(57)【要約】【課題】  出力用導波路間の損失均一性の波長依存性を解消する。【解決手段】  導波路型光スプリッタ１０は、基板１１上に入力用導波路１２と複数の出力用導波路１３とスラブ導波路１４とが形成され、スラブ導波路１４が入射端１５及び出射端１６を有し、出射端１６が入射端１５又はその近傍を中心とする円弧状を呈し、入射端１５に入力用導波路１２が接続され、出射端１６に複数の出力用導波路１３が接続されている。そして、開口幅の狭まった狭幅テーパ導波路１８を介して、入射端１５に入力用導波路１２が接続されている。【選択図】  図１
2005284256.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に入力用導波路と複数の出力用導波路とスラブ導波路とが形成され、このスラブ導波路が入射端及び出射端を有し、この出射端が前記入射端又はその近傍を中心とする円弧状を呈し、前記入射端に前記入力用導波路が接続され、前記出射端に前記複数の出力用導波路が接続された導波路型光スプリッタにおいて、
開口幅の狭まった狭幅テーパ導波路を介して前記入射端に前記入力用導波路が接続された、
ことを特徴とする導波路型光スプリッタ。
【請求項２】
前記狭幅テーパ導波路のテーパ形状は、直線状に前記開口幅が狭まった形状である、
請求項１記載の導波路型光スプリッタ。
【請求項３】
前記狭幅テーパ導波路のテーパ形状は、当該狭幅テーパ導波路の内側が凸になるように曲線状に前記開口幅が狭まった形状である、
請求項１記載の導波路型光スプリッタ。
【請求項４】
前記狭幅テーパ導波路のテーパ形状は、当該狭幅テーパ導波路の内側が凹になるように曲線状に前記開口幅が狭まった形状である、
請求項１記載の導波路型光スプリッタ。
【請求項５】
前記入力用導波路の幅に対して前記狭幅テーパ導波路の前記開口幅が９０％以下かつ１０％以上である、
請求項１乃至４のいずれかに記載の導波路型光スプリッタ。
【請求項６】
前記入力用導波路の一部が曲線状の曲がり導波路になっている、
請求項１乃至５のいずれかに記載の導波路型光スプリッタ。
【請求項７】
前記入力用導波路の一部が中心軸のずれた不連続導波路になっている、
請求項１乃至５のいずれかに記載の導波路型光スプリッタ。
【請求項８】
前記複数の出力用導波路と交差する複数の損失低減用導波路が形成された、
請求項１乃至７記載の導波路型光スプリッタ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載の導波路型光スプリッタと、
前記入力用導波路に接続された入力用光ファイバと、
前記出力用導波路に接続された出力用光ファイバと、
前記導波路型光スプリッタ、前記入力用光ファイバ及び前記出力用光ファイバを収容するケースと、
を備えた導波路型光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばＰＯＮ（Passive Optical Network）システムなどにおいて光を複数に分岐するために使われる導波路型光スプリッタ等に関する。
【背景技術】
【０００２】
低コストな光通信システム構築のため、ＰＯＮシステムの加入者系への適用が盛んに行われている。ＰＯＮシステムとは、アクセス区間に光スプリッタを用いて光ファイバを分岐することにより、その効率的な利用を可能とするものであり、光通信システムの大幅なコストダウンを実現する。
【０００３】
このＰＯＮシステムでは光の分岐に光スプリッタモジュールを用いるが、これには低挿入損失、低偏光依存性及び高信頼性が求められる。ＰＬＣ（Planar Lightwave Circuit）型光スプリッタは、これらの要求を満足し、ＰＯＮシステムのキーデバイスとして、日本国内だけでも月産数万個が生産されている。
【０００４】
ＰＬＣ型光スプリッタでは、小型で高信頼な特性を有する反面、Ｓｉ基板とＳｉＯ２との線膨張係数の違いに起因して複屈折が発生するので、光学特性に悪影響を与える。複屈折の発生している導波路でＹ分岐を形成すると、分岐比が偏光依存性を持ち、これにより分岐光には偏光に依存した損失ＰＤＬ（Polarization Dependent Loss）が発生する。ＰＤＬは、光通信システムのパワーマージンに影響を与えるため、これの低減が必須である。
【０００５】
このＰＬＣ型光スプリッタ（第一従来例）について、図７を用いて詳しく説明する。
【０００６】
ＰＬＣ型光スプリッタ８０は、基板８１上に導波路８２が形成された１×８の構造である。基板８１の入射端８３には入力用光ファイバ８４が接続され、基板８１の出射端８５には出力用光ファイバ８６が接続されている。そして、導波路８２は、単にＹ分岐を従属接続し、これを増やすことにより、分岐数を増加させる構造となっている。しかしながら、複屈折の大きなＰＬＣ型光スプリッタ８０では、多段のＹ分岐構造を採用することにより、ＰＤＬが累積的に増加するので、顧客ニーズに応えられない可能性がある。特に、現状の１×４や１×８の構造では問題にならないとしても、特に１×３２等の多分岐構造では累積したＰＤＬが無視できなくなる。更に、多分岐のＰＬＣ型光スプリッタ８０では、Ｙ分岐での分岐過剰損失の発生により、挿入損失が増加することにもなる。
【０００７】
以上述べたＰＬＣ型光スプリッタ８０の課題を克服し、良好な光学特性を実現するには、単一で多分岐を得るいわゆる「スターカプラ」を採用することが望ましい。しかしながら、従来のスターカプラでは、中央の出力用導波路では光パワーが大きいものの、端の出力用導波路では光パワーが小さくなる。このため、従来のスターカプラでは、複屈折の大きな導波路においても良好な偏光依存性が得られる反面、分岐後各ポートでの損失均一性がＹ分岐型に劣る短所を有していた。また、特許文献１には、このような問題を解決しようとするスターカプラが開示されている。
【０００８】
この特許文献１のスターカプラ（第二従来例）について、図８を用いて詳しく説明する。
【０００９】
スターカプラ９０は、シリコン基板９１上に、入力用導波路９２、扇型スラブ導波路９３、多数のテーパ導波路９４及び多数の出力用導波路９５を順次配置し接続したものである。このスターカプラ９０では、全ての出力用導波路９５にそれぞれテーパ導波路９４を設け、各テーパ導波路９４の扇型スラブ導波路９３側の開口幅を、光強度の大きい中心部では狭く、逆に光強度の小さい周辺部では広く設定することにより、全ての出力用導波路９５に分岐される信号光の強度を均一に（すなわち損失を均一に）しようとしている。
【００１０】
【特許文献１】特許第２５３８０９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、スターカプラ９０では、扇型スラブ導波路９３中を伝搬する光の回折角が波長依存性を有する。このため、例えば１．５５μｍの波長と１．３μｍの波長とでは、回折角が異なることにより出力用導波路９５間で損失均一性が変化してしまう。つまり、周辺の出力用導波路９５は、ある波長で光強度が十分でも、他の波長で光強度が不十分となる。このように、光学特性が波長に強く依存する結果となる。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、出力用導波路間の損失均一性の波長依存性を解消し、光学特性に優れる導波路型光スプリッタ等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る導波路型光スプリッタは、基板上に入力用導波路と複数の出力用導波路とスラブ導波路とが形成され、スラブ導波路が入射端及び出射端を有し、出射端が入射端又はその近傍を中心とする円弧状を呈し、入射端に入力用導波路が接続され、出射端に複数の出力用導波路が接続されたものである。そして、開口幅の狭まった狭幅テーパ導波路を介して、入射端に入力用導波路が接続されている。
【００１４】
基板は、シリコン基板の他に、ガラス基板やＬＮ（ＬｉＮｂＯ3）基板でもよく、ＩｎＰやＧａＡｓ等の半導体基板でもよい。導波路は、シリカ導波路の他に、ＩｎＧａＡｓＰ基板、ＧａＡｓ基板、ＬＮ基板等へＴｉ等を拡散させた拡散導波路、ポリマー導波路、イオン交換導波路などでもよい。円弧とは、曲率半径が一定の形状に限らず、例えば曲率半径が少しずつ変化するように補正された形状でもよい。また、本発明に係る導波路型光スプリッタは、ＡＷＧ（アレイ導波路格子）デバイスの入力用導波路とスラブ導波路との接続部分にも用いることができる。
【００１５】
入力用導波路からスラブ導波路の入射端に到達した光は、スラブ導波路中を回折によって扇状に広がって伝搬し、スラブ導波路の出力端から更に複数の出力用導波路に分かれて進む。このとき、回折角は波長依存性を持つため、出力用導波路間の損失均一性に波長依存性が生じてしまう。そこで、本発明者は、スラブ導波路の入力端でのスポットサイズについて、スポットサイズが大きいほど回折角が小さくなること、及び、スラブ導波路の入力端での入力用導波路の幅が狭いほどかつ波長が長いほどスポットサイズが大きくなること、に着目し、入力用導波路とスラブ導波路の入力端との接続部分を、入力用導波路よりも狭くすることにより、波長が長いほどスポットサイズが大きくなるようにした。すなわち、狭幅テーパ導波路を設けて、スポットサイズを大きくしている。したがって、波長が長いほど回折角大→狭幅テーパ導波路設置→波長が長いほどスポットサイズ大→波長が長いほど回折角減少量大→波長に関係なく回折角均一、という因果関係が成り立つ。これにより、出力用導波路間での損失均一性の波長依存性を改善できるので、光学特性に優れる導波路型光スプリッタを実現できる。
【００１６】
また、狭幅テーパ導波路のテーパ形状は、直線状に開口幅が狭まった形状でもよいし、狭幅テーパ導波路の内側が凸又は凹になるように曲線状に開口幅が狭まった形状でもよい。このとき、曲線は、ｎ（ｎは２以上の整数）次関数、指数関数又はベキ級数で表せるものとしてもよい。
【００１７】
また、狭幅テーパ導波路の開口幅は、入力用導波路の幅に対して９０％以下かつ１０％以上とすることが好ましい。上限値の根拠は、９０％を越えると効果が不十分になるからである。下限値の根拠は、１０％未満にすると光が導波路を急激に伝搬しにくくなって損失が増大するためである。
【００１８】
また、入力用導波路の一部を、曲線状の曲がり導波路にしてもよいし、中心軸のずれた不連続導波路にしてもよい。光導波路において動作が不安定になるのは、基本モードに高次モードが混在するためと考えられる。基本モードよりも高次モードの方が曲がり導波路を伝搬させた際の損失が大きいため、これを積極的に使うことで、高次モードを除去し、基本モードのみを取り出すことができる。曲がり導波路の具体的構造は、例えば正弦波関数のように曲げた構造や、曲率半径一定の円弧状の構造とすることができる。中心軸のずれた不連続導波路も、曲がり導波路と同様の作用及び効果を奏する。
【００１９】
また、複数の出力用導波路と交差する複数の損失低減用導波路を形成してもよい。スラブ導波路とテーパ導波路又は出力用導波路との結合部では、光の散乱によるパワー損失（以下「挿入損失」という。）が発生する。このとき、複数の出力用導波路に複数の導波路を交差させると、出射端での損失が低減される。したがって、損失低減用導波路を設けることにより、全ての出力用導波路で光強度を向上できる。
【００２０】
本発明に係る導波路型光モジュールは、本発明に係る導波路型光スプリッタと、前記入力用導波路に接続された入力用光ファイバと、前記出力用導波路に接続された出力用光ファイバと、前記導波路型光スプリッタ、前記入力用光ファイバ及び前記出力用光ファイバを内包したケースとを備えたものである。本発明に係る導波路型光モジュールによれば、本発明に係る導波路型光スプリッタを備えたことにより、均一な強度の出力光が得られる。
【００２１】
本発明は、次のように言い換えることができる。
【００２２】
本発明の特長は、スラブ導波路への入力用導波路の幅が狭くなっていることである。これにより、スラブ導波路の出射端での光強度分布の波長依存性を低減することができる。その理由を以下に説明する。
【００２３】
スラブ導波路を伝搬する光は回折現象によって広がり、この広がりすなわち回折角は波長が長くなるに従い増加する。また、スポットサイズが大きくなるほど、回折角が減少する。更に、スポットサイズの波長依存性は入力用導波路の幅にも依存しており、入力用導波路の幅が狭いほど、かつ波長が長いほど、スポットサイズが大きくなる。これらの関係を積極的に使うことにより、スラブ導波路内の回折角の波長依存性を小さくすることができる。すなわち、導波路幅を例えば４μｍ程度以下と狭くすれば、波長が長くなるに従いスポットサイズは減少し、スラブ導波路を伝搬する光の回折角度の波長依存性を解消できる。このように、本発明で示したスラブ導波路入射時のテーパ導波路開口幅を狭く設定し、スポットサイズの変換を行うこととした。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係る導波路型光スプリッタによれば、開口幅の狭まった狭幅テーパ導波路を介して、スラブ導波路の入射端に入力用導波路を接続することにより、波長が長いほどスポットサイズを大きくして回折角を減少できるので、出力用導波路間の損失均一性の波長依存性を大きく改善できる。
【００２５】
換言すると、スラブ導波路への入力導波路の開口幅を通常部分よりも狭く設定することにより、出力用導波路間の損失均一性の波長依存性を大きく改善できるので、良好な光学特性を有する導波路型光スプリッタを実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１は、本発明に係る導波路型光スプリッタの第一実施形態を示す平面図である。図２は、図１の部分拡大図である。以下、図１及び図２に基づき説明する。
【００２７】
本実施形態の導波路型光スプリッタ１０は、基板１１上に入力用導波路１２と複数の出力用導波路１３とスラブ導波路１４とが形成され、スラブ導波路１４が入射端１５及び出射端１６を有し、出射端１６が入射端１５又はその近傍を中心とする円弧状を呈し、入射端１５に入力用導波路１２が接続され、出射端１６に複数の出力用導波路１３が接続されている。そして、開口幅の狭まった狭幅テーパ導波路１８を介して、入射端１５に入力用導波路１２が接続されている。
【００２８】
また、入射端１５から出射端１６に到達する光の強度が出射端１６の中心から周辺に行くに従って低下する。出射端１６の中心部１６１では、出射端１６１に出力用導波路１３が直接接続されている。出射端１６の周辺部１６２では、開口幅の広がったテーパ導波路１７を介して、出射端１６に出力用導波路１３が接続されている。また、テーパ導波路１７は、周辺になるほど開口幅が広くなる。つまり、図２において、出力用導波路１３の開口幅をＷ１とし、テーパ導波路１７の開口幅を中心から周辺方向にＷ２，Ｗ３，Ｗ４とすると、Ｗ１＜Ｗ２＜Ｗ３＜Ｗ４となっている。
【００２９】
基板１１は、例えばシリコン基板である。この基板１１上に、ＣＶＤ、フォトリソグラフィ及びＲＩＥなどの微細加工技術を用いて、導波路となるコア層と導波路以外のクラッド層とを形成している。入力用導波路１２及び出力用導波路１３には、それぞれ図示しない入力用光ファイバ及び出力用光ファイバが接続される。光ファイバからの信号光は、入力用導波路１２を伝搬した後、スラブ導波路１４内で水平方向の閉じ込めがないために広がって進む。ここで、スラブ導波路１４の幅は、回折により広がる光が境界に当たらない程度に十分大きくしてある。また、入射端１５から回折により広がる光の波面の曲率中心は入射端１５よりも奥にあることが知られているので、スラブ導波路１４の曲率中心を入射端１５よりも数μｍ〜数１０μｍ程度入力用導波路１２側へ配置してある。各テーパ導波路１７の位置と形状（出射端１６側の開口幅）は、所定の分岐比となるように設定してある。また、テーパ導波路１７のテーパ角はできるだけ小さくし、導波路幅減少に伴う光の放射損失を抑制している。なお、出力用導波路１３は、８本の場合を図示しているが、言うまでもなく何本でもよい。
【００３０】
次に、導波路型光スプリッタ１０の主要な作用及び効果について説明する。
【００３１】
入力用導波路１２からスラブ導波路１４の入射端１５に到達した光は、スラブ導波路１４中を回折によって扇状に広がって伝搬し、スラブ導波路１４の出力端１６から更に複数の出力用導波路１３に分かれて進む。このとき、波長が長い光ほど回折角が大きいため、出力用導波路１３間の損失均一性に波長依存性が生じてしまう。そこで、本実施形態では、スラブ導波路１４の入力端１５でのスポットサイズについて、スポットサイズが大きいほど回折角が小さくなること、及び、スラブ導波路１４の入力端１５での入力用導波路１２の幅が狭いほどかつ波長が長いほどスポットサイズが大きくなること、に着目し、入力用導波路１２とスラブ導波路１４の入力端１５との接続部分を、入力用導波路１２よりも狭くすることにより、波長が長いほどスポットサイズが大きくなるようにした。すなわち、狭幅テーパ導波路１８を設けて、スポットサイズを大きくしている。したがって、波長が長いほど回折角大→狭幅テーパ導波路１８設置→波長が長いほどスポットサイズ大→波長が長いほど回折角減少量大→波長に関係なく回折角均一、という因果関係が成り立つ。具体的には、通常部分の入力用導波路１２の幅を７μｍとした場合に、狭幅テーパ導波路１８の開口幅を４μｍ程度とすることにより、スポットサイズを変換する。これにより、出力用導波路１３間での損失均一性の波長依存性を改善できるので、光学特性に優れる導波路型光スプリッタ１０を実現できる。
【００３２】
次に、導波路型光スプリッタ１０の他の作用及び効果について説明する。
【００３３】
入力用導波路１２からスラブ導波路１４に入った光は、回折現象によって入射端１５又はその近傍を中心とする扇状に広がって、円弧状の出射端１６に到達する。出射端１６に到達した光の強度は、出射端１６の中心から周辺に行くに従って低下するガウス分布を示す。そして、出射端１６に到達した光は、出射端１６の中心部１６１で直接出力用導波路１３に入り、出射端１６の周辺部１６２でテーパ導波路１７を介して出力用導波路１３に入る。これにより、光強度の高い中心部１６１の出力用導波路１３ではテーパ導波路１７が無いので必要以上に光が集まらず、光強度の低い周辺部１６２の出力用導波路１３ではテーパ導波路１７が有るので大いに光が集まることにより、出力用導波路１３間の損失均一化が図れる。また、テーパ導波路１７は周辺になるほど開口幅が広くなる。つまり、開口幅Ｗ１〜Ｗ４が出射端１６での光強度のガウス分布に対応していることにより、出力用導波路１３間の損失均一化をより図ることができる。
【００３４】
本実施形態では、出射端１６の中心部１６１にテーパ導波路１７を設けないので、出射端１６の周辺部１６２のテーパ導波路１７の開口幅を従来技術よりも狭くしても、出力用導波路１３間の損失均一化が図れる。したがって、出力用導波路１３の高密度化と出力用導波路１３間の損失均一化との両立を図ることができる。
【００３５】
図３は本発明に係る導波路型光スプリッタの第二実施形態を示す部分拡大平面図であり、図３［１］は第一例、図３［２］は第二例、図３［３］は第三例である。以下、この図面に基づき説明する。ただし、図１と同じ部分については、同じ符号を付すか又は図示を略すことにより説明を省略する。
【００３６】
本実施形態は、狭幅テーパ導波路のテーパ形状に関する。図３［１］の狭幅テーパ導波路１８ａのテーパ形状は、直線状に開口幅１９が狭まった形状である。図３［２］の狭幅テーパ導波路１８ｂのテーパ形状は、狭幅テーパ導波路１２の内側が凸になるように曲線状に開口幅１９が狭まった形状である。図３［３］の狭幅テーパ導波路１８ｃのテーパ形状は、狭幅テーパ導波路１２の内側が凹になるように曲線状に開口幅１９が狭まった形状である。狭幅テーパ導波路１８ｂ，１８ｃのテーパ形状の曲線は、例えばｎ（ｎは２以上の整数）次関数、指数関数、ベキ級数等で表せるものである。
【００３７】
また、狭幅テーパ導波路１８ａの開口幅１９の寸法Ｗ１２は、入力用導波路１２の幅の寸法Ｗ１１に対して９０％以下かつ１０％以上とすることが好ましい。例えば、Ｗ１１が６μｍであれば、Ｗ１２は０．６μｍ〜５．４μｍである。上限値の根拠は、９０％を越えると効果が不十分になるからである。下限値の根拠は、１０％未満にすると光が入力用導波路１２を急激に伝搬しにくくなって損失が増大するためである。他の狭幅テーパ導波路１８ｂ，１８ｃについても同様である。
【００３８】
図４は本発明に係る導波路型光スプリッタの第三実施形態を示す部分拡大平面図であり、図４［１］は第一例、図４［２］は第二例である。以下、この図面に基づき説明する。ただし、図１と同じ部分については、同じ符号を付すか又は図示を略すことにより説明を省略する。
【００３９】
本実施形態は、入力用導波路に関する。図４［１］では、入力用導波路１２の一部を、曲線状の曲がり導波路１２ａとしている。入力用導波路１２において動作が不安定になるのは、基本モードに高次モードが混在するためと考えられる。基本モードよりも高次モードの方が曲がり導波路１２ａを伝搬させた際の損失が大きいため、これを積極的に使うことで、高次モードを除去し、基本モードのみを取り出すことができる。曲がり導波路１２ａの形状は、曲率半径一定の円弧状としたが、例えば正弦波関数のように曲げた形状にしてもよい。
【００４０】
図４［２］では、入力用導波路１２の一部を、中心軸のずれた不連続導波路１２ｂとしている。不連続導波路１２ｂは、導波路を滑らかに接続したものではなく、例えば０．１μｍ〜１μｍ程度、導波路の中心軸に直交する方向にずらして接続したものである。不続導波路１８ｂも、曲がり導波路１８ａと同様の作用及び効果を奏する。
【００４１】
図５は、本発明に係る導波路型光スプリッタの第四実施形態を示す平面図である。以下、この図面に基づき説明する。ただし、図１と同じ部分は同じ符号を付すことにより説明を省略する。
【００４２】
本実施形態の導波路型光スプリッタ２０は、複数の出力用導波路１３と交差する複数の損失低減用導波路２１１〜２１６を設けたものである。損失低減用導波路２１１〜２１６は、他の導波路と同時に基板１１上に形成され、転換領域２１を構成している。また、損失低減用導波路２１１〜２１６は、出射端１６と同心円の円弧状を呈し、出射端１６から離れるに従い細くなっている。損失低減用導波路２１１，…の本数は、図示しやすくするために６本としたが、実際には２０〜４０本が好ましいとされている。転換領域２１では、複数の出力用導波路１３と複数の損失低減用導波路２１１〜２１６とがメッシュ状になっている。このとき、損失低減用導波路２１１〜２１６の幅及び間隔を徐々に変えることによって、複数の出力用導波路１３間を伝搬する光が効率よく出力用導波路１３に結合することにより、挿入損失を低減できる。
【００４３】
本実施形態では、出射端１６の中心部１６１にテーパ導波路１７を設けずに、出力用導波路１３間の損失均一化を図っているので、全ての出力用導波路１３で光強度が低くなりがちである。したがって、損失低減用導波路２１１，…を設けることにより、全ての出力用導波路１３で光強度を向上できる。
【００４４】
図６は、本発明に係る導波路型光モジュールの第一実施形態を示す概略構成図である。以下、この図面に基づき説明する。ただし、図１と同じ部分は同じ符号を付すことにより説明を省略する。
【００４５】
本実施形態の導波路型光モジュール５０は、図１の導波路型光スプリッタ１０と、導波路型光スプリッタ１０の入力用導波路（図示せず）に接続された入力用光ファイバ５１と、導波路型光スプリッタ１０の出力用導波路（図示せず）に接続された複数の出力用光ファイバ５２と、導波路型光スプリッタ１０、入力用光ファイバ５１及び出力用光ファイバ５２を内包したケース５３とを備えたものである。導波路型光モジュール５０によれば、導波路型光スプリッタ１０を備えたことにより、小型でしかも均一な強度の出力光が得られる。もちろん、導波路型光スプリッタ１０の代わりに前述の導波路型光スプリッタ２０を用いてもよい。
【００４６】
なお、図１乃至図５では、わかりやすくするために、横方向（導波路の長さ方向）に対して上下方向（導波路の幅方向）を拡大して示している。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】本発明に係る導波路型光スプリッタの第二実施形態を示す部分拡大平面図であり、図３［１］は第一例、図３［２］は第二例、図３［３］は第三例である。
【図４】本発明に係る導波路型光スプリッタの第三実施形態を示す部分拡大平面図であり、図４［１］は第一例、図４［２］は第二例である。
【図５】本発明に係る導波路型光スプリッタの第四実施形態を示す平面図である。
【図６】本発明に係る導波路型光モジュールの第一実施形態を示す概略構成図である。
【図７】第一従来例を示す平面図である。
【図８】第二従来例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０，２０  導波路型光スプリッタ
１１  基板
１２  入力用導波路
１２ａ  曲がり導波路
１２ｂ  不連続導波路
１３  出力用導波路
１４  スラブ導波路
１５  スラブ導波路の入射端
１６  スラブ導波路の出射端
１７  テーパ導波路
１８，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ  狭幅テーパ導波路
２１１〜２１６  損失低減用導波路
５０  導波路型光モジュール
【図１】
2005284256.tif 000003
【図２】
2005284256.tif 000004
【図３】
2005284256.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005284256.tif 000007
【図６】
2005284256.tif 000008
【図７】
2005284256.tif 000009
【図８】
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