(57)【要約】【課題】  アクチュエータユニットへのインク飛沫の付着および接着剤の付着を抑制することによって、電極間の短絡を防止する。【解決手段】  インクジェットヘッドは、流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０とで構成されたヘッド本体７０と、アクチュエータユニット２０の上面に接続されたＦＰＣ４０とを含んでなる。ＦＰＣ４０には、アクチュエータユニット２０の上面と対向しない接合部４３が形成されている。接合部４３は、流路ユニット１０の上面に近づくように屈曲した状態で流路ユニット１０の上面と接触している。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、
前記圧力室に対向する位置に配置されて駆動信号が供給される複数の駆動電極を有しているとともに、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記駆動信号に基づいて前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、
前記アクチュエータユニットの前記流路ユニットに固定された面の反対面を覆うように配置されつつ、前記駆動信号を供給するために複数の前記駆動電極に接続された柔軟ケーブルとを備えており、
前記柔軟ケーブルの前記アクチュエータユニットの前記反対面と対向しない周縁領域が、前記平面に近づくように屈曲した状態で前記平面に接触していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記アクチュエータユニットが、長方形の平面形状を有するとともに前記アクチュエータユニットの長手方向に沿って複数の前記駆動電極が配置されており、
前記柔軟ケーブルの前記周縁領域が、前記アクチュエータユニットの少なくとも一方の長辺全域に沿って前記平面に接触していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記柔軟ケーブルの前記周縁領域が、前記アクチュエータユニットの前記長辺及び少なくとも一方の短辺全域に沿って前記平面に接触していることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記周縁領域が前記平面と接触しつつ前記アクチュエータユニットから離れる方向に延在する部分を有していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記平型柔軟ケーブルの前記周縁領域と前記平面とが接合部材で固定されていることを特徴する請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記接合部材は、前記周縁領域と前記平面とに挟まれて介在する第１の接合部材と、前記周縁領域の前記平面と対向する面の反対面から前記平面に架けて延在する第２の接合部材とからなり、少なくとも前記第１の接合部材が、前記周縁領域と前記平面とが接触する全長に亘って離散的に設置されていることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記第１の接合部材が、前記周縁領域と前記平面とが接触する全長に亘って設置されていることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記柔軟ケーブルの前記周縁領域が、切欠きを介して複数の領域に分断されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットを作製する工程と、
前記圧力室に対向する位置に配置されて駆動信号が供給される複数の駆動電極を有しているとともに、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記駆動信号に基づいて前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットを作製する工程と、
各駆動電極が前記圧力室と対向するように位置合わせされた状態で、前記流路ユニットと前記アクチュエータユニットとを接合する工程と、
前記駆動電極に駆動信号を供給するための柔軟ケーブルを、前記アクチュエータユニットの前記流路ユニットに固定された面の反対面を覆うように配置しつつ、前記アクチュエータユニットに接続する工程と、
前記柔軟ケーブルの前記アクチュエータユニットの前記反対面と対向しない周縁領域を、前記平面に近づくように屈曲させることによって前記平面に接触させる工程とを備えていることを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記柔軟ケーブルの前記周縁領域が切欠きを介して複数の領域に分断されていることを特徴とする請求項９に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１１】
前記平型柔軟ケーブルの前記周縁領域を前記平面に接触させる工程が、前記周縁領域と前記平面との間を接合部材で固定する工程を含んでいることを特徴とする請求項９又は１０に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等において、インクタンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、圧電性のセラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。
【０００３】
かかるインクジェットヘッドの一例として、図１０に示すように複数の圧力室２１０に跨る１枚の絶縁シート２０２及び２枚の圧電シート２０３，２０４が連続平板状に積層され、その少なくとも１枚の圧電シート２０３を多数の圧力室２１０に共通であってグランド電位に保持された共通電極（コモン電極）２０７と、各圧力室２１０に対向する位置に配置された多数の駆動電極２０８とで挟み込んだ１つのアクチュエータ（アクチュエータユニット）２０１を有するものが知られている（特許文献１参照）。駆動電極２０８及び共通電極２０７に挟まれ且つ積層方向に分極された圧電シート２０３の部分は、その挟まれた部分の両側にある駆動電極２０８及び共通電極２０７が異なる電位にされると、圧電シート２０３、２０４の分極方向に外部電界が印加されることにより、いわゆる圧電縦効果により積層方向に伸縮する。この場合、駆動電極２０８と共通電極２０７とで挟まれた圧電シート２０３の部分が外部電界が印加されると圧電効果で変形する活性層として働いている。これにより圧力室２１０内の容積が変動し、圧力室２１０に連通したノズル２０９から記録媒体に向けてインクを吐出することが可能となっている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３２０６６４号公報（図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のようなインクジェットヘッドにおいて、駆動電極２０８に駆動信号を供給するフレキシブルフラットケーブル（ＦＰＣ：Flexible  Printed  Circuit）２１１が、図１０に示すようにアクチュエータユニット２０１の上面に配置されている。アクチュエータユニット２０１の上面に形成され駆動電極２０８と、側面電極２０６と接続された表面電極２０５とが接合されているだけなので、側面電極２０６が露出した状態となり、ノズル２０９から吐出されたインクのインク飛沫が側面電極２０６に付着して各電極間が短絡する問題が生じる。また、図１０に示すように、紫外線硬化型接着剤２１５を用いて、ＦＰＣ２１１を流路ユニット２１２に接着してアクチュエータユニット２０１からＦＰＣ２１１が外れにくくなるようにした場合においては、接着剤２１５が側面電極２０６に付着する。そして、ノズル２０９からのインク吐出のたびに側面電極２０６を介して接着剤２１５に電圧が印加されるので、後に側面電極２０６と流路ユニット２１２とが導通する電路が接着剤２１５の内部に発生する、いわゆるマイグレーションが生じる。そのため、このマイグレーションによって各電極間が短絡する問題が生じる。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、電極間の短絡を抑制することが可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００７】
本発明のインクジェットヘッドは、それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、前記圧力室に対向する位置に配置されて駆動信号が供給される複数の駆動電極を有しているとともに、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記駆動信号に基づいて前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、前記アクチュエータユニットの前記流路ユニットに固定された面の反対面を覆うように配置されつつ、前記駆動信号を供給するために複数の前記駆動電極に接続された柔軟ケーブルとを備えている。そして、前記柔軟ケーブルの前記アクチュエータユニットの前記反対面と対向しない周縁領域が、前記平面に近づくように屈曲した状態で前記平面に接触している。
【０００８】
これにより、柔軟ケーブルの周縁領域と流路ユニットの平面とが接触しているので、アクチュエータユニットに付着したインク飛沫によって駆動電極間が短絡するのを抑制することができる。また、アクチュエータユニットに付着した接着剤に起因したマイグレーションによる駆動電極間の短絡を抑制することができる。
【０００９】
本発明において、前記アクチュエータユニットが、長方形の平面形状を有するとともに前記アクチュエータユニットの長手方向に沿って複数の前記駆動電極が配置されており、前記柔軟ケーブルの前記周縁領域が、前記アクチュエータユニットの少なくとも一方の長辺全域に沿って前記平面に接触していることが好ましい。これにより、複数の駆動電極がインク飛沫の付着や接着剤のマイグレーションによって短絡するのを効果的に抑制することができる。
【００１０】
また、このとき、前記柔軟ケーブルの前記周縁領域が、前記アクチュエータユニットの前記長辺及び少なくとも一方の短辺全域に沿って前記平面に接触していてもよい。これにより、複数の駆動電極が短絡するのをより効果的に抑制することができる。
【００１１】
また、本発明において、前記周縁領域が前記平面と接触しつつ前記アクチュエータユニットから離れる方向に延在する部分を有していることが好ましい。これにより、インク飛沫が柔軟ケーブルの周縁領域と流路ユニットの平面との間から侵入しにくくなるので、アクチュエータユニットに付着しにくくなる。
【００１２】
また、本発明において、前記平型柔軟ケーブルの前記周縁領域と前記平面とが接合部材で固定されていることが好ましい。これにより、アクチュエータユニットから比較的離れた位置で接触している柔軟ケーブルの周縁領域と流路ユニットの平面とが接合部材で固定されるので、周縁領域と流路ユニットの平面との微小な隙間にインク飛沫が侵入しにくくなる。また、柔軟ケーブルを流路ユニットに強固に固定することができる。
【００１３】
また、このとき、前記接合部材は、前記周縁領域と前記平面とに挟まれて介在する第１の接合部材と、前記周縁領域の前記平面と対向する面の反対面から前記平面に架けて延在する第２の接合部材とからなり、少なくとも前記第１の接合部材が、前記周縁領域と前記平面とが接触する全長に亘って離散的に設置されていてもよい。これにより、柔軟ケーブルの周縁領域と流路ユニットの平面との間に介在された第１の接合部材が離散的に配置されているので、第２の接合部材が周縁領域と平面との間から侵入しにくくなってアクチュエータユニットの駆動電極間に第２の接合部材が付着して電気的短絡を誘発するのを防ぐことができる。
【００１４】
また、このとき、前記第１の接合部材が、前記周縁領域と前記平面とが接触する全長に亘って設置されていてもよい。これにより、柔軟ケーブルの周縁領域と流路ユニットの平面との間に介在された第１の接合部材が全長に亘って配置されているので、周縁領域と平面との間から第２の接合部材の侵入とインク飛沫の侵入を確実に防ぐことができる。そのため、駆動電極間の短絡を防ぐことができる。
【００１５】
また、本発明において、前記柔軟ケーブルの前記周縁領域が、切欠きを介して複数の領域に分断されていることが好ましい。これにより、柔軟ケーブルと駆動電極との接合部に不必要な外力を与えることなくアクチュエータユニットの外形形状に合わせて容易に柔軟ケーブルを流路ユニットに固定することができる。
【００１６】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配置されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットを作製する工程と、前記圧力室に対向する位置に配置されて駆動信号が供給される複数の駆動電極を有しているとともに、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記駆動信号に基づいて前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットを作製する工程と、各駆動電極が前記圧力室と対向するように位置合わせされた状態で、前記流路ユニットと前記アクチュエータユニットとを接合する工程と、前記駆動電極に駆動信号を供給するための柔軟ケーブルを、前記アクチュエータユニットの前記流路ユニットに固定された面の反対面を覆うように配置しつつ、前記アクチュエータユニットに接続する工程と、前記柔軟ケーブルの前記アクチュエータユニットの前記反対面と対向しない周縁領域を、前記平面に近づくように屈曲させることによって前記平面に接触させる工程とを備えている。これにより、周縁領域が予め屈曲した柔軟ケーブルを用意しておかなくてもよいので、柔軟ケーブルの製造コストが減少する。
【００１７】
本発明において、前記柔軟ケーブルの前記周縁領域が切欠きを介して複数の領域に分断されていることが好ましい。これにより、柔軟ケーブルの周縁領域が屈曲させやすくなる。
【００１８】
また、本発明において、前記平型柔軟ケーブルの前記周縁領域を前記平面に接触させる工程が、前記周縁領域と前記平面との間を接合部材で固定する工程を含んでいることが好ましい。これにより、柔軟ケーブルと流路ユニットとを強固に接合固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２０】
図１は、本実施の形態によるカラーインクジェットプリンタの内部構成を描いた概略斜視図である。図１において、カラーインクジェットプリンタ１内にはヘッドユニット６３が配置されている。ヘッドユニット６３の本体フレーム６８には、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックのインクをそれぞれ吐出する４個の圧電式のインクジェットヘッド６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄが固着されている。さらに、本体フレーム６８には、カラーインクがそれぞれ充填される計４個のインクカートリッジ６１が脱着可能に取り付けられている。本体フレーム６８は、駆動機構６５により直線方向に往復駆動されるキャリッジ６４に固着されている。用紙を送るためのプラテンローラ６６は、その軸線がキャリッジ６４の往復移動方向に沿うように配置され、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄと対向している。
【００２１】
キャリッジ６４は、プラテンローラ６６の支軸と平行に配設されるガイド軸７１及びガイド板７２によって摺動自在に支持されている。ガイド軸７１の両端部の近傍には、プーリー７３，７４が支持され、これらのプーリー７３，７４の間に無端ベルト７５が架け渡されている。キャリッジ６４は、この無端ベルト７５の適宜の位置に固定されている。
【００２２】
このような駆動機構６５の構成において、一方のプーリー７３がモータ７６の駆動により正逆回転すると、キャリッジ６４がガイド軸７１及びガイド板７２に沿って直線方向に往復移動するため、これに伴ってヘッドユニット６３も往復移動する。
【００２３】
用紙６２は、インクジェットプリンタ１の側方に設けられた給紙カセット（図示せず）から給紙され、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄとプラテンローラ６６との間の空間に導かれて、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄから吐出されるインクにより印刷が施された後に排紙される。なお、図１においては、用紙６２の給紙機構及び排紙機構の図示を省略している。
【００２４】
また、インクジェットプリンタ１内には、図１中左下方に示すパージ機構６７が設けられている。パージ機構６７は、各インクジェットヘッド６ａ〜６ｄの内部に溜まる気泡やゴミなどを含んだ不良インクを強制的に吸引して除去するためのものである。このパージ機構６７はプラテンローラ６６の側方に設けられている。パージ機構６７の位置は、駆動機構６５によってヘッドユニット６３がリセット位置に至ったときに４つのインクジェットヘッド６ａ〜６ｄのいずれかに順次対向するように定められている。パージ機構６７はパージキャップ８１を備えており、各インクジェットヘッド６ａ〜６ｄの下面に設けられる多数のノズル１０９（図２参照）を覆うように、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄのいずれか１つの下面に当接する。
【００２５】
この構成で、ヘッドユニット６３がリセット位置にあるときに、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄのいずれか１つのノズル１０９をパージキャップ８１で覆って、そのインクジェットヘッド６ａ〜６ｄの内部に溜まる気泡などを含んだ不良インクを、カム８３の駆動によりポンプ８２によって吸引して廃インク溜め８４へ廃棄することにより、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄの復旧を行うようにしている。このような動作が４つのインクジェットヘッド６ａ〜６ｄに対して順次行われる。これにより、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄに対するインクの初期導入時において気泡を除去でき、そして、印刷に伴う内部の気泡の成長などによって陥っていた吐出不良状態からインクジェットヘッド６ａ〜６ｄを正常状態へ復帰させることができる。なお、図１に示す４つのキャップ８５は、印刷が終了してリセット位置に戻されるキャリッジ６４上の対応するインクジェットヘッド６ａ〜６ｄの多数のノズル１０９を覆って、インクの乾燥を防止するためのものである。
【００２６】
図２に、ヘッドユニット６３を上下逆さまにした状態の斜視図を示す。ヘッドユニット６３の本体フレーム６８は、図２に示すようにその上面側（図２においては下方を向くように描かれている）が開放された略箱状に形成されることにより、その開放された側から４つのインクカートリッジ６１を着脱自在に装着できるような搭載部を形成している。
【００２７】
本体フレーム６８の搭載部の一側部位には、本体フレーム６８の底板５の下面（インクジェットヘッド６ａ〜６ｄが固着される側の面：図２においては上方を向くように描かれている）側から上面側まで連通しており、各インクカートリッジ６１のインク放出部に接続できる４つのインク供給通路５１が設けられている。底板５の下面には、各インク供給通路５１に対応させて、各インクジェットヘッド６ａ〜６ｄのインク供給口３９（図３参照）と密接できるようにしたゴム製などのジョイント部材４７が取り付けられている。
【００２８】
図２に示すように、底板５の下面側には、４つのインクジェットヘッド６ａ〜６ｄを並列に配置するための４つの支持部８が段付き状の凹部として形成されている。各支持部８には、対応するインクジェットヘッド６ａ〜６ｄをＵＶ接着剤３４（図６参照）にて固定するための複数の空所９ａ，９ｂが、上下に貫通するように形成されている。
【００２９】
続いて、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄの構成について以下に説明する。なお、以下の説明において、４つのインクジェットヘッド６ａ〜６ｄはどれも同じ構成を有しているので、１つのインクジェットヘッド６ａについて説明する。図３は、本実施の形態によるインクジェットヘッドの斜視図である。図３に示すようにインクジェットヘッド６ａは、積層型の流路ユニット１０と、流路ユニット１０に対して接着剤又は接着シートを介して接着、積層された長方形平面形状を有するプレート型の圧電アクチュエータユニット２０とで構成されたヘッド本体７０を備えている。また、インクジェットヘッド６ａは、一端部側がインクジェットプリンタ１の制御部（図示せず）に接続され、他端部側がアクチュエータユニット２０の上面２０ａに接続され、制御部からの駆動信号（駆動電圧）をアクチュエータユニット２０に与えるためのフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）４０を含んでなる。なお、最下層の流路ユニット１０の下面側にはノズル１０９が多数開口されており、各ノズル１０９から下向きにインクが吐出される。
【００３０】
図４は、流路ユニット１０の分解斜視図を、図５は流路ユニット１０の分解拡大斜視図（図４のＶ−Ｖ方向断面）を、それぞれ示している。流路ユニット１０は図５に示すように、ノズルプレート１１、ダンパプレート１２、２枚のマニホールドプレート１３Ｘ，１３Ｙ、スペーサプレート１４、ベースプレート１５の計６枚の薄い金属板を、それぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構造とされている。
【００３１】
ノズルプレート１１には、図４及び図５に示すように、微小径のノズル１０９が、微小な間隔をおいて複数形成されている。これらノズル１０９は、ノズルプレート１１における長手方向に沿って、千鳥状の２列に配列されている。
【００３２】
図５に示すようにベースプレート１５には、複数の圧力室３６がベースプレート１５の長手方向に沿って千鳥状配列で２列に穿設されている。各圧力室３６は、その長手方向がベースプレート１５の長手方向に対して直交するように、細幅に形成されている。また、ベースプレート１５のスペーサプレート１４に面する側には、それぞれの圧力室３６と接続される絞り部３６ｄと、絞り部３６ｄと接続される連通孔３６ｂとが凹設されている。絞り部３６ｄは、インクの流動方向と直交する断面積が圧力室３６よりも小さくなっており、圧力室３６よりも流路抵抗が大きくなるようにされ、インク吐出時に圧力室３６から後述の共通インク室７側へ逆流しようとするインクの流れを制限するものである。ベースプレート１５のアクチュエータユニット２０と対向する面には、図４及び図５に示すようにその長手方向に沿う凹溝１６が複数の圧力室３６が形成された領域外に４つ形成されている。４つの凹溝１６は、アクチュエータユニット２０側に向かって開放されている。
【００３３】
各圧力室３６の一端部３６ａは、スペーサプレート１４、２枚のマニホールドプレート１３Ｘ，１３Ｙ、及びダンパプレート１２に同じく千鳥状配列で穿設されている微小径の貫通孔３７を介して、ノズルプレート１１におけるノズル１０９に連通している。
【００３４】
図５に示すように、２枚のマニホールドプレート１３Ｘ，１３Ｙのうち、スペーサプレート１４に近い側のマニホールドプレート１３Ｘには、２つのインク室半部１３ａが貫通状に形成されている。そして、これらインク室半部１３ａの側壁には、連通孔３６ｂに対応して接続部分４５が形成されている。この接続部分４５と、スペーサプレート１４における左右両側部位に穿設された連通孔３８と、各連通孔３６ｂとは、後述する共通インク室７と各圧力室３６とを連通させる接続流路を形成する。一方、ノズルプレート１１側のマニホールドプレート１３Ｙには、２つのインク室半部１３ｂが、他側のマニホールドプレート１３Ｘに向けてのみ開放するように凹設されている。
【００３５】
この構成で、２枚のマニホールドプレート１３Ｘ，１３Ｙとスペーサプレート１４の計３枚を積層することにより、対応する上下のインク室半部１３ａ，１３ｂが相互に接合されて、貫通孔３７の列の両側に１つずつ、計２つの共通インク室７（図６参照）が形成される。
【００３６】
なお、貫通孔３７の列の両側に２つの共通インク室７を設けたのは、２列に配置された圧力室３６に対応させるためである。すなわち、２列に配置されるうちの１列側の圧力室群は一方の共通インク室７に、残りの１列側の圧力室群は他方の共通インク室７に、それぞれ連通されている。このようにインクジェットヘッド６ａを構成することで、２つの共通インク室７に互いに異なる色のインクを供給して１つのインクジェットヘッド６ａの汎用性を高めて部品の種類の低減を図っている。ただし、本実施の形態においては、双方の共通インク室７に同色のインクを供給し、２列のノズル１０９で単色の高解像度の印字を行わせる印字形態を採っている。
【００３７】
図５に示すように、マニホールドプレート１３Ｘ，１３Ｙのすぐ下に位置するダンパプレート１２には、２列のダンパ溝１２ｃが凹設されている。このダンパ溝１２ｃはマニホールドプレート１３Ｙ側に向けてのみ開放するように形成され、その位置及び形状は共通インク室７と同形状となっている。したがって、マニホールドプレート１３Ｘ，１３Ｙ及びダンパプレート１２を接合したときは、マニホールドプレート１３Ｙのインク室半部１３ｂが凹設された部分（ダンパ部４９）には、ダンパ溝１２ｃが位置する。ここで、マニホールドプレート１３Ｙは適宜弾性変形し得る金属素材（例えば、ステンレス鋼）で構成されているので、このダンパ部４９は、共通インク室７側にもダンパ溝１２ｃ側にも、自由に振動することができる。このような構成により、インク吐出時に圧力室３６で発生した圧力変動が共通インク室７に伝搬しても、ダンパ部４９が弾性変形して振動することによってその圧力変動を吸収減衰させることができる。
【００３８】
図４に示すように、ベースプレート１５には２つのインク供給孔３９ａが穿設され、スペーサプレート１４においても同様にインク供給孔３９ｂが穿設されている。ベースプレート１５とスペーサプレート１４とを接合することで、対応するインク供給孔３９ａ，３９ｂが互いに接続され、２つの共通インク室７にそれぞれに対応するインク供給口３９が形成されている。なお、２つのインク供給口３９は、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄの小型化の要請から複数の圧力室３６のなす列の端部に近い位置に穿設されており、２つのインク供給口３９は互いに接近して配置されている。
【００３９】
このような流路ユニット１０の構成により、流路ユニット１０の内部には、インク供給口３９から順に共通インク室７、接続流路、圧力室３６及び貫通孔３７を通ってノズル１０９に至るインク流路が構成されている。インク供給口３９から共通インク室７内に流入したインクは、接続流路を経由して、各圧力室３６に供給される。この接続流路は、接続部分４５と、連通孔３８，３６ｂと、絞り部３６ｄとがこの順に設けられて構成されたものであり、それぞれの圧力室３６においてアクチュエータユニット２０により吐出エネルギーを与えられたインクは、圧力室３６の一端部３６ａから各貫通孔３７を経由した後、対応するノズル１０９に至って吐出される。
【００４０】
図６は、図３に示すVI−VI線に沿う断面図であり、隣接するインクジェットヘッ
ド６ｂの一部断面も合わせて描いている。図７は、アクチュエータユニット２０の分解拡大斜視図である。図６及び図７に示すように、アクチュエータユニット２０は、２種類の圧電シート２１，２２と、１枚の絶縁シート２３とを積層した構造である。圧電シート２１の上面には、流路ユニット１０における各圧力室３６毎に対応した細幅の複数の駆動電極２４が、千鳥状配列で設けられている。各駆動電極２４の一端部２４ａは、アクチュエータユニット２０の上下面２０ａ，２０ｂと直交する左右側面に露出するように形成されている。
【００４１】
圧電シート２２の上面には、複数の圧力室３６に対して共通のコモン電極（共通電極）２５が設けられている。コモン電極２５の一端部２５ａも、各駆動電極２４の一端部２４ａと同様、左右側面に露出するように形成されている。圧電シート２１，２２は図示のように１枚ずつ交互に積層するだけでなく、交互に複数枚積層することもできる。各駆動電極２４とコモン電極２５とに挟まれる圧電シート２１，２２におけるそれぞれの領域は、各圧力室３６毎に対応した活性層（圧力発生部）となる。
【００４２】
最上段の絶縁シート２３の上面（すなわち、アクチュエータユニット２０の上面２０ａ）には、各駆動電極２４の各々に対する表面電極２６と、コモン電極２５に対する表面電極２７とが上面２０ａの短手方向の両端部において上面２０ａの長手方向に沿って並ぶように設けられている。
【００４３】
また、アクチュエータユニット２０の長手方向に沿う両側面には、各駆動電極２４の一端部２４ａに第１の凹部３０が、コモン電極２５の一端部２５ａに第２の凹部３１が、それぞれ積層方向に延出されるように設けられている。各第１の凹部３０内には、各駆動電極２４と各表面電極２６とを電気的に接続する側面電極２６ａが、第２の凹部３１内には、コモン電極２５と表面電極２７とを電気的に接続する側面電極２７ａが、それぞれ形成されている。なお、符号２８及び２９の電極は、捨てパターンの電極である。
【００４４】
このような構成の流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０とは、流路ユニット１０における各圧力室３６と、アクチュエータユニット２０における駆動電極２４とが対向するように積層されるとともに、図６に示すように側面電極２６ａ，２７ａの下端部がベースプレート１５の凹溝１６と対向する位置に配置されつつ、流路ユニット１０と離隔されている。
【００４５】
また、図３に示すように、アクチュエータユニット２０の上面２０ａには、各表面電極２６，２７と位置合わせして接続されたＦＰＣ（柔軟ケーブル）４０が配置されている。ＦＰＣ４０はアクチュエータユニット２０のサイズに比べて、その長手方向と短手方向の両方向に少し幅広に形成されている。本実施の形態では、ＦＰＣ４０の先端領域は、短手方向の両側及び長手方向の先端側にそれぞれ延出した周縁領域を有しており、アクチュエータユニット２０に対向する接続部４１とここから側方に延出する３つの接合部４３（周縁領域）とから構成されている。このＦＰＣ４０は、その長手方向の流路ユニット１０のインク供給口３９が設けられていない端部と対向する部分に切り欠き部４２ａが形成されており、ＦＰＣ４０の先端領域をそれ以外の領域から区別している。また、先端領域の接続部４１と接合部４３とは、切り欠き部４２ａと先端の両角部に形成された切り欠き部４２ｂとによって区画され、このうち、接合部４３は、長手方向に沿う両端部近傍と短手方向に沿う一端部近傍（ＦＰＣ４０の先端部近傍）とで流路ユニット１０に固定されている。さらに、接合部４３は、長手方向に沿う両端部近傍で流路ユニット１０の上面に接触するように下方に屈曲した接合部４３ａと、短手方向に沿う一端部近傍で同様に下方に屈曲した接合部４３ｂとを有している。このように、ＦＰＣ４０に切り欠き部４２ａ，４２ｂが形成されているので、アクチュエータユニット２０を包み込むようにして接合部４３ａ，４３ｂだけを自由に屈曲させることができる。
【００４６】
また、ＦＰＣ４０の接合部４３ａ，４３ｂの先端には、図３及び図６に示すようにＦＰＣ４０とアクチュエータユニット２０とが接続されたときにアクチュエータユニット２０から離れる方向であって、流路ユニット１０の上面に沿って平行に延出された延出部３５ａ，３５ｂが形成されている。これら延出部３５ａ，３５ｂと流路ユニット１０との間にはエポキシ系の熱硬化性接着剤（第１の接合部材）３３が配置されており、アクチュエータユニット２０の一方の短辺全域および長辺全域に沿って、流路ユニット１０の上面とＦＰＣ４０とが接着固定されている。接着剤３３は、図３に示すように流路ユニット１０のベースプレート１５上において、アクチュエータユニット２０とインク供給口３９との間で短手方向に沿って間隔をおいて離散的に配置されるとともに、流路ユニット１０の短手方向の両端部でその長手方向に沿って間隔をおいて離散的に配置されている。このエポキシ系の接着剤３３は、マイグレーション現象を起こさない。これにより、図６に示すようにＵＶ接着剤３４（第２の接合部材）を空所９ａ，９ｂから注入してインクジェットヘッド６ａ〜６ｄを本体フレーム６８に接着固定するときに、ＵＶ接着剤３４が流路ユニット１０の上面とＦＰＣ４０の延出部３５ａ，３５ｂとの間から侵入しにくくなっている。さらに、ＵＶ接着剤３４がアクチュエータユニット２０に付着するのを抑制することができる。そのため、アクチュエータユニット２０の側面電極２６ａ，２７ａにＵＶ接着剤３４が付着しにくくなって、マイグレーションによる駆動電極２４間の電気的短絡の誘発を防ぐことができる。また、接着剤３３は、微小な間隔をおいて離散的に配置されているが、図６に示すようにアクチュエータユニット２０から比較的離れた位置でＦＰＣ４０の延出部３５ａ，３５ｂと流路ユニット１０のベースプレート１５の上面とを固定しているので、その隙間からインク吐出によるインク飛沫が侵入しにくくなり、駆動電極２４間の短絡を防止することができる。さらに、ＦＰＣ４０を流路ユニット１０に強固に接合固定することができる。
【００４７】
なお、本実施の形態においては、接着剤３３を流路ユニット１０のベースプレート１５上にその長手方向に沿って離散的に配置しているが、ベースプレート１５の接合部４３ａ，４３ｂの延出部３５ａ，３５ｂと対向する領域全体に長手方向に沿って接着剤３３を配置していてもよい。こうすることで、延出部３５ａ，３５ｂとベースプレート１５との間が完全に接着剤３３で埋められることになるので、延出部３５ａ，３５ｂとベースプレート１５との間の微小な隙間がなくなって、インク吐出によるインク飛沫の侵入とＵＶ接着剤３４の侵入とを確実に防ぐことができる。そのため、駆動電極２４間の短絡を確実に防ぐことができる。また、接着剤３３は特に限定するものではなく、ＦＰＣの材質及びベースプレート１５の材質を考慮して選定すればよい。例えば、延出部３５ａ，３５ｂとベースプレート１５とが対向する部分に表面処理等を施しておけば、半田などの接合部材を適宜選択して延出部３５ａ，３５ｂとベースプレート１５と接合することが可能である。接着剤３３が半田であればＦＰＣ４０とアクチュエータユニット２０との接合時に、同時にベースプレート１５とも接合することができる。
【００４８】
また、ＦＰＣ４０には、アクチュエータユニット２０の表面電極２６，２７の配置状態に対応して多数の配線パターン（図示せず）が形成されており、各表面電極２６，２７にそれぞれ電気的に接合されている。そして、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄにおけるアクチュエータ２０の各駆動電極２４のうち任意の駆動電極２４とコモン電極２５との間に駆動電圧（駆動信号）を印加することができるようになっている。これにより、所望の駆動電極２４の部分（即ち圧力発生部）に、積層方向の歪みを発生させ、この駆動電極２４に対応するノズル１０９から液滴状にインクを吐出させることで、用紙６２への所定の印字が行われる。
【００４９】
以上のように、本実施の形態のインクジェットヘッド６ａ〜６ｄによると、ＦＰＣ４０の接続部４１の長手方向に沿う接合部４３ｂ及び短手方向に沿う接合部４３ａが、流路ユニット１０の上面に近づくように屈曲した状態で流路ユニット１０に接触し、且つ延出部３５ａ，３５ｂと流路ユニット１０との間に接着剤３３が介在しているので、アクチュエータユニット２０の表面電極２６，２７、とりわけ側面電極２６ａ，２７ａにマイグレーション現象を起こすことがある接着剤やインク飛沫が付着するのを防ぐことができる。そのため、インク飛沫によって駆動電極２４並びにその他の各電極間が短絡するのを防ぐことができる。また、接着剤に起因したマイグレーションによる各電極間の短絡を抑制することができる。なお、本実施の形態においては、延出部３５ａ，３５ｂと流路ユニット１０との間に接着剤３３を介在させているが、ＦＰＣ４０の周縁領域と流路ユニット１０とが接触しているだけでも、上述のような効果を得ることができる。この場合には、接着剤３３は不要となる。
【００５０】
なお、ＦＰＣ４０の接合部４３は、アクチュエータユニット２０における複数の表面電極２６，２７の配設状態に対応して設けることができ、例えば、アクチュエータユニット２０のいずれかの端部に沿って表面電極２６，２７が配設されているのであれば、この端部に沿ってのみ接合部４３を設けてもよい。あるいは、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄをヘッドユニット６３として組み付けた場合、インクの飛沫やマイグレーション現象を起こすことがある接着剤が侵入しやすい部位があるのであれば、その部位に対応し接合部４３を設けるようにしてもよい。いずれにしても、電極間の短絡現象を効果的に抑制することができる。また、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄに含まれたＦＰＣ４０には、切り欠き部４２ｂが形成されているので、ＦＰＣ４０の配線パターンと駆動電極２４及びコモン電極２５とにそれぞれ接続された表面電極２６，２７とが接続された状態においてもその接続部に不必要な外力を与えることがない。ＦＰＣ４０の接合部４３がアクチュエータユニット２０の外形形状に合わせて容易に屈曲した状態となって流路ユニット１０に接着固定されることになるので、電極間の短絡現象を抑制することができるばかりか、ＦＰＣ４０の配線と表面電極２６，２７との電気的な接続も確保することができる。
【００５１】
続いて、本実施の形態によるインクジェットヘッドの製造方法について図面を参照しつつ以下に説明する。図８は、本発明の一実施の形態によるインクジェットヘッドの製造方法の工程図である。図９は、本発明の一実施の形態によるインクジェットヘッドの製造過程を示す概略図であり、（ａ）はＦＰＣをアクチュエータユニットに接続する状況を示した図であり、（ｂ）は流路ユニットの上面に接着剤を塗布した状況を示した図であり、（ｃ）はＦＰＣ４０の接合部４３の先端を流路ユニット１０に接着固定した状況を示した図である。
【００５２】
インクジェットヘッド６ａ〜６ｄを製造するには、流路ユニット１０及びアクチュエータユニット２０等の部品を別々に作製し、それから各部品を組み付ける。まず、ステップ１（Ｓ１）では、流路ユニット１０を作製する。流路ユニット１０を作製するには、これを構成する各プレート１１，１２，１３Ｘ，１３Ｙ，１４，１５にパターニングされたフォトレジストをマスクとしたエッチング及びハーフエッチングを施して、図４に示すような孔及び凹部を各プレート１１，１２，１３Ｘ，１３Ｙ，１４，１５に形成する。その後、インク供給口３９から共通インク室７、圧力室３６を経て、ノズル１０９至る個別インク流路が形成されるように位置合わせをし、６枚のプレート１１，１２，１３Ｘ，１３Ｙ，１４，１５をエポキシ系の熱硬化性接着剤を介して重ね合わせる。そして、６枚のプレート１１，１２，１３Ｘ，１３Ｙ，１４，１５を熱硬化性接着剤の硬化温度以上の温度に加圧しつつ加熱する。これによって、熱硬化性接着剤が硬化して６枚のプレート１１，１２，１３Ｘ，１３Ｙ，１４，１５が互いに固着され、図６に示すような流路ユニット１０が得られる。なお、６枚のプレート１１，１２，１３Ｘ，１３Ｙ，１４，１５は、金属接合によって互いに固着してもよい。この場合は、接着剤が不要となる。また、ノズルプレート１１の孔は、エッチングではなく、パンチング加工やレーザー加工によって形成してもよい。
【００５３】
一方、アクチュエータユニット２０を作製するには、まず、ステップ２（Ｓ２）において、圧電セラミックスのグリーンシート上に、駆動電極２４、コモン電極２５、表面電極２６，２７を導電性ペーストでスクリーン印刷によりそれぞれ形成する。そして、駆動電極２４が印刷されたグリーンシートとコモン電極２５が印刷されたグリーンシートとを交互に積層し、その上に表面電極２６，２７が印刷されたグリーンシートを載せて、治具を用いて位置合わせする。
【００５４】
そして、ステップ３（Ｓ３）において、ステップ２で得られた積層体を公知のセラミックと同様に脱脂し、所定の温度で焼成する。これにより、図６及び図７に描かれたようなアクチュエータユニット２０を作製することができる。なお、アクチュエータユニット２０は、流路ユニット１０とは異なり、一種類の設計形状だけで作製されるが、予め焼成による収縮量を見込んで電極のピッチ及びグリーンシートを製作する。また、アクチュエータユニット２０の側面に露出する駆動電極２４やコモン電極２５を表面電極２６，２７に接続する側面電極２６ａ，２７ａは、同様の印刷法で形成され、ステップ３の焼成工程前に、他の電極と同時に形成してもよいし、焼成工程後に改めて形成してもよい。
【００５５】
なお、ステップ１の流路ユニット作製工程と、ステップ２〜３のアクチュエータユニット２０作製工程は、独立に行われるものであるため、いずれを先に行ってもよいし、並行して行ってもよい。
【００５６】
次に、ステップ４（Ｓ４）において、ステップ１で得られた流路ユニット１０の圧力室３６に相当する凹部が多数形成された面に、熱硬化温度が８０℃程度であるエポキシ系の熱硬化性接着剤を、バーコーターを用いて塗布する。熱硬化性接着剤としては、例えば、二液混合タイプのものが用いられる。
【００５７】
次に、ステップ５（Ｓ５）において、流路ユニット１０に塗布された熱硬化性接着剤層状にアクチュエータユニット２０を載置する。このとき、各アクチュエータユニット２０は、圧力発生部と圧力室３６とが対向するように流路ユニット１０に対して位置決めされる。この位置決めは、予め作製工程（ステップ１〜ステップ３）のおいて流路ユニット１０及びアクチュエータユニット２０に形成された位置決めマーク（図示せず）に基づいて行われる。
【００５８】
次に、ステップ６（Ｓ６）において、流路ユニット１０と、流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０との間の熱硬化性接着剤と、アクチュエータユニット２０との積層体を図示しない加熱・加圧装置で熱硬化性接着剤の硬化温度以上に加熱しながら加圧する。そして、ステップ７（Ｓ７）において、加熱・加圧装置から取り出された積層体を自然冷却する。こうして、流路ユニット１０とアクチュエータユニット２０とで構成されたヘッド本体７０が製造される。
【００５９】
次に、ステップ８（Ｓ８）において、図９（ａ）に示すようにアクチュエータユニット２０の上面２０ａとＦＰＣ４０の接続部４１とが対向するように配置させつつ、ＦＰＣ４０をヘッド本体７０に近づく方向に加熱しながら加圧する。このとき、ＦＰＣ４０の各配線パターンと、駆動電極２４とコモン電極２５とにそれぞれ接続された表面電極２６，２７とがちょうど対応するように治具で位置合わせされた後、加熱加圧治具５５でＦＰＣ４０がヘッド本体７０に近づく方向に加圧される。そして、加熱加圧治具でＦＰＣ４０を加熱しながらアクチュエータユニット２０に対して加圧することでＦＰＣ４０の各配線パターンとアクチュエータユニット２０の表面電極２６，２７とが固着される。なお、ＦＰＣ４０の各配線パターンの端部には、表面電極２６，２７と接続可能なように半田製の接続端子が形成されており、ＦＰＣ４０が加熱されることで半田が溶融し、各配線パターンと表面電極２６，２７とがそれぞれ対応して接続される。
【００６０】
次に、ステップ９（Ｓ９）において、図３及び図９（ｂ）に示すように流路ユニット１０の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤３３を、流路ユニット１０の長手方向及び短手方向のそれぞれに沿って離散的に塗布する。このとき、接着剤３３は、流路ユニット１０の上面の長手方向に沿う両端部（図９（ｂ）における流路ユニット１０のＦＰＣ４０の接合部４３ｂに対向する部分）及び短手方向に沿う一端部側であってアクチュエータユニット２０とインク供給口３９間（図９（ｂ）における流路ユニット１０のＦＰＣ４０の接合部４３ａに対向する部分）に塗布される。また、変形例として、接着剤３３は流路ユニット１０の上面の長手方向に沿う両端部および短手方向に沿う一端部側であってアクチュエータユニット２０とインク供給口３９間に連続的に塗布してもよい。
【００６１】
次に、ステップ１０（Ｓ１０）において、図９（ｃ）に示す枠状の加熱加圧治具５６でＦＰＣ４０の接合部４３を流路ユニット１０に近づく方向に加熱しながら加圧して接合部４３の先端を流路ユニット１０の上面に接触させる。加熱加圧治具５６には、ＦＰＣ４０の接合部４３を流路ユニット１０の上面に接触させたときに、アクチュエータユニット２０がその内部に存在可能なように開口部５６ａが形成されており、ＦＰＣ４０の接合部４３だけを加熱加圧治具５６に沿わせて屈曲させることが可能となっている。また、ＦＰＣ４０には切り欠き部４２ａ，４２ｂが形成されているので、接合部４３が容易に加熱加圧治具５６に沿って屈曲する。
【００６２】
そして、ＦＰＣ４０の接合部４３を流路ユニット１０の上面に接触させた状態で、加熱加圧治具５６を加熱することで、加熱加圧治具５６と流路ユニット１０とで挟まれたＦＰＣ４０の接合部部分（延出部３５ａ，３５ｂ）が接着剤３３によって流路ユニット１０と接着固定される。なお、加熱加圧治具５６の開口部５６ａはアクチュエータユニット２０の平面形状より若干大きく形成されているので、ＦＰＣ４０の延出部３５ａ，３５ｂがアクチュエータユニット２０と比較的離れた位置で流路ユニット１０と接着固定される。こうして、本実施の形態によるインクジェットヘッド６ａ〜６ｄが完成する。そして、完成したインクジェットヘッド６ａ〜６ｄを本体フレーム６８の底板５の下面側に配置させ、本体フレーム６８の空所９ａ，９ｂからＵＶ接着剤３４を充填しインクジェットヘッド６ａ〜６ｄを本体フレーム６８に接着固定して取り付ける。
【００６３】
具体的には、上述の製造方法により得られたインクジェットヘッド６ａ〜６ｄからヘッドユニット６３を組み立てる場合、相対的な位置関係が決まっているヘッド保持手段とフレーム保持手段とを用いる。組み立て前において、ヘッド保持手段には、ＦＰＣ４０を露出した状態でインクジェットヘッド６ａ〜６ｄが保持されている。インクジェットヘッド６ａ〜６ｄの各ノズルプレート１１の吐出面にはマーカー（図示せず）が形成されており、このマーカーとヘッド保持手段の特定の位置に合わせて装着保持しておく。これにより、各インクジェットヘッド６ａ〜６ｄ間の相対位置関係が確定される。一方、フレーム保持手段には、本体フレーム６８が特定の位置に形成されたマーカーと位置合わせされた状態で、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄが固定される支持部８の開口を下に向けるように保持されている。この後、ヘッド保持手段とフレーム保持手段とを互いに相対移動させて、ちょうどＦＰＣ４０が固定されたアクチュエータユニット２０が本体フレーム６８の支持部８の開口に入り込むように、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄと本体フレーム６８（支持部８）を当接させる。これにより、支持部８に貫通形成された空所９ａ，９ｂから、流路ユニット１０の一部とＦＰＣ４０の延出部３５ａ，３５ｂの一部とが露出した状態で位置合わせされる。この状態で、支持部８の空所９ａ，９ｂからＵＶ接着剤３４を注入し、さらにＵＶ露光することで、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄと本体フレーム６８とが固定されてヘッドユニット６３の組み立てが完了する。上述のように本実施の形態では、アクチュエータユニット２０から延出したＦＰＣ４０の接合部４３が、流路ユニット１０に当接するように屈曲させられる工程を含んでいるので、容易な取り付け方法によって、電圧印加で電気的な短絡を起こすことがある接着剤やインク飛沫からアクチュエータユニット２０の各電極を隔離することができる。また、接合部４３の先端の延出部３５ａ，３５ｂが電気的な短絡を起こすことがない接着剤で流路ユニット１０に固定される工程を含んでいるので、電気的な短絡を起こすことがある接着剤やインク飛沫からアクチュエータユニット２０の各電極を確実に隔離することができるとともに、ＦＰＣ４０と流路ユニット１０とを強固に接合することができる。さらに、ヘッドユニット６３を組み立てる工程でも、支持部８の空所９ａ，９ｂからＵＶ接着剤３４を注入し、延出部３５ａ，３５ｂ（ＦＰＣ４０）から流路ユニット１０に架けて延在させる工程が含まれているので、ＦＰＣ４０と流路ユニット１０とをより強固に接合固定することができる。
【００６４】
変形例として、ＦＰＣ４０は、先に接合部４３を流路ユニット１０に接着固定した後に、ＦＰＣ４０の各配線パターンとアクチュエータユニット２０の表面電極２６，２７とをそれぞれ接続してもよい。
【００６５】
このような製造方法によって、上述した実施の形態によるインクジェットヘッド６ａ〜６ｄを容易に製造することが可能となり、ＦＰＣ４０の接合部４３が予め屈曲したＦＰＣを用意しておかなくてもよく、ＦＰＣ４０の製造コストが減少する。つまり、屈曲した接合部４３を有するＦＰＣ単体は、インクジェットヘッド６ａ〜６ｄを容易に製造することができる。しかし、製造工程において、屈曲部分がなく平面だけを有するＦＰＣを製造する製造工程中に、接合部４３に該当する屈曲部分を形成する非常に複雑な製造工程が増えるため、ＦＰＣ単体のコストが上昇し高価なＦＰＣとなる。本発明においては、単に切り欠き部４２ａ，４２ｂが形成されたＦＰＣ４０を適用するだけで、容易に接合部４３を屈曲させることが可能となり、ＦＰＣ４０の製造コストを減少させることができる。また、ＦＰＣ４０と流路ユニット１０とが接着剤３３で接着固定されているので、ＦＰＣ４０と流路ユニット１０とを強固に固定することができる。そのため、ＦＰＣ４０に外力が加わってもＦＰＣ４０の各配線パターンと表面電極２６，２７との接続部にその外力がほとんど伝わらない。したがって、ＦＰＣ４０とアクチュエータユニット２０との接続不良を防ぐことができる。
【００６６】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいてさまざまな設計変更が可能なものである。例えば、上述したインクジェットヘッド６ａ〜６ｄに含まれたＦＰＣ４０の接合部４３の先端に形成された延出部３５ａ，３５ｂは、流路ユニット１０の上面に平行に延在していなくても良く、接合部４３の先端が流路ユニット１０の上面であってアクチュエータユニット２０と対向していない領域と接触しておればよい。また、接合部４３は少なくともアクチュエータユニット２０の一方の長辺全域に沿って流路ユニット１０の上面と接触しておればよい。また、ヘッドユニット６３にサイズ的に余裕があるのなら、流路ユニット１０と接合部４３との境界をシリコン樹脂で被覆するようにしてもよい。これにより、さらに確実にインク飛沫やマイグレーション現象を起こすことがある接着剤がアクチュエータユニット２０に付着することを防ぐことができる。
【００６７】
なお、上述した本実施の形態では、ＦＰＣ４０の延出部３５ａ，３５ｂと流路ユニット１０とを固定するために、離散的に接着剤３３を配置しているが、その配置位置をＵＶ接着剤のような電気的な短絡を起こすことがある接着剤が注入される支持部８（本体フレーム６８）の開口位置に合わせていてもよい。電気的な短絡を起こすことがあるＵＶ接着剤やインク飛沫からアクチュエータユニット２０の各電極を確実に隔離するという観点からは、離散的に配置される各接着剤の延設長を、支持部８の開口に露出する延出部３５ａ，３５ｂと流路ユニット１０との境界の全長より少し長めに取っておくことが好適である。また、ヘッドの小型化という観点からは不利になるが、装置としてサイズ的な余裕があれば、接合部４３や延出部３５ａ，３５ｂと流路ユニット１０との境界を、その全長に亘って、シリコン樹脂のような電気的な短絡を起こすことがない接着剤で被覆するようにしてもよい。この場合、延出部３５ａ，３５ｂと流路ユニット１０との当接面を、本実施の形態にあるような熱硬化性の接着剤で固定してあった方が機械的な外力の入力に対して安定している点で有利であるが、必ずしも固定してなくてもよい。これにより、電気的な短絡を起こすことがあるＵＶ接着剤やインク飛沫からアクチュエータユニット２０の各電極をより確実に隔離することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の一実施の形態によるカラーインクジェットプリンタの内部構成を描いた概略斜視図である。
【図２】図１のインクジェットプリンタに含まれるヘッドユニットを上下逆さまにした状態の斜視図である。
【図３】インクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図４】流路ユニットの積層構造を示す分解斜視図である。
【図５】図４に示すV−V線に沿う断面拡大斜視図である。
【図６】図３に示すVI−VI線に沿う断面図である。
【図７】アクチュエータの積層構造を示す分解拡大斜視図である。
【図８】本発明の一実施の形態によるインクジェットヘッドの製造方法の工程図である。
【図９】本発明の一実施の形態によるインクジェットヘッドの製造過程を示す概略図であり、（ａ）はＦＰＣをアクチュエータユニットに接続する状況を示した図であり、（ｂ）は流路ユニットの上面に接着剤を塗布した状況を示した図であり、（ｃ）はＦＰＣの接合部の先端を流路ユニットに接着固定した状況を示した図である。
【図１０】従来のインクジェットヘッドの断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１  インクジェットプリンタ
１０  流路ユニット
２０  アクチュエータユニット
２４  駆動電極
２５  コモン電極（共通電極）
３３  接着剤（第１の接合部材）
３４  接着剤（第２の接合部材）
３５ａ，３５ｂ  延出部
３６  圧力室
３９  インク供給口
４０  ＦＰＣ（柔軟ケーブル）
４３  接合部（周縁領域）
６３  ヘッドユニット
７０  ヘッド本体
１０９  ノズル
【図１】
2005205617.tif 000003
【図２】
2005205617.tif 000004
【図３】
2005205617.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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