(57)【要約】【課題】電気機械変換素子を使用したアクチュエータにおいて電圧極性の切換時に発生する逆すべり現象を防止し、アクチュエータ駆動速度の向上を図る。【解決手段】バイモルフ圧電素子を用いたアクチュエータにおいて、バイモルフ圧電素子に対し、電圧値の極大値及び極小値が所定値にて一定時間維持される台形波形電圧を印加する。台形波形電圧には、１周期Ｔの１０％に設定された上休止時間ｔ1と、１周期Ｔの５０％に設定された下休止時間ｔ2が設けられている。休止時間ｔ1,ｔ2の和は１周期Ｔの２０〜７０％に設定され、好ましくは、上休止時間ｔ1をＴの１０％、下休止時間ｔ2をＴの２０〜６０％に設定する。休止時間ｔ1,ｔ2にてバイモルフ圧電素子の変形が一旦休止し、電圧極性変化時点における軸部材の逆すべりが抑制される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気機械変換素子を用いて形成された駆動体と、前記駆動体が取り付けられる軸部材と、前記軸部材の回転に際し、前記軸部材に対して摩擦力による回転抵抗力を付与する抵抗力付与手段とを有してなるアクチュエータの前記電気機械変換素子に対し、時間の経過に伴って極性が変化する電圧を印加して前記軸部材を回転させるアクチュエータ制御方法であって、
前記印加電圧の極性変化時に、前記軸部材に付与される回転抵抗力を動摩擦状態から静摩擦状態に切り換える摩擦特性変換期間を設けることを特徴とするアクチュエータ制御方法。
【請求項２】
電気機械変換素子を用いて形成された駆動体と、前記駆動体が取り付けられる軸部材と、前記軸部材の回転に際し、前記軸部材に対して回転抵抗力を付与する抵抗力付与手段とを有してなるアクチュエータの制御方法であって、
前記電気機械変換素子に対し、電圧値の極小値及び極大値が一定時間継続する台形波形電圧を印加することを特徴とするアクチュエータ制御方法。
【請求項３】
請求項２記載のアクチュエータ制御方法において、前記台形波形電圧の前記極大値及び極小値における電圧維持時間の和を、電圧値変化の１周期の２０〜７０％に設定することを特徴とするアクチュエータ制御方法。
【請求項４】
請求項３記載のアクチュエータ制御方法において、前記極大値側の電圧維持時間が前記１周期の０〜１０％、前記極小値側の電圧維持時間が前記１周期の２０〜６０％であることを特徴とするアクチュエータ制御方法。
【請求項５】
請求項３記載のアクチュエータ制御方法において、前記極大値側の電圧維持時間が前記１周期の１０％、前記極小値側の電圧維持時間が前記１周期の５０％であることを特徴とするアクチュエータ制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バイモルフ圧電素子等の電気機械変換素子を使用したアクチュエータの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
小型の回転／揺動型アクチュエータとして、近年、電気機械変換素子の一種である圧電素子を用いたアクチュエータが開発され、その実用化が進められている。特に、小型のＣＣＤカメラ等のワイパ装置では、スペースやデザイン上の問題から、電磁モータに代えて、このような圧電素子を利用したアクチュエータの利用が進められている。
【０００３】
図７は、圧電素子アクチュエータを用いたワイパ装置の一例を示す斜視図である。ワイパ装置５１では、ワイパブレード５２の内部に電気−機械変換素子の一つであるバイモルフ圧電素子を用いた駆動体５３が内蔵されている。駆動体５３は、薄い金属板の中心電極両面に圧電セラミックスを貼り合わせた構造となっており、防水性や絶縁性を確保するため、液状シリコンやエチレンプロピレンゴム（以下、ＥＰゴムと略記する）内にインサート成形されている。
【０００４】
駆動体５３は、液状シリコンやＥＰゴムにて形成された被覆部５４に覆われており、被覆部５４の下方には、払拭部５５が一体に形成されている。払拭部５５は、ＣＣＤカメラのレンズカバーガラス上に接触して水滴等の除去を行う。駆動体５３の一端側は回転軸５６に固定され、他端側は自由になっている。回転軸５６の内部は中空になっており、その中に駆動体５３の圧電素子に対して電力を供給するリード線（図示せず）が配線されている。また、回転軸５６には図示しない摩擦板等によって所定の回転抵抗力が付与されている。
【０００５】
駆動体５３の圧電素子には、図８に示すような鋸歯状の波形を有する電圧が印加される。このときの圧電素子は印加電圧に応じて変位するが、鋸歯状電圧における電圧変化率の違いにより素子動作に緩急が生じ、回転軸５６に作用する慣性力に差異が生じる。この慣性力と回転軸５６の回転抵抗力との大小関係から、慣性力が大きいとき、すなわち、電圧変化率が大きいとき回転軸５６が回転抵抗力に打ち勝ってスリップし、回転軸５６が回動する。そして、この圧電素子に印加する鋸歯状電圧の形態を適宜調整することにより駆動体５３の移動速度や移動方向が制御され、ワイパブレード５２がレンズカバーガラス上にて揺動運動を行う。
【特許文献１】特開2003-102184号公報
【特許文献２】特開2003-309984号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図８のような波形の鋸歯状電圧を圧電素子に印加すると、電圧極性の切換時に回転軸５６が駆動方向とは逆方向にすべり、駆動速度低下の一因となることが発明者らの実験により判明した。図９は、図８のような鋸歯状電圧を圧電素子に印加した場合における回転軸５６の挙動をレーザ変位計によって計測した結果を示す説明図である。図９に示すように、回転軸５６は、電圧が急変した後、極性が変化し緩慢な電圧変化に転じる際に、駆動方向（図中上方）に対して逆方向の挙動を示している（図中Ｘ部分）。
【０００７】
本来、電圧変化が緩慢な状態では、回転軸５６に作用する慣性力は回転抵抗力よりも小さいため、回転軸５６は駆動方向に対して逆方向には作動しない。ところが、回転軸５６が作動している状態で電圧極性が切り換わると、静摩擦状態では慣性力よりも回転抵抗力が大きくなるものの、動摩擦状態で極性が変化するため、回転軸５６に作用する慣性力を回転抵抗力にて相殺しきれなくなる。このため、電圧極性切換時に回転軸５６の動作を抑止しきれず、逆方向のすべり動作が発生してしまう。回転軸５６が逆方向にすべると、所望の回転方向とは逆の動作となるため、その分、単位時間当たりの回転軸５６の回転量が減少し、アクチュエータの駆動速度が低下する。
【０００８】
本発明の目的は、電気機械変換素子を使用したアクチュエータにおいて電圧極性の切換時に発生する逆すべり現象を防止し、アクチュエータ駆動速度の向上を図ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のアクチュエータ制御方法は、電気機械変換素子を用いて形成された駆動体と、前記駆動体が取り付けられる軸部材と、前記軸部材の回転に際し、前記軸部材に対して摩擦力による回転抵抗力を付与する抵抗力付与手段とを有してなるアクチュエータの前記電気機械変換素子に対し、時間の経過に伴って極性が変化する電圧を印加して前記軸部材を回転させるアクチュエータ制御方法であって、前記印加電圧の極性変化時に、前記軸部材に付与される回転抵抗力を動摩擦状態から静摩擦状態に切り換える摩擦特性変換期間を設けることを特徴とする。
【００１０】
本発明にあっては、印加電圧の極性変化時に回転抵抗力を動摩擦状態から静摩擦状態に切り換える摩擦特性変換期間を設けたので、極性転換後に軸部材に付与される回転抵抗力が静摩擦状態となる。このため、静摩擦による回転抵抗力によって軸部材が保持され、回転軸に作用する慣性力が有効に相殺され、電圧極性変化時点における軸部材の逆すべりが抑制される。
【００１１】
本発明の他のアクチュエータ制御方法は、電気機械変換素子を用いて形成された駆動体と、前記駆動体が取り付けられる軸部材と、前記軸部材の回転に際し、前記軸部材に対して回転抵抗力を付与する抵抗力付与手段とを有してなるアクチュエータの制御方法であって、前記電気機械変換素子に対し、電圧値の極小値及び極大値が一定時間継続する台形波形電圧を印加することを特徴とする。
【００１２】
本発明にあっては、印加電圧を台形波形にしたことにより、極大値及び極小値の時点で電気機械変換素子の変形が一旦休止する。このため、回転抵抗力によって軸部材は停止状態で維持され、電圧極性変化時点における軸部材の逆すべりが抑制される。
【００１３】
前記アクチュエータ制御方法において、前記台形波形電圧の前記極大値及び極小値における電圧維持時間の和を好ましくは電圧値変化の１周期の２０〜７０％に設定しても良い。これにより、電圧極性変化時点における軸部材の逆すべりが効果的に抑制され、特に、極大値及び極小値における電圧維持時間の和を７０％以下とすることにより、新たな逆方向のすべりも抑えられる。
【００１４】
前記アクチュエータ制御方法において、前記極大値側の電圧維持時間を前記１周期の０〜１０％、前記極小値側の電圧維持時間を前記１周期の２０〜６０％に設定しても良い。また、前記極大値側の電圧維持時間を前記１周期の１０％、前記極小値側の電圧維持時間を前記１周期の５０％に設定しても良い。
【発明の効果】
【００１５】
本発明のアクチュエータ制御方法によれば、電気機械変換素子を用いて形成され軸部材に取り付けられた駆動体を有するアクチュエータにおいて、電気機械変換素子に鋸歯状波形の電圧を印加し、この印加電圧の極性変化時に、軸部材に付与される回転抵抗力を動摩擦状態から静摩擦状態に切り換える摩擦特性変換期間を設けたので、極性転換後に軸部材に付与される回転抵抗力を静摩擦状態とすることができる。このため、静摩擦による回転抵抗力によって軸部材が保持され、回転軸に作用する慣性力が有効に相殺され、電圧極性変化時点における軸部材の逆すべりが抑制される。
【００１６】
本発明の他のアクチュエータ制御方法によれば、電気機械変換素子を用いて形成された駆動体を有するアクチュエータにて、電気機械変換素子に対し、電圧値の極大値及び極小値が所定値にて一定時間維持される台形波形電圧を印加するようにしたので、極大値及び極小値の時点で電気機械変換素子の変形が一旦休止し、回転抵抗力によって軸部材は停止状態で維持される。このため、電圧極性変化時点における軸部材の逆すべりを抑制することができ、軸部材が効率良く所望の回転方向に駆動され、アクチュエータの駆動速度の向上を図ることが可能となる。
【００１７】
また、前記台形波形電圧の極大値及び極小値における電圧維持時間の和を好ましくは電圧値変化の１周期の２０〜７０％に設定することにより、電圧極性変化時点における軸部材の逆すべりを効果的に抑制できる。特に、極大値及び極小値における電圧維持時間の和を７０％以下とすることにより、新たな逆方向のすべりを抑えることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、本発明の一実施例である制御方法によって駆動されるアクチュエータの構成を示す斜視図、図２は図１のアクチュエータの断面図である。図１のアクチュエータ１はＣＣＤカメラ用のワイパ装置として使用され、自動車のリヤガラス等に配置される。
【００１９】
アクチュエータ１は、ステンレス製の回転軸（軸部材）２と、回転軸２に取り付けられた駆動体３とを備えている。駆動体３は、回転軸２に固定されたアーム部３ａと、アーム部３ａの下側に設けられたブレード部３ｂとから構成されている。アーム部３ａの長さ（回転軸２の中心からアーム端部までの長さ）は、約３５mmとなっている。アクチュエータ１を例えば自動車のリヤガラスに取り付けると、ブレード部３ｂは車内に設置されたＣＣＤカメラ（図示せず）のレンズ前方に配置される。ブレード部３ｂはリヤガラス表面１０に接触し、ＣＣＤカメラの視野を覆う払拭領域にて往復払拭動作を行う。
【００２０】
駆動体３のアーム部３ａには、電気−機械変換素子の一つであるバイモルフ圧電素子４（以下、圧電素子４と略記する）が使用される。圧電素子４は、薄い金属板の中心電極両面に圧電セラミックスを貼り合わせた構造となっており、ここでは、長さ３０mm×幅４mm×厚さ０.７mmのものが使用されている。圧電素子４の基部４ａは回転軸２に固定され、端部４ｂは自由端となっている。回転軸２の内部は中空になっており、その中に圧電素子４に対し電力を供給するリード線５が配線されている。リード線５は、図示しないアクチュエータ駆動回路に接続されている。
【００２１】
圧電素子４は、基部４ａも含め、その全体がゴム製のブレードラバー６にて被覆されている。駆動体３は、全体がこのブレードラバー６によって覆われた形となっており、圧電素子４が収容されたアーム部３ａの下にブレード部３ｂが一体的に形成されている。ブレード部３ｂはＣＣＤカメラの前方のリヤガラス上に配置され、ブレード部３ｂが揺動運動することによりリヤガラス表面上の水滴や埃等が払拭される。
【００２２】
回転軸２の下端部はベースプレート７にて回動自在に支持されている。回転軸２の下端には小径部２ａが形成されており、ベースプレート７に設けられた軸孔７ａに回動自在に嵌合している。また、回転軸２には円板状のフランジ部８が設けられている。フランジ部８の下面は摺動面８ａとなっており、摺動面８ａとベースプレート７との間には、合成樹脂にて形成されたリング状の摺動板９が介設されている。
【００２３】
回転軸２の上端部には加圧スプリング１１が当接している。回転軸２の上端には小径部２ｂが形成されており、加圧スプリング１１の端部が当接している。加圧スプリング１１はステンレス製の板バネであり、その一端側はベースプレート７に設けられたバネ台座１２にネジ１３によって固定されている。加圧スプリング１１の他端側は自由端となっており、回転軸２の小径部２ｂに上方から当接し、回転軸２を下方に押圧している。
【００２４】
加圧スプリング１１にて回転軸２を下方に押圧すると、フランジ部８の摺動面８ａが摺動板９に押接される。これにより、摺動面８ａと摺動板９との間には、回転軸２の回転に際し摩擦力が発生し、回転軸２に対し回転抵抗力（軸保持力）が付与される。すなわち、摺動面８ａと摺動板９及び加圧スプリング１１により、回転軸２に対して回転抵抗力を付与する抵抗力付与手段が形成される。
【００２５】
次に、本発明によるアクチュエータ１の駆動制御方法について説明する。図３は駆動体３の圧電素子４に印加される電圧の波形を示す説明図、図４は図３の電圧が印加された場合の駆動体３の挙動を示す説明図である。ここでは、駆動体３は、＋電圧のときには図４において右方に変位し、−電圧のときには図中左方に変位する。この変位により、駆動体３は回転軸２を中心とした揺動運動を行う。
【００２６】
図３のように印加電圧を変化させると、まず図３の（１）のときは電圧は０であり、駆動体３は初期位置Ｐ0にて停止状態にある。次に、図３（２ａ）の状態に電圧を変化させると、＋電圧であることから、図４（１→２ａ）のように駆動体３は右方に変位する。その後、図３の（２ｂ→３ａ）のように電圧を＋から−に変化させると、駆動体３もまたそれに応じて図４（２ｂ→３ａ）のように左方に変位する。
【００２７】
この場合、図３の（２ｂ→３ａ）の電圧変化が急激であるため、図３（１→２ａ）のようにゆっくりと電圧が変化する場合とでは駆動体３の変形速度に差が生じる。すなわち、（１→２ａ）では駆動体３はゆっくりと曲がり、（２ｂ→３ａ）では急激に曲がる。その際、駆動体３には、その重量によってその場に残ろうとする慣性力が発生する。そして、駆動体３の変形速度差から、（１→２ａ）のときの慣性力よりも（２ｂ→３ａ）のときの慣性力の方が大きくなる。
【００２８】
この慣性力に対しては、回転軸２に付与される回転抵抗力が作用する。すなわち、駆動体３の変形に伴い慣性力と摩擦力とが対抗する形となる。アクチュエータ１では、回転抵抗力Ｆrが、（１→２ａ）のときの慣性力Ｆ12よりも大きく、（２ｂ→３ａ）のときの慣性力Ｆ23よりも小さくなるよう設定されている（Ｆ12＜Ｆr＜Ｆ23）。従って、（１→２ａ）の場合の慣性力Ｆ12は、回転抵抗力Ｆrによって打ち消される形となり、駆動体３は電圧値に応じた角度だけゆっくりと変位するが、回転軸２は回転しない。これに対して、（２ｂ→３ａ）の場合には、慣性力Ｆ23は、回転抵抗力Ｆrによって打ち消されない。このため、駆動体３が電圧変化に伴い急激に反対方向へに変位するに伴い、慣性力Ｆ23によって回転軸２が駆動体３の変形方向と逆の方向に回転する。
【００２９】
鋸歯状の印加電圧では、図３（２ｂ→３ａ）にて急激に電圧が変化した後、（３ｂ→４ａ）では電圧が徐々に＋側へと変化し、駆動体３は、電圧変化に合わせて、図４（３ｂ→４ａ）のように右方に変位する。この場合は、電圧変化率が小さいため、駆動体３の慣性の影響は小さく、電圧に応じた変位量だけ駆動体３が右方に変位するものの回転軸２は回転しない。電圧が図３（４ｂ）に至ると、電圧は再び急変して（５ａ）に至る。このときも前述のように、駆動体３の変形の速度差に基づき大きな慣性力が発生し、それにより回転軸２が反時計方向に回転する。
【００３０】
このように鋸歯状電圧を印加すると、駆動体変形の速度差に基づく慣性力の働きにより、駆動体３は図４のように徐々に右方へと移動し、反時計回りに回転する。図４において線分Ｑは、１往復振動後における駆動体３の中心位置を示しており、図４の（２ｂ→３ａ），（４ｂ→５ａ）に示すように、駆動体３の振動と共にこの線分Ｑも右方へ移動していることが分かる（Ｑ1→Ｑ2）。なお、図４における一点鎖線Ｐ0は、図３（１）の場合の駆動体３の位置（初期位置）を示している。
【００３１】
すなわち、駆動体３は、ゆっくり曲げて急激に戻す動作の繰り返しにより、ゆっくり曲げたときの変位側に自走する。一方、電圧変化を図３とは逆に、ゆっくりと−側へと変化させ、急激に＋側へと変化させると、駆動体３は図４において左方（時計回り）に回転する。つまり、アクチュエータ１では、この電圧変化パターンの切り換えにより駆動体３を適宜往復動させることができる。また、電圧変化の周波数を変化させることにより、駆動体３の移動速度も制御できる。
【００３２】
一方、図３に示した印加電圧は図８の電圧波形と異なり、極大値と極小値が所定値にて一定時間維持される台形波形となっている。すなわち、図８の印加電圧では、鋸歯波形の上下に電圧を一定に保持する休止時間（電圧維持時間）ｔ1,ｔ2が設けられている。ここでは、上側（極大値側）の休止時間ｔ1は１周期Ｔの１０％、下側（極小値側）の休止時間ｔ2は１周期Ｔの５０％に設定されている。
【００３３】
前述のように、鋸歯波形に休止時間を設けることなく電圧印加方向を即座に急転させると、急転時に駆動体３が駆動方向とは逆方向にすべり、このすべり発生により駆動速度が低下する場合がある。これに対し、図３に示すように鋸歯波形に休止時間を設け印加電圧を台形波形とすると、駆動方向に反する逆すべりが減少し、駆動速度低下を抑制することができる。図５は、図３のような台形波形電圧を圧電素子４に印加した場合における回転軸２の挙動をレーザ変位計によって計測した結果を示す説明図である。図５に示すように、図３のような台形波形電圧を印加した場合、回転軸２には変形停止直後の小さな揺り戻し以外、逆すべり（図中Ｙ部分）はほとんど生じない。
【００３４】
これは、休止時間ｔ1,ｔ2にて駆動体３の変形が一旦停止することから、この休止時間ｔ1,ｔ2が摩擦特性変換期間として作用し、回転抵抗力が動摩擦状態から静摩擦状態に切り換えられ、静摩擦状態の回転抵抗力によって回転軸２の動作が抑えられるためである。従って、その後に電圧が変化しても回転抵抗力が有効に作用し、回転軸２は停止状態で維持される。発明者らの実験によれば、上休止時間ｔ1を１周期Ｔの１０％、下休止時間ｔ2を１周期Ｔの５０％とした場合、図８のような従来の鋸歯状電圧を印加した場合に比して、逆方向のすべりが１１μmから２μmに減少し、駆動速度も約２０％向上させることができた。
【００３５】
実験によれば、上休止時間ｔ1を１周期Ｔの１０％とし、下休止時間ｔ2を１周期Ｔの２０％以上とすると逆すべりが減少し始める。一方、上下休止時間ｔ1,ｔ2の和が１周期Ｔの７０％を超えると、新たに逆すべりが発生し駆動速度が低下する。図６は、上下休止時間の和を１周期Ｔの７０％よりも大きくした場合における回転軸２の挙動を示す説明図であり、この場合、図６に示すように電圧変化時に新たなすべりが発生する（図中Ｚ部分）。従って、この上下休止時間ｔ1,ｔ2は、上休止時間ｔ1を１周期Ｔの０〜１０％程度設けた上で、下休止時間ｔ2を１周期Ｔの２０〜６０％程度の範囲に設定することが望ましい。なお、実験では、上下休止時間ｔ1,ｔ2の和が５０％のとき、最も駆動速度が向上した。
【００３６】
このように、本発明の制御方法では、圧電素子４に対する印加電圧を従来のような鋸歯状波形ではなく、上下に休止時間を設けた台形波形とすることにより、電圧極性変化時における回転軸２の逆すべりを大幅に減少させることができる。このため、回転軸２が所望の方向とは逆の方向に回転するのを抑えることができ、その分、単位時間当たりの回転軸２の回転量が増加する。従って、回転軸２を効率良く所望の回転方向に駆動することができ、アクチュエータの駆動速度の向上を図ることが可能となる。
【００３７】
本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
例えば、前述の実施例では、上休止時間ｔ1を１周期Ｔの１０％、下休止時間ｔ2を１周期Ｔの５０％とした場合について説明したが、その比率は、上下休止時間の和が１周期Ｔの７０％以下となる範囲で適宜設定可能である。また、前述の実施例では本発明をワイパ装置用のアクチュエータに適用した例を示したが、本発明の制御方法は、ワイパ装置以外の装置に使用される電気−機械変換素子を用いたアクチュエータにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施例である制御方法によって駆動されるアクチュエータの構成を示す斜視図である。
【図２】図１のアクチュエータの断面図である。
【図３】駆動体の圧電素子に印加される電圧の波形を示す説明図である。
【図４】図３の電圧が印加された場合の駆動体の挙動を示す説明図である。
【図５】図３のような台形波形電圧を圧電素子に印加した場合における回転軸の挙動をレーザ変位計によって計測した結果を示す説明図である。
【図６】上下休止時間の和を１周期Ｔの７０％よりも大きくした場合における回転軸２の挙動を示す説明図である。
【図７】圧電素子アクチュエータを用いたワイパ装置の一例を示す斜視図である。
【図８】圧電素子に印加される電圧の波形を示す説明図である。
【図９】図８のような鋸歯状電圧を圧電素子に印加した場合における回転軸の挙動をレーザ変位計によって計測した結果を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１    アクチュエータ
２    回転軸（軸部材）
２ａ  小径部
２ｂ  小径部
３    駆動体
３ａ  アーム部
３ｂ  ブレード部
４    バイモルフ圧電素子（電気機械変換素子）
４ａ  基部
４ｂ  端部
５    リード線
６    ブレードラバー
７    ベースプレート
７ａ  軸孔
８    フランジ部
８ａ  摺動面（抵抗力付与手段）
９    摺動板（抵抗力付与手段）
１０    リヤガラス表面
１１    加圧スプリング（抵抗力付与手段）
１２    バネ台座
１３    ネジ
５１    ワイパ装置
５２    ワイパブレード
５３    駆動体
５４    被覆部
５５    払拭部
５６    回転軸
Ｆ12     慣性力
Ｆ23     慣性力
Ｆr     回転抵抗力
Ｔ      電圧変化周期
ｔ1     上休止時間（電圧維持時間）
ｔ2     下休止時間（電圧維持時間）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005304208.tif 000009
【図８】
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【図９】
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