(57)【要約】【課題】ワークギャップに影響を与えることなく、平行度を簡単に調整可能でき、効率よく作業を行うことが可能な液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。【解決手段】ヘッドホルダ１６は、液滴吐出ヘッド１１を搭載すると共に、液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２をワークＷの表面に対し平行に調節するためのあおり調整手段１７を備え、あおり調整手段１７は、支持プレート１２３の中心部とホルダプレート１２５の中心部とを連結すると共に、支持プレート１２３に対しホルダプレート１２５を対向面内において傾動自在に連結する自在連結部材１８と、支持プレート１２３に対しホルダプレート１２５を相互に直交するロール方向およびピッチ方向にそれぞれ傾動させるロール調整機構２１１およびピッチ調整機構２１２と、を備えたことを特徴とする。【選択図】  図１３
2005013847.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、
液滴吐出ヘッドのノズル面をワークの表面に対し平行に調節すべく、間隙を存して上下に対面させたキャリッジ側の支持プレートに対し前記液滴吐出ヘッド側のホルダプレートのあおりを調整するあおり調整手段を備えたヘッドホルダにおいて、
前記あおり調整手段は、前記支持プレートの中心部と前記ホルダプレートの中心部とをその間隙寸法を維持した状態で連結すると共に、前記支持プレートに対し前記ホルダプレートを対向面内において傾動自在に連結する自在連結部材と、
前記支持プレートに対し前記ホルダプレートを相互に直交するロール方向およびピッチ方向にそれぞれ傾動させるロール調整機構およびピッチ調整機構と、を備えたことを特徴とするヘッドホルダ。
【請求項２】
前記自在連結部材は、一方の端部に球面形状の接合部を有し、
前記接合部に接合される前記支持プレートおよび前記ホルダプレートのいずれか一方は、前記接合部と相補的形状を為す接合受け部を有していることを特徴とする請求項１に記載のヘッドホルダ。
【請求項３】
前記ロール調整機構は、軸部（胴部）を前記支持プレートおよび前記ホルダプレートのいずれか一方に螺合し、先端部を他方に当接して前記支持プレートと前記ホルダプレートとの離間寸法を調整するロール調整用ねじと、前記支持プレートと前記ホルダプレートとの間に介設され、前記支持プレートと前記ホルダプレートとを、引き離す方向に付勢するロール圧縮ばねと、から構成され、
前記ロール調整用ねじおよび前記ロール圧縮ばねは、前記中心部に対し１８０°点対称位置に配設されることを特徴とする請求項１又は２に記載のヘッドホルダ。
【請求項４】
前記ピッチ調整機構は、軸部（胴部）を前記支持プレートおよび前記ホルダプレートのいずれか一方に螺合し、先端部を他方に当接して前記支持プレートと前記ホルダプレートとの離間寸法を調整するピッチ調整用ねじと、前記支持プレートと前記ホルダプレートとの間に介設され、前記支持プレートと前記ホルダプレートとを、引き離す方向に付勢するピッチ圧縮ばねと、から構成され、
前記ピッチ調整用ねじおよび前記ピッチ圧縮ばねは、前記中心部に対し１８０°点対称位置に配設されることを特徴とする請求項１、２又は３に記載のヘッドホルダ。
【請求項５】
前記ロール調整機構は、軸部（胴部）を前記支持プレートおよび前記ホルダプレートのいずれか一方に螺合し、先端部を他方に回転自在に係止して、前記支持プレートと前記ホルダプレートとの離間寸法を調整するロール調整用ねじと、前記支持プレートと前記ホルダプレートとの間に介設され、前記支持プレートと前記ホルダプレートとを、引き寄せ方向に付勢するピッチ引張りばね機構と、から構成され、
前記ロール調整用ねじおよび前記ピッチ引張りばねは、前記中心部に対し１８０°点対称位置に配設されることを特徴とする請求項１又は２に記載のヘッドホルダ。
【請求項６】
前記ピッチ調整機構は、軸部（胴部）を前記支持プレートおよび前記ホルダプレートのいずれか一方に螺合し、先端部を他方に回転自在に係止して、前記支持プレートと前記ホルダプレートとの離間寸法を調整するピッチ調整用ねじと、前記支持プレートと前記ホルダプレートとの間に介設され、前記支持プレートと前記ホルダプレートとを、引き寄せ方向に付勢するピッチ引張りばねと、から構成され、
前記ピッチ調整用ねじおよび前記ピッチ引張りばねは、前記中心部に対し１８０°点対称位置に配設されることを特徴とする請求項１、２又は５に記載のヘッドホルダ。
【請求項７】
キャリッジに取り付けられたブラケットユニットと、前記ブラケットユニットに着脱自在に装着されたサブユニットと、を備え、
前記サブユニットは、請求項１ないし６のいずれかに記載のヘッドホルダと、前記ヘッドホルダを吊設すると共に前記ブラケットユニットに着脱自在に装着されるホルダキャリアと、を有し、
前記ホルダキャリアには、前記サブユニットを手持ちするための一対のキャリアハンドルが設けられていることを特徴とするヘッドユニット。
【請求項８】
前記ホルダキャリアは、前記ブラケットユニットに着脱自在に装着される装着プレートを有し、
前記ブラケットユニットは、前記装着プレートがその周縁部で着座する着座部を有するブラケット本体と、前記ブラケット本体を支持すると共に前記キャリッジに取り付けられた鉛直部材と、前記着座部に装着された装着プレートを上側から押圧保持する押圧部材と、前記着座部に対し前記装着プレートを位置決めする位置決め手段と、を有していることを特徴とする請求項７に記載のヘッドユニット。
【請求項９】
前記位置決め手段は、前記着座部に立設され前記装着プレートの隣接する２つの辺に当接する３本の位置決めピンと、前記押圧部材に螺合し、先端部で前記着座部に載置された前記装着プレートを前記３本の位置決めピンに向かって押圧する押圧ねじと、を有していることを特徴とする請求項７又は８に記載のヘッドユニット。
【請求項１０】
前記ホルダキャリアに組み込まれ、前記ヘッドホルダの水平面内における回動角度を調整可能なθ軸調整機構をさらに備えたことを特徴とする請求項７、８又は９に記載のヘッドユニット。
【請求項１１】
前記ブラケット本体と前記鉛直部材との間に介設され、前記鉛直部材に対し前記ブラケット本体を上下方向に位置調整可能なＺ軸調整機構をさらに備えたことを特徴とする請求項７ないし１０のいずれかに記載のヘッドユニット。
【請求項１２】
請求項７ないし１１のいずれかに記載のヘッドユニットを備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１２に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出ヘッドのノズル面をワークに対し平行にするためのあおり調整手段を備えたヘッドホルダおよびこれを備えたヘッドユニット、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液滴吐出装置の一種として知られるインクジェット記録装置の液滴吐出ヘッドのノズル面とワークとの間の平行度とギャップの調整機構として、キャリッジ移動軸の両端に設けた第１の偏芯構造と、その偏芯軸が嵌合する偏芯孔を有する第２の偏芯構造を有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。この調整機構は、第１の偏芯構造により、キャリッジ移動軸の一方端部を上下動させ、ノズル面とワーク表面との間の平行度を調整すると共に、第２の偏芯構造により、キャリッジ移動軸の両端を上下させ、ノズル面とワークとの間のギャップを調整する構成をとっている。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−１２７５４３号公報（第５頁、第６頁、図６、図７）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、液滴吐出装置の液滴吐出ヘッドのノズル面とワークとの間の平行度において、厳密にはロール方向（Ｘ軸中心）とピッチ方向（Ｙ軸中心）の両方の平行度を調整する必要がある。キャリッジ移動軸を上下させて平行度を調整する場合、キャリッジ移動軸とワークを平行にすることによりピッチ方向において平行とすることができるが、ロール方向の調整はピッチ調整の後、キャリッジ移動軸の両端を同寸法上下させる必要がある。このため、ロール方向の平行度を調整すると、おのずとワークギャップが変化してしまい、改めてワークギャップを調整しなければならない問題がある。さらには、ワークギャップを調整すれば、ロール方向の平行度が損なわれるためこの構成では調整できない問題がある。
【０００５】
本発明は、ワークギャップに影響を与えることなく、平行度を簡単に調整可能でき、効率よく作業を行うことが可能なヘッドホルダおよびこれを備えたヘッドユニット、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のヘッドホルダは、液滴吐出ヘッドを搭載すると共に、液滴吐出ヘッドのノズル面をワークの表面に対し平行に調節すべく、間隙を存して上下に対面させたキャリッジ側の支持プレートに対し液滴吐出ヘッド側のホルダプレートのあおりを調整するあおり調整手段を備えたヘッドホルダにおいて、あおり調整手段は、支持プレートの中心部とホルダプレートの中心部とをその間隙寸法を維持した状態で連結すると共に、支持プレートに対しホルダプレートを対向面内において傾動自在に連結する自在連結部材と、支持プレートに対しホルダプレートを相互に直交するロール方向およびピッチ方向にそれぞれ傾動させるロール調整機構およびピッチ調整機構と、を備えたことを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、自在連結部材が支持プレートの中心部とホルダプレートの中心部とをその間隙寸法を維持した状態で連結するため、ワークギャップを維持することができる。また、自在連結部材が支持プレートに対しホルダプレートを対向面内において傾動自在に連結する。一方、ロール調整機構がロール方向に、ピッチ調整機構がピッチ方向に、それぞれ支持プレートに対しホルダプレートを対向面内において任意の傾動位置に支持調整する。さらには、ロール調整機構およびピッチ調整機構は相互に直交している。このため、ホルダプレートを、自在連結部材との連結部を中心に、対向面内のあらゆる傾動位置に支持調整することができる。すなわち、ホルダプレートの可動範囲内において、液滴吐出ヘッドのノズル面をあらゆる傾動位置に支持調整できる。以上により、ワークギャップを維持したまま、液滴吐出ヘッドのノズル面をワークの表面に対し平行に支持調整することができる。
【０００８】
この場合、自在連結部材は、一方の端部に球面形状の接合部を有し、接合部に接合される支持プレートおよびホルダプレートのいずれか一方は、接合部と相補的形状を為す接合受け部を有していることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、自在連結部材の接合部は球面形状を有し、自在連結部材に連結するプレートの接合受け部はその接合部と相補的形状を為している。このため、ホルダプレートの傾動を滑らかにすることができると共に、傾動角度の調整を無段階にすることができる。これにより、平行度の調整を効率的に行うことができる。なお、接合部の球面形状は外面球面形状と内面球面形状の両方を含むものとする。
【００１０】
この場合、ロール調整機構は、軸部（胴部）を支持プレートおよびホルダプレートのいずれか一方に螺合し、先端部を他方に当接して支持プレートとホルダプレートとの離間寸法を調整するロール調整用ねじと、支持プレートとホルダプレートとの間に介設され、支持プレートとホルダプレートとを、引き離す方向に付勢するロール圧縮ばねと、から構成され、ロール調整用ねじおよびロール圧縮ばねは、中心部に対し１８０°点対称位置に配設されることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、ロール調整用ねじをねじ込むことによりホルダプレートのロール調整用ねじ側が押し下がると同時に、ロール圧縮ばねが縮みホルダプレートのロール圧縮ばね側が押し上がる。一方、ロール調整用ねじを緩めることによりホルダプレートのロール調整用ねじ側が押し上がると同時に、ロール圧縮ばねが伸長しホルダプレートのロール圧縮ばね側が押し下がる。すなわち、自在連結部材の接合部を中心にホルダプレートがシーソー様に傾動する。このため、ロール方向において支持プレートに対しホルダプレートを任意の傾動位置に簡単に調整することができる。すなわち、液滴吐出ヘッドのノズル面をワークの表面に対してロール方向において平行にすることができる。
【００１２】
この場合、ピッチ調整機構は、軸部（胴部）を支持プレートおよびホルダプレートのいずれか一方に螺合し、先端部を他方に当接して支持プレートとホルダプレートとの離間寸法を調整するピッチ調整用ねじと、支持プレートとホルダプレートとの間に介設され、支持プレートとホルダプレートとを、引き離す方向に付勢するピッチ圧縮ばねと、から構成され、ピッチ調整用ねじおよびピッチ圧縮ばねは、中心部に対し１８０°点対称位置に配設されることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、ピッチ調整用ねじをねじ込むことによりホルダプレートのピッチ調整用ねじ側が押し下がると同時に、ピッチ圧縮ばねが縮みホルダプレートのピッチ圧縮ばね側が押し上がる。一方、ピッチ調整用ねじを緩めることによりホルダプレートのピッチ調整用ねじ側が押し上がると同時に、ピッチ圧縮ばねが伸長しホルダプレートのピッチ圧縮ばね側が押し下がる。すなわち、自在連結部材の接合部を中心にホルダプレートがシーソー様に傾動する。このため、ピッチ方向において支持プレートに対しホルダプレートを任意の傾動位置に簡単に調整することができる。すなわち、液滴吐出ヘッドのノズル面をワークの表面に対してピッチ方向において平行にすることができる。
【００１４】
この場合、ロール調整機構は、軸部（胴部）を支持プレートおよびホルダプレートのいずれか一方に螺合し、先端部を他方に回転自在に係止して、支持プレートとホルダプレートとの離間寸法を調整するロール調整用ねじと、支持プレートとホルダプレートとの間に介設され、支持プレートとホルダプレートとを、引き寄せ方向に付勢するロール引張りばね機構と、から構成され、ロール調整用ねじおよびロール引張りばねは、中心部に対し１８０°点対称位置に配設されることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、自在連結部材の接合部を中心にホルダプレートがシーソー様に傾動する。このため、ロール方向において支持プレートに対しホルダプレートを任意の傾動位置に簡単に調整することができる。すなわち、液滴吐出ヘッドのノズル面をワークの表面に対してロール方向において平行にすることができる
【００１６】
この場合、ピッチ調整機構は、軸部（胴部）を支持プレートおよびホルダプレートのいずれか一方に螺合し、先端部を他方に回転自在に係止して、支持プレートとホルダプレートとの離間寸法を調整するピッチ調整用ねじと、支持プレートとホルダプレートとの間に介設され、支持プレートとホルダプレートとを、引き寄せ方向に付勢するピッチ引張りばねと、から構成され、ピッチ調整用ねじおよびピッチ引張りばねは、中心部に対し１８０°点対称位置に配設されることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、自在連結部材の接合部を中心にホルダプレートがシーソー様に傾動する。このため、ピッチ方向において支持プレートに対しホルダプレートを任意の傾動位置に簡単に調整することができる。すなわち、液滴吐出ヘッドのノズル面をワークの表面に対してピッチ方向において平行にすることができる。
【００１８】
本発明のヘッドユニットは、キャリッジに取り付けられたブラケットユニットと、ブラケットユニットに着脱自在に装着されたサブユニットと、を備え、サブユニットは、上記のヘッドホルダと、ヘッドホルダを吊設すると共にブラケットユニットに着脱自在に装着されるホルダキャリアと、を有し、ホルダキャリアには、サブユニットを手持ちするための一対のキャリアハンドルが設けられていることを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、一対のキャリアハンドルを持つことにより、ブラケットユニットにサブユニットを簡単に運び込むことができると共に簡単に着脱することができる。すなわち、サブユニットごとヘッド交換を行うことができる。なお、あおり調整手段に触れることなく着脱できるため、一度調整した液滴吐出ヘッドの平行度を狂わせることがない。
【００２０】
この場合、ホルダキャリアは、ブラケットユニットに着脱自在に装着される装着プレートを有し、ブラケットユニットは、装着プレートがその周縁部で着座する着座部を有するブラケット本体と、ブラケット本体を支持すると共にキャリッジに取り付けられた鉛直部材と、着座部に装着された装着プレートを上側から押圧保持する押圧部材と、着座部に対し装着プレートを位置決めする位置決め手段と、を有していることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、装着プレートを押圧部材により上側から押圧することにより、装着プレートをブラケット本体の着座部に保持することができる。次に、位置決め手段により装着プレートを位置決めすることにより、上側から押圧保持された状態で位置決め固定することができる。このため、サブユニットをブラケットユニットに堅固に固定することができる。また、上側からの押圧により、平行度やワークギャップを調整する際に、装着プレートが浮き上がることがない。なお、位置決め手段による位置決めを解除すると共に押圧部材による上からの押圧を解除することにより、ブラケットユニットからサブユニットを簡単に着脱することができる。
【００２２】
この場合、位置決め手段は、着座部に立設され装着プレートの隣接する２つの辺に当接する３本の位置決めピンと、押圧部材に螺合し、先端部で着座部に載置された装着プレートを３本の位置決めピンに向かって押圧する押圧ねじと、を有していることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、押圧ねじを締めることにより押圧ねじの先端部が装着プレートを３本の位置決めピン側に押圧し、３本の位置決めピンが装着プレートの隣接する２つの辺に当接することにより位置決めすることができる。すなわち、押圧ねじを締めることにより、簡単に装着プレートを位置決めすることができる。
【００２４】
この場合、ホルダキャリアに組み込まれ、ヘッドホルダの水平面内における回動角度を調整可能なθ軸調整機構をさらに備えることが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドのあおりを維持したまま、液滴吐出ヘッドを主走査方向に対しノズル列を主走査方向に直交するよう調整することができる。
【００２６】
この場合、ブラケット本体と鉛直部材との間に介設され、鉛直部材に対しブラケット本体を上下方向に位置調整可能なＺ軸調整機構をさらに備えることが好ましい。
【００２７】
この構成によれば、ワークに対し液滴吐出ヘッドのノズル面を平行に維持したまま、上下方向に平行移動することができ、ワークギャップを調整することができる。これにより、ワークに対する液滴吐出ヘッドの平行度およびギャップを効率的に調整することができる。
【００２８】
本発明の液滴吐出装置は、上記のヘッドユニットを備えたことを特徴とする。
【００２９】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドのワークに対する平行度およびギャップは、一方を微調整しても他方の位置情報は維持されるため、効率的に作業に最適な位置に液滴吐出ヘッドを調整することができる。
【００３０】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３１】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３２】
これらの構成によれば、液滴吐出ヘッドのワークに対する平行度およびギャップを作業に最適な位置に効率的に調整可能な液滴吐出装置を用いて製造されるため、電気光学装置を効率よく製造することが可能となる。なお、電気光学装置（デバイス）としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３３】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３４】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した描画システムについて説明する。この描画システムは、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機ＥＬ装置の製造ラインに組み込まれるものであり、有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子を形成するものである。
【００３６】
描画システム１の説明に先立ち、まず、有機ＥＬ装置７０１の構造および製造工程について簡単に説明する。図１は、有機ＥＬ装置７０１の断面図を示した図である。同図に示すように、有機ＥＬ装置７０１は、基板７１１、回路素子部７２１、画素電極７３１、バンク部７４１、発光素子７５１、陰極７６１（対向電極）、および封止用基板７１１から成る有機ＥＬ素子７０２に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。
【００３７】
同図に示すように、有機ＥＬ素子７０２の基板７１１上には、回路素子部７２１が形成され、回路素子部７２１上には、複数の画素電極７３１が整列している。そして、各画素電極７３１間には、バンク部７４１が格子状に形成されており、バンク部７４１により生じた凹部開口７４４に、発光素子７５１が形成されている。バンク部７４１および発光素子７５１の上部全面には、陰極７６１が形成され、陰極７６１の上には、封止用基板７７１が積層されている。
【００３８】
有機ＥＬ素子７０２の製造プロセスは、バンク部７４１を形成するバンク部形成工程と、発光素子７５１を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子７５１を形成する発光素子形成工程と、陰極７６１を形成する対向電極形成工程と、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止する封止工程とを備えている。すなわち、有機ＥＬ素子７０２は、予め回路素子部７２１および画素電極７３１が形成された基板７１１（ワークＷ）の所定位置にバンク部７４１を形成した後、プラズマ処理、発光素子７５１および陰極７６１（対向電極）の形成を順に行い、さらに、封止用基板７７１を陰極７６１上に積層して封止することにより製造される。なお、有機ＥＬ素子７０２は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機ＥＬ素子７０２の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス（窒素、アルゴン、ヘリウム等）雰囲気で行うことが好ましい。
【００３９】
また、各発光素子７５１は、正孔注入／輸送層７５２およびＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）のいずれかの色に着色された発光層７５３（成膜部）から構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入／輸送層７５２を形成する正孔注入／輸送層形成工程と、３色の発光層７５３を形成する発光層形成工程と、が含まれている。
【００４０】
有機ＥＬ装置７０１は、有機ＥＬ素子７０２を製造した後、有機ＥＬ素子７０２の陰極７６１にフレキシブル基板の配線を接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部７２１の配線を接続することにより製造される。
【００４１】
次に描画システム１について説明する。この描画システム１は、有機ＥＬ素子７０２の発光素子７５１を液滴吐出法（インクジェット法）で形成するものである。描画システム１は、注入／輸送層形成工程に用いるものと、発光層形成工程に用いるものとがあるが、装置自体は同一構造のものが用いられるため、ここでは、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の発光層７５３を形成するための描画システム１を例に説明する。
【００４２】
図２は、描画システム１の描画システムの外観斜視図である。描画システム１は、描画装置２（液滴吐出装置）と、乾燥装置３と、チャンバ装置４と描画装置２に接続されるホスト・コンピュータ１２、を備えている。描画装置２は、バンク部７４１が形成された基板７１１（ワークＷ）に対して、所定の描画処理を行うことにより、基板７１１の凹部開口７４４内に発光機能材料を（溶媒に）溶解させた機能液を滴下するものである。具体的には、基板７１１に対して、機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド（後述する液滴吐出ヘッド１１）を相対的に走査させながら機能液を吐出させることにより、機能液による描画処理が為される。
【００４３】
描画装置２の主要部は、エアー吸引手段４３を除き機台１３に固定された方形の台板１５上に配設されている。機台１３は、複数（９個）の調節脚１４（アジャストボルト付支持脚）が取付けられており、台板１５の平面度を調節できるようになっている。なお、有機ＥＬ装置７０１の製造に描画装置２を用いる場合のように、管理された雰囲気下で描画処理を行えるようにするために、描画装置２では、台板１５上にチャンバ装置４を載せ込むことが可能となっている。すなわち、台板１５がチャンバ装置の底板を兼ねており、台板１５の縁部に、チャンバ装置を載せ込むようになっている。
【００４４】
乾燥装置３は、ワークＷに吐出した機能液の溶媒を気化させることにより、発光機能材料を析出させるものであり、発光機能材料による成膜部を形成するものである。乾燥装置３は、乾燥手段として、ホットプレート（図示省略）と、真空乾燥を行う真空オーブン５と、を有しており、状況に応じて適宜これらを使い分けることができるようになっている。
【００４５】
チャンバ装置４は、発光層形成工程における外気の影響を排除するためのものであり、ドライエアーまたは不活性ガスを連続的に給気および排気することにより、チャンバ装置４内を新鮮なドライエアー雰囲気または不活性ガス雰囲気に維持する。チャンバ装置４は、描画装置２を収容する描画チャンバ６と、乾燥装置３のホットプレートを収容する乾燥チャンバ７と、描画チャンバ６と乾燥チャンバ７とを架渡す搬送チャンバ８と、を備えている。搬送チャンバ８には、ワークＷを搬出入するための搬出入口９が設けられている。描画チャンバ６および乾燥チャンバ７には、ワークＷの移動やセット、およびチャンバ装置４内に収容されている描画装置２のメンテナンス等を行うための作業用のグローブ２１が取り付けられている。搬出入口９から搬入されたワークＷは、先ず描画チャンバ６に導入され、描画装置２により描画処理が施された後、描画チャンバ６から乾燥チャンバ７に搬出される。そして、ワークＷは、乾燥装置３による乾燥処理を経て、搬出入口９から搬出される。
【００４６】
ここで、描画装置２について詳細に説明する。図３は、描画装置の外観斜視図、図４は、描画装置の正面図、図５は、描画装置の右側面図である。これらの図に示すように、液滴吐出ヘッド１１を搭載したヘッドユニット３１有し、ワークＷに対して機能液を吐出するための吐出手段４１と、吐出手段４１（液滴吐出ヘッド１１）のメンテナンスを行うメンテナンス手段４２と、各手段に液体（例えば、機能液や洗浄液）を供給すると共に不要となった液体を回収する液体供給回収手段４４と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアー（ドライエアーまたはＮ２等の不活性ガス）を供給するエアー供給手段（図示省略）と、ワークＷを吸引固定するためのエアー吸引手段４３と、を備えている。
【００４７】
描画装置２には、この他にも、ワークＷに対するヘッドユニット３１（液滴吐出ヘッド１１）のノズルの状態を確認するノズル状態確認カメラ４５や、ワークＷの位置認識を行うためのワーク認識カメラ４６、ワークＷに対する描画処理結果を観察するための描画観察カメラ４７等の付帯装置が設けられている。また、描画装置２には、ホスト・コンピュータ１２（制御手段）が接続されており、ホスト・コンピュータ１２により描画装置２全体が統括制御される。
【００４８】
エアー吸引手段４３を除く描画装置２の主要部は、機台１３に固定された方形の台板１５上に配設されている。機台１３は、複数（９個）の調節脚１４（アジャストボルト付支持脚）が取付けられており、台板１５を水平に調節できるようになっている。なお、上記した描画チャンバ６は、台板１５上に載せ込むようになっている。すなわち、台板１５が描画チャンバ６の底板を兼ねており、台板１５の周縁部に、ＡＴ材を介してチャンバ装置４を載せ込むようになっている。
【００４９】
次に、描画装置２の各手段について説明する。図６に示すように、吐出手段４１は、ヘッドユニット３１と、ヘッドユニット３１を支持するキャリッジ３２と、ヘッドユニット３１（液滴吐出ヘッド１１）をワークＷに対して移動させるＸ・Ｙ移動機構３４と、を備えている。本実施形態では、Ｒ、Ｇ、およびＢ色の３色に対応して、３個のヘッドユニット３１が設けられている。
【００５０】
各ヘッドユニット３１は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１１を搭載し、あおり調整手段を有するサブユニット３３と、キャリッジ３２に固定され、サブユニット３３を着脱自在に支持するブラケットユニット３７と、で構成されている（図１５参照）。液滴吐出ヘッド１１、サブユニットおよびブラケットユニット３７に関しては後述する。
【００５１】
キャリッジ３２は、方形の厚板で構成されており、３個のヘッドユニット３１を横並びに支持している。具体的には、キャリッジ３２には、３個のヘッドユニット３１の後述する鉛直部材１０２が横並びに整列してねじ止めされており、キャリッジ３２の正面に、３個のヘッドユニット３１が突設されている（図６参照）。
【００５２】
図６に示すように、Ｘ・Ｙ移動機構３４は、いわゆるＸ・Ｙロボットであり、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル３５と、キャリッジ３２を介して、ヘッドユニット３１をＹ軸方向（副走査方向）に移動させるＹ軸テーブル３６と、を有している。Ｘ軸テーブル３５は、上記した台板１５上に直接設置されており、Ｘ軸方向に延在している。Ｘ軸テーブル３５は、ワークＷをセットするためのセットテーブル５１と、セットテーブル５１を支持し、ワークＷのθ補正を行うためのθテーブル５２と、θテーブル５２をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ５３と、θテーブル５２およびセットテーブル５１を介して、ワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ５５と、Ｘ軸スライダ５３に併設したＸ軸リニアスケール５４と、を備えている。
【００５３】
セットテーブル５１の中心部には、ワークＷをエアー吸引により吸着セットするための吸引溝５６が形成されている。吸引溝５６には、上記したエアー吸引手段４３のエアー吸引チューブ（図示省略）が接続されており、セットテーブル５１に対して、ワークＷを不動に吸着セットできるようになっている。Ｘ軸テーブル３５では、Ｘ軸リニアモータ５５の駆動により、ワークＷを吸着セットしたセットテーブル５１およびθテーブル５２が、Ｘ軸スライダ５３を案内にしてＸ軸方向に移動する。
【００５４】
Ｘ軸テーブル３５の一方の端部（装置手前側）は、ワークＷを載せ換えるためのワーク交換エリアとなっており、ワーク交換を行う場合には、セットテーブル５１をワーク交換エリアまで移動させる。また、ワーク交換エリアと反対側に位置するＸ軸テーブル３５のもう一方の端部は、セットテーブル５１にセットしたワークＷに対して画像認識を行うためのワーク認識エリアとなっている。ワーク認識エリアには、Ｘ軸テーブル３５を跨ぎ、Ｙ軸方向に延在するカメラスタンド５７が立設されている。そして、カメラスタンド５７には、上記したワーク認識カメラ４６および描画観察カメラ４７が配設されており、ワークＷがワーク認識エリアに移動すると、これら両カメラがワークＷに臨む構成となっている（図７参照）。
【００５５】
なお、図６に示すように、Ｘ軸テーブル３５と平行に位置して、Ｘ軸テーブル３５に接続するケーブル類（例えば、エアー吸引チューブやθテーブル５２用のケーブル等）を収容したＸ軸ケーブル担持体２２（ケーブルベア：登録商標）が配設されており、セットテーブル５１およびθテーブル５２の移動に追従して、Ｘ軸テーブル３５に接続するケーブル類の可動端を移動させる構成となっている。
【００５６】
Ｙ軸テーブル３６は、台板１５上に立設されたＹ軸スタンド３８に載置されている。Ｙ軸スタンド３８は、上記したカメラスタンド５７に併設されており、Ｘ軸テーブル３５を跨いで、Ｘ軸テーブル３５に直交して延在している。Ｙ軸スタンド３８は、Ｘ軸テーブル３５を挟んで台板１５上に立設した左右一対のＹ軸支柱２３と、Ｙ軸方向に延在し、一対のＹ軸支柱２３上に架け渡した載置プレート２４と、Ｙ軸方向に延在するように、載置プレート２４上に固定された鉛直プレート２５と、を有しており、Ｙ軸テーブル３６は、載置プレート２４上に載置されると共に、鉛直プレート２５の正面部に固定されたＹ軸固定フレーム２６に取り付けられている。
【００５７】
図６に示すように、Ｙ軸テーブル３６は、キャリッジ３２の背面に固定され、キャリッジ３２を介して３個のヘッドユニット３１をＹ軸方向にスライド自在に支持するＹ軸スライダ２７と、Ｙ軸スライダ２７をＹ軸方向に移動させるＹ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｙ軸方向へのキャリッジ３２の移動を案内するＹ軸リニアモータガイド６１（キャリッジ移動軸）と、を有している。Ｙ軸リニアモータにより、Ｙ軸スライダ２７を介してキャリッジ３２がＹ軸方向を移動する。
【００５８】
鉛直プレート２５の背面には、Ｙ軸収容ボックス６２が配設され、Ｙ軸収容ボックス６２には、Ｙ軸ケーブル担持体（図示省略）が収容されている。Ｙ軸ケーブル担持体には、主にヘッドユニット３１に接続するケーブル類（後述する給液チューブ８１を除く）がヘッドユニットの移動に追従するように収容されている。
【００５９】
なお、Ｙ軸テーブル３６の図示左側の端部が、キャリッジ３２（ヘッドユニット３１）のホーム位置となっている。キャリッジ３２は、描画装置２の停止時やワーク交換時のような非描画処理時にホーム位置に移動する。ホーム位置に対応して、台板１５上には、ノズル状態確認カメラ４５が配設されている。なお、後述するブラケットユニット３７に対するサブユニット３３の着脱は、ホーム位置で行われる。
【００６０】
ここで、吐出手段４１の一連の動作について簡単に説明する。先ず、描画処理を開始する前の準備として、セットテーブル５１を（ワーク認識エリアへ）移動させる。そして、セットテーブル５１上のワークＷをワーク認識カメラ４６を臨ませ、ワークＷの位置補正を行う。次に、Ｘ・Ｙ移動機構３４（Ｘ軸テーブル３５）を駆動して、ワークＷを主走査（Ｘ軸）方向に往動させながら、液滴吐出ヘッド１１の選択的な吐出駆動を行い、ワークＷに対し、機能液滴による描画処理を行う。ワークＷが一往動すると、Ｘ・Ｙ移動機構３４（Ｙ軸テーブル３６）が駆動して、ヘッドユニット３１を副走査（Ｙ軸）方向に移動させる。そして、再びＸ・Ｙ移動機構３４を駆動して、ワークＷを復動させると共に、これと同期して液滴吐出ヘッド１１の選択的な吐出駆動を行う。ワークＷの一復動が終了すると、Ｘ・Ｙ移動機構３４により、ヘッドユニット３１を副走査させる。このような主走査方向に対するワークＷの往復動と液滴吐出ヘッド１１の選択的な吐出駆動とを繰り返すことにより、吐出手段４１は、ワークＷに対する機能液の描画処理を行っている。
【００６１】
次に、メンテナンス手段４２について説明する。図７に示すように、メンテナンス手段４２は、液滴吐出ヘッド１１の保守を行うと共に、液滴吐出ヘッド１１から適切に機能液が吐出されているか否かの検査を行うことにより、液滴吐出ヘッド１１による機能液の吐出を安定させるためのものである。メンテナンス手段４２は、液滴吐出ヘッド１１から予備吐出された機能液を受けるためのフラッシングユニット６３と、液滴吐出ヘッド１１の吸引を行う吸引ユニット（図示省略）と、液滴吐出ヘッド１１から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニット６５と、を備えている。
【００６２】
フラッシングユニット６３は、フラッシングの機能液を受けるためのものである。フラッシングとは、液滴吐出ヘッド１１の吐出ノズル２０１から機能液を予備吐出（捨て打ち）することにより、吐出ノズル２０１のノズル詰まりを防止すると共に、吐出ノズル２０１に新鮮な機能液を導入するためのものである。フラッシングには、ワークＷに対して機能液を吐出させる直前に行う吐出前フラッシングと、ワークＷの交換時のように、ワークＷに対する機能液の吐出が一時的に休止される時に、上記したホーム位置において定期的に行われる定期フラッシングとがあり、フラッシングユニット６３は、吐出前フラッシングの機能液を受ける第１フラッシングユニット６６と、定期フラッシングの機能液を受ける第２フラッシングユニット６８と、を有している。なお、本実施形態では、３個のヘッドユニット３１が同時に移動する構成となっているが、３個のヘッドユニット３１を個々に移動可能に構成してもよい。この場合、特に順番は問わないが、Ｒ・Ｇ・Ｂの１色ずつ順に描画処理を行う。
【００６３】
図６ないし図７に示すように、第１フラッシングユニット６６は、θテーブル５２に固定されたスライダ（図示省略）と、セットテーブル５１を挟むようにスライダの両端部に固定した一対の第１フラッシングボックス６７と、を備えている。フラッシングの機能液を受ける各第１フラッシングボックス６７には、機能液を吸収させる吸収材（図示省略）が敷設されている。第１フラッシングボックス６７は、主走査におけるθテーブル５２（ワークＷ）の移動に同期してヘッドユニット３１へ向かって移動するため、液滴吐出ヘッド１１は、ワークＷに対して機能液を吐出させる直前に、順次第１フラッシングボックス６７に臨んで、吐出ノズル２０１から機能液を順次予備吐出させることが可能となっている。
【００６４】
第２フラッシングユニット６８は、Ｘ軸と平行になるように、上記した台板１５上に固定されたフラッシングスタンド６９と、ホーム位置において定期フラッシングの機能液を受ける第２フラッシングボックス７１と、フラッシングスタンド７２に支持されると共に、第２フラッシングボックス７１をスライド自在に支持するボックス移動機構７３と、を有している。
【００６５】
フラッシングスタンド７２は、ホーム位置からＸ軸方向に外れた、上記したＹ軸収容ボックスの略真下に配設されている。第２フラッシングボックス７１は、キャリッジ３２に横並びに配設された３個のヘッドユニット３１（に搭載された液滴吐出ヘッド１１）からの定期フラッシングを、ボックス外にはみ出さずに同時に受けることができる大きさに形成されている。図示省略したが、ボックス移動機構７３は、第２フラッシングボックス７１をＸ軸方向にスライド自在に支持するスライダ（図示省略）と、スライダを移動させるエアーシリンダ（図示省略）と、を有している。ボックス移動機構７３は、ホーム位置における作業領域を確保するために、ホーム位置から第２フラッシングボックス７１をＸ軸方向（フラッシングスタンド７２側）に逃がすためのものであり、サブユニット３３の交換時や後述する液滴吐出ヘッド１１のキャッピング時等に用いられる。なお、通常、第２フラッシングボックス７１は、ホーム位置に臨んでいる。
【００６６】
吸引ユニットは、ホーム位置に臨むヘッドユニット３１の液滴吐出ヘッド１１を吸引することにより、液滴吐出ヘッド１１の吐出ノズル２０１から機能液を強制的に排出させるものであり、例えば、新たにヘッドユニット３１に液滴吐出ヘッド１１を投入した場合のように機能液の充填を行う場合や、液滴吐出ヘッド１１内で増粘した機能液を除去するための吸引（クリーニング）を行う場合に吸引ユニットは用いられる。吸引ユニットは、ヘッドユニット３１に搭載された液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２をキャッピング（封止）する３個のキャップ（図示省略）と、キャップを介して液滴吐出ヘッド１１の吸引を行う１台の吸引ポンプ（図示省略）と、各キャップと吸引ポンプとを接続する３本の吸引チューブ（図示省略）と、上記した台板１５に配設され、キャップを保管するためのキャップスタンド（図示省略）と、を備えている。なお、各吸引チューブのキャップ近傍には、吸引チューブを閉塞する閉塞バルブ（図示省略）が介設されており、吸引ポンプによる吸引流路を適宜切替え可能となっている。
【００６７】
液滴吐出ヘッド１１の吸引を行う場合には、上記したチャンバ装置４のグローブ２１を介して、手作業により液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２をキャップで密接した後、吸引ポンプ（図示省略）を駆動する。キャップには、後述するヘッドホルダ１６（下ホルダプレート１２１）に形成された一対のガイド溝１２２にガイドされる４本のガイドピン（図示省略）が設けられている。そして、一対のガイド溝１２２に沿ってガイドピンを摺動させながら、位置決め穴（図示省略）にガイドピンを嵌め込むことにより、液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２に対して、手作業でも容易にキャッピングを行えるようになっている。
【００６８】
なお、キャップは液滴吐出ヘッド１１の吐出ノズル２０１の乾燥を防止するためにも用いられ、液滴吐出ヘッド１１のキャッピングは、吸引を行うときだけではなく、描画装置２の稼動停止時にも行われる。この場合、キャップに連通する吸引流路を短くして、吐出ノズル２０１の乾燥を極力防止するために、各吸引チューブに介設された閉塞バルブは全て閉弁される。これにより、描画装置２を再稼動させるときに行われる、液滴吐出ヘッド１１の吸引によって消費される機能液量を削減することが可能である。
【００６９】
重量測定ユニット６５は、（１個の）液滴吐出ヘッド１１から吐出された機能液滴の重量を測定することにより、液滴吐出ヘッド１１の吐出不良を検出するためのものであり、機能液滴の重量を測定する電子天秤（図示省略）と、電子天秤を収容するカバー（図示省略）付の天秤収容ボックス７４と、を備えている。電子天秤は、測定する機能液滴を受ける受け皿（図示省略）と、測定部を有する天秤本体（図示省略）と、で構成されている。受け皿（図示省略）は、上記したフラッシングスタンド７２上に載置されており、第２フラッシングボックス７１に併設されている。すなわち、通常、受け皿は、ヘッドユニット３１（液滴吐出ヘッド１１）の移動軌跡に臨んで配設されており、ヘッドユニット３１のメンテナンス作業時などには、第２フラッシングボックス７１と共に、Ｘ軸方向に逃げる構成となっている。また、天秤本体は台板１５上に載置された天秤収容ボックス７４内に収容されている。
【００７０】
機能液滴の重量を測定するときには、先ず、ホーム位置に位置する後述するヘッドユニット３１の液滴吐出ヘッド１１に対して受け皿を所定の位置にセットし、液滴吐出ヘッド１１から機能液滴を受け皿に吐出させる。そして、機能液滴を吐出させた受け皿を天秤本体にセットし、天秤収容ボックス７４のカバーを閉めた後、測定を行う。なお、本実施形態では、これら作業もチャンバ装置４のグローブ２１を介して、手作業で行われる。
【００７１】
次に、液体供給回収手段４４について説明する。液体供給回収手段４４は、各ヘッドユニット３１（各液滴吐出ヘッド１１）に機能液を供給する機能液供給系８２と、メンテナンス手段４２の吸引ユニットで吸引した機能液を回収する機能液回収系８３と、を有している。
【００７２】
図６に示すように、機能液供給系８２は、上記した台板１５上に固定された機能液スタンド８４と、機能液スタンド８４に横並びに立設された３個の載置部材８５と、各載置部材８５にセットされる（計３個の）機能液タンク（図示省略）と、３個のヘッドユニット３１に対し、機能液タンクから機能液を供給するための給液チューブユニット７５と、を備えている。３個の機能液タンクは、３個のヘッドユニット３１にそれぞれ対応しており、各ヘッドユニット３１は、対応する機能液タンクから機能液の供給を受けるようになっている。
【００７３】
各載置部材８５には、載置する機能液タンク内の液位と、当該機能液タンクに対応するヘッドユニット３１（に搭載する液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２）との水頭差を所定値に合わせ込むための水頭差調整機構（図示省略）が組み込まれており、ヘッドユニット３１の液滴吐出ヘッド１１に対して、機能液タンクを昇降させることができるようになっている。
【００７４】
給液チューブユニット７５は、各機能液タンクとこれに対応するヘッドユニット３１の液滴吐出ヘッド１１とを接続する３本の給液チューブ８１と、３本の給液チューブ８１を部分的に支持するチューブサポート８６と、を有している。チューブサポート８６は、機能液タンクおよび液滴吐出ヘッド１１間に給液チューブ８１を適切に架け渡すことにより、機能液タンクからヘッドユニット３１に適切な給液が為されるように、部分的に給液チューブ８１を支持するものである。
【００７５】
図４に示すように、チューブサポート８６は、機能液スタンド８４に立設されたサポート軸８７と、一端をサポート軸８７に軸支されると共に、上記したＹ軸収容ボックス６２の上方を通り、ヘッドユニット３１側に延在するサポート部材８８と、を有しており、給液チューブ８１は、サポート部材８８に支持される。なお、給液チューブ８１は、十分な遊びを持った状態でサポート部材８８とヘッドユニット３１との間を架け渡されており、Ｙ軸方向に移動するヘッドユニット３１に対して、給液チューブ８１が追従移動できるようになっている。
【００７６】
機能液回収系８３は、吸引ユニットのキャップを介して吸引した機能液を回収するためのものであり、機能液スタンド８４に載置され、回収した機能液を貯留する再利用タンク７６と、吸引ポンプと再利用タンク７６とを接続し、吸引した機能液を再利用タンク７６へ導く回収用チューブ（図示省略）と、を備えている。キャップに排出された機能液は、吸引ポンプの駆動により再利用タンク７６に導かれる。なお、本実施形態では、３個の再利用タンク７６が設けられており、ヘッドユニット３１毎に、すなわちＲ、Ｇ、およびＢ色の機能液の種類毎に機能液を個別に回収できるようになっている。
【００７７】
次に、エアー供給手段について説明する。エアー供給手段は、ドライエアーや不活性ガスを圧縮した圧縮エアーを各部に供給するためものであり、エアーを圧縮するエアーポンプ（コンプレッサー）と、エアーポンプからの圧縮エアーを供給先に応じて一定圧力に保つレギュレーター（図示省略）と、エアーポンプと各部とを配管接続して、圧縮エアーを各部に供給するエアー供給チューブ（図示省略）と、を備えている。
【００７８】
エアー吸引手段４３は、エアー吸引を行う真空ポンプ４８と、セットテーブル５１の吸引溝５６と真空ポンプ４８とを接続するためのエアー吸引チューブ（図示省略）と、を備えている。
【００７９】
次に、図２に示すように描画装置２に接続されるホスト・コンピュータ１２について説明する。ホスト・コンピュータ１２は、パソコン等で構成されており、一時的に記憶可能な記憶領域を有し、制御処理のための作業領域として使用されるＲＡＭと、各種記憶領域を有し、描画装置２の制御プログラムや描画装置２に関する各種データを記憶するハードディスクと、ハードディスクに記憶されたプログラム等に基づいて、各種データを演算処理するＣＰＵと、これらを互いに接続するバスと、を備えている。
【００８０】
ホスト・コンピュータ１２では、ＣＰＵが、ＲＡＭや液滴吐出装置２からの各種検出信号、各種指令、各種データ等を、ハードディスクの制御プログラムに従って処理しており、ＣＰＵの出力に基づいて、描画装置２の制御信号が出力される。これにより、描画装置２の各手段が有機的に制御され、描画装置２全体が制御されるようになっている。
【００８１】
ここで、各ヘッドユニット３１について詳細に説明する。図１５に示すように各ヘッドユニット３１は、機能液を吐出する液滴吐出ヘッド１１を搭載したサブユニット３３と、キャリッジ３２に固定され、サブユニット３３を着脱自在に支持するブラケットユニット３７と、で構成されている。
【００８２】
図８に示すように、ブラケットユニット３７は、キャリッジ３２に取付けられた鉛直部材１０２と、サブユニット３３を支持するブラケット本体１０１と、鉛直部材１０２とブラケット本体１０１の間に介在してサブユニット３３の昇降位置を調整するためのＺ軸調整機構１５１と、サブユニット３３の後述する装着プレート１８１をブラケット本体１０１の着座部１０３に付勢する押圧部材１０４と、サブユニット３３の装着プレート１８１を位置決めして固定する位置決め手段１７１と、を有している。
【００８３】
Ｚ軸調整機構１５１は上記の鉛直部材１０２の前面に取付けられており、鉛直部材１０２の正面に突設されるブラケット本体１０１を昇降自在に支持する昇降ねじ機構１５２と、ブラケット本体１０１の昇降を案内する左右一対の昇降ガイド１５５と、を有している。Ｚ軸調整機構１５１は、鉛直部材１０２に対して、を昇降させることにより、液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２の高さ位置を調整するためのものであり、ワークＷと液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２とのギャップ調整を行う場合等に用いられる。
【００８４】
昇降ねじ機構１５２は、ブラケット本体１０１の後述する鉛直部１１１（前面）に固定された断面「Ｌ」字形状の昇降片１１２と、昇降片１１２の上部に固定されると共に出力端を、鉛直部材１０２に固定された固定片１１３に螺合する昇降マイクロメータ１５３と、ブラケット本体１０１の昇降の上限をきめる上限ピン１１４（度当たり）と、を有している。すなわち、昇降マイクロメータ１５３の昇降マイクロメータヘッド１５４を回転操作すると、昇降片１１２を介してブラケット本体１０１が昇降する。左右一対の昇降ガイド１５５は、鉛直部材１０２に固定される一対の凸状部材１５６と、ブラケット本体１０１の鉛直部１１１の背面に固定される一対の凹状部材１５７と、を上下方向にスライド自在に係合して、構成されている。
【００８５】
ブラケット本体１０１は、断面横「Ｔ」字状に形成され、そのリブ部に相当する部分にはサブユニット３３が載置される着座部１０３が形成され、フランジ部に相当する部分には、ブラケット本体１０１をＺ軸調整機構１５１に固定するための鉛直部１１１が形成されている。着座部１０３は、前方に開放部１０５を有し、平面視逆「Ｕ」字形状に成形されている。また、着座部１０３の上面には、開放部を縁取るように３個の着座部材１０６が固定されている。この着座部１０３の開放部１０５には、装着プレート１８１が着座することでサブユニット３３が遊嵌状態で吊設される。なお、図１５に示すように、サブユニット３３は、装着プレート１８１が切欠部１８２を手前右側に位置するようにセットされる。
【００８６】
押圧部材１０４は、ブラケット本体１０１の着座部１０３にヒンジを介して回動自在に取付けられた枠状部材１８３と、装着プレート１８１の前面と着座部１０３の前面との間に設けた左右一対の止め金１８６と、を有している。止め金にはばねが組み込まれており、着座部１０３に載置された装着プレート１８１は、枠状部材１８３に付勢されるようにセットされる。この付勢により、平行度およびワークギャップの調整をする際に装着プレート１８１が浮き上がることがない。
【００８７】
枠状部材１８３は、装着プレート１８１の縁部を上側から押圧、保持するものであり、ヒンジから前方に延びる一対のアーム枠１８４と、両アーム枠の前端部同士を連結する連結枠１８５とから成り、連結枠の一方の端部は後述するθ軸調整機構１３１を逃げるように平面視略「Ｕ」字状に屈曲形成されている。なお、上記の各止め金１８６は、アーム枠１８４の前端に設けられている。
【００８８】
位置決め手段１７１は、ブラケット本体１０１（の着座部１０３）に対して、装着プレート１８１を位置決め固定することにより、サブユニット３３を位置決め固定するものである。図９に示すように、位置決め手段１７１は、ブラケット本体１０１の着座部１０３に対して、装着プレート１８１を位置決めするための３個の位置決めピン１８７と、３個の位置決めピン１８７に装着プレート１８１の（側）端面を突き当てる押圧ねじ１８８と、を有している。３個の位置決めピン１８７は、上記の着座部材の位置を外すようにして着座部１０３に立設されており、上記した装着プレート１８１の切欠部１８２と対角位置にある２つの辺（一方の辺に１個、他方の辺に２個）に当接するように配設されている。
【００８９】
図１０に示すように、押圧ねじ１８８は、装着プレート１８１の切欠部１８２に対応して図示右側のアーム枠の前端部に固定されており、マイクロメータヘッドで構成されている。押圧ねじ１８８は、斜めに切り欠かれた装着プレート１８１の切欠部１８２の端面と略直交する方向に、すすみ操作（進退）され、押圧部材１０４で押さえられた状態の装着プレート１８１を３個の位置決めピン１８７に突き当てて、装着プレート１８１を位置決めするようになっている。
【００９０】
次に、サブユニット３３について説明する。図１１に示すように、サブユニット３３は、（１個の）液滴吐出ヘッド１１と、液滴吐出ヘッド１１を搭載するヘッドホルダ１６と、ヘッドホルダ１６を支持するホルダキャリア１４１と、を有している。
【００９１】
ホルダキャリア１４１は、正方形の厚板の一部（１つの頂点）を斜めに切り欠いた切欠部１８２を有する平面視五角形の装着プレート１８１と、装着プレート１８１の上面に固定された一対のキャリアハンドル１８９と、ヘッドホルダ１６（液滴吐出ヘッド１１）の水平面内で角度調整するためのθ軸調整機構１３１と、装着プレート１８１に回動自在に吊設した鉛直軸１４２と、装着プレート１８１から前方へ張り出すように設けられ、液滴吐出ヘッドのヘッド基板に連なる中継基板１９１と取り付けた中継部材１９２と、を有している。装着プレート１８１は、鉛直軸１４２の下端にヘッドホルダ１６を支持している。２個のキャリアハンドル１８９は、装着プレート１８１に対向配置されており、ブラケットユニット３７からサブユニット３３を着脱および運搬する時の把持部となる。
【００９２】
θ軸調整機構１３１は、いわゆるマイクロメータを応用したものであり、鉛直軸１４２をθ軸方向に確動的に回動させるための回動機構１４３と、回動機構１４３による鉛直軸１４２の回動量を計測するための回動計測器１４４と、を備えている。
【００９３】
鉛直軸１４２の下端部は、その中心がθ軸と一致するように、ヘッドホルダ１６の支持プレート１２３の中心に固定されている。すなわち、鉛直軸１４２は、ヘッドホルダ１６を吊設すると共に、ヘッドホルダ１６を、θ軸を中心に回動可能に支持している。回動機構１４３は、回動マイクロメータヘッド１４５と、鉛直軸１４２の上部に一端を固定され、装着プレート１８１の中心から回動マイクロメータヘッド１４５側に延在する操作部材１４８と、操作部材１４８を回動マイクロメータヘッド１４５のスピンドル１４６（の測定面）に付勢する付勢部材１４９と、を有している。すなわち、回動マイクロメータヘッド１４５を調整することにより、操作部材１４８がθ軸方向に（微小に）回動するため、鉛直軸１４２を介してヘッドホルダ１６（液滴吐出ヘッド１１）が回動する。回動計測器１４４は、装着プレート１８１から突出する鉛直軸の上端部を囲うように装着プレート１８１の上面に固定された分度器様の計測板１３２と、鉛直軸１４２の上端に固定されたアーム部材１３３と、アーム部材１３３を介して回動し、計測板１３２に臨んで鉛直軸１４２の回動位置を指示する指示部材１３４と、を有している。θ軸調整機構１３１では、回動計測器１４４に基づいて、回動機構１４３の回動マイクロメータヘッド１４５を調整することにより、ヘッドホルダ１６（液滴吐出ヘッド１１）の水平面内におけるずれを微調整できるようになっている。
【００９４】
なお、鉛直軸１４２に吊設されるヘッドホルダ１６は、微調整用の操作部材１４８を鉛直軸１４２に固定している図示しないねじを緩めた後、鉛直軸１４２を回転操作することにより、必要に応じて水平面内における任意の角度に取り付けることができる。取付け角度は回動計測器１４４によって確認することができるようになっている。
【００９５】
図１１〜図１３に示すように、各ヘッドホルダ１６は、液滴吐出ヘッド１１と、１個の液滴吐出ヘッド１１を搭載するホルダ本体１２４と、ホルダ本体１２４を鉛直軸１４２に支持させるための支持プレート１２３と、ホルダ本体１２４を支持プレート１２３に支持させると共に、ホルダ本体１２４の支持姿勢（あおり）を調整するためのあおり調整手段１７と、を備えている。
【００９６】
図１４に示すように、液滴吐出ヘッド１１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針２０３を有する機能液導入部２０４と、機能液導入部２０４に連なる２連のヘッド基板２０５と、機能液導入部２０４の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体２０６と、を備えている。各接続針２０３は、配管アダプタ２０９を介して、機能液供給系８２の給液チューブ８１に接続されており、液滴吐出ヘッド１１は、各接続針２０３から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド基板２０５には、一対のコネクタが設けられており、このコネクタ２１９と上記中継基板１９１とがＦＦＣケーブル（図示省略）により接続されている。ヘッド本体２０６は、２連のキャビティ２０７（ピエゾ圧電素子）と、ノズル面２０２を有するノズルプレート２０８と、で構成されている。ノズル面２０２の下面には、多数（１８０個）の吐出ノズル２０１からなるノズル列が２列形成されている。液滴吐出ヘッド１１では、キャビティ２０７のポンプ作用により吐出ノズル２０１から機能液を吐出するようになっている。
【００９７】
ホルダ本体１２４は、液滴吐出ヘッド１１を搭載する下ホルダプレート１２１と、下ホルダプレート１２１に対向配置される上ホルダプレート１２５と、上ホルダプレート１２５および下ホルダプレート１２１を四隅で連結する４本の支柱部材１２６と、を有しており、４本の支柱部材１２６に、上下両ホルダプレート１２５、１２１がねじ止めされている。
【００９８】
下ホルダプレート１２１は、四角を面取りして略方形に形成されたステンレス製の厚板で構成されている。下ホルダプレート１２１には、ノズル面２０２を下方に突出させ、液滴吐出ヘッド１１を位置決め固定するための１個の装着開口が形成されており、液滴吐出ヘッド１１が着脱可能に固定される。なお、下ホルダプレート１２１の下面には、突出する液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２を挟んで、一対のガイド溝１２２が形成されている。一対のガイド溝１２２は、液滴吐出ヘッド１１の長手方向に相互に平行に延在しており、液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２を手作業によりキャップで封止する際のガイドとして用いられる。また、下ホルダプレート１２１には、下ホルダプレート１２１を貫通する位置決め穴（図示省略）が二対（計４個）形成されており、液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２に対して、キャップを位置決めした状態で密接できるようになっている。
【００９９】
上ホルダプレート１２５は、下ホルダプレート１２１よりも一回り大きく形成された略方形の厚板であり、上ホルダプレート１２５の中心には、後述するあおり調整手段１７の自在連結部材１８を貫通させるための貫通口（図示省略）が形成されている。貫通口の下半部は、自在連結部材１８の接合部と相補的形状を為す接合受け部が、球面状に拡開形成されている。また、上ホルダプレート１２５の上面には、上ホルダプレート１２５の中心に向かって、あおり調整手段１７のロール調整用ねじ２１３（後述する）に当接するＶ溝２１５が１箇所形成されている。
【０１００】
支持プレート１２３は、上ホルダプレート１２５と略同形であり、上ホルダプレート１２５の上側に対面するように配設されると共に、あおり調整機構（あおり調整手段１７）を介してホルダ本体１２４を支持している。支持プレート１２３の中心位置には、ばか穴２２３が形成されており、自在連結部材１８は、このばか穴２２３を貫通するようにして支持プレート１２３の上面からその胴部２２５を突出させている。
【０１０１】
図１１に示すように、あおり調整手段１７は、支持プレート１２３に対しホルダプレートを傾動自在に連結する自在連結部材１８と、ロール方向に傾動させるロール調整機構２１１と、ピッチ方向に傾動させるピッチ調整機構２１２と、を有している。
【０１０２】
図１３および図１７（ａ）に示すように、自在連結部材１８は、上ホルダプレート１２５の接合受け部２２１に下側から接合する接合部２２２と、接合部２２２に上側から螺合する基準ボルト２２４と、支持プレート１２３を貫通してその上側に突出する基準ボルト２２４の軸部２２５に螺合するナット２２６とで構成されており、このナット２２６により支持プレート１２３と上ホルダプレート１２５の間隙寸法が調整できるようになっている。接合部２２２は、冠球形状に形成されており、球面状に形成された上ホルダプレート１２５の接合受け部２２１に自在式手継手様にすなわち傾動自在に接合され、ホルダ本体１２４（上ホルダプレート１２５）を支持している。基準ボルト２２４は、ホルダ本体１２４の重心を通る垂線（θ軸）、すなわち鉛直軸１４２と同軸上に配設されており、中間の頭部２２７を挟んで上下に軸部２２５を有している。
【０１０３】
ロール調整機構２１１は、支持プレート１２３に対し、基準ボルト２２４を中心に上ホルダプレート１２５をロール方向に傾動調整するロール調整用ねじ２１３と、支持プレート１２３とホルダプレートとを引き離す方向に弾発（付勢）するロール圧縮ばね２１４と、を有している。ロール調整用ねじ２１３およびロール圧縮ばね２１４は、液滴吐出ヘッド１１の支持プレート１２３の中心を通り、かつ液滴吐出ヘッド１１のノズル列２１０と平行な軸上に配設されている。すなわち、その中心を通る基準ボルト２２４を挟んでロール調整用ねじ２１３およびロール圧縮ばね２１４が配設している。ロール調整用ねじ２１３は、マイクロメータヘッドで構成され、支持プレート１２３に螺合すると共に、半球状に形成した軸部の先端を、上ホルダプレート１２５の上面に形成したＶ溝２１５に当接している。Ｖ溝２１５は、支持プレート１２３に対し上ホルダプレート１２５がθ方向に回転してしまうのを防止している。
【０１０４】
ロール圧縮ばね２１４は、支持プレート１２３および上ホルダプレート１２５を貫通するように配設したロール圧縮ばね本体２１６と、支持プレート１２３を貫通したロール圧縮ばね本体２１６の上端部を受けると共に、支持プレート１２３の上面に固定されたロール上ばねキャップ２１７と、ロール上ばねキャップ２１７に対向し上ホルダプレート１２５を貫通したロール圧縮ばね本体２１６の下端部を受けると共に、上ホルダプレート１２５の下面にロール下ばねキャップ２１８と、を有している。ロール圧縮ばね本体２１６は、ロール上下両ばねキャップ２１７，２１８を介して支持プレート１２３と上ホルダプレート１２５を弾発している。
【０１０５】
ロール調整用ねじ２１３をねじ込むと、ロール圧縮ばね２１４に抗して、自在連結部材１８の接合部２２２にガイドされながら、ホルダ本体１２４のロール調整用ねじ２１３が配設されている側の端が押下げられる。すなわち上ホルダプレート１２５の一方の半部が押し下げられると共に他方の半部が引き上げられる。逆に、ロール調整用ねじ２１３を緩めると、ロール圧縮ばね２１４の弾性力により、自在連結部材１８の接合部２２２にガイドされながら、ホルダ本体１２４のロール調整用ねじ２１３が配設されている側の端が押上げられる。すなわち上ホルダプレート１２５の一方の半部が引き上げられると共に他方の半部が押し下げられる。これにより、自在連結部材１８の接合部２２２を中心に上ホルダプレート１２５がシーソー様に傾動する。このため、ホルダ本体１２４を液滴吐出ヘッド１１のノズル列２１０と直交する方向（Ｘ軸方向）を中心に正逆傾動させ、ホルダ本体１２４をロール調整できるようになっている。
【０１０６】
ピッチ調整機構２１２は、ロール調整機構２１１と同様の形態を有している。すなわち、ピッチ調整機構２１２は、支持プレート１２３に対し、基準ボルト２２４を中心に上ホルダプレート１２５をピッチ方向に傾動調整するピッチ調整用ねじ２３１と、支持プレート１２３とホルダプレートとを引き離す方向に弾発（付勢）するピッチ圧縮ばね２３２と、を有している。ピッチ調整用ねじ２３１およびピッチ圧縮ばね２３２は、液滴吐出ヘッド１１の支持プレート１２３の中心を通り、かつ液滴吐出ヘッド１１のノズル列２１０と直交する軸上に配設されている。すなわち、その中心を通る基準ボルト２２４を挟んでピッチ調整用ねじ２３１およびピッチ圧縮ばね２３２が配設している。ピッチ調整用ねじ２３１は、マイクロメータヘッドで構成され、支持プレート１２３に螺合すると共に、軸部の先端は半球状に形成される。なお、ピッチ調整用ねじ２３１は、ロール調整用ねじ２１３と異なり、その先端が上ホルダプレート１２５の平坦面に当接している。これは、Ｖ溝２１５により位置決めされているロール調整用ねじ２１３に対し、ピッチ調整時のピッチ調整用ねじ２３１の微小なスライドを許容するためである。
【０１０７】
ピッチ圧縮ばね２３２は、支持プレート１２３および上ホルダプレート１２５を貫通するように配設したピッチ圧縮ばね本体２３３と、支持プレート１２３を貫通したピッチ圧縮ばね本体２３３の上端部を受けると共に、支持プレート１２３の上面に固定されたピッチ上ばねキャップ２３４と、ピッチ上ばねキャップ２３４に対向し上ホルダプレート１２５を貫通したピッチ圧縮ばね本体２３３の下端部を受けると共に、上ホルダプレート１２５の下面にピッチ下ばねキャップ２３５と、を有している。ピッチ圧縮ばね本体２３３は、ピッチ上下両ばねキャップ２３４、２３５を介して支持プレート１２３と上ホルダプレート１２５を弾発している。
【０１０８】
ピッチ調整用ねじ２３１をねじ込むと、ピッチ圧縮ばね２３２に抗して、自在連結部材１８の接合部２２２にガイドされながら、ホルダ本体１２４のピッチ調整用ねじ２３１が配設されている側の端が押下げられる。すなわち上ホルダプレート１２５の一方の半部が押し下げられると共に他方の半部が引き上げられる。逆に、ピッチ調整用ねじ２３１を緩めると、ピッチ圧縮ばね２３２の弾性力により、自在連結部材１８の接合部２２２にガイドされながら、ホルダ本体１２４のピッチ調整用ねじ２３１が配設されている側の端が押上げられる。すなわち上ホルダプレート１２５の一方の半部が引き上げられると共に他方の半部が押し下げられる。これにより、自在連結部材１８の接合部２２２を中心に上ホルダプレート１２５がシーソー様に傾動する。このため、ホルダ本体１２４を液滴吐出ヘッド１１のノズル列２１０と平行な方向（Ｙ軸方向）を中心に正逆傾動させ、ホルダ本体１２４をピッチ調整できるようになっている。
【０１０９】
ここで、図１６を参照しながら、サブユニット３３をブラケットユニット３７に取付ける一連の作業について説明する。まず、キャリアハンドル１８９を持って運び入れたサブユニット３３をブラケット本体１０１の着座部１０３に載置する。載置されたサブユニット３３をブラケットユニット３７に固定する際は、サブユニット３３の装着プレート１８１に、回動自在な枠状部材１８３を上から被せるように重ねる。次に、押圧ねじ１８８を操作し装着プレート１８１を３本の位置決めピン１８７に当接して、これを位置決めする。最後に左右一対の止め金１８６を締めることにより上側から押圧して固定する。なお、取り外し作業は上記した手順と逆の順序で行う。
【０１１０】
次に、液滴吐出ヘッド１１のノズル面２０２のワークＷ表面に対する平行度およびワークギャップの調整について説明する。ます、Ｚ軸調整機構１５１によりワークギャップを調整する。この際、昇降マイクロメータを操作して、ブラケット本体１０１を昇降させることによりワークギャップを最適化する。ここで、必要に応じて、θ軸調整機構１３１により液滴吐出ヘッドのノズル列２１０を主走査方向に直交するように微調整する。あるいは、ノズル列２１０が主走査方向に対し所定の角度となるように微調整する。次に平行度の調整は、あおり調整手段１７のロール調整用ねじ２１３を操作して、ロール方向の平行度を微調整すると共にピッチ調整用ねじ２３１を操作することにより、ピッチ方向の平行度を微調整する。この調整は、例えばセットテーブル５１に調整用のピンを立て、ピンの先端がノズル面２０２に触れるか否かを見ながら行う。また、平行度を調整した後にワークギャップを調整しても、平行度を損なうことはない。なお、上記した取付け作業、平行度の調整およびワークギャップの調整は、すべてチャンバ装置４のグローブ２１を介して、手作業により行う。
【０１１１】
以上のように本実施形態によれば、液滴吐出ヘッドは搭載されたサブユニット３３を介して簡単にブラケットユニットに装着できると共に簡単に位置決めすることができる。また、θ軸調整機構１３１によりヘッドのノズル列２１０を主走査方向に対し垂直に調整することができるだけでなく、Ｚ軸調整機構１５１を介してヘッドをＺ軸方向に上下動させることができる。さらに、あおり調整手段１７によりワークギャップに影響を与えることなく、平行度を簡単に微調整することができる。特にあおり調整手段１７は、自在連結部材１８の接合部２２２を中心に上ホルダプレート１２５をシーソー様に微調整する構造であるため、この調整により、ワークギャップに狂いが生ずることがない。
【０１１２】
なお、本発明のあおり調整手段１７は、上記した構成以外にも、例えば自在連結部材１８の半球形状の接合部２２２を、支持プレート１２３の上側から基準ボルト２２４に螺合させ、上ホルダプレート１２５を吊設する構成をとることができる。この場合、支持プレート１２３上面には球面状に形成された貫通口の接合受け部２２１が形成され、上ホルダプレート１２５は下側から基準ボルト２２４に螺合するナットによって支持されると共に、支持プレート１２３と上ホルダプレート１２５の間隙寸法を調整することができる（図１７（ｂ）参照）。また、ロール調整用ねじ２１３およびピッチ調整用ねじ２３１は、上ホルダプレート１２５に螺合し、支持プレート１２３の下面に当接する構成をとることもできる（図１７（ｂ）参照）。さらには、ロール調整用ねじ２１３を回動自在に係止するロール調整用手段２４１と、ロール圧縮ばね２１４を支持プレート１２３と上ホルダプレート１２５とを引き寄せ方向に付勢するロール引張りばね２４２と、にそれぞれ交換した構成をとることも可能である。なお、この構成は、ピッチ方向にも、ピッチ調整用ねじ２３１を回動自在に係止するピッチ調整用手段２４３と、ピッチ圧縮ばねを支持プレート１２３と上ホルダプレート１２５とを引き寄せ方向に付勢するピッチ引張りばね２４４と、にそれぞれ交換した構成をとることも可能である。（図１７（ｃ）参照）。一方、自在連結部材１８の半球形状の接合部２２２および上ホルダプレート１２５の接合受け部２２１の構成に代えて、内側に位置し上ホルダプレート１２５にボルト等を介して固定される球面形状の内球面２４５と、外側に位置し基準ボルト２２４に螺合する内球面２４５に相補的な外球面２４６と、からなる構成をとることもできる（図１７（ｄ）参照）。もちろん内球面２４５が基準ボルト２２４下端に螺合し、外球面２４６が上ホルダプレート１２５の上面に固定される構成をとることができることはいうまでもない。
【０１１３】
次に、上記の液滴吐出装置２を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図２５は、液晶表示装置８０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置８０１は、カラーフィルタ８０２と、対向基板８０３と、カラーフィルタ８０２と対向基板８０３との間に封入された液晶組成物８０４と、バックライト（図示省略）と、で構成されている。対向基板８０３の内側の面には、画素電極８０５と、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子（図示省略）とがマトリクス状に形成されている。そして、画素電極８０５に対向する位置に、カラーフィルタ８０２の赤、緑、青の着色層８１３が配列するようになっている。また、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ内側の面には、液晶分子を一定方向に配列させる配向膜８０６が形成されており、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３のそれぞれ外側の面には、偏光板８０７が接着されている。
【０１１４】
カラーフィルタ８０２は、透光性の透明基板８１１と、透明基板８１１上にマトリクス状に並んだ多数の画素（フィルタエレメント）８１２と、画素８１２上に形成された着色層８１３と、各画素８１２を仕切る遮光性の仕切り８１４と、を備えており、着色層８１３および仕切り８１４の上面には、オーバーコート層８１５および電極層８１６が形成されている。
【０１１５】
液晶表示装置８０１の製造方法について説明すると、先ず、透明基板８１１に仕切り８１４を作り込んだ後、画素８１２部分にＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３を形成する。そして、透明アクリル樹脂塗料とスピンコートしてオーバーコート層８１５を形成し、さらに、ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍ  ｔｉｎ  ｏｘｉｄｅ）から成る電極層８１６を形成して、カラーフィルタ８０２を作成する。また、対向基板８０３には、画素電極８０５とＴＦＴ素子を作り込んでおく。次に、作成したカラーフィルタ８０２および画素電極８０５が形成された対向基板８０３に配向膜８０６の塗布を行った後、これらを貼り合わせる。そして、カラーフィルタ８０２および対向基板８０３との間に液晶組成物８０４を封入した後、偏光板８０７およびバックライトを積層する。
【０１１６】
液滴吐出装置２は、上記したカラーフィルタのフィルタエレメント（Ｒ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）の着色層８１３）の形成に用いることができる。また、画素電極８０５に対応する液体材料を用いることにより、画素電極８０５の形成にも用いることが可能である。
【０１１７】
【発明の効果】
以上のように本発明のヘッドホルダおよびこれを備えたヘッドユニット、並びに液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドをキャリッジに簡単に固定できると共に、液滴吐出ヘッドのノズル面のワーク表面に対するワークギャップおよび平行度を簡単に調整することができる。
【０１１８】
また、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器は、上記の液滴吐出装置を用いて製造されるため、作業効率が良く、効率的にこれらを製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】有機ＥＬ装置の縦断面図である。
【図２】本実施形態の描画システムの外観斜視図である。
【図３】描画装置の外観斜視図である。
【図４】描画装置の正面図である。
【図５】描画装置の右側面図である。
【図６】描画装置の吐出手段廻りの外観斜視図である。
【図７】描画装置の吐出手段廻りの右側面図である。
【図８】ブラケットユニットの正面図である。
【図９】ブラケットユニットの平面図である。
【図１０】ブラケットユニットの側面図である。
【図１１】サブユニットの左側面図である。
【図１２】サブユニットを上面視した図である。
【図１３】サブユニットの正面図である。
【図１４】（ａ）は液滴吐出ヘッドの外観斜視図、（ｂ）は液滴吐出ヘッドを配管アダプタに装着したときの断面図である。
【図１５】ヘッドユニットの説明図である。
【図１６】ヘッドユニットの側面図である。
【図１７】あおり調整手段の説明図であり、（ａ）は第１実施形態のあおり調整手段の説明図、（ｂ）は第２実施形態のあおり調整手段の説明図、（ｃ）は第３実施形態のあおり調整手段の説明図、（ｄ）は第４実施形態のあおり調整手段の説明図である。
【図１８】液晶表示装置の断面図である。
【符号の説明】
２  描画装置、１１  液滴吐出ヘッド、１６  ヘッドホルダ、１７  あおり調整手段、１８  自在連結部材、３２  キャリッジ、３３  サブユニット、３７  ブラケットユニット、１０１  ブラケット本体、１０２  鉛直部材、１０３  着座部、１０４  押圧部材、１２３  支持プレート、１４１  ホルダキャリア、１３１  θ軸調整機構、１５１  Ｚ軸調整機構、１７１  位置決め手段、１８１  装着プレート、１８７  位置決めピン、１８８  押圧ねじ、１８９  キャリアハンドル、２０２  ノズル面、２１１  ロール調整機構、２１２  ピッチ調整機構、２１３  ロール調整用ねじ、２１４  ロール圧縮ばね、２２１  接合受け部、２２２  接合部、２２５  軸部、２３１  ピッチ調整ねじ、２３２  ピッチ圧縮ばね、２４１  ロール調整用手段、２４２  ロール引っ張りばね、２４３  ピッチ調整用手段、２４４  ピッチ引張りばね
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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