(57)【要約】【課題】この発明は回転テーブルの剛性を損なうことなく軽量化を図ることができるようにしたスピン処理装置を提供することにある。【解決手段】基板を保持する回転テーブル４と、この回転テーブルを回転駆動する駆動モータとを備え、回転テーブルは、駆動源モータが連結される基部体５と、この基部体の外周面に周方向に所定間隔で設けられた複数の取付け部６，７と、各取付け部の上面と下面とに基端部を取付けて上下方向に所定間隔で設けられた２枚の板状部材１２，１３からなるアーム８，９と、このアームの２枚の板状部材の少なくとも先端部間に設けられこれら板状部材を平行に保持するスペーサ１６と、アームの少なくとも先端部に設けられた上記基板を保持する支持ピン２１，２２及び係合ピン２３とを具備する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持する回転テーブルと、この回転テーブルを回転駆動する駆動源とを具備するスピン処理装置であって、
上記回転テーブルは、
上記駆動源が連結される基部体と、
この基部体の外周面に周方向に所定間隔で設けられた複数の取付け部と、
各取付け部の上面と下面とに基端部を取付けて上下方向に所定間隔で設けられた２枚の板状部材からなるアームと、
このアームの２枚の板状部材の少なくとも先端部間に設けられこれら板状部材を平行に保持するスペーサと、
上記アームの少なくとも先端部に設けられた上記基板を保持する保持部材と
を具備したことを特徴とするスピン処理装置。
【請求項２】
上記回転テーブルは、上面がカバーによって覆われていることを特徴とする請求項１記載のスピン処理装置。
【請求項３】
上記保持部材は、上記カバーの上面に設けられていることを特徴とする請求項２記載のスピン処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板を処理する際に、この基板を保持して回転駆動する回転テ−ブルを有するスピン処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば液晶表示装置の製造工程においては、矩形状のガラス基板に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスでは、上記基板の薬液による処理と、処理後の洗浄とが繰り返して行われる。洗浄された基板を乾燥処理する場合や基板にレジストを塗布する場合などには、上記基板をカップ体内に設けられた回転テ−ブルに保持し、この回転テ−ブルとともに回転させることで行なうようにしている。
【０００３】
上記回転テーブルは、たとえば駆動源に連結される基部体を有する。この基部体の外周面には周方向に所定間隔で複数のアームが放射状に設けられている。各アームの先端部には上記基板の角部を保持する保持部材が設けられている。そして、回転テーブルに基板が供給保持されたならば、この回転テーブルを回転させることで、基板にレジストを塗布したり、洗浄後の基板を乾燥処理するなどのことが行なわれる。
【０００４】
ところで、最近では上記基板が大型化する傾向にあり、たとえば２ｍ×２ｍの大型の矩形状の基板が用いられるようになってきている。基板が大型化すると、回転テーブルも大型化することになるから、アームが長尺化することになる。
【０００５】
長尺化したアームは、回転テーブルを回転させたときに、基板の角部を保持した保持部材に生じる遠心力が大きくなるため、その遠心力によって下方向への撓み量が大きくなる。それによって、基板と保持部材との係合が外れて基板を破損させるという虞がある。
【０００６】
そこで、従来は、回転テーブルを回転させたときに、アームに撓みが生じ難いようにするため、このアームを構成する板状の金属部材を厚肉化したり、板状の金属部材の下面に補強リブを設けるなどのことが行なわれている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記アームを厚肉化したり、補強リブを設けるなどすると、そのアームによって回転テーブルが高重量化して慣性力が大きくなるから、回転動力の増加を招いたり、コスト上昇を招くなどのことがある。
【０００８】
しかも、基板の乾燥処理時などに肉厚のアームや補強リブを有するアームが高速度で回転駆動されると、その回転によって乱流が生じ易いため、その乱流で乾燥処理時に基板から飛散したミスト状の液体がカップ体内を浮遊して基板に再付着し、基板の汚染を招く原因になるということもある。
【０００９】
この発明は、アームを厚肉化や高重量化することなく、撓みが生じ難い強度を持たせることができるようにしたスピン処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明は、基板を保持する回転テーブルと、この回転テーブルを回転駆動する駆動源とを具備するスピン処理装置であって、
上記回転テーブルは、
上記駆動源が連結される基部体と、
この基部体の外周面に周方向に所定間隔で設けられた複数の取付け部と、
各取付け部の上面と下面とに基端部を取付けて上下方向に所定間隔で設けられた２枚の板状部材からなるアームと、
このアームの２枚の板状部材の少なくとも先端部間に設けられこれら板状部材を平行に保持するスペーサと、
上記アームの少なくとも先端部に設けられた上記基板を保持する保持部材と
を具備したことを特徴とするスピン処理装置にある。
【００１１】
上記回転テーブルは、上面がカバーによって覆われていることが好ましい。
【００１２】
上記保持部材は、上記カバーの上面に設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、アームを、回転テーブルの基部体に基端部が取付けられた２枚の平行な板状部材によって構成したから、板状部材を薄くして軽量化を図るようにしても十分な強度を持たせることができるばかりか、板状部材を薄くできることで回転時の空気抵抗を小さくし、乱流の発生も抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。  
図１は処理槽１に設けられたスピン処理装置２を示し、このスピン処理装置２はカップ体３を有し、このカップ体３内には回転テーブル４が設けられている。図２に示すように回転テーブル４はリング状の基部体５を有する。この基部体５の外周面には等間隔で複数の取付け部、この実施の形態では４つの第１の取付け部６と、同じく４つの第２の取付け部７とが周方向に対して交互に放射状に突設されている。
【００１５】
第１の取付け部６には第１のアーム８が設けられ、第２の取付け部７には第２のアーム９が設けられている。すなわち、各取付け部６，７の上面と下面とにはそれぞれそれぞれ先端面に開放した凹部１１が形成されている。図３（ａ）に示すように、各取付け部６，７の上側の凹部１１にはそれぞれ上部板状部材１２の基端部がねじ１０によって固定され、下側の凹部１１には下部板状部材１３の基端部がねじ１０ｂによって固定されている。これら上部板状部材１２と下部板状部材１３とで上記第１、第２のアーム８，９を構成している。
【００１６】
上記上部板状部材１２と下部板状部材１３とは、たとえば薬品などに対して耐蝕性を備えたステンレス鋼板などの帯状金属板によって形成されていて、第１のアーム８を形成する一対の板状部材１２，１３の先端部は図２に示すように逆台形状の幅広部１４に形成されている。なお、板状部材１２，１３はステンレス鋼板に代わり、他の金属、たとえばアルミニウム合金などを用いるようにしてもよい。
【００１７】
各アーム８，９を形成する一対の板状部材１２，１３の間には、長手方向において、先端部及び中途部の２箇所にそれぞれ円筒状のスペーサ１６が後述するように取付け固定されている。これらのスペーサ１６によって上下方向に所定間隔で設けられた一対の板状部材１２，１３は平行に保たれている。なお、第１のアーム８の幅広部４には、図２に示すように幅方向に３つのスペーサ１６が設けられている。
【００１８】
このように、上下一対の板状部材１２，１３は、これらの間に設けられた複数のスペーサ１６によって一体化される。そのため、第１、第２のアーム８，９の軽量化を図るため、一対の板状部材１２，１３を薄い帯状金属板で形成しても、これら一対の板状部材１２，１３、つまり第１、第２のアーム８，９には上下方向に撓みが生じ難い剛性を持たせることができる。
【００１９】
上記回転テーブル４の上面はカバー１８によって覆われている。このカバー１８は円盤状の上面板１８ａの外周縁部下面に断面Ｌ字状の部材によってリング状に形成された側面板１８ｂが取着されている。上面板１８ａの中心部分には上記基部体５の外形寸法とほぼ同径の開口部１９が形成されている。この開口部１９の周辺部の上面には内側フランジ２１と外側フランジ２２とが設けられている。
【００２０】
そして、上記カバー１８は、図３（ａ）に示すように上面板１８ａの上記外側フランジ２２よりも径方向外方の部分が上記第１、第２の取付け部６，７に上記上部板状部材１２とともに上記ねじ１０ａによって固定される。なお、カバー１８は、塩化ビニールやステンレス鋼板などの耐薬品性を備えた薄い板材によって形成され、回転テーブル４の軽量化を図るようにしている。
【００２１】
上記カバー１８の上面板１８ａにはそれぞれ保持部材を形成する第１の支持ピン２１が設けられている。第１の支持ピン２１は、第１のアーム８の中途部に設けられた２つのスペーサ１６に対応する位置と、第２のアーム９の中途部に設けられた２つのスペーサ１６の一方に対応する位置とに設けられている。
【００２２】
上記第１のアーム８の先端部に設けられた３つのスペーサ１６のうち、中央のスペーサ１６に対応する位置には第１の支持ピン２１と同じ高さの第２の支持ピン２２が設けられ、両側の２つのスペーサ１６に対応する位置にはそれぞれ第２の支持ピン２２よりも背の高い一対の係合ピン２３が設けられている。上記第２の支持ピン２２と係合ピン２３は、上記第１の支持ピン２１ととともに保持部材を形成している。
【００２３】
上記第１の支持ピン２１、第２の支持ピン２２及び係合ピン２３は、図３（ａ）に示すように各アーム８，９の下面側からスペーサ１６に挿通されたねじ２４に、ワッシャ２５を介して螺合されている。つまり、上記ねじ２４は、各支持ピン２１，２２及び係合ピン２３とともにスペーサ１６をアーム８，９に取付け固定している。
【００２４】
そして、上記回転テーブル４には矩形状の基板Ｗが第１、第２の支持ピン２１，２２と係合ピン２３とによって保持されている。つまり、基板Ｗは、第１、第２の支持ピン２１，２２によって下面の中途部と角部とが支持され、第１のアーム８の先端部に設けられた一対の係合ピン２３によって角部の側面が係合保持されている。それによって、基板Ｗは回転テーブル４上に水平に、しかも回転テーブル４と一体的に回転するよう保持される。
【００２５】
なお、第２のアーム９の残り２つのスペーサ１６は、図３（ｂ）に示すように、そのアーム９の下部板状部材１３側からスペーサ１６にねじ２５を挿通し、カバー１８の上面板１８ａに突出したねじ２５の先端にキャップ付きのナット２６を螺合させることで、一対の板状部材１２，１３間に取付け固定されている。
【００２６】
図１に示すように、上記回転テーブル４は、その基部体５が駆動源を構成する駆動モータ３１によって回転駆動される駆動軸３２に連結されている。この駆動軸３２は中空状に形成されていて、下端が上記駆動モータ３１の回転子３１ａに連結され、内部には固定軸３３が挿通されている。それによって、駆動軸３２は上記駆動モータ３１の回転子３１ａによって回転駆動されるようになっている。
【００２７】
上記固定軸３３の上端にはノズルヘッド３４が設けられている。このノズルヘッド３４には図示しないが、回転テーブル４に保持された基板Ｗの下面に薬液や洗浄液を噴射する複数のノズルが設けられている。上記ノズルヘッド３４のノズルが設けられていない部分はノズルカバー３５によって覆われている。このノズルカバー３５は薬液や洗浄液が上記基部体５を通って駆動モータ３１側へ流れるのを阻止している。  
なお、基板Ｗの上面には回転テーブル４の上方に設けられる図示しない上部ノズルによって薬液や洗浄液が供給されるようになっている。
【００２８】
このような構成のスピン処理装置によれば、回転テーブル４の第１のアーム８と第２のアーム９とが上部板状部材１２と下部板状部材１３とで形成されている。上部板状部材１２と下部板状部材１３とは、それぞれ基端部が基部体５に設けられた取付け部６，７の上面と下面とに取付け固定されるとともに、これら板状部材１２，１３間に設けられたスペーサ１６によって平行に連結保持されている。
【００２９】
そのため、第１、第２のアーム８，９が薄い一対の板状部材１２，１３によって形成されていても、これら板状部材１２，１３がスペーサ１６によって連結されて一体化されているため、上下方向に撓みが生じ難い剛性を備えることができる。つまり、第１、第２のアーム８，９を厚肉な板材や補強リブが設けられた板材を用いずに剛性を高めることができるから、回転テーブル４の軽量化を図ることが可能となる。
【００３０】
しかも、第１、第２のアーム８，９は、剛性を持たせるために厚肉化したり、補強リブを設けるなどのことをせず、薄い２枚の板状部材１２，１３を上下方向に平行に離間させて形成したため、回転テーブル４を回転させたときに、第１、第２のアーム８，９の空気抵抗を低くすることができる。
【００３１】
それによって、回転テーブル４を回転させることで、カップ体３内に乱流が生じ難いから、たとえば基板Ｗの乾燥処理時などに基板Ｗから飛散したミスト状の洗浄液がカップ体３内を浮遊して基板Ｗに再付着するのを防止することができる。
【００３２】
上記回転テーブル４の上面及び外周面はカバー１８の上面板１８ａと側面板１８ｂとで覆われている。そのため、回転テーブル４の上面及び外周面は上記上面板１８ａと側面板１８ｂとによって平滑面となっているから、そのことによっても、回転テーブル４の回転によって乱流が発生し難い。
【００３３】
しかも、基板Ｗの下面に供給された薬液や洗浄液は上記カバー１８によって回転テーブル４の下面側に滴下するのが防止され、カバー１８の径方向外方に沿って流れるから、薬液を使用したときには薬液を、洗浄液を使用したときには洗浄液を、それぞれカバー１８に沿って流して回収することが可能となるから、異なる種類の薬液を分離回収することが可能となる。
【００３４】
この発明は上記一実施の形態に限定されるものでなく、たとえば回転テーブルの基部体にはそれぞれ４本の第１のアームと第２のアームを設けるようにしたが、４本の第１のアームだけを設ける構成であってもよい。  
また、上面板と側面板とでカバーを構成し、回転テーブルの上面だけでなく側面も覆うようにしたが、上面板によって上面だけを覆うようにしてもよい。  
また、各アームには先端部だけでなく、長手方向の中途部にもスペーサを設けたが、アームの長さなどによってはスペーサを長手方向の中途部には設けず、先端部だけに設けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】この発明の一実施の形態を示すスピン処理装置が設けられた処理賞の断面図。
【図２】カバーを分解した回転テーブルの斜視図。
【図３】（ａ）は第１のアームの拡大断面図、（ｂ）は第２のアームのスペーサが設けられて支持ピンが設けられない部分の拡大断面図。
【符号の説明】
【００３６】
４…回転テーブル、５…基部体、６…第１の取付け部、７…第２の取付け部、８…第１のアーム、９…第２のアーム、１２…上部板状部材、１３…下部板状部材、１６…スペーサ、１８…カバー、２１…第１の支持ピン（保持部材）、２２…第２の支持ピン（保持部材）、２３…係合ピン（保持部材）、３１…駆動モータ（駆動源）。
【図１】
2005205250.tif 000003
【図２】
2005205250.tif 000004
【図３】
2005205250.tif 000005