(57)【要約】【課題】微小部品を含む幅広い種類の部品を同時吸着して高速で実装でき、生産の柔軟性を高めた部品実装装置、及び部品実装方法を提供する。【解決手段】ベルト部（３）に無端状につながれて部品取り出し位置と部品実装位置との間を間欠循環駆動される複数の実装ヘッド部（１０）に負圧発生部（５０）と正負圧切替え部（７０）とを設け、実装ヘッド部（１０）にある複数の実装ノズル（３１）で部品の吸着と同時取り出しを可能にする。負圧発生部（５０）は波状に蛇行するカム溝（２４）を利用し、実装ヘッド部（１０）のピストンチャンバ（５１）内でピストン（５３）を往復動させて負圧を発生させ、負圧チャンバ（５２）内に蓄積する。負圧はベルト部（３）の全実装ヘッド部（１０）で共有される。正負圧切替え部（７０）は実装ノズル（３１）の上下動を回転運動に変換して正負圧のバルブを切替えるロータリカムから構成される。【選択図】  図１
2005005415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の部品供給装置を搭載して部品実装装置へ部品を供給する部品供給部と、回路基板を搬送して位置決め保持する基板保持部と、前記部品供給部から部品を取り出し前記回路基板の実装位置に実装する複数の実装ノズルと、部品取り出し位置と部品実装位置との間で前記複数の実装ノズルを循環移動させる搬送部とから構成され、部品の取り出しと部品の実装とを同時並行して行う部品実装装置において、
前記部品取り出し位置で複数部品の同時取り出しが可能となるよう構成されていることを特徴とする部品実装装置。
【請求項２】
前記部品供給部が、前記部品実装装置の本体側に固定されていることを特徴とする、請求項１に記載された部品実装装置。
【請求項３】
前記部品供給部と前記搬送部とのセットを２組備えていることを特徴とする、請求項１に記載された部品実装装置。
【請求項４】
前記搬送部が、前記実装ノズルを備えた複数の実装ヘッド部を無端状につないで間欠循環移動させるベルト部から構成されていることを特徴とする、請求項１に記載された部品実装装置。
【請求項５】
部品実装装置へ部品を供給する部品供給部と、回路基板を搬送して位置決め保持する基板保持部と、前記部品供給部から部品を取り出して前記回路基板の実装位置に実装する実装ノズルをそれぞれ備えた複数の実装ヘッド部と、前記複数の実装ヘッド部を無端状につないで部品取り出し位置と部品実装位置との間を間欠循環移動させるベルト部とから構成される部品実装装置において、
前記実装ヘッド部が、前記実装ノズルによる部品取り出し時の部品吸着に利用可能な負圧を発生する負圧発生部を備えていることを特徴とする部品実装装置。
【請求項６】
前記負圧発生部が、前記実装ヘッド部に設けられた気密チャンバ内で往復動をするピストンと、前記ピストンの往復動で発生する負圧を前記実装ヘッド部内に閉じ込めるチェックバルブと、前記ピストンを往復動させる駆動機構とから構成されていることを特徴とする、請求項５に記載された部品実装装置。
【請求項７】
前記ピストンを往復動させる駆動機構が、前記ピストンに固定されたカムフォロアと、前記カムフォロアに係合し前記実装ヘッド部の間欠循環移動を利用して前記カムフォロアを往復動させる、前記間欠循環移動の間の少なくとも一部の区域に形成されたカム溝とから構成されていることを特徴とする、請求項６に記載された部品実装装置。
【請求項８】
前記負圧発生部が、前記実装ヘッド部内の負圧を内部に閉じ込め、より低い圧力の負圧の導入を許容するチェックバルブと、前記実装ヘッド部の間欠循環移動の間の一部の区域で前記チェックバルブに係合して負圧を供給する負圧供給機構と、前記負圧供給機構を前記間欠循環移動と同期して搬送する搬送装置とから構成されていることを特徴とする、請求項５に記載された部品実装装置。
【請求項９】
前記ベルト部でつながれた複数の実装ヘッド部の各負圧発生部の間を連通する連結チューブをさらに備え、各実装ヘッド部の負圧発生部で発生した負圧を前記ベルト部につながれた全ての実装ヘッド部で共有するよう構成されていることを特徴とする、請求項５から請求項８のいずれか一に記載された部品実装装置。
【請求項１０】
前記実装ヘッド部が、前記実装ノズルによる部品実装時の部品の解放に利用可能な正圧を発生する正圧発生部を更に備えていることを特徴とする、請求項５から請求項９のいずれか一に記載された部品実装装置。
【請求項１１】
前記正圧発生部が、前記実装ヘッド部に設けられた気密チャンバ内で往復動するピストンと、前記ピストンの往復動で発生する正圧を閉じ込めるアキュムレータと、前記ピストンを往復動させる駆動機構とから構成されていることを特徴とする、請求項１０に記載された部品実装装置。
【請求項１２】
前記正圧を発生させるピストンが、前記負圧発生部で使用されるピストンを共用することを特徴とする、請求項１１に記載された部品実装装置。
【請求項１３】
前記実装ヘッド部が、前記負圧発生部で発生する負圧と、前記正圧発生部で発生する正圧もしくは外部から導入される正圧とを切替えて前記実装ノズルへ供給可能な正負圧切替え部を更に備えていることを特徴とする、請求項５に記載された部品実装装置。
【請求項１４】
前記正負圧切替え部が、前記実装ノズルを保持するシャフトの上下動を回転運動に変換して正圧・負圧の供給経路を切替えるロータリカムから構成されていることを特徴とする、請求項１３に記載された部品実装装置。
【請求項１５】
前記部品取り出し位置において、複数の前記実装ノズルが、前記部品供給部に配列された複数の部品供給装置と同時に対向するよう構成されていることを特徴とする、請求項５から請求項１４のいずれか一に記載された部品実装装置。
【請求項１６】
前記ベルト部と前記部品供給部のセットを２組備えていることを特徴とする、請求項５から請求項１５のいずれか一に記載された部品実装装置。
【請求項１７】
前記２組のベルト部と部品供給部とのセットが、双方の前記部品実装位置を互いに近接させてほぼ点対称に配置されていることを特徴とする、請求項１６に記載された部品実装装置。
【請求項１８】
複数の実装ノズルを部品取り出し位置と部品実装位置との間で間欠循環移動させ、前記複数の実装ノズルにより部品の取り出しと部品の実装とを同時並行して行う部品実装方法において、
前記部品取り出し位置で複数部品の同時取り出しを可能とすることを特徴とする部品実装方法。
【請求項１９】
複数の実装ヘッド部を連続してつないだ無端状のベルト部を部品取り出し位置と部品実装位置との間で間欠循環移動させ、部品供給部からの部品の取り出しと回路基板への部品の実装とを同時並行して行う部品実装方法において、
前記部品の取り出しと部品の実装とを、前記実装ヘッド部が備える実装ノズルに正圧、負圧を供給することにより行うことを特徴とする部品実装方法。
【請求項２０】
前記実装ノズルへ供給される負圧を、前記実装ヘッド部の内部で発生させることを特徴とする、請求項１９に記載された部品実装方法。
【請求項２１】
前記実装ノズルへ供給される負圧を、前記実装ヘッド部の循環移動の間のいずれかの区間で外部の負圧発生源から供給することを特徴とする、請求項１９に記載された部品実装方法。
【請求項２２】
前記実装ノズルへ供給される負圧が、前記ベルト部につながれた全ての実装ヘッド部で共有されていることを特徴とする、請求項１９から請求項２１のいずれか一に記載された部品実装方法。
【請求項２３】
前記実装ノズルへ供給される正圧を、前記実装ヘッド部の内部で発生させることを特徴とする、請求項１９に記載された部品実装方法。
【請求項２４】
前記部品取り出し位置で複数の部品を同時に取り出すことを特徴とする、請求項１９から請求項２３のいずれか一に記載された部品実装方法。
【請求項２５】
前記ベルト部と前記部品供給部のセットを２組備え、当該２組を利用して連続して交互に部品実装を行うことを特徴とする、請求項１９から請求項２４のいずれか一に記載された部品実装方法。
【請求項２６】
前記ベルト部と前記部品供給部のセットを２組備え、前記２組の内のいずれか一方で部品実装を行う間、いずれか他方で次の生産機種への段取り替えを行うことを特徴とする、請求項１９から請求項２４のいずれか一に記載された部品実装方法。
【請求項２７】
前記ベルト部と前記部品供給部の２組のセットを、双方の部品実装位置を互いに近接させてほぼ点対称となるよう配置することを特徴とする、請求項２５または請求項２６に記載された部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品などの部品を回路基板の実装位置に実装する部品実装装置、及び部品実装方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
部品実装装置は、部品供給装置によって部品供給部に供給された部品を取り出し、当該部品を位置決め保持された回路基板と対向する位置まで搬送して当該回路基板の所定実装位置に実装する装置である。一般に部品実装装置は、部品の取り出しと実装とを行う実装ノズルを備えた実装ヘッド部と、前記実装ヘッド部を部品取り出し位置と実装位置の間で搬送する搬送部と、回路基板を規制して保持する基板保持部と、前記実装ノズルに保持された部品の保持状態を認識する部品認識部とを備えている。所定実装位置への部品実装を行うため、部品認識部による認識結果に基き、部品と回路基板とのいずれかの側において位置及び角度（θ回転）の補正が加えられる。
【０００３】
このような部品実装装置として従来から各種方式のものが知られており、その内の主要なものとして以下の３つがある。１つはＸＹロボット方式で、ＸＹロボットを利用して実装ヘッド部をＸ、Ｙ両方向（水平方向）に搬送し、実装ヘッド部を部品取り出し位置と実装位置との間で往復移動させる。部品認識部の認識情報に基く位置・角度の補正は、全てこの実装ヘッド部側（すなわち、部品側）で行う（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
上述したＸＹロボット方式の部品実装装置によれば、実装ヘッド部がＸ、Ｙ両方向の任意の位置に移動可能であることから、部品供給部を固定式にすることができ、このため実装する部品種類に応じた様々な供給形態に対しても柔軟に対応することができる。また、重量物である部品供給部が固定されるため、設備の騒音、振動を小さくすることができる利点もある。反面、部品実装の度に、実装ヘッド部を部品取り出し位置から部品実装位置へ、その後は元の部品取り出し位置へと往復搬送する必要があり、１タクト内に占めるＸＹロボットの移動時間比率が高く、実装スピードの高速化が難しいという欠点を有する。
【０００５】
２つ目はロータリーヘッド方式の部品実装装置で、複数の実装ノズルを円周状に均等間隔で配したインデックスと呼ばれる実装ヘッド部が間欠回転運動を行い、その間に前記複数の実装ノズルが同時並行で部品の取り出しから実装までを行う。この方式によれば、前記インデックスの回転軌跡が固定されるため、前記認識情報に基く部品の位置、角度補正の内の回転補正（θ回転）のみを実装ヘッド部側で行い、位置の補正は回路基板を保持するＸＹテーブルを利用して行う（例えば、特許文献２参照。）。
【０００６】
このロータリヘッド方式によれば、部品の取り出しと実装とを同時並行で行えることから、実装スピードの高速化が得やすいという利点がある。反面、上述したインデックスの回転軌跡が固定されるため、実装される部品の取り出しに対応して部品供給部を移動させる必要が生ずる。このために供給できる部品の種類が制限されることがあり、また、部品種類が多種に亘る場合には大型の部品供給部を頻繁に移動しなければならず、振動、騒音の原因となり、また、実装ヘッド部を搬送する場合に比べて多大の搬送エネルギを必要とする。重量物となる部品供給部の高速での移動、停止には限界があり、これが本来の長所である実装スピード高速化への足かせともなり得る。
【０００７】
３つ目はシーケンス方式の部品実装装置で、部品供給部から電子部品を１つずつベルト部に配されたチャックに挟持させ、ベルト部が移動して部品挿入位置に到達した際に部品を挿入ヘッドに移載し、この挿入ヘッドが回路基板の所定挿入穴に前記部品を挿入する。この形式では、ベルト部に配された複数のチャック、及び部品の移載を受ける挿入ヘッドの移動軌跡が固定され、認識結果に基く部品の位置・角度補正の内、角度の補正（θ回転）のみを挿入ヘッド側で行い、位置の補正はＸＹテーブルを用いて回路基板側で行う（例えば、特許文献３参照。）。
【０００８】
シーケンス方式の部品実装装置によれば、ベルト部の移動ルートを調整して部品取り出し位置において複数のチャックを複数の部品供給装置と同時に対向させることができ、部品供給部からの部品の取り出しが効率的となり、また部品供給部を固定させることができる。しかしながら、前記挿入ポイントにおいて部品を一旦挿入ヘッドに移載する必要があり、移載チャックの往復移動によって実装タクトを悪化させる要因になっている。また、前記ベルト部は、部品供給部から供給される部品を単純にチャックに挟持させ、挿入ポイントで挿入ヘッドへこの部品を移載するだけの機能しか持っていない。すなわち、従来技術によるシーケンス方式では、負圧を利用した実装ノズルによる部品の取り出し、実装を行うことができない。これはベルト部への負圧の供給が技術的に困難であることに起因している。さらに、チャックによる機械的な部品の挟持では、部品の大きさや位置精度に限界があり、したがって微細部品には対応できないという問題があった。
【０００９】
【特許文献１】
特開平２−１０８９４号
【特許文献２】
特開昭６３−１７８５９０号
【特許文献３】
特開２００２−１４１６９７号
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
昨今の部品実装の分野では、電子機器の多機能化、軽量小型化に呼応して回路基板への部品実装密度が高まっている。このため、一方では０６０３チップ部品（０．６ｍｍ×０．３ｍｍサイズ）に代表される部品の小型化が図られ、他方では短時間での大量の部品の実装を実現する実装スピードの高速化が求められている。さらには振動や騒音等に起因する作業環境への悪化対応、これに基く品質低下の防止ニーズも強い。
【００１１】
本発明は、従来技術で知られた各種部品実装装置が備えるそれぞれの長所を最大限に生かし、かつこれらに内在する問題点を排除することによって、高速でしかも微細部品をも含めた幅広い部品種類に対応でき、かつ騒音、振動による作業環境の悪化を回避することができる新たな部品実装装置並びに部品実装方法を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ベルト部で循環移動される実装ヘッド部に負圧の発生及び正圧・負圧の切替えを可能とする機構を設け、実装ノズルを利用した複数部品の同時取り出しを実現して部品供給部の移動必要性を回避し、さらに部品取り出し及び部品実装を同時並行的に実施して部品実装の高速化を可能とすることによって上述の目的を果たすもので、具体的には以下の内容を含む。
【００１３】
すなわち、本発明にかかる１つの態様は、複数の部品供給装置を搭載して部品実装装置へ部品を供給する部品供給部と、回路基板を搬送して位置決め保持する基板保持部と、前記部品供給部から部品を取り出し前記回路基板の実装位置に実装する複数の実装ノズルと、部品取り出し位置と部品実装位置との間で前記複数の実装ノズルを循環移動させる搬送部とから構成され、部品の取り出しと部品の実装とを同時並行して行う部品実装装置であって、前記部品取り出し位置で複数部品の同時取り出しが可能となるよう構成されている部品実装装置に関する。
【００１４】
前記部品供給部は移動させることなく、前記部品実装装置の本体側に固定することができる。前記搬送部は、それぞれに前記実装ノズルを備えた複数の実装ヘッド部を無端状につないで間欠循環移動させるベルト部から構成することができる。前記部品供給部と前記搬送部とは、２組を配備することが生産性を高める観点から好ましい。この際、双方の前記部品実装位置を互いに近接させてほぼ点対称に配置することがより好ましい。
【００１５】
本発明にかかる他の態様は、部品実装装置へ部品を供給する部品供給部と、回路基板を搬送して位置決め保持する基板保持部と、前記部品供給部から部品を取り出して前記回路基板の実装位置に実装する実装ノズルをそれぞれ備えた複数の実装ヘッド部と、前記複数の実装ヘッド部を無端状につないで部品取り出し位置と部品実装位置との間を間欠循環移動させるベルト部とから構成される部品実装装置であって、前記実装ヘッド部が、前記実装ノズルによる部品吸着に使用可能な負圧を発生する負圧発生部を備えている部品実装装置に関する。
【００１６】
前記負圧発生部は、前記実装ヘッド部に設けられた気密チャンバ内で往復動するピストンと、前記ピストンの往復動で発生する負圧を前記実装ヘッド部内に閉じ込めるチェックバルブと、前記ピストンを往復動させる駆動機構とから構成することができる。また、前記駆動機構は、前記ピストンに固定されたカムフォロアと、前記カムフォロアに係合し前記実装ヘッド部の間欠循環移動を利用して前記カムフォロアを往復動させる、前記間欠循環移動の間の少なくとも一部の区域に形成されたカム溝とから構成することができる。
【００１７】
前記負圧発生部は、前記実装ヘッド部内に負圧を閉じ込めてより低い圧力の負圧の導入を許容するチェックバルブと、前記実装ヘッド部の間欠循環移動の間の一部の区間で前記チェックバルブに係合して負圧を供給する負圧供給機構と、前記負圧供給機構を前記間欠循環移動と同期して搬送する搬送装置とから構成することができる。前記ベルト部でつながれた複数の実装ヘッド部の各負圧発生部の間を連結チューブで連通させることにより、各実装ヘッド部の負圧発生部で発生した前記負圧を前記ベルト部につながれた全ての実装ヘッド部で共有することができる。
【００１８】
本発明にかかる更に他の態様は、前記実装ヘッド部が、前記実装ノズルによる部品実装時の部品の解放に利用可能な正圧を発生する正圧発生部を更に備えていることを特徴とする部品実装装置に関する。
【００１９】
前記正圧発生部は、前記実装ヘッド部に設けられた気密チャンバ内で往復動するピストンと、前記ピストンの往復動で発生する正圧を閉じ込めるアキュムレータと、前記ピストンを往復動させる駆動機構とから構成することができる。さらに前記ピストンは、前記負圧発生部で使用されるピストンを共用することが好ましい。
【００２０】
本発明にかかる更に他の態様は、実装ヘッド部が、前記負圧発生部に加え、前記負圧発生部で発生する負圧と外部から導入される正圧とを切替えて前記実装ノズルへ供給可能な正負圧切替え部を更に備えている部品実装装置に関する。前記正負圧切替え部は、前記実装ノズルを保持するシャフトの上下動を回転運動に変換して正圧・負圧の供給経路を切替えるロータリカムから構成することができる。
【００２１】
本発明にかかる更に他の態様は、複数の実装ノズルを部品取り出し位置と部品実装位置との間で間欠循環移動させ、前記複数の実装ノズルにより部品の取り出しと部品の実装とを同時並行して行う部品実装方法であって、前記部品取り出し位置で複数部品の同時取り出しを可能とする部品実装方法に関する。
【００２２】
本発明にかかる更に他の態様は、複数の実装ヘッド部を連続してつないだ無端状のベルト部を部品取り出し位置と部品実装位置との間で間欠循環移動させ、部品供給部からの部品の取り出しと回路基板への部品の実装とを同時並行して行う部品実装方法であって、前記部品の取り出しと部品の実装とを、前記実装ヘッド部が備える実装ノズルに正圧、負圧を供給することにより行う部品実装方法に関する。
【００２３】
前記実装ノズルへ供給される負圧は、前記実装ヘッド部の内部で発生させることができ、あるいは、前記実装ヘッド部の循環移動の間のいずれかの区域で外部の負圧発生源から供給することができる。前記負圧は、前記ベルト部につながれた全ての実装ヘッド部で共有されていることが好ましい。
【００２４】
また、前記実装ノズルへ供給される正圧は、前記実装ヘッド部の内部で発生させることができ、あるいは、前記実装ヘッド部の循環移動の間の部品実装位置、その他必要な位置で外部の圧縮エア発生源から供給することができる。
【００２５】
本発明にかかる更に他の態様は、前記ベルト部の循環移動によって部品取り出しと部品実装とを同時並行して行うことに加え、前記部品取り出し位置において複数の部品を同時に取り出すことを特徴とする部品実装方法に関する。
【００２６】
前記ベルト部と前記部品供給部のセットは２組を配備するものとし、当該２組を利用して連続して交互に部品実装を行うこと、あるいは、前記２組の内のいずれか一方で部品実装を行う間、いずれか他方で次の生産機種への段取り替えを行うことが好ましい。この際、双方の部品実装位置を互いに近接させてほぼ点対称となるよう配置することができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
本発明にかかる第１の実施の形態の部品実装装置につき、図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態にかかる部品実装装置の概要、及び主要構成要素を示している。図において、部品実装装置１は、部品実装装置１へ部品を供給する部品供給部２と、部品の取り出しと実装を行う実装ヘッド部１０と、実装ヘッド部１０を多数つないで循環移動させる搬送部（以下、「ベルト部」という。）３と、回路基板を搬送して位置決め保持する基板保持部４と、部品実装装置１全体の動作を制御する制御部５とから主に構成されている。図示の例では、部品供給部２とベルト部３のセット２組が、図面の中央に見られる双方の部品実装位置を互いに近接させてほぼ点対称に配置されている。
【００２８】
部品供給部２には、部品供給装置であるパーツカセット７が、図のＸ方向に沿って複数配列されており、各パーツカセット７は、取り付けられたリール８から部品供給テープを引き出して必要な部品を部品実装装置１へ順次供給する。なお、パーツカセット７は例示であって、部品供給装置にはこの他に部品を平板状に保持するパレットなどがあり、これら他の部品供給手段も本実施の形態に適用することが可能である。
【００２９】
ベルト部３は、複数の実装ヘッド部１０を無端状に結合して保持し、モータ１１などの駆動源を利用する駆動輪１２によって間欠循環駆動される。このベルト部３の循環移動は、ベルト部３の上下方向に配置された図１には表示しないレール９７、９８（図３（ｂ）に表示）によって規制ガイドされている。ベルト部３は、複数のパーツカセット７の配列方向と平行に図のＸ方向に沿って移動する部品取り出し領域Ａと、その後屈曲して実装位置まで移動する部品搬送領域Ｂと、回路基板に対向して部品実装を行う部品実装領域Ｃと、部品実装の後に部品取り出し領域Ａまで戻る帰還領域Ｄとの４つの領域を巡って循環する。
【００３０】
各領域の内、部品取り出し領域Ａでは、配列された複数のパーツカセット７を順次通過する間に、ベルト部３に保持された各実装ヘッド部１０が所定の部品を取り出すことができる。部品取り出し領域Ａ内においては、複数の実装ヘッド部１０が複数のパーツカセット７と同時に対向する関係にあることから、この間で複数部品を同時に取り出すことができる。部品の取り出しは、実装ヘッド部１０が備える実装ノズルに負圧を供給して吸着することによって行い、この詳細については後述する。
【００３１】
図２は、図１に示す主要構成要素の一部を更に拡大して示している。図２において、部品取り出し領域Ａでは、ベルト部３に保持された実装ヘッド部１０に対し、実装装置の本体側からアクチュエータ１６が下降可能に配置されている。図２では、１つの実装ヘッド部１０ａが備える実装ノズル３１の数に対応して４本のアクチュエータ１６のみを代表して示しているが、実際には部品取り出し領域Ａ内に位置する複数の実装ヘッド部１０が備える全ての実装ノズル３１の数だけ配置されている。相隣接する実装ノズル３１間のピッチと、相隣接するパーツカセット７間のピッチとは互いに等しいか、もしくは一方が他方の整数倍に構成されている。
【００３２】
ベルト部３の間欠循環移動により、所定の部品を供給するパーツカセット７に対向する位置に特定の実装ノズル３１が位置決めされると、その真上にあるアクチュエータ１６が下降して実装ノズル３１を押し下げ、この際に実装ノズル３１に作用する負圧によって部品を吸着して取り出す。
【００３３】
次に、部品搬送領域Ｂ内では、実装ヘッド部１０と対向する位置に認識部（以下、「認識カメラ」という。）１８が配置され、実装ノズル３１に保持された部品を撮像してその情報を制御部５（図１参照）に送信する。制御部５では、送られた情報を基に保持された部品と実装ノズル３１との間の予め定められた保持姿勢に対する位置、角度のずれ量を算出する。部品搬送領域Ｂ内では、実装ノズル３１が引き続いて部品を保持するため、実装ノズル３１の負圧は保たれたままである。
【００３４】
次に、部品実装領域Ｃには、部品実装装置１に搬入された回路基板１９が基板保持部４により規制保持されて実装ヘッド部１０に対向している。基板保持部４は、ＸＹテーブル２１によって回路基板１９をＸ、Ｙ双方向に搬送可能に構成されている。制御部５は、先の部品保持状態の位置ずれ量の演算結果に基いて、必要な位置の補正量をＸＹテーブル２１に指令し、ＸＹテーブル２１はこれに基いて回路基板１９を所定の実装位置に位置決めする。
【００３５】
実装装置本体側の部品実装位置には、図に部分のみを示す実装操作シャフト２２とエアブロー２３とが配置されている。実装操作シャフト２２は、部品実装位置にある実装ヘッド部１０に向けて下降してこれと係合し、まず制御部５からの指令に基く角度のずれ量を補正するためのθ回転を実装ノズル３１に与える。次に、実装ノズル３１を押し下げて保持された部品が回路基板１９に達する位置までこれを下降させる。部品が回路基板１９に当接した瞬間に負圧が解除され、同時にエアブロー２３から圧縮空気の吹き出しによる正圧が実装ヘッド部１０に加えられ、実装ノズル３１から部品を解放して実装を完了する。
【００３６】
次に、帰還領域Ｄでは、もはや実装ヘッド部１０に部品は保持されておらず、したがって実装ヘッド部１０には特別な場合を除いて正圧・負圧ともに供給はされない。本実施の形態では、ベルト部３がこの帰還領域Ｄ内を移動する間に実装ヘッド部１０の負圧を発生させるものとしており、このため、ベルト部３に係合するカム溝２４を設けている（図では奥側に描かれたベルト部３に係合するもののみ表示している。）。このカム溝２４は、図の破線で示すように上下方向に波状に蛇行する溝から構成され、この中を実装ヘッド部１０側に設けたカムフォロアが移動して実装ヘッド部１０内に負圧を発生させる。この構成は後に詳述する。
【００３７】
帰還領域Ｄにはさらに、各実装ノズル３１による次の部品の取り出しに備え、実装ヘッド部１０の先端にある実装ノズル３１を部品に対応して適切なものに切替えるノズル切替えシャフト２５が設けられている。
【００３８】
図２においては、上述した構成要素の一部が便宜上２組のベルト部３のいずれか一方にのみ表示されているものがあるが、各構成要素はいずれも双方のベルト部３に点対称で配置されている。なお、無端状のベルト部３を形成するため、複数の実装ヘッド部１０を屈曲可能につなぎ合わせる樹脂製の連結部材、及び形成された無端状のベルト部３を位置決め規制しつつ駆動するための駆動機構などが設けられているが、これらは既に従来技術で知られたものであり、詳細説明は省略する（例えば、特許文献３参照。）。
【００３９】
以上は、本実施の形態にかかる部品実装装置１の概要である。本発明では、従来技術によるシーケンス方式の部品実装装置に見られるベルト部を利用した搬送手段に対し、新たに負圧発生部と正負圧切替え部を提供し、これによってベルト形式の実装ヘッド部であっても負圧を利用した吸着による部品の取り出し、搬送、さらには実装を可能にすることを意図している。これまでの概要説明を踏まえ、以下にこの特徴部分の構成をより詳細に説明する。
【００４０】
図３は、本実施の形態で使用される実装ヘッド部１０の正面（ａ）及び側面（ｂ）を示している。本実施の形態の実装ヘッド部１０は、図示のように４つの実装ノズル３１を備えており、この実装ヘッド部１０が図示しないベルト部材で複数配列されて無端状のベルト部３を構成する。
【００４１】
実装ヘッド部１０は、大きく区分して（１）実装ノズル３１から構成される部品の取り出しと実装とを行うノズル部３０、（２）実装ヘッド部１０に負圧を発生させてノズル部３０での部品の吸着を可能にする負圧発生部５０、（３）負圧と正圧とを切替えてノズル部３０での部品の取り出しと実装とを可能にする正負圧切替え部７０、（４）ベルト部３による実装ヘッド部１０の循環移動に際して実装ヘッド部１０を規制ガイドするガイド部９０、から構成される。以下、この主要構成要素の詳細を個別に説明する。
【００４２】
１．ノズル部
図３（ａ）、（ｂ）を参照して、ノズル部３０は、複数の個別ノズルを有する実装ノズル３１と、実装ノズル３１を回転中心で支持する支点ピン３２と、支点ピン３２を回転自在に保持するノズル保持部３７とから構成されている。実装ノズル３１は、実装される部品の種類に対応して形状、大きさを異にする複数の個別ノズルを放射状に配置している。これらの個別ノズルは、支点ピン３２を中心に実装ノズル３１を回転させることによって最適なものを選択することができる。支点ピン３２の先端には、この選択を可能にするための凸状部３３が設けられ、この凸状部３３には実装装置本体側から延びるノズル切替シャフト２５（図２参照）が嵌って支点ピン３２を回転させる。
【００４３】
図４は、実装ノズル３１の詳細を示している。放射状に均等間隔で延びる６つの個別ノズル３１ａ〜３１ｆの各々は、負圧もしくは正圧の導通が可能となるよう中空状に形成され、各中空部には図面に垂直に設けられる個別の開口部３４ａ〜３４ｆがそれぞれ連通している。なお、図示の例では、実装ノズル３１が６つの個別ノズル３１ａ〜３１ｆを備えているが、この個別ノズルの数は任意である。また、各個別ノズルの形状は単なる例示である。
【００４４】
図５は、実装ノズル３１を回転可能に保持するノズル保持部３７を下端に備え、上端に係合部３８を設けたセンターシャフト３５を示している。このセンターシャフト３５は、実装ヘッド部１０に組み付けられた状態で両先端にあるノズル保持部３７と係合部３８とがそれぞれ実装ヘッド部１０の外部へ突出している（図３（ａ）、（ｂ）参照）。ノズル保持部３７には、実装ノズル３１を保持する支点ピン３２を回転自在に取り付けるための支持穴３９が設けられている。
【００４５】
センターシャフト３５にはさらに、外部からの負圧・正圧を導入するための開口部４１がシャフト軸に対して垂直に開けられ、さらにシャフト中心部にはシャフト軸に沿ってこの開口部４１からつながるエア経路４２が設けられ、この経路は更に下がってノズル保持部３７内部の開口部４３に開口している。開口部４１から導入された負圧又は正圧は、この開口部４３に対向してつながる前記の選択された個別ノズル３１ａ〜３１ｆのいずれかの開口部３４ａ〜３４ｆに供給される。選択されていないその他の個別ノズル３１ａ〜３１ｆの開口部３４ａ〜３４ｆは、ノズル保持部３７の対向面４６で閉鎖され、負圧・正圧が供給されることはない。
【００４６】
２．負圧発生部
次に、実装ヘッド部１０の内部に設けられる負圧発生部５０について説明する。図６、図７は、それぞれ図３（ａ）に示す実装ヘッド部１０のＡ−Ａ断面とＢ−Ｂ断面を示している。図６に示すＡ−Ａ断面において、実装ヘッド部１０には一対の気密チャンバ５１、５２が設けられている。この内、一方の気密チャンバ５１には、ピストン５３が上下動自在に嵌装され（以下、これを「ピストンチャンバ５１」という。）、他方のチャンバ５２は、発生した負圧を内部に蓄える空洞として機能する（以下、これを「負圧チャンバ５２」という。）。ピストンチャンバ５１と負圧チャンバ５２とは、２つの貫通エア経路５４、５５によって相互につながれている。
【００４７】
ピストン５３には、実装ヘッド部１０の外部に気密状態で突出するカムフォロア５７が取り付けられている。このカムフォロア５７は、実装装置本体側に設けられたカム溝２４（図２参照）に嵌るよう構成されている。ピストンチャンバ５１内には、ピストン５３によって区画される上方チャンバ５８と下方チャンバ５９とが形成される。図示の状態では上方チャンバ５８が圧縮され、下方チャンバ５９には空洞が空いている。この上方、下方の両チャンバ５８、５９には、それぞれ圧縮される空気を排出するための排出エア経路６１、６２が設けられる。他方、負圧チャンバ５２には、下方に負圧供給経路６３が設けられている。
【００４８】
図７に示す実装ヘッド部１０のＢ−Ｂ断面において、実装ヘッド部１０には、ピストンチャンバ５１内で圧縮される空気が排出される場合のみ開口する２つのチェックバルブ６４、６５が取り付けられている。この内、図７の右側に示すチェックバルブ６４は、エア経路６７を介して図６に示す上方チャンバ５８の排出エア経路６１につながっており、この経路を通して導入される上方チャンバ５８で圧縮された空気を外部へ排出することができる。他方、図７の左側に示すチェックバルブ６５は、図６に示す下方チャンバ５９の排出エア経路６２につながっており、この経路を通して導入される下方チャンバ５９で圧縮された空気を外部へ排出することができる。
【００４９】
なお、本実施の形態にかかる実装ヘッド部１０では、一対のチェックバルブ６４、６５に対して２組のピストンチャンバ５１と負圧チャンバ５２とが対応しており（図３（ａ）参照）、したがってチェックバルブ６４は２つの上方チャンバ５８に、チェックバルブ６５は２つの下方チャンバ５９にそれぞれつながっている。
【００５０】
以上のように構成された負圧発生部５０の動作を説明する。実装ヘッド部１０がベルト部３によって循環移動され、帰還領域Ｄを通過する際に、帰還領域Ｄに配置されたカム溝２４（図２参照）内にカムフォロア５７が嵌り、カム溝２４に設けられた上下方向に波状に蛇行する溝によってピストン５３が上下に往復駆動される。今、図６に示すように上方にあるピストン５３がカム溝２４の作用で下方に押し下げられると、このピストン５３の移動によってまず下方の貫通エア経路５５が閉じられる。更にピストン５３が押し下げられると、下方チャンバ５９内の空気が圧縮され、圧縮された空気は排出エア経路６２を通ってチェックバルブ６５に至り、ここから大気へ放出される。
【００５１】
ピストン５３の下方移動の間、ピストン５３上方の上方チャンバ５８内では内部の圧力が低下する。この圧力の低下は、排出エア経路６１を通ってエア経路６７（図７参照）に伝わるが、チェックバルブ６４が大気側からの空気の流入を阻止しているため、上方チャンバ５８内は負圧状態が維持される。その後、ピストン５３が一番下まで下降すると、貫通エア経路５４が開いて上方チャンバ５８と負圧チャンバ５２とが導通し、貫通エア経路５４を通って負圧チャンバ５２内の空気が上方チャンバ５８に流れ、負圧チャンバ５２内の圧力が低下する。この負圧は、負圧供給経路６３（図６参照）を介して後述するように実装ノズル３１に伝えられる。
【００５２】
以上の状態から次にピストン５３から上方に引き上げられると、ピストン５３によってまず貫通エア経路５４が閉じられ、上方チャンバ５８と負圧チャンバ５２との導通が遮断される。さらにピストン５３が引き上げられると上方チャンバ５８内の空気が圧縮され、圧縮された空気は排出エア経路６１、エア経路６７を通ってチェックバルブ６４から大気に放出される。これと同時に、チェックバルブ６５によって外気の流入が阻止された下方チャンバ５９内の空気の圧力が下がり、ピストン５３が一番上まで引き上げられたときに下方の貫通エア経路５５が開く。これによって負圧チャンバ５２内の空気が貫通エア経路５５を通って下方チャンバ５９に流れ込み、負圧チャンバ５２内の圧力が低下する。
【００５３】
以上の動作を繰り返すことにより、ピストン５３の上下移動の度に、圧力の低下した上方チャンバ５８、下方チャンバ５９に負圧チャンバ５２内の空気が流れ込み、負圧チャンバ５２内の空気の圧力は常に低下した状態、即ち負圧状態に保たれる。ピストン５３の上下移動によって上、下方両チャンバ５８、５９内に圧縮される空気はチェックバルブ６４、６５を通って大気へ放出されるため、余剰の圧力がピストン５３に負荷をかけることはない。以上のように、本実施の形態の負圧発生部５０では、２つのチャンバ５１、５２が、往復動真空ポンプと真空タンク同様の役割を果たすよう構成されている。また、本実施の形態では１つの実装ヘッド部１０に２つの負圧発生部５０が設けられ、この２つの負圧発生部５０から４つの実装ノズル３１に負圧が供給されている。
【００５４】
図８は、図３（ａ）に示す実装ヘッド部１０の背面図を示している。この図では、中央にある実装ヘッド部１０が、２点鎖線で示す２つの隣接する実装ヘッド部１０ａ、１０ｂとつながれてベルト部３を形成した状態を示している。実装ヘッド部１０からは両隣の実装ヘッド部１０ａ、１０ｂに対して連結チューブ６８が延びている。この連結チューブ６８は、各実装ヘッド部１０の負圧経路を連結するもので、この連結によって上述した１つの実装ヘッド部１０の負圧発生部５０で発生した負圧は、ベルト部３で結ばれた他の全ての実装ヘッド部１０に供給される。換言すれば、ベルト部３で結ばれた各実装ヘッド部１０の負圧発生部５０は、順次交代で負圧を発生させ、発生した負圧は相互に供給し合ってベルト部３全体で負圧を共有するものとなる。このため、カム溝２４は、例えば図２に示すような帰還領域Ｄの一部など、ベルト部３が循環移動する間の僅かな範囲のみに配置されるだけでよく、各実装ヘッド部１０は循環移動のどの位置にあっても負圧を確保することができる。連結チューブ６８は、図８の２点鎖線で示すように、ベルト部３が循環移動時にカープで屈曲してもこれに追従する柔軟性を有している。
【００５５】
なお、本実施の形態ではピストン５３の往復動をカム溝２４を利用して行うものとしているが、ピストン５３を往復駆動させる機構はこれには限定されない。例えば、循環移動する実装ヘッド部１０と同期して並行移動する上下往復動可能な流体シリンダが実装ヘッド部１０に対向し、カムフォロア５７に代わってピストン５３に固定されるボス部をチャックしてこれを往復動させる機構などが利用可能である。
【００５６】
また、全ての実装ヘッド部１０の間で負圧が共有されていることから、負圧の要求度合いによっては必ずしも実装ヘッド部１０の全てにピストン５３を備え、全ての実装ヘッド部１０で負圧を発生させる必要はない。１つおき、あるいは２つおきの実装ヘッド部１０にのみピストン５３を備え、これらで発生する負圧を連結チューブ６８を介して全ての実装ヘッド部１０で共有して使用するなどにより、ベルト部３全体としてのコスト、重量の低減を図ることができる。さらに、本実施の形態で示す実装ヘッド部１０には４つの実装ノズル３１に対して２つのピストンチャンバ５１を設けるものとしているが、実装ノズル３１の数やピストンチャンバ５１の容量に応じてこのピストンチャンバ５１の数は適切に選択することができる。
【００５７】
３．正負圧切替え部
次に、正負圧切替え部７０について図面を参照して説明する。図３（ａ）の実装ヘッド部１０の一番右側に示す実装ノズル３１に当たる部分では、実装ヘッド部１０のボデーの一部を切り欠いて内部にある正負圧切替え部７０の主要構成要素を示している。その構成要素には、実装ノズル３１を回転可能に保持するセンターシャフト３５（図５参照）と、いずれもセンターシャフト３５と同軸に配置されるスライダ７１、サブカム７２、メインカム７３とが含まれている。これらの構成要素により、センターシャフト３５の上下動をセンターシャフト３５の軸を中心とする回転運動に変換可能なロータリカムが構成される。このロータリカムの回転運動により、実装ノズル３１へ供給すべき負圧、正圧を調整する負圧回路、正圧回路を適宜切替えることができる。
【００５８】
図３（ａ）において、センターシャフト３５は、部品取り出し及び部品実装の際に、ノズル部３０を下方に移動させるために押し下げられる。センターシャフト３５が押し下げられると、スライダ７１も同時に押し下げられ、さらにこのスライダ７１によってサブカム７２も押し下げられる。メインカム７３はその底面が実装ヘッド部１０のボデーに接しているため押し下げられることはなく、したがってスライダ７１とサブカム７２とは、メインカム７３に設けられた中空円筒状の空洞部内に押し込まれる。サブカム７２とメインカム７３の間には図３には表示されないスプリング８４（図１０に表示）が配置されている。センターシャフト３５が押し下げるられる際にこのスプリング８４が圧縮され、センターシャフト３５が元の高さまで戻る際の付勢力を提供する。スライダ７１は、実装ヘッド部１０のボデーに対して相対回転をしないように構成され、これに対してサブカム７２とメインカム７３とは、スライダ７１に対して両者同時に回転可能に形成されている。
【００５９】
図９（ａ）と（ｂ）とは、それぞれサブカム７２、メインカム７３の側面図を示している。図９（ａ）に示すサブカム７２は、中空円筒形状で、外周部に波形の段差が設けられ、その段差がカム部７４を形成している。軸方向下方には、半径方向外部に突出する回り止め用の一対の突起部７５を備えている。一方、図９（ｂ）に示すメインカム７３は、やはり中空円筒形状で、その軸方向上方には、傾斜部７７と軸方向に延びる切り欠き部７８とからなるカム部７９が形成されている。軸方向下方には、中央の空洞部から半径方向外部に向けて放射状に開口する３つのエア経路８１が均等間隔で形成されている。図９（ｂ）のＺ方向下方から見たメインカム７３の底面には、図９（ｃ）に示すように、負圧回路を切り換えるための３つの開口部８６が均等間隔で軸方向に開けられ、さらに各開口部８６から円周方向両側に向けて円弧状溝８７が掘り込まれている。
【００６０】
図１０は、以上のように構成された正負圧切替え部７０の分解図を示している。軸方向に並ぶこれら構成要素の内、両端に位置する係合部３８とノズル保持部３７とは、いずれもセンターシャフト３５の一部であるが、理解容易化のため図ではセンターシャフト３５の中央部分を省略して示している。その他の各構成要素は、センターシャフト３５の外周にセンターシャフト３５と同軸に組み付けられる。軸方向上方（図面右側）に位置するスライダ７１は、軸方向に延びる一対の爪８２を備え、この爪８２は、サブカム７２のカム部７４と、メインカム７３のカム部７９とのいずれにも係合可能となる半径方向の幅を有している。スライダ７１の外周部には、回り止め８３が設けられ、これによってスライダ７１は実装ヘッド部１０のボデーとは相対回転しないよう構成される。
【００６１】
サブカム７２はメインカム７３の空洞部にスプリング８４を介してスライド移動可能に嵌め込まれる。この際、サブカム７２の外周に設けられた回り止め用の一対の突起部７５は、メインカム７３中空部内に設けられた図示しない溝に嵌り、これによってサブカム７２とメインカム７３との両者間の相対回転が阻止される。但し、両者間の軸方向へのスライド移動は許容されている。メインカム７３の下方（図の左方向）への移動が実装ヘッド部１０のボデーで阻止されているため、サブカム７２はスプリング８４の作用で常時上方へ付勢される。このため、サブカム７２のカム部７４は、スライダ７１の爪８２の先端と常に接した状態で維持される。なお、メインカム７３の底面にある開口部８６に対向して、図１０には表示しない実装ヘッド部１０のボデー側にある開口部８８（図１２参照）が開口している。
【００６２】
図１０に示すスライダ７１、サブカム７２、メインカム７３相互間の相対関係を、平面状に展開して図１１に示している。図１１の左側端末から右側端末までが３６０°（全周）で、その間にスライダ７１の爪８２が１８０°間隔で２つ配置されている。図示のように、爪８２の先端には、右側に向けて下降する傾斜が設けられている。サブカム７２とメインカム７３の両カム部７４、７９は、それぞれ６０°間隔で６つの山・谷を形成している。サブカム７２のカム部７４には、山の右側に急な傾斜面７４ａ、左側に緩やかな傾斜面７４ｂがそれぞれ形成されている。メインカム７３のカム部７９は、上述した傾斜部７７と切り欠き部７８とから形成され、傾斜部７７は右側に向けて下降している。
【００６３】
スライダ７１、サブカム７２、メインカム７３がセンターシャフト３５に組み付けられた状態で、サブカム７２はスプリング８４の付勢力によって上方に押されている。この付勢力が作用する結果、爪８２の先端は常に２つの傾斜面７４ａ、７４ｂの間の谷に接した状態で安定する。図１１に示すセンターシャフト３５が押し下げられていない状態で、爪８２とメインカム７３とは僅かな隙間を設けて非接触の状態にある。カム部７４の谷と、カム部７９の傾斜部７７の山との間には図示のように８°のオフセットが設けられている。サブカム７２とメインカム７３とは相対回転をしないため、このオフセット量は常時不変である。以上のように形成されたロータリカムにつき、以下にその動作を説明する。
【００６４】
図１２（ａ）〜（ｄ）は、センターシャフト３５の上下動を回転運動に変換し、この回転運動を利用して負圧・正圧の切替えを行う本実施の形態の正負圧切替え部７０の動作を示している。各図の右側に示す図は、メインカム７３の底面に設けられた開口部８６および円弧状溝８７と、これに対向して実装ヘッド部１０のボデー側に設けられる開口部８８（破線の円形で表示）との相対位置関係を示したもので、それぞれ図の左側に示すロータリカムの係合状態と対応している。実装ヘッド部１０のボデー側に設けられる開口部８８は、負圧チャンバ５２に開口する負圧供給経路６３（図６参照）につながっている。
【００６５】
図１２（ａ）は、実装ノズル３１が部品を保持していない状態、すなわち、実装ヘッド部１０が帰還領域Ｄを循環移動している間に該当する。この状態におけるスライダ７１、サブカム７２、メインカム７３の間の関係は、図１１に示す状態と同様である。図１２（ａ）の右側の図において、この状態では、負圧チャンバ５２に通じる開口部８８は、メインカム７３の底面の開口部８６のいずれとも導通しておらず、したがって実装ノズル３１に負圧は供給されていない。また、後述するエアブロー２３からの正圧も供給されていないことから、実装ノズル３１には負圧、正圧のいずれも供給されない状態にある。
【００６６】
次に、図１２（ｂ）は、実装ヘッド部１０が部品取り出し領域Ａを循環移動する間で、部品を取り出す時の状態に該当する。この状態では、実装装置本体側からアクチュエータ１６（図２参照）が下降し、センターシャフト３５がスプリング８４を圧縮しつつ押し下げられる。この際、同時に押し下げられるスライダ７１の爪８２が、まず、接触状態にあるサブカム７２をそのまま押し下げ、さらにメインカム７３の１つのカム部７９ａにある傾斜部７７に接触する。スライダ７１が更に押し下げられると、爪８２が傾斜部７７に沿って下降し、この際スライダ７１は回り止め８３（図１０参照）の作用で回転しないため、メインカム７３を図の矢印に示す方向に回転させつつ下降し、切り欠き部７８に入り込む（図示の状態）。このときの回転角は図１１に示すように５２°である。
【００６７】
上述のように、サブカム７２とメインカム７３とは相対回転をしないため、メインカム７３の回転によってサブカム７２も同時に回転する。サブカム７２が回転することにより、爪８２の先端は、サブカム７２のカム部７４の緩やかな傾斜面７４ｂを昇り切り、山の１つを越えた直後の急な傾斜面７４ａの途中まで移動して停止する。この状態でサブカム７２とメインカム７３の間に配置されたスプリング８４は最大限に圧縮されている。
【００６８】
なお、図１２（ａ）〜（ｄ）では、便宜上、爪８２の位置を図の右方向に順次移動して描いているが、実際には爪８２は回転せず、図の矢印で示すようにサブカム７２、メインカム７３の方が図の左方向に向けて回転している。
【００６９】
図１２（ｂ）に示す右側の図において、メインカム７３の前記回転運動により、メインカム７３の１つの開口部８６がその円弧状溝８７を介して開口部８８と開通する。これによって負圧チャンバ５２の負圧が、負圧供給経路６３（図６参照）を介して開口部８６に伝わり、更に開口部８６からメインカム７３の中空内部を通ってセンターシャフト３５の開口部４１、エア経路４２、さらにノズル保持部３７の開口部４３（いずれも図５参照）に伝わり、実装ノズル３１の開口部３４（図４参照）を通って実装ノズル３１に供給される。実装ノズル３１は、上述したセンターシャフト３５の押し下げ動作によって部品に当接しているため、前記負圧の供給によって実装ノズル３１は部品の吸着による取り出しが可能となる。
【００７０】
次に、図１２（ｃ）は、実装ノズル３１が部品を取り出した後、部品実装位置に向けて移動する部品搬送領域Ｂを循環移動している間に該当する。部品取り出し領域Ａにおけるアクチュエータ１６の押し下げが解除され、センターシャフト３５は元の高さまで上昇する。このセンターシャフト３５の上昇はスプリング８４の付勢力によるもので、サブカム７２、スライダ７１も同時に元の高さまで上昇する。この上昇によって爪８２がメインカム７３の切り欠き部７８内を上昇してメインカム７３のカム部７９ｂからの拘束から解放される。この結果、スプリング８４による下方からの付勢力によって爪８２がサブカム７２のカム部７４の急な傾斜面７４ａを谷まで滑り降り、谷に至って安定する。この爪８２が傾斜面７４ａを移動する過程で、実装ヘッド部１０のボデー側で回転を拘束された爪８２に代わってサブカム７２が矢印に示す方向に回転する。このときの回転角度は、図１１に示すように８°である。サブカム７２との間での相対回転しないよう拘束されているメインカム７３も、これによって同じく８°だけ回転している。
【００７１】
図１２（ｃ）の右側の図において、上述したメインカム７３の回転により、底面に設けられた開口部８６が８°回転するが、開口部８６の周囲に設けられた円弧状溝８７の作用によって負圧チャンバ５２からの開口部８８とは導通したままの状態が維持される。このため実装ノズル３１の負圧が保たれたままとなり、実装ノズル３１は部品を保持し続けることができる。実装ノズル３１はこの部品を保持した状態で、ベルト部３の移動とともに部品搬送領域Ｂを移動する。上述した通りこの搬送過程において、認識カメラ１８により実装ノズル３１に保持された部品の保持状態が認識される。
【００７２】
次に、図１２（ｄ）は、実装ヘッド部１０が部品実装領域Ｃに至って部品実装が行われる時に該当する。実装ヘッド部１０が部品実装位置に到達すると、実装装置本体側から実装操作シャフト２２（図２参照）が下降し、まずセンターシャフト３５に係合した後、次にこれを押し下げる。この時の状況を図１３に示している。図１３は、図３に示す実装ヘッド部１０のＣ−Ｃ断面を示している。図１３において、実装操作シャフト２２の下端には凹部２６が設けられており、この凹部２６がセンターシャフト３５の上端の係合部３８を受容してこれと係合する。上述した認識カメラ１８による認識結果に基き、部品の角度補正量が制御部５から実装操作シャフト２２に伝えられ、必要な角度補正のためのθ回転がセンターシャフト３５に与えられる。この結果、センターシャフト３５の下方にあるノズル保持部３７も回転してノズルに保持された部品に対する必要な角度補正が加えられる。サブカム７２、メインカム７３など、センターシャフト３５以外の正負圧切替え部７０の構成要素には、このθ回転が及ばないよう構成されている。
【００７３】
図１２（ｄ）に戻って、θ回転の後、次に実装操作シャフト２２によってセンターシャフト３５が押し下げられる。このセンターシャフト３５の押し下げにより、図１２（ｂ）で説明したものと同様、スライダ７１がサブカム７２とメインカム７３とに接触しながら下降し、これによってサブカム７２とメインカム７３とを５２°回転させる。このとき、実装ノズル３１が下降して保持している部品を回路基板１９に当接させ、スプリング８４は最大限に圧縮される。図１２（ｄ）の右側の図において、メインカム７３が５２°回転することにより、開口部８８と開口部８６の周囲にある円弧状溝８７との開通が絶たれ、これによって実装ノズル３１への負圧の供給が遮断される。これと同時に、メインカム７３の外周面に設けられたエア経路８１（図１０参照）と正圧供給経路９３（図１３参照）とが開通する。
【００７４】
再び図１３において、部品実装位置にはエアブロー２３が配置されており、その先端が正圧供給経路９３に対向している。エアブロー２３からの空気の吐出による正圧が正圧供給経路９３に伝えられ、さらにこの正圧は、メインカム７３のエア経路８１、センターシャフト３５の開口部４１、同エア経路４２を経由して実装ノズル３１まで伝えられる。この一連の動作により、実装ノズル３１の負圧状態が破壊されて逆に正圧が作用するものとなり、これによって部品は実装ノズル３１の保持状態から解放されて回路基板１９の所定実装位置に実装される。
【００７５】
部品実装が完了すると実装操作シャフト２２による押し下げが解除され、センターシャフト３５がスプリング８４の付勢力によって上昇し、図１２（ａ）に示す状態に戻る。この間、図１２（ｃ）で説明したものと同様、メインカム７３とサブカム７２とはさらに８°回転する。図１２（ａ）に示すように、この際の８°の回転によってもメインカム７３の円弧状溝８７が負圧供給経路６３の開口部８８と導通することはなく、したがって実装ノズル３１に負圧が供給されることはない。また８°の回転によってメインカム７３のエア経路８１と正圧供給経路９３との導通が遮断されるため、実装ノズル３１には正圧も供給されることはない。実装ヘッド部１０には負圧、正圧とも供給されることなく、この状態で次の部品取り出し領域Ａまで搬送される。
【００７６】
帰還領域Ｄの搬送移動のいずれかの段階には、ノズル選択位置が配置され、次の部品取り出しに備えて個別ノズル３１ａ〜６ｆの切替えを行う。具体的には、図１３において、ノズル選択位置に配置されるノズル切替えシャフト２５が上述した実装ノズル３１の支点ピン３２に向けて移動し、先端の凹部２６で支持ピン３２にある凸状部３３を受容してこれを回転させる。選択されるべきいずれかの個別実装ノズル３１ａ〜６ｆをセンターシャフト３５と同軸下向きになるよう配置して実装ノズル３１の選択が完了する。選択されたいずれかの個別ノズル３１ａ〜６ｆは、そのいずれかの開口部３４ａ〜３４ｆ（図４参照）がノズル保持部３７の開口部４３（図５参照）と開通することによって、実装ノズル３１への負圧・正圧の供給が可能となる。
【００７７】
実装ヘッド部１０の正負圧切替え部７０は、ベルト部３の循環移動の間に以上の動作を繰り返し、部品を実装ノズル３１によって順次吸着して取り出し、当該部品を回路基板１９の実装位置に実装する。ベルト部３が１回循環移動する１サイクルの間に、サブカム７２とメインカム７３とを含むロータリカムは１２０°回転し、この間に爪８２は、それぞれのカム部７４、７９の山を１つずつ越えている。したがって、サブカム７２、メインカム７３が３６０°回転してこれらが完全に元の位置まで戻るには、ベルト部３は３サイクル循環移動することになる。ロータリカムは、爪８２、及びサブカム７２とメインカム７３とのオフセットの作用により、常時一定方向のみに回転駆動される。
【００７８】
なお、実装ノズル３１でパーツカセット７から一旦取り出された部品であっても、例えば当該部品が不良であることが認識カメラ１８で見つかるなど、何らかの原因で実装を回避させる場合がある。この場合、認識カメラ１８からの情報に基き、制御部５は、部品実装位置での実装操作シャフト２２の下降動作を阻止する。これによりセンターシャフト３５は押し下げられることなく、したがってメインカム７３が回転されないために実装ノズル３１には負圧が供給され続ける。
【００７９】
この負圧の作用により、不良部品などを保持した実装ノズル３１は、当該部品を保持したままで循環移動し、次の帰還領域Ｄに至る。帰還領域Ｄ内のいずれかの場所に、このように実装されなかった部品を廃棄するための部品廃棄位置が設けられている。この部品廃棄位置には、部品実装位置におけるとほぼ同様な実装操作シャフト２２ａとエアブロー２３ａとが配置され（図２参照）、図１２（ｄ）に示すものと全く同様に作用して実装ノズル３１の負圧を解除し、同時に正圧を加え、実装されなかった部品を実装ノズル３１から解放して回収する。部品を解放した実装ノズル３１には、負圧・正圧とも供給されない図１２（ｄ）に示す状態となり、他の実装ノズル３１と同様に帰還領域Ｄを次の部品取り出しに向けて搬送される。
【００８０】
４．ガイド部
次に、ガイド部９０は、図３（ｂ）の側面図に示すように、実装ヘッド部１０の上下方向に配置されて駆動方向に直交する図の左右方向への実装ヘッド部１０の動きを規制する一対の水平ガイドローラ９１と、図の右方向に水平に配置されて実装ヘッド部１０の鉛直方向の動きを規制する鉛直ガイドローラ９２とから構成される。１つの実装ヘッド部１０にはこれらのガイドローラ９１、９２のセットが２組、合計６つのガイドローラが設けられている（図３（ｂ）の側面図では１組、３つのみを表示。）。これらのガイドローラ９１、９２は、実装装置本体側に設けられる２点鎖線で示す上方レール９７、下方レール９８にそれぞれ嵌め込まれ、実装ヘッド部１０の循環移動に際して高い位置決め精度で実装ヘッド部１０を規制してガイドしている。
【００８１】
特に部品取り出し領域Ａと部品実装領域Ｃにおいて、実装ヘッド部１０がガイド部９０のレール９７、９８によってベルト部３の循環移動方向に対して上下、左右方向に位置規正されているため、実装ノズル３１の位置決めが正確に行われ、部品取り出し、部品実装を極めて高い精度で実施することができる。
【００８２】
次に、本発明にかかかる第２の実施の形態の部品実装装置について図面を参照して説明する。本実施の形態の部品実装装置は、第１の実施の形態におけるピストン５３の往復動を利用する負圧発生部５０の代わりに外部から負圧を導入して実装ヘッド部１０内に負圧を発生させるものとしており、その概要を図１４に示している。図において、第１の実施の形態に示すカム溝２４（図１参照）の位置には、代替の負圧発生部５０ａが配置されており、その他の部品実装装置の構成は、図１に示すものと同様である。したがって、以下には第１の実施の形態と差異のある点を中心に説明する。
【００８３】
本実施の形態にかかる代替の負圧発生部５０ａは、例えば実装装置本体側に設けられる負圧発生源から負圧を導くホース１０１と、実装ヘッド部１０に負圧を供給する負圧供給口１０２と、負圧供給口１０２を実装ヘッド部１０に着脱するアクチュエータ１０４と、負圧供給口１０２を実装ヘッド部１０と平行して搬送する搬送装置１０３とから構成されている。他方、実装ヘッド部１０の側には、上述したカムフォロア５７の代わりに、負圧供給口１０２を受容可能に形成されたチェックバルブ１０６が設けられる。このチェックバルブ１０６は、実装ヘッド部１０内に負圧を閉じ込めると共に、より低い圧力の負圧を導入可能に形成される。実装ヘッド部１０の内部では、例えば図６に示す上述したピストンチャンバ５１が不要となり、ここを空洞のままにして第２の負圧チャンバ（以下、「負圧チャンバ５１」という。）として利用するなどの負圧容量増を図ることが好ましい。
【００８４】
以上のように構成された代替の負圧発生部５０ａの動作は以下のようである。負圧供給口１０２が、間欠循環移動する実装ヘッド部１０に同期して搬送装置１０３により搬送される。負圧供給口１０２が実装ヘッド部１０に対向した後、アクチュエータ１０４が背後から作用して負圧供給口１０２を実装ヘッド部１０のチェックバルブ１０６に押し付け、これと結合させる。図示しない負圧供給源につながれたホース１０１から負圧が供給され、この負圧が負圧供給口１０２を介して実装ヘッド部１０の両負圧チャンバ５１、５２内に供給される。この負圧供給の間、搬送装置１０３は、負圧供給口１０２と実装ヘッド部１０との間に相対移動が生じないようベルト部３の循環移動と同期して負圧供給口１０２を搬送し続ける。
【００８５】
所定の実装ヘッド部１０への負圧供給の間で前記結合状態を保った後、アクチュエータ１０４が作用して負圧供給口１０２をチェックバルブ１０６から引き離し、両者間の結合を絶つ。この際、実装ヘッド部１０側に供給された負圧は、チェックバルブ１０６の作用によって両負圧チャンバ５１、５２内に閉じ込められる。一方、負圧供給口１０２は、搬送装置１０３のクイックリターン動作により、瞬時に元の位置に戻り、図示の例では１つ間を空けた次の実装ヘッド部１０に対向し、以下、同様の動作を繰り返す。
【００８６】
ベルト部３に装着された全ての実装ヘッド部１０は、上述した連結チューブ６８（図８参照）を介して負圧を共有している。この代替の負圧発生部５０ａでは、負圧の供給が間欠的となるが、複数の実装ヘッド部１０に設けられたそれぞれ２つの負圧チャンバ５１、５２の容量を利用することで負圧供給の途切れによる圧力変動を全体として僅かなものに留めることができる。さらに、負圧供給口１０２が搬送装置１０３のクイックリターン動作で次の実装ヘッド部１０の位置まで短時間で移動するため、負圧供給が途切れる時間も僅かであり、例えば部品を吸着するため実装ノズル３１の負圧にはほとんど影響することはない。万一この負圧変動に問題がある場合であっても、例えば２つの負圧発生部５０ａをベルト部の循環移動の間の異なる２区画に設け、この２つの負圧発生部５０ａで交互に負圧を供給することにより問題の解消が可能である。負圧発生部５０ａを２つ設けて常時負圧が提供される場合、負圧チャンバ５１、５２は廃止することもできる。
【００８７】
この代替の負圧発生部５０ａによれば、第１の実施の形態に示す負圧発生部５０に対し、カム溝２４と係合するピストン５３の上下動が不要となり、ベルト部３の循環移動に対する抵抗がなくなる結果、ベルト部３の駆動エネルギを低減させることができる。また、全ての実装ヘッド部１０に設けられる多数のピストン５３（本実施の形態に示す例では、１つの実装ヘッド部１０につき２つ。）や圧縮空気を排出させるエア経路６１、６２、６７を廃止することができ、さらにチェックバルブの数を半減できるなどのコスト、重量の削減効果を得ることができる。気密性が要求されるピストンチャンバ５１を単なる空洞である負圧チャンバ５１として利用することから、チャンバ内部の加工精度を大幅に緩和して加工費を削減できる利点も有する。
【００８８】
なお、負圧供給口１０２と結合する実装ヘッド部１０が上述のように１つおきとなる場合、ベルト部３に装着される実装ヘッド部１０の数が偶数であればチェックバルブ１０６は１つおきの実装ヘッド部１０にのみ設けることでよい。２つおき、３つおきなどで結合する場合にも同様な関係が成り立つ。この場合にも両負圧チャンバ５１、５２をそのまま残しておけば、ベルト部３全体としての負圧容量を確保できて好ましい。
【００８９】
次に、本発明にかかる第３の実施の形態の部品実装装置について図面を参照して説明する。本実施の形態の部品実装装置は、部品実装時における実装ノズルからの部品の解放に利用可能な正圧を発生させる正圧発生部を実装ヘッド部内部に備えるものとしている。具体的には、第１の実施の形態に示すピストンチャンバ５１内で発生する正圧を大気を放出せず、これを実装ヘッド部内のアキュムレータに蓄えるようにするもので、図１５、図１６はその実装ヘッド部１０ａの概要を示している。両図に示す以外の部品実装装置の構成は、第１の実施の形態に示す部品実装装置１と同様であり、したがって以下には、第１の実施の形態との相違点を中心に説明する。
【００９０】
図６に対応する実装ヘッド部１０ａの一対のチャンバの断面を表示する図１５において、ピストンチャンバ５１の上方チャンバ５８には、チェックバルブ１１１が新たに設けられている。このチェックバルブ１１１は上方チャンバ５８内の空気が加圧されたときにはその空気を排出エア経路６１に排出し、逆に負圧のときには上方チャンバ５８と排出エア経路６１との導通を遮断するよう構成されている。
【００９１】
同じく図１５において、他方のチャンバ５２ａは、フリーピストン１１２とスプリング１１３を備え、排出エア経路６１から導入される正圧を蓄えるアキュムレータとしての役割を果たす（以下、これを「正圧チャンバ５２ａ」という。）。実装ヘッド部１０ａに２つ装備される負圧チャンバ５２の内の１つがこの正圧チャンバ５２ａとして利用され、他の１つはそのまま負圧チャンバ５１として残される。正圧チャンバ５２ａには、正圧供給口１１４が開口し、この開口部には正圧供給チューブ１１５がつながれている。
【００９２】
図１６は、図１３に対応する実装ヘッド部１０ａの正負圧切替え部を示す断面図である。図において、上述した正圧供給口１１４から延びる正圧供給チューブ１１５の他端が、実装ヘッド部１０ａのボデーにつなげられ、この他端から正圧供給経路９３ａにつながっている。この正圧供給経路９３ａは、第１の実施の形態で示す正圧供給経路９３と全く同様に、ロータリカムを構成するメインカム７３の回転運動によって部品実装位置においてメインカム７３に設けられたエア経路８１と開通可能である。
【００９３】
以上のように構成された本実施の形態にかかる実装ヘッド部１０ａの動作は以下の通りである。図１５において、上方にあるピストン５３が下方に押し下げられると、下方チャンバ５９内の空気が圧縮されて加圧された空気は排出エア経路６２を通ってチェックバルブ６５から大気へ放出される。この間、上方チャンバ５８内ではチェックバルブ１１１の作用によって外部との導通が絶たれ、チャンバ内の圧力が低下し、この低下した圧力は図１５には表示しない他方の負圧チャンバ５２内に蓄えられる。この間の動作は、第１の実施の形態と全く同様である。
【００９４】
次に、以上の状態からピストン５３から上方に引き上げられると、ピストン５３によって上方チャンバ５８内の空気が圧縮されて圧力が高まり、この圧力によって開放されるチェックバルブ１１１を通過して加圧された空気が排出エア経路６１に導かれ、更に正圧チャンバ５２ａ内に導入される。正圧チャンバ５２内部では、この導入された空気圧によってフリーピストン１１２が押し下げられ、フリーピストン１１２はスプリング１１３を圧縮しつつ下方へ移動して導入された空気を閉じ込め、内部に正圧を蓄える。この間、ピストンチャンバ５１内の下方チャンバ５９ではピストン５３の上方移動により負圧が生成され、この負圧は貫通エア経路５５（図６参照）を通って図１３には表示しない負圧チャンバ５２内に蓄えられる。ピストン５３の上下動により、以上の動作が繰り返される。
【００９５】
次に、正圧チャンバ５２ａから延びる正圧供給チューブ１１５は、図１６に示すように正圧供給経路９３ａにつながっているが、通常の状態ではロータリカムの作用でメインカム７３のエア経路８１は正圧供給経路９３ａに開通していない。したがって正圧チャンバ５２ａに蓄えられた正圧は内部に閉じ込められたままの状態で維持される。実装ノズル３１が実装位置に至ると、センターシャフト３５が押し下げられることによってロータリカムが動作し、メインカム７３が回転してエア経路８１が正圧供給経路９３ａと開通する。これにより、正圧チャンバ５２ａ内の加圧された空気が、正圧供給口１１４、正圧供給チューブ１１５、正圧供給経路９３ａを通ってエア経路８１内に流入し、以下、第１の実施の形態と同様に実装ノズル３１に供給されて吸着していた部品の解放、実装に利用される。
【００９６】
なお、図示の例では１つの正圧チャンバ５２ａに蓄積された正圧が同じ実装ヘッド部１０ａに装備された４つの実装ノズル３１での部品実装に利用されている。したがい、最初の実装ノズル３１への正圧供給時にこのチャンバ内の全ての加圧空気が瞬時に放出されることを防ぐ必要がある。このため、フリーピストン１１２の外周に嵌められた弾性材料のＯリングは単に正圧をシールするのみでなく、フリーピストン１１２の動作スピードを制御するダンパとしての役割も果たすよう構成されている。
【００９７】
本実施の形態にかかる正圧発生部を備えた実装ヘッド部１０ａを使用することにより、部品実装時に実装ノズル３１へ供給する正圧を実装ヘッド部１０ａの内部で発生させることができ、部品実装位置に配置されるエアブロー２３（図１３参照）を廃止することができる。また、取り出し後の部品を何らかの理由で実装せずに放出して回収する場合にも同様に利用することができ、部品回収位置に配置されるエアブロー２３ａ（図２参照）をも廃止することができる。
【００９８】
なお、ピストン５３で空気を圧縮するため、圧縮に伴うベルト部３の循環移動の抵抗が増す。このために必要であれば、ベルト部３を駆動するモータ１１（図１参照）の容量を増すこと、もしくは第１の実施の形態で示したカム溝２４の代わりに流体シリンダを利用してピストン５３を上下駆動すること、などの対応を図ることが考えられる。
【００９９】
また、図１５、図１６に示す例では、上方チャンバ５８の加圧空気のみを正圧として利用し、下方チャンバ５９の加圧空気は大気へ放出するものとしているが、必要であれば同様な供給経路を確保することでこの加圧空気をも正圧チャンバ５２ａ内に導き、全く同様に部品実装に利用することができる。また、両図に示す例では、実装ヘッド部１０ａにある一対の負圧チャンバ５２の一方を正圧チャンバ５２ａに転用して利用するものとしているが、負圧チャンバ５２の負圧容量確保などの利用でこれが困難な場合には、上述したものと同様に機能する正圧チャンバ（アキュムレータ）を実装ヘッド部に新たに設けるものとしてもよい。
【０１００】
以上、本発明にかかる各実施の形態の部品実装装置について説明してきたが、各実施の形態では、部品供給部２、ベルト部３のセット２組を、双方の部品実装領域Ｃを互いに近接させてほぼ点対象に配置している。このような配置とすることで、例えば前記２組を同時に利用して、回路基板１９に部品を交互に実装して実装スピードの高速化を図ることができる。あるいはこの代替として、部品供給部２、ベルト部３のセット２組の内のいずれか一方の組のみで実装を行い、その間、いずれか他方の組では次に生産する機種への切替えを行うことで段取り替えに伴う装置の停止時間を短縮し、生産性を高めることもできる。このように２組の部品供給部２とベルト部３とを備えることは、実装タクトを早め、生産の柔軟性を高め、さらに多種類の部品の供給をも可能にすることから好ましいものとなる。但し、１組のみの部品供給部、ベルト部を用いることも勿論可能である。
【０１０１】
また、２組を用いる場合であっても、双方を必ずしも同様な構成とする必要はなく、例えば、部品実装装置のスペースの制約などに応じて一方のベルト部を長いもの、他方のベルト部を短いものとすることもできる。また２組の配置も、必ずしも両者を点対称にする必要はなく、スペースの制約などに合せて任意の配置とすることができる。この際、本実施の形態によれば、円周回転運動のみに限定されるインデックスとは異なり、ベルト部はフレキシブルであることから任意の搬送経路を選ぶことができる。
【０１０２】
さらに上述した実施の形態では、１つの実装ヘッド部１０が４つの実装ノズル３１を備える例を示しているが、この実装ノズル３１の数は任意とすることができる。例えば、１つの実装ヘッド部が１つの実装ノズルを備えることもでき、これを円周状に循環移動させると、ロータリヘッド方式と同様な形式となる。したがって本明細書でいう循環移動にはこのロータリヘッド方式の概念も含まれ得る。但し、本実施の形態のベルト部によれば、搬送経路を任意に選べることから複数部品の同時取り出しが可能であり、部品供給部を固定できる点で有利である。
【０１０３】
上述した実施の形態では、これまでに述べてきた各種有利点を有する本発明にかかる部品実装装置を対象として説明しているが、本発明は、これらの有利点を同様に備える部品実装方法をも包含している。
【０１０４】
各図において、例えばアクチュエータ１６、実装操作シャフト２２、エアブロー２３、ノズル切替えシャフト２５などは一部のみを表示し、回転や軸方向への移動のための駆動部等の表示を省略しているが、これらは従来技術において開示されているものであって当業者には周知である。
【０１０５】
【発明の効果】
本発明にかかる部品実装装置によれば、移動経路に柔軟性のあるベルト部を利用して負圧発生部、正負圧切替え部を備えた実装ヘッド部を循環移動させることができる。これにより、部品供給部において複数の実装ノズルを複数の部品供給装置（例えば、パーツカセット）と対向させて複数部品を同時に取り出すことが可能となり、従来技術によるロータリヘッド方式の部品実装装置に対して、部品供給部の移動を排除することができる。これにより振動、騒音を廃して作業環境を改善でき、品質の安定化をもたらすことができる。さらには部品供給部が固定できることから多種類・多様な部品要求にも対応が可能となり、生産の柔軟性を高めることができる。
【０１０６】
加えて、本発明にかかる部品実装装置によれば、複数の実装ヘッド部をベルト部に無端式に配して循環移動させることができ、従来技術によるＸＹロボット方式の部品実装装置に対して部品の取り出しと実装とを同時並行して行うことができ、実装ヘッド部の往復搬送に必要な無駄な移動時間が回避されるため、実装スピードの高速化を実現することができる。
【０１０７】
さらに、本発明にかかる部品実装装置によれば、ベルト部に装着される実装ヘッド部に負圧発生部、正負圧切替え部を備えていることから、従来技術によるシーケンス方式の部品実装装置に対して、負圧を利用した部品の吸着による取り出し、正圧を利用した部品の実装を実施することができ、特に昨今では多数を占める微小部品の実装も可能となることから、ベルト部を利用した部品実装の適用対象を大幅に広げることができる。
【０１０８】
そして、本発明の実施の形態に示した部品実装装置によれば、１つの実装ヘッド部の負圧発生部で生成された負圧をベルト部に装着された複数の実装ヘッド部間で共有することができ、全ての実装ヘッド部において安定した負圧の供給を得ることができる。また、各実施の形態で示す点対称となる２組の部品供給部、ベルト部のセットを配置する形式の部品実装装置によれば、部品実装をより効率的に行うことができ、あるいは段取りをより短時間で行うことができるため、設備の生産性をより高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる実施の形態の部品実装装置の概要を示す斜視図である。
【図２】図１に示す部品実装装置の要部部分拡大斜視図である。
【図３】本発明にかかる実施の形態の実装ヘッド部を示す正面図及び側面図である。
【図４】図３に示す実装ヘッド部の実装ノズルを示す正面図である。
【図５】図３に示す実装ヘッド部のセンターシャフトを示す側面図である。
【図６】図３に示す実装ヘッド部のＡ−Ａ断面図である。
【図７】図３に示す実装ヘッド部のＢ−Ｂ断面図である。
【図８】図３に示す実装ヘッド部の背面図である。
【図９】図３に示す実装ヘッド部のサブカム及びメインカムを示す側面図及び底面図である。
【図１０】図３に示す実装ヘッド部のロータリカムの構成要素を示す分解斜視図である。
【図１１】図１０に示すロータリカムの側面展開図である。
【図１２】図１０に示すロータリカムの動作説明図である。
【図１３】図３に示す実装ヘッド部のＣ−Ｃ断面図である。
【図１４】本発明の他の実施の形態にかかる部品実装装置の要部を示す部分拡大斜視図である。
【図１５】本発明の更に他の実施の形態にかかる部品実装装置の実装ヘッド部の断面図である。
【図１６】図１５に示す実施ヘッドの別の位置における断面図である。
【符号の説明】
１．部品実装装置、  ２．部品供給部、  ３．ベルト部、  ４．基板保持部、  ５．制御部、  ７．部品供給装置（パーツカセット）、  １０．実装ヘッド部、１６．アクチュエータ、  １９．回路基板、  ２２．実装操作シャフト、  ２３．エアブロー、  ２４．カム溝、  ２５．ノズル切替えシャフト、  ３０．ノズル部、  ３１．実装ノズル、  ３５．センターシャフト、  ５０．負圧発生部、  ５１．ピストンチャンバ、  ５２．負圧チャンバ、  ５３．ピストン、  ５７．カムフォロア、  ５８．上方チャンバ、  ５９．下方チャンバ、  ６３．負圧供給経路、  ６４、６５．チェックバルブ、  ６８．連結チューブ、  ７０．正負圧切替え部、  ７１．スライダ、  ７２．サブカム、  ７３．メインカム、７４．カム部、  ７７．傾斜部、  ７８．切り欠き部、  ７９．カム部、  ８２．爪、  ８４．スプリング、  ８６．開口部、  ８７．円弧状溝、  ８８．開口部、  ９０．ガイド部、  ９３．正圧供給経路、  １０２．負圧供給口、  １０３．搬送装置、  １１１．チェックバルブ、  １１２．フリーピストン、１１４．正圧供給口、  １１５．正圧供給チューブ、
Ａ．部品取り出し領域、  Ｂ．部品搬送領域、  Ｃ．部品実装領域、  Ｄ．帰還領域。
【図１】
2005005415.tif 000003
【図２】
2005005415.tif 000004
【図３】
2005005415.tif 000005
【図４】
2005005415.tif 000006
【図５】
2005005415.tif 000007
【図６】
2005005415.tif 000008
【図７】
2005005415.tif 000009
【図８】
2005005415.tif 000010
【図９】
2005005415.tif 000011
【図１０】
2005005415.tif 000012
【図１１】
2005005415.tif 000013
【図１２】
2005005415.tif 000014
【図１３】
2005005415.tif 000015
【図１４】
2005005415.tif 000016
【図１５】
2005005415.tif 000017
【図１６】
2005005415.tif 000018