(57)【要約】【課題】  簡易な構成により一度に多数カ所（異なる周回位置での設定の径方向の測定箇所）の被測定物１の板厚を精度良く且つスピィーディに測定して効率良く前記被測定物１の板厚の均一化を判断することができ、これにより、秀れた作業性を発揮することができる簡易に製作可能で量産性に秀れた画期的な板厚測定装置を提供することを目的としている。【解決手段】  板状の被測定物１を回転自在に保持する回転保持部２と、前記被測定物１を挟んで両側から非接触状態にして測定プローブ３Ａを近接して夫々の測定プローブ３Ａによる静電容量からこの被測定物１の板厚を測定する非接触静電容量センサ３と、前記被測定物１に非接触状態で近接せしめるアース用端部５とを備え、少なくとも前記非接触静電容量センサ３を前記被測定物１の周端側から回転中心方向に移動自在に設け、前記被測定物１を回転しながら若しくは所定角度回転させつつ前記非接触静電容量センサ３を移動させて前記被測定物１の異なる複数の位置での板厚を測定し得るように構成した板厚測定装置。【選択図】      図５
2005308602.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状の被測定物を回転自在に保持する回転保持部と、前記被測定物を挟んで両側から非接触状態にして測定プローブを近接して夫々の測定プローブによる静電容量からこの被測定物の板厚を測定する非接触静電容量センサと、前記被測定物に非接触状態で近接せしめるアース用端部とを備え、少なくとも前記非接触静電容量センサを前記被測定物の周端側から回転中心方向に移動自在に設け、前記被測定物を回転しながら若しくは所定角度回転させつつ前記非接触静電容量センサを移動させて前記被測定物の異なる複数の位置での板厚を測定し得るように構成したことを特徴とする板厚測定装置。
【請求項２】
前記被測定物に接触することでアースする前記アース用端部を、前記被測定物に接触させず測定可能となる距離まで近接させた状態に配設して、前記被測定物が測定時においても回転自在となるように構成したことを特徴とする請求項１記載の板厚測定装置。
【請求項３】
前記回転保持部を複数備え、この複数の回転保持部には円形板状の被測定物の周縁に係合してこの被測定物を回転自在に保持するローラ体を設け、この複数の回転保持部に設けたローラ体のうち少なくとも一のローラ体を前記被測定物に対して接離可能に設けると共に、前記被測定物に対して弾圧当接したことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の板厚測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばシリコンウェハーなどの板状の被測定物を測定する板厚測定装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、シリコンウェハーなどの半導体板や金属板などの導体板の板厚を測定する場合は、比較的安価で非接触にして精度良く測定できることから、非接触静電容量センサが用いられている。
【０００３】
この静電容量センサの測定原理は、図１に示すように測定プローブ20と導体21との間の静電容量Ｃは、ε・Ｓ／Ｄであって、誘電率と対向面積に比例すると共に、間隙Ｄに反比例することから、εとＳとを一定とすれば、静電容量を測定することで間隙Ｄを測定できることになる。
【０００４】
具体的には例えばＤに比例する電圧を求め、それをデジタル変換し内蔵マイコンによりＤとして表示するように構成する。
【０００５】
この原理を用い、図２に示すように、被測定物22を挟んでその両側に測定プローブ20を配置すると、被測定物22の板厚ｔは、Ｇｓ−（Ｇａ＋Ｇｂ）となる。
【０００６】
即ち、二つの測定プローブ20を予め校正された間隙Ｇｓに平行に設定し、この測定プローブ20間に被測定物22を配置して各測定プローブ20によって前記原理に基づいて被測定物22とのギャップＧａ，Ｇｂを測定することで前記式に基づいて板厚ｔを測定することができる。
【０００７】
しかし、このような非接触静電容量センサを用いる場合、測定プローブと被測定物とを同電位とする必要があることから、被測定物をアースするためのアース用端部を被測定物に接触させる（アースする）必要がある。
【０００８】
そのため、従来例えば、シリコンウェハーの板厚を測定する場合、ウェハーを傷つけないようにアース用端部を導電性のゴムとしこれを圧接して接触させてアースすると共に、非接触静電容量センサを移動させて数ヵ所の板厚を測定した後、異なる方向（異なるヵ所）の板厚を更に測定する場合、一旦被測定物と導電性ゴムとの圧着を解除して被測定物を移動させて再び圧着させてアースさせた後、非接触静電容量センサを移動させて更に異なる方向での数ヵ所の板厚を測定し、板厚の均一度を測定していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従って、非接触静電容量センサを用いることで安価にして精度良く板厚を測定できるものの、被測定物を常にアースしなければならず、特に被測定物が加工済のシリコンウェハーのような場合には、表面を傷付けてはならないことから、アース用端部を導電性ゴムとし、しかもアース用端部を確実に接触させなければならないことから、導電性ゴムの接触面を大きくし、しかも被測定物の両面又は片面からバキューム構造によって挟持圧着させる必要がある。そのため、均一性を知るために多数ヵ所の板厚を測定する場合は、いちいちこのバキュームを解除してスライドさせてアース用端部から逃した後向きを変えて再びこのアース用端部間にスライド挿入して再びバキュームに圧着してアースしなければならず、作業効率が極めて劣るという問題があった。
【００１０】
また、バキューム圧着のため被測定物とアース用端部の導電性ゴムとの密着不良等により測定誤差の問題も生じ得る。
【００１１】
また、前述のようにたとえアース接触をできる限り小さくしてできたとしても被測定物は固定し非接触静電容量センサを被測定物に対して径方向のみならず周回方向に精度良く移動制御できるように構成することは非常に困難であり、コスト高となる。
【００１２】
一方、被測定物をアースせず測定した場合、被測定物の測定誤差は極め大きく実用化は難しい。
【００１３】
そこで、本発明は、被測定物を回動自在に保持して被測定物を回転させながら若しくは割り出し回転させつつ非接触静電容量センサを径方向に移動させて多数ヵ所の板厚を精度良く測定でき、効率良く被測定物の板厚の均一化を判断でき、しかも接触アースはしないものの、近接させることで測定誤差はほとんど生じず測定することができる。従って前述のように被測定物を回転しながら若しくは遂次割り出し回転させつつセット変えを行なうことなく一度に多数ヵ所（異なる周回位置での設定の径方向の測定箇所）での板厚を極めて効率良く十分な制度で測定可能となり簡易に製作可能で量産性に秀れた画期的な板厚測定装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
添付図面を参照して本発明の要旨を説明する。
【００１５】
板状の被測定物１を回転自在に保持する回転保持部２と、前記被測定物１を挟んで両側から非接触状態にして測定プローブ３Ａを近接して夫々の測定プローブ３Ａによる静電容量からこの被測定物１の板厚を測定する非接触静電容量センサ３と、前記被測定物１に非接触状態で近接せしめるアース用端部５とを備え、少なくとも前記非接触静電容量センサ３を前記被測定物１の周端側から回転中心方向に移動自在に設け、前記被測定物１を回転しながら若しくは所定角度回転させつつ前記非接触静電容量センサ３を移動させて前記被測定物１の異なる複数の位置での板厚を測定し得るように構成したことを特徴とする板厚測定装置に係るものである。
【００１６】
また、前記被測定物１に接触することでアースする前記アース用端部５を、前記被測定物１に接触させず測定可能となる距離まで近接させた状態に配設して、前記被測定物１が測定時においても回転自在となるように構成したことを特徴とする請求項１記載の板厚測定装置に係るものである。
【００１７】
また、前記回転保持部２を複数備え、この複数の回転保持部２には円形板状の被測定物１の周縁に係合してこの被測定物１を回転自在に保持するローラ体10を設け、この複数の回転保持部２に設けたローラ体10のうち少なくとも一のローラ体10を前記被測定物１に対して接離可能に設けると共に、前記被測定物１に対して弾圧当接したことを特徴とする請求項１，２のいずれか１項に記載の板厚測定装置に係るものある。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は上述のように構成したから、簡易な構成により一度に多数カ所（異なる周回位置での設定の径方向の測定箇所）の被測定物の板厚を精度良く且つスピィーディに測定して効率良く前記被測定物の板厚の均一化を判断することができ、これにより、秀れた作業性を発揮することができる簡易に製作可能で量産性に秀れた画期的な板厚測定装置となる。
【００１９】
即ち、アース用端部を接触させずとも近接させることで測定誤差をほとんど生じずに板厚の測定を行うことができ、これにより、回転保持部により板状の被測定物を回転しながら若しくは所定角度回転させつつ、被測定物の周端側から回転中心方向に前記非接触静電容量センサを移動させて異なる複数の位置で前記被測定物の板厚を測定することができる画期的な板厚測定装置となる。
【００２０】
また、請求項３記載の発明においては、例えば被測定物の径自体に誤差があったとしても、被測定物に対して接離可能なローラ体によって前記被測定物を適度な弾圧当接によって係合保持してローラ体によって被測定物を安定して回転させて精度良く板厚を測定することができる画期的な板厚測定装置となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
好適と考える本発明の実施形態（発明をどのように実施するか）を、図面に基づいて本発明の作用を示して簡単に説明する。
【００２２】
本発明は、被測定物１にアース用端部５を接触させず非接触状態で近接せしめ、この状態で非接触静電容量センサ３により被測定物１の板厚を精度良く測定することができる。
【００２３】
即ち、被測定物１を挟んで両側から非接触状態にして測定プローブ３Ａを取り付けた非接触静電容量センサ３により、被測定物１を回転させつつ若しくは所定角度回転させつつこの被測定物１の板厚を測定できることとなる。
【００２４】
即ち、本発明は、アース用端部５を接触させずとも近接させることで誤差をほとんど生じずに板厚の測定を行うことができることで、回転保持部２により板状の被測定物１を回転しながら若しくは所定角度回転させつつ、被測定物１の周端側から回転中心方向に前記非接触静電容量センサ３を移動させて異なる複数の位置で前記被測定物１の板厚を測定できることとなる。
【００２５】
例えば、回転保持部２により一方向に回転する板状の被測定物１に対し、この被測定物１の周端から回転中心方向に非接触静電容量センサ３を徐々に移動させつつ測定プローブ３Ａを介して被測定物１の板厚を測定することで、この被測定物１の回転方向且つ径方向の複数の部位の板厚を測定でき、これにより、被測定物１の板厚を満遍なく精度良く測定できることとなる。
【００２６】
これにより、本発明は、例えば被測定物にアース用端部を圧着接触させてアースしつつ板厚を測定する場合のような、異なる方向（異なるカ所）の板厚を更に測定するために、一旦被測定物と導電性ゴムとの圧着を解除して被測定物を移動させて再び圧着させてアースさせるといった手間をかけずに効率良く被測定物の板厚の均一化を判断できることとなる。
【００２７】
また、本発明は、前述のように、被測定物１にアース用端部５を接触させずに板厚を測定できることで、例えば従来のような導電性ゴムのアース用端部を設ける必要がなく、また、前記アース用端部にこのアース用端部を被測定物に圧着させるための機構（例えば挟持機構やバキューム機構等）を設ける必要もないことから、アース用端部５を簡易な構成で容易且つコスト安に形成できることとなる。
【００２８】
従って、本発明は、簡易な構成により一度に多数カ所（異なる周回位置での設定の径方向の測定箇所）の被測定物１の板厚を精度良く且つスピィーディに測定して効率良く前記被測定物１の板厚の均一化を判断することができ、これにより、秀れた作業性を発揮することができる簡易に製作可能で量産性に秀れた画期的な板厚測定装置となる。
【００２９】
また、例えば、前記回転保持部２を複数備え、この複数の回転保持部２には円形板状の被測定物１の周縁に係合してこの被測定物１を回転自在に保持するローラ体10を設け、この複数の回転保持部２に設けたローラ体10のうち少なくとも一のローラ体10を前記被測定物１に対して接離可能に設けると共に、前記被測定物１に対して弾圧当接すれば、前記被測定物１の径自体に誤差があったとしても、被測定物１に対して接離可能のローラ体10によって前記被測定物１を適度な弾圧当接によって係合保持してローラ体10によって被測定物１を回転できることとなるなど、一層実用的となる。
【実施例】
【００３０】
本発明の具体的な実施例について図面に基づいて説明する。
【００３１】
本実施例は、被測定物１である円形状のウェハー１を回転自在に保持する回転保持部２と、前記ウェハー１を挟んで両側から非接触状態にして測定プローブ３Ａを近接して夫々の測定プローブ３Ａによる静電容量からこのウェハー１の板厚を測定する非接触静電容量センサ３と、前記ウェハー１に非接触状態で近接せしめるアース用端部５とを備え、少なくとも前記非接触静電容量センサ３を前記ウェハー１の周端側から回転中心方向に移動自在に設け、前記ウェハー１を回転しながら若しくは所定角度回転させつつ前記非接触静電容量センサ３を移動させて前記ウェハー１の異なる複数の位置での板厚を測定し得るように構成した板厚測定装置に関するものである。
【００３２】
本実施例の板厚測定装置は、図３，図４に示すように、基体６に載置したマシンベース７上に回転保持部２を設け、この基体６のマシンベース７近傍にはウェハー１を複数枚多段状態で収納配設したウェハー収納体８を設け、このウェハー収納体８からウェハー１を回転保持部２に取り出し搬出及び回転保持部２からウェハー１をウェハー収納体８に差し込み搬入する搬出入アーム９を設け、前記マシンベース７上に非接触静電容量センサ３を前記回転保持部２に保持したウェハー１の周端部から回転中心方向にスライド移動自在に設けた構成としている。
【００３３】
回転保持部２は、ウェハー１を回転自在に支承保持するローラ体10，30を設けて成る構成としている。
【００３４】
具体的には、図５に示すように、マシンベース７に付設されるガイド部11にローラ支持体12をスライド移動自在に設け、このローラ支持体12に前記ローラ体10，30を設け、このローラ体10，30にウェハー１を回転自在に支承する構成としている。
【００３５】
更に具体的には、図４，図５に示すように、マシンベース７上にガイド部11を三箇所、各々の一端部を回転中心方向に向けて、周方向に略等間隔に配設し、これら各々のガイド部11に前記ローラ支持体12を配設することで、前記回転保持部２を三箇所配設した構成としている。
【００３６】
また、ローラ体10，30は、ローラ支持体12に複数配設された構成としている。
【００３７】
即ち、図５に示すように、ローラ支持体12の巾方向中央位置に中央ローラ体10を設け、この中央ローラ体10の左右に左右ローラ体30を設けた構成としている。
【００３８】
このうち左右ローラ体30は、係合するウェハー１に対して接離可能に設けると共に、このウェハー１の周縁に弾圧当接するように回転中心方向に向けて付勢された構成としている。
【００３９】
左右ローラ30をウェハー１に対して弾圧状態で係合当接し得るように設けたのは、ウェハー１をガタつくことなく安定して回転保持してウェハー１の板厚をより精度良く測定できるようにするためである。
【００４０】
また、三箇所の回転保持部２のうち一カ所の回転保持部２の中央ローラ体10を前記ウェハー１に対して接離可能に設けると共に、前記ローラ体10をウェハー１に対して弾圧当接する構成としている。即ち、残り二箇所の回転保持部２の中央ローラ体10をローラ支持体12に固定状態で設けた構成としている。
【００４１】
尚、中央ローラ体10をローラ支持体12に固定状態で設けたとは、ローラ支持体12にローラ体を回転自在に設けた状態をいう。
【００４２】
三箇所ある中央ローラ体10のうち、一箇所の中央ローラ10を接離可能とし、残り二箇所の中央ローラ10を固定状態としたのは、ウェハー１の径に誤差があった場合に、この誤差を許容してウェハー１の中心を回転中心位置に容易に位置決めできるようにするためである。
【００４３】
即ち、例えば、三箇所全ての中央ローラ体10をローラ支持体12に固定状態で設けると、ローラ支持体12を、測定毎にローラ体10，30をウェハー１の周縁に係合し得るように予め設定した位置で停止した際、ウェハー１自体の径に誤差があった場合にこの誤差によってウェハー１がガタついたり、ローラ体10によって強く押圧されて破損してしまうなどの懸念が生じる。
【００４４】
一方、例えば、二箇所以上の中央ローラ体10をウェハー１に対して接離可能とすると、ローラ支持体12に対して固定状態のローラ体10が一箇所のみとなり、これにより、三箇所の回転保持部２によってウェハー１を保持してもウェハー１が位置ズレし易く、即ち、ウェハー１の中心と回転中心位置とに位置ズレが生じ易くなって、板厚の測定に誤差が生じ易くなってしまうなどの懸念が生じる。
【００４５】
この点、本実施例は、三箇所の中央ローラ10のうち二箇所を固定状態として一箇所のみをウェハー１に対して接離可能とすることで、ウェハー１の径自体に誤差のある場合でも、接離可能な中央ローラ10によりウェハー１の周縁に良好に弾圧当接することができ、また、固定状態の二箇所の中央ローラ10によってウェハー１を安定して保持できるため、容易に位置決めでき、且つ板厚の測定を精度良く行えることとなる。
【００４６】
例えば、ウェハー１の径に誤差があるためウェハー１の中心と回転中心位置とにズレが生じた場合に、固定状態の二箇所の中央ローラ体10でウェハー１を安定して支持して適宜移動させることが可能となり（この際、残りの中央ローラ体も当然ながらウェハー１を支承している。）、これにより、容易且つ安定して前記位置ズレを修正することができる。尚、この場合に固定状態のローラが一箇所の場合には残りの接離可能の中央ローラ体10によってウェハー１が位置ズレを起こし易くなり、回転時には一層位置ズレが生じ易くなる。
【００４７】
前記接離可能の中央ローラ体10は、ローラ支持体12に付勢スライド機構25を設け、この付勢スライド機構25に中央ローラ体10を設けた構成としている。
【００４８】
具体的には、図７に示すように、ローラ支持体12に弾性体26（例えばスプリング26）の一端部を係止し、この弾性体26の他端部をローラ支持体12に対してスライド自在に設けたスライド基台27に係止し、これにより、このスライド基台27をローラ支承体12に対して回転中心方向に付勢するように係止し、このスライド基台27に突設した軸部28に中央ローラ体10を回転自在に設けた構成としている。
【００４９】
これにより、ウェハー１の径自体に誤差がある場合であっても、スライド基台27と共にスライド自在な中央ローラ体10によってウェハー１の周縁に良好に弾圧当接できることとなる。
【００５０】
また、ローラ体10，30は、図６に示すように、側方から見て下部の径大部10Ａ，30Ａと上部の径小部10Ｂ，30Ｂとの間にくびれ部10Ｃ，30Ｃを設けた形状に形成している。
【００５１】
即ち、くびれ部10Ｃ，30Ｃにウェハー１の縁を係合させた状態でローラ体10，30を回転させることでウェハー１を回転し得る構成としている。
【００５２】
尚、本実施例では、三箇所ある中央ローラ体10のうち一箇所をウェハー１に対して接離自在に設けることでウェハー１の径の誤差に対応し得る構成としたが、三箇所ある中央ローラ体10を全てローラ支持体12に固定状態とし、うち一箇所の中央ローラ体10を弾性を有する素材で形成することで、前述の接離自在の中央ローラ体10を設けた場合と同様の作用効果を発揮し得るように構成しても良い。
【００５３】
非接触静電容量センサ３は、前記回転保持部２により回転保持するウェハー１の周端部から回転中心方向に移動可能に設けた非接触静電容量センサテーブル４と、この非接触静電容量センサテーブル４の先端部に上下方向に所定間隔を置いて対向配設した測定プローブ３Ａとにより構成している。
【００５４】
具体的には、非接触静電容量センサテーブル４には側方から見て長さ方向にウェハー１を挿入可能な挿入溝（図示省略）を形成し、この挿入溝にウェハー１を挿入させつつ非接触静電容量センサ３（測定プローブ３Ａ）を前記ウェハー１の周端部から回転中心方向に移動し得る構成としている。
【００５５】
前記回転保持部２の先端部には、この回転保持部２により回転保持するウェハー１に非接触状態で近接せしめるアース用端部５を設けた構成としている。
【００５６】
即ち、このアース用端部５は、ウェハー１に接触させず測定可能となる距離まで近接させた状態に配設して、前記ウェハー１が測定時においても回転自在となるように構成している。
【００５７】
具体的には、このアース用端部５は、ローラ体10に回転保持されるウェハー１の下面に非接触状態にして近接するように前記回転保持部２に突設した構成としている。
【００５８】
更に具体的には、アース用端部５は、図６に示すように、回転保持部２を構成するローラ支持体12の先端部に、ウェハー１の回転中心方向に向けて突設した構成としている。
【００５９】
本実施例では、アース用端部５は、図５に示すように、所定の面積を有する板状に形成した構成としている。尚、本実施例では、アース用端部５を板状に形成したが、アースを取ることができれば、例えば棒状でも線状でも良い。
【００６０】
また、このアース用端部５は、アルミニウム製若しくはステンレス製としている。
【００６１】
尚、アルミニウム若しくはステンレス以外であっても、アースを良好にとることができる素材であれば適宜採用しても良い。
【００６２】
また、板状のアース用端部５の表面とウェハー１の下面との近接距離について更に述べれば、前記近接距離は、ウェハー１の材質（導電率），厚さ，面積によって適宜設定する。
【００６３】
例えば、ウェハー１の面積が大きい場合には前記近接距離を大きく設定し、ウェハー１の面積が小さい場合には前記近接距離を小さく設定することで、ウェハー１の板厚を精度良く測定することができる。
【００６４】
また、この近接距離の調整は、回転保持部２に対して突設するアース用端部５の突設度合いを調整することで行う。
【００６５】
即ち、回転保持部２に対して異なる突出度合いのアース用端部５を取り替え可能に構成することで、測定するウェハー１に応じた適宜位置にアース用端部５を近接し得る構成としている。
【００６６】
尚、前記近接距離の調整は、異なる突出度合い、即ち、異なる長さのアース用端部５をローラ支持体12に適宜付設する以外にも、ローラ体10をローラ支持体12に対して高さ調整可能に構成し、このローラ支持体12に対するローラ体10の配設位置を調整することで行っても良い。
【００６７】
前記搬出入アーム９は、図３，図４に示すように、水平方向及び上下方向に移動自在に基体６に設けて前記ウェハー収納体８から適宜ウェハー１を取り出して回転保持部２に載置し、測定後、このウェハー１をウェハー収納体８に収納できるように構成している。
【００６８】
具体的には、この搬出入アーム９はウェハー１の下面を支持してこのウェハー１を持ち上げ移動し得る構成とし、更にこの移動の際にウェハー１が位置ずれを起こしたり搬出入アーム９から落下してしまうことを阻止するために、搬出入アーム９の表面に吸入孔（図示省略）を複数設け、この吸入孔から吸引路14を介してウェハー１を吸引支持固定できる構成としている。
【００６９】
尚、符号16は操作盤，符号17はディスプレイ，符号18はシグナルタワーである。
【００７０】
次に、ウェハー１の板厚の測定手順について説明する。
【００７１】
先ず、ウェハー収納体８からウェハー１を搬出入アーム９により取り出し搬出し、このウェハー１を所定の回転位置で静止する。
【００７２】
次いで、ローラ支持体12をガイド部11に沿って回転中心方向にスライドさせてローラ体10，30のくびれ部10Ｃ，30Ｃにウェハー１の縁を係合させ、ウェハー１から搬出入アーム９を離反する。
【００７３】
次いで、ローラ体10，30を回転させてウェハー１を回転させる。
【００７４】
次いで、非接触静電容量センサ３の測定プローブ３Ａをウェハー１の周端部から回転中心方向にスライド移動させつつ、ウェハー１の板厚の測定を行う（図８，図９参照）。
【００７５】
次いで、板厚測定後、ローラ体10，30の回転を停止してウェハー１を静止し、ウェハー１の下面を搬出入アーム９で支持した状態で、ローラ支持体12を外方へ離反して前記搬出入アーム９により、ウェハー１をウェハー収納体８に収納する。
【００７６】
尚、板厚の測定は、ウェハー１を割り出し回転させながら行っても良い。この場合には、例えばウェハー１の周端部から回転中心方向に一直線状で板厚を測定することが可能となる。
【００７７】
尚、本実施例の測定において、仮に測定数値に誤差が生じた場合、適宜な補正手段により前記測定数値を補正しても良い。例えば非接触静電容量センサの数値を自動補正する補正機構（補正プログラム等）を本実施例の板厚測定装置に備え、この補正機構によって誤差を補正しても良い。
【００７８】
以上、本実施例は、ウェハー１を回動自在に保持してウェハー１を回転させながら若しくは割り出し回転させつつ非接触静電容量センサ３を径方向に移動させて多数ヵ所の板厚を精度良く測定でき、効率良くウェハー１の板厚の均一化を判断でき、しかも接触アースはしないものの、近接させることで測定誤差はほとんど生じず、従って前述のようにウェハー１を回転しながら若しくは遂次割り出し回転させつつセット変えを行なうことなく一度に多数ヵ所（異なる周回位置での設定の径方向の測定箇所）での板厚を極めて効率良く十分な制度で測定可能となり簡易に製作可能で量産性に秀れた画期的な板厚測定装置となる。
【００７９】
尚、本発明は、本実施例に限られるものではなく、各構成要件の具体的構成は適宜設計し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】非接触静電容量センサの測定原理を示す説明図である。
【図２】図１に記載の測定原理を用いた被測定物の板厚の測定方法を示す説明図である。
【図３】本実施例の板厚測定装置を示す説明正面図である。
【図４】本実施例の板厚測定部位を示す説明平面図である。
【図５】本実施例の板厚測定部位を示す拡大説明平面図である。
【図６】本実施例の回転保持部２を示す要部の拡大説明側面図である。
【図７】本実施例のウェハー１に対して接離自在の中央ローラ体10を示す説明図である。
【図８】本実施例の回転保持部２により回転するウェハー１に対して非接触静電容量センサ３を所定移動させて板厚を測定することを示す説明図である。
【図９】本実施例のアース用端部５をウェハー１に非接触状態で近接せしめて測定プローブ３Ａによりウェハー１の板厚を測定することを示す説明図である。
【符号の説明】
【００８１】
１  被測定物（ウェハー）
２  回転保持部
３  非接触静電容量センサ
３Ａ  測定プローブ
５  アース用端部
10  ローラ体
【図１】
2005308602.tif 000003
【図２】
2005308602.tif 000004
【図３】
2005308602.tif 000005
【図４】
2005308602.tif 000006
【図５】
2005308602.tif 000007
【図６】
2005308602.tif 000008
【図７】
2005308602.tif 000009
【図８】
2005308602.tif 000010
【図９】
2005308602.tif 000011