(57)【要約】【課題】プレス条件を緩和し、優れた密着性が実現できるシート積層部品の製造方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】電極を印刷した第１のグリーンシート１４ａの上にキャリアフィルム１３ａを有する第２のグリーンシート１４ｂをこのキャリアフィルム１３ｂが外側になるように積層し、熱プレスにより積層する工程において、プレス定板とキャリアフィルム１３ｂを有する第２のグリーンシート１４ｂの間に表面に凹凸部を形成した弾性シート１２を挿入してプレス積層するシート積層部品の製造方法であり、アンカー効果により第１と第２のグリーンシート１４ａ，１４ｂの間の密着性が向上すると共に第２のグリーンシート１４ｂとキャリアフィルム１３ｂの間に間隙ができキャリアフィルム１３ｂが剥がれ易くなる。【選択図】  図１
2005038915.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極パターンを形成した第１のグリーンシート上にキャリアフィルムを有する第２のグリーンシートをこのキャリアフィルムが外側になるように積層し、熱プレスにより積層する工程において、プレス定板と前記キャリアフィルムを有する第２のグリーンシート間に表面に凹凸部を形成した弾性シートを挿入してプレス積層するシート積層部品の製造方法。
【請求項２】
電極パターンを形成した第１のグリーンシート上にキャリアフィルムを有する第２のグリーンシートをこのキャリアフィルムが外側になるように積層し、熱プレスにより積層する工程において、表面に凹凸部を形成したプレス定板を用いてプレス積層するシート積層部品の製造方法。
【請求項３】
キャリアフィルムの厚さｔとプレス定板および弾性シートの凹凸部の高さｈとの関係を１／２＜ｈ／ｔ＜１とする請求項１および２に記載のシート積層部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はパソコンや携帯電話などの小型部品として使用されるシート積層部品の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のシート積層部品の製造方法としては図３に示す方法がある。
【０００３】
図３（ａ）〜（ｆ）は従来のシート積層部品の製造方法を示す断面図である。図３（ａ）に示すようにセラミック基板１の上に熱可塑性樹脂を主成分とする接着層２を形成する。次に図３（ｂ）に示すように接着層２の上に導体ペーストを用いてスクリーン印刷により導体パターン３を形成する。そして図３（ｃ）に示すように導体パターン３の上にキャリアフィルムに形成した未焼結セラミックグリーンシート４を積層して加熱および加圧することにより接着層２を介してセラミック基板１と仮固定する。さらに図３（ｄ）に示すように未焼結セラミックグリーンシート４の上に導体ペーストをスクリーン印刷により導体パターン５を形成する。次に図３（ｅ）に示すようにキャリアフィルム上に形成した未焼結セラミックグリーンシート６を加熱および加圧して未焼結セラミックグリーンシート４と仮固定する。次に図３（ｆ）に示すようにセラミック基板１の上に形成された未焼結セラミックグリーンシート４，６の積層体を仮固定した状態で脱バインダーおよび焼成を行い、セラミック基板１の上にセラミックグリーンシートの積層体が接合してシート積層部品が形成できる。
【０００４】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば特許文献１が知られている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−３５３６２３号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のシート積層部品の製造方法において、シート積層部品の構成またはプレス条件などにより変形または破壊する場合があり、そのためプレス条件が限定されることが多かった。また高周波モジュールなどの場合、配線層間のアイソレーションを確保するため大面積のグランド層を形成するが、この大面積のグランド層の電極とシートとの接着性が劣化し、焼成後に剥離を発生することがあった。
【０００７】
また、積層工程において、ストライプ状に形成された電極間で段差が生じ、接着性が悪くないキャリアフィルムを剥離する際、キャリアフィルム切れが発生するという課題を有していた。
【０００８】
本発明はプレス条件を緩和し、優れた密着性が実現できるシート積層部品の製造方法を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１０】
本発明の請求項１に記載の発明は、電極を印刷した第１のグリーンシート上にキャリアフィルムを有する第２のグリーンシートをこのキャリアフィルムが外側になるように積層し、熱プレスにより積層する工程において、プレス金型とキャリアフィルムを有する第２のグリーンシート間に表面に凹凸部を形成した弾性シートを挿入してプレス積層するシート積層部品の製造方法であり、アンカー効果により第１と第２のグリーンシート間の密着性が向上すると共に第２のグリーンシートとキャリアフィルム間に間隙ができキャリアフィルムが剥がれ易くなる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、電極を印刷した第１のグリーンシート上にキャリアフィルムを有する第２のグリーンシートをこのキャリアフィルムが外側になるように積層し、熱プレスにより積層する工程において、表面に凹凸部を形成したプレス金型を用いてプレス積層するシート積層部品の製造方法であり、アンカー効果により第１と第２のグリーンシート間の密着性が向上すると共に第２のグリーンシートとキャリアフィルム間に間隙ができキャリアフィルムが剥がれ易くなる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、キャリアフィルムの厚さｔとプレス押し型および弾性シートの凹凸部の高さｈの関係を１／２＜ｈ／ｔ＜１とする請求項１および２に記載のシート積層部品の製造方法であり、効率良くアンカー効果により第１と第２のグリーンシート間の密着性が向上でき、また第２のグリーンシートとキャリアフィルム間に間隙ができキャリアフィルムを剥がれ易くできる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態におけるシート積層部品の製造方法について、図を用いて説明する。
【００１４】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１におけるシート積層部品の製造方法について、図を用いて説明する。
【００１５】
図１は本発明の実施の形態１におけるシート積層部品の製造方法を示す模式図である。第１および第２のグリーンシート１４ａ，１４ｂは厚み５０μｍ、大きさ２００×２００ｍｍのガラスセラミックグリーンシートを用いた。この第１および第２のグリーンシート１４ａ，１４ｂの支持面は離型処理した厚み７５μｍ程度のキャリアフィルム１３ａ，１３ｂを有している。そして第１のグリーンシート１４ａの上にスクリーン印刷により乾燥した厚みが１０〜１５μｍとなるように電極パターン１６を形成し、キャリアフィルム１３ｂを有する第２のグリーンシート１４ｂをキャリアフィルム１３ｂが外側になるように第１のグリーンシート１４ａに積層して熱プレスする。ここで電極パターン１６の面積を第１および第２のグリーンシート１４ａ，１４ｂの８０％程度の大きさとした。
【００１６】
以下、本発明のシート積層部品の製造方法について詳細に説明する。
【００１７】
上プレス定板１１と下プレス定板１５の間に電極パターン１６を形成した第１のグリーンシート１４ａに第２のグリーンシート１４ｂを積層したものを配置する。そして第２のグリーンシート１４ｂに設けたキャリアフィルム１３ｂと上プレス定板１１の間に表面に凹凸部１２ａとしたアラミド繊維を張り合わせた弾性シート１２を配置する。ここでアラミド繊維の径は２０μｍ程度とし、このアラミド繊維側をキャリアフィルム１３ｂと対向するように配置する。
【００１８】
熱プレスは温度８５℃、圧力１００ｋｇ／ｃｍ２に設定し、時間を１０秒間とした。解圧後積層したグリーンシート１４ａ，１４ｂを取り出し、表面のキャリアフィルム１３ａ，１３ｂを剥がした。さらに積層する場合は別のグリーンシートを積層して上記の動作を繰り返す。この積層された第１と第２のグリーンシート１４ａ，１４ｂの間の接着性に関してはキャリアフィルム１３ａ，１３ｂを剥がした表面に接着力検査用のテープを貼り付け、引き剥がすことにより評価するピールテストを実施した。ここで引き剥がし角度を９０度とした。
【００１９】
評価サンプルＡ〜Ｃとして、凹凸部１２ａを形成した弾性シート１２の有無、またキャリアフィルム１３ｂの厚み４０μｍ，５０μｍ，７５μｍと変化させて評価を行った。評価結果を（表１）に示す。
【００２０】
【表１】
2005038915.tif 000003
【００２１】
（表１）に示す結果から、凹凸状を形成した弾性シート１２を使用した場合、接着性が良く、またキャリアフィルム１３ｂの厚みが５０μｍ，４０μｍと比較的薄い場合に接着性が強くなっていることが確認できた。この結果よりグリーンシート１４ｂの表面を観察すると、弾性シート１２の凹凸状の形状が厚さ７５μｍより比較的薄い厚さ５０μｍ，４０μｍの方がはっきり転写されていることが確認できた。
【００２２】
（実施の形態２）
図２は本発明の実施の形態２におけるシート積層部品の製造方法を示す模式図である。図１と異なる点は弾性シート１２の代わりに上プレス定板１７の表面に凹凸部１７ａが形成されている。この上プレス定板１６を用いて積層セラミックコンデンサを作製して評価を行った。
【００２３】
第１および第２のグリーンシート１４ａ，１４ｂは厚み１０μｍ、チタバリ系シートを用いた。この第１および第２のグリーンシート１４ａ，１４ｂの支持面には離型処理した厚み３８μｍ程度のキャリアフィルム１３ａ，１３ｂを有している。そして第１のグリーンシート１４ａの上にスクリーン印刷により乾燥した厚みが５μｍとなるようにニッケルからなる電極パターン１６を形成し、キャリアフィルム１３ｂを有する第２のグリーンシート１４ｂをキャリアフィルム１３ｂが外側になるように第１のグリーンシート１４ａに積層して熱プレスする。
【００２４】
以下、本発明のシート積層部品の製造方法について詳細に説明する。
【００２５】
凹凸部１７ａが形成された上プレス定板１７と下プレス定板１５の間に電極パターン１６を形成した第１のグリーンシート１４ａに第２のグリーンシート１４ｂを積層したものを配置する。そして第２のグリーンシート１４ｂに設けたキャリアフィルム１３ｂと上プレス定板１７に形成した凹凸部１７ａと対向するように配置する。
【００２６】
熱プレスは温度８５℃、圧力１００ｋｇ／ｃｍ２に設定し、時間を１０秒間とした。解圧後積層したグリーンシート１４ａ，１４ｂを取り出し、表面のキャリアシート１３ａ，１３ｂを剥がした。さらに別のグリーンシートを積層して上記の動作を繰り返し、１００層を形成した。ここで上プレス定板１７の表面にエッチングにより凹凸部１７ａを形成し、この凹凸部１７ａの高さｈを３０μｍとした。この積層された１００層の積層セラミックコンデンサのグリーンシート間の接着性に関しては実施の形態１と同様にキャリアフィルム１３ａ，１３ｂを剥がした表面に接着力検査用のテープを貼り付け、引き剥がすことにより評価するピールテストを実施した。ここで引き剥がし角度を９０度とした。
【００２７】
評価サンプルとして、上プレス定板１７の凹凸部１７ａの有無について評価を行った。評価結果を（表２）に示す。
【００２８】
【表２】
2005038915.tif 000004
【００２９】
（表２）に示す結果から実施の形態１と同様に凹凸部１７ａを設けることによりグリーンシート１４ａ，１４ｂ間の接着性が向上する。またキャリアフィルム１３ａ，１３ｂの厚さｔとプレス定板１７および弾性シート１２の凹凸部の高さｈとの関係を１／２＜ｈ／ｔ＜１とすることによりグリーンシート１４ｂにはっきり転写され、接着性が向上する。
【００３０】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、電極を印刷した第１のグリーンシート上にキャリアフィルムを有する第２のグリーンシートをこのキャリアフィルムが外側になるように積層し、熱プレスにより積層する工程において、プレス定板とキャリアフィルムを有する第２のグリーンシート間に表面が凹凸状に形成された弾性シートを挿入してプレス積層するシート積層部品の製造方法であり、アンカー効果により第１と第２のグリーンシート間の密着性が向上すると共に第２のグリーンシートとキャリアフィルム間に間隙ができキャリアフィルムが剥がれ易くなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１におけるシート積層部品の製造方法を示す模式図
【図２】本発明の実施の形態２におけるシート積層部品の製造方法を示す模式図
【図３】（ａ）〜（ｆ）従来のシート積層部品の製造工程を示す模式図
【符号の説明】
１１  上プレス定板
１２  弾性シート
１２ａ  凹凸部
１３ａ  キャリアフィルム
１３ｂ  キャリアフィルム
１４ａ  第１のグリーンシート
１４ｂ  第２のグリーンシート
１５  下プレス定板
１６  電極パターン
１７  上プレス定板
１７ａ  凹凸部
【図１】
2005038915.tif 000005
【図２】
2005038915.tif 000006
【図３】
2005038915.tif 000007