(57)【要約】【課題】  加熱部の温度を調節して光ファイバのブラッググレーティングの有効屈折率を変えることにより、光信号のリアルタイム遅延を効果的に制御する。【解決手段】  光学型リアルタイム遅延装置は、コアと前記コアを囲むクラッドとから構成され、コアとの隔離距離が長手方向に沿って次第に変化するテーパ部が、前記クラッドの外周面に周方向に沿って形成された光ファイバと、前記テーパ部の形成区間と対応して前記コアの内部に等間隔で形成されるブラッググレーティングと、前記テーパ部を囲み、前記光ファイバの長手方向に沿って前記ブラッググレーティングとの隔離距離が次第に変化する加熱部と、を含む。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
コアと前記コアを囲むクラッドとから構成され、前記クラッドの外面と前記コアとの隔離距離が長手方向に沿って次第に変化するテーパ部が、前記クラッドの外周面に周方向に沿って形成された光ファイバと、
前記テーパ部の形成区間と対応する前記コアの内部区間に等間隔で形成されたブラッググレーティングと、
前記テーパ部を囲み、前記光ファイバの長手方向に沿って前記ブラッググレーティングとの隔離距離が次第に変化する加熱部と、
を含むことを特徴とする光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項２】
前記テーパ部が、前記コアのブラッググレーティングの形成部分を中心に対称であることを特徴とする請求項１に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項３】
前記テーパ部が、前記光ファイバの長手方向に沿って前記ブラッググレーティングとの隔離距離の増加比率が一定であることを特徴とする請求項１に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項４】
前記テーパ部が、前記光ファイバの長手方向に沿って前記ブラッググレーティングとの隔離距離の増加比率が変化することを特徴とする請求項１に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項５】
前記テーパ部と前記ブラッググレーティングとの隔離距離の増加比率が、前記光ファイバの長手方向に沿って増加することを特徴とする請求項４に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項６】
前記テーパ部と前記ブラッググレーティングとの隔離距離の増加比率が、前記光ファイバの長手方向に沿って所定地点までは一定であり、前記所定地点を通過すると増加することを特徴とする請求項４に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項７】
光ファイバ保護ジャケットが、前記テーパ部を除いたクラッドの表面に形成されることを特徴とする請求項１に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項８】
前記テーパ部と前記ブラッググレーティングとの隔離距離が、前記光ファイバを通過する光信号の進行方向に沿って次第に増加することを特徴をする請求項１に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項９】
前記加熱部が、印加される電圧の大きさにより発熱量が調節される金属電極であることを特徴とする請求項１に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項１０】
前記加熱部が、前記テーパ部の外周面の形状プロファイルに応じて形成されたことを特徴とする請求項１に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項１１】
前記コアが、熱光学特性を有する光学物質で形成されたことを特徴とする請求項１に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項１２】
前記コアが、シリカで形成されたことを特徴とする請求項９に記載の光学型リアルタイム遅延装置。
【請求項１３】
コアの一部に等間隔でブラッググレーティングが形成された光ファイバのクラッドの外周表面を光ファイバ保護ジャケットでコーティングする段階と、
前記ブラッググレーティングの形成区間の前記クラッドを露出させるように前記光ファイバ保護ジャケットをパターニングする段階と、
前記露出したクラッドが全て浸るようにエッチング液に前記光ファイバをディッピングする段階と、
前記光ファイバをエッチング液から予め設定された速度プロファイルにより取り出すことにより、前記露出した光ファイバのクラッドと前記ブラッググレーティングとの隔離距離が前記光ファイバの長手方向に沿って次第に変化するようにエッチングしてテーパ部を形成する段階と、
前記テーパ部の外周表面に加熱部を形成する段階と、
を含むことを特徴とする光学型リアルタイム遅延装置の製造方法。
【請求項１４】
前記エッチング液の表面に対して垂直方向に前記光ファイバをディッピングすることを特徴とする請求項１３に記載の光学型リアルタイム遅延装置の製造方法。
【請求項１５】
前記光ファイバを前記エッチング液から所定速度で取り出すことを特徴とする請求項１３に記載の光学型リアルタイム遅延装置の製造方法。
【請求項１６】
前記光ファイバを前記エッチング液から取り出す速度を変化させることを特徴とする請求項１３に記載の光学型リアルタイム遅延装置の製造方法。
【請求項１７】
前記光ファイバを前記エッチング液から取り出す速度を次第に遅くすることを特徴とする請求項１６に記載の光学型リアルタイム遅延装置の製造方法。
【請求項１８】
前記光ファイバを前記エッチング液から所定時間は一定速度で取り出し、前記所定時間が経過すると、取り出す速度を次第に遅くすることを特徴とする請求項１６に記載の光学型リアルタイム遅延装置の製造方法。
【請求項１９】
前記加熱部が、前記テーパ部を露出させる開口部を有する基板に前記テーパ部が形成された光ファイバを整列させた後、前記開口部を通じて前記テーパ部に金属物質をコーティングすることにより形成されることを特徴とする請求項１３に記載の光学型リアルタイム遅延装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学型リアルタイム遅延装置及びその製造方法に関し、特に、無線周波(ＲＦ)信号がのせられた光信号の伝送時間を連続的に制御するように構成された光学型リアルタイム遅延装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、移動体通信端末機、無線ＬＡＮ、ホームネットワーク、電子商取引、電子会議などの急速な実用化により、無線通信量が爆発的に増加している。このような無線通信システム及び移動体通信端末機の性能は、周辺の通信環境に敏感であるため、通信環境の変化に対応できるアンテナシステムに対する要求が急増している。特に、移動体通信端末機及び無線ＬＡＮの場合、通話・通信品質が近くの他の使用者の通話・通信量や位置などの周辺環境の影響を受けやすいので、周辺の通信環境の変化に対応した優れた通信品質を維持するために、通信要求に応じて送受信される電波の分布を能動的に調節できるアレーアンテナが使用されている。このアレーアンテナの場合、多数の素子アンテナで受信したＲＦ信号を遅延させることにより、放出されるＲＦ信号ビームの方向の調節が可能になる。このような理由で、信号を適切に遅延させるリアルタイム遅延装置は、アレーアンテナのコアディバイスとなる。
【０００３】
従来は、このようなリアルタイム遅延装置として、位相制御方式の電気的スイッチを利用してきた。しかしながら、この位相制御方式の電気的スイッチは全体のサイズと精度の面で非常に不利であったため、最近は、光学効果を利用したリアルタイム遅延装置が利用されている。
【０００４】
図１１は、光学的リアルタイム遅延部を利用する一般的なフェーズドアレーアンテナシステムの構成図である。この構成は、光学的ＲＦリアルタイム遅延線路を利用したアレーアンテナ構造である。図示されたように、４つの素子アンテナ５０ａ〜５０ｄはそれぞれ光学的リアルタイム遅延部３０ａ〜３０ｄと連結されている。
【０００５】
図１１に示すフェーズドアレーアンテナシステムの構造に基づいて、ＲＦ信号の送受信分布を光学的に調節する方法を説明する。
【０００６】
まず、伝送しようとするＲＦ信号(ｆRF)を電気光学変調器(electrooptic modulator)１０に伝送して、キャリアとして使用される光信号(ｆO)にのせる。光信号（ｆO）にのせられたＲＦ信号（ｆRF）を光学的リアルタイム遅延部３０ａ〜３０ｄと連結された光ファイバ線路２０に提供して、光学的リアルタイム遅延部３０ａ〜３０ｄのそれぞれに設定された遅延時間(Δτ単位)を調節する。このように遅延された光信号を、光検出器４０ａ〜４０ｄにより再びＲＦ信号に復元させる。その後、素子アンテナ５０ａ〜５０ｄを駆動することにより、これらから送受信されるＲＦ信号ビームの分布を調節することができる。
【０００７】
ここで、光学的リアルタイム遅延部３０ａ〜３０ｄは、光ファイバ線路２０の一部分に形成された遅延線路であり、それぞれΔτ単位の時間遅延を有するように構成され、これらにより素子アンテナ５０ａ〜５０ｄで送受信されるＲＦ信号ビームの走査方向が決定される。
【０００８】
この光学的リアルタイム遅延部３０ａ〜３０ｄは、従来は、特定の光波長を有する信号のみを反射させる特性を有する光ファイバブラッググレーティング(fiber bragg grating)構造を光ファイバ自体に導入した形態を使用することが一般的であった。すなわち、固定された波長に対応するブラッググレーティング構造を光線路に形成することにより伝送される波長を所定の位置で反射させ、この反射された光を再び受けて遅延を発生させる方式である。
【０００９】
前記従来のブラッググレーティング構造を利用する遅延方法は２つに大別される。第１の方法は、光信号の進行方向に沿ってグレーティングの周期を変え、各地点で反射される光信号の波長を変化させるようにしたチャープファイバブラッググレーティング(Chirped fiber bragg grating)を利用することである。すなわち、入力される光信号の波長を変えることにより、その光信号がブラッググレーティング構造へ進行し、グレーティング構造により反射される反射位置を変更させて、光信号にのせたＲＦ信号の遅延時間を調節する方式である。この方式は、ＲＦ信号がのせられる光信号の波長を変化させてブラッググレーティングにおける光信号の反射位置を調節することにより遅延時間を変えるので、波長可変光源が必須である。しかしながら、この波長可変光源は、相当高価であるため、製造費用が高いという問題点があった。
【００１０】
第２の方法は、波長を変える方法でなく、ブラッググレーティングが形成された線路を物理的に変形(曲げ又は押し)させてグレーティングの構造を物理的に変えることにより、反射される光信号の遅延時間を調節する方法である。しかしながら、この方法は、ブラッググレーティングが形成された線路を物理的に変形させるための機械的動作が必要であるため、遅延部の体積が大きくなり、機械的疲労により再現性及び信頼性が低下し、また、連続的な高速駆動が困難であるという問題点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、前述したような問題点を解決するために提案されたもので、本発明の目的は、温度変化により有効屈折率が変化する特性を有するブラッググレーティングを備えた光ファイバを利用して、機械的動作なしに電気的にＲＦ信号のリアルタイム遅延を連続的に精密に制御し得るように構成された光学型リアルタイム遅延装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
このような目的を達成するために本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置は、コアと前記コアを囲むクラッドとから構成され、前記クラッドの外周と前記コアとの隔離距離が長手方向に沿って次第に変化するテーパ部が、前記クラッドの外周面に周方向に沿って形成された光ファイバと、前記テーパ部の形成区間と対応して前記コアの内部に等間隔で形成されたブラッググレーティングと、前記テーパ部を囲み、前記光ファイバの長手方向に沿って前記ブラッググレーティングとの隔離距離が次第に変化する加熱部と、を含むことを特徴とする。
【００１３】
また、このような目的を達成するために本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の製造方法は、コアの一部に等間隔でブラッググレーティングが形成された光ファイバのクラッドの外周表面を光ファイバ保護ジャケットでコーティングする段階と、前記ブラッググレーティングの形成区間の前記クラッドを露出させるように前記光ファイバ保護ジャケットをパターニングする段階と、前記露出したクラッドが全て浸るようにエッチング液に前記光ファイバをディッピングする段階と、前記光ファイバをエッチング液から予め設定された速度プロファイルにより取り出して、前記光ファイバの長手方向に沿って前記露出した光ファイバのクラッドと前記ブラッググレーティングとの隔離距離が次第に変化するようにエッチングすることによりテーパ部を形成する段階と、前記テーパ部の外周表面に加熱部を形成する段階と、を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置は、印加電圧の大きさにより加熱部で発生する発熱量が変化することにより、前記光ファイバの長手方向に沿って前記加熱部との隔離距離が変化する光ファイバブラッググレーティングの有効屈折率が変化する。従って、印加電圧を精密に調節することにより入力光信号が反射されるまでの遅延時間を決定できるため、遅延装置の性能の信頼性が向上すると共に、光信号のリアルタイム制御がより容易になるという効果がある。
【００１５】
また、ブラッググレーティングの有効屈折率が前記加熱部の発熱量により簡単に調節できるので、光信号の波長変換装置などの高価な付加装置が必要ない。従って、光学型リアルタイム遅延装置を小さい面積に効率的に集積させることができるため、最小の費用でアレーアンテナシステムを最小化及び最適化することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の実施形態を詳細に説明する。
【００１７】
本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の実施形態は複数存在し、以下は、最も好ましい実施形態を説明する。
【００１８】
図１は、本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第１実施形態を示す断面図である。
【００１９】
図１を参照すると、本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置は、コア１２０とコア１２０を囲むクラッド１１０とを備え、クラッド１１０の外周とコア１２０との隔離距離が長手方向に沿って次第に変化するテーパ部１１２が、クラッド１１０の外周面に周方向に沿って形成され、ＲＦ信号をのせた光信号が通過する光ファイバ１００と、テーパ部１１２の形成区間と対応するコア１２０の内部に等間隔で形成されるブラッググレーティング１４０と、テーパ部１１２を囲み、光ファイバ１００の長手方向に沿ってブラッググレーティング１４０との隔離距離が次第に変化する加熱部１５０とを含む。
【００２０】
すなわち、テーパ部１１２は、ブラッググレーティング１４０の形成区間(図面のＬ区間)に対応する光ファイバ１００のクラッド１１０の外周面に形成され、始端部(ｚ＝０)から終端部(ｚ＝Ｌ)に行くほど、すなわち、光信号の進行方向に沿って、ブラッググレーティング１１２との隔離距離が次第に増加するように形成されている。
【００２１】
テーパ部１１２は、ブラッググレーティング１４０が形成されたコア１２０を中心に対称になるように光ファイバ１００の周方向に形成されることが好ましいが、設計によりコア１２０を中心に非対称に形成させることもできる。
【００２２】
すなわち、本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置を構成するためのクラッドのテーパ部は、後述する工程によりその形状プロファイルを多様に変えることができる。
【００２３】
図１の光学型リアルタイム遅延装置のテーパ部１１２は、光ファイバ１００の長手方向に沿ってブラッググレーティング１４０とテーパ部１１２の外周表面との隔離距離の増加比率が一定である。すなわち、テーパ部１１２とブラッググレーティング１４０との隔離距離は、テーパ部１１２の始端部(ｚ＝０)から終端部(ｚ＝Ｌ)に行くほど線形的に増加する。
【００２４】
本実施形態は、このテーパ部１１２の外周面にテーパ部１１２の形状プロファイルに応じて加熱部１５０を形成させている。従って、加熱部１５０とブラッググレーティング１４０との隔離距離もテーパ部１１２の始端部(ｚ＝０)から終端部(ｚ＝Ｌ)に行くほど線形的に増加する。
【００２５】
この加熱部１５０は、外部から印加される電圧の大きさにより発熱量が調節できる金属物質で形成されることが好ましい。
【００２６】
一方、コア層１２０は、加熱部１５０から発生した熱により光学的特性が変化するように、シリカなどのような熱光学特性を有する光学物質で形成されることが好ましい。
【００２７】
未説明の符号１３０は、光ファイバ保護ジャケットであり、後述する本発明の光学型リアルタイム遅延装置の製造過程でテーパ部１１２を形成するために必要なものである。この光ファイバ保護ジャケット１３０は、テーパ部１１２を除いたクラッド１１０の表面に形成されている。
【００２８】
以下、このように構成された本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第１実施形態の動作方法を説明する。
【００２９】
ＲＦ信号をのせた所定波長を有する光信号が光ファイバ１００のコア１２０を通じて伝送されると、前記光信号は、コア１２０のブラッググレーティング１４０区間を通過中に所定位置で反射させられて伝送方向に戻る。この反射時間が遅延時間となる。ここで、加熱部１５０の温度は加熱部１５０に印加される電圧により変化し、加熱部１５０との隔離距離が次第に変化するブラッググレーティング１４０の有効屈折率は隔離距離の変化率により変化する。
【００３０】
すなわち、反射される光信号の波長が、光ファイバ１００のクラッド１１０の厚さにより次第に増加する。さらに、反射される波長の分布が加熱部１５０の温度により変化する。
【００３１】
このような構造を有する光ファイバ１００のブラッググレーティング１４０により反射される光信号の波長は、次の式により求められる。
λB＝２neffΛg
【００３２】
ここで、ｎeffはブラッググレーティングの有効屈折率であり、Λgはブラッググレーティングの周期である。
【００３３】
図４は、加熱部の温度による入力光信号の反射位置分布を示すグラフであり、所定の波長(λS)を有する光信号が伝送されたときの、加熱部の温度変化(すなわち、加熱部に印加する電圧の大きさの変化)による反射位置(ｚ)を示す。ここで、λB0は、ブラッググレーティングの温度変化がない場合の反射光の波長である。
【００３４】
例えば、波長λSの光信号が伝送された場合、温度がＴ1であると、 反射位置はｚ1になり、温度がＴnであると、反射位置はｚnになる。すなわち、加熱部１５０に印加される電圧により温度が上昇するほど反射位置はテーパ部１１２の始端部(ｚ＝０)に近くなるため、遅延時間が短くなる。従って、加熱部１５０に印加される電圧を調節して発熱量を調節することにより伝送された光信号の反射位置を調節することができるので、伝送された光信号が反射されるまでの遅延時間を比較的簡単な電圧調節だけで制御することができる。
【００３５】
以下、本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の他の実施形態を説明する。ここで、特に、本発明の重要な特徴要素であるテーパ部の形状の他の実施形態について詳細に説明する。なお、本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第１実施形態と同一の構成は説明を省略し、同一の構造を有する構成要素には同一の参照番号を付与する。
【００３６】
図２は、本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第２実施形態を示す断面図である。
【００３７】
図２に示すように、本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第２実施形態のテーパ部１１５は、光ファイバ１００の長手方向に沿ってブラッググレーティング１４０とテーパ部１１５の外周表面との隔離距離が先の例のように増加率を固定して直線的に増加するのではなく、その増加比率が変化するように形成されている。
【００３８】
すなわち、テーパ部１１５とブラッググレーティング１４０との隔離距離の増加比率をテーパ部１１５の始端部(ｚ＝０)から終端部(ｚ＝Ｌ)に行くほど線形的に増加させ、テーパー部外周の形状プロファイルを直線状ではなく曲線状としている。
【００３９】
従って、テーパ部１１５の形状プロファイルに応じて形成される加熱部１６０とブラッググレーティング１４０との隔離距離の増加比率も、同様にテーパ部１１５の始端部(ｚ＝０)から終端部(ｚ＝Ｌ)に行くほど線形的に増加する。
【００４０】
図３は、本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第３実施形態を示す断面図である。
【００４１】
図３に示すように、本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第３実施形態のテーパ部１１７もブラッググレーティング１４０とテーパ部１１７との隔離距離の増加比率が変化する。より詳しくは、テーパ部１１７とブラッググレーティング１４０との隔離距離の増加比率は光ファイバ１００の長手方向に沿って所定地点までは一定であり、前記所定地点を通過すると、その増加比率が増加する。
【００４２】
すなわち、テーパ部１１７の始端部(ｚ＝０)から距離ｌだけ離れた地点(ｚ＝ｌ)までは、テーパ部１１７とブラッググレーティング１４０との隔離距離が一定の増加比率で線形的に増加し、前記地点(ｚ＝ｌ)からテーパ部１１７の終端部(ｚ＝Ｌ)に行くほど隔離距離の増加比率が線形的に増加する。
【００４３】
本発明に係るテーパ部は、前述した実施形態の形状プロファイルだけでなく、ブラッググレーティングとの隔離距離を、光ファイバの長手方向に沿ってそれらと異なる形状プロファイルとなるように多様に変化させることもできる。
【００４４】
本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第２及び第３実施形態の動作方法は、前述した第１実施形態と同様であるので、その説明は省略する。
【００４５】
図５ないし図９は、本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第１実施形態の製造過程を示す断面図である。図示されたように、ブラッググレーティング１４０の形成区間のクラッド１１０のみを選択的にエッチングしてテーパ部を形成する方法を示す。
【００４６】
図５に示すように、光ファイバ１００のクラッド１１０の表面に光ファイバエッチング液３００から光ファイバ１００を保護する光ファイバ保護ジャケット１３０をコーティングした後、その光ファイバ保護ジャケット１３０をパターニングすることにより、ブラッググレーティング１４０の形成区間でクラッド１１０を露出させる。
【００４７】
また、図６に示すように、フッ化水素酸（Hydrofluoric Acid：ＨＦ)のような光ファイバエッチング液３００が充填されている水槽に少なくとも露出したクラッド１１０が全て浸る程度に光ファイバ１００をディッピングする。光ファイバ１００をエッチング液３００の表面に対して垂直方向にディッピングすることにより、ブラッググレーティング１４０が形成されたコア１２０を中心にテーパ部１１２が対称となるようにすることが好ましい。
【００４８】
次に、図７ないし図８に示すように、ディッピングされた光ファイバ１００を予め決定された速度プロファイルによりエッチング液３００から取り出す。すなわち、露出した光ファイバ１００のクラッド１１０がエッチング液３００に浸っていた時間を光ファイバ１００の長手方向に沿って変化させる。光ファイバ１００がエッチング液３００に浸っていた時間が長くなるほど、エッチングの程度がより大きくなる。従って、光ファイバ１００の長手方向に沿って露出された光ファイバ１００のクラッド１１０とブラッググレーティング１４０との隔離距離が次第に変化するテーパ部１１２が形成される。このために、光ファイバ１００をエッチング液３００から取り出す時間及び速度を、コンピュータで制御されるモータなどを利用して精密に制御することが望ましい。
【００４９】
次に、図９に示すように、テーパ部１１２の外周表面に金属コーティング方法などを利用してテーパ部１１２の形状プロファイルと同一プロファイルに加熱部１５０を形成する。従って、ブラッググレーティング１４０と加熱部１５０との隔離距離は、光ファイバ１００の長手方向に沿って次第に変化する。加熱部１５０は、外部電圧により発熱量を調節し得る伝導性の良い材質、例えば、金属などで形成される。
【００５０】
光ファイバ１００をエッチング液３００から一定速度で取り出すことにより、光ファイバ１００の長手方向に沿って増加するブラッググレーティング１４０とテーパ部１１２との隔離距離の増加比率が一定である、本発明の第１実施形態のテーパ部１１２を形成することができる。
【００５１】
また、光ファイバ１００をエッチング液３００から取り出す速度を変化させることにより、本発明の第２及び第３実施形態のテーパ部の形状プロファイルを形成することができる。すなわち、光ファイバ１００をエッチング液３００から取り出す速度を次第に遅くすることにより、テーパ部１１５とブラッググレーティング１４０との隔離距離の増加比率が光ファイバ１００の長手方向に沿って増加する第２実施形態のテーパ部１１５を形成することができる。また、光ファイバ１００をエッチング液３００から一定時間は一定速度で取り出し、その時間が経過すると、取り出す速度を次第に遅くする多段階の過程を経ることにより、テーパ部１１７とブラッググレーティング１４０との隔離距離の増加比率が、光ファイバ１００の長手方向に沿って所定地点までは一定で、所定地点を通過してからは増加する第３実施形態のテーパ部１１７の形状プロファイルを形成することができる。
【００５２】
このように、光ファイバ１００をエッチング液３００から取り出す速度プロファイルを適宜調節することにより、前述した実施形態以外の多様な形態の形状プロファイルで構成されるテーパ部を有する光学型リアルタイム遅延装置を製造することができる。
【００５３】
図１０は、本発明に係る複数の光学型リアルタイム遅延装置を基板上に集積させてアレーアンテナとした構造を示す。図１０の実施形態では以下のようにテーパー部を形成させた複数のファイバーを基板に整列させてから加熱部１５０をコーティングしている。
【００５４】
すなわち、基板４００には、各光ファイバ１００の光学型リアルタイム遅延装置に金属物質をコーティングすることにより加熱部を形成するために開口部４１０が形成されている。その開口部４１０を形成させた基板に本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置を備えた複数の光ファイバ１００を整列させて金属物質をコーティングしている。もちろん、事前に加熱部１５０を形成させたファイバー１００を基板に整列させても良い。
【００５５】
このような方法により、光学型リアルタイム遅延装置が備えられた光ファイバを小さい面積に効果的に集積させてアレーアンテナを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第１実施形態を示す断面図である。
【図２】本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第２実施形態を示す断面図である。
【図３】本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の第３実施形態を示す断面図である。
【図４】加熱部の温度による入力光の反射位置分布を示すグラフである。
【図５】本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の製造過程を示す断面図である。
【図６】本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の製造過程を示す断面図である。
【図７】本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の製造過程を示す断面図である。
【図８】本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の製造過程を示す断面図である。
【図９】本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置の製造過程を示す断面図である。
【図１０】本発明に係る光学型リアルタイム遅延装置が集積された配列構造を示す平面図である。
【図１１】一般的な光学型リアルタイム遅延部を備えたフェーズドアレーアンテナシステムの構成図である。
【符号の説明】
【００５７】
１００：光ファイバ、１１０：クラッド、１１２、１１５、１１７：テーパ部、 １２０：コア、１３０：光ファイバ保護ジャケット、 １４０：ブラッググレーティング、１５０、１６０、１７０：加熱部、３００：光ファイバエッチング溶液、 ４００：基板、 ４１０：開口部
【図１】
2005346058.tif 000003
【図２】
2005346058.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005346058.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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