(57)【要約】【課題】  余分なスペースが発生しないよう生産装置の形状に合わせて局所空調エリアを構築し、レイアウト変更に柔軟に対応できることのほか、生産装置のメンテナンス時のみ局所空調エリアを構築する局所空調システムを提供する。【解決手段】  天井に配置した吊ボルトと、その吊りボルトに吊ったフレームと、このフレームを利用して設置したファンフィルタユニット、温調ユニット、または塞ぎ板と、上記フレームの外周に取り付けたシートとを備えてなり、上記フレームを利用して設置した上記ファンフィルタユニット、温調ユニット、または塞ぎ板を上面とし、上記フレームの外周に取り付けた上記シートを側面とする清浄度および／または温湿度を制御する局所空調エリアを、その位置、大きさ、範囲を自由に変更できるように形成したことを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に配置した吊ボルトと、その吊りボルトに吊ったフレームと、このフレームを利用して設置したファンフィルタユニット、温調ユニット、または塞ぎ板と、上記フレームの外周に取り付けたシートとを備えてなり、
上記フレームを利用して設置した上記ファンフィルタユニット、温調ユニット、または塞ぎ板を上面とし、上記フレームの外周に取り付けた上記シートを側面とする清浄度および／または温湿度を制御する局所空調エリアを形成したことを特徴とする局所空調システム。
【請求項２】
上記シートは、ロールカーテンであることを特徴とする請求項１に記載の局所空調システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体や液晶等のクリーンルームが必要な施設における局所空調システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、建屋内の天井側に敷設したシステム天井と床側に敷設したフリーアクセスフロア（以下、ＦＡＦと言う）との中層空間にクリーンルームを構成し、システム天井の天井裏空間をサプライプレナム、ＦＡＦの床下空間をリターンプレナム、およびクリーンルームの測方を迂回してリターンプレナムとサプライプレナムの間を連通する空間をリターンシャフトとし、システム天井に配置したファンフィルタユニット（以下、ＦＦＵと言う）を通じて、クリーンルームに清浄空気をダウンロードするように構築したクリーンルームが知られている。
【０００３】
また、クリーンルームには生産設備のプロセス工程に合わせて各種の製造設備が配置されており、例えば半導体製造プロセスにおいて露光装置などの精密機器を配置したエリアでは、高い空気清浄度に加えて温度、湿度の面でも高精度な恒温、恒湿性が要求される。そこで、従来のクリーンルーム設備では、クリーンルーム全域を空調する空調装置とは別に、高精度な恒温、恒湿性が要求されるエリアを垂壁などで仕切り、冷却コイルユニットを用いて温度制御をしたクリーンエアを供給する局所空調方式が採用されている。
【０００４】
また、電子デバイス製造装置の組立工場や電子デバイス材料の生産工場のように、高い空気清浄度が必要なエリアが限られている工場の場合は、清浄度の低いクリーンルームの中に、自立したフレームを組んで廻りをシート等で囲い、その上面または側面にＦＦＵを設置したクリーンブースを設置する方法が知られている。
【特許文献１】特開平１０−１８８４８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、半導体製造プロセスにおいて、ウェハを密閉されたボックスに入れてハンドリングすることで、従来高い清浄度が要求されたエリアを低い清浄度のクリーンルームで対応する方法が指向されている。
【０００６】
しかし、露光装置などの精密機器を配置したエリアは、高精度な恒温、恒湿性が要求される。
また、クリーンルーム全体を低い清浄度に設定すると、換気回数が減り、生産装置からの発熱が制御できなくなるため、あまり低い清浄度に設定できないという問題があった。
【０００７】
発熱量が多いファーネス等の装置を、従来の技術のように垂壁で仕切り、局所空調方式を採用する方法考えられるが、操作スペース等を考慮すると、設置面積が余分に必要になることのほか、生産ラインのレイアウト変更に対して柔軟に対応できないという問題がある。
【０００８】
また、自立型のクリーンブースを設置する方法も考えられるが、自立させる構造上その形状は制限され、生産装置の形状に合わせてクリーン化する範囲を自在に設定することは出来ない。他方、クリーンブースを天井から吊る方法もあるが、あらかじめ天井に吊るための治具を設置しておく必要があり、レイアウト変更に自在に対応できない。
【０００９】
また、生産装置自体は、密閉されたチャンバー内で生産されるか、別個にクリーンユニットを持っているため、通常は低い清浄度のクリーンルームでも問題ないが、メンテナンス時にチャンバー等を開ける場合があり、ダストがチャンバー内に入ってしまうという問題があった。
【００１０】
本発明は、かかる事情に鑑みて成されたもので、余分なスペースが発生しないよう、生産装置の形状に合わせて局所空調エリアを構築し、レイアウト変更に柔軟に対応できることのほか、生産装置のメンテナンス時のみ局所空調エリアを構築することができる局所空調システムを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の本発明は、天井に配置した吊ボルトと、その吊りボルトに吊ったフレームと、このフレームを利用して設置したＦＦＵ、温調ユニット、または塞ぎ板と、上記フレームの外周に取り付けたシートとを備えてなり、上記フレームを利用して設置した上記ＦＦＵ、温調ユニット、または塞ぎ板を上面とし、上記フレームの外周に取り付けた上記シートを側面とする清浄度および／または温湿度を制御する局所空調エリアを、その位置、大きさ、範囲を自由に変更できるように形成したことを特徴とするものである。ここで、上記吊りボルトは、上記天井に定ピッチ間隔で配置することが望ましい。
【００１２】
上記構成により、クリーンルーム全体から取り込んだエアをＦＦＵまたは温調ユニットで空調し、その空調されたエアが、囲われた局所空調エリア内の上方より下方に流れ、フレーム外周に取り付けたシートと床面の間よりクリーンルーム全体に拡散する。
【００１３】
また、請求項２に記載の本発明は、請求項１のシートがロールカーテンであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１または２に記載の本発明によれば、ユニット化されたフレームを組み合わせて天井に設置した吊りボルトより吊ることにより、生産装置の形状に合わせた局所空調エリアを構築できる。
また、天井全面に、好ましくは定ピッチで設置してある吊りボルトを利用することにより、レイアウト変更に柔軟に対応することが出来る。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、外周に取り付けるシートをロールカーテンにすることで、メンテナンス時等、必要な時にのみシートを引き出して局所空調エリアを構築することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図１〜図５に基づいて、本発明の一実施形態について説明する。
これらの図において、この局所空調システムにおいては、まず、天井全面に定ピッチで吊ボルトを設置しておく。次に、局所空調の必要な生産装置の上部に生産装置の形状に合わせて、そのピッチでユニット化したフレームをマス目状に組み合わせて吊りボルトより吊る。そして、マス目状に組み合わせたフレームのそれぞれのマスに、必要に応じてＦＦＵ、温調ユニット、または塞ぎ板を設置する。さらに、フレームの外周にシートを取り付け、上面と側面が囲われた局所空調エリアを構築する。
【００１７】
すなわち、天井に５００ｍｍから１５００ｍｍ程度の一定のピッチで天井全面に吊りボルトを設置する。吊りボルトは、天井から２０ｍｍ〜５０ｍｍ程度出しておき、フレームを吊るところはターンバックル等を利用して吊りボルトを延長する。
【００１８】
天井下３００ｍｍ〜５００ｍｍ程度の高さに生産装置の形状に合わせてフレームを設置する。このフレームは、図３および図４に示すように、クロスフレームユニットに、一定の長さのＴバーフレームを差込んで組立てられており、このフレームを吊り上記ボルトで吊る。
【００１９】
そして、マス目状に組み合わせたフレームのそれぞれのマスに、生産装置の要求に合わせてＦＦＵ、温調ユニット、または塞ぎ板を、上記ＴバーフレームのTバー部分の上に設置する。
なお、ＦＦＵ、温調ユニットへの配線、配管は、床とフレームの間にラックを設置して施工する。
【００２０】
他方、フレームの外周には、シートを生産装置の形状に合わせて取り付ける。
または、シートに変えてロールカーテンユニットをクロスフレームユニットに差し込んで取り付ける
【００２１】
。
生産装置の形状に合わせてシートを引き出し、隣接するシートをカーテン接続フレームで接続する。
【００２２】
以上の構成により、クリーンルーム全体を低い清浄度に設定し、高い清浄度または高い恒温・恒湿性が必要なところのみ局所空調をすることで、イニシャルコストのみならずランニングコストの削減に繋がり、省エネルギーになるという効果がある。
【００２３】
また、生産装置のレイアウト変更に伴い局所空調が必要な生産装置が移動しても、柔軟に対応することができる。
【００２４】
さらに、余分なスペースが発生しないよう生産装置の形状に合わせて局所空調エリアを自在に構築でき、生産装置のメンテナンス時等、必要な時のみ局所空調エリアを構築することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施形態の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】図１の斜視図である。
【図３】図１のフレームとロールカーテンユニットの取付状態を示す平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線視断面図である。
【図５】図１の具体的使用状態を示す縦断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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