(57)【要約】【課題】α線源から照射されるα線が除電対象物に直接照射される事態を確実に回避しつつも、α線照射により電離生成される雰囲気イオンを効率よく除電対象物に接触させることを可能としたα線を用いた除電装置を提供することを提供すること。【解決手段】イオン放出用開口（１１）が設けられたα線遮蔽箱（１０）と、α線遮蔽箱内に収容される１又は２以上のα線源（１２）とを有し、各α線源（１２）のそれぞれから放出されるα線の照射により電離生成される雰囲気イオンをイオン放出用開口（１１）から放出して除電対象物に接触させるα線を用いた除電装置において、α線遮蔽箱（１０）内におけるα線源（１２）を、それぞれから放出されるα線粒子が除電対象物に到達することがなく、かつイオン放出用開口（１１）に臨む位置に雰囲気イオンが電離生成されるように、位置決め配置する。【選択図】      図２
2005005165.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
α線を遮蔽するための遮蔽面とイオン放出用開口とによりα線源周囲を囲むα線遮蔽箱と、α線遮蔽箱内に収容される１又は２以上のα線源と、を有し、各α線源のそれぞれから放出されるα線の照射により電離生成される雰囲気イオンをイオン放出用開口から放出して除電対象物に接触させるα線を用いた除電装置であって、
α線遮蔽箱内におけるα線源は、除電対象物が設置される位置までそれぞれから放出されるα線が到達することがなく、かつイオン放出用開口に臨む位置に雰囲気イオンが電離生成されるように、位置決めされている、ことを特徴とするα線を用いた除電装置。
【請求項２】
イオン放出用開口が設けられた側からみたα線遮蔽箱の外形輪郭形状内部に、α線が到達する空間の外形輪郭形状が含まれることを特徴とする請求項１に記載のα線を用いた除電装置。
【請求項３】
α線遮蔽箱は、除電対象物側の面に対物遮蔽面を有し、前記遮蔽面は、α線源からα線飛行距離内にある除電対象物に向かって放射されるα線を遮蔽することを特徴とする請求項１に記載のα線を用いた除電装置。
【請求項４】
α線遮蔽箱は、α線源からイオン放出用開口の開口面に沿って放出されるα線の方向には、α線の飛行距離よりも離れた位置に側方遮蔽面を有することを特徴とする請求項３に記載のα線除電装置。
【請求項５】
α線源の位置から想定される全てのα線直射方向の先方には、α線遮蔽箱の遮蔽面が位置している、ことを特徴とする請求項３又は４の何れかに記載のα線を用いた除電装置。
【請求項６】
α線源として、α線の照射により雰囲気イオンが電離生成される領域を挟むようにしてα線遮蔽箱内に対向配置される１対のα線源が採用されている、ことを特徴とする請求項３又は４の何れかに記載のα線を用いた除電装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば、半導体ウェハや液晶用ガラス基板等の製造過程で製品表面に発生する静電気を雰囲気イオン化源を用いて除電するようにした除電装置に係り、特に、α線源を雰囲気イオン化源として用いた除電装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハ、液晶用ガラス基板、磁気ディスク・光ディスク用基板、プリント基板、各種フィルム等の製品の製造過程にあっては、部品間摩擦等によりその表面に帯電（静電気）が生じることが知られている。このようにして生じる帯電は、半導体ウェハであれば素子の破壊、製品の性能劣化或いはゴミ（微粒子）の付着による表面汚染の要因ともなり得る。
【０００３】
そこで、昨今では、このような帯電の除去装置として、雰囲気イオン化源を用いた除電装置が種々用いられるようになっている。例えば、イオン放出用開口を残して周囲を閉ざされた遮蔽箱と、この遮蔽箱内に収容される１又は２以上の雰囲気イオン化源と、を有し、各雰囲気イオン化源により電離生成される雰囲気イオンをイオン放出用開口から放出して除電対象物に照射するようにした除電装置が知られている。イオン化源としては、コロナ放電のためのタングステン電極、紫外線放射のためのＵＶランプ、或いは軟Ｘ線照射のための軟Ｘ線放電管等が用いられる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
コロナ放電を用いる除電装置では、タングステン電極に高電圧を印加することによって、所定強度以上の電界を電極先端部に発生させる。これにより、雰囲気中にイオンを発生させ、このイオンにより除電対象物表面の帯電（電荷）を中和する。
【０００５】
また、紫外線を用いる除電装置は、ＵＶランプにより紫外線を雰囲気中に照射し、これにより雰囲気中の分子がイオン化される作用を利用したものであり、雰囲気としては、例えば窒素ガスが使用される。
【０００６】
また、軟Ｘ線を用いたものは、軟Ｘ線放電管を使用して軟Ｘ線を雰囲気中に照射するものであり、これにより雰囲気中の分子をイオン化するものである。
【０００７】
ところで、上述の除電装置のうち、コロナ放電、紫外線を用いる除電装置にあっては、除電対象物の損傷の要因となるオゾンが発生するといった問題があり、また、コロナ放電、紫外線及び軟Ｘ線を用いる除電装置にあっては、メンテナンスが煩雑でかつ寿命の比較的短いタングステン電極やＵＶランプ、放電管等を用いらなければならないといった問題があるため、利用に踏み切り難いという欠点が指摘されており、昨今では、α線を使用した除電装置が提案されるに至っている。
【０００８】
α線を用いた除電装置では、一般には、α線源としてアメリシウム又はポロニウムの薄片が使用される。この薄片からは、飛行距離約４ｃｍのα線が照射され、これにより、雰囲気中にイオンが電離生成される。
【０００９】
このα線を用いた除電装置では、メンテナンスが煩雑でかつ寿命の比較的短いという欠点を有する放電管等に換えて、半減期の長い（寿命の長い）α線源（雰囲気イオン化源）が用いられており、またオゾンが発生される虞もないため、製品の汚染回避やメンテナンスの容易さといった点で有利であり、昨今、様々なものが提案されている（例えば、特許文献２，３参照）
【００１０】
【特許文献１】
特開２００１−１７６６９１号公報
【特許文献２】
特開平７−４５２９７号公報
【特許文献３】
特開平７−２１１４８３号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、α線を用いた除電装置では、以下の（１）、（２）に掲げる問題点が指摘されている。
【００１２】
（１）α線粒子の飛行距離は約４ｃｍと短いため、電離生成される雰囲気イオンを除電対象物に効率よく接触させるためには、α線源と除電対象物との距離を比較的短く保たねばならない。このような場合には、除電対象物にα線が直接照射されてしまうような場合が生じやすく、このことは、非除電物体の製品劣化等の要因ともなる。
【００１３】
（２）上記のような除電対象物のα線による被爆（直接照射）を回避するために、α線により電離生成される雰囲気イオンを、α線源から所定距離離されたイオン放出用開口に送風により送り出す方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、このような場合には、α線遮蔽箱内で電離生成された雰囲気イオンの滞留時間が長くなり、その間に、雰囲気イオン同士の再結合が発生し、必要十分なイオンを放出できないという欠点が知見されている。
【００１４】
この発明は、上述の問題点に着目してなされたものであり、その目的とするところは、α線源から照射されるα線が除電対象物に直接照射される事態を確実に回避しつつも、α線照射により電離生成される雰囲気イオンを効率よく除電対象物に接触させることを可能としたα線を用いた除電装置を提供することにある。
【００１５】
この発明のさらに他の目的乃至作用効果については、以下の明細書の記載を参照することにより、当業者であれば容易に理解されるであろう。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明のα線を用いた除電装置は、α線を遮蔽するための遮蔽面とイオン放出用開口とによりα線源周囲を囲むα線遮蔽箱と、α線遮蔽箱内に収容される１又は２以上のα線源と、を有し、各α線源のそれぞれから放出されるα線の照射により電離生成される雰囲気イオンをイオン放出用開口から放出して除電対象物に接触させるα線を用いた除電装置であって、α線遮蔽箱内におけるα線源は、除電対象物が設置される位置までそれぞれから放出されるα線が到達することがないように位置決めされている。
【００１７】
『除電対象物が設置される位置』とは、本装置を使用するにあたってあらかじめ定めた除電対象物体を置くべき位置である。設置される位置がある範囲を持つ場合には、本除電装置に最も接近した位置を意味する。この位置は、α線遮蔽箱のイオン放出用開口がある側の外形の面と一致する場合もある。
【００１８】
『α線源』としては、例えばアルメシウム、ポロニウムが挙げられる。
【００１９】
『α線が到達することがない』場合とは、α線が遮蔽面に衝突して消失する場合の他に、遮蔽面には衝突せず、大気中を飛行中に周辺分子と相互作用をおよぼし合いながら直進し、運動エネルギーを失うことにより最後に消失する場合も含む。このときの到達しうる最大の距離（α線飛行距離）は実験式により知られている。大気圧、空気中においては、通常の４〜７ｅＭＶの運動エネルギーを持つα線粒子の場合は約４ｃｍとなる。α線源からα線飛行距離以上離れた地点では、α線粒子自体が存在しないと考えることができる。
【００２０】
本発明のα線を用いた除電装置によれば、α線源から照射されるα線が除電対象物に直接照射される事態を確実に回避することができる。一方で、イオン放出用開口付近には、雰囲気イオンが良好に生成され、雰囲気イオンを効率よく除電対象物に接触させることができ、除電効率が向上される。
【００２１】
本発明において好ましくは、イオン放出用開口が設けられた側からみた、α線遮蔽箱の外形輪郭形状内部に、α線が到達する空間の外形輪郭形状が含まれる。
【００２２】
このような構成によれば、本除電装置を除電対象物に対して設置した状態では、除電装置の周囲を人の手が通過するようなことがあっても、また、本除電装置に接近して物が設置されたとしても、α線が直接照射されることが無く安全である。
【００２３】
本発明において、好ましくは、α線遮蔽箱は、除電対象物側の面に対物遮蔽面を有し、前記遮蔽面はα線源からα線飛行距離内にある除電対象物に向かって放射されるα線を遮蔽する。
【００２４】
このような構成によれば、α線が除電対象物に直接照射される事態を確実に回避しつつ、α線を用いた除電装置に対して、除電対象物をα線飛行距離よりも近づけて配置することができる。このとき、雰囲気イオンも除電対象物の近くで生成されるので、除電対象物に到達するまでに再結合により消滅するイオンの数が減少し除電効率が高くなる。
【００２５】
本発明において、さらに好ましくは、α線遮蔽箱は、α線源からイオン放出用開口の開口面に沿って放出されるα線の方向には、α線の飛行距離よりも離れた位置に側方遮蔽面を有する。
【００２６】
『開口面に沿って放出されるα線の方向』は、少なくとも１つの方向であれば良く、全ての方向である必要はない。
【００２７】
『側方遮蔽面』は、α線遮蔽箱のイオン放出用開口のある面を正面としたときの側方にある遮蔽面を意味する。
【００２８】
このような構成によれば、イオン放出用開口の開口面に沿った方向に放出されるα線は、α線飛行距離よりも短い距離で遮蔽面によって遮蔽されることがないから、各α線毎に最大量の電離イオンを生成させることができる。
【００２９】
本発明において、より好ましくは、α線源の位置から想定される全てのα線直射方向の先方には、α線遮蔽箱の遮蔽面が位置するように、α線源が配置される。
【００３０】
大気圧空気中では、α線粒子の飛行距離は約４ｃｍとされているが、圧力や雰囲気気体の種類などによってはこの飛行距離を超える箇所で、全てのα線粒子が消滅していない場合がある。そこで、α線源の位置から想定される全てのα線直射方向の先方には、α線遮蔽箱の壁体遮蔽面が位置するように、α線源を配置すれば、いかなる使用条件下においても、α線粒子の外部漏出の可能性を完全に排除することができる。また、このような構成によれば、外部からは見えない位置、すなわち奥まった位置にα線源が設置されることとなるため、不注意等によるα線源への接触による人体被爆等を良好に防止することができる。
【００３１】
本発明において更に好ましくは、α線源として、α線の照射により雰囲気イオンが電離生成される領域を挟むようにしてα線遮蔽箱内に対向配置される１対のα線源が採用される。
【００３２】
このような構成によれば、１対のα線源により雰囲気イオンの生成を促進することができる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係るα線を用いた除電装置の好適な実施の一形態を添付図面を参照しつつ詳細に説明する。尚、以下の実施の形態は本発明の一例を示すものに過ぎず、言うまでもなく、本発明の要旨は特許請求の範囲によってのみ規定されるものである。
【００３４】
本実施形態におけるα線を用いた除電装置（以下、α線除電装置という）の構成が図１の内部透視図に示されている。
【００３５】
同図に示されるように、このα線除電装置１は、略直方体状の中空のα線遮蔽箱１０の内壁面に、α線源としてのアメリシウムの薄片１２が貼付されてなる。
この例では、α線遮蔽箱の材質としてアルミニウムが用いられている。また、この例では、２つのアメリシウム薄片１２ａ，１２ｂが使用されており、このα線遮蔽箱１０の長手方向に沿う両側壁（１０ｂ−１，１０ｂ−２）に互いに対向するように貼付されている。この例で示されるアメリシウム薄片１２は、それぞれから放出される放射線は、法規制対象外の３．７ＭＢｑ以下である。
【００３６】
α線遮蔽箱１０の上壁面１０ａの中央部には、このα線遮蔽箱１０の長手方向に沿ってイオン放出用開口１１が設けられている。この除電装置１内では、各アメリシウム薄片１２から照射されるα線の作用により、雰囲気イオンが常時電離生成されており、この雰囲気イオンをイオン放出用開口１１から放出させて、除電対象物に接触させる。除電対象物としては、例えば、半導体ウェハ、液晶用ガラス基板、磁気ディスク・光ディスク用基板、プリント基板、各種フィルム等が挙げられる。除電対象物は、イオン放出用開口１１の真上直近を、図１中、符号Ｘで示される矢印の方向（α線遮蔽箱１０の長手方向と直交する方向、以下、パスラインという）に移動（走査）される。この走査を通じて、イオン放出用開口から漏れ出す雰囲気イオンが、除電対象物表面に接触され、除電対象物表面の電荷が中和される。
【００３７】
α線除電装置１におけるアメリシウム薄片１２の配置状態が図２に示されている。同図は、図１に示されるα線遮蔽箱１０のＡ−Ａ断面図でもある。
【００３８】
アメリシウムから照射されるα線粒子の到達距離は約４ｃｍであり、金属体に当たると吸収される性質を有していることが知られている。図２中、符号Ｓ１、Ｓ２で示される斜線領域は、このα線粒子の性質から予測されるアメリシウム薄片１２からのα線粒子到達領域を示している。
【００３９】
同図から明らかであるように、アメリシウム薄片１２ａ、１２ｂのそれぞれから照射されるα線のイオン放出用開口１１付近の最高到達点は、α線遮蔽箱１０の上壁１０ａがα線遮蔽体（対物遮蔽面）となっていることもあり、同図中符号Ｐ１、Ｐ２で示される位置（イオン放出用開口１１から外部に出ないぎりぎりの位置）に存在している。
【００４０】
本実施形態では、このようなα線最高到達点Ｐ１、Ｐ２を考慮して、アメリシウム薄片１２がα線遮蔽箱１０内に配置されている。このようにアメリシウム薄片１２を配置することにより、イオン放出用開口１１の真上に位置するパスラインを通過する除電対象物にα線が直射されるといった事態を確実に回避している。一方で、イオン放出用開口１１にはα線が到達しているため、このイオン放出用開口１１付近では常時雰囲気イオンが電離生成され、この雰囲気イオンが、イオン放出用開口１１から放出されることにより、良好に除電対象物表面の電荷を中和することができる。
【００４１】
尚、イオン放出用開口１１から放出される雰囲気イオンには、イオン放出用開口１１付近で電離生成されるものばかりでなく、α線遮蔽箱１０内（α線粒子到達領域Ｓ１、Ｓ２）で電離生成される全ての雰囲気イオンが含まれると考えられる。しかしながら、α線遮蔽箱１０内で電離生成される雰囲気イオンは、存在密度が高い場合、或いは滞留時間が長い場合には、正負イオン同士が再結合を起こす虞が指摘されている。そこで、本実施形態では、図２からも明らかであるように、アメリシウム薄片１２ａと、アメリシウム薄片１２ｂとの最短距離が、少なくともα線粒子の到達距離（約４ｃｍ）の２倍以上に保たれている。このようにすることで、両アメリシウム薄片１２から照射されるα線粒子同士の衝突を回避し、これにより、電離生成される正負イオン同士の再結合の抑制を図っている。
【００４２】
もっとも、そのような正負イオン同士の再結合の虞を考慮しないのであれば、アメリシウム薄片１２ａと、アメリシウム薄片１２ｂとの最短距離をα線粒子の到達距離（約４ｃｍ）の２倍以下とすることができる。この場合には、両アメリシウム薄片からのα線粒子の重複領域が形成されるから、雰囲気イオンの生成密度が高められ、結果、除電に寄与する雰囲気イオンをより効率よく得ることができると考えられる。
【００４３】
次に、本発明の変形例を図３に示す。図２に示した実施形態と異なる点は、アメリシウム薄片１２が、除電対象物Ｍに対してより近い側に配置されている点と、それにより、α線最高到達点Ｐ１、Ｐ２が、イオン放出用開口１１の外に位置している点にある。このような構成とすることにより、雰囲気イオンが除電対象物Ｍの近くで生成されるので、除電対象物Ｍに到達するまでに再結合により消滅するイオンの数が減少し除電効率が高くなる。
【００４４】
次に、本発明に係るα線除電装置の第１応用例を図４に示す。
【００４５】
第１応用例では、１個のアメリシウム薄片１２０と、上面が開放された断面コの字状のα線遮蔽箱としての容器１００とが使用される。同図は、容器１００の縦断面図を示すものである。アメリシウム薄片１２０は、容器１００の底壁中央部に配置される。同図中、符号Ｓで示される斜線領域は、アメリシウム薄片１２０の配置位置から想定されるα線到達領域である。
【００４６】
この第１応用例においても、アメリシウム薄片１２０からイオン放出用開口１１０に向けて照射されるα線の最高到達点は、イオン放出用開口１１０から外部に出ないぎりぎりの位置に存在する。このため、同様に、イオン放出用開口１１０の真上に位置するパスラインを通過する除電対象物にα線が直射されるといった事態が確実に回避され、一方で、このイオン放出用開口１１０付近では常時雰囲気イオンが電離生成され、この雰囲気イオンが、イオン放出用開口１１０から放出されることにより、良好に除電対象物表面の電荷を中和することができる。
【００４７】
もっとも、第１応用例では、上壁がない容器１００が用いられているため、誤って人体の一部（例えば指等）がイオン放出用開口１１０から入り込み、アメリシウム薄片１２０に触れて放射線の被爆を受けやすいといった欠点も有している。この点からすると、図１、図２或いは図３に示した形態のように、α線遮蔽箱は、アメリシウム薄片に直接触れにくいもの、すなわち、必要最低限のイオン放出用開口を残して周囲が閉ざされたものを使用するのが好ましいであろう。
【００４８】
本発明に係るα線除電装置の第２応用例を図５に示す。この第２応用例は、上述した第１応用例の変形例でもある。第１応用例と異なる点は、α線の照射領域Ｓが、イオン放出用開口１１０の外にはみ出している点にある。但し、イオン放出用開口１１０が設けられた側からみたα線遮蔽箱の外形輪郭形状内部（仮想線Ｌ１と仮想線Ｌ２の内側）に、α線が到達する空間の外形輪郭形状が含まれている点については同様である。このような構成によれば、雰囲気イオンが除電対象物Ｍに対してより近くで生成されるので、除電対象物Ｍに到達するまでに再結合により消滅するイオンの数が減少し除電効率が高くすることができる。一方で、除電装置を除電対象物に対して設置した状態では、除電装置の周囲を人の手が通過するようなことがあっても、また、本除電装置に接近して物が設置されたとしても、α線が直接照射されることが無く安全である。
【００４９】
次に、本発明に係るα線除電装置の第３応用例を図６に示す。
【００５０】
第３応用例では、１個のアメリシウム薄片１２０と、上壁１００ａを有し片側にイオン放出用開口１１０が設けられた略直方体状のα線遮蔽箱１００とが使用される。同図は、α線遮蔽箱１００の縦断面図である。
【００５１】
第３応用例では、アメリシウム薄片１２０は、同図左側の側壁上部に配置されている。同図中、符号Ｓで示される斜線領域は、アメリシウム薄片１２０の配置位置から想定されるα線到達領域である。また、同図中、符号Ｌで示される一点鎖線は、イオン放出用開口１１０付近におけるα線最高到達点Ｐと、アメリシウム薄片１２０の上端（イオン放出用開口１１０に最も近い箇所）とを結ぶ仮想線である。
【００５２】
この第３応用例においても、アメリシウム薄片１２０からイオン放出用開口１１０に向けて照射されるα線の最高到達点Ｐは、イオン放出用開口１１０から外部に出ないぎりぎりの位置に存在する。特徴的な点は、第３応用例においては、アメリシウム薄片１２０の位置から想定される全てのα線直射方向（例えば仮想線Ｌ）の先方には、α線遮蔽箱の遮蔽面が位置している点にある。このような構成とすることで、いかなる使用条件下においても、α線粒子の外部漏出の可能性を完全に排除することができる。また、このような構成によれば、外部からは見えない位置、すなわち奥まった位置にα線源が設置されることとなるため、不注意等によるα線源への接触による人体被爆等を良好に防止することができる。
【００５３】
加えて、この第３応用例においては、アメリシウム薄片１２０からイオン放出用開口１１０の開口面に沿って放出されるα線の方向（例えば仮想線Ｌ）において、α線の飛行距離（約４ｃｍ）よりも離れた位置に側方遮蔽面１００ｂが位置するように考慮されている。このように構成することで、イオン放出用開口１１０の開口面に沿った方向に放出されるα線は、α線飛行距離よりも短い距離で遮蔽面によって遮蔽されることがないから、各α線毎に最大量の電離イオンを生成させることができる。
【００５４】
次に、本発明に係るα線除電装置の第４応用例を図７に示す。この例は、第３応用例の変形例でもある。第３応用例と異なる点は、α線の最高到達点Ｐ１が、イオン放出用開口１１０の外に位置している点にある。このような構成とすれば、図３に示した変形例の如く、雰囲気イオンが除電対象物Ｍのより近くで生成されるので、除電対象物Ｍに到達するまでに再結合により消滅するイオンの数が減少し除電効率が高くすることができる。
【００５５】
そして、この第４応用例においては、第３応用例においてもほぼ同じく説明されるのであるが、α線遮蔽箱１００は、除電対象物Ｍ側の面に対物遮蔽面として機能する上壁１００ａを有する構成とされている。この上壁１００ａは、アメリシウム薄片１２０から除電対象物Ｍに向かって放射されるα線を一部遮蔽している。すなわち、同図中符号Ｐ２で示される本来のα線最高到達点まで伸びる仮想線Ｌ２と、実際のα線最高到達点Ｐ１まで伸びる仮想線Ｌ１とで囲まれるα線飛行距離範囲Ｓ２が、この上壁１００ａにより排除されている。このため、α線が除電対象物Ｍに直接照射される事態を確実に回避しつつ、除電装置に対して、除電対象物Ｍをα線飛行距離よりも近づけて配置することができる。このとき、雰囲気イオンも除電対象物の近くで生成されるので、除電対象物に到達するまでに再結合により消滅するイオンの数が減少し除電効率が高くなる。
【００５６】
以上の説明で明らかなように、本実施の形態によれば、アメリシウム薄片から照射されるα線粒子が除電対象物に直接照射（被爆）される事態が確実に回避される。一方で、α線照射により電離生成される雰囲気イオンを効率よく除電対象物に接触させることができるから、除電効率の高い除電装置が実現される。また、α線遮蔽箱の底壁面を導体により接地することにより、より一層、除電対象物の除電効率を向上させることができる。
【００５７】
尚、上述の説明では、α線源としてアメリシウム薄片を用いたが、α線源としては、ポロニウムを用いてもよい。
【００５８】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明の除電装置によれば、α線源から照射されるα線が除電対象物に直接照射される事態を確実に回避しつつも、α線照射により電離生成される雰囲気イオンを効率よく除電対象物に接触させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るα線除電装置の構成を示す内部透視図である。
【図２】本発明に係るα線除電装置におけるアメリシウム薄片の配置状態を詳細に示す図である。
【図３】
本発明の変形例を示す図である。
【図４】
本発明を応用したα線除電装置を示す図（その１）である。
【図５】
本発明を応用したα線除電装置を示す図（その２）である。
【図６】
本発明を応用したα線除電装置を示す図（その３）である。
【図７】
本発明を応用したα線除電装置を示す図（その４）である。
【符号の説明】
１    α線除電装置
１０  α線遮蔽箱
１１  イオン放出用開口
１２  アメリシウム薄片
Ｍ    除電対象物
Ｓ    α線到達領域
Ｐ    α線最高到達点
Ｘ    パスライン（除電対象物移動方向）
【図１】
2005005165.tif 000003
【図２】
2005005165.tif 000004
【図３】
2005005165.tif 000005
【図４】
2005005165.tif 000006
【図５】
2005005165.tif 000007
【図６】
2005005165.tif 000008
【図７】
2005005165.tif 000009
【手続補正書】
【提出日】平成15年6月27日(2003.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
【特許文献１】
特開２００１−１７６６９１号公報
【特許文献２】
特開平７−４５３９７号公報
【特許文献３】
特開平７−２１１４８３号公報