(57)【要約】【課題】  複数の基板を高密度に収納することが可能で、かつ、垂直搬送方式の基板搬送装置との間での基板の出し入れも容易に行うことが可能な縦収納型カセットを提供する。【解決手段】  基板収納システム１は、基板５０を起立状態で収納する縦収納型カセット１０を備えている。縦収納型カセット１０の正面側壁１３、背面側壁１４及び底面壁１５には各基板支持基板１６，１６′，１６″が配設され、基板５０の正面側背面部、背面側周縁部及び下側周縁部が支持されている。縦収納型カセット１０から基板５０を搬出する場合には、正面側壁１３は開放状態をとり、底面壁１５に配設された各底面側基板支持機構１６″の各コロ１８とともに、正面側壁１３に配設された各正面側基板支持機構１６の各コロ１８により、基板５０の下側周縁部がガイドされ、縦収納型カセット１０の一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように正面側へ向けて起立状態で基板５０が搬送される。【選択図】  図１
2005317826.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大型の矩形状の基板を起立状態で収納する縦収納型カセットにおいて、
互いに対向するように立設された一対の側面側壁と、
前記一対の側面側壁の一方の側辺の側に設けられた正面側壁であって、当該正面側壁の下辺に沿って延びる軸線を中心にして回動することにより、前記一対の側面側壁の前記一方の側辺に沿って立設された閉鎖状態及び前記一対の側面側壁の前記一方の側辺に対して略直角の関係をなす平面に沿って横設された開放状態のいずれかの状態をとる正面側壁と、
前記一対の側面側壁及び前記正面側壁により画成される内部空間の底面側に配設された底面側支持部であって、前記内部空間内にて前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板の下側周縁部を支持するとともに、前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で搬送される基板の下側周縁部をガイドする底面側支持部と、
前記内部空間の背面側に配設された背面側支持部であって、前記内部空間内にて前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板の背面側周縁部を支持する背面側支持部と、
前記正面側壁に配設された正面側基板支持機構であって、前記正面側壁が前記閉鎖状態をとるときに、前記内部空間内にて前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板の正面側周縁部を支持する一方で、前記正面側壁が前記開放状態をとるときに、前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で搬送される基板の下側周縁部をガイドする正面側基板支持機構とを備えたことを特徴とする、縦収納型カセット。
【請求項２】
前記底面側支持部は、前記基板の下側周縁部を支持及びガイドする底面側基板支持機構であって、前記基板の下側周縁部に転がり接触するように配設された複数のコロを有する底面側基板支持機構を有することを特徴とする、請求項１に記載の縦収納型カセット。
【請求項３】
前記背面側支持部は、前記基板の背面側周縁部を支持する背面側基板支持機構であって、前記基板の背面側周縁部に転がり接触するように配設された複数のコロを有する背面側基板支持機構を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の縦収納型カセット。
【請求項４】
前記正面側基板支持機構は、前記基板の正面側周縁部又は下側周縁部に転がり接触するように配設された複数のコロを有することを特徴とする、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の縦収納型カセット。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の縦収納型カセットと、
前記縦収納型カセットとの間で大型の矩形状の基板の出し入れを行う基板搬送装置であって、前記縦収納型カセットの前記正面側壁が開放状態をとるときに、前記縦収納型カセットの前記底面側支持部及び前記正面側基板支持機構により基板の下側周縁部をガイドさせつつ、前記縦収納型カセットの前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で基板を搬送する基板搬送装置とを備えたことを特徴とする基板収納システム。
【請求項６】
前記基板搬送装置は、前記縦収納型カセットの上方にて前記一対の側面側壁の平面方向に沿って延びるガイドレールと、このガイドレールに沿って走行する走行体と、この走行体に取り付けられた基板把持機構であって、前記縦収納型カセットとの間で出し入れされる起立状態の基板の上側周縁部を把持する基板把持機構とを有することを特徴とする、請求項５に記載の基板収納システム。
【請求項７】
前記基板搬送装置は、前記縦収納型カセットとの間で出し入れされる起立状態の基板の下側周縁部をガイドするガイド機構をさらに有することを特徴とする、請求項６に記載の基板収納システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ基板や薄膜トランジスタ基板、ガラス基板等の大型の矩形状の基板を起立状態で収納する縦収納型カセット及びそれを備えた基板収納システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置やプラズマディスプレイ装置等で用いられる大型の矩形状の基板（カラーフィルタ基板や薄膜トランジスタ基板、ガラス基板等）を製造するための製造ラインにおいては、処理工程間での基板の受け渡しが自走搬送装置（ＡＧＶ）等により行われることが多く、この場合には、複数の基板を収納する基板収納カセットが必要となる。また、上述した製造ラインにおいては、処理工程間で処理速度が異なることが多く、この場合には、基板を処理工程の前又は後で一時的に滞留させるためのバッファ装置が必要となる。
【０００３】
このため、上述したような製造ラインにおいては、複数の基板を高密度に収納することが可能で、かつ、基板の出し入れも容易に行うことが可能な、基板収納カセットやバッファ装置等の基板収納システムが望まれている。
【０００４】
図１０(a)(b)は従来の基板収納用カセットを、その基板収納用カセットとの間で基板の出し入れを行うための基板搬送装置とともに示す図である。
【０００５】
図１０(a)(b)に示すように、従来の基板収納用カセット６０は、上板６１と、上板６１の左右に立設された複数の側面フレーム６２，６３と、互いに向き合う側面フレーム６２，６３同士を接続するステー６４とを有している。また、互いに向き合う側面フレーム６２，６３間には、異なる高さの複数段の水平面に沿って複数のワイヤ６５が張架されており、同一段の複数のワイヤ６５により、基板５０を水平状態で支持することができるようになっている。
【０００６】
ここで、このような基板収納用カセット６０との間で基板５０の出し入れを行う場合には、図１０(a)(b)に示すような基板搬送装置６８が用いられる。
【０００７】
基板搬送装置６８は、基板収納用カセット６０の高さをワイヤ６５の１段分の高さずつ上下方向に移動させる昇降装置６９（駆動機構については図示せず）と、昇降装置６９により上下方向に移動する基板収納用カセット６０に収納されている基板５０の搬入及び搬出を行う基板搬送コンベア７０とを有している。なお、基板搬送コンベア７０は、基板収納用カセット６０をその両側から挟むように配設された左右のフレーム７１，７２と、左右のフレーム７１，７２に回動自在に取り付けられた複数のシャフト７３とを有している。ここで、各シャフト７３には複数のローラ７４が等間隔で取り付けられている。また、各シャフト７３には駆動機構（図示せず）が取り付けられており、各シャフト７３を所望の方向に回動させることができるようになっている。
【０００８】
そして、このような基板搬送装置６８において、昇降装置６９により基板収納用カセット６０をワイヤ６５の１段分の高さずつ上昇させながら、基板搬送コンベア７０のローラ７４を、搬送コンベア７６から排出されてきた基板５０の下面と接触させ、基板６０を基板収納用カセット６０の各段へ１枚ずつ搬入して収納する（図１０(a)参照）。また、昇降装置６９により基板収納用カセット６０をワイヤ６５の１段分の高さずつ下降させながら、基板搬送コンベア７０のローラ７４を、基板収納用カセット６０内に収納されている最下方の基板５０の下面と接触させ、基板収納用カセット６０内の各段に収納されている基板５０を１枚ずつ搬出して搬送コンベア７７へ供給する（図１０(b)参照）。
【０００９】
次に、図１１により、従来のバッファ装置について説明する。
【００１０】
図１１に示すように、従来のバッファ装置８０は、複数の基板５０を収納するための内部空間を画成する壁部８１を有している。壁部８１の内部には複数の基板支持体８２が配設されており、壁部８１の正面側から出し入れされる基板５０を水平状態で支持することができるようになっている。
【００１１】
なお、バッファ装置８０との間での基板５０の出し入れは、ロボット（図示せず）に設けられたロボットアーム８５により行われる。なお、ロボットアーム８５は、ロボットアーム本体８６と、基板５０の下面を支持するようにロボットアーム本体８６から延びる２つの長手部材８７とを有している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
上述した従来の基板収納システムのうち、図１０(a)(b)に示す基板収納用カセット６０では、ワイヤ６５のような細い材料により基板５０が保持されることから、複数の基板５０を高密度に収納することが可能である。
【００１３】
しかしながら、図１０(a)(b)に示す基板収納用カセット６０では、基板搬送装置６０の基板搬送コンベア７０を基板収納用カセット６０の下方側に配置し、基板５０の下面にローラ７４を接触させることにより基板５０の出し入れを行っているので、基板５０の出し入れは必然的に先入れ後出し方式となってしまい、基板５０の出し入れの自由度が制限されるという問題がある。
【００１４】
一方、図１１に示すバッファ装置８０では、基板５０の出し入れの自由度は高いものの、複数の基板５０を高密度に収納することが困難であるという問題がある。これは、図１１に示すバッファ装置８０では、ロボットアーム８５の出し入れに伴って必要となるスペースを考慮する必要があり、また、バッファ装置８０内に収納される基板５０が自重により撓みやすいことから、基板５０の収納間隔（基板支持体８２の配置間隔）を一定限度以上に狭くすることが困難であるからである。
【００１５】
ところで、近年、上述したような製造ラインで取り扱われるフィルタ基板やガラス基板等の基板は非常に大型化してきており、搬送中における基板のたわみやフットプリント（平面方向の投影面積）の増大といった問題が顕在化している。このため、基板を搬送する基板搬送装置として、コロ等を用いて基板を水平状態で搬送する搬送コンベア等に代わって、基板を垂直方向に立てた状態で搬送する垂直搬送方式の基板搬送装置も提案されてきており（特開平１１−２４６０４６号公報参照）、このような基板搬送装置に適合した基板収納システムが望まれているという事情もある。
【００１６】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、複数の基板を高密度に収納することが可能で、かつ、垂直搬送方式の基板搬送装置との間での基板の出し入れも容易に行うことが可能な縦収納型カセット及びそれを備えた基板収納システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、第１の解決手段として、大型の矩形状の基板を起立状態で収納する縦収納型カセットにおいて、互いに対向するように立設された一対の側面側壁と、前記一対の側面側壁の一方の側辺の側に設けられた正面側壁であって、当該正面側壁の下辺に沿って延びる軸線を中心にして回動することにより、前記一対の側面側壁の前記一方の側辺に沿って立設された閉鎖状態及び前記一対の側面側壁の前記一方の側辺に対して略直角の関係をなす平面に沿って横設された開放状態のいずれかの状態をとる正面側壁と、前記一対の側面側壁及び前記正面側壁により画成される内部空間の底面側に配設された底面側支持部であって、前記内部空間内にて前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板の下側周縁部を支持するとともに、前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で搬送される基板の下側周縁部をガイドする底面側支持部と、前記内部空間の背面側に配設された背面側支持部であって、前記内部空間内にて前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板の背面側周縁部を支持する背面側支持部と、前記正面側壁に配設された正面側基板支持機構であって、前記正面側壁が前記閉鎖状態をとるときに、前記内部空間内にて前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板の正面側周縁部を支持する一方で、前記正面側壁が前記開放状態をとるときに、前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で搬送される基板の下側周縁部をガイドする正面側基板支持機構とを備えたことを特徴とする、縦収納型カセットを提供する。
【００１８】
なお、上述した第１の解決手段において、前記底面側支持部は、前記基板の下側周縁部を支持及びガイドする底面側基板支持機構であって、前記基板の下側周縁部に転がり接触するように配設された複数のコロを有する底面側基板支持機構を有することが好ましい。また、前記背面側支持部は、前記基板の背面側周縁部を支持する背面側基板支持機構であって、前記基板の背面側周縁部に転がり接触するように配設された複数のコロを有する背面側基板支持機構を有することが好ましい。さらに、前記正面側基板支持機構は、前記基板の正面側周縁部又は下側周縁部に転がり接触するように配設された複数のコロを有することが好ましい。
【００１９】
本発明は、第２の解決手段として、上述した第１の解決手段に係る縦収納型カセットと、前記縦収納型カセットとの間で大型の矩形状の基板の出し入れを行う基板搬送装置であって、前記縦収納型カセットの前記正面側壁が開放状態をとるときに、前記縦収納型カセットの前記底面側支持部及び前記正面側基板支持機構により基板の下側周縁部をガイドさせつつ、前記縦収納型カセットの前記一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で基板を搬送する基板搬送装置とを備えたことを特徴とする基板収納システムを提供する。
【００２０】
なお、上述した第２の解決手段において、前記基板搬送装置は、前記縦収納型カセットの上方にて前記一対の側面側壁の平面方向に沿って延びるガイドレールと、このガイドレールに沿って走行する走行体と、この走行体に取り付けられた基板把持機構であって、前記縦収納型カセットとの間で出し入れされる起立状態の基板の上側周縁部を把持する基板把持機構とを有することが好ましい。また、前記基板搬送装置は、前記縦収納型カセットとの間で出し入れされる起立状態の基板の下側周縁部をガイドするガイド機構をさらに有することが好ましい。
【００２１】
本発明の第１及び第２の解決手段によれば、縦収納型カセットの正面側壁が閉鎖状態をとるときに、正面側壁に配設された正面側基板支持機構及び底面側支持部により、内部空間内にて一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板の正面側周縁部及び下側周縁部を支持する一方で、正面側壁が開放状態をとるときに、正面側基板支持機構及び底面側支持部により、一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で搬送される基板の下側周縁部をガイドするようにしている。これにより、縦収納型カセットの正面側壁が閉鎖状態をとるときに、内部空間内で基板を安定して収納するとともに、正面側壁が開放状態をとるときに、一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で基板を搬送することが可能であり、例えば基板の上側周縁部を把持した状態で搬送する基板搬送装置と組み合わせて用いることにより、縦収納型カセットとの間での基板の出し入れを容易に行うことができる。
【００２２】
また、本発明の第１及び第２の解決手段によれば、縦収納型カセットの背面側支持部により、内部空間内にて一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板の背面側周縁部を支持することにより、縦収納型カセットの正面側壁が閉鎖状態をとるときに、内部空間内で基板をより安定して収納することが可能である。
【００２３】
さらに、本発明の第１及び第２の解決手段によれば、縦収納型カセットの背面側支持部及び底面側支持部が、内部空間内に収納される基板の背面側周縁部又は下側周縁部に転がり接触する複数のコロを有することにより、縦収納型カセットの正面側壁が開放状態をとるときに、一対の側面側壁の平面方向に沿うように基板をより円滑に搬送することが可能である。
【００２４】
さらにまた、本発明の第２の解決手段によれば、縦収納型カセットの正面側壁が開放状態をとるときに、正面側壁に配設された正面側基板支持機構又は基板搬送装置のガイド機構により基板の下側周縁部がガイドされるので、基板搬送装置により上側周縁部が把持された状態で搬送される基板が、組み付け精度や気流の影響等に起因してうねってしまうような現象を効果的に低減させることができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように本発明によれば、縦収納型カセットの正面側壁が閉鎖状態をとるときに、内部空間内で基板を安定して収納するとともに、正面側壁が開放状態をとるときに、一対の側面側壁の平面方向に沿うように起立状態で基板を搬送することが可能であり、例えば基板の上側周縁部を把持した状態で搬送する基板搬送装置と組み合わせて用いることにより、縦収納型カセットとの間での基板の出し入れを容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００２７】
まず、図１乃至図４により、本発明の一実施の形態に係る縦収納型カセットを備えた基板収納システムの全体構成について説明する。
【００２８】
図１に示すように、基板収納システム１は、カラーフィルタ基板や薄膜トランジスタ基板、ガラス基板等の大型の矩形状の基板５０を起立状態で収納する縦収納型カセット１０と、縦収納型カセット１０との間で基板５０の出し入れを行う基板搬送装置３０とを備えている。
【００２９】
このうち、縦収納型カセット１０は、互いに対向するように立設された一対の側面側壁１１，１２と、一対の側面側壁１１，１２の一方の側辺の側に設けられた正面側壁１３と、正面側壁１３に対向するように一対の側面側壁１１，１２の他方の側辺に沿って立設された背面側壁１４と、一対の側面側壁１１，１２、正面側壁１３及び背面側壁１４の下辺の側に固定された底面壁１５とを有している。
【００３０】
ここで、正面側壁１３は、一対の側面側壁１１，１２の一方の側辺の側に連結部材（図示せず）を介して接続されており、正面側壁１３がその下辺に沿って延びる軸線Ｒを中心にして回動することにより、正面側壁１３が一対の側面側壁１１，１２の一方の側辺に沿って立設された閉鎖状態（図５(a)参照）及び正面側壁１３が一対の側面側壁１１，１２の一方の側辺に対して略直角の関係をなす平面に沿って横設された開放状態（図６(a)参照）のいずれかの状態をとることができるようになっている。
【００３１】
また、正面側壁１３、背面側壁１４及び底面壁１５はそれぞれ開口部１３ａ，１４ａ，１５ａを有し、これらの開口部１３ａ，１４ａ，１５ａ内には複数の基板支持機構１６，１６′，１６″が配設されている。
【００３２】
すなわち、正面側壁１３の開口部１３ａ内には複数の正面側基板支持機構１６が配設されており、正面側壁１３が閉鎖状態をとるときに、一対の側面側壁１１，１２、正面側壁１３、背面側壁１４及び底面壁１５により画成される縦収納型カセット１０の内部空間Ｓ内にて一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板５０の正面側周縁部を支持する一方で、正面側壁１３が開放状態をとるときに、一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で搬送される基板５０の下側周縁部をガイドすることができるようになっている。
【００３３】
具体的には、各正面側基板支持機構１６は、正面側壁１３の開口部１３ａの内壁に取り付けられたシャフト１７と、このシャフト１７に等間隔で取り付けられ内部空間Ｓ内に収納される基板５０の正面側周縁部又は下側周縁部に転がり接触する複数のコロ１８とを有している。なお、このような構成からなる各正面側基板支持機構１６の各コロ１８は、内部空間Ｓ内に収納される各基板５０の収納位置に合わせて配置されている。また、図２に示すように、コロ１８の中央部には、基板５０の正面側周縁部又は下側周縁部を受け入れるための円周状の溝１８ａが設けられており、内部空間Ｓ内における基板５０の正面側周縁部又は下側周縁部の位置（基板５０の平面に直交する方向の位置）を規制することができるようになっている。なお、各正面側基板支持機構１６の各コロ１８の中央部に形成される溝は、図２に示すような略コ字状の断面形状を有する溝１８ａに限らず、図３に示すようなＶ字状の断面形状を有する溝１８ｂでもよい。
【００３４】
同様に、背面側壁１４の開口部１４ａ内には、正面側基板支持機構１６と同様の構成からなる複数の背面側基板支持機構１６′が配設されており、内部空間Ｓ内にて一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板５０の背面側周縁部をその位置（基板５０の平面に直交する方向の位置）を規制しつつ支持することができるようになっている。なお、背面側壁１４及びそれに配設された複数の背面側基板支持機構１６′により背面側支持部が構成されている。
【００３５】
同様に、底面壁１５の開口部１５ａ内には、正面側基板支持機構１６と同様の構成からなる複数の底面側基板支持機構１６″が配設されており、内部空間Ｓ内にて一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板５０の下側周縁部をその位置（基板５０の平面に直交する方向の位置）を規制しつつ支持するとともに、一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で搬送される基板５０の下側周縁部をその位置（基板５０の平面に直交する方向の位置）を規制しつつガイドすることができるようになっている。なお、底面壁１５及びそれに配設された複数の底面側基板支持機構１６″により底面側支持部が構成されている。
【００３６】
なお、このような縦収納型カセット１０は、底面壁１５に配設された底面側基板支持機構１６″及び開放状態の正面側壁１３に配設された正面側基板支持機構１６を受け入れる開口部４５ａを有する支持台４５上に載置されており、支持台４５に取り付けられた移動機構（図示せず）により、一対の側面側壁１１，１２の平面方向に直交する方向へ基板３０の収納間隔に相当する距離分ずつ縦収納型カセット１０を移動させることができるようになっている。これにより、縦収納型カセット１０のうち基板の出し入れが行われる位置Ｐが、後述する基板搬送装置３０の走行体３２（一対の基板把持機構３４）の搬送経路上に位置付けられる。
【００３７】
ここで、基板搬送装置３０は、縦収納型カセット１０の上方にて一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿って延びるガイドレール３１と、このガイドレール３１に沿って走行する走行体３２と、この走行体３２に一対の支持シャフト３３を介して取り付けられた一対の基板把持機構３４とを有しており、縦収納型カセット１０の正面側壁１３が開放状態をとるときに、縦収納型カセット１０との間で出し入れされる起立状態の基板５０の上側周縁部を把持し、縦収納型カセット１０の一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で基板５０を搬送することができるようになっている。なお、各基板把持機構３４は、支持シャフト３３を介して走行体３２に対して相対的に昇降させることができるようになっている。また、各基板把持機構３４は、支持シャフト３３を介して走行体３２に対してある程度の回転自由度を持って取り付けられており、基板５０の撓みやガイドレール３１の湾曲等に対応することができるようになっている。
【００３８】
ここで、基板把持機構３４は、図１及び図４(a)(b)に示すように、締付部材３５ａを有する駆動部３５と、駆動部３５の締付部材３５ａに挟持された断面が逆Ｕ字状の把持部３６と、把持部３６の内面に取り付けられた当接パッド３７とを有している。
【００３９】
そして、このような基板把持機構３４において、基板５０の上側周縁部を把持する場合には、駆動部３５の締付部材３５ａを締め付けながら把持部３６を上方へ移動させる（図４(a)参照）。一方、基板５０の上側周縁部の把持状態を解除する場合には、駆動部３５の締付部材３５ａの締め付けを緩めながら把持部３６を下方へ移動させる（図４(b)参照）。なお、把持部３６の内面に取り付けられた当接パッド３７は基板５０の表面に接触する部分であり、その材料としては、ゴムや熱可塑性エラストマー等の高分子弾性体の中から、弾性及び基板との粘着性が適した材料を選択して用いることができる。
【００４０】
また、基板搬送装置３０は、縦収納型カセット１０との間で出し入れされる起立状態の基板５０の下側周縁部をガイドするガイド機構３８を有している。
【００４１】
ここで、ガイド機構３８は、図１に示すように、縦収納型カセット１０が載置される支持台４５に並設された支持台３９と、支持体３９上に支軸４０ａ，４１ａを介して回動自在に取り付けられたローラ４０，４１とを有し、縦収納型カセット１０から搬出される基板５０又は縦収納型カセット１０へ搬入される基板５０の下側周縁部をガイドすることができるようになっている。なお、ガイド機構３８の各ローラ４０，４１は、走行体３２等により搬送される基板５０の搬送位置（下側周縁部の位置）に合わせて配置されている。なお、ガイド機構３８は、起立状態の基板５０の下側周縁部をガイドすることができるものであればよく、ローラ４０，４１に限らず、ガイドレール等の任意の部材を用いることができる。
【００４２】
次に、このような構成からなる基板収納システム１の動作について説明する。
【００４３】
まず、図５(a)(b)(c)により、基板収納システム１において、基板収納済みの縦収納型カセット１０から基板５０を１枚ずつ搬出して製造ライン等へ供給する場合の動作について説明する。
【００４４】
まず、図５(a)に示すように、複数の基板５０が収納された縦収納型カセット１０を支持台４５上に載置する。ここで、縦収納型カセット１０は、正面側壁１３が一対の側面側壁１１，１２の一方の側辺に沿って立設された閉鎖状態をとっており、内部空間Ｓ内にて一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で基板５０が収納されている。
【００４５】
なおこのとき、正面側壁１３、背面側壁１４及び底面壁１５に配設された各基板支持基板１６，１６′，１６″により基板５０の正面側背面部、背面側周縁部及び下側周縁部が支持されている。具体的には、正面側壁１３に配設された各正面側基板支持機構１６は、各コロ１８の溝１８ａ内に各基板５０の正面側周縁部を受け入れた状態で各基板５０の正面側周縁部を支持している。また、背面側壁１４に配設された各背面側基板支持機構１６′は、各コロ１８の溝１８ａ内に各基板５０の背面側周縁部を受け入れた状態で各基板５０の背面側周縁部を支持している。さらに、底面壁１５に配設された各底面側基板支持機構１６″は、各コロ１８の溝１８ａ内に各基板５０の下側周縁部を受け入れた状態で各基板５０の下側周縁部を支持している。
【００４６】
その後、図５(b)に示すように、縦収納型カセット１０の正面側壁１３をその下辺に沿って延びる軸線Ｒを中心にして回動させ、正面側壁１３が開放状態をとるようにする。また、基板搬送装置３０の走行体３２をガイドレール３１に沿って移動させ、一対の基板把持機構３４を縦収納型カセット１０の上方に位置付ける。なおこのとき、各基板把持機構３４は、支持シャフト３３の上昇運動に伴って上方へ移動した状態にあり、また、駆動部３５による把持部３６の締め付けもない状態にある。
【００４７】
このとき、縦収納型カセット１０は、支持台４５に取り付けられた移動機構（図示せず）により、その一対の側面側壁１１，１２の平面方向に直交する方向の所定位置へ移動し、縦収納型カセット１０のうち基板の出し入れが行われる位置Ｐが、基板搬送装置３０の走行体３２（一対の基板把持機構３４）の搬送経路上に位置付けられる。
【００４８】
この状態で、縦収納型カセット１０の上方に移動した走行体３２の一対の基板把持機構３４を一対の支持シャフト３３の下降運動に伴って下方へ移動させ、縦収納型カセット１０との間で出し入れされる起立状態の基板５０の上側周縁部を把持する。具体的には、各基板把持機構３４において、駆動部３５の締付部材３５ａを締め付けながら把持部３６を上方へ移動させることにより、基板５０を把持する（図４(a)参照）。
【００４９】
その後、図５(c)に示すように、基板５０の上側周縁部を把持した一対の基板把持機構３４を一対の支持シャフト３３の上昇運動に伴って若干上方へ移動させた後、基板５０の上側周縁部を把持する一対の基板把持機構３４が取り付けられた走行体３２をガイドレール３１に沿って縦収納型カセット１０から離れる方向へ移動させ、底面壁１５に配設された各底面側基板支持機構１６″の各コロ１８により基板５０の下側周縁部をガイドさせつつ、縦収納型カセット１０の一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように正面側へ向けて起立状態で基板５０を搬送する。
【００５０】
このとき、正面側壁１３は一対の側面側壁１１，１２の一方の側辺に対して略直角の関係をなす平面に沿って横設された開放状態をとっているので、基板５０の下側周縁部が正面側壁１３の範囲内に位置している間は、底面壁１５に配設された各底面側基板支持機構１６″の各コロ１８とともに、正面側壁１３に配設された各正面側基板支持機構１６の各コロ１８により、基板５０の下側周縁部がガイドされる。一方、基板５０の下側周縁部が正面側壁１３の範囲を越えてガイド機構３８まで搬送された場合には、正面側壁１３に配設された各正面側基板支持機構１６の各コロ１８とともに、ガイド機構３８のローラ４０，４１により、基板５０の下側周縁部がガイドされる。
【００５１】
その後、同様にして、支持台４５に取り付けられた移動機構（図示せず）により、一対の側面側壁１１，１２の平面方向に直交する方向へ縦収納型カセット１０を基板５０の収納間隔に相当する距離分ずつ移動させながら、基板搬送装置３０による搬出動作を繰り返すことにより、基板収納済みの縦収納型カセット１０内に収納された基板５０が順次搬出される。
【００５２】
次に、図６(a)(b)(c)により、製造ライン等から排出された基板５０を空の縦収納型カセット１０へ１枚ずつ搬入して縦収納型カセット１０に収納する場合の動作について説明する。
【００５３】
まず、図６(a)に示すように、基板が収納されていない空の縦収納型カセット１０を支持台４５上に載置し、次いで、縦収納型カセット１０の正面側壁１３をその下辺に沿って延びる軸線Ｒを中心にして回動させ、正面側壁１３が開放状態をとるようにする。
【００５４】
この状態で、図６(b)に示すように、一対の基板把持機構３４により基板５０の上側周縁部が把持された走行体３２をガイドレール３１に沿って縦収納型カセット１０へ近づく方向へ移動させ、ガイド機構３８のローラ４０，４１により基板５０の下側周縁部をガイドさせつつ、縦収納型カセット１０の一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように背面側へ向けて起立状態で基板５０を搬送する。
【００５５】
このとき、基板５０の下側周縁部が基板搬送装置３０のガイド機構３８の範囲内に位置している間は、ガイド機構３８のローラ４０，４１により、縦収納型カセット１０から搬出される基板５０の下側周縁部がガイドされる。一方、基板５０の下側周縁部がガイド機構３８を越えて正面側壁１３まで搬送されてきた場合には、ガイド機構３８のローラ４０，４１とともに、正面側壁１３に配設された各正面側基板支持機構１６の各コロ１８により、基板５０の下側周縁部がガイドされる。
【００５６】
そして、一対の基板把持機構３４により基板５０の上側周縁部が把持された走行体３２をガイドレール３１に沿ってさらに移動させ、正面側壁１３に配設された各正面側基板支持機構１６の各コロ１８とともに、底面壁１５に配設された各底面側基板支持機構１６″の各コロ１８により、基板５０の下側周縁部をガイドさせつつ、縦収納型カセット１０の一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように背面側へ向けて起立状態で基板５０を搬送し、縦収納型カセット１０の上方に位置付ける。
【００５７】
このとき、縦収納型カセット１０は、支持台４５に取り付けられた移動機構（図示せず）により、その一対の側面側壁１１，１２の平面方向に直交する方向の所定位置へ移動し、縦収納型カセット１０のうち基板の出し入れが行われる位置Ｐが、基板搬送装置３０の走行体３２（一対の基板把持機構３４）の搬送経路上に位置付けられている。
【００５８】
この状態で、各基板把持機構３４において、駆動部３５の締付部材３５ａの締め付けを緩めながら把持部３６を下方へ移動させることにより、基板５０の把持状態を解除する（図４(b)参照）。なおこの状態では、上述した図５(b)に示す場合と同様に、背面側壁１４及び底面壁１５に配設された各基板支持機構１６′，１６″により基板５０の背面側周縁部及び下側周縁部が支持されている。
【００５９】
そして、縦収納型カセット１０の上方に移動した走行体３２に取り付けられた一対の基板把持機構３４を一対の支持シャフト３３の上昇運動に伴って上方へ移動させて待機状態とし、製造ライン等から排出された搬入対象となる次の基板５０を受け取りにいくようにする。
【００６０】
その後、同様にして、支持台４５に取り付けられた移動機構（図示せず）により、一対の側面側壁１１，１２の平面方向に直交する方向へ縦収納型カセット１０を基板５０の収納間隔に相当する距離分ずつ移動させながら、基板搬送装置３０による搬入動作を繰り返すことにより、搬入された基板５０が空の縦収納型カセット１０へ順次搬入される。
【００６１】
そして最終的に、空の縦収納型カセット１０に所要枚数の基板５０が収納された時点で、縦収納型カセット１０を、正面側壁１３をその下辺に沿って延びる軸線Ｒを中心にして回動させ、正面側壁１３が閉鎖状態をとるようにする。これにより、内部空間Ｓ内にて一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で基板５０が収納される。なおこの状態では、上述した図５(a)に示す場合と同様に、正面側壁１３、背面側壁１４及び底面壁１５に配設された各基板支持機構１６，１６′，１６″により基板５０の正面側背面部、背面側周縁部及び下側周縁部が支持されている。
【００６２】
このように本実施の形態によれば、縦収納型カセット１０の正面側壁１３が閉鎖状態をとるときに、正面側壁１３及び底面壁１５に配設された各基板支持機構１６，１６″により、内部空間Ｓ内にて一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板５０の正面側周縁部及び下側周縁部を支持する一方で、正面側壁１３が開放状態をとるときに、各基板支持機構１６，１６″により、一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で搬送される基板５０の下側周縁部をガイドするようにしている。これにより、縦収納型カセット１０の正面側壁１３が閉鎖状態をとるときに、内部空間Ｓ内で基板５０を安定して収納するとともに、正面側壁１３が開放状態をとるときに、一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で基板５０を搬送することが可能であり、例えば基板５０の上側周縁部を把持した状態で搬送する基板搬送装置３０と組み合わせて用いることにより、縦収納型カセット１０との間での基板５０の出し入れを容易に行うことができる。
【００６３】
また、本実施の形態によれば、縦収納型カセット１０の背面側壁１４に配設された各背面側基板支持機構１６′により、内部空間Ｓ内にて一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板５０の背面側周縁部を支持するようにしているので、縦収納型カセット１０の正面側壁１３が閉鎖状態をとるときに、内部空間Ｓ内で基板５０をより安定して収納することが可能である。
【００６４】
さらに、本実施の形態によれば、縦収納型カセット１０の背面側壁１４及び底面壁１５に配設された各基板支持機構１６′，１６″が、内部空間Ｓ内に収納される基板５０の背面側周縁部又は下側周縁部に転がり接触する複数のコロ１８を有しているので、縦収納型カセット１０の正面側壁１３が開放状態をとるときに、一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように基板５０をより円滑に搬送することが可能である。
【００６５】
さらにまた、本実施の形態によれば、縦収納型カセット１０の正面側壁１３が開放状態をとるときに、正面側壁１３に配設された正面側基板支持機構１６のコロ１８及び基板搬送装置３０のガイド機構３８のローラ４０，４１により基板５０の下側周縁部がガイドされるので、基板搬送装置３０の走行体３２（一対の基板把持機構３４）により上側周縁部が把持された状態で搬送される基板５０が、組み付け精度や気流の影響等に起因してうねってしまうような現象を効果的に低減させることができる。
【００６６】
なお、上述した実施の形態においては、縦収納型カセット１０のうち正面側壁１３のみが開閉する構成としているが、正面側壁１３に対向する背面側壁１４についても正面側壁１３と同様に開閉する構成としてもよい。これにより、縦収納型カセット１０からの基板５０の搬出動作や縦収納型カセット１０への基板５０の搬入動作の方向等を柔軟に設定することが可能となり、縦収納型カセット１０との間での基板５０の出し入れをより容易に行うことができる。
【００６７】
また、上述した実施の形態においては、各基板支持機構１６′，１６″を配設するための壁面として背面側壁１４及び底面壁１５を設けているが、背面側壁１４及び底面壁１５を設けることなく、側面側壁１１，１２に各基板支持機構１６，１６″のシャフト１７を直接取り付けるようにしてもよい。
【００６８】
さらに、上述した実施の形態においては、背面側壁１４に背面側基板支持機構１６′を配設するようにしているが、正面側壁１３及び底面壁１５に配設された各基板支持機構１６，１６″により基板５０を安定して支持することが可能であれば、各背面側基板支持機構１６′については省略することができる。なおこの場合でも、基板５０の背面側周縁部の端部位置を規定する部材として、背面側壁１４自体は残すことが好ましい。
【００６９】
さらに、上述した実施の形態において、正面側壁１３、背面側壁１４及び底面壁１５に配設された各基板支持機構１６，１６′，１６″はいずれも、内部空間Ｓ内に収納される基板５０の正面側周縁部、背面側周縁部又は下側周縁部に転がり接触する複数のコロ１８を有しているが、正面側壁１３及び背面側壁１４に配設される基板支持機構１６，１６′については、これ以外の任意の構成をとることができる。
【００７０】
図７は、図１に示す縦収納型カセット１０の他の実施の形態を示す図である。
【００７１】
図７に示す縦収納型カセット１０では、背面側壁１４のうち内部空間Ｓに面する側の表面に複数の背面側基板支持機構１９が配設されており、内部空間Ｓ内にて一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板５０の背面側周縁部を支持することができるようになっている。なお、各背面側基板支持機構１９は、内部空間Ｓ内に収納される各基板５０の収納位置に合わせて配置されている。また、図８に示すように、背面側基板支持機構１９の中央部には、基板５０の背面側周縁部を受け入れるための溝１９ａが設けられており、内部空間Ｓ内における基板５０の背面側周縁部の位置（基板５０の平面に直交する方向の位置）を規制することができるようになっている。
【００７２】
また、図７に示す縦収納型カセット１０では、正面側壁１３のうち内部空間Ｓに面する側の表面に複数の正面側基板支持機構２０が配設されており、正面側壁１３が閉鎖状態をとるときに、内部空間Ｓ内にて一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で収納される基板５０の正面側周縁部を支持する一方で、正面側壁１３が開放状態をとるときに、一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で搬送される基板５０の下側周縁部をガイドすることができるようになっている。
【００７３】
すなわち、各正面側基板支持機構２０は、図９に示すように、正面側壁１３に支軸２３ａ，２４ａを介して回動自在に取り付けられたローラ２３，２４と、ローラ２３，２４の上部に取り付けられた支持体２１，２２とを有しており、正面側壁１３が閉鎖状態をとるときには、内部空間Ｓ内に収納される基板５０の正面側周縁部を支持体２１，２２により支持してその位置（基板５０の平面に直交する方向の位置）を規制し、正面側壁１３が開放状態をとるときには、一対の側面側壁１１，１２の平面方向に沿うように起立状態で搬送される基板５０の下側周縁部をローラ２３，２４によりガイドすることができるようになっている。なお、各正面側基板支持機構２０は、内部空間Ｓ内に収納される各基板５０の収納位置に合わせて配置されている。
【００７４】
なお、図７に示す縦収納型カセット１０では、底面壁１５に配設される底面側基板支持機構１６″として、図１に示す縦収納型カセット１０の底面側基板支持機構１６″と同様の構成のものを用いているが、これに限らず、任意のものを用いることが可能であり、例えば、図７及び図８に示す背面側基板支持機構１９と同様の構成からなるものを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の一実施の形態に係る縦収納型カセットを備えた基板収納システムを示す斜視図。
【図２】図１に示す縦収納型カセットの基板支持機構の詳細を示す図。
【図３】図２に示す基板支持機構の変形例を示す図。
【図４】図１に示す基板収納システムで用いられる基板把持機構の構成及び動作を説明するための図。
【図５】図１に示す基板収納システムにおける縦収納型カセットからの基板の搬出動作を説明するための図。
【図６】図１に示す基板収納システムにおける縦収納型カセットへの基板の搬入動作を説明するための図。
【図７】本発明の他の実施の形態に係る縦収納型カセットを備えた基板収納システムを示す斜視図。
【図８】図７に示す縦収納型カセットの背面側基板支持機構の変形例を示す図。
【図９】図８に示す縦収納型カセットの正面側基板支持機構の変形例を示す図。
【図１０】従来の基板収納用カセットを、その基板収納用カセットとの間で基板の出し入れを行うための基板搬送装置とともに示す斜視図。
【図１１】従来のバッファ装置を示す斜視図。
【符号の説明】
【００７６】
１  基板収納システム
１０  縦収納型カセット
１１，１２  側面側壁
１３  正面側壁
１４  背面側壁
１５  底面側壁
１６  正面側基板支持機構
１６′  背面側基板支持機構
１６″  底面側基板支持機構
１７  シャフト
１８  コロ
１８ａ，１８ｂ  溝
１９  背面側基板支持機構
２０  正面側基板支持機構
２１，２２  支持体
２３，２４  ローラ
２３ａ，２４ａ  支軸
３０  基板搬送装置
３１  ガイドレール
３２  走行体
３３  支持シャフト
３４  基板把持機構
３５  駆動部
３５ａ  締付部材
３６  把持部
３７  当接パッド
３８  ガイド機構
３９  支持台
４０，４１  ローラ
４０ａ，４１ａ  支軸
４５  支持台
５０  基板
【図１】
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【図２】
2005317826.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005317826.tif 000009
【図８】
2005317826.tif 000010
【図９】
2005317826.tif 000011
【図１０】
2005317826.tif 000012
【図１１】
2005317826.tif 000013