(57)【要約】【課題】  石英管と他のパイプ又は石英管相互を連結する継ぎ手構造において、石英管端部の外周面にエッチング現象による先細りその他の変形に適正に対応して液漏れを防止できる継ぎ手構造の実現。  【解決手段】  石英管と他のパイプ又は石英管相互を連結する継ぎ手構造において、石英管の一端が嵌挿される第1段差部を内周面に形成した継ぎ手本体と、石英管の外周面に嵌挿されて前記継ぎ手本体の端部に螺合する締結ナットと、締結ナットと石英管外周面との間に介装される抜け止め手段と、前記継ぎ手本体と石英管外周面との間に介装される第1シール手段とを具え、この第1シール手段は複数積層される断面Ｖ字パッキンとこれらを挟圧する第1および第2の押さえアダプタとで構成して、上記課題を解決する。【選択図面】    図1
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
石英管と他のパイプ又は石英管相互を連結する継ぎ手構造であって、石英管の一端が嵌挿される第1段差部を内周面に形成した継ぎ手本体と、石英管の外周面に嵌挿されて前記継ぎ手本体の端部に螺合する締結ナットと、締結ナットと石英管外周面との間に介装される抜け止め手段と、前記継ぎ手本体と石英管外周面との間に介装される第1シール手段とを具え、この第1シール手段は複数積層される断面Ｖ字パッキンとこれらを挟圧する第1および第2の押さえアダプタとで構成したことを特徴とする継ぎ手構造。
【請求項２】
請求項１の継ぎ手構造において、前記抜け止め手段は石英管の外周面に刻設した溝部とこの溝部に嵌合され締結ナットに係合するリングにより構成され、前記第1シール手段は前記継ぎ手本体の前記第1段差部内周面に凹設された第2段差部と石英管外周面との間に介装され、前記第1および第2押さえアダプタは、それぞれ石英管に嵌挿されてその外周面に密着するとともに前記リングに係止される環状体と前記第2段差部の突き当て面とにより構成して、前記締結ナットの締め付けによる押さえアダプタの押圧により前記パッキン群が継ぎ手本体と石英管外周面との間を緊密にシールするようにしたことを特徴とする継ぎ手構造。
【請求項３】
請求項２の継ぎ手構造において、前記第1シール手段に係るパッキン群の各々のパッキンはその断面Ｖ字形状において谷部の傾斜角を山部の傾斜角より小となるように形成して前記押さえアダプタの押圧による各パッキンの内外径方向への拡張を増幅して継ぎ手本体と石英管外周面との間の強固なシール性を確保するようにしたことを特徴とする継ぎ手構造。
【請求項４】
請求項１ないし３いずれかの継ぎ手構造において、石英管先端の端面部と第1段差部の突き当て面との間に第2シール手段を介装し、この第2シール手段は石英管の前記端面部に形成した溝部と第1段差部の前記突き当て面に形成され前記溝部に係合密着する環状突部とで構成したことを特徴とする継ぎ手構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、半導体、液晶等の製造工程において使用される石英管相互又は石英管と樹脂パイプとを接続するための継ぎ手構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、上述のような継ぎ手構造としては、例えば、図６に示すようなものがある。すなわち、継手本体２の一端側接続部２ａに石英菅３の端部を差込み、上記石英菅３の外周面上に挿嵌した締付ナット４と継手本体２の一端側接続部２ａとを石英管３の外周面上に  挿嵌した締付けリング６を介して螺合し、この締付けリング６の端部との端部と上記継手本体２の一端側接続部２ａとに形成したテーパ面６ｂ、１０ａを合致して、前記石英菅３の外周面上に圧着固定される方向に上記締付リング６を縮径変形すると共に、前記石英菅３の外周面上に刻設した周溝に抜止めリング５を嵌着固定し、該抜止めリング５を前記石英菅３上に挿嵌した締付ナット４と締付リング６との対向面間に保持するようになっている。
【０００３】
ところで、例えば送液が水酸化カリウム水溶液あるいは（アンモニア＋過酸化水素）溶液等のような石英中のＳｉに化学的に作用する液体の場合、石英管端部から滲出した溶液により石英管端部の外周面が時間の経過とともに徐々に侵食され、いわゆるエッチング現象が発生し石英管の端部が先細り形状になる。しかしながら、上記従来技術では石英管の外周面の先細り現象に締付リング６、継手本体２の内周面が追従できずシール不良となり液漏れが発生する。
【０００４】
前記問題点を解決するために有効な技術は未だ実現されていないが、関連特許文献としては、以下に示すものがある。
【特許文献１】特開昭６１−１０５３９１号
【特許文献２】特開平５−８７２８７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本願発明が解決しようとする課題は、石英管と他のパイプ又は石英管相互を連結する継ぎ手構造において、石英管端部の外周面にエッチング現象による先細りその他の変形による液漏れの防止である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明は、石英管と他のパイプ又は石英管相互を連結する継ぎ手構造を、石英管の一端が嵌挿される第1段差部を内周面に形成した継ぎ手本体と、石英管の外周面に嵌挿されて前記継ぎ手本体の端部に螺合する締結ナットと、締結ナットと石英管外周面との間に介装される抜け止め手段と、前記継ぎ手本体と石英管外周面との間に介装される第1シール手段とを具え、この第1シール手段は複数積層される断面Ｖ字パッキンとこれらを挟圧する第1および第2の押さえアダプタとで構成することにより、上記課題を解決しようとするものである。
【０００７】
また、上記の継ぎ手構造において、前記抜け止め手段は石英管の外周面に刻設した溝部とこの溝部に嵌合され締結ナットに係合するリングにより構成され、前記第1シール手段は前記継ぎ手本体の前記第1段差部内周面に凹設された第2段差部と石英管外周面との間に介装され、前記第1および第2押さえアダプタは、それぞれ石英管に嵌挿されてその外周面に密着するとともに前記リングに係止される環状体と前記第2段差部の突き当て面とにより構成して、前記締結ナットの締め付けによる押さえアダプタの押圧により前記パッキン群が継ぎ手本体と石英管外周面との間を緊密にシールするように構成することがある。
【０００８】
さらに、  上記の継ぎ手構造において、前記第1シール手段に係るパッキン群の各々のパッキンはその断面Ｖ字形状において谷部の傾斜角を山部の傾斜角より小となるように形成して前記押さえアダプタの押圧による各パッキンの内外径方向への拡張を増幅して継ぎ手本体と石英管外周面との間の強固なシール性を確保するようになすことがある。
【０００９】
またさらに、上記いずれかの継ぎ手構造において、石英管先端の端面部と第1段差部の突き当て面との間に第2シール手段を介装し、この第2シール手段は石英管の前記端面部に形成した溝部と第1段差部の前記突き当て面に形成され前記溝部に係合密着する環状突部とで構成することがある。
【発明の効果】
【００１０】
本願発明で、石英管端部外周面にエッチング現象による先細り等の変形が生じても上記構成を有する第1シール手段が継ぎ手本体内周面とこの内周面に対向する石英管外周面との間を常時緊密にシールすることにより上記従来技術に見られる液漏れは生じない。すなわち、石英管の外周面に先細り等の変形が生じても、第1シール手段における複数の断面Ｖ字パッキンは押さえアダプタにより常時挟圧されていて内径外径方向へ膨張付勢される状態にあるからパッキンは前記先細り等の変形に追従して確実堅固なシール性を確保できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
石英管と他のパイプ又は石英管相互を連結する継ぎ手構造は、石英管の一端が嵌挿される第1段差部を内周面に形成した継ぎ手本体と、石英管の外周面に嵌挿されて前記継ぎ手本体の端部に螺合する締結ナットと、締結ナットと石英管外周面との間に介装される抜け止め手段と、前記継ぎ手本体と石英管外周面との間に介装される第1シール手段とを具え、この第1シール手段は複数積層される断面Ｖ字パッキンとこれらを挟圧する第1および第2の押さえアダプタとで構成される。そして、前記抜け止め手段は石英管の外周面に刻設した溝部とこの溝部に嵌合され締結ナットに係合する割りリングにより構成され、前記第1シール手段は前記継ぎ手本体の前記第1段差部内周面に凹設された第2段差部と石英管外周面との間に介装され、前記第1および第2押さえアダプタは、それぞれ石英管に嵌挿されてその外周面に密着するとともに前記リングに係止される環状体と前記第2段差部の突き当て面とにより構成して、前記締結ナットの締め付けによる押さえアダプタの押圧により前記パッキン群が継ぎ手本体と石英管外周面との間を緊密にシールするようにする。
【００１２】
そして、前記継ぎ手本体、締結ナット、リング類はＰＴＦＥ、ＰＦＡ等の耐薬品性、耐熱性、耐圧性に優れた樹脂材により形成する。  また、断面Ｖ字形状のパッキンは、いわゆる通常のＶパッキンを使用してアダプタ(おす、めす)をはさんで組み込まれる。パッキンはゴム又は布入りゴムのものでよいが、溶液の種類に応じてフッ素樹脂製等を採用しても良い。
【００１３】
また、前記第1シール手段に係るパッキン群の各々のパッキンはその断面Ｖ字形状において谷部の傾斜角を山部の傾斜角より小となるように形成して前記押さえアダプタの押圧時に、前記谷部が山部を拡幅するようにして各パッキンの内外径方向への拡張力を増幅し継ぎ手本体と石英管外周面との間の強固なシール性を確保するようする。
【００１４】
さらに、石英管先端の端面部と第1段差部の突き当て面との間に第2シール手段を介装し、この第2シール手段は石英管の前記端面部に形成した溝部と第1段差部の前記突き当て面に形成され前記溝部に係合密着する可撓性材による環状突部とで構成して、送液の石英管外周面に漏出することを防止すればさらに良好なシール効果を得られるが、石英管端部端面における溝部の形成は加工が容易とは言えず、またたとえ送液が漏洩しても前記第1シール手段によりシール性は確保できるから第2シール手段は、通常は必ずしも必要とされない。
【実施例】
【００１５】
図１は、本願発明に係る継ぎ手構造の１実施例を示す要部断面図である。
図において、１１は継ぎ手構造を示し、石英管と樹脂（ＰＦＡ）チューブとがこの継ぎ手構造１１により連結されている。  １２は継ぎ手本体であり、この継ぎ手本体１２の一端側には石英管１３の端部が継ぎ手本体１２の内周面に環状に形成された第1段差部１４に嵌合され挿通され、後述の各要素により強固に固定されている。
【００１６】
前記第1段差部１４の内周面にはさらに第2段差部１５が周設されている。この第2段差部１５に第1シール手段が設けられ、継ぎ手本体１２の内周面と石英管１３の外周面との間に介在して石英管と継ぎ手本体の間を流通する各種送液のシーリングをなしている。
第1シール手段は複数積層される断面Ｖ字パッキンとこれらを挟圧する第1および第2の押さえアダプタとで構成されている。すなわち、１６は環状をなして石英管１３の外周面に嵌挿される複数の断面Ｖ字パッキンで、石英管１３の外周面に嵌挿されている環状の第1押さえアダプタ（メス）１７と第2段差部１５の突き当て面で構成される第2押さえアダプタ（オス）とにより押圧され、石英管13外周面と第2段差部１５の内周面に圧接して前記両者は完全に遮断されシーリングされることになる。  なお、各パッキン１６、第1押さえアダプタ１７は、ゴム又は布入りゴムで形成されている。
【００１７】
１８は、石英管１３の外周面に刻設された環状溝部に嵌合される環状リングであり、溝部とこのリング１８により抜け防止手段が構成され、後述の締結ナット１９を係止して継ぎ手本体１２の抜けを防止するようになっている。
19は、石英管１３の外周面に嵌合され前記継ぎ手本体１２に螺合する締結ナットである。この締結ナット１９の裏面には前記抜け防止手段のリング１８が当接することにより、締結ナット１９とこれに螺合する継ぎ手本体１２が石英管１３から脱落するのを防止している。  なお、図1において、２０は樹脂（ＰＦＡ）チューブ２１を継ぎ手本体１２に連結する締め付けナットである。
【００１８】
図2は、前記第1シール手段の細部構成を示す一部切欠斜視図である。  環状体をなして石英管１３に嵌挿される第1押さえアダプタ（メス）１７の谷部に断面Ｖ字パッキン１６の山部が対向し、順次に複数のパッキン１６が互いの山部と谷部を接するように重なりあい、最後部のパッキンの谷部は第2押さえアダプタ（オス）としての前記第2段差部１５の突き当て面およびここに形成される突条部に嵌合支持され、前記締結ナット１９の回転により継ぎ手本体１２が螺進して第1および第2押さえアダプタ押圧してパッキンを挟圧することにより第1シール手段が機能する。
【００１９】
図3は、第1シール手段のＶ字形状パッキンの１実施例を示す断面図である。この実施例において、断面Ｖ字状パッキン１６、１６の山部１６ａと谷部１６ｂとの傾斜角度は異なって形成されている。すなわち、図示のように、山部１６ａの傾斜角は谷部１６ｂの傾斜角より大きく設定されていて、このため隣接するパッキン１６、１６においてパッキンの押圧時に谷部１６ｂは山部１６ａにより拡開される。このような谷部１６ｂの拡開は、図1の第2段差部１５内においてパッキン１６が石英管１３の外周面方向および継ぎ手本体１２の内周面（第2段差部の内周面）方向に拡幅することを意味し、このため石英管１３の外周面に変形が生じていてもパッキンはその外周面に強固に当接するから良好なシール性を確保できる。  この点は図4により、さらに説明する。
【００２０】
図4は、石英管１３の端部外周面において送液（水酸化カリウム水溶液等）によりエッチング現象が発生して縮径が生じた場合の第1シール手段の対応状態を示す一部切欠断面図である。実験に供した石英管１３の端部は送液の作用により先細り形状に変形し、端部直径は原状19.5ミリから18.5ミリと縮径化が進んでいる。このような状況にも第1シール手段は適正に対応し所望のシール性を確保している。  すなわち、第1押さえアダプタ17等により挟圧されたパッキン１６，１６は前述のように石英管１３の径方向で内外に拡張するから縮径された石英管１３の外周面を強固にシーリングできることになる。
【００２１】
図5は、本願の継ぎ手構造に係る他の実施例を示す一部切欠断面図である。この実施例は第2シール手段を具備しているが、その他の構成は図1に示す実施例と同一であるので重複説明は省略する。
この実施例において、石英管１３先端の端面部と第1段差部１４の突き当て面との間には第2シール手段が介装されている。すなわち、この第2シール手段は石英管１３の前記端面部に形成した環状溝部２２と第1段差部１４の前記突き当て面に形成され前記環状溝部２２に係合密着する環状突部２３とで構成されている。  締結ナット１９を回転させると、継ぎ手本体１２が螺進して前記感情溝部２２と環状突部２３と係合が強固となり、前記第1シール手段の作用と相俟ってシール性能の一層の強化を期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本願発明に係る継ぎ手構造の１実施例を示す要部断面図である。
【図２】第1シール手段の細部構成を示す一部切欠斜視図である。
【図３】第1シール手段のＶ字形状パッキンの１実施例を示す断面図である。
【図４】エッチング現象が発生した場合の第1シール手段の対応状態を示す一部切欠断面図である。
【図５】本願の継ぎ手構造に係る他の実施例を示す一部切欠断面図である。
【図６】従来例に係る斜視図である。
【符号の説明】
【００２３】
１１        継ぎ手構造
１２        継ぎ手本体
１３        石英管
１４        第1段差部
１５        第2段差部
１６        断面Ｖ字状パッキン
１７        第1押さえアダプタ
１８        抜け止め手段
１９        締結ナット  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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