(57)【要約】【課題】  回転軸におけるより大きな偏角が吸収できる基板処理装置を提供する。【解決手段】  所定の駆動源によって回転駆動される回転軸（駆動軸部７及び従動軸部９）と、回転軸によって軸支されて回転するブラシ部８とを備え、当該回転するブラシ部８を所定方向に搬送される基板に作用させて基板処理を行う基板処理装置（基板洗浄装置）であって、回転軸とブラシ部８とを連結するための自在継手手段（継手部１００）を備え、この自在継手手段は、回転軸からブラシ部８へ回転駆動力を伝達する駆動力伝達部（突起部７２及びスリット部８３）と、回転軸及びブラシ部８をそれぞれ互いに相手方の軸方向と直交する平面内の少なくとも十字方向に回動自在に支持する支持部（球状体７１及び嵌合体８１）とを備える。【選択図】  図２
2005191216.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の駆動源によって回転駆動される回転軸と、回転軸によって軸支されて回転する回転体とを備え、当該回転する回転体を所定方向に搬送される基板に作用させて基板処理を行う基板処理装置であって、
前記回転軸と回転体とを連結するための自在継手手段を備え、
前記自在継手手段は、回転軸及び回転体間の回転駆動力を伝達する駆動力伝達部と、回転軸及び回転体をそれぞれ互いに相手方の軸方向と直交する平面内の少なくとも十字方向に回動自在に支持する支持部とを備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】
前記回転軸の一端部に球状体を設けるとともに、回転体の端部に当該球状体が着脱自在でかつ摺動自在な筒状空間部を備える嵌合体を設けて前記支持部が構成され、
前記回転軸の半径方向であって、前記球状体の外周部に突設された突起部と、当該突起部を受容し、前記嵌合体に形成される第１のスリット部とから、前記駆動力伝達部が構成されることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記嵌合体は、円筒状に形成されてなるものであって、
嵌合体の周部には、嵌合体の軸方向に形成されかつ嵌合体の先端側に向けて開口されてなる所定数の第２のスリット部が形成されていることを特徴とする請求項２記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記嵌合体は、嵌合体の内周面において球状体と摺接する樹脂材料からなる内層部と、金属材料からなる外層部とからなる２層構造となっていることを特徴とする請求項２又は３記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記突起部の先端部は、前記外層部との当接を防止するべくテーパが形成されていることを特徴とする請求項４記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記球状体及び筒状空間部の表面は、当該球状体及び筒状空間部間の前記摺接における摩擦係数低下用の被覆材によって被覆されていることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記嵌合体は、回転体本体に対して着脱可能に装着されていることを特徴とする請求項２〜６のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記嵌合体は、一端側の外周部にフランジ部が形成されているものであって、
当該嵌合体は、フランジ部を用いて回転体本体の端面に対して螺合されることを特徴とする請求項７記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記嵌合体及び回転体本体における前記螺合される端面には、嵌合体と回転体本体との同心を得るべく凹凸部が形成されていることを特徴とする請求項８記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記回転軸の一端部に球状体を設けるとともに、回転体の端部に当該球状体が着脱自在でかつ摺動自在な筒状空間部を備える嵌合体を設けて前記支持部が構成され、
回転軸の軸方向であって、前記球状体の外周に沿って円弧状に欠切され、かつ当該欠切された面が回転軸の半径方向と平行に形成されてなる複数の欠切帯部と、当該欠切帯部と係合し、前記嵌合体に形成される係合面部とから、前記駆動力伝達部が構成されることを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記回転軸は、１つの回転体に対して１対に設けられ、回転体の両側部において前記自在継手手段によって回転体と連結されるものであって、
少なくとも一方の回転軸を基板の搬送方向に対して平行にスライド移動可能に構成された平行移動手段を備えることを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の基板処理装置。
【請求項１２】
前記回転軸は、１つの回転体に対して１対に設けられ、回転体の両側部において前記自在継手手段によって回転体と連結されるものであって、
各回転軸を基板の搬送方向に対して垂直な方向にスライド移動可能に構成された垂直移動手段を備えることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定の軸中心周りに回転駆動された円筒体等の回転体を基板に作用させて基板を処理する基板処理装置に関し、特に、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用のガラス基板や半導体ウエハ等の基板をロールブラシで洗浄する基板洗浄装置、あるいは液晶表示器用のガラス基板をラビングローラでラビング処理するラビング装置などの基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＦＰＤ用のガラス基板や半導体ウエハ等の基板をロールブラシで洗浄する洗浄装置、あるいは液晶表示器用のガラス基板（表面の配向膜）をラビングローラでラビング処理するラビング装置などの、所定の軸中心周りに回転駆動された円筒体（上記ロールブラシやラビングローラに相当）を基板に作用させて基板を処理する基板処理装置が知られている。
【０００３】
一般的に基板処理装置では、例えば図１８に示すように、上記軸（ここでは、ロールブラシ１８１用のブラシ軸１８２とする）は、処理槽１８３の外に駆動源（例えば駆動モータ１８４）及び軸受部材（例えばベアリング１８５、１８６）が配置されることから、この処理槽１８３内を貫通した状態で取り付けられる構造となっている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
このブラシ軸１８２は、ブラシ軸１８２（シャフト）の熱膨張による伸び（軸伸び）の吸収等を行うべく、その一端が固定端、他端が自由端となっており、すなわち、ブラシ軸１８２の駆動側（駆動モータ１８４側）は、駆動モータ１８４の駆動軸とカップリング１８７（継手）により締結されて固定されるとともに、ベアリング１８５によって軸支されており、また、ブラシ軸１８２の従動側はベアリング１８６によって軸支されている。
【特許文献１】特開平８−２４３５１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ブラシ軸１８２は、回転駆動中等に「振れ」が発生することがある。振れが発生すると、例えばロールブラシ１８１が基板に対して均等に作用しない、すなわち、例えば基板表面にロールブラシ１８１の毛が均等に接触せずに洗浄むらが生じてしまうといったことがある。この「振れ」に対し、ブラシ軸１８２の従動側は、ベアリング１８６として例えば自動調芯ベアリングを採用することにより、当該振れによる偏角（ブラシ軸１８２及びベアリング１８６（１８５）の回転中心軸の角度誤差；図１９に示す偏角α）を吸収することが可能となるが、駆動側は、上述のように駆動モータ１８４とカップリング１８７によって固定されていることから、当該振れによる偏角の許容は、これらベアリング１８５、１８６の精度によって決定されることになる。
【０００６】
一方において、上記偏角を生じさせないように振れ（振動）を抑えることが要請され、例えば、ベアリング１８５として、アンギュラコンタクトタイプのベアリングを用いるなどして剛性を高めるといったことが行われるが、これによって逆に偏角の許容（許容偏角）が小さくなってしまう。従って、ブラシ軸１８２の振れによる偏角が生じたとしてもこれを吸収し難くなり、ミスアライメントが生じて、すなわち、ブラシ軸１８２及びベアリング１８５（１８６）といった２つの回転中心軸がずれた所謂「軸ずれ」の状態となり、ベアリング等から騒音（異音）が発生したり、あるいはベアリングや軸等が破損（磨耗）してしまうといった問題がある。この偏角の許容に関し、ブラシ軸１８２におけるロールブラシ１８１の両端側の軸部を、例えば図２０に示すような継手１９０（継手部材１９１（１９２）が、継手部材１９２（１９１）に対して軸１９３、１９４を回動軸としてβ視十字方向に回動可能な構成となっているユニバーサルジョイント）で連結することが考えられるが、従来のこのような継手は、例えば、ストレートピンやハーフピン、かしめピンといった各種ピン１９５（又は螺子類）、あるいは継手部材１９１、１９２の二股部によって挟持される（上記ピン類が十字方向に挿通された）直方体状のコマ１９６や図略のフェルトやオイルキャップといったように部品点数が多くなり、組み立てや分解（取り付けや取り外し）に手間がかかってしまう。
【０００７】
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、簡易な構成であるとともに、より大きな偏角を吸収することができ、ひいては、ベアリング等からの騒音の発生、あるいはベアリングや回転軸等の破損（磨耗）を防止することができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１記載の発明は、所定の駆動源によって回転駆動される回転軸と、回転軸によって軸支されて回転する回転体とを備え、当該回転する回転体を所定方向に搬送される基板に作用させて基板処理を行う基板処理装置であって、前記回転軸と回転体とを連結するための自在継手手段を備え、前記自在継手手段は、回転軸及び回転体間の回転駆動力を伝達する駆動力伝達部と、回転軸及び回転体をそれぞれ互いに相手方の軸方向と直交する平面内の少なくとも十字方向に回動自在に支持する支持部とを備えることを特徴とする基板処理装置である。
【０００９】
ここで、「十字方向に回動自在に支持する」とは、互いに連結すべき２つの軸があるとして、両軸を連結した場合において、これら２つの軸体の回転中心線が一直線状になっていない状態、つまり互いの回転中心線が任意方向に或る角度で交わった状態になることを許容することを意味する。すなわち、一方の軸体が他方の軸体に対して、軸連結部分を基点として上下方向・左右方向（十字方向）に回動自在とされていることを意味する。
【００１０】
自在継手手段は、このような支持部を備える一方で駆動力伝達部を備えることから、２つの回転中心線が一直線状態になっている場合だけでなく、或る角度で交わっている場合においても、一方の軸体から他方の軸体への回転運動を伝達することが可能となるものである。
【００１１】
請求項２記載の発明は、上記請求項１記載の基板処理装置において、前記回転軸の一端部に球状体を設けるとともに、回転体の端部に当該球状体が着脱自在でかつ摺動自在な筒状空間部を備える嵌合体を設けて前記支持部が構成され、前記回転軸の半径方向であって、前記球状体の外周部に突設された突起部と、当該突起部を受容し、前記嵌合体に形成される第１のスリット部とから、前記駆動力伝達部が構成されることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の発明は、上記請求項２記載の基板処理装置において、前記嵌合体は、円筒状に形成されてなるものであって、嵌合体の周部には、嵌合体の軸方向に形成されかつ嵌合体の先端側に向けて開口されてなる所定数の第２のスリット部が形成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載の発明は、上記請求項２又は３記載の基板処理装置において、前記嵌合体は、嵌合体の内周面において球状体と摺接する樹脂材料からなる内層部と、金属材料からなる外層部とからなる２層構造となっていることを特徴とする。
【００１４】
請求項５記載の発明は、上記請求項４記載の基板処理装置において、前記突起部の先端部は、前記外層部との当接を防止するべくテーパが形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項６記載の発明は、上記請求項２〜５のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記球状体及び筒状空間部の表面は、当該球状体及び筒状空間部間の前記摺接における摩
擦係数低下用の被覆材によって被覆されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項７記載の発明は、上記請求項２〜６のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記嵌合体は、回転体本体に対して着脱可能に装着されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項８記載の発明は、上記請求項７記載の基板処理装置において、前記嵌合体は、一端側の外周部にフランジ部が形成されているものであって、当該嵌合体は、フランジ部を用いて回転体本体の端面に対して螺合されることを特徴とする。
【００１８】
請求項９記載の発明は、上記請求項８記載の基板処理装置において、前記嵌合体及び回転体本体における前記螺合される端面には、嵌合体と回転体本体との同心を得るべく凹凸部が形成されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項１０記載の発明は、上記請求項１記載の基板処理装置において、前記回転軸の一端部に球状体を設けるとともに、回転体の端部に当該球状体が着脱自在でかつ摺動自在な筒状空間部を備える嵌合体を設けて前記支持部が構成され、回転軸の軸方向であって、前記球状体の外周に沿って円弧状に欠切され、かつ当該欠切された面が回転軸の半径方向と平行に形成されてなる複数の欠切帯部と、当該欠切帯部と係合し、前記嵌合体に形成される係合面部とから、前記駆動力伝達部が構成されることを特徴とする。
【００２０】
請求項１１記載の発明は、上記請求項１〜１０のいずれかに記載の基板処理装置において、前記回転軸は、１つの回転体に対して１対に設けられ、回転体の両側部において前記自在継手手段によって回転体と連結されるものであって、少なくとも一方の回転軸を基板の搬送方向に対して平行にスライド移動可能に構成された平行移動手段を備えることを特徴とする。
【００２１】
請求項１２記載の発明は、上記請求項１〜１１のいずれかに記載の基板処理装置において、前記回転軸は、１つの回転体に対して１対に設けられ、回転体の両側部において前記自在継手手段によって回転体と連結されるものであって、各回転軸を基板の搬送方向に対して垂直な方向にスライド移動可能に構成された垂直移動手段を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１記載の発明によれば、装置における回転軸と回転体とを連結するための、駆動力伝達部と支持部とを有する自在継手手段が備えられ、駆動力伝達部によって回転軸及び回転体間の回転駆動力が伝達され、支持部によって、回転軸及び回転体をそれぞれ互いに相手方の軸方向と直交する平面内の少なくとも十字方向に回動自在に支持される。このように、回転軸及び回転体間の回転駆動力が伝達され、かつ回転軸と回転体とが互いに当該回動自在に支持されるため、回転駆動中に振れ等による偏角（より大きな偏角）が生じたとしても、当該自在継手手段においてこの偏角を吸収することができ、ひいては、回転軸とベアリングとの軸ずれ（ミスアライメント）が生じるのを防止できるため、ベアリング等からの騒音の発生、あるいはベアリングや回転軸等の破損（磨耗）を防止することができる。
【００２３】
請求項２記載の発明によれば、回転軸の一端部に球状体が設けられるとともに、回転体の端部に当該球状体が着脱自在でかつ摺動自在な筒状空間部を備える嵌合体が設けられて支持部が構成され、回転軸の半径方向であって、球状体の外周部に突設された突起部と、当該突起部を受容し、嵌合体に形成される第１のスリット部とから、駆動力伝達部が構成される。このように、自在継手手段が、突起部を有した球状体と、この球状体が嵌合される嵌合体とからなる構成であるため、当該自在継手手段を、コマ（図２０のコマ１９６参照）などのない、すなわち、部品点数が少ない簡易な構造とすることができ、また、嵌合体が球状体に対して着脱自在であるため、例えば回転体を装置から取り外して交換するといったことが容易に行えるようになる。また、この自在継手手段を備えることにより、ロールブラシ等からなる回転体を回転軸と一体に形成する必要がなくなり、したがって、軸全体の長さが大きくなり、振れ精度や円筒度を得るために部品単価が高くなるといったことを防止することができる。
【００２４】
請求項３記載の発明によれば、円筒状に形成されてなる嵌合体の周部には、嵌合体の軸方向に形成されかつ嵌合体の先端側に向けて開口されてなる所定数の第２のスリット部が形成されている。これにより、嵌合体を半径方向に押し広げるようにして、球状体を筒状空間部に嵌入させ、当該球状体と筒状空間部とを隙間なく摺接させることが可能となり、回転軸によって回転体を精度良く軸支することができ、回転駆動時等の回転軸及び回転体間の軸ずれを防止することができる。
【００２５】
請求項４記載の発明によれば、嵌合体は、嵌合体の内周面において球状体と摺接する樹脂材料からなる内層部と、金属材料からなる外層部とからなる２層構造となっているため、金属材料からなる外層部によって嵌合体の強度の向上が図られ、樹脂材料からなる内層部が破壊された場合であっても、回転体が回転軸から脱落するといったことを防止することができる。
【００２６】
請求項５記載の発明によれば、突起部の先端部には、外層部との当接を防止するべくテ
ーパが形成されているため、突起部が外層部と当接するのを防止でき、すなわち、金属部同士の接触が回避でき、磨耗による金属粉（パーティクル）の発生を防止することができる。
【００２７】
請求項６記載の発明によれば、球状体及び筒状空間部の表面は、当該球状体及び筒状空間部間の摺接における摩擦係数低下用の被覆材によって被覆されているため、互いに球状体及び筒状空間部との摺接による磨耗が生じ難くなり、金属粉の発生を防止することができる。
【００２８】
請求項７記載の発明によれば、嵌合体は、回転体本体に対して着脱可能に装着されているため、回転体を、回転体本体と嵌合体との別部品で構成することができ、例えば回転体本体（ロールブラシ）を交換する場合に、回転体全体を取り外す必要がなく（多数の部品を取り外す必要がなく）、回転体本体と嵌合体との連結箇所のみを分離させて容易に当該回転体本体の交換を行えるようになり、当該回転体本体の交換に要する作業時間を短縮することができる。
【００２９】
請求項８記載の発明によれば、嵌合体は、一端側の外周部にフランジ部が形成されており、このフランジ部を用いて回転体本体の端面に対して螺合される構成であるため、例えば回転体本体（ロールブラシ）と嵌合体とを分離させる場合、嵌合体の外周部にあるフランジ部での螺合を解除すればよく、すなわち、螺合を解除するための箇所が外周部にあり容易にアクセスすることができる（手が届く）ため、回転体本体の交換がより容易となり、当該交換に要する作業時間をより短縮することができる。
【００３０】
請求項９記載の発明によれば、嵌合体及び回転体本体における螺合される端面には、嵌合体と回転体本体との同心を得るべく凹凸部（所謂インロー部）が形成されているため、
回転体本体と嵌合体とが同心となるように（偏心しないように）容易に連結（螺合）でき、軸ずれを防止することができる。
【００３１】
請求項１０記載の発明によれば、回転軸の一端部に球状体が設けられるとともに、回転体の端部に当該球状体が着脱自在でかつ摺動自在な筒状空間部を備える嵌合体が設けられて支持部が構成され、回転軸の軸方向であって、球状体の外周に沿って円弧状に欠切され、かつ当該欠切された面が回転軸の半径方向と平行に形成されてなる複数の欠切帯部と、当該欠切帯部と係合し、嵌合体に形成される係合面部とから、駆動力伝達部が構成される。このように、自在継手手段が、複数の欠切帯部を有した球状体と、この球状体が嵌合される嵌合体とからなる構成であるため、当該自在継手手段を、コマなどのない、すなわち、部品点数が少ない簡易な構造とすることができ、また、嵌合体が球状体に対して着脱自在であるため、回転体のみ装置から取り外して交換するといったことが容易に行えるようになる。また、この自在継手手段を備えることにより、例えばロールブラシ等からなる回転体を回転軸と一体に形成する必要がなくなり、したがって、軸全体の長さが大きくなり、振れ精度や円筒度を得るために部品単価が高くなるといったことを防止することができる。
【００３２】
また、球状体には突起部がなく、あるいは嵌合体にはこの突起部と係合するスリット部といったものが形成されておらず、より簡易な構造となるため、部品破損等による動作不具合が発生するなどの確率がさらに低下し、また、球状体の突起部による、嵌合体との摺接（突起部と外層部との金属同士の摺接）が起こらず、よって金属粉の発生確率をさらに低下することができる。
【００３３】
請求項１１記載の発明によれば、回転軸が１つの回転体に対して１対に設けられ、また、回転軸が自在継手手段によって回転体の両側部において回転体と連結され、平行移動手段によって、少なくとも一方の回転軸が基板の搬送方向に対して平行にスライド移動可能に構成される。これにより、基板の搬送方向に対する回転体の回転中心軸方向を任意に変更することが可能になるとともに、回転体の回転中心軸方向を変更する場合に、軸全体の（回転体及び回転軸ごと）向きを変える必要がなくなり、装置構造の簡易化及び当該回転中心軸の向き変更に関する作業効率の向上を図ることができる。
【００３４】
請求項１２記載の発明によれば、回転軸が１つの回転体に対して１対に設けられ、また、回転軸が自在継手手段によって回転体の両側部において回転体と連結され、垂直移動手段によって、各回転軸が基板の搬送方向に対して垂直な方向にスライド移動可能に構成される。これにより、基板の面方向に対する回転体の回転中心軸方向を任意に変更することが可能となるとともに、回転体の軸方向を変える場合に、軸全体の（回転軸及び回転体ごと）向きを変える必要がなくなり、装置構造の簡易化及び当該回転中心軸の向き変更に関する作業効率の向上を図ることができる。また、基板に対して、各回転軸を別々に上下方向にスライド移動することができるため、例えば、各回転軸の高さ位置を検出するための高さ位置検出手段や、駆動源の回転数の変化に基づく負荷変動を検出する負荷変動検出手段を備えておき、各回転軸を交互に上下移動させて回転体を基板に対して交互に作用させ、その場合の回転数が変化したときの回転軸の高さ位置を検出し、この検出に基づいて基板（基板接面）の位置を検出するといったことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明に係る基板処理装置の一例としての基板洗浄装置について図面を参照しながら説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示している。
【００３６】
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置の一例である基板洗浄装置を概略的に示す斜視図である。図１に示すように、基板洗浄装置１は、基台２、３、支持フレーム４、５、駆動部６、駆動軸部７（回転軸）、ブラシ部８（回転体）、従動軸部９（回転軸；請求項１記載の回転軸は、駆動軸部７及び従動軸部９を示している。ただし、当該回転軸は、駆動軸部７において所定の駆動源によって回転駆動される）、軸受部１０、１１、昇降部１２、１３、及び位置検出部１４、１５を備えている。
【００３７】
基台２、３は、装置全体を支持する所謂装置の台座となるものであるとともに、支持フレーム４、５間の距離を変化させることが可能なもの、すなわち、支持フレーム４（５）を支持フレーム５（４）に対して駆動軸部７（従動軸部９）の軸方向にスライド移動させることが可能に構成されたものである。基台２、３は、それぞれ例えば略四角形状でかつ平板状の上部基板２１、３１と下部基板２２、３２とからなり、上部基板２１、３１の上面において支持フレーム４、５を固定支持している。上部基板２１、３１と下部基板２２、３２との間でかつ上部基板２１、３１の例えば四隅の位置には、例えば円筒状のコロ２３、３３が設けられている。
【００３８】
下部基板２２、３２の上面には、上記軸方向に伸びてなる例えば２本の凹状のスライドレール２４、３４が形成されており、このスライドレール２４、３４内をそれぞれ上記コロ２３、３３が回転しながら移動することによって、下部基板２２、３２に対して上部基板２１、３１がスライド移動可能に構成されている。
【００３９】
また、基台２には、下部基板２２に対する上部基板２１のスライド移動を規制する（位置固定する）ための所定の機構、例えば螺子等の止め部材を上部基板２１を介して下部基板２２に対して係合させたり離したりして（着脱させて）、当該スライド移動の可否を規制するための規制部２５（当たり部）が設けられている（基台３側に対しても同様に規制部３５が設けられている）。
【００４０】
なお、スライド移動可能な構成としては、上記コロ２３や凹状のスライドレール２４（コロ３３やスライドレール３４）を用いたものでなくともよく、例えば凸状のレールとこれに係合する所定のローラ、あるいはラックとこれに噛み合う歯車等の構成であってもよい。また、コロやローラを用いずに、上部基板２１及び下部基板２２（上部基板３１及び下部基板３２）の対向面部に例えば互いに係合する凹凸状のレール部を形成し、上部基板２１、３１と下部基板２２、３２とが互いに摺接しつつスライド移動可能な構成としてもよい。また、上記のようなレール部ではなく、例えば上部基板２１（３１）に、下部基板２２（３２）を軸方向において両側から挟み込むような所定のガイド部材を備えることによって、当該スライド移動を実現する構成であってもよい。
【００４１】
また、基台２又は３にスライド移動量の微調整を可能とする所定の送り機構（図略）を備えてもよい。また、下部基板２２、３２は、互いに連結あるいは一体に形成されていてもよい。また、基台２、３のうちの一方の側、例えば基台３は、スライド移動ができない構成（例えば上部基板３１及び下部基板３２を一体に形成する、あるいは互いに固定する構成）としてもよい（この場合、基台３に上記当たり部３５は設けられていない）。
【００４２】
支持フレーム４、５は、駆動部６、駆動軸部７、ブラシ部８、従動軸部９及び軸受部１０、１１を支持するものである。支持フレーム４、５は、基台２、３上に鉛直方向に延設され、当該鉛直方向の両端側が背面に対して直角に折り曲げられて形成されている上面視略コ字状の枠体であり、基端側（下部）が上記基台２、３（上部基板２１、３１の上面部）に固定されている。支持フレーム４、５は、それぞれ１対の昇降用レール４１、５１を備えており、この昇降用レール４１、５１により軸受部１０、１１が昇降移動（スライド移動）可能に支持されている。
【００４３】
駆動部６は、駆動モータ６１からなる駆動源であり、駆動軸部７（ブラシ部８及び従動軸部９）を回転駆動させるものである。駆動部６は、各駆動軸部７に対して１つ設けられている。駆動部６における駆動モータ６１の駆動軸は、駆動軸部７における後述する球状体７１側と反対側の一端部と、所定のカップリング６２（継手）によって連結されて互いに固定されている（なお、カップリング６２における駆動部６側に取り付けられる部材は、駆動部６に含むものとする）。駆動部６の駆動モータ（例えば直流モータ）は、それぞれ印加される電力（電流）量に応じて回転数（回転駆動力）を変化させることが可能に構成されている。
【００４４】
なお、各駆動軸部７に対して駆動モータ６１が１つ設けられる構成でなくともよく、例えばメインとなる駆動モータを１つ設けており、ギア等によって各駆動軸部７と接続させてこれを回転駆動させる構成であってもよい。
【００４５】
駆動軸部７は、例えば所定の金属材料からなり、駆動部６によって回転駆動されるとと
もに、ブラシ部８を駆動軸部７に対して回動自在に支持（軸支）する外形視略円柱状の軸体である。駆動軸部７におけるブラシ部８側の先端（先端面）の中央部には、後述する突起部７２が設けられた球状体７１が形成（突設）されている。駆動軸部７における駆動部６側の基端側（軸受部１０によって軸受けされる部位）は、当該駆動軸部７の先端側の軸径よりも例えば小さい軸径となっており、この部位に、後述する軸受部１０における１対のベアリング１０３が嵌入されるようになっている。
【００４６】
ブラシ部８は、ナイロン等の材質からなる毛体が植付けられてなるチャンネルブラシが所定の軸芯にスパイラル状（螺旋状）に巻装された、すなわち、軸の円周方向に亘って高密度に植毛された外形視略円柱状のロールブラシ（所謂チャンネル式ロールブラシ）である。ブラシ部８は、軸芯及びロールブラシ（毛部）からなるブラシ本体部８０と、このブラシ本体部８０の両端部における嵌合体８１を備えている。この嵌合体８１と後述する球状体７１は、符号１００に示す、ブラシ部８と駆動軸部７及び従動軸部９との連結部（以降、この連結部を継手部１００とする）を構成している。なお、ブラシ部８は、駆動軸部７の回転駆動に従動して回転する。
【００４７】
従動軸部９は、例えば所定の金属材料からなり、駆動軸部７と一対になってブラシ部８を支持（軸支）するものである。従動軸部９は、駆動軸部７と同様に、ブラシ部８側の先端に、嵌合体８１と嵌合する球状体７１が形成されており、これと嵌合体８１とによってブラシ部８と連結されている。また、従動軸部９におけるブラシ部８と反対側の基端側（軸受部１０によって軸受けされる部位）は、当該従動軸部９の先端側の軸径よりも例えば小さい軸径となっており、この部位に、後述する軸受部１１における１対のベアリング１１３が嵌入されるようになっている。なお、従動軸部９は、駆動軸部７によって回転駆動されたブラシ部８の回転に従動して回転される。
【００４８】
軸受部１０、１１は、それぞれ、駆動軸部７及び従動軸部９を軸回転可能に支持するものである。軸受部１０、１１は、上方位置にある駆動軸部７、従動軸部９を軸受けする上部軸受部１０１、１１１と、下方位置にある駆動軸部７、従動軸部９を軸受けする下部軸受部１０２、１１２とを備えている。これら、上部軸受部１０１、１１１及び下部軸受部１０２、１１２は、外形視略円筒状（詳細には軸方向における両端側すなわち正面側及び背面側が平面部となるように欠切された形状）をしており、それぞれ軸方向の両端部に１対のベアリング１０３、１１３を内蔵している。駆動軸部７及び従動軸部９は、基端側が
このベアリング１０３、１１３内に嵌め込まれることにより軸回転が可能に支持されてい
る。
【００４９】
なお、軸受部１０における駆動部６側の端部には、軸方向視略正方形状のフランジ板１０４（側板）が固設されており、当該フランジ板１０４と、駆動部６における駆動軸部７側の端面との間には、上記カップリング６２が外側から目視可能となる所定の開口部１０５１が形成された外形視略円筒状のカバー部１０５が設けられている。また、軸受部１１における従動軸部９と反対側の端部には、従動軸部９（ベアリング１１３）が外部へ抜け出さないように封止するための例えばナットなどの抜止部材１１４が取り付けられて（螺合されて）いる。
【００５０】
昇降部１２、１３は、それぞれ軸受部１０、１１を昇降移動（昇降駆動）させるものである。昇降部１２、１３は、それぞれ例えば昇降駆動モータ１２１、１２２、及び昇降駆動モータ１３１、１３２からなる駆動源を備えており、上部軸受部１０１、１１１、及び下部軸受部１０２、１１２を個別に昇降移動可能に構成されている。ただし、ここでは、昇降駆動モータ１２１（１３１）は上部軸受部１０１（１１１）を、昇降駆動モータ１２２（１３２）は下部軸受部１０２（１１２）を昇降移動させる構成となっている。
【００５１】
具体的には、昇降部１２（１３）は、昇降駆動モータ１２１、１２２（１３１、１３２）（例えばパルスモータ）と、これら各昇降駆動モータの駆動軸と所定のカップリング１２３（１３３）によって連結された、螺子部を有する回転軸部１２４（１３４）と、この回転軸部１２４（１３４）と螺合するとともに、各軸受部１０、１１に固定された図略の被螺合部材とを備え、各昇降駆動モータ１２１、１２２（１３１、１３２）の駆動軸の回転量に応じて、回転軸部１２４（１３４）と螺合された被螺合部材とともに上部軸受部１０１（１１１）及び下部軸受部１０２（１１２）を昇降移動する。
【００５２】
各駆動モータ１２１、１２２（１３１、１３２）の下端には、それぞれ当該モータの回転駆動に応じて回転する円盤１２１ａ、１２２ａ（１３１ａ、１３２ａ）が取り付けられており、これら円盤１２１ａ、１２２ａ（１３１ａ、１３２ａ）には、当該各円盤の半径方向にその一部を切り欠いた切欠部（図略）が形成されている。各円盤の側方には、後述する位置センサ１４１と同様のコの字型センサからなる原点位置センサ１２１ｂ、１２２ｂ（１３１ｂ、１３２ｂ）が取り付けられており、コの字の内部に円盤が挿入可能となる位置関係で配置されている。これにより、各原点位置センサによって、円盤の切欠部が当該コの字型センサの光軸の位置にある場合、すなわち、円盤によって光軸が遮断されていない場合が原点位置として検出され、円盤の当該原点位置からの回転（回転角）に応じた各昇降駆動モータ（パルスモータ）のパルス数に基づいて、駆動軸部７及び従動軸部９（ブラシ部８）の上下方向の精密な（高精度の）位置決めがなされる。
【００５３】
位置検出部１４、１５は、それぞれ各駆動軸部７（上部軸受部１０１及び下部軸受部１０２）及び各従動軸部９（上部軸受部１１１及び下部軸受部１１２）が高さ方向における所定の可動範囲（区間）の位置にあるか否かを検出するものである。位置検出部１４、１５は、それぞれ支持フレーム４、５における軸受部１０、１１の背面と対向する位置に設けられている。位置検出部１４は、例えば図８に示すように、主に位置センサ１４１〜１４４、及び当該位置センサ１４１〜１４４が取り付けられる取付板１４５からなり、位置センサ１４１、１４２によって上方の駆動軸部７（上部軸受部１０１）が可動範囲の位置にあるか否かを検出し、位置センサ１４３、１４４によって下方の駆動軸部７（下部軸受部１０２）が可動範囲の位置にあるか否かを検出する。換言すれば、各位置センサ１４１〜１４４は、各駆動軸部７（各軸受部１０）の可動範囲を定める所謂リミットセンサであり、上方の駆動軸部７は、位置センサ１４１、１４２間が昇降移動範囲となり、下方の駆動軸部７は、位置センサ１４３、１４４間が昇降移動範囲となっている。
【００５４】
各位置センサ１４１〜１４４は、例えば赤外線等の光線を発光（出射）する発光部１４１ａ〜１４４ａと、当該発光された光線を受光する受光部１４１ｂ〜１４４ｂとを備えてなる所謂透過型のフォトセンサであり、外形視略コ字状をしている。このようなコの字型センサは、内側に形成された（それぞれ各発光部１４１ａ〜１４４ａと各受光部１４１ｂ〜１４４ｂとの間に形成された）光軸が、セクタ（図略）によって遮断されているか否かに応じてＯＮ／ＯＦＦ信号を出力する。この出力されたＯＮ／ＯＦＦ信号は、例えば後述する制御手段（変形態様（Ｄ）参照）に入力され、この制御手段によって、当該ＯＮ／ＯＦＦ信号に基づき各駆動軸部７が可動範囲内で昇降移動するように制御されている。
【００５５】
上記セクタとは、駆動軸部７と一体に昇降移動するとともに上記コの字の間（各発光部受光部間）に挿し込まれる、例えば長方形状をした板状体からなるものであり、軸受部１０の背後における駆動部６側の端部位置（又はフランジ板１０４やカバー部１０５の背後位置）に設けられている。位置センサ１４１、１４２に対応する当該セクタは上部軸受部１０１側に、位置センサ１４３、１４４に対応するセクタは下部軸受部１０２側に設けられていてもよい。
【００５６】
また、取付板１４５には、各位置センサ１４１〜１４４を軸受部１０等の当接から保護するための保護部材１４６が設けられている（図８では、位置センサ１４２のみ保護部材１４６が取り付けられているが、実際は、位置センサ１４１〜１４４全てに対して取り付けられている）。
【００５７】
なお、位置検出部１５についても図８に示す位置検出部１４と同じ構成となっている。ただし、位置検出部１５は、各位置センサが位置検出部１４と鏡面対称に配置されるような向きで支持フレーム５に取り付けられている。また、この位置検出部１５に対応するセクタは、例えば軸受部１１に設けられており、上述と同様の構成となっている。
【００５８】
ここで、上記図１におけるブラシ部８と駆動軸部７及び従動軸部９との各連結部（継手部１００）の構成について説明する。図２は、ブラシ部８と駆動軸部７（従動軸部９）との継手部１００の拡大図を示している。また、図３は、駆動軸部７の先端部の形状の一例を示す拡大図である。
【００５９】
ブラシ部８と駆動軸部７との継手部１００は、ブラシ部８と従動軸部９との継手部１００と同じである（ブラシ部８を挟んで対称な構成となっている）ため、ここでは、一方側のブラシ部８と駆動軸部７との継手部１００について説明する。
【００６０】
まず、図３に示すように、駆動軸部７の先端部（ブラシ部８側の端部）には、外形視略球形状である１つの球状体７１が形成されている。この球状体７１は、当該球状体７１の中心点７４が、駆動軸部７の回転中心軸７５上に位置するように、駆動軸部７と一体に形成されている。
【００６１】
球状体７１には、外形視略円筒形状である、それぞれ駆動軸部７の半径方向に突出するとともに、互いに対向する位置にある一対の突起部７２が設けられている。この一対の突起部７２の回転中心軸７６は、上記中心点７４において回転中心軸７５と直交している。なお、球状体７１の駆動軸部７に対する付け根の部分には、その全周にわたって断面が略円弧状の溝部７３が形成されており、これにより、当該付け根の部分の応力集中による破断等が回避される。また、駆動軸部７に対してブラシ部８（嵌合体８１）が傾斜（回動）すると、嵌合体８１の内層部材８７が球状体７１の上記付け根の部分に接近するが、この傾斜角度が大きな場合であっても、溝部７３が形成されていることによって、内層部材８７と球状体７１の付け根の部分との干渉を防止することができる（後述の図６参照）。
【００６２】
一方、図２に示すように、ブラシ部８は、当該ブラシ部８におけるブラシ本体部８０の端部に、上記球状体７１と嵌合するための外形視略円柱状の嵌合体８１が装着されている。この嵌合体８１には、嵌合体８１の軸（回転中心軸）方向に形成され、駆動軸部７の球状体７１が嵌入される、球状体７１側に向けて開口された筒状空間部８２（凹部）と、駆動軸部７とブラシ部８とが連結された場合（球状体７１が筒状空間部８２に嵌入された場合）に、球状体７１の突起部７２が受容（係合）される、上記突起部７２の回転中心軸７６方向において筒状空間部８２を挟んで対向位置にある一対のスリット部８３（溝部）とが形成されている。
【００６３】
また、嵌合体８１は、球状体７１に対して着脱自在でかつ摺動自在に嵌合する。すなわち、嵌合体８１は、球状体７１に対して符号Ａに示す矢印方向（スリット部８３の形成方向）に進退（スライド移動）することにより当該球状体７１に嵌め込んだり取り外したりすることができる。また、球状体７１の外表面と筒状空間部８２の内表面（内周面及び内底面）、及び球状体７１における突起部７２の基端側の外周面とスリット部８３の後述する内層部材８７の内壁面は摺接する。
【００６４】
駆動軸部７及び嵌合体８１（ブラシ部８）とは、それぞれ互いに相手方の軸（回転軸）方向と直交する平面内における十字方向に、回動自在となっている。すなわち、例えば嵌合体８１に対して駆動軸部７が回動するとした場合、嵌合体８１の回転中心軸８４と垂直な平面内における、上記突起部７２の回転中心軸７６方向（符号Ｂ１に示す矢印方向）と、回転中心軸７６と垂直な方向（符号Ｃ１に示す矢印方向）とに駆動軸部７が回動する。換言すれば、駆動軸部７は、嵌合体８１に対して、回転中心軸７６を回転中心として符号Ｃ２に示す矢印方向に回転するように、上記符号Ｃ１に示す矢印方向に回動するとともに、嵌合体８１に対して、回転中心軸７６（突起部７２）が、回転中心軸８４と回転中心軸７６を含む面内の符号Ｂ２に示す矢印方向に、球状体７１の中心点７４を揺動中心として揺動するように上記符号Ｂ１に示す矢印方向に回動する。ただし、球状体７１と嵌合体８１とは、スリット部８３の底面部と突起部７２の側面部との間に、突起部７２が上記符号Ｂ２に示す矢印方向に揺動する際の、当該突起部７２とスリット部８３の底面部との当接を回避するべく隙間部８３１を有するように互いに嵌合されている。
【００６５】
また、嵌合体８１は、ブラシ本体部８０の端面に、植え込みボルト等の螺合部材８５による螺合（螺合以外の固定方法でもよい）によって着脱可能に装着されている。また、嵌合体８１がブラシ本体部８０に対して軸回転しないように、例えば円筒状のピンなどの所定数の回転規制部材８６が嵌合体８１とブラシ本体部８０とに亘って嵌め込まれている。なお、図４におけるブラシ部８の一端部の縦断面図に示すように、嵌合体８１及びブラシ本体部８０の連結面（上記螺合される端面）には、嵌合体８１とブラシ本体部８０との同心を得るべくインロー部８００（凹凸部）が形成されている。
【００６６】
ところで、嵌合体８１は、図５に示すように、嵌合体８１の内周面において球状体と摺接する部位である、例えばＰＯＭ（Polyoxymethylene）樹脂等の樹脂材料からなる内層部材８７と、図６に示すように、上記内層部材８７を覆うように設けられた、ステンレス鋼（例えばＳＵＳ３１６）等の金属材料からなる外層部材８８とからなる２層構造となっている。このように、内層部材８７を樹脂材料で形成することにより、パーティクルの発生源となるのを防止している。すなわち、金属材料からなる球状体７１と摺接して（金属同士が摺接して）金属紛が発生するのを防止し（金属粉以外のパーティクルの発生も含む）、低発塵化を図っている。また、内層部材８７に対して金属材料からなる外層部材８８で覆うことにより、嵌合体８１の強度が増し、例えば、回転駆動中に樹脂部である内層部材８７が破損した場合においても、駆動軸部７（従動軸部９）からブラシ部８が脱落することを防止している。
【００６７】
内層部材８７は、略円柱形状をしており、上記筒状空間部８２と上記スリット部８３を構成するスリット部８３ａとが形成されているとともに、嵌合体８１の回転中心軸８４方向に形成されかつ嵌合体８１の先端側（駆動軸部７側）に向けて開口されてなる、内層部材８７の半径方向における対向位置にある一対のスリット部８７１（所謂すり割り）が形成されている。スリット部８７１における符号８７２に示す端部には、応力集中を回避するべく孔部（曲面部）が形成されている。
【００６８】
一方、外層部材８８は、略円筒形状をしており、上記スリット部８３ａ及びスリット部８７１と同様に（同形状及び、周方向における同位置となるように）、スリット部８３を構成するスリット部８３ｂ及びスリット部８８１（すり割り）が形成されている。なお、内層部材８７と外層部材８８とが合体されてなる嵌合体８１における、スリット部８７１、８８１のことを、以降、スリット部８９という。
【００６９】
嵌合体８１にスリット部８９が形成されているため、例えば筒状空間部８２の径（内径）を球状体７１の外径より僅かに小さくなるように形成しておき、球状体７１を当該筒状空間部８２（嵌合体８１）を半径方向に押し広げるようにして嵌入させることによる所謂しまり嵌めが可能となる。これにより、球状体７１と嵌合体８１とを隙間なく嵌合する（球状体７１と嵌合体８１との接触部のギャップを無くす）ことができ、駆動軸部７や従動軸部９、ブラシ部８の回転駆動時の振動等が防止され、ひいては、基板の洗浄むら、あるいは基板に対する損傷等の発生（例えば液晶などの基板に傷等が付くと、製造過程におけ
る例えば加熱／冷却時に生じる熱変形による基板割れの原因となってしまう）を防止する
ことができる。また、基板の搬送不良等も防止される。
【００７０】
ただし、上述のように嵌合体８１を押し広げることが可能となるように、外層部材８８に対して、弾性力（可撓性）を有する例えば上記ＳＵＳ３１６のような金属材料を用いるとともに、外層部材８８の層の厚みが当該金属材料（の弾性力）に応じて決定される。
【００７１】
図７は、上記図６に示す、突起部７２の回転中心軸７６における符号Ｄに示す矢印方向視の断面図（図２における、嵌合体８１の回転中心軸８４と垂直な方向かつ中心点７４を通る断面図）である。図７に示すように、各突起部７２の先端部は、外層部材８８との当接を防止するべくテーパ部７２１が形成されている。テーパ部７２１におけるテーパの開始点７２２は、外層部材８８の内周面における内層部材８７との接点８８２の位置よりも内側の位置となっており、突起部７２の外周面部と、外層部材８８のスリット部８３ｂにおける側面部８３２との接触が回避されている。
【００７２】
なお、球状体７１及び突起部７２の外表面、及び筒状空間部８２の内表面（図４、７における符号８７３に示す位置）には、当該球状体７１及び筒状空間部８２間の摺接に対する摩擦係数を低下するための、例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等の材料からなるセラミックスなどの被覆材（の溶射）によって被覆（コーティング）されていてもよい。この被覆により、球状体７１及び突起部７２に対する嵌合体８１の円滑な摺動（回動）を実現し、当該摺接による磨耗を確実に防止することができる。
【００７３】
上記した継手部１００の構成において、駆動軸部７が駆動部６（駆動モータ）によって回転駆動されると、当該駆動軸部７の球状体７１における突起部７２と、これを受容する嵌合体８１におけるスリット部８３とによって、駆動軸部７から嵌合体８１（ブラシ部８）へ回転駆動力（トルク）が伝達され、これにより、ブラシ部８が回転する。また、従動軸部９は、駆動軸部７によって回転されるブラシ部８に従動して回転する。
【００７４】
このように回転駆動される一対（上下）のブラシ部８間に、例えば互いに平行に配列された複数の搬送ローラ（図略）によって搬送されてきた基板を通過させ、ブラシ部８を基板に作用させて当該基板に対する洗浄処理を行う。ただし、「ブラシ部８を基板に作用させる」方法は、各ブラシ部８におけるブラシ本体部８０のロールブラシ（円筒面）を、直接、基板の上下面（両面）に当接させる方法の他に、基板に洗浄液等の液体が供給されてこの基板の上下面に液体が存在する場合に、上記ロールブラシが、液体には接触するが、基板の上下面には接触しないように当該一対のブラシ部８の高さ位置を設定しておき、こ
の状態でブラシ本体部８０のロールブラシを基板上の液体に接触させつつ回転させるとい
った方法でもよい。
【００７５】
なお、駆動軸部７（従動軸部９）の球状体７１は、偏角の吸収が可能な範囲であるのならば（駆動軸部７に対するブラシ部８の所要の回動量（回動角）が得られるのであれば）、全体が球形状でなくともよく、突起部７２よりも先端側における一部が切り欠かれた形状、すなわち、回転中心軸７５と垂直な方向で切り欠かれ、当該切り欠かれた部位が回転中心軸７５方向からの正面視が円形状である平面部となっている形状であってもよい。また、上記平面部の円心部には、球状体７１を形成するためのセンタ穴が形成されていてもよい（このように球状体７１を先端が切り欠かれた形状とすることにより、駆動軸部７や従動軸部９の形成加工を容易に行うことができる）。ただし、当該切り欠き部は、回転中心軸７５と垂直な方向に切り欠かれたものでなくともよい。
【００７６】
ところで、基板洗浄装置１は、軸受部１０、１１を昇降移動させるための昇降部１２、１３を備えるとともに、上述のような継手部１００を備えているため、駆動軸部７及び従動軸部９それぞれが基板の搬送方向に対して垂直な方向にスライド移動した状態で（駆動軸部７、従動軸部９及びブラシ部８が）回転駆動することが可能となる。この場合、駆動軸部７及び従動軸部９は水平を保った状態（基台２、３の上面と平行な状態）でスライド移動（昇降移動）する。駆動軸部７及び従動軸部９は、個別に昇降移動可能であるため、駆動軸部７と従動軸部９との高さ位置が異なる状態に昇降移動された場合には、これら駆動軸部７及び従動軸部９間に連結されたブラシ部８は、当該異なる高さ位置の差の距離だけ傾斜した状態で回転駆動される（傾斜した状態は、後述する図１６参照）。
【００７７】
したがって、基板の面方向に対するブラシ部８の回転中心軸方向（傾斜方向）を任意な方向に変更することが可能となるとともに、ブラシ部８の軸方向を変える場合に、軸全体の（駆動軸部７、従動軸部９及びブラシ部８ごと）向きを変える必要がなくなり、装置構造の簡易化及び当該ブラシ部８の回転中心軸方向の変更に関する作業効率の向上を図ることができる。
【００７８】
また、基板洗浄装置１は、上述したように基台２、３に規制部２５、３５やスライドレール２４、３４を備え、それぞれ下部基板２２、３２に対して上部基板２１、３１が駆動軸部７（従動軸部９）の軸方向にスライド移動可能に構成されているが、これにより、例えばブラシ部８を交換する場合に、すくなくとも一方の規制部、例えば規制部２５を操作して下部基板２２に対する上部基板２１の固定を解除し、ブラシ部８の嵌合体８１に対して駆動軸部７を後退させるように支持フレーム４をスライド移動させて、当該嵌合体８１から球状体７１を抜き出し、ブラシ部８と駆動軸部７及び従動軸部９との接続を解除させてブラシ部８を取り外す。なお、このように規制部２５（３５）による固定を解除して支持フレーム４（５）をスライド移動させるのではなく、軸受部１１における抜止部材１１４を取り外し、従動軸部９を外側に向けてスライド移動させることにより、上記と同様に
ブラシ部８と駆動軸部７及び従動軸部９との接続を解除させてブラシ部８を取り外してもよい。
【００７９】
上記発明は以下の態様（Ａ）〜（Ｈ）をとることができる。
【００８０】
（Ａ）図９は、本発明の変形態様である、駆動軸部７とブラシ部８との継手部１００を概略的に示す斜視図である。この場合における駆動軸部７を駆動軸部９１、ブラシ部８をブラシ部９２とする。図９に示すように、駆動軸部９１の先端（先端面）には、球状体９３が形成されており、一方、ブラシ部９２の両端には、この球状体９３と嵌合する嵌合体９４が設けられている。ただし、嵌合体９４は、ブラシ部９２のブラシ本体部９２１に、上記図４で説明したように螺合部材８５や回転規制部材８６等によって取り付けられていてもよい。
【００８１】
ここで、図１０に、球状体９３を先端側から見た場合の斜視図を示す。図１０に示すように、球状体９３には、駆動軸部９１の回転中心軸方向であって、球状体９３の外周に沿って円弧状に欠切され、かつ当該欠切された面が駆動軸部９１の半径方向と平行となる（両端部以外同じ帯幅を有する平面状の部分が形成されてなる）複数（ここでは、８本）の欠切帯部９３１が形成されている。これら各欠切帯部９３１は、符号９３２に示す点（頂点９３２）を各欠切帯部９３１の交点とするように、側面視、球状体９３の球形状に沿って略円（真円）形状に形成されているとともに、これら欠切帯部９３１は、駆動軸部９１の回転中心軸を対称中心として軸対称に配置されている。
【００８２】
球状体９３の符号９３３に示す箇所、すなわち、各欠切帯部９３１に挟まれた部分は、当該欠切帯部９３１が形成されていない球面状（球状帯部９３３）になっている。一方、図９に示すように、嵌合体９４には、上記球状体９３の欠切帯部９３１が係合する、当該欠切帯部９３１と同数（ここでは、８つ）の係合面部９４１が内周面に形成されてなる角柱状（ここでは、正八角形柱）の空間部（筒状空間部９４０）が、嵌合体９４の軸方向でかつ球状体９３側に開口して形成されている。
【００８３】
図１１は、球状体９３と嵌合体９４とが嵌合した場合の、当該球状体９３と嵌合体９４との接点部を含む断面図（図９に示すＥ−Ｅ断面図）である。図１１に示すように、欠切帯部９３１と係合面部９４１とが係合した状態で、球状体９３と嵌合体９４とが嵌合される。この場合、球状体９３の球状帯部９３３は、筒状空間部９４０（正八角形）の角頂点（角部）と対向する位置になっている。このような構成により、球状体９３が筒状空間部９４０（嵌合体９４）に対して着脱自在でかつ摺動自在に嵌合され、嵌合体９４が球状体９３に対して（ブラシ部９２が駆動軸部９１に対して）、少なくとも符号Ｆに示す十字方向（図９、１１参照）を含む、任意な方向に回動する。嵌合体９４に対する球状体９３も同様に回動する。
【００８４】
ただし、嵌合体９４が球状体９３に対して例えば符号Ｇに示す矢印方向に回動する場合、当該矢印Ｇ方向において対向する、符号９４３に示す八角形の辺部では、欠切帯部９３１と係合面部９４１とが線接触した状態で回動するが、その他の辺部では、欠切帯部９３１と係合面部９４１とは点接触した状態となって回動する。
【００８５】
一方、欠切帯部９３１と係合面部９４１とは図１１に示すように係合しているため（球状体９３の半径方向の断面形状と、球状体９３と当接する筒状空間部９４０の内周面部は、円（真円）形状となっていないため、駆動軸部９１とブラシ部９２とは、互いに軸回転ができないようになっている。したがって、駆動軸部９１が回転駆動されると、当該駆動軸部９１の球状体９３における欠切帯部９３１と、これを受容する嵌合体９４の係合面部９４１とによって、駆動軸部９１から嵌合体９４（ブラシ部９２）へ回転駆動力が伝達され、これにより、ブラシ部９２が回転する。ただし、駆動軸部９１に対する従動軸部側は、このブラシ部９２の回転に従動して回転する。
【００８６】
なお、球状体９３の駆動軸部９１に対する付け根の部分は、上記図３に示す溝部７３と同様に、当該付け根の部分の応力集中による破断等を回避すべく、その全周にわたって断面が略円弧状の溝部（図略）が形成されていてもよい。また、図１２に示すように、駆動軸部９１の球状体９３は、全体が球形状でなくともよく、偏角の吸収が可能な範囲において、球状体９３の先端側における一部が切り欠かれた（符号９３４に示す位置）形状であってもよい。また、上記切り欠かれた部分（平面部）の円心部には、球状体７１を形成するためのセンタ穴が形成されていてもよい。
【００８７】
また、球状体９３に形成される欠切帯部９３１の個数は８個でなくともよく、偶数個でなくともよい。すなわち、１個以上であれば何個でもよい（球状体９３と嵌合体９４とが互いに回転しないように、すなわち、回転駆動力が伝達可能なように、少なくとも１個は必要）。また、球状体９３に球状帯部９３３が無くなるように、欠切帯部９３１が形成されてもよい。ただし、嵌合体９４の筒状空間部９４０は、当該球状体９３の各種形状に合わせた形状となっている。
【００８８】
また、球状体９３の外表面、及び筒状空間部９４０の内表面には、当該球状体９３及び筒状空間部９４０間の摺接に対する摩擦係数を低下するための、例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）等の材料からなるセラミックスなどの被覆材によって被覆されていてもよい。この被覆材により、球状体９３と嵌合体９４との間の円滑な摺動（回動）を実現し、当該摺接
による磨耗を確実に防止することができる。なお、従動軸部側の継手部もこれらと同様な
構成となっている。
【００８９】
（Ｂ）図１３における接続部の軸方向の断面図に示すように、上記図２に示す嵌合体８１、及び上記図９に示す嵌合体９４（この場合の図１３に示す嵌合体を嵌合体２０１とする）は、嵌合体２０１の軸方向における一端側の外周部に、螺子（又はボルト）といった螺合部材用の所定数の貫通孔を有したフランジ２０１１が形成されており、このフランジ２０１１における例えば符号２０３に示す位置において、上記螺合部材によってブラシ本体部２０２の端面に螺合されることにより（螺合以外の固定方法でもよい）、嵌合体２０１が、ブラシ本体部２０２に対して装着される構成であってもよい。このような構成のように、嵌合体２０１とブラシ本体部２０２との螺合（固定）を解除するための箇所がフランジ２０１１として外周部に設けられているため、容易にこの場所にアクセスすることができ、ブラシ本体部２０２の交換がより容易となり、ひいては当該交換に要する作業時間をより短縮することが可能となる。
【００９０】
なお、図１３に示すように、嵌合体２０１及びブラシ本体部２０２の連結面（上記螺合される端面）には、嵌合体２０１とブラシ本体部２０２との同心を得るべくインロー部２０４（凹凸部）が形成されていてもよい（ただし、インロー部２０４における符号２０５に示す凸部の高さは、例えば約１ｍｍとなっている）。これにより、嵌合体２０１とブラシ本体部２０２とを連結する際に、容易に同心を得ることができ、軸ずれを防止できる。
【００９１】
また、このようなインロー部２０４を設けることにより、例えばフランジ２０１１での螺合部材を取り外してブラシ本体部２０２の交換を行う際に、上記凸部の高さ寸法分（約１ｍｍ程度の距離）だけ軸方向に嵌合体２０１をスライド移動させると、当該ブラシ本体部２０２が外れるため、交換が容易に行えるようになる。この場合、例えば図２に示す突起部７２とスリット部８３の底部との隙間（隙間部８３１参照）、あるいは図９に示す筒状空間部９４０の底面と球状体９３との隙間の距離が、上記凸部の高さ寸法以上の大きさとなっており、嵌合体２０１を駆動軸部側（従動軸部側）に当該凸部の高さ寸法（約１ｍｍ）より長い距離だけ移動させることによって上記ブラシ本体部２０２の取り外しが行われる。
【００９２】
（Ｃ）基板洗浄装置１は、図１４に示すように、基台２（下部基台２２）の下方にさらに、基台２１１を備えており、この基台２１１（及び下部基台２２）は、当該下部基台２２が基台２１１に対して平行（符号Ｈに示す矢印方向）にスライド移動可能となる構成（例えば所定のガイドレールが形成される）になっていてもよい。また、この場合の送り量（スライド移動量）を調整するための、送り螺子等を備えてなる送り機構２１２が設けられていてもよい。
【００９３】
このように、基台２１１や送り機構２１２を備え、装置の基台２側を符号Ｈに示す矢印方向にスライド移動可能とすることにより、図１５における基板洗浄装置１を上方向から見た概略図に示すように、基板３０１の搬送方向３０２に対するブラシ部８（ブラシ本体部８０及び嵌合体８１）の回転中心軸３０３の方向を、ブラシ部８と従動軸部９との間の継手部１００の位置を回動中心として符号３０４に示す矢印方向に回動させるようにして任意に変更することが可能となる。この場合、同図に示すように、駆動軸部７（従動軸部９）は、基板３０１の搬送方向３０２と垂直な向きを維持したまま符号Ｈに示す矢印方向に平行移動されるとともに、駆動軸部７及び従動軸部９間に連結されたブラシ部８は、当該搬送方向３０２と垂直な方向に対して傾斜した状態となって平行移動される。
【００９４】
また、このようにブラシ部８の回転中心軸３０３の方向を変更する場合、軸全体（駆動軸部７、ブラシ部８及び従動軸部９）ごと向きを変える機構（装置）が必要でなくなり、装置構造の簡易化が図れるとともに、当該回転中心軸３０３の向きの変更に関する作業効率の向上を図ることができる。なお、基台２１１や送り機構２１２に相当するものを、基台３側に同様に設けてもよい。これにより、基台２及び３側において、搬送方向と平行に同様のスライド移動することが可能となり、より柔軟に回転中心軸３０３方向の変更が行えるようになる。
【００９５】
また、本変形態様（Ｃ）に示すような構成を、例えば、液晶基板表面（配向膜部）をラビングローラ（布等が巻装されてなるローラ）により擦ることによって、液晶に配向特性を加えるためのスクラブ装置に適用してもよく、これにより、当該ラビング装置が、容易に液晶に対して任意の配向角を与えることが可能な構成となる。
【００９６】
（Ｄ）図１６における基板洗浄装置１を正面方向から見た概略図に示すように、駆動部
６の各駆動モータ６１（例えば直流モータ）に、電流計４０１等からなる、当該駆動モータ６１の回転数の変化（ブラシ本体部８０（ロールブラシ）が基板３０１に接触すると、駆動モータ６１の回転数が低下する）に基づく負荷変動（フィードバック電流値）を検出する負荷変動検出装置４００を備えておき、ブラシ本体部８０が基板３０１に接触したときの上記負荷変動の検出情報に基づいて、基板３０１の位置、すなわち、基板３０１におけるブラシ本体部８０との接触面（基板接面）の位置（以降、パスライン４１０という）を検出可能な構成としてもよい。
【００９７】
具体的には、まず、駆動軸部７（軸受部１０）を昇降部１２によって下降移動させることによりブラシ部８の回転中心軸３０３を傾斜させ、ブラシ本体部８０の駆動軸部７側の端部４０２を基板３０１の上面に接触させて、検出装置４１０による当該接触時の負荷変動の検出に基づいて、基板３０１の一端側の高さ位置を検出する。次に、駆動軸部７を上昇移動させ、上記ブラシ本体部８０の端部４０２における基板３０１との接触を解除するとともに、昇降部１３によって従動軸部９（軸受部１１）を下降移動させることにより回転中心軸３０３を上記駆動軸部７を下降移動させた場合と反対方向に傾斜させ、ブラシ本体部８０の従動軸部９側の端部４０３を同様に基板３０１の上面に接触させて、このときの負荷変動の検出に基づいて、基板３０１の他端側の高さ位置を検出する。このようにブラシ本体部８０の両端部を交互に基板３０１に接触（作用）させることにより、上記パスライン４１０の位置を自動的に検出する。
【００９８】
なお、ブラシ本体部８０の両端部がそれぞれ基板と接触したときの駆動軸部７及び従動軸部９の上記高さ位置は（昇降部１２、１３における各原点位置センサの検出情報や各昇降駆動モータのパルス数の検出情報等に基づいて得られた高さ位置の情報は）、所定の記憶手段によって記憶しておき、これら高さ位置の情報に基づいて、駆動軸部７及び従動軸部９がパスライン４１０の位置となるように移動・位置調整される。
【００９９】
上記高さ位置の記憶を行う記憶手段、あるいは、駆動部６（各駆動モータ）、昇降部１２、１３（各昇降駆動モータや各原点位置センサ）、位置検出部１４、１５（各位置センサ）、及び負荷変動検出装置４００等を含む基板洗浄装置１全体の制御を司る制御手段は、基板洗浄装置１の所定位置に設けられている（基板洗浄装置１と別体に備えられていてもよい）。
【０１００】
（Ｅ）嵌合体８１のスリット部８９（図２参照）を、例えば図１７に示すように３個以上設けてもよい（この３個以上のスリット部８９を、スリット部５０１とする）。この場合、スリット部５０１が、球状体７１の突起部７２が係合されるスリット部８３と同位置に、符号５０２に示すように形成されていてもよい（スリット部８３の位置にスリット部５０１が形成される場合には、一方側のスリット部８３でなく、両側のスリット部８３に対して形成されることが、応力等の力を対称的に作用させるという点で好ましい）。このように、多くのスリット部５０１を設ける構成により、球状体７１の外径よりも、より小さい径の筒状空間部８２を有する嵌合体８１を形成しておき、この筒状空間部８２を大きく押し広げて球状体７１を嵌入することが可能となり、より確実に、隙間なく嵌合させることができる。
【０１０１】
（Ｆ）嵌合体８１、９４は、ブラシ本体部８０と一体に形成されてもよい。すなわち、ブラシ部８の両端部に直接、筒状空間部８２、９４０あるいはスリット部８３、８９が形
成されていてもよい。
【０１０２】
（Ｇ）嵌合体９４を、当該嵌合体９４の外周部に、嵌合体８１と同様に金属材料からなる外層部を備える２層構造としてもよい。また、この場合の嵌合体９４、及び嵌合体８１は、２層構造でなくともよく、３層以上の層構造からなるものとしてもよい。また、樹脂材料からなる１層構造としてもよい。また、嵌合体８１、９４を金属材料のみから形成してもよい。
【０１０３】
（Ｈ）それぞれ１つの駆動軸部７、ブラシ部８及び従動軸部９からなる回転軸部は、１つの基板洗浄装置１に対して、２個設けられてなくともよく、１個、あるいは３個以上設けられていてもよい。また、上記図１に示すように、当該回転軸部が上下位置に配置されていなくともよく、水平位置あるいは斜め位置に配置されていてもよい（３個以上の回転軸部が、上下位置及び／又は水平位置及び／又は斜め位置に配置されていてもよい）。
【０１０４】
以上のとおり、本発明の基板処理装置によれば、装置における駆動軸部７及び従動軸部９（回転軸）とブラシ部８（回転体）とを連結するための、駆動力伝達部と支持部とを有する自在継手手段が備えられ、駆動力伝達部によって駆動軸部７及び従動軸部９とブラシ部８との間の（駆動軸部７からブラシ部８へ、あるいはブラシ部８から従動軸部９へ）回転駆動力が伝達され、支持部によって、駆動軸部７及びブラシ部８（従動軸部９及びブラシ部８）をそれぞれ互いに相手方の軸方向と直交する平面内の少なくとも十字方向に回動自在に支持される。このように、駆動軸部７及び従動軸部９とブラシ部８との間の回転駆動力が伝達され、かつ駆動軸部７及び従動軸部９とブラシ部８とが互いに当該回動自在に支持されるため、回転駆動中に振れ等による偏角（より大きな偏角）が生じたとしても、当該自在継手手段においてこの偏角を吸収することができ、ひいては、駆動軸部７及び従動軸部９それぞれとベアリング１０３、１１３との軸ずれ（ミスアライメント）が生じるのを防止できるため、これらベアリング１０３、１１３等からの騒音の発生、あるいはベアリング１０３、１１３や駆動軸部７及び従動軸部９等の破損（磨耗）を防止することができる。
【０１０５】
また、駆動軸部７及び従動軸部９の一端部には、それぞれ球状体７１が設けられるとともに、ブラシ部８の端部に当該球状体７１が着脱自在でかつ摺動自在な筒状空間部８２を備える嵌合体８１が設けられて支持部が構成され、各駆動軸部７及び従動軸部９の半径方向であって、球状体７１の外周部に突設された突起部７２と、当該突起部７２を受容し、嵌合体８１に形成されるスリット部８３（第１のスリット部）とから、駆動力伝達部が構成される。このように、自在継手手段が、突起部７２を有した球状体７１と、この球状体７１が嵌合される嵌合体８１とからなる構成であるため、当該自在継手手段を、コマ１９６（図２０参照）などのない、すなわち、部品点数が少ない簡易な構造とすることができ、また、嵌合体８１が球状体７１に対して着脱自在であるため、例えばブラシ部８のみを装置から取り外して交換するといったことが容易に行えるようになる。さらに、この自在継手手段を備えることにより、例えばロールブラシ等からなるブラシ部８を駆動軸部７及び従動軸部９と一体に形成する必要がなくなり、したがって、軸全体の長さが大きくなり、振れ精度や円筒度を得るために部品単価が高くなるといったことを防止することができる。
【０１０６】
また、円筒状に形成されてなる嵌合体８１の周部には、嵌合体８１の軸方向に形成されかつ嵌合体８１の先端側に向けて開口されてなる所定数のスリット部８９（第２のスリット部）が形成されている。これにより、嵌合体８１を半径方向に押し広げるようにして、球状体７１を筒状空間部８２に嵌入させ、当該球状体７１と筒状空間部８２とを隙間なく摺接させることが可能となり、駆動軸部７及び従動軸部９によってブラシ部８を精度良く軸支することができ、回転駆動時等の駆動軸部７及び従動軸部９と、ブラシ部８間の軸ずれを防止することができる。
【０１０７】
さらに、嵌合体８１は、嵌合体８１の内周面、すなわち、嵌合体８１の筒状空間部８２の内周壁面（表面）において球状体７１と摺接する樹脂材料からなる内層部材８７と、金属材料からなる外層部材８８とからなる２層構造となっているため、金属材料からなる外層部材８８によって嵌合体８１の強度の向上が図られ、樹脂材料からなる内層部材８７が破壊された場合であっても、ブラシ部８が駆動軸部７及び従動軸部９から脱落するといったことを防止することができる。
【０１０８】
一方、突起部７２の先端部には、外層部材８８との当接を防止するべくテーパ部７２１が形成されているため、突起部７２が外層部材８８と当接するのを防止でき、すなわち、金属部同士の接触が回避でき、磨耗による金属粉（パーティクル）の発生を防止することができる。さらに、球状体７１及び筒状空間部８２の表面は、当該球状体７１及び筒状空間部８２間の摺接における摩擦係数低下用の被覆材によって被覆されているため、互いに球状体７１及び筒状空間部８２との摺接による磨耗が生じ難くなり、金属粉の発生を防止することができる。
【０１０９】
また、嵌合体８１は、ブラシ部８本体に対して着脱可能に装着されているため、ブラシ部８を、ブラシ本体部８０と嵌合体８１との別部品で構成することができ、例えば当該ブラシ本体部８０を交換する場合に、回転体全体を取り外す必要がなく（多数の部品を取り外す必要がなく）、ブラシ本体部８０と嵌合体８１との連結箇所のみを分離させて容易にブラシ本体部８０の交換を行えるようになり、当該ブラシ本体部８０の交換に要する作業時間を短縮することができる。
【０１１０】
また、嵌合体８１には、一端側の外周部にフランジ２０１１が形成されており、このフランジ２０１１によってブラシ本体部８０の端面に対して螺合される構成であるため、例えばブラシ本体部８０と嵌合体８１とを分離させる場合、嵌合体８１の外周部にあるフランジ２０１１での螺合を解除すればよく、すなわち、螺合を解除するための箇所が外周部にあり容易にアクセスすることができる（手が届く）ため、ブラシ本体部８０の交換がより容易となり、当該交換に要する作業時間をより短縮することができる。
【０１１１】
なお、嵌合体８１及びブラシ本体部８０における螺合される端面には、嵌合体８１とブラシ本体部８０との同心を得るべく凹凸部（インロー部２０４）が形成されているため、
ブラシ本体部８０と嵌合体８１とが同心となるように（偏心しないように）容易に連結（螺合）でき、軸ずれを防止することができる。
【０１１２】
また、駆動軸部９１（及び駆動軸部９１に対する従動軸部）の一端部に球状体９３が設けられるとともに、ブラシ部９２の端部に当該球状体９３が着脱自在でかつ摺動自在な筒状空間部９４０を備える嵌合体９４が設けられて支持部が構成され、駆動軸部９１（従動軸部）の軸方向であって、球状体９３の外周に沿って円弧状に欠切され、かつ当該欠切された面が駆動軸部９１（従動軸部）の半径方向と平行に形成されてなる複数の欠切帯部９３１と、当該欠切帯部９３１と係合し、嵌合体９４に形成される係合面部９４１とから、駆動力伝達部が構成される。このように、自在継手手段が、複数の欠切帯部９３１を有した球状体９３と、この球状体９３が嵌合される嵌合体９４とからなる構成であるため、当該自在継手手段を、コマ１９６などのない、すなわち、部品点数が少ない簡易な構造とすることができ、また、嵌合体９４が球状体９３に対して着脱自在であるため、例えばブラシ部９２のみ装置から取り外して交換するといったことが容易に行えるようになる。また、この自在継手手段を備えることにより、例えばブラシ部９２を駆動軸部９１（従動軸部）と一体に形成する必要がなくなり、したがって、軸全体の長さが大きくなり、振れ精度や円筒度を得るために部品単価が高くなるといったことを防止することができる。
【０１１３】
この球状体９３には、図２に示す突起部７２のような突起部がなく、あるいは嵌合体９４にはこの突起部と係合するスリット部（図２に示すスリット部８３）といったものが形成されておらず、より簡易な構造となっているため、部品破損等による動作不具合が発生するなどの確率がさらに低下し、また、球状体９３の上記突起部による、嵌合体９４との摺接（突起部７２と外層部材８８といった金属同士の摺接）が起こらず、よって金属粉の発生確率をさらに低下することができる。
【０１１４】
また、駆動軸部７及び従動軸部９が１つのブラシ部８に対して１対に設けられており、駆動軸部７及び従動軸部９が自在継手手段によってブラシ部８の両側部において当該ブラシ部８と連結され、基台２１１や送り機構２１２（平行移動手段）によって、駆動軸部７及び従動軸部９における少なくとも一方の軸部（例えば駆動軸部７）が基板３０１（図１５参照）の搬送方向３０２に対して平行にスライド移動可能に構成される。これにより、基板３０１の搬送方向３０２に対するブラシ部８の回転中心軸３０３方向を任意に変更することが可能になるとともに、ブラシ部８の回転中心軸３０３方向を変更する場合に、軸全体の（駆動軸部７、従動軸部９及びブラシ部８ごと）向きを変える必要がなくなり、装置構造の簡易化及び当該回転中心軸３０３の向き変更に関する作業効率の向上を図ることができる。
【０１１５】
さらに、駆動軸部７及び従動軸部９が１つのブラシ部８に対して１対に設けられており、駆動軸部７及び従動軸部９が自在継手手段によってブラシ部８の両側部において当該ブラシ部８と連結され、昇降部１２、１３（垂直移動手段）によって、駆動軸部７及び従動軸部９それぞれが基板３０１の搬送方向３０２に対して垂直な方向にスライド移動可能に構成される。これにより、基板３０１の面方向に対するブラシ部８の回転中心軸３０３方向を任意に変更することが可能となるとともに、ブラシ部８の軸方向を変える場合に、軸全体の向きを変える必要がなくなり、装置構造の簡易化及び当該回転中心軸３０３の向き変更に関する作業効率の向上を図ることができる。また、このように基板３０１に対して、各駆動軸部７及び従動軸部９を別々に上下方向にスライド移動させることができるため、各駆動軸部７及び従動軸部９の高さ位置を検出するための高さ位置検出手段（各昇降駆動モータ、各円盤や原点位置センサ等）を備えるとともに、例えば、駆動モータ６１の回転数の変化に基づく負荷変動を検出するための負荷変動検出手段（負荷変動検出装置４００）を備えておき、駆動軸部７及び従動軸部９を交互に上下移動させて基板３０１に対してブラシ部８の両端部を交互に作用させ、その場合の回転数が変化したときの各駆動軸部７及び従動軸部９の高さ位置を検出し、この検出情報に基づいて基板の位置、すなわち、パスライン４１０の位置を検出するといったことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の一例である基板洗浄装置を概略的に示す斜視図である。
【図２】ブラシ部と駆動軸部（従動軸部）との継手部の拡大図である。
【図３】駆動軸部の先端部の形状の一例を示す拡大図である。
【図４】嵌合体及びブラシ本体部の連結面の形状を示す縦断面図である。
【図５】嵌合体の内層部材を示す斜視図である。
【図６】嵌合体の内層部材及び外層部材を示す斜視図である。
【図７】図６に示す突起部の中心軸位置における継手部の半径方向の断面図である。
【図８】位置検出部の拡大斜視図である。
【図９】本発明の変形態様である駆動軸部とブラシ部との継手部を概略的に示す斜視図である。
【図１０】図９に示す球状体を先端側から見た場合の斜視図である。
【図１１】図９に示す球状体と嵌合体との接点部を含む継手部の半径方向の断面図である。
【図１２】図９に示す球状体の変形例を示す斜視図である。
【図１３】図２又は図９に示す嵌合体とブラシ部との接続部の変形例を示す斜視図である。
【図１４】基台の変形例を示す基板洗浄装置の概略側面図である。
【図１５】図１４に示す基台を用いた場合の駆動軸部のスライド移動を示す基板洗浄装置及び基板の概略上面図である。
【図１６】駆動軸部及び従動軸部の昇降移動に関する変形例を示す基板洗浄装置の概略正面図である。
【図１７】図２に示す嵌合体の変形例を示す斜視図である。
【図１８】従来の基板処理装置（基板洗浄装置）のブラシ軸回りの構成を示す概略図である。
【図１９】図１８に示す基板処理装置における振れによる偏角を説明する概略図である。
【図２０】従来の自在継手（ユニバーサルジョイント）を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１１７】
１  基板洗浄装置（基板処理装置）
２、３  基台
４、５  支持フレーム
６  駆動部（駆動源）
６１  駆動モータ
６２  カップリング
７  駆動軸部（回転軸）
７１  球状体（支持部）
７２  突起部（駆動力伝達部）
７２１  テーパ部（テーパ）
８  ブラシ部（回転体）
８０  ブラシ本体部（回転体本体）
８１  嵌合体（支持部）
８２  筒状空間部
８３  スリット部（第１のスリット部；駆動力伝達部）
８７  内層部材（内層部）
８８  外層部材（外層部）
８９  スリット部（第２のスリット部）
８００  インロー部
９  従動軸部（回転軸）
１０、１１  軸受部
１０３、１１３  ベアリング
１２、１３  昇降部（垂直移動手段）
１２１ａ、１２２ａ、１３１ａ、１３２ａ  円盤
１２１ｂ、１２２ｂ、１３１ｂ、１３２ｂ  原点位置センサ
１４、１５  位置検出部
１４１〜１４４  位置センサ
１００  継手部（自在継手手段）
１０４  フランジ板
１１４  抜止部材
９１  駆動軸部
９２  ブラシ部
９２１  ブラシ本体部
９３  球状体
９３１  欠切帯部
９３３  球状帯部
９４  嵌合体
９４０  筒状空間部
９４１  係合面部
２０１  嵌合体
２０２  ブラシ本体部（回転体本体）
２０４  インロー部（凹凸部）
２０１１  フランジ（フランジ部）
２１１  基台（平行移動手段）
２１２  送り機構（平行移動手段）
３０１  基板
４００  負荷変動検出装置
４１０  パスライン
【図１】
2005191216.tif 000003
【図２】
2005191216.tif 000004
【図３】
2005191216.tif 000005
【図４】
2005191216.tif 000006
【図５】
2005191216.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005191216.tif 000009
【図８】
2005191216.tif 000010
【図９】
2005191216.tif 000011
【図１０】
2005191216.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2005191216.tif 000015
【図１４】
2005191216.tif 000016
【図１５】
2005191216.tif 000017
【図１６】
2005191216.tif 000018
【図１７】
2005191216.tif 000019
【図１８】
2005191216.tif 000020
【図１９】
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【図２０】
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