(57)【要約】【課題】駆動素子を、その複数の端子を液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載する。【解決手段】駆動素子７をボンディング位置に移動させ、その端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像してその画像を画像メモリに記憶させた後、撮像後の駆動素子７を後退させて前記ボンディング位置に液晶表示パネル１を搬入し、この液晶表示パネル１の端子配列領域のうち、前記駆動素子７の撮像箇所に対応する撮像箇所を撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像し、その撮像箇所の駆動素子接続端子５の画像と、前記画像メモリに記憶させた駆動素子７の端子８の画像とを重ねた合成画像をモニタディスプレイに表示させ、その合成画像に基づいて前記端子５，８の相対位置を調整した後に、撮像後の駆動素子７を再びボンディング位置に移動させ、この駆動素子７を液晶表示パネル１に異方導電性接着剤１０により接着する。【選択図】    図４
2005019873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明な駆動素子搭載部を有し、その駆動素子搭載部に複数の駆動素子接続端子が配列形成された液晶表示パネルの前記駆動素子搭載部上に、駆動素子を、その一方の面に配列形成された複数の端子を前記複数の駆動素子接続端子にそれぞれ対向させて樹脂中に導電性粒子を混入した異方導電性接着剤により接着するボンディング方法において、
ヘッド移動手段により前記液晶表示パネルへの前記駆動素子のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッドに前記駆動素子を固定し、この駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置に移動させる工程と、
前記ボンディング位置に移動された前記駆動素子の端子配列領域の所定の撮像箇所の複数の端子を撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の端子の画像を画像メモリに記憶させる工程と、
前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させる工程と、
前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記撮像後の駆動素子のいずれか一方に前記異方導電性接着剤を塗布する工程と、
前記液晶表示パネルを前記ボンディング位置に搬入する工程と、
前記ボンディング位置に搬入された前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域のうち、前記駆動素子の撮像箇所に対応する撮像箇所を前記撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の駆動素子接続端子の画像と前記画像メモリに記憶させた前記駆動素子の複数の端子の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記駆動素子の複数の端子との相対位置を調整する工程と、
前記液晶表示パネルの位置調整後に、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に押し付けて前記異方導電性接着剤により接着する工程とからなることを特徴とする駆動素子のボンディング方法。
【請求項２】
駆動素子の端子配列領域及び液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域の２箇所を２つの撮像手段によりそれぞれ撮像し、その一方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像と、他方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像とをそれぞれモニタディスプレイに表示させて前記液晶表示パネルの位置を調整することを特徴とする請求項１に記載の駆動素子のボンディング方法。
【請求項３】
撮像手段の焦点を、液晶表示パネルをボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に一致させ、駆動素子の撮像箇所の撮像を、前記駆動素子７の端子形成面を前記撮像手段の焦点に一致させて行なうことを特徴とする請求項１に記載の駆動素子のボンディング方法。
【請求項４】
駆動素子及び液晶表示パネルの駆動素子搭載部の撮像箇所をそれぞれ、前記駆動素子の端子形成面及び前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に対して垂直な方向から撮像することを特徴とする請求項１に記載の駆動素子のボンディング方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、駆動素子搭載型の液晶表示パネルに駆動素子をボンディングする方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
駆動素子搭載型液晶表示パネルは、液晶層を挟んで対向する一対の透明基板の少なくとも一方の側縁部に他方の基板の外方に張出す透明な駆動素子搭載部が形成され、その駆動素子搭載部に複数の駆動素子接続端子が配列形成された構成となっている。
【０００３】
そして、液晶表示パネルの駆動素子は、その一方の面に配列形成された複数の端子を前記複数の駆動素子接続端子にそれぞれ対向させて前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に搭載され、樹脂中に導電性粒子を混入した異方導電性接着剤により接着することによりボンディングされている。
【０００４】
前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上への駆動素子のボンディングは、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記駆動素子のいずれか一方に前記異方導電性接着剤を塗布し、前記駆動素子を、その複数の端子が前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子にそれぞれ対向するように位置合わせして前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に搭載し、この駆動素子を前記異方導電性接着剤により前記駆動素子搭載部に接着することにより行なわれる。
【０００５】
この駆動素子のボンディングにおいて、前記駆動素子の位置合わせは、前記複数の端子と駆動素子接続端子とを一致させるか、或いは前記駆動素子と前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部とにそれぞれ設けられた位置合わせマークを一致させることにより行なわれる。
【０００６】
その場合、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部は透明であるため、この駆動素子搭載部に形成された駆動素子接続端子または位置合わせマークは、前記駆動素子搭載部の反対面側から前記駆動素子搭載部を透して見ることができる。
【０００７】
一方、前記駆動素子は不透明であるため、この駆動素子の端子または位置合わせマークは、前記駆動素子の端子形成面側、つまり液晶表示パネルへの接着面側からしか見ることができない。
【０００８】
そして、ほとんどの異方導電性接着剤は、不透明または半透明であるため、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に前記異方導電性接着剤の塗布層を挟んで重ねられた駆動素子の端子または位置合わせマークを、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の反対面側から視認して前記駆動素子を位置合わせすることはほとんど不可能である。
【０００９】
また、前記異方導電性接着剤が透明であっても、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載に形成された駆動素子接続端子または位置合わせマークが不透明な金属膜で形成されている場合は、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の反対面側から前記駆動素子の端子または位置合わせマークを視認して前記駆動素子を位置合わせすることはほとんど不可能である。
【００１０】
そのため、液晶表示パネルの駆動素子搭載部上への駆動素子のボンディングは、従来、液晶表示パネルをパネル位置決め用テーブルにテレビカメラを用いた画像処理により位置決めして固定し、このパネル位置決め用テーブルを搬送ロボットによりボンディングステージ上に載置するとともに、複数の端子の上にそれぞれ異方導電性接着剤を塗布した駆動素子を駆動素子位置決め用テーブルにテレビカメラを用いた画像処理により位置決めして固定し、この駆動素子位置決め用テーブルを搬送ロボットにより前記ボンディングステージ上に搬送して前記駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部に対向させ、その後に、ボンディングヘッドにより前記駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部に押し付けて、前記異方導電性接着剤により接着する方法で行なわれている（特許文献１参照）。
【００１１】
【特許文献１】
特開平５−２４１１８４号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来のボンディング方法は、テレビカメラを用いた画像処理によるパネル位置決め用テーブル及び駆動素子位置決め用テーブルへの液晶表示パネル及び駆動素子の位置決めは精度良く行なえるが、前記パネル位置決め用テーブルをボンディングステージ上に載置する搬送ロボットの動作誤差と、前記駆動素子位置決め用テーブルを前記ボンディングステージ上に搬送する搬送ロボットの動作誤差の両方が、液晶表示パネルに対する駆動素子の位置合わせ精度に影響する。
【００１３】
そのため、このボンディング方法では、前記駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載することが難しい。
【００１４】
この発明は、駆動素子を、その複数の端子を液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載することができるボンディング方法を提供することを目的としたものである。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
この発明のボンディング方法は、ヘッド移動手段により前記液晶表示パネルへの前記駆動素子のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッドに前記駆動素子を固定し、この駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置に移動させる工程と、前記ボンディング位置に移動された前記駆動素子の端子配列領域の所定の撮像箇所の複数の端子を撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の端子の画像を画像メモリに記憶させる工程と、前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させる工程と、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記撮像後の駆動素子のいずれか一方に前記異方導電性接着剤を塗布する工程と、前記液晶表示パネルを前記ボンディング位置に搬入する工程と、前記ボンディング位置に搬入された前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域のうち、前記駆動素子の撮像箇所に対応する撮像箇所を前記撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の駆動素子接続端子の画像と前記画像メモリに記憶させた前記駆動素子の複数の端子の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記駆動素子の複数の端子との相対位置を調整する工程と、前記液晶表示パネルの位置調整後に、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に押し付けて前記異方導電性接着剤により接着する工程とからなることを特徴とする。
【００１６】
このボンディング方法では、前記ヘッド移動手段により移動されるボンディングヘッドに駆動素子を固定し、この駆動素子をボンディング位置に移動させてその端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像した後、この撮像後の駆動素子を前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させ、前記ボンディング位置に液晶表示パネルを搬入した後に、前記撮像後の駆動素子を再び前記ボンディング位置に移動させるようにしているため、前記ボンディング位置に液晶表示パネルを搬入した後に前記ボンディング位置に再び移動された撮像後の駆動素子の位置は、この駆動素子の撮像時の位置と実質的に同じである。
【００１７】
そして、このボンディング方法では、前記ボンディング位置に移動させた駆動素子の端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像手段により撮像してその撮像箇所の複数の端子の画像を画像メモリに記憶させ、前記撮像後の駆動素子を前記ボンディング位置から後退させた後に、前記ボンディング位置に液晶表示パネルを搬入し、この液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域のうち、前記駆動素子の撮像箇所に対応する撮像箇所を前記撮像手段により撮像しているため、前記画像メモリに記憶させた前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像は、前記ボンディング位置に搬入された液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記ボンディング位置に再び移動された撮像後の駆動素子の複数の端子の実際の位置関係と実質的に同じ画像である。
【００１８】
そのため、前記合成画像に基づいて前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記駆動素子の複数の端子との相対位置を調整した箇所後に、前記撮像後の駆動素子を再び前記ボンディング位置に移動させることにより、この駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に一致させて前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に押し付け、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記撮像後の駆動素子のいずれか一方に塗布した異方導電性接着剤により前記駆動素子搭載部に接着することができる。
【００１９】
したがって、このボンディング方法によれば、前記駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載することができる。
【００２０】
このように、この発明のボンディング方法は、ヘッド移動手段によりボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッドに駆動素子を固定してこの駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置に移動させ、前記駆動素子の端子配列領域の所定の撮像箇所を、撮像手段により撮像してその撮像箇所の複数の端子の画像を画像メモリに記憶させた後、前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させ、前記ボンディング位置に液晶表示パネルを搬入してその駆動素子搭載部の端子配列領域のうち、前記駆動素子の撮像箇所に対応する撮像箇所を前記撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の駆動素子接続端子の画像と、前記画像メモリに記憶させた前記駆動素子の複数の端子の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記駆動素子の複数の端子との相対位置を調整し、その後に、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に押し付けて、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記撮像後の駆動素子のいずれか一方に塗布した異方導電性接着剤により前記駆動素子搭載部に接着することにより、前記駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載できるようにしたものである。
【００２１】
この発明のボンディング方法においては、前記駆動素子の端子配列領域及び前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域の２箇所を２つの撮像手段によりそれぞれ撮像し、その一方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像と、他方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像とをそれぞれモニタディスプレイに表示させて前記液晶表示パネルの位置を調整するのが好ましい。
【００２２】
また、このボンディング方法においては、前記撮像手段の焦点を、液晶表示パネルを前記ボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に一致させ、前記駆動素子の撮像箇所の撮像を、前記駆動素子７の端子形成面を前記撮像手段の焦点に一致させて行なうのが好ましい。
【００２３】
さらに、このボンディング方法においては、前記駆動素子及び液晶表示パネルの駆動素子搭載部の撮像箇所をそれぞれ、前記駆動素子の端子形成面及び前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に対して垂直な方向から撮像するのが好ましい。
【００２４】
【発明の実施の形態】
図１〜図７はこの発明の一実施例を示しており、図１は、液晶表示パネルに駆動素子をボンディングするためのボンディング装置の斜視図である。
【００２５】
このボンディング装置は、水平な基台１１上に液晶表示パネル１への駆動素子７のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに水平移動可能に設けられた移動ステージ１５と、前記ボンディング位置の上方に設けられたヘッド移動手段２６により前記ボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに垂直に昇降移動されるボンディングヘッド２７と、前記ボンディング位置に対向させて配置された撮像ユニット２８と、前記撮像ユニット２８により撮像された画像を表示するモニタ手段３６（図３参照）とを備えている。
【００２６】
前記移動ステージ１５は、前記基台１１上に固定されたレール１２により案内され、エアシリンダ等のステージ移動機構１７により前記ボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動される移動台１６と、この移動台１６上に一方向（例えば移動台１６の移動方向と平行な方向）にスライド可能に設けられ、ネジ送り機構等の送り機構１９により前記移動台１６に対してスライド移動される第１の移動プレート１８と、この第１の移動プレート１８の上にその移動方向と直交する方向にスライド可能に設けられ、ネジ送り機構等の送り機構２１により前記第１の移動プレート１８に対してスライド移動される第２の移動プレート２０と、この第２の移動プレート２０の上に設けられ、ウォームギヤ機構等の回転機構２３により任意角度回転される回転テーブル２２と、この回転テーブル２２の上に固定されたボンディング台２４とからなっている。
【００２７】
前記ボンディング台２４は、矩形状の上枠部とその各辺のうちの前記移動台１６の移動方向に沿った２つの辺に設けられた一対の壁状脚部とからなる門型台であり、前記上枠部の開口内に、ガラス板等からなる透明プレート２５が水平に嵌着されている。
【００２８】
このボンディング台２４は、前記透明プレート２５の上面に液晶表示パネル１を真空吸着により固定して支持するものであり、図１では省略しているが、前記透明プレート２５には、その上面のパネル載置位置の中央部にパネル吸着孔が設けられるとともに、フレキシブルホースを介してパネル吸着用吸気装置が接続されている。
【００２９】
前記移動ステージ１５は、液晶表示パネル１への駆動素子７のボンディングを行なうときに、図１に実線で示したように、前記ボンディング台２４上（透明プレート２５の上面）に液晶表示パネル１を支持して前記ボンディング位置に移動され、前記液晶表示パネル１に駆動素子７をボンディングした後に、図１に二点鎖線で示したように前記ボンディング位置から後退移動される。
【００３０】
一方、前記ヘッド移動手段２６は、例えばエアーシリンダからなっており、このヘッド移動手段（以下、ヘッド移動シリンダと言う）２６は、その基部を前記基台１１の上方に配置された上フレーム１３に固定して、前記ボンディング位置の上方に垂直に設けられている。なお、このヘッド移動シリンダ２６は、そのピストンロッド２６ａを回転及び振動を生じさせること無く進退させるように設計されている。
【００３１】
また、前記ボンディングヘッド２７は、その下面に、横長形状の駆動素子固定部２７ａを有しており、前記駆動素子固定部２７ａの長さ方向を所定の方向に向け、下面を前記移動ステージ１５のボンディング台２４の上面と平行にして、前記ヘッド移動シリンダ２６のピストンロッド２６ａの先端に固定されている。
【００３２】
このボンディングヘッド２７は、前記駆動素子固定部２７ａの下面に駆動素子７を真空吸着により固定するものであり、図１では省略しているが、このボンディングヘッド２７には、前記駆動素子固定部２７ａの下面の中央部に開口する駆動素子吸着孔が設けられとともに、フレキシブルホースを介して駆動素子吸着用吸気装置が接続されている。
【００３３】
また、前記撮像ユニット２８は、前記ボンディングヘッド２７の下面に吸着固定されて前記ヘッド移動シリンダ２６により前記ボンディング位置に下降移動される駆動素子７の端子配列領域の２箇所の画像と、前記移動ステージ１５のボンディング台２４上に支持されて前記ボンディング位置に搬入される液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子配列領域の２箇所の画像とをそれぞれ撮像する第１と第２の２つの撮像手段２９ａ，２９ｂを備えている（図４参照）。
【００３４】
図２は前記撮像ユニット２８の２つの撮像手段２９ａ，２９ｂの斜視図であり、これらの撮像手段２９ａ，２９ｂはそれぞれ、被写体照明用光源を内蔵したＣＣＤ（固体撮像素子）カメラ３０と、被写体側ミラー３３及び中継ミラー３４とにより構成されている。
【００３５】
なお、前記ＣＣＤカメラ３０は、その内部構造は図示しないが、レンズ部３１の一側に形成された光源収容部３２内に平行光を出射する被写体照明用光源を設け、前記レンズ部３１内に、前記光源からの出射光をレンズ光軸と平行な方向に屈折させてレンズ部３１から出射させ、外部から前記レンズ部３１に入射した光を透過させてＣＣＤ（固体撮像素子）の撮像面に入射させるダイクロイックミラー等の光学素子を配置した構成となっている。
【００３６】
前記ＣＣＤカメラ３０は、そのレンズ光軸を水平にして配置されており、その前方に前記中継ミラー３４が、その反射面を前記ＣＣＤカメラ３０のレンズ光軸に対して４５度の角度で交差させて垂直に配置されている。
【００３７】
また、前記被写体側ミラー３３は、前記中継ミラー３４の側方に、その反射面を上方及び中継ミラー３４に対向させて、水平面に対し４５度傾けて配置されている。
【００３８】
すなわち、この撮像手段２９ａ，２９ｂは、前記ＣＣＤカメラ３０からそのレンズ光軸と平行（水平方向）に出射した照明光を、前記中継ミラー３４と被写体側ミラー３３とを介して上方に垂直に投射し、被写体である駆動素子７及び液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａにより反射されて上方から垂直に入射した光を前記被写体側ミラー３３と中継ミラー３４とを介して前記ＣＣＤカメラ３０に前記レンズ光軸と平行に入射させることにより、前記駆動素子７の端子配列領域及び液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像する。
【００３９】
なお、第１の撮像手段２９ａと第２の撮像手段２９ｂは、図２に示したように、それぞれの被写体側ミラー３３の配置側を互いに逆にした対称形の構成とされている。
【００４０】
そして、前記第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂは、それぞれのＣＣＤカメラ３０のレンズ光軸を互いに平行にし、それぞれの被写体側ミラー３３を、前記ボンディングヘッド２７の下面の駆動素子固定部２７ａに固定される駆動素子７の長さ方向と平行な方向に並べて背中合わせに隣り合わせるとともに、これらの被写体側ミラー３３の中心間の距離を、前記駆動素子７の端子配列領域の所定の２つの撮像箇所及び液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子配列領域のうち、前記駆動素子の２つの撮像箇所にそれぞれ対応する２つの撮像箇所の中心間の間隔と等しくして撮像ユニット２８のケース２８ａ（図１参照）内に固定されている。
【００４１】
なお、図では省略しているが、前記ケース２８ａの上面には、前記第１及び第２の撮像手段２９ａ，２９ｂの被写体側ミラー３３にそれぞれ対応する撮像用開口が設けられている。
【００４２】
この撮像ユニット２８は上記のような構成の第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂを備えたものであり、ＬＳＩ等の集積回路素子からなる小面積の駆動素子７の端子配列領域及び液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子配列領域の２つの撮像箇所をそれぞれ、前記駆動素子７の端子形成面及び前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子形成面に対して垂直な方向から前記撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像する。
【００４３】
前記撮像ユニット２８は、前記ボンディング位置を挟んで前記ボンディングヘッド２７側とは反対側、つまり前記ボンディング位置の下側の定位置に、前記門型のボンディング台２４の透明プレート２５下の空間に対応させて、中空に浮かせた状態で配置され、前記移動ステージ１５の移動方向と平行に設けられた水平ロッド３５を介して基台１１上の撮像ユニット固定部１４に固定されている。
【００４４】
さらに、前記撮像ユニット２８の第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂはそれぞれ、前記ＣＣＤカメラ３０の焦点が、液晶表示パネル１を移動ステージ１５のボンディング台２４上に固定して前記ボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子形成面に一致するように設定されている。
【００４５】
なお、前記門型のボンディング台２４の透明プレート２５下の空間は、前記撮像ユニット２８の前記移動ステージ１５の移動方向から見た外形よりも充分に大きく設計されており、前記移動ステージ１５は、前記ボンディング台２４の透明プレート２５下の空間内に前記撮像ユニット２８を入り込ませて前記ボンディング位置に移動される。
【００４６】
また、前記撮像ユニット２８により撮像された画像を表示するモニタ手段３６は、図３に示したように、モニタディスプレイ３７と、前記撮像ユニット２８の第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂのＣＣＤカメラ３０によりそれぞれ撮像された画像を記憶する画像メモリ回路３８と、前記第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂのＣＣＤカメラ３０によりそれぞれ撮像された画像と前記画像メモリ回路３８に記憶された画像とを重ね合わせた合成画像を前記モニタディスプレイ３７に表示させる画像合成回路３９と、前記画像メモリ回路３８及び画像合成回路３９を制御する制御回路４０とからなっている。
【００４７】
なお、前記モニタディスプレイ３７は、例えば図１に示したように、前記ヘッド移動シリンダ２６を固定した上フレーム１３上に設置されている。
【００４８】
次に、上記ボンディング装置を利用した液晶表示パネル１への駆動素子７のボンディング方法を説明する。
【００４９】
まず、前記液晶表示パネル１と駆動素子７について説明すると、前記駆動素子７は、ＬＳＩ等の集積回路素子からなっており、一方の面に、その周縁部に沿わせて複数の入出力端子８が配列形成されるとともに、前記周縁部の２つのコーナー部に位置合わせマーク９が形成されている（図５参照）。
【００５０】
また、前記液晶表示パネル１は、その内部構造は図示しないが、枠状のシール材４を介して接合され、前記シール材４により囲まれた領域に設けられた液晶層を挟んで対向する一対の透明基板２，３の互いに対向する内面にそれぞれ複数の画素を形成する電極が設けられ、一方の基板２の一側縁部に他方の基板３の外方に張出す透明な駆動素子搭載部２ａが形成され、その駆動素子搭載部２ａに、前記駆動素子７の複数の端子８にそれぞれ対応する複数の駆動素子接続端子５が配列形成されるとともに、前記駆動素子７の２つの位置合わせマーク９にそれぞれ対応する２つの位置合わせマーク６が形成された構成となっている（図２及び図６参照）。
【００５１】
なお、この実施例では、前記駆動素子７の端子配列領域及び液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子配列領域のうち、前記位置合わせマーク９，６とその付近の複数の端子８，５を含む２つの領域を撮像箇所とし、上述したボンディング装置の撮像ユニット２８の第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂを、前記２つの撮像箇所をそれぞれ撮像するように配置している。
【００５２】
図４は前記液晶表示パネル１への駆動素子７のボンディング工程を示す模式図であり、前記駆動素子７は、次のようにして前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａにボンディングする。
【００５３】
まず、移動ステージ１５を図１に二点鎖線で示したようにボンディング位置から後退させ、ボンディングヘッド２７をヘッド移動シリンダ２６により引き上げて前記ボンディング位置から後退させた状態で、図示しないアームロボット等の駆動素子供給手段により、駆動素子７を、その端子形成面を下向きにしてボンディングヘッド２７の駆動素子固定部２７ａの下面に供給し、この駆動素子７を、その端子配列領域の所定の２つの撮像箇所（位置合わせマーク９とその付近の複数の端子８を含む２つの領域）が前記撮像ユニット２８の第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂの撮像範囲にそれぞれ対向するように位置合わせして前記駆動素子固定部２７ａの下面に真空吸着により固定する。
【００５４】
次に、前記ヘッド移動シリンダ２６によりボンディングヘッド２７を下降させ、このボンディングヘッド２７の駆動素子固定部２７ａの下面に固定された駆動素子７を前記ボンディング位置に移動させる。
【００５５】
次に、図４（Ｉ）のように、前記ボンディング位置に移動された前記駆動素子７の２つの撮像箇所を、前記ボンディング位置を挟んでボンディングヘッド２７側とは反対側の定位置に配置された撮像ユニット２８の第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂにより前記駆動素子７の端子形成面に対して垂直な方向からそれぞれ撮像し、これらの撮像箇所の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像データを画像メモリ回路３８に記憶させるとともに、前記２つの画像データを画像合成回路３９を介してモニタディスプレイ３７に供給し、前記２つの撮像箇所の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像を所定の拡大率で拡大して前記モニタディスプレイ３７に表示させる。
【００５６】
なお、前記駆動素子７の２つの撮像箇所の撮像は、移動ステージ１５が図１に二点鎖線で示したようにボンディング位置から後退しているため、前記撮像手段２９ａ，２９ｂを前記駆動素子７の２つの撮像箇所に直接対向させて行なわれる。
【００５７】
また、前記駆動素子７の２つの撮像箇所の撮像は、前記ヘッド移動シリンダ２６によるボンディングヘッド２７の下降位置を制御することにより、前記駆動素子７の端子形成面（好ましくは複数の端子８及び位置決めマーク９の表面）を前記第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂの焦点（ＣＣＤカメラ３０の焦点）を含む水平面ｆに一致させて行なう。
【００５８】
このように、駆動素子７の端子形成面を前記撮像手段２９ａ，２９ｂの焦点に一致させることにより、前記駆動素子７の２つの撮像箇所をピントの合った状態で撮像し、ボケの無い明瞭な画像を前記モニタディスプレイに３７に表示することができる。
【００５９】
図５は前記駆動素子７の撮像画像を示しており、（ａ）は第１の撮像手段２９ａのＣＣＤカメラ３０により撮像された駆動素子７の一方の撮像箇所の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像、（ｂ）は第２の撮像手段２９ｂのＣＣＤカメラ３０により撮像された前記駆動素子７の他方の撮像箇所の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像である。
【００６０】
次に、前記ヘッド移動シリンダ２６によりボンディングヘッド２７を引き上げ、前記撮像後の駆動素子７をボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッド２７に固定したまま後退位置で待機させる。
【００６１】
一方、液晶表示パネル１は、その駆動素子搭載部２ａの端子配列領域に、樹脂中に導電性粒子を混入した異方導電性接着剤１０を塗布し、図示しないアームロボット等のパネル供給手段により、駆動素子搭載部２ａの端子形成面を上向きにして図１に鎖線で示した後退位置にある移動ステージ１５のボンディング台２４上に供給し、この液晶表示パネル１を、前記ボンディング台２４の透明プレート２５の上面に真空吸着により固定する。
【００６２】
このとき、前記液晶表示パネル１は、前記移動ステージ１５を前記ボンディング位置に移動させたときに、前記駆動素子搭載部２ａの端子配列領域のうち、前記駆動素子７の２つの撮像箇所にそれぞれ対応する２つの撮像箇所（位置合わせマーク６とその付近の複数の駆動素子接続端子５を含む２つの領域）が、前記撮像ユニット２８の第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂの撮像範囲にそれぞれ対向するように前記透明プレート２５の上面に固定する。
【００６３】
なお、前記ボンディング台２４上への液晶表示パネル１の供給は、前記駆動素子７の撮像と並行して行ない、撮像後の駆動素子７をボンディング位置から後退させた後に、ステージ移動機構１７により前記移動ステージ１５を図１に実線で示したようにボンディング位置に移動させ、前記ボンディング台２４上に支持された液晶表示パネル１を前記ボンディング位置に搬入する。
【００６４】
このように前記移動ステージ１５をボンディング位置に移動させると、上述したように中空に浮かせた状態で定位置に配置されている前記撮像ユニット２８が、門型のボンディング台２４の透明プレート２５下の空間内に入り込む。
【００６５】
次に、図４（ＩＩ）のように、ボンディング位置に搬入された液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの２つの撮像箇所を、前記撮像ユニット２８の第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂにより、前記駆動素子搭載部２ａの端子形成面に対して垂直な方向から前記ボンディング台２４の透明プレート２５と前記透明な駆動素子搭載部２ａとを透して撮像し、これらの撮像箇所の複数の駆動素子接続端子５と位置合わせマーク６の画像データを画像メモリ回路３８に記憶させる。
【００６６】
次に、前記画像メモリ回路３８に記憶された駆動素子７の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像データと液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５と位置合わせマーク６の画像データとの２つの画像データを画像合成回路３９により合成してモニタディスプレイ３７に供給し、既に前記モニタディスプレイ３７に表示されている前記駆動素子７の２つの撮像箇所の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像に、前記液晶表示パネル１の２つの撮像箇所の複数の駆動素子接続端子５と位置合わせマーク６の画像を前記駆動素子７の２つの撮像箇所の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像の拡大率と同じ拡大率で拡大した画像を重ねた合成画像を前記モニタディスプレイ３７に表示させる。
【００６７】
このとき、前記第１と第２の撮像手段２９ａ，２９ｂの焦点（ＣＣＤカメラ３０の焦点）は、上述したように、液晶表示パネル１を移動ステージ１５のボンディング台２４上に固定して前記ボンディング位置に搬入したときの駆動素子搭載部２ａの端子形成面に一致しているため、前記駆動素子搭載部２ａの２つの撮像箇所を前記撮像手段２９ａ，２９ｂによりピントの合った状態で撮像し、ボケの無い明瞭な画像を前記モニタディスプレイに３７に表示することができる。
【００６８】
なお、前記撮像手段２９ａ，２９ｂの焦点は、前記ボンディング位置に搬入された液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの基板面、つまり前記駆動素子接続端子５及び位置合わせマーク６の撮像手段２９ａ，２９ｂに対向する面に一致させるのが好ましい。
【００６９】
図６は、前記液晶表示パネル１の撮像画像を示しており、（ａ）は第１の撮像手段２９ａのＣＣＤカメラ３０により撮像された液晶表示パネル１の一方の撮像箇所の複数の駆動素子接続端子５と位置合わせマーク６の画像、（ｂ）は第２の撮像手段２９ｂのＣＣＤカメラ３０により撮像された前記液晶表示パネル１の他方の撮像箇所の複数の駆動素子接続端子５と位置合わせマーク６の画像である。
【００７０】
この液晶表示パネル１の２つの撮像箇所の画像は、前記駆動素子７の２つの撮像箇所の画像に重ねられ、その両方の画像の合成画像が前記モニタディスプイに３７に表示される。
【００７１】
次に、前記移動ステージ１５の第１と第２の移動プレート１８，２０の互いに直交する方向への移動と、前記回転テーブル２２の回転とにより、前記透明プレート２５上の液晶表示パネル１の位置を調整し、前記モニタディスプレイ３７上の液晶表示パネル１の２つの撮像箇所の複数の駆動素子接続端子５及び位置合わせマーク６の画像が前記駆動素子７の２つの撮像箇所の複数の端子８及び位置合わせマーク９の画像に一致するように、前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５と前記駆動素子７の複数の端子８との相対位置を調整する。
【００７２】
この液晶表示パネル１の位置調整は、ボンディング監視員に、前記モニタディスプレイ３７上の合成画像を観察させながら第１及び第２の移動プレート１８，２０の送り機構１９，２０と回転テーブル２２の回転機構２３を手動で操作させることにより行なう。
【００７３】
図７は、前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５と位置合わせマーク６の画像を駆動素子７の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像に一致させたときの合成画像を示しており、（ａ）は第１の撮像手段２９ａのＣＣＤカメラ３０により撮像された液晶表示パネル１の一方の撮像箇所及び前記画像メモリ回路３８に記憶させた駆動素子７の一方の撮像箇所の複数の端子５，８と位置合わせマーク６，８の合成画像、（ｂ）は第２の撮像手段２９ｂのＣＣＤカメラ３０により撮像された前記液晶表示パネル１の他方の撮像箇所及び前記画像メモリ回路３８に記憶させた駆動素子７の他方の撮像箇所の複数の端子５，８と位置合わせマーク６，８の合成画像である。
【００７４】
次に、前記ヘッド移動シリンダ２６によりボンディングヘッド２７を再び下降させることにより、前記ボンディングヘッド２７に固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子７を、図４（ＩＩＩ）のように再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子７の端子形成面を前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａ上に押し付けて、前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａに塗布した異方導電性接着剤１０により前記駆動素子搭載部２ａに接着し、前記駆動素子７を、その複数の端子８を前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５にそれぞれ前記異方導電性接着剤１０中の導電性粒子を介して電気的に接続してボンディングする。
【００７５】
なお、この液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａへの駆動素子７のボンディングは、前記ヘッド移動シリンダ２６のピストンロッド押し出し力を適度に設定しておくことにより、前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａに前記駆動素子７を、それぞれの端子５，８間に前記異方導電性接着剤１０中の導電性粒子が充分な導通性をもって挟持され、しかも液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａ及び駆動素子７の両方に無理な応力が生じさせないような押し力で押し付けて行なう。
【００７６】
このようにして前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａに駆動素子７をボンディングした後は、前記ボンディングヘッド２７への駆動素子７の吸着を解除して前記ヘッド移動シリンダ２６により前記ボンディングヘッド２７を引き上げて前記ボンディング位置から後退させ、このボンディングヘッド２７に次の駆動素子を供給するとともに、移動ステージ１５を図１に二点鎖線で示したようにボンディング位置から後退させて前記ボンディング台２４上（透明プレート２５上）への液晶表示パネル１の吸着を解除し、駆動素子７をボンディングされた液晶表示パネル１を図示しないアームロボット等の搬出手段により取り出して搬出した後に、次の液晶表示パネルを前記ボンディング台２４上に供給する。
【００７７】
上述したように、このボンディング方法は、
ヘッド移動シリンダ２６により液晶表示パネル１への駆動素子７のボンディングを行なうボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッド２７に前記駆動素子７を固定し、この駆動素子７を前記ヘッド移動シリンダ２６により前記ボンディング位置に移動させる工程と、
前記ボンディング位置に移動された駆動素子７の端子配列領域の所定の２つの撮像箇所を、前記ボンディング位置を挟んで前記ボンディングヘッド２７側とは反対側の定位置に配置された撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像し、これらの撮像箇所の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像を画像メモリ回路３８に記憶させる工程と、
前記撮像後の駆動素子７を前記ヘッド移動シリンダ２６により前記ボンディング位置から後退させ、前記ボンディングヘッド２７に固定したまま待機させる工程と、
前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａに異方導電性接着剤１０を塗布する工程と、
前記液晶表示パネル１を前記移動ステージ１５のボンディング台２４の透明プレート２５上に支持させて前記ボンディング位置に搬入する工程と、
前記ボンディング位置に搬入された前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子配列領域のうち、前記駆動素子７の２つの撮像箇所にそれぞれ対応する２つの撮像箇所を、前記駆動素子搭載部２ａの反対面側から前記撮像手段２９ａ，２９ｂにより前記透明プレート２５と前記駆動素子搭載部２ａを透して撮像し、これらの撮像箇所の複数の駆動素子接続端子５と位置合わせマーク６の画像と、前記画像メモリ回路３８に記憶させた前記駆動素子７の複数の端子８の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５と前記駆動素子７の複数の端子８との相対位置を調整する工程と、
前記相対位置の調整後に、前記ボンディングヘッド２７に固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子７を前記ヘッド移動シリンダ２６により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子７を前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａ上に押し付けて前記異方導電性接着剤１０により接着する工程とからなる。
【００７８】
なお、前記液晶表示パネル１への駆動素子７のボンディングにおいて、前記モニタディスプレイ３７上の駆動素子７の複数の端子８及び位置合わせマーク９の画像と液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５及び位置合わせマーク６の画像とを一致させるための液晶表示パネル１の位置調整は上述したように手動により行なうが、他の工程、つまり、前記ボンディングヘッド２７への駆動素子７の供給及び固定、その駆動素子７のボンディング位置への移動、前記駆動素子７の撮像箇所の撮像とその画像の画像メモリ回路３８への記憶及びモニタディスプレイ３７への表示、撮像後の駆動素子７のボンディング位置からの後退、前記移動ステージ１５のボンディング台２４上への液晶表示パネル１の供給及び固定、その液晶表示パネル１のボンディング位置への搬入、前記液晶表示パネル１の撮像箇所の撮像とその画像及び前記合成画像のモニタディスプレイ３７への表示、前記液晶表示パネル１の位置調整後の撮像後の駆動素子７の前記ボンディング位置への再移動、その駆動素子７の前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａ上への異方導電性接着剤１０による接着は、シーケンス制御により予め定めた動作タイミングで実行させる。
【００７９】
このボンディング方法によれば、ヘッド移動シリンダ２６によりボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッド２７に駆動素子７を固定してこの駆動素子７を前記ヘッド移動シリンダ２６により前記ボンディング位置に移動させ、前記駆動素子７の端子配列領域の所定の撮像箇所を、前記ボンディング位置を挟んでボンディングヘッド２７側とは反対側の定位置に配置された撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像してその撮像箇所の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像を画像メモリ回路３８に記憶させた後、前記撮像後の駆動素子７を前記ヘッド移動シリンダ２６により前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッド２７に固定したまま待機させ、前記ボンディング位置に移動ステージ１５のボンディング台２４上に支持させた液晶表示パネル１を搬入してその駆動素子搭載部２ａの端子配列領域のうち、前記駆動素子７の撮像箇所に対応する撮像箇所を、前記駆動素子搭載部２ａの反対面側から前記撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像し、その撮像箇所の複数の駆動素子接続端子５と位置合わせマーク６の画像と、前記画像メモリ回路に記憶させた前記駆動素子７の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５と前記駆動素子７の複数の端子８との相対位置を調整し、この相対位置の調整後に、前記ボンディングヘッド２７に固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子７を前記ヘッド移動シリンダ２６により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子７を前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａ上に押し付けて異方導電性接着剤１０により接着するため、前記駆動素子７を、その複数の端子８を前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５に精度良く対向させて搭載することができる。
【００８０】
すなわち、このボンディング方法では、前記ヘッド移動シリンダ２６により移動されるボンディングヘッド２７に駆動素子７を固定し、この駆動素子７をボンディング位置に移動させてその端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像した後、この撮像後の駆動素子７を前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッド２７に固定したまま待機させ、前記ボンディング位置に液晶表示パネル１を搬入した後に、前記ボンディングヘッド２７に固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子７を再び前記ボンディング位置に移動させるようにしているため、前記ボンディング位置に液晶表示パネル１を搬入した後に前記ボンディング位置に再び移動された撮像後の駆動素子７の位置は、この駆動素子７の撮像時の位置と実質的に同じである。
【００８１】
この実施例では、上述したように、前記撮像手段２９ａ，２９ｂの焦点を、液晶表示パネル１をボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子形成面に一致させ、前記駆動素子７の撮像箇所の撮像を、前記駆動素子７の端子形成面を前記撮像手段の焦点に一致させて行なっているため、前記駆動素子７の撮像時の位置は、この駆動素子７をボンディング位置に搬入した前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａ上に重ねたときの位置と実質的に同じである。
【００８２】
そして、このボンディング方法では、前記ボンディング位置に移動させた駆動素子７の端子配列領域の所定の撮像箇所を、前記ボンディング位置を挟んで前記ボンディングヘッド２７側とは反対側の定位置に配置された撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像してその撮像箇所の複数の端子８と位置合わせマーク９の画像を画像メモリ回路３８に記憶させ、前記撮像後の駆動素子７を前記ボンディング位置から後退させた後に、前記ボンディング位置に液晶表示パネル１を搬入して、この液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子配列領域のうち、前記駆動素子７の撮像箇所に対応する撮像箇所を、前記駆動素子搭載部２ａの反対面側から前記撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像しているため、前記画像メモリ３８に記憶させた前記駆動素子７の複数の端子８の画像と前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５の画像とを重ねた合成画像は、前記ボンディング位置に搬入された液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５と前記ボンディング位置に再び移動された撮像後の駆動素子７の複数の端子８の実際の位置関係と実質的に同じ画像である。
【００８３】
そのため、前記合成画像に基づいて前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５と前記駆動素子７の複数の端子８との相対位置を調整した後に、前記撮像後の駆動素子７を再び前記ボンディング位置に移動させることにより、この駆動素子７を、その複数の端子８を前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５に一致させて前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａ上に押し付け、前記異方導電性接着剤１０により前記駆動素子搭載部２ａに接着することができる。
【００８４】
したがって、このボンディング方法によれば、前記駆動素子７を、その複数の端子８を前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５に精度良く対向させて搭載することができる。
【００８５】
しかも、このボンディング方法では、駆動素子７の端子配列領域及び液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子配列領域の２箇所を２つの撮像手段２９ａ，２９ｂによりそれぞれ撮像し、その一方の撮像手段２９ａにより撮像した前記駆動素子７の複数の端子８及び位置合わせマーク９の画像と前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５及び位置合わせマーク６の画像とを重ねた合成画像と、他方の撮像手段２９ｂにより撮像した前記駆動素子７の複数の端子８及び位置合わせマーク９の画像と前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５及び位置合わせマーク６の画像とを重ねた合成画像とをそれぞれモニタディスプレイ３７に表示させて前記液晶表示パネル１の位置を調整するようにしているため、前記モニタディスプレイ３７上の駆動素子７の２つの撮像箇所の画像と液晶表示パネル１の２つの撮像箇所の画像とを一致させることにより、前記駆動素子７の全ての端子８を前記液晶表示パネル１の全ての駆動素子接続端子５に対向させることができる。
【００８６】
すなわち、前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの複数の駆動素子接続端子５は、前記駆動素子７の複数の端子８にそれぞれ対応させて配列形成されているため、前記駆動素子７の複数の端子８のうち、その配列領域の２箇所の端子８を前記液晶表示パネル１の前記端子８に対応する駆動素子接続端子５に対向させれば、前記駆動素子７の全ての端子８が前記液晶表示パネル１の全ての駆動素子接続端子５に対向する。
【００８７】
また、上記実施例では、前記撮像手段２９ａ，２９ｂの焦点を、液晶表示パネル１をボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子形成面に一致させ、前記駆動素子７の撮像箇所の撮像を、前記駆動素子７の端子形成面を前記撮像手段の焦点に一致させて行なっているため、前記駆動素子７の撮像時の位置と、この駆動素子７をボンディング位置に搬入した前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａ上に重ねたときの位置とを実質的に同じにし、前記駆動素子７を、その複数の端子８を前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５にさらに精度良く対向させて異方導電性接着剤１０により接着することができる。
【００８８】
さらに、上記実施例では、前記駆動素子７及び液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの撮像箇所をそれぞれ、前記駆動素子７の端子形成面及び前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子形成面に対して垂直な方向から撮像しているため、前記駆動素子７の撮像箇所と前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの撮像箇所の両方を高い位置精度で撮像することができる。
【００８９】
すなわち、上述したように、前記駆動素子７の撮像箇所は、前記撮像手段２９ａ，２９ｂを前記駆動素子７の撮像箇所に直接対向させて撮像されるのに対し、前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの撮像箇所は、前記液晶表示パネル１を支持させた透明プレート２５と前記駆動素子搭載部２ａとを透して撮像されるため、前記駆動素子７及び液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの撮像箇所を、前記駆動素子７の端子形成面及び前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子形成面の法線に対して斜めに傾いた方向から撮像したのでは、前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの撮像箇所の撮像時に、前記撮像箇所からの反射光が、液晶表示パネル１と透明プレート２５との界面及び前記透明プレート２５とその下の空間（空気層）との界面で屈折して撮像手段２９ａ，２９ｂに入射し、前記駆動素子搭載部２ａの所定の撮像箇所からずれた箇所が撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像される。
【００９０】
しかし、前記駆動素子７及び液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの撮像箇所の撮像方向が、前記駆動素子７の端子形成面及び前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子形成面に対して垂直な方向であれば、前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの撮像箇所の撮像時に、前記撮像箇所からの反射光が、液晶表示パネル１と透明プレート２５との界面及び前記透明プレート２５とその下の空間との界面を屈折すること無く透過して撮像手段２９ａ，２９ｂに入射する。
【００９１】
そのため、この実施例のボンディング方法によれば、前記駆動素子７の撮像箇所と前記液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの撮像箇所の両方を高い位置精度で撮像することができ、したがって、ボンディング位置に搬入した液晶表示パネル１の位置を調整してモニタディスプレイ３７上の駆動素子７の複数の端子８及び位置合わせマーク９の画像と前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５及び位置合わせマーク６の画像とを一致させるとにより、前記駆動素子７の複数の端子８を前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５に精度良く対向させることができる。
【００９２】
なお、前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５及び位置決めマーク６は、ＩＴＯ等の透明導電膜で形成されていても、不透明な金属膜で形成されていてもよく、また前記異方導電性接着剤１０は、透明であっても、不透明または半透明であってもよい。
【００９３】
すなわち、前記ボンディング方法は、液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの駆動素子接続端子５と前記駆動素子搭載部２ａに搭載された駆動素子７の端子８との実際の位置を視認して前記駆動素子７の位置合わせを行なうのではなく、駆動素子７をボンディング位置に移動させて撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像した前記駆動素子７の複数の端子８及び位置決めマーク９を画像メモリ回路３８に記憶させ、前記駆動素子７を前記ボンディング位置から後退させた後に、前記ボンディング位置に液晶表示パネル１を搬入してその複数の駆動素子接続端子５及び位置決めマーク６を前記撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像し、その画像と前記画像メモリ回路３８に記憶させた前記駆動素子７の複数の端子８及び位置決めマーク９の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５と前記駆動素子７の複数の端子８との相対位置を調整するものであるため、前記液晶表示パネル１の駆動素子接続端子５及び位置決めマーク６が透明であっても不透明であっても、また前記異方導電性接着剤１０が透明であっても不透明または半透明であっても、前記駆動素子７を、その複数の端子８を前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５に精度良く対向させて異方導電性接着剤１０により接着することができる。
【００９４】
ただし、前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５及び位置決めマーク６が透明導電膜で形成されている場合は、前記端子５及び位置決めマーク６と他の部分（基板部分）との濃淡差が小さいため、モニタディスプレイ３７の表示画像が良く見えない。
【００９５】
したがって、前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５及び位置決めマーク６が透明導電膜で形成されている場合は、前記撮像手段２９ａ，２９ｂのＣＣＤカメラ３０をカラー画像の撮像カメラとするとともに、前記モニタディスプレイ３７をカラーディスプレイとし、図３に示したモニタ手段３６のメモリ回路３８または画像合成回路３９に、液晶表示パネル１の撮像箇所の画像、または液晶表示パネル１と駆動素子７の両方の撮像箇所の画像の色やコントラストの補正回路を設けることにより、モニタディスプレイ３７の表示画像を見やすくするのが望ましい。
【００９６】
また、上記ボンディング方法では、ヘッド移動シリンダ２６により移動されるボンディングヘッド２７に駆動素子７を固定し、この駆動素子７を前記ヘッド移動シリンダ２６によりボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動させるようにしているが、前記ヘッド移動シリンダ２６の剛性等により、駆動素子７の撮像時の位置（最初にボンディング位置に移動させたときの位置）とボンディング時の位置（ボンディング位置から一旦後退させた撮像後の駆動素子を再びボンディング位置に移動させて液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａ上に異方導電性接着剤１０を介して押し付けたときの位置）とが、極く僅かではあるが、水平面上において一方向に一定量ずれることがある。
【００９７】
その場合は、図３に示したように、モニタ手段３６の画像合成回路３９に、画像メモリ回路３８に記憶させた駆動素子７の画像を、その位置を補正してモニタディスプレイ３７に表示させるオフセット回路３９ａを設け、予め測定した前記駆動素子７の撮像時の位置とボンディング時の位置のずれ方向とずれ量を前記オフセット回路３９ａにセットしておくことにより、モニタディスプレイ３７に、前記ボンディング時の駆動素子７の位置に合わせて複数の端子８及び位置合わせマーク９の位置を補正した画像と、撮像中の液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５及び位置合わせマーク６の画像とを重ねた合成画像を表示させるようにすればよく、このようにすることにより、前記駆動素子７を、その複数の端子８を前記液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５に精度良く対向させて異方導電性接着剤１０により接着することができる。
【００９８】
なお、上記実施例では、撮像ユニット２８の撮像手段２９ａ，２９ｂにより撮像された画像を表示するモニタ手段３６を図３に示したような構成としているが、このモニタ手段は、パソコン（ＰＣ）を利用して構成してもよい。
【００９９】
図８は他のモニタ手段を示しており、このモニタ手段３６ａは、ＰＣ回路（パソコンの回路）４１に、モニタディスプレイ３７と、撮像手段２９ａ，２９ｂのＣＣＤカメラ３０により撮像された画像データを前記ＰＣ回路４１に取り込ませるための画像取り込み回路４２と、前記ＰＣ回路４１にその画像メモリへの撮像画像の記憶及び画像合成と前記モニタディスプレイ３７への画像データの出力を行なわせるための制御回路４３とを接続したものである。
【０１００】
また、上記実施例では、液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａに異方導電性接着剤１０を塗布してこの液晶表示パネル１をボンディング位置に搬入しているが、前記異方導電性接着剤１０は、撮像後の駆動素子７をボンディング位置から後退させてボンディングヘッド２７に固定したまま待機させている間に、この駆動素子７の端子形成面に塗布してもよい。
【０１０１】
さらに、上記実施例では、駆動素子７の複数の端子８及び位置合わせマーク９の画像と液晶表示パネル１の複数の駆動素子接続端子５及び位置合わせマーク６の画像との相対位置の調整を手動により行なっているが、この相対位置の調整は、画像メモリ回路３８に記憶された駆動素子７と液晶表示パネル１の複数の端子８，５と位置合わせマーク９，６の画像のずれ方向及びずれ量を画像処理等の手段により検出して自動的に行なうようにしてもよい。
【０１０２】
また、上記実施例では、駆動素子７の端子配列領域及び液晶表示パネル１の駆動素子搭載部２ａの端子配列領域のうち、位置合わせマーク９，６とその付近の複数の端子８，５を含む２つの領域を撮像箇所としているが、撮像箇所は、前記位置合わせマーク９，６の無い領域でもよく、さらに、液晶表示パネルと駆動素子７は、位置合わせマークを形成していないものでもよい。
【０１０３】
さらにまた、液晶表示パネルは、一側縁部に駆動素子搭載部を形成したものに限らず、複数の縁部、例えば互いに直交する２つの縁部に駆動素子搭載部を形成したものでもよく、その場合は、上述したボンディング方法を繰り返して、液晶表示パネルの一方の駆動素子搭載部と他方の駆動素子搭載部に順次駆動素子を接着すればよい。
【０１０４】
【発明の効果】
この発明のボンディング方法は、ヘッド移動手段によりボンディング位置と前記ボンディング位置から後退した位置とに移動されるボンディングヘッドに駆動素子を固定してこの駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置に移動させ、前記駆動素子の端子配列領域の所定の撮像箇所を撮像手段により撮像してその撮像箇所の複数の端子の画像を画像メモリに記憶させた後、前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により前記ボンディング位置から後退させて前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させ、前記ボンディング位置に液晶表示パネルを搬入してその駆動素子搭載部の端子配列領域のうち、前記駆動素子の撮像箇所に対応する撮像箇所を前記撮像手段により撮像し、その撮像箇所の複数の駆動素子接続端子の画像と、前記画像メモリに記憶させた前記駆動素子の複数の端子の画像とを重ねた合成画像に基づいて前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子と前記駆動素子の複数の端子との相対位置を調整し、その後に、前記ボンディングヘッドに固定したまま待機させておいた前記撮像後の駆動素子を前記ヘッド移動手段により再び前記ボンディング位置に移動させ、この駆動素子を前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に押し付けて、前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部と前記撮像後の駆動素子のいずれか一方に塗布した異方導電性接着剤により前記駆動素子搭載部に接着するものであるため、前記駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させて搭載することができる。
【０１０５】
この発明のボンディング方法においては、前記駆動素子の端子配列領域及び前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子配列領域の２箇所を２つの撮像手段によりそれぞれ撮像し、その一方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像と、他方の撮像手段により撮像した前記駆動素子の複数の端子の画像と前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子の画像とを重ねた合成画像とをそれぞれモニタディスプレイに表示させて前記液晶表示パネルの位置を調整するのが好ましく、このようにすることにより、前記駆動素子の全ての端子を前記液晶表示パネルの全ての駆動素子接続端子に対向させることができる。
【０１０６】
また、このボンディング方法においては、前記撮像手段の焦点を、液晶表示パネルを前記ボンディング位置に搬入したときの前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に一致させ、前記駆動素子の撮像箇所の撮像を、前記駆動素子７の端子形成面を前記撮像手段の焦点に一致させて行なうのが好ましく、このようにすることにより、前記駆動素子の撮像時の位置と、この駆動素子をボンディング位置に搬入した前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部上に重ねたときの位置とを実質的に同じにし、前記駆動素子を、その複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子にさらに精度良く対向させて異方導電性接着剤により接着することができる。
【０１０７】
さらに、このボンディング方法においては、前記駆動素子及び液晶表示パネルの駆動素子搭載部の撮像箇所をそれぞれ、前記駆動素子の端子形成面及び前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の端子形成面に対して垂直な方向から撮像するのが好ましく、このようにすることにより、前記駆動素子の撮像箇所と前記液晶表示パネルの駆動素子搭載部の撮像箇所の両方を高い位置精度で撮像し、前記駆動素子の複数の端子を前記液晶表示パネルの複数の駆動素子接続端子に精度良く対向させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施例を示す液晶表示パネルに駆動素子をボンディングするためのボンディング装置の斜視図。
【図２】前記ボンディング装置の撮像手段の斜視図。
【図３】撮像された画像を表示するモニタ手段のブロック図。
【図４】液晶表示パネルへの駆動素子のボンディング工程を示す模式図。
【図５】駆動素子の撮像箇所を撮像したときのモニタディスプレイの表示画像を示す図。
【図６】液晶表示パネルの撮像箇所の撮像画像を示す図。
【図７】モニタディスプレイ上の合成画像を示す図。
【図８】撮像された画像を表示する他のモニタ手段のブロック図。
【符号の説明】
１…液晶表示パネル、２ａ…駆動素子搭載部、５…駆動素子接続端子、６…位置合わせマーク、７…駆動素子、８…端子、９…位置合わせマーク、１０…異方導電性接着剤、１５…移動ステージ、２４…ボンディング台、２５…透明プレート、２６…ヘッド移動シリンダ（ヘッド移動手段）、２７…ボンディングヘッド、２８…撮像ユニット、２９ａ，２９ｂ…撮像手段、３６，３６ａ…モニタ手段、３７…モニタディスプレイ、３８…画像メモリ回路、４１…ＰＣ回路。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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