(57)【要約】      （修正有）【課題】所望の冷却性能を確保することができ、製品ごとの性能のばらつきを抑えることができる冷却装置、冷却装置の製造方法、冷却装置の製造装置及び電子機器を提供する。【解決手段】注入孔２４ａを介して冷媒を凝縮基板５の内部に注入し、注入された冷媒の量を調整する。蓋部材１２には、Ｏリング１７が装着されており、凝縮基板５に対して着脱可能となっている。冷媒の量を調整できるようにしたので、所望の冷却性能を得ることができ、製品ごとの冷却性能のばらつきを抑えることができる。【選択図】図３
2005326133.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に開口部を有するコンテナと、
前記コンテナの内部を流通し、蒸発及び凝縮することで熱を吸収及び放出する冷媒と、
前記コンテナの内部を密閉するための密閉部材を有し、前記開口部を覆うように前記表面上に設けられた蓋部材と
を具備することを特徴とする冷却装置。
【請求項２】
請求項１に記載の冷却装置であって、
前記密閉部材は、前記蓋部材に装着されたＯリングであることを特徴とする冷却装置。
【請求項３】
請求項１に記載の冷却装置であって、
前記密閉部材は、ゴムまたは金属でなることを特徴とする冷却装置。
【請求項４】
請求項１に記載の冷却装置であって、
前記密閉部材は、エチレンプロピレンゴムでなることを特徴とする冷却装置。
【請求項５】
請求項１に記載の冷却装置であって、
前記蓋部材を前記コンテナの表面に接着させるための紫外線硬化性樹脂材をさらに具備することを特徴とする冷却装置。
【請求項６】
請求項１に記載の冷却装置であって、
前記蓋部材を前記コンテナに押圧するように固定する固定機構をさらに具備することを特徴とする冷却装置。
【請求項７】
請求項６に記載の冷却装置であって、
前記固定機構は、
前記コンテナにおける前記開口部の近傍に設けられたネジ受け部と、
前記蓋部材を介して前記ネジ受け部に螺着されるネジと
を有することを特徴とする冷却装置。
【請求項８】
請求項６に記載の冷却装置であって、
当該冷却装置が電子機器に搭載される場合、
前記固定機構は、前記蓋部材を押圧しつつ当該電子機器に前記コンテナを固定するための押さえ板を有することを特徴とする冷却装置。
【請求項９】
表面に開口部を有するコンテナを有し、前記開口部を介して前記コンテナの内部に注入された冷媒が該内部で流通し蒸発及び凝縮することで熱を吸収及び放出する冷却装置の製造方法であって、
（ａ）前記開口部を介して前記冷媒を前記コンテナの内部に注入する工程と、
（ｂ）前記注入された冷媒の量を調整する工程と
を具備することを特徴とする冷却装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の冷却装置の製造方法であって、
前記工程（ａ）は、
チャンバ内に前記コンテナを配置する工程と、
前記チャンバ内を減圧する工程と
を有することを特徴とする冷却装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の冷却装置の製造方法であって、
前記工程（ｂ）は、
チャンバ内に前記コンテナを配置する工程と、
前記チャンバ内を減圧する工程と
を有することを特徴とする冷却装置の製造方法。
【請求項１２】
請求項９に記載の冷却装置の製造方法であって、
前記工程（ｂ）は、前記コンテナを加熱する工程を有することを特徴とする冷却装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項９に記載の冷却装置の製造方法であって、
（ｃ）前記工程（ｂ）の後、該コンテナの内部を密閉するための蓋部材を、前記開口部を覆うように前記コンテナの表面上に接着する工程をさらに具備することを特徴とする冷却装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の冷却装置の製造方法であって、
前記工程（ｃ）は、紫外線硬化性樹脂材を用いて接着する工程を有することを特徴とする冷却装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項９に記載の冷却装置の製造方法であって、
前記工程（ｂ）は、
前記冷媒量を測定する工程と、
前記冷媒量の測定結果に基づき、前記チャンバ内の圧力を制御する工程と
を有することを特徴とする冷却装置の製造方法。
【請求項１６】
請求項９に記載の冷却装置の製造方法であって、
前記工程（ａ）は、前記コンテナの表面上であって前記開口部の周囲の領域を局所的に減圧する工程を有することを特徴とする冷却装置の製造方法。
【請求項１７】
表面に開口部を有するコンテナを有し、前記開口部を介して前記コンテナの内部に注入された冷媒が該内部で流通し蒸発及び凝縮することで熱を吸収及び放出する冷却装置の製造装置であって、
前記コンテナを保持する第１の保持部と、
前記コンテナの内部を密閉可能な蓋部材を保持する第２の保持部と、
前記蓋部材と前記開口部とを離接させるように、前記第１の保持部と前記第２の保持部とを相対的に移動させる移動機構と
を具備することを特徴とする冷却装置の製造装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の冷却装置の製造装置であって、
前記移動機構は、
前記第２の保持部に設けられ、前記蓋部材が前記開口部に当接した状態で前記保持された蓋部材を前記コンテナに押し付けるように、前記第２の保持部に付勢力を与える弾性部材と、
前記第１及び第２の保持部を前記弾性部材の伸縮方向に一体的に移動させることが可能な一体移動機構と、
前記一体移動機構による第１及び第２の保持部が移動することで、前記弾性部材の付勢力に抗して第２の保持部を押圧する押圧部材と
を具備することを特徴とする冷却装置の製造装置。
【請求項１９】
請求項１７に記載の冷却装置の製造装置であって、
前記第２の保持部は前記蓋部材を磁力で保持するための永久磁石を有することを特徴とする冷却装置の製造装置。
【請求項２０】
請求項１７に記載の冷却装置の製造装置であって、
前記冷却装置を収容可能であるとともに内部が減圧可能なチャンバと、
前記コンテナの内部に注入された前記冷媒量を測定する手段と、
前記測定された冷媒量に基づき、前記チャンバ内の圧力を制御する手段と
をさらに具備することを特徴とする冷却装置の製造装置。
【請求項２１】
請求項１７に記載の冷却装置の製造装置であって、
前記第１の保持部が前記コンテナを保持した状態で該コンテナの表面に対面する端部を有し、前記第２の保持部に対して相対的に移動可能に設けられ、前記第２の保持部に対して相対移動して前記端部が前記コンテナの表面に当接したときに、該表面上であって前記開口部の周囲の領域を密閉可能なシール機構と、
前記領域を減圧する減圧機構と
をさらに具備することを特徴とする冷却装置の製造装置。
【請求項２２】
発熱体と、
表面に開口部を有するコンテナと、
前記コンテナの内部を流通し、蒸発及び凝縮することで前記発熱体から発生する熱を吸収及び放出する冷媒と、
前記コンテナの内部を密閉するための密閉部材を有し、前記開口部を覆うように前記表面上に設けられた蓋部材と
を具備することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、冷媒を循環させて電子部品等の発熱体を冷却する冷却装置、冷却装置の製造方法、その製造装置及びこの冷却装置が搭載された電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）やデジタルカメラ等の電子機器の高性能化に伴いＩＣ（Integrated Circuit）等の発熱体からの発熱量の増大が問題となっている。例えば、近年では、これらの電子機器には、記憶容量が大きくかつ小型、薄型であるスティック状の記憶媒体が汎用されるようになってきている。これらの記憶媒体は、フラッシュメモリとドライバ（ＩＣ）を一体的に有するものや、ドライバ（ＩＣ）が装置本体等に搭載されているものがある。記憶媒体の記憶容量の大容量化に伴い、電子機器の使用時にドライバ（ＩＣ）からは多量の熱が発生し、動作不良等の問題を生じている。
【０００３】
そこで、電子機器側に冷却装置を設けることが考えられ、その冷却方法として従来からヒートパイプを用いた技術が使用されてきた。しかしながら、ヒートパイプはその構造上の理由から、小型、薄型化が求められているラップトップ型のＰＣやデジタルカメラ等の電子機器の冷却には不向きである。
【０００４】
このような問題を解決するために、例えばシリコン基板とガラス基板とに溝を形成し、これらの基板が接合されることによってヒートパイプの機能を発揮する薄型の冷却装置が提案されている。この冷却装置は、冷媒として例えば水または代替フロン等が用いられる（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
ところで、従来から、ヒートパイプや上記薄型の冷却装置の製造工程において、冷媒の注入や冷媒量の調整作業は大気中で行われており、この冷媒量の調整方法として、加熱追い出し法が用いられている。加熱追い出し法とは、ヒートパイプを加熱し冷媒を蒸発させることで冷媒量を減少等させて調整する方法である。
【特許文献１】特開２００３−３５４７０号公報（段落[００１７]、図３、図７等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、大気中で冷媒の注入作業等を行う場合、ヒートパイプ内部への不純物の混入を避けることは困難である。この場合、初期動作時の冷却性能はもちろん、長期信頼性において問題がある。また、加熱時間、温度、ヒートパイプの内部の開放時間等によって冷媒量を調整しており、冷媒量の高精度な調整が困難であるため、製品のばらつきが大きいという問題があった。さらに冷媒量が適切でない場合、所望のヒートパイプの冷却性能が得られない場合もある。
【０００７】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、所望の冷却性能を確保することができ、製品ごとの性能のばらつきを抑えることができる冷却装置、冷却装置の製造方法、冷却装置の製造装置及び電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係る冷却装置は、表面に開口部を有するコンテナと、前記コンテナの内部を流通し、蒸発及び凝縮することで熱を吸収及び放出する冷媒と、前記コンテナの内部を密閉するための密閉部材を有し、前記開口部を覆うように前記表面上に設けられた蓋部材とを具備する。
【０００９】
本発明では、蓋部材がコンテナの内部を密閉する密閉部材を有している。例えばこの冷却装置の製造時において、開口部に着脱自在な構成を有する密閉部材を用いればよい。すなわち、蓋部材で密封した冷却装置の動作を確認し、冷却装置の動作に不具合がある場合にはコンテナから蓋部材を離脱させ、開口部から冷媒を蒸発させて冷媒量を減らせばよい。このようにして冷媒量を調整した後、再度蓋部材で開口部を塞いで密閉部材によりコンテナの内部を密閉することができる。このように冷媒量が調整できることにより、所望の冷却性能を得ることができ、製品ごとの冷却性能のばらつきを抑えることができる。
【００１０】
本発明において、開口部は、例えば冷却装置の製造時に冷媒が注入される注入孔である。したがって、開口部は例えば凝縮部側に設けられる。また、コンテナは様々な形状が考えられる。例えば平板状、立方体状、あるいはこれらの組み合わせの形状が考えられる。コンテナは蒸発部側と凝縮部側とで分割されて当該両側がパイプで接続されていてもよいし、または、１つのコンテナで冷却装置が構成されていてもよい。
【００１１】
蓋部材または密閉部材のコンテナへの着脱自在な構成としては、例えば、密閉部材にＯリングを用い、このＯリングが装着された蓋部材をコンテナに押し付けるような機構を用いることができる。あるいは、開口部の開口面積より大きい直径のシール部分を持つ例えばゴム製のキャップ部材を密閉部材として用いることも可能である。つまり、このようなキャップ部材を開口部に押し込むようにすれば、その弾性力によりコンテナ内部を密閉することができる。密閉部材は、例えばエチレンプロピレンゴムを用いることができる。エチレンプロピレンゴムは耐エタノール性に優れている。
【００１２】
本発明の一の形態によれば、前記密閉部材は、ゴムまたは金属でなる。密閉部材が金属でなる場合、例えば冷却装置の製造前において、予め密閉部材につぶし代（しろ）を設けておけば、冷却装置の製造時において蓋部材を何度か着脱しながら冷媒の量を調整することができる。
【００１３】
本発明の一の形態によれば、当該冷却装置は、前記蓋部材を前記コンテナの表面に接着させるための紫外線硬化性樹脂材をさらに具備する。例えば密閉部材がゴムでなる場合、紫外線硬化性樹脂材を用いることで、当該紫外線硬化性樹脂材で接着された後は、大気中の紫外線による密閉部材の劣化を防止することができる。また、この樹脂材と密閉部材の両方によって、接着剤のみ用いて開口部を封止する従来の技術に比べ、シール性能を向上させることができる。
【００１４】
本発明の一の形態によれば、前記蓋部材を前記コンテナに押圧するように固定する固定機構をさらに具備する。このような機械的な固定機構により、蓋部材をコンテナに確実に固定することができる。例えば、蓋部材を樹脂剤等の接着剤によりコンテナに固定するだけでは、極度に気温が高い場所、あるいは極度に気温が低い場所で冷却装置が用いられ場合は、接着力が低下するといった懸念が生じる。しかしながら、本発明では、そのような懸念を解消することができ、製品の長期信頼性を確保することができる。
【００１５】
本発明の一の形態によれば、前記固定機構は、前記コンテナにおける前記開口部の近傍に設けられたネジ受け部と、前記蓋部材を介して前記ネジ受け部に螺着されるネジとを有する。これにより、簡単な構造で構成することができる。「近傍」とは、ネジ受け部が例えば開口部の周囲に設けられていればよい。この場合に、ネジ受け部は、ネジの本数に合わせて複数あってもよいし、あるいは１つの部材により構成されていてもよい。
【００１６】
本発明の一の形態によれば、当該冷却装置が電子機器に搭載される場合、前記固定機構は、前記蓋部材を押圧しつつ当該電子機器に前記コンテナを固定するための押さえ板を有する。このような押さえ板により、蓋部材のコンテナへの固定及びコンテナの電子機器への固定の両方を簡単な構成により行うことができる。
【００１７】
本発明に係る冷却装置の製造方法は、表面に開口部を有するコンテナを有し、前記開口部を介して前記コンテナの内部に注入された冷媒が該内部で流通し蒸発及び凝縮することで熱を吸収及び放出する冷却装置の製造方法であって、（ａ）前記開口部を介して前記冷媒を前記コンテナの内部に注入する工程と、（ｂ）前記注入された冷媒の量を調整する工程とを具備する。
【００１８】
本発明では、冷媒の量を調整できるようにしたので、所望の冷却性能を得ることができ、製品ごとの冷却性能のばらつきを抑えることができる。また、仮封止を行うことが可能であり、内部の清浄度を保つことが可能となるため、長期間安定した性能を保つことが可能となる。さらに、冷媒の調整後であって動作確認後に不具合が生じた場合でも不具合箇所を修復し、再度注入工程からやり直すことが可能となるため、製造時の歩留まりが大幅に向上できる。
【００１９】
本発明の一の形態によれば、前記工程（ａ）は、チャンバ内に前記コンテナを配置する工程と、前記チャンバ内を減圧する工程とを有する。このように減圧状態で冷媒を注入することにより、大気圧下で注入する場合に比べ不純物がコンテナ内に混入することを抑制することができる。その結果、所望の冷却性能を得ることができ、冷却性能の長期信頼性が向上する。
【００２０】
本発明の一の形態によれば、前記工程（ｂ）は、チャンバ内に前記コンテナを配置する工程と、前記チャンバ内を減圧する工程とを有する。本発明では、チャンバ内の圧力制御によって、高精度に冷媒量を調整することができる。具体的には、前記工程（ｂ）は、前記冷媒量を測定する工程と、前記冷媒量の測定結果に基づき、前記チャンバ内の圧力を制御する工程とを有する。このような減圧工程に加え、加熱工程も適用してもよい。
【００２１】
本発明の一の形態によれば、（ｃ）前記工程（ｂ）の後、該コンテナの内部を密閉するための蓋部材を、前記開口部を覆うように前記コンテナの表面上に接着する工程をさらに具備する。例えば蓋部材を接着するときの接着剤と密閉部材の両方によって、接着剤のみ用いて開口部を封止する従来の技術に比べ、シール性能を向上させることができる。
【００２２】
本発明の一の形態によれば、前記蓋部材は、前記工程（ｃ）は、紫外線硬化性樹脂材を用いて接着する。これにより、上記したように、密閉部材がゴムでなる場合、当該密閉部材の劣化を防止することができる。
【００２３】
本発明の一の形態によれば、前記工程（ａ）は、前記コンテナの表面上であって前記開口部の周囲の領域を局所的に減圧する工程を有する。これにより、減圧する領域を極力狭くすることができ、減圧に要する時間を短縮できる。また、減圧する領域を狭くできる結果、例えば冷媒量を調整する場合にその領域の圧力を容易かつ迅速に制御することができる。
【００２４】
本発明に係る冷却装置の製造装置は、表面に開口部を有するコンテナを有し、前記開口部を介して前記コンテナの内部に注入された冷媒が該内部で流通し蒸発及び凝縮することで熱を吸収及び放出する冷却装置の製造装置であって、前記コンテナを保持する第１の保持部と、前記コンテナの内部を密閉可能な蓋部材を保持する第２の保持部と、前記蓋部材と前記開口部とを離接させるように、前記第１の保持部と前記第２の保持部とを相対的に移動させる移動機構とを具備する。
【００２５】
本発明では、移動機構により第１の保持部と第２の保持部とを相対的に移動させることで、密閉部材をコンテナに押圧させたり、コンテナから密閉部材を離したりすることができる。これにより、密閉部材をコンテナに押圧させて蓋部材で密封した状態で冷却装置の動作を確認し、冷却装置の動作に不具合がある場合にはコンテナから蓋部材を離脱させ、開口部から冷媒を蒸発させて冷媒量を減らすことができる。このようにして冷媒量を調整した後、再度蓋部材で開口部を塞いで密閉部材によりコンテナの内部を密閉することができる。これにより、所望の冷却性能を得ることができ、製品ごとの冷却性能のばらつきを抑えることができる。
【００２６】
本発明の一の形態によれば、前記移動機構は、前記第２の保持部に設けられ、前記蓋部材が前記開口部に当接した状態で前記保持された蓋部材を前記コンテナに押し付けるように、前記第２の保持部に付勢力を与える弾性部材と、前記第１及び第２の保持部を前記弾性部材の伸縮方向に一体的に移動させることが可能な一体移動機構と、前記一体移動機構による第１及び第２の保持部が移動することで、前記弾性部材の付勢力に抗して第２の保持部を押圧する押圧部材とを具備する。
【００２７】
弾性部材は第２の保持部ではなく、第１の保持部に設けられていてもよい。つまり、前記移動機構は、前記第１の保持部に設けられ、前記蓋部材が前記開口部に当接した状態で前記保持された蓋部材を前記コンテナに押し付けるように、前記第１の保持部に付勢力を与える弾性部材と、前記第１及び第２の保持部を前記弾性部材の伸縮方向に一体的に移動させることが可能な一体移動機構と、前記一体移動機構による第１及び第２の保持部が移動することで、前記弾性部材の付勢力に抗して第１の保持部を押圧する押圧部材とを具備するようにしてもよい。
【００２８】
本発明の一の形態によれば、前記第２の保持部は前記蓋部材を磁力で保持するための永久磁石を有する。このような構成によれば、蓋部材が磁性体ならば、蓋部材を例えば機械的なチャック機構を用いる必要がないので、ゴミや不純物が発生することを防止できる。したがって、例えばコンテナ内に冷媒を注入するとき、または冷媒量を調整するとき等にゴミ等がコンテナ内に混入することもない。
【００２９】
本発明の一の形態によれば、前記冷却装置を収容可能であるとともに内部が減圧可能なチャンバと、前記コンテナの内部に注入された前記冷媒量を測定する手段と、前記測定された冷媒量に基づき、前記チャンバ内の圧力を制御する手段とをさらに具備する。これにより、チャンバ内の圧力制御によって、高精度に冷媒量を自動調整することができる。
【００３０】
本発明の一の形態によれば、前記第１の保持部が前記コンテナを保持した状態で該コンテナの表面に対面する端部を有し、前記第２の保持部に対して相対的に移動可能に設けられ、前記第２の保持部に対して相対移動して前記端部が前記コンテナの表面に当接したときに、該表面上であって前記開口部の周囲の領域を密閉可能なシール機構と、前記領域を減圧する減圧機構とをさらに具備する。これにより、減圧機構により減圧する領域を極力狭くすることができ、減圧に要する時間を短縮できる。また、本製造装置を小型化することができる。さらに、減圧する領域を狭くできる結果、例えば冷媒量を調整する場合にその領域の圧力を容易かつ迅速に制御することができる。
【００３１】
本発明に係る電子機器は、発熱体と、表面に開口部を有するコンテナと、前記コンテナの内部を流通し、蒸発及び凝縮することで前記発熱体から発生する熱を吸収及び放出する冷媒と、前記コンテナの内部を密閉するための密閉部材を有し、前記開口部を覆うように前記表面上に設けられた蓋部材とを具備する。
【００３２】
本発明では、冷却装置の製造時において、開口部に着脱自在な構成を有する密閉部材を用いればよい。冷媒量を調整した後、再度蓋部材で開口部を塞いで密閉部材によりコンテナの内部を密閉することができる。これにより、所望の冷却性能を得ることができ、製品ごとの冷却性能のばらつきを抑えることができる。また、その結果、電子機器ごとの冷却性能のばらつきを抑えることができる。電子機器としては、コンピュータ、ＰＤＡ（Personal Digital Assistance）、電子辞書、カメラ、ディスプレイ装置、オーディオ機器、携帯電話、メモリドライブ、その他の電化製品等が挙げられる。以下、同様である。
【００３３】
本発明の一の形態によれば、上述した固定機構は、前記蓋部材を押圧しつつ当該電子機器に前記コンテナを固定するための押さえ板を有するようにしてもよい。
【発明の効果】
【００３４】
以上のように、本発明によれば、所望の冷却性能を確保することができ、製品ごとの性能のばらつきを抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
【００３６】
図１は、本発明の一実施の形態に係る冷却装置を示す平面図であり、図２は断面図である。
【００３７】
冷却装置１は、冷媒が流通可能な流路Ｐ１を内部に有する蒸発基板２を備えている。冷媒には、例えば、純水、エタノール等が用いられている。蒸発基板２は、発熱体としてのＩＣチップ等が発する熱を冷媒により吸収して蒸発させるために用いられる。蒸発基板２は、蒸発基板２の上面に設けられた接続用のコネクタ９を介して、パイプ３の一端部に接続されている。パイプ３は例えばステンレス等の金属製のものを用いることができる。パイプ３内には蒸発した冷媒の流路Ｐ２が設けられている。
【００３８】
パイプ３の他端部は、接続用のコネクタ１０を介して凝縮基板５に接続されている。凝縮基板５は、コネクタ１０の下方に設けられ、冷媒が流動可能な流路Ｐ３を内部に有している。凝縮基板５は、パイプ３内を流通した冷媒を凝縮し外部に熱を放出するために用いられる。凝縮基板５には、コネクタ１０を介してパイプ４の一端部が接続されている。パイプ４は、例えばステンレス等の金属製のものを用いることができる。パイプ４内には凝縮した冷媒の流路Ｐ４が設けられている。流路Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３及びＰ４は連通しており、相変化循環型の冷却装置１が構成されている。
【００３９】
図２に示すように、蒸発基板２は、矩形状のガラス基板１４と、矩形状のシリコン基板１５とが貼り合わされて構成されている。つまり、ガラス基板１４とシリコン基板１５とが貼り合わされて内部に流路Ｐ１を有するコンテナが形成される。ガラス基板１４とシリコン基板１５とは例えば陽極接合で接合される。ガラス基板１４には、例えばパイレックス（登録商標）ガラスが用いられている。シリコン基板１５には、図１に示すように、例えばＸ方向に沿う溝８やＹ方向に沿う図示を省略した毛細力を発生させる溝（ウィック）が設けられている。つまり、冷媒がＹ方向に沿う溝により毛細管力によって、冷媒がＹ方向に移動するように構成されている。これらの溝は、例えば半導体製造におけるリソグラフィ技術、または、切削加工等によって作製される。
【００４０】
シリコン基板１５の溝の形状については、これらに限定されず変更して設けるようにしてもよい。また、ガラス基板１４の下面にも必要に応じて溝を設けることにより、様々な形態の冷媒の流路を形成することができる。
【００４１】
凝縮基板５は、蒸発基板２と同様に矩形状のガラス基板２４と矩形状のシリコン基板２５とが貼り合わされて構成されている。つまり、ガラス基板２４とシリコン基板２５とが貼り合わされて内部に流路Ｐ３を有するコンテナが形成される。凝縮基板５を構成するガラス基板２４やシリコン基板２５には、溝が形成されている。例えば、ガラス基板２４には、凝縮基板５の内部に冷媒を行き渡らせることができるように図１に示す溝１１が設けられている。溝１１は、例えば、冷媒をＸ方向に流通させた後、Ｙ方向の両端に流通させることができる形状を有している。溝１１は、例えばガラス基板２４側に形成されたパターンである。
【００４２】
図３は、図２において破線で囲んだ部分を示す拡大断面図である。凝縮基板５を構成するガラス基板２４には、冷媒を凝縮基板５内に注入したりするための注入孔２４ａが設けられており、注入孔２４ａは蓋部材１２によって封止されている。蓋部材１２は金属でなり、例えばステンレス、アルミニウム、または銅等でなる。ステンレスを使用する場合は磁性体であることが好ましい。アルミや銅を使用する場合は、蓋部材１２に腐食防止の表面処理、例えばニッケルまたは金メッキ等がなされることが望ましい。蓋部材１２にはＯリング１７が装着されており、このＯリング１７によって凝縮基板５の内部が密閉されている。Ｏリング１７は、例えばゴムでなる。この場合、例えばエチレンプロピレンゴムを用いることができる。エチレンプロピレンゴムは、耐熱性が高いため放熱する凝縮基板５側に設けられても問題ない。また、エチレンプロピレンゴムは、耐薬品性が高いので、例えば冷媒がエタノールであっても問題ない。蓋部材１２は、樹脂１８で封止され、ガラス基板２４に接着されている。樹脂材１８は例えば、エポキシ樹脂、または紫外線硬化性樹脂である。Ｏリングがゴムでなる場合、特に、紫外線硬化性樹脂材１８を用いることで、当該紫外線硬化性樹脂材で蓋部材１２がガラス基板２４に接着された後は、この樹脂材が大気中の紫外線を吸収することによりＯリング１７の劣化を防止することができる。また、この樹脂材１８とＯリング１７の両方によって、接着剤のみ用いて注入孔を封止する従来の技術に比べ、シール性能を向上させることができる。
【００４３】
次に、冷却装置１の動作について図面を参照しながら説明する。ここでは、シリコン基板１５の下面側に、例えば発熱体としてＩＣチップ２１が接触して設けられている場合について説明する。
【００４４】
ＩＣチップ２１が発する熱はシリコン基板１５に伝えられ、この熱により流路Ｐ１内の冷媒が蒸発する。蒸発した冷媒は、コネクタ９を介してパイプ３内の流路Ｐ２を矢印方向（図１参照）に流通し、コネクタ１０を介して凝縮基板５内の流路Ｐ３に流入する。流路Ｐ３に流入した冷媒は、溝１１内をＸ方向、Ｙ方向に流通する等して熱をシリコン基板２５等に伝えて凝縮する。シリコン基板２５等に伝わった熱は凝縮基板５の外部に放出される。凝縮した冷媒は、コネクタ１０を介してパイプ４内の流路Ｐ４を矢印方向に流通し、コネクタ９を介して蒸発基板２内の溝８に流入し、Ｙ方向の図示しない溝に沿って毛細管力により移動する。以上のように、ＩＣチップ２１の発する熱が凝縮基板５の外部に放出される。
【００４５】
以上のように、本実施形態の冷却装置１では、流路Ｐ１〜Ｐ４内での冷媒の蒸発、凝縮作用により、ＩＣチップ２１が発する熱を凝縮基板５の外部に放出してＩＣチップ２１を冷却することができる。
【００４６】
図４は、上記冷却装置１の製造装置を示す断面図である。図５は、図４におけるＡ−Ａ線断面図である。この製造装置３０は、上記蒸発基板２と凝縮基板５とが作製され、パイプ３、４が両基板２、５に接続された後であって、冷却装置１の内部が洗浄された後の製造工程で用いられる製造装置である。具体的には、製造装置３０は、冷媒を凝縮基板５内に注入したり、その注入量を調整したりするための製造装置である。
【００４７】
製造装置３０は、例えば真空ポンプ４０により内部を真空排気可能なチャンバ３８を備えている。チャンバ３８内には、冷却装置１を保持する保持具３１が収容されており、この保持具３１は、軸部材３９に装着されている。保持具３１は着脱ブロック４１、支持柱４３を有しており、着脱ブロック４１が軸部材３９に対して着脱可能に構成されることで、保持具３１が軸部材３９に着脱可能に構成される。軸部材３９は、図示しない真空シール機構を介してチャンバ３８の壁４２の穴４２ａに挿入されている。また、製造装置３０は、チャンバ３８内に押圧部材としてのピン部材３３を備えており、ピン部材３３は該チャンバ３８に対して固定の支持板３４に支持されて固定されている。軸部材３９及び保持具３１は、後述するように一体的に移動可能な一体移動機構を構成する。
【００４８】
図６は、上記保持具３１の一部を示す断面図である。保持具３１には、ステージブロック４４と、シャフト４７を支持する支持ブロック４６とを有する固定部５１が備えられ、バネ４９及びシャフト４７に取り付けられた可動ブロック４５が備えられている。固定部５１は支持柱４３を介して着脱ブロック４１に取り付けられている。固定部５１は、軸部材３９に保持具３１が装着された状態で、チャンバ３８に対して固定である。そのステージブロック４４の座ぐり部４４ａには、冷却装置１の凝縮基板５が載置されるようになっている。バネ４９の上端はガイド部材４８に固定されている。
【００４９】
シャフト４７は、支持ブロック４６にガイド部材４８を介して上下方向に摺動可能に支持され、その下端のネジ部４７ａで可動ブロック４５がシャフト４７に固定されている。支持ブロック４６には、可動ブロック４５が上下方向に移動できるようにスペース４６ａが形成されている。可動ブロック４５には、永久磁石５０が内蔵され、さらにその下方に座ぐり部４５ａが設けられている。永久磁石５０の磁力によりこの座ぐり部４５ａに上記冷却装置１の蓋部材１２が嵌合されることで、蓋部材１２が可動ブロック４５に保持される。軸部材３９に保持具３１が装着されたとき、この可動ブロック４５の下方に上記ピン部材３３が配置されるようになっている。
【００５０】
次に、以上のように構成された製造装置３０の動作について説明する。
【００５１】
図７に示すように、例えば作業員により手作業で可動ブロック４５に蓋部材１２が取り付けられ、さらにステージブロック４４の座ぐり部４４ａに冷却装置１が載置される。このとき、バネ４９は可動ブロック４５に対して付勢力を与えているので、蓋部材１２のＯリング１７の部分がガラス基板２４に押し付けられ、凝縮基板５の内部、ひいては冷却装置１全体の内部が密閉された状態となっている。
【００５２】
なお、このように作業員の手作業ではなく、例えば図示しない別の装置により自動で冷却装置１が保持具３１にセットされるようにしてもよい。
【００５３】
このように冷却装置１が保持具３１に保持された状態で、作業員により保持具３１がチャンバ３８内に収容され、軸部材３９に装着される。そして、チャンバ３８内が密閉された状態で、所定の真空度までチャンバ３８内が減圧される。減圧後、作業員の手または製造装置３０の自動駆動により、軸部材３９が下降させられることで、軸部材３９と保持具３１とが一体的に下降していく。
【００５４】
保持具３１が下降していくと、ピン部材３３が可動ブロック４５に当接する。さらに保持具３１が下降していくと、図８に示すように、ピン部材３３がバネ４９の弾性力に抗して可動ブロック４５を押し上げる。そうすると、蓋部材１２は磁力により可動ブロック４５に保持されているため、蓋部材１２とガラス基板２４とが離れてゆき、注入孔２４ａが開放される。そして所定の位置で保持具３１の下降動作が停止する。これにより、冷却装置１の内部、すなわち、蒸発基板２や凝縮基板５等の内部の流路Ｐ１〜Ｐ４内の空気が排気される。また、このとき冷却装置１を加熱することよって流路Ｐ１〜Ｐ４内の水分や空気等の付着気体成分を効率よくを抜くようにしてもよい。このように加熱するための図示しないヒータは、例えばステージブロック４４に内蔵されていればよい。このように排気された後、軸部材３９が上昇させられることで、保持具３１が上昇してゆき、ピン部材３３の可動ブロック４５への突き上げが解除される。そしてバネの弾性力により再び蓋部材１２がガラス基板２４上に押し付けられ、冷却装置１は密閉される。
【００５５】
冷却装置１が密閉された後、図９に示すように、例えばチャンバ３８内に、冷媒５２が貯溜された容器５３が搬入され、冷却装置１が冷媒５２内に浸されるように、容器５３がチャンバ３８内に配置される。この容器５３の底部には、例えば上記したような機能と同様の機能を有するピン部材１３３が設けられている。容器５３の搬入後、チャンバ３８内の空気を所定の真空度まで排気する。このとき、チャンバ３８は冷媒５２の飽和蒸気圧に保たれる。なお、例えば、予め冷媒５２が貯溜された容器５３が収容された、チャンバ３８とは別のチャンバに保持具３１を搬入してもよい。
【００５６】
冷却装置１が冷媒５２内に浸された後、上記した動作と同様な動作により、可動ブロック４５をピン部材１３３に押し当てて蓋部材１２をガラス基板２４から離脱させる。これにより、冷媒５２が注入孔２４ａを介して凝縮基板５内に流入する。このとき、チャンバ３８内に純窒素を入れてチャンバ３８内の圧力を飽和蒸気圧より多少高くするようにしてもよい。これにより冷媒５２が凝縮基板５内に流入しやすくなる。このように、チャンバ３８内で減圧下で冷媒が注入されることにより、大気圧下で注入する場合に比べ不純物が冷却装置１内に混入することを抑制することができる。その結果、所望の冷却性能を得ることができ、冷却性能の長期信頼性が向上する。
【００５７】
冷媒５２が冷却装置１内に満杯になるまで注入された後、冷却装置１の内部が密閉された後、さらに保持具３１を上昇させ、冷媒５２中から、または容器５３から冷却装置１を取り出す。この場合、チャンバ３８内から冷媒５２が貯溜された容器５３が取り出されるか、または、冷却装置１がチャンバ３８とは別のチャンバに移される。冷媒５２が貯溜された容器５３をチャンバ３８から取り出すのは、その後の工程である冷媒量の調整工程において、チャンバ３８内を減圧しようとしても容器５３中の冷媒が無くならない限り減圧できないからである。
【００５８】
冷却装置１が容器５３から取り出され、冷媒５２が貯溜された容器５３がチャンバ３８から取り出された後、作業員によりチャンバ３８内の圧力が制御されることで、冷却装置１内の冷媒の量が調整される。この場合、上記のようにチャンバ３８とは別のチャンバに冷却装置１が移され、そこで圧力が制御されて冷却装置１内の冷媒の量が調整されてもよい。例えば、飽和蒸気圧よりさらにチャンバ３８内の圧力を下げることにより、冷媒を蒸発させていく。このとき、冷却装置１を上記ヒータによって加熱することで冷媒を効率よく蒸発させるようにしてもよい。例えば、所定の時間だけ減圧あるいは加熱等することで、冷却装置１の冷媒の量を所望の量に調整する。
【００５９】
冷媒量の調整後、保持具３１を上昇させることで、ピン部材１３３の可動ブロック４５への突き上げが解除される。これにより、蓋部材１２がガラス基板２４に当接し、冷却装置１の内部が密閉される。この後、冷却装置１が保持された保持具３１がチャンバ３８から取り出される。そして、例えば作業員の手作業により、冷却装置１が保持された保持具３１の重量が測定されることで、冷媒が所望の量だけ注入されたかどうかを確認することができる。
【００６０】
具体的には、一例として、冷媒が注入される前と注入された後の、冷却装置１が保持された保持具３１の重量を比較することで、所望の量の冷媒が注入されたかどうかを確認することができる。注入された冷媒量が、所望の量より多い場合、再度冷却装置１が保持された保持具３１をチャンバ３８内に搬入して、チャンバ３８を減圧させて冷媒を蒸発させて減らせばよい。一方、注入された冷媒量が、所望の量より少ない場合は、冷却装置１が保持された保持具３１をチャンバ３８内に搬入して、再度冷媒を満杯にしてから、同様な動作を繰り返せばよい。
【００６１】
また、動作の不具合などがあった場合には不具合箇所の修復を行い、冷媒の注入、冷媒量の調整等を行う。
【００６２】
冷媒が注入される前と注入された後の、容器５３内の冷媒の量を比較することによっても、冷媒が所望の量だけ冷却装置１に注入されたかどうかを確認することができる。この場合、容器５３内の冷媒５２の体積を見るようにしてもよい。このように、容器５３内の冷媒の量を監視する場合は、チャンバ３８から冷却装置１を取り出す必要がないので作業が楽になる。
【００６３】
このように、冷媒量の確認方法はいろいろ考えられ、以上説明した方法には限定されない。
【００６４】
所望の量の冷媒が注入され、動作確認が終了したら、図７に示したように蓋部材１２の周囲に樹脂１８が塗布され、硬化することで封止される。樹脂１８が紫外線硬化性樹脂ならば、塗布された樹脂１８に紫外線が照射されることで樹脂１８が硬化する。その結果、冷却装置１の内部が密閉されることになる。その後、冷却装置１を保持具３１から取り外されることで、冷却装置１が完成する。
【００６５】
以上のように、本実施の形態では、可動ブロック４５により蓋部材１２を保持し、ステージブロック４４に載置された冷却装置１に対して移動させることができるので、蓋部材１２を着脱することができる。これにより、冷却装置１内の高精度な冷媒量の調整が可能となり、製造工程において、冷却装置の動作確認後に最終封を行うことが可能となる。したがって、性能の安定した製品を製造することが可能となる。
【００６６】
本実施の形態では、冷却装置１内の洗浄後（冷媒注入前）に、仮封止を行うことが可能であり、内部の清浄度を保つことが可能となる。また、内部の清浄度を保つことが可能なことから、長期間安定した性能を保つことが可能となる。
【００６７】
本実施の形態では、動作確認後（最終封止前）に不具合が生じた場合でも不具合箇所を修復し、再度注入工程からやり直すことが可能となるため、製造時の歩留まりが大幅に向上できる。
【００６８】
図１０は、冷却装置の蓋部材の他の実施の形態を示す断面図である。この蓋部材６２には、密閉部材としてメタルＯリング６７が装着されている。メタルＯリング６７は、例えばアルミニウムでなる。メタルＯリング６７は、所定の高さｈのつぶし代が設けられている。このような蓋部材６２を用いる場合、上記ゴム製のＯリング１７が装着された蓋部材１２を用いる場合と同様な冷媒の注入方法及び冷媒量の調整方法により、当該注入工程及び調整工程が行われる。
【００６９】
このようにメタルＯリングを使用することで、長期信頼性を確保できる。ただし、ゴム製のＯリング１７と違い、一度凝縮基板に押し付けてつぶしてしまうと金属が塑性変形をしてしまうため、次に押し付ける際にはつぶし力を高める必要がある。すなわち、冷媒量の調整工程では、蓋部材６２で封止するごとに徐々につぶし力を高めていくようにする。
【００７０】
図１１は、冷却装置１の他の実施の形態に係る製造装置を示す断面図である。
【００７１】
製造装置７０には、ステージ７１を含む固定部６５、この固定部６５に対して移動可能な第１の可動部７５及びシール機構として機能する第２の可動部５５とが備えられている。ステージ７１には図１２に示すように冷却装置１が載置され、固定手段９５等によりステージ７１に固定されるようになっている。固定部６５は、冷却装置１の上記蓋部材１２を保持して上下移動させるための軸部材８９を摺動可能に支持する支持ブロック７３を有している。支持ブロック７３は、ステージ７１上に立設された支持体７２により支持されている。
【００７２】
図１１に示すように、第１の可動部７５の上部ブロック７４には上記軸部材８９が固定されている。上部ブロック７４と支持ブロック７３との間にはバネ７６が取り付けられ、さらに上部ブロック７４には複数のピン９０が固定されている。各ピン９０は、支持ブロック７３に装着されたガイド部材９１に摺動可能に挿通されている。軸部材８９の下端部には、図１２に示すように蓋部材１２を保持するための保持ブロック８５が設けられている。第１の可動部７５が以上のように構成されることで、バネ７６に抗して、上部ブロック７４、軸部材８９及び各ピン９０が一体的に支持ブロック７３に対して昇降する。
【００７３】
ステージ７１上には、第２の可動部５５の軸部材７８を支持するための支持柱８６が設けられている。軸部材７８は、支持柱８６に装着されたガイド部材９２で摺動可能になっている。軸部材７８は、密閉領域Ａ（図１２参照）を形成するための壁部材８０が取り付けられたブロック８３に固定されている。壁部材８０は、ネジ８４によりブロック８３に取り付けられている。ブロック８３と支持柱８６との間にはバネ７７が設けられている。壁部材８０はその下端部にＯリング９３が装着されている。第２の可動部５５が以上のように構成されることで、バネ７７に抗して、少なくとも軸部材７８、ブロック８３及び壁部材８０が一体的に支持柱８６に対して昇降する。第２の可動部５５が下降することで、図１２に示すようにＯリング９３が冷却装置１の凝縮基板５に当接して上記密閉領域Ａが形成される。
【００７４】
ブロック８３には軸部材８９が摺動可能に挿通されており、Ｏリング９３が凝縮基板５に当接した状態で、下端の保持ブロック８５が上記密閉領域Ａ内に収容される。上記保持ブロック８５とブロック８３との間にはベローズ７９が設けられている。このベローズ７９によって、ブロック８３と軸部材８９との接触部分を介した密閉領域Ａに対する空気の流入出が防止され、密閉領域Ａの気密性が保たれる。
【００７５】
なお、支持柱８６及び軸部材７８は、ブロック８３及び壁部材８０を片持ちするのではでなく、図１１の紙面に垂直な方向複数備えられていてもよい。
【００７６】
壁部材８０には孔部８０ａが設けられ、孔部８０ａには、チューブ８２を介して真空機構８１及び冷媒供給源８８が接続されている。チューブ８２は、剛性のあるものであってもよいし、フレキシブルなものであってもよい。真空機構８１は、例えばポンプ等でなり、密閉領域Ａを減圧する。冷媒供給源８８は、チューブ８２、密閉領域Ａ及び注入孔２４ａを介して凝縮基板５内に冷媒を供給する。チューブ８２には三方弁８７が設けられ、この三方弁８７が切り替えられることで、真空機構８１による減圧動作と、冷媒供給源８８による冷媒の供給動作とが切り替えられる。
【００７７】
以上のように構成された製造装置７０の動作について説明する。図１２に示すように、バネ７７に抗して（バネ７７が伸長するように）第２の可動部５５を押し上げ、ステージ７１上に冷却装置１がセットされる。また、保持ブロック８５により蓋部材１２を適当な金具９６等を用いて保持させる。この場合、図６に示すような永久磁石５０により保持するようにしてもよい。第２の可動部５５の押し上げが解除されると、バネ７７の戻り力により壁部材８０の下端部が凝縮基板５を押し付け、注入孔２４ａの周囲に密閉領域Ａが形成される。この状態で真空機構８１が作動し、領域Ａが減圧され、凝縮基板５内が減圧される。
【００７８】
領域Ａ及び凝縮基板５内が所定の真空度まで減圧されると、三方弁８７が切り替えられ、冷媒が例えば満杯になるまで凝縮基板５内に注入される。そうすると、図１３に示すように、第１の可動部７５がバネ７６に抗して（バネ７６が収縮するように）押し下げられる。これにより、蓋部材１２が注入孔２４ａを覆うように凝縮基板５に押し付けられ、凝縮基板５内ひいては冷却装置１内が密閉される。この状態で、上述のような各種の方法により冷媒量が測定される。
【００７９】
冷媒量の調整工程においては、三方弁８７が切り替えられ、図１４に示すように、第１の可動部７５が押し上げられる。そして凝縮基板５内と領域Ａとが注入孔２４ａを介して連通された状態で、真空機構８１により領域Ａ等の圧力が調整されることで、冷媒量が調整される。
【００８０】
所望の冷媒量に調整された後、再び第１の可動部７５が押し下げられ、蓋部材１２が凝縮基板５に押し付けられ、図１３に示すような状態とする。その後、図１５に示すように第２の可動部５５が押し上げられて上記密閉領域Ａが大気開放される。この状態で、蓋部材１２が上記紫外線硬化性樹脂等により凝縮基板５に接合される。
【００８１】
本実施の形態に係る製造装置７０によれば、真空機構８１により減圧する領域を密閉領域Ａのように極力狭くすることができ、減圧に要する時間を短縮できる。また、本製造装置７０を小型化することができる。さらに、減圧する領域を狭くできる結果、冷媒量を調整する場合に密閉領域Ａの圧力を容易かつ迅速に制御することができる。
【００８２】
本発明は以上説明した実施の形態には限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
【００８３】
例えば上述の実施の形態では、作業員が手作業で冷媒量を調整する形態を説明した。しかし、冷媒量を自動調整することも可能である。具体的には、例えば図９に示す状態で、チャンバ３８内であって保持具３１の下方に、当該保持具の重量を測定するセンサ等が設けられていればよい。この場合センサはひずみゲージ等が用いられる。そしてセンサの検出信号に基づき例えば真空ポンプ４０による排気量の自動制御が行われることで、冷媒量の調整を行うことができる。あるいは、真空装置を複数用意し、それらの真空装置をロードロックチャンバ等で連結させてインラインにより、冷媒の注入及び冷媒量の調整等が自動で行われるようにしてもよい。
【００８４】
また、冷媒の注入工程において、例えば、ディスペンサなどの定量吐出装置を利用して一定量の冷媒を注入する方法で行うこともできる。一定量の冷媒注入を行った場合には冷媒量の調整は不要となる。この場合もインライン化してもよい。
【００８５】
上記の実施の形態では、Ｏリング１７の断面形状を円形状としたが、断面形状がＵ字型、Ｙ字型、Ｖ字型などのリングを使用しても本発明の実施は可能である。
【００８６】
上記実施の形態では、蓋部材で封止する封止部は基板上に１箇所だけであったが、複数の箇所に封止部を設けることも考えられる。
【００８７】
図１６は、本発明の他の実施の形態に係る冷却装置の凝縮基板を示す断面図である。本実施の形態も含め、これ以降の説明では、上記の実施の形態に係る冷却装置１の部材や機能等について同様のものは説明を簡略または省略し、異なる点を中心に説明する。
【００８８】
この冷却装置の凝縮基板１０５のガラス基板１２４には、金属部材６４が埋設されている。ガラス基板１２４と金属部材６４とは例えば溶着により固定される。金属部材６４には、ガラス基板１２４の冷媒の注入孔１２４ａに連通する孔６４ａが設けられている。これにより、この凝縮基板１０５の製造時において、孔６４ａ及び注入孔１２４ａを介して凝縮基板１０５内部に冷媒が注入されるようになっている。金属部材６４の穴６４ａの周囲を、Ｏリング１７が嵌め込まれた蓋部材６３が覆うことにより凝縮基板１０５の内部Ｐ３が密閉されている。
【００８９】
図１７は、蓋部材６３がない状態の凝縮基板１０５を示す平面図である。このように金属部材６４は、例えば円形をなし、中央に孔６４ａが形成され、その孔６４ａの周囲に３つのネジ穴６４ｂが設けられている。蓋部材６３には、それらのネジ穴６４ｂに対応するようにネジ穴６３ａが設けられ、これらネジ穴６３ａ、６４ｂにネジ６１が螺着されることにより、蓋部材６３が金属部材６４に固定されている。
【００９０】
金属部材６４の材質としては、例えばステンレス等が用いられる。あるいは銅にニッケル金メッキ等の耐腐食性の金属が用いられてもよい。蓋部材６３も金属でなり、例えば上述したような材料が用いられる。
【００９１】
なお、図１６に示すように、金属部材６４のネジ穴６４ｂは上下方向に貫通しているが、貫通していない形態であってもよい。また、Ｏリング１７の代わりとして図１０に示すメタルＯリング６７が用いられてもよい。また、本実施の形態では、ガラス基板１２４が上記実施の形態に係るガラス基板２４より厚くなっており、ガラス基板２４に直接パイプ３及び４が半田付けや溶着等により固定されている。
【００９２】
本実施の形態によれば、ネジ６１によって機械的に蓋部材６３が固定される構造になっているので、簡単な構成で蓋部材６３をガラス基板１２４に確実に固定することができる。特に、この冷却装置が、極度に気温が高い場所、あるいは極度に気温が低い場所で用いられても、製品の長期信頼性を確保することができる。
【００９３】
図１８は、図１６及び図１７に示した凝縮基板２０５の変形例を示す断面図である。
【００９４】
この形態では、上述のような金属部材６４を用いず、ガラス基板１７４に穴１７４ａが形成され、この穴１７４ａに、雌ネジを構成する雌ネジ部材１８１が装着されている。雌ネジ部材１８１としてはヘリサートのようなものがある。このように構成されたガラス基板１７４に、図１６に示すように蓋部材６３が固定される。具体的には、ネジ６１が蓋部材６３のネジ穴６３ａ及び雌ネジ部材１８１に螺着されて蓋部材６３が固定される。
【００９５】
図１９は、さらに別の実施の形態に係る冷却装置の凝縮基板を示す斜視図である。この図では、冷却装置が例えば図示しない電子機器に搭載された状態を示している。
【００９６】
この凝縮基板２０５は、板状の固定部材１５１及び押さえ板１５２により、電子機器のセット（例えば、ＩＣ、回路基板、電子機器の筐体等）に固定されている。固定部材１５１は、セット側の構成部材であり、凝縮基板２０５をアライメント及び固定するものである。固定部材１５１により凝縮基板２０５がセット側に固定された状態で、押さえ板１５２は、蓋部材２６３を凝縮基板２０５のガラス基板２２４に押圧して、例えば２本のネジ１４５によりセット側に固定される。このような押さえ板により、蓋部材２６３のガラス基板２２４への固定及び凝縮基板２０５のセット側への固定の両方を簡単な構成により行うことができる。なお、本実施の形態では、冷却装置が電子機器に組み込まれる前に、冷却装置の製造段階において、蓋部材２６３とガラス基板とが仮封止されるようにすればよい。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明の一実施の形態に係る冷却装置を示す平面図である。
【図２】図１に示す冷却装置の断面図である。
【図３】図２において破線で囲んだ部分を示す拡大断面図である。
【図４】冷却装置の製造装置を示す断面図である。
【図５】図４におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図６】保持具の一部を示す断面図である。
【図７】保持具の動作を示す図である。
【図８】保持具の動作を示す図である。
【図９】容器に貯溜された冷媒が冷却装置に注入されるときの製造装置を示す断面図である。
【図１０】冷却装置の蓋部材の他の実施の形態を示す断面図である。
【図１１】冷却装置の他の実施の形態に係る製造装置を示す断面図である。
【図１２】図１１に示す製造装置の動作を示す図である。
【図１３】当該製造装置の動作を示す図である。
【図１４】当該製造装置の動作を示す図である。
【図１５】当該製造装置の動作を示す図である。
【図１６】本発明の他の実施の形態に係る冷却装置の凝縮基板を示す断面図である。
【図１７】蓋部材がない状態の図１６に示す凝縮基板の平面図である。
【図１８】図１６及び図１７に示した凝縮基板の変形例を示す断面図である。
【図１９】さらに別の実施の形態に係る冷却装置の凝縮基板を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００９８】
１…冷却装置
１７、６７、９４…Ｏリング
１２、６２、６３、２６３…蓋部材
１８…樹脂材
２１…ＩＣチップ
２４ａ、１２４ａ…注入孔
２５…シリコン基板
３０、７０…製造装置
３１…保持具
３３、１３３…ピン部材
３８…チャンバ
４０…真空ポンプ
４４、７１…ステージ（ステージブロック）
４５…可動ブロック
４９…バネ
５０…永久磁石
５１…固定部
５２…冷媒
５５…第２の可動部
７５…第１の可動部
１３３…ピン部材
１５２…押さえ板
【図１】
2005326133.tif 000003
【図２】
2005326133.tif 000004
【図３】
2005326133.tif 000005
【図４】
2005326133.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
2005326133.tif 000009
【図８】
2005326133.tif 000010
【図９】
2005326133.tif 000011
【図１０】
2005326133.tif 000012
【図１１】
2005326133.tif 000013
【図１２】
2005326133.tif 000014
【図１３】
2005326133.tif 000015
【図１４】
2005326133.tif 000016
【図１５】
2005326133.tif 000017
【図１６】
2005326133.tif 000018
【図１７】
2005326133.tif 000019
【図１８】
2005326133.tif 000020
【図１９】
2005326133.tif 000021