(57)【要約】【課題】  第１の接合部材と第２の接合部材とをはんだを介して接合する接合構造体の製造方法において、はんだ内のボイドをより安価に低減できるようにする。【解決手段】  第１の接合部材であるＩＧＢＴ素子１０と第２の接合部材であるセラミック基板２０とをはんだ３０を介して接触させた状態で、はんだ３０の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にてはんだ３０の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、当該はんだ３０の液相線以上の温度にて減圧状態の圧力Ｐ１よりも高い圧力Ｐ２まで加圧した後、この加圧状態にてはんだ３０を固化させる。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の接合部材（１０）と第２の接合部材（２０）とをはんだ（３０）を介して接合する接合構造体の製造方法において、
前記第１の接合部材（１０）と前記第２の接合部材（２０）とを前記はんだ（３０）を介して接触させた状態で、前記はんだ（３０）の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にて前記はんだ（３０）の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、前記液相線以上の温度にて前記減圧状態の圧力（Ｐ１）よりも高い圧力（Ｐ２）まで加圧した後、前記加圧状態にて前記はんだ（３０）を固化させることを特徴とする接合構造体の製造方法。
【請求項２】
前記減圧状態の圧力（Ｐ１）は５×１０4Ｐａ以下であり、前記減圧状態の圧力（Ｐ１）よりも高い圧力（Ｐ２）は大気圧であることを特徴とする請求項１に記載の接合構造体の製造方法。
【請求項３】
前記減圧状態の圧力（Ｐ１）は１×１０4Ｐａ以下であることを特徴とする請求項２に記載の接合構造体の製造方法。
【請求項４】
前記減圧状態の圧力（Ｐ１）は６×１０3Ｐａ以下であることを特徴とする請求項３に記載の接合構造体の製造方法。
【請求項５】
前記固相線以下の温度にて減圧する前に、前記固相線以下の温度且つ大気圧にて前記はんだ（３０）の予熱を行うことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の接合構造体の製造方法。
【請求項６】
前記はんだ（３０）は、鉛フリーはんだであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の接合構造体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１の接合部材と第２の接合部材とをはんだを介して接合する接合構造体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この主の接合構造体の製造方法としては、たとえば、第１の接合部材としての半導体素子と第２の接合部材としての基板またはリードフレームとをはんだにて接合する方法が知られている。
【０００３】
このはんだ接合工程は、半導体素子と基板あるいはリードフレームとの間にはんだペレットを挟んで、大気圧雰囲気において連続式水素リフロー炉により、はんだ付けを行うのが一般的である。
【０００４】
このようなはんだ付け工程においては、はんだ中にボイド（気泡）が形成されることがある。このボイドは主に、はんだが溶融する際や溶融した後に、所定の範囲に濡れ広がる際に、周囲の雰囲気を巻き込むことで形成される。
【０００５】
そして、このように、はんだ中にボイドが存在すると、接合部材間の放熱経路がボイドで遮断されるため放熱性の低下が生じたり、はんだの接合性の低下が生じるなどの不具合が起こる。
【０００６】
従来では、はんだ付け工程でボイドを低減する手法として、たとえば、はんだペレットの表面積を小さくするなど、形状を工夫したり、溶融時間を長くするなど、温度プロファイルを工夫したりするようにしている。
【０００７】
さらに、ボイドの低減を要求される場合、たとえば、大電力を制御するパワーモジュールに用いられる大型のパワー素子を基板上にはんだ接合するような場合には、放熱性の確保がより重要であるため、減圧下にてはんだ付けする方法が採用されている（たとえば、特許文献１、特許文献２参照）。
【０００８】
このような場合、２つの接合部材をはんだを介して接触させた状態で、はんだを溶融させた後に、真空装置により減圧する、いわゆる、脱泡することにより、ボイドを低減することが一般的になされている。
【特許文献１】特開平５−２８３５７０号公報
【特許文献２】特開平６−６９３８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記した従来の減圧下にてはんだ付けを行う方法の場合には、次のような問題がある。
【００１０】
たとえば、大型パワー素子のはんだ付け部に形成されたボイドを上記した脱泡により低減する場合、はんだの面積が大きくなるため、より低い圧力が必要であり、排気能力の高い真空装置や長時間の排気が必要となる。このことは、結果として、コストアップにつながる。
【００１１】
そして、環境面への配慮から、はんだとしては、実質的に鉛を含まない鉛（Ｐｂ）フリーはんだが採用されてきているが、このＰｂフリーはんだを採用する場合には、従来のＰｂ含有はんだに比べて、上記の状況はより顕著となる。
【００１２】
具体的には、Ｐｂフリーはんだは、従来のＰｂ含有はんだに比べて、はんだの表面張力が高いため、接合部材への濡れ性が悪く広がりにくい。そのため、Ｐｂフリーはんだにおいては、はんだが濡れ広がる際に周囲の雰囲気を巻き込みやすく、また、脱泡もなされにくくなるため、上記したボイドが発生しやすいと考えられる。
【００１３】
そこで、本発明は上記問題に鑑み、第１の接合部材と第２の接合部材とをはんだを介して接合する接合構造体の製造方法において、はんだ内のボイドをより安価に低減できるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、第１の接合部材（１０）と第２の接合部材（２０）とをはんだ（３０）を介して接合する接合構造体の製造方法において、前記第１の接合部材（１０）と前記第２の接合部材（２０）とを前記はんだ（３０）を介して接触させた状態で、前記はんだ（３０）の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にて前記はんだ（３０）の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、前記液相線以上の温度にて前記減圧状態の圧力（Ｐ１）よりも高い圧力（Ｐ２）まで加圧した後、前記加圧状態にて前記はんだ（３０）を固化させることを特徴としている。
【００１５】
それによれば、はんだ（３０）の液相線以上の温度まで加熱した時点で、はんだ（３０）は溶融し、雰囲気は減圧状態であるため、溶融したはんだ（３０）が雰囲気を巻き込んでボイド（Ｂ）が発生しても、このボイド（Ｂ）は、減圧状態の圧力（Ｐ１）を持ったボイドとなる。
【００１６】
そして、次に、液相線以上の温度にて減圧状態の圧力（Ｐ１）よりも高い圧力（Ｐ２）まで加圧することにより、溶融したはんだ（３０）内のボイド（Ｂ）は、当該ボイド（Ｂ）内の圧力よりも高い圧力でつぶされることになる。
【００１７】
そのため、ボイド（Ｂ）は消滅あるいは小さくなることから、ボイド（Ｂ）の低減が図られることになり、上記した従来の減圧下での脱泡によるボイドの低減方法に比べて、減圧状態の圧力（Ｐ１）をさほど低い圧力にしなくても、ボイド（Ｂ）の低減を実現することができる。
【００１８】
したがって、本発明によれば、従来よりも、減圧に用いられる減圧装置として排気能力の高い真空装置が不要となり、また、減圧するための排気時間を短くできるため、はんだ（３０）内のボイド（Ｂ）をより安価に低減することができる。
【００１９】
ここで、さらに検討を進めた結果、請求項１に記載の接合構造体の製造方法における具体的な圧力の大きさとして、適切な範囲を求めた。
【００２０】
すなわち、請求項２に記載の発明のように、請求項１に記載の接合構造体の製造方法において、減圧状態の圧力（Ｐ１）を５×１０4Ｐａ以下とし、減圧状態の圧力（Ｐ１）よりも高い圧力（Ｐ２）を大気圧とすることが好ましい。
【００２１】
それによれば、請求項１に記載の発明の効果を適切に実現することができる。特に、減圧状態の圧力（Ｐ１）よりも高い圧力（Ｐ２）を大気圧とすれば、加圧のための特別な装置が不要となるため、製造装置を簡単な構成とすることができる。
【００２２】
また、本発明では、減圧状態の圧力（Ｐ１）を５×１０4Ｐａ以下とすることで、はんだ（３０）内のボイド（Ｂ）を低減することができるが、本発明と同程度のボイド低減のレベルを、上記した従来の減圧下での脱泡によるボイドの低減方法によって実現しようとした場合、当該従来方法における減圧状態の圧力を、本発明よりも約１桁低いものとしなければならない。
【００２３】
また、好ましくは、請求項３に記載の発明のように、請求項２に記載の接合構造体の製造方法において、減圧状態の圧力（Ｐ１）を１×１０4Ｐａ以下とする。
【００２４】
Ｐｂ含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法においては、表面張力の比較的高いＰｂフリーはんだを用いた場合とは異なり、はんだペレットの形状や温度プロファイルを工夫することによって、かなり高いレベルのボイド低減を実現することができる。
【００２５】
本発明のように、請求項２に記載の接合構造体の製造方法において、減圧状態の圧力（Ｐ１）を１×１０4Ｐａ以下とすれば、Ｐｂフリーはんだを用いた場合であっても、Ｐｂ含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法において実現することのできる最高レベルのボイド低減度合と同じ程度まで、ボイド低減を行うことができる。
【００２６】
さらに、好ましくは、請求項４に記載の発明のように、請求項３に記載の接合構造体の製造方法において、減圧状態の圧力（Ｐ１）は６×１０3Ｐａ以下とする。
【００２７】
それによれば、上記した従来の減圧下での脱泡によるボイドの低減方法において実現可能な最高レベルのボイド低減度合の１／２程度のレベルまで、ボイドを低減することが可能となる。
【００２８】
また、請求項５に記載の発明では、請求項１〜請求項４に記載の接合構造体の製造方法において、前記固相線以下の温度にて減圧する前に、前記固相線以下の温度且つ大気圧にて前記はんだ（３０）の予熱を行うことを特徴としている。
【００２９】
それによれば、この予熱によって、はんだ（３０）、ＩＧＢＴ素子（１０）および基板（２０）の表面の清浄化を行うことができ、好ましい。
【００３０】
また、請求項６に記載の発明では、請求項１〜請求項５に記載の接合構造体の製造方法において、前記はんだ（３０）は、Ｐｂフリーはんだであることを特徴としている。
【００３１】
上記した各手段は、はんだ（３０）として、Ｐｂフリーはんだを用いた場合に、特に効果的である。
【００３２】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る接合構造体１００の一例を示す概略断面図である。
【００３４】
この接合構造体１００は、第１の接合部材としてのＩＧＢＴ（絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ）素子１０と第２の接合部材としてのセラミック基板２０とを、はんだ３０を介して接合してなるものである。
【００３５】
ＩＧＢＴ素子１０は、周知の通りシリコン半導体チップに半導体製造技術を用いてＩＧＢＴを形成してなるものであり、セラミック基板２０は、アルミナなどからなる配線基板等である。
【００３６】
なお、図示されていないが、これらＩＧＢＴ素子１０におけるはんだ３０との接合面およびセラミック基板２０におけるはんだ３０との接合面には、ニッケル（Ｎｉ）めっきなどにより形成されたＮｉ電極が形成されている。そして、当該Ｎｉ電極とはんだ３０とが接合されることにより、はんだ接合性が確保されている。
【００３７】
はんだ３０は、実質的に鉛（Ｐｂ）を含まないＰｂフリーはんだである。たとえば、このようなＰｂフリーはんだとしては、数重量％程度のアンチモン（Ｓｂ）および残部スズ（Ｓｎ）のものを用いることができる。
【００３８】
なお、第１の接合部材および第２の接合部材としては、ＩＧＢＴ素子などのパワー素子やセラミック基板以外にも、抵抗素子、コンデンサ素子、プリント基板など、はんだ付けにより接合されるものであれば、限定されない。
【００３９】
この図１に示されるような接合構造体１００においては、ＩＧＢＴ素子１０とセラミック基板２０とは、はんだ３０を介して機械的に接合されるとともに、電気的および熱的にも接合されている。そして、ＩＧＢＴ素子１０からの熱は、はんだ３０を介してセラミック基板２０へ放熱されるようになっている。
【００４０】
本実施形態において、接合構造体１００の製造方法は、次の通りである。
【００４１】
すなわち、第１の接合部材であるＩＧＢＴ素子１０と第２の接合部材であるセラミック基板２０とをはんだ３０を介して接触させた状態で、はんだ３０の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にてはんだ３０の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、当該はんだ３０の液相線以上の温度にて減圧状態の圧力よりも高い圧力まで加圧した後、この加圧状態にてはんだ３０を固化させる。
【００４２】
ここで、本実施形態の接合構造体の製造方法における具体的な圧力の大きさとして、適切な範囲は、はんだ３０の固相線以下の温度にて減圧するときの減圧状態の圧力を５×１０4Ｐａ以下とし、はんだ３０の液相線以上の温度にて加圧するときの減圧状態の圧力よりも高い圧力を大気圧とすることが好ましい。
【００４３】
また、好ましくは、はんだ３０の固相線以下の温度にて減圧するときの減圧状態の圧力を１×１０4Ｐａ以下とする。
【００４４】
さらに、好ましくは、はんだ３０の固相線以下の温度にて減圧するときの減圧状態の圧力は６×１０3Ｐａ以下とする。
【００４５】
さらに、本実施形態の好ましい形態としては、はんだ３０の固相線以下の温度にて減圧を行う前に、当該固相線以下の温度であって且つ大気圧にて、はんだ３０の予熱を行うようにする。
【００４６】
次に、上記した本実施形態の接合構造体１００の製造方法について、具体例を示しながら、その効果等について、より詳細に説明する。
【００４７】
上記図１に示される接合構造体１００において、ＩＧＢＴ素子１０として、１３ｍｍ×１３ｍｍの大型ＩＧＢＴ素子を用い、セラミック基板２０として約２０ｍｍ×４０ｍｍのものを用いた。また、はんだ３０としては、８ｍｍ×８ｍｍの厚さ０．２５ｍｍの矩形板状のはんだペレットを用いた。
【００４８】
図２には、第１の接合部材としてのＩＧＢＴ素子１０と第２の接合部材としてのセラミック基板２０とを、はんだ３０としてのはんだペレットを介して積層し接触させた状態を示す概略断面図である。
【００４９】
そして、図３は、このようにＩＧＢＴ素子１０とセラミック基板２０をはんだ３０を挟んで、はんだ付けした際のはんだ３０におけるボイド発生の度合をボイド率として示したものである。
【００５０】
ここで、ボイド率は、上記図１の上方から撮影されたＸ線の透過画像を、画像処理にて解析することにより、ボイド面積率（％）として求めた。このボイド面積率は、はんだ３０の濡れ広がった面積全体に占めるボイドの割合である。そして、このボイド率の目標値としては、たとえば現在のところの要求仕様である２％以下とした。
【００５１】
図３では、「Ｐｂフリーはんだ（溶融前減圧）」、「Ｐｂフリーはんだ（溶融後減圧）」、「Ｐｂフリーはんだ（従来工法）」、「Ｐｎ−Ｓｎはんだ（従来工法）」といった４種類の製造方法におけるボイド率を示している。なお、上記の順に示したこれら４種類の製造方法において、１番目が本実施形態の製造方法であり、２番目以降の３つは比較例の製造方法である。
【００５２】
図３中、白四角プロットで示される「Ｐｂ−Ｓｎはんだ（従来工法）」とは、Ｐｂ−Ｓｎ系はんだ、たとえば１０重量％Ｓｎ残部Ｐｂはんだを、連続式水素還元炉を用いて全工程大気圧（図３中、１×１０5Ｐａが大気圧を示す）にて、はんだ付した際のボイド率を示すものである。
【００５３】
この場合、はんだペレットの形状やリフロープロファイルを工夫することで、目標のボイド率２％以下を達成することができる。
【００５４】
具体的には、板状のはんだペレットの表面積を小さくすることでボイドを巻き込みにくくしたり、溶融時間を長くすることでボイドがはんだ３０の外へ出て行きやすくするなどにより、目標のボイド率を達成することができる。
【００５５】
なお、この「Ｐｂ−Ｓｎはんだ（従来工法）」において、図３に示されるボイド率は、Ｐｂ含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法によって実現可能なボイド低減の度合として、おおよそ最高レベルのものである。
【００５６】
図３中、白丸プロットで示される「Ｐｂフリーはんだ（従来工法）」は、Ｐｂフリーはんだ、たとえば５重量％Ｓｂ残部Ｓｎはんだを、連続式水素還元炉を用いて全工程大気圧にてはんだ付した際のボイド率を示すものである。
【００５７】
この場合、はんだペレットの形状やリフロープロファイルを工夫しても目標のボイド率を達成することができなかった。これは、上述したように、Ｐｂフリーはんだの表面張力が高く接合部材への濡れ性が悪いためであると考えられる。
【００５８】
そこで試みたのが、減圧下でのリフロー、すなわち上記した従来の減圧下での脱泡によるボイドの低減方法であり、それが、図３中、黒三角プロットで示される「Ｐｂフリーはんだ（溶融後減圧）」の製造方法である。以下、この方法を減圧脱泡方法ということにする。
【００５９】
この減圧脱泡方法は、Ｐｂフリーはんだ、たとえば５重量％Ｓｂ残部Ｓｎはんだを、次の図４に示される温度および圧力パターンではんだ付したものである。
【００６０】
この図４のパターンは、図中の工程Ｓ１から工程Ｓ６までを順に行っていくものであり、その詳細は次の通りである。なお、この図４のパターンおよび後述する図５のパターンは、一般に知られているリフローおよび減圧が可能な真空チャンバを有するはんだ付けの装置を用いて実現可能である。
【００６１】
工程Ｓ１：ＩＧＢＴ素子１０とセラミック基板２０とをペレット状態のはんだ３０を介して接触させた状態（図２参照）で、上記真空チャンバ内にセットし、室温にて大気圧（空気）状態から真空排気を行なった後、窒素、水素または窒素と水素の混合ガスにより大気圧とする。これにより、はんだ付雰囲気への置換が行われる。
【００６２】
工程Ｓ２：大気圧を維持したまま、室温からはんだ３０の固相線以下の温度まで昇温し、はんだ３０としてのはんだペレットの予熱を行う。
【００６３】
なお、５重量％Ｓｂ残部Ｓｎはんだでは、固相線温度は約２３５℃であり、液相線温度は約２４０℃である。これらはんだ３０の固相線温度および液相線温度は、はんだ３０の相平衡状態図などから容易に求めることができる。
【００６４】
ここで、予熱温度は、たとえば２００℃程度とすることができる。そして、この予熱により、水素または水素と窒素の混合雰囲気にてはんだ３０、ＩＧＢＴ素子１０および基板２０が加熱され、その表面が清浄化される。
【００６５】
工程Ｓ３：大気圧を維持したまま、予熱温度からはんだ３０の液相線温度以上の温度まで昇温し、本加熱を行う。ここで、本加熱温度は、たとえば２８０℃程度とすることができる。この本加熱により、はんだ３０を溶融させ、所定の面積まで濡れ広がらせる。この際、溶融したはんだ３０は、周囲の雰囲気を巻き込むため、内圧が大気圧であるボイドＢが形成される。
【００６６】
工程Ｓ４：この工程では、本加熱温度を維持したまま、所定の面積まではんだ３０を濡れ広がらせた後、真空排気を行い、減圧状態とする。この減圧状態の圧力をＰ０とする。それによって、溶融したはんだ３０中のボイドＢを排出する、すなわち脱泡を行う。
【００６７】
工程Ｓ５：この工程では、本加熱温度を維持したまま、水素または窒素または水素と窒素の混合ガスによって、上記工程Ｓ４における減圧状態の圧力よりも高い圧力まで加圧する。ここでは、大気圧（１ａｔｍ）まで復圧する。
【００６８】
工程Ｓ６：この工程では、大気圧を維持したまま、はんだ３０を室温付近まで冷却し、固化させる。これにより、本製造方法による接合構造体１００ができあがる。なお、以上の工程Ｓ１〜Ｓ６の所要時間は、全工程でたとえば１５分程度である。
【００６９】
この減圧脱泡方法によるはんだ付け方法は、低ボイド化にかなり効果があり、この方法による上記減圧状態の圧力Ｐ０とボイド率との関係は、上記図３において黒三角プロットにて示されている。図３に示されるように、本方法によれば、減圧状態の圧力Ｐ０が約３０００Ｐａ以下のとき、目標のボイド率２％以下を達成することができた。
【００７０】
ただし、ばらつきを考慮すると、この減圧脱泡方法における減圧状態の圧力Ｐ０としては、約１００Ｐａ以下の圧力が必要と考えられ、温度コントロールをしながら所定の圧力を短時間で達成するのはかなり困難であった。そのため、ボイド率は、脱泡の時間や圧力に大きく左右されることになる。
【００７１】
つまり、この減圧脱泡方法による製造方法では、高価な減圧装置（真空装置）が必要であったり、上記図４の工程Ｓ４における減圧状態の時間を長くすることが必要となり、結果的にコストアップを招いてしまう。
【００７２】
そこで、さらに低ボイド化を容易に達成できる製造方法として用いられるのが本実施形態の製造方法であり、それが、図３中、黒丸プロットで示される「Ｐｂフリーはんだ（溶融前減圧）」の製造方法である。
【００７３】
これは、Ｐｂフリーはんだ、たとえば５重量％Ｓｂ残部Ｓｎはんだを、次の図５に示される温度および圧力パターンではんだ付けしたものである。この図５のパターンは、図中に示される工程Ｔ１から工程Ｔ７までを順に行っていくものであり、その詳細は次の通りである。
【００７４】
図５に示される温度パターンは、はんだ３０の固相線以下の温度で予熱を行い、液相線温度以上の温度で本加熱を実施する一般的なパターンである。特徴的なのは、圧力パターンである。
【００７５】
工程Ｔ１：ＩＧＢＴ素子１０とセラミック基板２０とをはんだ３０を介して接触させた状態で、上記図４に示されるパターンと同様、室温にて大気圧（空気）状態から真空排気を行なった後、窒素、水素または窒素と水素の混合ガスにより大気圧とする。これにより、はんだ付雰囲気への置換が行われる。
【００７６】
工程Ｔ２：大気圧を維持したまま、室温からはんだ３０の固相線以下の温度（たとえば２００℃）まで昇温し、はんだ３０としてのはんだペレットの予熱を行う。この予熱により、水素または水素と窒素の混合雰囲気にてはんだ３０が加熱され、はんだ３０、ＩＧＢＴ素子１０および基板２０の表面が清浄化される。
【００７７】
工程Ｔ３：この工程では、予熱温度からはんだ３０の固相線以下の範囲の温度にて、大気圧から圧力Ｐ１まで減圧する。
【００７８】
工程Ｔ４：この工程では、この圧力Ｐ１の減圧状態を維持したまま、はんだ３０の液相線温度を超えて液相線温度まで加熱する。このようにして、圧力Ｐ１の減圧下にて、はんだ３０を溶融させる。
【００７９】
工程Ｔ５：この工程では、圧力Ｐ１の減圧状態を維持したまま、はんだ３０の液相線温度を超えて本加熱温度（たとえば２８０℃）まで昇温し、本加熱を行う。
【００８０】
これら工程Ｔ４および工程Ｔ５により、減圧下にて溶融したはんだ３０は、所定の面積まで濡れ広がる。このとき、溶融したはんだ３０においては、周囲の雰囲気を巻き込んでボイドＢが発生するが、このボイドＢは、内圧が減圧状態の圧力Ｐ１であるボイドＢとして形成される。
【００８１】
工程Ｔ６：この工程では、はんだ３０の液相線以上の本加熱温度を維持したまま、水素または窒素または水素と窒素の混合ガスによって、減圧状態の圧力Ｐ１よりも高い圧力Ｐ２まで加圧する。ここでは、減圧状態の圧力Ｐ１よりも高い圧力Ｐ２は、大気圧（１ａｔｍ）とする。
【００８２】
工程Ｔ７：この工程では、圧力Ｐ２の加圧状態を維持したまま、はんだ３０を室温付近まで冷却し、固化させる。これにより、本製造方法による接合構造体１００ができあがる。なお、以上の工程Ｔ１〜工程Ｔ７の所要時間は、全工程を通じてたとえば１５分程度である。
【００８３】
この「Ｐｂフリーはんだ（溶融前減圧）」の製造方法、すなわち本実施形態の製造方法による減圧状態の圧力Ｐ１とボイド率との関係は、上記図３において黒丸プロットにて示されている。
【００８４】
図３に示されるように、比較例である「Ｐｂフリーはんだ（溶融後減圧）」の製造方法すなわち減圧脱泡方法と比較して、本実施形態では、減圧状態の圧力Ｐ１が高い圧力でも、ボイドＢの低減を実現できる。
【００８５】
たとえば、上記減圧脱泡方法では、減圧状態の圧力Ｐ０が約３０００Ｐａ以下のときに達成できた目標のボイド率が、本実施形態の方法では、減圧状態の圧力Ｐ１が約５００００Ｐａ以下のときに実現できている。
【００８６】
また、図３に示されるように、本実施形態の方法において減圧状態の圧力Ｐ１を約１００００Ｐａとしたときのボイド率は、同図に示される「Ｐｂ−Ｓｎはんだ（従来工法）」のボイド率すなわちＰｂ含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法において実現可能な最高レベルのボイド低減度合と同程度である。
【００８７】
さらには、上記減圧脱泡方法では、減圧状態の圧力Ｐ０を１００Ｐａ以下の圧力としても達成できなかった１％以下のボイド率が、本実施形態の方法では、減圧状態の圧力Ｐ１を約６０００Ｐａ以下の圧力とすることにより、安定して達成できている。
【００８８】
以上のように、本実施形態の製造方法は、第１の接合部材１０と第２の接合部材２０とをはんだ３０を介して接触させた状態で、はんだ３０の固相線以下の温度にて減圧し、続いて、この減圧状態にてはんだ３０の液相線以上の温度まで加熱し、続いて、前記液相線以上の温度にて前記減圧状態の圧力よりも高い圧力まで加圧した後、前記加圧状態にてはんだ３０を固化させることを特徴としている。
【００８９】
それによれば、はんだ３０の液相線以上の温度まで加熱した時点すなわち上記図５の工程Ｔ５の時点で、はんだ３０は溶融し、雰囲気は減圧状態である。そのため、溶融したはんだ３０が雰囲気を巻き込んでボイドＢが発生しても、このボイドＢは、減圧状態の圧力Ｐ１を持ったボイドとなる。
【００９０】
そして、次に、上記図５の工程Ｔ６にて述べたように、液相線以上の温度にて減圧状態の圧力Ｐ１よりも高い圧力Ｐ２まで加圧することにより、溶融したはんだ３０内のボイドＢは、当該ボイドＢ内の圧力Ｐ１よりも高い圧力Ｐ２でつぶされることになる。
【００９１】
そのため、ボイドＢは消滅あるいは小さくなることから、ボイドＢの低減が図られることになり、上記図４に示した従来の減圧脱泡方法によるボイド低減方法に比べて、減圧状態の圧力Ｐ１をさほど低い圧力にしなくてもよい。つまり、図５に示される圧力Ｐ１は、図４に示される圧力Ｐ０よりも高いものにしても、ボイドＢの低減を実現することができる。
【００９２】
言い換えれば、本実施形態の製造方法のポイントは次の通りである。はんだ３０が溶融する前（固相線温度以下の状態）で所定の圧力Ｐ１まで減圧し、その圧力Ｐ１を保持した状態ではんだ３０を完全に溶融、広がらせる。
【００９３】
それにより、はんだ３０は減圧下で溶融して濡れ広がることができ、濡れ広がる際に、いったん減圧雰囲気を巻き込むことで減圧雰囲気のボイドＢが形成されるが、はんだ３０の濡れ広がりが完了した後に復圧することで、その圧力増加によりボイドＢは押しつぶされ、消滅あるいは減少する。
【００９４】
したがって、図５に示されるような本実施形態の製造方法によれば、従来よりも、減圧に用いられる減圧装置として排気能力の高い真空装置が不要となり、また、減圧するための排気時間を短くできるため、はんだ３０内のボイドＢを、より安価に低減することができる。
【００９５】
また、上述したが、本実施形態の接合構造体１００の製造方法においては、減圧状態の圧力Ｐ１を５×１０4Ｐａ以下とし、減圧状態の圧力Ｐ１よりも高い圧力Ｐ２を大気圧とすることが好ましい。
【００９６】
それによれば、本実施形態の製造方法の効果を適切に実現することができる。特に、減圧状態の圧力Ｐ１よりも高い圧力Ｐ２を大気圧とすれば、加圧のための特別な装置が不要となるため、はんだ付けに用いる装置を簡単な構成とすることができる。
【００９７】
また、上記図３に示されるように、本実施形態では、減圧状態の圧力Ｐ１を５×１０4Ｐａ以下とすることで、ボイド率を目標値以下に低減することができているが、上記減圧脱泡方法では、減圧状態の圧力Ｐ０を、本実施形態よりも約１桁低いものとしなければ、ボイド率を目標値以下に低減できていない。
【００９８】
また、上述したが、好ましくは、本実施形態の接合構造体１００の製造方法において、減圧状態の圧力Ｐ１を１×１０4Ｐａ以下としている。
【００９９】
上記図３中の「Ｐｎ−Ｓｎはんだ（従来工法）」に示したように、Ｐｂ含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法においては、Ｐｂフリーはんだの場合とは異なり、はんだペレットの形状や温度プロファイルを工夫することで、かなり高レベルのボイド低減が実現できる。
【０１００】
そこで、本実施形態の製造方法において、減圧状態の圧力Ｐ１を１×１０4Ｐａ以下とすれば、Ｐｂフリーはんだを用いた場合であっても、Ｐｂ含有はんだを用い全工程を大気圧下で行う従来の接合構造体の製造方法において実現可能な最高レベルのボイド低減度合と同程度のボイド低減を行うことができている（図３参照）。
【０１０１】
さらに、好ましくは、本実施形態の接合構造体１００の製造方法において、減圧状態の圧力Ｐ１は６×１０3Ｐａ以下としている。
【０１０２】
それによれば、上記図３に示されるように、上記した従来の減圧脱泡方法によるボイド低減方法において実現可能な最高レベルのボイド低減度合（図３中のボイド率１％）の１／２程度まで、さらにボイド率を低減することが可能となっている。
【０１０３】
また、本実施形態の好ましい形態では、上記図５の工程Ｔ２に示されるように、はんだ３０の固相線以下の温度にて減圧する前に、当該固相線以下の温度且つ大気圧にてはんだ３０の予熱を行っている。
【０１０４】
それによれば、この予熱によって、はんだ３０の表面の清浄化を行うことができ、好ましい。なお、この予熱工程は必要に応じて、省略してもよい。
【０１０５】
（他の実施形態）
なお、上記実施形態の製造方法では、上記図５の工程Ｔ６において、減圧状態の圧力Ｐ１よりも高い圧力Ｐ２を大気圧として加圧を行っているが、この圧力Ｐ２は減圧状態の圧力Ｐ１よりも高いものであれば、かまわない。
【０１０６】
たとえば、当該高い圧力Ｐ２を大気圧よりも高いものとしてもよい。その場合には、減圧状態の圧力Ｐ１は、上記実施形態と同じに設定するか、または、両圧力Ｐ１とＰ２との圧力差（Ｐ２−Ｐ１）が、上記実施形態における両圧力Ｐ１とＰ２との圧力差（Ｐ２−Ｐ１）と同程度かそれ以上の大きさとなるように、設定すればよい。
【０１０７】
また、上記したように、上記実施形態の接合構造体の製造方法は、はんだ３０として、Ｐｂフリーはんだを用いた場合に、特に効果的であったが、Ｐｂフリーはんだ以外にも、たとえばＰｎ−ＳｎはんだなどのＰｂ含有はんだに適用してもよい。
【０１０８】
また、上述したが、第１の接合部材および第２の接合部材としては、ＩＧＢＴ素子などのパワー素子やセラミック基板以外にも、抵抗素子、コンデンサ素子、プリント基板など、はんだにより接合されるものであれば、限定されない。
【０１０９】
要するに、本発明は、第１の接合部材と第２の接合部材とをはんだを介して接合する接合構造体の製造方法について、広く適用できるものであり、その主要部は、固相線温度以下にて減圧した後、この減圧状態にて液相線温度以上まで加熱し、続いて、液相線温度以上にて減圧状態の圧力よりも高い圧力まで加圧した後、この加圧状態にてはんだを固化させるものである。そして、その他の細部については、上記実施形態以外に、適宜設計変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明の実施形態に係る接合構造体の一例を示す概略断面図である。
【図２】ＩＧＢＴ素子とセラミック基板とをはんだペレットを介して積層した状態を示す概略断面図である。
【図３】実施形態および比較例の製造方法によるボイド率の様子を示す図である。
【図４】図３中のＰｂフリーはんだ（溶融後減圧）による比較例としての製造方法におけるはんだ付けの際の温度および圧力パターンを示す図である。
【図５】図３中のＰｂフリーはんだ（溶融前減圧）による実施形態の製造方法におけるはんだ付けの際の温度および圧力パターンを示す図である。
【符号の説明】
【０１１１】
１０…第１の接合部材としてのＩＧＢＴ素子、
２０…第２の接合部材としてのセラミック基板、３０…はんだ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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