(57)【要約】【課題】液体が充填された搬送容器を蓋をした状態で搬送する際に、蓋の下面に付着した液体が外部に落下するのを防止し得る搬送車両を提供する。【解決手段】液体が充填された搬送容器５を蓋をした状態で搬送する搬送車両１であって、台車本体３の上面に配置された移載台４に載置された搬送容器５の開口部５ｂを開閉する蓋１３の下面を、その中央部が下方に突出するように、すなわち四角錐状の膨出部１３ｂとしたものである。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が充填された搬送容器を蓋をした状態で搬送する搬送車両であって、
上記容器の開口部に設けられる蓋の下面を、その中央部が下方に突出する膨出状に形成したことを特徴とする搬送車両。
【請求項２】
液体が充填された搬送容器を蓋をした状態で搬送する搬送車両であって、
台車本体側に容器の開口部を開閉する蓋を昇降自在に設けるとともに、
上記蓋の下面を、その中央部が下方に突出する膨出状に形成したことを特徴とする搬送車両。
【請求項３】
蓋の下面に突出される膨出状の表面を円錐状または四角錐状に形成したことを特徴とする請求項１または２に記載の搬送車両。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送車両に関し、特に液体が充填された搬送容器を蓋をした状態で搬送する車両に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体が充填された容器を搬送する自走式の搬送車両としては、例えば特許文献１に示されるようなものがある。
この特許文献１に開示された搬送車両（槽自動搬送車）は、床上に敷設されたガイドレール上を走行自在な車両本体上に、さらに液体が充填された搬送容器としての槽を載置した移動台車（搬送車）が設けられたものである。そして、この容器には、車両本体の前後部で立設された支柱フレームに架橋部材を介して昇降自在に設けられて、当該槽の開口部を開閉し得る蓋が設けられている。
【特許文献１】特開平６−４０３２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上述したような搬送車両にて搬送される槽の蓋については、通常、一定厚さのものが用いられており、したがって蓋の下面は平面にされている。
そして、搬送の際、車両自体に振動が加わり、特に、加速時および減速時においては、槽自身に大きい力が作用するため、その中の液体が揺れて蓋の下面に液体が付着する。したがって、例えば搬送終了地点などで蓋を開閉する際に、蓋の下面に付着している液体がその周縁から落下し、槽外にこぼれてしまうという問題が生じる。
【０００４】
そこで、本発明は、液体が充填された搬送容器を蓋をした状態で搬送する際に、蓋の下面に付着した液体が外部に落下するのを防止し得る搬送車両を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１に係る搬送車両は、液体が充填された搬送容器を蓋をした状態で搬送する搬送車両であって、
上記搬送容器の開口部に設けられる蓋の下面を、その中央部が下方に突出する膨出状に形成したものである。
【０００６】
また、請求項２に係る搬送車両は、液体が充填された搬送容器を蓋をした状態で搬送する搬送車両であって、
台車本体側に搬送容器の開口部を開閉する蓋を昇降自在に設けるとともに、
上記蓋の下面を、その中央部が下方に突出する膨出状に形成したものである。
【０００７】
さらに、請求項３に係る搬送車両は、請求項１または２に記載の搬送車両における蓋の下面に突出される膨出状の表面を、円錐状または四角錐状に形成したものである。
【発明の効果】
【０００８】
上記搬送車両の構成によると、蓋の下面を下方に突出する膨出状、例えば四角錐状または円錐状にしたので、その搬送時において、搬送容器内で液体が揺れて蓋の下面に液体が付着した場合でも、その中央の尖端箇所に重力により自然に移動してその尖端箇所から搬送容器内に落下する。
【０００９】
したがって、搬送容器が所定位置まで搬送されて、蓋を上昇させた際に、蓋の周縁から液体が落下して搬送容器の外にこぼれるのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態に係る搬送車両について、図面に基づき説明する。
［実施の形態］
本実施の形態に係る搬送車両を、図１〜図７に基づき説明する。
【００１１】
この搬送車両としては、自走式のもので、例えばシリコンウエハの製造工程において、その表面を研磨液を用いて研磨した後、その表面を乾燥させないように（乾燥により研磨液の跡形が表面に残るの防止するためである）液体（例えば、水が用いられる）に浸した状態で、すなわち液体が充填された搬送容器にて浸した状態で搬送するものである。
【００１２】
図１〜図３および図５に示すように、この搬送車両１は、床面上を走行自在な走行車輪２を有する自走式の台車本体３と、この台車本体３の上面に且つ前後に配置された２台のローラ式の移載台４と、この移載台４上に載置されるとともに収納室５ａを有し且つ当該収納室５ａ内に液体が充填されるとともにウエハを収納する搬送容器５と、同じく台車本体３の前後部に立設された支柱部材６，６間に架け渡された水平支持部材（具体的には、一対の水平梁材よりなる）７と、この水平支持部材７に取り付けられて各移載台４上に載置された搬送容器５の収納室５ａの開口部５ｂを開閉するための蓋装置８とから構成されている。なお、ウエハは通常上面が開放されたカセット（オープンカセット）に多数収納された状態で、カセットごと収納室５ａ内に収納される。また、上記搬送容器５の水平断面形状は四角形状（矩形状）にされており、勿論、収納室５ａの開口部５ｂの形状も、同じ四角形状にされている。
【００１３】
上記蓋装置８は、図５および図６に示すように、水平支持部材７に保持されるとともに上板１１ａ、前後の側板１１ｂおよび下板１１ｃよりなる側面視が矩形状にされた枠状体１１と、この枠状体１１に昇降装置１２を介して昇降自在に設けられた蓋１３とから構成されている。
【００１４】
また、上記昇降装置１２は、枠状体１１の下板１１ｃに配置されたラックピニオン機構を用いた昇降機２１により昇降自在にされた棒状の昇降部材２２と、この昇降部材２２の両側位置で下板１１ｃ側に取り付けられたガイド筒２３に昇降自在に案内された棒状のガイド部材２４とから構成されている。勿論、上記昇降部材２２の下端および両ガイド部材２４の下端が蓋１３側に連結されている。
【００１５】
さらに、上記蓋１３は、上記昇降部材２２およびガイド部材２４の下端側に吊持されて搬送容器５よりも１回り大きい形状にされた蓋本体部１３ａと、この蓋本体部１３ａの下面の中央部分に、中央（中心位置）が下方に突出するように、すなわちその表面が四角錐状にされた膨出部（膨出状の部分で、具体的には、戦端がそれぞれ下方に位置する４つのテーパ面を有する）１３ｂとから構成されている。勿論、この膨出部１３ｂについては、搬送容器５の開口部５ｂよりも小さくされており、その周囲には所定幅でもって縁板部１３ｃが設けられている。
【００１６】
上記移載台４としては、例えば図３および図４に示すように、台車本体３の上面に且つその幅方向で設けられたローラコンベヤ３１と、このローラコンベヤ３１の両端部に水平姿勢（イ）と上向きの傾斜姿勢（ロ）との間で傾動可能に配置された乗移り用の傾動ローラ部材（例えば、２〜３本のローラを有するもの）３２とから構成されている。
【００１７】
したがって、搬送容器５の移載すなわち受け渡しを行う際には、その傾動ローラ部材３２を水平姿勢にすることにより、例えば相手方のローラコンベヤへの受け渡しをスムースに（隙間をほぼ無くした状態で）行い、そして搬送容器５を受け取った状態では、当該傾斜ローラ部材３２が傾斜姿勢にされて、搬送容器５の落下防止用のストッパーとして用いられる。
【００１８】
上記構成において、収納室５ａ内に液体が充填されるとともにウエハが収納された搬送容器５を、台車本体３の移載台４上に移動させた後、昇降機２１により昇降部材２２を下降させ、蓋１３により搬送容器５の開口部５ｂを閉鎖する。なお、搬送容器５が移載台４上に移動された後、傾動ローラ部材３２が傾斜姿勢（ロ）にされてストッパーが施される。
【００１９】
この状態で、搬送車両１が走行し、搬送容器５の搬送が行われる。
この搬送時において、搬送容器５内で液体が揺れて、蓋１３の下面に液体が付着した場合でも、その下面が膨出部１３ｂにされているため、その中央の尖端箇所に重力により自然に移動し、この付着した液体の殆どが当該尖端箇所から収納室５内に落下する。
【００２０】
したがって、搬送容器５が所定位置まで搬送されて、図７に示すように、蓋１３を上昇させて開口部５ｂを開放した際に、蓋１３の周縁から液体が落下して搬送容器５の外部にこぼれることはない。
【００２１】
また、蓋１３の膨出部１３ｂの周囲には所定幅でもって縁板部１３ｃが設けられているため、蓋１３が搬送容器５に対して少々ずれたとしても、確実に、その開口部５ｂを塞ぐことができるとともに、搬送容器５に揺れ力が作用した場合でも、搬送容器５を安定した状態に維持することができ、したがって荷崩れを確実に防止することができる。
【００２２】
ところで、上記実施の形態においては、蓋１３の下面の膨出部１３ｂを四角錐状としたが、三角錐状、多角錐状、または円錐状であってもよい。勿論、搬送容器５の水平断面形状についても、四角形以外に円形などであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送車両の側面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ矢視図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ矢視図である。
【図４】同搬送車両における移載台の概略構成を示す側面図である。
【図５】同搬送車両における蓋装置の構成を示す断面図である。
【図６】図５のＣ−Ｃ断面図である。
【図７】図５のＣ−Ｃ断面図における作動状態を説明する図である。
【符号の説明】
【００２４】
１      搬送車両
３      台車本体
４      移載台
５      搬送容器
５ａ    収納室
５ｂ    開口部
８      蓋装置
１２      昇降装置
１３      蓋
１３ａ    蓋本体部
１３ｂ    膨出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2005082181.tif 000006
【図５】
2005082181.tif 000007
【図６】
2005082181.tif 000008
【図７】
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