(57)【要約】 【課題】  偏光子、ファラデー回転素子、検光子を正確に組み合わせるための特殊なホルダ等を必要とせず、組立調整が容易で、小型化が可能な光アイソレータを提供する。【解決手段】  本発明の光アイソレータは、円筒状永久磁石１６内に平行平板型４５度ファラデー回転素子１４を配置し、その２つの光入出射面にそれぞれ対向して偏光子１２ａ、１２ｂを配置した構成を有する。この偏光子１２ａ、１２ｂは板状金属と板状誘電体が密着した２重層構造の板状体２２ａ、２２ｂが多数互いに平行に配列された構造体である。この板状体の板面方向が２つの偏光子において互いに４５°の角度をなすようにそれぞれ固定する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平行平板型４５度ファラデー回転素子の対向する２つの光入出射面にそれぞれ対向して偏光子を配置した光アイソレータにおいて、前記偏光子は板状体が多数互いに平行に配列された構造体を有し、２つの該構造体は、それらを構成する板状体の板面の前記ファラデー回転素子の光入出射面に対する角度が互いに実質的に等しく、かつ該板面の方向が互いに４５°の角度をなすようにそれぞれ固定されていることを特徴とする光アイソレータ。
【請求項２】
前記板状体は板状金属と板状誘電体とが密着した２重層構造を有していることを特徴とする請求項１に記載の光アイソレータ。
【請求項３】
前記板状体は、前記ファラデー回転素子の両光入出射面にそれぞれ直接形成されていることを特徴とする請求項２に記載の光アイソレータ。
【請求項４】
前記ファラデー回転素子と一方の前記偏光子の間に平行平板状透明基板が挿入されていることを特徴とする請求項２に記載の光アイソレータ。
【請求項５】
前記ファラデー回転素子の平行平板状透明基板に対向する光入出射面とは反対側の光入出射面に前記板状体が直接形成され、かつ平行平板状透明基板の前記ファラデー回転子の光入出射面に対向する表面とは反対側の表面にも板状体が直接形成されていることを特徴とする請求項４に記載の光アイソレータ。
【請求項６】
前記板状体を形成したファラデー回転素子と平行平板状透明基板とを貼り合わせて一体化し貫通孔を設けた永久磁石の該貫通孔内部に固定したことを特徴とする請求項４または５に記載の光アイソレータ。
【請求項７】
前記板状体を形成したファラデー回転素子と平行平板状透明基板とを貼り合わせて一体化し貫通孔を設けた永久磁石の該貫通孔内部に光軸に対してファラデー回転素子の光入出射面が傾斜するように固定したことを特徴とする請求項６に記載の光アイソレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として光通信分野において使用される光アイソレータに関し、とくに偏光子とファラデー回転素子を用いた光アイソレータに関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバ通信に用いられる半導体レーザは、光出力用の光ファイバを備えたモジュールとして供給され、その終端に光コネクタを設けて伝送用の光ファイバに接続する場合が多い。この場合、光コネクタ部で生じる反射戻り光は、半導体レーザに再注入され半導体レーザの動作状態が不安定になることが知られている。このため、戻り光を除去するために光アイソレータが用いられる。
【０００３】
従来の代表的な光アイソレータの構成を図７に示す。この光アイソレータでは磁場内にファラデー素子５４が固定され、それを挟んで偏光板５２ａと５２ｂが配置されている。両偏光板５２ａ、５２ｂの偏光方向を４５°回転させることにより、両偏光板はそれぞれ偏光子、検光子としてはたらく。
【０００４】
上記各構成要素よりなる光アイソレータについて、各構成要素の関係と動作とを説明する。図８（ａ）に示すように、半導体レーザから矢印Ａで示した方向に偏光子５２ａに入射した光５０ａのうち偏光子５２ａを通過した直線偏光５０ｂはファラデー回転子５４によって偏光方向が４５°回転する。４５°回転した直線偏光５０ｃは偏光子５２ａと４５°異なるように配置された検光子５２ｂを通過して出射する。
【０００５】
また、図８（ｂ）に示すように矢印Ｂで示した逆方向から入射した光６０ａのうち、検光子５２ｂを通過してきた直線偏光６０ｂは、ファラデー回転素子５４の非相反性のため、これを通過した後、偏光方向が４５°の回転を生じ偏光子５２ａの偏光方向と直交し偏光子５２ａを通過することができない。
【０００６】
従来の光アイソレータは、上記のような光学系を構成するために、偏光子、ファラデー回転素子、検光子を個別部品として組み合わせていたために小型化が困難であった。また、これらを組み立てる際に、偏光子、検光子の偏光方向が互いに４５°の角度となるように精密に調整されなければならなかったため、組み立て工程が煩雑でコスト高の要因となっていた。
【０００７】
また、この従来の光アイソレータを、例えば半導体レーザモジュールに装着する際、偏光子及び検光子は、表面が平滑なためにその偏光方向がわかりにくかった。このため、実際に光を入射して光アイソレータからの出力が最大になるように、光軸を回転させる調整を行う必要があった。このように光アイソレータを実装する場合にも、調整が難しいという問題を有していた。
【０００８】
上記の問題点を解決する具体的な試みについては、例えば特許文献１〜３に開示されている。
例えば、特許文献１に開示された光アイソレータでは、図７に示すように円板状の永久磁石６６の開口部内に矩形状のファラデー素子６４を挿入固定し、これを挟むように偏光板６２ａ、６２ｂをそれぞれ、半円筒形のホルダ６５を用いて固定している。２つの偏光版６２ａ、６２ｂはホルダ６５に設けた切り込み６８に挿入するだけで、２つの切り込みの角度差によって偏光方向が４５°異なるように取り付けられ、偏光板の角度調整が不要となるように工夫されている。
【０００９】
また、特許文献２及び３には、ファラデー回転子の表面にフォトニック結晶を直接形成する方法が記載されている。ファラデー回転子と偏光子を一体化することにより、部品点数を減らすことができ、組立を容易にすることができる。
【特許文献１】特開平１０−６８９０７号公報
【特許文献２】特開２０００−５６１３３号公報
【特許文献３】特開２００３−１７２９０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし特許文献１などに記載されているホルダに工夫を加える方法では、偏光子、ファラデー回転素子、検光子を個別部品として組み合わせなければならない点は改善されておらず、また偏光板の形状に合わせて切り込みを加工した特殊なホルダを用意しなければならないという問題点もあった。
【００１１】
また特許文献２または３の方法は、部品点数は減少できるもののファラデー回転子の表面に基板と垂直な方向に高屈折率材料と、低屈折率材料を交互に多数層積層するため、生産に時間がかかり、生産コストが上昇するという問題があった。また、偏光子と検光子の偏光方向を光軸に対して正確に４５°の角度で整合しなくてはならないことに対する、工程の煩雑さが解消されていなかった。
【００１２】
本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされたもので、小型化が可能でかつ調整が容易な光アイソレータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の光アイソレータは、平行平板型４５度ファラデー回転素子の対向する２つの光入出射面にそれぞれ対向して偏光子を配置した構成を有し、この偏光子は板状体が多数互いに平行に配列された構造体を有するものとする。この２つの構造体を、それらを構成する板状体がファラデー回転素子の光入出射面に対する角度が実質的に等しくなるように、かつその板面の方向が互いに４５°の角度をなすようにそれぞれ固定する。
このような構成をとることにより、小型でかつ調整が容易な光アイソレータを提供することができる。
【００１４】
なお、上記板状体は板状金属と板状誘電体とを密着させた２重層構造とする。このような板状体は成膜工程によって作製できるので、偏光子をファラデー回転素子の表面等にも容易に作製できる。
【００１５】
偏光子を構成する板状体は、ファラデー回転素子の両光入出射面にそれぞれ直接形成されていることが望ましい。偏光子をファラデー回転素子表面に直接形成することにより、組み立て、調整を簡略化することができる。
【００１６】
またファラデー回転素子と一方の偏光子の間に平行平板状透明基板を挿入する手段も採用できる。ファラデー回転素子と一方の偏光子の間に空間を空けることにより、第１の方向からの入射光の入射位置と、第２の方向から同一光軸上を入射する光の出射位置をずらすことができ、第１の入射光の光源に第２の方向から入射する光が入射するのを避けることができる。
【００１７】
上記平行平板状透明基板が挿入した場合には、ファラデー回転素子の平行平板状透明基板に対向する光入出射面とは反対側の光入出射面に板状体を直接形成し、平行平板状透明基板のファラデー回転子の光入出射面に対向する表面とは反対側の表面にも板状体を直接形成することが望ましい。
偏光子をファラデー回転素子表面と平行平板状透明基板表面に直接形成することにより、組み立て、調整を簡略化することができる。
【００１８】
さらに板状体を形成したファラデー回転素子と平行平板状透明基板とを貼り合わせて一体化し貫通孔を設けた永久磁石の貫通孔内部に固定することが望ましい。光アイソレータの構成部品を一体形成することで、小型化が図れ、組み立て、調整を容易にすることができる。
【００１９】
また板状体を固定したファラデー回転素子と平行平板状透明基板とを貼り合わせて一体化し貫通孔を設けた永久磁石の貫通孔内部に光軸に対してファラデー回転素子の入出射面が傾斜するように固定することが好ましい。ファラデー回転素子への光入射は斜めに行うため、傾斜して固定することにより、光アイソレータの実装が容易になる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の光アイソレータは、偏光子、ファラデー回転子、検光子が一体化されているため、光軸方向の長さが短縮でき、小型に構成できる。また、これまで必要とされた偏光子と検光子の角度調整が不要であるため、光アイソレータの組み立て工程が簡略になる。さらに、表面の偏光子および、検光子が直線状の凹凸構造を持つため、光アイソレータを実装する際、偏光方向を特定するのが容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１に本発明の光アイソレータの実施形態を示す。図１（ｂ）は、本発明の光アイソレータの側面からみた断面図である。光アイソレータは、第１の偏光子１２ａ、ファラデー回転子１４、これに貼り付けた透明基板１１、この透明基板１１の反対側表面に形成した第２の偏光子１２ｂをこの順で配列し、一体化したブロックを円筒状の永久磁石１６の内部に納めて構成されている。第１の偏光子１２ａと第２の偏光子１２ｂの偏光方向は互いに４５°異なっている。
【００２２】
本発明の光アイソレータは使用する偏光子に特徴を有している。この偏光子は図２に示すように基板２５上にほぼ垂直に立った複数の平行な板状体２２からなる構造体である。この板状体２２は板状金属２７と板状誘電体２６が表裏に密着する構造を有している。この板状体２２の板面の方向性（図中ｙで示す方向）が、この構造を透過する光に対して偏光選択性を与える。なお、後述するようにこの板状体２２の板面の方向を制御しやすくするためには、基板２５表面に凹凸構造を有する層２８を介在させることが望ましい。
【００２３】
本発明の光アイソレータにおいては、図１（ｂ）に示すように、ファラデー回転素子１４の一方の光入出射面に、上記の板状体が直接形成され、偏光子１２ａとなっている。図１（ａ）はこのファラデー回転子１４の光入出射面に垂直な方向からみた図で、複数の板状体２２ａが一定方向に平行に配列し、偏光子１２ａを構成している様子を模式的に示している。
【００２４】
また図１（ｃ）は透明基板１１の表面にも板状体２２ｂが形成され、偏光子１２ｂを構成している様子を模式的に示している。ここで板状体２２ａ、２２ｂの板面のファラデー回転素子の光入出射面に対する角度はともにほぼ垂直で互いに等しい。板状体の作製条件によっては垂直から傾斜する場合もあるが、両方の板状体は角度が実質的に等しいものを使用すればよい。ここで板状体１２ａの板面方向と４５°異なる方向に板状体１２ｂが形成されている。
【００２５】
図２に示すように個々の板状体２２の平均間隔をｄ、板状体の高さをＨ、板状金属２７の厚さをＷとすると、使用波長をλとする場合に、
０．０７λ＜ｄ＜０．２０λ
０．１５λ＜Ｈ＜０．０９λ
０．０５λ＜Ｗ＜０．１８λ
の範囲とすることが好ましい。
【００２６】
これらの板状体で構成される構造体は、入射する光の偏波に対して、板面方向に対して平行なＴＥ成分は反射し、垂直なＴＭ成分のみを透過する。したがって、図１（ａ）及び（ｃ）に示すように板状体の方向を４５°方向を変えて組み合わせた場合には、一方の偏光子を透過した光は、その後、偏光方向が４５°回転した場合のみ、他方の偏光子を透過できることになる。
【００２７】
光アイソレータとしての動作を図３に示す。図示するように、本発明の光アイソレータは、使用する場合に通常光軸１００に対して角度を持たせて設定する。
【００２８】
図３（ａ）は、ファラデー回転素子１４側から光１０が入射する場合で、表面においては板状体の方向が図１（ａ）のようになるように偏光子１２ａが配置されている。これにより、この偏光子１２ａは、図８の素子５２ａと同様に半導体レーザから出射した光のうちＴＭ偏波しか通過させない。このため半導体レーザの偏波はこの方向に一致するように設定する。このＴＭ偏波はファラデー回転子１４により、図８の５０ｃに示される方向に４５°回転される。図１（ｃ）に示すように偏光子１２ｂの方向は、偏光子１２ａの方向と４５°傾けられており、この方向に配置された偏光子１２ｂは、ファラデー回転子１４で４５°回転されたＴＭ偏波の光を透過する。
【００２９】
図３（ｂ）は逆方向から光２０が入射する場合を示す。透明基板１１側の偏光子１２ｂは、偏光子１２ａの方向に対して光軸回りに４５°回転して配置されているので、裏面側からは、偏光子１２ｂの板状体の方向に垂直なＴＭ偏波のみが透過する。このＴＭ偏波はファラデー回転素子１４によって偏波方向が４５°回転するので、偏光子１２ａに対してはＴＥ偏波となるため、後方に反射される。
【００３０】
このとき、光アイソレータ本体は、図３に示すように光軸１００に対して傾けることにより、後方に反射された光３０は、光軸１００に対し角度をもって反射される。この反射された光３０は、ファラデー回転素子１４で、偏波面がさらに４５°回転して偏光子１２ｂにＴＥ偏波として入射する。このＴＥ偏波は、偏光子１２ｂで反射され再びファラデー回転素子１４に入射する。
【００３１】
このとき、反射方向は光軸１００と平行となるが、反射光４０の位置は、入射光２０の方向の延長線上からずれる。この反射光４０はファラデー回転子１４でさらに４５°回転されＴＭ偏波として偏光子１２ａを通過する。この位置は、特許文献２に示されるように半導体レーザが置かれていた位置よりずれるため、半導体レーザに戻ることはない。この構造により、偏光子、ファラデー回転素子、検光子が一体化した光アイソレータが実現できる。
【００３２】
以上は、アイソレータ全体を傾けた例で説明したが、図４に示すように、偏光子１２ａ、１２ｂをファラデー回転素子１４およびこれに貼り付けた透明基板１１を一体化したブロックを、光軸１００および円筒状の永久磁石１６の軸方向に対して傾けて設置しても同様な動作が可能となる。
【００３３】
なお、上記の場合のように反対方向から入射する光の位置をずらす必要がない場合には、透明基板を設けずにファラデー回転素子の両面に偏光子を密着させて形成してもよい。この場合にはファラデー回転素子の両方の光入出射面に板状体を直接形成することが望ましい。
【実施例１】
【００３４】
本発明の実施例として、波長１５５０ｎｍで動作する光アイソレータを製作した。
このアイソレータは図１に示すように、ファラデー回転素子１４、その表面に形成した偏光子１２ａ、ファラデー回転素子１４に貼り付けるガラスからなる透明基板１１、その裏面に形成した偏光子１２ｂとを一体化したブロックと、円筒状の永久磁石１６から構成した。このブロックは、ファラデー回転素子１４の基板、透明基板１１を準備し、それぞれに偏光子１２ａ、１２ｂを形成した上で貼り合わせ、チップに切断して製作した。
【００３５】
まず、ファラデー回転素子用基板としては、Ｂｉ置換鉄ガーネット基板（ＢＩＧ）を用意した。この基板は厚さ４００μｍ、１０ｍｍ×１０ｍｍの寸法で、９５ＫＡ／ｍの磁界を印加することにより、１５５０ｎｍの入射光に対して４５°のファラデー回転角が得られる。
【００３６】
上記のファラデー回転素子基板の表面に図２に示すような板状体２２を形成した。板状体間の平均間隔ｄは２７７ｎｍである。この間隔は波長１５５０ｎｍの光に対して、０．１８λに相当する。
【００３７】
上記の板状体からなる構造体はつぎのような方法で作製した。
まずはじめに板状体を形成するための基板を作製する方法について説明する。この基板は平板状基板２５表面に平行な複数のＶ字状溝を形成した直線状の凹凸構造を有する層２８を備える。本実施例では、ゾルゲル材料としてテトラエトキシシラン（ＴＥＯＳ）系ゾル液をスピンコータによりファラデー回転素子基板に塗布し、図５に示すような断面形状を有し、平行な複数のＶ字状溝が形成された成形型８８を押し当てた。
【００３８】
この時、凹凸構造の直線方向はファラデー回転素子基板の側面と平行になるように設定した。この状態で、加熱・乾燥を行い、その後に成形型８８を離型した。さらに、３５０℃に加熱することにより、ＳｉＯ2を主成分とする直線状の凹凸構造を有する層２８がファラデー回転素子基板表面に形成される。
【００３９】
つぎに、図２に示すような、この直線状の凹凸構造に沿って誘電体と金属からなる２重層がほぼ垂直方向に立った板状体を形成した。この２重層は、図６に示す遠距離スパッタリング装置を用いて形成した。マグネトロンカソード２０１にＡｇターゲットを取り付け、マグネトロンカソード２０２にＳｉＯ2ターゲットを取り付けた。図に示す２１０の位置に表面に直線状凹凸構造が形成されたファラデー回転素子基板を凹凸構造表面が下向きになるように設置した。スパッタ粒子が、直線状凹凸構造の直線方向に対して、垂直に入射するように、マグネトロンカソード２１１、２１２を設置した。マグネトロンカソード２１１、２１２は基板の法線方向に対して８０°傾斜させた位置にそれぞれ配置した。
【００４０】
基板の取り付け後、ロータリーポンプ及びクライオポンプを用いてスパッタ室２２０内部の圧力を約１×１０-4Ｐａまで排気した。ターゲット室２１２にアルゴンガスを導入し、ターゲット室２１１に酸素を２％混合したアルゴンガスを導入した。この時、スパッタ室内部の圧力は３×１０-2Ｐａであった。次いで、マグネトロンカソード２０１に直流電源により負電圧を印加し、グロー放電を起こさせた、さらにマグネトロンカソード２０２には高周波（周波数１３．５６ＭＨｚ）を印加してグロー放電を発生させた。
【００４１】
次に、基板の表面でＡｇの堆積速度１０ｎｍ／ｍｉｎになるようにマグネトロンカソード２０１に供給する電力を調整し、また、ＳｉＯ2の膜の体積速度も同じく１０ｎｍ／ｍｉｎになるようにマグネトロンカソード２０２に供給する電力を調整した。
続いて、マグネトロンカソード２０１、マグネトロンカソード２０２の全面に取り付けられたシャッタ２０６、２０７を同時に解放して、成膜を開始し、約２０分間放置した。２０分後に２つのシャッタを同時に閉じ、成膜を終了した。
【００４２】
このようにして、得られた試料の断面構造を透過型電子顕微鏡で観察したところ、基板表面に図２に示すような構造が形成されていた。基板２５の表面に形成した直線状の凹凸構造を有する層２８の上にＳｉＯ2を主成分とする板状誘電体２６とＡｇを主成分とする板状金属２７とが互いに接した状態で形成され、それらの板状体２２が複数平行に配列されていた。
【００４３】
この板状体２２は基板２５の表面に対してほぼ垂直に立った状態となっていた。また各板状体の間には空隙部分が存在した。この構造で、板状金属２７と板状誘電体２６の２重層が、Ｈ＝２００ｎｍの高さで実現できた。これは１５５０ｎｍの波長に対して、０．１３λに相当する。Ｗは、ほぼｄ／２に等しい１３８．５ｎｍであり、１５５０ｎｍの光に対して、０．０９λである。
【００４４】
この板状体からなる構造体は、板状体の方向に平行な偏光成分であるＴＥ偏波を反射し、凹凸構造に垂直なＴＭ偏波を透過する。本実施例では、９５％のＴＭ偏波が透過し、透過したＴＥ偏波はその０．０１％以下であった。これにより、ファラデー回転素子基板の表面に反射型の偏光子が形成できた。
【００４５】
なお、板状体は必ずしもファラデー回転素子基板の表面に直接形成しなくてもよい。平板状ガラス基板等の透明基板を用意し、その表面に板状体を形成し、ファラデー回転素子基板に貼り合わせてもよい。
【００４６】
他方の偏光子は、１０ｍｍ×１０ｍｍの正方形のガラス基板にその一辺に対して４５°の角度をなすように板状構造体を形成した。その作製方法は上記とまったく同様である。
このようにして得られた、ファラデー回転素子基板とガラス基板を、その片側表面に形成した偏光子が外側になるようにして貼り合わせた。さらに、この基板から、光アイソレータに組み込むためのチップを切り出した。チップの大きさは１．４×１．４ｍｍとした。基板端面に平行に切り出すことにより、表面には板状構造体の方向がチップ端面と平行に、裏面はこれに対して、４５°傾いた方向に自動的に形成される。
【００４７】
このファラデー回転素子１４、偏光子１２ａ、１２ｂ、透明基板１１からなる構造体を図１に示すようにリング状の永久磁石１６の中に装着した。この永久磁石によって９５ＫＡ／ｍ以上の磁界をファラデー回転素子に印加することができ、ファラデー回転素子は、この磁界印加により入射した直線偏光の光に作用して、その偏光方向を４５°回転させる。
【００４８】
この光アイソレータを図３（ａ）に示すように光軸に対して６°傾けて固定し、ファラデー回転素子側から波長１５５０ｎｍの直線偏光を板状体の方向に対して、ＴＭ偏波となるように入射した。ＴＭ偏波として入射した光は偏光子１２ａを通過してファラデー回転素子１４で４５°の偏波面の回転を受け、偏光子１２ｂにＴＭ偏波として入射し、光アイソレータを通過することができる。このとき、入射光に対して、９５％の光量の光が通過した。
【００４９】
本発明の偏光子は直線状の板状構造を持つため、可視光の波長で観察すると回折パターンなどから光アイソレータの偏光方向を知ることができる。これにより、入射光が光アイソレータに対して、ＴＭ偏波となるように光アイソレータの光軸回りの角度を容易に設定できた。
【００５０】
逆に、光アイソレータの後方から光を入射した場合には、ＴＭ偏波成分のみが偏光子１２ｂを通過した。このＴＭ直線偏光の光はファラデー回転素子１４を通過後、ＴＥ偏波として偏光子１２ａで反射される。この光はファラデー回転素子１４で偏波面が再び４５°の回転を受け、偏光子１２ｂで反射される。この反射光は３回ファラデー回転素子１４を通過し偏光子１２ａにＴＥ波として入射し、偏光子１２ａを通り抜ける。
【００５１】
このとき、図３（ｂ）に示したように、出射光４０は入射光１０の光軸に対して、約１００μｍずれて出射することを確認した。このずれは、半導体レーザに戻っても影響が無い距離として十分であった。
【実施例２】
【００５２】
実施例１と同様に偏光子を形成したファラデー回転素子基板と、透明基板とを貼り合わせた後、チップをその端面が基板の厚み方向に対して６°傾くように斜めに切り出した。これにより、図４に示すように、偏光子１２ａ、１２ｂ、ファラデー回転素子１４、およびこれに貼り付けた透明基板１１を一体化したブロックを、光軸に対して６°傾けて永久磁石１６の内部に装着した。
この光アイソレータを光軸に対して平行に設置して実施例１と同様な動作をさせたところ、同等の動作を確認した。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の光アイソレータの基本構成を示す図である。
【図２】本発明の光アイソレータの偏光子に用いる板状体からなる構造体の斜視模式図である。
【図３】本発明の光アイソレータの動作を説明する図である。
【図４】本発明の光アイソレータの他の実施例を示す断面模式図である。
【図５】成形法により作製される凹凸構造を有する層の断面模式図である。
【図６】板状体を作製する成膜装置の模式図である。
【図７】従来の光アイソレータを示す図である。
【図８】光アイソレータの動作原理の説明図である。
【符号の説明】
【００５４】
１１  透明基板
１２ａ、１２ｂ  偏光子
１４  ファラデー回転素子
１６  永久磁石
２２、２２ａ、２２ｂ  板状体
２５  基板
２６  板状誘電体
２７  板状金属
２８  凹凸構造を有する層
８８  成形型
１００  光軸
【図１】
2005315906.tif 000003
【図２】
2005315906.tif 000004
【図３】
2005315906.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005315906.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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