(57)【要約】【課題】スタックタイプの実装において、上層のＩＣチップと下層のＩＣチップは絶縁性接着剤などにより絶縁されるため、上層にアナログＩＣチップを積層すると基板がフローティング状態となり、所望の特性が得られない問題があった。【解決手段】ＩＣチップの上に導電層を配置し、導電層上にアナログＩＣチップを固着する。導電層は、固定電位パターンにボンディングワイヤ等で接続することにより、アナログＩＣチップ裏面（基板）に固定電位を印加することができる。これにより、アナログＩＣチップを上段に積層する実装構造が実現でき、アナログＩＣチップを含む回路装置のスタック実装の汎用性が高まると共に実装面積が低減し、かつ特性を向上させることができる。【選択図】  図１ 
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定電位パターンを含む複数の導電パターンと、
基板電位が固定されるＩＣチップ含む複数のＩＣチップと、
導体層とを具備し、
前記基板電位が固定されるＩＣチップを前記導体層上に固着して該ＩＣチップが上層になるように前記複数のＩＣチップを積層実装し、該導体層を前記固定電位パターンに接続することを特徴とする回路装置。
【請求項２】
前記複数の導電パターンは、支持基板に設けられることを特徴とする請求項１に記載の回路装置。
【請求項３】
前記複数の導電パターンは、裏面を露出して絶縁性樹脂に埋め込まれ、支持されることを特徴とする請求項１に記載の回路装置。
【請求項４】
前記複数の導電パターンは、絶縁性樹脂で封止されることを特徴とする請求項１に記載の回路装置。
【請求項５】
前記導体層と下層の前記ＩＣチップの間に絶縁層が配置されることを特徴とする請求項１に記載の回路装置。
【請求項６】
前記固定電位はＧＮＤ電位またはＶＤＤ電位であることを特徴とする請求項１に記載の回路装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数のＩＣチップを積層する回路装置に係り、特に上層に基板電位が固定されるＩＣチップを積層する回路装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の高集積化、コンパクト化に伴ない、スタックタイプの回路装置は高集積ＩＣとして注目される構成の一つである。
【０００３】
図６は、従来のスタックタイプの回路装置の構成を示す断面図である。
【０００４】
基板１５０の一方の面に複数の配線１５６が設けられ、第１のＩＣチップ１５１が接着部材１５９により固着される。さらにその上に絶縁性の接着部材１６０を介して第２のＩＣチップ１５２が積層されている。各ＩＣチップ１５１、１５２の表面にはそれぞれ電極パッド（不図示）が設けられ、基板１５０上に設けられた配線１５６に、ボンディングワイヤ１５３等により接続している。各配線１５６は基板１に設けられたスルーホールＴＨを介して基板１５０の裏面に設けられた、はんだボール等の外部端子１５４に接続する。
【０００５】
これら積層ＩＣチップ１５１、１５２及びボンディングワイヤ１５３、配線１５６は封止樹脂１５５により封止され、パッケージ化されている（例えば特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００２−３６８１８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記のようなスタックタイプの回路装置において、第２のＩＣチップ１５２の固着は、第１のＩＣチップ１５１との絶縁のためダイアタッチシートまたは絶縁性接着剤等により固着されている。すなわち、第２のＩＣチップ１５２の基板は、フローティング状態で実装されている。
【０００７】
しかし、例えば第２のＩＣチップ１５２にバイポーラＩＣ等、基板電位を固定して使用するＩＣチップを採用したい場合、このチップを上層に積層すると基板電位がフローティング状態となり、十分な特性が得られない問題がある。
【０００８】
このため、バイポーラＩＣ等、固定電位で使用するＩＣを含む回路装置においては、スタック実装の場合には固定電位で使用するＩＣは常に最下層に配置しており、スタック実装の汎用性に限界があった。
【０００９】
また、スタック実装ができないものについては固定電位で使用するＩＣをほぼ平面上に配置するなどしており、実装面積が増大する問題もあった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされ、第１に、固定電位パターンを含む複数の導電パターンと、基板電位が固定されるＩＣチップ含む複数のＩＣチップと、導体層とを具備し、前記基板電位が固定されるＩＣチップを前記導体層上に固着して該ＩＣチップが上層になるように前記複数のＩＣチップを積層実装し、該導体層を前記固定電位パターンに接続することにより解決するものである。
【００１１】
また、前記複数の導電パターンは、支持基板に設けられることを特徴とするものである。
【００１２】
また、前記複数の導電パターンは、裏面を露出して絶縁性樹脂に埋め込まれ、支持されることを特徴とするものである。
【００１３】
また、前記複数の導電パターンは、絶縁性樹脂で封止されることを特徴とするものである。
【００１４】
また、前記導体層と下層の前記ＩＣチップの間に絶縁層が配置されることを特徴とするものである。
【００１５】
また、前記固定電位はＧＮＤ電位またはＶＤＤ電位であることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、複数のＩＣチップを積層実装する回路装置において、基板電位を固定するＩＣチップをフローティング状態にせずに２層目以上に積層させることができる。
【００１７】
これにより、基板電位を固定するＩＣチップを含む回路装置のスタック実装の汎用性が高まると共に実装面積が低減し、かつ当該ＩＣチップのベアチップの特性を維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図１から図５を参照して、本発明の一実施形態を説明する。
【００１９】
図１は本実施形態の回路装置を示す断面図である。
【００２０】
回路装置２０は、複数の導電パターンと、複数のＩＣチップと、導体層とから構成される。複数のＩＣチップには基板電位を固定するＩＣチップが含まれており、本実施形態では基板電位を固定するＩＣチップ８と、他のＩＣチップ４との２つのチップを積層実装した例に説明する。
【００２１】
複数の導電パターン２は所定の配線パターンで配置され、そのうち少なくとも１つにＧＮＤ電位（またはＶＤＤ電位）が印加される固定電位パターン２ａを含んでいる。尚、固定電位パターンは以下ＧＮＤパターンとして説明する。
【００２２】
１層目となる第１のＩＣチップ４は、ベアチップであり表面側に電極パッド（不図示）を有しており裏面は例えば導電パターン２に固着される。尚、第１のＩＣチップ４と絶縁基板１との固着は、第１のＩＣチップ４の構成により絶縁性または導電性の接着材料３にて固着される。また、第１のＩＣチップ４はその構成により導電パターン２上に固着されなくてもよい。
【００２３】
第１のＩＣチップ４の電極パッドは、所定の導電パターン２とボンディングワイヤ１０等により接続される。
【００２４】
第１のＩＣチップ４表面には、絶縁性接着剤などの絶縁層５を介して導体層６が配置される。導体層６は、ワイヤボンドの圧着に耐えられる所定の強度が必要であり、例えばシリコン基板、ポリイミド、エポキシ樹脂等をコアとして、その表面にアルミニウムなどを導電箔として接着したり、金属蒸着膜を形成するなどした構成となっている。
【００２５】
また、銅箔などで所定の強度が得られればコアは不要であり、絶縁層５に直接固着して導体層６としてもよい。銅箔を用いる場合には、採用するボンディングワイヤによりワイヤボンド領域に所定のメッキ処理等が施される。
【００２６】
導体層６上には、導電性の接着剤７により２層目の第２のＩＣチップ８が固着される。第２のＩＣチップ８は、バイポーラトランジスタ等のように基板（チップ裏面）に固定電位を印加して用いるＩＣチップであり、例えばアナログＩＣのベアチップである。尚、本明細書においては以下アナログＩＣチップを例に説明するが、これに限らず、上記の如く基板に固定電位を印可する必要のあるＩＣチップであればよい。また、固定電位とは、ここではＧＮＤ電位、ＶＤＤ電位、等、電位が変動しないものをいう。
【００２７】
第２のＩＣチップ８の表面にも電極パッド（不図示）が設けられ、所定の導電パターン２とボンディングワイヤ１０等により接続される。
【００２８】
そして導体層６は、ボンディングワイヤ１０等により、ＧＮＤパターン２ａに接続される。ＧＮＤパターン２ａは前述の如く固定電位が印加される導電パターンであり、これにより、第２のＩＣチップ８は、導体層６とＧＮＤパターン２ａを介して基板がＧＮＤ電位に固定され、フローティング状態とならないため、十分な特性を得ることができる。
【００２９】
例えば、デジタルテレビ受像機に使用される回路装置の場合、デジタル信号処理用のＩＣチップと受信用のＩＣチップを一体的にモールドする場合がある。この場合、第１のＩＣチップ４がデジタル信号用のＩＣチップであり、第２のＩＣチップ８が受信用のＩＣチップである。
【００３０】
バイポーラトランジスタ等のアナログＩＣは、一般的に基板の電位を固定して用いるが、図６のごとき従来のスタック構造においては基板を固定電位にすることができないため、アナログＩＣを上層にスタックすることは困難であった。
【００３１】
しかし、本実施形態によれば、上層の第２のＩＣチップ８の裏面（基板）に導体層６をコンタクトさせ、導体層６にＧＮＤ電位を印加することができる。これにより、アナログＩＣチップを、ベアチップの状態の特性を落とさずに上層に積層することができ、スタック実装の汎用性が高まると共に、実装面積の小型化に寄与できる。
【００３２】
次に図２および図３を参照して本実施形態の製造方法の一例を示す。
【００３３】
第１工程（図２（Ａ）参照）：固定電位パターン２ａを含む導電パターン２を絶縁性樹脂に埋め込んで支持した支持材１を準備する。支持材１の表裏面には、導電パターン２の表裏面が露出する。支持材１はプリント基板、またはリードフレーム等で、その表面に導電パターン２を形成したものであってもよい。
【００３４】
第２工程（図２（Ｂ）参照）：導電パターン２上に、接着剤３を塗布する。この場合、実装される第１のＩＣチップの用途に応じて、絶縁性／導電性の何れでもよい。そして、第１のＩＣチップ４を固着する。
【００３５】
第３工程（図３（Ａ）参照）：次に導体層６を準備する。ここでは、導体層６は、シリコン基板６ａをコアとして表面に例えばアルミニウムなどの金属蒸着膜６ｂを形成した構造とする。そして導体層６（シリコン基板６ａ）裏面は絶縁性の接着シート５を貼り付けておく。
【００３６】
そして、図３（Ｂ）の如く導体層６を第１のＩＣチップ４上に搭載し、絶縁性の接着シート５（または接着剤）により固着する。尚、第１のＩＣチップ４表面には電極パッドが配置されているので、当然ながら導体層６は、その電極パッドが露出する様なパターンに形成されている。
【００３７】
第４工程（図３（Ｃ）参照）：その後、金属蒸着膜６ｂの上に導電性接着剤７を塗布等する。その上に第２のＩＣチップ８を固着する。このとき、導電性接着剤７は、導体層６上で、ワイヤボンドの固着領域分を残して塗布等する。
【００３８】
そして、第１のＩＣチップ４の電極パッドと所定の導電パターン２、および第２のＩＣチップ８の電極パッド９と所定の導電パターン２とをボンディングワイヤ１０等で接続する。更に、導体層６と、ＧＮＤパターン２ａとをボンディングワイヤ１０等で接続し、図１に示す構造を得る。固定電位パターンにはＧＮＤ、ＶＤＤ等の固定電位を印加することにより、第２のＩＣ８の基板電位が固定される。
【００３９】
次に、図４から図５を参照して上記の回路装置のパッケージ例を説明する。
【００４０】
まず、図４を参照して、図４（Ａ）は、実装基板を不要にしたタイプの回路装置であり、図４（Ｂ）は導電パターンを有する樹脂シートを用いてパッケージしたものであり、図４（Ｃ）は多層配線構造の基板を用いた場合の断面図である。
【００４１】
図４（Ａ）は、例えば所望の導電パターンを有した支持基板上に、図示の如き素子を実装、モールドした後、支持基板を剥がすことで可能である。またＣｕ箔をハーフエッチングして、素子を実装、モールドした後、パッケージの裏面に存在するＣｕ箔をエッチバックすることにより可能である。さらには、打ち抜きリードフレームの裏面を下金型に当接しながら、モールドしても実現できる。ここでは２番目のハーフエッチングを採用した場合を例に説明する。
【００４２】
つまり、図４（Ａ）の如く、導電パターン２は、絶縁性樹脂３１に埋め込まれて支持され、裏面は絶縁性樹脂３１から露出する。この場合導電パターン２は、Ｃｕを主材料とした導電箔、Ａｌを主材料とした導電箔、またはＦｅ−Ｎｉ等の合金から成る導電箔等であるが、他の導電材料でも可能であり、特にエッチングできる導電材が好ましい。
【００４３】
この場合、製造工程においてシート状の導電箔に、導電箔の厚みに達しない分離溝３２をハーフエッチングで設けることで、導電パターン２が形成される。そして分離溝３２は絶縁性樹脂３１が充填されて導電パターン側面の湾曲構造と嵌合して強固に結合する。その後、分離溝３２下方の導電箔をエッチングすることにより導電パターン２は個々に分離し、絶縁性樹脂３１により支持されるものである。
【００４４】
すなわち絶縁性樹脂３１は、導電パターン２の裏面を露出させて、回路装置２０、ボンディングワイヤ１０を封止している。絶縁性樹脂３１としては、トランスファーモールドにより形成される熱硬化性樹脂や、インジェクションモールドにより形成される熱可塑性樹脂を採用することができる。具体的には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド等の熱可塑性樹脂を用いることができる。また絶縁性樹脂は、金型を用いて固める樹脂、ディップ、塗布をして被覆できる樹脂であれば、全ての樹脂が採用できる。このパッケージにおいて、絶縁性樹脂３１は回路装置２０等を封止すると同時に、回路モジュール全体を支持する働きも有する。このように、全体を絶縁性樹脂３１で封止することにより、回路装置が導電パターン２から分離してしまうのを防止することができる。
【００４５】
回路装置２０は導電パターン（ランド）２上に、その用途に応じて絶縁性または導電性接着剤３で固着され、電極パッドにはボンディングワイヤ１０が熱圧着され、導電パターン２と接続される。また、導体層６にもボンディングワイヤ１０が熱圧着され、ＧＮＤパターン２ａと接続される。
【００４６】
なお、絶縁性樹脂３１の厚さは、回路装置２０のボンディングワイヤ１０の最頂部から約１００μｍ程度が被覆されるように調整されている。この厚みは、強度を考慮して厚くすることも、薄くすることも可能である。
【００４７】
絶縁性樹脂３１の裏面と導電パターン２の裏面は、実質一致している構造となっている。そして、裏面には所望の領域を開口した絶縁樹脂（例えば半田レジスト）３３を設け、露出した導電パターン２に半田等の導電材を被着して裏面電極３４を形成し、回路装置として完成する。
【００４８】
次に図４（Ｂ）の如き構造によれば、導電パターン２の配線の自由度を向上させることができる。
【００４９】
導電パターン２は回路装置１０と一体で絶縁性樹脂３１に埋め込まれて支持される。後述するがこの場合の導電パターン２は、絶縁樹脂４１の表面に導電膜４２を形成した絶縁樹脂シート４３を準備し、導電膜４２をパターニングすることにより形成される。
【００５０】
絶縁樹脂４１の材料は、ポリイミド樹脂またはエポキシ樹脂等の高分子から成る絶縁材料で成る。また熱伝導性が考慮され、中にフィラーが混入されても良い。材料としては、ガラス、酸化Ｓｉ、酸化アルミニウム、窒化Ａｌ、Ｓｉカーバイド、窒化ボロン等が考えられる。絶縁樹脂４１の膜厚はペースト状のものを塗ってシートとするキャスティング法の場合、１０ｍ〜１００μｍ程度である。また、市販のものは２５μｍが最小の膜厚である。
【００５１】
導電膜４２は、好ましくは、Ｃｕを主材料とするもの、Ａｌ、Ｆｅ、Ｆｅ−Ｎｉ、または公知のリードフレームの材料であり、メッキ法、蒸着法またはスパッタ法で絶縁樹脂２に被覆されたり、圧延法やメッキ法により形成された金属箔が貼着されても良い。
【００５２】
導電パターン２は、導電膜４２上を所望のパターンのホトレジストで被覆し、ケミカルエッチングにより所望のパターンを形成する。
【００５３】
導電パターン２は、ボンディングワイヤの固着領域を露出して他の部分をオーバーコート樹脂４４で被覆される。オーバーコート樹脂４４は溶剤で溶かしたエポキシ樹脂等をスクリーン印刷で付着し、熱硬化させたものである。
【００５４】
また、固着領域上にはボンディング性を考慮して、Ａｕ、Ａｇ等のメッキ膜４５が形成される。このメッキ膜４５は例えばオーバーコート樹脂４４をマスクとして固着領域上に選択的に無電界メッキされる。
【００５５】
回路装置２０はベアチップのままオーバーコート樹脂４４上に接着剤３でダイボンドされる。
【００５６】
そして回路装置２０の各電極パッドおよび導体層６はボンディングワイヤ１０により導電パターン２およびＧＮＤパターン２ａの固着領域に接続する。
【００５７】
絶縁樹脂シート４３は、絶縁性樹脂３１により被覆され、これにより導電パターン２も絶縁性樹脂３１に埋め込まれる。モールド方法としては、トランスファーモールド、インジェクションモールド、塗布、ディピング等でも可能である。しかし、量産性を考慮すると、トランスファーモールド、インジェクションモールドが適している。
【００５８】
裏面は絶縁樹脂シート４３の裏面すなわち絶縁樹脂４１が露出しており、絶縁樹脂４１の所望の位置を開口して導電パターン２の露出部分に外部電極３４を設ける。
【００５９】
この構造によれば、回路装置２０とその下の導電パターン２とはオーバーコート樹脂４４で電気的に絶縁されるので、導電パターン２は回路装置の下でも自由に配線できる。
【００６０】
以上、導電パターン２を形成した絶縁樹脂シート４３の場合を例に説明したが、これに限らず、図４（Ａ）の導電パターン２上をオーバーコート樹脂４４で被覆する構造でもよい。またフレキシブルシートなどの支持基板上に設けた導電パターン２上をオーバーコート樹脂４４で被覆した構造でもよく、何れの場合においても、導電パターン２を回路装置下方に配線できるので、配線の自由度が向上するパッケージを実現できる。
【００６１】
次に、図４（Ｃ）は、導電パターン２の多層配線構造を実現したものである。なお、図４（Ｂ）と同一構成要素は同一符号で示し、説明は省略する。
【００６２】
導電パターン２は回路装置２０と一体で絶縁性樹脂３１に埋め込まれて支持される。後述するがこの場合の導電パターン２は、絶縁樹脂４１表面の実質全域に第１の導電膜４２ａが形成され、裏面にも実質全域に第２の導電膜４２ｂが形成された絶縁樹脂シート４３を準備し、これらの導電膜４２をパターニングすることにより形成される。
【００６３】
絶縁樹脂４１、導電膜４２の材料は図４（Ｂ）の場合と同様であり、導電パターン２は、第１の導電膜４２ａ、第２の導電膜４２ｂ上を所望のパターンのホトレジストで被覆し、ケミカルエッチングにより所望のパターンを形成する。
【００６４】
また、図４（Ｃ）においては、多層接続手段４６により絶縁樹脂４１を介して上層、下層に分離されている導電パターン２を電気的に接続する。多層接続手段４６はＣｕ等のメッキ膜を貫通孔４７に埋め込んだものである。メッキ膜は、ここではＣｕを採用したが、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ等を採用しても良い。
【００６５】
実装面側の導電パターン２は、ボンディングワイヤ１０の固着領域を露出して他の部分をオーバーコート樹脂４４で被覆され、固着領域にはメッキ膜４５が設けられる。
【００６６】
回路装置１０はベアチップのままオーバーコート樹脂４４上に接着剤９でダイボンドされる。
【００６７】
そして回路装置１０の電極パッドおよび導体層６はボンディングワイヤ１０により導電パターン２およびＧＮＤパターン２ａに接続する。
【００６８】
絶縁樹脂シート４３は、絶縁性樹脂３１により被覆され、これにより第１の導電膜４２ａからなる導電パターン２も絶縁性樹脂３１に埋め込まれ、一体で支持される。
【００６９】
絶縁樹脂下方の第２の導電膜４２ｂからなる導電パターン２は、絶縁性樹脂３１からは露出しているが、絶縁性樹脂３１で絶縁シート４３の一部を被覆することにより一体で支持され、第１の導電膜４２ａからなる導電パターン２と多層接続手段１２を介して電気的に接続されて多層配線構造を実現している。下層の導電パターン２は外部電極３４を形成する部分を露出して溶剤で溶かしたエポキシ樹脂等をスクリーン印刷してオーバーコート樹脂４８で大部分が被覆され、半田のリフローあるいは半田クリームのスクリーン印刷によりこの露出部分に外部電極３４が設けられる。
【００７０】
また外部電極３４は第２の導電膜４２ｂをエッチングしてその表面を金あるいはパラジウムメッキ膜で被覆したバンプ電極でも達成できる。
【００７１】
次に、図５を用いて、支持基板を用いたチップサイズパッケージの一例を示す。図５（Ａ）は、図４（Ｃ）に示すパッケージにおいてオーバーコート樹脂４４を不要とした場合のパッケージであり、図５（Ｂ）は３層以上の多層配線構造の場合である。
【００７２】
支持基板５１は例えばガラスエポキシ基板等の絶縁性基板である。なお支持基板５１としてフレキシブルシートを採用しても同様である。
【００７３】
ガラスエポキシ基板５１の表面には、Ｃｕ箔を圧着し、パターニングした導電パターン２が配置され、基板５１裏面には外部接続用の裏面電極３４が設けられる。そしてスルーホールＴＨを介して、導電パターン２と裏面電極３４が電気的に接続されている。
【００７４】
基板５１表面にはベアの回路装置１０が接着剤３により固着される。回路装置１０の電極パッドおよび導体層６にはボンディングワイヤ１０が圧着され、導電パターン２、ＧＮＤパターン２ａと接続する。
【００７５】
そして、回路装置１０、導電パターン２、ボンディングワイヤ１０は、絶縁性樹脂３１により封止され、基板５１と一体で支持される。絶縁性樹脂３１の材料としては、トランスファーモールドにより形成される熱硬化性樹脂や、インジェクションモールドにより形成される熱可塑性樹脂を採用することができる。このように、全体を絶縁性樹脂３１で封止することにより、回路装置が基板から分離してしまうのを防止することができる。
【００７６】
一方、支持基板５１としてセラミック基板を用いても良く、この場合は、導電パターン２および裏面電極３４は、導電ペーストにより基板５１の表面と裏面に印刷、焼結して設けられ、スルーホールＴＨを介して接続され、絶縁性樹脂３１により基板３１と回路装置１０を一体で支持する。
【００７７】
また、図５（Ｂ）のごとく、複数の支持基板５１毎に配線層となる導電パターン２を設け、スルーホールＴＨを介して上層と下層の導電パターン２を接続することにより、支持基板５１を有する場合でも多層配線構造が可能となる。
【００７８】
また、図示は省略するが、支持基板にリードフレームを採用し、樹脂モールドしてもよいし、金属ケースや他のケーシング材による封止でもよい。
【００７９】
尚、本実施形態は２段のスタック実装構造を例に説明したが、基板電位を固定電位としたいＩＣチップの裏面に導体層６を設け、導電層６を固定電位パターン２ａと接続することにより、２層以上のスタック実装も可能である。また、第２のＩＣチップ８であるアナログＩＣチップが複数層スタックされた構造であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の回路装置を示す断面図である。
【図２】本発明の回路装置の製造方法を示す断面図である。
【図３】本発明の回路装置の製造方法を示す断面図である。
【図４】本発明の回路装置のパッケージ例を示す断面図である。
【図５】本発明の回路装置のパッケージ例を示す断面図である。
【図６】従来の回路装置を示す断面図である。
【符号の説明】
【００８１】
１      支持材
２      導電パターン
２ａ    固定電位パターン
３      接着剤
４      第１のＩＣチップ
５      絶縁層
６      導体層
７      導電性接着剤
８      第２のＩＣチップ
１０    ボンディングワイヤ
２０    回路装置
３１    絶縁性樹脂
３３    絶縁樹脂
３４    裏面電極
４１    絶縁樹脂
４２    導電膜
４３    樹脂シート
４４    オーバーコート樹脂
４５    メッキ膜
４６    多層接続手段
４７    貫通孔
４８    オーバーコート樹脂
５１    基板
ＴＨ    スルーホール
【図１】
2005277356.tif 000003
【図２】
2005277356.tif 000004
【図３】
2005277356.tif 000005
【図４】
2005277356.tif 000006
【図５】
2005277356.tif 000007
【図６】
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