(57)【要約】【課題】ペリクル膜や接着層の損傷及びパーティクルの発生を効果的に防ぐことができ、露光原版に対して均一に加圧することができるペリクルフレームを提供する。【解決手段】上端面と下端面を有し、上端面にペリクル膜を貼り付け、下端面を露光原版に貼り付けるフォトリソグラフィー用ペリクルのペリクルフレームであって、該フレームの上端面において、全周又は一部に、溝２、突起、又は段差が形成されており、該溝、突起、又は段差より内側に接着層を介してペリクル膜を貼り付けるための領域３が設けられており、前記溝、突起、又は段差より外側に露光原版に対して該フレームを加圧するための領域４が設けられているものであることを特徴とするペリクルフレーム１。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端面と下端面を有し、上端面にペリクル膜を貼り付け、下端面を露光原版に貼り付けるフォトリソグラフィー用ペリクルのペリクルフレームであって、該フレームの上端面において、全周又は一部に、溝、突起、又は段差が形成されており、該溝、突起、又は段差より内側に接着層を介してペリクル膜を貼り付けるための領域が設けられており、前記溝、突起、又は段差より外側に露光原版に対して該フレームを加圧するための領域が設けられているものであることを特徴とするペリクルフレーム。
【請求項２】
前記ペリクルフレームが、少なくとも一辺が３０ｃｍ以上となる長方形のものであることを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム。
【請求項３】
前記溝の深さが、５０μｍ以上であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフォトリソグラフィー用ペリクル。
【請求項４】
前記突起の高さが、１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフォトリソグラフィー用ペリクル。
【請求項５】
前記段差が、１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のフォトリソグラフィー用ペリクル。
【請求項６】
フォトリソグラフィー用ペリクルであって、少なくとも、ペリクルフレームと、該フレームの上端面に設けた接着層と、該接着層を介して前記フレームに貼り付けられたペリクル膜とを有し、前記フレームが、前記請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のペリクルフレームであり、前記溝、突起、又は段差より内側となる上端面に接着層が設けられており、該接着層を介してペリクル膜が貼り付けられているものであることを特徴とするフォトリソグラフィー用ペリクル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示板等を製造する際に、露光原版にゴミよけとして貼り付けるペリクルのフレームに関し、特に、一辺が３０ｃｍ以上となる大型のペリクルフレームに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示板の製造工程の１つとして、原版に光を照射してパターニングを行うフォトリソグラフィー工程がある。近年めざましく進歩している液晶表示板の製造では、液晶用原版の大型化が進むとともにパターンの集積度も高まってきている。
フォトリソグラフィー工程で用いる露光原版にパーティクル等のゴミが付着してしまうと、パーティクルが光を吸収したり、光を曲げてしまうため、パーティクルが転写したり、パターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりするなど、寸法、品質、外観等が損なわれ、液晶表示板の性能や製造歩留まりの低下を来すという問題が生じる。
【０００３】
フォトリソグラフィー工程に係わる作業は通常クリーンルームで行われるが、クリーンルーム内でも露光原版を常に清浄に保つことは困難である。そこで、露光原版の表面へのパーティクルの付着を避けるため、露光原版にペリクルを貼り付けて露光が行われる。
【０００４】
一般的に、ペリクルは、例えば図５に示したようなアルミニウム、ステンレス、鉄、その他金属からなる長方形のペリクルフレーム３１の上端面３２に、露光用の光を良く通過させるニトロセルロース、酢酸セルロース、非晶質フッ素系樹脂等からなる透明な膜（ペリクル膜）を、アクリル樹脂やエポキシ樹脂等の接着剤で接着させて得ることができる（特許文献１、特許文献２参照）。
また、フレーム３１の下端面３３には、露光原版に貼り付けるために、スチレン−エチレン−ブタジエン−スチレン系の樹脂、ポリ酢酸ビニル樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂等からなる粘着層が設けられ、さらに粘着層の保護を目的としたセパレーターが設けられる。
【０００５】
ペリクルを露光原版に貼り付ける際には、セパレーターを剥がして露光原版の所定の位置に貼り付けることになる。これにより、パーティクルは露光原版の表面には直接付着せず、ペリクル膜に付着することになる。そのため、リソグラフィー時に焦点を露光原版のパターン上に合わせておけば、ペリクル膜に付着したパーティクルが転写することを防ぐことができる。
【０００６】
近年の液晶表示板の製造工程に用いられるフォトリソグラフィー用マスク原版に使用されるペリクルは、原版の大型化に伴い、フレームの一辺が３０ｃｍ以上になる大型のペリクルが使用されており、特に、一辺が１ｍを超えるものもある。このような大型のペリクルを露光原版に貼り付ける場合には、例えば、セパレーターを剥離して露光原版の所定の位置に置いた後、ペリクルフレームの上端面の外周部を加圧できる貼付用の治具をセットし、露光原版に対して治具を介して加圧する。なお、大型のペリクルを露光原版に貼り付けるための装置も開発されている（例えば、松下精機株式会社製商品名「Ｍ５１５Ｌ」）。
【０００７】
しかし、ペリクルを露光原版に確実に貼り付けるため、ペリクルフレームの上端面に大きな荷重をかけると、ペリクル膜や接着層が傷むほか、パーティクルが発生し易くなるという問題がある。
また、ペリクルが大型化するほど、ペリクル全体を露光原版に均一に加圧することが難しくなり、露光原版に精度良く貼り付けることが困難になるという問題もある。
【０００８】
【特許文献１】米国特許第４８６１４０２号公報
【特許文献２】特公昭６３−２７７０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は上記のような問題に鑑みてなされたものであり、ペリクル膜や接着層の損傷及びパーティクルの発生を効果的に防ぐことができ、露光原版に対して均一に加圧することができるペリクルフレームを提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明によれば、上端面と下端面を有し、上端面にペリクル膜を貼り付け、下端面を露光原版に貼り付けるフォトリソグラフィー用ペリクルのペリクルフレームであって、該フレームの上端面において、全周又は一部に、溝、突起、又は段差が形成されており、該溝、突起、又は段差より内側に接着層を介してペリクル膜を貼り付けるための領域が設けられており、前記溝、突起、又は段差より外側に露光原版に対して該フレームを加圧するための領域が設けられているものであることを特徴とするペリクルフレームが提供される（請求項１）。
【００１１】
このように上端面に溝、突起、又は段差を形成して２つの領域に分けたペリクルフレームとすれば、溝等よりも内側の領域にのみ接着層を設けてペリクル膜を貼り付けることができる。
また、上記のようにペリクル膜を貼り付けたフレームを露光原版に貼り付ける際には、溝等よりも内側の接着層を加圧することなく、外側の領域を均一に加圧して確実に貼り付けることができるとともに、接着層の損傷やパーティクルの発生を確実に防ぐことができる。
【００１２】
前記ペリクルフレームは、少なくとも一辺が３０ｃｍ以上となる長方形のものとすることができる（請求項２）。
このような大型のペリクルフレームを有するペリクルでは、露光原版に貼り付ける際に特に大きな荷重が必要となるが、本発明のように上端面に溝等を形成したものとすれば、ペリクルフレームの上端面の外側部分を選択的に精度良く加圧することが可能となり、特に有効となる。
【００１３】
前記溝の深さは５０μｍ以上とすることが好ましい（請求項３）。
フレーム上端面に上記深さの溝を形成したものとすれば、接着層を形成する際、溝を境界として接着剤の流出をより確実に防ぐことができる。
【００１４】
また、前記突起の高さは１ｍｍ以下とし（請求項４）、前記段差も１ｍｍ以下とすることが好ましい（請求項５）。
フレーム上端面の突起又は段差の大きさを１ｍｍ以下とすれば、ハンドリングや露光時に支障が生じるおそれを確実に防ぐことができる。
【００１５】
また、本発明によれば、フォトリソグラフィー用ペリクルであって、少なくとも、ペリクルフレームと、該フレームの上端面に設けた接着層と、該接着層を介して前記フレームに貼り付けられたペリクル膜とを有し、前記フレームが、前記の本発明に係るペリクルフレームであり、前記溝、突起、又は段差より内側となる上端面に接着層が設けられており、該接着層を介してペリクル膜が貼り付けられているものであることを特徴とするフォトリソグラフィー用ペリクルが提供される（請求項６）。
【００１６】
このように本発明に係るペリクルフレームを用いたペリクルとすれば、露光原版に貼り付ける際に、溝等より内側に設けられた接着層を加圧することなく、上端面が露出した外側の領域のみを加圧して露光原版に均一に貼り付けることができる。そのため、特に大型のペリクルであっても、接着層の損傷やパーティクルの発生を防ぐとともに、露光原版に確実に貼り付けることができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明による上端面の所定の位置に溝、突起、又は段差を形成したペリクルフレームであれば、溝等より内側にのみ接着剤を塗布して接着層を形成させることができる。また、露光基板に貼り付ける際、ペリクル膜や接着層を傷つけることなく、フレームの上端面における溝等より外側の領域を強く加圧することができ、ペリクルを露光原版に高精度かつ均一に貼り付けることできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係るペリクルフレーム及びペリクルに関し、添付の図面を参照しながら具体的に説明する。
本発明の完成に先立ち、本発明者らはペリクルフレームに関し、ペリクル膜を貼り付けるための接着層の幅を適正にコントロールすることができ、また、フレームの上端面内側いっぱいまで形成させることなど種々検討を行った。その結果、ペリクルフレームの上端面に所定の構造、すなわち、溝、突起、又は段差を設けることにより、接着剤の塗布面積を減少させるだけでなく、表面張力等により液状の接着剤の拡がりが抑制され、溝等より内側の領域にのみ接着層を形成させることができることを見出した。また、このように上端面に溝等を設けたペリクルフレームとすれば、ペリクル膜を貼り付けてペリクルとした後、溝等より外側の領域を加圧することで、内側の接着層を加圧せずに、露光原版に均一に貼り付けることができることを見出し、本発明を完成するに至ったものである。
【００１９】
図１（Ａ）（Ｂ）は、本発明に係るペリクルフレームの一例を示したものである。このペリクルフレーム１は、上端面の全周にわたって１本の溝２が形成されている。溝２より内側は接着層を介してペリクル膜を貼り付けるための領域３となり、溝２より外側は露光原版に対してフレーム１を加圧するための領域４となる。
すなわち、フレーム１の上端面に図１のような溝２が形成されていれば、液状の接着剤を内側の領域３に精度良く塗布することができ、溝２の境界部における表面張力等により外側領域４への接着剤の流出や拡がりをくい止めることができる。従って、溝２より内側の領域３にのみ接着層を容易に形成して、この接着層を介してペリクル膜を貼り付けることができる。
【００２０】
一方、溝２より外側の領域４には接着層が形成されず、フレーム１の表面が露出した状態となる。特に、フレーム１の一辺が３０ｃｍ以上になる大型のペリクルとなると、露光原版（レチクル）に貼り付ける際、フレーム１の上端面に高い圧力をかける必要があるが、溝２の外側の露出した上端面を貼着治具等により均一に加圧することができ、原版に精度良くかつ確実に貼り付けることができる。
【００２１】
また、大型のペリクルを露光原版に貼り付ける場合、ペリクルには非常に高い平坦度が要求されるが、接着層やペリクル膜を介さずにペリクルフレーム１の上端面を直接かつ均一に加圧することができるため、貼り付け後のペリクルは非常に高平坦度のものとなる。
そして、接着層等を加圧した場合のように、治具の痕や傷が残りにくく、パーティクルの発生も効果的に防ぐことができる。
【００２２】
また、ペリクルの輸送、保管時にケースに収納する場合にも、フレーム１が露出した上面の外側を強く押さえた状態で収納することができ、ペリクルのハンドリングの際にも外周部を把持することでペリクル膜等に痕や傷を付けず、パーティクルの発生を効果的に抑制することができる。
さらに、接着剤層をペリクルフレーム１の上端面内側にのみ形成させることができるため、接着剤から発生するアウトガスを最少限に抑える効果もある。
【００２３】
なお、溝２の断面形状は図１（Ｂ）に示したような三角形のみならず、これと同様な効果を有する形状、例えば四角形、半円形あるいは半楕円形等であっても良い。
溝２の深さや幅は、ペリクルフレームの大きさや接着剤の粘度等によって適宜決めれば良いが、溝２が浅すぎると表面張力により接着剤を止める効果が充分得られないおそれがあるので、溝２の深さは５０μｍ以上とすることが好ましい。また、溝２の幅も同様の理由から５０μｍ以上とすることが好ましい。
【００２４】
溝２の位置はフレーム１の幅（厚さ）ｔ等にもよるが、溝２より内側の領域３が狭すぎるとペリクル膜が貼り難くなる。一方、溝２より外側の領域４が狭すぎると、露光原版に対して加圧し難くなる。これらの観点から、各領域３，４の幅が１ｍｍ以上となるように溝２を形成することが好ましい。
【００２５】
なお、フレーム１の材質はペリクルフレームとして使用されているものであれば特に限定されず、アルミニウム合金、ステンレス、ステンレス鋼等を用いることができる。
【００２６】
図２は、本発明に係るペリクルフレームの他の例を示したものである。このペリクルフレーム１１は、上端面の全周にわたって一続きの突起１２が形成されている。突起１２より内側は接着層を介してペリクル膜を貼り付けるための領域１３となり、突起１２より外側は露光原版に対してフレーム１１を加圧するための領域１４となる。
【００２７】
このようにフレーム１１の上端面に突起１２が形成されたペリクルフレーム１１であれば、突起１２より内側の領域１３に塗布した接着剤が、突起１２より外側の領域１４に流出することを一層効果的に防ぐことができ、内側の領域１３にのみ接着層を形成することができる。
このような突起１２の断面形状も、前記溝２と同様に三角形のみならず、これと同様の効果を有する形状、例えば四角形、半円形、半楕円形等の断面形状のものとすることができる。
なお、突起１２を必要以上に高くすると、ハンドリングやリソグラフィーの際に支障が生じるおそれがあるので、突起１２の高さは１．０ｍｍ以下とすることが好ましい。ただし、接着剤の流出を確実に防ぐため、突起１２の高さは０．１ｍｍ以上とすることが好ましい。
【００２８】
図３は、本発明に係るペリクルフレームのさらに他の例を示したものである。このペリクルフレーム２１は、上端面の全周にわたって一続きの段差２２が形成されている。段差２２より内側は接着層を介してペリクル膜を貼り付けるための領域２３となり、段差２２より外側は露光原版に対してフレーム２１を加圧するための領域２４となる。
【００２９】
この場合も前記溝２や突起１２を形成した場合と同様の効果を得ることができる。また、このような上端面の段差２２も、必要以上に大きくするとハンドリングやリソグラフィーの際に支障が生じるおそれがあるので、１．０ｍｍ以下とすることが好ましく、また、接着剤の流出を防ぐため、０．１ｍｍ以上とすることが好ましい。
なお、フレーム上端面の段差は、図３に示すようなフレーム２１の内側が外側よりも高くなる形状のみならず、内側が外側よりも低くなる形状としてもよいし、垂直の段差に限らず、傾斜を付けた段差としてもよい。
【００３０】
図４は、図３に示したペリクルフレーム２１にペリクル膜７を貼り付けてペリクル２６とした概略を示している。
フレーム２１の上端面において段差２２より内側となる領域２３に接着剤を塗布して接着層５が形成され、フレーム２１の下端面２５には露光原版に貼り付けるための粘着層６が設けられている。そして、上端面の接着層５を介してペリクル膜７を貼り付けることによりペリクル２６とすることができる。
【００３１】
このようなペリクル２６とすれば、露光原版の所定の位置に載置し、露光原版に対し、接着層５が形成されていない上端面の外側の領域２４を治具等により均一に加圧することができ、原版に精度良くかつ確実に貼り付けることができる。
【実施例】
【００３２】
以下、本発明の実施例及び比較例について説明する。
（実施例１）
ペリクルフレームとして、高さ５．５ｍｍ、長辺の長さ７８２．０ｍｍ、短辺の長さ４７４．０ｍｍ、長辺の厚さ（幅）９．０ｍｍ、短辺の厚さ（幅）７．０ｍｍであって、表面をアルマイト処理したアルミニウム合金製のフレームを用意し、図１に示すような溝を、溝の中心が上端面の全周にわたって内側の縁から３ｍｍの位置となり、幅０．５ｍｍ、深さ０．３ｍｍとなるように形成した。
このペリクルフレームの上端面における溝２により仕切られた内側の領域に接着剤としてシリコーン粘着剤  ＫＲ−３７００（信越化学工業（株）製）の１５％トルエン溶液を、内径０．３ｍｍのニードルを有するディスペンサーを用いて、厚みが０．２ｍｍで表面が平滑になるように塗布した。
【００３３】
一方、フレームの下端面には、粘着剤としてシリコーン系粘着剤を塗布した後、１２０℃にて３０分間加熱し、接着剤及び粘着剤をキュアした。加熱終了後、接着剤が塗布されたペリクルフレーム上端面を観察したところ、接着層がフレーム全周にわたって内側から溝の端に沿って最大幅約２．８ｍｍでほぼ均一に形成されていた。
【００３４】
次に、ペリクル膜として４．０μｍ厚のサイトップ  ＣＴＸ−Ｓ  ｔｙｐｅ（旭硝子（株）製）の薄膜を準備し、先にペリクルフレームの上端面に形成した接着層を介して貼り付けた。
このようにして得られたペリクルを露光原版上の所定の位置に置き、ペリクルフレームの上端面の外周部を２ｍｍの幅で押すことができる貼付治具をセットした。そして貼付治具により、露光原版に対してペリクルフレームを３０ｋｇ、３分間の加重により貼り付けた。
このようにして露光原版に貼り付けたペリクルを露光原版ごと投光器でかざし、ペリクル膜及びペリクルフレームの上端面を観察したところ、パーティクルは発見されなかった。また接着層及びペリクル膜にはキズなどの欠陥は見られなかった。
【００３５】
（実施例２）
実施例１で用いたフレームと同じサイズで、表面をアルマイト処理したアルミニウム合金製のフレームを用意し、内側から３ｍｍのところに幅０．５ｍｍ、高さ０．３ｍｍの図２に示すような突起を形成した。
このペリクルフレームの上端面において突起により仕切られた内側の領域に、実施例１と同様にしてシリコーン接着剤を塗布した。
一方、フレームの下端面にシリコーン系粘着剤を塗布した後、１２０℃にて３０分間加熱し、接着剤及び粘着剤をキュアした。
加熱終了後、接着剤が塗布されたペリクルフレームの上端面を観察したところ、接着層がフレーム全周にわたって内側から突起に沿って最大幅２．７ｍｍでほぼ均一に形成されていた。
【００３６】
次に、ペリクル膜として４．０μｍ厚のサイトップ  ＣＴＸ−Ｓ  ｔｙｐｅ（旭硝子（株）製）の薄膜を準備し、先にペリクルフレームの上端面に形成した接着層を介して貼り付けた。
このようにして得られたペリクルを露光原版上の所定の場所に置き、実施例１で用いた貼付治具をセットして露光原版に貼り付けた。
このようにして露光原版に貼り付けたペリクルのペリクル膜及びペリクルフレーム上端面を観察したところ、パーティクルや欠陥は見られなかった。
【００３７】
（実施例３）
実施例１で用いたフレームと同じサイズで、表面をアルマイト処理したアルミニウム合金製のフレームを用意し、内側から３ｍｍのところに、内側が外側より高くなるように、高さ０．３ｍｍ、傾斜４５°の段差が形成されたペリクルフレームを作製した。
このフレームの上端面において段差により仕切られた内側の領域には、実施例１と同様にしてシリコーン接着剤を塗布し、フレームの下端面にはシリコーン系粘着剤を塗布した。そして、１２０℃にて３０分間加熱し接着剤及び粘着剤をキュアした。
加熱終了後、接着剤が塗布されたペリクルフレームの上端面を観察したところ、接着層がフレーム全周にわたって内側から段差に沿って最大幅２．９ｍｍでほぼ均一に形成されていた。
【００３８】
次に、ペリクル膜として４．０μｍ厚のサイトップ  ＣＴＸ−Ｓ  ｔｙｐｅ（旭硝子（株）製）の薄膜を、先にペリクルフレームの上端面に施した接着層を介して貼り付けた。
このようにして得られたペリクルを、実施例１と同様に露光原版に貼り付けてペリクル膜及びペリクルフレーム上端面を観察したところ、パーティクルや欠陥は見られなかった。
【００３９】
（比較例１）
実施例１と同様のサイズのフレームで、表面をアルマイト処理したアルミニウム合金のペリクルフレームを用意し、上端面は図５に示すように平坦のままとした。
このフレームの上端面に実施例１と同様にシリコーン接着剤を塗布し、次いでフレーム底面にシリコーン系の粘着剤を塗布した後、１２０℃にて３０分間加熱して接着剤及び粘着剤をキュアした。
加熱終了後、フレームの上端面を観察したところ、フレーム全周にわたり上端面全体に接着層がほぼ均一に形成されていた。
【００４０】
次に、ペリクル膜として４．０μｍ厚のサイトップ  ＣＴＸ−Ｓ  ｔｙｐｅ（旭硝子（株）製）の薄膜を、先にペリクルフレームの上端面に設けた接着層を介して貼り付けた。
このようにして得られたペリクルを露光原版上の所定の位置に置き、実施例１で用いた貼付治具により、露光原版に対してペリクルフレームを３０ｋｇ、３分間の加重により貼り付けた。
【００４１】
ペリクルを露光原版ごと投光器でかざし、ペリクル膜等を観察したところ、貼付治具により加圧された部分には加圧により変形した痕が残っていた。また、貼付治具により加圧されなかった接着層の内側には多数のパーティクルが見られ、ペリクル膜のフレーム近傍にも、貼付治具による加圧時に発生したと思われるパーティクルが５個観察された。
【００４２】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は単なる例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００４３】
例えば、上記実施形態では、フレームの全周に溝、突起又は段差を設けたものについて説明したが、上記溝等は、上端面に断続的に形成するなど、一部に設けたものとしても良い。
また、本発明に係るペリクルフレームは、例えば半導体デバイスの製造におけるフォトリソグラフィー用のペリクルにも好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係るペリクルフレームの一例を示す概略図である。（Ａ）平面図、（Ｂ）断面図
【図２】本発明に係るペリクルフレームの他の一例を示す概略図である。（Ａ）平面図、（Ｂ）断面図
【図３】本発明に係るペリクルフレームのさらに他の一例を示す概略図である。（Ａ）平面図、（Ｂ）断面図
【図４】図３のペリクルフレームに貼り付けたペリクル膜を示す概略断面図である。
【図５】一般的なペリクルフレームを示す概略図である。（Ａ）平面図、（Ｂ）断面図
【符号の説明】
【００４５】
１，１１，２１…ペリクルフレーム、  ２…溝、  ３，１３，２３…ペリクルを貼り付けるための領域、  ４，１４，２４…フレームを加圧するための領域、  ５…接着層、  ６…粘着層、  ７…ペリクル膜、  １２…突起、  ２２…段差、  ２５…下端面、  ２６…ペリクル。
【図１】
2005308901.tif 000003
【図２】
2005308901.tif 000004
【図３】
2005308901.tif 000005
【図４】
2005308901.tif 000006
【図５】
2005308901.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成17年4月20日(2005.4.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上端面と下端面を有し、上端面にペリクル膜を貼り付け、下端面を露光原版に貼り付けるフォトリソグラフィー用ペリクルのペリクルフレームであって、該フレームの上端面において、全周又は一部に、溝、突起、又は段差が形成されており、該溝、突起、又は段差より内側に接着層を介してペリクル膜を貼り付けるための領域が設けられており、前記溝、突起、又は段差より外側に露光原版に対して該フレームを加圧するための領域が設けられているものであることを特徴とするペリクルフレーム。
【請求項２】
前記ペリクルフレームが、少なくとも一辺が３０ｃｍ以上となる長方形のものであることを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム。
【請求項３】
前記溝の深さが、５０μｍ以上であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のペリクルフレーム。
【請求項４】
前記突起の高さが、１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のペリクルフレーム。
【請求項５】
前記段差が、１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のペリクルフレーム。
【請求項６】
フォトリソグラフィー用ペリクルであって、少なくとも、ペリクルフレームと、該フレームの上端面に設けた接着層と、該接着層を介して前記フレームに貼り付けられたペリクル膜とを有し、前記フレームが、前記請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のペリクルフレームであり、前記溝、突起、又は段差より内側となる上端面に接着層が設けられており、該接着層を介してペリクル膜が貼り付けられているものであることを特徴とするフォトリソグラフィー用ペリクル。