(57)【要約】【課題】２軸の角速度を検出する速度検出装置において、専有面積の縮小化が可能な速度検出装置を提供する。【解決手段】装置基板の法線（Ｚ軸）に沿って、配置された第１振動電極３，第２振動電極４は、逆位相でＺ軸方向に振動し、Ｘ軸およびＹ軸方向に変位可能な状態で装置基板に支持されている。第１振動電極３とＺ軸上同一の高さには、Ｘ軸の正方向に第１Ｘ軸電極５が配置され、Ｙ軸の正方向に第１Ｙ軸電極７が配置されている。第２振動電極４とＺ軸上同一の高さには、Ｘ軸の負方向に第２Ｘ軸電極６が配置され、Ｙ軸の負方向に第２Ｙ軸電極８が配置されている。そして、第１振動電極３−第１Ｘ軸電極５間の静電容量と、第２振動電極４−第２Ｘ軸電極６間の静電容量とによって、Ｘ軸方向に加わる力を検出する。第１振動電極３−第１Ｙ軸電極７間の静電容量と、第２振動電極４−第２Ｙ軸電極８間の静電容量とによって、Ｙ軸方向に加わる力を検出する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置基板の法線となる第１の軸に沿って当該装置基板の上方に配置され、互いに逆位相で当該第１の軸方向に振動すると共に、当該第１の軸と直交する第２の軸方向に変位可能な状態で当該装置基板に支持された第１振動電極および第２振動電極と、
前記第１振動電極と前記第１の軸上の同一高さで、当該第１振動電極との間に所定間隔を保った状態で前記第２の軸の正方向に配置された第１検出電極と、
前記第２振動電極と前記第１の軸上の同一高さで、当該第２振動電極との間に所定間隔を保った状態で前記第２の軸の負方向に配置された第２検出電極とを備え、
前記第１振動電極−前記第１検出電極間の静電容量と、前記第２振動電極−前記第２検出電極間の静電容量とによって、前記第２の軸方向に加わる力を検出する
ことを特徴とする速度検出装置。
【請求項２】
請求項１記載の速度検出装置において、
前記第１振動電極と第１検出電極とで構成される容量素子と、前記第２振動電極と第２検出電極とで構成される容量素子とが直列に接続されており、当該２つの容量素子の合成容量の変化によって前記第２の軸方向に加わるコリオリ力を検出する
ことを特徴とする速度検出装置。
【請求項３】
請求項１記載の速度検出装置において、
前記第１検出電極および第２検出電極は、互いに直交する２本の第２の軸に沿って２組配置されている
ことを特徴とする速度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は速度検出装置に関し、特には振動ジャイロを用いた速度検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カーナビゲーションシステムにおける車両の姿勢制御や進行方向の算出、さらにはハンディカメラにおける手ぶれ防止などには、加速度および角速度を検出する速度検出装置が用いられている。この速度検出装置には、内部雑音や不規則に加わる加速度などの環境擾乱に左右されずに、安定して角速度成分または加速度成分のみを分離検出することが望まれている。
【０００３】
このような速度検出装置には様々な種類が有るが、マイクロマシン技術を適用した超小型の速度検出装置には振動ジャイロが用いられている。振動ジャイロを用いた速度検出装置は、振動体と、振動体を電気的に振動させる駆動電極部と、振動体の変位を静電的に検出する一対の検出電極部とを備えている。これらの検出電極部は、振動体の振動方向に対して所定方向から当該振動体を挟んで配置され、検出電極部からは、互いに１８０°位相の異なる２つの信号が出力される構成となっている。
【０００４】
このような構成の速度検出装置においては、駆動電極部に駆動回路から一定の周波数および一定の振幅を有する駆動信号を加えることで、振動体に駆動力Ｆｅを与えて固有の振動周波数で機械振動させておく。この状態において、振動体に加速度または角速度が与えられると、振動体が変位し、検出電極部に静電容量の変化が現れる。この際、加速度が与えられたの場合は、振動体は加速力Ｆｋの方向に変位するため、駆動力Ｆｅと加速力Ｆｋとを合成した振動ベクトルで振動する。一方、角速度が与えられた場合は、振動体はコリオリ力Ｆｃの生じた方向に変位するため、駆動力Ｆｅとコリオリ力Ｆｃとを合成した振動ベクトルで振動する。そして、加速度と角速度が同時に発生した場合には、これらの合成ベクトル振動となる。
【０００５】
このため、この検出電極部には、振動体に作用する加速度により発生する信号成分を除去する加速度信号成分除去回路を設けることにより、角速度による信号成分のみが検出される構成となっている（以上、下記特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１８３１３７号公報（図１、図６、第２頁−第４頁参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した構成の速度検出装置においては、検出電極部が配置されている軸方向に対応する方向の角速度成分のみが検出されるため、２軸の角速度を検出するためには、検出電極部の配置方向が異なる２つの速度電出装置を、同一の装置基板上に配置しなければならない。したがって、速度検出装置の占有面積が増大し、当該速度検出装置が設けられるハンディカメラなどの携帯機器のさらなる小型化が妨げられている。また、角速度と加速度とを分離するための分離回路を設けていることも、速度検出装置の専有面積を増大させる要因となっている。
【０００８】
そこで本発明は、２軸の角速度を検出する速度検出装置において、専有面積の縮小化が可能な速度検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような目的を達成するための本発明の速度検出装置は、第１振動電極および第２振動電極と、第１検出電極と、第２検出電極とを備えている。このうち、第１振動電極および第２振動電極は、装置基板の法線となる第１の軸に沿って当該装置基板の上方に配置されている。これらの第１振動電極および第２振動電極は、互いに逆位相で当該第１の軸方向に振動すると共に、当該第１の軸と直交する第２の軸方向に変位可能な状態で当該装置基板に支持されている。また、第１検出電極は、第１振動電極と第１の軸上における同一高さで、かつ当該第１振動電極との間に所定間隔を保った状態で、前記第２の軸の正方向に配置されている。一方、第２検出電極は、第２振動電極と第１の軸上における同一高さで、かつ当該第２振動電極との間に所定間隔を保った状態で、前記第２の軸の負方向に配置されている。このような配置状態において、第１振動電極−第１検出電極間の静電容量と、第２振動電極−第２検出電極間の静電容量とによって、第２の軸方向に加わる力を検出する構成となっている。
【００１０】
このような構成の速度検出装置では、互いに逆位相で第１の軸方向に振動する第１振動電極と第２振動電極とに、当該第１の軸方と直交する第２の軸方向の力が加わった場合、この力が加速度であれば第１振動電極および第２振動電極は第２の軸の同一方向に同一の大きさで変位する。このため、第１振動電極−第１検出電極間の静電容量と、第２振動電極−第２検出電極間の静電容量とを直列で合成した合成容量が変化することはない。
【００１１】
これに対して、第１の軸方と直交する第２の軸方向に加わった力が角速度によるコリオリ力であれば、第１振動電極および第２振動電極は第２の軸の反対方向に同一の大きさで変位する。このため、第１振動電極−第１検出電極間の静電容量と、第２振動電極−第２検出電極間の静電容量とを直列で合成した合成容量は、第１振動電極および第２振動電極の変位に応じて変化する。
【００１２】
したがって、角速度によって生じるコリオリ力のみを、加速度から分離して得ることができる。そして、第１検出電極および第２検出電極を、互いに直交する２本の第２の軸に沿って２組配置することにより、２軸のコリオリ力を得ることができる。
【００１３】
また、第１振動電極および第２振動電極は、装置基板の法線となる第１の軸に沿って配置されているため、これらの第１振動電極および第２振動電極は当該装置基板の上方に重ねて配置されることになり、２軸の速度検出装置の専有面積が１軸の速度検出装置と同程度になる。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように本発明の速度検出装置によれば、加速度を分離するための分離回路を設けることなく２軸の角速度を検出することができ、しかも２つの振動電極を、装置基板の法線に沿って配置した構成としたことにより、２軸の角速を検出するための速度検出装置の専有面積を縮小することができ、この速度検出装置が用いられるハンディカメラなどの携帯装置の小型化を図ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の速度検出装置の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１６】
＜速度検出装置の構成＞
図１は実施形態の速度検出装置の構成を示す模式図であり、図２は図１のＸ軸方向（Ｙ軸方向）の断面図である。尚、図２においては、Ｙ軸方向の断面における部材の符号をかっこ付きで示している。
【００１７】
これらの図に示す速度検出装置は、振動ジャイロを用いた速度検出装置であり、例えば角速度を検出するために用いられる。この速度検出装置は、例えば単結晶シリコンからなる装置基板１（図２のみに図示）上に形成されており、装置基板１の法線となる第１の軸（Ｚ軸）に沿って配置された第１振動電極３および第２振動電極４、各振動電極３，４のＸ軸方向に配置された第１検出電極５および第２検出電極６（以下、第１Ｘ軸電極５および第２Ｘ軸電極６と記す）、さらに各振動電極３，４のＹ軸方向に配置された第１検出電極７および第２検出電極８（以下、第１Ｙ軸電極７および第２Ｙ軸電極８と記す）を備えている。
【００１８】
このうち、第１振動電極３および第２振動電極４は、装置基板１側から第１振動電極３、第２振動電極４の順に配置されている。これらの第１振動電極３および第２振動電極４は、略正方形の平板状の振動部３ａ，４ａと、振動部３ａ，４ａの四つの角部から４方向に延設された配線３ｂ，４ｂとによって構成されている。そして、装置基板１の法線であるＺ軸に沿って振動部３ａ，４ａが互いに間隔を保って同方向に配置されるように、配線３ｂ，４ｂを介して装置基板１に支持されている。
【００１９】
配線３ｂ，４ｂによって支持された状態において、振動部３ａ，４ａは、Ｚ軸方向に逆位相に振動自在であり、かつＺ軸と垂直なＸ軸およびＹ軸（すなわち第２の軸）方向に変位可能となっている。これらの、各振動部３ａ，４ａは、配線３ｂ，４ｂから供給される交流の駆動電圧により、互いに逆位相でＺ軸方向に振動する構成となっており、配線３ｂ，４ｂは絶縁状態に保たれていることとする。
【００２０】
また、第１Ｘ軸電極５は、第１振動電極３とＺ軸上における同一高さで、かつ第１振動電極３との間に所定間隔ｄｘ（図２参照）を保った状態で、第１振動電極３に対してＸ軸の正方向に配置されている。この第１Ｘ軸電極５は、例えば装置基板１上に立設させた支柱５ａ上に支持されており、Ｘ軸方向の一端側が、第１振動電極３ａの側端に所定間隔ｄｘを保って配置されることで、第１振動電極３と共に容量素子１ｘを構成している。そして、通常状態においての第１振動電極３のＺ軸方向の振動によらず、容量素子１ｘの容量Ｃ１ｘが一定に保たれるように、第１振動電極３がＺ軸方向に振動した場合であっても第１振動電極３の膜厚の範囲内に第１Ｘ軸電極５の膜厚範囲が収まるように、第１Ｘ軸電極５の膜厚が設定されていることとする。
【００２１】
一方、第２Ｘ軸電極６は、第２振動電極４とＺ軸上における同一高さで、かつ第２振動電極４との間に所定間隔ｄｘ（図２参照）を保った状態で、第２振動電極４に対してＸ軸の負方向に配置されている。この第２Ｘ軸電極６も、第１Ｘ軸電極５と同様に例えば装置基板１上に立設させた支柱６ａ上に支持され、第２振動電極４と共に容量素子２ｘを構成している。この容量素子２ｘは、上述した容量素子１ｘと同様の構成であると共に、容量素子１ｘと直列に接続されており、その合成容量が検出される構成となっている。
【００２２】
尚、容量素子１ｘと容量素子２ｘとは、第１振動電極３および第２振動電極４がＸ軸方向に変位しない通常状態において同一容量であることとする。また、容量素子１ｘ，２ｘにおける対向電極間の間隔ｄｘ±δが同一である場合、容量素子１ｘの容量Ｃ１ｘと容量素子２ｘの容量Ｃ２ｘの容量の変化量が同一となるように構成されていることとする。したがって、通常状態においての第１振動電極３と第１Ｘ軸電極５との間の所定間隔ｄｘと、第２振動電極４と第２Ｘ軸電極６との間の所定間隔ｄｘとは同一であることとする。また、容量素子１ｘと容量素子２ｘとは、電極間の誘電率εが等しく、かつ電極間の対向面積Ｓが等しく構成され、通常状態における各容量はＣ１ｘ＝Ｃ２ｘ＝εＳ／ｄｘであることとする。
【００２３】
そして、第１Ｙ軸電極７と第２Ｙ軸電極８とは、それぞれが第１振動電極３および第２振動電極４のＹ軸方向に配置されていること以外は、第１Ｘ軸電極５および第２Ｘ軸電極６と同様の構成であり、第１Ｘ軸電極５および第２Ｘ軸電極６の説明におけるＸをＹと読み替えた構成であることとする。また、これらの第１Ｙ軸電極７と第１振動電極３との間の容量素子１ｙ、および第２Ｙ軸電極８と第２振動電極４との間の容量素子２ｙも、容量素子１ｘと容量素子２ｘと同様の構成であり、通常状態における各容量はＣ１ｙ＝Ｃ２ｙ＝εＳ／ｄｙであることとする。
【００２４】
＜速度検出装置の作動＞
次に、このように構成された速度検出装置の作動を、図３の断面模式図を用いて説明する。尚、ここでは、速度検出装置のＸ軸方向の作動を説明するが、Ｙ軸方向の作動も同様であることとする。
【００２５】
先ず、図３（１）に示すように、この速度検出装置は、通常状態において、第１振動電極３と第２振動電極４とが、互いに逆位相でＺ軸方向に振動した状態となっている。この通常状態においては、容量素子１ｘ，２ｘの各容量は、Ｃ１ｘ＝Ｃ２ｘ＝εＳ／ｄｘであり、直列に接続されたこれらの合成容量Ｃｘは、１／Ｃｘ＝１／Ｃ１ｘ＋１／Ｃ２ｘ＝ｄｘ／εＳ＋ｄｘ／εＳ＝２ｄｘ／εＳとなっている。
【００２６】
このような状態において、速度検出装置にＸ軸方向の力が加わった場合、この力が加速度による加速力Ｆａであれば、図３（２）に示すように、第１振動電極３および第２振動電極４には、Ｘ軸の同一方向（例えば負の方向）に同一の大きさの加速力Ｆａが加わる。このため、第１振動電極３および第２振動電極４は、Ｘ軸の負の方向に同一の大きさδで変位する。
【００２７】
この場合、直列に接続された容量素子１ｘと容量素子２ｘとの合成容量Ｃｘは、１／Ｃｘ＝１／Ｃ１ｘ＋１／Ｃ２ｘ＝（ｄｘ＋δ）／εＳ＋（ｄｘ−δ）／εＳ＝２ｄｘ／εＳとなる。このため、通常状態の速度検出装置にｘ方向の加速力Ｆａが加わった場合には、この加速力Ｆａによる合成容量の変化が検出されることはない。
【００２８】
これに対して、図３（３）に示すように、速度検出装置に対して加わるＸ軸方向の力が、角速度Ωによるコリオリ力Ｆｃであれば、互いに逆位相でＺ軸方向に振動した状態となっている第１振動電極３および第２振動電極４には、Ｘ軸の逆方向に同一の大きさのコリオリ力Ｆｃが加わる。このため、第１振動電極３および第２振動電極４は、Ｘ軸の逆方向に同一の大きさδで変位する。
【００２９】
この場合、直列に接続された容量素子１ｘと容量素子２ｘとの合成容量Ｃｘは、１／Ｃｘ＝１／Ｃ１ｘ＋１／Ｃ２ｘ＝（ｄｘ−δ）／εＳ＋（ｄｘ−δ）／εＳ＝２（ｄｘ−δ）／εＳとなる。このため、通常状態の速度検出装置に角速度によってＸ軸方向のコリオリ力Ｆｃが加わった場合には、このコリオリ力Ｆｃによる合成容量の変化が検出されることになる。尚、図３（３）の状態から、第１振動電極３および第２振動電極４が、振動によってＺ軸の逆方向に変位した場合には、コリオリ力Ｆｃによる第１振動電極３および第２振動電極４のＸ軸方向の変位が反転する。このため、容量素子１ｘと容量素子２ｘとの合成容量Ｃｘは、１／Ｃｘ＝１／Ｃ１ｘ＋１／Ｃ２ｘ＝（ｄｘ＋δ）／εＳ＋（ｄｘ＋δ）／εＳ＝２（ｄｘ＋δ）／εＳとなるため、やはり、このコリオリ力Ｆｃによる合成容量の変化が検出されることになる。
【００３０】
このため、速度検出装置にＸ軸方向の加速力Ｆａおよびコリオリ力Ｆｃが加わった場合、コリオリ力Ｆｃによる容量変化のみが検出され、この値からＹ軸を中心とした回転の角速度を、加速度と分離した状態で得ることができる。
【００３１】
また、速度検出装置のＹ軸方向に加速力Ｆａおよびコリオリ力Ｆｃが加わった場合にも同様の検出が行われるため、Ｘ軸を中心とした回転の角速度を、擾乱加速度と分離した状態で得ることができる。
【００３２】
以上のように、本実施形態の速度検出装置は、加速度を分離するための分離回路を設けることなく２軸の角速度を検出することが可能になる。また、第１振動電極３および第２振動電極４を、装置基板の法線となるＺ軸に沿って配置したことにより、１素子で２軸の速度検出を行うことが可能になり、２軸の角速を検出するための速度検出装置の専有面積を縮小することができる。この結果、この速度検出装置が用いられるハンディカメラなどの携帯装置の小型化を図ることが可能になる。
【００３３】
＜速度検出装置の製造方法＞
次に、このような速度検出装置の製造方法を、図４の平面模式図を参照しつつ、図５，図６の断面工程図に基づいて説明する。尚、図４は、図１を上方から見た平面模式図であり、図５，図６の各図は、図４におけるＡ−Ａ’断面とＢ−Ｂ’断面に相当する。
【００３４】
先ず、図５（１）に示すように、単結晶シリコンからなる装置基板１上に窒化シリコン膜１０１、酸化シリコン膜１０２をこの順に成膜する。
【００３５】
次に、図５（２）に示すように、第１Ｘ軸電極５および第２Ｘ軸電極６を支持する支柱が形成される２つの孔１０２ｘ（Ａ−Ａ’断面参照）と、第１振動電極３を支持する支柱が形成される４つの孔１０２ａと、第１Ｙ軸電極７および第２Ｙ軸電極８を支持する支柱が形成される２つの孔１０２ｙ（Ｂ−Ｂ’断面参照）とを、酸化シリコン膜１０２に形成する。
【００３６】
このうち、４つの孔１０２ａはＸ軸，Ｙ軸方向に沿った辺を有する略正方形の各頂点に配置され、Ｘ軸方向に沿って配置された２つの孔１０２ａ間に孔１０２ｙが配置され、Ｙ軸方向に沿って配置された２つの孔１０２ａ間に孔１０２ｘが配置される。
【００３７】
その後、特に、２つの孔１０２ｘのうちの１つの開口上部をＸ軸方向の中央側に向かって広げる（Ａ−Ａ’断面のＣ部）。また同様に、ここでの図示は省略したが、２つの孔１０２ｙのうちの１つの開口上部をＹ軸方向の中央部に向かって広げる。
【００３８】
次に、図５（３）に示すように、ポリシリコン膜の成膜とＣＭＰ研磨により、孔１０２ａ，１０２ｘ，１０２ｙ内にポリシリコン膜を埋め込んでなる支柱１０３ａ，１０３ｘ，１０３ｙを形成すると共に、孔１０２ｘ，１０２ｙの開口を広げた部分Ｃに、支柱１０３ｘ，１０３ｙで支持された第１Ｘ軸電極５および第１Ｙ軸電極（７）を形成する。尚、第１Ｙ軸電極（７）の図示は省略している。また、支柱１０３ｘは、先に図２を用いて説明した支柱５ａに相当する。同様に、第１Ｙ軸電極（７）を支持する側の支柱１０３ｙは、先に図２を用いて説明した支柱（７ａ）に相当する。
【００３９】
次いで、図５（４）に示すように、全体を酸化シリコン膜１０４で覆った後、第１振動電極の形成位置に対応させて、酸化シリコン膜１０２，１０４に所定深さの凹部１０４ａを形成する。この凹部１０４ａは、第１振動電極を支持するための４本の支柱１０３ａに挟まれた中央部を矩形形状に掘り下げ、この矩形形状の４隅から４本の支柱１０３ａの上部に達する配線溝が形成されることとする。尚、この凹部１０４ａは、４本の支柱１０３ａの上面のみを露出させる状態で形成され、支柱１０３ｘ，１０３ｙ，第１Ｘ軸電極５および第１Ｙ軸電極（７）が酸化シリコン１０２，１０４から露出することのないように形成されることとする。また、この凹部１０４ａは、第１Ｘ軸電極５および第１Ｙ軸電極（７）よりも深いこととする。
【００４０】
次に、図６（５）に示すように、ポリシリコン膜の成膜とＣＭＰ研磨により、凹部１０４ａ内にポリシリコン膜を埋め込み、４本の支柱１０３ａで支持された第１振動電極３（振動部３ａ，配線３ｂ）を形成する。
【００４１】
その後、図６（６）に示すように、エッチングによって装置基板１上の酸化シリコン膜（１０２，１０４）を除去する。これにより、４本の支柱１０３ａで支持された第１振動電極３の下部に空間部ａを形成する。また、第１振動電極３の振動部３ａと第１Ｘ軸電極５とからなる容量素子Ｃ１ｘを形成し、同様に第１振動電極３の振動部３ａと第１Ｙ軸電極（７）とからなる容量素子（Ｃ１ｙ）を形成する。
【００４２】
一方、以上の一連の工程で形成された同一のセット１０６をもう一つ用意し、これを第２振動電極側とする。
【００４３】
そして、図６（７）に示すように、これらの２つのセット１０６，１０６を、第１振動電極３および第２駆動電極４を対向させて配置し、ガラスのような絶縁物で構成されたリング状のスペーサ１０７を介してこれらの２つのセット１０６，１０６を接着させる。尚、高さ調節が困難な倍には、スペーサ粒子を分散させた絶縁性の接着剤によって２つのセット１０６，１０６を接着しても良い。これにより、第２駆動電極４側の第２Ｘ軸電極６は、支柱１０３ｘとスペーサ１０７によって装置基板１に支持されることになる。このため、支柱１０３ｘとスペーサ１０７とが、先に図２を用いて説明した支柱６ａに相当する。同様に、断面図での図示は省略した第２Ｙ軸電極（８）は、支柱１０３ｙおよびスペーサ１０７によって装置基板１に支持されることになる。このため、これらの支柱１０３ｙおよびスペーサ１０７が、先に図２を用いて説明した支柱（８ａ）に相当する。
【００４４】
以上により、図１および図２を用いて説明した構成の速度検出装置を得ることができる。
【００４５】
尚、以上説明した製造方法は、あくまでも一例であり、本発明の速度検出装置は、このような製造方法によって限定されることはない。
【００４６】
また、以上の実施形態においては、加速度に対して角速度を分離検出する構成の速度検出装置の構成を説明した。しかしながら、本発明は、容量素子の接続状態やこの容量素子に分離回路を接続させることにより、角速度に対して加速度を分離する構成の速度検出装置に適用することもできる。この場合であっても、２軸の加速度を検出するための振動電極が装置基板の法線に沿って重ねて配置されるため、装置の専有面積の縮小化を図ることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】実施形態の速度検出装置の構成図である。
【図２】図１のＸ方向（Ｙ方向）断面図である。
【図３】速度検出装置の作動を説明する断面模式図である。
【図４】速度検出装置の製造方法を説明する平面模式図である。
【図５】速度検出装置の製造方法を示す断面工程図（その１）である。
【図６】速度検出装置の製造方法を示す断面工程図（その２）である。
【符号の説明】
【００４８】
１…装置基板、３…第１振動電極、４…第２振動電極、５…第１Ｘ軸電極（Ｘ軸方向の第１検出電極）、６…第２Ｘ軸電極（Ｘ軸方向の第２検出電極）、７…第１Ｙ軸電極（Ｙ軸方向の第１検出電極）、８…第２Ｙ軸電極（Ｙ軸方向の第２検出電極）、１ｘ，２ｘ，１ｙ，２ｙ…容量素子、ｄｘ，ｄｙ…所定間隔、Ｆｃ…コリオリ力
【図１】
2005055377.tif 000003
【図２】
2005055377.tif 000004
【図３】
2005055377.tif 000005
【図４】
2005055377.tif 000006
【図５】
2005055377.tif 000007
【図６】
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