タンク２２の上部に向かって補充パイプ３８が延びている。補充パイプ３８には、不図示のフィルターと電磁弁３９が設けられている。また、補充タンク３６は密閉式であり、コンプレッサなどの圧送装置４０から送られてくるイナートガス（例えば、不活性ガス、窒素ガス（Ｎ２  ））により塗工液を補充パイプ３８へ供給する。そして、電磁弁３９を操作することにより、一定量の塗工液を塗工タンク２２に供給する。ここで、不活性ガスを送るのは防爆のためであるが、防爆を目的としない場合は、空気などのその他の気体でもよい。
【００４３】
この塗工装置１０を制御するためにマイクロコンピュータよりなる制御部４２が設けられている。この制御部４２には、サクションテーブル１２の移動を行うモータ１３、上下動装置２０、塗工タンク２２を上下動させるモータ３０、液面センサ３２、電磁弁３９、圧送装置４０が接続されている。
【００４４】
制御部４２は、液面センサ３２によって塗工液の液面高さを検出して、その検出したデータに基づいてモータ３０を駆動させて塗工タンク２２を上下動させ、そして、塗工タンク２２内の液面高さを所定の設定値になるようにフィードバック制御する。
【００４５】
また、塗工によって塗工液が少なくなり、液面センサ３２によって検出した液面高さが基準値より低くなった場合には、制御部４２は、圧送装置４０を作動させてイナートガスによって圧力をかけ、補充タンク３６から補充パイプ３８を介して塗工液を送り、電磁弁３９を操作することにより所定量補充して、常に塗工タンク２２内部には、基準値以上の塗工液を貯留させる。
【００４６】
（２）塗工ノズル清浄装置５０の構成
図１は、塗工ノズル清浄装置５０の説明図である。以下、この図面に基づいて塗工ノズル清浄装置５０の構成について説明する。
【００４７】
上記で説明した塗工装置１０が塗工を行っていない待機時間において、塗工ノズル１４の上方に除去ローラ５２が移動する。この移動の構成については後から説明する。
【００４８】
除去ローラ５２は回転モータ５４によって一定速度で走行できる。また、この除去ローラ５２の軸方向の長さは、塗工ノズル１４の幅方向と略同じ長さであり、少なくとも、吐出口１８よりも長い寸法となっている。
【００４９】
除去ローラ５２の上方には、スプレー装置５６が設けられている。このスプレー装置５６は、除去ローラ５２の軸方向全てに洗浄液を噴射するものであり、洗浄液タンク５８からポンプ６０を介して噴射される。また、この噴射のタイミングは、電磁弁６２によって制御する。この洗浄液としては、ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）、または、ＫＯＨ（水酸化カリウム）が挙げられる。
【００５０】
除去ローラ５２の上方であって、上記で説明したスプレー装置５６よりも更に後方には、バキュームドクター装置６４が設けられている。このバキュームドクター装置６４は、除去ローラ５２の軸方向に対して全てに渡って設けられており、ドクターブレード６６によって掻き取られた塗工液を、吸引タンク６８へバキューム装置７０によって吸引する。
【００５１】
上記で説明したポンプ６０、電磁弁６２、バキューム装置７０は、制御部４２に接続され、この制御部４２によって制御される。
【００５２】
次に、図３に基づいて、除去装置５０と塗工装置１０との関係について説明する。
【００５３】
サクションテーブル１２は、１８０°回転可能となっており、上面に基材Ｗを吸着した後に１８０°回転して基材Ｗが下面に配される。塗工を行う際には、塗工と共にサクションテーブル１２は水平方向に移動する。
【００５４】
除去ローラ５２は、サクションテーブル１２と一体となっており、サクションテーブル１２の移動と共に塗工ノズル１４に対し相対的に移動する。スプレー装置５６及びバキュームドクター装置６４も同時に除去ローラ５２と共に移動する。
【００５５】
（３）塗工工程及び待機工程
上記で説明した塗工装置１０及び塗工ノズル清浄装置５０の塗工工程及び待機工程について図３に基づいて説明する。
【００５６】
（３−１）第１工程
第１工程は、待機工程であり、この状態では、塗工ノズル１４から塗工液が吐出された状態となっているため、除去ローラ５２に塗工液を付着させて吐出口１８付近に塗工液が付着しないようにしている。この除去作業については後から詳しく説明する。また、サクションテーブル１２の上面に基材Ｗを載置し吸着させる。
【００５７】
（３−２）第２工程
第２工程においては、サクションテーブル１２を１８０°回転させ、基材Ｗをサクションテーブル１２の下方に配する。塗工ノズル１４を所定の高さに下降させる・
（３−３）第３工程
第３工程においては、サクションテーブル１２を移動させ、塗工ノズル１４を塗工開始位置に移動させる。
【００５８】
塗工ノズル１４を上下動装置２０によって所定の高さから上昇させ、吐出口１８を塗工開始位置における基材Ｗの下面の近傍に停止させる。
【００５９】
この場合に、塗工ノズル１４と共に塗工タンク２２も上昇するが、その上昇分に加えて、モータ３０を用いて塗工タンク２２に収納されている塗工液の液面高さを、塗工ノズル１４の毛管状隙間１６における上端部の位置（すなわち、吐出口の位置）になるように設定する。この設定には、図２に示すように、毛管状隙間１６の液高さが、ｈ１だけ塗工タンク２２に収納された液高さよりも高くなることを考慮する。このｈ１の高低差がある理由は、毛管状隙間１６では毛細管現象によって塗工ノズル１４の上端まで塗工液が上昇するからである。以下、この塗工タンク２２内の液高さを「待機高さ設定値」という。
【００６０】
図３（３）に示すように、液面センサ３２で検知しながら塗工タンク２２をモータ３０によって塗工ノズル１４に対し上昇させ、塗工タンク２２内の液面高さを待機高さ設定値よりも上昇させて、吐出口１８から塗工液が基材Ｗの下面に接液させる。以下、この塗工タンク２２内の液面高さを「接液高さ設定値」という。これによって、接液を速く確実に行うことができる。
【００６１】
（３−４）第４工程
図３（４）に示すように、塗工液が基材Ｗの下面に接液した状態のままで塗工タンク２２の高さをモータ３０によって微調整して目的の塗工厚さになるように塗工タンク２２内の液面高さを下げる。以下、この高さを「塗工高さ設定値」という。この塗工高さ設定値を液面センサ３２で検知しながらフィードバック制御により維持しつつ、基材Ｗの下面に塗工液を塗工しながらサクションテーブル１２をモータ１３によって塗工開始位置から塗工終了位置へ移動させる。これによって、基材Ｗの下面に塗工液が塗工される。
【００６２】
基材Ｗの塗工終了位置まで塗工が終了すると、液面センサ３２で検知しながら塗工タンク２２の高さをモータ３０によって下降させ、塗工タンク２２内の液面高さを離液高さ設定値まで下げて、吐出口１８から塗工液を吸引するようにして、基材Ｗの下面から塗工液を離液させる。この離液高さ設定値は、接液高さ設定値と塗工高さ設定値よりも低い値であればよく、例えば、待機高さ設定値と同じ高さでもよい。
【００６３】
（３−５）第５工程
サクションテーブル１２及び除去ローラ５２を移動させ、除去ローラ５２の下方に塗工ノズルを移動させる。
【００６４】
（３−６）第６工程
サクションテーブル１２を１８０°回転させ、サクションテーブル１２の上面に塗工液を塗工した基材Ｗを回転移動させ、吸着を終了してこの基材Ｗを回収する。  一方、塗工ノズル１４を除去ローラ５２の位置まで上昇させて、吐出口１８付近の塗工液を除去作業を行う。この除去作業は第１工程の作業と同じであり、以下で説明する。
【００６５】
（４）除去作業
上記で説明した待機工程において塗工ノズル１４の塗工液を除去する作業について、図１に基づいて説明する。
【００６６】
第１工程及び第６工程で説明したように、除去ローラ５２の下方に塗工ノズル１４を移動させ、まず上下動装置２０によって待機高さ設定値まで上昇させる。
【００６７】
除去ローラ５２を所定の速度で回転させ、塗工ノズル１４を接液高さまで上昇させて、除去ローラ５２の表面に塗工液を接液する。
【００６８】
その後、上下動装置２０によって、塗工高さ設定値まで下降させる。これによって、吐出口１８から吐出される塗工液は全て除去ローラ５２の表面に付着する。
【００６９】
除去ローラ５２の表面に付着した塗工液は除去ローラ５２の回転と共に回転し、上方の位置にくるとスプレー装置５６によって洗浄液が噴射され洗浄され易い状態となる。
【００７０】
その洗浄液が噴射された塗工液がさらに回転し、バキュームドクター装置６４の位置までくると、ドクターブレード６６によって掻き取られ、バキューム装置７０によって吸引タンク６８に吸引される。
【００７１】
その後、除去ローラ５２の表面には、エアーフロー装置８４によって空気が吹き付けられ乾燥させられる。
【００７２】
これによって、除去ローラ５２の表面には塗工液の付着がなくなり、再び塗工ノズルの位置までくると新たに塗工液を付着する。この場合に、塗工液の付着は除去されているため塗工ノズル１４が汚れたりすることがない。
【００７３】
待機工程が終了し塗工を開始する場合には、塗工ノズル１４を離液高さまで下降させ、離液を行う。その後、上記で説明した第２工程に進む。
【００７４】
以上により、待機工程においては塗工ノズル１４から吐出される塗工液は全て除去ローラ５２に付着するため、吐出口付近で付着してゲル化したりすることがなく、また、人手によって除去したりする必要もない。
【００７５】
そして、吐出口に塗工液が付着していないため、次の塗工工程においても品質の良い塗工を行うことができる。
【００７６】
（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態の塗工ノズル清浄装置５０について説明する。
【００７７】
本実施形態と第１の実施形態の異なる点は、除去ローラ５２の表面であって、かつ、バキュームドクター装置６４の後ろに、チャンバドクター装置７２を設けている点にある。
【００７８】
このチャンバードクター装置７２は、除去ローラ５２の表面を覆うチャンバー室７４と、ドクターブレード７１と、このチャンバー室７４に洗浄液を送るポンプ７６と、チャンバー室７４に溜まった洗浄液を吸引して、循環タンク７８に送るポンプ８０とよりなる。なお、ポンプ７６は、循環タンク７８内の塗工液を送るものである。
【００７９】
このチャンバードクター装置７２の役割は、バキュームドクター装置６４で洗浄された除去ローラ５２の表面を更に洗浄する。
【００８０】
すなわち、除去ローラ５２の表面がチャンバー室７４に至ると、ポンプ７６で噴射された洗浄液が噴射されその表面を洗浄される。これによって完全に塗工液が除去される。この噴射された洗浄液はチャンバー室７４の下方に溜まり、ポンプ８０によって循環タンク７８に送られる。この場合に洗浄液には塗工液が混じっているため、フィルター８２を通して循環タンク７８に戻す。また、除去ローラ５２の表面をドクターブレード７１で更に洗浄する。
【００８１】
そして、第１の実施形態と同様にエアーフロー装置８４によって除去ローラ５２の表面を乾燥させる。
【００８２】
本実施形態であると、チャンバードクター装置７２によって更に除去ローラ５２を洗浄するため、より確実に塗工液が除去ローラに残ることがない。
【００８３】
（第３の実施形態）
第３の実施形態の塗工ノズル清浄装置５０について図５に基づいて説明する。
【００８４】
本実施形態では、除去ローラ５２の表面に拭き取り用ウエブ８６を走行させ、この拭き取り用ウエブ８６の表面に塗工ノズル１４を近接させて、吐出口１８から吐出される塗工液を付着させる。そして、塗工液が付着した拭き取り用ウエブ８６は回収ローラ８８によって回収する。
【００８５】
本実施形態であっても、拭き取り用ウエブ８６によって塗工液が除去されるため、塗工ノズル１４の吐出口１８近傍に塗工液が残ることがない。
【００８６】
（第４の実施形態）
第４の実施形態の塗工ノズル清浄装置５０について図６に基づいて説明する。
【００８７】
本実施形態では、第３の実施形態とは異なり拭き取り用ウエブ８６を複数の案内ローラ９０によって案内し、２つの案内ローラ９０，９０の間を通過する拭き取り用ウエブ８６の下方に塗工ノズル１４が位置するようにする。そして、この近接位置の上方からポンプ９２によってタンク９４内の洗浄液をスプレー装置９６によって噴射する。
【００８８】
本実施形態であると、拭き取り用ウエブ８６の下面に塗工ノズル１４からの塗工液が付着し、かつ、スプレー装置９６から拭き取り用ウエブの上面に洗浄液が噴射されるため、その拭き取りを確実に行うことができる。
【００８９】
この拭き取り用ウエブ８６は同じく回収ローラ８８によって回収する。
【００９０】
（第５の実施形態）
第５の実施形態の塗工装置１０について説明する。
【００９１】
第１の実施形態から第４の実施形態の塗工装置１０は、毛細管現象を利用して塗工ノズル１４の上端に開口した吐出口１８から吐出される塗工液を除去する構造である。
【００９２】
これに対し本実施形態は、図７に示すように、毛細管現象とサイフォン現象を利用し、塗工ノズル１４の下端から吐出される塗工液を除去ローラ５２によって除去する。なお、この塗工ノズル清浄装置５０の構造は第１の実施形態と同様である。
【００９３】
塗工ノズル１４は、塗工ノズル１４の幅方向に毛管状隙間１６が設けられ、その下端に吐出口１８が設けられている。塗工タンク２２から供給された塗工液が、サイフォン管１０６、塗工ノズル１４の側部にある液入口９８に至り、この液入口９８から連結空間１００、連結口１０２を経て毛管状隙間１６に至る。このときに塗工タンク２２が大気に開放され、毛管状隙間１６の上端部も大気に開放され、かつ、塗工タンク２２内の塗工液の液高さが毛管状隙間１６の連結口１０２より高いためサイフォン現象により塗工液を吐出口１８から塗工できる。
【００９４】
なお、サイフォン現象を利用する場合に塗工タンク２２の高さを調整することにより、吐出口１８における塗工液に対する圧力が変化して塗工厚さを調整する。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
本発明は、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレー装置などの平面表示装置や半導体や長尺状のウエブに塗工液を塗工する塗工装置に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】第１の実施形態における塗工ノズル清浄装置の説明図である。
【図２】同じく塗工装置の説明図である。
【図３】塗工工程と待機工程を説明する図である。
【図４】第２の実施形態の塗工ノズル清浄装置の説明図である。
【図５】第３の実施形態の塗工ノズル清浄装置の説明図である。
【図６】第４の実施形態の塗工ノズル清浄装置の説明図である。
【図７】第５の実施形態の塗工装置の説明図である。
【符号の説明】
【００９７】
１０  塗工装置
１２  サクションテーブル
１４  塗工ノズル
１６  毛管状隙間
１８  吐出口
２２  塗工タンク
３２  液面センサ
３４  供給パイプ
５０  塗工ノズル清浄装置
５２  除去ローラ
５４  回転モータ
５６  スプレー装置
５８  洗浄液タンク
６０  ポンプ
６２  電磁弁
６４  バキュームドクター装置
６６  ドクターブレード
６８  吸引タンク
７０  バキューム装置
７２  チャンバードクター装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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