(57)【要約】【課題】  本発明は、温度調節を精度よく行うことができる温度調節装置及び該温度調節装置を備えたデバイス製造装置を提供する。【解決手段】  主ヒータ及び補助ヒータと、該ヒータによって加熱された流体の温度を計測する温度センサと、温度計測信号を入力してヒータへの出力指令値を演算する温度補償器と、主ヒータにＡＣ電源を供給する第１電源出力供給手段と、補助ヒータに出力指令信号に比例したＤＣ電源電圧を供給する第２電源出力供給手段と、主ヒータに供給される電力を測定するヒータ出力検出部と、ヒータ出力検出部で測定された出力検出信号と、温度補償器から出力される出力指令値との誤差を演算して補助ヒータの出力指令値とする誤差補正手段と、主ヒータ供給電力と出力指令値の誤差を検出して補助ヒータの出力指令値として出力する誤差検出部を有し、主ヒータへの供給電力と出力指令値の誤差を補助ヒータ出力指令値として出力することを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
室内に備えられた装置本体を恒温に保つための恒温室と、該恒温室を温度制御するための空調機とを備える温度調節装置において、温度制御用の媒体を加熱する主ヒータ及び補助ヒータと、前記主ヒータおよび補助ヒータによって過熱された媒体の温度を計測する温度センサと、前記温度センサからの温度信号を入力してヒータへの出力指令値を演算する温度補償手段と、前記主ヒータに電源を供給する第１の電源出力供給手段と、前記補助ヒータに電源を供給する第２の電源出力供給手段とを備える温度調節装置において、前記主ヒータの出力状態を検出するヒータ出力検出手段と、前記ヒータ出力検出手段から出力されたヒータ入力検出信号を入力し、前記温度補償手段から出力される出力指令値との誤差を演算する誤差補正手段を有し、前記誤差補正手段から出力される出力誤差信号を用いて前記補助ヒータを制御することを特徴とする温度調節装置。
【請求項２】
前記誤差補正手段は、前記温度補償手段から出力されるヒータへの出力指令値と、前記ヒータ出力検出手段から出力されるヒータ出力検出信号の誤差を検出し、補助ヒータ出力指令値として出力することを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項３】
前記温度補償手段から出力されるヒータへの出力指令値にオフセットを与えるためのオフセット設定手段を有し、前記オフセット設定手段は前記温度補償手段から出力されるヒータへの出力指令値から所定のオフセット値を減算して主ヒータ出力指令値として出力することを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項４】
前記誤差補正手段は差分器であることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項５】
前記温度補償手段はＰＩＤ補償器であることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項６】
前記第１の電源出力供給手段は半導体スイッチング素子であることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項７】
前記第２の電源出力供給手段はリニアアンプであることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項８】
前記第２の電源出力供給手段はＰＷＭアンプであることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項９】
前記ヒータ出力検出手段はヒータの電流を検出する電流検出センサであることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項１０】
前記ヒータ出力検出手段はヒータの電源電圧を検出する電圧検出センサであることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項１１】
前記ヒータ出力検出手段はヒータの発熱量を検出する電力検出センサであることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項１２】
前記ヒータ出力検出手段は電流出力手段の作動信号であることを特徴とする請求項１記載の温度調節装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２記載のいずれか一項に記載の温度調節装置を有することを特徴とするデバイス製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体や液体などの媒体を用いて温度調節を行う温度調節装置、およびこれを備えたデバイス製造装置に関する。特に、雰囲気である空気などの気体温度制御、並びに、物体を一定温度に温度制御するために用いる冷媒液の液体温度制御を行う温度調節装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、露光装置においては、ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等のデバイスの微細化に伴う微細なパターン作成のために、装置を一定温度に制御する温度調節装置の温度制御性能の向上が望まれている。具体的には、ＸＹステージ等の位置を検出するレーザ干渉計の雰囲気の温度制御性能は、従来の百分の一度の制御性能から千分の一度の制御性能が必要になってきている。
【０００３】
半導体製造装置（半導体露光装置を含む）等のデバイス製造装置においては、位置決めステージの駆動手段や電気基板、レーザ発振器等の発熱源を有するために、この発熱源により露光装置の周囲雰囲気の温度が上昇することを阻止することが重要な課題となっている。即ち、半導体露光装置の雰囲気の温度が変動すると、露光光路中の気体の揺らぎによる屈折率の変動、局部的な温度上昇や温度変動が生じて露光むらを発生させ、精度の良い位置決めが困難となり、さらにレチクル等の原版やウエハ等の基板に熱変形が生じる等、高精度な露光転写を行うことが困難になる。
【０００４】
そのために、露光装置を包囲するチャンバ内の温度の上昇や変動を制御し、チャンバ内の温度を所定の温度に維持するための温度調節装置が採用されている。この種の温度調節装置を備えた露光装置としては、例えば、図５に図示するような装置が知られている。図５は、従来例における温度調節装置（温調装置）を備えた半導体露光装置の概略構成図である。
【０００５】
図５において、露光装置１０は、レチクル等の原版のパターンをウエハ等の基板に転写する露光装置本体１１と、露光装置本体１１を包囲するチャンバ１２内の空気の温度を調節する温度調節装置１３を具備し、これらのチャンバ１２や温度調節装置１３は枠体１４内に収納されている。露光装置本体１１を包囲するチャンバ１２には、空気供給口１５と空気排出口１６がそれぞれ上下に設けられ、温度調節装置１３により所定の温度に調節された空気は、上方の空気供給口１５から供給され、矢印で示すように露光装置本体１１に沿って下方に流れる。その後に空気排出口１６から排出されるように露光装置１０は構成され、チャンバ１２内を矢印で示すように露光装置本体１１に沿って流れる空気が、露光装置本体１１の発熱源から発生する熱を放熱させて排除し、チャンバ１２内の空気の温度を所定の温度に維持する作用をする。
【０００６】
温度調節装置１３は、チャンバ１２の空気排出口から排出される空気をフィルタリングして空気中に含まれる塵埃を取り除くフィルタ２０と、フィルタリングされた空気に冷却水等を用いて熱交換を行い、所定の温度まで冷却する冷却器２１と、十分に冷却された空気を目標温度の前段まで引き上げて最終の目標温度との温度差を少なくするように空気を予熱するためのベースヒータ２２と、最終の目標温度に精密加熱を行う高感度ヒータ２３を配管２４で順次連結して構成される。また、ベースヒータ２２で予熱された空気の温度を測定する温度センサ２５がベースヒータ２２の排出側に、高感度ヒータ２３で精密に温度調節されてチャンバ１２内に供給した空気の温度を測定する温度センサ２６がチャンバ１２内にそれぞれ配置され、これらの温度センサ２５および２６による測定結果は制御部３０へ送られ、制御部３０はこれらの測定結果に基づいてベースヒータ２２と高感度ヒータ２３をそれぞれ制御するように構成されている。
【０００７】
このような露光装置の温度調節装置においては、チャンバ１２から排出される空気や適宜フィルタリングされて取り込まれる外気は冷却水等を用いて熱交換を行う冷却器２１で一旦冷却され、充分に冷却された空気はベースヒータ２２を用いて目標温度の前段まで引き上げるように予熱され、さらに予熱された空気は高感度ヒータ２３により精密に最終の目標温度に加熱されて、チャンバ１２内に供給される。この時、制御部３０が、温度センサ２５および２６による空気の温度の測定結果に基づいて、ベースヒータ２２および高感度ヒータ２３の作動を制御している。
【０００８】
このように、温度調節装置１３により所定の温度に調節された空気は、チャンバ１２内に供給され、露光装置本体１１に沿って矢印に示すように流れ、この間に露光装置本体１１が発生する熱を吸収あるいは排除して、露光装置本体１１の周囲の雰囲気を一定の温度に維持し、良好な露光精度を得ることができるようにしている。
【０００９】
図６は、従来の制御部３０内部および周辺の構成を示すブロック図である。
【００１０】
制御部３０のベースヒータ制御部は、温度センサ２５の測定温度Ｔ１を入力して予め設定された目標温度の前段になるように適宜ＰＩＤ演算等の制御演算を行って出力指令値Ｃ１を出力するＰＩＤ演算部３１と、ＰＩＤ演算部３１から出力される出力指令値Ｃ１を入力してオン・オフ信号Ｓ１に変換し出力するＰＷＭ変調部３２と、ＰＷＭ変調部３２から出力されるオン・オフ信号Ｓ１を入力してベースヒータ２２にＡＣ電源部３７から供給されるＡＣ１００Ｖ等の交流電源を接続するＳＳＲ（ソリッドステートリレー）３３で構成されている。
【００１１】
同様に、制御部３０の高感度ヒータ制御部は、温度センサ２７の測定温度Ｔ２を入力して予め設定された最終目標温度になるように適宜ＰＩＤ演算等の制御演算を行って出力指令値Ｃ２を出力するＰＩＤ演算部３４と、ＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値Ｃ２を入力してオン・オフ信号Ｓ２に変換して出力するＰＷＭ変調部３５と、ＰＷＭ変調部３５から出力されるオン・オフ信号Ｓ２を入力して高感度ヒータ２３にＡＣ電源部３７から供給されるＡＣ１００Ｖ等の交流電源を接続するＳＳＲ３６で構成されている。
【００１２】
上記に説明した様に、ベースヒータ制御部と高感度ヒータ制御部は同様の機能ブロックで構成されているので、以下、高感度ヒータ制御部についてその制御動作を説明する。
【００１３】
ＰＩＤ演算部３４は、温度センサ２７の測定温度Ｔ２を入力し、予め設定された最終目標温度との差分である温度誤差にＰＩＤ演算を施し、出力指令値Ｃ２を出力する。ここでＰは比例、Ｉは積分、Ｄは微分を表す。ＰＩＤ演算はその制御される対象に応じて最適なＰＩＤゲインが予め設定されている。
【００１４】
ＰＷＭ変調部３５はＰＩＤ演算部３４から出力された出力指令値Ｃ２を入力し、固定の出力サイクル時間で繰り返される時間比例信号として０％から１００%のオン・オフ信号Ｓ２に変換してＳＳＲ３６に出力する。
【００１５】
ＳＳＲ３６は、入力されたオン・オフ信号Ｓ２がオンである場合にＡＣ電源部３７から供給されるＡＣ１００Ｖ等の交流電源を高感度ヒータ２３に接続開始し、交流電源電圧Ａ２が０Ｖになるまで接続し続ける。特にＳＳＲ３６がゼロクロス方式である場合には、ＳＳＲ３６に入力されたオン・オフ信号Ｓ２がオンであり、かつ、交流電源電圧Ａ２が０Ｖになる瞬間、すなわちゼロクロスポイントから交流電源を高感度ヒータ２３に接続開始する。したがって、高感度ヒータ２３に印加される電力は交流電源の０Ｖになる瞬間、即ちゼロクロスポイントにおいて接続および切断されることになる。
【００１６】
図７は、従来例おける温度調節装置の制御部の信号波形であり、（ａ）はＳＳＲ３６に供給される交流電源電圧Ａ２、ＳＳＲ３６に入力されるオン・オフ信号Ｓ２、ＳＳＲ３６から高感度ヒータ２３に出力される出力電圧Ｈ２の信号波形を示す図、（ｂ）はＨ’がオン時間０．０６秒、オフ時間０．０４秒の場合を示す図、（ｃ）はＨ”がオン時間０．０７秒、オフ時間０．０３秒の場合を示す図である。
【００１７】
図７（ａ）において、波形ＡはＳＳＲ３６に供給される交流電源電圧であり、波形ＳはＰＷＭ変調部３５からのオン・オフ信号、波形Ｈは高感度ヒータ２３に出力される印加電圧である。波形Ｓ２は固定の出力サイクル時間で繰り返されるオン・オフ信号であり、例えば出力サイクル時間を０．１秒とした時、出力指令値６０％の時はオン時間０．０６秒、オフ時間０．０４秒となる。
【特許文献１】特開２００３−１１５４４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
ところで、半導体露光装置においては、露光むらをなくし、かつ、精密な位置決めを必要とし、高い分解能で空気の温度を調節することが重要である。
【００１９】
しかしながら、従来の半導体露光装置等における温度調節装置においては、例えばＡＣ電源部の交流電源周波数が５０Ｈｚで、出力サイクル時間を０．１秒にした場合には出力分解能が１０％となるので、ＰＩＤ演算部３２から出力される出力指令値が６５％であっても、実際にＳＳＲ３６から高感度ヒータ２３に供給される電力が６５％でない、したがって、高感度ヒータ２３の制御精度を落としているという欠点があった。
【００２０】
一般に温度制御性能を上げるためには制御分解能と応答性を上げる必要がある。従来の温度調節装置においては、上記に説明したように、出力サイクル時間を短くすると接続時間と切断時間の比率である制御分解能が落ちるので、出力指令値とヒータに加わる電力との誤差が大きくなり、したがって温度制御性能を落とすという欠点がある。ＡＣ電源部３７の交流電源周波数が５０Ｈｚで、出力サイクル時間を０．１秒とした場合は出力分解能が１０％に下がることになる。
【００２１】
例えば、ＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値が６５％の場合は、図７（ｂ）のＨ’の場合は、オン時間０．０６秒、オフ時間０．０４秒であり、即ちヒータ出力発熱量が６０％となり、最終の目標温度付近で温度下降を引き起こす。図７（ｃ）のＨ”の場合は、オン時間０．０７秒、オフ時間０．０３秒であり、すなわちヒータ出力発熱量が７０％となり、最終の目標温度付近で温度上昇を引き起こす。したがって従来の温度調節装置で出力サイクル時間を短くした場合は温度振れ幅が大きくなってしまう。
【００２２】
また、出力サイクル時間を長くすると接続時間と切断時間の比率である制御分解能は上がるが、温度が上昇する接続時間と温度が下降する切断時間がそれぞれ長くなり、したがって、最終の目標温度付近で温度上昇および下降を繰り返し、温度制御性能を落とすという欠点がある。ＡＣ電源部３７の交流電源周波数が５０Ｈｚで、出力サイクル時間を1．0秒とした場合は出力分解能は１％に高くすることができるが、温度上昇時間と温度下降時間がそれぞれ長くなる。例えばＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値が６５％の場合は、オン時間０．６５秒、オフ時間０．４５秒であり、すなわち温度上昇の時間が０．６５秒、温度下降の時間が０．４５秒となり、最終の目標温度付近で温度上昇および下降を繰り返してしまう。したがって従来の温度調節装置で出力サイクル時間を長くした場合は、温度振れ幅が大きくなってしまう。
【００２３】
そこで、本発明は、上記の従来技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、温度調節を精度よく行うことができる温度調節装置、および該温度調節装置を備えたデバイス製造装置を提供することを目的にするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記目的を達成するために、本発明の露光装置は、露光装置本体を包囲するチャンバと、該チャンバ内の温度を調節する温度調節装置を備えた露光装置において、前記温度調節装置は、気体もしくは液体を加熱する主ヒータおよび補助ヒータと、主ヒータおよび補助ヒータによって過熱された気体もしくは液体の温度を計測する温度センサと、温度センサからの温度計測信号を入力してヒータへの出力指令値を演算する温度補償器と、主ヒータにＡＣ電源を供給する第１の電源出力供給手段と、補助ヒータに出力指令信号に比例したＤＣ電源電圧を供給する第２の電源出力供給手段と、主ヒータに供給される電力を測定するためのヒータ出力検出部と、ヒータ出力検出部で測定された出力検出信号と、温度補償器から出力される出力指令値との誤差を演算して補助ヒータの出力指令値とする誤差補正手段と、主ヒータ供給電力と出力指令値の誤差を検出して補助ヒータの出力指令値として出力する誤差検出部を有し、主ヒータへの供給電力と出力指令値の誤差を補助ヒータ出力指令値として出力することを特徴とする。
【００２５】
前記誤差補正手段は、前記温度補償手段から出力されるヒータへの出力指令値と、前記ヒータ出力検出手段から出力される出力検出信号の誤差を検出し、補助ヒータ出力指令値として出力することが好ましい。
【００２６】
前記温度補償手段から出力されるヒータへの出力指令値にオフセットを与えるためのオフセット設定手段を有し、前記オフセット設定手段は前記温度補償手段から出力される出力指令値から所定のオフセット値を減算して前記主ヒータへの出力指令信号として出力することが好ましい。
【００２７】
前記ヒータ出力検出手段は、前記主ヒータの電流を検出する電流検出センサ、前記主ヒータの電源電圧を検出する電圧検出センサ、前記主ヒータの発熱量を検出する電力センサ、または前記電源出力供給手段の作動信号を検出するものであると良い。
【００２８】
前記温度補償手段は、ＰＩＤ補償器であることが好ましく、前記第１の電源出力供給手段は、半導体スイッチング素子であることが好ましく、前記第２の電源出力供給手段は、リニアアンプもしくはＰＷＭアンプであることが好ましい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の温度制御装置は、主ヒータに供給される電力を測定するための主ヒータ出力検出部と、主ヒータ出力検出部で測定された出力検出信号と、ＰＩＤ演算部から出力されるヒータ出力指令値との誤差を検出して補助ヒータに電力を供給する誤差補正部を有し、主ヒータ供給電力とヒータ出力指令値の誤差を、補助ヒータを用いて補正するので、制御分解能を犠牲にせずに応答性を向上させることが可能になり、従って温度制御特性を向上させる。
【００３０】
本発明の温度制御装置を有するデバイス製造装置においては、高い分解能で空気の温度を調節することが可能であり、従って、露光むらをなくし、かつ、精密な位置決めを可能とし、より微細なパターンの半導体チップを生産できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
次に、本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて詳細に説明する。
【実施例１】
【００３２】
本発明に基づく温度調節装置を備えた露光装置の第１の実施例について図を用いて説明する。
【００３３】
図１は本発明の温度調節装置を備えた露光装置の構成を示すブロック図である。図１において、図５と同一符号をつけた箇所は図５のものと同様に構成され同様に作用する。図１において図５との違いは、高感度ヒータ２３の後段に補助ヒータ２７を配置して構成されていることである。
【００３４】
即ち、露光装置１０は、レチクル等の原版のパターンをウエハ等の基板に転写する露光装置本体１１と、露光装置本体１１を包囲するチャンバ１２内の空気の温度を調節する温度調節装置１３を具備し、これらのチャンバ１２や温度調節装置１３は枠体１４内に収納されている。露光装置本体１１を包囲するチャンバ１２には、空気供給口１５と空気排出口１６がそれぞれ上下に設けられ、温度調節装置１３により所定の温度に調節された空気は、上方の空気供給口１５から供給され、矢印で示すように露光装置本体１１に沿って下方に流れ、その後に空気排出口１６から排出されるように構成され、チャンバ１２内を矢印で示すように露光装置本体１１に沿って流れる空気が、露光装置本体１１の発熱源から発生する熱を放熱させて排除し、チャンバ１２内の空気の温度を所定の温度に維持する作用をする。
【００３５】
温度調節装置１３は、チャンバ１２の空気排出口から排出される空気をフィルタリングして空気中に含まれる塵埃を取り除くフィルタ２０と、フィルタリングされた空気に冷却水等を用いて熱交換を行い、所定の温度まで冷却する冷却器２１と、十分に冷却された空気を目標温度の前段まで引き上げて最終の目標温度との温度差を少なくするように空気を予熱するためのベースヒータ２２と、最終の目標温度に精密加熱を行う高感度ヒータ２３と、高感度ヒータ２３の誤差を補正するための補助ヒータ２７を配管２５で順次連結して構成される。また、ベースヒータ２２で予熱された空気の温度を測定する温度センサ２５がベースヒータ２２の排出側に、高感度ヒータ２３および補助ヒータ２７で精密に温度調節されてチャンバ１２内に供給した空気の温度を測定する温度センサ２６がチャンバ１２内にそれぞれ配置され、これらの温度センサ２５および２６による測定結果は制御部３０へ送られ、制御部３０はこれらの測定結果に基づいてベースヒータ２２と高感度ヒータ２３および補助ヒータ２７をそれぞれ制御するように構成されている。
【００３６】
このような露光装置の温度調節装置においてはチャンバ１２から排出される空気や適宜フィルタリングされて取り込まれる外気は冷却水等を用いて熱交換を行う冷却器２１で一旦冷却され、充分に冷却された空気はベースヒータ２２を用いて目標温度の前段まで引き上げるように予熱され、さらに予熱された空気は高感度ヒータ２３および補助ヒータ２７により精密に最終の目標温度に加熱されて、チャンバ１２内に供給される。この時、制御部３０が、温度センサ２５および２６による空気の温度の測定結果に基づいて、ベースヒータ２２と高感度ヒータ２３の動作を制御している。さらに制御部３０は、高感度ヒータ２３の誤差分を補正するために補助ヒータ２７の動作を制御している。
【００３７】
このように、温度調節装置１３により所定の温度に調節された空気は、チャンバ１２内に供給され、露光装置本体１１に沿って矢印に示すように流れ、この間に露光装置本体１１が発生する熱を吸収あるいは排除して、露光装置本体１１の周囲の雰囲気を一定の温度に維持し、良好な露光精度を得ることができるようにしている。
【００３８】
図２はその制御部３０内部および周辺の構成を示すブロック図である。図２において、図６と同一符号をつけた箇所は図６のものと同様に構成され同様に作用する。図２において図６との違いは、オフセット設定部４０、差分器４１および４３、主ヒータ出力検出部４２、リニアアンプ４４、ＤＣ電源部４５を追加したことである。
【００３９】
制御部３０のベースヒータ制御部は、温度センサ２６の測定温度Ｔ１を入力し、予め設定された目標温度の前段になるように適宜ＰＩＤ演算等の制御演算を行い、出力指令値Ｃ１を出力するＰＩＤ演算部３１と、ＰＩＤ演算部３１から出力される出力指令値Ｃ１を入力し、オン・オフ信号Ｓ１に変換して出力するＰＷＭ変調部３２と、ＰＷＭ変調部３２から出力されるオン・オフ信号Ｓ１を入力し、ベースヒータ２２にＡＣ電源部３７から供給されるＡＣ１００Ｖ等の交流電源Ａ１を接続するＳＳＲ（ソリッドステートリレー）３３で構成されている。
【００４０】
制御部３０の高感度ヒータ制御部は、温度センサ２７の測定温度Ｔ２を入力し、予め設定された最終目標温度になるように適宜ＰＩＤ演算等の制御演算を行い、出力指令値Ｃ２を出力するＰＩＤ演算部３４と、オフセット値Ｏ２を設定し出力するオフセット設定器４０と、ＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値Ｃ２からオフセット設定器４０から出力されるオフセット値Ｏ２を減算した（主ヒータである）高感度ヒータ出力指令値Ｄ２を出力する差分器４１と、差分器４１から出力される高感度ヒータ出力指令値Ｄ２を入力し、オン・オフ信号Ｓ２に変換して出力するＰＷＭ変調部３５と、ＰＷＭ変調部３５から出力されるオン・オフ信号Ｓ２を入力し、高感度ヒータ２３にＡＣ電源部３７から供給されるＡＣ１００Ｖ等の交流電源Ａ２を接続するＳＳＲ３６で構成されている。
【００４１】
制御部３０の補助ヒータ制御部は、ＳＳＲ３６から出力される高感度ヒータ電力Ｈ２を入力し、出力検出信号Ｐ２を出力する出力検出部４２と、ＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値Ｃ２から出力検出器４２から出力される出力検出信号Ｐ２を減算し、補助ヒータ出力指令値Ｄ３を出力する差分器４３と、差分器４３から出力される補助ヒータ出力指令値Ｄ３を入力し、補助ヒータ２７に出力指令値Ｄ３に相当する電力を供給するリニアアンプ４４と、リニアアンプ４４の電源であるＤＣ電源部４５とで構成されている。
【００４２】
以上説明した様に、ベースヒータ制御部は従来例と同様の機能ブロックで構成されているので、以下、高感度ヒータ制御部と補助ヒータ制御部について、その制御動作を説明する。
【００４３】
ＰＩＤ演算部３４は温度センサ２６の測定温度Ｔ２を入力し、予め設定された最終の目標温度との差分である温度誤差にＰＩＤ演算を施し、出力指令値Ｃ２を出力する。ここでＰは比例、Ｉは積分、Ｄは微分を表す。ＰＩＤ演算はその制御される対象に応じて最適なＰＩＤゲインが設定されている。
【００４４】
出力指令値Ｃ２は０％から１００％の間の信号であり、温度調節装置の電源投入時などの過渡状態では例えば１００％の値をとり、設定温度Ｔ２での定常状態では例えば５０％前後の値に落ち着くことになる。
【００４５】
オフセット設定器４０は、高感度ヒータ２３の分解能、すなわち高感度ヒータの最大出力誤差に相当する予め設定されたオフセット値Ｏ２を後段の差分器４１に出力する。例えばＡＣ電源部の交流電源周波数が５０Ｈｚで、ＰＷＭ変調部３６の出力サイクル時間を０．１秒にした場合には高感度ヒータ２３の出力分解能が１０％となるので、オフセット値Ｏ２に１０％を設定する。これは後述するように補助ヒータ２７の動作を確実にするために設定している。
【００４６】
差分器４１は出力指令値Ｃ２からオフセット値Ｏ２を常に減算した高感度ヒータ出力指令値Ｄ２を出力する。例えば出力指令値が６５％で、オフセット値Ｏ２が１０％のときは高感度ヒータ出力指令値Ｄ２は５５％となる。
【００４７】
ＰＷＭ変調部３５は差分器４１から出力された高感度ヒータ出力指令値Ｄ２を入力し、固定の出力サイクル時間で繰り返される時間比例信号として０％から１００%のオン・オフ信号Ｓ２に変換してＳＳＲ３６に出力する。
【００４８】
ＳＳＲ３６は入力されたオン・オフ信号Ｓ２がオンである場合にＡＣ電源部３７から供給されるＡＣ１００Ｖ等の交流電源をヒータに接続開始し、交流電源電圧Ａ２が０Ｖになるまで接続し続ける。特にＳＳＲ３６がゼロクロス方式である場合には、ＳＳＲ３６に入力されたオン・オフ信号Ｓ２がオンであり、かつ、交流電源電圧Ａ２が０Ｖになる瞬間、すなわちゼロクロスポイントから交流電源をヒータに接続開始する。したがって、ヒータに印加される電力は交流電源の０Ｖになる瞬間すなわちゼロクロスポイントにおいて接続および切断されることになる。
【００４９】
出力検出部４２は高感度ヒータ２３に供給される電力Ｈ２を出力サイクル時間の平均値として検出して、高感度ヒータ出力検出信号Ｐ２を出力する。例えばＡＣ電源部３７の交流電源周波数が５０Ｈｚで、ＰＷＭ変調部３５の出力サイクル時間が０．１秒であり、オン時間０．０６秒、オフ時間０．０４秒の場合は高感度ヒータ出力検出信号Ｐ２が６０％となる。
【００５０】
差分器４３はＰＩＤ演算部３４から出力された出力指令値Ｃ２から出力検出器４２から出力された高感度ヒータ出力検出信号Ｐ２を減算し、補助ヒータ出力指令値Ｄ３を出力する。例えば出力指令値Ｃ２が６５％、高感度ヒータ出力検出信号Ｐ２が５０％の時は、その差分１５％の補助ヒータ出力指令値Ｄ３を出力する。
【００５１】
リニアアンプ４４はＤＣ電源部４５からの一定電圧Ａ３を供給され、補助ヒータ出力指令値Ｄ３に比例した出力電圧Ｈ３を補助ヒータ２７に供給する。例えば、補助ヒータが１００Ｖ仕様であるときは１５％に相当する１５Ｖを出力する。
【００５２】
補助ヒータ２７の最大発熱量は高感度ヒータ２３の誤差分を補正すれば良く、従って、高感度ヒータ２３が発生するであろう最大誤差量、すなわち出力分解能の２倍以上程度の容量でよい。例えば高感度ヒータ２３の最大発熱量が２ＫＷで、その出力分解能が１０％とすると、最大誤差量は±２００Ｗとなる。従って、補助ヒータ２７の最大発熱量は５００Ｗ程度であれば良く、また、リニアアンプ４４、および、ＤＣ電源部４５の負荷容量も５００Ｗ程度を用意すれば良い。また、オフセット設定器４０の設定するオフセット値Ｏ２は高感度ヒータ２４の出力分解能である１０％前後に設定するのが好ましい。
【００５３】
図３（ａ）は、ＳＳＲ３６に供給される交流電源電圧Ａ２、ＳＳＲ３６に入力されるオン・オフ信号Ｓ２、ＳＳＲ３６から高感度ヒータ２３に出力される出力電圧Ｈ２、出力検出部４２から出力される出力検出信号Ｐ２、リニアアンプ４４に入力される補助ヒータ出力指令値Ｄ３の関係を表す図である。
【００５４】
図３（ａ）において、波形Ａ’はＳＳＲ３６に供給される交流電源電圧Ａ２であり、波形Ｓ’はＰＷＭ変調部３５からのオン・オフ信号Ｓ２、波形Ｈ’は高感度ヒータ２３に出力される印加電圧Ｈ２である。また、チャートＰ’は出力検出部４２から出力される出力検出信号Ｐ２、チャートＤ’はリニアアンプに入力される補助ヒータ出力指令値Ｄ３である。波形Ｓ’は固定の出力サイクル時間で繰り返されるオン・オフ信号で、例えば出力サイクル時間を０．１秒であり、高感度ヒータ出力指令値Ｄ２が５５％の時はオン時間０．０５５秒、オフ時間０．０４５秒となる。
【００５５】
従来の半導体露光装置等における温度調節装置においては、例えばＡＣ電源部３７の交流電源周波数が５０Ｈｚで、出力サイクル時間を０．１秒にした場合には出力分解能が１０％となり、ＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値が６５％であっても、実際にＳＳＲ３６から高感度ヒータ２３に供給される電力が６５％でない、したがって、高感度ヒータ２３の制御精度を落としているという欠点があった。
【００５６】
本実施形態の半導体露光装置等のデバイス製造装置における温度調節装置においては、例えばＡＣ電源部３７の交流電源周波数が５０Ｈｚで、ＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値Ｃ２が６５％の場合は以下のように動作する。
【００５７】
差分器４１はＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値Ｃ２にオフセット設定器４０から出力されるオフセット値Ｏ２を減算した高感度ヒータ出力指令値Ｄ２を出力する。オフセット設定器４０から出力されるオフセット値Ｏ２はＳＳＲ３６の出力分解能に相当する値を設定することが好ましく、ＳＳＲ３６の出力サイクル時間が０．１秒、即ち出力分解能が１０％である場合は、オフセット値Ｏ２も１０％に設定する。従って、出力指令値Ｃ２が６５％で、オフセット値Ｏ２が１０％の場合には高感度ヒータ出力指令値Ｄ２は５５％となる。
【００５８】
ＰＷＭ変調部３５は差分器４１から出力される高感度ヒータ出力指令値Ｄ２の５５％を入力し、第１の出力サイクルに５５％のオン・オフ信号Ｓ２に変換してＳＳＲ３６に出力する。出力サイクル時間を０．１秒にした場合にはオン時間０．０５５秒、オフ時間０．０４５秒のオン・オフ信号になる。
【００５９】
ＳＳＲ３６はＰＷＭ変調部３５から出力されたオン・オフ信号Ｓ２の５５％を入力して、高感度ヒータ２３に交流電源を接続する。この時ＳＳＲ３６が高感度ヒータ２３に交流電源を０．０５秒間接続したとすると、出力検出部４２から出力される出力検出信号Ｐ２は５０％である。
【００６０】
差分器４３はＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値Ｃ２の６５％と出力検出部４２から出力される出力検出信号Ｐ２の５０％の差分を演算し、補助ヒータ出力指令値Ｄ３の１５％を出力する。
【００６１】
リニアアンプ４４は差分器４３から出力された補助ヒータ出力指令値Ｄ２の１５％を入力し、第２の出力サイクルに高感度ヒータの最大発熱量の１５%に相当する電流を補助ヒータ２７に供給する。従って、前回の出力サイクルで高感度ヒータ２３の発生する発熱量５０％および次回の出力サイクルで補助ヒータ２７の発生する発熱量１５％の総和はＰＩＤ演算部３２から出力される前回の出力指令値Ｃ２の６５％になる。
【００６２】
図３（ｂ）は、図３（ａ）において出力サイクルと交流電源電圧の位相をずらして表示した例を示す図であり、波形Ｓ”、波形Ｈ”、チャートＰ”、チャートＤ”で表している。出力サイクルと交流電源電圧の位相が異なる図３（ｂ）、即ち波形Ｓ”、波形Ｈ”の場合は第１の出力サイクルにおいて６０%を出力し、以下の様に動作する。
【００６３】
ＳＳＲ３６は、ＰＷＭ変調部３５から出力されたオン・オフ信号Ｓ２の５５％を入力して、高感度ヒータ２３に交流電源を接続する。この時、波形Ｓ”の様にＳＳＲ３６が高感度ヒータ２３に交流電源を０．０６秒間接続したとすると、出力検出部４２から出力される出力検出信号Ｐ２は６０％である。
【００６４】
差分器４３はＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値Ｃ２の６５％と出力検出部４２から出力される出力検出信号Ｐ２の６０％の差分を演算し、補助ヒータ出力指令値Ｄ３の５％を出力する。
【００６５】
リニアアンプ４４は差分器４３から出力された補助ヒータ出力指令値Ｄ２の５％を入力し、第２の出力サイクルに高感度ヒータ２３の最大発熱量の５%に相当する電流を補助ヒータ２７に供給する。従って、前回の出力サイクルで高感度ヒータ２３の発生する発熱量６０％および次回の出力サイクルで補助ヒータ２７の発生する発熱量５％の総和はＰＩＤ演算部３２から出力される前回の出力指令値Ｃ２の６５％になる。
【００６６】
なお、図３（ｂ）の例の様に、ＳＳＲ３６はＰＷＭ変調部３５から出力されたオン・オフ信号Ｓ２の指令信号以上の電力を高感度ヒータ２３に供給することがあるので、ＰＩＤ演算部３４から出力される出力指令値Ｃ２にオフセット設定器４０から出力されるオフセット値Ｏ２を減算した高感度ヒータ出力指令値Ｄ２を出力して、補助ヒータによる補正を可能としている。
【００６７】
以上説明したように、本実施形態の温度調節装置によれば、いかなる位相の場合も第１出力サイクルの高感度ヒータ２３の発熱量と第２出力サイクルの補助ヒータ２７の発熱量の合計が６５％となり、補助ヒータ２７を用いて高感度ヒータ制御部の制御性能を向上することが可能となる。
【実施例２】
【００６８】
本発明に基づく温度調節装置を備えた露光装置の第２の実施例について図を用いて説明する。温度調節装置を備えた露光装置の構成は第１の実施例の図１と同じであるのでここでは省略する。
【００６９】
図４はその制御部３０内部および周辺の構成を示すブロック図である。図４において、図２と同一符号をつけた箇所は図２のものと同様に構成され同様に作用する。図４において図２との違いは、ベースヒータ部に新たにオフセット設定部４６、差分器４７および４９、ベースヒータ出力検出部４８、比率演算部４９、高感度ヒータ部に差分器５１を追加したことである。
【００７０】
ベースヒータ部においても高感度ヒータ部と同じく、ベースヒータの電力出力手段としてＳＳＲ３３を用いている。従って本発明の第１の実施例の場合は従来例と同じく、目標温度の前段の温度付近で温度上昇や温度下降を生じ、温度制御性能を落としている。本発明の第２の実施例では、第１の実施例のベースヒータ部の出力指令値と出力検出信号の誤差を演算して、高感度ヒータ部で補正を行う。
【００７１】
制御部３０のベースヒータ制御部は、温度センサ２６の測定温度Ｔ１を入力し、予め設定された目標温度の前段になるように適宜ＰＩＤ演算等の制御演算を行い、出力指令値Ｃ１を出力するＰＩＤ演算部３１と、オフセット値Ｏ１を設定し出力するオフセット設定器４６と、ＰＩＤ演算部３１から出力される出力指令値Ｃ１からオフセット設定器４６から出力されるオフセット値Ｏ１を減算した（主ヒータである）ベースヒータへの出力指令値Ｄ１を出力する差分器４７と、差分器４７から出力されるベースヒータへの出力指令値Ｄ１を入力しオン・オフ信号Ｓ１に変換して出力するＰＷＭ変調部３２と、ＰＷＭ変調部３２から出力されるオン・オフ信号Ｓ１を入力し、ベースヒータ２２にＡＣ電源部３７から供給されるＡＣ１００Ｖ等の交流電源Ａ１を接続するＳＳＲ（ソリッドステートリレー）３３で構成されている。
【００７２】
制御部３０の高感度ヒータ制御部は、ＳＳＲ３３から出力されるベースヒータ電力Ｈ１を入力し、出力検出信号Ｐ１を出力する出力検出部４８と、ＰＩＤ演算部３１から出力される出力指令値Ｃ１から出力検出器４８から出力される出力検出信号Ｐ１を減算し、出力誤差信号Ｅ１を出力する差分器４９と、差分器４９から出力される出力誤差信号Ｅ１を入力し、高感度ヒータ２７に出力誤差信号Ｅ１に相当する高感度ヒータへの出力指令信号Ｅ２を演算する比率演算部５０と、ＰＩＤ演算部３４から出力される高感度ヒータへの出力指令値Ｃ２に比率演算部５０から出力される出力指令信号Ｅ２を加算して出力指令値Ｃ２’を出力する加算器５１が新たに構成されている。
【００７３】
また、制御部３０の高感度ヒータ制御部は第１の実施例と同じく、温度センサ２７の測定温度Ｔ２を入力し、予め設定された最終目標温度になるように適宜ＰＩＤ演算等の制御演算を行い、高感度ヒータへの出力指令値Ｃ２を出力するＰＩＤ演算部３４と、オフセット値Ｏ２を設定し出力するオフセット設定器４０と、加算器５１から出力される出力指令値Ｃ２’からオフセット設定器４０から出力されるオフセット値Ｏ２を減算した（高感度ヒータ部の主ヒータであり、かつベースヒータ部の補助ヒータである）高感度ヒータへの出力指令値Ｄ２を出力する差分器４１と、差分器４１から出力される高感度ヒータへの出力指令値Ｄ２を入力しオン・オフ信号Ｓ２に変換して出力するＰＷＭ変調部３５と、ＰＷＭ変調部３５から出力されるオン・オフ信号Ｓ２を入力し、高感度ヒータ２３にＡＣ電源部３７から供給されるＡＣ１００Ｖ等の交流電源Ａ２を接続するＳＳＲ３６で構成されている。
【００７４】
制御部３０の補助ヒータ制御部は、ＳＳＲ３６から出力される高感度ヒータ電力Ｈ２を入力し、出力検出信号Ｐ２を出力する出力検出部４２と、加算器５１から出力される出力指令値Ｃ２’から出力検出器４２から出力される出力検出信号Ｐ２を減算し、補助ヒータへの出力指令値Ｄ３を出力する差分器４３と、差分器４３から出力される補助ヒータへの出力指令値Ｄ３を入力し、補助ヒータ２７に出力指令値Ｄ３に相当する電力を供給するリニアアンプ４４と、リニアアンプ４４の電源であるＤＣ電源部４５とで構成されている。
【００７５】
以上説明した様に、補助ヒータ制御部は第１の実施例と同様の機能ブロックで構成されているので、以下、ベースヒータ制御部と高感度ヒータ制御部について、その制御動作を説明する。
【００７６】
ＰＩＤ演算部３１は温度センサ２５の測定温度Ｔ１を入力し、予め設定された目標温度の前段との差分である温度誤差にＰＩＤ演算を施し、出力指令値Ｃ１を出力する。ここでＰは比例、Ｉは積分、Ｄは微分を表す。ＰＩＤ演算はその制御される対象に応じて最適なＰＩＤゲインが設定されている。
【００７７】
出力指令値Ｃ１は０％から１００％の間の信号であり、温度調節装置の電源投入時などの過渡状態では例えば１００％の値をとり、設定温度Ｔ１での定常状態では例えば５０％前後の値に落ち着くことになる。
【００７８】
オフセット設定器４６は、ベースヒータ２２の分解能、すなわちベースヒータの最大出力誤差に相当する予め設定されたオフセット値Ｏ１を後段の差分器４７に出力する。例えばＡＣ電源部の交流電源周波数が５０Ｈｚで、ＰＷＭ変調部３３の出力サイクル時間を０．１秒にした場合にはベースヒータ２２の出力分解能が１０％となるので、オフセット値Ｏ１に１０％を設定する。これは後述するように高感度ヒータ２３の動作を確実にするために設定している。
【００７９】
差分器４７は出力指令値Ｃ１からオフセット値Ｏ１を常に減算したベースヒータへの出力指令値Ｄ１を出力する。例えば出力指令値が６５％で、オフセット値Ｏ１が１０％のときはベースヒータへの出力指令値Ｄ１は５５％となる。
【００８０】
ＰＷＭ変調部３２は差分器４７から出力されたベースヒータへの出力指令値Ｄ１を入力し、固定の出力サイクル時間で繰り返される時間比例信号として０％から１００%のオン・オフ信号Ｓ１に変換してＳＳＲ３３に出力する。
【００８１】
ＳＳＲ３３は入力されたオン・オフ信号Ｓ１がオンである場合にＡＣ電源部３７から供給されるＡＣ１００Ｖ等の交流電源をヒータに接続開始し、交流電源電圧Ａ１が０Ｖになるまで接続し続ける。特にＳＳＲ３３がゼロクロス方式である場合には、ＳＳＲ３３に入力されたオン・オフ信号Ｓ１がオンであり、かつ、交流電源電圧Ａ１が０Ｖになる瞬間、すなわちゼロクロスポイントから交流電源をヒータに接続開始する。したがって、ヒータに印加される電力は交流電源の０Ｖになる瞬間すなわちゼロクロスポイントにおいて接続および切断されることになる。
【００８２】
出力検出部４８はベースヒータ２２に供給される電力Ｈ１を出力サイクル時間の平均値として検出して、ベースヒータ出力検出信号Ｐ１を出力する。例えばＡＣ電源部３７の交流電源周波数が５０Ｈｚで、ＰＷＭ変調部３２の出力サイクル時間が０．１秒であり、オン時間０．０６秒、オフ時間０．０４秒の場合はベースヒータ出力検出信号Ｐ１が６０％となる。
【００８３】
差分器４９はＰＩＤ演算部３１から出力された出力指令値Ｃ１から出力検出器４８から出力されたベースヒータ出力検出信号Ｐ１を減算し、ベースヒータ出力誤差信号Ｅ１を出力する。例えば出力指令値Ｃ１が６５％、ベースヒータ出力検出信号Ｐ１が５０％の時は、その差分１５％のベースヒータ出力誤差信号Ｅ１を出力する。
【００８４】
比率演算部５０は差分器４９から出力されたベースヒータ出力誤差信号Ｅ１を入力して高感度ヒータの補正する発熱量に相当する出力指令値Ｅ２を出力する。ベースヒータの最大発熱量が４ｋＷ、高感度ヒータの最大発熱量が２ｋＷである場合は出力指令値Ｅ２は３０％となる。
【００８５】
加算器５１はＰＩＤ演算部３４から出力された出力指令値Ｃ２に比率演算部５０から出力された高感度ヒータ出力指令値Ｅ２を加算した出力指令値Ｃ２’を出力する。出力指令値Ｃ２が５５％、出力指令値Ｅ２が３０％の場合は出力指令値Ｃ２’は８５％となる。
【００８６】
第２の実施例の高感度ヒータ２３はベースヒータ２２の誤差発熱量に相当する発熱量を発生して補正を行うことが可能となり、第２の実施例の補助ヒータ２７は第１の実施例と同じく高感度ヒータ２３の誤差発熱量に相当する発熱量を発生して補正を行うことが可能であり、従って更に温度制御性能を向上することが可能となる。
【００８７】
上記の第１および第２の実施例では補助ヒータに電力を供給するドライバとして電圧もしくは電流をリニアに変更するリニアアンプ４４を用いたが、電流を時間比例で出力するタイプのＰＷＭアンプを用いることも可能である。（リニアアンプの比べてＰＷＭアンプは小型で、大容量のものが容易に製作できるが、ゼロクロス方式のＳＳＲやリニアアンプに比べると大きなスイッチングノイズを発生するという欠点がある。）
また、最近ではリニアアンプとＰＷＭアンプの長所を組み合わせたＰＡＭ＋ＰＷＭアンプ等が入手できるが、これらのアンプを用いても本発明に含まれることは言うまでもない。
【００８８】
図１の本発明の第１および第２の実施例に係わる温度調節装置を備えた半導体露光装置の概略構成図では、高感度ヒータ２３と補助ヒータ２７を分けて示しているが、高感度ヒータ２３と補助ヒータ２７を一体に構成するヒータユニットとしても良い。
【００８９】
近年の半導体露光装置では温度制御された冷媒液を循環させて温度制御を行う液冷式の温度制御装置も使用されるようになってきている。上記の実施例では半導体露光装置の雰囲気である空気の温度調節制御装置を例に説明しているが、液冷式の温度制御装置においても全く同様に適用することが可能であり、その温度制御性能を上記の実施例と同様に向上させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の第１および第２の実施例に係わる温度調節装置を備えた半導体露光装置の概略構成図である。
【図２】本発明の第１の実施例に係わる温度調節装置の制御部内部および周辺の構成を示すブロック図である。
【図３】本発明に第１の実施形態に係わる温度調節装置の制御部における信号波形を示す図であり、（ａ）はＳＳＲに供給される交流電源電圧Ａ’、ＳＳＲに入力されるオン・オフ信号Ｓ’、ＳＳＲから高感度ヒータに出力される出力電圧Ｈ’の信号波形、出力検出器から出力される出力検出信号Ｐ’、リニアアンプに出力される補助ヒータ出力指令値Ｄ’を示す図、（ｂ）は（ａ）の図における位相をずらした一例を示す図である。
【図４】本発明の第２の実施例に係わる温度調節装置の制御部内部および周辺の構成を示すブロック図である。
【図５】従来例における温度調節装置を備えた半導体露光装置の概略構成図である。
【図６】図５の制御部内部およびその周辺の構成を示すブロック図である。
【図７】従来例におけるの温度調節装置の制御部の信号波形を示す図であり、（ａ）はＳＳＲに供給される交流電源電圧Ａ、ＳＳＲに入力されるオン・オフ信号Ｓ、ＳＳＲから高感度ヒータに出力される出力電圧Ｈの信号波形を示す図、（ｂ）はＳＳＲから高感度ヒータに出力される出力電圧がオン時間０．０６秒、オフ時間０．０４秒の場合を示す図、（ｃ）はＳＳＲから高感度ヒータに出力される出力電圧がオン時間０．０７秒、オフ時間０．０３秒の場合を示す図である。
【符号の説明】
【００９１】
１０  露光装置
１１  露光装置本体
１２  チャンバ
１３  温度調節装置
１５  空気流入口
１６  空気排出口
２０  フィルタ
２１  冷却器
２２  ベースヒータ
２３  高感度ヒータ
２４  配管
２５，２６  温度センサ
２７  補助ヒータ
３０  温度調節装置制御部
３１，３４  ＰＩＤ演算部
３２，３５  ＰＷＭ変調部
３３，３６  ＳＳＲ（ソリッドステートリレー）
３７  ＡＣ電源部
４０，４６  オフセット設定部
４１，４３，４７，４９  差分器
４２，４８  ヒータ出力検出部
４４  リニアアンプ
４５  ＤＣ電源部
５０  比率演算部
５１  加算器
Ｔ１，Ｔ２  温度検出信号
Ｃ１，Ｃ２  出力指令値信号
Ｐ１，Ｐ２  出力検出信号
Ｏ１，Ｏ２  オフセット値
Ｄ２  高感度ヒータ出力指令値
Ｄ３  補助ヒータ出力指令値
Ｓ１，Ｓ２  オン・オフ信号
Ａ１，Ａ２  交流電源電圧
Ａ３  直流電源電圧
Ｈ１  ベースヒータに印加される出力電圧
Ｈ２  高感度ヒータに印加される出力電圧
Ｈ３  補助ヒータに印加される出力電圧
Ａ，Ａ’  交流電源波形
Ｓ，Ｓ’，Ｓ”  オン・オフ信号波形
Ｈ，Ｈ’，Ｈ”  ヒータに印加される出力電圧波形
Ｐ’，Ｐ”  ヒータ出力検出信号
Ｄ’，Ｄ”  補助ヒータ出力指令値
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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