(57)【要約】 【構成】  天井走行車の前後の落下防止カバーに、摩擦片６６付きの回動片６２，６３を設けて、前後左右４個の回動片を物品の中心に関して対称に回動させる。回動片６２，６３が回動すると、摩擦片６６で物品の４隅を支持する。【効果】  摩擦片６６から物品に加わる力が物品の中心に関して対称なので、摩擦片からの力が物品を振動させる原因にならない。【選択図】      図２    
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を把持すると共に、物品の下部の４隅を振動防止部材で支持して、走行中の物品の振動を抑制するようにした天井走行車において、
物品の下部の各隅毎に少なくとも１個の振動防止部材を配置して、合計少なくとも４個の振動防止部材を、平面視で物品の中心に関して対称に、物品の下部に対して出退させるための出退手段を設けたことを特徴とする天井走行車。
【請求項２】
物品の下部の４隅に水平面内で回動自在の回動片を設けて、各回動片に前記振動防止部材を取り付けると共に、４隅の回動片を隣り合った２隅分ずつの対として、前記出退手段で各対の２隅の振動防止部材を互いに逆方向に水平回動させて物品の下部に対して出退させる、ようにしたことを特徴とする、請求項１の天井走行車。
【請求項３】
前記各回動片の回動中心と振動防止部材とを結ぶ線が物品の側面に対して斜めの状態で、振動防止部材を物品の側面下部に接触させて支持させる、ようにしたことを特徴とする、請求項２の天井走行車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は天井走行車に関し、特に天井走行車での搬送物品の振動の防止に関する。
【背景技術】
【０００２】
天井走行車は天井付近などの高所に設けた走行レールに沿って走行して、物品を搬送する。そして天井走行車の例えば前後にカバーを設け、カバーから振動防止部材を進出させて搬送物品の４隅を支持し、物品の振動を抑制することが行われている。ここで特許文献１は、天井走行車の振動防止部材を平行リンクを用いて進退させることを開示している。図５に特許文献１の振動防止機構１１０を示すと、カセット５２は上部のフランジ５４で図示しないチャックにより把持されている。振動防止機構１１０は平行リンクを用いたもので、平行リンクにより支持部がカセット５２の底部へ進出し、この時、振動防止部材の摩擦片１１２がカセット５２の側面に接触して押圧し、カセット５２の振動を抑制する。
【０００３】
発明者らはこの後、図５の機構で以下のことを見出した。摩擦片１１２は一方向からカセット５２を押圧するため、カセット５２は４つの摩擦片１１２から水平方向の力を受けている。しかし走行中はカセット５２は摩擦片１１２で支持されるため、振動は生じにくい。ところがカセットを移載するため摩擦片１１２を後退させると、カセット５２に振動が生じる。
【特許文献１】特開２００３−１６５６８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
この発明の課題は、振動防止部材を搬送物品から離した後の振動を抑制することにある
（請求項１〜３）。
請求項２の発明での追加の課題は、シンプルな振動防止機構を提供することにある。
請求項３の発明での追加の課題は、振動防止部材を進退させる際に物品と擦れるのを防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明の天井走行車は、物品を把持すると共に、物品の下部の４隅を振動防止部材で支持して、走行中の物品の振動を抑制するようにした天井走行車において、物品の下部の各隅毎に少なくとも１個の振動防止部材を配置して、合計少なくとも４個の振動防止部材を、平面視で物品の中心に関して対称に、物品の下部に対して出退させるための出退手段を設けたことを特徴とする（請求項１）。
【０００６】
好ましくは、物品の下部の４隅に水平面内で回動自在の回動片を設けて、各回動片に前記振動防止部材を取り付けると共に、４隅の回動片を隣り合った２隅分ずつの対として、前記出退手段で各対の２隅の振動防止部材を互いに逆方向に水平回動させて物品の下部に対して出退させる（請求項２）。
【０００７】
特に好ましくは、前記各回動片の回動中心と振動防止部材とを結ぶ線が物品の側面に対して斜めの状態で、振動防止部材を物品の側面下部に接触させて支持させる（請求項３）。
【発明の効果】
【０００８】
この発明では、振動防止部材は物品の下部の４隅を、平面視で物品の中心に関して対称に支持する。このため振動防止部材から物品に加わる力は、物品の対角線方向に沿った２つの振動防止部材の間で互いに相殺され、振動防止部材からの力で物品が安定位置からシフトして支持されることがない。従って振動防止部材を物品から離すと、物品はその位置が安定位置で、振動防止部材を離した後の物品の振動を抑制できる（請求項１）。
【０００９】
請求項２の発明では、振動防止部材を水平回動する回動片に取り付けるので、鉛直面内での回動と異なり、回動片をコンパクトに天井走行車に収容できる。そして回動片の回動方向を、天井走行車の左右あるいは前後の各２隅の対で互いに逆向きにすると、簡単に物品の４隅を平面視で物品の中心に関して対称に支持できる。
【００１０】
請求項３の発明では物品の側面下部に振動防止部材を接触させて支持し、ここで振動防止部材と回動片の回動中心とを結ぶ線が物品の側面に対して斜めの状態で、物品の側面を支持させる。すると振動防止部材を回動させて物品の側面に接触させる際に、振動防止部材が物品の側面に擦れることがない。このため振動防止部材や物品の摩耗、あるいはこれらに伴う発塵を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１２】
図１〜図４に実施例とその特性を示す。図１に、走行レール２や給電レール５，６と天井走行車７との関係を示す。走行レール２は吊りボルト４などにより、クリーンルームの天井などから吊り下げられ、走行レール２の下部に左右の給電レール５，６が例えば嵌着して取り付けられている。天井走行車７は走行部８と、給電部１０並びに天井走行車本体１４とからなり、天井走行車本体１４には横送り部１６と昇降駆動部１８並びに昇降台２０がある。そして横送り部１６で昇降駆動部１８と昇降台２０を走行レール２に対して直角方向に横送りし、昇降駆動部１８で昇降台２０を昇降させ、かつ昇降台２０を水平面内で回動させる。また昇降台２０は半導体などのカセット５２などの搬送物品を、例えばフランジ５４の底部でチャックして搬送する。５６はカセット５２の側部のフランジである。
【００１３】
走行部８には例えば左右一対の走行車輪２２，２２を設け、上部には例えば左右一対のガイドローラ２４，２４を設けると共に、その両外側に分岐用ローラ２５，２６を設け、ガイドレール２８でガイドする。分岐用ローラ２５，２６は昇降部３０により昇降自在で、ガイドレール２８でガイドされる位置とガイドされない位置の間を昇降し、これによって分岐部での分岐と直進などを制御する。３２は天井走行車本体１４に固定した固定軸で、天井走行車本体１４の重量を走行部８に伝え、これと同軸の回動軸３４を走行部８に取り付けて、走行レール２の下部の開口から下に延ばす。回動軸３４は走行車輪２２の軸と共に回動する。また軸受け３６で、固定軸３２と走行部８とを回動自在に接続する。
【００１４】
給電部１０では回動軸３４の左右に受電ユニット１２，１２があり、例えば断面Ｅ字状の磁性体コア３８を設けて、受電コイル４０により受電し、整流回路などを搭載した基板４２により、天井走行車７の電源とする。給電レール５，６には給電線と通信線兼用のリッツ線４４を例えば上下一対配置し、上下のリッツ線４４，４４はループになっている。停止位置などの教示のために、上下のリッツ線４４，４４の奧側（左右方向外側）にドッグ４６を設ける。
【００１５】
４８はリニアセンサで、例えば天井走行車本体１４などに設け、その原理自体は公知である。５０は被検出プレートで、磁性体や反磁性体などのプレートからなり、走行レール２などに取り付け、リニアセンサ４８の内部を通過する。そして被検出プレート５０をリッツ線４４からなるべく離して、リニアセンサ４８のノイズを小さくする。リニアセンサ４８は被検出プレート５０に対する位置を検出し、被検出プレート５０の位置が既知であれば、天井走行車７の絶対位置が判明する。
【００１６】
６０は落下防止カバーで、例えば天井走行車７の前後に一対設けるが、前後に代えて左右に一対設けても良い。前後の落下防止カバー６０のそれぞれの下部には、左右の回動片６２，６３があり、水平面内で回動し、カセット５２の下側に進出した位置で、支持部６４によりカセット５２の落下を防止する。なお好ましくは、支持部６４とカセット５２の底面の間には僅かな隙間を設ける。また回動片６２，６３の鉛直方向の段差の部分などに、ゴムなどの弾性部材を用いた摩擦片６６を設け、これは振動防止部材の例である。摩擦片６６はカセット５２の側面下部の４隅に接触して、カセット５２の振動を防止する。
【００１７】
図２，図３に回動片６２，６３の水平回動機構を示す。６８は円盤で、例えば軸６９を中心にして水平面内で回動自在である。７０，７１はその一端を円盤６８に回動自在に取り付けたクランクで、クランク７０，７１の他端を、軸７２，７３により、回動片６２，６３に取り付ける。そして回動片６２，６３は、軸７４を介して水平面内で回動自在である。落下防止カバー６０に固定した取付板７６には、円盤６８を回動させるためのアクチュエータ７８と、円盤６８の軸６９を固定して回動しないようにするなどのことにより円盤６８の回動を禁止するブレーキ８０とを取り付ける。即ちアクチュエータ７８により円盤６８は水平回動し、ブレーキ８０により円盤６８は固定されて、回動片６２，６３も固定される。なお図３に示すように、カセット５２の上部のフランジ５４は、チャック８２により昇降台に支持されている。
【００１８】
摩擦片６６がカセット５２に接触した際に、摩擦片６６と軸７４を結ぶ線は、カセット５２の側面に対して斜めであり、この角度θは例えば１５°〜４５°とする。言い換えると、軸７４からカセット５２の側面に直角に延ばした線に対して、摩擦片６６には左右方向のオフセットＤがあり、摩擦片６６がカセット５２の側面に接する際に斜めに接触するので、擦れ合うことがない。
【００１９】
実施例の動作を示す。昇降台やカセット５２をチャックし、昇降駆動部により昇降台を上昇させる。次にアクチュエータ７８により円盤６８を回動させると、回動片６２，６３は落下防止カバー６０内に隠れた状態から水平回動して、支持部６４がカセット５２の底面の下側に回動する。この時カセット５２の底面と支持部６４の間には隙間がある。回動片６２，６３は軸７４への取付部の付近の高さから、鉛直方向の段差を介して下側に折れ曲がり、支持部６４へと繋がっている。そしてこの段差の部分に摩擦片６６があり、摩擦片６６が回動してカセット５２の側面下部の４隅に接触して振動を防止する。
【００２０】
ここで、天井走行車の前後にそれぞれ落下防止カバー６０があるので、回動片６２，６３はカセット５２の下部の前後左右の４カ所にあり、平面視でカセット５２の中心に関して対称に水平面内で回動して、カセット５２の側面下部の４カ所を摩擦片６６で支持する。摩擦片６６がカセット５２に接触する方向は、平面視でカセット５２の側面の外向きで、摩擦片６６からカセット５２に加えられる力は全体として打ち消し合い、また力のモーメントも生じず、カセット５２はその本来の安定位置でそのまま摩擦片６６により支持される。従って摩擦片６６がカセット５２から離れると、カセット５２はその位置のままで安定で、振動が生じない。
【００２１】
図４に変形例の振動防止機構９０，１００を示すと、振動防止機構９０では、左右の部材６２’，６３’にそれぞれ摩擦片６６を取り付け、これを左右一対として適宜の前後進機構により前後進させ、カセット５２の側面下部の４隅を支持させる。振動防止機構１００では、図４の破線の位置と実線の位置の間で回動片６２，６３を水平回動させて、摩擦片６６をカセット５２の側面下部の４隅に接触させる。図４の振動防止機構１００の場合も、図２，図３の機構と同様に左右の回動片６２，６３を１つのアクチュエータで回動させることができる。いずれの場合も、４隅の摩擦片６６からカセット５２に働く力は、平面視でカセット５２の中心に関して対称で、互いに打ち消し合い、物品を回動させる力のモーメントも生じない。
【００２２】
実施例では以下の効果が得られる。
(1)  摩擦片がカセットの側面下部の４隅に平面視でカセットの中心に関して対称に、かつ左右の摩擦片で逆向きに接するので、摩擦片からカセットに加わる力が互いに打ち消し合う。このため摩擦片がカセットから離れた際に振動が生じにくい。
(2)  ２つの回動片を１つのアクチュエータや１つのブレーキで駆動できる。また回動片の動作は水平回動なのでコンパクトである。さらに平行リンクなどを用いないので、構成が容易である。
(3)  摩擦片はカセットの側面を擦らずに出没できるので、発塵や摩耗、カセットの汚れなどが少ない。
(4)  万一カセットのチャックが外れたような場合、カセット底部の支持部でカセットの落下を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】実施例で用いた天井走行車と走行レール及び給電レールを示す要部断面図
【図２】実施例での落下防止カバーの要部水平方向断面図
【図３】実施例での振動防止機構と周囲の落下防止カバーの要部鉛直方向断面図
【図４】実施例と変形例での摩擦片の運動を模式的に示す図
【図５】従来例の振動防止機構での摩擦片の運動を模式的に示す図
【符号の説明】
【００２４】
２            走行レール
４            吊りボルト
５，６        給電レール
７            天井走行車
８            走行部
１０          給電部
１１          通信部
１２          受電ユニット
１４          天井走行車本体
１６          横送り部
１８          昇降駆動部
２０          昇降台
２２          走行車輪
２４          ガイドローラ
２５，２６    分岐用ローラ
２８          ガイドレール
３０          昇降部
３２          固定軸
３４          回動軸
３６          軸受け
３８          磁性体コア
４０          受電コイル
４２          基板
４４          リッツ線
４６          ドッグ
４８          リニアセンサ
５０          被検出プレート
５２          カセット
５４，５６    フランジ
６０          落下防止カバー
６２，６３    回動片
６４          支持部
６６          摩擦片
６８          円盤
６９          軸
７０，７１    クランク
７２〜７４    軸
７６          取付板
７８          アクチュエータ
８０          ブレーキ
８２          チャック
９０，１００  振動防止機構
１１０        振動防止機構
１１２        摩擦片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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