(57)【要約】【課題】高周波特性が優れ、記録フリンジの生じない狭トラックかつ高周波対応の積層型磁気ヘッドを提供する。【解決手段】金属磁性膜の両側面を一対の非磁性基板で挟持し、金属磁性膜の面を磁気ヘッドの摺動方向と略平行にして磁気ギャップを挟んで対向する両金属磁性膜の端面の位置をトラック幅方向で互いにずらしている。テープ摺動面において、コアの側面を切り込むように磁気コアの両側面から磁気ギャップ部の両端部にかけて切削し、トラック幅規制溝を形成する。両トラック幅規制溝のトラック幅方向の最深部の位置を磁気ギャップから所定距離はなれて略対称の位置になるように形成する。【選択図】        図１
2005004926.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属磁性膜を非磁性基板で挟んで構成し、少なくとも一方にコイルを巻く巻線窓を形成するための凹部を有する一対のコア半体を、所定の磁気ギャップを保って突き合わせ、かつそれぞれの金属磁性膜を前記磁気ギャップの長さ方向で相互に所定距離ずらせて組み合わせ、前記磁気ギャップの両端部を含むそれぞれの領域に、前記磁気ギャップの中点に対してほぼ点対称の山状のトラック幅規制溝を、それぞれの山状の項部の突出方向がそれぞれ前記山状の頂部が存在する領域の金属磁性膜の相互のずれ方向に向くように配列し、かつ前記磁気ギャップの長さが所定の寸法になるように形成したヘッドコア、及び
前記ヘッドコアの巻線窓に巻回したコイル
を有する磁気ヘッド。
【請求項２】
金属磁性膜を一対の非磁性基板で挟んで構成した一対のコア半体を磁気ギャップを保って組み合わせ、組み合わせたとき巻線窓が形成され、且つ磁気ギャップ面が前記金属磁性膜の面に対して所定のアジマス角を有するようにした磁気ヘッドのコアにおいて、
前記磁気ギャップを挟んで対向する前記両金属磁性膜の端面の位置が前記磁気ギャップの長さ方向で相互にずれており、記録媒体を摺動する面においては前記コアの側面から前記金属磁性膜を切り込むように、磁気ギャップの両端部を含む領域を切削して形成した一対のトラック幅規制溝を有し、前記一対のトラック幅規制溝は、前記磁気ギャップの長さ方向の最深部の位置が磁気ギャップから所定距離はなれた位置で前記磁気ギャップの中点に対してほぼ点対称になるように形成され、且つ上記トラック幅規制溝内に非磁性体を充填するとともに、前記巻線窓にコイルを巻回したことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項３】
前記金属磁性膜の、前記トラック幅規制溝の磁気ギャップの長さ方向における最深部の近傍における厚さが、磁気ギャップを挟んで対向する金属磁性膜の厚さより厚いことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
前記金属磁性膜は、金属磁性層と絶縁層との積層膜を複数積層して形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッド。
【請求項５】
前記非磁性体が低融点ガラスであることを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッド。
【請求項６】
金属磁性膜と非磁性基板とを交互に積み重ねて接着し、積層体を作成する工程、
前記積層体を所定のアジマス角に等しい角度だけ傾けて切断し、少なくとも一対のコアプレートを作成する工程、
前記一対のコアプレートの少なくとも一方のコアプレートの片方の面に巻線溝を形成する工程、
前記一対のコアプレートを、前記巻線溝のある面を対向させ、かつそれぞれの金属磁性膜の端面の位置を所定距離ずらせて組合せて接着し、ギャップドプレートを作成する工程、
前記ギャップドプレートを、巻線溝を挟みかつ巻線溝に平行な面で切断して、ギャップドバーを作成する工程、
前記ギャプドバーのテープ摺動面に、金属磁性膜を切り込むように磁気ギャップを挟んで互いに反対方向から前記磁気ギャップの両端部を含むそれぞれの領域に、前記磁気ギャップの中点に対してほぼ点対称の山状のトラック幅規制溝をそれぞれの山状の頂部がそれぞれ前記山状の頂部が存在する領域の金属磁性膜の相互のずれ方向に向くように配列し、かつ前記磁気ギャップの長さが所定の寸法になるように選定して形成する工程、
前記トラック幅規制溝内に非磁性体を充填する工程、及び
ギャップドバーのテープ摺動面を研磨した後、ヘッド走行方向と直交する方向に対して磁気ギャップが所定のアジマス角を有するようにギャップドバーを切断してヘッドコアを得る工程、
を有する磁気ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記金属磁性膜を金属磁性層と絶縁層との積層膜で形成する工程を有することを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記非磁性体として低融点ガラスを溶融して充填する工程を有することを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記トラック幅規制溝を切削加工により形成した後、トラック幅規制溝内にＳｉＯ２のスパッタリングにより反応防止膜を形成することを特徴とする請求項６記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記反応防止膜が、ＳｉＯ２、パイレックス（登録商標）、Ａｌ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３、Ｃｒ、の少なくともいずれか一種類の材料を用いて形成されていることを特徴とする請求項９記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はデジタルＶＴＲやストリーマ等に使用される、高い周波数の信号の高密度磁気記録再生に適した磁気ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、デジタルＶＴＲやストリーマ等、大量の情報を高転送レートで記録再生する磁気記録装置の開発が盛んに行われている。このような大量の情報を記録する磁気記録装置においては、磁気記録媒体も従来の酸化鉄系の媒体から、合金粉末の媒体や金属蒸着膜の媒体等の高い抗磁力を有する媒体へと変わってきた。これらの高い抗磁力を有する媒体に対応できるように、高い飽和磁束密度を有し５０ＭＨｚ以上の高い周波数帯域で優れた特性を有する磁気ヘッドの開発が望まれている。このような要望に対応するため、センダスト、アモルファス磁性合金又はＦｅＴａＮ等の金属磁性膜と絶縁膜とを交互に積層して積層膜を作り、この積層膜の両側を非磁性基板で挟持する構成にして高周波特性を向上させた、積層型磁気ヘッドが開発されている。
デジタルＶＴＲやストリーマは装置の小型化、高記録密度化、高転送レート化が進んでいる。高記録密度化に対しては、従来は３０μｍ以上であった磁気ヘッドのトラック幅を１５μｍ以下に狭くしている。トラック幅の誤差も従来の±２μｍから±１μｍ以下と小さくしてトラック幅を高精度に保つことが要求されている。またトラックピッチの変動も記録フリンジを防ぐためには±１μｍ以下であることが要求されている。
【０００３】
装置の小型化と高転送レート化に関しては、磁気ヘッドが搭載されたドラム装置のそれぞれ小型化と回転速度の高速化が進められている。例えば、ＶＨＳ方式のＶＴＲでは、ドラム装置の直径は６２ｍｍ、ヘッドとテープ間の相対速度は５．８ｍ／ｓ、磁気テープの厚みは約１８μｍである。これに対して、ＤＶ（デジタルビデオ）方式やＤＶＣＰＲＯ方式のＶＴＲでは、ドラム装置の直径は２１．７ｍｍ、ヘッドとテープ間の相対速度は１０ｍ／ｓ以上、磁気テープの厚みは１０μｍ以下となっている。そこでドラム装置の小型化、ヘッドとテープ間の相対速度の高速化、及び磁気テープの薄型化等に対応できる狭トラックの積層型磁気ヘッドが求められている。
【０００４】
従来例の積層型磁気ヘッドのコアを図４の（ａ）の斜視図に示す。この従来例の積層型磁気ヘッドのコアでは金属磁性層１と絶縁層２とを交互に積層した積層膜からなる磁性コア１３ａ、１３ｂの両側面を、２つの非磁性基板４により挟持して、一対のコア半体１０ａ、１０ｂが構成される。金属磁性層１の厚さは例えば３μｍ、絶縁層２の厚さは０．１μｍである。コア半体１０ｂには、コア半体１０ａと組み合わせたとき巻線窓６となる凹部６ａが形成されている。コア半体１０ａ、１０ｂは、磁気ギャップ部５に、ギャップ材５ａを挟んで対向するように組み合わされ、接合ガラス７によって接着されている。巻線窓６を通ってコア半体１０ｂに導線（図示省略）を巻回することにより磁気ヘッドが構成される。
ヘッドの移動方向（記録媒体の移動方向の逆方向）は矢印５０で示すように積層膜の膜面に略平行である。この構成の磁気ヘッドは高い周波数領域においても比較的高い感度を有する。
【０００５】
【特許文献１】
特開昭６２−１３９１０９
【特許文献２】
特開昭６３−２７９４０６
【特許文献３】
特開平１０−５５５０７
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
図４の（ｂ）は、図４の（ａ）のコアのテープ摺動面Ｆの上面図である。図において、前記従来例の積層型磁気ヘッドのコアにおいては、コア半体１０ａと１０ｂとをアジマス角θの磁気ギャップ部５で突き合わせて組み合わせるとき、コア半体１０ａの磁性コア１３ａとコア半体１０ｂの磁性コア１３ｂとを正確に対向させるのが困難であった。図４の（ｂ）に示す例では、磁性コア１３ａと１３ｂがずれ量δだけずれており、このずれを生じないように組み合わせることは、積層型磁気ヘッドの大量生産においては不可能であった。ずれ量δの値は例えば１μｍ以上になることがある。トラック幅が１０μｍ程度の狭トラック対応の積層型磁気ヘッドでずれ量δが１μｍとすると、トラック幅の約１０％となり、このずれ量δによりトラック幅が約１０％増加することになる。このように磁性コア１３ａと１３ｂとの間にずれがあると、記録時に、隣接するトラックのエッジ部の磁化の強さを低下させるので、エッジ部の記録レベルは低下し、実質的にトラック幅が狭くなったように作用する、いわゆる記録フリンジ現象と呼ばれる現象が発生するという問題がある。
【０００７】
図４に示す従来の構造の積層型磁気ヘッドでは、トラック幅が狭くなるに従って積層膜で構成された磁気コアの磁気抵抗が増加する。そのため特に高い周波数帯域で磁気ヘッドの効率が低下する。
図５は周波数が５０ＭＨｚの信号を再生するときのトラック幅（横軸）と、トラック幅が１０μｍのときの再生出力を０ｄＢとした相対規格化出力（縦軸）との関係を示すグラフである。図５に示すように、トラック幅が２０μｍ以下になると、相対規格化出力が急激に低下する。この点から高周波特性の優れた狭トラックの磁気ヘッドが実現できないという問題があった。
本発明は、一対のコア半体のそれぞれの積層膜が相互にずれていても、所望のトラック幅が保たれ、かつ高い周波数帯域で効率の低下しない磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決する手段】
本発明の磁気ヘッドは、金属磁性膜を非磁性基板で挟んで構成し、少なくとも一方にコイルを巻く巻線窓を形成するための凹部を有する一対のコア半体を、所定の磁気ギャップを保って突き合わせ、かつそれぞれの金属磁性膜を前記磁気ギャップの長さ方向で相互に所定距離ずらせて組み合わせ、前記磁気ギャップの両端部を含むそれぞれの領域に、前記磁気ギャップの中点に対してほぼ点対称の山状のトラック幅規制溝を、それぞれの山状の項部の突出方向がそれぞれ前記山状の頂部が存在する領域の金属磁性膜のずれ方向に向くように配列し、かつ前記磁気ギャップの長さが所定の寸法になるように、形成したヘッドコア、及び前記ヘッドコアの巻線窓に巻回したコイルを有する。
【０００９】
本発明によれば、一対のコア半体を磁気ギャップを保って組み合わせたコアを有する磁気ヘッドにおいて、前記コアの、磁気ギャップの両側の領域に山状のトラック幅規制溝を形成することにより、磁気ギャップの長さを所望の値にする。これにより磁気ギャップの長さにほぼ等しいトラック幅、すなわちこの磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体に記録したときに形成されるトラックの幅が所定の値に規制できる。
トラック幅規制溝を形成した結果、金属磁性膜の磁路が狭くなるのを避けるために、一対のコア半体を組み合わせるときそれぞれの金属磁性膜を磁気ギャップの長さ方向で相互に所定距離だけずらすとともに、前記トラック幅規制溝を山状に形成して、山状の頂部の突出方向が前記金属磁性膜のずれの方向に向くようにしている。前記両金属磁性膜を互いにずらすことにより、山状の頂部近傍における金属磁性膜の厚みの減少が避けられ、磁路が狭くなるのを防ぐことができる。すなわち前記トラック幅規制溝により狭くなった磁路を補うことができる。以上のように、一対のコア半体の両金属磁性膜を故意にずらせていることから、製造時において両金属磁性膜の相互のズレを防ぐ必要はなく、このずれ量が多少変動しても問題はない。これにより、製造時の取扱いが容易になり、ひいては製造コストの低減につながる。
【００１０】
本発明の他の観点の磁気ヘッドは、金属磁性膜を一対の非磁性基板で挟んで構成した一対のコア半体を磁気ギャップを保って組み合わせ、組合わせたとき巻線窓が形成され、磁気ギャップ面が前記金属磁性膜の面に対して所定のアジマス角を有する磁気ヘッドのコアにおいて、前記磁気ギャップを挟んで対向する前記両金属磁性膜の端面の位置が前記磁気ギャップの長さ方向で相互にずれており、記録媒体を摺動する面において、前記コアの側面から前記金属磁性膜を切り込むように、磁気ギャップの両端部を含む領域を切削することにより形成された一対のトラック幅規制溝を有し、前記一対のトラック幅規制溝は、前記磁気ギャップの長さ方向の最深部の位置が磁気ギャップから所定距離はなれた位置で前記磁気ギャップの中点に対してほぼ点対称になるように形成され、且つ上記トラック幅規制溝内に非磁性体を充填するとともに、前記巻線窓コイルを巻回したことを特徴とする。
【００１１】
本発明によれば、前記の作用効果に加えて、前記トラック幅規制溝内に非磁性体を充填しているので、磁気媒体との摺動面が平坦になり、磁気媒体に損傷を与えるおそれがない。
本発明の磁気ヘッドの製造方法は、金属磁性膜と非磁性基板とを交互に積み重ねて接着し、積層体を作成する工程、前記積層体を所定のアジマスに等しい角度だけ傾けて切断し、少なくとも一対のコアプレートを作成する工程、前記一対のコアプレートの少なくとも一方のコアプレートの片方の面に巻線溝を形成する工程、前記一対のコアプレートを、前記巻線溝のある面を対向させ、かつそれぞれの金属磁性膜の端面の位置を所定距離ずらせて組合せて接着し、ギャップドプレートを作成する工程、前記ギャップドプレートを巻線溝を挟みかつ巻線溝に平行な面で切断して、ギャップドバーを作成する工程、前記ギャプドバーのテープ摺動面に、金属磁性膜を切り込むように磁気ギャップを挟んで互いに反対方向から前記磁気ギャップの両端部を含むそれぞれの領域に、前記磁気ギャップの中点に対してほぼ点対称の山状のトラック幅規制溝をそれぞれの山状の頂部が前記山状の頂部が存在する領域の金属磁性膜の相互のずれ方向に向き、かつ前記磁気ギャップの長さが所定の寸法になるように、形成する工程、前記トラック幅規制溝内に非磁性体を充填する工程、ギャップドバーのテープ摺動面を研磨した後、ヘッド走行方向と直交する方向に対して磁気ギャップが所定のアジマス角を有するようにギャップドバーを切断してヘッドチップを得る工程を有する。
【００１２】
【発明の実施形態】
以下、本発明の磁気ヘッドの好適な実施例について、図１から図３を参照して詳細に説明する。
図１の（ａ）は本実施例の磁気ヘッドのヘッドコア３０の構成を示す斜視図であり、図１の（ｂ）は、図１の（ａ）のヘッドコア３０の、磁気記録媒体に接する面Ｆの部分平面図である。図１の（ａ）において、ヘッドコア３０は、コア半体３０ａとコア半体３０ｂとを組み合わせて構成される。コア半体３０ａは、例えば厚さ３μｍの金属磁性層１と厚さ０．１μｍの絶縁層２とを積層した積層膜３ａを例えば５枚重ねて設けると総厚は約１５．５μｍとなる。この例では５枚の積層膜３ａからなる磁性コア１３ａを２枚の非磁性基板４ａで挟んで構成されている。図１の（ａ）及び（ｂ）では、図が繁雑になるのを避けるため積層膜３ａを例として５枚だけ重ねたものを図示したが、具体例では９枚設けているので総厚は約２８μｍとなる。コア半体３０ｂは、コア半体３０ａと同様に、金属磁性層１と絶縁層２とを積層した積層膜３ｂを５枚設け、５枚の積層膜３ｂからなる磁性コア１３ｂを２つの非磁性基板４ｂで挟んで構成される。非磁性基板４ａ，４ｂは、厚みが例えば０．０７ｍｍのセラミック材等の板である。図１の（ａ）、（ｂ）では非磁性基板４の厚みに対して磁性コア１３ａ、１３ｂの厚みを誇張して図示している。コア半体３０ｂには凹部１６があらかじめ形成されており、コア半体３０ｂをコア半体３０ａに組み合わせたとき、凹部１６により巻線窓６が形成される。巻線窓６を通ってヘッドコア３０にコイル３６を巻くことにより磁気ヘッドが構成される。
【００１３】
単位の金属磁性層１の厚さは出来るだけ薄くするのが望ましい。金属磁性層１が例えば１０μｍ程度の厚さになると内部応力が増大して磁気特性が悪化する。また成膜時間が長くなるので製造コストが上昇する。金属磁性層１を薄くするほど磁気特性は良くなるが、一定の厚さの磁性コア１３ａ、１３ｂを得るために必要な積層数が多くなる。そのため製膜の工数が多くなって製造コストが上昇する。本実施例では、種々の条件を考慮して前記のように、金属磁性層１の厚さを３μｍ、絶縁層２の厚さを０．１μｍとし、積層膜３ａ、３ｂを９枚積層した。好ましい厚さの範囲は、金属磁性層１の厚さが０．１μｍから６μｍ、絶縁層２の厚さが０．０１μｍから０．３μｍである。
【００１４】
本実施例の磁気ヘッドを用いて記録再生するとき磁気記録媒体に接する、ヘッドコア３０の面Ｆの部分平面図を図１の（ｂ）に示す。図１の（ａ）及び（ｂ）において、ヘッドコア３０の面Ｆを含む両側部にトラック幅規制溝８ａ、８ｂが形成されている。トラック幅規制溝８ａ、８ｂは、面Ｆの近傍のヘッドコア３０を両側からＶ字形に切削して形成されている。トラック幅規制溝８ａ、８ｂによって、この磁気ヘッドで記録媒体に記録するときに形成されるトラックの幅を決める磁気ギャップ５の長さを所望の寸法にする。すなわち、トラック幅規制溝８ａ及び８ｂにより磁気ギャップ５の両端部を削除して、磁気ギャップ５の長さＧを所望の寸法にする。磁気ギャップ５の長さＧを所望の寸法にすることにより、磁気記録媒体に記録するときに形成されるトラックの幅Ｗを所定の寸法にすることができる。本実施例ではトラック幅Ｗは８μｍである。トラック幅規制溝８ａ、８ｂ内には低融点ガラス９が充填されて面Ｆが滑らかな曲面になされている。矢印５０は磁気ヘッドの磁気記録媒体に対する移動方向を示す。
本実施例のヘッドコア３０では、金属磁性層１に飽和磁束密度が大きいＦｅＴａＮ（鉄、タンタルの窒化物）の磁性膜を用い、絶縁層２にＳｉＯ２（二酸化シリコン）を用いている。また非磁性基板４にはチタン酸マグネシウムの基板を用いている。
【００１５】
図１の（ｂ）に示すように、本実施例のヘッドコア３０では、コア半体３０ａの磁性コア１３ａと、コア半体３０ｂの磁性コア１３ｂとを、積層方向において距離Ｍだけずらして、両コア半体３０ａと３０ｂを組み合わせている。距離Ｍは、磁性コア１３ａ、１３ｂの厚さＴの１０％から３０％の範囲にあるのが好ましい。トラック幅規制溝８ａは、コア半体３０ａ、３０ｂの上側の非磁性基板４及び磁性コア１３ａ、１３ｂをＶ字型に切削して形成されている。トラック幅規制溝８ａの山状の頂部１２ａの突出方向は、コア半体３０ａの磁性コア１３ａの磁性コア１３ｂに対するずれ方向に向いており、頂部１２ａは磁性コア１３ａの中程近くの深さに達している。またトラック幅規制溝８ｂは、コア半体３０ａ、３０ｂの下側の非磁性基板４及び磁性コア１３ａ、１３ｂをＶ字型に切削して形成されている。トラック幅規制溝８ｂの山状の頂部１２ｂの突出方向は、コア半体３０ｂの磁性コア１３ｂの磁性コア１３ａに対するずれ方向に向いており、磁性コア１３ｂ中程近くの深さに達している。トラック幅規制溝８ａ、８ｂの深さは、磁気ギャップ５の長さＧが所望の長さになるように設定する。トラック幅規制溝８ａとトラック幅規制溝８ｂの形状については、磁気ギャップ５の中点５ｃに対して点対称になるようにするのが望ましい。トラック幅規制溝８ａの頂部１２ａと磁性コア１３ａの下面との距離Ｐａは磁気ギャップ５の長さＧより長く、かつトラック幅規制溝８ｂの頂部１２ｂと磁性コア１３ｂの上面との距離Ｐｂは磁気ギャップ５の長さＧより長くなるように、前記トラック幅規制溝８ａ、８ｂのそれぞれの深さ、及び磁性コア１３ａ、１３ｂの相互のずれの距離Ｍの大きさを設定するのが望ましい。トラック幅規制溝８ａ、８ｂの山状の頂部１２ａ、１２ｂの形状は図２に示す三角形に限定されるものではなく、円弧状、台形状などの形状でもよい。
【００１６】
図１の（ｂ）において、磁性コア１３ａは、磁性コア１３ｂに対して図の下方に距離Ｍだけずれているので、トラック幅規制溝８ａの頂部１２ａが磁性コア１３ａの中程近くまで形成されても、磁路の形成に必要な磁性コア１３ａは充分な厚みＰａを有している。同様にして、磁性コア１３ｂは、磁性コア１３ａに対して図の上方に距離Ｍだけずれているので、トラック幅規制溝８ｂの頂部１２ａが磁性コア１３ｂの中程近くまで形成されても、磁路の形成に必要な磁性コア１３ｂは充分な厚みＰｂを有している。このずれの距離Ｍが短かすぎると、トラック幅規制溝８ａ、８ｂによりそれぞれの積層膜３ａ、３ｂが削られて、磁路となる磁性コア１３ａ、１３ｂの厚みＰａ、Ｐｂが磁気ギャップ５の長さＧより小さくなるおそれがある。このようになると、記録時には、磁気ギャップ５に十分大きな密度を有する磁束を生じさせることができなくなり、記録磁化の強さが規定値より小さくなる。また再生時には、記録磁化により磁気ギャップ５から磁性コア１３ａ、１３ｂに流入する磁束の密度が規定値より低下して再生感度が低下する。すなわち磁気ヘッドの記録特性及び再生特性を大きく劣化させることになる。以上のようにコア半体３０ａと３０ｂのそれぞれの磁性コア１３ａと１３ｂを互いに距離Ｍだけずらすことにより、後の「磁気ヘッドの製造方法」において説明するように、図２の（ａ）に示す同一の積層体２０を切り分けて形成したコア半体３０ａ、３０ｂを組み合わせたヘッドコアに、トラック幅規制溝８ａ、８ｂを形成する方法でも、磁路の形成に必要な磁性コア１３ａ、１３ｂの厚さを確保することができる。
【００１７】
図１に示す本実施例の磁気ヘッドと、本実施例の磁気ヘッドと同じトラック幅８μｍの図４に示す従来例の積層型磁気ヘッドとを比較したところ、５０ＭＨｚの信号の記録再生において、本実施例の磁気ヘッドは従来のものより４ｄＢ高い再生出力が得られた。
本発明の前記実施例の積層型磁気ヘッドの製造方法を図２及び図３を参照しながら説明する。図２の（ａ）から（ｄ）及び図３の（ａ）及び（ｂ）は、本発明の積層型磁気ヘッドの製造工程を示す斜視図である。図２及び図３は製造方法を示すことを目的としているため、寸法や形状がやや不正確であり図１に示す形状と正しく対応していない部分がある。
【００１８】
図２の（ａ）の工程において、金属磁性層１と絶縁層２とを積層した積層膜３を複数枚積層した積層コア３５と非磁性基板４ａとを交互に積重ねて積層体２０を作る。図２の（ａ）に示す積層体２０では、６つの積層コア３５と７つの非磁性基板４ａとを交互に積重ねているが、これらの数は一例であって、上記の数に限定されるものではない。積層膜３は、層厚が３μｍの金属磁性層（ＦｅＴａＮ磁性膜）と層厚が０．１μｍの絶縁層（ＳｉＯ２）とを積層している。積層コア３５は積層膜３を９層積重ねて、総厚が約２８μｍの積層コアとしたものである。非磁性基板４ａはチタン酸マグネシウムの大きな素材基板であり、サイズは図１の非磁性基板４よりはるかに大きい。
図２の（ａ）に示すように、積層体２０の面に垂直な矢印４１で示す垂線に対して、アジマス角θだけ傾いた切断線４２に沿って所定の幅で積層体２０を切断し、複数の積層体片（コアプレート）２１に切分ける。
【００１９】
図２の（ａ）における切断によって得られたコアプレート２１の一方の面である磁気ギャップ面２６に、図２の（ｂ）に示すように縦に３つの巻線溝２２を形成し、コアプレート２１ａを作る。巻線溝２２は後の工程を経て巻線窓６となるものであるが、数は３つに限られるものではなく、コアプレート２１の大きさに応じて任意の数にすればよい。図２の（ｂ）では巻線溝２２を一方のコアプレート２１ａのみに設けているが、他方のコアプレート２１にも設けてもよい。
磁気ギャップ面２６を平滑に研磨した後、その面上に所定の厚さのギャップ材の膜（図示省略）を形成する。ギャップ材は、例えばＳｉＯ２の薄膜である。
次に図２の（ｃ）に示すように、コアプレート２１とコアプレート２１ａとを組み合わせる。このときコアプレート２１の積層コア３５とコアプレート２１ａの積層コア３５とが所定の寸法（Ｍ）だけずれて対向するように組み合わせる。ずれて対向するコアプレート２１、２１ａのそれぞれの積層コア３５を図２の（ｃ）の円２７の部分を拡大した図２の（ｄ）に示す。上記のように組み合わせたコアプレート２１、２１ａの巻線溝２２内に低融点の接合ガラス材（図示省略）を入れて加熱処理すると、コアプレート２１、２１ａは前記のガラス材を接着剤として一体に接着され、ギャップドプレートと以下で称する部品２３となる。ギャップドプレート２３を隣り合う巻線溝２２の間の面を通る切断線４４で切断し、かつ不要部分を削除すると、図３の（ａ）に示す外形を有し、トラック幅規制溝８ａ、８ｂを加工する前のギャップドバーと以下で称する部品２４が得られる。
【００２０】
図３の（ａ）において、図２の（ｃ）の工程で得られたギャップドバー２４の磁気テープに対向する面２８に、両側面から交互にダイシングソーを用いて切り込みを入れ、トラック幅規制溝８ａ、８ｂを形成する。ダイシングソーによる切り込み深さは、図１の（ｂ）に示す磁性コア１３ａ、１３ｂの磁路幅の距離Ｐａ、Ｐｂが磁気ギャップ幅Ｇより小さくならないようにする。図３の（ｂ）は面２８の平面図である。
【００２１】
トラック幅規制溝８ａ、８ｂの内壁面にＳｉＯ２の反応防止膜（図示省略）をスパッタリングにより形成した後、トラック幅規制溝８ａ、８ｂ内に低融点ガラス９を加熱溶融して充填する。次に図３の（ｂ）に示すように、積層コア３５の面にほぼ並行する切断線４６でギャップドバー２４を切断すると、図１の（ａ）に示すヘッドコア３０が得られる。
【００２２】
本実施例のヘッドコア３０では、図３の（ａ）に示すように、ギャップドバー２４の磁気テープに対向する面２８に両側から切り込みを入れてトラック幅規制溝８ａ、８ｂを形成してギャップ５の両端部を削り取ることによってギャップ長Ｇを所望の寸法に規制するので、トラック幅Ｗを有する高精度のヘッドコア３０を安定して製造することができる。本実施例のヘッドコア３０を用いた磁気ヘッドでは、所望の正確なトラック幅Ｗが得られるので記録フリンジが生じることはなく、トラック幅Ｗが１０μｍ以下の狭トラックの磁気記録再生においても比較的高い記録レベルを保つとともに高い再生感度が得らる。すなわち、狭トラック対応積層磁気ヘッドが実現できる。トラック幅規制溝８ａ、８ｂを形成した結果、金属磁性膜の磁路が狭くなるのを防止するために、一対のコア半体３０ａ、３０ｂのそれぞれの磁性コア１３ａ、１３ｂを磁気ギャップの長さ方向で相互に所定距離Ｍだけずらすとともに、前記トラック幅規制溝８ａ、８ｂの山状の頂部１２ａ、１２ｂが前記磁性コア１３ａ、１３ｂのずれ方向に向くようにしている。これにより山状の頂部近傍における金属磁性膜の厚みの減少が避けられ、充分大きな磁路が保たれる。その結果高い周波数でも磁気抵抗が増加せず、高周波特性の優れた磁気ヘッドが得られる。
本実施例では金属磁性層１としてＦｅＴａＮを用いた例について説明したが、これに限定されるものではなく、金属磁性層１としてＣｏ系のアモルファス合金やＦｅ系の他の軟磁性合金を用いても同様の効果が得られる。
【００２３】
本実施例では非磁性基板４としてチタン酸マグネシウムを用いた例について説明したが、これに限られるものではなく、非磁性基板４として、非磁性単結晶フェライト基板やチタン酸カルシウム等の基板を用いても同様の効果が得られる。
本実施例ではトラック幅規制溝８ａ、８ｂの形成方法としてダイシングソーを用いた切削加工について述べたが、これに限られるものではなく、レーザ加工や放電加工等の他の加工方法によっても同様の効果が得られる。
本実施例ではトラック幅規制溝内の反応防止膜としてＳｉＯ２を用いた場合について説明したが、これに限られるものではなく、ＳｉＯ２、パイレックス（登録商標）、Ａｌ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３及びＣｒの少なくともいずれか一種類の材料を用いた反応防止膜であれば、同様の効果が得られる。
【００２４】
本実施例ではトラック幅規制溝８ａ、８ｂ内に充填する非磁性体として低融点ガラス９の場合について述べたが、これに限られるものではなく非磁性材料であれば、他の材料であっても同様の効果が得られる。
【００２５】
【発明の効果】
以上の実施例により詳細に説明したように、本発明によれば、一対のコア半体を磁気ギャップを保って組み合わせたコアにおいて、前記コアの、磁気ギャップの両側の領域に山状のトラック幅規制溝を形成することにより、磁気ギャップの長さを所望の値にできる。これにより磁気ギャップの長さに応じて定まるトラック幅が所定の値に規制される。トラック幅規制溝を形成することにより、金属磁性膜の磁路が狭くなるのを防止するために、一対のコア半体のそれぞれの金属磁性膜を磁気ギャップの長さ方向で相互に所定距離だけずらすとともに、前記トラック幅規制溝の山状の頂部が前記金属磁性膜のずれの方向に向くようにする。これにより山状の頂部近傍における金属磁性膜の厚みの減少が避けられ、磁路が狭くなるのを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は本発明の実施例の磁気ヘッドの斜視図
（ｂ）は磁気ヘッドの磁気媒体摺動面Ｆの部分平面図
【図２】（ａ）から（ｄ）は本発明の磁気ヘッドの製造方法の各工程を示す斜視図
【図３】（ａ）及び（ｂ）は上記製造方法の図２の（ｄ）に続く工程を示す斜視図及び平面図
【図４】（ａ）は従来の磁気ヘッドの斜視図
（ｂ）は従来の磁気ヘッドのテープ摺動面の平面図
【図５】従来の磁気ヘッドにおける、５０ＭＨｚの信号の再生出力の相対規格化出力とトラック幅との関係を示すグラフ
【符号の説明】
１      金属磁性層
２      絶縁層
３ａ    積層膜
４、４ａ  非磁性基板
５      磁気ギャップ
５ｃ    磁気ギャップの中点
６      巻線窓
８ａ、８ｂ  トラック幅規制溝
９      低融点ガラス
Ｗ      トラック幅
１２ａ、１２ｂ  規制溝最深部
１３ａ、１３ｂ  磁性コア
１６      コイル
２０      積層体
２１、２１ａ    コアプレート
２２      巻線溝
２３      ギャップドプレート
３５      積層コア
Ｇ        ギャップ長
Ｍ        ずれ量
３０ａ、３０ｂ  コア半体
３０      ヘッドコア
４２、４４、４６  切断線
【図１】
2005004926.tif 000003
【図２】
2005004926.tif 000004
【図３】
2005004926.tif 000005
【図４】
2005004926.tif 000006
【図５】
2005004926.tif 000007