(57)【要約】【課題】メカニカルシステムにおける移動制御系において、低騒音でありながら、高速移動を可能とする。【解決手段】制御器２０４は、制御対象２０１に与えるべきフィードフォワード制御入力を生成するが、目標速度に制御対象のモデル速度が到達した時点近傍の区間においてのみ当該フィードフォワード制御入力に対してフィルタ部２０９がフィルタリングを行い、フィルタリング後のフィードフォワード制御入力が制御対象２０１に与えられる。ここで、フィルタ部２０９のフィルタ特性は、位相特性の劣化が少ないものである。このようなタイミングでフィルタリングを行うことで、目標速度到達後に生じるフィードフォワード制御入力の振動成分を除去することができるとともに、動作遅延を抑制することができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力が加速度の次元であり、出力が位置の次元となる制御対象を移動させて位置決めする制御装置であって、
予め決められた目標速度曲線に制御対象モデルの速度を追従させるためのフィードフォワード制御入力を生成する制御手段と、
前記制御対象モデルの速度が前記目標速度曲線に到達した時点近傍の区間において前記制御手段によって生成されたフィードフォワード制御入力にフィルタ処理を施すフィルタ手段と
を具備することを特徴とする制御装置。
【請求項２】
前記フィルタ手段は、一次のローパスフィルタよりも位相特性の劣化が少ないフィルタ処理を行う
ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
前記フィルタ手段は、次式で表される特性のフィルタ処理を行う
【数１】
2005284601.tif 000006
ことを特徴とする請求項１に記載の制御装置。
【請求項４】
前記（ａ）式の変数ｍを、前記（ｂ）式に示される範囲内において、制御対象へ供給されるフィードフォワード制御入力の値に基づいて適応的に変化させる変数制御手段をさらに具備する
ことを特徴とする請求項３に記載の制御装置。
【請求項５】
前記変数制御手段は、ＬＭＳ適応則により前記変数ｍを変化させる
ことを特徴とする請求項４に記載の制御装置。
【請求項６】
入力が加速度の次元であり、出力が位置の次元となる制御対象を移動させて位置決めする制御方法であって、
予め決められた目標速度曲線に制御対象モデルの速度を追従させるためのフィードフォワード制御入力を生成する制御ステップと、
前記制御対象モデルの速度が前記目標速度曲線に到達した時点近傍の区間において前記制御ステップによって生成されたフィードフォワード制御入力にフィルタ処理を施すフィルタ手段と
を具備することを特徴とする制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、メカニカルシステムの位置を制御する制御装置および制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブの磁気ヘッドなど、メカニカルシステムの移動時の制御系は、２自由度制御系により構成されるのが一般的である。２自由度制御系は、フィードバック制御系、アクチュエータに加える制御電流指令を目標値から作成するフィードフォワード制御器、フィードバック系に加える規範位置指令を目標値から作成するフィードフォワード制御器を備える。
【０００３】
近年では、メカニカルシステムの制御系は、マイクロコンピュータを用いたディジタル制御系が構成されるのが一般的となっており、先に述べた制御電流指令を作成するフィードフォワード制御器、規範位置指令を作成するフィードフォワード制御器、フィードバック制御器などはマイクロコンピュータ内部で数値的に計算され、制御指令はＤ／Ａを通してアクチュエータの駆動ドライブに与えられる。
【０００４】
ところで、上述したような制御においては、制御対象を高速に移動させるため、減速時には一般的に残り距離からなる目標速度曲線にフィードフォワード制御器内部にある制御対象モデルの速度を追従させるという制御が行われる。すなわち、その時の制御対象モデルに加えられている制御指令をフィードフォワード制御指令として制御対象に与えるのである。
【０００５】
一方、加速時には最大加速度で目標速度曲線に制御対象モデルの速度を到達させ、この時に制御対象モデルに加えられている制御指令をフィードフォワード制御指令として制御対象に与える。このようにすることにより制御対象を所望とする位置まで移動させている。
【０００６】
しかしながら、このような制御システムでは騒音が問題となっており、今日のメカニカルシステムに対する高性能化の要求を満たすためには、制御対象を移動させる際の騒音を低減させることは重要である。低騒音化を実現するために、目標速度曲線を遅くする方法や、フィードフォワード制御器からの出力をローパスフィルタを通すことで高周波成分を除去して制御対象に与える方法が考えられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】特開２００１−３２５００６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、目標速度曲線を遅くする方法や、上記特許文献に記載された方法では、騒音を低減させることはできるが、その分制御対象の移動速度が遅くなってしまうという問題点がある。また、別の騒音低減方法として、騒音の原因となるメカニカルシステムの振動部にダンピング材を付加するといった手法も考えられるが、製造コストが増加してしまうという問題がある。
【０００９】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、メカニカルシステムにおける移動制御系において、低騒音でありながら、高速移動を可能とする制御装置および制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明にかかる制御装置は、入力が加速度の次元であり、出力が位置の次元となる制御対象を移動させて位置決めする制御装置であって、予め決められた目標速度曲線に制御対象モデルの速度を追従させるためのフィードフォワード制御入力を生成する制御手段と、前記制御対象モデルの速度が前記目標速度曲線に到達した時点近傍の区間において前記制御手段によって生成されたフィードフォワード制御入力にフィルタ処理を施すフィルタ手段とを具備する。
【００１１】
また、本発明の別の態様にかかる制御方法は、入力が加速度の次元であり、出力が位置の次元となる制御対象を移動させて位置決めする制御方法であって、予め決められた目標速度曲線に制御対象モデルの速度を追従させるためのフィードフォワード制御入力を生成する制御ステップと、前記制御対象モデルの速度が前記目標速度曲線に到達した時点近傍の区間において前記制御ステップによって生成されたフィードフォワード制御入力にフィルタ処理を施すフィルタ手段とを具備する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、メカニカルシステムにおける移動制御系において、目標速度に制御対象のモデル速度が到達した時点近傍で生じるフィードフォワード制御入力の振動成分をフィルタ処理により抑制することができるので、低騒音でありながら、高速移動が可能となるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる制御装置および制御方法の実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明の一実施形態にかかる制御装置の構成を示すブロック図である。同図に示すように、この制御装置１００は、ハードディスクドライブの磁気ヘッドなどのメカニカルシステムにおいて、入力が加速度の次元であり、出力が位置の次元となる制御対象（例えば磁気ヘッド）２０１の位置を移動させる位置決め制御装置であり、フィードバック制御部１１０と、デジメータ２０６と、フィードフォワード制御部２０７とを備える。
【００１５】
フィードバック制御部１１０は、フィードバック制御器２０２を有しており、制御対象２０１の現在位置が、デジメータ２０６を介してフィードフォワード制御部２０７から供給される目標位置に一致するよう位置誤差フィードバック制御を行うものである。
【００１６】
フィードフォワード制御部２０７は、目標速度曲線部２０３と、制御器２０４と、フィルタ部２０９と、ＬＭＳ適応則部２１０と、フィルタ制御部２１１と、モデル導出部２０５とを備える。
【００１７】
フィードフォワード制御部２０７は、上述したフィードバック制御部１１０よりも早い周期で動作し、例えばフィードバック制御部１１０の動作周期がＴｓである場合には、Ｔｓ／Ｊ（Ｊは２以上の整数）の周期で動作し、後述するようなフィードフォワード制御入力を生成し、これを制御対象２０１に出力する。
【００１８】
目標速度曲線部２０３は、予め設定されている目標速度曲線、目標位置およびモデル位置に基づいた目標速度を制御器２０４に供給する。ここで、目標速度曲線部２０３に設定される目標速度曲線の一例を図２に示す。同図に示すように、目標速度曲線部２０３には、どのタイミングで制御対象２０１がどのような速度であるべきかを示す曲線が設定されている。
【００１９】
モデル導出部２０５は、制御器２０４から供給されるフィードフォワード制御入力に応じて予め与えられた関数により、そのときの状態に応じたモデル速度、モデル位置を導出し、モデル速度を制御器２０４やフィルタ制御部２１１に出力するととともに、デジメータ２０６等にモデル位置を出力する。
【００２０】
制御器２０４は、目標速度曲線部２０３から供給される目標速度曲線と、モデル導出部２０５から供給されるモデル速度に基づいて、フィードフォワード制御入力指令を生成する。すなわち、制御対象２０１のモデル速度が、目標速度曲線に示される速度に近づくようなフィードフォワード制御入力を生成し、これをフィルタ部２０９およびＬＭＳ適応則部２１０に出力する。
【００２１】
このように制御器２０４によって生成されたフィードフォワード制御入力は、フィルタ部２０９を経て制御対象２０１およびモデル導出部２０５に供給される。フィルタ制御部２１１は、フィルタ部２０９が上記フィードフォワード制御入力に対してフィルタ処理を行うタイミングを制御するものである。つまり、フィルタ部２０９はフィルタ制御部２１１によってフィルタ処理を行うよう設定されたタイミングにおいてのみ、制御器２０４によって生成されたフィードフォワード制御入力に対してフィルタ処理を施し、他のタイミングにおいては制御器２０４によって生成されたフィードフォワード制御入力はそのまま制御対象２０１に与えられる。
【００２２】
ＬＭＳ適応則部２１０は、フィードフォワード制御入力、フィルタ処理後のフィードフォワード制御入力に基づき、ＬＭＳ適応則にしたがってフィルタ部２０９のフィルタ特性を変化させる。なお、フィルタ部２０９、ＬＭＳ適応則部２１０の詳細については後述する。
【００２３】
次に、本実施の形態にかかる制御装置１００における、制御器２０４によるフィードフォワード制御入力の生成、生成されたフィードフォワード制御入力に対するフィルタ処理の内容、およびフィルタ処理を行うタイミングについて説明する。
【００２４】
まず、制御対象２０１を目標位置に移動させるために制御対象２０１を加速する場合、つまり目標速度よりもモデル速度が小さい場合には、モデル速度を目標速度に近づけるべくフィードフォワード制御入力を飽和させることとなり、制御器２０４は定数ゲインとなる。
【００２５】
そして、制御対象２０１を目標位置で停止させるべく制御対象２０１を減速させる場合においても、このゲインをフィードフォワード制御部２０７が発振しない範囲で可能な限り高く設定することで、より早く制御対象２０１を減速させることができるように思われる。しかしながら、ゲインを高く設定することで生成されるフィードフォワード制御入力をそのまま制御対象２０１に与えると、以下のような理由から騒音等の原因となってしまう。
【００２６】
すなわち、図３に示すように、高いゲインを設定すると、図中太線で示される部分、つまりモデル速度が目標速度に達した後において、モデル速度が目標速度を追い越してしまい、その後モデル速度が目標速度に合致するまでモデル速度が振動することになる。
【００２７】
このようにモデル速度が振動した場合に生成されるフィードフォワード制御入力の一例を図４に示す。同図の丸で囲んだ部分に示されるように、モデル速度が目標速度に到達した後に、フィードフォワード制御入力が振動していることがわかる。この振動がメカニカルシステムの移動時の騒音の原因になってしまう。また、このような振動が生じることで、結果として移動に要する時間が多く必要なってしまうことも考えられる。
【００２８】
このようなフィードフォワード制御入力の振動に伴う弊害を防止するべく、本実施の形態にかかる制御装置１００では、従来の構成に加えてフィルタ部２０９、フィルタ制御部２１１およびＬＭＳ適応則部２１０を設けるようにしている。
【００２９】
すなわち、図３および図４に示されるように、フィードフォワード制御入力が振動するのは、モデル速度が目標速度に到達した後のタイミングであり、このタイミングにおいて振動を低減させるためにフィルタ制御部２１１は、当該タイミングにおいてのみフィードフォワード制御入力に対してフィルタ部２０９によるフィルタリングを行わせ、上記のような振動を低減するようにしているのである。
【００３０】
ここで、制御器２０４からのフィードフォワード制御入力に対して常時フィルタリング（例えば，ローパスフィルタによるフィルタリング）を施して振動を抑制することも考えられるが、この場合フィルタリングに起因してモデル速度の目標速度への追従が遅延してしまうという問題が生じる。これに対し、本実施の形態のように、フィードフォワード制御入力に振動が生じる区間、つまりモデル速度が目標速度に到達した時点の近傍（特にその直後の区間）のみフィルタリングを施すことで、追従の遅延を抑制しつつ、振動抑制を可能としているのである。
【００３１】
このようにモデル速度が目標速度に到達した時点の近傍においてのみフィルタリングを行う構成を採用しつつ、本実施の形態では、効果的にフィードフォワード制御入力の振動を抑制するために次式で表される特性のフィルタ処理を行うフィルタ部２０９を採用している。より詳細には、単なるローパルフィルタを用いた場合には、位相が大きく遅れることに起因して制御性能の劣化を招いてしまうことになり、位相特性の劣化の少ない特性のフィルタを用いることとしているのである。
【００３２】
【数２】
2005284601.tif 000003
なお、上記式における変数ｍは、ＬＭＳ適応則部２１０によって（ｂ）式における範囲で適応的に変化させられ、これにより当該フィルタのカットオフ周波数を変化させることができ、そのフィルタ特性を変化させることができる。ここで、図５および図６にｎ＝３、３≦ｍ≦４の範囲でｍを変化させた場合の当該フィルタの周波数特性を示す。なお、図５は周波数とゲインの関係、図６は周波数と位相の関係を示し、サンプリング周波数は２２．０４ｋＨｚである。
【００３３】
このように当該フィルタは、ｍが４に近くなるにつれてカットオフ周波数が低くなる特性を有していることがわかる。また、図６に示すように、当該フィルタでは位相の遅れが４０度程度に抑えられており、単なるローパスフィルタと比較して位相特性の劣化が非常に小さく抑えられている特性を有している。
【００３４】
本実施の形態では、このように位相特性の劣化が低減されたフィルタを用いることで、より効果的に目標速度到達後のフィードフォワード制御入力の振動を抑えるようにしており、このようなフィルタを目標速度到達時近傍にのみ動作させることで振動抑制という効果が得られるかを確認するために比較実験を行った。以下、その比較実験の内容について説明する。
【００３５】
ここで、図７は、図１に示す構成から、フィルタ部２０９、ＬＭＳ適応則部２１０およびフィルタ制御部２１１を除いた構成、つまり従来からある制御装置で生成されるフィードフォワード制御入力を示し、図８はそのフィードフォワード制御入力の周波数特性を示す。そして、図９、図１０は、本実施の形態における制御装置１００で生成されるフィードフォワード制御入力を示す。これらの図から、本実施の形態では、目標速度到達後の区間（０．００５〜０．００９あたり）でフィードフォワード制御入力の振動が抑えられていることがわかる。
【００３６】
また、本実施の形態のように位相特性の劣化の少ないフィルタを用いることにより効果を確認するため、フィルタ部２０９として単なる一次のローパスフィルタを用いた場合に生成されるフィードフォワード制御入力を取得した。その結果を図１１〜図１６に示す。なお、図１１および図１２は、それぞれカットオフ周波数が４００Ｈｚの一次ローパスフィルタの特性を示し、図１３は当該特性の一次のローパスフィルタを図１に示すフィルタ部２０９として用いた場合に生成されるフィードフォワード制御入力を示す例である。
【００３７】
図１３に示すように、図７に示す従来の制御装置と比較した場合には振動を低減することはできているが、図１３中丸で囲んだ部分に不連続な現象がみられ、これにより騒音等を生じるおそれがある。したがって、従来装置よりは騒音低減の効果があると考えられるが、より効果的な振動抑制を行うためには本実施の形態のように位相特性の劣化を低減したフィルタを用いることが好ましいことがわかる。
【００３８】
また、図１４および図１５は、それぞれカットオフ周波数が１０００Ｈｚの一次ローパスフィルタの周波数特性を示し、図１３は当該特性の一次のローパスフィルタを図１に示すフィルタ部２０９として用いた場合に生成されるフィードフォワード制御入力を示す例である。
【００３９】
図１５に示すように、上記カットオフ周波数が４００Ｈｚの場合のように不連続な現象はみられないが、図１５中丸で囲んだ部分に振動がみられ、振動の除去があまり実現されていない。したがって、従来装置よりは騒音低減の効果があると考えられるが、より効果的な振動抑制を行うためには本実施の形態のように位相特性の劣化を低減したフィルタを用いることが好ましいことがわかる。
【００４０】
以上のように本実施の形態では、目標速度到達後に生成されるフィードフォワード制御入力に対し、位相特性の劣化の小さいフィルタリングを施すことで効果的に振動を抑制するようにしているが、当該フィルタが不安定なものであっては上記効果を達成することができない。そこで、上記（ａ）式で表されるフィルタが安定となるよう変数ｍの設定範囲を画する必要があるが、本実施の形態では、上記（ｂ）式の範囲に設定することでフィルタを安定させるようにした。以下、上記（ｂ）式の範囲に設定することでフィルタが安定する理由について説明する。
【００４１】
ここでは、上記の範囲が安定であるかを判別するために、ジュリ−の安定判別法を用いる。すなわち、（ａ）式の分母である以下の多項式がシュア・コーン多項式になっていれば良く、その条件を満たすｍの範囲を求める。
【数３】
2005284601.tif 000004
【００４２】
ここで、ｆ（ｚ）の係数よりジェリー表を作成すると、次の表のようになる。
【表１】
2005284601.tif 000005
【００４３】
当該表より、｜Δn｜＜１、｜Δn-1｜＜１、｜Δn-2｜＜１、｜Δn-3｜＜１、……｜Δn-(n-1)｜＜１が成り立てばｆ（ｚ）はシュア・コーン多項式になっており、（ａ）式で表されるフィルタの極は単位円内に必ず存在することになり安定となる。｜Δn-1｜＜１、｜Δn-2｜＜１、｜Δn-3｜＜１、……｜Δn-(n-1)｜＜１は明らかに成立するが、｜Δn｜＜１が成り立つためには、−１＜−（ｍ−ｎ）／ｍ＜１とならなければならない。
【００４４】
このことから、０＜ｎ＜２ｍとなることが必要であり、ｍが以下の式を満たすときに｜Δn｜＜１が成り立つことになる。
ｎ／２＜ｍ
【００４５】
以上のことから、ｎ≦ｍ≦（ｎ＋１）の範囲で動かす場合においては、上記（ａ）式で表現されるフィルタの極は単位円内に存在することにより必ず安定であることがわかる。したがって、本実施の形態では、制御器２０４によって生成されるフィードフォワード制御入力に対して施されるフィルタ処理は安定したものであり、上記のように振動を抑制することができる。
【００４６】
また、本実施の形態にかかる制御装置１００は、ＬＭＳ適応則部２１０を備えており、かかるＬＭＳ適応則部２１０が、上述した（ａ）式の変数ｍの値を適応的に変化させることで、制御性能を劣化させることなく、フィードフォワード制御入力の振動を除去できるようにしている。
【００４７】
すなわち、ＬＭＳ適応則部２１０は、制御対象２０１へのフィードフォワード制御入力の振動成分が大きいときは変数ｍを、ｎ＋１以下の範囲で大きくなるようにする一方で、振動が小さいときにはｎより大きい範囲でその値を小さくするといったように変数ｍを適応的に変化させる。本実施の形態では、適応則には実装が簡単なＬＭＳ適応則を用いているが、制御器２０４によって生成されたフィードフォワード制御入力に基づいて変数ｍを適応的に変化させるものであれば、他の方法を用いるようにしてもよい。
【００４８】
以上説明したように本実施の形態では、制御対象２０１のモデル速度が目標速度に到達した時点近傍の区間において、制御器２０４によって生成されたフィードフォワード制御入力に対してフィルタリングを行うようにしたので、その区間に生じる振動成分を低減することができる。この際、上記区間のみでフィルタリングを行うようにしたので、全区間にわたってローパスフィルタを通すといった処理を行う場合と比して処理が遅延することを抑制できる。
【００４９】
また、本実施の形態では、以上のように区間において行うフィルタリングは、位相特性の劣化が少ないものとすることで、振動成分をより効果的に除去することができ、また不連続成分の出現等を抑制することができる。
【００５０】
また、制御器２０４によって生成されるフィードフォワード制御入力に基づいてフィルタ特性を適応的に変化させるようにしたので、より効果的な振動成分の除去が可能となる。ここで、上記実施の形態における制御装置１００において位置制御を行った際のフィルタ内変数ｍの変化内容の一例を図１７に示す。同図に示すように、振動の大きい領域ではｍは４に近づき、振動が小さい領域では３に近づいており、適応的にフィルタのカットオフが変化しており、より効果的な振動除去が行われていることが分かる。
【００５１】
以上のように本実施の形態によれば、処理の遅延を招くことなく、制御対象２０１へ与えるフィードフォワード制御入力の振動を除去することができる。このようにフィードフォワード制御入力の振動成分をより効果的に除去することで、それに起因する騒音を低減することができる。ここで、本実施の形態における制御装置１００においてハードディスクドライブの磁気ヘッドの位置制御を行った際と、従来の構成（図１の構成からフィルタ部２０９、ＬＭＳ適応則部２１０、フィルタ制御部２１１を除いた構成）により磁気ヘッドの位置制御を行った際とで得られた騒音の解析結果を示す。なお、同図は、ランダムシーク時の騒音について１／３オクターブ解析を行った結果である。ただし、マイクはハードディスクドライブ装置から１ｃｍ離れた所に設置している。
【００５２】
図１８に示すように、本実施の形態では、高音域の騒音を低減できていることがわかり、具体的には従来装置よりも約４ｄＢ改善されていることがわかる。このように本実施の形態にかかる制御装置１００による制御方法によれば、位置制御時に生じる騒音を低減できる。また、このように騒音を低減することができたとしても、動作が遅延しては問題であるが、本実施の形態にかかる制御装置１００と、従来装置とで平均シーク時間を確認したところ、本実施形態の場合の方がライト動作で約０．５ｍｓｅｃの短縮していることがわかった。これは、振動が低減されたことにより、セントリング動作が改善されたためと考えられる。
【００５３】
以上のように本実施の形態にかかる制御装置１００による制御方法によれば、ダンピング材等を設けることなく、位置制御時に生じる騒音を低減することができるとともに、動作時間も短縮することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
以上のように、本発明にかかる制御装置および制御方法は、メカニカルシステムの移動制御装置に有用であり、特に、ハードディスクドライブ等の磁気ディスク装置の磁気ヘッドの位置決め制御に適している。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施の形態にかかる制御装置の構成を示すブロック図である。
【図２】前記制御装置の構成要素である目標速度曲線部に設定される目標速度曲線の一例を示す図である。
【図３】従来の制御装置による目標速度にモデル速度を追従させる制御内容を説明するための図である。
【図４】従来の制御装置によって生成されるフィードフォワード制御入力の一例を示す図である。
【図５】前記制御装置の構成要素であるフィルタ部の周波数特性を示す図である。
【図６】前記制御装置の構成要素であるフィルタ部の周波数特性を示す図である。
【図７】従来の制御装置によって生成されるフィードフォワード制御入力の一例を示す図である。
【図８】従来の制御装置によって生成されるフィードフォワード制御入力の周波数解析結果を示す図である。
【図９】本発明にかかる前記制御装置によって制御対象に与えられるフィードフォワード制御入力を示す図である。
【図１０】前記制御装置によって制御対象に与えられるフィードフォワード制御入力の周波数解析結果を示す図である。
【図１１】前記制御装置による振動除去効果を確認する実験のために前記フィルタ部に代えて用いた一次ローパスフィルタの周波数特性を示す図である。
【図１２】前記制御装置による振動除去効果を確認する実験のために前記フィルタ部に代えて用いた一次ローパスフィルタの周波数特性を示す図である。
【図１３】前記一次ローパスフィルタを用いた場合の制御装置によって制御対象に与えられるフィードフォワード制御入力を示す図である。
【図１４】前記制御装置による振動除去効果を確認する実験のために前記フィルタ部に代えて用いた他の一次ローパスフィルタの周波数特性を示す図である。
【図１５】前記制御装置による振動除去効果を確認する実験のために前記フィルタ部に代えて用いた他の一次ローパスフィルタの周波数特性を示す図である。
【図１６】前記他の一次ローパスフィルタを用いたの制御装置によって制御対象に与えられるフィードフォワード制御入力を示す図である。
【図１７】前記制御装置が位置決め制御を行う際に、当該制御装置の構成要素であるＬＭＳ適応則部による前記フィルタ部のフィルタ内変数ｍの変化の態様を示す図である。
【図１８】従来の制御装置の動作時に生じる騒音の解析結果と、本発明にかかる前記制御装置との動作時に生じる騒音の解析結果とを示す図である。
【符号の説明】
【００５６】
１００  制御装置
１１０  フィードバック制御部
２０１  制御対象
２０２  フィードバック制御器
２０３  目標速度曲線部
２０４  制御器
２０５  モデル導出部
２０６  デジメータ
２０７  フィードフォワード制御部
２０９  フィルタ部
２１０  ＬＭＳ適応則部
２１１  フィルタ制御部
【図１】
2005284601.tif 000007
【図２】
2005284601.tif 000008
【図３】
2005284601.tif 000009
【図４】
2005284601.tif 000010
【図５】
2005284601.tif 000011
【図６】
2005284601.tif 000012
【図７】
2005284601.tif 000013
【図８】
2005284601.tif 000014
【図９】
2005284601.tif 000015
【図１０】
2005284601.tif 000016
【図１１】
2005284601.tif 000017
【図１２】
2005284601.tif 000018
【図１３】
2005284601.tif 000019
【図１４】
2005284601.tif 000020
【図１５】
2005284601.tif 000021
【図１６】
2005284601.tif 000022
【図１７】
2005284601.tif 000023
【図１８】
2005284601.tif 000024