(57)【要約】【課題】小型でノイズの影響を受けることが少ない変位センサと、この変位センサを用いた小型のアクチュエータを得る。【解決手段】変位センサ１は、検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、可動板２１、固定部２２、軸２３、スプリング２４を備える。また、検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの出力を変位量に変換する回路を備える。可動板２１の両面の夫々に検出コイル２０ａ、２０ｂ、検出コイル２０ｃ、２０ｄが、その面に対向して固定部２２に固定される。可動板２１はその内部に渦電流を生じる導電体で形成され、また、外部磁界の影響を排除する必要のある場合は非磁性体の導電体を用いる。可動板２１は軸２３に結合されていて、固定部２２の外から変位が伝わる。【選択図】        図１
2005030836.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の移動に応じて変位し、内部に渦電流を発生する可動板と、
前記可動板の表面と裏面の夫々から所定距離離間した位置に対向して固定設置された少くとも１対の検出コイルと、
検出コイルに交流信号を印加する交流発振回路と、
前記検出コイルによって検出された電圧を変位量に変換する電圧・変位変換手段と
を備えた変位センサ。
【請求項２】
検出コイルは、８の字型のコイルであることを特徴とする請求項１記載の変位センサ。
【請求項３】
電圧・変位変換手段は、可動板の表面と裏面の夫々対向して設けられた４個の検出コイルにより構成したブリッジ回路を備えることを特徴とする請求項１および請求項２記載の変位センサ。
【請求項４】
可動板を構成する磁性導電体の、検出コイルに対向する部位に、導電性部材を設けたことを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれか１項記載の変位センサ。
【請求項５】
検出コイルの夫々に、近接して励振用の励振コイルを設けたことを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれか１項記載の変位センサ。
【請求項６】
検出コイルは絶縁体の薄板又はフィルム上に形成したことを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれか１項記載の変位センサ。
【請求項７】
励振コイルは絶縁体の薄板又はフィルム上に形成したことを特徴とする請求項６記載の変位センサ。
【請求項８】
請求項１から請求項７のうちのいずれか１項記載の変位センサを変位測定手段として用いた、可動子と固定子とから構成されるアクチュエータであって、
前記可動子を、前記変位センサに対する渦電流を発生させる可動部とし、一方、検出コイルを前記固定子上に、前記可動子に対して所定距離を離間させて設けたことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
検出コイルは、固定子を構成するコアに固定されていることを特徴とする請求項８記載のアクチュエータ。
【請求項１０】
検出コイルは、固定子を構成するコイルに固定されていることを特徴とする請求項８記載のアクチュエータ。
【請求項１１】
固定子を構成するコアの、検出コイルが設けられる近傍の内壁に電磁気遮蔽部材を設けたことを特徴とする請求項８から請求項１０のうちのいずれか１項記載のアクチュエータ。
【請求項１２】
変位センサの検出コイルを、アクチュエータの可動軸の近傍に配置したことを特徴とする請求項８から請求項１１のうちのいずれか１項記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、物体の変位量を測定する変位センサとこの変位センサを用いたアクチュエータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の変位センサとして、例えば容量センサ、光学センサ、磁気センサ、半導体センサ、ホールセンサ、渦電流センサ等を検出手段として固定側に備え、一方、可動部にはそれら検出手段に対応したターゲットを備え、それらの相対的な位置の変化を変位量として測定するものが一般的にある。
【０００３】
例えば代表的な変位センサのひとつとして差動トランスがある。これは励振コイル、検出コイルおよび可動部から構成されている。励振コイルが作る変動磁場は可動部の位置によって、その磁場分布が変化するが、この変化を２つの検出コイルで測定し、変位量に対応付けるものである。また、他の例として検出手段はコイルで形成され、発振回路における発振周波数を測定して、変位量を同定するものがある。さらに渦電流を利用した変位センサがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−８１９０２号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した変位センサをアクチュエータに適用しようとすると、変位センサの構造上、アクチュエータの外部に付加しなければならず、アクチュエータ全体の外形寸法が大きくなるという課題があった。また、外部からの変動磁場、例えば電磁アクチュエータの場合は固定子コイルにより発生する磁場が検出素子や検出コイルに交差してノイズの原因となり、エラーが生じやすいという課題があった。
【０００６】
従ってこの発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、小型でノイズの影響を受けることが少ない変位センサと、この変位センサを用いた小型のアクチュエータを得ることを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る変位センサは、測定対象物の移動に応じて変位し、内部に渦電流を発生する可動板と、可動板の表面と裏面の夫々から、所定距離離間した位置に対向して固定設置された少くとも１対の検出コイルと、検出コイルに交流信号を印加する交流発振回路と、検出コイルによって検出された電圧を変位量に変換する電圧・変位変換手段とを備えて構成されているものである。
【０００８】
この発明に係るアクチュエータは、本発明の変位センサを変位測定手段として用いた、可動子と固定子とから構成されるアクチュエータであって、可動子を、前記変位センサに対する渦電流を発生させる可動部とし、一方、検出コイルを固定子上に、可動子に対して所定距離を離間させて設けたものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
この発明の変位センサに係る実施の一形態について説明する。
実施の形態１．
実施の形態１の変位センサ１について図１〜図３を参照して説明する。図１は実施の形態１に係る変位センサの構成を示し、同図（ａ）はその斜視図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ１−Ａ１における断面を示し、同図（ｃ）は具体的な構成例を示す。また、図２はこの発明の変位センサの動作原理を示す図であり、図３は変位センサの変位に対する出力電圧を示す図である。
【００１０】
変位センサ１は、検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄ、可動板２１、固定部２２、軸２３、スプリング２４を備えて構成される。また、検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの出力を変位量に変換する回路を備えて構成される。この出力を変位量に変換する回路については後段で詳細に説明する。
また、検出コイルは２０ａ、２０ｃの２つのコイルのみとし、２０ｂ、２０ｄを省略した構成としても良い。
【００１１】
可動板２１の一方の面に検出コイル２０ａ、２０ｂが、その面に対向して固定部２２に固定されている。また、可動板２１の他の一方の面には検出コイル２０ｃ、２０ｄが、その面に対向して固定部２２に固定されている。可動板２１はその内部に渦電流を生じる導電体で形成され、また、外部磁界の影響を排除する必要のある場合は非磁性体の導電体を用いる。可動板２１は軸２３に結合されていて、固定部２２の外から変位が伝わる。また、軸２３はスプリング２４によって固定部２２に結合されているので、可動板２１は固定部２２の中央の位置に定まると共に、矢印Ｌ方向の動作を可能とし、また、復元力を得ることができる。
【００１２】
この軸２３の先端部に、変位する測定対象物体を当接して可動板２１にその変位を伝達し、変位量が測定される。従って、小型で取り扱いが容易な変位センサが形成される。なお、変位する測定対象が軸２３に固定されている場合には、スプリング２４は不要となる。
【００１３】
つぎに、本発明の変位センサの動作原理について図２を参照して説明する。同図（ａ）は可動板２１が中立点にある状態であり、同図（ｂ）は可動板２１が中立点から下側にある状態を示している。
【００１４】
図２（ａ）において、中立点では上下２つの検出コイル２０ａ，２０ｃのインピーダンスｊωＬは等しく、検出コイル２０ａに流れる電流３０ａによって生じる磁場と検出コイル２０ｃに流れる電流３０ｃによって生じる磁場は、可動板２１上の渦電流２９ａおよび渦電流２９ｃによって均等に遮蔽される。従って２つの検出コイル２０ａ，２０ｃの出力電圧は同一である。
【００１５】
一方、図２（ｂ）に示すように可動板２１が矢印Ｌの下方向に変位すると、下側の検出コイル２０ｃと可動板２１が近接するため大きな渦電流２９ｃが流れる（このときの検出コイル２０ａによる小さな渦電流２９ａは図示せず）。このとき、検出コイル２０ｃのインピーダンスは検出コイル２０ａのインピーダンスより小さくなり、２つの検出コイル２０ａ，２０ｃの出力電圧には差が生じ、この電圧の差が変位量に対応している。
【００１６】
このようなインピーダンスの違いによる電圧の変化を、例えば４つの検出コイル２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄで構成されたブリッジ回路で検出することにより、精度の高い変位センサが形成される。ブリッジ回路については後段で詳しく説明する。
【００１７】
この発明の変位センサの出力の一例を図３に示す。同図から、中立点（変位０ｍｍ）から矢印Ｌの上下方向（図３の＋、−に対応する）の変位に対する出力電圧が得られる。従って図３に基づき、測定された出力電圧から未知の変位量を求めることが可能となる。
【００１８】
実施の形態２．
実施の形態２の変位センサ２について図４を参照して説明する。図４は実施の形態２に係る変位センサの構成を示し、同図（ａ）はその斜視図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ２−Ａ２における断面を示し、同図（ｃ）は具体的な構成例を示す。なお、実施の形態２は上述した実施の形態１に導電体部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄを設けたものであって、その他の構成は同様であり、それらの説明は省略する。
【００１９】
導電体部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄは可動板２１の表面に、検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの夫々に対向して、略同一の大きさの導電性材料で構成され設けられたものである。導電性材料としては抵抗が小さく非磁性のもの、例えば銅やアルミニウムが好ましく、これらの材料を接着、クラッド、メッキや蒸着等で可動板２１上に形成する。また、導電体部の厚さは、導電性材料と変位センサの駆動周波数で決まる表皮厚以上に設定することが望ましい。
【００２０】
可動板２１が磁性体で形成されている場合、変動する外部磁束が与えられると、可動板２１の透磁率が変化し、変位センサ２の出力にノイズとなって現れる。外部磁束の影響を解消するためには、高い周波数（例えば１ＧＨｚ以上）で検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを駆動しなければならない。非磁性の導電体部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄを設けることによって低い周波数であっても変位センサとして機能させることができる。
【００２１】
実施の形態３．
実施の形態３の変位センサ３について図５を参照して説明する。図５は実施の形態３に係る変位センサの構成を示し、同図（ａ）はその斜視図であり、同図（ｂ）は同図（ａ）のＡ３−Ａ３における断面を示し、同図（ｃ）は具体的な構成例を示す。なお、実施の形態３は上述した実施の形態１および実施の形態２に励振コイル２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄを設けたものであって、その他の構成は同様であり、それらの説明は省略する。
【００２２】
励振コイル２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄは検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄの夫々に対応して、近接して設けられている。この励振コイル２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄには後述する励振回路４５によって駆動される。励振コイル２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、２６ｄを設けることで、ブリッジ回路を用いた直接的なインピーダンス計測による変位の測定に限らず、その位相情報に基づき変位の情報を処理することができるので、より高精度に変位量の測定が可能となる。
【００２３】
つぎに、上述した実施の形態１、２、３の変位センサの変位量測定回路１１、１２、１３について図６〜図８を参照して説明する。
【００２４】
まず、図６に示す変位量測定回路１１は、前段処理回路４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄ、演算回路４１、４２、４３、電圧−変位変換回路４４、励振回路４５を備えて構成される。励振回路４５からの交流信号は検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに交流信号を印加する。前段処理回路４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄは夫々、検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄからの出力信号を波形整形等の処理をするもので、例えばフィルタ、整流回路、増幅回路等を備える。演算回路４１は検出コイル２０ａ、２０ｂからの信号を加算し、演算回路４２は検出コイル２０ｃ、２０ｄからの信号を加算する。また、演算回路４３は演算回路４１の出力と演算回路４２の出力とから、その差を演算する。
【００２５】
電圧−変位変換回路４４では演算回路４３の演算結果に基づいて変位量に変換する。ここでは例えば図３に示す変位センサ固有の変位と出力電圧との関係を表すテーブルを備えていて、このテーブルに基づき変換すればよい。また、感度を補正する必要があれば、補正したテーブルを備えればよいことになる。
【００２６】
なお、検出コイル２０ａ、２０ｂを直列に接続し、また、検出コイル２０ｃ、２０ｄを直列に接続して夫々、信号を加算するようにしても良い。この場合、前段処理回路は２つでよく、演算回路４１と演算回路４２は省くことができる。また、検出コイル２０ａと２０ｂ、及び、検出コイル２０ｃと２０ｄを夫々、単一のコイルで構成するようにしても良い。
また、図６では図４に示す変位センサ２を用いて示しているが、図１に示す変位センサ１にも適用可能であることは当然である。
【００２７】
つぎに、図７に示す変位量測定回路１２は図５に示す変位センサ３を対象とした回路であって、変位量測定回路１１に励振回路４５を付加した構成である。他の回路要素とその働きは変位量測定回路１１における説明と同様であり、省略する。
【００２８】
励振回路４５からの交流信号は励振コイル２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄに印加され、検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄに交流信号を重畳する。また、励振回路４５からの交流信号は前段処理回路４０ａ、４０ｂ、４０ｃ、４０ｄにも入力されて、励振コイル２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄの出力から位相検波をおこなうものである。従って精度の高い変位量の測定ができる。
【００２９】
つぎに、図８に示す変位量測定回路１３はブリッジ回路で構成したものであって、検出コイル２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、２０ｄを図８に示すようにブリッジに構成する。検出コイル２０ａと検出コイル２０ｄの接続点と、検出コイル２０ｂと検出コイル２０ｄの接続点との間に交流源４６を配置し、検出コイル２０ｂと検出コイル２０ｄの接続点と、検出コイル２０ａと検出コイル２０ｃの接続点との間に電圧検出回路４７を設ける。電圧検出回路４７の出力電圧は電圧−変位変換回路４４で変位量に変換して出力される。ブリッジ回路にすることで感度の良い変位センサが構成される。
【００３０】
つぎにコイルの形成について図９〜図１３を参照して説明する。検出コイルや励振コイルは線材を巻いて形成する他に、プリント基板上にコイルのパターンを形成することや、導電体膜をその表面に設けた可撓性のフィルムを、エッチング等のプリント回路の形成技術を適用して形成することができる。
【００３１】
図９はフィルム５０の上に８の字検出コイル２７を形成した１ターンのコイルであって端子５１ａ，５１ｂからリード線５２ａ，５２ｂにより出力される。ターン数が複数の場合は、図１１で示すようにフィルムの表面に２つの逆向きの渦巻状に形成すればよく、更にターン数が多い場合は、コイルが作成されたフィルムを多数積層し、上下の回路をコイルが形成されるように接続するか、又は、多層プリント基板上にコイルを形成すればよい。フィルムはポリイミド等の絶縁性のフィルムが用いられる。また、検出コイルと励振コイルを１枚の多層プリント基板上に形成しても良い。
【００３２】
また、コイルが共通の磁場に置かれた場合に磁場が変化することによる起電力はノイズ成分となるが、コイルの形状を「８の字」にすることで８の字の上下の部分で夫々、逆の起電力となるため相殺することになり、Ｓ／Ｎの良い変位の検出信号が得られる。
【００３３】
また、図１０に示すように８の字検出コイル２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄを一体としてフィルム上に形成することも可能である。４つの検出コイルを一度に形成でき、コイル間の配線も同時に形成するので、変位センサの組み立てが容易になる。
【００３４】
なお、上述したことは通常の円形コイルを作成する場合にも適用することは当然可能である。また、コイルの素材は、変位センサからの出力が安定するために電気的抵抗が小さく温度変化に対して変動の少ない非磁性の部材が好ましい。
また、図１２に示すように、８の字検出コイルに近接して、励振コイルを設置する場合には、励振コイルも同形状の８の字コイルとして、検出コイルに重ね合わせて配置することで、効率良く検出コイルを励振する事が可能となる。
また、図１３に示すように、８の字検出コイルに近接して、励振コイルを設置する場合に、略円形の励振コイルを、８の字検出コイルに対して、非対称に配置することで、効率良く、検出コイルを励振する事が可能となる。
【００３５】
つぎに、図１４〜図１８を参照し、本発明の変位センサを用いたアクチュエータに係る実施の一形態について説明する。
【００３６】
実施の形態４．
まず、実施の形態４に係るアクチュエータ５は図１４に示すように、固定子６１は磁性体コア６２と固定子コイル６３で構成され、これと対向して強磁性体の可動子６５が備わる。可動子６５を挟んで図示しない同じ固定子が上方に配置されていてアクチュエータ５を構成している。可動子６５は軸等の手段によって、外部にその動作が伝えられると共に、外部から可動子６５に動作が伝えられる。
【００３７】
変位センサの検出コイル２０ｃ、２０ｄは固定子６１の内部に固定されている。可動子６５は変位センサの可動板２１を兼用し、その表面に導電体部２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄが設けられている。また、導電体部２５ａ、２５ｄは図１４には図示していないが固定子に設けられた検出コイル２０ａ、２０ｂに対向して設けられている。このように本発明の変位センサはアクチュエータの内部に形成されるので、アクチュエータのサイズは増大しない。
【００３８】
実施の形態５．
つぎに、実施の形態５に係るアクチュエータ６は図１５に示すように、上述した実施の形態４とは、検出コイル２０ｃ、２０ｄを小さくし、中央部に寄せて配置したことにおいて異なるものである。他の構成要素とその働きは上述したことと同様であり、説明は省略する。
検出コイル２０ｃ、２０ｄは中央部に寄せて配置しているので、可動子６５が傾いても、変位量の検出に大きな影響を与えることはない。
【００３９】
実施の形態６．
つぎに、実施の形態６に係るアクチュエータ７は図１６に示すように、上述した実施の形態４とは、検出コイルとして８の字検出コイル２７ｃ，２７ｄを用いたことにおいて異なるものである。他の構成要素とその働きは上述したことと同様であり、説明は省略する。
８の字検出コイル２７ｃ，２７ｄを用いたことにより、外部磁界の影響によるＳ／Ｎの劣化が防止できる。
【００４０】
実施の形態７．
つぎに、実施の形態７に係るアクチュエータ８は図１７に示すように、上述した実施の形態４とは、検出コイルとして８の字検出コイル２７ｃ，２７ｄを用い、さらに８の字励振コイル６４ｃ，６４ｄを用いたことにおいて異なるものである。他の構成要素とその働きは上述したことと同様であり、説明は省略する。
８の字励振コイル６４ｃ，６４ｄを用いたことにより、検出コイルの出力に位相情報を付加することができ、精度の高い変位量の測定が可能となる。
【００４１】
実施の形態８．
つぎに、実施の形態８に係るアクチュエータ９は図１８に示すように、本発明の変位センサをアクチュエータ９の外部において軸２３に装着したものである。従来の変位センサと同様に、本発明の変位センサも汎用に使用することが可能である。
【００４２】
実施の形態９．
つぎに、実施の形態９に係るアクチュエータ１０ａについて図１９を参照して説明する。なお、以下の実施の形態９から実施の形態１１は検出コイルをアクチュエータの固定部に固定する形態に関している。
【００４３】
アクチュエータ１０ａの検出コイル２０の固定は、図１９に示すように磁性体コア６２に固定部材７０を介して固定する。固定部材７０には予め検出コイル２０が固定されている。固定方法は例えば磁性体コア６２の固定する部位に切り欠き部７１を設け、一方、その切り欠き部７１にはめ込む形状を固定部材７０に設け、それらをあわせて固定する。さらに接着等をしてもよい。
検出コイル２０の位置を磁性体コア６２に精度良く、しかも十分に固着して配置できるので、可動子６５の位置を高い精度で測定することができる。
【００４４】
実施の形態１０．
つぎに、実施の形態１０に係るアクチュエータ１０ｂについて図２０を参照して説明する。
アクチュエータ１０ｂの検出コイル２０の固定は、図２０に示すように磁性体コア６２の内壁の検出コイル２０が配置される部位に導電性遮蔽板７２を設け、予め検出コイル２０が固定されている固定部材７０を導電性遮蔽板７２の間に固着する。
【００４５】
検出コイル２０と磁性体コア６２の間に導電性遮蔽板７２が配置されることになり、検出コイル２０の高周波磁場が固定子６１側に漏れることを防止する。従って磁性体コア６２の飽和による比透磁率の変化に起因する誤差信号の発生を防止する。
【００４６】
実施の形態１１．
つぎに、実施の形態１１に係るアクチュエータ１０ｃについて図２１を参照して説明する。
アクチュエータ１０ｃの検出コイル２０の固定は、図２１に示すように固定子コイル６３に接着、或いはモールドの手法により一体化する。この構成により堅牢に変位センサを構成することができる。
【００４７】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、変位センサは小型であり、高精度に変位量の測定をすることが可能となるものである。また、アクチュエータに内蔵して好適であるという効果がある。
【００４８】
この発明によれば、変位センサを用いたアクチュエータは小型であり、高精度な位置決めを可能とするものであるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る変位センサの第１の構成を示し、（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ１−Ａ１断面における断面側面図であり、（ｃ）は具体的な構成を示す図である。
【図２】この発明の変位センサの動作原理を示す図である。
【図３】この発明の変位センサの変位に対する出力電圧を示す図である。
【図４】この発明に係る変位センサの第２の構成を示し、（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ２−Ａ２断面における断面側面図であり、（ｃ）は具体的な構成を示す図である。
【図５】この発明に係る変位センサの第３の構成を示し、（ａ）はその斜視図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ３−Ａ３断面における断面側面図であり、（ｃ）は具体的な構成を示す図である。
【図６】変位センサの変位量を検出する変位量測定回路の第１の回路例である。
【図７】変位センサの変位量を検出する変位量測定回路の第２の回路例である。
【図８】変位センサの変位量を検出する変位量測定回路の第３の回路例である。
【図９】この発明に係る変位センサを構成する検出コイルの例を示す図である。
【図１０】この発明に係る変位センサを構成する検出コイルの例を示す図である。
【図１１】この発明に係る変位センサを構成する検出コイルの例を示す図である。
【図１２】この発明に係る変位センサを構成する検出コイルの例を示す図である。
【図１３】この発明に係る変位センサを構成する検出コイルの例を示す図である。
【図１４】この発明に係る変位センサを用いたアクチュエータの第１の構成を示す図である。
【図１５】この発明に係る変位センサを用いたアクチュエータの第２の構成を示す図である。
【図１６】この発明に係る変位センサを用いたアクチュエータの第３の構成を示す図である。
【図１７】この発明に係る変位センサを用いたアクチュエータの第４の構成を示す図である。
【図１８】この発明に係る変位センサを用いたアクチュエータの第５の構成を示す図である。
【図１９】この発明に係る変位センサを構成する検出コイルの第１の固定方法について示す図である。
【図２０】この発明に係る変位センサを構成する検出コイルの第２の固定方法について示す図である。
【図２１】この発明に係る変位センサを構成する検出コイルの第３の固定方法について示す図である。
【符号の説明】
１，２，３  変位センサ、５，６，７，８，９，１０ａ，１０ｂ，１０ｃ  アクチュエータ、１１，１２，１３  変位量測定回路、２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ  検出コイル、２１  可動板、２２  固定部、２３  軸、２４  スプリング、２５，２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ  導電体部、２６，２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ  励振コイル、２７，２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ８の字検出コイル（８の字型のコイル）、２８ａ，２８ｃ  磁束、２９ａ，２９ｃ  渦電流、３０ａ，３０ｃ  検出コイル電流、３４  変位センサ中立位置、４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，４０ｄ  前段処理回路、４１，４２，４３  演算回路、４４  電圧−変位変換回路（電圧・変位変換手段）、４５  励振回路、４６  交流源、４７  電圧検出回路、５０  フィルム（シート）、５１ａ，５１ｂ  端子、５２ａ，５２ｂ  リード線、６１  固定子、６２  磁性体コア、６３  固定子コイル（固定子を構成するコイル）、６４，６４ａ，６４ｂ，６４ｃ，６４ｄ８の字励振コイル（８の字型のコイル）、６５  可動子、７０  固定部材、７１  切り欠き部、７２  導電性遮蔽板（電磁気遮蔽部材）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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