(57)【要約】【課題】  電気光学パネルの検査を精度良く行う。【解決手段】  共通のマザー基板上に形成された複数の電気光学パネルのうち少なくとも一つを検査対象とする検査装置であって、検査対象の電気光学パネルに対して検査光を照射する光源手段と、マザー基板の下側に、マザー基板の下面のうち検査対象の電気光学パネルの画像表示領域に対応する表面部分に対して空間を隔てた状態でマザー基板を保持する保持手段と、入射された検査光に応じて検査対象の電気光学パネルから表示光として出射される光を受光して、画像の取り込みを行う撮像手段とを備える。更に、検査対象の電気光学パネルにおける、画像表示領域の周辺に位置する周辺領域を遮光する遮光手段を備える。【選択図】  図５
2005128159.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
共通のマザー基板上に形成された複数の電気光学パネルのうち少なくとも一つを検査対象とする検査装置であって、
前記検査対象の電気光学パネルに対して検査光を照射する光源手段と、
前記マザー基板の下側に、前記マザー基板の下面のうち前記検査対象の電気光学パネルの画像表示領域に対応する表面部分に対して空間を隔てた状態で前記マザー基板を保持する保持手段と、
前記入射された検査光に応じて前記検査対象の電気光学パネルから表示光として出射される光を受光して、画像の取り込みを行う撮像手段と
を備えることを特徴とする電気光学パネルの検査装置。
【請求項２】
前記保持手段には、前記空間を規定する穴部が開口されていること
を特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの検査装置。
【請求項３】
前記穴部によって、前記空間は、前記複数の電気光学パネルのうち、前記検査対象の電気光学パネルを含む所定数の電気光学パネルに対して共通に規定されていること
を特徴とする請求項２に記載の電気光学パネルの検査装置。
【請求項４】
前記穴部によって、前記空間は、前記複数の電気光学パネルに対して各個別に規定されていること
を特徴とする請求項２に記載の電気光学パネルの検査装置。
【請求項５】
前記保持手段は、透明部材を用いて構成されると共に、前記マザー基板を支持する支持部を含むこと
を特徴とする請求項１に記載の電気光学パネルの検査装置。
【請求項６】
一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる電気光学パネルを検査する検査装置であって、
前記電気光学パネルに対して検査光を照射する光源手段と、
前記電気光学パネルの下側に、前記一対の基板の一方の下面のうち前記電気光学パネルの画像表示領域に対応する表面部分に対して空間を隔てた状態で、前記電気光学パネルを保持する保持手段と、
前記入射された検査光に応じて前記電気光学パネルから表示光として出射される光を受光して、画像の取り込みを行う撮像手段と
を備えることを特徴とする電気光学パネルの検査装置。
【請求項７】
共通のマザー基板上に形成された複数の電気光学パネルのうち少なくとも一つを検査対象とする検査装置であって、
前記検査対象の電気光学パネルに対して検査光を照射する光源手段と、
前記検査対象の電気光学パネルにおける、画像表示領域の周辺に位置する周辺領域を遮光する遮光手段と、
前記入射された検査光に応じて前記検査対象の電気光学パネルから表示光として出射される光を受光して、画像の取り込みを行う撮像手段と
を備えることを特徴とする電気光学パネルの検査装置。
【請求項８】
前記遮光手段は前記周辺領域を覆う枠状部材を用いて構成されており、
該枠状部材の開口部は、該開口部の垂直方向に沿って第１開口径から、該第１開口径より小さい第２開口径に変化する形状を有すること
を特徴とする請求項７に記載の電気光学パネルの検査装置。
【請求項９】
前記遮光手段は、前記電気光学パネルの光入射側又は光出射側に設けられていること
を特徴とする請求項７又は８に記載の電気光学パネルの検査装置。
【請求項１０】
前記マザー基板の下側に、前記マザー基板の下面のうち前記検査対象の電気光学パネルの画像表示領域に対応する表面部分に対して空間を隔てた状態で前記マザー基板を保持する保持手段を更に備えること
を特徴とする請求項７から９のいずれか一項に記載の電気光学パネルの検査装置。
【請求項１１】
一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる電気光学パネルを検査する検査装置であって、
前記電気光学パネルに対して検査光を照射する光源手段と、
前記電気光学パネルにおける画像表示領域の周辺に位置する周辺領域を遮光する遮光手段と、
前記入射された検査光に応じて前記電気光学パネルから表示光として出射される光を受光して、画像の取り込みを行う撮像手段と
を備えることを特徴とする電気光学パネルの検査装置。
【請求項１２】
前記電気光学パネルの前記画像表示領域に所定の検査パターンを表示させるべく前記電気光学装置に対して検査用駆動信号を印加可能な検査用駆動手段を更に備えること
を特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の電気光学パネルの検査装置。
【請求項１３】
請求項１から１２のいずれか一項に記載の電気光学パネルの検査装置を用いて電気光学パネルの検査を行なう工程を含むことを特徴とする電気光学パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学パネル、例えば液晶パネル等の検査に用いられる検査装置及び該検査装置を用いた電気光学パネルの製造方法の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置では、一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる電気光学パネルの表示画像を確認することによって、その画像品質について検査が行われる（例えば、特許文献１参照）。このような検査の際、例えば特許文献２に開示されているような直視による撮像方法を用いて、電気光学パネルの表示画像の取り込みが行われる。より具体的には、電気光学パネルに、光源から検査光を照射すると共に所定の検査パターンを表示させる。そして、表示させた検査パターンを、撮像手段によって撮像して取り込む。例えば、取り込まれた画像について、パーソナルコンピュータ等を用いて所定の画像処理を行って、その画像品質について自動検査が行われる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２５５５２６号公報
【特許文献２】特開平５−３４７３３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような表示画像の取り込みの際、電気光学パネルはその裏面全体がテーブル等の保持手段によって保持されるように、該テーブル上に平置きして設置される。また、撮像手段のピントを電気光学パネルにおける電気光学物質層内に合わせて画像の取り込みが行われる。よって、電気光学パネルを保持するテーブルの表面上にゴミやキズが存在すると、電気光学パネル面に近接する該ゴミやキズにも焦点深度に応じて撮像手段のピントが合ってしまい、該ゴミやキズが取り込んだ画像に映り込んでしまう恐れがある。その結果、映り込んだゴミやキズを欠陥として誤認識することにより、検査精度が低下してしまうという問題点を生じる。
【０００５】
また、電気光学パネルは実装ケースに収納されていない状態で検査される。よって、本来、電気光学パネルにおいて、実装ケースによって遮光されるべき周辺領域を遮光しないと、該周辺領域から漏れた光が反射して、取り込んだ画像に映り込んでしまう。よって、取り込んだ画像中に例えば輝点欠陥があっても、この欠陥を検出し難くなる。これも、検査精度の低下を招く一因となる。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑み成されたものであり、液晶パネル等の電気光学パネルの検査を精度良く行うことが可能な電気光学パネルの検査装置、並びに該検査装置を用いる電気光学パネルの製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の電気光学パネルの検査装置は上記課題を解決するために、共通のマザー基板上に形成された複数の電気光学パネルのうち少なくとも一つを検査対象とする検査装置であって、前記検査対象の電気光学パネルに対して検査光を照射する光源手段と、前記マザー基板の下側に、前記マザー基板の下面のうち前記検査対象の電気光学パネルの画像表示領域に対応する表面部分に対して空間を隔てた状態で前記マザー基板を保持する保持手段と、前記入射された検査光に応じて前記検査対象の電気光学パネルから表示光として出射される光を受光して、画像の取り込みを行う撮像手段とを備える。
【０００８】
本発明の第１の電気光学パネルの検査装置によれば、共通のマザー基板上に形成された複数の電気光学パネルを各個別に検査する。尚、複数の電気光学パネルのうち検査対象となる電気光学パネルを、以下において、検査対象パネルと称することもある。
【０００９】
複数の電気光学パネルは、マザー基板上における複数のパネル形成領域に形成される。複数のパネル形成領域の各々の周縁には切断予定線が設けられ、該切断予定線に沿ってマザー基板を切断することによって、複数の電気光学パネルを個別に切り分けることができる。また、複数の電気光学パネルには夫々、画像表示領域の額縁領域を規定する内蔵遮光膜が設けられている。平面的に見て内蔵遮光膜の内側が画像表示領域として規定され、該内蔵遮光膜の外側が周辺領域として規定される。更に、複数の電気光学パネルは夫々、マザー基板とこれとは別の透明基板との間に電気光学物質が挟持されて形成される。
【００１０】
電気光学パネルの検査時、光源手段からの検査光が保持手段を介して検査対象パネルに照射される。ここに保持手段は好ましくはガラス等の透明板部材を用いて構成される。そして、マザー基板の下面側、即ち複数の電気光学パネルが形成された側と反対側の面を保持手段に対向させて、マザー基板は水平に保持される。但し、後述の態様の如く貫通する開口部が設けられていれば、保持手段は、不透明であってもよい。このように保持された検査対象パネルに照射された光は、例えば、電気光学物質層を介して透過光として、該電気光学物質層から出射される。尚、電気光学物質層から出射される光は透過光に限定されず、例えば反射型の電気光学パネルを用いるとすれば、電気光学物質層を介して反射光として出射される。
【００１１】
また、検査時、検査対象パネルの画像表示領域において、所定の検査パターンの表示が行われる。撮像手段は、例えばフォトダイオード、ＣＣＤ（Charged Coupled Device）等を受光手段として備えている。検査対象パネルから表示光として出射した光は受光手段によって受光される。検査対象パネルにおいて表示された検査パターンを撮像する際、撮像手段のピントは、検査対象パネルにおいて電気光学物質層内に合わせられる。
【００１２】
保持手段に保持されたマザー基板の下側には、該マザー基板の下面のうち、検査対象パネルの画像表示領域に対応する表面部分に対して、空間が隔てられている。従って、保持手段におけるマザー基板の保持表面にゴミやキズが存在したとしても、該ゴミやキズの存在箇所は撮像手段のピント付近から外れることとなる。或いは、後述の態様の如く、保持手段において空間を規定するのが、貫通する開口部であれば、画像表示領域の周辺における保持表面にゴミやキズが存在したとしても、これが検査パターンの表示に影響することは無いこととなる。
【００１３】
よって、本発明の第１の検査装置によれば、撮像手段によって撮像されることによって取り込まれた画像中に、保持手段の保持表面に存在するゴミやキズが映りこむことを防止することが可能となる。その結果、本発明の第１の検査装置によれば、取り込まれた画像を確認することにより、検査対象パネルにおける表示画像の品質について的確に検査することができる。即ち、電気光学パネルの検査を精度良く行うことが可能となる。
【００１４】
本発明の第１の電気光学パネルの検査装置の一態様では、前記保持手段には、前記空間を規定する穴部が開口されている。
【００１５】
この態様によれば、保持手段におけるマザー基板の保持表面には、該保持表面の法線方向に沿って開口された穴部が設けられる。該穴部は、好ましくは保持表面の法線方向に沿って貫通する開口部として設けられる。或いは、非貫通の穴部として凹部が設けられてもよい。そして、穴部は、画像表示領域の周囲において検査対象パネルを保持すると共に、貫通する又は非貫通の開口を規定する保持手段の側壁部分からなる。また、穴部の開口サイズは、検査対象パネルの画像表示領域より大きくなっている。
【００１６】
穴部を凹部として設けた場合、保持手段にマザー基板が保持された状態で、検査対象パネルは、画像表示領域に対応するマザー基板の下側が、凹部の底面と、例えば凹部の深さに相当する間隔を隔てて対向する。
【００１７】
また、穴部を開口部として設けた場合、保持手段にマザー基板が保持された状態で、検査対象パネルの画像表示領域に対応するマザー基板の下側には、開口部によって規定される空間が隔てられている。
【００１８】
従って、電気光学パネルの検査時、保持手段におけるマザー基板の保持表面にゴミやキズが存在したとしても、該ゴミやキズの存在箇所は撮像手段のピント付近から外れることとなる。
【００１９】
また、穴部を開口部として設ける場合、該開口部より検査対象パネルに光源手段から出射された検査光を照射させることが可能となる。よって、保持手段を遮光性部材を用いて構成する共に、開口部を検査対象パネルの周辺領域が保持手段によって実装ケースと同様に覆われるような形状とすれば、検査対象パネルの周辺領域からの漏れ光を、該検査対象パネルの光入射側で遮光することが可能となる。
【００２０】
この、穴部を開口する態様では、前記穴部によって、前記空間は、前記複数の電気光学パネルのうち、前記検査対象の電気光学パネルを含む所定数の電気光学パネルに対して共通に規定されているように構成してもよい。
【００２１】
このように構成すれば、穴部を、マザー基板における複数のパネル形成領域の構成に応じたパターンとして形成することが可能となる。例えば、マザー基板において複数のパネル形成領域がマトリクス状に形成されている場合、穴部は、各行又は各列の複数のパネル形成領域に対応するパターンとして形成される。この場合、保持手段には複数の穴部がストライプ状或いはマトリクス状に形成されることとなる。
【００２２】
或いは、穴部を、例えばマザー基板の外形形状に対応するパターンとして形成するようにしてもよい。この場合、マザー基板を保持手段に保持した状態で、該マザー基板に形成された全ての電気光学パネルは、穴部上に配置されることとなる。
【００２３】
この、穴部を開口する態様では、前記穴部によって、前記空間は、前記複数の電気光学パネルに対して各個別に規定されているように構成してもよい。
【００２４】
このように構成すれば、マザー基板を保持手段に保持した状態で、該マザー基板に形成された全ての電気光学パネルは、各個別に穴部上に配置されることとなる。
【００２５】
本発明の第１の電気光学パネルの検査装置の他の態様では、前記保持手段は、透明部材を用いて構成されると共に、前記マザー基板を支持する支持部を含む。
【００２６】
この態様によれば、支持部は、マザー基板を、該マザー基板の下面と保持手段の保持表面との間に所定の間隔を隔てて支持する。従って、電気光学パネルの検査時、保持手段におけるマザー基板の保持表面にゴミやキズが存在したとしても、該ゴミやキズの存在箇所は撮像手段のピント付近から外れることとなる。更に、例えば空間を規定する保持手段が非貫通の開口部であって、透明部材が画像表示領域に対向する領域に存在していても、これにより検査光が遮られることが無くて済む。
【００２７】
本発明の第２の電気光学パネルの検査装置は上記課題を解決するために、一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる電気光学パネルを検査する検査装置であって、前記電気光学パネルに対して検査光を照射する光源手段と、前記電気光学パネルの下側に、前記一対の基板の一方の下面のうち前記電気光学パネルの画像表示領域に対応する表面部分に対して空間を隔てた状態で、前記電気光学パネルを保持する保持手段と、前記入射された検査光に応じて前記電気光学パネルから表示光として出射される光を受光して、画像の取り込みを行う撮像手段とを備える。
【００２８】
本発明の第２の電気光学パネルの検査装置によれば、電気光学パネルにおいて、平面的に見て内蔵遮光膜の内側が画像表示領域として規定され、該内蔵遮光膜の外側が周辺領域として規定される。
【００２９】
保持手段によって、電気光学パネルの下側、即ち該電気光学パネルにおける一対の基板のうち一方の基板の電気光学物質に面する側と反対側の面を保持手段に対向させて、電気光学パネルは水平に保持される。
【００３０】
電気光学パネルの検査時、光源手段からの検査光が保持手段を介して電気光学パネルに照射される。電気光学パネルに照射された光は、例えば、電気光学物質層を介して透過光として、該電気光学物質層から出射される。
【００３１】
また、検査時、電気光学パネルの画像表示領域において、所定の検査パターンの表示が行われる。電気光学パネルにおいて表示された検査パターンを撮像する際、撮像手段のピントは、電気光学パネルにおいて電気光学物質層内に合わせられる。
【００３２】
保持手段に保持された電気光学パネルの下側には、前記一方の基板における保持手段との対向面のうち、画像表示領域に対応する表面部分に対して、空間が隔てられている。従って、保持手段における電気光学パネルの保持表面にゴミやキズが存在したとしても、該ゴミやキズの存在箇所は撮像手段のピント付近から外れることとなる。或いは、保持手段において空間を規定するのが、貫通する開口部であれば、画像表示領域の周辺における保持表面にゴミやキズが存在したとしても、これが検査パターンの表示に影響することは無いこととなる。
【００３３】
よって、本発明の第２の検査装置は、前述した第１の検査装置と同様、撮像手段によって撮像されることによって取り込まれた画像中に、保持手段の保持表面に存在するゴミやキズが映りこむことを防止することが可能となる。従って、電気光学パネルの検査を精度良く行うことが可能となる。
【００３４】
本発明の第３の電気パネルの検査装置は上記課題を解決するために、共通のマザー基板上に形成された複数の電気光学パネルのうち少なくとも一つを検査対象とする検査装置であって、前記検査対象の電気光学パネルに対して検査光を照射する光源手段と、前記検査対象の電気光学パネルにおける、画像表示領域の周辺に位置する周辺領域を遮光する遮光手段と、前記入射された検査光に応じて前記検査対象の電気光学パネルから表示光として出射される光を受光して、画像の取り込みを行う撮像手段とを備える。
【００３５】
本発明の第３の電気光学パネルの検査装置によれば、共通のマザー基板上に形成された複数の電気光学パネルを各個別に検査する。
【００３６】
ここに、電気光学パネルの周辺領域は、当該電気光学パネルが実装ケースに実装されると、実装ケースによって遮光される。本発明の第３の検査装置において、遮光手段は、検査対象パネルの光入射側又は光出射側に設けられる。尚、光入射側及び光出射側の両側に設けられてもよい。また、遮光手段は、検査対象パネルの周辺領域を、実装ケースと同様に覆う枠状部材を用いて構成される。遮光手段を構成する枠状部材は、板状であってもよいし、ブロック状であってもよい。枠状部材の開口サイズは、検査対象パネルの画像表示領域と同等かそれよりも大きくなっている。そして、遮光手段は、好ましくは検査対象パネルに対して近接して、即ち該検査対象パネルの光入射面及び光出射面のいずれかと接するように設けられる。
【００３７】
電気光学パネルの検査時、光源手段からの検査光が検査対象パネルに照射される。検査対象パネルに照射された光は、例えば、電気光学物質層を介して透過光として、該電気光学物質層から出射される。
【００３８】
また、検査時、検査対象パネルの画像表示領域において、所定の検査パターンの表示が行われる。ここに、検査対象パネルの周辺領域は、遮光手段によって、当該検査対象パネルが実装ケースに実装されている場合と同様に遮光される。よって、検査対象パネルの周辺領域から光が漏れるのを防止することが可能となり、検査対象パネルが実装ケースに実装されている状態と同様に、該検査対象パネルから表示光を出射させることができる。
【００３９】
撮像手段は、検査対象パネルから表示光として出射した光を受光手段によって受光することによって、検査対象パネルにおいて表示された検査パターンを撮像する。よって、本発明の第３の検査装置によれば、撮像手段によって撮像されることによって取り込まれた画像中に、検査対象パネルの周辺領域から漏れた光が映りこむことを防止することが可能となる。
【００４０】
尚、遮光手段をブロック状の枠状部材を用いて構成した場合は、例えば、遮光手段を検査対象パネルの光出射側に設ける場合、遮光手段によって、検査対象パネルの周辺領域を実装ケースと同様に、検査対象パネル及び撮像手段間において覆うことが可能となる。また、遮光手段を検査対象パネルに対して近接させて設けることによって、検査対象パネルから出射した光が、該検査対象パネルの表面及び遮光手段との間で反射して、該反射光が前述の取り込み画像に映りこむのを防止することができる。
【００４１】
従って、本発明の第３の検査装置によれば、取り込まれた画像を確認することにより、検査対象パネルにおける表示画像の品質について的確に検査することができる。即ち、電気光学パネルの検査を精度良く行うことが可能となる。
【００４２】
本発明の第３の電気光学パネルの検査装置の一態様では、前記遮光手段は前記周辺領域を覆う枠状部材を用いて構成されており、該枠状部材の開口部は、該開口部の垂直方向に沿って第１開口径から、該第１開口径より小さい第２開口径に変化する形状を有する。
【００４３】
この態様によれば、遮光手段をブロック状の枠状部材を用いて構成しても、該枠状部材の開口部の側壁において、検査対象パネルの出射光が反射して、該反射光が撮像手段によって取り込まれた画像中に映り込むのを防止することができる。枠状部材の開口部は、該開口部の垂直方向に沿って第１開口径から第２開口径に変化する。ここに、本発明における開口部の「垂直方向」とは、基板面に垂直な方向、即ち、基板面の法線方向を意味しており、開口部の深さ方向に一致する。開口部は、電気光学パネルから離れるに従って開口径が徐々に広がる、例えばテーパ形状として構成される。或いは、枠状部材の開口部の側壁を階段形状として形成して、該開口部の垂直方向に沿って第１開口径から第２開口径に変化するようにしてもよい。
【００４４】
本発明の第３の電気光学パネルの検査装置の他の態様では、前記遮光手段は、前記電気光学パネルの光入射側又は光出射側に設けられているように構成してもよい。
【００４５】
この態様によれば、検査対象パネルの周辺領域からの漏れ光を、該検査対象パネルの光入射側及び光出射側の両方で遮光することが可能となる。光出射側に設ける遮光手段を構成する枠状部材の開口径は、検査対象パネルの画像表示領域と同等かそれよりも大きくなっている。光入射側に設ける遮光手段を構成する枠状部材の開口径は、光出射側の開口径と同等かそれよりも大きくなっている。光入射側の開口径を光出射側の開口径より小さくすると、検査対象パネルに検査光を入射すべき領域をも、光入射側の遮光手段によって遮ってしまう恐れがある。
【００４６】
本発明の第３の電気光学パネルの検査装置の他の態様では、前記マザー基板の下側に、前記マザー基板の下面のうち前記検査対象の電気光学パネルの画像表示領域に対応する表面部分に対して空間を隔てた状態で前記マザー基板を保持する保持手段を更に備える。
【００４７】
この態様によれば、更に、撮像手段によって取り込まれた画像中に、保持手段の保持表面に存在するゴミやキズが映りこむことを防止することができる。その結果、電気光学パネルの検査精度を更に向上させることが可能となる。或いは、保持手段において空間を規定するのが、貫通する開口部であれば、画像表示領域の周辺における保持表面にゴミやキズが存在したとしても、これが検査パターンの表示に影響することは無い。
【００４８】
本発明の第４の電気光学パネルの検査装置は上記課題を解決するために、一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる電気光学パネルを検査する検査装置であって、前記電気光学パネルに対して検査光を照射する光源手段と、前記電気光学パネルにおける画像表示領域の周辺に位置する周辺領域を遮光する遮光手段と、前記入射された検査光に応じて前記電気光学パネルから表示光として出射される光を受光して、画像の取り込みを行う撮像手段とを備える。
【００４９】
本発明の第４の電気光学パネルの検査装置によれば、遮光手段は、電気光学パネルの光入射側又は光出射側に、該電気光学パネルに近接して設けられる。尚、光入射側及び光出射側の両側に設けられてもよい。遮光手段は、電気光学パネルの周辺領域を、実装ケースと同様に覆う枠状部材を用いて構成される。
【００５０】
電気光学パネルの検査時、光源手段からの検査光が電気光学パネルに照射される。電気光学パネルに照射された光は、例えば、電気光学物質層を介して透過光として、該電気光学物質層から出射される。
【００５１】
また、検査時、電気光学パネルの画像表示領域において、所定の検査パターンの表示が行われる。ここに、電気光学パネルの周辺領域は、遮光手段によって、当該電気光学パネルが実装ケースに実装されている場合と同様に遮光される。よって、電気光学パネルの周辺領域から光が漏れるのを防止することが可能となり、電気光学パネルが実装ケースに実装されている状態と同様に、該電気光学パネルから表示光を出射させることができる。
【００５２】
撮像手段は、電気光学パネルから表示光として出射した光を受光手段によって受光することによって、電気光学パネルにおいて表示された検査パターンを撮像する。よって、本発明の第４の検査装置は、前述した第３の検査装置と同様、撮像手段によって撮像されることによって取り込まれた画像中に、電気光学パネルの周辺領域から漏れた光が映りこむことを防止することが可能となる。よって、電気光学パネルの検査を精度良く行うことが可能となる。
【００５３】
本発明の第１から第４の電気光学パネルの検査装置の他の態様では、前記電気光学パネルの前記画像表示領域に所定の検査パターンを表示させるべく前記電気光学装置に対して検査用駆動信号を印加可能な検査用駆動手段を更に備える。
【００５４】
この態様において、電気光学パネルには、好ましくは駆動信号が供給される外部回路接続用端子又は検査用の端子が設けられており、検査用駆動手段には例えばプローブが設けられている。そして、該プローブを介して、電気光学パネルにおける外部回路接続用端子又は検査用の端子に検査用駆動信号が供給される。電気光学パネルでは、検査用駆動信号に基づいて、画像表示領域に所定の検査パターンが表示される。
【００５５】
本発明の電気光学パネルの製造方法は、上記の電気光学パネルの検査装置を用いて電気光学パネルの検査を行なう工程を含むことを特徴とする。
【００５６】
このような構成の製造方法により、電気光学パネルの製造工程における歩留まりを向上させることが可能となる。
【００５７】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５８】
以下では、本発明の実施の形態を図を参照しつつ説明する。本実施形態では、電気光学パネルとして液晶パネルの検査を行うものとする。
【００５９】
＜１：電気光学パネルの構成＞
まず、本実施形態に係る電気光学パネルの構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに、図１は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た電気光学パネルの平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【００６０】
ここでは、電気光学パネルの一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶パネルを例にとる。
【００６１】
図１及び図２において、本実施形態に係る電気光学パネルでは、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【００６２】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
【００６３】
シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。なお、本実施形態においては、前記の画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域が存在する。言い換えれば、本実施形態においては特に、ＴＦＴアレイ基板１０の中心から見て、この額縁遮光膜５３より以遠が周辺領域として規定されている。
【００６４】
周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。また、走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。更に、このように画像表示領域１０ａの両側に設けられた二つの走査線駆動回路１０４間をつなぐため、ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして複数の配線１０５が設けられている。尚、外部回路接続端子１０２と別に後述する検査用駆動信号が印加される検査用の端子（図示省略）が設けられてもよい。
【００６５】
また、対向基板２０の４つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材１０６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。
【００６６】
図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板２０上には、対向電極２１の他、格子状又はストライプ状の遮光膜２３、更には最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。更に、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の対向面の背面側には配向方向に応じた偏光板（図示省略）が設けられる。
【００６７】
なお、図１及び図２に示したＴＦＴアレイ基板１０上には、これらのデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学パネルの品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
【００６８】
＜２：画素部における構成＞
以下では、本実施形態における電気光学パネルの画素部における構成について、図３を参照して説明する。ここに図３は、電気光学パネルの画像表示領域１０ａを構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路である。
【００６９】
図３において、本実施形態における電気光学パネルの画像表示領域１０ａを構成するマトリクス状に形成された複数の画素には、それぞれ、画素電極９ａと当該画素電極９ａをスイッチング制御するためのＴＦＴ３０とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線６ａが当該ＴＦＴ３０のソースに電気的に接続されている。データ線６ａに書き込む画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線６ａ同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
【００７０】
また、ＴＦＴ３０のゲートにゲート電極３ａが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線１１ａ及びゲート電極３ａにパルス的に走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極９ａは、ＴＦＴ３０のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるＴＦＴ３０を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定のタイミングで書き込む。
【００７１】
画素電極９ａを介して電気光学物質の一例としての液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、対向基板に形成された対向電極との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として電気光学パネルからは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射する。
【００７２】
ここで保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極９ａと対向電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量７０を付加する。この蓄積容量７０は、走査線１１ａに並んで設けられ、固定電位側容量電極を含むとともに定電位に固定された容量電極３００を含んでいる。
【００７３】
図１において、走査線駆動回路１０４は、上述の如く走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍを所定タイミングで走査線３ａに供給し（図３参照）、データ線駆動回路１０１は、上述の如く画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定タイミングでデータ線６ａに供給する（図３参照）。
【００７４】
＜３：検査装置の構成＞
図４から図８を参照して、以上のように構成された電気光学パネルの画像品質を検査するための検査装置の構成について説明する。図４は、本実施形態に係る電気光学パネルが、マザー基板上で一挙に複数形成されることを説明するための説明図である。また、図５には検査装置の構成を、その光路に沿った横断面上で概略的に示してある。
【００７５】
更に、図６（a）は、検査装置における保持手段の構成を概略的に示す斜視図であって、図６（ｂ）は、保持手段にマザー基板が保持された状態における図６（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。また、図７（ａ）は検査装置における検査用駆動手段の構成を概略的に示す斜視図であって、図７（ｂ）は検査用駆動手段に遮光手段が設置される場合の構成を概略的に示す斜視図である。加えて、図８（ａ）は、遮光手段の構成を概略的に示す斜視図であって、図８（ｂ）は、遮光手段の概略的な平面図である。
【００７６】
まず、本実施形態に係る電気光学パネルは、図４に示すような比較的大きなサイズのマザー基板Ｓの上において、一挙に複数形成される。すなわち、マザー基板Ｓの上において、図１に示した電気光学パネルが縦横それぞれに例えばマトリクス状に配列されるように形成され、各電気光学パネルにおいては、それぞれ、図１及び図２並びに図３に示したような各種の構成要素が形成される。ここに、図４において示されるマザー基板Ｓ上には、予め各電気光学パネルの形成領域としてパネル形成領域が規定されている。そして、各パネル形成領域に形成された電気光学パネルは、パネル形成領域の周縁に設けられる切断予定線（図示省略）に従って分断されることによって、図１から図３に示したような電気光学パネルが、各個別に製造されることになる。尚、図４において示されるマザー基板Ｓは、図１及び図２に示されるＴＦＴアレイ基板「１０」に該当する。そして、これとは別のガラス基板の上に、対向電極２１、配向膜２２等が形成されて対向基板２０が複数形成され、該複数の対向基板２０を複数のパネル形成領域において、夫々マザー基板Ｓと対向させて貼り合わせその間に液晶を封入することによって、マザー基板Ｓ上に電気光学パネルが製造される。
【００７７】
図５において、検査装置５００は、主要部として、本発明に係る「光源手段」としての光源５０２、本発明に係る「保持手段」としてのテーブル５０６、本発明に係る「検査用駆動手段」としてのプローブカード５１０、該プローブカード５１０に固定された本発明に係る「遮光手段」としての遮光ブロック５０８、及び撮像手段５１２を備える。尚、図５中、検査装置５００における光路を一点鎖線の矢印にて示してある。
【００７８】
光源５０２は、ファイバ式のものを用いて構成してもよいし、レーザ装置や蛍光管を用いて構成してもよい。
【００７９】
テーブル５０６は、ガラス等の透明板部材を用いて構成され、該テーブル５０６によって、図４に示すように、複数の電気光学パネルが形成されたマザー基板Ｓが保持される。ここで、図６を参照してテーブル５０６の構成について説明する。
【００８０】
図６（ａ）において、テーブル５０６は矩形の平面形状を有する構成として示してあるが、テーブル５０６の平面形状は矩形の他、円形等、当業者が適宜決め得る設計事項である。テーブル５０６には、本発明に係る「穴部」として、テーブル５０６のマザー基板Ｓの保持表面の法線方向に沿って開口された凹部５０６ａが設けられている。また、凹部５０６は、非貫通の「穴部」であって、マザー基板Ｓの外形形状に対応するパターンとして形成されている。図６（ａ）においては、凹部５０６ａの側壁を２段の階段形状とする。図６（ａ）中矢印で示すようにマザー基板Ｓを凹部５０６ａにはめ込み、該凹部５０６ａの側壁に形成された階段形状の上段によってマザー基板Ｓの周縁部が支持される。この状態で、検査装置５００の光路において、マザー基板Ｓはテーブル５０６上に水平に保持される。
【００８１】
尚、図６（ａ）において、便宜上、マザー基板Ｓ上に形成された複数の電気光学パネルの図示を省略するかわりに、該複数の電気光学パネルの各々のパネル形成領域６０を示してある。テーブル５０６上にマザー基板Ｓが保持された状態で、マザー基板Ｓ上の複数のパネル形成領域６０に形成された複数の電気光学パネルの画像表示領域１０ａは、凹部５０６ａ上に配置される。
【００８２】
図６（ｂ）において、テーブル５０６上にマザー基板Ｓが保持された状態で、該マザー基板Ｓの下面は、凹部５０６ａの底面と一定の間隔を隔てて対向する。より具体的には、凹部５０６ａの側壁に形成された階段形状の下段の高さに相当する間隔を隔てて、マザー基板Ｓの下面は、凹部５０６ａの底面と対向する。よって、マザー基板Ｓ上に形成された複数の電気光学パネルのうちの一つを検査対象パネル５とすれば、該検査対象パネル５の画像表示領域１０ａの下側には空間６２が存在することとなる。
【００８３】
図７（ａ）において、プローブカード５１０は、複数のプローブ５０９を備えると共に、開口部５１０ａを有している。そして、図７（ｂ）に示すように、プローブカード５１０の開口部５１０ａに、遮光ブロック５０８をはめ込むことによって、該遮光ブロック５０８はプローブカード５１０に固定された状態となる。
【００８４】
次に、図８（ａ）に示すように、遮光ブロック５０８は、検査対象パネル５に近接した状態で、該検査対象パネル５の周辺領域を覆う枠状部材を用いて構成されている。この枠状部材の開口部５０８ｂはテーパ形状を有しており、該開口部５０８ｂの垂直方向に沿って、その開口径は第１開口径Ｒ１から該第１開口径Ｒ１より小さい第２開口径Ｒ２に変化する。この第２開口径Ｒ２を有する側の開口サイズは、検査対象パネル５の画像表示領域１０ａとほぼ同等となっているのが好ましい。
【００８５】
尚、図８（ａ）には検査対象パネル５の主要部として、マザー基板Ｓにおける切断予定線によって規定されるＴＦＴアレイ基板１０の形状と、該ＴＦＴアレイ基板１０に対向する対向基板２０を示してある。また、図６（ｂ）を参照して説明したように、検査対象パネル５は、マザー基板Ｓの下面側をテーブル５０６に保持され、該下面側から光が入射されると共に、対向基板２０の、液晶層５０に面する側と反対側の面から、該液晶層５０を透過した光が出射されるように、光路に配置される。
【００８６】
遮光ブロック５０８は、検査対象パネル５の光の出射側に、開口部５０８ｂの第２開口径Ｒ２を有する側を、該検査対象パネル５の画像表示領域１０ａ上に配置させて設けられる。図８（ｂ）において、この状態で第１開口径Ｒ１側から遮光ブロック５０８を見た場合、該遮光ブロック５０８によって検査対象パネル５の周辺領域５ａが覆われると共に、その画像表示領域１０ａは開口部５０８ｂにおいて第２開口径Ｒ２を有する開口内に配置される。
【００８７】
図５において、検査装置５００の光路には検査対象パネル５に対して偏光板５０４ａ及び５０４ｂが設けられる。検査対象パネル５には光源５０２から偏光板５０４ａを介して光が照射されると共に、撮像手段５１２には偏光板５０４ｂを介して光が入射される。撮像手段５１２は例えばフォトダイオード、ＣＣＤ等の受光手段を有しており、該受光手段によって入射された光を受光して、検査対象パネル５における表示画像を撮像する。検査装置５００には、更に、撮像手段５１２に接続された検査端末５１４が設けられる。検査端末５１４は、パーソナルコンピュータ、ワークステーション等により構成される。
【００８８】
＜４：電気光学パネルの検査＞
次に、検査装置５００によって行われる電気光学パネルの画像品質の検査について説明する。検査装置５００では、マザー基板Ｓ上の複数の電気光学パネルについて、各個別に検査が行われる。
【００８９】
図５において、プローブカード５１０には、同図中に図示しない検査用駆動部から検査用駆動信号が供給される。テーブル５０６又はプローブカード５１０は、同図中矢印Ｘで示すように、検査装置５００内を鉛直方向に移動可能に構成されている。該移動によって、プローブカード５１０の複数のプローブ５０９が検査対象パネル５の外部回路接続用端子又は検査用の端子に電気的に接続されることによって、複数のプローブ５０９から検査用駆動信号が検査対象パネル５に供給される。
【００９０】
検査対象パネル５では、供給された検査用駆動信号に基づいて、走査線駆動回路１０４及びデータ線駆動回路１０１より出力される走査信号Ｇ１、Ｇ２、・・・、Ｇｍ及び画像信号Ｓ１、Ｓ２、・・・、Ｓｎが各画素部に供給されることによって、画像表示領域１０ａに所定の検査パターンが表示される。所定の検査パターンの表示は例えば全白表示又は全黒表示として行われる。尚、ノーマリーホワイトモードの電気光学パネルであれば、検査用駆動信号が印加されていない状態で、全白表示の検査を行なうことも可能であり、ノーマリーブラックモードの電気光学パネルであれば、検査用駆動信号が印加されていない状態で、全黒表示の検査を行なうことも可能である。
【００９１】
また、検査装置５００において、光源５０２から出射した光は、偏光板５０４ａを通過し、更にテーブル５０６を介して検査対象パネル５に入射される。ここに、検査用駆動信号を印加する際、プローブカード５１０に固定された遮光ブロック５０８は、検査対象パネル５に近接した状態で、該検査対象パネル５の光の出射側に配置される。そして、このように遮光ブロック５０８を配置させたまま、撮像手段５１２によって検査対象パネル５における表示画像が撮像される。
【００９２】
このような状態では、図８（ｂ）に示すように、遮光ブロック５０８によって検査対象パネル５の周辺領域５ａが覆われると共に、その画像表示領域１０ａは開口部５０８ｂにおいて第２開口径Ｒ２を有する開口内に配置される。マザー基板Ｓ上に形成された電気光学パネルは実装ケースに収納されていない状態にあるが、検査時、遮光ブロック５０８を検査対象パネル５に対して近接させることにより、検査対象パネル５の周辺領域を検査対象パネルが実装ケースに実装されている場合と同様に遮光することが可能となる。よって、検査対象パネル５が実装ケースに実装されている状態と同様に、検査対象パネル５の周辺領域からの漏れ光を遮光し、該検査対象パネル５の画像表示領域１０ａから透過光を表示光として出射させることが可能となる。
【００９３】
また、遮光ブロック５０８は、検査対象パネル５の周辺領域を、該検査対象パネル５の光出射面及びプローブカード５１０間において遮光する。よって、検査対象パネル５の画像表示領域１０ａから出射された表示光は、遮光ブロック５０８の開口部５０８ｂを通過して、該開口部５０８ｂから出射される。
【００９４】
このように遮光ブロック５０８を介して、検査対象パネル５の画像表示領域１０ａから出射された表示光は、偏光板５０４ｂを通過して撮像手段５１２に入射する。検査対象パネル５において表示された検査パターンを撮像する際、撮像手段５１２のピントは、検査対象パネル５における液晶層５０内に合わせられる。
【００９５】
図６（ｂ）に示すように、テーブル５０６上にマザー基板Ｓが保持された状態で、検査対象パネル５の画像表示領域１０ａに対応するマザー基板Ｓの下側は空間６２が隔てられている。従って、テーブル５０６におけるマザー基板Ｓと対向する凹部５０６ａの底面にゴミやキズが存在したとしても、該ゴミやキズの存在箇所は撮像手段５１２のピント付近から外れることとなる。
【００９６】
よって、本実施形態によれば、撮像手段５１２によって撮像されることによって取り込まれた画像中に、マザー基板Ｓと対向するテーブル５０６表面に存在するゴミやキズ、或いは検査対象パネル５の周辺領域から漏れた光が映りこむことを防止することが可能となる。
【００９７】
また、図８（ａ）に示すように開口部５０８ｂはテーパ形状となっているため、検査対象パネル５の画像表示領域１０ａから出射された表示光が開口部５０８ｂの側壁において反射して、該反射光が撮像手段５１２によって取り込まれた画像中に映り込むのを防止することができる。また、遮光ブロック５０８を検査対象パネル５に対して近接させて設けることによって、検査対象パネル５から出射した光が、該検査対象パネル５の光出射面及び遮光ブロック５０８の外側表面との間で反射して、該反射光が前述の取り込み画像に映りこむのを防止することができる。
【００９８】
ここで、検査端末５１４は、撮像手段５１２によって撮像された表示画像について所定の画像処理を行い、該表示画像の品質の良し悪しを自動的に判定する。よって、本実施形態によれば、検査端末５１４によって検査対象パネル５における表示画像の品質について的確に検査することができる。即ち、電気光学パネルの検査を精度良く行うことが可能となる。
【００９９】
＜５：変形例＞
次に、以上説明した本実施形態に係る変形例について説明する。
【０１００】
先ず、本変形例に係るテーブル５０６の構成について図９から図１３を参照して説明する。図９は、本変形例に係るテーブル５０６の一の構成を概略的に示す斜視図である。また、図１０（ａ）は、本変形例に係るテーブル５０６の他の構成を概略的に示す斜視図であって、図１０（ｂ）は、テーブル５０６にマザー基板が保持された状態における図１０（ａ）のＢ−Ｂ’断面図である。更に、図１１は、テーブル５０６の本変形例に係る他の構成を概略的に示す斜視図である。
【０１０１】
また、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、本変形例に係るテーブル５０６の他の構成について、図６（ｂ）又は図１０（ｂ）に対応する断面の構成を示す図である。加えて、図１３（ａ）は、本変形例に係るテーブル５０６の他の構成を概略的に示す斜視図であって、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【０１０２】
図９において、テーブル５０６には、マザー基板Ｓにおける各行の複数のパネル形成領域６０毎に、該複数のパネル形成領域６０に対応するパターンとして凹部５０６ｂが形成されているのが好ましい。この場合、テーブル５０６には、複数の凹部５０６ｂが、マザー基板Ｓ上の各行の複数のパネル形成領域６０に対応して、ストライプ状に形成される。そして、図９中、矢印で示すようにマザー基板Ｓをテーブル５０６上に保持した状態では、図６（ｂ）に示す構成と同様の断面の構成となる。よって、マザー基板Ｓがテーブル５０６上に保持されると、各行の電気光学パネルは、凹部５０６ｂ上に配置される。この状態で、マザー基板Ｓ上に形成された電気光学パネルの画像表示領域の下側には空間が存在することとなる。
【０１０３】
また、図１０（ａ）に示すように、テーブル５０６には、マザー基板Ｓにおける各列の複数のパネル形成領域６０毎に、該複数のパネル形成領域６０に対応するパターンとして凹部５０６ｃが形成されてもよい。この場合も、テーブル５０６には、複数の凹部５０６ｃが、マザー基板Ｓ上の各列の複数のパネル形成領域６０に対応して、ストライプ状に形成される。そして、図１０（ａ）中、矢印で示すようにマザー基板Ｓをテーブル５０６上に保持した状態で、図１０（ｂ）に示すように、該マザー基板Ｓ上の各列の電気光学パネルの下側には、凹部５０６ｃによって規定される空間６２ｃが存在する。
【０１０４】
更に、テーブル５０６において凹部を次のように形成してもよい。例えば、テーブル５０６上に保持された状態で、複数の電気光学パネルにおける画像表示領域に対応するマザー基板Ｓの下側に空間を規定するようなパターンとして、各列又は各行の電気光学パネルを更に所定数に分割して、該所定数毎に凹部を形成することも可能である。若しくは、テーブル５０６上に保持された状態で、マザー基板Ｓ上の複数の電気光学パネルのうち、検査対象パネル５の画像表示領域１０ａに対応するマザー基板Ｓの下側に空間を規定するようなパターンとして、凹部を形成してもよい。
【０１０５】
加えて、テーブル５０６において凹部は、マザー基板Ｓ上の複数の電気光学パネルに対して各個別に設けられているように構成してもよい。図１１において、マザー基板Ｓにおける複数のパネル形成領域６０の各々に対応して、テーブル５０６には凹部５０６ｄが設けられている。この凹部５０６ｄを平面的に見た外形サイズは、マザー基板Ｓ上に形成された電気光学パネルの各々における画像表示領域より大きくなっている。そして、図１１中、矢印で示すようにマザー基板Ｓをテーブル５０６上に保持した状態では、図１０（ｂ）に示す構成と同様の断面の構成となる。よって、マザー基板Ｓがテーブル５０６上に保持されると、マザー基板Ｓ上の電気光学パネルの画像表示領域は、各個別に凹部５０６ｄ上に配置される。そして、各電気光学パネルの画像表領域に対応するマザー基板Ｓの下側に、凹部５０６ｃによって規定される空間が存在する。
【０１０６】
また、図６、並びに図９から図１１を参照して説明した凹部の代わりに、開口部がテーブル５０６に形成されてもよい。
【０１０７】
図６（ａ）又は図９に示す凹部５０６ａ又は５０６ｂの代わりに開口部を形成した場合、テーブル５０６上にマザー基板Ｓを保持した状態で、図６（ｂ）に対応する断面の構成は、図１２（ａ）に示す構成となる。図１２（ａ）において、開口部５０７ａは、テーブル５０６において、マザー基板Ｓの保持表面から法線方向に貫通した「穴部」として形成されている。この場合、マザー基板Ｓの下面又は該マザー基板Ｓ上の各行の電気光学パネルの下側には、開口部５０７ａによって規定される空間が存在する。
【０１０８】
また、図１０（ａ）又は図１１に示す凹部５０６ｃ又は５０６ｄの代わりに開口部を形成した場合、テーブル５０６上にマザー基板Ｓを保持した状態で、図１０（ｂ）に対応する断面の構成は、図１２（ｂ）に示す構成となる。図１２（ｂ）において、図１２（ａ）と同様に、開口部５０７ｂは貫通した「穴部」として形成されている。この場合、マザー基板Ｓ上の各列の電気光学パネル又は該マザー基板Ｓ上に形成された複数の電気光学パネルの各々の下側には、開口部５０７ｂによって規定される空間が存在する。
【０１０９】
よって、マザー基板Ｓ上に形成された複数の電気光学パネルのうち検査対象パネルには、図１２（ａ）又は図１２（ｂ）に示す開口部５０７ａ又は５０７ｂより、光源５０２から出射された検査光を照射させることが可能となる。従って、検査対象パネルの画像表示領域の下側にテーブル５０６表面が配置されないため、より的確に検査対象パネルにおける表示画像の品質について検査することが可能となる。
【０１１０】
また、凹部の代わりに開口部を形成した場合、テーブル５０６を透明部材の代わりに遮光性部材を用いて構成して、開口部を、遮光ブロック５０８における、検査対象パネルの光出射面に対向する開口形状と同様の形状とする。この形状は、図８（ｂ）に示す開口部５０８ｂにおける第２開口径Ｒ２を有する開口と同様の形状となる。このようにすれば、検査対象パネルの周辺領域からの漏れ光を、該検査対象パネルの光出射側に加えて光入射側でも遮光することが可能となる。
【０１１１】
また、１３（ａ）又は図１３（ｂ）に示すように、テーブル５０６に、例えばマザー基板Ｓの周縁を支持する複数のピン７０が、本発明に係る「支持部」として設けられてもよい。図１３（ｂ）に示すように、マザー基板Ｓは、複数のピン７０によって支持されて、マザー基板Ｓの下面と、テーブル５０６表面との間に所定の間隔を隔てて、テーブル５０６上に保持される。
【０１１２】
次に、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示す遮光ブロック５０８を、以下のように構成してもよい。
【０１１３】
図１４（ａ）には、本変形例に係る遮光ブロック５０８の構成を概略的に斜視図として示してあり、図１４（ｂ）には、遮光ブロック５０８の概略的な平面図を示してある。
【０１１４】
図１４（ａ）において、遮光ブロック５０８における開口部５０８ｄの側壁は２段の階段形状を有している。該開口部５０８ｄにおいて、上段の開口径は第１開口径Ｒ１とし、下段の開口径は第２開口径Ｒ２として構成される。そして、遮光ブロック５０８は、検査対象パネル５の光の出射側に、開口部５０８ｄの第２開口径Ｒ２を有する側を、該検査対象パネル５の画像表示領域１０ａ上に配置させて設けられる。図１４（ｂ）において、この状態で第１開口径Ｒ１側から遮光ブロック５０８を見た場合、遮光ブロック５０８によって検査対象パネル５の周辺領域５ａが覆われると共に、その画像表示領域１０ａは開口部５０８ｄにおいて第２開口径Ｒ２を有する開口内に配置される。
【０１１５】
尚、図８（ａ）及び図８（ｂ）、若しくは図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示す遮光ブロック５０８の開口部５０８ｂ又は５０８ｄにおいて、第２開口径Ｒ２を有する側の開口サイズは、遮光ブロック５０８の枠状部５０８ａが検査対象パネル５の周辺領域を覆う形状となるように、検査対象パネル５の画像表示領域１０ａより大きいサイズとしてもよい。
【０１１６】
また、遮光ブロック５０８の開口部５０８ｂ又は５０８ｄを、第１開口径Ｒ１を有する側の開口サイズを検査対象パネル５の画像表示領域１０ａとほぼ同等かそれよりも大きいサイズとして構成し、第２開口径Ｒ２を第１開口径Ｒ１より小さい値として構成してもよい。この場合、遮光ブロック５０８は、検査対象パネル５の光の出射側に、開口部５０８ｂ又は５０８ｄの第１開口径Ｒ１を有する側を、該検査対象パネル５の画像表示領域１０ａ上に配置させて設けられる。
【０１１７】
更に、遮光ブロック５０８の代わりに遮光板１５０を用いてもよい。図１５（ａ）には遮光板１５０の構成を概略的に斜視図として示してあり、図１５（ｂ）には、遮光板１５０の概略的な平面図を示してあり、図１５（ｃ）には遮光板１５０を用いた場合の検査用駆動信号の印加を説明する図を示してある。尚、図１５（ａ）から図１５（ｃ）には検査対象パネル５の主要部として、マザー基板Ｓにおける切断予定線によって規定されるＴＦＴアレイ基板１０の形状と、該ＴＦＴアレイ基板１０に対向する対向基板２０を示してある。
【０１１８】
図１５（ａ）に示すように、遮光板１５０は、遮光ブロック５０８と同様、検査対象パネル５に近接した状態で、該検査対象パネル５の周辺領域を覆う枠状部材を用いて構成されている。また、この枠状部材の開口部１５０ｂは、該開口部１５０ｂの平面形状が垂直方向において一様な形状となるように構成されている。更に開口部１５０ｂの開口サイズは、検査対象パネル５の画像表示領域１０ａとほぼ同等かそれよりも大きくなっているのが好ましい。尚、遮光板１５０の厚さを厚くする場合には、図８（ａ）及び図８（ｂ）若しくは図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示すような形状として開口部１５０ｂを構成するのが好ましい。
【０１１９】
図１５（ｂ）において、遮光板１５０を検査対象パネル５の光の出射側に近接させた状態で、遮光板１５０によって検査対象パネル５の周辺領域５ａが覆われると共に、その画像表示領域１０ａは開口部１５０ｂの開口内に配置される。
【０１２０】
また、図１５（ａ）に示すように、遮光板１５０は検査対象パネル５に対して、外部回路接続用端子又は検査用の端子を備える端子部５ｂが露出するように設けられるのが好ましい。
【０１２１】
更に、プローブカード５１０の代わりにプローブユニット５１０ｂを用いてもよい。プローブユニット５１０ｂを用いる場合、好ましくは、遮光板１５０又は遮光ブロック５０８とプローブユニット５１０ｂとを別々に検査対象パネル５に対して設置して検査が行われる。図１５（ｃ）において、プローブユニット５１０ｂにはプローブ５０９が設けられており、このプローブ５０９を端子部５ｂにおける外部回路接続用端子又は検査用の端子に電気的に接続することによって、複数のプローブ５０９から検査用駆動信号が検査対象パネル５に供給される。
【０１２２】
加えて、遮光板１５０又は遮光ブロック５０８を、検査対象パネル５の光出射側に加えて又は代えて光入射側に設けてもよい。遮光板１５０を検査対象パネル５の光出射側及び光入射側に設ける構成を、概略的に図１６（ａ）に斜視図として示すと共に、図１６（ｂ）に平面図として示してある。
【０１２３】
図１６（ａ）において、光入射側の遮光板１６０における開口部１６０ｂの開口サイズは、光出射側の遮光板１５０の開口部１５０ｂの開口サイズと同一となっている。そして、光入射側の遮光板１６０及び光出射側の遮光板１５０を検査対象パネル５に近接させた状態で、検査対象パネル５の周辺領域５ａは光出射側及び光入射側の両方において覆われた状態となり、その画像表示領域１０ａは開口部１５０ｂ及び１６０ｂの開口内に配置される。
【０１２４】
また、光入射側の遮光板１６０における開口部１６０ｂの開口サイズを、光出射側の遮光板１５０の開口部１５０ｂの開口サイズより大きくしてもよい。このような構成とした場合、図１６（ｂ）において、光出射側の遮光板１５０から見た、該遮光板１５０の開口部１５０ｂと光入射側の遮光板１６０の開口部１６０ｂとの配置関係は次のようになる。光出射側の遮光板１５０の開口部１５０ｂの開口内に検査対象パネル５の画像表示領域１０ａは配置される。また、光入射側の遮光板１６０の開口部１６０ｂの開口内に、光出射側の遮光板１５０の開口部１５０ｂが配置される。このように構成すれば、検査対象パネル５に検査光を入射すべき領域をも、光入射側の遮光板１６０によって遮る事態を防ぐことができる。
【０１２５】
更に、検査装置５００では、マザー基板Ｓ上に形成された複数の電気光学パネルの代わりに、マザー基板Ｓより切断されることによって製造された電気光学パネルを１枚ずつ検査するようにしてもよい。この場合、テーブル５０６上に、電気光学パネルのＴＦＴアレイ基板１０が保持される。図６（ａ）及び図６（ｂ）に示す構成と同様、テーブル５０６にはＴＦＴアレイ基板１０の外形形状に対応するパターンとして凹部５０６ａが形成されてもよい。或いは、図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示す構成と同様、ＴＦＴアレイ基板１０の周縁を支持する支持部がテーブル５０６に設けられてもよい。
【０１２６】
加えて、検査装置５００には、テーブル５０６及び遮光ブロック５０８のいずれかが設けられるようにしてもよい。
【０１２７】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学パネルの検査装置並びに電気光学パネルの製造方法もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【０１２８】
【図１】電気光学パネルの全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【図３】電気光学パネルの画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素部における各種素子、配線等の等価回路である。
【図４】電気光学パネルが、マザー基板において一挙に複数形成されることを説明するための部分平面図である。
【図５】検査装置の構成を概略的に示す図である。
【図６】図６（a）は、検査装置における保持手段の構成を概略的に示す斜視図であって、図６（ｂ）は、保持手段にマザー基板が保持された状態における図６（ａ）のＡ−Ａ’断面図である。
【図７】図７（ａ）及び図７（ｂ）は検査用駆動手段の構成を概略的に示す斜視図である。
【図８】図８（ａ）は、遮光手段の構成を概略的に示す斜視図であって、図８（ｂ）は、遮光手段の構成を概略的に示す平面図である。
【図９】変形例に係るテーブルの一の構成を概略的に示す斜視図である。
【図１０】図１０（ａ）は、変形例に係るテーブルの他の構成を概略的に示す斜視図であって、図１０（ｂ）は、テーブルにマザー基板が保持された状態における図１０（ａ）のＢ−Ｂ’断面図である。
【図１１】変形例に係るテーブルの他の構成を概略的に示す斜視図である。
【図１２】図１２（ａ）及び図１２（ｂ）は、変形例に係るテーブルの他の構成を概略的に示す断面図である。
【図１３】図１３（ａ）は、変形例に係るテーブルの他の構成を概略的に示す斜視図であって、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）のＣ−Ｃ’断面図である。
【図１４】図１４（ａ）は、変形例に係る遮光ブロックの構成を概略的に示す斜視図であり、図１４（ｂ）は、遮光ブロックの構成を概略的に示す平面図である。
【図１５】図１５（ａ）は、遮光板の一の構成を概略的に示す斜視図であり、図１５（ｂ）は、遮光板の一の構成を概略的に示す平面図であり、図１５（ｃ）は遮光板を用いた場合の検査用駆動信号の印加を説明する図である。
【図１６】図１６（ａ）は、遮光板の他の構成を概略的に示す斜視図であり、図１６（ｂ）は、遮光板の他の構成を概略的に示す平面図である。
【符号の説明】
【０１２９】
５００…検査装置
５０２…光源
５０６…テーブル
５０８…遮光ブロック
５０６…撮像手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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