(57)【要約】【課題】  この発明は撮像カメラからの撮像信号にぶれが生じているか否かを判定することができる画像処理装置を提供することにある。【解決手段】  インターレース走査による撮像カメラ３９からの撮像信号を処理する画像処理装置において、  上記撮像カメラからの撮像信号を奇数フィールドと偶数フィールドとに分割するフィールド分割部４４と、各フィ−ルドデータの対応する位置の座標をそれぞれ比較算出する座標比較部４８と、この座標比較部の比較に基いて奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとの対応する位置の座標のずれ量が所定値以内であるか否かを判定する判定部４９とを具備する。【選択図】    図４
2005128589.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インターレース走査による撮像手段からの撮像信号を処理する画像処理装置において、
上記撮像手段からの撮像信号から得られた奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとを記憶する記憶手段と、
各フィ−ルドデータにおける対応する画像の位置をそれぞれ比較算出する比較手段と、
この比較手段の比較に基いて奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとにおける対応する画像の位置のずれ量が所定値以内であるか否かを判定する判定手段と、
を具備したことを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
インターレース走査による撮像手段からの撮像信号を処理する画像処理方法において、
上記撮像手段からの撮像信号に基づいて奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとを得る工程と、
各フィ−ルドデータにおける対応する画像の位置をそれぞれ比較算出する工程と、
この比較算出に基いて奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとにおける対応する位置のずれ量が所定値以内であるか否かを判定する工程と、
を具備したことを特徴とする画像処理方法。
【請求項３】
基板に電子部品を実装する実装装置において、
上記基板が供給載置されるテーブルと、
このテーブルをＸ、Ｙ及びθ方向に駆動する駆動手段と、
この駆動手段の駆動を制御する制御装置と、
上記テーブル上に供給載置された上記基板を撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの撮像信号を処理しその処理に基いて上記テーブルの位置を補正する補正信号を上記制御装置に出力する画像処理装置と
を具備し、
上記画像処理装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする実装装置。
【請求項４】
基板に電子部品を実装する実装方法において、
上記基板をＸ、Ｙ及びθ方向に駆動されるテーブルに供給する供給工程と、
上記テーブル上に供給された上記基板を撮像する撮像工程と、
基板を撮像した撮像信号を画像処理する画像処理工程と、
画像処理工程での画像処理結果に基いて上記テーブルを位置決めして上記電子部品を実装する実装工程と
を具備し、
上記画像処理工程は、請求項２に記載された方法で行なうことを特徴とする実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はカメラなどの撮像手段によって取り込まれた撮像信号を処理するための画像処理装置、画像処理方法及びその画像処理装置、画像処理方法を用いた実装装置、実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、基板としての液晶セルには異方性導電部材を介して電子部品としてのＴＣＰ（Tape Carrier Package）が圧着される。上記液晶セルは、２枚のガラス板をシール剤を介して所定の間隔で接着し、これらガラス板間に液晶を封入して構成される。そして、上記構成の液晶セルには、縁部上面にテープ状の上記異方性導電部材を貼着し、この異方性導電部材を介して上記ＴＣＰを仮圧着した後、本圧着するようにしている。
【０００３】
たとえば、上記液晶セルに異方性導電部材を介して仮圧着されたＴＣＰを本圧着する場合、まず、上記ＴＣＰが仮圧着された液晶セルを、Ｘ、Ｙ、θステージによって移動する吸着テーブルに供給して保持する。そして、吸着テーブルを移動させて液晶セルに設けられたアライメントマークを撮像手段である撮像カメラの撮像視野内に位置付け、撮像カメラにてアライメントマークの画像を撮像する。この撮像画像に基づいて液晶セルの位置ずれを求め、この位置ずれを補正しつつ吸着テーブルをＸ、Ｙ及びθ方向に移動させ、液晶セルを圧着位置に位置決めし、その位置決めの後、ＴＣＰの本圧着を行なうようにしている。
【０００４】
すなわち、液晶セルを位置決めしたならば、ＴＣＰが仮圧着された液晶セルの縁部下面をバックアップ部材の上端の受け面に載置し、このバックアップ部材の上方に対向して上下動可能に設けられた加圧ツールを下降させる。
【０００５】
それによって、上記ＴＣＰを加圧ツールで加圧し、上記液晶セルに異方性導電部材を介して仮圧着された上記ＴＣＰを本圧着するようにしている。なお、上記バックアップ部材と加圧ツールとはＴＣＰを液晶セルに実装するための加圧手段を構成している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、撮像カメラの撮像視野内に液晶セルのアライメントマークを位置付ける際、吸着ステージは減速の後停止するが、このとき吸着ステージの慣性の影響により、たとえば吸着テーブル自体が振動したり、撮像カメラが振動するなど、予期せぬ振動によって撮像カメラと液晶セルとの間に相対的な振動（以下「ぶれ」と称す）が生じることがある。
【０００７】
撮像時に撮像カメラと液晶セルとの間にぶれが生じると、撮像カメラからの撮像信号を画像処理しても、液晶セルに設けられたアライメントマークの位置を正確に算出できないことがある。そのような場合には液晶セルを圧着位置に高精度に位置決めすることができなかったり、ぶれが大きな場合にはアライメントマークの位置を算出すること自体が不能になるということがある。
【０００８】
この発明は、撮像時によって得られた画像にぶれが生じたならば、そのことを判別できるようにし、画像の処理を正確に行なうことができる画像処理装置、画像処理方法及びその画像処理を用いた実装装置、実装方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、インターレース走査による撮像手段からの撮像信号を処理する画像処理装置において、
上記撮像手段からの撮像信号から得られた奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとを記憶する記憶手段と、
各フィ−ルドデータにおける対応する画像の位置をそれぞれ比較算出する比較手段と、
この比較手段の比較に基いて奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとにおける対応する画像の位置のずれ量が所定値以内であるか否かを判定する判定手段と、
を具備したことを特徴とする画像処理装置にある。
【００１０】
この発明は、インターレース走査による撮像手段からの撮像信号を処理する画像処理方法において、
上記撮像手段からの撮像信号に基づいて奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとを得る工程と、
各フィ−ルドデータにおける対応する画像の位置をそれぞれ比較算出する工程と、
この比較算出に基いて奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとにおける対応する位置のずれ量が所定値以内であるか否かを判定する工程と、
を具備したことを特徴とする画像処理方法にある。
【００１１】
この発明は、基板に電子部品を実装する実装装置において、
上記基板が供給載置されるテーブルと、
このテーブルをＸ、Ｙ及びθ方向に駆動する駆動手段と、
この駆動手段の駆動を制御する制御装置と、
上記テーブル上に供給載置された上記基板を撮像する撮像手段と、
この撮像手段からの撮像信号を処理しその処理に基いて上記テーブルの位置を補正する補正信号を上記制御装置に出力する画像処理装置と
を具備し、
上記画像処理装置は請求項１に記載された構成であることを特徴とする実装装置にある。
【００１２】
この発明は、基板に電子部品を実装する実装方法において、
上記基板をＸ、Ｙ及びθ方向に駆動されるテーブルに供給する供給工程と、
上記テーブル上に供給された上記基板を撮像する撮像工程と、
基板を撮像した撮像信号を画像処理する画像処理工程と、
画像処理工程での画像処理結果に基いて上記テーブルを位置決めして上記電子部品を実装する実装工程と
を具備し、
上記画像処理工程は、請求項２に記載された方法で行なうことを特徴とする実装方法にある。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、インターレース走査によって得られた奇数フィールドと偶数フィールドとにおける、各フィ−ルドデータの対応する位置同士をそれぞれ比較算出するようにした。
【００１４】
そのため、対応する位置の座標の比較算出に基いて撮像によって得られた画像にぶれがあるか否かを知ることができるので、画像の処理を正確に行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、この発明の一実施の形態を図１乃至図５を参照しながら説明する。
【００１６】
図１はこの発明の一実施の形態に係る実装装置の概略的構成図を示す。この実装装置では、図２と図３に示す基板としてのガラス製の液晶セル４の周縁部に、接着材料としてのテープ状の異方性導電部材５を介して仮圧着された電子部品としてのＴＣＰ６が本圧着されるようになっている。
【００１７】
上記液晶セル４は、図２に示すように一対のガラス板４ａを図示しないシール剤を介して所定の間隔で接着し、これらの間に液晶が封入されるとともに各ガラス板４ａの外面には周縁部を除く全面にわたってそれぞれ偏光板４ｂが貼着されている。下側のガラス板４ａの縁部上面には上記ＴＣＰ６が上記異方性導電部材５を介して仮圧着されており、後述動作にて本圧着される。
【００１８】
図１に示すように、上記実装装置は加圧手段としての圧着ユニット１１及び後述する吸着ステージを水平方向（Ｘ、Ｙ方向）、回転方向（θ方向）及び上下方向（Ｚ方向）に移動させる位置決めユニット１２を備えている。上記圧着ユニット１１は架台１３を有し、この架台１３の上端に設けられた支持部１４には圧着ツール１５がシリンダ１６によって上下駆動可能に設けられている。
【００１９】
上記圧着ツール１５の下端面には押圧面１５ａが形成され、この押圧面１５ａの下方には上端面、つまり受け面１７ａを対向させてバックアップ部材１７が立設されている。
【００２０】
上記位置決めユニット１２は上記圧着ユニット１１に隣接して配置されている。この位置決めユニット１２はＸステージ１８を有し、このＸステージ１８にはＸ駆動源１９によってＸ方向に駆動されるＸ可動体２０が設けられている。なお、上記圧着ユニット１１と平行な方向をＸ方向とする。
【００２１】
上記Ｘ可動体２０の上面にはＹステージ２１が一体的に設けられている。このＹステージ２１の上面にはＹ可動体２２が設けられている。このＹ可動体２２はＹ駆動源２３によって上記Ｘ方向と直交するＹ方向に駆動されるようになっている。
【００２２】
上記Ｙ可動体２２上には側面形状がクランク状の支持体２５が立設されている。この支持体２５の上端に設けられた支持部２６と上記Ｙ可動体２２との間にはねじ軸２７とガイド軸２８とが軸線をＸ方向及びＹ方向に対して垂直にして設けられている。ねじ軸２７は回転可能に設けられ、ガイド軸２８は固定的に設けられている。
【００２３】
上記ねじ軸２７にはＺ可動体２９が螺合され、このＺ可動体２９には上記ガイド軸２８がスライド可能に挿通されている。したがって、ねじ軸２７を回転させれば、上記Ｚ可動体２９は回転することなく、上記ガイド軸２８に沿って上下動するようになっている。
【００２４】
上記ねじ軸２７の上端部は上記支持部２６の上面から突出し、その突出端には従動歯車３０が嵌着されている。この従動歯車３０には駆動歯車３１が噛合している。この駆動歯車３１は上記支持体２５に設けられたＺ駆動源３２の駆動軸３２ａに同軸に固定されている。したがって、Ｚ駆動源３２が作動してその駆動軸３２ａが回転すれば、噛合した一対の歯車３０、３１を介してねじ軸２７が回転されるから、上記Ｚ可動体２９がＺ方向に駆動されることになる。
【００２５】
上記Ｚ可動体２９にはＬ字状の取付け部材３４の一辺が固着されている。この取付け部材３４の水平となった他辺の上面には、θ駆動源３５によって垂直軸線を中心にして回転駆動されるθ可動体３６が設けられている。このθ可動体３６の上面には平面形状が矩形状の吸着テーブル３７がその中央部をθ可動体３６の回転中心に一致させて設けられている。この吸着テーブル３７の上面には、図示しない複数の吸引孔が開口形成されている。各吸引孔は図示しない真空ポンプに連通しており、適宜真空吸着力を生じさせることができるように構成されている。
【００２６】
これにより、液晶セル４を構成する下側のガラス板４ａが吸着テーブル３７の上面に開口した吸引孔によって吸着保持される。  
なお、液晶セル４は、図１に示すように、ＴＣＰが仮圧着された辺を吸着テーブル３７のＸ方向に沿う縁から外方へ突出させた状態で吸着テーブル３７上に保持される。
【００２７】
上記Ｙステージ２１の上面にはそれぞれレーザセンサなどからなる高さセンサ３８が設けられている。この高さセンサ３８は上記吸着テーブル３７に吸着保持された液晶セル４の下面の高さ、つまり、下側のガラス板４ａの周縁部下面で、偏光板４ｂが設けられていない部分の高さを検出するようになっている。
【００２８】
上記吸着テーブル３７の上方には、インターレース走査方式にて撮像する撮像カメラ３９が配置されている。インターレース走査では、撮像カメラ３９に取り込まれた画像は２回に分けて走査が行なわれ、最初に偶数番目の走査線による走査が行われ、次に奇数番目の走査線による走査が行なわれる。１回の走査で得られた画像をフィールドと呼び、偶数番目の走査線による走査で得られたフィールドを偶数フィールド、奇数番目の走査線による走査で得られたフィールドを奇数フィールドと呼ばれているが、フィールド２枚、つまり、偶数フィールドと奇数フィールドとで１枚のフレームを構成する。そして、たとえば、ＮＴＳＣ（Ｎａｔｉｏｎａｌ  ＴＶ  Ｓｔａｎｄａｒｄｓ  Ｃｏｍｍｉｔｔｅｅ）方式では６０フィールドを１秒で撮像するので、偶数フィールドが得られた時より奇数フィールドが得られる間には、約１６．７ｍｓの時間差が発生することになる。撮像カメラ３９には撮像部位を照明する図示しない照明光源が一体的に設けられている。この撮像カメラ３９は液晶セル４に設けられたアライメントマークを撮像するためのものである。
【００２９】
上記撮像カメラ３９の撮像信号は、画像処理装置４１に入力され、この画像処理装置４１で後述するように処理されてから制御装置４２に入力される。この制御装置４２には上記高さセンサ３８からの検出信号も入力される。
【００３０】
上記画像処理装置４１は図４に示す構成を有する。すなわち、上記撮像カメラ３９は液晶セル４に設けられたアライメントマーク（図示せず）をインターレース走査によって撮像する。撮像カメラ３９からの撮像信号はフィールド分割部４４に入力される。このフィールド分割部４４は撮像カメラ３９からの撮像信号を奇数フィールドの撮像信号としての奇数フィールドデータと偶数フィールドの撮像信号としての偶数フィールドデータとに分割する。
【００３１】
上記フィールド分割部４４によって得られた奇数フィールドデータは奇数フィールドメモリ４５に入力されて記憶され、偶数フィールドデータは偶数フィールドメモリ４６に入力されて記憶される。
【００３２】
各フィールドメモリ４５、４６に入力されて記憶されたデータは、座標認識部４７に出力される。座標認識部４７では、奇数フィールドデータと偶数フィールドデータそれぞれについて、予め定められた複数本の走査線上におけるアライメントマークの縁部の座標、すなわち走査方向での位置を認識する。
【００３３】
座標認識部４７で認識された奇数フィールドデータと偶数フィールドデータにおけるアライメントマークの縁部の座標は、座標比較部４８で比較される。この座標比較部４８では、奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとにおける対応する縁部同士の座標のずれ量を求める。ここで、インターレース走査によって偶数フィールドが得られたときより奇数フィールドが得られるまでの間に時間差が発生することは上述したとおりである。このため、撮像カメラ３９においては、偶数フィールドが得られたときの取り込み画像に対し、この時間差後の取り込み画像を処理して奇数フィールドを得ていることになる。従って、座標比較部４８で求められるずれ量は、撮像カメラ３９と液晶セルとの間に生じているぶれの度合に応じて増減することになる。そこで、座標比較部４８で求められた対応する縁部同士の座標のずれ量は、判定部４９で予め設定された設定値と比較されて判定される。つまり、奇数フィールドデータと偶数フィールドデータにおける対応する縁部同士の座標のずれ量が所定値以内であるか否かが判定される。これにより、撮像カメラ３９によりアライメントマークの画像を撮像するときに、撮像カメラ３９と液晶セル４との間にぶれが生じていたか否か、すなわち撮像カメラ３９の撮像信号によって得られる画像にぶれが生じているか否かが判定される。
【００３４】
上記判定部４９で判定された対応する縁部同士の座標のずれ量がすべて所定値以内であるならば、画像処理装置４１での画像処理が終了する。対応する縁部同士の座標のずれ量が一つでも設定値以上であるならば、再度、撮像カメラ３９の撮像信号をフィールド分割部４４に取り込んで上述した画像処理を繰り返す。
【００３５】
図５（ａ）は奇数フィールドメモリ４５に入力される奇数フィールドデータにて得られたアライメントマークの画像を示しており、同図（ｂ）は偶数フィールドメモリ４６に入力された偶数フィールドデータにて得られたアライメントマークの画像を示している。
【００３６】
図５（ａ）において、Ｐ１−１  〜Ｐ１−１４は奇数フィールドデータにおける予め設定された走査線上でのアライメントマークの縁部の座標を示しており、同図（ｂ）において、Ｐ２−１  〜Ｐ２−１４は偶数フィールドデータにおける予め設定された走査線上でのアライメントマークの縁部の座標を示している。
【００３７】
たとえば、各フィールドデータにて得られた画像においてアライメントマーク部分が白画像、その背景部分が黒画像として得られ、各フィールドデータが２４０本の走査線で構成されてなる場合であって、各フィールドデータにおける予め設定された走査線を３０本目、６０本目、９０本目、１２０本目、１５０本目、１８０本目、２１０本目とした場合、Ｐ１−１  〜Ｐ１−７  及びＰ２−１  〜Ｐ２−７  は上記の走査線を左から右へ走査したときに画像が黒から白に反転する位置の座標、Ｐ１−８  〜Ｐ１−１４及びＰ２−８  〜Ｐ２−１４は上記走査線を右から左へ走査したときの画像が黒から白に反転する位置の座標を示している。
【００３８】
下記［表１］は、奇数フィールドデータのＰ１−１  〜Ｐ１−１４の座標値と、偶数フィールドデータのＰ２−１  〜Ｐ２−１４の座標値であって、これら座標値の差が奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとの対応する縁部同士のずれ量となる。このずれ量は画素単位で示している。
【表１】
2005128589.tif 000003
【００３９】
インターレース走査によって得られた画像において、１画素を６μｍ（たとえばカメラ１／３インチ、光学倍率×１のとき）とすると、１２μｍまでのずれ、つまり奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとのずれ画素数を２画素まで許容することができるとすれば、判定部４９では、奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとの対応する走査線上における対応する縁部同士のずれ量が３画素以上であるか否かが判定される。判定結果が３画素未満であるならば撮像カメラ３９による撮像が液晶セル４と撮像カメラ３９との間にぶれが生じることなく行なわれたと判定される。
【００４０】
判定結果が３画素以上であると、撮像カメラ３９からの撮像信号が上記フィールド分割部４４に再度取り込まれて上述した処理が繰り返される。この繰り返し回数は制限されるものでないが、２〜３回行なっても判定結果が３画素以上の場合には、警報を出すなどしてもよい。
【００４１】
上記判定部４９での判定結果が許容範囲内であるならば、撮像カメラ３９によって得られた撮像信号、すなわち奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとを合わせた撮像信号に基づいて、画像処理装置４１が、上述とは異なる機能、たとえばパターンマッチング処理機能を用いてアライメントマークの位置を認識し、認識位置信号を補正信号として制御装置４２に出力する。制御装置４２は、画像処理装置４１の認識位置上方に基づいて液晶セル４の位置ずれを求め、この位置ずれを補正するように液晶セル４を位置決めする。
【００４２】
本実施例では、液晶セル４の一つの辺の端部にそれぞれ設けられた、アライメントマークの位置に基づいて吸着テーブル３７に吸着保持された液晶セル４のＸ、Ｙ及びθ方向の位置ずれを算出し、その位置ずれを補正しつつＸ駆動源１９、Ｙ駆動源２３及びθ駆動源３５を駆動させ、上記液晶セル４のＴＣＰ６が仮圧着された辺を、上記バックアップ部材１７の受け面１７ａの上方に位置決めする。
【００４３】
ついで、高さセンサ３８による液晶セル４の下面の高さの検出信号に基づいてＺ駆動源３２を作動させ、液晶セル４の下面が上記受け面１７ａに接触する位置まで吸着テーブル３７を下降させる。その状態で、圧着ツール１５を下降方向に駆動すれば、液晶セル４の一辺上面に仮圧着されたＴＣＰ６を本圧着することができる。
【００４４】
このように、吸着テーブル３７に保持された液晶セル４を、インターレース走査による撮像カメラ３９からの撮像信号に基づいて位置決めする場合、画像処理装置４１に入力された撮像信号を奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとに分割し、各フィールドデータの対応する位置、つまり対応する走査線上におけるアライメントマークの対応する縁部同士のずれ量を比較し、その比較に基いて奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとにおける対応する縁部同士のずれ量が許容範囲内であるか否かを判定するようにした。
【００４５】
そして、奇数フィールドデータと偶数フィールドデータとにおける対応する縁部同士のずれ量が許容範囲内である場合にだけ、撮像カメラ３９による撮像信号に基いて液晶セル４を位置決めするようにした。そのため、液晶セル４と撮像カメラ３９との間にぶれが生じた状態で撮像カメラ３９に取り込まれた画像、すなわちぶれが生じた画像をもとにアライメントマークの位置認識が行なわれることが回避できるので、アライメントマークの位置を正確に認識することができ、液晶セルの位置決めを精度よく行うことができる。
【００４６】
また、上記理由により、ぶれが生じた画像をもとにパターンマッチング処理等を行うことに起因するアライメントマークの認識エラーが防止でき、認識エラーに基づく装置の停止が低減され、装置の稼働率を向上させることができる。
【００４７】
なお、上記実施例においては、画像処理装置４１にフィールド分割部４４を設け、撮像カメラ３９からの撮像信号を奇数フィールドと偶数フィールドとに分割する例で説明したが、撮像カメラ３９から画像処理装置４１の奇数フィールドメモリ４５及び偶数フィールドメモリ４６に奇数フィールドデータ及び偶数フィールドデータを直接供給するようにしても良い。
【００４８】
また、奇数フィールドと偶数フィールドにおけるアライメントマークの対応する縁部の座標を比較して撮像カメラ３９にて得られた画像にぶれがあるか否かを判定する例で説明したが、パターンマッチング処理などによりフィールド毎にアライメントマークの位置を検出し、求めた位置同士を比較することで画像にぶれがあるか否かを判定するようにしても良い。
【００４９】
また、実装装置が液晶セル４に異方性導電部材５を介して仮圧着されたＴＣＰ６を本圧着する、いわゆる本圧着装置の例で説明したが、これに限らず、液晶セル４に異方性導電部材５を介してＴＣＰ６を仮圧着する、いわゆる仮圧着装置に適用することも可能である。
【００５０】
なお、図５（ａ），（ｂ）では、奇数フィールドデータと偶数フィールドデータにおける横方向の走査線上でのアライメントマークの対応する縁部同士のずれ量を判定するようにしたが、縦方向の走査線上での対応する縁部同士のずれ量を判定するようにしてもよい。また、横方向と縦方向の両方の走査線上での縁部同士のずれ量を判定するようにすれば、判定精度をより向上させることができる。
【００５１】
上記一実施の形態ではこの発明の画像処理装置及び方法を、液晶セルにＴＣＰを本圧着する場合に適用した例について説明したが、この発明の画像処理装置及び方法の適用範囲はそれだけに限定されず、たとえば回路基板に半導体チップなどの電子部品を実装する場合などのように、基板に電子部品を実装する実装装置や実装方法、さらに撮像カメラを用いて対象物を撮像し、その対象物を位置決め制御する場合であれば、適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】この発明の一実施の形態に係る実装装置の概略的構成図。
【図２】ＴＣＰを本圧着するバックアップ部材と圧着ツールとの拡大図。
【図３】液晶セルの斜視図。
【図４】撮像カメラからの撮像信号を処理する画像処理装置のブロック図。
【図５】（ａ）はフィールド分割部で分割された奇数フィールドデータの説明図、（ｂ）は同じく偶数フィールドデータの説明図。
【符号の説明】
【００５３】
１９…Ｘ駆動源（駆動手段）、２３…Ｙ駆動源（駆動手段）、３５…θ駆動源（駆動手段）、３７…吸着テーブル、３９…撮像カメラ（撮像手段）、４１…画像処理装置、４２…制御装置、４４…フィールド分割部、４５…偶数フィールドメモリ、４６…奇数フィールドメモリ、４７…座標認識部、４８…座標比較部、４９…判定部。
【図１】
2005128589.tif 000004
【図２】
2005128589.tif 000005
【図３】
2005128589.tif 000006
【図４】
2005128589.tif 000007
【図５】
2005128589.tif 000008