(57)【要約】【課題】  基盤の貼り合わせ工程における接着剤の吐出時間を短縮させると共に、接着剤の吐出領域がより広範囲になされることで、貼り合わせのプロセスサイクルを短縮させること。【解決手段】  基盤保持手段１を構成する上下の吸着盤２，３によって、互いに貼り合わせられるディスク基盤Ａ，Ｂが保持される。ディスク基盤Ａ，Ｂ間には放射状に配列された複数の接着剤吐出ノズル４が挿入され、一斉に接着剤が吐出される。接着剤の吐出後においては前記各ノズル４はディスク基盤Ａ，Ｂの間より後退し、下側の吸着盤３の中央に形成されたボス３Ｂにおける吸引孔３ｂを介して、ディスク基盤Ａ，Ｂ間の接着剤はディスク基盤の内周側に吸引される。前記したように多数の接着剤吐出ノズル４を利用して一斉に接着剤を吐出するように制御するので、接着剤を吐出させる時間を極端に短縮させることができ、また分散した各ノズルからの接着剤の吐出により、ディスク基盤Ａ，Ｂ間の広範囲にわたって接着剤を塗布することができる。これにより、貼り合わせのプロセスサイクルを短縮させることに寄与できる。【選択図】  図６
2005332509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状に形成された２枚のディスク基盤の回転中心を一致させて、当該ディスク基盤間に充填された接着剤を硬化させて貼り合わせることで、情報記録用の光ディスクを製造する方法であって、
所定の間隔をおいて対向された前記各ディスク基盤間に、前記接着剤を吐出するための複数のノズルがディスク基盤の外周方向から挿入され、前記各ノズルおよび各ディスク基盤が静止している状態において、前記各ノズルよりそれぞれ接着剤が各ディスク基盤間に吐出されることを特徴とする光ディスクの製造方法。
【請求項２】
前記接着剤を吐出するためのノズルの数は、少なくても８本以上備えることを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項３】
前記各ノズルは、各ディスク基盤の外周方向からディスク基盤の中心に向かって互いに等間隔をもって、対向した状態のディスク基盤間に挿入されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項４】
前記接着剤を吐出するための複数のノズルが平面状に配列されて１つのノズルモジュールを構成し、前記複数のノズルモジュールが所定の間隔をおいて対向された前記各ディスク基盤間に挿入されるように構成したことを特徴とする請求項１に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項５】
前記各ノズルからの接着剤の吐出後に、各ノズルを各ディスク基盤の対向位置から退出させる工程と、各ディスク基盤の間隔を狭めて両基盤を重合させると共に、前記各ディスク基盤の内周側より前記接着剤を吸引する工程を含むことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項６】
前記接着剤を吸引する工程の実行後に、重合状態の各ディスク基盤を回転させるスピン工程を実行することを特徴とする請求項５に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項７】
前記接着剤を吸引する工程の終了後から、前記ディスク基盤を回転させるスピン工程を開始するまでの期間が２秒以内に設定されることを特徴とする請求項６に記載の光ディスクの製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の方法を実施する光ディスクの製造装置であって、
円盤状に形成された各ディスク基盤をそれぞれ保持し、保持した各ディスク基盤の間隔が変更可能に構成された基盤保持手段と、
前記基盤保持手段によって保持された各ディスク基盤の間に、同時に進入および退出される複数本の接着剤吐出ノズルと、
前記各接着剤吐出ノズルによりディスク基盤間にそれぞれ注入された接着剤を、対向するディスク基盤の内周側より吸引することができる吸引手段と、
を具備したことを特徴とする光ディスクの製造装置。
【請求項９】
前記基盤保持手段は、前記各ディスク基盤の一面を負圧により吸着することで、ディスク基盤をそれぞれ保持するように構成したことを特徴とする請求項８に記載の光ディスクの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばＤＶＤ（Digital Versatile Disc）等のように２枚のディスク基盤を貼り合わせた構成を有する光ディスクの製造方法、特にその貼り合わせ方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光を用いて情報を再生し、または記録も可能になされたディスク状の記録媒体としては、前記したＤＶＤの他に、ＣＤ（Compact Disc）、ＣＤ−Ｒ（Compact Disc-Recordable ）、ＤＶＤ−Ｒ（Digital Versatile Disc-Recordable ）などが知られている。これらの中でＤＶＤやＤＶＤ−Ｒなどのディスク状記録媒体は、２枚のディスク基盤が貼り合わされた構成とされている。
【０００３】
例えば前記したＤＶＤにおいては、それぞれのディスク基盤に金属薄膜などからなる信号記録層を形成し、これらを接着剤を介して貼り合わせた構成とすることで、貼り合わせ構造の片面読み取りディスクが実用化されている。あるいはディスク基盤両面に信号記録層を形成し、これを貼り合わせた両面読み取りディスクも実用化されている。また、前記したＤＶＤ−Ｒにおいては、記録層と光反射層が形成された信号側基盤と、透明樹脂により形成されたダミー基盤とを同様に接着剤を介して貼り合わせることで、貼り合わせ構造のディスクを構成している。
【０００４】
これらの貼り合わせ構造を有する光ディスクにおいては、その貼り合わせ工程において２枚のディスク基盤を対向するようにして保持し、その間に１本の接着剤吐出ノズルを挿入して接着剤を吐出させつつ、各ディスク基盤を回転させるように制御される。これにより、２枚のディスク基盤の対向面間に、前記ノズルから吐出される接着剤をリング状に塗布するようにしている。
【０００５】
そして、接着剤の塗布後に前記ノズルをディスク基盤間から退出させて、両ディスク基盤の間隔を狭めることにより、リング状に塗布された接着剤をディスク基盤間の全面に広げるようにしている。この場合、ディスク基盤間の接着剤を粗く広げるために、現実にはエージングと称する待機時間を持たせるようにしている。この様な工程を備えるディスク基盤の貼り合わせ方法については、例えば次に示す特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開平１０−２３３０４２号公報
【０００６】
図１〜図３は、前記した特許文献１に開示されたディスク基盤の貼り合わせ工程を実行する場合の動作態様を模式的に示したものである。図１に示すように、この例においては信号側ディスク基盤Ｂ（以下、単に信号側基盤ともいう。）に対して透明な素材により形成されたダミーディスク基盤Ａ（以下、単にダミー基盤ともいう。）を貼り合わせる場合が示されている。これらのディスク基盤は、一般的に直径が１２０ｍｍになされ、その中心部にはセンターホールが形成され、貼り合わせ後の厚さはほぼ１．２ｍｍになされる。
【０００７】
前記した２枚のディスク基盤Ａ，Ｂを貼り合わせるには、図２に示すように各ディスク基盤をそれぞれ保持し、保持した各ディスク基盤の間隔が変更可能に、かつ各ディスク基盤が回転可能となるように構成された基盤保持手段１が利用される。この基盤保持手段１には、貼り合わせようとする各ディスク基盤Ａ，Ｂをそれぞれ負圧により吸着して保持する上下に対向する吸着盤２，３が具備されている。そして、下側の吸着盤３には前記した信号側基盤Ｂが装着され、上側の吸着盤１には前記したダミー基盤Ａが装着されて負圧により保持される。
【０００８】
この状態で各ディスク基盤Ａ，Ｂは、両者の間に接着剤が注入されて塗布される間隔となるように狭められる。この場合、図２および図３に示す形態においては上側の吸着盤２が降下して各ディスク基盤Ａ，Ｂの間隔が狭められ、その間に挿入された接着剤吐出ノズル４より接着剤５が吐出される。この場合、前記ノズル４の先端部は、各ディスク基盤Ａ，Ｂの中心から２５ｍｍ（Ｒ２５）程度の位置に挿入された状態になされる。
【０００９】
そして、図２の右下に一部を拡大して示したように、前記ノズル４より接着剤５が吐出されると同時に、上下に対向する各ディスク基盤Ａ，Ｂは、吸着盤２，３の回転に伴って同方向に同期して回転駆動される。これにより、ディスク基盤Ａ，Ｂ間にはリング状に接着剤５が塗布される。この後、ディスク基盤Ａ，Ｂ間に挿入された前記ノズル４は後退してディスク基盤Ａ，Ｂの間から退出し、図３に示すように上側の吸着盤２は、さらに下側の吸着盤３側に接近する。これにより、ディスク基盤Ａ，Ｂ間にリング状に塗布された前記接着剤は、両ディスク基盤Ａ，Ｂ間に広げられる。
【００１０】
図４には、前記した貼り合わせ工程における各動作を時間を追って示している。すなわち、図４における縦軸にはそれぞれの機能の動作状態が示されており、横軸は経過時間を示している。図４（ａ），（ｂ）に示すように、まず上基盤（ダミー基盤Ａ）および下基盤（信号側基盤Ｂ）が吸着盤２，３によって吸着され、図４（ｃ）に示すように両基盤Ａ，Ｂは接着剤の塗布が可能な状態に接近する。この動作と同時に、図４（ｄ）に示すようにノズル４は後退位置から、接着剤を塗布する位置まで前進する。これにより、前記したとおりノズル４の先端部は各ディスク基盤Ａ，Ｂの中心から２５ｍｍ（Ｒ２５）の位置に挿入される。これは、図４に示すように貼り合わせ工程の開始から、約０．４秒において実行される。
【００１１】
この時間経過後に、図４（ｅ）に示すように前記ノズル４より接着剤が吐出され、同時に図４（ｆ）に示すように両基盤Ａ，Ｂは回転される。これは前記したように基盤保持手段１を構成する上下の吸着盤２，３の同期した回転運動によってなされる。この接着剤の塗布（吐出）動作は、図４に示すように約２秒間続けられる。そして、貼り合わせ工程の開始から約２．４秒後に、ノズル４からの接着剤の吐出が停止され、ノズル４は後退し、また両基盤Ａ，Ｂの回転動作も停止される。
【００１２】
その後、図４（ｃ）に示すように両吸着盤２，３は接近され、これによりディスク基盤Ａ，Ｂ間にリング状に塗布された前記接着剤は、対向する両ディスク基盤Ａ，Ｂ間に広げられる。これに続いて、（ａ），（ｂ）に示すように上下両基盤Ａ，Ｂの吸着動作は停止され、（ｃ）に示すように吸着盤２は待機位置まで上昇して貼り合わせ工程は終了する。以上説明した貼り合わせ工程に要する時間は、図４に示すように約４秒を必要とする。
【００１３】
前記した従来の代表的な貼り合わせ工程においては、１本の接着剤吐出ノズルを利用して接着剤を両ディスク基盤Ａ，Ｂ間にリング状に注入するものであるため、この貼り合わせ工程の後において、両ディスク基盤Ａ，Ｂ間の接着剤をさらに粗く広げるためのエージング工程が必要となる。図５は前記した貼り合わせ工程およびエージング工程を含む光ディスクの製造プロセスについて示している。
【００１４】
すなわち、図５（Ａ）に示されたようにダミー基盤Ａおよび信号側基盤Ｂは、例えばロボットアーム（図示せず）により図２に示した基盤保持手段１を含む貼り合わせ装置に投入されて、ぞれぞれ図４に基づいて説明した貼り合わせ動作が実行される。この場合、基盤保持手段１を含む貼り合わせ装置は複数組用意されていて、順に基盤保持手段１に対してペアとなる基盤ＡおよびＢを投入しつつ、図４に基づいて説明した貼り合わせ工程が順次実行される。図５（Ｂ）は基盤保持手段１を含む貼り合わせ装置によって実行される前記した貼り合わせ工程を示している。
【００１５】
前記した貼り合わせ工程の実行後においては、図５（Ｃ）に示すようにエージングのモードになされる。このエージングは、ディスク基盤Ａ，Ｂ間における接着剤を両基盤間の全面にわたり粗く広げるために一時的に時間をおく（待機する）ものであり、これは１２秒程度の期間が設定されている。この後、図５（Ｄ）に示すようにそれぞれの基盤保持手段１において約５秒間にわたり、重合状態の基盤Ａ，Ｂに対して回転を与えるスピン工程が実行される。このスピン工程の実行によって、余剰な接着剤を振り切り、両基盤間の接着層を均一化させる。
【００１６】
前記した接着剤は周知の紫外線硬化型のものが利用され、図５（Ｅ）に示す次の工程において、紫外線（ＵＶ）が照射されて両基盤間に形成された接着層は硬化される。その後図５（Ｆ）に示すように貼り合わせ基盤の冷却がなされる。これは紫外線の照射により上昇した基盤温度を放熱させるものである。その後、図５（Ｇ）に示すように検査工程に入り、基盤の傷、反りなどの外観検査がなされ、図５（Ｈ）に示すようにＯＫ品（良品）とＮＧ品（不良品）とを振り分ける選択動作が実行される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
ところで、前記した基盤の貼り合わせ工程によると、１本のノズルより基盤貼り合わせ用の接着剤を吐出するようになされ、しかも接着剤が基盤の一か所に吐出される弊害を除去するために、接着剤の吐出中において両基盤を回転駆動させるようになされる。これにより接着剤は両基盤間にリング状に塗布される。要するに、１本のノズルより基盤貼り合わせ用の接着剤の全量を吐出させるために、図４に示した例においてはこれに約２秒の時間を必要とする。したがって、図４に示した貼り合わせ工程に要する時間は合計で約４秒必要となり、これが貼り合わせのプロセスサイクルを短縮できないネックとなっている。
【００１８】
さらに前記した基盤の貼り合わせ工程によると、接着剤が両基盤間にリング状に塗布されるために、基盤を相互に重合させても局所的に塗布された接着剤は、両基盤間の全体には即座には広がらず、したがって接着剤が自然に広がるのを待つエージングが必要となる。このエージングに要する時間は、図５に示したように約１２秒程度となる。したがって、エージングに前記したような時間が必要となると、量産効率が低下するのを避けるためにより多くの貼り合わせ装置を配置して、同時に数枚貼り合わせたり、順次時間的にずらして貼り合わせ動作を実行させることで、前記したエージングに要する時間を確保する必要が生ずる。これに伴って、図５に示す一連の製造プロセスを実行する装置全体の大型化は避けられないという別の問題が発生することになる。
【００１９】
この発明は、前記した問題点に着目してなされたものであり、基盤の貼り合わせ工程における接着剤の吐出時間を短縮させると共に、接着剤の吐出領域がより広範囲になされることで、貼り合わせのプロセスサイクルを短縮し、さらに製造プロセスを実行する装置全体の規模をより小型化することができる光ディスクの製造方法および装置を提供することを技術課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
前記した課題を解決するためになされたこの発明にかかる光ディスクの製造方法は、請求項１に記載のとおり、円盤状に形成された２枚のディスク基盤の回転中心を一致させて、当該ディスク基盤間に充填された接着剤を硬化させて貼り合わせることで、情報記録用の光ディスクを製造する方法であって、所定の間隔をおいて対向された前記各ディスク基盤間に、前記接着剤を吐出するための複数のノズルがディスク基盤の外周方向から挿入され、前記各ノズルおよび各ディスク基盤が静止している状態において、前記各ノズルよりそれぞれ接着剤が各ディスク基盤間に吐出される点に特徴を有する。
【００２１】
また、前記した課題を解決するためになされたこの発明にかかる光ディスクの製造装置は、請求項８に記載のとおり、円盤状に形成された各ディスク基盤をそれぞれ保持し、保持した各ディスク基盤の間隔が変更可能に構成された基盤保持手段と、前記基盤保持手段によって保持された各ディスク基盤の間に、同時に進入および退出される複数本の接着剤吐出ノズルと、前記各接着剤吐出ノズルによりディスク基盤間にそれぞれ注入された接着剤を、対向するディスク基盤の内周側より吸引することができる吸引手段とを具備した点に特徴を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、この発明にかかる製造方法を実施する光ディスクの製造装置、特にディスク基盤の貼り合わせ装置について図に示す実施の形態に基づいて説明する。図６〜図８は、その貼り合わせ工程を実行する場合の動作態様を模式的に示したものである。なお図６〜図８においては、すでに説明した図１〜図３に示す各部に相当する部分を同一符号で示しており、したがって、その詳細な説明は省略する。そして、以下に説明する例においても、図１に基づいて説明したように信号側ディスク基盤Ｂ（信号側基盤）に対して透明な素材により形成されたダミーディスク基盤Ａ（ダミー基盤）を貼り合わせる場合を示している。
【００２３】
なお、図２および図３においてはその説明を省略したが、基盤保持手段１を構成する上下の吸着盤２，３には、図６および図７に示すように、その全面にわたって多数の吸着孔が形成されている。そして、上側の吸着盤２においては、当該吸着盤２を支持する支持軸２Ａ内に前記各吸着孔に連通する吸引孔２ａが形成され、図示せぬ開閉弁を介して負圧源に連通されている。また下側の吸着盤３においても、当該吸着盤３を支持する支持軸３Ａ内に前記各吸着孔に連通する吸引孔３ａが形成され、同じく図示せぬ開閉弁を介して負圧源に連通されている。
【００２４】
一方、下側の吸着盤３には前記支持軸３Ａと同軸状にして、上面側に突出した円柱状のボス３Ｂが備えられている。このボス３Ｂは、前記したダミー基盤Ａおよび信号側基盤Ｂに形成された各センターホールに内接して各基盤の回転中心を一致させる機能を果たす。加えて、前記ボス３Ｂには、その周側面に間欠的に吸引孔３ｂが形成され、この吸引孔３ｂは前記吸着盤３を支持する支持軸３Ａ内に至り、図示せぬ開閉弁を介して負圧源に連通されている。これにより、後で説明するようにディスク基盤間に注入された接着剤を、対向するディスク基盤の内周側より吸引することができる接着剤の吸引手段を構成している。
【００２５】
なお、前記支持軸３Ａ内には管が二重に形成されており、前記吸着盤３の全面に形成された各吸着孔に連通する吸引孔３ａは外側に形成され、また前記ボス３Ｂの周側面に連通するように形成された吸引孔３ｂは、内側（中心側）に形成されている。
【００２６】
また、この発明にかかる貼り合わせ装置においては、各ディスク基盤Ａ，Ｂの間に挿入される接着剤吐出ノズル４が、基盤保持手段１の周方向に沿って等間隔に配置されており、これらは前記基盤保持手段１によって保持された各ディスク基盤Ａ，Ｂの間に、同時に進入および退出されるように構成されている。なお、図６においては紙面の関係で左右両側からノズル４が進入した状態で示されているが、これは例えば図８に示すような形態で配置されている。
【００２７】
なお、図８においては上側に位置する吸着盤２およびダミー基盤Ａを除いた状態で、また接着剤吐出ノズル４は一部を除いて単に直線状態で模式的に示している。この図８に示す例においては、１６本の接着剤吐出ノズル４が具備されているが、後述するように接着剤５の吐出時間を短縮させるためには、少なくても８本の吐出ノズル４を備える必要があり、好ましくは２４〜４８本の吐出ノズル４が備えられる。なお、前記した接着剤吐出ノズル４は、そのノズル先端部の直径等とノズル先端部の挿入位置から生ずる物理的な制約もあるが、最大で４８本備えることで十分に接着剤５の吐出時間の短縮化を図ることができる。
【００２８】
この実施の形態における前記した各接着剤吐出ノズル４は、基盤保持手段１を構成する吸着盤２，３を中心にして放射状に配列され、図８に矢印で示すようにノズル４の長手方向に直線的に移動されて進退されるように構成されている。しかしながら、前記した各ノズル４は吸着盤２，３の外側から共に水平方向に同期して旋回されて、各ノズルの先端部が基盤Ａ，Ｂの間の所定位置に挿入できるように構成されていても良い。
【００２９】
前記した構成の貼り合わせ装置を用いてディスク基盤Ａ，Ｂを貼り合わせるには、図２および図３の例と同様に、下側の吸着盤３には信号側基盤Ｂが装着され、上側の吸着盤１にはダミー基盤Ａが装着されてそれぞれ負圧により保持される。この状態で各ディスク基盤Ａ，Ｂは、両者の間に接着剤が注入されて塗布される間隔となるように狭められる。この場合、この実施の形態においても上側の吸着盤２が降下して各ディスク基盤Ａ，Ｂの間隔が狭められ、その間に前記した複数本の接着剤吐出ノズル４が挿入される。
【００３０】
この時の前記各ノズル４の先端部は、ディスク基盤における半径の４分の１以上の外周側に位置されるのが望ましい。好ましくは各ディスク基盤Ａ，Ｂの直径が１２０ｍｍである場合においては、その中心より３０〜５０ｍｍ（Ｒ３０〜Ｒ５０）の位置に挿入され、ノズル４の先端部を繋ぐ軌跡はディスク基盤Ａ，Ｂとほぼ同心円状になされる。前記した各ノズル先端部の配置位置は、これに備えられるノズルの本数によって制約が発生するが、各ノズルの先端部が比較的外側に配置した構成になされても、後述するように注入された接着剤を基盤Ａ，Ｂの内周側に吸引する工程を備えることで、短時間のうちに接着剤を基盤Ａ，Ｂ間の全面に行き渡らせることができる。
【００３１】
そして、前記した状態で図６の右下に一部を拡大して示したように、また図８にも示すように、各ノズル４より接着剤５が一斉に吐出される。この時、前記した上下の吸着盤２，３は回転駆動されることなく、静止した状態になされる。
【００３２】
この後、ディスク基盤Ａ，Ｂ間に挿入された前記各ノズル４は後退してディスク基盤Ａ，Ｂの間から退出し、図７に示すように上側の吸着盤２は、さらに下側の吸着盤３側に接近する。これと同時に、吸着盤３における前記ボス３Ｂの周側面に形成された吸引孔３ｂを介して吸引動作がなされ、ディスク基盤間に注入された前記接着剤５は、この吸引動作により基盤Ａ，Ｂの内周側に吸引される。
【００３３】
図９には、前記した図６〜図８に示す貼り合わせ装置による各動作を時間を追って示されている。すなわち、この図９はすでに説明した図４と同様に、縦軸にはそれぞれの機能の動作状態が示されており、横軸は経過時間を示している。図９（ａ），（ｂ）に示すように、上基盤（ダミー基盤Ａ）および下基盤（信号側基盤Ｂ）が吸着盤２，３によって吸着され、図９（ｃ）に示すように両基盤Ａ，Ｂは接着剤の塗布が可能な状態に接近する。この動作と同時に、図４（ｄ）に示すように前記した各ノズル４は後退位置から、接着剤を塗布する位置まで前進する。これは図９に示すように貼り合わせ工程の開始から、約０．４秒において実行される。
【００３４】
この時間経過後に、図９（ｅ）に示すように前記各吐出ノズル４より接着剤が吐出される。この接着剤の吐出継続時間は約０．３秒に設定されている。前記した接着剤の吐出動作が終了すると、直ちに各吐出ノズル４は後退し、図９（ｃ）に示すように両吸着盤２，３はさらに接近する。この状態で、図９（ｆ）に示すように内周吸引の動作がなされ、これは約０．９秒継続される。
【００３５】
前記した内周吸引は、すでに図７に基づいて説明したとおり、吸引孔３ｂを介してディスク基盤間に注入された前記接着剤５を、基盤Ａ，Ｂの内周側に吸引するものであり、これにより接着剤は基盤Ａ，Ｂの内周側に向かって迅速に移動する。この吸引動作の途中、および終了と共に、図９（ａ），（ｂ）に示すように上下両基盤Ａ，Ｂの吸着動作は停止され、図９（ｃ）に示すように吸着盤２は待機位置まで上昇して貼り合わせ工程は終了する。以上説明した貼り合わせ工程に要する時間は、図９に示すように３秒弱である。
【００３６】
前記した貼り合わせ工程によると、多数の接着剤吐出ノズルを利用して基盤Ａ，Ｂ間に接着剤を注入するものであり、したがって、そのうちの１つのノズルによって吐出される接着剤の量はきわめて少なくすることができる。換言すれば接着剤を吐出させる時間を極端に短縮させることが可能となる。因みに、１本の接着剤吐出ノズルを利用した例においては、図４（ｅ）に示すように接着剤の吐出時間として約２秒を要するところを、この実施の形態においては、図９（ｅ）に示したように約０．３秒に短縮させることができる。これにより、貼り合わせのプロセスサイクルを大幅に短縮させることに寄与できる。
【００３７】
また、前記したように多数のノズルより接着剤を同時に吐出させるようになされるために、各ノズルからの接着剤の吐出に伴って、基盤Ａ，Ｂ間の広い面積にわたって接着剤が塗布され、接着剤の吐出時において、基盤Ａ，Ｂを共に回転させるという動作は不必要となる。そして、接着剤の吐出後において前記したように、接着剤を基盤Ａ，Ｂ間の内周側に吸引する動作を実行することで、接着剤は短時間のうちに基盤Ａ，Ｂ間に行き渡るので、接着剤を粗く広げるための前記したエージング工程を省略することができる。
【００３８】
図１０は、前記した貼り合わせ工程を実行した場合においてなされる光ディスクの製造プロセスについて示しており、これはすでに説明した図５に示す製造プロセに対応するものである。この図１０に示す製造プロセスにおいても、（Ａ）に示すようにダミー基盤Ａおよび信号側基盤Ｂは、例えばロボットアーム（図示せず）により図６に示した基盤保持手段１を含む貼り合わせ装置に投入されて、ぞれぞれ図９に基づいて説明した貼り合わせ動作が実行される。
【００３９】
この場合においても、基盤保持手段１を含む貼り合わせ装置は複数組用意されていて、順に基盤保持手段１に対してペアとなる基盤ＡおよびＢを投入しつつ、図９に基づいて説明した貼り合わせ工程が順次実行される。図１０（Ｂ）は図９に基づいて説明した貼り合わせ工程を示しており、この工程に要する時間はすでに説明したとおり３秒弱である。
【００４０】
前記した貼り合わせ工程の実行後においては、すでに説明したエージング工程は省略され、図１０（Ｃ）に示すスピン工程が実行される。この場合、前記した接着剤を吸引する工程の終了後から、前記スピン工程を開始するまでの期間は２秒以内に設定されている。ただし、これは基盤の貼り合わせとスピン工程を実行するステーションが同一、すなわち図６および図７に示した上側吸着盤２と下側吸着盤３による基盤保持手段１を利用して、そのままスピン工程を実行する場合である。
【００４１】
前記したスピン工程は、基盤保持手段１において約３秒間にわたり、重合状態の基盤Ａ，Ｂに対して回転を与えるように動作し、このスピン工程の実行によって、余剰な接着剤を振り切り、両基盤間の接着層は均一化される。この場合、すでに説明したように前記接着剤は両基盤Ａ，Ｂ間の比較的外側に注入されるので、前記スピン工程も約３秒に短縮させることができる。
【００４２】
そして、図１０（Ｄ）〜（Ｇ）に示すように、ＵＶ照射、冷却、検査、ＯＫ／ＮＧ振分けの各工程が実行されるが、これはすでに説明した図５（Ｅ）〜（Ｈ）の各工程と同様である。
【００４３】
なお、前記した実施の形態においては、図８に示されているように上下に対峙するディスク基盤間に挿入される各接着剤吐出ノズル４が、ディスク基盤の周方向に沿って放射状に配置され、これらが各ディスク基盤の間に、同時に進入および退出されるようになされている。しかしながらこの発明にかかるディスク貼り合わせ装置においては、例えば図１１および図１２に示すノズルの配置構成も好適に採用することができる。なお、図１１においては上側に位置するダミー基盤Ａを除いた状態において、４組のノズルモジュールが配置された状態を示しており、図１２はそのノズルモジュールをノズルの先端部側から視た状態の斜視図で示している。
【００４４】
前記ノズルモジュール４Ａは、図１２に示すように４本の接着剤吐出ノズル４が、互いに平行状態にして平面状に配列された状態で、例えば合成樹脂素材による保持部材によって保持されており、各ノズル４の先端部はほぼ直線状となるように構成されている。なお、図に示した構成においては、１つのノズルモジュール４Ａにおいて、４本の接着剤吐出ノズル４が配列されているが、これはさらに多くのノズルを配列した構成としても良い。
【００４５】
前記したノズルモジュール４Ａは、例えば図１１に示されたように、ディスク基盤の中心位置を点対称として矢印で示したように四方から水平状態の姿勢を保ったまま、ディスク基盤の中心方向に進退されるように構成されている。なお、前記ノズルモジュール４Ａは、図１１に示すようにディスク基盤の中心位置を点対称として四方に配置されるだけでなく、例えば等角度をおいて六か所の方向から進退されるように構成されていても良く、これらは物理的な制約の範囲内で任意に決定することができる。
【００４６】
前記したノズルモジュール４Ａを採用した構成においても、ディスク基盤Ａ，Ｂ間に挿入されたノズルモジュール４Ａにおける各ノズル４より同時に接着剤５が吐出される。この時、前記したディスク基盤Ａ，Ｂは回転駆動されることなく、静止した状態になされる。これにより短時間において必要な量の接着剤をディスク基盤Ａ，Ｂ間の広い面積にわたり注入することができ、前記した基盤貼り合わせのプロセスサイクルを大幅に短縮させることに寄与できる。
【００４７】
以上の説明で明らかなとおり、前記した実施の形態によると、基盤貼り合わせのプロセスサイクルを大幅に短縮させることができ、また前記したエージング工程を省略することにより、その量産効率を遥かに向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】互いに貼り合わされるディスク基盤の外観例を示した正面図である。
【図２】従来のディスク貼り合わせ装置において接着剤を注入する様子を示した一部断面図である。
【図３】同じく接着剤の注入後における動作を説明する一部断面図である。
【図４】図２、図３に示す従来の貼り合わせ装置の動作を説明するタイミングチャートである。
【図５】図４に示す貼り合わせ工程を含む従来の光ディスクの製造プロセスを説明する工程図である。
【図６】この発明にかかる方法を実施するディスク貼り合わせ装置において接着剤を注入する様子を示した断面図である。
【図７】同じく接着剤の注入後における動作を説明する断面図である。
【図８】接着剤を注入するノズルの配列状態の一例を示した平面図である。
【図９】図６〜図８に示す貼り合わせ装置の動作を説明するタイミングチャートである。
【図１０】図９に示す貼り合わせ工程を含むこの発明にかかる光ディスクの製造プロセスを説明する工程図である。
【図１１】接着剤を注入するノズルの配列状態の他の例を示した平面図である。
【図１２】図１１に示す構成において利用されるノズルモジュールの外観を示した斜視図である。
【符号の説明】
【００４９】
１      基盤保持手段
２      上側吸着盤
２Ａ    支持軸
２ａ    吸引孔
３      下側吸着盤
３Ａ    支持軸
３Ｂ    ボス
３ａ    吸引孔
３ｂ    吸引孔
４      接着剤吐出ノズル
４Ａ    ノズルモジュール
５      接着剤
Ａ      ダミーディスク基盤
Ｂ      信号側ディスク基盤
【図１】
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【図２】
2005332509.tif 000004
【図３】
2005332509.tif 000005
【図４】
2005332509.tif 000006
【図５】
2005332509.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005332509.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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