(57)【要約】【課題】  洗浄度の向上を図れる配管接続装置を提供する。【解決手段】  上部側配管１の端部１ａを包囲し上部側開口３を有する上部側枠体２と、上部側開口３を開閉可能に覆う上部側カバー４と、下部側配管１１の端部１１ａを包囲し下部側開口１３を有する下部側枠体１２と、下部側開口１３を開閉可能に覆う下部側カバー１４と、上部側枠体２及び下部側枠体１２の少なくとも一方に設けられ、上部側開口３及び下部側開口１３の周囲を囲むように配置される筒状部材１６と、筒状部材１６の内部を気体により清浄化するブロー手段１７と、上部側配管１と下部側配管２との少なくとも一方を、カバー４、１４が開状態のときに相手側配管に対して接離させる接離手段１８とを具備し、上部側配管１と下部側配管１１とを接続する前に、上部側枠体２と下部側枠体１２との間に筒状部材１６を介在させて閉鎖空間Ａを形成し、ブロー手段１７により閉鎖空間Ａ内を清浄化する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１配管を介して給排を行う第１配管装置と第２配管を介して給排を行う第２配管装置とが相対移動可能となっていて、上記第１配管と第２配管とを洗浄状態を保持しながら接続する配管接続装置であって、
第１配管の端部を包囲するとともにその端部開口に対応する位置に設けられた第１開口を有する第１枠体と、
該第１開口を開閉可能に覆う第１カバーと、
第２配管の端部を包囲するとともにその端部開口に対応する位置に設けられた第２開口を有する第２枠体と、
該第２開口を開閉可能に覆う第２カバーと、
第１枠体及び第２枠体の少なくとも一方に設けられ、第１開口及び第２開口を囲むように配置される筒状部材と、
該筒状部材の内部を気体により清浄化するブロー手段と、
第１配管と第２配管との少なくとも一方を、第１カバー及び第２カバーが開状態のときに上記筒状部材の中を通り相手側配管に対して接離させる配管接離手段とを具備し、
第１配管と第２配管とを接続する前に、閉状態の第１カバーと第２カバーとの間に上記筒状部材を介在させて閉鎖空間を形成し、上記ブロー手段により該閉鎖空間内を清浄化するように構成されていることを特徴とする配管接続装置。
【請求項２】
請求項１に記載の配管接続装置において、前記第１配管及び第２配管が円形筒状に形成されるとともに、前記筒状部材が前記第１配管又は第２配管が挿入される断面円形に形成されていることを特徴とする配管接続装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の配管接続装置において、前記第１枠体及び第２枠体の少なくとも一方に、その枠体を覆うカバーよりも内側の位置で配管の端部を開閉可能に覆うシャッターが設けられていることを特徴とする配管接続装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の配管接続装置において、前記ブロー手段は、前記筒状部材に形成された導入口と排気口とを有し、閉鎖空間が形成されたときに、清浄された気体を導入口から閉鎖空間に供給し排気口から排出し、筒状部材が外気に開放しているときは導入口からの上記清浄された気体の供給のみを行うことを特徴とする配管接続装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の配管接続装置において、前記第１カバーは、第１枠体から離れた離隔位置と接触する接触位置とに移動可能となっていて、この第１カバーを離隔位置と接触位置との間で移動させる第１カバー用のカバー接離手段が設けられていることを特徴とする配管接続装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載の配管接続装置において、前記第２カバーは、第２枠体から離れた離隔位置と接触する接触位置とに移動可能となっていて、この第２カバーを離隔位置と接触位置との間で移動させる第２カバー用のカバー接離手段が設けられていることを特徴とする配管接続装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１配管を介して給排を行う第１配管装置と第２配管を介して給排を行う第２配管装置とが相対移動可能となっていて、上記第１配管と第２配管とを洗浄状態を保持しながら接続する配管接続装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記配管接続装置の従来のものとしては、図９及び図１０に示す構成のものが知られている（特許文献１参照）。なお、図９は接続前の状態を示す図、図１０は接続後の状態を示す図であり、図９と図１０とは、９０゜異なる方向から見た図である。この配管接続装置は、容器１００のホッパー１０１と、処理ステーション１１０の管１１１とを接続するようになっていて、ホッパー１０１の下端にはスライド可能なカバー１０２が設けられている。一方、管１１１の上端にはスライド可能なカバー１１２と、図１０に示すようにカバー１０２のカバー１１２への接近によりカバー１１２のスタッド１１３に支持されたカバー１０２をカバー１１２と共に退避させる推力シリンダのロッド１１４と、両カバー１０２、１１２及び推力シリンダのロッド１１４を内側に入れかつ両カバー１０２、１１２の退避スペースを内側に入れた状態の包囲体１１５とが設けられている。この包囲体１１５は、ホッパー１０１の下端が入る開口部１１６を有し、容器１００と処理ステーション１１０とを接続したときに、ホッパー１０１の下端の近傍部分が開口部１１６を塞ぐことで外気と遮断するもので、この外気遮断状態は、両カバー１０２、１１２が退避スペースに退避したときに確保される。また、包囲体１１５には、ガス導入口１１７及び空気送出口１１８等で形成されるガス注入手段が設けられていて、このガス注入手段により、外気と遮断された状態の包囲体１１５内をブローするように構成されている。
【特許文献１】特開平６−３２１３６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、包囲体１１５内にカバー１０２、１１２やこれらの退避スペースがあるため、包囲体１１５の容積が相当大きくなる。加えて、包囲体１１５内に配置されるカバー１０２、１１２やロッド１１４がガスの流れを邪魔するために、ブローによる洗浄を行っても、ガスが隅々に行き渡らずに洗浄不良となる虞がある。
【０００４】
本発明は、このような従来技術の課題を解決するためになされたもので、洗浄度の向上を図れる配管接続装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明の配管接続装置は、第１配管を介して給排を行う第１配管装置と第２配管を介して給排を行う第２配管装置とが相対移動可能となっていて、上記第１配管と第２配管とを洗浄状態を保持しながら接続する配管接続装置であって、第１配管の端部を包囲するとともにその端部開口に対応する位置に設けられた第１開口を有する第１枠体と、該第１開口を開閉可能に覆う第１カバーと、第２配管の端部を包囲するとともにその端部開口に対応する位置に設けられた第２開口を有する第２枠体と、該第２開口を開閉可能に覆う第２カバーと、第１枠体及び第２枠体の少なくとも一方に設けられ、第１開口及び第２開口を囲むように配置される筒状部材と、該筒状部材の内部を気体により清浄化するブロー手段と、第１配管と第２配管との少なくとも一方を、第１カバー及び第２カバーが開状態のときに上記筒状部材の中を通り相手側配管に対して接離させる配管接離手段とを具備し、第１配管と第２配管とを接続する前に、閉状態の第１カバーと第２カバーとの間に上記筒状部材を介在させて閉鎖空間を形成し、上記ブロー手段により該閉鎖空間内を清浄化するように構成されていることを特徴とする。
【０００６】
請求項２の発明の配管接続装置は、請求項１に記載の配管接続装置において、前記第１配管及び第２配管が円形筒状に形成されるとともに、前記筒状部材が前記第１配管又は第２配管が挿入される断面円形に形成されていることを特徴とする。
【０００７】
請求項３の発明の配管接続装置は、請求項１又は２に記載の配管接続装置において、前記第１枠体及び第２枠体の少なくとも一方に、その枠体を覆うカバーよりも内側の位置で配管の端部を開閉可能に覆うシャッターが設けられていることを特徴とする。
【０００８】
請求項４の発明の配管接続装置は、請求項１乃至３のいずれかに記載の配管接続装置において、前記ブロー手段は、前記筒状部材に形成された導入口と排気口とを有し、閉鎖空間が形成されたときに、清浄された気体を導入口から閉鎖空間に供給し排気口から排出し、筒状部材が外気に開放しているときは導入口からの上記清浄された気体の供給のみを行うことを特徴とする。
【０００９】
請求項５の発明の配管接続装置は、請求項１乃至４のいずれかに記載の配管接続装置において、前記第１カバーは、第１枠体から離れた離隔位置と接触する接触位置とに移動可能となっていて、この第１カバーを離隔位置と接触位置との間で移動させる第１カバー用のカバー接離手段が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
請求項６の発明の配管接続装置は、請求項１乃至５のいずれかに記載の配管接続装置において、前記第２カバーは、第２枠体から離れた離隔位置と接触する接触位置とに移動可能となっていて、この第２カバーを離隔位置と接触位置との間で移動させる第２カバー用のカバー接離手段が設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明による場合には、第１配管と第２配管とを接続するために第１配管装置と第２配管装置とを接近させ、そのとき閉状態の第１カバーと第２カバーとの間に筒状部材を第１開口及び第２開口を囲むように介在させて閉鎖空間を形成し、その閉鎖空間内をブロー手段により清浄化する。その後に、第１カバー及び第２カバーを開状態にすると、筒状部材を介して連通状態となった第１枠体及び第２枠体の内部も清浄状態が保持される。その清浄状態の中で、筒状部材の中を通るようにして第１配管と第２配管とを接続することで、洗浄状態を保持しながら第１配管と第２配管との接続が可能となる。したがって、筒状部材は、その内側を第１配管と第２配管との少なくとも一方が通れる大きさを確保できればよく、これにより閉鎖空間を小さくすることができる。加えて、ブロー手段により閉鎖空間内を清浄化する際、閉鎖空間の内部には配管やカバーが無いため、ブロー時に気体が淀むことを低減でき、清浄度を向上することができる。また、閉鎖空間内を清浄化させた後に、第１、第２カバーを開状態にすることで、第１枠体と第２枠体とが、清浄化された閉鎖空間に繋がるとともに筒状部材を介して外気と遮断されているので、第１、第２配管の端部付近に塵埃が入り込むことを低減することができる。更に、ブロー手段により閉鎖空間内を清浄化する際、第１、第２カバーが閉鎖空間を形成するから、従来のようにブローするときにカバーが退避するものに比べて、カバーの清浄を行い易い。
【００１２】
請求項２の発明による場合には、筒状部材を断面円形としたから、ブロー時に気体が淀むことを低減できるとともに、閉鎖空間の容積を小さくすることができ、ブロー時間の短縮を図ることができる。
【００１３】
請求項３の発明による場合には、閉鎖空間に万一塵埃が残っていても、シャッターにより配管に塵埃が入り込むことを低減することができる。
【００１４】
請求項４の発明による場合には、筒状部材が枠体と離間しているときも、気体を供給することができるから、筒状部材の内方に塵埃が入り込むことを低減し、ひいては、配管内に塵埃が入り込むことを低減することができる。
【００１５】
請求項５の発明による場合には、第１カバー用のカバー接離手段が、第１カバーを離隔位置と接触位置との間で移動させるので、第１カバーを開閉するときに離隔位置にするとスムーズにその開閉を行うことができ、一方、第１カバーを閉状態に保持するときに接触位置にすると、第１カバーを第１枠体に接触させることができるので、閉鎖空間をブローするとき、第１枠体内に空気が入り込むことを防止でき、これに伴う塵埃の第１枠体内への入り込みを防止することができる。
【００１６】
請求項６の発明による場合には、第２カバー用のカバー接離手段が、第２カバーを離隔位置と接触位置との間で移動させるので、第２カバーを開閉するときに離隔位置にするとスムーズにその開閉を行うことができ、一方、第２カバーを閉状態に保持するときに接触位置にすると、第２カバーを第２枠体に接触させることができるので、閉鎖空間をブローするとき、第２枠体内に空気が入り込むことを防止でき、これに伴う塵埃の第２枠体内への入り込みを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明の実施形態を具体的に説明する。
【００１８】
図１〜図３は本実施形態に係る配管接続装置を示す正面断面図であり、図１は接続前でかつ閉鎖空間形成前を示し、図２は接続前でかつ閉鎖空間を形成した状態を示し、図３は接続状態をそれぞれ示す。また、図４〜図６は本実施形態に係る配管接続装置を示す左側面図であり、図４は接続前でかつ閉鎖空間形成前を示し、図５は接続前でかつ閉鎖空間を形成した状態を示し、図６は接続状態をそれぞれ示す。また、図７は本実施形態の配管接続装置に備わったカバー用スライド手段によりカバーをスライドさせる前後の状態を示す図で、図７（ａ）は枠体の開口を覆う状態、同（ｂ）は枠体の開口があいた状態を示す。図８は本実施形態の配管接続装置に備わったシャッター用スライド手段によりシャッターをスライドさせる前後の状態を示す図で、図８（ａ）は配管端部を覆う状態、同（ｂ）は配管端部が露出した状態を示す。なお、図１〜図６については、以下に説明する各部材の番号を図１及び図に表し、図２、図３、図５及び図６には一部の部材番号を除き番号を省略して表す。
【００１９】
この配管接続装置は、図上側の上部側配管（第１配管）１を介して給排を行う上部側配管装置（第１配管装置）１０と、図下側の下部側配管（第２配管）１１を介して給排を行う下部側配管装置（第２配管装置）２０とが相対移動可能となっていて、上記上部側配管１と下部側配管１１とを洗浄状態を保持しながら接続するものである。ここでは、下部側配管装置２０はクリーンルーム内に固定されたものとし、上部側配管装置１０は搬送側であって三次元方向に移動するものとして説明する。
【００２０】
上部側配管装置１０は、上部側配管１の端部１ａを包囲するとともに上部側開口（第１開口）３を有する上部側枠体（第１枠体）２と、上部側枠体２の内側に設けられ、上部側開口３を開閉可能に覆う上部側カバー（第１カバー）４と、上部側枠体２の内側に設けられ、上部側配管１の端部１ａの開口を開閉可能に覆う上部側シャッター５とを有する。
【００２１】
上部側配管１は、断面円形のもので、上部側配管装置１０に内蔵された図示しないタンクに基端側端部が接続され、先端側の端部１ａを下向きにして上部側配管装置１０に全体が固定されており、上記タンクに貯留された液体、粉体或いは粒体などを外部へ排出し又は外部からタンクへ供給するために使用される。
【００２２】
上部側枠体２は、概略６面体からなるもので、天井面２ａと底面２ｂと４つの側面とを有する。上部側枠体２内には、上部側配管１の端部１ａが、天井面２ａを挿通させて配置されており、底面２ｂには上部側開口３が、上部側配管１の端部１ａ開口に対応する位置に形成されている。なお、この上部側枠体２は、上部側開口３を除いて他の部分では外気と遮断する構成となっている。
【００２３】
上部側カバー４は、底面２ｂの上側を前後方向にカバー用スライド手段６によりスライドするように設けられており、後側へのスライドにより上部側開口３を閉じ、前側へのスライドにより上部側開口３を開けるようになっている。なお、上部側開口３の内周縁には、シール部材３ａが設けられ、このシール部材３ａは底面２ｂと上部側カバー４との間をシールする。
【００２４】
上記スライド手段６は、図１及び図７に示すように、上部側枠体２側に取付けられたカバー接離手段８に昇降可能に支持された、前後方向に延びる左右一対のガイド６ａと、上部側カバー４に取付られ、ガイド６ａにより案内される一対の被ガイド部材６ｂと、上部側カバー４を移動させるシリンダ６ｃとを有する。シリンダ６ｃは、上部側枠体２側に取付けられていて、シリンダ本体６ｄと、このシリンダ本体６ｄにより前後方向にスライドする移動体６ｅとを有し、移動体６ｅには、上部側カバー４に取付けた棒体４ａを挿通させる貫通孔６ｆが設けられている。よって、上部側カバー４は、貫通孔６ｆを挿通する棒体４ａを介して昇降でき、またシリンダ６ｃにより前後方向にスライド可能となっている。
【００２５】
上記カバー接離手段８は、上部側カバー４が上部側開口３を閉じているときにガイド６ａを降下させることで上部側カバー４を底面２ｂに接触させる位置に移動させ、それ以外のとき、特に、スライド手段６により上部側カバー４がスライドする際に、ガイド６ａを上昇させることで上部側カバー４を底面２ｂから離間させる位置に移動させるようになっている。なお、図７中の８ａは、ガイド６ａの昇降を案内するガイド部材である。
【００２６】
上部側シャッター５は、この上部側カバー４の上方であって上部側配管１の端部１ａの下に、シャッター用スライド手段７により前後方向へスライド可能に設けられており、後側へのスライドにより上部側配管１の端部１ａを閉じ、前側へのスライドにより端部１ａを開けるようになっている。
【００２７】
上記スライド手段７は、図１及び図８に示すように、上部側枠体２側に取付けられたシャッター用接離手段９に昇降可能に支持された、前後方向に延びる左右一対のガイド７ａと、上部側シャッター５に取付られ、ガイド７ａにより案内される一対の被ガイド部材７ｂと、上部側シャッター５を移動させるシリンダ７ｃとを有する。シリンダ７ｃは、上部側枠体２側に取付けられていて、シリンダ本体７ｄと、このシリンダ本体７ｄにより前後方向にスライドする移動体７ｅとを有し、移動体７ｅには、上部側シャッター５に取付けた棒体５ａを挿通させる貫通孔７ｆが設けられている。よって、上部側シャッター５は、貫通孔７ｆを挿通する棒体５ａを介して昇降でき、またシリンダ７ｃにより前後方向にスライド可能となっている。
【００２８】
上記シャッター用接離手段９は、上部側シャッター５が上部側配管１の端部１ａを閉じているときにガイド７ａを上昇させることで上部側シャッター５を端部１ａに接触させる位置に移動させ、それ以外のとき、特に、スライド手段７により上部側シャッター５がスライドする際に、ガイド７ａを降下させることで上部側シャッター５を端部１ａから離間させる位置に移動させるようになっている。なお、図８中の９ａは、ガイド７ａの昇降を案内するガイド部材である。
【００２９】
下部側配管装置２０は、下部側配管１１の端部１１ａを包囲するとともに下部側開口（第２開口）１３を有する下部側枠体（第２枠体）１２と、下部側枠体１２の内側に設けられ、下部側開口１３を開閉可能に覆う下部側カバー（第２カバー）１４と、下部側枠体１２の内側に設けられ、下部側配管１１の端部１１ａの開口を開閉可能に覆う下部側シャッター１５と、下部側カバー１４の上に設けられた筒状部材１６と、筒状部材１６の内部を気体により清浄化するブロー手段１７と、下部側枠体１２の内側に設けられ、下部側配管１１を、上部側、下部側カバー４、１４が開状態のときに相手側の上部側配管１に対して接離させる配管接離手段１８とを具備する。
【００３０】
下部側枠体１２は、概略６面体からなるもので、天井面１２ａと底面１２ｂと４つの側面とを有する。
【００３１】
下部側配管１１は、断面円形のもので、途中で２つに分断された基端側と先端側との間が蛇腹１１ｂで連結されていて、下部側配管装置２０に内蔵された図示しないタンクに基端側端部が接続され、先端側（図の上側）の端部１１ａを上向きにして下部側配管装置２０に昇降可能に取付けられ、上部側配管１に対して接離するようになっている。
【００３２】
上記先端側の端部１１ａを昇降させる前記配管接離手段１８は、ロッド１９ａを下向きにして底面１２ｂに取付けた昇降シリンダ１９を有する。その昇降シリンダ１９のロッド１９ａは、端部１１ａの下端側に固定した板材１８ａの外側端部に取付けた支持部材１８ｂに取付けられ、ロッド１９ａの進出・退入により端部１１ａを昇降させる。また、配管接離手段１８は、横ブレを防止する案内手段３４を備え、この案内手段３４は、板材１８ａに設けた被案内部材３４ａと、第２枠体１２の底面１２ｂに下向きに取付けられた案内棒３４ｂとを有する。
【００３３】
また、下部側配管１１は、下部側配管装置２０側に設けられた前記タンクに貯留された液体、粉体或いは粒体などを外部へ排出し又は外部からタンクへ供給するために使用される。
【００３４】
下部側枠体１２内には、下部側配管１１の端部１１ａが、底面１２ｂを挿通させて配置されており、天井面１２ａには下部側開口１３が、端部１１ａ開口に対応する位置に形成されている。なお、この下部側枠体１２は、下部側開口１３を除いて他の部分では外気と遮断する構成となっている。
【００３５】
下部側カバー１４は、天井面１２ａの下側を前後方向にカバー用スライド手段２１によりスライドするように設けられており、後側へのスライドにより下部側開口１３を閉じ、前側へのスライドにより下部側開口１３を開けるようになっている。
【００３６】
上記スライド手段２１は、前記スライド手段６とは、上下及び左右が逆になっているだけで同一構成であり、図１及び図７を代用して説明する。下部側枠体１２側に取付けられたカバー接離手段３０に昇降可能に支持された、前後方向に延びる左右一対のガイド２１ａと、下部側カバー１４に取付られ、ガイド２１ａにより案内される一対の被ガイド部材２１ｂと、下部側カバー１４を移動させるシリンダ２１ｃとを有する。シリンダ２１ｃは、下部側枠体１２側に取付けられていて、シリンダ本体２１ｄと、このシリンダ本体２１ｄにより前後方向にスライドする移動体２１ｅとを有し、移動体２１ｅには、下部側カバー１４に取付けた棒体１４ａを挿通させる貫通孔２１ｆが設けられている。よって、下部側カバー１４は、貫通孔２１ｆを挿通する棒体１４ａを介して昇降でき、またシリンダ２１ｃにより前後方向にスライド可能となっている。
【００３７】
上記カバー接離手段３０は、下部側カバー１４が下部側開口１３を閉じているときにガイド２１ａを上昇させることで下部側カバー１４を天井面１２ａに接触させる位置に移動させ、それ以外のとき、特に、スライド手段２１により下部側カバー１４がスライドする際に、ガイド２１ａを降下させることで下部側カバー１４を天井面１２ａから離間させる位置に移動させるようになっている。なお、図７中の３０ａは、ガイド２１ａの昇降を案内するガイド部材である。
【００３８】
下部側シャッター１５は、この下部側カバー１４の下方であって下部側配管１１の端部１１ａの上に、シャッター用スライド手段２３により前後方向へスライド可能に設けられており、後側へのスライドにより下部側配管１１の端部１１ａを閉じ、前側へのスライドにより端部１１ａを開けるようになっている。なお、端部１１ａの上側には、シール部材１１ｃが設けられ、このシール部材１１ｃにより下部側シャッター１５と下部側配管１１との間がシールされるとともに、図３及び図６に示すように上部側配管１と下部側配管１１とが接続された状態になると、両配管１、１１の間をシールするようになっている。
【００３９】
上記スライド手段２３は、前記スライド手段７とは、上下及び左右が逆になっているだけで同一構成であり、図１及び図８を代用して説明する。下部側枠体１２側に取付けられたシャッター用接離手段３１に昇降可能に支持された、前後方向に延びる左右一対のガイド２３ａと、下部側シャッター１５に取付られ、ガイド２３ａにより案内される一対の被ガイド部材２３ｂと、下部側シャッター１５を移動させるシリンダ２３ｃとを有する。シリンダ２３ｃは、下部側枠体１２側に取付けられていて、シリンダ本体２３ｄと、このシリンダ本体２３ｄにより前後方向にスライドする移動体２３ｅとを有し、移動体２３ｅには、下部側シャッター１５に取付けた棒体１５ａを挿通させる貫通孔２３ｆが設けられている。よって、下部側シャッター１５は、貫通孔２３ｆを挿通する棒体１５ａを介して昇降でき、またシリンダ２３ｃにより前後方向にスライド可能となっている。
【００４０】
上記シャッター用接離手段３１は、下部側シャッター１５が下部側配管１１の端部１１ａを閉じているときにガイド２３ａを降下させることで下部側シャッター１５を端部１１ａに接触させる位置に移動させ、それ以外のとき、特に、スライド手段２３により下部側シャッター１５がスライドする際に、ガイド２３ａを上昇させることで下部側シャッター１５を端部１１ａから離間させる位置に移動させるようになっている。なお、図８中の３１ａは、ガイド２３ａの昇降を案内するガイド部材である。
【００４１】
筒状部材１６は、その下端が下部側開口１３の周囲、具体的には内周面と上縁部とを覆うようにして天井面１２ａの上側に取付けられており、下部側カバー１４の上に配されている。筒状部材１６の下面にはシール部材１６ａが設けられていて、閉状態の下部側カバー１４との間がシールされるようになっている。また、筒状部材１６は、断面円形状のもので、内径を昇降する下部側配管１１の端部１１ａの外径よりも大きく形成され、端部１１ａの昇降に伴う挿入を支障無く行うことができるようになっている。
【００４２】
筒状部材１６には、ブロー手段１７が設けられている。このブロー手段１７は、筒状部材１６に形成された導入口１７ａと排気口１７ｂとを有し、清浄された気体を導入口１７ａから筒状部材１６の内側に供給し排気口１７ｂから排出することができ、筒状部材１６の内部を気体により清浄化することができるようになっている。
【００４３】
この筒状部材１６は、上部側配管１と下部側配管１１とを接続する前に、上部側配管装置１０の移動により上部側枠体２と下部側枠体１２とを接近させて、筒状部材１６の上端が上部側開口３の周囲を覆うように配置され、上部側枠体２と下部側枠体１２と閉状態の上部側カバー４と閉状態の下部側カバー１４と筒状部材１６とにより閉鎖空間Ａを形成する（図２及び図５参照）。このとき、図４に示すように下部側枠体１２側に設けた案内棒３３ａが、上部側枠体２側に設けた被案内部材３３ｂの被案内穴３３ｃにより案内され、上部側配管装置１０と下部側配管装置２０との横ずれが防止される。なお、上記ブロー手段１７は、閉鎖空間Ａが形成されたときに、清浄された気体を導入口１７ａから閉鎖空間Ａに供給し排気口１７ｂから排出し、筒状部材１６が外気に開放しているときは導入口１７ａからの上記清浄された気体の供給のみを行うように切替え操作される。
【００４４】
次に、このように構成された本実施形態の配管接続装置における動作内容につき説明する。
【００４５】
上部側配管装置１０が下部側配管装置２０から離れた位置にあるとき、上部側カバー４及び上部側シャッター５は閉状態とされ、一方の下部側カバー１４及び下部側シャッター１５も閉状態とされるとともに、ブロー手段１７は導入口１７ａからの清浄気体の供給のみを行う。これにより、下部側カバー１４及び筒状部材１６が、塵埃の無い清浄な状態に保持される。
【００４６】
そして、上部側配管１と下部側配管１１とを接続する際には、上部側配管装置１０を下部側配管装置２０へ向けて移動させて、上部側枠体２を下部側枠体１２に接近させ、上部側枠体２と下部側枠体１２との間に筒状部材１６を介在させる（図１及び図４参照）。これにより、筒状部材１６を、上部側開口３の周囲と下部側開口１３の周囲とを覆うように配置し、閉鎖空間Ａを形成する（図２及び図５参照）。
【００４７】
上記閉鎖空間Ａの形成に伴い、ブロー手段１７が清浄された気体を導入口１７ａから閉鎖空間Ａに供給し排気口１７ｂから排出するように切替え操作する。これにより、閉鎖空間Ａの内部を清浄気体により清浄化する。
【００４８】
そして、閉鎖空間Ａ内の清浄化が終了すると、上部側カバー４、上部側シャッター５、下部側カバー１４及び下部側シャッター１５を開状態とし、配管接離手段１８により下部側配管１１の端部１１ａを上昇させて、上部側配管１と下部側配管１１とを接続し（図３及び図６参照）、上部側配管装置１０のタンクと下部側配管装置２０のタンクとの間での給排を行う。しかる後、給排が終了すると、上記とは逆の手順で上部側配管装置１０を下部側配管装置２０から離す。以降、同様に行われる。
【００４９】
したがって、本実施形態による場合には、筒状部材１６は、その内側を下部側配管１１が通れる大きさを確保できればよく、これにより閉鎖空間Ａを小さくすることができる。加えて、ブロー手段１７により閉鎖空間Ａ内を清浄化する際、閉鎖空間Ａの内部には配管やカバーが無いため、ブロー時に清浄気体が淀むことを低減でき、清浄度を向上することができる。また、閉鎖空間Ａ内を浄化させた後に、上部側、下部側カバー４、１４を開状態にすることで、上部側枠体２と下部側枠体１２とが、清浄化された閉鎖空間Ａに繋がるとともに筒状部材１６を介して外気と遮断されているので、上部側配管１の端部１ａ及び下部側配管１１の端部１１ａの付近に塵埃が入り込むことを低減することができる。更に、ブロー手段１７により閉鎖空間Ａ内を清浄化する際、上部側、下部側カバー４、１４が閉鎖空間Ａを形成するから、従来のようにブローするときにカバーが退避するものに比べて、カバー４、１４の清浄を行い易い。
【００５０】
また、本実施形態においては、筒状部材１６を断面円形としたから、ブロー時に気体が淀むことを低減できるとともに、閉鎖空間Ａの容積を小さくすることができ、ブロー時間の短縮を図ることができる。また、閉鎖空間Ａに万一塵埃が残っていても、上部側シャッター５、下部側シャッター１５により上部側配管１、下部側配管１１に塵埃が入り込むことを低減することができる。また、ブロー手段１７は筒状部材１６が上部側枠体２と離間しているときも、気体を供給することができるから、筒状部材１６の内方に塵埃が入り込むことを低減し、ひいては、下部側配管１１内に塵埃が入り込むことを低減することができる。
【００５１】
更に、カバー接離手段８が上部側カバー４を上部側枠体２に接触する位置と離間した位置との間で移動させ、カバー接離手段３０が下部側カバー１４を下部側枠体１２に接触する位置と離間した位置との間で移動させるので、上部側カバー４、下部側カバー１４を開閉するときに離間位置にするとスムーズにその開閉を行うことができる。一方、上部側カバー４、下部側カバー１４を閉状態に保持するときに接触位置にすると、上部側カバー４を上部側枠体２に、下部側カバー１４を下部側枠体１２にそれぞれ接触させることができるので、閉鎖空間Ａをブローするときに上部側枠体２、下部側枠体１２内に空気が入り込むことを防止でき、これに伴う塵埃の入り込みを防止することができる。
【００５２】
なお、上述した実施形態においては上部側配管装置が三次元方向に移動し、下部側配管装置が固定された構成としているが、本発明はこれに限らず、上部側配管装置及び下部側配管装置のそれぞれが三次元方向に移動する構成にも適用することができる。
【００５３】
また、上述した実施形態では第１配管装置を上部側配管装置、第２配管装置を下部側配管装置としているが、本発明はこれに限らず、第１配管装置を下部側配管装置、第２配管装置を上部側配管装置とする場合にも同様に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の一実施形態に係る配管接続装置を示す正面断面図であり、接続前でかつ閉鎖空間形成前を示す。
【図２】図１の配管接続装置を示す正面断面図であり、接続前でかつ閉鎖空間を形成した状態を示す。
【図３】図１の配管接続装置を示す正面断面図であり、接続状態を示す。
【図４】図１の配管接続装置を示す左側面図であり、接続前でかつ閉鎖空間形成前を示す。
【図５】図１の配管接続装置を示す左側面図であり、接続前でかつ閉鎖空間を形成した状態を示す。
【図６】図１の配管接続装置を示す左側面図であり、接続状態を示す。
【図７】図１の配管接続装置に備わったカバー用スライド手段によりカバーをスライドさせる前後の状態を示す図で、（ａ）は枠体の開口を覆う状態、（ｂ）は枠体の開口があいた状態を示す。
【図８】図１の配管接続装置に備わったシャッター用スライド手段によりシャッターをスライドさせる前後の状態を示す図で、（ａ）は配管端部を覆う状態、（ｂ）は配管端部が露出した状態を示す。
【図９】特許文献１の配管接続装置を示す正面図である。
【図１０】図９の配管接続装置を９０゜異なる方向から見た図である。
【符号の説明】
【００５５】
１    第１配管
１ａ    端部
２    上部側枠体（第１枠体）
３    上部側開口（第１開口）
４    上部側カバー（第１カバー）
５    上部側シャッター
６ｄ    押付手段
１０    上部側配管装置（第１配管装置）
１１    下部側配管（第２配管）
１１ａ    端部
１２    下部側枠体（第２枠体）
１３    下部側開口（第２開口）
１４    下部側カバー（第２カバー）
１５    下部側シャッター
１６    筒状部材
１７    ブロー手段
１８    配管接離手段
２０    下部側配管装置（第２配管装置）
２２    押付手段
Ａ    閉鎖空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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