(57)【要約】  【課題】  温度変動によるフレキシブルフラットケーブル４０のバンプ電極１０３の間隔が伸縮し、これに接合されている圧電アクチュエータのトップシート３５の表面電極９３及び外部電極９５との接合強度が弱い部分で剥がれるのを防止する。  【解決手段】  トップシート３５の表面に形成された個別電極用接合端子９１における薄い厚さの表面電極９３の広幅部９３ａの周縁よりも内周側に厚い外部電極９５をその周縁が配置されるようする。フレキシブルフラットケーブル４０のバンプ電極１０３を外部電極９５の上面に対面させた状態で加熱押圧すると、その半田合金が溶融して外部電極９５の表面及び広幅部９３ａの周縁よりも内周側の表面を覆う。固化した半田合金（バンプ電極１０３）の隅肉部１０３ａの厚さが大きく、且つ隅肉部１０３ａの断面の半径を大きくできるように、広幅部９３ａの周縁から外部電極９５の周縁までの寸法Ｗ５を可及的に大きく設定する。  【選択図】  図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被記録媒体にインクを吐出するための複数のチャンネルのそれぞれに駆動電圧を印加するため、アクチュエータの表面に島状に配置された複数の接合端子を有するインクジェット記録ヘッドと、このインクジェット記録ヘッドを制御するための制御信号を発信する回路素子とを接続するためのインクジェット記録ヘッドの接合構造であって、
前記配線基板におけるバンプ電極と重ね接合させる前記接合端子は、厚さの薄い表面電極と、該表面電極の表面上に設けられた厚さの厚い外部電極とからなり、
表面電極の少なくとも一部に広幅部を形成し、該広幅部の周縁よりも内周側に外部電極の周縁が位置するように配置したことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項２】
前記インクジェット記録ヘッドは、第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数個のノズル列と、前記各ノズルに対応する圧力室の複数の列と、前記各圧力室内のインクに選択的に吐出エネルギーを与える複数個のエネルギー発生手段を有するアクチュエータとを備え、
前記配線基板は、可撓性を有するフレキシブルフラットケーブルであり、
前記アクチュエータの表面に形成される表面電極は、前記各エネルギー発生手段に個別に接続され、前記各ノズル列毎に対応して島状に配列された複数個の個別表面電極と、前記各エネルギー発生手段に共通に接続されたコモン表面電極とからなることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項３】
前記各外部電極は前記第１の方向の幅寸法が、第１の方向と直交する第２方向の寸法より短く形成されていることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項４】
前記複数の個別表面電極は、前記第１の方向に並んで配列され、
前記広幅部は、前記個別表面電極の前記第２の方向における両端のいずれか一方に形成されるとともに、複数の個別表面電極の並び順に応じて、前記両端のいずれか一方に交互に形成されていることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項５】
前記フレキシブルフラットケーブルは、前記ノズル列とほぼ直交する方向に延び、
前記各ノズルが前記第２の方向に沿って延び、
前記個別表面電極は、前記各ノズルの配置間隔の間に相当する部位にて、前記第２の方向に沿って延び、
前記各外部電極は前記各個別表面電極の一部に形成されていることを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【請求項６】
前記フレキシブルフラットケーブルの延びる方向の中途部には、前記エネルギー発生手段の駆動用の回路素子としての集積回路が搭載され、前記各バンプ電極はフレキシブルフラットケーブルに形成された配線を介して前記集積回路に接続されていることを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッドの接合構造に係り、より詳しくは、給電する配線基板に対するインクジェット記録ヘッドにおけるアクチュエータの表面に形成される接合端子の構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先行技術のオンディマンド型のインクジェット記録ヘッドにおいては、特許文献１等に開示されているように、複数枚のプレートを積層したキャビティユニットに、２列に配置した複数の圧力室が設けられ、各圧力室に対応する活性部（エネルギー発生手段）を有する圧電アクチュエータがキャビティユニットと接合されている。そして、圧電アクチュエータの各活性部に電圧印加するために、該圧電アクチュエータの上面（表面）にその長手方向の両側縁に沿って上記各活性部と対応した接合端子としての表面電極が設けられ、外部からの制御信号を伝達するためのフレキシブルフラットケーブルにおける接合電極部と圧電アクチュエータの表面電極（接合端子）とが重ねられて接合される。
【０００３】
その場合、特許文献２に示すように、フレキシブルフラットケーブルを、片面に配線を有する複数の基板層の積層体にて構成し、その複数の基板層の少なくとも１つに開口部を有して、その後側に配置された基板層の配線を前記開口部を介して露出させてバンプ電極（接合電極部）を形成し、これを圧電アクチュエータの表面電極に接合することが考えられた。
【０００４】
このバンプ電極は、加熱により軟化・溶融状態となる半田合金からなることが一般的であった。
【０００５】
他方、圧電アクチュエータは、一般的に表面に個別電極のパターンを形成した圧電材料からなるセラミックス材のグリーンシートと表面にコモン電極のパターンを形成した同じくグリーンシートと、表面に表面電極が形成された同じくトッププレートとを重ねて後焼成したものであり、個別電極やコモン電極及びこれらに導通する表面電極は銀−パラジュウム系の導電性ペーストをグリーンシートにスクリーン印刷形成したものである。
【特許文献１】特開２００３−１５９７９５号公報
【特許文献２】特開平１１−１４７３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、この種の個別電極やコモン電極用の表面電極は、半田合金との濡れ性が良好であるものの、層厚さが薄いことから、表面電極と圧電アクチュエータのシート表面との接合強度が弱いので、次のような欠点があった。
【０００７】
即ち、フレキシブルフラットケーブルは一般的に可撓性を有する合成樹脂製の基板を有するので、温度膨張・収縮性が大きいため、温度変化（変動）の大きい環境下で繰り返し使用すると、フレキシブルフラットケーブル側のバンプ電極の間隔が伸縮し、これに接合されている表面電極と圧電アクチュエータのシート表面との接合強度が弱い部分で剥がれてしまい、電気的断線となり易かった。
【０００８】
本出願人は、この問題を解決するため、先に、表面電極の表面に厚膜の外部電極を付加することを考えた。
【０００９】
これにより、バンプ電極の半田合金と外部電極との接合強度が増大することがわかった。しかしながら、溶融した半田合金が外部電極の表面から表面電極の表面にわたって流れた後固化した隅肉部分が、温度変化（変動）によるフレキシブルフラットケーブルの膨張・収縮、特に収縮時に亀裂が発生し、電気的断線の原因になる問題は解決できなかった。
【００１０】
本発明は、上記問題点を解決することを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記技術的課題を解決するため、請求項１に記載の発明のインクジェット記録ヘッドの接合構造は、被記録媒体にインクを吐出するための複数のチャンネルのそれぞれに駆動電圧を印加するため、アクチュエータの表面に島状に配置された複数の接合端子を有するインクジェット記録ヘッドと、このインクジェット記録ヘッドを制御するための制御信号を発信する回路素子とを接続するためのインクジェット記録ヘッドの接合構造であって、前記配線基板におけるバンプ電極と重ね接合させる前記接合端子は、厚さの薄い表面電極と、該表面電極の表面上に設けられた厚さの厚い外部電極とからなり、表面電極の少なくとも一部に広幅部を形成し、該広幅部の周縁よりも内周側に外部電極の周縁が位置するように配置したものである。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記インクジェット記録ヘッドは、第１の方向に沿って列状に配置された複数個のノズルからなる複数個のノズル列と、前記各ノズルに対応する圧力室の複数の列と、前記各圧力室内のインクに選択的に吐出エネルギーを与える複数個のエネルギー発生手段を有するアクチュエータとを備え、前記配線基板は、可撓性を有するフレキシブルフラットケーブルであり、前記アクチュエータの表面に形成される表面電極は、前記各エネルギー発生手段に個別に接続され、前記各ノズル列毎に対応して島状に配列された複数個の個別表面電極と、前記各エネルギー発生手段に共通に接続されたコモン表面電極とからなるものである。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記各外部電極は前記第１の方向の幅寸法が、第１の方向と直交する第２方向の寸法より短く形成されているものである。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記複数の個別表面電極は、前記第１の方向に並んで配列され、前記広幅部は、前記個別表面電極の前記第２の方向における両端のいずれか一方に形成されるとともに、複数の個別表面電極の並び順に応じて、前記両端のいずれか一方に交互に形成されているものである。
【００１５】
請求項５に記載の発明は、請求項２乃至４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記フレキシブルフラットケーブルは、前記ノズル列とほぼ直交する方向に延び、前記各ノズルが前記第２の方向に沿って延び、前記個別表面電極は、前記各ノズルの配置間隔の間に相当する部位にて、前記第２の方向に沿って延び、前記各外部電極は前記各個別表面電極の一部に形成されているものである。
【００１６】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの接合構造において、前記フレキシブルフラットケーブルの延びる方向の中途部には、前記エネルギー発生手段の駆動用の回路素子としての集積回路が搭載され、前記各バンプ電極はフレキシブルフラットケーブルに形成された配線を介して前記集積回路に接続されているものである。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に記載の発明によれば、アクチュエータの表面に形成された複数の島状の接合端子における表面電極の少なくとも一部に広幅部を形成し、該広幅部の周縁よりも内周側に外部電極の周縁が位置するように配置したものであるから、溶融した後固化したバンプ電極の半田合金の隅肉部が外部電極の周縁と広幅部の周縁よりも内周側の表面との領域に確実に形成でき、且つ隅肉部の肉厚を大きくできるから、アクチュエータの表面の接合端子と配線基板におけるバンプ電極とが確実に接合でき、また接合強度も大きくできるので、配線基板が温度変化等にて前記帯の延びる方向に伸縮しても接合の剥がれを発生することがなく断線事故を無くして信頼性を向上させることができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、アクチュエータの表面には、第１の方向に沿って列状のノズル列における各ノズルは前記第１の方向と直交する第２の方向に複数適宜間隔で配置されているから、それに対応する圧力室ひいては接合端子も第２の方向に適宜間隔で配置されることになる。配線基板がフレキシブルフラットケーブルであり、フレキシブルフラットケーブルは一般的に可撓性を有する合成樹脂製の基板を有するので、温度膨張・収縮性が大きいため、温度変化（変動）の大きい環境下では、フレキシブルフラットケーブル側のバンプ電極の間隔が伸縮し、これに接合されている圧電アクチュエータの表面の表面電極と外部電極との接合強度が弱い部分で剥がれてしまい、電気的断線となり易かった。
【００１９】
本発明では、フレキシブルフラットケーブルの伸縮量の大きい第２の方向に接合端子が多数配置されることになり、且つ各接合端子における表面電極の広幅部の周縁よりも内周側に各外部電極の周縁が位置するので、前記バンプ電極の半田合金の隅肉部が第２の方向に多数形成されることになり、フレキシブルフラットケーブルが伸縮しても接合端子とバンプ電極と接合が剥がれないようにできる。なお、外部電極の周縁と広幅部の周縁よりも内周側の表面との領域の面積を大きくすることにより、前記隅肉部の厚さを大きくして、フレキシブルフラットケーブルの伸縮による応力集中を軽減させて接合の耐久性を向上にすることができるという効果を奏する。
【００２０】
請求項３に記載の発明によれば、前記応力集中は、フレキシブルフラットケーブルの幅方向（第１の方向）の収縮時に大きくなるので、これに耐久性を持たせるためには、各島状の外部電極における第１の方向と直交する第２の方向に延びる側縁とそれに対応する広幅部の表面との間の隅肉部の肉厚を大きくする必要である。そのためには、広幅部の第２の方向の幅寸法に対する外部電極の幅寸法を可及的に小さくすることで、隅肉部が形成される領域となる広幅部の幅寸法を大きくすることができるのである。
【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、第１の方向に並んで配列される個別表面電極の広幅部は、その並びの順番に応じて、第１の方向と直交する第２の方向の両端のいずれか一方に交互に形成されているので、接合端子が広幅部を有して形成されたとしても、第１の方向において隣接する２つの接合端子の間隔を充分に確保することができ、これらがショート（電気的短絡）する危険性を少なくすることができるという効果を奏する。
【００２２】
請求項５に記載の発明によれば、個別用の接合端子ひいては表面電極及び外部電極を、圧力室の配列の間上に相当する箇所に配置することになり、フレキシブルフラットケーブルのバンプ電極を外部電極と対面させて押圧するとき、圧力室の配列の間の隔壁にて押圧力を支持でき、空洞である圧力室の変形を防止できるという効果を奏する。
【００２３】
請求項６に記載の発明によれば、フレキシブルフラットケーブルの長手方向（延びる方向）の中途部に駆動用の集積回路を搭載してそれに配線の他端を接続するので、集積回路が別の箇所にある場合に比べて、構成が簡単となり、バンプ電極を介してフレキシブルフラットケーブルとアクチュエータとの接合作業がさらに容易になるとともに、接合強度を一層向上させることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明を適用するインクジェット記録ヘッドの各部品の斜視図、図２はキャビティユニット等の斜視図、図３はキャビティユニットの要部の部分拡大斜視図、図４は圧電アクチュエータの分解斜視図、図５は圧電アクチュエータの部分拡大断面図、図６はトップシートにおける接合端子等の位置を示す部分拡大斜視図、図７（ａ）は表面電極と外部電極と圧力室等との位置関係を示す平面図、図７（ｂ）は接合端子における表面電極と外部電極との位置関係を示す平面図、図８（ａ）はフレキシブルフラットケーブルの下面図、図８（ｂ）はフレキシブルフラットケーブルの側面図、図９（ａ）は表面電極と外部電極との位置関係を示す拡大平面図、図９（ｂ）はバンプ電極と接合端子との接合部を示す拡大側断面図である。
【００２５】
本発明に係るカラー記録用のインクジェット記録ヘッドは、図示しないが、用紙の搬送方向（副走査方向、以下第１の方向またはＹ方向という）と直交する方向（主走査方向、以下第２の方向、Ｘ方向という）に往復移動するキャリッジに搭載されたヘッドユニット１を有し、そのヘッドユニット１上には、例えば、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの４色のカラーインクがぞれぞれ充填されたインクカートリッジが着脱可能に搭載されるか、または画像形成装置の本体に静置されたインクカートリッジから図示しない供給パイプ及びキャリッジに搭載されたダンパー室（図示せず）を介して各色のインクが供給されるように構成されている。
【００２６】
ヘッドユニット１は、図２に示すように、前面（図２における下面）にＹ方向（第１の方向）に複数個のノズル１１ａ（図２参照）が列状に配置され、且つそのノズル列がＸ方向に適宜間隔で複数列（実施形態では５列）を備えたキャビティユニット１０と、その上面に対して接着剤または接着シートを介して接着し積層されるプレート型の圧電アクチュエータ１２と、その背面（上面）に外部機器との電気的接続のために重ね接合された配線基板の１例としてのフレキシブルフラットケーブル４０とにより構成されている。
【００２７】
キャビティユニット１０は図２に示すように構成されている。すなわち、下層から順にノズルプレート１１、カバープレート１５、ダンパープレート１６、二枚のマニホールドプレート１７，１８、２枚のスペーサプレート１９，２０及び圧力室２３が形成されているベースプレート２１の合計８枚の偏平な板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構成である。合成樹脂製のノズルプレート１１を除き、各プレート１５〜２１は、４２％ニッケル合金鋼板製であり、それらの板厚さを５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有する。
【００２８】
前記ノズルプレート１１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）の多数のインク噴出用のノズル１１ａが、当該ノズルプレート１１における第１の方向（キャビティユニット１０の長辺方向であり、図２において、Ｙ方向、副走査方向）に沿って千鳥配列状に設けられている。また各ノズル列ＮはＸ方向（主走査方向）に適宜間隔で５列（個別の列には、符号Ｎ１〜Ｎ５を付する、但し、Ｎ４，Ｎ５は図示せず）に配列されている。実施形態では、第１列〜第５列の各々のノズル列Ｎの長さは１インチ、各々のノズル１１ａの数は７５個で、つまり配列密度は７５（ｄｐｉ［ドット・パー・インチ］）である。
【００２９】
そして、図２において、右から順番にノズル列Ｎ１〜Ｎ５（但し、Ｎ４，Ｎ５は図示せず）とするとき、ノズル列Ｎ１はシアンインク（Ｃ）用であり、ノズル列Ｎ２はイエローインク（Ｙ）用であり、ノズル列Ｎ３はマゼンタインク（Ｍ）用であり、ノズル列Ｎ４及びＮ５はブラックインク（ＢＫ）用とする。
【００３０】
上下マニホールドプレート１７，１８には、Ｙ方向に長いインク通路が各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５に対応して板厚方向に貫通するように形成され、上側の第１スペーサプレート１９と下側のダンパープレート１６とに挟まれて積層されることにより、前記インク通路が５列の共通インク室（マニホールド室）２６となる。そして、図２において、右から順に共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅとするとき、共通インク室２６ａはシアンインク（Ｃ）用であり、共通インク室２６ｂはイエローインク（Ｙ）用であり、共通インク室２６ｃはマゼンタインク（Ｍ）用であり、第４番目と第５番目の共通インク室２６ｄ，２６ｅの対はブラックインク（ＢＫ）用となる。
【００３１】
図２において、ベースプレート２１のＹ方向の一端部にＸ方向に適宜間隔で穿設された４つのインク供給口を右から順に符号３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄとするとき、インク供給口３１ａ，３１ｂ，３１ｃは、右端から順の共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃに対応し、右から４番目のインク供給口３１ｄは、２つの共通インク室２６ｄ，２６ｅの互いに近接した端部に共通に対応している。そして、図２に示すように、インク供給口３１ａ，３１ｂ，３１ｃの位置に対応して、第２スペーサプレート２０及び第１スペーサプレート９１の一端部に穿設されたインク供給通路３２が対応する共通インク室２６ａ，２６ｂ，２６ｃの一端部に連通している。
【００３２】
また、下側のマニホールドプレート１７の下面に接着されるダンパープレート１６の下面側には、各共通インク室２６に対応する位置にＹ方向に長いダンパー室２７が下面方向にのみ開放するように凹み形成され、その下面側のカバープレート１５にて塞がれて完全な密閉状のダンパー室２７が構成される。
【００３３】
この構成により、圧電アクチュエータ１２の駆動で圧力室２３に作用する圧力波のうち、インクにより伝播されて共通インク室２６の方向に向かう後退成分を、板厚の薄いダンパープレート１６の振動により吸収し、いわゆるクロストークが発生することを防止するのである。
【００３４】
第１スペーサプレート１９には、各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５のノズル１１ａに対応する絞り部２８がＸ方向に若干長く、Ｙ方向に細幅の凹溝状に形成されている。この各絞り部２８の一端は対応するマニホールドプレート１８における共通インク室２６ａ〜２６ｅに連通し、各絞り部２８の他端は後述するように、上側の第２スペーサプレート２０における上下貫通する連通孔２９に連通するように形成されている（図３参照）。
【００３５】
カバープレート１５、ダンパープレート１６、２枚のマニホールド１７，１８、第１及び第２スペーサプレート１９，２０には、それぞれ、各ノズル列Ｎ１〜Ｎ５毎にノズル１１ａに連通する連通路２５が、共通インク室２６及びダンパー室２７と上下に重ならない位置で上下に貫通するように形成されている。
【００３６】
また、ベースプレート２１には、各ノズル列Ｎ毎に、Ｘ方向に沿って延びる細幅の圧力室２３（各圧力室の列を符合２３−１，２３−２，２３−３，２３−４，２３−５とする）がノズル１１ａの個数に対応してベースプレート２１を厚さ方向に貫通して形成されている。そして、各圧力室２３の長手方向（Ｘ方向）の一端は、第２スペーサプレート２０に穿設された連通孔２９を介して第１スペーサプレート１９における各絞り部２８の他端に連通しており、各圧力室２３の長手方向の他端は、第２スペーサプレート２０に穿設された各連通路２５に連通している。各列の圧力室２３は隔壁２４を介してＹ方向に配置され、圧力室２３は隣接する列の圧力室２３に対してＹ方向に半ピッチずれ、いわゆる千鳥状に配列されている。
【００３７】
これにより、各インク供給口３１ａ〜３１ｄから各共通インク通路２６内に流入したインクは、絞り部２８、連通孔２９を通って各圧力室２３内に分配されたのち、この各圧力室２３内から連通路２５を通って、この圧力室２３に対応するノズル１１ａに至るという構成になっている。
【００３８】
次に、圧電アクチュエータ１２の構成について説明する。圧電アクチュエータ１２は、後に詳述するように、圧電シートを積層方向に挟んで形成されている個別電極３６とコモン電極の積層方向に対向する前記両電極間の前記圧電シートを活性部（エネルギー発生手段）として有し、任意の個別電極３６とコモン電極３７との間に電圧を印加することにより、その印加された個別電極３６に対応した圧電シートの活性部に、当該積層方向に圧電縦効果による歪みを発生するものである。該活性部（エネルギー発生手段）は、圧力室２３の数と同一の数で同一の列にてその対応する位置に形成されている。
【００３９】
即ち、前記活性部は、ノズル１１ａ（圧力室２３）の列方向（第１の方向、Ｙ方向）に沿って並べられ、且つ前記ノズルの列の数（５つ）と同じ数だけ、第２の方向（Ｘ方向）に並べられている。また、各活性部は、前記第２の方向（キャビティユニット１０の幅方向、Ｘ方向）に圧力室２３の長手方向に長く形成され、且つ隣接する活性部の配置間隔（ピッチＰ）も後述する圧力室２３の配置と同様であって、千鳥状配列されることになる。
【００４０】
圧電アクチュエータ１２は、図４に示すように、１枚の厚さが３０μｍ程度の圧電セラミックス板からなる複数枚（実施形態では７枚）の圧電シート３３，３４とが交互に積層された群と、この群の上面に１枚のシート４６からなる拘束層を積層し、さらにその上面に表面シートとしてのトップシート３５を積層した構造である。拘束層のシ−ト及びトップシ−トは圧電セラミックス板でも良いし、他の材料でも良く、電気的絶縁性を有すれば良い。
【００４１】
コモン電極３７を有する最下層の圧電シート３４から上方へ数えて偶数番目の圧電シート３３の上面（平板面）には、図４に示すように、前記キャビティユニット１１における各圧力室２３に対応した真上箇所ごとに細幅の個別電極３６のパターンが、第１の方向（圧電シート３３の長辺方向、図２のＹ方向、各ノズル１１ａの列方向）に沿って列状にスクリーン印刷形成される。
【００４２】
図４は圧電シート３３の一部のみを示し、前述した第１列〜第５列の圧力室列２３−１，２３−２，２３−３に対応して第１列目〜第５列目の個別電極３６（各列に対して、図４で符号３６−１、３６−２、３６−３、３６−４、３６−５を付する）が形成されている。各個別電極３６のパターンは、その直線部３６ｂは、前記各圧力室２３（図６の点線参照）とほぼ同じ長さで平面視で重複しており、且つ各圧力室よりもやや狭い幅の直線状に形成されている（図７（ａ）参照）。
【００４３】
各個別電極３６における一端部３６ａは、図７（ａ）に示すように、それぞれ平面視で直線部３６ｂに対して屈曲形成されて、圧力室２３の外に延びている。なお、第３列目の個別電極３６−３における一端部３６ａは、図４に示すように、圧力室２３の外側一端に対して交互に外に延びている。
【００４４】
また、この各端部３６ａは、上下に隣接する圧電シート３４における第１の島状個別導通部としてのダミー個別電極３８及び後述する拘束層における上層シート４６の接続パターン５３とそれぞれ少なくとも一部が平面視で重なり（図４、図７（ａ）参照）、圧電シート３４及び上層シート４６を貫通するスルーホール状の内部導通電極４２とそれぞれ電気的に接続可能な位置に配置される（図５、図８、図１２参照）。
【００４５】
さらに、圧電シート３３には、圧電シート３４におけるコモン電極３７と平面視で一部重複する個所であって、圧電シート３３の広幅面における短辺及び長辺に沿う外周部位等にダミーコモン電極４３が形成されている（図４参照）。
【００４６】
コモン電極３７は、最下層の圧電シート３４とそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シート３４の各表面（上面）にスクリーン印刷形成されるものである（図４参照）。最下層の圧電シート３４におけるコモン電極３７は当該圧電シート３４の上面全体に形成されている。それより上層の各圧電シート３４におけるコモン電極３７は、各圧力室列２３−１〜２３−５ひいては各個別電極列３６−１〜３６−５の配置位置と平面視で重複し、且つ圧電シート３４の長辺に沿ってＹ方向に長い第１電気導通部分３７ａと、圧電シート３４の短辺に沿ってＸ方向に長く、第１電気導通部分３７ａの両端に連結する第２電気導通部分３７ｂとからなる。コモン電極３７はこれら圧電シート３４に形成される島状のダミー個別電極３８の列部分を囲んで形成されている。
【００４７】
平面視略矩形状の各ダミー個別電極３８は、各個別電極３６の直線部３６ｂではなく、各一端部３６ａの少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。
【００４８】
拘束層としての上層シート４６の上面には、図４に示すように、平面視で略矩形型の接続用パターン５３が前記圧電シート３４における各ダミー個別電極３８の少なくとも一部と平面視で重複するように一定間隔で配置形成されている。また、上層シート４６の上面の短辺に沿う部位等には、圧電シ−ト３４におけるコモン電極３７の一部及び圧電シ−ト３３におけるダミーコモン電極４３の一部にそれぞれ平面視で重複する位置にコモン導通部としての連絡用パターン５４が形成されている。
【００４９】
そして、最下層の圧電シート３４を除き、それより上層の圧電シート３４、３３及び上層シート４６には、幹部３７ａ，３７ｂ，３７ｃ等のコモン電極３７とダミーコモン電極４３との複数箇所を上下方向に電気的に接続するために、電極３７、４３の位置において、各圧電シート３４、３３の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極（図示せず）を形成する。同様に、複数枚の圧電シート３３における各個別電極３６の端部３６ａと、圧電シート３４における各ダミー個別電極３８と、上層シート４６における連絡用パターン５４には、それぞれを上下方向に電気的に接続するために、各圧電シート３３、３４、４６の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４２が形成されている。その場合、各内部導通電極４２は、上下に隣接する圧電シート３３、３４、４６の箇所で平面視で上下に重複しない位置に適宜距離だけ隔てて形成されている（図６、図７（ａ）参照）。
【００５０】
図４〜図７に示すように、圧電アクチュエータ１２の最上層である表面シートとしてのトップシ−ト３５の上面（表面）には、フレキシブルフラットケーブル４０の下面のコモン電極接続用のバンプ電極５７及び個別電極接続用のバンプ電極７８とそれぞれ接合させるためのコモン電極接続用の接合端子（接合電極）９０及び個別電極接続用の接合端子（接合電極）９１とがそれぞれ島状に形成されている。
【００５１】
接合端子９０及び接合端子９１は、それぞれ、トップシ−ト３５の表面上に形成される層厚さの薄い表面電極９２（９３）と、その表面電極９２（９３）の表面上に形成される層厚さの厚い外部電極９４（９５）とからなる。トップシ−ト３５の接合端子９０及び接合端子９１と、対応する上層シート４６の連絡用パターン５４及び接続用パターン５３とそれぞれ上下方向に電気的に接続するためには、前記と同様に、トップシ−ト３５の板厚さを貫通するように穿設された複数のスルーホール内にそれぞれ充填した導電部材（導電性ペースト）にて内部導通電極４４が形成されている。
【００５２】
表面電極９２（９３）は、個別電極３６、コモン電極３７、ダミー個別電極３８、ダミーコモン電極４３、スルーホール内に充填する内部導通電極４２，４４、接続用パターン５３及び連絡用パターン５４と同様の銀−パラジュウム系導電部材（導電性ペースト）を用いて圧電シート３３、３４及びトップシート３５の元材料であるグリーンシートの表面にスクリーン印刷形成した後、圧電シート３３、３４及びトップシート３５を所定の順に積層し，さらに焼成して形成される。銀−パラジュウム系導電部材は融点が高いため、焼成温度が高温となるグリーンシートの焼成が行われても蒸発することがないが、半田合金との接合性は良くない。
【００５３】
外部電極９４（９５）は銀−ガラスフリット系の厚膜用の導電性ペーストを用いて前記焼成後に表面電極９２（９３）の表面に印刷形成した後に前記焼成温度より低い温度で焼成して形成される。銀−ガラスフリット系の導電部材は、銀−パラジュウム系導電部材に比べると、融点は低いが半田合金との接合性は良好である。従って、接合端子９０，９１は、表面電極９２（９３）の表面上に外部電極９４（９５）が形成されることによって、外部電極９４（９５）が形成されない場合に比べてバンプ電極５７、５８との接合性が向上する。
【００５４】
個別電極接続用の接合端子（接合電極）９１の構成をさらに詳述すると、トップシ−ト３５の上面には、上層シ−ト４６における各接続用パターン５３にそれぞれ平面視で少なくとも一部が重複するように、層厚さの薄い表面電極９３が一定間隔で配置形成されている。この各表面電極９３は、図６、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、トップシ−ト３５の短辺縁（第２の方向、Ｘ方向）ひいては各個別電極３６における各直線部３６ｂと略平行であって、図７（ｂ）に示すように、その各下方に並列状に位置する相隣接する圧力室２３、２３の間の隔壁２４の上方に位置させる。従って、圧力室２３の第１の方向の配置間隔Ｐ０と同じ間隔にて表面電極９３が配置され、且つ圧力室２３の配置と半ピッチずれて表面電極９３が配置されることになる。そして、表面電極９３の大部分は隔壁２４の幅寸法Ｗ１よりも狭い幅寸法Ｗ２（Ｗ２＞Ｗ１）を有する細幅部９３ａであり、この細幅部９３ａに連接して広幅部９３ｂが形成される。広幅部９３ｂの幅寸法Ｗ３は隔壁２４の幅寸法Ｗ１より若干広く設定されている。実施形態では、圧力室２３の第１の方向の配置間隔Ｐ０は 0.339μm 、表面電極９３のＷ１＝ 120μm 〜 150μm 、Ｗ２＝ 100μm 、Ｗ３＝ 150〜300 μm 程度であり、Ｗ３＝ 200〜220 μm 程度が好ましい。広幅部９３ｂの長さ寸法Ｌ３＝ 360μm 程度である。また、表面電極９３の層厚さは１〜２μm 程度である。
【００５５】
そして、この広幅部９３ｂの表面に後に付着する外部電極９５の平面視の大きさは広幅部９３ｂの面積よりも小さく、且つ外部電極９５の平面視の周囲縁が広幅部９３ｂの周囲縁よりも内周側に位置するように配置されている。実施形態では外部電極９５の幅寸法Ｗ４≒ 150〜 200μm 程度であり、外部電極９５の周囲縁と広幅部９３ｂの周囲縁との間の平面視の間隔寸法Ｗ５が25μm 程度あることが望ましい（図９（ａ）参照）。外部電極９５の層厚さは20μm である。
【００５６】
同様に、コモン接続用の接合端子９０における層厚さの薄い表面電極９２は、上層シ−ト４６における連絡用パターン５４の少なくとも一部に平面視で重複するように配置され、且つトップシ−ト３５の上面のうち外周縁寄り部位に帯状等にて形成されている（図４参照）また、表面電極９２の表面に後付けとしての層厚さの厚い外部電極９４を適宜形状にて配置する。
【００５７】
個別電極用の接合端子９１及びコモン電極用接合端子９０では、トップシート３５をの板厚さを貫通させた内部導通電極４２，４４が表面電極９２，９３と接続する箇所が圧電アクチュエータ２０の上面として外部に露出するので、各スルーホール部分を含めて内部導通電極４２，４４の上面部位を前記外部電極９４（９５）と同じ材料で充填するようにした充填電極９６を形成することにより、内部導通電極４２，４４と表面電極９２，９３との接続箇所を保護することができる。なお、図６及び図７（ｂ）に示す実施形態では、Ｙ方向に並ぶ接合端子９１の１つのおきに広幅部９３ｂがＸ方向の一方の端部と他方の端部とに交互に形成されおり、また、内部導通電極４４は各接合端子９１における表面電極９３の一方の端部に近い部位に接続されることから、外部電極９５が充填電極９６と兼用されている箇所がＹ方向に並ぶ接合端子９１の１つのおきに配置されることになる。これにより、広幅部９３ｂを有するように接合端子９１を形成したとしても、Ｙ方向において、隣接する２つの接合端子９１間の間隔を充分に確保することができ、これらが電気的に短絡する危険性を少なくすることができる。これら充填電極９６、外部電極９４（９５）は平面視矩形状、小判型または楕円状等の適宜形状を採用し得る。
次に、圧電アクチュエータ２０の表面における多数のコモン電極用接合端子９０及び個別電極用接合端子９１にそれぞれ電気的に接合するための配線基板の１例としてフレキシブルフラットケーブル４０におけるコモン電極用の接合電極部７７、個別電極用の接合電極部７８及びこれらの各接合電極部７７、７８と外部素子に接続するための配線７９の配置等の構成について、図８（ａ）及び図８（ｂ）を参照しながら説明する。
フレキシブルフラットケーブル４０は、トップシート３５の上面に重ねられ、ノズル列と直交する方向（Ｘ方向）に外方へ突出して配置される（図１参照）。フレキシブルフラットケーブル４０は、電気絶縁性を有し、可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなる帯状のベース材１００の片面に銅箔からなるコモン電極用の接合電極部７７、個別電極用の接合電極部７８、微細な配線７９がフォトレジスト法等により形成され、これらの表面を電気絶縁性を有し、可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂）からなるカバーレイ１０１にて被覆させたものであり、配線７９の他端はベース材１００に搭載された駆動用の集積回路１０２に電気的に接合されており、フレキシブルフラットケーブル４０の長手方向の他端の複数の端子１０５と集積回路１０２とが接続されている。なお、島状の個別電極用の接合電極部７８に相当する箇所はトップシート３５における島状の接合端子９１の外部電極９５とそれぞれ対面する箇所であって、その対面するベース材１００の箇所に孔（開口部）を開けて、その孔（開口部）部位に半田合金からなるバンプ電極１０３を固着している（図８（ｂ）参照）。同様に、帯状のコモン電極用の接合電極部７７（後述する７７−１及び７７−２）のうち、トップシート３５における島状の接合端子９０の外部電極９４とそれぞれ対面する箇所に孔（開口部）を開けて、その孔（開口部）部位にバンプ電極１０３を固着している。
【００５８】
フレキシブルフラットケーブル４０において、図８（ａ）に示すように、コモン電極用接合電極部７７は、第２の方向（Ｘ方向、アクチュエータの短辺方向）に沿って延びる対の側縁に沿って形成された帯状の２本の第１コモン接合電極部７７−１を少なくとも有する。実施形態では、第１の方向（Ｙ方向、アクチュエータの長辺方向）に沿って延びる側縁に沿って形成された帯状の１本の第２コモン接合電極部７７−２を有し、さらに、第２コモン接合電極部７７−２の両端が各第１コモン接合電極部７７−１の先端部に電気的に接続されている。２本の第１コモン接合電極部７７−１の他端部は、フレキシブルフラットケーブル４０の長手方向の他端の接続端子１０４に電気的に接続されている。
【００５９】
他方、個別電極用接合電極部７８は、第１圧力室列２３−１，第２圧力室列２３−２，第３圧力室列２３−３，第４圧力室列２３−４，第５圧力室列２３−５ひいてはこれに対応する列状の外部電極９５に対向するように、第１の方向（Ｙ方向）に延びて千鳥状に配置されている。図８（ａ）において、第１圧力室列２３−１に対応する個別電極用接合電極部の群を第１群７８−１で示し、第２圧力室列２３−２に対応するものを第２群７８−２、第３圧力室列２３−３に対応するものを第３群７８−３、第４圧力室列２３−４に対応するものを第４群７８−４、第５圧力室列２３−５に対応するものを第５群７８−５で示す。
【００６０】
そして、全ての列の各個別電極用接合電極部７８に接続する配線７９は、第２の方向（Ｘ方向）に沿って延びるような配線パターンにて形成されている。
【００６１】
駆動用の集積回路１０２は、外部機器（記録装置本体側の制御基板）からシリアル転送されてくる記録データを、各ノズルに対応するパラレルデータに変換し、かつ記録データに対応した所定電圧の波形信号を生成して、各配線７９に出力するものである。集積回路１０２とアクチュエータ１２との間の接続は、ノズル数に対応した配線７９を上記のように高密度に形成する必要があるが、集積回路１０２よりも制御基板側では、記録データをシリアル転送するので、低密度な配線パターンでよい。
【００６２】
半田合金製のバンプ電極１０３のときは当該バンプ電極１０３をコモン電極用接合端子９０の外部電極９４及び個別電極用接合端子９１の外部電極９５にそれぞれ重ねて加熱押圧して接合する。その場合、図９（ｂ）に示すように、バンプ電極１０３の溶融した半田合金は、外部電極９５の上面及び側面を覆い、且つ表面電極９３における広幅部９３ｂの表面を周縁近傍の箇所まで覆う。そして、銀−パラジュウム系の導電ペーストからなる広幅部９３ｂ（表面電極９３）の表面は溶融した半田合金との濡れ性が大きい一方、銀−ガラスフリット系導電ペーストからなる外部電極９５と半田合金とは共晶結合して接合強度は高い。なお、半田合金の量が多く、広幅部９３ｂから溢れ出した場合は、細幅部９３ａに流れ込んで固化するので、隣接する表面出９３との間で電気的に短絡（ショート）する危険性は少ない。
【００６３】
外部電極９５の側縁（周縁）から広幅部９３ｂの側縁（周縁）までの寸法Ｗ５が大きいと、外部電極９５の側縁と広幅部９３ｂの表面との間の隅肉部（フィレット）１０３ａ（図９（ｂ）参照）の肉厚さも厚くすることができる。その結果、温度変化（変動）の大きいもと（使用状態等）での繰り返し使用により、フレキシブルフラットケーブル４０が大きく伸縮した場合、バンプ電極１０３の間隔が伸縮し、これに接合されている外部電極９５との間の隅肉部（フィレット）１０３ａに大きい応力集中が作用しても、厚みの厚い隅肉部（フィレット）１０３ａであれば、当該隅肉部１０３ａの断面の半径を大きくでき、材料力学でいう圧力集中係数（形状係数）を小さくでき、応力集中の悪影響を緩和させることができる。従って、熱衝撃を受けた場合や繰り返し応力（疲労）を受けても、前記隅肉部１０３ａに亀裂が発生難いから電気的断線事故も発生しないのである。
【００６４】
なお、前記応力集中は、フレキシブルフラットケーブル４０の幅方向（第１の方向、Ｙ方向）の収縮時に大きくなるので、これに耐久性を持たせるためには、各島状の外部電極９５におけるＹ方向と直交するＸ方向に延びる側縁とそれに対応する広幅部９３ｂの表面との間の隅肉部１０３ａの肉厚を大きくする必要である。そのためには、広幅部９３ｂのＸ方向の幅寸法Ｗ３に対する外部電極９５の幅寸法Ｗ４を可及的に小さくすることで、隅肉部１０３ａが形成される土台（領域）となる広幅部９３ｂの幅寸法Ｗ５を大きくすることが望ましいのである。
【００６５】
個別電極用の接合端子９１ひいては表面電極９３及び外部電極９５を、キャビティユニット１０における圧力室２３の配列の間、即ち隔壁２４上に相当する箇所に配置すれば、フレキシブルフラットケーブル４０のバンフ電極１０３を外部電極９５と対面させて押圧するとき、隔壁２４にて押圧力を支持でき、空洞である圧力室２３の変形を防止できるという効果を奏する。
【００６６】
前記実施形態では、ノズルの列は５列ひいては個別電極用接合電極７８が千鳥配列で１０列であったが、本発明では３列以上の個別電極用接合電極７８に対して適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の第１実施形態による圧電式インクジェット記録ヘッドのキャビティユニットと圧電アクチュエータと、フラットケーブルとを分離して示す斜視図である。
【図２】キャビティユニットの分解斜視図である。
【図３】キャビティユニットの一部分解斜視図である。
【図４】圧電アクチュエータの一部切欠き分解斜視図である。
【図５】圧電シートにおける個別電極とダミー電極とそれらの内部導通電極の位置を示す部分拡大断面図である。
【図６】トップシートの表面の接合端子等の配置を示す一部切欠き斜視図である。
【図７】（ａ）は圧力室と個別電極と接続用パターンと個別電極用の接合端子等の配置を示す部分拡大平面図、（ｂ）は個別電極用の接合端子における表面電極と外部電極等の配置関係を示す部分拡大平面図である。
【図８】（ａ）はフレキシブルフラットケーブルにおけるコモン接合電極、個別接合電極、配線、集積回路等の配置関係を示す概略平面図、（ｂ）は側面図である。
【図９】（ａ）は個別電極用の接合端子における表面電極と外部電極と配置関係を示す部分拡大平面図、（ｂ）は図９（ａ）のIXb −IXb 線矢視で示すバンプ電極との接合状態を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１      インクジェット記録ヘッド
１１      キャビティユニット
１１ａ    ノズル
１２      圧電アクチュエータ
２２      ベースプレート
２３      圧力室
３３，３４    圧電シート
３５      トップシート
３６      個別電極
３７      コモン電極
４０      フラットケーブル
５３      接続用パターン
５４      連絡用パターン
７７      コモン電極用の接合電極部
７８      個別電極用の接合電極部
７９      配線
９０      コモン電極用接合端子
９１      個別電極用接合端子
９２、９３    表面電極
９４、９５    外部電極
１０２      集積回路
１０３      バンプ電極
１０３ａ      隅肉部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005205769.tif 000009
【図８】
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【図９】
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