(57)【要約】【課題】スクリーンに形成した印刷パターンを印刷対象物の印刷面に転写したとき、転写パターンの形成領域外への塗布剤の滲み出しを可及的に防止できるスクリーン印刷方法を提供する。【解決手段】配線基板１２の印刷面に印刷する印刷パターンが一面側に形成されたスクリーン１０を具備するスクリーン印刷機を用い、スクリーン１０の他面側に揮発性溶剤で粘度調整された塗布剤を塗布して、前記印刷パターンに倣って転写した、前記塗布剤から成る転写パターンを配線基板１２の印刷面に形成する際に、該スクリーン１０の一面側に所定数の配線基板１２を順次搬入し、順次搬入された配線基板１２の印刷面に前記転写パターンを形成したとき、前記転写パターンの形成領域外への塗布剤の滲み出しを防止すべく、配線基板１２のスクリーン１０の一面側への搬入を停止し、スクリーン１０の一面側を開放して、スクリーン１０の印刷パターンの形成領域外に滲み出した塗布剤を乾燥するように、スクリーン１０の一面側と配線基板１２の印刷面との間を所定時間離間することを特徴とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印刷対象物の印刷面に印刷する印刷パターンが一面側に形成されたスクリーンを具備するスクリーン印刷機を用い、
前記スクリーンの一面側に印刷対象物を搬入し、前記スクリーンの他面側に揮発性溶剤で粘度調整された塗布剤を塗布して、前記印刷パターンに倣って転写した、前記塗布剤から成る転写パターンを印刷対象物の印刷面に形成する際に、
該スクリーンの一面側に所定数の前記印刷対象物を順次搬入し、順次搬入された印刷対象物の印刷面に前記転写パターンを形成したとき、前記転写パターンの形成領域外への塗布剤の滲み出しを防止すべく、前記印刷対象物のスクリーンの一面側への搬入を停止し、前記スクリーンの一面側を開放して、前記スクリーンの印刷パターンの形成領域外に滲み出した塗布剤を乾燥するように、前記スクリーンの一面側と印刷対象物の印刷面との間を所定時間離間することを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項２】
スクリーンとして、網体の一面側に形成した樹脂から成るマスク部に、底面に網体が露出する開口部から成る印刷パターンを形成したメッシュ状スクリーンを用いる請求項１記載のスクリーン印刷方法。
【請求項３】
スクリーンの一面側と印刷対象物の印刷面との離間時間を、前記スクリーンに形成した印刷パターンの形成領域内の塗布剤が未乾燥状態であって、前記印刷パターンの形成領域外に滲み出した塗布剤を乾燥状態にし得る時間とする請求項１又は請求項２記載のスクリーン印刷方法。
【請求項４】
印刷対象物として、印刷面に配線パターンが形成された配線基板を用いる請求項１〜３のいずれか一項記載のスクリーン印刷方法。
【請求項５】
印刷対象物の印刷面に印刷する印刷パターンが一面側に形成されたスクリーンと、前記スクリーンの一面側と印刷対象物の印刷面とを接離する接離手段と、前記印刷対象物の印刷面が一面側に当接しているスクリーンの他面側に、揮発性溶剤で粘度調整された塗布剤を塗布して、前記一面側に当接している印刷対象物の印刷面に、前記印刷パターンに倣って転写した、前記塗布剤から成る転写パターンを形成するスキージと、前記接離手段に印刷対象物を搬入し、前記転写パターンが印刷面に形成された印刷対象物を接離手段から搬出する搬送手段とを具備するスクリーン印刷機であって、
該接離手段に搬入した所定数の前記印刷対象物の各印刷面に、前記転写パターンを形成したとき、前記印刷対象物の搬入を停止すると共に、前記スクリーンの一面側と印刷対象物の印刷面との間を所定時間離間し、前記スクリーンの一面側を開放して、前記スクリーンの印刷パターンの形成領域外に滲み出した塗布剤を乾燥するように、前記搬送手段及び接離手段を制御する制御部が設けられていることを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項６】
スクリーンが、網体の一面側に形成した樹脂から成るマスク部に、底面に網体が露出する開口部から成る印刷パターンが形成されているメッシュ状スクリーンである請求項５記載のスクリーン印刷機。
【請求項７】
制御部は、スクリーンの一面側と印刷対象物の印刷面との間を離間する時間を、前記スクリーンに形成した印刷パターンの形成領域内の塗布剤が未乾燥状態であって、前記印刷パターンの形成領域外に滲み出した塗布剤を乾燥状態にし得る時間となるように、搬送手段及び接離手段を制御する請求項５又は請求項６記載のスクリーン印刷機。
【請求項８】
印刷対象物が、印刷面に配線パターンが形成された配線基板である請求項５〜７のいずれか一項記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機に関し、更に詳細には印刷対象物の印刷面に印刷する印刷パターンが一面側に形成されたスクリーンを具備するスクリーン印刷機を用い、前記スクリーンの一面側に印刷対象物を搬入し、前記スクリーンの他面側に揮発性溶剤で粘度調整された塗布剤を塗布して、前記印刷パターンに倣って転写した、前記塗布剤から成る転写パターンを印刷対象物の印刷面に形成するスクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の薄型化、多ピン化及び小型化を図るべく、下記特許文献１には、図５に示す半導体装置が提案されている。
図５に示す半導体装置は、可撓性フィルムから成るベース基板１００の一面側に形成された配線パターン１０２，１０２・・の端部に形成されたパッド１０２ａ，１０２ａ・・が、半導体素子１０４の搭載面にも形成されており、このパッド１０２ａには、外部接続端子としてのはんだバンプ１０６が設けられている。
この様に、半導体素子１０４の搭載面に形成された配線パターン１０２，１０２・・及びパッド１０２ａ，１０２ａ・・と搭載される半導体素子１０４との接触を防止すべく、パッド１０２ａ，１０２ａ・・の各々を覆う絶縁膜１０８が形成されている。
かかるベース基板１００の半導体素子１０４の搭載面に接着剤層１１０によって接合された半導体素子１０４は、ベース基板１００の周縁部近傍に形成された配線パターン１０２のボンディング部１０２ｂにワイヤ１１２によって電気的に接続されて封止樹脂１１４により封止されている。
尚、ボンディング部１０２ｂが形成された配線パターン１０２には、幅狭の絶縁層１０９が配線パターン１０２を横切るように形成されており、ワイヤ１１２と配線パターン１０２との短絡を防止している。
かかる半導体素子１０４及びワイヤ１１２等は、封止樹脂１１４により封止されている。
【特許文献１】特開平１１−５４６５８号公報（図２１）
【０００３】
図５に示す半導体装置を製造する際には、図６に示す配線基板を形成する。図６に示す配線基板は、半導体素子１０４の搭載面に形成された配線パターン１０２，１０２・・の各端部に形成されたパッド１０２ａは絶縁膜１０８に覆われていると共に、半導体素子１０４の搭載面を囲むように幅狭の絶縁膜１０９が、ボンディング部１０２ｂが形成された配線パターン１０２，１０２・・を横切って形成されている。
かかる図６に示す配線基板を形成するには、先ず、図７（ａ）に示す様に、可撓性フィルムから成るベース基板１００の所定箇所に、はんだバンプ１０６を形成する貫通孔１０５，１０５・・をプレス加工やレーザ加工等によって形成した後、一面側に銅箔１０１を貼着する。
更に、図７（ｂ）に示す様に、銅箔１０１にパターニングを施し、貫通孔１０５，１０５・・の各々にパッド１０２ａを形成した配線パターン１０２を形成した後、図７（ｃ）に示す様に、パッド１０２ａ，１０２ａ・・の各々を覆う絶縁膜１０８及び配線パターン１０２を横切る絶縁膜１０９を形成する。
【０００４】
得られた図６に示す配線基板を用いて図５に示す半導体装置を製造する際には、図６に示す配線基板のボンディング部１０２ｂ，１０２ｂ・・の各々に所定のめっきを施した後、搭載面に形成した接着剤層１１０を介して半導体素子１０４を搭載する。
次いで、配線基板に搭載した半導体素子１０４とボンディング部１０２ｂとをワイヤ１１２で電気的に接続した後、半導体素子１０４等を封止樹脂１１４によって封止する。
その後、パッド１０２ａ，１０２・・の各々にはんだボールを搭載してリフローすることによってはんだバンプ１０６を形成し、図５に示す半導体装置を得ることができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明者は、図７（ｃ）に示すパッド１０２ａ，１０２ａ・・の各々を覆う絶縁膜１０８及び配線パターン１０２，１０２・・を横切る幅狭の絶縁膜１０９は、同一組成の樹脂、例えばソルダレジストによって形成でき、絶縁膜１０８，１０９をスクリーン印刷によって形成することが容易であると考えて試みた。
しかし、複数枚の配線基板を順次スクリーン印刷機に供給し、配線基板の各々にスクリーン印刷によってソルダレジストから成る絶縁膜１０８，１０９を形成したところ、所定枚数の配線基板にスクリーン印刷を施した後には、形成した絶縁膜１０８，１０９の形成領域から外方にソルダレジストの滲み出しが生じた。かかる滲み出しは、例えば配線パターン１０２，１０２・・を横切るように形成される絶縁膜１０９については、図８（ａ）（ｂ）に示す如く、配線パターン１０２の表面に滲み出し部１０９ａが形成され、ベース基板１００の表面が露出している部分にも、滲み出し部１０９ａが形成された。
かかる滲み出し部１０９ａが形成された配線基板では、形成予定の形状の絶縁膜１０８，１０９を形成できず、その外観が劣ることは勿論のこと、ボンディング部１０２ｂに滲み出し部１０９ａが形成された場合、その部分には、めっきを施すことができず、ワイヤ１１２のボンディング不良が惹起されるおそれがある。このため、最終的に得られた半導体装置の信頼性は低下する。
したがって、スクリーン印刷された配線基板について全数検査することを要し、滲み出し部１０９ａの範囲が基準値を越えた配線基板は不良品扱いとなる。
しかも、かかる不良品の配線基板を形成したクリーン印刷機のスクリーンを取り外して洗浄することを要し、スクリーン印刷を再開するまでの停止時間が長くなる。
そこで、本発明の課題は、スクリーンに形成した印刷パターンを印刷対象物の印刷面に転写したとき、転写パターンの形成領域外への塗布剤の滲み出しを可及的に防止できるスクリーン印刷方法及びスクリーン印刷機を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は、前記課題を解決すべく、先ず、図７（ｃ）に示すパッド１０２ａ，１０２ａ・・の各々を覆う絶縁膜１０８及び配線パターン１０２，１０２・・を横切る幅狭の絶縁膜１０９をスクリーン印刷によって形成したとき、所定枚数の配線基板にスクリーン印刷を施した後にスクリーン印刷した絶縁膜１０８，１０９の形成領域外へのソルダレジストの滲み出しが生じた原因について検討した。
この検討によれば、ソルダレジストの滲み出しは、スクリーン印刷を複数回実施すると、印刷パターンが形成されたスクリーンの一面側において、印刷パターンの形成領域外に次第にソルダレジストが付着することによって惹起されることが判明した。
しかも、配線パターン１０２，１０２・・の隣接する配線パターン１０２との間隔が狭くなるに伴って、スクリーンの一面側に形成したマスク部によって配線パターン間を充分にシールし難くなる。このため、スクリーン印刷の際に、スクリーンに形成したマスク部によって配線パターン間を充分にシールしてソルダレジストの滲み出しを防止することには限界が存在する。
一方、本発明者は、スクリーン印刷に用いられるソルダレジストは、通常、揮発性溶剤で粘度調整されており、ソルダレジスト中の揮発性溶剤を飛散させることによって乾燥し固化することを知った。
このため、本発明者は、スクリーンの一面側において、印刷パターンの形成領域外に付着したソルダレジスト中の揮発性溶剤を飛散させて乾燥することによって、その後のスクリーン印刷では、印刷対象部の印刷面に形成した転写パターンの形成領域外へのソルダレジストの滲み出しを防止できるものと考え検討した結果、本発明に到達した。
【０００７】
すなわち、本発明は、印刷対象物の印刷面に印刷する印刷パターンが一面側に形成されたスクリーンを具備するスクリーン印刷機を用い、前記スクリーンの一面側に印刷対象物を搬入し、前記スクリーンの他面側に揮発性溶剤で粘度調整された塗布剤を塗布して、前記印刷パターンに倣って転写した、前記塗布剤から成る転写パターンを印刷対象物の印刷面に形成する際に、該スクリーンの一面側に所定数の前記印刷対象物を順次搬入し、順次搬入された印刷対象物の印刷面に前記転写パターンを形成したとき、前記転写パターンの形成領域外への塗布剤の滲み出しを防止すべく、前記印刷対象物のスクリーンの一面側への搬入を停止し、前記スクリーンの一面側を開放して、前記スクリーンの印刷パターンの形成領域外に滲み出した塗布剤を乾燥するように、前記スクリーンの一面側と印刷対象物の印刷面との間を所定時間離間することを特徴とするスクリーン印刷方法にある。
【０００８】
また、本発明は、印刷対象物の印刷面に印刷する印刷パターンが一面側に形成されたスクリーンと、前記スクリーンの一面側と印刷対象物の印刷面とを接離する接離手段と、前記印刷対象物の印刷面が一面側に当接しているスクリーンの他面側に、揮発性溶剤で粘度調整された塗布剤を塗布して、前記一面側に当接している印刷対象物の印刷面に、前記印刷パターンに倣って転写した、前記塗布剤から成る転写パターンを形成するスキージと、前記接離手段に印刷対象物を搬入し、前記転写パターンが印刷面に形成された印刷対象物を接離手段から搬出する搬送手段とを具備するスクリーン印刷機であって、該接離手段に搬入した所定数の前記印刷対象物の各印刷面に、前記転写パターンを形成したとき、前記印刷対象物の搬入を停止すると共に、前記スクリーンの一面側と印刷対象物の印刷面との間を所定時間離間し、前記スクリーンの一面側を開放して、前記スクリーンの印刷パターンの形成領域外に滲み出した塗布剤を乾燥するように、前記搬送手段及び接離手段を制御する制御部が設けられていることを特徴とするスクリーン印刷機にある。
【０００９】
かかる本発明において、スクリーンとして、網体の一面側に形成した樹脂から成るマスク部に、底面に網体が露出する開口部から成る印刷パターンを形成したメッシュ状スクリーンを好適に用いることができる。
また、スクリーンの一面側と印刷対象物の印刷面との離間時間を、前記スクリーンに形成した印刷パターンの形成領域内の塗布剤が未乾燥状態であって、前記印刷パターンの形成領域外に滲み出した塗布剤を乾燥状態にし得る時間とすることによって、スクリーンの一面側の開放を終了した後、スクリーン印刷をスムーズに再開できる。
尚、印刷対象物として、印刷面に配線パターンが形成された配線基板を用いることによって、最終的に得られた配線基板の信頼性を高めることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、所定数の前記印刷対象物の各印刷面に印刷パターンに倣って転写した転写パターンを形成したとき、印刷対象物のスクリーンの一面側への搬入を停止すると共に、スクリーンの一面側を所定時間開放し、スクリーンの印刷パターンの形成領域外に滲み出した塗布剤を乾燥する。
従って、スクリーン印刷を再開し、スクリーンに形成された印刷パターンの形成領域外の部分が印刷対象物の印刷面に当接しても、この部分に付着した塗布剤は乾燥されているため、印刷対象物の印刷面に転写されず、転写パターンの形成領域外への塗布剤の滲み出しを防止できる。
その結果、印刷対象物の印刷面に、スクリーンに形成した印刷パターンと実質的に同一形状の転写パターンを形成できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明に係るスクリーン印刷機の一例を図１に示す。図１に示すスクリーン印刷機には、印刷対象物としての配線基板１２の印刷面に印刷する印刷パターンが一面側に形成されたスクリーン１０が枠体１０ａに固着されている。この枠体１０ａは所定位置に固定されている。
かかるスクリーン１０は、図２に示す様に、網体１０ｂから成り、その一面側に形成されたマスク部１４に、底面に網体１０ｂが露出する開口部から成る印刷パターン１６が形成されているメッシュ状スクリーン（以下、単にスクリーン１０と称することがある）である。
【００１２】
図２に示す印刷パターン１６が形成されたスクリーン１０の一面側と配線基板１２の印刷面とを接離する接離手段として、図１に示すスクリーン印刷機には、駆動モータ１８ａによってＸ方向に移動するＸテーブル１８と、Ｘテーブル１８上に載置され、Ｘ方向に対して直角の方向であるＹ方向に駆動モータ２０ａによって移動するＹテーブル２０と、Ｙテーブル２０上に載置されたテーブル２２とが設けられている。このテーブル２２上には、載置台２４が載置されており、載置台２４はテーブル２２に設けられた駆動モータ２２ａによってＸテーブル１８及びＹテーブル２０に対して垂直方向に昇降する。
かかる載置台２４の昇降によって、載置台２４に載置された配線基板１２の印刷面をスクリーン１０の一面側に接離できる。
尚、配線基板１２に印刷面には、配線パターンが形成されている。
【００１３】
この様に、載置台２４に載置された配線基板１２の印刷面が一面側に接離されるスクリーン１０の他面側には、塗布剤を塗布して、スクリーン１０の一面側に当接している印刷対象物の印刷面に印刷パターンを転写する一対のスキージ２６ａ，２６ｂが設けられている。この一対のスキージ２６ａ，２６ｂは、ボールネジ３０ａを左右方向に回転駆動する駆動モータ３０ｂを具備するスキージ駆動手段３０によってスクリーン１０に沿って左右方向に移動可能であると共に、その一方の先端がシリンダ２８ａ，２８ｂによってスクリーン１０の他面側に接離可能に設けられている。このため、スキージ２６ａ，２６ｂが図面の右方向に移動する際には、スキージ２６ａの先端がスクリーン１０の他面側に当接し、スキージ２６ａ，２６ｂが図面の左方向に移動する際には、スキージ２６ｂの先端がスクリーン１０の他面側に当接する。
【００１４】
図１に示すスクリーン印刷機には、配線基板１２を載置台２４に搬入し、スクリーン印刷された配線基板１２を載置台２４から搬出する搬送手段として、駆動モータ３２ａで駆動される搬入用コンベア３２と、駆動モータ３４ａで駆動される搬出用コンベア３４とが設けられている。
かかる図１に示すスクリーン印刷機に設けられた、駆動モータ１８ａ，２０ａ、２２ａ，３０ｂ，３２ａ，３４ａ及びシリンダ２８ａ，２８ｂは、制御部３６によって制御されている。
【００１５】
図１に示すスクリーン印刷機を用いて、配線基板１２の印刷面にスクリーン印刷する際には、制御部３６からの信号によって駆動モータ３２ａを駆動して搬入用コンベア３２を載置台２４上に載置した後、載置された配線基板１２を制御部３６からの信号によって駆動モータ１８ａ，２０ａを駆動し、Ｘテーブル１８とＹテーブル２０とを移動して配線基板１２を位置決めする。
次いで、制御部３６からの信号によって、駆動モータ２２ａを駆動し、載置台２４を上昇させて、載置台２４に載置されている配線基板１２の印刷面をスクリーン１０の一面側に当接する。
更に、制御部３６は、シリンダ２８ａ，２８ｂの一方に駆動信号を発信して、スキージ２６ａ，２６ｂの一方の先端をスクリーン１０の他面側に当接した後、駆動モータ３０ａを駆動してスキージ２６ａ，２６ｂの一方をスクリーン１０に沿って移動し、揮発性溶剤で粘度調整された塗布剤をスクリーン１０の他面側に塗布する。
スクリーン１０の他面側に塗布された塗布剤は、スクリーン１０を構成する網体を通過してスクリーン１０の一面側に形成された、図２に示す印刷パターン１６と配線基板１２の印刷面１２ａとの間に充填される。一方、スクリーン１０の一面側に形成されたマスク部１４と当接する配線基板１２の印刷面の当接面には、塗布剤は塗布されない。このため、制御部３６からの信号によって、駆動モータ２２ａが駆動されて載置台２４が降下し、配線基板１２とスクリーン１０とが離れた際には、配線基板１２の印刷面には印刷パターン１６に倣って転写された塗布剤から成る転写パターンが形成されている。
その後、載置台２４に載置された、スクリーン印刷が施された配線基板１２は、制御部３６からの信号によって搬出用コンベア３４の駆動モータ３４ａが駆動されて搬出される。
【００１６】
この様に、複数枚の配線基板１２の各印刷面に順次スクリーン印刷を施すと、図３に示す様に、マスク部１４の印刷パターン１６の周縁近傍に塗布剤の付着部３８が形成される。この付着部３８は、配線基板１２，１２・・の印刷面に当接すると、図９に示す滲み出し部１０９ａを形成する。
かかる付着部３８は、スキージ２６ａ，２６ｂの一方、例えばスキージ２６ａをスクリーン１０に沿って移動し、揮発性溶剤で粘度調整された塗布剤をスクリーン１０の他面側に塗布する際に、塗布剤はスキージ２６ａによってスクリーン１０の他面側に所定の圧力を加えて押し付けられることによるものと考えられる。
つまり、配線基板１２の印刷面１２ａをスクリーン１０の一面側に当接した際に、配線基板１２の印刷面１２ａには、配線パターン等が形成されており、マスク部１４と配線基板１２の印刷面１２ａとの全面を充分に密着状態とすることは至難のことである。このため、印刷パターン１６と配線基板１２の印刷面１２ａとの間に、スキージ２６ａによって所定圧力の塗布剤が充填されたとき、マスク部１４と配線基板１２の印刷面１２ａとの密着が不充分な箇所から、塗布剤がマスク部１４と配線基板１２の印刷面１２ａとの間に徐々に進入し、所定枚数の配線基板１２にスクリーン印刷を施したとき、図９に示す滲み出し部１０９ａを形成する付着部３８を形成する。
【００１７】
かかる付着部３８は、マスク部１４と配線基板１２の印刷面１２ａとの全面を充分に密着状態とすることが困難であるため、マスク部１４の工夫のみでは付着部３８の解消は極めて困難である。
しかし、塗布剤は、揮発性溶剤で粘度調整されているため、揮発性溶剤を飛散させて短時間で乾燥させることができる。
このため、図１に示すスクリーン印刷機では、所定枚数の配線基板１２にスクリーン印刷を施し、図３に示す付着部３８がマスク部１４に形成されたとき、制御部３６からの信号によって、駆動モータ３２ａを停止して、配線基板１２のスクリーン１０の一面側への搬入を停止すると共に、スクリーン１０の一面側と配線基板１２の印刷面との間を離間し、スクリーン１０の一面側を開放状態とする。かかるスクリーン１０の一面側を開放する状態を所定時間保持することによって、付着部３８を形成する塗布剤の揮発性溶剤を飛散させて乾燥できる。乾燥した付着部３８は、再度、配線基板１２の印刷面に当接しても、印刷面に転写されず、図９に示す滲み出し部１０９ａの形成を防止できる。
尚、付着部３８の乾燥程度は、付着部３８の表面のみが乾燥している状態であってもよい。
【００１８】
ここで、スクリーン１０の一面側を開放状態とする時間は、スクリーン１０の一面側に形成した印刷パターン１６内の塗布剤が未乾燥状態であって、印刷パターン１６の周縁近傍に形成された塗布剤から成る付着部３８を乾燥状態にし得る時間とすることが好ましい。印刷パターン１６内の塗布剤も乾燥すると、スクリーン印刷を再開した際に、印刷パターン１６内に塗布剤が充分に充填されておらず印刷不良が発生し易い傾向がある。
尚、スクリーン１０の一面側を開放状態とするタイミングは、塗布剤の種類や粘度、配線基板１２の印刷面に形成された配線パターンの形状等によって異なり、予め実験的に求めておくことが好ましい。
【００１９】
以上の説明では、配線基板１２の印刷面にスクリーン印刷する場合を取り上げて説明してきたが、配線基板１２の印刷以外にも本発明を適用できる。
また、スクリーン１０として、メッシュ状スクリーンを用いてきたが、メタルスクリーンを用いることができる。
更に、スクリーン１０を昇降可能に設け、スクリーン１０の一面側と配線基板１２との当接状態を開放してもよく、スクリーン１０の一端部を他端部に対して昇降可能に設けてもよい。
【実施例】
【００２０】
図１に示すスクリーン印刷機を用い、配線基板１２の印刷面に、揮発性溶剤によって粘度調整されたソルダレジストをスクリーン印刷し、図６に示す配線基板の様に、パッド１０２ａ，１０２ａ・・の各々を覆う絶縁膜１０８及び配線パターン１０２，１０２・・を横切る幅狭の絶縁膜１０９を形成した。
図６に示す配線基板では、絶縁膜１０９からソルダレジストが滲み出して形成された、図８（ａ）（ｂ）に示す滲み出し部１０９ａについて、絶縁膜１０９からの長さ（以下、滲み出し部１０９ａの長さと称することがある）が２００μｍ以下の配線基板は良品として扱うことができるが、滲み出し部１０９ａの長さが２００μｍを越える配線基板は不良品として扱われる。このため、図６に示す配線基板では、滲み出し部１０９ａの長さの基準値は２００μｍである。
図６に示す配線基板にスクリーン印刷によって絶縁膜１０９を形成した際に、滲み出し部１０９ａの長さを基準値以下とすべく、５枚の配線基板１２を連続してスクリーン印刷した後、スクリーン印刷を停止すると共に、載置台２４を降下してスクリーン１０の一面側と配線基板１２の印刷面との間を離間し、スクリーン１０の一面側を開放状態とした。５枚目の配線基板１２の印刷面を観察したところ、図４に示す様に、滲み出し部１０９ａの長さは基準値以下であった。
かかるスクリーン１０の一面側の開放状態を約３０秒ほど継続した後、スクリーン印刷を再開し、５枚の配線基板１２を連続してスクリーン印刷した後、再度、スクリーン印刷を停止して、スクリーン１０の一面側と配線基板１２の印刷面との間を離間し、スクリーン１０の一面側を３０秒間開放状態とした。
この様に、スクリーン１０の一面側を３０秒間開放状態とする操作を、５枚の配線基板１２を連続してスクリーン印刷した後に行なったところ、４００枚の配線基板１２の各印刷面に、滲み出し部１０９ａの長さが基準値以下の絶縁膜１０９を形成できた。
【比較例】
【００２１】
一方、スクリーン１０の一面側を開放状態とする操作を行なわなかった他は、実施例と同様にして、配線基板１２の印刷面にスクリーン印刷を実施したところ、図４に示す如く、印刷終了した各配線基板１２の印刷面において、滲み出し部１０９ａの長さは直線的に増加し、１２枚目の配線基板１２の印刷面に絶縁膜１０９を形成したとき、滲み出し部１０９ａの長さは基準値を越えてしまった。
この様に、印刷終了した各配線基板１２の印刷面において、滲み出し部１０９ａの長さが基準値を越えた場合には、この配線基板は不良品として扱われる。
更に、この場合には、スクリーン１０を取り外して洗浄することを要し、スクリーン印刷を再開するまでの停止時間が長くなる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明に係るスクリーン印刷機の一例を説明する概略図である。
【図２】図１のスクリーン印刷機に用いるスクリーンを説明する部分断面図である。
【図３】図２に示すスクリーンのマスク部に塗布剤が付着した状態を説明する部分断面図である。
【図４】印刷の途中にスクリーンの一面側を開放状態とする操作を加えた場合と、この操作を加えなかった場合とについて、印刷終了した各配線基板の印刷面において、滲み出し部の絶縁膜からの長さを評価した結果を示すグラフである。
【図５】半導体装置の一例を説明する部分断面図である。
【図６】図５に示す半導体装置を形成する配線基板の正面図である。
【図７】図６に示す配線基板の製造工程を説明する工程図である。
【図８】スクリーン印刷によって形成された滲み出し部について説明する説明図である。
【符号の説明】
【００２３】
１０  スクリーン
１０ａ  枠体
１０ｂ  網体
１２ａ  印刷面
１２  配線基板
１４  マスク部
１６  印刷パターン
１８  Ｘテーブル
１８ａ，２０ａ，２２ａ，３０ｂ，３２ａ，３４ａ  駆動モータ
２０  Ｙテーブル
２２  テーブル
２４  載置台
２６ａ，２６ｂ  スキージ
２８ａ，２８ｂ  シリンダ
３０  スキージ駆動手段
３０ａ  ボールネジ
３２  搬入用コンベア
３４  搬出用コンベア
３６  制御部
３８  付着部 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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