(57)【要約】【課題】  位置調整後においても容易に位置ずれすることのないミラーホルダを提案する。【解決手段】  ベースに固着されるブロック１１と、ミラー１９を保持するプレート１２と、プレート１２をブロック１１の側に付勢する引張りコイルバネ１８、１８と、プレート１２を位置決めする調整ネジ１３，１４，１５から構成されるミラーホルダ１０において、ミラー位置を調整ネジ１３，１４，１５で調整後のプレート１２とブロック１１との結合力を向上するため、球面座金３４を介した少なくとも１つの固定ネジ３３で、プレート１２とブロック１１を締結したものである。【選択図】        図１
2005215507.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースに固着されるブロックと、
ミラーを保持するプレートと、
該プレートを保持するばねと、
前記プレートを位置決めする調整ネジとから構成されるミラーホルダにおいて、
前記調整ネジとは別の少なくとも１つの固定ネジとを有し、
該固定ネジの座金に球面座金を用いた
ことを特徴とするミラーホルダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置などで用いられるレーザ光源内で使用される折返しミラーなどに用いて好適なミラーホルダに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、コヒーレントで単位面積あたりの高エネルギ性を活用した大出力のレーザ光による医療機器や金属加工装置あるいは検査装置が広く使われるようになってきている。図５は、本願の出願人が特許文献１において開示した紫外線レーザ光源を用いた検査装置５２を示す外観斜視図である。この紫外線レーザ検査装置５２は、紫外線レーザ光源５１を備え、微細なデバイスパターンの形成過程で生じた半導体ウェハ上のパターン欠陥を製造ライン内で検出するためのもので、短波長の紫外光による高い分解能とレーザ光のコヒーレント特性を活用して微細欠陥を効率よく検出する。
そして、集光された紫外光の焦点位置合わせを、自動で正確、かつ高速に行うことができる焦点位置制御機構を備えることにより、集光された紫外光を用いてデバイスの検査を行うものである。
【０００３】
以下、図５に示す紫外線レーザ光源５１を、図６を参照して説明する。
【０００４】
図６は、紫外線レーザ光源５１の内部構造を示す上面図である。
紫外線レーザ光源５１は、グリーンレーザ光（基本波）を波長変換して紫外線レーザ光を発生・射出するものであるため、ＹＡＧレーザなどを備えたグリーンレーザ光発生部６１とグリーンレーザ光（基本波）を波長変換して紫外線レーザ光を発生させる紫外線レーザ光発生部６２とを備えている。グリーンレーザ光発生部６１の内部構成については、特許文献１に詳説されているため割愛するが、グリーンレーザ光発生部６１から射出した波長５３２ｎｍのグリーンレーザ光が入射する紫外線レーザ光発生部６２では非線形光学素子６４を用いてグリーンレーザ光（基本波）の第二高調波の紫外線レーザ光を発生させる。
なお、レーザ光の変換効率を向上させるために、非線形光学素子６４は第１〜第４の共振ミラー６５，６６，６７，６８で構成される光共振器６３の中に配置される。
【０００５】
紫外線レーザ光発生部６２に入射した基本波（グリーンレーザ光）は、位相変調器６９を透過し第１折返しミラー７０及び第２の折返しミラー７１によって光路が反転された後、モードマッチレンズ７２を介して光共振器６３に入射する。ここで、光共振器６３は、第１乃至第４の共振ミラー６５，６６，６７，６８によって構成されており、第１の共振ミラー６５と第２の共振ミラー６６との間に非線形光学素子６４が配される。
【０００６】
そして、基本波は、第１の共振ミラー６５を介して光共振器６３の中に導入される。このとき、基本波の一部は、第１の共振ミラー６５によって反射され、さらに第３の折返しミラー７３によって光検出器７４に向けて反射され、当該光検出器７４によって検出される。一方、第１の共振ミラー６５を透過して光共振器６３の内部に導入された光は、先ず、非線形光学素子６４を介して第２の共振ミラー６６に向かい、次に、第２の共振ミラー６６によって第３の共振ミラー６７へ向けて反射され、次に、第３の共振ミラー６７によって第４の共振ミラー６８へ向けて反射され、次に、第４の共振ミラー６８によって第１の共振ミラー６５へ向けて反射され、その後、第１の共振ミラー６５によって再び非線形光学素子６４を介して第２の共振ミラー６６に向かう。
【０００７】
上記光共振器６３の第１の共振ミラー６５によって反射された基本波は、上述したように、光検出器７４によって検出される。そして、光共振器６３の第１の共振ミラー６５によって反射された基本波を、光検出器７４で検出することにより得られた検出信号は、制御回路７５に送られる。また、上記紫外線レーザ光発生部６２において、位相変調器６９は、位相変調器駆動回路７６からの変調信号により、光共振器６３に入射する基本波を位相変調する。そして、制御回路７５は、上記検出信号を変調信号で同期検波することにより、光共振器６３の光路位相差の誤差信号を検出し、当該誤差信号に基づいて、光共振器６３の共振長が常に共振条件を満たすように、電磁アクチュエータ７７を駆動して、第３の共振ミラー６７の位置を連続的に精密に制御する。
【０００８】
以上のようにして、第３の共振ミラー６７の位置を連続的に精密に制御することで、光共振器６３が独立した複数の共振ミラー６５，６６，６７，６８から構成されていても当該光共振器６３の共振長を、光の波長の数１００分の１という非常に高い精度で制御することができる。そして、このように光共振器６３の共振長を精密に制御して、共振条件を常に満たすようにすることで非線形光学素子６４による第二高調波の発生をより効率よく行うことができるようになる。
【０００９】
このような構成を有する紫外線レーザ光発生部６２では、時間コヒーレンス特性に優れた紫外線レーザ光を非常に高効率で発生させることができる。そして、生成された紫外線レーザ光はコリメータレンズ７８により平行光とされ、アナモルフィックプリズムペアー７９によりビーム整形された上で、紫外線レーザ光源５１から出射される。なお、アナモルフィックプリズムペアー７９は、紫外線レーザ光源５１から出射される紫外線レーザ光のスポット形状が、略円形のビームとなるようにビーム整形を行う。
【００１０】
上述のグリーンレーザ光（基本波）から第二高調波の発生をより効率よく生成させる構成を実効あるものとするためには、光共振器６３の中の第１〜第４の共振ミラー６５，６６，６７，６８を順次反射しながら巡回する基本波が常に同一光路を通る必要がある。このため、光共振器６３に入射される光の光路は、図６に示す第１の折返しミラー７０及び第２の折返しミラー７１によって所定位置に精密に調整しておく必要がある。
【００１１】
以下、図６に示す第１又は第２の折返しミラー７０，７１の、従来用いられていたミラーホルダを図７〜図１０を参照して説明する。
なお、以下では、紫外線レーザ光源５１内で折り返しのために用いられるときのミラーを符号７０，７１で示し、ミラーホルダ１０におけるミラーを符号１９で記す。
【００１２】
先ず、ミラーを保持する、従来のミラーホルダを図７及び図８を参照して説明する。図７は、従来のミラー１９を固定するミラーホルダ１０を示し、図７Ａは正面図、図７Ｂは一部断面側面図、図７Ｃは上面図で、図８Ａは斜視図、図８Ｂは分解斜視図である。
【００１３】
ミラーホルダ１０は、図７及び図８に示すように、ブロック１１、プレート１２、ミラー１９、ミラー１９の止めネジ１６、２つの引張りコイルバネ１８，１８、３つの六角穴付き止めネジ１３，１４，１５などから構成される。
図７Ａ，図８Ｂにおいて、ミラー１９は、片面に金属薄膜などを形成して反射率９９．９％程度とした高反射率のミラーであり、円板状に作製される。
【００１４】
プレート１２は略正方形の板金であり、図８Ａに示す左上側に中心からずらし、径がミラー１９の外径よりも僅か大きい円形の孔１２ｋを穿ち、図８Ａに示す左上隅の面取りされた側面に貫通したネジ孔１２ｊを設ける。  また、プレート１２には、図８Ｂに示すように、右辺と下辺の略中央で辺の近傍に２つの貫通孔１２ｃ，１２ｄが設けられる。
さらに、下辺に略平行で貫通孔１２ｃの中心を通り、この貫通孔１２ｃを挟むようにして２つのすり鉢状の凹部１２ｅ，１２ｆを設ける。また、同様に、右辺に略平行で貫通孔１２ｄの中心を通り、この貫通孔１２ｄを挟むようにして、２つのすり鉢状の凹部１２ｆ，１２ｇが設けられる。ここで、共通となる凹部１２ｆは、図８Ｂに示すように、右下隅に配設されものである。
そして、２つの貫通孔１２ｃ，１２ｄには、図７Ｂに示す右側（図７Ａの背面側）に溝２６を設ける。
【００１５】
ブロック１１は、図７Ａ及び図８に示すように、一面が略正方形の厚い金属ブロックの図に示す右上を円弧状に削除して略Ｌ字状にし、側面の角部が面取りされたものである。ブロック１１には、図７Ａ及びＢ，図８Ｂに示すように、３隅に貫通した細目ピッチの雌ねじが刻まれたネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇを設け、さらに、３つのネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇの間に貫通孔１１ｃ，１１ｄを設ける。ここで、貫通孔１１ｃ，１１ｄとネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇは、プレート１２に設けられる貫通孔１２ｃ，１２ｄと凹部１２ｅ，１２ｆ，１２ｇと対応する位置に設けられる。
そして、図８Ｂ（図７Ａの上面側）に示すように、ブロック１１の貫通孔１１ｃに溝２５-1、貫通孔１１ｄに溝２５-2を設ける。
さらに、図７Ａに示すように、ブロック１１の円弧状の凹曲面の側から２つの座ぐり穴付きの取付けネジ用のネジ挿通孔１１ａ，１１ｂを互いに直角となる方向に設ける。
【００１６】
第１〜第３の調整ネジ１３，１４，１５は、細目ピッチの六角穴付き止めネジであり、ブロック１１の貫通ネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇに螺合するように形成されており、長さがブロック１１とプレート１２の厚さの和程度とした後、先端を略半球面に整形される。
【００１７】
このように構成されたミラーホルダ１０は、図８Ｂに示すように、プレート１２の貫通孔１２ｃ，１２ｄとブロック１１の貫通孔１１ｃ，１１ｄにそれぞれ引張りコイルバネ１８，１８を挿通する。そして、引張りコイルバネ１８，１８の両端の引っ掛け部分に計４本のピン１７を設けて、図７Ｂに示すプレート１２の右面の貫通孔１２ｃ，１２ｄの開口に設けられた溝２６，２６とブロック１１の左面の貫通孔１１ｃ，１１ｄの開口に設けられた溝２５，２５に嵌めこみ、プレート１２とブロック１１を引張りコイルバネ１８，１８による付勢力で結合する。
【００１８】
それから、六角穴付き止めネジによる第１〜第３の調整ネジ１３，１４，１５をブロック１１のネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇに螺入し、ネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇの先端の略半球面がプレート１２のすり鉢状の凹部１２ｅ，１２ｆ，１２ｇと係合し、プレート１２とブロック１１との間に略平行な隙間を生じるようにする。
このようにした後、ミラー１９をプレート１２の円形の孔１２ｋに嵌めこみ、六角穴付き止めネジ１６で固定する。そして、図７Ａ及びＢに示すように、取り付けねじ２８によって、例えば図６に示す紫外線レーザ光源５１の内部に取り付ける。
【００１９】
次に、図６に示す紫外線レーザ光源５１の内部に配設された２つの折返しミラー７０，７１が固定されているミラーホルダ１０の位置調整について図９及び図１０を参照して説明する。
図１０は、折返しミラーの調整手順を説明するための上面図で、図１０Ａは光路の角度調整、図１０Ｂは光路の平行移動調整を説明するものである。図９は、図１０に示す２つの折返しミラー７０，７１を、図１０Ａ又は図１０Ｂの左側斜め上方から見た斜視図である。
【００２０】
以下、第１の折返しミラー７０が取付けられているミラーホルダを第１のミラーホルダ１０Ｌ、第２の折返しミラー７１が取付けられているミラーホルダを第２のミラーホルダ１０Ｒとして説明する。また、第１のミラーホルダ１０Ｌの構成部品を「Ｌ」の添え字で示し、第２のミラーホルダ１０Ｒの構成部品を「Ｒ」の添え字で示す。
ここで、第１のミラーホルダ１０Ｌは、図８Ａに示すミラーホルダ１０を、９０°時計回りに回転させて図示しないベースプレートに固定したものである。また、第２のミラーホルダ１０Ｒは、図８Ａに示すミラーホルダ１０を、上下をそのままにして、図示しないベースプレートに固定したものである。
なお、ベースプレートの上面に対してグリーンレーザ光が略平行となるように入射される。
【００２１】
このとき、２つのミラーホルダ１０Ｌ，１０Ｒは、先ず、それぞれに固定されている折返しミラー７０，７１の反射面が互いに略直交し、ベースプレートに対し略垂直になるようにして、図７Ａに示す取付けネジ２８でベースプレートに固定される。そして、図６に示すように、グリーンレーザ光発生部６１から出射され、位相変調器６９を透過したグリーンレーザ光が、光共振器６３の第１の共振ミラー６５に対して、所定の位置及び角度で入射するように調整される。このときの調整は、図８に示す第１のミラーホルダ１０Ｌの調整ネジ１３Ｌ，１４Ｌ，１５Ｌ、及び第２のミラーホルダ１０Ｒの調整ネジ１３Ｒ，１４Ｒ，１５Ｒによって行われる。
【００２２】
２つの折返しミラー７０，７１の光路調整に際し、２つのミラーホルダ１０Ｌ，１０Ｒの各々の第３の調整ネジ１５Ｌ，１５Ｒは、六角ナット２０などで予め回転止めしておく。そして、第３の調整ネジ１５Ｌ，１５Ｒの先端の半球面が、プレート１２Ｌの凹部１２ｆとプレート１２Ｒの凹部１２ｆとで摺接自在としておく（図７Ａ及び図８Ｂ参照）。
これは、図９に示すように、第１及び第２のミラーホルダ１０Ｌ，１０Ｒの各々に設定したＸＹ座標系のＸ軸周りの光路調整とＹ軸周りの光路調整とを独立して実施するためである。
【００２３】
先ず、図１０Ａに示す第２の折返しミラー７１による反射光の光路の角度調整手順を、図８を参照して説明する。ここで、光路を上面から見た図１０Ａに示すように、調整前において第１の折返しミラー７０への入射光の方向と第２の折返しミラー７１からの反射光の方向が不図示のベースプレートに対して平行な平面上にあって、第２の折返しミラー７１における反射方向の角度がこの平面上で僅かずれている場合を説明する。
すなわち、この反射光の光路を図９に示すＬ１（破線）の方向からＬ２（実線）の方向へ角度調整する場合を説明する。
【００２４】
なお、図９に示すように、第１のミラーホルダ１０Ｌと第２のミラーホルダ１０Ｒでは、ベースプレートへの取付け姿勢が互いに９０°回転した関係となっているので、ベースプレート側（図９における両ブロックの下辺）の調整ネジは、第１のミラーホルダ１０Ｌでは第２の調整ネジ１４Ｌと第３の調整ネジ１５Ｌであり、第２のミラーホルダ１０Ｒでは第１の調整ネジ１３Ｒと第３の調整ネジ１５Ｒとなっている。
【００２５】
図１０Ａ及び図８に示すように、光路をＬ１の方向からＬ２の方向とするための角度調整は、第２のミラーホルダ１０Ｒの第１の調整ネジ１３Ｒを回転させることで行うことができる。
このとき、第１のミラーホルダ１０Ｌの３つの調整ネジ１３Ｌ，１４Ｌ，１５Ｌ、及び第２のミラーホルダ１０Ｒの第２の調整ネジ１４Ｒも、第２のミラーホルダ１０Ｒの第３の調整ネジ１５Ｒと同様六角ナット２０で回転止めされる。そして、ブロック１１Ｒの第２の調整ネジ１４Ｒと第３の調整ネジ１５Ｒの先端の半球面と、プレート１２Ｒの凹部１２ｆ，凹部１２ｇとが摺接自在とされる。
このため、図９の第２のミラーホルダ１０Ｒの第１の調整ネジ１３Ｒを時計方向に回転してねじ込むと、ベースプレートに固定されているブロック１１Ｒに対してプレート１２Ｒが、矢印Ａの方向に回動することになる。この結果、第２の折返しミラー７１における反射光の方向がＬ１からＬ２の方へと微調整される。
【００２６】
次に、図１０Ｂに示すように、第２の折返しミラー７１による反射光の光路を、第１の折返しミラー７０への入射光の光路に対して平行にずらす場合の調整手順を図８を参照して説明する。ここで、光路を上面から見た図１０Ｂに示すように、調整前において第１の折返しミラー７０への入射光の方向と第２の折返しミラー７１からの反射光の方向が不図示のベースプレートに対して平行な平面上にあって、第２の折返しミラー７１における反射方向は、図６に示す第１の共振ミラー６５の入射方向に合致しているものの、入射位置が僅か平面上でずれている場合を説明する。
すなわち、この反射光の光路を図８に示す方向Ｌ２（実線）から方向Ｌ３（２点鎖線）へ平行移動するように調整する場合を説明する。
【００２７】
光路の平行移動の調整には、図８Ｂ及び図９に示すように、第１ミラーホルダ１０Ｌの第２の調整ネジ１４Ｌと、第２ミラーホルダ１０Ｒの第１の調整ネジ１３Ｒを回転させることで行うことができる。
第１のミラーホルダ１０Ｌの第１の調整ネジ１３Ｌ、第３の調整ネジ１５Ｌ、及び第２のミラーホルダ１０Ｒの第２の調整ネジ１４Ｒ、第３の調整ネジ１５Ｒが、六角ナット２０で回転止めされる。
そして、ブロック１１Ｌの第１の調整ネジ１３Ｌと第３の調整ネジ１５Ｌの先端の半球面と、プレート１２Ｌの凹部１２ｅ，凹部１２ｆとが摺接自在とされる。また、ブロック１１Ｒの第２の調整ネジ１４Ｒと第３の調整ネジ１５Ｒの先端の半球面と、プレート１２Ｒの凹部１２ｆ，凹部１２ｇとが摺接自在とされる。
【００２８】
このため、図９に示すように、先ず、第１のミラーホルダ１０Ｌの第２の調整ネジ１４Ｌを時計方向に回転してねじ込むと、ベースプレートに固定されているブロック１１Ｌに対してプレート１２Ｌが、矢印Ｂの方向に回動することになる。この結果、第１の折返しミラー７０における反射光の方向がＬ２（実線）からＬ３（２点鎖線）の方にずれるようになる。
次に、第２のミラーホルダ１０Ｒの第１の調整ネジ１３Ｒを、先の第２の調整ネジ１４Ｌと略同じ程度反時計方向に回転してねじ込みを戻すと、ベースプレートに固定されているブロック１１Ｒに対してプレート１２Ｒが、矢印Ａ’の方向（矢印Ａと逆方向）に回動することになる。この結果、図１０Ｂに示すように、第２の折返しミラーにおける反射光の方向がＬ２（実線）からＬ３（２点鎖線）へと平行移動するように微調整される。
【００２９】
以上のようにして所望のミラー１９の位置調整を行った後、ミラーホルダ１０Ｌ及びミラーホルダ１０Ｒの全ての調整ネジ１３Ｌ，１４Ｌ，１５Ｌ，１３Ｒ，１４Ｒ，１５Ｒが、六角ナット２０などで回り止めされる。
なお、ミラーホルダ１０Ｌからの反射光の光路をベースプレートに対して垂直方向に角度を変える調整は、図９に示すように第２の調整ネジ１４と第３の調整ネジ１５を六角ナット２０などで回り止めした状態で、第１の調整ネジ１３を、回転することにより行うことができる。このとき、例えば第１の調整ネジ１３を時計回り方向にねじ込むと図の矢印Ｃの方向にプレート１２を傾けることができ、反射後の光路を調整することができる。また、光路をベースプレートに対して垂直方向に平行移動させるような調整も上述と同様に行うことができる。
【００３０】
そして、ベースプレートと平行な面での調整と、ベースプレートと垂直な面での調整とを組合わせて第２の折り返しミラー７１から反射される光が、第１の共振ミラー６５において所望の方向及び入射位置となるようにすることができる。
上述のようなミラーホルダ１０は、光学系システムの構成部品として広く使用されている。
【特許文献１】特開２００１−１３４７６０号公報（第２頁右欄、図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３１】
しかしながら、ミラー１９には位置調整後も安定性が要求されるため、六角ナット２０だけによる第１〜第３の調整ネジ１３，１４，１５の緩み止めや、引張りコイルバネ１８，１８の付勢力を大きくしてブロック１１とプレート１２との結合力を向上させようとしても限界があった。
なぜなら、従来のミラーホルダ１０では、ブロック１１とプレート１２との結合力が、引張りコイルバネ１８，１８の付勢力だけで得るものであり、六角ナット２０は単に調整ネジの緩み止めの役割しか果たしていないことから、結合力の向上には、大きな付勢力をもつ引張りコイルバネ１８を採用することが必要となるが、ミラーホルダ１０自体の大きさがある程度限られる上調整ネジは必須であるため、大きな引張りコイルバネ１８を採用するのが難しいからである。
【００３２】
本発明はかかる点に鑑み、ミラーの位置調整が容易に行うことができ、位置調整後においても容易に位置ずれすることのないミラーホルダを提案することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３３】
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するため、本発明は、ベースに固着されるブロックと、ミラーを保持するプレートと、そのプレートを保持するばねと、このプレートを位置決めする調整ネジとから構成されるミラーホルダにおいて、この調整ネジとは別の少なくとも１つの固定ネジを有し、その固定ネジの座金に球面座金を用いたものである。
【００３４】
このように構成したミラーホルダによれば、ブロックに対するプレートの位置を調整ネジで調整した後、この状態を保ったままでブロックとプレートとを固定ネジで締結できるため、大きな締結力を得ることができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明のミラーホルダによれば、引張りコイルばねを使用した従来ホルダと比べ、ブロックとプレートとの間の位置安定性が、格段に大きくできるため、ミラーの位置安定化手段として好適なものとできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明のミラーホルダを実施するための最良の形態の例を図１〜図４，図６，図１０を参照して説明する。
本例のミラーホルダは、図６に示す紫外線レーザ光源５１などの内部に設けられる折り返しミラー７０，７１を取付けるものである。そして、本例のミラーホルダは、従来の図７〜図９例のミラーホルダ１０と略同様の構成であるが、従来ではブロック１１とプレート１２の締結を２つの引張りコイルバネ１８，１８の力のみであるのに対し、本例では球面座金をもった固定ネジで行う点が異なっている。
以下では、この図１〜図４、図６を説明するに図７〜図９に対応する部分には同一の符号を付して説明する。
【００３７】
先ず、本例のミラーホルダを図１及び図２を参照して説明する。
図１は、本例の折返しミラーのミラー１９を固定するミラーホルダ１０を示し、図１Ａは正面図、図１Ｂは一部断面側面図、図１Ｃは上面図で、図２Ａは斜視図、図２Ｂは分解斜視図である。
【００３８】
ミラーホルダ１０は、図１及び図２に示すように、ブロック１１、プレート１２、ミラー１９、ミラー１９の止めネジ１６、２つの引張りコイルバネ１８，１８、３つの六角穴付き止めネジ１３，１４，１５、球面座金３４、固定ネジ３３などから構成される。
図１Ａ，図２Ｂにおいて、ミラー１９は、片面に金属薄膜などを形成して反射率９９．９％程度とした高反射率のミラーであり、円板状に作製される。
【００３９】
プレート１２は略正方形の板金であり、図１Ａに示す左上側に中心からずらし、径がミラー１９の外径よりも僅か大きい円形の孔１２ｋを穿ち、図１Ａに示す左上隅の面取りされた側面に貫通したネジ孔１２ｊを設ける
また、プレート１２には、図２Ｂに示すように、右辺と下辺の略中央で辺の近傍に２つの貫通孔１２ｃ，１２ｄが設けられる。
さらに、下辺に略平行で貫通孔１２ｃの中心を通り、この貫通孔１２ｃを挟むようにして２つのすり鉢状の凹部１２ｅ，１２ｆを設ける。また、同様に、右辺に略平行で貫通孔１２ｄの中心を通り、この貫通孔１２ｄを挟むようにして、２つのすり鉢状の凹部１２ｆ，１２ｇが設けられる。
【００４０】
この計３つのすり鉢状の凹部１２ｅ，１２ｆ，１２ｇは、内面を浸炭、焼き入れなどで高硬度化処理され、また、共通となる凹部１２ｆは、図２Ｂに示すように、右下隅に配設される。
そして、２つの貫通孔１２ｃ，１２ｄは、その内径が後述する引張りコイルバネ１８の外径よりも大きく形成され、図１Ｂに示す右側（図１Ａの背面側）に溝２６、２６を設ける。
【００４１】
ブロック１１は、図１Ａ及び図２に示すように、略正方形の厚い金属ブロックの、図に示す右上を円弧状に削除して略Ｌ字状にし、側面の角部が面取りされたものである。ブロック１１には、図１Ａ及びＢ，図２Ｂに示すように、３隅に貫通した細目ピッチの雌ねじが刻まれたネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇを設け、さらに、３つのネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇの間に貫通孔１１ｃ，１１ｄを設け、この２つの貫通孔１１ｃ，１１ｄの中間の位置に貫通孔１１ｈが設けられる。
【００４２】
ここで、貫通孔１１ｃ，１１ｄとネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇは、プレート１２に設けられる貫通孔１２ｃ，１２ｄと凹部１２ｅ，１２ｆ，１２ｇと対応する位置に設けられる。
そして、貫通孔１１ｃ，１１ｄは、その内径が後述する引張りコイルバネ１８の外径よりも大きく形成され、図２Ｂ（図１Ａの上面側）に示すように、ブロック１１の貫通孔１１ｃに溝２５-1、貫通孔１１ｄに溝２５-2を設ける。
さらに、図１Ａに示すように、ブロック１１の円弧状の凹曲面の側から２つの座ぐり穴付きの取付けネジ用のネジ挿通穴１１ａ，１１ｂを互いに直角となる方向に設ける。
【００４３】
第１〜第３の調整ネジ１３，１４，１５は、細目ピッチの六角穴付き止めネジであり、ブロック１１の貫通したネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇに螺合するように形成されており、長さがブロック１１とプレート１２の厚さの和程度とされる。そして、先端が略半球面に整形された後に焼入れなどの高硬度化処理が施される。
また、球面座金３４は、図１Ｂ及び図２Ｂに示すように、座金３４-1と座金３４-2の２部品から構成されており、座金３４-1は厚い座金の一面が球面状の凸面となるように形成され、座金３４-2は厚い座金の一面が球面状の凹面となるように形成される。そして、座金３４-1の中央の孔径が固定ネジ３３の径よりも僅かに大きく、座金３４-2の中央の孔が固定ネジ３３に対し大きな隙間をもつように設けられる。
【００４４】
このように構成されたミラーホルダ１０は、図２Ｂに示すように、プレート１２の貫通孔１２ｃ，１２ｄとブロック１１の貫通孔１１ｃ，１１ｄにそれぞれ引張りコイルバネ１８，１８を挿通する。そして、引張りコイルバネ１８，１８の両端の引っ掛け部分に計４本のピン１７を設けて、図１Ｂに示すプレート１２の右面の貫通孔１２ｃ，１２ｄの開口に設けられた溝２６，２６とブロック１１の左面の貫通孔１１ｃ、１１ｄの開口に設けられた溝２５に嵌めこみ、プレート１２とブロック１１を引張りコイルバネ１８，１８の付勢力で結合する。
【００４５】
それから、六角穴付き止めネジによる第１〜第３の調整ネジ１３，１４，１５をブロック１１のネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇに螺入し、ネジ孔１１ｅ，１１ｆ，１１ｇの先端の略半球面がプレート１２のすり鉢状の凹部１２ｅ，１２ｆ，１２ｇと係合し、プレート１２とブロック１１との間に略平行な隙間を生じるようにする。
そして、固定ネジ３３を、座金３４を介し、ブロック１１の貫通孔１１ｈに挿通してプレート１２のネジ孔１２ｈに螺入する。このとき、固定ネジ３３は緩めておく。
このようにした後、ミラー１９をプレート１２の円形の孔１２ｋに嵌めこみ、六角穴付き止めネジ１６で固定する。そして、図１Ａ及びＢに示すように、取り付けネジ２８によって、例えば図６に示す紫外線レーザ光源５１の内部に取り付ける。
【００４６】
次に、図６に示す紫外線レーザ光源５１の内部に配設された２つの折返しミラー７０，７１が固定されているミラーホルダ１０の位置調整について図１，図３，図６及び図１０を参照して説明する。
図１０は、折返しミラーの調整手順を説明するための上面図で、図１０Ａは光路の角度調整、図１０Ｂは光路の平行移動調整を説明するものである。図３は、図１０Ａ及びＢに示す２つの折返しミラー７０，７１を左側斜め上方から見た斜視図である。
【００４７】
以下、第１の折返しミラー７０が取付けられているミラーホルダを第１のミラーホルダ１０Ｌ、第２の折返しミラー７１が取付けられているミラーホルダを第２のミラーホルダ１０Ｒとして説明する。また、第１のミラーホルダ１０Ｌの構成部品を「Ｌ」の添え字で示し、第２のミラーホルダ１０Ｒの構成部品を「Ｒ」の添え字で示す。
ここで、第１のミラーホルダ１０Ｌは、図１Ａに示すミラーホルダ１０を、９０°時計回りに回転させて図示しないベースプレートに固定したものである。また、第２のミラーホルダ１０Ｒは、図１Ａに示すミラーホルダ１０を、上下をそのままにして、図示しないベースプレートに固定したものである。
なお、ベースプレートの上面に対して、グリーンレーザ光が略平行となるように入射される。
【００４８】
このとき、２つのミラーホルダ１０Ｌ，１０Ｒは、先ず、それぞれに固定されている折返しミラー７０，７１の反射面が互いに略直交し、ベースプレートに対し略垂直になるように、図１Ａに示す取付けネジ２８でベースプレートに固定される。そして、図６に示すように、グリーンレーザ光発生部６１から出射され、位相変調器６９を透過したグリーンレーザ光が、光共振器６３の第１の共振ミラー６５に対して、所定の位置及び角度で入射するように調整される。このときの調整は、図３に示す第１のミラーホルダ１０Ｌの調整ネジ１３Ｌ，１４Ｌ，１５Ｌ、及び第２のミラーホルダ１０Ｒの調整ネジ１３Ｒ，１４Ｒ，１５Ｒによって行われる。
【００４９】
２つの折返しミラー７０，７１の光路調整に際し、２つのミラーホルダ１０Ｌ，１０Ｒの各々の第３の調整ネジ１５Ｌ，１５Ｒは、六角ナット２０などで予め回転止めしておく。そして、第３の調整ネジ１５Ｌ，１５Ｒの先端の半球面が、プレート１２Ｌの凹部１２ｆとプレート１２Ｒの凹部１２ｆとで摺接自在としておく（図１Ａ及び図２参照）。
これは、図３に示すように、第１及び第２のミラーホルダ１０Ｌ，１０Ｒの各々に設定したＸＹ座標系のＸ軸周りの光路調整とＹ軸周りの光路調整とを独立して実施するためである。
【００５０】
先ず、図１０Ａに示す第２の折返しミラー７１による反射光の光路の角度調整手順を、図３を参照して説明する。ここで、光路を上面から見た図１０Ａに示すように、調整前において第１の折返しミラー７０への入射光の方向と第２の折返しミラー７１からの反射光の方向が不図示のベースプレートに対して平行な平面上にあって、第２の折返しミラー７１における反射方向の角度がこの平面上で僅かずれている場合を述べる。
すなわち、この反射光の光路を図３に示すＬ１（破線）の方向からＬ２（実線）の方向へ角度調整する場合を説明する。
【００５１】
なお、図３に示すように、第１のミラーホルダ１０Ｌと第２のミラーホルダ１０Ｒでは、ベースプレートへの取付け姿勢が互いに９０°回転した関係となっているので、ベースプレート側（図３における両ブロックの下辺）の調整ネジは、第１のミラーホルダ１０Ｌでは第２の調整ネジ１４Ｌと第３の調整ネジ１５Ｌであり、第２のミラーホルダ１０Ｒでは第１の調整ネジ１３Ｒと第３の調整ネジ１５Ｒとなっている。
【００５２】
図１０Ａ及び図３に示すように、光路をＬ１の方向からＬ２の方向とするための角度調整は、第２のミラーホルダ１０Ｒの第１の調整ネジ１３Ｒを回転させることで行うことができる。
このとき、第１のミラーホルダ１０Ｌの３つの調整ネジ１３Ｌ，１４Ｌ，１５Ｌ、及び第２のミラーホルダ１０Ｒの第２の調整ネジ１４Ｒも、第２のミラーホルダ１０Ｒの第３の調整ネジ１５Ｒと同様六角ナットで回転止めされる。そして、ブロック１１Ｒの第２の調整ネジ１４Ｒと第３の調整ネジ１５Ｒの先端の半球面と、プレート１２Ｒの凹部１２ｆ，凹部１２ｇとが摺接自在とされる。
このため、図３の第２のミラーホルダ１０Ｒの第１の調整ネジ１３Ｒを時計方向に回転してねじ込むと、ベースプレートに固定されているブロック１１Ｒに対してプレート１２Ｒが、矢印Ａの方向に回動することになる。この結果、第２の折返しミラー７１における反射光の方向がＬ１（破線）からＬ２（実線）の方へと微調整される。
【００５３】
それから、固定ネジ３３を強くねじ込み、ブロック１１とプレート１２を締結する。
このとき、ブロック１１に対しプレート１２は、微調整によって調整前に比べて傾き、プレート１２に螺入されている固定ネジ３３がブロック１１に対して傾くことになる。
しかし、球面座金３４の、座金３４-1の凸球面が座金３４-2の凹球面の上をすべるように形成されているため、ブロック１１とプレート１２の傾きを生じても、固定ネジ３３側に設けられる座金３４-1の平面部とプレート１２の面が常に略平行となる。すなわち、球面座金３４の座金３４-1の平面部が固定ネジ３３の頭部の座面と、また座金３４-２の平面部がブロック１１の上面と常に密着して結合力を安定化させる。
このため、固定ネジ３３を強く締めこんでも微調整後の、ミラー位置を変化させることなく締結することができる。
【００５４】
次に、図１０Ｂに示すように、第２の折返しミラー７１による反射光の光路を、第１の折返しミラー７０への入射光の光路に対して平行にずらす場合の調整手順を図３を参照して説明する。ここで、光路を上面から見た図１０Ｂに示すように、調整前において第１の折返しミラー７０への入射光の方向と第２の折返しミラー７１からの反射光の方向が不図示のベースプレートに対して平行な平面上にあって、第２の折返しミラー７１における反射方向は、図６に示す第１の共振ミラー６５の入射方向に合致しているものの入射位置が僅かずれている場合を説明する。
すなわち、この反射光の光路を図３に示す方向Ｌ２（実線）から方向Ｌ３（２点鎖線）へ平行移動するように調整する場合を説明する。
【００５５】
光路の平行移動の調整には、図１０Ｂ及び図３に示すように、第１ミラーホルダ１０Ｌの第２の調整ネジ１４Ｌと、第２ミラーホルダ１０Ｒの第１の調整ネジ１３Ｒを回転させることで行うことができる。
第１のミラーホルダ１０Ｌの第１の調整ネジ１３Ｌ、第３の調整ネジ１５Ｌ、及び第２のミラーホルダ１０Ｒの第２の調整ネジ１４Ｒ、第３の調整ネジ１５Ｒが、六角ナットで回転止めされる。
そして、ブロック１１Ｌの第１の調整ネジ１３Ｌと第３の調整ネジ１５Ｌの先端の半球面と、プレート１２Ｌの凹部１２ｅ，凹部１２ｆとが摺接自在とされる。また、ブロック１１Ｒの第２の調整ネジ１４Ｒと第３の調整ネジ１５Ｒの先端の半球面と、プレート１２Ｒの凹部１２ｆ，凹部１２ｇとが摺接自在とされる。
【００５６】
このため、図３に示すように、先ず、第１のミラーホルダ１０Ｌの第２の調整ネジ１４Ｌを時計方向に回転してねじ込むと、ベースプレートに固定されているブロック１１Ｌに対してプレート１２Ｌが、矢印Ｂの方向に回動することになる。この結果、第１の折返しミラー７０における反射光の方向がＬ２（実線）からＬ３（２点鎖線）の方にずれるようになる。
次に、第２のミラーホルダ１０Ｒの第１の調整ネジ１３Ｒを先の第２の調整ネジ１４Ｌと略同じ程度反時計方向に回転してねじ込みを戻すと、ベースプレートに固定されているブロック１１Ｒに対してプレート１２Ｒが、矢印Ａ’の方向（矢印Ａと逆方向）に回動することになる。この結果、図１０Ｂに示すように、第２の折返しミラーにおける反射光の方向がＬ２（実線）からＬ３（２点鎖線）へと平行移動するように微調整される。
【００５７】
なお、ミラーホルダ１０Ｌからの反射光の光路をベースプレートに対して垂直方向に角度を変える調整は、図３に示すように第２の調整ネジ１４と第３の調整ネジ１５を六角ナット２０などで回り止めした状態で、第１の調整ネジ１３を、回転することにより行うことができる。このとき、例えば第１の調整ネジ１３を時計回り方向にねじ込むと図の矢印Ｃの方向にプレート１２を傾けることができ、反射後の光路を調整することができる。また、光路をベースプレートに対して垂直方向に平行移動させるような調整も上述と同様に行うことができる。
そして、ベースプレートと平行な面での調整と、ベースプレートと垂直な面での調整とを組合わせて第２の折り返しミラー７１から反射される光が、図６に示す、第１の共振ミラー６５において所望の方向及び入射位置となるようにすることができる。
【００５８】
以上のようにして所望のミラー１９の位置調整を行った後、固定ネジ３３を強くねじ込み、ブロック１１とプレート１２を締結する。
このとき、ブロック１１に対しプレート１２は、微調整によって調整前に比べて傾き、プレート１２に螺入されている固定ネジ３３がブロック１１に対して傾くことになる。しかし、球面座金３４の、座金３４-1の凸球面が座金３４-2の凹球面の上をすべるように構成されているため、ブロック１１とプレート１２の傾きを生じても、固定ネジ３３側に設けられる座金３４-1の平面部とプレート１２の面が常に略平行となる。このため、固定ネジ３３を強く締めこんでも微調整後の、ミラー位置を変化させることなく締結することができる。
【００５９】
本例のミラーホルダ１０によれば、ミラー１９の位置調整の前に緩めていた固定ネジ３３を位置決め後に締めることにより、引張りコイルバネ１８の数十倍の結合力でプレート１２をブロック１１に対して締結する。
このときの結合力向上に伴う六角穴付き止めネジによる調整ネジ１３，１４，１５の先端の球面端２２と、プレート１２に設けられている凹部２７との接触圧の増加に伴う微小変形には、焼き入れなどによる高硬度化で対応している。
【００６０】
また、ブロック１１とプレート１２とを締結する固定ネジ３３が、第１〜第３の調整ネジ１３，１４，１５を頂点とする三角形の内側に配置されているため、固定ネジ３３を締めても全ての凹部２７と球面端２２とは常に密着状態を保つことができる。また、ミラー位置の調整などによってブロック１１とプレート１２とが傾いても、ブロック１１と固定ネジ３３の頭部の座面との間に配されている球面座金３４の座金３４-1と座金３４-2とが滑ることによって、ブロック１１とプレート１２と球面座金３４を介して常に密着し結合力を安定させることができる。
【００６１】
本発明のミラーホルダを実施するための最良の形態のほかの例を図４を参照して説明する。本例のミラーホルダは、図４に示すように、ミラー１９が図１例と比べて相対的に大きく、固定ネジを図１例の位置に設けたときミラー１９と干渉するような場合に好適な構成である。
本例のミラーホルダでは、図４に示すように、固定ネジが第１の調整ネジ１３と第３の調整ネジ１５の間、及び第２の調整ネジ１４と第３の調整ネジ１５の間に計２つ設けられる。そして、ブロック１１とプレート１２が球面座金を介した２つの固定ネジで結合される。
また、ブロック１１の固定ネジが挿通される孔は、図４Ｂの一部破断側面図に示すように、プレート１２の側で段差が設けられ、中に圧縮コイルバネが装着されている。
【００６２】
本例のミラーホルダ１０におけるミラー１９の調整は、先ず、２つの固定ネジ３３，３３を緩め、固定ネジ３３の挿通孔の中に装着されている圧縮コイルバネの付勢力で球面座金３４をブロック１１上面から浮く状態とする。次に、第３の調整ネジ１５をナットで固定した状態で、第１の調整ネジ１３又は第２の調整ネジ１４の何れかまたは両方を回転させてプレート１２のブロック１１に対する角度を調整して、光路の角度調整、あるいは光路の平行移動調整を行う。
調整後、２つの固定ネジ３３，３３をねじ込み、図４Ｂに示す球面座金３４，３４がブロック１１と固定ネジ３３，３３の頭部の座面に密着した状態にして、固定ネジ３３，３３による締結力が、直にプレート１２のブロック１１の結合力となるようにする。
本例のミラーホルダ１０においても上述例と同様の作用効果があることは容易に理解できよう。
【００６３】
なお、本発明のミラーホルダ１０は、固定ネジ３３を締めることにより、調整ネジ１３，１４，１５の回転止めの効果も併せ持つため調整後において、従来では必須であった回り止めナットは必ずしも必要としないが、調整ネジに回り止めナット設けて使用してもよい。
また、従来のミラーホルダと略同等の大きさ、構造をベースとしているため、取付け、調整などの作業空間についても従来ホルダと同等である。
【００６４】
本発明のミラーホルダは、上述例に限ることなく本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成をとりうることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明ミラーホルダの例の、Ａは正面図、Ｂは一部断面側面図、Ｃは上面図である。
【図２】本発明ミラーホルダの例の、Ａは斜視図、Ｂは分解斜視図である。
【図３】本発明ミラーホルダの例の調整手順の説明の斜視図である。
【図４】本発明ミラーホルダのほかの例の、Ａは正面図、Ｂは一部断面側面図、Ｃは上面図である。
【図５】紫外線レーザ検査装置を示す外観斜視図である。
【図６】紫外線レーザ光源の内部構成図である。
【図７】従来のミラーホルダの、Ａは正面図、Ｂは一部断面側面図、Ｃは上面図である。
【図８】従来のミラーホルダの、Ａは斜視図、Ｂは分解斜視図である。
【図９】従来のミラーホルダの調整手順の説明の斜視図である。
【図１０】本発明及び従来のミラーホルダの調整手順の、Ａは光路の角度調整、Ｂは光路の平行移動調整の説明のための上面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１０・・・・ミラーホルダ、１１・・・・ブロック、１２・・・・プレート、１３，１４，１５・・・・調整ネジ、１８・・・・引張りコイルバネ、１９・・・・ミラー、３３・・・・固定ネジ、３４・・・・球面座金
【図１】
2005215507.tif 000003
【図２】
2005215507.tif 000004
【図３】
2005215507.tif 000005
【図４】
2005215507.tif 000006
【図５】
2005215507.tif 000007
【図６】
2005215507.tif 000008
【図７】
2005215507.tif 000009
【図８】
2005215507.tif 000010
【図９】
2005215507.tif 000011
【図１０】
2005215507.tif 000012