(57)【要約】【課題】微動アクチュエータを備えた磁気ディスク装置内において、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触を検出して磁気ヘッドスライダの浮上量を随時適切に制御し、記録再生素子と磁気ディスク記録面との距離を縮めて線記録密度を高めることができ、かつ良好な磁気ディスク装置の信頼性を得られる磁気ディスク装置および磁気ヘッドスライダの浮上制御方法を提供する。【解決手段】磁気ディスク装置において、微動アクチュエータは磁気ヘッドスライダ３の振動に応じて出力信号を発生し、その出力信号を監視することにより、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスクの接触を検出した際に、浮上量制御機構９により磁気ヘッドスライダ３の浮上量を制御する。特に、微動アクチュエータからの出力信号を周波数解析回路により周波数解析し、５０〜５００ｋＨｚの範囲内の周波数の振動成分を検出したときに接触していると判断する。【選択図】        図３
2005004909.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
情報を記録する磁気ディスクと、前記磁気ディスクに情報を記録再生する記録再生素子と、前記記録再生素子を搭載した、前記磁気ディスクに近接浮上する磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダの浮上量を調整する浮上量制御機構と、前記磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションと、前記磁気ヘッドスライダの粗い位置決めを行う粗動アクチュエータと、前記磁気ヘッドスライダの微細な位置決めを行う微動アクチュエータと、を有する磁気ディスク装置であって、
前記微動アクチュエータは、前記磁気ヘッドスライダの振動に応じて出力信号を発生する機能を持つものであり、
前記微動アクチュエータから発生される前記磁気ヘッドスライダの振動に応じた出力信号を監視し、前記磁気ヘッドスライダと前記磁気ディスクの接触を検出する検出手段を有し、
前記浮上量制御機構は、前記検出手段が前記磁気ヘッドスライダと前記磁気ディスクの接触を検出した際に、前記磁気ヘッドスライダの浮上量を制御することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】
情報を記録する磁気ディスクと、前記磁気ディスクに情報を記録再生する記録再生素子と、前記記録再生素子を搭載した、前記磁気ディスクに近接浮上する磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダの浮上量を調整する浮上量制御機構と、前記磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションと、前記磁気ヘッドスライダの粗い位置決めを行う粗動アクチュエータと、前記磁気ヘッドスライダの微細な位置決めを行う微動アクチュエータと、を有する磁気ディスク装置であって、
前記微動アクチュエータは、前記磁気ヘッドスライダの振動に応じて出力信号を発生する機能を持つものであり、
前記微動アクチュエータから発生される前記磁気ヘッドスライダの振動に応じた出力信号を周波数解析し、５０〜５００ｋＨｚの範囲内の周波数の振動成分を検出する検出手段を有し、
前記浮上量制御機構は、前記検出手段が５０〜５００ｋＨｚの範囲内の周波数の振動成分を検出したときに、前記磁気ヘッドスライダが前記磁気ディスクと接触していると判断して前記磁気ヘッドスライダの浮上量を制御することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項３】
情報を記録する磁気ディスクと、前記磁気ディスクに情報を記録再生する記録再生素子と、前記記録再生素子を搭載した、前記磁気ディスクに近接浮上する磁気ヘッドスライダと、前記磁気ヘッドスライダの浮上量を調整する浮上量制御機構と、前記磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションと、前記磁気ヘッドスライダの粗い位置決めを行う粗動アクチュエータと、前記磁気ヘッドスライダの微細な位置決めを行う微動アクチュエータと、を有する磁気ディスク装置であって、
前記微動アクチュエータは、前記磁気ヘッドスライダの振動に応じて出力信号を発生する機能を持つものであり、
前記微動アクチュエータから発生される前記磁気ヘッドスライダの振動に応じた出力信号を周波数解析し、前記微動アクチュエータおよび前記サスペンションの固有振動数以外の周波数の振動成分を検出する検出手段を有し、
前記浮上量制御機構は、前記検出手段が前記微動アクチュエータおよび前記サスペンションの固有振動数以外の周波数の振動成分を検出したときに、前記磁気ヘッドスライダが前記磁気ディスクと接触していると判断して前記磁気ヘッドスライダの浮上量を制御することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項４】
請求項１、２または３記載の磁気ディスク装置において、
前記微動アクチュエータは、圧電素子を有し、
前記圧電素子から発生される出力信号を監視または周波数解析することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項５】
請求項１、２または３記載の磁気ディスク装置において、
前記微動アクチュエータは、静電駆動素子を有し、
前記静電駆動素子から発生される出力信号を監視または周波数解析することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項６】
請求項１、２または３記載の磁気ディスク装置において、
前記浮上量制御機構は、熱源を有し、
前記熱源により前記磁気ヘッドスライダの浮上量を制御することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項７】
請求項１、２または３記載の磁気ディスク装置において、
前記浮上量制御機構は、圧電体を有し、
前記圧電体により前記磁気ヘッドスライダの浮上量を制御することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項８】
磁気ディスクに情報を記録再生する記録再生素子を搭載した、前記磁気ディスクに近接浮上する磁気ヘッドスライダの浮上制御方法であって、
前記磁気ヘッドスライダの粗い位置決めを粗動アクチュエータで行い、前記磁気ヘッドスライダの微細な位置決めを微動アクチュエータで行い、
前記微動アクチュエータから発生される前記磁気ヘッドスライダの振動に応じた出力信号を監視し、前記磁気ヘッドスライダと前記磁気ディスクの接触を検出した際に、前記磁気ヘッドスライダに備えられた浮上量制御機構により前記磁気ヘッドスライダの浮上量を制御することを特徴とする磁気ヘッドスライダの浮上制御方法。
【請求項９】
磁気ディスクに情報を記録再生する記録再生素子を搭載した、前記磁気ディスクに近接浮上する磁気ヘッドスライダの浮上制御方法であって、
前記磁気ヘッドスライダの粗い位置決めを粗動アクチュエータで行い、前記磁気ヘッドスライダの微細な位置決めを微動アクチュエータで行い、
前記微動アクチュエータから発生される前記磁気ヘッドスライダの振動に応じた出力信号を周波数解析し、５０〜５００ｋＨｚの範囲内の周波数の振動成分を検出したときに、前記磁気ヘッドスライダが前記磁気ディスクと接触していると判断して、前記磁気ヘッドスライダに備えられた浮上量制御機構により前記磁気ヘッドスライダの浮上量を制御することを特徴とする磁気ヘッドスライダの浮上制御方法。
【請求項１０】
磁気ディスクに情報を記録再生する記録再生素子を搭載した、前記磁気ディスクに近接浮上する磁気ヘッドスライダの浮上制御方法であって、
前記磁気ヘッドスライダの粗い位置決めを粗動アクチュエータで行い、前記磁気ヘッドスライダの微細な位置決めを微動アクチュエータで行い、
前記微動アクチュエータから発生される前記磁気ヘッドスライダの振動に応じた出力信号を周波数解析し、前記微動アクチュエータ、および前記磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションの固有振動数以外の周波数の振動成分を検出したときに、前記磁気ヘッドスライダが前記磁気ディスクと接触していると判断して、前記磁気ヘッドスライダに備えられた浮上量制御機構により前記磁気ヘッドスライダの浮上量を制御することを特徴とする磁気ヘッドスライダの浮上制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気ディスク装置に係わり、特に浮上量制御型の磁気ヘッドスライダの浮上制御方法に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
本発明者が検討したところによれば、磁気ディスク装置の高記録密度化と、それによる装置の大容量化あるいは小型化を実現するための手段としては、主に、記録再生素子の磁気ディスク半径方向の位置決め精度を上げて、記録トラック密度を上げる方法と、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの距離として定義されている浮上量を低減し、記録再生素子と磁気ディスク記録面との距離を縮めて、磁気ディスク回転方向の線記録密度を上げる方法がある。
【０００３】
例えば、記録トラック密度を上げるための従来技術として、記録再生素子の磁気ディスク半径方向の粗い位置決めを行う粗動アクチュエータに加えて、サスペンションに圧電体等により構成されたマイクロアクチュエータを設けて駆動させることにより、記録再生素子の微小な位置決めを行う微動アクチュエータ方式が開示されている（例えば、特許文献１，２）。
【０００４】
また、磁気ヘッドスライダの浮上量を安定に低下させて、磁気ディスク回転方向の線記録密度を上げる従来技術として、磁気ヘッドスライダの一部に、圧電体に代表される浮上量制御機構を組み込み、記録再生素子を磁気ディスク面と垂直方向に動かして、記録再生素子と磁気ディスクとの距離を個別微調整する方式が提案されている（例えば、特許文献３）。また、圧電体の代わりに、磁気ヘッドスライダの記録再生素子近傍に熱源を設置し、記録再生素子を加熱し、熱膨張させて浮上量を調整する磁気ヘッドスライダが提案されている（例えば、特許文献４）。
【０００５】
一方、磁気ヘッドスライダの浮上量を過度に低減させると、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクが接触し、摩擦力により磁気ヘッドスライダが振動する。磁気ヘッドスライダが振動すると、安定した記録再生を行うことが困難となる。また、摩擦力によりスライダ保護膜やディスク保護膜の摩耗が生じる。保護膜の摩耗は、磁気ヘッドやディスク磁性膜の腐食や放電等につながり、磁気ディスク装置の信頼性に対して大きな問題となる。このため、磁気ディスク装置の信頼性を確保するためには、磁気ヘッドスライダを磁気ディスクと極力接触させないことが必須である。
【０００６】
そこで、磁気ディスク装置の信頼性を保ちつつ、前述の浮上量制御機構を設けた磁気ヘッドスライダを用いて、浮上量を低下させるためには、磁気ヘッドスライダの浮上量調整値を、ある所望の値とする必要がある。磁気ディスク装置の信頼性を損なわずに、磁気ヘッドスライダの浮上量調整値を得るための手法として、前述の特許文献３では、磁気ヘッドスライダに搭載された浮上量制御機構の圧電体の出力信号を監視し、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触を検出する方法について提案されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１１−１６３１１号公報
【０００８】
【特許文献２】
特開２００２−１５５３７号公報
【０００９】
【特許文献３】
特開昭６２−２５０５７０号公報
【００１０】
【特許文献４】
特開平５−２０６３５号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、磁気ディスク装置内においては、前述の粗動アクチュエータおよび微動アクチュエータによる磁気ディスク半径方向への移動や、磁気ディスクの回転による空気の流れにより、磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションが振動するため、磁気ヘッドスライダに搭載された浮上量制御機構の圧電体の出力信号を単純に監視するだけでは、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触に伴う振動なのか、もしくは半径方向への位置決め動作に伴う振動なのかを判別できない。
【００１２】
また、前述した浮上量制御機構に熱源を用いた場合においては、圧電素子のようなセンサが備えられていないので、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触を検出することは困難である。
【００１３】
そこで、本発明は、上記のような課題を鑑みてなされたもので、微動アクチュエータを備えた磁気ディスク装置内において、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触を検出して磁気ヘッドスライダの浮上量を浮上量制御機構により随時適切に制御し、記録再生素子と磁気ディスク記録面との距離を縮めて線記録密度を高めることができ、かつ良好な磁気ディスク装置の信頼性を得られる磁気ディスク装置および磁気ヘッドスライダの浮上制御方法を提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、情報を記録する磁気ディスクと、磁気ディスクに情報を記録再生する記録再生素子と、記録再生素子を搭載した、磁気ディスクに近接浮上する磁気ヘッドスライダと、磁気ヘッドスライダの浮上量を調整する浮上量制御機構と、磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションと、磁気ヘッドスライダの粗い位置決めを行う粗動アクチュエータと、磁気ヘッドスライダの微細な位置決めを行う微動アクチュエータと、を有する磁気ディスク装置、および磁気ヘッドスライダの浮上制御方法に適用され、以下のような特徴を有するものである。
【００１５】
（１）微動アクチュエータは磁気ヘッドスライダの振動に応じて出力信号を発生する機能を持ち、その出力信号を監視することにより、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触を検出した際に、浮上量制御機構により磁気ヘッドスライダの浮上量を制御するものである。
【００１６】
（２）微動アクチュエータは磁気ヘッドスライダの振動に応じて出力信号を発生する機能を持ち、微動アクチュエータからの出力信号を周波数解析し、５０〜５００ｋＨｚの範囲内の周波数の振動成分を検出したときに、磁気ヘッドスライダが磁気ディスクと接触していると判断し、浮上量制御機構により磁気ヘッドスライダの浮上量を制御するものである。
【００１７】
（３）微動アクチュエータは磁気ヘッドスライダの振動に応じて出力信号を発生する機能を持ち、微動アクチュエータからの出力信号を周波数解析し、微動アクチュエータおよびサスペンションの固有振動数以外の周波数の振動成分を検出したときに、磁気ヘッドスライダが磁気ディスクと接触していると判断し、浮上量制御機構により磁気ヘッドスライダの浮上量を制御するものである。
【００１８】
（４）前記（１）〜（３）において、微動アクチュエータは圧電素子を有し、この圧電素子から発生される出力信号を監視または周波数解析するものである。
【００１９】
（５）前記（１）〜（３）において、微動アクチュエータは静電駆動素子を有し、この静電駆動素子から発生される出力信号を監視または周波数解析するものである。
【００２０】
（６）前記（１）〜（３）において、浮上量制御機構は熱源を有し、この熱源により磁気ヘッドスライダの浮上量を制御するものである。
【００２１】
（７）前記（１）〜（３）において、浮上量制御機構は圧電体を有し、この圧電体により磁気ヘッドスライダの浮上量を制御するものである。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態に係る磁気ディスク装置について、図面を用いて以下に説明する。
【００２３】
まず、図１により、本発明の一実施の形態の磁気ディスク装置の一例の構成を説明する。図１は本実施の形態による磁気ディスク装置の概略構成図を示す。
【００２４】
本実施の形態による磁気ディスク装置は、例えば、情報を記録する磁気ディスク１と、磁気ディスク１を回転するスピンドルモータ２と、磁気ディスク１に近接浮上する磁気ヘッドスライダ３と、磁気ヘッドスライダ３を支持するサスペンション４と、磁気ヘッドスライダ３の粗い位置決めを行う粗動アクチュエータ６と、磁気ヘッドスライダ３の微細な位置決めを行う微動アクチュエータ７などから構成される。なお、この磁気ディスク装置には、図示しないが、信号処理回路、駆動回路などの各種機能のＬＳＩが実装された基板が裏側に設けられている。
【００２５】
磁気ディスク１は、磁気情報が格納され、スピンドルモータ２によって回転される。磁気ヘッドスライダ３は、サスペンション４に取り付けられており、磁気ディスク１への押し付け荷重を与えられている。この磁気ヘッドスライダ３は、サスペンション４とともに、ボイスコイルモータによって駆動する粗動アクチュエータ６によって磁気ディスク１の径方向に粗いシーク動作を行い、さらにサスペンション４上に搭載された圧電素子によって構成される微動アクチュエータ７によって微細に位置決めされ、磁気ディスク１の記録面に記録再生を行う。
【００２６】
次に、図２により、サスペンションの一例の構成を説明する。図２はサスペンションの概略構成図を示す。
【００２７】
サスペンション４には、磁気ヘッドスライダ３が搭載されている。サスペンション４には、ばね部５が形成され、磁気ヘッドスライダ３への押し付け荷重を付与している。さらに、サスペンション４には、微動アクチュエータ７用に、磁気ヘッドスライダ３の振動に応じて出力信号を発生する機能を持つ圧電素子７ａが２つ備えられ、それぞれが矢印Ｂ方向へ伸縮することにより、磁気ヘッドスライダ３は矢印Ａ方向へ微動位置決めされる。
【００２８】
次に、図３により、磁気ヘッドスライダの一例の構成を説明する。図３は磁気ヘッドスライダの概略断面図（断面表記省略）を示す。
【００２９】
磁気ヘッドスライダ３には、磁気ディスク１に磁気情報を記録する記録用素子８ａ、再生する再生用素子８ｂ、および熱源によって磁気ヘッドスライダ３の浮上量を調整する浮上量制御機構９が搭載されている。
【００３０】
本実施の形態の磁気ディスク装置の特徴は、圧電素子７ａからなる微動アクチュエータ７の出力信号を監視し、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１の接触を検出したときに、浮上量制御機構９により、磁気ヘッドスライダ３の浮上量を制御することにある。この微動アクチュエータ７の出力信号を監視し、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１の接触を検出する検出手段は、微動アクチュエータ７に接続された図示しない周波数解析回路により実現される。この周波数解析回路はＬＳＩとして形成されて基板上に実装されている。
【００３１】
より具体的には、微動アクチュエータ７からの出力信号を周波数解析回路を通して周波数解析を行い、例えば５０ｋＨｚ以上の５０〜５００ｋＨｚの範囲内の周波数成分、すなわち微動アクチュエータ７およびサスペンション４の固有振動数以外の周波数成分を検出した際には、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１が接触していると判断し、浮上量制御機構９により磁気ヘッドスライダ３の浮上量を調整し、磁気ヘッドスライダ３の磁気ディスク１への接触を最小限に留めつつ、できる限り浮上量を低減させる浮上量調整方式を採用している。
【００３２】
以下に、このような構成とすることで、正確に磁気ヘッドスライダ３の磁気ディスク１との接触を検出できる理由について説明する。
【００３３】
磁気ディスク装置内における磁気ヘッドスライダ３を振動させる要因としては、主に、粗動アクチュエータ６や微動アクチュエータ７のシーク動作、磁気ディスク１の回転による空気の流れ、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１の接触等がある。いずれの原因による振動も、サスペンション４を介して微動アクチュエータ７を構成する圧電素子７ａに応力を加えるため、圧電素子７ａの出力信号を監視することで、磁気ヘッドスライダ３およびサスペンション４の振動を検出することができる。
【００３４】
磁気ディスク装置内では、磁気ヘッドスライダ３が磁気ディスク１上を浮上している際にも、位置決めや空気の流れにより、サスペンション４はその固有周波数で振動している。この振動は、サスペンション４が外力を受けることにより発生するため、振動成分としては、サスペンション４の振動の固有周波数である数ｋＨｚから数１０ｋＨｚの低い周波数である。
【００３５】
一方、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１が接触した際には、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１間に作用する摩擦力により、磁気ヘッドスライダ３が振動するため、サスペンション４の振動の固有周波数、および磁気ヘッドスライダ３を浮上させている空気膜の固有周波数で振動する。サスペンション４の振動の固有周波数は前述した通りであるが、空気膜の固有振動数は数１０ｋＨｚから数１００ｋＨｚ以上で、サスペンション４の振動の固有周波数と比較して高い周波数である。
【００３６】
よって、微動アクチュエータ７およびサスペンション４の固有振動数の周波数成分が検出されているときには、磁気ヘッドスライダ３が磁気ディスク１に接触していないと判断でき、微動アクチュエータ７およびサスペンション４の固有振動数以外の周波数成分が検出されたときに、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１が接触していると判断することができる。
【００３７】
次に、図４により、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク面上を浮上している状態でのサスペンション振動の周波数解析結果の一例を説明する。図４は磁気ヘッドスライダが磁気ディスク面上を浮上している状態での、レーザ・ドップラー・振動計（ＬＤＶ）を用いて測定したサスペンション振動の周波数解析結果の特性図を示す。図４において、横軸は周波数（Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）、縦軸は変位（Ｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔ）を表す。
【００３８】
前述したように、サスペンション４は、粗動アクチュエータ６や微動アクチュエータ７のシーク動作、磁気ディスク１の回転による空気の流れにより、サスペンション４の振動の固有周波数で振動しており、図４に示すように、主に１１ｋＨｚ以下の周波数領域においてサスペンション４の固有振動数による振動成分のピークが発生していることが分かる。
【００３９】
この周波数成分の振動は、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１の接触による摩擦力により励振されたものではない。従って、もしこの状態で磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１が接触したと判断し、浮上量制御機構９により浮上量を増やしてしまうと、記録再生信号が弱まり、最悪の場合には磁気ディスク装置の制御ができなくなってしまう。
【００４０】
次に、図５により、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク面上を浮上している状態での、磁気ヘッドスライダの磁気ディスク面に対して垂直方向の振動の周波数解析結果の一例を説明する。図５は磁気ヘッドスライダが磁気ディスク面上を浮上している状態での、ＬＤＶを用いて測定した、磁気ヘッドスライダの磁気ディスク面に対して垂直方向の振動の周波数解析結果の特性図を示す。
【００４１】
磁気ヘッドスライダ３が磁気ディスク１の面上を浮上している場合、すなわち磁気ヘッドスライダ３が磁気ディスク１と接触していない場合には、図５に示すように、約５０ｋＨｚ以上の周波数領域において、磁気ヘッドスライダ３の磁気ディスク１の面に垂直な方向の振動成分に際立った周波数成分のピークは観察されない。
【００４２】
次に、図６により、磁気ヘッドスライダが磁気ディスクと接触している状態での、磁気ヘッドスライダの磁気ディスク面に対して垂直方向の振動の周波数解析結果を説明する。図６は磁気ヘッドスライダが磁気ディスクと接触している状態での、ＬＤＶを用いて測定した、磁気ヘッドスライダの磁気ディスク面に対して垂直方向の振動の周波数解析結果の特性図を示す。
【００４３】
前述した図５で示した磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１が接触していない場合の周波数解析結果と比較して、磁気ヘッドスライダ３が磁気ディスク１と接触している場合は、図６に示すように、約７０ｋＨｚから２００ｋＨｚの周波数領域において、空気膜の固有周波数のピークが発生していることが分かる。
【００４４】
以上の周波数解析結果から、微動アクチュエータ７に用いられている圧電素子７ａの信号出力帯域は、数ｋＨｚから数１００ｋＨｚまでと広いために、圧電素子７ａの全帯域の出力信号を監視した場合、位置決めや空気の流れによるサスペンション４の振動も感知してしまう。
【００４５】
そこで、圧電素子７ａの出力信号を監視する際に、出力信号を周波数解析回路を通して周波数解析し、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１の接触により発生する約５０ｋＨｚ以上の空気膜の固有周波数の周波数成分を有する振動を検出したときだけ、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１が接触していると判断する。そして、浮上量制御機構９により浮上量を増減させる。
【００４６】
次に、図７により、本実施の形態の磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダの概略的な制御フローの一例を説明する。図７は磁気ヘッドスライダの概略的な制御フローチャートを示す。
【００４７】
まず、磁気ヘッドスライダ３を、サスペンション４とともに、ボイスコイルモータによって駆動する粗動アクチュエータ６によって、磁気ディスク１の径方向に粗いシーク動作を行う（ステップＳ１０１）。
【００４８】
さらに、サスペンション４上に搭載された圧電素子７ａによって構成される微動アクチュエータ７によって、磁気ヘッドスライダ３を微細に位置決めを行い、磁気ディスク１の記録面に記録再生を行う（ステップＳ１０２）。
【００４９】
この磁気ディスク１の記録面に記録再生を行う際に、微動アクチュエータ７の圧電素子７ａから発生される磁気ヘッドスライダ３の振動に応じた出力信号を監視し、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１の接触を検出した際に、磁気ヘッドスライダ３の浮上量を制御する（ステップＳ１０３）。
【００５０】
次に、図８により、前述した磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触の検出方法を用いて、所望の浮上量を得るための具体的な制御フローの一例を説明する。図８は所望の浮上量を得るための具体的な制御フローチャートを示す。
【００５１】
前述した通り、磁気ディスク装置の信頼性を保ちつつ、線記録密度を上げるためには、磁気ヘッドスライダ３の浮上量を、磁気ディスク１に接触せず、かつ磁気ディスク１になるべく近接させる必要がある。この所望の浮上量を得るために、まず浮上量制御機構９により、磁気ヘッドスライダ３の浮上量を減らしていく（ステップＳ２０１）。
【００５２】
このとき、微動アクチュエータ７である圧電素子７ａからの出力信号を周波数解析回路を通して周波数解析を行う（ステップＳ２０２）。この結果、周波数解析された振動成分について判定し（ステップＳ２０３）、５０ｋＨｚ以上（５００ｋＨｚ以下）の周波数成分の振動が観察されないとき（非検出）は、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１は接触していないので、ステップＳ２０１に戻り、さらに同様の制御を行い、浮上量を減らしていく。
【００５３】
このように、磁気ヘッドスライダ３の浮上量を減らしていき、周波数解析された出力信号について、５０ｋＨｚ以上（５００ｋＨｚ以下）の周波数成分の振動が観察された場合（検出）は、磁気ヘッドスライダ３が磁気ディスク１と接触していると判断できるので、磁気ディスク装置の信頼性上問題のない位置まで、浮上量制御機構９により浮上量を増やす（ステップＳ２０４）。
【００５４】
このような磁気ヘッドスライダ３の浮上制御方法とすることで、磁気ヘッドスライダ３の浮上量を、磁気ディスク１に接触せず、かつ磁気ディスク１になるべく近接させた所望の浮上量を得ることができる。
【００５５】
次に、図９により、所望の浮上量を得るための別の具体的な制御フローの一例を説明する。図９は所望の浮上量を得るための別の具体的な制御フローチャートを示す。
【００５６】
図９に示す浮上量の制御においては、前記図８の例に対して、ステップＳ３０３の判定条件が異なり、ステップＳ３０１，３０２，３０４は同様である。すなわち、微動アクチュエータ７の圧電素子７ａからの出力信号の周波数解析の結果、微動アクチュエータ７およびサスペンション４の固有振動数以外の周波数成分の振動が非検出のときは、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１は非接触であり、検出された場合には接触していると判断することができる。
【００５７】
従って、本実施の形態によれば、磁気ヘッドスライダ３と磁気ディスク１の接触を検出した場合には、磁気ヘッドスライダ３に搭載された浮上量制御機構９を動作させて、浮上量を適切に大きくすることで、記録用素子８ａ、再生用素子８ｂをできるだけ磁気ディスク１に近づけ、かつ磁気ヘッドスライダ３が磁気ディスク１と接触しない浮上量を保つことができる。つまり、磁気ディスク装置の信頼性を維持しつつ、記録密度を大きくすることができる。
【００５８】
なお、本実施の形態では、熱源により浮上量を制御する浮上量制御機構９を用いた磁気ディスク装置について説明したが、浮上量制御機構に圧電体等により浮上量を調整する浮上量制御機構を用いた場合においても有効であることは言うまでもない。
【００５９】
さらに、本実施の形態では、サスペンション４上に構成された圧電素子７ａにより構成された微動アクチュエータ７を用いた場合について説明したが、磁気ヘッドスライダ３上に圧電素子を用いて位置決めを行う微動アクチュエータであっても同様の効果が得られる。
【００６０】
また、微動アクチュエータ７として、静電駆動素子を用いた場合についても同様の検出方法を適用できる。この構成とした場合は、静電駆動素子のキャパシタンスを監視し、５０ｋＨｚ以上（５００ｋＨｚ以下）の周波数成分でキャパシタンスの変動が起きたことにより、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクが接触したと判断することができる。
【００６１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、微動アクチュエータおよび粗動アクチュエータによる位置決め時の磁気ヘッドスライダの振動に影響されること無く、磁気ヘッドスライダの磁気ディスクへの接触を検出できる。このため、浮上量制御機構による最適な浮上量の調整を行うことができるため、常に安定な磁気記録を行うことができるようになる。さらに、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触を最小限に留めることができるので、磁気ディスク装置の信頼性を保ちながら、磁気ディスク装置の大容量化を実現できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態による磁気ディスク装置の一例を示す概略構成図である。
【図２】本発明の一実施の形態による磁気ディスク装置において、サスペンションの一例を示す概略構成図である。
【図３】本発明の一実施の形態による磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダの一例を示す概略断面図である。
【図４】本発明の一実施の形態による磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク面上を浮上している状態でのサスペンション振動の周波数解析結果の一例を示す特性図である。
【図５】本発明の一実施の形態による磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク面上を浮上している状態での磁気ヘッドスライダ振動の周波数解析結果の一例を示す特性図である。
【図６】本発明の一実施の形態による磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダが磁気ディスクと接触している状態での磁気ヘッドスライダ振動の周波数解析結果の一例を示す特性図である。
【図７】本発明の一実施の形態による磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダの概略的な一例を示す制御フローチャートである。
【図８】本発明の一実施の形態による磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触の検出方法を用いて、所望の浮上量を得るための具体的な一例を示す制御フローチャートである。
【図９】本発明の一実施の形態による磁気ディスク装置において、磁気ヘッドスライダと磁気ディスクの接触の検出方法を用いて、所望の浮上量を得るための別の具体的な一例を示す制御フローチャートである。
【符号の説明】
１…磁気ディスク、２…スピンドルモータ、３…磁気ヘッドスライダ、４…サスペンション、５…ばね部、６…粗動アクチュエータ、７…微動アクチュエータ、７ａ…圧電素子、８ａ…記録用素子、８ｂ…再生用素子、９…浮上量制御機構。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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