(57)【要約】【課題】泳動媒体を収納する収納部の液密性（気密性）の向上を図り、これにより、分離対象物を正確に電気泳動させ得る電気泳動チップを提供すること。【解決手段】電気泳動チップ１は、分離対象物を泳動媒体中で電気泳動させる電気泳動チップである。この電気泳動チップ１は、泳動媒体を収納する収納部３５が形成され、主として樹脂材料で構成された電気泳動部３と、電気泳動部３に接触して設けられ、泳動媒体に通電を行う一対の電極４ａ、４ｂとを有し、各電極４ａ、４ｂが、それぞれ電気泳動部３を構成する樹脂材料を主材料とし、導電性材料を含んでなる電極材料で構成されている。電気泳動部３に用いられる樹脂材料は、シリコーン系樹脂（特に、ポリジメチルシロキサン）であるのが好ましく、電極材料中に含まれる導電性材料は、炭素系材料（特に、カーボンナノチューブ）であるのが好ましい。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分離対象物を泳動媒体中で電気泳動させて分離する電気泳動チップであって、
前記泳動媒体を収納する収納部が形成され、主として樹脂材料で構成された電気泳動部と、
前記電気泳動部に接触して設けられ、前記泳動媒体に通電を行う一対の電極とを有し、
各前記電極が、それぞれ、前記電気泳動部を構成する樹脂材料を主材料とし、導電性材料を含んでなる電極材料で構成されていることを特徴とする電気泳動チップ。
【請求項２】
前記電気泳動部に用いられる前記樹脂材料は、シリコーン系樹脂を主成分とするものである請求項１に記載の電気泳動チップ。
【請求項３】
前記シリコーン系樹脂は、ポリジメチルシロキサンである請求項２に記載の電気泳動チップ。
【請求項４】
前記電極材料中に含まれる前記導電性材料は、炭素系材料を主成分とするものである請求項１ないし３のいずれかに記載の電気泳動チップ。
【請求項５】
前記炭素系材料は、カーボンナノチューブである請求項４に記載の電気泳動チップ。
【請求項６】
前記電極材料中の前記導電性材料の含有量は、１〜８５ｗｔ％である請求項１ないし５のいずれかに記載の電気泳動チップ。
【請求項７】
各前記電極の大きさは、それぞれ、０．０１〜１０００ｍｍ３である請求項１ないし６のいずれかに記載の電気泳動チップ。
【請求項８】
前記電極同士の離間距離は、１０〜８０ｍｍである請求項１ないし７のいずれかに記載の電気泳動チップ。
【請求項９】
前記収納部の容積は、０．０１〜１００ｍｍ３である請求項１ないし８のいずれかに記載の電気泳動チップ。
【請求項１０】
前記電気泳動部の前記収納部に臨む面には、親水化処理が施されている請求項１ないし９のいずれかに記載の電気泳動チップ。
【請求項１１】
前記親水化処理は、酸素プラズマ処理によるものである請求項１０に記載の電気泳動チップ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動チップに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、微細流路（キャピラリーチャネル）が形成された電気泳動チップ（電気泳動装置）を用いて、ＤＮＡ断片を分離・精製する技術が注目を集めている。
【０００３】
この電気泳動チップを用いることにより、ＤＮＡ断片の分離・精製を高速かつ高精度で行うことができる。
【０００４】
従来の電気泳動チップは、電極構造を有するガラス基板に、微細流路が形成された樹脂製のカバーを接合して構成されている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００５】
ところが、かかる構成の電気泳動チップでは、カバーの材質と、電極構造およびガラス基板の材質とが異なることから、これらの間での密着性に劣るという問題があった。
【０００６】
カバーとガラス基板との間に間隙が形成された場合、ＤＮＡ断片の分離に用いる分離支持体（泳動媒体）が電気泳動チップから漏れ出したり等して、ＤＮＡ断片の正確な分離（バンドの形成）が困難となる。
【０００７】
【非特許文献１】金田祥平、藤井輝夫，「ＰＤＭＳ（Polydimethylsiloxane）を用いた電気泳動デバイスによるＤＮＡの分離」，生産研究，東京大学生産技術研究所，２００２年，５４巻，２号，ｐ．１４０−１４３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的は、泳動媒体を収納する収納部の液密性（気密性）の向上を図り、これにより、分離対象物を高速かつ高精度で分離可能な電気泳動チップを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
このような目的は、下記（１）〜（１１）の本発明により達成される。
【００１０】
（１）  分離対象物を泳動媒体中で電気泳動させて分離する電気泳動チップであって、
前記泳動媒体を収納する収納部が形成され、主として樹脂材料で構成された電気泳動部と、
前記電気泳動部に接触して設けられ、前記泳動媒体に通電を行う一対の電極とを有し、
各前記電極が、それぞれ、前記電気泳動部を構成する樹脂材料を主材料とし、導電性材料を含んでなる電極材料で構成されていることを特徴とする電気泳動チップ。
【００１１】
これにより、泳動媒体を収納する収納部の液密性（気密性）の向上を図り、分離対象物を高速かつ高精度で分離することが可能となる。
【００１２】
（２）  前記電気泳動部に用いられる前記樹脂材料は、シリコーン系樹脂を主成分とするものである上記（１）に記載の電気泳動チップ。
【００１３】
シリコーン系樹脂は、微細加工が容易であること、自己接着性を有すること、透明性が高いこと、各種生体物質（分離対象物）との相互作用が低いこと等から好ましい。
【００１４】
（３）  前記シリコーン系樹脂は、ポリジメチルシロキサンである上記（２）に記載の電気泳動チップ。
【００１５】
ＰＤＭＳは、特に、微細加工が容易であり、自己接着性を有し、透明性が高く、各種生体物質（分離対象物）との相互作用が低い。
【００１６】
（４）  前記電極材料中に含まれる前記導電性材料は、炭素系材料を主成分とするものである上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の電気泳動チップ。
【００１７】
炭素系材料は、シリコーン系樹脂に均一に混合することが可能であり、また、電極材料の導電性を高いものとすることができる。
【００１８】
（５）  前記炭素系材料は、カーボンナノチューブである上記（４）に記載の電気泳動チップ。
【００１９】
カーボンナノチューブは、シリコーン系樹脂により均一に混合することが可能であり、また、電極材料の導電性をより高いものとすることができる。
【００２０】
（６）  前記電極材料中の前記導電性材料の含有量は、１〜８５ｗｔ％である上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の電気泳動チップ。
【００２１】
これにより、各電極と電気泳動部との密着性を維持しつつ、電極材料の導電性を好適なものとすることができる。
【００２２】
（７）  各前記電極の大きさは、それぞれ、０．０１〜１０００ｍｍ３である上記（１）ないし（６）のいずれかに記載の電気泳動チップ。
【００２３】
これにより、各電極の大型化（延いては電気泳動チップ全体の大型化）を防止しつつ、泳動媒体への通電を効率よく行うことができる。
【００２４】
（８）  前記電極同士の離間距離は、１０〜８０ｍｍである上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の電気泳動チップ。
【００２５】
これにより、電極間へ印加する電圧値が上昇するのを防止しつつ、分離対象物の高精度の分離が可能となる。
【００２６】
（９）  前記収納部の容積は、０．０１〜１００ｍｍ３である上記（１）ないし（８）のいずれかに記載の電気泳動チップ。
これにより、分離対象物をより高速かつ高精度で分離することが可能となる。
【００２７】
（１０）  前記電気泳動部の前記収納部に臨む面には、親水化処理が施されている上記（１）ないし（９）のいずれかに記載の電気泳動チップ。
これにより、収納部への泳動媒体の導入が容易となる。
【００２８】
（１１）  前記親水化処理は、酸素プラズマ処理によるものである上記（１０）に記載の電気泳動チップ。
【００２９】
酸素プラズマ処理によれば、電気泳動部の収納部に臨む面に、比較的容易かつ確実に親水化処理を行うことができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明によれば、泳動媒体を収納する収納部の液密性（気密性）の向上を図ることができ、これにより、分離対象物を高速かつ高精度で分離可能な電気泳動チップが得られる。
【００３１】
また、本発明によれば、かかる電気泳動チップを容易かつ安価に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の電気泳動チップ（キャピラリー電気泳動チップ）の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００３３】
＜第１実施形態＞
まず、本発明の電気泳動チップの第１実施形態について説明する。
【００３４】
図１は、本発明の電気泳動チップの第１実施形態を示す上面図、図２は、図１に示す電気泳動チップの分解斜視図、図３は、図１に示す電気泳動チップの縦断面図、図４は、図１に示す電気泳動チップの製造方法を説明するための図である。
なお、以下の説明では、図２〜図４中の上側を「上」、下側を「下」として説明する。
【００３５】
各図に示す電気泳動チップ１は、基板２と、基板２上に設けられた電気泳動部３と、電気泳動部３に接触して設けられた一対の電極４ａ、４ｂとを有している。
【００３６】
基板２は、電気泳動部３を支持するための部材であり、平板状をなしている。
この基板２の構成材料としては、例えば、金属材料、セラミックス材料、樹脂材料等が挙げられる。
なお、基板２は、必要に応じて設けるようにすればよく、省略することもできる。
【００３７】
電気泳動部３は、下部材３１と、この下部材３１に積層された上部材３２とで構成され、これらは、いずれも平板状をなしている。
【００３８】
下部材３１は、基板２とほぼ等しい平面形状をなし、また、平面視においてほぼ等しい面積とされている。
【００３９】
下部材３１の平面視での面積は、特に限定されないが、好ましくは２００〜１０００ｍｍ２程度、より好ましくは４００〜８００ｍｍ２程度とされる。
【００４０】
また、下部材３１の上面には、長手方向の両端部にそれぞれ、電極４ａ、４ｂが設けられている。この一対の電極４ａ、４ｂ間に電圧を印加することにより、後述する収納部３５に収納された泳動媒体に通電される。
【００４１】
各電極４ａ、４ｂの大きさ（体積）は、それぞれ、電極材料の種類等によっても若干異なり、特に限定されないが、０．０１〜１０００ｍｍ３程度であるのが好ましく、０．１〜１０ｍｍ３程度であるのがより好ましい。これにより、各電極４ａ、４ｂの大型化（延いては電気泳動チップ１全体の大型化）を防止しつつ、泳動媒体への通電を効率よく行うことができる。
【００４２】
また、電極４ａ、４ｂ同士の離間距離は、１０〜８０ｍｍ程度であるのが好ましく、２０〜６０ｍｍ程度であるのがより好ましい。電極４ａ、４ｂ同士の離間距離が短過ぎると、分離対象物の高精度の分離が困難となるおそれがあり、一方、電極４ａ、４ｂ同士の離間距離が長過ぎると、電極４ａ、４ｂ間に印加する電圧値を高くする必要が生じ好ましくない。
【００４３】
上部材３２は、基板２（下部材３１）とほぼ等しい形状をなすが、平面視での面積が若干小さくなるよう設定されている。これにより、上部材３２を下部材３１に積層した状態で、電極４ａ、４ｂが上部材３２（電気泳動部３）から外部に露出するよう構成されている。
【００４４】
この電気泳動部３から露出する電極４ａ、４ｂに外部回路が接続される。
また、上部材３２には、その厚さ方向に貫通する第１の孔３３および第２の孔３４が形成されている。これらの孔３３、３４は、それぞれ、上部材３２の長手方向の端部に形成されている。
【００４５】
各孔３３、３４は、電気泳動部３（後述する収納部３５）に、泳動媒体やサンプルを供給する供給口（ポート）として機能する。
【００４６】
また、上部材３２の下面には、第１の孔３３と第２の孔３４とに連通する溝３２１と、第１の孔３３に連通する溝３６ａと、第２の孔３４に連通する溝３６ｂとが凹没形成されている。
【００４７】
上部材３２を下部材３１に積層した状態で、溝３２１と下部材３１の上面により、泳動媒体を収納する収納部（微小流路）３５が形成される。
【００４８】
第１の孔３３または第２の孔３４内に泳動媒体を供給すると、この泳動媒体は、毛細管現象により収納部３５内に展開（供給）されることにより、収納部３５が泳動媒体により満たされる。
【００４９】
また、上部材３２を下部材３１に積層した状態で、各溝３６ａ、３６ｂには、それぞれ、各電極４ａ、４ｂが収納される。
【００５０】
各溝３６ａ、３６ｂの横断面積は、それぞれ、各電極４ａ、４ｂの横断面積より若干小さく設定されている。これにより、各溝３６ａ、３６ｂ（電気泳動部３）には、各電極４ａ、４ｂが密着（接触）する。
【００５１】
なお、後述するように、電気泳動部３は、主として樹脂材料で構成されるが、上部材３２を構成する樹脂材料として、比較的柔軟なものを選択することにより、上部材３２に溝３６ａ、３６ｂを省略することもできる。この場合、電気泳動チップ１の組み立ての際には、上部材３２の各電極４ａ、４ｂに接触する部分が、各電極４ａ、４ｂに対応して凹没変形することにより、上部材３２と下部材３１とを確実に接合することができる。特に、各電極４ａ、４ｂの厚さを比較的薄く形成することにより、より確実な上部材３２と下部材３１との接合が可能となる。また、この場合、上部材３２と各電極４ａ、４ｂとの高い密着性も確保される。
【００５２】
このような構成の電気泳動チップ１によれば、分離対象物の分離を高速かつ高精度で行うことができる。
【００５３】
ここで、分離対象物としては、例えば、核酸（ＤＮＡ、ＲＮＡ）、アミノ酸、ペプチド、タンパク質、金属イオン等が挙げられる。
【００５４】
また、泳動媒体としては、例えば、ヒドロキシエチルセルロース、アガロース、ポリアクリルアミド、ポリエチレンオキサイド等が挙げられる。
【００５５】
このような泳動媒体を収納する収納部３５の容積は、０．０１〜１００ｍｍ３程度であるのが好ましく、０．１〜１０ｍｍ３程度であるのがより好ましい。これにより、分離対象物の電気泳動をより高速で行うことができる。
【００５６】
さらに、電気泳動部３の収納部３５に臨む面には、親水化処理が施されているのが好ましい。これにより、収納部３５への泳動媒体の導入（収納）が容易となる。
【００５７】
親水化処理の方法としては、例えば、プラズマ処理（例えば酸素プラズマ処理）、コロナ処理、溶媒による表面処理、界面活性剤による表面処理等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができるが、これらの中でも、特に、酸素プラズマ処理が好適である。酸素プラズマ処理によれば、比較的容易かつ確実に、親水化処理を行うことができる。
【００５８】
電気泳動部３（下部材３１、上部材３２）は、主として樹脂材料で構成されている。この樹脂材料としては、例えば、シリコーン系樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデンのようなフッ素系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、ポリ−（４−メチルペンテン−１）、アクリル系樹脂、ポリメチルメタクリレート、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ樹脂）、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ樹脂）、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル、ポリエーテル、ポリエーテルケトン（ＰＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリフェニレンオキシド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレート、芳香族ポリエステル（液晶ポリマー）等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００５９】
これらの中でも、電気泳動部３の構成材料としては、シリコーン系樹脂を主成分とするものが好ましい。シリコーン系樹脂を主成分とする材料は、微細加工が容易であること、自己接着性を有すること、透明性が高いこと、各種生体物質（分離対象物）との相互作用が低いこと等から好ましい。
【００６０】
また、電気泳動部３をシリコーン系樹脂を主成分とする材料で構成することにより、泳動媒体に通電した際に、泳動媒体に電気浸透流が生じることを防止することもできる。
【００６１】
このようなシリコーン系樹脂としては、例えば、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）、シリコーン系熱可塑性エラストマー等が挙げられるが、これらの中でも、特に、ＰＤＭＳが好適である。ＰＤＭＳは、前述したような効果に特に優れる。
【００６２】
本発明では、各電極４ａ、４ｂの構成材料に特徴を有している。すなわち、電極４ａ、４ｂの構成材料として、電気泳動部３を構成する樹脂材料を主材料とし、導電性材料を含んでなる電極材料を用いた。
【００６３】
これにより、各電極４ａ、４ｂと電気泳動部３との密着性を向上させることができ、その結果、収納部３５からの泳動媒体の漏れ出しを防止することができるとともに、泳動媒体に確実に通電を行うことができる。その結果、分離対象物の電気泳動をより高速かつ高精度に行うことができる。
【００６４】
また、導電性材料としては、例えば、各種炭素系材料、金、銀、銅、ニッケルまたはこれらの合金等の各種金属材料等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができるが、これらの中でも、特に、炭素系材料を主成分とするものが好ましい。炭素系材料は、シリコーン系樹脂中に均一に混合することが可能であり、また、電極材料の導電性を高いものとすることができる。
【００６５】
炭素系材料としては、例えば、カーボンナノチューブ、黒鉛、ダイヤモンド様炭素（ＤＬＣ）、フラーレン等が挙げられるが、これらの中でも、特に、カーボンナノチューブが好適である。炭素系材料としてカーボンナノチューブを用いることにより、電極材料中において、密に充填することが可能となり、電極材料に対して特に高い導電性を付与することができる。
【００６６】
導電性材料の電極材料中の含有量は、１〜８５ｗｔ％程度であるのが好ましい。特に、導電性材料としてカーボンナノチューブを用い、電極材料の主材料としてＰＤＭＳを用いる場合には、カーボンナノチューブの電極材料中の含有量は、１０〜５０ｗｔ％程度とするのが好適である。これにより、電極４ａ、４ｂと電気泳動部３との密着性を維持しつつ、電極材料の導電性を好適なものとすることができる。
【００６７】
そして、このような電極材料中の導電性材料の含有量、導電性材料の種類等を適宜設定することにより、電極材料の導電率を調整する。この電極材料の導電率を設定することにより、各電極４ａ、４ｂにおいて発熱が生じることを防止しつつ、泳動媒体への効率のよい通電を行うことができる。
【００６８】
このような電気泳動チップ１は、次のようにして使用される。
すなわち、まず、第１の孔３３に泳動媒体を供給する。これにより、泳動媒体は、毛細管現象により、収納部３５に展開し、第２の孔３４またはその近傍にまで到達する。
【００６９】
次に、第２の孔３４に、例えば分離対象物を分散（または溶解）させる液体（例えば緩衝液等）を供給する。
【００７０】
次に、分離対象物を液体に分散（または溶解）させたサンプルを、第１の孔３３に供給する。
【００７１】
次に、電極４ａ、４ｂ間に電圧を印加する。これにより、分離対象物は、泳動媒体中を第１の孔３３から第２の孔３４に向かって電気泳動する。
【００７２】
このとき、分離対象物が例えば標識化したＤＮＡ断片である場合、このＤＮＡ断片は、泳動媒体中で電気泳動度（分子量、塩基数）の違いにより分離される。
【００７３】
なお、このときの電流密度を適宜設定することにより、分離対象物をより高速かつ高精度で分離することが可能となる。
【００７４】
次に、泳動媒体中を電気泳動した分離対象物の位置を検出する。分離されたＤＮＡ断片は、バンドとして検出される。
【００７５】
このような電気泳動チップ１は、例えば、次のようにして製造することができる。
［１］  まず、例えばＳｉ基板５を用意し、このＳｉ基板５上に、例えばスピンコート等の塗布法により、レジスト材料６０を供給する（図４（ａ））。
【００７６】
なお、このＳｉ基板５上に供給したレジスト材料６０の硬化物は、後の工程［５］において、上部材３２に所望形状を形成するための形状転写用の型として用いられる。
【００７７】
このレジスト材料６０には、光が照射された部分が現像により溶解、除去されるポジ型のレジスト材料と、光が照射された部分が硬化し、それ以外の部分が現像により除去されるネガ型のレジスト材料があるが、いずれのものも使用可能である。
【００７８】
ここでは、レジスト材料６０として、ネガ型のレジスト材料を用いる場合を一例として示す。
【００７９】
［２］  次に、溝３２１および溝３６ａ、３６ｂの形状に対応する露光用マスク１０を重ね、露光用光をレジスト材料６０に照射して、レジスト材料６０を露光する（図４（ｂ））。
【００８０】
［３］  次に、レジスト材料６０の不要部分を、現像により除去する。これにより、Ｓｉ基板５上に、溝３２１および溝３６ａ、３６ｂの形状に対応したレジスト層６が形成される（図４（ｃ））。
【００８１】
［４］  次に、レジスト層６の表面に、例えば反応性イオンエッチング法等の気相成膜法により、フルオロカーボン処理（撥水処理）を施す。
【００８２】
［５］  次に、Ｓｉ基板５上に、レジスト層６を覆うように、電気泳動部３の上部材３２の形成用材料（未硬化または半硬化の樹脂材料）を供給した後、硬化させる（図４（ｄ））。
【００８３】
［６］  次に、Ｓｉ基板５から上部材３２を取り外した後、上部材３２の所定の位置に、例えばパイプ等を用いて、第１の孔３３および第２の孔３４を穿設（形成）する（図４（ｅ））。
【００８４】
また、前記工程［１］〜［６］とは別に、基板２上に、電気泳動部３の下部材３１を形成した後、下部材３１上の所定の位置に電極４ａ、４ｂを形成しておく。
【００８５】
なお、電極４ａ、４ｂは、電極４ａ、４ｂの形成用材料（未硬化または半硬化の樹脂材料中に導電性材料を混合してなる組成物）を下部材３１上に供給した後、硬化させることにより形成することができる。
【００８６】
［７］  次に、下部材３１と上部材３２とを接合する（図４（ｆ））。これにより、これらの間に収納部３５が画成される。
【００８７】
なお、この際、上部材３２の下面に、例えば酸素プラズマ処理等を施しておくことにより、上部材３２と下部材３１との密着性を向上させることができる。
【００８８】
［８］  次に、電気泳動部３の収納部３５に臨む部分に親水化処理を施す。
【００８９】
以上のような工程を経て、電気泳動チップ１が得られる。
このような製造工程によれば、電極４ａ、４ｂを形成するに際し、気相成膜法を用いる必要がないため、大掛かりな設備を必要とせず、電気泳動チップ１を安価に製造することができる。
【００９０】
また、下部材３１の構成材料（例えば、ＰＭＤＳ等）によっては、下部材３１上に気相成膜法を用いて電極４ａ、４ｂとなる金属薄膜を形成することが困難であるが、上述した方法では、気相成膜法を用いる必要がないため、容易に電気泳動チップ１を製造することができるという利点もある。
【００９１】
＜第２実施形態＞
次に、本発明の電気泳動チップの第２実施形態について説明する。
【００９２】
図５は、本発明の電気泳動チップの第２実施形態を示す縦断面図である。
以下、第２実施形態の電気泳動チップについて説明するが、前記第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００９３】
第２実施形態では、各電極４ａ、４ｂの設置位置が異なり、それ以外は、前記第１実施形態と同様である。
【００９４】
すなわち、図５に示す電気泳動チップ１は、下部材３１の第１の孔３３および第２の孔３４に対応する位置に、下部材３１の厚さ方向に貫通する貫通孔３１１ａ、３１１ｂが形成され、各貫通孔３１１ａ、３１１ｂ内に各電極４ａ、４ｂが設けられている。
【００９５】
この貫通孔３１１ａ、３１１ｂの形成方法としては、例えば、ハトメ加工やレーザー加工等が好適に使用される。ハトメ加工によれば、各貫通孔３１１ａ、３１１ｂを簡便に形成することができ、また、レーザー加工によれば、各貫通孔３１１ａ、３１１ｂを寸法精度よく形成することができる。
【００９６】
また、本実施形態では、電極４ａ、４ｂの形成を気相成膜法によらず、例えば、下部材３１に貫通孔３１１ａ、３１１ｂを形成し、かかる貫通孔３１１ａ、３１１ｂに、電極４ａ、４ｂの形成用材料を充填した後、硬化させるという簡便な方法で行うことができ、製造工程の簡略化を図ることができる。
【００９７】
このような第２実施形態の電気泳動チップ１によっても、前記第１実施形態と同様の作用・効果が得られる。
【００９８】
なお、以上のような各実施形態において、各電極４ａ、４ｂは、それぞれ、図示の構成のものに限定されるものではなく、例えば、第１の孔３３および第２の孔３４の底面、側面（内面）および上部材３２の上面に連続して設けられる構成のものであってもよい。この場合、かかる電極４ａ、４ｂは、例えば、電気泳動部３を形成した後、電極４ａ、４ｂの形成用材料を、泳動媒体の収納部３５（流路）を塞がないよう、第１の孔３３、第２の孔３４の底面から側面、そして上部材３２の上面へと塗布した後、硬化させることにより形成することができる。
【００９９】
以上、本発明の電気泳動チップについて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができ、任意の構成を付加することもできる。
【０１００】
例えば、本発明では、各前記実施形態の任意の２以上の構成を組み合わせることもできる。
【０１０１】
また、各前記実施形態では、２ポートタイプ（キャピラリー電気泳動チップ）の電気泳動チップについて説明したが、本発明は、４ポートタイプの電気泳動チップに適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の電気泳動チップの第１実施形態を示す上面図である。
【図２】図１に示す電気泳動チップの分解斜視図である。
【図３】図１に示す電気泳動チップの縦断面図である。
【図４】図１に示す電気泳動チップの製造方法を説明するための図である。
【図５】本発明の電気泳動チップの第２実施形態を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１        電気泳動チップ
２        基板
３        電気泳動部
３１      下部材
３１１ａ  貫通孔
３１１ｂ  貫通孔
３２      上部材
３２１    溝
３３      第１の孔
３４      第２の孔
３５      収納部
３６ａ    溝
３６ｂ    溝
４ａ      電極
４ｂ      電極
５        Ｓｉ基板
６        レジスト層
６０      レジスト材料
１０      露光用マスク
【図１】
2005055320.tif 000003
【図２】
2005055320.tif 000004
【図３】
2005055320.tif 000005
【図４】
2005055320.tif 000006
【図５】
2005055320.tif 000007