(57)【要約】【課題】スプライシング作業の作業性を確保することができる電子部品実装装置を提供することを目的とする。【解決手段】部品供給部２に配列されたテープフィーダ４から移載ヘッド８によって電子部品を取り出して基板１０に実装する電子部品実装装置において、残部品数カウント部１３に保持されている残部品数を換算してテープフィーダ４に電子部品を保持した状態で収容されているキャリアテープ７の残り長さを示す残テープ長を算出し、この残テープ長がデータ記憶部１２に記憶されている警告残テープ長１２ａまで減少したならば、テープを継ぎ合わせるスプライシング作業実行時期を予告し、残テープ長が最小テープ長１２ｂまで減少したならば装置停止する。これにより、既装着テープの末尾部が所望範囲内にある状態でスプライシングを行うことができ、良好な作業性を確保することができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
部品供給部から移載ヘッドによって電子部品を取り出して基板に実装する電子部品実装装置であって、前記部品供給部に配列され電子部品を保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより移載ヘッドによるピックアップ位置に電子部品を供給するテープフィーダと、このテープフィーダに電子部品を保持した状態で収容されているキャリアテープの残り長さを示す残テープ長を算出する残テープ長算出手段とを備えたことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項２】
前記残テープ長が予め指定された指定長さまで減少したならば当該テープフィーダにおいて既存のキャリアテープと新たに供給されるキャリアテープとを継ぎ合わせるスプライシング作業が必要とされるスプライシング作業時期を予告報知し、且つ前記残テープ長が予め設定された下限長さまで減少したならば当該テープフィーダにおいてテープ送りを停止することにより、前記スプライシング作業が確実に実行されることを確保するスプライシング作業実行確保手段を備えたことを特徴とする請求項１記載の電子部品実装装置。
【請求項３】
前記ピックアップ位置の手前側で前記キャリアテープの継ぎ目を検出する継ぎ目検出手段と、前記継ぎ目検出手段による継ぎ目検出信号に基づいて前記残テープ長を初期値にリセットする残テープ長リセット手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載の電子部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、部品供給部のテープフィーダから電子部品を取り出して基板に実装する電子部品実装装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品実装装置において電子部品を移載ヘッドに供給する方法として、テープフィーダを用いる方法が知られている。この方法は、電子部品を保持するキャリアテープを供給リールから引き出し、電子部品の実装タイミングに同期させてピッチ送りするものである。実装作業中にテープフィーダで部品切れが発生した場合には、供給リールを新たなものと交換するリール交換作業が行われる。
【０００３】
このリール交換作業に際し、近年キャリアテープ自体を継ぎ合わせるいわゆるスプライシング方式が採用されるようになっている。この方法によれば、既装着のキャリアテープの末尾部と新たなキャリアテープの先頭部とが継合されることから、新たなテープの先頭部をテープフィーダに装着してテープ位置合わせを行う頭出し作業を省略することができる。これにより、部品切れが発生する度に実装装置を停止させることによる無駄時間を省くことができるという利点がある。
【０００４】
このため、スプライシングを採用している電子部品実装装置では、各テープフィーダにおける残部品数を常に管理し、残部品数が所定値まで減少したタイミングで、スプライシング作業が必要になる旨の予告報知を行うようにした例が多い。この予告報知により、マシンオペレータは新たな供給リールを準備して既装着テープと新たなキャリアテープとを接続するスプライシングを実行する（例えば特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−３４１０９６号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このスプライシングはキャリアテープの端部を所定位置で切りそろえた上で接着テープなどを用いて継ぎ合わせる細かい手作業を必要とするため、作業現場においてはこの作業を極力作業性のよい状態で行うことができるような方策が強く求められている。しかしながら従来の電子部品実装装置では、上述の予告報知は為されるものの、既装着のキャリアテープの末尾部が必ずしも望ましい位置にあるとは限らず、スプライシング作業の作業性が確保されがたいという問題点があった。
【０００７】
そこで本発明は、スプライシング作業の作業性を確保することができる電子部品実装装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の電子部品実装装置は、部品供給部から移載ヘッドによって電子部品を取り出して基板に実装する電子部品実装装置であって、前記部品供給部に配列され電子部品を保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより移載ヘッドによるピックアップ位置に電子部品を供給するテープフィーダと、このテープフィーダに電子部品を保持した状態で収容されているキャリアテープの残り長さを示す残テープ長を算出する残テープ長算出手段とを備えた。
【０００９】
請求項２記載の電子部品実装装置は、請求項１記載の電子部品実装装置であって、前記残テープ長が予め指定された指定長さまで減少したならば当該テープフィーダにおいて既存のキャリアテープと新たに供給されるキャリアテープとを継ぎ合わせるスプライシング作業が必要とされるスプライシング作業時期を予告報知し、且つ前記残テープ長が予め設定された下限長さまで減少したならば当該テープフィーダにおいてテープ送りを停止することにより、前記スプライシング作業が確実に実行されることを確保するスプライシング作業実行確保手段を備えた。
【００１０】
請求項３記載の電子部品実装装置は、請求項１記載の電子部品実装装置であって、前記ピックアップ位置の手前側で前記キャリアテープの継ぎ目を検出する継ぎ目検出手段と、前記継ぎ目検出手段による継ぎ目検出信号に基づいて前記残テープ長を初期値にリセットする残テープ長リセット手段とを備えた。
【００１１】
本発明によれば、電子部品を保持した状態で収容されているキャリアテープの残り長さを示す残テープ長を算出する残テープ長算出手段を備えることにより、既装着テープの末尾部が所望範囲内にある状態でスプライシングを行うことができ、スプライシング作業の良好な作業性を確保することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の断面図、図２は本発明の一実施の形態のテープフィーダの側面図、図３は本発明の一実施の形態のテープフィーダのピックアップ位置の側面図、図４は本発明の一実施の形態のテープフィーダにおける残テープ長を示す説明図、図５（ａ）は本発明の一実施の形態のテープフィーダのカバー部材の部分平面図、図５（ｂ）、（ｃ）は本発明の一実施の形態のテープフィーダのカバー部材の部分側面図、図６は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置におけるテープスプライシングの説明図、図７は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における継ぎ目検出の説明図、図８は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置におけるスプライシング作業実行時期管理を示すフロー図である。
【００１３】
まず図１を参照して電子部品実装装置の構造について説明する。図１において、電子部品実装装置１は電子部品を供給する部品供給部２を備えており、部品供給部２に設けられたフィーダベース３の上面には、テープフィーダ４が複数基配列されている。テープフィーダ４は、フィーダベース３の下方に位置した台車５にセットされた複数の供給リール６から、電子部品を保持したキャリアテープ７を引き出し、保持された電子部品を移載ヘッド８によるピックアップ位置まで供給する。移載ヘッド８は制御部１１によって制御され、テープフィーダ４からピックアップした電子部品を搬送路９上に位置決めされた基板１０に実装する。
【００１４】
次に図２、図３、図４を参照して、テープフィーダ４について説明する。図２において、テープフィーダ４は細長形状のフレーム部材である本体部４ａの下面をフィーダベース３の上面に沿わせて装着され、本体部４ａの下面に設けられた係止部４ｂをフィーダベース３の端部に係止させることにより位置が固定される。そしてこの状態で、本体部４ａに内蔵されたフィーダ制御部２４が、係止部４ｂに設けられたコネクタ２８を介して、電子部品実装装置１の制御部１１（図１）と接続されるようになっている。
【００１５】
またテープフィーダ４の手前側上面には、フィーダ制御部２４に接続された押しボタンスイッチ２９が配置されている。押しボタンスイッチ２９を操作することにより、フィーダ制御部２４を介して制御部１１に信号が伝達され、後述するように、残部品数が初期値にリセットされるようになっている。
【００１６】
テープフィーダ４の前端部（図２において右側）には、スプロケット２１が配設されている。図３に示すようにスプロケット２１の外周には、キャリアテープ７に所定ピッチで設けられたテープ送り用の送り穴７ｂに噛み合う送りピン２１ａが等ピッチで設けられており、またスプロケット２１の側面には、モータ２２の出力軸に結合されたベベルギアと噛み合う歯面が設けられている。
【００１７】
モータ２２を回転駆動することによりスプロケット２１は回転し、これによりキャリアテープ７がテープ送りされる。このテープ送り動作において、スプロケット２２はピッチ送りパターンに対応した間欠回転動作を行い、モータ２２の回転を制御することにより、キャリアテープ７のピッチ送り速度設定やテープ位置決めが行われる。モータ２２およびスプロケット２１は、キャリアテープ７を所定ピッチでピッチ送りするテープ送り機構となっている。
【００１８】
このテープ送りにより、供給リール６からキャリアテープ７が引き出される。引き出されたキャリアテープ７は、後端部からテープフィーダ４の内部に導かれ、テープ送り経路に沿って前方へ送られる。テープフィーダ４の前端部は移載ヘッド８による電子部品のピックアップ位置となっており、送られてきたキャリアテープ７は上面に設けられたカバー部材２３によって上方を覆われた状態でピッチ送りされる。
【００１９】
このピッチ送りの途中で、カバー部材２３に設けられた切り欠き部２３ａを介して、キャリアテープ７の凹部７ａ内に保持された電子部品Ｐが移載ヘッド８によってピックアップされる。切り欠き部２３ａは、移載ヘッド８によって電子部品Ｐをピックアップして取り出すためのピックアップ位置となっており、このピックアップ位置の手前で、キャリアテープ７の凹部７ａを覆って貼着されたカバーテープ７ｃが剥離される。そしてこのカバーテープ剥離により凹部７ａ内で露呈された電子部品Ｐが移載ヘッド８によってピックアップされ、基板１０に実装される。
【００２０】
次に図１を参照して，電子部品実装装置の制御系の機能のうち、テープフィーダ４において既装着のキャリアテープ７の末尾部と新たなキャリアテープ７の先頭部とを継ぎ合わせるスプライシング作業の実行時期管理に関する機能について説明する。図１において、制御部１１は、データ記憶部１２，残部品数カウント部１３，残テープ長計算部１４および表示部１５と接続されている。
【００２１】
データ記憶部１２には警告残テープ長１２ａ、最小残テープ長１２ｂ、テープ送りピッチ１２ｃの各データが記憶されている。送りピッチ１２ｃは、テープ送り機構がキャリアテープをピッチ送りする際のピッチを示しており、キャリアテープ７における部品のピッチｐ（図３参照）と一致している。
【００２２】
ここで残テープ長について図４を参照して説明する。残テープ長は、テープフィーダ４に電子部品を保持した状態で収容されているキャリアテープ７の残り長さを示すものであり、図４（ａ）に示すように、供給リール６に巻回されさらに供給リール６から引き出されてテープフィーダ４の後尾部まで至るキャリアテープ７の長さＬｒに、テープフィーダ４の後尾部からフィーダ内部に引き込まれて移載ヘッド８によるピックアップ位置まで至る長さＬｆを加えた長さを意味している。
【００２３】
キャリアテープ７には、電子部品の種類に応じて定められるピッチｐ（図３参照）毎に保持されていることから、この残テープ長は当該テープフィーダ４に残っているキャリアテープ７よって供給可能な電子部品の数量（残部品数）を意味している。すなわち、同一種類の電子部品が保持されたキャリアテープ７については、「残テープ長さ」と「残部品数」とは、相互に換算可能な同義のデータであると云うことができる。
【００２４】
警告残テープ長１２ａ、最小残テープ長１２ｂは、上述の残テープ長を用いて定義され、スプライシング作業の実行時期管理において用いられるパラメータである。警告残テープ長１２ａは、既装着の供給リール６においてキャリアテープ７の巻回収納量が減少し、まもなく新たなキャリアテープ７とのスプライシング作業が必要となることを警告すべきタイミングを示す残テープ長である。
【００２５】
すなわち、残テープ長が予め指定された指定長さとしての警告残テープ長まで減少したならば、制御部１１は当該テープフィーダ４において既存のキャリアテープ７と新たに供給されるキャリアテープ７とを継ぎ合わせる作業が必要とされるスプライシング作業時期を予告報知する。この警告残テープ長１２ａは、警告が報知された後スプライシング作業の実行準備および作業実行に必要な時間を勘案して決定され、図４（ｂ）に示すように、上述の残テープ長Ｌｆに前述の必要時間分のテープ消耗長さ相当するテープ長さＬａを加えたものとなる。
【００２６】
そして最小残テープ長１２ｂは、スプライシング作業において良好な作業性が確保されるための残テープ長であり、新旧２つのキャリアテープ７を継ぎ合わせる位置がテープフィーダ４の後尾部に過度に近接しないような長さに決定され、図４（ｃ）に示すように、前述の残テープ長Ｌｆに、最小作業余裕長さＬｍを加えたものとなる。
【００２７】
すなわち、残テープ長が予め設定された下限長さとしての最小残テープ長まで減少したならば、制御部１１は当該テープフィーダ４においてテープ送りを停止する。これにより、キャリアテープ７の末尾部がテープフィーダ４の後尾部から最小作業余裕長さＬｍだけ延出した状態が確保され、良好な作業性でスプライシング作業を行うことができる。したがって、制御部１１およびデータ記憶部１２は、スプライシング作業が確実に実行されることを確保するスプライシング作業実行確保手段となっている。
【００２８】
残部品数カウント部１３は、テープフィーダ４によって供給可能な電子部品の数量をリアルタイムでカウントし、残部品数として保持する。このカウントは、新たな供給リールが装着されて残部品数が所定の初期値にリセットされた後、テープ送り動作の都度、部品数を初期値から減算することにより求められる。残テープ長計算部１４は、残部品数に基づき残テープ長を計算する。すなわち、残部品数カウント部１３に保持されている残部品数に、データ記憶部１２に記憶されているテープ送りピッチ１２ｃを乗算することにより、各時点における残テープ長を求める。残テープ長計算部１４は、残テープ長を算出する残テープ長算出手段となっている。
【００２９】
表示部１５はディスプレイ装置であり、制御部１１からの指令により前述のスプライシング作業時期の予告報知や、残テープ長が最小残テープ長まで減少した時のテープ送り停止の表示を行う。これらの表示により、マシンオペレータはスプライシング作業の準備・作業実行を行う。
【００３０】
ここで図６を参照して、電子部品実装動作において供給リール６に収容されたキャリアテープ７が消耗し部品切れが生じた場合に行われるスプライシングについて説明する。図６において、７Ａ、７Ｂはそれぞれ既装着状態のキャリアテープ７、新たな供給リールに収容されたキャリアテープ７を示している。
【００３１】
テープスプライシングにおいては、キャリアテープ７Ａの末尾部とキャリアテープ７Ｂの先頭部とを専用治具を用いて突き合わせ、スプライス用の接着テープ３０を突き合わせ線を挟んだ所定範囲のキャリアテープ７の表裏に貼着する。これにより、図６（ｂ）に示すように２つのキャリアテープ７Ａ，７Ｂが継合される。このスプライシングにより、キャリアテープ７はとぎれることなく連続してピッチ送りされることから、部品補給に際して実装動作を停止する必要がないという利点がある。
【００３２】
本実施の形態に示す電子部品実装装置では、このスプライシングに際し、テープ接合用の接着テープ３０のみならず、送り穴閉塞用の接着テープ３１を突き合わせ線の近傍に位置する送り穴７ｂ上に貼着するようにしている。接着テープ３１には、長手方向にスリット３１ａが設けられており、スプロケット２１のピン２１ａが送り穴７ｂに下方から嵌合する際に、ピン２１ａがスリット３１ａを介して上方に突出可能となっており、テープ送りに支障がないようになっている。
【００３３】
この送り穴閉塞は、後述するようにキャリアテープ７Ａ，７Ｂの継ぎ目を送り穴７ｂを利用して自動的に検出することができるように、継ぎ目をその他の部分と区別することを目的として行われるものである。そして継ぎ目を検出することにより、個々の供給リールによって供給される一連のキャリアテープ７の供給開始時点を特定することができ、したがって次回のテープスプライシング実行のタイミングを正確に予測することができる。
【００３４】
次にこの継ぎ目検出について説明する。図３に示すように、ピックアップ位置である切り欠き部２３ａの手前側には、キャリアテープ７の送り穴７ｂを検出するためのセンサ２５が配設されている。センサ２５は投光部２５ａおよび受光部２５ｂを備えており、投光部２５ａから投光された光を受光部２５ｂで受光することにより、キャリアテープ７の送り穴７ｂの有無を検出する。
【００３５】
受光部２５ｂからの送り穴検出信号は、フィーダ制御部２４の継ぎ目検出部２４ａに送られる。継ぎ目検出部２４ａは、以下に説明する送り穴検出信号に基づき、キャリアテープ７の継ぎ目を検出する。検出結果は、電子部品実装装置の制御部１１に送られる。
【００３６】
送り穴検出信号について説明する。図５（ａ）に示すように、カバー部材２３の切り欠き部２３ａの前後には複数の開口が設けられている。切り欠き部２３ａの前方側のスプロケット２１に相当する位置には、ピン２１ａの逃がし用の溝部２３ｂが設けられており、キャリアテープ７の送り穴７ｂから上面側に突出した送りピン２１ａがカバー部材２３と干渉しないようになっている。
【００３７】
切り欠き部２３ａの後方側には、センサ２５の位置に対応して開口部２３ｃが設けられており、キャリアテープ７が走行するテープ送り経路２７にも開口部２３ｃの位置に対応して同様の開口部２７ａが設けられている。図５（ｂ）に示すように、送り穴７ｂがセンサ２５の光軸ａの位置にあるときには、開口部２７ａの下方に位置する投光部２５ａから投光された光が、開口部２７ａ、送り穴７ｂおよび開口部２３ｃを透過して受光部２５ｂによって受光されることにより、送り穴７ｂの存在を示す受光信号が発信される。そして送り穴７ｂ以外の範囲が光軸ａの位置にあるときには、送り穴が存在しないことを示す遮光信号が発信される。
【００３８】
すなわちキャリアテープ７が継合されていない通常範囲がセンサ２５の検査位置を通過する際には、図７（ａ）に示すように、送り穴検出信号は、キャリアテープ７における送りピッチｐに応じた間隔で受光・遮光が反復するパターンの信号となる。これに対し、図５（ｃ）に示すように、テープスプライシングが行われ送り穴７ｂの上面が接着テープ３１で閉塞された継ぎ目が光軸ａの位置にあるときには、投光部２５ａから投光された光は送り穴位置においても接着テープ３１によって遮光される結果、接着テープ３１が貼着された範囲については全て遮光信号が発信される。
【００３９】
すなわち、継ぎ目がセンサ２５の検査位置を通過する際には、送り穴検出信号は、図７（ｂ）に示すように送り穴７ｂが塞がれた個数分のピッチ（ここでは４ｐ）だけ遮光状態が継続するパターンの信号となる。継ぎ目検出部２４ａが上述の送り穴検出信号を常に受信することにより、キャリアテープ７の継ぎ目がセンサ２５の検査位置を通過したタイミングが検出され、この検出タイミングは制御部１１に伝達される。
【００４０】
したがってセンサ２５および継ぎ目検出部２４ａは、ピックアップ位置の手前側でキャリアテープ７の継ぎ目を検出する継ぎ目検出手段となっている。そして制御部１１は、この継ぎ目が検出されたタイミングを基準として、前述の残部品数カウント部１３の保持カウント値を初期値にリセットする。これにより、残部品数に基づいて計算される残テープ長も同時に初期値にリセットされる。制御部１１は、継ぎ目検出手段による継ぎ目検出信号に基づいて残テープ長を初期値にリセットする残テープ長リセット手段となっている。
【００４１】
この電子部品実装装置は上記のように構成されており、次にこの電子部品実装装置電子部品の実装作業中に各テープフィーダを対象として行われるスプライシング作業実行時期管理について、図８のフローにしたがって説明する。
【００４２】
まずテープフィーダ４から移載ヘッド８によって電子部品を取り出して基板１０に実装する実装作業途中において、残部品数カウント部１３によって残部品数を確認する（ＳＴ１）。そして確認された残部品数に基づいて残テープ長計算部１４によって残テープ長を計算する（ＳＴ２）。次に、計算された残テープ長が、警告残テープ長まで減少しているか否かを判断する（ＳＴ３）。
【００４３】
ここで警告残テープ長までまだ減少していないならば、実装動作を継続する（ＳＴ４）。そして既に残テープ長まで減少しているならば、スプライシング作業実行の時期が近づいていることの警告を表示する（ＳＴ５）。そしてこの警告を受けて、マシンオペレータによってスプライシング作業が実行される（ＳＴ６）。
【００４４】
このとき、何らかの理由によってスプライシング作業が実行されない場合には、残テープ長が最小残テープ長まで減少したタイミングにて装置停止する（ＳＴ７）。これにより、既装着のキャリアテープ７の末尾部がテープフィーダ４の後尾部から最小作業余裕長さＬｍだけ延出した状態でテープ送りが停止し、マシンオペレータが警告表示を見逃したような場合にあっても、スプライシング作業の確実な実行および良好な作業性が確保される。
【００４５】
（ＳＴ６）にてスプライシングを実行した場合には、マシンオペレータはテープフィーダ４に配置された押しボタンスイッチ２９を操作する。これにより、残部品数カウント部１３の残部品数が、供給リール収納部品数を示す初期値にリセットされる（ＳＴ８）。そしてスプライシング作業によって継ぎ合わされた継ぎ目が、図３に示すセンサ２５の位置に到達すると、継ぎ目が検出される（ＳＴ９）。この継ぎ目検出により、前述の残部品数が再度初期値にリセットされる（ＳＴ１０）。
【００４６】
なお、（ＳＴ８）、（ＳＴ１０）の残部品数リセットは、いずれかのみを行えばよい。すなわち、センサ２５による継ぎ目検出機能がない場合には（ＳＴ８）に示すスプライシング作業実行直後の押しボタンスイッチ操作によるリセットを、また継ぎ目検出機能がある場合には（ＳＴ１０）に示す継ぎ目検出信号によるリセットを行えばよい。このとき、図８のフローに示すように、残部品数リセットを２回実行することにより、残部品数の誤差の累積を防止することができるという利点がある。
【００４７】
上記説明したように、本実施の形態に示す電子部品実装装置は、スプライシング作業実行時期管理に用いられるパラメータとして、従来用いられていた残部品数に替えて、この残部品数をテープ長さに換算した残テープ長を用いるようにしたものである。これにより、前述のパラメータを既装着テープの末尾部の位置と関連づけて設定することが可能となり、スプライシング作業における継ぎ合わせ位置を常に作業性が良好な位置に設定することができる。
【００４８】
【発明の効果】
本発明によれば、電子部品を保持した状態で収容されているキャリアテープの残り長さを示す残テープ長を算出する残テープ長算出手段を備えることにより、既装着テープの末尾部が所望範囲内にある状態でテープを継ぎ合わせるスプライシング作業を行うことができ、良好な作業性を確保することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の断面図
【図２】本発明の一実施の形態のテープフィーダの側面図
【図３】本発明の一実施の形態のテープフィーダのピックアップ位置の側面図
【図４】本発明の一実施の形態のテープフィーダにおける残テープ長を示す説明図
【図５】（ａ）本発明の一実施の形態のテープフィーダのカバー部材の部分平面図
（ｂ）本発明の一実施の形態のテープフィーダのカバー部材の部分側面図
（ｃ）本発明の一実施の形態のテープフィーダのカバー部材の部分側面図
【図６】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置におけるテープスプライシングの説明図
【図７】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における継ぎ目検出の説明図
【図８】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置におけるスプライシング作業実行時期管理を示すフロー図
【符号の説明】
１  電子部品実装装置
２  部品供給部
４  テープフィーダ
７  キャリアテープ
８  移載ヘッド
１０  基板
１３  残部品数カウント部
１４  残テープ長計算部
【図１】
2005005289.tif 000003
【図２】
2005005289.tif 000004
【図３】
2005005289.tif 000005
【図４】
2005005289.tif 000006
【図５】
2005005289.tif 000007
【図６】
2005005289.tif 000008
【図７】
2005005289.tif 000009
【図８】
2005005289.tif 000010