(57)【要約】【課題】ヨークの交流磁気特性と機械的な強度を向上させることで、駆動トルクの向上を達成し、高寸法精度で製造歩留まりを高くする。【解決手段】  コイルにより励磁される磁気回路としてのヨークを備えたモータにおいて、前記ヨークが電気めっき法で形成された硫黄を含むニッケル−鉄合金からなり、該ニッケル−鉄合金の鉄の含有率が３５〜５９質量％で、かつ、硫黄の含有率が０．００２〜０．１２質量％としている。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コイルにより励磁される磁気回路としてのヨークを備えたモータにおいて、
前記ヨークが電気めっき法で形成された硫黄を含むニッケル−鉄合金からなり、該ニッケル−鉄合金の鉄の含有率が３５〜５９質量％で、かつ、硫黄の含有率が０．００２〜０．１２質量％であることを特徴とするモータ。
【請求項２】
出力軸が回転自在に支持されるロータマグネットと、該ロータマグネットとギャップをへだてて対向する磁極部を有して磁気回路を構成するヨークと、該ヨークを励磁するコイルとを備えたモータにおいて、
前記ヨークが電気めっき法で形成された硫黄を含むニッケル−鉄合金からなり、該ニッケル−鉄合金の鉄の含有率が３５〜５９質量％で、かつ、硫黄の含有率が０．００２〜０．１２質量％であることを特徴とするモータ。
【請求項３】
複数の磁極に着磁されて回転自在に支持された円筒形状のロータマグネットと、該ロータマグネットの外径側と外側ギャップをへだてて対向する複数の磁極部を有する外ヨークと、前記ロータマグネットの内径側と内側ギャップをへだてて対向する磁極部を有し、前記外ヨークとともに磁気回路を構成する内ヨークと、前記内ヨークの周囲に巻き回され、前記外ヨークと前記内ヨークを励磁するコイルとを備えたモータにおいて、
前記外ヨークと内ヨークの少なくとも一方が電気めっき法で形成された硫黄を含むニッケル−鉄合金からなり、該ニッケル−鉄合金の鉄の含有率が３５〜５９質量％で、かつ、硫黄の含有率が０．００２〜０．１２質量％であることを特徴とするモータ。
【請求項４】
請求項１乃至３に記載のモータを製造するに際して、導電材からなる型の上に前記ヨークと同一の形状の凹所を除いて非導電物質を形成することで、前記型の表面に前記ヨークと同じ形状の凹所を露出させ、前記型の前記凹所を、硫黄を含むニッケル−鉄合金を析出するためのめっき浴に浸漬した後、前記型をカソードとして通電し、前記凹所に硫黄を含むニッケル−鉄合金を析出させて、任意の厚みの電鋳ヨークを形成し、前記凹所から電鋳ヨークを取り外して電鋳ヨークを得ることを特徴とするモータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型のステッピングモータなどのモータ及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の小型円柱形状のステッピングモータとしては図５に示すものがある（例えば特許文献２の図６参照）。
【０００３】
ボビン１０１にコイル１０５が同心状に巻回され、ボビン１０１は２個のヨーク１０６で軸方向から狭持固定されており、ヨーク１０６にはボビン１０１の内径面円周方向に沿って磁極歯１０６ａと１０６ｂが交互に配置され、ケース１０３には、磁極歯１０６ａ及び１０６ｂと一体のヨーク１０６が固定されてステータヨーク１０２が構成されている。２組のケース１０３の一方にはフランジ１１５と軸受け１０８が固定され、他方のケース１０３には他の軸受け１０８が固定されている。ロータ１０９はロータ軸１１０に固定されたロータマグネット１１１からなり、ロータ軸１１０は２個の軸受け１０８の間に回転可能に支持されている。
【０００４】
また、ステッピングモータの小型、高トルク化に適した図３及び図４の構造のステッピングモータが提案されている。このステッピングモータは、円周方向にｎ個の磁極に交互に着磁されて後述の内ヨーク１４，１５に回転自在に支持されている出力軸を有する円筒形状のロータマグネット１１、このロータマグネット１１を挟んで軸方向に対向配置される軟磁性材からなるヨークであるところの外ヨーク１２，１３、軟磁性材からなるヨークであるところの内ヨーク１４，１５、内ヨーク１４，１５及び外ヨーク１２，１３を励磁するコイル１６，１７、コイル１６，１７を支持するコイルボビン１８，１９、外ヨーク１２，１３を支持するモータカバー２０、及び、モールドや銅系の非磁性材よりなり、内ヨーク１４，１５の内径に嵌合される軸受２１，２２より構成される。
【０００５】
上記従来のステッピングモータのヨークを構成する材料としては、一般的に炭素含有率が０．０２質量％以下の鋼板材料である電磁軟鉄（ＳＵＹ）、冷間圧延鋼板（ＳＰＣ）が用いられている。ＳＵＹやＳＰＣは、直流磁気特性は良好なものの、モータの回転時における交流磁気特性が悪い。これは、電気抵抗率が低いため、渦電流が発生しやすくなるためであり、駆動周波数が高くなるほど影響が大きくなる。そこで、ヨークの材料として、ニッケル−鉄合金（パーマロイ）板やセンダスト合金板を用いた提案がなされている（例えば特許文献３、特許文献４参照）。
【０００６】
ヨークは、板材をプレス加工、打ち抜き加工、及び折り曲げ加工等の機械加工で形状を作製するのが一般的である。形状を作製した後、板にする際の加工歪やプレスなどの形状作製の際の加工歪を除去するために真空中もしくは、還元雰囲気中で７００℃〜９００℃（例えば特許文献１参照）、パーマロイの場合は、１０００℃以上で加熱する。そして、防錆処理として無電解ニッケルめっきや電解ニッケルめっきを施して使用しているのが一般的である。
【特許文献１】特許第３０６１８２０号公報
【特許文献２】特開２０００−２１７３３３号公報
【特許文献３】特開平１０−１４２０４号公報
【特許文献４】特開２００２−３２０３７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記したように従来のヨークは、板材をプレス加工で成形するのが一般的であるが、ＳＵＹ板、ＳＰＣ板や特許文献３のニッケル−鉄合金板は、歪を除去する熱処理が必須となる。しかし、その熱処理により極端に軟らかくなる。図５のヨーク１０６、図３及び図４の外ヨーク１２，１３に見られるように、ステータヨーク先端の磁極部は櫛歯形状をしているため、軟らかいと組立ての際に変形されやすい。ヨークが変形するとロータマグネットと櫛歯形状の磁極部との間隙が均一でなくなるため、トルクが小さくなったり、ステップ角度が狂ったりする。ひどい場合には、接触することで回転しないこともある。すなわち、製造歩留りに大きく影響する。
【０００８】
一方、特許文献４のようにヨークにセンダスト合金を用いた場合は、逆に硬く、脆いため、プレス加工の際にクラックが発生すやすい。プレス加工については、材料に係わらずモータの小型化が進むほど高寸法精度、小型化が困難になることが予想される。また、図３及び図４の内ヨーク１４，１５は、丸棒材の切削や板材の鍛造で作製するが、小型化に伴いやはり加工が難しくなる。
【０００９】
（発明の目的）
本発明の目的は、ヨークの交流磁気特性と機械的な強度を向上させることで、駆動トルクの向上を達成し、高寸法精度で製造歩留まりを高くすることのできるモータ及びその製造方法を提供することである
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の本発明は、コイルにより励磁される磁気回路としてのヨークを備えたモータにおいて、前記ヨークが電気めっき法で形成された硫黄を含むニッケル−鉄合金からなり、該ニッケル−鉄合金の鉄の含有率が３５〜５９質量％で、かつ、硫黄の含有率が０．００２〜０．１２質量％であることを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項２に記載の本発明は、出力軸が回転自在に支持されるロータマグネットと、該ロータマグネットとギャップをへだてて対向する磁極部を有して磁気回路を構成するヨークと、該ヨークを励磁するコイルとを備えたモータにおいて、前記ヨークが電気めっき法で形成された硫黄を含むニッケル−鉄合金からなり、該ニッケル−鉄合金の鉄の含有率が３５〜５９質量％で、かつ、硫黄の含有率が０．００２〜０．１２質量％であることを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項３に記載の本発明は、複数の磁極に着磁されて回転自在に支持された円筒形状のロータマグネットと、該ロータマグネットの外径側と外側ギャップをへだてて対向する複数の磁極部を有する外ヨークと、前記ロータマグネットの内径側と内側ギャップをへだてて対向する磁極部を有し、前記外ヨークとともに磁気回路を構成する内ヨークと、前記内ヨークの周囲に巻き回され、前記外ヨークと前記内ヨークを励磁するコイルとを備えたモータにおいて、前記外ヨークと内ヨークの少なくとも一方が電気めっき法で形成された硫黄を含むニッケル−鉄合金からなり、該ニッケル−鉄合金の鉄の含有率が３５〜５９質量％で、かつ、硫黄の含有率が０．００２〜０．１２質量％であることを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項４に記載の本発明は、請求項１乃至３に記載のモータを製造するに際して、導電材からなる型の上に前記ヨークと同一の形状の凹所を除いて非導電物質を形成することで、前記型の表面に前記ヨークと同じ形状の凹所を露出させ、前記型の前記凹所を、硫黄を含むニッケル−鉄合金を析出するためのめっき浴に浸漬した後、前記型をカソードとして通電し、前記凹所に硫黄を含むニッケル−鉄合金を析出させて、任意の厚みの電鋳ヨークを形成し、前記凹所から電鋳ヨークを取り外して電鋳ヨークを得ることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ヨークの交流磁気特性と機械的な強度を向上させることで、駆動トルクの向上を達成し、高寸法精度で製造歩留まりを高くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明によるモータは、ヨーク、例えば図３及び４に示される外ヨーク１２，１３、内ヨーク１４，１５や図５に示されるヨーク１０６が、電気めっき法で製造された少なくとも硫黄を含むニッケル−鉄合金からなり、このニッケル−鉄合金の鉄の含有率が３５〜５９質量％で、かつ、硫黄の含有率が０．００２〜０．１２質量％であることを特徴とするものである（電気めっき法で作製した部材を以下、電鋳と言う）。
【００１６】
ニッケル−鉄合金中の鉄の含有率が３５〜５９質量％で、かつ、硫黄の含有率が０．００２質量％以上であると、磁束密度が１．４Ｔ以上、保磁力１Ｏｅ以下であり、また、電気抵抗率がＳＵＹ、ＳＰＣの２〜５倍にあたる２５〜５０μΩ・ｃｍであるため、低周波数〜高周波数までの広い周波数領域で高い駆動トルクを有する。鉄の含有率が３５質量％未満、また、５９質量％を超える場合には、磁束密度が急激に小さくなるため、ＳＵＹ、ＳＰＣ材からなるヨークで構成したモータよりトルクも小さくなる。さらに、硫黄の含有率が０．００２質量％以上であると、硬く、変形しにくいことがわかった。０．００２質量％未満であると、めっき膜として形成しにくく、硬い膜でなくなる。一方、硫黄量が０．１２質量％を超えると、硬くなりすぎて電鋳製造の際にクラックが発生しやすい。したがって、硫黄量は０．１２質量％以下が好ましい。この高磁束密度と硬い性質は、電鋳形成後の特性である。ニッケルと鉄の含有率と硫黄の含有率が磁気特性と硬さを決める特異な性質である。
【００１７】
めっき浴の組成が、例えば図６に示されるように、硫酸ニッケル、ホウ酸、塩化ナトリウム、ラウリル硫酸ナトリウム、硫酸第一鉄、サッカリンナトリウムである場合、鉄の含有率は硫酸ニッケルと硫酸第一鉄の添加量、電流密度、めっき浴温度を制御することによって定められる。硫黄は硫酸ニッケル、ラウリル硫酸ナトリウム、硫酸第一鉄、サッカリンナトリウムに含まれ、その含有率は硫酸第一鉄とサッカリンナトリウムの添加量、電流密度、めっき浴温度を制御することによって定められる。
【００１８】
工業的に生産されているパーマロイ板は熱処理しないと良好な磁気特性を示さないが、本発明による電鋳ニッケル−鉄合金製ヨークは熱処理なしで良く、この点で大きく異なる。
【００１９】
鉄の含有率と硫黄の含有率を適正に定めることがポイントであるが、電鋳であるから制御しやすい。ただ、電鋳品の形状によって、めっき時の歪を除去するための熱処理を施しても差し支えない。加熱温度は、３５０℃以下が好ましい。３５０℃を超える温度で加熱すると脆くなる傾向にある。
【００２０】
また、鉄量が多いと錆が発生しやすくなるため、使用する環境が高温、高湿の場合は、電鋳品の上に無電解ニッケルや電解ニッケルなどの防錆めっきを施こせば良い。防錆被膜は２〜５μｍあれば良いので、電鋳品の有する磁気特性や硬さに影響はない。図５のヨーク１０６及び図３及び図４の外ヨーク１２，１３、内ヨーク１４，１５として用いることで、駆動トルク特性を向上させることができ、また、組込みの際の変形がないため、製造歩留りは高い。
【００２１】
次に、上記電鋳ヨークの製造方法について、図１と図２で説明する。まず図３及び図４の外ヨーク１２（１３は１２と同じ形状）の製造方法について、図１の（ａ）〜（ｆ）で説明する。図３及び図４の外ヨーク１２を作製する場合、外ヨーク１２の内側と同じ外径を有する導電材からなる型３０の先端に、切削性の良い金属材料やプラスチック材料のブロックから切削で作製した外ヨーク１２のマスター型３１を嵌める（ａ，ｂ）。そして、マスター型３１が嵌め込まれた部分以外の型３０の表面部分には紫外線硬化樹脂などの非導電物質３２が塗布などにより形成される。非導電物質３２の厚みは、外ヨーク１２の肉厚より大きい厚みがあれば良い。紫外線を照射させるなどして非導電物質３２を硬化させてから、マスター型３１を型３０から外す（ｃ）。これにより、マスター型３１があった型３０上の個所に凹所が形成される。これでめっきするための母型３３が完成する。
【００２２】
この母型３３を、ニッケル−鉄合金を析出させるめっき浴３４に浸漬させる。母型３３をカソード、ニッケルのチップが入った袋３５をアノードとして、例えば、母型３３を回転させながら電源３６により通電させる。母型３３を回転させるのは、均一な膜厚を析出させるためである。通電し、母型３３上のマスター型３１が外された部分のみにニッケル−鉄合金を析出させる。通電は、析出膜が必要とする厚みになるまで行われる（ｄ）。
【００２３】
必要な厚みになったら（ｅ）、母型３３から、例えば手で引き抜いて取り外して、外ヨーク１２の電鋳品を得る（ｆ）。また、図５のモータのヨーク１０６も同様に作製する。
【００２４】
外ヨーク１２は円筒形なので、この場合の型３０は、外ヨーク１２の内径より僅かに大きい直径の円柱棒が良い。導電材からなる円柱棒３０は、例えば、ステンレス、真鍮、リン青銅をそのまま使用したり、その表面にハードクロムなどの酸やアルカリに溶けにくい被膜をコーティングしたものを用いたりするのが好ましい。また、電鋳品を母型３３から引き抜きやすくするために、めっきの前に母型３３に剥離層を塗布しても良い。マスター型３１は、切削、鋳造、ダイキャスト、熱可塑性樹脂の出射成形で作製すれば良い。その材料としては、ステンレス、真鍮、リン青銅、アルミニウム、銅などの切削性の良い金属を使用すれば良い。また、プラスチック材料としては、熱硬化型樹脂であるエポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂などの一般的な樹脂で良い。また、出射成形の場合は、熱可塑性樹脂で例えば、ＰＯＭ、ＡＢＳ、ＰＰＳなどの一般的な樹脂で良い。
【００２５】
次に、図３及び図４の内ヨーク１４（１５は１４と同じ形状）の場合について、図２の（ａ）〜（ｅ）で説明する。母型４０の先端部４１を内ヨーク１４の内側形状と同じ形状に凹所として切削などで作製する（ａ）。先端部４１の端面から内ヨーク１４の長さと同じ高さＹより上方に、電鋳外ヨーク１２と同様に非導電物質３２を設ける（ｂ）。非導電物質３２の厚みは、内ヨーク１４の厚みより厚く設ければ良い。その後は、上記した電鋳外ヨーク１２と同じようにこの母型４０をニッケル−鉄合金を析出させるためのめっき浴３４に浸漬させ、通電する（ｃ）。必要な厚みになったら（ｄ）、母型４０から、例えば手で引き抜いて取り外して、内ヨーク１４の電鋳品を得る（ｅ）。電鋳品の膜厚は通電時間で決まるため、寸法精度は極めて高い。
【００２６】
めっき浴としては、電気めっき法による硫酸塩浴、スルファミン酸塩浴、塩化物浴がニッケル−鉄合金めっきを作製しやすい。これらのめっき浴に、ピット防止剤、光沢剤、ｐＨ調整剤等を適宜加えても良い。上記、めっき浴としては、ニッケルと鉄の比率、硫黄の添加量を制御しやすい上記の硫酸塩浴が好ましい。電鋳ヨークの肉厚は、モータの仕様によるが、通電時間で管理するため容易である。
【実施例】
【００２７】
以下に、実施例を用いて、本発明をさらに詳しく説明する。
【００２８】
＜モータ評価＞
図６に示される実施例１〜５について、実験により評価を行った。
【００２９】
《実験１》
硫黄を含む電鋳ニッケル−鉄合金からなる外ヨーク１２，１３の有効性を検討した。図１を用いて説明すると、外径Φ６の円柱形状のステンレス棒からなる型３０に、リン青銅のブロックの切削加工により得た図３及び図４の外ヨーク１２のマスター型３１を嵌合させ、型３０の露出部に紫外線硬化樹脂を厚み５００μｍにて塗布し、紫外線を照射して硬化させることによって非導電物質３２を形成した。マスター型３１を母型３３から外すと、マスター型３１があった型３０上の個所に凹所が形成される。この母型３３を図６の実施例１〜５のめっき条件の硫黄を含むニッケル−鉄めっき浴３４に浸漬し、母型３３をカソードとして２０ｒｐｍで回転させながら通電し、電解させ、肉厚３００μｍの電鋳ニッケル−鉄合金からなる外ヨーク１２を作製し、母型３３から取り外した。めっき浴の温度は、５０±１℃とした。一方、内ヨーク１４，１５は、ＳＵＹ材の棒材を切削加工で作製した。その後に８５０℃で２時間保持の熱処理を行い、防錆処理のため無電解ニッケルめっきを３μｍ施して作製した。このＳＵＹ材からなる内ヨーク１４，１５を電鋳ニッケル−鉄合金からなる外ヨーク１２，１３に圧入し、ステータヨークを作製した。図３及び図４のモータに組み込み、駆動周波数−プルアウトトルクを評価した。
【００３０】
リファレンス品として、厚み３００μｍのＳＵＹからなる板材をプレス加工し、上記の内ヨーク１４，１５と同じ熱処理と防錆めっきを施した外ヨーク１２，１３を作製し、ＳＵＹからなる外ヨークと内ヨークを組み合せたステータヨークを図３及び図４のモータに組み込み、駆動トルクを評価した。それらの結果を図７に示す（５００ＰＰＳのトルクを１とした相対値）。トルクは、電鋳ニッケル−鉄合金からなる外ヨークとＳＵＹからなる内ヨークを組み合せたステータヨークの方が全周波数でトルクが高いことがわかった。
【００３１】
《実験２》
次に電鋳ニッケル−鉄合金からなる内ヨーク１４，１５の有効性を検討した。図２を用いて説明すると、外径Φ４．５の円柱形状のステンレス棒からなる母型４０の先端に図３及び図４の内ヨーク１４，１５の内側形状と同じ形状の先端部４１を切削で作製した。次に、先端部４１の端面から内ヨーク１４，１５の高さと同じＹの位置より上方に紫外線硬化樹脂を５００μｍ塗布し、紫外線を照射して硬化させることによって非導電物質３２を形成した。この母型４０を図６の実施例１〜５のめっき条件のニッケル−鉄めっき浴に浸漬し、母型４０をカソードとして２０ｒｐｍで回転させながら通電し、電解させ、肉厚３００μｍの電鋳ニッケル−鉄合金からなる内ヨーク１４，１５を作製した。実験１で作製したＳＵＹからなる外ヨーク１２，１３に電鋳ニッケル−鉄合金からなる内ヨーク１４，１５を圧入し、ステータヨークを作製した。図３及び図４のモータに組み込み、駆動周波数−プルアウトトルクを評価した。リファレンス品として実験１で評価したＳＵＹからなる外ヨークと内ヨークを組み合せたモータと比較評価した。その結果を図８に示す。トルクは、電鋳ニッケル−鉄合金からなる内ヨークとＳＵＹからなる外ヨークを組み合せたステータヨークの方が全周波数でトルクが高いことがわかった。
【００３２】
《実験３》
上記、実験１と実験２で得た実施例１〜５の電鋳ニッケル−鉄合金からなる外ヨーク１２，１３と内ヨーク１４，１５の電鋳ヨークの組み合せによるステータヨークを図３及び図４のモータに組み込んだ。そして、リファレンス品である、ＳＵＹからなる外ヨーク、内ヨークのモータと駆動トルクを比較評価した。その結果を図９に示す。トルクは、電鋳ニッケル−鉄合金からなる外ヨークと内ヨークの組み合せのモータが全周波数でトルクが高いことがわかった。また、この電鋳ヨークの組み合せは、実験１〜２と比べて最も高いトルクを示した。
【００３３】
（比較例１〜６）
上記、実施例１〜５の実験３と同じ手順で、図６の比較例１〜３，６の電鋳外ヨークと内ヨークの組み合せのステータヨークを作製し、図３及び図４のモータに組み込み、評価した。その結果を図１０に示す。ＳＵＹ材からなる外ヨークと内ヨークを組み合せたレファレンス品であるモータの方が図６の比較例１〜３，６で作製したモータより全周波数でトルクが高いことがわかった。また、比較例４は、めっき中に母型から剥がれ、形状を上手く形成できなかったものである。比較例５は、母型から外す際に割れるため、評価できるヨークが作製できなかったものである。
【００３４】
＜磁気特性評価＞
図６に電鋳ニッケル−鉄合金の鉄の質量％と磁界を１０Ｏｅ印加した場合の磁束密度と保磁力の値を示す。電鋳ニッケル−鉄合金からなるヨークをモータに組込んで評価した結果、鉄の含有率が３５〜５９質量％のヨークのように、磁束密度が1．４Ｔ以上あると、ＳＵＹからなるヨークを用いたモータより特性が良いことがわかった。また、ＳＵＹからなるヨークを熱処理し、無電解ニッケルめっきの防錆処理したものの表面のビッカース硬度（Ｈｖ１００ｇ）を測定したが、Ｈｖ９０で非常にやわらかい。一方、モータトルクの大きい鉄の含有率３５〜５９質量％のヨークのＨｖが４００以上あると、ＳＵＹからなるヨークの５倍以上の硬さがあるため、変形しにくい。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、ステッピングモータのみならず、それ以外の直流モータ、交流モータにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明による電鋳外ヨークの製造方法を示す図である。
【図２】本発明による電鋳内ヨークの製造方法を示す図である。
【図３】従来例と本発明に共通のモータの構成例を示す断面図である。
【図４】図３に示されるモータの分解斜視図である
【図５】従来例と本発明に共通のモータの他の構成例を示す断面図である。
【図６】本発明の実施例及び比較例を示す図である。
【図７】本発明の実施例の実験1における駆動周波数−プルアウトトルク特性を示す図である。
【図８】本発明の実施例の実験２における駆動周波数−プルアウトトルク特性を示す図である。
【図９】本発明の実施例の実験３における駆動周波数−プルアウトトルク特性を示す図である。
【図１０】本発明の実施例に対する比較例の駆動周波数−プルアウトトルク特性を示す図である。
【符号の説明】
【００３７】
１１                ロータマグネット
１２，１３          外ヨーク
１４，１５          内ヨーク
１６，１７          コイル
１８，１９          コイルボビン
２０                モータカバー
２１，２２          軸受
３０                型
３１                マスター型
３２                非導電物質
３３                母型
３４                めっき浴
３５                アノード
３６                電源
４０                母型
４１                先端部
１０１              ボビン
１０２              ステータヨーク
１０３              ケース
１０５              コイル
１０６              ヨーク
１０６ａ，１０６ｂ  磁極歯
１０８              軸受け
１０９              ロータ
１１０              ロータ軸
１１１              ロータマグネット
１１５              フランジ
【図１】
2005304103.tif 000003
【図２】
2005304103.tif 000004
【図３】
2005304103.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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