(57)【要約】【課題】ノズルなどの表面の損傷を非破壊的に検出し効率的な検査を行なう。【解決手段】検査表面を非破壊的に検査する表面非破壊検査装置において、検査表面を撮影することによって得た情報に基づいて前記検査表面までの距離を計測する距離計測センサと、距離計測センサを、前記検査表面を撮影する位置まで移動させて、さらに前記距離計測センサを前記検査表面に沿って走査させる移動装置と、距離計測センサからの信号に基づいて前記検査表面までの距離を求める距離計測装置と、移動装置の走査制御情報と、距離計測装置で求めた前記検査表面までの距離情報とに基づいて、検査表面の形状を表す形状画像を作成しその形状画像に基づいて前記検査表面の損傷を検出する評価装置と、を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査表面を非破壊的に検査する表面非破壊検査装置において、
前記検査表面を撮影することによって得た情報に基づいて前記検査表面までの距離を計測する距離計測センサと、
前記距離計測センサを、前記検査表面を撮影する位置まで移動させて、さらに前記距離計測センサを前記検査表面に沿って走査させる移動装置と、
前記距離計測センサからの信号に基づいて前記検査表面までの距離を求める距離計測装置と、
前記移動装置の走査制御情報と、前記距離計測装置で求めた前記検査表面までの距離情報とに基づいて、前記検査表面の形状を表す形状画像を作成しその形状画像に基づいて前記検査表面の損傷を検出する評価装置と、
を有すること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の表面非破壊検査装置において、前記距離計測センサは、前記検査表面を視点の異なる複数の位置から撮影する複数の撮影装置を備えていること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の表面非破壊検査装置において、前記距離計測センサは、撮像装置と光学装置とを備え、前記光学装置は、前記検査表面から放たれた光を第１および第２の光路に沿ってそれぞれ伝達する第１および第２の反射ミラーを有し、前記第１および第２の光路に沿って伝達された光が前記撮像装置の異なる位置に入力されるように構成されていること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載の表面非破壊検査装置において、前記距離計測装置は、前記撮像装置によって前記検査表面を撮像した視点の異なる画像間で同一領域を撮像した位置を求め、前記検査表面までの距離を演算するように構成されていること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項５】
請求項１に記載の表面非破壊検査装置において、前記距離計測センサは、前記検査表面に直線状の軌跡としてレーザ光を走査するレーザ光照射装置と、前記検査表面で発生するレーザ光の反射光を撮影する撮像装置と、を備えていること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項６】
請求項１に記載の表面非破壊検査装置において、前記距離計測センサは、ビーム状のレーザ光を偏光レンズによって偏光し、その偏光したレーザ光を前記検査表面に格子状に照射するレーザ光照射装置と、前記検査表面で発生するレーザ光の反射光を撮影する撮像装置と、を備えていること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載の表面非破壊検査装置において、前記距離計測装置は、前記検査表面で発生した反射光を前記撮像装置によって撮影した画像に基づいて、その撮像した位置を求め、前記検査表面までの距離を演算するように構成されていること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項８】
請求項１に記載の表面非破壊検査装置において、前記評価装置は、前記検査表面の基準形状を記録保持する基準形状記録装置を備え、前記形状画像と前記基準形状とを比較することによって前記検査表面の損傷を検出するように構成されていること、特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項９】
側面を有する筒状の検査表面を非破壊的に検査する表面非破壊検査装置において、
前記検査表面を撮影する撮像装置と、
前記検査表面の側面から発した光を反射させて前記撮像装置に伝送するためにミラーと、
前記撮像装置を検査位置まで移動させる移動装置と、
前記撮像装置で得られた画像を、前記ミラーの形状と前記ミラーに映り込んだ形状に基づいて画像処理を施し平面展開画像を作成する検査表面展開装置と、
前記検査表面展開装置で作成した平面展開画像に基づいて前記検査表面の損傷を検出する評価装置と、
を有すること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の表面非破壊検査装置において、前記検査表面は筒状の外側面であって、前記ミラーは前記筒状の外側面の周方向に沿って環状に配置されていること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の表面非破壊検査装置において、前記検査表面は筒状物の内側面であって、前記ミラーは前記筒状物の内側に挿入されていること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項１２】
請求項１または９に記載の表面非破壊検査装置において、前記検査結果を記録保持する検査結果記録装置と、前記評価装置による検査結果および、前記検査結果記録装置に記録された過去の検査結果を表示する表示装置と、をさらに備えていること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の表面非破壊検査装置において、前記検査結果記録装置に記録された過去の検査結果に基づいて、前記評価装置で前記検査表面の検査合否を判断する検査基準を作成する検査基準作成装置をさらに備えていること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項１４】
請求項１または９に記載の表面非破壊検査装置において、前記評価装置の出力に基づいて検査報告書を作成する検査報告書作成装置をさらに有すること、を特徴とする表面非破壊検査装置。
【請求項１５】
検査表面を非破壊的に検査する表面非破壊検査方法において、
距離計測センサを、前記検査表面を撮影する位置まで移動させて、さらに前記距離計測センサを前記検査表面に沿って走査させる移動ステップと、
前記距離計測センサによって前記検査表面を撮影する撮影ステップと、
前記距離計測センサからの信号に基づいて前記検査表面までの距離を求める距離計測ステップと、
前記移動装置の走査制御情報と、前記距離計測ステップで求めた前記検査表面までの距離情報とに基づいて、前記検査表面の形状を表す形状画像を作成しその形状画像に基づいて前記検査表面の損傷を検出する評価ステップと、
を有すること、を特徴とする表面非破壊検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発電設備などで使用されるノズルなどの表面に発生した損傷を非破壊で自動的に検査するための検査装置および検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
発電設備などで使用されている機器部品は、機能の安全性を維持するために定期的な点検が実施されている。前述した点検において、機器の安全性や性能に大きく影響を与える損傷を検出するために、機器を分解した後に外観や内部を検査する分解点検が実施されており、これは最も重要視される点検項目である。
【０００３】
従来のノズルに関する分解点検は、ノズル表面に発生した損傷の有無および損傷の寸法によって検査の合否を定めている。また、前検査は、検査員による目視にて実施されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の検査員による目視検査では、検査員の熟練度などに起因して統一的な検査基準にて実施することは困難である。また、検査員の作業労力に頼っているため、生産性のある効率的な検査が提供できない。
【０００５】
本発明は上記従来技術の課題を解決するためになされたものであり、ノズルなどの表面に発生した損傷を画像処理にて非破壊的に検出し効率的な検査を行なうことのできる表面検査装置および表面検査方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
この発明は上記目的に沿うものであって、請求項１に記載の発明は、検査表面を非破壊的に検査する表面非破壊検査装置において、前記検査表面を撮影することによって得た情報に基づいて前記検査表面までの距離を計測する距離計測センサと、前記距離計測センサを、前記検査表面を撮影する位置まで移動させて、さらに前記距離計測センサを前記検査表面に沿って走査させる移動装置と、前記距離計測センサからの信号に基づいて前記検査表面までの距離を求める距離計測装置と、前記移動装置の走査制御情報と、前記距離計測装置で求めた前記検査表面までの距離情報とに基づいて、前記検査表面の形状を表す形状画像を作成しその形状画像に基づいて前記検査表面の損傷を検出する評価装置と、を有すること、を特徴とする。
【０００７】
また、請求項９に記載の発明は、側面を有する筒状の検査表面を非破壊的に検査する表面非破壊検査装置において、前記検査表面を撮影する撮像装置と、前記検査表面の側面から発した光を反射させて前記撮像装置に伝送するためにミラーと、前記撮像装置を検査位置まで移動させる移動装置と、前記撮像装置で得られた画像を、前記ミラーの形状と前記ミラーに映り込んだ形状に基づいて画像処理を施し平面展開画像を作成する検査表面展開装置と、前記検査表面展開装置で作成した平面展開画像に基づいて前記検査表面の損傷を検出する評価装置と、を有すること、を特徴とする。
【０００８】
また、請求項１５に記載の発明は、検査表面を非破壊的に検査する表面非破壊検査方法において、距離計測センサを、前記検査表面を撮影する位置まで移動させて、さらに前記距離計測センサを前記検査表面に沿って走査させる移動ステップと、前記距離計測センサによって前記検査表面を撮影する撮影ステップと、前記距離計測センサからの信号に基づいて前記検査表面までの距離を求める距離計測ステップと、前記移動装置の走査制御情報と、前記距離計測ステップで求めた前記検査表面までの距離情報とに基づいて、前記検査表面の形状を表す形状画像を作成しその形状画像に基づいて前記検査表面の損傷を検出する評価ステップと、を有すること、を特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係わる実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで，相互に共通または類似の部分には共通の符号を付して、重複説明は省略する。
図１は、本発明に係る表面非破壊検査装置の第１の実施の形態の全体概略構成図である。上下移動や前後／左右移動および旋回移動を有した移動装置２に取り付けられた距離計測センサ１は、予め記憶した移動情報を基に移動制御装置４によって制御された移動装置２により、ノズル１００の検査箇所である表面の検査位置まで移動し検査表面に沿って走査される。
【００１０】
距離計測センサ１は撮像装置（後述）を有し、その撮像装置でノズル１００の検査表面２００を撮影し、撮影した映像をアナログの電気信号として映像信号線１２を介して距離計測装置３へ伝送する。距離計測装置３では、距離計測センサ１から伝送されたアナログの映像信号（電気信号）をＡ／Ｄ変換器２５（図２等参照）でデジタルの画像データに変換した後、画像データに画像処理を施し、距離計測センサ１からノズル１００の検査表面２００までの距離を計測する。
【００１１】
距離計測センサ１と距離計測装置３の第１の具体的構成例を図２を参照して説明する。この例では、距離計測センサ１は、ノズル１００の検査表面２００をステレオ的に撮影できる２台の撮像装置２０２ａ／２０２ｂを備え、１本の映像信号線１２で伝送開始時間をずらし２台分の映像信号を距離計測装置３へ伝送するか、若しくは２本の映像信号線１２で各々の映像信号を距離計測装置３へ伝送する。
【００１２】
距離計測装置３は、１台または２台のＡ／Ｄ変換器２５、視差演算プロセッサ２０６、距離演算プロセッサ２０７を備える。距離計測センサ１から伝送される２台の撮影装置２０２ａ／２０２ｂのアナログの映像信号（電気信号）をＡ／Ｄ変換器２５でデジタルの画像データに変換し、視差演算プロセッサ２０６にて２枚の画像データ間で対応する各画素の関連性を求め、視差量を演算する。距離演算プロセッサ２０７では、視差演算プロセッサ２０６で演算した視差量に基づいて、距離計測センサ１から検査表面２００までの距離が演算される。
【００１３】
次に、距離計測センサ１と距離計測装置３の第２の具体的構成例を図３を参照して説明する。この例では、距離計測センサ１は、撮像装置３０２と光学装置３０３を有する。光学装置３０３は、撮像装置３０２の正面に配置した第２反射ミラー３０５と、第２反射ミラーの両側に配置した第１反射ミラー３０４ａ／３０４ｂを備えている。
【００１４】
第１反射ミラー３０４ａ／３０４ｂと第２反射ミラー３０５は、ノズル１００の検査表面２００から放たれた光を第１光路３０６ａと第２光路３０６ｂに沿って撮像装置へ伝達するように配置調整されており、また、第１光路３０６ａと第２光路３０６ｂを伝達してきた検査表面２００からの光は、撮像装置３０２の異なる位置へ入力される。
【００１５】
例えば撮像装置３０２が備えた受光素子（図示せず）が長方形型の場合、縦中央を境界として片側が第１光路３０６ａからの光を受光し、反対片側が第２光路３０６ｂからの光を受光するような構成である。これにて、単一の撮像装置３０２でステレオ的に検査表面２００を撮影することができ、距離計測センサ１の小型化が可能となる。
【００１６】
図３の距離計測装置３は、Ａ／Ｄ変換器２５、画像分割プロセッサ３１０、視差演算プロセッサ３１１、距離演算プロセッサ３１２を備える。距離計測センサ１から伝送される撮像装置３０２のアナログの映像信号（電気信号）はＡ／Ｄ変換器２５でデジタルの画像データに変換され、画像分割プロセッサ３１０にて距離計測センサ１の第１光路３０６ａと第２光路３０６ｂの光を受光した領域で画像データが分割される。視差演算プロセッサ３１１は、画像分割プロセッサ３１０で分割した画像データ間で対応する各画素の関連性を求め視差量を演算する。距離演算プロセッサ３１２では、視差演算プロセッサ３１１で演算した視差量に基づいて距離計測センサ１から検査表面２００までの距離が演算される。
【００１７】
次に、距離計測センサ１と距離計測装置３の第３の具体的構成例を図４を参照して説明する。この例では、距離計測センサ１は、ノズル１００の検査表面２００へ直線状の軌跡としてレーザ光を走査し照射するレーザ光照射装置４０３と、そのレーザ光が検査表面で反射した反射光を撮影する撮像装置４０２を備えている。レーザ光照射装置４０３は、レーザ光を発生させレーザ光をビーム状に絞り込む対物レンズを有したレーザ発振器４０４と、ビーム状のレーザ光を検査表面２００に直線状に走査させる可動式ミラー４０５を備えている。
【００１８】
図４の距離計測装置３は、Ａ／Ｄ変換器２５、画像処理プロセッサ４０９、距離演算装置を備えている。距離計測センサ１から伝送される撮像装置４０２のアナログの映像信号（電気信号）はＡ／Ｄ変換器２５でデジタルの画像データに変換され、画像処理プロセッサ４０９にて画像データへ２値化処理および細線化処理などの画像処理を施され、検査表面２００におけるレーザ光の反射領域が特定される。その後、距離演算プロセッサ４１０にて、画像処理プロセッサ４０９で特定したレーザ光の反射領域の座標値に基づいて距離計測センサ１から検査表面２００までの距離が演算される。
【００１９】
次に、距離計測センサ１と距離計測装置３の第４の具体的構成例を図５を参照して説明する。この例では、距離計測センサ１は、ノズル１００の検査表面２００へ格子状にレーザ光を照射するレーザ光照射装置５０３と、そのレーザ光が検査表面２００で反射した反射光を撮影する撮像装置５０２を備えている。レーザ光照射装置５０３は、レーザ光を発生させレーザ光をビーム状に絞り込む対物レンズを有したレーザ発振器５０４と、ビーム状のレーザ光を格子状に偏光する偏光レンズ５０５を備えている。偏光レンズ５０５は，例えば複合円筒レンズである。
【００２０】
図５の距離計測装置３は、Ａ／Ｄ変換器２５、画像処理プロセッサ５０９、距離演算プロセッサ５１０を備えている。距離計測センサ１から伝送される撮像装置５０２のアナログの映像信号（電気信号）はＡ／Ｄ変換器２５でデジタルの画像データに変換され、画像処理プロセッサ５０９にて画像データへ２値化処理および縮短化処理などの画像処理を施され、検査表面２００におけるレーザ光の反射領域が特定される。その後、距離演算プロセッサ５１０にて画像処理プロセッサ５０９で特定したレーザ光の反射領域の座標値に基づいて距離計測センサ１から検査表面２００までの距離が演算される。
【００２１】
図１において、距離計測装置３で求めた距離計測センサ１からノズル１００の検査表面２００までの距離データは、距離信号線１０を介して評価装置５へ伝送され、また、移動装置２の走査に関する制御情報は、移動制御装置４によって制御信号線１１を介して評価装置５へ伝送される。
【００２２】
評価装置５は、例えば図６に示すように、表面形状画像作成装置６００、検査基準作成装置６０１、判定装置６０２、基準形状記録装置６０３を備えており、ノズル１００の検査表面２００に発生した損傷を検出する。
【００２３】
距離計測装置３から伝送される距離データと移動制御装置４から伝送される走査制御情報は、それぞれ、距離信号線１０および制御信号栓１１を通して表面形状画像作成装置６００へ入力される。表面形状画像作成装置６００は、移動装置２の走査に合わせて距離計測センサ１が計測した距離データを、移動制御装置４から伝送された走査制御情報を基に連結結合することで検査表面２００の形状を表す２次元の形状画像を作成する。表面形状画像作成装置６００にて作成された形状画像は、画像を構成する各画素の値が距離に応じた値を表している。
【００２４】
図１では、移動装置２にて距離計測センサ１を移動させ検査表面２００に沿って走査する構成であるが、移動装置２にてノズル１００を移動させ、距離計測センサ１を検査表面２００に沿って走査する構成でもよい。
【００２５】
前記構成では、表面形状画像作成装置６００で形状画像を作成する際に、距離計測センサ１とノズル１００の位置関係が既知でなければならないが、人間によって手動でノズル１００を検査位置に設置する場合、設置誤差が発生する。表面形状画像作成装置６００は、距離データにおいて同一の表面箇所を計測した重複する距離データ間の差分を演算し、差分が最小値となり得る補正値を求めることで設置誤差などに起因する計測精度の低下を抑制することが可能である。
【００２６】
基準形状記録装置６０３には、予め正常な検査表面の形状である基準形状を記憶しておき、判定装置６０２は、表面形状画像作成装置６００にて作成した形状画像と基準形状記録装置６０３に記録した基準形状を比較し、検査表面２００に発生した損傷の度合いを求め、求めた損傷の度合いによって検査の合否を判定する。
【００２７】
また、検査基準作成装置６０１は、検査の合否を判定する基準を過去の検査結果や補修実績などから作成する。例えば、ノズル１００にユニークな識別番号がある場合、図１の入力装置９にて識別番号を入力し、入力した識別番号を基に過去の検査結果を記録した検査結果記録装置７から過去の検査結果や補修実績などを参照し、定めた基準に従って検査の合否判定の基準を作成する。評価装置５の検査結果は、検査信号線３０を介して表示装置６および検査結果記録装置７に送信され、検査結果の表示や検査結果が記録保存される。
【００２８】
検査報告書作成装置８では、検査結果記録装置７に記録保存された過去の検査結果から、検査結果や検査報告書として必要な情報を参照し、予め定めたフォーマットの検査報告書を自動で作成することもできる。
【００２９】
次に、本発明に係る表面非破壊検査装置の第２の実施の形態を説明する。図７は、第２の実施の形態に係わる表面非破壊検査装置の全体概略構成図である。  上下移動や前後／左右移動および旋回移動を有した移動装置２に取り付けられた撮像装置７０１は、予め記憶した移動情報を基に移動制御装置４によって制御された移動装置２により、ノズル１００の上部へ移動される。
【００３０】
図８は、検査体の使用用途から考えられる検査表面を図示したものである。図８においてノズル１００の検査表面は、筒状をした検査体の開口部上面にあたる上部検査表面８０１と、側面にあたる外側検査表面８０２および内側検査表面８０３である。この実施の形態では、検査体であるノズル１００の上部に移動した撮像装置７０１にて、図８に示した上部検査表面８０１とともに外側検査表面８０２および内側検査表面８０３を撮影するためのミラー７１０を備えている。ミラー７１０は、外側検査表面８０２から放たれた光を屈折（反射）させるための外面ミラーと、内側検査表面８０３から放たれた光を屈折（反射）させるための内面ミラーから構成される。
【００３１】
外面ミラーの一例を図９を参照して説明する。外面ミラー９０１は、筒型をしたノズル１００の側面にあたる外側検査表面８０２の外側に環状に配置され、外側検査表面８０２から放たれた光を屈折（反射）させ上部の撮像装置７０１へ導くものである。外側検査表面８０２から放たれた光は外面ミラー９０１の鏡面部９０４へ放射され、鏡面部９０４にて上部の撮像装置７０１の方向へ屈折（反射）され撮像装置７０１へ入力される。
【００３２】
また、撮像装置７０１が照明装置を備えている場合、照明装置は外面ミラー９０１の鏡面部９０４へ光を照射し、照射された光は鏡面部９０４にてノズル１００の外側検査表面８０２の方向に屈折（反射）され、屈折（反射）された光にて外側検査表面８０２が照らされる。外面ミラー９０１の鏡面部９０４の形状としては、検査体であるノズル１００の形状に合わせた形状が望ましく、例えばノズル１００が円筒形の場合には円錐型凹面が望ましい。
【００３３】
内面ミラーの一例を図１０を参照して説明する。内面ミラー１００１は、筒型をしたノズル１００の内側面にあたる内側検査表面８０３から放たれた光を屈折（反射）させ上部の撮像装置７０１へ導くものである。内側検査表面８０３から放たれた光は内面ミラー１００１の鏡面部１００４へ放射され、鏡面部１００４にて上部の撮像装置７０１の方向へ屈折（反射）され撮像装置７０１へ入力される。
【００３４】
また、撮像装置７０１が照明装置を備えている場合、照明装置は内面ミラー１００１の鏡面部１００４へ光を照射し、照射された光は鏡面部１００４にてノズル１００の内側検査表面８０３の方向に屈折（反射）され、屈折（反射）された光にて内側検査表面８０３が照らされる。内面ミラー１００１の鏡面部１００４の形状としては、検査体であるノズル１００の形状に合わせた形状が望ましく、例えばノズル１００が円筒形の場合には円錐型凸面が望ましい。
【００３５】
外面ミラー９０１と内面ミラー１００１を配設したノズル１００を上部から撮影した撮像装置７０１で得られる画像データには、図８に示した上部検査表面８０１と外側検査表面８０２および内側検査表面８０３が写像されており、撮像装置７０１は、撮影した画像データを検査表面展開装置へ送信する。
【００３６】
図７で、検査表面展開装置７０３は、撮像装置７０１から送信された画像データに画像処理を施すことで、画像データに映り込んだ上部検査表面８０１と外側検査表面８０２および内側検査表面８０３の領域を判断し抽出する。次に、画像データから判断抽出した上部検査表面８０１の領域を、画像データに映り込んだ形状とノズル１００の形状を基に座標変換し平面の上部検査表面展開画像を作成する。
【００３７】
また、画像データから判断抽出した外側検査表面８０２と内側検査表面８０３の領域についても、画像データに映り込んだ形状とノズル１００の形状およびミラー９０１、１００１の形状を基に座標変換し、平面の外側検査表面展開画像と内側検査表面展開画像を作成する。前展開画像を作成することで、各々の検査箇所で異なる検査分解能を統一化することができるとともに、損傷の寸法計測などが適切に評価できる。これにより、検査精度の低下を抑制することができる。
【００３８】
評価装置７０４では、検査表面展開装置７０３にて作成された展開画像に画像処理を施しノズル１００の表面に発生した損傷を自動で認識し検査する。損傷を自動で求めるための画像処理の一例としては、まず損傷の輪郭線を求めるために微分処理を施し、次に微分成分の大きさがあるしきい値以上の領域を抽出する２値化処理を行なう。２値化処理にて抽出した結果は、損傷の輪郭線であるため輪郭線で囲まれた領域を損傷領域とする閉領域埋込み処理を行なう。閉領域埋込みにて抽出した領域の面積があるしきい値以上を選択するノイズ除去処理を実行し、これまでの処理にて抽出された領域が損傷となる。
【００３９】
評価装置７０４でノズル１００の外観を自動で検査した結果は、各展開画像に自動で認識した損傷の領域の色を変えてオーバーレイ表示し、人が視覚的に理解しやすい情報で表示装置６に出力され、前表示とともに合否判定結果や損傷の寸法情報なども同時に表示装置６に出力される。また、評価装置７０４の検査結果は、撮像装置７０１の画像データ、検査表面展開装置で作成された展開画像などの検査過程情報とともに検査結果記録装置７に記録保存される。
【００４０】
検査報告書作成装置８では、検査結果記録装置７に記録保存された過去の検査結果から、検査結果や検査報告書として必要な情報を参照し、予め定めたフォーマットの検査報告書を自動で作成することもできる。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、発電設備などで使用されるノズルなどの表面に発生した損傷を非破壊で自動に２次元的または３次元的に検査できることから、検査員の熟練度に依存することなく、統一的な検査基準で効率的に検査を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る表面非破壊検査装置の第１の実施の形態を示す全体ブロック図。
【図２】図１の距離計測センサおよび距離計測装置の第１の具体例を示すブロック図。
【図３】図１の距離計測センサおよび距離計測装置の第２の具体例を示すブロック図。
【図４】図１の距離計測センサおよび距離計測装置の第３の具体例を示すブロック図。
【図５】図１の距離計測センサおよび距離計測装置の第４の具体例を示すブロック図。
【図６】図１の評価装置の具体例を示すブロック図。
【図７】本発明に係る表面非破壊検査装置の第２の実施の形態を示す全体ブロック図。
【図８】図７のノズルを拡大して示す部分縦断面図。
【図９】図７の撮像装置およびノズルの付近の具体例を示す模式的部分縦断面図。
【図１０】図７の撮像装置およびノズルの付近の、図９とは異なる具体例を示す模式的部分縦断面図。
【符号の説明】
１…距離計測センサ、２…移動装置、３…距離計測装置、４…移動制御装置、５…評価装置、６…表示装置、７…検査結果記録装置、８…検査報告書作成装置、９…入力装置、１０…距離信号線、１１…制御信号線、１２…映像信号線、２５…Ａ／Ｄ変換器、３０…検査信号線、１００…ノズル、２００…検査表面、２０２ａ，２０２ｂ…撮像装置、２０６…視差演算プロセッサ、２０７…距離演算プロセッサ、３０２…撮像装置、３０４ａ，３０４ｂ…第１反射ミラー、３０５…第２反射ミラー、３０６ａ…第１光路、３０６ｂ…第２光路、３１０…画像分割プロセッサ、３１１…視差演算プロセッサ、３１２…距離演算プロセッサ、４０２撮像装置、４０３レーザ光照射装置、４０４レーザ発振器、４０５…可動式ミラー、４０９…画像処理プロセッサ、４１０…距離演算プロセッサ、５０２…撮像装置、５０４…レーザ発振器、５０５…偏光レンズ、５０９…画像処理プロセッサ、５１０…距離演算プロセッサ、６００…表面形状画像作成装置、６０１…検査基準作成装置、６０２…判定装置、６０３…基準形状記録装置、７０１…撮像装置、７０３…検査表面展開装置、７０４…評価装置、７１０…ミラー。
【図１】
2005030891.tif 000003
【図２】
2005030891.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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