(57)【要約】【課題】ＭＥＭＳ技術を利用することによって、受信信号の復調に必要となる機能を極めて小さな領域に集積して、信号処理装置のワンチップ化による通信機の小型化等を実現可能にする。【解決手段】互いに異なる透過周波数帯域に対応した複数の機械的振動子１，２と、処理対象となる信号の印加により各機械的振動子１，２に対して同時に振動を励起する励起手段３と、各機械的振動子１，２の各々における振動を同時に検出して合成し特定周波数成分の信号を得る検出手段４とを備えて、通信機に搭載される信号処理装置を構成する。【選択図】        図１
2005005847.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる透過周波数帯域に対応した複数の機械的振動子と、
処理対象となる信号の印加により前記複数の機械的振動子に対して同時に振動を励起する励起手段と、
前記複数の機械的振動子の各々における振動を同時に検出して合成し特定周波数成分の信号を得る検出手段と
を備えることを特徴とする信号処理装置。
【請求項２】
通信機に搭載されて用いられるとともに、
前記複数の機械的振動子は、前記通信機が取り扱う通信信号のキャリア帯域に対応した第１の機械的振動子と、前記通信信号のチャネル帯域に対応した第２の機械的振動子とからなり、
前記検出手段は、前記特定周波数成分の信号として前記通信信号におけるベースバンド信号を抽出する
ことを特徴とする請求項１記載の信号処理装置。
【請求項３】
前記第２の機械的振動子が対応するチャネル帯域は、前記第１の機械的振動子が対応するキャリア帯域を含んだものである
ことを特徴とする請求項２記載の信号処理装置。
【請求項４】
励起手段は、前記第１の機械的振動子と前記第２の機械的振動子とで位相が反転するように、各々に対する振動の励起を行う
ことを特徴とする請求項２記載の信号処理装置。
【請求項５】
少なくとも通信信号の受信機能を有した通信機であって、
前記通信信号のキャリア帯域を透過周波数帯域とする第１の機械的振動子と、
前記通信信号のチャネル帯域を透過周波数帯域とする第２の機械的振動子と、
前記通信信号の印加により前記第１の機械的振動子および前記第２の機械的振動子に対して同時に振動を励起する励起手段と、
前記第１の機械的振動子および前記第２の機械的振動子の各々における振動を同時に検出して合成し前記通信信号におけるベースバンド信号を抽出する検出手段と
を備えることを特徴とする通信機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、処理対象となる信号から特定周波数成分の信号を得るために用いられる信号処理装置、およびその信号処理装置を搭載してなる通信機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、例えば携帯電話機のように、無線通信のマルチバンド化に対応した小型で携帯可能な通信機が広く用いられている。このような通信機では、通信信号に対する信号処理を行うための信号処理装置、さらに具体的にはその通信信号のＲＦ（高周波）処理部分としての信号処理装置を備えていることが必須である。
【０００３】
図３は、通信機に用いられる信号処理装置の概略構成の一例を示すブロック図である。図例は、いわゆるスーパーヘテロダイン（Ｓｕｐｅｒ  Ｈｅｔｅｒｏｄｙｎｅ）方式の信号処理装置を示している。この信号処理装置は、外部から受信した通信信号（以下、単に「受信信号」という）を復調するための受信処理系１００と、外部へ送信する通信信号（以下、単に「送信信号」という）を変調するための送信処理系２００とに大別される。このうち、受信処理系１００では、少なくともバンドパスフィルタ１０１、イメージリジェクトフィルタ１０２、ＶＣＯ（基準振動子）１０３、ミキサ１０４、ＩＦ（中間周波数）フィルタ１０５およびＩＦミキサ１０６とを備えている。そして、アンテナ１０７で受信した受信信号について、バンドパスフィルタ１０１およびイメージリジェクトフィルタ１０２を経て不要な周波数帯域を除去した後、ミキサ１０４にてＶＣＯ１０３で発生した中間周波数の基準信号とのミキシングを行って低周波化し、さらにＩＦフィルタ１０５を通過させた後に、ＩＦミキサ１０６にて位相調整を行う。これにより、受信処理系１００では、受信信号からキャリア帯域成分が除去されたチャネル帯域成分のみが抽出され、その受信信号におけるベースバンド信号（例えば音声信号のような、通信すべき情報についての信号）が得られるのである。
【０００４】
ところで、最近では、基板上の微細化製造技術の進展に伴い、いわゆるマイクロマシン（超小型電気的・機械的複合体；Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ、以下「ＭＥＭＳ」という）やそのＭＥＭＳを組み込んだ小型機器等が注目されている。ＭＥＭＳは、可動構造体である振動子と、その振動子の駆動を制御する半導体集積回路等とを、電気的・機械的に結合させた素子である。そして、振動子が素子の一部に組み込まれており、その振動子の駆動を電極間のクーロン引力等を応用して電気的に行うようになっている。
【０００５】
このようなＭＥＭＳのうち、特に半導体プロセスを用いて形成されたものは、デバイスの占有面積が小さいこと、高いＱ値（振動系の共振の鋭さを表す量）を実現できること、他の半導体デバイスとのインテグレーション（統合）が可能であること等の特徴を有することから、無線通信用の信号処理装置における高周波フィルタ（例えば、ＩＦフィルタ１０５）としての利用が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００２−９４３２８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来における無線通信用の信号処理装置では、以下に述べるような難点がある。例えば、図３に示したスーパーヘテロダイン方式の信号処理装置では、受信信号の復調のために、受信処理系１００がバンドパスフィルタ１０１、ＶＣＯ１０３、ＩＦフィルタ１０５等といった多数の構成要素を備えており、しかもそれぞれが独立した部品として基板上で配設されている。したがって、かかる信号処理装置では、基板上に配設される部品点数が多くなってしまったり、部品間接続配線により信号が減衰することからこれを回避するために増幅器での消費電力が増大してしまう等、その小型化や低コスト化等の実現が必ずしも容易ではない。また、例えば、高周波フィルタとしてＭＥＭＳを利用した、いわゆるダイレクトコンバージョン（Ｄｉｒｅｃｔ  Ｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎ）方式の信号処理装置では、ＩＦフィルタの削減が可能ではあるが、復調に用いるＶＣＯやミキサ等は依然別部品として必要である。したがって、かかる信号処理装置においても、その小型化や低コスト化等の実現が必ずしも可能であるとはいえない。
【０００８】
そこで、本発明は、ＭＥＭＳ技術を利用することによって、受信信号の復調に必要となる機能を極めて小さな領域に集積することを可能にし、これにより信号処理装置のワンチップ化を目指した更なる小型化等を実現することのできる、信号処理装置および通信機を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために案出された信号処理装置であり、互いに異なる透過周波数帯域に対応した複数の機械的振動子と、処理対象となる信号の印加により前記複数の機械的振動子に対して同時に振動を励起する励起手段と、前記複数の機械的振動子の各々における振動を同時に検出して合成し特定周波数成分の信号を得る検出手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１０】
上記構成の信号処理装置によれば、複数の機械的振動子の各々が異なる透過周波数帯域に対応しているため、これら複数の機械的振動子は、異なる波長選択性を持つことになる。したがって、その異なる波長選択性を用いれば、特定周波数成分の信号のみを抽出し得るようになる。すなわち、処理対象となる信号を印加して複数の機械的振動子を同時に振動させ、各々における振動を同時に検出して合成することで、処理対象となる信号から特定周波数成分の信号を抽出して得ることが可能となる。
【００１１】
また、本発明は、上記目的を達成するために案出された通信機である。すなわち、少なくとも通信信号の受信機能を有した通信機であって、前記通信信号のキャリア帯域を透過周波数帯域とする第１の機械的振動子と、前記通信信号のチャネル帯域を透過周波数帯域とする第２の機械的振動子と、前記通信信号の印加により前記第１の機械的振動子および前記第２の機械的振動子に対して同時に振動を励起する励起手段と、前記第１の機械的振動子および前記第２の機械的振動子の各々における振動を同時に検出して合成し前記通信信号におけるベースバンド信号を抽出する検出手段とを備えることを特徴とするものである。
【００１２】
上記構成の通信機は、少なくとも通信信号の受信機能を有したものであるが、ここでいう通信信号とは、キャリア帯域成分にチャネル帯域成分が重畳された電気信号のことである。このような通信信号に対して、第１の機械的振動子は、その通信信号のキャリア帯域、すなわち極めて狭い周波数帯域を透過周波数帯域とする。一方、第２の機械的振動子は、通信信号のチャネル帯域、すなわち第１の機械的振動子と比較して広い周波数帯域を透過周波数帯域とし、キャリア帯域成分に加えてチャネル帯域成分をも含めて透過させる。したがって、例えばそれぞれを透過する信号が逆位相であれば、通信信号の印加により第１の機械的振動子および第２の機械的振動子を同時に振動させ、各々における振動を同時に検出して合成することで、それぞれで共通する周波数帯域成分、例えばキャリア帯域成分が打ち消し合うことになり、それ以外のベースバンド信号のみが抽出されることになる。つまり、第１の機械的振動子、第２の機械的振動子、励起手段および検出手段を経ることで、処理対象となる信号である通信信号から特定周波数成分の信号であるベースバンド信号を抽出して得ることが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明に係る信号処理装置および通信機について説明する。
【００１４】
先ず、信号処理装置が搭載される通信機について簡単に説明する。ここで説明する通信機は、例えば携帯電話機のように、無線通信のマルチバンド化に対応したものである。通信機が取り扱う通信信号、すなわち送受信する通信信号は、通信における搬送波として機能するキャリア帯域成分に、チャネル帯域成分が重畳された電気信号である。このチャネル帯域成分のみからなる電気信号は、例えば音声信号のような、通信すべき情報の内容を特定するためのベースバンド信号に相当する。
【００１５】
次に、このような通信機に搭載されて用いられる信号処理装置について説明する。ここで説明する信号処理装置も、従来のもの（図３参照）と同様に、受信信号を復調するための受信処理系と、送信信号を変調するための送信処理系とに大別されるが、そのうちの受信処理系が従来のものとは異なる。このことから、以下、信号処理装置の受信処理系についてのみ説明を行い、送信処理系についてはその説明を省略する。
【００１６】
図１は、本発明に係る信号処理装置の受信処理系の概要を示すブロック図である。図例のように、ここで説明する信号処理装置の受信処理系は、少なくとも、第１の振動子フィルタ１と、第２の振動子フィルタ２と、電圧→振動変換部３と、振動→電圧変換部４と、を備えて構成されている。
【００１７】
第１の振動子フィルタ１は、例えばＭＥＭＳを構成する機械的振動子からなるもので、受信信号のキャリアの波長を基準周波数として含む、そのキャリア帯域を透過周波数帯域とするものである。すなわち、第１の振動子フィルタ１は、本発明における機械的振動子の一つとして機能するもので、さらに詳しくは受信信号のキャリア帯域を透過周波数帯域とする第１の機械的振動子として機能するものである。
【００１８】
第２の振動子フィルタ２は、第１の振動子フィルタ１と同様に、例えばＭＥＭＳを構成する機械的振動子からなるものである。ただし、第２の振動子フィルタ２では、受信信号のキャリアの波長を基準周波数として含む、そのチャネル帯域を透過周波数帯域とするものである。すなわち、第２の振動子フィルタ２は、本発明における機械的振動子の一つとして機能するもので、さらに詳しくは受信信号のチャネル帯域を透過周波数帯域とする第２の機械的振動子として機能するものである。
【００１９】
電圧→振動変換部３は、例えばＭＥＭＳの機械的振動子を振動させるための電極を備えてなるもので、受信信号の印加により第１の振動子フィルタ１および第２の振動子フィルタ２に対して同時に振動を励起するものである。すなわち、電圧→振動変換部３は、本発明における励起手段として機能するものである。ただし、電圧→振動変換部３では、第１の振動子フィルタ１と第２の振動子フィルタ２とで位相が反転するように、各々に対する振動の励起を行うようになっている。例えば、第１の振動子フィルタ１における振動の位相が「＋π／２」であるのに対し、第２の振動子フィルタ２における振動の位相が「−π／２」である、といった具合である。
【００２０】
振動→電圧変換部４は、例えばＭＥＭＳの機械的振動子における振動を検出するための電極を備えてなるもので、第１の振動子フィルタ１および第２の振動子フィルタ２の各々における振動を同時に検出して合成するものである。この合成によって、振動→電圧変換部４では、受信信号に含まれる特定周波数成分の信号、さらに詳しくは受信信号におけるベースバンド信号を抽出するようになっている。つまり、振動→電圧変換部４は、本発明における検出手段として機能するものである。
【００２１】
続いて、以上のように構成された信号処理装置の受信処理系における処理動作について説明する。この信号処理装置を搭載する通信機のアンテナが受信信号を受信すると、その受信信号は、電圧→振動変換部３へ入力される。そして、電圧→振動変換部３は、その受信信号の入力に応じて、第１の振動子フィルタ１および第２の振動子フィルタ２を励起させる。
【００２２】
このとき、第１の振動子フィルタ１は、受信信号のキャリア帯域を透過周波数帯域とし、極めて狭い周波数帯域に属するキャリア帯域成分を振動→電圧変換部４側へ伝える。一方、第２の振動子フィルタ２は、受信信号のチャネル帯域を透過周波数帯域とし、キャリア帯域成分を含む第１の振動子フィルタ１よりも広いチャネル帯域成分を振動→電圧変換部４側へ伝える。しかも、第１の振動子フィルタ１と第２の振動子フィルタ２とでは、振動の位相が反転している。そのため、振動→電圧変換部４が第１の振動子フィルタ１および第２の振動子フィルタ２の各々における振動を同時に検出して合成すると、それぞれで共通する周波数帯域成分であるキャリア帯域成分が打ち消し合うことになり、それ以外の周波数帯域成分、すなわちベースバンド信号が抽出されることになる。
【００２３】
つまり、第１の振動子フィルタ１、第２の振動子フィルタ２、電圧→振動変換部３および振動→電圧変換部４を経ることで、受信信号からは、特定周波数成分の信号であるベースバンド信号を抽出して得ることが可能となる。したがって、受信信号からベースバンド信号を得る場合であっても、上述したようにＭＥＭＳを用いて信号処理装置の受信処理系を構成すれば、ＶＣＯやミキサ等といった部品を必要とすることがなくなるので、当該受信処理系のワンチップ化も可能となり、信号処理装置およびこれを用いた通信機の小型化や低コスト化等の実現が非常に容易となる。
【００２４】
次に、以上のような信号処理装置の受信処理系について、具体例を挙げて詳細に説明する。図２は、本発明に係る信号処理装置の受信処理系の具体的な構成例を示す平面図である。図例の受信処理系も、図１を用いて説明した例と同様に、第１の振動子フィルタ１と、第２の振動子フィルタ２と、電圧→振動変換部３と、振動→電圧変換部４とを備えている。
【００２５】
第１の振動子フィルタ１は、基台１１上に支持台１２を介して設置され、かつ、その支持台１２によって両端付近が固定された単一の機械的振動子１３を備えてなるものである。すなわち、第１の振動子フィルタ１は、ＭＥＭＳの可動電極として機能する機械的振動子１３を備えてなるものである。通常、ＭＥＭＳの可動電極は、１００００程度の極めて高いＱ値を持ち、単一の振動子の場合は透過周波数帯域が主にその長さ（被固定箇所間の距離）によって決まるが、第１の振動子フィルタ１では、受信信号のキャリア帯域を透過周波数帯域とするように、機械的振動子１３の長さ、すなわち支持台１２間の距離が設定されているものとする。
【００２６】
第２の振動子フィルタ２は、第１の振動子フィルタ１に並設されたもので、その第１の振動子フィルタ１と同様に、基台２１上に支持台２２を介して設置され、かつ、その支持台２２によって両端付近が固定された機械的振動子２３を備えてなるものである。ただし、第２の振動子フィルタ２における機械的振動子２３は、複数の振動子が機械的に連結されてなる。これにより、第２の振動子フィルタ２では、第１の振動子フィルタ１に比較して広い透過周波数帯域に対応するものとなる。具体的には、第２の振動子フィルタ２では、受信信号のキャリアの波長を基準周波数として含む、そのチャネル帯域を透過周波数帯域とするように、機械的振動子２３の長さおよびその連結数が設定されているものとする。
【００２７】
電圧→振動変換部３は、互いに並設された第１の振動子フィルタ１における機械的振動子１３と第２の振動子フィルタ２における機械的振動子２３との間に配設された入力電極３１を備えてなるもので、その入力電極３１に高周波信号を印加することで、機械的振動子１３，２３に対して同時に振動を励起するものである。ただし、電圧→振動変換部３では、入力電極３１が機械的振動子１３と機械的振動子２３との間に配設されていることから、各々に対する入力電極３１の相対位置が正反対の関係となる。したがって、各々に対して同時に振動を励起すると、互いに逆位相の振動を励起することになる。
【００２８】
振動→電圧変換部４は、第１の振動子フィルタ１の機械的振動子１３における振動を検出する第１の検出電極４１と、第２の振動子フィルタ２の機械的振動子２３における振動を検出する第２の検出電極４２とを備えており、これらによって各々における振動を同時に検出し得るようになっている。なお、第１の検出電極４１と機械的振動子１３との相対位置と、第２の検出電極４２と機械的振動子２３との相対位置とは、入力電極３１の場合とは異なり、それぞれが略同様となっている。また、振動→電圧変換部４では、ＭＥＭＳの可動電極として機能する機械的振動子４３およびこれに付設された固定電極４４を備えており、第１の検出電極４１がＤＣ（ｄｉｒｅｃｔ  ｃｕｒｒｅｎｔ）昇圧を経て機械的振動子４３に接続するとともに、第２の検出電極４２が固定電極４４に接続している。この構成により、振動→電圧変換部４では、第１の検出電極４１で検出した振動と第２の検出電極４２で検出した振動とを合成（ミキシング）し得るとともに、その合成した振動の周波数を変換し得るようになっている。
【００２９】
続いて、以上のように構成された受信処理系における処理動作について説明する。受信信号が入力されると、電圧→振動変換部３では、その受信信号を入力電極３１に印加する。このとき、第１の振動子フィルタ１の機械的振動子１３および第２の振動子フィルタ２の機械的振動子２３に静電界を印加した状態で、入力電極３１に高周波信号である受信信号を印加すると、振動電界が発生するために機械的振動子１３，２３が駆動される。つまり、入力電極３１に受信信号を印加すると、機械的振動子１３，２３が励起させて振動することになる。
【００３０】
機械的振動子１３，２３が振動すると、第１の振動子フィルタ１および第２の振動子フィルタ２では、これら機械的振動子１３，２３の各々が持つ機械的な固有振動数に一致した周波数のみを透過させる。したがって、電圧→振動変換部３に図１中の記号Ａで示す周波数の受信信号が入力された場合であっても、振動→電圧変換部４では、第１の検出電極４１がキャリア帯域に対応した周波数の振動（図１中の記号Ｂ参照）を検出し、第２の検出電極４２がキャリアの波長を基準周波数として含むチャネル帯域に対応した周波数の振動（図１中の記号Ｃ参照）を検出することになる。なお、第１の検出電極４１および第２の検出電極４２が検出する振動は、いずれも基準周波数となるキャリアの波長を含むことになるが、入力電極３１が機械的振動子１３，２３に対して互いに逆位相の振動を励起しており、かつ、第１の検出電極４１および第２の検出電極４２が同様の相対位置で配置されているため、各々で共通するキャリアの波長も逆位相のものとなる。
【００３１】
そして、第１の検出電極４１で検出された振動、すなわちキャリア帯域の周波数の振動は、振動→電圧変換部４のＤＣ昇圧後に機械的振動子４３へ伝えられる。なお、ＤＣ昇圧については、公知技術を利用して行えばよいため、ここではその説明を省略する。一方、第２の検出電極４２で検出された振動、すなわちチャネル帯域の周波数の振動は、固定電極４４へ伝えられる。
【００３２】
このとき、機械的振動子４３と固定電極４４との間では、以下に述べるような作用を奏する。通常、ＭＥＭＳの機械的振動子とこれに付随する固定電極との間において、ＡＣ（ａｌｔｅｒｎａｔｉｎｇ  ｃｕｒｒｅｎｔ）信号がどちらか片側の電極から供給される場合は、共振振動によるフィルタリングが行われる。ところが、両方の電極に異なる周波数ｆ１，ｆ２が入力された場合には、双方の間でミキシングが起こり、｜ｆ１＋ｆ２｜および｜ｆ１−ｆ２｜の周波数が発生する。そして、機械的振動子の共振周波数が例えば｜ｆ１−ｆ２｜に一致した場合には、その｜ｆ１−ｆ２｜に対応する周波数変換が行われた後に、その変換後の周波数の信号が出力されることになる。これらのことから、機械的振動子４３へキャリア帯域の周波数の振動が伝わり、固定電極４４へチャネル帯域の周波数の振動が伝わると、機械的振動子４３と固定電極４４との間では、各々の振動のミキシングが行われ、各々で共通し、かつ、互いに逆位相であるキャリアの波長の振動が打ち消されることになる。しかも、機械的振動子４３の共振周波数に基づいて、ミキシング後の振動についての周波数変換も同時に行われることになる。
【００３３】
したがって、振動→電圧変換部４からは、キャリアの波長を除いたチャネル帯域の振動に相当し、かつ、振動を特定周波数成分に合致させる周波数変換を経た後の信号（図１中の記号Ｄ参照）が、特定周波数成分の信号であるベースバンド信号として抽出され出力されることになる。このベースバンド信号は、従来のダイレクトコンバージョン方式の信号処理装置で処理された通信信号と等価なものであり、例えば通信機が携帯電話機であれば、その携帯電話機にて出力すべき音声信号に相当するものである。なお、ベースバンド信号の出力に際して行う電圧信号への変換については、公知技術を利用して行えばよいため、ここではその説明を省略する。
【００３４】
以上のように、本実施形態で説明した信号処理装置、およびその信号処理装置を搭載した通信機では、ＭＥＭＳ技術を用いて作成された微小振動子を用いたメカニカルフィルタが極めて高い波長選択性を持つことを利用し、受信信号からキャリア帯域成分の信号を抽出して、これを受信信号にミキシングすることで、その受信信号についての復調を行うようになっている。つまり、受信信号からのキャリア帯域成分の抽出と、受信信号とキャリア帯域成分とのミキシングによるベースバンド信号の抽出とが、全て微小な機械的振動子で構成された機械的振動伝播機構で実現される。したがって、受信信号についての復調を行う場合であっても、別途バンドパスフィルタ、ＰＬＬ（位相調整器）、ＶＣＯ、ミキサ、ＩＦフィルタ等といった電子要素を必要とすることなく、これらの電子要素における機能を単一のＭＥＭＳ構造に集積してＲＦ受信モジュールを完全にワンチップ化することも可能となるので、装置小型化の実現が非常に容易となる。また、復調処理を全て受動素子で行うことができるため、従来に比べて消費電力の大幅な削減も期待できる。
【００３５】
また、本実施形態で説明した信号処理装置では、第２の振動子フィルタ２での透過周波数帯域であるチャネル帯域が、第１の振動子フィルタ１での透過周波数帯域であるキャリア帯域を含んでおり、またこれら第１の振動子フィルタ１および第２の振動子フィルタ２に対して互いに位相が反転するように電圧→振動変換部３が振動の励起を行うので、ＭＥＭＳ構造を利用した場合であっても、キャリア帯域成分の抽出と、受信信号とキャリア帯域成分とのミキシングによるベースバンド信号の抽出とを、容易かつ確実に行うことが可能となる。しかも、上述したように、振動→電圧変換部４に機械的振動子４３および固定電極４４を備えれば、ＭＥＭＳ構造を利用しつつ、その抽出結果について周波数変換をも行うことが可能となるので、装置小型化等を実現する上でより一層好ましいものとなる。
【００３６】
なお、当然のことではあるが、本実施形態は本発明の好適な一実施具体例を示したものに過ぎず、本発明の技術的範囲はこれに限定されるものではない。特に、図２に示した信号処理装置の構成に限定されないことは勿論である。
【００３７】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明に係る信号処理装置および通信機によれば、ＭＥＭＳ技術を利用することによって、受信信号の復調に必要となる機能を極めて小さな領域に集積することを可能にし、これにより信号処理装置のワンチップ化も実現し得るようになるので、装置小型化や低コスト化等が非常に実現容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る信号処理装置の受信処理系の概要を示すブロック図である。
【図２】本発明に係る信号処理装置の受信処理系の具体的な構成例を示す平面図である。
【図３】通信機に用いられる信号処理装置の概略構成の一例を示すブロック図である。
【符号の説明】
１…第１の振動子フィルタ、２…第２の振動子フィルタ、３…電圧→振動変換部、４…振動→電圧変換部、１３，２３…機械的振動子、３１…入力電極、４１…第１の検出電極、４２…第２の検出電極、４３…機械的振動子、４４…固定電極
【図１】
2005005847.tif 000003
【図２】
2005005847.tif 000004
【図３】
2005005847.tif 000005