(57)【要約】【課題】  アクチュエータに確実に接着でき、接着に使用される接着剤のオーバーフローを防止することができる磁気ヘッド装置を提供することを目的としている。【解決手段】  接着部２ａ，２ｂを、スライダ１の高さ方向全体にわたって、平面状の接着面２ａ２，２ｂ２と、マイクロアクチュエータの基部側（Ｘ１方向側）に、傾斜面幅が接着部幅ＷＳと等しく、水平面と角度θｋをなす傾斜面２ａ１，２ｂ１とを有する凹溝部とする。  このことにより、接着部幅ＷＳの分だけ接着に使用される接着剤が進入できる空間が増え、接着剤がスライダ１のＡＢＳ面１ｄにオーバーフローすることを防止できる。  また、接着剤は傾斜面２ａ１，２ｂ１によって堰き止められるため、接着剤の自由領域へのオーバーフローを確実に防止することができる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体に記録された信号を検出する再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子の少なくともどちらか一方で構成される素子が前記記録媒体との対向面に設けられたスライダと、前記スライダを移動させるアクチュエータとを有する磁気ヘッド装置において、
前記スライダの側面には、前記スライダの上面から下面にかけて形成された凹部を有し、前記凹部は前記スライダの前縁から後縁側に形成された後端面まで形成され、
前記アクチュエータは一定の長さ寸法を有する基部と、この基部から延びて前記凹部の側方に位置する変形可能なアーム部とを有しており、
前記アーム部と前記凹部とが、接合手段によって接合されており、前記接合手段の後端面が前記凹部の後端面に当接した状態で形成されていることを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項２】
記録媒体に記録された信号を検出する再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子の少なくともどちらか一方で構成される素子が前記記録媒体との対向面に設けられたスライダと、前記スライダを移動させるアクチュエータとを有する磁気ヘッド装置において、
前記スライダの側面には、前記スライダの上面から下面にかけて形成された凹部を有し、前記凹部はスライダの後縁から前縁側に形成された前端面まで形成され、
前記アクチュエータは一定の長さ寸法を有する基部と、この基部から延びて前記凹部の側方に位置する変形可能なアーム部とを有しており、
前記アーム部と前記凹部とが、接合手段によって接合されており、前記接合手段の後端面が前記凹部の前端面を覆うように形成されていることを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項３】
前記凹部の前記前端面または前記後端面が水平面に対して角度θｋを有する傾斜面で形成され、前記凹部の前記記録媒体との対向面側に位置する縁部が、前記記録媒体との対向面側と反対側に位置する縁部の長さ寸法よりも短い請求項１または２記載の磁気ヘッド装置。
【請求項４】
前記アーム部には、変形可能な自由領域と前記接合手段を介して前記スライダと接合されている固定領域が形成されており、前記固定領域に前記接合手段が形成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の磁気ヘッド装置。
【請求項５】
前記アーム部の側面には、圧電素子を有する圧電構造体が形成されており、前記圧電構造体の変形によって前記アーム部が変形する請求項１ないし４のいずれかに記載の磁気ヘッド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気ヘッド装置に係り、特に、アクチュエータに確実に接着でき、接着に使用される接着剤のオーバーフローを防止することができる磁気ヘッド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録媒体の記録密度向上に伴って、記録媒体の記録トラックに記録された情報信号を再生する再生素子や、記録トラックに情報信号を書き込むための記録素子のトラッキングサーボを精密に行うために、種々の方法が用いられている。その方法の１つとして、以下に示す特許文献１には、マイクロアクチュエータを備えた磁気ヘッド装置が開示されている。
【０００３】
特許文献１に示す磁気ヘッド装置では、スライダに設けられた再生記録素子のトラッキングサーボを精密に行うため、圧電構造体によって変形可能なアームを有するマイクロアクチュエータに前記スライダを取り付けて保持する。そして、このマイクロアクチュエータの前記アームの変形にもとづいてスライダを移動させることによって、前記再生記録素子の精密なトラッキングを可能としている。
【０００４】
特許文献１の図７（Ａ）ないし図８（Ｂ）には、アクチュエータに取り付けるために、前記スライダを切欠いて所定形状の凹部（凹領域やステップ）を形成し、この凹部と前記アクチュエータのアーム部（圧電ＰＺＴビーム３０８）との間に接着剤を介装させることを内容とする技術思想が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−２０３３１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、前記特許文献１の図７（Ａ）に記載されたスライダでは、凹領域（特許文献１の図７（Ａ）に示す符号７０２を参照）が、スライダの前縁から所定距離だけ離れた位置に形成されているため、凹領域が小さく、マイクロアクチュエータとの間の接着の際に生じる空間が小さい。このため、凹領域に進入する接着剤の量が少なく、接着力が弱い。その結果、磁気記録媒体駆動装置を使用中にスライダがマイクロアクチュエータから外れ、スライダが破損し易くなる。
【０００６】
また、特許文献１の図８（Ｂ）に記載されたスライダでも、凹領域（同図の符号８１０を参照）がスライダの高さ全体にわたって形成されたものではないため、マイクロアクチュエータとの間の、接着の際に生じる空間が小さい。このため、凹領域に進入する接着剤の量が少なく、接着力が弱い。その結果、磁気記録媒体駆動装置を使用中にスライダがマイクロアクチュエータから外れ、スライダが破損し易くなる。また、特許文献１の図８（Ｂ）に記載されたスライダは、凹領域がスライダの高さ全体にわたって形成されたものではないため、接着剤を介装する際に、接着剤が凹領域を越えてオーバーフローし易く、スライダの後縁側に進入し易い。このように接着剤が凹領域を超えてスライダの後縁側に進入すると、前記アーム部が接着剤によってスライダに固定される領域（固定領域）が長くなる。アーム部の固定領域では、アーム部がスライダに固定されているためにアーム部が変形し難い。したがって、アーム部の固定領域が長くなるとアーム部の変形可能領域が短くなるため、アーム部に固定されたスライダの移動距離を確保することができなくなり、磁気ヘッドの精密な位置調整を行い難くなる。また、接着剤の進入位置が各磁気ヘッド装置によってバラつき易く、アームの変形可能領域も各磁気ヘッドによってバラつき易いため、スライダの移動距離もバラつき易い。
【０００７】
前記特許文献１の図７（Ｂ）および図８（Ａ）に記載されたスライダも、マイクロアクチュエータのアーム部が固定される凹部として機能するステップ（図示符号７１０等を参照）が、スライダの前縁から後縁まで連続して形成されているため、接着剤を介装する際に、接着剤がスライダの後縁側に向かってオーバーフローし易く、アーム部の固定領域が長くなり易く、磁気ヘッドの精密な位置調整を行い難くなる。また、接着剤の進入位置が各磁気ヘッド装置によってバラつき易いため、スライダの移動距離もバラつき易い。
【０００８】
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、アクチュエータに確実に接着でき、接着に使用される接着剤のオーバーフローを防止することができる磁気ヘッド装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の磁気ヘッド装置は、記録媒体に記録された信号を検出する再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子の少なくともどちらか一方で構成される素子が前記記録媒体との対向面に設けられたスライダと、前記スライダを移動させるアクチュエータとを有する磁気ヘッド装置において、
前記スライダの側面には、前記スライダの上面から下面にかけて形成された凹部を有し、前記凹部は前記スライダの前縁から後縁側に形成された後端面まで形成され、
前記アクチュエータは一定の長さ寸法を有する基部と、この基部から延びて前記凹部の側方に位置する変形可能なアーム部とを有しており、
前記アーム部と前記凹部とが、接合手段によって接合されており、前記接合手段の後端面が前記凹部の後端面に当接した状態で形成されていることを特徴とする。
【００１０】
本発明では、凹部が、スライダの厚さ方向全体にわたって、スライダの前縁から後端面まで連続して形成されている。このため、接合手段を確実にアーム部と凹部との間に充填させることができ、充填される接合手段の量も増え、接合を確実なものとすることが可能である。また、接合手段がスライダのＡＢＳ面にオーバーフローすることをも防止できる。さらに、接合手段が凹部の後端面で確実に止められ、接合手段の自由領域へのオーバーフローを確実に防止することができる。
【００１１】
または、記録媒体に記録された信号を検出する再生素子及び前記記録媒体に磁気信号を記録する記録素子の少なくともどちらか一方で構成される素子が前記記録媒体との対向面に設けられたスライダと、前記スライダを移動させるアクチュエータとを有する磁気ヘッド装置において、
前記スライダの側面には、前記スライダの上面から下面にかけて形成された凹部を有し、前記凹部はスライダの後縁から前縁側に形成された前端面まで形成され、
前記アクチュエータは一定の長さ寸法を有する基部と、この基部から延びて前記凹部の側方に位置する変形可能なアーム部とを有しており、
前記アーム部と前記凹部とが、接合手段によって接合されており、前記接合手段の後端面が前記凹部の前端面を覆うように形成されていることを特徴とする。
【００１２】
このため、接合手段が凹部の前端面を覆う状態で確実に止められ、接合手段の自由領域へのオーバーフローを確実に防止することができる。
【００１３】
また、本発明では、前記凹部の前記前端面または前記後端面が水平面に対して角度θｋを有する傾斜面で形成され、前記凹部の前記記録媒体との対向面側に位置する縁部が、前記記録媒体との対向面側と反対側に位置する縁部の長さ寸法よりも短いことが好ましい。
【００１４】
このようにすると、接合手段がオーバーフローした場合にはＡＢＳ面と反対側の面に流れ易く、ＡＢＳ面には流れ難くなる。このため、スライダの浮上姿勢に悪影響を与えることや、記録媒体の損傷を効果的に抑制できる。
【００１５】
本発明では、前記アーム部には、変形可能な自由領域と前記接合手段を介して前記スライダと接合されている固定領域が形成されており、前記固定領域に前記接合手段が形成されている。
【００１６】
このため、自由領域が確実に確保され、スライダの所望の移動距離を確実に確保することができる。
【００１７】
また本発明では、前記アーム部の側面には、圧電素子を有する圧電構造体が形成されており、前記圧電構造体の変形によって前記アーム部が変形する。
【００１８】
このため、アームの変形とともにスライダを移動させることができ、このスライダの移動により、スライダに設けられた再生素子または／および記録素子が、記録媒体の記録トラックを高精度に走査することができるようになる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の磁気ヘッド装置では、アクチュエータに確実に接着でき、接着に使用される接着剤のオーバーフローを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッド装置を記録媒体対向面側から見た平面図である。
【００２１】
図１に示す磁気ヘッド装置１００は、サスペンション１０１の記録媒体対向面側の下面１０１ａの先端に、記録媒体に記録された磁気信号を磁気抵抗効果などにより検出する再生素子及び記録媒体に磁気信号を記録する記録素子で構成される素子１２０が設けられたスライダ１が設けられて構成されている。なお、素子１２０は、再生素子または記録素子のどちらか一方のみで構成されていてもよい。
【００２２】
素子１２０はスライダ１の下面１ｄに形成されており、下面１ｄが記録媒体との対向面（ＡＢＳ面）側となっている。
【００２３】
サスペンション１０１はステンレスなどの、導電性の、薄い金属材料などからなる板ばね材によって形成されている。
【００２４】
スライダ１は、セラミック材料からなる略コの字形状のマイクロアクチュエータ３に接着などの手段によって接合されている。
【００２５】
図２に示すように、磁気ヘッド装置１００では、スライダ１のトレーリング側端面に設けられた素子１２０がハードディスクＤなどの記録媒体の情報記録面に対向し、ハードディスクＤが回転したときのハードディスクＤの表面の空気流によって、スライダ１が浮上姿勢となる。
【００２６】
サスペンション１０１は、揺動アーム１１４の先部に固定されている。揺動アーム１１４の基部支持部１１５は、支持軸１１６に回動自在に支持されており、図示しない駆動手段によって、揺動アーム１１４が揺動させられる。
【００２７】
素子１２０の記録素子において磁極どうしが対向している方向を動作基準線Ｍとしたときに、動作基準線Ｍが実際の記録トラックの接線方向に向いたときの揺動アーム１１４の基準姿勢（ｉ）を実線で示している。揺動アーム１１４が基準姿勢（ｉ）から時計方向へ角度αまたは反時計方向へ角度βだけ回動することによって、素子１２０がハードディスクＤの記録トラック上を走査し、記録の再生や書き込みが行なわれる。
【００２８】
図３は本発明の第１の実施の形態としてのスライダを示す斜視図、図４は図３に示すスライダの平面図である。
【００２９】
図３に示すように、スライダ１の左右（Ｙ１−Ｙ２方向）両側方には、スライダ１の前縁１ｂから長手方向（Ｘ１−Ｘ２方向）側に位置する後縁１ｃに向かって所定距離Ｌ２、およびＬ４だけ延びる接着部２ａ，２ｂが設けられている。この接着部２ａ，２ｂが、本発明の凹部となる。
【００３０】
Ｙ２側に設けられた接着部２ｂは、スライダ１の上面１ａから下面１ｄにかけて、すなわち厚さ方向（Ｚ１−Ｚ２方向）全体にわたって、Ｙ１方向に接着部幅ＷＳだけ削り取られ、マイクロアクチュエータ３の基部３２側（Ｘ１方向側）に、接着部幅ＷＳと等しく、水平面とのなす角度θｋが鋭角である傾斜面２ｂ１と平面状の接着面２ｂ２を有する凹溝部となっている。Ｙ１側に設けられた接着部２ａの構造も接着部２ｂの構造と同じ構造であり、水平面とのなす角度θｋが鋭角である傾斜面２ａ１と平面状の接着面２ａ２を有する凹溝部となっている。この傾斜面２ａ１と２ｂ１とが、凹部である接着部２ａ，２ｂの後端面となる。
【００３１】
ここで、角度θｋは４５〜９０°の範囲内であることが好ましい。角度θｋを４５〜９０°の範囲内として構成すると、接着剤４がＡＢＳ面側にオーバーフローし難い。したがって、スライダ１の浮上姿勢に悪影響を与えることや、記録媒体の損傷を効果的に抑制できる。
【００３２】
アクチュエータ３は基部３２の両側端から延びる２つのアーム３１ａ，３１ｂを有している。アーム３１ａ，３１ｂの先端領域には、内側に向かって突出する凸部３１ａ１，３１ｂ１が形成されている。
【００３３】
図５は、スライダ１がマイクロアクチュエータ３に接合された状態を示した図である。図５に示すように、スライダ１は、アクチュエータ３のアーム３１ａ，３１ｂの間に位置した状態で、接着部２ａ，２ｂが凸部３１ａ１，３１ｂ１に対向した状態で、本発明の接合手段である接着剤４によってマイクロアクチュエータ３に接合されている。接着剤４としては、例えばエポキシ樹脂系の接着剤が用いられる。なお、この接着剤４は、アーム３１ａ，３１ｂと接着部２ａ，２ｂとの間に形成される空間５ａ，５ｂに毛細管現象によって充填される。
【００３４】
アクチュエータ３の基部３２およびアーム３１ａ，３１ｂの側面には、圧電材料として知られているＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）からなる、ＰＺＴ構造体１３０ａ，１３０ｂが接合されている。ＰＺＴ構造体１３０ａ，１３０ｂは異方性構造を有しており、これにより正負イオン間の電荷分離が電気的双極動作を行う。分極された圧電体間に逆位相の電位が同時に印加されると、ＰＺＴ構造体１３０ａ，１３０ｂの一部分が膨張するとともに、他の部分が収縮し、この膨張と収縮によって、ＰＺＴ構造体１３０ａに接合されたアーム３１ａがα１方向に変形し、ＰＺＴ構造体１３０ｂに接合されたアーム３１ｂはβ１方向に、アーム３１ａの変形量と等しい変形量だけ変形するように構成されている。逆に、アーム３１ａがα２方向に変形する場合には、アーム３１ｂはβ２方向に、アーム３１ａの変形量と等しい変形量だけ変形するように構成されている。
【００３５】
図５に示すように、マイクロアクチュエータ３のアーム３１ａ，３１ｂにはスライダ１が接合されて凸部３１ａ１，３１ｂ１は固定端として構成されているため、アーム３１ａ，３１ｂがα２方向，β２方向に変形すると、アーム３１ａ，３１ｂ間に接合されたスライダ１は、幅方向（Ｙ１−Ｙ２方向）とほぼ平行方向に移動される。
【００３６】
本発明の磁気ヘッド装置１００では、マイクロアクチュエータ３によってスライダ１を幅方向へほぼ平行移動させることにより、素子１２０を記録媒体Ｄの記録トラックを走査させる際のトラッキングサーボを、非常に高精度で行うことが可能となる。
【００３７】
この平行移動の移動距離は図５に示す自由領域１Ｆの自由領域寸法ＦＬに比例する。ここで、自由領域１Ｆとは、アーム３１ａ，３１ｂの長手方向において、接着剤４によってスライダ１と接合されている領域（固定領域１Ｓ）を除いた自由領域１Ｆの、長さ寸法（Ｘ１−Ｘ２方向の長さ寸法）をいう。本発明の第１の実施の形態では、アーム３１ａ，３１ｂの全面に接着剤４が塗布されることによってスライダ１が接合されているため、自由領域寸法ＦＬは、アーム３１ａ，３１ｂの凸部３１ａ１，３１ｂ１以外の領域の長さ寸法となる。
【００３８】
スライダ１の精密な位置調整の確保のためには、自由領域寸法ＦＬを長く確保することが必要である。これは、自由領域寸法ＦＬが長いほうが、スライダ１の移動量を大きくできるため、位置調整の自由度を大きくできるからである。
【００３９】
図３に示すように、本発明の第１の実施の形態では、接着部２ａ，２ｂの側面形状が台形形状であり、接着部２ａ，２ｂの上縁２ａ３、２ｂ３の長さ寸法Ｌ２は、下縁２ａ４，２ｂ４の長さ寸法Ｌ４よりも長く形成されている。
【００４０】
接着部２ａ，２ｂの長さ寸法Ｌ２は、スライダ１の全長Lから接着部２ａ，２ｂ以外の領域の寸法Ｌ３を除いた寸法となる。また、接着部２ａ，２ｂの長さ寸法Ｌ２およびＬ４が短くなりすぎると、接着部２ａ，２ｂに充填される接着剤４の量が少なくなるため、スライダ１のアーム３１ａ，３１ｂへの接着力が弱くなり、アーム３１ａ，３１ｂの移動の際に、スライダ１がアーム３１ａ，３１ｂから外れ、損壊してしまう。このため、長さ寸法Ｌ２およびＬ４は、アーム３１ａ，３１ｂの移動の際に、スライダ１がアーム３１ａ，３１ｂから外れることがないように、十分な接着力を有する程度の長さとなっている。
【００４１】
図５に示すように、接着剤４は、アーム３１ａ，３１ｂと接着部２ａ，２ｂとの間の空間５ａ，５ｂに充填される（図示ハッチングで示す）。空間５ａ，５ｂの幅寸法Ｗ２は１０〜５０μｍの範囲内、好ましくは２０μｍである。幅寸法Ｗ２をこの範囲内とすると、スライダ１とアーム３１ａ，３１ｂとの接合を確実にできるとともに、接着剤４を毛細管現象を利用して適切に充填させることが可能となる。本発明の第１の実施の形態におけるスライダ１では、接着部２ａ，２ｂが、スライダ１の前縁１ｂから後端面である傾斜面２ａ１，２ｂ１まで、スライダ１の後縁１ｃに向かって連続して形成されている。また、スライダ１の厚さ方向（Ｚ１方向）全体にわたって、接着部幅ＷＳを有する接着部２ａ，２ｂが設けられるため、空間５ａ，５ｂの幅はＷ２となり、接着部２ａ，２ｂが設けられていない状態の空間５ａ，５ｂの幅W１と比べて接着部幅ＷＳの分だけ空間５ａ，５ｂの幅が広がり、空間５ａ，５ｂ自体が大きくなる。そのため、空間５ａ，５ｂに充填される接着剤４の量が増え、接合を確実なものとすることが可能である。また、接着剤４がスライダ１の下面１ｄにオーバーフローすることをも防止できる。その結果、接着剤４の下面１ｄへのオーバーフローによってスライダ１の浮上量が高くなり過ぎて磁気ヘッドが所望の記録トラックから外れたり、浮上量が低くなり過ぎて磁気記録媒体の表面が損傷することを防止できる。
【００４２】
また、接着部２ａ，２ｂがスライダ１の厚さ方向（Ｚ１方向）全体にわたって、かつスライダ１の前縁１ｂから後端面である傾斜面２ａ１，２ｂ１まで、スライダ１の後縁１ｃに向かって連続して形成されているため、接着剤４を毛細管現象によって、確実に空間５ａ，５ｂに充填させることが可能となる。
【００４３】
また、傾斜面２ａ１，２ｂ１は水平面とのなす角度θｋを有しており、ＡＢＳ面と反対側の面に位置する接着部２ａ，２ｂの上縁２ａ３，２ｂ３のほうが、下縁２ａ４，２ｂ４よりも長く形成されているため、接着剤４がオーバーフローした場合にはＡＢＳ面と反対側の面に流れ易く、ＡＢＳ面には流れ難い。したがって、スライダ１の浮上姿勢に悪影響を与えることや、記録媒体の損傷を効果的に抑制できる。
【００４４】
また、スライダ１をマイクロアクチュエータ３に接着する際には、図６に示すように、接着剤４は、まず接着部２ａ，２ｂのＸ２方向側の先端部側のみに塗布される。その後、スライダ１をＸ１方向に移動させ、図７に示すように接着剤４がアーム３１ａ，３１ｂに接触すると、接着剤４は徐々にＸ１方向に進入する。ここで、接着部２ａ，２ｂは、スライダ１の厚さ方向全体にわたって、マイクロアクチュエータ３の基部３２側に、傾斜面幅が接着部幅ＷＳと等しい傾斜面２ａ１，２ｂ１を有している。傾斜面２ａ１，２ｂ１の側縁を接着剤４が越えて、アーム３１ａ，３１ｂの自由領域１Ｆに流れるには、大きなエネルギーが必要である。このため、接着剤４の後端面４ａ，４ｂは傾斜面２ａ１，２ｂ１によって堰き止められ、図５に示すように、後端面４ａ，４ｂが傾斜面２ａ１，２ｂ１に当接して、傾斜面２ａ１，２ｂ１を覆う状態で止まる。すなわち、図５に示すように、接着剤４の後端面４ａ，４ｂの長さ方向（Ｘ１−Ｘ２方向）における位置は、傾斜面２ａ１，２ｂ１の長さ方向（Ｘ１−Ｘ２方向）における位置と同じ位置として形成される。このように、接着剤４が、空間５ａ，５ｂ内に形成された傾斜面２ａ１，２ｂ１で確実に止められ、接着剤４の自由領域１Ｆへのオーバーフローを確実に防止することができる。したがって、固定領域１Ｓの長さ寸法ＳＬをバラつきを少なく所定寸法に揃え易くでき、その結果、自由領域寸法ＦＬのバラつきが少なく、また自由領域寸法ＦＬが確実に確保された磁気ヘッド装置１００とすることができ、スライダ１の所望の移動距離を確保することができる。
【００４５】
本発明では、傾斜面２ａ１，２ｂ１と水平面とのなす角度θｋが鋭角であることには限定されず、鈍角であってもよい。
【００４６】
なお、図３に示す第１の実施の形態のスライダ１では、接着部２ａ，２ｂの後端面が傾斜面２ａ１，２ｂ１として構成されているが、図８に示すように、接着部２ａ，２ｂの後端面が、スライダ１の厚さ方向（Ｚ方向）に垂直面１２ａ１、１２ｂ１として構成してもよい。
【００４７】
図９は本発明の第２の実施の形態としてのスライダを示す平面図、図１０は本発明の第３の実施の形態としてのスライダを示す平面図である。
【００４８】
図９に示す本発明の第２の実施の形態としてのスライダ２０１は、基本的な構造は、図３および図４に示す本発明の第１の実施の形態としてのスライダ１と同様である。しかし、本発明の第１の実施の形態としてのスライダ１と異なり、傾斜面２ａ１，２ｂ１は、傾斜面２ａ１，２ｂ１と接着面２ａ２，２ｂ２との傾斜面角度θａ，θｂが鋭角となるように設けられている。このため、接着剤４の自由領域１Ｆへのオーバーフローをより確実に防止することができる。
【００４９】
図１０に示す本発明の第３の実施の形態としてのスライダ３０１は、基本的な構造は、図３および図４に示す本発明の第１の実施の形態としてのスライダ１と同様である。しかし、本発明の第１の実施の形態としてのスライダ１と異なり、接着部２ａ，２ｂは、スライダの後縁１ｃから前縁１ｂに向かって延びるように形成されており、前端面２０３ａ，２０３ｂを有している。この接着部２ａ，２ｂは、凸幅がW３であり、凸部寸法がＴＬである凸部２０２ａ，２０２ｂを有しており、スライダ３０１は、凸部２０２ａ，２０２ｂ以外の部分の幅W４はスライダ１の全幅W０よりも両側方の凸部２０２ａ，２０２ｂの双方の凸幅の合計であるW３の２倍の幅分だけ狭いものである。
【００５０】
なお図１０に示すように、凸部寸法ＴＬは、例えば２００〜４００μｍの範囲内で形成される。
【００５１】
ここで、スライダ３０１をマイクロアクチュエータ３に接着する際には、図６に示すように、接着剤４は、まず凸部２０２ａ，２０２ｂのＸ２方向側の先端部側のみに塗布される。その後、図１１に示すように接着剤４がアーム３１ａ，３１ｂに接触すると、図１２に示すように、接着剤４は徐々にＸ１方向に進入する。
【００５２】
このとき、スライダ３０１は、凸部２０２ａ，２０２ｂ以外の部分の幅W４はスライダ１の全幅W０よりも両側方の凸部２０２ａ，２０２ｂの双方の凸幅の合計であるW３の２倍の幅分だけ狭いものである。このため、Ｘ１方向に進入した接着剤４は凸部２０２ａ，２０２ｂの前端面２０３ａ，２０３ｂにおいて、凸幅W３の分だけ広げられ、接着剤４の表面張力が低下する。その結果、図１３に示すように、接着剤４のＸ１方向への進入が前端面２０３ａ，２０３ｂを覆う状態で確実に止められ、接着剤４の自由領域１Ｆへのオーバーフローをより確実に防止することができる。したがって、図１３に示すアーム３１ａ，３１ｂの固定領域１Ｓの長さ寸法ＳＬをバラつきを少なく所定寸法に揃え易くでき、接着剤４の自由領域１Ｆへのオーバーフローを確実に防止することができる。その結果、自由領域寸法ＦＬのバラつきが少なく、また確実に確保された磁気ヘッド装置１００とすることができ、スライダ１の所望の移動距離を確保することができる。
【００５３】
上記のような本発明では、スライダに設けられる凹部のうち、凹部の後端面および前端面が設けられる部分が丸みを帯びておらず、角部となっていることが好ましい。角部となっていると、自由領域１Ｆに流れるには、大きなエネルギーが必要となる。このため、接着剤４の自由領域１Ｆへのオーバーフローをより確実に防止することができる。
【００５４】
次に、本発明のスライダ１を製造する方法について説明する。
図１４は本発明の第１の実施の形態のスライダの製造工程を示す斜視図である。
【００５５】
まず、スライダ材料によるスライダバー６の状態で、ダイシングブレード等によりスライダバー６を、前縁１ｂからＸ１方向に削り、所定の角度θｋおよび傾斜面幅の傾斜面２ａ１，２ｂ１を有する、所定の接着部幅ＷＳおよび寸法Ｌ２の接着部２ａ，２ｂを、連続切削により複数形成する。次いで、切削ホイール等により、切断線６１，６１・・・に沿って、スライダバー６が切断され、個々のスライダ１が形成される。
【００５６】
このように、個々のスライダ１は、スライダバー６の状態で接着部２ａ，２ｂが形成されるため、接着部２ａ，２ｂを形成する前にスライダバー６を切断して、切断されたスライダブロック１つ１つに接着部２ａ，２ｂを形成する方法と比べて製造効率がよく、短時間で大量にスライダ１を製造することができる。
【００５７】
図１４においては、角度θｋが鋭角のもののみを示しているが、鈍角の場合も同様の工程によって、個々のスライダ１が形成される。
【００５８】
また、本発明の第１の実施の形態の変形例である、図８に示されるスライダ１および本発明の第２の実施の形態としての、図９に示されるスライダ２０１も上記と同様に、スライダバー６の状態で、スライダバー６を、前縁１ｂからＸ１方向に削り、接着部２ａ，２ｂが形成され、その後にスライダバー６が切断され、個々のスライダ１および２０１が形成される。
【００５９】
本発明の第３の実施の形態としての、図１０に示されるスライダ３０１の場合には、スライダバー６の状態で、スライダバー６を、後縁１ｃからＸ２方向に削り、凸部２０２ａ，２０２ｂが形成され、その後にスライダバー６が切断され、個々のスライダ３０１が形成される。
【００６０】
本発明では、上記のように、ダイシングブレード等により接着部２ａ，２ｂおよび凸部２０２ａ，２０２ｂが形成される。ダイシングブレードは、切削部が設けられた円盤が回転して、切削部が円盤とともに回転することによって物体を削るものである。このため、スライダ１の傾斜面２ａ１，２ｂ１または垂直面１２ａ１、１２ｂ１，スライダ２０１の傾斜面２ａ１，２ｂ１の形状が、スライダ１または２０１の後縁１ｃ方向に向かうにしたがって凸形状となる、略円弧状の曲面となっていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第１の実施の形態の磁気ヘッド装置を記録媒体対向面側から見た平面図、
【図２】本発明の磁気ヘッド装置を記録媒体対向面側とは反対側から見た、磁気ヘッド装置の記録媒体上での動きを説明する平面図、
【図３】本発明の第１の実施の形態としてのスライダを示す斜視図、
【図４】図３に示すスライダの平面図、
【図５】本発明の第１の実施の形態としてのスライダがマイクロアクチュエータに接合された状態を示した図、
【図６】本発明の第１の実施の形態としてのスライダをマイクロアクチュエータに接着するときの動作を示した図、
【図７】本発明の第１の実施の形態としてのスライダをマイクロアクチュエータに接着するときの動作を示した図、
【図８】本発明の第１の実施の形態の変形例としてのスライダを示す斜視図、
【図９】本発明の第２の実施の形態としてのスライダを示す平面図、
【図１０】本発明の第３の実施の形態としてのスライダを示す平面図、
【図１１】本発明の第３の実施の形態としてのスライダをマイクロアクチュエータに接着するときの動作を示した図、
【図１２】本発明の第３の実施の形態としてのスライダをマイクロアクチュエータに接着するときの動作を示した図、
【図１３】本発明の第３の実施の形態としてのスライダがマイクロアクチュエータに接合された状態を示した図、
【図１４】本発明の第１の実施の形態のスライダの製造工程を示す斜視図、
【符号の説明】
【００６２】
１，２０１，３０１  スライダ
１２０  素子
１Ｆ  自由領域
２ａ，２ｂ  接着部
２ａ１，２ｂ１  傾斜面
２０２ａ，２０２ｂ  凸部
３  マイクロアクチュエータ
３１ａ，３１ｂ  アーム
３２  基部
４  接着剤
６  スライダバー
ＦＬ  自由領域寸法
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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