(57)【要約】【課題】異なる反射率を示す粒子群を担持する流体を区別する流体判別方法および装置を提供する。【解決手段】第１の粒子群を実質的に透明な流体である担持流体で担持した第１の流体、第１の粒子群より小さい反射率を示す第２の粒子群を担持流体で担持した第２の流体、およびいずれの粒子群も含まない担持流体のみからなる第３の流体が境界面を以て収容されている容器の透明窓を介して反射率を測定する。容器内には、前記第１と第２の粒子群の中間の反射率をもつ反射板を配置する。  前記容器の外から前記反射板に向けて可視光成分を含む光と赤外線成分を含む光を投射し、各反射光を受光し可視光成分の反射率（ＲK ）と赤外線成分の反射率（ＲI ）を測定して、前記第１〜第３の流体を区別する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
異なる反射率を示す粒子群を担持する流体を区別する流体判別方法において、
第１の粒子群を実質的に透明な流体である担持流体で担持した第１の流体、第１の粒子群より小さい反射率を示す第２の粒子群を担持流体で担持した第２の流体、およびいずれの粒子群も含まない担持流体のみからなる第３の流体が境界面を以て収容されており、透明窓を持ち、内部に前記第１と第２の粒子群の中間の反射率をもち、前記何れかの流体を介して対面する反射板を配置した容器を準備する測定準備ステップと、
前記容器の外から前記反射板に向けて可視光成分を含む光と赤外線成分を含む光を投射し、各反射光を受光し可視光成分の反射率（ＲK ）と赤外線成分の反射率（ＲI ）を測定する反射率測定ステップと、
前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和を演算し（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和の絶対値が予め定めた値（Ａ）以下であれば第２の流体と判断し、
前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）比を演算し（ＲK ／ＲI ）の絶対値が予め定めた値（Ｂ）を越えるときは第３の流体と判断し、
前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）比を演算し（ＲK ／ＲI ）の絶対値が予め定めた値（Ｂ）以下のときは第１の流体と判断する判断ステップと、
から構成した流体判別方法。
【請求項２】
前記担持流体は水、前記第１の粒子群は陰イオン（アニオン）交換樹脂、前記第２の粒子群は陽イオン（カチオン）交換樹脂である請求項１記載の流体判別方法。
【請求項３】
異なる反射率を示す粒子群を担持する流体を判別する流体判別装置であって、
第１の粒子群を実質的に透明な流体である担持流体で担持した第１の流体、第１の粒子群より小さい反射率を示す第２の粒子群を担持流体で担持した第２の流体、およびいずれの粒子群も含まない担持流体のみからなる第３の流体を収容する透明窓を有する容器と、  前記第１と第２の粒子群の中間の反射率をもち、前記容器内に前記何れかの流体を介して対面する反射板と、
前記容器の外から前記反射板に向けて可視光成分を含む光と赤外線成分を含む光を投射する発光素子と各反射光を受光する受光素子とを含み可視光成分の反射率（ＲK ）と赤外線成分の反射率（ＲI ）を測定する反射率測定手段と、
前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和を演算し（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和の絶対値が予め定めた値（Ａ）以下であれば第２の流体と判断し、
前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）比を演算し（ＲK ／ＲI ）の絶対値が予め定めた値（Ｂ）を越えるときは第３の流体と判断し、          
前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）比を演算し（ＲK ／ＲI ）の絶対値が予め定めた値（Ｂ）以下のときは第１の流体と判断する判断手段と、
前記判断結果を表示する表示手段と
から構成した流体判別装置。
【請求項４】
前記担持流体は水、前記第１の粒子群は陰イオン（アニオン）交換樹脂、前記第２の粒子群は陽イオン（カチオン）交換樹脂である請求項３記載の流体判別装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばカチオン交換樹脂粒子を含む水、アニオン交換樹脂粒子を含む水、何れの粒子も含まない水のそれぞれを判別する方法および前記方法を実施するための装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、火力発電所, 原子力発電所, 大規模な半導体製造工場等において大量に必要とする高純度精製水を得るためのイオン交換操作は、交換, 還元を反復し、還元は逆洗, 分離, 再生, 洗浄の順に行われる。
【０００３】
従来のイオン交換作業は、交換槽内のイオン交換樹脂の状態を眼で観察しながら手動でバルブ操作を行っているので人手を要するという欠点がある。
これを自動化しようとするとき、流水の速度を決めるバルブ調整の自動化は従来の技術で可能であるが、イオン交換樹脂の状態の検知は、従来の光センサやビデオカメラではイオン交換樹脂の大きさにバラツキがあること、水（または溶液）の中における粒子の密度が異なること、カチオンおよびアニオンが新しい間は判別することができても、使用開始後時間経過とともに粒子表面にクラッドが付着して樹脂粒子表面の反射率が変化し、両者の区別がつかなくなるなどの理由により判別は一般的に困難であった。そこで本件出願人は前述のイオン交換操作に関連して、下記の特許文献１により流体中の粒子の判別方法および装置を提案している。
【特許文献１】特開平３−１５２４４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記提案に係る方法と装置は、第１の粒子群と第２の粒子群との間に反射率の差があっても、第２の粒子群の反射率が低い場合にはこの粒子群を含む溶液と、溶液のみの部分からの反射光量が近似してくる場合がある。この場合、第２の粒子群（カチオン交換樹脂の群）を含む水と水だけの部分との判断が問題になる。なお前記特許文献１記載の発明ではカチオン交換樹脂の群を含む水と水だけの部分との判断については議論を尽くしていない。
本発明の目的は、第１の粒子群と第２の粒子群との間に反射率の差があっても、第２の粒子群の反射率が低い場合の問題を解決することができる流体の判別方法を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、前記方法を実施する装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するための方法を主要図面を参照して説明する。
（流体判別方法の構成）本発明による流体の判別方法は、異なる反射率を示す粒子群（例えば各種のイオン交換樹脂粒子等）を担持する流体を区別する流体判別方法で、３種類の流体を区別することができる。これら第１，第２，第３の流体は図１の容器内に示すように、上下に境界を維持して容器（樹脂タンクまたはイオン交換槽１０、図２）に収容されている。これらの流体の境界の高さはかわる。
第１の流体は、第１の粒子群（例えばアニオン交換樹脂粒子群１１）を実質的に透明な流体である担持流体（例えば水１３）で担持したものである。
第２の流体は、第１の粒子群より小さい反射率を示す第２の粒子群（例えばカチオン交換樹脂粒子群１２）を担持流体（例えば水）で担持したものである。
第３の流体は、前記いずれの粒子群も含まない担持流体のみからなるものである。
【０００６】
容器であるイオン交換槽１０は、図１，図２に示すように例えば樹脂性の透明窓１４を持っている。容器の内部に前記第１と第２の粒子群の中間の反射率をもち、前記容器内に前記何れかの流体を介して対面する反射板４０を配置してある（図１）。
このように、透明窓１４を有する容器中に反射板４０を配置し、第１〜第３の流体が配置されている状態を形成することにより準備ステップが形成される。
【０００７】
反射率測定ステップは、前記容器の外から前記反射板４０に向けて可視光成分を含む光と赤外線成分を含む光を投射し、各反射光を受光し可視光成分の反射率（ＲK ）と赤外線成分の反射率（ＲI ）を測定するステップである。
可視光成分を含む光と赤外線成分を含む光の投射と反射光の補足は図３に示すように配列された発光器（Ｌ1 〜Ｌ16）と受光器（Ｒ1 〜Ｒ32）により行なわれる。
【０００８】
本発明による方法の判断ステップは、前記反射率測定ステップで得られた可視光成分の反射率（ＲK ）と赤外線成分の反射率（ＲI ）に基づいてなされる。
前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和を演算し（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和の絶対値が予め定めた値（Ａ）以下であれば第２の流体（カチオン交換樹脂粒子群１２を含む）と判断する。（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和の絶対値が予め定めた値（Ａ）以下である領域は図６（ｂ）に示す直行座標の第１象限の左下の４半円の範囲内になる。
前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）の比を演算し（ＲK ／ＲI ）の絶対値が予め定めた値（Ｂ）を越えるときは第３の流体（水のみ）と判断する。
前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）比を演算し（ＲK ／ＲI ）の絶対値が予め定めた値（Ｂ）以下のときは第１の流体（アニオン交換樹脂粒子群１１を含む）と判断する。
【０００９】
前述の方法を実施するための装置は、異なる反射率を示す粒子群を担持する流体を判別する流体判別装置である。
（流体判別装置の構成）本発明による装置の容器（図１、図２イオン交換槽１０）は、第１の粒子群１１を実質的に透明な流体である担持流体で担持した第１の流体、第１の粒子群１１より小さい反射率を示す第２の粒子群１２を担持流体で担持した第２の流体、およびいずれの粒子群も含まない担持流体のみからなる第３の流体（例えば水）１３を収容している。容器には透明窓１４が設けられている。また容器内には反射板４０（図１）が設けられている。この反射板４０は、前記第１と第２の粒子群の中間の反射率をもち、前記容器内に前記何れかの流体を介して対面する位置に配置されている。
【００１０】
反射率測定手段は、前記容器の外から前記反射板４０に向けて可視光成分を含む光と赤外線成分を含む光を投射する発光素子（図３の発光器（Ｌ1 〜Ｌ16））と各反射光を受光する受光素子（図３の受光器（Ｒ1 〜Ｒ32））と光源制御部２２，受光器制御部２３を含み可視光成分の反射率（ＲK ）と赤外線成分の反射率（ＲI ）を測定する。反射率の演算は演算制御部２１でなされる。
判断手段は、演算制御部２１と、判別レベル設定部２４を含み、前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和を演算し（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和の絶対値が予め定めた値（Ａ）以下であれば第２の流体と判断する。
また前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）比を演算し（ＲK ／ＲI ）の絶対値が予め定めた値（Ｂ）を越えるときは第３の流体と判断する。
さらに前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）比を演算し（ＲK ／ＲI ）の絶対値が予め定めた値（Ｂ）以下のときは第１の流体と判断する。
判断の結果は表示手段により表示される。表示手段の構成例を図４に示す。
【発明の効果】
【００１１】
以上詳しく説明したように、本発明による判別方法によれば、第１〜第３の流体の存在を判別することができる。すなわち本発明による方法および装置によれば、液体（例えば水）に含まれる第１の粒子の群と特性の異なる第２の粒子の群のそれぞれの存在および、何れの粒子群も含まない、第３の流体の存在を判別できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面等を参照して本発明をさらに詳しく説明する。
本発明の原理について、異なるイオン交換樹脂を含む流体の判別方法を例として説明する。図５、図６は各流体の反射率特性を示す曲線図である。
前述したように本願出願人の先の発明（特開平３−１５２４４３）では一方の粒子（カチオン交換樹脂）の群の反射率が低い場合、この群からの反射光量が液部の反射光量と近似になる。この場合、この群と液部の判別が困難になる。
図６（ａ）は、反射板の無い場合の反射特性を示すグラフである。図では第３の流体（水）と第２の流体（カチオン）の区別が分かるようにやや誇張して示してあるが、第３の流体と第２の流体の境界は複雑（図５を参照して後述する。）であり明確な区別の基準が得られ難い。そこで、本発明による方法および装置では槽１０の透明窓１４の内側に、反射板４０（図１）を配置し、反射板４０からの反射を含めた反射光で、流体を区別する。図５、図６は各流体の反射率特性を反射板４０を使用しない場合を含めて対比している。
【００１３】
反射板４０の反射率は概ね、使用する光の波長の範囲内で、次の関係が成立するように選択する。反射板を設けない場合は、反射光量が「陰イオン交換樹脂」＞「陽イオン交換樹脂」≒「液部」の順番となり、反射板を設けた場合は、反射光量が「液部」＞「陰イオン交換樹脂」＞「陽イオン交換樹脂」または、「陰イオン交換樹脂」＞「液部」＞「陽イオン交換樹脂」の順番になる。反射板４０の反射率は、カチオン交換樹脂の反射率より大きく、またはアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂の反射率の間の反射率にする。これにより２種の樹脂部および液部の判別が可能になった。
【００１４】
なお反射板４０は、透明窓の内側にほぼ平行に配置する。反射板と透明窓の内側との距離は、槽内の液および粒子の動きに著しい影響を与えないような距離、また、反射光量の順番に影響を与えないような距離とする。反射板の支持手段は、槽１０内の液および粒子の動きに著しい影響を与えないような方法とする。
【００１５】
第５図のＡN およびＡO の示す曲線は、水中におけるアニオン１１（第１の流体）について、クラッド吸着の有（ＡO OLD ）と無（ＡN NEW ）の２つの場合について、各波長の光に対する相対反射率を示している。第５図では、（ＡN NEW ）の波長７００ｎｍの光を当てた場合の反射率を１として示している。
第２の流体（カチオン交換樹脂粒子入り）と第３の流体（水）は、反射板が無い場合は０．１以下となり識別できない。
反射板をいれると、汚れていない水（ＷN NEW ）と汚れている水（ＷO OLD ）の検出レベルが上がり検出可能になる。この反射光は概ね反射板からのものであると解されるが、汚れている水（ＷO OLD ）の汚れが入射光と反射光の一部を散乱または吸収することにより、水（ＷO OLD ）のレベルが相対的に低くなると考えられる。
【００１６】
図６（ｂ）は、槽１０内に反射板４０を配置した場合の流体の識別範囲を二次元的に示してある。
本発明による方法の判断ステップは、前記反射率測定ステップで得られた可視光成分の反射率（ＲK ）と赤外線成分の反射率（ＲI ）に基づいてなされる。
反射率（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和を演算し（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和の絶対値が予め定めた値（Ａ）以下であれば第２の流体（カチオン交換樹脂粒子群１２を含む）と判断する。（ＲK ）と（ＲI ）のベクトル和の絶対値が予め定めた値（Ａ）以下である領域は図６（ｂ）に示す直行座標の第１象限の左下の４半円の範囲内になる。
第３の流体と第１の流体の区別は、前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）の比を演算し（ＲK ／ＲI ）の絶対値が予め定めた値（Ｂ）を越えるときは第３の流体（水のみ）と判断する。また前記反射率（ＲK ）と（ＲI ）比を演算し（ＲK ／ＲI ）の絶対値が予め定めた値（Ｂ）以下のときは第１の流体（アニオン交換樹脂粒子群１１を含む）と判断する。
【００１７】
次に、本発明方法を実施する装置について説明する。第１図は、本発明の実施例を示す構成系統図である。第２図は、第１図の実施例のイオン交換樹脂判別装置（本実施例の装置）２０と、これを取り付けるイオン交換槽１０との対応例を示す斜視図である。
本実施例の装置２０は第２図に示すように、イオン交換槽１０に対応し、その前面の透明で表面が平な窓１４に、ゴムパッキング３２を介して取り付けられる。ただし第２図は、本実施例の装置２０を前方に取り外した状態で示している。
イオン交換槽１０の透明窓１４を介して見えるイオン交換槽１０の内部には、通常はアニオン１１, カチオン１２などが水１３あるいは他の液体の中に含まれる状態で収容されている。透明窓１４に対面するように反射板４０が配置されている。反射板４０の反射係数については前述した。
【００１８】
本実施例２０のハウジング３１の内部には、光源制御部２２によって制御され、波長の異なる２つの光をそれぞれ単独に発光することができるよう２つの発光素子を一体化した発光器Ｌ1,Ｌ2,・・・Ｌ16と、可視領域から赤外領域までの光に感応する受光素子を備えた受光器Ｒ1,Ｒ2,・・・Ｒ32と、受光器制御部２３と、光源制御部２２を制御し、受光器制御部２３を介して受光器Ｒ1,Ｒ2,・・・Ｒ32の出力にもとづいて被測定物（光を当てたアニオン１１またはカチオン１２または水などの液体１３）の反射率を測定し、被測定物が何であるかを判別する演算制御部２１と、演算制御部２１が、被測定物を判別する基準値を設定する判別レベル設定部２４と、演算制御部２１の判定にもとづき、その結果を表示する表示部２５から構成されている。
なお２７は図示しない制御盤との間の接続を行なう入出力インタフェース、２８は装置内の各部に電力を供給する電源部である。
表示部２５は、装置の外部から透明板２９を介して見えるよう配置され、透明板２９とハウジング３１の間にはゴムパッキング３３が挿入されており、ハウジング３１と装置が取り付けられるとイオン交換槽１０の窓１４の間にゴムパッキング３２が挿入され、入出カインタフェース２７と図示しない制御盤との間のケーブルを接続する接栓３０が防水形になっていることによって、本実施例の装置２０が、イオン交換槽１０に取り付けられた状態では耐塵防水気密構造を形成する。
さらに、内部に図示しない乾燥材を入れるとともに、内部湿度・結露監視部２６によって内部湿度の異常上昇と結露を監視し、透明窓１４の表面が曇るなど、反射率測定に支障がある場合は、内部湿度・結露監視部２６の出力にもとづき演算制御部２１から外部の制御盤へ警報を出力する。
【００１９】
図３は、図２の実施例のイオン交換槽１０側からみた、発光器Ｌ1,Ｌ2,・・・Ｌ16と受光器Ｒ1,Ｒ2,・・・Ｒ32の配置例を示す背面図である。
受光器Ｒ1,Ｒ2,・・・Ｒ32は、本実施例の装置２０が取り付けられる交換槽１０の上下方向に沿って一列に配置されている。そして受光器Ｒ1,Ｒ2,・・・Ｒ32は内蔵する各受光素子の前に適当なスリットを設けるなどして真正面からの光のみに感応して出力するよう作られている。
発光器Ｌ1,Ｌ2,・・・Ｌ16発光器Ｌ1 とＬ2 が一対になって受光器Ｒ1,Ｒ2,Ｒ3,Ｒ4 に対応して発光し、発光器Ｌ3,Ｌ4 が一対となって受光器Ｒ5,Ｒ6,Ｒ7,Ｒ8 に対応して発光するようになっている。発光器Ｌ5,Ｌ6,・・・Ｌ16についても同様である。
そして発光器Ｌ1,Ｌ2 の配置は、受光器Ｒ1,Ｒ2,Ｒ3,Ｒ4 の正面の透明窓１４に対し、その光の主放射方向が斜めに当たるように配置されている。これは、透明窓１４の表面からの反射光が受光器Ｒ1,Ｒ2,Ｒ3,Ｒ4 に入って、被測定物からの反射光量の測定結果に誤差を生じないようにしたものである。
また発光器Ｌ1,Ｌ2 が受光器Ｒ1,Ｒ2,Ｒ3,Ｒ4 を挟んで両側に配置されているのは、被測定物の樹脂の粒子に陰を作ることによって反射率の測定結果に誤差を生じないようにしたものである。
発光器Ｌ1,Ｌ2,・・・Ｌ16の発光は、発光器Ｌ1 とＬ2 が極めて短い時間赤外領域の光と可視領域の光とを交互に出して受光器Ｒ1,Ｒ2,Ｒ3,Ｒ4 の正面に相対する被測定物を照射し、その反射光を受光器Ｒ1,Ｒ2,Ｒ3,Ｒ4 の受光素子に受けてそれに対応する出力を受光制御部２３に入力する。
受光制御部２３では、その入力を、発光器Ｌ1,Ｌ2 の駆動に同期した時間帯のＲ1,Ｒ2,Ｒ3,Ｒ4 の出力に対数圧縮しディジタル信号として演算制御部２１に送る。
【００２０】
演算制御部２１では、判別レベル設定部２４で設定されたレベルを参照し、アニオン, カチオン, 水（または他の液体）の判別を行い、その結果を表示部２５に表示するとともに入出カインタフェース２７および防水型の接栓３０を経て図示しない制御盤に出力する。外部の制御盤ではこれを受けてイオン交換操作に必要なバルブ操作などを自動的に行なう。
【００２１】
図４は、第２図の実施例の装置の前面から透明板２９を通して見える表示部２５上の３色発光レベルメータ（以下レベルメータという）Ｔ1,Ｔ2 ・・・Ｔ32と、動作状態表示発光ダイオードＭ1,Ｍ2 ・・・Ｍ6 の配置例を示す正面図である。第４図において、レベルメータＴ1 は第３図の受光器Ｒ1 に対応し、レベルメータＴ2 は第３図の受光器Ｒ2 に対応し、以下同様に対応し、レベルメータＴ32は第３図の受光器Ｒ32に対応する。
それぞれの受光器の出力による判定結果を、対応するレベルメータに、たとえば水の場合は緑色に、アニオンの場合は黄に、カチオンの場合は赤に発光させるなどにより表示する。動作状態表示発光ダイオードＭ1 〜Ｍ6 は、その時点での内蔵乾燥剤が正常か否か、内部湿度の正常か否かの他、アニオン単独の検知の有無などを表示する。
【００２２】
図７は、本実施例のイオン交換樹脂判別の較正を自動的に行なう手段の例を示す説明図である。
較正は本実施例の装置２０をイオン交換槽１０に取り付ける前、あるいは点検のため取り外した際に行なう。
これは、主として発光器Ｌ1,Ｌ2,・・・Ｌ16と受光器Ｒ1,Ｒ2,・・・Ｒ32それぞれの内蔵素子の特性のバラツキと経時変化を補正するために行われる。
較正は、第７図（ａ）に示す系統により、例えば白色上質紙の前に工具用樹脂タンク窓ガラスを置いた基準反射面Ｓを使用して行われる。そして外部から操作することができる図示しない較正用押しボタンを押すことにより、演算制御部２１に内蔵されるマイコンのプログラムが較正に切り換えられ、受光器Ｒ1,Ｒ2,・・・Ｒ32のそれぞれに内蔵されている受光素子（カラーセンサ）の感度と色基準値が自動的に補正される。
その補正の方法は、第７図（ｂ）に示すように、例えば、第７図（ａ）で“可視" にスイッチが接続されたときの受光器Ｒ1 の出力をＡ1 とし、同図（ａ）で“赤外" にスイッチが接続されたときの受光器Ｒ1 の出力をＢ1 として、基準値を１００％として縦軸上と横軸上に表す。同図（ｂ）の縦軸, 横軸とも対数目盛で表すと、α1 は可視光による受光器Ｒ1 の出力を補正すべき倍率となる。同様にして同図（ｂ）のβ1 は赤外光による受光器Ｒ1 の出力を補正すべき倍率となる。以下同様に受光器Ｒ2,Ｒ3 ・・・Ｒ32のカラーセンサのそれぞれについて補正すべき倍率が得られ、これを第７図（ｃ）に示すようにメモリに記憶する。そしてこれらの倍率は、本実施例の装置２０がイオン交換槽１０に取り付けられて実際に運用する場合の補正値として使用される。
【００２３】
このような較正は、使用する光の波長帯が異なっていることに起因する数値の差異を無くし、比較判定を正確にするために重要である。
たとえば、特開昭５２−１４８１８３号公報に二つの周波数の異なる光を用い、投光光路を近似的に等価にして測定する技術（色相検査装置の投受光方法）が示されているが、この技術を本実施例のような場合にそのまま適用することはできない。すなわち、大きいイオン交換槽１０では、水圧のため透明窓１４の隔壁となる透明板２９の厚さは数十ｍｍ以上のものが多く、波長帯の異なる光が斜めに通るときの通過経路の相違は無視できない。この通過経路の相違の影響を無くするためのハード面での対応は難しいが、前記較正によれば、投光光路を近似的に等価にしなくても、容易かつ正確な測定結果が得られるからである。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明による流体判別方法および装置は、火力発電所, 原子力発電所, 大規模な半導体製造工場等において大量に必要とする高純度精製水を得るためのイオン交換操作の際のイオン交換樹脂粒子を含む流体の判別に用いられる。
本発明による判別方法によれば、第１〜第３の流体の存在を判別することができる。すなわち本発明による方法および装置によれば、液体（例えば水）に含まれる第１の粒子の群と特性の異なる第２の粒子の群のそれぞれの存在および、何れの粒子群も含まない、第３の流体の存在を判別できるから、多量に純水を必要とする分野で利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施例を示す構成系統図である。
【図２】第１図の実施例をイオン交換槽とともに示す斜視外観図である。
【図３】第１図および第２図の実施例のイオン交換槽側から見た背面図である。
【図４】第１図および第２図の実施例の装置の前面から見た正面図である。
【図５】第１図および第２図の実施例の被測定物の反射率特性を示す曲線図である。
【図６】第１図および第２図の実施例の判別原理の概念を説明するための説明図である。
【図７】第１図および第２図の反射率測定手段の較正方法例を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００２６】
１０  イオン交換槽（容器）
１１  アニオン
１２  カチオン
１３  水または他の液体
１４  イオン交換槽の透明窓
１５，１６  溶液
２０  イオン交換樹脂判別装置
２１  演算制御部
２２  光源制御部
２３  受光器制御部
２４  判別レベル設定部
２５  表示部
２６  内部湿度・結露監視部
２７  入出カインタフェース
２８  電源部
２９  透明板
３０  防水型接栓
３１  ハウジング
３２，３３  ゴムパッキング
４０  反射板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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