(57)【要約】【課題】エレクトレットフィルムの帯電量を検知することができる静電アクチュエータ及びこのような静電アクチュエータを利用したカメラを提供すること。【解決手段】エレクトレットフィルムで構成された移動子を駆動するための駆動電極の一部を別接続としておき、この別接続とした部分を検知電極６とする。移動子を駆動させたときに検知電極６で検知される電位の変化からエレクトレットの帯電量を検知する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の所定ピッチで配列された複数の駆動電極を有する固定子と、第２の所定ピッチで複数の帯電処理が成されたエレクトレットフィルムで形成された移動子と、を含み、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記移動子を駆動して前記移動子を前記固定子に対して相対的に変位させる静電アクチュエータにおいて、
前記固定子上の所定部位に配置された少なくとも１つの検知電極と、
前記移動子の変位によって変化する前記検知電極の電位を検知する検知手段と、
を具備することを特徴とする静電アクチュエータ。
【請求項２】
前記検知手段による前記電位の検知は、前記移動子の変位による周期的な電位変化の振幅を検知することによって行うことを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項３】
前記検知手段によって検知された前記電位に応じて前記駆動電極に印加する電圧を変化させる制御手段を更に具備することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項４】
前記制御手段は、前記駆動電極に印加する電圧の周期を変化させることにより前記駆動電極に印加する電圧を変化させることを特徴とする請求項３に記載の静電アクチュエータ。
【請求項５】
前記駆動電極と前記検知電極との間隔は、前記駆動電極同士の間隔よりも広いことを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項６】
前記検知電極は、前記複数の駆動電極の中の少なくとも１つの電極であることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項７】
前記検知電極が複数であることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
【請求項８】
第１の所定ピッチで配列された駆動電極を有する固定子と、第２の所定ピッチで帯電処理が成されたエレクトレットフィルムで形成された移動子と、を含み、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記移動子を駆動して前記移動子を前記固定子に対して相対的に変位させる静電アクチュエータを有するカメラにおいて、
前記固定子上の所定部位に配置された検知電極と、
前記移動子の変位によって変化する前記検知電極の周期的な電位変化の振幅を検知する検知手段と、
前記検知手段によって検知した前記振幅の値が所定の範囲の値となった際に操作者に信号を伝達する伝達手段と、
を具備することを特徴とするカメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電アクチュエータ及びこの静電アクチュエータを利用したカメラに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、静電アクチュエータについての提案は成されており、例えば特許文献１では、帯状に配列された電極の電圧により薄膜で構成された移動子に電荷を誘起し、移動子に誘起させた電荷と電極の電荷との間の静電力を利用して移動子を静電駆動する静電アクチュエータが提案されている。
【０００３】
また、静電アクチュエータの中には、特許文献２の提案のように、移動子を予め帯電処理が施されたエレクトレットフィルムで構成し、このエレクトレットフィルムに保持された電荷を利用して移動子を駆動する静電アクチュエータも提案されている。このようなエレクトレットフィルムを利用した静電アクチュエータでは、移動子の駆動時に電荷を誘起させる必要がなく、特許文献１の静電アクチュエータと比較して低電圧の駆動が可能である。また、このような静電アクチュエータをカメラのシャッタ装置等に応用するような試みもなされてきている。
【特許文献１】特開平８−２２０５９２号公報
【特許文献２】特開平４−１１２６８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
エレクトレットフィルムは、適正な素材に対して適正な条件で帯電処理を行うことによって実用的な使用期間を通じて一定量以上の電荷が確保されるが、このエレクトレットフィルムが長期間に渡って使用されたり、過酷な環境で使用若しくは保管されたりした場合等では、帯電量が大幅に低下して所望の動作を実行させることが不可能になる可能性がある。このため、エレクトレットフィルムの帯電量を検知できるようにすることが好ましい。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、エレクトレットフィルムの帯電量を検知することができる静電アクチュエータ及びこのような静電アクチュエータを利用したカメラを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明の第１の態様による静電アクチュエータは、第１の所定ピッチで配列された駆動電極を有する固定子と、第２の所定ピッチで帯電処理が成されたエレクトレットフィルムで形成された移動子と、を含み、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記移動子を駆動して前記移動子を前記固定子に対して相対的に変位させる静電アクチュエータにおいて、前記固定子上の所定部位に配置された検知電極と、前記移動子の変位によって変化する前記検知電極の電位を検知する検知手段とを具備することを特徴とする。
【０００７】
この第１の態様によれば、エレクトレットの帯電量を検知することができる。
【０００８】
また、上記の目的を達成するために、本発明の第２の態様によるカメラは、第１の所定ピッチで配列された駆動電極を有する固定子と、第２の所定ピッチで帯電処理が成されたエレクトレットフィルムで形成された移動子と、を含み、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記移動子を駆動して前記移動子を前記固定子に対して相対的に変位させる静電アクチュエータを有するカメラにおいて、前記固定子上の所定部位に配置された検知電極と、前記移動子の変位によって変化する前記検知電極の周期的な電位変化の振幅を検知する検知手段と、前記検知手段によって検知した前記振幅の値が所定の範囲の値となった際に操作者に信号を伝達する伝達手段とを具備することを特徴とする。
【０００９】
この第２の態様によれば、エレクトレットの帯電量が低下したときに警告を行うことができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、エレクトレットフィルムの帯電量を検知することができる静電アクチュエータ及びこのような静電アクチュエータを利用したカメラを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。  
はじめに、エレクトレットを利用した静電アクチュエータの駆動原理について説明する。
【００１２】
本静電アクチュエータは、基本的に固定子１と移動子２とを備えており、移動子２は固定子１に対して図１（ａ）及び（ｂ）に於いて左右方向に移動自在に構成されている。そして、固定子１には、被写体からの光像を撮像素子（図示せず）に導くための開口部３が設けられている。更に、この固定子１には、上記移動子２の移動方向と直交する方向に、帯状の複数の延出された駆動電極４が所定の間隔で並設されている。
【００１３】
上記移動子２は、後述する永久分極された、延出された誘導体（以下、エレクトレットと称する）５の部位を複数備えている。
【００１４】
このような構成に於いて、駆動電極４に周波電圧を印加すると、駆動電極４と上述したエレクトレットとの間に吸引力若しくは反発力が発生し、結果的に移動子２が固定子１に対して相対移動する。したがって、移動子２が固定子１の開口部３を、開放若しくは遮蔽するように移動可能にしておけば、これによってシャッタ機構を構成することができる。
【００１５】
図１（ａ）はシャッタが開の状態を示し、図１（ｂ）はシャッタが閉の状態を示している。尚、固定子１に開口部３は必ずしも必要なものではなく、固定子１を透過部材として、図１（ａ）に示されるように、駆動電極４が設けられていない領域、すなわち、透過領域を形成しても良い。以下、被写体光束が通過するこのような領域を便宜的に開口部と称する。
【００１６】
図２は、こうした静電アクチュエータの断面を模式的に示すと共に該静電アクチュエータの駆動回路を示した図である。
【００１７】
静電アクチュエータ７に於いて、固定子１に並設されたそれぞれの駆動電極４には、駆動回路１０からの電圧信号線が接続されている。これらの電圧信号線には、４相の電圧信号が印加されるようになっており、従って、駆動電極４には、４本毎に同一の電圧信号が印加される。図２では、駆動電極４にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄの符号を付してこの電圧信号を区別している。
【００１８】
移動子２には、固定子１との対向面に永久分極された誘導体（エレクトレット）５を複数備えたエレクトレットフィルムである。
【００１９】
尚、この図は、あくまでも模式図であり、実際の駆動電極やエレクトレット部位の数や配置間隔は、装置の大きさ、開口部の面積、エレクトレット部位の極性、その配置形態、静電アクチュエータとして要求される駆動分解能やその駆動速度等の様々な要因によって適宜決定されるものである。また、この静電アクチュエータの場合、正負の極性を有するエレクトレット化部位が交互に配置されたタイプであるが、何れか一方の極性を省略しても良い。
【００２０】
図２の左側には、上述した静電アクチュエータ７の構成と共に、静電アクチュエータ７に印加する電圧信号を発生するための駆動回路１０の構成が示されている。
【００２１】
パルス発生回路１２で生成した矩形波列（駆動パルス信号）は、位相器１５及び昇圧回路１４に供給される。昇圧回路１４では、入力された矩形波列が１００Ｖ程度まで昇圧されると共に、２つの極性を有する電圧信号に分岐されて、駆動電極４Ａ及び４Ｃに供給される。一方、位相器１５に入力された矩形波列は、９０°位相が遅れた波形となり、その後、昇圧回路１４に入力されて、上述と同様の２つの矩形波列となり、駆動電極４Ｂ及び４Ｄに供給される。
【００２２】
図３は、上記駆動回路１０によって作成されて、駆動電極４Ａ〜４Ｄに印加される電圧信号列の例を示したタイミングチャートである。このうち、図３（ａ）は駆動電極４Ａ、図３（ｂ）は駆動電極４Ｂ、図３（ｃ）は駆動電極４Ｃ、図３（ｄ）は駆動電極４Ｄのタイミングチャートである。
【００２３】
尚、駆動電極４Ａ〜４Ｄの電圧の状態は、時間ｔ１〜ｔ４の４つの状態が、時間経過に対応して繰り返して変化するものである。
【００２４】
図４（ａ）〜（ｄ）は、上述した静電アクチュエータの動作を説明する図である。尚、図４（ａ）〜（ｄ）に於いて、同図右側方向をエレクトレットの進行方向として、後方側（左側）に正極（プラス）のエレクトレット５ａ、前方側（右側）に負極（マイナス）のエレクトレット５ｂが配列されているものとする。
【００２５】
図４（ａ）は、図３に示される時間ｔ１に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極４の電圧の状態（極性）を示している。
【００２６】
この状態に於いて、正極のエレクトレット５ａは、駆動電極４Ａ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ｂ（負極）から吸引力を受ける。また、負極のエレクトレット５ｂは、駆動電極４Ｃ（負極）から反発力を受け、駆動電極Ｄ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ａ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分右方向に移動する。
【００２７】
図４（ｂ）は、時間ｔ２に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。
【００２８】
この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極４Ｂ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ｃ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極４Ｄ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ａ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ｂ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。
【００２９】
同様に、図４（ｃ）は、時間ｔ３に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。
【００３０】
この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極４Ｃ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ｄ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極４Ａ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ｂ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ｃ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。
【００３１】
更に、図４（ｄ）は、時間ｔ４に切り替わった直後のエレクトレットと駆動電極の電圧の状態を示している。
【００３２】
この状態に於いて、エレクトレット５ａは、駆動電極４Ｄ（正極）から反発力を受け、駆動電極４Ａ（負極）から吸引力を受ける。また、エレクトレット５ｂは、駆動電極４Ａ（負極）から反発力を受け、駆動電極４Ｃ（正極）から吸引力を受ける。このため、移動子２は、図４（ｄ）の右方向に力を受けて、１つの駆動電極ピッチｄ分移動する。
【００３３】
上述したように、移動子２は１つの駆動電極ピッチｄ移動し、この動作が繰り返されることで、移動子２は図４（ａ）→（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）のように右方向（図示矢印Ｆ方向）に移動する。尚、移動子２を図の左方向に移動するためには、駆動電極４に印加する電圧の極性を逆順で切り替えれば良い。
【００３４】
図５は、静電アクチュエータに形成されたエレクトレットの帯電量を検知するための構成について示している。
【００３５】
即ち、本一実施形態では、図５に示すように、駆動電極４Ｃの一部を別接続とし、この別接続とした部分を帯電量検知用の電極６とするようにしている。なお、検知電極６の周囲の電極は、図５のように取り除いておくことが好ましい。これは、検知電極６が、その周囲の駆動電極の電位変化の影響を受けないようにするためである。なお、図５では検知電極６をＣ相に設けているが、他の相に設けるようにしてもよい。また、図５では検知電極６を１つのみ図示しているが複数設けるようにしても良い。例えば、Ｃ相のほかにＡ相の一部を検知電極とすれば、その差分を取ることで検知電極の出力を２倍にできる。更には、駆動電極の一部のみを検知電極として使用するのではなく、駆動電極の１本を全て検知電極としても良い。
【００３６】
このようにして形成した検知電極における帯電量の検知について図６を参照して説明する。本一実施形態では、検知電極６の電位変化を検知することによって帯電量を検知するようにしている。即ち、駆動電極４Ａ〜４Ｄに、図２のような電圧を印加したとき、検知電極６の電位がエレクトレットの移動に伴って図６のように周期的に変化するので、このときの振幅を検知することにより、エレクトレットの帯電量を検知することが可能である。
【００３７】
このようにして検知される帯電量と、本静電アクチュエータの使用年数との関係を図７のグラフに示す。即ち、通常の環境下で使用された場合のエレクトレットの帯電量の変化を図７の破線で、特に過酷な環境下で使用された場合の帯電量の変化を図７の実線で示すと、過酷な環境で使用された場合にはエレクトレットの帯電量が早く低下してしまうことが分かる。
【００３８】
本一実施形態では、静電アクチュエータが正常に動作する帯電量の下限よりも少し大きい帯電量を閾値（図７参照）とし、検知電極６で検知された帯電量が閾値を下回った場合に警告を出すようにして、静電アクチュエータの修理（例えば、帯電量が低下したエレクトレットの帯電量を回復させる）や交換を促すようにする。このようにすれば、静電アクチュエータを常に正常動作させることができる。
【００３９】
また、帯電量が低下した場合に、駆動電極に印加する電圧の周期を図２よりも長くするようにしても、移動子の移動速度は低下するが、静電アクチュエータの動作を確実に行わせることができる。
【００４０】
図８は、本発明の第１の実施形態に係る静電アクチュエータをシャッタ装置に適用したカメラの電気系のシステム構成を示すブロック図である。
【００４１】
図８に於いて、このカメラシステムは、ボディユニット１００と、アクセサリ装置として、例えば交換可能なレンズユニット（すなわちレンズ鏡筒）１１２と、通信コネクタ１３５を介して撮影した画像データを記録しておく記録メディア１３９と、ストロボ通信コネクタ１８５を介して接続される外付けのストロボユニット１８０とを有して構成されている。
【００４２】
上記レンズユニット１１２は、上記ボディユニット１００の前面に設けられた、図示しないレンズマウントを介して着脱自在に装着可能である。そして、上記レンズユニット１１２は、撮影レンズ１１２ａ及び１１２ｂと、絞り１０３と、レンズ駆動機構１０２と、絞り駆動機構１０４と、レンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｌμｃｏｍと称する）１０５とから構成されている。
【００４３】
上記撮影レンズ１１２ａ及び１１２ｂは、レンズ駆動機構１０２内に存在する図示しないＤＣモータによって、光軸方向に駆動される。絞り１０３は、絞り駆動機構１０４内に存在する図示しないステッピングモータによって駆動される。また、Ｌμｃｏｍ１０５は、上記レンズ駆動機構１０２や絞り駆動機構１０４等、レンズユニット１１２内の各部を駆動制御する。このＬμｃｏｍ１０５は、通信コネクタ１０６を介して、後述するボディ制御用マイクロコンピュータ１５０と電気的に接続がなされ、該ボディ制御用マイクロコンピュータ１５０の指令に従って制御される。
【００４４】
一方、ボディユニット１００は、以下のように構成されている。
【００４５】
レンズユニット１１２内の撮影レンズ１１２ａ及び１１２ｂ、絞り１０３を介して入射される図示しない被写体からの光束は、クイックリターンミラー１１３ｂで反射されて、ペンタプリズム１１３ａを介して接眼レンズ１１３ｃに至る。
【００４６】
上記クイックリターンミラー１１３ｂの中央部はハーフミラーになっており、該クイックリターンミラー１１３ｂがダウン（図示の位置）した際に一部の光束が透過する。そして、この透過した光束は、クイックリターンミラー１１３ｂに設置されたサブミラー１１３ｄで反射され、自動測距を行うためのＡＦセンサユニット１３０ａに導かれる。なお、上記クイックリターンミラー１１３ｂのアップ時には、サブミラー１１３ｄは折り畳まれるようになっている。
【００４７】
上記クイックリターンミラー１１３ｂの後方には、光軸上に配置され、上記した静電アクチュエータの駆動原理によって駆動するシャッタ装置と光学系を通過した被写体像を光電変換するための撮像素子（ＣＣＤ）を収容した撮像ユニットとを備えた撮像モジュール２０が設けられている。図示しないが、クイックリターンミラー１１３ｂが光路より退避した場合、撮影レンズ１１２ａ及び１１２ｂを通った光束は、撮像モジュール２０内の撮像素子に結像される。
【００４８】
また、撮像モジュール２０内のシャッタ装置には、上記図５のような検知電極６が設けられており、この検知電極６の出力が検知回路１５８に接続されている。ここで、検知回路１５８は、図９に示すような構成をしている。即ち、検知回路１５８は、バッファ回路と増幅回路とから構成された検知回路部１５８ａと、検知回路部１５８ａの出力をデジタル値に変換するＡ／Ｄ変換器１５８ｂとから構成されている。そして、Ａ／Ｄ変換器１５８ｂからの出力が、伝達手段としてのボディ制御用マイクロコンピュータ１５０に入力されてシャッタ装置を構成するエレクトレットの帯電量が検知される。
【００４９】
また、ボディユニット１００は、上記撮像モジュール２０内の撮像素子に接続された撮像素子インターフェイス回路１３４と、記憶領域として設けられたＳＤＲＡＭ１３８と、液晶モニタ１３６及び上記通信コネクタ１３５を介して記録メディア１３９とが、画像処理を行うための画像処理コントローラ１４０に接続されている。これらは、電子撮像機能と共に電子記録表示機能を提供できるように構成されている。
【００５０】
上記記録メディア１３９は、各種のメモリカードや外付けのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等の外部記録媒体であり、通信コネクタ１３５を介してボディユニット１００と通信可能、且つ交換可能に装着される。
【００５１】
上記画像処理コントローラ１４０は、通信コネクタ１３５と、測光回路１３２と、ミラー駆動機構１１８と、ＡＦセンサ駆動回路１３０ｂと、シャッタ駆動制御回路１４８と、検知回路１５８等と共に、このボディユニット１００内の各部を制御するためのボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、Ｂμｃｏｍと略記する）１５０に接続されている。
【００５２】
上記Ｂμｃｏｍ１５０には、当該カメラの動作状態を表示出力によって撮影者へ告知するための動作表示用ＬＣＤ１５７と、帯電量が低下したときなどの警告音を発するための警告用発音回路１５９と、カメラ操作スイッチ（ＳＷ）１５２と、電源回路１５３を介して電池１５４とが接続されている。
【００５３】
尚、上記Ｂμｃｏｍ１５０とＬμｃｏｍ１０５とは、レンズユニット１１２の装着時に於いて、通信コネクタ１０６を介して通信可能に電気的接続がなされる。そして、デジタルカメラとしてＬμｃｏｍ１０５がＢμｃｏｍ１５０に従属的に協働しながら稼動するようになっている。
【００５４】
上記測光回路１３２は、上記ペンタプリズム１１３ａからの光束に基づいて測光処理する回路である。上記ミラー駆動機構１１８はクイックリターンミラー１１３ｂを駆動制御する機構であり、ＡＦセンサ駆動回路１３０ｂは上記ＡＦセンサユニット１３０ａを駆動制御するための回路である。また、シャッタ駆動制御回路１４８は、上記シャッタ装置の動きを制御すると共に、Ｂμｃｏｍ１５０との間でシャッタの開閉動作を制御する信号とストロボと同調する信号の授受を行う。また、Ｂμｃｏｍ１５０において帯電量の低下が検知された場合には、シャッタ駆動制御回路１４８にシャッタ装置を駆動するための駆動周波電圧の電圧周期を長くするような指令が行われる。
【００５５】
動作表示用ＬＣＤ１５７は、当該カメラの動作状態や帯電量が低下した際の警告等を表示出力によってユーザへ告知するためのものである。上記カメラ操作スイッチ１５２は、例えば撮影動作の実行を指示するレリーズスイッチ、撮影モードと画像表示モードを切り替えるモード変更スイッチ及びパワースイッチ等、当該カメラを操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群で構成される。
【００５６】
更に、電源回路１５３は、電源としての電池１５４の電圧を、当該カメラシステムの各回路ユニットが必要とする電圧に変換して供給するために設けられている。
【００５７】
ストロボユニット１８０は、閃光発光部１８１と、ＤＣ／ＤＣコンバータ１８２と、ストロボ制御用マイクロコンピュータ１８３及び電池１８４とから成っている。そして、このストロボユニット１８０は、ストロボ通信コネクタ１８５を介して、ボディユニット１００と通信可能に装着可能である。
【００５８】
このように構成されたデジタルカメラの各部は、次のように稼動する。
【００５９】
先ず、画像処理コントローラ１４０により、Ｂμｃｏｍ１５０の指令に従って撮像素子インターフェイス回路１３４が制御されて、撮像モジュールから画像データが取り込まれる。この画像データは、一時保管用メモリであるＳＤＲＡＭ１３８に取り込まれる。このＳＤＲＡＭ１３８は、画像データが変換される際のワークエリア等に使用される。また、この画像データは、ＪＰＥＧデータに変換された後には、記録メディア１３９に保管されるように設定されている。
【００６０】
ミラー駆動機構１１８は、上述したように、クイックリターンミラー１１３ｂをアップ（ＵＰ）位置とダウン（ＤＯＷＮ）位置へ駆動するための機構である。ミラー駆動機構１１８によってクイックリターンミラー１１３ｂがダウン位置にある時、撮影レンズ１１２ａ及び１１２ｂからの光束は、ＡＦセンサユニット１３０ａ側とペンタプリズム１１３ａ側へと分割されて導かれる。
【００６１】
ＡＦセンサユニット１３０ａ内のＡＦセンサからの出力は、ＡＦセンサ駆動回路１３０ｂを介してＢμｃｏｍ１５０へ送信されて、周知の測距処理が行われる。
【００６２】
一方、ペンタプリズム１１３ａに隣接する接眼レンズ１１３ｃからは、撮影者が被写体を目視できる。また、上記ペンタプリズム１１３ａを通過した光束の一部は、測光回路１３２内の図示しないホトセンサへ導かれ、ここで検知された光量に基づいて周知の測光処理が行われる。
【００６３】
シャッタ駆動制御回路１４８では、Ｂμｃｏｍ１５０からシャッタを駆動制御するための信号が受取られると、その信号に基づいてシャッタ装置が制御される。それと共に、シャッタ駆動制御回路１４８から、所定のタイミングでＢμｃｏｍ１５０にストロボを発光させるためのストロボ同調信号が出力される。Ｂμｃｏｍ１５０からは、このストロボ同調信号に基づいて、ストロボユニット１８０に通信により発光指令信号が出力される。
【００６４】
また、撮影者によって上述したカメラ操作スイッチ１５２の中のモード変更スイッチが操作されて、撮影モードから画像表示モードへ切り換えられると、記録メディア１３９に保管された画像データが読み出されて、液晶モニタ１３６に表示可能である。記録メディア１３９から読み出された画像データは、画像処理コントローラ１４０に於いてビデオ信号に変換され、液晶モニタ１３６にて出力表示される。
【００６５】
以上説明したように、本一実施形態によれば、静電アクチュエータの駆動電極の一部を帯電量検知用の電極としたので、帯電量を常にモニタすることができ、常に正常な状態で静電アクチュエータを動作させることができる。
【００６６】
以上実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
【００６７】
さらに、上記した実施形態には種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件の適当な組合せにより種々の発明が抽出され得る。例えば、実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成も発明として抽出され得る。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明に係る静電アクチュエータの駆動原理について説明する図である。
【図２】静電アクチュエータの断面を模式的に示すと共に該静電アクチュエータの駆動回路を示した図である。
【図３】図２の駆動回路によって作成されて、駆動電極に印加される電圧信号列の例を示したもので、図３（ａ）は駆動電極４Ａ、図３（ｂ）は駆動電極４Ｂ、図３（ｃ）は駆動電極４Ｃ、図３（ｄ）は駆動電極４Ｄのタイミングチャートである。
【図４】図２に示される静電アクチュエータの動作を説明する図である。
【図５】検知電極について説明するための図である。
【図６】検知電極で検知される電位変化について示した図である。
【図７】帯電量と静電アクチュエータの使用年数との関係を示した図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る静電アクチュエータをシャッタ装置として用いたカメラの電気系のシステム構成を示すブロック図である。
【図９】検知回路の回路構成図である。
【符号の説明】
【００６９】
１…固定子、２…移動子、３…開口部、４Ａ〜４Ｄ…駆動電極、５ａ，５ｂ…エレクトレット、６…検知電極、２０…撮像モジュール、１００…ボディユニット、１０２…レンズ駆動機構、１０４…絞り駆動機構、１０５…レンズ制御用マイクロコンピュータ（Ｌμｃｏｍ）、１０６，１３５…通信コネクタ、１１２…レンズユニット、１１２ａ…撮影レンズ、１１３ｂ…クイックリターンミラー、１１３ａ…ペンタプリズム、１１３ｃ…接眼レンズ、１１３ｄ…サブミラー、１１８…ミラー駆動機構、１３０ａ…ＡＦセンサユニット、１３０ｂ…ＡＦセンサ駆動回路、１３２…測光回路、１３４…撮像素子インターフェイス回路、１３６…液晶モニタ、１３８…ＳＤＲＡＭ、１３９…記録メディア、１４０…画像処理コントローラ、１４８…シャッタ駆動制御回路、１５０…ボディ制御用マイクロコンピュータ（Ｂμｃｏｍ）、１５２…カメラ操作スイッチ、１５３…電源回路、１５４，１８４…電池、１５７…動作表示用ＬＣＤ、１５８…検知回路、１５９…警告用発音回路、１８０…ストロボユニット、１８１…閃光発光部、１８２…ＤＣ／ＤＣコンバータ、１８３…ストロボ制御用マイクロコンピュータ、１８５…ストロボ通信コネクタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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