(57)【要約】【課題】ウェーハから切り出されたチップをその分類に応じてトレイの所定の位置に搬送するチップの搬送方法及び装置において、従来と同等のコストでチップ搬送のタクトタイムを約１／２以下に短縮する。【解決手段】ウェーハ１５から切り出され各々の特性に応じて分類されたチップ１４をコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行く際に、チップ１４をコレット８によりウェーハ１５の近傍に設置された複数の中継ステージ５，６に搬送し、各々の該中継ステージに対応した搬送アーム１０，１１によりチップを中継ステージから該中継ステージの近傍に夫々設置されたトレイ１２，１３に夫々搬送することを特徴とする。【選択図】    図１
2005353873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハから切り出され各々の特性に応じて分類されたチップをコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、前記分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、前記チップを前記コレットにより前記トレイに直接搬送する方法及び該方法と前記ウェーハの近傍に設置された少なくとも１つの中継ステージに一旦搬送し該中継ステージから該チップを搬送アームにより前記トレイに搬送する方法とを組み合わせて使用し、又はこれらいずれかの方法を選択可能にしたことを特徴とするチップの搬送方法。
【請求項２】
ウェーハから切り出され各々の特性に応じて分類されたチップをコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、前記分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、前記チップを前記コレットにより前記ウェーハの近傍に設置された複数の中継ステージに搬送し、各々の該中継ステージに対応した搬送アームにより前記チップを前記中継ステージから該中継ステージの近傍に夫々設置された前記トレイに夫々搬送することを特徴とするチップの搬送方法。
【請求項３】
ウェーハから切り出され各々の特性に応じて分類されたチップをコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、前記分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、前記チップのうち第１トレイに搬送すべき第１分類チップをコレットにより第１トレイに直接搬送し、かつ他分類のチップを前記コレットにより前記ウェーハの近傍に設置された中継ステージに搬送し、該他分類のチップを搬送アームにより前記中継ステージの近傍に設置された第２トレイに夫々搬送することを特徴とするチップの搬送方法。
【請求項４】
ウェーハから切り出され各々の特性に応じて分類されたチップをコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、前記分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、前記チップを前記コレットにより前記ウェーハの近傍に設置された中継ステージに搬送し、複数の搬送アームにより前記チップを前記中継ステージから該中継ステージの近傍に設置された前記トレイに夫々搬送することを特徴とするチップの搬送方法。
【請求項５】
チップを収容するトレイが取り付けられ該トレイを面方向に移動可能に構成されたマウントステージと、前記チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、前記チップを一時的に保持しておく中継ステージと、前記チップを前記ウェーハからピックアップした状態で往復揺動し該チップを前記トレイ又は前記中継ステージに搬送可能に構成されたコレットと、前記中継ステージから前記トレイまで前記チップを搬送可能に構成された搬送アームとを備えたことを特徴とするチップの搬送装置。
【請求項６】
チップを収容するトレイが夫々取り付けられ該トレイを面方向に夫々移動可能に構成された複数のマウントステージと、前記チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、該ウェーハステージの近傍に配設され前記チップを一時的に保持可能に構成された複数の中継ステージと、前記チップを前記ウェーハからピックアップした状態で往復揺動し該チップを前記中継ステージに夫々搬送可能に構成されたコレットと、前記中継ステージから前記トレイまで前記チップを夫々搬送可能に構成された複数の搬送アームとを備えたことを特徴とするチップの搬送装置。
【請求項７】
予め分類されたチップのうち第１分類チップを収容する第１トレイが取り付けられ該第１トレイを面方向に移動可能に構成された第１マウントステージと、前記チップのうち他分類チップを収容する第２トレイが取り付けられ該第２トレイを面方向に移動可能に構成された第２マウントステージと、前記チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、該ウェーハステージの近傍に配設され前記他分類チップを一時的に保持可能に構成された中継ステージと、前記チップを前記ウェーハからピックアップした状態で往復揺動し前記第１分類チップを前記第１トレイにかつ前記他分類チップを前記中継ステージに夫々搬送可能に構成されたコレットと、前記中継ステージから前記第２トレイまで前記他分類チップを搬送可能に構成された搬送アームとを備えたことを特徴とするチップの搬送装置。
【請求項８】
チップを収容するトレイが取り付けられ該トレイを面方向に移動可能に構成されたマウントステージと、前記チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、該ウェーハステージの近傍に配設され前記チップを一時的に保持可能に構成された中継ステージと、前記チップを前記ウェーハからピックアップした状態で往復揺動し該チップを前記中継ステージに搬送可能に構成されたコレットと、前記中継ステージから前記トレイまで前記チップを夫々搬送可能に構成された複数の搬送アームとを備えたことを特徴とするチップの搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハから切り出されたチップをその分類に応じてトレイの所定の位置に搬送するチップの搬送方法及び装置に係り、特に従来と同等のコストでチップ搬送のタクトタイムを約１／２以下に短縮することを可能にしたチップの搬送方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体等のウェーハに作製され１個ずつ切り出されてなるチップについては、各々電気的特性が異なるため、その電気的特性等を１つずつ検査し、またチップの表裏面の傷やクラックを検査し、その結果により良品から不良品まで複数の分類が与えられ、各々を例えばマーキングにより区別したり、またコード化し、ＭＡＰ（地図）情報としてＦＤ（フレキシブルディスク）等に記録している。
【０００３】
これらのチップは、該分類に応じて所定のトレイ又はトレイの中の所定の位置に分別して収容されるが、従来はウェーハからチップを１個ずつピックアップしては、トレイの各位置に搬送していたため、１個のチップを搬送するためのタクトタイムが最短でも０．７ｓ（秒）であった。
【０００４】
チップの微細化によりウェーハ１枚当りのチップ数が劇的に増えているため、チップ搬送に要する総時間も増大しており、チップ搬送のタクトタイムの更なる短縮化が望まれていたが、これまでそのような手段は一般に提供されていなかった。
【０００５】
なお、本願出願人及び発明者は、本願発明に関連する公知特許文献及び公知非特許文献を知らないので、その記載を省略する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされたものであって、その目的とするところは、ウェーハから切り出され各々の特性に応じて分類されたチップをコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、チップをコレットによりトレイに直接搬送及び該方法とウェーハの近傍に設置された少なくとも１つの中継ステージに一旦搬送し該中継ステージから該チップを搬送アームによりトレイに搬送する方法とを組み合わせて使用し、又はこれらいずれかの方法を選択可能にすることによって、コレットによる搬送と搬送アームによる搬送とを適宜組み合せ又は選択して、１個のチップをトレイに搬送するためのタクトタイムを例えば従来の１／２となる０．３５ｓ以下に抑え、チップの搬送効率を劇的に向上させることである。
【０００７】
また他の目的は、上記方法において、チップをコレットによりウェーハの近傍に設置された複数の中継ステージに搬送し、各々の該中継ステージに対応した搬送アームによりチップを中継ステージから該中継ステージの近傍に夫々設置されたトレイに夫々搬送することによって、ウェーハから該中継ステージまでの搬送時間を更に短縮化することであり、またこれによってチップ搬送のタクトタイムを更に短縮化することである。
【０００８】
更に他の目的は、上記方法において、チップのうち第１トレイに搬送すべき第１分類チップをコレットにより第１トレイに直接搬送し、かつ他分類のチップをコレットによりウェーハの近傍に設置された中継ステージに搬送し、該他分類のチップを搬送アームにより中継ステージの近傍に設置された第２トレイに夫々搬送することによって、第１トレイへの直接搬送と中継ステージを介した第２トレイへの搬送を組み合せつつ、各チップ搬送のタクトタイムを短縮化することである。
【０００９】
また他の目的は、チップをコレットによりウェーハの近傍に設置された中継ステージに搬送し、複数の搬送アームによりチップを中継ステージから該中継ステージの近傍に設置されたトレイに夫々搬送することによって、ウェーハから中継ステージまでの搬送時間の短縮化を図ると共に、これにより次々とチップが中継ステージに搬送されても、中継ステージからトレイへのチップの搬送を滞りなく行うことである。
【００１０】
更に他の目的は、チップを収容するトレイが取り付けられ該トレイを面方向に移動可能に構成されたマウントステージと、チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、チップを一時的に保持しておく中継ステージと、チップをウェーハからピックアップした状態で往復揺動し該チップをトレイ又は中継ステージに搬送可能に構成されたコレットと、中継ステージからトレイまでチップを搬送可能に構成された搬送アームとを備えることによって、コレットと搬送アームとが連携して動作するようにし、チップ搬送のタクトタイムを例えば従来の１／２となる０．３５ｓ以下に短縮化できるようにすることである。
【００１１】
また他の目的は、上記構成において、マウントステージ、中継ステージ及び搬送アームを複数設けることによって、ウェーハから該中継ステージまでの搬送時間を更に短縮化できるようにすることであり、またこれによってチップ搬送のタクトタイムを更に短縮化できるようにすることである。
【００１２】
更に他の目的は、上記構成において、予め分類されたチップのうち第１分類チップを収容する第１トレイが取り付けられ該第１トレイを面方向に移動可能に構成された第１マウントステージと、チップのうち他分類チップを収容する第２トレイが取り付けられ該第２トレイを面方向に移動可能に構成された第２マウントステージと、チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、該ウェーハステージの近傍に配設され他分類チップを一時的に保持可能に構成された中継ステージと、チップをウェーハからピックアップした状態で往復揺動し第１分類チップを第１トレイにかつ他分類チップを中継ステージに夫々搬送可能に構成されたコレットと、中継ステージから第２トレイまで他分類チップを搬送可能に構成された搬送アームとを備えることによって、第１トレイへの直接搬送と中継ステージを介した第２トレイへの搬送を組み合せつつ、各チップ搬送のタクトタイムを短縮化できるようにすることである。
【００１３】
また他の目的は、上記構成において、中継ステージに対して複数の搬送アームを設けることによって、ウェーハから中継ステージまでの搬送時間を短縮化すると共に、これにより次々とチップが中継ステージに搬送されても、中継ステージからトレイへのチップの搬送を滞りなく行うことができるようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
要するに本発明方法（請求項１）は、ウェーハから切り出され各々の特性に応じて分類されたチップをコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、前記分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、前記チップを前記コレットにより前記トレイに直接搬送する方法及び該方法と前記ウェーハの近傍に設置された少なくとも１つの中継ステージに一旦搬送し該中継ステージから該チップを搬送アームにより前記トレイに搬送する方法とを組み合わせて使用し、又はこれらいずれかの方法を選択可能にしたことを特徴とするものである。
【００１５】
また本発明方法（請求項２）は、ウェーハから切り出され各々の特性に応じて分類されたチップをコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、前記分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、前記チップを前記コレットにより前記ウェーハの近傍に設置された複数の中継ステージに搬送し、各々の該中継ステージに対応した搬送アームにより前記チップを前記中継ステージから該中継ステージの近傍に夫々設置された前記トレイに夫々搬送することを特徴とするものである。
【００１６】
また本発明方法（請求項３）は、ウェーハから切り出され各々の特性に応じて分類されたチップをコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、前記分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、前記チップのうち第１トレイに搬送すべき第１分類チップをコレットにより第１トレイに直接搬送し、かつ他分類のチップを前記コレットにより前記ウェーハの近傍に設置された中継ステージに搬送し、該他分類のチップを搬送アームにより前記中継ステージの近傍に設置された第２トレイに夫々搬送することを特徴とするものである。
【００１７】
また本発明方法（請求項４）は、ウェーハから切り出され各々の特性に応じて分類されたチップをコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、前記分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、前記チップを前記コレットにより前記ウェーハの近傍に設置された中継ステージに搬送し、複数の搬送アームにより前記チップを前記中継ステージから該中継ステージの近傍に設置された前記トレイに夫々搬送することを特徴とするものである。
【００１８】
また本発明装置（請求項５）は、チップを収容するトレイが取り付けられ該トレイを面方向に移動可能に構成されたマウントステージと、前記チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、前記チップを一時的に保持しておく中継ステージと、前記チップを前記ウェーハからピックアップした状態で往復揺動し該チップを前記トレイ又は前記中継ステージに搬送可能に構成されたコレットと、前記中継ステージから前記トレイまで前記チップを搬送可能に構成された搬送アームとを備えたことを特徴とするものである。
【００１９】
また本発明装置（請求項６）は、チップを収容するトレイが夫々取り付けられ該トレイを面方向に夫々移動可能に構成された複数のマウントステージと、前記チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、該ウェーハステージの近傍に配設され前記チップを一時的に保持可能に構成された複数の中継ステージと、前記チップを前記ウェーハからピックアップした状態で往復揺動し該チップを前記中継ステージに夫々搬送可能に構成されたコレットと、前記中継ステージから前記トレイまで前記チップを夫々搬送可能に構成された複数の搬送アームとを備えたことを特徴とするものである。
【００２０】
また本発明装置（請求項７）は、予め分類されたチップのうち第１分類チップを収容する第１トレイが取り付けられ該第１トレイを面方向に移動可能に構成された第１マウントステージと、前記チップのうち他分類チップを収容する第２トレイが取り付けられ該第２トレイを面方向に移動可能に構成された第２マウントステージと、前記チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、該ウェーハステージの近傍に配設され前記他分類チップを一時的に保持可能に構成された中継ステージと、前記チップを前記ウェーハからピックアップした状態で往復揺動し前記第１分類チップを前記第１トレイにかつ前記他分類チップを前記中継ステージに夫々搬送可能に構成されたコレットと、前記中継ステージから前記第２トレイまで前記他分類チップを搬送可能に構成された搬送アームとを備えたことを特徴とするものである。
【００２１】
また本発明装置（請求項８）は、チップを収容するトレイが取り付けられ該トレイを面方向に移動可能に構成されたマウントステージと、前記チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、該ウェーハステージの近傍に配設され前記チップを一時的に保持可能に構成された中継ステージと、前記チップを前記ウェーハからピックアップした状態で往復揺動し該チップを前記中継ステージに搬送可能に構成されたコレットと、前記中継ステージから前記トレイまで前記チップを夫々搬送可能に構成された複数の搬送アームとを備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、上記のようにウェーハから切り出され各々の特性に応じて分類されたチップをコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、チップをコレットによりトレイに直接搬送及び該方法とウェーハの近傍に設置された少なくとも１つの中継ステージに一旦搬送し該中継ステージから該チップを搬送アームによりトレイに搬送する方法とを組み合わせて使用し、又はこれらいずれかの方法を選択可能としたので、コレットによる搬送と搬送アームによる搬送とを適宜組み合せ又は選択して、１個のチップをトレイに搬送するためのタクトタイムを例えば従来の１／２となる０．３５ｓ以下に抑え、チップの搬送効率を劇的に向上させる効果がある。
【００２３】
また上記方法において、チップをコレットによりウェーハの近傍に設置された複数の中継ステージに搬送し、各々の該中継ステージに対応した搬送アームによりチップを中継ステージから該中継ステージの近傍に夫々設置されたトレイに夫々搬送するようにしたので、ウェーハから該中継ステージまでの搬送時間を更に短縮化できる効果があり、またこの結果チップ搬送のタクトタイムを更に短縮化できる効果が得られる。
【００２４】
更に上記方法において、チップのうち第１トレイに搬送すべき第１分類チップをコレットにより第１トレイに直接搬送し、かつ他分類のチップをコレットによりウェーハの近傍に設置された中継ステージに搬送し、該他分類のチップを搬送アームにより中継ステージの近傍に設置された第２トレイに夫々搬送するようにしたので、第１トレイへの直接搬送と中継ステージを介した第２トレイへの搬送を組み合せつつ、各チップ搬送のタクトタイムを短縮化できる効果がある。
【００２５】
またチップをコレットによりウェーハの近傍に設置された中継ステージに搬送し、複数の搬送アームによりチップを中継ステージから該中継ステージの近傍に設置されたトレイに夫々搬送するようにしたので、ウェーハから中継ステージまでの搬送時間の短縮化を図ることができると共に、これにより次々とチップが中継ステージに搬送されても、中継ステージからトレイへのチップの搬送を滞りなく行うことができるという効果が得られる。
【００２６】
更にチップを収容するトレイが取り付けられ該トレイを面方向に移動可能に構成されたマウントステージと、チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、チップを一時的に保持しておく中継ステージと、チップをウェーハからピックアップした状態で往復揺動し該チップをトレイ又は中継ステージに搬送可能に構成されたコレットと、中継ステージからトレイまでチップを搬送可能に構成された搬送アームとを備えたので、コレットと搬送アームとが連携して動作するようにし、チップ搬送のタクトタイムを例えば従来の１／２となる０．３５ｓ以下に短縮化できる効果がある。
【００２７】
また上記構成において、マウントステージ、中継ステージ及び搬送アームを複数設けたので、ウェーハから該中継ステージまでの搬送時間を更に短縮化できる効果があり、またこの結果チップ搬送のタクトタイムを更に短縮化できる効果が得られる。
【００２８】
更に上記構成において、予め分類されたチップのうち第１分類チップを収容する第１トレイが取り付けられ該第１トレイを面方向に移動可能に構成された第１マウントステージと、チップのうち他分類チップを収容する第２トレイが取り付けられ該第２トレイを面方向に移動可能に構成された第２マウントステージと、チップが切り出されたウェーハを保持し該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたウェーハステージと、該ウェーハステージの近傍に配設され他分類チップを一時的に保持可能に構成された中継ステージと、チップをウェーハからピックアップした状態で往復揺動し第１分類チップを第１トレイにかつ他分類チップを中継ステージに夫々搬送可能に構成されたコレットと、中継ステージから第２トレイまで他分類チップを搬送可能に構成された搬送アームとを備えたので、第１トレイへの直接搬送と中継ステージを介した第２トレイへの搬送を組み合せつつ、各チップ搬送のタクトタイムを短縮化できる効果が得られる。
【００２９】
また上記構成において、中継ステージに対して複数の搬送アームを設けたので、ウェーハから中継ステージまでの搬送時間を短縮化できると共に、これにより次々とチップが中継ステージに搬送されても、中継ステージからトレイへのチップの搬送を滞りなく行うことができる効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。本発明の第１実施例に係るチップの搬送装置１は、図１から図３において、マウントステージ２，３と、ウェーハステージ４と、中継ステージ５，６と、コレット８と、搬送アーム１０，１１とを備えている。
【００３１】
マウントステージ２，３は、チップ１４を収容するトレイ１２，１３が夫々取り付けられ、該トレイ１２，１３を面方向に夫々移動可能に構成されたものであって、例えばＹ軸方向（矢印＋Ｙ方向及び矢印−Ｙ方向）に移動可能となっている。
【００３２】
マウントステージ２，３は、トレイ１２，１３のＹ軸方向における端から端まで、例えば片道０．３ｓで送り動作（位置補正）を行うことができるようになっている。
【００３３】
ウェーハステージ４は、チップ１４が切り出されたウェーハ１５を保持し、該ウェーハを面方向に移動又は回転可能に構成されたものであって、例えばＸ軸方向（矢印＋Ｘ方向及び矢印−Ｘ方向）に移動可能であると共に、矢印Ｌ方向及び矢印Ｒ方向に回転可能となっている。
【００３４】
このためウェーハステージ４の可動範囲は、移動エリア１６内となっており、またウェーハ１５の可動範囲は、回転方向固定で考えると、移動エリア１８内となっている。ウェーハステージ４の回転を考慮すると、移動エリア１８は図示のものとは異なり円形となる。
【００３５】
中継ステージ５，６は、ウェーハステージ４の近傍に配設され、チップ１４を一時的に保持可能に構成されたものである。中継ステージ５，６は、コレット８の揺動軌跡上に設けられており、その位置は例えば互いに左右対称となっている。
【００３６】
中継ステージ５，６は、例えば吸着機構（図示せず）を有しており、また例えばチップ１４に対する画像処理に基づき、適宜Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動し又は面方向に回転することで、該チップ１４の位置補正が可能となっている。これは中継ステージ５，６における該チップ１４の位置ずれや傾きを修正して、トレイ１２，１３における所望の位置に正確に搬送できるようにするためである。
【００３７】
コレット８は、チップ１４をウェーハ１５からピックアップした状態で往復揺動し、該チップ１４を中継ステージ５，６に夫々搬送可能に構成されたものであって、中心軸１９に取り付けられており、該中心軸１９を回転駆動することで、例えば９０°ずつ、延べ１８０°の範囲内で往復揺動するようになっている。コレット８は、チップ１４をピックアップするために、夫々例えば吸着機構（図示せず）を有している。
【００３８】
ウェーハステージ４は、例えば０．１５ｓの間に、画像解析を行い、ピックアップすべきチップ１４をピックアップ位置まで移動させることができ、コレット８は、例えば０．１ｓの間に、チップ１４のピックアップ及び解放を行うことができ、そして中心軸１９は例えば０．１ｓの間に回動してチップ１４を搬送できるようになっている。
【００３９】
従って例えばコレット８によりウェーハ１５内のチップ１４を吸着して中継ステージ５まで搬送するのに要する時間は、合計０．３５ｓとなっている。
【００４０】
搬送アーム１０，１１は、中継ステージ５，６からトレイ１２，１３までチップ１４を夫々搬送可能に構成されたものであって、吸着機構（図示せず）を有したコレット１０ａ，１１ａをＸ軸方向に夫々駆動する駆動機構を夫々有している（いずれも図示せず）。コレット１０ａ，１１ａの往復に要する時間は、夫々例えば最大０．４５ｓである。
【００４１】
次に本発明の第２実施例に係るチップの搬送装置２０は、図５から図７において、第１マウントステージ２１と、第２マウントステージ２２と、ウェーハステージ４と、中継ステージ２３と、コレット２４と、搬送アーム２６とを備えている。
【００４２】
第１マウントステージ２１は、予め分類されたチップ２８のうち第１分類チップ２８Ａを収容する第１トレイ３１が取り付けられ、該第１トレイ３１を面方向に移動可能に構成されたものであって、例えばＸ軸方向（矢印＋Ｘ方向及び矢印−Ｘ方向）とＹ軸方向（矢印＋Ｙ方向及び矢印−Ｙ方向）に夫々移動可能となっている。この移動は夫々ピッチ移動であって、１ピッチ移動するのに要する時間は、例えば０．１５ｓである。
【００４３】
第２マウントステージ２２は、チップ２８のうち他分類チップ２８Ｂを収容する第２トレイ３２が取り付けられ、該第２トレイ３２を面方向に移動可能に構成されたものであって、例えばＹ軸方向（矢印＋Ｙ方向及び矢印−Ｙ方向）に移動可能となっている。
【００４４】
第２マウントステージ２２は、第２トレイ３２のＹ軸方向における端から端まで、例えば片道０．３ｓで送り動作（位置補正）を行うことができるようになっている。
【００４５】
中継ステージ２３は、ウェーハステージ４の近傍に配設され、他分類チップ２８Ｂを一時的に保持可能に構成されたものであって、コレット２４の揺動軌跡上に設けられており、例えば吸着機構（図示せず）を有している。また例えばチップ２８Ｂに対する画像処理に基づき、適宜Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動し又は面方向に回転することで、該チップ２８Ｂの位置補正が可能となっている。これは中継ステージ２３における該チップ２８Ｂの位置ずれや傾きを修正して、第２トレイ３２における所望の位置に正確に搬送できるようにするためである。
【００４６】
コレット２４は、チップ２８をウェーハ１５からピックアップした状態で往復揺動し、第１分類チップ２８Ａを第１トレイ３１に、かつ他分類チップ２８Ｂを中継ステージ２３に夫々搬送可能に構成されたものであって、中心軸２９に取り付けられており、チップ２８をピックアップするために、夫々例えば吸着機構（図示せず）を有している。コレット２４は、中心軸２９を回転駆動することで、例えば９０°ずつ、延べ１８０°の範囲内で往復揺動するようになっている。
【００４７】
搬送アーム２６は、中継ステージ２３から第２トレイ３２まで他分類チップ２８Ｂを搬送可能に構成されたものであって、吸着機構（図示せず）を有したコレット２６ａをＸ軸方向に駆動する駆動機構を有している（いずれも図示せず）。コレット２６ａの往復に要する時間は、例えば最大０．５５ｓである。
【００４８】
なお、ウェーハステージ４については、第１実施例と同様であるので、同一の部分には図面に同一の符号を付し、説明を省略する。
【００４９】
本発明の第３実施例に係るチップの搬送装置３０は、図９から図１２において、マウントステージ３３と、ウェーハステージ４と、中継ステージ３４と、コレット３５と、搬送アーム３６，３８とを備えている。
【００５０】
マウントステージ３３と、チップ３９を収容するトレイ４０が取り付けられ、該トレイ４０を面方向に移動可能に構成されたものであって、例えばＹ１軸方向（矢印＋Ｙ１方向及び矢印−Ｙ１方向）に夫々移動可能となっている。
【００５１】
マウントステージ３３は、トレイ４０のＹ１軸方向における端から端まで、例えば片道０．３ｓで送り動作（位置補正）を行うことができるようになっている。
【００５２】
中継ステージ３４は、ウェーハステージ４の近傍に配設され、チップ３９を一時的に保持可能に構成されたものであって、コレット３５の揺動軌跡上に設けられ、例えば吸着機構（図示せず）を有している。また例えばチップ３９に対する画像処理に基づき、適宜Ｙ１軸方向に移動し又は面方向に回転することで、該チップ３９の位置補正が可能となっている。これは中継ステージ３４における該チップ３９の位置ずれや傾きを修正して、トレイ４０における所望の位置に正確に搬送できるようにするためである。
【００５３】
コレット３５は、チップ３９をウェーハ１５からピックアップした状態で往復揺動し、該チップ３９を中継ステージ３４に搬送可能に構成されたものであって、中心軸４１に取り付けられており、該中心軸４１を回転駆動することで、例えば４５°の範囲内で往復揺動するようになっている。コレット３５は、チップ３９をピックアップするために、例えば吸着機構（図示せず）を有している。
【００５４】
搬送アーム３６，３８は、中継ステージ３４からトレイ４０までチップ３９を夫々搬送可能に構成されたものであって、吸着機構（図示せず）を有したコレット３６ａ，３８ａをＸ１軸方向（矢印＋Ｘ１方向及び矢印−Ｘ１方向）に夫々駆動する駆動機構を夫々有している（いずれも図示せず）。コレット１０ａ，１１ａの往復に要する時間は、夫々例えば最大０．５５ｓである。
【００５５】
なお、ウェーハステージ４については、第１実施例と同様であるので、同一の部分には図面に同一の符号を付し、説明を省略する。
【００５６】
そして本発明（請求項１）は、ウェーハ１５から切り出され各々の特性に応じて分類されたチップ１４をコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、チップ１４をコレットによりトレイ（図示せず）に直接搬送する方法及び該方法とウェーハ１５の近傍に設置された少なくとも１つの中継ステージ６に一旦搬送し該中継ステージから該チップを搬送アーム１１によりトレイ１３に搬送する方法とを組み合わせて使用し、又はこれらいずれかの方法を選択可能にしたものである。
【００５７】
また本発明（請求項２）は、ウェーハ１５から切り出され各々の特性に応じて分類されたチップ１４をコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、チップ１４をコレット８によりウェーハ１５の近傍に設置された複数の中継ステージ５，６に搬送し、各々の該中継ステージに対応した搬送アーム１０，１１によりチップ１４を中継ステージ５，６から該中継ステージの近傍に夫々設置されたトレイ１２，１３に夫々搬送する方法である。
【００５８】
また本発明（請求項３）は、ウェーハ１５から切り出され各々の特性に応じて分類されたチップ２８をコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、チップ２８のうち第１トレイ３１に搬送すべき第１分類チップ２８Ａをコレット２４により第１トレイ３１に直接搬送し、かつ他分類のチップ２８Ｂをコレット２４によりウェーハ１５の近傍に設置された中継ステージ２３に搬送し、該他分類のチップ２８Ｂを搬送アーム２６により中継ステージ２３の近傍に設置された第２トレイ３２に夫々搬送する方法である。
【００５９】
また本発明（請求項４）は、ウェーハ１５から切り出され各々の特性に応じて分類されたチップ３９をコレットによりピックアップしてトレイに搬送し、分類に応じて該トレイの所定の位置に並べて行くチップの搬送方法において、チップ３９をコレット３５によりウェーハ１５の近傍に設置された中継ステージ３４に搬送し、複数の搬送アーム３６，３８によりチップ３９を中継ステージ３４から該中継ステージの近傍に設置されたトレイ４０に夫々搬送する方法である。
【００６０】
本発明は、上記のように構成されており、以下その作用について説明する。まず本発明の第１実施例に係るチップの搬送装置１の作用について説明すると、該チップの搬送装置１は、例えば図４に示すタイミングチャート図に基づいて動作する。
【００６１】
図１において、コレット８は、ウェーハ１５上のチップ１４を吸着した状態から中心軸１９が矢印Ｒ方向に９０°回転することで中継ステージ５上に位置しており、該チップ１４を該中継ステージ５に受け渡している（搬送に要する時間は０．３５ｓ）。コレット８はチップ１４を中継ステージ５に受け渡した後、ウェーハ１５上に戻る。次に搬送される予定のチップ１４は、コレット８による吸着が行われる前に、ウェーハステージ４の駆動により吸着位置まで、例えば矢印−Ｘ方向に移動して来ている。吸着位置は、例えば移動エリア１６の中心である。
【００６２】
中継ステージ５では、例えば画像解析を用いて０．１ｓ以内に位置補正が行われる。次に搬送アーム１０のコレット１０ａが中継ステージ５上のチップ１４を吸着してトレイ１２まで矢印−Ｘ方向に搬送する。コレット１０ａの往復時間は、例えば０．４５ｓである。このときマウントステージ２は、トレイ１２におけるチップ１４の収容位置をコレット１０ａの移動端に合わせるために、０．３ｓ以内にトレイ１２をＹ軸方向に駆動し、位置決めを行う。
【００６３】
一方上記した中継ステージ５の位置補正が始まると同時に、図２に示すように、コレット８が次のチップ１４をピックアップし、中心軸１９が矢印Ｌ方向に９０°回転して、中継ステージ６に該次のチップ１４を受け渡し、再びウェーハ１５上に戻る。この時間も０．３５ｓである。更に次のチップ１４も、ウェーハステージ４が例えば矢印−Ｘ方向に駆動されることで吸着位置まで移動して来ている。
【００６４】
中継ステージ６では、中継ステージ５と同様に、例えば画像解析を用いて０．１ｓ以内に位置補正が行われる。次に搬送アーム１１のコレット１１ａが中継ステージ６上のチップ１４を吸着してトレイ１３まで矢印＋Ｘ方向に搬送する。コレット１１ａの往復時間は、例えば０．４５ｓである。このときマウントステージ３は、トレイ１３におけるチップ１４の収容位置をコレット１１ａの移動端に合わせるために、０．３ｓ以内にトレイ１３をＹ軸方向に駆動し、位置決めを行う。
【００６５】
この間に、図３に示すように、更に次のチップ１４がコレット８により中継ステージ５に搬送され、以下同じ動作が繰り返されることで、ウェーハ１５のチップ１４がトレイ１２又はトレイ１３に搬送されて行く。
【００６６】
チップの搬送装置１では、チップ１４をウェーハ１５から中継ステージ５，６までの搬送し再びウェーハ１５上に戻るまでの時間が０．３５ｓであり、その後の搬送は搬送アーム１０，１１に任せ、しかも中継ステージ５，６でチップ１４の滞りが生じないようにしているので、１個のチップ１４当りの搬送タクトタイムは、０．３５ｓを超えることがなく、従来の０．７ｓと比較すると１／２に短縮化されている。しかも例えば特別に高性能なモータ（図示せず）等を使用してタクトタイムを短縮化したわけではなく、搬送の仕方の工夫により成し遂げたものであるので、コストは従来と同様である。
【００６７】
なお、チップ１４をトレイ１２とトレイ１３のどちらに搬送するかは、各チップ１４の分類によって任意に定める事項であり、例えばトレイ１２とトレイ１３において、夫々同様の分類順にチップ１４を並べて行ってもよいし、また最良品質のチップをトレイ１２に、その他の品質のチップをトレイ１３に並べて行くようにしてもよい。チップ１４の分類は、各チップの電気的特性の検査結果により行われ、各チップの分類は、例えばマーキングにより行われる。以下の実施例でも同様である。
【００６８】
なお、本実施例においては、マウントステージ、トレイ、中継ステージ及び搬送アームを夫々２組としたが、これに限るものではなく、更に多くてもよい。
【００６９】
次の本発明の第２実施例に係るチップの搬送装置２０の作用について説明する。該チップの搬送装置２０は、例えば図８に示すタイミングチャート図に基づいて動作する。
【００７０】
図５において、コレット２４は、ウェーハ１５上の第１分類チップ２８Ａを吸着した状態から中心軸２９が矢印Ｒ方向に９０°回転することで第１トレイ３１上に位置しており、該チップ２８Ａを該第１トレイ３１に直接収容している（コレット２４がウェーハ１５からチップ２８Ａをピックアップして第１トレイ３１まで搬送し、再びウェーハ１５上に戻るまでの時間は０．３５ｓ）。
【００７１】
このとき第１マウントステージ２１は、予め第１トレイ３１における第１分類チップ２８Ａの収容位置をコレット２４からの受取り位置に合わせるために、０．１５ｓ以内に第１トレイ３１をＸ軸方向及びＹ軸方向にピッチ移動させ、位置決めを行っている。第１トレイ３１は、第１分類チップ２８Ａ専用となっているので、ピッチ移動だけでも次々と該チップを収容して行くことが可能である。
【００７２】
一方このとき他分類チップ２８Ｂは、例えば−Ｘ方向へのウェーハステージ４の駆動により吸着位置まで移動して来ていて、次にコレット２４により吸着される。コレット２４により該他分類チップ２８Ｂが吸着されると、中心軸２９が矢Ｌ方向に９０°回転し、該他分類チップ２８Ｂは中継ステージ２３まで搬送される（コレット２４がウェーハ１５からチップ２８Ｂをピックアップして第２トレイ３２まで搬送し、再びウェーハ１５上まで戻るまでの時間は０．３５ｓ）。なお、図８のタイミングチャート図には示していないが、中継ステージ２３において、例えば画像解析を用いて位置補正（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及び回転方向）を行ってもよい。該位置補正の所要時間は、例えば０．１ｓ以内である。
【００７３】
続いて、図７に示すように、搬送アーム２６のコレット２６ａが中継ステージ２３上の他分類チップ２８Ｂを吸着して第２トレイ３２まで矢印Ｘ方向に搬送する。コレット２６ａの往復時間は、例えば０．５５ｓである。このとき第２マウントステージ２２は、第２トレイ３２における他分類チップ２８Ｂの収容位置をコレット２６ａの移動端に合わせるために、０．３ｓ以内に第２トレイ３２をＹ軸方向に駆動し、位置決めを行う。
【００７４】
搬送アーム２６による搬送を行っている間に、中心軸２９が矢印Ｒ方向に９０°回転し、第１分類チップ２８Ａが第１トレイ３１に搬送される。このとき例えば第１マウントステージ２１は例えば矢印−Ｘ方向にピッチ移動している。以下同様にして、ウェーハ１５のチップ２８が第１トレイ３１又は第２トレイ３２に搬送されて行く。なお、第１トレイ３１又は第２トレイ３２に交互にチップ２８を搬送するようにしてもよいし、また図８のタイミングチャート図に示すように、基本的には第１トレイ３１に第１分類チップ２８Ａを搬送しながら、他分類チップ２８Ｂのときにだけ、該チップを第２トレイ３２に搬送するようにしてもよい。
【００７５】
本実施例についても、第１実施例と同様に、１個のチップ２８当りの搬送タクトタイムは、０．３５ｓを超えることがなく、非常に効率的である。
【００７６】
そして本発明の第３実施例に係るチップの搬送装置３０の作用について説明する。該チップの搬送装置３０は、例えば図１３に示すタイミングチャート図に基づいて動作する。
【００７７】
図９において、コレット３５は、ウェーハ１５上のチップ３９を吸着した状態から中心軸４１が矢印Ｒ方向に４５°回転することで中継ステージ３４上に位置しており、該チップ３９を該中継ステージ３４に受け渡している（コレット３５がウェーハ１５からチップ３９をピックアップして中継ステージ３４まで搬送し、またウェーハ１５まで戻る時間は０．３５ｓ程度）。
【００７８】
中継ステージ３４では、チップ３９が受け渡されると、例えば画像処理を用いて０．１ｓ以内に例えば矢印＋Ｙ１方向に位置補正が行われる。回転方向に位置補正が行われる場合もある。該位置補正が行われるまでに、マウントステージ３３がＹ軸方向に駆動され、トレイ４０の位置決めがなされ、中継ステージ３４の位置補正完了後、搬送アーム３８のコレット３８ａが中継ステージ３４上のチップ３９を吸着して、トレイ４０まで矢印−Ｘ１方向に搬送する。コレット３８ａの往復時間は、例えば０．５５ｓである。
【００７９】
中継ステージ３４は、チップ３９がコレット３８ａに吸着されると直ちに矢印−Ｙ１方向に移動し、中立状態（図９の位置）となる。なお、搬送アーム３８側に移動したままで次のチップ３９を受け取ることができるならば、中継ステージ３４を中立状態に戻さなくてもよい。
【００８０】
図１０及び図１１において、搬送アーム３８がチップ３９の搬送を行っている間に、ウェーハステージ４が例えば矢印−Ｘ方向に移動し、次のチップ３９がコレット３５により吸着され、中心軸４１が矢印Ｌ方向に４５°回転して中継ステージ３４まで搬送される。すると今度は、図１２に示すように、中継ステージ３４が０．１ｓ以内に矢印−Ｙ１方向に位置補正が行われ、搬送アーム３６のコレット３６ａが中継ステージ３４上のチップ３９を吸着して、トレイ４０まで矢印−Ｘ１方向に搬送する。コレット３６ａの往復時間も、例えば０．５５ｓである。
【００８１】
以下同様にして、搬送アーム３６，３８を交互に用いて各チップ３９をトレイ４０の所定の位置へと搬送して行くことにより、１個のチップ３９当りの搬送タクトタイムは、０．３５ｓを超えることがない。
【００８２】
なお、本実施例においては、搬送アームを２本としたが、これに限るものではなく、更に多くしてもよい。また中継ステージ３４の位置補正は、Ｙ１軸方向に限られず、必要に応じて回転方向の位置補正をも行うようにしてもよい。
【００８３】
また図４，８，１３に夫々タイミングチャート図を示したが、これらは例示であり、チップの搬送装置１，２０，３０の作用はこれらのタイミングチャート図に基づくものに限られない。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】図１から図４は第１実施例に係り、図１はチップの搬送装置の概略を示す平面図である。
【図２】コレットにより一方の中継ステージに搬送されたチップが搬送アームによりトレイに搬送されている間に、コレットにより他方の中継ステージにチップが搬送された状態を示す平面図である。
【図３】図２における他方の中継ステージ上のチップが搬送アームによりトレイに搬送されている間に、コレットにより一方の中継ステージにチップが搬送された状態を示す平面図である。
【図４】タイミングチャート図である。
【図５】図５から図８は、第２実施例に係り、図５はチップの搬送装置の概略を示す平面図である。
【図６】コレットにより他分類チップがウェーハから中継ステージに搬送される状態を示す平面図である。
【図７】図６における中継ステージ上の他分類チップが搬送アームにより第２トレイに搬送されている間に、第１分類チップを第１トレイに搬送している状態を示す平面図である。
【図８】タイミングチャート図である。
【図９】図９から図１３は、第３実施例に係り、図９はチップの搬送装置の概略を示す平面図である。
【図１０】中継ステージ上のチップを搬送アームによりトレイに搬送している間に、コレットがウェーハ上のチップを吸着している状態を示す平面図である。
【図１１】図１０におけるコレットに吸着されたチップをウェーハから中継ステージに搬送した状態を示す平面図である。
【図１２】図１１におけるチップを搬送アームにより中継ステージからトレイに搬送している状態を示す平面図である。
【図１３】タイミングチャート図である。
【符号の説明】
【００８５】
１    チップの搬送装置
２    マウントステージ
３    マウントステージ
４    ウェーハステージ
５    中継ステージ
６    中継ステージ
８    コレット
１０    搬送アーム
１１    搬送アーム
１２    トレイ
１３    トレイ
１４    チップ
１５    ウェーハ
２０    チップの搬送装置
２１    第１マウントステージ
２２    第２マウントステージ
２３    中継ステージ
２４    コレット
２６    搬送アーム
２８    チップ
２８Ａ  第１分類チップ
２８Ｂ  第２分類チップ
３０    チップの搬送装置
３１    第１トレイ
３２    第２トレイ
３３    マウントステージ
３４    中継ステージ
３５    コレット
３６    搬送アーム
３８    搬送アーム
３９    チップ
４０    トレイ
【図１】
2005353873.tif 000003
【図２】
2005353873.tif 000004
【図３】
2005353873.tif 000005
【図４】
2005353873.tif 000006
【図５】
2005353873.tif 000007
【図６】
2005353873.tif 000008
【図７】
2005353873.tif 000009
【図８】
2005353873.tif 000010
【図９】
2005353873.tif 000011
【図１０】
2005353873.tif 000012
【図１１】
2005353873.tif 000013
【図１２】
2005353873.tif 000014
【図１３】
2005353873.tif 000015