(57)【要約】【課題】  高飽和磁束密度でかつ低磁心損失かつ製造時に製造がより容易なナノスケールの微細な結晶粒を含む軟磁性磁性合金およびそれを用いた高性能磁性部品を実現する。【解決手段】  一般式：（Ｆｅ１−ａＣｏａ）１００−ｙ−b−ｃＭｏｙＢbＣｃ（原子％）で表され、式中ａ，ｙ，bおよびｃはそれぞれ０．１≦ａ、５≦ｙ≦１5、２≦ｂ≦１５、２≦ｃ≦１５を満足し、かつ１０≦ｙ＋ｂ＋ｃ≦３０を満足する組成であり、組織の一部または全部が平均粒径５０ｎｍ以下の体心立方構造の結晶粒からなることを特徴とする軟磁性合金およびそれを用いた磁性部品である。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一般式：（Ｆｅ１−ａＣｏａ）１００−ｙ−b−ｃＭｏｙＢbＣｃ（原子％）で表され、式中ａ、ｙ、bおよびｃはそれぞれ０．１≦ａ、２≦ｙ≦１5、２≦ｂ≦１５、２≦ｃ≦１５を満足し、かつ１０≦ｙ＋ｂ＋ｃ≦３０を満足する組成であり、組織の一部または全部が平均粒径５０ｎｍ以下の体心立方構造の結晶粒からなることを特徴とする軟磁性合金。
【請求項２】
０．２≦ａ≦０．６を満足することを特徴とする請求項１に記載の軟磁性合金。
【請求項３】
Ｂ含有量が４原子％以上１２原子％以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の軟磁性合金。
【請求項４】
体心立方構造の結晶粒以外の残部の少なくとも一部又は全部がアモルファス相であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の軟磁性合金。
【請求項５】
ＦｅとＣｏの総量の２原子％以下をＣｕ、Ａｕから選ばれた少なくとも一種の元素で置換したことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の軟磁性合金。
【請求項６】
Ｍｏの一部をＮｉ,Ｃｒ，Ｍｎ，V,Ｎｂ,Ｔａ,Ｔｉ,Ｚｒ,Ｈｆ,Ｗ，Ｓｎ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ａｇ，Ｓｃ，白金属元素，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｙ，希土類元素，Ｎ，ＯおよびＳから選ばれた少なくとも一種の元素で置換したことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の軟磁性合金。
【請求項７】
Cの一部をＳｉ,Ｇｅ，Ｇａ，Ａl，ＢｅおよびＰから選ばれた少なくとも一種の元素で置換したことを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載の軟磁性合金。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれかに記載の軟磁性合金から構成されていることを特徴とする磁性部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種トランス、各種リアクトル、アクティブフィルタ用チョ−クコイル、平滑チョークコイル、コモンモードチョークコイルや電磁シールドなどのノイズ対策部品、レーザ電源、加速器用パルスパワー磁性部品、モータ、発電機等に用いられる量産性に優れたナノスケールの微細な結晶粒を含む軟磁性合金ならびにそれを用いた磁性部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
各種トランス、各種リアクトル、アクティブフィルタ用チョ−クコイル、平滑チョークコイル、コモンモードチョークコイルや電磁シールドなどのノイズ対策部品、レーザ電源、加速器用パルスパワー磁性部品、モータ、発電機等に用いられる高飽和磁束密度で低磁心損失を示す磁性合金としては珪素鋼、アモルファス合金やＦｅＣｕＮｂＳｉＢ系、ＦｅＺｒＢ系やＦｅＮｂＢ系などのＦｅ基ナノ結晶合金材料等が知られている。珪素鋼板は、材料が安価で磁束密度が高いが、高周波の用途に対しては磁心損失が大きいという問題がある。Ｆｅ基アモルファス合金は、磁歪が大きく応力により特性が劣化する問題や、可聴周波数帯の電流が重畳するような用途では騒音が大きいという問題がある。一方、Ｃｏ基アモルファス合金は、飽和磁束密度が実用的な材料では１Ｔ以下と低く、熱的に不安定という問題がある。このため、ハイパワーの用途に使用した場合、部品が大きくなる問題や経時変化のために磁心損失が増加する問題がある。
【０００３】
Ｆｅ基ナノ結晶合金は優れた軟磁気特性を示すため、コモンモ−ドチョ−クコイル、高周波トランス、パルストランス等の磁心に使用されている。代表的組成系は特許文献１（特公平４-４３９３号公報）や特許文献２（特開平１-２４２７５５号公報）に記載のＦｅ-Ｃｕ-(Ｎｂ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔａ)-Ｓｉ-Ｂ系合金やＦｅ-Ｃｕ-(Ｎｂ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔａ)-Ｂ系合金等が知られている。これらのＦｅ基ナノ結晶合金は、通常液相や気相から急冷し非晶質合金とした後、これを熱処理により微結晶化することにより作製されている。液相から急冷する方法としては単ロ−ル法、双ロ−ル法、遠心急冷法、回転液中紡糸法、アトマイズ法やキャビテーション法等が知られている。また、気相から急冷する方法としては、スパッタ法、蒸着法、イオンプレ−ティング法等が知られている。Ｆｅ基ナノ結晶合金はこれらの方法により作製した非晶質合金を微結晶化したもので、非晶質合金にみられるような熱的不安定性がほとんどなく、Ｆｅ系アモルファス合金と同程度の高い飽和磁束密度と低磁歪で優れた軟磁気特性を示すことが知られている。更にナノ結晶合金は経時変化が小さく、温度特性にも優れていることが知られている。
また、これらのＦｅ基ナノ結晶合金にＣｏを添加することも検討されている。
【０００４】
【特許文献１】特公平４-４３９３号公報
【特許文献２】特開平１-２４２７５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、ナノ結晶ＦｅＣｕＮｂＳｉＢ系合金やナノ結晶ＦｅＮｂＢ合金は、Ｎｂが高価であること、アモルファス合金を作製する際のノズルや溶解ルツボと反応しやすいことや材料が脆化し易い等の問題を抱えており、大量に材料を製造する場合にルツボ寿命、ノズル寿命や合金が脆化しやすいなどの点で問題がある。また、ＺｒやＨｆを含むＦｅＺｒＢ系合金やＦｅＨｆＢ系合金は大気中での製造が困難で、ノズル寿命も短く生産性に劣る問題がある。
これらのことより、高飽和磁束密度でかつ低磁心損失かつ製造時に製造がより容易な材料の出現が強く望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題点を解決するために本発明者らは、鋭意検討の結果、
一般式：（Ｆｅ１−ａＣｏａ）１００−ｙ−b−ｃＭoｙBbCｃ（原子％）で表され、式中ａ，ｙ，bおよびｃはそれぞれ０．１≦ａ≦０．6、２≦ｙ≦１5、２≦ｂ≦１５、２≦ｃ≦１５を満足し、かつ７≦ｙ＋ｂ＋ｃ≦３０を満足する組成であり、組織の一部または全部が粒径５０ｎｍ以下の体心立方構造の結晶粒からなることを特徴とする軟磁性合金が、高飽和磁束密度で低磁心損失の特性を示すことを見出し本発明に想到した。
【０００７】
本発明の軟磁性合金は、前記組成の溶湯を単ロ−ル法等の超急冷法により急冷し、一旦アモルファス合金を作製後、これを加工し結晶化温度以上に昇温して熱処理を行い平均粒径５０ｎｍ以下の微結晶を形成することにより作製する。熱処理前のアモルファス合金は結晶相を含まない方が望ましいが一部に結晶相を含んでも良い。単ロール法などの超急冷法によるアモルファス合金作製は大気中，Ａｒ，Ｈｅあるいは減圧中で行う。また、窒素ガス、一酸化炭素あるいは二酸化炭素ガスを含む雰囲気で製造する場合もある。熱処理は通常はアルゴンガス、窒素ガス、ヘリウム等の不活性ガス中あるいは真空中で行う。場合によっては大気中で行っても良い。熱処理期間の少なくとも一部の期間合金が飽和するのに十分な強さの磁界を印加して磁界中熱処理を行い、誘導磁気異方性を付与した場合、高角形比や低角形比の磁化ループが実現でき、特に低角形比の磁化ループとした場合は磁心損失を更に低減可能である。合金磁心の形状にも依存するが一般には薄帯の幅方向(巻磁心の場合は磁心の高さ方向)に印加する場合は８ｋＡｍ−１以上の磁界を印加する。印加する磁界は、直流、交流、繰り返しのパルス磁界のいずれを用いても良い。磁界は２００℃以上の温度領域で通常２０分以上印加し、昇温中、一定温度に保持中および冷却中も印加した方が磁心損失を低くかつ角形比を小さくでき、より好ましい結果が得られる。角形比Ｂｒ Ｂs-１が２５％以下に調整した場合に特に低い磁心損失が得られ、応用上も好ましい結果が得られる。ここで、Ｂsは飽和磁束密度である。
【０００８】
熱処理は通常露点が−３０℃以下の不活性ガス雰囲気中で行うことが望ましく、露点が−６０℃以下の不活性ガス雰囲気中で熱処理を行うと、ばらつきが小さくより好ましい結果が得られる。熱処理の際の最高到達温度は結晶化温度以上であり、通常３５０℃から６５０℃の範囲である。一定温度に保持する熱処理パターンの場合は、一定温度での保持時間は通常は量産性の観点から２４時間以下であり、好ましくは４時間以下である。熱処理の際の平均昇温速度は好ましくは０．１℃／ｍｉｎから２００℃／ｍｉｎ、より好ましくは０．１℃／ｍｉｎから１００℃／ｍｉｎ、平均冷却速度は好ましくは０．１℃/ｍｉｎから３０００℃/ｍｉｎ、より好ましくは０．１℃/ｍｉｎから１００℃/ｍｉｎであり、この範囲で特に低磁心損失の合金が得られる。熱処理は１段ではなく多段の熱処理や複数回の熱処理を行うこともできる。更には合金に直流、交流あるいはパルス電流を流して合金を発熱させ熱処理することもできる。また、応力下で熱処理し異方性を生じさせることもできる。
また、本発明軟磁性合金は典型的なナノ結晶合金であるＦｅＣｕＮｂＳｉＢ系合金に比べてアモルファス化する際に脆化しにくい特徴を有する。このため、板厚が厚い材料や広幅材料の製造に適する。更に溶解時のルツボ寿命やアモルファス合金作製の際のノズル寿命が、ＦｅＣｕＮｂＳｉＢ系合金などにくらべて長いため量産性に優れている。
【０００９】
本発明において、Ｃｏ量比ａは０．１≦ａである必要がある。ａが０．１未満は磁心損失の増加を招くため好ましくない。より好ましいＣｏ量比ａの範囲は０．２≦ａ≦０．６である。この範囲で磁心損失が低く、飽和磁束密度も高くより好ましい結果が得られる。特に好ましいＣｏ量比ａの範囲は、０．３≦ａ≦０．５である。この範囲で特に磁心損失が低く飽和磁束密度が高いため、更に好ましい結果が得られる。
Ｍｏは、結晶粒径を微細化する効果と結晶化温度を上昇させ、急冷の際にアモルファス形成を容易にする効果があり、Ｍo量ｙは２原子％以上１５原子％以下である必要がある。Ｍo量ｙが２原子％未満では結晶粒が粗大となり好ましくなく、１５原子％を超えると飽和磁束密度の著しい増加を招き好ましくない。より好ましいMo量ｙは５原子％以上１２原子％以下である。この範囲で特に低い磁心損失が得られる。
Ｂ含有量ｂは２原子％以上１５原子％以下である必要がある。これは、Ｂ量ｂが２原子％未満では組織の微細化が困難で十分な軟磁気特性が得られず好ましくなく、Ｂ量ｂが１５原子％を超えると著しい磁束密度の低下を招き好ましくないためである。特にＢ量ｂは４原子％以上１２原子％以下が望ましい。この範囲で特に低い磁心損失が得られる。
Ｃ量ｃは２原子％以上１５原子％以下である必要がある。これは、Ｃ量ｃが２原子％未満では組織の微細化が困難で十分な軟磁気特性が得られず好ましくなく、Ｃ量ｃが１５原子％を超えると著しい磁束密度の低下や軟磁気特性の劣化を招き好ましくないためである。
Ｍo、ＢとＣの総和ｙ＋ｂ＋ｃは、１０原子％以上３０原子％以下である必要がある。１０原子％未満では超急冷法によりアモルファス化が困難なため、不均一な結晶ができやすく、結晶粒が熱処理を行っても十分な軟磁気特性が得られない問題がある。３０原子％を超えると磁束密度の著しい減少を招き好ましくない。
【００１０】
本発明において、ＦｅとＣｏの総量の２原子％以下をＣｕ、Ａｕから選ばれた少なくとも一種の元素で置換すると更に磁心損失が低減し好ましい結果が得られるが、２原子％を超えて置換すると脆化しやすくなり好ましくない。
また、Ｍｏの一部をＮｉ,Ｃｒ，Ｍｎ，V，Ｎｂ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｈｆ，Ｗ, Ｓｎ，Ｚｎ，Ｉｎ，Ａｇ，Ｓｃ，白金属元素，Ｍｇ，Ｃａ，Ｓｒ，Ｙ，希土類元素，Ｎ，ＯおよびＳから選ばれた少なくとも一種の元素で置換すると、耐食性の改善、熱処理温度範囲の拡大や組織の微細化が期待できる。
また、Cの一部をＳｉ, Ｇｅ，Ｇａ，Ａl，BeおよびＰから選ばれた少なくとも一種の元素で置換した場合、磁歪の調整や高周波特性の改善ができる。
【００１１】
本発明において、体心立方構造の結晶粒以外の残部の少なくとも一部又は全部がアモルファス相である場合、高い抵抗率と微細な結晶粒が実現でき、高周波に於ける磁心損失が低減されるため、より好ましい結果が得られる。体心立方構造の結晶粒の平均結晶粒径は５０ｎｍ以下である必要がある。これは、体心立方構造の結晶粒の平均粒径が５０ｎｍを超えると軟磁気特性が著しく劣化するためである。
【００１２】
本発明の軟磁性合金は、必要に応じてＳｉＯ２、ＭｇＯ、Ａｌ２Ｏ３等の粉末あるいは膜で合金薄帯表面を被覆する、化成処理により表面処理し絶縁層を形成する、アノード酸化処理により表面に酸化物絶縁層を形成し層間絶縁を行う等の処理を行うとより好ましい結果が得られる。これは、特に層間を渡る高周波における渦電流の影響を低減し、高周波における磁心損失を改善する効果があるためである。この効果は表面状態が良好でかつ広幅の薄帯から構成された磁心に使用した場合に特に著しい。更に、本発明合金から磁心を作製する際に必要に応じて含浸やコーティング等を行うことも可能である。
本発明の軟磁性合金は、高周波の用途に最も性能を発揮するが、センサや低周波の磁性部品の用途にも使用可能である。特に、磁気飽和が問題となる用途に優れた特性を発揮できる。使用時に磁化する方向とほぼ垂直な方向に磁界を印加しながら熱処理した本発明合金は、従来の高飽和磁束密度の薄帯材料よりも低い磁心損失が得られる。本発明合金は薄膜や粉末でも優れた特性を得ることができる。
本発明軟磁性合金は、大きな磁界が印加されても材料が磁気的に飽和し難くなり、比較的容量の大きいパワーエレクトロニクスの用途に適する。
【００１３】
本発明の軟磁性合金の少なくとも一部または全部には平均粒径５０ｎｍ以下の結晶粒が形成している。前記結晶粒は好ましくは組織の３０％以上の割合であることが望ましく、より好ましくは５０％以上、特に好ましくは６０％以上である。特に望ましい平均結晶粒径は５ｎｍから３０ｎｍであり、この範囲において特に低い磁心損失が得られる。
前述の本発明軟磁性合金中に形成する結晶粒は主にＦｅＣｏを主体とする体心立方構造（ｂｃｃ）の結晶相であり、Ｓｉ，Ｂ，Ａｌ，Ｇｅ，Ｃ，Ｍｏ等を固溶しても良い。また、規則格子を含んでも良い。前記結晶相以外の残部は主にアモルファス相であるが、実質的に結晶相だけからなる合金も本発明に含まれる。ＣｕやＡｕを含む合金の場合は、一部にＣｕやＡｕを含む面心立方構造の相（fｃｃ相）が存在する場合がある。
本発明軟磁性合金において化合物相が存在しない場合に、より低い磁心損失を示すが、化合物相を一部に含んでいても良い。
【００１４】
もう一つの本発明は、前記軟磁性合金から構成されていることを特徴とする磁性部品である。前記本発明軟磁性合金により磁性部品を構成することにより、大電流用の各種リアクトル、アクティブフィルタ用チョ−クコイル、平滑チョークコイル、各種トランス、磁気シールド、電磁シールド材料などのノイズ対策部品、レーザ電源、加速器用パルスパワー磁性部品、モータ、発電機等に好適な量産性に優れた磁性部品を実現することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、大電流用の各種リアクトル、アクティブフィルタ用チョ−クコイル、平滑チョークコイル、各種トランス、電磁シールド材料などのノイズ対策部品、レーザ電源、加速器用パルスパワー磁性部品、モータ、発電機等に用いられる高飽和磁束密度でかつ低磁心損失かつ製造時に製造がより容易なナノスケールの微細な結晶粒を含む軟磁性磁性合金およびそれを用いた高性能磁性部品を実現することができるため、その効果は著しいものがある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下本発明を実施例にしたがって説明するが本発明はこれらに限定されるものではない。
【実施例１】
【００１７】
（Ｆｅ０．６Ｃｏ０．４）bal.Ｍｏ７Ｂ９Ｃ９（原子％）の合金溶湯を単ロ−ル法により急冷し、幅５ｍｍ厚さ１８μｍのアモルファス合金薄帯を得た。このアモルファス合金薄帯を外径１９ｍｍ、内径１５ｍｍに巻回し、トロイダル磁心を作製した。
作製した磁心を窒素ガス雰囲気の熱処理炉に挿入し、図１に示す熱処理パタ−ンで熱処理を行った。熱処理の際、合金磁心の磁路と垂直方向（合金薄帯の幅方向）、すなわち磁心の高さ方向に２８０ｋＡｍ−１の磁界を印加した。熱処理後の合金は結晶化しており、電子顕微鏡観察の結果組織のほとんどが粒径１０〜２０ｎｍ程度の微細な体心立方構造の結晶粒からなっており、結晶粒の割合は７２％程度と見積もられた。残部のマトリックス相は主にアモルファス相であった。図２にＸ線回折パターンを示す。比較のため本発明外のＣｏを含まないＦｅbal.Ｍｏ５Ｂ９Ｃ９（原子％）の合金に同様の熱処理を行った後のＸ線回折パターンを示す。本発明合金は体心立方構造のFeCo相を示す結晶ピークが認められ、化合物相を示すピークはほとんど認められなかった。これに対して、本発明外のＣｏを含まないＦｅbal.Ｍｏ５Ｂ９Ｃ９（原子％）の合金は、体心立方構造のFeCo相以外に化合物相の存在を示す結晶ピークが多数認められた。
【００１８】
次に、この合金磁心の直流Ｂ−Ｈループ、１００ｋＨｚ、０．２Ｔにおける磁心損失Ｐｃｖを測定した。図３に直流Ｂ−Ｈループ、表１に得られた結果を示す。比較のため本発明外のＣｏを含まないＦｅbal.Ｍｏ５Ｂ９Ｃ９（原子％）の合金に同様の熱処理を行った後の磁気特性を表１に示す。本発明合金磁心のＢｓは、１．４Ｔを超えている。一方、本発明合金のＰｃｖは３００ｋＷｍ−３でありＣｏを含まないＦｅbal.Ｍｏ５Ｂ９Ｃ９（原子％）の合金のＰｃｖ＝１２６００ｋＷｍ−３よりも著しく低い値が得られた。保磁力Ｈｃも磁心損失同様に本発明合金の方が著しく低い値を示した。
【００１９】
【表１】
2005187917.tif 000003
【実施例２】
【００２０】
一般式：（Fe１−ａCoａ）bal.Ｍｏ５Ｂ９Ｃ９（原子％）で表される組成の合金溶湯を単ロ−ル法により急冷し、幅５ｍｍ厚さ１８μｍのアモルファス合金薄帯を得た。このアモルファス合金薄帯を外径１９ｍｍ、内径１５ｍｍに巻回し、トロイダル磁心を作製した。この合金磁心を実施例１と同様な熱処理パタ−ンで熱処理し磁気測定を行った。熱処理後の合金の組織中には結晶粒が形成したが、Ｃｏ量ａが０．１以上になると平均の結晶粒径は減少し５０nm以下の結晶粒が形成した。図４に飽和磁束密度Ｂｓ、角形比Ｂｒ／Ｂs、１００ｋＨｚ,０．２Tにおける単位体積当たりの磁心損失PcvのCo量ａ依存性を示す。飽和磁束密度Bｓは０．1≦ａ≦０．6で高い値が得られる。特に高いＢｓは０．２≦ａ≦０．５で得られた。角形比ＢｒＢ８０００−１はCo量比が０．２以上で４０％以下の低い値を示す。PcvはCo量比ａが０．１以上で減少する。０．２以上で著しく減少しより好ましいことが分かる。
【実施例３】
【００２１】
表２に示す組成の合金溶湯を単ロ−ル法により急冷し、幅２５ｍｍ、厚さ１８μｍのアモルファス合金薄帯を作製した。このアモルファス合金薄帯を外径１９ｍｍ、内径１５ｍｍに巻回し、トロイダル磁心を作製した。この合金磁心を図１に示す熱処理パタ−ンで熱処理した。熱処理中の磁界印加方向は磁心の磁路と垂直方向（合金薄帯幅方向）に印加した。熱処理後の合金中には粒径５０ｎｍ以下の極微細なbcc相などからなる結晶粒が形成していた。熱処理後の合金磁心の直流Ｂ−Ｈループ、１００ｋＨｚ、０．２Ｔにおける磁心損失Ｐｃｖを測定した。表２に得られた結果を示す。本発明合金は、高飽和磁束密度で磁心損失が低いため、ハイパワー用途の高周波用チョークコイルやトランス用の磁心材料やパルスパワー用コア材料などに好適である。一方、本発明外のＣｏを含むナノ結晶合金は磁心損失が大きく高周波領域の特性に劣っている。
【００２２】
【表２】
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【実施例４】
【００２３】
２５μｍ板厚の表３に示す組成のアモルファス合金薄帯を製造し、脆化部分の割合を求めた。２００ｍｍ長さに切断し、２０箇所アモルファス合金薄帯を引き裂き、脆性的に破壊した箇所の割合を求め脆化率とした。結果を表３に示す。また、表３に示す組成のアモルファス合金薄帯を繰り返し作製し、ノズルが使用できなくなる直前までの回数を求め、ノズル寿命を求めた。結果を同じく表３に示す。
本発明合金に使用するアモルファス合金薄帯の脆化率は従来のナノ結晶合金に使用されているアモルファス合金よりも低く、部品への加工が容易で優れている。また、ノズル寿命が長くでき量産性に優れる。
【００２４】
【表３】
2005187917.tif 000005
【実施例５】
【００２５】
（Ｆｅ０．６Ｃｏ０．４）bal.Ｃｕ１Ｍｏ５Ｂ９C９（原子％）の合金溶湯を単ロ−ル法により急冷し、幅２５ｍｍ厚さ１８μｍのアモルファス合金薄帯を得た。このアモルファス合金薄帯を巻回し、トロイダル磁心を作製した。この合金磁心を磁心の高さ方向（合金薄帯幅方向）に磁界を印加しながら磁界中熱処理を行った。熱処理は実施例１と同様なパターンで行い磁界は全期間印加した。この合金は粒径１０〜２０ｎｍの体心立方構造の結晶粒が形成していることを透過電子顕微鏡とＸ線回折により確認した。また、直流磁気特性と１００ｋＨｚ，０．２Ｔにおける磁心損失Ｐｃｖを測定した。角形比ＢｒＢs−１は２％、Ｐｃｖは３１０ｋWｍ−３であった。次に、この磁心に一次巻線と二次巻線を行い、インバータ用トランスを構成した。比較のために、珪素鋼により同形状のインバータ用トランスを作製し、温度上昇を測定した。本発明合金から作製したトランスの温度上昇は３６℃、珪素鋼から作製したトランスの温度上昇は４５℃となり、本発明合金から構成した本発明磁性部品の方が損失が低く、温度上昇が低く優れている。同じ材料を用いて平滑チョークコイルを作製し、珪素鋼のチョークコイルと比較し評価したところ、本発明チョークコイルの方が６℃温度上昇が低くなった。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明によれば、大電流用の各種リアクトル、アクティブフィルタ用チョ−クコイル、平滑チョークコイル、各種トランス、電磁シールド材料などのノイズ対策部品、レーザ電源、加速器用パルスパワー磁性部品、モータ、発電機等に用いられる高飽和磁束密度でかつ低磁心損失かつ製造時に製造がより容易なナノスケールの微細な結晶粒を含む軟磁性磁性合金およびそれを用いた高性能磁性部品を実現することができるため、その効果は著しいものがある。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明に係わる熱処理パタ−ンの一例を示した図である。
【図２】本発明に係わる合金のＸ線回折パターンの一例を示した図である。
【図３】本発明に係わる合金の直流Ｂ−Ｈループの一例を示した図である。
【図４】本発明に係わる合金の飽和磁束密度Ｂｓ、角形比Ｂｒ／Ｂs、１００ｋＨｚ,０．２Tにおける単位体積当たりの磁心損失PcvのCo量ａ依存性を示した図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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