(57)【要約】【課題】  磁壁ノイズ抑制層から軟磁性裏打ち層へ誘導される交換結合磁界の磁界強度の定量化を、短時間にかつ高精度に行うこと。交換結合磁界の磁界強度が定量化された所定の二層膜垂直磁気記録媒体の評価を安価な構成でかつ高い信頼性で行うこと。【解決手段】  磁区制御用の交換結合磁界を発生する磁壁ノイズ抑制層２を有する二層膜垂直磁気記録媒体を用いて、磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧と、該印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度との相関関係を求めて定量化する。検査により測定した交換結合磁界の磁界強度と、定量化関係から求めた交換結合磁界の磁界強度とを比較し、差分量を算出する。【選択図】  図１
2005317126.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体と磁性層との間に、軟磁性裏打ち層と、該軟磁性裏打ち層に存在する浮遊磁界の磁壁ノイズの発生を抑制するための磁区制御用の交換結合磁界を発生する磁壁ノイズ抑制層とを有する二層膜垂直磁気記録媒体を用い、前記磁壁ノイズ抑制層から前記軟磁性裏打ち層へ誘導される前記交換結合磁界の磁界強度を定量化する方法であって、
前記磁壁ノイズ抑制層を構成する磁性材料の組成比を変えることにより、前記交換結合磁界の磁界強度が互いに異なる複数の二層膜垂直磁気記録媒体を作製する作製工程と、
前記作製された各二層膜垂直磁気記録媒体に対して異なる電圧を一定電圧範囲に渡って印加させていき、前記軟磁性裏打ち層に磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度を測定する測定工程と、
前記全ての二層膜垂直磁気記録媒体に対して、前記磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧と、該印加電圧に対応する前記交換結合磁界の磁界強度との相関関係を求めて定量化する定量化工程と
を具えたことを特徴とする二層膜垂直磁気記録媒体の定量化方法。
【請求項２】
前記定量化工程は、
前記交換結合磁界の磁界強度（Ｏｅ）をｙとし、前記印加電圧（Ｖ）をｘとしたとき、
ｙ＝２．１２×ｘ−１．０４５
の定量化曲線を生成することを特徴とする請求項１記載の二層膜垂直磁気記録媒体の定量化方法。
【請求項３】
二層膜垂直磁気記録媒体の評価方法であって、
請求項１又は２記載の作製工程により作製された前記軟磁性裏打ち層に磁区制御用の所定の交換結合磁界を有する各二層膜垂直磁気記録媒体に対して、該軟磁性裏打ち層の所定の交換結合磁界に対応する印加電圧を含む一定電圧範囲に渡って電圧を印加させていき、該軟磁性裏打ち層に磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度を測定する検査工程と、
前記全ての二層膜垂直磁気記録媒体に対して、前記検査により測定した交換結合磁界の磁界強度と、請求項１又は２記載の定量化工程から求めた交換結合磁界の磁界強度とを比較し、差分量を算出する判定工程と
を具えたことを特徴とする二層膜垂直磁気記録媒体の評価方法。
【請求項４】
前記判定工程は、同一ロット内の複数の二層膜垂直磁気記録媒体に対して前記差分量を算出し、該差分量に基づいて各二層膜垂直磁気記録媒体が良品か否かを判定する工程
をさらに具えたことを特徴とする請求項３記載の二層膜垂直磁気記録媒体の評価方法。
【請求項５】
二層膜垂直磁気記録媒体の評価装置であって、
請求項１又は２記載の作製工程により作製された前記軟磁性裏打ち層に磁区制御用の所定の交換結合磁界を有する各二層膜垂直磁気記録媒体に対して、該軟磁性裏打ち層の所定の交換結合磁界に対応する印加電圧を含む一定電圧範囲に渡って電圧を印加させていき、該軟磁性裏打ち層に磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度を測定する検査手段と、
前記全ての二層膜垂直磁気記録媒体に対して、前記検査により測定した交換結合磁界の磁界強度と、請求項１又は２記載の定量化工程から求めた交換結合磁界の磁界強度とを比較し、差分量を算出する判定手段と
を具えたことを特徴とする二層膜垂直磁気記録媒体の評価装置。
【請求項６】
前記判定手段は、同一ロット内の複数の二層膜垂直磁気記録媒体に対して前記差分量を算出し、該差分量に基づいて各二層膜垂直磁気記録媒体が良品か否かを判定する手段
をさらに具えたことを特徴とする請求項５記載の二層膜垂直磁気記録媒体の評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、二層膜垂直磁気記録媒体の定量化方法、評価方法、並びに評価装置に関し、特に、軟磁性裏打ち層に存在する浮遊磁界の磁壁ノイズの発生を抑制するための磁区制御用の交換結合磁界を発生する磁壁ノイズ抑制層を有する二層膜垂直磁気記録媒体を用い、磁壁ノイズ抑制層から軟磁性裏打ち層へ誘導される交換結合磁界の磁界強度を定量化した二層膜垂直磁気記録媒体を作製し、この交換結合磁界の磁界強度が定量化された二層膜垂直磁気記録媒体の磁壁ノイズ抑制層の機能を検査する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録の高密度化を実現する技術として、従来の長手磁気記録方式に代えて、垂直磁気記録方式が注目されつつある。
【０００３】
垂直磁気記録媒体は、従来の長手媒体と同様に硬質磁性材料の磁気記録層のみでも原理上機能するが、より高い記録密度を達成するために媒体の非磁性基体と磁気記録層の間に、裏打ち軟磁性膜を付与した構造の二層膜垂直磁気記録方式が主流になりつつある。軟磁性裏打ち層は記録素子（以下、磁気ヘッドという）が発生する記録磁界の垂直成分を媒体記録層に、より急峻に誘導する役目を担っている。
【０００４】
一般に、軟磁性裏打ち層に必要とされる特性は、磁気ヘッドの記録能力を補助する役割を担っているため、その磁気的な特性である保磁力は記録磁界を妨げることの無いように限りなく小さいことが必要である。
【０００５】
一方、磁気ヘッドからの急峻な記録磁界を瞬時に吸収し、還流させる大きな飽和磁束密度が必要とされている。このような優れた特性を有する軟磁性裏打ち層は保磁力が小さいがゆえに、外部からの浮遊磁界に対して磁化がゆらぎやすく、磁壁が生じ易い。また、飽和磁束密度が大きいため、生じた磁壁からの漏れ磁界も大きく、磁気ヘッドにより再生される出力が無視できない。
【０００６】
磁壁ノイズの発生は、記録媒体側の構成によるところが大きいが、媒体の電磁変換特性を評価する場の磁気的な環境によりその磁壁ノイズの大きさは変化する。外部浮遊磁界の全くない環境においては、この磁壁ノイズの電磁変換特性に与える影響は皆無であると考えられるが、一般の電磁変換特性評価設備においてはわずかながらの浮遊磁場が発生しており、これによる影響が無視できないのが現状である。
【０００７】
この軟磁性裏打ち層の磁壁の制御については、例えば、特許文献１や特許文献２に示されているように、軟磁性裏打ち層の上層や下層に、Ｃｏ合金等の強磁性層を形成しこれを所望の方向に磁化させるように着磁する方法や、反強磁性薄膜を形成し交換結合を利用して磁化をピン止めする方法が提案されている（特許文献３、特許文献４参照）。
【０００８】
軟磁性裏打ち層の磁壁の制御は、上記参考文献に記載されるように、磁壁ノイズの主原因である軟磁性層の磁化を一定の方向に固定させることによって行われている。
【０００９】
このときの軟磁性層の磁化を固定させる力の大きさが分かれば外部磁界に対する耐性を定量的に把握することができる。
【００１０】
【特許文献１】特開平６−１８０８３４号公報
【特許文献２】特開平１０−２１４７１９号公報
【特許文献３】特願２００１−１１３１０７号公報
【特許文献４】特願２００１−１４３４８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
一般に、軟磁性層の磁化を固定している力の大きさ（磁界強度（Ｏｅ））は、振動試料型磁気力計（ＶＳＭ）や光磁気効果を用いた装置（カーループトレーサ）で定量化される。
【００１２】
しかしながら、記録媒体が実際に使われるときの１記録単位に相当する面積を考えると、これらの装置で記録媒体全面を評価することは、あまりにも膨大な時間がかかるため、作業効率化の面で非現実的である。
【００１３】
例えば、ＶＳＭを用いた評価では媒体の一部分を８（ｍｍ）ないし、１０（ｍｍ）角のサンプル片に切り出す必要がある。交換結合磁界強度を見積もるＭ−Ｈループの評価には、通常５（分）程度かかる。
【００１４】
また、サンプル片内のミクロな分布に付いては情報が得られないことや、媒体面内のマクロな分布を評価するためには、必要な部位のサンプル片を全て切り出す必要がある。
【００１５】
特に、記録媒体を大量に生産する場合には、記録媒体の有する外部磁界耐性が製品規格を満足しているか否かを短時間でかつ精度良く定量的に評価することが求められている。
【００１６】
そこで、本発明の目的は、二層膜垂直磁気記録媒体における磁壁ノイズ抑制層から軟磁性裏打ち層へ誘導される交換結合磁界の磁界強度の定量化を、短時間にかつ高精度に行うことが可能な、二層膜垂直磁気記録媒体の定量化方法を提供することにある。
【００１７】
また、本発明の他の目的は、交換結合磁界の磁界強度が定量化された所定の二層膜垂直磁気記録媒体の評価を、安価な構成でかつ高い信頼性で行うことが可能な評価方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、基体と磁性層との間に、軟磁性裏打ち層と、該軟磁性裏打ち層に存在する浮遊磁界の磁壁ノイズの発生を抑制するための磁区制御用の交換結合磁界を発生する磁壁ノイズ抑制層とを有する二層膜垂直磁気記録媒体を用い、前記磁壁ノイズ抑制層から前記軟磁性裏打ち層へ誘導される前記交換結合磁界の磁界強度を定量化する方法であって、前記磁壁ノイズ抑制層を構成する磁性材料の組成比を変えることにより、前記交換結合磁界の磁界強度が互いに異なる複数の二層膜垂直磁気記録媒体を作製する作製工程と、前記作製された各二層膜垂直磁気記録媒体に対して異なる電圧を一定電圧範囲に渡って印加させていき、前記軟磁性裏打ち層に磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度を測定する測定工程と、前記全ての二層膜垂直磁気記録媒体に対して、前記磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧と、該印加電圧に対応する前記交換結合磁界の磁界強度との相関関係を求めて定量化する定量化工程とを具えることによって、二層膜垂直磁気記録媒体の定量化方法を提供する。
【００１９】
ここで、前記定量化工程は、前記交換結合磁界の磁界強度（Ｏｅ）をｙとし、前記印加電圧（Ｖ）をｘとしたとき、ｙ＝２．１２×ｘ−１．０４５の定量化曲線を生成してもよい。
【００２０】
本発明は、二層膜垂直磁気記録媒体の評価方法であって、作製工程により作製された前記軟磁性裏打ち層に磁区制御用の所定の交換結合磁界を有する各二層膜垂直磁気記録媒体に対して、該軟磁性裏打ち層の所定の交換結合磁界に対応する印加電圧を含む一定電圧範囲に渡って電圧を印加させていき、該軟磁性裏打ち層に磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度を測定する検査工程と、前記全ての二層膜垂直磁気記録媒体に対して、前記検査により測定した交換結合磁界の磁界強度と、定量化工程から求めた交換結合磁界の磁界強度とを比較し、差分量を算出する判定工程とを具えることによって、二層膜垂直磁気記録媒体の評価方法を提供する。
【００２１】
前記判定工程は、同一ロット内の複数の二層膜垂直磁気記録媒体に対して前記差分量を算出し、該差分量に基づいて各二層膜垂直磁気記録媒体が良品か否かを判定する工程をさらに具えてもよい。
【００２２】
本発明は、二層膜垂直磁気記録媒体の評価装置であって、作製工程により作製された前記軟磁性裏打ち層に磁区制御用の所定の交換結合磁界を有する各二層膜垂直磁気記録媒体に対して、該軟磁性裏打ち層の所定の交換結合磁界に対応する印加電圧を含む一定電圧範囲に渡って電圧を印加させていき、該軟磁性裏打ち層に磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度を測定する検査手段と、前記全ての二層膜垂直磁気記録媒体に対して、前記検査により測定した交換結合磁界の磁界強度と、定量化工程から求めた交換結合磁界の磁界強度とを比較し、差分量を算出する判定手段とを具えることによって、二層膜垂直磁気記録媒体の評価装置を構成する。
【００２３】
前記判定手段は、同一ロット内の複数の二層膜垂直磁気記録媒体に対して前記差分量を算出し、該差分量に基づいて各二層膜垂直磁気記録媒体が良品か否かを判定する手段をさらに具えてもよい。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、磁区制御用の交換結合磁界を発生する磁壁ノイズ抑制層を有する二層膜垂直磁気記録媒体を用い、磁壁ノイズ抑制層から軟磁性裏打ち層へ誘導される交換結合磁界の磁界強度を定量化する方法において、磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧と、該印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度との相関関係を求めて定量化するようにしたので、磁区制御用の交換結合磁界の磁界強度を短時間に高精度で定量化することができ、これにより、作業の効率化を図ることが可能となる。
【００２５】
また、本発明によれば、検査測定用の外部印加磁界の磁界強度の変化幅をより細かく設定するようにしたので、媒体面一周の交換結合磁界の磁界強度の分布を一段と精度良く測定することができ、これにより、一段と信頼性の高い二層膜垂直磁気記録媒体を作製することが可能となる。
【００２６】
さらに、本発明によれば、磁気記録媒体を大量に生産する環境では、電磁変換特性や欠陥検査といった一連の媒体検査工程で用いられている磁気ヘッドを用いた測定装置内に本発明に係る評価方法を組み込んで検査するようにしたので、安価な構成でかつ信頼性の高い磁気記録媒体の評価方法および評価装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
［第１の例］
本発明の第１の実施の形態を、図１〜図１５に基づいて説明する。  
本例は、二層膜垂直磁気記録媒体の定量化方法に関する。
【００２８】
（二層膜垂直磁気記録媒体）
図１は、二層膜垂直磁気記録媒体１０の基本構成例を示す。  
二層膜垂直磁気記録媒体１０は、非磁性基体１と、磁壁ノイズ抑制層２と、軟磁性裏打ち層３と、磁気記録層４とから構成される。
【００２９】
磁壁ノイズ抑制層２は、軟磁性裏打ち層３に存在する浮遊磁界の磁壁ノイズの発生を抑制するための交換結合磁界を発生する。この交換結合磁界が軟磁性裏打ち層３に存在する浮遊磁界を打ち消すため、二層膜垂直磁気記録媒体１０の外部領域にはその浮遊磁界の影響は現われない。
【００３０】
（磁壁ノイズ抑制層）
磁壁ノイズ抑制層２の層構造について説明する。  
図２は、磁壁ノイズ抑制層２の基本構成例を示す。なお、図中、材料組成の後ろの数値は膜厚で単位は（ｎｍ）であり、例えば「ＮｉＦｅ：２００」はＮｉＦｅの膜厚が２００ｎｍであることを意味する。
【００３１】
図２（ａ）の磁壁ノイズ抑制層２は、構成材料としてＮｉＦｅＣｒからなる配向制御層２ａと、ＩｒＭｎからなる磁区制御層２ｂとの２層構造とされている。
【００３２】
図２（ｂ）の磁壁ノイズ抑制層２は、ＮｉＦｅＣｒからなる配向制御層２ａと、ＩｒＭｎからなる磁区制御層２ｂと、ＣｏＦｅからなる交換結合磁界制御層２ｃとの３層構造とされている。
ただし、図２の例では、軟磁性裏打ち層３は、ＮｉＦｅからなる。  
【００３３】
（定量化方法）
図３は、その二層膜垂直磁気記録媒体１０を用いて、磁壁ノイズ抑制層２から軟磁性裏打ち層３へ誘導される交換結合磁界の磁界強度を定量化する方法を示すフローチャートである。
【００３４】
ステップＳ１では、磁壁ノイズ抑制層２を構成する磁性材料の組成比を変えて、交換結合磁界の磁界強度が互いに異なる複数の二層膜垂直磁気記録媒体１０を作製する。
【００３５】
ステップＳ２では、その作製された各二層膜垂直磁気記録媒体１０を用いて、制御磁界発生用電磁石に異なる電圧を一定電圧範囲に渡って印加させていき、軟磁性裏打ち層３に磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度を測定する。
【００３６】
ステップＳ３では、その作製した全ての二層膜垂直磁気記録媒体１０に対して、磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧と、該印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度との相関関係を求めて定量化する。
【００３７】
その定量化は、交換結合磁界の磁界強度（Ｏｅ）をｙとし、印加電圧（Ｖ）をｘとしたとき、後述する（１）式のような定量化曲線として生成される。
【００３８】
（サンプル例）
図４は、図３のステップＳ１で作製された二層膜垂直磁気記録媒体１０のサンプル例を示す。  
ここでは、二層膜垂直磁気記録媒体１０のサンプルとして、サンプル１〜サンプル１０の１０個を作製した。
【００３９】
例えば、サンプル１は、ガラス基板からなる非磁性基体１と、Ｔａからなる磁壁ノイズ抑制層２と、ＮｉＦｅからなる軟磁性裏打ち層３と、Ｔｉからなる中間層６と、ＣｏＣｒＰｔからなる磁気記録層４と、カーボン保護層７と、液体潤滑膜層８とから構成される。
【００４０】
サンプル３では、磁壁ノイズ抑制層２は、Ｔａからなる下地層２ｕと、ＮｉＦｅＣｒからなる配向制御層２ａと、ＩｒＭｎからなる磁区制御層２ｂとから構成される。その他の構成は、サンプル１と同じである。
【００４１】
サンプル５では、磁壁ノイズ抑制層２は、Ｔａからなる下地層２ｕと、ＮｉＦｅＣｒからなる配向制御層２ａと、ＩｒＭｎからなる磁区制御層２ｂと、ＣｏＦｅからなる交換結合磁界制御層２ｃとから構成される。その他の構成は、サンプル１と同じである。  
その他のサンプル２，４，６〜サンプル１０についても同様にして構成できる。
【００４２】
（磁界強度測定装置）
図５は、磁界強度測定装置１００の構成例を示す。  
磁界強度測定装置１００は、二層膜垂直磁気記録媒体１０の交換結合磁界の磁界強度を測定するもので、制御磁界発生用電磁石１０５に電圧を一定範囲に渡って所定の電圧幅で印加させ、軟磁性裏打ち層３に磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度を測定する。
【００４３】
本測定装置１００において、中央部の媒体保持用治具１０２とスピンドルモータの媒体支持体１０３との間に、二層膜垂直磁気記録媒体１０を取り付ける。１０１ａは、磁気ヘッドステージである。１０４は、装置基体である。１０５は、制御磁界発生用電磁石である。１０６は、制御磁界誘導用磁路である。
【００４４】
そして、磁気ヘッド１０１により、磁壁ノイズの発生を評価した。この評価は、予め交流消磁された二層膜垂直磁気記録媒体１０を用い、磁気ヘッド１０１と二層膜垂直磁気記録媒体１０との相対速度を１４（ｍ／ｓｅｃ）一定に保ち、二層膜垂直磁気記録媒体１０の内周半径位置１４（ｍｍ）から、外周半径位置２８（ｍｍ）まで０．５（ｍｍ）刻みで、再生信号をデジタルオシロスコープでコンピュータに取り込む方法で行った。
【００４５】
（定量化する理由）  
次に、磁壁ノイズ抑制層２から軟磁性裏打ち層３へ誘導される交換結合磁界の磁界強度を定量化する理由について説明する。
【００４６】
一般に、Ａ（Ｏｅ）の磁界環境中に記録媒体を置いた場合、軟磁性裏打ち層にＡ（Ｏｅ）の磁界が誘導される保証はない。
【００４７】
また、磁壁制御用の印加磁界の大きさは、ホール素子等を用いたいわゆるガウスメータで測ることは可能であるが、本例での外部浮遊磁界は、二層膜垂直磁気記録媒体１０の軟磁性裏打ち層３に影響を及ぼすため、本来であれば軟磁性裏打ち層３の中に誘導される磁界強度を測定する必要がある。
【００４８】
しかしながら、軟磁性裏打ち層３の中に誘導される磁界強度を直接測ることは非常に困難である。従って、何らかの方法で軟磁性裏打ち層３に誘導される磁界を定量化する必要がある。
【００４９】
そこで、本発明では、任意の磁界強度を発生させ、かつ、二層膜垂直磁気記録媒体１０内での磁界強度も定量的に把握することが可能な手法を提案するものであり、以下、その手法を採用した理由について詳細に説明する。
【００５０】
一般的な垂直磁気記録媒体で用いている軟磁性裏打ち層の磁化は、媒体製作時のマグネトロンスパッタ装置の漏れ磁界の方向（媒体面内で半径方向）に配向している。
【００５１】
ところで、磁性膜の磁化は外部の磁界よりも強い抗磁力（保磁力）を持っていれば反転することはないが、垂直磁気記録で用いられる軟磁性裏打ち層３は記録再生の補助機能をつかさどることから、一般的な抗磁力は数Ｏｅ程度である。従って、成膜後の工程でさまざまな外部磁界にさらされることにより、媒体面内に多数の磁区を形成した状態になっている。
【００５２】
図６は、多数の磁区２０を有する軟磁性裏打ち層３での面内磁化分布と、磁壁ノイズとの関係を示す。  
磁化の方向（矢印方向）が互いに反並行の領域Ａと領域Ｂとの間に発生するブロッホ磁壁では、領域の境界で磁化方向が媒体面内に対して垂直に回転しているため、媒体面に垂直な磁化成分が直上を通過する図５のような磁気ヘッド１０１に対して電磁ノイズ（磁壁ノイズ）を発生させる。
【００５３】
この磁壁ノイズは、磁気記録層の信号に重畳されるため、媒体検査工程では本来であれば発生しない信号を検出し、不良媒体と判定してしまうなどの誤りを発生させる。
【００５４】
軟磁性裏打ち層に磁壁ノイズそのものを発生させない方法として、前記参考文献の磁化をピン止めする方法を用いた（特許文献３、特許文献４参照）。
【００５５】
外部磁界に対する耐性を示す数値として、交換結合磁界（以下、Ｈex（Ｏｅ））があり、この数値は振動試料型磁気力計を用いて定量化することが可能である。
【００５６】
そして、上記製造方法により、Ｈexが異なる軟磁性裏打ち層３を持つ垂直磁気記録媒体１０を複数製作し、図５の測定装置１００を用いて、印加電圧に対する磁壁ノイズ特性測定することにより、印加電圧に対する発生磁界の関係を把握し、これから得られる線形性から任意強度の磁界を発生させることが可能となる。
【００５７】
そこで、本発明では、記録媒体そのものに磁壁ノイズを抑制する機能を有する「磁壁ノイズ抑制層２を有する軟磁性裏打ち層３」の評価方法を提案するものである。
【００５８】
図７は、外部印加磁界の磁界強度（Ｈexit＝十数Ｏｅ）により、軟磁性裏打ち層３内に複数の磁区２０が発生した従来の磁化状態の例を示す。  
軟磁性裏打ち層３の抗磁力（Ｈｃ１）は、数Ｏｅ程度である。
【００５９】
図８は、磁壁ノイズ抑制層２を有する軟磁性裏打ち層３において、外部印加磁界とは無関係に維持された単磁区状態を示す。
【００６０】
軟磁性裏打ち層３の磁化Ｍ２の向きは、磁壁ノイズ抑制層２の磁化Ｍ１の向きに揃う。この場合、Ｍ２の見かけの抗磁力は、Ｍ１，Ｍ２が生じさせる交換結合磁界の磁界強度（Ｈex＝十数Ｏｅ）に相当する。
【００６１】
このように、磁壁ノイズ抑制層２を有する軟磁性裏打ち層３では、軟磁性裏打ち層３の抗磁力（Ｈｃ１）はそのままで、軟磁性裏打ち層３の磁化の向きのみを磁壁ノイズ抑制層２の交換結合磁界により固着させることにより、一般の外部印加磁界の磁界強度（Ｈexit＝十数Ｏｅ）環境でも軟磁性裏打ち層３の磁化を単磁区化することができる。
【００６２】
図９は、二層膜垂直磁気記録媒体１０内に磁壁ノイズ抑制層を有しない従来の軟磁性膜の構成における磁気特性を示す。
【００６３】
図９に示す通常の軟磁性裏打ち層３を有する二層膜垂直磁気記録媒体１０は、軟磁性裏打ち層３の磁化容易軸方向（通常、面内方向）の保磁力（ＨｃＳＵＬ）よりも小さな外部磁界強度では媒体内部に磁区を生じないため（単磁区状態）、磁壁の発生はなく、これに伴う磁壁ノイズの発生はない。
【００６４】
しかしながら、外部印加磁界の磁界強度がＨｃＳＵＬと同程度になると、軟磁性裏打ち層３の磁気的な不均質性のために、ある部分は外部磁界方向に磁化が向き、ある部分ではそれまでの磁化状態を保った状態、すなわち複数の磁区が発生し、これにより磁壁ノイズが発生する。
【００６５】
ところが、外部印加磁界の磁界強度ＨexitがＨex＞ＨｃＳＵＬとなると、軟磁性裏打ち層３内の全ての磁化の向きは同方向となるので、軟磁性裏打ち層３内は再び単磁区状態となり、磁壁はなくなる。
【００６６】
図１０は、二層膜垂直磁気記録媒体１０内に磁壁ノイズ抑制層を有する本発明の軟磁性膜の構成における磁気特性を示す。
【００６７】
図１０に示すような交換結合磁界の磁界強度Ｈexを有する軟磁性膜であっても、図９と同様に、外部印加磁界の磁界強度ＨexitがＨexと同程度では、磁化反転する領域が発生し、磁壁ノイズの原因になる磁区が複数発生することになる。
【００６８】
このように、交換結合磁界を有する軟磁性裏打ち層３であっても、印加電圧（磁界）を大きくすると磁壁ノイズが発生する。このため、交換結合磁界の磁界強度が予め既知の媒体を用いて、外部印加磁界の磁界強度を調整しながら磁壁ノイズ評価を行うことにより、測定装置１００から軟磁性裏打ち層３に誘導される磁界強度を固定することができる。
【００６９】
次に、磁壁ノイズ抑制層２の機能特性の評価方法について説明する。  
基本的な考え方は、上記説明と同じで、磁壁ノイズ抑制層２が発生する交換結合磁界の磁界強度Ｈex（Ｏｅ）近傍の磁界が印加されると、磁壁ノイズが発生するが、Ｈex（Ｏｅ）以下又はそれ以上では、磁壁の発生は見られない。
【００７０】
例えば、実際には(１／２)×Ｈex（Ｏｅ）程度の交換結合磁界を有する媒体では、評価用外部印加磁界の磁界強度がＨex（Ｏｅ）では軟磁性裏打ち層３の磁化が磁壁ノイズ抑制層２の磁界強度を上回ってしまうため、軟磁性裏打ち層３内全体の磁化が印加磁界方向にそろい、磁壁の発生は見られない。
【００７１】
従って、媒体に必要な磁区制御用交換結合磁界の磁界強度がＨex1（Ｏｅ）である場合には、磁壁の発生を確認する際の印可外部磁界強度はＨex1（Ｏｅ）ではなく、Ｏ（Ｏｅ）〜Ｈex1（Ｏｅ）までを順次変化させながら評価する必要がある。
【００７２】
磁壁ノイズ抑制層２が形成されていることにより、十数Ｏｅ程度の外部磁界に対しては、媒体面内全体に渡って単磁区状態を保つため、磁区の発生が無く、これにより磁壁ノイズの発生もない。
【００７３】
以下、具体的な定量化方法について説明する。
（具体例）
まず、反強磁性膜を用いた磁壁ノイズ抑制層２を有する二層膜垂直磁気記録媒体１０を複数作製した。
【００７４】
図４は、二層膜垂直磁気記録媒体１０として作製したサンプル１〜サンプル１０の層構造、膜厚、得られた交換結合磁界の磁界強度をそれぞれ示す。
【００７５】
非磁性基体１として、表面が平滑な化学強化ガラス基板（例えば、ＨＯＹＡ社製Ｎ−５ガラス基板）を用いる。
【００７６】
この非磁性基体１を洗浄した後、スパッタ装置内に導入し、Ｔａターゲットを用いてＴａ下地膜を５ｎｍ成膜して、下地層２ｕを形成する。
【００７７】
続いて、Ｃｒを添加したＮｉＦｅ系合金ターゲットを用いてＮｉＦｅＣｒ合金薄膜を５ｎｍ成膜して配向制御層２ａを形成し、ＩｒＭｎ合金ターゲットを用いて反強磁性膜を１０ｎｍの厚さに成膜して磁区制御層２ｂを形成する。
【００７８】
引き続いて、ＮｉＦｅターゲットを用いて軟磁性膜を２００ｎｍ成膜して、軟磁性裏打ち層３を形成する。
【００７９】
これらの反強磁性層としての磁壁ノイズ抑制層２および軟磁性裏打ち層３の成膜時には、基板の半径方向に平行に１００（Ｏｅ）の磁場を印加した。
【００８０】
いずれの層構成においても、交換結合磁界測定用の試料は、この時点でスパッタ装置から取り出した。
【００８１】
この二層膜垂直磁気記録媒体１０の作製時において、スパッタ装置内から出すことなく、さらに引き続いて、以下の処理を行ってもよい。
【００８２】
ランプヒータを用いて基板表面温度が２５０℃になるように加熱を行った後、Ｔｉの中間層６を１０ｎｍ成膜する。
【００８３】
引き続き、ＣｏＣｒＰｔの磁気記録層４を３０ｎｍ成膜する。最後に、カーボン保護層７を１０ｎｍ成膜した後、真空装置から取り出した。
【００８４】
これらの成膜は、全てＡｒガス圧５ｍＴｏｒｒ下でＤＣマグネトロンスパッタリング法により行なった。
【００８５】
その後、パーフルオロポリエーテルからなる液体潤滑剤層８をディップ法により２ｎｍ形成し、二層膜垂直磁気記録媒体１０として構成した。
【００８６】
ここで、図５の測定装置１００を用いて、中間層６、磁気記録層４、カーボン保護層７、液体潤滑剤層８を形成せずに、スパッタ装置から取り出した試料の基板半径方向の磁化曲線を振動試料型磁力計にて測定し、交換結合磁界を測定した。
【００８７】
図４において、サンプル１に示した交換結合磁界発生層としての磁壁ノイズ抑制層２を持たない場合には、交換結合磁界は全く得られない。
【００８８】
サンプル２に示した配向制御層２ａ（ＮｉＦｅＣｒ）、磁区制御層２ｂ（ＩｒＭｎ）を付与することにより、交換結合磁界が出現し、４（Ｏｅ）程度の交換結合磁界が得られた。
【００８９】
また、サンプル３に示した軟磁性裏打ち層３の膜厚を若干薄くすることにより、７（Ｏｅ）程度の交換結合磁界を得ることができた。
【００９０】
さらに、サンプル４では、交換結合磁界制御層２ｃ（ＣｏＦｅ）を付与することにより、１１（Ｏｅ）程度の交換結合磁界を得ることができた。
【００９１】
また、交換結合磁界発生層としての磁壁ノイズ抑制層２の層全体を２層構造にしたサンプル６では、１８（Ｏｅ）程度の交換結合磁界を得ることができる。
【００９２】
交換結合磁界発生層としての磁壁ノイズ抑制層２の層全体を３層構造にしたサンプル１０では、４５（Ｏｅ）程度の交換結合磁界を得ることができた。
【００９３】
このように軟磁性裏打ち層３の厚さを調整することや、交換結合磁界発生層の層全体を任意の段数積層することにより、交換結合磁界の異なるサンプルとして合計１０サンプルを作製した。
【００９４】
次に、具体的な制御磁界の定量化方法を示す。
【００９５】
まず、交換結合磁界が最大のサンプル１０を本発明で用いた外部磁界印加装置付きスピンスタンドに取り付け、磁気ヘッド１０１を用いて二層膜垂直磁気記録媒体１０から発生する磁壁ノイズを測定した。
【００９６】
二層膜垂直磁気記録媒体１０を測定装置１００に取り付け、磁壁ノイズの発生を評価した。評価は予め交流消磁された媒体を用い、磁気ヘッド１００と二層膜垂直磁気記録媒体１０との相対速度を１４（ｍ／ｓｅｅ）一定に保ち、媒体半径位置２０（ｍｍ）で、再生信号をデジタルオシロスコープでコンピュータに取り込む方法で行う。その際、測定装置１００の制御磁界は発生させないように、印加電圧を０（Ｖ）とする。
【００９７】
次に、制御磁界を発生させるため、印加電圧を徐々に上げていくと、電圧が９５（Ｖ）で磁壁ノイズが発生した。これは、印加電圧が９５（Ｖ）の時に磁界発生装置からでた磁界の強度が、測定媒体の持つ交換結合磁界を上回ったため、媒体内に磁区が生じたためである。従って、印加電圧が９５（Ｖ）の時、外部磁界強度は４５（Ｏｅ）であると同定することができる。
【００９８】
次に、交換結合磁界が３０（Ｏｅ）である二層膜垂直磁気記録媒体１０を同様な手順で印加電圧を徐々に上げて磁壁ノイズの生じる電圧を測定したところ、６３（Ｖ）で磁壁ノイズが発生した。
【００９９】
図１１は、交換結合磁界の磁界強度と、この磁界強度に対応して磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧との関係を示す。
【０１００】
交換結合磁界の磁界強度３０（Ｏｅ）が異なるサンプル１〜サンプル１０を測定し、磁壁ノイズが発生する印加電圧３１（Ｖ）を順次測定した結果を示す。
【０１０１】
図１２は、交換結合磁界の磁界強度と、この磁界強度に対応して磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧との相関関係を求めたグラフを示す。  
図１１の対応関係から、交換結合磁界の磁界強度と印加電圧との間には、線形３５の関係が得られ、交換結合磁界と印加磁界とが等しいとの仮定により、測定された印加電圧と印加磁界との相関関係を求めると、最小二乗近似を用いて、
印加磁界（Ｏｅ）＝２．１２×印加電圧（Ｖ）−１．０４５      …（１）
と定量化することができる。
【０１０２】
このように、磁壁ノイズ制御層２の交換結合磁界が異なった複数の二層膜垂直磁気記録媒体１０を用いることにより、外部印加電圧に対応する印加磁界の定量化を行うことができ、任意の磁界強度を持つ印加磁界を発生させることができ、測定装置１００の発生磁界強度を定量化することができる。これにより、磁区制御用の交換結合磁界の磁界強度を短時間で評価することが可能となった。
【０１０３】
ところで、今回の実施例では、磁壁ノイズ抑制の方法に反強磁性膜を用いた交換結合磁界を用いたが、軟磁性裏打ち層３の上層や下層に、Ｃｏ合金等の強磁性層を形成し、これを所望の方向に磁化させるように着磁する方法で形成された磁気記録媒体でも、原理上同様な磁界強度の定量化や評価の方法に適応できるものであり、これらの場合も磁壁ノイズ抑制層２の磁区抑制用磁界が異なる複数の二層膜垂直磁気記録媒体１０を用いて定量化することが可能である。
【０１０４】
［第２の例］
本発明の第２の実施の形態を、図１３〜図１６に基づいて説明する。なお、前述した第１の例と同一部分については、その説明を省略し、同一符号を付す。
【０１０５】
本例は、第１の例で作製した二層膜垂直磁気記録媒体１０の磁壁ノイズ制御層２の機能特性を評価する方法の例である。すなわち、この評価とは、磁壁ノイズ制御層２が所定の設計された交換結合磁界の磁界強度を有する層として作製されているか否かを評価する方法のことである。
【０１０６】
ここで、このような磁壁ノイズ制御層２を有する二層膜垂直磁気記録媒体１０の評価を行う理由について説明する。
【０１０７】
交換結合磁界の磁界強度そのものは、前述したように振動試料型磁気力計等を用いて測定することは可能であるが、媒体面内全面を評価するには時間的制約や、分解能の点からみて非現実的である。
【０１０８】
そこで、磁壁ノイズ制御層２の交換結合磁界の大きさと、外部印加磁界の磁界強度の大きさとがほぼ同程度の場合には、磁区ができやすく、これによる磁壁ノイズの発生が見られることから、任意の磁界強度をもつ外部印加磁界に対して、磁壁ノイズの発生が見られるかどうかによって、交換結合磁界の磁界強度を逆に見積もる方法を提供することが可能である。
【０１０９】
この評価方法によれば、外部印加磁界の磁界強度を所定の値に一旦設定しておけば、磁壁ノイズの発生は媒体一周分を瞬時に確認することができ、短時間で交換結合磁界強度を測定することができる。
【０１１０】
以下、具体例を挙げて説明する。  
図１３は、二層膜垂直磁気記録媒体１０の評価方法を示すフローチャートである。  
ステップＳ１１では、第１の例の図３で作製した軟磁性裏打ち層３に所定の交換結合磁界を有する各二層膜垂直磁気記録媒体１０に対して、該軟磁性裏打ち層３の所定の交換結合磁界に対応する印加電圧を含む一定電圧範囲に渡って電圧を印加させていき、該軟磁性裏打ち層３に磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧に対応する交換結合磁界の磁界強度を測定する。
【０１１１】
ステップＳ１２では、全ての二層膜垂直磁気記録媒体１０に対して、検査により測定した交換結合磁界の磁界強度と、定量化曲線から求めた交換結合磁界の磁界強度とを比較し、差分量を算出する。この差分量の度合いから、予め作製した二層膜垂直磁気記録媒体１０が、希望とする所定の交換結合磁界を発生する媒体か否かを評価することができる。
【０１１２】
次に、具体的な評価例について説明する。
（評価例１）  
評価用二層膜垂直磁気記録媒体１０として、１１（Ｏｅ）の交換結合磁界を有する前述した図４のサンプル４を用いて評価する。
【０１１３】
この二層膜垂直磁気記録媒体１０を図５の測定装置１００に取り付け、磁壁ノイズの発生を評価した。
【０１１４】
評価に際して、予め交流消磁された媒体を用いて、磁気ヘッド１０１と媒体との相対速度を１４（ｍ／ｓｅｃ）一定に保ち、媒体の内周半径位置１４（ｍｍ）から、外周半径位置２８（ｍｍ）まで０．５（ｍｍ）刻みで、再生信号をデジタルオシロスコープでコンピュータに取り込む方法で行った。
【０１１５】
まず、評価用の外部印加磁界をＨexit＝０（Ｏｅ）に設定し、磁壁ノイズの発生を測定したが、磁壁ノイズは確認されなかった。
【０１１６】
次に、外部印加磁界をＨexit＝１（Ｏｅ）からＨexit＝２５（Ｏｅ）までＨexit＝１（Ｏｅ）刻みで、変化させながら磁壁ノイズの発生を測定した。
【０１１７】
図１４は、評価用の外部印加磁界に対する、規格化磁壁ノイズと印加電圧との関係を示す。  
外部印加磁界の磁界強度が磁区制御用の交換結合磁界の磁界強度（１１Ｏｅ）近傍では磁壁ノイズの発生は確認できたが、それ以外の磁界強度では、磁壁ノイズは観測できなかった。
【０１１８】
図１４の右側縦軸は、測定装置１００に印加した印加電圧を示しており、磁壁ノイズの強度が一番高いところでおよそ２５（Ｖ）となり、図１２に示した定量化曲線３５の交換結合磁界の磁界強度と印加電圧との関係から、交換結合磁界は、およそ１２（Ｏｅ）とわかる。
【０１１９】
一方、図１４の特性を見ると、外部印加磁界の磁界強度が１１（Ｏｅ）の前後でも若干の磁壁ノイズが測定されている。
【０１２０】
本来であれば、図１４に示される点線の計算値４０のように、磁壁は、交換結合磁界の磁界強度に対応する外部印加磁界の位置でのみ発生するはずである。これは、媒体一周を測定した際に、磁壁ノイズが発生する部分と、発生しない部分とがあり、交換結合磁界の磁界強度に面内分布があることを示している。
【０１２１】
このことは逆に、第１の例で交換結合磁界の磁界強度と測定装置１００の印加電圧との定量化処理を行った際、媒体の交換結合磁界の磁界強度を振動試料型磁気力計で測定しているが、媒体全体を測定することができず、ある代表値となっていることにも起因すると考えられる。すなわち、媒体面内の不均一性、面内分布によるものと思われる。
【０１２２】
この評価例１では、同一の印加電圧に対する、定量化曲線３５から求めた計算値４０に示すような交換結合磁界の磁界強度と、検査測定により求めた実測値５０に示すような交換結合磁界の磁界強度とを比較した結果、共に１１（Ｏｅ）となり、その差分量はゼロであった。
【０１２３】
このように外部印加磁界の磁界強度を測定対象媒体の交換結合磁界の磁界強度の近傍でいくつかの大きさの異なる電圧で設定し、評価することにより、媒体面一周の交換結合磁界の磁界強度の分布を測定することができる。
【０１２４】
（評価例２）  
評価用二層膜垂直磁気記録媒体１０として、１８（Ｏｅ）の交換結合磁界を有する前述した図４のサンプル６を用いて評価する。
【０１２５】
評価用の外部印加磁界は、Ｈexit＝０（Ｏｅ）からＨexit＝２５（Ｏｅ）まで、Ｈexit＝１（Ｏｅ）刻みで変化させて、磁壁ノイズの発生を測定する。
【０１２６】
図１５は、評価用の外部印加磁界に対する、規格化磁壁ノイズと印加電圧との関係を示す。
【０１２７】
この評価例２では、同一の印加電圧に対する、定量化曲線３５から求めた交換結合磁界の磁界強度は計算値４１に示すように１８（Ｏｅ）となり、検査測定により求めた交換結合磁界の磁界強度も実測値５１に示すように１８（Ｏｅ）となり、その差分量はゼロであった。
【０１２８】
このように二層膜垂直磁気記録媒体１０の交換結合磁界の磁界強度は１８（Ｏｅ）近傍でのみ、磁壁ノイズの発生が確認できた。この評価に要した時間は、およそ６（分）であり、評価時間を大幅に短縮することができる。
【０１２９】
（評価例３）  
評価用二層膜垂直磁気記録媒体１０として、評価例３と同様に、１８（Ｏｅ）の交換結合磁界を有するサンプル６を用いて評価するが、評価用の外部印加磁界は、Ｈexit＝０（Ｏｅ）からＨexit＝２５（Ｏｅ）まで、Ｈexit＝０．２（Ｏｅ）刻みで変化させて、磁壁ノイズの発生を測定する。
【０１３０】
図１６は、評価用の外部印加磁界に対する、規格化磁壁ノイズと印加電圧との関係を示す。  
この評価例３では、同一の印加電圧に対する、定量化曲線３５から求めた交換結合磁界の磁界強度は、計算値４１に示すように１８（Ｏｅ）であるのに対して、検査測定により求めた交換結合磁界の磁界強度は、実測値５２に示すような１７〜１８（Ｏｅ）の範囲である程度のバラツキがあり、その差分量は０．２〜１（Ｏｅ）前後の値を有し、ゼロとはならなかった。
【０１３１】
以上より、検査測定用の外部印加磁界の磁界強度の変化幅（Ｏｅ）をより細かく設定することにより、媒体面一周の交換結合磁界の磁界強度の分布を一段と精度良く測定することができ、これにより、一段と信頼性の高い二層膜垂直磁気記録媒体１０を作製することが可能となる。
【０１３２】
［第３の例］
本発明の第３の実施の形態を、図１７に基づいて説明する。なお、前述した各例と同一部分については、その説明を省略し、同一符号を付す。
【０１３３】
本例は、前述した第２の例の図１３に示すステップＳ１２の判定処理の応用例を示す。
すなわち、二層膜垂直磁気記録媒体１０として、同一ロットの複数の二層膜垂直磁気記録媒体、言い替えると、交換結合磁界として同一の磁界強度をもつ複数の二層膜垂直磁気記録媒体を用意し、これら同一ロット内で差分量にバラツキがあるか否かを評価する例である。
【０１３４】
図１７は、評価用の外部印加磁界に対する、規格化磁壁ノイズと印加電圧との関係を示す。  
この例では、評価用の二層膜垂直磁気記録媒体１０として、同一ロットの図４のサンプル５を２個用意し、測定媒体Ａ，Ｂとする。
【０１３５】
この評価では、同一の印加電圧に対する、定量化曲線３５から求めた交換結合磁界の磁界強度は、計算値４５に示すような１４（Ｏｅ）である。
【０１３６】
これに対して、検査測定により求めた測定媒体Ａの交換結合磁界の磁界強度は、実測値６０に示すような１５（Ｏｅ）となり、その差分量は１（Ｏｅ）しか現われなかった。
【０１３７】
一方、検査測定により求めた測定媒体Ｂの交換結合磁界の磁界強度は、実測値６１に示すような２６（Ｏｅ）となり、その差分量は１２（Ｏｅ）の差として現われた。
【０１３８】
従って、媒体の良否判別に用いる差分量の閾値を例えば３（Ｏｅ）に設定すると、測定媒体Ａは差分量が１（Ｏｅ）であることから良品と判別され、測定媒体Ｂは差分量が１２（Ｏｅ）と大幅に超えることから不良品と判別される。
【０１３９】
このように同一ロットの複数の二層膜垂直磁気記録媒体１０に対して差分量を算出し、差分量に基づいて媒体の良否を簡単な方法でかつ従来の装置をそのまま用いて判定することができ、これにより、安価な評価装置の構成を実現することができる。
【０１４０】
また、このような評価方法を取り入れることにより、磁気記録媒体を大量に生産する環境では、これまでの電磁変換特性や欠陥検査といった一連の媒体の検査工程で用いられている磁気ヘッド１０１を用いた測定装置１００に本発明を組み込むことが可能であり、信頼性の高い磁気記録媒体の評価を行うことができる。
【０１４１】
本例では、変化させる磁界強度の刻み幅を１（Ｏｅ）刻みで行ったが、この刻み幅を小さくすることで面内分布の測定精度を向上させることができる。
【０１４２】
さらに、印加磁界強度を評価媒体の回転数よりも十分早く変化させる事が可能であれば、検査工程での測定速度を飛躍的に向上させることができ、これにより作業効率を一段と向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１４３】
【図１】本発明の第１の実施の形態である、二層膜垂直磁気記録媒体の基本構成を示す断面図である。
【図２】交換結合磁界発生層としての磁壁ノイズ制御層の構成例を示す断面図である。
【図３】磁壁ノイズ制御層から軟磁性裏打ち層へ誘起される交換結合磁界の定量化方法を示すフローチャートである。
【図４】二層膜垂直磁気記録媒体として作製した各種サンプルの層構造、膜厚、得られた交換結合磁界の磁界強度をそれぞれ示す説明図である。
【図５】磁界強度測定装置の構成図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。
【図６】多数の磁区を有する軟磁性裏打ち層での面内磁化分布と、磁壁ノイズとの関係を示す説明図である。
【図７】外部印加磁界の磁界強度により、軟磁性裏打ち層内に複数の磁区が発生した従来の磁化状態を示す説明図である。
【図８】磁壁ノイズ抑制層を有する軟磁性裏打ち層において、外部印加磁界に無関係に維持された単磁区状態を示す説明図である。
【図９】二層膜垂直磁気記録媒体内に磁壁ノイズ抑制層を有しない従来の軟磁性膜の構成における磁気特性を示す説明図である。
【図１０】二層膜垂直磁気記録媒体内に磁壁ノイズ抑制層を有する本発明の軟磁性膜の構成における磁気特性を示す説明図である。
【図１１】交換結合磁界の磁界強度と、この磁界強度に対応して磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧との関係を示す説明図である。
【図１２】交換結合磁界の磁界強度と、この磁界強度に対応して磁壁ノイズが発生した時点での印加電圧との相関関係を求めたグラフである。
【図１３】本発明の第２の実施の形態である、二層膜垂直磁気記録媒体の評価方法を示すフローチャートである。
【図１４】評価用の外部印加磁界に対する、規格化磁壁ノイズと印加電圧との関係を示す説明図である。
【図１５】評価用の外部印加磁界に対する、規格化磁壁ノイズと印加電圧との関係を示す説明図である。
【図１６】評価用の外部印加磁界に対する、規格化磁壁ノイズと印加電圧との関係を示す説明図である。
【図１７】本発明の第３の実施の形態である、評価用の外部印加磁界に対する、規格化磁壁ノイズと印加電圧との関係を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１４４】
１  非磁性基体
２  磁壁ノイズ抑制層
２ａ  配向制御層
２ｂ  磁区制御層
２ｃ  交換結合磁界制御層
２ｕ  下地層
３  軟磁性裏打ち層
４  磁気記録層
６  中間層
７  カーボン保護層
８  液体潤滑剤層
１０  二層膜垂直磁気記録媒体
２０  磁区
３５  定量化曲線
１００  測定装置
１０１  磁気ヘッド
１０１ａ  磁気ヘッドステージ
１０２  媒体保持用治具
１０３  媒体支持体
１０４  装置基体
１０５  制御磁界発生用電磁石
１０６  制御磁界誘導用磁路
【図１】
2005317126.tif 000003
【図２】
2005317126.tif 000004
【図３】
2005317126.tif 000005
【図４】
2005317126.tif 000006
【図５】
2005317126.tif 000007
【図６】
2005317126.tif 000008
【図７】
2005317126.tif 000009
【図８】
2005317126.tif 000010
【図９】
2005317126.tif 000011
【図１０】
2005317126.tif 000012
【図１１】
2005317126.tif 000013
【図１２】
2005317126.tif 000014
【図１３】
2005317126.tif 000015
【図１４】
2005317126.tif 000016
【図１５】
2005317126.tif 000017
【図１６】
2005317126.tif 000018
【図１７】
2005317126.tif 000019