(57)【要約】【課題】  ＩＣチップ付シートのＩＣチップを容易にアンテナ形成済シートのアンテナ上に接着することができるＩＣチップ実装装置を提供する。【解決手段】  シートガイド２２に沿ってＩＣチップ付シート４０が案内され、シートガイド２２の突出部２２ａにおいてＩＣチップ付シート４０は湾曲してＲ形状を形成する。このため、ＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａからＩＣチップ４が剥離自在となる。この状態でシートガイド２２の突出部２２ａから押圧ピン２５が支持シート６ａを押圧する。このことにより、ＩＣチップ４が支持シート６ａから剥離してアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２に接着される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、
受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、
ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、
シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、
シートガイドの突出部に、ＩＣチップ付シートのＩＣチップを受台上のアンテナに向って押圧する押圧ピンを設けたことを特徴とするＩＣチップの実装装置。
【請求項２】
基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、
受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、
ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、
シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、
シートガイドの突出部に、ＩＣチップ付シートのＩＣチップを受台上のアンテナに当接させ、かつＩＣチップに超音波を加える超音波発振部を設けたことを特徴とするＩＣチップの実装装置。
【請求項３】
基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、
受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、
ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、
シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、
支持シートは熱剥離シートからなり、
シートガイドに、突出部に位置するＩＣチップ付シートの支持シートにレーザ光を照射して支持シートからＩＣチップを剥離するレーザ光照射部を設けたことを特徴とするＩＣチップの実装装置。
【請求項４】
基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、
受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、
ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、
シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、
支持シートはＵＶ光剥離シートからなり、
シートガイドに、突出部に位置するＩＣチップ付シートの支持シートにＵＶ光を照射して支持シートからＩＣチップを剥離するＵＶ光照射部を設けたことを特徴とするＩＣチップの実装装置。
【請求項５】
基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、
受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、
ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、
シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、
受台はシートガイドの突出部に向って凸となるＲ状部を有することを特徴とするＩＣチップの実装装置。
【請求項６】
基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、
受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、
ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、
シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、
ＩＣチップ付シートは巻出部からシートガイドへ巻出され、かつシートガイドから巻取部へ巻取られ、
シートガイド上のＩＣチップ付シートの各ＩＣチップは外観検出センサにより外観検出が行なわれるとともに、
外観検出センサからの信号に基づいて、ＩＣチップが不良と判断された際、当該不良ＩＣチップがシートガイドの突出部から１ピッチ通過するよう制御部によって巻出部および巻取部が制御されることを特徴とするＩＣチップの実装装置。
【請求項７】
基材シート上に多列に設置され、各々がアライメントマークを有するアンテナを載置する受台と、
受台上に各列のアンテナに対応して配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、
各シートガイドはＸＹθ駆動機構により駆動自在となっており、
各ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上の対応するアンテナに向い、
各シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、
各シートガイドの近傍に、対応するアンテナのアライメントマークを検出するアライメントマークセンサを設け、このアライメントマークセンサからの信号に基づいて制御部により対応するシートガイドのＸＹθ駆動機構を駆動制御することを特徴とするＩＣチップの実装装置。
【請求項８】
基材シートと、基材シート上に設けられたアンテナとからなるアンテナ形成済シートを載置する受台と、
受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、
ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、
シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、
シートガイドの上流側に隣接して、基材シート上にアンテナを設けてアンテナ形成済シートを製造し、このアンテナ形成済シートをシートガイド側へ供給するアンテナ形成済シート製造部を設けたことを特徴とするＩＣチップの実装装置。
【請求項９】
基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、
受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、
ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、
シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、
ＩＣチップ付シートは巻出部からシートガイドへ巻出され、かつシートガイドから巻取部へ巻取られ、
シートガイド上のＩＣチップ付シートのＩＣチップのうち、不良ＩＣチップの位置情報であるマッピングデータが制御部に入力され、制御部はこのマッピングデータに基づいて、不良ＩＣチップがシートガイドの突出部から１ピッチ通過するよう巻出部および巻取部を制御することを特徴とするＩＣチップの実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣチップの実装装置に係り、とりわけＩＣチップをアンテナ側に容易に取付けることができるＩＣチップの実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣチップをアンテナの所定の箇所に取り付ける実装方法において、ウエハを反パターン面上で一枚のダイシングテープ上に貼り付けてＸＹ軸方向にダイシングし、ダイシングテープに紫外線を照射する等して接着力を低下させている。次に細い吸引管でＩＣチップをパターン面側から吸引してダイシングテープから剥し取り、このＩＣチップを他の吸引管で反パターン面側から吸引して受け取り、この吸引管でＩＣチップを所定の箇所へと搬送し、そのパターン面側を予め導電性接着剤を塗布したアンテナの所定の箇所に押し付けている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来の実装方法によれば、二種類の吸引管を用意し、各吸引管に複雑な運動をさせなければならないので、ＩＣチップを取り付けるための装置構造が複雑化し、生産効率も低下するとう問題がある。また、ＩＣチップは近年ますます小型化の傾向にあり、例えば一辺が０．１mm〜０．２mm程度の大きさのものも生産されるが、このように小さくなると吸引管による搬送が困難になる。
【０００４】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、小型化したＩＣチップを容易かつ確実にアンテナの所定箇所に取付けることができるＩＣチップの実装装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、シートガイドの突出部に、ＩＣチップ付シートのＩＣチップを受台上のアンテナに向って押圧する押圧ピンを設けたことを特徴とするＩＣチップの実装装置である。
【０００６】
本発明は、基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、シートガイドの突出部に、ＩＣチップ付シートのＩＣチップを受台上のアンテナに当接させ、かつＩＣチップに超音波を加える超音波発振部を設けたことを特徴とするＩＣチップの実装装置である。
【０００７】
本発明は、基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、支持シートは熱剥離シートからなり、シートガイドに、突出部に位置するＩＣチップ付シートの支持シートにレーザ光を照射して支持シートからＩＣチップを剥離するレーザ光照射部を設けたことを特徴とするＩＣチップの実装装置である。
【０００８】
本発明は、基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、支持シートはＵＶ光剥離シートからなり、シートガイドに、突出部に位置するＩＣチップ付シートの支持シートにＵＶ光を照射して支持シートからＩＣチップを剥離するＵＶ光照射部を設けたことを特徴とするＩＣチップの実装装置である。
【０００９】
本発明は、基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、受台はシートガイドの突出部に向って凸となるＲ状部を有することを特徴とするＩＣチップの実装装置である。
【００１０】
本発明は、基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、ＩＣチップ付シートは巻出部からシートガイドへ巻出され、かつシートガイドから巻取部へ巻取られ、シートガイド上のＩＣチップ付シートの各ＩＣチップは外観検出センサにより外観検出が行なわれるとともに、外観検出センサからの信号に基づいて、ＩＣチップが不良と判断された際、当該不良ＩＣチップがシートガイドの突出部から１ピッチ通過するよう制御部によって巻出部および巻取部が制御されることを特徴とするＩＣチップの実装装置である。
【００１１】
本発明は、基材シート上に多列に設置され、各々がアライメントマークを有するアンテナを載置する受台と、受台上に各列のアンテナに対応して配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、各シートガイドはＸＹθ駆動機構により駆動自在となっており、各ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上の対応するアンテナに向い、各シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、各シートガイドの近傍に、対応するアンテナのアライメントマークを検出する見当マークセンサを設け、この見当マークセンサからの信号に基づいて制御部により対応するシートガイドのＸＹθ駆動機構を駆動制御することを特徴とするＩＣチップの実装装置である。
【００１２】
本発明は、基材シートと、基材シート上に設けられたアンテナとからなるアンテナ形成済シートを載置する受台と、受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、シートガイドの上流側に隣接して、基材シート上にアンテナを設けてアンテナ形成済シートを製造し、このアンテナ形成済シートをシートガイド側へ供給するアンテナ形成済シート製造部を設けたことを特徴とするＩＣチップの実装装置である。
【００１３】
本発明は、基材シート上に設けられたアンテナを載置する受台と、受台上に配置され、支持シートと、この支持シート上に直線状に設けられるとともに予め分離された多数のＩＣチップとからなるＩＣチップ付シートを案内するシートガイドとを備え、ＩＣチップ付シートのＩＣチップは受台上のアンテナに向い、シートガイドは、受台側に近接するとともにＩＣチップ付シートにＲを形成する突出部を有し、この突出部においてＩＣチップを支持シートから剥離可能とし、ＩＣチップ付シートは巻出部からシートガイドへ巻出され、かつシートガイドから巻取部へ巻取られ、シートガイド上のＩＣチップ付シートのＩＣチップのうち、不良ＩＣチップの位置情報であるマッピングデータが制御部に入力され、制御部はこのマッピングデータに基づいて、不良ＩＣチップがシートガイドの突出部から１ピッチ通過するよう巻出部および巻取部を制御することを特徴とするＩＣチップの実装装置である。
【発明の効果】
【００１４】
シートガイドに案内されたＩＣチップ付シートは、シートガイドの突出部においてＲを形成する。このため、ＩＣチップ付シートのＩＣチップを支持シートから容易に剥離することができ、ＩＣチップを受台上の基材シート上に設けられたアンテナ側へ容易に移載し、アンテナ上にＩＣチップを確実に実装することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
第１の実施の形態
次に、図１乃至図９を参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。
【００１６】
まず本発明によるＩＣチップの実装装置により得られた非接触ＩＣタグについて説明する。
【００１７】
図６に示すように、この非接触ＩＣタグは、基材シート１と、基材シート１上に渦巻状に形成されたアンテナ２と、アンテナ２の端部間を連結する連結片３と、アンテナ２に接合されたＩＣチップ４とを備えている。
【００１８】
アンテナ２は紙、樹脂等で出来た基材シート１にエッチング、シルクスクリーン印刷等により形成される。連結片３は金属箔等の導電性シートによって短冊状に形成され、その両端がアンテナ２の端部に導電性接着剤１１により接着される。ＩＣチップ４は下面がパターン面となっており、このパターン面にアンテナ２に接続するための電極４ａ、４ｂが形成されている（図９参照）。
【００１９】
この非接触ＩＣタグの表面は例えば樹脂フィルム等の図示しない保護層により覆われ完成品となる。この非接触ＩＣタグのＩＣチップ４に対し、図示しない読取書込器により磁界内において種々の情報読み取りは書き込みが行われる。
【００２０】
次に本発明によるＩＣチップの実装装置について説明する。ＩＣチップの実装装置においては、支持シート６ａと、支持シート６ａ上に分離して設けられたＩＣチップ４とからなるＩＣチップ付シート４０が用いられる。以下、このＩＣチップ付シート４０の作製方法について述べる。
【００２１】
まず、図８（Ａ）に示す完成したウエハ５を、図８（Ｂ）に示すように、そのパターン面が露出するよう複数枚のダイシングテープ６、７と重ね合わせてダイシング用定盤８上に固定する。
【００２２】
ダイシングテープ６、７は加熱又は所定波長の光照射により粘着力が低下する粘着剤層（図示せず）が形成されたシートであり、粘着剤層を介して複数枚のダイシングテープ６、７が貼り合わされ、最上層のダイシングテープ６の粘着剤層にウエハ５が貼り付けられる。ダイシングテープ６、７としては市販品を用いることができる。
【００２３】
貼り付ける順序は、先にダイシングテープ６、７同士を貼り合わせた後にウエハ５を貼り付けても良いし、ウエハ５をダイシングテープ６に貼り付けた後、このダイシングテープ６に他のダイシングテープ７を貼り付けるようにしても良い。
【００２４】
次に図８（Ｃ）に示すように、上層のダイシングテープ６の肉厚の中程まで至る切込み深さでウエハ５をＸ軸方向にダイシングする。
【００２５】
ウエハ５とダイシングテープ６、７の積層体はダイシング用定盤８上に固定され、図示しないダイアモンドカッターによりＸ軸方向に上層のダイシングテープ６の肉厚の中程まで多数本の切込み９が入れられる。
【００２６】
その後、図８（Ｄ）に示すように、下層のダイシングテープ７の肉厚の中程まで至る切込み深さでウエハ５をＹ軸方向にダイシングする。
【００２７】
この切り込み１０は、上記ダイアモンドカッターにより、平滑なダイシング用定盤８の表面を傷つけないように、Ｙ軸方向に下層のダイシングテープ７の肉厚の中程まで多数本入れられる。
【００２８】
図８（Ｄ）に示す工程は図８（Ｃ）に示す工程よりも先に行うことも出来る。
【００２９】
次に図８（Ｅ）に示すように、ダイシングテープ６、７を上下層間で剥してＹ軸方向に伸びる帯状のテープ片６ａに分割して取り出す。
【００３０】
テープ片６ａの分割に先立ち、図８（Ｄ）に示すウエハ５とダイシングテープ６、７の積層体に対して加熱し又は所定波長の光である紫外光を照射し、ダイシングテープ６、７の粘着剤層の粘着力を低下させる。加熱又は紫外光照射の後、上層のダイシングテープ６を下層のダイシングテープ７から剥すことにより、図８（Ｅ）に示すように多数のＩＣチップ４を担持した多数本のテープ片６ａが取り出される。
【００３１】
なお、加熱又は紫外光照射によりＩＣチップ４を保持する上層のダイシングテープ６の粘着力も低下するが、発明者の実験によれば、ダイシングテープ６、７同士の粘着力よりもＩＣチップ４とダイシングテープ６との粘着力の方が強く、この剥し工程においてＩＣチップ４が上層のダイシングテープ６から剥落することはない。
【００３２】
ウエハ５と上層のダイシングテープ６との接着を加熱又は紫外光照射により粘着力が低下する粘着剤層で行い、ダイシングテープ６、７同士の接着を紫外光照射又は加熱により粘着力が低下する粘着剤層で行い、ダイシングテープ６、７同士の剥離とＩＣチップ４の剥離とを相互に異なる粘着力低下手段により行うようにしても良い。このようにしてより確実にＩＣチップ４の剥落が防止される。
【００３３】
上述のようにして、テープ片（支持シート）６ａと、この支持シート６ａ上に一列に直線状に並んで配置された多数のＩＣチップ４とからなるＩＣチップ付シート４０が得られる。この場合、支持シート６ａを複数縦方向に直列に連結することにより、細長いＩＣチップ付シート４０を得ることができる。
【００３４】
本発明によるＩＣチップの実装装置２０は図１乃至図４に示すように、基材シート１と、基材シート１上に設けられたアンテナ２とからなるアンテナ形成済シート１ａを載置する受台２１と、受台２１上に配置され、支持シート６ａと多数のＩＣチップ４とからなるＩＣチップ付シート４０を案内するシートガイド２２とを備えている。
【００３５】
このうちＩＣチップ付シート４０は、上述した図８（Ａ）−（Ｅ）に示す工程により作製され、ロール状に巻付けられた後、巻出部３０から案内ローラ３２を経てシートガイド２２側へ供給される（図４参照）。シートガイド２２側へ供給されたＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４は、このシートガイド２２において支持シート６ａから剥離されてアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２に接着されるようになっている（図７参照）。またＩＣチップ付シート４０はシートガイド２２においてＩＣチップ４が剥離された後、案内ローラ３３を経て巻取部３１に送られる。
【００３６】
次にシートガイド２２について詳述する。図１乃至図３に示すように、シートガイド２２は断面略三角形状をなし、ＩＣチップ付シート４０を案内する案内溝２４と、案内溝２４の両側に位置するとともにＩＣチップ付シート４０を側方から規制する一対の側壁２３とを有している。
【００３７】
またシートガイド２２は受台２１側に近接する突出部２２ａを有している。この突出部２２ａは三角形の頂角に対応するとともに、受台２１側に向って湾曲して突出し、この突出部２２ａにおいては案内溝２４および側壁２３も湾曲した形状を有している。
【００３８】
このためこの突出部２２ａにおいて案内溝２４内に案内されたＩＣチップ付シート４０も受台２１側に向って湾曲し、Ｒ形状を形成する。
【００３９】
この場合、シートガイド２２の突出部２２ａにおいて、ＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４は受台２１側を向き、支持シート６ａは受台２１と反対側の上方を向く。このためＩＣチップ付シート４０をＲ状に湾曲させることにより、ＩＣチップ４を支持シート６ａから容易に剥離させることができる（図９参照）。
【００４０】
また、図１に示すようにシートガイド２２の突出部２２ａ内に、上下方向に摺動自在に押圧ピン２５が設けられている。すなわちシートガイド２２の突出部２２に、受台２１上のアンテナ形成済シート１ａに直交する開孔２６が形成され、押圧ピン２５はこの開孔２６内に摺動自在に設けられている。
【００４１】
また押圧ピン２５は、駆動機構２７に連結部２９を介して連結されている。駆動機構２７はスプリング２８により常時上方へ付勢されるとともに、制御部４２により駆動制御される。
【００４２】
またシートガイド２２の突出部２２ａの上流側近傍にＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４を撮像するＣＣＤカメラ４１が設けられ、ＣＣＤカメラ４１からの撮像信号が制御部４２に入力される。制御部４２はＣＣＤカメラ４１からの撮像信号に基づいて、巻出部３０および巻取部３１を駆動制御してＩＣチップ付シート４０の位置合わせを行なった後、駆動機構２７を作動させて押圧ピン２５を下方へ降下させるようになっている。
【００４３】
このとき、下方へ降下する押圧ピン２５はシートガイド２２の突出部２２ａにあるＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａを背面から押圧し、支持シート６ａからＩＣチップ４を剥離するとともに、支持シート６ａから剥離されたＩＣチップ４をアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２に導電性接着剤１１を介して接着させるようになっている（図９）。
【００４４】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００４５】
まず、図７に示すように、基材シート１上にアンテナ２を設けるとともに、アンテナ２の端部が連結片３によって連結されたアンテナ形成済シート１ａが、シートガイド２２下方に設置された受台２１上へ供給される。このとき、アンテナ形成済シート１ａのアンテナ２のうち、ＩＣチップ４が実装される部分に、予め電導性接着剤１１がディスペンサまたはシルクスクリーン印刷等により塗布される。導電性接着剤１１としては、異方性導電フィルムまたはペーストが用いられる。
【００４６】
受台２１上にアンテナ形成済シート１ａが供給されると、アンテナ形成済シート１ａが停止する。
【００４７】
この間、巻出部３０から、支持シート６ａとＩＣチップ４とを有するＩＣチップ付シート４０が巻出され、このＩＣチップ付シート４０はシートガイド２２側へ供給される。ＩＣチップ付シート４０は、その後シートガイド２２の一対の側壁２３間に設けられた案内溝２４に沿って図１の矢印Ｌ方向に送られ、シートガイド２２の下端に形成された突出部２２ａに到る。
【００４８】
ＩＣチップ付シート４０は突出部２２ａにおいて、受台２１側に向って突出し、湾曲するＲ形状を形成する。
【００４９】
このように突出部２２ａにおいてＩＣチップ付シート４０が湾曲することにより、ＩＣチップ４が支持シート６ａから剥離し易くなる。
【００５０】
この場合、シートガイド２２に沿って案内されるＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４の位置がＣＣＤカメラ４１により撮像され、ＣＣＤカメラ４１からの撮像信号に基づいて制御部４２により巻出部３０および巻取部３１が駆動制御される。このようにしてシートガイド２２の突出部２２ａにおいて、ＩＣチップ付シート４０位置合わせが行なわれてＩＣチップ付シート４０が停止される。このときＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４が突出部２２ａの下端に位置決めされる。
【００５１】
次に制御部４２により駆動機構２７がスプリング２８の力に抗して作動し、押圧ピン２５を降下させる。押圧ピン２５が降下することにより、押圧ピン２５によってＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａが下方へ押圧される。このとき押圧ピン２５の下方への押圧力によりＩＣチップ４が支持シート６ａから剥離する。同時にＩＣチップ４は押圧ピン２５により下方へ押付けられ、受台２１上のアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２上に移載された後、導電性接着剤１１を介してアンテナ２に接着される（図９）。
【００５２】
アンテナ２上にＩＣチップ４が接着された後、アンテナ形成済シート１ａは受台２１から更に下流側へ送られる（図７）。
【００５３】
一方、ＩＣチップ付シート４０は、ＩＣチップ４が支持シート６ａから剥離された後、支持シート６ａのみとなって巻取部３１側へ送られる。
【００５４】
以上のように、本実施の形態によればシートガイド２２の突出部２２ａにおいて、ＩＣチップ付シート４０をＩＣチップ４がアンテナ形成済シート１ａ側を向くようにして湾曲させて、Ｒ形状を形成することができる。このため押圧ピン２５をＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａに押当てるだけで、容易に支持シート６ａからＩＣチップ４を剥離させ、この剥離したＩＣチップ４をアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２に押圧して接着することができる。
【００５５】
次に本発明の変形例について説明する。図１乃至図３において、シートガイド２２の突出部２２ａに押圧ピン２５を設けた例を示したが、この押圧ピン２５に超音波発振機能をもたせてもよい。この場合、押圧ピン２５は超音波発振部となり、ＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａに超音波を加える。このため支持シート６ａからＩＣチップ４をより確実に剥離することができるとともに、剥離したＩＣチップ４をアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２に押圧して接着することができる。
【００５６】
さらに、シートガイド２２内に押圧ピンを設ける代わりに、図５に示すようにシートガイド２２内にＵＶ光照射部３５、３６を設けてもよい。
【００５７】
この場合、ＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａはＵＶ光剥離シートからなり、ＵＶ光を照射することにより接着力が低下して支持シート６ａからＩＣチップ４が剥離するようになっている。
【００５８】
図５において、他の構成は図１乃至図４に示すＩＣチップの実装装置２０と略同一である。図５において、図１乃至図４に示す実施の形態と同一部分には同一符号を符して詳細な説明は省略する。
【００５９】
図５に示すようにＵＶ光照射部３５、３６は図示しない光ファイバから送られるＵＶ光を発光するＵＶ光発光部３６と、ＵＶ光発光部からのＵＶ光を集光する集光レンズ３５とからなっている。
【００６０】
集光レンズ３５により集光されたＵＶ光は、シートガイド２２の突出部２２ａに設けられた開孔２６を介してＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａに照射される。ＵＶ光が照射された支持シート６ａはＩＣチップ４に対する接着力が低下し、このため支持シート６ａからＩＣチップ４が剥離する。支持シート６ａから剥離したＩＣチップ４は、その後シートガイド２２の案内溝２４に沿って落下し、アンテナ形成済シート１ａのアンテナ２上に導電性接着剤１１を介して接着される。
【００６１】
なお、図５において、シートガイド２２内にＵＶ光照射部３５、３６を設ける代わりに、レーザ光照射部を設けてもよい。この場合、レーザ光照射部はレーザ光を発光するレーザ光発光部と、レーザ光発光部から発光されるレーザ光を集光する集光レンズとからなっている。そして集光レンズからのレーザ光をシートガイド２２の突出部２２ａに設けられた開孔２６を介してＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａに照射するようになっている。
【００６２】
この場合、支持シート６ａは、レーザ光により加熱された場合に接着力が低下する熱剥離シートからなっている。
【００６３】
支持シート６ａにレーザ光を照射して加熱することにより、加熱された支持シート６ａの接着力が低下する。このことにより、支持シート６ａからＩＣチップ４が剥離し、剥離されたＩＣチップ４はシートガイド２２の案内溝２４に沿って落下し、アンテナ形成済シート１ａのアンテナ２上に導電性接着剤１１を介して接着される。
【００６４】
第２の実施の形態
次に本発明の第２の実施の形態について図１０乃至図１２により説明する。
【００６５】
図１０乃至図１２に示す第２の実施の形態において、図１乃至図９に示す第１の実施の形態と同一部分には同一の符号を符して詳細な説明は省略する。
【００６６】
本発明によるＩＣチップの実装装置２０は、図１０乃至図１２に示すように、基材シート１と、基材シート１上に設けられたアンテナ２とからなるアンテナ形成済シート１ａを載置して案内する受台２１と、受台２１上に配置され、支持シート６ａと多数のＩＣチップ４とからなるＩＣチップ付シート４０を案内するシートガイド２２とを備えている。
【００６７】
このうちＩＣチップ付シート４０は、上述した図８（Ａ）−（Ｅ）に示す工程により作製され、ロール状に巻付けられた後、巻出部３０から案内ローラ３２を経てシートガイド２２側へ供給される（図４参照）。シートガイド２２側へ供給されたＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４は、このシートガイド２２において支持シート６ａから剥離されてアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２に接着されるようになっている（図１１参照）。またＩＣチップ付シート４０はシートガイド２２においてＩＣチップ４が剥離された後、案内ローラ３３を経て巻取部３１に送られる。
【００６８】
次にシートガイド２２について詳述する。図１０に示すように、シートガイド２２は断面略三角形状をなし、ＩＣチップ付シート４０を案内する案内溝２４と、案内溝２４の両側に位置するとともにＩＣチップ付シート４０を側方から規制する一対の側壁２３とを有している。
【００６９】
またシートガイド２２は受台２１側に近接する突出部２２ａを有している。この突出部２２ａは三角形の頂角に対応するとともに、受台２１側に向って湾曲して突出し、この突出部２２ａにおいては案内溝２４および側壁２３も湾曲した形状を有している。
【００７０】
このためこの突出部２２ａにおいて案内溝２４内に案内されたＩＣチップ付シート４０も受台２１側に向って湾曲し、Ｒ形状を形成する。
【００７１】
この場合、シートガイド２２の突出部２２ａにおいて、ＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４は受台２１側を向き、支持シート６ａは受台２１と反対側の上方を向く。このためＩＣチップ付シート４０をＲ状に湾曲させることにより、ＩＣチップ４を支持シート６ａから容易に剥離させることができる（図１２参照）。
【００７２】
他方、図１０に示すように、アンテナ形成済シート１ａを載置して案内する受台２１はシリンダ状をなし、アンテナ形成済シート１ａはこのシリンダ状の受台２１表面に沿って案内される。このためシリンダ状の受台２１はシートガイド２２の突出部２２ａに向って凸となるＲ状表面２１ａを有することになる。
【００７３】
また、図１０に示すようにシートガイド２２の突出部２２ａ内に、上下方向に摺動自在に押圧ピン２５が設けられている。すなわちシートガイド２２の突出部２２に、受台２１上のアンテナ形成済シート１ａに直交する開孔２６が形成され、押圧ピン２５はこの開孔２６内に摺動自在に設けられている。
【００７４】
また押圧ピン２５は、駆動機構２７に連結部２９を介して連結されている。駆動機構２７はスプリング２８により常時上方へ付勢されるとともに、制御部４２により駆動制御される。
【００７５】
またシートガイド２２の突出部２２ａの上流側近傍にＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４の外観を撮像するＣＣＤカメラ（外観検出センサ）４１が設けられ、ＣＣＤカメラ４１からの撮像信号が制御部４２に入力される。制御部４２はＣＣＤカメラ４１からの撮像信号に基づいて、巻出部３０および巻取部３１を駆動制御してＩＣチップ付シート４０の位置合わせを行なった後、駆動機構２７を作動させて押圧ピン２５を下方へ降下させるようになっている。
【００７６】
このとき、下方へ降下する押圧ピン２５はシートガイド２２の突出部２２ａにあるＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａを背面から押圧し、支持シート６ａからＩＣチップ４を剥離するとともに、支持シート６ａから剥離されたＩＣチップ４をアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２に導電性接着剤１１を介して接着させるようになっている（図９）。
【００７７】
ところで、ＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４の中には、前段の検査工程において、不良品と判定され、予め不良マークが付けられたものがある。ＣＣＤカメラ４１はＩＣチップ４の外観を撮像する際、この不良マークを検出することができ、かつＩＣチップ４の外観不良、例えばＩＣチップ４の割れ等を検出することができる。
【００７８】
制御部４２は、ＣＣＤカメラ４１からの撮像信号に基づいて、ＩＣチップ付シート４０中のＩＣチップ４を不良と判断した場合、当該不良ＩＣチップ４がシートガイド２２の突出部２２ａを１ピッチ通過するよう、巻出部３０および巻取部３１を駆動制御するようになっている。
【００７９】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００８０】
まず、図１１に示すように、基材シート１上にアンテナ２を設けるとともに、アンテナ２の端部が連結片３によって連結されたアンテナ形成済シート１ａが、シリンダ状の受台２１のＲ状表面２１ａに沿ってシートガイド２２下方まで案内される。このとき、アンテナ形成済シート１ａのアンテナ２のうち、ＩＣチップ４が実装される部分に、予め電導性接着剤１１がディスペンサまたはシルクスクリーン印刷等により塗布される。導電性接着剤１１としては、異方性導電フィルムまたはペーストが用いられる。
【００８１】
受台２１のＲ状表面２１ａに沿って案内されたアンテナ形成済シート１ａがシートガイド２２下方まで供給されると、アンテナ形成済シート１ａが停止する。
【００８２】
この間、巻出部３０から、支持シート６ａとＩＣチップ４とを有するＩＣチップ付シート４０が巻出され、このＩＣチップ付シート４０はシートガイド２２側へ供給される。ＩＣチップ付シート４０は、その後シートガイド２２の一対の側壁２３間に設けられた案内溝２４に沿って図１０の矢印Ｌ方向に送られ、シートガイド２２の下端に形成された突出部２２ａに到る。
【００８３】
ＩＣチップ付シート４０は突出部２２ａにおいて、受台２１側に向って突出し、湾曲するＲ形状を形成する。
【００８４】
このように突出部２２ａにおいてＩＣチップ付シート４０が湾曲することにより、ＩＣチップ４が支持シート６ａから剥離し易くなる。
【００８５】
この場合、シートガイド２２に沿って案内されるＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４の位置がＣＣＤカメラ４１により撮像され、ＣＣＤカメラ４１からの撮像信号に基づいて制御部４２により巻出部３０および巻取部３１が駆動制御される。このようにしてシートガイド２２の突出部２２ａにおいて、ＩＣチップ付シート４０位置合わせが行なわれてＩＣチップ付シート４０が停止される。このときＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４が突出部２２ａの下端に位置決めされる。
【００８６】
一方、ＣＣＤカメラ４１からの撮像信号に基づいて、制御部４２がＩＣチップ付シート４０中に不良ＩＣチップ４を検出した場合、制御部４２はこの不良ＩＣチップ４が突出部２２ａから１ピッチ通過するよう巻出部３０と巻取部３１を駆動制御して、不良ＩＣチップ４を突出部２２ａから送り出し、次のＩＣチップ４を突出部２２ａ下方にもってくる。
【００８７】
次に制御部４２により駆動機構２７がスプリング２８の力に抗して作動し、押圧ピン２５を降下させる。押圧ピン２５が降下することにより、押圧ピン２５によってＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａが下方へ押圧される。このとき押圧ピン２５の下方への押圧力によりＩＣチップ４が支持シート６ａから剥離する。同時にＩＣチップ４は押圧ピン２５により下方へ押付けられ、受台２１上のアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２上に移載された後、導電性接着剤１１を介してアンテナ２に接着される（図１２）。
【００８８】
アンテナ２上にＩＣチップ４が接着された後、アンテナ形成済シート１ａは受台２１から更に下流側へ送られる。
【００８９】
ところでアンテナ形成済シート１ａは、受台２１のＲ状表面２１ａの上を案内される。アンテナ形成済シート１ａのアンテナ２には予め導電性接着剤１１が塗布されているが、受台２１の表面２１ａはＲ状をなしているため、接着剤１１が過度に塗布されていても、突出部２２ａの下方のＩＣチップ４のみをアンテナ形成済シート１ａ上に接着することができ、突出部２２ａの下方のＩＣチップ４に隣接するＩＣチップ４がこの接着剤１１により引込まれてしまうことはない。
【００９０】
一方、ＩＣチップ付シート４０は、ＩＣチップ４が支持シート６ａから剥離された後、支持シート６ａのみとなって巻取部３１側へ送られる。
【００９１】
以上のように、本実施の形態によればシートガイド２２の突出部２２ａにおいて、ＩＣチップ付シート４０をＩＣチップ４がアンテナ形成済シート１ａ側を向くようにして湾曲させて、Ｒ形状を形成することができる。このため押圧ピン２５をＩＣチップ付シート４０の支持シート６ａに押当てるだけで、容易に支持シート６ａからＩＣチップ４を剥離させ、この剥離したＩＣチップ４をアンテナ形成済シート１ａのアンテナ２に押圧して接着することができる。
【００９２】
また、ＣＣＤカメラ４１からの撮像信号により制御部４２が不良ＩＣチップ４を検出した場合、この不良ＩＣチップ４は突出部２２ａから１ピッチ通過するので、不良ＩＣチップ４をアンテナ２に実装することはない。
【００９３】
さらに、アンテナ２に過度に接着剤１１が塗布されていても、突出部２２ａ下方のＩＣチップ４以外のＩＣチップ４が接着剤１１に引込まれてしまうことはない。
【００９４】
ところで、シートガイド２２上のＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４のうち、不良ＩＣチップの位置情報であるマッピングデータを予め制御部４２に入力しておいてもよい。この場合、マッピングデータとはウエハ５からＩＣチップ４を製造する際生じる不良ＩＣチップ４を予め検出しておき、ＩＣチップ付シート４０上における不良ＩＣチップ４の位置を情報化したものである。
【００９５】
制御部４２は、不良ＩＣチップ４に関するマッピングデータに基づいて不良ＩＣチップ４が突出部２２ａから１ピッチ通過するよう巻出部３０と巻取部３１を駆動制御して、不良ＩＣチップ４を突出部２２ａから送り出し、次のＩＣチップ４を突出部２２ａの下方にもってくる。
【００９６】
次に本発明の変形例について、図１３（ａ）−（ｃ）および図１４により説明する。
【００９７】
図１３（ａ）−（ｃ）に示すＩＣチップの実装装置２０において、受台２１上に基材シート１上に多列（３列）に配置されたアンテナ２を有するアンテナ形成済シート１ａが載置され、アンテナ形成済シート１ａの各列のアンテナ２に対応して合計３台のシートガイド２２が設けられている。
【００９８】
図１３（ａ）−（ｃ）において、図１０乃至図１２に示す実施の形態と同一部分には、同一符号を符して詳細な説明は省略する。
【００９９】
図１３（ａ）に示すように、アンテナ形成済シート１ａの各アンテナ２は、各々アライメントマーク５３を有している。
【０１００】
各シートガイド２２は下端に突出部２２ａを有し、この突出部２２ａによりシートガイド２２により案内されるＩＣチップ付シート４０にＲを形成するようになっている。各シートガイド２２の近傍に、各シートガイド２２に対応するアンテナ２のアライメントマーク５３を検出する見当マークセンサ５４が設けられている。
【０１０１】
また各シートガイド２２は保持体５１により保持され、各保持体５１と対応するシートガイド２２との間にはＸＹθ駆動機構５２が介在している。
【０１０２】
次に図１３（ｂ）（ｃ）により、ＸＹθ駆動機構５２について詳述する。ＸＹθ駆動機構５２はＸ駆動機構５２ａと、Ｘ駆動機構５２ａ上に設けられたＹ駆動機構５２ｂと、Ｙ駆動機構５２ｂ上に設けられたθ駆動機構５２ｃとを有している（図１３（ｂ））。なお、ＸＹθ駆動機構５２は、Ｘ駆動機構５２ａと、Ｘ駆動機構５２ａ上に設けられたＹ駆動機構５２ｂと、Ｘ駆動機構５２ｂ下方に設けられたθ駆動機構５２ｃとを有していてもよい（図１３（ｃ））。
【０１０３】
図１３（ａ）−（ｃ）において、見当マークセンサ５４でアライメントマーク５３を検出した場合、見当マークセンサ５４からの信号が制御部４２に送られる。制御部４２は見当マークセンサ５４からの信号に基づいてＸＹθ駆動機構５２を駆動制御して、シートガイド２２をＸ方向、Ｙ方向、および回転方向（θ方向）に移動させる。このことによりシートガイド２２を対応するアンテナ２上で水平方向に移動させ、アンテナ２の所望位置にシートガイド２２の突出部２２ａをもってくることができる。
【０１０４】
その後シートガイド２２に沿ってＩＣチップ付シート４０が案内され、ＩＣチップ付シート４０のＩＣチップ４が突出部２２ａからアンテナ２側へ実装される。
【０１０５】
シートガイド２２の構造は、図１０乃至図１２に示すものと略同一である。
【０１０６】
図１３に示す変形例において、アンテナ形成済シート１ａが多列のアンテナ２を有していても、アンテナ２のアライメントマーク５３を見当マークセンサ５４で検出し、その検出結果に応じてシートガイド２２を水平方向に移動させるので、シートガイド２２の突出部２２ａからアンテナ２の所望位置に精度良くＩＣチップ４を実装することができる。
【０１０７】
次に図１４により本発明の他の変形例について説明する。
【０１０８】
図１４に示す変形例は、シートガイド２２の上流側に隣接して、アンテナ形成済シート製造部５５を設けたものである。図１４において、図１０乃至図１２に示す実施の形態と同一部分には同一符号を符して詳細な説明は省略する。
【０１０９】
図１４に示すように、アンテナ形成済シート製造部５５において、基材シート１上にアンテナ２を設けることによりアンテナ形成済シート１ａが得られる。アンテナ形成済シート製造部５５では、金属箔からアンテナ２を打抜き、この打抜いたアンテナ２を基材シート１上に接着させる。このことにより、基材シート１と、アンテナ２とからなるアンテナ形成済シート１ａを製造することができる。
【０１１０】
次にアンテナ形成済シート製造部５５において製造されたアンテナ形成済シート１ａがアンテナ形成済シート製造部５５の直近の下流側に設けられたシートガイド２２側へ供給される。シートガイド２２にアンテナ形成済シート１ａが供給されると、アンテナ形成済シート１ａのアンテナ２上にシートガイド２２の突出部２２ａからＩＣチップ４が実装される。
【０１１１】
ここで、アンテナ形成済シート製造部５５とシートガイド２２は互いに連結されていることが好ましい。
【０１１２】
図１４において、アンテナ形成済シート製造部５５において製造されたアンテナ形成済シート１ａは、受台２１上に精度良く位置決めされて供給され、シートガイド２２の下方到る。このときシートガイド２２はアンテナ形成済シート製造部５５に連結されているので、アンテナ形成済シート製造部５５からシートガイド２２までの間のわずかな距離でアンテナ形成済シート１ａが横方向にぶれることは少ない。
【０１１３】
このためシートガイド２２に供給されたアンテナ形成済シート１ａをシートガイド２２に対して再度位置決めする必要はなく、アンテナ形成済シート１ａのアンテナ２上にＩＣチップ４を精度良く実装することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明によるＩＣチップの実装装置の第１の実施の形態を示す概略図。
【図２】シートガイドを示す概略斜視図。
【図３】シートガイドを示す断面図。
【図４】ＩＣチップの実装装置の全体図。
【図５】ＩＣチップの実装装置の変形例を示す図。
【図６】非接触ＩＣタグを示す斜視図。
【図７】ＩＣチップが実装されるアンテナ形成済シートを示す図。
【図８】ＩＣチップ付シートの製造工程を示す図。
【図９】ＩＣチップの実装工程を示す図。
【図１０】本発明によるＩＣチップの実装装置の第２の実施の形態を示す概略図。
【図１１】ＩＣチップが実装されるアンテナ形成済シートを示す図。
【図１２】ＩＣチップの実装工程を示す図。
【図１３】ＩＣチップの実装装置の変形例を示す図。
【図１４】ＩＣチップの実装装置の変形例を示す図。
【符号の説明】
【０１１５】
１  基材シート
１ａ  アンテナ形成済シート
２  アンテナ
４  ＩＣチップ
５  ウエハ
６、７  ダイシングテープ
６ａ  支持シート
２０  ＩＣチップの実装装置
２１  受台
２２  シートガイド
２２ａ  突出部
２３  側壁
２４  案内溝
２５  押圧ピン
２６  開孔
２７  駆動機構
３０  巻出部
３１  巻取部
３５  集光レンズ
３６  ＵＶ光発光部
４０  ＩＣチップ付シート
４１  ＣＣＤカメラ
４２  制御部
５１  保持体
５２  ＸＹθ駆動機構
５３  アライメントマーク
５４  見当マークセンサ
５５  アンテナ形成済シート製造部
【図１】
2005277368.tif 000003
【図２】
2005277368.tif 000004
【図３】
2005277368.tif 000005
【図４】
2005277368.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2005277368.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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