(57)【要約】【課題】検査する目標位置の選定が容易にできるものを提供すること。【解決手段】モニター装置に検査対象物を撮影した写真を表示し、現在の座標とポインティングデバイスにより指定された該部位の座標の成分差分をモニター装置に表示した検査対象物写真の画素数として求め、この画素数と検査対象物イメージの表示分解能から実移動距離を算出し、検査対象物の移動を制御するものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェハ等の被検査対象物を載置して縦横に移動する載置移動体と、この載置移動体を駆動する移動体駆動手段と、前記被検査対象物の検査位置から跳ね返る検査信号を検知する検知手段が備わる検査ヘッドとを有し、前記被検査対象物の検査個所が前記検知手段で検査できる位置に来るように移動体駆動手段で移動調整が行われる半導体検査装置において、
前記検査ヘッドに設けられ、かつ前記被検査対象物を全体的に収めるように撮影できるＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメラが撮影した縦横の座標情報を演算する計算機と、前記ＣＣＤカメラが撮影した画像が表示される画像表示エリアを含む表示画面を有するモニター装置と、前記画像表示エリア上に検査目標位置を任意に指定できるポインティングデバイスとを設け、
記画像表示エリア上には、前記ＣＣＤカメラで撮影する際に前記検知手段が検査可能な検査可能位置を現在位置として表示し、
この現在位置と前記検査目標位置の座標情報をもとに前記計算機で演算して、前記ポインティングデバイスで指定した前記検査目標位置が前記検知手段で検査できる位置に来るように移動体駆動手段を制御することを特徴とする半導体検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の半導体検査装置において、
前記画像表示エリアに表示される前記画像の表示倍率を変える表示倍率調整機能が備わることを特徴とする半導体検査装置。
【請求項３】
請求項１記載の半導体検査装置において、
前記現在位置と前記検査目標位置とを結ぶ移動ベクトル線を表示することを特徴とする半導体検査装置。
【請求項４】
請求項１記載の半導体検査装置において、
前記表示画面にコマンド表示エリアを設け、このコマンド表示エリアに、表示倍率調整機能を作動させる表示倍率調整コマンドや前記検査目標位置が前記検知手段で検査できる位置に移動させる指示用の移動コマンドを表示したことを特徴とする半導体検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハ等の被検査対象物の検査個所が検知手段で検査できる位置に来るように移動体駆動手段で移動調整する半導体検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、このような半導体検査装置では、例えば、半導体ウェーハを移動させる場合、検査個所の移動方向、および移動距離を直接指定するようにした。あるいはまた、半導体ウェーハ上のチップ配列をイメージ化して表示し、目標とするチップを指定して現チップの検査個所（該部位）と同じ目標チップの該部位へ移動させるのが一般的であった。
【０００３】
また、表示されたイメージと半導体ウェーハの大きさの間に相関関係は存在しておらず、上記のような方式では、任意の目標位置へ移動させるのに、現在の該部位の位置を常に意識する必要があり、移動方向、距離をオペレータが計算したり、該部位への移動後に目標位置まで再度操作を行うなど、任意の位置へ移動するには手間が必要であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、検査する目標位置（検査個所）の選定が容易でき、かつその検査個所が検知手段で検査できる位置に自動的に移動が行われる使い勝手のよい半導体検査装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、被検査対象物の検査個所が検知手段で検査できる位置に来るように移動体駆動手段で移動調整が行われる半導体検査装置において、検査ヘッドに設けられ、かつ被検査対象物を全体的に収めるように撮影できるＣＣＤカメラと、このＣＣＤカメラが撮影した縦横の座標情報を演算する計算機と、ＣＣＤカメラが撮影した画像が表示される画像表示エリアを含む表示画面を有するモニター装置と、画像表示エリア上に検査目標位置を任意に指定できるポインティングデバイスとを設け、画像表示エリア上には、ＣＣＤカメラで撮影する際に検知手段が検査可能な検査可能位置を現在位置として表示し、この現在位置と検査目標位置の座標情報をもとに計算機で演算して、ポインティングデバイスで指定した検査目標位置が前記検知手段で検査できる位置に来るように移動体駆動手段を制御することを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
【０００７】
まず、本発明の実施例に係わる半導体検査装置の概要を図１に沿って説明する。
【０００８】
半導体のウェーハ６（検査対象物）は、縦横に移動するステージ５（載置移動体）に載置される。ステージ駆動装置７（ステージ駆動手段）は、３次元直交座標系におけるＸ、Ｙ方向（縦横）にステージ５を駆動する。モニター装置１は検査対象物のウェーハ６を表示する。
【０００９】
検査ヘッド５０は、検知部８（検知手段）、ＣＣＤカメラ４を有する。検知部８（検知手段）は発光手段と受光手段の有し、検査対象物（ウェーハ６）の検査位置から跳ね返る発光手段の投光を受光手段が受光し、この受光の検査信号によって検査位置の検査が行われる。検知部８（検知手段）とＣＣＤカメラ４は、近接して設けることが望ましい。検査目標位置の位置合わせ精度が上がる。受光手段が受光した検査信号は計算機３に送られ、計算機３で演算処理されて検査の評価等が行われる。
【００１０】
ＣＣＤカメラ４が撮影した画像信号は、計算機３に送られる。モニター装置１には、計算機３から送られる画像情報信号で基づいて撮影したウェーハ６の表示が行われる。
【００１１】
ポインティングデバイス２は、計算機３を介して表示画面１１で検査する位置の選定指示を行う。キーボード９は計算機３を介して各種の設定や操作指示（汎用入力を行う）を司る。
【００１２】
モニター装置１の表示画面１１は、図２に示すように画像表示エリア、コマンド表示エリアを有する。画像表示エリアには、撮影したウェーハ６が表示される。ウェーハ６の表示に加え、十字カーソル１２が撮影画像に重なるように表示される。十字カーソル１２のクロスポイントが現在位置１０を示す。この現在位置１０は、検知部８（検知手段）の検査信号が跳ね返る検査対象物（ウェーハ６）の検査位置に対応するところである。本実施例では検知部８（検知手段）の真下が検査対象物（ウェーハ６）の検査位置になっている。
【００１３】
画像表示エリアには、検査対象物の格子状に配置されているチップが表示されるので、その表示を目視しながら検査するチップの検査目標位置１５をポインティングデバイス２のポイントで辿りながら指定できる。このため、検査目標位置１５の選定が誤りなく、容易にできる。
【００１４】
また、ポインティングデバイス２の指定（クリック）により、現在位置１０と検査目標位置１５とを結ぶ移動ベクトル１４が表示され、移動量（移動長さ）を視覚的に知ることができる。
【００１５】
表示画面１１のコマンド表示エリアには、表示倍率、倍率設定スライダー１６、移動指示のボタン１３が表示される。
【００１６】
コマンド表示エリアの倍率設定スライダー１６をポインティングデバイス２で操作することで、ウェーハの表示が拡大／縮小される。図３は拡大表示を示している。拡大／縮小は、倍率設定スライダー１６にポインティングデバイス２のポイントを当て、左右に動かすことにより、倍率がリニアーに変化する。拡大表示の切り換えは繰り返し可能である。
【００１７】
コマンド表示エリアのボタン１３は、ステージ５を移動させるステージ駆動装置７の駆動を指示する機能ボタンである。ボタン１３にポインティングデバイス２のポイントを当ててクリックすることで、指示が行われる。
【００１８】
ボタン１３の指示で、ステージ５が移動し、検査目標位置１５が現在位置１０のところに運ばれる。つまり、検査目標位置１５が検知部８（検知手段）の真下に来るように移動が行われるのである。
【００１９】
ステージ５の移動を行うステージ駆動装置７は、Ｘ、Ｙ方向（縦横）に運ぶサーボモータをそれぞれ有し、両サーボモータの協働で、ステージ５を所定の位置まで動かす。
【００２０】
次に、ステージ駆動装置７の駆動制御について述べる。
【００２１】
ステージ駆動装置７の駆動制御（移動体駆動手段の制御）は、計算機３の演算により行われる。計算機３は、ＣＣＤカメラ４が撮影した検査対象物（ウェーハ６）の画像信号が記録されている。
【００２２】
この画像信号は、ＣＣＤカメラ４が撮影した画素単位で構成されているので、現在位置１０とポインティングデバイス２で指定した検査目標位置１５を結ぶ移動ベクトル１４のＸ（横方向）成分、Ｙ（縦方向）成分を画素数として求められる。撮影画像の表示分解能から数えられる画素数を移動距離に変換する。この移動距離に応じたステージ駆動装置７の駆動制御により、ステージ５は動かされ、検査目標位置１５が十字カーソル１２のクロスポイントに移動し、検査目標位置１５（検査するチップ）が検知部８（検知手段）の真下に来るのである。
【００２３】
このようにステージ駆動装置７の駆動制御により、選択した検査目標位置１５が検知部８（検知手段）の真下（検査できる位置）に来る位置合わせが自動的に行われる使い勝手のよいものである。しかも、ＣＣＤカメラ４が撮影する細かな画素数より求めた駆動制御によって位置合わせが行われるので、位置合わせ精度が高い。
【００２４】
次に、このように構成された半導体検査装置のステージ移動処理について図４に示すフローチャートを用いて説明する。
【００２５】
ステップＡにおいて、ウェーハロード時にウェーハ全体の画像を撮影する。ステップＢでモニター装置１にウェーハの撮影画像を示す表示画面１１として表示し、倍率設定スライダー１６により表示倍率を設定する。ステップＣでモニター装置１に表示した表示画面１１に対して、ポインティングデバイス２を用いて検査目標位置１５の指定を行う。拡大表示機能が指定されていれば、ステップＢのウェーハ写真表示に戻る。このとき表示されるのは、拡大された表示画面１７である。オペレータは検査目標位置１５の確認をした後、ステップＤにてボタン１３を押す。ステップＥにおいて撮影した画像の視野と表示画面１１の表示領域の画素数から表示画面１１の表示分解能を計算する。ステップＦにおいて移動ベクトル１４の画素数を現在位置１０の座標と検査目標位置１５の座標のＸ、Ｙ成分の画素数差分として求め、ステップＧでＸ、Ｙ成分に表示画面１１の表示分解能を乗じることにより移動距離を算出する。
【００２６】
【発明の効果】
本発明によれば、検査する目標位置の選定が容易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係わるもので、半導体検査装置の概要を示す図。。
【図２】本発明の実施例に係わるもので、ウェーハの撮影画像を示す表示画面。
【図３】本発明の実施例に係わるもので、ウェーハの撮影画像を拡大して示す表示画面。
【図４】本発明の実施例に係わるもので、ステージの移動ステップを示すフローチャート。
【符号の説明】
１…モニター装置、２…ポインティングデバイス、３…計算機、４…ＣＣＤカメラ、５…ステージ、６…ウェーハ、７…ステージ駆動装置、８…ウェーハ検査装置、９…キーボード、１０…現在位置、１１…表示画面、１２…十字カーソル、１３…ボタン、１４…移動ベクトル、１５…検査目標位置、１６…倍率設定スライダー、１７…拡大された表示画面。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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