(57)【要約】  【課題】  生産に必要となる設備数や工程数が多く、ひとつの工程で処理可能な代替設備数も複数ある半導体や液晶などに代表される薄膜加工工程において、設備やロットの状態・条件変化に連動させ生産ロットを不用意に滞留させることなく、リアルタイムに最善・最適な生産指示計画を作成する手段を提供する。  【解決手段】  イベント受信手段２により、状態変化イベント１を受け取り、イベント解析手段３でロット起因か設備起因かを解析し、ロット起因の場合は、ロット起因による生産指示順序決定手法Ａを用いて、また、設備起因の場合は、設備起因による生産指示順序決定手法Ｂ、Ｃを用いて生産順序を決定し、最善・最適な生産指示計画を作成する。  【選択図】  図１
2005346482.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
設備あるいはロットの状態変化を電子化した状態変化イベントと、状態変化イベントを受け取るイベント受信手段と、受け取ったイベントをロットに起因するイベントか設備に起因するイベントかを解析するイベント解析手段と、イベントがロットに起因するか、設備に起因するかを判断して、生産指示を作成する手段を切換え、設備起因による生産指示順序決定手段と、ロット起因による生産指示順序決定手段のいずれかで生産指示順序を決定する生産指示計画作成システム。
【請求項２】
ロット起因による生産指示順序決定手段は、工程設備で処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、前記ロット候補のロット情報の解析を行うロット情報解析手段と、加工工程設備の特性情報を収集及び解析する設備情報収集解析手段と、仕掛ロット情報と加工工程設備の特性情報を比較し、処理可能な仕掛ロットの処理設備を決定する処理設備決定手段と、ロット候補の処理する優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなる請求項１記載の生産指示計画作成システム。
【請求項３】
設備起因による生産指示順序決定手段は、先頭工程の設備で処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、前記ロット候補の後工程の保全メンテナンスの実施予定を解析する連続工程設備解析手段と、後工程設備の保全メンテナンスが実施予定の場合、先頭工程設備では何時間後まで投入が可能で滞留制約時間以内に生産完了するか、先頭工程設備で保全メンテナンス終了の何時間前から投入を開始しておけば後工程設備での待機ロスを削減できるかを判定する滞留制約時間判定手段と、前記時間を考慮し、先頭工程設備に対する処理可能なロット候補の生産指示順序予約を決定する連続工程設備生産予約手段と、前記ロット候補が制約時間内に生産完了できる投入開始時間を判定し、制約時間内に生産完了するロット候補の優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなる請求項１記載の生産指示計画作成システム。
【請求項４】
設備起因による生産指示順序決定手段は、処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、工程設備の異常傾向情報を入手する設備異常情報収集手段と、収集情報を基に、設備異常傾向情報を解析する設備異常傾向解析手段と、処理する設備候補から特定設備を決定する処理設備決定手段と、ロット候補の処理する優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなる請求項１記載の生産指示計画作成システム。
【請求項５】
設備あるいはロットの状態変化をイベントとして受け取るイベント受信手段と、前記イベントをロットに起因する状態変化か設備に起因する状態変化かを解析するイベント解析手段と、イベント解析手段により、生産指示を作成する手段を切換え、ロットに起因するイベントでは、ロット起因による生産指示順序決定手段を用いて、また設備に起因するイベントでは、設備起因による生産指示順序決定手段を用いて生産順序を決定し、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段により、生産指示計画作成処理を実行するプログラムを記録した記録媒体。
【請求項６】
ロット起因による生産指示順序決定手段は、工程設備で処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、前記ロット候補のロット情報の解析を行うロット情報解析手段と、加工工程設備の特性情報を収集及び解析する設備情報収集解析手段と、仕掛ロット情報と加工工程設備の特性情報を比較し、処理可能な仕掛ロットの処理設備を決定する処理設備決定手段と、ロット候補の処理する優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなる生産指示計画作成処理を実行するプログラムを記憶した請求項５記載の記録媒体。
【請求項７】
設備起因による生産指示順序決定手段は、先頭工程の設備で処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、前記ロット候補の後工程の保全メンテナンスの実施予定を解析する連続工程設備解析手段と、後工程設備の保全メンテナンスが実施予定の場合、先頭工程設備では何時間後まで投入が可能で滞留制約時間以内に生産完了するか、先頭工程設備で保全メンテナンス終了の何時間前から投入を開始しておけば後工程設備での待機ロスを削減できるかを判定する滞留制約時間判定手段と、前記時間を考慮し、先頭工程設備に対する処理可能なロット候補の生産指示順序予約を決定する連続工程設備生産予約手段と、前記ロット候補が制約時間内に生産完了できる投入開始時間を判定し、制約時間内に生産完了するロット候補の優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなる生産指示計画作成処理を実行するプログラムを記憶した請求項５記載の記録媒体。
【請求項８】
設備起因による生産指示順序決定手段は、異常傾向管理の情報に基づき時系列で製品異常が発生する可能性が出てきた同一工程設備においての生産指示計画作成方法であって、処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、工程設備の異常傾向情報を入手する設備異常情報収集手段と、収集情報を基に、設備異常傾向情報を解析する設備異常傾向解析手段と、処理する設備候補から特定設備を決定する処理設備決定手段と、ロット候補の処理する優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなる生産指示計画作成処理を実行するプログラムを記憶した請求項５記載の記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体や液晶などに代表される薄膜加工工程における生産指示計画を立案する為の生産指示計画作成システムおよびその記録媒体に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、技術革新や消費者構造の変化などに伴い、製造業においては、多品種少量、短納期、短ライフサイクルといった生産活動の変化が急速に進んでいる。
【０００３】
このような状況の中、製造業ではコンピュータによるシステム化が進み、生産計画の作成や生産指示の作成においても、高精度で効率の良い生産計画を作成するため、コンピュータによる自動化の取組みが不可欠となってきている。
【０００４】
特に半導体や液晶といった薄膜加工工程に代表されるデバイス製造工程では、製造工程が多く、同じ設備または同様の工程を複数繰り返したり、生産ロットの状態により生産ロットの品質に影響するなど複雑な工程では、扱うデータ量も多く、生産指示計画を作成するために考慮しなければならない製造上の制約事項も多岐に渡り、制度の良い指示計画をリアルタイムに作成し各々の設備や自動搬送装置あるいは作業者に対して的確な生産指示を行うには、人手では困難な状況になっている。
【０００５】
そのため、コンピュータを用いた生産指示計画作成方法が提案されている。（特許文献１参照）
以下、図５を参照して、従来の生産指示計画作成方法について説明する。図５に示すように、コンピュータからなる中央処理装置１０１が用いられ、これに与えられたイベント受信手段１０５により、設備の状態の変化に伴うイベントを受け取り、仕掛ロット収集手段１０６によって、前記設備で処理可能なロット群を収集し、処理ロット評価手段１０７により、前記処理可能なロット群を評価した後、生産順序決定手段１０８により、前記状態変化のあった設備の生産計画を作成し生産指示を行う。この生産指示計画作成のために中央処理装置１０１には、生産ロットの生産手段や生産に必要な装置の情報などの生産計画を作成する際に必要な基本データと、生産ロットと設備の状態など時間と共に変化する状態データを記憶しておく記憶手段１０２が接続され、これらの記憶データを基に生産指示計画を作成し生産指示を行う。
【０００６】
中央処理装置１０１には入力装置１０３が接続され、対象工程に必要な既知データを入力あるいは編集できるようにされている。
【０００７】
また、中央処理装置１０１には、生産指示計画の内容と立案状況を表示する表示装置１０４も接続されている。前記生産指示計画作成は、生産設備でのロットの生産開始、生産終了、稼動停止、稼動開始などの生産状態の変化があったときに、その変化をイベントとして受け取り、そのイベントに応じて変化のあった設備における生産指示計画を随時作成し生産指示を行う。
【０００８】
作業者は、ロット納期余裕の有無判定と、先行ロットの投入が必要・不要の設備の判断によって投入計画を指示したり、滞留時間の制約がある設備においては、保全メンテナンス時間帯を考慮し、メンテナンス開始直前に生産が完了できる様に、またメンテナンス終了直後から生産が開始できる様に前工程設備での仕掛ロット数の調整を行ったり、特定工程間でのロットの滞留時間が品質劣化する制約時間内に処理可能かを予測したり、時系列で製品異常が発生する同一工程設備においては、各設備のメンテナンス時期が重ならない様に、生産ロットの投入調整を判断して生産指示を行っている。
【特許文献１】特開２０００−２８０１４５号公報（６頁〜７頁，図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
半導体や液晶などに代表される薄膜加工工程では、生産に必要となる設備数や工程数が多く、またひとつの工程で処理可能な代替可能な設備数も複数あることも多い。前記従来の方法では、加工工程設備においては、設備の現特性と仕掛ロットの情報との比較・検討が行われておらず、前回加工ロットと今回加工ロットのレイヤ・品種が違っていた場合は、加工設定値の最適値を先行ロットの投入による試行錯誤より設定し直す必要があり、最適値が確定するまで本体ロットの投入ができず、結果として生産リードタイムが延び、納期余裕のないロットにおいては納期が遵守できない可能性が発生する。
【００１０】
また、連続工程においては滞留可能な制約時間以内に複数工程の処理を完了しなければならない。しかしながら従来の方法では、工程設備の保全メンテナンス作業（開始時間・終了時間）が考慮されておらず、滞留時間に制約のある連続工程の先頭工程においては、設備が空き状態であれば、次に処理するロットの生産指示計画を作成し、生産開始の指示をするため滞留時間が制約を超過する場合がある。この場合、作業者が設備の保全メンテナンスの実施予定を把握していたならば、先頭工程への投入を調整することができるが、そうで無い場合は、滞留時間の制約の超過により製品劣化・品質ロスが発生する。
【００１１】
更に、設備の保全メンテナンス終了時間（生産再開時間）を考慮した先頭工程への投入が調整できない場合、先頭工程でのロット投入待ちの稼動ロスや保全メンテナンス終了設備においてもロット到着待ちの稼動ロス、生産リードタイムの遅延が発生する。
【００１２】
また、時系列で製品異常が発生する可能性がある同一工程設備において、従来の方法では、別の監視システム（異常傾向管理システム）の異常傾向の管理より、異常限界値に達する前に警告を発し、設備のメンテナンス時期を知らせるだけであった。この場合、同一工程の複数設備で同時に警告が発生し、同時に設備メンテナンスを行わなければならない状態が発生した場合、この工程でのスループットの低下、最悪は生産の全面停止を招くことになり生産リードタイムの遅延が発生する。
【００１３】
本発明は、設備数や工程数が多く、同様の生産が繰り返し行われるような複雑かつ大規模な工程において、個々の工程特有の製造上の制約を考慮して高速にかつ、最善・最適な生産計画を立案し、生産指示を行う生産指示計画作成システムを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため、本発明の生産指示計画作成システムは、設備あるいはロットの状態変化を電子化した状態変化イベントと、状態変化イベントを受け取るイベント受信手段と、受け取ったイベントをロットに起因するイベントか設備に起因するイベントかを解析するイベント解析手段と、イベントがロットに起因するか、設備に起因するかを判断して、生産指示を作成する手段を切換え、設備起因による生産指示順序決定手段と、ロット起因による生産指示順序決定手段のいずれかで生産指示順序を決定することを特徴とする。
【００１５】
本発明によれば、ロットあるいは設備の状態の変化である状態変化イベントを、イベント受信手段により受け取り、イベント解析手段によりロットに起因するイベントか設備に起因するイベントかを解析し、ロットに起因する場合、設備に起因する場合において、それぞれ生産指示順序決定手法によって、処理可能なロット候補、設備候補が決定され、生産指示順序を決定するので、ロットに起因する状態変化の場合でも、設備に起因する状態変化の場合にも適切な生産指示計画の作成が可能となる。
【００１６】
また、ロット起因による生産指示順序決定手段は、工程設備で処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、前記ロット候補のロット情報の解析を行うロット情報解析手段と、加工工程設備の特性情報を収集及び解析する設備情報収集解析手段と、仕掛ロット情報と加工工程設備の特性情報を比較し、処理可能な仕掛ロットの処理設備を決定する処理設備決定手段と、ロット候補の処理する優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなることを特徴とする。
【００１７】
本発明によれば、加工工程設備での処理可能なロット候補のロット情報と、加工工程設備の特性情報とを比較して、納期が遵守できる最適な指示計画を立案することができる。
【００１８】
また、設備起因による生産指示順序決定手段は、先頭工程の設備で処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、前記ロット候補の後工程の保全メンテナンスの実施予定を解析する連続工程設備解析手段と、後工程設備の保全メンテナンスが実施予定の場合、先頭工程設備では何時間後まで投入が可能で滞留制約時間以内に生産完了するか、先頭工程設備で保全メンテナンス終了の何時間前から投入を開始しておけば後工程設備での待機ロスを削減できるかを判定する滞留制約時間判定手段と、前記時間を考慮し、先頭工程設備に対する処理可能なロット候補の生産指示順序予約を決定する連続工程設備生産予約手段と、前記ロット候補が制約時間内に生産完了できる投入開始時間を判定し、制約時間内に生産完了するロット候補の優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなることを特徴とする。
【００１９】
本発明によれば、連続工程の先頭工程内での設備の保全メンテナンス作業（開始時間・終了時間）を考慮して、先頭工程におけるロットの生産開始時間を加味し、品質ロス、稼動ロスが削減できる最適な指示計画を立案することができる。
【００２０】
また、設備起因による生産指示順序決定手段は、異常傾向管理の情報に基づき時系列で製品異常が発生する可能性が出てきた同一工程設備においての生産指示計画作成方法であって、処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、工程設備の異常傾向情報を入手する設備異常情報収集手段と、収集情報を基に、設備異常傾向情報を解析する設備異常傾向解析手段と、処理する設備候補から特定設備を決定する処理設備決定手段と、ロット候補の処理する優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなることを特徴とする。
【００２１】
本発明によれば、時系列で製品異常が発生する可能性がある同一工程設備において、異常傾向管理情報を考慮することで、スループットの低下、生産リードタイムの遅延を防ぐ最適な指示計画を立案することができる。
【００２２】
また、本発明の記録媒体は、設備あるいはロットの状態変化をイベントとして受け取るイベント受信手段と、前記イベントをロットに起因する状態変化か設備に起因する状態変化かを解析するイベント解析手段と、イベント解析手段により、生産指示を作成する手段を切換え、ロットに起因するイベントでは、ロット起因による生産指示順序決定手段を用いて、また設備に起因するイベントでは、設備起因による生産指示順序決定手段を用いて生産順序を決定し、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段により、生産指示計画作成処理を実行するプログラムを記録したことを特徴とする。
【００２３】
また、本発明の記録媒体は、ロット起因による生産指示順序決定手段は、工程設備で処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、前記ロット候補のロット情報の解析を行うロット情報解析手段と、加工工程設備の特性情報を収集及び解析する設備情報収集解析手段と、仕掛ロット情報と加工工程設備の特性情報を比較し、処理可能な仕掛ロットの処理設備を決定する処理設備決定手段と、ロット候補の処理する優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなる生産指示計画作成処理を実行するプログラムを記憶したことを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の記録媒体は、設備起因による生産指示順序決定手段は、先頭工程の設備で処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、前記ロット候補の後工程の保全メンテナンスの実施予定を解析する連続工程設備解析手段と、後工程設備の保全メンテナンスが実施予定の場合、先頭工程設備では何時間後まで投入が可能で滞留制約時間以内に生産完了するか、先頭工程設備で保全メンテナンス終了の何時間前から投入を開始しておけば後工程設備での待機ロスを削減できるかを判定する滞留制約時間判定手段と、前記時間を考慮し、先頭工程設備に対する処理可能なロット候補の生産指示順序予約を決定する連続工程設備生産予約手段と、前記ロット候補が制約時間内に生産完了できる投入開始時間を判定し、制約時間内に生産完了するロット候補の優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなる生産指示計画作成処理を実行するプログラムを記憶したことを特徴とする。
【００２５】
また、本発明の記録媒体は、設備起因による生産指示順序決定手段は、異常傾向管理の情報に基づき時系列で製品異常が発生する可能性が出てきた同一工程設備においての生産指示計画作成方法であって、処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段と、工程設備の異常傾向情報を入手する設備異常情報収集手段と、収集情報を基に、設備異常傾向情報を解析する設備異常傾向解析手段と、処理する設備候補から特定設備を決定する処理設備決定手段と、ロット候補の処理する優先度を評価する処理ロット評価手段と、その評価結果に基づき、処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段からなる生産指示計画作成処理を実行するプログラムを記憶したことを特徴とする。
【００２６】
本発明によれば、上記した生産指示計画作成システムを実行する記録媒体を提供することができる。
【発明の効果】
【００２７】
以上のように本発明によれば、先行ロット投入が必要な加工工程設備において、ロット納期余裕の有無を考慮した生産計画を立案することにより、納期が遵守できる最適な指示計画を立案することができる。
【００２８】
また、ロットの滞留時間に制約のある任意の工程間において、設備の保全メンテナンス実施予約があった場合でも、メンテナンス時間を加味した生産計画を立案することにより、制約時間を遵守し滞留ロスを最少とする生産指示計画を作成することができる。
【００２９】
また、時系列で製品異常が発生する可能性がある同一工程設備において、設備異常傾向情報を加味した生産計画を立案することにより、スループットの低下、生産リードタイムの遅延を防止する生産指示計画を作成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下本発明の実施の形態について、図１〜図４を参照しながら説明する。
【００３１】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１における生産指示計画作成システムの基本機能を示すブロック図である。
【００３２】
図１において、状態変化イベント１は設備あるいはロットの状態変化を電子化したものであり、状態変化イベントを受け取るイベント受信手段３と、受け取ったイベントをロットに起因するイベントか設備に起因するイベントかを解析するイベント解析手段３と、４でイベントがロットに起因するか、設備に起因するかを判断して生産指示を作成する手段を切換え、設備起因による生産指示順序決定手段５と、ロット起因による生産指示順序決定手段６のいずれかで生産指示順序を決定する生産指示順序決定手段７より構成され、生産指示８は生産指示計画を作成した結果の指示データである。
【００３３】
本実施の形態によれば、ロットあるいは設備の状態の変化である状態変化イベント１をイベント受信手段２により受け取り、イベント解析手段３によりロットに起因するイベントか設備に起因するイベントかを解析する。設備に起因する場合において、生産指示順序決定手法Ｂ、Ｃに従って処理可能な設備候補が決定、最適な設備を評価し生産指示順序を決定する。また、ロットに起因する場合においては、生産指示順序決定手法Ａに従って処理可能なロットが決定、早期に生産すべきロットを評価し生産指示順序が決定することができ、ロットに起因する状態変化の場合にも、設備に起因する状態変化の場合にも適切な生産指示計画の作成が可能となる。
【００３４】
（実施の形態２）
図２は、本発明の実施の形態２におけるロット起因による生産指示順序決定手段Ａの機能ブロック図である。図２において、図１と同じ構成要素については同じ符号を用い説明を省略する。
【００３５】
本実施の形態は、加工工程設備の加工設定値の最適化を先行ロットの投入処理後、後工程評価設備の評価値を基に、加工工程設備へのフィードバックにより、最適値を設定する加工工程設備における生産指示順序決定システムである。
【００３６】
本実施の形態のロットに起因する生産指示順序決定手段Ａは、工程設備で処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段１０と、前記ロット候補のレイヤ・品種・納期余裕等の情報の解析を行うロット情報解析手段１１と、次加工工程設備の特性（現設定のレイヤ・品種、加工設定値情報）の収集及び解析する設備情報収集解析手段１２と、次加工工程で処理する設備候補から特定設備を決定する処理設備決定手段１３と、ロット候補の処理する優先度を評価する処理ロット評価手段１４と、その評価結果に基づき処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段７から構成される。
【００３７】
本実施の形態によれば、イベント受信手段２によりイベントを受信した後、イベント解析手段３によりロットに起因するか設備に起因するかを解析し、起因判断手段４によりロット起因による生産指示順序決定手段Ａのルーチンに分岐する。
【００３８】
仕掛ロット収集手段１０により、設備で処理可能な仕掛ロットを決定したのち、その仕掛ロットの情報をロット情報解析手段１１により解析する。次に、設備情報収集解析手段１２によって、次加工工程設備の特性情報が収集され解析される。処理設備決定手段１３では、仕掛ロットの情報と次加工工程設備の特性情報との比較検証（納期余裕の無いロットは加工情報が同一の設備に対して生産指示決定される等、納期余裕の有るロットは加工情報が不一致の設備に対して生産指示決定される）が行われ、処理可能な仕掛ロットの処理設備が決定する。
【００３９】
その後、処理ロット評価手段１４において、加工工程で処理すべきロットの評価を行い、生産指示順序決定手段７により加工工程における生産順序を決定する。
【００４０】
以上説明した通り、本実施の形態は、加工工程設備で処理可能なロット候補のロット情報（レイヤ・品種・納期余裕）と加工工程設備の現特性（現設定のレイヤ・品種、加工設定値情報）との比較を行い、納期余裕の無いロットから生産指示計画を作成することを特徴とする。
【００４１】
ロット情報と設備の現特性を比較することにより、
（１）納期余裕の無いロットの場合、
ロット情報（レイヤ・品種）と設備の現特性（レイヤ・品種）が一致する設    備に生産指示計画を作成する。生産指示順序はロットの納期余裕の比較にて    順位が確定する。
【００４２】
ロット情報（レイヤ・品種）と設備の現特性（レイヤ・品種）が一致する設    備が無い場合は後回しとなる。
【００４３】
全ロットが処理された後に、後回しとなった処理可能候補ロットにおいて    、ロット情報と設備の現特性が不一致の設備に対して生産指示計画を作成す    る。不一致の設備が複数台の場合は、生産指示計画が少ない設備か、事前の    生産指示計画ロットのロット情報が一致しいる設備に対して生産指示計画を    作成する。この事でロット情報が一致したロットを同一設備に集約し、加工    設定値の見直し回数を軽減できる。
（２）納期余裕の有るロットの場合、
ロット情報（レイヤ・品種）と設備の現特性（レイヤ・品種）が不一致の設    備に生産指示計画を作成する。不一致が無い場合は一致設備に対して生産指    示計画を作成する。
【００４４】
不一致の設備が複数台の場合は、生産指示計画が少ない設備か、事前の生産    指示計画ロットのロット情報が不一致の設備に対して生産指示計画を作成す    る。
【００４５】
以上の通り本実施の形態では、加工工程設備での処理可能なロット候補のロット情報と加工工程設備の現特性情報とを比較することで、納期が遵守できる最適な指示計画の立案をすることができる。
【００４６】
（実施の形態３）
図３は、本発明の実施の形態３における設備起因による生産指示計画作成手段の機能ブロック図である。図３において、図１と同じ構成要素については同じ符号を用い説明を省略する。
【００４７】
本実施の形態は、連続工程において、設備の保全メンテナンス作業を考慮した先頭工程設備における生産指示順序決定手段である。
【００４８】
本実施の形態の設備起因による生産指示順序決定手段Ｂは、工程間で生産ロットの滞留可能な時間に制約がある連続工程において、工程群の先頭工程の生産指示計画作成システムであって、先頭工程の設備で処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段１０と、前記ロット候補の後工程の保全メンテナンスの実施予定を解析する連続工程設備解析手段２１と、後工程設備の保全メンテナンスが実施予定の場合、先頭工程設備では何時間後まで投入が可能で滞留制約時間以内に生産完了するか、また、保全メンテナンスが終了し生産可能となった時点で即時生産を開始させたい場合に、先頭工程設備で保全メンテナンス終了の何時間前から投入を開始しておけば、後工程設備での待機ロスを削減できるかを判定する滞留制約時間判定手段２２と、前記時間を考慮した連続工程内の生産計画予約を実施する連続工程設備生産予約手段２３と、前記ロット候補が制約時間内に生産完了できる投入開始時間を判定し、制約時間内に生産完了するロット候補の優先度を評価する処理ロット評価手段１４と、その評価結果に基づき処理するロットの順序を決定する生産指示順序決定手段７から構成される。
【００４９】
本実施の形態によれば、イベント受信手段２により、イベントを受信した後、イベント解析手段３により、ロットに起因するか設備に起因するかを解析し、起因判断４により、設備起因による生産指示順序決定手法Ｂのルーチンに分岐する。
【００５０】
次に、仕掛ロット収集手段１０により、先頭工程で処理可能な仕掛ロットを決定したのち、その仕掛ロットの後工程における工程が滞留時間に制約のある連続工程の場合にて、連続工程設備の保全メンテナンス実施予定の解析が連続工程設備解析手段２１により行われ、保全メンテナンス実施予定がある場合は、滞留制約時間判定手段２２により、先頭工程設備では何時間後まで投入が可能で滞留時間制約以内に生産が完了するか、また、保全メンテナンス終了の何時間前から先頭工程設備への投入を開始しておけば滞留時間制約以内に生産が完了するかを判定する。
【００５１】
判定結果を基に連続工程設備生産予約手段２３により、連続工程の先頭工程設備に対する処理可能なロット候補の生産指示順序予約が決定する。
【００５２】
その後、処理ロット評価手段１４において先頭工程で処理すべきロットの評価を行い、生産指示順序決定手段７により先頭工程における生産順序を決定する。
【００５３】
以上説明した通り、本実施の形態は、連続工程内での設備の保全メンテナンス作業（開始時間・終了時間）を考慮し、先頭工程におけるロットの生産開始時間を加味した生産指示計画を作成することを特徴とする。
【００５４】
連続工程内の設備にて保全メンテナンス実施予定がある場合は、連続工程内での全生産時間とメンテナンス停止時間の合計が、連続工程内の滞留可能な制約時間より大きい場合は、先頭工程での投入を調整する必要がある。
【００５５】
保全メンテナンス開始時刻から連続工程内の先頭工程から保全メンテナンス実施予定設備の完了までの生産時間をマイナスした時刻が先頭工程への最終投入可能時刻となり、これ以降の時間で先頭工程にロット投入した場合は、滞留可能な制約時間の超過により製品劣化・品質ロスが発生する。
【００５６】
更に、保全メンテナンス終了（生産開始可能状態以降）後のロット到着待ち稼動ロスの発生を防ぐ為には、保全メンテナンス終了時刻と保全メンテ実施設備へのロット到着時刻を合わす必要がある。そのためには保全メンテナンス終了時刻から連続工程内の先頭工程から保全メンテナンス実施予定設備の前までの生産時間をマイナスした時刻が先頭工程への投入再開時刻となる。
【００５７】
本実施の形態は、連続工程の先頭工程に対して、前記にて算出された生産開始時刻を加味することで、品質ロス、稼動ロスが削減できる最適な指示計画の立案をすることができる。
【００５８】
（実施の形態４）
図４は、本発明の実施の形態４における設備起因による生産指示計画作成手段の機能ブロック図である。図４において、図１と同じ構成要素については同じ符号を用い説明を省略する。
【００５９】
本実施の形態は、時系列で製品異常が発生する可能性がある同一工程設備における生産指示順序決定手段である。
【００６０】
本実施の形態の設備起因による生産指示順序決定手段Ｃは、異常傾向管理の情報に基づき、時系列で製品異常が発生する可能性が出てきた同一工程設備においての生産指示計画作成システムであって、処理可能なロット候補を決定する仕掛ロット収集手段１０と、工程設備の異常傾向情報を入手する設備異常情報収集手段３１と、設備異常傾向情報を解析する設備異常傾向解析手段３２と、処理する設備候補から特定設備を決定する処理設備決定手段１３と、ロット候補の処理する優先度を評価する処理ロット評価手段１４から構成される。
【００６１】
仕掛ロット収集手段１０により、時系列で製品異常が発生する可能性がある同一工程設備で処理可能な仕掛ロットを決定したのち、異常傾向管理システム４０より、設備異常情報収集手段３１が異常傾向情報を収集する。収集情報を基に設備異常傾向解析手段３２によって、設備の異常傾向数値の解析が行われ、同一工程の複数設備において、同時に異常傾向数値が異常限界値に近づいていると判断された場合は、処理設備決定手段１３によって、一方の設備にだけ優先的に生産指示が作成される様に処理設備が決定する。
【００６２】
その後、処理ロット評価手段１４において、時系列で製品異常が発生する可能性がある同一工程設備で処理すべきロットの評価を行い、生産指示順序決定手段７により同一工程設備における生産順序を決定する。
【００６３】
以上説明した通り、本実施の形態は、時系列で製品異常が発生する可能性がある同一工程設備において、異常傾向管理情報を考慮した生産指示計画を作成することを特徴とする。
【００６４】
異常傾向管理情報より同一工程の複数設備において同時に異常傾向数値が異常限界値に近づいてきた場合に、一方の設備にのみ優先的に生産指示計画を作成する。これにより一方の設備だけ生産が実施され異常傾向数値の増加傾向を促進させることになり、結果として他方の設備より早期に異常傾向数値が異常限界値に達し、設備メンテナンスの開始時期を他方の設備とづらすことができ、設備稼働率の低下を最低限に抑制することができる。
【００６５】
本実施の形態では、時系列で製品異常が発生する可能性がある同一工程設備において、異常傾向管理情報を加味することで、スループットの低下、生産リードタイムの遅延を防ぐ最適な指示計画の立案をすることができる。
【００６６】
また、本発明は、実施の形態１〜４に記載したシステムにより、生産指示計画作成処理を実行するプログラムを記録した記録媒体を提供する。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明の生産指示計画作成システムは、納期を遵守でき、制約時間を遵守し、滞留ロスを最少とし、かつスループットの低下、生産リードタイムの遅延を防止できる生産計画を作成することができるため、半導体や液晶などに代表される薄膜加工工程における生産指示計画作成に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の実施の形態１における生産指示計画作成方法システムの基本機能ブロック図
【図２】本発明の実施の形態２における生産指示順序決定手段Ａの機能ブロック図
【図３】本発明の実施の形態３における生産指示順序決定手段Ｂの機能ブロック図
【図４】本発明の実施の形態４における生産指示順序決定手段Ｃの機能ブロック図
【図５】従来の生産指示計画作成方法を示す機能ブロック図
【符号の説明】
【００６９】
１  状態変化イベント
２  イベント受信手段
３  イベント解析手段
４  起因判定手段
５  生産指示順序決定手段Ｂ、Ｃ
６  生産指示順序決定手段Ａ
７  生産指示順序決定手段
８  生産指示
１０  仕掛ロット収集手段
１１  ロット情報解析手段
１２  設備情報収集解析手段
１３  処理設備決定手段
１４  処理ロット評価手段
２１  連続工程解析手段
２２  滞留制約時間判定手段
２３  連続工程設備生産予約手段
３１  設備異常情報収集手段
３２  設備異常傾向解析手段
４０  異常傾向管理システム
１０１  中央処理装置
１０２  記憶装置
１０３  入力装置
１０４  表示装置
１０５  要求イベント受信手段
１０６  仕掛ロット収集手段
１０７  処理ロット評価手段
１０８  生産順序決定手
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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