(57)【要約】【課題】  ４００ｎｍより短波長側のＵＶ（紫外線）領域でも良好な透過率が得られ、且つソラリザーションの問題も発生せず、球面収差がよく、しかも製作が容易な２枚組レンズを提供する。【解決手段】  異常分散硝子製正レンズ１と、合成石英から成る負レンズ２とをレンズ枠４に組み込んでレンズ押え５で固定する。負レンズ２のＲを向い合う前記正レンズ１のＲよりも小さいものとすると共に、負レンズ２の面取り量を正レンズ１より大きくする。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
異常分散硝子製正レンズと、合成石英から成る負レンズとをレンズ枠に組み込んでレンズ押さえで固定し、前記負レンズのＲを向い合う前記正レンズのＲより小さいものとすると共に、対向側の一方のレンズの面取り量を他方のレンズより大きくしたことを特徴とする２枚組のレンズ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＵＶ領域で使用する露光装置の集光レンズ、あるいはアフォーカル光学系の拡大レンズとして用いられる２枚組レンズに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
単レンズでは、球面収差を小さくすることが出来ないので、図１に示すように、正レンズＡを低分散クラウン硝子とし、負レンズＢを高分散のフリント硝子としたものを、いわゆるダブレットとしてＵＶ硬化型接着剤で接着あるいはバルサムで接着し、単レンズより球面収差を減少させた２枚組レンズが良く知られている。
【０００３】
図２は、正レンズＡにＢＫ７と呼ばれるクラウン硝子（屈折率（ｎd）１．５１６、分散（νd）６４．１６７）を用い、負レンズＢにＳＦ１という重フリント硝子（屈折率（ｎd）１．７１７、分散（νd）２９．５１８）を用いて球面収差と色収差を減少させた２枚組レンズの球面収差図を示し、縦軸が入射光線高さ（１目盛り  ０．５ｍｍ）を、横軸が球面収差の大きさ（１目盛り  ２μｍ）で球面収差がよく減少されているのが判る。
【０００４】
図３は、前記のクラウン硝子と重フリント硝子の組み合わせによる横収差図で、ＥＸはサジタル、ＥＹはタンジェンシャル面の収差を表し、縦軸（ＥＸ，ＥＹ）は、球面収差量（１目盛り  ０．１μｍ）を、また横軸（ＰＸ，ＰＹ）は、入射光線高さ（１目盛り  １ｍｍ）を表す。この収差図からサジタル、タンジェンシャル面共に収差が良く補正されているのが判る。
【０００５】
しかしＳＦ１は、３５０ｎｍの波長で１０ｍｍ厚みの時３０％の透過率しかなく、しかもこれらの硝子材料と前記バルサム接着剤は焼けの問題があってＵＶ領域では使用できない。
【非特許文献１】2003年12月1日発行  シグマ光機（株）カタログ  球面アクロマティックレンズ  B185
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで本発明は、４００ｎｍより短波長側のＵＶ（紫外線）領域でも良好な透過率が得られ、且つソラリザーションの問題も発生せず、球面収差がよく、しかも製作が容易な２枚組レンズを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、異常分散ガラス製正レンズと、合成石英から成る負レンズとをレンズ枠に組み込んでレンズ押さえで固定し、前記負レンズのＲを向い合う前記正レンズのＲより小さいものとすると共に、対向側の一方のレンズの面取り量を他方のレンズより大きくしたことを特徴とする２枚組レンズである。
【０００８】
一般に用いられている図４に示すような合成石英（ｎd：１．４５８、νd：６８．０２）の平凸レンズは、紫外線の透過率が３５０ｎｍの波長で１０ｍｍ厚みの時９９％以上有るのでＵＶ領域でのレンズとしては最適である。
【０００９】
ところが、その球面収差は、図５の球面収差図に示すように、図１のダブレットに比べると大きい。なお、図５の縦軸は入射光線高さ（１目盛り  ０．５ｍｍ）を示し、横軸は球面収差の大きさ（１目盛り  ２０μｍ）を示すものである。
【００１０】
また、図６は、前記合成石英製レンズの横収差図で、ＥＸはサジタル、ＥＹはタンジェンシャル面での収差を表し、横軸（ＥＸ，ＥＹ）は、球面収差量（１目盛り  ４μｍ）を、横軸（ＰＸ，ＰＹ）は、入射光線高さ（１目盛り  １ｍｍ）を表す。この図からわかるようにサジタル、タンジェンシャル面共に収差がかなり残っているのが判る。
【００１１】
そこで、収差を減少させようと、正レンズと負レンズ共合成石英として図７のように２枚組合わせ、所謂ダブレットにした場合の球面収差図は、図８のようになり、図４の平凸レンズの場合と差が無い。なお縦軸が入射光線高さ（１目盛り  ０．５ｍｍ）で横軸が球面収差の大きさ（１目盛り  ２０μｍ）である。
【００１２】
また、図９は、前記合成石英を用いたダブレットの横収差図で、ＥＸはサジタル、ＥＹはタンジェンシャル面での収差を表し、縦軸（ＥＸ，ＥＹ）は、球面収差量（１目盛り  4μｍ）を、横軸（ＰＸ，ＰＹ）は入射光線高さ（１目盛り  １ｍｍ）を表す。この図からわかるようにサジタル、タンジェンシャル面共に収差がかなり残っているのが判る。これも平凸レンズと差が無い事が判る。
【００１３】
結局ＵＶ領域での透過性能を重視して、正レンズも負レンズも同一屈折率と同一分散の材質を使用すると、ベッツバールの和の条件を満たさないので、像面湾曲や非点収差等の収差改善は行われない。
【００１４】
そこで、本発明は前記のように、ＵＶ領域の透過性能の優れた異常分散硝子を正レンズとし、合成石英を負レンズとした２枚組み合わせのレンズを使用して球面収差を改善したものである。
【００１５】
そして、更に本発明では、前記のように負レンズのＲを向い合う前正レンズのＲより小さいものとすると共に、対向側の一方のレンズの面取り量を他方のレンズより大きくして、正レンズと負レンズが周縁でのみ接触するようにして、センター合せを容易にし、且つ従来のように接着剤を用いないことによりソラリゼーションの問題を生じないようにしたものである。
【発明の効果】
【００１６】
上記の構成によると、組立（製作）が容易なＵＶ領域で使用する球面収差のよい２枚組レンズを提供することができる。
【実施例】
【００１７】
図１０は本発明の実施例を示し、図１１はレンズ部のみの拡大断面図である。
【００１８】
図１０において、１は（株）オハラ製  硝材番号S-FPL51Yの異常分散硝子（ｎd：１．４９７、νd：８１．１  透過率３５０ｎｍで１０ｍｍ厚で９９％以上）で作った正レンズ、２は信越石英（株）製  硝材番号  SUPRASIL-P20の合成石英（ｎd：１．４５８、νd：６８．０２）で作った負レンズである。
【００１９】
しかして、これら正レンズ１と負レンズ２は、、負レンズ２のＲを向い合う正レンズ２のＲより小さいものとすると共に、負レンズ２の面取り量を正レンズ１より大きくして、周縁３で接触するように形成してレンズ枠４に挿入し、レンズ押え５でレンズ枠４に固定する。
【００２０】
なお、前記異常分散硝子の組成はＳｒＦ2  ２０〜３０重量％，  Ｐ2Ｏ5 ２０〜３０重量％，  ＢａＦ2  １０〜２０重量％，  ＣａＦ2  １０〜２０重量％，  ＡｌＦ3  ２〜１０重量％，  ＭｇＦ2  ２〜１０重量％，  Ａｌ2Ｏ3  ２〜１０重量％，  ＢａＯ  ０〜２重量％である。
【００２１】
また、合成石英の組成は、石英に１ｐｐｍ以下のＡｌ、Ｆｅ、Ｃｕ等の金属元素と１０００ｐｐｍ以下のＯＨ基を含むものである。
【００２２】
図１２は実施例の収差図で、縦軸は入射光線高さ（１目盛り  ０．５ｍｍ）を、また横軸は球面収差の大きさ（１目盛り  ２μｍ）である。図４の合成石英の平凸レンズの場合や図７の合成石英のダブレットの場合より、球面収差が減少していることが判り、更に図１のダブレットよりも球面収差が減少していることが判る。
【００２３】
図１３は、実施例の横収差図で、ＥＸはサジタル、ＥＹはタンジェンシャル面での収差を表し、縦軸（ＥＸ，ＥＹ）は球面収差量（１目盛り  ０．１μｍ）を、また横軸（ＰＸ，ＰＹ）は、入射光線高さ（１目盛り  １ｍｍ）を表す。図５、図９に比べ収差が良く補正されている事が判る。また、図３と比較して、収差の補正が同じであることが判る。
【００２４】
なお、合成石英として、信越石英（株）製  硝材番号  SUPRASIL-P10，P12，P22，P24，P30，P110や（株）東ソー・クオーツ製  硝材番号  ESL-1，ESL-2，ESL-1000，ESL-2000，ED-A，ED-H等を使用しても同様の結果が得られる。
【００２５】
以上のように、本発明の構成によればＵＶ領域で良好な透過率を確保しながら、球面収差を補正するレンズを提供できる。また、レンズ押え５を緊締することによりセンター合せが行われるので製作が容易である。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明にかかる２枚組レンズは、ＵＶ透過率がよく、しかもソラリゼーションの問題を生ずることがないため、ＵＶ領域で使用される露光装置の集光レンズやアフォーカル光学系の拡大レンズとして快適である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】従来の２枚組レンズの構成図。
【図２】図１の２枚組レンズの球面収差図。
【図３】図１の２枚組レンズの横収差図。
【図４】合成石英製平凸レンズの球面収差図。
【図５】図４のレンズの球面収差図。
【図６】図４のレンズの横収差図。
【図７】正レンズと負レンズ共合成石英とした２枚組レンズの断面図。
【図８】図７の２枚組レンズの球面収差図。
【図９】図７の２枚組レンズの横収差図。
【図１０】本発明の実施例の断面図。
【図１１】本発明の実施例のレンズ部のみ拡大断面図。
【図１２】本発明の実施例の球面収差図。
【図１３】本発明の実施例の横収差図。
【符号の説明】
【００２８】
１  正レンズ
２  負レンズ
３  周縁
４  レンズ枠
５  レンズ押え
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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