(57)【要約】【課題】電波吸収体の特性評価方法において、簡易且つオンライン測定が可能であり、測定の繰り返し精度に優れた特性評価方法を提供する。【解決手段】両端をネットワークアナライザと接続された伝送線路上に電波吸収体を載置した場合と載置しない場合のＳパラメータを前記ネットワークアナライザで測定し、それぞれの該Ｓパラメータを用いて電波吸収体の減衰特性を算出することを特徴とする電波吸収体の特性評価方法である。【選択図】図１
2005332994.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
両端をネットワークアナライザと接続された伝送線路上に電波吸収体を載置した場合と載置しない場合のＳパラメータを前記ネットワークアナライザで測定し、それぞれの該Ｓパラメータを用いて電波吸収体の減衰特性を算出することを特徴とする電波吸収体の特性評価方法。
【請求項２】
前記伝送線路は、マイクロストリップラインであることを特徴とする請求項１記載の電波吸収体の特性評価方法。
【請求項３】
前記伝送線路は、コプレーナガイドであることを特徴とする請求項１記載の電波吸収体の特性評価方法。
【請求項４】
伝送線路上に弾性を有する誘電体からなる薄板を介して電波吸収体を載置することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電波吸収体の特性評価方法。
【請求項５】
前記薄板は厚みが０．０２ｍｍ〜０．５mmであることを特徴とする請求項４記載の電波吸収体の特性評価方法。
【請求項６】
前記薄板は誘電正接が０．０１以下であることを特徴とする請求項４または５記載の電波吸収体の特性評価方法。
【請求項７】
前記薄板はフッ素樹脂からなることを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載の電波吸収体の特性評価方法。
【請求項８】
伝送線路に載置した電波吸収体に加圧力０．０１ＭＰａ〜０．１ＭＰaの定加重を付加した状態で測定することを特徴とする請求項４乃至７のいずれかに記載の電波吸収体の特性評価方法。
【請求項９】
両端をネットワークアナライザと接続された伝送線路と、電波吸収体の載置面に設置された弾性を有する誘電体からなる薄板と、伝送線路上に載置した電波吸収体に定加重を付加する機構とを有することを特徴とする電波吸収体の特性評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば高速の情報通信および高周波計測用に使用される高周波回路パッケージならびに光素子パッケージ等の内部で使用され、内部ノイズおよび不要共振除去の目的で使用される電波吸収体の特性評価方法および特性評価装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
情報機器、電子機器の小型化、高速化にともない、これらの機器からの放射ノイズおよび内部ノイズによる周辺の機器および機器自身の誤作動を防止する目的で、これらの機器の筐体内部や外部に電波吸収体を設置することが広く行われている。
【０００３】
従来、電波吸収体の特性評価方法としては、図５（ａ）に示すように、金属板４２で裏打ちしたシート状の電波吸収体１５に対し、ホーンアンテナ４１より所定の周波数の電磁波Ｅ１を垂直に入射させたときの反射波Ｅ２の減衰量を測定する方法、および図５（ｂ）に示すように自由空間に設置したシート状の電波吸収体１５を挟んで対向する一対のホーンアンテナ４１により、Ｓパラメータ（Ｓｃａｔｔｉｎｇ  Ｐａｒａｍｅｔｅｒ）を測定することで電波吸収体１５の特性を評価する方法等があった。
【０００４】
しかしながら、これらの方法は入射する電波が平面波であり、高周波回路用パッケージ内部で生じる電波の反射共振の様な近傍電磁界の問題に対する電波吸収体の減衰特性を評価する方法として適切ではなかった。
【０００５】
また、これらの方法で測定するためには、大面積のシート状の電波吸収体が必要であり、高周波パッケージ内部で使用するために小サイズに加工された電波吸収体は評価することが出来なかった。
【０００６】
さらに、これらの測定には、測定したい周波数に応じて所定のサイズのホーンアンテナ４１を複数セット準備する必要があり、広帯域での特性を連続的に測定することは事実上不可能であった。
【０００７】
そこで、図６に示すようにネットワークアナライザ１１に両端を接続された導波管５１の内部に電波吸収体１５を載置し、そのＳパラメータを測定することで電波吸収体１５の特性を評価する方法が提案されている（特許文献１、特許文献２）。
【特許文献１】特開平９−２１８３７号公報
【特許文献２】特開２００３−８３９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら特許文献１および特許文献２に開示された方法では、測定したい電波吸収体１５を導波管内５１の内部に載置する必要があるため、被測定物の交換に時間が掛かり、連続して多数の測定を必要とする生産ライン上での品質管理、出荷検査工程では使用することが出来ないという課題があった。
【０００９】
また、測定系の校正作業にも複数種類の校正の為の標準器（不図示）の取り付け、取り外しが必要な為、時間が掛かり、作業効率の面でも問題があった。
【００１０】
さらに、測定したい周波数帯に応じて複数セットの異なる導波管５１ならびに同軸導波管変換器５２、校正の為の標準器（不図示）等を準備し、周波数帯に応じてこれらを交換する必要があり、測定装置の価格が高価となり、広帯域に亘って電波吸収体１５の特性を連続的に測定評価することは困難であった。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題に対して検討を重ねた結果、本発明は、電波吸収体の特性評価方法において、両端をネットワークアナライザと接続された伝送線路上に電波吸収体を載置した場合と載置しない場合のＳパラメータを前記ネットワークアナライザで測定し、それぞれの該Ｓパラメータを用いて電波吸収体の減衰特性を算出することを特徴とするものである。
【００１２】
また、本発明の電波吸収体の特性評価方法は、前記伝送線路がマイクロストリップラインであることを特徴とするものである。
【００１３】
さらに、本発明の電波吸収体の特性評価方法は、前記伝送線路がコプレーナガイドであることを特徴とするものである。
【００１４】
さらに、本発明の電波吸収体の特性評価方法は、伝送線路上に弾性を有する誘電体からなる薄板を介して電波吸収体を載置することを特徴とするものである。
【００１５】
さらに、本発明の電波吸収体の特性評価方法は、前記薄板の厚みが０．０２mm〜０．５ｍｍであることを特徴とするものである。
【００１６】
さらに、本発明の電波吸収体の特性評価方法は、前記薄板の誘電正接が０．０１以下であることを特徴とするものである。
【００１７】
さらに、本発明の電波吸収体の特性評価方法は、前記薄板がフッ素樹脂からなることを特徴とするものである。
【００１８】
さらに、本発明の電波吸収体の特性評価方法は、伝送線路に載置した電波吸収体に加圧力０．０１ＭＰａ〜０．１ＭＰaの定加重を付加した状態で測定することを特徴とするものである。
【００１９】
さらに、本発明の電波吸収体の特性評価装置は、両端をネットワークアナライザと接続された伝送線路と、電波吸収体の載置面に設置された弾性を有する誘電体からなる薄板と、伝送線路上に載置した電波吸収体に定加重を付加する機構とを有することを特徴とするものである。
【００２０】
尚、ここで言う電波吸収体とは、電波を吸収減衰させたり、反射を防止させたりすることを目的に使用されるもの全般を指しており、磁性損失を利用した電波吸収体、誘電損失を利用した電波吸収体、およびその両方を利用した電波吸収体のすべてを含む。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、電波吸収体の特性評価方法として、伝送線路の両端をネットワークアナライザと接続し、電波吸収体を伝送線路上に載置した場合と載置しない場合のＳパラメータをそれぞれネットワークアナライザで測定し、このＳパラメータを用いて電波吸収体の減衰特性を算出することにより、より簡易的に且つ実用的な電波吸収体の特性評価が可能となる。
【００２２】
また、前記伝送線路をマイクロストリップラインまたはコプレーナガイドとしたことにより、低周波から高周波まで、広帯域に亘って連続的に電波吸収体の特性を評価することが可能となって測定の効率が向上し、特にコプレーナガイドの場合には、上記効果に加えて、電波吸収体の載置面の平坦度が向上することにより、電波吸収体の載置状態が安定し、結果として測定値のばらつきが減少するという効果を有している。
【００２３】
さらに、前記伝送線路上に弾性を有する誘電体の薄板、特に０．０２〜０．５ｍｍの厚みの薄板を介して電波吸収体を載置するようにしたことから、電波吸収体の載置面および電波吸収体表面の微妙な凹凸による測定値のばらつきを抑える効果がある。
【００２４】
さらに、前記弾性を有する誘電体からなる薄板の誘電正接（ｔａｎδ）が０．０１以下であれば、薄板の影響による伝送線路の信号減衰が小さくなるため、電波吸収体の測定誤差が小さくなり、測定結果のばらつきを減少させる効果がある。
【００２５】
また、前記伝送線路に載置した電波吸収体に加圧力０．０１ＭＰａ〜０．１ＭＰａの加重を付加し電波吸収体の減衰特性を測定することにしたことにより伝送線路と電波吸収体、および両者の間に介在する薄板同士が密着した状態となり、隙間が存在することによる測定値の誤差が抑えられ、より測定値のばらつきを減少させる効果がある。
【００２６】
また、本発明の電波吸収体の特性評価装置は、両端をネットワークアナライザに接続された伝送線路および電波吸収体の載置面に設置された弾性を有する誘電体からなる薄板および伝送線路上に載置した電波吸収体に一定の加重を付加する機構を有するものとすることで、広帯域に亘って連続的に測定が可能となり、さらに測定精度が向上し、測定ばらつきの少ない再現性に優れた測定が可能になると同時に、被測定物の交換が容易となり、オンラインでの連続測定による品質管理や自動検査工程での使用が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下に、本発明の実施形態として、電波吸収体の特性評価方法および特性評価装置について説明する。
【００２８】
本発明の電波吸収体の特性評価方法を図１を用いて説明する。
【００２９】
図１（ａ）は、両端をネットワークアナライザ１１と接続された伝送線路１４上に電波吸収体１５を載置した正面図、図１（ｂ）は電波吸収体１５を載置していない正面図を示しており、電波吸収体１５を載置した場合と載置していない場合のＳパラメータをそれぞれネットワークアナライザ１１で測定し、これらのＳパラメータを用いて電波吸収体１５の減衰特性を算出することにより電波吸収体１５の特性を評価する方法である。
【００３０】
つまり、本発明の特性評価方法においては、ネットワークアナライザ１１の一方の端子から送出された高周波信号が伝送線路１４を介して伝達され、他方の端子でＳパラメータとして測定されるようになっている。このとき、伝送線路１４の周囲には電磁波が伝播され電磁界が形成されるが、伝送線路１４上に測定対象の電波吸収体１５を載置することにより、伝送線路１４の周囲に形成された電磁界のエリア中に電波吸収体１５が侵入する形となり、伝送線路１４に沿って伝播する電磁波としての電気信号が吸収減衰される。ここで、電波吸収体１５を載置したときのＳパラメータと、電波吸収体１５を載置しないときのＳパラメータを測定し、比較することで、電波吸収体１５の電波吸収特性を簡易的に比較評価することが可能となる。なお、Ｓパラメータとは電力反射係数と電力透過係数で表現される端子パラメータの１種であり、本発明においてはＳパラメータとして電力透過係数を用いるのが好ましい。
【００３１】
すなわち、電波吸収体１５を載置しない時の伝送線路１４の電力透過係数をＳ２１ａ、電波吸収体１５を載置した時の伝送線路１４の電力透過係数をＳ２１ｂとすると、電波吸収体１５を載置したことによる電力透過係数の減衰量ＡＴＴ’は、
ＡＴＴ’＝Ｓ２１ｂ−Ｓ２１ａ  
と定義することができる。ここで、このＡＴＴ’は電波吸収体１５を伝送線路１４上に載置したことによる伝送線路１４の電力透過係数の減衰量であるが、電波吸収体１５が伝送線路１４に沿って進行する電磁波を吸収し、一部反射することによって伝送線路１４の電力透過係数が減少したと考えることができる。したがって、このＡＴＴ’を電波吸収体１５の見掛け上の減衰量とすることで、簡易的に電波吸収体１５の特性を相対評価することが出来る。もちろん、前述した図１（ａ）、図１（ｂ）による電力反射係数Ｓ１１を測定することで、反射の成分を除去したより正確な減衰量ＡＴＴ”を算出することや、測定結果と数値シミュレーションを用いて、電波吸収体１５の材料定数である複素比誘電率や複素比透磁率の計算を行っても良いが、製品の出荷検査や生産ラインでの品質管理の目的で使用する場合、前記ＡＴＴ’の計算だけで十分実用的である。
【００３２】
ここで、伝送線路１４は、導波管のように周波数帯に応じて交換する必要がなく、広帯域に亘って測定したい周波数を伝送できるような構造のものであれば特に限定はされないが、１ＧＨｚ以上の高い周波数での特性評価においては、図２に示すようなマイクロストリップラインやコプレーナガイドの構造とするのが望ましい。図２（ａ）は、マイクロストリップライン構造の伝送線路１４の横断面を示しており、誘電体基板２３の表面に信号線路２１が形成され、裏面にグランド電極２２が形成されたものであり、これを用いることにより、低周波から高周波帯域に亘って電波吸収体１５の特性評価を連続的に測定することが可能となる。また、図２（ｂ）は、コプレーナガイド構造の伝送線路１４の横断面を示しており、誘電体基板２３の表面に信号線路２１および該信号線路２１を狭持するようにグランド電極２２が形成されたものであり、これを用いることにより、低周波から高周波に亘って電波吸収体１５の特性評価を連続的に測定することが可能になると同時に、電波吸収体１５の載置面の平坦度が向上することにより、電波吸収体１５の載置状態が安定し、結果として測定値のばらつきを減少させることができる。
【００３３】
そして、伝送線路１４の両端には、高周波同軸コネクタ１３が各々接続されており、ネットワークアナライザ１１の２つのポートにそれぞれ高周波同軸ケーブル１２を介して接続されている。その他の方法として、伝送線路１４の両端に高周波プローブ（不図示）を接触接続させ、同じく高周波同軸ケーブル１２を介してネットワークアナライザ１１と接続してもよい。
【００３４】
さらに、図３に示すように、伝送線路１４上に弾性を有する誘電体からなる薄板１６を介して電波吸収体１５を載置するのが好ましい。これにより、伝送線路１４上に直接電波吸収体１５を載置した場合と比較して、測定の繰り返し精度が向上し、安定した測定値を得ることが出来る。すなわち、電波吸収体１５を伝送線路１４に直接載置した場合は、伝送線路１４と電波吸収体１５の表面の凹凸により、載置する際の両者の位置関係が微妙に異なることから繰り返し測定誤差が大きくなる虞があるが、介在させる薄板１６が弾性を有することにより、凹凸による隙間が少なくなり電波吸収体１５と伝送線路１４の間隔が一定に保たれ、測定値が安定するからである。
【００３５】
また、電波吸収体１５が樹脂に金属磁性材料を混合分散させたような材料の場合、コプレーナガイドの信号線路２１とグランド電極２２との間に導通が生じて測定が不可能になる場合があるが、弾性を有する誘電体からなる薄板１６を介することにより、測定が可能となるという効果も有している。その際、弾性を有する誘電体からなる薄板１６の厚みは０．０２ｍｍ〜０．５ｍｍであることが望ましい。弾性を有する誘電体からなる薄板１６の厚みが０．０２ｍｍ未満だと、伝送線路１４および電波吸収体１５表面の凹凸（例えば、マイクロストリップラインにあっては、誘電体基板２３の上面とこの上面に形成された信号線路２１との間に５〜１０μｍの段差がある）を吸収できず、載置状態が不安定となるため、測定の繰り返し精度が低下する虞があり、また、上記厚みが０．５ｍｍを超えると、伝送線路１４と電波吸収体１５の間隔が開きすぎて、測定値の絶対量が小さくなり、相対的に測定誤差が大きくなるからである。
【００３６】
さらに、弾性を有する誘電体からなる薄板１６を形成する誘電体材料の誘電正接（ｔａｎδ）は０．０１以下であることが望ましい。誘電体材料の誘電正接（ｔａｎδ）が０．０１を超えると、電波吸収体１５を載置しない場合の伝送線路１４の損失が大きくなり、電波吸収体１５による信号減衰量の測定値の絶対量が小さくなってしまい、相対的に測定誤差が大きくなり、精度が低下するためである。このような誘電体材料としては、低損失、弾性、価格、材料の安定性の面からもフッ素樹脂が最も適しているが、その他、ポリイミド、ＰＥＴ等も使用することができる。
【００３７】
また、測定の際、伝送線路１４に載置した電波吸収体１５に加圧力０．０１ＭＰａ〜０．１ＭＰaの定加重Ｐを付加した状態で測定することが望ましい。この範囲の圧力を加えることにより、伝送線路１４、電波吸収体１５、薄板１６の、それぞれの密着度が安定し、常に同一の間隔で測定されることにより、測定値が安定し、測定精度が向上する。加圧力が０．０１ＭＰａ未満だと、加圧力が足りずに伝送線路１４、電波吸収体１５、薄板１６間に隙間が生じるため、測定値が安定せず、測定精度が低下する虞がある。また、加圧力が０．１ＭＰａを超えると、電波吸収体１５自身が変形したり、測定用の伝送線路１４を形成した誘電体基板２３が破損したり、薄板１６の変形、磨耗、破損が生じて測定誤差の要因となったりする傾向があるため、好ましくない。
【００３８】
なお、本発明の電波吸収体の特性評価方法に使用する特性評価装置としては、図１に示すように、伝送線路１４と、高周波同軸ケーブル１２と、ネットワークアナライザ１１とからなる構成でもよいが、図３に示すように、両端をネットワークアナライザ１１と接続された伝送線路１４、電波吸収体１５の載置面に設置された弾性を有する誘電体からなる薄板１６、および伝送線路１４上に載置した電波吸収体１５に定加重Ｐを付加する機構とを有する構成であれば、伝送線路１４上に電波吸収体１５を載置するだけで特性の測定評価が可能であるという効果に加え、簡易且つ安定して電波吸収体１５の特性を評価することができるという効果も有するので、より好ましい。
【００３９】
このように、図６に示す従来の電波吸収体１５の特性評価方法が、導波管５１や同軸導波管変換器５２、およびそれらを較正する為の標準器（不図示）といった高価な治具類が必要であるのに対し、本発明の方法では、比較的安価な治具類を用いて電波吸収体１５の特性を評価することが可能となる。さらに、導波管５１の内部に被測定物の電波吸収体１５を載置する必要のある従来の方法と比較し、被測定物である電波吸収体１５を伝送線路１４上に載置するだけで測定が可能である為、測定の生産性が大幅に向上し、生産ラインでのオンライン測定評価へも対応が可能となる。
【００４０】
特に、本発明の電波吸収体１５の特性評価方法において、電波吸収体１５を載置する伝送線路１４をマイクロストリップラインまたはコプレーナガイドとすることで、信号線路２１の高周波特性が向上し、その結果、信号線路２１自身の測定繰り返し誤差が減少して電波吸収体１５の特性評価の正確性が向上すると同時に、さらに低周波から高周波帯域に亘って連続的に電波吸収体の特性評価が可能となる。
【実施例】
【００４１】
図１に示すように、両端に高周波同軸コネクタ１３が接続された伝送線路１４を用い、ネットワークアナライザ１１の両ポートと高周波同軸ケーブル１２を介して伝送線路１４を接続した。ここで、伝送線路１４の構造は図２（ａ）に示すマイクロストリップラインとした。具体的には、伝送線路１４は、誘電体基板２３として誘電率９．０のアルミナ基板を用い、その外形寸法は１５ｍｍ角、厚みは０．３ｍｍとした。信号線路２１は、アルミナ基板上にＭｏ−Ｍｎメタライズを施した後、Ａｕメッキを施して作製し、その長さは１５ｍｍ、幅は０．３ｍｍ、Ａｕメッキの厚みは１０μｍとした。
【００４２】
まず、伝送線路１４上に電波吸収体１５を載置しない状態で、ネットワークアナライザ１１にて５０ＭＨｚ〜４０ＧＨｚまでのＳパラメータを測定し、電力透過係数Ｓ２１ａを得た。
【００４３】
次に、伝送線路１４の略中央部に電波吸収体１５を載置した状態で同様に測定し、電力透過係数Ｓ２１ｂを得た。なお、電波吸収体１５としては、磁性体金属粉末を熱硬化性樹脂中に混合分散させた材料からなり、その外形寸法が７ｍｍ角、厚みが１ｍｍのものを使用した。
【００４４】
そして、電波吸収体１５を載置したときの伝送線路の電力透過係数の減衰量ＡＴＴ’（Ｓ２１ｂ−Ｓ２１ａ）を測定したところ、図４に示すように、５０ＭＨｚ〜４０ＧＨｚという広帯域に亘って連続的に電波吸収体の特性を評価することが可能であると確認することができた。
【００４５】
因みに、本発明の電波吸収体１５の特性評価方法と前記導波管５１の内部に電波吸収体１５を装荷する方法で５０ＭＨｚ〜４０ＧＨｚの周波数帯域に亘って、本発明の減衰量ＡＴＴ’、比較例の減衰量の測定を実施したところ、測定に要した時間は、本発明の特性評価方法による測定に要した時間は従来の方法の約１／１０と著しい効果が認められた。
【００４６】
次に、伝送線路１４を、図２（ａ）に示すようなマイクロストリップラインとしたものと、図２（ｂ）に示すようなコプレーナガイドとしたものそれぞれについて、同一の電波吸収体１５を１０回測定し、そのときの測定値のばらつきσを算出した。なお、測定値は周波数１０ＧＨｚおよび４０ＧＨｚの時の測定値を用いた。その結果を表１に示す。
【表１】
2005332994.tif 000003
【００４７】
表１より、周波数が１０ＧＨｚの時および４０ＧＨｚの時の双方において、マイクロストリップラインと比較して、コプレーナガイドの方が同一試料を繰り返し測定した時のばらつきが小さく、測定値の再現性に優れていることが解った。したがって、マイクロストリップライン、コプレーナガイド両者共に５０ＭＨｚ〜４０ＧＨｚまでの広帯域において測定が可能であるが、伝送線路１４をコプレーナガイドとした方が、測定値のばらつきがより小さく、安定して測定できるといえる。
【００４８】
次に、伝送線路１４をコプレーナガイドとし、電波吸収体１５の載置面に弾性を有する誘電体からなる薄板１６として厚み０．１０ｍｍのフッ素樹脂シートを介して電波吸収体１５を載置した場合と、介さずに載置した場合のそれぞれについて、同一の電波吸収体１５の試料を１０回測定し、そのときの測定値のばらつきσを算出した。尚、電波吸収体１５の載置面の凹凸は最大高さＲｚが約６μｍであった。その結果を表２に示す。
【表２】
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【００４９】
表２より、伝送線路１４上に弾性を有する誘電体の薄板１６を介して電波吸収体１５を載値した時の方が、伝送線路１４上に直接電波吸収体１５を載置した時と比べて測定値のばらつきが小さく、安定して測定できることが解った。
【００５０】
次に、弾性を有する誘電体薄板１６の厚みの最適範囲を検証するため、厚みの異なるフッ素樹脂シートを準備し、それぞれを電波吸収体１５と伝送線路１４の間に介して同一の電波吸収体１５の試料を１０回測定し、そのときの測定値のばらつきσを算出した。尚、試料は表２で使用したものと同一である。フッ素樹脂シートの厚みは、０．０１ｍｍ、０．０２ｍｍ、０．５ｍｍ、０．６ｍｍのものを用いた。その結果を表３に示す。
【表３】
2005332994.tif 000005
【００５１】
表３より、薄板１６の厚みが０．０２ｍｍ未満の場合、測定値のばらつきが表２に示した薄板１６を載置しない場合と大差が無かったのに対し、薄板１６の厚みが０．０２〜０．５ｍｍの範囲では、薄板１６を載値しない場合と比較して、測定値のばらつきが小さくなり、測定値が安定することがわかった。しかし、厚みが０．５ｍｍを超えると、減衰量ＡＴＴ’の測定の絶対値が小さくなった影響で、相対的に測定誤差が大きくなった結果、測定値のばらつきσが大きくなり、測定値が安定しなかった。以上の結果より、弾性を有する誘電体からなる薄板１６の厚みは０．０２〜０．５ｍｍが好ましいと言える。
【００５２】
なお、薄板１６の誘電正接（ｔａｎδ）の最適範囲を検証するために、誘電正接（ｔａｎδ）の異なる厚み０．１０ｍｍの薄板１６を用い、同様の測定を行った。その結果、薄板１６の誘電正接（ｔａｎδ）が０．０１以下の場合は、０．０１を超える場合と比較して、測定ばらつきσが小さく測定値が安定した。
【００５３】
また、伝送線路１４に載置した電波吸収体１５に加える圧力を変化させて、測定ばらつきを確認した。その結果、電波吸収体１５に加える圧力が０．０１ＭＰａ〜０．１ＭＰａの時は、圧力を加えない時と比較して、測定ばらつきが小さくなり、測定の安定性が向上した。また、圧力が０．１ＭＰａを超えると、測定ばらつきが大きくなり、さらに０．３ＭＰａの圧力を加えると、伝送線路１４が破損した。この結果より０．０１ＭＰａ〜０．１ＭＰａの加圧力が好ましいと言える。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】（ａ）（ｂ）は本発明の電波吸収体の特性評価方法の一例を示す正面図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は本発明の電波吸収体特性評価方法に使用される伝送線路の断面図である。
【図３】本発明の電波吸収体の特性評価装置の一例を示す正面図である。
【図４】本発明の電波吸収体の特性評価方法による評価結果の一例である。
【図５】（ａ）（ｂ）は従来の電波吸収体の特性評価方法を示す断面図である。
【図６】従来の電波吸収体の特性評価装置を示す正面図（一部断面図）である。
【符号の説明】
【００５５】
１１・・・ネットワークアナライザ
１２・・・高周波同軸ケーブル
１３・・・高周波同軸コネクタ
１４・・・伝送線路
１５・・・電波吸収体
１６・・・薄板
２１・・・信号線路
２２・・・グランド電極
２３・・・誘電体基板
３０・・・特性評価装置
４１・・・ホーンアンテナ
４２・・・金属板
５１・・・導波管
５２・・・同軸導波管変換器
【図１】
2005332994.tif 000006
【図２】
2005332994.tif 000007
【図３】
2005332994.tif 000008
【図４】
2005332994.tif 000009
【図５】
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【図６】
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