(57)【要約】 【構成】  処理設備ＥＱ１，ＥＱ２のエリアセンサ１４にリレーを介して非常電源ＰＳ２を接続し、処理設備の電源を落とすと非常電源でセンサを動作させる。【効果】  メンテナンスで処理設備の電源を落としても、ロードポート付近の人をエリアセンサで検出できる。  【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行レールにガイドされながら走行スペースを走行し処理設備へ物品を搬送する有軌道台車を備えると共に、走行スペースの障害物を検出するためのエリアセンサを設けて、障害物の検出時に前記処理設備の前面の走行スペースへの有軌道台車の進入を禁止するようにしたシステムにおいて、
前記エリアセンサを処理設備の電源以外の電源で作動自在にして、処理設備の電源がオフしても該エリアセンサが作動するようにしたことを特徴とする有軌道台車システム。
【請求項２】
処理設備の電源と予備電源との２系統の電源をスイッチを介して前記エリアセンサに選択的に接続して、処理設備の電源がオフすると予備電源でエリアセンサを作動させるようにしたことを特徴とする、請求項１の有軌道台車システム。
【請求項３】
前記処理設備の上方に物品保管用の棚を設けて、該棚の支柱を前記走行スペースに面して設け、かつ前記支柱に前記エリアセンサを設置して、処理設備の電源以外の電源で作動させるようにしたことを特徴とする、請求項１の有軌道台車システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はスタッカークレーンなどの有軌道台車システムに関し、特に処理設備の付近を監視するセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームなどでは、処理設備への物品の搬送にスタッカークレーンや他の有軌道台車などを用いたシステムが用いられている。処理設備にはエリアセンサなどのセンサを設けて、人や先行の有軌道台車などの障害物の有無を検出し、障害物が存在する場合、該当するエリアをブロックして有軌道台車の進入を禁止し、人や先行台車と有軌道台車との干渉を防止する。
【０００３】
エリアセンサなどのセンサは処理設備の一部なので、処理設備の電源で動作する。そして発明者は、処理設備のメンテナンスなどで電源を落とすとセンサも動作を停止し、メンテナンス作業者がいる処理設備へ向けて有軌道台車が進入することがあることを見出した。このことは非常に危険であり、発明者はメンテナンスの開始前に該当エリアを有軌道台車に対して走行不許可にすることも検討したが、これでは実際にメンテナンスを行っていない場合でも、またメンテナンス終了後に走行不許可を解除するまでは、有軌道台車の走行が制約を受けてしまう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明の課題は、メンテナンスなどで処理設備の電源を落とした際に、人と有軌道台車との干渉を防止し、しかも有軌道台車の走行を規制する時間を最小にすることにある。
請求項２，３の発明での追加の課題は、このための具体的な構成を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明は、走行レールにガイドされながら走行スペースを走行し処理設備へ物品を搬送する有軌道台車を備えると共に、走行スペースでの障害物を検出するためのエリアセンサを設けて、障害物の検出時に処理設備の前面の走行スペースへの有軌道台車の進入を禁止するようにしたシステムにおいて、エリアセンサを処理設備の電源以外の電源で作動自在にして、処理設備の電源がオフしても該エリアセンサが作動するようにしたことを特徴とする。
【０００６】
好ましくは、処理設備の電源と非常電源などの予備電源との２系統の電源をスイッチを介してエリアセンサに選択的に接続して、処理設備の電源がオフすると予備電源でエリアセンサを作動させる。スイッチには例えばリレーを用い、例えば処理設備の電源がオフすると自動的に予備電源に切り替わるようにする。
【０００７】
また好ましくは、処理設備の上方に物品保管用の棚を設けて、棚の支柱を前記走行スペースに面して設け、かつ支柱にエリアセンサを設置し、処理設備の電源以外の電源、例えば有軌道台車システムの電源で作動させる。 
【発明の効果】
【０００８】
この発明では、処理設備の電源がオフしても走行スペースの障害物をエリアセンサで監視できる。このためメンテナンスなどで処理設備の電源を落としても、メンテナンスを行う作業者と有軌道台車との干渉を防止できる。またメンテナンス時に該当する処理設備への有軌道台車の走行を一括して禁止する場合と異なり、人などが走行スペースにいなければ有軌道台車は進入可能であり、有軌道台車の進入を禁止する時間を短くできる。
【０００９】
請求項２の発明では、処理設備の電源がオフすると予備電源でエリアセンサを作動させるので、１系統のエリアセンサで簡単に走行スペースの監視を続けることができる。
【００１０】
請求項３の発明では、棚の支柱を利用してエリアセンサを設け、処理設備の電源以外の電源で作動させるので、処理設備を加工・変更する必要がない。なお処理設備の上方に棚を設けると、処理設備に物品を供給できない場合に物品を一時保管し、供給が可能になると短時間で供給できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１２】
図１〜図４に、実施例とその変形とを示す。図１の有軌道台車システム２において、４は有軌道台車で走行レール６に沿って走行し、保管庫８に搬送中の物品、例えば半導体のキャリアや液晶の基板、を保管し、１０はその扉である。走行レール６の周囲で有軌道台車４が走行するスペースを走行スペースと呼び、走行スペースは例えばクリーンルーム内のベイなどに沿って設けられ、走行スペースに面して処理設備ＥＱ１，ＥＱ２などが配置されている。また走行スペースに沿って、処理設備ＥＱ１，ＥＱ２以外に、物品の保管用の棚などを配置しても良い。１２は処理設備ＥＱ１，ＥＱ２に設けた扉で、扉１２のある位置をロードポートと呼び、有軌道台車４はロードポートに接して停止し、扉１０，１２を開閉して物品をやりとりする。もちろん扉１０，１２は、走行スペースのクリーン度が高い場合などは不要である。
【００１３】
１４はエリアセンサで、例えば処理設備毎に設け、光センサや超音波センサなどを用い、図１の鎖線で示すようにロードポートの付近の人や先行台車などの障害物を検出する。エリアセンサ１４からの信号は束線１５を介して処理設備制御部１６へ送信され、エリアセンサ１４は処理設備毎の電源ＰＳと非常電源ＰＳ２とにリレーＲを介して接続されている。リレーＲのメーク接点が処理設備毎の電源ＰＳに接続され、ブレーク接点が非常電源ＰＳ２に接続されているので、処理設備毎の電源ＰＳがオフすると、リレーＲが作動して、センサ１４は非常電源ＰＳ２に接続される。エリアセンサ１４からの信号は例えば処理設備制御部１６を介して有軌道台車制御部１８へ送出され、赤外線通信などにより有軌道台車４に送信される。この結果、エリアセンサ１４がメンテナンスなどで作業している人や、先行の台車などを検出すると、この信号が制御部１６，１８を介して有軌道台車４に送られ、有軌道台車４は人や先行の台車との干渉を防止するように停止する。従ってメンテナンスなどのために人が走行スペース内に入り込み、メンテナンスする処理設備の電源をオフしても、非常電源ＰＳ２によりエリアセンサ１４が動作するので、有軌道台車４と衝突するなどの事故を防止できる。
【００１４】
図２にスタッカークレーン２０と棚とを用いた変形例を示すと、スタッカークレーン２０は移載装置付の昇降台２２を昇降させて物品を搬送し、２４はスタッカークレーンの走行レールである。処理設備と処理設備の間には棚の支柱２６を設けて、各支柱２６毎に、あるいは１本置きの支柱２６毎にエリアセンサ２８を設けて、走行スペース上の人や先行台車などの障害物を監視する。エリアセンサ２８の設置高さは、例えば人の胴などと同じ高さにし、水平方向に監視する。しかしながら、エリアセンサ２８をより低い高さや、人の背よりも高い高さに配置して鉛直方向斜めに障害物を監視しても良い。エリアセンサ２８の信号は束線２９を介してクレーン制御部３０へ送られ、エリアセンサ２８は棚側電源ＰＳ３により動作する。なお棚に電源がない場合、スタッカークレーン２０側のシステムの電源を適宜に用いる、あるいは処理設備用の非常電源ＰＳ２を用いるなどとすればよい。図２の変形例では、処理設備に設けたエリアセンサ１４の他に、棚の支柱２６に設けたエリアセンサ２８が必要であるが、処理設備に加工を施さずに、エリアセンサ２８を設けることができる。また図２の変形例は、エリアセンサ１４，２８による二重安全形の監視システムである。ただし処理設備側のエリアセンサ１４を設けず、棚の支柱側のエリアセンサ２８のみを設けても良い。
【００１５】
図３に、図１の実施例の動作を示すと、エリアセンサの電源をチェックし、電源が異常な場合（例えば電源が断）、リレーが作動して物電源の非常電源からエリアセンサに電源が供給され、各処理設備の前面の走行スペースに人や先行台車などの障害物が存在すると、有軌道台車の進入を禁止する。これによって、処理設備の電源がオフしている場合でも、人と有軌道台車などの干渉を防止できる。またメンテナンスを行う期間の間、一律に有軌道台車の進入を防止するのではないので、効率的である。
【００１６】
図４に図２の変形例の動作を示すと、２つのエリアセンサ１４，２８で二重に走行スペース内の障害物を検出し、いずれかのエリアセンサで障害物を検出すると、スタッカークレーンの進入を防止する。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例の有軌道台車システムのレイアウトを示す平面図
【図２】変形例の有軌道台車システムのレイアウトを示す平面図
【図３】実施例でのエリアセンサでの監視アルゴリズムを示すフローチャート
【図４】変形例でのエリアセンサでの監視アルゴリズムを示すフローチャート
【符号の説明】
【００１８】
２              有軌道台車システム
４              有軌道台車
６              走行レール
８              保管庫
１０，１２      扉
１４            エリアセンサ
１５            束線
１６            処理設備制御部
１８            有軌道台車制御部
２０            スタッカークレーン
２２            昇降台
２４            走行レール
２６            棚の支柱
２８            エリアセンサ
２９            束線
３０            クレーン制御部
ＥＱ１，ＥＱ２  処理設備
ＰＳ            処理設備毎の電源
ＰＳ２          非常電源
ＰＳ３          棚側電源
Ｒ              リレー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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