(57)【要約】【課題】  温度変化や圧力変化の影響を受けることなく、シール部材のガスシール性能を試験することができる技術を提供する。【解決手段】  ハウジング１１と軸１２との間の環状隙間にシール部材Ｓ１を設けることによって、シール部材Ｓ１により隔てられた二つの室（Ａ室，Ｂ室）を形成し、Ａ室及びＢ室にそれぞれ異なるガスを封入してから軸１２を所定時間回転させた後、Ａ室及びＢ室にそれぞれ封入されたガスをガスクロマトグラフィーで分析することによりシール部材Ｓ１のガスシール性能を評価する。【選択図】  図１    
2005315736.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに同軸的に相対移動自在に組み付けられる二部材と、
前記二部材間の環状隙間に試験用シール部材が設けられることにより、該試験用シール部材により隔てられる第１室及び第２室と、
前記第１室及び前記第２室にそれぞれ異なるガスを供給するガス供給手段と、
前記二部材を相対移動させる駆動手段と、
試験用シール部材が前記環状隙間に設けられて前記ガス供給手段により前記第１室及び前記第２室にガスが供給された状態で、前記駆動手段により前記二部材間の相対移動が所定時間行われた後に、該第１室及び該第２室に封入されているガスをガスクロマトグラフィーで分析するために、当該ガスを該第１室及び該第２室からそれぞれ流出させるためのガス流出部と、
を備えることを特徴とするガスシール性能試験装置。
【請求項２】
前記二部材を、軸方向一端側に開口部を有し軸方向他端側を有底状に設けられたハウジング、及び、該開口部に挿通される軸部材で構成し、
試験用シール部材が設けられる位置よりも前記開口部側の前記環状隙間に開口部側シール部材を設けることにより、
前記環状隙間に設けられた試験用シール部材に隔てられ該試験用シール部材より前記ハウジングの底側に形成される空間を前記第１室とし、
前記環状隙間に設けられた試験用シール部材及び開口部側シール部材により形成される空間を前記第２室とすることを特徴とする請求項１に記載のガスシール性能試験装置。
【請求項３】
前記環状隙間に設けられた開口部側シール部材により隔てられ該開口部側シール部材より前記開口部側に形成される空間を第３室とし、
前記ハウジングにおいて前記第１室，前記第２室，及び，前記第３室を構成する部分にそれぞれ設けられ、前記ガス供給手段により供給されるガスを導入するためのガス導入部を設けるとともに、
前記ガス流出部を、前記ハウジングにおいて前記第１室及び前記第２室を構成する部分にそれぞれ設けたことを特徴とする請求項２に記載のガスシール性能試験装置。
【請求項４】
前記第２室に評価対象ガスを封入するとともに、前記第１室に該評価対象ガスとは異なるガスを封入して、ガスクロマトグラフィーで分析を行うために前記駆動手段により前記二部材を相対移動させる場合には、前記ガス供給手段により該評価対象ガスを前記第３室に供給することを特徴とする請求項３に記載のガスシール性能試験装置。
【請求項５】
前記二部材を相対回転自在に設けるとともに、前記開口部側シール部材を磁性流体シールで構成したことを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載のガスシール性能試験装置。
【請求項６】
前記第１室及び前記第２室に封入されているガスを分析するガスクロマトグラフと、
前記ガスクロマトグラフと、前記第１室及び前記第２室のガス流出部とをそれぞれ連通する連通路と、
を備えることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のガスシール性能試験装置。
【請求項７】
互いに同軸的に相対移動自在に組み付けられる二部材間の環状隙間にシール部材を設けることによって、該シール部材により隔てられた二つの室を形成し、
前記二つの室にそれぞれ異なるガスを封入してから前記二部材を所定時間相対移動させた後、該二つの室にそれぞれ封入されたガスをガスクロマトグラフィーで分析することに
より前記シール部材のガスシール性能を評価することを特徴とするガスシール性能評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、相対移動自在に設けられた二部材間の環状隙間に設けられるシール部材のガスシール性能を試験するためのガスシール性能試験装置、及び、ガスシール性能評価方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、シール部材で隔てられた二つの空間のガスの移動量を計測する手法としては、（１）二つの空間を一定体積としておき、流入もしくは流出するガスの体積を流量計で測定する、（２）二つの空間を閉空間としておき、圧力の変化からガスの移動量を測定する、などの方法が用いられている。例えば、特許文献１では、ビューレット法、加圧放置法、真空放置法、ヘリウムリークディテクター、石鹸膜流量計などについて述べられている。
【特許文献１】特開２００１−０６６２１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、ハウジングと軸との環状隙間に設けられるようなシール部材では、ハウジングや軸と摺動する部分があり、軸の移動に伴って摺動発熱が生じるため、シール部材近傍の温度は著しく変化する。例えば、シール部材周辺の構造や軸速度にもよるが、ラジアルリップシールでは、１００〜１５０℃程度までシール部材近傍の温度は上昇する場合がある。
【０００４】
このような場合、上記（１），（２）の測定方法では、温度上昇に伴うガスの膨張の影響が大きいため、測定が困難となり、また、精度も低いものとなることが懸念される。
【０００５】
本発明は、上記したような事情に鑑みてなされたものであり、温度変化や圧力変化の影響を受けることなく、シール部材のガスシール性能を試験することができる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために本発明に係るガスシール性能試験装置にあっては、
互いに同軸的に相対移動自在に組み付けられる二部材と、
前記二部材間の環状隙間に試験用シール部材が設けられることにより、該試験用シール部材により隔てられる第１室及び第２室と、
前記第１室及び前記第２室にそれぞれ異なるガスを供給するガス供給手段と、
前記二部材を相対移動させる駆動手段と、
試験用シール部材が前記環状隙間に設けられて前記ガス供給手段により前記第１室及び前記第２室にガスが供給された状態で、前記駆動手段により前記二部材間の相対移動が所定時間行われた後に、該第１室及び該第２室に封入されているガスをガスクロマトグラフィーで分析するために、当該ガスを該第１室及び該第２室からそれぞれ流出させるためのガス流出部と、
を備えることを特徴とする。
【０００７】
このように構成することにより、ガスの組成からガス移動量を測定することが可能となり、温度変化や圧力変化の影響を受けることなく、ガスシール性能を試験することが可能となる。
【０００８】
上記の構成において、前記二部材を、軸方向一端側に開口部を有し軸方向他端側を有底
状に設けられたハウジング、及び、該開口部に挿通される軸部材で構成し、
試験用シール部材が設けられる位置よりも前記開口部側の前記環状隙間に開口部側シール部材を設けることにより、
前記環状隙間に設けられた試験用シール部材に隔てられ該試験用シール部材より前記ハウジングの底側に形成される空間を前記第１室とし、
前記環状隙間に設けられた試験用シール部材及び開口部側シール部材により形成される空間を前記第２室とすることも好ましい。
【０００９】
また、上記の構成において、前記環状隙間に設けられた開口部側シール部材により隔てられ該開口部側シール部材より前記開口部側に形成される空間を第３室とし、
前記ハウジングにおいて前記第１室，前記第２室，及び，前記第３室を構成する部分にそれぞれ設けられ、前記ガス供給手段により供給されるガスを導入するためのガス導入部を設けるとともに、
前記ガス流出部を、前記ハウジングにおいて前記第１室及び前記第２室を構成する部分にそれぞれ設けたことも好ましい。
【００１０】
また、上記の構成において、前記第２室に評価対象ガスを封入するとともに、前記第１室に該評価対象ガスとは異なるガスを封入して、ガスクロマトグラフィーで分析を行うために前記駆動手段により前記二部材を相対移動させる場合には、前記ガス供給手段により該評価対象ガスを前記第３室に供給することも好ましい。
【００１１】
また、上記の構成において、前記二部材を相対回転自在に設けるとともに、前記開口部側シール部材を磁性流体シールで構成してもよい。
【００１２】
また、上記の構成において、前記第１室及び前記第２室に封入されているガスを分析するガスクロマトグラフと、
前記ガスクロマトグラフと、前記第１室及び前記第２室のガス流出部とをそれぞれ連通する連通路と、
を備えることも好ましい。
【００１３】
本発明のガスシール性能評価方法にあっては、
互いに同軸的に相対移動自在に組み付けられる二部材間の環状隙間にシール部材を設けることによって、該シール部材により隔てられた二つの室を形成し、
前記二つの室にそれぞれ異なるガスを封入してから前記二部材を所定時間相対移動させた後、該二つの室にそれぞれ封入されたガスをガスクロマトグラフィーで分析することにより前記シール部材のガスシール性能を評価することを特徴とする。
【００１４】
このような方法で、ガスの組成からガス移動量を測定することによって、温度変化や圧力変化の影響を受けることなく、ガスシール性能を評価することが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、温度変化や圧力変化の影響を受けることなく、シール部材のガスシール性能を試験することができる技術を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための最良の形態を例示的に詳しく説明する。ただし、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状それらの相対配置などは、発明が適用される装置の構成や各種条件により適宜変更されるべきものであり、この発明の範囲を以下の実施の形態に限定する趣旨のものではない。
【００１７】
図１は、本発明の実施の形態に係るガスシール性能試験装置１の構成を説明するための概略図である。
【００１８】
本実施の形態に係るガスシール性能試験装置１は、概略、装置本体１０と、ガス供給部（ガス供給手段）２０と、ガスクロマトグラフ部３０とから構成されている。
【００１９】
まず、装置本体１０について説明する。
【００２０】
装置本体１０には、ハウジング１１と、ハウジング１１の軸孔（開口部）１１ａに挿通されハウジング１１に対して回転自在に設けられた軸部材としての軸１２と、軸１２を回転駆動させる駆動手段としてのモータ１３と、軸１２を回転自在に支持する軸受け１４とが設けられている。（以下の説明において、ハウジング１１と、ハウジング１１の軸孔１１ａに挿通された軸１２とから構成される部分を試験装置ヘッド部１５という場合もある。）
ハウジング１１は、軸方向一端側に軸孔１１ａを有し、軸方向他端側を有底状（軸孔１１ａのみを開口部とする容器状）に設けられており、これにより、ハウジング１１の軸孔１１ａに挿通された軸１２の先端は、ハウジング１１の底部１１ｂよりも軸孔１１ａ側に位置することとなる。
【００２１】
そして、ハウジング１１と軸１２との間の環状隙間には、二つのシール部材が配設される。ここで、ハウジング１１の底部１１ｂ側に設けられるシール部材をシール部材（試験用シール部材）Ｓ１とし、軸孔１１ａ側に設けられるシール部材をシール部材Ｓ２とする。
【００２２】
ハウジング１１と軸１２との間の環状隙間にシール部材Ｓ１，Ｓ２が設けられることにより、ハウジング１１と軸１２との間の環状隙間及びシール部材Ｓ１，Ｓ２で隔てられた３つの室（空間）が形成されることとなる。ここで、シール部材Ｓ１より底部１１ｂ側に形成された空間をＡ室（第１室）、シール部材Ｓ１，Ｓ２間に形成された空間をＢ室（第２室）、シール部材Ｓ２より軸孔１１ａ側に設けられた空間をＣ室（第３室）とする。
【００２３】
ハウジング１１には、ガス供給部２０とＡ室，Ｂ室，Ｃ室とをそれぞれ連通し、ガス供給部２０からＡ室，Ｂ室，Ｃ室にそれぞれガスを導入するためのガス導入部１１ｃ，１１ｄ，１１ｅが設けられている。
【００２４】
また、ハウジング１１には、ガスクロマトグラフ部３０とＡ室，Ｂ室とをそれぞれ連通し、Ａ室，Ｂ室から流出された（取り出された、採取された、放出された）ガスをガスクロマトグラフ部３０に導入（注入）するためのガス流出部１１ｆ，１１ｇが設けられている。
【００２５】
次に、ガス供給部２０について説明する。
【００２６】
ガス供給部２０には、ガスを収容するガスボンベ（ガス収容部）２１と、ガスボンベ２１から流出されるガスの流量を制御するためのガス流量制御部２２と、ガス流量制御部２２及びガス導入部１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ間をそれぞれ連通する連通路２３とが設けられている。ここで、連通路２３においてガス導入部１１ｃ，１１ｄ，１１ｅに連通する連通路をそれぞれ連通路２３ａ，２３ｂ，２３ｃとする。
【００２７】
また、図１においては、三つのガスボンベ２１と、当該三つのガスボンベ２１にそれぞれ対応した三つのガス流量制御部２２とが設けられている場合について示すものであり、図に示すように、三つのガス流量制御部２２からそれぞれバルブ２４を介して連通路２３
ａ，２３ｂ，２３ｃに連通可能に設けられている。
【００２８】
さらに、連通路２３ａ，２３ｂにおいては、三つのガス流量制御部２２からそれぞれ流出したガスが合流する合流部よりも下流（ガス導入部１１ｃ，１１ｄ側）にもバルブ２５が設けられている。そして、ガス導入部１１ｃ，１１ｄとバルブ２５との間には、それぞれ、連通路２３内のガスの圧力を検出する圧力計ＰＩが設けられている。
【００２９】
次に、ガスクロマトグラフ部３０について説明する。
【００３０】
ガスクロマトグラフ部３０には、ガスクロマトグラフ３１と、ガスクロマトグラフ３１に試料を注入するガスサンプラー３２と、ガスクロマトグラフ３１に導入されるキャリアガスが収容されたキャリアガス部３３と、検出器３４と、排気口３５とが設けられている。
【００３１】
また、装置本体１０とガスクロマトグラフ部３０との間には、ハウジング１１のガス流出部１１ｆ，１１ｇと、ガスサンプラー３２とをそれぞれ連通させる連通路３６が設けられている。
【００３２】
連通路３６には、ガス流出部１１ｆ，１１ｇからガスサンプラー３２側に向かって順に、バルブ３７，ニードルバルブ３８，バルブ３９が設けられている。バルブ３７は、開放されることによって、ハウジング１１のＡ室及びＢ室内のガスをそれぞれ、ガスクロマトグラフ部３０側に流出させる。ニードルバルブ３８は、Ａ室及びＢ室内のガスがそれぞれ、ガスクロマトグラフ部３０側に流入する量を調整するものである。そして、バルブ３９はニードルバルブ３８で流量が絞られたガスの流路を、ガスサンプラー３２側と排気口３５側との間で切り替えるものである。
【００３３】
このように構成されるガスシール性能試験装置１においては、ガス流量制御部２２でガスボンベ２１から供給されるガス流量を調整し、さらに、ニードルバルブ３８でガス流出量を調整することによって、Ａ室及びＢ室内のガス圧をそれぞれ制御することができるようになり、ガスシール性能試験を加圧条件下で行うことが可能となる。
【００３４】
次に、ガスシール性能試験の試験方法について説明する。
【００３５】
本実施の形態においては、図１に示すシール部材Ｓ１が評価対象となるシール部材である。また、シール部材Ｓ１，Ｓ２は、Ｂ室側が密封側となるように取り付けられ、Ｂ室内にはオイルや水などの流体を封入することが可能である。
【００３６】
そして、Ａ室を参照ガス、Ｂ室をシール対象のガス（試験ガス）で置換することとしている。すなわち、参照ガスと試験ガスとがそれぞれ封入されたガスボンベ２１から、連通路２３ａ，２３ｂ、及び、ガス導入部１１ｃ，１１ｄを介して、参照ガスがＡ室に、試験ガスがＢ室に導入される。
【００３７】
この場合、バルブ２４を調整することにより、ガスボンベ２１と３つの室（Ａ室，Ｂ室，Ｃ室）とをつなぐ経路の設定を行い、そして、バルブ３７を閉弁させバルブ２５を開弁して、ガス流量制御部２２によりガスの流量を制御することによりＡ室，Ｂ室にガスを封入する。この場合、圧力計ＰＩにより連通路２３内のガスの圧力を検出することにより、Ａ室及びＢ室内をそれぞれ所望のガス圧に設定することができる。
【００３８】
ここで、シール部材は、一般的に、大気側から油槽側へと空気を吸い込んでいると考えられており、シール部材Ｓ２も例外ではなく、Ｂ室とＣ室との間でも何らかの気体の移動
が生じていると考えられる。
【００３９】
そこで、Ｃ室には、ガスボンベ２１から連通路２３ｃ，ガス導入部１１ｅを介して試験ガスを１００ｍｌ／ｍｉｎ程度供給することとしている。試験ガスが漏洩すると望ましくない場合には、窒素やアルゴンなどの不活性なガスを供給するとよい。また、極わずかな空気がＢ室に吸い込まれても問題とならない場合には、ガスを供給しないようにしてもよい。また、シール部材Ｓ２に吸い込み性能の極めて低いシール部材を用いてもよい。
【００４０】
そして、モータ１３を作動させることによって、軸１２をハウジング１１に対して回転させる。軸１２を所定時間回転させた後、バルブ３７を開弁することにより、Ａ室内のガスや、Ｂ室内のガスをガスクロマトグラフ部３０に流入させる。
【００４１】
ガスクロマトグラフ部３０では、上述したように、ガスサンプラー３２によりＡ室内のガスや、Ｂ室内のガスがガスクロマトグラフ３１に注入されることによって、Ａ室及びＢ室内のガス濃度変化がそれぞれガスクロマトグラフィーにより分析され、Ａ室からＢ室への、また、Ｂ室からＡ室への気体移動量が測定される。
【００４２】
次に、より具体的な試験（測定）結果について説明する。
【００４３】
シール部材Ｓ１には、フッ素ゴム製のＳＣ型オイルシール（軸径５０ｍｍ、外径７２ｍｍ、高さ１２ｍｍ）を用い、シール部材Ｓ２には、油吸い込み性能の極めて低いシール部材を用いた。
【００４４】
そして、これらのシール部材Ｓ１，Ｓ２を図１に示す装置本体１０のハウジング１１と軸１２との間の環状隙間に取り付けることにより、Ａ室，Ｂ室，Ｃ室を形成した。
【００４５】
形成されたＢ室に油（ポリアルファオレフィン）を注入することにより、Ｂ室内において軸１２の軸中心付近まで油を満たした。その後、Ａ室をヘリウム（Ｈｅ）ガス、Ｂ室を窒素ガスで置換した。Ｃ室には、窒素ガスを１００ｍｌ／ｍｉｎ程度供給することとした。
【００４６】
軸１２を所定の速度で回転させ、所定の時間毎のＢ室中のヘリウムガス濃度を分析（測定）することにより、シール部材Ｓ１により吸い込まれた（Ａ室からＢ室に移動した）ヘリウムガスの量を算出した。
【００４７】
ガスクロマトグラフィーでは、キャリアガスにアルゴンを用い、検出器３４は熱伝導度型検出器を用い、カラムはモレキュラーシーブ１３Ｘ（ジーエルサイエンス社製）を用いた。
【００４８】
上記の条件により、図１に示すガスシール性能試験装置１を用いて行ったガスシール性能試験の測定結果を図４に示す。
【００４９】
図４に示されるように、本実施の形態のガスシール性能試験において、試験時間とヘリウムガスの吸い込み量とは略比例することとなる。そして、軸１２の軸速度の大きさが大きくなった場合においても、試験時間とヘリウムガスの吸い込み量との比例関係は維持されている。これにより、軸回転に伴って摺動発熱が生じたとしても、温度上昇に伴うガスの膨張の影響を受けることなく、ガスシール性能を試験（評価）することができることがわかる。
【００５０】
以上説明したように、本実施の形態によれば、ガスの組成からガス移動量を測定するこ
とによって、温度変化や圧力変化の影響を受けることなく、ガスシール性能を試験し、また、評価することが可能となる。
【００５１】
なお、本実施の形態においては、ハウジング１１に対して軸１２が回転自在に設けられるものであったが、軸部材に対してハウジング側を回転自在に設けられるものであってもよい。この場合、ガス供給部２０やガスクロマトグラフ部３０とつながる部分は、軸部材側に設けるとよい。これにより、ガスシール性能を、シール部材の仕様に応じて、より精度良く試験（評価）することができる。
【００５２】
また、本実施の形態においては、ハウジング１１と軸１２とが、回転自在に設けられるものであったが、ハウジング１１と軸１２とが往復運動を行うものであってもよい。この場合には、往復運動用のシール部材のガスシール性能試験を行うことができる。
【００５３】
（実施の形態２）
実施の形態１において図１を用いて説明したガスシール性能試験装置１は、ガスクロマトグラフ部３０を備え、ガスクロマトグラフ部３０と装置本体１０とが連通路３６によりつながっているものであったが、本発明の実施の形態２に係るガスシール性能試験装置は、実施の形態１のようなガスクロマトグラフ部３０を備えるものではない。
【００５４】
すなわち、本実施の形態に係るガスシール性能試験装置においては、軸１２がハウジング１１１に対して所定時間回転した後のＡ室内のガスや、Ｂ室内のガスを採取する（とり出す）ことにより、採取したガスを、ガスシール性能試験装置とは別に設けられたガスクロマトグラフにより分析するものである。
【００５５】
図２は、本実施の形態に係るガスシール性能試験装置の試験装置ヘッド部１１０を示す概略図である。なお、本実施の形態に係るガスシール性能試験装置は、実施の形態１で説明したガスシール性能試験装置１に対して、ガスクロマトグラフ部３０と連通路３６とを除いたものであって、試験装置ヘッド部１５が異なるもので、その他の基本的な構成は実施の形態１と同様であり、実施の形態１と同様の構成については同一の符号を付して、その説明は省略する。
【００５６】
本実施の形態においても、実施の形態１同様、シール部材Ｓ１が評価対象となるシール部材であって、シール部材Ｓ１，Ｓ２は、Ｂ室側が密封側となるように取り付けられ、Ｂ室内にはオイルや水などの流体Ｒを封入することが可能である。
【００５７】
そして、本実施の形態において、ハウジング１１１には、実施の形態１同様のガス導入部（１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ）が設けられるとともに、さらに、Ａ室及びＢ室内のガスをそれぞれ採取するためのガスサンプリングポート（ガス流出部）１１２，１１３が設けられている。
【００５８】
ガスシール性能試験時においては、モータ１３を作動させて、軸１２をハウジング１１１に対して所定時間回転させた後、ガスサンプリングポート１１２，１１３からシリンジなどのガス採取部材でガスを採取する。このように構成することにより、採取したガスをガスクロマトグラフィーで分析することが可能となる。
【００５９】
ここで、ハウジング１１１においては、ガスサンプリングバック１１４，１１５が接続可能に設けられている。
【００６０】
ガスサンプリングバックとは、フレキシブルでガス透過性の低い袋状の部材であり、ハウジング１１１に設けられたポート（連通孔）に接続可能なポートが設けられている。そ
して、Ａ室やＢ室でガスが移動した場合、容器の体積が変化しなければ圧力が変化することとなるので、サンプリングバックを設けることによって容積を変化可能とするものである。
【００６１】
このようにガスサンプリングバック１１４，１１５を設けることにより、Ａ室及びＢ室内のガス圧力変化を低減させることが可能となる。
【００６２】
図３は、試験装置ヘッド部の他の形態を説明するための図である。
【００６３】
図３に示す試験装置ヘッド部２１０においては、図１や図２に示すハウジングのような軸孔１１ａ，１１１ａを有するものではなく、ハウジングの一端が開口して設けられている。
【００６４】
そして、この開口部において、軸１２とハウジング２１１との環状隙間（図１，２においてシール部材Ｓ２が設けられた位置に相当）に、磁性流体を利用したシール部材である磁性流体シールＳ３を設けている。
【００６５】
このような場合には、Ａ室を密封側としてシール部材Ｓ１を取り付けるとよい。Ａ室内には、油や水などの流体Ｒを封入することが可能である。
【００６６】
さらに、このような場合には、Ａ室をシール対象のガス（試験ガス）、Ｂ室を参照ガスで置換する。すなわち、参照ガスと試験ガスとがそれぞれ封入されたガスボンベ２１から、連通路２３ａ，２３ｂ、及び、ガス導入部１１ｃ，１１ｄを介して、試験ガスがＡ室に、参照ガスがＢ室に導入されるようにする。
【００６７】
そして、ガスシール性能試験時においては、モータ１３を作動させて、軸１２をハウジング２１１に対して所定時間回転させた後、ガスサンプリングポート２１２，２１３からシリンジでガスを採取することにより、ガスクロマトグラフィーで分析することが可能となる。
【００６８】
以上説明したように、本実施の形態においても、実施の形態１で説明した効果と同様の効果を得ることが可能となる。さらに、磁性流体シールＳ３を用いたことにより、ハウジング内部をシールするシール性能をより向上させることができる。すなわち、Ｂ室内のガスと大気との間をより確実に遮断することができる（Ｂ室内のガスが大気側に漏れることをより抑制することができ、また、大気がＢ室内に流入することをより抑制することができる）。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】図１は、本発明の実施の形態１に係るガスシール性能試験装置を示す概略図である。
【図２】図２は、本発明の実施の形態２に係るガスシール性能試験装置の試験装置ヘッド部を示す概略断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施の形態２において試験装置ヘッド部の他の形態を示す概略断面図である。
【図４】図４は、図１に示すガスシール性能試験装置を用いて行ったガスシール性能試験の測定結果を示す図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  ガスシール性能試験装置
１０  装置本体
１１，１１１，２１１  ハウジング
１１ａ，１１１ａ  軸孔
１１ｂ  底部
１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ  ガス導入部
１１ｆ，１１ｇ  ガス流出部
１２  軸
１３  モータ
１４  軸受け
１５，１１０，２１０  試験装置ヘッド部
２０  ガス供給部
２１  ガスボンベ
２２  ガス流量制御部
２３ａ，２３ｂ，２３ｃ  連通路
２４，２５  バルブ
３０  ガスクロマトグラフ部
３１  ガスクロマトグラフ
３２  ガスサンプラー
３３  キャリアガス部
３４  検出器
３５  排気口
３６  連通路
３７，３９  バルブ
３８  ニードルバルブ
１１２，１１３  ガスサンプリングポート
１１４，１１５  ガスサンプリングバック
【図１】
2005315736.tif 000003
【図２】
2005315736.tif 000004
【図３】
2005315736.tif 000005
【図４】
2005315736.tif 000006