(57)【要約】【課題】  ノズル部から噴射される流体の直前の圧力を均一にし、かつノズル部の長さの影響を小さくして、流体噴射が精密に行われる、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置を提供する。【解決手段】  本発明は、内部に流体が流入できる空間が提供されるケース；流体を噴射可能にケースに結合され、互いに対向して配置される一対のノズルガイド装置；ノズルガイド装置の間に配置され、ノズルガイド装置の間隔を調節する間隔調節板；ノズルガイド装置と間隔調節板とを結合する結合手段を含む。ノズル部の加工が容易であるので、流体噴射装置の製作費用を減らすことができ、さらにノズル部が均一な隙間又は空間を有するので、流体噴射の精度を高めることができる。流体がケース内の管路を通る構成では、流体流入方向とほぼ直角方向に排出孔が管路に提供され、全体的に流体の流速及び流量を一定にすることができるので流体噴射の精度を一層高めることができる。【選択図】  図１
2005013988.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に流体が流入できる空間が提供されるケース；
前記流体を噴射することができるように前記ケースに結合され、互いに対向して配置される一対のノズルガイド装置；
前記ノズルガイド装置の間に配置され、前記ノズルガイド装置の間隔を調節する一つ以上の間隔調節板；
前記ノズルガイド装置と前記間隔調節板とを結合する結合手段；
を含むことを特徴とする、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置。
【請求項２】
内部に流体が流入できる空間が提供されるケース；
前記ケースに結合され、前記流体を噴射することができるノズル部を備え、前記ノズル部に流体の圧力を調節することができるように前記ケースの空間と連結される圧力調節空間が備えられたノズルガイド装置；
を含むことを特徴とする、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置。
【請求項３】
内部に流体が流入できる空間が提供されるケース；
前記ケースに結合され、前記流体を噴射することができるノズル部を備えたノズルガイド装置；
前記ケースに提供された空間に配置され、流体供給装置に連結されて流体の供給を受けることができ、一定の間隔で複数の流体排出孔が提供された管路；
を含むことを特徴とする、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置。
【請求項４】
前記ケースに提供された空間に配置され、流体供給装置に連結されて流体の供給を受けることができ、一定の間隔で複数の流体排出孔が提供された管路をさらに含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置。
【請求項５】
前記一対のノズルガイド装置の互いに対向する部分に、流体の圧力を調節することができるように圧力調節空間がさらに備えられることを特徴とする、請求項１または３に記載の平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置。
【請求項６】
前記流体排出孔は、前記ノズルガイド装置を通じて流体が噴射される方向と反対方向に出口が形成されることを特徴とする、請求項４に記載の平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置。
【請求項７】
前記ノズルガイド装置は、互いに締結手段によって結合されるように一対に構成され、互いに対向する部分にノズル部の間隔を調節することができる複数の間隔調節板が提供されることを特徴とする、請求項２または３に記載の平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置。
【請求項８】
前記締結手段は、ボルト及びナット結合またはネジ結合からなることを特徴とする、請求項１に記載の平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体噴射装置に関し、より詳しくは、平板ディスプレイを製造する時に各種流体を噴射させて平板ディスプレイパネルの表面を処理するのに利用され噴射される流体の精度を高めるための、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、平板ディスプレイを製造する時に利用される表面処理用流体噴射装置は、パネルの幅より大きい程度の比較的長い形態を有し、流体が噴射される先端部分に段差が形成される。このように流体噴射装置のノズル先端部分に段差が形成される構造は、内部表面を均一に加工し難い点があり、ノズル部の間隔も均一でないため、噴射される流体の精密度を下げるという問題点がある。
【０００３】
また、従来の流体噴射装置は、流体がノズル部から噴射される直前の圧力が均一でない場合が生ずるため、平板ディスプレイの表面を処理するのに精密度を下げるという問題点がある。
【０００４】
また、従来の流体噴射装置は、流体が供給されて噴射される過程で流体噴射装置の噴射ノズル部の長さによって流体の分配及び流速が均一でないため、やはり流体噴射が精確に行われない問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、前記問題点を解決するために提案されたものであって、本発明の目的は、比較的長く形成されるノズル部の間隔を一定にして、流体噴射の精度を高めることができる、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置を提供することにある。
【０００６】
また、本発明は、流体がノズル部から噴射される直前の圧力を極力均一にして、流体噴射の精度を高めることができる、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置を提供することにある。
【０００７】
また、本発明は、ノズル部の長さの影響を小さくし、流体の分配が均一に行われ、流体噴射が精確に行われるようにする、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的を達成するために、本発明は、内部に流体が流入できる空間が提供されるケース；前記流体を噴射することができるように前記ケースに結合され、互いに対向して配置される一対のノズルガイド装置；前記ノズルガイド装置の間に配置され、前記ノズルガイド装置の間隔を調節する一つ以上の間隔調節板；前記ノズルガイド装置と前記間隔調節板とを結合する結合手段を含む、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置を提供する。
【０００９】
また、本発明は、内部に流体が流入できる空間が提供されるケース；前記ケースに結合され、前記流体を噴射することができるノズル部を備え、前記ノズル部に流体の圧力を調節することができるように前記ケースの空間と連結される圧力調節空間が備えられたノズルガイド装置；を含む、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置を提供する。
【００１０】
また、本発明は、内部に流体が流入できる空間が提供されるケース；前記ケースに結合され、前記流体を噴射することができるノズル部を備えたノズルガイド装置；前記ケースに提供された空間に配置され、流体供給装置に連結されて流体の供給を受けることができ、一定の間隔で複数の流体排出孔が提供された管路；を含む、平板ディスプレイ表面処理用流体噴射装置を提供する。
【００１１】
このように構成される本発明は、ケースの空間またはその空間に提供される管路に別途の流体供給装置から一定の圧力で流体が供給されれば、管路に提供された排出孔に流体の排出が行われ、前記排出孔に沿って誘導された流体は、ノズル部の全領域（ノズル部全体）で圧力調節空間に流入し、この時、噴射される流体はノズル部全体で比較的均一な圧力に形成される。引続き、ノズル部またはノズルガイド装置と間隔調節板とが構成している隙間に沿って流体が噴射される。したがって、ノズル部から比較的均一な圧力で流体が噴射されるので、流体噴射の精度を高めることができる。また、前記間隔調節板は、ノズルガイド装置に段差を形成せずに加工した後、ノズルガイド装置のノズル部の間隔を均一に維持する。このような構造は、加工が容易であるだけでなく、流体噴射を精密に行うのに役に立つ。
【発明の効果】
【００１２】
本発明は比較的長く形成されるノズル部の加工が非常に容易であるので、流体噴射装置の製作費用を減らすことができ、さらにノズル部が均一な隙間または空間を有するので、流体噴射の精密度を高めることができる効果を有する。
【００１３】
また、流体がケースに提供された管路を通り、噴射される方向と反対方向（または流体流入方向と直角方向）に排出孔が提供されて、流体の速度成分が均一に変わりながら流速及び流量を一定にすることができるので、流体噴射の精度を一層高めることができる効果を有する。
【００１４】
また、流体がノズル部から噴射される直前に圧力調節空間を通じて均一に圧力が調節されるので、流体噴射の精度をさらに高めることができる効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
【００１６】
図１は本発明による実施例を説明するための斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ線に沿った断面図で、流体噴射装置を示している。前記流体噴射装置は、内部に空間が提供されたケース１、前記ケース１に結合されるノズルガイド装置３、５、そして、前記ケース１に提供された空間１ａに配置され、流体の供給を受ける管路７を含む。前記流体は水または薬液などの液体であってもよく、清浄空気などの気体であってもよい。
【００１７】
前記ケース１は、比較的長い形態に形成され、内部に提供される空間１ａは、長さ方向に配置される。前記ケース１は、空間１ａに管路７が配置され、別途の流体供給装置（図示せず）によって流体が一側から内部に供給される構造を有する。前記流体供給装置から供給される流体は、フィッティング９を通じてケース１の側面に流入して前記管路７に流入するのが好ましい。管路７を省略し、直接ケース１の空間１ａに流体を流入されることも可能である。前記管路７は、図面の上側方向に排出孔７ａが等間隔に提供される。前記排出孔７ａは、流体がケース１の側面に流入する場合、それと直角方向（図面で上側方向）に排出されて、ケース１の内部空間１ａに流入する構造を有する。
【００１８】
前記ノズルガイド装置３，５は、２個形成されることもでき、互いに対向する面は段差なく加工され、その間に複数の間隔調節板１１を配置する。前記間隔調節板１１と前記ノズルガイド装置３，５とが接触する部分の一側には、前記ケース１に提供された空間１ａと連結される通路１０（隣接して配置される間隔調節板の間の部分）が提供されて、流体がノズルガイド装置３，５のノズル部１３（先端を意味する）側に噴射される。
【００１９】
そして、前記ノズルガイド装置３，５及び前記間隔調節板１１は、ボルト及びナット、またはネジなどの締結手段によって互いに締結される。本発明はこのような例に限定されず、設計によって様々な締結構造が可能である。
【００２０】
一方、前記ノズルガイド装置３，５は、ノズル部１３側に長さ方向に流体の圧力を調節するための圧力調節空間１５が備えられる。前記圧力調節空間１５は、流体がノズル部１３を通じて排出される場合、流体が一定の圧力を維持した状態で噴射されるようにする。もちろん、前記ケース１に提供された空間１ａも、側面に供給された流体が管路７を通じて流入した場合、排出孔７ａを通って空間１ａに流入する間に流体の圧力及び流量が一定の状態に調節されて、精密な流体噴射が行われるようにする。
【００２１】
このように構成される本発明の実施例に対して、流体の噴射される過程を詳細に説明する。
【００２２】
流体供給装置（図示せず）によって流体がケース１の側面に供給されれば、前記流体は管路１に流入し、流体が流入する方向とほぼ直角方向に形成された排出孔７ａを通ってケース１の空間１ａに流入する。この過程で、流体は、方向が変わりながら速度成分が全て均一になり、流量及び圧力が一定に調節されて、前記ノズルガイド装置３，５と前記間隔調節板１１とが形成する通路１０に沿ってノズル部１３を通って噴射される。この時、前記ノズル部１３側に圧力調節空間１５がある場合には、前記流体は、ここに一時的に集まって圧力が均一に調節され、圧力が均一に調節された流体は、ノズル部１３を抜け出ながら均一な噴射が行われる。
【００２３】
このように、本発明は、ノズル部１３の間隔を単に間隔調節板１１で調節する技術的構成を通じてノズルガイド装置３，５の対向する面を容易に加工することができるので、製作費用を減らすことができる利点がある。また、ケース１のある一側から流体が供給されてもケース１の内部空間１ａまたは圧力調節空間１５に流体が流入して流体が緩衝される役割を果たすので、一定の圧力及び流量で比較的長いノズル部１３を通って均一な圧力で流体が噴射されて、流体噴射の精密度を高め、高い精密度が要求される平板ディスプレイの表面処理を理想的に行うことができる。また、本発明は流体が均一に噴射されるので、流体の消費量を最適化することができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明による実施例を説明するための斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ部を切開して示した断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ部を切開して示した断面図である。
【符号の説明】
【００２５】
１  ケース
１ａ  ケースに提供された空間
３，５  ノズルガイド装置
７  管路
７ａ  排出孔
１０  通路
１１  間隔調節板
１３  ノズル部
１５  圧力調節空間  
【図１】
2005013988.tif 000003
【図２】
2005013988.tif 000004
【図３】
2005013988.tif 000005