(57)【要約】【課題】  液体に変位を伝達する場合でも、絶縁劣化を抑止することが可能な積層型圧電素子を提供すること。【解決手段】  積層型圧電素子ＰＥは、圧電体層３，５を介在させて個別電極２とコモン電極４，１９とが交互に積層された積層体１を備える。積層体１は、個別電極２及びコモン電極４，１９のうち積層体１における積層方向に見て最端に位置するコモン電極１９に隣接し且つ積層体１における積層方向での一方の端面を構成する圧電体層９を有する。圧電体層９に隣接するコモン電極１９と積層体１における積層方向で隣り合う個別電極２の全体が、圧電体層９側から積層体１における積層方向に見て、圧電体層９に隣接するコモン電極１９により隠されている。【選択図】  図１
2005317770.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電体層を介在させて第１の内部電極と第２の内部電極とが交互に積層された積層体を備えた積層型圧電素子であって、
前記積層体は、前記第１の内部電極及び前記第２の内部電極のうち前記積層体における積層方向に見て最端に位置する第２の内部電極に隣接し且つ前記積層体における積層方向での一方の端面を構成する最外圧電体層を有しており、
前記最外圧電体層に隣接する前記第２の内部電極と前記積層体における積層方向で隣り合う第１の内部電極の全体が、前記最外圧電体層側から前記積層体における積層方向に見て、前記最外圧電体層に隣接する前記第２の内部電極により隠されていることを特徴とする積層型圧電素子。
【請求項２】
前記最外圧電体層における前記第２の内部電極に隣接する面全体が、当該第２の内部電極により覆われていることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電素子。
【請求項３】
前記第１の内部電極は、マトリックス状に配列された複数の個別電極からなることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧電素子。
【請求項４】
圧電体層を介在させて第１の内部電極と第２の内部電極とが交互に積層された積層体を備えた積層型圧電素子であって、
前記積層体は、前記第１の内部電極及び前記第２の内部電極のうち前記積層体における積層方向に見て最端に位置する第２の内部電極に隣接し且つ前記積層体における積層方向での一方の端面を構成する最外圧電体層を有しており、
前記第１の内部電極と前記第２の内部電極との間に電界を生じさせた際に、前記積層体における積層方向での前記一方の端面には、前記最外圧電体層に隣接する前記第２の内部電極と反対の電荷が生じないことを特徴とする積層型圧電素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型圧電素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の積層型圧電素子として、圧電体層を介在させて第１の内部電極と第２の内部電極とが交互に積層された積層体を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−２６１０５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来の積層型圧電素子には、次のような問題があった。すなわち、積層型圧電素子の変位を液体に伝達させるために、積層体の端面、特に積層方向での一方の端面を動作面として液体に直接触れさせた場合、素子の使用中に液体が動作面（積層体における積層方向での一方の端面）から積層体内に浸入し、素子が絶縁劣化してしまう。
【０００４】
本発明の目的は、液体に変位を伝達する場合でも、絶縁劣化を抑止することが可能な積層型圧電素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者等の調査研究の結果、液体が積層体内に浸入する現象は以下の事象に因ることが判明した。
【０００６】
特許文献１に開示された積層型圧電素子では、積層体が、第１の内部電極及び第２の内部電極のうち積層体における積層方向に見て最端に位置する第２の内部電極に隣接し且つ動作面を構成する最外圧電体層を有している。最外圧電体層に隣接する前記第２の内部電極と隣り合う第１の内部電極は、最外圧電体層側から積層体における積層方向に見ると、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極に重なって隠れている第１の部分と、当該第２の内部電極に重なることなく隠れていない第２の部分とに分かれる。
【０００７】
第１の内部電極と第２の内部電極との間に電界を生じさせた場合、動作面における第２の内部電極に対応する領域には第２の内部電極と同じ電荷が生じ、動作面における第１の内部電極の上記第２の部分に対応する領域には第１の内部電極と同じ電荷、すなわち第２の内部電極と反対の電荷が生じる。このため、動作面における第２の内部電極に対応する領域近傍に位置する液体は、第２の内部電極と同じ電荷に帯電する。また、動作面における第１の内部電極の上記第２の部分に対応する領域近傍に位置する液体は、第２の内部電極と反対の電荷に帯電する。第２の内部電極と反対の電荷に帯電した液体は、第１の内部電極と第２の内部電極との間に生じる電界に引き寄せられ、積層体内に浸入することとなる。このとき、圧電体層（最外圧電体層も含む）がセラミックスからなる場合、第２の内部電極と反対の電荷に帯電した液体は、最外圧電体層の粒界を通って積層体内に浸入していくものと考えられる。
【０００８】
かかる事象を踏まえ、本発明に係る積層型圧電素子は、圧電体層を介在させて第１の内部電極と第２の内部電極とが交互に積層された積層体を備えた積層型圧電素子であって、積層体は、第１の内部電極及び第２の内部電極のうち積層体における積層方向に見て最端に位置する第２の内部電極に隣接し且つ積層体における積層方向での一方の端面を構成する最外圧電体層を有しており、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極と積層体における積層方向で隣り合う第１の内部電極の全体が、最外圧電体層側から積層体における積層方向に見て、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極により隠されていることを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る積層型圧電素子では、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極と前記積層体における積層方向で隣り合う第１の内部電極の全体が、最外圧電体層側から積層体における積層方向に見て、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極により隠されているので、最外圧電体層により構成される上記一方の端面には、第１の内部電極と同じ電荷、すなわち第２の内部電極と反対の電荷が生じることはない。このため、積層体の上記一方の端面を動作面として液体に直接触れさせたとしても、第１の内部電極と第２の内部電極との間に電界を生じさせた場合に、一方の端面近傍に位置する液体は、第２の内部電極と同じ電荷に帯電するものの、第２の内部電極と反対の電荷には帯電しない。したがって、一方の端面近傍に位置する液体は、第１の内部電極と第２の内部電極との間に生じる電界に引き寄せられず、積層体内に浸入することはない。この結果、絶縁劣化を抑止することができる。
【００１０】
また、最外圧電体層における第２の内部電極に隣接する面全体が、当該第２の内部電極により覆われていることが好ましい。この場合、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極と隣り合う第１の内部電極全体を、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極により最外圧電体層側から積層体における積層方向に見て確実に隠すことができる。
【００１１】
また、第１の内部電極は、マトリックス状に配列された複数の個別電極からなることが好ましい。この場合、個別電極毎に独立して電圧を印加することができるため、１つの素子内に複数の変位部位が含まれることとなる。
【００１２】
本発明に係る積層型圧電素子は、圧電体層を介在させて第１の内部電極と第２の内部電極とが交互に積層された積層体を備えた積層型圧電素子であって、積層体は、第１の内部電極及び第２の内部電極のうち積層体における積層方向に見て最端に位置する第２の内部電極に隣接し且つ積層体における積層方向での一方の端面を構成する最外圧電体層を有しており、第１の内部電極と第２の内部電極との間に電界を生じさせた際に、積層体における積層方向での一方の端面には、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極と反対の電荷が生じないことを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る積層型圧電素子では、第１の内部電極と第２の内部電極との間に電界を生じさせた際に、積層体における積層方向での一方の端面には、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極と反対の電荷が生じないので、上記一方の端面を動作面として液体に直接触れさせたとしても、一方の端面近傍に位置する液体は、第２の内部電極と反対の電荷には帯電しない。したがって、一方の端面近傍に位置する液体は、第１の内部電極と第２の内部電極との間に生じる電界に引き寄せられず、積層体内に浸入することはない。この結果、絶縁劣化を抑止することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、液体に変位を伝達する場合でも、絶縁劣化を抑止することが可能な積層型圧電素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る積層型圧電素子の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。また、説明中、「上」及び「下」なる語を使用することがあるが、これは図１あるいは図７の上下方向に対応したものである。
【００１６】
まず、図１〜図７に基づいて、本実施形態に係る積層型圧電素子の構成を説明する。図１は、本実施形態に係る積層型圧電素子を示す分解斜視図である。図２は、図１に示された積層型圧電素子における、個別電極が形成された圧電体層を示す模式図である。図３及び図４は、図１に示された積層型圧電素子における、コモン電極が形成された圧電体層を示す模式図である。図５は、図１に示された積層型圧電素子における、外部電極が形成された圧電体層を示す模式図である。図６は、図１に示された積層型圧電素子における、個別電極及びコモン電極を示す模式図である。図７は、本実施形態に係る積層型圧電素子の断面構成を示す模式図である。
【００１７】
積層型圧電素子ＰＥは、直方体形状の積層体１を備えている。積層体１は、図１に示されるように、圧電体層３と圧電体層５とを４枚ずつ交互に積層し、さらに、圧電体層７と圧電体層９（最外圧電体層）とで上下から挟み込むようにして構成されている。圧電体層３には、個別電極２（第１の内部電極）が形成されている。圧電体層５には、コモン電極４（第２の内部電極）が形成されている。圧電体層７には、外部電極１７，１８が形成されている。圧電体層９には、コモン電極１９（第２の内部電極）が形成されている。圧電体層９は、積層体１における積層方向（以下、「積層体１における積層方向」を単に「積層方向」と称する）での一方の端面を構成する。圧電体層７は、積層方向での他方の端面を構成する。
【００１８】
各圧電体層３，５，７，９は、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とし且つ粉体密度が８０００ｋｇ／ｍ３の圧電性セラミック材料からなり、「１０ｍｍ×３０ｍｍ，厚さ３０μｍ」の長方形薄板状に形成されている。個別電極２、コモン電極４，１９、及び外部電極１７，１８は、銀及びパラジウムを主成分とし、スクリーン印刷によりパターン形成されたものである。これは、以下に述べる各電極についても同様である。
【００１９】
最上層の圧電体層７から数えて３層目、５層目、７層目、９層目の各圧電体層３の上面には、図２に示されるように、多数の個別電極２がマトリックス状に配置されている。各個別電極２は、互いに所定の間隔を有して配置されることで、電気的な独立が達成され、且つ互いの振動による影響が防止されている。ここで、圧電体層３の長手方向を行方向、当該長手方向と直交する方向を列方向とすると、個別電極２は、例えば２行７５列というように配置されている（明瞭化のため図面では２行２０列とする）。
【００２０】
このように多数の個別電極２をマトリックス状に配置することで、多数の個別電極２を圧電体層３に効率の良く配置することができる。この結果、圧電体層３において振動に寄与する活性部（圧電体層において圧電効果により歪が生じる部分）の面積を維持しつつ、積層型圧電素子ＰＥの小型化或いは個別電極２の高集積化を図ることができる。
【００２１】
上述の個別電極２は、長方形状に形成され、その長手方向が圧電体層３の長手方向と直交するように配置されている。各個別電極２は、その外方側端部の直下において圧電体層３に形成されたスルーホール１３内の導電部材に接続されている（最も下側（９層目）の圧電体層３を除く）。
【００２２】
圧電体層３の上面における長手方向の縁部には、上下に位置する圧電体層５のコモン電極４，１９を電気的に接続するための中間電極６が形成されている。この中間電極６は、その直下において圧電体層３に形成されたスルーホール８内の導電部材に接続されている。
【００２３】
最上層の圧電体層７から数えて２層目、４層目、６層目、８層目の圧電体層５の上面には、図３に示されるように、長方形状のコモン電極４が形成されている。このコモン電極４は、圧電体層３，５の厚さ方向、すなわち積層方向から見て、圧電体層３における各個別電極２の外方側端部以外の部分と重なるように、ベタ状に形成されている。コモン電極４は、積層方向において圧電体層３の中間電極６に対向するよう圧電体層５に形成されたスルーホール８内の導電部材に接続されている。
【００２４】
各圧電体層５の上面には、積層方向において圧電体層３の各個別電極２の外方側端部に対向するように中間電極１６が形成されている。各中間電極１６は、その直下において圧電体層５に形成されたスルーホール１３内の導電部材に接続されている。
【００２５】
最上層の圧電体層７から数えて１０層目（最下層）の圧電体層９の上面には、図４に示されるように、長方形状のコモン電極１９が形成されている。これにより、コモン電極１９は、各電極２，４，１９のうち積層方向に見て最端に位置し、圧電体層９に隣接することとなる。コモン電極１９は、コモン電極４と同じく、積層方向において圧電体層３の中間電極６に対向するよう圧電体層５に形成されたスルーホール８内の導電部材に接続されている。
【００２６】
コモン電極１９は、積層方向から見て圧電体層９と同一形状に形成されている。すなわち、圧電体層９におけるコモン電極１９に隣接する面（コモン電極１９が形成される面）全体が当該コモン電極１９により覆われるように、ベタ状に形成されている。これにより、圧電体層９側から積層方向に見た場合、図６に示されるように、コモン電極１９と積層方向に隣り合う複数の個別電極２の全体が、コモン電極１９により隠されることとなる。
【００２７】
最上層の圧電体層７の上面には、図５に示されるように、積層方向において圧電体層５の各中間電極１６に対向するよう外部電極１７が形成されている。また、圧電体層７の上面には、積層方向において圧電体層３の中間電極６に対向するよう外部電極１８が形成されている。各外部電極１７は、その直下において圧電体層７に形成されたスルーホール１３内の導電部材に接続されている。外部電極１８は、その直下において圧電体層７に形成されたスルーホール８内の導電部材に接続されている。
【００２８】
最上層の各外部電極１７，１８は、駆動電源に電気的に接続するためのリード線を取り付けるべく銀の焼付電極が施され、積層型圧電素子ＰＥの端子電極として機能する。
【００２９】
以上のような電極パターンが形成された圧電体層３，５，７，９を積層することで、最上層の各外部電極１７に対しては、厚さ方向において４つの個別電極２が中間電極１６を介在させて整列し、整列した各電極２，１６，１７は、スルーホール１３内の導電部材により電気的に接続されることになる。より詳細には、図７に示されるように、厚さ方向において互いに隣り合う個別電極２，２は、中間電極１６を介在させてスルーホール１３内の導電部材１４により電気的に接続されることになる。
【００３０】
一方、最上層の外部電極１８に対しては、積層方向において４つのコモン電極４と最下層のコモン電極１９とが中間電極６を介在させて整列し、整列した各電極４，６，１８，１９は、スルーホール８内の導電部材１４により電気的に接続されることになる。
【００３１】
このような積層型圧電素子ＰＥにおける電気的接続により、所定の外部電極１７と外部電極１８との間に電圧（例えば、外部電極１７を正の電位、外部電極１８を負の電位とする。）を印加すると、所定の外部電極１７下に整列する個別電極２とコモン電極４，１９との間に電圧が印加されることとなる。これにより、圧電体層３，５においては、図３に示されるように、個別電極２の外方側端部以外の部分とコモン電極４，１９とで挟まれる部分に電界が生じ、当該部分が活性部２１として変位することになる。したがって、電圧を印加する外部電極１７を選択することで、マトリックス状に配置された個別電極２に対応する活性部２１のうち、選択した外部電極１７下に整列する活性部２１を厚さ方向に変位させることができる。個別電極２の外方側端部以外の部分とコモン電極４，１９との間に電界を生じさせた際、コモン電極１９と積層方向に隣り合う複数の個別電極２の全体が圧電体層９側から積層方向に見てコモン電極１９により隠されているので、圧電体層９の下面（積層体１の一方の端面）には、個別電極２と同じ電荷、すなわちコモン電極１９と反対の電荷が生じることはない。
【００３２】
次に、上述した積層型圧電素子ＰＥの作製手順について説明する。まず、チタン酸ジルコン酸鉛等のセラミックスを主成分とする圧電材料に有機バインダや有機溶剤等を混合して基体ペーストを作製する。次いで、作製した基体ペーストを用いて、各圧電体層３，５，７，９となる素材シート（グリーンシート）を成形する。また、所定比率の銀（Ａｇ）とパラジウム（Ｐｄ）とからなる金属材料（例えば、Ａｇ：Ｐｄ＝７：３）に有機バインダや有機溶剤等を混合することにより、電極パターン形成用の導電ペーストを作製する。
【００３３】
続いて、各圧電体層３，５，７，９となる素材シートの所定の位置にレーザ光を照射してスルーホール８，１３を形成する。このとき用いるレーザは、ＹＡＧの３次高波長レーザである。スルーホール８，１３の孔径は、４０〜５０μｍとする。次に、スルーホール８，１３内に導電部材を形成する。導電部材の形成は、上述した導電ペーストを用いた充填スクリーン印刷にて行う。
【００３４】
次に、圧電体層３となる素材シートに対して、個別電極２に対応する電極パターンを形成する。圧電体層５となる素材シートに対して、コモン電極４及び中間電極１６に対応する電極パターンを形成する。圧電体層９となる素材シートに対して、コモン電極１９に対応する電極パターンを形成する。圧電体層７となる素材シートに対して、外部電極１７，１８に対応する電極パターンを形成する。各電極パターンの形成は、上述した導電ペーストを用いたスクリーン印刷にて行う。
【００３５】
次に、各電極パターンが形成された素材シートを上述した順序となるように積層する。その後、積層された１０枚の素材シートを、６０℃の熱を加えながら、１００ＭＰａの圧力で積層方向にプレスして、積層体グリーンを製作する。作製した積層体グリーンを所定の大きさに切断する。切断した積層体グリーンを４００℃前後で脱脂する。その後、密閉されたさや（匣鉢）内において、１１００℃程度で２時間焼成して、１０ｍｍ×３０ｍｍの大きさの焼結体を得る。
【００３６】
次に、圧電体層７となる焼結シート上の外部電極１７，１８に対して、銀の焼付電極を施し、リード接続用の端子電極を形成する。その後、温度１２０℃で３分間に渡って、電界強度３ｋＶ／ｍｍになるように分極処理を行い、積層型圧電素子ＰＥを得る。なお、端子電極の材料として、上述した銀に替えて金や銅を用いてもよい。また、端子電極の形成方法としては、焼き付けに替えてスパッタリング法や無電解めっき法等を用いることができる。
【００３７】
以上のように、本実施形態によれば、個別電極２とコモン電極４，１９との間に電界を生じさせた際に、圧電体層９の下面、すなわち外部電極１７，１８が形成された端面に積層方向で対向する端面（積層体１の一方の端面）には、コモン電極１９と反対の電荷が生じない。このため、圧電体層９の下面を動作面として液体に直接触れさせたとしても、圧電体層９の下面近傍に位置する液体は、コモン電極１９と反対の電荷には帯電しない。したがって、圧電体層９の下面近傍に位置する液体は、個別電極２とコモン電極１９との間に生じる電界に引き寄せられず、積層体１内に浸入することはない。この結果、積層型圧電素子ＰＥの絶縁劣化を抑止することができる。
【００３８】
ところで、液体が積層体１内に浸入するのを防ぐために、圧電体層９の下面に保護層を設ける構成が考えられる。しかしながら、保護層を設けた場合、当該保護層が活性部２１の変位を阻害する要因となり、変位が少なくなってしまう。保護層による変位の減少分を補う手法として、素子を大きくする、すなわち圧電体層の層数を増やすことが挙げられるが、素子が大型化すると共に、コストが嵩むこととなる。しかしながら、本実施形態に係る積層型圧電素子ＰＥでは、上述したように、液体が積層体１内に浸入しないので、保護層を設ける必要はなく、素子の大型化や高コスト化といった問題は招かない。
【００３９】
また、本実施形態においては、圧電体層９の下面が動作面として液体に接するので、コモン電極１９は液体に直接触れない。これにより、圧電体層９が保護層としても機能し、コモン電極１９を液体から保護することができる。まだ、圧電体層９は他の圧電体層３，５と同じ圧電材料からなるため、活性部２１の変位を阻害することがない。
【００４０】
また、本実施形態においては、圧電体層９におけるコモン電極１９に隣接する面全体が、当該コモン電極１９により覆われている。これにより、コモン電極１９と積層方向に隣り合う複数の個別電極２の全体を、コモン電極１９により圧電体層９側から積層方向に見て確実に隠すことができる。
【００４１】
また、本実施形態において、個別電極２はマトリックス状に複数配列されている。これにより、個別電極２毎に独立して電圧を印加することができるため、１つの素子内に複数の変位部位、すなわち活性部が含まれることとなる。
【００４２】
ここで、本実施形態によって、絶縁劣化を抑止できることを、実施例１と比較例１とによって、具体的に示す。実施例１と比較例１とでは、積層型圧電素子の動作面（端子電極が形成された端面に積層方向で対向する端面）側を上に向けて液体を滴下し、全ての個別電極に同時に直流電圧を印加して絶縁抵抗値が低下するまでの時間を測定した。滴下した液体は、純水を主成分とし、グリセリンとノンイオン系の界面活性剤を混合したものとした。印加した直流電圧は、圧電層厚みあたり１ｋＶ／ｍｍとした。各例とも、シート積層体のサンプル数を３０個とした。
【００４３】
実施例１では、上述した実施形態に係る積層型圧電素子ＰＥを用いた。比較例１では、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極と積層方向で隣り合う第１の内部電極の全体が、最外圧電体層側から積層方向に見て、最外圧電体層に隣接する第２の内部電極により隠されていない積層型圧電素子を用いた。比較例１に係る積層型圧電素子は、第１の内部電極の全体が第２の内部電極により隠されていない点を除いて、実施例１に係る積層型圧電素子と同じ構成とした。
【００４４】
実施例１では、直流電圧の印加開始から５００時間経過した時点で、絶縁抵抗値が低下するサンプルは存在しなかった。なお、電圧印加は５００時間までとした。これに対して、比較例１では、直流電圧の印加開始から５〜３０分経過した時点で、全てのサンプルの絶縁抵抗値が低下した。
【００４５】
以上のことから、本実施形態の有効性が確認された。
【００４６】
ところで、実施例１において、圧電層厚みあたり１ｋＶ／ｍｍの直流電圧を印加した状態で、動作面に滴下した液体の電荷を測定したところ、電圧の印加前後で電位の変化は見られなかった。一方、比較例１において、同じく圧電層厚みあたり１ｋＶ／ｍｍの直流電圧を印加した状態で、動作面に滴下した液体の電荷を測定したところ、液体が正の電荷に帯電していることが確認できた。
【００４７】
したがって、比較例１における絶縁抵抗値の低下の原因は、正の電荷に帯電した液体が、第１の内部電極と第２の内部電極との間に生じる電界に引き寄せられ、最外圧電体層における粒界を通って素子内に浸入する事象に因ると考えられる。具体的には、以下の事象に因ると考えられる。素子内に浸入した液体が第２の内部電極に接すると、液体に含まれる純水（Ｈ２Ｏ）が水素（Ｈ２）と酸素（１／２Ｏ２）とに電気分解される。発生した水素が第２の内部電極に含まれるパラジウムに触れるとパラジウムが膨張するために、第２の内部電極と最外圧電体層とが剥離する。第２の内部電極と最外圧電体層とが剥離すると、第２の内部電極と最外圧電体層との間に液体が更に浸入し、絶縁不良や、第２の内部電極と第１の内部電極との短絡を招く。
【００４８】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本実施形態では、圧電体層９におけるコモン電極１９に隣接する面全体が当該コモン電極１９により覆われているが、これに限られない。コモン電極１９と積層方向に隣り合う複数の個別電極２の全体が圧電体層９側から積層方向に見てコモン電極１９により隠されているのであれば、コモン電極１９の周縁が圧電体層９の周縁よりも内部側に位置する、すなわち圧電体層９の周縁とコモン電極１９の周縁との間に間隔があってもよい。
【００４９】
しかしながら、コモン電極１９の周縁が圧電体層９の周縁よりも内部側に位置する場合、個別電極２からの電界が圧電体層９における当該圧電体層９の周縁とコモン電極１９の周縁との間に位置する部分を通って動作面に達し、圧電体層９の下面に個別電極２と同じ電荷（コモン電極１９と反対の電荷）が生じてしまう懼れがある。このため、圧電体層９におけるコモン電極１９に隣接する面全体が当該コモン電極１９により完全に覆われているのが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本実施形態に係る積層型圧電素子を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示された積層型圧電素子における、個別電極が形成された圧電体層を示す模式図である。
【図３】図１に示された積層型圧電素子における、コモン電極が形成された圧電体層を示す模式図である。
【図４】図１に示された積層型圧電素子における、コモン電極が形成された圧電体層を示す模式図である。
【図５】図１に示された積層型圧電素子における、外部電極が形成された圧電体層を示す模式図である。
【図６】図１に示された積層型圧電素子における、個別電極及びコモン電極を示す模式図である。
【図７】本実施形態に係る積層型圧電素子の断面構成を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５１】
１…積層体、２…個別電極、３，５，７，９…圧電体層、４，１９…コモン電極、６，１６…中間電極、８，１３…スルーホール、１７，１８…外部電極、２１…活性部、ＰＥ…積層型圧電素子。
【図１】
2005317770.tif 000003
【図２】
2005317770.tif 000004
【図３】
2005317770.tif 000005
【図４】
2005317770.tif 000006
【図５】
2005317770.tif 000007
【図６】
2005317770.tif 000008
【図７】
2005317770.tif 000009