(57)【要約】【課題】       本発明の目的は、光学用部品の基板の収容容器のジグを提供することである。【解決手段】       上記の目的を達成するために、光学用部品の基板の表裏面に蒸着膜を成膜する際に使用される光学用部品の基板を収容する光学用部品の基板のジグにおいて、先述の光学用部品の基板が収容されるジグの内側の縁部に切り欠きが有ることを特徴とし、また、その切り欠きの形状が楕円弧もしくは円弧であることを特徴として目的を達成するものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学用部品の基板の表裏面に蒸着膜を成膜する際に使用される、該光学用部品の基板を収容する光学用部品の基板のジグにおいて、
該光学用部品の基板が収容されるジグの内側の縁部に切り欠きが有ることを特徴とする光学用部品の基板のジグ。
【請求項２】
請求項１に記載の切り欠きの形状が楕円弧もしくは円弧であることを特徴とする光学用部品の基板のジグ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学用部品の基板に蒸着を行う際に用いるジグに関する。
【背景技術】
【０００２】
動画撮影に用いられるビデオムービーカメラや静止画撮影に用いられる電子スチルカメラなどのカラーイメージセンサーを含む撮像装置では、カラーCCDイメージセンサーの前面に赤外線カットフィルターが配置されているが。このような赤外線カットフィルターには厚さと成分により透過率特性が変化するガラスタイプと、層数と光学膜圧により透過率特性が変化するコーティングタイプとがあり、ガラスタイプ赤外線カットフィルターは可視光を透過して赤外線を吸収するガラスから成るフィルターであり、コーティングタイプの赤外線カットフィルターは、水晶、白板ガラスなどの透明基板上に二酸化チタンなどの高屈折率材料から成る透明薄膜と二酸化ケイ素などの低屈折率材料から成る透明薄膜とを交互に複数積層したフィルターであり、これは透明薄膜による光の干渉を利用して所望の波長域の光を反射もしくは透過させるものである。
【０００３】
このように光学機器には先述のようなフィルターが使用され、そのフィルターは白板ガラスを含むガラスや、水晶から成る円形や方形をした基板上に、光の波長を選択的に透過、吸収するような物質を蒸着した後、その基板を所望の形状に切断してフィルターとすることが一般的であるが、光学用フィルターとしてその機能を最大限に発揮させるために、光学用フィルターとして光を通過させる光学用部品の基板の表裏面に反射防止等の効果をもたせた表面処理加工を行うなど、化学薬品を使用した真空蒸着やスパッタリングによる表面コーティングが行われる場合もある。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−３１４８０８号公報
【特許文献２】特開平１０−１８６１３０号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来は、光学用部品の基板の表面と裏面に順に蒸着膜を成膜する際、成膜した基板の表裏面の判別が困難なために、既に成膜した基板面に誤って再び蒸着してしまおそれがあった。
【０００７】
また、従来は、光学用部品の基板の表面と裏面に順に蒸着膜を成膜する際、成膜した基板の表裏面の判別が困難なために、光学用部品の基板の蒸着枠への収容に時間が掛かるといった問題があった。
【０００８】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従ってその目的は光学用部品の基板の収容容器のジグを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の課題を解決するために本発明は、光学用部品の基板の表裏面に順に蒸着膜を成膜する際に使用される先述の光学用部品の基板を収容する光学用部品の基板のジグにおいて、光学用部品の基板が収容されるジグの内側の縁部に切り欠きが有ることを特徴とする。
【００１０】
また、光学用部品の基板が収容されるジグの内側の縁部の切り欠きの形状が楕円弧もしくは円弧であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の光学用部品の基板の蒸着ジグによって、光学用部品の基板の表裏面に順に蒸着膜を成膜する際に、光学用部品の基板の表裏面を確実に判別することが出来るために、既に成膜した基板面に誤って再び蒸着してしまうといった誤った処理が無くなり、その結果、光学用部品の基板の製造歩留まりを向上することが出来る。
【００１２】
また、本発明の光学用部品の基板の蒸着ジグによって、光学用部品の基板の表裏面を確実に判別することが出来るために、光学用部品の基板の取り扱いを容易とし、その結果光学用部品の基板の製造歩留まりを向上することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面に従ってこの発明の実施例を説明する。なお、各図において同一の符号は同様の対象を示すものとする。
【実施例１】
【００１４】
図１は本発明の光学用部品の基板１の蒸着ジグ４の概略の上面模式図である。矢印で点線の円で囲まれた縁部５の切り欠き６部分の拡大図と、光学用部品の基板の蒸着ジグ４の側面断面図が併せて図示されている。切り欠きの形状６は円弧もしくは楕円弧をしている。切り欠きの形状６は三角形などの鋭角をもった形状では先端部の蒸着膜３が剥がれた場合、汚染のもとと成るおそれがある。
【００１５】
図２は本発明の光学用部品の基板１の蒸着ジグ４に、まだ表裏面に蒸着の行われていない光学用部品の基板１を収容する様子を示した概略の模式図である。蒸着ジグ４の内側の縁部５の厚みが蒸着ジグ４の外周部よりも薄い形状をしており、光学用部品の基板１をジグ４に落とし込むように収容する。こういった蒸着ジグ４の形状から、光学用部品の基板１を蒸着の作業のために蒸着ジグ４に収容する工程を蒸着のための光学用部品の基板１の枠入れと呼ぶ場合がある。
【００１６】
図３は本発明の光学用部品の基板１の蒸着ジグ４に収容された光学用部品の基板１の片面に蒸着装置を用いて蒸着する様子を示した概略の模式図である。円形もしくは半円形をした光学用部品の基板１を多数個載置できる構造体が蒸着装置の内部にはあり、本図はそのうちのひとつの基板１の片面に蒸着する様子を示した模式図である。
【００１７】
図４は本発明の光学用部品の基板１の蒸着ジグ４を用いて、光学用部品の基板１の片面に蒸着膜３が形成された様子を示す概略の模式図である。なお、矢印で点線の円で囲まれた縁部５の切り欠き６部分の拡大図が併せて図示されている。切り欠き６があるために、切り欠き６の形状が基板１上に蒸着膜３として蒸着を行った基板面に転写される。
【００１８】
図５は本発明の光学用部品の基板１の蒸着ジグ４に、既に片面に蒸着の行われている光学用部品の基板１を収容する様子を示した概略の模式図である。ここで、切り欠き６により既に蒸着した基板面には、切り欠き６の形状の蒸着膜３が形成されており、そのために、光学部品用の基板１の表裏面を確実に判別することが出来、まだ蒸着を行っていない基板面に蒸着を行うように、光学用部品の基板１を蒸着ジグ４に枠入れして、蒸着装置に設置することが出来る。
【００１９】
図６は本発明の光学用部品の基板１の蒸着ジグ４に収容された光学用部品の基板１の、まだ蒸着のされていない基板面に蒸着装置を用いて蒸着膜３を形成する様子示した概略の模式図である。
【００２０】
図７は本発明の光学用部品の基板１の蒸着ジグ４を用いて、光学用部品の基板１のまだ蒸着のされていなかった面に蒸着膜が形成された様子を示す概略の模式図である。なお、矢印で点線の円で囲まれた縁部５の切り欠き６部分の拡大図が併せて図示されている。
なお、本発明の蒸着ジグ４の形状は円形で図示してあるが、蒸着を行う光学用部品の基板１の形状に合わせて、その蒸着ジグ４の形状が楕円形や、方形、多角形であっても構わず、これらの場合においても本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでも無い。
【００２１】
図８は、先述の図２から図７までの光学用部品の基板１の蒸着工程を示すフローチャートである。このフローチャートは光学用部品の基板１の片面に一度ずつ蒸着膜３を形成するものであるが、この蒸着の工程を一枚の光学用部品の基板１に複数回繰り返して、光学用部品の基板１の片面に複数の蒸着膜３を形成する場合においても、本発明の蒸着ジグ４はその効果を奏するものである。
【００２２】
図９は従来の、光学用部品の基板１の蒸着ジグ４の概略の上面模式図である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の光学用部品の基板の蒸着ジグの概略の上面模式図である。矢印で点線の円で囲まれた縁部の切り欠き部分の拡大図が併せて図示されている。
【図２】本発明の光学用部品の基板の蒸着ジグに、まだ表裏面に蒸着の行われていない光学用部品の基板を収容する様子を示した概略の模式図である。
【図３】本発明の光学用部品の基板の蒸着ジグに収容された光学用部品の基板の片面に蒸着装置を用いて蒸着する様子示した概略の模式図である。
【図４】本発明の光学用部品の基板の蒸着ジグを用いて、光学用部品の基板の片面に蒸着膜が形成された様子を示す概略の模式図である。なお、矢印で点線の円で囲まれた縁部の切り欠き部分の拡大図が併せて図示されている。
【図５】本発明の光学用部品の基板の蒸着ジグに、既に片面に蒸着の行われている光学用部品の基板を収容する様子を示した概略の模式図である。
【図６】本発明の光学用部品の基板の蒸着ジグに収容された光学用部品の基板の、まだ蒸着のされていない面に蒸着装置を用いて蒸着する様子示した概略の模式図である。
【図７】本発明の光学用部品の基板の蒸着ジグを用いて、光学用部品の基板のまだ蒸着のされていなかった面に蒸着膜が形成された様子を示す概略の模式図である。なお、矢印で点線の円で囲まれた縁部の切り欠き部分の拡大図が併せて図示されている。
【図８】図２から図７までの、光学用部品の基板の蒸着工程を示すフローチャートである。
【図９】従来の光学用部品の基板の蒸着ジグの概略の上面模式図である。
【符号の説明】
【００２４】
１  光学用部品の基板
２  表裏面
３  蒸着膜
４  光学用部品の基板のジグ
５  内側の縁部
６  切り欠き
【図１】
2005215216.tif 000003
【図２】
2005215216.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005215216.tif 000008
【図７】
2005215216.tif 000009
【図８】
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【図９】
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