(57)【要約】【課題】従来の顕微鏡で当たり前であった利点を犠牲にすることなく、静電気放電対策が施された顕微鏡を提供する。【解決手段】顕微鏡の本体４は、明暗視野の観察を切り換えるための光路切り換えツマミ４ａ、標本のピント合わせのための焦準ハンドル４ｂ、主に顕微鏡の安定設置と振動防止のための複数のゴム足４ｄを備えている。本体４は投光部の側面にフィルタースライダー用の開口部を備えており、この開口部にはスライダー用キャップ４ｃが取り付けられる。ステージ８の直下には、作業者の安全性の確保や機構の破損防止のために、ゴム板４ｅが設けられている。ステージ８は、標本の位置合わせのためのＸＹ操作ハンドル８ａを備えている。光路切り換えツマミ４ａと焦準ハンドル４ｂとスライダー用キャップ４ｃとゴム足４ｄとゴム板４ｅとＸＹ操作ハンドル８ａは、導電性ゴムで構成されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、導電性ゴムで構成されているか、導電性ゴムの被膜を備えている、顕微鏡。
【請求項２】
顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、顕微鏡の操作部である、請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項３】
顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、顕微鏡の開口部を塞ぐ部材である、請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項４】
顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、顕微鏡の内部機構に作業者の指や工具が不用意に触れるのを防止する保護膜である、請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項５】
顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、顕微鏡を安定配置するためのゴム足である、請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項６】
導電性ゴムは、人体の皮膚に対して感作性が少ない導電性のシリコーン系ゴムである、請求項１に記載の顕微鏡
【請求項７】
導電性ゴムは、表面抵抗値が１０5〜１０9（Ω／□）である、請求項１に記載の顕微鏡
【請求項８】
顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が接眼レンズのアイシェードであり、アイシェードは表面抵抗値が１０5〜１０9（Ω／□）である人体の皮膚に対して感作性が少ない導電性のシリコーン系ゴムで構成されている、請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項９】
顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位を導電性ゴムで構成するか、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位に導電性ゴムの被膜を設ける、顕微鏡の静電気放電対策方法。
【請求項１０】
顕微鏡の操作部を導電性ゴムで構成するか、顕微鏡の操作部に導電性ゴムの被膜を設ける、請求項９に記載の静電気放電対策方法。
【請求項１１】
顕微鏡の開口部を塞ぐ部材を導電性ゴムで構成するか、顕微鏡の開口部を塞ぐ部材に導電性ゴムの被膜を設ける、請求項９に記載の静電気放電対策方法。
【請求項１２】
顕微鏡の内部機構に作業者の指や工具が不用意に触れるのを防止する保護膜を導電性ゴムで構成するか、顕微鏡の内部機構に作業者の指や工具が不用意に触れるのを防止する保護膜に導電性ゴムの被膜を設ける、請求項９に記載の静電気放電対策方法。
【請求項１３】
顕微鏡を安定配置するためのゴム足を導電性ゴムで構成するか、顕微鏡を安定配置するためのゴム足に導電性ゴムの被膜を設ける、請求項９に記載の静電気放電対策方法。
【請求項１４】
導電性ゴムに、人体の皮膚に対して感作性が少ない導電性のシリコーン系ゴムを選択する、請求項９に記載の静電気放電対策方法
【請求項１５】
導電性ゴムに、表面抵抗値が１０5〜１０9（Ω／□）である導電性ゴムを選択する、請求項９に記載の静電気放電対策方法
【請求項１６】
接眼レンズのアイシェードを、表面抵抗値が１０5〜１０9（Ω／□）である人体の皮膚に対して感作性が少ない導電性のシリコーン系ゴムで構成する、請求項９に記載の静電気放電対策方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
帯電した導電性の物体から電子回路や半導体素子に放電が起こると電子回路の誤動作や半導体素子の損傷などの重大な問題を引き起こす。そのため、半導体デバイスの検査工程においては、床、作業台、椅子、工具などを静電気対策用のものとし、湿度管理やイオナイザの使用によって帯電レベルを制御し、また作業者は専用の衣服や履物、そしてリスト・ストラップを着用して静電放電対策を行なっている。
【０００３】
実際、この静電気放電（ＥＳＤ：electro-static discharge）は、それほど大きいものでなくとも電子回路の誤動作や半導体素子の損傷などを十分に引き起こし得るため、作業者が知覚できないままＥＳＤが発生し、不具合を生じることがある。
【０００４】
このような不具合を回避するため、特許第３３５９０３５号は、金属導電部材と導電性ポリマーの組合せからなる射出成形プラスチック部材を接地することによって静電荷が金属導電部材を通して迅速に消散される顕微鏡を提案している。
【０００５】
また、特開２００１−３５００９７号公報は、顕微鏡の各ユニットの被膜をめっき法、化成処理法、塗装法によって形成することによって、各ユニット間の導通性を確保する静電気対策を開示している。
【特許文献１】特許第３３５９０３５号
【特許文献２】特開２００１−３５００９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
一般的に顕微鏡では、操作感の向上、有害光線の漏光防止、外部光や塵の混入防止のための部材は、人体の皮膚に対して感作性が少ないシリコーン系ゴムで構成されている。シリコーン系ゴムは静電気放電問題を解決できるほどの導電性能を有していない。このため、静電気放電対策が必要な顕微鏡（例：半導体検査用顕微鏡）では、特許第３３５９０３５号に記載されるように、シリコーン系ゴムを採用しない構成を取ることによる静電気放電対策が施されている。
【０００７】
例えば、従来接眼レンズに装着されていたシリコーン系ゴムのアイシェードは、導電性樹脂でできたアイシェードに変更されるか、アイシェードのない接眼レンズに変更される。その結果、作業者に対する観察時のフィット感や迷光防止効果が損なわれてしまう。
【０００８】
また、各種検鏡時の切り換えに使用するツマミやレバー、焦準部のハンドル、調光ボリュームなども、作業者が操作しやすい弾力性や表面摩擦を持つシリコーン系ゴムから、滑りやすい樹脂や金属に変更される。その結果、優れた操作感が損なわれてしまう。
【０００９】
さらに、検鏡に、赤外線、紫外線、レーザー光などを使用する場合、これらの有害光が顕微鏡から漏れるのを防止する有害光の漏れ防止機構は、各ユニットの開口部の隙間を、これまでは柔軟な弾力性を持つシリコーン系ゴムで完全に遮光していたものを、樹脂や金属で完全に遮光しなければならない。その結果、構成が複雑になるため、安価に構成することができない。同様のことは、外部光や塵の混入防止機構についても言える。
【００１０】
以上に述べたとおり、これまでの静電気放電対策は、従来の顕微鏡で当たり前であった利点を犠牲にしている。その結果、ユーザーは、優れた操作感を得られない、高価な顕微鏡を購入しなければならない、などといったデメリットが生じている。
【００１１】
本発明は、このような実状を考慮して成されたものであり、その目的は、従来の顕微鏡で当たり前であった利点を犠牲にすることなく、静電気放電対策が施された顕微鏡を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、ひとつには、顕微鏡に向けられている。本発明による顕微鏡は、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が、導電性ゴムで構成されているか、導電性ゴムの被膜を備えている。
【００１３】
本発明は、ひとつには、顕微鏡の静電気放電対策方法に向けられている。本発明による静電気放電対策方法は、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位を導電性ゴムで構成するか、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位に導電性ゴムの被膜を設ける。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、従来の顕微鏡で当たり前であった利点を犠牲にすることなく、静電気放電対策が施された顕微鏡が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
【００１６】
図１は、本発明の実施形態による半導体検査用顕微鏡の側面図、図２は、図１に示された半導体検査用顕微鏡の正面図、図３は、図１に示された半導体検査用顕微鏡の上面図である。
【００１７】
図１〜図３に示されるように、半導体検査用顕微鏡は、接眼レンズ２と、接眼レンズ２を保持する鏡筒３、鏡筒３を保持する本体４、本体４に取り付けられたランプハウス５、本体４に保持されたレボルバー６、レボルバー６に取り付けられた対物レンズ７、本体４に取り付けられたステージ８とを備えている。半導体ウエハ標本９は、ステージ８の上に載置される。
【００１８】
本体４は、明暗視野の観察を切り換えるために矢印Ａの方向に挿脱される光路切り換えツマミ４ａと、標本のピント合わせのための焦準ハンドル４ｂとを備えている。本体４は、その裏面に、主に顕微鏡の安定設置と振動防止のための複数のゴム足４ｄを備えている。
【００１９】
本体４は、ランプハウス５の光を投影する投光部の側面に、観察光をより観察しやすい照明に変えるための例えば色温度変換フィルターなどの挿脱を可能にするフィルタースライダー用の開口部を備えている。この開口部は、フィルタースライダーが挿入されているときは両者間の隙間は非常に小さいが、フィルターが挿入されていないときは大きな開口となってしまう。そのため、有害光が漏れたり、外部光や塵が投光部内部に混入したりするのを防ぐため、開口部には、開口部を塞ぐ部材であるスライダー用キャップ４ｃが取り付けられる。スライダー用キャップ４ｃは、ゴム材質でできており、開口部よりも若干大きい外形形状をしている。このため、柔軟な弾性変形を利用した挿入によって、開口部を隙間なく確実に塞いで外部と遮断することができる。
【００２０】
ステージ８の直下には、作業者の安全性の確保や機構の破損防止のために、ゴム板４ｅが設けられている。このゴム板４ｅは、顕微鏡の内部機構に作業者の指や工具が不用意に触れるのを防止する保護膜として機能するとともに、ピント合わせ時のステージ８の下部と本体４との間との指挟み防止機能も兼ねている。ゴム板４ｅは、ステージの上下動に必要な開口部を有しており、隙間は極小である。
【００２１】
ステージ８は、標本の位置合わせのためのＸＹ操作ハンドル８ａを備えている。
【００２２】
顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位である光路切り換えツマミ４ａと焦準ハンドル４ｂとスライダー用キャップ４ｃとゴム足４ｄとゴム板４ｅとＸＹ操作ハンドル８ａは、導電性ゴムで構成されており、内部機構の金属部品に導通しており、最終的に外部に導通している。
【００２３】
導電性ゴムは、例えば、人体の皮膚に対して感作性が少ない導電性のシリコーン系ゴムで構成されている。導電性のシリコーン系ゴムは、例えば、カーボンなどを含有していて導電性能を有している。導電性のシリコーン系ゴムは、望ましくは、帯電を速やかに消散させることができる導電性を有しているとよく、具体的には、表面抵抗値が１０5〜１０9（Ω／□）であるとよい。以下、導電性のシリコーン系ゴムは、同様の性能を有するものとし、説明を省略する。
【００２４】
接眼レンズ２は、図４に示されるように、アイシェード２ａを備えている。アイシェード２ａもまた、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位であり、導電性のシリコーン系ゴムで構成されており、金属部品の外観部と導通している。接眼レンズ２も他のユニット同様、金属部品による導通が確保されている。
【００２５】
以上のような構成によって、作業者が操作部（光路切り換えツマミ４ａと焦準ハンドル４ｂとＸＹ操作ハンドル８ａ）を操作する場合、繰り返し操作によって摩擦による静電気が発生しやすい状態になるが、操作部（光路切り換えツマミ４ａと焦準ハンドル４ｂとＸＹ操作ハンドル８ａ）は外部に導通しているため、帯電することはない。このため、操作部（光路切り換えツマミ４ａと焦準ハンドル４ｂとＸＹ操作ハンドル８ａ）から作業者に帯電することもない。
【００２６】
スライダー用キャップ４ｃとゴム足４ｄとゴム板４ｅは、作業者が頻繁に触れる個所ではないが、作業者がそれらに不用意に触れた場合でも、それらは外部に導通しているため帯電しない。このため、それらから作業者に帯電することはない。
【００２７】
観察を行なう場合に作業者の皮膚がアイシェード２ａに触れる場合があるが、アイシェード２ａは外部に導通しているため帯電しない。このため、アイシェード２ａから作業者に帯電することはない。
【００２８】
本実施形態の顕微鏡は、以上のような構成と作用によって、次のような利点を有している。
【００２９】
操作部は、顕微鏡に静電気放電対策を施すとともに、ゴムの弾性と表面摩擦によって優れた操作感を与える。
【００３０】
スライダー用キャップ４ｃは、顕微鏡に静電気放電対策を施すとともに、投光部外部への有害光の漏れ、投光部内部への外部光や塵などの混入を確実に防止する上に、スライダー用キャップ４ｃは安価に構成することができる。これは、弾性変形の大きいゴム部材特有の利点であり、他の材質では安価に構成することは難しい。
【００３１】
ゴム足４ｄは、本体４から別のアース線を利用して外部に接地する必要なしで、顕微鏡の帯電を外部に逃がすことができる。
【００３２】
ゴム板４ｅは、内部機構への不用意なアクセスによる作業者の怪我の防止と内部機構の破損の防止、さらに指挟み防止という安全性を確保した上で、静電気放電対策が施される。万が一、指を挟むことがあっても柔軟なゴム材質であるため、作業者は怪我をすることはない。これも他の材質では安価な構成で容易に両立できない。
【００３３】
また、接眼レンズのアイシェード２ａは、顕微鏡に静電気放電対策を施すとともに、観察時のフィット感と確実な迷光防止効果を与える。アイシェード２ａは、作業者の皮膚の弱いところに触れるが、人体の皮膚に対して感作性が少ないので、かぶれなどの心配がない。
【００３４】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施形態を述べたが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
【００３５】
例えば、本実施形態では、作業者の安全性の確保や機構の破損防止のために、ゴム板が焦準部の機構に対して適用された例をあげたが、これに限らず、電動マニピュレーションや電動ステージ、電動レボルバーなどの精密機構、電動機構に対しても同様に適用されてもよい。また、導電性のシリコーン系ゴムは、これに限らず、弾性変形を利用した顕微鏡の構成部品に適用されてもよい。
【００３６】
また、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位は、本実施形態では導電性ゴムで構成されているが、これに限らず、導電性ゴムで構成される代わりに、導電性ゴムの被膜を備えていてもよい。つまり、顕微鏡の観察者が観察時に直接触れることが予想される部位が少なくとも表面に導電性ゴムを備えていればよい。
【００３７】
また、導電性のシリコーン系ゴムからの導通は、導電性めっきや導電性塗装、導電性樹脂などの導通性能を有するものと組み合わされてもよい。
【００３８】
また、本実施形態では、導電性のシリコーン系ゴムに、導電性を与えるためにカーボンを含有させているが、これに限らず、人体の皮膚への感作性が少ない物質であれば他の物質を含有させてもよい。
【００３９】
導電性のシリコーン系ゴムは、半導体検査用顕微鏡に限らず、実体顕微鏡など、静電放電対策が必要な顕微鏡や測定器に適用されてもよい。もちろん、静電放電対策が必要ない顕微鏡や測定器に適用されても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施形態による半導体検査用顕微鏡の側面図である。
【図２】図１に示された半導体検査用顕微鏡の正面図である。
【図３】図１に示された半導体検査用顕微鏡の上面図である。
【図４】図１に示された半導体検査用顕微鏡の接眼レンズの斜視図である。
【符号の説明】
【００４１】
２…接眼レンズ、２ａ…アイシェード、３…鏡筒、４…本体、４ａ…光路切り換えツマミ、４ｂ…焦準ハンドル、４ｃ…スライダー用キャップ、４ｄ…ゴム足、４ｅ…ゴム板、５…ランプハウス、６…レボルバー、７…対物レンズ、８…ステージ、８ａ…ＸＹ操作ハンドル。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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