(57)【要約】 【課題】  多軸構成にしても効率良く回生ができるモータ制御装置を提供する。【解決手段】  回生動作中のモータ制御装置は回生オン信号を出力し、他のモータ制御装置は回生オン信号を受けて回生動作をするようにしたので、全モータ制御装置の回生処理が同時に動作し、回生処理回路の負荷が均一化され効率のよい動作が可能となった。【選択図】  図１
2005253213.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
交流電源を整流して直流電圧に変換する整流回路と、直流電圧を交流電圧に変換するＰＷＭインバータと、前記直流電圧があらかじめ決められた上限電圧の第１電圧を超えたら回生抵抗に直列接続された回生トランジスタをオンにし、あらかじめ決められた下限電圧の第２電圧以下になったら、前記回生トランジスタをオフする回生処理回路とからなる主回路と、上位システムのコントローラから位置または速度指令を入力とし、前記モータに結合された位置検出器の位置データとモータ電流を検出して電流データをフィードバックとして位置制御、速度制御、電流制御を行う制御回路を備え、通常は１軸で用いられるモータ制御装置の多軸モータ制御方法において、
前記直流電圧の部位で複数台接続して多軸モータ制御装置を構成し、
各軸の回生トランジスタがオンかオフかの状態を表す回生オン信号が、複数台の制御装置のうち１台でもオンであれば、全ての制御装置の前記回生トランジスタをオンにすることを特徴とする多軸モータ制御方法。
【請求項２】
各軸の前記回生オン信号を外部へ出力し、複数台の制御装置の前記回生オン信号を互いに接続してワイヤードＯＲを構成し、前記複数台の制御装置の回生オン信号が少なくとも１台でもオンであれば、全ての制御装置の回生トランジスタをオンにする請求項１記載の多軸モータ制御方法。
【請求項３】
前記回生抵抗の温度を推定する回生抵抗温度推定手段を備え、回生抵抗推定温度があらかじめ設定された第１温度を超えたときは、回生オン禁止信号を生成して、回生トランジスタがオンすることを禁止し、回生抵抗温度が第２温度よりも下がった時には回生オン禁止信号を解除することを特徴とする請求項１または２記載の多軸モータ制御方法。
【請求項４】
交流電源を整流して直流電圧に変換する整流回路と、直流電圧を交流電圧に変換するＰＷＭインバータと、前記直流電圧があらかじめ決められた上限電圧の第１電圧を超えたら回生抵抗に直列に接続された回生トランジスタをオンにし、あらかじめ決められた下限電圧の第２電圧以下になったら、前記パワー素子をオフする回生処理回路とからなる主回路と、上位システムのコントローラから位置または速度指令を入力とし、前記モータに結合された位置検出器の位置データとモータ電流を検出して電流データをフィードバックとして位置制御、速度制御、電流制御を行う制御回路を備え、通常は１軸で用いられるモータ制御装置において、
前記直流電圧の部位で前記モータ制御装置を複数台接続して多軸モータ制御装置を構成し、
各軸の回生トランジスタがオンかオフかの状態を表す回生オン信号を外部に出力する手段と、
前記複数台の制御装置の回生オン信号を互いに接続して、ワイヤードＯＲを構成する手段と、
複数台の制御装置のうち１台でも回生オン信号が有効であれば、全ての制御装置の前記回生トランジスタをオンにする手段とを有することを特徴とする多軸モータ制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一軸構成のモータ制御装置を多軸構成にしたときの回生処理に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の１軸モータ制御装置を多軸接続する従来例には図６がある。
図６において、２１０はサーボ装置を制御するコントローラ、２０１、２０２、２０３はサーボ制御装置、２０４、２０５、２０６はモータ、２０７、２０８、２０９はエンコーダである。さらに、２１１は３相電源でサーボ装置２０１、２０２、２０３の外部端子Ｒ、Ｓ、Ｔに接続されている。２１２はサーボ制御装置２０１のなかの整流回路、２１３はインバータ、２１４は制御回路である。２１５は回生トランジスタ、２１６は回生抵抗、２１７は平滑コンデンサ、２１８は突入電流防止回路、２１９はダイナミックブレーキ（ＤＢ）回路、２２０は電流検出器、２２１はＣＰＵとＡＳＩＣを示している。サーボ制御装置の整流回路の出力でコンデンサで平滑された直流電源が外部端子Ｐ、Ｎに出力され、端子Ｐ、Ｎはサーボ装置間で接続される。
【０００３】
次に動作について説明する。モータが高回転速度から減速される場合や下げ荷負荷などの場合は、モータは発電機として動作する。モータが発電機として動作刷る場合は、電流はインバータのトランジスタ、モータ、ダイオードのループで還流する、フリーホイールモード（図２の一点鎖線）とトランジスタ、モータ、トランジスタを通って直流電源からモータに流れるドライブモード（図２の実線）の時間よりも、ダイオード、モータ、ダイオードを通ってモータから直流電源にもどるバックモード（図２の点線）の時間のほうが長くなる。このため、平滑コンデンサは放電よりも充電する電流の方が大きくなり、平滑コンデンサの直流電圧は上昇する。直流電圧があらかじめ決められた第１電圧よりも高くなるとブロック２２１のＣＰＵ＋ＡＳＩＣは回生オン信号を有効にして回生トランジスタ２１５をオンにする。回生エネルギーが大きく、さらに直流電圧ＶＤＣが上昇し、あらかじめ決められた過電圧（ＶＯＶ）を超えてしまうとインバータ２１３、回生トランジスタ２１５の駆動信号をオフにし、ダイナミックブレーキ回路２１９をオンにして、モータ端子を電子的に抵抗で短絡させて停止させるとともに、インタフェースを通して外部に過電圧アラームを出力する。通常は回生トランジスタがオンになると、直流電圧は低下する。直流電圧が第２電圧ＶＬＷより低くなると回生オン信号を無効にして回生トランジスタ２１５をオフにする。
【０００４】
次に１軸のモータ制御装置を複数台駆動して多軸モータ制御装置を構成する場合について説明する。多軸モータ駆動装置の構成では、すべてのモータ制御装置のＰ側どうし、Ｎ側どうしを接続して、直流電源を共通にし、直流電源としての負荷を平均化する。容量の大きいモータ制御装置にはそれに応じた容量の電源整流用ダイオード、電圧平滑用コンデンサが使用されるので、モータ制御装置のほぼ定格容量に応じた直流電流が流れる。また、多軸モータ駆動装置は瞬時的には、力行と回生の軸が混在しており、直流電源を共通にすることで、全軸の総量の電力として扱うことができ、回生電力は力行電力に再消費すことができ、回生処理電力が少なくなり、省電力になる。
【０００５】
ところが、第１電圧、第２電圧はモータ制御装置によってばらつきがあり、回生電力がある特定の軸に集中するという問題が発生する。図５は２軸のモータ制御装置を多軸接続した例で、第１電圧ＶＵＰ、第２電圧ＶＬＷを変化させたときのシミュレーションである。1軸目の第１電圧は３８１Ｖ、第２電圧は３７１Ｖで、２軸目の第１電圧は３８０Ｖ、第２電圧は３７０Ｖと２軸目の電圧が低い例で、回生電力は電圧の低い２軸目に集中する。一般的に回生電力はは第１電圧ＶＵＰが最も低いモータ制御装置に集中する。動作モードによっては全軸の回生電力が特定の１軸のモータ制御装置に集中することになる。
【０００６】
特許文献１は、通常は１軸で使用されるモータ制御装置の回生処理が全軸に平均されるようにした従来技術である。この従来技術を図３に従い説明する。
図３において、１０１は電源、１０２Ａ〜１０２Ｃは制御装置、１０３はコンバータ回路、１０４は回生回路、１０５はインバータ回路、１０６はモータ、１０７は回生回路駆動ベース回路、１０８はＣＰＵ、１０９はＰＮ電圧検出回路、１１０はＰ端子、１１１はＮ端子である。また、１１７はコントローラのＣＰＵ、１１８はコントローラの出力インタフェース、１１９はコントローラの入力インタフェースである。制御装置は１０２Ａから１０２ＣまでそれぞれのＰＮ端子が接続されている。
【０００７】
次に動作について説明する。従来技術は軸における回生負荷のアンバランスのためにシステム全体として回生オプションユニットを取付けなけらばならなくなり、スペースも必要となるだけでなく、システムの価格も高くなって不経済であるという問題を解決するためになされたものであり、ＰＮ電圧を制御装置のそれぞれが共用することにより、システム全体の回生処理能力を向上させ、各軸系制御装置に設けられた回生回路を互いに均等に動作させてモータ制御装置間における回生負荷消費量の格差を最小化したものである。
【０００８】
モータ制御システムの回生方法は、それぞれ回生回路およびＰＮ電圧を呈する端子を有しかつ複数軸のモータを当該複数軸のそれぞれに対応して制御する複数の制御装置と、制御装置のそれぞれを制御するシステムコントローラとを有するシステムの回生方法であって、制御装置の全てにＰＮ電圧を共用させ、制御装置のそれぞれにおいて得られる回生負荷に応じたレベルを有する回生負荷データをシステムコントローラに転送し、システムコントローラに回生負荷データのレベルを評価させ、より大なる回生負荷データに対応する制御装置に対しては回生回路動作レベルを上げる指令を発生させ、より小なる回生負荷データに対応する制御装置に対しては回生回路動作レベルを下げる指令を発生させるというものである。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−８９２８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来のモータ制御装置は、システムコントローラが必要であり、かつ、システムコントローラと制御装置間で多くの情報伝送が必要であり、システムコントローラは回生負荷データのレベルを評価しなければならず、時間もかかり、構成も複雑であった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、回生動作中のモータ制御装置は回生オン信号を出力し、他のモータ制御装置は回生オン信号を受けて回生動作をするようにし、全モータ制御装置の回生処理が同時に動作し、回生処理回路の負荷が均一化され効率のよい動作ができる多軸モータ制御方法および装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１記載の本発明は、交流電源を整流して直流電圧に変換する整流回路と、直流電圧を交流電圧に変換するＰＷＭインバータと、直流電圧があらかじめ決められた上限電圧の第１電圧を超えたら回生抵抗に直列接続された回生トランジスタをオンにし、あらかじめ決められた下限電圧の第２電圧以下になったら、回生トランジスタをオフする回生処理回路とからなる主回路と、上位システムのコントローラから位置または速度指令を入力とし、モータに結合された位置検出器の位置データとモータ電流を検出して電流データをフィードバックとして位置制御、速度制御、電流制御を行う制御回路を備え、通常は１軸で用いられるモータ制御装置の多軸モータ制御方法において、直流電圧の部位で複数台接続して多軸モータ制御装置を構成し、各軸の回生トランジスタがオンかオフかの状態を表す回生オン信号が、複数台の制御装置のうち１台でもオンであれば、全ての制御装置の前記回生トランジスタをオンにするようにしたものである。
【００１２】
請求項２記載の本発明は、請求項１記載のモータ制御方法において、各軸の回生オン信号を外部へ出力し、複数台の制御装置の回生オン信号を互いに接続してワイヤードＯＲを構成し、複数台の制御装置の回生オン信号が少なくとも１台でもオンであれば、全ての制御装置の回生トランジスタをオンにするようにしたものである。
【００１３】
請求項３記載の本発明は、請求項１または２記載のモータ制御方法において、回生抵抗の温度を推定する回生抵抗温度推定手段を備え、回生抵抗推定温度があらかじめ設定された第１温度を超えたときは、回生オン禁止信号を生成して、回生トランジスタがオンすることを禁止し、回生抵抗温度が第２温度よりも下がった時には回生オン禁止信号を解除するようにしたものである。
【００１４】
請求項４記載の本発明は、交流電源を整流して直流電圧に変換する整流回路と、直流電圧を交流電圧に変換するＰＷＭインバータと、前記直流電圧があらかじめ決められた上限電圧の第１電圧を超えたら回生抵抗に直列に接続された回生トランジスタをオンにし、あらかじめ決められた下限電圧の第２電圧以下になったら、パワー素子をオフする回生処理回路とからなる主回路と、上位システムのコントローラから位置または速度指令を入力とし、モータに結合された位置検出器の位置データとモータ電流を検出して電流データをフィードバックとして位置制御、速度制御、電流制御を行う制御回路を備え、通常は１軸で用いられるモータ制御装置において、直流電圧の部位で前記モータ制御装置を複数台接続して多軸モータ制御装置を構成し、各軸の回生トランジスタがオンかオフかの状態を表す回生オン信号を外部に出力する手段と、複数台の制御装置の回生オン信号を互いに接続して、ワイヤードＯＲを構成する手段と、複数台の制御装置のうち１台でも回生オン信号が有効であれば、全ての制御装置の回生トランジスタをオンにする手段とを有するようにしたものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のモータ制御方法によれば、回生動作中のモータ制御装置の１台が回生オンになると回生オン信号を出力し、他のモータ制御装置は回生オン信号を受けて回生動作をするようにしたので、全モータ制御装置の回生処理が同時に動作し、回生抵抗の負荷が平均化され、効率のいい多軸モータの制御方法とその装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施例を図を用いて説明する。
【実施例１】
【００１７】
図１は、本発明の多軸モータ制御装置の実施例を示すブロック図である。図１において、１、２、３はモータ制御装置、４、５、６はモータ、７、８、９はエンコーダ、１０は各モータ制御装置を制御するコントローラ、１１は３相電源である。１２は整流器、１３はインバータ、１４はコントロール基板である。１５は回生トランジスタ、１６は回生抵抗、１７は平滑コンデンサ、１８は突入電流防止回路、１９はＤＢ（ダイナミックブレーキ回路）、２０は電流検出回路である。また、２１はＣＰＵ＋ＡＳＩＣ、２２はスイッチ、２３はプルアップ抵抗、２４は反転論理、２５はＡＮＤ論理である。
【００１８】
次に動作について説明する。３相電源１１はモータ制御装置１、２、３の電源入力端子に電源を供給する。モータ制御装置１は３相電源を入力し、整流器で交流を直流に変換する。電源投入時は、平滑コンデンサに電荷が充電されていないので、平滑コンデンサ１７に大電流が突入する。このため、突入防止回路１８は抵抗で電流を制限する。制限された電流が平滑コンデンサを充電し、所定の電圧に上昇すると制御回路１４は突入防止回路１８のスイッチをオンにし、突入防止回路１８の抵抗を短絡する。直流に変換された直流電圧はインバータ１３に供給されるとともに、外部端子ＰとＮに出力される。インバータ１３は制御回路１４のＰＷＭゲート信号により駆動され直流電圧をＰＷＭしてモータ４に加える。ＰＷＭされた電圧を受けるとモータは回転速度やモータ定数に応じて電流が流れ、トルク定数に応じたトルクが発生し、負荷トルクや慣性モーメントに応じて回転する。
【００１９】
電流検出器２９は３相の電流を検出し制御回路１４にフィードバックする。エンコーダ７はモータに直結しており、モータの回転位置を制御回路１４にフィードバックする。制御回路１４はＣＰＵやＡＳＩＣ、ディスクリート部品などの電子部品で構成され、突入電流防止回路、回生処理回路を制御する。さらに、制御回路１４は上位システムのコントローラ１０から位置指令や速度指令を受けてモータが指令どおりに追従して動作するように制御サンプリング時間ごとにインバータを制御する。制御装置１４の位置制御手段はコントローラ１０の位置指令とエンコーダの位置フィードバックを受け、位置偏差を制御処理し、速度指令とする。制御装置１４の速度変換手段は位置フィードバックの位置データを１サンプリング前の位置データと今回の位置データとの差をサンプリング時間で割って速度データとし速度ィードバックとする。速度制御手段は速度指令と速度フィードバックの偏差を制御処理をしてトルク指令とする。電流制御手段はトルク指令に係数を掛けてｑ軸電流指令とし、ｄ軸電流指令を通常制御では零とする。座標変換手段は３相のフィードバック電流をｄｑ軸電流に座標変換する。電流制御手段はｄｑ軸電流指令とｄｑ軸電流フィードバックの偏差をＰＩＤ処理をしてｄｑ軸電圧指令を生成する。座標変換手段はｄｑ軸電圧指令をＵＶＷの３相座標に座標変換してＵ軸電圧指令、Ｖ軸電圧指令、Ｗ軸電圧指令を生成する。ＰＷＭ生成手段は３相電圧指令をインバータのゲートを駆動するパルス信号に変換する。インバータはゲート信号を受けてスイッチング素子をオンオフし、モータにＰＷＭされた電圧を供給する。
【００２０】
次に本発明に係る回生処理動作について説明する。モータが高速回転速度から減速したり、下げ荷負荷などのようにモータの回転方向とモータのトルクの方向の極性が異なる場合はモータは発電動作となり、発電力の一部は摩擦負荷やモータの電気的損失（ジュール損）で消費されるが発電力が大きい場合はインバータに電力を回生する。図２はモータＵ相、Ｖ相に関してインバータの電流が流れるルートを示したものである。実線は直流電源からモータに流れ込むドライブモードのルート、点線はモータから電源に戻るバックモードのルート、一点鎖線は電源には関係なくモータが短絡されるフリーホイールモードのルートである。力行運転の時はドライブモードとフリーホイールモードが交互に繰り返され、電力は電源からモータに向かい、回生動作のときはドライブモードまたはフリーホイールモードとバックモードが交互に繰り返され電力は平均的にモータから電源に回生される。回生動作時はバックモードの電流が平滑コンデンサを充電し、平滑コンデンサの電圧は上昇する。回生処理回路は平滑コンデンサの電圧が構成部品の耐圧を超えないように平滑コンデンサの直流電圧を監視し、上限電圧である第１電圧に達したら回生トランジスタをオンにして回生抵抗を平滑コンデンサと並列に挿入し平滑コンデンサの電荷を放電さる。放電により、直流電圧が下がり、下限電圧に到達したら回生トランジスタをオフして放電を停止する。放電を停止しても、まだモータの発電力が大きい場合は直流電圧は再び上昇する。これ以後、発電力がなくなるまで同じ動作を繰り返す。
【００２１】
本発明では、多軸で使用する場合に、互いの外部端子Ｐ、Ｎを接続するとともに、回生オン信号を示す外部端子Ｒを接続する。多軸のうち１軸でも回生トランジスタがオンになれば、回生オン信号は互いにワイヤードＯＲで接続されているので、他の軸の回生トランジスタもオンになり、全ての回生トランジスタは同じ動作をする。こうして、特許文献１よりも構成が簡単で、従来技術のように、多軸に接続した場合、１軸の回生処理回路に負担が集中するということも避けることができる。
【実施例２】
【００２２】
次に実施例２について説明する。実施例２は実施例１の回生抵抗の異常過熱を防止するようにしたものであり、各モータ制御装置に適用される。図３を用いて説明する。図３は異常過熱防止のフローチャートである。制御サンプリング時間ごとに、処理が行われる。ステップＳＴ１は、回生トランジスタの状態を調べるもので、回生トランジスタがオンであればステップＳＴ２へ進み、オフであればステップＳＴ４に進む。ステップＳＴ２は直流電圧を読み込み、ステップＳＴ３に進む。ステップＳＴ３は直流電圧と回生抵抗値から回生抵抗のロスを算出する。算出式は式（１）である。
Ｐ＝Ｖｄｃ＊Ｖｄｃ／Ｒ                                        （１）
ステップＳＴ４は回生抵抗がオフなので、Ｐ＝０とする。
【００２３】
ステップＳＴ５は回生抵抗の熱等価回路を用いて温度上昇値を算出する。図５はフィンに固定された回生抵抗の熱等価回路で７０は発生ロスＰ、７１抵抗体と抵抗外皮の熱抵抗Ｒ１、７２は抵抗外皮とフィンの熱抵抗Ｒ２、７３はフィンと大気間の熱抵抗Ｒ３である。７４は抵抗体と外皮の熱容量Ｃ１、７５はフィンの熱容量Ｃ２である。温度上昇θの値は式（２）を使用して算出される。
θ＝Ｐ＊Ｒ１＋θ１＋θ２                                        （２）
ここでθは温度上昇値、Ｐは回生抵抗の発生ロスである。また、ｔ１、ｔ２、θ１、θ２は次式で表すことができる。
ｔ１＝２Ｃ１Ｃ２Ｒ２Ｒ３
／（Ｃ１（Ｒ２＋Ｒ３）＋Ｃ２Ｒ２＋√（Ｃ１２（Ｒ２＋Ｒ３）２）ー４Ｃ１Ｃ２Ｒ２Ｒ３）
（３）
ｔ2＝２Ｃ１Ｃ２Ｒ２Ｒ３
／（Ｃ１（Ｒ２＋Ｒ３）＋Ｃ２Ｒ２−√（Ｃ１２（Ｒ２＋Ｒ３）２）ー４Ｃ１Ｃ２Ｒ２Ｒ３）
（４）
θ１＝θ１０＊ｅｘｐ（−ｔｓ／ｔ１）＋
Ｐ（１−ｅｘｐ（−ｔｓ／ｔ１））（Ｃ２Ｒ２Ｒ３−（Ｒ２＋Ｒ３）ｔ１）／（ｔ２−ｔ１）
（５）
θ２＝θ２０ｅｘｐ（−ｔｓ／ｔ２）＋
Ｐ（１−ｅｘｐ（−ｔｓ／ｔ２））（Ｃ２Ｒ２Ｒ３−（Ｒ２＋Ｒ３）ｔ２）／（ｔ１−ｔ２）
（６）
ここで、θ１０、θ２０は１サンプリング前の温度上昇値である。
【００２４】
ステップＳＴ６は温度上昇値θがあらかじめ決められた第１温度と比較する。温度上昇値が大きければステップＳＴ７に進み、小さければステップＳＴ８に進む。ステップＳＴ７は、自他のモータ制御装置から回生信号オンであっても、自身の回生処理回路を強制的にオフにする。これは図１のアンドがＣＰＵ＋ＡＳＩＣからブロックされることで行われる。ステップＳＴ８は温度上昇値θを第２温度と比較する。温度上昇値θが第２温度よりも低ければステップＳＴ９に進み、高ければステップＳＴ１０に進む。ステップＳＴ９は回生処理回路の強制オフを解除する。従って、回生処理トランジスタオンであれば再び回生処理トランジスタはオンになる。ステップＳＴ１０は１サンプリング前の状態を維持する。
１軸のモータ制御装置を多軸に構成する場合で温度が第１温度よりも高くなった回生抵抗だけがオフされるので、回生処理抵抗の利用率を上げることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２５】
本発明は、回生動作中のモータ制御装置が回生オン信号を出力し、他のモータ制御装置は回生オン信号を受けて回生動作に入るようにし、全てのモータ制御装置の回生処理が同時に動作するようにしたので、回生処理回路の負荷が均一化され効率のよい動作が可能となるので、多軸で用いられる用途、例えば、一般産業機械、ロボット、工作機械などに適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施例１を示す構成図
【図２】回生動作の電流の流れを示す図
【図３】本発明の実施例２を示すフローチャート
【図４】本発明の２軸の場合の回生トランジスタの動作タイムチャート
【図５】回生抵抗の等価回路
【図６】従来例１の構成図
【図７】従来例の２軸の場合の回生トランジスタの動作タイムチャート１
【図８】従来例の２軸の場合の回生トランジスタの動作タイムチャート２
【図９】従来例の２軸の場合の回生トランジスタの動作タイムチャート３
【図１０】従来例２の構成図
【符号の説明】
【００２７】
１、２、３  モータ制御装置
４、５、６  モータ    
７、８、９  エンコーダ
１０  コントローラ
１１  ３相電源
１２  整流器
１３  インバータ
１４  制御回路
１５  回生トランジスタ
１６  回生抵抗
１７  平滑コンデンサ
１８  突入電流防止回路
１９  ＤＢ回路
２０  電流検出器
２１  ＣＰＵ＋ＡＳＩＣ
２２  スイッチ
２３  プルアップ抵抗
２４  反転論理
２５  アンド論値
３１  電源線
３２  Ｐ端子接続線
３３  Ｎ端子接続線
３４  コントローラ接続線
３５  Ｒ端子接続線
７０  ロス源
７１  熱抵抗Ｒ１
７２  熱抵抗Ｒ２
７３  熱抵抗Ｒ３
７４  熱容量Ｃ１
７５  熱容量Ｃ２
７６  抵抗の抵抗体
７７  抵抗の外皮
７８  フィン
【図１】
2005253213.tif 000003
【図２】
2005253213.tif 000004
【図３】
2005253213.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2005253213.tif 000008
【図７】
2005253213.tif 000009
【図８】
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【図９】
2005253213.tif 000011
【図１０】
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