(57)【要約】【課題】本発明の目的は、光ディスクの貼合わせ工程において、接着剤（通常、紫外線硬化樹脂）を２枚のディスク基板間で膜厚に偏りがなく均一に延展することができる接着剤の延展方法を提供すること。【解決手段】中心穴を有する２枚のディスク基板（Ｄ１，Ｄ２）間に接着剤Ｒを介在させ、該ディスク基板を回転させて接着剤Ｒを延展する光ディスクにおける接着剤の延展方法であって、延展の際、ディスク基板の外周端部上面を押圧する接着剤の延展方法。  また、前記ディスク基板の外周端部上面の押圧は、エアーを吹き付けるものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心穴を有する２枚のディスク基板間に接着剤を介在させ、該ディスク基板を回転させて接着剤を延展する光ディスクにおける接着剤の延展方法であって、延展の際、ディスク基板の外周端部上面を押圧することを特徴とする接着剤の延展方法。
【請求項２】
前記ディスク基板の外周端部上面の押圧は、エアーを吹き付けることにより行うことを特徴とする請求項１記載の接着剤の延展方法。
【請求項３】
エアーを吹き付ける際にディスク基板に当たる半径方向の位置によって吹き付け圧力を変えるものであることを特徴とする請求項２記載の接着剤の延展方法。
【請求項４】
前記延展の際、前記ディスク基板の外周端部の端面側から接着剤を吸引することを特徴とする請求項１記載の接着剤の延展方法。
【請求項５】
前記接着剤の吸引は、ディスク基板の周囲に沿って吸引装置を配置し、該吸引装置により接着剤を吸引することにより行うことを特徴とする請求項４記載の接着剤の延展方法。
【請求項６】
前記延展の際、ディスク基板の内周端側から外周端側に向けて温度が高くなるように、ディスク基板の上面に、温熱風を吹き付けることを特徴とする請求項１記載の接着剤の延展方法。
【請求項７】
前記温熱風を吹き付ける操作は、複数のドライヤをディスク基板半径方向に沿って並べて、該ドライヤから噴射される温風の温度を変更することにより行うことを特徴とする請求項６記載の接着剤の延展方法。
【請求項８】
前記延展の際、ディスク基板の内周端側から外周端側に向けて流量が大きくなるようにディスク基板の上面に温熱風を吹き付けることを特徴とする請求項１記載の接着剤の延展方法。
【請求項９】
前記温熱風を吹き付ける操作は、複数のドライヤをディスク基板半径方向に沿って並べて、該ドライヤから噴射される温風の流量を変更することにより行うことを特徴とする請求項８記載の接着剤の延展方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスクを貼合わせる際における接着剤の延展方法に関し、更に詳しくは、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ及び次世代ディスクＨＤ−ＤＶＤ等の高密度記録媒体用の光ディスクを貼合わせる際における接着剤の延展方法に関する。
特に、２枚のディスク基板間に介在する接着剤を均一に延展するための接着剤の延展方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−Ｒ、及びＤＶＤ−ＲＷ等の光ディスクは、それを構成する円盤状の樹脂性のディスク基板の厚さが０．６ｍｍ、外形が１２０ｍｍ、及び中心穴の内径が１５ｍｍ、と規定されている。
このようなディスク基板が２枚合体されることにより機械的強度が十分担保された１．２ｍｍ厚の光ディスクが形成される。
【０００３】
光ディスクの貼合わせ工程における接着剤（通常、紫外線硬化樹脂）の延展方法としては、図７の工程図に示すような方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この方法は、ディスク基板同士を貼合わせて一体とするために、次の一連の工程を経る。
【０００４】
すなわち工程１（載置工程）では、基板面に反射膜ならびに保護膜をコーティングした第１ディスク基板Ｄ１が、スピンナー３の上に載置され均一に吸着保持される。
工程２（塗布工程）では、第１ディスク基板Ｄ１に接着剤Ｒが塗布される。
詳しくは、第１ディスク基板Ｄ１を載置したスピンナー３を低速回転させながら、吐出ノズルＮより紫外線硬化樹脂である接着剤Ｒを静かに吐出させ、第１ディスク基板Ｄ１の上に塗布する。
吐出する接着剤Ｒは、吐出ノズルＮの移動の仕方により第１ディスク基板Ｄ１の上に吐出される軌跡は異なるが、例えば、図に示すようにドーナツ状の軌跡にする場合には、吐出ノズルＮを移動させる必要はない。
【０００５】
工程３（重ね合わせ工程）では、接着剤Ｒが塗布された第１ディスク基板Ｄ１の上に第２ディスク基板Ｄ２が載置される。
ここで、第２ディスク基板Ｄ２は、情報信号が印加されてない透明なもの、又は情報信号が印加されたもの（この場合、反射膜を有するので、通常、透明ではない）がある。
【０００６】
工程４（延展工程）では、両ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間に介在する接着剤Ｒが満遍なく均一に基板上に行き渡るように延展が行われる。
この延展は、２枚のディスク基板Ｄ１，Ｄ２が合体した合体円形樹脂基板、すなわち貼合わせディスクＤがスピンナー３上に載置された状態において、スピンナー３を高速回転（通常、回転数は数千ｒｐｍ以上、回転時間は数秒程度）させることで行う。
この回転により、貼合わされた両ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間に存在する余分な接着剤Ｒは延展と共に外部に放出され、同時に両ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間に閉じ込められた空気（空気の泡等）は外部に排出される。
【０００７】
工程５（硬化工程）では、貼合わせディスクＤ、（すなわち貼り合わされて一体となった第１ディスク基板Ｄ１と第２ディスク基板Ｄ２）を回転（例えば、６０ｒｐｍ程度）させた状態又は回転させない状態で、紫外線を照射させ接着剤Ｒを硬化させる。
具体的には、背面に反射鏡を有する紫外線光源体Ｌにより貼合わせディスクＤを照射し、効率よく硬化がなされる。
なお、硬化工程は、使用する接着剤Ｒの種類により異なるもので、使用する接着剤Ｒの特性に合致した硬化方法が採用されることは言うまでもない。
以上のようにして貼合わせ工程が終了する。
【０００８】
ところで、上記貼合わせ全工程のうち、工程４（延展工程）は、接着剤Ｒを満遍なく基板上に均一に行き渡らせるところであり、全工程の中でも極めて重要な工程となっている。
光ディスクに記録できる情報の高密度化を達成するためには、貼合わせディスクＤの平坦度を良くすることが有効であり、そのためには接着剤Ｒの均一な延展が行われることが重要であるからである。
【０００９】
しかし、上述したような従来の延展装置では膜厚のばらつきが、±（１０μｍ〜１５μｍ）にも達する。
因みに、この接着層のバラツキは、光ディスクに情報を記録したりこの情報を読み取ったりする時のレーザー光の光路にも影響を与え、記録、再生機能が十分に発揮されないなどの原因となる重要な要素である。
ＤＶＤ＋Ｒ９（片面２層で８．５ＧＢ）とか、次世代ディスクであるＨＤ−ＤＶＤ（ＡＯＤ−Advanced Optical Disc ：片面１５ＧＢ）においては、厳しい膜厚の規格が求められており（例えば、ＤＶＤ＋Ｒ９では±５μｍ、ＨＤ−ＤＶＤでは±３μｍのばらつきしか許されていない）、これをクリアーすることは極めて難しいものとなっている。
参考までに、従来のＤＶＤ−ＲＯＭ（再生専用）の規格は±１５μｍである。
【００１０】
【特許文献１】特開平９−２４５３８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上述したような光ディスクにおける接着剤の延展方法では、両ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間に接着剤Ｒを介在させ、これをスピンナー３の上で回転させ、接着剤Ｒを遠心力で延展しても、実際には、ディスク基板外周端部の位置にある接着剤Ｒの厚さ（すなわち膜厚）が、他の部分に比べて幾分厚くなるという欠点は回避できていない。
極端に言うと、膜厚に偏りが生じて、両ディスク基板Ｄ１，Ｄ２は、図８に示すような形状となる。
このような場合、膜厚のばらつきは±（１０μｍ〜１５μｍ）に達してしまうことが多く、±３μｍ以内に収めることは相当困難である。
【００１２】
かかるディスク基板外周端部の膜厚が厚くなる理由は、遠心力と表面張力とのバランスに起因するものと考えられる。
すなわち、接着剤Ｒが遠心力で次第にドーナツ状のディスク基板の内周端側から外周端側に移動するが、表面張力より遠心力が大きい運動エネルギーを持つ接着剤Ｒだけが外周端部から飛び出すことになる。
しかし、表面張力の方が遠心力より大きい場合は、接着剤Ｒが外周端部から飛び出すことができず、両ディスク基板Ｄ１，Ｄ２間の外周端部に溜まってしまうのである。
そのために、外周端部の膜厚が厚くなる。
【００１３】
本発明は、かかる背景技術をもとになされたもので、上記の背景技術の問題点を克服するためになされたものである。
すなわち、本発明は、光ディスクの貼合わせ工程において、接着剤（通常、紫外線硬化樹脂）を２枚のディスク基板間で膜厚に偏りがなく均一に延展することができる接着剤の延展方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
かくして、本発明者は、このような課題背景に対して鋭意研究を重ねた結果、延展の際、ディスク基板の外周端部上面を積極的に押圧することにより、上述した問題点を解決することができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させたものである。
【００１５】
すなわち、本発明は、（１）、中心穴を有する２枚のディスク基板間に接着剤を介在させ、該ディスク基板を回転させて接着剤を延展する光ディスクにおける接着剤の延展方法であって、延展の際、ディスク基板の外周端部上面を押圧する接着剤の延展方法に存する。
【００１６】
また、本発明は、（２）、前記ディスク基板の外周端部上面の押圧は、エアーを吹き付けることにより行う上記（１）記載の接着剤の延展方法に存する。
【００１７】
また、本発明は、（３）、エアーを吹き付ける際にディスク基板に当たる半径方向の位置によって吹き付け圧力を変えるものである上記（２）記載の接着剤の延展方法に存する。
【００１８】
また、本発明は、（４）、延展の際、前記ディスク基板の外周端部の端面側から接着剤を吸引する上記（１）記載の接着剤の延展方法に存する。
【００１９】
また、本発明は、（５）、前記接着剤の吸引は、ディスク基板の周囲に沿って吸引装置を配置し、該吸引装置により接着剤を吸引することにより行う上記（４）記載の接着剤の延展方法に存する。
【００２０】
また、本発明は、（６）、前記延展の際、ディスク基板の内周端側から外周端側に向けて温度が高くなるように、ディスク基板の上面に、温熱風を吹き付ける上記（１）記載の接着剤の延展方法に存する。
【００２１】
また、本発明は、（７）、前記温熱風を吹き付ける操作は、複数のドライヤをディスク基板半径方向に沿って並べて、該ドライヤから噴射される温風の温度を変更することにより行う上記（６）記載の接着剤の延展方法に存する。
【００２２】
また、本発明は、（８）、前記延展の際、ディスク基板の内周端側から外周端側に向けて流量が大きくなるようにディスク基板の上面に温熱風を吹き付ける上記（１）記載の接着剤の延展方法に存する。
【００２３】
また、本発明は、（９）、前記温熱風を吹き付ける操作は、複数のドライヤをディスク基板半径方向に沿って並べて、該ドライヤから噴射される温風の流量を変更することにより行う上記（８）記載の接着剤の延展方法存する。
【００２４】
なお、本発明の目的に添ったものであれば、上記（１）から（９）を適宜組み合わせた構成も採用可能である。
【発明の効果】
【００２５】
本発明によれば、延展の際、貼合わせディスクの外周端部上面を押圧するので、両ディスク基板の間の外周端部の位置にある接着剤が外部へ押し出され、外周端部に多く溜まってしまうのを防ぐことができる。
その結果、紫外線硬化樹脂を２枚のディスク基板間で均一に延展することができる。
例えば、外周端部上面の押圧をエアーを吹き付けることにより行えば、ディスク基板と非接触で押圧することができ、ディスク基板を傷めない。
【００２６】
更に、ディスク基板の周囲を覆うように吸引装置を配置し、延展の際、ディスク基板の外周端部の端面側から接着剤を吸引すれば、更に確実に接着剤を２枚のディスク基板間で均一に延展することができる。
【００２７】
また、延展の際、ディスク基板の内周端側から外周端側に向けて温度が高くなるように、ディスク基板の上面に、温熱風を吹き付ければ、ディスク基板間の接着剤の粘度が外周端側の方が低くなりディスク基板の外周端部から接着剤が飛び出し易くなる。
そのため、ディスク基板の外周端側の接着剤の層の厚さが厚くなる現象を防止することができ、確実に接着剤を２枚のディスク基板間で均一に延展することができる。
【００２８】
また、温熱風の温度勾配でなく、温熱風の流量をディスク基板の外周端側が大きくなるように制御しても同様の効果が得られる。
この場合、両ディスク基板の間の外周端部の位置にある接着剤を外部へ押し出す効果もある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の接着剤（通常、紫外線硬化樹脂）の延展方法の第１実施形態に使用する装置を示している。
図１（Ａ）は膜厚安定化装置１及び貼合わせディスクＤを含む平面図であり、図１（Ｂ）は正面図である。
【００３０】
図に示すように、スピンナー３は、回転軸３１と貼合わせディスクＤを載置するための円盤状の回転保持台３２とを有している。
回転保持台３２の中央には、先端側が細くなる略円錐台状のボス３３が突設されている。
【００３１】
貼合わせディスクＤは、例えば、ポリカーボネート樹脂を使って成形された中心穴を有する円盤状の第１ディスク基板Ｄ１と、この第１ディスク基板Ｄ１と同様に成形された円盤状の第２ディスク基板Ｄ２とを有している。
この第１ディスク基板Ｄ１と第２ディスク基板Ｄ２との間には、接着剤Ｒ、例えば紫外線硬化樹脂が介在している。
第１ディスク基板Ｄ１への接着剤Ｒの塗布は、前述した光ディスクの貼合わせ工程における工程２（塗布工程）のように行われる。
スピンナー３の近傍には、第２ディスク基板Ｄ２の外周端部上面をエアーで押圧するために膜厚安定化装置１が設置されている。
【００３２】
膜厚安定化装置１は、コンプレッサー１３を有しており、このコンプレッサー１３で圧縮されたエアーがＨＥＰＡフィルターを通って清浄化され、エアー導入管１２を通ってエアー吹付け部１１から第２ディスク基板Ｄ２に向かって勢い良く吹き出される。
このエアーの吹き付け圧力により第２ディスク基板Ｄ２の外周端部上面を押圧する。
なお、膜厚安定化装置１には、コンプレッサー１３を用いずに、例えば、ブロワーを用いて第２ディスク基板Ｄ２の外周端部上面を押圧しても効果がある。
要するに、エアーを使って非接触によって外周端部上面を押圧し、貼り合わされたディスク基板Ｄの外周端部に存在する接着剤Ｒを外部へ押し出すことができれば良い。
【００３３】
エアー吹付け部１１は、長尺状に形成され、その長手方向を貼合わせディスクＤの径方向に沿わせて配置されている。
またエアー吹付け部１１には、図示しない多数の吹付け穴が形成され、この吹付け穴から下方に向かってエアーが吹き出される。
この吹付け穴から吹き出されるエアーは、矢印で示すように、外周端側に行くに従って徐々に勢いのあるエアーとすることも可能である〔図２（Ａ）参照〕。
言い換えれば、エアーを吹き付ける際に、ディスク基板に当たる半径方向の位置によって吹き付け圧力を変えることも可能である。
また、エアーを外方に傾斜して吹き出すようにすることも可能である〔図２（Ｂ）参照〕。
【００３４】
貼合わせディスクＤをスピンナー３の回転保持台３２上に載置した状態で高速回転、例えば３０００ｒｐｍで回転させ、且つ第２ディスク基板Ｄ２の外周端部上面を膜厚安定化装置１から吹き出すエアーにより押圧すると、第１ディスク基板Ｄ１と第２ディスク基板Ｄ２との間に介在され外周端部に存在する接着剤Ｒは、外周端部の端面側から外方に吹き飛ばされる。
そして、エアー吹付け部１１からの吹き付け圧力により外周端部が下方に押圧されるため外周端部の盛り上がりが解消される。
このようにして、接着剤Ｒの膜厚は偏りがなく均一な厚さを保持することとなる。
そして、貼り合わされた第１ディスク基板Ｄ１と第２ディスク基板Ｄ２も全体的に厚みが一定となり、高品質の光ディスクとなる。
【００３５】
また、外周端部上面の押圧をエアーを吹き付けることにより行うので、第２ディスク基板Ｄ２の外周端部上面を非接触状態で押圧することができ、第２ディスク基板上面を傷付けてしまうことがない。
【００３６】
（第２実施形態）
図３は、本発明の接着剤の延展方法の第２実施形態に使用する装置を示している。
この第２実施形態では、第１実施形態の装置に加え、貼合わせディスクＤの周囲に沿って吸引装置２を配置した。
そのため、第１実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００３７】
図３（Ａ）は膜厚安定化装置１、貼合わせディスクＤ、及び吸引装置２を含む平面図であり、図３（Ｂ）は正面図である。
図に示すように、スピンナー３に載置された貼合わせディスクＤの周囲に沿って吸引装置２が配置されている。
この吸引装置２は、貼合わせディスクＤの周囲に沿って取り囲むように配置された環状吸引部２Ａとその基部２Ｂとを有している。
【００３８】
環状吸引部２Ａの内部には、断面円状の流路２１が形成されている。
この流路２１には、環状吸引部２Ａの内側の全周に渡って一定の幅を持つ吸引スリット２２が形成されている。
スリットにしたのは穴と異なり、穴の無い部分に遠心力によって吹き飛ばされた接着剤Ｒが当たってはね返りディスクに付着する問題を回避するためである。
この流路２１を負圧とすることで吸引スリット２２から貼合わせディスクＤの外周端部の接着剤Ｒが吸引される。
そのため、延展時には、遠心力に加えて吸引力が作用し、貼合わせディスクＤの外周端部に存在する接着剤Ｒは、より確実に外方に吹き飛ばされる。
この吸引の際、吸引スリット２２から吸引された接着剤Ｒは流路２１に流入し、この円弧状の流路２１を通って基部２Ｂから別所に排出される。
【００３９】
この第２実施形態では、貼合わせディスクＤの周囲に沿って吸引装置２、詳しくは、環状吸引部２Ａを配置し、延展の際、膜厚安定化装置１から貼合わせディスクＤの外周端部上面にエアーを吹き付けて押圧すると同時に、貼合わせディスクＤの外周端部の端面側から接着剤Ｒを吸引することにより、２枚のディスク基板間に介在する接着剤Ｒを偏りなく均一に延展することができる。
【００４０】
（第３実施形態）
図４は、本発明の紫外線硬化樹脂の延展方法の第３実施形態に使用する装置を示している。
この第３実施形態は、第１実施形態と比べて、第１実施形態のエアー吹付け部１１を改良した点でのみ異なる。
そのため、第１実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００４１】
この第３実施形態に用いられる膜厚安定化装置１Ａは、エアー吹付け部１１Ａに備えられたドライヤ１１ａ〜１１ｆから温熱風（室温以上の温度の風）を送風する装置である。
ドライヤ１１ａ〜１１ｆ内にはそれぞれ加熱コイルが設けられており、この加熱コイルはエアー導入管１２から送られてきたエアーを加熱して温熱風にする。
【００４２】
温熱風を貼合わせディスクＤに吹き付ける第１の方法としては、貼合わせディスクＤの内周端側から外周端側に向けて温度が高くなるように、ドライヤ１１ａ〜１１ｆを設定する。
この設定は、加熱コイルへの通電量を変更することによって行うことができる。
【００４３】
このように設定された膜厚安定化装置１Ａから、貼合わせディスク半径方向に沿って温度勾配を設けると、接着剤延展中の第１ディスク基板Ｄ１と第２ディスク基板Ｄ２との間の接着剤Ｒの粘度は外周端側の方が低くなり、貼合わせディスクＤの外周端部から接着剤Ｒが飛び出し易くなる。
そのため、貼合わせディスクＤの外周端側の接着剤Ｒの層の厚さが厚くなる現象を防止することができ、確実に接着剤Ｒを２枚のディスク基板間で均一に延展することができる。
【００４４】
温熱風を貼合わせディスクＤに吹き付ける第２の方法がある。
この方法は、貼合わせディスクＤに温熱風を吹き付ける点で第１の方法と同様であるが、温度勾配を設けるのではなく、第２ディスク基板Ｄ２に吹き付けられる温熱風の流量を第２ディスク基板Ｄ２の外周端側が大きくなるようにする方法である（図５参照）。
温熱風の流量を大きくすることにより、第２ディスク基板Ｄ２に伝達される熱量が大きくなるからである。
また、エアーの吹き付け圧力が貼合わせディスクＤの半径方向に沿って外周端側が大きくなるように変化するという効果もある。
【００４５】
もちろん、第１の方法も第２の方法も接着剤Ｒの粘度が外周端側の方が小さくなるようにするのが目的であるが、外周端側に行くに連れて周速度が大きいため、その分も加味して温度設定や流量設定を行う必要がある。
なお、第１の方法と第２の方法を組み合わせるのも有効な方法であることは言うまでもない。
【００４６】
以上、本発明を説明してきたが、本発明は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、その本質を逸脱しない範囲で、他の種々の変形が可能であることは言うまでもない。
上述した第１実施形態では、膜厚安定化装置１のエアー吹付け部１１の形状を長尺状にして、その長手方向が貼合わせディスクＤの径方向に沿うように配置し、貼合わせディスクＤの延展中にエアーを吹き付けた例について説明したが、本発明はこれに限定されない。
【００４７】
例えば、図６に示すように、貼合わせディスクＤの周方向全体の外周端部上面にエアーを吹き付けることができるように、エアー吹付け部１１の形状を環状に形成することも可能である。
すなわち、環状に形成したエアー吹付け部１１から貼合わせディスクＤの外周端部の周方向全体に同時にエアーを吹き付けることも可能である。
【００４８】
また、長尺状のエアー吹付け部１１を用いる場合は、貼合わせディスクＤの周方向の接着剤Ｒの厚さのばらつきを抑えるために、スピンナー３の起動中、すなわち貼合わせディスクＤの回転中にのみエアーを吹き付けることが好ましい。
貼合わせディスクＤの回転前の状態からエアーを吹き付けてもばらつきが発生し難いように、環状のエアー吹付け部１１を用いても良い。
【００４９】
また、上述した第２実施形態では、吸引装置２を環状にして貼合わせディスクＤの周囲全体を覆った例について説明したが、例えば、半周だけ覆うようにすることも可能である。
【００５０】
また、上述した第３実施形態では、ドライヤ１１ａ〜１１ｆを一列に並べた例について説明したが、各ドライヤ１１ａ〜１１ｆは、半径方向の位置をずらせば良く、周方向の位置はあまり問題とならない。
すなわち、一列に並べなくても良く、例えば、貼合わせディスクＤの中心周りに６０度間隔でドライヤ１１ａ〜１１ｆを配置しても良い。
このような構成にすれば、ドライヤ１１ａ〜１１ｆの大きさの制限が大幅に緩められ、十分な送風出力を得ることができる。
またドライヤを加熱コイルで熱するのではなく、個々のドライヤを別々の熱風源に連結して、それぞれ独立してドライヤから温熱風を導入するようにしても当然よい。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、光ディスクを貼合わせる際の接着剤の延展方法に関するものであるが、その原理に沿うものである限り、他の分野、例えば、半導体分野における薄膜同士を貼り合わせる際の接着剤の延展等にも適用可能であり、その応用範囲は広い。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】図１は、本発明の接着剤の延展方法の第１実施形態に使用する装置を示す説明図であり、図１（Ａ）は平面図、及び図１（Ｂ）は正面図である。
【図２】図２は、エアー吹付け部の吹付け穴から吹き付けられるエアーの状態を示す説明図であり、図２（Ａ）は、ディスク基板の外周端側に行くに従って徐々に勢いのあるエアーを示し、図２（Ｂ）は、外方に傾斜して吹き出されたエアーを示す。
【図３】図３は、本発明の接着剤の延展方法の第２実施形態に使用する装置を示す説明図であり、図３（Ａ）は平面図、及び図３（Ｂ）は正面図である。
【図４】図４は、本発明の接着剤の延展方法の第３実施形態に使用する装置を示す説明図である。
【図５】図５は、本発明の接着剤の延展方法の第３実施形態に使用する装置の変形例を示す説明図である。
【図６】図６は、本発明の接着剤の延展方法の第１実施形態に用いる膜厚安定化装置の変形例を示す説明図である。
【図７】図７は、従来の光ディスクの貼合わせ工程における紫外線硬化樹脂の延展方法を示す工程図である。
【図８】図８は、従来の光ディスクの貼合わせ工程における延展後の接着剤の形状を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５３】
１，１Ａ    膜厚安定化装置
１１，１１Ａ  エアー吹付け部
１１ａ〜１１ｆ  ドライヤ
１２  エアー導入管
１３  コンプレッサー
２  吸引装置
２Ａ  環状吸引部
２Ｂ  基部
２１  流路
２２  吸引スリット
３  スピンナー
３１  回転軸
３２  回転保持台
３３  ボス
Ｄ  貼合わせディスク
Ｄ１  第１ディスク基板
Ｄ２  第２ディスク基板
Ｌ  紫外線光源体
Ｎ  吐出ノズル
Ｒ  接着剤
【図１】
2005317184.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005317184.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005317184.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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