(57)【要約】【課題】弁容量Ｃｖ値を高め、弁性能をより一層向上させる。【解決手段】弁本体１１は内部に弁室１９とこの弁室１９を通る流路２０とを有する。弁軸１２が流路２０を横切る方向に伸びて弁本体１１を貫通する。弁軸１２の一端は弁室１９内に配置される。弁孔を有する弁座１３が流路２０の弁室入口に設けられる。弁プラグ１５が弁軸１２の一端に片持ち状態で取り付けられる。弁プラグ１５は弁軸１２の回転により弁孔を開閉可能に弁室１９内に設けられる。弁座１３はベローズ４０を介して弁本体１１に設けられる。【選択図】  図８
2005315348.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弁本体と、弁軸と、弁座と、弁プラグとを有し、前記弁本体は、内部に弁室とこの弁室を通る流路とを有し、前記弁軸は、前記流路を横切る方向に伸びて前記弁本体の壁面を貫通し、一端が前記弁室内に配置され、前記弁座は、弁孔を有し、前記流路の弁室入口または弁室出口に設けられ、前記弁プラグは、前記弁軸の一端に片持ち状態で取り付けられ、前記弁軸の回転により前記弁孔を開閉可能に前記弁室内に設けられ偏心形回転弁において、
前記弁座はベローズを介して設けられていることを特徴とする偏心形回転弁。
【請求項２】
弁本体と、弁軸と、弁座と、弁プラグとを有し、前記弁本体は、内部に弁室とこの弁室を通る流路とを有し、前記弁軸は、前記流路を横切る方向に伸びて前記弁本体の壁面を貫通し、一端が前記弁室内に配置され、前記弁座は、弁孔を有し、前記流路の弁室入口または弁室出口に設けられ、前記弁プラグは、前記弁軸の一端に片持ち状態で取り付けられ、前記弁軸の回転により前記弁孔を開閉可能に前記弁室内に設けられ偏心形回転弁において、
前記弁プラグの、前記弁座と当接する部分が樹脂により構成されていることを特徴とする偏心形回転弁。
【請求項３】
弁本体と、一対の弁軸と、一対の弁座と、それぞれの弁軸に設けられた弁プラグとを有し、
前記弁本体は、内部に弁室と、この弁室と外部とを連通する複数の流路とを有し、
前記一対の弁軸はそれぞれ、前記流路を横切る方向に伸びて前記弁本体の壁面を貫通し、一端が前記弁室内に配置され、
前記一対の弁座はそれぞれ、弁孔を有し、前記複数の流路の弁室側に設けられ、
前記弁プラグは、前記弁軸の一端に片持ち状態で取り付けられ、前記弁軸の回転により前記弁孔を開閉可能に前記弁室内に設けられることを特徴とする偏心形回転弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体制御のための偏心形回転弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献１】実開昭５７−１４７４６７号公報
【特許文献２】特開平１１−１１８０４４号公報  従来の偏心形回転弁としては、例えば、図１１および図１２並びに特許文献１に示すものがある。すなわち、図１１に示す偏心形回転弁は、弁本体１と弁軸２と弁座３とリテーナー４と弁プラグ５とを有し、弁プラグ５の中央部をアーム部６により弁軸２に固定し、弁軸２の回転により弁プラグ５で弁座３の流路を開閉するようになっている。図１１に示す偏心形回転弁では、図５（Ｂ）に示すように、弁軸２が流路７を横切っている。特許文献１に示す偏心形回転弁は、図１１のものと同様に弁軸が流路を横切った構成を有する。図１２に示す偏心形回転弁は、弁本体１ａと２本の弁軸２ａ，２ｂと弁座３ａとリテーナー４ａと弁プラグ５ａとを有し、弁プラグ５ａの両端をアーム部６ａ，６ｂにより両持ち状態で２本の弁軸２ａ，２ｂに固定して弁軸２ａ，２ｂが流路７ａを横切らないようにし、図１１のものに比べて流体の流れを妨げないようにしている。
【０００３】
しかしながら、特許文献１記載の偏心形回転弁では、弁軸が流路を横切るものでも、２本の弁軸に弁プラグを両持ち状態で取り付けたものでも、弁軸が流体への抵抗となって流量を低下させ、弁容量Ｃｖ値を高めることができず、弁性能を向上させることができないという問題点があった。
【０００４】
特許文献２記載技術は、特許文献１記載技術の問題点に着目してなされ、弁容量Ｃｖ値を高め、弁性能を向上させることができる偏心形回転弁を提供することを目的とするものである。
【０００５】
すなわち、特許文献２には、弁本体と、弁軸と、弁座と、弁プラグとを有し；前記弁本体は、内部に弁室とこの弁室を通る流路とを有し；前記弁軸は、前記流路を横切る方向に伸びて前記弁本体の壁面を貫通し、一端が前記弁室内に配置され；前記弁座は、弁孔を有し、前記流路の弁室入口または弁室出口に設けられ；前記弁プラグは、前記弁軸の一端に片持ち状態で取り付けられ、前記弁軸の回転により前記弁孔を開閉可能に前記弁室内に設けられる偏心形回転弁がされている。
【０００６】
しかるに、特許文献２に記載された弁よりもさらにより一層弁性能が優れた弁が要望されている。また、各種用途に適用することが可能な弁も要望されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、流量制御精度など弁性能が従来に比べてより一層優れた偏心形回転弁を提供することを目的とする。
【０００８】
本発明は、従来に比べてより広い用途に使用することが可能な偏心形回転弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の偏心形回転弁は、弁本体と、弁軸と、弁座と、弁プラグとを有し、前記弁本体は、内部に弁室とこの弁室を通る流路とを有し、前記弁軸は、前記流路を横切る方向に伸びて前記弁本体の壁面を貫通し、一端が前記弁室内に配置され、前記弁座は、弁孔を有し、前記流路の弁室入口または弁室出口に設けられ、前記弁プラグは、前記弁軸の一端に片持ち状態で取り付けられ、前記弁軸の回転により前記弁孔を開閉可能に前記弁室内に設けられ偏心形回転弁において、
前記弁座はベローズを介して設けられていることを特徴とする。
【００１０】
本発明の偏心形回転弁は、弁本体と、弁軸と、弁座と、弁プラグとを有し、前記弁本体は、内部に弁室とこの弁室を通る流路とを有し、前記弁軸は、前記流路を横切る方向に伸びて前記弁本体の壁面を貫通し、一端が前記弁室内に配置され、前記弁座は、弁孔を有し、前記流路の弁室入口または弁室出口に設けられ、前記弁プラグは、前記弁軸の一端に片持ち状態で取り付けられ、前記弁軸の回転により前記弁孔を開閉可能に前記弁室内に設けられ偏心形回転弁において、
前記弁プラグの、前記弁座と当接する部分が樹脂により構成されていることを特徴とする。
【００１１】
本発明の偏心形回転弁は、弁本体と、一対の弁軸と、一対の弁座と、それぞれの弁軸に設けられた弁プラグとを有し、
前記弁本体は、内部に弁室と、この弁室と外部とを連通する複数の流路とを有し、
前記一対の弁軸はそれぞれ、前記流路を横切る方向に伸びて前記弁本体の壁面を貫通し、一端が前記弁室内に配置され、
前記一対の弁座はそれぞれ、弁孔を有し、前記複数の流路の弁室側に設けられ、
前記弁プラグは、前記弁軸の一端に片持ち状態で取り付けられ、前記弁軸の回転により前記弁孔を開閉可能に前記弁室内に設けられることを特徴とする。
【００１２】
流路は、直管状に伸びることが好ましい。弁軸は、流路に対し直交する方向に伸び、弁座の弁孔に対して偏心している。このため、弁プラグが弁座の弁孔を閉じたとき、弁プラグを弁座に押し付けようとする付勢力が作用し、締切性能を向上させることができる。
【００１３】
本発明に係る偏心形回転弁では、弁プラグが弁孔を開いているとき、弁本体の流路の内部を流体が流れる。弁軸を回転させて弁プラグで弁孔を閉じるとき、流体の流れを止める。弁軸を回転させて弁孔を開けば、再び流体を流すことができる。弁プラグは弁室内で弁軸の一端に取り付けられ、片持ち状態で支持される。このため、弁軸が流路を横切る場合や弁プラグが２本の弁軸に取り付けられる場合に比べて、弁軸が流体の流れを妨げないようにすることができ、弁容量Ｃｖ値を高め、流量を高めることができる。
【００１４】
前記弁軸と前記弁プラグとが一体的に構成されることが好ましい。弁軸と弁プラグとが一体のため、部品点数の削減によりコストダウンを図ることができる。
【００１５】
前記弁本体はボンネットと弁箱とを有し、前記ボンネットは前記弁軸が貫通する壁面を有して前記弁箱に対し開閉可能に設けられ、前記ボンネットを開いたとき前記弁本体は前記弁プラグを取替可能な開口をあけることが好ましい。ボンネットを開き、弁軸とともに弁本体の開口から弁プラグを取り出して取り替えることができ、弁プラグの取替えが容易となる。
【００１６】
弁座押さえ部材を有し、前記弁座押さえ部材は前記弁座を挟んで前記弁室と反対側の前記流路内で前記弁本体に固定され、前記流路に沿って貫通孔を有し、前記流路内の前記弁座押さえ部材と前記弁座との間にＯリングが設けられていることが好ましい。弁軸を回転させて弁プラグで弁孔を閉じるとき、弁プラグが弁座に当たると弁座が弁座押さえ部材との間のＯリングを圧縮し、弁プラグと弁座との間の密着性を高め、弁孔を確実に遮断することができる。また、Ｏリングにより、弁座と流路との間の流体の漏れを確実に遮断することができる。
【００１７】
前記弁座は、弁室側部分を揺動可能に前記流路の内面との間に隙間をあけて配置されることが好ましい。弁プラグが弁孔を閉じるとき、弁プラグが弁座に当たってＯリングを圧縮し、弁座は弁プラグの動きに追従して流路内の隙間で揺動し、弁孔を確実に遮断することができる。このとき、弁座と流路との間の流体の漏れは、Ｏリングにより遮断される。弁プラグは片持ち状態で支持され、弁プラグの開閉動作が精度に欠けたとしても、弁座が弁プラグの動きに追従して動くことにより弁プラグの微動を吸収し、弁孔を確実に遮断することができる。
【００１８】
前記流路は直管状に伸び、前記弁軸は前記流路に対し直交する方向に伸び、前記弁プラグは前記弁孔を開いたとき前記流路の中心線を通り前記弁軸と平行な平面に対して一方側に配置され、前記弁室は前記平面の両側の流量がほぼ同じになるよう前記一方側より他方側が狭く形成されていることが好ましい。弁プラグが弁孔を開いたとき、流路の中心線を通り弁軸と平行な平面に対して弁プラグが配置される一方側と、他方側との流量をほぼ同じに設定してあり、その一方側より他方側が狭く、弁室は非対称に形成されている。このため、その一方側に合わせて他方側を対称に形成した場合に比べて、弁室の広がりを小さくし、流体の拡散を防止して流体を流れやすくすることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る偏心形回転弁によれば、弁軸の一端が弁室内に配置され、弁プラグが弁軸の一端に片持ち状態で取り付けられているので、弁軸が流路を横切る場合や弁プラグが２本の弁軸に取り付けられる場合に比べて、弁軸が流体の流れを妨げず、弁容量Ｃｖ値を高め、弁性能を向上させることができる。途中にじゃま物がないため、弁内の流体の流れがスムーズに澱みなく行われ、粉体でも利用でき、さらに弁内の流体の置換も短時間で行われ、弁内の置換時間が課題となる超高純度流体や医薬品、食品の使用にも最適となる。
【００２０】
さらに、より高い精度で流体の流量の制御を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（基本構造）
本発明の基本構造は、特許文献２記載ものとと同じである。ここに、再度述べる。
【００２２】
以下、図面に基づき本発明の実施例について説明する。図１〜図７は、本発明の実施例を示している。図１に示すように、偏心形回転弁１０は、弁本体１１と、弁軸（伝達軸）１２と、弁座（シートリング）１３と、弁座押さえ部材（リテーナー）１４と、弁プラグ１５と、Ｏリング１６とを有している。偏心形回転弁１０は、流体制御における流量調節弁および開閉弁に関する様々な弁種類のうち、偏心プラグ形回転弁である。
【００２３】
弁本体１１は、ボンネット１７と弁箱（ボデー）１８とを有している。ボンネット１７は、弁箱１８に対し開閉可能に設けられている。ボンネット１７には、ガイド（軸受け）１７ａが固定されている。弁箱１８は、内部に弁室１９と、この弁室１９を通る流路２０とを有する。流路２０は、弁箱１８内で直管状に伸びる。弁箱１８は、両端に取付け用フランジ１８ａを有する。弁軸１２は、流路２０に対し直交する方向に伸びてボンネット１７およびガイド１７ａを貫通している。弁軸１２は、弁本体１１の外側で回転操作することができる。図２および図３に示すように、弁軸１２（図２および図３でその中心軸を示す）は、弁座１３の弁孔１３ａに対して偏心している。これにより、てこの原理で、流体を止めるときの締切力を大きくすることができる。弁軸１２は、一端１２ａが弁室１９内に配置される。弁軸１２の一端１２ａは、弁室１９を挟む直管状の流路２０を遮らない位置に配置される。
【００２４】
弁座１３は、流路２０の弁室入口に設けられる。弁座１３は、管状をなし、流路２０に沿って弁孔１３ａを有する。弁座１３は、図２に示すように、弁室側部分を揺動可能に流路２０の内面との間に隙間２０ａをあけて配置される。弁座１３は、弁室１９と反対側の外周にフランジ１３ｂを有する。フランジ１３ｂは、流路２０の内側に設けられた環状段部２０ｂと係合し、弁座１３の弁室１９側への抜け止めとなっている。
【００２５】
弁座押さえ部材１４は、弁座１３を挟んで弁室１９と反対側の流路２０内で弁箱１８に固定される。弁座押さえ部材１４は、流路２０に沿って貫通孔１４ａを有する。Ｏリング１６は、流路２０内の弁座押さえ部材１４の端部と弁座１３の端部との間に設けられている。Ｏリング１６は、弾性を有し、弁座押さえ部材１４と弁座１３との間の流体のシール性を保つ。なお、Ｏリング１６の代わりに、グランドパッキンを使用してもよく、流体のシール箇所を金属系の構造にすれば、温度範囲や使用流体等の使用範囲も拡大される。
【００２６】
弁プラグ１５は、図４に示すように、片持ちアーム１５ａにより弁軸１２の一端１２ａに片持ち状態で取り付けられる。弁軸１２は片持ちアーム１５ａの取付け箇所に四角面取り部またはスプライン部を有し、片持ちアーム１５ａは弁軸１２にボルトまたピンで固定される。弁プラグ１５は、弁軸１２の回転により弁孔１３ａを開閉可能に弁室１９内に設けられる。
【００２７】
なお、弁プラグ１５は、基部１５ｂを弁軸１２に摩擦溶接することにより弁軸１２と一体化されてもよい。これにより部品点数および製造工程数を削減し、コストダウンを図ることができる。この場合、生産工程においては、従来のように、弁箱の内部で弁プラグと弁軸とを接続する必要はなく、弁プラグ１５と弁軸１２とが一体化したものをボンネット１７に取り付け、それを弁箱１８と合体させだけで簡単に組立て可能である。
【００２８】
弁プラグ１５は、弁孔１３ａを開いたとき流路２０の中心線を通り弁軸１２と平行な平面２１に対して一方側２２ａに配置される。このとき、図５（Ａ）に示すように、弁プラグ１５は、弁室１９を挟む直管状の流路２０を遮らない位置に配置される。弁室１９は、平面２１の両側の流量がほぼ同じになるよう一方側２２ａより他方側２２ｂが狭く形成されている。弁箱１８がボンネット１７を開いたときにあける開口１８ｂは、弁プラグ１５を取替可能な大きさである。
【００２９】
次に作用を説明する。偏心形回転弁１０では、弁プラグ１５が弁孔１３ａを開いているとき、弁本体１１の流路２０の内部を流体、例えば、液体や気体が流れる。このとき、図３に示すように、流路２０の中心線を通り弁軸１２と平行な平面２１に対して弁プラグ１５が配置される一方側２２ａと、他方側２２ｂとの流量をほぼ同じに設定してあり、その一方側２２ａより他方側２２ｂが狭く、弁室１９は非対称に形成されている。
【００３０】
従来の偏心形回転弁では、図１１に示すように、弁プラグ５が弁軸２に取り付けられて弁箱内で回転し、流量を制御調節するようになっており、弁プラグが配置される弁室８の一方側８ａに合わせて他方側８ｂが対称に形成されている。このため、従来の偏心形回転弁では弁室８が必要以上に広くなっており、弁孔を通過した後、流体は弁室８内で拡散してしまい、これが弁容量（流量係数）Ｃｖ値を高めることができない要因の一つとなっていた。これに対し、偏心形回転弁１０は、弁プラグ１５が配置される一方側２２ａより他方側２２ｂが狭く、弁室１９が非対称となっているため、従来の偏心形回転弁に比べて弁室１９の広がりを小さくし、流体の拡散を防止して流体を流れやすくすることができる。また、図１１に示す従来の偏心形回転弁では弁室の下部に軸芯部９が必要となるが、偏心形回転弁１０では弁室１９に軸芯部が不要であり、弁室１９の傾斜が緩やかになっている。
【００３１】
図３に、偏心形回転弁１０内の流体の流れを矢印で示す。一方側２２ａの脹らみ部２３ａでは、開弁時の弁プラグ１５が収まるため、弁プラグ１５が流体の拡散を防ぐ効果を発揮する。他方側２２ｂの脹らみ部２３ｂに流れ込む流体は少なく、他方側２２ｂではほぼ直進した流れとなっている。こうして、偏心形回転弁１０は、流体の拡散を防止して流体を流れやすくする。
【００３２】
偏心形回転弁１０は、図１に示すように、弁軸１２を回転させて弁プラグ１５で弁孔１３ａを閉じるとき、流体の流れを止める。弁軸１２は弁座１３の弁孔１３ａに対して偏心しているため、閉弁時にはくさび効果により弁プラグ１５を弁座１３に押し付けようとする付勢力が作用し、締切性能を向上させることができる。また、閉弁時には、弁プラグ１５が弁座１３に当たると弁座１３が弁座押さえ部材１４との間のＯリング１６を圧縮し、弁プラグ１５と弁座１３との間の密着性を高め、弁孔１３ａを確実に遮断することができる。さらに、このとき、弁プラグ１５は弁座１３に当たってＯリング１６を圧縮し、弁座１３は弁プラグ１５の動きに追従して流路２０内の隙間２０ａで揺動し、弁孔１３ａを確実に遮断することができる。
【００３３】
図２に、弁座１３の動きを矢印で示す。弁座１３は流路２０内でフレキシブルに揺動するため、流路２０の内面との間に隙間２０ａをあけているが、弁座１３と流路２０との間の流体の漏れは、Ｏリング１６により確実に遮断される。なお、偏心形回転弁１０は、弁軸１２を回転させて弁孔１３ａを開けば、再び流体を流すことができる。
【００３４】
偏心形回転弁１０は、弁プラグ１５が片持ち状態で支持されており、図１１に示すように流路を横切る弁軸に取り付けられる場合や、図１２に示すように両持ち状態で支持される場合に比べて、弁プラグ１５の開閉動作が精度に欠けることも考えられる。しかしながら、偏心形回転弁１０では、弁座１３が弁プラグ１５の動きに追従して動くことにより弁プラグ１５の微動を吸収し、弁孔１３ａを確実に遮断することができる。
【００３５】
弁プラグ１５は弁室１９内で弁軸１２の一端１２ａに取り付けられ、片持ち状態で支持される。弁プラグ１５は、図５（Ａ）に示すように、弁軸１２が流路２０を遮らない。このため、図１１に示す従来の偏心形回転弁のように弁軸が流路を横切る場合（図５（Ｂ）参照）や、図１２に示すように弁プラグ１５が２本の弁軸１２に取り付けられる場合に比べて、弁軸１２の流体への抵抗が減少し、弁軸１２が流体の流れを妨げない。これにより、弁容量Ｃｖ値を高め、流量を高めることができる。理論的な計算によれば、偏心形回転弁１０では、弁プラグ１５を片持ちで支持するとともに、弁室１９を前述のように非対称の形状にすることにより、従来の偏心形回転弁に比べて、Ｃｖ値が１割から２割ほど大きくなり、流体の制御範囲も伸び、弁性能を向上することができる。
【００３６】
点検や部品交換の際、図１１および図１２に示す従来の偏心形回転弁では、弁箱が１ピースでできているため、配管から取り外さなければ弁箱の内部を点検したり弁プラグを取り替えたりすることができなかった。これに対し、偏心形回転弁１０では、配管に取り付けたままで、ボンネット１７を開き、弁箱１８の内部を点検したり、弁軸１２とともに弁本体１１の開口から弁プラグ１５を取り出して取り替えることができ、弁箱１８の内部の点検や弁プラグ１５の取替えが容易である。
【００３７】
また、従来の偏心形回転弁では、高い温度範囲（０〜５００℃程度）で使用するとき、温度の影響を小さくするため、弁軸が通る弁箱の首部を長くする必要があり、このため、弁箱の製造には特殊な深孔加工が必要であった。これに対し、偏心形回転弁１０では、弁軸１２が通るボンネット１７の貫通孔付近を厚くすればよく、深孔加工等の特殊な加工が不要で、一般汎用工作機械で製造が可能である。また、貫通孔付近が種々の厚さのボンネット１７を準備しておけば、使用する温度範囲に応じてコストの安いものを用いることができる。
【００３８】
偏心形回転弁１０の効果を見るため、弁開度に対するＣｖ値を、同じ弁座口径のグローブ弁（球形弁）と比較して測定した。その結果を図６のグラフに示す。図６を見ると、偏心形回転弁１０では、グローブ弁に比べて、偏心形回転弁１０の弁プラグ１５が９０°開いた時は２．５倍、７５°開いた時は２．０倍、６０°開いた時は１．５倍の、弁容量Ｃｖ値が得られた。また、偏心形回転弁１０について、弁角度に対するＣｖ値を、図１１に示す従来の偏心形回転弁と比較して測定した。その結果を図７のグラフに示す。図７を見ると、偏心形回転弁１０では、従来の偏心形回転弁に比べて約１．３倍の弁容量Ｃｖ値が得られた。弁容量Ｃｖ値が増加したことにより、偏心形回転弁１０は、流量調節弁としての流量調節（制御）範囲（最小と最大の弁容量Ｃｖ値の比）が、従来のもので１００：１程度であるのに対し、３００：１以上とすることが可能である。
【００３９】
一般的に調節弁は、流量条件（流量を調節する範囲）に合わせて、１台ずつ弁種類の選定（バルブサイジング）を行っている。それは、弁によって弁容量Ｃｖ値（弁の定格Ｃｖ値、と呼ぶ場合もある）がそれぞれ決まっているからである。流量が多い条件（流量の調節する範囲が広い場合）に対し、弁容量Ｃｖ値が小さい弁（流量を調節する範囲が狭い弁）は使えないので、弁座口径を１サイズ大きくして（弁容量Ｃｖ値を大きい弁にして）流量が多くなるようにして、流体を調節（制御）できるための弁を選ぶようにしている。
【００４０】
偏心形回転弁１０では、弁容量Ｃｖ値が大きく、流量を調節（制御）できる範囲が広いため、いままでの弁種類の選定（バルブサイジング）において、流量が多い条件で弁座口径が１サイズ大きくなってしまう場合や、調整範囲が広い場合に対し、どの弁種類を選定するかといった問題に対して、１台で対応が可能となる。
【００４１】
すなわち、偏心形回転弁１０は、従来のグローブ弁（球形弁）の２〜３台分の流量範囲に対応でき、従来の偏芯プラグ形回転弁に対しても、約１．３倍の弁容量Ｃｖ値を有しているので、流量調整（制御）範囲が広くなっており、弁座口径を１サイズ大きくしなくて済むものである。その結果、弁種類の選定（バルブサイジング）が簡略化でき、製品取扱いにおける弁種類の選定が簡単になる。
【００４２】
また、偏心形回転弁１０では、弁プラグ１５が弁軸１２と一体化されており、従来の偏心プラグ形回転弁に比べて部品点数が削減されている。このため、偏心形回転弁１０は、加工・組立・分解が容易な製品として実現され、コストダウンが可能となる。
【実施例１】
【００４３】
図８に、実施例１に係る偏心形回転弁を示す。
【００４４】
本例は、上記基本構造において、弁座１３を、ベローズ４０を介して弁箱１８に設けてある。
【００４５】
偏心配置されている弁プラグ１５が回転すると弁プラグ１５は弁座１３を付勢する。付勢力によりベローズは伸縮する。すなわち、弁プラグ１５は弁座１３に対する追随性が極めて良好となる。そのためシール性も向上する。その結果、弁プラグ１５の回転に伴う弁孔の開口量に忠実に沿った流量を得ることが可能となる。つまり、流量制御を極めて精度よく行うことが可能となる。
【実施例２】
【００４６】
図９に実施例２に係る偏心形回転弁を示す。
【００４７】
本例は、上記基本構造において、弁プラグ１５における、弁座１３との当接部１５ｆを樹脂により構成している。そのため、弁プラグ１５と弁座１３とのシール性が良好となり、流量制御の精度を向上させることができる。
【実施例３】
【００４８】
図１０に実施例３に係る偏心形回転弁を示す。
【００４９】
本例は、一対の弁軸１２−１、１２−２が上下に設けられている。弁軸１２−１、１２−２にはそれぞれ弁プラグ１５−１、１５−２が設けられている。
【００５０】
弁プラグ１５−１は、弁座１３−１との開閉により流路２０−１の開閉のために用いられる。また、弁プラグ１５−２は弁座１３−２との開閉により流路２０−２の開閉のために用いられる。
【００５１】
そして、流路２０−１、２０−２とは別の流路を弁室１９と外部とを連通させた状態で設けておけば、２連３方弁となり、この偏心形回転弁は幅広い用途に用いることが可能となる。
【００５２】
例えば、別の流路２０−１をチャンバー、流路２０−２をVENTに接続するこもできる。特にベーパライザーとしての用途に好適に用いられる。
【００５３】
また、別の流路からMOCVDの液体原料を導入し、流路２０−１からガスを導入し、流路２０−２から液体原料を含んだガスを流出させることも可能である。この場合は、弁室１９が混合室としての役割りを果たしている。すなわち、ミキサーとしての用途を有している。また、ガスの精製装置として用いてもよい。
【００５４】
もちろん、流路２０−１、２０−２以外の流路を複数設けてもよい。その他の
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の偏心形回転弁の基本構造を示す縦断面図である。
【図２】図１の偏心形回転弁の弁座周辺を示す縦断面図である。
【図３】図１の偏心形回転弁の流体の流れを示す縦断面図である。
【図４】図１の偏心形回転弁の弁軸および弁プラグの（Ａ）側面図、（Ｂ）平面図である。
【図５】（Ａ）図１の偏心形回転弁の流路と弁プラグとの配置関係を示す図、（Ｂ）従来の偏心形回転弁の流路と弁プラグとの配置関係を示す図である。
【図６】図１の偏心形回転弁の弁開度に対する弁容量Ｃｖ値を、同じ弁座口径のグローブ弁と比較して示すグラフである。
【図７】図１の偏心形回転弁の弁角度に対する弁容量Ｃｖ値を、従来の偏心形回転弁と比較して示すグラフである。
【図８】本発明の実施例１に係る偏心形回転弁を示す部分断面図である。
【図９】本発明の実施施例２に係る偏心形回転弁を示す部分断面図である。
【図１０】本発明の実施例３に係る偏心形回転弁を示す縦断面図である。
【図１１】従来の偏心形回転弁を示す縦断面図である。
【図１２】他の従来の偏心形回転弁を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０  偏心形回転弁
１１  弁本体
１２  弁軸
１３  弁座
１４  弁座押さえ部材
１５  弁プラグ
１５ｆ  弁プラグ樹脂部
１６  Ｏリング
１７  ボンネット
１８  弁箱
１９  弁室
２０  流路
４０  ベローズ
【図１】
2005315348.tif 000003
【図２】
2005315348.tif 000004
【図３】
2005315348.tif 000005
【図４】
2005315348.tif 000006
【図５】
2005315348.tif 000007
【図６】
2005315348.tif 000008
【図７】
2005315348.tif 000009
【図８】
2005315348.tif 000010
【図９】
2005315348.tif 000011
【図１０】
2005315348.tif 000012
【図１１】
2005315348.tif 000013
【図１２】
2005315348.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月30日(2004.4.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図８】
2005315348.tif 000015
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図９】
2005315348.tif 000016
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１０】
2005315348.tif 000017