(57)【要約】【課題】予測変位量と実際の変位量とに差が生じた時に、複数の照射手段の照射エネルギーバランスを調整し、すぐに照射条件の調整を行うことで、制御余裕を確保して、接着剤の硬化収縮力による接着物の位置調整を確実に行い接着物の位置制御不良を低減させる。【解決手段】エネルギー線硬化特性をもつ接着剤４の硬化中に、複数の接着箇所で、被着物１と、接着物２との間に発生する硬化収縮力を制御することで、硬化収縮力により発生された被着物１に対する接着物２の相対的な位置変動を制御し接着硬化を行う部品接合方法に関する。現時点の照射条件と、接着物２のずれ量とに基づいて、現時点以降の接着物２の変位量を予測して予測変位量を求め、予測変位量と、接着物２の実際に発生した変位量とを比較し、予測変位量と、変位量との差に基づいて、複数の照射手段１２の照射エネルギーバランスを調整する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
エネルギー線硬化特性をもつ接着剤の硬化中に、複数の接着箇所で、被着物と、接着物との間に発生する硬化収縮力を制御することで、硬化収縮力により発生された該被着物に対する該接着物の相対的な位置変動を制御し接着硬化を行う部品接合方法であって、
現時点の照射条件と、前記接着物のずれ量とに基づいて、現時点以降の該接着物の変位量を予測して予測変位量を求め、該予測変位量と、接着物の実際に発生した変位量とを比較し、該予測変位量と、該変位量との差に基づいて、複数の照射手段の照射エネルギーバランスを調整することを特徴とする部品接合方法。
【請求項２】
請求項１に記載の部品接合方法において、前記現時点の照射条件と、前記接着物の前記ずれ量とに基づいて、現時点以降の該接着物の予測変位軌道を求め、該予測変位軌道と、該接着物の実際に発生した実測変位軌道とを比較し、該予測変位軌道と、該実測変位軌道との差に基づいて、複数の前記照射手段の前記照射エネルギーバランスを調整することを特徴とする部品接合方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の部品接合方法において、前記接着剤にエネルギー線を照射もしくはエネルギーを増加させることにより前記変位量を予測した予測変位軌道から、該エネルギー線の照射を停止もしくは該エネルギーを下げたことにより変位低下量を予測した予測変位軌道を引くことで、該エネルギー線を調整した時の前記接着物の該変位量を予測することを特徴とする部品接合方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載の部品接合方法において、前記照射エネルギーバランスを調整するたびに、その調整による前記変位量への影響を予測し、該照射エネルギーバランスの調整前に既に求められた予測変位軌道に予測した変位量を付加させることで、現時点以降の予測変位軌道を修正することを特徴とする部品接合方法。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載の部品接合方法において、現時点までの接着剤に与えたエネルギー線の照射履歴を記憶し、その履歴データと、現時点までの接着物の変位履歴とに基づいて、現時点以降の接着物の変位量を演算し直すことを特徴とする部品接合方法。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１項に記載の部品接合方法において、現時点までに与えられた積算エネルギー量を、前記接着物の変位量を予測する予測式に入れることで、現時点以降の変化される変位量を求めることを特徴とする部品接合方法。
【請求項７】
請求項６に記載の部品接合方法において、前記接着剤に与えたエネルギー線の照射履歴と、前記接着物の変位量の履歴と、前記予測変位量の履歴とを記憶させ、実際に発生した変位量と、該予測変位量の履歴との違いから、前記予測式のパラメータを修正することを特徴とする部品接合方法。
【請求項８】
請求項１〜７の何れか１項に記載の部品接合方法において、前記接着物の前記変位量を予測する際に、制御軸方向に沿って対向して位置する各接着剤に与えられたエネルギー線の積算エネルギー量を考慮して、該制御軸方向の該変位量を予測することを特徴とする部品接合方法。
【請求項９】
請求項８記載の部品接合方法において、前記接着物の前記変位量を予測する際に、制御軸以外の方向に沿った該接着物の変位を制御するために、塗布された接着剤に与えたエネルギー線の積算エネルギー量を考慮して、前記制御軸方向の該変位量を予測することを特徴とする部品接合方法。
【請求項１０】
接着剤を硬化させるためのエネルギー線照射手段と、被着物に対する接着物の相対的な位置情報を測定する位置測定手段と、該接着物のずれ量からエネルギー線の照射条件を演算する照射条件演算手段と、エネルギー線照射条件を変更可能な照射条件変更手段とを備え、該接着剤の硬化中に、複数の接着箇所で、該被着物と、該接着物との間に発生する硬化収縮力を制御することで、硬化収縮力により発生された該被着物に対する該接着物の相対的な位置変動を制御して接着硬化を行う部品接合装置であって、
現時点までの照射条件に基づいて接着物の将来の変位量を予測する予測手段と、
将来の予測された該接着物の予測変位量を記憶する予測変位量記憶手段と、
時間経過後に、前記位置測定手段により測定された該接着物の実際に発生した変位量と、記憶された該予測変位量とを比較する比較手段とを備え、
該比較手段による比較結果の差から、前記照射条件変更手段により複数のエネルギー線照射手段の照射エネルギーバランスを調整することを特徴とする部品接合装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の部品接合装置において、前記接着物の実際に発生した前記ずれ量を記憶する位置情報履歴記憶手段を備え、該位置情報履歴記憶手段により記憶された該接着物の実測変位軌道と、予測された予測変位軌道とを前記比較手段で比較し、該比較手段による比較結果の差から、前記照射条件変更手段により複数の前記エネルギー線照射手段の前記照射エネルギーバランスを調整することを特徴とする部品接合装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の部品接合装置において、前記接着剤に与えられた前記エネルギー線の照射履歴を記憶する照射条件履歴記憶手段を備え、前記位置情報履歴記憶手段に記憶された前記接着物の変位軌道履歴と、予測された予測変位軌道履歴とを前記比較手段で比較し、その違いにより、前記予測手段の予測式を修正する修正手段が装備されたことを特徴とする部品接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被覆物と接着物とをエネルギー線硬化特性をもつ接着剤により接合させる部品接合方法および部品接合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に部品を接着する接着剤としては、加熱硬化型、嫌気硬化型、光（紫外線、可視光等）硬化型などが代表的で、幾つかの性質を兼ね備えたものもある。その中でも熱硬化型樹脂やエネルギー線硬化型樹脂に代表される硬化型樹脂は、反応速度が速く硬化時間が大幅に短縮されることから、生産工程の高効率化する目的で様々な分野で利用されている。
【０００３】
特に光学部品をはじめとした高速化の必要な部品接合では、一般的に、光硬化型の中でも紫外線（ＵＶ）硬化型の接着剤を使用して接合する場合が多い。加熱硬化型の接着剤を使用して接着を行う場合、オーブン等で部品および接着剤に熱を加える工程が必要とされているため、工程の高速化の妨げになる。また、部品によっては、加熱による接着工程を行うときに、熱を許容できないものも存在する。また、嫌気硬化型の接着剤を使用して接着を行う場合、硬化プロセスの特徴から、制限された接着構造とする必要性が生じる。
【０００４】
接着剤が硬化される際に、どのようなタイプの接着剤においても、体積収縮による応力が発生するという問題は、よく知られている。接着剤が硬化されるときに、硬化収縮現象が発生し、接着剤が硬化収縮されることにより、接着剤に硬化収縮力が生じる。一般に、アクリル系紫外線硬化性樹脂は、５〜１０％程度の硬化収縮が発生する。また、エポキシ系紫外線硬化性樹脂は、２〜５％程度の硬化収縮が発生する。収縮量に比例して接着剤の硬化収縮力が増加する。即ち、硬化収縮により接着剤およびこれの周辺に引張応力が発生される。この硬化収縮力による影響は、接着強度の点においては僅かな低下でしかないものとされているが、精密組立において大きな問題とされていた。接着剤塗布を複数の点で行う場合には、前記硬化収縮が各接着点で発生する。部品に対し高精度な位置調整作業を行った後に、接着剤の硬化収縮の影響で、調整した部品の位置にずれが生じ、精密組立の機能が阻害される可能性があった。
【０００５】
この問題を対策すべく、従来、大きく４種類の方法が知られている。
【０００６】
第１の方法は、特開２０００−９０４８１号公報（特許文献１）や、特開平１０−３０９８０１号公報（特許文献２）に開示されているように、使用（塗布）する接着剤を薄く少量とし、硬化収縮量を低減する方法とされている。
【０００７】
特開２０００−９０４８１号では、接着剤の粘度を低下させ、加圧して接着剤層を薄く且つ均一にすることにより、接着剤の硬化収縮や温度変化による体積変化を小さく均一に起こるように工夫されたものが紹介されている。また、特開平１０−３０９８０１号では、接着物と、被着物の間に中間保持部材を設け、充填接着並みの調整しろを許容し、薄い接着剤層のため、接着剤の硬化収縮や温度変化による体積変化が小さくなるように工夫されたものが紹介されている。
【０００８】
しかし、特開２０００−９０４８１号で紹介されたものは、基本的に面接着されるものとされ、特殊な接着剤を使用する必要がある。また、特開平１０−３０９８０１号で紹介されたものは、接着構造が限定されるうえ、間接接着であるため別部品を必要とし、接着箇所が増えるという不具合がある。
【０００９】
第２の方法は、特開２００１−３５００７２号公報（特許文献３）に開示されているように、照射するＵＶ光を制御してばらつきを無くし、硬化収縮の均一性を向上させる方法とされている。特開２００１−３５００７２号では、紫外線照射強度むらを検出し、透過光制御部にてその強度むらを無くすように制御して硬化収縮の均一性を向上させ、光学部品が本来有する面精度を維持した状態で接合されるものが紹介されている。しかし、特開２００１−３５００７２号で紹介された方法においては、接着構造が基本的に面接着に限定されてしまうという問題が生じ、接着剤の塗布むらがある場合には、硬化収縮による位置ずれを回避できない不具合が発生する。
【００１０】
第３の方法は、特開平８−２０９０７５号公報（特許文献４）に開示されているように、接着構造と接着プロセスの工夫により、硬化収縮による部品の位置ずれを抑える方法とされている。特開平８−２０９０７５号では、接着物と被着物および接着部の構造を工夫し、接着剤塗布と同時に硬化させることにより、２部材近傍の接着剤から硬化して、２部材間の相対位置は、硬化収縮による影響を受け難いものとさせたものが紹介されている。しかし、特開平８−２０９０７５号に紹介された方法においても、接着構造が限定されて、汎用的な高精度ＵＶ接着方法になりえない。
【００１１】
第４の方法は、特開平１０−１２１０１３号公報（特許文献５）、特開平７−２０１０２８号公報（特許文献６）、特開平５−４１４０８号公報（特許文献７）に開示されているように、接着剤自体に手を加える方法とされている。セラミックス微粒子添加や充填材添加で接着剤の硬化収縮を小さくさせる技術や、熱収縮樹脂の添加で硬化と収縮の発生タイミングを分離させる技術とされている。これらの接着剤開発が、上記問題に対して最も盛んに行われている対策である。
【００１２】
特開平１０−１２１０１３号では、ＵＶ硬化樹脂に、粒径と密度をそろえた充填剤を添加し、接着剤そのものの硬化収縮や温度変化による体積変化が小さくなるように工夫されたものが紹介されている。また、特開平７−２０１０２８号公報では、接着剤に平均粒径１０μｍ以下の酸化物セラミック微粒子を添加して、接着剤そのものの硬化収縮や、温度変化による体積変化が小さくなるように工夫されたものが紹介されている。また、特開平５−４１４０８号では、熱収縮樹脂を紫外線硬化型樹脂の中に含有させ、紫外線照射による硬化と熱による収縮の発生タイミングをそれぞれ制御することで、実装の信頼性を確保させるものが紹介されている。
【００１３】
しかし、これらのことを実施しようとした場合、特殊な接着剤を使用する必要があり、また、接着剤量が増えれば、比例的に硬化収縮量が増え、部品の位置ずれが大きくなる。また、接着形態においても、部品の位置ずれ量が影響されてしまうという不具合が発生する。
【００１４】
上記問題を解決するために、本出願人は、エネルギー線硬化型接着剤の特徴である接着接合工程の高速性や簡易性を維持させ、特殊な接着剤を使用することなく、硬化収縮による部品の位置ずれを回避させて、接着接合を高精度化させる位置制御型接着接合方法及び装置（特願２００２−２７６２９４号）を提案した。
【００１５】
特願２００２−２７６２９４号では、被着物と接着物との相対的な位置を計測する位置計測手段の計測結果に基づいて、複数の照射手段を個別に制御し、収縮力により発生する接着物にかかる応力を互いに相殺させ、被着物に対する接着物の相対的な位置を保持もしくは任意の位置に動作させて保持することで、硬化収縮のバランスにより発生する接着物の位置ずれを低減させるというものが紹介されている。
【００１６】
特願２００２−２７６２９４号について詳しく説明すると、硬化エネルギーをコントロールすることにより、硬化収縮力を相殺させることで、位置調整後の接着による位置ずれを防止させ、極めて高精度な接着接合を可能とさせている。また、逆に硬化収縮力を接着物の移動に積極的に利用して微小な位置調整を行った後に、硬化収縮力を相殺させることにより、位置調整後の接着による位置ずれを防止して極めて高精度な接着接合を可能とさせている。
【００１７】
しかし、エネルギー線硬化型接着剤の硬化中の収縮力をコントロールして、接着物を接着目標位置に定めるための制御を行うために、次のことが問題とされていた。まず、エネルギー線硬化型接着剤の硬化反応は、エネルギー線照射に対して、大きな反応遅れが生じるため、それを考慮した早めの照射制御が必要とされていた。また、硬化反応が進むにつれて接着剤の硬化率が上がるため、照射バランスを変化させたことにより、接着物の位置を定めるための制御性が悪くなる傾向にあり、最終的に制御ができなくなるという問題が残されていた。
【００１８】
即ち、エネルギー線硬化型接着剤の硬化反応は、エネルギー線照射に対して、反応に遅れが生じるため、これを考慮した照射制御が必要となったり、硬化反応が進むにつれて接着剤の硬化率が上がるため、照射バランスを変化したことによる接着物の位置の制御性が悪くなる傾向にあり、最終的には制御できなくなってしまったりするという問題が残されていた。さらに、接着剤の塗布量、塗布形状のばらつきにより、照射条件のバランスと、接着物の位置ずれとの関係は異なるため、実際にエネルギー線が照射されたときの位置ずれの状態から制御条件を調整変更する必要がある。
【００１９】
前記問題を解決するために、本出願人は、反応の遅れ、接着剤の硬化進行、接着剤の塗布状態の影響を考慮して、照射条件を制御することで、より短時間に接着接合を高精度化させる部品接合方法およびその装置（特願２００３−２０４４２１号）を提案した。
【００２０】
特願２００３−２０４４２１号では、先の特願２００２−２７６２９４号の硬化収縮を制御して接着物の位置ずれを低減させる際に、反応の遅れ、接着剤の硬化進行、接着剤の塗布状態の影響を考慮して、照射条件を制御することで、より短時間に接着接合を高精度に行うことを可能とさせたものが紹介されている。
【００２１】
しかし、反応の遅れにより無駄な時間が多くかけられ、また接着剤の硬化進行に伴い、無駄な時間が増加する傾向にある。そのため、接着物の位置制御をするための制御余裕が少ない。照射条件を変更したことによる接着物の位置変動の状態を見るために一定時間をおいて、それから、次の照射条件の変更を判断するのでは遅く、目標位置までの接着物の位置制御ができなくなってしまうという問題が残る。
【特許文献１】特開２０００−９０４８１号公報（第１−２頁、第４図）
【特許文献２】特開平１０−３０９８０１号公報（第１頁、第４図）
【特許文献３】特開２００１−３５００７２号公報（第１−２頁、第５図）
【特許文献４】特開平８−２０９０７５号公報（第１−２頁、第１図）
【特許文献５】特開平１０−１２１０１３号公報（第１頁、第１図）
【特許文献６】特開平７−２０１０２８号公報（第１頁、第３図）
【特許文献７】特開平５−４１４０８号公報（第１，３頁、第１図）
【特許文献８】特願２００２−２７６２９４号
【特許文献９】特願２００３−２０４４２１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
本発明は、以上の問題点を鑑みて、現時点までの照射条件および接着物のずれ量に基づいて、現時点以降の接着物の変位量を予測し、その予測変位量と、接着物の実際に発生した変位量とを常に比較し、予測変位量と、実際の変位量とに差が生じたときに、複数の照射手段の照射エネルギーバランスを調整し、すぐに照射条件の調整を行うことで、制御余裕を確保して、接着剤の硬化収縮力による接着物の位置調整を確実に行い、接着物の位置制御不良を低減させる部品接合方法および部品接合装置を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の本発明は、エネルギー線硬化特性をもつ接着剤の硬化中に、複数の接着箇所で、被着物と、接着物との間に発生する硬化収縮力を制御することで、硬化収縮力により発生された該被着物に対する該接着物の相対的な位置変動を制御し接着硬化を行う部品接合方法であって、現時点の照射条件と、前記接着物のずれ量とに基づいて、現時点以降の該接着物の変位量を予測して予測変位量を求め、該予測変位量と、接着物の実際に発生した変位量とを比較し、該予測変位量と、該変位量との差に基づいて、複数の照射手段の照射エネルギーバランスを調整することを特徴とする部品接合方法である。この構成によれば、硬化反応の遅れ分の変位量が考慮に入れられた状態で、照射エネルギーバランスの違いが早期に調整される。これにより、接着物の位置制御のオーバーシュート量が低減されると共に、制御余裕が確保された状態で、より短時間に高精度な接合が行われる。
【００２４】
請求項２記載の本発明は、請求項１に記載の部品接合方法において、前記現時点の照射条件と、前記接着物の前記ずれ量とに基づいて、現時点以降の該接着物の予測変位軌道を求め、該予測変位軌道と、該接着物の実際に発生した実測変位軌道とを比較し、該予測変位軌道と、該実測変位軌道との差に基づいて、複数の前記照射手段の前記照射エネルギーバランスを調整することを特徴とする部品接合方法である。この構成によれば、予測変位軌道と、実測変位軌道の挙動とが比較され、硬化反応の遅れを考慮に入れた正確なエネルギーバランスの調整が行われる。従って、接着物の位置制御のオーバーシュート量が低減されると共に、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合が行われる。
【００２５】
請求項３記載の本発明は、請求項１又は２に記載の部品接合方法において、前記接着剤にエネルギー線を照射もしくはエネルギーを増加させることにより前記変位量を予測した予測変位軌道から、該エネルギー線の照射を停止もしくは該エネルギーを下げたことにより変位低下量を予測した予測変位軌道を引くことで、該エネルギー線を調整した時の前記接着物の該変位量を予測することを特徴とする部品接合方法である。この構成によれば、エネルギー線を調整した時の接着物の変位量が予測される。また、このようにすることで、複雑な照射パターンの変更を行った場合においても、変更動作ごとに予測演算が分離されるため、容易に予測変位軌道が求められる。従って、制御余裕が確保された状態で、より短時間に高精度な接合が行われる。
【００２６】
請求項４記載の本発明は、請求項１〜３の何れか１項に記載の部品接合方法において、前記照射エネルギーバランスを調整するたびに、その調整による前記変位量への影響を予測し、該照射エネルギーバランスの調整前に既に求められた予測変位軌道に予測した変位量を付加させることで、現時点以降の予測変位軌道を修正することを特徴とする部品接合方法である。この構成によれば、最後に変更した照射条件の変位量への影響のみが予測される。これにより、接着物の変位量を予測するための計算負荷が低減化される。従って、より短時間に正確な照射エネルギーバランスの調整が行われ、制御余裕が確保された状態で高精度な接合が行われる。
【００２７】
請求項５記載の本発明は、請求項１〜４の何れか１項に記載の部品接合方法において、現時点までの接着剤に与えたエネルギー線の照射履歴を記憶し、その履歴データと、現時点までの接着物の変位履歴とに基づいて、現時点以降の接着物の変位量を演算し直すことを特徴とする部品接合方法である。この構成によれば、予測誤差の累積が防止される。従って、より正確な照射エネルギーバランスの調整が行われ、制御余裕が確保された状態で高精度な接合が行われる。
【００２８】
請求項６記載の本発明は、請求項１〜５の何れか１項に記載の部品接合方法において、現時点までに与えられた積算エネルギー量を、前記接着物の変位量を予測する予測式に入れることで、現時点以降の変化される変位量を求めることを特徴とする部品接合方法である。この構成によれば、現時点以降の変化される変位量が求められ、硬化進行による接着物の変位の制御性低下を考慮した正確な変位量予測が行われる。従って、より正確なエネルギーバランスの調整が行われ、制御余裕が確保された状態で高精度な接合が行われる。
【００２９】
請求項７記載の本発明は、請求項６に記載の部品接合方法において、前記接着剤に与えたエネルギー線の照射履歴と、前記接着物の変位量の履歴と、前記予測変位量の履歴とを記憶させ、実際に発生した変位量と、該予測変位量の履歴との違いから、前記予測式のパラメータを修正することを特徴とする部品接合方法である。この構成によれば、被着物と、接着物との間に発生する摩擦抵抗などの想定不能なパラメータの違いが修正され、変位量の正確な予測が行われる。このため、より正確なエネルギーバランスの調整が行われ、制御余裕が確保された状態で高精度な接合が行われる。
【００３０】
請求項８記載の本発明は、請求項１〜７の何れか１項に記載の部品接合方法において、前記接着物の前記変位量を予測する際に、制御軸方向に沿って対向して位置する各接着剤に与えられたエネルギー線の積算エネルギー量を考慮して、該制御軸方向の該変位量を予測することを特徴とする部品接合方法である。この構成によれば、対向接着剤の硬化進行による接着物の変位の制御性低下が考慮され、変位量の正確な予測が可能となる。従って、より正確な照射エネルギーバランスの調整が行われ、制御余裕が確保された状態で高精度な接合が行われる。
【００３１】
請求項９記載の本発明は、請求項８記載の部品接合方法において、前記接着物の前記変位量を予測する際に、制御軸以外の方向に沿った該接着物の変位を制御するために、塗布された接着剤に与えたエネルギー線の積算エネルギー量を考慮して、前記制御軸方向の該変位量を予測することを特徴とする部品接合方法である。この構成によれば、調整軸が多数ある調整部品を接合する場合においても、硬化収縮の軸干渉が考慮され、変位量の正確な予測が行われる。このため、より正確なエネルギーバランスの調整が行われ、制御余裕が確保された状態で高精度な接合が行われる。
【００３２】
請求項１０記載の本発明は、接着剤を硬化させるためのエネルギー線照射手段と、被着物に対する接着物の相対的な位置情報を測定する位置測定手段と、該接着物のずれ量からエネルギー線の照射条件を演算する照射条件演算手段と、エネルギー線照射条件を変更可能な照射条件変更手段とを備え、該接着剤の硬化中に、複数の接着箇所で、該被着物と、該接着物との間に発生する硬化収縮力を制御することで、硬化収縮力により発生された該被着物に対する該接着物の相対的な位置変動を制御して接着硬化を行う部品接合装置であって、現時点までの照射条件に基づいて接着物の将来の変位量を予測する予測手段と、将来の予測された該接着物の予測変位量を記憶する予測変位量記憶手段と、時間経過後に、前記位置測定手段により測定された該接着物の実際に発生した変位量と、記憶された該予測変位量とを比較する比較手段とを備え、該比較手段による比較結果の差から、前記照射条件変更手段により複数のエネルギー線照射手段の照射エネルギーバランスを調整することを特徴とする部品接合装置である。この構成によれば、硬化反応の遅れ分の変位量が考慮された状態で、照射エネルギーバランスの違いが早期に調整される。これにより、接着物の位置制御のオーバーシュート量が低減されると共に、制御余裕が確保された状態で、より短時間で高精度な接合が可能とされる部品接合装置の提供が可能とされる。
【００３３】
請求項１１記載の本発明は、請求項１０に記載の部品接合装置において、前記接着物の実際に発生した前記ずれ量を記憶する位置情報履歴記憶手段を備え、該位置情報履歴記憶手段により記憶された該接着物の実測変位軌道と、予測された予測変位軌道とを前記比較手段で比較し、該比較手段による比較結果の差から、前記照射条件変更手段により複数の前記エネルギー線照射手段の前記照射エネルギーバランスを調整することを特徴とする部品接合装置である。この構成によれば、予測変位軌道と、実測変位軌道の挙動との比較が行われる。これにより、硬化反応の遅れを考慮に入れた正確なエネルギーバランスの調整が行われる。従って、接着物の位置制御のオーバーシュート量が低減されると共に、制御余裕が確保された状態で、より短時間に高精度な接合が可能とされる部品接合装置の提供が可能とされる。
【００３４】
請求項１２記載の本発明は、請求項１１に記載の部品接合装置において、前記接着剤に与えられた前記エネルギー線の照射履歴を記憶する照射条件履歴記憶手段を備え、前記位置情報履歴記憶手段に記憶された前記接着物の変位軌道履歴と、予測された予測変位軌道履歴とを前記比較手段で比較し、その違いにより、前記予測手段の予測式を修正する修正手段が装備されたことを特徴とする部品接合装置である。この構成によれば、被着物と、接着物との間に発生する摩擦抵抗などの想定不能なパラメータの違いが修正され、変位量の正確な予測が行われる。このため、より正確なエネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕が確保された状態で高精度な接合が可能とされた部品接合装置が提供される。
【発明の効果】
【００３５】
請求項１に記載の本発明によれば、現時点の照射条件と、接着物のずれ量とを基に、現時点以降の接着物の変位量を予測し、その予測変位量と、接着物の実際に発生した変位量とを比較し、その差を基に複数の照射手段の照射エネルギーバランスを調整することで、硬化反応の遅れ分の変位量を考慮に入れた状態で照射エネルギーバランスの違いを早期に調整することができる。このため、接着物の位置制御のオーバーシュート量を低減させることができると共に、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合を行うことが可能となる。
【００３６】
請求項２に記載の本発明によれば、現時点の照射条件と、接着物のずれ量とを基に、現時点以降の接着物の予測変位軌道を求め、その予測変位軌道と、接着物の実際に発生した変位軌道とを比較し、その差を基に複数の照射手段の照射エネルギーバランスを調整することで、予測変位軌道と、実測変位軌道の挙動とが比較され、硬化反応の遅れを考慮に入れた正確なエネルギーバランスの調整が可能となる。従って、接着物の位置制御のオーバーシュート量が低減されると共に、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合を行うことが可能となる。
【００３７】
請求項３に記載の本発明によれば、接着剤にエネルギー線を照射したことによる変位量を予測した予測変位軌道から、エネルギー線の照射を停止もしくはエネルギーを下げたことによる変位低下量を予測した予測変位軌道を引くことで、エネルギー線を調整した時の接着物の変位量が予測される。また、このようにすることで、複雑な照射パターンの変更を行った場合においても、変更動作ごとに予測演算を分離することができるため、容易に予測変位軌道を求めることができる。従って、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合が容易に実施可能となる。
【００３８】
請求項４に記載の本発明によれば、照射エネルギーバランスを調整するたびに、その調整による変位量への影響を予測し、照射エネルギーバランスの調整前に既に求められている予測変位軌道に予測した変位量を付加させることで、最後に変更した照射条件の変位量への影響のみを予測すればよい。これにより、接着物の変位量を予測するための計算負荷を低減させることができる。従って、より短時間に正確な照射エネルギーバランスの調整を行うことが可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合を行うことが可能となる。
【００３９】
請求項５に記載の本発明によれば、現時点までの接着剤に与えたエネルギー線の照射履歴を記憶し、その履歴データと、現時点までの接着物の変位履歴とに基づいて、現時点以降の接着物の変位量を演算し直すことで、予測誤差の累積を防ぐことが可能となる。従って、より正確な照射エネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が実施可能となる。
【００４０】
請求項６に記載の本発明によれば、現時点までに与えられた積算エネルギー量を、接着物の変位量を予測する予測式に入れることで、現時点以降の変化される変位量を求めることができ、硬化進行による接着物の変位の制御性低下を考慮した正確な変位量予測が可能となる。従って、より正確なエネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が可能となる。
【００４１】
請求項７に記載の本発明によれば、接着剤に与えたエネルギー線の照射履歴と、接着物の変位量の履歴と、予測変位量の履歴とを記憶させ、実際に発生した変位量と、予測変位量の履歴との違いから、予測式のパラメータを修正することで、被着物と、接着物との間に発生する摩擦抵抗などの想定不能なパラメータの違いを修正することができ、変位量の正確な予測が可能となる。このため、より正確なエネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が可能となる。
【００４２】
請求項８に記載の本発明によれば、接着物の変位量を予測する際に、制御軸方向に沿って対向して位置する各接着剤に与えられたエネルギー線の積算エネルギー量を考慮して、制御軸方向の変位量を予測することで、対向接着剤の硬化進行による接着物の変位の制御性低下が考慮され、変位量の正確な予測が可能となる。従って、より正確な照射エネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が可能となる。
【００４３】
請求項９に記載の本発明によれば、接着物の変位量を予測する際に、制御軸以外の方向に沿った接着物の変位を制御するために、塗布された接着剤に与えたエネルギー線の積算エネルギー量を考慮して、制御軸方向の変位量を予測することで、調整軸が多数ある調整部品を接合する場合においても、硬化収縮の軸干渉が考慮され、変位量の正確な予測が可能となる。このため、より正確なエネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が可能となる。
【００４４】
請求項１０に記載の本発明によれば、現時点までの照射条件を基に接着物の将来の変位量を予測する予測手段と、将来の予測された接着物の予測変位量を記憶する予測変位量記憶手段と、時間経過後に、位置測定手段により測定された接着物の実際に発生した変位量と、記憶された予測変位量とを比較する比較手段とを備える部品接合装置が用いられ、比較手段による比較結果の差から、照射条件変更手段により複数のエネルギー線照射手段の照射エネルギーバランスを調整することで、硬化反応の遅れ分の変位量を考慮に入れた状態で、照射エネルギーバランスの違いを早期に調整することができる。このため、接着物の位置制御のオーバーシュート量を低減させることができると共に、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合を行うことが可能とされる部品接合装置を提供することができる。
【００４５】
請求項１１に記載の本発明によれば、接着物の実際に発生したずれ量を記憶する位置情報履歴記憶手段を備え、位置情報履歴記憶手段により記憶された接着物の実測変位軌道と、予測変位軌道とを比較手段で比較し、その比較結果の差から、照射条件変更手段により複数の照射手段の照射エネルギーバランスを調整することで、予測変位軌道と、実測変位軌道の挙動との比較を行うことができる。これにより、硬化反応の遅れを考慮に入れた正確なエネルギーバランスの調整が可能となる。従って、接着物の位置制御のオーバーシュート量を低減させることができると共に、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合が可能とされた部品接合装置を提供することができる。
【００４６】
請求項１２に記載の本発明によれば、接着剤に与えられたエネルギー線の照射履歴を記憶する照射条件履歴記憶手段を備え、位置情報履歴記憶手段に記憶された接着物の変位軌道履歴と、予測変位軌道履歴とを比較手段で比較し、その違いにより、予測手段の予測式を修正する修正手段が装備されることで、被着物と、接着物との間に発生する摩擦抵抗などの想定不能なパラメータの違いを修正することができ、変位量の正確な予測が可能となる。このため、より正確なエネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が可能な部品接合装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４７】
以下、本発明に係る部品接合方法および部品接合装置の実施形態を図面を参照して説明する。
【００４８】
図１は、本発明に係る第１実施形態の部品接合装置の主要構成を示す図、図２は、本発明に係る第２実施形態の部品接合装置の主要構成を示す図、図３（Ａ）は、予測変位量の算出方法を示す説明図、図３（Ｂ）は、被着物に接着物が接合される状態を示す平面図、図４（Ａ）は、照射部における接着剤の硬化を考慮した予測変位量の算出方法を示す説明図、図４（Ｂ）は、被着物に接着物が接合される状態を示す平面図、図５（Ａ）は、接着物の位置ずれ量を略０とさせるようにエネルギー線の照射をＯＮ／ＯＦＦ制御させた状態を示す説明図、図５（Ｂ）は、被着物に接着物が接合される状態を示す平面図、図６（Ａ）は、被着物に接着物が接合される状態を示す斜視図、図６（Ｂ）〜（Ｄ）は、被着物に対し接着物の位置が調整される状態を示す平面図である。
【００４９】
例えばＵＶ硬化型接着剤を用いて、被着物に接着物を接着接合させる場合、通常、接着剤を２部材の界面に塗布し、これにＵＶ光すなわち紫外線を照射させることにより、接着剤が硬化され、２部材が接着される。
【００５０】
本発明のものは、例えば、ＵＶ硬化型接着剤や可視光硬化型接着剤などの光硬化型接着剤、放射線硬化型接着剤、Ｘ線硬化型接着剤などのエネルギー線硬化型接着剤が対象とされるが、以下の説明では、光硬化型接着剤の一例とされるＵＶ硬化型接着剤を例にとって説明する。「ＵＶ」とは、「ultraviolet」を意味し、「ultraviolet radiation」は、「紫外線」を意味する。
【００５１】
例えばＵＶ硬化型接着剤４（図３〜図６）を用いて、被接着物１に接着物２を接着接合させる場合、通常、接着剤４を２部材の界面に塗布し、これにＵＶ光すなわち紫外線を照射させることにより、接着剤４が硬化され、２部材が接着される。
【実施例１】
【００５２】
部品接合装置１０１（図１）は、被着物把持手段３で把持された被接着物１に対して接着物２を搬送してセットする搬送手段（図示せず）と、接着物２を把持し被接着物１上の接着目標位置に位置調整する位置調整手段（図示せず）と、位置調整を行った後に、被接着物１と接着物２との接合部にエネルギー線硬化型接着剤４を塗布する塗布手段（図示せず）と、接着剤４を硬化させるためのエネルギー線照射手段１２と、被接着物１に対する接着物２の相対的な位置情報を測定する位置測定手段１１と、位置測定手段１１の位置情報から被接着物１上の接着目標位置に対する接着物２のずれ量Ｘ（図３〜図５）と、接着剤４（図１）が硬化されているときの接着物２の位置変化量とを演算して求める位置情報演算手段１６と、位置情報演算手段１６の位置情報に基づき、接着物２の位置ずれ量Ｘから、エネルギー線強度調整手段１４の初期照射条件を演算・算出したり、エネルギー線照射中の照射条件変更量を演算・算出したりする照射条件演算手段１７と、照射条件演算手段１７の算出した照射条件に従って、エネルギー線照射手段１２から照射されるエネルギー線の強度を調整するエネルギー線強度調整手段１４と、エネルギー線の接着剤４への照射のＯＮ／ＯＦＦを制御する照射ＯＮ／ＯＦＦ手段１３と、各接着剤４に照射したエネルギー線の積算エネルギー量を把握する積算エネルギー量演算手段１８もしくは積算エネルギー量測定手段１８と、位置情報演算手段１６で求められた現時点の位置ずれ量Ｘと、照射条件と、積算エネルギー量とから接着物２の次の位置ずれ量Ｘを予測する予測手段１９と、予測手段１９により予測された接着物２の将来の予測変位量を記憶する予測変位量記憶手段２０と、一定時間経過後に位置測定手段１１により測定され、位置情報演算手段１６で求められる現時点で実際に発生している接着物２の位置ずれ量Ｘと、過去に予測され予測変位量記憶手段２０に記憶された現時点の変位予測量とを比較する比較手段２１とを備えて構成されている。
【００５３】
図３〜図５に示す「ずれ量Ｘ」は、「ずれ」の大きさと「ずれ」の方向とを意味する。この「ずれ量Ｘ」は、接着目標位置からの接着物２の位置ずれ量Ｘとされ、制御軸方向Ｈｘに沿った変位量とされる。また、接着物２の変位量は、「ずれ量Ｘ」の大きさを意味する。図１に示す前記照射ＯＮ／ＯＦＦ手段１３と、前記エネルギー線強度調整手段１４と、前記照射条件演算手段１７とにより、エネルギー線照射条件を変更可能な照射条件変更手段が構成されている。また、前記位置測定手段１１は、固体撮像素子１０いわゆるＣＣＤ１０を備えるものとされている。「ＣＣＤ」は、「charge coupled device 」の略称とされる。位置測定手段を構成するものとして、ＣＣＤ１０により画像を計測するもの以外に、例えば、接着物２と被接着物１との相対位置を計測可能な測定器（図示せず）や、接着物（２）もしくは被着物（１）の位置ずれに対応して変化する検出信号を測定可能な手段などが用いられてもよい。
【００５４】
また、前記エネルギー線照射手段１２は、接着剤４に対するエネルギー線の照射部の大きさを調整可能な集光レンズ８（図１）と、集光レンズ８までエネルギー線を伝送させる光ファイバ９とを備えるものとされている。また、前記エネルギー線強度調整手段１４は、エネルギー線の強度を調整可能なフィルタ６を備えるものとされている。また、前記照射ＯＮ／ＯＦＦ手段１３は、エネルギー線を透したりエネルギー線を遮ったりすることが可能なシャッタ７を備えるものとされている。また、前記積算エネルギー量測定手段１８は、エネルギー線の積算エネルギー量を検出する積算エネルギーセンサ５を備えるものとされている。本実施形態において、前記位置情報演算手段１６と、前記照射条件演算手段１７と、前記積算エネルギー量測定手段１８とは、制御用コンピュータ１５の中に含まれるものとされている。
【００５５】
図１に示す状態は、接着物２の位置調整と、エネルギー線硬化型接着剤４の塗布とが終わり、接着物２の把持が解除された状態とされている。この状態で、エネルギー線硬化型接着剤４にエネルギー線を照射して接着剤４を硬化させ、被接着物１と、接着物２とを接合させる接合作業を実施する。
【００５６】
接着剤４の硬化中に、複数の接着硬化箇所８Ｉ，８II（図３〜図５）で、被接着物１と、接着物２との間に発生する硬化収縮力を制御することで、硬化収縮力により発生された被接着物１に対する接着物２の相対的な位置変動を制御して接着硬化を行う部品接合装置１０１（図１）とされている。
【００５７】
比較手段２１による比較結果の差、即ち、接着物２に生じた実際の変位量と、予測手段１９により算出された予測変位量との差から、前記照射条件変更手段により、複数のエネルギー線照射手段１２の照射エネルギーバランスを調整する。
【００５８】
現時点までの照射条件を基に接着物２の将来の変位量を予測する予測手段１９と、将来の予測された接着物２の予測変位量を記憶する予測変位量記憶手段２０と、一定時間経過後に、位置測定手段１１により測定された接着物２の実際に発生した変位量と、記憶された予測変位量とを比較する比較手段２１とを備える部品接合装置１０１が用いられ、比較手段２１による比較結果の差から、照射条件変更手段により複数のエネルギー線照射手段１２の照射エネルギーバランスを調整することで、硬化反応の遅れ分の変位量を考慮に入れた状態で、照射エネルギーバランスの違いを早期に調整することができる。このため、接着物２の位置制御のオーバーシュート量を低減させることができると共に、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合を行うことが可能とされる部品接合装置１０１を提供することができる。
【００５９】
次に、図１に示す部品接合装置１０１が用いられて行われる部品接合方法について説明する。エネルギー線硬化特性をもつ接着剤４（図１，図３）が硬化されるときに、複数の接着硬化箇所８Ｉ，８II（図３）で、被接着物１と、接着物２との間に発生する硬化収縮力を制御することで、硬化収縮力により発生された被接着物１に対する接着物２の相対的な位置変動を制御して接着硬化を行う。
【００６０】
符号８ｉ（図３〜図５）は、一側の接着硬化箇所８Ｉにエネルギー線が照射されたときの一側の照射部を示す。また、符号８ｊ（図４，図５）は、一側の接着硬化箇所８Ｉの反対側とされる他側の接着硬化箇所８IIにエネルギー線が照射されたときの他側の照射部を示す。図３に示すものにおいて、他側の接着硬化箇所８IIにおける接着剤４は、予め、硬化されて接着済みのものとされている。図３に示すものは、一側の接着硬化箇所８Ｉにのみ、エネルギー線が照射される状態のものとされているが、一側の接着硬化箇所８Ｉと共に他側の接着硬化箇所８IIにエネルギー線が照射されるものも使用可能とされる。
【００６１】
現時点の照射条件と、接着物２のずれ量Ｘとに基づいて、予測式を用いて、現時点以降の接着物２の変位量を予測し、予測変位量を求める。予測式として、例えば下記数式（１）が挙げられる。数式（１）は、エネルギー線照射による変位量予測式（１）とされ、予測式の基本とされる。
【００６２】
【数１】
2005187716.tif 000003
【００６３】
式（１）の各パラメータ
Ａ1   ：照射による最大変位量低下のパラメータ
β1   ：照射時の応答性パラメータ
Ｂ1   ：照射による応答性変化のパラメータ
Ｃ1   ：照射による遅れ時間変化のパラメータ
Ｄ(t) ：予測変位量（Ｄ(t)＜０と算出された場合、Ｄ(t)＝０）
Ｄmax ：最大変位量
Ｅ(t) ：時刻ｔまでの積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｔ    ：時間（時刻）
ｔ    ：タイミング（時刻）
ｔE   ：遅れ時間
【００６４】
また、予測式として、例えば下記数式（２）が挙げられる。数式（２）は、エネルギー線照射停止による変位低下量予測式（２）とされ、予測式の基本とされる。
【００６５】
【数２】
2005187716.tif 000004
【００６６】
式（２）の各パラメータ
Ａ0   ：照射停止による最大変位量低下のパラメータ
β0   ：照射停止時の応答性パラメータ
Ｂ0   ：照射停止による応答性変化のパラメータ
Ｃ0   ：照射停止による遅れ時間変化のパラメータ
Ｄ(t) ：予測変位量（Ｄ(t)＜０と算出された場合、Ｄ(t)＝０）
Ｄmax ：最大変位量
Ｅ(t) ：時刻ｔまでの積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｔ    ：時間（時刻）
ｔ    ：タイミング（時刻）
ｔE   ：遅れ時間
【００６７】
前記予測変位量と、接着物２の実際に発生した変位量とを常に比較する。予測変位量と、実際の変位量との差に基づいて、複数の照射手段１２（図１）の照射エネルギーバランスを調整する。予測変位量と、接着物２における実際の変位量とに差が生じたときに、複数の照射手段１２の照射エネルギーバランスを調整し、すぐに照射条件の調整を行う。照射ＯＮ／ＯＦＦ手段１３と、エネルギー線強度調整手段１４と、照射条件演算手段１７とを備える照射条件変更手段を用いて、照射エネルギーバランスを変更し、接着物２の目標変位量と、予測変位量との差が略ゼロとなるように位置調整を行う。
【００６８】
このようにすることで、硬化反応の遅れ分の変位量を考慮に入れた状態で、照射エネルギーバランスの違いを早期に調整することができる。このため、接着物２（図１，図３）の位置制御のオーバーシュート量を低減させることができると共に、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合を行うことが可能となる。
【００６９】
図３（Ｂ）は、他側の接着硬化箇所８IIにエネルギー線が照射されることなくＯＦＦの状態とされ、一側の接着硬化箇所８Ｉにのみ照射光量Ｅ１の紫外線が照射された状態を示すものとされている。一側の接着硬化箇所８Ｉ（図３（Ｂ））に、照射光量Ｅ１（図３（Ａ））の紫外線が照射されることで、一側の照射部８ｉ（図３（Ｂ））内に位置する接着剤４の硬化が開始される。
【００７０】
現時点までに与えられた積算エネルギー量を、接着物２の変位量を予測する予測式（１）（２）に入れることで、現時点以降の変化される変位量を求める。このようにすることで、硬化進行による接着物２の変位の制御性低下を考慮した正確な変位量予測が可能となる。従って、より正確なエネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が可能となる。
【００７１】
図３（Ａ）（Ｂ）を用いて、照射部８ｉをＯＮ／ＯＦＦ照射させたときに、積算エネルギー量によって算出される変位量もしくは変位軌跡の予測方法を説明する。照射による変位量予測式（１）すなわち数式（１）に、そのときの時間、照射部８ｉの積算エネルギー量を代入する。初期照射の際に、照射部８ｉの積算エネルギー量Ｅ(t) すなわち積算光量Ｅ(t) は「０」なので、照射による変位量予測式のＡ1Ｅ(0)，Ｂ1Ｅ(0)，Ｃ1Ｅ(0)は「０」となり、パラメータβ1で決まる応答性とされ、パラメータｔE で決まる遅れ時間だけ遅れたカーブで、最大変位量Ｄmax まで変化する変位軌跡Ｌ1 が予測される。
【００７２】
次に、ｔ1 のタイミングで照射部８ｉをＯＦＦの状態とさせた場合、照射部８ｉを最後まで照射した場合の最大変位量Ｄmax まで変化した変位軌跡Ｌ1 に対し、変位量は、変位軌跡Ｌ1 よりも低下し、実線で示す変位軌跡とされたものとなる。その変位量を照射停止による変位低下量予測式（２）すなわち数式（２）を用いて予測する。このとき、照射部８ｉの積算エネルギー量すなわち積算光量は、Ｅ(t1)となり、Ａ0Ｅ(t1)、Ｂ0Ｅ(t1)、Ｃ0Ｅ(t1) のパラメータの量だけ、最大変位量Ｄmax 、応答性のパラメータβ0 、遅れ時間のパラメータｔE が変化されたものとなる。
【００７３】
接着剤４にエネルギー線を照射もしくはエネルギーを増加させることにより変位量を予測した予測変位軌跡から、エネルギー線の照射を停止もしくはエネルギーを下げたことにより変位低下量を予測した予測変位軌跡を差し引くことで、エネルギー線を調整した時の接着物２の変位量を予測する。
【００７４】
図３（Ａ）を用いて具体的に説明すると、変位低下量の予測式（２）で求めた変位軌跡Ｌ2 分を変位軌跡Ｌ1 から差し引くことで、照射部８ｉがＯＦＦの状態とされたことによる影響を入れた実線の変位軌跡が求められる。同様に、ｔ2 のタイミングで照射部８ｉをＯＮの状態とさせた場合の変位軌跡Ｌ3 分を加え、ｔ3 のタイミングで照射部８ｉをＯＦＦの状態とさせた場合の変位低下量の軌跡Ｌ4 分を差し引くことで、照射部８ｉにエネルギー線を繰り返してＯＮ／ＯＦＦ照射させたときの変位軌跡Ｌ5 が予測される。
【００７５】
これにより、エネルギー線を調整した時の接着物２の変位量が正確に予測される。また、このようにすることで、複雑な照射パターンの変更を行った場合においても、変更動作ごとに予測演算を分離することができるため、容易に予測変位軌跡Ｌ5 を求めることができる。従って、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合が容易に実施可能となる。
【００７６】
接着物２の変位量を予測する際に、制御軸方向Ｈｘに沿って対向して位置する各接着剤４（図４）に与えられたエネルギー線の積算エネルギー量を考慮して、制御軸方向Ｈｘの変位量を予測する。図４（Ａ）（Ｂ）を用いて、制御軸方向Ｈｘに沿って対向して位置する各接着剤４へエネルギー線の照射を行う場合の変位軌跡の予測方法について、詳しく説明する。
【００７７】
複数の接着硬化箇所８Ｉ，８II（図４）に略同時にエネルギー線が照射されるときの予測式として、例えば下記数式（３）が挙げられる。数式（３）は、照射部８ｊにおける接着剤４の硬化の影響を考慮した照射部８ｉのエネルギー線照射による変位量予測式（３）とされる。
【００７８】
【数３】
2005187716.tif 000005
【００７９】
式（３）の各パラメータ
Ａi1  ：照射部８ｉ照射による最大変位量低下のパラメータ
ａi1  ：照射部８ｊ硬化による最大変位量低下のパラメータ（照射部８ｉ照射時）
βi1  ：照射部８ｉ照射時の応答性パラメータ
Ｂi1  ：照射部８ｉ照射による応答性変化のパラメータ
ｂi1  ：照射部８ｊ硬化による応答性変化のパラメータ（照射部８ｉ照射時）
Ｃi1  ：照射部８ｉ照射による遅れ時間変化のパラメータ
ｃi1  ：照射部８ｊ硬化による遅れ時間変化のパラメータ（照射部８ｉ照射時）
Ｄi(t)：予測変位量（Ｄi(t)＜０と算出された場合、Ｄi(t)＝０）
Ｄmax ：最大変位量
Ｅi(t)：時刻ｔまでの照射部８ｉにおける積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｅj(t)：時刻ｔまでの照射部８ｊにおける積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｔ    ：時間（時刻）
ｔ    ：タイミング（時刻）
ｔE   ：遅れ時間
【００８０】
また、複数の接着硬化箇所８Ｉ，８II（図４）に略同時にエネルギー線が照射されると共に照射が停止されたときの予測式として、例えば下記数式（４）が挙げられる。数式（４）は、照射部８ｊにおける接着剤４の硬化の影響を考慮した照射部８ｉのエネルギー線照射停止による変位低下量予測式（４）とされる。
【００８１】
【数４】
2005187716.tif 000006
【００８２】
式（４）の各パラメータ
Ａi0  ：照射部８ｉ照射停止による最大変位量低下のパラメータ
ａi0  ：照射部８ｊ硬化による最大変位量低下のパラメータ（照射部８ｉ照射停止時）
βi0  ：照射部８ｉ照射停止時の応答性パラメータ
Ｂi0  ：照射部８ｉ照射停止による応答性変化のパラメータ
ｂi0  ：照射部８ｊ硬化による応答性変化のパラメータ（照射部８ｉ照射停止時）
Ｃi0  ：照射部８ｉ照射停止による遅れ時間変化のパラメータ
ｃi0  ：照射部８ｊ硬化による遅れ時間変化のパラメータ（照射部８ｉ照射停止時）
Ｄi(t)：予測変位量（Ｄi(t)＜０と算出された場合、Ｄi(t)＝０）
Ｄmax ：最大変位量
Ｅi(t)：時刻ｔまでの照射部８ｉにおける積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｅj(t)：時刻ｔまでの照射部８ｊにおける積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｔ    ：時間（時刻）
ｔ    ：タイミング（時刻）
ｔE   ：遅れ時間
【００８３】
また、複数の接着硬化箇所８Ｉ，８II（図４）に略同時にエネルギー線が照射されるときの予測式として、例えば下記数式（５）が挙げられる。数式（５）は、照射部８ｉにおける接着剤４の硬化の影響を考慮した照射部８ｊのエネルギー線照射による変位量予測式（５）とされる。
【００８４】
【数５】
2005187716.tif 000007
【００８５】
式（５）の各パラメータ
Ａj1  ：照射部８ｊ照射による最大変位量低下のパラメータ
ａj1  ：照射部８ｉ硬化による最大変位量低下のパラメータ（照射部８ｊ照射時）
βj1  ：照射部８ｊ照射時の応答性パラメータ
Ｂj1  ：照射部８ｊ照射による応答性変化のパラメータ
ｂj1  ：照射部８ｉ硬化による応答性変化のパラメータ（照射部８ｊ照射時）
Ｃj1  ：照射部８ｊ照射による遅れ時間変化のパラメータ
ｃj1  ：照射部８ｉ硬化による遅れ時間変化のパラメータ（照射部８ｊ照射時）
Ｄj(t)：予測変位量（Ｄj(t)＜０と算出された場合、Ｄj(t)＝０）
Ｄmax ：最大変位量
Ｅi(t)：時刻ｔまでの照射部８ｉにおける積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｅj(t)：時刻ｔまでの照射部８ｊにおける積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｔ    ：時間（時刻）
ｔ    ：タイミング（時刻）
ｔE   ：遅れ時間
【００８６】
また、複数の接着硬化箇所８Ｉ，８II（図４）に略同時にエネルギー線が照射されると共に照射が停止されたときの予測式として、例えば下記数式（６）が挙げられる。数式（６）は、照射部８ｉにおける接着剤４の硬化の影響を考慮した照射部８ｊのエネルギー線照射停止による変位低下量予測式（６）とされる。
【００８７】
【数６】
2005187716.tif 000008
【００８８】
式（６）の各パラメータ
Ａj0  ：照射部８ｊ照射停止による最大変位量低下のパラメータ
ａj0  ：照射部８ｉ硬化による最大変位量低下のパラメータ（照射部８ｊ照射停止時）
βj0  ：照射部８ｊ照射停止時の応答性パラメータ
Ｂj0  ：照射部８ｊ照射停止による応答性変化のパラメータ
ｂj0  ：照射部８ｉ硬化による応答性変化のパラメータ（照射部８ｊ照射停止時）
Ｃj0  ：照射部８ｊ照射停止による遅れ時間変化のパラメータ
ｃj0  ：照射部８ｉ硬化による遅れ時間変化のパラメータ（照射部８ｊ照射停止時）
Ｄj(t)：予測変位量（Ｄj(t)＜０と算出された場合、Ｄj(t)＝０）
Ｄmax ：最大変位量
Ｅi(t)：時刻ｔまでの照射部８ｉにおける積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｅj(t)：時刻ｔまでの照射部８ｊにおける積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｔ    ：時間（時刻）
ｔ    ：タイミング（時刻）
ｔE   ：遅れ時間
【００８９】
上記数式（１）（２）や図３に示す予測式に対し、数式（３）〜（６）に示す予測式は、制御軸方向Ｈｘに沿って対向して位置する接着剤４の硬化収縮の影響を考慮したパラメータａi0，ａi1，ａj0，ａj1，ｂi0，ｂi1，ｂj0，ｂj1，ｃi0，ｃi1，ｃj0，ｃj1が加えられている。対向する接着剤４の硬化収縮に伴い、最大変位量低下のパラメータａi0，ａi1，ａj0，ａj1、応答性変化のパラメータｂi0，ｂi1，ｂj0，ｂj1、遅れ時間変化のパラメータｃi0，ｃi1，ｃj0，ｃj1が調整される。
【００９０】
照射部８ｉのエネルギー線照射による変位量予測式（３）と、照射部８ｉのエネルギー線照射停止による変位低下量予測式（４）と、照射部８ｊのエネルギー線照射による変位量予測式（５）と、照射部８ｊのエネルギー線照射停止による変位低下量予測式（６）とを用いて、制御軸方向Ｈｘ（図４（Ｂ））に沿って対向して位置する各接着剤４へエネルギー線の照射を行う場合の変位軌跡Ｌ33（図４（Ａ））を予測する。
【００９１】
上記各予測式（３）〜（６）に、各積算エネルギー量を入れる。照射部８ｉにおける積算エネルギー量Ｅi(t)として、照射部８ｉにおけるエネルギー線照射の各ＯＮ／ＯＦＦタイミング間の積算光量Ｅ1(t)を各予測式（３）〜（６）に入れる。また、照射部８ｊにおける積算エネルギー量Ｅj(t)として、照射部８ｊにおけるエネルギー線照射の各ＯＮ／ＯＦＦタイミング間の積算光量Ｅ2(t)を各予測式（３）〜（６）に入れる。これにより、変位量の軌跡および変位低下量の軌跡が予測される。
【００９２】
図４（Ａ）（Ｂ）に示すように、一側の接着硬化箇所８Ｉと、一側の接着硬化箇所８Ｉの反対側とされる他側の接着硬化箇所８IIとに、同時にエネルギー線が照射される。一側の接着硬化箇所８Ｉと、他側の接着硬化箇所８IIとは、制御軸方向Ｈｘに沿って対向するものとされている。一側の接着硬化箇所８Ｉ（図４（Ｂ））に、照射光量Ｅ１（図４（Ａ））の紫外線が照射されることで、一側の照射部８ｉ（図４（Ｂ））内に位置する接着剤４の硬化が開始される。また、他側の接着硬化箇所８II（図４（Ｂ））に、照射光量Ｅ２（図４（Ａ））の紫外線が照射されることで、他側の照射部８ｊ（図４（Ｂ））内に位置する接着剤４の硬化が開始される。初期照射の際に、一側の照射部８ｉ（図４（Ｂ））の変位軌跡Ｌ11（図４（Ａ））と、一側の照射部８ｉ（図４（Ｂ））の反対側とされる他側の照射部８ｊの変位軌跡Ｌ21（図４（Ａ））とが合せられることで、変位量は、互に相殺された略直線状の実線の軌跡を描くものとされる。図４（Ｂ）の如く、一側の照射部８ｉと、他側の照射部８ｊとは、制御軸方向Ｈｘに沿って対向する。
【００９３】
次に、図４（Ａ）の如く、ｔ1 のタイミングで他側の照射部８ｊをＯＦＦの状態とさせた場合、他側の照射部８ｊのエネルギー線照射停止による変位低下量の軌跡Ｌ22により、実線の軌跡は、一側の照射部８ｉ側に変位される。次に、ｔ2 のタイミングで一側の照射部８ｉをＯＦＦの状態とさせると共に、ｔ2 のタイミングで他側の照射部８ｊをＯＮの状態とさせた場合、一側の照射部８ｉのエネルギー線照射停止による変位低下量の軌跡Ｌ12分が差し引かれ、さらに他側の照射部８ｊのエネルギー線照射による変位軌跡Ｌ23により、実線の変位軌跡が画かれる。次に、ｔ3 のタイミングで一側の照射部８ｉをＯＮの状態とさせた場合、一側の照射部８ｉのエネルギー線照射による変位軌跡Ｌ13により、最終的に求めたい接着物２の変位軌跡Ｌ33が定められる。
【００９４】
このようにすることで、対向して位置する各接着剤４（図４（Ｂ））の硬化進行による接着物２の変位の制御性低下が考慮され、平面視略矩形状の接着物２の変位量を正確に予測することが可能とされる。従って、より正確な照射エネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が可能となる。
【００９５】
図５（Ａ）に示すように、照射エネルギーバランスを調整するたびに、その調整による変位量への影響を予測する。照射エネルギーバランスを調整するたびに、照射による変位量予測式（３）（５）と、照射停止による変位低下量予測式（４）（６）とを用いて、照射エネルギーバランスが調整されたことによる変位量への影響を予測する。また、被接着物１もしくは接着物２の設計仕様や、被接着物１と接着物２とを固定させる接着剤４の接着硬化箇所の仕様などにより、照射による変位量予測式（１）と、照射停止による変位低下量予測式（２）とを用いて、照射エネルギーバランスを調整するたびに、照射エネルギーバランスが調整されたことによる変位量への影響を予測することも可能とされる。照射エネルギーバランスの調整前に既に求められた予測変位軌跡に、予測した変位量を付加させることで、現時点以降の予測変位軌跡を修正する。
【００９６】
このようにすることで、最後に変更した照射条件の変位量への影響のみを予測すればよいこととなる。これにより、接着物２の変位量を予測するための計算負荷を低減させることができる。従って、より短時間に正確な照射エネルギーバランスの調整を行うことが可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合を行うことが可能となる。
【００９７】
部品接合装置の設計仕様などによっては、特願２００３−２０４４２１号に記載のエネルギー線強度調整手段を用いて、照射エネルギー強度を調整して照射エネルギーバランスを調整する部品接合方法も実施可能とされる。
【実施例２】
【００９８】
次に、図２に示す部品接合装置１０２について説明する。なお、図２に示す部品接合装置１０２の各部において、図１に示す部品接合装置１０１の各部と同じものとされる部分については、同じ符号を付し、その詳細な説明を省略した。
【００９９】
図２に示す部品接合装置１０２は、接着物２の実際に発生した位置ずれ量を記憶する位置情報履歴記憶手段２２を備えるものとされている。図１に示す部品接合装置１０１に対し、図２に示す部品接合装置１０２は、接着物２の実際に発生した位置ずれ量Ｘ（図３〜図５）を記憶する位置情報履歴記憶手段２２（図２）が追加装備されたものとして構成されている。
【０１００】
位置情報履歴記憶手段２２により記憶された接着物２の実測変位軌跡と、予測手段１９によって予測され予測変位量記憶手段２０により記憶された予測変位軌跡とを常に比較手段２１で比較し、比較手段２１による比較結果の差、即ち、実測変位量と、予測変位量との差から、上記照射条件変更手段により、複数のエネルギー線照射手段１２の照射エネルギーバランスを調整する。エネルギー線照射条件を変更可能な照射条件変更手段は、上記照射ＯＮ／ＯＦＦ手段１３と、上記エネルギー線強度調整手段１４と、上記照射条件演算手段１７とを備えるものとして構成されている。
【０１０１】
部品接合装置１０２に、前記位置情報履歴記憶手段２２が装備されることで、予測変位軌跡と、実測変位軌跡の挙動との比較を行うことができる。これにより、硬化反応の遅れを考慮に入れた正確なエネルギーバランスの調整が可能となる。従って、接着物２の位置制御のオーバーシュート量を低減させることができると共に、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合が可能とされた部品接合装置１０２を提供することができる。
【０１０２】
前記位置情報履歴記憶手段２２を備える部品接合装置１０２が用いられて、部品接合方法が行われる状態を説明する。現時点の照射条件と、接着物２の位置ずれ量とに基づいて、予測手段１９を用いて、現時点以降の接着物２の予測変位軌跡を求める。また、接着物２の実際に生じた実測変位軌跡を位置情報履歴記憶手段２２に記憶させる。前記予測変位軌跡と、接着物２の実際に発生した実測変位軌跡とを比較する。前記予測変位軌跡と、前記実測変位軌跡との差に基づいて、複数の照射手段１２の照射エネルギーバランスを調整する。
【０１０３】
このようにすることで、予測変位軌跡と、実測変位軌跡の挙動とが比較され、硬化反応の遅れを考慮に入れた正確なエネルギーバランスの調整が可能となる。従って、接着物２の位置制御のオーバーシュート量が低減されると共に、制御余裕を確保した状態で、より短時間に高精度な接合を行うことが可能となる。接着物２の予測変位を一定の期間つなげた予測変位軌跡Ｌ5(図３) ，Ｌ33（図４）と、位置情報履歴記憶手段２２（図２）に記憶された一定期間の接着物２の実測変位軌跡と比較することで、例えば１点における予測変位量と、接着物２の実測変位量とを正確に比較することができる。従って、より正確な照射エネルギーバランスの変更が可能となる。
【０１０４】
また、図２に示す部品接合装置１０２は、接着剤４に与えられたエネルギー線の照射履歴を記憶する照射条件履歴記憶手段２３を備えるものとされている。図１に示す部品接合装置１０１に対し、図２に示す部品接合装置１０２は、接着剤４に与えられたエネルギー線の照射履歴を記憶する照射条件履歴記憶手段２３が追加装備されたものとして構成されている。
【０１０５】
また、部品接合装置１０２には、位置情報履歴記憶手段２２に記憶された接着物２の変位軌跡履歴と、予測手段１９によって予測され予測変位量記憶手段２０により記憶された予測変位軌跡履歴とを比較手段２１で比較し、その違いにより、予測手段１９の予測式を修正する修正手段２４が装備されている。図１に示す部品接合装置１０１に対し、図２に示す部品接合装置１０２は、前記予測手段１９の予測式を修正する修正手段２４が追加装備されたものとして構成されている。
【０１０６】
上記照射条件変更手段で変更された照射条件と、積算エネルギー量の現時点までの履歴とを記憶する照射条件履歴記憶手段２３が、部品接合装置１０２に装備されることで、予測演算の誤差が蓄積されるということは防止される。また、部品接合装置１０２に、前記照射条件履歴記憶手段２３と、前記修正手段２４とが装備されることで、被接着物１と、接着物２との間に発生する摩擦抵抗などの想定不能なパラメータの違いを修正することができ、変位量の正確な予測が可能となる。このため、より正確なエネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が可能な部品接合装置１０２を提供することができる。
【０１０７】
前記照射条件履歴記憶手段２３が装備された部品接合装置１０２を用いて、部品接合方法が行われる状態を説明する。現時点までの接着剤４に与えたエネルギー線の照射履歴を照射条件履歴記憶手段２３に記憶させる。その履歴データと、現時点までの接着物２の変位履歴とに基づいて、現時点以降の次の接着物２の変位量を演算し直す。現時点までの接着剤４に与えられたエネルギー線の照射履歴を照射条件履歴記憶手段２３に記憶させ、その履歴データと、現時点までの接着物２の変位履歴とを基にして、照射エネルギーバランスを調整するたびに、エネルギー線照射開始から予測演算をやり直す。
【０１０８】
このようにすることで、予測誤差の累積を防ぐことが可能となる。従って、より正確な照射エネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が実施可能となる。
【０１０９】
前記照射条件履歴記憶手段２３と、前記位置情報履歴記憶手段２２と、前記予測変位量記憶手段２０とを備える部品接合装置１０２が用いられて、部品接合方法が行われる状態を説明する。接着剤４に与えたエネルギー線の照射履歴を照射条件履歴記憶手段２３に記憶させる。また、接着物２に実際に生じた変位量の履歴を位置情報履歴記憶手段２２に記憶させる。また、予測変位量の履歴を予測変位量記憶手段２０に記憶させる。実際に接着物２に発生した変位量と、予測変位量の履歴との違いから、上記予測式（１）〜（６）のパラメータを修正する。
【０１１０】
このようにすることで、被着物と、接着物との間に発生する摩擦抵抗などの想定不能なパラメータの違いを修正することができ、変位量の正確な予測が可能となる。このため、より正確なエネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が可能となる。
【０１１１】
上記予測式（１）〜（６）のパラメータとして、事前に実験などで求められたパラメータが使用されるが、被接着物１と、接着物２との間の摩擦抵抗や、接着剤４の塗布状態などの違いの影響により、予測誤差が生じることが懸念されていた。これを解決するために、接着物２の位置制御が行われつつ接着工程が行われるときに、接着剤４に与えたエネルギー線の照射履歴と、接着物２の変位量の履歴と、予測変位量の履歴とを部品接合装置１０２に記憶させ、実際に発生した変位量と、予測変位量の履歴との違いから、予測式のパラメータを修正させる。これにより、予測式の誤差を低減化させることが可能となる。
【０１１２】
図６（Ａ）に示すように、被接着物１上に多数の接着剤４を塗布・配置させて、被接着物１と、接着物２との接合を行うときに、多軸制御を行う。図６（Ｂ）〜（Ｄ）に示すように、被接着物１が平面視されたときに、被接着物１に対する接着物２の各軸方向Ｈｘ，Ｈｙもしくは回動方向Ｈθに沿った位置を微調整しつつ、被接着物１の面内に位置する接着物２を接着硬化させる。
【０１１３】
例えば図６（Ａ）において、接着剤の硬化収縮が考慮されることなく、制御軸方向Ｈｘに沿って対向して位置する各接着剤４と、制御軸方向Ｈｙに沿って対向して位置する各接着剤４とを同時に接着硬化させる場合、制御軸方向Ｈｘに沿って対向して位置する各接着剤４以外の他の接着剤４すなわち制御軸方向Ｈｙに沿って対向して位置する各接着剤４の硬化が、制御軸方向Ｈｘに沿って対向して位置する各接着剤４の接着位置に影響を及ぼす。又は、制御軸方向Ｈｙに沿って対向して位置する各接着剤４以外の別の接着剤４すなわち制御軸方向Ｈｘに沿って対向して位置する各接着剤４の硬化が、制御軸方向Ｈｙに沿って対向して位置する各接着剤４の接着位置に影響を及ぼす。このような場合、被接着物１に対する接着物２の接合位置が変位し、接合作業は制御不能とされる。
【０１１４】
被接着物１および接着物２に接着剤４を数箇所ほど塗布させて、被接着物１上に接着物２を接合させる場合、図６（Ｂ）に示すように、制御軸方向Ｈｘに沿って対向して位置する照射部８ａ，８ｂの照射エネルギーバランスが調整されることで、制御軸方向Ｈｘに沿った接着物２の変位量が調整される。また、図６（Ｃ）に示すように、制御軸方向Ｈｙに沿って対向して位置する照射部８ｃ，８ｄの照射エネルギーバランスが調整されることで、制御軸方向Ｈｙに沿った接着物２の変位量が調整される。また、図６（Ｄ）に示すように、多数の照射部８ｅ，８ｆの照射エネルギーバランスが調整されることで、回動方向Ｈθに沿った接着物２の変位量が調整される。
【０１１５】
図６（Ｂ）に示す照射部８ａ，８ｂのエネルギー線照射工程が終了された後に、すぐに図６（Ｃ）に示す照射部８ｃ，８ｄのエネルギー線照射工程が行われる。又は、図６（Ｂ）に示す照射部８ａ，８ｂのエネルギー線照射工程が終了された後に、すぐに図６（Ｄ）に示す照射部８ｅ，８ｆのエネルギー線照射工程が行われる。又は、照射エネルギーバランスが調整されつつ、図６（Ｂ）に示す照射部８ａ，８ｂのエネルギー線照射工程と、図６（Ｃ）に示す照射部８ｃ，８ｄのエネルギー線照射工程とが略同時に行われる。又は、照射エネルギーバランスが調整されつつ、図６（Ｂ）に示す照射部８ａ，８ｂのエネルギー線照射工程と、図６（Ｄ）に示す照射部８ｅ，８ｆのエネルギー線照射工程とが略同時に行われる。
【０１１６】
図６（Ｂ）において、制御軸方向Ｈｘに沿った接着物２の変位量を予測する際に、制御軸方向Ｈｘ以外の方向Ｈｙに沿った接着物２の変位を制御するために、塗布された接着剤４に与えたエネルギー線の積算エネルギー量を考慮して、制御軸方向Ｈｘの変位量を予測する。この場合の制御軸方向Ｈｘ以外の方向Ｈｙとは、制御軸方向Ｈｘと略直交し且つ接着物２と略平行な方向Ｈｙを意味する。制御軸以外の方向Ｈｙに沿った接着物２の変位を制御するために、塗布された接着剤４に与えたエネルギー線の積算エネルギー量に基づいて、上記予測式（３）〜（６）のパラメータを調整する。これにより、軸干渉が懸念される多軸の接着物２の位置制御が可能となる。
【０１１７】
また、図６（Ｃ）において、制御軸方向Ｈｙに沿った接着物２の変位量を予測する際に、制御軸方向Ｈｙ以外の方向Ｈｘに沿った接着物２の変位を制御するために、塗布された接着剤４に与えたエネルギー線の積算エネルギー量を考慮して、制御軸方向Ｈｙの変位量を予測する。この場合の制御軸方向Ｈｙ以外の方向Ｈｘとは、制御軸方向Ｈｙと略直交し且つ接着物２と略平行な方向Ｈｘを意味する。制御軸以外の方向Ｈｘに沿った接着物２の変位を制御するために、塗布された接着剤４に与えたエネルギー線の積算エネルギー量に基づいて、上記予測式（３）〜（６）のパラメータを調整する。これにより、軸干渉が懸念される多軸の接着物２の位置制御が可能となる。
【０１１８】
このような部品接合方法が行われることで、調整軸が多数ある調整部品すなわち接着物２を被接着物１に接合させる場合においても、上記予測式（３）〜（６）により、接着剤４の硬化収縮による軸干渉が考慮され、被接着物１に対する接着物２の変位量の正確な予測が可能となる。このため、より正確なエネルギーバランスの調整が可能となり、制御余裕を確保した状態で高精度な接合が可能となる。
【０１１９】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、図示されたものに限られることなく、各種の部品接合装置に適用可能とされる。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２０】
【図１】本発明に係る第１実施形態の部品接合装置の主要構成を示す図である。
【図２】本発明に係る第２実施形態の部品接合装置の主要構成を示す図である。
【図３】（Ａ）は予測変位量の算出方法を示す説明図、（Ｂ）は被着物に接着物が接合される状態を示す平面図である。
【図４】（Ａ）は照射部における接着剤の硬化を考慮した予測変位量の算出方法を示す説明図、（Ｂ）は被着物に接着物が接合される状態を示す平面図である。
【図５】（Ａ）は接着物の位置ずれ量を略０とさせるようにエネルギー線の照射をＯＮ／ＯＦＦ制御させた状態を示す説明図、（Ｂ）は被着物に接着物が接合される状態を示す平面図である。
【図６】（Ａ）は被着物に接着物が接合される状態を示す斜視図、（Ｂ）〜（Ｄ）は被着物に対し接着物の位置が調整される状態を示す平面図である。
【符号の説明】
【０１２１】
１    被接着物（被着物）
２    接着物
３    被着物把持手段
４    接着剤
５    積算エネルギーセンサ
６    フィルタ
７    シャッタ
８    集光レンズ（レンズ）
８Ｉ，８II  接着硬化箇所（接着箇所）
８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，８ｅ，８ｆ，８ｉ，８ｊ  照射部
９    光ファイバ（ファイバ）
１０  ＣＣＤ（固体撮像素子）
１１  位置測定手段
１２  エネルギー線照射手段（照射手段）
１３  照射ＯＮ／ＯＦＦ手段
１４  エネルギー線強度調整手段
１５  制御用コンピュータ
１６  位置情報演算手段
１７  照射条件演算手段
１８  積算エネルギー量演算手段（積算エネルギー量測定手段）
１９  予測手段
２０  予測変位量記憶手段
２１  比較手段
２２  位置情報履歴記憶手段
２３  照射条件履歴記憶手段
２４  修正手段
１０１，１０２  部品接合装置
Ｄ(t) ，Ｄi(t)，Ｄj(t)  予測変位量（変位量）
Ｅ(t) ，Ｅi(t)，Ｅj(t)  積算照射エネルギー（積算エネルギー量）
Ｈｘ，Ｈｙ      制御軸方向（方向）
Ｈθ  回動方向（方向）
Ｌ1 ，Ｌ2 ，Ｌ3 ，Ｌ4 ，Ｌ5 ，Ｌ11，Ｌ12，Ｌ13，Ｌ21，Ｌ22，Ｌ23，Ｌ33  軌跡（軌道）
Ｘ    位置ずれ量（ずれ量）
【図１】
2005187716.tif 000009
【図２】
2005187716.tif 000010
【図３】
2005187716.tif 000011
【図４】
2005187716.tif 000012
【図５】
2005187716.tif 000013
【図６】
2005187716.tif 000014