(57)【要約】  【課題】  液体の使用状況に応じて当該液体の採取を行うことができるサンプリング装置を提供する。  【解決手段】  プラントの液体流通ライン５から液体を所定量採取する採取手段（採取管１、弁２、流量計３、及び制御回路４の一部）と、採取を行う液体の条件を設定し、プラントの制御部７から前記液体の使用状況に関する情報を取得し、前記液体の使用状況が設定した採取を行う液体の条件になると、前記採取手段に前記液体の採取を行わせる採取タイミング制御手段（制御回路４の一部）と、を備えるサンプリング装置。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流通する液体流通ラインと、前記液体を使用して各種処理を行う処理部と、前記処理部を制御する制御部とを備えたプラントから前記液体をサンプリングするサンプリング装置であって、
前記液体流通ラインから前記液体を所定量採取する採取手段と、
採取を行う液体の条件を設定し、前記制御部から前記液体の使用状況に関する情報を取得し、前記液体の使用状況が設定した採取を行う液体の条件になると、前記採取手段に前記液体の採取を行わせる採取タイミング制御手段と、
を備えることを特徴とするサンプリング装置。
【請求項２】
前記プラントが前記液体流通ラインより分岐した分岐管を備え、
前記採取手段が、一端が前記分岐管に接続可能であり他端が開口端である採取管と、前記採取管に設けられる弁と、前記採取管を流れる液体の流量を検出する流量検出手段と、前記流量検出手段の出力に基づき前記弁を駆動制御する駆動制御手段と、を備え、
前記採取タイミング制御手段が前記弁を駆動制御する請求項１に記載のサンプリング装置。
【請求項３】
前記分岐管と前記採取管とが接続され且つ前記弁が開いた状態であるときに、前記液体流通ラインを流通する液体の圧力により、前記採取管の一端に前記液体が流入し、前記採取管の他端から前記液体が排出される請求項２に記載のサンプリング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はサンプリング装置に関し、特に液体を採取するサンプリング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体回路などの製造施設では洗浄用やエッチング用などに多量の薬液や水等の液体を使用している。このような製造施設では、その液体の品質の管理を正確に行うことが重要となっている。そのため、それらの液体を使用する製造施設の液体流通ラインより分岐した分岐管から作業者が液体を採取し、その採取した液体の分析を行うこと等により品質の管理を行っている。尚、採取した液体の分析を行う際、製造施設での液体の使用時間や使用回数は、当該液体の品質を管理する為の重要な要因の一つである。
【０００３】
しかしながら、上記液体採取方法では、作業者は、製造施設で用いられている液体が分析を行わなければならない条件を満たすようになった時（例えば、所定の液体使用時間や液体使用回数などに達した時）に、その都度製造施設の液体採取場所に赴いて液体の採取を行う必要があり、不便であった。また、製造施設が常時稼動している場合、業務時間の関係上、製造施設で用いられている液体が分析を行わなければならない条件を満たすようになった時に作業者が液体の採取を行えないことがあった。
【０００４】
一方、作業者が、製造施設で用いられている液体の採取を行う時刻、回数、採取量等のサンプリング条件をサンプリング装置に予め設定し、当該サンプリング装置が設定されたサンプリング条件に従って自動的に液体の採取を行うという液体採取方法もある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−１４００５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記サンプリング装置を用いる液体採取方法では、サンプリング条件が時刻で設定されているが、製造施設で用いられている液体が分析を行わなければならない条件を満たすようになる時の時刻を予測することは困難であるので、製造施設で用いられている液体が分析を行わなければならない条件を満たすようになる時とサンプリングのタイミングとを一致させることは困難であった。
【０００６】
本発明は、上記の問題点に鑑み、液体の使用状況に応じて当該液体の採取を行うことができるサンプリング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために本発明に係るサンプリング装置は、液体が流通する液体流通ラインと、前記液体を使用して各種処理を行う処理部と、前記処理部を制御する制御部とを備えたプラントから前記液体をサンプリングするサンプリング装置であって、前記液体流通ラインから前記液体を所定量採取する採取手段と、採取を行う液体の条件を設定し、前記制御部から前記液体の使用状況に関する情報を取得し、前記液体の使用状況が設定した採取を行う液体の条件になると、前記採取手段に前記液体の採取を行わせる採取タイミング制御手段と、を備える構成とする。
【０００８】
このような構成によると、プラントでの液体の使用状況に応じて当該液体の採取を行うことができる。尚、採取を行う液体の条件及び前記液体の使用状況に関する情報の例としては、液体使用時間と液体使用回数の２項目に関するもの、液体使用時間のみに関するもの、液体使用回数のみ関するものが挙げられる。ただし、採取した液体の分析を行う際、プラントでの液体の使用回数は、当該液体の品質を管理する為の特に重要な要因であるため、採取を行う液体の条件及び前記液体の使用状況に関する情報には、液体使用回数が含まれていることが望ましい。
【０００９】
また、前記プラントが前記液体流通ラインより分岐した分岐管を備え、前記採取手段が、一端が前記分岐管に接続可能であり他端が開口端である採取管と、前記採取管に設けられる弁と、前記採取管を流れる液体の流量を検出する流量検出手段と、前記流量検出手段の出力に基づき前記弁を駆動制御する駆動制御手段と、を備え、前記採取タイミング制御手段が前記弁を駆動制御するようにしてもよい。
【００１０】
さらに、前記分岐管と前記採取管とが接続され且つ前記弁が開いた状態であるときに、前記液体流通ラインを流通する液体の圧力により、前記採取管の一端に前記液体が流入し、前記採取管の他端から前記液体が排出されるようにしてもよい。このような構成によると、採取管から液体を吸引するためのポンプが不要である。従って、本構成のサンプリング装置は、ポンプを具備せずに小型化を図ることができ、複数のプラントそれぞれに対して携帯、設置、及び取り外しができるので、１台で複数のプラントの液体採取を順次行うことが可能となり、小型化が図れないためにプラントに据え付けるタイプのサンプリング装置に比べて、コスト面の負担を低減することができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、液体の使用状況に応じて当該液体の採取を行うことができるサンプリング装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の一実施形態について図面を参照して以下に説明する。本発明に係るサンプリング装置の一構成例を図１に示す。図１に示す本発明に係るサンプリング装置は、採取管１と、弁２と、流量計３と、制御回路４とによって構成されており、液体流通ライン５と、処理部６と、制御部７と、分岐管８とを備えるプラントから液体をサンプリングし、採取容器９にサンプリングした液体を収容する。
【００１３】
まず、上記プラントについて説明する。液体が流通する液体流通ライン５は、処理部６に液体を供給するとともに、処理部６で使用された液体を受け取る循環型ラインである。処理部６は、制御部７からの命令に従って、液体流通ライン５から供給された液体を使用して各種処理（例えば、洗浄やエッチング等）を行う。制御部７は、処理部６を制御するとともに、処理部６で使用された液体の状況(液体使用時間、液体使用回数など)を内部メモリ（図示せず）に記憶する。また、制御部７は、サンプリング装置の制御回路４との間で通信を行う通信インターフェース（図示せず）を有している。尚、制御部７と制御回路４との通信は、有線通信、無線通信のいずれであっても構わない。分岐管８は、液体流通ライン５より分岐した管であり、その端部に接続部８ａを有している。尚、接続部８ａは、サンプリング装置の採取管１が接続されていない状態では閉塞している。
【００１４】
続いて、本発明に係るサンプリング装置について説明する。採取管１は一端に接続部１ａを有しており、採取管１の他端は開口端である。採取管１の接続部１ａとプラントの分岐管８の接続部８ａとが接続されると、採取管１とプラントの分岐管８とが連通される。採取管１に弁２が設けられ、弁２と採取管１の開口端と間に流量計３が設けられる。制御回路４は、採取を行う液体の条件を入力する入力部（図示せず）と、当該入力部が入力した採取を行う液体の条件を記憶する記憶部（図示せず）と、プラントの制御部７との間で通信を行う通信インターフェース（図示せず）とを有しており、弁２の駆動制御を行う。具体的には、制御回路４は、制御回路４内の記憶部が記録している採取を行う液体の条件と制御回路４内の通信インターフェースがプラントの制御部７から取得した液体の使用状況に関する情報とに応じて弁２を開き、流量計３の出力に応じて弁２を閉じる。
【００１５】
次に、本発明に係るサンプリング装置が具備する制御回路４の動作について図２に示すフローチャートを参照して説明する。
【００１６】
制御回路４は、採取開始条件(液体使用時間、液体使用回数など)の設定が必要か否かを判定する（ステップＳ１）。制御回路４内の記憶部に採取を行う液体の条件が記憶されていない場合や制御回路４内の記憶部に採取を行う液体の条件が記憶されているが作業者の操作により採取開始条件の再設定が要求されている場合などでは、制御回路４は、採取開始条件の設定が必要であると判定し（ステップＳ１のＹＥＳ）、ステップＳ２に移行する。一方、採取開始条件の設定が必要でなければ（ステップＳ１のＮＯ）、ステップＳ３に移行する。
【００１７】
ステップＳ２において、制御回路４は、表示装置を用いたメッセージ表示や音声出力装置を用いた音声通知等の報知により、採取開始条件の設定を作業者に促す。そして、作業者の操作により、制御回路４内の入力部が採取を行う液体の条件を入力し、当該入力部が入力した採取を行う液体の条件を制御回路４内の記憶部が記憶する。これにより、制御回路４は、採取開始条件の設定をする。
【００１８】
ステップＳ３において、まず制御回路４は、制御回路４内の通信インターフェースを用いて、プラントの制御部７に液体の使用状況(液体使用時間、液体使用回数など)に関する情報を要求する。プラントの制御部７は、制御部７内の通信インターフェースを用いて、サンプリング装置の制御回路４から要求を受け取り、その要求に対応して液体の使用状況に関する情報をサンプリング装置の制御回路４に送る。そして、制御回路４は、制御回路４内の通信インターフェースを用いてプラントの制御部７から液体の使用状況に関する情報を受け取り、その受け取った情報に基づいて液体の使用状況が採取開始条件を満たしているか否かを判定する。液体の使用状況が採取開始条件を満たしていれば（ステップＳ３のＹＥＳ）、ステップＳ４に移行する。一方、液体の使用状況が採取開始条件を満たしていなければ（ステップＳ３のＮＯ）、ステップＳ１に戻る。
【００１９】
ステップＳ４において、制御回路４は、採取信号を弁２に出力し、弁２を開く。そして、弁２が開くと、プラントの液体流通ライン５を流通する液体の圧力により、プラントの液体流通ライン５からプラントの分岐管８を介してサンプリング装置の採取管１の一端に液体が流入し、サンプリング装置の採取管１の他端から液体が排出され、その排出された液体が採取容器９に収容される。即ち、弁２が開くことにより液体のサンプリングが開始される。
【００２０】
続くステップＳ５では、制御回路４は、採取管１を流れる液体の流量を検出する流量計３の出力を積算する。続くステップＳ６では、制御回路４は、ステップＳ５で求めた積算値が所定値に達したか否かにより、液体の採取量が所定量に達したか否かを判定する（ステップＳ６）。液体の採取量が所定量に達していれば（ステップＳ６のＹＥＳ）、ステップＳ７に移行する。一方、液体の採取量が所定量に達していなければ（ステップＳ６のＮＯ）、ステップＳ５に戻り、制御回路４は流量計３の出力を積算し続ける。
【００２１】
ステップＳ７において、制御回路４は、弁２への採取信号の出力を停止し、弁２を閉じる。これにより、液体のサンプリングが終了する。その後、ステップＳ１に戻る。
【００２２】
制御回路４が上述した動作を行うので、図１に示す本発明に係るサンプリング装置は、液体の使用状況に応じて当該液体の採取を行うことができる。
【００２３】
また、図１に示す本発明に係るサンプリング装置では、弁２が開くと、プラントの液体流通ライン５を流通する液体の圧力により、プラントの液体流通ライン５からプラントの分岐管８を介してサンプリング装置の採取管１の一端に液体が流入し、サンプリング装置の採取管１の他端から液体が排出され、その排出された液体が採取容器９に収容されるので、採取管から液体を吸引するためのポンプが不要である。従って、図１に示す本発明に係るサンプリング装置は、ポンプを具備せずに小型化を図ることができ、複数のプラントそれぞれに対して携帯、設置、及び取り外しができるので、１台で複数のプラントの液体採取を順次行うことが可能となり、小型化が図れないためにプラントに据え付けるタイプのサンプリング装置に比べて、コスト面の負担を低減することができる。尚、図１に示す本発明に係るサンプリング装置１台で複数のプラントの液体採取を順次行う場合、制御回路４内の記憶部がプラント毎にそれぞれ異なる採取開始条件を記憶し、制御回路４が、プラントの制御部７から液体の使用状況に関する情報及びプラントの特定に関する情報を受け取り、液体の使用状況が特定のプラントに対応する採取開始条件を満たすかを判定するようにすることが望ましい。このようにすることで、プラントが変わる毎に採取開始条件を設定し直す必要がなくなる。
【００２４】
また、制御回路４は、採取開始条件を、液体使用時間や液体使用回数の他に、液体採取量、採取開始時間、採取回数や制御回路４が制御部７から受け取ることができるその他の情報に対応する条件に設定することもできることが望ましい。そして、採取開始時間を採取開始条件として液体のサンプリングを行う場合、サンプリング時の液体の状況を制御回路４が制御部７から受け取り、制御回路４内の記録部に記録しておくことができることが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】は、本発明に係るサンプリング装置の一構成例を示す図である。
【図２】は、図１に示すサンプリング装置が具備する制御回路の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００２６】
１    採取管
１ａ    接続部
２    弁
３    流量計
４    制御回路
５    液体流通ライン
６    処理部
７    制御部
８    分岐管
８ａ    接続部
９    採取容器
【図１】
2005315687.tif 000003
【図２】
2005315687.tif 000004