(57)【要約】【課題】  ＩＣチップ付シートを容易かつ確実に作製すること。【解決手段】  剥離シート３と、剥離シート３上のウエハ４ａとからなる剥離シート付ウエハ１を準備する。剥離シート付ウエハ１をダイシング定盤２上でダイシングカッター５によりダイシングすることにより、個々のＩＣチップ４を形成する。剥離シート付ウエハ１から直線上に連結するＩＣチップ４を吸着ヘッド７により吸着し、剥離シート３から剥離して帯状の支持シート１１上に移載する。支持シート１１上に粘着剤１２を介してＩＣチップ４を設けることにより、ＩＣチップ付シート１０を作製する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
剥離シートと、この剥離シート上に設けられたウエハとを有する剥離シート付ウエハを準備する工程と、
剥離シート付ウエハのウエハを個々のＩＣチップ毎にダイシングする工程と、
剥離シート付ウエハのうち直線状に連続する所定数のＩＣチップを吸着ヘッドにより吸着して剥離シートから剥離した後、予め表面に粘着剤が設けられた帯状の支持シート上に移載してＩＣチップ付シートを作製する工程と、
を備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造方法。
【請求項２】
パーツフィーダにより直線状に連続する多数のＩＣチップを搬送する工程と、
パーツフィーダにより搬送されたＩＣチップから所定数のＩＣチップを吸着ヘッドにより吸着して、予め表面に粘着剤が設けられた帯状の支持シート上に移載してＩＣチップ付シートを作製する工程と、
を備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造方法。
【請求項３】
ＩＣチップ付シートをリールに巻き付ける工程を更に備えたことを特徴とする請求項１または２のいずれか記載のＩＣチップ付シートの製造方法。
【請求項４】
剥離シートと、この剥離シート上に設けられたウエハとを有する剥離シート付ウエハを保持する保持部と、
保持部に保持された剥離シート付ウエハを個々のＩＣチップ毎にダイシングするダイシングカッターと、
保持部に保持された剥離シート付ウエハのうち、直線状に連続する所定数のＩＣチップを吸着して剥離シートから剥離した後、予め表面に粘着剤が設けられた帯状の支持シート上に移載してＩＣチップ付シートを作製する吸着ヘッドと、
を備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造装置。
【請求項５】
直線状に連続する多数のＩＣチップを搬送するパーツフィーダと、
パーツフィーダにより搬送されたＩＣチップから所定数のＩＣチップを吸着し、予め表面に粘着剤が設けられた帯状の支持シート上に移載してＩＣチップ付シートを作製する吸着ヘッドと、
を備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造装置。
【請求項６】
表面に粘着剤が設けられた帯状の支持シートと、
この支持シート上に設けられた複数のＩＣチップとを備えたことを特徴とするＩＣチップ付シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣチップ付シートの製造方法、ＩＣチップ付シートの製造装置、およびＩＣチップ付シートに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣチップをアンテナの所定の箇所に取り付ける実装方法において、ウエハを反パターン面上で一枚の剥離シート上に貼り付けてＸＹ軸方向にダイシングし、剥離シートに紫外線を照射する等して接着力を低下させている。次に細い吸引管でＩＣチップをパターン面側から吸引して剥離シートから剥し取り、このＩＣチップを他の吸引管で反パターン面側から吸引して受け取り、この吸引管でＩＣチップを所定の箇所へと搬送し、そのパターン面側を予め導電性接着剤を塗布したアンテナの所定の箇所に押し付けている。
【０００３】
このような実装方法によれば、二種類の吸引管を用意し、各吸引管に複雑な運動をさせなければならないので、ＩＣチップを取り付けるための装置構造が複雑化し、生産効率も低下するという問題がある。また、ＩＣチップは近年ますます小型化の傾向にあり、例えば一辺が０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度の大きさのものも生産されるが、このように小さくなると吸引管による搬送が困難になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、従来より帯状の支持シート上に連続する多数のＩＣチップを載置してＩＣチップ付シートを作製し、このＩＣチップ付シートからＩＣチップを取出してアンテナに実装することが考えられている。
【０００５】
このような場合、帯状のＩＣチップ付シートを容易に作製することができれば都合が良い。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、帯状のＩＣチップ付シートを容易に作製することができるＩＣチップ付シートの製造方法、ＩＣチップ付シートの製造装置およびＩＣチップ付シートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、剥離シートと、この剥離シート上に設けられたウエハとを有する剥離シート付ウエハを準備する工程と、剥離シート付ウエハのウエハを個々のＩＣチップ毎にダイシングする工程と、剥離シート付ウエハのうち直線状に連続する所定数のＩＣチップを吸着ヘッドにより吸着して剥離シートから剥離した後、予め表面に粘着剤が設けられた帯状の支持シート上に移載してＩＣチップ付シートを作製する工程と、を備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造方法である。
【０００８】
本発明は、パーツフィーダにより直線状に連続する多数のＩＣチップを搬送する工程と、パーツフィーダにより搬送されたＩＣチップから所定数のＩＣチップを吸着ヘッドにより吸着して、予め表面に粘着剤が設けられた帯状の支持シート上に移載してＩＣチップ付シートを作製する工程と、を備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造方法である。
【０００９】
本発明は、ＩＣチップ付シートをリールに巻き付ける工程を更に備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造方法である。
【００１０】
本発明は、剥離シートと、この剥離シート上に設けられたウエハとを有する剥離シート付ウエハを保持する保持部と、保持部に保持された剥離シート付ウエハを個々のＩＣチップ毎にダイシングするダイシングカッターと、保持部に保持された剥離シート付ウエハのうち、直線状に連続する所定数のＩＣチップを吸着して剥離シートから剥離した後、予め表面に粘着剤が設けられた帯状の支持シート上に移載してＩＣチップ付シートを作製する吸着ヘッドと、を備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造装置である。
【００１１】
本発明は、直線状に連続する多数のＩＣチップを搬送するパーツフィーダと、パーツフィーダにより搬送されたＩＣチップから所定数のＩＣチップを吸着し、予め表面に粘着剤が設けられた帯状の支持シート上に移載してＩＣチップ付シートを作製する吸着ヘッドと、を備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造装置である。
【００１２】
本発明は、表面に粘着剤が設けられた帯状の支持シートと、この支持シート上に設けられた複数のＩＣチップとを備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、帯状のＩＣチップ付シートを容易かつ簡単に作製することができ、このＩＣチップ付シートからＩＣチップをアンテナ上に確実に実装することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【００１５】
図１によりＩＣチップ付シートの製造方法について述べる。
【００１６】
まず、図１（ａ）に示すように完成したウエハ４ａを、そのパターン面が露出するよう剥離シート３上に重ね合わせて剥離シート付ウエハ１を形成し、この剥離シート付ウエハ１をダイシング用定盤（保持部）２上に載置して保持する。
【００１７】
剥離シート３は加熱又は所定波長の光照射により粘着力が低下する粘着剤層（図示せず）が形成されたシートであり、剥離シート３の粘着剤層にウエハ４ａが貼り付けられる。剥離シート３としては市販品を用いることができる。
【００１８】
次に剥離シート３の肉厚の中程まで至る切込み深さでウエハ４ａをＸ軸方向にダイシングカッター５によりダイシングする。
【００１９】
すなわち、ウエハ４ａと剥離シート３との積層体からなる剥離シート付ウエハ１はダイシング用定盤２上に固定され、ダイアモンドカッター５によりＸ軸方向にウエハ４ａに対して剥離シート３の肉厚の中程まで多数本の切込み９が形成される（図１（ｂ）参照）。
【００２０】
その後、ウエハ４ａに対して剥離シート３の肉厚の中程まで至る切込み深さでＹ軸方向にダイシングして切込み９が形成される。
【００２１】
このようにウエハ４ａをＸ軸方向およびＹ軸方向にダイシングすることにより、切込み９により分離された個々のＩＣチップ４を得ることができる。
【００２２】
次に、ダイシング用定盤２に保持された剥離シート付ウエハ１のうち直線状に連続する所定数のＩＣチップ４を吸着ヘッド７により吸着し、吸着ヘッド７によりＩＣチップ４を剥離シート３から剥離する。
【００２３】
ＩＣチップ４を剥離シート３から剥離する前に、剥離シート付ウエハ１に対して加熱し又は所定波長の光である紫外光を照射し、剥離シート３の粘着剤層の粘着力を低下させる。加熱又は紫外光照射の後、ＩＣチップ４を剥離シート３から剥す。
【００２４】
吸着ヘッド７は、連続する所定数のＩＣチップ４を吸着保持した後、このＩＣチップ４を予め表面に粘着剤１２が設けられた帯状の支持テープ１１上に移載する。
【００２５】
支持テープ１１は巻出リール１５から連続的に供給され、吸着ヘッド７によって支持テープ１１の粘着剤１２上へＩＣチップ４が移載され、この移載作業が繰り返して行なわれる。このようにして、粘着剤１２を有する帯状の支持テープ１１と、支持テープ１１の粘着剤１２に粘着された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シート１０が得られる（図１（ｂ））。
【００２６】
ＩＣチップ付シート１０は、その後巻取リール１６側へ送られて巻取リール１６により巻取られる。このようにして巻取リール１６によりＩＣチップ付シート１０の巻体が得られる。
【００２７】
なお、図１（ａ）（ｂ）（ｃ）において、ダイシング用定盤２と、ダイシングカッター５と、吸着ヘッド７とによりＩＣチップ付シートの製造装置が構成される。
【００２８】
以上のように、本実施の形態によれば、容易かつ簡単にＩＣチップ付シート１０を得ることができる。またこのＩＣチップ付シート１０を例えば、図示しないアンテナの所定部分にもってきて、ＩＣチップ付シート１０の支持シート１１側から抑圧してＩＣチップ４をアンテナ側へ実装することができる。
【００２９】
次に、図２により本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００３０】
図２に示す実施の形態は、ダイシング用定盤２上に載置された剥離シート付ウエハ１からＩＣチップ４を吸着ヘッド７により吸着して支持テープ１１上に移載する代わりに、パーツフィーダ２０により直線上に連続して搬送されるＩＣチップ４を吸着ヘッド７により吸着して支持テープ１１上に移載するものである。
【００３１】
他の構成は図１に示す第１の実施の形態と略同一である。図２において、図１に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を符して詳細な説明は省略する。
【００３２】
図２に示すように、パーツフィーダ２０は、多数のＩＣチップ４を収納するＩＣチップ収納部２１と、ＩＣチップ収納部２１に連結され振動によってＩＣチップ４を連続的に直線状に搬送する直線フィーダ２２とを有している。
【００３３】
パーツフィーダ２０のＩＣチップ収納部２１から直線フィーダ２２へ送られたＩＣチップ４は、この直線フィーダ２２によって直線状に搬送される。直線フィーダ２２によって搬送されたＩＣチップ４は、所定数まとめて吸着ヘッド７により吸着され、巻出リール１５から巻出される帯状の支持シート１１上に移載される。このように支持シート１１上に粘着剤１２を介してＩＣチップ４を設けることにより、ＩＣチップ付シート１０が得られる。このＩＣチップ付シート１０は巻取リール１６側へ送られ、この巻取リール１６に巻取られてＩＣチップ付シート１０の巻体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第１の実施の形態によるＩＣチップ付シートの製造方法を示す図。
【図２】本発明の第２の実施の形態によるＩＣチップ付シートの製造方法を示す図。
【符号の説明】
【００３５】
１  剥離シート付ウエハ
２  ダイシング用定盤
３  剥離シート
４  ＩＣチップ
４ａ  ウエハ
５  ダイシングカッター
７  吸着ヘッド
１０  ＩＣチップ付シート
１１  支持シート
１２  粘着剤
１５  巻出リール
１６  巻取リール
２０  パーツフィーダ
２１  ＩＣチップ収納部
２２  直線フィーダ
【図１】
2005284772.tif 000003
【図２】
2005284772.tif 000004