(57)【要約】【課題】信号記録面の表面性に依存せずに固定することが可能であり、かつディスクに対して生じる歪みを低減化することが可能な光記録媒体固定装置を提供する。【解決手段】光記録媒体１を移動機構２０に固定する固定装置であって、光記録媒体１の信号記録面２とは反対側の非信号記録面３を基準面として、移動機構２０に固定する固定機構１０を具備して成る。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光記録媒体を移動機構に固定する固定装置であって、
上記光記録媒体の信号記録面とは反対側の非信号記録面を基準面として、上記移動機構に固定する固定機構を具備して成る
ことを特徴とする光記録媒体固定装置。
【請求項２】
上記固定機構は、上記光記録媒体の上記基準面と接する第１の固定部と、該第１の固定部とは上記光記録媒体を介して対向する位置に配置される第２の固定部とを有し、
上記第１及び第２の固定部が上記光記録媒体を介して固定されると共に、上記第１の固定部が上記移動機構に固定されることによって、上記光記録媒体が上記移動機構に固定される
ことを特徴とする請求項１記載の光記録媒体固定装置。
【請求項３】
上記第１の固定部の上記光記録媒体への接触面積が、上記第２の固定部の上記光記録媒体への接触面積よりも大とされる
ことを特徴とする請求項２記載の光記録媒体固定装置。
【請求項４】
上記第１の固定部の硬度が、上記第２の固定部の硬度よりも小とされて成る
ことを特徴とする請求項２記載の光記録媒体固定装置。
【請求項５】
上記第１の固定部の硬度が、上記第２の固定部の硬度よりも小とされて成る
ことを特徴とする請求項３記載の光記録媒体固定装置。
【請求項６】
上記第１の固定部の、上記光記録媒体の上記基準面と接する位置に、凹部が設けられて成る
ことを特徴とする請求項２記載の光記録媒体固定装置。
【請求項７】
上記第１の固定部の、上記光記録媒体の上記基準面と接する位置に、凹部が設けられて成る
ことを特徴とする請求項３記載の光記録媒体固定装置。
【請求項８】
上記第１の固定部の、上記光記録媒体の上記基準面と接する位置に、凹部が設けられて成る
ことを特徴とする請求項４記載の光記録媒体固定装置。
【請求項９】
上記第１の固定部の、上記光記録媒体の上記基準面と接する位置に、凹部が設けられて成る
ことを特徴とする請求項５記載の光記録媒体固定装置。
【請求項１０】
上記第２の固定部の、少なくとも上記光記録媒体の上記信号記録面と接する位置が、凸状に形成されて成る
ことを特徴とする請求項２記載の光記録媒体固定装置。
【請求項１１】
上記第２の固定部の、少なくとも上記光記録媒体の上記信号記録面と接する位置が、凸状に形成されて成る
ことを特徴とする請求項３記載の光記録媒体固定装置。
【請求項１２】
上記第２の固定部の、少なくとも上記光記録媒体の上記信号記録面と接する位置が、凸状に形成されて成る
ことを特徴とする請求項４記載の光記録媒体固定装置。
【請求項１３】
上記第２の固定部の、少なくとも上記光記録媒体の上記信号記録面と接する位置が、凸状に形成されて成る
ことを特徴とする請求項５記載の光記録媒体固定装置。
【請求項１４】
上記第２の固定部の、少なくとも上記光記録媒体の上記信号記録面と接する位置が、凸状に形成されて成る
ことを特徴とする請求項６記載の光記録媒体固定装置。
【請求項１５】
上記第２の固定部の、少なくとも上記光記録媒体の上記信号記録面と接する位置が、凸状に形成されて成る
ことを特徴とする請求項７記載の光記録媒体固定装置。
【請求項１６】
上記第２の固定部の、少なくとも上記光記録媒体の上記信号記録面と接する位置が、凸状に形成されて成る
ことを特徴とする請求項８記載の光記録媒体固定装置。
【請求項１７】
上記第２の固定部の、少なくとも上記光記録媒体の上記信号記録面と接する位置が、凸状に形成されて成る
ことを特徴とする請求項９記載の光記録媒体固定装置。
【請求項１８】
光記録媒体を移動機構に固定する光記録媒体の固定方法であって、
上記光記録媒体の信号記録面とは反対側の非信号記録面を基準面として、上記光記録媒体を上記移動機構に固定する
ことを特徴とする光記録媒体の固定方法。
【請求項１９】
上記光記録媒体の上記基準面と接する第１の固定部と、該第１の固定部と上記光記録媒体を介して対向する位置に配置される第２の固定部とを用いて、上記第１及び第２の固定部を上記光記録媒体を介して固定すると共に、上記第１の固定部を上記移動機構に固定することにより上記光記録媒体を上記移動機構に固定する
ことを特徴とする請求項６記載の光記録媒体の固定方法。
【請求項２０】
光記録媒体の信号記録面に光を照射して信号の記録及び／又は再生を行う光記録再生装置であって、
上記光記録媒体の移動機構において、上記光記録媒体の非信号記録面を基準面として上記移動機構に固定する固定機構が設けられて成る
ことを特徴とする光記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特に近接場光を用いた光記録媒体の記録再生装置に適用して好適な光記録媒体固定装置、光記録媒体の固定方法及び光記録再生装置に係る。
【背景技術】
【０００２】
ＣＤ（Compact Disc）、ＭＤ（Mini Disc）等のディスク状光記録媒体を用いる光記録再生装置において、ディスクを固定させる機構としては、クランパと呼ばれる固定部を介して、回転機構にディスクが固定されている。このクランパには、一般にネジ式のものやマグネット式のものがあるが、いずれもディスクの記録又は再生がなされる信号が記録された信号記録面を基準として回転機構に固定させている。つまり、ディスクの信号記録面をクランパに圧着して固定している（例えば特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】実開平４−１０５８４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の方法では、ディスクの信号記録面において、クランプする部分の表面の状態の影響を強く受け、またクランプすることによりディスク面が歪んでしまうという問題がある。特に、ガラス２Ｐ（Photo-Polymerization）法により基板を作製するディスクの場合は、信号記録面の裏側はガラス原板そのものであるのに対して、信号記録面はピットを転写するためのレジン面を有する。このレジン面は、ガラス原板と比較して表面の平滑性が劣るため、この面をクランパにより圧着することによって、ディスクが歪み易いという問題がある。
【０００５】
またこのレジン面を形成する際には、クランプするため設けられる光ディスクの中央部の孔を確保するために、レジンが流入しないようにマスクをするが、このマスクの境界面にてレジンの有無による段差が生じ、結果的に、このレジン面による信号記録面に接触させてクランパにより固定する場合は、十分な平面度を保てず、例えば回転機構の回転軸と直交する平面に光記録媒体の盤面を精度良く保持しにくく、面振れの原因となる。
【０００６】
また、このように光ディスクの信号記録面をクランプする場合は、クランプすることにより例えばダストの介在によって信号記録面が歪み、大きな面振れの原因となる。
このような光ディスクの面振れは、特に近接場光学を用いた光ディスク装置においては致命的な問題となり得る。
すなわち、近接場光を用いて記録及び／又は再生を行う光ディスクにおいては、光ピックアップと光ディスクの記録面との距離を数十ｎｍ程度以下に保持する必要があるが、ディスクの面振れ量が大きい場合は、このような微細な距離を保持するサーボ性能の面からも、追従性を確保することが困難になってくる。これは、面振れにより要求されるＤＣゲインが増大してくるので、安定な制御系を構築するのが、一般に困難になるためである。
【０００７】
以上のような事情に鑑み、本発明は、信号記録面の表面性に依存せずに固定することが可能であり、かつディスクに対して生じる歪みを低減化することが可能な光記録媒体固定装置、光記録媒体の固定方法及び光記録再生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明による光記録媒体固定装置は、光記録媒体を移動機構に固定する固定装置であって、光記録媒体の信号記録面とは反対側の非信号記録面を基準面として、移動機構に固定する固定機構を具備して成ることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明は、上述の光記録媒体固定装置において、固定機構は、光記録媒体の基準面と接する第１の固定部と、この第１の固定部とは光記録媒体を介して対向する位置に配置される第２の固定部とを有し、第１及び第２の固定部が光記録媒体を介して固定されると共に、第１の固定部が上記移動機構に固定されることによって、光記録媒体が移動機構に固定されることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明は、上述の光記録媒体固定装置において、第１の固定部の光記録媒体への接触面積を、第２の固定部の光記録媒体への接触面積よりも大として構成することを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光記録媒体固定装置において、第１の固定部の硬度を、第２の固定部の硬度よりも小として構成することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、上述の光記録媒体固定装置において、第１の固定部の、光記録媒体の基準面と接する位置に、凹部を設ける構成とすることを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光記録媒体固定装置において、第２の固定部の、少なくとも光記録媒体の信号記録面と接する位置が、凸状に形成されて成ることを特徴とする。
【００１２】
また、本発明による光記録媒体の固定方法は、光記録媒体を移動機構に固定する光記録媒体の固定方法であって、光記録媒体の信号記録面とは反対側の非信号記録面を基準面として、この光記録媒体を移動機構に固定することを特徴とする。
また、本発明は、上述の光記録媒体の固定方法において、光記録媒体の基準面と接する第１の固定部と、この第１の固定部と光記録媒体を介して対向する位置に配置される第２の固定部とを用いて、これら第１及び第２の固定部を、光記録媒体を介して固定すると共に、第１の固定部を移動機構に固定することにより光記録媒体を移動機構に固定することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明による光記録再生装置は、光記録媒体の信号記録面に光を照射して信号の記録及び／又は再生を行う光記録再生装置であって、光記録媒体の移動機構において、光記録媒体の非信号記録面を基準面として移動機構に固定する固定機構が設けられて成ることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
上述したように、本発明による光記録媒体固定装置及び光記録媒体の固定方法は、光記録媒体の信号記録面とは反対側の非信号記録面を基準面として移動機構に固定することものであり、信号記録面の表面性に依存せず、その裏面の非信号記録面を基準面として固定することから、信号記録面を基準面とする従来の固定装置と比較して、より平面度の高い面を基準面とすることにより移動機構に対して一定の角度を保持して固定することができると共に、光記録媒体の歪の発生を低減化することができる。
【００１５】
また、本発明による光記録媒体固定装置及び光記録媒体の固定方法において、固定機構として第１及び第２の固定部を用いて、第１の固定部を非信号記録面に接触させて、第１及び第２の固定部を、光記録媒体を介して固定するとともに、第１の固定部を移動機構に固定して光記録媒体を移動機構に固定する構成とすることから、第１の固定部が非信号記録面と接触している部分と、この第１の固定部を移動機構に固定する部分の平行度を保持するのみで、信号記録面のレジン面による歪みの影響を受けることなく、光記録媒体を移動機構に対して一定の角度で保持して固定することができ、また、信号記録面を基準面とする場合と比較して、光記録媒体に生じる歪みを低減化させることができる。
【００１６】
更に、本発明による光記録媒体固定装置において、第１の固定部の光記録媒体への接触面積を、第２の固定部の光記録媒体への接触面積よりも大として構成することによって、光記録媒体の信号記録面への固定機構による影響をより低減化して、歪の発生を抑制することができる。
更に、本発明による光記録媒体固定装置において、第１の固定部の硬度を、第２の固定部の硬度よりも小として構成することによって、より光記録媒体の信号記録面への固定機構による影響を抑制して、歪の発生をより低減化することができる。
【００１７】
また、本発明による光記録媒体固定装置において、第１の固定部の、光記録媒体の基準面と接する位置に、凹部を設けることによって、この部分における接触面積を低減化し、ダストの介在する確率を低減化して、歪の発生を低減化することができる。
更に、本発明による光記録媒体固定装置において、第２の固定部の、少なくとも光記録媒体の信号記録面と接する位置を、凸状に形成することによって、同様に、この部分における光記録媒体の信号記録面への接触面積を低減化して、より光記録媒体の歪の発生を抑制することができる。
【００１８】
また、本発明による光記録再生装置によれば、光記録媒体の移動機構への固定機構として上述の本発明構成の光記録媒体固定装置を用いることによって、同様に、光記録媒体をより精度良く移動機構に対して一定の角度を保持して固定し、また歪の発生を低減化することによって、光記録媒体の面振れを抑制し、より安定した記録及び／又は再生を行うことが可能な光記録再生装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を実施するための最良の形態の例を説明するが、本発明は以下の例に限定されるものではない。
本発明による光記録媒体固定装置は、図１にその一例の概略構成を示すように、光記録媒体１の信号記録面２とは反対側の非信号記録面３に、第１の固定部１１、いわゆるクランパを接触させて、この非信号記録面３を基準面として固定する固定機構１０を有する構成とする。
【００２０】
そして、図２にその一例の概略構成を示すように、固定機構１０として、第１の固定部１１及び第２の固定部１２を設け、第２の固定部１２を光記録媒体１を介して第１の固定部１１に対向して、例えば第１及び第２の固定部１１及び１２にネジ溝を設け、第１の固定部１１に第２の固定部を螺合させ、ネジ込むことによって、光記録媒体１を介して固定する構成とする。
【００２１】
これら第１及び第２の固定部１１及び１２において、光記録媒体１と接触する領域の概略構成を図３及び図４にそれぞれ斜線を付して示す。第１の固定部１１が光記録媒体１の非信号記録面３と接触する第１の接触部分６の面積を、第２の固定部１２が光記録媒体１の信号記録面２と接触する第２の接触部分７の面積に比して大とした例を示す。
【００２２】
そして、この状態で、図５に本発明による光記録媒体固定装置の一例の概略構成を示すように、第１及び第２の固定部１１及び１２によるいわゆる一組の組み物によって固定された光記録媒体１を、第１の固定部１１を移動機構２０、この場合スピンドルモーター等より成る回転手段４にネジ等よりなる固定具５によって固定することによって、光記録媒体１が移動機構２０に固定される。
【００２３】
ここで、第１の固定部１１を例えば金属または比較的硬質の樹脂より構成し、一方第２の固定部１２を比較的硬度の低い樹脂等より構成することによって、また上述したように、第１の固定部１１による光記録媒体１への接触面積を、第２の固定部１２による接触面積に比して代とすることによって、これら固定機構１０による光記録媒体１に生じる歪は、第１の固定部１１によるものが支配的となる。
【００２４】
また、図５に示すように、第１の固定部１１は、光記録媒体１の非信号記録面３に領域αにおいて接触するとともに、移動機構２０の例えば回転手段４と領域βにおいて接触して、第２の固定部１２は、移動機構２０に接触しない構造とする。このとき、固定部５を矢印ａで示す向きにネジ込んで固定する際に、第２の固定部１２が移動機構２０のこの場合回転手段４に接触していないことから、光記録媒体１の信号記録面には何らの圧力もかからないので、この面に対する歪の発生を抑制することができる。
特に、上述したように、第２の固定部１２を第１の固定部１１に比してより硬度の低い材料より構成することによって、また、第１の固定部１１の光記録媒体１との接触面積をより大とすることによって、更に信号記録面２への影響を低減化し、歪みを抑制することができる。
すなわち、第１及び第２の固定部１１及び１２による光記録媒体１の歪みは、第１の固定部１１と光記録媒体１との接触面αで決定され、信号記録面２のレジン面による影響を受けず、この信号記録面２への圧着により固定する従来の固定装置と比較して歪みを低減化することができることとなる。
【００２５】
一方、回転手段４に対する光記録媒体１の位置は、接触する領域α及びβとの平行度を保持するのみで、光記録媒体１の回転手段４の回転軸に対する角度を良好に精度良く保持することができる。したがって、この光記録媒体１の盤面のいわゆる水平度を良好に保持することが可能となる。
【００２６】
すなわち、光記録媒体１と移動機構２０の回転手段４との固定は、第１の固定部１１と回転手段４との固定と等価であり、第１の固定部１１と回転手段４との平行度には、第２の固定部１２と回転手段４との平行度は無関係である。
そして、光記録媒体１は、接触面αを介して第１の固定部１１と一体に固定されるため、第１の固定部１１と回転手段４との平行度が得られれば、光記録媒体１と回転手段４との平行度も保証されることになる。
従って、図５において、接触面αとβとの間が平行であるように調整すれば、光記録媒体１を回転手段４に固定する際に生じるチルトを略０に調整することができる。つまり、この光記録媒体１の平行度は、第１の固定部１の領域α及びβの平行度によって、保証できることとなる。
【００２７】
以上説明したように、本発明によれば、光記録媒体を移動機構に固定する際の光記録媒体の歪みによる面振れの発生を抑制し、更にチルトを抑制することが可能となる。
【００２８】
図６に、本発明による光記録媒体固定装置を、近接場光学を用いる光記録媒体用光学ピックアップ装置に適用した場合の一例の要部の概略構成図を示す。図６においては、第１及び第２の固定部１１及び１２によって回転手段４に固定した光記録媒体１の信号記録面２に対向して、近接場光を照射する集光レンズ、この場合例えばソリッドイマルジョンレンズ３０が、アクチュエーター２８により例えば光記録媒体１の信号記録面２に対し数十ｎｍ程度の間隔に調整されて配置される。
【００２９】
このように、近接場光学を用いる光学ピックアップ装置及び光記録再生装置に本発明を適用する場合には、上述したように、光記録媒体に生じる歪み及びチルトの発生を抑制することができて、光記録媒体の面振れを低減化し、サーボ性能において、数十ｎｍ程度の微細な距離を保持する追従性を十分確保することができるという利点を有する。したがって、本発明を適用することによって、安定したサーボ特性を有し、これにより良好な記録再生特性を実現する近接場光学を用いる光学ピックアップ装置、光記録再生装置を提供することが可能となる。
【００３０】
また、この場合、第１の固定部１１の光記録媒体１の非信号記録面３に接する領域に凹部１３を設ける例を示す。この部分を拡大した概略構成図を図７に示す。この例においては、第２の固定部１２の光記録媒体１と接触する部分を凸状、図示の例においては曲面状とした場合を示す。光記録媒体１は、第１の固定部１１の凹部１３を設けない部分の接触点Ａと、第２の固定部１２との接触点Ｂにおいて、固定部による荷重、いわゆるクランプ荷重がかかることになる。
【００３１】
この場合、点Ａ及びＢ以外には荷重がかからないので、他の部分にかんだダストは面振れ量には直接影響しないとともに、凹部１３にダストが存在しても、このダストによる面振れへの影響は全くないことになる。つまり、この荷重がかかる領域においてダストをかむ可能性は、点Ａ及びＢにおけるダストの存在のみに限定されることとなる。このように第１の固定部１１に凹部を設けることによって、この部分においてダストをかむ可能性は低くなる。
また同様に、第２の固定部１２の接触面を凸状とすることによって、この部分においてダストをかむ可能性を低くすることができ、結果的にダストをクランプすることによる面振れの可能性を低減化することができる。
【００３２】
図８に、本発明による光記録媒体固定装置を用いた光記録再生装置の一例の概略構成図を示す。この例においては、情報源２１から出力される情報に対応して光源からの光を近接場光として光記録媒体１に照射して記録する場合を示す。図８において、図５と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
図８に示すように、レーザーダイオード（ＬＤ）等より成る光源２３から出射される光は、情報源２１により情報信号に対応して変調され、また自動パワー制御手段（ＡＰＣ）２２により出力が制御される。そしてこの出射光は、コリメーターレンズ２４により平行光とされ、ビームスピリッター２６、ミラー２７を介して、光ヘッド部に入射される。
【００３３】
ここで、光記録媒体１に対し近接場光を照射する光ヘッド部として、例えばソリッドイマルジョンレンズ（ＳＩＬ）３０及び非球面レンズ等より成る光学レンズ２９から構成される開口数1以上を達成する集光レンズを用いることができる。これらの集光レンズは、アクチュエーター２８に固定される。そして、ミラー２７により反射された光は、この集光レンズを介して光記録媒体１の情報が記録される記録面に、近接場光として照射される。
【００３４】
そして、この光記録媒体１は、上述したように、非信号記録面３を基準面とする第１及び第２の固定部より成る固定機構によって、移動機構、この場合回転手段４に固定されて成る。この場合、非信号記録面３を基準面としているため、より光記録媒体１の信号記録面を回転軸に対してほぼ直交する方向に保持することができて、また、信号記録面に対するクランパによる圧力を低減化して、歪の発生を低減化することができる。
【００３５】
なお、この光記録媒体１は、これを回転移動する回転手段４と、図示しないが例えば集光レンズを含む光ピックアップ側を、この光記録媒体１の信号記録面に沿って平行移動する水平移動機構との連動によって、光源２３から照射される近接場光が光記録媒体１の信号記録面に沿って例えばスパイラル状、同心円状の記録トラックに沿って走査される構成とする。
【００３６】
このようにして近接場光として照射された光は、光記録媒体１の信号記録面で反射されて、ＳＩＬ３０、光学レンズ２９、ミラー２７を介してビームスプリッター２６により反射されて、フォトディテクター（ＰＤ）３１において検出される。そして検出された戻り光量が、ギャップサーボ３２に入力され、検出光量値からギャップを調整するアクチュエーター２８を駆動する制御信号Ｓが出力され、光ピックアップの例えばレンズ３０と光記録媒体１の記録面とのギャップの補正がなされる。その結果、ＳＩＬ１０と光記録媒体１とのギャップを上述したように、例えば数十ｎｍ程度に一定に保持することができる。
【００３７】
この場合、上述したように、非信号記録面を基準面とすることによる光記録媒体１の水平度の保持、また歪の低減化によって、従来に比してより安定したサーボを行うことができ、より良好な記録再生が可能となる。
なお、上述の例においては、光記録媒体に近接場光を用いて記録を行う光記録再生装置の一例について説明したが、その他再生のみを行う場合、また光磁気記録に対する記録及び／又は再生を行う場合など、種々の光記録再生装置に本発明を適用することができる。
また、上述の例においては、近接場光を用いた記録再生を行う場合を説明したが、その他通常の光記録及び／又は再生を行う場合も同様であり、その場合はギャップサーボではなく通常のフォーカスサーボを行う構成とし得る。
【００３８】
以上説明したように、本発明による光記録媒体固定装置及び光記録媒体の固定方法によれば、光記録媒体を移動機構に固定するにあたり、光記録媒体の歪み及び面振れを抑制することができて、より安定した記録及び／又は再生を可能とする光学ピックアップ、光記録再生装置を提供することが可能となる。
【００３９】
なお、本発明は、以上説明した例に限定されるものではなく、例えば近接場光を照射する開口数１以上を実現する光学レンズとしてソリッドイマルジョンミラー（ＳＩＭ）などを用いることもでき、また、光記録媒体として、ディスク状の媒体に限定されることなく、各種形状の媒体において、その記録及び／又は再生にあたり移動機構を有し、この移動機構への固定にあたって本発明を適用し得ることはいうまでもない。
また、本発明に適用し得る光記録媒体は記録再生のうち少なくとも一方を行うものであって、光記録又は再生態様として種々の態様を採り得るものに適用可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明による光記録媒体固定装置の一例の概略構成図である。
【図２】本発明による光記録媒体固定装置の一例の概略構成図である。
【図３】本発明による光記録媒体固定装置の固定部の接触領域を示す概略構成図である。
【図４】本発明による光記録媒体固定装置の固定部の接触領域を示す概略構成図である。
【図５】本発明による光記録媒体固定装置の一例の概略構成図である。
【図６】本発明による光記録媒体固定装置の一例の要部の概略構成図である。
【図７】本発明による光記録媒体固定装置の一例の要部を拡大した概略構成図である。
【図８】本発明による光記録再生装置の一例の概略構成図である。
【符号の説明】
【００４１】
１．光記録媒体、２.信号記録面、３．非信号記録面、４.回転手段、５．固定具、１０．固定機構、１１．第１の固定部、１２．第２の固定部、１３．凹部、２０．移動機構、２１．情報源、２２．パワー制御手段、２３．光源、２４．コリメーターレンズ、２６．ビームスプリッター、２７．ミラー、２８．アクチュエーター、２９．光学レンズ、３０．ＳＩＬ、３１．フォトディテクター、３２．ギャップサーボ
【図１】
2005332448.tif 000003
【図２】
2005332448.tif 000004
【図３】
2005332448.tif 000005
【図４】
2005332448.tif 000006
【図５】
2005332448.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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