(57)【要約】【課題】載置されたワークの方向を所定方向へ容易に調整できるアライメントテーブルの提供。【解決手段】ワークを固定するワーク受部３６を備えた複数のワーク載置台２６と、ワーク載置台上のワークを撮像して画像情報を生成するアライメントカメラ３５と、ワーク載置台２６を回転させるテーブル軸２７と、を備えたアライメントテーブル２０であって、アライメントカメラ３５による画像情報を基に、ワークの載置方向がテーブル軸２７の回転によって規定の方向へ向けられる。【選択図】  図１
2005088124.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを固定するワーク受部を備えた複数のワーク載置台と、
前記ワーク載置台上の前記ワークを撮像して画像情報を生成するアライメントカメラと、
前記ワーク載置台を回転させるテーブル軸と、
を備えたアライメントテーブルであって、
前記アライメントカメラによる前記画像情報を基に、前記ワークの載置方向が前記テーブル軸の回転によって規定の方向へ向けられることを特徴とするアライメントテーブル。
【請求項２】
前記ワークと、前記ワーク受部と、前記ワーク載置台と、前記テーブル軸とは、同じ中心軸上にあることを特徴とする請求項１に記載のアライメントテーブル。
【請求項３】
前記複数のワーク載置台は、前記テーブル軸と連動して個別に回転することを特徴とする請求項１あるいは２に記載のアライメントテーブル。
【請求項４】
前記ワークがマトリクス状に配置された複数のターゲットを有し、
前記ワークのそれぞれにおける前記ターゲットの列の方向が一致するように、前記アライメントカメラによる前記画像情報に基づいて、前記ワークの少なくとも一つが回転させられることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のアライメントテーブル。
【請求項５】
液滴を吐出する吐出ヘッドを備えたヘッド機構部と、
ワークを相対移動させるワーク機構部と、
を備えた液滴吐出装置であって、
前記ワーク機構部は、請求項１から４のいずれかに記載のアライメントテーブルを含むことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
前記アライメントテーブルの複数の前記ワーク受部は、それぞれの中心を結ぶ線が直線をなすように配置されていることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記ワーク機構部の相対移動方向は、前記アライメントテーブルのワーク受部が直線状に配置されている方向と平行であることを特徴とする請求項５あるいは６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
マトリクス状に並んだ吐出ターゲットを含む複数の基体を、複数のワーク載置台に載置する工程（Ａ）と、
前記吐出ターゲットの列の方向をアライメントカメラを通して認識する工程（Ｂ）と、
前記ワーク載置台を回転させて、前記吐出ターゲットの列の方向を規定の方向へ向ける工程（Ｃ）と、
前記吐出ターゲットのそれぞれに向けて吐出ヘッドからレンズ材料を吐出する工程（Ｄ）と、
を含むことを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
【請求項９】
前記工程（Ｄ）は、前記複数のワーク載置台が並ぶ方向に吐出ヘッドを相対移動する工程（Ｄ１）と、前記（Ｄ１）によって前記吐出ヘッドが前記吐出ターゲットに対応する位置に到達した場合に、前記吐出ヘッドから前記液滴を吐出する工程（Ｄ２）と、を含むことを特徴とする請求項８に記載のマイクロレンズの製造方法。
【請求項１０】
請求項８あるいは９に記載のマイクロレンズの製造方法により製造されたマイクロレンズを搭載することを特徴とするレーザ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの位置調整が容易なアライメントテーブル、アライメントテーブルを備えた液滴吐出装置、マイクロレンズの製造方法、およびレーザに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液滴吐出装置によってワークへ加工を行う時、例えば、基体（ワーク）上に多数のマイクロレンズを液滴吐出装置によって形成する場合、液滴吐出装置のテーブルに基体を載置し、テーブルおよび液滴吐出部を調整して一枚ずつ加工をしていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来の加工では、基体一枚毎の加工であり、液滴吐出装置が断続的な稼動となって液滴吐出装置の稼動率向上、および単位時間あたりの基体の加工数増加が難しかった。また、同一テーブルに複数の基体を並べて連続的に効率良く加工を行うには、基体相互の載置方向をμｍ単位で揃えながら載置しなければならず、載置に時間がかかり生産効率向上が図れなかった。
【０００４】
そこで、本発明は、上記課題を鑑みてなされており、基体を載置して載置方向の調整が容易に行えるアライメントテーブル、アライメントテーブルを備えた液滴吐出装置、マイクロレンズの製造方法、およびレーザを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のアライメントテーブルは、ワークを固定するワーク受部を備えた複数のワーク載置台と、ワーク載置台上のワークを撮像して画像情報を生成するアライメントカメラと、ワーク載置台を回転させるテーブル軸と、を備えたアライメントテーブルであって、アライメントカメラによる画像情報を基に、ワークの載置方向がテーブル軸の回転によって規定の方向へ向けられることを特徴とする。
【０００６】
このアライメントテーブルによれば、載置されたワークの載置方向をアライメントカメラで認識し、認識したワークの載置方向とワークが向くべき所定の方向との角度の差を、テーブル軸の回転で自在に調整できる。従って、任意に載置したワークを規定の方向へ、容易に調整することができ、ワークの載置に要する作業時間の短縮が図れる。
【０００７】
この場合、ワークと、ワーク受部と、ワーク載置台と、テーブル軸とは、同じ中心軸上にあることが好ましい。
【０００８】
この構成では、ワーク、ワーク受部、ワーク載置台、テーブル軸が同一中心軸を基に回転し、ワーク受部に載置されたワークの中心がぶれることなく角度調整が行える。
【０００９】
この場合、複数のワーク載置台は、テーブル軸と連動して個別に回転することが好ましい。
【００１０】
この構成によると、各ワーク載置台に任意の方向で載置されたワークを、アライメントカメラが認識したワークそれぞれの載置方向の情報に基づいて、規定の方向へ向けて個々に調整することができる。
【００１１】
さらに、ワークがマトリクス状に配置された複数のターゲットを有し、ワークのそれぞれにおけるターゲットの列の方向が一致するように、アライメントカメラによる画像情報に基づいて、ワークの少なくとも一つが回転させられることが好ましい。
【００１２】
この構成によると、アライメントカメラの情報は、ワーク上の複数のターゲットを利用して得られる位置情報であり、この位置情報に基づいてワークを回転させて規定の方向へ調整することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出する吐出ヘッドを備えたヘッド機構部と、ワークを相対移動させるワーク機構部と、を備えた液滴吐出装置であって、ワーク機構部は、前記記載のアライメントテーブルを含むことを特徴とする。
【００１４】
この液滴吐出装置によれば、搭載したアライメントテーブルによって、ワークを液滴吐出が最適に行える方向へ簡単に調整できる。また、複数のワークを配置して、一度に連続加工を行うことができ、液滴吐出装置の稼動率向上が図れる。
【００１５】
この場合、アライメントテーブルの複数のワーク受部は、それぞれの中心を結ぶ線が直線をなすように配置されていることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、直線状に各ワーク受部が配置されており、ワーク受部に載置されるワークも直線状に整然と配置することができる。
【００１７】
この場合、ワーク機構部の相対移動方向は、アライメントテーブルのワーク受部が直線状に配置されている方向と平行であることが好ましい。
【００１８】
この構成によれば、ワークの配置されている方向とワークが移動する方向とが平行であり、一直線に各ワークへの連続液滴吐出が可能である。従って、各ワークへの液滴吐出が高速で行える。
【００１９】
本発明のマイクロレンズの製造方法は、マトリクス状に並んだ吐出ターゲットを含む複数の基体を、複数のワーク載置台に載置する工程（Ａ）と、吐出ターゲットの列の方向をアライメントカメラを通して認識する工程（Ｂ）と、ワーク載置台を回転させて、吐出ターゲットの列の方向を規定の方向へ向ける工程（Ｃ）と、吐出ターゲットのそれぞれに向けて吐出ヘッドからレンズ材料を吐出する工程（Ｄ）と、を含むことを特徴とし、工程（Ｄ）は、複数のワーク載置台が並ぶ方向に吐出ヘッドを相対移動する工程（Ｄ１）と、（Ｄ１）によって吐出ヘッドが吐出ターゲットに対応する位置に到達した場合に、吐出ヘッドから液滴を吐出する工程（Ｄ２）と、を含むことが好ましい。
【００２０】
このマイクロレンズの製造方法によれば、規定の方向へ向いている基体上の吐出ターゲットに、液滴吐出装置からレンズ材料の液滴を吐出してマイクロレンズが形成される。従って、アライメントカメラと連動してワーク載置台を回転させることにより、基体を最適な液滴吐出が行える方向へ容易に位置調整ができ、効率良くマイクロレンズを形成できる製造方法である。
【００２１】
本発明のレーザは、前記記載のマイクロレンズの製造方法によるマイクロレンズを搭載することを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、基体上のレーザのターゲットへ液滴吐出装置により、短時間で多数の均一なマイクロレンズが形成でき、レーザの製造工数面での低減、品質安定に貢献できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に添付図面を参照してアライメントテーブルの説明をする。具体的には、このアライメントテーブルを液滴吐出装置に装着して、マイクロレンズを形成する場合を例に説明する。液滴吐出装置は、材料を液滴の状態で被吐出物へ吐出する、いわゆるインクジェット方式の装置である。
【実施例】
【００２４】
本発明のアライメントテーブルを備えた液滴吐出装置およびマイクロレンズについて、詳細説明をする。まず、図７および図８に示すマイクロレンズについて述べる。図８に示すレーザ８は、マイクロレンズ８０を備えた半導体レーザである。レーザ８において、ｎ型のガリウム砒素基板５３と、ｎ型の下部分布反射型多層膜ミラー５４（下部ＤＢＲミラーともいう）と、量子井戸活性層５５と、ｐ型の上部分布反射型多層膜ミラー５６（上部ＤＢＲミラーともいう）と、コンタクト層５７と、が順に形成されている。これら下部ＤＢＲミラー５４の一部と、量子井戸活性層５５と、上部ＤＢＲミラー５６と、コンタクト層５７とは、突起形状を有する柱状部５８を構成している。さらに、レーザ８において、柱状部５８の周囲に露出している下部ＤＢＲミラー５４とコンタクト層５７の一部とを覆う絶縁層５９と、絶縁層５９上に位置する上部電極６０とが形成されている。絶縁層５９は、コンタクト層５７部に対応する部位に開口部を有する。また、下部電極５２が、ｎ型のガリウム砒素基板５３の下部ＤＢＲミラー５４が形成されていない面に設けられている。コンタクト層５７上の開口部と上部電極６０の一部の上には、支持部６２と、支持部６２を覆ってフルオロアルキルシラン（ＦＡＳ）膜６１が形成されている。そして、支持部６２上のＦＡＳ膜６１の吐出ターゲット６３にマイクロレンズ８０が形成されている。
【００２５】
このような構成のレーザ８において、上部電極６０とコンタクト層５７とは、絶縁層５９に設けられた開口部で連通しており、吐出ターゲット６３は、ほぼ平らで且つ平面形状がほぼ円形である。また、ＦＡＳ膜６１は、マイクロレンズ８０の原料である液状のレンズ材料に対して撥液性を呈している。このため、マクロレンズ８０は、製造時においても、吐出ターゲット６３を覆って安定した状態で位置することができる。本実施例では、ＦＡＳ膜６１の製膜工程上の理由から、図８に示すように、ＦＡＳ膜６１は、支持部６２の上面だけでなく、上部電極６０上および絶縁層５９上にも形成されている。このＦＡＳ膜６１は、少なくとも支持部６２の上面に設けられていればよく、このため、支持部６２上に位置するＦＡＳ膜６１以外のＦＡＳ膜は、取り除かれてもよい。そして、下部ＤＢＲミラー５４には、セリン（Ｓｅ）がドーピングされていて、上部ＤＢＲミラー５６には、亜鉛（Ｚｎ）がドーピングされている。
【００２６】
マイクロレンズ８０は、光の放射角を小さくする機能を有する光学素子である。具体的には、マイクロレンズ８０を備えたレーザ８から射出される光の放射角は、マイクロレンズ８０を備えないレーザ８から射出される放射角より小さい。図８に示すレーザ８は、ガリウム砒素基板５３に対して垂直方向（図８の上方向）にレーザ光を射出する半導体レーザである。つまり、レーザ８は面発光型レーザ（Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ｃａｖｉｔｙ  Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｅｍｉｔｔｉｎｇ  Ｌａｓｅｒ：ＶＣＳＥＬ）である。具体的には、レーザ８の下部電極５２と上部電極６０との間に順方向の電圧を印加すると、量子井戸活性層５５において電子と正孔との再結合が生じ、再結合発光が生じる。そこで生じた光は下部ＤＢＲミラー５４と、上部ＤＢＲミラー５６との間で共振し、この結果、光の強度が増幅される。そして、光利得が光損失を越えるとレーザ発振が起こり、ガリウム砒素基板５３に対して垂直方向（図８の上方向）にレーザ光が射出される。レーザ光は、コンタクト層５７を射出して、マイクロレンズ８０を経てレーザ８の外部に射出する。
【００２７】
マイクロレンズ８０を形成するレンズ材料としては、光透過性樹脂のポリメチルメタクリレート、ポリヒドロキシエチルメタクリレート、ポリシクロヘキシルメタクリレートなどのアクリル系樹脂、ポリジエチレングリコールビスアリルカーボネート、ポリカーボネートなどのアリル系樹脂、メタクリル樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、セルロース系樹脂、ポリアミド系樹脂、フッ素系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリスチレン系樹脂などの熱可塑性または熱硬化性の樹脂が用いられ、これらのうちの一種、あるいは複数種が混合されて用いられる。なお、前記の光透過性樹脂にビイミダゾール系化合物などの光重合開始剤を配合することにより、この光透過性樹脂に放射線照射硬化性を付与して、放射線照射硬化型のものとすることができる。放射線とは可視光線、紫外線、遠紫外線、Ｘ線、電子線等の総称であり、特に紫外線が一般的に用いられる。
【００２８】
次に、図７（ａ）を参照して、マイクロレンズ８０を備えたレーザ８が形成される基体５０の説明をする。基体５０は、レーザ部５１を含んだ積層体であり、直径約２インチの円形の形状を有している。基体５０には、幅３ｍｍの外周部６７を除いて、約８０００個のレーザ部５１がマトリクス状に形成されている。それぞれのレーザ部５１の構造は、マイクロレンズ８０がない点を除いて、図８のレーザ８と同じ構造である。
【００２９】
図７（ｂ）は、レーザ部５１の拡大図である。マイクロレンズ８０が設けられるべき部位である吐出ターゲット６３がレーザ部５１の中央部に盛り上がるように形成されている。レーザ部５１のＡ−Ａ’方向の断面が図７（ｃ）である。この図では隣り合う３つのレーザ部５１を表している。吐出ターゲット６３へ、後述する液滴吐出装置によりマイクロレンズ８０を形成した後、基体５０を切断して、それぞれのレーザ部５１をレーザ８として使用する。
【００３０】
レーザ部５１へマイクロレンズ８０を形成するには、レンズ材料の液体を液滴の状態でレーザ部５１の吐出ターゲット６３へ吐出する、いわゆるインクジェット方式の液滴吐出装置を用いるのが効果的である。さらに、液滴吐出装置へ本発明のアライメントテーブルを搭載することにより、基体５０の位置調整が簡単にできる効果を付加することができる。
【００３１】
この液滴吐出装置は、図２に示すように、液滴を吐出するヘッド部１０を有するヘッド機構部２と、ヘッド部１０から吐出された液滴の吐出対象であるワークを載置するアライメントテーブル２０を備えたワーク機構部３と、ヘッド部１０に液体を供給する液体供給部４と、これら各機構部および供給部を総括的に制御する制御部５と、を有している。マイクロレンズ８０を形成する場合に、ワークに該当するものは基体５０である。
【００３２】
液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚６と、支持脚６の上側に設置された定盤７を備えている。定盤７の上側には、ワーク機構部３が定盤７の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されており、ワーク機構部３の上方には、定盤７に固定された２本の柱で両持ち支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤７の一方の端部上には、ヘッド機構部２のヘッド部１０から連通して液体を供給する液体供給部４が配置されている。さらに、定盤７の下側には、制御部５が収容されている。
【００３３】
ヘッド機構部２は、液体を吐出するヘッド部１０と、ヘッド部１０を搭載したキャリッジ１１と、キャリッジ１１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド１３と、Ｙ軸ガイド１３の下側にＹ軸方向に設置されたＹ軸ボールねじ１５と、Ｙ軸ボールねじ１５を正逆回転させるＹ軸モータ１４と、キャリッジ１１の下部にあって、Ｙ軸ボールねじ１５と螺合してキャリッジ１１を移動させる雌ねじ部が形成されたキャリッジ螺合部１２とを備えている。
【００３４】
ワーク機構部３は、ヘッド機構部２の下方に位置し、ヘッド機構部２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に配置されており、載置台２１、複数のワーク載置台２６およびアライメントカメラ３５を有するアライメントテーブル２０と、複数のワーク載置台２６を載置する載置台２１の移動をガイドするＸ軸ガイド２３と、Ｘ軸ガイド２３の下側に設置されたＸ軸ボールねじ２５と、Ｘ軸ボールねじ２５を正逆回転させるＸ軸モータ２４と、載置台２１の下部にあって、Ｘ軸ボールねじ２５と螺合して載置台２１を移動させる載置台螺合部２２と、を有している。
【００３５】
なお、ヘッド機構部２およびワーク機構部３には、図示していないが、ヘッド部１０と載置台２１の移動した位置を検出する位置検出手段が、それぞれ備えられている。また、キャリッジ１１と載置台２１には、回転方向（いわゆるΘ軸）を調整する機構が組込まれ、ヘッド部１０の中心を回転中心とした回転方向調整、および載置台２１の回転方向調整が可能である。複数のワーク載置台２６も個々に回転方向を調整する機構を備えている。
【００３６】
これらの構成により、ヘッド部１０と載置台２１とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。まず、ヘッド部１０の移動について説明する。Ｙ軸モータ１４の正逆回転によってＹ軸ボールねじ１５が正逆回転し、Ｙ軸ボールねじ１５に螺合しているキャリッジ螺合部１２が、Ｙ軸ガイド１３に沿って移動することで、キャリッジ螺合部１２と一体のキャリッジ１１が任意の位置に移動する。すなわち、Ｙ軸モータ１４の駆動により、キャリッジ１１に搭載したヘッド部１０が、Ｙ軸方向に自在に移動する。
【００３７】
同様に、載置台２１に載置された複数のワーク載置台２６は、Ｘ軸モータ２４の駆動により、Ｘ軸ボールねじ２５が回転し、Ｘ軸ボールねじ２５と螺合している載置台螺合部２２が、Ｘ軸ガイド２３に沿って移動することにより、Ｘ軸方向に自在に移動する。
【００３８】
このように、ヘッド部１０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にある載置台２１のＸ軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。載置台２１が連続移動するＸ軸方向がいわゆる主走査方向であり、ヘッド部１０が断続移動（ピッチ移動）するＹ軸方向が副走査方向である。Ｘ軸方向に移動する載置台２１と、Ｙ軸方向に移動するヘッド部１０とを相対的に制御することにより、載置台２１上のワークに所定の描画等を行うことができる。
【００３９】
なお、本実施の形態では、載置台２１を主走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるように設定しているが、ヘッド部１０を主走査方向に移動させる構成でもよい。また、ヘッド部１０を固定として、載置台２１を主走査方向および副走査方向に移動させる構成でもよいし、逆に載置台２１を固定とし、ヘッド部１０を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４０】
次に、ヘッド部１０に液体３３を供給する液体供給部４は、ヘッド部１０に連通する流路を形成するチューブ３１ａと、チューブ３１ａへ液体を送り込むポンプ３２と、ポンプ３２へ液体３３を供給するチューブ３１ｂ（流路）と、チューブ３１ｂに連通して液体３３を貯蔵するタンク３０とから成っており、定盤７上の一端に配置されている。液体３３の補充および交換を考慮すると、タンク３０は、定盤７の上側あるいは下方に設置することが望ましいが、配置上、ヘッド部１０の上方に設置できれば、ポンプ３２無しに一本のフレキシブルチューブでタンク３０とヘッド部１０を連結し、重力により液体の自然供給が可能となる。
【００４１】
ヘッド部１０は、図３（ａ）に示すように互いに同じ構造を有する複数の吐出ヘッド１６を保持している。ここで、図３は、ヘッド部１０を載置台２１側から観察した図である。ヘッド部１０には６個の吐出ヘッド１６からなる列が、それぞれの吐出ヘッド１６の長手方向がＸ軸方向に対して角度をなすように２列配置されている。また、図３（ｂ）に示すように、液体３３を吐出するための吐出ヘッド１６は、それぞれが吐出ヘッド１６の長手方向に延びる２つのノズル列１８、１８を有している。１つのノズル列１８は、１８０個のノズル１７が一列に並んだ列のことであり、このノズル列１８の方向に沿ったノズル１７の間隔は、約１４０μｍである。２つのノズル列１８、１８間のノズル１７はそれぞれ半ピッチ（約７０μｍ）ずれて配置されている。
【００４２】
図４（ａ）および（ｂ）に示すように、それぞれの吐出ヘッド１６は、振動板４３と、ノズルプレート４４とを、備えている。振動板４３と、ノズルプレート４４との間には、タンク３０から孔４７を介して供給される液体３３が常に充填される液たまり４５が位置している。また、振動板４３と、ノズルプレート４４との間には、複数の隔壁４１が位置している。そして、振動板４３と、ノズルプレート４４と、１対の隔壁４１とによって囲まれた部分がキャビティ４０である。キャビティ４０はノズル１７に対応して設けられているため、キャビティ４０の数とノズル１７の数とは同じである。キャビティ４０には、１対の隔壁４１間に位置する供給口４６を介して、液たまり４５から液体３３が供給される。
【００４３】
振動板４３上には、それぞれのキャビティ４０に対応して、振動子４２が位置する。振動子４２は、ピエゾ素子４２ｃと、ピエゾ素子４２ｃを挟む１対の電極４２ａ、４２ｂとから成る。この１対の電極４２ａ、４２ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズル１７から液体３３が液滴４８となって吐出される。
【００４４】
次に、以上述べた構成を制御する制御系について図５を参考に説明する。制御系は、制御部５と駆動部７５とを備え、制御部５は、ＣＰＵ７０、ＲＯＭ、ＲＡＭおよび入出力インターフェイス７１からなり、ＣＰＵ７０が入出力インターフェイス７１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ、ＲＡＭのデータに基づき処理し、入出力インターフェイス７１を介して駆動部７５へ制御信号を出力して、それぞれを制御する。
【００４５】
駆動部７５は、ヘッドドライバ７６、モータドライバ７７、ポンプドライバ７８、アライメントドライバ７９とから構成されている。モータドライバ７７は、制御部５の制御信号により、Ｘ軸モータ２４、Ｙ軸モータ１４を正逆回転させ、載置台２１、ヘッド部１０の移動を制御する。ヘッドドライバ７６は、吐出ヘッド１６からのレンズ材料の吐出を制御し、モータドライバ７７の制御と同調して、載置台２１上のワークに所定の描画が行えるようにする。また、ポンプドライバ６８は、液体の吐出状態に対応してポンプ３２を制御し、吐出ヘッド１６への液体供給を最適に制御する。アライメントドライバ７９は、アライメントカメラ３５の情報に基づく制御部５からの制御信号により、テーブル軸２７の回転を制御する。
【００４６】
制御部５は、ヘッドドライバ７６を介して、複数の振動子４２のそれぞれに互いに独立な信号を与えるように構成されている。このため、ノズル１７から吐出される液滴５０の体積は、ヘッドドライバ７６からの信号に応じてノズル１７毎に制御される。さらに、ノズル１７のそれぞれから吐出される液滴５０の体積は、０ｐｌ〜４２ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。
【００４７】
この液滴吐出装置１を用いて、半導体レーザに備えられるマイクロレンズ８０を形成する場合を例にして、アライメントテーブル２０を詳細に説明する。アライメントテーブル２０は、図１および図２に示すようにＸ軸ガイド２３上を移動する載置台２１と、載置台２１に載置された複数のワーク載置台２６と、複数のワーク載置台２６のそれぞれの下面に設けられ、それぞれがワーク載置台２６を回転させる複数のテーブル軸２７と、図示していないがテーブル軸２７を回転させるモータと、ワーク載置台２６を上方から臨むように定盤７へ固定されているアライメントカメラ３５と、で構成されている。アライメントカメラ３５は、定盤７へ固定されているカメラ支柱３４と、カメラ支柱３４の定盤７と対極側に設置されているカメラ本体２８と、カメラ本体２８からワーク載置台２６方向へ向けて取り付けられているカメラレンズ２９と、を有している。
【００４８】
このような構成のアライメントテーブル２０において、載置台２１上のワーク載置台２６と、ワーク載置台２６に設けられているワークを載置するワーク受部３６と、テーブル軸２７とは、同じ中心軸上に設けられている。複数のワーク載置台２６のワーク受部３６は、ワーク受部３６それぞれの中心を結ぶ線がＸ軸方向と平行な直線となるように、載置台２１上に配置されている。つまり、ワーク機構部３の載置台２１が相対移動するＸ軸方向に、ワーク載置台２６は列をなしている。なお、ワーク載置台２６が等間隔で列をなしていれば、液滴吐出制御を一定の繰り返しで高速で行えるので一層好ましい。
【００４９】
このようなアライメントテーブル２０を備えた液滴吐出装置１によってマイクロレンズ８０を形成するには、まず、図７（ａ）に示すマイクロレンズ８０が設けられるべき基体５０を、ワークとして各ワーク載置台２６のワーク受部３６へ配置する（工程Ａ）。この場合、ワーク受部３６の形状は、円形である基体５０の中心とワーク受部３６の中心とが一致するように、中心合わせ機構が施されている。載置された基体５０はエアーによる吸引等で固定される。次に、基体５０がカメラレンズ２９の下方へ位置するように、載置台２１を移動させる。この時、カメラ本体２８は、ワークを撮像してワークの画像情報を生成する。例えば、カメラ本体は、図６に示すように基体５０に形成されている複数のレーザ部５１を撮像して、対応する画像情報を生成する。制御部５は、カメラ本体２８からの画像情報を受けて、各レーザ部５１の中央部に位置するとともに、マイクロレンズ８０が形成されるべき円形の吐出ターゲット６３を認識する。つまり、カメラ本体２８を通して吐出ターゲット６３が認識される（工程Ｂ）。
【００５０】
そして、アライメントカメラ３５を通して制御部５は、認識した吐出ターゲット６３間のピッチＰを確認して、ピッチＰで並んでいる吐出ターゲット６３の列を、一本の仮想ライン６６として認識する。ピッチＰを確認するのは、斜め方向の各吐出ターゲット６３の列を仮想ライン６６として認識しないためである。アライメントカメラ３５には、予めＸ軸方向を規定する認識軸６５が設定されていて、認識軸６５と仮想ライン６６とを比較すれば、仮想ライン６６がＸ軸に対してなしている角度Ｑが把握できる。この角度Ｑを補正すれば仮想ライン６６はＸ軸と平行になる。そのためには、基体５０が載置されているワーク載置台２６を、テーブル軸２７によって角度Ｑだけ回転させれば良く、こうして、吐出ターゲット６３をＸ軸方向に並んだ列とすることができる（工程Ｃ）。仮想ライン６６は複数できる吐出ターゲット６３の列のひとつである。他のワーク載置台２６の基体５０についても、同様にして位置調整を行う。こうして基体５０単体での吐出ターゲット６３がＸ軸に平行な列となるだけでなく、すべての基体５０の吐出ターゲット６３の列も、相互にＸ軸方向に一直線となるように調整することができる。
【００５１】
次に、キャリッジ１１をＹ軸方向へ移動させ、ヘッド部１０を基体５０の吐出ターゲット６３位置に合わせる（工程Ｄ１）。そして、載置台２１をヘッド部１０へ向けてＸ軸方向へ移動させ、ヘッド部１０からレンズ材料の液滴４８を最初の基体５０の吐出ターゲット６３へ吐出して、マイクロレンズ８０を形成する（工程Ｄ２）。次の基体５０の吐出ターゲット６３も、最初の基体５０の吐出ターゲット６３と同一直線上にあるため、そのままＸ軸方向へヘッド部１０を移動させ、連続してマイクロレンズ８０を形成できる。他の基体５０に対しても、同様に連続してマイクロレンズ８０を形成できる。このように、アライメントテーブル２０によって、ワークである基体５０の位置調整が容易にでき、多数の基体５０を連続して効率的に加工することができる。
【００５２】
以上述べたように、本発明のアライメントテーブル２０は、ワーク載置台２６に載置されたワークの載置方向をアライメントカメラ３５で認識し、アライメントカメラ３５および制御部５と連動しているワーク載置台２６を回転させて、ワークを規定の方向へ調整するものである。このアライメントテーブル２０によって、ワークの載置および位置調整が簡単にでき、調整時間の短縮が図られる。このため、アライメントテーブル２０は、アライメントテーブル２０を搭載した装置の稼働率向上、および生産効率の向上を図ることができる。
【００５３】
このアライメントテーブル２０を搭載した液滴吐出装置１は、ワークが簡単に載置できるだけでなく、複数のワークを直線状に整然と配置できるため、ワークへの液滴吐出を連続して高速で行うことができる。
【００５４】
また、マイクロレンズの製造方法は、アライメントテーブル２０を搭載した液滴吐出装置１によって効率的な生産が図れるとともに、レンズ材料、液滴の大きさおよび形成するマイクロレンズ８０の数などが自由に選択でき、多様な仕様に柔軟に適応できるマイクロレンズ８０を製造することが可能な製造方法である。
【００５５】
さらに、レーザ８０は、マイクロレンズ８０が効率的に形成されているだけでなく、品質の安定したマイクロレンズ８０により、レーザ光の放射角が小さく且つばらつきの少ないものである。
【００５６】
本発明のアライメントテーブルは、液滴吐出装置に搭載されて、上述したマイクロレンズ８０の形成だけでなく、カラーフィルタのマトリクス状に配置された画素領域へのフィルタ材料塗布や、同じくエレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ表示装置などの画素領域へそれぞれルミネッセンス蛍光材料、プラズマ蛍光材料を塗布することにも応用できる。さらに、電子放出素子（ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ））およびＳＥＤ（Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｅｍｉｔｔｅｒ  Ｄｉｓｐｌａｙ）の製造にも応用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明のアライメントテーブルを示す外観斜視図。
【図２】液滴吐出装置を示す外観斜視図。
【図３】（ａ）液滴吐出装置の吐出ヘッドの配置を示す平面図。（ｂ）吐出ヘッドのノズルの配置を示す平面図。
【図４】（ａ）吐出ヘッドの内部構造を示す斜視図。（ｂ）ノズルの構造を示す断面図。
【図５】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図６】アライメントカメラが映し出す映像を示す視野図。
【図７】（ａ）基体を示す平面図。（ｂ）基体のレーザ部を示す平面図。（ｃ）基体のレーザ部を示す断面図。
【図８】マイクロレンズを備えたレーザを示す断面図。
【符号の説明】
【００５８】
１．液滴吐出装置
８．レーザ
２０．アライメントテーブル
２６．ワーク載置台
２７．テーブル軸
３５．アライメントカメラ
３６．ワーク受部
５０．基体
６３．吐出ターゲット
６５．アライメントカメラ認識軸
６６．仮想ライン
８０．マイクロレンズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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