(57)【要約】      （修正有）【課題】処理工程設定時に、禁止される要素工程の組み合わせ条件を簡単な方法によって記憶すると同時に、コンピュータによって自動的にかつ迅速に検証できる処理工程検証装置を提供する。【解決手段】処理工程における処理履歴を記憶しておくためのパラメータをユーザーが設定できるようにすることにより要素工程の禁止された組み合わせを検出するものである。ユーザーは以下を実施する。まず、パラメータの初期値を設定する。次に、どの要素工程を処理したときにどのようにこのパラメータが変化するかを設定する。次に、パラメータが或る値のときに、或る要素工程を処理した場合を禁止条件として設定する。次に、その禁止条件が発生したときにどのような処理を行うかを設定する。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
要素工程を一定の順序で組み合わせることによって処理工程を設定する工程設定方法において、前記要素工程の順序を検証する処理工程検証装置であって、前記要素工程の組み合わせを記憶する処理工程記憶部と、前記要素工程の間違った組み合わせである禁止条件を記憶する検証条件記憶部と、前記検証条件記憶装置のデータを用いて前記処理工程の中に前記禁止条件があるかどうかを検証するためのプログラムを記憶する検証プログラム記憶部と、前記検証プログラム記憶装置に記憶されたプログラムを実行する中央処理装置とからなることを特徴とする処理工程検証装置。
【請求項２】
前記検証条件記憶部は、前記処理工程の処理履歴を記憶しておくためのパラメータの定義を記憶する第１の部分と、前記パラメータの値を変更する方法を記憶する第２の部分と、前記パラメータの値と特定の要素工程の一定の組み合わせを禁止条件として記憶する第３の部分とからなることを特徴とする請求項１に記載の処理工程検証装置。
【請求項３】
前記第１部位及び第２の部分において、要素工程のコード化された略称を用いることを特徴とする請求項２に記載の処理工程検証装置。
【請求項４】
前記要素工程のコード化された略称に対して、ワイルドカードの指定を可能にしたことを特徴とする請求項３に記載の処理工程検証装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は要素工程を一定の順序で組み合わせることによって処理工程を定義する工程設定方法に対して、設定された処理工程に間違いがないかを検証するための処理工程検証装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶表示装置を製造する製造工程は、１００から時には４００ステップもの要素工程を一定の順序で並べたものとして設定されている。このような設定作業は工程設定と呼ばれることがある。一般に各要素工程を区別する場合にはレシピコードと呼ばれるコード化された略称によって区別されている場合が多い。よってレシピコードを指定しただけで、その要素工程においてはどのように作業するべきかが作業者に完全に分かるようになっている。したがって工程設定とは、レシピコードの並び方を設定することに対応する。
【０００３】
ところで、要素工程に対しては禁止されている組み合わせ順序が存在する。例えば、アルミニウム配線を行った品物に高温の処理を行うとアルミニウムが溶けて不良品となってしまう。したがってアルミニウム処理に関する要素工程を行った後の工程では、高温処理を行う要素工程が存在してはならない。このような禁止されている組み合わせは多数あるが、ステップ数が多くなるとこれらをすべて人間が検証することは困難になる。このために誤った工程設定がなされてしまい不良品が出ることがあった。
【０００４】
このような検証を行う従来技術として、品物の状態を色で表示し、この情報を参考にして各要素工程が処理されてよいかどうかを人間が確かめる方法が紹介されている（例えば、特許文献１参照。）。しかし品物の色の情報を参考にして人間が全ステップを追いながらチェックするというのでは見落としがどうしても発生する。また、ノウハウの蓄積によって禁止条件が増えたときも、すべての人間にそれを徹底しなければならない。このようにチェックを人間が行うのでは、どうしても不完全になる。したがってコンピュータなどによって人手を介さずにチェックを行うことが望ましい。
【０００５】
そこで、禁止されているレシピの組み合わせをコンピュータに覚えさせて、その組み合わせが存在しないことをコンピュータによって検証するシステムが考えられた（例えば、特許文献２参照。）。この提案では、或る要素工程とその次の要素工程の組み合わせについて、許される組み合わせを、許されるレシピコードの組み合わせとしてデータベース化した上で、許されていない組み合わせがないかを検証している。しかしこの方法では隣り合う二つの要素工程の組み合わせしか検証できない。上に述べたアルミニウム処理の例の場合には、必ずしも隣り合う要素工程のレシピの組み合わせが禁止されるわけではなく、遠く離れた要素工程の組み合わせが禁止されることもある。しかし禁止されるすべての組み合わせや、許可されるすべての組み合わせを記憶しておくことはコンピュータにとっても不可能に近いことである。
【０００６】
また他の従来技術の例として、工程設定機能と検証機能を備えたシステムが提案されている（例えば、特許文献３参照。）。この提案においては、検証機能を「工程ノウハウチェックシステム」として工程設定システムに組み込むことが提案されている。しかし、本発明で想定されている工程設定とは想定している工程設定方法が異なるので、上で指摘した組み合わせ的爆発をどのように回避して検証するかは記述されていない。
【０００７】
【特許文献１】
特開平０９−３３０８６０号公報  （第２頁、図１３）
【０００８】
【特許文献２】
特開平０９−３３０８６０号公報  （第６頁、図５）
【０００９】
【特許文献３】
特開平０９−１６０９７１号公報  （第３−５頁、図２）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、工程において禁止される要素工程の組み合わせ条件を簡単な方法によって記憶すると同時に、コンピュータによって自動的にかつ迅速に検証できる処理工程検証装置を提供することを課題としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明では、禁止される要素工程の組み合わせを直接記憶しておくのでなく、処理工程における処理履歴を記憶しておくためのパラメータをユーザーが設定できるようにすることにより要素工程の禁止された組み合わせを検出しようとするものである。ユーザーはまずこのパラメータの初期値を設定する。次に、ユーザーはどの要素工程を処理したときにどのようにこのパラメータが変化するかを設定する。このパラメータの値によって、工程が今どのような状態にあるかを簡単に記憶しておくことができるようにしておくのである。次に、ユーザーは、パラメータが或る値のときに、或る要素工程を処理した場合を禁止条件として設定する。次にユーザーは、その禁止条件が発生したときにどのような処理を行うかを設定する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下では本発明の典型的な実施形態について説明する。
【００１３】
図１は、本発明の実施形態である処理工程検証装置１０を表すブロック図である。処理工程記憶部１１には、処理工程の設定内容が要素工程の並びとして記憶されている。図２は本発明における処理工程検証装置の処理工程記憶部１１の記憶内容例２０を表す図である。ここでは要素工程を表すコード（レシピコード）２１〜２７が処理する順番に並んでいる。
【００１４】
次に、検証条件記憶部１２には、処理履歴を記憶しておくためのパラメータに関するユーザーの設定内容が記憶されている。図３は本発明における処理工程検証装置の検証条件記憶部１２の記憶内容例３０を表す図である。この部分には工程検証に必要な条件が記述されているが、これについては以下の動作説明の中で詳しく説明する。
【００１５】
次に、検証プログラム記憶部１３には、処理工程記憶部１１に記憶された処理工程の設定内容を検証条件記憶部１２に記憶されている検証条件に基づいて検証するプログラムのコードが記憶されている。このプログラムは実際には中央処理部１５によって実行される。中央処理部１５がプログラムを処理するときに、工程記憶部や検証条件記憶部に記憶されている内容を一時記憶部１６に一時的にコピーする。
【００１６】
次に図３の検証条件記憶部の記憶内容例３０に沿って、検証条件の具体的内容を詳しく説明する。まず、図３の３１ではパラメータの定義をしている文である。ここではＲＥＳというパラメータを初期値０で定義している。したがって図２で定義された工程を検証する場合、パラメータＲＥＳの初期値は０に設定される。次に図３の３２はパラメータＲＥＳの値を変更する条件を表す。３２では、レシピコードの先頭４文字がＣＯＡＴであれば現在のパラメータＲＥＳの値に１を加算するように指示されている。ここで記号［＊］はワイルドカードと呼ばれているものであり、ＣＯＡＴの後の文字列は任意の文字列でよいことを表す。
【００１７】
３３では、レシピコードの先頭３文字がＲＥＭであればパラメータＲＥＳの値を０にするように設定されている。３４ではパラメータＲＥＳの値が０の状態でＲＥＳＣＬというレシピコードの要素工程を処理したらエラーを検出し、「エラー１」をデータ入出力部１４に出力するように指示されている。３５ではパラメータＲＥＳの値が正の状態でレシピコードの先頭５文字がＣＬＥＡＮという要素工程を処理したらエラーを検出し、「エラー２」をデータ入出力部１４に出力するように指示されている。以上が検証条件として図３で設定されている内容である。
【００１８】
図６は本発明における処理工程検証装置の一時記憶部１６の記憶内容例６０を表す図である。６１は処理工程記憶部１１から読み込んだレシピコードを一時的に記憶しておく領域である。６２は検証条件記憶部１２から読み込んだ検証条件文字列を一時的に記憶しておく領域である。６３はパラメータ名を記憶しておく領域である。６４は６３の名前を持つパラメータの現在値を記憶しておく領域である。６５、６６は他のパラメータについてその名前と現在の値を記憶しておく領域である。
【００１９】
以下では、各記憶部が上で説明した記憶内容である場合に、本装置がどのように動作するかを詳細に説明する。
【００２０】
最初に、中央処理部１５は検証条件記憶部１２の記憶内容例３０を順番に読み出して、一時記憶部の領域６２にセットする。次に、領域６２に設定された内容の中にＤＥＦＩＮＥというキーワードがそれに含まれていれば、この文で定義されているパラメータ名を一時記憶部の領域６３に登録し、初期値として設定された値を領域６４にセットする。今の場合には領域６３に文字列「ＲＥＳ」を、領域６４に値０を設定する。
【００２１】
次に処理工程記憶部１１の記憶内容から最初のデータ「ＲＣＰ０１」を一時記憶部の領域６１にコピーする。この状態で検証条件記憶部１２の記憶内容例３０を３１から順番に読み出して、一時記憶部の領域６２にセットする。そして、領域６２に記憶された条件に領域６１に記憶されたレシピコードが該当するかどうかを調べる。今の場合、検証条件記憶部１２の記憶内容例３１〜３５の中には「ＲＣＰ０１」というレシピコードが該当する条件はない。
【００２２】
そこで次のレシピコード「ＣＯＡＴ００１」を処理工程記憶部１１の記憶内容から読み出して、一時記憶装置の領域６１にコピーする。次に再び検証条件記憶部１２の記憶内容例３０を３１から順番に読み出して、一時記憶装置の領域６２にコピーする。そして、これらの条件にＣＯＡＴ００１というレシピコードが該当するものがあるかどうかを調べる。このとき図３の３２の条件がレシピコード「ＣＯＡＴ００１」に該当することになる。そこで３２で指定されているように、パラメータＲＥＳの値を一つ増やす。ＲＥＳの現在値は０であったからＲＥＳの値は１になる。即ち領域６４の値は１になる。ＣＯＡＴ００１は図３におけるその他の条件には該当しないので、レシピコード「ＣＯＡＴ００１」に関する処理は終わる。
【００２３】
そこで次の要素工程のレシピコード「ＥＸＰ００２」を処理工程記憶部１１の記憶内容から読み出して、一時記憶部の領域６１にコピーする。次に検証条件記憶部１２の記憶内容例３０を３１から順番に読み出して、一時記憶部の領域６２にコピーする。そして、ＥＸＰ００２というレシピコードが領域６２に読み出した条件に該当するかどうかを調べる。このとき検証条件記憶部１２の記憶内容例３１〜３５の中には「ＥＸＰ００２」というレシピコードが該当する条件はない。
【００２４】
以上の処理を図２のように設定された工程について繰り返すと次のような結果になる。まず、上でも説明したように、図２の２２においてパラメータＲＥＳは初期値０から１加算されて１になる。つまり、図２の２３においてＲＥＳは１になる。これ以降（２４以降）の要素工程においてはこの値がＲＥＳの現在値となる。次に図２の工程においては、２６において再び図３の３２に該当するレシピコードが存在する。したがってここでＲＥＳにはさらに１が加算されてＲＥＳの値は２となる。次に図２の２７では図３の３３の条件が該当する。したがって図２の２７ではパラメータＲＥＳの値は２になっていたが、要素工程２８以降においては０になる。
【００２５】
次に図２の２８のレシピは図３の３５で指定しているレシピコードに該当している。しかしこのときのパラメータＲＥＳの値は０であるから、図３の３５の条件は満足されていない。よってエラーは発生しない。次に図２の２９のレシピコードは図３の３４で指定しているレシピコード条件を満足している。さらにこのときのパラメータＲＥＳの値は０になっているので、３４の条件は完全に満足されている。したがってここで「エラー１」というエラーメッセージが表示される。こうしてエラーが検出される。同じ処理を、図２の２９以降の要素工程に対しても次々と進めることができる。
【００２６】
以上で説明した検証方法を、
【従来の技術】で説明した、品物の色の情報を用いる方法との比較で再度説明する。品物の色の情報を用いる方法では、品物の色は工程が進むにつれて変化する。これが本発明の方法ではパラメータ値の変化として表現される。そして品物の色情報を参考にして各要素工程が処理されてよいかどうかを人間が確かめる部分が、本発明における禁止条件に対応している。しかし色を条件にしたのではコンピュータで自動判断することができないが、これをパラメータ値として設定することによりコンピュータでも容易に扱うことのできる対象となる。したがって自動検証が可能となる。
【００２７】
また、以上で説明した検証方法を、
【従来の技術】で説明した別の方法と比較
することによりさらに説明する。
【従来の技術】で説明した、或る要素工程とその次の要素工程の組み合わせについて、許される組み合わせを、許されるレシピコードの組み合わせとしてデータベース化した上で、許されていない組み合わせがないかを検証する方法では、隣り合った組み合わせしか指定できない。今回の実施例で検出した禁止条件が発生している部分は、図２の２８と２９であるが、これは「ＣＬＥＡＮ０２」と「ＲＥＳＣＬ」のレシピコードが組み合わさっていることとは関係ない。この二つのレシピコードが並んでいれば常にエラーにしてよいわけではない。つまり、今回の実施例で検出した禁止条件を従来方法で検出することはできない。
【００２８】
今回検出した禁止条件をレシピの組み合わせで表現することはほとんど不可能であると思われる。それを以下で説明する。今回検出した禁止条件である図３の３４は、パラメータＲＥＳが０の状態でレシピコードＲＥＳＣＬの要素工程を処理する場合をエラーとして設定しているが、パラメータＲＥＳの値が０になる要素工程の組み合わせは非常に多い。パラメータＲＥＳは図３の３３によりレシピコードの先頭３文字が「ＲＥＭ」という要素工程を実行すると０になる。
【００２９】
したがってレシピコードの先頭３文字が「ＲＥＭ」という要素工程を実行したあとで、パラメータＲＥＳの値が変化しなければエラーとなる。パラメターＲＥＳが変化するのは、図３の３２によりシピコードの先頭４文字が「ＣＯＡＴ」という要素工程を実行したときである。よって、レシピコードの先頭３文字が「ＲＥＭ」という要素工程を実行したあと、シピコードの先頭４文字が「ＣＯＡＴ」という要素工程を実行しなければエラーとなる。しかしレシピコードの全種類数が何十・何百とある場合には、このようなレシピコードの組みあわせはほとんど無限に近い数だけある。
【００３０】
次に同じ検証条件を用いても、工程設定内容によって検証結果が異なることを例示するために、第二の実施例として、別の工程設定例に対して、同じ検証条件記憶部１２の記憶内容例３０を用いた場合を説明する。図４は本発明における処理工程検証装置の処理工程記憶部１１の記憶内容として、内容例２０とは異なる内容例４０を表す図である。工程設定が内容例４０の場合で、同じ検証条件記憶部１２の記憶内容例３０を用いた場合に、本発明による工程検証装置がどのように動作するかを以下で説明する。
【００３１】
図４の４１では、レシピコードの先頭５文字が「ＣＬＥＡＮ」になっている。検証条件記憶部１２の記憶内容例３１〜３５の中でこのレシピコードが該当する条件は３５である。しかしこのときのパラメータＲＥＳの値は初期値である０になっているので、図３の３５の条件には該当しないのでエラーは発生しない。
【００３２】
次に図４の４２では、レシピコードの先頭４文字が「ＣＯＡＴ」になっている。したがって、検証条件記憶部１２の記憶内容例３１〜３５の中の３２の条件に該当するので、パラメータＲＥＳの値は１増加されて１となる。
【００３３】
次に図４の４３〜４５の間のレシピコードに対しては、検証条件記憶部１２の記憶内容例３１〜３５中に該当するものがない。しかし図４の４６においてレシピコードがＲＥＳＣＬになっているので、図３の３５で指定されたレシピコードの条件に該当する。しかしこのときのパラメータＲＥＳの値は１であるので、図３の３５の条件は完全には満足されておらずエラーは発生しない。
【００３４】
次に図４の４７ではレシピコードの先頭４文字が「ＣＯＡＴ」になっている。したがって、検証条件記憶部１２の記憶内容例３１〜３５の中の３２の条件に該当するので、パラメータＲＥＳの値はさらに１増加されて２となる。
【００３５】
次に図４の４８ではレシピコードの先頭５文字が「ＣＬＥＡＮ」になっている。このときの検証条件記憶部１２の記憶内容例３１〜３５の中の３５で指定されたレシピコードの条件に該当する。一方でパラメータＲＥＳの値は上で述べたように２になっている。したがって検証条件記憶部１２の３５の条件を完全に満たす。したがって「エラー２」が発生する。
【００３６】
以上の方法によればさらに複雑な禁止条件を設定することも可能である。これについて例を挙げて説明する。図５は本発明における処理工程検証装置の検証条件記憶部１２の別の記憶内容例５０を表す図である。この内容例５０では別のパラメータＰＡＲについての検証条件が設定されている。内容は先ほどの内容例３０とパラメータの名前を除けば、ほとんど同じであるが、図３における３５の内容だけが図５では５５に変わっている。
【００３７】
５５における条件式「ＰＡＲ＞０  ＡＮＤ  ＲＥＣＩＰＥ＝ＣＬＥＡＮ＊  ＡＮＤ  ＲＥＣＩＰＥ！＝ＣＬＥＡＮ０２」には記号「！＝」が含まれているが、これは「等しくない」ということを意味する記号である。この条件式はパラメータＰＡＲが０より大きくて、かつ、レシピコードの先頭５文字が「ＣＬＥＡＮ」であって、かつ、レシピコードが「ＣＬＥＡＮ０２」でない場合を示している。例えば、「ＣＬＥＡＮ０１」「ＣＬＥＡＮ００２」のようなレシピコードが該当する。
【００３８】
この検証条件の下で図４の内容例４０に示された工程を検証した場合の動作を以下で詳細に説明する。
【００３９】
図４の４１では、レシピコードの先頭５文字が「ＣＬＥＡＮ」になっている。検証条件記憶部１２の記憶内容例５１〜５５の中でこのレシピコードが該当する条件は５５である。しかしこのときのパラメータＰＡＲの値は初期値である０になっているので、図５の５５の条件には該当しないのでエラーは発生しない。
【００４０】
次に図４の４２では、レシピコードの先頭４文字が「ＣＯＡＴ」になっている。したがって、検証条件記憶部１２の記憶内容例５１〜５５の中の５２の条件に該当するので、パラメータＰＡＲの値は１増加されて１となる。
【００４１】
次に図４の４３〜４５の間のレシピコードに対しては、検証条件記憶部１２の記憶内容例５１〜５５中に該当するものがない。しかし図４の５６においてレシピコードがＲＥＳＣＬになっているので、図５の５５で指定されたレシピコードの条件に該当する。しかしこのときのパラメータＰＡＲの値は１であるので、図５の５５の条件は完全には満足されておらず「エラー３」は発生しない。
【００４２】
次に図４の４７ではレシピコードの先頭４文字が「ＣＯＡＴ」になっている。したがって、検証条件記憶部１２の記憶内容例５１〜５５の中の５２の条件に該当するので、パラメータＰＡＲの値はさらに１増加されて２となる。
【００４３】
次に図４の４８ではレシピコードの先頭５文字が「ＣＬＥＡＮ」になっている。このときの検証条件記憶部１２の記憶内容例５１〜５５の中の５５で指定されたレシピコードの条件の中の式「ＲＥＣＩＰＥ＝ＣＬＥＡＮ＊」に該当する。しかし、次の式「ＲＥＣＩＰＥ！＝ＣＬＥＡＮ０２」で「ＣＬＥＡＮ０２」は除外されているので、図４の４８は５５で指定された条件には該当しない。したがって５５の条件を満たさないので「エラー４」は発生しない。
【００４４】
次に図３の内容例３０や図５の内容例５０のような設定条件を複数設定する場合を例を挙げて説明する。図７は検証条件記憶部１２の記憶内容例７０を表すものである。この例は図３における内容例３０と図５における内容例５０を単純に合わせたものである。図７の内容例７０を検証条件として図４の４０における工程を検証すると、図３の内容例３０で設定された検証条件と図５の内容例５０で設定された検証条件が両方有効となる。図３の内容例３０で検証したときには「エラー２」が発生し、図５の内容例５０で検証したときにはエラーが発生しなかった。したがって図７の内容例７０で検証したときには、「エラー２」が発生する。この場合図３の内容例３０と図５の内容例５０の二つの検証条件を同時に検証していることになる。
【００４５】
【発明の効果】
本発明によれば、工程において禁止されるレシピの組み合わせ条件を簡単な方法によって設定し、かつコンピュータによって自動的にかつ迅速に検証できる処理工程検証装置が実現される。さらにそれだけではなく、禁止条件を容易に追加できることによって、ノウハウの蓄積や普及、さらにこれまで設定された工程が抱えている潜在的な問題点を正確に検証することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の処理工程検証装置の構成を示すブロック図である。
【図２】本発明における処理工程検証装置の処理工程記憶部の記憶内容の一例を示す例示図である。
【図３】本発明における処理工程検証装置の検証条件記憶部の記憶内容の一例を示す例示図である。
【図４】本発明における処理工程検証装置の処理工程記憶部の記憶内容の一例を示す例示図である。
【図５】本発明における処理工程検証装置の検証条件記憶部の記憶内容の一例を示す例示図である。
【図６】本発明における処理工程検証装置の一時記憶部の記憶内容の一例を表す図である。
【図７】本発明における処理工程検証装置の検証条件記憶部の記憶内容の一例を示す例示図である。
【符号の説明】
１０  処理工程検証装置
１１  処理工程記憶部
１２  検証条件記憶部
１３  検証プログラム記憶部
１４  データ入出力部
１５  中央処理部
１６  一時記憶部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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