(57)【要約】【課題】  施工後も長期にわたり安定した電気的接続を維持することができる導電性を備え、かつ施工が容易な導通接続用テープ及びそのテープを有するテープ組立体を提供する。【解決手段】  本発明に係るテープ組立体１０は、導通接続用テープ１１と、導通接続用テープ１１の一方の面に貼り合わされる剥離紙２０と、剥離紙２０の面に剥離可能に貼り合わされるマーカー２４とを有する。導通接続用テープ１１は、銅箔又はアルミ箔等の導電性材料を基材とする導電性テープ１２と、ポリ塩化ビニル、アセテート又はポリイミド等の合成樹脂を基材とする保護テープ１４とを有する。保護テープ１４は導電性テープ１２よりも面積が大きく、かつ導電性テープ１２の周縁を完全に囲繞するように、適当な接着剤を用いて貼り合わされる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の床材間を電気的に接続するための導通接続用テープであって、導電性テープと、該導電性テープの一方の面の全体に貼り合わされるとともに該導電性テープの外縁から外側に延びる張出し部分を全周にわたって有する保護テープとを有することを特徴とする、導通接続用テープ。
【請求項２】
請求項１に記載の導通接続用テープと、該導通接続用テープの一方の面に貼り合わされる剥離紙と、該剥離紙及び前記導通接続用テープが有する前記保護テープの少なくとも一方に剥離可能に貼り合わされるマーカーとを有する、テープ組立体。
【請求項３】
導電層を有する複数の帯電防止用の床材の施工方法であって、
請求項１に記載の導通接続用テープを用意することと、
前記導通接続用テープを隣接する前記複数の床材の前記導電層に貼り付けて該複数の床材を互いに導通接続させることと、
を含む施工方法。
【請求項４】
導電層を有する複数の帯電防止用の床材の施工方法であって、
請求項２に記載のテープ組立体を用意することと、
前記テープ組立体が有する前記剥離紙を該テープ組立体から剥離し、該テープ組立体の前記導通接続用テープを隣接する前記複数の床材の前記導電層に貼り付けて該複数の床材を互いに導通接続させることと、
前記テープ組立体が有する前記マーカーを、前記複数の床材の少なくとも１つにおける、前記導通接続用テープが貼付された部位の略裏側を示すように貼付することと、
を含む施工方法。
【請求項５】
請求項１に記載の導通接続用テープを用いて互いに電気的に接続された複数の床材を有する帯電防止用の床。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工場等の建築物の床面の静電気対策として用いられる帯電防止用の床材を電気的に接続するための導通接続用テープ、そのテープを有するテープ組立体及びそれらの施工方法、並びにそのテープを用いた帯電防止用の床に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を製造する等の、静電気に敏感な部品又は機器を扱う部屋又は領域等においては、その床面に静電気対策を施す必要があり、多くの場合帯電防止用の床材が使用される。従来の一般的な帯電防止用の床材は、電気抵抗値の比較的高い上層と比較的低い下層すなわち導電層とを備え、タイル、シート等の形態を有する。通常、個々の床材の面積は敷設される床面の面積に比べて相当に小さいので、複数枚の床材が接着剤等を用いて床面に敷き詰められる。この際、床材上の作業者や移動物から生じる静電気を逃がすためには、床材の下層からアース線を引出して、適当な箇所に設けられたアースすなわち接置点に接続する必要がある。しかし複数枚の床材それぞれからアース線を引出すことは現実的でないので、例えば特許文献１に示されるように、導電性粘着テープを用いて隣接する床材の下層を互いに電気的に接続し、アース線の数は極力少なくする（例えば１００ｍ2につき１〜２つ）ことが一般的である。
【０００３】
隣接する床材を互いに電気的に接続する他の方法としては、導電性テープの代わりに導電性接着剤を使用する方法がある。例えば特許文献２には、導電性接着剤を隣接する床材間に塗膜状に塗布した後、その上に合成樹脂テープを貼付してなる導電性構造物が記載されている。
【０００４】
隣接する床材を互いに電気的に接続するさらなる他の方法として、例えば特許文献３には、導電性の糸を含む織布を床材に積層させることにより、導電性接着剤を殆ど使用しない帯電防止床が記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６２−２３４８９９号公報
【特許文献２】特開２０００−１０１２８２号公報
【特許文献３】特開平６−６６０１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
導電性テープの使用については、テープの貼付直後は良好な電気的接続状態が得られるが、特に床がコンクリートの場合、時間の経過に伴い下地から漏出する水分やコンクリートのアルカリ成分等の影響によりテープが劣化又は変性し、長期にわたり安定した電気的接続を維持できないという問題がある。また、床材施工時における床材の突合せカット処理の際、導電性テープが床材端部とともに切断されてしまうことがあり、それにより床材間の電気的接続が失われるという問題がある。一方導電性接着剤を使用する場合は、上述の導電性テープと同様に下地からの水分等により接着剤が劣化することに加えて、接着剤と床材の下層とが剥離して電気的接続が不安定になる危険性がある。さらに導電糸を含む織布を使用する方法は、接続箇所が少なく仕上がりが美しいという長所があるが、施工が面倒でありコストも高くなるという短所がある。
【０００７】
またいずれの方法も、施工時は特別な注意及び労力を必要とし、結果として施工費単価が増加する一方、施工者の熟練度により施工後の品質に大きなばらつきが生じる虞があった。
【０００８】
そこで本発明は、施工後も長期にわたり安定した電気的接続を維持することができる導電性を備え、かつ施工が容易な導通接続用テープ及びそれを有するテープ組立体を提供し、さらにそれらの施工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、複数の床材間を電気的に接続するための導通接続用テープであって、導電性テープと、該導電性テープの一方の面の全体に貼り合わされるとともに該導電性テープの外縁から外側に延びる張出し部分を全周にわたって有する保護テープとを有することを特徴とする、導通接続用テープを提供する。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の導通接続用テープと、該導通接続用テープの一方の面に貼り合わされる剥離紙と、該剥離紙及び前記導通接続用テープが有する前記保護テープの少なくとも一方に剥離可能に貼り合わされるマーカーとを有する、テープ組立体を提供する。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、導電層を有する複数の帯電防止用の床材の施工方法であって、請求項１に記載の導通接続用テープを用意することと、前記導通接続用テープを隣接する前記複数の床材の前記導電層に貼り付けて該複数の床材を互いに導通接続させることと、を含む施工方法を提供する。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、導電層を有する複数の帯電防止用の床材の施工方法であって、請求項２に記載のテープ組立体を用意することと、前記テープ組立体が有する前記剥離紙を該テープ組立体から剥離し、該テープ組立体の前記導通接続用テープを隣接する前記複数の床材の前記導電層に貼り付けて該複数の床材を互いに導通接続させることと、前記テープ組立体が有する前記マーカーを、前記複数の床材の少なくとも１つにおける、前記導通接続用テープが貼付された部位の略裏側を示すように貼付することと、を含む施工方法を提供する。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の導通接続用テープを用いて互いに電気的に接続された複数の床材を有する帯電防止用の床を提供する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る導通接続用テープを使用することにより、以下の効果が得られる。
保護テープがあることにより、床材を下地に接着するための接着剤（一般に導電性ではない）が導電性テープと床材との間に浸入して導通不良に至ることが防止される。
保護テープが導電性テープの床材への密着性を高めるので、導電性テープの床材への密着不足による導通不良が防止される。
保護テープがあることにより、導電性テープが外部環境の水分、空気及び塵埃に曝されて劣化又は変性することが長期にわたり防止される。
【００１５】
さらに本発明に係るテープ組立体が有するマーカーを使用することにより、床材の下地への接着後に導通接続用テープの貼付位置を作業者が容易に確認できるようになり、後の施工（例えば寸法合わせのために床材の一部を切除する）において誤って導通接続用テープを切断してしまうことが防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら本発明を詳細に説明する。
図１（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ本発明に係るテープ組立体１０の平面図及び断面図である。なお図１（ｂ）は、明瞭化のためテープ厚み方向（図面上下方向）に拡大されている。テープ組立体１０は、本発明の一実施形態に係る導通接続用テープ１１と、導通接続用テープ１１の一方の面に貼り合わされる剥離紙２０と、剥離紙２０の面及び導通接続用テープ１１が有する保護テープ１４の面の少なくとも一方（図示例では剥離紙２０）に剥離可能に貼り合わされるマーカー２４とを有する。
【００１７】
導通接続用テープ１１は、銅箔又はアルミ箔等の導電性材料を基材とする例えば略長方形の導電性テープ１２と、ポリ塩化ビニル、アセテート又はポリイミド等の合成樹脂を基材とする例えば略長方形の保護テープ１４とを有し、さらに保護テープは片方の面に例えばゴム系の粘着剤又は粘着層１６を有する。図示されるように保護テープ１４は、導電性テープ１２よりも面積が大きく、導電性テープ１２の一方の面の全体に貼り合わされるとともに導電性テープ１２の外縁から外側に延びる張出し部分１４ａを有する。より詳細には、導電性テープ１２の外縁が好ましくは全て保護テープ１４の外縁に囲繞され、かつ双方の外縁が互いに接しないように、粘着剤１６によって保護テープ１４に貼り合わされる。また導電性テープ１２は、保護テープ１４と反対側すなわち床材の導電面に貼付される側の面に導電性の粘着剤又は粘着層１８を有することが好ましい。粘着層１８はなくてもよいが、床材の導電面はエンボス加工される場合があるため、粘着層を有する方がより確実な導通接続が得られるからである。
【００１８】
保護テープ１４を使用する目的は、長期にわたり安定した導通接続の提供である。すなわち、導通接続用テープ１１が施工すなわち床材に貼られた状態において、保護テープ１４があることにより、床材を下地に接着するための接着剤（一般に導電性ではない）が導電性テープ１２と床材との間に浸入して導通不良に至ることが防止される。また保護テープ１４は床材への密着性を高めるので、例えば導通接続用テープが導電性テープのみからなる場合に生じ得る床材への密着不足による導通不良が防止される。さらに、保護テープ１４があることにより、導電性テープ１２が外部環境の水分（例えば床マット下部からの水分）、空気及び塵埃に曝されて腐食、劣化又は変性することが長期にわたり防止される。
【００１９】
剥離紙２０は、テープ未使用時に粘着層１６及び１８に汚れ等が付着することを防止する。剥離紙２０は、好ましくは保護テープ１４とほぼ合同であり、粘着層１６及び１８に貼り合わされた状態で提供される。さらに剥離紙２０は、図示されるように、例えば自らの長手方向（図１（ａ）における左右方向）に垂直であって剥離紙２０を２等分するような切込２２を有する。あるいは切込２２の代わりに、２つの剥離紙２０ａ及び２０ｂをテープ中央付近で部分的に重ね合わせる構造であってもよい。導通接続用テープ１１を使用するときは、剥離紙２０を切込２２から分断して剥がすか、又は剥離紙２０ａ及び２０ｂを重ね合わせ部分から互いに離れるように剥がして、傷口に絆創膏を貼るときのような要領で簡単に床材の所定箇所に貼付することができる。
【００２０】
マーカー２４は、剥離紙２０の保護テープ１４に貼付される面とは反対側の面に貼付されることが好ましい。このマーカー２４は、例えばポリエチレンテレフタレートからなるフィルムであり、導通接続用テープ１１を床材の下層面すなわち導電層面に貼付した後に、剥離紙２０から剥がされてその床材の上層面すなわち表面静電気拡散層面に貼付される。マーカー２４は、図示されるような矢羽形状であってもよいし、矢印又は特定の箇所（すなわちテープ１１の貼付箇所）を明示できる他の形状であってもよい。
【００２１】
マーカー２４は、弱粘着剤又は弱粘着層２６を有することが好ましい。この弱粘着剤は、剥離紙２０又は床材の表面に貼付されているときに、手で容易に剥がすことができるが、温湿度等の環境の変化によって又は偶然には剥がれない程度の粘着力を有し、その粘着力の一例としては３１．７５ｍｍ（１．２５インチ）当たり約０．７８Ｎ（０．２５Ｎ／ｃｍ）であり、好ましい粘着力の範囲は０．１〜１０Ｎ／ｃｍである。弱粘着剤２６としてはアクリル系の微小球粘着剤が好適である。さらにこの弱粘着剤２６は熱による膨張、劣化及び変性を実質的に生じないことが好ましい。このマーカー２４の作用及び効果については後述する。
【００２２】
保護テープ１４の材質としては上述の合成樹脂が使用可能であるが、貼り付けられる床材に物性が近いものが好ましい。その理由は、特に床材がポリ塩化ビニルを基材とする場合は粘着剤又は可塑剤の移行が生じやすく、長期にわたる使用の間に粘着剤の保持力が低下してテープが剥離することが多いからである。
【００２３】
上述のように保護テープ１４は導電性テープ１２よりも面積が大きい。しかし導電性テープ１２の面積は、過少であれば床材間が十分に導通されず、過大であれば不経済である。また保護テープ１４の面積は、導電性テープ１２より十分に大きくないと水分等の進入を確実に防止できないが、過大であればやはり不経済であるし取扱いにくくなる。以上のような観点から、各々のより好ましい寸法を調べるための実験を行った。実験された３つの実施例及び１つの比較例について、テープ寸法、床材間の接続抵抗及び劣化加速試験結果を表１に示す。なお劣化加速試験は８５℃、相対湿度８５％の環境下に５００時間放置することにより行い、劣化の有無は接続抵抗の経時変化及び導電性テープの銅箔の変色の有無で判断した。この接続抵抗とは、導通接続用テープにより接続された２つの床材の表面上の任意の点の間の電気抵抗値である。また図１（ａ）に示されるように、表中の寸法値Ｗ１及びＬ１は、それぞれテープ幅方向（図１（ａ）における上下方向）及び長さ方向（同じく左右方向）における導電性テープ１２と保護テープ１４との周縁の距離（以降、それぞれ幅方向マージン及び長さ方向マージンと称する）であり、Ｗ２及びＬ２はそれぞれ導電性テープ１２の幅及び長さである。なお比較のために、保護テープを有さない従来の銅箔テープ（すなわちＷ１＝Ｌ１＝０）の実験結果も併せて示す。
【００２４】
【表１】
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【００２５】
実施例１と実施例２との加速試験結果の比較から、幅方向マージンＷ１は３ｍｍでは導電性テープの変色すなわち劣化が確認されたが、１２．５ｍｍは良好であった。好適なＷ１の範囲は約５〜２０ｍｍである。
また実施例１と実施例３との加速試験結果の比較から、長さ方向マージンＬ１は５ｍｍでは導電性テープの変色が見られたが、２０ｍｍでは確認されなかった。好適なＬ１の範囲は約１０〜１００ｍｍである。
さらに実施例１〜３と従来品との初期接続抵抗値の比較から、導電性テープ長さＬ２は８０ｍｍでは導電性テープの床材に対する貼付面積が小さすぎ、初期接続抵抗値が大きくなることが確認された。一方、Ｌ２が２４０ｍｍのときは初期接続抵抗値は好適な範囲内であった。好適なＬ２の範囲は約１００〜５００ｍｍである。ただしこれはテープ幅が２５ｍｍの場合であり、例えばテープ幅がより狭い場合は好適なＬ２の範囲がより長くなる。
導電性テープの幅Ｗ２の好適値については、上述のようにＬ２との関係で変化する。Ｌ２が２４０ｍｍの場合は、２５ｍｍにおいて良好な結果が得られており、好適なＷ２の範囲は約１０〜５０ｍｍである。
【００２６】
なお上記Ｗ１及びＬ１の好適値の範囲は、テープが貼付される床材の下層面すなわち導電層面の表面粗さによって変化する。床材の下層面がエンボス加工等により粗くなっているときは、保護テープが有する粘着剤の種類によっては保護テープと床材の下層面との間に微小な隙間が生じて水分等が浸入しやすくなるので、保護テープは大きい面積が必要になるからである。表１に示す実験においては、下層面がエンボス加工された床材が使用されており、従って例えば下層面がエンボス等を加工されずより平坦に近い場合には、好適なＷ１及びＬ１の値はより低くなる。
【００２７】
以降は、テープ組立体１０の導通接続用テープ１１の施工方法について説明する。
導通接続用テープ１１は、図２に示されるように、帯電防止を必要とする床面すなわち下地に敷設された複数の床材（本実施例ではシート）６０を互いに電気的に接続するために使用される。使用されるシート６０は、電気抵抗値の比較的高い上層と比較的低い下層すなわち導電層とを備える一般的なタイプのものである。また導通接続用テープ１１の施工は、下地の大きさに適合するように寸法決めされたシートを下地に接着する工程の間に行われる。
【００２８】
より詳細には、先ず上層６２ａ、６２ｂ及び導電層６４ａ、６４ｂをそれぞれ有する帯電防止用シート６０ａ及び６０ｂを下地５０上の所定位置に下向きにして隣接配置し、図３（ａ）に示されるように、それらのシート６０ａ及び６０ｂを、それぞれ例えば長さ方向に適当な長さだけ折り返し、例えば２液混合硬化型エポキシ系の接着剤を適当なクシゴテ等を用いて折り返された導電層６４ａ及び６４ｂの面に塗布する。このとき、後に導通接続テープ１１が貼付される部位には接着剤を塗布しないようにする。導通性確保のためである。
次に図３（ｂ）に示されるように、シート６０ａ及び６０ｂの折り返された部分を徐々に元に戻すことによりシート６０ａ及び６０ｂの導電層６４ａ及び６４ｂの面を中央から端部に向けて下地５０上に接着していき、さらに導電層６４ａ及び４６ｂの面がそれらの端部まで完全に下地５０に接着される前に、シート６０ａ及び６０ｂの境界付近に相当する下地５０上の部分の上に、剥離紙２０が剥がされたテープ組立体１０すなわち導通接続用テープ１１を、その粘着層１６及び１８を上に向けて配置する。このことにより、導電層６４ａ及び６４ｂが互いに導通接続される。
次にシート６０ａ及び６０ｂの端部を、導通接続用テープ１１を覆うようにして完全に下地５０上に接着する（図３（ｃ））。
最後に、剥がされた剥離紙２０が有するマーカー２４を、シート６０ａ及び６０ｂの上層６２ａ及び６２ｂの少なくとも一方の面上であって、導通接続用テープ１１が貼付された導電層６４ａ及び６４ｂの部位のほぼ裏側を示すように貼付する（図３（ｄ））。なお、図２に示されるように、導通接続用テープ１１の施工前又は適当なときに予め複数のシートのいくつかにアース線６６が取付けられ、シート接着後にそれらのアース線は別途設けられたアース６８に接続される。以上により、帯電防止用シート６０ａ及び６０ｂの電気的接続が完了する。
【００２９】
使用される導通接続用テープ１１の枚数は、シート形状が長辺９ｍ、短辺１．８ｍの矩形である場合は、図２に示されるように長辺につき２枚、短辺につき１枚が適当である。ただし上記と異なる寸法のシートの場合は、予め導通接続用テープの使用枚数と隣接するシート間の抵抗値との相関を確認し、適切な使用枚数を定めておくことが望ましい。
【００３０】
次にマーカー２４の作用及び効果について説明する。通常のシートは長辺及び短辺それぞれに数ｍｍ程度の誤差を有するので、全てのシートを下地面全体にわたって厳密に重なり部分も隙間もなく敷き詰めることは非常に難しい。よって重なり部分が生じた場合は、後にカッター等で切除される。また床マット接合部分の隙間に溶接処理を施す場合は、床材の表面と同じ材料を用意しそれを溶融させてその隙間を埋める等の措置がなされるが、溶融した材料を容易に流し込むために予め隙間を広げてその断面がＶ字の溝状にする（いわゆるＶカット）必要があり、カッター等によりシートの一部が切除される。これらの切除作業において、導通接続用テープ１１の貼付位置を明示するマーカー２４があることにより、シート接着後は見えないテープ１１の存在に気付かずに誤ってテープ１１を切断してしまうという不都合を防止することができる。
【００３１】
マーカー２４の代わりにマーキングペン等を用いてテープ１１の貼付箇所をシート上に印すことも可能であるが、この場合は上記の措置がなされる前にその印が消えてしまったり、逆に印が後々まで床材上に消えずに残って見映えを悪くしたりする等の不具合が生じる場合がある。それに対し、本発明に係るマーカー２４は、上述のように弱粘着剤２６を有するので、シート施工完了後は容易にシートから剥がすことができ、後には何も残らない。さらにマーカー２４の弱粘着剤２６は、上述のように熱により劣化等しないので、シート表面に貼付されているときに、室温の日間差及び昼夜間差、又は室内温調のためのジェットヒータ等の暖房装置による温度変化によってその粘着性能が変化することはない。従って、粘着剤の劣化等によってマーカー２４が自然に剥がれて導通接続用テープ１１の貼付場所がわからなくなるという不具合も防止される。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】（ａ）本発明に係るテープ組立体の平面図であり、（ｂ）（ａ）のテープ組立体の断面図である。
【図２】本発明に係る導通接続用テープを用いてシートが下地面上に配置された状態を示す図である。
【図３】（ａ）本発明に係る導通接続用テープが取付けられる前の、下地面上で隣接するシートが折り返された状態を示す図であり、（ｂ）（ａ）のシートが徐々に下地面に接着され、導通接続用テープが所定の位置に配置された状態を示す図であり、（ｃ）シート全体が下地面に接着された状態を示す図であり、（ｄ）マーカーがシート表面上の所定の位置に貼付された状態を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１０…テープ組立体
１１…導通接続用テープ
１２…導電性テープ
１４…保護テープ
１６、１８…粘着剤
２０…剥離紙
２２…切込
２４…マーカー
２６…弱粘着剤
５０…下地
６０、６０ａ、６０ｂ…シート
６６…アース線
６８…アース
【図１】
2005220553.tif 000004
【図２】
2005220553.tif 000005
【図３】
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