(57)【要約】  【課題】  大きさの異なる２種類以上の基板に塗膜を形成できる装置における、基板への塗膜形成の条件を決定するためのダミー基板の在庫管理やその保管場所の確保を容易にする。  【解決手段】  ダミー基板として生産基板の中で最大のものを用いて、塗膜形成条件を決定する。そして、製造条件を予め入力しておき、生産する基板の種類が変更されたときは、製造条件を変更後の基板のものとした後、上記決定方法により塗膜形成条件を決定し、この塗膜形成条件下で前記変更後の基板に塗膜を形成する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
大きさの異なる２種類以上の基板に塗膜を形成できる装置における、基板の種類を変更する際の、次に塗膜形成する基板に適した塗膜形成条件を代用基板を用いて決定する方法であって、
前記代用基板として前記基板の中で最大のものを用いることを特徴とする塗膜形成条件の決定方法。
【請求項２】
大きさの異なる２種類以上の基板ごとに、製造条件を予め入力しておき、生産する基板の種類が変更されたときは、製造条件を変更後の基板のものとした後、請求項１記載の塗膜形成条件の決定方法により塗膜形成条件を決定し、この塗膜形成条件下で前記種類変更後の基板に塗膜を形成することを特徴とする基板への塗膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は基板上に塗膜を形成するときの形成条件を決定する方法に関し、例えばガラス基板上に配向膜を形成するときの形成条件を決定するのに利用できる方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に用いられるガラス基板上に配向膜を形成する場合、例えば図２に示すような配向膜塗布装置が用いられている。図２の装置は、樹脂凸版６を表面に備えた円筒状の版胴３と、この版胴３と同期して回転するアニロックスローラ４と、このアニロックスローラ４の外周面から所定の隙間を設けて取り付けられたドクターブレード５とを有する。版胴３とアニロックスローラ４とは近接部において同方向に回転する。
【０００３】
一方、配向膜（不図示）を塗布されるガラス基板１はステージ２の上面に載置され、ガラス基板１の表面が版胴３の表面に設けられた樹脂凸版６と接触するように高さ調整されている。そして、版胴３が回転して樹脂凸版６がちょうど下方に来るタイミングに合わせてステージ２が移動して、ガラス基板１は樹脂凸版６と接触する。
【０００４】
ガラス基板１への配向膜の塗布は、配向膜を形成する塗液（不図示）をアニロックスローラ４の外表面に所定量滴下し、一定速度でアニロックスローラ４を回転させる。すると、ドクターブレード５の作用によって、均一な厚さに調整された塗液がアニロックスローラ４の外表面に形成される。このとき、版胴３も同時に回転しており、版胴３の表面に設けられた樹脂凸版６がアニロックスローラ４に接触することにより、アニロックスローラ４表面の塗液が樹脂凸版６に転写する。そして前述のように、版胴３が回転して樹脂凸版６がちょうど下方に来たときに、ステージ２が移動して、樹脂凸版６に転写された塗液がガラス基板１に転写される。その後、不図示の加熱手段によってガラス基板１が加熱され、塗液が乾燥されガラス基板１上に塗膜が形成される。
【０００５】
このような配向膜塗布装置において、ガラス基板１の種類（主に大きさ）が変更されると、ドクターブレード５とアニロックスローラ４との間隙や版胴３の回転数などの塗膜形成条件を調整する必要がある。このため、ガラス基板１の種類を変更する場合には、ダミー基板（代用基板）を用いて塗膜形成条件を種々に変化させて実際に塗膜を形成し、その膜厚などを実測して、次のガラス基板１に適した塗膜形成条件を見つけ出してその都度設定入力していた。
【０００６】
ところで、これまでの配向膜塗布装置では、大きさの異なる２種類以上の基板ごとに製造条件を予め入力しておき、基板の大きさを検知して、検知した基板の大きさによって製造条件を変更していた。このため、次に生産するガラス基板とダミー基板との大きさが異なると、せっかくダミー基板を用いて塗膜形成条件を最適化しても、次のガラス基板に生産が切り換えられたときに、予め入力されているこのガラス基板の製造条件で生産されてしまい、ダミー基板による最適条件化がまったく意味のないものとなってしまう。したがって、前述の塗膜形成条件の最適化調査では、用いるダミー基板を次に生産するガラス基板と同じものにしておく必要があった。
【０００７】
また配向膜塗布装置では、一定タクトで塗布処理する必要があり、基板サイズの変更に時間を要しては製造条件として不適当となり、再度ダミー基板処理による製造条件確認が必要となった。
【特許文献１】特開平１０−２８８７８４号公報（特許請求の範囲、（０００４）〜（０００９）段、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
通常、ガラス基板の最適な塗膜形成条件を見出すのに数十枚のダミー基板が必要である。また、１つの製造ラインにおいて基板の種類は一日に数回程度変更される。したがって、前記の従来の塗膜形成条件の決定方法では、ガラス基板に対応した、大きさの異なる数百枚ものダミー基板を予め用意しておかなければならず、これらのダミー基板の在庫管理やその保管場所の確保が煩わしかった。
【０００９】
本発明はこのような従来の問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、基板への塗膜形成の条件を決定するためのダミー基板の在庫管理やその保管場所の確保を容易にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、生産する基板と同じ大きさのダミー基板を用いるのではなく、共通のダミー基板を用いて塗膜形成条件を決定すればよいという一見単純ながらこれまで行われていなかった着想に基づき本発明をなすに至った。すなわち、本発明の塗膜形成条件の決定方法は、ダミー基板として、生産基板中で最大の基板を用いることを特徴とするものである。
【００１１】
また本発明の塗膜形成方法では、大きさの異なる２種類以上の基板ごとに、製造条件を予め入力しておき、生産する基板の種類が変更されたときは、製造条件を変更後の基板のものとした後、前記の塗膜形成条件の決定方法により塗膜形成条件を決定し、この塗膜形成条件下で前記変更後の基板に塗膜を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係る塗膜形成条件の決定方法では、共通のダミー基板として、生産する基板の中で最も大きいものを用いるので、複数のダミー基板を用いていた従来に比べダミー基板の在庫管理がしやすく、また保管場所の確保も容易となる。
【００１３】
また本発明に係る塗膜形成方法では、大きさの異なる２種類以上の基板ごとに、製造条件を予め入力しておき、生産する基板の種類が変更されたときは、製造条件を変更後の基板のものとした後、前記の塗膜形成条件の決定方法により塗膜形成条件を決定し、この塗膜形成条件下で前記変更後の基板に塗膜を形成するので、前記塗膜形成条件の決定方法を有効に活用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明に係る塗膜形成条件の決定方法の一実施形態を示すフローチャートを図１に示す。まず、生産し得るガラス基板の、塗膜形成条件を除く製造条件をコンピュータシステム（ＣＩＭ; Computer Integrated Manufacturing）に予め入力しておく（ステップＳ１０１）。そして生産する基板の種類を選択し決定する（ステップＳ１０２）。この選択・決定に基づき、予めＣＩＭに入力されている、アライメント用カメラの配設位置などの製造条件が読み出される（ステップＳ１０３）。次に、ダミー基板が投入されたかどうかが判定される（ステップＳ１０４）。本発明の決定方法ではダミー基板として、生産される基板の最大のものを使用するので、ダミー基板が投入された場合には生産ラインの基板サイズを設定を最大とし、ダミー基板が搬送路を移動可能な状態とする（ステップＳ１０５）。そして、ダミー基板により塗膜形成条件を決定する（ステップＳ１０６）。具体的には、ドクターブレードとアニロックスローラとの間隙や版胴の回転数などの塗膜形成条件を種々変化させて、実際にダミー基板上に膜を形成し（ステップＳ１０７）、形成した塗膜の膜厚やムラなどを測定・観察して最適な塗膜形成条件を見出す（ステップＳ１０８）。塗膜の膜厚は一般に２００〜１５００Å程度である。
【００１５】
最適な塗膜形成条件が決定すると（ステップＳ１０６）、その塗膜形成条件をＣＩＭに設定入力する（ステップＳ１０９）。そして、ダミー基板用に最大にしていた基板サイズの設定を、次に生産するガラス基板の大きさにし（ステップＳ１１０）、ガラス基板に塗膜形成を行う（ステップＳ１１１）。そして、生産機種が変更されない限り（ステップＳ１１２）、製造終了までこの条件下で塗膜形成がなされる（ステップＳ１１３）。
【００１６】
一方、生産機種の種類が変更される場合には（ステップＳ１１２）、前記と同様に、次に製造されるガラス基板の種類が選択、決定され（ステップＳ１０２）、これによりＣＩＭに入力されている製造条件が読み出される（ステップＳ１０３）。そして最適な塗膜形成条件がダミー基板を用いて、前記と同様にして見出される（ステップＳ１０４〜Ｓ１０９）。
【００１７】
本発明で使用するダミー基板は、製造される基板の中で最大のものを用いるが、ここで言う最大の基板とは、塗膜形成装置が配設されている製造ラインで製造される基板中で最大のものとの意味である。またダミー基板の材質としては、製造される基板と同じものであってもよいし、異なるものであってもよいが、塗膜形成条件の最適化およびダミー基板の再利用などの観点からは製造される基板と同じものが好ましい。
【００１８】
基板上に形成する塗膜としては特に限定はないが、例えば液晶用ガラス基板上の配向膜が挙げられる。このような配向膜としてはポリイミド系のものが好適に使用される。
【００１９】
ダミー基板として、製造される基板と同じものを用いた場合、使用されたダミー基板は、表面に形成された塗膜を溶剤で除去した後、再びダミー基板として使用してもよいし、製品用の基板として用いてもよい。塗膜がポリイミド系配向膜である場合、除去用溶剤としては例えば脂肪族アルコールや脂肪族アミン、アルカリ金属を含む溶液；モノエタノールアミンを含む溶液；水酸化ナトリウム、ジメチルスルフォキシド及び水を含む溶液などが好適に使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の塗膜形成方法の一例を示すフローチャートである。
【図２】基板表面に塗膜を形成する装置の一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００２１】
１    ガラス基板（基板）
２    ステージ
３    版胴
４    アニロックスローラ
５    ドクターブレード
６    樹脂凸版
【図１】
2005205249.tif 000003
【図２】
2005205249.tif 000004