(57)【要約】      （修正有）【課題】受動素子を回路装置に実装する場合、電極部がスズめっきのため、実装ランド部にロウ材で固着しており、単層で配線を交差させることができず、実装面積の拡大や、プリント基板に実装する際のリフロー温度の制限、パッケージ後の半田クラックによる信頼性の悪化があった。【解決手段】受動素子６の電極部７を金メッキとし、電極部にボンディングワイヤ８を直接固着する。これにより受動素子の固着のための実装ランド部、パッド部３ａの低減、単層でも配線の交差が実現するなどにより実装密度の向上を図れる。また、プリント基板に実装する際の半田の融点以下で行うという制限が回避できる。【選択図】図１
2005277355.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電パターンおよび該導電パターンと電気的に接続される半導体素子が配置される実装領域と、
ボンディングワイヤと、
前記実装領域に接着され、両側面に電極部が設けられた少なくとも１つの受動素子を具備し、
前記受動素子の電極部にボンディングワイヤの一端を固着したことを特徴とする回路装置。
【請求項２】
支持基板上に半導体素子および導電パターンが配置される実装領域と、
ボンディングワイヤと、
前記実装領域に接着され、両側面に電極部が設けられた少なくとも１つの受動素子とを有し、
前記受動素子の電極部に前記ボンディングワイヤの一端を固着したことを特徴とする回路装置。
【請求項３】
少なくとも前記導電パターン、半導体素子、受動素子およびボンディングワイヤを樹脂層にて被覆し、前記支持基板と一体で支持したことを特徴とする請求項２に記載の回路装置。
【請求項４】
絶縁性樹脂により支持された導電パターンと、該導電パターンまたは前記絶縁性樹脂上に固着された半導体素子により構成される実装領域と、
ボンディングワイヤと、
前記実装領域に接着され、両側面に電極部が設けられた受動素子を有し、
前記受動素子の電極部に前記ボンディングワイヤの一端を固着したことを特徴とする回路装置。
【請求項５】
少なくとも前記導電パターン、半導体素子、受動素子およびボンディングワイヤを前記絶縁性樹脂にて被覆し一体で支持したことを特徴とする請求項４に記載の回路装置。
【請求項６】
前記受動素子は、樹脂またはシートにより接着されることを特徴とする請求項１または請求項２または請求項４に記載の回路装置。
【請求項７】
前記ボンディングワイヤの他端を前記半導体素子または前記導電パターンに接続することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項４に記載の回路装置。
【請求項８】
前記ボンディングワイヤの他端を他の前記受動素子の電極部に固着することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項４に記載の回路装置。
【請求項９】
前記受動素子の電極部は、金メッキが施されることを特徴とする請求項１または請求項２または請求項４に記載の回路装置。
【請求項１０】
前記受動素子は、前記半導体素子上に接着されることを特徴とする請求項１または請求項２または請求項４に記載の回路装置。
【請求項１１】
前記受動素子に固着されたボンディングワイヤの下方に前記導電パターンの一部を配置することを特徴とする請求項１または請求項２または請求項４に記載の回路装置。
【請求項１２】
前記ボンディングワイヤは前記受動素子の電極部に熱圧着により固着されることを特徴とする請求項１または請求項２または請求項４に記載の回路装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は受動素子を含む回路装置に係り、特に配線密度を向上した回路装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図５を参照して、従来の回路素子について説明する。図５（Ａ）は回路装置の平面図、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図を示す。
【０００３】
図５（Ａ）のごとく、例えば支持基板１１０上の所定の実装領域１２０に、例えばＩＣ等の半導体素子１０１と、複数の導電パターン１０３が配置される。導電パターン１０３は、ボンディングワイヤ１０８等が固着されるパッド部１０３ａおよび／または受動素子１０６の両電極部１０７が固着される実装ランド部１０３ｂを有する。受動素子は、例えばチップコンデンサなどである。
【０００４】
受動素子１０６と半導体素子１０１とは、導電パターン１０３を介して接続する。すなわち、受動素子１０６の電極部１０７を実装ランド部１０３ｂに半田などのロウ材により固着し、実装ランド部１０３ｂから導電パターン１０３を延在する。そして、パッド部１０３ａと半導体素子１０１の電極パッド１０２とをボンディングワイヤ１０８等により接続する。また、受動素子１０６同士は、両端に実装ランド部１０３ｂを有する導電パターン１０３により接続する。
【０００５】
図５（Ｂ）のごとく、受動素子１０６の端部の側面は、スズメッキが施され、電極部１０７となっている。そして、受動素子１０６を実装する場合には、実装ランド１０３ｂ（導電パターン１０３）に、半田等のロウ材（または導電性接着剤）１６０により固着される（例えば特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００３−２９７６０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図５（Ｂ）のごとく、受動素子１０６の電極部１０７は、安価なスズメッキにより構成されている。そして、スズは融点が低く高温の熱圧着ができないため、受動素子１０６を実装する場合にはロウ材（または導電性接着剤）１６０により導電パターン１０３に固着している。
【０００７】
特に、ロウ材１６０による実装の場合、電極部１０７にロウ材１６０から成るフィレットが形成される。従って、受動素子１０６を半導体素子１０２または他の受動素子、または導電パターン１０３と接続するためには、受動素子１０６の電極部１０７下方に電極部１０７より大きい実装ランド部１０３ｂや、ボンディングワイヤ１０３が接続するパッド部１０３ａを有する導電パターン１０３が必要となり、実装面積の低減が進まず、受動素子１０６が実装される回路装置の製品の実装密度が低下してしまう。
【０００８】
また、配線が複雑になり、導電パターン１０３が交差するような場合には、図５（Ａ）の破線の如く多層構造としスルーホールＴＨを介して接続するか、単層構造の場合には導電パターン１０３を大きく迂回して配置する必要がある。つまり、受動素子の接続のためにコストや工数を増やして多層構造にするか、実装面積を更に拡大しなければならないなどの問題があった。
【０００９】
更に、ロウ材、特にはんだによる固着の場合、特に樹脂封止する構造を有する装置に於いては以下のような問題を有していた。
【００１０】
例えばプリント基板等に実装する際のリフロー温度を、はんだの融点以上にすることができない。これは、はんだの融点以上のリフロー温度になると、はんだの再溶融によりショートやパッケージ破壊につながるためである。
【００１１】
また、はんだ、Ａｇペーストなどは、樹脂封止後の熱でパッケージがひずむとはんだ又はＡｇペーストにクラックが発生し、信頼性が劣化してしまう。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされ、第１に、導電パターンおよび該導電パターンと電気的に接続される半導体素子が配置される実装領域と、ボンディングワイヤと、前記実装領域に接着され、両側面に電極部が設けられた少なくとも１つの受動素子を具備し、前記受動素子の電極部にボンディングワイヤの一端を固着したことにより解決するものである。
【００１３】
第２に、支持基板上に半導体素子および導電パターンが配置される実装領域と、ボンディングワイヤと、前記実装領域に接着され、両側面に電極部が設けられた少なくとも１つの受動素子とを有し、前記受動素子の電極部に前記ボンディングワイヤの一端を固着したことにより解決するものである。
【００１４】
また、少なくとも前記導電パターン、半導体素子、受動素子およびボンディングワイヤを樹脂層にて被覆し、前記支持基板と一体で支持したことを特徴とするものである。
【００１５】
第３に、絶縁性樹脂により支持された導電パターンと、該導電パターンまたは前記絶縁性樹脂上に固着された半導体素子により構成される実装領域と、ボンディングワイヤと、前記実装領域に接着され、両側面に電極部が設けられた受動素子を有し、前記受動素子の電極部に前記ボンディングワイヤの一端を固着したことにより解決するものである。
【００１６】
また、少なくとも前記導電パターン、半導体素子、受動素子およびボンディングワイヤを前記絶縁性樹脂にて被覆し一体で支持したことを特徴とするものである。
【００１７】
また、前記受動素子は、樹脂またはシートにより接着されることを特徴とするものである。
【００１８】
また、前記ボンディングワイヤの他端を前記半導体素子または前記導電パターンに接続することを特徴とするものである。
【００１９】
また、前記ボンディングワイヤの他端を他の前記受動素子の電極部に固着することを特徴とするものである。
【００２０】
また、前記受動素子の電極部は、金メッキが施されることを特徴とするものである。
【００２１】
また、前記受動素子は、前記半導体素子上に接着されることを特徴とするものである。
【００２２】
また、前記受動素子に固着されたボンディングワイヤの下方に前記導電パターンの一部を配置することを特徴とするものである。
【００２３】
また、前記ボンディングワイヤは前記受動素子の電極部に熱圧着により固着されることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明では、以下に示すような効果を奏することができる。
【００２５】
第１に、受動素子と、半導体素子、導電パターンあるいは他の受動素子を、ボンディングワイヤにより直接接続することができる。すなわち、受動素子の電極部を固着するための実装ランド部や、受動素子と近接する半導体素子の電極パッドと接続するためのパッド部が不要となり、実装面積の低減を実現できる。
【００２６】
第２に、受動素子に直接ボンディングワイヤを固着することにより、他の構成要素との電気的接続を実現するので、当該ボンディングワイヤの下方に導電パターンの一部を配置できる。従来では導電パターンにより受動素子と他の構成要素とを接続していたため、受動素子に接続する導電パターンと交差する場合には、２層配線にする必要があったが、本実施形態によれば、それを単層で実現でき、実装密度の向上が図れる。
【００２７】
第３に、受動素子を半導体素子上に接着することができる。これにより実装面積の低減と、半導体素子に接続するボンディングワイヤの短縮化による高周波特性の向上が実現する。
【００２８】
第４に、受動素子の実装は接着剤または接着シートを使えるので、回路装置のモジュールをプリント基板に実装する際のリフロー温度をはんだの融点以下にする制約がなくなる。
【００２９】
第５に、ロウ材を用いずに固着できるので、樹脂パッケージの応力によるロウ材のクラックの発生を防止でき、信頼性が向上する。
【００３０】
第６に、受動素子の側面部にロウ材からなるフィレットが形成されない。従って、受動素子の実装面積を小さくすることが可能となり、装置全体の実装密度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
図１から図４を参照して、本発明の回路装置の一実施形態を説明する。
【００３２】
図１は本実施形態の回路装置を説明する図であり、図１（Ａ）は平面図であり、図１（Ｂ）は図１（Ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【００３３】
本実施形態の回路装置１０は、半導体素子１と、導電パターン２と、受動素子６と、ボンディングワイヤ８とから構成される。
【００３４】
図１（Ａ）のごとく、回路装置は、所定の領域に実装領域２０を有する。尚、本実施形態における実装領域２０は、例えばＩＣ等の半導体素子１および導電パターン３と受動素子６が少なくとも配置されている。ここでは、点線で示す所定の回路を構成する連続した一領域をいう。導電パターン３は、端部にボンディングワイヤ８が固着されるパッド部３ａを有する。
【００３５】
本実施形態において、受動素子６とは、例えばチップ抵抗器、チップコンデンサ、インダクタンス、サーミスタ、アンテナ、発振器など、素子の両端に電極部７を有するチップ素子をいう。電極部７は、細長に形成された受動素子６の両端部に形成され、電極部７の表面は金メッキが施されている。そして、受動素子６は、実装領域２０に絶縁性または導電性の接着材料により固着される。
【００３６】
具体的には、図１（Ａ）のごとく、本実施形態の受動素子６は、導電パターン３が配置されない領域に接着される。しかし、絶縁性の接着材料を用いれば、密集する導電パターン３上に接着することもできる。
【００３７】
また、受動素子６を、半導体素子１上に絶縁性の接着材料により固着してもよく、これにより受動素子６と半導体素子１とのスタック実装が実現できる。
【００３８】
そして、本実施形態では、受動素子６の電極部７を導電パターン（実装ランド部）にロウ材またはＡｇペーストにより直接固着するのではなく、電極部７にボンディングワイヤ８の一端を固着することにより電気的接続を実現する。
【００３９】
受動素子６に固着したボンディングワイヤ８の他端は、半導体素子１の電極パッド２および／または導電パターン３のパッド部３ａに接続する。または、受動素子６の電極部７同士を、ボンディングワイヤ８で接続する。
【００４０】
このため、電極部７はボンディングワイヤ８でボンディングが可能なように、金メッキが施されている。つまり、ボンディングワイヤ８の材料（ＡｕまたはＡｌ等）により、電極部７最表面の金属が決定される。
【００４１】
つまり、受動素子６は、ロウ材またはＡｇペースト等を使わず、金属細線を用いて接続することに意味がある。
【００４２】
これにより、受動素子の電極部の固着領域であった実装ランド部（図５の１０３ｂ破線丸印）が不要となる。又、近接する半導体素子１の電極パッドと受動素子６を接続するためのパッド部３ａも不要となる。
【００４３】
尚、本実施形態においても、半導体素子１から遠く離れた位置の受動素子６と半導体素子１を接続する場合には導電パターン３を引き回すため、半導体素子１の電極パッド２に近接したパッド部３（図１（Ａ）破線丸印）を設けてそこにワイヤボンドする必要がある。しかし、このように導電パターン３を引き回す場合でも、受動素子６側では導電パターン３のパッド部３ａとして、電極部７が固着できるサイズではく、ワイヤボンド可能な面積を確保すれば十分となる。又、導電パターン３を受動素子６に接続するボンディングワイヤ８の下方に配線することができるので、実装面積の増大を防ぐことができる。
【００４４】
また、図１（Ｂ）の断面図を参照して、受動素子６を実装領域に固着した状態を説明する。
【００４５】
受動素子６は、接着材料９により実装領域に接着される。受動素子６の接着は、接着樹脂または接着シートであるので、Ａｇペースト又はロウ材１６０の場合と異なりフィレットが形成されない。従って、受動素子６を実装する際に必要な実装面積は、受動素子６平面的な大きさと同程度である。
【００４６】
そして、図の如く受動素子６と半導体素子１が近接する箇所においてはボンディングワイヤ８により直接的に接続される。また、前述の如く、受動素子６を半導体素子１上に積層することができるので、実装面積の大幅な低減が可能となる。そしてこの場合、半導体素子１と受動素子６を接続する導電パターン３が不要となり、ボンディングワイヤ８も短くできるので、コンダクタンスの低減により良好な高周波特性が得られ、ノイズの吸収が速くなる利点も有する。
【００４７】
更に、受動素子６に一端が固着するボンディングワイヤ８の下方に、導電パターン３の一部を配置することができる。従来ではこのように配線が交差する場合には導電パターンを多層配線構造にし、スルーホールを介して接続する必要があったが、本実施形態では単層で配線の交差が可能となる。
【００４８】
以上、受動素子６をボンディングワイヤで接続することにより、またはボンディングワイヤで接続するチップ素子を採用することで、いろいろな効果が発生することが判る。
【００４９】
次に、図２から図４を参照して上記の回路装置のパッケージ例を説明する。
【００５０】
まず、図２を参照して、図２（Ａ）は実装基板を不要にしたタイプの回路装置であり、図２（Ｂ）は導電パターンを有する樹脂シートを用いてパッケージしたものであり、図２（Ｃ）は多層配線構造の基板を用いた場合の断面図である。
【００５１】
図２（Ａ）は、例えば所望の導電パターンを有した支持基板上に、図示の如き素子を実装、モールドした後、支持基板を剥がすことで可能である。またＣｕ箔をハーフエッチングして、素子を実装、モールドした後、パッケージの裏面に存在するＣｕ箔をエッチバックすることにより可能である。さらには、打ち抜きリードフレームの裏面を下金型に当接しながら、モールドしても実現できる。ここでは２番目のハーフエッチングを採用した場合を例に説明する。
【００５２】
つまり、実装領域２０に導電パターン３が配置される。導電パターン３は、絶縁性樹脂３１に埋め込まれて支持され、裏面は絶縁性樹脂３１から露出する。この場合導電パターン３は、Ｃｕを主材料とした導電箔、Ａｌを主材料とした導電箔、またはＦｅ−Ｎｉ等の合金から成る導電箔等であるが、他の導電材料でも可能であり、特にエッチングできる導電材が好ましい。
【００５３】
この場合、製造工程においてシート状の導電箔に、導電箔の厚みに達しない分離溝３２をハーフエッチングで設けることで、導電パターン３が形成される。そして分離溝３２は絶縁性樹脂３１が充填されて導電パターン側面の湾曲構造と嵌合して強固に結合する。その後、分離溝３２下方の導電箔をエッチングすることにより導電パターン３は個々に分離し、絶縁性樹脂３１により支持されるものである。
【００５４】
すなわち絶縁性樹脂３１は、導電パターン３の裏面を露出させて、実装領域２０の全体、ここでは半導体素子１、受動素子６、ボンディングワイヤ８を封止している。絶縁性樹脂３１としては、トランスファーモールドにより形成される熱硬化性樹脂や、インジェクションモールドにより形成される熱可塑性樹脂を採用することができる。具体的には、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド等の熱可塑性樹脂を用いることができる。また絶縁性樹脂は、金型を用いて固める樹脂、ディップ、塗布をして被覆できる樹脂であれば、全ての樹脂が採用できる。このパッケージにおいて、絶縁性樹脂３１は半導体素子１等を封止すると同時に、回路モジュール全体を支持する働きも有する。このように、全体を絶縁性樹脂３１で封止することにより、半導体素子１や受動素子６が導電パターン３から分離してしまうのを防止することができる。
【００５５】
半導体素子１は実装領域２０内の導電パターン（ランド）３上に、その用途に応じて絶縁性または導電性接着剤９で固着され、電極パッドにはボンディングワイヤ８が熱圧着され、導電パターン３や受動素子６と接続される。
【００５６】
受動素子６も、実装領域２０内でこの図の場合であれば導電パターン３上に接着剤９にて固着される。ここで、本実施形態では、受動素子６と半導体素子１等の他の構成要素との電気的接続はボンディングワイヤ８にて実現している。すなわち、受動素子６は導電パターン３上に固着しなくてもよいのであるが、図２（Ａ）に示すパッケージ構造の場合には、導電パターン３上に固着することにより受動素子６の支持強度を向上させることができる。
【００５７】
受動素子６の電極部７にはボンディングワイヤ８の一端が直接固着し、他端は半導体素子１の電極パッド、導電パターン３、他の受動素子６の電極部７のいずれかと接続する。
【００５８】
なお、絶縁性樹脂３１の厚さは、回路装置２０のボンディングワイヤー８の最頂部から約１００μｍ程度が被覆されるように調整されている。この厚みは、強度を考慮して厚くすることも、薄くすることも可能である。
【００５９】
絶縁性樹脂３１の裏面と導電パターン３の裏面は、実質一致している構造となっている。そして、裏面には所望の領域を開口した絶縁樹脂（例えば半田レジスト）３３を設け、露出した導電パターン３に半田等の導電材を被着して裏面電極３４を形成し、回路装置として完成する。
【００６０】
次に、図２（Ｂ）の如き構造によれば、導電パターン３の配線の自由度を向上させることができる。
【００６１】
実装領域２０内で導電パターン３は回路装置１０の他の構成要素と一体で絶縁性樹脂３１に埋め込まれて支持される。後述するがこの場合の導電パターン３は、絶縁樹脂４１の表面に導電膜４２を形成した絶縁樹脂シート４３を準備し、導電膜４２をパターニングすることにより形成される。
【００６２】
絶縁樹脂４１の材料は、ポリイミド樹脂またはエポキシ樹脂等の高分子から成る絶縁材料で成る。また熱伝導性が考慮され、中にフィラーが混入されても良い。材料としては、ガラス、酸化Ｓｉ、酸化アルミニウム、窒化Ａｌ、Ｓｉカーバイド、窒化ボロン等が考えられる。絶縁樹脂４１の膜厚はペースト状のものを塗ってシートとするキャスティング法の場合、１０ｍ〜１００μｍ程度である。また、市販のものは２５μｍが最小の膜厚である。
【００６３】
導電膜４２は、好ましくは、Ｃｕを主材料とするもの、Ａｌ、Ｆｅ、Ｆｅ−Ｎｉ、または公知のリードフレームの材料であり、メッキ法、蒸着法またはスパッタ法で絶縁樹脂２に被覆されたり、圧延法やメッキ法により形成された金属箔が貼着されても良い。
【００６４】
導電パターン３は、導電膜４２上を所望のパターンのホトレジストで被覆し、ケミカルエッチングにより所望のパターンを形成する。
【００６５】
導電パターンは３は、ワイヤボンドされるパッド部３ａを露出して他の部分をオーバーコート樹脂４４で被覆される。オーバーコート樹脂４４は溶剤で溶かしたエポキシ樹脂等をスクリーン印刷で付着し、熱硬化させたものである。
【００６６】
また、パッド部３ａ上にはボンディング性を考慮して、Ａｕ、Ａｇ等のメッキ膜４５が形成される。このメッキ膜４５は例えばオーバーコート樹脂４４をマスクとしてパッド部３ａ上に選択的に無電界メッキされる。
【００６７】
半導体素子１および受動素子６はベアチップのまま実装領域２０内のオーバーコート樹脂４４上に絶縁性接着樹脂９でダイボンドされる。
【００６８】
そして半導体素子１の各電極パッドはボンディングワイヤ８によりパッド部３ａに接続する。
【００６９】
そして受動素子６の電極部７にはボンディングワイヤ８の一端が直接固着し、他端は半導体素子１、パッド部３ａ、他の受動素子６のいずれかと接続する。
【００７０】
絶縁樹脂シート４３は、絶縁性樹脂３１により被覆され、これにより導電パターン３も絶縁性樹脂３１に埋め込まれる。モールド方法としては、トランスファーモールド、インジェクションモールド、塗布、ディピング等でも可能である。しかし、量産性を考慮すると、トランスファーモールド、インジェクションモールドが適している。
【００７１】
裏面は絶縁樹脂シート４３の裏面すなわち絶縁樹脂４１が露出しており、絶縁樹脂４１の所望の位置を開口して導電パターン３の露出部分に外部電極３４を設ける。
【００７２】
この構造によれば、半導体素子１、受動素子６とその下の導電パターン３とはオーバーコート樹脂４４で電気的に絶縁されるので、導電パターン３は半導体素子１の下でも自由に配線できる。
【００７３】
例えば、図２（Ａ）において、導電パターン３の一部を受動素子６に固着するボンディングワイヤ８の下方に配置することで実装面積の低減を図れるが、図２（Ｂ）の構造にすることによりそのような導電パターン３を半導体素子１または受動素子６下方に配置することも可能となり、さらに実装面積の低減や配線自由度の向上が実現する。
【００７４】
以上、導電パターン３を形成した絶縁樹脂シート４３の場合を例に説明したが、これに限らず、図２（Ａ）の導電パターン３上をオーバーコート樹脂４４で被覆する構造でもよい。またフレキシブルシートなどの支持基板上に設けた導電パターン３上をオーバーコート樹脂４４で被覆したパッケージでもよく、何れの場合においても、導電パターン３を半導体素子１下方に配線できるので、配線の自由度が向上するパッケージを実現できる。
【００７５】
次に、図２（Ｃ）は、導電パターン３の多層配線構造を実現したものである。なお、図２（Ｂ）と同一構成要素は同一符号で示し、説明は省略する。
【００７６】
実装領域２０内で導電パターン３は回路装置１０の他の構成要素と一体で絶縁性樹脂３１に埋め込まれて支持される。後述するがこの場合の導電パターン３は、絶縁樹脂４１表面の実質全域に第１の導電膜４２ａが形成され、裏面にも実質全域に第２の導電膜４２ｂが形成された絶縁樹脂シート４３を準備し、これらの導電膜４２をパターニングすることにより形成される。
【００７７】
絶縁樹脂４１、導電膜４２の材料は図２（Ｂ）の場合と同様であり、導電パターン３は、第１の導電膜４２ａ、第２の導電膜４２ｂ上を所望のパターンのホトレジストで被覆し、ケミカルエッチングにより所望のパターンを形成する。
【００７８】
また、図２（Ｃ）においては、多層接続手段４６により絶縁樹脂４１を介して上層、下層に分離されている導電パターン３を電気的に接続する。多層接続手段４６はＣｕ等のメッキ膜を貫通孔４７に埋め込んだものである。メッキ膜は、ここではＣｕを採用したが、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ等を採用しても良い。
【００７９】
実装面側の導電パターン３は、ワイヤボンドされるパッド部３ａを露出して他の部分をオーバーコート樹脂４４で被覆され、パッド部３ａにはメッキ膜４５が設けられる。
【００８０】
半導体素子１および受動素子６はベアチップのまま実装領域２０内のオーバーコート樹脂４４上に絶縁性接着樹脂９でダイボンドされる。
【００８１】
そして半導体素子１の各電極パッドはボンディングワイヤ８によりパッド部３ａに接続し、受動素子６の電極部７にはボンディングワイヤ８の一端が直接固着し、他端は半導体素子１、パッド部３ａ、他の受動素子６のいずれかと接続する。
【００８２】
絶縁樹脂シート４３は、絶縁性樹脂３１により被覆され、これにより第１の導電膜４２ａからなる導電パターン３も絶縁性樹脂３１に埋め込まれ、一体で支持される。
【００８３】
絶縁樹脂下方の第２の導電膜４２ｂからなる導電パターン３は、絶縁性樹脂３１からは露出しているが、絶縁性樹脂３１で絶縁シート４３の一部を被覆することにより一体で支持され、第１の導電膜４２ａからなる導電パターン３と多層接続手段１２を介して電気的に接続されて多層配線構造を実現している。下層の導電パターン３は外部電極３４を形成する部分を露出して溶剤で溶かしたエポキシ樹脂等をスクリーン印刷してオーバーコート樹脂４８で大部分が被覆され、半田のリフローあるいは半田クリームのスクリーン印刷によりこの露出部分に外部電極３４が設けられる。
【００８４】
また外部電極３４は第２の導電膜４２ｂをエッチングしてその表面を金あるいはパラジウムメッキ膜で被覆したバンプ電極でも達成できる。
【００８５】
このような多層配線構造では、受動素子６に接続するボンディングワイヤ８下方の導電パターン３だけでなく、実装領域上で大きく迂回する必要があった導電パターン３についても、半導体素子１および受動素子６の下方に配線でき、チップサイズの低減に寄与できる。
【００８６】
次に、図３を用いて、支持基板を用いたチップサイズパッケージの一例を示す。図３（Ａ）は、図２（Ｃ）に示すパッケージにおいてオーバーコート樹脂４４を不要とした場合のパッケージであり、図３（Ｂ）は３層以上の多層配線構造の場合である。
【００８７】
支持基板５１は例えばガラスエポキシ基板等の絶縁性基板である。なお支持基板５１としてフレキシブルシートを採用しても同様である。
【００８８】
実装領域２０となるガラスエポキシ基板５１の表面には、Ｃｕ箔を圧着し、パターニングした導電パターン３が配置され、基板５１裏面には外部接続用の裏面電極３４が設けられる。そしてスルーホールＴＨを介して、導電パターン３と裏面電極３４が電気的に接続されている。
【００８９】
基板５１表面にはベアの半導体素子１、受動素子６が接着剤９により固着される。半導体素子１の電極パッドにはボンディングワイヤ８が圧着され、回路装置１０の他の構成要素と電気的接続を実現している。
【００９０】
また受動素子６の電極部７にはボンディングワイヤ８の一端が直接固着し、他端は半導体素子１、導電パターン３、他の受動素子６と接続する。
【００９１】
そして、半導体素子１、受動素子６、導電パターン３、ボンディングワイヤ８は、絶縁性樹脂３１により封止され、基板５１と一体で支持される。絶縁性樹脂３１の材料としては、トランスファーモールドにより形成される熱硬化性樹脂や、インジェクションモールドにより形成される熱可塑性樹脂を採用することができる。このように、全体を絶縁性樹脂３１で封止することにより、半導体素子１、受動素子６が導電パターン３から分離してしまうのを防止することができる。即ち、受動素子６は、接着剤９および絶縁性樹脂３１の２つの構成要素で、導電パターン３に接着されていることとなる。
【００９２】
一方、支持基板５１としてセラミック基板を用いても良く、この場合は、導電パターン３および裏面電極３４は、導電ペーストにより基板５１の表面と裏面に印刷、焼結して設けられ、スルーホールＴＨを介して接続され、絶縁性樹脂３１により基板３１と回路装置１０を一体で支持する。
【００９３】
また、図３（Ｂ）のごとく、複数の支持基板５１毎に配線層となる導電パターン３を設け、スルーホールＴＨを介して上層と下層の導電パターン３を接続することにより、支持基板５１を有する場合でも多層配線構造が可能となる。
【００９４】
更に、図４は、支持基板としてリードフレームを採用した場合のパッケージ例である。図４（Ａ）は平面図であり、図４（Ｂ）はＢ−Ｂ線断面図である。
【００９５】
支持基板となるリードフレーム５０は実装領域２０内にアイランドＩＬと、導電パターンとなる複数のリード３を有する。
【００９６】
アイランドＩＬにはベアの半導体素子１が接着剤（又ははんだ等のロウ材）９等により固着される。半導体素子１の電極パッドにはボンディングワイヤ８が圧着され、リード３と電気的接続を実現している。
【００９７】
受動素子６は、リード３上に絶縁性接着シート９により接着される。具体的には、複数のリード３上に接着される。そして受動素子６の電極部７にはボンディングワイヤ８の一端が直接固着し、他端は半導体素子１、リード３または同様に絶縁性接着シートにより接着された他の受動素子６と接続する。また、受動素子６は、アイランドＩＬ上に接着されても良い。
【００９８】
絶縁性樹脂３１は、アイランドＩＬと回路装置１０およびリード３の一部を封止している。絶縁性樹脂３１の材料としては、トランスファーモールドにより形成される熱硬化性樹脂や、インジェクションモールドにより形成される熱可塑性樹脂を採用することができる。絶縁性樹脂３１の側面から、リード３の一部が導出し、プリント基板等に実装される。
【００９９】
なお、図示は省略するがこのようなパッケージにおいて、絶縁性樹脂３１による封止ではなく、金属ケースや他のケーシング材による封止でもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】本発明の回路装置を説明する平面図（Ａ）、断面図（Ｂ）である。
【図２】本発明の回路装置が実装されたパッケージの一例を示す断面図である。
【図３】本発明の回路装置が実装されたパッケージの一例を示す断面図である。
【図４】本発明の回路装置が実装されたパッケージの一例を示す平面図（Ａ）、断面図（Ｂ）である。
【図５】従来の回路装置を説明する平面図（Ａ）、断面図（Ｂ）である。
【符号の説明】
【０１０１】
１      半導体素子
２      電極パッド
３      導電パターン
３ａ    パッド部
６      受動素子
７      電極部
８      ボンディングワイヤ
９      接着材料
１０    回路装置
２０    実装領域
３１    絶縁性樹脂
３３    絶縁樹脂
３４    裏面電極
４１    絶縁樹脂
４２    導電膜
４３    樹脂シート
４４    オーバーコート樹脂
４５    メッキ膜
４６    多層接続手段
４７    貫通孔
４８    オーバーコート樹脂
５０    リードフレーム
５１    基板
１０１  半導体素子
１０２  電極パッド
１０３  導電パターン
１０３ａ  パッド部
１０３ｂ  実装ランド部
１０６  受動素子
１０７  電極部
１０８  ボンディングワイヤ
１１０  支持基板
ＴＨ    スルーホール
ＩＬ    アイランド
【図１】
2005277355.tif 000003
【図２】
2005277355.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005277355.tif 000006
【図５】
2005277355.tif 000007