(57)【要約】【課題】  樹脂薄膜の形成において、樹脂蒸気の圧力変動に対して均一な、または支持体の幅方向において均一な樹脂薄膜を形成する樹脂蒸気噴出ノズル、樹脂薄膜形成装置、樹脂薄膜形成方法を提供すること。【解決手段】    本発明は、加熱され蒸気化された樹脂が供給され、供給された樹脂蒸気を噴出するための開口部１０３を有し、その内部または前記開口部１０３には、複数の仕切り２０２が形成されており、前記各仕切り２０２の長さは、実質上全体の３０％以上の長さである、樹脂蒸気噴出ノズル２０１である。【選択図】  図２
2005220383.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
その内部または前記開口部には、複数の仕切りが形成されており、
前記各仕切りの長さは、実質上全体の３０％以上の長さである、樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項２】
前記仕切りの長さ、および前記全体の長さは、前記樹脂蒸気が流れる方向に沿った長さである、請求項１に記載の樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項３】
供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
その内部または前記開口部には、複数の仕切りが形成されており、
前記複数の仕切が並んでいる方向において、周辺部において隣接する仕切りどうしの少なくとも一部の間隔が、中央部において隣接する仕切りどうしの少なくとも一部の間隔よりも広い、樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項４】
前記周辺部において隣接する仕切りどうしの前記開口部側の間隔が、前記中央部において隣接する仕切りどうしの前記開口部側の間隔よりも広い、請求項３に記載の樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項５】
前記周辺部において隣接する仕切りどうしの樹脂蒸気供給側の間隔が、前記中央部において隣接する仕切りどうしの前記樹脂蒸気供給側の間隔よりも広い、請求項３に記載の樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項６】
前記各仕切りどうしの間隔は、噴出する前記樹脂蒸気の流速が実質上均一となる間隔である、請求項３〜５のいずれかに記載の樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項７】
供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
その内部または前記開口部には、複数の仕切りが形成されており、
中央部における前記仕切りの長さが、周辺部における前記仕切りの長さよりも長い、樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項８】
前記各仕切りの長さは、噴出する前記樹脂蒸気の流速が実質上均一となる長さである、請求項７に記載の樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項９】
供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
その内部または前記開口部には、噴出すべき樹脂蒸気の少なくとも一部の流れを乱すための障害部が形成されている、樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項１０】
前記障害部は、前記開口部に設置される少なくとも１つのバーであり、前記バーには少なくとも１つのフィンが形成されている、請求項９に記載の樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項１１】
前記フィンの代わりに、回転するファンが設置されている、請求項１０に記載の樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項１２】
供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
前記開口部の面積がその内部の断面積よりも小さい、樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項１３】
供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
前記開口部は、その長さおよび開口面積が実質上等しい複数の開孔から構成されており、
前記開孔の数は、各開孔における前記樹脂蒸気の流速が実質上均一となる数である、樹脂蒸気噴出ノズル。
【請求項１４】
請求項３〜１３のいずれかに記載の樹脂蒸気噴出ノズルと、
前記樹脂蒸気を蒸着すべき支持体を駆動するための駆動機構と、を備える、樹脂薄膜形成装置。
【請求項１５】
樹脂を加熱することにより樹脂蒸気を生成する工程と、
前記樹脂蒸気を蒸着すべき支持体を駆動する工程と、
前記支持体の移動方向に対して直交する方向において、前記樹脂蒸気の噴出流速を実質上均一にして、前記樹脂蒸気を前記支持体に蒸着する工程と、を備える、樹脂薄膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンデンサなどの電子部品の誘電体層や薄膜回路基板の絶縁層等の製造のための、樹脂蒸気噴出ノズル、樹脂薄膜形成装置、および樹脂薄膜形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年のトレンドとして、コンデンサなどの電子部品や回路基板などにおいて、超小型化、超薄膜化が求められている。これらの製造においては、金属薄膜や樹脂薄膜の薄膜形成技術が用いられている。金属薄膜の形成に関しては、真空蒸着、スパッタ蒸着など、金属薄膜を所定の膜厚にて均一に成膜する技術は多く知られている。樹脂薄膜の形成に関しては、従来、リバースコートやダイコートなどの塗装による薄膜形成が用いられてきた。しかしこの方法であると、薄膜化に限界があり、１μm以下の樹脂薄膜の形成は困難である。そこで、真空中にて、液状の樹脂を真空中で加熱し樹脂蒸気を発生させ、樹脂蒸気を移動する支持体上に付着させ、連続的に樹脂薄膜を形成することで、1μm以下の薄い樹脂薄膜を成膜できる樹脂薄膜形成方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図７に真空蒸着にて樹脂薄膜を形成する装置の一例の断面図を示す。樹脂薄膜の形成は、真空ポンプ１１８により真空状態に保たれている真空チャンバ１０１で行われる。この真空チャンバ１０１内には、樹脂薄膜を形成する支持体供給用のロール１０５や回転ドラム１１２、樹脂蒸気を吹き出す樹脂蒸気噴出ノズル１１０２、樹脂薄膜を硬化する紫外線照射装置１１３がそれぞれ設置されている。
【０００４】
樹脂薄膜を形成する帯状の支持体１０６は、巻き出しロールに巻かれている。帯状の支持体１０６は、回転方向１０４の向きに回転する巻き出しロール１０５から巻きだされ、ガイドロール１０７を経て回転方向１１１の向きに回転する回転ドラム１１２表面上を走行する。そして、ガイドロール１０８を経て、回転方向１１０の向きに回転する巻き取りロールにより巻き取られる。帯状の支持体としては、例えば、長尺のＰＥＴフィルムやＰＥＮフィルムあるいは、Ａｌなどを蒸着したこれらの長尺フィルムが使用できる。
【０００５】
樹脂蒸気噴出ノズル１１０２は、回転ドラムの近傍に設置され、樹脂蒸気を支持体に対して樹脂蒸気を吹き付けることで支持体１０６表面上に樹脂薄膜を形成する。この樹脂薄膜形成用の樹脂薄膜形成置内の奥側には、金属できた傾斜板１１４が設置されている。傾斜板上部には、樹脂薄膜の材料となる液体樹脂を供給する樹脂供給配管１１６が設置してある。傾斜板は、熱伝導性の良い銅などの金属でできている。傾斜板裏面にはヒータ１１５が設置され、傾斜板１１４に上部から供給した液体樹脂が傾斜板上部から下部へ流動するとき、ヒータの熱により液体樹脂が加熱され樹脂蒸気となる。液体樹脂の供給量は、所定の膜厚になるように、流量調節バルブ１１７により調節する。
【０００６】
傾斜板１１４上で発生した樹脂蒸気は、回転ドラム１１２が設置されている真空チャンバ１０１の方へ引かれていき、樹脂蒸気噴出ノズル１１０２の開口部１１０３から、回転ドラム１１２に向かって吹き出される。回転ドラムが設置してある領域の真空度は約0.0５Ｐａ程度に保たれ、樹脂蒸気噴出ノズル内は約１Ｐａ程度に圧力が保たれている。回転ドラム表面には、支持体１０６が走行しており、樹脂薄膜が樹脂蒸気噴出ノズルから吹き付けられることにより、支持体表面へ樹脂薄膜を形成する。回転ドラムの周速は約４０ｍ／ｍｉｎ〜１００ｍ／ｍｉｎの周速で回転しており、必要とされる樹脂薄膜の厚みによって調節される。また、樹脂蒸気噴出ノズルから吹き出された樹脂蒸気が効率よく支持体表面上で樹脂薄膜となるように、回転ドラムは−１０℃〜１０℃程度の温度で冷却されている。
【０００７】
支持体表面上に形成された液体の樹脂薄膜は、紫外線照射装置１１３から紫外線を照射されることによって、必要とされる硬さに硬化処理される。硬化した樹脂は巻き取りロール１０９によって巻き取られる。
【０００８】
図８は、樹脂蒸気噴出ノズル１１０２の外観を示す。開口部１１０３の形状は樹脂蒸気噴出ノズル１１０２の内部と実質上同じ形状である。
【特許文献１】特開平９−３１０１７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、前記従来の樹脂薄膜形成方法では、樹脂蒸気が支持体表面の幅方向に対して均一に吹き付けることが難しい。そのため、支持体の幅方向に対して均一な厚みを有する樹脂薄膜の形成が困難である。樹脂薄膜の膜厚分布は、支持体中央部が最も厚く、端部にいくに従って、膜厚が薄くなる凸型の膜厚分布となる傾向がある。
【００１０】
また、仮に幅方向の樹脂膜厚の分布の程度がある条件で問題でない場合があったとしても、必要とされる樹脂膜厚が変わった場合、樹脂蒸気が通る通路中の圧力が必然的に変化し、樹脂蒸気を吹き付ける樹脂蒸気の吹き出し量の分布が支持体の幅方向に対して変化する。従って、必要とされるその時々の樹脂蒸気の圧力に対応して幅方向の樹脂蒸気の吹き出し量の分布も変化するので、均一な樹脂薄膜形成が困難であった。また、長時間、移動する支持体に樹脂蒸気を吹き付ける場合についても、樹脂蒸気の通路中の圧力変動が発生し、樹脂蒸気の噴出量分布が支持体の幅方向に対して変化する。この場合においても、均一な樹脂薄膜形成が困難となるため、長時間における樹脂薄膜の形成が困難である。
【００１１】
以上のことより、従来の樹脂薄膜形成方法において、樹脂膜厚などの製造条件が制限される、あるいは、長時間の製造ができないため、製造コストの上昇、生産性低下という課題を抱えている。
【００１２】
本発明は、前記従来の課題を考慮し、噴出する樹脂蒸気の圧力変動を抑制することができる樹脂蒸気噴出ノズル、樹脂薄膜形成装置、樹脂薄膜形成方法を提供することを目的とする。
【００１３】
また、本発明は、所定の方向における膜厚の変動を抑制することができる樹脂蒸気噴出ノズル、樹脂薄膜形成装置、樹脂薄膜形成方法を提供することを別の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するために、第１の本発明は、供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
その内部または前記開口部には、複数の仕切りが形成されており、
前記各仕切りの長さは、実質上全体の３０％以上の長さである、樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００１５】
第２の本発明は、前記仕切りの長さ、および前記全体の長さは、前記樹脂蒸気が流れる方向に沿った長さである、第１の本発明の樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００１６】
第３の本発明は、供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
その内部または前記開口部には、複数の仕切りが形成されており、
前記複数の仕切が並んでいる方向において、周辺部において隣接する仕切りどうしの少なくとも一部の間隔が、中央部において隣接する仕切りどうしの少なくとも一部の間隔よりも広い、樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００１７】
第４の本発明は、前記周辺部において隣接する仕切りどうしの前記開口部側の間隔が、前記中央部において隣接する仕切りどうしの前記開口部側の間隔よりも広い、第３の本発明の樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００１８】
第５の本発明は、前記周辺部において隣接する仕切りどうしの樹脂蒸気供給側の間隔が、前記中央部において隣接する仕切りどうしの前記樹脂蒸気供給側の間隔よりも広い、第３の本発明の樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００１９】
第６の本発明は、前記各仕切りどうしの間隔は、噴出する前記樹脂蒸気の流速が実質上均一となる間隔である、第３〜５のいずれかの本発明の樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００２０】
第７の本発明は、供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
その内部または前記開口部には、複数の仕切りが形成されており、
中央部における前記仕切りの長さが、周辺部における前記仕切りの長さよりも長い、樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００２１】
第８の本発明は、前記各仕切りの長さは、噴出する前記樹脂蒸気の流速が実質上均一となる長さである、第７の本発明の樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００２２】
第９の本発明は、供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
その内部または前記開口部には、噴出すべき樹脂蒸気の少なくとも一部の流れを乱すための障害部が形成されている、樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００２３】
第１０の本発明は、前記障害部は、前記開口部に設置される少なくとも１つのバーであり、前記バーには少なくとも１つのフィンが形成されている、第９の本発明の樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００２４】
第１１の本発明は、前記フィンの代わりに、回転するファンが設置されている、第１０の本発明の樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００２５】
第１２の本発明は、供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
前記開口部の面積がその内部の断面積よりも小さい、樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００２６】
第１３の本発明は、供給される樹脂蒸気を噴出するための開口部を有し、
前記開口部は、その長さおよび開口面積が実質上等しい複数の開孔から構成されており、
前記開孔の数は、各開孔における前記樹脂蒸気の流速が実質上均一となる数である、樹脂蒸気噴出ノズルである。
【００２７】
第１４の本発明は、第３〜１３のいずれかの本発明の樹脂蒸気噴出ノズルと、
前記樹脂蒸気を蒸着すべき支持体を駆動するための駆動機構と、を備える、樹脂薄膜形成装置である。
【００２８】
第１５の本発明は、樹脂を加熱することにより樹脂蒸気を生成する工程と、
前記樹脂蒸気を蒸着すべき支持体を駆動する工程と、
前記支持体の移動方向に対して直交する方向において、前記樹脂蒸気の噴出流速を実質上均一にして、前記樹脂蒸気を前記支持体に蒸着する工程と、を備える、樹脂薄膜形成方法である。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、噴出する樹脂蒸気の圧力変動を抑制することができる樹脂蒸気噴出ノズル、樹脂薄膜形成装置、樹脂薄膜形成方法を提供することができる。
【００３０】
また、本発明によれば、所定の方向における膜厚の変動を抑制することができる樹脂蒸気噴出ノズル、樹脂薄膜形成装置、樹脂薄膜形成方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
（実施の形態１）
図１に本発明の脂薄膜形成装置の構成の一例を示す。本発明の樹脂薄膜形成装置と図７に示す従来の樹脂薄膜形成装置との違いは、樹脂蒸気噴出ノズル１０２にある。
【００３２】
図１に示す樹脂薄膜形成装置において、樹脂蒸気噴出ノズル１０２で発生した樹脂蒸気は、真空チャンバ１０１内の圧力差によって、樹脂蒸気噴出ノズルの開口部１０３へ移動する。樹脂蒸気が、薄膜形成装置内で移動するとき、樹脂蒸気は気体と同じような挙動を示すため、樹脂蒸気噴出ノズルの内壁と摩擦を生じる。この配管抵抗（コンダクタンス）のため、樹脂蒸気の流れは、樹脂蒸気噴出ノズル内で、外壁から離れるに従って、移動速度の速い流れとなる。すなわち、中央部での流れの流速が大きな凸型の流れを形成する。これが、膜厚分布を凸型にする要因である。よって、樹脂蒸気噴出ノズルから吹きだされる樹脂蒸気の流れを平滑化すれば良い。
【００３３】
図２は、本発明の実施の形態１における樹脂蒸気噴出ノズルの概略図である。図２において、２０４は支持体の幅方向を示し２０３は支持体の移動方向を示す。図２に示すように、樹脂開口部に仕切り板２０２を複数枚設置することで、樹脂蒸気の流れを整流化し、樹脂開口部から吹きだされる樹脂蒸気の流れを均一化にする。つまり、仕切り板２０３を複数設置することで、樹脂蒸気噴出ノズル内での樹脂流れの分布を細分化するので、細分化されたそれぞれの領域を通過する樹脂流れのばらつきが低減化される。よって、それぞれ細分化した領域から樹脂流れの分布ばらつきの少ない蒸気が吹き出されるので、均一な膜厚の樹脂薄膜を支持体に形成することができる。ここで、樹脂蒸気噴出ノズル２０１の長さ（樹脂蒸気が進行する方向の寸法）に対して仕切り板２０２の長さを実質上３０％以上の長さとすると、膜厚などを変えた場合においても、樹脂蒸気噴出ノズル内での圧力が変動し、樹脂流れの分布が変化した場合においても、仕切り板２０３による整流効果で、樹脂蒸気の流れが平滑化されるので、均一な膜厚の樹脂薄膜を支持体上に形成することができる。
【００３４】
（実施例１）
本発明の実施の形態１の樹脂蒸気噴出ノズル１０２の長さを変更して樹脂蒸気の圧力変動による影響を確認した。例えば樹脂蒸気噴出ノズル１０２の長さを５０００ｍｍとし、その開口部１０３の寸法を３００ｍｍ×３００ｍｍとした場合、仕切り板１０２の長さの樹脂蒸気噴出ノズル１０２の全長に対する割合を変化させたときの、膜均一性（樹脂薄膜の幅方向２００ｍｍ幅に対して）の評価を（表１）に示す。
【００３５】
【表１】
2005220383.tif 000003
【００３６】
（表１）より明らかなように、各仕切り板の長さを全体の長さに対して３０％以上にすることにより、圧力が変動しても膜厚は比較的均一に形成されることがわかった。
【００３７】
（実施の形態２）
図３（ａ）〜（ｃ）は、本発明の実施の形態２の樹脂蒸気噴出ノズル１０２を支持体の垂直方向からみた断面図であり、２０４が支持体の幅方向で紙面に垂直方向が支持体の移動方向である。図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、仕切り板の間隔を調整することで、支持体の幅方向における膜厚均一化を図ることができる。すなわち、中央部の仕切り板２０２どうしの間隔を周辺部における仕切り板２０２どうしの間隔よりも広げる。このとき、図３（ａ）に示すように、仕切り板２０２全体の間隔について、上記のように調整してもよいし、図３（ｂ）  に示すように、仕切り板の途中から仕切り板の角度を変えて、仕切り板２０２の開口部１０３側における仕切り板２０２の間隔を調整しても良い。また、図３（ｃ）に示すように仕切り板２０２の、樹脂蒸気供給側の間隔を調整してもよい。上記のように、仕切り板２０２の間隔を調整することにより、中央部の仕切り板２０２の間は、コンダンタンスが相対的に低いため樹脂蒸気が流れにくくなり、周辺部の仕切り板２０２の間は、コンダクタンス相対的に高いため樹脂蒸気が流れやすくなる。その結果、支持体の幅方向には均一な樹脂薄膜を形成することができる。
【００３８】
つまり、仕切り板２０２の間隔を変えることにより、樹脂流れの分布の平滑化を幅方向で更に調整することができるので、樹脂開口部から吹き出される樹脂流れの均一性がさらに向上する。中央部で樹脂蒸気の大きい凸型の流れを平滑化するため、中央部での仕切り板の間隔を狭め、端部にいくにしたがって、広げるように配置するのが良い。仕切り板の間隔は、中央から端部にいくに従って、間隔を３０％ずつ広げるのが好ましい。
【００３９】
図３（ｄ）は、仕切り板２０２の間隔を調整する代わりに、仕切り板２０２の長さを調整した場合を示す断面図である。同図のように、中央部の仕切り板２０２の長さを長くし、周辺部の仕切り板２０２の長さを短くすることにより、中央部のコンダクタンスを相対的に低くし、周辺部のコンダクタンスを相対的に高くすることができる。その結果、中央部を通る樹脂蒸気の流れが悪くなり、周辺部を通る樹脂蒸気の流れが良くなる。そして、支持体の幅方向には均一な樹脂薄膜を形成することができる。
【００４０】
つまり、各仕切り板の間の配管抵抗を異ならせることで、仕切り板で細分化された領域を流れる樹脂蒸気の流れの分布が変わってくる。つまり、中央部での仕切り板の長さを長くして、端部にいくほど短くすることで、仕切り板で区切られた、それぞれの領域から噴出する樹脂流れは均一化する。よって、支持体表面に均一な膜厚の樹脂薄膜を形成することができる。中央部から端部に行くに従って、仕切り板の長さを30〜45％伸ばすのが好ましい。
【００４１】
図３（ｅ）は、図３（ｃ）の場合と図３（ｄ）に示す場合との組み合わせであり、同様の効果を得ることができる。
【００４２】
本実施の形態においては、樹脂薄膜形成時に、支持体１０６の表面に形成した樹脂の膜厚を計測し、この計測結果をもとに、仕切り板の間隔や長さを制御するシステムを設置すると尚好ましい。
【００４３】
また、樹脂薄膜形成時に、上記で説明した仕切り板に樹脂上記が付着しないように、仕切り板内にヒータなどの発熱体を取り付けて加熱するのが好ましい。
【００４４】
（実施例２）
実施例１で示した樹脂蒸気噴出ノズル２０１において、図３（ａ）（ｂ）（ｅ）に示す仕切り板の形状を採用することにより、さらに幅方向の均一性が向上した。その結果を、（表２）に示す。
【００４５】
【表２】
2005220383.tif 000004
【００４６】
（実施の形態３）
本実施の形態は、樹脂蒸気噴出ノズルの開口部の形態が実施の形態２と異なる。図４は、実施の形態２における樹脂蒸気噴出ノズルの概略図である。図４において、２０４は支持体の幅方向を示し２０３は支持体の移動方向を示す。
【００４７】
図４に示すように、樹脂蒸気が吹き出す開口部へ、複数のフィン２１４が取り付けてあるバー２０５が複数本設置してある。よって、樹脂蒸気噴出ノズル内を移動して、樹脂蒸気の開口部から樹脂蒸気が吹き出るとき、このフィン２１４によって、樹脂の流れが乱される。フィンによって、樹脂流れが乱されることによって、樹脂流れの分布が平均化され、支持体表面に対して、均一な樹脂薄膜を形成することができる。また、樹脂蒸気の量が変化しても、樹脂開口部のあるフィンによって、樹脂蒸気の流れが乱されるため、どのような条件下であっても、均一な樹脂膜厚を形成することができる。
【００４８】
フィンの形状に関しては、円柱、角柱、薄板など、気流を乱す作用のある形状であれば良い。また、フィンを取り付けたバーの本数も、樹脂流れの気流を乱すだけの本数を設置すればよい。また、幅方向に対して、バーの設置間隔を変えると尚良い、すなわち、樹脂流れの早い中央部においては、バーの設置間隔を短くし、端部にいくに従って、設置間隔を広げると良い。また、中央部でのフィンの本数を多くし、中央部での樹脂の蒸気の流れを乱す量を増加させても良いし、中央部にフィンをつけたバーを数本設置し、端部にいくにしたがって、バーの数を減らしもよい。
【００４９】
フィンを取り付けたバーの代わりに、複数のファンを設置したバーをとりつけても同様の効果が得られる。よって、ファンを取り付けたバーを、フィンをつけたバーと同じように設置しても良い。
【００５０】
また、これらのバーにおいては、樹脂蒸気が付着しないようにヒータを取り付けて加熱するのが好ましい。
【００５１】
なお、本実施の形態においては、樹脂蒸気噴出ノズル２０１の開口部１０３において、樹脂蒸気の流れが乱れる構造物または障害物があればよい。その場合、樹脂蒸気の流れの中央部分のみを乱すことによっても、程度の差はあれ、樹脂蒸気の流れは均一化されるので、上記と同様の効果を得ることができる。または、流れが乱されるのは中央部分に限らず、周辺部分の流れが乱される構成であっても、程度の差はあれ、同様の効果を得ることができる。さらに、開口部１０３の少なくとも一部において、樹脂蒸気の流れが乱されることによっても、程度の差はあれ、同様の効果を得ることができる。例えば、金網状のものが、開口部１０３に設置されることも考えられる。
【００５２】
また、上述の樹脂蒸気の流れを乱す障害は、樹脂蒸気噴出ノズル２０１の開口部１０３ではなく、その内部に形成されていてもよい。その、場合も同様の効果を得ることができる。
【００５３】
（実施の形態４）
本実施の形態は、樹脂蒸気噴出ノズルの開口部１０３が実施の形態２の場合と異なる。図５は、実施の形態４における樹脂蒸気噴出ノズルの概略図である。図５において、２０４は支持体の幅方向を示し２０３は支持体の移動方向を示す。
【００５４】
図５に示すように、樹脂蒸気噴出ノズルの樹脂発生部から樹脂蒸気を吹き出す樹脂蒸気開口部において、樹脂蒸気が通過する通路断面積を開口部にいくに従って狭めてある。樹脂導入部に対して、開口部での断面積２０６を４５〜３０％狭めるのが好ましい。樹脂蒸気が通過する経路の断面積が狭まるので、樹脂蒸気による圧力が高まり、それに伴って、樹脂流れの分布が平滑化される。よって、樹脂開口部から支持体へ吹き出される樹脂蒸気の分布が均一なため、支持体上で均一な膜厚の樹脂薄膜が形成される。
【００５５】
なお、通路断面積は、開口部１０３において、徐々に狭くなのではなく、急に狭くなってもよい。すなわち、開口部１０３における開口面積が、通路断面積よりも小さくなっていれば同様の効果を得ることができる。
【００５６】
（実施例４）
本実施の形態の樹脂蒸気噴出ノズル２０１を使用して得られた結果を（表３）に示す。
【００５７】
【表３】
2005220383.tif 000005
【００５８】
表３より、樹脂蒸気の圧力が上昇するほど、すなわち、通路断面積に比べて開口部１０３の開口面積を小さくするほど、均一な膜を形成することができることがわかった。
【００５９】
（実施の形態５）
図６に本発明の実施の形態５の樹脂蒸気噴射ノズル２０１の外観を示す。本実施の形態の樹脂蒸気噴射ノズル２０１は、図６に示すように、開口部１０３でハニカム構造物２０７を開口部１０３に設置している。樹脂蒸気がこのハニカム構造物２０７を通過することで、樹脂流れが微細な開孔に細分化され、実施の形態１で説明した整流効果と共に、配管抵抗により、樹脂蒸気の内圧が高まり、樹脂開口部を狭めるのと同等の作用を起こし、実質上均一な流速の樹脂がハニカムの穴それぞれから噴出し、均一な膜厚の樹脂薄膜を支持体上に形成する。ハニカム構造物においては、例えば、３ｍｍ角〜１０ｍｍ角で長さ１０ｍｍ〜５０ｍｍのハニカムであることが好ましい。しかし、開孔の形状はハニカムでなくて、格子状のものや、他の多角形のものでも良い。但し、１０００分割以上、細かく細分化されていることが好ましい。開孔がこの程度に細分化されていれば、実質上、各開孔の内部を通過する樹脂蒸気の流速を均一化することができる。
【００６０】
なお、以上までの実施の形態の説明において、樹脂蒸気噴出ノズル２０１がすでに説明した実施の形態１〜５のものを任意に選択して複数組み合わせた構造を有するものであっても良い。各実施の形態の特徴を上手く組み合わせることにより、支持体上へ形成する樹脂薄膜の膜厚を一層、均一にすることができる。例えば、実施の形態１の樹脂蒸気噴出ノズル２０１を実施の形態２〜５のいずれかに組み合わせることにより、樹脂蒸気の圧力変動の影響を抑制することができ、かつ、支持体１０６の幅方向における樹脂薄膜の厚みをより均一化することができる。
【００６１】
また、以上までの本発明の実施の形態１〜５の樹脂蒸気噴出ノズル２０１を備える、樹脂薄膜形成装置も本発明の範疇に含まれる。
【００６２】
また、蒸気の樹脂薄膜形成装置を利用して樹脂薄膜を形成する方法も本発明の範疇に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明にかかる、樹脂蒸気噴出ノズル、樹脂薄膜形成装置、および樹脂薄膜形成方法によれば、噴出する樹脂蒸気の圧力変動を抑制することができ、または、本発明によれば、所定の方向における膜厚の変動を抑制することができ、コンデンサ等の電子部品や回路基板製造装置等に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の樹脂薄膜形成装置の構成を示す図
【図２】本発明の実施の形態１における樹脂蒸気噴出ノズルの外観図
【図３】（a）本発明の実施の形態２における仕切り板の間隔を変えた場合の断面図（b）本発明の実施の形態２における仕切り板の間隔を変えた場合の断面図（c）本発明の実施の形態２における仕切り板の長さを変えた場合の断面図（ｄ）本発明の実施の形態２における仕切り板の長さを変えた場合の断面図（ｅ）本発明の実施の形態２における仕切り板の長さおよび間隔を変えた場合の断面図
【図４】本発明の実施の形態３における樹脂蒸気噴出ノズルの外観図
【図５】本発明の実施の形態４における樹脂蒸気噴出ノズルの外観図
【図６】本発明の実施の形態５における開口部にハニカムを設置した場合の外観図
【図７】従来技術の樹脂薄膜形成装置の構成を示す図
【図８】従来技術の樹脂蒸気噴出ノズルの斜視図
【符号の説明】
【００６５】
１０１  真空チャンバ
１０２  樹脂蒸気噴出ノズル
１０３  樹脂蒸気吹き出し開口部
１０４  回転方向
１０５  巻き出しロール
１０６  帯状の樹脂薄膜支持体
１０７  巻き出し側ガイドロール
１０８  巻き取り側ガイドロール
１０９  巻き取りロール
１１０  回転方向
１１１  回転ドラムの回転方向
１１２  回転ドラム
１１３  紫外線照射装置
１１４  傾斜板
１１５  傾斜板加熱用ヒータ
１１６  液体樹脂供給管
１１７  液体樹脂供給バルブ
１１８  真空ポンプ
２０１  樹脂蒸気噴出ノズル
２０２  仕切り板
２０３  支持体移動方向
２０４  支持体幅方向
２０５  フィン付きバー
２０６  樹脂開口部
２０７  ハニカム構造物
２０８  樹脂開口部
２０９  樹脂吹き出し開口部と支持体とのギャップ長
２１０  隔壁
２１１  樹脂蒸気供給配管
２１２  シャワープレート
２１３  貫通孔
２１４  フィン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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