(57)【要約】【課題】  クロスプリズムに成膜される各ダイクロイック膜の夫々にずれがなく平面性を保持させる。【解決手段】  側面の長手方向の長さが異なる第１のガラス部材３と第２のガラス部材４とのうち何れか１側面に第１のダイクロイック膜１０Ａを成膜し、その面が接合面となるように接合してガラス構成体５を得る。ガラス構成体５の１側面を９０°の角度をなすように同一平面に研磨し、研磨された面と反対面の２つの稜線を４５°の角度をなすように研磨してプリズム部材６を得る。このプリズム部材６に第２のダイクロイック膜１０Ｂを成膜し、２つのプリズム部材６の基準面３Ｐが同一平面をなすように接合してクロスプリズム母材７を得た後に正方体等の形状に切断してクロスプリズムを得る。【選択図】  図１
2005315916.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
細長の四角柱の形状をした第１のガラス部材と、この第１のガラス部材と同一形状の断面を有し、且つ前記第１のガラス部材よりも長辺が短い側面を有する第２のガラス部材とが、前記第１のガラス部材の側面または前記第２のガラス部材の側面に第１の光学膜が成膜され、且つ前記第１の光学膜が成膜された面が接合面となるように接合されたガラス構成体を形成するガラス構成体形成工程と、
前記ガラス構成体形成工程において製造された前記ガラス構成体の前記第１の光学膜の成膜面と垂直な側面を研磨して底面を得る底面研磨工程と、
前記ガラス構成体の前記研磨された底面とは反対面の２つの稜線を研磨して、断面が二等辺三角形のプリズム部材を得る稜線研磨工程と、
前記プリズム部材の前記底面に第２の光学膜を成膜する第２の光学膜成膜工程と、
前記第２の光学膜が成膜された前記プリズム部材と、前記第２の光学膜が成膜されていない前記プリズム部材とを用意して、２つの前記プリズム部材のうち１つの前記プリズム部材を構成する前記第１のガラス部材の前記第２のガラス部材が接合されていないはみ出し部分を形成する基準面が、他の前記プリズム部材の前記基準面と同一平面をなすように接合してクロスプリズム母材を得るプリズム部材接合工程と、
前記クロスプリズム母材を切断して正四角柱のクロスプリズムを得るクロスプリズム母材切断工程と、
を有することを特徴とするクロスプリズムの製造方法。
【請求項２】
前記第１のガラス部材は前記第２のガラス部材の両端に同一形状のはみ出し部が形成されるように接合されていることを特徴とする請求項１記載のクロスプリズムの製造方法。
【請求項３】
前記第２の光学膜成膜工程の前または成膜後に、前記プリズム部材の２つの斜面に対して同時に反射防止膜を成膜する反射防止膜成膜工程をさらに有することを特徴とする請求項１記載のクロスプリズムの製造方法。
【請求項４】
前記ガラス構成体形成工程は、
平板状の形状をした第１のガラス基板の２つの端面と、前記第１のガラス基板の端面よりも１辺が短い端面を有する第２のガラス基板の２つの端面とを研磨する両面研磨工程と、
前記第１のガラス基板の研磨された面または前記第２のガラス基板の研磨された面の何れか１面に前記第１の光学膜を成膜する第１の光学膜成膜工程と、
前記第１の光学膜が成膜された面が接合面となるように前記第１のガラス基板と前記第２のガラス基板とを接合して接合部材を得るガラス基板接合工程と、
前記接合部材を短冊状に切断して前記ガラス構成体を得る接合部材切断工程と、を有することを特徴とする請求項１記載のクロスプリズムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クロスプリズムの製造方法に関し、特に精度の高いクロスプリズムを製造するクロスプリズムの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
２種類の光学膜を交差させたクロスプリズム、主に２種類のダイクロイック膜を交差させた色分解や色合成を行うクロスダイクロイックプリズムは、青色光、緑色光および赤色光の３色の光に分解または合成を行うために使用される。このようなクロスダイクロイックプリズムの一例を図８に示す。図８において、青色光の変調を行うライトバルブ１０１Ｂにおいて変調された青色光、緑色光の変調を行うライトバルブ１０１Ｇにおいて変調された緑色光および赤色光の変調を行うライトバルブ１０１Ｒにおいて変調された赤色光は、夫々３方向からクロスダイクロイックプリズム１００に入射される。
【０００３】
クロスダイクロイックプリズム１００には、入射された光のうち青色光のみを反射させる特性を持つ青色光ダイクロイック膜１０４Ｂと赤色光のみを反射させる特性を持つ赤色光ダイクロイック膜１０４Ｒとが交差するように成膜されている。このようなクロスダイクロイックプリズム１００に入射される青色光、緑色光および赤色光のうち、緑色光は青色光ダイクロイック膜１０４Ｂおよび赤色光ダイクロイック膜１０４Ｒをそのまま透過し、青色光は青色光ダイクロイック膜１０４Ｂにおいて反射し、赤色光は赤色光ダイクロイック膜１０４Ｒにおいて反射し、これら透過光および反射光が合成されて、投射レンズ１０２に入射し、スクリーン１０３に映像が映し出される。
【０００４】
このようなクロスダイクロイックプリズム１００に成膜される青色光ダイクロイック膜１０４Ｂおよび赤色光ダイクロイック膜１０４Ｒは、正確な投射像を映し出すために同一平面性が保たれている必要がある。例えば、図８に示されるようなクロスダイクロイックプリズム１００が、４つの三角柱プリズム１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃおよび１００Ｄにより構成される場合、これら４つの三角柱プリズムの２つの斜面のうち１つの斜面に青色光ダイクロイック膜１０４Ｂまたは赤色光ダイクロイック膜１０４Ｒを成膜し、成膜された４つの三角柱プリズムが接合されることにより形成される。このとき、各三角柱プリズムの頂点が一点に集中されるように接合してダイクロイックプリズム１００を構成しなくてはならないが、各三角柱プリズムの頂点の接合部分、すなわちダイクロイックプリズム１００の中心部分にずれが発生してしまうと、同一平面性を保持することができなくなり、正しい光学特性を発揮することができなくなる。特に、ダイクロイックプリズム１００の中心部分は、３色の光を合成する場所であるため、この接合部分にずれが発生してしまうと、投射像が二重になる問題やぼやけ等の問題が発生してしまい、投射像に大きな影響を与えることになる。
【０００５】
そこで、形状が異なる２つのブロックが接合された接合ブロックを２組用意して、基準部材を用いて、これら２組の接合ブロックのはみ出し面が正確に同一平面をなすように接合して一体化ブロックを得た後に、４隅をカットならびに研磨することによりクロスダイクロイックプリズムを製造する方法は従来から知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００６】
この特許文献１の発明においては、断面形状が正方形の直方体の形状をした第１および第３のプリズムと、断面に垂直な側面が第１および第３のプリズムよりも長い第２および第４のプリズムを用意し、これら各プリズムを研磨して、第１および第３の側面に第１ダイクロイック膜を形成する。そして、第１および第３のプリズムにはみ出し面が形成されるように第１のプリズムに第２のプリズムを、第３のプリズムに第４のプリズムを仮接着して、基準部材を用いて第１ダイクロイック膜の平面性が確保されるように接着剤を硬化させて２つの接合ブロックを形成し、これら２つの接合ブロックの側面に第２ダイクロイック膜を形成する。そして、２つの接合ブロックを仮接着した後に、仮接着基準部材を用いて、２つの接合ブロックのはみ出し面が同一平面となるように位置合わせをした状態で接着剤を硬化させて一体化ブロックを形成する。この一体化ブロックを４つの端部をカットならびに研磨することによりクロスダイクロイックプリズムを製造している。
【特許文献１】特開２００３−４３２２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上述した特許文献１の発明において、第１ダイクロイック膜および第２ダイクロイック膜の平面性が保持された一体化ブロックを形成することができたとしても、その後、４隅をカットならびに研磨を行うために、クロスダイクロイックプリズムの中心部分に応力が集中してしまい、歪みが発生するおそれがある。すなわち、一体化ブロックのカットを行うときには、カットする方向に力が発生する。このとき、この力の成分を分解すると、第１ダイクロイック膜が形成されている接合面と平行な方向および第２ダイクロイック膜が形成されている接合面と平行な方向の２つの方向に力が作用する。また、一体化ブロックの研磨を行うときは、一体化ブロックの中心方向に向かって力が働くが、この力の成分を分解すると、第１ダイクロイック膜が形成されている接合面と平行な方向および第２ダイクロイック膜が形成されている接合面と平行な方向の２つの方向に力が作用する。
【０００８】
このように、一体化ブロックのカットならびに研磨を行うときには、第１ダイクロイック膜が形成されている接合面と平行な方向および第２ダイクロイック膜が形成されている接合面と平行な方向の２つの方向に力が作用するために、第１ダイクロイック膜および第２ダイクロイック膜の平面性が保持された一体化ブロックを形成することができたとしても、一体化ブロックのカットならびに研磨を行うときに作用する力により、中心部分に応力が集中し、ダイクロイック膜にストレスが作用することは勿論、応力が非常に大きいときには、中心部分において第１および第２ダイクロイック膜にずれが発生するおそれがある。特に、研磨を行うときには、一体化ブロックの中心方向に向かって強力な力が作用するために、中心部分において第１のダイクロイック膜および第２のダイクロイック膜の夫々に段差が発生し、中心部分において完全に切れてしまうことがある。その結果、最も重要な役割を果たすべき、クロスダイクロイックプリズムの中心部分が正しい光学特性を発揮することができなくなる。
【０００９】
一方、研磨を行うときに作用する力を軽減するために、ゆるやかに研磨を行う方法もあるが、このような場合、研磨をする時間が長くなり、歩留まりが悪くなるという問題がある。
【００１０】
そこで、本発明は、以上のような点に鑑み、クロスプリズムを構成する２つのガラス構成体を予め研磨した状態で接合することにより、カットまたは研磨時にずれが発生することを防止し、平面性を保持するクロスプリズムの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明のクロスプリズムの製造方法は、細長の四角柱の形状をした第１のガラス部材と、この第１のガラス部材と同一形状の端面を有し、且つ前記第１のガラス部材よりも長辺が長い側面を有する第２のガラス部材とが、前記第１のガラス部材の側面または前記第２のガラス部材の側面に第１の光学膜が成膜され、且つ前記第１の光学膜が成膜された面が接合面となるように接合されたガラス構成体の前記第１の光学膜の成膜面と垂直な側面を研磨する側面研磨工程と、前記ガラス構成体の前記研磨された側面とは反対面の２つの端部のうち１つの端部を研磨する第１の端部研磨工程と、前記ガラス構成体の前記研磨された側面とは反対面の２つの端部のうち他の端部を研磨してプリズム部材を得る第２の端部研磨工程と、前記プリズム部材の前記第１の研磨工程において研磨された２つの面に第２の光学膜を成膜する第２の光学膜成膜工程と、前記プリズム部材を２つ用意して、２つの前記プリズム部材のうち１つの前記プリズム部材を構成する前記第２のガラス部材の端面と、他の前記プリズム部材を構成する前記第２のガラス部材の端面とが同一平面をなすように接合してクロスプリズム母材を得るプリズム部材接合工程と、前記クロスプリズム母材を切断して正四角柱のクロスプリズムを得るクロスプリズム母材切断工程と、を有することを特徴とする。
【００１２】
このうち第１の光学膜および第２の光学膜としては、主に青色の波長を持つ光のみを反射させるダイクロイック膜、赤色の波長を持つ光のみを反射させるダイクロイック膜が適用されるが、例えば、偏光成分等の光学特性によって分けられるものであってもよい。
【００１３】
また、プリズム部材に対しての反射防止膜の成膜は、プリズム部材の直角を挟む２つの側面が同時に成膜されることが好ましいが、２つの側面夫々を個別に成膜してもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のクロスプリズムの製造方法は、クロスする各ダイクロイック膜が夫々同一平面上に成膜された精度の高いクロスプリズムを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について、図１のフローチャートに沿って説明する。図２（ａ）において、平板状の形状をした第１のガラス基板１と第２のガラス基板２とを用意する。ここで、図２（ａ）に示されるように、第１のガラス基板１と第２のガラス基板２とでは、端面のうち１辺の長さが同じであり、且つ同じ端面のうちその辺と垂直な辺の長さが第２のガラス基板２は第１のガラス基板１よりも短い。また、第１のガラス基板１と第２のガラス基板２とでは厚みは同じである。このように、端面のうち１辺の長さが異なる第１のガラス基板１と第２のガラス基板２とを用意することにより、後述する基準面を形成することができる。
【００１６】
最初に、このような第１のガラス基板１および第２のガラス基板２の夫々について両端面を研磨して（ステップＳ１）、第１のガラス基板１または第２のガラス基板２の何れか１つのガラス基板の１つの端面に第１のダイクロイック膜１０Ａを、例えば真空蒸着等の手段により成膜する（ステップＳ２）。この第１のダイクロイック膜１０Ａは、例えば概略５００ｎｍ以下の波長を持つ光、すなわち青色の波長のみを反射させる特性を持つダイクロイック膜（以下、青色ダイクロイック膜という）、または概略６００ｎｍ以上の波長を持つ光、すなわち赤色の波長のみを反射させる特性を持つダイクロイック膜（以下、赤色ダイクロイック膜という）のうち何れかのダイクロイック膜であるものとする。ここでは、第１のガラス基板１の端面に第１のダイクロイック膜１０Ａを成膜するものとするが、第２のガラス基板２に第１のダイクロイック膜１０Ａを成膜してもよい。
【００１７】
そして、図２（ｂ）に示されるように、第１のガラス基板１と第２のガラス基板２とを第１のダイクロイック膜１０Ａが成膜されている面が接合面となるように、例えば接着剤等により接合し（ステップＳ３）、この第１のガラス基板１と第２のガラス基板２とが接合された接合部材を、図２（ｃ）に示されるように短冊状に切断して、細長のガラス構成体５を得る（ステップＳ４）。このとき、ガラス構成体５のうち切断前は第１のガラス基板１であった部材を第１のガラス部材３とし、第２のガラス基板２であった部材を第２のガラス部材４とする。すなわち、ガラス構成体５は、第１のダイクロイック膜１０Ａが成膜された細長の四角柱の形状をした第１のガラス部材３と、同じく細長の四角柱の形状をした第２のガラス部材４とにより構成される。
【００１８】
ここで、第１のガラス基板１と第２のガラス基板２とでは、端面のうち１辺の長さが異なるため、第１のガラス基板１の第２のガラス基板２との接合面には第２のガラス基板２が接合されていないはみ出し部分１Ｐが形成される。これにより、図２（ｃ）に示されるように、第１のガラス部材３の第２のガラス部材４との接合面においても第２のガラス部材４が接合されていないはみ出し部分（以下、基準面３Ｐという）が形成される。この基準面３Ｐは、後に三角柱プリズムに研磨される２つのガラス構成体５を接合するときに、接合位置にずれを発生させないために位置決めされるときの基準とされる基準面である。この基準面は、第１のガラス部材３の一方の端部にのみ設けられていてもよいが、両端部に設けられているほうが好ましい。さらに、第２のガラス部材４の中心位置と第１のガラス部材３の中心位置とが一致するように接合することにより、両端部に形成される基準面が同一のものになるため、この基準面を容易に視認することができるようになる。従って、好ましくは、第２のガラス部材４の中心位置と第１のガラス部材３の中心位置とが一致した方がよい。
【００１９】
次に、図３（ａ）および（ｂ）に示されるような治具２０を使用してガラス構成体５の側面、すなわち第１のガラス部材３の側面３Ｓと第２のガラス部材４の側面４Ｓとが一体になったガラス構成体５の側面の研磨を行う（ステップＳ５）。ここで、この側面は、後に断面が二等辺三角形の三角柱プリズムの底辺として形成されるため、以下、この側面を底面５Ｓという。図３（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は平面図である。このとき、ガラス構成体５の底面５Ｓと第１のダイクロイック膜１０Ａが成膜されている面とが９０°の角度をなすように、且つ第１のガラス部材３の側面３Ｓと第２のガラス部材４の側面４Ｓとが正確に同一平面に形成されるように底面５Ｓの研磨が行われる。すなわち、この研磨が行われる底面５Ｓには、後に第２のダイクロイック膜１０Ｂが成膜されるため、同一平面性が保持されていなくてはならない。従って、この研磨が行われる前は、第１のガラス部材３と第２のガラス部材４との間に段差がなく接合されているとは限られないため、側面３Ｓと側面４Ｓとが同一平面を形成されるように研磨を行う必要がある。
【００２０】
ここで、治具２０について説明する。治具２０は、図３（ａ）に示されるように、窪み２１を有するものであり、この窪み２１にはガラス構成体５の第２のガラス部材４が挿嵌される。ここで、ガラス構成体５の底面５Ｓを構成する第２のガラス部材４の側面４Ｓの長手方向の長さを４ＬＷ、短手方向の長さを４ＬＶ、ガラス構成体５の厚みを４ＬＴとし、窪み２１の第２のガラス部材４に対応する長手方向の長さを２１ＬＷ、短手方向の長さを２１ＬＶ、深さを２１ＬＴとすると、２１ＬＷ≧４ＬＷとなるように、２１ＬＶ＞４ＬＶとなるように、２１ＬＴ＜４ＬＴとなるように窪み２１は形成されている。すなわち、ガラス構成体５の第２のガラス部材４の部分を窪み２１に挿嵌可能なように窪み２１の長手方向の長さ２１ＬＷはガラス部材４の長手方向の長さ４ＬＷ以上の長さを有して構成される。ここで、ガラス構成体５の研磨時に、このガラス構成体５が長手方向に移動しないように、第２のガラス部材４の基準面３Pが治具２０の窪み２１の両端の壁面に接着剤等により貼り付けられている必要がある。また、ガラス構成体５の底面５Ｓを研磨するために、ガラス構成体５の厚み、すなわち第２のガラス部材４の厚み４ＬＴは、窪み２１の厚み２１ＬＴよりも長く構成されていなくてはならない。一方、窪み２１の短手方向の長さ２１ＬＶは、第２のガラス部材４の側面４Ｓの短手方向の長さ４ＬＶよりも長く構成される。
【００２１】
ここで、治具２０は、ガラス構成体５のうち第２のガラス部材４のみを保持するようにしたが、窪み２１の形状を変えて第１のガラス部材３も窪みに挿嵌されるようにすることも考えられる。しかしながら、ステップＳ５のガラス構成体の側面研磨工程が行われる前は、上述したように、第１のガラス部材３と第２のガラス部材４との間で、厚みの方向に段差が発生している可能性がある。このように、段差が発生してしまうと、第１のガラス部材３または第２のガラス部材４の何れかが窪み２１に接触し、他方は宙に浮いている状態になる。このような状態で研磨が行われると、ガラス構成体５が斜めの状態で研磨が行われることがあり正確に研磨を行うことができない。従って、第２のガラス部材４のみが窪み２１に挿嵌されている状態で研磨が行われることが望ましい。
【００２２】
このような治具２０に第２のガラス部材４が挿嵌された状態でガラス構成体５の底面５Ｓを、第１のダイクロイック膜１０Ａに対して９０°の角度をなすように研磨する。このとき、ガラス構成体５は、図３（ｂ）に示される一点鎖線の位置まで研磨されるが、好ましくは、第１のガラス部材３の端面３Ｅおよび第２のガラス部材４の端面４Ｅが正方形となる位置まで研磨を行う。
【００２３】
次に、図４（ａ）に示されるような治具３０に、上記の研磨が行われた底面５Ｓが接着面となるように、ガラス構成体５を接着等の手段により固定保持が可能なように貼り付ける。この治具３０は、細長の四角柱の１つの稜線が欠けている形状をしており、この欠けた部分が平面３０Ａを形成する。この平面３０Ａは隣接する面に対して４５°の角度をなすように形成されており、この平面３０Ａにガラス構成体５の底面５Ｓを貼り付けて、治具３０はガラス構成体５を固定保持する。このように固定保持されたガラス構成体５の底面５Ｓの反対面における２つの稜線のうち１つの稜線を４５°の角度をなすように研磨し、さらに図４（ｂ）に示されるように、ガラス構成体５が治具に貼り付けられた状態で、治具を時計方向に９０°回転させ、２つの稜線のうち残りの１つの稜線を４５°の角度をなすように研磨する（ステップＳ６）。このとき、稜線から研磨を行うこともできるが、カッター等の切断手段により切断した後に研磨を行う方が効率的である。そして、ガラス構成体５の研磨は、図４（ａ）および（ｂ）の一点鎖線で示されるように、ガラス構成体５の研磨された底面５Ｓの端部に達するまで、またはそれ以上の研磨を行う。
【００２４】
ここで、ステップＳ６の稜線研磨において、研磨時にガラス構成体５に最も負荷がかかる力の方向は研磨を行う方向、すなわち図４（ａ）および（ｂ）に示されるＦＡおよびＦＢの方向に最も力が加わる。このとき、ステップＳ６の研磨を行うときにガラス構成体５に加わる力ＦＡは、２方向の力の成分Ｆ１およびＦ２に分解することができる。このとき、ＦＡの成分Ｆ１は治具３０の平面３０Ａに対して垂直に力が作用するため、この力は相殺される。一方、ＦＡの成分Ｆ２は治具３０の平面３０Ａに対して平行な方向に力が作用するが、この力Ｆ２は、ガラス構成体５全体をＦ２の方向にずらすための力であるため、第１のダイクロイック膜１０Ａが成膜されている面に対しては何ら影響を及ぼすものではない。すなわち、問題となるのは、第１のガラス部材３と第２のガラス部材４との間に、Ｆ１の方向に力が作用することであり、このＦ１の方向に力が作用すると、第１のガラス部材３と第２のガラス部材４との間にずれが発生する可能性がある。仮に、第１のガラス部材３と第２のガラス部材４との間にずれが発生すると、ステップＳ５において底面５Ｓが同一平面になるように研磨を行ったとしても、さらにまた底面５Ｓの研磨等を行って、同一平面性を確保しなくてはならない。しかしながら、研磨時に作用する力Ｆ１は、治具３０により相殺されるため、このような問題は考慮しなくてもよい。また、同様に、図４（ｂ）においても、研磨時に作用する力ＦＢは、Ｆ３とＦ４に分解することができ、これらのうちＦ３は治具３０により相殺され、Ｆ４はダイクロイック膜にずれを発生させることはない方向であるため、最終的に製造されるクロスプリズムに影響を与えることはない。
【００２５】
以上のステップＳ６の研磨により、図５（ａ）の斜視図および（ｂ）の平面図に示されるような断面が二等辺三角形である細長の形状をしたプリズム部材６を得ることができる。そして、このプリズム部材６の底面を除く２つの斜面６Ａ、６Ｂに対して反射防止膜１１の成膜を行う（ステップＳ７）。これらプリズム部材６の斜面６Ａ、６Ｂは、最終的に製造されるクロスプリズムの外壁をなすために、これら斜面６Ａ、６Ｂに対して反射防止膜１１を成膜することにより、さらに高い光学特性を得ることができる。ここで、プリズム部材６の斜面６Ａ、６Ｂに対しての反射防止膜１１の成膜は斜面６Ａ、６Ｂに対して夫々異なるタイミングで行うこともできるが、同時に行うことが好ましい。すなわち、プリズム部材６の両端面を保持し、このプリズム部材６の下方に図示しない反射防止膜１１の蒸着源を設け、この蒸着源からプリズム部材６の斜面６Ａ、６Ｂの両面に対して蒸着物質（反射防止膜１１）が付着するようにする。このように構成することにより、プリズム部材６の斜面６Ａ、６Ｂの両面に対して１回で反射防止膜１１を成膜することができる。なお、このような蒸着を行う蒸着装置では、下方に蒸着源が設けられ、上方にプリズム部材６が設けられた状態で、プリズム部材６に対して反射防止膜１１が成膜される。このとき、プリズム部材６の直角を挟む２辺である斜面６Ａ、６Ｂの両斜面が共有する辺が図示しない蒸着源に相対するように設置される。このとき、斜面６Ａ、６Ｂに対して蒸着物質（反射防止膜１１）が蒸着されるが、斜面６Ａ、６Ｂのうち上記した辺の近傍の膜厚が厚くなり、遠ざかるに従って膜厚が薄くなる。一方、斜面６Ａ、６Ｂには均一な膜厚で反射防止膜１１が成膜されなくてはならないため、例えば波長のずれを吸収できる反射防止膜１１を成膜することにより、上述したような問題を解決することができる。すなわち、多少、長波長側または短波長側にシフトしたとしても、反射防止膜の特性に影響を及ぼすことのないように反射防止膜１１を成膜する。
【００２６】
次に、図６（ａ）の斜視図および（ｂ）の平面図に示されるように、斜面６Ａ、６Ｂに反射防止膜１１が成膜されたプリズム部材６底面６Ｃに対して第２のダイクロイック膜１０Ｂを成膜する（ステップＳ８）。この第２のダイクロイック膜１０Ｂとしては、青色ダイクロイック膜または赤色ダイクロイック膜のうち第１のダイクロイック膜１０Ａで使用されていないダイクロイック膜を使用する。ここで、底面６Ｃは、ステップＳ５の底面研磨工程において、同一平面となるように研磨が行われているため、第２のダイクロイック膜１０Ｂもずれが発生することない、連続性が保持された膜を成膜することができる。このとき、プリズム部材６の下方に第２のダイクロイック膜１０Ｂの蒸着を行うための図示しない蒸着源を用意し、プリズム部材６の側面６Ｃが図示しない蒸着源に相対するようにプリズム部材６の両端面を保持した状態で、第２のダイクロイック膜１０Ｂの成膜を行う。
【００２７】
そして、上述した第２のダイクロイック膜１０Ｂが成膜されたプリズム部材６と第２のダイクロイック膜１０Ｂが成膜されていないプリズム部材６の２つのプリズム部材６を用意し、図７（ａ）の斜視図および（ｂ）の平面図に示されるように、第２のダイクロイック膜１０Ｂが成膜されている面が接合面となるように２つのプリズム部材６を接合して、クロスプリズム母材７を得ることができる（ステップＳ９）。このとき、２つのプリズム部材６の基準面３Ｐ同士が正確に同一平面をなすように接合する。例えば、接合時にある程度、基準面３Ｐ同士が同一平面をなすように仮接着し、その後微調整を行って正確に同一平面をなすようにした後に本接着を行ってもよい。このように基準面３Ｐが正確に同一平面をなすように２つのプリズム部材６を接合することにより、第１のダイクロイック膜１０Ａはずれがなく同一平面をなすことができる。また、第２のダイクロイック膜１０Ｂは、同一のプリズム部材６を使用しており、且つステップＳ５において底面の研磨が行われているため、ずれがなく同一平面をなすことができる。
【００２８】
そして、クロスプリズム母材７を長手方向に垂直な方向に、正方体や立方体、キューブ状等の形状を有するように切断することにより、最終的なクロスプリズムを得ることができる。このとき、最終的なクロスプリズムが立方体の形状をするようにクロスプリズム母材７を切断する。
【００２９】
以上説明したように、各ステップを経ることにより、最終的に製造されるクロスプリズムに成膜されている第１のダイクロイック膜１０Ａおよび第２のダイクロイック膜１０Ｂにずれが発生することなく、正確に同一平面上に形成することができる。特に、ステップＳ５において、底面５Ｓが正確に９０°に研磨されたガラス構成体５に対して、ステップＳ６のガラス構成体５の底面５Ｓの反対面における稜線を研磨するときに、第１のダイクロイック膜１０Ａにずれが発生するような力は作用しないため、第１のダイクロイック膜１０Ａおよび第２のダイクロイック膜１０Ｂが正確に同一平面上に形成されたクロスプリズムを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】クロスプリズムの製造方法のフローチャートである。
【図２】第１のガラス基板と第２のガラス基板とからガラス構成体を得るための説明図である。
【図３】ガラス構成体および治具の斜視図および平面図である。
【図４】ガラス構成体の第１の端部研磨工程およびガラス構成体の第２の端部研磨工程におけるガラス構成体および治具の平面図である。
【図５】反射防止膜を成膜するときのプリズム部材の斜視図および平面図である。
【図６】第２のダイクロイック膜を成膜するときのプリズム部材の斜視図および平面図である。
【図７】クロスプリズム母材の斜視図および平面図である。
【図８】投射型表示装置の部分構成図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  第１のガラス基板      ２  第２のガラス基板
３  第１のガラス部材      ４  第２のガラス部材
５  ガラス構成体        ６  プリズム部材
７  クロスプリズム母材      １０Ａ  第１のダイクロイック膜
１０Ｂ  第２のダイクロイック膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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