(57)【要約】【課題】裏面電極型太陽電池セルの電極を、プローブに接触させる操作が正確に行なえ、しかも自動化が可能な太陽電池セル評価装置を提供する。【解決手段】裏面電極型太陽電池セル１の電極と接触するプローブをブロック上面２ａに備えると共に、上下方向に貫通する貫通孔２ｅを備え、プローブに太陽電池セル１の電極が接触する正規位置に太陽電池セル１を保持し、この保持状態で貫通孔２ｅを介してブロックの下方から太陽電池セル１のアライメントマークを直視可能に構成された太陽電池セル保持手段２と、太陽電池セル搬送手段４と、太陽電池セル保持手段２の貫通孔２ｅを介して太陽電池セル１のアライメントマークを看視する撮像手段３ｂと、該撮像手段３ｂの撮像出力に基づき搬送手段４を制御する搬送制御手段５ａと、太陽電池セル１の出力を用いて特性評価を行なう評価手段５ｃとを備えて、太陽電池セル評価装置１０を構成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に受光面が、裏面に電極が形成され、且つ、該裏面にアライメントマークを備えた裏面電極型太陽電池セルに対する特性評価を行なう太陽電池セル評価装置であって、
前記太陽電池セルの電極と接触するプローブをブロック上面に備えると共に、上下方向に貫通する貫通孔を備えており、前記プローブに前記太陽電池セルの電極が接触する前記上面上の正規位置に前記太陽電池セルを保持すると共に、この保持状態において前記貫通孔を介して前記ブロックの下方から前記太陽電池セルのアライメントマークが直視可能に構成された太陽電池セル保持手段と、
前記太陽電池セルを搬送する搬送手段と、
前記太陽電池セル保持手段の貫通孔を介して前記太陽電池セルのアライメントマークを看視する撮像手段と、
該撮像手段の撮像出力に基づき、前記太陽電池セルが前記太陽電池セル保持手段の正規位置に搬送されるように前記搬送手段を制御する搬送制御手段と、
前記太陽電池セル保持手段のプローブを介して入力される前記太陽電池セルのセル出力を用いて特性評価を行なう評価手段と、を備えたことを特徴とする太陽電池セル評価装置。
【請求項２】
表面に受光面が、裏面に電極が形成され、且つ、該裏面にアライメントマークを備えた裏面電極型太陽電池セルに対する特性評価を行なう太陽電池セル評価装置であって、
所定の隔壁間隙を存して複数のブロックに分割されると共に前記太陽電池セルの電極と接触するプローブを上面に備えており、前記プローブに前記太陽電池セルの電極が接触する前記上面上の正規位置に前記太陽電池セルを保持すると共に、この保持状態において、前記隔壁間隙を介して前記ブロックの下方から前記太陽電池セルのアライメントマークが直視可能に構成された太陽電池セル保持手段と、
前記太陽電池セルを搬送する搬送手段と、
前記太陽電池セル保持手段の前記隔壁間隙を介して前記太陽電池セルのアライメントマークを看視する撮像手段と、
該撮像手段の撮像出力に基づき、前記太陽電池セルが前記太陽電池セル保持手段の正規位置に搬送されるように前記搬送手段を制御する搬送制御手段と、
前記太陽電池セル保持手段のプローブを介して入力される前記太陽電池セルのセル出力を用いて特性評価を行なう評価手段と、を備えたことを特徴とする太陽電池セル評価装置。
【請求項３】
前記太陽電池セル保持手段の下面側に恒温手段を備えると共に、該恒温手段に前記撮像手段が配設されている請求項１又は２記載の太陽電池セル評価装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載された太陽電池セル評価装置と、該太陽電池セル評価装置の太陽電池セル保持手段に保持される前記太陽電池セルに光を照射する手段とを備えたことを特徴とするソーラーシミュレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に受光面が、裏面に接続電極が形成された裏面電極型の太陽電池セルの特性評価を行なう太陽電池セル評価装置、及び、それを備えたソーラーシミュレータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の太陽電池セルは、出力を取り出す電極として、例えば、Ｐ型シリコン基板の表面である受光面の一部にＮ極の電極を形成し、裏面全体にＰ極の電極を形成したような、表裏２面に電極を備えたタイプである。この表裏２面に電極を備えたタイプでは、受光面に電極があるため受光面積が減少し、太陽電池セルの出力が減少することから、受光面に電極を設けることが変換効率向上を妨げる大きな要因になっていた。そこでこの点を改良すべく、電極を裏面にのみ形成した裏面電極型太陽電池セルが開発されている。この裏面電極型太陽電池セルは、Ｐ型シリコン基板の表面である受光面には反射防止膜が形成されるのみで電極は設けられず、Ｎ極とＰ極の電極は裏面に設けられている。
【０００３】
又、製造された太陽電池セルに対しては、太陽電池セルが所定の特性を有しているか否かを検査する必要があり、この検査には太陽電池セル評価装置が用いられる。この太陽電池セル評価装置は、太陽電池セルの電極が接触するプローブを備えた太陽電池セル保持部を有しており、太陽電池セルの電極をこの太陽電池セル保持部に備えられたプローブに正確に接触させることにより、太陽電池セルから出力を取り出して太陽電池セルの評価を行なうものである。この太陽電池セル評価装置として、従来例の表裏２面に電極を備えたタイプの太陽電池セルに対するものが存在しているが、裏面電極型太陽電池セルに対しても必要である。そこで、この裏面電極型太陽電池セルの評価に用いられる太陽電池セル評価装置が提案されている（例えば、特許文献１に記載の裏面電極型ソーラーセルの特性測定装置を参照）。
【０００４】
太陽電池セルの評価に際しては、太陽電池セルに光を照射する必要があるが、自然光は季節や天候により変化することから使用されず、通常、太陽光を模擬的に発生するソーラーシミュレータが用いられる。特許文献１に記載の裏面電極型ソーラーセルの特性測定装置は、光の照射にこのソーラーシミュレータを用いた裏面電極型ソーラーセルの評価装置の１種である。
【特許文献１】特開２００１−２７４４３８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記の従来例の表裏２面に電極を備えたタイプの太陽電池セルでは、上述したように、例えば、Ｐ極の電極は太陽電池セルの下面（裏面）全体に形成されており、Ｎ極の電極は受光面である上面に形成されている。従って、太陽電池セル評価装置として、保持部の上面にＰ極用のプローブを設け、別体で設けたＮ極用のプローブを上方から太陽電池セルに接触させる等の構成とすることにより、従来例のタイプの太陽電池セルの電極を太陽電池セル評価装置のプローブに容易に接触させることができる。即ち、Ｐ極の電極は太陽電池セルの下面（裏面）全体に形成されているので、太陽電池セルを太陽電池セル評価装置の保持部上に載置するだけで、正確、且つ、容易にＰ極用のプローブに接触できる。又、Ｎ極の電極は受光面である上面に備えられているので、上方からこの電極の位置を確認することができ、Ｎ極用のプローブをＮ極の電極に正確に接触させるのは容易である。
【０００６】
しかし、裏面に電極を備えたタイプの裏面電極型太陽電池セルの場合は、太陽電池セルの受光面の反対側にある裏面の電極を上方から目視することは一般には困難である。そこで、このタイプの太陽電池セルに用いる太陽電池セル評価装置として、太陽電池セルの下面（裏面）に備えられたＮ極とＰ極の各電極が、太陽電池セル評価装置の保持部の上面に備えられたＮ極用とＰ極用の各プローブにそれぞれ接触するように、太陽電池セルを保持部上に載置する試行錯誤を、マニュアル操作で繰り返し行なうような太陽電池セル評価装置が考えられ、実験室で使用されている。この点に関しては、特許文献１に記載の裏面電極型ソーラーセルの特性測定装置においても、太陽電池セルの電極をプローブに接触させるために行なう操作には、マニュアル操作が介在しているようである。
【０００７】
ところが、太陽電池セルの量産に対しては、特性評価コストの削減の観点から、太陽電池セルの特性評価を自動的に行なうことが求められており、この点に関しては、上記の裏面電極型太陽電池セル用の太陽電池セル評価装置は、評価装置の自動化には用い難い。そのため、太陽電池セルの特性評価を自動的に行なうことが可能な、裏面電極型太陽電池セル用の太陽電池セル評価装置が要望されていた。
【０００８】
そこでこの発明は、上記の要望に応えるためになされたものであって、裏面電極型太陽電池セルの電極を、プローブに接触させる操作が正確に行なえ、しかも自動化が可能な太陽電池セル評価装置及びそれを備えたソーラーシミュレータの提供を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の要望に応えるためになされた本発明の太陽電池セル評価装置は、表面に受光面が、裏面に電極が形成され、且つ、該裏面にアライメントマークを備えた裏面電極型太陽電池セルに対する特性評価を行なう太陽電池セル評価装置である。この太陽電池セル評価装置は、前記太陽電池セルの電極と接触するプローブをブロック上面に備えると共に、上下方向に貫通する貫通孔を備えており、前記プローブに前記太陽電池セルの電極が接触する前記上面上の正規位置に前記太陽電池セルを保持すると共に、この保持状態において前記貫通孔を介して前記ブロックの下方から前記太陽電池セルのアライメントマークが直視可能に構成された太陽電池セル保持手段と、前記太陽電池セルを搬送する搬送手段と、前記太陽電池セル保持手段の貫通孔を介して前記太陽電池セルのアライメントマークを看視する撮像手段と、該撮像手段の撮像出力に基づき、前記太陽電池セルが前記太陽電池セル保持手段の正規位置に搬送されるように前記搬送手段を制御する搬送制御手段と、前記太陽電池セル保持手段のプローブを介して入力される前記太陽電池セルのセル出力を用いて特性評価を行なう評価手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１０】
又、本発明の別の太陽電池セル評価装置は、上記と同様に、表面に受光面が、裏面に電極が形成され、且つ、該裏面にアライメントマークを備えた裏面電極型太陽電池セルに対する特性評価を行なう太陽電池セル評価装置である。この太陽電池セル評価装置は、所定の隔壁間隙を存して複数のブロックに分割されると共に前記太陽電池セルの電極と接触するプローブを上面に備えており、前記プローブに前記太陽電池セルの電極が接触する前記上面上の正規位置に前記太陽電池セルを保持すると共に、この保持状態において、前記隔壁間隙を介して前記ブロックの下方から前記太陽電池セルのアライメントマークが直視可能に構成された太陽電池セル保持手段と、前記太陽電池セルを搬送する搬送手段と、前記太陽電池セル保持手段の前記隔壁間隙を介して前記太陽電池セルのアライメントマークを看視する撮像手段と、該撮像手段の撮像出力に基づき、前記太陽電池セルが前記太陽電池セル保持手段の正規位置に搬送されるように前記搬送手段を制御する搬送制御手段と、前記太陽電池セル保持手段のプローブを介して入力される前記太陽電池セルのセル出力を用いて特性評価を行なう評価手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１１】
上記の各太陽電池セル評価装置では、前記撮像手段は、太陽電池セル保持手段のブロックに設けられた貫通孔を介して、又は、太陽電池セル保持手段を複数のブロックに分割する隔壁間隙を介して、下方から、裏面電極型太陽電池セルの裏面に備えられたアライメントマークを看視すると共に、前記搬送制御手段は、前記撮像手段の撮像出力に基づき、前記太陽電池セルが前記太陽電池セル保持手段の正規位置に搬送されるように前記搬送手段を制御する。そのため、裏面電極型太陽電池セルの電極を太陽電池セル保持手段に備えられたプローブに正確に接触させることができ、しかもこの操作を自動的に行なわせることができる。
【００１２】
上記の各太陽電池セル評価装置において、前記太陽電池セル保持手段の下面側に恒温手段を備えると共に、該恒温手段に前記撮像手段が配設するようにしてもよい。
【００１３】
本発明において、以上の特徴を有する太陽電池セル評価装置と、該太陽電池セル評価装置の太陽電池セル保持手段に保持される前記太陽電池セルに光を照射する手段とを備えたソーラーシミュレータを構成することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の太陽電池セル評価装置では、撮像手段は、裏面電極型太陽電池セルの裏面に備えられたアライメントマークを看視すると共に、該撮像手段の撮像出力に基づき、搬送制御手段は、太陽電池セルが太陽電池セル保持手段の正規位置に搬送されるように搬送手段を制御する。従って、裏面電極型太陽電池セルの電極を、太陽電池セル保持手段に備えられたプローブに正確に接触させることができ、しかもこの操作を自動的に行なわせることができる。
【００１５】
上記の太陽電池セル評価装置において、前記太陽電池セル保持手段の下面側に恒温手段を備えると共に、該恒温手段に前記撮像手段を配設すると、恒温手段と撮像手段とを同一のスペースに収納することができ、太陽電池セル評価装置をコンパクトに構成することができる。
【００１６】
本発明のソーラーシミュレータによれば、前述した特徴をもつ太陽電池セル評価装置を備えているので、太陽電池セルの評価を自動的に行なわせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。本発明の実施の形態における太陽電池セル評価装置は、裏面電極型太陽電池セル（以下、単に、太陽電池セルと称する）の特性を評価する装置である。
【００１８】
＜実施の形態１＞
図１は、本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置１０の構成図であり、図２は、太陽電池セル評価装置１０の保持部２の上面における太陽電池セル１の接触状態を示した図、図３は、太陽電池セル評価装置１０の部分拡大斜視図である。太陽電池セル１は、主にＰ型シリコン基板を主体に構成されており、図３に示すように、受光面である上面に反射防止膜１ｂを備え、下面にはＰ極電極１ｃ及びＮ極電極１ｄを備えると共に、十字形状の4個のアライメントマーク１ｅを備えている。本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置１０は、保持部２、恒温部３、搬送部４、及び、制御部５で構成される。
【００１９】
保持部２は、太陽電池セル１を保持する部分であり、１個のブロックで形成されている。保持部上面２ａには、太陽電池セル１のＰ極電極１ｃと接触するＰ極用プローブ２ｃ、及び、太陽電池セル１のＮ極電極１ｄと接触するＮ極用プローブ２ｄが備えられている。これらのプローブ２ｃ、２ｄと太陽電池セル１の電極１ｃ、１ｄとが正確に接触した状態で、太陽電池セル１が保持される保持部上面２ａ上の位置を、正規位置と称する。図２は、正規位置における太陽電池セル１と保持部２との接触の状態を上方から見た図であるが、図２には、太陽電池セル１については、Ｐ極電極１ｃ、Ｎ極電極１ｄ、及び、アライメントマーク１ｅのみが記載されている。又、保持部２には、保持部上面２ａに開口していると共に、保持部２の内部に設けられた保持吸気バルブ２ｇを介して、保持部２の外部に配設されている保持吸気パイプ２ｈに接続される保持吸気孔２ｆが備えられている。又、保持吸気パイプ２ｈは図示されていない真空ポンプに接続されているので、保持吸気バルブ２ｇを開閉することにより、保持部上面２ａに載置された太陽電池セル１を、真空吸着の原理を用いて、吸着させて保持したり或いは保持を解除したりすることができる。更に、保持部２には、この保持部２を上下方向に貫通して保持部上面２ａ及び保持部下面２ｂに開口した4個の貫通孔２ｅが備えられている。この4個の貫通孔２ｅは、その保持部上面２ａにおける開口位置が、正規位置に保持された太陽電池セル１の下面１ａに備えられた上記の4個のアライメントマーク１ｅのそれぞれの位置と完全に一致するように形成されている。
【００２０】
恒温部３は、恒温部上面３ａが保持部下面２ｂと接着して設けられており、恒温部３と保持部２に保持される太陽電池セル１との間を、熱が保持部２を介して伝わるようになっている。又、恒温部３は内部に図示されていない過熱／冷却装置を備えており、この過熱／冷却装置を制御することにより、恒温部３の温度を制御できる。この温度制御により、保持部２に保持される太陽電池セル１の温度を、保持部２を介して所定の温度に保つことができる。又、恒温部３には、カメラ３ｂが４個備えられている。この４個のカメラ３ｂは、レンズ面が保持部２の４個の貫通孔２ｅの保持部下面２ｂ上の開口面とそれぞれ対面するように、恒温部３の内部に配設されている。従って、太陽電池セル１が保持部上面２ａに載置されると、太陽電池セル下面１ａを看視することができる。そのため、上記のアライメントマーク１ｅが所定の位置にあるか否かをカメラ３ｂにより看視することによって、太陽電池セル１が正規位置で保持されているか否かを判断することができる。
【００２１】
搬送部４は、保持部２の上方に設けられており、特性評価の対象となる太陽電池セル１を、保持部上面２ａへ搬送するものである。搬送部４は、下方に曲がったＬ字型の前後左右及び上下に移動自在なアームを備えており、アームの下端には吸着部４ａを備えている。吸着部４ａは、アームの内部に設けられた、搬送吸気配管４ｂを介して、外部に設けられた図示されていない真空ポンプに接続されている。又、搬送吸気配管４ｂの途中部には、搬送吸気バルブ４ｃが設けられており、搬送吸気バルブ４ｃを開閉することにより、真空吸着の原理を用いて、吸着部４ａに太陽電池セル１を吸着させたり吸着を解除したりすることができる。
【００２２】
制御部５は、本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置の制御を行なう部分であり、搬送制御部５ａ、保持制御部５ｂ、及び、評価部５ｃで構成される。制御部５の全体の機能の実現には、メモリや入出力回路を備えたマイクロコンピュータ等が使用されるが、個々の制御部がそれぞれ固有のマイクロコンピュータ等を備えるようにしてもよい。
【００２３】
搬送制御部５ａは、搬送部４の制御を行なう部分であり、搬送吸気バルブ４ｃの開閉制御及び、搬送部４のアームの移動制御を行なうことにより、太陽電池セル１の保持部上面２ａへの搬送と位置決め、及び搬出を制御する。又、搬送制御部５ａには、恒温部３に備えられたカメラ３ｂの映像出力信号が入力され、搬送制御部５ａは、この映像出力信号を用いて、太陽電池セル１の保持部上面２ａにおける正確な位置決め制御を行なう。
【００２４】
保持制御部５ｂは、保持部２の保持部上面２ａに載置される太陽電池セル１が、評価のための測定中に動かないように保持するための制御を行なう。この制御では、保持吸気バルブ２ｇの開閉制御を行なうことにより、太陽電池セル１の保持及び保持の解除を行なう。
【００２５】
評価部５ｃは太陽電池セル１の評価のための測定を行なう部分であり、評価部５ｃには、保持部上面２ａに備えられたＰ極用プローブ２ｃ及びＮ極用プローブ２ｄを介して、太陽電池セル１の出力が入力される。評価部５ｃはこの入力を用いて太陽電池セル１の評価のための測定を行なうと共に、特性測定を行なう際の太陽電池セル１の温度の制御も行なう。即ち、保持部上面２ａには、図示されていない温度センサが備えられており、この温度センサの信号に基づいて、恒温部３に備えられた過熱／冷却装置の制御を行なうことにより、上述した仕組みで、保持部２を介して保持部２に保持される太陽電池セル１の温度を所定の温度に保つ制御を行なう。又、前述したように、太陽電池セル１の評価のための測定に際しては、太陽電池セル１に光を照射する必要があり、太陽電池セル１の測定の際には、図示されていない光照射装置により、保持部上面２ａ上に保持された太陽電池セル１の上面（表面）に、上方から光が照射される。評価部５ｃは、必要に応じて、この光照射装置と接続し、評価のための測定における光の種類や強度等の制御を行なうことができる。
【００２６】
次に、上記の本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置１０の動作について説明する。最初に、搬送制御部５ａにより搬送部４を制御することにより、搬送部４が、特性評価のための測定の対象となる太陽電池セル１を、その上面（表面）を上にして吸着して搬送し、保持部上面２ａ上に仮載置する。その上で、カメラ３ｂの映像出力信号に基づき、太陽電池セル下面１ａに備えられた上記の４個のアライメントマーク１ｅが全て所定の位置に来るように、搬送部４を微動制御して、太陽電池セル１を正規位置に載置する。そして、保持制御部５ｂにより、保持吸気バルブ２ｇを開いて太陽電池セル１を正規位置に吸着して保持すると共に、搬送制御部５ａによる制御により搬送部４の吸着を解除する。この状態では、太陽電池セル１の電極１ｃ、１ｄとプローブ２ｃ、２ｄとが正確に接触している。そこで、次に、評価部５ｃにより、保持部上面２ａに保持された太陽電池セル１の温度が所定の温度になるように、恒温部３の過熱／冷却装置を制御する。そして、評価部５ｃが、保持部上面２ａに備えられた図示されていない温度センサにより、太陽電池セル１の温度が所定の温度になっていることを確認後、太陽電池セル１の特性を測定する。この測定が終了すると、保持制御部５ｂにより、保持吸気バルブ２ｇを閉じて太陽電池セル１の保持を解除する。そして、搬送制御部５ａにより搬送部４を制御することによって、搬送部４が、太陽電池セル１を再度吸着して太陽電池セル評価装置１０から太陽電池セル１を搬出する。
【００２７】
上記の本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置１０では、恒温部３は過熱／冷却装置を備えているが、太陽電池セル１の特性測定の内容によっては、過熱／冷却装置に代えて、ヒータのみを備えるようにしてもよい。
【００２８】
上記の本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置１０によれば、カメラ３ｂが、保持部２に設けられた貫通孔２ｅを介して、太陽電池セル下面１ａに備えられたアライメントマーク１ｅを看視すると共に、カメラ３ｂの映像出力信号に基づき、太陽電池セル１が保持部２の正規位置に搬送されるように、搬送制御部５ａが搬送部４を制御する。従って、太陽電池セル１の電極１ｃ、１ｄを、保持部２に備えられたプローブ２ｃ、２ｄに正確に接触させることができ、しかもこの操作を自動的に行なわせることができる。
【００２９】
＜実施の形態２＞
図４は、本発明の実施の形態２における太陽電池セル評価装置２０の構成図であり、図５は、太陽電池セル評価装置２０の保持部２の上面における太陽電池セル１の接触状態を示した図、図６は、太陽電池セル評価装置２０の部分拡大斜視図である。本発明の実施の形態２における太陽電池セル評価装置２０は、上述した本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置１０とほとんど同じであり、異なるのは、保持部２が隔壁間隙２ｊで４個のブロックに分割されており、カメラ３ｂがこの隔壁間隙２ｊを介して太陽電池セル下面１ａを看視する点である。従って、カメラ３ｂがこの隔壁間隙２ｊを介して太陽電池セル下面１ａを看視する点以外は、本発明の実施の形態２における太陽電池セル評価装置２０の構成及び動作は、共に、上述した本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置１０と全く同じであるので、本発明の実施の形態２における太陽電池セル評価装置２０の構成及び動作に関する説明は省略する。尚、図５は、正規位置における太陽電池セル１と保持部２との接触の状態を上方から見た図であるが、図２と同様、図５には、太陽電池セル１については、Ｐ極電極１ｃ、Ｎ極電極１ｄ、及び、アライメントマーク１ｅのみが記載されている。又、図６の２ｋは、太陽電池セル１が正規位置で保持された状態下におけるアライメントマーク１ｅの仮想位置を示している。
【００３０】
上記の、本発明の実施の形態２における太陽電池セル評価装置２０は、保持部２が隔壁間隙２ｊで４個のブロックに分割されているので、上述した本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置１０と比べて、製作が容易である特徴がある。
【００３１】
上記の本発明の各実施の形態においては、太陽電池セル評価装置のみについて説明をしているが、これらの本発明の各実施の形態における太陽電池セル評価装置を用いて、ソーラーシミュレータを構成することができる。前述したように、ソーラーシミュレータは、太陽光を模擬的に発生する装置であるが、このソーラーシミュレータに上記の本発明の各実施の形態の太陽電池セル評価装置を組み込むことにより、この太陽電池セル評価装置に保持される太陽電池セルに光を照射する手段をも備えた、太陽電池セルの評価の可能な装置としてのソーラーシミュレータを構成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
本発明の太陽電池セル評価装置は、太陽電池セルの製造現場等において、太陽電池セルの評価等に有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置の構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置の保持部の上面における太陽電池セルの接触状態の説明図である。
【図３】本発明の実施の形態１における太陽電池セル評価装置の部分拡大斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態２における太陽電池セル評価装置の構成図である。
【図５】本発明の実施の形態２における太陽電池セル評価装置の保持部の上面における太陽電池セルの接触状態の説明図である。
【図６】本発明の実施の形態２における太陽電池セル評価装置の部分拡大斜視図である。
【符号の説明】
【００３４】
１  太陽電池セル
１ａ  太陽電池セル下面
１ｂ  反射防止膜
１ｃ  Ｐ極電極
１ｄ  Ｎ極電極
１ｅ  アライメントマーク
２  保持部
２ａ  保持部上面
２ｂ  保持部下面
２ｃ  Ｐ極用プローブ
２ｄ  Ｎ極用プローブ
２ｅ  貫通孔
２ｆ  保持吸気孔
２ｇ  保持吸気バルブ
２ｈ  保持吸気パイプ
２ｊ  隔壁間隙
２ｋ  アライメントマークの仮想位置
３  恒温部
３ａ  恒温部上面
３ｂ  カメラ
４  搬送部
４ａ  吸着部
４ｂ  搬送吸気配管
４ｃ  搬送吸気バルブ
５  制御部
５ａ  搬送制御部
５ｂ  保持制御部
５ｃ  評価部
１０  太陽電池セル評価装置
２０  太陽電池セル評価装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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