(57)【要約】 【課題】    電子ビームを観察しながら容易に電子銃の軸調整ができる装置を提供すること。鏡筒の内外を気密に遮断した状態で、電子銃の軸調整を行えるようにすること。【解決手段】シールド壁ＳＷ内側に配置された移動台支持面１ｃに移動可能に支持され且つ複数の固定用ネジ部材貫通孔２ｃを有する移動台２に固定された電子銃３と、シールド壁ＳＷおよびその外側の上壁Ｔ２を気密且つ上下動可能に貫通して下端部が移動台固定用ネジ部材３６と着脱可能に係合する固定用操作部材３９と、シールド壁ＳＷを貫通し且つ上壁Ｔ２を気密且つ上下動可能に貫通して下端部が位置調整用ネジ部材３４と着脱可能に係合した状態では位置調整用ネジ部材３４と一体的に回転して移動台２の位置を調整するロッド状の位置調整用操作部材４１であって、上方に移動した状態では下端部が前記上壁Ｔ２下面より上方に配置される前記位置調整用操作部材４１とを有する電子銃軸調整装置。【選択図】  図１
2005332720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ010）を備えたことを特徴とする電子銃軸調整装置、
（Ａ01）側壁および上壁を有し内外を気密に遮断する鏡筒であって電気的にアースされた鏡筒、
（Ａ02）前記鏡筒の内側に配置され且つ電子銃の高電位部分に電気的に接続されるシールド壁、
（Ａ03）前記シールド壁の内側に配置され、移動台支持面と、複数の固定用ネジ孔および位置調整用ネジ孔とを有する移動台支持用の固定部材、
（Ａ04）前記移動台支持面に移動可能に支持され且つ複数の固定用ネジ部材貫通孔を有する移動台、
（Ａ05）前記移動台に固定され且つ下方に電子ビームを出射する電子銃、
（Ａ06）前記移動台の複数の固定用ネジ部材貫通孔を遊びをもって貫通するとともに下端部が前記固定部材の固定用ネジ孔に螺合し且つ上端部に被係合部が設けられた固定用ネジ部材であって、前記固定部材に対して移動台を固定する固定位置と移動台の移動を許容する移動許容位置との間で回転可能な前記固定用ネジ部材、
（Ａ07）前記シールド壁を貫通し且つ前記上壁を気密且つ上下動可能に貫通して下端部に前記固定用ネジ部材の被係合部と着脱可能に係合する固定用ネジ部材係合部を有し、且つ前記被係合部と前記固定用ネジ部材係合部とが係合した状態では固定用ネジ部材と一体的に回転するロッド状の固定用操作部材であって、上方に移動した状態では下端部が前記上壁下面より上方に配置される前記固定用操作部材、
（Ａ08）前記固定部材に設けた位置調整用ネジ孔に螺合し且つ上端部に被係合部が設けられた位置調整用ネジ部材であって、回転されたときに前記移動台を固定部材上で移動させる前記位置調整用ネジ部材、
（Ａ09）前記シールド壁を貫通し且つ前記上壁を気密且つ上下動可能に貫通して下端部に前記位置調整用ネジ部材の被係合部と着脱可能に係合する位置調整用ネジ部材係合部を有し、且つ前記位置調整用ネジ部材係合部が前記位置調整用ネジ部材の被係合部と係合した状態では位置調整用ネジ部材と一体的に回転するロッド状の位置調整用操作部材であって、上方に移動した状態では下端部が前記上壁下面より上方に配置される前記位置調整用操作部材、
（Ａ010）前記位置調整用ネジ部材と係合した状態において前記シールド壁と前記上壁との間の部分は絶縁性ロッドにより構成された前記位置調整用操作部材。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ011）を備えたことを特徴とする請求項１記載の電子銃軸調整装置、
（Ａ011）前記絶縁性ロッドの下側に下側導電性ロッドが連結され、前記下側導電性ロッドの前記シールド壁に近接する部分が前記シールド壁に電気的に接続された前記位置調整用操作部材。
【請求項３】
下記の構成要件（Ａ012）を備えたことを特徴とする請求項１または２記載の電子銃軸調整装置、
（Ａ012）前記絶縁性ロッドの上側に上側導電性ロッドが連結され、前記上側導電性ロッドが前記上壁に電気的に接続された前記位置調整用操作部材。
【請求項４】
下記の構成要件（Ａ013）を備えたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか記載の電子銃軸調整装置、
（Ａ013）前記位置調整用ネジ部材の下端部が当接するネジ当接部と前記移動部材の側面に当接する移動台当接部とを有し、前記位置調整用ネジ部材の下端の上下動に応じて揺動して前記移動部材を移動させる揺動可能な位置調整部材。
【請求項５】
下記の構成要件（Ａ014）を備えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか記載の電子銃軸調整装置、
（Ａ014）前記固定用ネジ部材と係合した状態において前記シールド壁と前記上壁との間の部分は絶縁性ロッドにより構成された前記固定用操作部材。
【請求項６】
下記の構成要件（Ａ015）を備えたことを特徴とする請求項５記載の電子銃軸調整装置、
（Ａ015）前記固定用ネジ部材と係合した状態において前記シールド壁より下方部分は前記シールド壁に電気的に接続された下側導電性ロッドにより構成され、前記上壁より上方部分は前記上壁に電気的に接続された上側導電性ロッドにより構成された前記ロッド状の固定用操作部材。
【請求項７】
内外を気密に遮断する鏡筒内部に配置されたシールド壁の内側に配置された固定部材上面に位置調整可能に支持され且つ電子銃を支持する移動台と、前記固定部材に設けられた固定用ネジ孔に螺合し前記固定部材に対して前記移動台を固定する固定位置と移動台の移動を許容する移動許容位置との間で回転可能且つ上端部に被係合部を有する固定用ネジ部材と、前記固定部材に設けられた位置調整用ネジ孔に螺合して回転時に前記固定部材に対する前記移動台の位置を調整し且つ上端部に被係合部を有する位置調整用ネジ部材と、前記鏡筒およびシールド壁を貫通して下端部が前記固定用ネジ部材の被係合部に係合する係合部を有し係合した状態で前記固定用ネジ部材と一体的に回転するロッド状の固定用操作部材と、前記鏡筒およびシールド壁を貫通して下端部が前記位置調整用ネジ部材の被係合部に係合する係合部を有し係合した状態で前記位置調整用ネジ部材と一体的に回転し且つ前記鏡筒とシールド壁との間の部分が絶縁性ロッドにより構成されたロッド状の位置調整用操作部材とを備えた電子銃軸調整装置を使用して前記電子銃の軸を調整する電子銃軸調整方法において、下記の工程（Ｂ01），（Ｂ02）を備えた電子銃軸調整方法、
（Ｂ01）前記固定用ネジ部材が前記移動許容位置に回転した状態において、前記電子銃から電子ビームを出射し前記電子ビームの照射位置を確認しながら前記位置調整用操作部材により位置調整用ネジ部材を回転させて電子銃の軸調整を行う電子銃軸軸調整工程、
（Ｂ02）前記固定用操作部材を回転させて前記固定用ネジ部材を前記固定位置に回転させる移動台固定工程。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡の電子銃軸調整装置および方法に関し、特に、電子銃から実際に電子線を出射して前記電子線の照射位置を確認しながら電子線軸調整を行うことができる電子銃軸調整装置および方法に関する。  
【背景技術】
【０００２】
従来の電子顕微鏡の電子銃軸調整装置および方法としては、下記（Ｊ01）の技術が従来公知である。
（Ｊ01）図７に示す技術
図７は電子顕微鏡の従来の電子銃軸調整方法の説明図である。
図７において、電子顕微鏡の鏡筒（図示せず）の内側には、固定された取付台０１ａと前記取付台０１ａ上に固定支持されたリング状の基板０１ｂとを有する固定部材０１が配置されている。前記基板０１ｂの上面に形成された移動台支持面０１ｃには、移動台０２が移動可能に支持されている。移動台０２は電子銃０３を固定支持する部材である。
電子銃０３は円筒部材０４と、円筒部材０４の下端に連結された碍子製のエミッタ支持部材０５と、前記エミッタ支持部材０５下端に支持されたエミッタ０６および着脱可能な電子ビーム通過部０７ａを有する第１アノード（電子線を下方に引き出す引出アノード）０７と、前記エミッタ０６および第１アノード０７に給電する給電ケーブル０８および０９と、前記円筒部材０４の上端に連結したキャップ０１０とを有している。
なお、前記ベース０１ｂと円筒部材０４の上端との間にはベローズ０１１が連結されている。
【０００３】
電子銃０３の円筒部材０４の上部外周面にはオスネジ０４ａが形成されており、前記オスネジ０４ａには、移動台０２に形成されたネジ孔０２ａおよびキャップ０１０の内周面に形成されたメスネジ０１０ａが螺合している。したがって、電子銃０３は移動台０２に固定支持されている。
前記固定部材１上で移動可能な移動台０２には、複数の固定用ネジ部材０１６が貫通する貫通孔（図示せず）が形成されており、前記図示しない貫通孔は固定用ネジ部材０１６の外径よりも大きな内径を有している。したがって、複数の固定用ネジ部材０１６を緩めた状態では移動台０２は固定部材０１上で移動可能（位置調整可能）であり、固定用ネジ部材０１６を締付けると移動台０２は固定部材０１上で固定される。
前記移動台０２の外周部には円周方向に９０°離れた合計４個所の位置に位置調整用傾斜面０２ｂが形成されており、この位置調整用傾斜面０２ｂには、前記基板０１ｂに螺合する位置調整用ネジ部材０１７に回転可能且つ軸方向に移動不可能に装着された位置調整部材０１８の傾斜面０１８ａが当接している。
【０００４】
したがって、前記固定用ネジ部材０１６を緩めた状態（前記基板０１ｂ上の移動台０２が基板０１ｂ上で移動可能な状態）で、前記位置調整用ネジ部材０１７の１個を回転させて位置調整部材０１８の傾斜面０１８ａを前記移動台０２の位置調整用傾斜面０２ｂに押し付けると、移動台０２の位置は基板０１ｂ上面において移動し、位置調整される。
前記４箇所の位置調整用傾斜面０２ｂにそれぞれ当接する位置調整部材０１８の傾斜面０１８ａにより基板０１ｂ上の移動台０２の位置決めが行われる。
前述のようにして、移動台０２の位置決めが行われると、前記移動台０２と一体的に連結された円筒部材０４を有する前記電子銃０３が位置決め、固定される。
【０００５】
前記移動台０２、固定用ネジ部材０１６、位置調整用ネジ部材０１７および位置調整部材０１８等によって電子銃軸調整機構（０２，０１６，０１７，０１８）が構成されている。
前記電子銃０３の前記第１アノード０７の下方には、モノクロメータ０２０、第２アノード部材２１、図示しない第３アノード、加速管等が順次配置されている。モノクロメータ０２０の上端には電子線入射孔０２０ａが形成されており、モノクロメータ０２０は、前記電子線入射孔０２０ａから入射した電子の中で、所定エネルギーを有する電子のみを選択して下方に通過させる。第２アノード０２１は、電子通過孔を有し静電レンズとして作用する。
【特許文献１】特開平９−２５９８０２号公報（第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記図７に示す装置は、図示しない鏡筒内部に配置されたシールド壁（図示せず）の内側に配置される。前記鏡筒（図示せず）はアースされており、前記シールド壁（図示せず）は電子銃の高電位部分の電位に応じた高電位になっている。前記鏡筒とシールド壁との間の放電を防止するために、前記鏡筒とシールド壁との間は絶縁ガス（ＳＦ6）が充填されている。
前記電子銃０３のエミッタ０６、第１アノード０７等に高電圧が印加されると、シールド壁（図示せず）や前記移動台０２、固定用ネジ部材０１６、位置調整用ネジ部材０１７および位置調整部材０１８等により構成される電子銃軸調整機構（０２，０１６，０１７，０１８）も高電位になる。このため、電子銃０３に高電圧を印加した状態で、前記電子銃軸調整機構（０２，０１６，０１７，０１８）を調整して電子線を軸調整することは行っていない。
【０００７】
したがって、前記従来技術（Ｊ01）では、  前記電子顕微鏡の電子銃のエミッタ０６で放出される電子ビームの軸調整をする場合に、電子顕微鏡の鏡筒（図示せず）内部に充填されている絶縁ガス（ＳＦ6）を一旦回収または排気し、その後前記鏡筒内部を大気に開放し、そして大気中にて軸調整を行っている。前記軸調整が完了すると、再び絶縁ガス（ＳＦ6）を前記鏡内部に充填し、高電圧を印加して実際に電子ビームを出射させ、前記電子ビームの照射位置を確認することにより、電子銃の光軸の位置を確認することができる。
しかし、前記従来の電子銃の軸調整方法では、軸調整時に前記電子ビームを観察しながら調整を行うことができないため、一回の軸調整で作業が完了する場合はまれであった。そのため、前記ＳＦ6の排気回収から高電圧印加までの作業工程を繰り返し、その都度、電子銃の軸調整を行うので、結果的にかなりの工数および時間を要することが多かった。
【０００８】
また、絶縁ガスＳＦ6は人体には無害であるが、地球温暖化への影響がＣＯ2の２４０００倍といわれている。前記絶縁ガスＳＦ6を排気回収する回収システムは大掛かりなものとなるため、別途高額のコストが生じるという問題があった。
【０００９】
本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載内容（Ｏ01），（Ｏ02）を課題とする。
（Ｏ01）電子ビームを観察しながら容易に電子銃の軸調整ができる装置を提供すること。
（Ｏ02）鏡筒の内外を気密に遮断した状態で、電子銃の軸調整を行えるようにすること。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の構成要素との対応を容易にするため、実施例の構成要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。
また、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするものであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【００１１】
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明の電子銃軸調整装置は下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ010）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）側壁（Ｔ１）および上壁（Ｔ２）を有し内外を気密に遮断する鏡筒（Ｔ）であって電気的にアースされた鏡筒（Ｔ）、
（Ａ02）前記鏡筒（Ｔ）の内側に配置され且つ電子銃（３）の高電位部分に電気的に接続されるシールド壁（ＳＷ）、
（Ａ03）前記シールド壁（ＳＷ）の内側に配置され、移動台支持面（１ｃ）と、複数の固定用ネジ孔（１ｉ）および位置調整用ネジ孔（１ｈ）とを有する移動台支持用の固定部材（１）、
（Ａ04）前記移動台支持面（１ｃ）に移動可能に支持され且つ複数の固定用ネジ部材貫通孔（２ｃ）を有する移動台（２）、
（Ａ05）前記移動台（２）に固定され且つ下方に電子ビームを出射する電子銃（３）、
（Ａ06）前記移動台（２）の複数の固定用ネジ部材貫通孔（２ｃ）を遊びをもって貫通するとともに下端部が前記固定部材（１）の固定用ネジ孔（１ｉ）に螺合し且つ上端部に被係合部（３６ａ）が設けられた固定用ネジ部材（３６）であって、前記固定部材（１）に対して移動台（２）を固定する固定位置と移動台（２）の移動を許容する移動許容位置との間で回転可能な前記固定用ネジ部材（３６）、
（Ａ07）前記シールド壁（ＳＷ）を貫通し且つ前記上壁（Ｔ２）を気密且つ上下動可能に貫通して下端部に前記固定用ネジ部材（３６）の被係合部（３６ａ）と着脱可能に係合する固定用ネジ部材係合部（３９ｄ）を有し、且つ前記被係合部（３６ａ）と前記固定用ネジ部材係合部（３９ｄ）とが係合した状態では固定用ネジ部材（３６）と一体的に回転するロッド状の固定用操作部材（３９）であって、上方に移動した状態では下端部が前記上壁（Ｔ２）下面より上方に配置される前記固定用操作部材（３９）、
（Ａ08）前記固定部材（１）に設けた位置調整用ネジ孔（１ｈ）に螺合し且つ上端部に被係合部（３４ａ）が設けられた位置調整用ネジ部材（３４）であって、回転したときに前記移動台（２）を固定部材（１）上で移動させる前記位置調整用ネジ部材（３４）、
（Ａ09）前記シールド壁（ＳＷ）を貫通し且つ前記上壁（Ｔ２）を気密且つ上下動可能に貫通して下端部に前記位置調整用ネジ部材（３４）の被係合部（３４ａ）と着脱可能に係合する位置調整用ネジ部材係合部（４１ｄ）を有し、且つ前記位置調整用ネジ部材係合部（４１ｄ）が前記位置調整用ネジ部材（３４）の被係合部（３４ａ）と係合した状態では位置調整用ネジ部材（３４）と一体的に回転するロッド状の位置調整用操作部材（４１）であって、上方に移動した状態では下端部が前記上壁（Ｔ２）下面より上方に配置される前記位置調整用操作部材（４１）、
（Ａ010）前記位置調整用ネジ部材（３４）と係合した状態において前記シールド壁（ＳＷ）と前記上壁（Ｔ２）との間の部分は絶縁性ロッド（４１ａ）により構成された前記位置調整用操作部材（４１）。
【００１２】
（第１発明の作用）
前記構成要件（Ａ01）〜（Ａ010）を備えた第１発明の電子銃軸調整装置では、側壁（Ｔ１）および上壁（Ｔ２）を有し内外を気密に遮断する鏡筒（Ｔ）は、電気的にアースされる。前記シールド壁（ＳＷ）の内側に配置された移動台支持用の固定部材（１）の上面に形成された移動台支持面（１ｃ）には、移動台（２）が支持される。前記移動台（２）の複数の固定用ネジ部材貫通孔（２ｃ）を遊びをもって貫通する固定用ネジ部材（３６）の下端部は、前記固定部材（１）の固定用ネジ孔（１ｉ）に螺合する。前記固定用ネジ部材（３６）を緩めた状態では前記移動台（２）は移動台支持面（１ｃ）上で移動可能であるが、前記固定用ネジ部材（３６）を締めつけた状態では前記移動台（２）は移動台支持面（１ｃ）上で固定される。
前記シールド壁（ＳＷ）を貫通し且つ前記上壁（Ｔ２）を気密且つ上下動可能に貫通するロッド状の固定用操作部材（３９）は、下端部に固定用ネジ部材係合部（３９ｄ）を有している。前記固定用ネジ部材係合部（３９ｄ）を前記固定用ネジ部材（３６）の被係合部（３６ａ）と着脱可能に係合させた状態では、ロッド状の固定用操作部材（３９）を回転させると、前記固定用ネジ部材（３６）も回転する。したがって、前記固定用操作部材（３９）を回転操作することにより、前記固定用ネジ部材（３６）を、前記固定部材（１）に対して移動台（２）を固定する固定位置と移動台（２）の移動を許容する移動許容位置との間で回転させることができる。
【００１３】
前記固定部材（１）に設けた位置調整用ネジ孔（１ｈ）に螺合する前記位置調整用ネジ部材（３４）は、回転したときに前記移動台（２）を固定部材（１）上で移動させる。
前記シールド壁（ＳＷ）を貫通し且つ前記上壁（Ｔ２）を気密且つ上下動可能に貫通するロッド状の位置調整用操作部材（４１）は、下端部に位置調整用ネジ部材係合部（４１ｄ）を有している。前記位置調整用ネジ部材係合部（４１ｄ）を前記位置調整用ネジ部材（３４）の被係合部（３４ａ）と着脱可能に係合させた状態では、ロッド状の位置調整用操作部材（４１）を回転させると、前記位置調整用ネジ部材（３４）も回転する。したがって、前記位置調整用操作部材（４１）を回転操作することにより、前記位置調整用ネジ部材（３４）を回転させて前記移動台（２）を固定部材（１）上で移動させることができる。
したがって、前記固定用ネジ部材（３６）を前記移動許容位置に回転させた状態で、前記位置調整用操作部材（４１）を操作することにより、前記固定部材（１）上の移動台（２）の位置調節を行うことができる。
【００１４】
前記位置調整を行う際、前記固定用ネジ部材（３６）を、移動台（２）の移動を許容する移動許容位置に回転させた状態で、前記移動台に固定された電子銃（３）に通常の試料観察時よりも低い電圧を印加して、通常使用時よりも弱い電子線（照射位置を確認できる程度の弱い電子線）を出射する。そしてその弱い電子線の照射位置を確認しながら、前記位置調整用ネジ部材（３４）に係合する位置調整用操作部材（４１）を操作することにより、前記固定部材（１）上の移動台（２）の位置調節を行う。
なお、前記位置調整を行う際、固定用操作部材（３９）は、下方の位置調整位置または、その上方の試料観察位置（固定用操作部材（３９）の下端部が前記上壁（Ｔ２）下面より上方に配置される位置）のいずれかの位置に保持することが可能である。
【００１５】
前記位置調整作業時の前記電子線の強度は実際の試料観察時の電子線の強度より小さい状態で行うので、前記アースされた上壁（Ｔ２）と前記電子銃（３）の高電位部分に電気的に接続された前記シールド壁（ＳＷ）との電位差は、電子線強度の大きな実際の試料観察時に比較して小さい。しかも、前記位置調整用操作部材（４１）は、前記位置調整用ネジ部材（３４）と係合した状態において前記シールド壁（ＳＷ）と前記上壁（Ｔ２）との間の部分は絶縁性ロッド（４１ａ）により構成されているので、前記絶縁ロッド（４１ａ）の前記上壁（Ｔ２）に対向する部分と前記上壁（Ｔ２）との間の電位差、および、前記絶縁ロッド（４１ａ）の前記シールド壁（ＳＷ）に対向する部分と前記シールド壁（ＳＷ）との間の電位差は、それほど大きくはない。
したがって、前記位置調整作業時に、前記絶縁ロッド（４１ａ）と前記上壁（Ｔ２）またはシールド壁（ＳＷ）との間の放電の発生は防止することができる。
前記電子銃（３）を支持する移動台（２）の位置調整を行う前記位置調整作業が終了した後に、前記固定用操作部材（３９）により前記固定用ネジ部材（３６）を固定位置に回転させて、移動台（２）を固定部材（１）の移動台支持面（１ｃ）上で固定する。
【００１６】
前記位置調整作業が終了した後に、実際の試料観察を行う場合には、電子銃（３）に印加する高電圧が電子線の軸調整時よりも大きくなり電子線強度が大きくなる。このとき、前記シールド壁（ＳＷ）と鏡筒（Ｔ）との間の電位差は大きくなる。このときには、前記固定用操作部材（３９）および位置調整用操作部材（４１）は、上方に移動してその下端部が前記上壁（Ｔ２）下面より上方に配置される。この状態では、前記シールド壁（ＳＷ）と上壁（Ｔ２）との間は、前記位置調整用操作部材（４１）のような部材が配置されず、前記空間の距離（空間）により絶縁されるので、前記シールド壁（ＳＷ）と鏡筒（Ｔ）との間の電位差が大きくても、それらの間の放電は発生しない。
【００１７】
（第１発明の形態１）
また、第１発明の形態１の電子銃軸調整装置は前記第１発明の電子銃軸調整装置において、下記の構成要件（Ａ011）を備えたことを特徴とする。
（Ａ011）前記絶縁性ロッド（４１ａ）の下側に下側導電性ロッド（４１ｂ）が連結され、前記下側導電性ロッド（４１ｂ）の前記シールド壁（ＳＷ）に近接する部分が前記シールド壁（ＳＷ）に電気的に接続された前記位置調整用操作部材（４１）。
（第１発明の形態１の作用）
前記構成要件（Ａ011）を備えた第１発明の形態１の電子銃軸調整装置では、前記位置調整用操作部材（４１）の前記絶縁性ロッド（４１ａ）の下側に下側導電性ロッド（４１ｂ）が連結され、前記下側導電性ロッド（４１ｂ）の前記シールド壁（ＳＷ）に近接する部分が前記シールド壁（ＳＷ）に電気的に接続されているので、前記下側導電性ロッド（４１ｂ）の下端部の位置調整用ネジ部材係合部（４１ｄ）が係合する前記位置調整用ネジ部材の被係合部（３４ａ）と係合した状態で前記係合部分に電子銃（３）の高電位部分が接続されても、前記下側導電性ロッド（４１ｂ）と前記シールド壁（ＳＷ）との間の放電の発生が防止される。
【００１８】
（第１発明の形態２）
第１発明の形態２の電子銃軸調整装置は、前記第１発明または前記第１発明の形態１の電子銃軸調整装置において、下記の構成要件（Ａ012）を備えたことを特徴とする。
（Ａ012）前記絶縁性ロッド（４１ａ）の上側に上側導電性ロッド（４１ｃ）が連結され、前記上側導電性ロッド（４１ｃ）が前記上壁（Ｔ２）に電気的に接続された前記位置調整用操作部材（４１）。
（第１発明の形態２の作用）
前記構成要件（Ａ012）を備えた第１発明の形態２の電子銃軸調整装置では、前記絶縁性ロッド（４１ａ）の上側には上側導電性ロッド（４１ｃ）が連結され、前記上側導電性ロッド（４１ｃ）が前記上壁（Ｔ２）に電気的に接続されているので、前記上側導電性ロッド（４１ｃ）と前記上壁（Ｔ２）との間の放電の発生が防止される。
【００１９】
（第１発明の形態３）
第１発明の形態３の電子銃軸調整装置は、前記第１発明または前記第１発明の形態１もしくは２の電子銃軸調整装置において、下記の構成要件（Ａ013）を備えたことを特徴とする。
（Ａ013）前記位置調整用ネジ部材（３４）の下端部が当接するネジ当接部（３３ｂ）と前記移動部材（２）の側面に当接する移動台当接部（３３ｃ）とを有し、前記位置調整用ネジ部材（３４）の下端の上下動に応じて揺動して前記移動部材を移動させる揺動可能な位置調整部材（３３）。
【００２０】
（第１発明の形態３の作用）
前記構成要件（Ａ013）を備えた第１発明の形態３の電子銃軸調整装置では、前記位置調整用ネジ部材（３４）の下端部が当接するネジ当接部（３３ｂ）と前記移動部材（２）の側面に当接する移動台当接部（３３ｃ）とを有する揺動可能な位置調整部材（３３）は、前記位置調整用ネジ部材（３４）の下端の上下動に応じて揺動して前記移動部材（２）を移動させる。
【００２１】
（第１発明の形態４）
第１発明の形態４の電子銃軸調整装置は前記第１発明または第１発明の形態１ないし３のいずれかの電子銃軸調整装置において、下記の構成要件（Ａ014）を備えたことを特徴とする。
（Ａ014）前記固定用ネジ部材（３６）と係合した状態において前記シールド壁（ＳＷ）と前記上壁（Ｔ２）との間の部分は絶縁性ロッド（３９ａ）により構成された前記固定用操作部材（３９）、
（第１発明の形態４の作用）
前記構成要件（Ａ014）を備えた第１発明の形態４の電子銃軸調整装置では、前記固定用ネジ部材（３６）と係合した状態において、前記固定用操作部材（３９）の前記シールド壁（ＳＷ）と前記上壁（Ｔ２）との間の部分は絶縁性ロッド（３９ａ）により構成され、前記絶縁性ロッド（３９ａ）によって前記固定用ネジ部材（３６）による前記シールド壁（ＳＷ）と前記上壁（Ｔ２）の通電を防止することが出来る。
【００２２】
（第１発明の形態５）
第１発明の形態５の電子銃軸調整装置は前記第１発明の形態４の電子銃軸調整装置において下記の構成要件（Ａ015）を備えたことを特徴とする。
（Ａ015）前記固定用ネジ部材（３６）と係合した状態において前記シールド壁（ＳＷ）より下方部分は前記シールド壁（ＳＷ）に電気的に接続された下側導電性ロッド（４１ｂ）により構成され、前記上壁（Ｔ２）より上方部分は前記上壁（Ｔ２）に電気的に接続された上側導電性ロッド（４１ｃ）により構成された前記ロッド状の固定用操作部材（３９）、
（第１発明の形態５の作用）
前記構成要件（Ａ015）を備えた第１発明の電子銃軸調整装置では、前記固定用ネジ部材（３６）と係合した状態において、前記ロッド状の固定用操作部材（３９）の前記シールド壁（ＳＷ）より下方部分に構成された下側導電性ロッド（４１ｂ）は前記シールド壁（ＳＷ）に電気的に接続し、前記上壁（Ｔ２）より上方部分に構成された上側導電性ロッド（４１ｃ）は前記上壁（Ｔ２）に電気的に接続する。
【００２３】
（第２発明）
内外を気密に遮断する鏡筒（Ｔ）内部に配置されたシールド壁（ＳＷ）の内側に配置された固定部材（１）上面に位置調整可能に支持され且つ電子銃（３）を支持する移動台（２）と、前記固定部材（１）に設けられた固定用ネジ孔（１ｉ）に螺合し前記固定部材（１）に対して前記移動台（２）を固定する固定位置と移動台（２）の移動を許容する移動許容位置との間で回転可能且つ上端部に被係合部（３６ａ）を有する固定用ネジ部材（３６）と、前記固定部材（１）に設けられた位置調整用ネジ孔（１ｈ）に螺合して回転時に前記固定部材（１）に対する前記移動台（２）の位置を調整し且つ上端部に被係合部（３４ａ）を有する位置調整用ネジ部材（３４）と、前記鏡筒（Ｔ）およびシールド壁（ＳＷ）を貫通して下端部が前記固定用ネジ部材（３６）の被係合部（３６ａ）に係合する係合部を有し係合した状態で前記固定用ネジ部材（３６）と一体的に回転するロッド状の固定用操作部材（３９）と、前記鏡筒（Ｔ）およびシールド壁（ＳＷ）を貫通して下端部が前記位置調整用ネジ部材（３４）の被係合部（３４ａ）に係合する係合部を有し係合した状態で前記位置調整用ネジ部材（３４）と一体的に回転し且つ前記鏡筒（Ｔ）とシールド壁（ＳＷ）との間の部分が絶縁性ロッド（４１ａ）により構成されたロッド状の位置調整用操作部材（４１）とを備えた電子銃軸調整装置を使用して前記電子銃（３）の軸を調整する電子銃軸調整方法において、下記の工程（Ｂ01），（Ｂ02）を備えた電子銃軸調整方法、
（Ｂ01）前記固定用ネジ部材（３６）が前記移動許容位置に回転した状態において、前記電子銃（３）から電子ビームを出射し前記電子ビームの照射位置を確認しながら前記位置調整用操作部材（４１）により位置調整用ネジ部材（３４）を回転させて電子銃（３）の軸調整を行う電子銃軸調整工程、
（Ｂ02）前記固定用操作部材（３９）を回転させて前記固定用ネジ部材（３６）を前記固定位置に回転させる移動台固定工程。
【００２４】
（第２発明の作用）
第２発明の電子銃軸調整方法では、前記電子銃（３）の軸を調整する際、電子銃軸調整工程では、前記固定用ネジ部材（３６）が前記移動許容位置に回転した状態で、前記電子銃（３）から電子ビームを出射し、前記電子ビームの照射位置を確認しながら前記位置調整用操作部材（４１）により位置調整用ネジ部材（３４）を回転させて電子銃（３）の軸調整を行う。
前記軸調整を行う際、前記固定用ネジ部材（３６）を、移動台（２）の移動を許容する移動許容位置に回転させた状態で、前記移動台に固定された電子銃（３）に通常の試料観察時よりも低い電圧を印加して、通常使用時よりも弱い電子線（照射位置を確認できる程度の弱い電子線）を出射する。そしてその弱い電子線の照射位置を確認しながら、前記位置調整用ネジ部材（３４）に係合する位置調整用操作部材（４１）を操作することにより、前記固定部材（１）上の移動台（２）の位置調節を行うことができる。
【００２５】
前記位置調整作業時の前記電子線の強度は実際の試料観察時の電子線の強度より小さい状態で行うので、前記アースされた上壁（Ｔ２）と前記電子銃（３）の高電位部分に電気的に接続された前記シールド壁（ＳＷ）との電位差は、電子線強度の大きな実際の試料観察時に比較して小さい。しかも、前記位置調整用操作部材（４１）は、前記位置調整用ネジ部材（３４）と係合した状態において前記シールド壁（ＳＷ）と前記上壁（Ｔ２）との間の部分は絶縁性ロッド（４１ａ）により構成されているので、前記絶縁ロッド（４１ａ）の前記上壁（Ｔ２）に対向する部分と前記上壁（Ｔ２）との間の電位差、および、前記絶縁ロッド（４１ａ）の前記シールド壁（ＳＷ）に対向する部分と前記シールド壁（ＳＷ）との間の電位差は、それほど大きくはない。
したがって、前記位置調整作業時に、前記絶縁ロッド（４１ａ）と前記上壁（Ｔ２）またはシールド壁（ＳＷ）との間の放電の発生は防止することができる。
【００２６】
前記電子銃（３）を支持する移動台（２）の位置調整を行う前記位置調整作業が終了した後に、前記移動台固定工程では、前記固定用操作部材（３９）を回転させて前記固定用ネジ部材（３６）を前記固定位置に回転させて、移動台（２）を固定部材（１）の移動台支持面（１ｃ）上で固定する。
前記位置調整作業が終了した後に、実際の試料観察を行う場合には、電子銃（３）に印加する高電圧が電子線の軸調整時よりも大きくなり電子線強度が大きくなる。このとき、前記シールド壁（ＳＷ）と鏡筒（Ｔ）との間の電位差は大きくなる。このときには、前記固定用操作部材（３９）および位置調整用操作部材（４１）は、上方に移動してその下端部が前記上壁（Ｔ２）下面より上方に配置される。この状態では、前記シールド壁（ＳＷ）と上壁（Ｔ２）との間は、前記位置調整用操作部材（４１）のような部材が配置されず、前記空間の距離（空間）により絶縁されるので、前記シールド壁（ＳＷ）と鏡筒（Ｔ）との間の電位差が大きくても、それらの間の放電は発生しない。
【発明の効果】
【００２７】
前述の本発明は、下記の効果（Ｅ01）〜（Ｅ03）を奏する。
（Ｅ01）電子ビームを観察しながら容易に電子銃の軸調整ができる。
（Ｅ02）鏡筒の内外を気密に遮断した状態で、電子銃の軸調整を行えるようにすることができる。
（Ｅ03）絶縁ガスＳＦ6の排出量を削減することができる。  
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
（実施例1）
次に図面を参照しながら、本発明の電子銃軸調整装置の実施例を説明する。
図１は実施例１の電子顕微鏡の電子銃軸調整装置の要部説明図であり、電子銃の軸調整を行う状態を示す図である。
図２は実施例１の電子銃軸調整装置の固定部材上で電子銃を支持する移動台の位置調整を行う部分の説明図であり、図２Ａは要部上面図、図２Ｂは前記図２ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。
図３は実施例１の電子銃軸調整装置で軸調整後に電子銃を観察加速電圧まで昇圧させて試料観察を行う状態を示す図である。
なお、図１〜図３において、前記図７において説明した構成要素に対応するものは前記図７の符号の０を除いた符合を付してその詳細な説明は省略する。
【００２９】
図１において、実施例１の電子顕微鏡の鏡筒Ｔは側壁Ｔ１および上壁Ｔ２を有しており、鏡筒Ｔの内部は真空に保持される。前記鏡筒Ｔは電気的にアースされている。また、前記側壁Ｔ１の内側には円筒状のシールド壁ＳＷが配置されている。
前記シールド壁ＳＷの内側上部には、固定部材１の上方に固定プレート３１が固定支持されている。前記固定部材１は取付台１ａと前記取付台１ａ上に固定支持されたリング状の基板１ｂとを有しており、前記基板１ｂとその上方に配置された固定プレート３１とは連結ネジ３２により連結されている。連結ネジ３２の下端部は基板１ｂに形成されたネジ孔１ｄにネジ込まれている。
【００３０】
前記固定部材１と、固定部材１の移動台支持面１ｃ上に移動可能に支持された移動台２と、前記移動台２に固定支持されている電子銃３等は、前記電子銃３のエミッタ６、第１アノード７等に高電圧が印加されると、前記シールド壁ＳＷ、前記移動台２、固定部材１、固定プレート３１も高電位になる。
前記シールド壁ＳＷ内部の前記固定部材１の下側で前記電子銃３の外周部には円筒状のパイプＰが設けられている。パイプＰの下端は内筒Ｔａの上端により支持されている。前記固定部材１の下側で且つ前記パイプＰ内および内筒Ｔａの内側は、図示しない真空ポンプによって真空状態に保持される。
そして、前記鏡筒Ｔと前記シールド壁ＳＷの間の空間には絶縁ガスＳＦ6が充填されており、前記鏡筒Ｔと前記シールド壁ＳＷとを電気的に隔絶している。なお、前記シールド壁ＳＷの内側で前記内筒Ｔａの外側の空間は、前記鏡筒Ｔと前記シールド壁ＳＷとの間の空間に連通しており、前記絶縁ガスＳＦ6が充填されている。
【００３１】
前記電子銃３のエミッタ６の下側に配置された前記第１アノード７の下方には、モノクロメータ２０、第２アノード部材２１、図示しない第３アノード、加速管等が順次配置されている。モノクロメータ２０の上端には電子線入射孔２０ａが形成されており、モノクロメータ２０は、前記電子線入射孔２０ａから入射した電子の中で、所定エネルギーを有する電子のみを選択して下方に通過させるための部材である。
この実施例１では、前記電子銃３から出射する電子線を前記モノクロメータ２０の電子線入射孔２０ａに正確に入射させるために、電子銃軸調整を行うことができる。
【００３２】
図１、図２Ａ、図２Ｂにおいて、前記固定部材１は、円周方向に９０°離れた合計４ヶ所の位置に上方に突出する位置調整部材支持部１ｅを有している。前記位置調整部材支持部１ｅは円周方向に離れて配置され且つ半径方向に延びる一対の側壁１ｆ，１ｆと、前記一対の側壁の半径方向外側部分の上端を接続する上端接続部１ｇとを有している。前記上端接続部１ｇには上下方向に延びる位置調整用ネジ孔１ｈが形成されている。
前記一対の側壁１ｆ，１ｆの間にはＬ字形状の位置調整部材３３（図１、図２Ｂ参照）が、円周方向に延びる水平な位置調整部材支持軸３３ａにより上下に揺動可能に支持されている。前記Ｌ字状の位置調整部材３３の半径方向外端部の上面にはにはネジ当接部３３ｂが形成されており、半径方向の内側端面には、ボール状の移動台当接部３３ｃが設けられている。前記移動台当接部３３ｃは移動台２の外側面に当接して、移動台２を移動させる部材である。
【００３３】
前記位置調整用ネジ孔１ｈには、位置調整用ネジ部材３４が螺合する。前記位置調整用ネジ部材３４の下端部は、前記位置調整部材３３に形成されたネジ当接部３３ｂに当接している。前記位置調整部材３３は前記位置調整用ネジ部材３４の下端部が下方に移動したときに揺動する。前記位置調整部材３３の揺動時に前記移動台当接部３３ｃは前記移動台２の外側面を押圧して前記移動台２およびそれに支持された電子銃３を移動させる。
【００３４】
前記移動台支持面（基板１ｂの上面）１ｃに支持された前記移動台２には隣り合う２つの前記位置調整部材支持部１ｅの中間点に４つの固定用ネジ部材貫通孔２ｃが形成されている。前記移動台２の外側面は、前記固定用ネジ部材貫通孔２ｃ付近では外側に突出し、また前記位置調整部材３３の前記移動台当接部３３ｃとの当接点付近では平面に形成されている（図２Ａ参照）。
前記固定用ネジ部材貫通孔２ｃを貫通する４つの固定用ネジ部材３６（図１参照）の上端部には被係合部（６角柱係合孔）３６ａが設けられ、下端部は前記固定部材１の固定用ネジ孔１ｉ（図２参照）に螺合している。
前記固定用ネジ部材貫通孔２ｃは、遊びを生じさせるために固定用ネジ部材３６の外径よりも少し大きな内径を有している。そのため、前記固定用ネジ部材３６は前記固定部材１に対して前記移動台２を固定する固定位置と前記移動台２の移動を許容する移動許容位置との間で回転可能に形成されている。
また、前記連結ネジ３２に嵌合するネジ孔１ｄは、前記固定用ネジ貫通孔２ｃの円周方向外側の固定部材１の上面に配置されている。
【００３５】
図１、図３において、前記上壁Ｔ２にはその中央部から上方に延びるターミナル支柱３７が設けられている。ターミナル支柱３７には、下側の調整位置ストッパ３７ａと、上側の観察位置ストッパ３７ｂとが固定されている。
前記上壁Ｔ２には８つのシャフトホルダ３８が設けられている。前記８つのシャフトホルダ３８を気密に貫通する４本の固定用操作部材３９および４本の位置調整用操作部材４１は、上下動可能である。
前記シールド壁ＳＷの上面には前記固定用操作部材３９および位置調整用操作部材４１が貫通する貫通孔４３が設けられている。そして、前記シールド壁ＳＷには前記貫通孔４３との近接部分に、アース用バネ４４が設けられており、前記アース用バネ４４は、前記固定用操作部材３９および位置調整操作部材４１をシールド壁ＳＷに電気的に接続している。
【００３６】
（固定用操作部材３９）
４本の固定用操作部材３９は、絶縁材製の絶縁性ロッド３９ａと、その下側および上側に連結された金属製の下側導電性ロッド３９ｂおよび上側導電性ロッド３９ｃとを有している。下側導電性ロッド３９ｂの下端部には固定用ネジ部材係合部（６角柱）３９ｄが設けられており、固定用ネジ部材係合部（６角柱）３９ｄは、前記固定用ネジ部材３６（図１参照）の上端部に形成された前記被係合部（６角柱係合孔）３６ａに着脱可能に係合するように構成されている。前記下側導電性ロッド３９ｂの中央部には抜止用大径部３９ｅが形成されている。
前記絶縁性ロッド３９ａの長さは前記シールド壁ＳＷと前記上壁Ｔ２との間の長さよりわずかに長く形成されている。また、前記被係合部３６ａと固定用ネジ部材係合部３９ｄとは係合した状態で一体的に回転可能に構成されている。前記被係合部３６ａと固定用ネジ部材係合部３９ｄとは係合した状態では、前記下側導電性ロッド３９ｂの上端部は前記アース用バネ４４を介して前記シールド壁ＳＷと接続されている。このため、シールド壁ＳＷと下側導電性ロッド３９ｂとの間で電位差が発生するのを防止し、且つ放電するのを防止している。
【００３７】
前記上側導電性ロッド３９ｃの上端部には調整用ノブ３９ｆが連結されている。調整用ノブ３９ｆには、板状のストッパ係合部材３９ｇと前記ストッパ係合部材３９ｇ下面に固着された円筒部材３９ｈが回転可能に装着されている。前記円筒部材３９ｈ内部には導電性の圧縮バネ３９ｉが装着されている。圧縮バネ３９ｉの上端は前記円筒部材３９ｈの上面に支持され、下端は調整用ノブ３９ｆに形成された段部に支持されている。前記ストッパ係合部材３９ｇは前記調整位置ストッパ３７ａ上面の溝（図示せず）に係合している状態（図１に示す状態）では回転不可能である。前記圧縮バネにより前記調整用ノブ３９ｆは、前記調整位置ストッパ３７ａと電気的に常時接続可能に構成されている。したがって、前記上側導電性ロッド３９ｃは調整用ノブ３９ｆ、圧縮バネ３９ｉ、円筒部材３９ｈ、およびストッパ係合部材３９ｇおよびターミナル支柱３７を介して上壁Ｔ２にアースされている。
【００３８】
前記調整用ノブ３９ｆの上端には６角柱嵌合孔（図示せず）が形成されており、図１の状態で、前記６角柱嵌合孔（図示せず）に６角レンチを嵌合させて回転させると、前記調整用ノブ３９ｆを有する固定用操作部材３９が回転する。このとき、固定用操作部材３９の下端の固定用ネジ部材係合部３９ｄが前記固定用ネジ部材３６（図１参照）の上端部に形成された前記被係合部（６角柱係合孔）３６ａに着脱可能に係合していると、前記固定用操作部材３９の回転に伴って、前記固定用ネジ部材３６が回転する。
前記固定用操作部材３９が上昇してストッパ係合部材３９ｇが観察位置ストッパ３７ｂの下面に当接した状態では、固定用操作部材３９下端の固定用ネジ部材係合部３９ｄは前記上壁３９ｄに設けたシャフトホルダ３８内部に収容される。前記固定用操作部材３９は、前記ストッパ係合部材３９ｇが観察位置ストッパ３７ｂの下面に当接した位置（図３に示す位置）および前記調整位置ストッパ３７ａ上面の溝（図示せず）に係合している位置（図１に示す位置）では、図示しない位置固定部材によりその位置に固定されるように構成されている。
【００３９】
（位置調整用操作部材４１）
４本の位置調整用操作部材４１は、前記４本の固定用操作部材３９と同様に構成されている。
すなわち、４本の位置調整用操作部材４１は、絶縁材製の絶縁性ロッド４１ａと、その下側および上側に連結された金属製の下側導電性ロッド４１ｂおよび上側導電性ロッド４１ｃとを有している。下側導電性ロッド４１ｂの下端部には固定用ネジ部材係合部（６角柱）４１ｄが設けられており、固定用ネジ部材係合部（６角柱）４１ｄは、前記位置調整用ネジ部材３４（図１参照）の上端部に形成された前記被係合部（６角柱係合孔）３４ａに着脱可能に係合するように構成されている。前記下側導電性ロッド４１ｂの中央部には抜止用大径部４１ｅが形成されている。
前記絶縁性ロッド４１ａの長さは前記シールド壁ＳＷと前記上壁Ｔ２との間の長さよりわずかに長く形成されている。また、前記被係合部３４ａと位置調整用ネジ部材係合部４１ｄとは係合した状態で一体的に回転可能に構成されている。前記被係合部３４ａと位置調整用ネジ部材係合部４１ｄとは係合した状態では、前記下側導電性ロッド４１ｂの上端部は前記アース用バネ４４を介して前記シールド壁ＳＷと接続されている。このため、シールド壁ＳＷと下側導電性ロッド４１ｂとの間で電位差が発生するのを防止し、且つ放電するのを防止している。
【００４０】
前記上側導電性ロッド４１ｃの上端部には調整用ノブ４１ｆが連結されている。調整用ノブ４１ｆには、板状のストッパ係合部材４１ｇと前記ストッパ係合部材４１ｇ下面に固着された円筒部材４１ｈが回転可能に装着されている。前記円筒部材４１ｈ内部には導電性の圧縮バネ４１ｉが装着されている。圧縮バネ４１ｉの上端は前記円筒部材４１ｈの上面に支持され、下端は調整用ノブ４１ｆに形成された段部に支持されている。前記ストッパ係合部材４１ｇは前記調整位置ストッパ３７ａ上面の溝（図示せず）に係合している状態（図１に示す状態）では回転不可能である。前記圧縮バネにより前記調整用ノブ４１ｆは、前記調整位置ストッパ３７ａと電気的に常時接続可能に構成されている。したがって、前記上側導電性ロッド４１ｃは調整用ノブ４１ａ、圧縮バネ４１ｉ、円筒部材４１ｈ、およびストッパ係合部材４１ｇおよびターミナル支柱３７を介して上壁Ｔ２にアースされている。
【００４１】
前記調整用ノブ４１ｆの上端には６角柱嵌合孔（図示せず）が形成されており、図１の状態で、前記６角柱嵌合孔（図示せず）に６角レンチを嵌合させて回転させると、前記調整用ノブ４１ｆを有する位置調整用操作部材４１が回転する。このとき、位置調整用操作部材４１の下端の位置調整用ネジ部材係合部４１ｄが前記位置調整用ネジ部材３４（図１参照）の上端部に形成された前記被係合部（６角柱係合孔）３４ａに着脱可能に係合していると、前記位置調整用操作部材４１の回転に伴って、前記位置調整用ネジ部材３４が回転する。
前記位置調整用操作部材４１が上昇してストッパ係合部材４１ｇが観察位置ストッパ３７ｂの下面に当接した状態では、位置調整用操作部材４１下端の位置調整用ネジ部材係合部４１ｄは前記上壁Ｔ２に設けたシャフトホルダ３８内部に収容される。
前記位置調整用操作部材４１は、前記ストッパ係合部材４１ｇが観察位置ストッパ３７ｂの下面に当接した位置（図３に示す位置）および前記調整位置ストッパ３７ａ上面の溝（図示せず）に係合している位置（図１に示す位置）では、図示しない位置固定部材によりその位置に固定されるように構成されている。
【００４２】
前記４個の固定用操作部材３９および前記４個の位置調整用操作部材４１がそれぞれ上昇して、図３に示す観察位置に移動した状態では、８個の操作部材位置センサ４２がそれぞれオンになる。前記８個の操作部材位置センサ４２が全てオンの状態において、電子銃３に、試料観察用の高電圧（例えば−１００ＫＶ）を印加できるように構成されている。前記８個の操作部材位置センサ４２の１個でもオフの場合には、調整用印加電圧（−３０ＫＶ）以下の電圧しか印加できないように構成されている。
【００４３】
（実施例１の作用）
前記構成を備えた実施例１では、４個の固定用ネジ部材３６を緩めて、固定部材１の上面の移動台支持面１ｃ上の移動台２が移動可能な状態で、電子銃３の軸調整を行う。
電子銃３の軸調整は、位置位置調整用操作部材４１の下端の位置調整用ネジ部材係合部４１ｄを位置調整用ネジ部材３４（図１参照）の被係合部（６角柱係合孔）３４ａに着脱可能に係合させた状態で、前記位置調整用操作部材４１を回転させる。前記位置調整用操作部材４１の回転に伴い、位置調整用ネジ部材３４が回転する。位置調整用ネジ部材３４が回転すると、位置調整用ネジ部材３４の下端が上下に移動する。位置調整用ネジ部材３４の上下移動に伴い、前記位置調整部材３３が位置調整部材支持軸３３ａ回りに揺動する。このとき、前記移動台２の外側面に当接する移動台当接部３３ｃにより移動台２の位置調整を行うことができる。移動台２に支持された電子銃３は移動台２と共に移動するので、移動台２の位置調整を行うことにより電子銃３の軸調整を行うことができる。
したがって、電子銃３のカソード６および第１アノード７や、第２アノード２１等に位置調整用電圧（例えば−３０ＫＶ）を印加することにより弱い電子線を出射して、前記電子線が前記モノクロメータ２０を通過してその下方を照射する電子線の照射位置を確認しながら、前記移動台２の位置を調節することにより電子線の位置調整（電子銃軸調整）を行う。
【００４４】
前記位置調整作業時の前記電子線の強度は実際の試料観察時の電子線の強度より小さい状態で行うので、前記アースされた上壁Ｔ２と前記電子銃３の高電位部分に電気的に接続された前記シールド壁ＳＷとの電位差は、電子線強度の大きな実際の試料観察時に比較して小さい。しかも、前記位置調整用操作部材４１は、前記位置調整用ネジ部材３４と係合した状態において前記シールド壁ＳＷと前記上壁Ｔ２との間の部分は絶縁性ロッド４１ａにより構成されているので、前記絶縁ロッド４１ａの前記上壁Ｔ２に対向する部分と前記上壁Ｔ２との間の電位差、および、前記絶縁ロッド４１ａの前記シールド壁ＳＷに対向する部分と前記シールド壁ＳＷとの間の電位差は、それほど大きくはない。
したがって、前記位置調整作業時に、前記絶縁ロッド４１ａと前記上壁Ｔ２またはシールド壁ＳＷとの間の放電の発生を防止することができる。
【００４５】
前記位置調整用の電子線を電子銃３から出射しながら移動台２を移動させて電子銃軸調整を行ってから、前記固定用操作部材３９により前記固定用ネジ部材３６を締め付けて、前記移動台２を前記固定部材１上面の移動台支持面１ｃに固定する。
その状態で、４本の固定用操作部材３９および４本の位置調整用操作部材４１を図３に示す観察位置に移動させる。図３の状態では、固定用操作部材３９および位置調整用操作部材４１の下端部は上壁とほぼ同じ位置まで上昇しているので、前記電子銃３のエミッタ６および第１アノード７、第２アノード部材２１等に、試料観察用の高電圧（例えば−１００ＫＶ）を印加しても、その高電圧が固定用操作部材３９および位置調整用操作部材４１に伝導されることがない。
したがって、前記固定用操作部材３９および位置調整用操作部材４１を図３に示す観察位置に移動させた状態で、電子銃３から出射する電子ビームを試料に照射して試料観察を行う。
【００４６】
前記位置調整作業が終了した後に、実際の試料観察を行う場合には、電子線強度が大きくされ、前記シールド壁ＳＷと鏡筒Ｔとの間の電位差は大きくなる。このときには、前記固定用操作部材３９および位置調整用操作部材４１は、上方に移動してその下端部が前記上壁Ｔ２下面より上方に配置される。この状態では、上壁Ｔ２下面の表面電位は乱されない。また、この状態では、前記シールド壁ＳＷと上壁Ｔ２との間は、前記位置調整用操作部材４１のような部材が配置されず、前記空間に充填された絶縁ガスＳF6により絶縁されるので、前記シールド壁ＳＷと鏡筒Ｔとの間の電位差が大きくても、それらの間での放電は発生しない。さらに、操作部材位置センサ４２によって、前記位置調整用操作部材４１が前記上壁Ｔ２下面より上方に配置された状態が検出されるまでは、実際の試料観察で使用する電子線強度が印加されないように制御されているので、前記固定用操作部材３９および位置調整用操作部材４１の絶縁ロッド４１ａが上方移動中に破損することを防止することができる。
【００４７】
また、実施例１の電子銃軸調整装置では、前記位置調整作業を行う度に絶縁ガスＳF6を大気中に排気または装置内部に充填する必要がなく、前記絶縁ガスＳF6を常に充填したまま作業を繰り返すことができる。
【００４８】
（実施例２）
図４は実施例２の電子顕微鏡の電子銃軸調整装置の要部説明図であり、電子銃の軸調整を行う状態を示す図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
この実施例２では、前記実施例１の圧縮バネ３９ｉ、４１ｉ、円筒部材３９ｈ，４１ｈが省略されており、その代わりに、上側導電性ロッド３９ｃ，４１ｃには、アース接続溝３９ｊ，４１ｊが設けられている。また、ストッパ係合部材３９ｇ，４１ｇは調整ノブ３９ｆ，４１ｆの上端に直接連結されている。
前記上側導電性ロッド３９ｃ，４１ｃのアース接続溝３９ｊ，４１ｊは、アース線４５，４５により上壁Ｔ２にアースされている。
【００４９】
したがって、前記実施例１では、固定用操作部材３９の前記上側導電性ロッド３９ｃは、調整用ノブ３９ａ、圧縮バネ３９ｉ、円筒部材３９ｈ、およびストッパ係合部材３９ｇおよびターミナル支柱３７を介して上壁Ｔ２にアースされているのに対し、本実施例２では、上側導電性ロッド３９ｃのアース接続溝３９ｊは、アース線４５を介して上壁Ｔ２にアースされている。
また、前記実施例１では、位置調整用操作部材４１の前記上側導電性ロッド４１ｃは、整用ノブ４１ａ、圧縮バネ４１ｉ、円筒部材４１ｈ、およびストッパ係合部材４１ｇおよびターミナル支柱３７を介して上壁Ｔ２にアースされているのに対し、本実施例２では、上側導電性ロッド４１ｃのアース接続溝４１ｊは、アース線４５を介して上壁Ｔ２にアースされている。
この実施例２は前記実施例１と同様に、電子銃３から電子線を出射してその電子線の照射位置を確認しながら、前記位置調整用操作部材４１を操作することにより、前記固定部材１上の移動台２の位置調節を行うことができる。
【００５０】
（実施例３）
図５は実施例３の電子顕微鏡の電子銃軸調整装置の要部説明図であり、電子銃の軸調整を行う状態を示す図である。
この実施例３は、下記の点で前記実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
なお、この実施例３の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
図５に示すこの実施例３の電子銃軸調整装置の固定部材１および電子銃３は、前記図７の従来技術で示した固定部材０１および電子銃０３と同様に構成されている。また、この実施例３の移動台２、固定用ネジ部材１６、位置調整用ネジ部材１７および位置調整部材１８等により構成される電子銃軸調整機構（２，１６，１７，１８）は、前記図７の従来技術で示した移動台０２、固定用ネジ部材０１６、位置調整用ネジ部材０１７および位置調整部材０１８等により構成される電子銃軸調整機構（０２，０１６，０１７，０１８）と同様に構成されている。
但し、前記図７の従来技術では、上壁Ｔ２およびシールド壁ＳＷの上部等を開放して大気中で電子銃軸調整を行っていたが、本実施例３では、前記実施例１の固定用操作部材３９および位置調整用操作部材４１と同様の操作部材を使用して、前記上壁Ｔ２の外側から電子銃軸調整を行う。
【００５１】
図５において、固定部材１の外周部に形成された位置調整用ネジ部材１７の上端面には被係合部１７ａが設けられている。前記被係合部１７ａは、位置調整用用操作部材４１の下端部に形成された位置調整用ネジ部材係合部４１ｄと着脱可能に係合するように形成されている。前記被係合部１７ａと位置調整用ネジ部材係合部４１ｄは係合して一体的に回転可能に形成されている。
また、移動台２の外周部に形成された固定用ネジ部材１６の上面には被係合部１６ａが設けられている。前記被係合部１６ａは、シャフトホルダ３８に支持された固定用操作部材（図示せず）の下端部に形成された固定用ネジ部材係合部（図示せず）と着脱可能に係合するように形成されている。図示しない固定用操作部材の下端部の固定用ネジ部材係合部は前記被係合部１６ａと係合した状態では一体的に回転可能に形成されている。
【００５２】
（実施例３の作用）
前記固定用操作部材（図示せず）によって固定用ネジ部材１６を緩めた状態では、前記基板１ｂ上の移動台２は、固定部材１上で移動可能である。前記位置調整用ネジ部材１７の１個を前記位置調整用操作部材４１によって回転させ、位置調整部材１８の傾斜面１８ａを前記移動台２の位置調整用傾斜面２ｂに押し付けると、移動台２の位置は基板１ｂ上面において移動し、位置調整される。
したがって、前記移動台２に固定された電子銃３から電子線を出射してその電子線の照射位置を確認しながら、前記位置調整用操作部材４１を操作することにより、前記基板１ｂ上の移動台２の位置調整を行うことができる。
位置調整が終了すると、前記固定用ネジ部材１６によって前記移動台２は前記基板１ｂ上で固定される。その後、前記固定用操作部材（図示せず）および位置調整用操作部材４１は、上方に移動してその下端部が前記上壁Ｔ２下面より上方に配置される。この状態では、前記シールド壁ＳＷと上壁Ｔ２との間は、前記位置調整用操作部材４１のような部材が配置されず、前記空間に充填された絶縁ガスＳF6により絶縁されるので、前記シールド壁ＳＷと鏡筒Ｔとの間の電位差が大きくても、それらの間での放電は発生しない。
また、本実施例３の電子銃軸調整装置は、前記位置調整作業を行う度に絶縁ガスＳF6を大気中に排気または装置内部に充填する必要がなく、前記絶縁ガスＳF6を常に充填したまま位置調整作業を繰り返し実行することができる。
【００５３】
（実施例４）
図６は本発明の実施例４の要部説明図で前記実施例１の図２に対応する図であり、図６Ａは要部上面図、図６Ｂは前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線断面図、図６Ｃは前記図６Ａ、図６Ｂに示すプランジャの斜視図である。
なお、この図６に示す実施例４の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
この図６に示す実施例４は、下記の点で前記図２に示す実施例１と相違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成されている。
前記実施例１の図２では、４個所の位置調整支持部１ｅが設けられ、前記４個所の各位置調整用支持部１ｅにはそれぞれＬ字形状の位置調整部材３３（図１、図２Ｂ参照）が設けられていたが、この実施例４の図６では、図２の４個所の位置調整部材支持部１ｅの中の２か所の位置調整部材支持部１ｅの位置調整部材３３の代わりに、プランジャ４６が配置されている。
【００５４】
図６において、円周方向に９０°離れて配置された２個所の位置調整用支持部１ｅにそれぞれＬ字形状の位置調整部材３３が設けられており、前記２個所の位置調整用支持部１ｅに対向する位置（円周方向に１８０°離れた位置）１ｅ′にはプランジャ４６が配置されている。プランジャ４６は、ケース４６ａと前記ケース４６ａの内部に収容された圧縮バネ４６ｂと、前記圧縮バネ４６ｂにより常時先端部が突出している出没ピン４６ｃとを有している。
この実施例４では、前記２個所の位置調整部材３３の位置調整部材支持軸３３ａ回りの位置を調節することにより、移動台２およびそれに支持された電子銃３の位置を調整可能である。
この実施例４のその他の構成は前記実施例１とほぼ同様である。
なお、この実施例４の構成は前記実施例２、３にも適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
（変更例）
以上、本発明の実施例を詳述したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施例を下記に例示する。
（Ｈ01）前記実施例１〜３において、モノクロメータ２０は省略することが可能である。
（Ｈ02）前記実施例１〜３において、４個の固定用操作部材３９および４個の位置調整用操作部材４１は個別に上下方向に対して移動可能になるように構成されているが、前記４個の固定用操作部材３９および４個の位置調整用操作部材４１は全てが同時に上下動するような構成にすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】図１は実施例１の電子顕微鏡の電子銃軸調整装置の要部説明図であり、電子銃の軸調整を行う状態を示す図である。
【図２】図２は実施例１の電子銃軸調整装置の固定部材上で電子銃を支持する移動台の位置調整を行う部分の説明図であり、図２Ａは要部上面図、図２Ｂは前記図２ＡのIIIＢ−IIIＢ線断面図である。
【図３】図３は実施例１の電子銃軸調整装置で軸調整後に電子銃を観察加速電圧まで昇圧させて試料観察を行う状態を示す図である。
【図４】図４は実施例２の電子顕微鏡の電子銃軸調整装置の要部説明図であり、電子銃の軸調整を行う状態を示す図である。
【図５】図５は実施例２の電子顕微鏡の電子銃軸調整装置の要部説明図であり、電子銃の軸調整を行う状態を示す図である。
【図６】図６は本発明の実施例４の要部説明図で前記実施例１の図２に対応する図であり、図６Ａは要部上面図、図６Ｂは前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線断面図、図６Ｃは前記図６Ａ、図６Ｂに示すプランジャの斜視図である。
【図７】図７は電子顕微鏡の従来の電子銃軸調整方法の説明図である。
【符号の説明】
【００５７】
ＳＷ…シールド壁、Ｔ…鏡筒、Ｔ１…側壁、Ｔ２…上壁、
１…固定部材、１ｃ…移動台支持面、１ｈ…位置調整用ネジ孔、１ｉ…固定用ネジ孔、
２…移動台、２ｃ…固定用ネジ部材貫通孔、３…電子銃、
３３…位置調整部材、３３ｂ…ネジ当接部、３３ｃ…移動台当接部、
３４…位置調整用ネジ部材、３４ａ…被係合部、
３６…固定用ネジ部材、３６ａ…被係合部、
３９…固定用操作部材、３９ｄ…固定用ネジ部材係合部、
４１…位置調整用操作部材、４１ａ…絶縁性ロッド、４１ｂ…下側導電性ロッド、４１ｃ…上側導電性ロッド、４１ｄ…位置調整用ネジ部材係合部、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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