(57)【要約】【課題】アキシャル及びラジアル振れ精度、高分解、薄型で中大型化の要求の全てを十分に満足させる回転テーブル装置を提供すること。【解決手段】  案内装置と該案内装置に搭載した回転テーブルを具備する回転テーブル装置において、案内装置は、進行方向に不連続部のないリング状の一体型レール１１と、該レール１１に対して対向面より組み付けられる複数のガイドブロック１２を具備する構成であり、レール１１の前記対向面の反対側面と回転テーブル１４下面とを接合し、レール１１は断面が垂直部と該垂直部上端に回転テーブルの半径方向に延びる水平部を有する断面Ｌ字状であり、検知機構１６の被検知部１６ａであるテープ式スケールが前記レール１１の外周面に設けられている。【選択図】図３
2005205549.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内装置と該案内装置に搭載した回転テーブルを具備する回転テーブル装置において、
前記案内装置は、進行方向に不連続部のないリング状の一体型レールと、該レールに対して対向面より組み付けられる複数個のガイドブロックを具備する構成であり、
前記レールの前記対向面の反対側面と前記回転テーブル下面とを接合したことを特徴とする回転テーブル装置。
【請求項２】
請求項１に記載の回転テーブル装置において、
前記レールは横断面が垂直部と該垂直部上端に前記回転テーブルの半径方向に延びる水平部を有する略Ｌ字状であることを特徴とする回転テーブル装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の回転テーブル装置において、
前記回転テーブルの回転量を検知する検知機構を備え、該検知機構の被検知部であるテープ式スケールが前記レールの外周面に設けられていることを特徴とする回転テーブル装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の回転テーブル装置において、
前記ガイドブロックを固定する固定面を有する取付固定部を備え、該取付固定部は前記レール及びガイドブロックとは別体のベース部上の同一円周上に等配されて設置されていることを特徴とする回転テーブル装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の回転テーブル装置において、
前記レールには、該レール進行方向に沿って複数の転動体転走面が形成されており、
前記ガイドブロックは、前記転動体転走面と共に、負荷転動体転走路を形成する負荷転動体転走面と、該負荷転動体転走面に対応する転動体逃げ孔が形成されたガイドブロック本体と、前記負荷転動体転走路及び転動体逃げ孔と共に転動体循環路を形成する転動体転換路が形成され該ガイドブロック本体の前記レール進行方向両端に取付けた側蓋を具備する構成であることを特徴とする回転テーブル装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線検査装置等の高精度の検査を行う検査装置等を搭載するのに好適な高精度の回転テーブル装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来この種の回転テーブル装置の例としては特許文献１、２に開示された回転テーブル装置がある。特許文献１に開示された回転テーブル装置は、基台、基台上に設置された所定の回動中心を中心として回動される回動テーブル、基台と回動テーブルとの間に設置された回動案内部及び回動テーブルを回動案内部によって回動させる回動駆動源を有する回動駆動機構を備えて構成されている。そして回動案内部は複数の軌道部材で構成されたリング状の無端軌道と、該軌道上を摺動する複数の案内装置を具備する構成であり、該複数の案内装置に回転テーブルが搭載されている。
【０００３】
また、特許文献２に開示された回転テーブル装置は、リング状の一体型の無端軌道レールに多数の転動体を介して移動自在に組み付けられ、該無端軌道レール上を摺動する複数の摺動台とを備えた曲線案内装置を具備し、該曲線案内装置の複数の摺動台にテーブルを固定し、該曲線案内装置を介して、固定ベッドにテーブルを回転自在に支持した構成である。
【特許文献１】特開平９−１２５７３６号公報
【特許文献２】特開平８−２１４４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載の回転テーブル装置は、リング状（円環状）の無端軌道レール上を回転テーブルが搭載された複数のガイドブロック（摺動台）が摺動する構成であるが、無端軌道レールが複数の軌道部材で構成されているため、軌道部材と軌道部材の接続部が存在し、微少な段差が発生することが避けられず、また無端軌道レールが複数の軌道部材で構成されているため、無端軌道レールの高精度の同軸度を得ることができない。そのためアキシャル及びラジアル振れが大きく高精度の回転テーブル装置を得ることができないという問題がある。
【０００５】
また、特許文献２に記載の回転テーブル装置は、一体型の無端軌道レールを使用する点で、特許文献１のものよりアキシャル及びラジアル振れ精度の点では優れているが、無端軌道レールにガイドブロックを組み込むことができるようにするため、無端軌道レール及びガイドブロックの転動体転走溝がその断面において左右対象位置に設けていない等、無端軌道レール及びガイドブロックに特殊な構造を採用しているため高い精度を得ることが困難である。また、無端軌道レールの横断面が略矩形状であるため、該無端軌道レールを固定ベッド（ベース）に取付ける場合、無端軌道レールの表面にボルト穴等の取付けのための加工を施す必要があり、該加工部をガイドブロックが通過する際、その両端に取付けたシール部材等が加工部に摺接することにより発生する微少なトルクの変動が影響して高精度の回転テーブル装置が得られないという問題がある。
【０００６】
また、この種の回転テーブル装置としては上記特許文献１及び２に記載のもの以外に、例えばクロスローラガイド型、アギャラ型、テーパコロ型等の回転テーブル装置があるが、いずれもアキシャル及びラジアル振れ精度、高分解、薄型で中大型化の要求の全てを十分満足するものではなかった。本発明はこのアキシャル及びラジアル振れ精度、高分解、薄型で中大型化の要求の全てを十分に満足させることができる回転テーブル装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題解決するため請求項１に記載の発明は、案内装置と該案内装置に搭載した回転テーブルを具備する回転テーブル装置において、案内装置は、進行方向に不連続部のないリング状の一体型レールと、該レールに対して対向面より組み付けられる複数個のガイドブロックを具備する構成であり、レールの前記対向面の反対側面と回転テーブル下面とを接合したことを特徴とする。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の回転テーブル装置において、レールは断面が垂直部と該垂直部上端に回転テーブルの半径方向に延びる水平部を有する略Ｌ字状であることを特徴とする。
【０００９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の回転テーブル装置において、回転テーブルの回転量を検知する検知機構を備え、該検知機構の被検知部であるテープ式スケールがレールの外周面に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の回転テーブル装置において、ガイドブロックを固定する固定面を有する取付固定部を備え、該取付固定部はレール及びガイドブロックとは別体のベース部上の同一円周上に等配されて設置されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の回転テーブル装置において、レールには、該レール進行方向に沿って複数の転動体転走面が形成されており、ガイドブロックは、転動体転走面と共に、負荷転動体転走路を形成する負荷転動体転走面と、該負荷転動体転走面に対応する転動体逃げ孔が形成されたガイドブロック本体と、負荷転動体転走路及び転動体逃げ孔と共に転動体循環路を形成する転動体転換路が形成され該ガイドブロック本体のレール進行方向両端に取付けた側蓋を具備する構成であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、案内装置を進行方向に不連続部のないリング状の一体型レールと、該レールに対して対向面より組み付けられる複数個のガイドブロックを具備する構成とし、該レールの前記対向面の反対側面と回転テーブル下面とを接合し、レールを回転テーブルと共に回転させる構成とすることにより、例えば分割型のレールに比較し継ぎ目が無く、且つ高精度の同軸度を有するからアキシャル及びラジアル振れ精度において優れたものとなる。また、レールを回転テーブルに接合する構成とするので、特許文献２に示すような複数個のガイドブロックに回転テーブルが支持される構成とは異なり、回転テーブルの全周が断面略Ｌ字状のレールで支持されることになり、回転テーブルの剛性が増大し、その点でも精度が向上する。
【００１３】
請求項２に記載の発明によれば、レールにその断面が垂直部と該垂直部上端に回転テーブルの半径方向に延びる水平部を有する略断面Ｌ字状のレールを用い、レールと回転テーブルを接合するのに、レールの水平部と回転テーブルを接合することができ、ガイドブロックが摺動する垂直部面に取付ボルト等の取付け用穴等の加工を施す必要がなく、ガイドブロックが摺動するレール面は平滑の状態（無端軌道レールが高精度で製作された時の状態）に維持される。これによりガイドブロックの両端に設けたシール部材等がレールの取付加工部を通過する際発生するトルク変動がなく高精度の回転テーブル装置が実現できる。また、レールを略断面Ｌ字状とすることにより、断面二次モーメント及び断面積が大きくなるから、レールを高精度で研削加工し、その後の焼き入れ処理等の処理を行ってもこの高精度を維持でき、更に経時変化による歪も小さい。これによりアキシャル及びラジアル振れが小さい高精度の精度の回転テーブル装置が実現できる。
【００１４】
請求項３に記載の発明によれば、検知機構の被検知部であるテープ式スケールがレールの外周面に設けられているので、回転テーブルの回転（回転位置）を高い分解能で検知することが可能となり、微動回転制御が可能な回転テーブル装置が実現できる。
【００１５】
請求項４に記載の発明によれば、取付固定部がレール及びガイドブロックとは別体のベース部上の同一円周上に等配されて設置されているので、均等化効果により精度が向上すると共に、極薄型の回転テーブルが実現できる。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、ガイドブロックは、レールに形成された複数の転動体転走面と共に、負荷転動体転走路を形成する負荷転動体転走面と、該負荷転動体転走面に対応する転動体逃げ孔が形成されたガイドブロック本体と、負荷転動体転走路及び転動体逃げ孔と共に転動体循環路を形成する転動体転換路が形成され該ガイドブロック本体のレール進行方向両端に取付けた側蓋を具備する構成とするので、該ガイドブロックの特性を活かし、アキシャル及びラジアル方向の振れが小さく、極めて低いトルクで回転できる回転テーブル装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図１乃至図４は本発明に係る回転テーブル装置の構成を示す図で、図１は回転テーブル装置の平面図、図２は回転テーブル装置のトップテーブルを除去した平面図、図３（ａ）は回転テーブル装置の断面（図２のＸ−０−Ｘ’断面矢視図）、図３（ｂ）はＡ部分の拡大図、図４は回転テーブル装置の半側面図である。
【００１８】
本回転テーブル１０は進行方向に不連続部のない断面略Ｌ字型のリング状（円環状）の一体型レール１１と、該一体型レール１１に組みつけたられたガイドブロック１２を具備し、該ガイドブロック１２はベース１３上面の同一円周上に複数個（図では６個）等配に配置されている取付固定部１７の固定面に取り付けられている。ガイドブロック１２は後に詳述するようにレール１１に対向する水平部対向面より組みつけられる。レール１１のガイドブロック１２に対向する反対側面（上面）にはトップテーブル（回転テーブル）１４の下面が取り付けられている。１５はトップテーブル１４に回転力を与えるＤＤモータ（ダイレクト・ドライブモータ）であり、トップテーブル１４下面とベース１３上面の間に配置されている。ＤＤモータ１５はステータコア１５−１ａを具備するスタータ１５−１と、外周にマグネット１５−２ａを配設したロータ１５−２とを具備する構成であり、スタータコア１５−１ａに駆動電力を供給することにより、ロータ１５−２が回転され、該ロータ１５−２に結合されたトップテーブル１４が回転するようになっている。
【００１９】
１６は検知機構であり、該検知機構１６はベース１３の所定の位置に、その検知部（リニアエンコーダ）１６ａがレール１１の外周面に対向するように取り付けられている。また、リニアエンコーダの被検知部であるテープ式スケール２０がレール１１の外周面に取り付けられている（図５参照）。なお、１８はＤＤモータ１５に駆動電力を供給するモータケーブル、１９は磁極センサケーブルである。このモータケーブル１８と磁極センサケーブル１９は、ベース１３上面のガイドブロック１２とガイドブロック１２の間の間隙を通って配設されているので、トップテーブル１４の回転運動やレール１１の移動に支障を与えることがない。これに対して、例えば特許文献２に示す回転テーブル装置では、無端の軌道レール上をガイドブロックが移動する構成であるから、モータケーブル等を配設する場合、ベースに加工を施してガイドブロックの移動にモータケーブル等が支障とならないように配設する必要がある。
【００２０】
図５は本回転テーブルのレール１１にガイドブロック１２を組み付けた部分の構成を示す図であり、図６はガイドブロック１２を下方から見た図である。図示するように、レール１１はその半径方向断面がＬ字状となる。即ち、先端部がガイドブロック１２の開口部に挿入される垂直部１１ａと該垂直部１１ａ上端でトップテーブル１４の半径方向に延びる水平部１１ｂとからなるＬ字状である。また、レール１１の水平部１１ｂの外周面には上記リニアエンコーダの被検知部となるテープ式スケール２０を取付けている。
【００２１】
レール１１の垂直部１１ａのガイドブロック１２の開口部に挿入される部分の左右には突条２１、２２が左右対象に形成されている。突条２１の上下角部に転動体転走面（ここでは転動体転走溝）２１−１、２１−２が形成され、突条２２の上下角部に転動体転走面（ここでは転動体転走溝）２２−１、２２−２が形成されている。ここで、転動体転走面２１−１、２１−２と転動体転走面２２−１、２２−２はレール１１の横断面において左右対象位置に設けられた複数の転動体転走面となる。
【００２２】
ガイドブロック１２の本体であるブロック本体３１は断面コ字状で、その開口部を挟んで左右両側にスカート部３２、３３が形成された形状である。開口部の幅寸法（スカート部３２の内側面とスカート部３３の内側面の間隔）Ｌ１はレール１１の両突条２１、２２の先端間の幅寸法Ｌ２より大きく（Ｌ１＞Ｌ２）なっている。即ち、レール１１の垂直部１１ａの先端部はガイドブロック１２のブロック本体３１に開口部（レール１１に対する対向面）上方向から組み込むことができるようになっている。
【００２３】
また、ガイドブロック１２のスカート部３２の内側面にはレール１１の転動体転走面２１−１、２１−２に対応して負荷転動体転走面（ここでは転走溝）３２−１、３２−２がレール進行方向に設けられ、スカート部３３の内側面にはレール１１の転動体転走面２２−１、２２−２に対応して負荷転動体転走面（ここでは転走溝）３３−１、３３−２がレール１１の進行方向に設けられている。ここで負荷転動体転走面３２−１、３２−２と負荷転動体転走面３３−１、３３−２はガイドブロック１２のレール進行方向に直交する断面において左右対象位置に設けられた複数の負荷転動体転走面となる。また、スカート部３２には、負荷転動体転走面３２−１、３２−２に対応して転動体逃げ穴３２−３、３２−４が設けられ、スカート部３３には、負荷転動体転走面３３−１、３３−２に対応して転動体逃げ穴３３−３、３３−４が設けられている。
【００２４】
レール１１の転動体転走面２１−１、２１−２とガイドブロック本体３１の負荷転動体転走面３２−１、３２−２でそれぞれ負荷転動体転走路Ｒ１、Ｒ２が形成され、レール１１の転動体転走面２２−１、２２−２とガイドブロック本体３１の負荷転動体転走面３３−１、３３−２でそれぞれ負荷転動体転走路Ｒ３、Ｒ４が形成される。ガイドブロック本体３１のレール１１移動方向（軸方向）両端に側蓋３４、３５が設けられ、該側蓋３４、３５にはそれぞれ負荷転動体転走路Ｒ１、Ｒ２の転動体（ボールＢ）を転動体逃げ孔３３−３、３３−４又はその反対に移動させるための方向転換路Ｒ５、Ｒ６、負荷転動体転走路Ｒ３、Ｒ４の転動体（ボールＢ）を転動体逃げ孔３２−３、３２−４又はその反対に移動させるための方向転換路Ｒ７、Ｒ８が設けられている。
【００２５】
即ち、レール１１の移動に伴って多数の転動体（ボールＢ）は負荷転動体転走路Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、転動体逃げ孔３２−３、３２−４、３３−３、３３−４及び方向転換路Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８で構成される転動体循環路（図では４本の転動体循環路を構成している）を転走循環する。なお、ここで転動体として、上記例ではボールＢを用いる例を示したが、転動体としてはローラを用いる場合もある。
【００２６】
上記のように、ガイドブロック本体３１は開口部寸法Ｌ１はレール１１の両突条２１、２２の先端間の幅寸法Ｌ２より大きく（Ｌ１＞Ｌ２）なるから、無端の一体もののリング状レール１１をガイドブロック本体３１の開口部の上方から組み込むことができる。そして、側蓋３４、３５はそれぞれ２分割してレール１１の側方から組み付けることができるようにする。
【００２７】
図７は側蓋３４の構成例を示す図で、図７（ａ）は分解平面図、図７（ｂ）は分解正面図、図７（ｃ）は側面図である。図示するように、側蓋３４は正面形状が略コ字状でその開口部で幅方向に左右に分割した分割体３４−１、３４−２となっている。側蓋３４の一方の分割体３４−１の分割面ａに突出する位置決め用ピン３６を設けると共に、他方の分割体３４−２の分割面ｂに該位置決め用ピン３６が嵌入される位置決め用穴３７を設け、更にそれぞれの分割体３４−１、３４−２に固定用ビス穴３８−１、３８−２を設けている。２つの分割体３４−１、３４−２をレール１１の両側からその分割面ａ、ｂを互いに接近させ位置決め用ピン３６を位置決め用穴３７に嵌入し且つ分割面ａと分割面ｂを一致させて側蓋組立体とする。次に該側蓋組立体を各分割体３４−１、３４−２の固定用ビス穴３８−１、３８−２に固定用ビスを通して移動ブロック本体３１の端部に取付け固定する。なお、３９は油穴である。
【００２８】
上記のように、側蓋３４を構成する分割体３４−１、３４−２をレール１１の両側から互いに接近させ位置決め用ピン３６を位置決め用穴３７に嵌入し且つ分割面ａと分割面ｂを一致させて側蓋組立体とするから、分割体３４−１と分割体３４−２は互いに高精度で位置決めされ、更にこの側蓋組立体を固定用ビス穴３８−１、３８−２に固定用ビスを通してガイドブロック本体３１の端部に取付け固定するから、分割体３４−１、３４−２で構成されるので、高精度で位置決めし固定することができ、更に使用中に位置ずれが発生することもない。また、側蓋３５も側蓋３４と同様に構成することにより、レール１１の両側から互いに接近させ移動ブロック本体３１の端部に取付けることができる。また、側蓋３４、３５の構成は上記構成に限定されるものではなく、分割体をレール１１の両側から接近させて組立てることができるもの、側蓋を弾性を有する材料で構成し、該弾性を用いて開口部の幅を広げレール１１の下面下方から組立てることができるもの等がある。
【００２９】
上記構成の回転テーブルにおいて、ＤＤモータ１５により、トップテーブル１４を回転させると、該トップテーブル１４と連動してレール１１が複数個（本実施例では６個）のガイドブロック１２に案内されて、レール１１が移動する。このレール１１の移動は検知機構１６の検知部１６ａで検出される。このとき上記のようにＬ字型のレール１１の最大外径部である水平部１１ｂの外周面にテープ式スケール２０を取付け、検知部１６ａであるリニアエンコーダで検知する構成を採用することで、例えば図３（ｃ）のＤＤモータ１５のロータ１５−２の回転位置を磁気センサで検知する方法に比較し、トップテーブル１４の回転量を高分解能で検知することができる。従って、トップテーブル１４の微動回転制御が可能となる。
【００３０】
また、ガイドブロック１２をベース１３の取付固定部１７の固定面（上面）に固定する場合は、図３に示すように、ガイドブロック１２の両側にフランジ１２ａをネジ２３が貫通する穴を設け、該穴にネジ１３を通して固定面に取付ける。これにより、精度よく加工された取付固定部１７の固定面にガイドブロック１２を固定するから、精度の良い回転テーブル装置を実現できる。また、レール１１を上記構成の複数個のガイドブロック１２で案内する構成であるから、ガタつきを防止するためレール１１の転動体転走面とガイドブロック本体３１の転動体転走面との間にある転動体に予圧を与えても、例えばレール１１の全周に多数の転動体を配置し、該多数の転動体に予圧を与える場合に比較し、低トルクでトップテーブル１４を回転できる回転テーブル装置を実現できる。
【００３１】
また、レール１１に形成された転動体転走面２１−１、２１−２と転動体転走面２２−１、２２−２はレール１１の横断面において左右対象位置にそれぞれ設けられた複数の転動体転走面であり、ガイドブロック１２に形成された負荷転動体転走面３２−１、３２−２と負荷転動体転走面３３−１、３３−２はレール進行方向に直交する断面において左右対象位置にそれぞれ設けられた複数の負荷転動体転走面であるから、例えば特許文献２に記載の回転テーブル装置のように、レール及びガイドブロックに左右非対象に転動体転走面、負荷転動体転走面を設けた場合に比べて、レールの左右（内周側外周側）をバランス良く支持することができ、トップテーブル１４のラジアル及びアキシャル方向の振動を小さくできる。
【００３２】
一体型のレール１１は上記のように垂直部１１ａと水平部１１ｂを具備する断面略Ｌ字状であるので、トップテーブル１４の下面とレール１１の上面を接合するとき、水平部１１ｂの下面からトップテーブル１４に達するネジ穴を設け、該ネジ穴にネジ２５を捩じ込んで接合できる。このため、ガイドブロック１２が摺動するレール１１の垂直部１１ａにはトップテーブル１４を取付けるための加工を施すことなく、レール１１のガイドブロックの摺動面はレール加工完了時の高精度を維持したままの平滑面となるから、ガイドブロック１２の両端に設けられたシール部材が常に一定の摩擦力でレール１１の面に接することになりトルク変動等が発生することなく、高精度の回転テーブル装置が実現できる。また、レール１１を略断面Ｌ字状とすることにより断面２次モーメントが増大するから、レール１１を高精度で研削加工し、その後の焼き入れ処理等の処理を行ってもこの高精度を維持でき、レール１１の同軸度が変化したり、更に経時変化による発生する歪等が極めて小さく、この点からもアキシャル及びラジアル振れが小さい高精度の精度の回転テーブル装置が実現できる。
【００３３】
また、トップテーブル１４の全周を一体型のレール１１の水平部１１ｂで支持し、該レール１１の移動をベース１３上面の円周上に等配に配設した複数のガイドブロック１２で案内する構成とすることにより、複数の分割した部材でリング状のレールを形成する場合と異なり、継ぎ目がなくこの継ぎ目によるガタが発生しないから、この点でもアキシャル及びラジアル方向の振れが小さくなり精度が大幅に向上する。なお、上記例ではレール１１をその断面が垂直部と水平部からなる断面略Ｌ字型の構成としたが、レールはこれに限定されるものではなく、断面略矩形状であってもよい。この場合はレール１１のガイドブロック摺動面にトップテーブルを取付けるための加工を施すから、ガイドブロック１２の両端に設けたシール等が通過する場合のトルク変動分精度が低下する。
【００３４】
回転テーブル装置を上記の構成とすることにより、アキシャル及びラジアル振れ精度、高分解能、薄型化、大型化の全ての点で、例えばクロスローラガイド型、アギャラ型、テーパコロ型等の従来の回転テーブル装置に比べて優れたものとなる。
【００３５】
回転テーブル装置を上記のように構成し、上記検知機構１６の検知部１６ａにリニアエンコーダを用い被検知部にテープ式スケールをレール１１の外周面に取り付て用いた場合、例えば下記のような高精度の回転テーブル装置を実現することが可能となる。
【００３６】
・トップテーブル１４の寸法      ６５０φ、
・限界ストローク                ３００°
・絶対位置決め精度              ±１０秒（期待値±５〜２秒）
・繰り返し位置決め精度          ±１秒（期待値１秒以下）
・ラジアル振れ（平面度含まず）  ５μｍ（期待値３μｍ以下）
・定格トルク（モータ単体）      ６７Ｎｍ
・最大トルク（モータ単体）      １３４Ｎｍ
・定格回転数                    １５ｒｐｍ
・定格出力                      ８００Ｗ
・定格電流                      ６．３Ａ
・検出分解能                    ０．５秒
・使用電源                      ３相２００Ｖ
【００３７】
トルク目安としてφ６５０×３８の鉄柱（１００ｋｇ）を下記のパターンで動作させることが可能となる。
・移動距離＝１８０°
・サイクルタイム＝６秒
・加減速時間＝１秒
・移動時間＝３秒
【００３８】
以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係る回転テーブル装置の構成を示す平面図である。
【図２】本発明に係る回転テーブル装置のトップテーブルを除去した平面図である。
【図３】本発明に係る回転テーブル装置の断面図（図２のＸ−０−Ｘ’断面矢視図）である。
【図４】本発明に係る回転テーブル装置の半側面図である。
【図５】本発明に係る回転テーブル装置のレールにガイドブロックを組み込んだ状態を示す断面図である。
【図６】ガイドブロックを下方から見た図である。
【図７】ガイドブロックの側蓋の構成例を示す図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０      回転テーブル
１１      レール
１２      ガイドブロック
１３      ベース
１４      トップテーブル
１５      ＤＤモータ
１６      検知機構
１７      取付固定部
１８      モータケーブル
１９      磁気センサケーブル
２０      テープ式スケール
２１      突条
２１−１  転動体転走面
２１−２  転動体転走面
２２      突条
２２−１  転動体転走面
２２−２  転動体転走面
２３      ネジ
３１      ブロック本体
３２      スカート部
３２−１  負荷転動体転走面
３２−２  負荷転動体転走面
３３      スカート部
３３−１  負荷転動体転走面
３３−２  負荷転動体転走面
３４      側蓋
３４−１  分割体
３４−２  分割体
３５      側蓋
３６      位置決め用ピン
３７      位置決め用穴
３８−１  固定用ビス
３８−２  固定用ビス
３９      油穴
【図１】
2005205549.tif 000003
【図２】
2005205549.tif 000004
【図３】
2005205549.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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