(57)【要約】【課題】第１配線と第２配線との間の短絡を、配線本数が多くなっても、短時間で、容易に検査する短絡検査方法を提供する。【解決手段】複数の第１配線と第２配線との間の短絡を検査する短絡検査方法は、第１配線出発グループを複数の第１配線グループに分け、各第１配線グループと全てと第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する第１短絡検査工程を、短絡第１配線の本数が１本になるまで繰り返した後、副次的な第１短絡検査工程を実行し、次いで、第２配線出発グループを複数の第２配線グループに分け、各第２配線グループと短絡第１配線との間での短絡試験を行い、短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択する第２短絡検査工程を、短絡第２配線の本数が１本になるまで繰り返した後、副次的な第２短絡検査工程を実行する。【選択図】  図１
2005317313.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（１）第１方向に延びる、Ａ1本（但し、Ａ1≧２）の第１配線、及び、
（２）絶縁層を介して形成され、第１方向とは異なる第２方向に延びる、Ｂ1本（但し、Ｂ1≧２）の第２配線、
から成る配線構造において、第１配線と第２配線との重複領域における第１配線と第２配線との間の短絡を検査する短絡検査方法であって、
（Ａ−１）Ａi本の第１配線を第１配線出発グループとし、該第１配線出発グループをａi個の第１配線グループに分け、
（Ａ−２）１つの第１配線グループに属する第１配線の全てと第２配線の全てとの間での短絡試験を、ａi個の第１配線グループ全てにおいて行い、
（Ａ−３）短絡が存在する短絡第１配線グループが１つ存在する場合には、係る短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択し、
（Ａ−４）短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在する場合には、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録し、且つ、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する、
各工程から成る第１短絡検査工程を、ｉ＝１から、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数が１本になるまで繰り返した後、短絡が生じていた第１配線を第ｉ’番目の短絡第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝１）として記録し、
次いで、
（Ａ−５）短絡第１配線グループが２以上存在した場合には、前記選択された１つの短絡第１配線グループ以外の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択し、係る第１配線出発グループに基づき、第１短絡検査工程を、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第１配線を第ｉ’番目の短絡第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝２，３，・・・，Ｉ’）として記録する工程を、記録された短絡第１配線グループが無くなるまで、順次、繰り返し、
その後、
（Ｂ−１）Ｂj本の第２配線を第２配線出発グループとし、該第２配線出発グループをｂj個の第２配線グループに分け、
（Ｂ−２）１つの第２配線グループに属する第２配線の全てと第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を、ｂj個の第２配線グループ全てにおいて行い、
（Ｂ−３）短絡が存在する短絡第２配線グループが１つ存在する場合には、係る短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択し、
（Ｂ−４）短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在する場合には、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録し、且つ、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択する、
各工程から成る第２短絡検査工程を、ｊ＝１から、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数が１本になるまで繰り返した後、短絡が生じていた第２配線を第ｊ’番目の短絡第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝１）として記録し、
次いで、
（Ｂ−５）短絡第２配線グループが２以上存在した場合には、前記選択された１つの短絡第２配線グループ以外の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択し、係る第２配線出発グループに基づき、第２短絡検査工程を、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第２配線を第ｊ’番目の短絡第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝２，３，・・・Ｊ’）として記録する工程を、記録された短絡第２配線グループが無くなるまで、順次、繰り返し、
（Ｂ−６）更には、工程（Ｂ−１）乃至工程（Ｂ−５）を、ｉ’＝１からｉ’＝Ｉ’まで繰り返す、
ことを特徴とする配線構造における短絡検査方法。
【請求項２】
前記工程（Ｂ−６）の終了後、第１配線と第２配線との重複領域における第１配線と第２配線との間の短絡箇所を（Ａi'，Ｂj'）として表示することを特徴とする請求項１に記載の配線構造における短絡検査方法。
【請求項３】
ａiの値は２であり、ｂjの値も２であることを特徴とする請求項１に記載の配線構造における短絡検査方法。
【請求項４】
Ａi本の第１配線出発グループを２個の第１配線グループに分けたとき、一方の第１配線グループに含まれる第１配線の本数Ａi-1、及び、他方の第１配線グループに含まれる第１配線の本数Ａi-2は、それぞれ、
Ａi-1＝ＩＮＴ（Ａi／２）＋ｍｏｄ（Ａi，２）
Ａi-2＝Ａi−Ａi-1
であり、
Ｂj本の第２配線出発グループを２個の第２配線グループに分けたとき、一方の第２配線グループに含まれる第２配線の本数Ｂj-1、及び、他方の第２配線グループに含まれる第２配線の本数Ｂj-2は、それぞれ、
Ｂj-1＝ＩＮＴ（Ｂj／２）＋ｍｏｄ（Ｂj，２）
Ｂj-2＝Ｂj−Ｂj-1
である（但し、ＩＮＴ（Ｘ／Ｙ）は、整数Ｘを整数Ｙで除したときの商の整数部を求める関数であり、ｍｏｄ（Ｘ，Ｙ）は、整数Ｘを整数Ｙで除したときの余りを求める関数である）ことを特徴とする請求項１に記載の配線構造における短絡検査方法。
【請求項５】
（ａ）支持体上に形成されたカソード電極、
（ｂ）支持体及びカソード電極上に形成された絶縁層、
（ｃ）絶縁層上に形成されたゲート電極、
（ｄ）カソード電極とゲート電極との重複領域におけるゲート電極及び絶縁層に設けられた開口部、並びに、
（ｅ）開口部の底部に露出した電子放出部、
から成る冷陰極電界電子放出素子を複数、備えた冷陰極電界電子放出表示装置用のカソードパネルにおけるカソード電極が第１配線に相当し、ゲート電極が第２配線に相当することを特徴とする請求項１に記載の配線構造における短絡検査方法。
【請求項６】
（ａ）支持体上に形成されたカソード電極、
（ｂ）支持体及びカソード電極上に形成された絶縁層、
（ｃ）絶縁層上に形成されたゲート電極、
（ｄ）カソード電極とゲート電極との重複領域におけるゲート電極及び絶縁層に設けられた開口部、並びに、
（ｅ）開口部の底部に露出した電子放出部、
から成る冷陰極電界電子放出素子を複数、備えた冷陰極電界電子放出表示装置用のカソードパネルにおけるカソード電極が第２配線に相当し、ゲート電極が第１配線に相当することを特徴とする請求項１に記載の配線構造における短絡検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線構造における短絡検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在主流の陰極線管（ＣＲＴ）に代わる画像表示装置として、平面型（フラットパネル形式）の表示装置が種々検討されている。このような平面型の表示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセンス表示装置（ＥＬＤ）、プラズマ表示装置（ＰＤＰ）を例示することができる。また、熱的励起によらず固体から真空中に電子を放出することが可能な冷陰極電界電子放出表示装置、所謂フィールド・エミッション・ディスプレイ（ＦＥＤ）も提案されており、高解像度、高輝度のカラー表示、及び、低消費電力の観点から注目を集めている。
【０００３】
冷陰極電界電子放出表示装置（以下、表示装置と略称する場合がある）は、一般に、２次元マトリクス状に配列された各画素に対応した電子放出領域を有する冷陰極電界電子放出表示装置用のカソードパネル（以下、カソードパネルと略称する場合がある）と、電子放出領域から放出された電子との衝突により励起されて発光する蛍光体領域を有するアノードパネルとが、真空層を介して対向配置された構成を有する。電子放出領域ＥＡには、通常、複数の冷陰極電界電子放出素子（以下、電界放出素子と略称する場合がある）が設けられている。電界放出素子として、スピント型、エッジ型、扁平型、平面型等を挙げることができる。
【０００４】
一例として、スピント型電界放出素子を適用した従来の表示装置の概念的な一部端面図を図２６に示し、カソードパネルＣＰ及びアノードパネルＡＰを分解したときのカソードパネルＣＰとアノードパネルＡＰの一部分の模式的な分解斜視図を図２７に示す。かかる表示装置を構成するスピント型電界放出素子は、支持体１０に形成されたカソード電極１１と、絶縁層１２と、絶縁層１２上に形成されたゲート電極１３と、開口部１４（ゲート電極１３に設けられた第１開口部１４Ａと、絶縁層１２に設けられた第２開口部１４Ｂ）と、開口部１４の底部に位置するカソード電極１１上に形成された円錐形の電子放出部１５から構成されている。カソード電極１１は、第１方向に延びるストライプ状であり、ゲート電極１３は、第１方向とは異なる第２方向に延びるストライプ状である（図２７参照）。ストライプ状のカソード電極１１とストライプ状のゲート電極１３とが重複する重複領域が電子放出領域ＥＡに相当する。
【０００５】
一方、アノードパネルＡＰは、基板２０上に所定のパターンを有する蛍光体領域２２（具体的には、赤色発光蛍光体領域２２Ｒ、緑色発光蛍光体領域２２Ｇ、及び、青色発光蛍光体領域２２Ｂ）が形成され、蛍光体領域２２がアノード電極２４で覆われた構造を有する。尚、これらの蛍光体領域２２の間は、カーボン等の光吸収性材料から成る光吸収層（ブラックマトリックス）２３で埋め込まれており、表示画像の色濁り、光学的クロストークの発生を防止している。尚、図２６中、参照番号２１は隔壁を表し、参照番号２５はスペーサを表し、参照番号２６はスペーサ保持部を表し、参照番号２７は枠体を表す。
【０００６】
カソード電極１１とゲート電極１３との間に電圧を印加すると、その結果生じた電界によって電子放出部１５の先端部から量子トンネル効果に基づき電子が放出される。そして、電子は、アノードパネルＡＰに設けられたアノード電極２４に引き付けられ、アノード電極２４と基板２０との間に形成された蛍光体領域２２に衝突する。その結果、蛍光体領域２２が励起されて発光し、所望の画像を得ることができる。電界放出素子の動作は、基本的に、ゲート電極１３とカソード電極１１に印加される電圧によって制御される。
【０００７】
ゲート電極１３と電子放出部１５との間、あるいは又、ゲート電極１３とカソード電極１１との間に、例えば製造工程に起因した短絡が生じる場合がある。カソードパネルＣＰにおいては、通常、複数の電子放出領域が１次元的（帯状）に配列された電子放出領域列が複数並置されている。従って、このような短絡が発生すると、かかる短絡箇所を含む帯状の電子放出領域列の一列全体の完全なる表示が出来なくなる場合がある。
【０００８】
カソードパネルにおける電子放出部とゲート電極との間の短絡を検査する方法が、例えば、特開２００１−２３５０５や特表２００１−５１２２３９から周知である。特開２００１−２３５０５に開示されたカソードパネルの検査方法においては、電界放出素子が複数形成されたカソードパネルのカソード電極とゲート電極との間に電圧を印加することで、電子放出部あるいはカソード電極とゲート電極との間の短絡状態を検査する。また、特表２００１−５１２２３９に開示されたカソードパネルの検査方法においては、磁気ヘッドを用いて、カソード電極やゲート電極に流れる電流によって誘導された磁束の変化から短絡箇所を検出する。
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−２３５０５
【特許文献２】特表２００１−５１２２３９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特開２００１−２３５０５に開示された検査方法においては、Ａ本のカソード電極とＢ本のゲート電極の１本、１本に電圧を印加して、短絡の有無を検査する。従って、実質的に、Ａ×Ｂ回の検査を実行する必要がある。然るに、表示装置が大型化し、高精細化するに従い、カソード電極及びゲート電極の本数が急激に増大する。それ故、短絡検査に要する時間が非常に長くなり、実用的ではなくなってしまう。また、特表２００１−５１２２３９に開示されたカソードパネルの検査方法においては、高い電気抵抗値を有する短絡箇所を検出することができず、しかも、検出された短絡箇所がどのカソード電極とゲート電極との重複領域に位置するのかといった判別を画像での判別によって行うので、短絡の有無を識別する技術・能力が検査員に必要とされるといった問題や、短絡検査に長時間を要するといった問題がある。
【００１１】
従って、本発明の目的は、絶縁層を介して形成された第１配線と第２配線（例えば、カソード電極とゲート電極）との重複領域における第１配線と第２配線（例えば、カソード電極とゲート電極、あるいは、電子放出部とゲート電極）との間の短絡を、第１配線及び第２配線の本数が多くなっても、短時間で、しかも、容易に検査する短絡検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するための本発明の配線構造における短絡検査方法（以下、本発明の短絡検査方法と略称する場合がある）は、
（１）第１方向に延びる、Ａ1本（但し、Ａ1≧２）の第１配線、及び、
（２）絶縁層を介して形成され、第１方向とは異なる第２方向に延びる、Ｂ1本（但し、Ｂ1≧２）の第２配線、
から成る配線構造において、第１配線と第２配線との重複領域における第１配線と第２配線との間の短絡を検査する短絡検査方法であって、
（Ａ−１）Ａi本の第１配線を第１配線出発グループとし、該第１配線出発グループをａi個の第１配線グループに分け、
（Ａ−２）１つの第１配線グループに属する第１配線の全てと第２配線の全てとの間での短絡試験を、ａi個の第１配線グループ全てにおいて行い、
（Ａ−３）短絡が存在する短絡第１配線グループが１つ存在する場合には、係る短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択し、
（Ａ−４）短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在する場合には、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録し、且つ、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する、
各工程から成る第１短絡検査工程を、ｉ＝１から、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数が１本になるまで繰り返した後、短絡が生じていた第１配線を第ｉ’番目の短絡第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝１）として記録し、
次いで、
（Ａ−５）短絡第１配線グループが２以上存在した場合には、前記選択された１つの短絡第１配線グループ以外の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択し、係る第１配線出発グループに基づき、第１短絡検査工程を、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第１配線を第ｉ’番目の短絡第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝２，３，・・・，Ｉ’）として記録する工程（副次的な第１短絡検査工程）を、記録された短絡第１配線グループが無くなるまで、順次、繰り返し、
その後、
（Ｂ−１）Ｂj本の第２配線を第２配線出発グループとし、該第２配線出発グループをｂj個の第２配線グループに分け、
（Ｂ−２）１つの第２配線グループに属する第２配線の全てと第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を、ｂj個の第２配線グループ全てにおいて行い、
（Ｂ−３）短絡が存在する短絡第２配線グループが１つ存在する場合には、係る短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択し、
（Ｂ−４）短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在する場合には、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録し、且つ、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択する、
各工程から成る第２短絡検査工程を、ｊ＝１から、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数が１本になるまで繰り返した後、短絡が生じていた第２配線を第ｊ’番目の短絡第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝１）として記録し、
次いで、
（Ｂ−５）短絡第２配線グループが２以上存在した場合には、前記選択された１つの短絡第２配線グループ以外の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択し、係る第２配線出発グループに基づき、第２短絡検査工程を、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第２配線を第ｊ’番目の短絡第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝２，３，・・・Ｊ’）として記録する工程（副次的な第２短絡検査工程）を、記録された短絡第２配線グループが無くなるまで、順次、繰り返し、
（Ｂ−６）更には、工程（Ｂ−１）乃至工程（Ｂ−５）を、ｉ’＝１からｉ’＝Ｉ’まで繰り返す、
ことを特徴とする。
【００１３】
本発明の短絡検査方法において、第１配線と第２配線との間での短絡試験として、第１配線と第２配線との間の電気抵抗値や異常発熱を測定して短絡の有無を検査する方法、第１配線と第２配線に電圧を印加して流れる電流を測定する方法、第１配線と第２配線に電流を流して第１配線と第２配線との間の電圧を測定する方法を例示することができ、これらの試験は大気中（室内等）にて行うことができる。尚、第１配線と第２配線との間での短絡試験を、真空中で行ってもよい。
【００１４】
本発明の短絡検査方法において、第１配線が延びる第１方向と第２配線が延びる第２方向とは、直交することが、配線構造の簡素化といった観点から好ましいが、このような構成に限定するものではない。
【００１５】
本発明の短絡検査方法においては、前記工程（Ｂ−６）の終了後、第１配線と第２配線との重複領域における第１配線と第２配線との間の短絡箇所を（Ａi'，Ｂj'）として、例えば、短絡試験装置に備えられた表示手段に表示する構成とすることができる。
【００１６】
上記の好ましい形態を含む本発明の短絡検査方法においては、ａiの値及びｂjの値は２以上であればよい。ａiの値は、ｉの値が変わる毎に変えてもよいし、一定の値であってもよい。また、ｂjの値は、ｊの値が変わる毎に変えてもよいし、一定の値であってもよい。ａiの値とｂjの値とは、同じ値であってもよいし、異なる値であってもよい。更には、限定するものではないが、ａiの値は２であり、ｂjの値も２である構成とすることが好ましく、この場合、Ａi本の第１配線出発グループを２個の第１配線グループに分けたとき、一方の第１配線グループに含まれる第１配線の本数Ａi-1、及び、他方の第１配線グループに含まれる第１配線の本数Ａi-2は、それぞれ、
Ａi-1＝ＩＮＴ（Ａi／２）＋ｍｏｄ（Ａi，２）
Ａi-2＝Ａi−Ａi-1
であり、
Ｂj本の第２配線出発グループを２個の第２配線グループに分けたとき、一方の第２配線グループに含まれる第２配線の本数Ｂj-1、及び、他方の第２配線グループに含まれる第２配線の本数Ｂj-2は、それぞれ、
Ｂj-1＝ＩＮＴ（Ｂj／２）＋ｍｏｄ（Ｂj，２）
Ｂj-2＝Ｂj−Ｂj-1
である構成とすることができる。但し、ＩＮＴ（Ｘ／Ｙ）は、整数Ｘを整数Ｙで除したときの商の整数部を求める関数であり、ｍｏｄ（Ｘ，Ｙ）は、整数Ｘを整数Ｙで除したときの余りを求める関数である。
【００１７】
本発明の短絡検査方法の完了後、第１配線と第２配線との重複領域であって、短絡が発生した重複領域において、好ましくは、短絡した第１配線あるいは第２配線の部分（便宜上、短絡配線部分と呼ぶ）を、他の第１配線あるいは第２配線の部分から分離することが好ましい。即ち、本発明の短絡検査方法に基づき第１配線と第２配線との重複領域における第１配線と第２配線との間の短絡箇所を検出し、顕微鏡で観察すること等によって短絡箇所を特定し、短絡した第１配線あるいは第２配線の部分を他の第１配線あるいは第２配線の部分から分離することによって得られたカソードパネルと、基板上に形成された蛍光体領域及びアノード電極から成るアノードパネルとを、それらの周縁部で接合する冷陰極電界電子放出表示装置の製造方法に基づき、冷陰極電界電子放出表示装置を製造することができる。分離する方法として、外部からの物理的あるいは化学的な作用に基づき短絡配線部分の全部又は一部分を除去する方法を挙げることができ、より具体的な方法として、短絡配線部分の全部又は一部分を、レーザを用いて溶断・溶融する方法や、リソグラフィ技術及びエッチング技術に基づき切断・除去する方法を挙げることができる。あるいは又、例えば、第１方向あるいは第２方向と平行に延びるストライプ状の第１配線あるいは第２配線の形成時、係る第１方向あるいは第２方向と平行に延びる１又は複数の溝部（切欠部）を重複領域における第１配線あるいは第２配線の部分に併せて形成しておき、短絡配線部分において溝部の端部に位置する領域を溶断、溶融、切断、除去することで、短絡配線部分を他の第１配線あるいは第２配線の部分から分離することができる。あるいは又、レーザビームを走査することによって、短絡配線部分を他の第１配線あるいは第２配線の部分から分離してもよいし、場合によっては、短絡配線部分を消滅させてもよい。
【００１８】
以上に説明した各種の好ましい形態を含む本発明の短絡検査方法を、冷陰極電界電子放出表示装置用のカソードパネルにおける短絡検査に適用することができる。そして、この場合には、カソードパネルに設けられたカソード電極とゲート電極との重複領域におけるカソード電極とゲート電極との間の短絡を検査し、あるいは又、カソードパネルに設けられたカソード電極とゲート電極との重複領域における電子放出部とゲート電極との間の短絡、カソード電極とゲート電極との間の短絡を検査する。尚、冷陰極電界電子放出表示装置は、冷陰極電界電子放出素子が複数設けられたカソードパネルと、基板上に形成された蛍光体領域及びアノード電極から成るアノードパネル（詳細は後述する）とが、それらの周縁部で接合されて成る。
【００１９】
即ち、以上に説明した各種の好ましい形態を含む本発明の短絡検査方法においては、
（ａ）支持体上に形成されたカソード電極、
（ｂ）支持体及びカソード電極上に形成された絶縁層、
（ｃ）絶縁層上に形成されたゲート電極、
（ｄ）カソード電極とゲート電極との重複領域におけるゲート電極及び絶縁層に設けられた開口部、並びに、
（ｅ）開口部の底部に露出した電子放出部、
から成る冷陰極電界電子放出素子を複数、備えた冷陰極電界電子放出表示装置用のカソードパネルにおけるカソード電極が第１配線に相当し、ゲート電極が第２配線に相当する構成、あるいは、カソード電極が第２配線に相当し、ゲート電極が第１配線に相当する構成とすることができる。
【００２０】
尚、カソード電極とゲート電極との重複領域が電子放出領域に相当し、カソード電極とゲート電極との重複領域には、１又は複数の冷陰極電界電子放出素子（以下、電界放出素子と略称する）が設けられている。
【００２１】
電界放出素子は、通常、以下の方法で製造される。
（１）支持体上にカソード電極を形成する工程、
（２）全面（支持体及びカソード電極上）に絶縁層を形成する工程、
（３）絶縁層上にゲート電極を形成する工程、
（４）カソード電極とゲート電極との重複領域におけるゲート電極及び絶縁層に開口部を形成し、開口部の底部にカソード電極を露出させる工程、
（５）開口部の底部に位置するカソード電極上に電子放出部を形成する工程。
【００２２】
本発明の短絡検査方法を冷陰極電界電子放出表示装置用のカソードパネルにおける短絡検査に適用する場合、上記工程（３）の後に本発明の短絡検査方法を実施してもよいし、上記工程（４）の後に本発明の短絡検査方法を実施してもよいし、上記工程（５）の後に本発明の短絡検査方法を実施してもよい。
【００２３】
あるいは又、電界放出素子は、以下の方法で製造することもできる。
（１）支持体上にカソード電極を形成する工程、
（２）カソード電極上に電子放出部を形成する工程。
（３）全面（支持体及び電子放出部上、あるいは、支持体、カソード電極及び電子放出部上）に絶縁層を形成する工程、
（４）絶縁層上にゲート電極を形成する工程、
（５）カソード電極とゲート電極との重複領域におけるゲート電極及び絶縁層に開口部を形成し、開口部の底部に電子放出部を露出させる工程。
【００２４】
この場合には、上記工程（４）の後に本発明の短絡検査方法を実施してもよいし、上記工程（５）の後に本発明の短絡検査方法を実施してもよい。
【００２５】
本発明の短絡検査方法を冷陰極電界電子放出表示装置用のカソードパネルにおける短絡検査に適用する場合、本発明の短絡検査方法の完了後、カソード電極とゲート電極との重複領域であって、短絡が発生した重複領域において、好ましくは、短絡したゲート電極の部分を、他のゲート電極の部分から分離することが好ましい。分離する方法として、短絡配線部分を他の第１配線あるいは第２配線の部分から分離する上述した方法を採用すればよい。
【００２６】
電界放出素子の型式は、特に限定されず、スピント型電界放出素子、エッジ型電界放出素子、平面型電界放出素子、扁平型電界放出素子、クラウン型電界放出素子のいずれであってもよい。尚、カソード電極及びゲート電極はストライプ形状を有し、カソード電極の射影像とゲート電極の射影像とは、直交することが、冷陰極電界電子放出表示装置の構造の簡素化といった観点から好ましい。
【００２７】
電界放出素子には収束電極が備えられていてもよい。即ち、ゲート電極及び絶縁層上には更に層間絶縁層が設けられ、層間絶縁層上に収束電極が設けられている電界放出素子、あるいは又、ゲート電極の上方に収束電極が設けられている電界放出素子とすることもできる。ここで、収束電極とは、開口部から放出され、アノード電極へ向かう放出電子の軌道を収束させ、以て、輝度の向上や隣接画素間の光学的クロストークの防止を可能とするための電極である。アノード電極とカソード電極との間の電位差が数キロボルトのオーダーであって、アノード電極とカソード電極との間の距離が比較的長い、所謂高電圧タイプの冷陰極電界電子放出表示装置において、収束電極は特に有効である。収束電極には、収束電極制御回路から相対的な負電圧が印加される。収束電極は、必ずしも各電界放出素子毎に設けられている必要はなく、例えば、電界放出素子の所定の配列方向に沿って延在させることにより、複数の電界放出素子に共通の収束効果を及ぼすこともできる。
【００２８】
第１配線、第２配線、カソード電極、ゲート電極、収束電極の構成材料として、アルミニウム（Ａｌ）、タングステン（Ｗ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、クロム（Ｃｒ）、銅（Ｃｕ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、白金（Ｐｔ）、亜鉛（Ｚｎ）等の金属；これらの金属元素を含む合金あるいは化合物（例えばＴｉＮ等の窒化物や、ＷＳｉ2、ＭｏＳｉ2、ＴｉＳｉ2、ＴａＳｉ2等のシリサイド）；シリコン（Ｓｉ）等の半導体；ダイヤモンド等の炭素薄膜；ＩＴＯ（酸化インジウム−錫）、酸化インジウム、酸化亜鉛等の導電性金属酸化物を例示することができる。また、これらの配線や電極の形成方法として、例えば、電子ビーム蒸着法や熱フィラメント蒸着法といった蒸着法、スパッタリング法、ＣＶＤ法やイオンプレーティング法とエッチング法との組合せ；スクリーン印刷法；メッキ法（電気メッキ法や無電解メッキ法）；リフトオフ法；レーザアブレーション法；ゾル−ゲル法等を挙げることができる。スクリーン印刷法やメッキ法によれば、直接、例えばストライプ状のこれらの配線や電極を形成することが可能である。
【００２９】
絶縁層や層間絶縁層の構成材料として、ＳｉＯ2、ＢＰＳＧ、ＰＳＧ、ＢＳＧ、ＡｓＳＧ、ＰｂＳＧ、ＳｉＯＮ、ＳＯＧ（スピンオングラス）、低融点ガラス、ガラスペーストといったＳｉＯ2系材料；ＳｉＮ系材料；ポリイミド等の絶縁性樹脂を、単独あるいは適宜組み合わせて使用することができる。絶縁層や層間絶縁層の形成には、ＣＶＤ法、塗布法、スパッタリング法、スクリーン印刷法等の公知のプロセスが利用できる。
【００３０】
ゲート電極や絶縁層に設けられた開口部の平面形状（支持体表面と平行な仮想平面で開口部を切断したときの形状）は、円形、楕円形、矩形、多角形、丸みを帯びた矩形、丸みを帯びた多角形等、任意の形状とすることができる。開口部の形成は、例えば、等方性エッチング、異方性エッチングと等方性エッチングの組合せによって行うことができ、あるいは又、ゲート電極の形成方法に依っては、ゲート電極に開口部を直接形成することもできる。絶縁層や層間絶縁層における開口部の形成も、例えば、等方性エッチング、異方性エッチングと等方性エッチングの組合せによって行うことができる。
【００３１】
支持体として、あるいは又、アノードパネルを構成する基板として、ガラス基板、表面に絶縁膜が形成されたガラス基板、石英基板、表面に絶縁膜が形成された石英基板、表面に絶縁膜が形成された半導体基板を挙げることができるが、製造コスト低減の観点からは、ガラス基板、あるいは、表面に絶縁膜が形成されたガラス基板を用いることが好ましい。ガラス基板として、高歪点ガラス、ソーダガラス（Ｎａ2Ｏ・ＣａＯ・ＳｉＯ2）、硼珪酸ガラス（Ｎａ2Ｏ・Ｂ2Ｏ3・ＳｉＯ2）、フォルステライト（２ＭｇＯ・ＳｉＯ2）、鉛ガラス（Ｎａ2Ｏ・ＰｂＯ・ＳｉＯ2）を例示することができる。
【００３２】
冷陰極電界電子放出表示装置にあっては、カソード電極及びゲート電極に印加された電圧によって生じた強電界が電子放出部に加わる結果、量子トンネル効果により電子放出部から電子が放出される。そして、この電子は、アノードパネルに設けられたアノード電極によってアノードパネルへと引き付けられ、蛍光体領域に衝突する。そして、蛍光体領域への電子の衝突の結果、蛍光体領域が発光し、画像として認識することができる。
【００３３】
冷陰極電界電子放出表示装置において、カソード電極はカソード電極制御回路に接続され、ゲート電極はゲート電極制御回路に接続され、アノード電極はアノード電極制御回路に接続されている。尚、これらの制御回路は周知の回路から構成することができる。アノード電極制御回路の出力電圧ＶAは、通常、一定であり、例えば、５キロボルト〜１０キロボルトとすることができる。あるいは又、アノードパネルとカソードパネルとの間の距離をｄ（但し、０．５ｍｍ≦ｄ≦１０ｍｍ）としたとき、ＶA／ｄ（単位：キロボルト／ｍｍ）の値は、０．５以上２０以下、好ましくは１以上１０以下、一層好ましくは５以上１０以下を満足することが望ましい。
【００３４】
冷陰極電界電子放出表示装置の実動作時、カソード電極に印加する電圧ＶC及びゲート電極に印加する電圧ＶGに関しては、階調制御方式として電圧変調方式を採用した場合、
（１）カソード電極に印加する電圧ＶCを一定とし、ゲート電極に印加する電圧ＶGを変化させる方式
（２）カソード電極に印加する電圧ＶCを変化させ、ゲート電極に印加する電圧ＶGを一定とする方式
（３）カソード電極に印加する電圧ＶCを変化させ、且つ、ゲート電極に印加する電圧ＶGも変化させる方式がある。
【発明の効果】
【００３５】
本発明の短絡検査方法においては、Ａi本の第１配線から構成された第１配線出発グループをａi個の第１配線グループに分け、１つの第１配線グループに属する第１配線の全てと第２配線の全てとの間での短絡試験を、ａi個の第１配線グループ全てにおいて行う。また、Ｂj本の第２配線から構成された第２配線出発グループをｂj個の第２配線グループに分け、１つの第２配線グループに属する第２配線の全てと１本の第１配線との間での短絡試験を、ｂj個の第２配線グループ全てにおいて行う。即ち、Ａ1本の第１配線とＢ1本の第２配線の１本、１本に電圧を印加して、短絡の有無を検査するのではないが故に、短絡検査方法を短時間で完了させることが可能となる。しかも、短絡試験として、第１配線と第２配線との間の電気抵抗値や異常発熱を測定して短絡の有無を検査する方法、第１配線と第２配線に電圧を印加して流れる電流を測定する方法、第１配線と第２配線に電流を流して第１配線と第２配線との間の電圧を測定する方法を採用すればよく、しかも、これらの試験は大気中（室内等）にて行うことができるので、短絡の有無を識別する技術・能力が検査員に要求されることがないし、短絡検査方法を短時間で完了させることができる。また、第１配線及び第２配線に印加する電圧や第１配線及び第２配線に流す電流の値を適切な値とすれば、第１配線や第２配線、電界放出素子に損傷が発生することを確実に回避することができる。
【００３６】
そして、本発明の短絡検査方法を実施することで、高い信頼性を有する配線構造あるいは冷陰極電界電子放出表示装置を提供することが可能となるし、配線構造を最終製品とする前に、あるいは又、冷陰極電界電子放出表示装置として組み立てる前に、配線構造あるいはカソードパネルにおいて短絡検査方法を実施することができるので、配線構造を組み込んだ装置全体あるいは冷陰極電界電子放出表示装置全体としての製造歩留の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、図面を参照して、実施例に基づき本発明を説明する。
【実施例１】
【００３８】
実施例１は、本発明の短絡検査方法に関する。実施例１の短絡検査方法は、
（１）第１方向に延びる、Ａ1本（但し、Ａ1≧２）の第１配線、及び、
（２）絶縁層を介して形成され、第１方向とは異なる第２方向に延びる、Ｂ1本（但し、Ｂ1≧２）の第２配線、
から成る配線構造において、第１配線と第２配線との重複領域における第１配線と第２配線との間の短絡を検査する短絡検査方法である。
【００３９】
実施例１にあっては、冷陰極電界電子放出素子（以下、電界放出素子と略称する）を複数、備えた冷陰極電界電子放出表示装置（以下、単に、表示装置と呼ぶ）用のカソードパネル（以下、カソードパネルＣＰと略称する）を短絡検査方法の実施の対象とする。本発明の短絡検査方法を説明するための流れ図を、全体的に図１に示し、より詳細に図２〜図５に示す。また、実施例１における表示装置の模式的な一部端面図を図２６に示し、カソードパネルＣＰ及びアノードパネルＡＰを分解したときのカソードパネルＣＰとアノードパネルＡＰの一部分の模式的な分解斜視図を図２７に示す。更には、蛍光体領域等の配列を、模式的な部分的平面図として、図２８〜図３３に例示する。尚、図２６に示すアノードパネルＡＰの模式的な一部端面図における蛍光体領域等の配列を、図２９あるいは図３１に示す構成としている。また、図２８〜図３３においてはアノード電極の図示を省略している。
【００４０】
実施例１における表示装置は、カソードパネルＣＰとアノードパネルＡＰとがそれらの周縁部で接合されて成り、カソードパネルＣＰとアノードパネルＡＰとによって挟まれた空間は真空状態とされている。そして、カソードパネルＣＰは、支持体１０、及び、この支持体１０上に２次元マトリクス状に配置、配列された電子放出領域ＥＡから構成されている。一方、アノードパネルＡＰは、基板２０、並びに、この基板２０上に形成された蛍光体領域２２（カラー表示の場合、赤色発光蛍光体領域２２Ｒ、緑色発光蛍光体領域２２Ｇ、青色発光蛍光体領域２２Ｂ）、及び、蛍光体領域２２を覆うアノード電極２４から構成されている。
【００４１】
実施例１における電界放出素子は、スピント型電界放出素子であり、図２６及び図２７に示すように、
（ａ）支持体１０上に形成されたカソード電極１１、
（ｂ）支持体１０及びカソード電極１１上に形成された絶縁層１２、
（ｃ）絶縁層１２上に形成されたゲート電極１３、
（ｄ）カソード電極１１とゲート電極１３との重複領域におけるゲート電極１３及び絶縁層１２に設けられた開口部１４（ゲート電極１３に設けられた第１開口部１４Ａ及び絶縁層１２に設けられた第２開口部１４Ｂ）、並びに、
（ｅ）開口部１４の底部に露出した円錐形の電子放出部１５、
から成る。
【００４２】
カソード電極１１とゲート電極１３との重複領域が電子放出領域ＥＡに相当し、この電子放出領域ＥＡには複数の電界放出素子が設けられている。１サブピクセルは、カソードパネル側の１つの電子放出領域ＥＡと、この電子放出領域ＥＡに対面したアノードパネル側の蛍光体領域２２とによって構成されている。有効領域には、かかるサブピクセルが、例えば数十万〜数百万個ものオーダーにて、２次元マトリクス状に配列されている。
【００４３】
実施例１においては、ストライプ状のカソード電極が第１配線に相当し、ストライプ状のゲート電極が第２配線に相当する構成としたが、ストライプ状のカソード電極が第２配線に相当し、ストライプ状のゲート電極が第１配線に相当する構成とすることもできる。ここで、Ａ1本（但し、Ａ1≧２）の第１配線に相当するカソード電極１１は、第１方向（図２６の紙面と平行な方向）に延びており、Ｂ1本（但し、Ｂ1≧２）の第２配線に相当するゲート電極１３は、第２方向（図２６の紙面と垂直な方向）に延びている。即ち、カソード電極１１の射影像とゲート電極１３の射影像とは直交している。言い換えれば、第１方向と第２方向とは直交している。
【００４４】
アノードパネルＡＰは、より具体的には、基板２０、基板２０上に形成された隔壁２１と隔壁２１との間の基板２０上に形成され、多数の蛍光体粒子から成る蛍光体領域２２（赤色発光蛍光体領域２２Ｒ、緑色発光蛍光体領域２２Ｇ、青色発光蛍光体領域２２Ｂ）、及び、蛍光体領域２２上に形成されたアノード電極２４を備えている。アノード電極２４は、有効領域を覆う薄い１枚のシート状であり、アノード電極制御回路３２に接続されている。アノード電極２４は、厚さ約７０ｎｍのアルミニウムから成り、隔壁２１及び蛍光体領域２２を覆う状態で設けられている。蛍光体領域２２と蛍光体領域２２との間であって、隔壁２１と基板２０との間には、表示画像の色濁り、光学的クロストークの発生を防止するために、光吸収層（ブラックマトリックス）２３が形成されている。
【００４５】
隔壁２１とスペーサ２５と蛍光体領域２２の配置状態の一例を模式的に図２８〜図３３に示す。隔壁２１の平面形状としては、格子形状（井桁形状）、即ち、１サブピクセルに相当する、例えば平面形状が略矩形の蛍光体領域２２の四方を取り囲む形状（図２８、図２９、図３０、図３１参照）、あるいは、略矩形の（あるいはストライプ状の）蛍光体領域２２の対向する二辺と平行に延びる帯状形状（ストライプ形状）を挙げることができる（図３２及び図３３参照）。尚、図３２に示す蛍光体領域２２にあっては、蛍光体領域２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂを、図３２の上下方向に延びるストライプ状とすることもできる。隔壁２１の一部は、スペーサ２５を保持するためのスペーサ保持部２６としても機能する。
【００４６】
実施例１における表示装置において、図２６に示すように、カソード電極１１はカソード電極制御回路３０に接続され、ゲート電極１３はゲート電極制御回路３１に接続され、アノード電極２４はアノード電極制御回路３２に接続されている。これらの制御回路は周知の回路から構成することができる。
【００４７】
カソード電極１１には相対的に負電圧がカソード電極制御回路３０から印加され、ゲート電極１３には相対的に正電圧がゲート電極制御回路３１から印加され、アノード電極２４にはゲート電極１３よりも更に高い正電圧がアノード電極制御回路３２から印加される。かかる表示装置において表示を行う場合、例えば、カソード電極１１にカソード電極制御回路３０から走査信号を入力し、ゲート電極１３にゲート電極制御回路３１からビデオ信号を入力する。尚、カソード電極１１にカソード電極制御回路３０からビデオ信号を入力し、ゲート電極１３にゲート電極制御回路３１から走査信号を入力してもよい。カソード電極１１とゲート電極１３との間に電圧を印加した際に生ずる電界により、量子トンネル効果に基づき電子放出部１５から電子が放出され、この電子がアノード電極２４に引き付けられ、アノード電極２４を通過して蛍光体領域２２に衝突する。その結果、蛍光体領域２２が励起されて発光し、所望の画像を得ることができる。つまり、この表示装置の動作は、基本的に、ゲート電極１３に印加される電圧、及びカソード電極１１を通じて電子放出部１５に印加される電圧によって制御される。
【００４８】
以下、カソードパネルＣＰとアノードパネルＡＰとを組み立てる前のカソードパネルＣＰに実施例１の短絡検査方法を適用したときの実施例１の短絡検査方法を、図１〜図５の流れ図、及び、図６〜図９を参照して説明する。尚、図６〜図２５は、第１配線（実線で示す）及び第２配線（点線で示す）を模式的に示す図であり、第１配線に印加する電圧をＶ1、第２配線に印加する電圧をＶ2で表しており、短絡箇所を円で囲んでいる。更には、短絡試験において発見すべき（ターゲットとすべき）短絡箇所を黒円で囲んでいる。｜Ｖ1−Ｖ2｜の値は数ボルトでよい。また、以下の説明においては、Ａ1の値を１４とし（即ち、第１配線に相当するカソード電極１１の本数を１４本とし）、Ｂ1の値を９としているが（即ち、第２配線に相当するゲート電極１３の本数を９本としているが）、これらの値は、単に説明のための値であり、例えば、１０２４×７６８画素の実際の表示装置においては、係る画素数を表示できるカソード電極及びゲート電極の本数とすればよい。
【００４９】
また、ａiの値及びｂjの値を２とする。更には、Ａi本の第１配線出発グループを２個の第１配線グループに分けたとき、一方の第１配線グループに含まれる第１配線の本数Ａi-1、及び、他方の第１配線グループに含まれる第１配線の本数Ａi-2を、それぞれ、
Ａi-1＝ＩＮＴ（Ａi／２）＋ｍｏｄ（Ａi，２）
Ａi-2＝Ａi−Ａi-1
とし、Ｂj本の第２配線出発グループを２個の第２配線グループに分けたとき、一方の第２配線グループに含まれる第２配線の本数Ｂj-1、及び、他方の第２配線グループに含まれる第２配線の本数Ｂj-2を、それぞれ、
Ｂj-1＝ＩＮＴ（Ｂj／２）＋ｍｏｄ（Ｂj，２）
Ｂj-2＝Ｂj−Ｂj-1
とする。但し、ＩＮＴ（Ｘ／Ｙ）は、整数Ｘを整数Ｙで除したときの商の整数部を求める関数であり、ｍｏｄ（Ｘ，Ｙ）は、整数Ｘを整数Ｙで除したときの余りを求める関数である。
【００５０】
更には、実施例１においては、第５番目のカソード電極１１と第７番目のゲート電極１３との重複領域において短絡が生じているものと仮定する。尚、このような状態を、《５，７》における短絡発生と呼ぶ。また、Ａi本の第１配線から構成された第１配線出発グループにおける第１番目の第１配線を第Ｐ番目の第１配線と呼び、第Ａi番目の第１配線を第Ｑ番目の第１配線と呼び、Ｂj本の第２配線から構成された第２配線出発グループにおける第１番目の第２配線を第Ｓ番目の第２配線と呼び、第Ｂj番目の第２配線を第Ｔ番目の第２配線と呼ぶ。
【００５１】
先ず、
（Ａ−１）Ａi本の第１配線を第１配線出発グループとし、この第１配線出発グループをａi個の第１配線グループに分け、
（Ａ−２）１つの第１配線グループに属する第１配線の全てと第２配線の全てとの間での短絡試験を、ａi個の第１配線グループ全てにおいて行い、
（Ａ−３）短絡が存在する短絡第１配線グループが１つ存在する場合には、係る短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択し、
（Ａ−４）短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在する場合には、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録し、且つ、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する、
各工程から成る第１短絡検査工程を、ｉ＝１から、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数が１本になるまで繰り返した後、短絡が生じていた第１配線を第ｉ’番目の短絡第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝１）として記録し、
次いで、
（Ａ−５）短絡第１配線グループが２以上存在した場合には、前記選択された１つの短絡第１配線グループ以外の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択し、係る第１配線出発グループに基づき、第１短絡検査工程を、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第１配線を第ｉ’番目の短絡第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝２，３，・・・，Ｉ’）として記録する工程（副次的な第１短絡検査工程）を、記録された短絡第１配線グループが無くなるまで、順次、繰り返す。
【００５２】
より具体的には、先ず、以下の工程を実行する。
【００５３】
［第１回目の第１短絡検査工程］
具体的には、先ず、ｉ＝１であるが故に、Ａ1本（＝１４本）の第１配線を第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［１，１４］である。
【００５４】
そして、この第１配線出発グループをａ1個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第１番目〜第７番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第８番目〜第１４番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ1-1＝７、Ａ1-2＝７である。
【００５５】
次いで、第１の第１配線グループ（図２及び図３においては「第１グループ」と表記する）に属する第１配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第７番目の第１配線）と第２配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第９番目の第２配線であり、以下の説明においても同様である）との間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループ（図２及び図３においては「第２グループ」と表記する）に属する第１配線の全て（短絡状態とされた第８番目〜第１４番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第１回目の第１短絡検査工程を実行する（図６の（Ａ）参照）。具体的には、第１配線用電源からスイッチ回路及びプルーブを介して第１配線グループに電圧Ｖ1を印加し、第２配線用電源からスイッチ回路及びプルーブを介して短絡状態とされた全ての第２配線に電圧Ｖ2を印加し、各第１配線グループと第２配線の全てとの間の電気抵抗値を測定することで、短絡の有無を検査する短絡試験を行う。この短絡試験は大気中（室内等）にて行うことができる。また、この短絡試験と同様の短絡試験を、以下に説明する短絡試験においても実行する。更には、以上に述べた短絡検査工程を、以下の説明においては、「最初の第１短絡検査工程」と呼ぶ場合がある。
【００５６】
実施例１においては、第５番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループに短絡が存在し、第２の第１配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第１の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【００５７】
そして、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「１」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝１４−ＩＮＴ（（１４−１＋１）／２）
＝７
【００５８】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判定する。第１回目の第１短絡検査工程においては、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第２回目の第１短絡検査工程を実行する。
【００５９】
［第２回目の第１短絡検査工程］
即ち、ｉ＝２として、第２回目の第１短絡検査工程を実行する。具体的には、第１番目〜第７番目のＡ2本（＝７本）の第１配線を、第２回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［１，７］である。
【００６０】
そして、この第１配線出発グループをａ2個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第１番目〜第４番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第５番目〜第７番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ2-1＝４、Ａ2-2＝３である。
【００６１】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第４番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第５番目〜第７番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第２回目の第１短絡検査工程を実行する（図６の（Ｂ）参照）。
【００６２】
実施例１においては、第５番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループには短絡が存在せず、第２の第１配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第２の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【００６３】
そして、図２に示す「処理−０１」を実行する。即ち、Ｑの値を元のままの「７」とする一方、Ｐの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｐ＝Ｐ＋ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｑ−Ｐ＋１），２）
＝１＋ＩＮＴ（（７−１＋１）／２）＋ｍｏｄ（（７−１＋１），２）
＝５
【００６４】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第２回目の第１短絡検査工程においても、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第３回目の第１短絡検査工程を実行する。
【００６５】
［第３回目の第１短絡検査工程］
即ち、ｉ＝３として、第３回目の第１短絡検査工程を実行する。具体的には、第５番目〜第７番目のＡ3本（＝３本）の第１配線を、第３回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［５，７］である。
【００６６】
そして、この第１配線出発グループをａ3個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第５番目〜第６番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第７番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ3-1＝２、Ａ3-2＝１である。
【００６７】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第５番目〜第６番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（第７番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第３回目の第１短絡検査工程を実行する（図７の（Ａ）参照）。
【００６８】
実施例１においては、第５番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループに短絡が存在し、第２の第１配線グループには短絡が存在していない。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第１の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【００６９】
そして、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「５」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝７−ＩＮＴ（（７−５＋１）／２）
＝６
【００７０】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第３回目の第１短絡検査工程においても、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第４回目の第１短絡検査工程を実行する（図７の（Ｂ）参照）。
【００７１】
［第４回目の第１短絡検査工程］
即ち、ｉ＝４として、第４回目の第１短絡検査工程を実行する。具体的には、Ａ4本（＝２本）の第１配線を、第４回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［５，６］である。
【００７２】
そして、この第１配線出発グループをａ4個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第５番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第６番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ4-1＝１、Ａ4-2＝１である。
【００７３】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（第５番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（第６番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第４回目の第１短絡検査工程を実行する。
【００７４】
実施例１においては、第５番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループに短絡が存在し、第２の第１配線グループには短絡が存在していない。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第１の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【００７５】
そして、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「５」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝６−ＩＮＴ（（６−５＋１）／２）
＝５
【００７６】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第４回目の第１短絡検査工程においては、Ｐの値とＱの値が等しい。即ち、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数は１本である。
【００７７】
従って、以上で第１短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第１配線（第５番目の第１配線）を第ｉ’番目の第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝１）として記録する。具体的には、図３の「処理−０４」に示すように、「Ｐ」の値をＰi'として記録、保存する。
【００７８】
そして、ｉ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ1）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【００７９】
もしも越えていない場合には、短絡第１配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。実施例１においては、短絡第１配線グループが２以上存在することが無かったので、次の工程に進む。
【００８０】
以上の第１回目の第１短絡検査工程から第４回目の第１短絡検査工程までの［Ｐ，Ｑ］の値等を、以下の表１に纏めた。
【００８１】
2005317313.tif 000003
【００８２】
次に、（Ｂ−１）Ｂj本の第２配線を第２配線出発グループとし、この第２配線出発グループをｂj個の第２配線グループに分け、
（Ｂ−２）１つの第２配線グループに属する第２配線の全てと第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を、ｂj個の第２配線グループ全てにおいて行い、
（Ｂ−３）短絡が存在する短絡第２配線グループが１つ存在する場合には、係る短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択し、
（Ｂ−４）短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在する場合には、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録し、且つ、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択する、
各工程から成る第２短絡検査工程を、ｊ＝１から、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数が１本になるまで繰り返した後、短絡が生じていた第２配線を第ｊ’番目の短絡第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝１）として記録し、
次いで、
（Ｂ−５）短絡第２配線グループが２以上存在した場合には、前記選択された１つの短絡第２配線グループ以外の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択し、係る第２配線出発グループに基づき、第２短絡検査工程を、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第２配線を第ｊ’番目の短絡第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝２，３，・・・Ｊ’）として記録する工程（副次的な第２短絡検査工程）を、記録された短絡第２配線グループが無くなるまで、順次、繰り返し、
（Ｂ−６）更には、工程（Ｂ−１）乃至工程（Ｂ−５）を、ｉ’＝１からｉ’＝Ｉ’まで繰り返す。
【００８３】
より具体的には、以下の工程を実行する。
【００８４】
［第１回目の第２短絡検査工程］
具体的には、先ず、ｊ＝１であるが故に、Ｂ1本（＝９本）の第２配線を第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，９］である。
【００８５】
そして、この第２配線出発グループをｂ1個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第１番目〜第５番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第６番目〜第９番目の第２配線が含まれる。即ち、Ｂ1-1＝５、Ｂ1-2＝４である。
【００８６】
次いで、第１の第２配線グループ（図４及び図５においては「第１グループ」と表記する）に属する第２配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第５番目の第２配線）と、第ｉ’番目（ｉ’＝１）の短絡第１配線（具体的には、第５番目の第１配線。実施例１における以下の説明においても同じである）との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループ（図４及び図５においては「第２グループ」と表記する）に属する第２配線の全て（短絡状態とされた第６番目〜第９番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第１回目の第２短絡検査工程を実行する（図８の（Ａ）参照）。具体的には、第１配線用電源からスイッチ回路及びプルーブを介して第ｉ’番目の短絡第１配線に電圧Ｖ1を印加し、第２配線用電源からスイッチ回路及びプルーブを介して短絡状態とされた第２配線グループに電圧Ｖ2を印加し、第１配線と各第２配線グループとの間の電気抵抗値を測定することで、短絡の有無を検査する短絡試験を行う。この短絡試験は大気中（室内等）にて行うことができる。また、この短絡試験と同様の短絡試験を、以下に説明する短絡試験においても実行する。更には、以上に述べた短絡検査工程を、以下の説明においては、「最初の第２短絡検査工程」と呼ぶ場合がある。
【００８７】
実施例１においては、第７番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループには短絡が存在せず、第２の第２配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第２の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【００８８】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｔの値を元のままの「９」とする一方、Ｓの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｓ＝Ｓ＋ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｔ−Ｓ＋１），２）
＝１＋ＩＮＴ（（９−１＋１）／２）＋ｍｏｄ（（９−１＋１），２）
＝６
【００８９】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第１回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第２回目の第２短絡検査工程を実行する。
【００９０】
［第２回目の第２短絡検査工程］
即ち、ｊ＝２として、第２回目の第２短絡検査工程を実行する。具体的には、第６番目〜第９番目のＢ2本（＝４本）の第２配線を、第２回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［６，９］である。
【００９１】
そして、この第２配線出発グループをｂ2個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第６番目〜第７番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第８番目〜第９番目の第２配線が含まれる。即ち、Ｂ2-1＝２、Ｂ2-2＝２である。
【００９２】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第６番目〜第７番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第８番目〜第９番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第２回目の第２短絡検査工程を実行する（図８の（Ｂ）参照）。
【００９３】
実施例１においては、第７番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループに短絡が存在し、第２の第２配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第１の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【００９４】
そして、図４に示す「処理−１２」を実行する。即ち、Ｓの値を元のままの「６」とする一方、Ｔの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｔ＝Ｔ−ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）
＝９−ＩＮＴ（（９−６＋１）／２）
＝７
【００９５】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第２回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第３回目の第２短絡検査工程を実行する。
【００９６】
［第３回目の第２短絡検査工程］
即ち、ｊ＝３として、第３回目の第２短絡検査工程を実行する。具体的には、第６番目〜第７番目のＢ3本（＝２本）の第２配線を、第３回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［６，７］である。
【００９７】
そして、この第２配線出発グループをｂ3個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第６番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第７番目の第１配線が含まれる。即ち、Ｂ3-1＝１、Ｂ3-2＝１である。
【００９８】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（第６番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（第７番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第３回目の第２短絡検査工程を実行する（図９参照）。
【００９９】
実施例１においては、第７番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループには短絡が存在せず、第２の第２配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第２の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１００】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｔの値を元のままの「７」とする一方、Ｓの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｓ＝Ｓ＋ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｔ−Ｓ＋１），２）
＝６＋ＩＮＴ（（７−６＋１）／２）＋ｍｏｄ（（７−６＋１），２）
＝７
【０１０１】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第３回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しい。即ち、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数は１本である。
【０１０２】
従って、以上で第２短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第２配線（第７番目の第２配線）を第ｊ’番目の第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝１）として記録する。具体的には、図５の「処理−１４」に示すように、「Ｓ」の値をＳj'として（あるいは、《Ｐi'，Ｓj'》として）記録、保存する。
【０１０３】
そして、ｊ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ2）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０１０４】
もしも越えていない場合には、短絡第２配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。実施例１においては、短絡第２配線グループが２以上存在することが無く、しかも、ｉ’＝１であったので、第１配線と第２配線との重複領域における第１配線と第２配線との間の短絡箇所を（Ａi'，Ｂj'）＝《５，７》（即ち、第５番目の第１配線と第７番目の第２配線の重複領域に短絡が発生）として、例えば、短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法を完了する。
【０１０５】
以上の第１回目の第２短絡検査工程から第３回目の第２短絡検査工程までの［Ｓ，Ｔ］の値等を、以下の表２に纏めた。
【０１０６】
2005317313.tif 000004
【実施例２】
【０１０７】
実施例２においては、第４番目のカソード電極１１と第７番目のゲート電極１３との重複領域、及び、第１１番目のカソード電極１１と第３番目のゲート電極１３との重複領域の２カ所において短絡が生じているものと仮定する。即ち、
《４，７》
《１１，３》
において短絡が発生していると仮定する。この点を除き、実施例２は、実施例１と同様である。
【０１０８】
以下、実施例２の短絡検査方法を、図１０〜図１６を参照して、より具体的に説明する。
【０１０９】
［第１−１回目の第１短絡検査工程］
具体的には、先ず、ｉ＝１であるが故に、Ａ1本（＝１４本）の第１配線を第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［１，１４］である。そして、第１−１回目の第１短絡検査工程を実行する（図１０の（Ａ）参照）。即ち、「最初の第１短絡検査工程」を実行する。
【０１１０】
実施例２においては、第４番目及び第１１番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在する。従って、図２の「処理−０３」に示すように、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録する。具体的には、［Ｐ，Ｑ］の値として［１，１４］を記録、保存する。そして、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する。具体的には、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「１」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝１４−ＩＮＴ（（１４−１＋１）／２）
＝７
【０１１１】
尚、「処理−０３」において記録、保存する［Ｐ，Ｑ］の値は、［１，１４］に限定されない。例えば、「処理−０１」を実行し、それによって得られた［Ｐ，Ｑ］の値を「処理−０３」において記録、保存してもよく、要は、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在することが記録、保存され、及び／又は、２以上存在する短絡第１配線グループの内の選択されなかった短絡第１配線グループが何らかの手段で特定されればよい。以下の説明においても同様である。
【０１１２】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第１−１回目の第１短絡検査工程においては、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第１−２回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０１１３】
［第１−２回目の第１短絡検査工程］
具体的には、第１番目〜第７番目のＡ2本（＝７本）の第１配線を、第１−２回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［１，７］である。
【０１１４】
そして、この第１配線出発グループをａ2個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第１番目〜第４番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第５番目〜第７番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ2-1＝４、Ａ2-2＝３である。
【０１１５】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第４番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第５番目〜第７番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第１−２回目の第１短絡検査工程を実行する（図１０の（Ｂ）参照）。
【０１１６】
ここでは、第４番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループに短絡が存在し、第２の第１配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第１の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１１７】
そして、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「１」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝７−ＩＮＴ（（７−１＋１）／２）
＝４
【０１１８】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第１−２回目の第１短絡検査工程においても、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第１−３回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０１１９】
［第１−３回目の第１短絡検査工程］
具体的には、第１番目〜第４番目のＡ3本（＝４本）の第１配線を、第１−３回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［１，４］である。
【０１２０】
そして、この第１配線出発グループをａ3個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第１番目〜第２番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第３番目〜第４番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ3-1＝２、Ａ3-2＝２である。
【０１２１】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第２番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第３番目〜第４番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第１−３回目の第１短絡検査工程を実行する（図１１の（Ａ）参照）。
【０１２２】
ここでは、第４番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループには短絡が存在せず、第２の第１配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第２の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１２３】
そして、図２に示す「処理−０１」を実行する。即ち、Ｑの値を元のままの「４」とする一方、Ｐの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｐ＝Ｐ＋ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｑ−Ｐ＋１），２）
＝１＋ＩＮＴ（（４−１＋１）／２）＋ｍｏｄ（（４−１＋１），２）
＝３
【０１２４】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第１−３回目の第１短絡検査工程においても、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第１−４回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０１２５】
［第１−４回目の第１短絡検査工程］
具体的には、Ａ4本（＝２本）の第１配線を、第１−４回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［３，４］である。
【０１２６】
そして、この第１配線出発グループをａ4個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第３番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第４番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ4-1＝１、Ａ4-2＝１である。
【０１２７】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（第３番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（第４番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第１−４回目の第１短絡検査工程を実行する（図１１の（Ｂ）参照）。
【０１２８】
ここでは、第４番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループには短絡が存在せず、第２の第１配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第２の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１２９】
そして、図２に示す「処理−０１」を実行する。即ち、Ｑの値を元のままの「４」とする一方、Ｐの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｐ＝Ｐ＋ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｑ−Ｐ＋１），２）
＝３＋ＩＮＴ（（４−３＋１）／２）＋ｍｏｄ（（４−３＋１），２）
＝４
【０１３０】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第１−４回目の第１短絡検査工程においては、Ｐの値とＱの値が等しい。即ち、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数は１本である。
【０１３１】
従って、以上で第１短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第１配線（第４番目の第１配線）を第ｉ’番目の第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝１）として記録する。具体的には、図３の「処理−０４」に示すように、「Ｐ」の値をＰi'として記録、保存する。
【０１３２】
そして、ｉ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ1）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０１３３】
もしも越えていない場合には、短絡第１配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。実施例２においては、短絡第１配線グループが２以上存在するので、先に選択された１つの短絡第１配線グループ以外の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択し、係る第１配線出発グループに基づき、第１短絡検査工程を、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第１配線を第ｉ’番目の短絡第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝２，３，・・・，Ｉ’）として記録する工程（副次的な第１短絡検査工程）を、記録された短絡第１配線グループが無くなるまで、順次、繰り返す。
【０１３４】
即ち、先ず、「処理−０５」を実行する。具体的には、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］の値の中で最新の［Ｐ，Ｑ］の値を選択する。実施例２においては、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］の値は［１，１４］の１つのみであったので、［Ｐ，Ｑ］＝［１，１４］を選択する。そして、選択された１つの短絡第１配線グループ以外の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する。
【０１３５】
具体的には、「処理−０３」においては、次の第１配線出発グループとして、第１番目〜第７番目の第１配線が選択されたので、即ち、［Ｐ，Ｑ］＝［１，７］が選択されたので、ここでは、第８番目〜第１４番目の第１配線から構成された短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する。即ち、［Ｐ，Ｑ］＝［８，１４］を、次の第１配線出発グループとして選択する。より具体的には、「処理−０１」を実行する。更には、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］の中から、「処理−０５」で選択された［Ｐ，Ｑ］を削除する。実施例２においては、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］は１組だけなので、「処理−０５」で選択された［Ｐ，Ｑ］を削除したとき、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］は存在しなくなる。
【０１３６】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。Ｐの値とＱの値が等しくないので、係る第１配線出発グループに基づき、第１短絡検査工程を、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第１配線を第ｉ’番目の短絡第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝２，３，・・・，Ｉ’）として記録する工程（副次的な第１短絡検査工程）を、記録された短絡第１配線グループが無くなるまで、順次、繰り返す。
【０１３７】
具体的には、以下の工程を実行する。
【０１３８】
［第２−１回目の第１短絡検査工程］
具体的には、先ず、Ａi本（＝７本）の第１配線を第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［８，１４］である。
【０１３９】
そして、この第１配線出発グループをａ1個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第８番目〜第１１番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第１２番目〜第１４番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ1-1＝４、Ａ1-2＝３である。
【０１４０】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第８番目〜第１１番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第１２番目〜第１４番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第２−１回目の第１短絡検査工程を実行する（図１２の（Ａ）参照）。
【０１４１】
ここでは、第１１番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループに短絡が存在し、第２の第１配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第１の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１４２】
そして、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「８」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝１４−ＩＮＴ（（１４−８＋１）／２）
＝１１
【０１４３】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第２−１回目の第１短絡検査工程においては、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第２−２回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０１４４】
［第２−２回目の第１短絡検査工程］
具体的には、第８番目〜第１１番目のＡ2本（＝４本）の第１配線を、第２−２回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［８，１１］である。
【０１４５】
そして、この第１配線出発グループをａ2個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第８番目〜第９番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第１０番目〜第１１番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ2-1＝２、Ａ2-2＝２である。
【０１４６】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第８番目〜第９番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第１０番目〜第１１番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第２−２回目の第１短絡検査工程を実行する（図１２の（Ｂ）参照）。
【０１４７】
ここでは、第１１番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループには短絡が存在せず、第２の第１配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第２の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１４８】
そして、図２に示す「処理−０１」を実行する。即ち、Ｑの値を元のままの「１１」とする一方、Ｐの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｐ＝Ｐ＋ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｑ−Ｐ＋１），２）
＝８＋ＩＮＴ（（１１−８＋１）／２）＋ｍｏｄ（（１１−８＋１），２）
＝１０
【０１４９】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第２−２回目の第１短絡検査工程においても、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第２−３回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０１５０】
［第２−３回目の第１短絡検査工程］
具体的には、第１０番目〜第１１番目のＡ3本（＝２本）の第１配線を、第２−３回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［１０，１１］である。
【０１５１】
そして、この第１配線出発グループをａ3個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第１０番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第１１番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ3-1＝１、Ａ3-2＝１である。
【０１５２】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（第１０番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（第１１番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第２−３回目の第１短絡検査工程を実行する（図１３の（Ａ）参照）。
【０１５３】
ここでは、第１１番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループには短絡が存在せず、第２の第１配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第２の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１５４】
そして、図２に示す「処理−０１」を実行する。即ち、Ｑの値を元のままの「１１」とする一方、Ｐの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｐ＝Ｐ＋ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｑ−Ｐ＋１），２）
＝１０＋ＩＮＴ（（１１−１０＋１）／２）＋ｍｏｄ（（１１−１０＋１），２）
＝１１
【０１５５】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第２−３回目の第１短絡検査工程においては、Ｐの値とＱの値が等しい。即ち、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数は１本である。
【０１５６】
従って、以上で副次的な第１短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第１配線（第１１番目の第１配線）を第ｉ’番目の第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝２）として記録する。具体的には、図３の「処理−０４」に示すように、「Ｐ」の値をＰi'として記録、保存する。
【０１５７】
そして、ｉ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ1）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０１５８】
もしも越えていない場合には、短絡第１配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。実施例２においては、「処理−０５」で選択された［Ｐ，Ｑ］を削除したとき、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］は存在しなくなったので、即ち、記録された短絡第１配線グループが無くなったので、次の工程に進む。
【０１５９】
以上の第１−１回目の第１短絡検査工程から第１−４回目の第１短絡検査工程までの［Ｐ，Ｑ］の値等を、以下の表３に纏めた。また、以上の第２−１回目の第１短絡検査工程から第２−３回目の第１短絡検査工程までの［Ｐ，Ｑ］の値等を、以下の表４に纏めた。
【０１６０】
2005317313.tif 000005
【０１６１】
2005317313.tif 000006
【０１６２】
［第１−１回目の第２短絡検査工程］
先ず、第ｉ’番目（ｉ’＝１）の短絡第１配線として、第４番目の第１配線を選択する。そして、ｊ＝１であるが故に、Ｂ1本（＝９本）の第２配線を第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，９］である。そして、第１−１回目の第２短絡検査工程を実行する（図１３の（Ｂ）参照）。即ち、「最初の第２短絡検査工程」を実行する。
【０１６３】
ここでは、第７番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループには短絡が存在せず、第２の第２配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第２の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１６４】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｔの値を元のままの「９」とする一方、Ｓの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｓ＝Ｓ＋ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｔ−Ｓ＋１），２）
＝１＋ＩＮＴ（（９−１＋１）／２）＋ｍｏｄ（（９−１＋１），２）
＝６
【０１６５】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第１−１回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第１−２回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０１６６】
［第１−２回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第６番目〜第９番目のＢ2本（＝４本）の第２配線を、第１−２回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［６，９］である。
【０１６７】
そして、この第２配線出発グループをｂ2個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第６番目〜第７番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第８番目〜第９番目の第２配線が含まれる。即ち、Ｂ2-1＝２、Ｂ2-2＝２である。
【０１６８】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第６番目〜第７番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第８番目〜第９番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第１−２回目の第２短絡検査工程を実行する（図１４の（Ａ）参照）。
【０１６９】
ここでは、第７番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループに短絡が存在し、第２の第２配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第１の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１７０】
そして、図４に示す「処理−１２」を実行する。即ち、Ｓの値を元のままの「６」とする一方、Ｔの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｔ＝Ｔ−ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）
＝９−ＩＮＴ（（９−６＋１）／２）
＝７
【０１７１】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第１−２回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第１−３回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０１７２】
［第１−３回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第６番目〜第７番目のＢ3本（＝２本）の第２配線を、第１−３回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［６，７］である。
【０１７３】
そして、この第２配線出発グループをｂ3個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第６番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第７番目の第１配線が含まれる。即ち、Ｂ3-1＝１、Ｂ3-2＝１である。
【０１７４】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（第６番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（第７番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第１−３回目の第２短絡検査工程を実行する（図１４の（Ｂ）参照）。
【０１７５】
ここでは、第７番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループには短絡が存在せず、第２の第２配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第２の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１７６】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｔの値を元のままの「７」とする一方、Ｓの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｓ＝Ｓ＋ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｔ−Ｓ＋１），２）
＝６＋ＩＮＴ（（７−６＋１）／２）＋ｍｏｄ（（７−６＋１），２）
＝７
【０１７７】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第１−３回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しい。即ち、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数は１本である。
【０１７８】
従って、以上で第２短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第２配線（第７番目の第２配線）を第ｊ’番目の第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝１）として記録する。具体的には、図５の「処理−１４」に示すように、「Ｓ」の値をＳj'として（あるいは、《Ｐi'，Ｓj'》として）記録、保存する。
【０１７９】
そして、ｊ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ2）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０１８０】
もしも越えていない場合には、短絡第２配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。実施例２においては、短絡第２配線グループが２以上存在することが無かったが（即ち、保存された［Ｓ，Ｔ］は存在しないが）、ｉ’の値が１及び２であるので、更に、ｉ’＝２として、次の工程に進む。
【０１８１】
［第２−１回目の第２短絡検査工程］
第ｉ’番目（ｉ’＝２）の短絡第１配線として、第１１番目の第１配線を選択する。そして、Ｂ1本（＝９本）の第２配線を第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，９］である。そして、第２−１回目の第２短絡検査工程を実行する（図１５の（Ａ）参照）。即ち、「最初の第２短絡検査工程」を実行する。
【０１８２】
ここでは、第３番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループに短絡が存在し、第２の第２配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第１の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１８３】
そして、図４に示す「処理−１２」を実行する。即ち、Ｓの値を元のままの「１」とする一方、Ｔの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｔ＝Ｔ−ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）
＝９−ＩＮＴ（（９−１＋１）／２）
＝５
【０１８４】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第２−１回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第２−２回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０１８５】
［第２−２回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第１番目〜第５番目のＢ2本（＝５）の第２配線を、第２−２回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，５］である。
【０１８６】
そして、この第２配線出発グループをｂ2個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第１番目〜第３番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第４番目〜第５番目の第２配線が含まれる。即ち、Ｂ2-1＝３、Ｂ2-2＝２である。
【０１８７】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第３番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第４番目〜第５番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第２−２回目の第２短絡検査工程を実行する（図１５の（Ｂ）参照）。
【０１８８】
ここでは、第３番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループに短絡が存在し、第２の第２配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第１の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１８９】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｓの値を元のままの「１」とする一方、Ｔの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｔ＝Ｔ−ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）
＝５−ＩＮＴ（（５−１＋１）／２）
＝３
【０１９０】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第２−２回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第２−３回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０１９１】
［第２−３回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第１番目〜第３番目のＢ3本（＝３本）の第２配線を、第２−３回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，３］である。
【０１９２】
そして、この第２配線出発グループをｂ3個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第１番目〜第２番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第３番目の第１配線が含まれる。即ち、Ｂ3-1＝２、Ｂ3-2＝１である。
【０１９３】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（第１番目〜第２番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（第３番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第２−３回目の第２短絡検査工程を実行する（図１６参照）。
【０１９４】
ここでは、第３番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループには短絡が存在せず、第２の第２配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第２の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０１９５】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｔの値を元のままの「３」とする一方、Ｓの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｓ＝Ｓ＋ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｔ−Ｓ＋１），２）
＝１＋ＩＮＴ（（３−１＋１）／２）＋ｍｏｄ（（３−１＋１），２）
＝３
【０１９６】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第２−３回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しい。即ち、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数は１本である。
【０１９７】
従って、以上で第２短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第２配線（第３番目の第２配線）を第ｊ’番目の第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝２）として記録する。具体的には、図５の「処理−１４」に示すように、「Ｓ」の値をＳj'として（あるいは、《Ｐi'，Ｓj'》として）記録、保存する。
【０１９８】
そして、ｊ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ2）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０１９９】
もしも越えていない場合には、短絡第２配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。実施例２においては、短絡第２配線グループが２以上存在することが無く、しかも、ｉ’＝１，２とした第２短絡検査工程を完了したので、第１配線と第２配線との重複領域における第１配線と第２配線との間の短絡箇所を（Ａi'，Ｂj'）＝《４，７》（即ち、第４番目の第１配線と第７番目の第２配線の重複領域に短絡が発生）、及び、（Ａi'，Ｂj'）＝《１１，３》（即ち、第１１番目の第１配線と第３番目の第２配線の重複領域に短絡が発生）として、例えば、短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法を完了する。
【０２００】
以上の第１−１回目の第２短絡検査工程から第１−３回目の第２短絡検査工程までの［Ｓ，Ｔ］の値等を、以下の表５に纏めた。また、以上の第２−１回目の第２短絡検査工程から第２−３回目の第２短絡検査工程までの［Ｓ，Ｔ］の値等を、以下の表６に纏めた。
【０２０１】
2005317313.tif 000007
【０２０２】
2005317313.tif 000008
【実施例３】
【０２０３】
実施例３においては、第３番目のカソード電極１１と第７番目のゲート電極１３との重複領域、第４番目のカソード電極１１と第６番目のゲート電極１３との重複領域、第９番目のカソード電極１１と第２番目のゲート電極１３との重複領域、及び、第９番目のカソード電極１１と第５番目のゲート電極１３との重複領域の４カ所において短絡が生じているものと仮定する。即ち、
《３，７》
《４，６》
《９，２》
《９，５》
において短絡が発生していると仮定する。この点を除き、実施例３は、実施例１と同様である。
【０２０４】
以下、実施例３の短絡検査方法を、図１７〜図２５を参照して、より具体的に説明する。
【０２０５】
［第１−１回目の第１短絡検査工程］
具体的には、先ず、ｉ＝１であるが故に、Ａ1本（＝１４本）の第１配線を第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［１，１４］である。そして、第１−１回目の第１短絡検査工程を実行する（図１７の（Ａ）参照）。即ち、「最初の第１短絡検査工程」を実行する。
【０２０６】
実施例３においては、第３番目、第４番目及び第９番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在する。従って、図２の「処理−０３」に示すように、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録する。具体的には、［Ｐ，Ｑ］の値として［１，１４］を記録、保存する。そして、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する。具体的には、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「１」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝１４−ＩＮＴ（（１４−１＋１）／２）
＝７
【０２０７】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第１−１回目の第１短絡検査工程においては、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第１−２回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０２０８】
［第１−２回目の第１短絡検査工程］
具体的には、第１番目〜第７番目のＡ2本（＝７本）の第１配線を、第１−２回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［１，７］である。
【０２０９】
そして、この第１配線出発グループをａ2個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第１番目〜第４番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第５番目〜第７番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ2-1＝４、Ａ2-2＝３である。
【０２１０】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第４番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第５番目〜第７番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第１−２回目の第１短絡検査工程を実行する（図１７の（Ｂ）参照）。
【０２１１】
ここでは、第３番目及び第４番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループに短絡が存在し、第２の第１配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第１の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２１２】
そして、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「１」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝７−ＩＮＴ（（７−１＋１）／２）
＝４
【０２１３】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第１−２回目の第１短絡検査工程においても、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第１−３回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０２１４】
［第１−３回目の第１短絡検査工程］
具体的には、第１番目〜第４番目のＡ3本（＝４本）の第１配線を、第１−３回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［１，４］である。
【０２１５】
そして、この第１配線出発グループをａ3個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第１番目〜第２番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第３番目〜第４番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ3-1＝２、Ａ3-2＝２である。
【０２１６】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第２番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第３番目〜第４番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第１−３回目の第１短絡検査工程を実行する（図１８の（Ａ）参照）。
【０２１７】
ここでは、第３番目及び第４番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループには短絡が存在せず、第２の第１配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第２の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２１８】
そして、図２に示す「処理−０１」を実行する。即ち、Ｑの値を元のままの「４」とする一方、Ｐの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｐ＝Ｐ＋ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｑ−Ｐ＋１），２）
＝１＋ＩＮＴ（（４−１＋１）／２）＋ｍｏｄ（（４−１＋１），２）
＝３
【０２１９】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第１−３回目の第１短絡検査工程においても、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第１−４回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０２２０】
［第１−４回目の第１短絡検査工程］
具体的には、Ａ4本（＝２本）の第１配線を、第１−４回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［３，４］である。
【０２２１】
そして、この第１配線出発グループをａ4個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第３番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第４番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ4-1＝１、Ａ4-2＝１である。
【０２２２】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（第３番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（第４番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第１−４回目の第１短絡検査工程を実行する（図１８の（Ｂ）参照）。
【０２２３】
ここでは、第３番目及び第４番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在する。従って、図２の「処理−０３」に示すように、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録する。具体的には、［Ｐ，Ｑ］の値として［３，４］を記録、保存する。そして、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する。具体的には、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「３」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝４−ＩＮＴ（（４−３＋１）／２）
＝３
【０２２４】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第１−４回目の第１短絡検査工程においては、Ｐの値とＱの値が等しい。即ち、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数は１本である。
【０２２５】
従って、以上で第１短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第１配線（第３番目の第１配線）を第ｉ’番目の第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝１）として記録する。具体的には、図３の「処理−０４」に示すように、「Ｐ」の値をＰi'として記録、保存する。
【０２２６】
そして、ｉ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ1）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０２２７】
もしも越えていない場合には、短絡第１配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。実施例３においては、短絡第１配線グループが２以上存在するので、先に選択された１つの短絡第１配線グループ以外の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択し、係る第１配線出発グループに基づき、第１短絡検査工程を、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第１配線を第ｉ’番目の短絡第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝２，３，・・・，Ｉ’）として記録する工程（副次的な第１短絡検査工程）を、記録された短絡第１配線グループが無くなるまで、順次、繰り返す。
【０２２８】
即ち、先ず、「処理−０５」を実行する。具体的には、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］の値の中で最新の［Ｐ，Ｑ］の値を選択する。実施例３においては、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］は、［１，１４］、［３，４］の順に記録、保存されており、最新の［Ｐ，Ｑ］の値は、［３，４］である。従って、［Ｐ，Ｑ］＝［３，４］を選択する。そして、選択された１つの短絡第１配線グループ以外の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する。即ち、「処理−０１」を実行する。
【０２２９】
具体的には、「処理−０３」においては、次の第１配線出発グループとして、第３番目〜第４番目の第１配線が選択されたので、即ち、［Ｐ，Ｑ］＝［３，４］が選択されたので、ここでは、第４番目の第１配線から構成された短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する。即ち、［Ｐ，Ｑ］＝［４，４］を、次の第１配線出発グループとして選択する。更には、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］の中から、「処理−０５」で選択された［Ｐ，Ｑ］を削除する。ここでは、［Ｐ，Ｑ］＝［３，４］が削除され、［Ｐ，Ｑ］＝［１，１４］が残される。
【０２３０】
ところで、第４番目の第１配線から構成された短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択したので、［Ｐ，Ｑ］＝［４，４］であり、Ｐ＝Ｑとなる。従って、短絡が生じていた第１配線（第４番目の第１配線）を第ｉ’番目の第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝２）として記録する。具体的には、図３の「処理−０４」に示すように、「Ｐ」の値をＰi'として記録、保存する。
【０２３１】
そして、ｉ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ1）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０２３２】
もしも越えていない場合には、短絡第１配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。この場合にあっては、［Ｐ，Ｑ］＝［１，１４］が残されているので、再び、「処理−０５」を実行する。具体的には、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］の値の中で最新の［Ｐ，Ｑ］の値を選択する。「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］は、この時点では、［１，１４］のみであり、最新の［Ｐ，Ｑ］の値は、［１，１４］である。従って、［Ｐ，Ｑ］＝［１，１４］を選択する。そして、選択された１つの短絡第１配線グループ以外の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する。即ち「処理−０１」を実行する。
【０２３３】
具体的には、「処理−０３」においては、次の第１配線出発グループとして、第１番目〜第７番目の第１配線が選択されたので、即ち、［Ｐ，Ｑ］＝［１，７］が選択されたので、ここでは、第８番目〜第１４番目の第１配線から構成された短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択する。即ち、［Ｐ，Ｑ］＝［８，１４］を、次の第１配線出発グループとして選択する。更には、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］の中から、「処理−０５」で選択された［Ｐ，Ｑ］を削除する。ここでは、［Ｐ，Ｑ］＝［１，１４］が削除され、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］は存在しなくなる。
【０２３４】
そして、係る第１配線出発グループに基づき、第１短絡検査工程を、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第１配線を第ｉ’番目の短絡第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝２，３，・・・，Ｉ’）として記録する。
【０２３５】
具体的には、以下の工程を実行する。
【０２３６】
［第２−１回目の第１短絡検査工程］
具体的には、先ず、Ａi本（＝７本）の第１配線を第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［８，１４］である。
【０２３７】
そして、この第１配線出発グループをａ1個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第８番目〜第１１番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第１２番目〜第１４番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ1-1＝４、Ａ1-2＝３である。
【０２３８】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第８番目〜第１１番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第１２番目〜第１４番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第２−１回目の第１短絡検査工程を実行する（図１９の（Ａ）参照）。
【０２３９】
ここでは、第９番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループに短絡が存在し、第２の第１配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第１の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２４０】
そして、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「８」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝１４−ＩＮＴ（（１４−８＋１）／２）
＝１１
【０２４１】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第２−１回目の第１短絡検査工程においては、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第２−２回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０２４２】
［第２−２回目の第１短絡検査工程］
具体的には、第８番目〜第１１番目のＡ2本（＝４本）の第１配線を、第２−２回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［８，１１］である。
【０２４３】
そして、この第１配線出発グループをａ2個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第８番目〜第９番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第１０番目〜第１１番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ2-1＝２、Ａ2-2＝２である。
【０２４４】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第８番目〜第９番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（短絡状態とされた第１０番目〜第１１番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第２−２回目の第１短絡検査工程を実行する（図１９の（Ｂ）参照）。
【０２４５】
ここでは、第９番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループに短絡が存在し、第２の第１配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第１の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２４６】
そして、図２に示す「処理−０２」を実行する。即ち、Ｐの値を元のままの「８」とする一方、Ｑの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｑ＝Ｑ−ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）
＝１１−ＩＮＴ（（１１−８＋１）／２）
＝９
【０２４７】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第２−２回目の第１短絡検査工程においても、Ｐの値とＱの値が等しくないので、第２−３回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０２４８】
［第２−３回目の第１短絡検査工程］
具体的には、第１０番目〜第１１番目のＡ3本（＝２本）の第１配線を、第２−３回目の第１短絡検査工程における第１配線出発グループとする。ここで、［Ｐ，Ｑ］の値は［８，９］である。
【０２４９】
そして、この第１配線出発グループをａ3個（＝２個）の第１配線グループに分ける。即ち、第Ｐ番目の第１配線から第Ｑ番目の第１配線を２分割する。第１の第１配線グループには、第８番目の第１配線が含まれ、第２の第１配線グループには、第９番目の第１配線が含まれる。即ち、Ａ3-1＝１、Ａ3-2＝１である。
【０２５０】
次いで、第１の第１配線グループに属する第１配線の全て（第８番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行い、更には、第２の第１配線グループに属する第１配線の全て（第９番目の第１配線）と第２配線の全てとの間での短絡試験を行う。即ち、第２−３回目の第１短絡検査工程を実行する。
【０２５１】
ここでは、第９番目のカソード電極１１において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第１配線グループには短絡が存在せず、第２の第１配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第１配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第１配線グループ（第２の第１配線グループ）を次の第１配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第１配線グループが２以上存在しないので、短絡第１配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第１配線グループの内の１つの短絡第１配線グループを次の第１配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２５２】
そして、図２に示す「処理−０１」を実行する。即ち、Ｑの値を元のままの「９」とする一方、Ｐの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｐ＝Ｐ＋ＩＮＴ（（Ｑ−Ｐ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｑ−Ｐ＋１），２）
＝８＋ＩＮＴ（（９−８＋１）／２）＋ｍｏｄ（（９−８＋１），２）
＝９
【０２５３】
次いで、Ｐの値とＱの値が等しいかを判断する。第２−３回目の第１短絡検査工程においては、Ｐの値とＱの値が等しい。即ち、短絡第１配線グループに属する第１配線の本数は１本である。
【０２５４】
従って、以上で副次的な第１短絡検査工程の繰り返しを完了する。そして、短絡が生じていた第１配線（第１１番目の第１配線）を第ｉ’番目の第１配線Ａi'（但し、ｉ’＝３）として記録する。具体的には、図３の「処理−０４」に示すように、「Ｐ」の値をＰi'として記録、保存する。
【０２５５】
そして、ｉ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ1）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０２５６】
もしも越えていない場合には、短絡第１配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。実施例３においては、「処理−０５」で選択された［Ｐ，Ｑ］を削除したとき、「処理−０３」で記録、保存された［Ｐ，Ｑ］は存在しなくなったので、即ち、記録された短絡第１配線グループが無くなったので、次の工程に進む。
【０２５７】
以上の第１−１回目の第１短絡検査工程から第１−４回目の第１短絡検査工程までの［Ｐ，Ｑ］の値等を、以下の表７に纏めた。また、以上の第２−１回目の第１短絡検査工程から第２−３回目の第１短絡検査工程までの［Ｐ，Ｑ］の値等を、以下の表８に纏めた。
【０２５８】
2005317313.tif 000009
【０２５９】
2005317313.tif 000010
【０２６０】
［第１−１回目の第２短絡検査工程］
先ず、第ｉ’番目（ｉ’＝１）の短絡第１配線として、第３番目の第１配線を選択する。そして、ｊ＝１であるが故に、Ｂ1本（＝９本）の第２配線を第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，９］である。そして、第１−１回目の第２短絡検査工程を実行する（図２０の（Ｂ）参照）。即ち、「最初の第２短絡検査工程」を実行する。
【０２６１】
ここでは、第７番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループには短絡が存在せず、第２の第２配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第２の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２６２】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｔの値を元のままの「９」とする一方、Ｓの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｓ＝Ｓ＋ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｔ−Ｓ＋１），２）
＝１＋ＩＮＴ（（９−１＋１）／２）＋ｍｏｄ（（９−１＋１），２）
＝６
【０２６３】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第１−１回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第１−２回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０２６４】
［第１−２回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第６番目〜第９番目のＢ2本（＝４本）の第２配線を、第１−２回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［６，９］である。
【０２６５】
そして、この第２配線出発グループをｂ2個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第６番目〜第７番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第８番目〜第９番目の第２配線が含まれる。即ち、Ｂ2-1＝２、Ｂ2-2＝２である。
【０２６６】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第６番目〜第７番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第８番目〜第９番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第１−２回目の第２短絡検査工程を実行する（図２１の（Ａ）参照）。
【０２６７】
ここでは、第７番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループに短絡が存在し、第２の第２配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第１の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２６８】
そして、図４に示す「処理−１２」を実行する。即ち、Ｓの値を元のままの「６」とする一方、Ｔの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｔ＝Ｔ−ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）
＝９−ＩＮＴ（（９−６＋１）／２）
＝７
【０２６９】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第１−２回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第１−３回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０２７０】
［第１−３回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第６番目〜第７番目のＢ3本（＝２本）の第２配線を、第１−３回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［６，７］である。
【０２７１】
そして、この第２配線出発グループをｂ3個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第６番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第７番目の第１配線が含まれる。即ち、Ｂ3-1＝１、Ｂ3-2＝１である。
【０２７２】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（第６番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（第７番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第１−３回目の第２短絡検査工程を実行する（図２１の（Ｂ）参照）。
【０２７３】
ここでは、第７番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループには短絡が存在せず、第２の第２配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第２の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２７４】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｔの値を元のままの「７」とする一方、Ｓの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｓ＝Ｓ＋ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｔ−Ｓ＋１），２）
＝６＋ＩＮＴ（（７−６＋１）／２）＋ｍｏｄ（（７−６＋１），２）
＝７
【０２７５】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第１−３回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しい。即ち、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数は１本である。
【０２７６】
従って、以上で第２短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第２配線（第７番目の第２配線）を第ｊ’番目の第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝１）として記録する。具体的には、図５の「処理−１４」に示すように、「Ｓ」の値をＳj'として（あるいは、《Ｐi'，Ｓj'》として）記録、保存する。
【０２７７】
そして、ｊ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ2）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０２７８】
もしも越えていない場合には、短絡第２配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。この場合、短絡第２配線グループが２以上存在することが無いが、ｉ’＝２，３とする第２短絡検査工程が残されているので、更に、次の工程に進む。
【０２７９】
［第２−１回目の第２短絡検査工程］
第ｉ’番目（ｉ’＝２）の短絡第１配線として、第４番目の第１配線を選択する。そして、Ｂ1本（＝９本）の第２配線を第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，９］である。そして、第２−１回目の第２短絡検査工程を実行する（図２２の（Ａ）参照）。即ち、「最初の第２短絡検査工程」を実行する。
【０２８０】
ここでは、第６番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループには短絡が存在せず、第２の第２配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第２の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２８１】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｔの値を元のままの「９」とする一方、Ｓの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｓ＝Ｓ＋ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｔ−Ｓ＋１），２）
＝１＋ＩＮＴ（（９−１＋１）／２）＋ｍｏｄ（（９−１＋１），２）
＝６
【０２８２】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第２−１回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第２−２回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０２８３】
［第２−２回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第６番目〜第９番目のＢ2本（＝４本）の第２配線を、第２−２回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［６，９］である。
【０２８４】
そして、この第２配線出発グループをｂ2個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第６番目〜第７番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第８番目〜第９番目の第２配線が含まれる。即ち、Ｂ2-1＝２、Ｂ2-2＝２である。
【０２８５】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第６番目〜第７番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第８番目〜第９番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第２−２回目の第２短絡検査工程を実行する（図２２の（Ｂ）参照）。
【０２８６】
ここでは、第６番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループに短絡が存在し、第２の第２配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第１の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２８７】
そして、図４に示す「処理−１２」を実行する。即ち、Ｓの値を元のままの「６」とする一方、Ｔの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｔ＝Ｔ−ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）
＝９−ＩＮＴ（（９−６＋１）／２）
＝７
【０２８８】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第２−２回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第２−３回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０２８９】
［第２−３回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第６番目〜第７番目のＢ3本（＝２本）の第２配線を、第２−３回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［６，７］である。
【０２９０】
そして、この第２配線出発グループをｂ3個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第６番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第７番目の第１配線が含まれる。即ち、Ｂ3-1＝１、Ｂ3-2＝１である。
【０２９１】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（第６番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（第７番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第２−３回目の第２短絡検査工程を実行する（図２３の（Ａ）参照）。
【０２９２】
ここでは、第６番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループに短絡が存在し、第２の第２配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第１の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０２９３】
そして、図４に示す「処理−１２」を実行する。即ち、Ｓの値を元のままの「６」とする一方、Ｔの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｔ＝Ｔ−ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）
＝７−ＩＮＴ（（７−６＋１）／２）
＝６
【０２９４】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第２−３回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しい。即ち、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数は１本である。
【０２９５】
従って、以上で第２短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第２配線（第６番目の第２配線）を第ｊ’番目の第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝２）として記録する。具体的には、図５の「処理−１４」に示すように、「Ｓ」の値をＳj'として（あるいは、《Ｐi'，Ｓj'》として）記録、保存する。
【０２９６】
そして、ｊ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ2）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０２９７】
もしも越えていない場合には、短絡第２配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。この場合、短絡第２配線グループが２以上存在することが無いが、ｉ’＝３とする第２短絡検査工程が残されているので、更に、次の工程に進む。
【０２９８】
［第３−１回目の第２短絡検査工程］
第ｉ’番目（ｉ’＝３）の短絡第１配線として、第９番目の第１配線を選択する。そして、Ｂ1本（＝９本）の第２配線を第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，９］である。そして、第３−１回目の第２短絡検査工程を実行する（図２３の（Ｂ）参照）。即ち、「最初の第２短絡検査工程」を実行する。
【０２９９】
ここでは、第２番目及び第５番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループに短絡が存在し、第２の第２配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第１の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０３００】
そして、図４に示す「処理−１２」を実行する。即ち、Ｓの値を元のままの「１」とする一方、Ｔの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｔ＝Ｔ−ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）
＝９−ＩＮＴ（（９−１＋１）／２）
＝５
【０３０１】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第３−１回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第３−２回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０３０２】
［第３−２回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第１番目〜第５番目のＢ2本（＝５本）の第２配線を、第３−２回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，５］である。
【０３０３】
そして、この第２配線出発グループをｂ2個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第１番目〜第３番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第４番目〜第５番目の第２配線が含まれる。即ち、Ｂ2-1＝３、Ｂ2-2＝２である。
【０３０４】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第３番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第４番目〜第５番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第３−２回目の第２短絡検査工程を実行する（図２４の（Ａ）参照）。
【０３０５】
ここでは、第２番目及び第５番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在する。従って、図４の「処理−１３」に示すように、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録する。具体的には、［Ｓ，Ｔ］の値として［１，５］を記録、保存する。そして、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択する。具体的には、図４に示す「処理−１２」を実行する。即ち、Ｓの値を元のままの「１」とする一方、Ｔの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｔ＝Ｔ−ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）
＝５−ＩＮＴ（（５−１＋１）／２）
＝３
【０３０６】
尚、「処理−１３」において記録、保存する［Ｓ，Ｔ］の値は、［１，５］に限定されない。例えば、「処理−１１」を実行し、それによって得られた［Ｓ，Ｔ］の値を「処理−１３」において記録、保存してもよく、要は、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在することが記録、保存され、及び／又は、２以上存在する短絡第２配線グループの内の選択されなかった短絡第２配線グループが何らかの手段で特定されればよい。
【０３０７】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第３−２回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第３−３回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０３０８】
［第３−３回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第１番目〜第３番目のＢ3本（＝３本）の第２配線を、第３−３回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，３］である。
【０３０９】
そして、この第２配線出発グループをｂ3個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第１番目〜第２番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第３番目の第１配線が含まれる。即ち、Ｂ3-1＝２、Ｂ3-2＝１である。
【０３１０】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（短絡状態とされた第１番目〜第２番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（第３番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第３−３回目の第２短絡検査工程を実行する（図２４の（Ｂ）参照）。
【０３１１】
ここでは、第２番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループに短絡が存在し、第２の第２配線グループには短絡が存在しない。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第１の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０３１２】
そして、図４に示す「処理−１２」を実行する。即ち、Ｓの値を元のままの「１」とする一方、Ｔの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｔ＝Ｔ−ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）
＝３−ＩＮＴ（（３−１＋１）／２）
＝２
【０３１３】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第３−２回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しくないので、第３−４回目の第２短絡検査工程を実行する。
【０３１４】
［第３−４回目の第２短絡検査工程］
具体的には、第１番目〜第２番目のＢ4本（＝２本）の第２配線を、第３−４回目の第２短絡検査工程における第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［１，２］である。
【０３１５】
そして、この第２配線出発グループをｂ4個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第１番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第２番目の第１配線が含まれる。即ち、Ｂ4-1＝１、Ｂ4-2＝１である。
【０３１６】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（第１番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（第２番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第３−４回目の第２短絡検査工程を実行する（図２５の（Ａ）参照）。
【０３１７】
ここでは、第２番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループには短絡が存在せず、第２の第２配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第２の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０３１８】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｔの値を元のままの「２」とする一方、Ｓの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｓ＝Ｓ＋ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｔ−Ｓ＋１），２）
＝１＋ＩＮＴ（（２−１＋１）／２）＋ｍｏｄ（（２−１＋１），２）
＝２
【０３１９】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第３−４回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しい。即ち、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数は１本である。
【０３２０】
従って、以上で第２短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第２配線（第２番目の第２配線）を第ｊ’番目の第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝３）として記録する。具体的には、図５の「処理−１４」に示すように、「Ｓ」の値をＳj'として（あるいは、《Ｐi'，Ｓj'》として）記録、保存する。
【０３２１】
そして、ｊ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ2）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０３２２】
もしも越えていない場合には、短絡第２配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。この場合、短絡第２配線グループが２以上存在するので、更に、次の工程に進む。
【０３２３】
即ち、「処理−１５」を実行する。具体的には、「処理−１３」で記録、保存された［Ｓ，Ｔ］の値の中で最新の［Ｓ，Ｔ］の値を選択する。実施例３においては、「処理−１３」で記録、保存された［Ｓ，Ｔ］の値は［１，５］の１つのみであったので、（Ｓ，ＴＱ）＝［１，５］を選択する。そして、選択された１つの短絡第２配線グループ以外の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択する。即ち、「処理−１１」を実行する。
【０３２４】
具体的には、「処理−１３」においては、次の第２配線出発グループとして、第１番目〜第３番目の第２配線が選択されたので、即ち、［Ｓ，Ｔ］＝［１，３］が選択されたので、ここでは、第４番目〜第５番目の第２配線から構成された短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択する。即ち、［Ｓ，Ｔ］＝［４，５］を、次の第２配線出発グループとして選択する。更には、「処理−１３」で記録、保存された［Ｓ，Ｔ］の中から、「処理−１５」で選択された［Ｓ，Ｔ］を削除する。実施例３においては、「処理−１３」で記録、保存された［Ｓ，Ｔ］は１組だけなので、「処理−１５」で選択された［Ｓ，Ｔ］を削除したとき、「処理−１３」で記録、保存された［Ｓ，Ｔ］は存在しなくなる。
【０３２５】
そして、係る第２配線出発グループに基づき、第２短絡検査工程を、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数が１本になるまで繰り返し、短絡が生じていた第２配線を第ｊ’番目の短絡第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝２，３，・・・，Ｊ’）として記録する工程（副次的な第２短絡検査工程）を、記録された短絡第２配線グループが無くなるまで、順次、繰り返す。
【０３２６】
具体的には、以下の工程を実行する。
【０３２７】
［第４−１回目の第２短絡検査工程］
第ｉ’番目（ｉ’＝３）の短絡第１配線として、第９番目の第１配線を選択する。そして、Ｂi本（＝２本）の第２配線を第２配線出発グループとする。ここで、［Ｓ，Ｔ］の値は［４，５］である。
【０３２８】
そして、この第２配線出発グループをｂ1個（＝２個）の第２配線グループに分ける。即ち、第Ｓ番目の第２配線から第Ｔ番目の第２配線を２分割する。第１の第２配線グループには、第４番目の第２配線が含まれ、第２の第２配線グループには、第５番目の第２配線が含まれる。即ち、Ｂ1-1＝１、Ｂ1-2＝１である。
【０３２９】
次いで、第１の第２配線グループに属する第２配線の全て（第４番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線（具体的には、ｉ’＝３であり、第９番目の第１配線）との間での短絡試験を行い、更には、第２の第２配線グループに属する第２配線の全て（第５番目の第２配線）と第ｉ’番目の短絡第１配線との間での短絡試験を行う。即ち、第４−１回目の第２短絡検査工程を実行する（図２５の（Ｂ）参照）。
【０３３０】
ここでは、第５番目のゲート電極１３において短絡が生じているものと仮定したので、第１の第２配線グループには短絡が存在せず、第２の第２配線グループに短絡が存在する。即ち、短絡が存在する短絡第２配線グループが１つしか存在しないので、係る短絡第２配線グループ（第２の第２配線グループ）を次の第２配線出発グループとして選択する。尚、短絡が存在する短絡第２配線グループが２以上存在しないので、短絡第２配線グループが２以上存在することを記録することは不要であるし、２以上存在する短絡第２配線グループの内の１つの短絡第２配線グループを次の第２配線出発グループとして選択することも不要である。
【０３３１】
そして、図４に示す「処理−１１」を実行する。即ち、Ｔの値を元のままの「５」とする一方、Ｓの値を、以下の式に基づき変更する。
Ｓ＝Ｓ＋ＩＮＴ（（Ｔ−Ｓ＋１）／２）＋ｍｏｄ（（Ｔ−Ｓ＋１），２）
＝４＋ＩＮＴ（（５−４＋１）／２）＋ｍｏｄ（（５−４＋１），２）
＝５
【０３３２】
次いで、Ｓの値とＴの値が等しいかを判断する。第４−１回目の第２短絡検査工程においては、Ｓの値とＴの値が等しい。即ち、短絡第２配線グループに属する第２配線の本数は１本である。
【０３３３】
従って、以上で第２短絡検査工程の繰り返しを完了し、短絡が生じていた第２配線（第５番目の第２配線）を第ｊ’番目の第２配線Ｂj'（但し、ｊ’＝４）として記録する。具体的には、図５の「処理−１４」に示すように、「Ｓ」の値をＳj'として（あるいは、《Ｐi'，Ｓj'》として）記録、保存する。
【０３３４】
そして、ｊ’の値が、規定の短絡箇所数（Ｄｅｆ2）を越えたかを判断し、もしも越えている場合には、カソードパネルを廃棄すべき旨を短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法の実施を終了する。
【０３３５】
もしも越えていない場合には、短絡第２配線グループが２以上存在することが記録されていたかを判断する。この時点においては、短絡第２配線グループが２以上存在することが無く、しかも、ｉ’＝１，２，３とした第２短絡検査工程を完了したので、第１配線と第２配線との重複領域における第１配線と第２配線との間の短絡箇所を（Ａi'，Ｂj'）＝《３，７》（即ち、第３番目の第１配線と第７番目の第２配線の重複領域に短絡が発生）、（Ａi'，Ｂj'）＝《４，６》（即ち、第４番目の第１配線と第６番目の第２配線の重複領域に短絡が発生）、（Ａi'，Ｂj'）＝《９，２》（即ち、第９番目の第１配線と第２番目の第２配線の重複領域に短絡が発生）、及び、（Ａi'，Ｂj'）＝《９，５》（即ち、第９番目の第１配線と第５番目の第２配線の重複領域に短絡が発生）として、例えば、短絡試験装置に備えられた表示手段に表示し、短絡検査方法を完了する。
【０３３６】
以上の第１−１回目の第２短絡検査工程から第１−３回目の第２短絡検査工程までの［Ｓ，Ｔ］の値等を、以下の表９に纏めた。また、以上の第２−１回目の第２短絡検査工程から第２−３回目の第２短絡検査工程までの［Ｓ，Ｔ］の値等を、以下の表１０に纏めた。更には、以上の第３−１回目の第２短絡検査工程から第３−４回目の第２短絡検査工程までの［Ｓ，Ｔ］の値等を、以下の表１１に纏め、以上の第４−１回目の第２短絡検査工程の［Ｓ，Ｔ］の値等を、以下の表１２に纏めた。
【０３３７】
2005317313.tif 000011
【０３３８】
2005317313.tif 000012
【０３３９】
2005317313.tif 000013
【０３４０】
2005317313.tif 000014
【０３４１】
［スピント型電界放出素子の製造方法及び表示装置の製造方法］
以下、スピント型電界放出素子の製造方法及び表示装置の製造方法を、カソードパネルを構成する支持体１０等の模式的な一部端面図である図３４の（Ａ）、（Ｂ）及び図３５の（Ａ）、（Ｂ）を参照して説明する。
【０３４２】
このスピント型電界放出素子は、基本的には、円錐形の電子放出部１５を金属材料の垂直蒸着により形成する方法によって得ることができる。即ち、ゲート電極１３に設けられた第１開口部１４Ａに対して蒸着粒子は垂直に入射するが、第１開口部１４Ａの開口端付近に形成されるオーバーハング状の堆積物による遮蔽効果を利用して、第２開口部１４Ｂの底部に到達する蒸着粒子の量を漸減させ、円錐形の堆積物である電子放出部１５を自己整合的に形成する。ここでは、不要なオーバーハング状の堆積物の除去を容易とするために、ゲート電極１３及び絶縁層１２上に剥離層１６を予め形成しておく方法について説明する。尚、電界放出素子の製造方法を説明するための図面においては、１つの電子放出部のみを図示した。
【０３４３】
［工程−Ａ０］
先ず、例えばガラス基板から成る支持体１０の上に、例えばポリシリコンから成るカソード電極用導電材料層をプラズマＣＶＤ法にて成膜した後、リソグラフィ技術及びドライエッチング技術に基づきカソード電極用導電材料層をパターニングして、ストライプ状のカソード電極１１を形成する。その後、全面にＳｉＯ2から成る絶縁層１２をＣＶＤ法にて形成する。
【０３４４】
［工程−Ａ１］
次に、絶縁層１２上に、ゲート電極用導電材料層（例えば、Ａｌ層）をスパッタリング法にて成膜し、次いで、ゲート電極用導電材料層をリソグラフィ技術及びドライエッチング技術にてパターニングすることによって、ストライプ状のゲート電極１３を得ることができる。尚、ゲート電極１３の形成時、第２の方向と平行に延びる１本の溝部（切欠部）１３Ａ（図３４〜図３５には図示せず）を重複領域におけるゲート電極１３の部分に併せて形成しておくことが好ましい。ストライプ状のカソード電極１１は、図面の紙面左右方向に延び、ストライプ状のゲート電極１３は、図面の紙面垂直方向に延びている。
【０３４５】
ゲート電極１３を、真空蒸着法等のＰＶＤ法、ＣＶＤ法、電気メッキ法や無電解メッキ法といったメッキ法、スクリーン印刷法、レーザアブレーション法、ゾル−ゲル法、リフトオフ法等の公知の薄膜形成と、必要に応じてエッチング技術との組合せによって形成してもよい。スクリーン印刷法やメッキ法によれば、直接、例えばストライプ状のゲート電極を形成することが可能である。
【０３４６】
［工程−Ａ２］
その後、再びレジスト層を形成し、エッチングによってゲート電極１３に第１開口部１４Ａを形成し、更に、絶縁層に第２開口部１４Ｂを形成し、第２開口部１４Ｂの底部にカソード電極１１を露出させた後、レジスト層を除去する。こうして、図３４の（Ａ）に示す構造を得ることができる。
【０３４７】
［工程−Ａ３］
次に、支持体１０を回転させながらゲート電極１３上を含む絶縁層１２上にニッケル（Ｎｉ）を斜め真空蒸着することにより、剥離層１６を形成する（図３４の（Ｂ）参照）。このとき、支持体１０の法線に対する蒸着粒子の入射角を十分に大きく選択することにより（例えば、入射角６５度〜８５度）、第２開口部１４Ｂの底部にニッケルを殆ど堆積させることなく、ゲート電極１３及び絶縁層１２の上に剥離層１６を形成することができる。剥離層１６は、第１開口部１４Ａの開口端から庇状に張り出しており、これによって第１開口部１４Ａが実質的に縮径される。
【０３４８】
［工程−Ａ４］
次に、全面に例えば導電材料としてモリブデン（Ｍｏ）を垂直蒸着する（入射角３度〜１０度）。このとき、図３５の（Ａ）に示すように、剥離層１６上でオーバーハング形状を有する導電材料層１７が成長するに伴い、第１開口部１４Ａの実質的な直径が次第に縮小されるので、第２開口部１４Ｂの底部において堆積に寄与する蒸着粒子は、次第に第１開口部１４Ａの中央付近を通過するものに限られるようになる。その結果、第２開口部１４Ｂの底部には円錐形の堆積物が形成され、この円錐形の堆積物が電子放出部１５となる。
【０３４９】
［工程−Ａ５］
その後、図３５の（Ｂ）に示すように、リフトオフ法にて剥離層１６をゲート電極１３及び絶縁層１２の表面から剥離し、ゲート電極１３及び絶縁層１２の上方の導電材料層１７を選択的に除去する。次いで、絶縁層１２に設けられた第２開口部１４Ｂの側壁面を等方的なエッチングによって後退させることが、ゲート電極１３の開口端部を露出させるといった観点から、好ましい。尚、等方的なエッチングは、ケミカルドライエッチングのようにラジカルを主エッチング種として利用するドライエッチング、あるいはエッチング液を利用するウェットエッチングにより行うことができる。エッチング液としては、例えば４９％フッ酸水溶液と純水の１：１００（容積比）混合液を用いることができる。こうして、複数のスピント型電界放出素子が形成されたカソードパネルを得ることができる。
【０３５０】
先に説明したように、本発明の短絡検査方法をカソードパネルにおける短絡検査に適用する場合、［工程−Ａ１］の後に短絡検査方法を実施してもよいし、［工程−Ａ２］の後に短絡検査方法を実施してもよいし、［工程−Ａ５］の後に短絡検査方法を実施してもよい。
【０３５１】
［工程−Ａ６］
一方、蛍光体領域２２、アノード電極２４等が形成されたアノードパネルＡＰを準備する。そして、表示装置の組み立てを行う。具体的には、例えば、アノードパネルＡＰの有効領域に設けられたスペーサ保持部２６にスペーサ２５を取り付け、蛍光体領域２２と電子放出領域ＥＡとが対向するようにアノードパネルＡＰとカソードパネルＣＰとを配置し、アノードパネルＡＰとカソードパネルＣＰ（より具体的には、基板２０と支持体１０）とを、セラミックスやガラスから作製された枠体２７を介して、周縁部において接合する。接合に際しては、枠体２７とアノードパネルＡＰとの接合部位、及び、枠体２７とカソードパネルＣＰとの接合部位にフリットガラスを塗布し、アノードパネルＡＰとカソードパネルＣＰと枠体２７とを貼り合わせ、予備焼成にてフリットガラスを乾燥した後、約４５０゜Ｃで１０〜３０分の本焼成を行う。その後、アノードパネルＡＰとカソードパネルＣＰと枠体２７とフリットガラス（図示せず）とによって囲まれた空間を貫通孔（図示せず）及びチップ管（図示せず）を通じて排気し、空間の圧力が１０-4Ｐａ程度に達した時点でチップ管を加熱溶融により封じ切る。このようにして、アノードパネルＡＰとカソードパネルＣＰと枠体２７とに囲まれた空間を真空にすることができる。あるいは又、例えば、枠体２７とアノードパネルＡＰとカソードパネルＣＰとの貼り合わせを高真空雰囲気中で行ってもよい。あるいは又、表示装置の構造に依っては、枠体無しで、接着層のみによってアノードパネルＡＰとカソードパネルＣＰとを貼り合わせてもよい。その後、必要な外部回路との配線接続を行い、表示装置を完成させる。
【０３５２】
以上、本発明を、好ましい実施例に基づき説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例にて説明した配線構造、カソードパネルやアノードパネル、冷陰極電界電子放出表示装置や冷陰極電界電子放出素子の構成、構造は例示であり、適宜変更することができるし、アノードパネルやカソードパネル、冷陰極電界電子放出表示装置や冷陰極電界電子放出素子の製造方法も例示であり、適宜変更することができる。更には、アノードパネルやカソードパネルの製造において使用した各種材料も例示であり、適宜変更することができる。表示装置においては、専らカラー表示を例にとり説明したが、単色表示とすることもできる。
【０３５３】
電界放出素子においては、専ら１つの開口部に１つの電子放出部が対応する形態を説明したが、電界放出素子の構造に依っては、１つの開口部に複数の電子放出部が対応した形態、あるいは、複数の開口部に１つの電子放出部が対応する形態とすることもできる。あるいは又、ゲート電極に複数の第１開口部を設け、絶縁層にかかる複数の第１開口部に連通した複数の第２開口部を設け、１又は複数の電子放出部を設ける形態とすることもできる。
【０３５４】
電界放出素子において、ゲート電極１３及び絶縁層１２の上に更に層間絶縁層４２を設け、層間絶縁層４２上に収束電極４３を設けてもよい。このような構造を有する電界放出素子の模式的な一部端面図を図３６に示す。層間絶縁層４２には、第１開口部１４Ａに連通した第３開口部４４が設けられている。収束電極４３の形成は、例えば、［工程−Ａ２］において、絶縁層１２上にストライプ状のゲート電極１３を形成した後、層間絶縁層４２を形成し、次いで、層間絶縁層４２上にパターニングされた収束電極４３を形成した後、収束電極４３、層間絶縁層４２に第３開口部４４を設け、更に、ゲート電極１３に第１開口部１４Ａを設ければよい。尚、収束電極のパターニングに依存して、１又は複数の電子放出部、あるいは、１又は複数の画素に対応する収束電極ユニットが集合した形式の収束電極とすることもでき、あるいは又、有効領域を１枚のシート状の導電材料で被覆した形式の収束電極とすることもできる。尚、図３６においては、スピント型電界放出素子を図示したが、その他の電界放出素子とすることもできることは云うまでもない。
【０３５５】
本発明における冷陰極電界電子放出表示装置において、電界放出素子は如何なる形態の電界放出素子とすることもでき、例えば、実施例にて説明したように、電界放出素子を、
（１）円錐形の電子放出部が開口部の底部に位置するカソード電極上に設けられたスピント型電界放出素子
とするだけでなく、電界放出素子を、
（２）略平面状の電子放出部が開口部の底部に位置するカソード電極上に設けられた扁平型電界放出素子
（３）王冠状の電子放出部が開口部の底部に位置するカソード電極上に設けられ、電子放出部の王冠状の部分から電子を放出するクラウン型電界放出素子
（４）平坦なカソード電極の表面から電子を放出する平面型電界放出素子
（５）凹凸が形成されたカソード電極の表面の多数の凸部から電子を放出するクレータ型電界放出素子
（６）カソード電極のエッジ部から電子を放出するエッジ型電界放出素子
とすることもできる。
【０３５６】
スピント型電界放出素子にあっては、電子放出部を構成する材料として、実施例にて説明したモリブデン以外にも、タングステン、タングステン合金、モリブデン合金、チタン、チタン合金、ニオブ、ニオブ合金、タンタル、タンタル合金、クロム、クロム合金、及び、不純物を含有するシリコン（ポリシリコンやアモルファスシリコン）から成る群から選択された少なくとも１種類の材料を挙げることができる。スピント型電界放出素子の電子放出部は、真空蒸着法の他、例えばスパッタリング法やＣＶＤ法によっても形成することができる。
【０３５７】
扁平型電界放出素子にあっては、電子放出部を構成する材料として、カソード電極を構成する材料よりも仕事関数Φの小さい材料から構成することが好ましく、どのような材料を選択するかは、カソード電極を構成する材料の仕事関数、ゲート電極とカソード電極との間の電位差、要求される放出電子電流密度の大きさ等に基づいて決定すればよい。電界放出素子におけるカソード電極を構成する代表的な材料として、タングステン（Φ＝４．５５ｅＶ）、ニオブ（Φ＝４．０２〜４．８７ｅＶ）、モリブデン（Φ＝４．５３〜４．９５ｅＶ）、アルミニウム（Φ＝４．２８ｅＶ）、銅（Φ＝４．６ｅＶ）、タンタル（Φ＝４．３ｅＶ）、クロム（Φ＝４．５ｅＶ）、シリコン（Φ＝４．９ｅＶ）を例示することができる。電子放出部は、これらの材料よりも小さな仕事関数Φを有していることが好ましく、その値は概ね３ｅＶ以下であることが好ましい。かかる材料として、炭素（Φ＜１ｅＶ）、セシウム（Φ＝２．１４ｅＶ）、ＬａＢ6（Φ＝２．６６〜２．７６ｅＶ）、ＢａＯ（Φ＝１．６〜２．７ｅＶ）、ＳｒＯ（Φ＝１．２５〜１．６ｅＶ）、Ｙ2Ｏ3（Φ＝２．０ｅＶ）、ＣａＯ（Φ＝１．６〜１．８６ｅＶ）、ＢａＳ（Φ＝２．０５ｅＶ）、ＴｉＮ（Φ＝２．９２ｅＶ）、ＺｒＮ（Φ＝２．９２ｅＶ）を例示することができる。仕事関数Φが２ｅＶ以下である材料から電子放出部を構成することが、一層好ましい。尚、電子放出部を構成する材料は、必ずしも導電性を備えている必要はない。
【０３５８】
あるいは又、扁平型電界放出素子において、電子放出部を構成する材料として、かかる材料の２次電子利得δがカソード電極を構成する導電性材料の２次電子利得δよりも大きくなるような材料から適宜選択してもよい。即ち、銀（Ａｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、コバルト（Ｃｏ）、銅（Ｃｕ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニオブ（Ｎｂ）、ニッケル（Ｎｉ）、白金（Ｐｔ）、タンタル（Ｔａ）、タングステン（Ｗ）、ジルコニウム（Ｚｒ）等の金属；シリコン（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）等の半導体；炭素やダイヤモンド等の無機単体；及び酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）、酸化バリウム（ＢａＯ）、酸化ベリリウム（ＢｅＯ）、酸化カルシウム（ＣａＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、酸化錫（ＳｎＯ2）、フッ化バリウム（ＢａＦ2）、フッ化カルシウム（ＣａＦ2）等の化合物の中から、適宜選択することができる。尚、電子放出部を構成する材料は、必ずしも導電性を備えている必要はない。
【０３５９】
扁平型電界放出素子にあっては、特に好ましい電子放出部の構成材料として、炭素、より具体的にはアモルファスダイヤモンドやグラファイト、カーボン・ナノチューブ構造体、ＺｎＯウィスカー、ＭｇＯウィスカー、ＳｎＯ2ウィスカー、ＭｎＯウィスカー、Ｙ2Ｏ3ウィスカー、ＮｉＯウィスカー、ＩＴＯウィスカー、Ｉｎ2Ｏ3ウィスカー、Ａｌ2Ｏ3ウィスカーを挙げることができる。電子放出部をこれらから構成する場合、５×１０7Ｖ／ｍ以下の電界強度にて、冷陰極電界電子放出表示装置に必要な放出電子電流密度を得ることができる。また、アモルファスダイヤモンドは電気抵抗体であるため、各電子放出部から得られる放出電子電流を均一化することができ、よって、冷陰極電界電子放出表示装置に組み込まれた場合の輝度ばらつきの抑制が可能となる。更に、これらの材料は、冷陰極電界電子放出表示装置内の残留ガスのイオンによるスパッタ作用に対して極めて高い耐性を有するので、電界放出素子の長寿命化を図ることができる。
【０３６０】
カーボン・ナノチューブ構造体として、具体的には、カーボン・ナノチューブ及び／又はグラファイト・ナノファイバーを挙げることができる。より具体的には、カーボン・ナノチューブから電子放出部を構成してもよいし、グラファイト・ナノファイバーから電子放出部を構成してもよいし、カーボン・ナノチューブとグラファイト・ナノファイバーの混合物から電子放出部を構成してもよい。カーボン・ナノチューブやグラファイト・ナノファイバーは、巨視的には、粉末状であってもよいし、薄膜状であってもよいし、場合によっては、カーボン・ナノチューブ構造体は円錐状の形状を有していてもよい。カーボン・ナノチューブやグラファイト・ナノファイバーは、周知のアーク放電法やレーザアブレーション法といったＰＶＤ法、プラズマＣＶＤ法やレーザＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法、気相合成法、気相成長法といった各種のＣＶＤ法によって製造、形成することができる。
【０３６１】
扁平型電界放出素子を、カーボン・ナノチューブ構造体や上記の各種ウィスカー（以下、これらを総称して、カーボン・ナノチューブ構造体等と呼ぶ）をバインダー材料に分散させたものをカソード電極の所望の領域に例えば塗布した後、バインダー材料の焼成あるいは硬化を行う方法（より具体的には、エポキシ系樹脂やアクリル系樹脂等の有機系バインダー材料や水ガラス等の無機系バインダー材料にカーボン・ナノチューブ構造体等を分散したものを、カソード電極の所望の領域に例えば塗布した後、溶媒の除去、バインダー材料の焼成・硬化を行う方法）によって製造することもできる。尚、このような方法を、カーボン・ナノチューブ構造体等の第１の形成方法と呼ぶ。塗布方法として、スクリーン印刷法を例示することができる。
【０３６２】
あるいは又、扁平型電界放出素子を、カーボン・ナノチューブ構造体等が分散された金属化合物溶液をカソード電極上に塗布した後、金属化合物を焼成する方法によって製造することもでき、これによって、金属化合物を構成する金属原子を含むマトリックスにてカーボン・ナノチューブ構造体等がカソード電極表面に固定される。尚、このような方法を、カーボン・ナノチューブ構造体等の第２の形成方法と呼ぶ。マトリックスは、導電性を有する金属酸化物から成ることが好ましく、より具体的には、酸化錫、酸化インジウム、酸化インジウム−錫、酸化亜鉛、酸化アンチモン、又は、酸化アンチモン−錫から構成することが好ましい。焼成後、各カーボン・ナノチューブ構造体等の一部分がマトリックスに埋め込まれている状態を得ることもできるし、各カーボン・ナノチューブ構造体等の全体がマトリックスに埋め込まれている状態を得ることもできる。マトリックスの体積抵抗率は、１×１０-9Ω・ｍ乃至５×１０-6Ω・ｍであることが望ましい。
【０３６３】
金属化合物溶液を構成する金属化合物として、例えば、有機金属化合物、有機酸金属化合物、又は、金属塩（例えば、塩化物、硝酸塩、酢酸塩）を挙げることができる。有機酸金属化合物から構成された金属化合物溶液として、具体的には、有機錫化合物、有機インジウム化合物、有機亜鉛化合物、有機アンチモン化合物を酸（例えば、塩酸、硝酸、あるいは硫酸）に溶解し、これを有機溶媒（例えば、トルエン、酢酸ブチル、イソプロピルアルコール）で希釈したものを挙げることができる。また、有機金属化合物から構成された金属化合物溶液として、具体的には、有機錫化合物、有機インジウム化合物、有機亜鉛化合物、有機アンチモン化合物を有機溶媒（例えば、トルエン、酢酸ブチル、イソプロピルアルコール）に溶解したものを例示することができる。金属化合物溶液を１００重量部としたとき、カーボン・ナノチューブ構造体等が０．００１〜２０重量部、金属化合物が０．１〜１０重量部、含まれた組成とすることが好ましい。金属化合物溶液には、分散剤や界面活性剤が含まれていてもよい。また、マトリックスの厚さを増加させるといった観点から、金属化合物溶液に、例えばカーボンブラック等の添加物を添加してもよい。また、場合によっては、有機溶媒の代わりに水を溶媒として用いることもできる。
【０３６４】
カーボン・ナノチューブ構造体等が分散された金属化合物溶液をカソード電極上に塗布する方法として、スプレー法、スピンコーティング法、ディッピング法、ダイクォーター法、スクリーン印刷法を例示することができるが、中でもスプレー法を採用することが塗布の容易性といった観点から好ましい。
【０３６５】
カーボン・ナノチューブ構造体等が分散された金属化合物溶液をカソード電極上に塗布した後、金属化合物溶液を乾燥させて金属化合物層を形成し、次いで、カソード電極上の金属化合物層の不要部分を除去した後、金属化合物を焼成してもよいし、金属化合物を焼成した後、カソード電極上の不要部分を除去してもよいし、カソード電極の所望の領域上にのみ金属化合物溶液を塗布してもよい。
【０３６６】
金属化合物の焼成温度は、例えば、金属塩が酸化されて導電性を有する金属酸化物となるような温度、あるいは又、有機金属化合物や有機酸金属化合物が分解して、有機金属化合物や有機酸金属化合物を構成する金属原子を含むマトリックス（例えば、導電性を有する金属酸化物）が形成できる温度であればよく、例えば、３００゜Ｃ以上とすることが好ましい。焼成温度の上限は、電界放出素子あるいはカソードパネルの構成要素に熱的な損傷等が発生しない温度とすればよい。
【０３６７】
カーボン・ナノチューブ構造体等の第１の形成方法あるいは第２の形成方法にあっては、電子放出部の形成後、電子放出部の表面の一種の活性化処理（洗浄処理）を行うことが、電子放出部からの電子の放出効率の一層の向上といった観点から好ましい。このような処理として、水素ガス、アンモニアガス、ヘリウムガス、アルゴンガス、ネオンガス、メタンガス、エチレンガス、アセチレンガス、窒素ガス等のガス雰囲気中でのプラズマ処理を挙げることができる。
【０３６８】
カーボン・ナノチューブ構造体等の第１の形成方法あるいは第２の形成方法にあっては、電子放出部は、開口部の底部に位置するカソード電極の部分の表面に形成されていればよく、開口部の底部に位置するカソード電極の部分から開口部の底部以外のカソード電極の部分の表面に延在するように形成されていてもよい。また、電子放出部は、開口部の底部に位置するカソード電極の部分の表面の全面に形成されていても、部分的に形成されていてもよい。
【０３６９】
カソード電極と電子放出部との間に高抵抗膜を設けてもよい。高抵抗膜を設けることによって、電界放出素子の動作安定化、電子放出特性の均一化を図ることができる。高抵抗膜を構成する材料として、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）やＳｉＣＮといったカーボン系材料；ＳｉＮ系材料；アモルファスシリコン等の半導体材料；酸化ルテニウム（ＲｕＯ2）、酸化タンタル、窒化タンタル等の高融点金属酸化物を例示することができる。高抵抗膜の形成方法として、スパッタリング法や、ＣＶＤ法やスクリーン印刷法を例示することができる。１つの電子放出部あたりの電気抵抗値は、概ね１×１０6〜１×１０11Ω、好ましくは数十ギガΩとすればよい。
【０３７０】
冷陰極電界電子放出表示装置を構成するアノードパネルに備えられたアノード電極は、全体として１つのアノード電極から構成されていてもよいし、複数のアノード電極ユニットから構成されていてもよい。後者の場合、アノード電極ユニットとアノード電極ユニットとは抵抗体層によって電気的に接続されている必要がある。抵抗体層を構成する材料として、シリコンカーバイド（ＳｉＣ）やＳｉＣＮといったカーボン系材料；ＳｉＮ系材料；酸化ルテニウム（ＲｕＯ2）、酸化タンタル、窒化タンタル、酸化クロム、酸化チタン等の高融点金属酸化物；アモルファスシリコン等の半導体材料を挙げることができる。抵抗体層のシート抵抗値として、１×１０-1Ω／□乃至１×１０10Ω／□、好ましくは１×１０3Ω／□乃至１×１０8Ω／□を例示することができる。アノード電極ユニットの数（Ｎ）は２以上であればよく、例えば、直線状に配列された蛍光体領域の列の総数をｎ列としたとき、Ｎ＝ｎとし、あるいは、ｎ＝α・Ｎ（αは２以上の整数であり、好ましくは１０≦α≦１００、一層好ましくは２０≦α≦５０）としてもよいし、一定の間隔をもって配設されるスペーサ（後述する）の数に１を加えた数とすることができるし、ピクセルの数あるいはサブピクセルの数と一致した数、あるいは、ピクセルの数あるいはサブピクセルの数の整数分の一とすることもできる。また、各アノード電極ユニットの大きさは、アノード電極ユニットの位置に拘わらず同じとしてもよいし、アノード電極ユニットの位置に依存して異ならせてもよい。
【０３７１】
冷陰極電界電子放出表示装置がカラー表示の場合、直線状に配列された蛍光体領域の１列は、全てが赤色発光蛍光体領域で占められた列、緑色発光蛍光体領域で占められた列、及び、青色発光蛍光体領域で占められた列から構成されていてもよいし、赤色発光蛍光体領域、緑色発光蛍光体領域、及び、青色発光蛍光体領域が順に配置された列から構成されていてもよい。ここで、蛍光体領域とは、アノードパネル上において１つの輝点を生成する蛍光体領域であると定義する。また、１画素（１ピクセル）は、１つの赤色発光蛍光体領域、１つの緑色発光蛍光体領域、及び、１つの青色発光蛍光体領域の集合から構成され、１サブピクセルは、１つの蛍光体領域（１つの赤色発光蛍光体領域、あるいは、１つの緑色発光蛍光体領域、あるいは、１つの青色発光蛍光体領域）から構成される。更には、アノード電極ユニットにおける１サブピクセルに相当する大きさとは、１つの蛍光体領域を囲むアノード電極ユニットの大きさを意味する。
【０３７２】
アノード電極（アノード電極ユニットを包含する）は、導電材料層を用いて形成すればよい。導電材料層の形成方法として、例えば、電子ビーム蒸着法や熱フィラメント蒸着法といった蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、レーザアブレーション法といった各種のＰＶＤ法；各種のＣＶＤ法；スクリーン印刷法；リフトオフ法；ゾル−ゲル法等を挙げることができる。即ち、導電材料から成る導電材料層を形成し、リソグラフィ技術及びエッチング技術に基づき、この導電材料層をパターニングしてアノード電極を形成することができる。あるいは又、アノード電極のパターンを有するマスクやスクリーンを介して導電材料をＰＶＤ法やスクリーン印刷法に基づき形成することによって、アノード電極を得ることもできる。尚、抵抗体層も同様の方法で形成することができる。即ち、抵抗体材料から抵抗体層を形成し、リソグラフィ技術及びエッチング技術に基づきこの抵抗体層をパターニングしてもよいし、あるいは、抵抗体層のパターンを有するマスクやスクリーンを介して抵抗体材料のＰＶＤ法やスクリーン印刷法に基づく形成により、抵抗体層を得ることができる。基板上（あるいは基板上方）におけるアノード電極の平均厚さ（後述するように隔壁を設ける場合、隔壁の頂面上におけるアノード電極の平均厚さ）として、３×１０-8ｍ（３０ｎｍ）乃至１．５×１０-7ｍ（１５０ｎｍ）、好ましくは５×１０-8ｍ（５０ｎｍ）乃至１×１０-7ｍ（１００ｎｍ）を例示することができる。
【０３７３】
アノード電極の構成材料は、冷陰極電界電子放出表示装置の構成によって適宜選択すればよい。即ち、冷陰極電界電子放出表示装置が透過型（アノードパネルが表示面に相当する）であって、且つ、基板上にアノード電極と蛍光体領域がこの順に積層されている場合には、基板は元より、アノード電極自身も透明である必要があり、ＩＴＯ（インジウム錫酸化物）等の透明導電材料を用いる。一方、冷陰極電界電子放出表示装置が反射型（カソードパネルが表示面に相当する）である場合、及び、透過型であっても基板上に蛍光体領域とアノード電極とがこの順に積層されている場合には、モリブデン（Ｍｏ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、タングステン（Ｗ）、ニオブ（Ｎｂ）、タンタル（Ｔａ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）、チタン（Ｔｉ）、コバルト（Ｃｏ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、鉄（Ｆｅ）、白金（Ｐｔ）、亜鉛（Ｚｎ）等の金属；これらの金属元素を含む合金あるいは化合物（例えばＴｉＮ等の窒化物や、ＷＳｉ2、ＭｏＳｉ2、ＴｉＳｉ2、ＴａＳｉ2等のシリサイド）；シリコン（Ｓｉ）等の半導体；ダイヤモンド等の炭素薄膜；ＩＴＯ（酸化インジウム−錫）、酸化インジウム、酸化亜鉛等の導電性金属酸化物を例示することができる。尚、抵抗体層を形成する場合、抵抗体層の電気抵抗値を変化させない導電材料からアノード電極を構成することが好ましく、例えば、抵抗体層をシリコンカーバイド（ＳｉＣ）から構成した場合、アノード電極をモリブデン（Ｍｏ）から構成することが好ましい。
【０３７４】
アノード電極と蛍光体領域の構成例として、（１）基板上に、アノード電極を形成し、アノード電極の上に蛍光体領域を形成する構成、（２）基板上に、蛍光体領域を形成し、蛍光体領域上にアノード電極を形成する構成、を挙げることができる。尚、（１）の構成において、蛍光体領域の上に、アノード電極と導通した所謂メタルバック膜を形成してもよい。また、（２）の構成において、アノード電極の上にメタルバック膜を形成してもよい。
【０３７５】
アノードパネルには、蛍光体領域から反跳した電子、あるいは、蛍光体領域から放出された二次電子が他の蛍光体領域に入射し、所謂光学的クロストーク（色濁り）が発生することを防止するための隔壁が、複数、設けられている構成とすることもできる。
【０３７６】
隔壁の平面形状として、格子形状（井桁形状）、即ち、１サブピクセルに相当する、例えば平面形状が略矩形（ドット状）の蛍光体領域の四方を取り囲む形状を挙げることができ、あるいは、略矩形あるいはストライプ状の蛍光体領域の対向する二辺と平行に延びる帯状形状あるいはストライプ形状を挙げることができる。隔壁を格子形状とする場合、１つの蛍光体領域の領域の四方を連続的に取り囲む形状としてもよいし、不連続に取り囲む形状としてもよい。隔壁を帯状形状あるいはストライプ形状とする場合、連続した形状としてもよいし、不連続な形状としてもよい。隔壁を形成した後、隔壁を研磨し、隔壁の頂面の平坦化を図ってもよい。
【０３７７】
隔壁の形成方法として、スクリーン印刷法、ドライフィルム法、感光法、サンドブラスト形成法を例示することができる。ここで、スクリーン印刷法とは、隔壁を形成すべき部分に対応するスクリーンの部分に開口が形成されており、スクリーン上の隔壁形成用材料をスキージを用いて開口を通過させ、基板上に隔壁形成用材料層を形成した後、かかる隔壁形成用材料層を焼成する方法である。ドライフィルム法とは、基板上に感光性フィルムをラミネートし、露光及び現像によって隔壁形成予定部位の感光性フィルムを除去し、除去によって生じた開口に隔壁形成用の材料を埋め込み、焼成する方法である。感光性フィルムは焼成によって燃焼、除去され、開口に埋め込まれた隔壁形成用の材料が残り、隔壁となる。感光法とは、基板上に感光性を有する隔壁形成用材料層を形成し、露光及び現像によってこの隔壁形成用材料層をパターニングした後、焼成を行う方法である。サンドブラスト形成法とは、例えば、スクリーン印刷やロールコーター、ドクターブレード、ノズル吐出式コーター等を用いて隔壁形成用材料層を基板上に形成し、乾燥させた後、隔壁を形成すべき隔壁形成用材料層の部分をマスク層で被覆し、次いで、露出した隔壁形成用材料層の部分をサンドブラスト法によって除去する方法である。
【０３７８】
蛍光体領域は、単色の蛍光体粒子から構成されていても、３原色の蛍光体粒子から構成されていてもよい。また、蛍光体領域の配列様式は、ドット状であっても、ストライプ状であってもよい。尚、ドット状やストライプ状の配列様式においては、隣り合う蛍光体領域の間の隙間がコントラスト向上を目的とした光吸収層（ブラックマトリックス）で埋め込まれていてもよい。
【０３７９】
蛍光体領域は、発光性結晶粒子（例えば、粒径５〜１０ｎｍ程度の蛍光体粒子）から調製された発光性結晶粒子組成物を使用し、例えば、赤色の感光性の発光性結晶粒子組成物（赤色蛍光体スラリー）を全面に塗布し、露光、現像して、赤色発光蛍光体領域を形成し、次いで、緑色の感光性の発光性結晶粒子組成物（緑色蛍光体スラリー）を全面に塗布し、露光、現像して、緑色発光蛍光体領域を形成し、更に、青色の感光性の発光性結晶粒子組成物（青色蛍光体スラリー）を全面に塗布し、露光、現像して、青色発光蛍光体領域を形成する方法にて形成することができる。基板上における蛍光体領域の平均厚さは、限定するものではないが、３μｍ乃至２０μｍ、好ましくは５μｍ乃至１０μｍであることが望ましい。
【０３８０】
発光性結晶粒子を構成する蛍光体材料としては、従来公知の蛍光体材料の中から適宜選択して用いることができる。カラー表示の場合、色純度がＮＴＳＣで規定される３原色に近く、３原色を混合した際の白バランスがとれ、残光時間が短く、３原色の残光時間がほぼ等しくなる蛍光体材料を組み合わせることが好ましい。赤色発光蛍光体領域を構成する蛍光体材料として、（Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ）、（Ｙ2Ｏ2Ｓ：Ｅｕ）、（Ｙ3Ａｌ5Ｏ12：Ｅｕ）、（Ｙ2ＳｉＯ5：Ｅｕ）、（Ｚｎ3（ＰＯ4）2：Ｍｎ）を例示することができるが、中でも、（Ｙ2Ｏ3：Ｅｕ）、（Ｙ2Ｏ2Ｓ：Ｅｕ）を用いることが好ましい。また、緑色発光蛍光体領域を構成する蛍光体材料として、（ＺｎＳｉＯ2：Ｍｎ）、（Ｓｒ4Ｓｉ3Ｏ8Ｃｌ4：Ｅｕ）、（ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ）、（ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｕ，Ａｌ）、［（Ｚｎ，Ｃｄ）Ｓ：Ｃｕ，Ａｌ］、（Ｙ3Ａｌ5Ｏ12：Ｔｂ）、（Ｙ2ＳｉＯ5：Ｔｂ）、［Ｙ3（Ａｌ，Ｇａ）5Ｏ12：Ｔｂ］、（ＺｎＢａＯ4：Ｍｎ）、（ＧｂＢＯ3：Ｔｂ）、（Ｓｒ6ＳｉＯ3Ｃｌ3：Ｅｕ）、（ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｍｎ）、（ＳｃＢＯ3：Ｔｂ）、（Ｚｎ2ＳｉＯ4：Ｍｎ）、（ＺｎＯ：Ｚｎ）、（Ｇｄ2Ｏ2Ｓ：Ｔｂ）、（ＺｎＧａ2Ｏ4：Ｍｎ）を例示することができるが、中でも、（ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ）、（ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｕ，Ａｌ）、［（Ｚｎ，Ｃｄ）Ｓ：Ｃｕ，Ａｌ］、（Ｙ3Ａｌ5Ｏ12：Ｔｂ）、［Ｙ3（Ａｌ，Ｇａ）5Ｏ12：Ｔｂ］、（Ｙ2ＳｉＯ5：Ｔｂ）を用いることが好ましい。更には、青色発光蛍光体領域を構成する蛍光体材料として、（Ｙ2ＳｉＯ5：Ｃｅ）、（ＣａＷＯ4：Ｐｂ）、ＣａＷＯ4、ＹＰ0.85Ｖ0.15Ｏ4、（ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ）、（Ｓｒ2Ｐ2Ｏ7：Ｅｕ）、（Ｓｒ2Ｐ2Ｏ7：Ｓｎ）、（ＺｎＳ：Ａｇ，Ａｌ）、（ＺｎＳ：Ａｇ）、ＺｎＭｇＯ、ＺｎＧａＯ4を例示することができるが、中でも、（ＺｎＳ：Ａｇ）、（ＺｎＳ：Ａｇ，Ａｌ）を用いることが好ましい。
【０３８１】
蛍光体領域からの光を吸収する光吸収層が隔壁と基板との間に形成されていることが、表示画像のコントラスト向上といった観点から好ましい。ここで、光吸収層は、所謂ブラックマトリックスとして機能する。光吸収層を構成する材料として、蛍光体領域からの光を９９％以上吸収する材料を選択することが好ましい。このような材料として、カーボン、金属薄膜（例えば、クロム、ニッケル、アルミニウム、モリブデン等、あるいは、これらの合金）、金属酸化物（例えば、酸化クロム）、金属窒化物（例えば、窒化クロム）、耐熱性有機樹脂、ガラスペースト、黒色顔料や銀等の導電性粒子を含有するガラスペースト等の材料を挙げることができ、具体的には、感光性ポリイミド樹脂、酸化クロムや、酸化クロム／クロム積層膜を例示することができる。尚、酸化クロム／クロム積層膜においては、クロム膜が基板と接する。光吸収層は、例えば、真空蒸着法やスパッタリング法とエッチング法との組合せ、真空蒸着法やスパッタリング法、スピンコーティング法とリフトオフ法との組合せに、スクリーン印刷法、リソグラフィ技術等、使用する材料に依存して適宜選択された方法にて形成することができる。
【０３８２】
冷陰極電界電子放出表示装置にあっては、アノードパネルとカソードパネルとによって挟まれた空間が真空状態となっているが故に、アノードパネルとカソードパネルとの間にスペーサを配しておかないと、大気圧によって冷陰極電界電子放出表示装置が損傷を受けてしまう虞がある。係るスペーサは、例えばセラミックスから構成することができる。スペーサをセラミックスから構成する場合、セラミックスとして、ムライトやアルミナ、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛、ジルコニア、コーディオライト、硼珪酸塩バリウム、珪酸鉄、ガラスセラミックス材料、これらに、酸化チタンや酸化クロム、酸化鉄、酸化バナジウム、酸化ニッケルを添加したもの等を例示することができる。この場合、所謂グリーンシートを成形して、グリーンシートを焼成し、かかるグリーンシート焼成品を切断することによってスペーサを製造することができる。また、スペーサの表面に、金属や合金から成る導電材料層を形成し、あるいは又、高抵抗層を形成し、あるいは又、二次電子放出係数の低い材料から成る薄層を形成してもよい。スペーサは、例えば、隔壁と隔壁との間に挟み込んで固定すればよく、あるいは又、例えば、アノードパネルにスペーサ保持部を形成し、スペーサ保持部とスペーサ保持部との間に挟み込んで固定すればよい。
【０３８３】
カソードパネルとアノードパネルとを周縁部において接合するが、接合は接着層を用いて行ってもよいし、あるいは、ガラスやセラミックス等の絶縁剛性材料から成る枠体と接着層とを併用して行ってもよい。枠体と接着層とを併用する場合には、枠体の高さを適宜選択することにより、接着層のみを使用する場合に比べ、カソードパネルとアノードパネルとの間の対向距離をより長く設定することが可能である。尚、接着層の構成材料としては、フリットガラスが一般的であるが、融点が１２０〜４００゜Ｃ程度の所謂低融点金属材料を用いてもよい。かかる低融点金属材料としては、Ｉｎ（インジウム：融点１５７゜Ｃ）；インジウム−金系の低融点合金；Ｓｎ80Ａｇ20（融点２２０〜３７０゜Ｃ）、Ｓｎ95Ｃｕ5（融点２２７〜３７０゜Ｃ）等の錫（Ｓｎ）系高温はんだ；Ｐｂ97.5Ａｇ2.5（融点３０４゜Ｃ）、Ｐｂ94.5Ａｇ5.5（融点３０４〜３６５゜Ｃ）、Ｐｂ97.5Ａｇ1.5Ｓｎ1.0（融点３０９゜Ｃ）等の鉛（Ｐｂ）系高温はんだ；Ｚｎ95Ａｌ5（融点３８０゜Ｃ）等の亜鉛（Ｚｎ）系高温はんだ；Ｓｎ5Ｐｂ95（融点３００〜３１４゜Ｃ）、Ｓｎ2Ｐｂ98（融点３１６〜３２２゜Ｃ）等の錫−鉛系標準はんだ；Ａｕ88Ｇａ12（融点３８１゜Ｃ）等のろう材（以上の添字は全て原子％を表す）を例示することができる。
【０３８４】
基板と支持体と枠体の三者を接合する場合、三者同時接合を行ってもよいし、あるいは、第１段階で基板又は支持体のいずれか一方と枠体とを先に接合し、第２段階で基板又は支持体の他方と枠体とを接合してもよい。三者同時接合や第２段階における接合を高真空雰囲気中で行えば、基板と支持体と枠体と接着層とにより囲まれた空間は、接合と同時に真空となる。あるいは、三者の接合終了後、基板と支持体と枠体と接着層とによって囲まれた空間を排気し、真空とすることもできる。接合後に排気を行う場合、接合時の雰囲気の圧力は常圧／減圧のいずれであってもよく、また、雰囲気を構成する気体は、大気であっても、あるいは窒素ガスや周期律表０族に属するガス（例えばＡｒガス）を含む不活性ガスであってもよい。
【０３８５】
接合後に排気を行う場合、排気は、基板及び／又は支持体に予め接続されたチップ管を通じて行うことができる。チップ管は、典型的にはガラス管を用いて構成され、基板及び／又は支持体の無効領域（即ち、表示部分として機能する有効領域以外の領域）に設けられた貫通孔の周囲に、フリットガラス又は上述の低融点金属材料を用いて接合され、空間が所定の真空度に達した後、熱融着によって封じ切られる。尚、封じ切りを行う前に、冷陰極電界電子放出表示装置全体を一旦加熱してから降温させると、空間に残留ガスを放出させることができ、この残留ガスを排気により空間外へ除去することができるので好適である。
【図面の簡単な説明】
【０３８６】
【図１】図１は、本発明の短絡検査方法の概要を説明するための流れ図である。
【図２】図２は、本発明の短絡検査方法を説明するための流れ図である。
【図３】図３は、図２に引き続き、本発明の短絡検査方法を説明するための流れ図である。
【図４】図４は、図３に引き続き、本発明の短絡検査方法を説明するための流れ図である。
【図５】図５は、図４に引き続き、本発明の短絡検査方法を説明するための流れ図である。
【図６】図６の（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例１の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図７】図７の（Ａ）及び（Ｂ）は、図６の（Ｂ）に引き続き、実施例１の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図８】図８の（Ａ）及び（Ｂ）は、図７の（Ｂ）に引き続き、実施例１の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図９】図９は、図８の（Ｂ）に引き続き、実施例１の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図１０】図１０の（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例２の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図１１】図１１の（Ａ）及び（Ｂ）は、図１０の（Ｂ）に引き続き、実施例２の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図１２】図１２の（Ａ）及び（Ｂ）は、図１１の（Ｂ）に引き続き、実施例２の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図１３】図１３の（Ａ）及び（Ｂ）は、図１２の（Ｂ）に引き続き、実施例２の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図１４】図１４の（Ａ）及び（Ｂ）は、図１３の（Ｂ）に引き続き、実施例２の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図１５】図１５の（Ａ）及び（Ｂ）は、図１４の（Ｂ）に引き続き、実施例２の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図１６】図１６は、図１５の（Ｂ）に引き続き、実施例２の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図１７】図１７の（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例３の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図１８】図１８の（Ａ）及び（Ｂ）は、図１７の（Ｂ）に引き続き、実施例３の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図１９】図１９の（Ａ）及び（Ｂ）は、図１８の（Ｂ）に引き続き、実施例３の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図２０】図２０の（Ａ）及び（Ｂ）は、図１９の（Ｂ）に引き続き、実施例３の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図２１】図２１の（Ａ）及び（Ｂ）は、図２０の（Ｂ）に引き続き、実施例３の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図２２】図２２の（Ａ）及び（Ｂ）は、図２１の（Ｂ）に引き続き、実施例３の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図２３】図２３の（Ａ）及び（Ｂ）は、図２２の（Ｂ）に引き続き、実施例３の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図２４】図２４の（Ａ）及び（Ｂ）は、図２３の（Ｂ）に引き続き、実施例３の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図２５】図２５の（Ａ）及び（Ｂ）は、図２４の（Ｂ）に引き続き、実施例３の短絡検査方法の実施時に、第１配線及び第２配線への電圧の印加状態を模式的に示す図である。
【図２６】図２６は、スピント型冷陰極電界電子放出素子を適用した冷陰極電界電子放出表示装置の概念的な一部端面図である。
【図２７】図２７は、冷陰極電界電子放出表示装置におけるカソードパネルとアノードパネルの一部分の模式的な分解斜視図である。
【図２８】図２８は、冷陰極電界電子放出表示装置を構成するアノードパネルにおける隔壁、スペーサ及び蛍光体領域の配置を模式的に示す配置図である。
【図２９】図２９は、冷陰極電界電子放出表示装置を構成するアノードパネルにおける隔壁、スペーサ及び蛍光体領域の配置を模式的に示す配置図である。
【図３０】図３０は、冷陰極電界電子放出表示装置を構成するアノードパネルにおける隔壁、スペーサ及び蛍光体領域の配置を模式的に示す配置図である。
【図３１】図３１は、冷陰極電界電子放出表示装置を構成するアノードパネルにおける隔壁、スペーサ及び蛍光体領域の配置を模式的に示す配置図である。
【図３２】図３２は、冷陰極電界電子放出表示装置を構成するアノードパネルにおける隔壁、スペーサ及び蛍光体領域の配置を模式的に示す配置図である。
【図３３】図３３は、冷陰極電界電子放出表示装置を構成するアノードパネルにおける隔壁、スペーサ及び蛍光体領域の配置を模式的に示す配置図である。
【図３４】図３４の（Ａ）及び（Ｂ）は、スピント型冷陰極電界電子放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図３５】図３５の（Ａ）及び（Ｂ）は、図３４の（Ｂ）に引き続き、スピント型冷陰極電界電子放出素子の製造方法を説明するための支持体等の模式的な一部端面図である。
【図３６】図３６は、収束電極を有するスピント型冷陰極電界電子放出素子の模式的な一部端面図である。
【符号の説明】
【０３８７】
ＣＰ・・・カソードパネル、ＡＰ・・・アノードパネル、１０・・・支持体、１１・・・カソード電極、１２・・・絶縁層、１３・・・ゲート電極、１４，１４Ａ，１４Ｂ，４４・・・開口部、１５・・・電子放出部、１６・・・剥離層、１７・・・導電材料層、２０・・・基板、２１・・・隔壁、２２，２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂ・・・蛍光体領域、２３・・・ブラックマトリックス、２４・・・アノード電極、２５・・・スペーサ、２６・・・スペーサ保持部、２７・・・枠体、３０・・・カソード電極制御回路、３１・・・ゲート電極制御回路、３２・・・アノード電極制御回路、４２・・・層間絶縁層、４３・・・収束電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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