(57)【要約】【課題】ベーンロータリ型真空ポンプの、駆動部からポンプ部への気体の洩れを防ぐために、ポンプ部と駆動部をつなぐシャフトにシール部品を取りつけているが、ポンプが大きくなり、かつコスト高になる課題があった。【解決手段】転がり軸受け１５２をガスシールタイプのもので構成し、また、転がり軸受け１５２の内輪１５３はモータシャフト２２２に圧入されている。転がり軸受け１５２の外輪１５４とエンドプレート１５１とはシール部材１５５で固定されている。以上のように、転がり軸受けを境にポンプ機構部と駆動モータ部はシールされており、ポンプ機構部側の圧力が低下しても駆動モータ部側から気体が流入することはなく、高価なシール部品を使わずに真空ポンプを小型化できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポンプ機構部と駆動モータ部とが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーン溝を有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、前記複数のベーン溝に摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンとを備え、前記ロータと前記ベーンを挟み込むように前記シリンダの前記駆動モータ部側の端面に取り付けられたエンドプレートと前記駆動モータ部側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとにより前記ポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、前記回転軸は前記エンドプレートに取りつけられた転がり軸受けにより支持され、前記回転軸を前記駆動モータ部で駆動することにより前記ポンプ空間の容積を変化させるようにしたベーンロータリ型真空ポンプであって、前記転がり軸受けをガスシールタイプのものとし、前記転がり軸受けの内輪と前記回転軸とを圧入によりシールするとともに、前記転がり軸受けの外輪と前記エンドプレートとをシール部材によりシールしたベーンロータリ型真空ポンプ。
【請求項２】
シール部材を転がり軸受けの外輪の外周とエンドプレートとの間に配設した請求項１に記載のベーンロータリ型真空ポンプ。
【請求項３】
シール部材を転がり軸受けの外輪の端面とエンドプレートとの間に配設した請求項１又は２に記載のベーンロータリ型真空ポンプ。
【請求項４】
シール部材を嫌気硬化型の接着剤とした請求項１から３のうちいずれか一項に記載のベーンロータリ型真空ポンプ。
【請求項５】
シール部材を弾性体のシール材とした請求項１から３のうちいずれか一項に記載のベーンロータリ型真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空ポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のこの種のベーンロータリ型真空ポンプについて、図５と図６を用いて説明する。図５は従来のベーンロータリ型真空ポンプの断面図で、図６は図５におけるＡ−Ａ断面図である。真空ポンプは一般的に、ポンプ機構部とモータなどの駆動部（原動機）の２つで構成されており、ポンプ機構部はシリンダ１内に偏心したロータ２が収納され、このロータ２にはシリンダ１の内周面３に摺動する複数個のベーン４が半径方向にも摺動自在に設けられ、シリンダ１とロータ２とベーン４とエンドプレート５によって囲まれた送気室６の気体を、駆動部からシャフト７を介してロータ２が回転することにより吸気口から吸入し、吐出口へ吐出される。シャフト７はベアリング８により支持されている。またエンドプレート５とシャフト７にはオイルシール９が設けられ、駆動部とポンプ機構部とでオイルや気体の洩れを防止している。オイルシール９は回転するシャフト７と接触して摺動しながらシールする。
【特許文献１】実開昭５６−８３６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の構成では、オイルシールを取り付けることにより、真空ポンプの大きさが大きくなったり、コストが増大したりするという課題を有していた。
【０００４】
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、小型で安価なベーンロータリ型真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
従来の課題を解決するために、本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、ポンプ機構部と駆動モータ部とが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーン溝を有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、前記複数のベーン溝に摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンとを備え、前記ロータと前記ベーンを挟み込むように前記シリンダの前記駆動モータ部側の端面に取り付けられたエンドプレートと、前記駆動モータ部側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとにより前記ポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、前記回転軸は前記エンドプレートに取りつけられた転がり軸受けにより支持され、前記回転軸を前記駆動モータ部で駆動することにより前記ポンプ空間の容積を変化させるようにしたベーンロータリ型真空ポンプであって、前記転がり軸受けをガスシールタイプのものとし、前記転がり軸受けの内輪と前記回転軸とを圧入によりシールするとともに、前記転がり軸受けの外輪と前記エンドプレートとをシール部材によりシールしたもので、高価なシール部品を用いずにポンプ機構部と駆動モータ部とをシールし、駆動モータ部からポンプ機構部への気体の洩れを防ぐことができるとともに、真空ポンプを小型化できる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のベーンロータリ型真空ポンプは、高価なシール部品を用いずにポンプ機構部と駆動モータ部とをシールし、駆動モータ部からポンプ機構部への気体の洩れを防ぐことができ、小型で安価なベーンロータリ真空ポンプを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
第１の発明は、ポンプ機構部と駆動モータ部とが並設され、円筒状内面を有するシリンダと、該シリンダ内にその中心軸から偏心させた状態で配置され複数のベーン溝を有する円筒状のロータと、該ロータと一体的に回転する回転軸と、前記複数のベーン溝に摺動自在に挿入され自己潤滑性を有する材質よりなる板状のベーンとを備え、前記ロータと前記ベーンを挟み込むように前記シリンダの前記駆動モータ部側の端面に取り付けられたエンドプレートと、前記駆動モータ部側とは反対の端面に取りつけられたフロントプレートとにより前記ポンプ機構部を構成して、該ポンプ機構部に複数のポンプ空間を形成し、前記回転軸は前記エンドプレートに取りつけられた転がり軸受けにより支持され、前記回転軸を前記駆動モータ部で駆動することにより前記ポンプ空間の容積を変化させるようにしたベーンロータリ型真空ポンプであって、前記転がり軸受けをガスシールタイプのものとし、前記転がり軸受けの内輪と前記回転軸とを圧入によりシールするとともに、前記転がり軸受けの外輪と前記エンドプレートとをシール部材によりシールしたことにより、ポンプ機構部と駆動モータ部との間をシールすることになり、駆動モータ部からポンプ機構部への気体の洩れを防ぐことができるとともに真空ポンプを小型化できる。
【０００８】
第２の発明は、特に、第１の発明のシール部材を転がり軸受けの外輪の外周とエンドプレートとの間に配設することにより、転がり軸受けの外輪とエンドプレートとをシールして固定することが出来る。
【０００９】
第３の発明は、特に、第１の発明のシール部材を転がり軸受けの外輪の端面とエンドプレートとの間に配設することにより、転がり軸受けの端面とエンドプレートとの接触面積が少なくなり、シール部材のシール性を向上することが出来る。
【００１０】
第４の発明は、特に第１〜第３のいずれか一つの発明のシール部材を嫌気硬化型の液状接着剤とすることにより、転がり軸受けをエンドプレートに組み込む組立性を向上することが出来る。
【００１１】
第５の発明は、特に第２の発明のシール部材を弾性体のシール材とすることにより、転がり軸受けの外周とエンドプレートの隙間を大きくすることが出来、組立性が向上する。
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、この実施の形態によって本発明が限定されるものではない。
【００１３】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１におけるベーンロータリ型真空ポンプの断面図で、図２は図１におけるＢ−Ｂ断面図である。
【００１４】
図１と図２において、ベーンロータリ型真空ポンプは、ポンプ機構部１００と駆動モータ部２００と冷却回路部３００とにより構成されている。
【００１５】
ポンプ機構部１００は、筒状内壁を有するシリンダ１１１と、円筒形状のロータ１２１と、自己潤滑性材質よりなるベーン１３１と、これらを挟み込んで複数のポンプ空間１６１を形成するフロントプレート１４１とエンドプレート１５１とから構成されている。ロータ１２１はシリンダ１１１の中心軸から偏心した状態で配置され、このロータ１２１の中心軸方向に設けられた複数の溝１２２に、ベーン１３１が摺動可能な状態で嵌合されている。そしてこれらの両側には、フロントプレート１４１とエンドプレート１５１が密着配置され、ポンプ空間１６１を形成している。またロータ１２１の中心軸にはメカシャフト１２３が備えられており、このメカシャフト１２３が回転することで、ロータ１２１も一体となって回転し、それに伴ってベーン１３１が溝１２２の内部で移動する。運転中は
ベーン１３１の先端がシリンダ１１１の内壁を摺動しながら回転することにより、ポンプ空間１６１が仕切られ、吸入・圧縮・吐出を繰り返し、ポンプ機能を果たしている。
【００１６】
駆動モータ部２００は、ステータ２１１とモータロータ２２１とモータケーシング２３１とから構成されている。ステータ２１１はエンドプレート１５１とモータケーシング２３１とで両側から挟み込まれ、その内部にモータロータ２２１を備えている。モータロータ２２１の中心軸にはモータシャフト２２２が備えられており、その両端は転がり軸受け１５２と転がり軸受け２３２とにより支持されている。またモータシャフト２２２とメカシャフト１２３とは一体型の回転軸となっており、モータロータ２２１の回転が直接ロータ１２１の回転となるため、動力の伝達ロスは発生しない。
【００１７】
冷却回路部３００は、冷却ファン３１１とエアーガイド３２１とから構成されている。モータシャフト２２２のポンプ機構部とは反対側の端部に冷却ファン３１１を取り付け、その周りをエアーガイド３２１で囲い、風の分散を防いでいる。またモータケーシング２３１の軸方向端面には複数の貫通穴（図示せず）が設けられており、風回路を形成することで駆動モータ部２００の冷却を行っている。
【００１８】
図３は、本発明の実施の形態１におけるベーンロータリ型真空ポンプの要部拡大図で、図１の転がり軸受け１５２付近を拡大したものである。
【００１９】
ここで、転がり軸受け１５２はガスシールタイプのもので構成されている。また転がり軸受け１５２の内輪１５３はモータシャフト２２２に圧入されて密着している。さらに、転がり軸受け１５２の外輪１５４の外周とエンドプレート１５１との間にはシール部材１５５として嫌気硬化型の液状接着剤を介在させており、これにより外輪の外周とエンドプレートのシールが出来、外輪とエンドプレートの固定も出来る。
【００２０】
また、シール部材１５５を嫌気硬化型の液状接着剤とすることにより、転がり軸受け１５２とエンドプレート１５１との組立を容易にすることが出来る。またシール部材１５５を弾性体のシール材とすることで転がり軸受け１５２の外周とエンドプレート１５１との隙間を大きくすることが出来、組立性が向上する。
【００２１】
（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２におけるベーンロータリ型真空ポンプの要部拡大図で、図１の転がり軸受け１５２付近を拡大したものである。
【００２２】
ここで、転がり軸受け１５２はガスシールタイプのもので構成されている。また、転がり軸受け１５２の内輪１５３はモータシャフト２２２に圧入されて密着している。さらに、転がり軸受け１５２の外輪１５４のポンプ機構部１００側の端面とエンドプレート１５１の間にシール部材１５５を介在させており、これにより少ないシール部材で外輪の外周とエンドプレートとのシールが出来るとともに、実施の形態１と同様の効果を有する。
【産業上の利用可能性】
【００２３】
以上のように、本発明にかかるベーンロータリ型真空ポンプはポンプ機構部と駆動モータ部とのシールが容易に可能となるので、真空ポンプ以外のポンプ等の用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施の形態１におけるベーンロータリ型真空ポンプの断面図
【図２】図１におけるＢ−Ｂ断面図
【図３】本発明の実施の形態１におけるベーンロータリ型真空ポンプの要部拡大図
【図４】本発明の実施の形態１におけるベーンロータリ型真空ポンプの要部拡大図
【図５】従来のベーンロータリ型真空ポンプの断面図
【図６】図５におけるＡ−Ａ断面図
【符号の説明】
【００２５】
１  シリンダ
２  ロータ
３  内周面
４  ベーン
５  エンドプレート
６  送気室
７  シャフト
８  ベアリング
９  オイルシール
１００  ポンプ機構部
１１１  シリンダ
１２１  ロータ
１２２  溝
１２３  メカシャフト
１３１  ベーン
１４１  フロントプレート
１５１  エンドプレート
１５２  転がり軸受け
１６１  ポンプ空間
２００  駆動モータ部
２１１  ステータ
２２１  モータロータ
２２２  モータシャフト
２３１  モータケーシング
２３２  転がり軸受け
３００  冷却回路部
３１１  冷却ファン
３２１  エアーガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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