(57)【要約】【課題】  スプリアス信号をフィルタ部よって除去し、且つ検波部から出力される検知信号の大きさを確保するために、検波部の設置場所、及び伝送線路への接続方法を改善し、検知精度を向上したセンサ装置を提供する。【解決手段】  基板上に、発振器と、発振器が設置された面とは別面に設置され、発振器で生成された送信波を外部へ送信し、且つ送信した電波の反射波を受信波として受信するアンテナ部と、発振器が設置された面からアンテナ部が設置された面との間で電波の伝送を行う給電部と、前記送信波と受信波を基に低周波信号である検知信号を生成する非線形素子で構成された検波部と、を有するセンサ装置であって、発振器と給電部との間に特定の周波数を通過させるフィルタ部と、発振器とフィルタ部の間に設けられた伝送線路である主伝送線路とを設け、検波部は主伝送線路上に発生する定在波の最大振幅部に設置したことを特徴とする。【選択図】    図１
2005315761.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に送信波として外部へ放射する電波を生成する発振器と、
発振器が設置された面とは別面に設置され、発振器で生成された送信波を外部へ送信し、且つ送信した電波の反射波を受信波として受信するアンテナ部と、
発振器が設置された面からアンテナ部が設置された面との間で電波の伝送を行う給電部と、
前記送信波と受信波を基に低周波信号である検知信号をを生成する非線形素子で構成された検波部と、
を有するセンサ装置であって、
発振器と給電部との間に特定の周波数を通過させるフィルタ部と、
発振器とフィルタ部の間に設けられた伝送線路である主伝送線路とを設け、
検波部は主伝送線路上に発生する定在波の最大振幅部に設置したことを特徴とするセンサ装置。
【請求項２】
前記検波部は、前記主伝送路の主伝送線路上に発生する定在波の最大振幅部より分岐させた分岐伝送線路と、分岐伝送線路の開放端に接続した非線形素子と、前記送信波の伝送線路上における波長λの約（１／４）倍の長さを持ち、非線形素子と接続された第２伝送線路とによって構成されたことを特徴とする請求項１記載のセンサ装置。
【請求項３】
前記分岐伝送線路の伝送線路幅は、主伝送線路のインピーダンスＺ０の１から３倍のインピーダンスに基づいて得られる線路幅であり、且つ送信波の伝送線路上における波長λの（１／４）倍の線路長で校正されたことを特徴とする請求項１または２記載のセンサ装置。
【請求項４】
更に、前記主伝送線路から分岐され、ＧＮＤに接続された接地伝送線路を設け、該接地伝送線路は前記分岐伝送線路と直接接続しないように設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のセンサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電波の送受信を行い物体の検知を行う電波センサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電波の送受信を行い物体の検知を行うセンサ装置において、発振器によって生成されてしまう高調波のように外部へ放射したい周波数成分以外の電波を除去するために、特定の周波数帯を通過させ、それ以外の周波数成分を持つ電波を減衰させるフィルタ部を用いて不要な周波数成分信号（以後スプリアス信号と記載する）の除去を抑制していた。
【０００３】
上記記載のフィルタ部は、一般的には基板上の伝送線路によって形成されるか、あるいは、誘電体共振器等のフィルタ部品を用いており、これらのフィルタ部を発振器からアンテナ部までの伝送線路上に設けることによりスプリアス信号の除去を行っていた。
特に小型化、低コスト化を図るために、マイクロストリップラインでフィルタ部を構成する方法は良く使用されており、各々の回路構成に合わせて設計を行っていた。
【０００４】
ここで、基板上の伝送線路で形成されたフィルタ部とアンテナ部以外の場所からの電波の放射を防止するために設置した筐体の内部形状を変更したものを組み合わせてスプリアス信号を除去する方法があり、給電部及び検波部のそれぞれ一部又は全体に対峙するように凸形状部を設置することにより、発振器や検波部から出力される可能性のあるスプリアス信号を除去する方法があった（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
特許文献１では、基板上の伝送線路で形成されたフィルタ部と、筐体内部に設けられた凸形状部との組み合わせでスプリアス信号を除去するものであるため、センサ装置の筐体内部の容積、また検波部に使用されている電子部品の大きさに依存するため、センサ装置の筐体形状及び大きさに対してある程度の制約が発生する。そこで、基板上の伝送線路で形成されたフィルタ部を使用してスプリアス信号を除去するために、発振器とフィルタ部との間の伝送線路上に検波部を設置することにより、発振器や検波部で発生する可能性のあるスプリアス信号をフィルタ部にて除去後に外部へ送信波として放射することが可能となる。
【特許文献１】特願２００３−３６８７５１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のように検波部を発振器と検波部との間の伝送線路上に設置した場合に、送信波が検知対象物に反射して受信する受信波もフィルタ部を通過して検波部に流入することとなる。ここで、この受信波は送信波が検知対象物に反射した信号であり、検知対象物の材質、距離によって信号の大きさが変動するため、送信波に比べて小さな信号である。フィルタ部は特定の周波数成分を通過させる特性を持っているが、特定の周波数に対しても若干の減衰量を持っているため、送信波のように大きな信号に対してはさほど影響は無いが、受信波のように小さな信号に対しては若干の減衰量が影響を及ぼす量となってしまう。  そのため、フィルタ部を通過した受信波はフィルタ部によって減衰するため、検波部より出力される検知信号が減衰する可能性がある。
【０００７】
そこで、本発明は、スプリアス信号をフィルタ部よって除去し、且つ検波部から出力される検知信号の大きさを確保するために、検波部の設置場所、及び伝送線路への接続方法を改善し、検知精度を向上したセンサ装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記目的達成のために、基板上に送信波として外部へ放射する電波を生成する発振器と、発振器が設置された面とは別面に設置され、発振器で生成された送信波を外部へ送信し、且つ送信した電波の反射波を受信波として受信するアンテナ部と、発振器が設置された面からアンテナ部が設置された面との間で電波の伝送を行う給電部と、前記送信波と受信波を基に低周波信号である検知信号をを生成する非線形素子で構成された検波部と、を有するセンサ装置であって、発振器と給電部との間に特定の周波数を通過させるフィルタ部と、発振器とフィルタ部の間に設けられた伝送線路である主伝送線路とを設け、検波部は主伝送線路上に発生する定在波の最大振幅部に設置したことを特徴とする。
【０００９】
定在波の最大振幅部は、主伝送線路を給電部に向かって伝送する送信波と、主伝送線路とフィルタ部との接続部で反射した送信波が混在した際に発生する、送信波の（１／２）波長を持つ定在波の中で、２つの送信波の位相差により強めあった部分である。定在波における最大振幅部は周期的に発生し、定在波の波長の（１／２）波長毎に発生するものである。
定在波の最大振幅部は、主伝送線路上で送信波の信号が最も大きく得ることが可能なため、送信波を最大限に取り出すことが可能な部位である。そのため、送信波を最大限取り出すためには最大振幅部に電子部品又はパターンを設置することが望ましい。
【００１０】
かかる構成により、発振器とフィルタ部との間の伝送線路である主伝送線路上に検波部を設置することにより、検波部に使用している非線形素子によって発生するスプリアス信号は必ずフィルタ部を通過するため、外部放射する電波に対してスプリアス信号を除去することが可能となる。また、検波部を、発振器とフィルタ部の間に設置することで、送信波及び受信波がフィルタ部を通過して若干減少し検知信号の低減が起こるが、定在波の最大振幅部に検波部を設置することによって、検波部へ流入する高周波信号を最大で入力することが可能となるため、検知信号の振幅値を十分確保することができ、検知精度を向上させることが可能となる。
【００１１】
また、請求項２記載のように、前記検波部は、前記主伝送路の主伝送線路上に発生する定在波の最大振幅部より分岐させた分岐伝送線路と、分岐伝送線路の開放端に接続した非線形素子と、前記送信波の伝送線路上における波長λの約（１／４）倍の長さを持ち、非線形素子と接続された第２伝送線路とによって構成されたことを特徴とする。
【００１２】
検波部に使用している非線形素子は、高周波信号から低周波信号への変換特性が非線形素子へ入力される高周波信号の量によって変動する。
かかる構成により、非線形素子への高周波信号の入力量を分岐伝送線路の線路幅及び長さによって調整することが可能なため、異なる特性を持つ非線形素子に対しても、線路幅及び長さの変更を行うことで容易に最適入力量を制御することが可能であり、且つ検知信号の振幅値を十分確保することができるため検知精度を向上させることが可能となる。また、分岐伝送線路とは異なり、（λ／４）の長さを持つ第２伝送線路を非線形素子に接続することで、分岐伝送線路と第２伝送線路との組み合わせにより、非線形素子に対して高周波信号をを最大限供給できるように調整することが可能なため、検知信号の振幅値を十分確保することができ、検知精度を向上させることが可能となる。
【００１３】
また、請求項３記載のように、前記分岐伝送線路の伝送線路幅は、主伝送線路のインピーダンスＺ０の１から３倍のインピーダンスに基づいて得られる線路幅であり、且つ送信波の伝送線路上における波長λの（１／４）倍の線路長で校正されたことを特徴とする。
【００１４】
分岐伝送線路の幅によって分岐伝送線路のインピーダンスが変動するため、検波部へ入力される高周波信号量も変動する。そのため、主伝送線路よりも低いインピーダンス（主伝送線路よりも幅広い伝送線路）の伝送線路幅で分岐伝送線路を形成した場合には、高周波信号は給電部よりも検波部へ流入する量が多くなるため送信波が減少し、且つ送信波の反射波である受信波も減少するため検知距離が短くなってしまう。また検波部への高周波信号の流入量が多くなると、非線形素子の破壊が起きる可能性がある。逆に、分岐伝送線路を主伝送線路よりも極端に高いインピーダンス（主伝送線路よりも狭い幅の伝送線路）で構成すると、検波部への高周波信号の流入量が極端に少なくなるため、検知信号が小さくなり検知精度の低下が起こる可能性がある。
【００１５】
分岐伝送線路を上記の線路幅に設定することで、非線形素子から出力される検知信号の振幅値を十分に確保することが可能となるため、検知精度の向上させることが可能となる。また、長さを（λ／４）長にすることで、第２分岐伝送線路との組み合わせにより、非線形素子に流れる電流量を最大にすることが可能となるため、検知信号の振幅値を十分に確保することが可能となるため、検知精度を向上させることが可能となる。
【００１６】
また、請求項４記載のように、前記主伝送線路から分岐され、ＧＮＤに接続された接地伝送線路を設け、該接地伝送線路は前記分岐伝送線路と直接接続しないように設けたことを特徴とする。
接地伝送線路は、高周波信号をGNDへ流入させないようにして、低周波信号に対しては接地状態にするものであり、設置伝送線路の長さや、スタブとの組み合わせにより構成したものである。
ここで、接地伝送線路と分岐伝送線路とを直接接続して設置した場合、分岐伝送線路に流入した高周波信号が接地伝送線路にわずかに流入する。分岐伝送線路に流入する高周波信号は小信号のため、分岐伝送線路に流入した高周波信号が検知信号に及ぼす影響は大きい。しかし接地伝送線路に直接接続しないように接地伝送線路を主伝送線路に設置すると、主伝送線路を流れる高周波信号は分岐伝送線路を流れる信号に対して大きな信号であるため、接地伝送線路へのわずかな流入量における影響はほとんど無い。
接地伝送線路を分岐伝送線路に直接接続しないように設置することで、検知信号に影響を及ぼさないようにして低周波信号の基準点を確保できるため、検知精度の低下を防止することが可能となる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、アンテナ部より放射されるスプリアス信号を除去できると共に、検波部への高周波信号流入量を最大限得られるように検波部を設置することにで、検知精度を向上させるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、発明の実施の形態を、図面を参照にして説明する。本実施例では、センサ装置から放射する電波の周波数を、マイクロ波帯の周波数である１０．５ＧＨｚ近辺の周波数を使用した場合について記載しているが、その他の周波数、特にマイクロ波帯の周波数である３００〜３０ＧＨｚの電波に関しても１０ＧＨｚと同様の回路構成によって本発明の効果を得ることができるのは言うまでもない。
【実施例１】
【００１９】
図１に本発明のセンサ装置の概略構成図を示す。また、図２に、センサ装置に搭載されるフィルタの各周波数における通過特性図を示す。
本発明のセンサ装置は、送信波として外部へ放射する電波を生成する発振器１００と、発振器１００が設置された面とは別面に設置され、発振器１００で生成された送信波を外部へ送信し、且つ送信した電波の反射波を受信波として受信するアンテナ部１０４と、発振器１００が設置された面からアンテナ部１０４が設置された面との間で電波の伝送を行う給電部１０３と、送信波と受信波を基に低周波信号である検知信号を生成する非線形素子とで構成された検波部とによって構成されている。
また、給電部１０３と発振器１００との間の伝送線路上に、特定の周波数を通過させるフィルタ部１０１と、フィルタ部１０１と発振器１００との間に検知信号を導出する検波部１０２を設置している。なお、アンテナ部１０４は基材の裏面に存在するため、図中では点線で図示している。
【００２０】
ここで、フィルタ部１０１は、不要なスプリアス信号をアンテナ部１０４より外部へ放射しないために設置されたものであり、フィルタ部１０１を通過する高周波信号についてはスプリアス信号の除去を行うことが可能であるが、フィルタ部１０１とアンテナ部１０４との間にスプリアス信号の発生源となる部位があると、外部へスプリアス信号を放射することとなる。
スプリアス信号を発生する部位としては、２つの周波数から異なる周波数を生成する非線形素子等があり、本発明のセンサ装置においては検波部１０２がそれに当たると考えられる。
【００２１】
そこで、本発明では、検波部１０２を発振器１００とフィルタ部１０１との間の伝送線路上に設けることにより、発振器１００において発生するスプリアス信号と検波部１０２から発生するスプリアス信号を除去する構造としている。上記構造により、フィルタ部１０１によってスプリアス信号を効率良く除去することが可能となるが、検波部１０２に流入する高周波信号が全てフィルタ部１０１を通過して流入するため、検波部１０２に流入する信号にフィルタ部１０１の特性が影響することとなる。一般的に、特定の周波数を通過させるフィルタ部１０１においては、図２のように通過させる周波数：１０．５GHzにおいても若干減衰するため、微小な信号に対しての影響は大きくなる。
【００２２】
ここで、フィルタ部１０１は一般的に通過可能な周波数においても減衰する傾向が見られる。フィルタ部は、特定の周波数を通過させ、他の周波数を通過させないようにするため、伝送線路形状を変更してフィルタを構成している。そのため、インピーダンス整合を取ったとしてもわずかな整合のずれが発生するため、通過可能な周波数においても減衰が発生するものである。
上記原因によって、フィルタ部では通過周波数帯が減少する傾向があるために、フィルタ部をセンサ装置に搭載した際に、センサ装置内部においてもフィルタ部を通過する送信波及び受信波に対しても同様の現象が発生する。
【００２３】
ここで、本発明のセンサ装置において、送信波が検知対象物に反射してアンテナ部１０４にて受信する受信波は、送信波の反射波であり、且つ検知対象物までの距離によって受信波の振幅値が決定するため、検知対象物からの反射量が少なく、且つセンサ装置と検知対象物までの距離が長いと微小な振幅値しか得ることが出来ない。そのため、微小な振幅値しかない受信波の場合、フィルタ部を通過することによって受信波が減衰してしまい、発振器とフィルタ部との間にミキサ部を設置した場合には、フィルタ部の特性による影響により検知信号の振幅値を十分に確保することが出来なくなるため、検知精度にも影響を及ぼす。
そこで、本発明は、発振器１００とフィルタ部１０１の間に検波部１０２を設置しても、検知精度に影響を及ぼさないようにするために検波部１０２の設置場所及び構成について記載するものである。
【００２４】
図３は、本発明のセンサ装置の構成をマイクロストリップラインによって示した概略構成図であり、図４は主伝送線路長と検知信号振幅値との関係を示した図である。ここで、図４の横軸である主伝送線路長の０点は、図3の主伝送線路とフィルタ部とが接続する点であり、伝送線路長はフィルタ部から発振器方向の線路長を示したものである。
上記記載のように、発振器１００とフィルタ部１０１の間に検波部１０２を搭載することによって、フィルタ部１０１の影響により検知精度の低下が考えられるため、検知信号の振幅値を検知対象物が検知エリア内において検知可能な値を確保する必要がある。そこで、本発明では、発振器１００とフィルタ部１０１の間に設けられた伝送線路である主伝送線路１０６に着眼した。この主伝送線路１０６は両端に発振器１００とフィルタ部１０１が設置されており、一般的には、主伝送線路１０６と発振器１００及びフィルタ部１０１は整合を取るように構成されている。しかし、伝送線路や電子部品によって構成されている発振器１００及びフィルタ部１０１は、伝送線路を生成するための製造誤差による線路幅の変動や電子部品の電気的特性の公差によるインピーダンスの変動の影響で、主伝送線路１０６と完全な整合を取ることが困難であり、主伝送線路１０６と各部位との接合点では高周波信号の反射が発生してしまう。そのため、主伝送線路１０６では、反射の影響により定在波２００が発生し、高周波信号の強めあう場所及び弱めあう場所のように強弱の部位が発生する。ここでは、この高周波信号の強弱を利用して、前記問題点を解決するものである。
【００２５】
本発明における検波部１０２は、上記記載の高周波信号の強め合う場所に設置する。高周波信号が強め合う場所に設置することで、検波部１０２への流入量が多くなるため、検知信号の振幅値を増大することが可能となり、検知精度を低下させることが無い。検知信号の大きさは、検波部１０２へ流入する高周波信号の流入量に依存するものであり、受信波の振幅値が低減した分を確保できれば検知信号の振幅値を維持することは可能である。図４に示すように、定在波の最大振幅部２０１においては、検知信号が増大し、最小振幅部２０２においては減少していることが確認できる。定在波２００は、送信信号の伝送線路上での波長λの（１／２）倍の波長で振幅しているため、主伝送線路１０６の長さによっては複数個の設置場所があるので、回路構成に応じて設置場所を変動させることも可能である。
【００２６】
次に検波部１０２の構成について、図５に記載する。検波部１０２は、送信波と受信波の２つの高周波信号から低周波信号を生成する非線形素子３０１と、非線形素子３０１と接続し、主伝送線路１０６から分岐した分岐伝送線路と、非線形素子３０１に接続した第２伝送線路３０２とによって構成されている。本実施例においては、非線形素子３０１を高周波信号用のショットキダイオードを用いた場合について記載している。ショットキダイオードから出力される検知信号を増大させるためには、ショットキダイオードを流れる電流値を増大させる必要がある。そこで第２伝送線路の長さＬ１によってショットキダイオードに流れる電流値を調整し、検知信号を増大させ、検知制度を向上させるような構成となっている。第２伝送線路の長さＬ１としては、図５に示すようにショットキダイオードの設置場所が電圧のショート状態になるように送信波の伝送線路上における波長λの（１／４）倍の長さに設定する。前記設定により、ショットキダイオードの設置場所が電圧のショート状態（Ｖ≒０）になり、任意の電力を持つ高周波信号がショットキダイオードに入力されると、Ｗ＝Ｖ×Ｉの関係によりショットキダイオードには最大の電流が流れることとなる。ショットキダイオードに最大電流が流れる状態になることは、検波部に入力された高周波信号がショットキダイオードを最も通過しやすい状態になるため、ショットキダイオードから得られる検知信号の振幅値を増大させることが可能となる。
【００２７】
次に主伝送線路から分岐した分岐伝送線路の長さＬ２について記載する。分岐伝送路の長さＬ２は、第２伝送線路の長さＬ１と組み合わせることにより、主伝送線路と分岐伝送線路とのインピーダンス整合を取ることが可能となり、且つ分岐伝送線路への高周波信号の入力量を制御することが可能である。
分岐伝送線路の長さＬ２は、第２伝送線路３０２との組み合わせによってダイオードの設置場所が電圧のショート状態となっている。そこで、分岐伝送線路の長さＬ２についても、送信波の伝送線路上における波長λの（１／４）倍の長さに設定する。前記長さに設定することで、主伝送線路１０６から分岐した地点では、第２伝送路から考えるとオープン点となるため、主伝送線路と分岐伝送線路との接続面は高周波信号に対しては開放端面に近い状態になる。そのため、主伝送線路１０６のインピーダンスを大きく変動させることなく接続が可能となる。また、過大な高周波信号を検波部１０２に流入することを抑制することができるため、非線形素子３０１の破壊を防止することが可能となる。
【００２８】
しかし、主伝送線路１０６からの分岐点が高周波信号に対して開放端面に近い状態であると、検波部１０２への高周波信号の流入が少なくなる。そこで、分岐伝送線路の線路幅Ｈ１によってインピーダンスを変動させ、開放端面に近い状態における高周波信号の最大限の流入量を確保するものである。
図６は、分岐伝送線路幅Ｈ１を決定するための、検知信号振幅値およびセンサ装置の送信波の電力と、分岐伝送線路のインピーダンスとの関係を示す。ここで、図６から読み出せる伝送線路のインピーダンスと、センサ装置を構成する基板厚、基板の比誘電率、伝送線路をパターンで構成するための金属膜厚を基にして、あらゆる基板に関してＨ１を決定することができる。更に、高周波信号の特性であるエッジ部における影響を加味して周波数を指定することにより、詳細な線路幅を導出することが可能である。
【００２９】
ここで、分岐伝送線路幅Ｈ１を主伝送線路幅Ｈ２よりも幅広い伝送線路（低インピーダンス）で構成した際には、開放端面に近い状態においても低いインピーダンスのため検波部１０２への流入量が増大し、アンテナ部１０４より送信される送信波が減少してしまう。そのため、送信波自身が小さな信号となるため受信波も更に小さな信号となり、受信波がノイズと同等レベルとなるため検知信号１０５が出力されないようになってしまう。また、検波部１０２への高周波信号（送信波）が大きな信号であるため、非線形素子３０１の絶対定格を越えてしまう可能性があり、部品の破壊が起こる可能性もある。
【００３０】
上記とは逆に、主伝送線路１０６に対して極端に狭い伝送線路（高インピーダンス）で分岐伝送線路３００を構成した場合には、分岐伝送線路３００への高周波信号の流入量が極端に少なくなってしまうため、送信波は増大し、それに応じて受信波も大きくなるが、検知信号１０５を十分得ることが出来ないため、検知精度の低下に繋がる。
ここで、検知対象物を正確に検知するためには、検波部１０２から得られえる検知信号１０５の最大値の約半分程度の振幅値が必要である。図６からも分かるように、分岐伝送線路幅は、主伝送線路１０６のインピーダンスZ０の１から３倍のインピーダンスに基づいて得られる線路幅であれば、検知対象物を十分に検知できる範囲であると言える。
以上の検波部１０２の構成により、主伝送線路１０６に対しての整合を大きく崩すことなく、１０２の非線形素子３０１に最大の高周波信号を流入させることが可能であるため、検知信号１０５を十分に確保することが可能となり、検知精度を向上させることが可能となる。
【００３１】
図７に、検波部１０２に対するGND部を接地伝送線路の長さで調整した概略構成図、図８に検波部に対するＧＮＤ部を伝送線路で構成されたスタブで調整した概略構成図を示す。
検波部１０２に使用している非線形素子３０１は、高周波信号に基づいて低周波信号である検知信号１０５を導出するものであるため、低周波信号の基準点となるGND部へ接続する必要がある。一般的に検波部１０２への低周波信号の流入を防止するために、低周波をカットする構造となっているため低周波としては未接地状態となっている。そこで、検波部１０２に対して低周波の基準となる部位を設置する必要がある。
【００３２】
検波部１０２に対してGNDとの接続を行うためには、GND部への高周波信号の流入を防止する必要がある。そのため、図７に示すように、接地伝送線路４０１の長さによって防止するか、図８に示すような伝送線路によって構成されたスタブ４０２を用いて高周波信号の流入を防止する。
接地伝送線路長Ｌ３で防止する場合には、主伝送線路からＧＮＤ４００までの線路長を送信波の伝送線路上における波長λの（１／４）倍に設定することで、主伝送線路との接続点を高周波信号については開放端になるように設定できる。そのため、ＧＮＤ４００への高周波信号の流入を防止している。また、スタブ４０２を用いた場合には、スタブ４０２の線路長Ｌ４及び、主伝送線路からスタブ４０２までの線路長Ｌ３を送信波の伝送線路上における波長λの（１／４）倍に設定することで、上記の線路長による防止方法と同様の効果を得ることができる。ここで、接地伝送線路は、主伝送線路のどの場所に設置しても、上記のようにGNDへの高周波信号の流入を防止しつつ、低周波信号に対する基準点であるGNDを取ることができるが、分岐伝送線路と直接接続した場合、検波部から出力される検知信号の低減が発生する。そのため、接地伝送線路の設置条件としては、主伝送線路と接続され、且つ分岐伝送線路とは直接接続しないようにすることが好ましい。
【００３３】
ここで図９は、比較例として、接地伝送線路が分岐伝送線路と直接接続するように設置された概略構成図を示す。
GND４００との接続を行っている接地伝送線路４０１を、検波部１０２の分岐伝送線路３００と重なるように設置した場合、主伝送線路１０６から流入した高周波信号から更にGND４００側へわずかに高周波信号が分流し、非線形素子３０１への流入量が変動するため検知信号１０５に対する影響は大きい。一方、図７、８のように設置伝送線路４０１を主伝送線路１０６に接続し、且つ分岐伝送線路３００とは重ならないように設置すると、主伝送線路１０６を流れる大きな信号からGND４００へわずかに流入し、且つ分岐伝送線路３００への流入量に対して影響が少ないため分岐伝送線路３００に重なるように接続するよりも検知信号１０５への影響は少ない。  以上のことより、接地伝送線路４０１の接続場所によっても、検知信号１０５の振幅値を保持することが可能なため、検知精度を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明のセンサ装置の概略構成図
【図２】フィルタ特性図
【図３】本発明のセンサ装置の構成をマイクロストリップラインによって示した概略            構成図
【図４】主伝送線路長と検知信号振幅値との関係を示した図
【図５】検波部の概略構成図
【図６】検知信号振幅値およびセンサ装置の送信波の電力と、分岐伝送線路のインピーダンスとの関係を示した図
【図７】検波部１０２に対するGND部を接地伝送線路の長さで調整した概略構成図
【図８】検波部に対するＧＮＤ部を伝送線路で構成されたスタブで調整した概略構成            図
【図９】接地伝送線路が分岐伝送線路と重なるように設置された概略構成図
【符号の説明】
【００３５】
１００…発振器
１０１…フィルタ部
１０２…検波部
１０３…給電部
１０４…アンテナ部
１０５…検知信号
１０６…主伝送線路
２００…定在波
２０１…定在波の最大振幅部
３００…分岐伝送路
３０１…非線形素子
３０２…第２伝送路
Ｌ１…第２伝送路長
Ｌ２…分岐伝送路長
Ｈ１…分岐伝送路幅
Ｈ２…主伝送線路幅
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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