(57)【要約】【課題】従来の光記録媒体に比べて、クロスイレース、クロスライトを有効に防ぐことができ、結果としてクロストークを著しく低減した光記録媒体、特に高性能の高密度光記録媒体を提供する。【解決手段】基板上に記録層と熱制御層を積層した光記録媒体であって、該熱制御層は、面方向に連続領域と非連続領域の２つの領域が繰り返し規則的に存在し、かつ連続領域は隣り合う非連続領域の境界に熱障壁機能をもって偏在する熱障壁材料からなることを特徴とする光記録媒体。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に記録層と熱制御層を積層した光記録媒体であって、該熱制御層は、面方向に連続領域と非連続領域の２つの領域が繰り返し規則的に存在し、かつ連続領域は隣り合う非連続領域の境界に熱障壁機能をもって偏在する熱障壁材料からなることを特徴とする光記録媒体。
【請求項２】
該連続領域の構成物質の熱伝導率が、該非連続領域の構成物質の熱伝導率よりも低いことを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体。
【請求項３】
該連続領域と該非連続領域の構成物質が、それぞれ異なる無機酸化物からなることを特徴とする請求項１または２に記載の光記録媒体。
【請求項４】
該連続領域の構成物質が、珪素、チタン、亜鉛、鉛、ビスマスから選ばれる金属の酸化物もしくはこれらの金属の複合酸化物の少なくとも１種からなると共に、該非連続領域の構成物質が、コバルト、バナジウム、マンガン、鉄、銅から選ばれる金属の酸化物もしくはこれらの金属の複合酸化物の少なくとも１種からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項５】
該非連続領域の構成物質が、Ｃｏ３Ｏ４及び／又はＣｏＯであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項６】
該Ｃｏ３Ｏ４と該ＣｏＯの間の相変化を光記録材料として利用することを特徴とする請求項５に記載の光記録媒体。
【請求項７】
該熱制御層が、該記録層と接するように形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項８】
該熱制御層が、保護層で挟まれるように形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項９】
記録層の記録に用いる材料として相変化材料を用いたことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の光記録媒体。
【請求項１０】
該記録層の記録に用いる相変化材料としてアンチモンとテルルを含み、アンチモンとテルルの総和に対するアンチモンの質量割合が６５％〜８５％であることを特徴とする請求項９に記載の光記録媒体。
【請求項１１】
光の入射側から保護層、記録層、保護層、熱制御層、保護層、金属層の順に形成された層構成を持つことを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光記録媒体、更に詳しくはクロスイレース、クロスライト、クロストークを低減した光記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、情報記録媒体としてはコンパクトディスクに代表されるディスク状情報記録媒体が良く知られている。情報記録媒体には、読み出し専用、追記型、書き換え型の３種類があるが、読み出し専用としてはＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ−ＲＯＭが、追記型としてＣＤ−Ｒなどが、書き換え型としてＣＤ−ＲＷのような相変化記録方式、またはＭＯのような光磁気記録方式のものがあり、それぞれ実用化されている。従来の情報記録媒体もかなりの容量であるが、マルチメディア、情報ネットワークの時代になり、さらなる大容量の記録システムが必要とされてきている。特に近年は情報技術の進歩に伴って情報量が飛躍的増加しており、情報記録媒体の高密度化および大容量化に対する要求が一層高まっている。
【０００３】
上記情報記録媒体の高密度化の方法として、同じ情報量が記録される面積を小さくする方法、つまり記録ピットを小さくする方法がある。記録ピットを小さくするには、光をレンズで絞り、光のスポットをより小さくする必要がある。光のスポット径は光の波長をλ、レンズの開口率をＮＡとするとλ／ＮＡに比例するため、スポット径を小さくするには、波長を短くするか、レンズの開口率を大きくすることが行われている。最近では波長０．６５μｍの光を利用したＤＶＤが実用化を迎え、更に波長０．４μｍ程度の短い光を用いて高密度化を目指す開発も盛んに行われている。
ところで、記録ピットを小さくする方法では、隣の記録ピットとの間隔を小さくし、線記録密度、トラック密度を大きくすることも同時に行う必要がある。しかし、トラック方向の密度を大きくすることにより、隣りのトラックに記録されている情報を消してしまったり（クロスイレース）、隣りのトラックにまで情報を書きこんでしまったり（クロスライト）することが起こり、再生信号に隣接トラックの信号が混入（クロストーク）することが問題となっている。
【０００４】
クロストークを低減する方法としては、トラックの溝形状や溝深さなどを最適化する方法がある（特許文献１参照。）。また、クロスイレースを防ぐために隣接トラックの記録マークの光吸収・発熱を押さえる層構成にする方法が提案されている（特許文献２参照。）。
【０００５】
しかし、これらの方法では、層の構造や構成が複雑になり、高密度記録特性とクロストーク抑制とを両立させることが難しくなることや、光の性質を利用したものであるのでトラックピッチをより狭くしたときには溝形状の制御が難しくなるなどの点で限界がある。このように従来の技術では、光記録媒体の高密度化技術開発で起きるクロスイレースとクロスライト、またそれによって引き起こされるクロストークの問題を解決することは困難であり、その解決方法の一つとして材料の各種特性を応用した新たな解決方法が待たれている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平５−１０１４１３号公報
【特許文献２】
特開２０００−９０４９１号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、従来の光記録媒体に比べてクロスイレース、クロスライトを有効に防ぐことができ、結果としてクロストークを著しく低減した光記録媒体、特に高性能の高密度光記録媒体を提供することをその課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記課題を解決するための研究を重ねた際に、トラックピッチを狭くした高密度光記録媒体では、記録トラックに発生した熱が面方向へ拡がり、隣接トラックにまでこの記録マークが拡がるとともに、隣接トラック間で記録マークが重なり合うこともあることを確認した。本発明者は引き続き、熱の面方向への拡がりを防止できる技術について研究し、特定のミクロ構造の熱障壁材料が上述の光記録媒体の問題点を解決できることを見出し、本発明に到達したものである。
【０００９】
即ち、本発明によれば、以下に示す光記録媒体が提供される。
（１）基板上に記録層と熱制御層を積層した光記録媒体であって、該熱制御層は、面方向に連続領域と非連続領域の２つの領域が繰り返し規則的に存在し、かつ連続領域は隣り合う非連続領域の境界に熱障壁機能をもって偏在する熱障壁材料からなることを特徴とする光記録媒体。
（２）該連続領域の構成物質の熱伝導率が、該非連続領域の構成物質の熱伝導率よりも低いことを特徴とする前記（１）に記載の光記録媒体。
（３）該連続領域と該非連続領域の構成物質が、それぞれ異なる無機酸化物からなることを特徴とする前記（１）または（２）に記載の光記録媒体。
（４）該連続領域の構成物質が、珪素、チタン、亜鉛、鉛、ビスマスから選ばれる金属の酸化物もしくはこれらの金属の複合酸化物の少なくとも１種からなると共に、該非連続領域の構成物質が、コバルト、バナジウム、マンガン、鉄、銅から選ばれる金属の酸化物もしくはこれらの金属の複合酸化物の少なくとも１種からなることを特徴とする前記（１）〜（３）のいずれかに記載の光記録媒体。
（５）該非連続領域の構成物質が、Ｃｏ３Ｏ４及び／又はＣｏＯであることを特徴とする前記（１）〜（４）のいずれかに記載の光記録媒体。
（６）該Ｃｏ３Ｏ４と該ＣｏＯの間の相変化を光記録材料として利用することを特徴とする前記（５）に記載の光記録媒体。
（７）該熱制御層が、該記録層と接するように形成されていることを特徴とする前記（１）〜（６）のいずれかに記載の光記録媒体。
（８）該熱制御層が、保護層で挟まれるように形成されていることを特徴とする前記（１）〜（６）のいずれかに記載の光記録媒体。
（９）記録層の記録に用いる材料として相変化材料を用いたことを特徴とする前記（１）〜（８）のいずれかに記載の光記録媒体。
（１０）該記録層の記録に用いる相変化材料としてアンチモンとテルルを含み、アンチモンとテルルの総和に対するアンチモンの質量割合が６５％〜８５％であることを特徴とする前記（９）に記載の光記録媒体。
（１１）光の入射側から保護層、記録層、保護層、熱制御層、保護層、金属層の順に形成された層構成を持つことを特徴とする前記（１）〜（１０）のいずれかに記載の光記録媒体。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について説明する。
本発明（１）は、基板上に記録層と熱制御層を積層した光記録媒体であって、該熱制御層は、面方向に連続領域と非連続領域の２つの領域が繰り返し規則的に存在し、かつ連続領域は隣り合う非連続領域の境界に熱障壁機能をもって偏在している熱障壁材料からなることを特徴とする光記録媒体に関する。
光記録媒体は、円周状に形成されたトラックに沿って記録を行うものであるが、そのトラックの幅よりも光のスポット径が大きくなると記録時に隣接トラックにも光が照射されることになり、また、隣接トラックも温度上昇することにより隣接トラックの情報が消去されてしまったり（クロスイレース）、隣接トラックにも記録されてしまったり（クロクライト）という影響を及ぼすようになる。そこで、少なくとも隣接トラックとの境目に沿って該熱障壁材料からなる熱制御層を配置し、記録される部分の熱が隣接トラックに影響を及ぼしにくくすることにより、クロスイレース、クロスライトを防ぐことができるものである。また該熱制御層をトラック全面に配置することにより、トラック方向においても熱の影響を及ぼしにくくすることができ、高性能の記録が可能となるものである。
該熱障壁材料は、面方向に連続領域と非連続領域の２つの領域が繰り返し規則的に存在し、かつ連続領域は隣り合う非連続領域の境界に熱障壁機能をもって偏在している構造を有している。該熱制御層は、トラックで熱障壁機能を発揮するものであるので、少なくとも隣接トラックとの境目位置に連続領域が連なって配置されなければならない。またトラックはカーブしているので、連続領域はトラックの境目の狭い幅に沿って連なるものでなければならない。すなわち、連続領域は、いずれの方向にも連なることができる構造のものである必要がある。本発明は、網状の連続領域と網目状の非連続領域の規則的な繰り返しによって、この点を解決するものである。本発明における規則的な繰り返しの間隔は、５〜２０ｎｍである。本発明においては、ほぼ正六角形の規則的な繰り返し構造を有する網状の非連続領域が特に好ましい態様である。該熱制御層については、後述の実施例、作用において更に詳しく説明する。
【００１１】
本発明（２）は、更に該連続領域の構成物質の熱伝導率が、該非連続領域の構成物質の熱伝導率よりも低いことを特徴とするものである。該連続領域の熱伝導率が、該非連続領域のそれよりも低い素材を用いることよって、より熱の広がりを抑制することが可能となるものである。本発明における好ましい熱伝導率は、連続領域が１〜１０Ｗ／ｍ・Ｋ、非連続領域が０．２〜１である。
【００１２】
本発明（３）は、さらに該連続領域と該非連続領域の構成物質をそれぞれ異なる無機酸化物とした光記録媒体に関する。面方向に連続領域と非連続領域の２つの領域が繰り返し規則的に存在する素材を構成するには、無機酸化物が優れている。本発明に用いられる無機酸化物としては、該非連続領域の構成物質が、コバルト、バナジウム、マンガン、鉄、銅から選ばれる金属の酸化物もしくはこれらの金属の複合酸化物の少なくとも１種、該連続領域の構成物質が、珪素、チタン、亜鉛、鉛、ビスマスから選ばれる金属の酸化物もしくはこれらの金属の複合酸化物の少なくとも１種を挙げることができる。特には、コバルトや珪素の酸化物の混合体が好ましい。面方向に該２つの領域が繰り返し規則的に存在する素材を製造方法としては、スパッタリング法を採用することができる。２種類の酸化物を混合したターゲットを用いてスパッタリング法により、２種類の酸化物が規則的に存在している膜を作製することが可能である。例えば、コバルト酸化物と珪素酸化物の混合焼結ターゲットを用いて製膜した膜は、コバルト酸化物の結晶粒界に珪素酸化物が偏析し、珪素酸化物が連続する構造となることが知られている。コバルト酸化物と珪素酸化物とでは熱伝導率が異なり、且つ珪素酸化物の方が熱伝導度が低い。そのため珪素結晶粒界は、熱障壁の機能を発揮し、これにより記録時の所望記録部分以外への熱伝導が抑制され、効率よくクロスイレース、クロスライトを防ぐことが可能となるものである。
【００１３】
本発明（４）は、更に該連続領域の構成物質が、珪素、チタン、亜鉛、鉛、ビスマスから選ばれる金属の酸化物もしくはこれらの金属の複合酸化物の少なくとも１種からなると共に、該非連続領域の構成物質が、コバルト、バナジウム、マンガン、鉄、銅から選ばれる金属の酸化物もしくはこれらの金属の複合酸化物の少なくとも１種からなる熱障壁材料を用いた光記録媒体に関する。Ｃｏ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５、Ｍｎ２Ｏ３、γ−Ｆｅ２Ｏ３、ＣｕＯなどを一方の酸化物として用いることができる。これらの酸化物の粒界に偏析させるように形成する酸化物としては、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２、ＺｎＯ、ＳｉＯ２−ＰｂＯ複合酸化物、ＳｉＯ２−Ｂｉ２Ｏ３複合酸化物などを例示することが可能である。Ｃｏ３Ｏ４は六角柱状の構造を有しており、その結晶粒界にＳｉＯ２が偏析するような膜が形成される。これらの酸化物を混合したターゲットを用いてスパッタリング法により製膜するか、別々のターゲットを用いて同時スパッタリングによって酸化物が規則的に配置された膜が形成され、光記録媒体のクロストークなどを低減することができる。
【００１４】
本発明（５）は、更に該非連続領域の構成物質が、Ｃｏ３Ｏ４及び／又はＣｏＯである光記録媒体に関する。スパッタリング法を用い、Ｃｏ酸化物のターゲットを用いて製膜をすることにより、Ｃｏ３Ｏ４または、ＣｏＯの膜を製膜することができる。通常Ｃｏ３Ｏ４が安定であり、この構造が大部分となるが、ＣｏＯが混合することもあるが問題はない。Ｃｏ酸化物ともう一方のＳｉＯ２などでは大きく熱伝導率が異なるため、境界であるＳｉＯ２を越えて熱が広がりにくくなる。そのため、記録マークはこの領域で制限され隣接トラックへの影響を特に効果的に抑えることが可能となる。
【００１５】
本発明（６）は、該Ｃｏ３Ｏ４と該ＣｏＯの間の相変化を光記録材料として利用する光記録媒体に関する。通常Ｃｏ酸化物は、Ｃｏ３Ｏ４が安定であるが、９００℃以上では、ＣｏＯに相転移し、これを急冷することにより常温でＣｏＯを得ることができる。また、熱を加えることでＣｏ３Ｏ４に戻すことが可能である。これらの相変化を利用して部分的に光学特性を変化させることなどが可能となり、より高密度の記録が可能となる。また、スパッタリングなどの気相成長法では、常温に近い温度での製膜においても急冷と同じ効果を得ることが可能であり、ＣｏＯを形成することも可能である。
【００１６】
本発明（７）は、該熱制御層が、該記録層と接するように形成されていることを特徴とする光記録媒体に関する。熱制御層を記録層の下面に接するように形成することで、熱制御層膜の構造が直接上面の記録層の熱の拡がりを防ぎ、良好な記録マークが形成される。
【００１７】
本発明（８）は、さらに該熱制御層が、保護層で挟まれるように形成されている光記録媒体に関する。熱制御層を保護層で挟み込むことにより、他の層の材料との拡散などを防ぐ効果があり、良好な記録が可能となる。また、熱制御層自体の膜の結晶粒径の成長を防ぐ効果もある。
【００１８】
本発明（９）は、前述した本発明において、光記録媒体の記録層の記録材料として相変化材料を用いた光記録媒体に関する。相変化記録においては、到達温度、冷却速度などが記録特性に大きく影響を及ぼす。急冷状態を作ることでアモルファス構造を実現している。そのため、記録領域の中で熱伝導率が異なる部分があるとその部分では、記録状態が異なることになり、記録状態が変化する。この効果を利用して記録マークが広がらないように制御することで、隣接トラックへの影響を抑制することが比較的容易に可能である。
【００１９】
本発明（１０）は、前記（９）の発明において、相変化材料としてアンチモンとテルルを含み、アンチモンとテルルの総和に対するアンチモンの質量割合が６５％〜８５％である光記録媒体に関する。アンチモンおよびテルルを含む相変化材料は、記録マークの大きさを制御しやすく、高密度記録に適した材料であり、本発明に効果的に利用できる。アンチモンの割合が６５％以下になると温度勾配を利用した記録が困難になるため、小さなマークを記録しにくくなり高密度記録に適さない。また、８５％以上になると記録マークが消滅しやすくなるため保存特性が劣化することになる。
【００２０】
本発明（１１）は、光の入射側から保護層、記録層、保護層、熱制御層、保護層、金属層の順に形成された層構成を持つ光記録媒体に関する。記録を行う場合、記録層で光を吸収し発熱することにより記録を行う。相変化記録などでは熱の放熱速度も重要である。そこで記録層を最適な保護層で挟みこむことにより記録特性が向上し、制御しやすくなる。また、熱制御層の上下の面を保護層で挟みこむことにより接する層への拡散などの影響を抑制できる。このような層構成とすることで、隣接トラックへの影響を抑え良好に記録が可能な光記録媒体が実現できる。
【００２１】
【実施例】
以下に実施例を示して、本発明をさらに詳細に説明する。
【００２２】
［実施例１］
本実施例は、本発明（１）〜（７）に対応するものである。
図１及び図４は、説明に用いる添付図面である。
【００２３】
図１は、本実施例の光記録媒体の層構成の断面図を示す。光記録媒体は、積層体であって、基板１、金属層２、熱制御層３及び記録層４からなり、熱制御層３は記録層４に接する構成である。
本光記録媒体は、基板１上に金属層２、熱制御層３を形成し、その上面に記録層４を形成し製造した。基板１は、トラックピッチが３００ｎｍのトラック溝を形成したポリカーボネート樹脂製の基板を用いた。金属層２は、Ａｇ層を厚さ１４０ｎｍに形成した。熱制御層３は、Ｃｏ酸化物とＳｉ酸化物の混合膜を３０ｎｍの膜厚で製膜した。記録層４は、ＳｂＴｅ膜を１５ｎｍの膜厚で形成したものを用いた。いずれもスパッタリング法で形成した。本熱制御層のスパッタリング法による製造条件は次の通りである。
ターゲット：Ｃｏ酸化物：Ｓｉ酸化物＝９：１
スパッタガス：アルゴン、流量２０ｓｃｃｍ
印加電力：４００Ｗ
熱制御層３は、膜の上面から見ると六角形状の結晶が規則的に並んだ形状をしている。その粒界にＳｉＯ２が偏析している形状・構造になっている。粒界形状は網様（亀甲型様）であり、膜の平面方向に連続領域を形成し、Ｃｏ酸化物からなる非連続領域を取り囲む構造からなっている。図４はその模式図であり、連続領域を３ａ、非連続領域を３ｂで表している。本熱制御層の組成、構造、物性は次の通りである。
組成：Ｃｏ酸化物：Ｓｉ酸化物＝９：１
粒界間距離（六角形の平行線間距離）：１０ｎｍ
この光記録媒体を線速３．５ｍ／ｓで回転させ、波長４０５ｎｍ、ＮＡ０．８５のピックアップを用いて記録を行った。記録の光のパワーは４ｍＷ、消去パワーは２ｍＷとした。いわゆる８／１６変調で一つのトラックのみ記録を行ったところ、変調度６２％であった。隣接トラックにも記録を行った場合の変調度の変化はなく、隣接トラックに影響を及ぼすことなく記録を行うことができた。従来は、隣接トラックの影響がないトラックピッチは、３２０ｎｍ程度までが限界であったが、本実施例のような構成によると３００ｎｍ以下のトラックピッチにおいても隣接トラックの影響を抑制可能である。
【００２４】
［実施例２］
本実施例は、本発明（１）〜（７）、（９）及び（１０）に対応するものである。図２は、本実施例の光記録媒体の層構成の断面図を示す。
光記録媒体は、基板１、金属層２、熱制御層３、記録層４及び最上層の保護層５からなり、熱制御層３は記録層４に接する構成である。本記録媒体は、トラックピッチ２８０ｎｍのトラック溝を形成したポリカーボネート樹脂製の基板１上に、金属層２としてＡｇ層を１２０ｎｍの厚さに形成し、熱制御層３としてＣｏ酸化物とＺｎ酸化物の混合層を３０ｎｍの厚さに形成した。その上面にＡｇ３Ｉｎ１Ｓｂ７２Ｔｅ２５からなる記録層４を１２ｎｍ、ＺｎＳ・ＳｉＯ２からなる保護層５を２０ｎｍ形成した。いずれもスパッタリング法で形成した。熱制御層のスパッタリング条件は次の通りである。
ターゲット：組成：Ｃｏ酸化物：Ｚｎ酸化物＝９：１
スパッタガス：Ａｒ
ガス圧：１０−３Ｔｏｒｒ台
印加電力：４００Ｗ
熱制御層３は、膜の上面から見ると六角形形状の結晶が規則的に並んだ形状をしている。その粒界にＺｎＯが偏析している形状・構造になっている。膜の平面方向に連続領域を形成し、コバルト酸化物からなる非連続領域を取り囲む構造からなっている。本熱制御層の組成、構造は次の通りである。
組成：Ｃｏ：Ｚｎ＝９：１
粒界幅１ｎｍ、結晶粒径１０ｎｍ
本光記録媒体について実施例１と同様の条件で記録を行った。その結果、実施例１の結果と同様に、隣接トラックへ影響を与えないで記録を行うことができた。
【００２５】
［実施例３］
本実施例は、本発明（８）及び（１１）に対応するものである。図３は、本実施例の光記録媒体の層構成の断面図を示す。
光記録媒体は、基板１、金属層２、保護層５ａ、熱制御層３、保護層５ｂ記録層４及び最上層の保護層５ｃからなり、熱制御層３と記録層４の間に保護層５ｂがある構成である。本記録媒体は、トラックピッチ２８０ｎｍのトラック溝（ランドトラック幅１８０ｎｍ、グループトラック幅１００ｎｍ）を形成したポリカーボネート樹脂製の基板１上に、金属層２としてＡｇ層を１２０ｎｍの厚さに形成し、ＺｎＳ・ＳｉＯ２からなる保護層５ａを１２ｎｍの厚さに、熱制御層３としてＣｏ酸化物とＳｉ酸化物の混合層を３０ｎｍの厚さに形成した。その上面にＺｎＳ・ＳｉＯ２からなる保護層５ｂを１２ｎｍ、ＡｇＩｎＳｂＴｅからなる記録層４を１２ｎｍ、ＺｎＳ・ＳｉＯ２からなる保護層５ｃを２０ｎｍの各厚さに形成した。いずれもスパッタリング法で形成した。熱制御層のスパッタリング条件は次の通りである。
ターゲット：Ｃｏ酸化物：Ｓｉ酸化物＝９：１
スパッタガス：Ａｒ
印加電力：４００Ｗ
熱制御層３は、膜の上面から見ると六角形形状のコバルト酸化物が規則的に並んだ形状をしている。その粒界に酸化シリコンが偏析している形状・構造になっている。本熱制御層の組成、構造は次の通りである。
組成：Ｃｏ：Ｓｉ＝９：１
粒界幅２ｎｍ、結晶粒径１５ｎｍ程度
この光記録媒体を線速３．５ｍ／ｓで回転させ、波長４０５ｎｍ、ＮＡ０．８５のピックアップを用いて記録を行った。記録の光のパワーは５ｍＷ、消去パワーは２．５ｍＷとした。いわゆる８／１６変調で一つのトラックのみ記録を行ったところ、変調度５５％であった。隣接トラックにも記録を行った場合の変調度の変化はなく、実施例１と同様に隣接トラックに影響を及ぼすことなく記録を行うことができた。
【００２６】
［実施例４］
本実施例は、本発明（４）、（８）及び（１１）に対応するものである。図３は、本実施例の光記録媒体の層構成の断面図を示す。
光記録媒体は、実施例３の光記録媒体と同様に、基板１、金属層２、保護層５ａ、熱制御層３、保護層５ｂ記録層４及び保護層５ｃからなる。本記録媒体は、トラックピッチ２８０ｎｍのトラック溝（ランドトラック幅２００ｎｍ、グループトラック幅８０ｎｍ）を形成したポリカーボネート樹脂製の基板１上に、金属層２としてＡｇ層を１４０ｎｍ、ＺｎＳ・ＳｉＯ２からなる保護層５ａを１２ｎｍ、熱制御層３としてＣｏ酸化物とＳｉＯ２−ＰｂＯ酸化物の混合層を５０ｎｍの各厚さに形成した。その上面にＺｎＳ・ＳｉＯ２からなる保護層５ｂを１２ｎｍ、ＡｇＩｎＳｂＴｅからなる記録層４を１２ｎｍ、ＺｎＳ・ＳｉＯ２からなる保護層５を２０ｎｍの各厚さに形成した。いずれもスパッタリング法で形成した。熱制御層のスパッタリング条件は次の通りである。
ターゲット：ターゲット：Ｃｏ酸化物：Ｓｉ酸化物：Ｐｂ酸化物＝６：２：２
スパッタガス：Ａｒ：４０ｓｃｃｍ
印加電力：２００Ｗ
熱制御層３は、膜の上面から見ると六角形形状のＣｏ酸化物が規則的に並んだ形状をしている。その粒界にＳｉ、Ｐｂの酸化物が偏析している形状・構造になっている。粒界を形成するＳｉ、Ｐｂの酸化物がＣｏ酸化物からなる非連続領域を取り囲む構造からなっている。本熱制御層の組成、構造は次の通りである。
組成：Ｃｏ：Ｓｉ：Ｐｂ＝６：２：２
Ｃｏ酸化物の結晶粒径２０ｎｍ、粒界の幅２ｎｍ
この光記録媒体を線速３．５ｍ／ｓで回転させ、波長４０５ｎｍ、ＮＡ０．８５のピックアップを用いて記録を行った。記録の光のパワーは６ｍＷ、消去パワーは３ｍＷとした。いわゆる８／１６変調で一つのトラックのみ記録を行ったところ、変調度５４％であった。隣接トラックにも記録を行った場合の変調度の変化はなく、実施例１と同様に隣接トラックに影響を及ぼすことなく記録を行うことができた。
【００２７】
［作用］
本発明の実施例１に基づいて、本発明の作用を説明する。
図５は、実施例１の光記録媒体上の記録マークの面方向の模式図である。図６は、従来の光記録媒体上の記録マークの面方向の模式図である。
図５に示すように、実施例１の光記録媒体は、記録層４とそれに接する熱制御層３を有する。熱制御層３は、連続領域３ａと非連続領域３ｂで表示してある。連続領域３ａと非連続領域３ｂは、記録層４のトラックの全面に配置されている。かつ連続領域３ａは、網目間隔が十分に小さいので、グループトラックに沿って連続して存在するように配置されている。
この構成の光記録媒体に光記録を行うと、記録層のランドトラックで発生した熱がグループトラックに位置する連続領域３ａの熱障壁によって隣接トラックへの移動を妨げられる。すなわち実施例１では、非連続領域３ｂのＣｏ酸化物の結晶周辺に偏析した連続領域３ａのＳｉＯ２により、隣接トラックに熱が拡がらず、記録マークが隣接トラックに拡大せず、有効に光記録を行うことができたものと考えられる。また、ランドトラックのトラック方向前後の隣り合う記録マーク間においても、連続領域３ａが熱障壁となって熱が拡がらず、期待する大きさの記録マークとなる。その結果、クロストークの問題を低減した高性能の高密度光記録媒体を作製できたものと考えられる。
これに対し、図６に示すように、従来の光記録媒体では高密度化のためにトラックピッチを狭くすると、熱の拡がりにより隣接トラックに記録されたマーク同士が影響を及ぼしあって、クロストークの問題を起こしているものと考えられる。
【００２８】
【発明の効果】
本発明（１）によれば、クロスイレース、クロスライトを防ぎ、クロストークを低減する基本構造の熱制御層を有する光記録媒体が提供できた。
また本発明（２）によれば、クロスイレース等を防ぎクロストークを低減する特定熱伝導率素材の熱制御層を有する光記録媒体が提供できた。
また本発明（３）によれば、クロスイレース等を防ぎクロストークを低減する酸化物素材の熱制御層を有する光記録媒体が提供できた。
また本発明（４）によれば、クロスイレース等を防ぎクロストークを低減する特定酸化物素材併用の熱制御層を有する光記録媒体が提供できた。
また本発明（５）によれば、クロスイレース等を防ぎクロストークを低減する特に選ばれたＣｏ３Ｏ４及び／又はＣｏＯであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに特定酸化物素材併用の熱制御層を有する光記録媒体が提供できた。
また本発明（６）によれば、特定酸化物素材併用の熱制御層を相変化光記録材料として利用することにより、より高密度な記録が可能となる光記録媒体が提供できた。
また本発明（７）によれば、クロスイレース等を防ぎクロストークを低減するのに有効な熱制御層積層構造を有する光記録媒体が提供できた。
また本発明（８）によれば、クロスイレース等を防ぎクロストークを低減するのに有効な熱制御層、保護層の積層構造を有する光記録媒体が提供できた。
また本発明（９）によれば、熱制御層を有し、記録層材料として相変化材料を用いることにより、クロスイレース等を防ぎクロストークを低減し、さらに優れた記録特性が得られる光記録媒体が提供できた。
また本発明（１０）によれば、前記（９）の発明の相変化材料をアンチモンとテルルを特定の量的範囲で用いる熱制御層とすることにより、クロスイレース等を防ぎクロストークを低減するとともに、特に優れた記録特性が得られる記録特性が得られる光記録媒体が提供できた。
さらにまた本発明（１１）によれば、光の入射側から保護層、記録層、保護層、熱制御層、保護層、金属層の順に形成された層構成を持つことにより記録特性の向上と記録マークの広がりを特に押さえられる光記録媒体が提供できた。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例１の光記録媒体の層構成を表す断面図。
【図２】実施例２の光記録媒体の層構成を表す断面図。
【図３】実施例３および実施例４の光記録媒体の層構成を表す断面図。
【図４】実施例１の記録層側４から見た、熱制御層３面方向の模式図。
【図５】実施例１の光記録媒体上の記録マークの面方向の模式図。
【図６】従来の光記録媒体上の記録マークの面方向の模式図。
【符号の説明】
１    基板
２    金属層
３    熱制御層
３ａ  連続領域
３ｂ  非連続領域
４    記録層
５    保護層
６    トラック
６ａ  ランドトラック
６ｂ  グループトラック
７    記録マーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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