(57)【要約】【課題】  広範囲にわたって均一な強度分布で電子ビーム照射することができる大型の電子ビーム管を提供すること。【解決手段】  本発明の電子ビーム管は、出射窓が形成された真空容器の内部に電子ビーム発生器が設けられてなるものにおいて、当該電子ビーム発生器は、電子ビーム出射窓と対向する位置において、当該電子ビーム出射窓の長手方向のほぼ全体にわたって当該電子ビーム出射窓と平行に伸びるよう配設された帯状の熱電子発生部材とを備えてなる。また、電子ビーム発生器は、熱電子発生部材にその長手方向外方に対して張力を作用させる熱電子発生部材引張り機構を備えた構成とされていることが好ましい。【選択図】  図１
2005308479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子ビーム出射窓が形成された真空容器の内部に電子ビーム発生器が設けられてなる電子ビーム管において、
当該電子ビーム発生器は、電子ビーム出射窓と対向する位置において、当該電子ビーム出射窓の長手方向のほぼ全体にわたって当該電子ビーム出射窓と平行に伸びるよう配設された帯状の熱電子発生部材を備えてなることを特徴とする電子ビーム管。
【請求項２】
電子ビーム発生器は、熱電子発生部材にその長手方向外方に対して張力を作用させる熱電子発生部材引張り機構を備えていることを特徴とする請求項１に記載の電子ビーム管。
【請求項３】
熱電子発生部材引張り機構は、熱電子発生部材の長手方向における少なくとも一側に設けられた、それ自身の弾性により熱電子発生部材をその長手方向外方に引張る弾性体を具えていることを特徴とする請求項２に記載の電子ビーム管。
【請求項４】
弾性体が板状バネ材よりなることを特徴とする請求項３に記載の電子ビーム管。
【請求項５】
電子ビーム発生器には、熱電子発生部材から熱電子発生部材引張り機構に対して放射される熱を遮蔽する遮蔽部材が設けられていることを特徴とする請求項２乃至請求項４のいずれかに記載の電子ビーム管。
【請求項６】
電子ビーム発生器は、熱電子発生部材に対して電子ビームの出射方向に離間した位置において、当該熱電子発生部材を挟んで熱電子発生部材の長手方向に離間した状態で、各々熱電子発生部材と平行に伸びるよう配置された一対の加速電界形成用電極を具えており、  熱電子発生部材には、当該熱電子発生部材の、電子ビーム出射窓および加速電界形成用電極に対する位置ずれを防止するための位置ずれ防止部材が設けられていることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の電子ビーム管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子ビームを放射する電子ビーム管に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、例えば光ファイバーの外表面にコーティングされる樹脂の硬化処理や、印刷業界における印刷用インクの乾燥処理等において、短時間に処理を行うために、電子ビームが利用され始めており、かかる電子ビームを照射する器具としては、電子ビーム管が開発されている。この電子ビーム管は、真空容器内に電子ビーム発生器を具えてなり、先端に電子ビームを照射する窓部材を有すると共に当該窓部材に対向する側の基端面に当該基端面から突出する給電端子を有するものである。
このような電子ビーム管は、大型の真空装置を用いることなしに電子ビームを照射することができるという利点を有すると共に、それ自体が複雑な構造を有さず、小型で取扱が容易であるという利点を有する。
【０００３】
図８は、従来における電子ビーム管の一例における構成の概略を示す、正面方向から見た場合の説明用断面図であり、図９は、図８に示す電子ビーム管を構成する電子ビーム発生器の構成の概略を示す、側面方向から見た場合の説明用断面図である。
この電子ビーム管６０は、内部が真空雰囲気に維持された真空容器６１を具えてなり、この真空容器６１内に、電子ビーム発生器７０が配設されると共に導電体よりなる円筒状スリーブ部材８０が電子ビーム発生器７０の周囲を囲むよう真空容器６１の管軸と同軸状に配設されて構成されている。
【０００４】
真空容器６１は、図８において６１Ａの符号により示されている一方（以下、「前方」と称する。）側が開口すると共に図８において６１Ｂの符号により示されている他方（以下、「後方」と称する。）側が封止された管状のガラス製の管部材６２と、この管部材６２の開口を気密に塞ぐよう設けられた蓋部材６３とにより構成されている。
蓋部材６３には、電子ビーム発生器７０による電子ビームが通過する複数の開口部分６４が形成されており、これらの開口部分６４を気密に塞ぐよう窓部材６５が設けられ、これにより、電子ビーム出射窓６６が形成されている。
【０００５】
電子ビーム発生器７０は、図９に示されているように、熱電子発生部を構成する、中央が前方に突出するよう湾曲した形態を有する帯状体よりなるタングステンフィラメント７１と、このタングステンフィラメント７１を前端に有する電流供給板７２と、この電流供給板７２の両外面側において、各々第１の絶縁板７３を介して当該電流供給板７２に平行に配設され、その前端がタングステンフィラメント７１より前方に位置された一対の第１の導電板７４と、この一対の第１の導電板７４の両外面側において、各々第２の絶縁板７５を介して当該第１の導電板７４に平行に配設された一対の第２の導電板７６とから構成されており、この一対の第２の導電板７６の互いに対向する内面の前端には、第１の導電板７４の前端より更に前方に位置された加速電界形成用電極７７が形成されている。
【０００６】
このような電子ビーム管６０においては、電流供給板７２に電流が供給されることによりタングステンフィラメント７１から熱電子が発生され、この熱電子は、電流供給板７２と同じ電位に維持された第１の導電板７４の作用によってタングステンフィラメント７１の幅方向（図８において紙面に対して垂直な方向）に拡散しないよう規制された状態で、電流供給板７２の電位より相対的に正電位側に維持された加速電界形成用電極７７の作用により、図８において破線で示されているように、タングステンフィラメント７１の長手方向（図８において左右方向）に放射状に拡散されながら、前方に向かって引き出されることにより電子ビームとして放出されて電子ビーム出射窓６６から出射される。
【０００７】
而して、電子ビームを照射する被処理物が大面積のものである場合には、複数本例えば５本の電子ビーム管を、水平方向に二列（３本と２本）に並べると共に、一列目の電子ビーム管の中心軸を二列目の電子ビーム管の中心軸より電子ビーム管の配列方向に電子ビーム管の径の１／２の大きさに相当する距離だけ相対的にずらした状態で配置して電子ビーム照射装置を構成し、これにより、被処理物の電子ビーム照射処理が行われている。
【０００８】
而して、このような電子ビーム照射装置においては、被処理物上に帯状の電子ビーム照射領域が形成されることになるが、電子ビームの照射強度分布が均一な状態となるよう電子ビームを照射することが必要である。
しかしながら、上記構成の電子ビーム管を用いて電子ビーム照射装置を構成した場合においては、熱電子発生部を構成するタングステンフィラメント７１が電子ビームがタングステンフィラメント７１の長手方向に拡散されるよう中央部が前方に突出する弓状（弧状）の形態を有するものであるため、被処理物上における電子ビームの照射強度分布は、電子ビーム照射領域の中心部における強度が最も高く、中心部から外方に向かって徐々に強度が低くなる傾向にあり、均一な電子ビームの照射強度分布を得ることができない、という問題がある。
【０００９】
このような問題に対して、電子ビーム照射領域において均一な強度分布を得るために、電子ビーム管の配置パターン、例えば隣接する電子ビーム管の間の離間距離の大きさを調整する方法や、個々の電子ビーム管に係る電子ビームの照射特性を改良する方法など、種々提案されている。例えば特許文献１の特開平１１−３３９７０１号公報においては、熱電子発生部を構成する帯状のフィラメントの熱分布を均一な状態にすることにより、フィラメントの端部における熱電子放射量の低下を抑制し、熱電子をフィラメントの各位置から均一な量で放射し、これにより、電子ビームの照射強度分布の均一化を図る技術が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−３３９７０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記特許文献１に開示されている技術においては、複数の電子ビーム管の各々について電子ビームの照射強度を高い精度で制御する必要があるため、制御系が複雑化する、という問題がある。
また、電子ビーム管それ自体を大径化し、大面積の電子ビーム照射領域を得る方法が考えられるが、電子ビーム管を単純に大型化しただけでは、得られる電子ビームの照射強度分布は径が小さいものと同様のものであるので、電子ビームを均一に照射することができないことに加え、電子ビーム管を構成する蓋部材における、電子ビームの出力が高い中央部等に局所的な負荷がかかる場合があり、長い使用寿命を得ることができなかったり、フィラメントが自重あるいは熱膨張等によって弛むことにより、加速電界形成用電極等に対するフィラメントの位置が変位し、均一な電界を印加することが困難になったりする、という問題がある。
【００１１】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、広範囲にわたって均一な強度分布で電子ビーム照射することができる大型の電子ビーム管を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の電子ビーム管は、電子ビーム出射窓が形成された真空容器の内部に電子ビーム発生器が設けられてなる電子ビーム管において、
当該電子ビーム発生器は、電子ビーム出射窓と対向する位置において、当該電子ビーム出射窓の長手方向のほぼ全体にわたって当該電子ビーム出射窓と平行に伸びるよう配設された帯状の熱電子発生部材を備えてなることを特徴とする。
【００１３】
本発明の電子ビーム管においては、電子ビーム発生器は、熱電子発生部材にその長手方向外方に対して張力を作用させる熱電子発生部材引張り機構を備えた構成とされていることが好ましい。
この場合には、熱電子発生部材引張り機構は、熱電子発生部材の長手方向における少なくとも一側に設けられた、それ自身の弾性により熱電子発生部材をその長手方向外方に引張る弾性体を具えた構成とすることができ、弾性体は板状バネ材により構成することができる。
また、電子ビーム発生器には、熱電子発生部材から熱電子発生部材引張り機構に対して放射される熱を遮蔽する遮蔽部材が設けられていることが好ましい。
【００１４】
また、本発明の電子ビーム管においては、電子ビーム発生器は、熱電子発生部材に対して電子ビームの出射方向に離間した位置において、当該熱電子発生部材を挟んで熱電子発生部材の長手方向に離間した状態で、各々熱電子発生部材と平行に伸びるよう配置された一対の加速電界形成用電極を具えており、
熱電子発生部材には、当該熱電子発生部材の、電子ビーム出射窓および加速電界形成用電極に対する位置ずれを防止するための位置ずれ防止部材が設けられた構成とされていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の電子ビーム管によれば、電子ビーム出射窓、電子ビーム発生器における帯状の熱電子発生部材が互いに平行となる状態で設けられていると共に熱電子発生部材の長さが電子ビーム出射窓とほぼ同等の長さに設定されていることにより、熱電子発生部材から発生された熱電子が大面積にわたって均一に照射される。更に、加速電界形成用電極を熱電子発生部材と平行となる状態に調整することにより、この加速電界形成用電極の作用により、真空容器の管軸と平行に電子ビーム出射窓に向かって熱電子が加速されて電子ビームとして放出されるので、熱電子発生部材の長手方向において、更に均一な強度分布で電子ビームを照射することができる。
【００１６】
また、本発明の電子ビーム管によれば、帯状の熱電子発生部材が熱的に膨張するなどして弛みが生じた場合であっても、熱電子発生部材引張り機構により熱電子発生部材がその長手方向外方に引張られて熱電子発生部材の膨張分が吸収されるので、駆動時における熱電子発生部材の位置が加速電界形成用電極の配設位置に対して変位することを防止することができ、これにより、熱電子発生部材から放射される電子ビームに安定した加速電界を加えることができる。
【００１７】
また、熱電子発生部材引張り機構が熱電子発生部材の長手方向における少なくとも一側に設けられた、それ自身の弾性により熱電子発生部材をその長手方向外方に引張る弾性体を具えた構成とされていることにより、簡単な構造で十分な効果を得ることができる。
さらに、弾性体が板状バネ部材により構成されていることにより、板状バネ部材による熱電子発生部材に対する張力が面で作用されるので、熱電子発生部材の幅方向において均一に張力を作用させることができ、これにより、熱電子発生部材の長手方向以外の弛みによってねじれ等が生じることを確実に防止することができる。
【００１８】
また、熱電子発生部材から熱電子発生部材引張り機構に対して放射される熱を遮蔽する遮蔽部材が設けられていることにより、熱電子発生部材からの熱によって弾性体の弾性（バネ特性）が低下することが防止される結果、長時間にわたって所期のバネ特性を維持することができ、安定した電子放射を長期にわたって得ることができる。
【００１９】
さらに、位置ずれ防止部材が熱電子発生部材に設けられていることにより、熱電子発生部材のその幅方向の変位等が位置ずれ防止部材によって禁止されるので、熱電子発生部材が電子ビーム発生器を構成する他の機能部材に接触することを防止することができ、電子ビームを安定的に照射することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明について、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明の電子ビーム管の一例における構成の概略を示す、正面方向から見た場合の説明用断面図である。
この電子ビーム管１０は、内部が真空雰囲気に維持された略管状の真空容器１１を具えてなり、この真空容器１１内に、電子ビーム発生器２０が配設されると共に電子ビーム遮蔽用円筒状部材３０が電子ビーム発生器２０の周囲を囲むよう真空容器１１の管軸と同軸状に配設されて、構成されている。
【００２１】
真空容器１１は、例えばパイレックス（登録商標）ガラスよりなり、前方が開口する円筒状の胴部１２Ａとこの胴部１２Ａに連続して後方に伸びる沿面放電防止用スカート部１２Ｂとを有する管部材１２と、例えばシリコンよりなり、管部材１２の開口を気密に塞ぐよう設けられた蓋部材１５とにより構成されている。管部材１２におけるスカート部１２Ｂは、この管部材１２より径の小さな封止部材１３に向けて当該管部材１２の端部が湾曲されて形成されており、後端開口部がガラス製の封止部材１３により気密に封止されている。
蓋部材１５には、互いに径方向に離間した位置において、複数の矩形状の電子ビーム出射用開口部分１６が形成されており、これらの電子ビーム出射用開口部分１６を気密に塞ぐよう窓部材１７が設けられ、これにより、電子ビーム出射窓１８が形成されている。図１に示す電子ビーム管１０を側面上方から見た場合における蓋部材１５の全体形状を図２に示す。
【００２２】
この電子ビーム発生器２０は、例えば各々全体がＬ字型の扁平な形態を有する、導電体よりなる一対のフィラメント支持部材２１間に当該フィラメント支持部材２１の扁平な面方向に伸びるよう張架された状態で配設された、熱電子発生部材である例えばタングステンよりなる帯状のフィラメント２２とを具えている。
【００２３】
図３は、図１に示す電子ビーム管を構成する電子ビーム発生器の構成の概略を示す、側面方向から見た場合の説明用拡大断面図である。
フィラメント支持部材２１の両外面側には、各々間隙を介してフィラメント支持部材２１に平行に、かつ、その前端縁がフィラメント２２より前方に位置された状態で、一対の第１導電板２３が配設されていると共に、これらの一対の第１導電板２３の両外面側には、各々間隙を介して当該第１導電板２３と平行となる状態で、一対の第２導電板２４が配設されており、一対の第２導電板２４の互いに対向する内面の前端には、第１導電板２３の前端より更に前方に位置された一対の加速電界形成用電極２５が形成されている。
フィラメント２２は、その長手方向における両端部がそれぞれフィラメント支持部材２１の前端面に例えば溶接などにより固定されている。
また、一対の第１導電板２３および一対の第２導電板２４は、これらの一側縁部分および他側縁部分の各々において、絶縁材料よりなる適宜の固定用部材（図示せず）により固定されている。
【００２４】
フィラメント支持部材２１は、例えば、図４に示すように、フィラメントが固定される直方体状の前方部分２１Ａとこの前方部分２１Ａの内面側の端縁位置において後方に伸びるよう形成された後方部分２１Ｂとを有し、上述したように、全体がＬ字型の形態を有するものにより構成されており、後方部分２１Ｂがフィラメント２２から発生される熱を遮蔽するための遮蔽部材として機能する。ここに、フィラメント支持部材２１は、後述するフィラメント引張り機構４０を構成する板状バネ部材４１によってフィラメント２２に一定の張力を与えている。
【００２５】
図１において、３１は電子ビーム誘導部材であって、後端縁が電子ビーム遮蔽用円筒状部材３０の前端縁より後方に位置されるよう設けられた後方側筒状部分３１Ａと、この後方側筒状部分３１Ａに連続して前方に伸びるよう形成された、後方側筒状部分３１Ａより小径であって、電子ビーム出射窓形成領域を内包する大きさの内径を有する前方側筒状部分３１Ｂとを有してなり、電子ビーム発生器２０からの電子ビームを電子ビーム出射窓１８に誘導するためのものである。
また、３２，３３，３４は、内部リード棒であって、それぞれ、一端が給電端子３５、第１導電板２３および加速電界形成用電極２５が形成された第２導電板２４に接続され、他端が封止部材１３に気密に封止されたピン部材３６に接続されている。
【００２６】
また、この電子ビーム管１０においては、電子ビーム発生器２０に、フィラメント２２がその長手方向外方に引っ張られるよう張力を作用させる弾性体を具えてなるフィラメント引張り機構４０が設けられている。
具体的には、図４に示されているように、フィラメント引張り機構４０は、導電体よりなる板状バネ部材４１を具えてなり、この板状バネ部材４１が、フィラメント２２に対して所要の大きさの張力が作用されるよう弾性的に変形された状態において、一端４１Ａにおける内面がフィラメント支持部材２１における前方部分２１Ａの外側面に固定されて設けられると共に他端４１Ｂにおける内面が給電端子３５の外側面に固定されて設けられており、これにより、板状バネ部材４１それ自身の弾性により、フィラメント２２に対してその長手方向外方に一定の大きさの張力が作用される構成とされている。
【００２７】
フィラメント引張り機構４０を構成する板状バネ部材４１による張力の大きさは、フィラメント２２が破断されず、かつ、通電時の熱膨張分が十分に吸収されるよう、フィラメント２２を構成する材料の剛性、あるいは幅および厚み等の構成に応じて適正な大きさに調整されている。
【００２８】
さらに、この電子ビーム管１０においては、フィラメント２２の自重によりあるいはフィラメント２２の熱膨張によりフィラメント２２が弛むことによってフィラメント２２が第１導電板２３に接触することを禁止する、絶縁材料よりなるフィラメント位置ずれ防止部材４５が設けられている。
フィラメント位置ずれ防止部材４５は、例えばフィラメント２２の幅方向に伸びる柱状の軸部分４６とこの軸部分４６の両外面に設けられた円板状部分４７とを有してなり、例えば各々の円板状部分４７の外面が一対の第１導電板２３の内面に対接されてこれらによって挟持された状態で支持されて設けられている（図３参照。）。そして、２つの円板状部分４７の間に形成される凹所４８内に、フィラメント２２が円板状部分４７の内面に沿って案内される状態とされている。
【００２９】
フィラメント位置ずれ防止部材４５は、フィラメント２２の外端側部分、すなわちフィラメント支持部材２１に近接した位置に設けられていることが好ましい。これにより、フィラメント２２に生じた弛みを吸収するためにフィラメント引張り機構４０が作動された場合に、フィラメント２２の幅方向の位置ずれが生ずることを確実に防止することができると共に、フィラメント位置ずれ防止部材４５を支点としてフィラメント２２が引っ張られることとなるため、電子ビーム出射窓１８に対して平行に維持される部分の大きさを十分に確保することができる結果、均一な強度分布を有する所要の大きさの電子ビーム照射領域を確実に得ることができる。
【００３０】
図１における本発明の電子ビーム管１０の具体的な構成の数値例を示すと、真空容器１１は、例えば内径が１５０〜１３０ｍｍ、全長（沿面放電防止用スカート部１２Ｂを含む）が２１０〜２００ｍｍのものであり、蓋部材１５は、例えば直径が１６０〜１４０ｍｍ、電子ビーム出射窓１８における最外端の電子ビーム出射用開口部分１６間の距離（電子ビーム通過領域の長さ）が１３０〜１００ｍｍ、各々の電子ビーム出射用開口部分１６の幅が１２０〜１１０ｍｍのものであり、フィラメント２２は、例えば長さが１２０〜９０ｍｍ、幅が３〜０．１ｍｍ、厚みが１．０〜０．０１ｍｍのものであり、加速電界形成用電極２５は、例えば長さが１２５〜９５ｍｍのものであり、フィラメント２２より前方に２０〜１ｍｍ離間した位置において、加速電界形成用電極２５間の離間距離の大きさが１０〜０．１ｍｍとなる状態で配設されている。
【００３１】
この電子ビーム管１０においては、給電端子３５に電流が供給されることにより、フィラメント２２から熱電子が発生され、この熱電子が、これらのフィラメント２２と同じ電位に維持された第１導電板２３の作用によってフィラメント２２の幅方向（図１において紙面に対して垂直な方向）に拡散されないよう規制された状態で、フィラメント２２の電位より相対的に正電位側に維持された第２導電板２４の作用により、前方に向かって引き出されて電子ビームとして放出される。この電子ビームが電子ビーム誘導部材３１によって誘導されて電子ビーム出射窓１８から出射される。
【００３２】
而して、上記構成の電子ビーム管１０によれば、電子ビーム出射窓１８、加速電界形成用電極２５および帯状のフィラメント２２の三者が互いに平行となる状態で設けられていると共にフィラメント２２の長さが電子ビーム出射窓１８の大きさとの関係において設定された特定の大きさとされていることにより、フィラメント２２から発生された熱電子が加速電界形成用電極２５の作用により、真空容器１１の管軸と平行に電子ビーム出射窓１８に向かって加速されて電子ビームとして放出されるので、広範囲にわたってフィラメント２２の長手方向において均一な強度分布で電子ビームを照射することができる。具体的には、例えば電子ビームの照射強度のバラツキの程度が２５％以下となる有効電子ビーム照射領域を、電子ビーム照射領域（全長）と実質的に同一の大きさとすることができる。
【００３３】
また、帯状のフィラメント２２がその自重によりあるいは熱的に膨張するなどして弛みが生じた場合であっても、フィラメント引張り機構４０によりフィラメント２２がその長手方向外方に引張られてフィラメント２２の熱膨張分が吸収されるので、駆動時におけるフィラメント２２の位置が第２導電板２４の配設位置に対して変位することを確実に防止することができ、これにより、フィラメント２２から放射される電子ビームに安定した加速電界を作用することができ、安定した電子ビームの照射出力を得ることができる。従って、電子ビーム管の駆動時におけるフィラメント２２の弛みをフィラメント引張り機構４０によって確実に吸収することができるので、実際上、フィラメント２２の長さに関する制約がなくなり、電子ビーム管１０の大径化を図ることができる。
【００３４】
また、フィラメント引張り機構４０がフィラメント２２の長手方向における少なくとも一側に設けられた、それ自身の弾性によりフィラメント２２をその長手方向外方に引張る板状バネ部材を具えた構成とされていることにより、簡単な構造で、十分なフィラメント２２の弛み吸収効果が得られると共に、板状バネ部材４１によるフィラメント２２に対する張力が面で作用されるので、フィラメント２２の幅方向において均一に張力を作用させることができ、これにより、フィラメント２２の長手方向以外の弛みによってフィラメント２２にねじれ等が生じることを確実に防止することができる。
【００３５】
また、フィラメント引張り機構を構成する板状バネ部材４１を覆うよう設けられた、フィラメント支持部材２１における後方部分２１Ｂが、フィラメント２２から放射される熱を遮蔽する遮蔽部材として機能するので、フィラメント２２の発熱によって板状バネ部材４１のバネ特性が低下することが防止される結果、板状バネ部材４１の所期の特性を長期間にわたって維持することができ、安定した電子放射を長期にわたって得ることができる。
【００３６】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、フィラメント引張り機構は上記構成に限定されるものではなく、図５および図６に示されているような構成であってもよい。
すなわち、このフィラメント引張り機構５０は、フィラメント２２の幅方向に伸びる回動軸５５を中心に回動可能に軸支された状態で給電端子３５に設けられた可動シャフト５１と、一端における外側面がフィラメント支持部材２１の内側面に対接されると共に他端における外側面が給電端子３５の前端面に固定されて設けられた、導電体よりなる板状部材５２とを具えており、フィラメント支持部材２１の後端部分が可動シャフト５１に固定されて設けられてなる。図５において、５３は、板状部材５２を覆うよう設けられた、フィラメント２２から放射される熱を遮蔽するための遮蔽部材であり、前端縁がフィラメント２２の長手方向外方に向かって傾斜する状態で前方に伸びるよう設けられている。
板状部材５２は、その中央部が外方に突出するよう弧状に弾性的に変形された状態とされており、これにより、板状部材５２それ自身の弾性により、フィラメント２２に対してその長手方向外方に張力が作用される構成とされている。
【００３７】
このような構成のフィラメント引張り機構５０においては、フィラメント２２に弛みが生じた場合には、板状部材５２の弾性によってフィラメント支持部材２１が固定された可動シャフト５１がフィラメント２２の長手方向外方に押圧されることにより、可動シャフト５１が回動軸５５を中心に回動されてフィラメント２２がその長手方向外方に引っ張られ、これにより、フィラメント２２の弛みが吸収されて、フィラメント２２に対して一定の張力が作用された状態が維持される。
【００３８】
また、図７に示されているように、フィラメント引張り機構４０は、フィラメント２２の両外側に設けられている必要はなく、フィラメント２２の少なくとも一側に設けられていればよい。
【００３９】
また、本発明の電子ビーム管においては、フィラメント位置ずれ防止部材が設けられていなくてもよく、このような構成のものにおいても、実用上十分な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の電子ビーム管の一例における構成の概略を示す、正面方向から見た場合における説明用断面図である。
【図２】図１に示す電子ビーム管を側面上方から見た場合における蓋部材の全体形状を示す説明用平面図である。
【図３】図１に示す電子ビーム管を構成する電子ビーム発生器の構成の概略を示す側面方向から見た場合における説明用拡大断面図である。
【図４】フィラメント引張り機構の一例における構成の概略を示す説明用斜視図である。
【図５】フィラメント引張り機構の他の例における構成の概略を示す正面図である。
【図６】図５に示すフィラメント引張り機構の構成の概略を示す説明用斜視図である。
【図７】フィラメント引張り機構の更に他の例における構成の概略を示す正面図である。
【図８】従来における電子ビーム管の一例における構成の概略を示す、正面方向から見た場合における説明用断面図である。
【図９】図８に示す電子ビーム管を構成する電子ビーム発生器の構成の概略を示す、側面方向から見た場合における説明用断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１０  電子ビーム管
１１  真空容器
１２  管部材
１２Ａ  胴部
１２Ｂ  沿面放電防止用スカート部
１３  封止部材
１５  蓋部材
１６  電子ビーム出射用開口部分
１７  窓部材
１８  電子ビーム出射窓
２０  電子ビーム発生器
２１  フィラメント支持部材
２１Ａ  前方部分
２１Ｂ  後方部分
２２  フィラメント
２３  第１導電板
２４  第２導電板
２５  加速電界形成用電極
３０  電子ビーム遮蔽用円筒状部材
３１  電子ビーム誘導部材
３１Ａ  後方側筒状部分
３１Ｂ  前方側筒状部分
３２，３３，３４  内部リード棒
３５  給電端子
３６  ピン部材
４０  フィラメント引張り機構
４１  板状バネ部材
４１Ａ  一端
４１Ｂ  他端
４５  フィラメント位置ずれ防止部材
４６  軸部分
４７  円板状部分
４８  凹所
５０  フィラメント引張り機構
５１  可動シャフト
５２  板状部材
５３  遮蔽部材
５５  回動軸
６０  電子ビーム管
６１  真空容器
６２  管部材
６３  蓋部材
６４  開口部分
６５  窓部材
６６  電子ビーム出射窓
７０  電子ビーム発生器
７１  タングステンフィラメント
７２  電流供給板
７３  第１の絶縁板
７４  第１の導電板
７５  第２の絶縁板
７６  第２の導電板
７７  加速電界形成用電極
８０  円筒状スリーブ部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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