(57)【要約】【課題】  カセットからの基板取り出し及びカセットへの基板収納に関する動作能力が向上された基板搬送装置を提供する。【解決手段】  コンベア昇降装置３０３が、カセット内コンベア３０２を基板収納コンベア３０５又は基板搬出コンベア３０７に対向する位置に移動させ、カセット昇降装置３０４が、カセット４内の基板Ｇをカセット内コンベア３０２との間で受け渡しできる位置にカセット４を昇降させ、カセット内コンベア３０２と基板収納コンベア３０５又は基板搬出コンベア３０７との間での基板受け渡し可能とする。基板収納コンベア移動装置３０６又は基板搬出コンベア移動装置３０８が、基板収納コンベア３０５又は基板搬出コンベア３０７をカセット内コンベア３０２の対向位置に移動させ、複数のカセット４の中で、所望のカセット４への基板Ｇの収納、所望のカセット４からの基板Ｇの搬出を可能とする。【選択図】      図２
2005332846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板が水平姿勢で収納されるカセットが備えられ、このカセット内からの基板搬出、又は当該カセット内への基板収納を行う基板搬送装置であって、
前記カセットが複数並設されたカセットステージと、
前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内からの基板搬出、及び前記カセット内への基板収納を行うカセット内コンベアと、
前記カセット内で、前記カセット内コンベアを、少なくとも上方位置と下方位置との２つの所定位置の間で昇降させるコンベア昇降手段と、
前記カセット内に収納されている基板を、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアとの間で受け渡すために、前記カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記上方位置又は下方位置に配設され、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアとの間で、前記基板の前記カセットからの搬出又は前記カセットへの基板収納を行う第１コンベアと、
前記第１コンベアを前記カセットが並設される方向に移動させて、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアのいずれかと対向する位置に配置する第１コンベア移動手段と、
前記上方位置又は下方位置のいずれかであって、前記第１コンベアが配置されていない方の位置に配置され、前記コンベア昇降手段によって移動された前記カセット内コンベアとの間で、前記基板の前記カセットからの搬出又は前記カセットへの基板収納のいずれかの動作のうち、前記第１コンベアによって行われていない方の動作を行う第２コンベアと、
前記第２コンベアを前記カセットが並設される方向に移動させて、前記第１コンベアが配置されていない方の位置に移動された前記カセット内コンベアと対向する位置に配置する第２コンベア移動手段と
を備える基板搬送装置。
【請求項２】
前記カセットステージは、前記各カセット毎に設けられた複数のステージ部を有し、
前記カセット昇降手段は、前記カセット内コンベアが、前記第１コンベア又は第２コンベアのいずれと前記基板の受け渡しを行うかに応じて、前記各ステージ部を昇降させて、前記カセットの高さ位置を、前記第１コンベア又は第２コンベアに合わせて設定する請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
複数の基板が水平姿勢で収納されるカセットが備えられ、このカセット内からの基板搬出、又は当該カセット内への基板収納を行う基板搬送装置であって、
前記カセットが複数並設されたカセットステージと、
前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内から基板を搬出するカセット内搬出用コンベアと、
前記カセット内搬出用コンベアの配設位置とは異なる高さ位置において、前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内に基板を収納するカセット内収納用コンベアと、
前記カセット内に収納されている基板を、前記カセット内搬出用コンベア又は前記カセット内収納用コンベアとの間で受け渡すために、前記カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記カセット内搬出用コンベアから、前記カセット内の前記基板を受け取って搬送する基板搬出コンベアと、
前記基板搬出コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内に配置されたカセット内搬出用コンベアのそれぞれに対向する位置に配置する基板搬出コンベア移動手段と、
前記カセット内収納用コンベアに前記基板を搬送する基板収納コンベアと、
前記基板収納コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内に配置されたカセット内収納用コンベアのそれぞれに対向する位置に配置する基板収納コンベア移動手段と
を備える基板搬送装置。
【請求項４】
複数の基板が水平姿勢で収納されるカセットが備えられ、このカセット内からの基板搬出、又は当該カセット内への基板収納を行う基板搬送装置であって、
前記カセットが２つ並設されたカセットステージと、
前記カセットの一方の内部に配設され、前記２つのカセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、カセット内から基板を搬出するカセット内搬出用コンベアと、
前記カセット内搬出用コンベアが配設されたカセットとは異なる方のカセットの内部に配設され、前記２つのカセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、カセット内に基板を収納するカセット内収納用コンベアと、
前記各カセットのそれぞれに設けられ、カセット内に収納された基板を、前記カセット内搬出用コンベア又はカセット内収納用コンベアとの間で受け渡すために、カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記カセット内搬出用コンベアから、前記カセット内の前記基板を受け取って搬送する基板搬出コンベアと、
前記カセット内収納用コンベアに対して前記基板を搬送する基板収納コンベアと
を備える基板搬送装置。
【請求項５】
複数の基板が水平姿勢で収納されるカセットが備えられ、このカセット内からの基板搬出、又は当該カセット内への基板収納を行う基板搬送装置であって、
前記カセットが複数並設されたカセットステージと、
前記複数のカセットのいずれかの内部に配置され、前記複数のカセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、カセット内から基板を搬出するカセット内搬出用コンベアと、
前記複数のカセットのうち、前記カセット内搬出用コンベアが配設されていないカセットの内部に配置され、前記複数のカセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、カセット内に基板を収納するカセット内収納用コンベアと、
前記複数のカセットのそれぞれに設けられ、カセット内に収納された基板を、前記カセット内搬出用コンベア又はカセット内収納用コンベアとの間で受け渡すために、カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記カセット内搬出用コンベアから、前記カセット内の前記基板を受け取って搬送する基板搬出コンベアと、
前記基板搬出コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内搬出用コンベアに対向する位置に配置する基板搬出コンベア移動手段と、
前記カセット内収納用コンベアに対して前記基板を搬送する基板収納コンベアと、
前記基板収納コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内収納用コンベアに対向する位置に配置する基板収納コンベア移動手段と
を備える基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送装置に関し、特に、基板が収納されるカセットから、基板を出し入れする技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、周知のように、プラズマディスプレイ用基板、液晶表示基板や半導体基板などの精密電子基板（以下、単に「基板」という）の製造プロセスにおいては、回転アーム部を有する基板搬送ロボットなどの基板搬送装置により基板をカセットから取り出し、取り出した基板を、例えば回転式塗布処理部、回転式現像処理部、密着強化ユニット、クリーニングプレート及びホットプレート等の各処理部に所定の搬送順序で搬送させて一連の処理を行った後、当該処理済みの基板をカセットに戻す基板処理装置が使用される。
【特許文献１】特開平１１−３４０２９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記のような基板処理装置の場合、上記各処理部における各処理機能を向上させたとしても、上記基板搬送ロボットによる動作、すなわち、基板をカセットから取り出して各処理部に搬送する動作の能力と、処理済の基板を最終処理部から受け取ってカセットに収納する動作の能力とを向上させなければ、基板処理装置全体としての処理能力を向上させ難い。そのため、基板搬送ロボットによる上記各動作の能力を向上させることが望まれる。
【０００４】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたもので、カセットからの基板取り出し及びカセットへの基板収納に関する動作能力が向上された基板搬送装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の請求項１に記載の発明は、複数の基板が水平姿勢で収納されるカセットが備えられ、このカセット内からの基板搬出、又は当該カセット内への基板収納を行う基板搬送装置であって、
前記カセットが複数並設されたカセットステージと、
前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内からの基板搬出、及び前記カセット内への基板収納を行うカセット内コンベアと、
前記カセット内で、前記カセット内コンベアを、少なくとも上方位置と下方位置との２つの所定位置の間で昇降させるコンベア昇降手段と、
前記カセット内に収納されている基板を、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアとの間で受け渡すために、前記カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記上方位置又は下方位置に配設され、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアとの間で、前記基板の前記カセットからの搬出又は前記カセットへの基板収納を行う第１コンベアと、
前記第１コンベアを前記カセットが並設される方向に移動させて、前記コンベア昇降手段によって前記上方位置又は下方位置に移動された前記カセット内コンベアのいずれかと対向する位置に配置する第１コンベア移動手段と、
前記上方位置又は下方位置のいずれかであって、前記第１コンベアが配置されていない方の位置に配置され、前記コンベア昇降手段によって移動された前記カセット内コンベアとの間で、前記基板の前記カセットからの搬出又は前記カセットへの基板収納のいずれかの動作のうち、前記第１コンベアによって行われていない方の動作を行う第２コンベアと、
前記第２コンベアを前記カセットが並設される方向に移動させて、前記第１コンベアが配置されていない方の位置に移動された前記カセット内コンベアと対向する位置に配置する第２コンベア移動手段と
を備えるものである。
【０００６】
この構成では、コンベア昇降手段がカセット内コンベアを第１コンベア又は第２コンベアに対向する位置に移動させると共に、カセット昇降手段が、カセット内の基板をカセット内コンベアとの間で受け渡しできる位置にカセットを昇降させることで、カセット内コンベアと第１コンベア又は第２コンベアとの間での基板受け渡しを可能とし、さらには、第１又は第２コンベア移動手段が第１又は第２コンベアをカセット内コンベアの対向位置に移動させることで、並設された複数のカセットの中で、所望のカセットへの基板の収納、所望のカセットからの基板搬出を可能としている。
【０００７】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板搬送装置であって、前記カセットステージは、前記各カセット毎に設けられた複数のステージ部を有し、
前記カセット昇降手段は、前記カセット内コンベアが、前記第１コンベア又は第２コンベアのいずれと前記基板の受け渡しを行うかに応じて、前記各ステージ部を昇降させて、前記カセットの高さ位置を、前記第１コンベア又は第２コンベアに合わせて設定するものである。
【０００８】
この構成では、カセット昇降手段が、カセット内コンベアが第１コンベア又は第２コンベアのいずれと基板の受け渡しを行うかに応じて、ステージ部を昇降させ、カセットの高さ位置を、第１コンベア又は第２コンベアに合わせて設定する。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、複数の基板が水平姿勢で収納されるカセットが備えられ、このカセット内からの基板搬出、又は当該カセット内への基板収納を行う基板搬送装置であって、
前記カセットが複数並設されたカセットステージと、
前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内から基板を搬出するカセット内搬出用コンベアと、
前記カセット内搬出用コンベアの配設位置とは異なる高さ位置において、前記複数のカセット内にそれぞれ配設され、前記カセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、前記カセット内に基板を収納するカセット内収納用コンベアと、
前記カセット内に収納されている基板を、前記カセット内搬出用コンベア又は前記カセット内収納用コンベアとの間で受け渡すために、前記カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記カセット内搬出用コンベアから、前記カセット内の前記基板を受け取って搬送する基板搬出コンベアと、
前記基板搬出コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内に配置されたカセット内搬出用コンベアのそれぞれに対向する位置に配置する基板搬出コンベア移動手段と、
前記カセット内収納用コンベアに前記基板を搬送する基板収納コンベアと、
前記基板収納コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内に配置されたカセット内収納用コンベアのそれぞれに対向する位置に配置する基板収納コンベア移動手段と
を備えるものである。
【００１０】
この構成によれば、カセット昇降手段が、カセットを、カセット内の基板がカセット内搬出用コンベア又はカセット内収納用コンベアとの間で受け渡し可能な位置に移動させることで、カセット内搬出用コンベアから基板搬出コンベアへの基板搬送と、基板収納コンベアからカセット内収納用コンベアへの基板搬送とが可能となるようにし、さらには、基板搬出コンベア移動手段又は基板収納コンベア移動手段が基板搬出コンベア又は基板収納コンベアを移動させることで、並設された複数のカセットの中で、所望のカセットへの基板の収納、所望のカセットからの基板搬出を可能としている。
【００１１】
また、請求項４に記載の発明は、複数の基板が水平姿勢で収納されるカセットが備えられ、このカセット内からの基板搬出、又は当該カセット内への基板収納を行う基板搬送装置であって、
前記カセットが２つ並設されたカセットステージと、
前記カセットの一方の内部に配設され、前記２つのカセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、カセット内から基板を搬出するカセット内搬出用コンベアと、
前記カセット内搬出用コンベアが配設されたカセットとは異なる方のカセットの内部に配設され、前記２つのカセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、カセット内に基板を収納するカセット内収納用コンベアと、
前記各カセットのそれぞれに設けられ、カセット内に収納された基板を、前記カセット内搬出用コンベア又はカセット内収納用コンベアとの間で受け渡すために、カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記カセット内搬出用コンベアから、前記カセット内の前記基板を受け取って搬送する基板搬出コンベアと、
前記カセット内収納用コンベアに対して前記基板を搬送する基板収納コンベアと
を備えるものである。
【００１２】
この構成によれば、カセット昇降手段が、カセットを、カセット内の基板がカセット内搬出用コンベア又はカセット内収納用コンベアとの間で受け渡し可能な位置に移動させることで、カセット内搬出用コンベアから基板搬出コンベアへの基板搬送と、基板収納コンベアからカセット内収納用コンベアへの基板搬送とが可能となるようにしている。
【００１３】
また、請求項５に記載の発明は、複数の基板が水平姿勢で収納されるカセットが備えられ、このカセット内からの基板搬出、又は当該カセット内への基板収納を行う基板搬送装置であって、
前記カセットが複数並設されたカセットステージと、
前記複数のカセットのいずれかの内部に配置され、前記複数のカセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、カセット内から基板を搬出するカセット内搬出用コンベアと、
前記複数のカセットのうち、前記カセット内搬出用コンベアが配設されていないカセットの内部に配置され、前記複数のカセットが並設された方向と直交する搬送方向に基板を搬送して、カセット内に基板を収納するカセット内収納用コンベアと、
前記複数のカセットのそれぞれに設けられ、カセット内に収納された基板を、前記カセット内搬出用コンベア又はカセット内収納用コンベアとの間で受け渡すために、カセットを昇降させるカセット昇降手段と、
前記カセット内搬出用コンベアから、前記カセット内の前記基板を受け取って搬送する基板搬出コンベアと、
前記基板搬出コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内搬出用コンベアに対向する位置に配置する基板搬出コンベア移動手段と、
前記カセット内収納用コンベアに対して前記基板を搬送する基板収納コンベアと、
前記基板収納コンベアを、前記カセットが並設される方向に移動させて、前記各カセット内収納用コンベアに対向する位置に配置する基板収納コンベア移動手段と
を備えるものである。
【００１４】
この構成によれば、カセット昇降手段が、カセットを、カセット内の基板がカセット内搬出用コンベア又はカセット内収納用コンベアとの間で受け渡し可能となる位置に移動させることで、カセット内搬出用コンベアから基板搬出コンベアへの基板搬送と、基板収納コンベアからカセット内収納用コンベアへの基板搬送とが可能となるようにし、また、基板搬出コンベア移動手段又は基板収納コンベア移動手段が、基板搬出コンベア又は基板収納コンベアを移動させることで、カセット内搬出用コンベアが設けられている複数のカセットの中から、所望のカセットを選択して基板を搬出したり、カセット内収納用コンベアが設けられている複数のカセットの中から、所望のカセットを選択して基板を収納することを可能としている。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載の発明では、従来は回転アーム部を有する基板搬送ロボットが行っていた、処理部から受け取った基板のカセットへの収納動作と、カセットから基板を取り出して処理部に搬送する動作とを、(1)カセット内コンベア、第１コンベア、第２コンベアによる基板搬送動作に置き換える。また、従来は基板搬送ロボットが行っていた、カセットへの基板収納位置又はカセットからの基板搬出位置に応じて、基板を持つアーム部の高さを変える動作を、(2)カセット昇降手段によるカセット自身の上下動動作に置き換える。さらに、従来は基板搬送ロボットが行っていた、複数のカセットが並設された方向へのアーム部の移動動作を、(3)第１又は第２コンベア移動手段による第１又は第２コンベアのカセット並設方向への移動動作に置き換える。これら各動作の置き換えにより、(2)と(3)の動作を互いに独立して同時に行わせることが可能となる。
【００１６】
また、第１コンベアと第２コンベアとを備えることにより、カセットに対する基板収納動作と、基板取り出し動作とを互いに独立させて同時に行わせることが可能になる。
【００１７】
これにより、カセットに対する基板収納及び取り出しに係る基板搬送能力を大幅に向上することができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、それぞれのステージ部を昇降させることで、各カセットを、それぞれ第１コンベア又は第２コンベアのいずれと基板受け渡しを行うかに応じて、別々の高さ位置に配置することができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、基板搬出コンベアへの基板搬送のためにカセット内搬出用コンベアが設けられ、基板収納コンベアからの基板受け取りのためにカセット内収納用コンベアが設けられているので、第１コンベア又は第２コンベアのいずれと基板受け渡しを行うかに合わせて上記２つのカセット内コンベアを上下動させる必要がない。これにより、基板の受け渡し時における上記２つのカセット内コンベアの動作制御が簡単になる。
【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、上記基板を収納するカセットと、基板を搬出するカセットとが固定されており、基板搬出コンベア及び基板収納コンベアをカセット並設方向に移動させる移動手段が不要なので、装置の構成を簡単にすることができる。
【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、基板搬出コンベア移動手段又は基板収納コンベア移動手段が、基板搬出又は基板収納コンベアを移動させることで、カセット内搬出用コンベアが設けられている複数のカセットの中から、所望のカセットを選択して基板を搬出したり、カセット内収納用コンベアが設けられている複数のカセットの中から、所望のカセットを選択して基板を収納することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の実施形態について図面を用いて説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置を備えた基板処理装置の一例を示している。この図に示す基板処理装置１は、例えば、液晶表示器用のガラス基板の処理においてフォトリソグラフィ工程を担う装置で、レジスト塗布前の洗浄処理からレジスト塗布・露光・現像までを連続して順次行うように構成されている。
【００２３】
基板処理装置１は、同図に示すように、基板供給部であるインデクサー部２と、単位処理部としての洗浄ユニット１０、脱水ベークユニット２０、レジスト塗布ユニット３０、プリベークユニット４０、露光ユニット６０、現像ユニット８０及びポストベークユニット９０と、プリベークユニット４０及び露光ユニット６０の間に設けられたバッファ（バッファ部）５０とを有している。基板処理装置１は、インデクサー部２から供給される基板を所定の搬送順序で各単位処理部に搬送しながら各単位処理部で処理した後、再度、上記インデクサー部２に基板を戻すように、インデクサー部２に対して他の処理部がＵ字型に接続されたレイアウト構成となっている。
【００２４】
インデクサー部２には、基板を収納した複数のカセット４と、本発明に係る基板搬送装置３が設けられている。基板搬送装置３は、カセット４から基板を取り出して洗浄ユニット１０に渡すとともに、処理後の基板をポストベークユニット９０から受け取ってカセット４に収納する。この基板搬送装置３の構成及び動作の詳細は後述する。
【００２５】
上記洗浄ユニット１０は、搬入部１１、ＵＶオゾン洗浄部１２、水洗部１３、液滴除去部１４及び搬出部１５を有し、インデクサー部２から供給された基板を、例えば水平姿勢で搬送しながら洗浄処理を施すように構成されている。
【００２６】
脱水ベークユニット２０は、搬入部２１、加熱部２２、密着強化処理部２３及び冷却部２４を有しており、洗浄処理を終えた基板に対し、まず、加熱部２２において加熱処理を施して水分を除去し、レジスト液の密着性を向上させるべく密着強化処理部２３においてＨＭＤＳ（ヘキサメチルジシラザン）を塗布する。そして、最後に冷却部２４において基板に冷却処理を施すように構成されている。
【００２７】
レジスト塗布ユニット３０は、搬入部３１、スピンコータ部３２、減圧乾燥部３３、エッジリンス部３４及び搬出部３５を有しており、まず、スピンコータ部３２において基板の表面に均一なレジスト膜を形成し、これを減圧乾燥部３３で減圧ベークした後、エッジリンス部３４において基板周縁の不要なレジスト膜を除去するように構成されている。
【００２８】
プリベークユニット４０は、加熱部と冷却部とを多段に備えた２つの処理部４１を有しており、これら処理部４１の間に介設されたロボット４２により、該処理部４１に対して基板を出し入れして基板に加熱及び冷却処理を施すように構成されている。
【００２９】
バッファ５０は、多数の基板を収納可能とする２つの収納部５１と、これら収納部５１の間に介設されるロボット５２とから構成されており、露光前の基板及び露光後の基板をロボット５２により各収納部５１に収納して一時的に基板を待機させる構成である。
【００３０】
露光ユニット６０は、例えば、縮小投影露光機等の露光機や、露光機での露光パターンの焼き付けのための位置決め行うアライメント機構等を備えており、プリベーク後の基板を露光するように構成されている。
【００３１】
現像ユニット８０は、搬入部８１、現像部８２、水洗乾燥部８３及び搬出部８４を有しており、現像部８２では、例えば、現像液を基板に対して噴霧しながら現像処理を施す構成とされている。
【００３２】
ポストベークユニット９０は、搬入部９１、加熱部９２、冷却部９３及び搬出部９４を有しており、まず、現像処理の後の基板に対して加熱処理を施して基板上に残留した現像液や洗浄液を蒸発除去し、その後、冷却処理を施すように構成されている。
【００３３】
なお、図１中、符号７及び８は、基板の載置テーブルであり、レジスト塗布ユニット３０とプリベークユニット４０との間での基板の受渡し、あるいはプリベークユニット４０とバッファ５０との間での基板の受渡しの際に、一時的に基板が載置されるものである。また、符号７０は、露光処理後の基板を現像ユニット８０まで搬送するコンベアである。
【００３４】
基板搬送装置３の構成を説明する。図２は基板搬送装置３の概略構成を示す斜視図である。なお、図２は、基板搬送装置３の構成を明確に示すために、２つのステージ部３１１を互いに基板搬送方向にずらして図示すると共に、基板収納コンベア３０５及び基板収納コンベア移動装置３０６を、基板搬出コンベア３０７及び基板搬出コンベア移動装置３０８に対して基板搬送方向にずらした状態で図示しているが、これらは、実際には、基板搬送方向の位置が揃った状態で配設される。なお、上記のようにずらした状態で配置されていても構わない。
【００３５】
基板搬送装置３は、カセットステージ３０１と、カセット内コンベア３０２と、コンベア昇降装置３０３と、カセット昇降装置３０４と、基板収納コンベア３０５と、基板収納コンベア移動装置３０６と、基板搬出コンベア３０７と、基板搬出コンベア移動装置３０８とを備える。
【００３６】
カセットステージ３０１は、各カセット４毎に設けられた複数のステージ部３１１からなり、カセットステージ３０１全体としては複数のカセットが並設されている。なお、カセット４の内部は、基板Ｇの側端部を支持する溝が内壁に形成されるか、又は、後述するカセット内コンベア３０２の上下動に支障のない位置に基板支持用の鋼線が配設された構造となっていることが好ましい。これにより、カセット４とカセット内コンベア３０２とが互い支障なく相対移動できるようにされる。
【００３７】
カセット内コンベア（カセット内基板収納用コンベア、カセット内基板搬出用コンベア）３０２は、複数のカセット４の内部にそれぞれ配設されている。カセット内コンベア３０２は、カセット４が並設された方向と直交する搬送方向に基板Ｇを搬送するものであり、例えば、基板搬送方向に並べて設けられた複数のローラからなり、このローラが基板Ｇの下部に接触した状態で回転することで、基板Ｇを搬送するようになっている。このカセット内コンベア３０２により、カセット４内からの基板搬出、及びカセット４内への基板収納が行われる。
【００３８】
コンベア昇降装置（コンベア昇降手段）３０３は、例えば、カセット内コンベア３０２の下部に取り付けられたエアシリンダ等からなり、カセット内コンベア３０２をカセット４の内部で昇降させ、カセット内コンベア３０２と、基板収納コンベア３０５又は基板搬出コンベア３０７との高さ位置を揃えるようになっている。
【００３９】
カセット昇降装置（カセット昇降手段）３０４は、例えば、エアシリンダ等からなり、ステージ部３１１を昇降させることによって、カセット４をカセット内コンベア３０２に対して上下動させるものである。
【００４０】
カセット昇降装置３０４は、カセット４を上下動させることによって、(1)カセット４内の基板Ｇの下部をカセット内コンベア３０２に接触させ、カセット内コンベア３０２による基板搬出を可能にしたり、(2)基板収納コンベア３０５から搬送されてくる基板Ｇの下部とカセット内コンベア３０２とが接触するようにして、カセット内コンベア３０２によるカセット内への基板収納を可能にする。
【００４１】
カセット昇降装置３０４は、カセット内コンベア３０２が、基板収納コンベア３０５又は基板搬出コンベア３０７のいずれと基板Ｇの受け渡しを行うかに応じて、ステージ部３１１を昇降させて、カセット４を、基板収納コンベア３０５又は基板搬出コンベア３０７に合わせた高さ位置に配置する。
【００４２】
基板収納コンベア（第１コンベア、第２コンベア、基板収納コンベア）３０５は、本実施形態では、基板搬出コンベア３０７よりも上方位置に配設されている。基板収納コンベア３０５は、最終の処理部（図１のポストベークユニット９０）から送られてきた基板Ｇを、カセット４内のカセット内コンベア３０２に渡すものである。この基板収納コンベア３０５は、例えば、基板搬送方向に並べて設けられた複数のローラ等からなり、基板Ｇの下部に接触した状態で回転することで基板Ｇを搬送するようになっている。なお、基板収納コンベア３０５は、基板搬出コンベア３０７よりも下方位置に配設されていても構わない。
【００４３】
基板収納コンベア移動装置（第１コンベア移動手段、第２コンベア移動手段、基板収納コンベア移動手段）３０６は、基板収納コンベア３０５を、複数のカセット４が並設されている方向（図２の矢印方向）に移動させるものであり、例えば、ベルトコンベア等からなる。基板収納コンベア移動装置３０６は、基板収納コンベア３０５を各カセット４に対向する位置に移動させ、そのカセット４内に配設されているカセット内コンベア３０２と対向する位置に基板収納コンベア３０５を配置する。これにより、複数のカセット４のいずれにおいても、カセット４内のカセット内コンベア３０２と基板収納コンベア３０５との基板Ｇの受け渡しが可能とされている。
【００４４】
基板搬出コンベア（第１コンベア、第２コンベア、基板搬出コンベア）３０７は、本実施形態では、基板収納コンベア３０５よりも下方位置に配設され、カセット４内のカセット内コンベア３０２から受け取った基板Ｇを、最初の処理部（図１の洗浄ユニット１０）に渡すものである。この基板搬出コンベア３０７も、基板収納コンベア３０５と同様に、例えば、基板搬送方向に並べて設けられた複数のローラ等からなり、基板Ｇの下部に接触した状態で回転することで基板Ｇを搬送するようになっている。
【００４５】
基板搬出コンベア移動装置（第１コンベア移動手段、第２コンベア移動手段、基板搬出コンベア移動手段）３０８は、基板搬出コンベア３０７を、複数のカセット４が並設されている方向（図２の矢印方向）に移動させるものであり、例えば、ベルトコンベア等からなる。基板搬出コンベア移動装置３０８は、基板搬出コンベア３０７を各カセット４に対向する位置に移動させ、そのカセット４内に配設されているカセット内コンベア３０２と対向する位置に基板搬出コンベア３０７を配置する。これにより、複数のカセット４のいずれにおいても、カセット４内のカセット内コンベア３０２と基板搬出コンベア３０７との基板Ｇの受け渡しが可能とされている。
【００４６】
次に、基板搬送装置３の動作を説明する。図３（ａ）（ｂ）は基板搬送装置３によるカセット４内からの基板搬出動作の概略を示す図である。上記図２及び当該図３を参照して基板搬出動作を説明する。
【００４７】
カセット４から基板Ｇを搬出する場合、(1) 基板Ｇの取り出しの対象となるカセット４内のカセット内コンベア３０２を、コンベア昇降装置３０３が上下動させ、カセット内コンベア３０２と、基板搬出コンベア３０７との高さ位置を揃える。
【００４８】
(2)カセット昇降装置３０４は、カセット４内に収納されている最下段の基板Ｇ１がカセット内コンベア３０２に当接するまで、当該カセット４のステージ部３１１を下降させる（図３（ａ））。従って、カセット昇降装置３０４は、ステージ部３１１を昇降させて、カセット４を、カセット内コンベア３０２及び基板搬出コンベア３０７に合わせた高さ位置に配置することになる。
【００４９】
(3)基板搬出コンベア移動装置３０８が、基板搬出コンベア３０７を図２の矢印方向に移動させ、基板搬出コンベア３０７を、基板Ｇの取り出しの対象となるカセット４（カセット内コンベア３０２）に対向する位置に配置する。
【００５０】
(4)上記カセット内コンベア３０２が、基板Ｇ１をカセット４の外に搬出させる方向に回転駆動され、基板搬出コンベア３０７も同方向に回転駆動され、これにより、基板Ｇ１カセット内コンベア３０２から基板搬出コンベア３０７に渡され、基板Ｇがカセット４から搬出される（図３（ａ））。
【００５１】
(5)カセット４内から搬出された基板Ｇ１は、基板搬出コンベア３０７が洗浄ユニット１０（図１）に搬送する。
【００５２】
(6)基板Ｇ１がカセット４内から完全に搬出されると、カセット昇降装置３０４は、それまでカセット４内の最下段に収納されていた基板Ｇ１よりも１つ上の段に収納されている基板Ｇ２がカセット内コンベア３０２に当接するまで、当該カセット４のステージ部３１１を下降させる（図３（ｂ））。この後は、順次、各基板に対して、上記(4)〜(6)の動作を繰り返すようにする。
【００５３】
(7)基板搬出コンベア移動装置３０８は、基板搬出コンベア３０７を、基板取り出し対象となっている上記カセット４（カセット内コンベア３０２）の対向位置まで復帰させる。
【００５４】
上記(1)〜(7)の動作では、(1)(2)の動作に対して(3)の動作を並行して行わせることができる。また、(5)の動作に対して(6)の動作を並行して行わせることができる。これにより、従来のアーム部を有する基板搬送ロボットによる動作のように各動作を順番に行う必要がなくなるので、カセット４からの基板取り出し時間を短縮でき、基板搬送装置３による基板取り出し能力を大幅に向上させることができる。
【００５５】
図４（ａ）（ｂ）は基板搬送装置３によるカセット４内への基板収納動作の概略を示す図である。なお、以下の説明は、図４に加えて、前述の図２も参照して説明する。
【００５６】
カセット４に基板Ｇを収納する場合、(1)基板Ｇを収納するカセット４内のカセット内コンベア３０２を、コンベア昇降装置３０３が上下動させ、カセット内コンベア３０２と、基板収納コンベア３０５との高さ位置を揃える。
【００５７】
(2)カセット昇降装置３０４は、ステージ部３１１を昇降させ、カセット４内の最上段の基板収納スペースに基板Ｇが収納されたと仮定した場合に、この収納された基板Ｇがカセット内コンベア３０２に当接するように、カセット４の高さ位置を調整する（図４（ａ））。従って、カセット昇降装置３０４は、ステージ部３１１を昇降させて、ステージ部３１１をカセット内コンベア３０２及び基板収納コンベア３０５に合わせた高さ位置に配置することになる。
【００５８】
(3)基板収納コンベア３０５が、基板Ｇ１をカセット４内に導入する方向に回転駆動される。基板収納コンベア３０５が、最終の処理部（図１のポストベークユニット９０）から基板Ｇ１を受け取って、基板Ｇ１が基板収納コンベア３０５に載置されると、基板収納コンベア３０５の回転駆動が停止される。
【００５９】
(4)基板収納コンベア移動装置３０６が、基板Ｇ１が載置された基板収納コンベア３０５を、基板Ｇを収納するカセット４（カセット内コンベア３０２）に対向する位置まで、図２の矢印方向に移動させる。
【００６０】
(5)基板収納コンベア３０５が、基板Ｇ１をカセット４内に導入する方向に再び回転駆動され、カセット内コンベア３０２も同方向に回転駆動される。これにより、基板Ｇ１が基板収納コンベア３０５からカセット内コンベア３０２に渡され、基板Ｇがカセット４内部方向に搬送されて、カセット４内に収納される（図４（ａ））。
【００６１】
(6)基板Ｇ１がカセット４内に収納されると、カセット昇降装置３０４は、上記基板Ｇ１が収納された基板収納スペースよりも１つ下の段の基板収納スペースに、別の基板が収納されたと仮定した場合に、この基板にカセット内コンベア３０２が当接すると想定される高さ位置まで、カセット４を上昇させる（図４（ｂ））。
【００６２】
(7) 基板収納コンベア移動装置３０６は、基板収納コンベア３０５を、ポストベークユニット９０から基板Ｇを受け取る位置まで復帰させる。
【００６３】
この後は、順次、各基板に対して、上記(3)〜(5)の動作を繰り返すようにする。
【００６４】
上記(1)〜(7)の動作は、(1)(2)の動作に対して(3)(4)の動作を並行して行わせることができる。また、(6)の動作に対して(7)の動作を並行して行わせることができる。これにより、カセット４への基板収納時間を短縮できるので、基板搬送装置３による基板収納能力を大幅に向上させることができる。
【００６５】
さらに、図２に示したように、基板搬送装置３には、基板収納コンベア３０５及び基板収納コンベア移動装置３０６による基板収納機構と、基板搬出コンベア３０７及び基板搬出コンベア移動装置３０８による基板搬出機構の両機構が設けられているので、これら各機構による基板搬出及び基板収納動作を並行して行わせることができる。この点においても、基板搬送装置３による基板収納能力を大幅に向上させることができる。
【００６６】
図５はＡＧＶ（無人搬送車）によるカセット４交換時のカセット内コンベア３０２の高さ位置を示す図である。図５に示すように、ＡＧＶによるカセット４交換時には、カセット内コンベア３０２は、コンベア昇降装置３０３によって、カセット４の下方、すなわち、ステージ部３１１の下方の退避位置まで移動される。カセット昇降装置３０４は、ステージ部３１１の高さ位置を、ＡＧＶによるカセット４の搬送に適した高さ位置に移動させる。これにより、ＡＧＶによるカセット４の搬送を円滑に行わせることができる。
【００６７】
なお、本発明は上記実施の形態の構成に限られず種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、コンベア昇降装置３０３がカセット内コンベア３０２を上下動させ、基板収納コンベア３０５又は基板搬出コンベア３０７の高さ位置に、カセット内コンベア３０２を移動させることで、どのカセット４からも基板搬出及び収納の両方が可能となるようにしているが、カセット４には、コンベア昇降装置３０３を設けず、基板収納コンベア３０５又は基板搬出コンベア３０７に対向する高さ位置に配置されたカセット内コンベア３０２のみを設けるようにしてもよい。この場合、各カセット４から基板搬出又は基板収納のいずれかのみが可能となるが、コンベア昇降装置３０３を設けない分、基板搬送装置３の構成を簡単にすることができる。
【００６８】
また、コンベア昇降装置３０３、基板収納コンベア移動装置３０６及び基板搬出コンベア移動装置３０８を設けず、カセット４には、基板収納コンベア３０５又は基板搬出コンベア３０７に対向する高さ位置に配置されたカセット内コンベア３０２のみを設けるようにしてもよい。この場合、各カセット４から基板搬出又は基板収納のいずれかのみが可能であり、また、基板搬出コンベア３０７は基板搬出用カセット４に対向する位置に固定して設けられ、基板収納コンベア３０５は基板収納用カセット４に対向する位置に固定して設けられることになり、基板搬出又は基板収納基板を収納又は搬出するカセット４を自由に選択することもできないが、コンベア昇降装置３０３、基板収納コンベア移動装置３０６及び基板搬出コンベア移動装置３０８を設けない分、基板搬送装置３の構成を簡単にすることができる。
【００６９】
また、上記実施形態では、各カセット４はそれぞれ別々のステージ部３１１に設けられ、各ステージ部３１１が昇降することによって、各カセット４が上下動する構成とされているが、各カセット４が同一のステージ部上に設けられ、各カセット４部分を独立して別々に上下動させることができるカセット昇降装置を備えるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板搬送装置を備えた基板処理装置の一例を示している。
【図２】基板搬送装置の概略構成を示す斜視図である。
【図３】（ａ）（ｂ）は基板搬送装置によるカセット内からの基板搬出動作の概略を示す図である。
【図４】（ａ）（ｂ）は基板搬送装置によるカセット内への基板収納動作の概略を示す図である。
【図５】ＡＧＶ（無人搬送車）によるカセット交換時のカセット内コンベアの高さ位置を示す図である。
【符号の説明】
【００７１】
１      基板処理装置
３      基板搬送装置
３０１  カセットステージ
３０２  カセット内コンベア
３０３  コンベア昇降装置
３０４  カセット昇降装置
３０５  基板収納コンベア
３０６  基板収納コンベア移動装置
３０７  基板搬出コンベア
３０８  基板搬出コンベア移動装置
３１１  ステージ部
４      カセット
Ｇ，Ｇ１〜Ｇ５  基板
【図１】
2005332846.tif 000003
【図２】
2005332846.tif 000004
【図３】
2005332846.tif 000005
【図４】
2005332846.tif 000006
【図５】
2005332846.tif 000007