(57)【要約】【課題】ロードポートのキャリア移載シーケンス検査を容易に行うことのできるパッシブ装置を提供すること。【解決手段】光伝送機器７、９をそれぞれ配置した２つのロードポート３、５を有する自動搬送システムであって、前記光伝送機器は、互いに通信可能であり、それぞれが受信用のＩ／Ｏインタフェース機能および送信用のＩ／Ｏインタフェース機能とを有し、前記ロードポートはそれぞれ、前記量Ｉ／Ｏインタフェース機能を切り替える切り替え手段を有し、前記切り替え手段により、前記ロードポートの一方の前記伝送機器を受信用のＩ／Ｏインタフェース機能に切り替え、前記ロードポートの他方の伝送機器を送信用のＩ／Ｏインタフェース機能に切り替えることにより、２つの前記ロードポート間でのキャリア移載シーケンス検査を行うことが可能な自動搬送システム。【選択図】  図２
2005038902.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光伝送機器をそれぞれ配置した２つのロードポートを有する自動搬送システムであって、
前記光伝送機器は、互いに通信可能であり、それぞれが受信用のＩ／Ｏインタフェース機能および送信用のＩ／Ｏインタフェース機能とを有し、
前記ロードポートはそれぞれ、前記量Ｉ／Ｏインタフェース機能を切り替える切り替え手段を有し、
前記切り替え手段により、前記ロードポートの一方の前記伝送機器を受信用のＩ／Ｏインタフェース機能に切り替え、前記ロードポートの他方の伝送機器を送信用のＩ／Ｏインタフェース機能に切り替えることにより、２つの前記ロードポート間でのキャリア移載シーケンス検査を行うことが可能なことを特徴とする自動搬送システム。
【請求項２】
前記光伝送機器は、ＳＥＭＩ  Ｅ８４  エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインタフェースに対応していることを特徴とする請求項１に記載の自動搬送システム。
【請求項３】
前記ロードポートに設けられた前記光伝送機器は、互いに向かい合わせ可能に設配されていることを特徴とする請求項１または２に記載の自動搬送システム。
【請求項４】
ＳＥＭＩ  Ｅ８４  エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインタフェース仕様対応の第１の光伝送機器をそれぞれ配置したロードポートを有するパッシブ装置であって、
前記ロードポートまたは前記パッシブ装置に取付けられるアクティブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能を有する第２の光伝送機器を少なくとも１つ有し、
前記第１および第２の光伝送機器は互いに通信可能であり、
前記第１の光伝送機器と前記第２の伝送機器との間でキャリア移載シーケンス検査を行うことが可能なことを特徴とするパッシブ装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインタフェース仕様対応の光伝送機器を搭載したパッシブ装置に関し、特にロードポートのキャリア移載シーケンス検査機能を有するパッシブ装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
半導体装置の製造工程において、パッシブ装置（例えば、露光装置や測定装置等）のロードポートへのキャリアの搬送は、アクティブ装置（例えば、キャリア自動搬送装置等）により行われる。パッシブ装置およびアクティブ装置の制御は、ＳＥＭＩ  Ｅ８４  エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインタフェース仕様対応の光伝送機器を用いて行われている。従来、パッシブ装置の自動搬送システムはパッシブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能のみを有し、アクティブ装置はアクティブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能のみを有していた（非特許文献１参照。）。
【０００３】
【非特許文献１】
ＳＥＭＩ  Ｅ８４−０７０１  エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインタフェースの仕様
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来、このようなパッシブ装置のロードポートのキャリア移載シーケンス検査を行う場合は、アクティブ装置の代わりとなるＳＥＭＩ  Ｅ８４シミュレータ若しくはアクティブ装置自体を使用していた。ＳＥＭＩ  Ｅ８４シミュレータ等の検査工具を用いる場合は、装置が設置されている現場に検査装置を持ち込み、検査を行うので検査装置の取り付けなどの作業時間がかかり製造のスループットを悪化させるという問題がある。また、アクティブ装置自体を用いで検査する場合は、検査設備としてのアクティブ装置が必要になり、設備投資の費用がかかりすぎるという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記問題に鑑みて行われたものであり、ロードポートのキャリア移載シーケンス検査を容易に行うことのできるパッシブ装置を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、光伝送機器をそれぞれ配置した２つのロードポートを有する自動搬送システムであって、前記光伝送機器は、互いに通信可能であり、それぞれが受信用のＩ／Ｏインタフェース機能および送信用のＩ／Ｏインタフェース機能とを有し、前記ロードポートはそれぞれ、前記量Ｉ／Ｏインタフェース機能を切り替える切り替え手段を有し、前記切り替え手段により、前記ロードポートの一方の前記伝送機器を受信用のＩ／Ｏインタフェース機能に切り替え、前記ロードポートの他方の伝送機器を送信用のＩ／Ｏインタフェース機能に切り替えることにより、２つの前記ロードポート間でのキャリア移載シーケンス検査を行うことが可能なことを特徴とする自動搬送システムを提供する。
【０００７】
また、本発明の自動搬送システムでは、前記光伝送機器は、ＳＥＭＩ  Ｅ８４エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインタフェースに対応していることが好ましい。
【０００８】
また、本発明の自動搬送システムでは、前記ロードポートに設けられた前記光伝送機器は、互いに向かい合わせ可能に設配されていることが好ましい。
【０００９】
また、本発明では、ＳＥＭＩ  Ｅ８４  エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインタフェース仕様対応の第１の光伝送機器をそれぞれ配置したロードポートを有するパッシブ装置であって、前記ロードポートまたは前記パッシブ装置に取付けられるアクティブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能を有する第２の光伝送機器を少なくとも１つ有し、前記第１および第２の光伝送機器は互いに通信可能であり、前記第１の光伝送機器と前記第２の伝送機器との間でキャリア移載シーケンス検査を行うことが可能なことを特徴とするパッシブ装置を提供する。
【００１０】
【発明の実施形態】
図１は、本発明の第１実施の形態にかかるキャリア移載シーケンス検査機能を搭載するパッシブ装置の正面模式図を示す。図２は、第１実施の形態にかかるキャリア移載シーケンス検査機能を実行中の模式図を示す。図３は、第１実施の形態におけるＩ／Ｏ接続模式図を示す。図４は、本発明の第２実施の形態にかかるキャリア移載シーケンス検査機能を実行中の模式図を示す。図５は、第２実施の形態におけるＩ／Ｏ接続模式図を示す。
【００１１】
（第１実施の形態）
図１は、２つのロードポート３、５を有するパッシブ装置１を示している。２つのロードポート３、５には、不図示のアクティブ装置に設けられた光伝送機器と、ＳＥＭＩ  Ｅ８４  エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインタフェース仕様に基づきキャリア移載シーケンスを送受する光伝送機器７、９が配置されている。２つのロードポート３、５には、キャリア１１、１３が配置されている。キャリア１１、１３中のウエハは、パッシブ装置１の自動搬送システムにより所定の処理が行われる。全てのウエハの処理が終了した後キャリアは、アクティブ装置によって新しいキャリアに交換される。なお、パッシブ装置１には、露光装置や測定装置等の製造装置が、アクティブ装置にはキャリアのロード・アンロード装置等が含まれる。
【００１２】
ロードポート３、５のキャリアを新しいキャリアに交換する際には、アクティブ装置とパッシブ装置１とは、それぞれに設けられている光伝送機器を介して互いに通信が行われ、所定のキャリア移載シーケンスに基づきキャリアの移載が行われる。この際用いられる通信等の仕様は、ＳＥＭＩ  Ｅ８４  エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインタフェース仕様（以後、ＳＥＭＩ  Ｅ８４仕様と省略して記す）を使用している。
【００１３】
図２は、図１に示すパッシブ装置１において、ロードポート３、５の光伝送機器７，９を用いて自動搬送システムのキャリア移載シーケンスの動作検査を行う状態を示している。
【００１４】
図２、図３において、ロードポート３、５に設けられている光伝送機器７、９は、互いに向き合うように略９０度可変できる支持基板７ａ、９ａに取付けられ信号を送受可能に形成されている。また、パッシブ装置１には、パッシブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能２１と、アクティブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能２３とを持たせ、パッシブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能２１とアクティブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能２３とを操作部１９からの指示により切り替えるインタフェース切り替え手段２５が設けられている。このように構成することによって、パッシブ装置１のインタフェース機能を、パッシブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能２１またはアクティブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能２３に切り替えて用いることを可能としている。このようにして、パッシブ装置１が構成されている。
【００１５】
本第１実施の形態では、光伝送機器７、９を向かい合わせた後、パッシブ装置１の操作部１９からの指示により切り替え手段２５が、ロードポート３側をパッシブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能２１に設定し、ロードポート５側をアクティブ装置インタフェース機能２３に設定する。そして、パッシブ装置１に内蔵されたアクティブ装置用キャリア移載シーケンス検査プログラムを実行することにより、ロードポート５側の光伝送機器９からアクティブ装置のキャリア移載シーケンスが実行され、ロードポート３の自動搬送システムのキャリア移載シーケンス検査を行うことが可能となる。
【００１６】
また、パッシブ装置１の操作部１９からの指示により切り替え手段２５が、ロードポート５側をパッシブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能２１に設定し、ロードポート３側をアクティブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能２３に設定する。そして、パッシブ装置１に内蔵されたアクティブ装置用キャリア移載シーケンス検査プログラムを実行することにより、ロードポート３側の光伝送機器７からアクティブ装置のキャリア移載シーケンスが実行され、ロードポート５の自動搬送システムのキャリア移載シーケンス検査を行うことが可能となる。いずれの場合も、検査結果はパッシブ装置１のモニタ２０上に表示される。
【００１７】
このように、本第１実施の形態によれば、パッシブ装置１のみで、検査装置を取付けることなくロードポート３、５のキャリア移載シーケンス検査を実行することができ、検査時間の短縮、あるいは故障診断時の迅速な対応が可能となり、パッシブ装置１のスループットを向上させることができる。
【００１８】
（第２実施の形態）
次に、本発明に係る第２実施の形態に付いて図面を参照しつつ説明する。第１実施の形態と同様に部材には同じ符号を付し説明を省略する。
【００１９】
図４、図５において、パッシブ装置１は２つのロードポート３、５を有している。２つのロードポート３、５には、パッシブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能３１を有する光伝送器機７、９と、ロードポート３，５またはパッシブ装置１に接続されアクティブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能３３を有する光伝送機器１５、１７とがそれぞれ設けられている。光伝送機器７、９、１５、１７は、ＳＥＭＩ  Ｅ８４  エンハンストキャリア移載パラレルＩ／Ｏインタフェース仕様に基づきキャリア移載シーケンスを送受する。このようにして、パッシブ装置１が構成されている。
【００２０】
２つのロードポート３、５には、キャリア１１、１３が配置されている。キャリア１１、１３中のウエハは、パッシブ装置１により所定の処理が行われる。全てのウエハの処理が終了した後キャリアは、アクティブ装置によって新しいキャリアに交換される。なお、パッシブ装置１には、露光装置や測定装置等の製造装置が、アクティブ装置にはキャリアのロード・アンロード装置等が含まれる。
【００２１】
パッシブ装置１において、ロードポート３、５の光伝送機器７，９とパッシブ装置１に接続されているアクティブ装置のパラレルＩ／Ｏインタフェース機能を有する光伝送機器１５、１７とを用いてロードポート３、５のキャリア移載シーケンス検査を行う状態を示している。
【００２２】
本第２実施の形態では、図４、図５において、ロードポート３、５に設けられている光伝送機器７、９とパッシブ装置１に接続されている光伝送機器１５、１７とは、互いにそれぞれ向き合うように配置され信号が送受可能となる。光伝送機器７と１５、９と１７とをそれぞれ向かい合わせた後、操作部１９からの指示によりパッシブ装置１に内蔵されたアクティブ装置用キャリア移載シーケンス検査プログラムが実行され、かつ光伝送機器１５と１７側において、アクティブ装置のキャリア移載シーケンスが実行されて、ロードポート３および５の自動搬送システムのキャリア移載シーケンス検査が行われる。検査結果は、パッシブ装置１のモニタ２０上に表示される。
【００２３】
このように、本第２実施の形態によれば、パッシブ装置１のみでロードポート３、５の自動搬送システムのキャリア移載シーケンス検査を実行することができる。この結果、検査時間の短縮、あるいは故障診断時の迅速な対応が可能となり、パッシブ装置１のスループットを向上させることができる。
【００２４】
なお、本実施形態は、光伝送機器として半二重双方向伝送方式（受信を交互に行う伝送方式）の光データ伝送装置を用いても同様の効果を奏することができる。
【００２５】
なお、上述の実施の形態は例に過ぎず、上述の構成や形状に限定されるものではなく、本発明の範囲内において適宜修正、変更が可能である。
【００２６】
【発明の効果】
上述のように、本発明では、ロードポートのキャリア移載シーケンス検査を容易に行うことのできるパッシブ装置を提供するができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施の形態にかかるキャリア移載シーケンス検査機能を搭載するパッシブ装置の正面模式図を示す。
【図２】第１実施の形態にかかるキャリア移載シーケンス検査機能を実行中の模式図を示す。
【図３】第１実施の形態におけるＩ／Ｏ接続模式図を示す。
【図４】本発明の第２実施の形態にかかるキャリア移載シーケンス検査機能を実行中の模式図を示す。
【図５】第２実施の形態におけるＩ／Ｏ接続模式図を示す。
【符号の説明】
１      パッシブ装置
３、５    ロードポート
７、９、１５、１７    光伝送機器
１１、１３    キャリア
１９      操作部
２１、３１    パッシブ装置パラレルＩ／Ｏインタフェース機能
２３、３３    アクティブ装置パラレルＩ／Ｏインタフェース機能
２５      切り替え手段
【図１】
2005038902.tif 000003
【図２】
2005038902.tif 000004
【図３】
2005038902.tif 000005
【図４】
2005038902.tif 000006
【図５】
2005038902.tif 000007