(57)【要約】【課題】変更取消の指示のみで、短時間で現在の在庫状態、履歴を変更前の状態に戻す。【解決手段】現在ロット情報テーブル１３、現在物品情報テーブル１４、イベント履歴テーブル１６、ロット情報履歴テーブル１８、物品情報履歴テーブル２０を備え、ロット及び各物品の在庫管理に関する変更の指示に応じて、変更のイベント情報をイベント履歴テーブルに追加登録し、現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルの内容を更新し、ロット履歴をロット情報履歴テーブルに追加登録し、物品履歴を物品情報履歴テーブルに追加登録する。さらに、変更取消の指示に応じて、変更取消のイベント情報をイベント履歴テーブルに追加登録し、ロット情報履歴テーブルに記憶保持された一つ前のロット履歴及び物品情報履歴テーブルに記憶保持された一つ前の物品履歴を用いて、在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルの内容を変更前の状態へ戻す。【選択図】      図１
2005284979.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の物品で構成されたロットの現在の在庫状態を記憶する現在ロット情報テーブルと、
前記ロットを構成する各物品の現在の在庫状態を記憶する複数の現在物品情報テーブルと、
在庫管理に関するイベント情報を時系列的に記憶保持するためのイベント履歴テーブルと、
前記現在ロット情報テーブルの各更新時における在庫状態を示すロット履歴を時系列的に記憶保持するためのロット情報履歴テーブルと、
前記現在物品情報テーブルの各更新時における在庫状態を示す物品履歴を時系列的に記憶保持するための物品情報履歴テーブルと、
外部から入力されるロット及び各物品の在庫管理に関する変更の指示に応じて、変更のイベント情報をイベント履歴テーブルに追加登録し、前記現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルの内容を更新し、ロット履歴をロット情報履歴テーブルに追加登録し、物品履歴を物品情報履歴テーブルに追加登録する変更処理手段と、
外部から入力される変更取消の指示に応じて、変更取消のイベント情報をイベント履歴テーブルに追加登録し、前記ロット情報履歴テーブルに記憶保持された一つ前のロット履歴及び前記物品情報履歴テーブルに記憶保持された一つ前の物品履歴を用いて、前記現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルの内容を変更前の状態へ戻す変更取消処理手段と
を備えたことを特徴とする在庫管理システム。
【請求項２】
前記変更処理手段は、今回追加登録するイベント情報を特定するイベント履歴番号を前記現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルに書込み、かつ、今回追加登録するイベント情報を特定するイベント履歴番号及び前回追加登録したイベント情報を特定する前回イベント履歴番号を、前記追加登録するロット履歴及び物品履歴に書込み、
前記変更取消処理手段は、前記現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルに書込まれたイベント履歴番号、ロット情報履歴テーブル及び物品情報履歴テーブルに書込まれたイベント履歴番号及び前回イベント履歴番号に基づいて、前記一つ前のロット履歴及び一つ前の物品履歴を特定する
ことを特徴とする請求項１記載の在庫管理システム。
【請求項３】
前記物品はウエハであることを特徴とする請求項１又は２記載の在庫管理システム。
【請求項４】
複数の物品で構成されたロットの現在の在庫状態を記憶する現在ロット情報テーブルと、前記ロットを構成する各物品の現在の在庫状態を記憶する複数の現在物品情報テーブルと、在庫管理に関するイベント情報を時系列的に記憶保持するためのイベント履歴テーブルと、前記現在ロット情報テーブルの各更新時における在庫状態を示すロット履歴を時系列的に記憶保持するためのロット情報履歴テーブルと、前記現在物品情報テーブルの各更新時における在庫状態を示す物品履歴を時系列的に記憶保持するための物品情報履歴テーブルとを有する在庫管理システムに組込まれる在庫管理プログラムにおいて、
コンピユータを、
外部から入力されるロット及び各物品の在庫管理に関する変更の指示に応じて、変更のイベント情報をイベント履歴テーブルに追加登録し、前記現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルの内容を更新し、ロット履歴をロット情報履歴テーブルに追加登録し、物品履歴を物品情報履歴テーブルに追加登録する変更処理手段と、
外部から入力される変更取消の指示に応じて、変更取消のイベント情報をイベント履歴テーブルに追加登録し、前記ロット情報履歴テーブルに記憶保持された一つ前のロット履歴及び前記物品情報履歴テーブルに記憶保持された一つ前の物品履歴を用いて、前記現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルの内容を変更前の状態へ戻す変更取消処理手段と
として機能させることを特徴とする在庫管理プログラム。
【請求項５】
前記変更処理手段は、今回追加登録するイベント情報を特定するイベント履歴番号を前記現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルに書込み、かつ、今回追加登録するイベント情報を特定するイベント履歴番号及び前回追加登録したイベント情報を特定する前回イベント履歴番号を、前記追加登録するロット履歴及び物品履歴に書込み、
前記変更取消処理手段は、前記現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルに書込まれたイベント履歴番号、ロット情報履歴テーブル及び物品情報履歴テーブルに書込まれたイベント履歴番号及び前回イベント履歴番号に基づいて、前記一つ前のロット履歴及び一つ前の物品履歴を特定する
ことを特徴とする請求項４記載の在庫管理プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は多数の物品をロット単位及び各物品単位で在庫管理する在庫管理システム及びこの在庫管理システムに組込まれる在庫管理プログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体製造工場を含む各種の製造工場においては、工場で順次製造される部品、製品等の各種の物品の在庫管理は重要な業務である。このような在庫管理を専門に実施する在庫管理システムにおいては、一般的に、多数の物品をロット単位及び各物品単位で在庫管理する。このような在庫管理システムに要求される機能として、
多数の物品におけるロット単位及び各物品単位の現在時点における最新の在庫状態
ロット単位及び各物品単位の過去から現在時点までにおける在庫状態の履歴
在庫受入、変更、条件変更、変更取消等の在庫管理に関する各種のイベントのイベント履歴
の記憶保持、検索が挙げられる。
【０００３】
したがって、一種のコンピュータで構成された在庫管理システムにおいては、例えばＨＤＤ内に構成されたデータベース内に、前述した現在の在庫状態、在庫状態の履歴、及びイベント履歴を記憶保持している。そして、操作員（オペレータ）が、在庫受入、変更、条件変更等の在庫管理に関する各種のイベントを入力すると共に、現在の在庫状態に対する変更（更新）操作を行う。
【０００４】
イベントの入力操作と現在の在庫状態に対する変更（更新）操作が操作員（オペレータ）にて実施されると、自動的に在庫状態の履歴に新規の履歴が追加登録される。
【０００５】
なお、関連する技術として、特許文献１に、半導体装置製造用生産システムが提唱されている。
【特許文献１】特開２０００―１２４１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように、現在の在庫状態に対する変更（更新）操作が実施されると、比較的短時間で、在庫状態の履歴に新規の履歴が追加登録される。  
しかし、操作員（オペレータ）が、一旦、イベントの入力操作と現在の在庫状態に対する変更（更新）操作を実施した後に、この変更（更新）操作が誤りであることに気付く場合がある。このような場合、操作員（オペレータ）は、変更後の現在の在庫状態を変更前の在庫状態に変更する操作を行えばよい。
【０００７】
しかし、この操作は、後から第３者が見ると、変更を２回連続して実施しているので、正常な変更を２回連続して実施したのか、変更（更新）取消操作を実施したのかの区別がつかない。
【０００８】
操作員（オペレータ）による変更取消の指示のみで、現在の在庫状態、在庫状態の履歴を変更前の状態に戻すことは、在庫状態の履歴が存在するので理論的に可能であるが、多大の処理時間を必要とした。  
さらに、従来の在庫管理システムにおいては、在庫状態の履歴を記憶保持するために多大の記憶容量が必要であった。
【０００９】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、操作員（オペレータ）による変更取消の指示のみで、変更取消のイベントとしてイベント履歴に記憶保持され、短時間で現在の在庫状態、在庫状態の履歴を変更前の状態に戻すことができ、高速化を図り、かつ必要な記憶容量を減少できる在庫管理システム及び在庫管理プログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解消するために、本発明の在庫管理システムにおいては、複数の物品で構成されたロットの現在の在庫状態を記憶する現在ロット情報テーブルと、ロットを構成する各物品の現在の在庫状態を記憶する複数の現在物品情報テーブルと、在庫管理に関するイベント情報を時系列的に記憶保持するためのイベント履歴テーブルと、現在ロット情報テーブルの各更新時における在庫状態を示すロット履歴を時系列的に記憶保持するためのロット情報履歴テーブルと、現在物品情報テーブルの各更新時における在庫状態を示す物品履歴を時系列的に記憶保持するための物品情報履歴テーブルと、外部から入力されるロット及び各物品の在庫管理に関する変更の指示に応じて、変更のイベント情報をイベント履歴テーブルに追加登録し、現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルの内容を更新し、ロット履歴をロット情報履歴テーブルに追加登録し、物品履歴を物品情報履歴テーブルに追加登録する変更処理手段と、外部から入力される変更取消の指示に応じて、変更取消のイベント情報をイベント履歴テーブルに追加登録し、ロット情報履歴テーブルに記憶保持された一つ前のロット履歴及び物品情報履歴テーブルに記憶保持された一つ前の物品履歴を用いて、現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルの内容を変更前の状態へ戻す変更取消処理手段とを備えている。
【００１１】
さらに、別の発明は、上述した発明の在庫管理システムにおいて、変更処理手段は、今回追加登録するイベント情報を特定するイベント履歴番号を現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルに書込み、かつ、今回追加登録するイベント情報を特定するイベント履歴番号及び前回追加登録したイベント情報を特定する前回イベント履歴番号を、前記追加登録するロット履歴及び物品履歴に書込む。
【００１２】
変更取消処理手段は、現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルに書込まれたイベント履歴番号、ロット情報履歴テーブル及び物品情報履歴テーブルに書込まれたイベント履歴番号及び前回イベント履歴番号に基づいて、一つ前のロット履歴及び一つ前の物品履歴を特定する。
【００１３】
さらに、別の発明は、上述した発明の在庫管理システムにおいて、物品はウエハである。
【００１４】
また別の発明は、複数の物品で構成されたロットの現在の在庫状態を記憶する現在ロット情報テーブルと、ロットを構成する各物品の現在の在庫状態を記憶する複数の現在物品情報テーブルと、在庫管理に関するイベント情報を時系列的に記憶保持するためのイベント履歴テーブルと、現在ロット情報テーブルの各更新時における在庫状態を示すロット履歴を時系列的に記憶保持するためのロット情報履歴テーブルと、現在物品情報テーブルの各更新時における在庫状態を示す物品履歴を時系列的に記憶保持するための物品情報履歴テーブルとを有する在庫管理システムに組込まれる在庫管理プログラムである。
【００１５】
そして、この在庫管理プログラムは、コンピユータを、外部から入力されるロット及び各物品の在庫管理に関する変更の指示に応じて、変更のイベント情報をイベント履歴テーブルに追加登録し、現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルの内容を更新し、ロット履歴をロット情報履歴テーブルに追加登録し、物品履歴を物品情報履歴テーブルに追加登録する変更処理手段と、外部から入力される変更取消の指示に応じて、変更取消のイベント情報をイベント履歴テーブルに追加登録し、ロット情報履歴テーブルに記憶保持された一つ前のロット履歴及び物品情報履歴テーブルに記憶保持された一つ前の物品履歴を用いて、現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルの内容を変更前の状態へ戻す変更取消処理手段ととして機能させる。
【００１６】
また、別の発明は、上述した発明の在庫管理プログラムにおいて、変更処理手段は、今回追加登録するイベント情報を特定するイベント履歴番号を現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルに書込み、かつ、今回追加登録するイベント情報を特定するイベント履歴番号及び前回追加登録したイベント情報を特定する前回イベント履歴番号を、前記追加登録するロット履歴及び物品履歴に書込む。
【００１７】
変更取消処理手段は、現在ロット情報テーブル及び現在物品情報テーブルに書込まれたイベント履歴番号、ロット情報履歴テーブル及び物品情報履歴テーブルに書込まれたイベント履歴番号及び前回イベント履歴番号に基づいて、一つ前のロット履歴及び一つ前の物品履歴を特定する。
【発明の効果】
【００１８】
このように構成された在庫管理システム及び在庫管理プログラムにおいては、操作員（オペレータ）による変更取消の指示のみで、変更取消のイベントとしてイベント履歴に残り、短時間で現在の在庫状態及び在庫状態の履歴を変更前の状態に戻すことができ、高速化を図り、かつ必要な記憶容量を減少できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態を図面を用いて説明する。  
図１は本発明の一実施形態に係わる在庫管理プログラムが組込まれた在庫管理システムの概略構成を示すブロック構成図である。この在庫管理システムはコンピュータ等の一種の情報処理装置で構成されている。
【００２０】
この実施形態の在庫管理システムは、半導体製造工場における、半導体チップの元となる物品としてのウエハの在庫管理を行う。具体的には、ウエハ２５枚で１ロットを構成し、ロット単位、及びウエハ単位で在庫管理を行う。ちなみに、基準としてウエハ１枚で４０個の半導体チップを製造することが可能である。したがって、１ロットで１０００個の半導体チップを製造可能である。
【００２１】
図１において、在庫管理システムは、操作員（オペレータ）が検索指示や変更指示や変更取消指示等の各種の指示を入力するためのキーボード等の入力操作部１、指示に対応する処理の種別を判定する処理判定部２、アプリケーション・プログラム上に形成された処理部３、表示部４、ＨＤＤ内に形成されたデータベース５等で構成されている。
【００２２】
処理部３内には、在庫情報検索処理部６、履歴情報検索処理部７、ロット情報変更処理部８、ロット情報ウエハ情報変更処理部９、変更取消処理部１０等が設けられている。
【００２３】
データベース５内には、大きく分けて、現在データ領域１１及び履歴データ領域１２が形成されている。現在データ領域１１内には、２５枚のウエハ構成されたロットの現在の在庫状態を記憶する現在ロット情報テーブル１３と、このロットを構成するウエハの現在の在庫状態を記憶する２５個の現在ウエハ情報テーブル１４とが形成されている。
【００２４】
現在ロット情報テーブル１３内には、図２に示すように、ロットＩＤ、製品名、製造フロー、在庫工程、ウエハ数、このロットで製造可能な半導体チップ数のうちの良品数、不良品数、等からなる在庫状態、及びこの在庫状態を得た時点のイベント情報を特定するイベント履歴ＮＯが記憶されている。
【００２５】
各現在ウエハ情報テーブル１４内には、図３に示すように、ロットＩＤ、スロットＮＯ、該当ウエハを特定するウエハＩＤ、製品名、製造フロー、このウエハで製造可能な半導体チップ数のうちの良品数、不良品数、等からなる在庫状態、及びこの在庫状態を得た時点のイベント情報を特定するイベント履歴ＮＯが記憶されている。
【００２６】
履歴データ領域１２内には、在庫管理に関するイベント情報１５を時系列的に記憶保持するためのイベント履歴テーブル１６と、現在ロット情報テーブル１３の各更新時における在庫状態を示すロット履歴１７を時系列的に記憶保持するためのロット情報履歴テーブル１８と、各現在ウエハ情報テーブル１４の各更新時における在庫状態を示すウエハ履歴１９を時系列的に記憶保持するための２５個のウエハ情報履歴テーブル２０とが形成されている。
【００２７】
イベント情報１５は、図４（ａ）に示すように、在庫管理に関する「受入」「チップ数変更」「チップ数変更取消」等の主に操作員（オペレータ）が入力操作部１を介して入力した変更、変更取消の具体的指示に関する項目を示す。具体的には、このイベント情報１５は、イベントとロットＩＤとで構成され、図４（ｂ）に示すように、順次更新されるイベント履歴ＮＯが付されてイベント履歴テーブル１６に時系列的に追加して書込まれる。
【００２８】
前記現在ロット情報テーブル１３は、図７に示すように、［Ａ］の初期状態から、例えば、［Ｂ］の工程変更（ＰＲＯＣ０１→ＰＲＯＣ０２）のイベント情報１５発生、［Ｃ］のチップ数変更（スロットＮＯ＝１のウエハのチップ数４０→３０）のイベント情報１５発生、［Ｄ］のチップ数変更取消のイベント情報１５発生等の都度、その記憶内容が更新（変更）される。
【００２９】
同様に、各現在ウエハ情報テーブル１４は、図７に示すように、［Ａ］の初期状態から、例えば、［Ｂ］の工程変更のイベント情報１５発生、［Ｃ］のチップ数変更のイベント情報１５発生、［Ｄ］のチップ数変更取消のイベント情報１５発生等の都度、その記憶内容が更新（変更）される。なお、図７においては、２５個の現在ウエハ情報テーブル１４のうち、ウエハＩＤ＝ＡＡＡＡ―０１の現在ウエハ情報テーブル１４のみを示している。
【００３０】
なお、原則として、新規のイベント情報１５が発生して、この新規のイベント情報１５がイベント履歴テーブル１６に追加登録される毎に、現在ロット情報テーブル１３及び各現在ウエハ情報テーブル１４の内容が更新されるが、新規イベント情報１５が、図７に示すように、［Ｂ］の工程変更（ＰＲＯＣ０１→ＰＲＯＣ０２）のイベント情報１５の場合は、この変更がロット単位の工程変更のみであるので、各現在ウエハ情報テーブル１４の内容は更新されない。
【００３１】
ロット履歴１７は、図５に示すように、ロットＩＤ、製品名、製造フロー、在庫工程、ウエハ数、良品数、不良品数、等からなる在庫状態、この在庫状態を得た時点のイベント情報を特定するイベント履歴ＮＯ、及びこのロット履歴１７の前回のイベント履歴ＮＯで構成され、図８に示すように、ロット情報履歴テーブル１８内に時系列的に追加して書込まれる。
【００３２】
各ウエハ履歴１９は、図６に示すように、ロットＩＤ、スロットＮＯ、ウエハＩＤ、製品名、製造フロー、良品数、不良品数、等からなる在庫状態、この在庫状態を得た時点のイベント情報を特定するイベント履歴ＮＯ、及びウエハ履歴１９の前回のイベント履歴ＮＯで構成され、図９に示すように、ウエハ情報履歴テーブル２０内に時系列的に追加して書込まれる。
【００３３】
なお、合計２５個の各ウエハ履歴１９は、原則として、新規のイベント情報１５が発生して、この新規のイベント情報１５がイベント履歴テーブル１６に追加登録される毎に、新規のウエハ履歴１９として、自己が所属するウエハ情報履歴テーブル２０に追加登録されるる。しかし、新規のイベント情報１５が自己に対応する現在ウエハ情報テーブル１４の内容を変更するものでない場合は、新規のウエハ履歴１９は発生しないので、自己が所属するウエハ情報履歴テーブル２０に新規のウエハ履歴１９は登録されない。
【００３４】
例えば、図７、図９に示すように、［Ｂ］の工程変更（ＰＲＯＣ０１→ＰＲＯＣ０２）のイベント情報１５は、ロット単位の工程変更であるので、新規のウエハ履歴１９は発生しないので、全部のウエハ情報履歴テーブル２０に新規のウエハ履歴１９は登録されない。
【００３５】
また、［Ｃ］のチップ数変更のイベント情報が、図７、図９に示すように、スロットＮＯ＝１のウエハのみのチップ数を［４０］から［３０］へ変更する指示の場合は、ウエハＩＤ＝ＡＡＡＡ―０１のウエハ情報履歴テーブル２０にのみ新規のウエハ履歴１９を登録する。その他のウエハ情報履歴テーブル２０に新規のウエハ履歴１９を登録する必要はない。
【００３６】
同様に、［Ｄ］のチップ数変更取消のイベント情報が、図７、図９に示すように、スロットＮＯ＝１のウエハのみのチップ数を［４０］から［３０］へ変更する指示の取消の場合は、ウエハＩＤ＝ＡＡＡＡ―０１のウエハ情報履歴テーブル２０にのみ新規のウエハ履歴１９を登録する。その他のウエハ情報履歴テーブル２０に新規のウエハ履歴１９を登録する必要はない。
【００３７】
このような構成を有する複数のテーブル１３、１４、１６、１８、２０がデータベース５内に形成された在庫管理システムの処理部３の各処理部６、７、８、９、１０は、図１０〜図１３の流れ図に従って、在庫管理処理を実施する。
【００３８】
データベース５内の各テーブル１３、１４、１６、１８、２０が前述した［Ａ］の初期状態において、操作員（オペレータ）が入力操作部１を介して、操作指示を入力すると（ステップＳ１）、処理判定部２が実行すべき処理の種類を判定する。
【００３９】
入力された操作指示が在庫検索の場合（Ｓ２）、在庫情報検索処理部６が起動して、操作員（オペレータ）が指定したロット又はウエハの現在ロット情報テーブル１３又は現在ウエハ情報テーブル１４の内容をデータベース５から読出して表示部４に表示出力する（Ｓ３）。
【００４０】
入力された操作指示が履歴検索の場合（Ｓ４）、履歴情報検索処理部７が起動して、操作員（オペレータ）が指定したロット又はウエハのロット情報履歴テーブル１８又はウエハ情報履歴テーブル２０の各ロット履歴１７、各ウエハ履歴１９、及びイベント履歴テーブル１６の各イベント情報１５をデータベース５から読出して表示部４に表示出力する（Ｓ５）。
【００４１】
入力された操作指示が例えば［Ｂ］の工程変更で示されるロット変更指示の場合（Ｓ６）、ロット情報変更処理部８が起動して図１１に示すロット情報変更処理を実行する（Ｓ７）。図１１において、指定されたロットＩＤの変更の「受入」の新規のイベント情報１５を作成して、この新規のイベント情報１５に前回のイベント情報１５のイベント履歴ＮＯを更新した新規のイベント履歴ＮＯを付して、図４に示すようにイベント履歴テーブル１６に追加登録する（Ｑ１）。
【００４２】
次に、図７に示すように、現在ロット情報テーブル１３の内容を操作指示された内容（工程ＰＲＯＣ０１→ＰＲＯＣ０２）に変更する。そして、現在ロット情報テーブル１３のイベント履歴ＮＯを、今回イベント履歴テーブル１６に追加登録したイベント情報１５のイベント履歴ＮＯに更新する（Ｑ２）。
【００４３】
次に、図８に示すように、ロット情報履歴テーブル１８の前回に追加登録したロット履歴１７を操作指示された内容（工程ＰＲＯＣ０１→ＰＲＯＣ０２）に変更したものを新規のロット履歴１７として、ロット情報履歴テーブル１８に追加登録する。この場合、前回に追加登録したロット履歴１７のイベント履歴ＮＯを新規のロット履歴１７に前回イベント履歴ＮＯとして書込む。さらに、今回の新規のイベント情報１５のイベント履歴ＮＯをこの新規のロット履歴１７に書込む（Ｑ３）。そして、図１０の流れ図に戻る。
【００４４】
図１０におけるＳ８において、入力された操作指示が例えば［Ｃ］のチップ数変更で示されるロット、ウエハ変更指示の場合、ロット情報ウエハ情報変更処理部９が起動して図１２に示すロット情報、ウエハ情報変更処理を実行する（Ｓ９）。図１２において、指定されたチップ数変更の新規のイベント情報１５を作成して、この新規のイベント情報１５に前回のイベント情報１５のイベント履歴ＮＯを更新した新規のイベント履歴ＮＯを付して、図４に示すようにイベント履歴テーブル１６に追加登録する（Ｒ１）。
【００４５】
次に、図７に示すように、現在ロット情報テーブル１３の内容を操作指示された内容に基づく値（良品数１０００→９９０）に変更する。そして、現在ロット情報テーブル１３のイベント履歴ＮＯを、今回イベント履歴テーブル１６に追加登録したイベント情報１５のイベント履歴ＮＯに更新する（Ｒ２）。
【００４６】
次に、図８に示すように、ロット情報履歴テーブル１８の前回に追加登録したロット履歴１７を操作指示された内容（良品数１０００→９９０）に変更したものを新規のロット履歴１７として、ロット情報履歴テーブル１８に追加登録する。この場合、前回に追加登録したロット履歴１７のイベント履歴ＮＯを新規のロット履歴１７に前回イベント履歴ＮＯとして書込む。さらに、今回の新規のイベント情報１５のイベント履歴ＮＯをロット履歴１７に書込む（Ｒ３）。
【００４７】
図７に示すように、ウエハＩＤ＝ＡＡＡＡ―０１の現在ウエハ情報テーブル１４の内容を操作指示された内容に基づく値（良品数４０→１０）に変更する。そして、該当現在ウエハ情報テーブル１４のイベント履歴ＮＯを、今回イベント履歴テーブル１６に追加登録したイベント情報１５のイベント履歴ＮＯに更新する（Ｒ４）。この場合、ウエハＩＤ＝ＡＡＡＡ―０１の現在ウエハ情報テーブル１４以外の各現在ウエハ情報テーブル１４は更新されない。
【００４８】
次に、図９に示すように、ウエハＩＤ＝ＡＡＡＡ―０１のウエハ情報履歴テーブル２０の前回に追加登録したウエハ履歴１９を操作指示された内容（良品数４０→３０）に変更したものを新規のウエハ履歴１９として、ウエハ情報履歴テーブル２０に追加登録する。この場合、前回に追加登録したウエハ履歴１９のイベント履歴ＮＯを新規のウエハ履歴１９に前回イベント履歴ＮＯとして書込む。さらに、今回の新規のイベント情報１５のイベント履歴ＮＯをウエハ履歴１９に書込む（Ｒ５）。この場合、ウエハＩＤ＝ＡＡＡＡ―０１のウエハ情報履歴テーブル２０以外の各ウエハ情報履歴テーブル２０には新規のウエハ履歴１９は追加登録されない。そして、図１０の流れ図に戻る。
【００４９】
図１０におけるＳ１０において、入力された操作指示が例えば［Ｄ］のチップ数変更取消指示の場合、変更取消処理部１０が起動して図１３に示す変更取消処理を実行する（Ｓ１１）。図１３において、図４に示す変更取消の新規のイベント情報１５を作成して、この新規のイベント情報１５に前回のイベント情報１５のイベント履歴ＮＯを更新した新規のイベント履歴ＮＯを付して、図４に示すようにイベント履歴テーブル１６に追加登録する（Ｐ１）。
【００５０】
次に、現在ロット情報テーブル１３のイベント履歴ＮＯに該当するイベント履歴ＮＯを有するロット履歴１７を図８に示すロット情報履歴テーブル１８から読出す（Ｐ２）。この読出したロット履歴１７に書込まれた前回イベント履歴ＮＯに該当するイベント履歴ＮＯを有する前回のロット履歴１７を図８に示すロット情報履歴テーブル１８から読出す（Ｐ３）。そして、この前回のロット履歴１７で現在ロット情報テーブル１３の内容を更新する。すなわち、この時点で現在ロット情報テーブル１３内には変更前の状態が復元された。現在ロット情報テーブル１３にイベント履歴テーブル１６に追加登録された新規のイベント履歴ＮＯを書込む（Ｐ４）。
【００５１】
次に、変更前の状態を記憶した先の前回のロット履歴１７を、新規のロット履歴１７としてロット情報履歴テーブル１８に追加登録する。この場合、イベント履歴ＮＯはイベント履歴テーブル１６に追加登録された新規のイベント履歴ＮＯとし、前回イベント履歴ＮＯは、イベント履歴テーブル１６に前回登録されたイベント履歴ＮＯとする（Ｐ５）。
【００５２】
次に、変更前の現在ロット情報テーブル１３のイベント履歴ＮＯに該当するイベント履歴ＮＯを有するウエハ履歴１９を図９に示すウエハ情報履歴テーブル２０から検索する（Ｐ６）。検索されなかった場合は（Ｐ７）、各ウエハに対して変更取消すべき変更が元々無かったと判断して、この変更取消処理を終了して、図１０の流れ図に戻る。
【００５３】
変更前の現在ロット情報テーブル１３のイベント履歴ＮＯに該当するイベント履歴ＮＯを有するウエハ履歴１９がウエハ情報履歴テーブル２０から検索されると（Ｐ７）、この検索（読出）したウエハ履歴１９に書込まれた前回イベント履歴ＮＯに該当するイベント履歴ＮＯを有する前回のウエハ履歴１９を図９に示すウエハ情報履歴テーブル２０から読出す（Ｐ８）。
【００５４】
そして、この前回のウエハ履歴１９で該当ウエハＩＤの現在ウエハ情報テーブル１４の内容を更新する。すなわち、この時点で該当ウエハＩＤの現在ウエハ情報テーブル１４内には変更前の状態が復元された。該当ウエハＩＤの現在ウエハ情報テーブル１４にイベント履歴テーブル１６に追加登録された新規のイベント履歴ＮＯを書込む（Ｐ９）。
【００５５】
次に、変更前の状態を記憶した先の前回のウエハ履歴１９を、新規のウエハ履歴１９として該当ウエハＩＤのウエハ情報履歴テーブル２０に追加登録する。この場合、イベント履歴ＮＯはイベント履歴テーブル１６に追加登録された新規のイベント履歴ＮＯとし、前回イベント履歴ＮＯは、イベント履歴テーブル１６に前回登録されたイベント履歴ＮＯとする（Ｐ１０）。そして、図１０の流れ図に戻る。
【００５６】
このように構成された実施形態の在庫管理システムにおいては、データベース５には、現在の在庫状態を記憶する現在ロット情報テーブル１３と、各ウエハの現在の在庫状態を記憶する複数の現在ウエハ情報テーブル１４と、イベント履歴テーブル１６と、ロット情報履歴テーブル１８と、ウエハ情報履歴テーブル２０とが形成されている。
【００５７】
そして、入力操作部１から例えば前述した［Ｂ］、［Ｃ］で示す各種の変更指示が入力されると、この変更指示のイベント情報１５がイベント履歴テーブル１６に順次時系列的に記憶保持されるとともに、現在ロット情報テーブル１３と各現在ウエハ情報テーブル１４との記憶内容が順次更新される。さらに、新規のロット履歴１７及び新規のウエハ履歴１９がロット情報履歴テーブル１８及びウエハ情報履歴テーブル２０に順次追加登録されていく。
【００５８】
この場合、変更指示に該当しないロット及びウエハに対応する新規のロット履歴１７及び新規のウエハ履歴１９が生じないので、ロット情報履歴テーブル１８及び各ウエハ情報履歴テーブル２０の記憶容量を大幅に削減できる。
【００５９】
さらに、ロット情報履歴テーブル１８及びウエハ情報履歴テーブル２０に順次追加登録されるロット履歴１７及びウエハ履歴１９には、このロット履歴１７及びウエハ履歴１９の発生要因（変更内容）を特定するためのイベント履歴ＮＯの他に、変更前の指示内容を記憶した前回のロット履歴１７及びウエハ履歴１９を特定するための前回イベント履歴ＮＯが記憶されている。
【００６０】
したがって、入力操作部１から例えば前述した［Ｄ］で示す変更取消指示が入力された場合に、変更前のロット及び各ウエハの管理状態を記憶した前回のロット履歴１７及びウエハ履歴１９を簡単に検索できるので、変更取消に要する処理時間を短縮できる。その結果、在庫管理システム全体の処理速度を上昇できる。
【００６１】
また、イベント履歴テーブル１６には、「変更取消」のイベント情報１５が登録されるので、後から、操作員（オペレータ）以外の第３者がこの「変更取消」を簡単に把握できる。
【００６２】
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。実施形態システムにおいては、在庫管理対象の物品をウエハとしたが、ウエハに限定されものではない。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の一実施形態に係わる在庫管理プログラムが組込まれた在庫管理システムの概略構成を示すブロック構成図
【図２】同実施形態の在庫管理システムのデータベース内に形成された現在ロット情報テーブルの記憶内容を示す図
【図３】同実施形態の在庫管理システムのデータベース内に形成された現在ウエハ情報テーブルの記憶内容を示す図
【図４】同実施形態の在庫管理システムのデータベース内に形成されたイベント履歴テーブルの記憶内容を示す図
【図５】同実施形態の在庫管理システムのデータベース内に形成されたロット履歴の記憶内容を示す図
【図６】同実施形態の在庫管理システムのデータベース内に形成されたウエハ履歴の記憶内容を示す図
【図７】同実施形態の在庫管理システムのデータベース内に形成された現在ロット情報テーブル及び現在ウエハ情報テーブルの更新内容を示す図
【図８】同実施形態の在庫管理システムのデータベース内に形成されたロット情報履歴テーブルの記憶内容を示す図
【図９】同実施形態の在庫管理システムのデータベース内に形成されたウエハ情報履歴テーブルの記憶内容を示す図
【図１０】同実施形態の在庫管理システムの在庫管理動作を示す流れ図
【図１１】同実施形態の在庫管理システムのロット情報変更処理動作を示す流れ図
【図１２】同実施形態の在庫管理システムのロット情報、ウエハ情報変更処理動作を示す流れ図
【図１３】同実施形態の在庫管理システムの変更取消処理動作を示す流れ図
【符号の説明】
【００６４】
１…入力操作部、２…処理判定部、３…処理部、４…表示部、５…データベース、６…在庫情報検索処理部、７…履歴情報検索処理部、８…ロット情報変更処理部、９…ロット情報ウエハ情報変更処理部、１０…変更取消処理部、１１…現在データ領域、１２…履歴データ領域、１３…現在ロット情報テーブル、１４…現在ウエハ情報テーブル、１５…イベント情報、１６…イベント履歴テーブル、１７…ロット履歴、１８…ロット情報履歴テーブル、１９…ウエハ履歴、２０…ウエハ情報履歴テーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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