(57)【要約】【課題】本発明は、微小な面取り部分長さの定量的で再現性のある測定方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明にかかる微小な面取り部分長さの測定方法は、レーザの光源１とレーザの受光部２と測定台３を備え、被測定ワーク７を測定台３にのせ、測定台３を動かし、レーザの受光部２で受ける光量を測定し、光量の非常に少ない部分の長さを測定することにより、ワークの微小な面取り部分長さ４が測定できることになる。【選択図】図１
2005315609.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ワークを測定台に置き、被測定ワークに対してレーザの光源から光を照射し、被測定ワークの反射光をレーザの受光部で受ける第１ステップと、測定台を動かし、被測定ワークの面取り部に対してレーザの光源から光を照射し、被測定ワークの面取り部の反射光をレーザの受光部でほとんど受けない第２ステップと、さらに測定台を動かし、測定台に対してレーザの光源から光を照射し、測定台の反射光をレーザの受光部で受ける第３ステップと、レーザの受光部で反射光をほとんど受けなかったときの測定台の動いた長さを測る第４ステップとからなる面取り部分長さの測定方法。
【請求項２】
被測定ワークの面取りをした側面の横に測定補助物を接触させて測定台に置き、測定補助物に対してレーザの光源から光を照射し、測定補助物の反射光をレーザの受光部で受ける上記第３ステップを有する請求項１記載の面取り部分長さの測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密に動く測定台とレーザの光源およびレーザの受光部を用いた、測定台の上で固定でき、測定台に対して上面が平行で側面が垂直または下向きに凸であり、上面と側面の間に微小な面取り部分のある被測定ワークの、微小な面取り部分長さの測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の被測定ワークを走査し、レーザを用いて長さを測定する方法では、例えば図６のようなものがあった。
【０００３】
図６は、平坦部とくぼみを有するクレータ部を持つ被測定ワーク６１をＦ方向に走査し、レーザの光源１の被測定ワーク６１からの反射光をレーザの受光部２で受けているものを表した図である。
【０００４】
このとき、被測定ワーク６１のクレータ部では、平坦部と比較して、レーザの受光部２に返ってくる光量が減少する。
【０００５】
走査しているときの光量が減少した区間の長さを測定することにより、被測定ワーク６１のクレータ部の長さが測定されていた。
【０００６】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１、特許文献２、特許文献３が知られている。
【特許文献１】特公平６−６３７５６号公報
【特許文献２】特公平７−３３２６号公報
【特許文献３】特開昭５６−１６８１０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の方法では、被測定ワーク６１の面取り部の終点である端の計測（認識）が困難だったので、面取り部の長さ測定は出来ないという課題を有していた。
【０００８】
また、光学顕微鏡で測定するという方法も考えられるが、この場合は被測定ワーク６１上面のどの位置を面取りの始まりとするかの定義（測定）が難しく、再現性のある測定ができなかった。
【０００９】
本発明は、前記課題を解決しようとするものであり、微小な面取り部分長さの定量的で再現性のある測定を提供する事を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【００１１】
本発明の請求項１に記載の発明は、被測定ワークを測定台に置き、被測定ワークに対してレーザの光源から光を照射し、被測定ワークの反射光をレーザの受光部で受ける第１ステップと、測定台を動かし、被測定ワークの面取り部に対してレーザの光源から光を照射し、被測定ワークの面取り部の反射光をレーザの受光部でほとんど受けない第２ステップと、さらに測定台を動かし、測定台に対してレーザの光源から光を照射し、測定台の反射光をレーザの受光部で受ける第３ステップと、レーザの受光部で反射光をほとんど受けなかったときの測定台の動いた長さを測る第４ステップとからなる面取り部分長さの測定方法であり、精密に動く測定台３とレーザの光源１およびレーザの受光部２が図１に示す構成を有している。
【００１２】
ただし、レーザの光源１は被測定ワーク７と測定台３の上面と平行に上側に設置してある。
【００１３】
また、レーザの受光部２は被測定ワーク７と測定台３の上面と平行にレーザの光源１付近に設置してある。
【００１４】
そして、被測定ワーク７と測定台３は、レーザの光源１からの光を十分にレーザの受光部２に反射するものである。
【００１５】
このとき、被測定ワーク７と測定台３の上側に配置したレーザの光源１から下向きに照射される光が、被測定ワーク７の上から測定台３の上に至るまで、面取り部分と垂直な方向に面取り部分に光があたる区間があるように測定台を精密に動かす。
【００１６】
そして、レーザの光源１から照射され、反射してレーザの受光部２に返ってきた光量の変化を見る（第１ステップ、第２ステップ、第３ステップ）。
【００１７】
被測定ワーク７の面取り部分６では、レーザの受光部２での受光量が、被測定ワーク７および測定台３の上にレーザの光源１があるときと比較して、大きく減少する。
【００１８】
このときの光量変化を表した一例が図５である。
【００１９】
受光量が大幅に減少した部分の測定台３が動いた長さを測定すること（第４ステップ）により、微小な面取り部分長さ４が測定出来るという作用効果を有する。
【００２０】
本発明の請求項２に記載の発明は、被測定ワークの面取りをした側面の横に測定補助物を接触させて測定台に置き、測定補助物に対してレーザの光源から光を照射し、測定補助物の反射光をレーザの受光部で受ける上記第３ステップを有する請求項１記載の面取り部分長さの測定方法であり、請求項１の発明に測定補助物４１を加えた図４という構成を有し、被測定ワーク７の高さが大きいものを対象にしたときのものである。
【００２１】
被測定ワーク７の高さが大きいとき、レーザの受光部２と測定台３の距離が大きいため、測定台３で反射してレーザの受光部２に返ってくる光量は大きく減少する。
【００２２】
このとき、請求項１の発明では、レーザの受光部２に返ってくる光量で、被測定ワーク７の面取り部分６と測定台３との区別がつかなくなる。
【００２３】
そこで、測定台３と上面が平行で側面が垂直である、被測定ワーク７と同等な高さの測定補助物４１を、被測定ワーク７の面取り部分６がある側面の横に接触させて置く。
【００２４】
ただし、測定補助物４１はレーザの光源１からの光を十分にレーザの受光部２に反射するものとする。
【００２５】
このようにすることで、被測定ワーク７の高さが低いもののときの測定台３から反射して返ってくるレーザの受光部２の光量と同等のものを、測定補助物４１へのレーザの反射で与えること（第３ステップ）で、請求項１と同様の作用効果を有する。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の面取り部分長さの測定方法は、上記構成を有し、基板等の面取り部分の微小な長さを簡単な構成で高精度に再現性よく測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（実施の形態１）
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項１に記載の発明について図面を参照しながら説明する。
【００２８】
図１は、本発明の実施の形態１における面取り部分長さの測定方法の構成図である。
【００２９】
図１において、レーザの光源１が出した光の軌跡５は、レーザの受光部２に向けられるため、多くの光量をレーザの受光部２にて受ける（第１ステップ）。
【００３０】
図１の測定台３を左に動かし、レーザの光源１が出した光が被測定ワークの面取り部分６に当たって反射している状態を示しているのが図２である。
【００３１】
図２において、レーザの光源１で出した光の軌跡５はレーザの受光部２に向けられないため、レーザの受光部２が受ける光量は大きく減少する（第２ステップ）。
【００３２】
図２の測定台３を左に動かし、レーザの光源１より出射した光が測定台３に照射するようになったのが図３である。
【００３３】
図３のときは、図１のときと同様にレーザの光源１が出した光の軌跡５はレーザの受光部２に向けられるため、レーザの受光部２で多くの光量を受ける（第３ステップ）。
【００３４】
最後に、図２のような光量が少ないときの測定台３の動いた量を測定すること（第４ステップ）により、被測定ワーク７の面取り部分長さ４を測定する。
【００３５】
（実施の形態２）
以下、実施の形態２を用いて、本発明の特に請求項２に記載の発明について図面を参照しながら説明する。
【００３６】
図３まで測定台が動いたとき、図４のように被測定ワーク７の高さが大きければ、測定台３から反射してレーザの受光部２に返ってくる受光量が大幅に減少するので、図２と図３の状態での光量の変化が小さくなり面取り部分がわからなくなる。
【００３７】
従って、被測定ワーク７の高さが大きいときは、請求項１の発明では、微小な面取り部分長さ４を測定することが出来ない。
【００３８】
このとき、図４のように被測定ワークの側面に測定補助物４１を接触させて置くことで、被測定ワーク７の高さが低いもののときの測定台３から反射して返ってくるレーザの受光部２への光量と同等な光量を、測定補助物４１におけるレーザの反射でレーザの受光部２に与える（第３ステップ）。
【００３９】
このようにすることで、被測定ワーク７の高さに関係なく、被測定ワーク７の微小な面取り部分長さ４を測定する。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明にかかる微小な面取り部分の長さ測定方法は、微小な面取り部分の長さの定量的で再現性のある測定を提供すると共に、様々な角度特性のある部位の長さの定量的な測定の用途として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施の形態１における模式図
【図２】レーザの光源からの光が被測定ワークの面取り部分に達したときの模式図
【図３】レーザの光源からの光が測定台の部分に達したときの模式図
【図４】本発明の実施の形態２における模式図
【図５】光量変化を示した説明図
【図６】従来の測定法を示した模式図
【符号の説明】
【００４２】
１  レーザの光源
２  レーザの受光部
３  精密に動く測定台（測定台と略す）
４  被測定ワークの面取り部分長さ
５  レーザの光源から照射されたレーザ光の軌跡
６  被測定ワークの面取り部分
７  被測定ワーク
４１  被測定ワークの横に置く測定補助物
６１  クレータ部と平坦部を持つ被測定ワーク
【図１】
2005315609.tif 000003
【図２】
2005315609.tif 000004
【図３】
2005315609.tif 000005
【図４】
2005315609.tif 000006
【図５】
2005315609.tif 000007
【図６】
2005315609.tif 000008