(57)【要約】【課題】装置全体の小型化及び装置の利便性を確保することにある。【解決手段】スライドテーブル２４の変位量を調整する変位量調整手段として、前記スライドテーブル２４の底面に形成された切欠部３４に臨み、シリンダ本体２２の上面に固定されるストッパ３６と、前記スライドテーブル２４に進退自在に設けられ前記切欠部３４に連通するねじ孔９１に螺入されるアジャスタボルト９０とを有する。【選択図】図２
2005315268.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体出入ポートに連通するシリンダ室が形成されたシリンダ本体と、
前記シリンダ本体の軸線方向に沿って往復動作するスライダと、
前記シリンダ室に沿って摺動自在に配設されるピストンの変位作用下に前記スライダを往復動作させるシリンダ機構と、
前記スライダを前記シリンダ本体の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、
前記スライダの変位量を調整する変位量調整手段と、
を備え、
前記変位量調整手段は、前記シリンダ本体と前記スライダとの間に形成された切欠部に臨み前記シリンダ本体又は前記スライダのいずれか一方に固定されるストッパと、いずれか他方に進退自在に設けられるアジャスタボルトとを含むことを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記変位量調整手段は、前記シリンダ本体に取付部材を介して固定される他のアジャスタボルトを有し、前記他のアジャスタボルトが前記スライダの端面に当接することを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記ピストンにはシリンダ本体の外部に露呈するピストンロッドが連結され、前記ピストンロッドとスライダとの結合部分には、フローティング機能を有する第１ブッシュ及び第２ブッシュが設けられ、前記スライダと接触する前記第１ブッシュ及び第２ブッシュの接触面にはシールリングが装着されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項４】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記シリンダ本体には、吸引用ポートが設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項５】
請求項４記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記シリンダ本体の内部にはピストンロッドを変位自在に軸支するロッドカバーが装着され、前記ロッドカバーには、前記吸引用ポートに連通する複数の孔部が形成されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記シリンダ本体の側面には、該シリンダ本体の軸線方向からの配管取り出しが可能な配管用部材が設けられることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１記載のリニアアクチュエータにおいて、
前記スライダは、金属射出成形又は鋳造成形により一体成形されることを特徴とするリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体出入ポートから圧流体を導入することにより、シリンダ本体の軸線方向に沿ってスライダを往復動作させるリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワーク等の搬送手段としてリニアアクチュエータが用いられている。このようなリニアアクチュエータは、シリンダ本体に沿ってスライドテーブルを直線状に往復動作させることにより、前記スライドテーブルに載置されたワークを搬送している。
【０００３】
従来技術に係るリニアアクチュエータでは（例えば、特許文献１参照）、ピストンを移動可能に内在するシリンダ本体と、ピストンに連結されシリンダ本体の側部から外部に向かって突出するロッドと、前記ロッドの一方の端部に連結される垂下部を有し前記シリンダ本体の軸線方向に沿って変位自在に設けられたテーブルと、前記シリンダ本体の上面に膨出形成されたガイドレール部に沿って摺動するガイドブロックを有するリニアガイドとから構成されている。
【０００４】
このリニアアクチュエータは、シリンダ本体の側部に設けた前進用のポートに空気を供給すると、ピストンが移動してシリンダ本体の上面に取り付けられたテーブルも一体的に移動する。そして、テーブルはシリンダ本体との間に設けられたリニアガイドによって円滑に案内されて直線状に往復動作することができる。
【０００５】
【特許文献１】実用新案登録第２５４０５９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このリニアアクチュエータでは、シリンダ本体から外部に突出し、テーブル（垂下部）とは反対側のロッドの他方の端部にストッパが連結され、前記ストッパがシリンダ本体の端面に当接することによりテーブルの前進端を規制する構造が採用されている。そこで、ストッパを有するロッドは、テーブルが移動するストローク長だけシリンダ本体の外部に向かって突出することになり、リニアアクチュエータの全体のコンパクト化が図れない。また、このリニアアクチュエータでは、テーブルの後進端を規制する手段が何ら設けられておらず、前記テーブルの後進のストローク量を任意に調整することができない。従って、装置全体の小型化及び装置の利便性を確保することができないという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような問題を考慮してなされたものであり、装置全体の小型化及び装置の利便性を確保することを可能にするリニアアクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この項では、理解の容易化のために添付図面中の符号にかっこを付けて説明する。但し、この項に記載した内容がその符号を付けたものに限定して解釈されるものではない。
【０００９】
本発明は、流体出入ポート（６４ａ、６４ｂ、６６ａ、６６ｂ）に連通するシリンダ室（６０、６２）が形成されたシリンダ本体（２２）と、
前記シリンダ本体（２２）の軸線方向に沿って往復動作するスライダ（２４）と、
前記シリンダ室（６０、６２）に沿って摺動自在に配設されるピストン（４６）の変位作用下に前記スライダ（２４）を往復動作させるシリンダ機構と、
前記スライダ（２４）を前記シリンダ本体（２２）の軸線方向に沿って案内するガイド機構と、
前記スライダ（２４）の変位量を調整する変位量調整手段と、
を備え、
前記変位量調整手段は、前記シリンダ本体（２２）と前記スライダ（２４）との間に形成された切欠部（３４）に臨み前記シリンダ本体（２２）又は前記スライダ（２４）のいずれか一方に固定されるストッパ（３６）と、いずれか他方に進退自在に設けられるアジャスタボルト（９０）とを含むことを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、例えば、切欠部に臨むストッパをシリンダ本体の上面に形成し、スライダに進退自在に設けられたアジャスタボルトが前記ストッパに当接することにより、前進端におけるストローク量が規制される。従って、従来技術と比較してアジャスタボルトがシリンダ本体の軸線方向から突出する量が抑制されて該シリンダ本体の軸線方向に沿った寸法を短縮して小型化を図ることができる。
【００１１】
この場合、前記変位量調整手段は、さらに、前記シリンダ本体に取付部材を介して固定される他のアジャスタボルトを有し、前記他のアジャスタボルトが前記スライダの端面に当接することにより、例えば、スライドテーブルの後進端のストローク量を規制するようにするとよい。
【００１２】
また、前記ピストンにはシリンダ本体の外部に露呈するピストンロッドが連結され、前記ピストンロッドとスライダとの結合部分には、フローティング機能を有する第１ブッシュ及び第２ブッシュが設けられ、前記スライダと接触する前記第１ブッシュ及び第２ブッシュの接触面にはシールリングが装着されるとよい。
【００１３】
さらに、前記シリンダ本体に吸引用ポートが設けられることにより、例えば、清浄性が要求されるクリーンルーム等で好適に使用することができる。この場合、ロッドカバーには、前記吸引用ポートから真空引きしたときに前記ピストンロッドの軸受け部分やロッドパッキンとの摺動部位で発生した塵埃等を吸引するための複数の孔部が形成されるとよい。
【００１４】
さらにまた、前記シリンダ本体の側面に該シリンダ本体の軸線方向からの配管取り出しが可能な配管用部材が設けられることにより、配管取り出しの自由度を向上させることができる。
【００１５】
なお、前記スライダを金属射出成形又は鋳造成形により一体成形することにより、低コストで簡便に製造することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係るリニアアクチュエータによれば、従来技術と比較して、アジャスタボルトがシリンダ本体の軸線方向から突出する量が抑制されることにより、装置全体の小型化及び装置の利便性を確保するという効果を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係るリニアアクチュエータについて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。
【００１８】
図１において参照数字は２０は、本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータを示す。このリニアアクチュエータ２０は、シリンダ本体２２と、前記シリンダ本体２２の長手方向に沿って直線状に往復動作するスライドテーブル（スライダ）２４と、前記シリンダ本体２２の一方の側面部に螺子止めされるセンサ取付用レール２６とを有する。
【００１９】
図１及び図２に示されるように、前記シリンダ本体２２の上面部には、該シリンダ本体２２の軸線方向に沿って延在するガイド部２８が該シリンダ本体２２と一体的に膨出形成され、前記ガイド部２８の相互に対向する両側面には、複数のボールベアリング３０が転動するボール転動溝３２ａ、３２ｂが長手方向に沿って形成される。
【００２０】
また、図２に示されるように、前記シリンダ本体２２の上面に対向する前記スライドテーブル２４の下面には、矩形状の切欠部３４が形成され、前記切欠部３４の内部には、シリンダ本体２２の上面に固設されたストッパ３６が臨むように設けられる。この場合、前記ストッパ３６は、円柱部を有するねじ部材からなり、シリンダ本体２２の上面の略中央部に形成されたねじ孔３７に螺入することにより固定される。
【００２１】
さらに、図２に示されるように、前記シリンダ本体２２の内部には軸線方向に沿って貫通孔４０が形成され、前記貫通孔４０内には、外周面にピストンパッキン４２及びダンパ４４が装着されたピストン４６と、前記ピストン４６に連結されたピストンロッド４８とが収装される。
【００２２】
この貫通孔４０の一端部は、エンドキャップ５０によって気密に閉塞され、該エンドキャップ５０は、シリンダ本体２２の底面側から孔５２に沿って挿入される係止片５４が該エンドキャップ５０に形成された係止用溝部５０ａに係合することによって抜け止めされている。前記貫通孔４０の他端部は、ピストンロッド４８の外周面に摺接し、前記貫通孔４０内に保持されたロッドパッキン５６及びロッドカバー５８によって閉塞される。
【００２３】
なお、前記ロッドカバー５８は、樹脂製材料によって形成された略円筒体からなり、シリンダ本体２２の端面にねじを介して装着されるプレート６１によって抜け止めされる。前記ロッドカバー５８は、ピストンロッド４８の軸受けとして機能するものであり、該ロッドカバー５８には、後述するバキュームポート１０８ａ（１０８ｂ）から真空引きしたときに前記ピストンロッド４８の軸受け部分やロッドパッキン５６との摺動部位で発生した塵埃等を吸引するための孔部５９ａ〜５９ｄが周方向に沿って９０度の離間角度で複数形成されている。
【００２４】
この場合、貫通孔４０を閉塞するエンドキャップ５０とロッドカバー５８とによって、実質的に、第１シリンダ室６０及び第２シリンダ室６２が形成される（図４参照）。
【００２５】
また、シリンダ本体２２の相互に対向する両側面には、一組の第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂ及び第２流体出入ポート６６ａ、６６ｂが該シリンダ本体２２の軸線を対称軸としてそれぞれ線対称な位置に配置され、前記第１流体出入ポート６４ａ、６４ｂは第１シリンダ室６０に連通し、第２流体出入ポート６６ａ、６６ｂは第２シリンダ室６２にそれぞれ連通するように形成されている。
【００２６】
前記ピストンロッド４８の先端部には、スライドテーブル２４とピストンロッド４８との間の偏位を吸収するフローティング機構が設けられる。このフローティング機構は、クリアランス６７を介してスライドテーブル２４を挟持する第１ブッシュ６８と第２ブッシュ７０とから構成される。
【００２７】
さらに、図２に示されるように、スライドテーブル２４は、平板状のテーブル部７２と折曲部７４とからなる断面略Ｌ字状であり、金属射出成形により一体成形されているが、鋳造により一体成形されてもよい。なお、前記折曲部７４に形成された孔部内に図示しない緩衝部材が挿入され、前記緩衝部材はスライドテーブル２４の一方の変位終端位置において、前記折曲部７４がシリンダ本体２２の端面に当接する際に発生する衝撃を緩和する機能を営む。
【００２８】
さらに、スライドテーブル２４の折曲部７４を挟持する前記第１及び第２ブッシュ６８、７０の接触面には、環状溝を介してＯリング（シールリング）７１が嵌合されている。前記Ｏリング７１は、前記第１及び第２ブッシュ６８、７０がフローティングする際に発生する塵埃を外部に流出することを阻止する機能を営む。また、前記第１及び第２ブッシュ６８、７０のフローティングを確保する為に折曲部７４との間にクリアランス６７が形成されるが、前記Ｏリング７１が弾性変形して前記クリアランス６７を充足してガタが発生することを防止することができる。
【００２９】
前記テーブル部７２には、４個のワーク保持用孔部８０ａ〜８０ｄと、円形孔部及び長穴からなる位置決め用孔部８１ａ、８１ｂと、シリンダ本体２２の取付用孔部８２ａ〜８２ｄに対応し、かつ、貫通する４個の通し穴８４ａ〜８４ｄとが形成される（図２参照）。この場合、前記通し穴８４ａ〜８４ｄを通じてテーブル部７２の上面側から図示しない取付用ボルトを取付用孔部８２ａ〜８２ｄに螺入してシリンダ本体２２を他の部材に取り付け、あるいはシリンダ本体２２の底面側からボルトを取付用孔部８２ａ〜８２ｄに直接螺入して取り付けることが可能である。このように、作業者は、リニアアクチュエータ２０の取付方向を上方向、下方向のいずれかを選択することができる。
【００３０】
なお、通し穴８４ａは切欠部３４に連通するように設けられている。従って、前記通し穴８４ａの位置とねじ孔３７の位置とが略一致するようにスライドテーブル２４を任意に移動させ、前記通し穴８４ａを挿通して前記ストッパ３６を前記シリンダ本体２２の上面のねじ孔３７に螺入することにより該ストッパ３６がシリンダ本体２２に固定される。
【００３１】
図２に示されるように、前記スライドテーブル２４の下面部には、シリンダ本体２２の上面部に長手方向に沿って延在するガイド部２８に対応する凹部が形成され、該凹部には相互に対向する一組のボール転動溝８６ａ、８６ｂが長手方向に沿って形成される。
【００３２】
図２に示されるように、前記スライドテーブル２４の一端面には、変位量調整手段として機能するアジャスタボルト９０が螺入されるねじ孔９１が形成され、前記ねじ孔９１は切欠部３４に連通するように設けられる。前記アジャスタボルト９０の先端部には、例えば、ウレタン等のゴム製材料からなる緩衝部材９４が装着され、ロックナット９２を介して所望の位置に固定される。また、前記スライドテーブル２４の一端面には、ボール転動溝３２ａ、３２ｂ、８６ａ、８６ｂに沿って転動するボールベアリング３０の脱落を阻止するプレート８８が装着される。
【００３３】
なお、本実施の形態では、シリンダ本体２２とスライドテーブル２４との間に形成された切欠部３４に臨むストッパ３６をシリンダ本体２２に固定し、且つアジャスタボルト９０をスライドテーブル２４に進退自在に設けているが、これに限定されるものではなく、例えば、シリンダ本体２２に形成された切欠部３４に臨むストッパ３６をスライドテーブル２４に固定し、且つアジャスタボルト９０をシリンダ本体２２に進退自在に設けるように構成してもよい。
【００３４】
また、前記シリンダ本体２２の一端面には、略Ｌ字状のアジャスタ用プレート（取付部材）９３がボルト９５ａ、９５ｂにより固定されている。前記アジャスタ用プレート９３の孔部９６には、スライドテーブル２４の変位量調整手段として機能するアジャスタボルト９８がロックナット１００を介して螺入され、該アジャスタボルト９８の先端部が、前記スライドテーブル２４の端面に当接するようになっている。この該アジャスタボルト９８の先端部にも、例えば、ウレタン等のゴム製材料からなる緩衝部材１０２が装着される。
【００３５】
スライドテーブル２４が前進する場合（図１の矢印Ａ方向）、アジャスタボルト９０はスライドテーブル２４と一体的に変位し、緩衝部材９４がシリンダ本体２２の上面に固定されたストッパ３６に当接することにより、スライドテーブル２４の移動が規制される。
【００３６】
一方、スライドテーブル２４が後退する場合（図２の矢印Ｂ方向）、スライドテーブル２４が変位し、該スライドテーブル２４の端面がシリンダ本体２２の端面にアジャスタ用プレート９３を介して固定されたアジャスタボルト９８に当接することにより、スライドテーブル２４の移動が規制される。
【００３７】
換言すると、シリンダ本体２２に対するスライドテーブル２４の前進端のストローク規制は、ストッパ３６に当接する一方のアジャスタボルト９０によって行われ、シリンダ本体２２に対するスライドテーブル２４の後進端のストローク規制は、スライドテーブル２４の端面がアジャスタ用プレート９３に保持された他方のアジャスタボルト９８に当接することによって行われる。
【００３８】
そして、両アジャスタボルト９０、９８の先端に緩衝部材９４、１０２を設けることにより、スライドテーブル２４が変位終端位置に到達する際に前記スライドテーブル２４に付与される偏荷重を抑制させることができる。この結果、スライドテーブル２４に載置される図示しないワークに対して偏荷重が伝達されることを阻止することができる。
【００３９】
スライドテーブル２４をシリンダ本体２２の軸線方向に沿って案内するガイド機構は、前記シリンダ本体２２の上面部に一体的に膨出形成され、その両側面に相互に対向する一組のボール転動溝３２ａ、３２ｂが形成されたガイド部２８と、前記スライドテーブル２４の下面部の長手方向中央部に設けられた凹部の両側面に形成された一対のボール転動溝８６ａ、８６ｂとを含む。
【００４０】
図２に示される通り、前記シリンダ本体２２の一側面には、センサ取付用レール２６がねじ部材を介して着脱自在に設けられている。前記センサ取付用レール２６は、平面から見て略コの字状であり（図５参照）、両端面でそれぞれ螺入されて固定される。前記センサ取付用レール２６には断面円弧状の一条の長溝２７が軸線方向に沿って形成され、その所定部位には図示しないセンサが選択的に係着される。
【００４１】
前記センサ取付用レール２６の他方の側面には両端部を除いて前記シリンダ本体２２の側面から所定間隔だけ離間する間隙が形成され、該スライドテーブル２４の側面の所定部位には取付金具を介して磁性体２９が固定され、前記磁性体２９は前記間隙に沿って変位するように設けられる。
【００４２】
従って、スライドテーブル２４と一体的に変位する磁性体２９の磁界をセンサ取付用レール２６に装着された図示しないセンサによって検知することにより、前記スライドテーブル２４の位置が検出される。
【００４３】
なお、前記シリンダ本体２２の側面には、それぞれバキュームポート（吸引用ポート）１０８ａ、１０８ｂが設けられている。前記バキュームポート１０８ａ（１０８ｂ）に対して図示しない真空ポンプ等の吸収手段を接続し、第２シリンダ室６２からのエアー漏れやピストンロッド４８とロッドパッキン５６との摺動による発塵をロッドカバー５８に形成された孔部５９ａ〜５９ｄを介して真空引きすることにより、例えばクリーンルーム等の清浄性が要求される環境で好適に使用することができる。
【００４４】
本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。
【００４５】
図示しない流体圧供給源を付勢して圧力流体を第１流体出入ポート６４ａに供給する。この場合、他方の第２流体出入ポート６６ａは、図示しない切替弁の操作下に大気開放状態にしておく。
【００４６】
前記圧力流体は、第１流体出入ポート６４ａに連通する一方の第１シリンダ室６０に供給され、ピストン４６を図１の矢印Ａ方向に押圧する。前記ピストン４６の押圧作用下にピストンロッド４８に係合するスライドテーブル２４が図１の矢印Ａ方向に変位し、ボールベアリング３０の転動作用下に前記スライドテーブル２４が変位する。
【００４７】
前記スライドテーブル２４が図１の矢印Ａ方向（前進）に向かって変位する過程において、該スライドテーブル２４と一体的に変位するアジャスタボルト９０がシリンダ本体２２の上面に固定されたストッパ３６に当接することにより一方の変位終端位置に至る。この場合、ロックナット９２を緩めてアジャスタボルト９０のねじ込み量を調整することにより、スライドテーブル２４の変位量が増減変更しスライドテーブル２４の前進端の低置を調整することが可能となる。
【００４８】
前記とは逆に、前記スライドテーブル２４を矢印Ｂ方向（後退）に向かって変位させる場合には、他方の第２流体出入ポート６６ａに圧力流体を供給する。前記供給された圧力流体は他方の第２シリンダ室６２に導入され、ピストン４６を図１の矢印Ｂ方向に向かって押圧する。前記ピストン４６の押圧作用下に、ピストンロッド４８に係合するスライドテーブル２４が矢印Ｂに変位し、前記スライドテーブル２４の端面が前記アジャスタ用プレート９３を介してシリンダ本体２２の端面に固定されたアジャスタボルト９８に当接することにより他方の変位終端位置に至る。
【００４９】
アジャスタ用プレート９３の孔部９６に対する該アジャスタボルト９８のねじ込み量を調整することにより、スライドテーブル２４の変位量が増減変更し、該スライドテーブル２４の後進端における位置を調整することができる。また、アジャスタボルト９０及びアジャスタボルト９８の先端に、スライドテーブル２４と当接する際の衝撃を吸収する緩衝部材９４、１０２を設けることにより、偏荷重を抑制させることも可能となる。
【００５０】
この結果、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０では、装置全体の小型化、軽量化を図ることが可能となり、装置の利便性を向上させることができる。
【００５１】
次に、本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２００を図７及び図８に示す。なお、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００５２】
この第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２００では、前記シリンダ本体２２に対して、センサ取付用レール２６が連結される一方の側面と反対側の他方の側面に、別個に形成された配管用ブロック２０２が連結される点で相違している。前記配管用ブロック２０２には、長手方向に沿って貫通路２０４が設けられており、その一端には第３流体出入ポート２０６が設けられ、他端は鋼球２０８が圧入されて閉塞されている（図８参照）。
【００５３】
前記貫通路２０４と直交する方向に一組の螺子穴２１０、２１２が貫通形成されている。前記配管用ブロックの螺子穴２１０、２１２を貫通して、同一構成からなる配管用螺子（配管用部材）２１４、２１６がそれぞれ前記第１流体出入ポート６４ａ、前記第２流体出入ポート６６ａに螺入され、前記配管用ブロック２０２が前記シリンダ本体２２に固定される。
【００５４】
この場合、前記配管用螺子２１６には、図８に示されるように、軸線方向に沿って延在する流体通路２１８が設けられ、該流体通路２１８と直交する方向に連通路２２０が設けられ、前記第２流体出入ポート６６ａと前記第３流体出入ポート２０６とが連通する。なお、前記配管用螺子２１４と第１流体出入ポート６４ａとの間には、図示しない盲栓（例えば、鋼球）が装着されて前記第１流体出入ポート６４ａが閉塞されている。
【００５５】
また、前記シリンダ本体２２の端面に固定されるアジャスタ用プレート９３の略中央部には、第１シリンダ室６０に連通する第４流体出入ポート２２２が設けられる。この場合、シリンダ本体２２の貫通孔４０の一端部に装着されたエンドキャップ５０には、前記第４流体出入ポート２２２と第１シリンダ室６０とを連通させる図示しない連通路が形成されている。
【００５６】
第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２００では、第３流体出入ポート２０６及び第４流体出入ポート２２２が、それぞれ、シリンダ本体２２の端面側に設けられ、シリンダ本体２２の軸線方向からのみ配管の接続及び配管の取り出しができる点でより一層の利便性を有する。
【００５７】
なお、第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２００のその他の作用効果は、追加工によって設置の自由度が向上すること以外は、第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０と同様であるためその詳細な説明は省略する。
【００５８】
上述したように、第１及び第２実施の形態に係るリニアアクチュエータ２０、２００によれば、装置全体の小型化及び装置の利便性を確保することを可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図２】図１に示すリニアアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】図１に示すリニアアクチュエータの軸線方向からみた側面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿った縦断面図である。
【図５】図１に示すリニアアクチュエータの一部破断平面図である。
【図６】図１に示すリニアアクチュエータの一部破断側面図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係るリニアアクチュエータの斜視図である。
【図８】図７に示すリニアアクチュエータの一部破断平面図である。
【符号の説明】
【００６０】
２０、２００…リニアアクチュエータ    ２２…シリンダ本体
２４…スライドテーブル                ２６…センサ取付用レール
２８…ガイド部                        ３６…ストッパ
３７、９１…ねじ孔                    ４０…貫通孔
４８…ピストンロッド                  ５０…エンドキャップ
６０…第１シリンダ室                  ６２…第２シリンダ室
６４ａ、６４ｂ…第１流体出入ポート    ６６ａ、６６ｂ…第２流体出入ポート
６８、７０…ブッシュ                  ９０、９８…アジャスタボルト
９２、１００…ロックナット
【図１】
2005315268.tif 000003
【図２】
2005315268.tif 000004
【図３】
2005315268.tif 000005
【図４】
2005315268.tif 000006
【図５】
2005315268.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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