(57)【要約】【課題】圧電アクチュエータにおけるゴムブレード内部の防水性を高め、装置の信頼性向上を図る。【解決手段】バイモルフ圧電素子を用いた駆動体３を回転軸２に取り付ける。回転軸２にはフランジ部１１が設けられ、回転軸２と駆動体３は、フランジ部１１も含め、ゴムブレード４内にインサートモールドされる。ゴムブレード４の端面４ｂにはリング状のシールディスク１２が当接している。シールディスク１２は回転軸２に下側から挿入され、フランジ部１１のフランジ面１１ａとゴムブレード４を介して対向するように配置される。シールディスク１２はゴムブレード４の端面４ｂに押接され、その状態で回転軸２に接着や圧入等によって固定される。シールディスク１２がゴムブレード４の端面４ｂに圧着されることにより、両者の間にはシール部１４が形成される。【選択図】図１  
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸部材に取り付けられ、少なくともその一部に振動する部位を有する駆動体と、
前記駆動体及び前記軸部材を被覆する被覆部材と、
前記被覆部材に当接し、前記被覆部材と前記軸部材との間をシールする封止部材とを有することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、前記軸部材は前記被覆部材内に埋設される円板状のフランジ部を有し、前記封止部材は前記フランジ部のフランジ面と対向し前記被覆部材の端面に押接されるシール面を有すること特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、前記封止部材は前記被覆部材の端面に対向する突起部を有し、前記突起部は前記被覆部材の端面に当接することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項３記載のアクチュエータにおいて、前記軸部材は前記被覆部材内に埋設される円板状のフランジ部を有し、前記突起部は前記フランジ部のフランジ面に対向する位置にて前記被覆部材と当接することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項３又は４記載のアクチュエータにおいて、前記突起部はリング状に形成されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、前記軸部材は軸方向に向かって突設された突起部を有し、前記封止部材は前記突起部と対向し前記被覆部材の端面に押接されるシール面を有すること特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項６記載のアクチュエータにおいて、前記軸部材は前記突起部を有する大径部と、前記大径部に隣接して前記突起部の内側に形成された小径部とを有してなり、前記封止部材は前記突起部と対向し端面が前記シール面を形成する外縁部と、前記外縁部の内側に凹設され前記小径部と嵌合する嵌合部とを有すること特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を用いた駆動体が回転軸を中心に揺動若しくは回転運動するアクチュエータに関し、特に、自動車や野外監視カメラ等に取り付けられるワイパ装置に使用して有効なアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
小型の回転駆動型アクチュエータとして、近年、圧電セラミックス等を用いた超音波モータが開発され、その実用化が進められている。図１１は、このようなアクチュエータの一例を示す説明図である。図１１の圧電アクチュエータ５１では、駆動体５２として、圧電セラミックスを用いたバイモルフ圧電素子が使用される。駆動体５２は、筐体５３に回転自在に支持された回転軸５４に固定される。回転軸５４にはフランジ部５５が形成されており、フランジ部５５は筐体５３の凹部５６に収容されている。フランジ部５５の下面５５ａは、凹部底面の軸受面５７と接触している。回転軸５４の下端は引張ばね５８にて軸方向に引っ張られており、フランジ下面５５ａと軸受面５７が押接され、その間の摩擦力により回転軸５４に回転抵抗力が付与される。そして、駆動体５２の振動に伴う慣性力と回転抵抗力とのバランスにより、駆動体５２が回転軸５４を中心に所定方向に回動する。
【０００３】
このような圧電アクチュエータ５１では、駆動体５２は、図１２に示すように、金属製の電極５９の両側に圧電素子６１を貼着した構造となっている。電極５９は回転軸５４に固定され、図１１に示すように、駆動体５２は回転軸５４と共にゴムブレード６２内に一体に埋め込まれる。この場合、ゴムブレード６２は、射出成形等により駆動体５２や回転軸５４をインサートモールドする形で形成される。回転軸５４や駆動体５２はゴムブレード６２と密着し、外界の水や埃等から隔絶される。また、ゴムブレード６２の下端はフランジ５５の上面５５ｂまで延びており、その端面はフランジ上面５５ｂと接触している。
【特許文献１】特開2003-102184号公報
【特許文献２】特開2003-309984号公報
【特許文献３】特願2002-350442号
【特許文献４】特願2003-396289号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述のように、圧電アクチュエータ５１では、駆動体５２及び回転軸５４がゴムブレード６２に完全に接着されることにより、ゴムブレード６２内への水や埃等の進入が妨げられ、電極５９の絶縁が図られる。しかしながら、ゴムの接着不良や、アクチュエータの駆動に伴って発生するゴムのはがれ等により、回転軸５４とゴムブレード６２との間に隙間が生じるおそれがある。このような隙間が形成されると、そこからゴムブレード６２内部に水が進入し、水が駆動体５２まで達する可能性がある。駆動体５２では、電極５９は勿論のこと、圧電素子６１の両側面も電極として機能しており、これらの部位に水が進入すると電気絶縁破壊が生じ、アクチュエータの駆動に深刻な影響を及ぼす可能性があるという問題があった。
【０００５】
本発明の目的は、圧電アクチュエータにおけるゴムブレード内部の防水性を高め、装置の信頼性向上を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のアクチュエータは、軸部材に取り付けられ、少なくともその一部に振動する部位を有する駆動体と、前記駆動体及び前記軸部材を被覆する被覆部材と、前記被覆部材に当接し、前記被覆部材と前記軸部材との間をシールする封止部材とを有することを特徴とする。
【０００７】
本発明にあっては、被覆部材に被覆部材と軸部材との間をシールする封止部材を取り付けることにより、被覆部材の水密性が向上する。このため、被覆部材が剥離し被覆部材と軸部材との間に隙間が生じても、被覆部材内に水が入り込むのを防止でき、浸水による駆動体部分の電気絶縁破壊が防止され、アクチュエータの信頼性向上が図られる。
【０００８】
前記アクチュエータにおいて、前記軸部材に前記被覆部材内に埋設される円板状のフランジ部を設けると共に、前記封止部材に前記フランジ部のフランジ面と対向し前記被覆部材の端面に押接されるシール面を設けても良い。これにより、フランジ面とシール面との間で被覆部材が押圧されるため、シール面と被覆部材との間の密着性が高められ、封止部材によるシール性が向上する。
【０００９】
前記アクチュエータにおいて、前記封止部材に前記被覆部材の端面に対向する突起部を設け、前記突起部を前記被覆部材の端面に当接させるようにしても良い。この突起部が被覆部材の端面に食い込むことによりシール部が形成され、シール性のさらなる向上が図られる。この場合、前記軸部材に前記被覆部材内に埋設される円板状のフランジ部を設け、前記突起部を前記フランジ部のフランジ面に対向する位置にて前記被覆部材と当接させるようにしても良い。これにより、フランジ面と突起部との間で被覆部材が押圧され、前記シール部におけるシール性が向上する。また、前記突起部をリング状に形成しても良い。
【００１０】
前記アクチュエータにおいて、前記軸部材に軸方向に向かって突設された突起部を設けると共に、前記封止部材に前記突起部と対向し前記被覆部材の端面に押接されるシール面を設けても良い。封止部材を被覆部材の端面に押接すると、シール面と突起部によりシール部が形成され、シール性のさらなる向上が図られる。この場合、前記軸部材に前記突起部を有する大径部と、前記大径部に隣接して前記突起部の内側に形成された小径部とを設けると共に、前記封止部材に前記突起部と対向し端面が前記シール面を形成する外縁部と、前記外縁部の内側に凹設され前記小径部と嵌合する嵌合部とを設けても良い。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のアクチュエータによれば、軸部材に取り付けられ少なくともその一部に振動する部位を有する駆動体と、この駆動体と軸部材とを被覆する被覆部材とを備えると共に、被覆部材と軸部材との間をシールする封止部材を被覆部材に取り付けることにより、被覆部材の水密性が向上し、被覆部材が剥離し被覆部材と軸部材との間に隙間が生じても、被覆部材内に水が入り込むのを防止することが可能となる。このため、浸水による駆動体部分の電気絶縁破壊を防止することができ、アクチュエータの信頼性向上を図ることが可能となる。
【００１２】
また、被覆部材内に埋設される円板状のフランジ部を軸部材に設けると共に、封止部材にフランジ部のフランジ面と対向し被覆部材の端面に押接されるシール面を設けることにより、フランジ面とシール面との間で被覆部材が押圧され、シール面と被覆部材との間の密着性が高めることができ、封止部材によるシール性向上を図ることが可能となる。
【００１３】
さらに、封止部材に被覆部材の端面に対向する突起部を設け、この突起部を被覆部材の端面に当接させることにより、突起部と被覆部材の端面とによりシール部が形成され、シール性のさらなる向上を図ることが可能となる。この場合、被覆部材内に埋設される円板状のフランジ部を軸部材に設けると共に、突起部をフランジ部のフランジ面に対向する位置にて被覆部材と当接させることにより、フランジ面と突起部との間で被覆部材が押圧され、前記シール部におけるシール性向上を図ることが可能となる。
【００１４】
加えて、軸部材に突起部を設けると共に、封止部材に突起部と対向し被覆部材の端面に押接されるシール面を設けることにより、封止部材を被覆部材の端面に押接すると、シール面と突起部によりシール部が形成され、シール性向上を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１６】
図１は、本発明の実施例１であるアクチュエータの構成を示す断面図である。図１のアクチュエータ１はＣＣＤカメラ用のワイパ装置として使用され、自動車のサイドバンパーやフロントグリル内などに配置される。アクチュエータ１は、回転軸（軸部材）２と、回転軸２に固定された駆動体３とを備えており、回転軸２と駆動体３はゴムブレード（被覆部材）４にて一体的に被覆されている。回転軸２はＣＣＤカメラの筐体５に回転自在に取り付けられ、ゴムブレード４はＣＣＤカメラ前方に設置されたガラス面６上にて回転軸２を中心に揺動し、面上の水滴や埃の除去を行う。
【００１７】
駆動体３には、電気−機械変換素子の一つであるバイモルフ圧電素子が使用され、図１２に示したものと同様、薄い金属板の中心電極両面に圧電セラミックスを貼り合わせた構造となっている。駆動体３の一端側は回転軸２に固定され、他端側は自由になっている。回転軸２の内部は中空になっており、その中に駆動体３の圧電素子に対し電力を供給するリード線７が配線されている。リード線７は図示しない圧電ワイパドライバと接続されている。回転軸２の下端部には、フック８を介して引張ばね９が取り付けられている。
【００１８】
回転軸２には円板状のフランジ部１１が設けられている。このフランジ部１１もまたゴムブレード４内に埋設されており、回転軸２と駆動体３はフランジ部１１を含む形でゴムブレード４にインサートモールドされる。フランジ部１１は全体がゴムブレード４にて被覆されており、ゴムブレード４のフランジ部１１が埋設された部分は大径部４ａとなっている。大径部４ａはフランジ部１１を越えて回転軸２に沿って下方に延びており、その下端は端面４ｂとなっている。
【００１９】
ゴムブレード４の端面４ｂには合成樹脂製のシールディスク（封止部材）１２が当接している。シールディスク１２はリング状に形成されており、その中央には回転軸２への取付孔１３が設けられている。シールディスク１２は回転軸２に図中下側から挿入され、フランジ部１１のフランジ面１１ａとゴムブレード４を介して対向するように配置される。シールディスク１２の上面はシール面１２ａとなっており、ゴムブレード４の端面４ｂに押接される。
【００２０】
シールディスク１２は、シール面１２ａを端面４ｂに押接した状態で回転軸２に固定される。この際、シールディスク１２は、取付孔１３と回転軸２との間が水密状態となるように、接着や圧入等によって回転軸２に固着される。このシールディスク１２がゴムブレード４の端面４ｂに圧着されることにより、両者の間にはシール部１４が形成される。シール部１４では、シール面１２ａがゴムブレード端面４ｂに密着すると共に、シール面１２ａとフランジ面１１ａとの間でゴムブレード４が押圧される。これにより、シール面１２ａとゴムブレード端面４ｂとの間の密着性が高められ、シールディスク１２によるシール性向上が図られる。
【００２１】
シールディスク１２の下面１２ｂは、筐体５に設けられた凹部１５の軸受面１５ａと接触している。回転軸２は、引張ばね９によって図１において軸方向下方側に引っ張られており、この付勢力により下面１２ｂは軸受面１５ａに押接される。そして、回転軸２が回転すると両面１２ａ,１５ａ間に摩擦力が生じ、これにより回転軸２に回転抵抗力が付与される。
【００２２】
このようなアクチュエータ１は、次のようにして回転軸２を中心とした揺動運動を行う。図２は駆動体３の圧電素子に印加される電圧の波形を示す説明図、図３は図２の電圧が印加された場合の駆動体３の挙動を示す説明図である。ここでは、ゴムブレード４は、＋電圧のときには図３において右方に変位し、−電圧のときには図中左方に変位する。
【００２３】
図２のように印加電圧を変化させると、まず図２の（１）のときは電圧はア０であり、駆動体３は初期位置Ｐ0にて停止状態にある。次に、図２（２）の状態に電圧を変化させると、＋電圧であることから、図３（１→２）のように駆動体３は右方に変位する。その後、図２の（２→３）のように電圧が＋から−に変化させると、駆動体３もまたそれに応じて図３（２→３）のように左方に変位する。
【００２４】
この場合、図２の（２→３）の電圧変化が急激であるため、図２（１→２）のようにゆっくりと電圧が変化する場合とでは駆動体３の変形速度に差が生じる。すなわち、（１→２）では駆動体３はゆっくりと曲がり、（２→３）では急激に曲がる。その際、駆動体３には、その重量によってその場に残ろうとする慣性力が発生する。そして、駆動体３の変形速度差から、（１→２）のときの慣性力よりも（２→３）のときの慣性力の方が大きくなる。
【００２５】
この慣性力に対しては、回転軸２に付与される回転抵抗力が作用する。すなわち、駆動体３の変形に伴い慣性力と摩擦力とが対抗する形となる。当該アクチュエータでは、回転抵抗力Ｆrが、（１→２）のときの慣性力Ｆ12よりも大きく、（２→３）のときの慣性力Ｆ23よりも小さくなるよう設定されている（Ｆ12＜Ｆr＜Ｆ23）。従って、（１→２）の場合の慣性力Ｆ12は、回転抵抗力Ｆrによって打ち消される形となり、駆動体３は電圧値に応じた角度だけゆっくりと変位するが、回転軸２は回転しない。これに対して、（２→３）の場合には、慣性力Ｆ23は、回転抵抗力Ｆrによって打ち消されない。このため、駆動体３が電圧変化に伴い急激に反対方向へに変位するに伴い、慣性力Ｆ23によって回転軸２が駆動体３の変形方向と逆の方向に回転する。
【００２６】
鋸歯状の印加電圧では、図２（２）→（３）にて急激に電圧が変化した後、（３）→（４）では電圧が徐々に＋側へと変化し、駆動体３は、電圧変化に合わせて、図３（３→４）のように右方に変位する。この場合は、電圧変化率が小さいため、駆動体３の慣性の影響は小さく、電圧に応じた変位量だけ駆動体３が右方に変位するものの回転軸２は回転しない。電圧が図２（４）に至ると、電圧は再び急変して（５）に至る。このときも前述のように、駆動体３の変形の速度差に基づき大きな慣性力が発生し、それにより回転軸２が反時計方向に回転する。
【００２７】
このように鋸歯状電圧を印加すると、駆動体変形の速度差に基づく慣性力の働きにより、駆動体３は図３のように徐々に右方へと移動し、反時計回りに回転する。図３において線分Ｑは、１往復振動後における駆動体３の中心位置を示しており、図３の（２→３），（４→５）に示すように、駆動体３の振動と共にこの線分Ｑも右方へ移動していることが分かる（Ｑ1→Ｑ2）。なお、図３における一点鎖線Ｐ0は、図２（１）の場合の駆動体３の位置（初期位置）を示している。
【００２８】
すなわち、駆動体３は、ゆっくり曲げて急激に戻す動作の繰り返しにより、ゆっくり曲げたときの変位側に自走する。そして、電圧変化を図２とは逆に、ゆっくりと−側へと変化させ、急激に＋側へと変化させることにより、駆動体３は図３において左方（時計回り）に回転することになる。このようにアクチュエータ１では、電磁モータやリンク機構を使用することなく、電圧変化パターンの切り換えにより駆動体３を適宜往復動させることができる。
【００２９】
一方、このように駆動体３が作動すると、従来の圧電アクチュエータでは、ゴムブレードの接着不良等によりゴムブレードの剥離が生じ、回転軸とゴムブレードとの間に水が進入して駆動体の絶縁性が損なわれるおそれがある。これに対して、当該アクチュエータ１では、ゴムブレード４の端面４ｂにシールディスク１２が密着状態で取り付けられ、ゴムブレード４の端面４ｂにおけるゴムブレード４と回転軸２との間の隙間がシールされている。このため、ゴムブレード４の剥離によりゴムブレード４と回転軸２との間に隙間が生じても、端面４ｂからゴムブレード４内に水が入り込み、駆動体３が浸水してしまうのを防止できる。従って、浸水による駆動体３部分の電気絶縁破壊を防止でき、アクチュエータの信頼性向上を図ることが可能となる。
【実施例２】
【００３０】
次に、本発明の実施例２であるアクチュエータについて説明する。図４はその構成を示す断面図、図５は図４の要部拡大図、図６は図４のアクチュエータの要部分解斜視図である。なお、アクチュエータが取り付けられる筐体等の構成は、図１のアクチュエータ１と同様であるため、図４においてはアクチュエータ部分のみを示す。また、以下の実施例では、実施例１と同様の部材、部分については同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００３１】
図４のアクチュエータ２１では、シールディスク２２のシール面２２ａに突起部２３が設けられている。突起部２３は断面略三角形状に形成され、図５に示すように、シール面２２ａ上にリング状に形成されている。突起部２３は、シールディスク２２を回転軸２に取り付ける際に、ゴムブレード４内に埋設されたフランジ部１１のフランジ面１１ａに対向する位置に形成されている。
【００３２】
シールディスク２２は、前述同様に、ゴムブレード４の端面４ｂに押接されつつ回転軸２に水密状態で取り付けられる。このとき、端面４ｂに当接した突起部２３は、図５に示すように、端面４ｂに食い込む形となり、ゴムブレード４の一部がフランジ面１１ａと突起部２３の間に挟まれる形で押圧される。この場合も、シール面２２ａが端面４ｂに圧着されると両者の間にシール部１４が形成されるが、ここではさらに、突起部２３の食い込みにより第２のシール部２４が形成される。
【００３３】
このように、実施例２のアクチュエータ２１では、シールディスク２２に突起部２３を設け、これを端面４ｂに押接することにより、シール部１４に加えて第２のシール部２４を形成しているので、シールディスク２２による防水性がさらに向上する。しかも、シール部２４では、突起部２３がフランジ面１１ａと対向する形となるので、ゴムブレード４が強く押し潰され、より強固な防水性を得ることが可能となる。
【００３４】
なお、ここでは、回転軸２にフランジ部１１を設けたアクチュエータに突起部２３を形成したシールディスク２２を取り付ける形態を示したが、フランジ部１１のない回転軸を使用したアクチュエータにもシールディスク２２は適用可能である。図７は、その様な変形例を示す説明図である。図７のものでは、回転軸２にはフランジ部１１は設けられておらず、それに代えてゴムブレード４の端面４ｂ近傍に大径部４ｃが形成されている。大径部４ｃは、突起部２３の食い込みにより外周部が反り上がってしまうなどの変形が生じないよう十分な厚さが確保されている。
【実施例３】
【００３５】
図４に示したアクチュエータ２１では、シールディスク１２側に突起部２３を設けたが、突起部は端面４ｂ側に設けることも可能である。図８は本発明の実施例３であるアクチュエータの構成を示す断面図、図９は図８の要部拡大図であり、図８,９のアクチュエータ２５では、回転軸２に突起部２６が設けられている。
【００３６】
回転軸２には、駆動体３が固定されている大径部２ａと、大径部２ａに隣接してその下方に形成された小径部２ｂが設けられている。大径部２ａの小径部２ｂ側の端部には、突起部２６が形成されている。突起部２６は、大径部２ａの外周側が軸方向に突出する形で大径部２ａの全周に亘って形成されており、突起部２６の内側に小径部２ｂが形成されている。
【００３７】
ゴムブレード４の端面４ｂには、図８に示すように、断面凹形のシールディスク２７が取り付けられる。シールディスク２７には、突起部２６と対向し上面がシール面２７ａを形成する外縁部２８と、外縁部２８の内側に凹設され回転軸２の小径部２ｂと嵌合する嵌合部２９が形成されている。嵌合部２９の中央には回転軸２への取付孔３１が設けられており、シールディスク２７もまた、端面４ｂに押接されつつ回転軸２に水密状態で取り付けられる。
【００３８】
このようなアクチュエータ２５では、シールディスク２７をゴムブレード４の端面４ｂに取り付けると、シールディスク２７の外縁部２８はゴムブレード４を介して突起部２６と対向配置され、その状態で端面４ｂに押接される。このとき、ゴムブレード４の一部は、図９に示すようにシールディスク２７と突起部２６の間に挟まれる形で押圧され、突起部２６の先端部がゴムブレード４に食い込むような状態となる。シール面２７ａが端面４ｂに圧着されると両者の間にシール部１４が形成されるが、ここではさらに、突起部２６とシールディスク２７とにより第２のシール部３２が形成される。このため、シールディスク２７による防水性がさらに向上し、さらなる信頼性向上が可能となる。
【００３９】
なお、図１のような構成のアクチュエータにおいて、図１０のように、フランジ部１１のフランジ面１１ａに図中下方に向けて突起部２６を形成しても良い。
【００４０】
本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
例えば、実施例２,３では、突起部２３,２６をシールディスク２２や回転軸２の全周に亘って連続的にリング状に設けたものを示したが、それらを不連続な円弧状としたり、円軌跡状に設けた半球の突起としたりしても良い。また、異なる半径の円弧状の突起を複数設けたりすることも可能である。さらに、突起部２３,２６は必ずしも円周状に形成する必要はなく、多角形状に配置することも可能である。加えて、突起部２３,２６の断面形状も三角形に限定されず、半円状や多角形状など種々の形態を採用し得る。
【００４１】
一方、本発明のアクチュエータは、ＣＣＤカメラ用のワイパ装置以外の野外設置カメラ等にも広く適用できる。また、本発明のアクチュエータをワイパ装置以外の回転駆動源として使用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施例１であるアクチュエータの構成を示す断面図である。
【図２】駆動体の圧電素子に印加される電圧の波形を示す説明図である。
【図３】図２の電圧が印加された場合の駆動体の挙動を示す説明図である。
【図４】本発明の実施例２であるアクチュエータの構成を示す断面図である。
【図５】図４の要部拡大図である。
【図６】図４のアクチュエータの要部分解斜視図である。
【図７】フランジ部のない回転軸を使用したアクチュエータに図４のようなシールディスクを使用した変形例を示す説明図である。
【図８】本発明の実施例３であるアクチュエータの構成を示す断面図である。
【図９】図８の要部拡大図である。
【図１０】フランジ部を設けた回転軸を使用するアクチュエータにおいて、フランジ面に突起部を形成した変形例を示す説明図である。
【図１１】従来の圧電アクチュエータの一例を示す説明図である。
【図１２】図１１のアクチュエータに使用される駆動体の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
１    アクチュエータ
２    回転軸（軸部材）
２ａ  大径部
２ｂ  小径部
３    駆動体
４    ゴムブレード（被覆部材）
４ａ  大径部
４ｂ  端面
４ｃ  大径部
５    筐体
６    ガラス面
７    リード線
８    フック
９    引張ばね
１１    フランジ部
１１ａ  フランジ面
１２    シールディスク（封止部材）
１２ａ  シール面
１２ｂ  下面
１３    取付孔
１４    シール部
１５    凹部
１５ａ  軸受面
２１    アクチュエータ
２２    シールディスク（封止部材）
２２ａ  シール面
２３    突起部
２４    シール部
２５    アクチュエータ
２６    突起部
２７    シールディスク（封止部材）
２７ａ  シール面
２８    外縁部
２９    嵌合部
３１    取付孔
３２    シール部
５１    圧電アクチュエータ
５２    駆動体
５３    筐体
５４    回転軸
５５    フランジ部
５５ａ  下面
５５ｂ  上面
５６    凹部
５７    軸受面
５８    引張ばね
５９    電極
６１    圧電素子
６２    ゴムブレード
【図１】
2005253169.tif 000003
【図２】
2005253169.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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