(57)【要約】      （修正有）【課題】  ＬＳＩチップ間の信号線から検査信号を入力することにより高速・高周波試験検査を行い、良品検査を高精度に行うことにより信頼性を確保することのできるシステムインパッケージ試験検査装置及び試験検査方法を提供する。【解決手段】システムインパッケージの高速・高周波特性を計測評価するシステムインパッケージ試験検査装置１００であって、前記システムインパッケージの入出力端子が接続されると共に、高速及び高周波信号を伝送可能なプリント配線基板２と、前記ＬＳＩチップを駆動するＬＳＩチップ駆動手段と、コンタクト電極を有し、高周波信号を伝送するコンタクトプローブ２と、前記コンタクトプローブ２に高周波の評価信号を供給する評価信号発生手段６と、前記プリント配線基板２を通じて前記システムインパッケージの出力信号を検出する出力信号検出手段７と、前記出力信号検出手段により検出された信号を解析する解析手段８とを備える。【選択図】  図１
2005308558.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に金属配線を有するＬＳＩパッケージの一方の面に入出力端子が形成され、他方の面に複数のＬＳＩチップが多段に積層されると共に、ＬＳＩチップとＬＳＩパッケージとの電気的接続及びＬＳＩチップ間の電気的接続がそれぞれに形成された電極パッドを介してなされたシステムインパッケージの高速・高周波特性を計測評価するシステムインパッケージ試験検査装置であって、
前記システムインパッケージの入出力端子が接続されると共に、高速及び高周波信号を伝送可能なプリント配線基板と、前記ＬＳＩチップを駆動するＬＳＩチップ駆動手段と、コンタクト電極を有し、高周波信号を伝送するコンタクトプローブと、前記コンタクトプローブに高周波の評価信号を供給する評価信号発生手段と、前記プリント配線基板を通じて前記システムインパッケージの出力信号を検出する出力信号検出手段と、前記出力信号検出手段により検出された信号を解析する解析手段とを備え、
前記コンタクトプローブのコンタクト電極を、前記ＬＳＩチップに形成された電極パッドに接触させることにより、前記ＬＳＩパッケージ内の金属配線を介さず、前記評価信号をＬＳＩチップに入力することを特徴とするシステムインパッケージ試験検査装置。
【請求項２】
前記コンタクトプローブのコンタクト電極は、信号電極とグランド電極とを有し、それら電極間の距離が５０μｍ〜１００μであることを特徴とする請求項１に記載されたシステムインパッケージ試験検査装置。
【請求項３】
前記コンタクトプローブは、それぞれ独立した信号を伝送する複数のコンタクト電極を有し、前記複数のコンタクト電極は、等間隔かつ並列に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載されたシステムインパッケージ試験検査装置。
【請求項４】
前記プリント配線基板に形成された信号伝送配線は、信号線の周りを絶縁層で取り囲み、その外側をシールド電極で覆った同軸線路構造であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載されたシステムインパッケージ試験検査装置。
【請求項５】
内部に金属配線を有するＬＳＩパッケージの一方の面に入出力端子が形成され、他方の面に複数のＬＳＩチップが多段に積層されると共に、ＬＳＩチップとＬＳＩパッケージとの電気的接続及びＬＳＩチップ間の電気的接続がそれぞれに形成された電極パッドを介してなされたシステムインパッケージの高速・高周波特性を計測評価するシステムインパッケージ試験検査方法であって、
高速及び高周波信号を伝送可能なプリント配線基板に、前記システムインパッケージの入出力端子を接続する工程と、
高周波信号を伝送するコンタクトプローブのコンタクト電極を、前記ＬＳＩチップに形成された電極パッドに接触させ、該電極パッドを通じてＬＳＩチップに高周波の評価信号を入力する工程と、
前記プリント配線基板を通じて前記システムインパッケージの出力信号を検出する工程と、
前記出力信号を解析する工程とを含むことを特徴とするシステムインパッケージ試験検査方法。
【請求項６】
前記コンタクトプローブのコンタクト電極は、信号電極とグランド電極とを有し、それら電極間の距離が５０μｍ〜１００μであることを特徴とする請求項５に記載されたシステムインパッケージ試験検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子情報通信システムの実装技術分野に関し、半導体集積回路（ＬＳＩ）チップ等の多数の電子部品を搭載した実装構造体上にシステムを構築したシステムインパッケージ（ＳＩＰ）の高速・高周波電気特性を計測評価するためのシステムインパッケージ試験検査装置および試験検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
システムインパッケージ（以下、ＳＩＰと称する）は、複数のＬＳＩチップを一つのパッケージの中に実装する技術であり、既存のＬＳＩチップを用いて高密度かつ高速の電子システムの構築が可能であるため、携帯電話をはじめとするユビキタス高機能情報機器への応用開発が精力的に進められている。
ＳＩＰの種類としては、図７に示すように、構造により分類すると、チップスタック型、パッケージスタック型、ウエハスタック型、プレーンマルチチップ型等がある。
【０００３】
ＳＩＰのうち、前記パッケージスタック型、プレーンマルチチップ型については、実用化が進んでおり、すでに広く用いられている。
一方、パッケージスタック型は、チップ間の配線が短くなり高速化が達成できるため、開発が盛んに行われており、一部が実用化されている。特に、チップスタック型は、携帯電話、デジタルカメラ、ＰＤＡ（パーソナル・デジタル・アシスタンス）等、小型化と高性能化の要求が強い携帯電子機器に採用されつつある。このチップスタック型の半導体装置については、例えば、特許文献１に記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−３１６４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、ＳＩＰに要求される性能は機器の高性能化に伴って、数ＧＨｚから数十ＧＨｚの周波数領域で高い電気性能と信頼性を求めらており、その高速・高周波の電気性能を高精度に計測評価するための試験検査装置が望まれている。
前記パッケージスタック型、プレーンマルチチップ型については、その試験検査も、従来の技術で対応することができるが、ＳＩＰの中でも大幅な低コスト化が期待でき、今後急速に普及すると予想されるチップスタック型ＳＩＰに関しては、高速・高周波試験検査技術は、未開発の状況である。
【０００６】
図８に、チップスタック型ＳＩＰの一例を示す。図示するように、チップスタック型のＳＩＰ２００においては、ＬＳＩパッケージ２０１上に複数の寸法の異なるＬＳＩチップ２０２、２０３、２０４、２０５が多段に積層され、それぞれに形成されたボンディングパッドＰがボンディングワイヤＷにより結線されている。尚、ＳＩＰ２００全体としての入出力信号は、図に対してＬＳＩパッケージ２０１の下側に形成されたハンダボールＢにより入出力される。
【０００７】
このようなチップスタック型のＳＩＰ２００においては、ＳＩＰとしての試験検査は入出力端子であるハンダボールＢを介して可能である。しかしながら、高速・高周波特性の検査においては、ＬＳＩパッケージ２０１内の長い配線に起因するインダクタンスの影響により、高周波信号を伝送できず、精度よく検査することができなかった。
前記課題を解決するためには、ＬＳＩパッケージ２０１を介さず、ＬＳＩチップ間の信号線、すなわちボンディングパッドＰやボンディングワイヤＷに対して直接、試験用の評価信号を入力できればよいが、そのピッチが微細であるため、従来のプローブでは任意の信号線のみに押し当てる（コンタクトする）ことが出来なかった。すなわち、チップスタック型にあっては、積層されたＬＳＩチップ間の信号線からの検査用信号入力ができず、試験検査においては必ずＬＳＩパッケージ２０１を介して検査用信号を入力することとなり、高精度に高速・高周波特性の検査を行うことが出来なかった。
【０００８】
本発明は、前記したような事情の下になされたものであり、チップスタック型ＳＩＰの製造にあたって、ＬＳＩチップ間の信号線から検査信号を入力することにより高速・高周波試験検査を行い、良品検査を高精度に行うことにより信頼性を確保することのできるシステムインパッケージ試験検査装置及び試験検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明にかかるシステムインパッケージ試験検査装置は、内部に金属配線を有するＬＳＩパッケージの一方の面に入出力端子が形成され、他方の面に複数のＬＳＩチップが多段に積層されると共に、ＬＳＩチップとＬＳＩパッケージとの電気的接続及びＬＳＩチップ間の電気的接続がそれぞれに形成された電極パッドを介してなされたシステムインパッケージの高速・高周波特性を計測評価するシステムインパッケージ試験検査装置であって、前記システムインパッケージの入出力端子が接続されると共に、高速及び高周波信号を伝送可能なプリント配線基板と、前記ＬＳＩチップを駆動するＬＳＩチップ駆動手段と、コンタクト電極を有し、高周波信号を伝送するコンタクトプローブと、前記コンタクトプローブに高周波の評価信号を供給する評価信号発生手段と、前記プリント配線基板を通じて前記システムインパッケージの出力信号を検出する出力信号検出手段と、前記出力信号検出手段により検出された信号を解析する解析手段とを備え、前記コンタクトプローブのコンタクト電極を、前記ＬＳＩチップに形成された電極パッドに接触させることにより、前記ＬＳＩパッケージ内の金属配線を介さず、前記評価信号をＬＳＩチップに入力することに特徴を有する。
尚、前記コンタクトプローブのコンタクト電極は、信号電極とグランド電極とを有し、それら電極間の距離が５０μｍ〜１００μであることが望ましい。また、前記コンタクトプローブは、それぞれ独立した信号を伝送する複数のコンタクト電極を有し、前記複数のコンタクト電極は、等間隔かつ並列に設けられていてもよい。
【００１０】
このように、システムインパッケージ上に多段積層されたＬＳＩチップ間の信号線にコンタクトすることのできるプローブを用い、また、高速・高周波の信号を扱うことができるプリント配線基板を用いることにより、高速・高周波の試験検査を高精度に行うことができる。すなわち、ＬＳＩパッケージ内に形成された金属配線を介さずにＬＳＩチップに対して検査信号を入力することができ、ＬＳＩパッケージ内のインダクタンスの影響を大幅に低減でき、高周波信号を良好に伝送することができる。
したがって、システムインパッケージの製造現場において、良品検査の実施、信頼性の確保を達成することができる。
【００１１】
また、前記プリント配線基板に形成された信号伝送配線は、信号線の周りを絶縁層で取り囲み、その外側をシールド電極で覆った同軸線路構造であることが望ましい。
これにより、高速・高周波領域の信号を伝送することが可能となり、また、各信号線間のクロストーク、外部ノイズの影響を低減させることができる。
【００１２】
また、上記課題を解決するために、本発明にかかるシステムインパッケージ試験検査方法は、内部に金属配線を有するＬＳＩパッケージの一方の面に入出力端子が形成され、他方の面に複数のＬＳＩチップが多段に積層されると共に、ＬＳＩチップとＬＳＩパッケージとの電気的接続及びＬＳＩチップ間の電気的接続がそれぞれに形成された電極パッドを介してなされたシステムインパッケージの高速・高周波特性を計測評価するシステムインパッケージ試験検査方法であって、高速及び高周波信号を伝送可能なプリント配線基板に、前記システムインパッケージの入出力端子を接続する工程と、高周波信号を伝送するコンタクトプローブのコンタクト電極を、前記ＬＳＩチップに形成された電極パッドに接触させ、該電極パッドを通じてＬＳＩチップに高周波の評価信号を入力する工程と、前記プリント配線基板を通じて前記システムインパッケージの出力信号を検出する工程と、前記出力信号を解析する工程とを含むことに特徴を有する。
尚、前記コンタクトプローブのコンタクト電極は、信号電極とグランド電極とを有し、それら電極間の距離が５０μｍ〜１００μであることが望ましい。
【００１３】
このような方法によれば、前記のシステムインパッケージ試験検査装置と同様の効果を得ることができる。すなわち、ＬＳＩパッケージ内に形成された金属配線を介さずにＬＳＩチップに対して検査信号を入力するため、ＬＳＩパッケージ内のインダクタンスの影響を大幅に低減でき、高周波信号を良好に伝送することができる。したがって、高速・高周波の試験検査を高精度に行うことができ、システムインパッケージの製造現場において、良品検査の実施、信頼性の確保を達成することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、チップスタック型ＳＩＰの製造にあたって、ＬＳＩチップ間の信号線から検査信号を入力することにより高速・高周波試験検査を行い、良品検査を高精度に行うことにより信頼性を確保することのできるシステムインパッケージ試験検査装置及び試験検査方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、この発明に係る実施の形態について、図に基づいて説明する。図１は、本発明に係るシステムインパッケージ試験検査装置（以下、ＳＩＰ試験検査装置と称す）の全体構成を示す斜視図である。
図示するＳＩＰ試験検査装置１００は、ＸＹＺ軸の３方向に精密移動可能な高精度移動ステージ１を備え、この高精度移動ステージ１上に高速・高周波信号を伝送可能なプリント配線基板としてのテストカード２が取り付けられている。さらに、テストカード２上には、測定するシステムインパッケージ（ＳＩＰと称す）１０を装着するためのＳＩＰソケット３が搭載されている。
【００１６】
また、このＳＩＰ試験検査装置１００は、検査用の評価信号を発生するＳＩＰ評価信号発生器６（評価信号発生手段）と、ＳＩＰ１０上のＬＳＩチップにコンタクトするための微動機構付き微細高周波プローブ４（コンタクトプローブ／以下、微細高周波プローブと称す）とを備える。前記微細高周波プローブ４は、同軸ケーブル５により、ＳＩＰ評価信号発生器６と接続されている。
さらに、ＳＩＰ試験検査装置１００は、ＳＩＰ１０からの出力信号を検出するＳＩＰ信号解析器７（出力信号検出手段）と、前記ＳＩＰ信号解析器７が検出した信号等からデータ解析を行う制御用コンピュータ８（解析手段）とを備える。
また、テストカード２とＳＩＰ評価信号発生器６、ＳＩＰ信号解析器７とは、それぞれ別の同軸ケーブル５で接続される。テストカード２とＳＩＰ用電源（ＬＳＩチップ駆動手段／図示せず）の接続は、電源ケーブル（図示せず）により接続される。
【００１７】
前記テストカード２は、図２に示すように円形のプリント配線基板であり、基板の両側に沿って、前記同軸ケーブル５に接続されるビアホール２ａが形成されており、基板の略中央における正方形の領域にはＳＩＰソケット３用の電極端子２ｂが設けられている。そして、各ビアホール２ａから電極端子２ｂに対して同軸線路２ｃが配列されている。
なお、テストカード２が通常のＦＲ−４（耐燃性ガラス基材エポキシ樹脂積層板）のプリント回路基板により形成されるならば、その基板を通じて供給される信号は、１００Ｍｂｐｓ以下の比較的低速であるため、１００ＭＨｚ以下の低い周波数領域に限られる。したがって、本発明に係るＳＩＰ試験検査装置１００においては、高周波信号に対応するため、前記したように同軸線路２ｃが配列されたテストカード２が用いられる。これにより、１Ｇｂｐｓ以上の高速で、１ＧＨｚ以上の高周波領域の高速・高周波の信号を扱うことが可能となり、また、各信号線間のクロストーク、外部ノイズの影響を低減させることができる。
尚、このような仕様を満たすテストカード２は、例えば株式会社神和が出願人である特許文献（特開平１０−６５３１３号公報、特開２００３−３４９７３１号公報）に開示される技術を用いることにより得ることができる。
【００１８】
また、前記微細高周波プローブ４は、高精度移動ステージ１上に設置されたプローブ支持体９の上に配置され、プローブ４の先端（コンタクト電極）は、微動機構により高精度に位置合わせできるように構成されている。測定時において微細高周波プローブ４は、真空吸着、磁力吸着などにより、コンタクト圧を得るためにプローブ支持体９に固定され、ＳＩＰ１０上の測定すべきＬＳＩチップにコンタクトされる。微細高周波プローブ４の先端は、ステージ１が有する上下方向微動機構により、ＸＹＺ軸の３方向及び回転方向の位置合わせを行うことが可能になされている。
【００１９】
すなわち、図３に示すように、例えばＳＩＰ１０が、入出力端子となる複数のハンダボールＢが下面に形成されたＬＳＩパッケージ７１上にＬＳＩチップ７１、７２、７３、７４、７５が積層され、それぞれに形成されたボンディングパッドＰがボンディングワイヤＷで接続されている場合、図示するように微細高周波プローブ４の先端Ｇが一つのボンディングパッドＰにコンタクトされる。
また、微細高周波プローブ４は、図４に示すように、微細なプローブ先端Ｇが多数並列に配列することにより多チャンネルに対応してもよい。尚、図４ではＬＳＩチップ７２に形成された複数のボンディングパッドＰに多チャンネル微細高周波プローブ４をコンタクトする様子を示している。
【００２０】
また、図３、図４に示す微細高周波プローブ４は、測定するＬＳＩチップのボンディングパッド電極のピッチ（５０ミクロンから１５０ミクロン程度）に対応して、信号電極とグランド電極の間隔が５０ミクロンから１００ミクロン程度の微細ピッチとなっている。
尚、この仕様を満たすプローブは、例えば、有限会社清田製作所が出願人である特許文献（特開２００２―２２７６９号公報、特開２００１−３１１７４４号公報、特開２００１―２４２１９３号公報、特開２０００−３４６８７２号公報等）に開示された技術を用いることにより得ることができる。
【００２１】
続いて、以上の構成によるＳＩＰ試験検査装置１００によるＳＩＰ１０に対する試験検査の手順について図５のフロー図に基づき説明する。
先ず、制御用コンピュータ８上のＳＩＰ試験検査解析プログラムに、検査するＳＩＰの回路データおよび検査解析データを登録する（図５のステップＳ１）。
試験検査するＳＩＰ１０をＳＩＰ用ソケット３に挿入し、ＳＩＰ１０上に多段積層されたＬＳＩチップの一つに対して、微細高周波プローブ４の先端をコンタクトさせる（図５のステップＳ２）。
次いで、ＳＩＰ用電源、ＳＩＰ評価信号発生器６からテストカード２と微細高周波プローブ４を通じて、電源と評価信号をＳＩＰ１０上のＬＳＩチップに供給する（図５のステップＳ３）。
次いで、ＳＩＰ１０からテストカード２を通じて出力される信号をＳＩＰ信号解析器７により、検出する（図５のステップＳ４）。
そして、制御用コンピュータ８において、ステップＳ４において検出された信号を検査解析データと比較しながら解析する（図５のステップＳ５）。
【００２２】
以上のように、本発明に係る一実施の形態によれば、ＳＩＰ上に多段積層されたＬＳＩチップ間の信号線に正確にコンタクトすることのできる微細高周波プローブを用い、また、高速・高周波の信号を扱うことができるテストカードを用いることにより、高速・高周波の試験検査を高精度に行うことができる。すなわち、ＬＳＩパッケージ内に形成された配線を介さずにＬＳＩチップに対して検査信号を入力することができ、ＬＳＩパッケージ内のインダクタンスの影響を大幅に低減でき、高周波信号を良好に伝送することができる。
したがって、ＳＩＰの製造現場において、良品検査の実施、信頼性の確保を達成することができる。また、新規回路設計のＳＩＰに対するエラー検査にも有効に利用することができる。
【００２３】
尚、前記実施の形態においては、ＬＳＩパッケージとＬＳＩチップとの接続がワイヤボンディングにより行われている場合を例に示したが、図６に示すようにＬＳＩチップ３０裏面に形成されたパッド３０ａとＬＳＩパッケージ５０上のパッド５０ａとがバンプ４０によりフリップチップ接続され、接続部が露出されない場合には、図示する構造のＬＳＩパッケージ５０を採用すればよい。
すなわち、図６に示すように、ＬＳＩパッケージ５０上のパッド５０ａから下部のハンダボール５１へ至る配線の途中で、ＬＳＩチップ３０の周辺領域に微細な測定パッド５０ｂが露出するようなパッケージ構造が望ましい。このようにすれば、前記測定パッド５０ｂに微細高周波プローブ４をコンタクトすることができ、ＬＳＩチップ３０のパッド３０ａに近い位置から信号を入力することができる。したがって、ＬＳＩパッケージ５０内に形成された配線を介さずにＬＳＩチップ３０に対して検査信号を入力することができ、ＬＳＩパッケージ３０内のインダクタンスの影響を大幅に低減でき、高周波信号を良好に伝送（例えば、最大周波数４０ＧＨｚ、最大伝送速度１０Ｇｂｐｓ）することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明にかかるシステムインパッケージ試験検査装置及び試験検査方法は、半導体集積回路（ＬＳＩ）チップ等の多数の電子部品を搭載した実装構造体上にシステムを構築したシステムインパッケージ（ＳＩＰ）の高速・高周波電気特性を計測評価する装置及び方法に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、本発明に係るシステムインパッケージ試験検査装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、図１のシステムインパッケージ試験検査装置が備えるテストカードの平面図である。
【図３】図３は、システムインパッケージに積載されたＬＳＩチップに図１のシステムインパッケージ試験検査装置が備える微細高周波プローブをコンタクトさせる様子を示す図である。
【図４】図４は、システムインパッケージに積載されたＬＳＩチップに図１のシステムインパッケージ試験検査装置が備える多チャンネルの微細高周波プローブをコンタクトさせる様子を示す図である。
【図５】図５は、図１のシステムインパッケージ試験検査装置を用いてシステムインパッケージの試験検査を行う手順を示すフロー図である。
【図６】図６は、ＬＳＩチップとＬＳＩパッケージとがフリップチップ接続される場合において、図１のシステムインパッケージ試験検査装置が備える微細高周波プローブをコンタクトさせる様子を示す図である。
【図７】図７は、システムインパッケージの種類を示す図である。
【図８】図８は、チップスタック型システムインパッケージの一例を示す図である。
【符号の説明】
【００２６】
１        高精度移動ステージ
２        テストカード（プリント配線基板）
３        ＳＩＰソケット
４        微動機構付き微細高周波プローブ（コンタクトプローブ）
５        同軸ケーブル
６        ＳＩＰ評価信号発生器（評価信号発生手段）
７        ＳＩＰ信号解析器（出力信号検出手段）
８        制御用コンピュータ（解析手段）
１００    システムインパッケージ試験検査装置
【図１】
2005308558.tif 000003
【図２】
2005308558.tif 000004
【図３】
2005308558.tif 000005
【図４】
2005308558.tif 000006
【図５】
2005308558.tif 000007
【図６】
2005308558.tif 000008
【図７】
2005308558.tif 000009
【図８】
2005308558.tif 000010