(57)【要約】  【課題】  グレーティングの角度を調整しても、射出されるレーザ光の方向および位置が変化しないレーザ・システムを提供する。  【解決手段】  半導体レーザ２、レンズ３、およびグレーティング５は、外部共振器型半導体レーザを構成する。グレーティング５は、グレーティング台７を所定の回転軸を中心に回転させることにより回転し、半導体レーザ２からのレーザ光を一定の位置で受光する。また、グレーティング５の回転によって、外部への射出光の方向が変化するが、その変化を相殺するように、グレーティング台７を保持する全体台１３を、ドライブ１５上で、上記所定の回転軸を中心に回転させる。この回転軸は、グレーティング５の入射面を含む平面上にあり、グレーティング５に対する入射光路と射出光路を含む平面に直交し、かつ、グレーティング５に入射されるレーザ光の中心が上記入射面と交わる点を通る軸である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体レーザから射出されるレーザ光を入射し、所定の波長のレーザ光を外部に射出するグレーティングと、
前記グレーティングを保持するグレーティング台と、
前記グレーティング台および前記半導体レーザを保持する全体台とを有し、
前記グレーティング台と前記全体台が同一の回転軸で回転するよう構成され、
前記回転軸は、
前記レーザ光を入射する前記グレーティングの入射面を含む平面上にあり、
前記グレーティングに入射されるレーザ光の入射光路、および前記グレーティングから外部に射出されるレーザ光の射出光路を含む平面に直交し、かつ、
前記グレーティングに入射されるレーザ光の中心が前記入射面と交わる点を通る軸であることを特徴とするレーザ・システム。
【請求項２】
請求項１に記載のレーザ・システムにおいて、
前記回転軸を中心として前記全体台上で所定の第１の角度だけ回転された前記グレーティング台は、前記全体台に固定され、
前記回転軸を中心として、前記全体台を保持するドライブ上で所定の第２の角度だけ回転された前記全体台は、前記ドライブに固定されることを特徴とするレーザ・システム。
【請求項３】
請求項２に記載のレーザ・システムにおいて、
前記第２の角度は、前記グレーティング台の前記第１の角度の回転によって変化した、前記グレーティングから射出されるレーザ光の方向を、回転前のレーザ光の方向に戻すように調整されることを特徴とするレーザ・システム。
【請求項４】
請求項２に記載のレーザ・システムにおいて、
前記グレーティング台の回転は、偏芯ドライバを用いて行われることを特徴とするレーザ・システム。
【請求項５】
請求項４に記載のレーザ・システムにおいて、
前記グレーティング台は、厚さ方向に貫通する偏芯ドライバ用穴を有し、
前記全体台は、前記偏芯ドライバの突起部が挿入される穴を有し、
前記グレーティング台の回転は、
前記グレーティング台の前記偏芯ドライバ用穴を前記偏芯ドライバが通り、
前記偏芯ドライバの突起部が前記全体台の前記穴に挿入された状態で、
前記偏芯ドライバが回転されることによって行われることを特徴とするレーザ・システム。
【請求項６】
請求項２に記載のレーザ・システムにおいて、
前記全体台の回転は、偏芯ドライバを用いて行われることを特徴とするレーザ・システム。
【請求項７】
請求項６に記載のレーザ・システムにおいて、
前記全体台は、厚さ方向に貫通する偏芯ドライバ用穴を有し、
前記ドライブは、前記偏芯ドライバの突起部が挿入される穴を有し、
前記全体台の回転は、
前記全体台の前記偏芯ドライバ用穴を前記偏芯ドライバが通り、
前記偏芯ドライバの突起部が前記ドライブの前記穴に挿入された状態で、
前記偏芯ドライバが回転されることによって行われることを特徴とするレーザ・システム。
【請求項８】
請求項１に記載のレーザ・システムにおいて、
前記半導体レーザと前記グレーティングとの間にレンズを配置し、
前記半導体レーザ、前記レンズ、および前記グレーティングによって外部共振器型半導体レーザが構成されることを特徴とするレーザ・システム。
【請求項９】
請求項８に記載のレーザ・システムにおいて、
前記外部共振器型半導体レーザが、リットロー型であることを特徴とするレーザ・システム。
【請求項１０】
請求項１に記載のレーザ・システムにおいて、
前記グレーティング台と前記全体台は、第１ピンによって接続され、前記第１ピンが前記回転軸として機能し、
前記全体台と前記ドライブは、第２ピンによって接続され、前記第２ピンが前記回転軸として機能し、
前記第１ピンと前記第２ピンは互いに離れて配置され、前記全体台の厚さ方向に突出するよう構成され、
さらに、前記グレーティング台は、前記第１ピンを収容する穴を有し、
前記ドライブは、前記第２ピンを収容する穴を有することを特徴とするレーザ・システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、外部共振器型半導体レーザを含むレーザ・システムに関し、より詳しくは、レーザ光の射出方向を変えることなく波長の切り替えを行うレーザ・システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体レーザは、小型でかつ低消費電力である等の理由から、情報機器に多く使われるようになってきた。たとえば、ホログラフィックデータストレージ（ＨＤＳ：Holographic Data Storage）については、シングルモード・レーザが用いられる。ＨＤＳは、１本のレーザ光をビームスピリッタで２本に分けた後に記録メディア上で再びあわせ、その干渉によってデータを記憶する。
【０００３】
マルチモードでは干渉が起きないため、シングルモード・レーザの使用が条件となる。現在では、このような用途のレーザとして、ＹＡＧの２次高調波（５３２ｎｍ）が使用されることが多い。
【０００４】
ところで、レーザ・ダイオード（ＬＤ）のような半導体レーザは、マルチモード発振であり、上記用途には利用できないが、外部共振器と組み合わせることによりシングルモード化を実現できる。
【０００５】
ここで、従来より市販されている代表的なリットロー型の外部共振型半導体レーザを含むレーザ・システムの構成を、図７および図８を同時に参照して説明する。図７は、レーザ・システム２００の平面図であり、図８は、図７に示す矢印Ｆの方向に沿って見たレーザ・システム２００の正面図である。このレーザ・システム２００の構成は、非特許文献１に記載されたレーザ・システムの構成と同様のものである。
【０００６】
【非特許文献１】L. Ricci, et al. :"A compact grating-stabilized diode laser system for atomic physics", Optics Communications, 117 1995, pp541-549
【０００７】
レーザ・システム２００では、レーザ・ダイオード２０１のような半導体レーザ素子から射出された縦多モードのレーザ光（発振光）がレンズ２０２によって平行に集められ、グレーティング（回折格子）２０３に入射される。グレーティング２０３は、入射した光の１次回折光を出力する。グレーティング２０３の配置角度に応じて特定の波長の１次回折光が、レンズ２０２を介してレーザ・ダイオード２０１に逆注入される。この結果、レーザ・ダイオード２０１が、注入された１次回折光に共振してシングルモードの光（矢印Ｇによって表された０次光）を射出するようになり、その光の波長は、グレーティング２０３から戻ってきた光の波長と同じになる。
【０００８】
図７および図８に示すように、レーザ・システム２００は、レーザ・ダイオード２０１、レンズ２０２、グレーティング２０３、第１支持部２０４、第１ネジ２０５、第１溝２０６、第２支持部２０７、第２ネジ２０８、および第２溝２０９を含むレーザ部２２０と、ペルチェ素子２１０、ヒートシンク２１１を含む温度制御部２３０からなる。
【０００９】
レーザ・システム２００では、レーザ光の光路が第２支持部２０７の上面に対してほぼ水平になるように、第２支持部２０７上に光学部品（レンズ２０２、グレーティング２０３等）を配置している。さらに、温度制御部２３０がレーザ部２２０の下側に配置されており、これによって、主に、レーザ・ダイオード２０１、レンズ２０２等の温度が制御される。温度制御部２３０によりレーザ・ダイオード２０１の温度が一定に保たれることによって光源の安定化が図られる。さらに、熱膨張を抑えることによって、グレーティング２０３や第１支持部２０４等を含む外部共振器のサイズを一定に保ち、射出されるレーザ光の位置や角度を一定に保つことができる。
【００１０】
レーザ・システム２００は、グレーティング２０３の配置角度を変えることによりレーザ・ダイオード２０１の発振光の波長を調整する。グレーティング２０３は、第１支持部２０４に保持されている。第１支持部２０４には第１溝２０６が設けられており、同じく第１支持部２０４に設けられた第１ネジ２０５を回転させることにより、第１溝２０６の間隔が広がり（あるいは狭まり）、それによってグレーティング２０３の水平方向の配置角度が僅かに変化する。
【００１１】
同様の機構は、グレーティング２０３の垂直方向の角度を調整するためにも設けられている。グレーティング２０３を保持する第１支持部２０４は、第２支持部２０７に保持されており、第２支持部２０７には第２ネジ２０８と第２溝２０９が設けられている。第２ネジ２０８を回転させることにより、前述の第１支持部２０４と同様、第２支持部２０７に設けられた第２溝２０９の間隔が部分的に広がり（あるいは狭まり）、それによってグレーティング２０３および第１支持部２０４の垂直方向の配置角度が僅かに変化する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上述したレーザ・システム２００のような構成では、グレーティング２０３の水平方向および垂直方向の角度が変わるだけでなく、グレーティング２０３の位置（より詳細には、グレーティング２０３がレーザ光を受光する位置、および反射する位置）も変化してしまう。このことにより、グレーティング２０３から外部に射出される０次光の方向および位置も変化し、このレーザ・システム２００からの射出光を利用するために周辺に配置された光学部品の位置を再度調整する必要がある。
【００１３】
すなわち、レーザ・システム２００と周辺の光学部品の位置関係を正確に調整しておいても、その後、使用するレーザ光の波長を切り替える等の理由でグレーティング２０３の角度を再調整すると、周辺の光学部品の位置や角度をすべて再調整しなければならず、利用者の負担は非常に大きくなる。
【００１４】
したがって、この発明の目的は、周辺の光学機器の位置を再調整することなく、複数の異なる波長のレーザ光を射出可能なレーザ・システムを提供することにある。
【００１５】
また、この発明のさらなる目的は、グレーティングの角度を調整しても、射出されるレーザ光の方向および位置が変化しないレーザ・システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
第１の実施態様に係る発明は、半導体レーザから射出されるレーザ光を入射し、所定の波長のレーザ光を外部に射出するグレーティングと、グレーティングを保持するグレーティング台と、グレーティング台および半導体レーザを保持する全体台とを有し、グレーティング台と全体台が同一の回転軸で回転するよう構成され、回転軸は、レーザ光を入射するグレーティングの入射面を含む平面上にあり、グレーティングに入射されるレーザ光の入射光路、およびグレーティングから外部に射出されるレーザ光の射出光路を含む平面に直交し、かつ、グレーティングに入射されるレーザ光の中心が入射面と交わる点を通る軸であるように構成されたレーザ・システムである。
【００１７】
第２の実施態様に係る発明は、第１の実施態様に係るレーザ・システムにおいて、回転軸を中心として全体台上で所定の第１の角度だけ回転されたグレーティング台は、全体台に固定され、回転軸を中心として、全体台を保持するドライブ上で所定の第２の角度だけ回転された全体台は、ドライブに固定されるよう構成されるレーザ・システムである。
【００１８】
第３の実施態様に係る発明は、第２の実施態様に係るレーザ・システムにおいて、第２の角度が、グレーティング台の第１の角度の回転によって変化した、グレーティングから射出されるレーザ光の方向を、回転前のレーザ光の方向に戻すように調整されるよう構成されるレーザ・システムである。
【００１９】
第４の実施態様に係る発明は、第２の実施態様に係るレーザ・システムにおいて、グレーティング台の回転は、偏芯ドライバを用いて行われるよう構成されるレーザ・システムである。
【００２０】
第５の実施態様に係る発明は、第４の実施態様に係るレーザ・システムにおいて、グレーティング台は、厚さ方向に貫通する偏芯ドライバ用穴を有し、全体台は、偏芯ドライバの突起部が挿入される穴を有し、グレーティング台の回転は、グレーティング台の偏芯ドライバ用穴を偏芯ドライバが通り、偏芯ドライバの突起部が全体台の穴に挿入された状態で、偏芯ドライバが回転されることによって行われるよう構成されるレーザ・システムである。
【００２１】
第６の実施態様に係る発明は、第２の実施態様に係るレーザ・システムにおいて、全体台の回転は、偏芯ドライバを用いて行われるよう構成されるレーザ・システムである。
【００２２】
第７の実施態様に係る発明は、第６の実施態様に係るレーザ・システムにおいて、全体台は、厚さ方向に貫通する偏芯ドライバ用穴を有し、ドライブは、偏芯ドライバの突起部が挿入される穴を有し、全体台の回転は、全体台の偏芯ドライバ用穴を偏芯ドライバが通り、偏芯ドライバの突起部がドライブの穴に挿入された状態で、偏芯ドライバが回転されることによって行われるよう構成されるレーザ・システムである。
【００２３】
第８の実施態様に係る発明は、第１の実施態様に係るレーザ・システムにおいて、半導体レーザとグレーティングとの間にレンズを配置し、半導体レーザ、レンズ、およびグレーティングによって外部共振器型半導体レーザが構成されるレーザ・システムである。
【００２４】
第９の実施態様に係る発明は、第８の実施態様に係るレーザ・システムにおいて、外部共振器型半導体レーザが、リットロー型であるよう構成されるレーザ・システムである。
【００２５】
第１０の実施態様に係る発明は、第１の実施態様に係るレーザ・システムにおいて、グレーティング台と全体台は、第１ピンによって接続され、第１ピンが回転軸として機能し、全体台とドライブは、第２ピンによって接続され、第２ピンが回転軸として機能し、第１ピンと第２ピンは互いに離れて配置され、全体台の厚さ方向に突出するよう構成され、さらに、グレーティング台は、第１ピンを収容する穴を有し、ドライブは、第２ピンを収容する穴を有するよう構成されるレーザ・システムである。
【発明の効果】
【００２６】
この発明によって、グレーティングの角度を調整しても、射出されるレーザ光の方向および位置が変化しないレーザ・システムが提供される。また、このように、射出されるレーザ光の方向および位置が変化しないため、グレーティングの角度を調整した場合であっても、周辺の光学機器の位置を再調整する必要がなく、利用者の負担を低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
最初に、この発明の一実施形態に係るレーザ・システムの構成について、図１を参照して説明する。図１は、リットロー型の外部共振器型半導体レーザを含むレーザ・システム１の上面図を表している。レーザ・システム１は、全体台１３（レーザ全体の台）上に、レーザ支持台４およびグレーティング台７を備えてなる。レーザ支持台４は、たとえば接着等によって全体台１３に固定されるが、グレーティング台７は、後述するように、第１ピンを中心として回転可能であり、最終的には、ネジによって全体台１３に固定される。図１のネジ穴１０ａおよび１０ｂは、これらのネジが通る穴であり、これらは、通常のネジ穴より大きい、たとえば楕円形や小判型のような形状で構成されうる。また、グレーティング台７の回転角を調整するために、偏芯ドライバ用穴８が設けられている。
【００２８】
全体台１３はさらに、ホログラフドライブ等のドライブにネジ等によって固定される。図１のネジ穴１２ａないし１２ｄは、これらのネジが通る穴である。全体台１３は、後述するように、ドライブ上で回転可能であり、そのために、ネジ穴１２ａないし１２ｄは、通常のネジ穴より大きい、たとえば楕円形や小判型のような形状で構成されうる。また、全体台１３の回転角を調整するために、偏芯ドライバ用穴１１が設けられている。
【００２９】
レーザ支持台４には、半導体レーザ２とレンズ３が固定的に取り付けられる。半導体レーザ２から射出されたレーザ光は、レンズ３によって集光され、グレーティング台７の方向に提供される。グレーティング台７上には、グレーティング支持部６が、たとえば接着等により固定される。グレーティング５は、グレーティング支持部６に保持され、半導体レーザ２から射出された光を半導体レーザ２に戻す（１次回折光）とともに、その１次回折光に共振して、０次回折光を射出する。
【００３０】
図２は、図１に示す矢印Ａの方向に沿って見たレーザ・システム１の正面図である。図２に示すように、グレーティング台７は、第１ピン９によって、回転可能な状態で全体台１３に保持され、さらに全体台１３は、第２ピン１４によって、回転可能な状態でドライブ１５に保持されている。ここで、第１ピン９と第２ピン１４をまとめて１つのピンとして構成することもできるが、半導体レーザ２等の熱を伝導する媒体ともなりうるので、その点を考慮して慎重に構成する必要がある。また、第１ピン９と第２ピン１４は、それぞれ全体台１３から延び、全体台１３と一体的に形成される。この場合、グレーティング台７には、第１ピン９を受容するピン穴が設けられ、一方、ドライブ１５には、第２ピン１４を受容するピン穴が設けられる。
【００３１】
図１から分かるように、第１ピン９（および第２ピン１４）が形成する回転軸の位置は、グレーティング５の入射面上にあり、かつ、半導体レーザ２から射出されるレーザ光の中心と交わる。これを、より厳密に表現すると、この回転軸は、半導体レーザ２からのレーザ光を入射するグレーティング５の入射面を含む（仮想）平面上にあり、グレーティング５に入射されるレーザ光の入射光路、およびグレーティング５から外部に射出されるレーザ光の射出光路を含む（仮想）平面に直交し、かつ、グレーティング５に入射されるレーザ光の中心が上記入射面と交わる点を通る軸であるということができる。
【００３２】
このことによって、グレーティング５を、第１ピン９を回転軸としてどのように回転させても、グレーティング５上の仮想的なレーザ射出位置は変わらない。
【００３３】
次に、グレーティング台７の回転に関わる構成と、その回転によって半導体レーザ２から射出されるレーザ光がどのようになるかを、図３および図４を用いて説明する。
【００３４】
図３には、半導体レーザ２から射出されたレーザ光によって、グレーティング５から外部に０次回折光（レーザ光Ｂ）が射出される様子が示されている。ここで、レーザ光Ｂの波長を調整、あるいは他の波長に切り替えるために、グレーティング台７を矢印Ｄの方向にわずかに回転させることを考える。そのために、偏芯ドライバ１６を偏芯ドライバ用穴８に挿入し、矢印Ｅの方向に回転させる。偏芯ドライバ１６は、その回転軸に直交する断面の中心に、当該回転軸がない構造のものである。よって、偏芯ドライバ１６の回転によって、偏芯ドライバ１６の側部が、偏芯ドライバ用穴８の内側側面に接触し、この側面が押されることにより、グレーティング台７が矢印Ｄの方向にわずかに回転する。前述したように、グレーティング台７の回転は、第１ピン９を中心としたものである。
【００３５】
図４には、偏芯ドライバ１６の回転によってグレーティング台７が回転した後の状態が示されている。グレーティング台７がわずかに回転し、図３では、ほぼ平行に配置されていたレーザ支持台４とグレーティング台７が、そのような位置関係でなくなっていることが分かる。しかしながら、このようにグレーティング台７が回転しても、半導体レーザ２からのレーザ光は、図３に示すグレーティング５の受光部分と同じ位置に入射する。ただし、この段階では、グレーティング５から外部に射出される０次回折光（レーザ光Ｃ）は、図３のレーザ光Ｂとは異なる方向に射出される。
【００３６】
次に、図５を参照して、偏芯ドライバ１６と、偏芯ドライバ用穴８の関係について説明する。偏芯ドライバ１６は、図５に示すように、突起部１６ａと側部１６ｂを有し、突起部１６ａは、偏芯ドライバ１６の一方の端部に形成されるが、当該端部の端面の中心からずれた位置に配置されている。
【００３７】
また、偏芯ドライバ用穴８には側部８ｂがあり、穴８ａが、全体台１３上に設けられる。穴８ａには、偏芯ドライバ１６の突起部１６ａが挿入される。この状態で、偏芯ドライバ１６を突起部１６ａに沿って回転させると、偏芯ドライバ１６の側部１６ｂが偏芯ドライバ用穴８の側部８ｂと接し、側部８ｂを一定の方向に押し進める。すなわち、グレーティング台７が、全体台１３に対して相対的に一定方向に変位することになる。
【００３８】
しかしながら、グレーティング台７と全体台１３は、前述のように第１ピン９を中心に、回転可能に保持されているため、グレーティング台７の全体台１３に対する変位は、第１ピン９を中心とした回転となる。このような回転により、グレーティング５の配置角度が変わり、最終的には、レーザ・システム１から射出されるレーザ光の波長が変わる。
【００３９】
実際に、微細なレベルでグレーティング台７の回転角を調整するには、グレーティング台７に設けられたネジ穴１０ａおよび１０ｂにそれぞれネジを通して、グレーティング台７を軽くネジ止めし、その状態で、偏芯ドライバ１６を偏芯ドライバ用穴８に挿入してわずかに回転させる。そうすると、グレーティング台７は、ネジ止めによる抵抗によって、非常に小さな角度だけ回転する。これを続けて、所望の波長が得られる角度となったら、ネジ穴１０ａおよび１０ｂに通したネジを締め、グレーティング台７を全体台１３に固定する。
【００４０】
前述のように、第１ピン９の配置されている位置は、ちょうど、グレーティング５が、半導体レーザ２から射出されたレーザ光を受光する位置と一致する（すなわち、第１ピン９の回転軸が、グレーティング５の入射面上にあり、かつ、半導体レーザ２から射出されるレーザ光の中心と交わる）ため、上記のような態様でグレーティング５の角度が変化したとしても、グレーティング５が半導体レーザ２から受光するレーザ光の位置に変化はない。
【００４１】
しかしながら、図４に示すように、レーザ・システム１から外部に射出されるレーザ光の射出角度（方向）は、グレーティング５の移動により、図３の状態から変化してしまう。
【００４２】
このような問題を解消するために、この発明に係るレーザ・システム１は、グレーティング台７を回転させることによってずれたレーザ光の方向を、図６に示すような機構を用いて元の方向に戻す。たとえば、図３に示すレーザ光の方向（レーザ光Ｂの方向）が、グレーティング台７の回転によって、図４のレーザ光の方向（レーザ光Ｃの方向）にずれたとする。その場合、レーザ光Ｂとレーザ光Ｃの方向のずれを相殺するように、全体台１３をドライブ１５に対して一定の方向（たとえば、グレーティング台７の回転方向とは逆の方向）に回転させる。全体台１３がドライブ１５上で回転する機構は、グレーティング台７が全体台１３上で回転する機構と同じである。全体台１３は、第１ピン９と同一の回転軸上にある第２ピン１４（図２参照）を中心に回転する。図６には、全体台１３の元の位置が、点線１３’によって示されている。
【００４３】
このような全体台１３の回転によって、外部に射出されるレーザ光Ｆが得られ、これは、図３に示すレーザ光Ｂの方向と同じになっている。
【００４４】
また、グレーティング台７の偏芯ドライバ用穴８と同様に、全体台１３にも偏芯ドライバ用穴１１が設けられており、偏芯ドライバ（不図示）によって、全体台１３がドライブ１５上で回転する。調整後の全体台１３の固定は、ネジ穴１２ａないし１２ｄをそれぞれ通るネジによってネジ止めされる。
【００４５】
また、全体台１３の、ドライブ１５上での回転は、グレーティング台７の全体台１３上での回転と逆方向（または同一方向）であるが、角度が同じであるとは限らない。全体台１３の回転は、グレーティング台７の回転そのものを相殺するものではなく、グレーティング台７の回転による射出レーザ光の角度の変化を相殺・補償するものだからである。
【００４６】
これまで、ネジ穴１０ａおよび１０ｂ、１２ａないし１２ｄを楕円形等の形状のものとして例示してきたが、このような形状に限定する必要はない。グレーティング台７または全体台１３の可能な回転のそれぞれについて、ネジ止めできるように形成されていれば十分である。
【００４７】
また、第１ピン９および第２ピン１４は、全体台１３から延びるものとして説明したが、逆に、グレーティング台７やドライブ１５の側から延びるように構成され、対応する穴が全体台１３の側に設けられていてもよい。
【００４８】
またさらに、全体台１３とドライブ１５の間に、温度コントロールのためのペルチェ素子等が設けられていてもよい。ペルチェ素子には、たとえば、中心部に穴が設けられているものも市販されており、このようなタイプのペルチェ素子を使用する限り、この発明における上記構成の妨げにはならない。
【００４９】
この発明のレーザ・システム１は、２段階の回転機構を用いて、波長の異なるレーザ光を同一の方向に射出するよう構成される。上記の説明においては、このような２段階の回転を細かく調整する手段として偏芯ドライバと偏芯ドライバ用穴の組が用いられているが、この手段に限定されるものではない。グレーティング台および全体台の回転を細かなレベルで調整できる他の手段を用いて、この発明のレーザ・システムを構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】この発明の一実施形態に係るレーザ・システムの構成を示した略線図である。
【図２】図１に示したレーザ・システムの正面図である。
【図３】この発明の一実施形態に係るレーザ・システムのグレーティング台の回転の態様を表す略線図である。
【図４】この発明の一実施形態に係るレーザ・システムのグレーティング台の回転の態様を表す略線図である。
【図５】この発明の一実施形態に係るレーザ・システムにおける偏芯ドライバと偏芯ドライバ用穴の関係を説明するための略線図である。
【図６】この発明の一実施形態に係るレーザ・システムの全体台における回転の態様を表す略線図である。
【図７】従来のレーザ・システムの構成を表す略線図である。
【図８】図７に示したレーザ・システムの正面図である。
【符号の説明】
【００５１】
１・・・レーザ・システム、２・・・半導体レーザ、３・・・レンズ、４・・・レーザ支持台、５・・・グレーティング、６・・・グレーティング支持部、７・・・グレーティング台、８・・・偏芯ドライバ用穴、９・・・第１ピン、１０ａ，１０ｂ・・・ネジ穴、１１・・・偏芯ドライバ用穴、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ・・・ネジ穴、１３・・・全体台、１４・・・第２ピン、１５・・・ドライバ、１６・・・偏芯ドライバ
【図１】
2005317819.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005317819.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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