(57)【要約】【課題】  圧縮方向、引張方向のいずれの方向に対しても減衰機能を発現させる。【解決手段】  下段粘弾性体Ｒ２が座板５上に搭載され、下段粘弾性体Ｒ２上には仕切板８が重ねられ、上段粘弾性体Ｒ１は、仕切板８上に搭載されている。上ブラケット６と、支え板７とは上段粘弾性体Ｒ１の上方位置で上下に配置され、上ブラケット６と仕切板８とは２本の引っ張りロッド９，９にて連結され、支え板７と座板５とは２本の圧縮側ロッド１０，１０にて連結されている。上ブラケット６に圧縮方向の力が加えられたときに下段粘弾性体Ｒ２が圧縮され、引張方向の力が加えられたときには、上段粘弾性体Ｒ２が圧縮され、いずれの方向に対しても減衰性能を発現する。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘弾性体を有する双方向制振ダンパであって、
粘弾性体は、圧縮力、引張力のいずれの方向の力が加えられても少なくともその一部が圧縮され、圧縮方向、引張方向のいずれの方向に対しても制振性能を発現させるものであることを特徴とする双方向制振ダンパ。
【請求項２】
２本の柱状の粘弾性体の組を有する双方向制振ダンパであって、
２本の柱状の粘弾性体は、粘弾性体の組に圧縮方向の力が加えられたときにはその一方の粘弾性体が圧縮され、引張方向の力が加えられたときには、他方の粘弾性体が圧縮されるように組み合わせられているものであることを特徴とする双方向制振ダンパ。
【請求項３】
２本の柱状の粘弾性体、座板と、上ブラケットと、支え板と、仕切板と、引っ張り側及び圧縮側ロッドとの組合わせから構成された双方向制振ダンパであって、
下段粘弾性体は座板上に搭載され、下段粘弾性体上には仕切板が重ねられ、上段粘弾性体は、仕切板上に搭載され、
上ブラケットと、支え板とは上段粘弾性体の上方位置で上下に配置されたものであり、
上ブラケットと仕切板とは引っ張りロッドにて連結され、
支え板と座板とは圧縮側ロッドにて連結され、
座板は固定され、圧縮力、引張り力は、上ブラケットに作用させるものであることを特徴とする請求項２に記載の双方向制振ダンパ。
【請求項４】
上ブラケットに取り付けられた引っ張り側ロッドの取り付け位置と、支え板に取り付けられた圧縮側ロッドの取り付け位置とは互いに干渉しないように位相をずらせていることを特徴とする請求項３に記載の双方向制振ダンパ。
【請求項５】
支え板には加圧調整手段を有し、
加圧調整手段は、上下段の粘弾性体を加圧して圧縮させるものであることを特徴とする請求項３に記載の双方向制振ダンパ。
【請求項６】
請求項１、２、３、４又は５に記載された双方向制振ダンパと、荷重支持エレメントとの組み合わせを有する除振マウントであって、
荷重支持エレメントは、コイルばねであり、コイルばねは双方向制振ダンパと並列に配置されていることを特徴とする除振マウント。
【請求項７】
請求項１、２、３、４又は５に記載された双方向制振ダンパと、荷重支持エレメントとの組み合わせを有する除振マウントであって、
荷重支持エレメントは、空気ばねであり、空気ばねは双方向制振ダンパと並列に配置されていることを特徴とする除振マウント。
【請求項８】
請求項１、２、３、４又は５に記載された双方向制振ダンパと、荷重支持エレメントとの組み合わせを有する除振マウントであって、
荷重支持エレメントは、コイルばねと、空気ばねとの組み合わせであり、コイルばねと、空気ばねとは、双方向制振ダンパと並列に配置されていることを特徴とする除振マウント。
【請求項９】
空気ばねは、上下段のプレート間に設置されたベローズを有し、下段プレートは床上に設置され、上段プレートはテーブルを支持するものであり、双方向制振ダンパは、上下段のプレート間にベローズ２と並列に設置されているものであることを特徴とする請求項７又は８に記載の除振マウント。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、上下方向の振れに対し抵抗を付与して制振する双方向制振ダンパおよび双方向性除振ダンパに荷重支持エレメントを組み合わせた除振マウントに関する。本発明にいう荷重支持エレメントとは、コイルばねあるいは空気ばねである。
【背景技術】
【０００２】
荷重支持エレメントとしての空気ばねは、機器類の振動を高度に制振する装置のほか、機器類のレベル調整具として従来より各種分野の機器類の支持構造に用いられている。
【０００３】
空気ばねには、ベローズ型（蛇腹式）と、ダイアフラム型とがあり、座屈に対しては、後者の方が安定しているが、機器類の支持構造には主としてベローズ型の空気ばねが用いられる。空気ばねは、メカニカルバルブを用いて内部の空気圧の制御が行なわれ、機器類のレベル調整具として空気ばねを使用するときには、メカニカルバルブによる空気圧の調整によって、レベル（床面からの高さ）を一定に制御される。
【０００４】
荷重や衝撃の変動に関わらず、機器類を搭載したテーブルのレベルを一定に保つことは、特に加工機械、測定機器類において重要である。空気ばねは、テーブルの４本の脚に支持構造として組みつけられる。このようなテーブルの４本の脚に偏荷重が加わり、それぞれの脚の空気ばねの沈み量に違いが生ずると、テーブルが動揺し、あるいは傾き、この結果、加工誤差の原因になり、あるいは測定誤差の発生原因になる。
【０００５】
レベル調整具として空気ばねを使用する場合に、メカニカルバルブは、テーブルのレベル変動を補償するために用いられるものである。すなわち、テーブルに偏荷重が作用して少なくとも１本の脚の空気ばねが圧縮されて沈み、そのレベルが規定のレベルより下がると、メカニカルバルブに備えたスイッチが働き、配管を通して高圧空気がベローズ内に注入されて、ベローズを膨張させてレベルを回復させる。
【０００６】
逆に、テーブルのレベルが規定以上のレベルに上がれば、メカニカルバルブは、ベローズ内の空気を放出してレベルを規定のレベルまで下げ、テーブルは常にそのレベルを一定に自動調整される。
【０００７】
また、空気ばねには、規定レべルに保持されているテーブルが衝撃や荷重変動を受けてそのレベルが変動した場合に、そのレベルの変動分を速やかに規定レべルにまで収束させるため、減衰機構を設けることが必要となる。従来、空気ばねには、その減衰機構として、補助タンクを付設し、ベローズの空気室と、補助タンクとの間にオリフィスを入れることで、空気の粘性抵抗による減衰を空気ばねに付与する機構が用いられていた。
【０００８】
空気ばねに減衰を付与することで、固有振動数における共振ピークを低く抑えることが可能となり、テーブルの揺れを速やかに収束することができ、外乱による支持荷重の変化を速やかに吸収し、変動レベルを収束して規定レベルに保持できる。また、減衰機構は、上記構造に限らず、オイルダンパを付加することによっても同様の効果を得る事ができる。
【０００９】
しかしながら、空気ばねに減衰を付与するために、補助タンクや、オイルダンパを付設することは、ベローズとは別に補助タンクやオイルダンパの設置スペースや、その制御機構が必要であり、このため、空気ばねが大型化し、また、流体の制御系に厄介な調整が必要となるという問題がある。
【００１０】
このような問題を解決するため、発明者は、先に補助タンクや、オイルダンパを付設することなく、減衰を付与した空気ばね（本願発明に言う除振マウントの先行例のひとつ）を提案した。
【００１１】
この空気ばねにおいては、粘弾性体を有する空気ばねであって、空気ばねの空気室は、ベローズによって形成され、粘弾性体は、柱状をなし、ベローズの上下に取付けられた上段プレートと下段プレート間に設置され、ベローズに加えられる水平・鉛直両方向の微振動・振幅を減衰させるものである。
【００１２】
図６に上記空気ばねの構造を示す。図６において、空気ばね３１には、ベローズ型（蛇腹式）の空気ばねを用い、ベローズ３２内の空気室Ｒ内に粘弾性体３３を有している。粘弾性体３３は、応力の大きさのみならず、その増加速度もひずみの増加速度に大きな影響を与える性質を備えた固形物である（科学大辞典  昭和６０年  丸善株式会社発行  Ｐ１０５９参照）。この性質を備えた物質には例えばエポキシ樹脂がある。
【００１３】
この例においては、荷重支持エレメントとして空気ばねのほかにコイルばね３４を用い、粘弾性体３３とコイルばね３４との組合せを除振マウント３５として用い、粘弾性体３３を中心に、その周囲にコイルばね３４を配置して内外同心状に組合わせた例を示している。
【００１４】
ベローズ３２は、上下段のプレート３６，３７間に設置され、空気室Ｒは、その内部に形成されたものである。空気ばね３１はテーブル３８の４本の支持構造であり、空気ばね３１の下段プレート３７が床上に設置され、上段プレート３６上には、直接あるいは脚台（図示略）を介してテーブル３８が載せられ、テーブル３８上には、機器類４１が搭載される。したがって、テーブル３８を含めて機器類４１の重量が各空気ばね３１に加わり、コイルばね３４はその重量を受けて圧縮され、テーブル３８の高さは規定のレベルＬに保たれる。図６中、１９は水平方向のエネルギーを吸収させる揺動ダンパである。揺動ダンパ１９は下段プレート３７と立ち上げたステー２１に取り付けられ、上段プレート３６から立ち下げたブラケット２０に圧接されている。揺動ダンパは後述するように本発明の実施例においても設置している。
【００１５】
図７において，この空気ばねは、Ｘ−Ｙステージのような機械を搭載するテーブル３８の下面の４隅に脚として設置される。Ｘ−Ｙステージのような機械の動きによって、重量がテーブル３８上で位置移動する機器類４１をテーブル３８上に搭載した場合、機器類４１の固定部分を含むテーブル３８の重量をＭ、機器類４１の位置移動する部分（以下「位置移動する構成物という」）の重量をｍとすると、４本の脚に組み込まれた各空気ばね３１にかかる総重量は、「位置移動する構成物」の荷重（ｍ）と、「位置移動する構成物」を除いたテーブル３８の重量（Ｍ）との合計値となる。「位置移動する構成物」を除いたテーブル３８の重量（Ｍ）は、専らコイルばね３４に支えられ、コイルばね３４は、「位置移動する構成物」を除いた機器類の重量（Ｍ）と釣り合いを保っている。
【００１６】
各空気ばね３１のそれぞれのベローズ３２は、コイルばね３４が一定量圧縮された状態で「位置移動する構成物」の位置によって変化する荷重を受けて個々に収縮、膨張する。各脚の空気ばね３１のベローズ３２の膨張・収縮によって、テーブル３７に傾き（揺れ）が生じるが、設定された水平レベルに安定するまでの過渡的な振動・振幅は、空気ばね３１に組み込まれた粘弾性体３３によって、効率よく短時間で減衰される。空気ばね３１の空気圧によって支持される荷重の大きさ、すなわち、「位置移動する構成物」の荷重（ｍ）は、最大で総重量のせいぜい３０％程度である。
【００１７】
この空気ばね３１によれば、最大で総重量の３０％程度の「位置移動する構成物」の荷重（ｍ）をベローズ３２に圧入する空気圧で支えるようにすればよいため、小容量のベローズを低い空気圧で利用することが可能となり、応答性に優れたレベル調整機能を実現できる。
【００１８】
ところが、矢印Ｒで示すよう往復動する機器類４１が、高速度で右方向に移送した場合に、右側の空気ばねは、急激な加重量により沈み込み、反面左側の空気ばねは負担加重が急減するために浮上するという問題を生ずる。空気ばね３１の沈み込み、浮き上がりについては、それぞれの空気ばね３１に備えたメカニカルバルブ３９が上下の変化を検知して各々の空気ばね３１内を排気、あるいは吸気することによってテーブル３８を設定された高さに維持しようとする。
【００１９】
実際に空気ばね内に組み込まれている粘弾性体３３は、あらかじめ圧力を加えて一定量を圧縮しておくことによって、その制振性能が設定され、その制振性能の範囲内では、空気ばね３１の沈み込みでテーブル３８は一定高さに維持されるが、その制振性能を超えて粘弾性体３３に急激な圧縮力が作用したときには、制振性能が設計値から外れることがある。特に空気ばね３１が急激に浮き上がったときには、粘弾性体３３には浮き上がり抑制の機能がないばかりか、テーブルは粘弾性体３３の復元力をうけて浮き上がりが加速されることになる。
【００２０】
さらにテーブル３８が浮きあがり、上昇しきったときにもし、オーバーシュートが起こると、その後に上昇側のテーブル３８の端が鉛直方向に振動することがある。このような場合には、粘弾性体３３の制振性能が低下しているために減衰力が働かず、空気ばね３１の振動が止まりにくいという問題が生ずる。
【００２１】
また、テーブル３８の浮上速度が粘弾性体３３の復元伸長速度より速い場合には、空気ばね３１は弾性体から離れて粘弾性体３３の上下段が拘束されていない状態になり、テーブル３８が押し上げられてスイッチ４０の上限以上のレベルに上がると空気室内の空気が排気され、テーブル３８はレベルを下げようとするが、そのスムースな動きの中に不連続点（ガクンと一瞬停止する状態）が存在することになり、これが機器類４１の機能の性能に影響を及ぼすことになる。
【特許文献１】特開昭６３−３０６２８号公報
【特許文献２】２００３−１４８５４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
解決しようとする問題点は、テーブルが急激に浮き上がるような事態が発生したとき、圧縮された粘弾性体は復元伸長してその変化に追従するが、制振性能が低下するため条件によってはテーブルの端に振動を生ずることがあり、特にテーブルの浮上速度に粘弾性体の伸長速度が追いつかないときにテーブルのスムーズな動きが妨げられるという点である。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明は、圧縮力、引張力のいずれの方向の力が加えられても少なくともその一部が圧縮される粘弾性体を用い、圧縮方向、引張方向のいずれの方向に対しても制振性能を発現させることを主要な特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の双方向制振ダンパは、単独で使用して圧縮方向、引っ張り方向、あるいは上昇方向、下降方向の双方に減衰を作用させることができ、さらに荷重支持エレメントであるコイルばねおよび／又は空気ばねと組合せることによって、防振マウントとなり、特に双方向制振ダンパをコイルばねおよび空気ばねと組合せた除振マウントによれば、テーブルの各隅部を支えてテーブルの急激な浮き上がりを抑制し、この反作用の結果、テーブルの沈み込み量を低減でき、テーブルの浮き沈みに対するレスポンスを改善し、テーブルをあらかじめ定められた設定高さに維持できる。また、制振性能が常に確保され、レスポンスの改善を狙って空気ばねのベローズ内に供給あるいはベローズ内から排気する空気の給・排気量を多くした場合に起こりがちなハンティングの発生を回避できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
本発明の双方向制振ダンパは、直列に配列され、予め一定量圧縮された柱状の２本の粘弾性体を有している。２本の粘弾性体とコイルばねとベローズとは並列に組み合わせて空気ばねが構成されている。２本の粘弾性体は、空気ばねに支えられたテーブルに力が作用してテーブルが上昇方向または下降方向に運動したときに２本の粘弾性体の内の一方の粘弾性体には必ず圧縮され、制振性能が発現される。また、本発明の双方向制振ダンパは、構造物あるいは機器類の重量を支える荷重支持エレメントと組み合わせて構造物あるいは機器類の除振マウントが構成される。荷重支持エレメントは、コイルばねあるいは空気ばねであり、荷重支持エレメントとしてコイルばねと空気ばねとを併用することができる。
【実施例１】
【００２６】
以下に本発明の実施例を図によって説明する。図１（２）の（ａ）、（ｂ）において、本発明の双方向制振ダンパ３に荷重支持エレメントとしてコイルばね４および空気ばね１を組み合わせて除振マウントを構成した例を説明する。空気ばね１には、ベローズ型（蛇腹式）の空気ばねを用いている。
【００２７】
双方向制振ダンパ３は、柱状の２本の粘弾性体Ｒ１、Ｒ２を直列に配列したものである。粘弾性体とは、前述のように応力の大きさのみならず、その増加速度もひずみの増加速度に大きな影響を与える性質を備えたエポキシ樹脂のような固形物であり、２本の粘弾性体Ｒ１、Ｒ２は、圧縮方向の力が加えられたときにはその一方の粘弾性体が圧縮され、引張方向の力が加えられたときには、他方の粘弾性体が圧縮されるように組み合わせられているものであり、従っていずれの方向に対しても制振性能を発現させることができる。
【００２８】
この実施例においては、双方向制振ダンパ３と並列にコイルばね４を配置し、粘弾性体Ｒ１、Ｒ２とコイルばね４との組合せを空気ばねの除振マウントとして用いている。
【００２９】
本発明において、双方向制振ダンパ３は、図２に示すように、上下２段の柱状の粘弾性体Ｒ１，Ｒ２と、座板５と、上ブラケット６と、支え板７と、仕切板８と、引っ張り側及び圧縮側ロッド９，１０との組合わせから構成されているものである。下段粘弾性体Ｒ２は座板５上に搭載され、下段粘弾性体Ｒ２上には仕切板８が重ねられ、上段粘弾性体Ｒ１は、仕切板８上に搭載されている。上ブラケット６と、支え板７とは上段粘弾性体Ｒ１の上方位置で上下に配置されたものであり、上ブラケット６と仕切板８とは２本の引っ張りロッド９，９にて連結され、支え板７と座板５とは２本の圧縮側ロッド１０，１０にて連結されている。
【００３０】
なお、上ブラケット６は四角形であり、引っ張り側ロッド９は上ブラケット６の対向する２隅に取り付けられている。支え板７は、略長方形であり、圧縮側ロッド１０はその両端に取り付けられる。図３において、両引っ張り側ロッド９の取り付け位置と、両圧縮側ロッド１０の取り付け位置とは互いに干渉しないように位相を９０°ずらせてある。
【００３１】
空気ばね１のベローズ２は、１〜３段のものが多用されている。ただし、１段のものは水平方向にかたく、また、２、３段のものは、鉛直方向の伸縮性に優れている。この実施例においても、水平方向には軟らかすぎて座屈が生じやすいという理由から、水平方向の硬さをコイルばねで補完した２段のゴムベローズを用いている。
【００３２】
空気ばね１はテーブル１１の４隅に設置する支持構造体であり、空気ばね１のベローズ２は、上下段のプレート１２，１３間に設置され、下段プレート１３が床Ｆ上に設置され、コイルばね４と、本発明による双方向制振ダンパ３とは上下段のプレート１２、１３間にベローズ２と並列に設置される。図１（１）において、この実施例では対角線上の２個所にコイルばね４，４を設置し、双方向制振ダンパ３は、ベローズ２の一側に形成される空間内に設置されている。
【００３３】
双方向制振ダンパ３の設置に際しては、上下段の粘弾性体Ｒ１，Ｒ２をいずれもやや圧縮した状態で座板５を下段プレート１３に固定し、上ブラケット６を上段プレート１２の下面に固定する。なお、図２に示すように支え板７にはねじ棒１４がねじ込まれており、ねじ棒１４によって上段粘弾性体Ｒ１の頂部にかぶせたキャップ１５を加圧すると、そのねじ込み量によって上段粘弾性体Ｒ１を圧縮し、同時に下段粘弾性体Ｒ２も同量圧縮される。
【００３４】
このように上下段の粘弾性体Ｒ１、Ｒ２を一定量圧縮した状態でテーブル１１を支える空気ばね１の上下段のプレート１２，１３間にはめ込む。なお、上下段の粘弾性体Ｒ１，Ｒ２を圧縮させる要領はこれに限るものではない。たとえば、下段粘弾性体Ｒ２は、上方から受ける重量と、コイルばねの反発力とによって決定される圧力によって圧縮されるから、ねじ棒１４のねじ込み量によってさらに上下段の粘弾性体Ｒ１，Ｒ２を圧縮し、上下段の粘弾性体Ｒ１，Ｒ２の圧縮量に差が生じないように、あるいは圧縮量に一定の差が生ずるように調整することもできる。
【００３５】
図４において、上段プレート１２上には、直接あるいは脚台（図示略）を介してテーブル１１が載せられ、テーブル１１上には、機器類２２が搭載される。したがって、テーブル１１の重量を含めて機器類２２の重量が各空気ばね１に加わり、コイルばね４はその重量を受けて圧縮され、テーブル１１の高さは規定のレベルＬに保たれる。
【００３６】
空気ばね１のベローズ２内には、メカニカルバルブ１６を通じて高圧空気が供給され、ベローズ２内の空気圧はメカニカルバルブ１６によって制御され、テーブル１１のレベル（床面からの高さ）は一定（規定レベルＬ）に保たれる。すなわち、テーブル１１が機器類２２の荷重移動や衝撃あるいは動作時の反力を受けて振れが生じ、テーブル１１のレベルが規定レベルＬからＬｌに下がると、メカニカルバルブ１６に備えたスイッチ１７が押し下げられ、高圧空気がベローズ２内に供給されて膨張し、テーブル１１が上向きに押し上げられる。
【００３７】
テーブル１１が押し上げられ、その高さがスイッチ１７の上限以上のレベルＬｈに上がると、ベローズ２内の空気がドレン１８を通して放出され、ベローズ２が圧縮変形し、テーブル１１はレベルを下げてもとの規定レベルＬに自動調整される。
【００３８】
なお、自動調整の応答に遅れが原因となって機器類２２の移動があった場合、ベローズ２が受けている鉛直方向の荷重が変動して内部圧力が変化してテーブル１１が機器類２２の移動直後に大きく上下動する。この場合に、テーブル１１が上昇すると、図５（ｂ）に示すように、引張り側ロッド９に固定された仕切板８がともに上昇するので、上段の粘弾性体Ｒ１が圧縮される。逆にテーブルが下降すると、図５（ａ）に示すように、仕切板８が同じように下降して下段の粘弾性体Ｒ２が圧縮される。このように粘弾性体Ｒ１，Ｒ２のテーブルの上下動何れの方向の動きに対しても抵抗となり制振効果を発揮する。
【００３９】
また、テーブル１１の水平方向の動きに対しては仕切板８が圧縮ロッド１０で連結された座板５と支え板７に対し相対的な水平ずれが生じるので、粘弾性体Ｒ１，Ｒ２にせん断力が働いて制振効果を発揮する。このように本発明による双方向ダンパは、床から受ける外来の微小振動であっても相対的なテーブルの挙動に変換されるので、垂直、水平両方向で合成される床から伝播する微小振動に対しても粘弾性体Ｒ１，Ｒ２によって制振効果を得ることができる。
【００４０】
なお、上下段プレート１２，１３間への設置に先立って上下段の粘弾性体Ｒ１，Ｒ２に予め圧縮量を与えておくのは、上ブラケット６が押し下げられ、あるいは引き上げられるときに、一方の粘弾性体Ｒ１（Ｒ２）が圧縮されるときに他方の粘弾性体Ｒ２（Ｒ１）をその変化に追従させるためである。もし、両粘弾性体Ｒ１，Ｒ２が予め圧縮されていないと、一方の粘弾性体が圧縮されたときに、他方の粘弾性体がその変化に追従できず、粘弾性体Ｒ１またはＲ２と仕切板８との間に隙間が生じ、テーブルの上下動によって押し上げられ、あるいは引き下げられた空気ばね１がレベルＬに復帰するときの不連続点となり、テーブル１１に衝撃を発生させることになる。本発明によれば、テーブルの上下動の速度が極端に大きくない限り隙間の発生がなく、テーブルの変動をスムーズに減衰させて一定のレベルＬを保たせることができる。
【００４１】
さらに、この実施例においても、上段プレート１２と、下段プレート１３間に生ずる水平方向の相対変位のエネルギーを吸収させる手段として揺動ダンパ１９を組みつけている。すなわち、上段プレート１２にはブラケット２０を立ち下げ、下段プレート１３には、ステー２１を立ち上げ、ステー２１に支持させた揺動ダンパ１９をブラケット２０に圧接させている。水平方向の変位は、２軸方向に生ずるため、図１（１）においては、平面２軸（Ｘ−Ｙ平面）に相対変位のエネルギーを吸収させる揺動ダンパ１９を設置している。
【００４２】
揺動ダンパ１９は、棒状の粘弾性体である。揺動ダンパ１９をブラケット２０と、ステー２１とに跨って保持させ、上段プレート１２と、下段プレート１３間に水平姿勢に介在させることによって、機器の動作の反力を受けてテーブル１１が水平面（Ｘ−Ｙ平面）でＸ方向あるいはＹ方向に大きく揺れた場合に、揺動ダンパ１９の粘性性質によってテーブル１１に抵抗を与える。これによって、テーブル１１の揺れのエネルギーが吸収され、テーブル１１の揺れを速やかに停止させることができる。
【００４３】
もっとも、本発明においては、双方向制振ダンパと空気ばねとを組合すことによって、上下段の粘弾性体のせん断力が水平方向に働くので、水平方向の制振性能を大きく改善することが可能である。
以上、実施例においては、荷重支持エレメントとしてコイルばねと、空気ばねとの組合せを用い、この組合せによる荷重支持エレメントに双方向制振ダンパを組み合わせた除振マウントについて説明した。もちろん荷重支持エレメントとしてコイルばねと、空気ばねとの組合せに限らず、コイルばねとあるいは空気ばねと双方向制振ダンパとの組合せによる除振マウントであっても、本発明による双方向制振ダンパの減衰を双方向に作用させて除振マウントの機能を発揮できる。さらに実施例においては、説明を分かりやすくするため、上下に積層された粘弾性体を用いて上下方向に減衰を作用させる例を説明したが、減衰方向は必ずしも上下方向に限るものではなく、双方向制振ダンパは、座板を固定側に用い、上ブラケットを可動側に用いることによって、水平姿勢、あるいは傾斜姿勢で用いることも当然できる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明による双方向制振ダンパは空気ばねに併用してテーブル上を移動する機器類の移動速度を向上させてもテーブルの振れが少ないため、機器類の性能向上に大いに寄与できる。また双方向制振ダンパは、ユニット化されているので、コイルばね、空気ばねと任意に組み合わせて双方向の除振マウントとして活用でき、またエアジャッキ付きのばねマウントに支えられた装置に追加して設置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１（１）】（ａ）は本発明による空気ばねの１実施形態を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図１（２）】本発明の双方向制振ダンパを空気ばねの除振マウントに適用した例を示す図であり、（ａ）は図１（１）（ａ）のＢ−Ｂ線断面図、（ｂ）は（ａ）の側面図である。
【図２】本発明の双方向制振ダンパの構成を示す図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。
【図３】双方向制振ダンパの引っ張り側ロッドと圧縮側ロッドとの位置関係を示す斜視図である。
【図４】本発明の空気ばねの動作を示す図である。
【図５】荷重により、上下段の粘弾性体が圧縮された状態を示す図である。
【図６】従来の空気ばねの構成を示す図である。
【図７】従来の空気ばねの動作を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  空気ばね
２  ベローズ
３  双方向制振ダンパ
４  コイルばね
５  座板
６  上ブラケット
７  支え板
８  仕切板
９  引っ張り側ロッド
１０  圧縮側ロッド
１１  テーブル
１２  上段プレート
１３  下段プレート
１４  ねじ棒
１５  キャップ
１６  メカニカルバルブ
１７  スイッチ
１８  ドレン
１９  揺動ダンパ
２０  ブラケット
２１  ステー
２２  機器類
【図１（１）】
2005220936.tif 000003
【図１（２）】
2005220936.tif 000004
【図２】
2005220936.tif 000005
【図３】
2005220936.tif 000006
【図４】
2005220936.tif 000007
【図５】
2005220936.tif 000008
【図６】
2005220936.tif 000009
【図７】
2005220936.tif 000010