(57)【要約】  【課題】  溝深さに対する制約がなく、浮上変動を最適化でき、コストアップを招くことなく、気圧低下による浮上量低下を適性に抑制可能なヘッドスライダ等の提供。  【解決手段】  ヘッドスライダ１は、流入端と流出端と流入端側レール１１と負圧部１０と３つの延設レール１３と一対のサイドレール１４と流入端側正圧部１２と流出端側正圧部１６と流出端側レール１７とを有してなる。延設レール１３は、負圧部１０にかつこれよりも突出して、流入端側正圧部１２よりも低く形成されている。前記流入端から流入した空気により、流入端側正圧部１２に正圧（浮力）が付与され、負圧部１０に負圧が付与される。前記正圧に対し、これを打消す前記負圧が気圧の変化に影響を受けずに適度に作用する結果、高度（気圧）の変化に関係なく浮上量が一定に制御される。  【選択図】        図４
2005038522.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気が流入する流入端と、空気が流出する流出端と、該流入端に沿って延設された流入端側レールと、該流入端側レールよりも前記流出端側に位置しかつ使用時に負圧となる負圧部と、該負圧部においてかつ前記流入端側から前記流出端側に向けて延設された２以上の延設レールとを有することを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項２】
負圧部が、流入端側レールよりも流出端側に位置し、流入端側から流出端側に向けてかつ流入端に沿った幅方向における両端に延設されたサイドレールにより画成された請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項３】
延設レールの少なくとも１つにおける流出端側の端部が、サイドレールにおける流出端側の端部よりも流出端側に突出した請求項２に記載のヘッドスライダ。
【請求項４】
延設レールにおける流出端側の端部が、サイドレール側に位置するものから中央付近に位置するものの順に、漸次、流出端側に突出した請求項２から３のいずれかに記載のヘッドスライダ。
【請求項５】
サイドレール及び延設レールの流出端側の端部における幅方向中点の互いに隣接するものどうしを結んでなる線が、サイドレール側から中央付近にかけて直線となる請求項２から４のいずれかに記載のヘッドスライダ。
【請求項６】
流入端側レールよりも流出端側に、かつ延設レール及びサイドレールよりも流入端側に位置し、使用時に正圧となる流入端側正圧部を有する請求項２から５のいずれかに記載のヘッドスライダ。
【請求項７】
延設レール及びサイドレールにおける流入端側の端部の少なくとも２つが、幅方向に延設された連結レールにより互いに連結された請求項２から６のいずれかに記載のヘッドスライダ。
【請求項８】
延設レール及びサイドレールよりも流出端側に位置し、使用時に正圧となる流出端側正圧部を有する請求項２から７のいずれかに記載のヘッドスライダ。
【請求項９】
磁気ディスクに対向する面を下方に向けて配置させた際、負圧部よりも、流入端側レール、サイドレール及び延設レールが下方に突出し、該流入端側レール、該サイドレール及び該延設レールよりも、流入端側正圧部及び流出端側正圧部が下方に突出した請求項２から８のいずれかに記載のヘッドスライダ。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれかに記載のヘッドスライダを少なくとも有してなることを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンピュータ等の磁気ディスク装置（ハードディスク装置）等に好適に使用されるヘッドスライダ及びそれを備えた磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置には、ヘッドスライダが備えられている。例えば、図１に示すように、ヘッドスライダ１は、磁気ディスク装置１００における磁気ディスク５に対する情報の書込み時及び読取り時に、磁気ディスク５に対向して配置され、例えば、図２に示すように、回転する磁気ディスク５の表面に発生する気流による浮力により、磁気ディスク５上を浮上する。このとき、ヘッドスライダ１の浮上量、即ちヘッドスライダ１と磁気ディスク５との間隔が大きくなりすぎると記録ができなくなることから、従来におけるヘッドスライダ１においては、例えば、図３に示すように、磁気ディスク５との対抗面（空気の流出入面：ＡＢＳ（Air Bearing Surface））上に磁気ディスク５側に吸引される負圧を発生させる負圧部１０を設けることにより、前記浮力と該負圧とをバランスさせて、ヘッドスライダ１の浮上量を一定に制御していた。
【０００３】
ところで、前記ヘッドスライダの浮上量、即ち該ヘッドスライダと、回転する前記磁気ディスクとの間隔は、僅かに十数ｎｍ程度である。例えば、ウイルスの直径が２００ｎｍ程度であることを考慮すると、この数値がいかに小さなものであるかがわかる。磁気ディスク装置の安定な記録を実現するためには、前記ヘッドスライダが使用中、回転する前記磁気ディスクに対し、十数ｎｍ程度の間隔を維持し続けなければならない。このため、前記ヘッドスライダの設計は困難を極める。
【０００４】
前記ヘッドスライダは、設計上、（１）磁気ディスクの内周から外周まで均一な浮上量を保持可能とすること（磁気ディスクの内周と外周とにおける速度差は約２倍程度あり、速度ベクトル方向は約２５度程度変化するため、この点を考慮して均一な浮上量を保持可能とすること）が要求され、（２）シーク動作中でも一定の浮上隙間を保持可能とすること（流速方向が約１５度変化するため、この点を考慮して一定の浮上隙間を保持可能とすること）が要求され、（３）大気圧が変化しても使用可能とすること（高度３０００ｍでの使用を保障すること）が要求され、（４）加工誤差や組立誤差が生じても使用可能とすること（前記ヘッドスライダと前記磁気ディスクとの間隔が僅か十数ｎｍである点を考慮すると、加工や組立の誤差は通常許容されない重大な欠陥となるが、この場合でも使用可能とすること）が要求される。
【０００５】
近年、磁気ディスク装置の記録密度の向上化に伴い、前記ヘッドスライダの浮上量をより低く抑制することが要求されてきている。ところが、該浮上量をより低く抑制した場合、高地での使用の際、気圧低下により前記浮上量が更に低下してしまい、前記ヘッドスライダと前記磁気ディスクとが接触し、該磁気ディスクが破損し、記録を行うことができなくなるという重大な問題が生ずる。このため、上述したヘッドスライダの設計上のポイント（１）〜（４）の中でも特に（３）、即ち大気圧が変化しても使用可能とすること（高度３０００ｍでの使用を保障すること）が重要な課題となっている。
【０００６】
従来においては、この課題を解決するためのものとして、例えば、前記ヘッドスライダにおける、「深溝深さＲ」と「浅溝深さδｓ」との「比（深溝深さＲ／浅溝深さδｓ）が５よりも大きくなるように設計することが提案されている（特許文献１参照）。しかしながら、この場合、溝深さの変化に対し浮上量変化が小さな領域は実際にはかなり狭く、溝深さが制約されるため、溝深さを製造上のバラツキに対する最適値に設定することが困難であるという問題がある。一方、前記ヘッドスライダ内部に、標準気圧ポケットを設け、該標準気圧ポケットの圧力制御を行うことにより、気圧低下に伴う浮上量低下を抑制することが提案されている。しかし、この場合、前記標準気圧ポケットを設けることが必須となるため、構造が複雑化し、製造コストが高くなってしまうという問題がある。
【０００７】
したがって、磁気ディスクの内周から外周まで均一な浮上量を保持し、シーク動作中でも一定の浮上隙間を保持し、溝深さの制約がなく、溝深さに対する浮上量の変動の最適化が可能であり、余分な付加構造や製造コスト等を要せず、加工誤差や組立誤差による制約を受けず、特に大気圧が変化しても使用可能（高度３０００ｍでも使用可能）なヘッドスライダ及びそれを備えた高性能な磁気ディスク装置は、未だ提供されていないのが現状である。
【０００８】
【特許文献１】特開２０００−５７７２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、従来における諸問題を解決し、磁気ディスクの内周から外周まで均一な浮上量を保持し、シーク動作中でも一定の浮上隙間を保持し、溝深さの制約がなく、溝深さに対する浮上量の変動の最適化が可能であり、余分な付加構造や製造コスト等を要せず、加工誤差や組立誤差による制約を受けず、特に大気圧が変化しても使用可能（高度３０００ｍでも使用可能）なヘッドスライダ及びそれを備えた高性能な磁気ディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のヘッドスライダは、空気が流入する流入端と、空気が流出する流出端と、該流入端に沿って延設された流入端側レールと、該流入端側レールよりも前記流出端側に位置しかつ使用時に負圧となる負圧部と、該負圧部においてかつ前記流入端側から前記流出端側に向けて延設された２以上の延設レールとを有することを特徴とする。本発明のヘッドスライダにおいては、前記負圧部に前記２本以上の延設レールが前記流入端側から前記流出端側に向けて延設されているので、大気圧が変化しても（高度３０００ｍでも）使用可能であり、該負圧部の負圧力が適切に制御され、回転する磁気ディスクと接触する可能性が低い。そして、ヘッド素子の近傍で磁気ディスクとの距離が最短に制御される。
本発明の磁気ディスク装置は、本発明の前記ヘッドスライダを少なくとも有してなることを特徴とする。このため、該磁気ディスク装置は、大気圧が変化しても（高度３０００ｍでも）使用可能であり、該負圧部の負圧力が適切に制御され、回転する磁気ディスクと接触する可能性が低い。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、従来における諸問題を解決し、磁気ディスクの内周から外周まで均一な浮上量を保持し、シーク動作中でも一定の浮上隙間を保持し、溝深さの制約がなく、溝深さに対する浮上量の変動の最適化が可能であり、余分な付加構造や製造コスト等を要せず、加工誤差や組立誤差による制約を受けず、特に大気圧が変化しても使用可能（高度３０００ｍでも使用可能）なヘッドスライダ及びそれを備えた高性能な磁気ディスク装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
（ヘッドスライダ）
本発明のヘッドスライダは、流入端と、流出端と、流入端側レールと、負圧部と、２以上の延設レールとを少なくとも有してなり、更に必要に応じて適宜選択した、サイドレール、流入端側正圧部、流出端側正圧部、流出端側レール、などを有してなる。なお、これらは、磁気ディスクとの対向面、即ち空気の流出入面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））上に設けられる。
【００１３】
前記流入端は、回転する磁気ディスク上に生ずる気流の入口、即ち空気が流入する端部として機能する。該流入端の形状、構造、大きさ等としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、公知のもの中から適宜選択することができる。
前記流出端は、回転する磁気ディスク上に生ずる気流の出口、即ち空気が流出する端部として機能する。該流出端の形状、構造、大きさ等としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、公知のもの中から適宜選択することができる。
【００１４】
前記流入端側レール（「フロントレール」と称することがある）は、前記流入端に沿って延設される。該流入端側レールは、該流入端側に配置されるが、該流入端に接して配置されていてもよい。該流入端側レールは、前記流入端に沿って不連続に配置されていてもよいが、連続して延設されているのが好ましい。該流入端側レールの形状としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、帯状、などが好適に挙げられ、該流入端側レールの幅としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、略一定であるのが好ましい。
【００１５】
前記負圧部は、前記流入端側レールよりも前記流出端側に位置しかつ使用時に負圧となる部位である。該負圧部を形成する方法としては、特に制限はなく、目的に応じて公知の方法の中から適宜選択することができるが、例えば、前記流入端側レールよりも前記流出端側に位置し、前記流入端側から前記流出端側に向けてかつ前記流入端に沿った幅方向における両端に延設されたサイドレールにより画成された態様などが好ましく、該サイドレールと、前記流入端側レールの前記流出端側であって該負圧部を形成する領域よりも前記流入端側に配置した流出端側正圧部とにより画成された態様などがより好ましい。
【００１６】
このとき、前記ヘッドスライダを前記磁気ディスクとの対向面、即ち空気の流出入面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））を下方に向けて配置させた際、該負圧部よりも、前記サイドレールが下方に突出し、前記流入端側レール及び該サイドレールよりも、前記流入端側正圧部が下方に突出しているのが好ましい。この場合、前記流入端から流入した空気により、前記ヘッドスライダにおいて最も前記磁気ディスク側に突出した前記流入端側正圧部が浮上され、該流入端側正圧部に前記磁気ディスク側から遠ざける正圧（浮力）が付与されると共に、該流入端側正圧部を通過した後、前記ヘッドスライダにおいて最も前記磁気ディスク側から離れた前記負圧部に前記磁気ディスク側に吸引する負圧が付与される。
【００１７】
なお、前記サイドレールの形状、大きさ（幅、長さ）等については、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、前記形状としては、帯状などが好ましく、前記幅としては、略一定であるのが好ましく、更に後述する延設レールと同程度の幅であるのがより好ましく、前記長さとしては、後述する延設レールよりも短く、その流出端側の端部が、前記延設レールの前記流出端側の端部よりも前記流入端側に位置しているか、あるいは、同等の長さである（同等の位置に位置している）のが好ましい。
【００１８】
また、前記流入端側正圧部は、前記流入端側レールよりも流出端側に、かつ前記延設レール及び前記サイドレールよりも前記流入端側に位置し、使用時に正圧となる部位であるが、前記ヘッドスライダが該流入端側正圧部を有する場合、該流入端側正圧部が、前記流入端側レールに沿ってかつ該流入端側レールに接して幅方向に延設され、延設レール及びサイドレールにおける流入端側の端部の少なくとも１つ（全部でもよい）が該流入端側正圧部に接しているのが好ましい。
【００１９】
本発明のヘッドスライダは、前記負圧部に２以上の延設レールを有することが必要であり、３以上の延設レールを有するのが好ましい。本発明のヘッドスライダにおいては、該２本以上の延設レールが、あたかも櫛の歯のように見えることから、該２本以上の延設レールを「櫛歯型レール」と称することがある。
【００２０】
前記延設レールの形状、該延設レールにおける流出端側の端部形状、大きさ（幅、長さ）、隣接間隔、前記負圧部に占める面積率等については、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。
【００２１】
前記延設レールの形状としては、例えば、帯状などが好ましい。前記延設レールにおける流出端側の端部形状としては、前記ヘッドスライダの幅方向に沿った形状などが好ましい。前記延設レールの幅（図４〜８中の「Ｌ」）としては、例えば、略一定であってもよいし、そうでなくてもよいが、通常前者の方が好ましく、更に後述する延設レールと同程度の幅であるのがより好ましく、具体的な大きさとしては、５〜１００μｍが好ましく、１０〜５０μｍがより好ましく、２０〜４０μｍが特に好ましい。前記延設レールの隣接間隔（該延設レール間の距離（図４〜８中の「Ｓ」））としては、例えば、略一定で等間隔であってもよいし、そうでなくてもよく、具体的には、１０〜１２０μｍが好ましく、４０〜９０μｍがより好ましく、５０〜８０μｍが特に好ましい。前記延設レールの前記負圧部に占める面積率としては、例えば、１０〜８０％が好ましく、２０〜７０％が好ましい。なお、前記形状や前記幅等は、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよいが、製造容易性等の観点からは、通常、前者の方が好ましい。
【００２２】
前記延設レールの長さとしては、その全部が前記サイドレールと同等の長さであり、即ち、その全部における流出端側の端部が、前記サイドレールの前記流出端側の端部と同程度に前記流出端側に突出しているのが好ましく、その少なくとも１つにおける流出端側の端部が、前記サイドレールにおける流出端側の端部よりも流出端側に突出して延設されている態様（以下「突出態様」と称することがある）がより好ましい。
【００２３】
前記突出態様の場合、前記延設レールの中で中央付近に位置するものの前記流出端側の端部が他の延設レールにおける前記流出端側の端部よりも、前記流出端側に突出した延設レール（「中央延接レール」と称することがある）を有する態様が好ましく、具体的には、前記延設レールの数が奇数であり、該延設レールにおいて、幅方向における両端に位置するサイドレールから起算して等数番目にかつ該幅方向の中心付近に位置する前記中央延設レールにおける流出端側の端部が、他の延設レールにおける流出端側の端部よりも流出端側に突出して延設された第一の突出態様、前記延設レールの数が偶数であり、該延設レールにおいて、幅方向における両端に位置するサイドレールから起算して等数目にかつ該幅方向の中心付近に位置する２つの前記中央延設レールにおける流出端側の端部が、他の延設レールにおける流出端側の端部よりも流出端側に突出して延設された第二の突出態様、などがより好ましい。
【００２４】
なお、前記突出態様の場合、前記延設レールにおける流出端側の端部が、前記サイドレール側に位置するものから前記中央延設レール側に位置するものの順に、漸次、流出端側に突出して延設されているのが好ましい。また、前記突出態様の場合、前記サイドレール及び前記延設レールの流出端側の端部における幅方向中点の互いに隣接するものどうしを結んでなる線が、前記サイドレールから前記中央延設レール側にかけて直線となるのが好ましい。
【００２５】
本発明のヘッドスライダにおいては、前記延設レール及び前記サイドレールにおける前記流入端側の端部の少なくとも２つが、幅方向に延設された連結レールにより互いに連結されていてもよい。例えば、前記連結レールの両末端に前記延設レールが１本づつ接した状態で、２本の延設レールが該連結レールにより連結された場合には、該２本の延設レールと該連結レールとにより形成された結合レールが、あたかも「コ字」のように見えることから、該結合レールを「コ字型レール」と称することがある。
【００２６】
前記連結レールの数としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、２以上であってもよい。この場合、前記コ字型レールが複数形成され得る。前記コ字型レールが複数形成される場合、これらのコ字型レールは、互いに並列していてもよく、大きなコ字型レールの中に小さなコ字型レールが収容されていてもよく、これらの組合せであってもよく、また、前記櫛歯型レールと併用されてもよく、この場合、前記コ字型レールの中に前記櫛歯型レールが配置されていてもよく、前記櫛歯型レールの間に該コ字型レールが配置されていてもよく、前記櫛歯型レールに隣接して前記コ字型レールが配置されていてもよく、これらの組合せであってもよい。なお、前記連結レールの幅としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、前記延設レールと同等であるのが好ましい。
【００２７】
前記流出端側正圧部は、前記延設レール及び前記サイドレールよりも前記流出端側に位置し、使用時に正圧となる部位である。前記ヘッドスライダが該流出端側正圧部を有していると、該ヘッドスライダの浮力（正圧）と前記磁気ディスク側に吸引される負圧とのバランスに優れ、気圧変化による前記ヘッドスライダと前記磁気ディスクとの間隔（浮上量）の低減を効果的に抑制することができる点で有利である。
【００２８】
前記流出端側正圧部の形状、数、大きさ（幅、長さ）等については、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができる。前記形状としては、例えば、前記流出端に沿って連続的に形成されていなくてもよく、ブロック状などが好ましい。前記数としては、例えば、１以上が好ましく、２〜４つ程度がより好ましい。前記幅としては、例えば、前記延接レールよりも大きいのが好ましい。前記長さとして、例えば、前記延接レールよりも短いのが好ましい。なお、前記ブロック状の前記流出端側正圧部は、前記流出端に沿って複数配置されているのが好ましく、この場合、前記ヘッドスライダにおける幅方向の中心付近に位置する流出端側正圧部における流出端側の端部が、他の流出端側正圧部における流出端側の端部よりも流出端側に位置する態様がより好ましい。
【００２９】
本発明のヘッドスライダにおいては、前記ヘッドスライダを前記磁気ディスクとの対向面、即ち空気の流出入面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））を下方に向けて配置させた際、前記負圧部よりも、前記流入端側レール、前記サイドレール及び前記延設レールが下方に突出し、該流入端側レール、該サイドレール及び該延設レールよりも、前記流入端側正圧部及び前記流出端側正圧部が下方に突出した態様が好ましい。なお、この態様は、前記負圧部を基準面として、他のものが該負圧部よりもどれだけ下方に突出しているかとして説明したが、ここでは逆にこの態様を、前記流入端側正圧部及び前記流出端側正圧部を基準面として、他のものがこれらよりもどれだけ深い溝となっているかとして説明する。この場合、該態様では、前記流入端側正圧部及び前記流出端側正圧部よりも、前記流入端側レール、前記延設レール、前記サイドレール又は前記流出端側レールが低く「浅溝」として形成されており、前記流入端側レール、前記延設レール、前記サイドレール又は前記流出端側レールよりも前記負圧部が更に低く「深溝」として形成されていることになる。この態様の場合、前記流入端から流入した空気により、前記ヘッドスライダにおいて最も前記磁気ディスク側に突出した前記流入端側正圧部が浮上され、該流入端側正圧部に前記磁気ディスク側から遠ざける正圧（浮力）が付与されると共に、該流入端側正圧部を通過した後、前記ヘッドスライダにおいて最も前記磁気ディスク側から離れた前記負圧部に、前記磁気ディスク側に吸引される負圧が付与される。そして、前記負圧部を通過した空気により、前記ヘッドスライダにおいて前記流入端側正圧部と共に最も前記磁気ディスク側に突出した前記流出端側正圧部が浮上される。しかも、このとき、該負圧部においては、前記延接レールが２本以上延設されているので、前記負圧が、気圧（高度）の変化に関係なく常に適度に制御される。
【００３０】
前記流出端側正圧部を設ける場合、前記ヘッドスライダを前記磁気ディスクとの対向面、即ち空気の流出入面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））を下方に向けて配置させた際、前記流出端側正圧部における前記流入端側に隣接し、かつ該流出端側正圧部よりも突出せず前記負圧部よりも突出した流出端側レール（リアレール」と称することがある）を配置させるのが好ましい。
【００３１】
なお、該流出端側レールを配置させる場合、該流出側レールにおける前記負圧部との接触端と、前記サイドレール及び前記延設レールの流出端側の端部における幅方向中点の互いに隣接するものどうしを結んでなる線とが、互いに略平行である態様も好ましい。
【００３２】
本発明のヘッドスライダにおいては、前記負圧部と、前記流入端側レール、前記延接レール、前記サイドレール、及び前記流出端側レートとの段差の大きさとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、１〜２μｍ程度が好ましい。また、前記流入端側レール、前記延接レール、前記サイドレール及び前記流出端側レールと、前記流入側正圧部及び前記流出側正圧部との段差の大きさとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、０．１〜０．２μｍ程度が好ましい。
【００３３】
また、本発明のヘッドスライダは、前記流入端側から前記流出端側に伸びる中心軸を中心とした線対称形状を有するのが好ましい。
【００３４】
本発明のヘッドスライダは、磁気ディスクの内周から外周まで均一な浮上量を保持し、シーク動作中でも一定の浮上隙間を保持し、溝深さの制約がなく、溝深さに対する浮上量の変動の最適化が可能であり、余分な付加構造や製造コスト等を要せず、加工誤差や組立誤差による制約を受けず、特に大気圧が変化しても使用可能（高度３０００ｍでも使用可能）にするために、前記磁気ディスクとの対向面、即ち空気の流出入面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））の形状を上述のように特定のものにしたこと以外は、従来のヘッドスライダと同様にして設計することができる。
【００３５】
前記ヘッドスライダの材料としては、特に制限はなく、目的に応じて公知のものの中から適宜選択することができ、例えば、アルミナ・チタン・カーバイド（Ａｌ／Ｔｉ／Ｃ）等のセラミックスなどが好適に挙げられる。
【００３６】
前記ヘッドスライダの製造方法としては、特に制限はなく、目的に応じて公知の方法の中から適宜選択することができ、例えば、反応性エッチング法、イオンモールディング法、イオンミリング法、などが好適に挙げられる。
【００３７】
ここで、本発明のヘッドスライダの一製造例について説明する。例えば、まず、Ａｌ２Ｏ３ＴｉＣ（アルチック）製のウエハ上に、Ａｌ２Ｏ３（アルミナ）層を成膜した後、公知の方法に従って磁気ヘッド素子を形成し、該磁気ヘッド素子をＡｌ２Ｏ３（アルミナ）層で被覆する。次に、該ウエハを切断し、その切断面にＳｉ密着層を介してＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）層を形成する。該ＤＬＣ層に再びＳｉ密着層を介して前記ＤＬＣ層を積層する。次に、該ＤＬＣ層上にパターン形成用フォトレジストを塗布し、レジスト層を形成し、露光、現像してパターンを形成し、イオンミリングを行い、前記ＤＬＣ層、前記Ｓｉ密着層、前記ウエハを削り取る。この削り取りによって、前記レジスト層が除去される。次に、パターン形成用フォトレジスを用いて、前記流入端側レール、前記サイドレール、前記流出端側レール等をパターン形成し、該レジスト層を除去することにより、前記ヘッドスライダにおける前記磁気ディスクとの対向面、即ち空気の流出入面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））が形成される。
【００３８】
本発明のヘッドスライダは、前記磁気ディスクの内周から外周まで均一な浮上量を保持し、シーク動作中でも一定の浮上隙間を保持し、溝深さの制約がなく、溝深さに対する浮上量の変動の最適化が可能であり、余分な付加構造や製造コスト等を要せず、加工誤差や組立誤差による制約を受けず、特に大気圧が変化しても使用可能（高度３０００ｍでも使用可能）であるため、各種の磁気ディスク装置に好適に使用することができ、以下の本発明の磁気ディスク装置に特に好適に使用することができる。
【００３９】
（磁気ディスク装置）
本発明の磁気ディスク装置は、本発明の前記ヘッドスライダを備えてなり、更に必要に応じて適宜選択したその他の手段乃至部材、等を有してなる。
前記その他の手段乃至部材としては、例えば、磁気ディスク、該磁気ディスクを回転。させる磁気ディスク回転手段、前記ヘッドスライダを先端部に装備し、該ヘッドスライダを、回転する前記磁気ディスクの表面上に浮上させた状態で対向配置可能なキャリッジアーム、該キャリッジアームを回動可能に軸支するシャフト、該キャリッジアームを回動させるアクチュエータ、これらを収容するハウジング、などが挙げられる。
前記磁気ディスクに記録を行うための磁気ヘッドとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、水平磁気記録用ヘッド、垂直磁気記録用ヘッドなどが挙げられる。これらの中でも、前記垂直磁気記録用ヘッドが好ましく、該垂直磁気記録用ヘッドとしては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、例えば、単磁極ヘッド等が好適に挙げられる。また、該垂直磁気記録用ヘッドは、書込専用であってもよいし、ＧＭＲヘッド等の読取用ヘッドと一体の書込兼読込用であってもよい。
【００４０】
ここで、本発明の磁気ディスク装置の一例について図１を参照しながら説明する。図１に示す磁気ディスク装置１００は、ハウジング１１０を有し、ハウジング１００内に、磁気ディスク５と、スピンドルモータ１２０と、ヘッドスライダ１と、シャフト１５０と、キャリッジアーム１６０と、アクチュエータ１７０とを収容してなる。
磁気ディスク５は、スピンドルモータ１２０により回転可能であり、記録時等においてスピンドルモータ１２０により回転される。ヘッドスライダ１は、本発明の前記ヘッドスライダであり、シャフト１５０により回動可能に支持され、アクチュエータ１７０により回動されるキャリッジアーム１６０の先端に装備される。
【００４１】
この磁気ディスク装置１００においては、情報の記録時及び読出時において、スピンドルモータ１２０により、磁気ディスク５が回転する。一方、磁気ディスク５上から退避されていたヘッドスライダ１が、アクチュエータ１７０の駆動によってキャリッジアーム１６０がシャフト１５０を中心に回動することにより、回転する磁気ディスク５における記録面上の最内周側に移動される。ヘッドスライダ１は、アクチュエータ１７０により、磁気ディスク５上の最内周側から最外周側に順次移動していき、磁気ディスク５への情報の記録（書込）及び／又は読込が行われる。そして、情報の記録乃至読出が終了した後、ヘッドスライダ１は、磁気ディスク５上から退避され、磁気ディスク５の回転が止まる。
【００４２】
なお、ヘッドスライダ１が、回転する磁気ディスク５上に移動された際、ヘッドスライダ１は、図２に示すように、磁気ディスク５の回転によりその表面に生じた空気の気流により、その先端側、即ち前記流入端側が浮力を受けて、その後端側、即ち前記流出端側よりも上方に浮上する。具体的には、ヘッドスライダ１における、磁気ディスク５との対向面、即ち空気の流出入面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））において、前記流入端から流入した空気により、流入端側正圧部１２に磁気ディスク５側から遠ざける正圧（浮力）が付与されて流入端側正圧部１２が浮上すると共に、流入端側正圧部１２を通過した前記空気により、ヘッドスライダ１において最も磁気ディスク５側から離れた負圧部１０に、磁気ディスク５側に吸引される負圧が付与される。そして、負圧部１０を通過した空気により、ヘッドスライダ１において流入端側正圧部１２と同様に最も磁気ディスク５側に突出した流出端側正圧部１６に、磁気ディスク５側から遠ざける正圧（浮力）が付与されて流出端側正圧部１６が浮上する。しかも、このとき、負圧部１０においては、延接レール（図２では不図示）が２本以上延設されているので、前記負圧が、気圧（高度）の変化に関係なく常に適度に制御される。
【００４３】
本発明の磁気ディスク装置は、本発明の前記ヘッドスライダを備えているので、記録時等において前記磁気ディスクの内周から外周まで均一な浮上量を保持し、シーク動作中でも一定の浮上隙間を保持し、溝深さの制約がなく、溝深さに対する浮上量の変動の最適化が可能であり、余分な付加構造や製造コスト等を要せず、加工誤差や組立誤差による制約を受けず、特に大気圧が変化しても使用可能（高度３０００ｍでも使用可能）であり、高密度記録が可能であり、高性能である。
本発明の磁気ディスク装置は、例えば、ハードディスク装置（ＨＤＤ）などの各種記録再生装置等として使用することができる。
【００４４】
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこの実施例に何ら限定されるものではない。
【実施例１】
【００４５】
実施例１のヘッドスライダにおける、磁気ディスクとの対向面、即ち空気の流出入面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））の形状を図４（平面図）を参照しながら説明する。図４に示す通り、ヘッドスダイダ１は、流入端と、流出端と、流入端側レール１１と、負圧部１０と、３つの延設レール１３と、一対のサイドレール１４と、流入端側正圧部１２と、流出端側正圧部１６と、流出端側レール１７とを有してなる。
流入端側レール１１は、前記流入端に接して、ヘッドスライダ１の幅方向に延設されており、幅が一定の帯状である。流入端側レール１１は、負圧部１０よりも突出して形成されており、その結果、流入端側レール１１と負圧部１０との境界には段差が形成されている。
流入端側正圧部１２は、前記流入端側レール１１に接して、流入端側レール１１よりも前記流出端側に、かつヘッドスライダ１の幅方向に延設されており、幅が一定の帯状である。流入端側正圧部１２は、流入端側レール１１よりも突出して形成されており、その結果、流入端側正圧部１２と流入端側レール１１との境界には段差が形成されている。
【００４６】
一対のサイドレール１４は、ヘッドスライダ１の幅方向における両端に、前記流入端側から前記流出端側に向ってそれぞれ延設されており、幅が一定の帯状である。サイドレール１４における、一端は流入端側正圧部１２に接し連続しており、他端はヘッドスライダ１の幅方向と平行な形状の端部形状を有する。サイドレール１４は、負圧部１０よりも突出して、かつ流入端側正圧部１２よりも低く形成されており、その結果、流入端側正圧部１２とサイドレール１４との境界、サイドレール１４と負圧部１０との境界には、段差が形成されている。
３つの延設レール１３は、前記流入端側から前記流出端側に向ってそれぞれ延設されており、幅が一定の帯状である。延設レール１３における、一端は流入端側正圧部１２に接し連続しており、他端はヘッドスライダ１の幅方向と平行な形状の端部形状を有する。延設レール１３は、負圧部１０よりも突出して、かつ流入端側正圧部１２よりも低く形成されており、その結果、流入端側正圧部１２と延設レール１３との境界、延設レール１３と負圧部１０との境界には、段差が形成されている。なお、３つの延設レール１３と、一対のサイドレール１４とは、いずれも幅（Ｌ）が３０μｍであり、隣接するものどうしの間隔（Ｓ）がいずれも互いに１５０μｍである。実施例１のヘッドスライダ１においては、３つの延設レール１３と、一対のサイドレール１４とは、いずれも前記流出端側に同じ長さだけ突出して形成されており、これらが５つの櫛歯を構成し「櫛歯型レール」を形成する。
【００４７】
流出端側正圧部１６は、ヘッドスライダ１の前記流出端側に略等間隔に３つ配置されており、帯状である。流出端側正圧部１６においては、ヘッドスライダ１の幅方向における両端に位置するものどうしの幅が互いに同等である。流出端側正圧部１６は、ヘッドスライダ１の幅方向に延設されており、負圧部１０よりも突出して形成されており、その結果、流出端側正圧部１６と負圧部１０との境界には、段差が形成されている。
流出端側レール１７は、流出端側正圧部１６に接して、流出端側正圧部１６よりも前記流入端側に、かつ延設レール１３及びサイドレール１４の前記流出端側の端部よりも該流出端側に、３つ配置されており、帯状である。流出端側レール１７においては、ヘッドスライダ１の幅方向における両端に位置するものどうしの幅が互いに同等である。流出端側レール１７は、ヘッドスライダ１の幅方向に延設されており、負圧部１０よりも突出して流出端側正圧部１６よりも低く形成されており、その結果、流出端側正圧部１６と流出端側レール１７との境界、流出端側レール１７と負圧部１０との境界には、段差が形成されている。なお、流出端側正圧部１６及び流出端側レール１７を「流出端側ブロック１５」と称することがある。
【００４８】
即ち、ヘッドスライダ１における、空気の流出入面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））においては、負圧部１０よりも、流入端側レール１１、３つの延設レール１３、一対のサイドレール１４及び流出端側レール１７が突出して形成されており、負圧部１０と、流入端側レール１１、３つの延設レール１３、一対のサイドレール１４又は流出端側レール１７との境界には、段差が設けられている。また、流入端側レール１１、３つの延設レール１３、一対のサイドレール１４及び流出端側レール１７よりも、流入端側正圧部１２及び流出端側正圧部１６が突出して形成されており、流入端側レール１１、３つの延設レール１３、一対のサイドレール１４又は流出端側レール１７と、流入端側正圧部１２又は流出端側正圧部１６との境界には、段差が設けられている。
以上は、負圧部１０を基準面として、他のものが負圧部１０よりもどれだけ突出しているかを述べたが、ここでは逆に、流入端側正圧部１２及び流出端側正圧部１６を基準面として、他のものがこれらよりもどれだけ深い溝となっているかを述べると、以下の通りである。即ち、流入端側正圧部１２及び流出端側正圧部１６よりも、流入端側レール１１、３つの延設レール１３、一対のサイドレール１４又は流出端側レール１７が低く「浅溝」として形成されており、流入端側レール１１、３つの延設レール１３、一対のサイドレール１４又は流出端側レール１７よりも負圧部１０が更に低く「深溝」として形成されている。
【００４９】
ヘッドスライダ１を、図１に示す磁気ディスク装置１００におけるキャリッジアーム１６０の先端に装備させて、回転する磁気ディスク５上に移動させると、ヘッドスライダ１は、図２に示すように、磁気ディスク５から浮上した状態に維持される。即ち、ヘッドスライダ１における、空気の流出入面（ＡＢＳ（Air Bearing Surface））において、前記流入端から流入した空気により、流入端側正圧部１２に磁気ディスク５側から遠ざける正圧（浮力）が付与されて流入端側正圧部１２が浮上する。そして、流入端側正圧部１２を通過した前記空気により、負圧部１０に、磁気ディスク５側に吸引される負圧が付与される。前記正圧に対し、これを打消すように前記負圧が作用する結果、ヘッドスライダ１は、図２に示すように、磁気ディスク５の回転によりその表面に生じた空気の気流により、その先端側、即ち前記流入端側が正圧（浮力）を受けて浮上しようとするのに対し、その後端側、即ち前記流出端側が負圧を受けて磁気ディスク５側に下降しようとする結果、該流入端側が該流出端側よりも高く浮上した状態に維持される。負圧部１０を通過した空気により、ヘッドスライダ１において、流入端側正圧部１２と同様に最も磁気ディスク５側に突出した流出端側正圧部１６が正圧(浮力)を受けて浮上する。前記負圧部１０による負圧に対し、これを打消すように流出端側正圧部１６による正圧（浮力）が作用する結果、ヘッドスライダ１は、図２に示すように、その後端側、即ち前記流出端側が磁気ディスク５側に下降して接触しようとするのが効果的に抑制され、磁気ディスク５と一定間隔を維持して浮上する。
【００５０】
そして、負圧部１０においては、一対のサイドレール１４の内側に、３つの延接レール１３（図２では不図示）が等間隔に延設されているので、負圧部１０における負圧の力が、気圧（高度）の変化に関係なく常に適度に制御される。その結果、実施例１のヘッドスライダ１は、磁気ディスク５の内周から外周まで均一な浮上量を保持可能であり、シーク動作中でも一定の浮上隙間を保持可能であり、前記「浅溝」や前記「深溝」の溝深さの制約がなく、該溝深さに対する浮上量の変動の最適化が可能であり、余分な付加構造や製造コスト等を要せず、加工誤差や組立誤差による制約を受けず、特に大気圧が変化しても使用可能（高度３０００ｍでも使用可能）である。
【００５１】
実際、実施例１のヘッドスライダを高度０ｍ及び３０００ｍにおいて、磁気ディスクの半径位置と浮上量との関係をシュミレーションしたところ、図１０（縦軸及び横軸は各々無次元化量）に示すように、高度０ｍに対し高度３００ｍでは浮上量は若干小さくなるものの、同じ高度（気圧）条件下で使用した場合には、高度０ｍであろうと高度３０００ｍであろうと、磁気ディスクの半径位置のどの位置であっても一定の浮上量が維持可能であることが判った。
一方、実施例１のヘッドスライダにおいて前記延設レールを設けなかった従来のヘッドスライダについて、上記と同様に、高度０ｍ及び３０００ｍにおいて、磁気ディスクの半径位置と浮上量との関係をシュミレーションしたところ、図９（縦軸及び横軸は各々無次元化量）に示すように、高度０ｍに対し高度３０００ｍでは浮上量は大幅に小さくなり、高度３０００ｍで使用すると、磁気ディスクの半径位置によって浮上量が変動し、一定の浮上量を維持することができないことが判った。
【００５２】
また、実施例１のヘッドスライダにおける深溝深さ（前記流入端側正圧部又は前記流出端側正圧部を基準面としたときの前記負圧部の溝深さ）と、浮上量比（高度０ｍ／高度３０００ｍ）との関係をシュミレーションしたところ、図１１（縦軸及び横軸は各々無次元化量）に示すように、深溝深さを変化させても、前記浮上量比は略一定であり、実施例１のヘッドスライダでは、溝深さの気圧依存性が小さく、気圧（高度）の影響が小さいことが判った。
一方、実施例１のヘッドスライダにおいて前記延設レールを設けなかった従来のヘッドスライダについて、上記と同様に、深溝深さ（前記流入端側正圧部又は前記流出端側正圧部を基準面としたときの前記負圧部の溝深さ）と、浮上量比（高度０ｍ／高度３０００ｍ）との関係をシュミレーションしたところ、図１１に示すように、深溝深さを変化させると、前記浮上量比は大きく変化し、従来のヘッドスライダでは、溝深さの気圧依存性が大きく、気圧（高度）の影響が大きいことが判った。
【実施例２】
【００５３】
実施例２のヘッドスライダは、図５（平面図）に示す通り、実施例１のヘッドスライダ１において、中央に位置する延設レール１３の前記流出端側の端部が、その両端に位置する延設レール１３の前記流出端側の端部、及びこの延設レール１３の両端に位置するサイドレール１４の前記流出端側の端部よりも、前記流出端側に突出して形成されていること以外は、実施例１のヘッドスライダ１と同様であり、該実施例１のヘッドスライダと同様の作用効果を奏する。
【実施例３】
【００５４】
実施例３のヘッドスライダは、図６（平面図）に示す通り、実施例１のヘッドスライダ１において、中央に位置する延設レール１３の前記流出端側の端部が、その両端に位置する延設レール１３の前記流出端側の端部よりも、前記流出端側に突出して形成されており、かつ、該両端に位置する延設レール１３の前記流出端側の端部が、その両端に位置するサイドレール１４の前記流出端側の端部よりも、前記流出端側に突出して形成されていること以外は、実施例１のヘッドスライダ１と同様であり、該実施例１のヘッドスライダと同様の作用効果を奏する。
なお、実施例３のヘッドスライダにおいては、サイドレール１４の前記流出端側の端部中点と、該サイドレール１４に隣接して配置された延設レール１３の前記流出端側の端部中点と、該延設レール１３に隣接し、中央に配置された延設レール１３の前記流出端側の端部中点とをそれぞれ結ぶと直線（端部中点連結直線）となる。
【実施例４】
【００５５】
実施例４のヘッドスライダは、図７（平面図）に示す通り、実施例３のヘッドスライダ１において、中央に位置する延設レール１３の前記流出端側の端部が、その両端に位置する延設レール１３の前記流出端側の端部よりも、前記流出端側に突出して形成されており、かつ、該両端に位置する延設レール１３の前記流出端側の端部が、その両端に位置するサイドレール１４の前記流出端側の端部よりも、前記流出端側に突出して形成されていること、及び、両端に位置する流出端側レール１７ａの負圧部１０との境界線と、前記端部中点連結直線とが平行であること以外は、実施例３のヘッドスライダ１と同様であり、該実施例３のヘッドスライダと同様の作用効果を奏する。
【実施例５】
【００５６】
実施例５のヘッドスライダは、図８（平面図）に示す通り、実施例１のヘッドスライダ１において、３つの延設レール１３（櫛歯型レール）をコ字型レール（２つの延設レールの前記流入端側の端部を連結レール１３ａで連結してなる）に変えた以外は、実施例１のヘッドスライダ１と同様である。
実施例５のヘッドスライダを高度０ｍ及び３０００ｍにおいて、磁気ディスクの半径位置と浮上量との関係をシュミレーションしたところ、図１３（縦軸及び横軸は各々無次元化量）に示すように、高度０ｍに対し高度３０００ｍでは浮上量は若干小さくなるものの、同じ高度（気圧）条件下で使用した場合には、高度０ｍであろうと高度３０００ｍであろうと、磁気ディスクの半径位置のどの位置であっても一定の浮上量が維持可能であることが判った。
一方、実施例１のヘッドスライダにおいて前記延設レールを設けなかった従来のヘッドスライダについて、上記と同様に、高度０ｍ及び３０００ｍにおいて、磁気ディスクの半径位置と浮上量との関係をシュミレーションしたところ、図１２（縦軸及び横軸は各々無次元化量）に示すように、高度０ｍに対し高度３０００ｍでは浮上量は大幅に小さくなり、高度３０００ｍで使用すると、磁気ディスクの半径位置によって浮上量が変動し、一定の浮上量を維持することができないことが判った。
【００５７】
本発明の好ましい態様を付記すると、以下の通りである。
（付記１）    空気が流入する流入端と、空気が流出する流出端と、該流入端に沿って延設された流入端側レールと、該流入端側レールよりも前記流出端側に位置しかつ使用時に負圧となる負圧部と、該負圧部においてかつ前記流入端側から前記流出端側に向けて延設された２以上の延設レールとを有することを特徴とするヘッドスライダ。
（付記２）    延設レールが３以上である付記１に記載のヘッドスライダ。
（付記３）    流入端側レールが、流入端に沿って連続して延設された付記１から２のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記４）    負圧部が、流入端側レールよりも流出端側に位置し、流入端側から流出端側に向けてかつ流入端に沿った幅方向における両端に延設されたサイドレールにより画成された付記１から３のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記５）    延設レールの少なくとも１つにおける流出端側の端部が、サイドレールにおける流出端側の端部よりも流出端側に突出した付記４に記載のヘッドスライダ。
（付記６）    延設レールにおける流出端側の端部が、サイドレールにおける流出端側の端部よりも流出端側に突出した付記４に記載のヘッドスライダ。
（付記７）    延設レールにおいて、幅方向における両端に位置するサイドレールから起算して等数番目にかつ該幅方向の中心付近に位置するものの流出端側の端部が、他の延設レールにおける流出端側の端部よりもよりも流出端側に突出した付記４から６のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記８）    延設レールにおける流出端側の端部が、サイドレール側に位置するものから中央付近に位置するものの順に、漸次、流出端側に突出した付記４から７のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記９）  延設レールにおける流出端側の端部が、幅方向に沿った形状を有する付記１から８のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記１０）  サイドレール及び延設レールの流出端側の端部における幅方向中点の互いに隣接するものどうしを結んでなる線が、サイドレール側から中央付近にかけて直線となる付記４から９のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記１１）  流入端側レールよりも流出端側に、かつ延設レール及びサイドレールよりも流入端側に位置し、使用時に正圧となる流入端側正圧部を有する付記４から１０のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記１２）  流入端側正圧部が流入端側レールに沿ってかつ該流入端側レールに接して幅方向に延設され、延設レール及びサイドレールにおける流入端側の端部の少なくとも１つが該流入端側正圧部に接した付記４から１１のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記１３）  延設レール及びサイドレールにおける流入端側の端部の少なくとも２つが、幅方向に延設された連結レールにより互いに連結された付記４から１２のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記１４）  連結レールが２以上である付記１３に記載のヘッドスライダ。
（付記１５）  延設レール及びサイドレールが、一定の幅を有する帯形状である付記４から１４のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記１６）  隣接する延設レール間の距離が、１０〜１２０μｍである付記１から１５のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記１７）  延設レールの幅が、５〜１００μｍである付記１から１６のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記１８）  延設レール及びサイドレールよりも流出端側に位置し、使用時に正圧となる流出端側正圧部を有する付記４から１７のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記１９）  流出端側正圧部を２〜４つ有する付記１８に記載のヘッドスライダ。
（付記２０）  流出端側正圧部が略ブロック状であり、幅方向の中心付近に位置する流出端側正圧部における流出端側の端部が、他の流出端側正圧部における流出端側の端部よりも流出端側に位置する付記１７から１９のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記２１）  磁気ディスクに対向する面を下方に向けて配置させた際、負圧部よりも、流入端側レール、サイドレール及び延設レールが下方に突出し、該流入端側レール、該サイドレール及び該延設レールよりも、流入端側正圧部が下方に突出した付記４から２０に記載のヘッドスライダ。
（付記２２）  磁気ディスクに対向する面を下方に向けて配置させた際、負圧部よりも、流入端側レール、サイドレール及び延設レールが下方に突出し、該流入端側レール、該サイドレール及び該延設レールよりも、流入端側正圧部及び流出端側正圧部が下方に突出した付記１８から２１のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記２３）  流出端側正圧部における流入端側に隣接し、かつ該流出端側正圧部よりも低く負圧部よりも突出した流出端側レールを有する付記２２に記載のヘッドスライダ。
（付記２４）  流出端側レールにおける負圧部との接触端と、サイドレール及び延設レールの流出端側の端部における幅方向中点の互いに隣接するものどうしを結んでなる線とが、互いに略平行である付記２５に記載のヘッドスライダ。
（付記２５）  流入端側から流出端側に伸びる中心軸を中心とした線対称形状を有する付記１から２４のいずれかに記載のヘッドスライダ。
（付記２６）  付記１から２５のいずれかに記載のヘッドスライダを少なくとも有してなることを特徴とする磁気ディスク装置。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明のヘッドスライダは、ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）等の各種磁気ディスク装置その他の記録ディスク装置に好適に適用可能である。また、本発明の磁気ディスク装置は、ハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）等の各種磁気ディスク装置その他の記録ディスク装置として好適に使用可能であり、本発明の前記ヘッドスライダを備えているので、前記磁気ディスクの内周から外周まで均一な浮上量を保持し、シーク動作中でも一定の浮上隙間を保持し、溝深さの制約がなく、溝深さに対する浮上量の変動の最適化が可能であり、余分な付加構造や製造コスト等を要せず、加工誤差や組立誤差による制約を受けず、特に大気圧が変化しても使用可能（高度３０００ｍでも使用可能）であるため、高度３０００ｍ程度の高地でも性能が大幅に低下せずに使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】図１は、ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置の一例を示す概略説明図である。
【図２】図２は、回転する磁気ディスク上をヘッドスライダが浮上している状態を示す概略説明図である。
【図３】図３は、ヘッドスライダにおける浮上面（空気の流出入面：ＡＢＳ（Air Bearing Surface））の従来例を示す概略説明図である。
【図４】図４は、本発明のヘッドスライダにおける浮上面（磁気ディスクとの対向面）の第一の形態（第一の例：櫛歯型レール）を示す平面図である。
【図５】図５は、本発明のヘッドスライダにおける浮上面（磁気ディスクとの対向面）の第二の形態（第二の例：櫛歯型レール）を示す平面図である。
【図６】図６は、本発明のヘッドスライダにおける浮上面（磁気ディスクとの対向面）の第三の形態（第三の例：櫛歯型レール）を示す平面図である。
【図７】図７は、本発明のヘッドスライダにおける浮上面（磁気ディスクとの対向面）の第四の形態（第四の例：櫛歯型レール）を示す平面図である。
【図８】図８は、本発明のヘッドスライダにおける浮上面（磁気ディスクとの対向面）の第五の形態（第五の例：コ字型レール）を示す平面図である。
【図９】図９は、従来のヘッドスライダにおける、高度０ｍ及び高度３０００ｍにおける、磁気ディスクの半径位置と浮上量との関係を示すグラフデータである。
【図１０】図１０は、本発明のヘッドスライダ（櫛歯型レールを有する）における、高度０ｍ及び高度３０００ｍにおける、磁気ディスクの半径位置と浮上量との関係を示すグラフデータである。
【図１１】図１１は、本発明のヘッドスライダと、従来のヘッドスライダとにおける、溝深さと浮上量変化との関係を示すグラフデータである。
【図１２】図１２は、従来のヘッドスライダにおける、高度０ｍ及び高度３０００ｍにおける、磁気ディスクの半径位置と浮上量との関係を示すグラフデータである。
【図１３】図１３は、本発明のヘッドスライダ（コ字型レールを有する）における、高度０ｍ及び高度３０００ｍにおける、磁気ディスクの半径位置と浮上量との関係を示すグラフデータである。
【符号の説明】
【００６０】
１      ヘッドスライダ
５      磁気ディスク
１０      負圧部
１１      流入端側レール
１２      流入端側正圧部
１３      延設レール
１３ａ    連結レール
１４      サイドレール
１５      流出端側ブロック
１６      流出端側正圧部
１７      流出端側レール
１７ａ    流出端側レール
１００      磁気ディスク装置
１１０      ハウジング
１２０      スピンドルモータ
１５０      シャフト
１６０      キャリッジアーム
１７０      アクチュエータ
【図１】
2005038522.tif 000003
【図２】
2005038522.tif 000004
【図３】
2005038522.tif 000005
【図４】
2005038522.tif 000006
【図５】
2005038522.tif 000007
【図６】
2005038522.tif 000008
【図７】
2005038522.tif 000009
【図８】
2005038522.tif 000010
【図９】
2005038522.tif 000011
【図１０】
2005038522.tif 000012
【図１１】
2005038522.tif 000013
【図１２】
2005038522.tif 000014
【図１３】
2005038522.tif 000015