(57)【要約】【課題】  ウェハが気流の負圧によって捕捉されているため、ウェハを回転させるのに十分な押圧力だけでウェハを押し付ける。このため、ウェハに損傷を与えずに、ウェハの回転方向の位置決めを行うことのできる【解決手段】  エア吐出口１２から吐出されるエアによる旋回流によってウェハＷがウェハ搬送ハンド１０に捕捉された後、スライダ１３を矢示ａ１方向に移動させてウェハＷの平面方向への移動を規制する。その際、回転ローラ１４からウェハＷには、ウェハＷを回転させるのに必要な僅かな押圧力が加えるだけで済む。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
気流によりウェハを非接触状態で捕捉するウェハ捕捉手段と、
前記ウェハ補足手段によって非接触状態で捕捉されたウェハを回転させるウェハ回転手段と、
前記ウェハ回転手段によって回転されるウェハに対し、その外周側の形状を検出し、この検出結果に基づいて前記ウェハの回転方向の位置決めを行うウェハ位置決め手段と
を備えたことを特徴とするアライメント機構。
【請求項２】
請求項１記載のアライメント機構において、
前記ウェハ回転手段は、前記ウェハの側面に接触して回転する回転ローラを有することを特徴とするアライメント機構。
【請求項３】
請求項２に記載のアライメント機構において、
前記回転ローラを前記ウェハの側面に押圧状態で接触させるとともに、前記回転ローラを前記側面から離間させる移動手段と、
前記回転ローラが押圧状態で接触することによる前記ウェハの移動を前記ウェハの側面に接することにより規制する停止部とを備えたことを特徴とするアライメント機構。
【請求項４】
請求項３記載のアライメント機構において、
前記移動手段は流体圧により前記回転ローラを押圧することにより、前記押圧状態を作ることを特徴とするアライメント機構。
【請求項５】
請求項２〜４のうちいずれかに記載のアライメント機構において、
前記回転ローラを円筒状に形成したことを特徴とするアライメント機構。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれかに記載のアライメント機構を備えたことを特徴とするウェハ搬送ハンド。
【請求項７】
請求項６記載のウェハ搬送ハンドにおいて、
前記ウェハ補足手段が取り付けられた板状のハンド本体を有し、
前記ハンド本体は先端が分岐したフォーク状の板体で形成されたことを特徴とするウェハ搬送ハンド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程においてウェハの回転方向の位置決め（アライメント）に用いて好適なアライメント機構およびウェハ搬送ハンドに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体の製造工程においては、ウェハカセット内に階層状に収納された複数枚のウェハを、露光装置などの処理装置に搬送するウェハ搬送作業が必要となる。このウェハ搬送作業を行うのがウェハ搬送装置である。一方、ウェハは、基準位置に対して回転方向に位置決めした上で処理装置に搬入される。この位置決めを行うのがアライナ装置であり、一般には処理装置内に組み込まれている。ところで、ウェハの回転方向における位置決めは、ウェハＷの結晶方向に合わせて予め形成されたノッチＮを目印にして行われている（図８参照）。または、図９に示すウェハＷ´のように、オリエンテーションフラットＯ（以下、「オリフラ」という）が形成されているものもある。
【０００３】
ウェハの回転方向を位置決めする方法には、上述のように、ウェハ搬送装置によりウェハカセットから一枚ずつ取り出されたウェハを、処理装置に隣設されたアライナ装置により位置決めする方法が一般的であるが、この方法では、搬送工程の途中にアライナ装置が設置されているため、アライナ装置のためのスペースが必要となり、装置全体が大型化してしまう。さらに、ウェハの搬送時間とは別個にアライナ装置によるアライメント時間が必要となり、製造効率を悪化させるという問題があった。
【０００４】
これらの問題を解消したものとして、ウェハカセットから処理装置へウェハを搬送する間にウェハの位置決めを行うウェハ搬送装置がある（特許文献１、参照）。このウェハ搬送装置は、図１０に示すように、周面に環状凹部が形成されたローラ状の可動爪５１と固定爪５２がウェハの外周側に位置するように設けられたウェハ搬送ハンド５０を備えている。この可動爪５１は、固定爪５２との距離を変化させると共に、駆動源により回転駆動される。
【０００５】
このウェハ搬送ハンド５０は、ウェハＷの外周に位置した爪５１，５２のうち、可動爪５１を移動させて爪５１，５２間を縮めることにより、ウェハＷを挟み込む。この際、ウェハＷは、爪５１，５２によってしっかりと把持されるため、その把持力は３Ｎ〜７．５Ｎ程度となっていた（非特許文献１、参照）。そして、ウェハ搬送ハンド５０は、ウェハＷをウェハカセットから処理装置に搬送する間に、可動爪５１により当該ウェハＷを回転させて回転方向の位置決めを行っていた。このウェハ搬送ハンド５０では、爪５１，５２間でウェハＷを脱落しないように把持するため、比較的大きな力で把持しなければならず、極薄（例えば、200μｍ以下）のウェハＷに過度な力が加わり、ウェハＷが湾曲したり、欠損を来したりすることがあった。
【０００６】
また、ウェハ搬送ハンド５０に設けられた可動爪５１は、ウェハＷを確実に把持するため外周に環状凹部を有する形状となっている。ウェハＷは、このような可動爪５１に強い力で把持された状態で回転させられるので、ウェハＷ外周と爪５１，５２との間に生じる摩擦が大きく、これにより摩耗粉が発生してしまう。この摩耗粉が付着したウェハＷは不良の原因となり、製品の歩留まりを悪化させる要因となっていた。
【０００７】
一方、アライナ装置においても、ウェハを径方向外側から掴んだ上で当該ウェハを回転させて位置決めを行うなど、比較的強い力で機械的に把持して位置決めを行う構成であったため、前述したウェハ搬送ハンドと同様に、ウェハＷの湾曲、欠損あるいは摩耗粉の発生という問題があった。
【特許文献１】特開２００３−２１８１８３号公報
【非特許文献１】「株式会社近藤製作所  シリコンウエハ・液晶ガラス搬送用ハンドカタログ」（松葉型ウエハハンドＷＨＡ−２００ＡＳ，ＷＨＡ−３００ＡＳ）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、ウェハに損傷を与えずに、ウェハの回転方向の位置決めを行うことのできるアライメント機構を提供することを目的とする。また、本発明は、ウェハに損傷を与えることなく、その回転方向の位置決めを搬送中に完了することができるウェハ搬送ハンドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前述した課題を解決するために、本発明が提供するアライメント機構は、気流によりウェハを非接触状態で捕捉するウェハ捕捉手段と、前記ウェハ補足手段によって非接触状態で捕捉されたウェハを回転させるウェハ回転手段と、前記ウェハ回転手段によって回転されるウェハに対し、その外周側の形状を検出し、この検出結果に基づいて前記ウェハの回転方向の位置決めを行うウェハ位置決め手段とを備えたことを特徴とする。
【００１０】
前記ウェハ回転手段は、前記ウェハの側面に接触して回転する回転ローラを有することが好ましい。
前記回転ローラを前記ウェハの側面に押圧状態で接触させるとともに、前記回転ローラを前記側面から離間させる移動手段と、前記回転ローラが押圧状態で接触することによる前記ウェハの移動を前記ウェハの側面に接することにより規制する停止部とを備えることが好ましい。
前記移動手段は流体圧により前記回転ローラを押圧することにより、前記押圧状態を作ることが好ましい。
【００１１】
前述した課題を解決するために、他の発明が提供するウェハ搬送ハンドは、前記アライメント機構を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によるアライメント機構は、負圧によって非接触状態で捕捉されたウェハを、ウェハ回転手段によって回転させることによって回転方向の位置決めが行われる。このウェハ回転手段は、ハンド本体から浮いた状態で捕捉されたウェハを回転させるのに必要な押圧力だけで押し付けられるため、ウェハには、余分な力が加わることなく、ウェハの欠損を防止でき、延いてはウェハの保護を図ることができる。
【００１３】
また、本発明によるウェハ搬送ハンドは、前記アライメント機構による効果に加えて、ウェハを搬送する間にウェハの回転方向の位置決めを行うことができるため、搬送時間にアライメント時間が含まれ、時間の浪費をなくすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明における実施形態について図面を参照して説明する。
＜実施形態＞
本発明の実施形態に係るウェハ搬送装置１００について、図１乃至７に基づいて説明する。
本実施形態では、便宜上、円板状のウェハの軸線に直交する方向に移動して位置合わせすることを、「平面方向の位置決め」といい、ウェハを回転させて基準位置（ノッチＮ）に合わせることを、「回転方向の位置決め」という。
【００１５】
（１）ウェハ搬送装置１００の構成
図１はウェハ搬送装置１００の全体構成である。
図示の如く、ウェハ搬送装置１００は、ロボットのアーム（いずれも図示せず）先端に設けられたウェハ搬送ハンド１０および制御部１０１を具備している。制御部１０１は、ＣＰＵ、ＲＯＭ（Read Only Memory）およびＲＡＭ（Random Access Memory）（いずれも図示せず）を具備しており、ＣＰＵはＲＯＭから読出した制御プログラムを実行することにより、後述する種々の処理を行う。ＲＡＭは、ＣＰＵが各種制御プログラムを実行する際のワークエリアとして用いられる。
【００１６】
（２）ウェハ搬送ハンド１０の構成
図２および図３はウェハ搬送ハンド１０の外観図を示した図である。
図示の如く、ウェハ搬送ハンド１０は、先端が二股に分かれたフォーク状の板体で形成されたハンド本体１１と、このハンド本体１１に設けられたエア吐出口１２，１２，…、スライダ１３、回転ローラ１４，１４、スライダ移動部１５、掛止部１６，１６、ウェハ検出センサ１７、位置検出センサ１８等を具備して構成されている。このウェハ搬送ハンド１０は、アームの動作に従って、ウェハカセット２００に収納されている複数のウェハＷを１枚ずつ抜き出して保持するものである。
【００１７】
ここで、各エア吐出口１２は、図３に示すように、ハンド本体１１の二股の起端側から先端側に掛けて略等間隔に３個ずつ形成されている。これらのエア吐出口１２は、図示しない管路を介して供給される所定圧のエアを外部に向けて吐出する口となるものである。ウェハＷに向けて吐出されたエアは、旋回流となって外周側が正圧、中心部が負圧となる。ウェハＷは、ベルヌーイ効果の如く、発生した正圧および負圧により、ウェハ搬送ハンド１０のハンド本体１１から所定寸法を離間して非接触状態で捕捉される。この場合、ウェハＷは、ハンド本体１１に対して所定寸法を離間した状態で捕捉されるものの、ハンド本体１１にほぼ平行する平面方向へのウェハＷの移動は規制されていない。
【００１８】
次に、スライダ１３は、図３に示すように、スライダ移動部１５に供給されるエアによって矢示ａ１，ａ２方向に移動可能となる。スライダ移動部１５は、シリンダ１５Ａと、シリンダ１５Ａ内を２つの部屋に画成して摺動しつつ移動するピストン１５Ｂと、ピストン１５Ｂに設けられたロッド１５Ｃとを具備したエアシリンダによって構成されている。このスライダ移動部１５は、シリンダ１５Ａ内のいずれかの部屋にエアを供給することにより、ピストン１５Ｂをシリンダ１５Ａの軸方向に移動させ、これに伴いロッド１５Ｃの先端に取り付けられたスライダ１３を移動させるようになっている。
【００１９】
スライダ１３には一対の回転ローラ１４が設けられ、図３中の矢示ｂのように、これらの回転ローラ１４は回転モータ１４Ａにより時計回りあるいは反時計回りに回転する。回転モータ１４Ａは制御部１０１からの信号によって駆動制御されるものである。回転ローラ１４は、例えばゴム、樹脂等の半導体を汚染させない弾性材料（例えば、パーフロロエラストマ等）によって円筒状に形成されており、ウェハＷに対しては静止状態では点接触となる（図７参照）。なお、ウェハＷの端面は、一般的な製造規格として面取りされることになっている。
【００２０】
各掛止部１６は、ハンド本体１１の先端部に立設される棒状体からなり、回転ローラ１４との間に位置するウェハＷの平面方向への移動を規制するものである。この場合、ウェハＷは、エア吐出口１２から吐出される旋回流によって非接触状態で既に捕捉されているから、回転ローラ１４がウェハＷに与える力はウェハＷの脱落を防止するほどの力は要せず、極めて微力なものでよい。本実施形態の場合は、回転ローラ１４はウェハＷを回転させる機能を持つが、この回転付与に要する力を考慮しても極めて微弱な力ですむ。例えば、１．２Ｎ程度でよい。なお、掛止部１６をハンド本体１１に立設された軸部に遊嵌された回転自在なローラとして構成してもよい。
【００２１】
ウェハ検出センサ１７は、光学式センサ（例えば、反射型のフォトインタラプタ）であり、ハンド本体１１の起端部に設けられている。このウェハ検出センサ１７は、ウェハＷがウェハ搬送ハンド１０に捕捉されたことを検出するものである。
【００２２】
位置検出センサ１８は、光学式センサ（例えば、透過型のフォトインタラプタ）であり、スライダ１３の端部に設けられている。この位置検出センサ１８は、投光側と受光側との間にウェハＷの端が挟み込まれるようになっており、透過光の有無により位置検出を行うものである。制御部１０１では、位置検出センサ１８からの光量の変化に対応した信号に基づき、ウェハＷに形成されたノッチの位置を認識する。
【００２３】
（３）エアによる動作
次に、本実施形態に用いられる空圧回路の概略を、図４を参照しつつ説明する。
エアポンプ３０で発生したエアは、２系路に分かれて供給される。一方の系路は、減圧弁（レギュレータ）３１、電磁切換弁３２およびエア吐出口１２からなり、他方の系路は、減圧弁３５、電磁切換弁３６およびスライダ移動部１５からなる。
【００２４】
一方の経路は、ウェハＷを非接触状態で捕捉するためのものであり、制御部１０１からエア吐出の指令が電磁切換弁３２に発せされると、電磁切換弁３２が位置（イ）から位置（ロ）に切換わり、減圧弁３１から所定の圧力に設定されたエアがエア吐出口１２に供給される。また、ウェハＷを解放する場合は、制御部１０１からエア吐出停止の指令が電磁切換弁３２に発せられ、電磁切換弁３２が位置（ロ）から位置（イ）に切換わり、エア吐出口１２へのエアの供給が停止される。
【００２５】
他方の経路は、スライダ１３を矢示ａ１方向に移動させるためのものであり、制御部１０１からエア吐出の指令が電磁切換弁３６に発せられると、電磁切換弁３６が位置（イ）から位置（ロ）に切換わり、減圧弁３５で所定の圧力に設定されたエアがシリンダ１５Ａの一方の部屋に供給される。これにより、ピストン１５Ｂおよびロッド１５Ｃが外側に押し出され、スライダ１３が矢示ａ１方向に移動する。一方、スライダ１３を停止させるために、制御部１０１からエア吐出停止の指令が電磁切換弁３６に発せられると、電磁切換弁３６は位置（ロ）から位置（イ）に切換わり、シリンダ１５Ａの一方の部屋へのエア供給が停止される。これにより、ピストン１５Ｂおよびロッド１５Ｃが外側に押し出されるのが中止され、この位置でスライダ１３が停止する。また、スライダ１３を矢示ａ２方向に移動させる場合は、制御部１０１からエア吐出の指令が電磁切換弁３６に発せられ、電磁切換弁３６は位置（イ）から位置（ハ）に切換わり、減圧弁３５で所定の圧力に設定されたエアがシリンダ１５Ａの他方の部屋に供給される。これにより、ピストン１５Ｂおよびロッド１５Ｃが内側に戻され、スライダ１３が矢示ａ２方向に移動する。
このように、スライダ移動部１５は、ロッド１５Ｃの往きと帰りの両方が空気圧の力によって動作する復動型シリンダによって構成されている。
【００２６】
（４）ウェハの搬送処理動作
図５および図６を参照しつつ、本実施形態によるウェハ搬送装置の動作を説明する。図５は制御部１０１によって動作制御される内容を示すフローチャート、図６はウェハ搬送ハンド１０によるウェハＷの保持段階を示す動作説明図である。
【００２７】
まず、搬送処理に先立ち、エアポンプ３０を駆動して各系路にエアを供給する。ロボットはアームを動かし、ウェハカセット２００に配置されるウェハＷを搬送するために、ウェハ搬送ハンド１０をウェハカセット２００に挿入する。この際、ウェハ搬送ハンド１０とウェハＷとの関係は、図６（ａ）のようになる。
【００２８】
そこで、制御部１０１は、電磁切換弁３２を位置（イ）から位置（ロ）に切換える信号を電磁切換弁３２に出力し、この電磁切換弁３２の動作により、エア吐出口１２からエアを吐出する（ステップＳ１）。これにより、ウェハＷに各エア吐出口１２から吐出されるエアによって発生した旋回流により、ウェハ搬送ハンド１０側に吸い寄せられ、所定寸法を離間した非接触状態でウェハＷがウェハ搬送ハンド１０に捕捉される（図６（ｂ）参照）。
【００２９】
制御部１０１は、ウェハ検出センサ１７からの信号に基づいて、ウェハＷがウェハ搬送ハンド１０に捕捉されたか否かを判定する（ステップＳ２）。ウェハＷが捕捉されたことを検出した場合には、制御部１０１は、電磁切換弁３６を位置（イ）から位置（ロ）に切換える信号を電磁切換弁３６に出力し、図６（ｂ）に示すように、スライダ１３を矢示ａ１方向に移動させる（ステップＳ３）。
【００３０】
その後、制御部１０１は、図６（ｃ）に示すように、捕捉されたウェハＷの平面方向への位置決めが完了したか否かを判定する（ステップＳ４）。この判定は、回転ローラ１４がウェハＷに接触したことを検知するセンサ（図示せず）からの信号による判定、あるいは予め決めた時間だけスライダ１３を移動させる時間の判定等によって行う。
【００３１】
ウェハＷの平面方向への位置決めが完了した場合には、制御部１０１は、電磁切換弁３６を位置（ロ）から位置（イ）に切換える信号を電磁切換弁３６に出力し、スライダ１３の矢示ａ１方向への移動を停止する（ステップＳ５）。これにより、スライダ１３と掛止部１６との間には、ウェハＷの平面方向への移動が規制された状態となり、ウェハＷはウェハ搬送ハンド１０に保持されたことになる。この場合、回転ローラ１４はウェハを把持していないため、ウェハＷにはウェハＷを回転させるのに十分な押圧力（例えば、１．２Ｎ）のみが加わることになる。
【００３２】
制御部１０１は、回転モータ１４Ａに駆動信号を送信して回転ローラ１４を矢示ｂ方向に回転させ（ステップＳ６）、ウェハＷの回転方向における位置決め処理を行う（ステップＳ７）。この回転方向の位置決め処理については、投光がノッチＮを透過したことを位置検出センサ１８が検出したときに、回転ローラ１４の回転を止めてウェハＷを停止させる処理を行う。
詳細については、特開平１１−２８４０５５号公報の段落番号００３２および００３３に記載されているので、ここでは省略する。この処理によってウェハの回転方向の位置決めが完了すると、ウェハＷの回転を停止すべく、回転モータ１４Ａの駆動を停止する。これにより、ウェハＷは基準位置に位置決めされる。
【００３３】
その後、ロボットのアームがウェハ搬送ハンド１０を処搬送先である理回路へ移動させると（ステップＳ８）、制御部１０１は、電磁切換弁３２を位置（ロ）から位置（イ）に切換える信号を電磁切換弁３２に出力する。これにより、エア吐出口１２からのエア吐出が停止される。同時に、制御部１０１は、電磁切換弁３６を位置（イ）から位置（ハ）に切換える信号を電磁切換弁３６に出力し、この電磁切換弁３６の動作により、スライダ１３が矢示ａ２方向に移動する（ステップＳ９）。この結果、ウェハ搬送ハンド１０に捕捉されたウェハＷが解放され、回転方向に位置決めされたウェハＷは処理装置へ載置される。以上のようにして、搬送中にウェハＷの回転方向の位置決めが終了する。
【００３４】
（５）実施形態の効果
このように、本実施形態によるウェハ搬送ハンド１０では、ウェハＷを気流によって非接触状態で捕捉した上でウェハＷを回転させるので、回転ローラ１４がウェアＷを押す力は極めて僅かでよい。そして、この状態においてウェハＷを回転させるので、ウェハの湾曲や欠損を防止することができる。一方、従来装置にあっては、ウェハＷを脱落しないように把持するために、その把持力は必然的に強くなり、この状態でウェハＷを回転させるために、摩耗の発生が著しかった。
【００３５】
また、本実施形態においては、ウェハＷに加わる力が微弱なため、ウェハＷと回転ローラ１４、ウェハＷと掛止部１６との間の摩耗がほとんど発生せず、摩耗粉の発生を大幅に抑えることができる。よって、摩耗粉の発生による歩留まりの低下をおさえ、製造効率を向上させることができる。
【００３６】
さらに、図７に示すように、回転ローラ１４は円筒状に形成されているため、測端面が面取りされたウェハＷに対しては静止状態では点接触するようになる。したがって、回転ローラ１４によりウェハＷが回転した状態でも回転ローラ１４とウェハＷとは線接触となり、接触部位が著しく小さい。すなわち、両者は微弱な力で接し、かつ接触部位が著しく小さいという状況となり、両者間に発生する摩耗は著しく小さくなる。
【００３７】
また、本実施形態においては、回転ローラ１４がウェハＷを押圧する力を従来に比べて大幅に低減できるため、回転トルクを低減でき、回転ローラ１４の回転速度を高めることが可能となり、ウェハＷの回転方向への位置合わせの高速化を図ることができる。
【００３８】
さらに、回転トルクが小さくて済むので、回転ローラ１４を駆動する回転モータ１４Ａの小型化、低消費電力化を図ることができる。
【００３９】
＜変形例＞
前記実施形態では、ウェハ搬送ハンド１０下側でウェハＷを捕捉する場合について述べたが、本発明によるウェハ搬送ハンド１０は気流を用いてウェハを捕捉する構成となっている。このため、ウェハ搬送ハンド１０の上側でウェハを捕捉することも、あるいはウェハＷを垂直にした状態で捕捉することも可能となり、どの方向に向いたウェハでも搬送が可能となる。
【００４０】
また、ハンド本体１１の形状を、先端が二股状となったフォーク状としたものについて記載したが、ハンド本体の形状は長方形でもよく特に限定するものではない。さらに、エア吐出口１２も６個形成した場合について述べたが、１個でもよく、数は任意である。また、回転モータ１４Ａを電気駆動としたが、エアモータによって構成してもよい。
【００４１】
前記実施形態では、ノッチＮが形成されたウェハＷについてウェハ搬送装置１００を用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、図９に示すように、オリフラＯが形成されたウェハＷ´に用いることも可能である。この際、図５に示す搬送処理（ステップＳ７）において、投光がオリフラＯを透過してから遮蔽されるまでの間の回転量や時間を計測し、そこから逆算出してウェハＷ´を反転させ、計測した回転量や時間の中央位置で位置決めする等の処理を行えばよい。
【００４２】
前記実施形態では、スライダ１３を動かすスライダ移動部１５を複動型エアシリンダで構成した場合について記載したが、本発明はこれに限らず、往きは空気圧により、帰りはスプリングによる付勢圧により往復動させる単動型エアシリンダでよって構成してもよく、あるいは電動アクチュエータによって構成してもよいことは勿論である。
【００４３】
前記実施形態においては、回転ローラによってウェハに回転力を与えたが、回転力を与える手段はこれに限らない。例えば、ウェハ表面にウェハが回転する方向に気体を吐出し、これによって回転を与えてもよい。一例として、半径に直交する方向に気体を吐出するノズルを、時計回り用と反時計回り用に２種用意すれば、回転方向の切換えができ、また、両者の吐出流量のバランスを調整することで回転速度を調整することもできる。回転を与えるノズルは、ウェハ表面に正転用を位置させ、ウェハ裏面に反転用を位置させるようにしてもよい。
【００４４】
また、回転を与える他の方法としては、次ぎの方法がある。まず、ウェハを保持するためのエア突出口を一つにしてウェアの中心部で保持すれば、エア突出口からウェハ表面に放出される旋回流によりウェハは回転することが知られている。この回転力を利用してウェハを回転させることもできる。この場合、正逆双方の回転を行うには、例えば、ウェハ裏面の中心部に旋回流を突出させるエア突出口を設けて上下双方からウェハを保持するようにし、上側のエア突出口が正転用、下側のエア突出口が反転用というよう使用すれば、回転方向の切換え、および回転速度の調整を行うことができる。さらに、ウェハ中心部において旋回流を突出するエア突出口の周囲に複数のエア突出口を設け、ウェハの回転方向の位置決めが終了した後は、中心部のエア突出口に代えて（あるいは中心部のエア突出口とともに）、周囲の複数のエア吐出口を用いてウェハを補足するように構成してもよい。
【００４５】
前記実施形態では、ウェハ搬送装置１００を構成するロボットのアームにウェハ搬送ハンド１０を取り付けた場合について述べたが、本実施形態による回転位置決め機構は、ウェハ搬送ハンドへの適用に限らず、アライナ装置にも適用できることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態にかかるウェハ搬送装置の機能ブロック図である。
【図２】同装置に用いられるウェハ搬送ハンドと、ウェハカセットを示す斜視図である。
【図３】同ウェハ搬送ハンドを示す平面図である。
【図４】同装置に用いられる空圧回路を示す図である。
【図５】ウェハの搬送処理を示すフローチャートである。
【図６】ウェハ搬送ハンドがウェハを保持する状態を示す動作説明図である。
【図７】回転ローラとウェハとの接触部分を拡大して示す図である。
【図８】ノッチが形成されたウェハを示す平面図である。
【図９】オリエンテーションフラットが形成されたウェハを示す平面図である。
【図１０】従来技術によるウェハ搬送ハンドがウェハを保持した状態を示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０…ウェハ搬送ハンド、
１１…ハンド本体、
１２…エア吐出口、
１３…スライダ、
１４…回路ローラ、
１４Ａ…回転モータ、
１５…スライダ移動部、
１６…掛止部、
１７…ウェハ検出センサ、
１８…位置検出センサ、
１００…ウェハ搬送装置、
１０１…制御部。
Ｗ…ウェハ
【図１】
2005191464.tif 000003
【図２】
2005191464.tif 000004
【図３】
2005191464.tif 000005
【図４】
2005191464.tif 000006
【図５】
2005191464.tif 000007
【図６】
2005191464.tif 000008
【図７】
2005191464.tif 000009
【図８】
2005191464.tif 000010
【図９】
2005191464.tif 000011
【図１０】
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