(57)【要約】【課題】追加の装置を備えることなく、ヘッドの磁気的寸法を高精度に測定する【解決手段】ディスクを回転させる装置と該ディスクにヘッドを相対位置決めする装置とを具備するヘッド・ディスクテスタにおけるトラックプロファイル測定方法において、データトラックと少なくとも２つのサーボバーストからなる第一のサーボバースト群とが予め書き込まれた該ディスクの上で該ヘッドの位置を該ディスクの半径方向に変えながら、該ヘッド位置のそれぞれにおいて該ヘッドにより該データトラックの信号振幅を測定するとともに該第一のサーボバースト群を読み取るステップと、対応する該第一のサーボバースト群の読み値から得られる該ヘッドの位置に、該信号振幅の測定結果を写像するステップとを含む。ヘッドの磁気的寸法は、上記の方法により得られるトラックプロファイルを用いて求られる。【選択図】図９
2005332428.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクを回転させる装置と該ディスクにヘッドを相対位置決めする装置とを具備し、ヘッドおよびディスクの少なくとも一方を試験するテスタにおいて、該ディスク上のデータトラックを測定する方法であって、
複数のサーボバーストからなる第一のサーボバースト群と該データトラックとが予め書き込まれた該ディスクの上で該ヘッドの位置を該ディスクの半径方向に変えながら、該ヘッド位置のそれぞれにおいて該ヘッドにより該データトラックを測定するとともに該第一のサーボバースト群を読み取るステップと、
対応する該第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる該ヘッドの位置に、該データトラックの測定結果を写像するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２】
ディスクを回転させる装置と該ディスクにヘッドを相対位置決めする装置とを具備し、ヘッドおよびディスクの少なくとも一方を試験するテスタにおいて、トラックプロファイルを測定する方法であって、
複数のサーボバーストからなる第一のサーボバースト群とデータトラックとが予め書き込まれた該ディスクの上で該ヘッドの位置を該ディスクの半径方向に変えながら、該ヘッド位置のそれぞれにおいて該ヘッドにより該データトラックの信号振幅を測定するとともに該第一のサーボバースト群を読み取るステップと、
対応する該第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる該ヘッドの位置に、該信号振幅の測定結果を写像するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項３】
さらに、
前記ディスクに前記第一のサーボバースト群を書き込むステップと、
前記ディスクの上で前記ヘッドの位置を前記ディスクの半径方向に変えながら、前記ヘッド位置のそれぞれにおいて、書き込まれた前記第一のサーボバースト群を読み取り、前記第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる位置信号を前記ヘッド位置と関連づける第一の校正ステップと、
前記第一の校正ステップに続けて、前記ディスクに前記データトラックを書き込むステップと、
を含み、
前記写像ステップは、前記第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から該位置信号を生成し、該第一の校正ステップにおける関連づけに基づいて該位置信号から前記ヘッド位置を得て、得られた前記ヘッド位置に前記測定結果を写像するステップ、
を含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の方法。
【請求項４】
さらに、
前記第一のサーボバースト群の書き込み前と前記第一の校正後のそれぞれにおいて、前記位置決め装置により同じ位置に前記ヘッドを位置決めし、前記ディスク上に予め書き込まれた複数のサーボバーストからなる第二のサーボバースト群を読み取り、該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から前記ヘッド位置を得て、前記第一のサーボバースト群の書き込み前の前記ヘッド位置と前記校正の後の前記ヘッド位置との差を得るステップ、
を含むことを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】
さらに、
前記第一のサーボバースト群を書き込む前に、複数のサーボバーストからなる第二のサーボバースト群を書き込むステップと、
前記ディスクの上で前記ヘッドの位置を前記ディスクの半径方向に変えながら、前記ヘッド位置のそれぞれにおいて、書き込まれた該第二のサーボバースト群を読み取り、該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる位置信号を前記ヘッド位置と関連づける第二の校正ステップと、
前記第一のサーボバースト群の書き込み前と前記第一の校正後のそれぞれにおいて、前記位置決め装置により同じ位置に前記ヘッドを位置決めし、該第二のサーボバースト群を読み取り、該第二の校正ステップにおける関連づけに基づいて該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から前記ヘッド位置を得て、前記第一のサーボバースト群の書き込み前の前記ヘッド位置と前記校正の後の前記ヘッド位置との差を得るステップと、
を含むことを特徴とする請求項３に記載の方法。
【請求項６】
前記ズレ量が所定値を超えて大きい時には、前記第一のサーボバースト群を書き込むステップと前記第一の校正ステップをやり直す、
ことを特徴とする請求項４に記載の方法。
【請求項７】
前記第一のサーボバースト群は、前記ディスクの半径方向において隣接して並ぶ３つのサーボバーストからなり、中央の前記サーボバーストは前記ディスクの半径方向において前記データトラックとほぼ同じ位置にあり、
さらに、
中央の前記サーボバーストの中心と前記データトラックの中心との位置ズレ量を得るステップ、
を含むことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
前記第一のサーボバースト群は、前記ディスクの半径方向において隣接して並ぶ３つのサーボバーストからなり、中央の前記サーボバーストは前記ディスクの半径方向において前記データトラックとほぼ同じ位置にある、
ことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
ディスクを回転させる装置と該ディスクにヘッドを相対位置決めする装置とを具備し、ヘッドおよびディスクの少なくとも一方を試験するテスタであって、該ディスク上のデータトラックを測定するテスタにおいて、
複数のサーボバーストからなる第一のサーボバースト群と該データトラックとが予め書き込まれた該ディスクの上で該ヘッドの位置を該ディスクの半径方向に変えながら、該ヘッド位置のそれぞれにおいて該ヘッドにより該データトラックを測定するとともに該第一のサーボバースト群を読み取る手段と、
対応する該第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる該ヘッドの位置に、該データトラックの測定結果を写像する手段と、
を備えることを特徴とするテスタ。
【請求項１０】
ディスクを回転させる装置と該ディスクにヘッドを相対位置決めする装置とを具備し、ヘッドおよびディスクの少なくとも一方を試験するテスタであって、トラックプロファイルを測定するテスタにおいて、
複数のサーボバーストからなる第一のサーボバースト群とデータトラックとが予め書き込まれた該ディスクの上で該ヘッドの位置を該ディスクの半径方向に変えながら、該ヘッド位置のそれぞれにおいて該ヘッドにより該データトラックの信号振幅を測定するとともに該第一のサーボバースト群を読み取る手段と、
対応する該第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる該ヘッドの位置に、該信号振幅の測定結果を写像する手段と、
を備えることを特徴とするテスタ。
【請求項１１】
さらに、
前記ディスクに前記第一のサーボバースト群を書き込む手段と、
前記ディスクの上で前記ヘッドの位置を前記ディスクの半径方向に変えながら、前記ヘッド位置のそれぞれにおいて、書き込まれた前記第一のサーボバースト群を読み取り、前記第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる位置信号を前記ヘッド位置と関連づける第一の校正手段と、
前記第一の校正手段による関連づけに続けて、前記ディスクに前記データトラックを書き込む手段と、
を備え、
前記写像手段は、前記第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から該位置信号を生成し、該第一の校正手段による関連づけに基づいて該位置信号から前記ヘッド位置を得て、得られた前記ヘッド位置に前記測定結果を写像する、
ことを特徴とする請求項９または請求項１０に記載のテスタ。
【請求項１２】
さらに、
前記第一のサーボバースト群の書き込み前と前記第一の校正後のそれぞれにおいて、前記位置決め装置により同じ位置に前記ヘッドを位置決めし、前記ディスク上に予め書き込まれた複数のサーボバーストからなる第二のサーボバースト群を読み取り、該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から前記ヘッド位置を得て、前記第一のサーボバースト群の書き込み前の前記ヘッド位置と前記校正の後の前記ヘッド位置との差を得る手段、
を備えることを特徴とする請求項１１に記載のテスタ。
【請求項１３】
さらに、
前記第一のサーボバースト群を書き込む前に、複数のサーボバーストからなる第二のサーボバースト群を書き込む手段と、
前記ディスクの上で前記ヘッドの位置を前記ディスクの半径方向に変えながら、前記ヘッド位置のそれぞれにおいて、書き込まれた該第二のサーボバースト群を読み取り、該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる位置信号を前記ヘッド位置と関連づける第二の校正手段と、
前記第一のサーボバースト群の書き込み前と前記第一の校正後のそれぞれにおいて、前記位置決め装置により同じ位置に前記ヘッドを位置決めし、該第二のサーボバースト群を読み取り、該第二の校正手段による関連づけに基づいて該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から前記ヘッド位置を得て、前記第一のサーボバースト群の書き込み前の前記ヘッド位置と前記校正の後の前記ヘッド位置との差を得る手段と、
を備えることを特徴とする請求項１１に記載のテスタ。
【請求項１４】
前記ズレ量が所定値を超えて大きい時には、前記第一のサーボバースト群を書き込む手段による第一のサーボバースト群の書き込み、および、前記第一の校正手段による関連づけをやり直す、
ことを特徴とする請求項１２または請求項１３に記載のテスタ。
【請求項１５】
前記第一のサーボバースト群は、前記ディスクの半径方向において隣接して並ぶ３つのサーボバーストからなり、中央の前記サーボバーストは前記ディスクの半径方向において前記データトラックとほぼ同じ位置にあり、
さらに、
中央の前記サーボバーストの中心と前記データトラックの中心との位置ズレ量を得る手段、
を備えることを特徴とする請求項９乃至請求項１１のいずれかに記載のテスタ。
【請求項１６】
前記第一のサーボバースト群は、前記ディスクの半径方向において隣接して並ぶ３つのサーボバーストからなり、中央の前記サーボバーストは前記ディスクの半径方向において前記データトラックとほぼ同じ位置にある、
ことを特徴とする請求項９乃至請求項１３のいずれかに記載のテスタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスクまたはヘッドを試験する方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ヘッドの磁気的寸法に関する測定項目として、ヘッドのライト素子の磁気的な書込み幅（Magnetic Write Width；ＭＷＷ）、ヘッドのリード素子の磁気的な幅（Magnetic Read Width；ＭＲＷ）、および、リード素子とライト素子とのオフセット量（Read Write offset；ＲＷ−ｏｆｆ）などがある。一般に、これらの項目は、ヘッド／ディスク・テスタによって測定される。より詳細に言えば、テスタの機構部であるスピンスタンドの位置決め装置にヘッドが取り付けられ、回転するディスク上でヘッドを移動させながら測定が行われる。まず、ディスク上のある基準位置にヘッドを位置決めした状態でデータトラックを書込み、その後、書込まれたデータトラックの信号振幅（Track Average Amplitude；ＴＡＡ）をヘッドを移動させながら読出し、そのプロファイル（Track Profile；ＴＰ）をヘッドの移動距離の関数として取り出す。ＭＷＷはプロファイルの半値幅で与えられ、ＲＷ−ｏｆｆはプロファイルの半値幅の中点からデータトラック書込み時の基準位置までの距離で与えられる。また、ＭＲＷは、例えば、以下のようにして得られる。まず、データトラックを書込んだ後にＭＷＷの１０〜３０％が残るようにデータトラックを消去してマイクロトラックを作成し、マイクロトラックについて半値幅を測定する。ＭＲＷは、マイクロトラックの半値幅で与えられる。なお、ヘッドが取り付けられる位置決め装置は、ヘッドを精密に位置決めするために、エンコーダあるいは容量型距離センサー等の位置フィードバック機能を有する。
【０００３】
上記のトラックプロファイル測定において、測定誤差の要因は、測定中の温度変化によるディスクとヘッドとの相対的な位置ずれ（温度ドリフト）、ディスクを駆動するスピンドルの回転非同期振動（Non-Repeatable Runout；ＮＲＲＯ）およびディスクのフラッターによる位置ずれ（Track Miss-Registration；ＴＭＲ）、空気の流れもしくは床の振動等の外部環境要因による位置ずれ（外乱）、ＴＡＡ復調系での電気的ノイズ（電気ノイズ）、ならびに、データ処理における量子化誤差（量子化ノイズ）、などである。
【０００４】
温度ドリフトの影響を抑えるためには、出来る限り短い時間での測定が求められる。その一方で、ＴＭＲ、周波数の比較的高い外乱や電気ノイズの影響を抑えるためには、繰り返し測定による平均化が必要である。また、測定値の精度を向上させるためには基本的に測定点を増やす必要がある。従って、これらの要求を満たそうとすると測定時間が延び、温度ドリフトの影響を増大させてしまう。さらに、外乱のうち、ディスク回転数以下の比較的周波数が低い成分は、取り除くことが非常に困難である。
【０００５】
最近、誤差要因の１つである温度ドリフトを補償するようにしたテスタが提案された（特許文献１を参照。）。このテスタは、ディスクに予め書き込まれたサーボバースト信号を用いて、所定のトラックの中心からオフセットした位置にヘッドを位置決めする。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−３２２８５０号公報（第５頁、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のテスタは、サーボバースト信号に応答する閉ループ位置決め制御回路が付加的に必要であるので、他の同種のテスタと比べてコストが高い。
【０００８】
また、上記のテスタは、ＲＷ−ｏｆｆなどを高精度に測定できないという問題がある。一般に、ヘッドのリード素子とライト素子との距離であるオフセット量は数ミクロン程度ある。最近のヘッドのライト素子の磁気的書き込み幅は、０．２ミクロン程度ある。そのため、上記のテスタは、ヘッドを位置決めするために多くのサーボバースト信号を必要とする。上記のテスタは、位置決め制御のために、事前にサーボバースト信号を測定する。上記のテスタにおいて、事前のサーボバースト信号の測定中に生じる温度ドリフトは補償されない、多くのサーボバースト信号を校正している間に生じる温度ドリフトに起因する測定誤差は大きい。
【０００９】
そこで、本発明は、追加のハードウェアを備えることなく、トラックプロファイルを高精度に測定する方法および装置を提供することを目的とする。また、本発明は、追加のハードウェアを備えることなく、ヘッドの磁気的な寸法、すなわち、ＭＷＷ、ＭＲＷ、ＲＷ−ｏｆｆなどを高精度に測定する方法および装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものである。すなわち、本第一の発明は、ディスクを回転させる装置と該ディスクにヘッドを相対位置決めする装置とを具備し、ヘッドおよびディスクの少なくとも一方を試験するテスタにおいて、該ディスク上のデータトラックを測定する方法であって、複数のサーボバーストからなる第一のサーボバースト群と該データトラックとが予め書き込まれた該ディスクの上で該ヘッドの位置を該ディスクの半径方向に変えながら、該ヘッド位置のそれぞれにおいて該ヘッドにより該データトラックを測定するとともに該第一のサーボバースト群を読み取るステップと、対応する該第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる該ヘッドの位置に、該データトラックの測定結果を写像するステップとを含むことを特徴とするものである。
【００１１】
また、本第二の発明は、ディスクを回転させる装置と該ディスクにヘッドを相対位置決めする装置とを具備し、ヘッドおよびディスクの少なくとも一方を試験するテスタにおいて、トラックプロファイルを測定する方法であって、複数のサーボバーストからなる第一のサーボバースト群とデータトラックとが予め書き込まれた該ディスクの上で該ヘッドの位置を該ディスクの半径方向に変えながら、該ヘッド位置のそれぞれにおいて該ヘッドにより該データトラックの信号振幅を測定するとともに該第一のサーボバースト群を読み取るステップと、対応する該第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる該ヘッドの位置に、該信号振幅の測定結果を写像するステップとを含むことを特徴とするものである。
【００１２】
さらに、本第三の発明は、本第一の発明または本第二の発明において、前記ディスクに前記第一のサーボバースト群を書き込むステップと、前記ディスクの上で前記ヘッドの位置を前記ディスクの半径方向に変えながら、前記ヘッド位置のそれぞれにおいて、書き込まれた前記第一のサーボバースト群を読み取り、前記第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる位置信号を前記ヘッド位置と関連づける第一の校正ステップと、前記第一の校正ステップに続けて、前記ディスクに前記データトラックを書き込むステップとをさらに含み、前記写像ステップは、前記第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から該位置信号を生成し、該第一の校正ステップにおける関連づけに基づいて該位置信号から前記ヘッド位置を得て、得られた前記ヘッド位置に前記測定結果を写像するステップを含むことを特徴とするものである。
【００１３】
またさらに、本第四の発明は、本第三の発明において、前記第一のサーボバースト群の書き込み前と前記第一の校正後のそれぞれにおいて、前記位置決め装置により同じ位置に前記ヘッドを位置決めし、前記ディスク上に予め書き込まれた複数のサーボバーストからなる第二のサーボバースト群を読み取り、該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から前記ヘッド位置を得て、前記第一のサーボバースト群の書き込み前の前記ヘッド位置と前記校正の後の前記ヘッド位置との差を得るステップをさらに含むことを特徴とするものである。
【００１４】
また、本第五の発明は、本第三の発明において、前記第一のサーボバースト群を書き込む前に、複数のサーボバーストからなる第二のサーボバースト群を書き込むステップと、前記ディスクの上で前記ヘッドの位置を前記ディスクの半径方向に変えながら、前記ヘッド位置のそれぞれにおいて、書き込まれた該第二のサーボバースト群を読み取り、該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる位置信号を前記ヘッド位置と関連づける第二の校正ステップと、前記第一のサーボバースト群の書き込み前と前記第一の校正後のそれぞれにおいて、前記位置決め装置により同じ位置に前記ヘッドを位置決めし、該第二のサーボバースト群を読み取り、該第二の校正ステップにおける関連づけに基づいて該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から前記ヘッド位置を得て、前記第一のサーボバースト群の書き込み前の前記ヘッド位置と前記校正の後の前記ヘッド位置との差を得るステップとをさらに含むことを特徴とするものである。
【００１５】
さらに、本第六の発明は、本第四の発明において、前記ズレ量が所定値を超えて大きい時には、前記第一のサーボバースト群を書き込むステップと前記第一の校正ステップをやり直すことを特徴とするものである。
【００１６】
またさらに、本第七の発明は、本第一の発明または本第二の発明または本第三の発明において、前記第一のサーボバースト群は、前記ディスクの半径方向において隣接して並ぶ３つのサーボバーストからなり、中央の前記サーボバーストは前記ディスクの半径方向において前記データトラックとほぼ同じ位置にあり、中央の前記サーボバーストの中心と前記データトラックの中心との位置ズレ量を得るステップをさらに含むことを特徴とするものである。
【００１７】
また、本第八の発明は、本第一の発明乃至本第五の発明のいずれかにおいて、前記第一のサーボバースト群は、前記ディスクの半径方向において隣接して並ぶ３つのサーボバーストからなり、中央の前記サーボバーストは前記ディスクの半径方向において前記データトラックとほぼ同じ位置にあることを特徴とするものである。
【００１８】
さらに、本第九の発明は、ディスクを回転させる装置と該ディスクにヘッドを相対位置決めする装置とを具備し、ヘッドおよびディスクの少なくとも一方を試験するテスタであって、該ディスク上のデータトラックを測定するテスタにおいて、複数のサーボバーストからなる第一のサーボバースト群と該データトラックとが予め書き込まれた該ディスクの上で該ヘッドの位置を該ディスクの半径方向に変えながら、該ヘッド位置のそれぞれにおいて該ヘッドにより該データトラックを測定するとともに該第一のサーボバースト群を読み取る手段と、対応する該第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる該ヘッドの位置に、該データトラックの測定結果を写像する手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１９】
またさらに、本第十の発明は、ディスクを回転させる装置と該ディスクにヘッドを相対位置決めする装置とを具備し、ヘッドおよびディスクの少なくとも一方を試験するテスタであって、トラックプロファイルを測定するテスタにおいて、複数のサーボバーストからなる第一のサーボバースト群とデータトラックとが予め書き込まれた該ディスクの上で該ヘッドの位置を該ディスクの半径方向に変えながら、該ヘッド位置のそれぞれにおいて該ヘッドにより該データトラックの信号振幅を測定するとともに該第一のサーボバースト群を読み取る手段と、対応する該第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる該ヘッドの位置に、該信号振幅の測定結果を写像する手段とを備えることを特徴とするものである。
【００２０】
また、本第十一の発明は、本第九の発明または本第十の発明において、前記ディスクに前記第一のサーボバースト群を書き込む手段と、前記ディスクの上で前記ヘッドの位置を前記ディスクの半径方向に変えながら、前記ヘッド位置のそれぞれにおいて、書き込まれた前記第一のサーボバースト群を読み取り、前記第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる位置信号を前記ヘッド位置と関連づける第一の校正手段と、前記第一の校正手段による関連づけに続けて、前記ディスクに前記データトラックを書き込む手段とをさらに備え、前記写像手段は、前記第一のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から該位置信号を生成し、該第一の校正手段による関連づけに基づいて該位置信号から前記ヘッド位置を得て、得られた前記ヘッド位置に前記測定結果を写像することを特徴とするものである。
【００２１】
また、本第十二の発明は、本第十一の発明において、前記第一のサーボバースト群の書き込み前と前記第一の校正後のそれぞれにおいて、前記位置決め装置により同じ位置に前記ヘッドを位置決めし、前記ディスク上に予め書き込まれた複数のサーボバーストからなる第二のサーボバースト群を読み取り、該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から前記ヘッド位置を得て、前記第一のサーボバースト群の書き込み前の前記ヘッド位置と前記校正の後の前記ヘッド位置との差を得る手段をさらに備えることを特徴とするものである。
【００２２】
さらに、本第十三の発明は、本第十一の発明において、前記第一のサーボバースト群を書き込む前に、複数のサーボバーストからなる第二のサーボバースト群を書き込む手段と、前記ディスクの上で前記ヘッドの位置を前記ディスクの半径方向に変えながら、前記ヘッド位置のそれぞれにおいて、書き込まれた該第二のサーボバースト群を読み取り、該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から得られる位置信号を前記ヘッド位置と関連づける第二の校正手段と、前記第一のサーボバースト群の書き込み前と前記第一の校正後のそれぞれにおいて、前記位置決め装置により同じ位置に前記ヘッドを位置決めし、該第二のサーボバースト群を読み取り、該第二の校正手段による関連づけに基づいて該第二のサーボバースト群の各サーボバーストの読み値から前記ヘッド位置を得て、前記第一のサーボバースト群の書き込み前の前記ヘッド位置と前記校正の後の前記ヘッド位置との差を得る手段とをさらに備えることを特徴とするものである。
【００２３】
またさらに、本第十四の発明は、本第十二の発明または本第十三の発明において、前記ズレ量が所定値を超えて大きい時には、前記第一のサーボバースト群を書き込む手段による第一のサーボバースト群の書き込み、および、前記第一の校正手段による関連づけをやり直すことを特徴とするものである。
【００２４】
また、本第十五の発明は、本第九の発明または本第十の発明または本第十一の発明において、前記第一のサーボバースト群は、前記ディスクの半径方向において隣接して並ぶ３つのサーボバーストからなり、中央の前記サーボバーストは前記ディスクの半径方向において前記データトラックとほぼ同じ位置にあり、中央の前記サーボバーストの中心と前記データトラックの中心との位置ズレ量を得る手段をさらに備えることを特徴とするものである。
【００２５】
さらに、本第十六の発明は、本第九の発明乃至本第十三の発明のいずれかにおいて、前記第一のサーボバースト群は、前記ディスクの半径方向において隣接して並ぶ３つのサーボバーストからなり、中央の前記サーボバーストは前記ディスクの半径方向において前記データトラックとほぼ同じ位置にあることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、追加の装置を備えることなく、トラックプロファイルを高精度に測定することができる。その結果、ヘッドの磁気的寸法を高精度に測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明を添付の図面に示す好適実施形態に基づいて説明する。本発明の第一の実施形態は、ヘッドおよびディスクの少なくとも一方を検査するためのテスタであって、その斜視図を図１に示す。
【００２８】
図１において、ヘッド・ディスクテスタ１００は、スピンスタンド１１０と、制御装置１２０とを備える。スピンスタンド１１０は、ベース１１１と、ディスク回転装置１１２と、ヘッド３００を保持するアーム１１３と、位置決め装置１１４とを備える。ディスク回転装置１１２と位置決め装置１１４は、ベース１１１に取り付けられている。ディスク回転装置１１２は、ディスク２００を保持し所定の一定速度で回転する装置である。位置決め装置１１４は、アーム１１３を回転位置決めする装置である。位置決め装置１１４は、図示しない位置センサを用いたフィードバック制御により、アーム１１３を位置決めする。ヘッド３００は、回転位置決めされるアーム１１３の作用により、ディスク２００に対して相対位置決めされる。また、ヘッド３００は、形態を問わない。つまり、ヘッド３００は、ヘッドスライダのみならず、ヘッドジンバルアセンブリなどであっても良い。制御装置１２０は、ディスク回転装置１１２と位置決め装置１１４とに電気的に接続され、それらの装置を制御する装置である。また、制御装置１２０は、ヘッド３００とも電気的に接続されており、ヘッド３００への信号を送信し、ヘッド３００からの信号を受信する。なお、図示しないが、ヘッド・ディスクテスタ１００は、ヘッド３００に電気的に接続される測定装置Ｍを備える。
【００２９】
次に、上記のように構成されるヘッド・ディスクテスタ１００において、ヘッド３００の磁気的寸法を測定する手順について説明する。測定手順は、図２に示すフローチャートの通りである。以下の説明で参照される図３〜図９は、ディスク２００上におけるヘッド３００、および、ディスク２００の記録面の様子を示すものである。各図において、上下方向は、ディスク２００の半径方向である。なお、各図において、上は、ディスク２００の外周側であり、下はディスク２００の内周側である。また、各図において、左右方向は、ディスク２００の円周方向である。さらに、各図において、既出の図と同一の要素には、同一の参照符号が付して、説明を省略する。
【００３０】
まず、図３を参照する。図において、ヘッド３００は、リード素子ＲＤおよびライト素子ＷＲのみが示されている。
【００３１】
ステップ１０において、ディスク２００上のヘッド位置を知るためのサーボバーストを書き込む。具体的には、ライト素子ＷＲにより、ディスク２００上の任意の位置に、サーボバーストＭとサーボバーストＮを書き込む。サーボバーストＭとサーボバーストＮとからなるグループは、第二のサーボバースト群の一例である。サーボバーストＭとサーボバーストＮは、ディスク２００の半径方向および円周方向において異なる位置に書き込まれる。この時、サーボバーストＮとサーボバーストＭとのディスク２００の半径方向におけるオフセット量は、ライト素子ＷＲのＭＷＷの代表値または設計値である。なお、そのオフセット量は、それらのサーボバーストに関連する位置信号の線形性を高めるために、ライト素子ＷＲのＭＷＷの代表値または設計値よりも小さい値とすることもできる。なお、位置信号については、後述する。図において、ヘッド３００は、ディスク２００の回転により左から右に相対移動する。また、ヘッド３００は、制御装置１２０に制御されて上下方向に移動する。線Ｌ１は、サーボバーストＭとサーボバーストＮとの中点を通り、ディスク２００の円周方向に伸びる線である。
【００３２】
次に、図４を参照する。
【００３３】
ステップ１１において、サーボバーストＭとサーボバーストＮとに関する位置信号（Position Signal；ＰＳ）を校正する。なお、ＰＳとは、ディスク２００上に記録される信号をリード素子ＲＤにより読み取ることにより生成される、ディスク２００上のヘッド３００の位置を表す位置情報である。本明細書において、ＰＳは、以下の一般式により与えられる。すなわち、サーボバーストＪおよびサーボバーストＫに関する位置信号であるＰＳＪＫは、サーボバーストＪを読み取ることにより得られる信号振幅ＡＪとサーボバーストＫを読み取ることにより得られる信号振幅ＡＫとにより、ＰＳＪＫ＝（ＡＪ−ＡＫ）／（ＡＪ＋ＡＫ）、で与えられる。また、ＰＳの校正とは、ディスク２００上のある位置において得られるＰＳと、ディスク２００上におけるヘッド３００の実際の位置とを関連づける作業をいう。具体的には、ＰＳと実際のヘッド位置との対応表の作成、または、ＰＳと実際のヘッド位置とに関する近似式の同定などを行う。本明細書において、ＰＳの校正は、ディスク２００上のヘッド３００の実際の位置をＸとして、ディスク２００上のある位置において得られるＰＳ値をＰとする時、Ｘ＝ａ・Ｐ＋ｂ、で表される一次近似式のａとｂを求めることをいう。ＰＳの校正において、ディスク２００上のヘッド３００の実際の位置は、位置決め装置１１４が認識しているヘッド３００のディスク２００の半径方向における位置が参照される。さて、本ステップにおいて、サーボバーストＭとサーボバーストＮとに関する位置信号ＰＳＭＮを校正するための測定点は３〜５点とし、各測定点における信号振幅の平均回数または平均期間をディスク２００の２〜３回転分とする。そして、得られた各点の平均振幅と各点の位置とから近似式を同定する。なお、各点の位置は、位置決め装置１１４が認識しているヘッド３００のディスク２００の半径方向における位置である。また、本明細書では、ＰＳの校正において、一次近似式を同定するものとする。
【００３４】
次に、図５を参照する。
【００３５】
ステップ１２において、ＰＳＭＮを用いずに、線Ｌ１上と推定される位置にリード素子ＲＤを移動させ、サーボバーストＭおよびＮを読み取り、関連するＰＳＭＮ１を得る。この時、ＰＳＭＮを用いて、線Ｌ１上にリード素子を移動させても良い。ステップ１１において求められた一次近似式と、ＰＳＭＮ１とから、ディスク２００上におけるヘッド３００の実際の位置ＸＲ１（不図示）が得られる。サーボバーストＭおよびＮの読み取りの後、速やかに、サーボバーストＢをディスク２００に書き込む。
【００３６】
次に、図６を参照する。
【００３７】
ステップ１３において、サーボバーストＢの書き込みの後、速やかに、サーボバーストＡおよびサーボバーストＣをディスク２００に書き込む。サーボバーストＡとサーボバーストＢとサーボバーストＣとからなるグループは、第一のサーボバースト群の一例である。サーボバーストＡおよびサーボバーストＣは、ディスク２００の半径方向においてサーボバーストＢに隣接するように書き込まれる。この時、サーボバーストＡとサーボバーストＢとのディスク２００の半径方向におけるオフセット量、および、サーボバーストＢとサーボバーストＣとのディスク２００の半径方向におけるオフセット量は、ライト素子ＷＲのＭＷＷの代表値または設計値である。なお、それらのオフセット量は、関連するＰＳの位置に対する線形性を高めるために、ライト素子ＷＲのＭＷＷの代表値または設計値よりも小さい値とすることもできる。図において、線Ｌ２は、サーボバーストＢのディスク２００の半径方向における中心を通り、ディスク２００の円周方向に伸びる線である。
【００３８】
次に、図７を参照する。
【００３９】
ステップ１４において、サーボバーストＡとサーボバーストＢとに関する位置信号ＰＳＡＢ、および、サーボバーストＢとサーボバーストＣに関する位置信号ＰＳＢＣを、連続的に校正する。ＰＳＡＢおよびＰＳＢＣを校正するための測定点はそれぞれ３〜５点とし、各測定点における信号振幅の平均回数または平均期間をディスク２００の２〜３回転分とする。そして、得られた各点の平均振幅と各点の位置とから各ＰＳに関する一次近似式を同定する。なお、各点の位置は、位置決め装置１１４が認識しているヘッド３００のディスク２００の半径方向における位置であって、位置ＸＲ１（不図示）を基準とする相対的な位置である。
【００４０】
次に、図８を参照する。
【００４１】
ステップ１５において、ＰＳＭＮを用いずに、線Ｌ１上と推定される位置にリード素子ＲＤを移動させ、サーボバーストＭおよびサーボバーストＮを読み取り、関連するＰＳＭＮ２を得る。ステップ１１において求められた一次近似式と、ＰＳＭＮ２とから、ディスク２００上におけるヘッド３００の実際の位置ＸＲ２（不図示）が得られる。
【００４２】
ステップ１６において、ＰＳＡＢおよびＰＳＢＣの校正中に生じたヘッド３００の位置ずれ量Ｐｏｆｆを得る。位置ずれ量Ｐｏｆｆは、位置ＸＲ１（不図示）と位置ＸＲ２（不図示）との距離として求められる。
【００４３】
ステップ１７において、位置ずれ量Ｐｏｆｆを判定する。位置ずれ量Ｐｏｆｆが所定値以下であれば、ステップ１８に進み、処理を続ける。位置ずれ量Ｐｏｆｆが所定値を超えていれば、書き込んだサーボバーストＡおよびサーボバーストＢおよびサーボバーストＣを消去し、ステップ１２から処理をやり直す。
【００４４】
ステップ１８において、位置ずれ量Ｐｏｆｆの判定後、速やかに、ライト素子ＷＲによりデータトラックＤをディスク２００に書き込む。図において、線Ｌ３は、データトラックＤのディスク２００の半径方向における中心を通り、ディスク２００の円周方向に伸びる線である。なお、線Ｌ２と線Ｌ３との距離は、位置ＸＲ１と位置ＸＲ２との距離に等しい。
【００４５】
次に、図９を参照する。
【００４６】
ステップ１９において、データトラックＤのトラックプロファイルＴＰＤを測定する。トラックプロファイルＴＰＤを構成する各点において、データトラックＤのトラック単位の平均信号振幅（ＴＡＡ）が測定し、同時に、サーボバーストも読み取るようにする。そして、サーボバーストの読み値からＰＳＡＢまたはＰＳＢＣを生成し、得られたＰＳＡＢまたはＰＳＢＣをトラックプロファイルの各測定点と関連づける。この時、トラックプロファイルＴＰＤを構成する点は４０〜１００点とし、それぞれの点における信号振幅の平均回数または平均期間をディスク２００の１回転分とする。
【００４７】
次に、図１０を参照する。図１０は、トラックプロファイルＴＰＤを示す図である。図において、Ｙ軸は、トラックプロファイルの振幅を表す。また、Ｚ軸は、位置決め装置１１４が認識する、ヘッド３００のディスク２００の半径方向における位置を表す。Ｚが大きいほどヘッド３００はおおむねディスク２００の内周側にある。反対に、Ｚが小さいほどヘッド３００はおおむねディスク２００の外周側にある。ところで、ヘッドの位置決め装置１１４が認識するヘッド３００の位置は、温度ドリフトやＴＭＲなどの影響により実際の位置とは異なる場合がある。なお、時間が経過するにつれて、ヘッド３００の位置はおおむねディスク２００の内周側方向へずれていくものとする。従って、ステップ１９において得られたトラックプロファイルＴＰＤは、時間経過に伴うヘッド３００の位置ずれが全く生じないと仮定した場合に得られる理想的なトラックプロファイルと比べると、左方向へ圧縮されたような歪んだ形状を有する。
【００４８】
ステップ２０において、トラックプロファイルＴＰＤを、ステップ１１における関連づけに基づきＰＳＡＢおよびＰＳＢＣから得られるディスク２００上のヘッド３００の実際の位置へ写像（mapping）する。具体的には、トラックプロファイルＴＰＤの各点を、対応するＰＳＡＢまたはＰＳＢＣをステップ１１において求めた一次近似式に代入して得られるディスク２００上のヘッド３００の実際の位置に写像する。ＰＳＡＢおよびＰＳＢＣは、トラックプロファイルＴＰＤの全点に対応しているわけではない。ここで、ＰＳＡＢを用いて写像された部分的なトラックプロファイルＣＴＰＤ１と、ＰＳＢＣを用いて写像された部分的なトラックプロファイルＣＴＰＤ２を図１１に示す。
【００４９】
以下、図１１を参照する。図において、Ｙ軸は、トラックプロファイルの振幅を表す。また、Ｘ軸は、ディスク２００上のヘッド３００のディスク２００の半径方向における実際の位置を表す。Ｘが大きいほどヘッド３００はディスク２００の内周側にある。反対に、Ｘが小さいほどヘッド３００はディスク２００の外周側にある。
【００５０】
ステップ２１において、ヘッド３００のＭＷＷを求める。ＭＷＷは、トラックプロファイルの半値幅として求められる。まず、トラックプロファイルＴＰＤのピーク値ＹＤＰ（不図示）の半値ＹＤＨを求める。次に、振幅がＹＤＨであるトラックプロファイルＴＰＤ上の点ＱＤ１およびＱＤ２を求める。なお、点ＱＤ１は、振幅値ＹＤＨより大きく振幅値ＹＤＨに最も近い点と振幅値ＹＤＨより小さく振幅値ＹＤＨに最も近い点との間の単純補間により求めても良いし、ステップ１１において求められた一次近似式もしくは振幅値ＹＤＨ近傍の複数点について同定される近似式から求めるようにしても良い。同様に、点ＱＤ２は、振幅値ＹＤＨより大きく振幅値ＹＤＨに最も近い点と振幅値ＹＤＨより小さく振幅値ＹＤＨに最も近い点との間の単純補間により求めても良いし、ステップ１１において求められた一次近似式もしくは振幅値ＹＤＨ近傍の複数点について同定される近似式から求めるようにしても良い。最後に、点ＱＤ１と点ＱＤ２とのＸ軸における距離を求める。求めた距離は、ヘッド３００のＭＷＷである。
【００５１】
ステップ２２において、ヘッド３００のＭＲＷを求める。ＭＲＷは、２種類の方法により求められる。本ステップでは、２種類ある方法のうちの一方を用いる。まず、トラックプロファイルＣＴＰＤ１上の点ＱＤ１における接線のＸ切片ＸＤ１、および、トラックプロファイルＣＴＰＤ２上の点ＱＤ２における接線のＸ切片ＸＤ２を求める。そして、切片ＸＤ１と切片ＸＤ２との距離を求める。最後に、求めた距離からヘッド３００のＭＷＷを差し引くと、ヘッド３００のＭＲＷが得られる。
【００５２】
ステップ２３において、ヘッド３００のＲＷ−ｏｆｆを求める。まず、点ＱＤ１と点ＱＤ２とのＸ軸上における中点ＸＤＣを求める。そして、ステップ１２において求めた位置ＸＲ１と点ＸＤＣとの距離を求める。最後に、求めた距離から、データトラックＤのサーボバーストＢに対するズレ量（ＸＲ２−ＸＲ１）を差し引くと、ヘッド３００のＲＷ−ｏｆｆが得られる。
【００５３】
もし、画面表示などのために全体的に写像されたトラックプロファイルが必要であれば、例えば、以下のようにすれば良い。トラックプロファイルＴＰＤを左端を基準として右方向へ伸張して、トラックプロファイルＴＰＤの全点をディスク２００上の実際の位置へ写像し、トラックプロファイルＣＴＰＤを生成する。この時、上述の手順により求められたＭＷＷ、ＷＲＷ、ＲＷ−ｏｆｆが反映されるようにトラックプロファイルＴＰＤを伸張するか、もしくは、トラックプロファイルＣＴＰＤが部分的なトラックプロファイルＣＴＰＤ１と部分的なトラックプロファイルＣＴＰＤ２とにできるだけ重なるようにトラックプロファイルＴＰＤを伸張する。
【００５４】
次に、本発明の第二の実施形態として、ヘッド・ディスクテスタ１００における、もう１つの方法によるＭＲＷの測定手順について説明する。ヘッド・ディスクテスタ１００は、既に説明した通りの構成を有する。本実施形態におけるＭＲＷの測定手順は、図１２に示すフローチャートに従う。以下の説明で参照される図１３〜図１６は、ディスク２００上におけるヘッド３００、および、ディスク２００の記録面の様子を示すものである。各図において、上下方向は、ディスク２００の半径方向である。なお、各図において、上は、ディスク２００の外周側であり、下はディスク２００の内周側である。また、各図において、左右方向は、ディスク２００の円周方向である。さらに、各図において、既出の図と同一の要素には、同一の参照符号が付して、説明を省略する。
【００５５】
まず、図１３を参照する。図において、ヘッド３００は、リード素子ＲＤおよびライト素子ＷＲのみが示されている。
【００５６】
ステップ３０において、ライト素子ＷＲにより、ディスク２００上の任意の位置にサーボバーストＥとサーボバーストＦを書き込む。サーボバーストＥとサーボバーストＦとからなるグループは、第一のサーボバースト群の一例である。サーボバーストＥとサーボバーストＦは、ディスク２００の半径方向において隣接する。この時、サーボバーストＥとサーボバーストＦとのディスク２００の半径方向におけるオフセット量は、ライト素子ＷＲのＭＷＷの代表値または設計値である。なお、そのオフセット量は、関連するＰＳの位置に対する線形性を高めるために、ライト素子ＷＲのＭＷＷの代表値または設計値よりも小さい値とすることもできる。ヘッド３００は、ディスク２００の回転により左から右に相対移動する。また、ヘッド３００は、制御装置１２０に制御されて上下方向に移動する。線Ｌ４は、サーボバーストＥとサーボバーストＦとの中点を通り、ディスク２００の円周方向に伸びる線である。線Ｌ５は、サーボバーストＥのディスク２００の半径方向における中心を通り、ディスク２００の円周方向に伸びる線である。
【００５７】
ここで、図１４を参照する。
【００５８】
ステップ３１において、サーボバーストＥとサーボバーストＦに関する位置信号ＰＳＥＦを校正する。ＰＳＥＦを校正するための測定点は３〜５点とし、各測定点における信号振幅の平均回数または平均期間をディスク２００の２〜３回転分とする。そして、得られた各点の平均振幅と各点の位置とから一次近似式を同定する。なお、各点の位置は、位置決め装置１１４が認識しているヘッド３００のディスク２００の半径方向における位置である。
【００５９】
ステップ３２において、線Ｌ５上と推定される位置にライト素子ＷＲを移動させ、データトラックＧをディスク２００に書き込む。
【００６０】
次に、図１５を参照する。
【００６１】
ステップ３３において、データトラックＧの幅が約１０〜２０％になるように、ライト素子によりデータトラックＧを消去して、マイクロトラックＨを生成する。この時、マイクロトラックＨは、サーボバーストＥとサーボバーストＦとの境界付近にあることが必要である。従って、ステップ３２において、サーボバーストＥとサーボバーストＦとの境界付近にライト素子ＷＲを移動させ、データトラックＧをディスク２００に書き込んだ場合、本ステップにおいては、データトラックＧの両端を消去するようにして、マイクロトラックＨを生成する。
【００６２】
次に、図１６を参照する。
【００６３】
ステップ３４において、マイクロトラックＨのトラックプロファイルＴＰＨを測定する。トラックプロファイルＴＰＨを構成する各点において、データトラックＤのトラック単位の平均信号振幅（ＴＡＡ）が測定され、同時に、サーボバーストＥおよびサーボバーストＦを読み取るようにする。そして、サーボバーストの読み値からＰＳＥＦを生成し、トラックプロファイルＴＰＨの各測定点と関連づける。この時、トラックプロファイルＴＰＤを構成する点は４０〜１００点とし、それぞれの点における信号振幅の平均回数または平均期間をディスク２００の１回転分とする。
【００６４】
次に、図１７を参照する。図１７は、ＰＳＥＦを用いて写像された部分的なトラックプロファイルＣＴＰＨ１を示す図である。トラックプロファイルＣＴＰＨ１は、ステップ２０と同様に、トラックプロファイルＴＰＨの各点を、対応するＰＳＥＦをステップ３１において求めた一次近似式に代入して得られるディスク２００上のヘッド３００の実際の位置に写像することにより得られる。図において、Ｙ軸は、トラックプロファイルの振幅を表す。また、Ｘ軸は、ディスク２００上のヘッド３００のディスク２００の半径方向における実際の位置を表す。Ｘが大きいほどヘッド３００はディスク２００の内周側にある。反対に、Ｘが小さいほどヘッド３００はディスク２００の外周側にある。
【００６５】
ステップ３５において、ヘッド３００のＭＲＷを求める。ＭＲＷは、マイクトトラックのトラックプロファイルの半値幅として求められる。まず、トラックプロファイルＴＰＨまたはトラックプロファイルＣＴＰＨ１のピーク値ＹＨＰの半値ＹＨＨを求める。次に、振幅がＹＨＨであるトラックプロファイルＣＴＰＨ１上の点ＱＨ１およびＱＨ２を求める。なお、点ＱＨ１およびＱＨ２は、振幅値ＹＤＨより大きく振幅値ＹＤＨに最も近い点と振幅値ＹＤＨより小さく振幅値ＹＤＨに最も近い点との間の単純補間により求めても良いし、ステップ１１において求められた一次近似式もしくは振幅値ＹＨＨ近傍の複数点について同定される近似式から求めるようにしても良い。最後に、点ＱＨ１と点ＱＨ２とのＸ軸における距離を求める。求めた距離は、ヘッド３００のＭＲＷである。
【００６６】
ところで、第一の実施形態における測定手順は、スピンスタンド１１０が機構的に安定していれば、いくつかの手順を省略することができる。そこで、本発明の第三の実施形態として、ヘッド・ディスクテスタ１００における、そのような新たな測定手順について説明する。ヘッド・ディスクテスタ１００は、既に説明した通りの構成を有する。本実施形態における測定手順は、図１８に示すフローチャートに従う。以下の説明で参照される図１９および図２０は、ディスク２００上におけるヘッド３００、および、ディスク２００の記録面の様子を示すものである。各図において、上下方向は、ディスク２００の半径方向である。なお、各図において、上は、ディスク２００の外周側であり、下はディスク２００の内周側である。また、各図において、左右方向は、ディスク２００の円周方向である。さらに、図２０において、図１９と同一の要素には、同一の参照符号が付して、説明を省略する。
【００６７】
まず、図１９を参照する。
【００６８】
ステップ４０において、ディスク２００上の任意の位置に、サーボバーストＡとサーボバーストＢとサーボバーストＣを書き込む。サーボバーストＡとサーボバーストＢとサーボバーストＣとからなるグループは、第一のサーボバースト群の一例である。サーボバーストＡおよびＣは、ディスク２００の半径方向においてサーボバーストＢに隣接するように書き込まれる。この時、サーボバーストＡとサーボバーストＢとのディスク２００の半径方向におけるオフセット量、および、サーボバーストＢとサーボバーストＣとのディスク２００の半径方向におけるオフセット量は、ライト素子ＷＲのＭＷＷの代表値または設計値である。なお、それらのオフセット量は、関連するＰＳの位置に対する線形性を高めるために、ライト素子ＷＲのＭＷＷの代表値または設計値よりも小さい値とすることもできる。図において、線Ｌ２は、サーボバーストＢのディスク２００の半径方向における中心を通り、ディスク２００の円周方向に伸びる線である。ここで、サーボバーストＢを書き込む時に位置決め装置１１４が認識しているヘッド３００のディスク２００の半径方向における位置（不図示）を、ＸＲ３とする。
【００６９】
ステップ４１において、ヘッド３００を用いて、サーボバーストＡとサーボバーストＢとに関する位置信号ＰＳＡＢ、および、サーボバーストＢとサーボバーストＣに関する位置信号ＰＳＢＣを、連続的に校正する。ＰＳＡＢおよびＰＳＢＣを校正するための測定点はそれぞれ４点とし、各測定点における信号振幅の平均回数または平均期間をディスク２００の２回転分とする。そして、得られた各点の平均振幅と各点の位置とから各ＰＳに関する一次近似式を同定する。なお、各点の位置は、位置決め装置１１４が認識しているヘッド３００のディスク２００の半径方向における位置であって、位置ＸＲ３を基準とする相対的な位置である。
【００７０】
次に、図２０を参照する。
【００７１】
ステップ４２において、ＰＳＡＢおよびＰＳＢＣの校正後速やかに、線Ｌ２上と推定される位置にライト素子ＷＲを移動させ、データトラックＤをディスク２００に書き込む。図において、線Ｌ３は、データトラックＤのディスク２００の半径方向における中心を通り、ディスク２００の円周方向に伸びる線である。
【００７２】
ステップ４３において、データトラックＤのトラックプロファイルＴＰＤを測定する。トラックプロファイルを構成する各点を測定する時、同時に、各サーボバーストも読み取るようにする。そして、サーボバーストの読み値からＰＳＡＢまたはＰＳＢＣを生成し、得られたＰＳＡＢまたはＰＳＢＣのいずれかをトラックプロファイルの各測定点と関連づける。この時、トラックプロファイルＴＰＤを構成する点は４０〜１００点とし、それぞれの点における信号振幅の平均回数または平均期間をディスク２００の１回転分とする。
【００７３】
次に、図１０を参照する。図中の各要素は、前述の説明の通りである。ただし、線Ｌ１は無視する。
【００７４】
ステップ４４において、ステップ２０と同様に、トラックプロファイルＴＰＤを部分的にディスク２００上のヘッド３００の実際の位置へ写像する。また、ステップ４５において、ステップ２１と同様に、ヘッド３００のＭＷＷを求める。さらに、ステップ４６において、ステップ２２と同様に、ヘッド３００のＭＲＷを求める。
【００７５】
ステップ４７において、ヘッド３００のＲＷ−ｏｆｆを求める。まず、点ＱＤ１と点ＱＤ２とのＸ軸上における中点ＸＤＣを求める。そして、位置ＸＲ３（不図示）と点ＸＤＣとの距離を求める。最後に、求めた距離から、データトラックＤのサーボバーストＢに対するズレ量を差し引くと、ヘッド３００のＲＷ−ｏｆｆが得られる。ここでは、データトラックＤのサーボバーストＢに対するズレ量は、以下のようにして求める。
【００７６】
以下、図２１を参照する。図２１は、ＰＳＡＢおよびＰＳＢＣのプロファイルを示す図である。図において、Ｐ軸は、各ＰＳの値を表す。また、Ｘ軸は、ディスク２００上のヘッド３００のディスク２００の半径方向における実際の位置を表す。Ｘが大きいほどヘッド３００はディスク２００の内周側にある。反対に、Ｘが小さいほどヘッド３００はディスク２００の外周側にある。
【００７７】
図において、ＰＳＡＢのＸ切片ＸＰ１、および、ＰＳＢＣのＸ切片ＸＰ２を求める。そして、切片ＸＰ１と切片ＸＰ２との中点ＸＢＣを求める。中点ＸＢＣは、サーボバーストＢのディスク２００の半径方向における中心点とみなすことができる。従って、データトラックＤのサーボバーストＢに対するズレ量は、中点ＸＤＣと中点ＸＢＣとの距離を求めることにより得られる。
【００７８】
さて、上述の各実施形態において、以下のような変形や応用が可能である。
【００７９】
上記の実施形態において、ＰＳを校正するための測定点数や各点の平均期間は、上述の範囲に限定される訳ではない。各点のＰＳを所望の精度で得られ、かつ、ＰＳを校正する間に生じるヘッド３００の位置ずれが許容範囲内であれば、それらのパラメータは如何様にも変更できる。ただし、サーボバーストＭおよびサーボバーストＮに関するＰＳを校正する場合には、ＰＳを得る間に生じるヘッド３００の位置ずれを気にする必要がないので、ＰＳを校正するための測定点数や各点の平均期間は比較的自由度が高い。むろん、極端に長い校正時間は論外である。
【００８０】
また、上記の実施形態において、ディスク２００およびヘッド３００をそれぞれ１つずつ用いて測定しているが、ディスクおよびヘッドの数は、これに限定されない。例えば、さらに、ヘッド３１０（不図示）を併用することもできる。この場合、データトラックとサーボバーストとが同じディスク面に在る必要がなくなる。つまり、ディスク２００の一方の面にサーボバーストを書き込み、ディスク２００の他方の面にデータトラックを書き込み、ヘッド３００でサーボバーストを読み取り、ヘッド３１０でデータトラックを測定することができる。またさらに、ヘッド３１０に加えてディスク２１０（不図示）を併用することもできる。この場合、データトラックとサーボバーストとが同じディスクに在る必要がなくなる。
【００８１】
さらに、上記の第一の実施形態と第三の実施形態において、サーボバーストＢをデータトラックＤで代用させることができる。その場合、第一の実施形態では、ステップ１２においてサーボバーストＢの代わりにデータトラックＤを書き込むようにし、ステップ１４においてＰＳＡＢおよびＰＳＢＣを校正する代わりに位置信号ＰＳＡＤおよび位置信号ＰＳＤＣを校正するようにし、ステップ１８でのデータトラックの書き込みを無くするようにする。また、第三の実施形態では、ステップ４０においてサーボバーストＢの代わりにデータトラックＤを書き込むようにし、ステップ４１においてＰＳＡＢおよびＰＳＢＣを校正する代わりに位置信号ＰＳＡＤおよび位置信号ＰＳＤＣを校正するようにし、ステップ４２でのデータトラックの書き込みを無くするようにする。なお、両実施形態において、データトラックＤならびにサーボバーストＡおよびサーボバーストＣは、図２２に示すように、ディスク２００の半径方向に隣接して並ぶようにディスク２００に書き込まれる。サーボバーストＡは、データトラックＤの外周側に書き込まれる。また、サーボバーストＣは、データトラックＤの内周側に書き込まれる。この場合、サーボバーストＢとデータトラックＤとのズレ量は常にゼロである。従って、上記の実施形態において、サーボバーストＢとデータトラックＤとのズレ量を調べる必要が無くなる。なお、図２２は、ディスク２００の記録面の様子を示すものである。図において、上下方向は、ディスク２００の半径方向である。なお、各図において、上は、ディスク２００の外周側であり、下はディスク２００の内周側である。また、各図において、左右方向は、ディスク２００の円周方向である。
【００８２】
また、上記の第一の実施形態と第三の実施形態において、サーボバーストＡとサーボバーストＣは、ディスク２００の円周方向において異なる位置に書き込むようにしても良い。
【００８３】
またさらに、上記の実施形態において、サーボバーストの個数やサーボバースト間のオフセット量は、関連する位置情報の校正が所望の精度で実施できる限り、必要に応じて如何様にも変更が可能である。例えば、ディスク２００の半径方向の広い範囲をサポートするために、サーボバースト間のオフセット量を小さくしサーボバーストの個数を増やすこともできる。ただし、トラックプロファイルＴＰＤまたはトラックプロファイルＴＰＨの両側のスロープを写像するために、ディスク２００の半径方向におけるデータトラックＤの両端付近またはマイクロトラックＨの両端付近において位置信号ＰＳが得られるように、各サーボバーストが書き込まれなければならない。また、サーボバーストの個数が多いほど測定誤差が大きくなるので、サーボバーストの個数は少ない方が良い。
【００８４】
さらに、上記の実施形態において、トラックプロファイルＴＰＤおよびトラックプロファイルＴＰＤの測定点数や各測定点における平均回数（または平均期間）は、任意に増減することができる。
【００８５】
またさらに、上記の実施形態において、ＰＳの校正がＰＳと実際のヘッド位置との対応を示すテーブルの作成である場合、トラックプロファイルの写像において、トラックプロファイルの各点に対応するＰＳＡＢまたはＰＳＢＣと作成されたテーブルとから単純補間により得られるディスク２００上のヘッド３００の実際の位置に、トラックプロファイルの各点を写像する。
【００８６】
また、上記の実施形態において、位置情報は、線形近似が可能なように、サーボバーストＪおよびサーボバーストＫに関する位置信号であるＰＳＪＫが、サーボバーストＪを読み取ることにより得られる信号振幅ＡＪとサーボバーストＫを読み取ることにより得られる信号振幅ＡＫとにより、ＰＳＪＫ＝（ＡＪ−ＡＫ）／（ＡＪ＋ＡＫ）、で与えられる。しかし、位置情報は、他の計算式により求めることもできる。例えば、ＰＳＪＫ＝ＡＪ／ＡＫ、で与えられても良い。
【００８７】
さらに、上記の実施形態において、サーボバーストとデータトラックまたはマイクロトラックとの組は、ディスク２００の円周方向に１組だけ存在する態様が示されているが、ディスク２００の円周方向に２組以上が存在するようにしても良い。つまり、セクタ毎にサーボバーストとデータトラックが存在し、セクタ毎にトラックプロファイルや磁気的寸法を測定するようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００８８】
なお、本発明のトラックプロファイル測定方法は、ヘッドの磁気的寸法の測定に限らず、トラックプロファイル測定を実施する他の測定に対しても適用可能である。例えば、本発明のトラックプロファイル測定方法は、トリプルトラックテストに対しても適用可能である。
【００８９】
また、本発明の測定方法は、Ｘ−Ｙ方式の位置決め機構を有するヘッド・ディスクテスタや、Ｘ−θ方式の位置決め機構を有するヘッド・ディスクテスタなど、他の如何なるヘッド・ディスクテスタにも適用可能である。
【００９０】
本発明は、ディスク上をヘッドの位置をディスクの半径方向に変えながら、各ヘッド位置においてヘッドによりデータトラックを測定するアプリケーションに適用することができる。例えば、本発明は、トラック幅方向（ディスクの半径方向）におけるデータトラックの誤り率に関するプロファイルを測定する場合にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明のヘッド・ディスクテスタ１００の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第一の実施形態においてヘッドの磁気的寸法を測定する手順を示すフローチャートである。
【図３】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図４】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図５】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図６】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図７】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図８】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図９】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図１０】トラックプロファイルＴＰＤを示す図である。
【図１１】写像された部分的トラックプロファイルＣＴＰＤ１およびＣＴＰＤ２を示す図である。
【図１２】本発明の第二の実施形態においてヘッドの磁気的寸法を測定する手順を示すフローチャートである。
【図１３】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図１４】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図１５】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図１６】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図１７】写像された部分的トラックプロファイルＣＴＰＨ１を示す図である。
【図１８】本発明の第三の実施形態においてヘッドの磁気的寸法を測定する手順を示すフローチャートである。
【図１９】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図２０】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【図２１】ＰＳＡＢとＰＳＢＣを示す図である。
【図２２】ヘッド３００とディスク２００の記録面を示す図である。
【符号の説明】
【００９２】
１００  ヘッド・ディスクテスタ
１１０  スピンスタンド
１１１  ベース
１１２  ディスク回転装置
１１３  アーム
１１４  位置決め装置装置
１２０  制御装置
２００  ディスク
３００  ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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