(57)【要約】処理チャンバの構成部品が洗浄され、磨き直される。構成部品は、第１層の被覆を有し、上に横たわる被覆を備えた構造体を有する。構成部品を磨き直す為に第１層は除去され、その構造体上に晒された表面を形成する。被覆の除去中またはその後、晒された表面は、洗浄流体で線上され、これが、晒された表面上に洗浄残留物を堆積する。晒された表面は、実質的に非酸化雰囲気内で、その表面から洗浄残留物を蒸発するのに十分に高い温度まで加熱され、それにより、洗浄された表面を形成する。第２層は、洗浄された表面全体に形成される。【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理チャンバのコンポーネントを磨き直す方法において、前記コンポーネントは、上に横たわる被覆を有する構造体を備え、その被覆は第１層を備える前記方法であって：
（ａ）前記構造体上に晒された表面を形成する為に前記第１層を除去するステップと；
（ｂ）ステップ（ａ）中またはその後、洗浄流体で前記晒された表面を洗浄するステップであって、それにより、前記晒された表面上に洗浄残留物を堆積する前記ステップと；
（ｃ）前記洗浄残留物を前記表面から蒸発させるのに十分に高い温度まで実質的に非酸化雰囲気中で前記表面を加熱するステップと；
（ｄ）前記洗浄された表面全体に第２層を形成するステップと；
を備える、前記方法。
【請求項２】
前記ステップ（ｃ）は、少なくとも一つの以下の工程：すなわち、
（１）少なくとも約１００℃の温度まで前記表面を加熱する工程；
（２）約１容積％未満の酸素ガスを備える実質的に非酸化雰囲気中で前記表面を加熱する工程；
（３）少なくとも約９９容積％の窒素を備える雰囲気中で前記表面を加熱する工程；
（４）真空圧を維持する間、前記表面を加熱する工程；
を備える、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記ステップ（ｂ）は、脱イオン水、酸性溶液またはアルカリ性溶液を備える洗浄流体で前記表面を洗浄する工程を備える、請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記ステップ（ｄ）は、金属材料を少なくとも部分的に液化する電気アークを発生する工程、圧縮ガスを前記液化された金属材料に通し、前記液化された金属材料を洗浄された表面に向かって推進させ、前記第２層を形成する工程、を備える、請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記ステップ（ｄ）は、アルミニウム、タンタル、銅、クロムのうち、少なくとも一つを備える第２層を形成する工程を備える、請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記構造体は、アルミニウム、チタン、タンタル、ステンレス鋼、銅、クロムのうち、少なくとも一つを備える、請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記晒された表面のビードブラスト処理を更に備える、請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記ステップ（ｃ）は、前記晒された表面から最初に洗浄残留物を蒸発させるのに十分に高い温度まで前記晒された表面を実質的に非酸化雰囲気中で加熱する工程を備え、前記実質的に非酸化雰囲気は、約１容積％未満の酸素ガスを備える、請求項７記載の方法。
【請求項９】
前記ステップ（ｄ）は、少なくとも一つの以下の工程、すなわち：
（１）前記晒された表面全体に、最上面を備える第２層を形成する工程；
（２）前記第２層の前記最上面を第２洗浄流体で洗浄する工程であって、これにより、前記最上面上に第２洗浄残留物を堆積する、前記工程；
（３）前記最上面から第２洗浄残留物を蒸発させるのに十分に高い温度まで、前記最上面を加熱する工程；
を備える、請求項７記載の方法。
【請求項１０】
請求項１記載の方法により製造されたコンポーネントであって、一以上の包囲壁、チャンバシールド、ガスエナジャイザー、ガス分配装置、排気導管、基板支持体の少なくとも一部を備える、前記コンポーネント。
【発明の詳細な説明】
【背景】
【０００１】
本発明は、処理チャンバの洗浄及び被覆に関する。
【０００２】
半導体ウエハ、ディスプレイのような基板の処理において、基板は、処理チャンバ内に置かれ、作動ガスに晒され、基板上に材料を堆積またはエッチングする。このような処理中、処理残留物が発生し、チャンバ内の内部表面に堆積し得る。例えば、スパッタ堆積処理において、基板上の堆積の為にターゲットからスパッタされた材料は、チャンバ内の他のコンポーネント（堆積リング、シャドウリング、壁ライナ、フォーカスリングなど）にも堆積される。後の処理サイクルにおいて、堆積された処理残留物は、チャンバ表面から剥がれ、基板上に落ち、基板を汚染する。
【０００３】
処理残留物により基板の汚染を減じるため、チャンバ内のコンポーネントの表面は、テクスチャー加工可能である。処理残留物は、テクスチャー加工された表面に良好に付着し、チャンバ内の基板からの剥がれ落ち及びチャンバ内の基板の汚染が抑制される。テクスチャー加工されたコンポーネントの表面は、例えば、Shyh-Nung Lin氏等に対する、２００１年６月２７日に出願された、アプライドマテリアルズ社に共通に譲渡された、米国出願第０９／８９５，８６２号、Shyh-Nung Lin氏等に対する、２００２年３月２７日に出願された、アプライドマテリアルズ社に共通に譲渡された、米国出願第１０／１１３，８４７号に記載され、これらは、全体が参考として本願に組み込まれる。
【０００４】
しかし、多くの処理サイクル後、被覆されたコンポーネントは、蓄積される処理残留物を除去するため、洗浄及び磨き直しが必要である。例えば、チャンバのコンポーネントが予備洗浄処理で使用され、金属の相互接続部から材料をスパッタするとき、スパッタされた材料は、各処理サイクルと共にコンポーネントの表面に蓄積する。蓄積された処理堆積物は、熱膨張応力を引き起こし、それが、下にある構造物からの被覆の層間剥離、クラッキング、剥落を生じさせる。チャンバ内のプラズマは、被覆の損傷された領域を貫通することができ、下にある構造物の、晒された表面を腐食し、実際、コンポーネントの故障になる。そのため、磨き直し処理は、通常、多くの基板が処理された後、被覆されたコンポーネントを洗浄して磨き直す為に行われる。磨き直し処理は、基板の処理中、コンポーネントから被覆の剥離やスポーリング発生度合いを減少させるので、チャンバ内で処理された基板の汚染を減少させる。
【０００５】
磨き直し処理の一例において、被覆は、例えば、コンポーネントから被覆を化学的にエッチングして除去することにより、下にあるコンポーネントの構造体から除去される。その後、ビードブラスト処理が行われ、被覆の残留粒子を除去すると共に、コンポーネントの表面を粗くし、実質的に記述された被覆の付着性を改善するが、これは、例えば、Yixing Lin氏等に対する、２００３年１０月２２日に出願され、共通してアプライドマテリアルズ社に譲渡され、全体が本願に参考として組み込まれた米国特許出願第１０／６９１，４１８号に記載されている。ビードブラスト処理後、新たなテクスチャー加工被覆が、例えば、ツインワイヤアークコーティング法により付けられる。新たな被覆は、脱イオン水のような洗浄流体ですすがれ、すすがれた被覆は、被覆から揮発性材料を除去する為に十分な期間だけベーキングされる。
【０００６】
しかし、そのように製造されたコンポーネントが処理チャンバ内で使用されるとき、磨き直されたコンポーネントに残留する揮発性材料のため、しばしば、チャンバは過度に長時間、所望の圧力まで真空引きすることが必要になる。例えば、磨き直されたコンポーネントを備えた所望チャンバ圧力に達するのに最高で２０時間かかる場合があり、これは、基板の処理を容認しがたく遅れさせるおそれがある。一変形例において、Lin等に対する前述された米国特許出願第１０／１１３，８４７、第０９／８９５，８６２号に説明されているように、予備ベーキングステップは、オーブン内で、下にある構造体をベーキングする為に行い、被覆を付ける前に揮発性材料を除去することができる。しかし、この予備ベーキングステップは、下にある構造体に被覆を後で付ける満足できない付着を生じることが発見された。より弱く付着された被覆は、下にある構造体から破砕可能であり、下にある構造体の腐食、チャンバ内で処理される基板の汚染を生じる。また、適したチャンバ圧力に達する為に必要なポンプダウン時間は、そのような予備ベーキングされたコンポーネントでは有害に長いままである。
【０００７】
そのため、コンポーネントが使用されるチャンバ内で、容認しがたい長いポンプダウン時間が生じないコンポーネントの磨き直し及び洗浄する方法を有することが望ましい。さらに望ましいことは、改善されたコンポーネント腐食抵抗を与え、処理基板の汚染を減じるコンポーネントを磨き直す方法を有することである。
【概要】
【０００８】
一変形例において、処理チャンバのコンポーネントは、磨き直される。コンポーネントは、第１層である、上にある被覆を備えた構造体を有する。コンポーネントを磨き直す為、第１層は、コンポーネントから除去され、構造体上に晒された表面を形成する。第１層の除去中またはその後、晒された表面は、洗浄流体で洗浄され、晒された表面上に洗浄残留物を堆積する。晒された表面は、表面から洗浄残留物を蒸発させるのに十分に高い温度まで、実質的に非酸化雰囲気内で加熱され、それにより、洗浄表面を形成する。第２層は、洗浄表面全体に形成される。
【０００９】
他の磨き直し処理の変形例において、被覆されたコンポーネントは、第１金属層を有し、第１金属層は、晒されたコンポーネントの表面を形成する為に除去される。晒された表面は、第１金属層の除去中またはその後、第１洗浄流体で洗浄され、それが、晒された表面上に第１洗浄残留物を堆積する。晒された表面は、その表面に向かってブラスト処理用ビードを推進することによりテクスチャー加工される。第１ベーキングステップにおいて、晒された表面は、その表面から第１洗浄残留物を蒸発させるのに十分に高い温度まで、実質的に非酸化雰囲気内で加熱される。実質的に非酸化雰囲気は、約１容積％未満の酸素ガスを有する。第２金属層は、晒された表面全体に形成され、第２金属層は、最上面を有する。第２金属層の最上面は、第２洗浄流体で洗浄され、これが、最上面上に第２洗浄残留物を堆積する。第２ベーキングステップにおいて、第２金属層の最上面は、その最上面から第２洗浄残留物を蒸発させるのに十分に高い温度まで加熱される。
【００１０】
本発明の、これらの特徴、態様、利点は、以下の説明、添付された請求項、添付された図面に関して、良好に理解されよう。しかし、各々の特徴は、一般的に本発明に使用可能であり、特に図面の内容に使用されるものではないこと、本発明は、これらの特徴の組合せを含むことが理解されよう。
【説明】
【００１１】
本発明の処理は、図１に一例として示されるように、被覆２２を有するコンポーネント２０を洗浄し磨き直すのに適している。この処理は、コンポーネントの、改善された洗浄及び磨き直しを提供し、コンポーネント２０からの揮発性残留物の除去を改善する。揮発性残留物を除去することにより、チャンバ１０６内で所望の圧力レベルに達するのに必要なポンピングタイムを減少可能である。処理は、腐食を受けやすいチャンバ１０６内の一以上のコンポーネントを洗浄し磨き直す為に使用可能であり、一例として、処理ガスをチャンバ１０６内に提供するガス分配システム１１２の一以上の部分、チャンバ１０６内で基板１０４を支持する基盤支持体１１４、処理ガスにエネルギーを与えるエナジャイザー１１６、チャンバ包囲壁１１８とシールド１２２、チャンバ１０６からガスを排気するガス排気装置１２０があるが、これらの例示実施形態の全ては、図３に示されている。例えば、図３に示されているように、予備洗浄チャンバ１０６において、被覆されたコンポーネント２０は、チャンバカバーまたは天井１６８、チャンバシールド１２０、ガス分配装置１８０、排気用導管１８６、基板支持体１１４の一部のようなチャンバ包囲壁１１８の全てを備えることが可能である。
【００１２】
チャンバコンポーネント２０は、上に横たわる被覆２２を有する、下にある構造体２４を備えるが、上に横たわる被覆２２は、図１Ａに示されるように、構造体２４の少なくとも一部を覆っている。下にある構造体２４は、基板処理環境内で形成された作動ガス（エネルギーが与えられたガス；energized gas）のように、作動ガスからの腐食に対し抵抗力がある材料を備える。例えば、構造体２４は、アルミニウム、チタン、タンタル、ステンレス鋼、銅、クロムのうちの少なくとも一つのような金属を備えてもよい。構造体２４は、また、アルミナ、シリカ、ジルコニア、窒化シリコン、窒化アルミニウムのうちの少なくとも一つのようなセラミック材を備えてもよい。構造体２４の表面２６は、被覆２２と接触し、構造体２４に対する上に横たわる被覆２２の付着を改善する表面粗さを有するのが望ましい。例えば、表面２６は、少なくとも約２．０マイクロメートル（８０マイクロインチ）の表面粗さを有することが可能である。通常、被覆２２は、作動ガスにおいて腐食に対し抵抗力を有する金属材料（例えば、アルミニウム、チタン、タンタル、銅、クロムのうちの少なくとも一つの）層を備える。被覆２２は、また、基板１０４の処理で生成された処理残留物が被覆２２の表面２８に良好に付着するように、テクスチャー加工された最上面２８を有することが可能である。
被覆されたコンポーネント２０は、蓄積された処理残留物とコンポーネント２０から被覆の腐食部分を除去するために、一以上の基板１０４が処理された後に洗浄され磨き直されてもよい。一変形例において、コンポーネント２０は、被覆２２と処理残留物を除去することにより、更に、下にある構造体の表面２６を洗浄する為に様々な洗浄処理を実行することにより、磨き直すことが可能である。下にある表面２６を洗浄することにより、下にある構造体２４と、後に再形成される被覆２２との間に増強された結合を提供する。処理チャンバコンポーネント２０を洗浄して磨き直す改善された方法の一実施例は、図２のフローチャートに示されている。この方法は、一般的に、被覆２２を除去するステップ、被覆２２の除去中またはその後に洗浄流体で表面２６を洗浄するステップ、表面２６から揮発性洗浄残留物３０を除去する為に実質的に非酸化雰囲気内で表面２６を加熱するステップ、表面２６全面に被覆２２を再形成するステップを備える。
被覆２２は、晒された、下にある表面２６を形成するのに適した方法により構造体２４から除去される。一変形例において、被覆２２は、洗浄流体（例えば、酸性洗浄溶液、アルカリ性洗浄溶液）内で被覆２２の表面を浸すことにより構造体２４から除去される。洗浄流体は、（例えば、被覆材を分解することにより）被覆２２を除去する能力がある化学成分を備えるのが好ましい。洗浄流体は、また、被覆表面２８上に蓄積された処理堆積物を除去する能力も有することが可能である。一変形例において、被覆２２の表面２８は、ＨＮＯ３、ＨＣｌ、Ｈ３ＰＯ４、Ｈ２ＳＯ４のうちの少なくとも一つを備える酸性洗浄溶液内で浸される。他の変形例において、表面２８は、ＫＯＨ、ＮＨ４ＯＨ、ＮａＯＨ、Ｋ２ＣＯ３のうちの少なくとも一つを備えるアルカリ性洗浄溶液内に浸される。一変形例において、表面２８は、一つ以上の洗浄溶液内に浸され、被覆２２と処理残留物の両方の望ましい除去を提供するが、これは、例えば、Wang氏等の為に２００２年１１月２５日に出願され、全体が参考のために本願に組み込まれる米国出願第１０／３０４，５３５号に記載されている。例えば、被覆２２の表面２８は、処理残留物を除去する為に、約２Ｍから約８ＭＨＦまで（例えば、約５Ｍ  ＨＦ）、更に、約２Ｍ  ＨＮＯ３から１５Ｍ  ＨＮＯ３まで（例えば、約１２Ｍ  ＨＮＯ３）を備える酸性洗浄溶液に浸すことができる。その後、表面２８は、被覆２２を除去する為に、約１Ｍから約８Ｍまで（約３Ｍ  ＫＯＨ）のアルカリ性洗浄溶液に浸される。図１Ｂは、被覆２２が除去された後、下にある構造体２４が晒された後のコンポーネント２０を示す。
いったん、被覆２２が除去された後、一以上の後の洗浄ステップが実行可能であり、構造体２４の晒された表面２６から残留処理堆積物や被覆材の粒子を除去する。一変形例において、表面２６は、脱イオン水を備える洗浄流体で表面を浸す又はすすぐことにより洗浄され、先の洗浄ステップから残留する酸性残留物又はアルカリ性残留物を除去する。表面２６は、また、洗浄流体に浸されている間、超音波で（例えば、表面２６を軽く振動させる為に表面２６に音波を取り入れることにより）かき混ぜられてもよい。脱イオン水以外の洗浄流体も、また、表面から残留物を洗浄する為に表面２６に適用可能である。
【００１３】
一変形例において、晒された表面２６は、被覆２２の少なくとも一部が除去された後、ビードブラスト処理される。表面２６のビードブラスト処理は、表面２６から緩んだ粒子（例えば、残留粒子）を除去することにより、後に付けられた被覆の付着を改善することができる。ビードブラスト処理は、また、コンポーネントを備えた構造体を処理する間、被覆２２と構造体２４との間の界面に形成可能な金属間材料も除去することができ、被覆２２と構造体２４間の結合を弱めることができる。ビードブラスト処理は、表面２６に対する所望の表面粗さを再生させる為に、表面２６を再びテクスチャー加工することも可能であり、これは、例えば被覆２２を除去し表面２６を洗浄する為に使用された化学洗浄溶液により減少可能である。
【００１４】
ビードブラスト処理において、硬いブラスト処理用ビード３２は、例えば、図１Ｂに示されるように、ガスを加圧することにより、下にある構造体２４の表面に向かって推進される。ブラスト処理するビーズ３２は、通常、テクスチャー加工を表面２６に与える為に、コンポーネントの表面２６の一部に衝突させ、掘削する硬い材料（例えば、アルミナ）を備える。表面をテクスチャー加工するのに適したビードブラスト処理の一変形例において、約４００マイクロメートルから約１０００マイクロメートルまでの直径を有するブラスト処理用ビーズ３２は、表面２６に向かって推進され、表面２６を粗くする。このビードの大きさは、例えば、約２４から約７０の砥粒メッシュサイズに一致させることができる。ビーズを推進するのに適したガス圧は、少なくとも約１３８ｋＰａ（２０ｐｓｉ）の圧力（例えば、約１３８ｋＰａ（２０ｐｓｉ）から約８２７ｋＰａ（１２０ｐｓｉ））にすることができる。他に適したビードブラスト処理条件は、約４５°から約９０°、更には約５０°から約７０°の、表面２６に関するビーズの入射角度、約１０ｃｍから約２５ｃｍ（例えば、約１０ｃｍから約１５ｃｍ）までの、下にある構造体２４の表面２６に対する、ビードブラスターからビーズにより移動されたスタンドオフ距離を含む。
【００１５】
ビードブラスト処理は、また、一つ以上のビードブラストステップを備えてもよく、これは、例えば、米国特許出願第１０／６９１４１８号、第１０／２２／２００３号に記載されており、本願に全体が参考として組み込まれている。例えば、ビードブラスト処理は、より小さいビードサイズ、低いビード推進圧力を用いた侵透力のある第１ビードブラストステップを備えてもよく、金属間化合物が表面２６を形成するように不純物を除去する為に表面２６内のクラックやクレバスを浸透する。浸透力のあるビードブラストステップには、テクスチャー加工用ビードブラストステップが続き、テクスチャー加工用ビードブラストステップは、より大きなビードサイズ、より高いガス圧力を備えるが、例えば、表面２６を再びテクスチャー加工する前述したビードサイズとガス圧力である。
【００１６】
一以上の洗浄ステップは、ビードブラスト処理の後で行われ、表面２６から全てのブラスト処理用ビーズ３２又は残留粒子（例えば、ブラスト処理中に緩くなったコンポーネントの表面の一部）を除去する。例えば、表面２６は、脱イオン水、他の洗浄流体で浸すか、すすぐことにより洗浄可能であり、また、超音波的にかき混ぜることが可能である。Ｎ２の圧縮流は、また、下にある構造体２４の表面２６を洗浄する為に提供されてもよい。
【００１７】
コンポーネントの洗浄および磨き直しは、被覆２２が再度、付けられる前に表面２６から揮発性残留物３０を除去する為に予備ベーキングステップを行うことにより改善されることは分かっている。揮発性残留物３０は、図１Ｂに示されるように、磨き直し処理中に洗浄流体に表面２６を晒した結果として表面２６上に堆積可能である。例えば、揮発性残留物３０は、被覆除去ステップから表面２６上に残る残留物（例えば、酸性溶液やアルカリ性溶液からの残留物）を備える場合がある。他の実施例において、揮発性残留物３０は、ポストビードブラスト洗浄ステップ後に表面２６上に残る残留物（例えば、脱イオン水洗浄ステップからの残留物）を備える場合がある。これらの残留物３０の除去が望ましい理由は、磨き直されたコンポーネント２０を有するチャンバ内の所望の圧力に達するのに必要な時間量を減少させることができるからである。残留物３０の除去は、また、後で付けられた被覆２２の付着を改善することができ、全ての残留物から表面２６上の腐食を減少させることができる。
【００１８】
予備ベーキングステップにおいて、表面２６は、残っている揮発性残留物３０を蒸発またはベークオフする（加熱乾燥させる）のに十分に高い温度まで加熱される。この温度は、下にある表面２６に損傷を与えることなく（例えば、表面２６を溶かす又は反らすことなく）実質的に残留物３０を除去するのに十分に高いことが望ましい。適した温度は、例えば、少なくとも１００℃、更には少なくとも１２０℃の温度（約１２０℃から約１４０℃まで）でもよい。例えば、ステンレス鋼を備えるコンポーネントの表面２６に対し、揮発性残留物を除去する為に適した温度は、約１１５℃から約１２５℃でもよい。オプションとして、温度は、約８０℃のように低い温度は、真空圧力の下で表面２６を加熱するときに残留物を除去するのに適する場合がある。表面２６は、残留物を除去するのに適した時間の間（例えば、少なくとも約１時間、少なくとも約３時間、約１時間から約２時間）、その温度まで加熱可能である。表面２６は、加熱ランプ又は他の適した加熱方法でコンポーネント２０を放射加熱（例えば、炉内に構造体２４を置くこと）により加熱可能である。揮発性残留物３０が実質的に存在しない表面２６を有するコンポーネント２０の一実施形態は、図１Ｃに示されている。
【００１９】
更に分かっていることは、改善された加熱結果は、実質的に非酸化雰囲気内で表面２６を加熱することにより得られることである。実質的に非酸化雰囲気は、コンポーネント２０の表面２６上に酸素を形成することを抑制する。これらの酸素形成を減じることが重要である理由は、これらが後で付けられる被覆２２の付着に悪い影響を与えること、更に、表面２６から被覆２２の層間剥離を引き起こすからである。また、表面２６に対する被覆２２の付着を減じ、それらの間の弱い結合を形成することにより、酸素形成は、より緩く結合された表面２６と被覆２２との間に残る間隙中に保持される揮発性残留物量を多くする。これらの揮発性残留物は、適した圧力に対し、コンポーネントを有する処理チャンバのポンプダウンに要する時間を増やす。酸素形成の抑制は、金属から形成された表面２６にとって特に重要であるのは、これらの表面が本質的に酸化を受けやすいからである。本質的に適した非酸化雰囲気は、酸素やオゾンのような酸化剤が好ましくは実質的に存在しないことである。例えば、実質的に適した非酸化雰囲気は、約１容量％未満の酸素ガス（例えば、約０．１容量％から約０．９容量％の酸素ガス、更には約０．５容量％の酸素ガス、約０．０１容量％の酸素ガス）を備える。
【００２０】
一変形例において、表面２６は、窒素を備える実質的に非酸化雰囲気内で加熱される。窒素含有雰囲気は、表面の酸化を抑制する為に、十分な濃度の窒素ガス（Ｎ２）を備える。適した窒素の濃度は、少なくとも約９９容量％の窒素ガス（例えば、９９．０容量％から約９９．９容量％の窒素ガス）、更には少なくとも９９．５容量％の窒素ガス（例えば、９９．９９容量％の窒素ガス）でもよい。表面２６は、構造体２４を炉や加熱オーブンのような加熱チャンバ（図示せず）内に置くこと、加熱チャンバ内に所望の組成の窒素ガスを維持することにより、窒素含有雰囲気内で加熱可能である。一変形例において、加熱チャンバから、酸素ガスのような酸化剤をパージする為に、窒素ガスは、連続して加熱チャンバ内にコンポーネント２０の表面２６全面に流される。加熱チャンバ内のガス圧力は、通常、約大気圧（１０１キロパスカル）である所定範囲に維持されてもよい。
【００２１】
他の変形例において、表面２６は、低い圧力雰囲気内で表面２６を維持することにより、実質的に非酸化雰囲気内で加熱される。例えば、表面２６は、真空圧力を維持する能力がある加熱チャンバ内で加熱可能である。表面２６付近でガスの低圧力を維持することにより、表面２６と反応し、表面２６を酸化し得る酸化種を少なく提供する。一変形例において、表面２６は、表面２６付近の雰囲気の大気圧（〜１０１キロパスカル）未満の圧力（例えば、少なくとも１３．３パスカル（〜１００ミリトルから約１３．３キロパスカル（〜１００トル）、更には、少なくとも約１３．３キロパスカル（〜１００トル））未満の圧力を維持して加熱される。さらに、低圧雰囲気内で表面２６から残留物を蒸発させるのに適した温度は、およそ大気圧の雰囲気内で必要な温度より低い場合がある。これは、高熱により簡単に変形または反る表面２６にとって本質的に有利であるかもしれない。真空圧で表面２６から残留物を蒸発させるのに適した温度の一例は、少なくとも約８０℃の温度（例えば約８０℃から約１２０℃）、更には、約１００℃から約１２０℃でもよい。
揮発性残留物を除去する為に表面２６を加熱した後、被覆２２は、表面２６の少なくとも一部にわたり再形成される。被覆２２は、表面２６上に揮発性材料の凝縮を減じる為に加熱された後、短期間で付けられるのが望ましい。表面は、短期間の間に被覆処理に適した温度まで冷却可能であってもよい。例えば、被覆２２は、加熱ステップが終了し、表面２６が約６０℃以下の温度に冷却した後、約５分未満で表面２６に付けられてもよい。
【００２２】
被覆２２は、磨き直し処理により除去された当初の被覆と同一または異なる層を備えてもよいが、例えば、基板処理チャンバ内で腐食に対し実質的な抵抗力を有する一以上の金属（アルミニウム、チタン、銅、クロムのうちの少なくとも一つ）を被覆２２は備えてもよい。被覆２２は、被覆２２と、下にある構造体２４との間に強い結合を与える方法により、下にある構造体２４を保護する為に付けられる。例えば、被覆２２は、一つ以上の化学的堆積処理、物理的堆積処理のうちの一以上の方法により、又は、フレームスプレー又は熱スプレー法（例えば、ツインワイヤスプレー法、プラズマアークスプレー法または酸素燃料ガス炎）により付けられる。被覆２２を有する磨き直されたコンポーネント２０の一実施例は、図１Ａに示されている。
【００２３】
一変形例において、被覆２２は、ツインワイヤアークスプレー処理により、洗浄された表面３０６に付けられる金属層を備えるが、ツインワイヤスプレー処理は、例えば、Lazard氏等に２００１年５月８日に発行された米国特許第６，２２７，４３５Ｂ１、Scruggs氏等に１９９７年１２月９日に発行された米国特許第５，６９５，８２５号に説明されており、これらは、全体が本願に参考として組み込まれる。ツインワイヤアーク熱スプレー処理において、熱スプレー装置（図示せず）は、２本の消耗可能な電極を備え、これらは、電気アークをこれらの間に形成できるように、形作られ、角度付けされている。例えば、消耗可能な電極は、表面上に被覆される金属から形成されるツインワイヤを備えてもよく、これらは、互いに角度が付けられ、最も近い位置の付近で電気放電を形成可能である。電気アーク放電は、キャリアガス（空気、窒素、アルゴンのうちの一以上）が電極間に流されるとき、消耗可能な電極間で発生される。電極間のアークは、電極上の金属を原子化し、少なくとも部分的に液化させ、アークしている電極によりエネルギーが与えられたキャリアガスは、熱スプレーの外に、下にある構造体２４の表面２６に向かって、溶融粒子を推進する。溶融粒子は、下にある構造体２４の表面に衝突し、コンフォーマル被覆２２を形成するように冷却され、凝縮する。ワイヤが消耗可能電極として使用されるとき、ワイヤが連続して熱スプレーに提供され、金属材料の連続供給を与えてもよい。
【００２４】
熱スプレー中の動作パラメータは、被覆材料用途の特性を調整する為に適するように選択されるが、それが熱スプレー装置から下にある構造体の表面２６まで移動されるときの被覆材料の温度や速度は一例である。例えば、ガス流、電力レベル、パウダー供給速度、キャリアガス流、熱スプレー装置から表面２６までのスタンドオフ距離、表面２６に対する被覆材料の堆積角度は、下にある構造体表面２６に対する被覆２２の後の付着や被覆材料の塗布を改善するように選択可能である。例えば、消耗可能な電極間の電圧は、約１０Ｖから約５０Ｖまでで選択可能である。さらに、消耗可能な電極間を流れる電流は、約１００Ａから約１０００Ａまで（例えば、約２００Ａ）に選択可能である。熱スプレー装置の電力レベルは、通常、約６ｋＷから約８０ｋＷまでの範囲内（例えば、約１０ｋＷ）である。
【００２５】
スタンドオフ距離および堆積角度は、表面２６上の被覆材料の堆積特性も調整するように選択可能である。例えば、スタンドオフ距離および堆積角度は、例えば「パンケーキ」と「ひだ」パターンを形成する為に、溶融被覆材料が表面に衝突して飛び散るパターンを修正するように調整可能である。スタンドオフ距離および堆積角度は、また、被覆材料の液滴サイズ、位相、速度を、それが表面２６と衝突するときに修正するようにも調整可能である。一実施形態において、熱スプレーと表面との間のスタンドオフ距離が約１５ｃｍ、被覆材料の表面２６上の堆積角度が約９０°である。
【００２６】
被覆材料の速度は、表面２６上に被覆材料を適切に堆積するように調整可能である。一実施形態において、粉にされた被覆材料の速度は、約１００から約３００ｍ／秒である。また、熱スプレー装置は、被覆材料の温度が少なくともほぼ溶融温度となるように、被覆材料が表面に衝突するときに適合される。溶融点を超える温度は、高い密度および結合力を生じ得る。例えば、電気放電付近のエネルギーが与えられたキャリアガスの温度は、５０００℃を超える場合がある。しかし、電気放電付近のエネルギーが与えられたキャリアガスは、また、被覆材料が表面２６に衝突する際の時間の間、溶融されたままであるのに十分に低く設定可能である。例えば、適切な時間は、少なくとも数秒でもよい。
【００２７】
熱スプレー処理パラメータは、所望の構造体と表面特性（例えば、所望の被覆暑さ、被覆表面粗さ、被覆のポロシテー（空隙率）、であって、被覆されたコンポーネントの性能を改善するのに貢献するもの）を有する被覆２２を提供するように選択されるのが望ましい。被覆２２の厚みは、下にある構造体２４に被覆２２が良好に付着するか、コンポーネント２０の腐食抵抗に影響し得る。被覆２２の適切な厚みは、例えば、約１５２マイクロメートル（０．００６インチ）から約５０８マイクロメートル（０．０２インチ）でもよい。アルミニウム被覆２２により覆われた、下にある構造体２４（例えば、被覆されたステンレス鋼やチタン構造体）にとって、被覆２２の適切な厚みは、約２５４マイクロメートル（０．０１インチ）から約５０８マイクロメートル（０．０２インチ）（例えば、約３０４マイクロメートル（０．０１２インチ））でもよい。熱スプレー処理パラメータは、また、処理残留物が付着可能なテクスチャー加工表面２８を有する被覆２２を提供するように選択されてもよい。例えば、被覆２２は、約２５マイクロメートル（１０００マイクロインチ）から約５０．８マイクロメートル（２０００マイクロインチ）までの表面粗さを有するテクスチャー加工された表面２８を有してもよい。
【００２８】
いったん被覆２２が付けられたら、被覆２２の表面２８は、緩んだ被覆粒子や他の汚染物質が洗浄されてもよい。表面は、オプションとして超音波的にコンポーネント２０をかき混ぜることにより、水、酸性洗浄溶液、アルカリ性洗浄溶液を含む洗浄流体（少なくとも前述された洗浄流体のうちの少なくとも一つ）で洗浄可能である。一変形例において、表面２８は、脱イオン水ですすぐことにより洗浄される。
【００２９】
被覆表面２８は、その後、ポストベーキングステップでベーキング可能であり、洗浄及び／又は被覆処理により残された揮発性材料の全てを除去する。最適なポストベーキングステップは、少なくとも約１００℃の温度（約１００℃から約１３０℃、更には、少なくとも約１４０℃）まで少なくとも約３０分（約３０分から約２時間、更には約３時間）の間、表面２８を加熱する工程を備える。例えば、アルミニウムを備える被覆２２に対しては、表面２８は、約１００℃から約１２０℃まで少なくとも約１時間の間、加熱可能である。実質的に非酸化雰囲気が提供可能であるが、非酸化雰囲気内でポストベーキングステップを実行することが常に必要であるわけではない。一変形例では、エネルギーが与えられたガスによる腐食に抵抗力を与える為に、被覆表面２８上に酸化物を形成することが望ましい場合もある。
【００３０】
揮発性残留物３０を除去する為に、表面２６全面に被覆２２を付ける前に実質的に非酸化雰囲気中でコンポーネント２０の表面２６を加熱する予備ベーキングステップを行うことにより、コンポーネント２０の性能を高め、処理効率を改善することができる。一変形例において、実質的に非酸化予備ベーキングステップで新たに磨き直されたコンポーネント２０を有するチャンバ１０６は、約６．７×１０−５Ｐａ（〜５×１０−７トル）という所望圧力まで、単に２時間のポンプダウンを必要とするだけであった。比較すると、実質的に非酸化予備ベーキングステップを有することなく準備されたコンポーネントを有する同一チャンバ１０６は、同一圧力までポンプダウンするのに少なくとも約１８時間を要する。したがって、実質的に非酸化予備ベーキングステップで磨き直されたコンポーネント２０は、予備ベーキングステップを有することなく準備されたコンポーネントより、所望の圧力が得られる速度は少なくとも９倍は高いので、コンポーネント２０を有するチャンバ１０６が作動可能な効率を改善する。
【００３１】
当該処理に従って磨き直されたコンポーネントを有する適切な処理チャンバ１０６の一実施例は、図３に示されている。チャンバ１０６は、相互接続されたチャンバのクラスタが、チャンバ１０６間で基板１０４を移送するロボットアーム機構により接続されたマルチチャンバプラットフォーム（図示せず）の一部でもよい。一実施形態において、チャンバ１０６は、予備洗浄チャンバ１０６を備え、予備洗浄チャンバ１０６は、基板１０４を洗浄する能力があり、後の体積ステージ前に、例えば、金属相互接続部（例えば、銅、アルミニウム、金属シリサイド）の表面から本来の酸化物を除去する。当該方法により洗浄されたコンポーネントが提供可能な予備洗浄チャンバ１０６は、ＰＣＩＩチャンバであり、これは、サンタクララのアプライドマテリアルズ社から入手可能である。チャンバ１０６は、包囲壁１１８を備え、包囲壁１１８は、処理領域１０９を囲み、側壁１６４、底壁１６６、天井１６８を含む。他のチャンバ壁は、一以上のシールド１２２を含み、シールド１２２は、処理領域内の作動ガスから包囲壁をシールドする。
【００３２】
洗浄ガスのような処理ガスは、処理ガス供給装置を含むガス分配システム１１２を介してチャンバ１０６内に導入されるが、処理ガス供給装置は、一以上のガス源１７４を備え、ガス源１７４は、少なくとも１以上の導管１７６を補給し、導管１７６は、ガス流制御バルブ１７８（例えば、質量流量コントローラ）を有し、一セットのガス流速を通過させる。ガス導管は、チャンバ１０６内に一以上のガス出口１８２を有するガス分配装置１８０を補給する。ガス分配装置１８０は、また、シャワーヘッドガス分配装置（図示せず）を備えてもよい。処理ガスは、表面１０４から本来の酸化物のような材料に衝突またはスパッタリングする為にエネルギーが与えられる能力があるアルゴンやゼオンのような不活性ガスを備えてもよい。処理ガスは、また、基板１０４上の本来の酸化物のような材料と反応する能力がある水素含有ガスのような反応ガスを備えてもよい。消費された処理ガス及び副産物は、消費された処理ガスを受けて消費ガスを排気導管１８６に通過させる一以上の排気ポート１８４を含む排気装置１２０を通って、チャンバ１０６から、チャンバ１０６内のガスの圧力を制御する為のスロットルバルブ１８８が内部にある排気導管１８６まで、排気される。排気導管１８６は、一以上の排気ポンプ１９０を補給する。通常、チャンバ１０６内のガス圧力は、大気圧未満のレベルに設定されている。
【００３３】
処理ガスは、基板１０４を処理するように、エネルギーをチャンバ１０６の処理領域１０９内の処理ガスに結合するガスエナジャイザー１１６によりエネルギーが与えられる。一変形例において、ガスエナジャイザー１１６は、一以上の誘導コイル１７９を備えるアンテナ１７５を備え、誘導的にエネルギーを処理ガスに結合させる。さらに、ガスエナジャイザー１１６は、ＲＦ電源のようなアンテナ電源１８１を備え、アンテナ１７５に電力レベルを与える。ガスエナジャイザー１１６は、更に、処理電力を備えてもよく、処理電極は、処理ガスにエネルギーを与える為に、電極用電源１５９により電力が与えられてもよい。処理電極は、チャンバ１０６の側壁１６４又は天井１６８であっても、側壁１６４又は天井１６８の内部にあってもよく、基板１０４の下方で支持体１１４内の電極１３９のような他の電極と容量的に結合可能である。
【００３４】
チャンバ１０６は、基板支持体１１４を備え、基板１０４を支持する。基板支持体１１４は、電気的に浮動でもよいが、ＲＦ電源のような電極用電源１５９により附勢される電極１３９を備えてもよい。基板支持体１１４は、また、基板１０４が存在しないとき、支持体１１４の上面１３４を保護可能なシャッタディスクを備えてもよく、更に、支持体１１４の表面１３４を保護するカバーリングのような一以上のリングを備えてもよい。動作において、基板１０４は、チャンバ１０６の側壁１６４内の基板ローディング用入口（図示せず）を通ってチャンバ１０６内に導入され、支持体１１４上に置かれる。支持体１１４は、支持リフトベローズにより上下動可能であり、リフトフィンガーアセンブリ（図示せず）は、基板１０４をチャンバ１０６内外に移動する際、支持体１１４上の基板を上下動させる。
【００３５】
チャンバ１０６は、プログラムコードを備えるコントローラ１９４により制御可能であるが、プログラムコードは、図３に例示されるように、チャンバ１０６内で基板１０４を処理する為に、チャンバ１０６のコンポーネントを作動する指令セットを有する。例えば、コントローラ１９４は、チャンバ１０６内で基板１０４を位置決める為に一以上の基板支持体１１４と基板移動装置を作動するように設定された基板位置決め指令；チャンバ１０６に対するガス流を設定する為に、ガス分配システム１１２と流量制御バルブ１７８を作動するように設定されたガス流制御指令；チャンバ１０６内の圧力を維持する為に、排気装置１２０とスロットルバルブ１８８を作動するように設定されたガス圧制御指令；ガスエナジャイザー電力レベルを設定する為に、ガスエナジャイザー１１６を作動するように設定されたガスエナジャイザー制御指令；チャンバ１０６内で温度を制御するように設定された温度制御指令；チャンバ１０６内で処理をモニタするように設定された処理モニタ指令；を備えてもよい。
【００３６】
本発明の例示実施形態が示され、説明されてきたが、当業者は、本発明を具体化し、また、本発明の範囲内にある他の実施形態を案出可能である。例えば、本願で説明された例示的コンポーネント以外の他のチャンバコンポーネントも同様に洗浄可能である。さらに、説明されてきたステップ以外の追加の洗浄ステップも同様に実施可能であり、洗浄ステップは、説明された以外の順番で実施されてもよい。さらに、例示的実施形態に関して示された相対的または前後関係に依存する用語は、相互に交換可能である。そのため、添付された請求項は、好ましい変形例、材料、本発明を例示する為に説明された空間的配置に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１Ａ】図１Ａは、上に横たわる被覆を有する一実施形態に係るコンポーネントの概略側面図である。
【図１Ｂ】図１Ｂは、被覆を除去した後、コンポーネントの、晒された表面に揮発性残留物を有する、図１Ａのコンポーネントの概略側面図である。
【図１Ｃ】図１Ｃは、予備ベーキングステップが行われた後の、図１Ｂのコンポーネントの概略側面図である。
【図２】図２は、コンポーネントの磨き直し処理の一実施形態を例示するフローチャートである。
【図３】図３は、一以上の被覆されたコンポーネントを有する処理チャンバの一実施形態の概略側面図である。
【符号の説明】
【００３８】
２０…コンポーネント、２２…被覆、２４…構造体、２６…表面、２８…表面、３０…残留物、３２…ブラスト処理用ビーズ、１０４…基板、１０６…チャンバ、１０９…処理領域、１１２…ガス分配システム、１１４…基盤支持体、１１６…エナジャイザー、１１８…包囲壁、１２０…ガス排気装置、１２２…シールド、１３９…電極、１６４…側壁、１６６…底壁、１６８…天井、１７４…ガス源、１７５…アンテナ、１７６…導管、１７８…ガス流制御バルブ、１７９…誘導コイル、１８０…ガス分配装置、１８２…ガス出口、１８６…排気導管、１８８…スロットルバルブ、１９０…排気ポンプ、１９４…コントローラ。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図２】
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【図３】
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【外国語明細書】
2005317974000001.pdf