(57)【要約】【課題】光が透過する基板の露光を行う際、裏面転写の発生を抑制し、また裏面転写が発生しても問題とならないようにする。【解決手段】基板チャック１の基板保持面には、凸部２、土手３、及び吸引孔４が設けられている。基板チャック１に基板が搭載されたとき、凸部２は、基板を複数の点で支持する。土手３は、基板保持面の凸部２以外の部分と基板との間に形成された空間を複数の真空区画に分ける。吸引孔４から各真空区画の空気を抜くことにより、基板が基板チャック１に吸着されて固定される。基板チャック１の基板保持面には、光の反射率を低くする処理が施されており、裏面転写の発生が抑制される。また、土手３は、不規則な線で構成されており、裏面転写が発生しても、人間の目で認識され難く問題とならない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を真空吸着して保持する基板チャックであって、
基板保持面に、基板を支持する複数の凸部と、該凸部以外の部分と基板との空間を複数の真空区画に分ける土手とを設け、
基板保持面に光の反射率を低くする処理を施し、
前記土手を不規則な線で構成したことを特徴とする基板チャック。
【請求項２】
光の反射率を低くする処理として、ショットブラストにより面粗さを粗くしたことを特徴とする請求項１に記載の基板チャック。
【請求項３】
光の反射率を低くする処理として、硬質黒色アルマイトを塗布したことを特徴とする請求項１に記載の基板チャック。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の基板チャックを用いて基板を保持し、基板の露光を行うことを特徴とする表示用パネル基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ装置等の表示用パネル基板の露光装置において、基板を保持する基板チャック、及びそれを用いた表示用パネル基板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示用パネルとして用いられる液晶ディスプレイ装置のＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板やカラーフィルタ基板、プラズマディスプレイパネル用基板、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示パネル用基板等の製造は、露光装置を用いて、フォトリソグラフィー技術によりガラス基板上にパターンを形成して行われる。一般に、露光装置は、基板を真空吸着して保持する基板チャックを備え、基板チャックに保持された基板の表面へフォトマスクを透過した光を照射して露光を行う。
【０００３】
基板チャックには、従来、基板保持面が平らなものと、基板保持面にピン形状の凸部を複数設けたものとがあった。後者は、ピン形状の凸部により複数の点で基板を支持し、ピン形状の凸部以外の部分と基板との空間を真空引きすることにより、基板を吸着して固定する。このような基板チャックでは、大型の基板を均等に真空吸着するために、ピン形状の凸部以外の部分と基板との空間を複数の真空区画に分けて真空引きを行っていた。このため、基板保持面には、複数の真空区間を形成するための土手（ライン）が設けられていた。
【０００４】
なお、関連技術として、特許文献１には、ウエハ保持面に溝を設けた半導体ウエハ用真空チャックが開示されている。また、特許文献２には、複数の吸着ピンを備えたレチクルホルダが開示されている。
【特許文献１】特開平９−３２１１２７号公報
【特許文献２】特開２０００−２８６１９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ガラス基板等の様に光が透過する基板では、露光時に基板を透過した光が基板チャックで反射し、再び基板を透過して基板の表面に達することにより、基板チャックの表面形状等が基板の表面に焼き付けられる現象が発生することがある。この現象は、「裏面転写」と呼ばれている。
【０００６】
従来の基板保持面が平らな基板チャックでは、基板の裏面の汚れが基板チャックに堆積し、この汚れにより裏面転写が発生していた。これに対し、基板保持面にピン形状の凸部を設けた基板チャックでは、汚れの堆積による裏面転写の発生が少ない。しかしながら、裏面転写が発生して基板チャックの表面形状が基板の表面に焼き付けられたとき、ピン形状の凸部は小さくて人間の目で認識され難いので問題とならないが、真空区画を形成する土手は、直線等の規則的な形状のため人間の目で認識され易いという問題があった。
【０００７】
本発明の課題は、光が透過する基板の露光を行う際、裏面転写の発生を抑制し、また裏面転写が発生しても問題とならないようにすることである。また、本発明の課題は、表示用パネル基板を歩留まり良く製造することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の基板チャックは、基板を真空吸着して保持する基板チャックであって、基板保持面に、基板を支持する複数の凸部と、凸部以外の部分と基板との空間を複数の真空区画に分ける土手とを設け、基板保持面に光の反射率を低くする処理を施し、土手を不規則な線で構成したものである。光の反射率を低くする処理としては、例えば、ショットブラストにより面粗さを粗くし、または硬質黒色アルマイトを塗布する。
【０００９】
基板を基板チャックから取り外す際、剥離帯電により静電気が発生することがある。剥離帯電により発生する静電気は、基板チャックと基板との接触面積に比例して増加する傾向にある。本発明の基板チャックは、基板を複数の凸部で支持するので、基板チャックと基板との接触面積が小さく、基板を基板チャックから取り外す際、剥離帯電により発生する静電気が少ない。そして、基板保持面の光の反射率が低いので、裏面転写の発生が抑制され、また、裏面転写が発生しても、不規則な線で構成されている土手は、人間の目で認識され難く問題とならない。
【００１０】
本発明の表示用パネル基板の製造方法は、上記基板チャックを用いて基板を保持し、基板の露光を行うものである。上記基板チャックを用いることにより、基板を基板チャックから取り外す際、剥離帯電により発生する静電気が少なくなるので、基板に形成されたパターンの破損が少なくなる。また、裏面転写により不良とされる基板が少なくなる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の基板チャックによれば、基板保持面に複数の凸部を設けることにより、基板を基板チャックから取り外す際、剥離帯電により発生する静電気を少なくすることができる。そして、基板保持面に光の反射率を低くする処理を施すことにより、裏面転写の発生を抑制することができ、また、土手を不規則な線で構成することにより、裏面転写が発生しても人間の目で認識され難く問題とならない。
【００１２】
本発明の表示用パネル基板の製造方法によれば、静電気によるパターンの破損及び裏面転写による不良を少なくすることができ、表示用パネル基板を歩留まり良く製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１は、本発明の一実施の形態による基板チャックの上面図である。また、図２（ａ）は図１のＡ−Ａ部の一部の断面図、図２（ｂ）は同Ｂ−Ｂ部の一部の断面図である。基板チャック１の基板保持面には、凸部２、土手３、及び吸引孔４が設けられている。
【００１４】
凸部２は、図２（ａ）に示すようにピン形状であり、基板チャック１の基板保持面に所定の間隔で複数設けられている。基板チャック１に基板が搭載されたとき、凸部２は、基板を複数の点で支持する。このとき、基板保持面の凸部２以外の部分と基板との間には、空間が形成される。
【００１５】
土手３は、図１に示すように所定の幅の連続した壁であり、基板保持面の凸部２以外の部分と基板との間に形成された空間を複数の真空区画に分ける。本実施の形態では、土手３の内部（基板保持面の中央部）と、土手３の外部（基板保持面の周辺部）との２つの真空区画に分けられている。
【００１６】
吸引孔４は、図２（ｂ）に示すように基板チャック１の基板保持面から裏面へ抜ける貫通孔であり、基板保持面の凸部２以外の部分に複数設けられている。基板チャック１に基板が搭載された後、図示しない真空ポンプ等を用いて、吸引孔４から各真空区画の空気を抜くことにより、基板が基板チャック１に吸着されて固定される。
【００１７】
このとき、２つの真空区画のうち、まず土手３の内部（基板保持面の中央部）の真空区画の空気を抜いて基板の中央部を吸着し、次に土手３の外部（基板保持面の周辺部）の真空区画の空気を抜いて基板の周辺部を吸着する。これにより、基板を均等に真空吸着することができる。
【００１８】
本実施の形態では、基板チャック１の基板保持面に、ショットブラストにより面粗さを粗くし、または硬質黒色アルマイトを塗布し、あるいは両者を行うことにより、光の反射率を低くする処理が施されている。
【００１９】
さらに、図１に示すように、土手３は、１本の直線ではなく、不規則な線で構成されている。図３は、土手を構成する線の一例を示す図である。本例は、Ｙ方向に延びる土手の例を示し、土手を構成する線は、複数の点（Ｘｎ，Ｙｎ）（ｎは整数）を結ぶ線の集合で構成されている。各点（Ｘｎ，Ｙｎ）は、図中の数式で定義されており、乱数Ｒ（ｎ），Ｒ’（ｎ）を用いて決定される。なお、土手３を構成する線は、本例に限るものではない。
【００２０】
以上説明した実施の形態によれば、基板を複数の凸部２で支持することにより、基板チャック１と基板との接触面積を小さくすることができるので、基板を基板チャック１から取り外す際、剥離帯電により発生する静電気を少なくすることができる。そして、基板チャック１の基板保持面に光の反射率を低くする処理を施すことにより、裏面転写の発生を抑制することができ、また、土手３を不規則な線で構成することにより、裏面転写が発生しても人間の目で認識され難く問題とならない。
【００２１】
本発明の基板チャックを用いて基板を保持し、基板の露光を行うことにより、基板を基板チャック１から取り外す際、剥離帯電により発生する静電気を少なくすることができ、基板に形成されたパターンの破損を少なくすることができる。また、裏面転写により不良とされる基板を少なくすることができる。従って、表示用パネル基板を歩留まり良く製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の一実施の形態による基板チャックの上面図である。
【図２】図２（ａ）は図１のＡ−Ａ部の一部の断面図、図２（ｂ）は同Ｂ−Ｂ部の一部の断面図である。
【図３】土手を構成する線の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  基板チャック
２  凸部
３  土手
４  吸引孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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