(57)【要約】【課題】  フィルムマスク等のフレキシブルな薄板基板を安価な装置を用いて正確に検査すること。【解決手段】  フィルムマスク１を載置テーブル２上に載置して、撮像部３に追従するよう取り付けられたエアーブローブロック６からノズル７を介して撮像部３の走査位置の近傍に空気を噴出する。走査位置の近傍に噴出された空気により、フィルムマスク１上の走査位置周辺を載置テーブル２に密着させながら、撮像部３によりフィルムマスク１を走査してフィルムマスク１の検査領域を撮像する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント基板やフィルムマスク等のフレキシブルな薄板基板を検査する光学式外観検査方法であって、
前記薄板基板を載置テーブルに載置する載置ステップと、
前記載置テーブル上に載置された前記薄板基板を撮像手段によって走査して撮像する撮像ステップと、
前記撮像ステップの走査と並行して、前記薄板基板の走査位置近傍に空気を吹き付ける空気噴出ステップとを備えた光学式外観検査方法。
【請求項２】
空気を浄化する浄化ステップをさらに備え、
前記空気噴出ステップは、前記浄化ステップで浄化された空気を噴出することを特徴とする、請求項１記載の光学式外観検査方法。
【請求項３】
前記載置ステップで前記載置テーブルに載置された前記薄板基板が前記載置テーブルに対してずれないように、当該薄板基板の非検査領域の一部を前記載置テーブルに固定する非検査領域固定ステップをさらに備えることを特徴とする、請求項１記載の光学式外観検査方法。
【請求項４】
前記撮像ステップは、前記載置テーブルの基板載置面の起伏を表すデータに基づいて、前記撮像手段と前記載置テーブルの載置面を等距離に保ちながら前記薄板基板を走査することを特徴とする、請求項１記載の光学式外観検査方法。
【請求項５】
プリント基板やフィルムマスク等のフレキシブルな薄板基板を検査する光学式外観検査装置であって、
前記薄板基板を載置する載置テーブルと、
前記載置テーブルに載置された前記薄板基板を撮像する撮像手段と、
前記載置テーブルに載置された前記薄板基板を走査するように前記撮像手段を移動させる駆動手段と、
前記撮像手段に追従して移動し、前記撮像手段が走査する前記薄板基板の走査位置近傍に空気を吹き付ける空気噴出手段とを備えることを特徴とする、光学式外観検査装置。
【請求項６】
空気を浄化するためのフィルタをさらに備え、
前記空気噴出手段は、前記フィルタを透過した空気を噴出することを特徴とする、請求項５記載の光学式外観検査装置。
【請求項７】
前記薄板基板が前記載置テーブルに対してずれないように、当該薄板基板の非検査領域の一部を前記載置テーブルに固定する非検査領域固定手段をさらに備えることを特徴とする、請求項５記載の光学式外観検査装置。
【請求項８】
前記載置テーブルの載置面の起伏を表す起伏データを記憶した起伏データ記憶手段をさらに備え、
前記駆動手段は、前記基板起伏データに基づいて、前記撮像手段と前記載置テーブルの載置面を等距離に保ちながら前記撮像手段を移動させることを特徴とする、請求項５記載の光学式外観検査装置。
【請求項９】
前記空気噴出手段は、前記撮像手段に固着されていることを特徴とする、請求項５記載の光学式外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学式外観検査方法および光学式外観検査装置に関し、より特定的には、プリント基板やフィルムマスク等のフレキシブルな薄板基板を検査するための光学式外観検査方法および光学式外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、電子部品等が実装されるプリント基板の表面には、所定の回路を構成するのに必要な導体配線がパターンによって形成される。そして、プリント基板等の配線パターンに欠陥が存在するか否かの検査は、例えば次のように行われる。まず、検査対象であるパターンが形成された面を上側にして、プリント基板を載置テーブルに載置する。載置テーブルに載置されたプリント基板の上方には、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）カメラ等の撮像カメラが配置されている。次に、載置テーブルを主走査方向に水平に移動させる。すると、撮像カメラの下を通過したプリント基板の領域が、撮像カメラによって撮像されていく。また、主走査方向の走査が１回完了する毎に撮像カメラが副走査方向へ順次シフトし、最終的にプリント基板の検査領域全体の画像データが得られる。この画像データに対して、パターンマッチング法等の処理が施されて、パターンの欠陥が検出される。
【０００３】
上述のような、検査対象物である基板を載置テーブルに載置して検査するためには、撮像中等に基板がずれないように、基板を載置テーブル上に固定する必要がある。そのための基板固定方法としては、従来、例えば基板の端の部分にあたる非検査部を、クランプユニット等を用いて載置テーブルに固定する方法があった（例えば、特許文献１）。しかし、検査対象物が、配線パターンの描かれたフィルムマスクやフレキシブルな薄板基板のような硬度の低い基板である場合、載置テーブルに当該フィルムマスク等を載置した際に、載置テーブルとフィルムマスク等の間に空気層が生じることがある。そのため、いくら非検査部を押さえつけていても、肝心の検査対象部に空気層によるたわみやうねりが生ずることがある。その結果、配線パターンの欠陥検出のために検査対象物の上方に配置された撮像カメラで上記フィルムマスク等を撮像しても、上記たわみやうねりにより焦点距離（ピント）のずれが生じ、欠陥検出精度が低下するという問題があった。
【０００４】
このような問題に対して、従来、一般的には、検査対象物の上方に変位センサーを設けて、検査前に載置テーブルに載置されたフィルムマスク等の上面の変位を計測し、あるいは、フィルムマスク等の上面の変位を計測しながら、この変位センサーの検出結果に合わせて撮像カメラを上下させ、焦点距離を最適に調整しつつフィルムマスク等を走査するという方法が取られていた。
【０００５】
更に、プリント基板を静電吸着により載置テーブルに保持しておいてから、プリント基板の表面に円筒状のローラを転がすことによって、プリント基板を載置テーブルに密着させ、空気層を排除することで上記のたわみやうねりをなくして検査する基板検査装置も開示されている（例えば、特許文献２）。
【特許文献１】特開２００２−３６８３７８号公報
【特許文献２】特開２００２−７６５６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような変位センサーを用いた方法においては、特にフィルムマスクのように透明な薄板基板の検査において、以下に示す問題点がある。つまり、一般的な変位センサーは、フィルムマスクに向けて光を照射し、その反射光に基づいてフィルムマスクの上面の変位を検出するものであるが、分解能の低い変位センサーを用いた場合には、フィルムマスクの走査中にフィルムマスクのうねりがあると走査の途中から誤ってフィルムマスクの下面を上面として誤認識してしまい、下面の変位を検出結果として出力してしまうことがしばしばある。したがって、このような誤検出を防ぐためには、十分に高い分解能を持つ変位センサーを用いる必要がある。しかし、高分解能をもつ変位センサーはコストも高く、検査装置自体の価格を引き上げる要因になる。さらに、変位センサーの分解能と測定レンジとは一般的に相反する関係にあるため、高分解能をもつ変位センサーを用いる場合には、フィルムマスクの浮き上がりが大きい箇所においてフィルムマスク上面の変位が変位センサーの測定レンジを越えてしまい、その結果、満足な計測ができないという問題もある。
【０００７】
なお、フィルムマスクの下面全面を真空吸着力により載置テーブルへ密着させる方法も考えられるが、真空吸着するためには載置面に多数の吸引穴や溝を形成する必要がある。そのため、フィルムマスクのような透明な薄板基板を透過光により検査する場合、撮像のための透過光が吸引穴や溝により屈折等し、正確な撮像ができない。その結果、画像処理に悪影響を及ぼし、欠陥検出の精度が低下するという問題がある。また、吸着力を高めた場合などは、フィルムマスクの吸引穴に当接している部分が変形して、この部分の欠陥検出の精度が低下するという問題もある。
【０００８】
一方、特許文献２に開示された基板検査装置は、基板上の配線の線幅が比較的粗いものに対しては有効であった。しかし、近年、基板上の配線の高密度化に伴い、そのデメリットも無視できなくなっている。すなわち、特許文献２に開示された基板検査装置では、ローラによって基板上に微細な傷が生じたり、ローラ上についた微細なゴミが基板へ付着したりする可能性があるが、高精細な配線の検査においては、このような微細な傷やゴミであっても検査結果に悪影響を及ぼしてしまう。
【０００９】
それ故に、本発明の目的は、安価な装置を用いて正確な検査を行うことのできる光学式外観検査方法および光学式外観検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は以下のような構成を採用した。
【００１１】
第１の発明は、プリント基板やフィルムマスク等のフレキシブルな薄板基板を検査する光学式外観検査方法であって、薄板基板を載置テーブルに載置する載置ステップと、載置テーブル上に載置された薄板基板を撮像手段によって走査して撮像する撮像ステップと、撮像ステップの走査と並行して、薄板基板の走査位置近傍に空気を吹き付ける空気噴出ステップとを備えたことを特徴とする。
【００１２】
第２の発明は、上記第１の発明において、空気を浄化する浄化ステップをさらに備え、空気噴出ステップは、浄化ステップで浄化された空気を噴出することを特徴とする。
【００１３】
第３の発明は、上記第１の発明において、載置ステップで載置テーブルに載置された薄板基板が載置テーブルに対してずれないように、当該薄板基板の非検査領域の一部を載置テーブルに固定する非検査領域固定ステップをさらに備えることを特徴とする。
【００１４】
第４の発明は、上記第１の発明において、撮像ステップは、載置テーブルの基板載置面の起伏を表すデータに基づいて、撮像手段と載置テーブルの載置面を等距離に保ちながら薄板基板を走査することを特徴とする。
【００１５】
第５の発明は、プリント基板やフィルムマスク等のフレキシブルな薄板基板基板を検査する光学式外観検査装置であって、薄板基板を載置する載置テーブルと、載置テーブルに載置された薄板基板基板を撮像する撮像手段と、載置テーブルに載置された薄板基板を走査するように撮像手段を移動させる駆動手段と、撮像手段に追従して移動し、撮像手段が走査する薄板基板の走査位置近傍に空気を吹き付ける空気噴出手段とを備えることを特徴とする。
【００１６】
第６の発明は、上記第５の発明において、空気を浄化するためのフィルタをさらに備え、空気噴出手段は、フィルタを透過した空気を噴出することを特徴とする。
【００１７】
第７の発明は、上記第５の発明において、薄板基板が載置テーブルに対してずれないように、当該薄板基板の非検査領域の一部を載置テーブルに固定する非検査領域固定手段をさらに備えることを特徴とする。
【００１８】
第８の発明は、上記第５の発明において、載置テーブルの載置面の起伏を表す起伏データを記憶した起伏データ記憶手段をさらに備え、駆動手段は、基板起伏データに基づいて、撮像手段と載置テーブルの載置面を等距離に保ちながら撮像手段を移動させることを特徴とする。
【００１９】
第９の発明は、上記第５の発明において、空気噴出手段は、撮像手段に固着されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
第１の発明によれば、空気（風圧）で薄板基板を載置テーブルに密着するため、従来のような、ローラ等による接触ダメージを与えることがない。また、薄板基板と載置テーブルの間に空気層が生じていたとしても、風圧によりこの空気層を除去して薄板基板を載置テーブルに密着させることができるため、精度の高い検査が可能となる。また、高性能な変位センサーが不要となるため、装置全体のコストを抑えることができる。
【００２１】
第２の発明によれば、浄化した空気を吹き付けることにより、薄板基板等の上のゴミを除去できる。その結果、欠陥検査等において、薄板基板等の上のゴミによる誤検出が低減する。
【００２２】
第３の発明によれば、薄板基板の非検査部分を載置テーブルに固定することで、薄板基板に空気を吹き付けたときに薄板基板全体が平面的に移動してしまう可能性を無くすことができる。
【００２３】
第４の発明によれば、撮像ステップが、載置テーブルの平面度と等距離を保ちながら走査することにより、載置テーブルと密着している薄板基板に対する撮像の焦点距離を一定に保つことができ、より正確な欠陥検査等が可能となる。また、載置テーブルの平面度は固定的であるため、事前に載置テーブル自体の平面度の変位データを用意しておくことにより、検査の都度、載置テーブル自体の平面度を測定する必要もなく、欠陥検査等にかかる時間を短縮できる。更に、従来行っていた、薄板基板等の平面度を計測する変位測定ステップが不要となるため、その分検査方法にかかるコストと時間を低減することができる。
【００２４】
また、第５〜第８の発明によれば、上述した第１〜第４の発明と同様の効果が得られる。
【００２５】
第９の発明によれば、空気噴出手段が撮像手段に固着されているため、空気噴出手段の位置を移動させるための駆動手段を別途設ける必要がなく、装置のコストを抑えることができる。また、空気吹き付け位置と読み取り位置との相対位置が固定されるため、より的確に読取位置近傍を空気で押圧することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここでは、説明を具体的にするために、配線パターンの描かれたフィルムマスクを検査する場合を一例として説明する。尚、この実施例により本発明が限定されるものではない。すなわち本発明は、フィルムマスクの検査に限らず、フレキシブルな薄板基板の検査に対して有効である。
【００２７】
図１は、本発明の実施の形態に係る光学式外観検査装置の全体構成を模式的に示す側面図である。図２は、図１の構成を装置上方から見た平面図である。図１および図２において、光学式外観検査装置は、載置テーブル２と、撮像部３と、Ｚ軸ベース４と、Ｘ軸ベース５と、エアーブローブロック６と、ノズル７とで構成される。
【００２８】
図２において、載置テーブル２は、矩形フレーム８の中にガラス板９を取り付けた構造となっている。このガラス板９の上面にフィルムマスク１が載置されて、当該ガラス板９によって支持される。載置テーブル２は、図示しないモータ等で駆動されて、主走査方向Ｙに沿って水平に移動する。また、上記ガラス板９の下方には、図示しない透過照明用光源が配置されている。上記透過照明用光源は、ガラス板９を介してフィルムマスク１の下面に照明光を照射する。
【００２９】
撮像部３は、ラインセンサ（図３の１０）および図示しないラインＣＣＤ用レンズで構成されるラインＣＣＤカメラにより実現される。撮像部３（のラインセンサ１０）は、入射された光をその色や強度を示す電気信号に変換する。撮像部３は、図１のように、載置テーブル２の載置面より上方に配置される。そして上記透過照明用光源からフィルムマスク１に照射された透過光が撮像部３により受光される。
【００３０】
撮像部３は、Ｘ軸ベース５によって副走査方向Ｘに移動可能となっている。撮像部３のＸ方向の位置を固定した状態で載置テーブル２が主走査方向Ｙに移動することにより主走査が行われ、フィルムマスク１の検査領域の一端から他端までの主走査が完了する毎に、撮像部３は副走査方向Ｘにそって所定距離だけ移動する。この結果、フィルムマスク１の検査領域全体についての画像データが得られることとなる。さらに撮像部３は、Ｚ軸ベース４によって図１のＺ方向に移動可能となっている。Ｚ軸ベース４は、載置テーブル２の載置面の起伏に応じて撮像部３をＺ方向に適宜移動させる。本実施形態においては、ノズル７から噴出された空気によってフィルムマスク１は載置テーブル２の載置面に倣うように密着する。そして、フィルムマスク１の厚みは一様である。したがって、載置テーブル２の載置面の起伏に関するデータとフィルムマスク１の厚みに関するデータさえ得られれば、Ｚ軸ベース４は、フィルムマスク１を走査する間、撮像部３のフォーカス位置が常にフィルムマスク１の上面にあたるように撮像部３のＺ軸方向の位置を制御することができる。なお、載置テーブル２の載置面の起伏に関するデータについては、載置テーブル２が製造された段階で調べて不揮発性の記憶装置に記憶しておいてもよいし、フィルムマスクを検査する直前にその都度調べて揮発性の記憶装置に記憶するようにしてもよい。なお、製造直後に用意しておく場合は、フィルムマスクを検査する直前にその都度調べる必要がないため、載置面の起伏を調べるセンサーが不要であるという点で有利であり、一方、フィルムマスクを検査する直前にその都度調べる場合は、製造後に万が一載置テーブル２に変形が生じたとしてもその変形に応じてフォーカス位置が適切に制御されるという点で有利である。
【００３１】
図３は、撮像部３と、エアーブローブロック６と、ノズル７との構成を模式的に示す斜視図である。また、図４は、撮像部３と、エアーブローブロック６と、ノズル７との構成を模式的に示す底面図である。図５は、撮像部３のラインセンサ１０と、フィルムマスク１上の読取位置１１との位置関係を模式的に示す斜視図である。
【００３２】
図３において、エアーブローブロック６は、撮像部３の下部フランジに、撮像部３のラインセンサ１０と読取位置１１（すなわち、ラインセンサ１０の走査位置）との間の透過光を遮らないように取り付けられる。ノズル７は、フィルムマスク１の上面に対して垂直に空気を吹き付けるようにエアーブローブロック６に取り付けられる。また、ノズル７は、エアーブローブロック６から噴出される空気の直接吹き当たるフィルムマスク１上面の位置が読取位置１１の近傍となる位置に取り付けられる。エアーブローブロック６は、図示しない空気供給部から空気を供給される。そして、エアーブローブロック６は、あらかじめ設定された、フィルムマスク１をガラス板９に密着させるに十分な圧力および風力をもつ空気を、ノズル７を介して噴出する。上記空気の風圧および風力の設定は、図示しないエアー調整手段により、利用者が任意に設定できる。
【００３３】
次に、本実施形態で行われる光学式外観検査方法を説明する。まず、事前に用意した載置テーブル２の載置面の起伏に関するデータを、図示しない撮像動作制御部に入力する。この撮像動作制御部は、Ｚ軸ベース４およびＸ軸ベース５を介して、撮像部３自体のＸ方向およびＺ方向への移動を制御するものである。そして、撮像部３が、画像取り込み処理に際して、上記起伏に関するデータにフィルムマスク１の厚み分を考慮したデータを基に、Ｚ方向に適宜移動するように上記撮像動作制御部を設定する。これにより、撮像部３は、Ｙ方向に水平移動するガラス板９自体の表面の起伏に応じて適宜Ｚ方向へ移動する。ここで、ノズル７からの空気の噴出によって、フィルムマスク１がガラス板９に倣って密着していることが保証されているため、撮像部３は、フィルムマスク１の表面から常に等距離を保ったまま撮像を行うことになる。
【００３４】
上記の撮像動作制御部の設定が終われば、検査対象となるフィルムマスク１を、載置テーブル２上に載置する。次に、フィルムマスク１の非検査部の一部（一般的に、フィルムマスクの端の部分である。）を、載置テーブル２に備えられている図示しない真空吸着手段により真空吸着する。これにより、フィルムマスク１が平面方向に動かないように固定される。なお、非検査部の固定手段は、クランプによる押さえつけや静電吸着手段を用いてもよい。そして、上記非検査部の固定が終われば、載置テーブル２に設けられている上記透過照明用光源からフィルムマスク１に向けて、照明光が照射される。
【００３５】
上記照明光が照射された後、撮像部３は、所定の画像読取開始位置に移動する。次に、エアーブローブロック６は、ノズル７を介してあらかじめ設定された圧力、風量を持つ空気を噴出する。すると、フィルムマスク１上の空気吹き付け地点周辺が、載置テーブル２に密着する。ノズル７の空気吹き付け地点は、読取位置１１の近傍になるため、読取位置１１も載置テーブル２に密着することになる。そして、本実施形態に係る光学式外観検査装置は、図示しないＹ軸送り機構により載置テーブル２をＹ方向に水平移動させながら、撮像部３により画像読取処理を行う。すなわち、上記光学式外観検査装置は、撮像部３の現在の画像読取対象である読取位置１１）を、ノズル７から噴出される空気で載置テーブル２に密着させながら、画像読取処理を行うことになる。つまり、撮像部３がこれから読み取ろうとするフィルムマスク１上の読取対象位置（読取位置１１）は、撮像部３の読み取り時点において常にガラス板９に密着している状態になる。そして、上述のように、フィルムマスク１の厚みは一様であるため、フィルムマスク１をガラス板９の表面に密着させるだけで、撮像部３のフォーカス位置が常にフィルムマスク１の上面になる。その結果、撮像部３は、焦点距離のずれがない精度の高い画像読取が可能となる。
【００３６】
上述のように、載置テーブル２が主走査方向Ｙに水平移動することで、撮像部３は、フィルムマスク１の検査領域の一端から他端まで画像読取を行う。上記画像読取が完了すれば、撮像部３は、副走査方向Ｘにそって所定距離だけ移動する。次に、載置テーブル２が前回と反対方向のＹ方向に水平移動するので、撮像部３は、先ほどと同様にフィルムマスク１の検査領域の一端から他端までの画像読取を行う。本実施形態に係る光学式外観検査装置は、上記の画像読取処理を検査領域全体の画像読取が終了するまで繰り返す。
【００３７】
このように、撮像部３の画像読取に合わせて、ノズル７から撮像部３の画像読取位置である読取位置１１の近傍に空気を吹き付けてフィルムマスク１を押さえつけることによって、フィルムマスク１と載置テーブル２との間の空気層（うねり、たるみ）をなくすことができる。その結果、読取位置１１を載置テーブル２に密着させることができ、焦点距離に狂いの無い、正確な画像読取が可能となる。また、空気を吹き付けてフィルムマスク１を押さえつけている（すなわち、非接触）ため、フィルムマスク１の表面に接触ダメージを与えることもない。そのため、フィルムマスク１の配線パターンを正確に読み取り、その結果として精度の高い検査が実現する。
【００３８】
なお、ノズル７から噴出する空気は、例えば、エアーフィルター等を通した、クリーン度の高い空気（浄化された空気）でもよい。さらに、イオナイザー等で静電除去処理を行ってもよい。クリーン度の高い空気を噴出する事により、フィルムマスク１の押さえ付けに加え、フィルムマスク１の表面上のゴミを吹き飛ばすことが可能となる。その結果、フィルムマスク１の表面に付着しているゴミが原因となる誤検出を防止することができる。なお、上記クリーン度の高い空気によるゴミの吹き飛ばしは、フレキシブルな薄板基板だけでなく例えばガラス乾板等を検査対象とする際にも有用である。
【００３９】
また、ノズル７は、フィルムマスク１に対して垂直に限らず、斜めの角度から空気を噴出するようにエアーブローブロック６に取り付けられてもよい。上述のように、ノズルから垂直に空気を噴出すると、ゴミが真上に吹き飛びやすく、その結果、撮像部３のラインＣＣＤ用レンズへ吹き飛ばしたゴミが付着する可能性がある。そこで、斜めの角度から空気を吹き当てることにより、フィルムマスク１上に付着しているゴミを斜め方向に吹き飛ばす。これにより、垂直に空気を噴出するときに比べて撮像部３のラインＣＣＤ用レンズへのゴミの付着を低減することができる。また、仮に撮像部３とフィルムマスク１間の間隔が狭くてノズル７を撮像部３の下部フランジの下方に設けることが困難な場合であっても、ノズル７を下部フランジの側面に設けてノズル７からの空気が読取位置１１の近傍に向かって斜めに吹き付けられるようにすれば、読取位置１１の近傍を空気で密着させることが可能となる。
【００４０】
また、本実施形態では１つの撮像部３を用いてフィルムマスク１を走査するとしたが、本発明はこれに限らず、例えば２つの撮像部を副走査方向（Ｘ方向）に並べて設け、本実施形態における２回分の走査を、２つの撮像部を用いて同時に行っても良い。この場合には、２つの撮像部のそれぞれについてノズルを設けるのが好ましい。撮像部を３つ以上設ける場合も同様である。
【００４１】
また、本実施形態では載置テーブル２が移動することによって主走査を行うとしたが、本発明はこれに限らず、撮像部３を主走査方向に移動させることによって主走査を行うようにしてもよい。同様に、撮像部３を副走査方向に移動させる替わりに、載置テーブル２を副走査方向に移動させるようにしてもよい。
【００４２】
また、本実施形態ではノズル７が撮像部３に固着されているが、本発明はこれに限らず、ノズル７を撮像部３とは独立して移動させるようなノズル駆動手段を別途設けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
本発明にかかる光学式外観検査方法および光学式外観検査装置は、フィルムマスクやフレキシブルな薄板基板を空気で押圧することで載置テーブルに密着させるため、安価な装置を用いて精度の高い検査をすることができ、光学式外観検査装置やベリファイ装置や露光機等についても有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施形態に係る光学式外観検査機の全体構成を模式的に示す側面図
【図２】本発明の実施形態に係る光学式外観検査機の全体構成を模式的に示す平面図
【図３】撮像部３と、エアーブローブロック６と、ノズル７との構成を模式的に示す斜視図
【図４】撮像部３と、エアーブローブロック６と、ノズル７との構成を模式的に示す底面図
【図５】ラインセンサ１０と、読取位置１１との位置関係を模式的に示す斜視図
【符号の説明】
【００４５】
１  フィルムマスク
２  載置テーブル
３  撮像部
４  Ｚ軸ベース
５  Ｘ軸ベース
６  エアーブローブロック
７  ノズル
８  矩形フレーム
９  ガラス板
１０  ラインセンサ
１１  読取位置
【図１】
2005308636.tif 000003
【図２】
2005308636.tif 000004
【図３】
2005308636.tif 000005
【図４】
2005308636.tif 000006
【図５】
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