(57)【要約】【課題】試験対象デバイスの特性をより正確に測定可能なベクトルネットワークアナライザを提供する。【解決手段】少なくとも２つの計測ポート103を有し、高反射路較正基準301、線路較正基準401、信号源終端直通路較正基準601、及び、局部終端直通路較正基準601を各計測ポート103または計測ポート103の対に出力するベクトルネットワークアナライザ200を具備する方法及び装置である。順方向及び逆方向反射トラッキングは、反射トラッキング係数の偏角が直流で零であるような境界条件に基づいて計算される。DUT 101を測定し、その測定値を、誤差係数に基づいて系統誤差について補正する。【選択図】図１
2005055438.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
計測用装置において、
少なくとも二つの計測ポート（１０３）を有するベクトル回路網分析器（２００）と、
前記各計測ポート（１０３）について反射特性を計測するための測定手段であって、前記少なくとも二つの計測ポート（１０３）間の線路較正基準（４０１）に関する順方向と逆方向の反射特性及び伝送特性を計測し、前記少なくとも二つの計測ポート（１０３）間の信号源終端直通路較正基準（６０１）の順方向と逆方向の反射特性及び伝送特性を計測し、前記少なくとも二つの計測ポート（１０３）間の局部終端直通路較正基準（６０１）の順方向と逆方向の反射特性及び伝送特性を計測する測定手段と、
境界条件に基いて順方向と逆方向の反射トラッキング誤差係数を計算するためのプロセッサであって、前記反射トラッキング誤差係数の偏角は直流で零であり、さらに、残りの全ての順方向誤差係数及び逆方向誤差係数を計算するプロセッサと、
ＤＵＴ（１０１）を計測するための手段
を備え、
前記プロセッサは、前記誤差係数に基いて前記ＤＵＴを計測するための手段における系統誤差を補正することからなる、装置。
【請求項２】
前記ベクトル回路網分析器（２００）は３以上の計測ポート（１０３）を備え、
前記測定手段が、前記計測ポートの全ての直接対を計測し、さらに、計測ポートの間接対間の局部終端直通路較正基準（６０１）の順方向と逆方向の反射特性及び伝送特性を計測するための手段を備えることからなる、請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記プロセッサは前記少なくとも二つの計測ポートのそれぞれに関するシフトされた基準面（７０１）の電気長を計算し、該シフトされた基準面を補正してＤＵＴ計測面（７０２）に一致させることからなる、請求項１記載の装置。
【請求項４】
前記プロセッサは前記計測ポート（１０３）の前記直接対のそれぞれについてシフトされた基準面（７０１）のそれぞれの電気長を計算し、前記各直接対について前記シフトされた基準面（７０１）を補正してＤＵＴ計測面（７０２）に一致させることからなる、請求項２記載の装置。
【請求項５】
前記プロセッサは高反射路較正基準の特性である偏角を直線路に適合させ、該直線路の勾配を用いて前記シフトされた電気長を計算することにより、前記シフトされた電気長を計算することからなる、請求項４記載の装置。
【請求項６】
前記プロセッサは、
Ｓｄｕｔ＝｜ρ｜ｅ−ｊ（θｏ＋δθ（ｆ））
に従って、補正されたＳパラメータ行列のそれぞれの要素を調整することによって前記シフトされた基準面をシフトさせ、ここで、δθは、周波数の関数として前記それぞれの電気長から計算される、請求項４記載の装置。
【請求項７】
前記プロセッサは、前記高反射路較正基準のタイプもまた決定する、請求項１記載の装置。
【請求項８】
前記プロセッサは反射トラッキング誤差係数に関する二つの存在しうる解の偏角を直線路に適合させ、いずれの解が直流における零位相に最も近いかを識別することにより、前記高反射路基準のタイプを決定する、請求項７記載の装置。
【請求項９】
前記プロセッサは、負荷整合の誤差係数項及び信号源整合の誤差係数項を用いて前記間接対間のシフトされた電気長を計算する、請求項２記載の装置。
【請求項１０】
試験対象デバイスを計測する方法であって、
前記試験対象デバイスの各ポートについてある範囲の刺激周波数にわたって反射路、線路、及び直通路の較正基準の被計測Ｓパラメータ特性を取得するステップと、
境界条件を用いて前記被計測特性からの結果に基いて順方向及び逆方向の反射トラッキング誤差係数を計算するステップであって、前記反射トラッキング誤差係数の偏角は直流において零であることからなる、ステップと、
残りの順方向及び逆方向の全ての誤差係数を計算するステップと、
前記ある範囲の周波数にわたってＤＵＴの被計測Ｓパラメータ特性を取得するステップと、
前記誤差係数に基いて前記ＤＵＴの前記被計測Ｓパラメータ特性の系統誤差を補正するステップ
を含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、改良された直通路・反射路・線路計測較正を用いて試験対象デバイスを計測する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
「複数ポートの直通路・反射路・線路の較正及び計測を実行する方法及び装置（Ｍｅｔｈｏｄ  ａｎｄ  Ａｐｐａｒａｔｕｓ  ｆｏｒ  Ｐｅｒｆｏｒｍｉｎｇ  Ｍｕｌｔｉｐｏｒｔ  Ｔｈｒｏｕｇｈ−Ｒｅｆｌｅｃｔ−Ｌｉｎｅ  Ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ  ａｎｄ  Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ）と題する２００２年１１月１４日出願の米国特許出願第１０／２９４，３１７号（ここでは、「３１７号特許出願」または特許文献１と呼ぶ）は、複数ポートのベクトル回路網分析器（「ＶＮＡ：ｖｅｃｔｏｒ  ｎｅｔｗｏｒｋ  ａｎａｌｙｚｅｒ」。ベクトルネットワークアナライザともいう。以下同じ）を用いて直通路・反射路・線路較正（スルー・反射・ライン、すなわち、ＴＲＬ構成。以下同じ）の実行方法及び装置を教示するものである。開示された方法は、米国特許第５，４３４，５１１号（ここでは「５１１号特許」または特許文献２と呼ぶ）に開示された方法において用いられ、ＶＮＡ及びＤＵＴの被計測Ｓパラメータから補正した複数ポート試験機に帰し得る系統誤差を有する試験対象デバイス（ここでは、ＤＵＴ：ｄｅｖｉｃｅ  ｕｎｄｅｒ  ｔｅｓｔと呼ぶ）のＳパラメータに至ることのできる１０項誤差係数の判定を教示している。３１７号特許出願による方法では、そのプロセスに使用する高反射路較正基準のタイプ（種別）を知る必要がある。また、３１７号特許出願に開示された方法では、較正手順に使用した直通路較正基準（through calibration standard）が非零直通路である場合、その電気長（電気的長さともいう。以下同じ）は較正プロセスにおいて誤差係数を完全に特性解明すべく較正基準製造業者が既知のものとし、特定しなければならない。多くの場合、非零直通路の電気長は未知であるかまたは十分正確に分かっていないか又は再現不能な値のいずれかである。直通路較正基準はオンウェーハ較正にとって一般に未知である。何故なら較正基準に対するプローブの触針は再現不能であり、そのことが電気長を再現不能に、かくして予測不能にしている。たとえ同軸較正基準の製造業者がしばしば電気長データを含めたにせよ、時間が経ち、何回か使用した後は、電気長仕様に頼る較正プロセスを電気長がより不正確にしてしまう可能性がある。機械加工や製造工程や他の再現不能な製造業者のばらつきが原因で、直通路較正基準の製造仕様は較正及び計測が想定するほど正確ではないことがある。加えて、直通路較正基準の頻繁な使用が諸元、したがって、較正仕様を経時変化させてしまう可能性がある。この場合、その間、較正プロセスは、そのような事態を想定していない。高周波オンウェーハ計測では、非零直通路が排他的に用いられる。さらに、オンウェーハ較正プロセスでは、較正基板上にプローブを反復触針させて較正基準製造業者が提供する電気的な遅延値に一致させることは困難である。実際の電気的遅延と推定電気的遅延の間のどんな食い違いも、較正において、したがって、試験対象デバイス（「ＤＵＴ」）の計測に対してなされる補正において不確実性を招く。計測周波数が増加するにつれ、不確実性は悪化する。
【０００３】
【特許文献１】米国特許出願公開第１０／２９４，３１７号明細書
【特許文献２】米国特許第５，４３４，５１１号明細書
【特許文献３】米国特許出願第０９／９５４，９６２号明細書
【特許文献４】米国特許出願第１０／０９８，０４０号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
それ故、未知の遅延、または既知の位相オフセットを有する未知のタイプの高反射路較正基準を用いて直通路較正基準に対応するよう直通路・反射路・線路較正処理を改善する必要性が存在する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、改良された直通路・反射路・線路計測較正を用いて試験対象デバイスを計測する方法及び装置を提供するものである。
【実施例】
【０００６】
「電子マイクロ波較正デバイス」と題する米国特許第５，４３４，５１１号（本明細書では「５１１号特許」と呼ぶ）には、被計測デバイスに関する実際のＳパラメータに至る被計測Ｓパラメータの補正方法が教示されている。本方法は、短絡・開放・負荷（ＳＯＬＴ：ｓｈｏｒｔ−ｏｐｅｎ−ｌｏａｄ）較正プロセスから計算した１２個の誤差項を用いる。当業者には言うまでもないが、直通路・反射路・線路（ＴＲＬ：ｔｈｒｏｕｇｈ−ｒｅｆｌｅｃｔ−ｌｉｎｅ（スルー・レフレクション・ライン））較正プロセスは、１２個の誤差項を決定することもでき、これらの項から試験対象デバイスの被計測Ｓパラメータに基いて実際のＳパラメータを決定する。１２個の誤差項とは、以下の通りである。すなわち、（１）順方向方向性（「ＥＤＦ:forward directivity」）、（２）順方向信号源整合（「ＥＳＦ:forward source match」）、（３）順方向反射トラッキング（「ＥＲＦ:forward reflection tracking」）、（４）順方向絶縁（「ＥＸＲ:forward isolation」）、（５）順方向負荷整合（「ＥＬＦ:forward load match」）、（６）順方向伝送トラッキング（「ＥＴＦ:forward transmission tracking」）、（７）逆方向方向性（「ＥＤＲ:reverse directivity」）、（８）逆方向信号源整合（「ＥＳＲ:reverse source match」）、（９）逆方向反射トラッキング（「ＥＲＲ:reverse reflection tracking」）、（１０）逆方向絶縁（「ＥＸＲ:reverse isolation」）、（１１）逆方向負荷整合（「ＥＬＲ:reverse load match」）、（１２）逆方向伝送トラッキング（「ＥＴＲ:reverse transmission tracking」）である。複数ポート試験機に用いるスイッチの絶縁が非常に高いが故に、大半の環境では順方向絶縁（「ＥＸＦ」）項と逆方向絶縁（「ＥＸＲ」）項は無視し、それらを零に設定するのがより正確である。このことで、１０項誤差補正プロセスが生まれる。ＴＲＬ較正プロセスはより時間のかかるものであるが、より正確な計測能力を有する。より正確な計測は、改善された誤差項と改善された補正Ｓパラメータをもたらす。以下の説明は、改良されたＴＲＬ較正とＤＵＴ計測とＳパラメータ補正プロセスの複数の実施形態に関するものである。
【０００７】
図１を参照すると、４ポート試験機と併せ２ポートＶＮＡ２００のシステムブロック図が図示してある。図示の４ポート試験機は、切り替え回路網（切り換えネットワーク）１５０と、４ポート試験対象デバイス１０１（ここでは、「ＤＵＴ」と呼ぶ）を計測する２ポートＶＮＡ２００を用いて使用することのできる二つの外部信号分離装置１１４２，１１４４を備える。追加のスイッチと信号分離装置を有する試験機１５０の代替実施形態を、４個を越えるポートを有するＤＵＴの計測に用いることができる。本開示の目的に合わせ、用語「ベクトル回路網分析器（ＶＮＡ）２００」は２ポートＶＮＡだけか、または２個を超えるポートを有するデバイスを較正し計測する複数ポート試験機付きの２ポートＶＮＡか、または複数ポートＶＮＡを指す。ＤＵＴ１０１を接続する前に、ＶＮＡ２００と関連する接続の結果としての計測値に対する系統誤差を決定すべくＴＲＬ較正（through-reflect-line calibration）プロセスを実行する。ＶＮＡ２００には、第１及び第２の基準チャンネル２０１，２０２のそれぞれと第１及び第２の基準チャンネルサンプラ１１０，２１０のそれぞれが配備してある。図１に示した試験構成では、特定の例におけるサンプラ１１０，２１０はブリッジまたは方向性結合器とすることができる。基準チャンネルサンプラ１１０，２１０は、信号発生器１０５とは反対側の信号伝送スイッチ１０６の第１及び第２の信号路１０７，１０８に配置してある。サンプラ１１０，２１０は、それぞれ、第１及び第２の基準チャンネル２０１，２０２による計測に向けて第１及び第２の信号路１０７，１０８上に存在する信号の小さな予測可能部分を一方向に抽出する。サンプリングした部分は通常、結合器をベースとするサンプラについて−１０ｄＢ乃至−２０ｄＢ、信号路１０７又は１０８上の信号レベルに対するブリッジをベースとするサンプラについて約−６ｄＢである。信号源伝送スイッチ１０６は、信号発生器１０５を第１の信号路１０７へ、そして信号伝送スイッチ終端負荷１０９を第２の信号路１０８へ接続するか、或いは信号発生器１０５を第２の信号路１０８へ接続し、信号伝送スイッチ終端負荷１０９を第１の信号路１０７へ接続するかのいずれかである。特定の実施形態では、信号伝送スイッチ１０６にとって二つのスイッチ位置だけが存在する。
【０００８】
図示し、本明細書で説明する例示的な例には、計測ポート１０３１，１０３２，１０３３，１０３４に接続した４ポートＤＵＴ１０１が含まれる。本明細書による教示は、ここでポート１０３１，１０３３の較正用のプロセスの詳細を開示する。開示されたプロセスは、残る全てのポートについて反復する。本教示は、２または４以上のデバイス接続を有するＤＵＴを計測するための複数ポート試験構成に適用することもできる。切り替え回路網１５０は、第１又は第２の信号路１０７，１０８や伝送切り替え終端負荷１０９や局部終端インピーダンス１０４１〜１０４２Ｎへの各計測ポート１０３１〜１０３２Ｎの接続を可能にしている。幾つかの切り替え回路網構成が計測ポート１０３のうち一つを第１の信号路１０７へ、及び／又は計測ポート１０３のうち異なる一つを第２の信号路１０８へ接続しており、その一方で残る信号路を局部終端インピーダンス１０４にて終端してある。この例示的な実施形態では、切り替え回路網１５０はサンプリングアーム１１３、すなわちサンプリングアーム１１３１〜１１３４もまた有する。サンプリングアーム１１３１〜１１３４の各々は、それぞれの計測ポート１０３に現われる信号レベルの小さく予測可能な部分をサンプリングするサンプラ１１４で構成してある。サンプラ１１３は、個々の計測ポート１０３上に現われる信号レベルから−６ｄＢと−２０ｄＢの間のいずれかの信号レベルをとる結合器或いはブリッジとすることができる。本教示による特定の実施形態では、計測ポート１０３からサンプリングした部分は信号路１０７，１０８からサンプリングしたのとほぼ同じ部分である。サンプリングされた信号は、個々のサンプリングスイッチ１１５を介して第１又は第２の試験チャンネル受信器１１１，１１２のいずれかに接続するか、またはサンプリングアーム終端負荷１１６に接続することができる。この構成の切り替え回路網１５０は、局部サンプリングアーム終端インピーダンス１１６内の試験チャンネル受信器に接続していない計測ポート１０３からの反射路を終端したまま、計測ポート１０３からの反射路を第１及び第２の試験チャンネル受信器１１１，１１２のいずれか一方へ接続することができる。
【０００９】
本教示による方法の一実施形態では、Ｎ個のデバイス接続を有する複数ポートＤＵＴ上のＴＲＬ較正は、先ず計測ポート１０３のＮ／２個の直接対（direct pair）の各対について２ポートＴＲＬ較正を行ない、２個を超える計測ポートが存在する場合は（Ｎ（Ｎ−２））／４個の間接対（indirect pair）について行うことで実施される。ユーザは、二つの計測ポート１０３のグループ分けにおいて全ての計測ポート１０３を表わすことでＮ／２個の直接対を規定することができ、この場合、直接対のうちの第１のポートは第１の試験チャンネル受信器１１１への接続が可能であり、直接対内の第２のポートは第２の試験チャンネル受信器１１２への接続が可能である。一例として、Ｎ個の計測ポートが存在する場合、計測ポートの直接対は、計測ポート１０３１と１０３Ｎ／２＋１、計測ポート１０３２と１０３Ｎ／２＋２、以下同様に１０３Ｎ／２と１０３Ｎの直接対まで順に続く。ここで、計測ポート１０３１〜１０３Ｎ／２は第１の試験チャンネル受信器１１１に接続することができ、計測ポート１０３（Ｎ＋１）／２〜１０３Ｎは第２の試験チャンネル受信器１１２に接続することができる。
【００１０】
（Ｎ（Ｎ−２））／４個の間接対が存在し、それらは計測ポートの直接対の集合内に表れない二つの計測ポート１０３の唯一無二のグループとして規定され、間接対内の第１の計測ポートは第１の試験チャンネル受信器１１１に接続することができ、間接対内の第２の計測ポートは第２の試験チャンネル受信器１１２へ接続することができる。この例示的な例では、二つの直接対が存在する。すなわち、計測ポート１０３１と１０３３からなる第１の直接対と、計測ポート１０３２と１０３４からなる第２の直接対である。また、特定の例では、二つの間接対が存在する。すなわち、計測ポート１０３１と１０３４からなる第１の間接対と、計測ポート１０３２と１０３３からなる第２の間接対である。同じ試験チャンネル受信器への接続が可能な計測ポート１０３、すなわち第１の試験チャンネル受信器１１１か又は第２の試験チャンネル受信器１１２のいずれかを、ここでは「近傍対」と呼ぶ。ＮポートＤＵＴは、計測ポート１０３のＮ（Ｎ−２）／４個の唯一無二の近傍対を有する。４個の計測ポートを有する特定の例示的な実施形態では、近傍対は計測ポート１０３１と１０３２の対、及び、計測ポート１０３３と１０３４の対である。
【００１１】
ＴＲＬ較正プロセスでは、図２を参照するに、高反射路較正基準（または高反射体較正基準。以下同じ）３０１（「反射路３０１」または「反射体３０１」。以下同じ）を全ての計測ポート１０３にて計測する。反射路３０１は、オフセット付き或いはオフセット無しの短絡回路又は開放回路のいずれかとすることができる。本方法の一実施形態では、使用する反射路基準のタイプを知る必要はないが、直通路較正基準（thru calibration standard）の電気長を計算するために反射路３０１の位相オフセットを知ることは重要である。代替実施形態では、直通路較正基準の電気長が既知である限り、反射路較正基準（reflect calibration standard）の反射路または位相オフセットのタイプを知る必要はない。この例示的な例では、反射路３０１は計測ポート１０３１に接続してある。切り替え回路網１５０は、計測ポート１０３１を第１の信号路１０７に接続し、個々のサンプリングアーム１１３１を第１の試験チャンネル受信器１１１に接続するよう設定してある。残る使用していない全ての計測ポート１０３２，１０３３，１０３４はそれらのそれぞれの局部終端負荷１０４にて終端してあり、それらのそれぞれのサンプリングアーム１１３はサンプリングアーム終端負荷１１６２，１１６３，１１６４に接続してある。当業者には言うまでもないが、計測ポート１０３１の計測については、第１の試験チャンネル受信器１１１に接続可能なこれらの計測ポート１０３に関する特性インピーダンスで終端する切り替え回路網構成のみが結果にとって重要である。切り替え回路網１５０を構成するスイッチの絶縁性は非常に高いので、第２の試験チャンネル受信器１１２に接続可能な計測ポート１０３は第１の試験チャンネル受信器１１１を用いる高反射路計測には関係ない（または、高反射路計測を考慮しない）。同様に、第１の試験チャンネル受信器１１１に接続することのできる計測ポート１０３は、第２の試験チャンネル受信器１１２を使用する高反射路計測には関係ない（または、高反射路計測を考慮しない）。この場合、信号発生器１０５は、オペレータによるプログラムにしたがって所望の周波数範囲にわたって掃引され、その範囲全体にわたって特定の周波数における計測値を取得する。周波数掃引期間中、ＶＮＡ２００は反射信号だけでなく基準信号もまた計測し、本例の基準受信器２０１における被計測信号レベルに対する本例の試験チャンネル受信器１１１における被計測反射信号レベルの比を記憶する。本システムは、周波数依存反射係数（ここでは計測ポート１０３１に関する高反射特性と呼ぶ）である結果として得られた比
Ａｒｅｆｌｅｃｔ＿１／Ｒ１ｒｅｆｌｅｃｔ＿１
を記憶する。
【００１２】
反射路３０１を計測する同一のプロセスを、各計測ポート１０３ごとに反復する。各計測ポートごとに、切り替え回路網１５０は、反射路３０１を有する計測ポート１０３が刺激信号１０５を受信し、切り替え回路網１５０がサンプリングアーム１１３構成を有し、それによって反射信号が適切な試験ポート１１１又は１１２により計測されるよう構成してある。使用していない計測ポート１０３は、切り替え回路網１５０内の局部特性インピーダンス１０４にて終端してある。使用していない計測ポート１０３のサンプリングアーム１１３もまた、それぞれのサンプリングアーム終端負荷１１６にて終端してある。信号発生器１０５は、計測ポート１０３１の反射計測と同じ所望の周波数範囲にわたって掃引される信号で適切な信号路１０７又は１０８を刺激する。ＶＮＡ２００は、被計測反射信号に対する被計測刺激信号レベルの比の計測値を計測して記憶し、刺激信号に対する反射信号レベルの周波数依存配列、すなわち、Ａｒｅｆ１ｅｃｔ＿ｎ／Ｒ１ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｎか又はＢｒｅｆｌｅｃｔ＿ｎ／Ｒ２ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｎのいずれかを得る。ただし、ｎは計測ポート１０３を指す。
【００１３】
図３を参照するに、較正プロセス内の次のステップは、計測ポート１０３の各直接対と間接対の間に低損失遅延線路較正基準４０１（「線路４０１」。線路はラインとも呼ぶ）を接続して計測する。線路４０１は、計測学研究室において一般に用いられる直線路（空気線路）、すなわち空気誘電体（air dielectric）を有する遅延線路とすることができる。或いは、オンウェーハ計測に典型的なものとして、遅延線路を用いることもできる。線路４０１の遅延は未知であるが、線路４０１の物理的な寸法は較正周波数の有効範囲に関係する。追加の遅延線路較正基準を、所望のより広い周波数範囲を包含するために用いることもできる。線路４０１の遅延は、最低の特定周波数におけるほぼ２０度より大きな位相遷移と、最高の特定周波数における１６０度より小さい位相遷移によって画定されるある周波数範囲に亙って規定される。約５００ＭＨｚ以下の周波数では、同軸空気線路の寸法は非常に大きくなり、非実用的となる。より低い周波数において計測すべく、図５を参照するに、二つの高品位整合負荷５０１（「整合負荷５０１」）を計測対象である直接対と間接対の各計測ポート１０３に接続する。整合負荷５０１は、最低ＶＮＡ周波数まで下る周波数範囲内でＶＮＡ２００を較正するのに用いられる。得られる線路４０１と整合負荷５０１の較正値は異なるが、計測比を用いたアルゴリズム上の公式化は同じである。
【００１４】
線路４０１を計測ポート１０３１と１０３３からなる第１の直接対間で計測する図面中の図３を参照するに、伝送スイッチ１０６は、信号発生器１０５が第１の信号路１０７を刺激し、第２の信号路１０８が信号源１０９にて終端されるよう設定してある。切り替え回路網１５０は、計測ポート１０３１が第１の信号路１０７から刺激信号を受信し、サンプリングアーム１１３１からの信号が第１の試験ポート１１１に提示されるよう構成してある。切り替え回路網１５０はさらに、計測ポート１０３３が第２の信号路１０８を介して伝送スイッチ特性インピーダンス１０９にて終端され、伝送信号（伝送された信号）がサンプリングアーム１１３３を介して第２の試験ポート１１２に提示されるよう構成してある。信号発生器１０５は所望の周波数範囲を掃引し、ＶＮＡ２００は第１及び第２の試験チャンネル受信器１１１，１１２と第１及び第２の基準受信器２０１，２０２からの信号レベルを計測し、その結果をデータ配列（データアレイ）内に格納する。明快さと整合性のために、信号発生器１０５を第１の信号路１０７に接続したときに、得られる全ての計測値は順方向計測値と見なされる。従って、順方向の線路４０１から得られた計測値は、以下のようなデータ配列として表わされる。
Ａｆ＿ｌｉｎｅ＿１３，
Ｂｆ＿ｌｉｎｅ＿１３，
Ｒ１ｆ＿ｌｉｎｅ＿１３，
Ｒ２ｆ＿ｌｉｎｅ＿１３
ここで、各配列は、所望の周波数範囲の特定の周波数における一連の被計測点から構成される。
【００１５】
図４を参照するに、線路４０１は接続されたままであり、伝送スイッチ１０６は、信号発生器１０５が第２の信号路１０８を刺激し、第１の信号路１０７が信号源での伝送スイッチ特性インピーダンス１０９にて終端されるよう再構成される。切り替え回路網１５０の構成は、順方向計測から変更されていない。信号発生器１０５はここでも所望の周波数範囲を掃引し、ＶＮＡ２００は、第１及び第２の試験チャンネル受信器１１１，１１２と第１及び第２の基準受信器２０１，２０２からの信号レベルを計測し、それらをデータ配列内に記憶する。明快さと整合性のために、信号発生器１０５を第２の信号路１０８に接続したときに、得られた全ての計測値は逆方向計測値と見なされる。したがって、逆方向の線路４０１から得られた計測値は、以下のようなデータ配列として表わされる。
Ａｒ＿ｌｉｎｅ＿１３，
Ｂｒ＿ｌｉｎｅ＿１３，
Ｒ１ｒ＿ｌｉｎｅ＿１３，
Ｒ２ｒ＿ｌｉｎｅ＿１３
ここで、各配列は、所望の周波数範囲の特定周波数における一連の被計測点から構成される。
【００１６】
より幅広い周波数範囲が必要な場合は、異なる周波数帯域をカバーする異なる空気線路を用いて、第１の直接対、すなわち特定の実施形態の計測ポート１０３１，１０３３について同じ計測手順を実行する。加えて、図５に示すような整合負荷（整合された負荷）５０１を、空気線路（空気線路）較正基準をもってするよりも実用的なより低い周波数で計測値を取得するために、完全な整合を有する高損失線路を刺激するのに用いることができる。整合負荷、より高い周波数における整合の程度、及び所望の周波数範囲に応じて、整合負荷を、空気線路較正基準に代えて用いることができる。適切な較正基準を用いて異なる周波数範囲について新規の計測を行なう際、その結果を、各データ点が特定の刺激信号周波数に対応するようにして、順方向及び逆方向配列に記憶する。したがって、較正周波数帯域を、単一の空気線路較正基準を用いて可能なよりもより多くの周波数について拡張することができる。
【００１７】
図６を参照するに、較正プロセスの次のステップは、各直接対間に、（２個を超える計測ポートが存在する場合は各間接対間に）、信号源終端直通路較正基準６０１（「直通路６０１」。尚、直通路は、「直達路」または「スルー路」ともいう）を接続して計測することである。直通路６０１は零の長さまたは非零の長さを有することができ、一実施形態では、電気長を既知の値とする必要はない。代替実施形態では、直通路６０１の電気長が既知である場合、高反射路較正基準３０１の位相オフセットを知る必要はない。オンウェーハ計測の場合、高品質の零直通路較正基準を得ることは不可能である。従って、オンウェーハ計測に関しては、非零直通路較正基準と零オフセット高反射路較正基準が一般に用いられる。
【００１８】
直通路６０１の初回の計測は、信号源終端直通路６０１から得られる。一例として、第１の直接対を用いることで、伝送スイッチ１０６は、信号発生器１０５が第１の信号路１０７を刺激し、第２の信号路１０８が伝送スイッチ特性インピーダンス１０９にて終端されるよう設定される。切り替え回路網１５０は、計測ポート１０３１が第１の信号路１０７から刺激信号を受容し、サンプリングアーム１１３１が第１の試験ポート１１１に接続されるよう構成される。切り替え回路網１５０はさらに、計測ポート１０３３が第２の信号路１０８を介して伝送スイッチ特性インピーダンス１０９にて終端され、サンプリングアーム１１３３が第２の試験ポート１１２に接続されるよう構成される。使用していない計測ポート１０３は局部特性インピーダンス１０４にて終端され、使用していないサンプリングアーム１１３は局部サンプリングアーム終端負荷１１６にて終端される。信号発生器１０５は所望の周波数範囲を掃引し、ＶＮＡ２００は、第１及び第２の試験チャンネル受信器１１１，１１２と第１及び第２の基準受信器２０１，２０２からの信号レベルを計測し、その結果をメモリに記憶する。本開示のために使用される命名法によれば、信号発生器１０５は第１の信号路１０７に接続されるため、得られる計測値は順方向計測値と見なされる。したがって、順方向の信号源終端直通路６０１から得られる計測値は、以下のような配列で表わされる。
Ａｆｎｍ＿ｔｈｒｕ，
Ｂｆｎｍ＿ｔｈｒｕ，
Ｒ１ｆｎｍ＿ｔｈｒｕ，
Ｒ２ｆｎｍ＿ｔｈｒｕ
ここで、各配列は、所望の周波数範囲の特定の周波数における一連の計測点からなり、添え字「ｎ」と「ｍ」はその間に直通路６０１が接続される計測ポートを指し、「ｍ」は発信元ポートであり、「ｎ」は受信ポートである。
【００１９】
図７を参照するに、直通路６０１は接続されたままであり、伝送スイッチ１０６は逆方向計測用に設定される。具体的には、信号発生器１０５は第２の信号路１０８に刺激を与え、第１の信号路は伝送スイッチ特性インピーダンス１０９にて終端される。切り替え回路網１５０は、変更されていない。信号発生器１０５は、ここでも所望の周波数範囲を掃引し、ＶＮＡ２００は、第１及び第２の試験チャンネル受信器１１１，１１２と第１及び第２の基準受信器２０１，２０２からの信号レベルを計測し、それらをメモリ内に記憶する。信号発生器１０５は第２の信号路１０８に接続されているため、得られた計測値は逆方向計測値と見なされる。したがって、逆方向の信号源終端直通路６０１から得られた計測値は、以下のような配列として表わされる。
Ａｒｎｍ＿ｔｈｒｕ，
Ｂｒｎｍ＿ｔｈｒｕ，
Ｒ１ｒｎｍ＿ｔｈｒｕ，
Ｒ２ｒｎｍ＿ｔｈｒｕ
ここで、各配列は、所望の周波数範囲の特定周波数における一連の被計測点から構成される。
【００２０】
プロセスのこの時点で、全ての直接対ならびに間接対について、順方向及び逆方向の方向性、信号源整合、及び反射トラッキングを計算するために十分な計測値が得られている。しかしながら、本プロセスのこの構成では、全ての計測を完了し、次に、計測ポートの直接対、間接対、近傍対それぞれについて１０個の誤差項全てを計算する。これまでにこのようにして得られた計測値を用いて、直通路較正基準６０１と、直流に対する反射トラッキング項の引数（または独立変数）を外挿することにより較正処理に用いられる零高反射路基準３０１又はオフセットされた高反射路基準３０１との和の電気長を計算することがさらに可能である。較正プロセスに用いられる高反射路基準のタイプを決定することもまた可能になる。特定の誤差項のさらなる詳細と電気長の計算については本明細書において説明する。
【００２１】
図８を参照するに、依然として直通路６０１が接続された状態であり、伝送スイッチ１０６は、信号発生器１０５が第１の信号路１０７内にあり、第２の信号路１０８が特性インピーダンス１０９にて終端されるよう構成される。切り替え回路網１５０は、計測ポート１０３が第１の信号路１０７に接続され、それぞれのサンプリングアーム１１３が第１の試験チャンネル受信器１１１に接続されるよう構成される。第１の試験チャンネル受信器１１１に接続可能な残りの使用されていない計測ポート１０３は、それぞれの局部特性インピーダンス１０４にて終端される。さらに、使用されていない計測ポート１０３のサンプリングアーム１１３は局部サンプリングアーム特性インピーダンス１１６にて終端される。切り替え回路網１５０はさらに、第１の直接対内の第２の試験チャンネル受信器１１２に接続可能な計測ポート１０３がそれぞれの局部特性インピーダンス１０４にて終端され、それぞれのサンプリングアーム１１３が第２の試験チャンネル受信器１１２に接続されるよう構成される。計測対象ではない直接対の計測ポート１０３もまた局部特性インピーダンスにて終端され、それぞれのサンプリングアーム１１３がそれぞれの局部サンプリングアーム終端負荷１１６にて終端される。信号発生器１０５は、ここでも所望の周波数範囲にわたって掃引され、その範囲内の各周波数点について、ＶＮＡ２００が、局所的に終端された直通路６０１の反射応答、伝送応答（または、伝達応答ともいう。以下同じ）、及び刺激を計測し、そのデータを下記のような配列内に記憶する。
Ａｆｎｍ＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ，
Ｂｆｎｍ＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ，
Ｒ１ｆｎｍ＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ
【００２２】
図９を参照するに、直通路６０１が依然として第１の直接対の計測ポート１０３の間に接続された状態で、信号発生器１０５が第２の信号路１０８内にあり、第１の信号路１０７が特性インピーダンス１０９にて終端されるように伝送スイッチ１０６を再構成する。切り替え回路網１５０もまた再構成して、第２の試験チャンネル受信器１１２に接続可能な第１の直接対内の計測ポート１０３、すなわちこの例では計測ポート１０３３が第２の信号路１０８に接続され、それぞれのサンプリングアーム１１３３が第２の試験チャンネル受信器１１２に接続されるようにする。第１の試験チャンネル受信器１１１に接続可能な第１の直接対内の計測ポート１０３、すなわちこの例では計測ポート１０３１をそれぞれの局部特性インピーダンス１０４１にて終端し、それぞれのサンプリングアーム１１３１を第１の試験チャンネル受信器１１１に接続する。計測対象ではない直接対の計測ポート１０３は、それらの特性インピーダンス１０４で局部的に終端される。さらに、使用されていない計測ポート１０３のサンプリングアーム１１３をそれらのそれぞれの局部サンプリングアーム終端負荷１１６にて終端する。信号発生器１０５を所望の周波数範囲を通じて掃引させ、その範囲内の各周波数点ごとに、ＶＮＡ２００が、局部的に終端された直通路６０１の反射応答と局部的に終端された直通路６０１の伝送応答と第２の基準チャンネル２０２にて計測される刺激信号のレベルを計測する。計測した値は、以下のようにデータ配列に記憶される。
Ａｒｎｍ＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ，
Ｂｒｎｍ＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ，
Ｒ２ｒｎｍ＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ
【００２３】
同じプロセスを続け、計測ポート１０３の残りの全ての直接対及び間接対について直通路６０１の同様の計測値を計測し記録する。周波数範囲の全ての較正計測について同じ周波数点を計測し、これにより各配列が各周波数点ごとに対応する計測値を有するようにすることが好ましい。しかしながら、周波数値が所望の周波数範囲内の最低被計測周波数と最高被計測周波数の境界内にあり、被計測周波数間の間隔がＤＵＴのあらゆる共振を含めてＤＵＴを完全に特性解明するのに十分小さなものである限り、データを内挿して特定の周波数値に関する値を得ることは許容可能である。複数の線路較正基準を用いてより広範囲の周波数を得る場合には、ＶＮＡ２００により得られた計測値は、対象とする周波数範囲の各周波数ごとに１つの要素を有するより大きな配列内の適切な配列要素に記憶される。したがって、較正基準を接続して計測を実行する複数ステップを実行して、単一のデータ配列を完全に配置することができる。
【００２４】
図１０には、ＶＮＡ２００の任意の第１ポートと第２ポートの間のフロー図が示されている。複数ポートの実施形態は、各直接対について類似の較正フロー図を有する。較正フロー図は、Ｘ誤差アダプタ１９１０について、順方向方向性（５１１号特許では「ＥＤＦ」、本教示ではＳｘ１１で示す）１９０１と、順方向信号源整合（５１１号特許では「ＥＳＦ」、本教示ではＳｘ２２で示す）１９０２と、順方向反射トラッキング誤差係数（５１１号特許では「ＥＴＦ」、本教示ではＳｘ１２Ｓｘ２１で示す）１９０３を表わしている。較正フロー図はまた、Ｙ誤差アダプタ１９２０について、逆方向方向性（５１１号特許では「ＥＤＲ」、本教示ではＳｙ１１で示す）１９０４と、逆方向信号源整合（５１１号特許では「ＥＳＲ」、本教示ではＳｙ２２で示す）１９０５と、逆方向反射トラッキング（５１１号特許では「ＥＲＲ」、本教示ではＳｙ１２Ｓｙ２１で示す）誤差係数１９０６を表わしている。フロー図には示していないが、１０項誤差補正プロセスにも使用される残りの４個の誤差係数は、順方向伝送トラッキング（５１１号特許では「ＥＴＦ」、本教示ではτｎｍで示される。ここで、ポート「ｍ」が刺激を送り、ポート「ｎ」は計測ポートである）と、順方向負荷整合（５１１号特許では「ＥＬＦ」、本教示ではポート「ｍ」についてΓｍで示す）と、逆方向伝送トラッキング（５１１特許では「ＥＴＲ」、本教示ではτｍｎで示される。ここで、ポート「ｎ」が刺激を送り、ポート「ｍ」が計測ポートである）と、逆方向負荷整合（５１１特許では「ＥＬＲ」、本教示ではポート「ｎ」についてΓｎで示す）である。本教示による方法の一実施形態は、各直接及び間接計測ポート対に対するＴＲＬ較正基準の計測値に基いて各直接対及び間接対に関する誤差係数を決定する。フロー図は、Ｘ誤差アダプタ１９１０に関するＳパラメータ行列（Ｓパラメータマトリクス）Ｓｘ（これは、直接対又は間接対における第１の計測ポート１０３についてのエラーアーティファクト（error artifact。または人為的誤差）のサブセットに対応する）と、Ｙ誤差アダプタ１９２０に関するＳパラメータ行列Ｓｙ（これは、直接対又は間接対における第２の計測ポート１０３についてのエラーアーティファクトのサブセットに対応する）を表わす。残りの誤差係数はＸ，Ｙ誤差アダプタのエラーアーティファクトから計算される。
【００２５】
Ｓパラメータ行列Ｓａｃｔは、Ｘ及びＹ誤差アダプタが寄与しない較正基準のＳパラメータを表わす。Ｘ誤差アダプタのＳパラメータ行列は以下の既知の変換を用いるＴパラメータとして表現することができ、ここでポート１が計測値を取得するポートを表わし、ポート２が刺激信号を発するポートを表わす。
【００２６】
【数１】
2005055438.tif 000003
【００２７】
したがって、行列ＳｘはＴｘとして表される対応するＴパラメータへ変換することができる。行列Ｔａｃｔ＿ｔｈｒｕが直通路６０１のＴパラメータを表わし、Ｔｍｅａｓ＿ｔｈｒｕがＸ及びＹ誤差アダプタに関連して計測された直通路６０１のＴパラメータを表わす場合は、以下の関係が成立する。
【００２８】
【数２】
2005055438.tif 000004
【００２９】
同様に、行列Ｔａｃｔ＿ｌｉｎｅが線路４０１のＴパラメータを表わし、Ｔｍｅａｓ＿ｌｉｎｅがＸ及びＹ誤差アダプタに関連して計測された線路４０１のＴパラメータを表す場合は、以下の関係が成立する。
【００３０】
【数３】
2005055438.tif 000005
以下の関係が規定される場合、すなわち、
【００３１】
【数４】
2005055438.tif 000006
及び
【数５】
2005055438.tif 000007
の場合は、次式のように書き表わすことができる。
【数６】
2005055438.tif 000008
【００３２】
直通路６０１と線路４０１は、それぞれ完全に整合しているものと仮定している。それ故、それぞれの実際のＳパラメータ行列内のそれらの反射係数値は零に設定される。直通路６０１が非零長の伝送係数を有する場合、それはＳ２１＿ｔｈｒｕ＝Ｓ１２＿ｔｈｒｕにより規定される。線路４０１は、Ｓ２１＿ｌｉｎｅ＝Ｓ１２＿ｌｉｎｅで規定される伝送係数を有する。かくして、式（４）から、Ｔａｃｔ＿ｘは次のように表わすことができる。
【００３３】
【数７】
2005055438.tif 000009
【００３４】
信号源直通路６０１と信号源終端線路４０１の計測値はそれぞれ、計測し記憶した結果の８個の周波数依存配列をもたらす。４個の直通路順方向反射及び伝送配列と４個の直通路逆方向反射及び伝送配列が存在する。信号源終端直通路６０１に関する被計測データの配列は、Ｔｍｅａｓ＿ｘ行列の計算前に信号伝送スイッチ１０６の存在を補償するためにＳパラメータ領域内のアルゴリズム的公式化において使用される。直通路及び線路較正基準に対する補正されていない被計測Ｓパラメータの伝送スイッチ１０６の影響、すなわちＳｍｅａｓ＿ｌｉｎｅとＳｍｅａｓ＿ｔｈｒｕは下記式により補正される。
【００３５】
【数８】
2005055438.tif 000010
【００３６】
ここで、Ａｆ，Ｂｆ，Ｒ１ｆ，Ｒ２ｆは順方向生計測データ、すなわち信号伝送スイッチ１０６が信号発生器１０５を第１の信号路１０７へ振り向けているときのものであり、Ａｒ，Ｂｒ，Ｒ１ｒ，Ｒ２ｒは逆方向生計測データ、すなわち信号伝送スイッチ１０６が信号発生器１０５を第２の信号路１０８へ振り向けているときのものである。この補正の使用後、関連するＳパラメータ行列は、
Ｓｍｅａｓｎｍ＿ｔｈｒｕ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ
及び
Ｓｍｅａｓｎｍ＿ｌｉｎｅ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ
となる。ここで、「ｎ」及び「ｍ」はボート番号を表し、それらのポートの間でそれぞれの較正基準が計測される。
【００３７】
一例として、第１の直接対を計測ポート１０３１及び１０３３として用いることで、第１の直接対に関するＸ及びＹ誤差アダプタを縦列接続（カスケード接続）して計測した直通路６０１の補正されたＳパラメータ行列は、ここでは、Ｓｍｅａｓ１３＿ｔｈｒｕ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄとして表わされる。式（８）に示した補正式は、以下の配列を用いる。すなわち、Ｓｍｅａｓ１３＿ｔｈｒｕ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄを計算するためのＡｆ１３＿ｔｈｒｕ，Ｂｆ１３＿ｔｈｒｕ，Ｒ１ｆ１３＿ｔｈｒｕ，Ｒ２ｆ１３＿ｔｈｒｕ，Ａｒ１３＿ｔｈｒｕ，Ｂｒ１３＿ｔｈｒｕ，Ｒ１ｒ１３＿ｔｈｒｕ，Ｒ２ｒ１３＿ｔｈｒｕである。式（１）を用いてＳｍｅａｓ１３＿ｔｈｒｕ＿ｔｒａｎｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ行列を対応するＴ−パラメータへ変換することで、行列Ｔｍｅａｓ１３＿ｔｈｒｕ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄが得られる。第１の直接対に関するＳｍｅａｓ１３＿ｌｉｎｅ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ行列を得るために、式（８）に示した補正式は以下の配列を用いる。すなわち、配列Ａｆ１３＿ｌｉｎｅ，Ｂｆ１３＿ｌｉｎｅ，Ｒ１ｆ１３＿ｌｉｎｅ，Ｒ２ｆ１３＿ｌｉｎｅ，Ａｒ１３＿ｌｉｎｅ，Ｂｒ１３＿ｌｉｎｅ，Ｒ１ｒ１３＿ｌｉｎｅ，Ｒ２ｒ１３＿ｌｉｎｅである。補正したＳｍｅａｓ１３＿ｌｉｎｅ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ行列を対応するＴパラメータへ変換することで、行列Ｔｍｅａｓ１３＿ｌｉｎｅ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄが得られる。Ｔｍｅａｓ１３＿ｔｈｒｕ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄとＴｍｅａｓ１３＿ｌｉｎｅ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ行列は、Ｔａｃｔ＿ｘとＴｍｅａｓ＿ｘを計算するために式（４）及び（５）において用いられる。
【００３８】
ここで一般的なケースを参照するに、ＴｘはＸ誤差アダプタに関するＴパラメータ行列であり、その行列要素によって以下のように規定される。
【００３９】
【数９】
2005055438.tif 000011
【００４０】
Ｔｍｅａｓ＿ｘもそれの行列要素によって規定され、以下のように表わされる。
【００４１】
【数１０】
2005055438.tif 000012
【００４２】
式（５）から、Ｔｍｅａｓ１３＿ｘで表わされる計測ポート１０３１，１０３３に関するＴｍｅａｓ＿ｘが、Ｔｍｅａｓ１３＿ｔｈｒｕ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄとＴｍｅａｓ１３＿ｌｉｎｅ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ行列を用いて計算される。したがって、
【００４３】
【数１１】
2005055438.tif 000013
となる。
【００４４】
式（４）の関係を用い、式（６）内の項に代入し、Ｓ２１＿ｔｈｒｕ／Ｓ２１＿ｌｉｎｅ項を消去することで、以下の一般式が得られる。
【００４５】
【数１２】
2005055438.tif 000014
【００４６】
及び
【００４７】
【数１３】
2005055438.tif 000015
【００４８】
ＴパラメータからＳパラメータへの変換に基き、対応するＳパラメータ誤差アダプタ行列に関してＴｘ２１／Ｔｘ１１，Ｔｘ２２／Ｔｘ１２を次のように表すことができる。
【００４９】
【数１４】
2005055438.tif 000016
及び
【数１５】
2005055438.tif 000017
【００５０】
当業者には言うまでもないことであるが、式（１１）と式（１２）は等価である。解には平方根が存在するため、二つの可能な数学的解が存在する。Ｂで規定されるより小さな値の解は、誤差アダプタＸの方向性の誤差係数Ｓｘ１１  １９０１に対応する。Ａで規定されるより大きな値の解は、信号源整合１９０２と反射トラッキング１９０３の数学的合成値である。
【００５１】
前述の如く、５００ＭＨｚ程度及びそれ以下の周波数では線路４０１の寸法は非常に大きく、実用的ではない。方向性１９０１の計算とより低い周波数に関するＡで表わされる解は、線路４０１の代わりに二つの高品位整合負荷５０１の計測値を用いるものである。整合負荷５０１は計測ポートに対し完全に整合させてあり、零反射係数を有するものと仮定している。式（５）〜（１４）に示した同じアルゴリズム的公式化が用いられる。二つの整合された負荷からの計測結果の用途を理解するため、直通路６０１がＳ２１ｔｈｒｕ＝Ｓ１２ｔｈｒｕで規定される非零長の伝送係数を有することに留意されたい。整合負荷５０１は、Ｓ２１ｌｏａｄ＝Ｓ１２ｌｏａｄで規定される伝送絶縁係数を有する。整合負荷５０１間の高絶縁が原因で、Ｓ２１ｌｏａｄは零値に近いものとなる。従って、ＳパラメータからＴパラメータへの変換における零による除算の不確定性を避けるため、Ｓ２１ｌｏａｄは１０−１０等の非常に小さな非零値に設定される。このことから、より低い周波数でのＴａｃｔ＿ｘを計算することができ、それは次のように与えられる。
【００５２】
【数１６】
2005055438.tif 000018
【００５３】
先に示した如く、式（４）及び（５）を用い、その結果を式（６）に代入し、Ｓ２１＿ｔｈｒｕ／１０−１０項を消去することで、式（１１）及び（１２）が導出される。整合負荷５０１からのＳパラメータを式（８）を用いて補正し、Ｓｍｅａｓ１３＿ｌｏａｄ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄを得るが、次に、これを式（１）を用いて変換してＴｍｅａｓ１３＿ｌｏａｄ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄを得る。Ｔｍｅａｓ１３＿ｌｏａｄ＿ｔｒａｎｓｆｅｒｓｗｉｔｃｈ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ項は、線路４０１を計測する項の代わりにＴｍｅａｓ１３＿ｘを計算するのに用いられる。式（１１）及び（１２）での計算は、したがって、線路４０１についてのものと同じである。
【００５４】
同様のプロセスを実行し、誤差アダプタＹ内の項を計算する。式（２）及び（３）から始めて、以下の関係を規定する。
【００５５】
【数１７】
2005055438.tif 000019
及び
【数１８】
2005055438.tif 000020
【００５６】
この場合、以下の式を書き表わすことができる。
【００５７】
【数１９】
2005055438.tif 000021
【００５８】
図１０を参照するに、ＤＵＴ１０１を見たときにポート１が右側にあってポート２が左側にある状態でのＳパラメータに関して、誤差アダプタＹに関するＴパラメータ行列についての公知の変換は、下記の通りである。
【００５９】
【数２０】
2005055438.tif 000022
【００６０】
したがって、行列ＳｙをＴｙで表わされる対応するＴパラメータに変換することができる。Ｔｍｅａｓ１３＿ｔｈｒｕ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄとＴｍｅａｓ１３＿ｌｉｎｅ＿ｃｏｒｒｅｃｔｅｄ行列は、既に計算済みであり、Ｔｍｅａｓ１３＿ｙの計算用に式（１７）において用いられる。ここで、
【００６１】
【数２１】
2005055438.tif 000023
である。
【００６２】
式（１８）を用い、式（１６）及び（１７）の関係を代入し、Ｓ２１ｔｈｒｕ／Ｓ２１ｌｉｎｅ項を消去し、第１の直接対に関する以下の式を書き表わすことができる。
【００６３】
【数２２】
2005055438.tif 000024
【００６４】
及び、
【００６５】
【数２３】
2005055438.tif 000025
【００６６】
式（１９）から、誤差アダプタＹに関する対応するＳパラメータに関してＴｙ１２／Ｔｙ１１とＴｙ２２／Ｔｙ２１もまた下記の如く与えられる。
【００６７】
【数２４】
2005055438.tif 000026
及び、
【数２５】
2005055438.tif 000027
【００６８】
当業者には言うまでもないが、式（２１）と式（２２）は等価であり、平方根があるがために二つの解を有する。Ｓｙ１１によって規定されるより小さな値すなわち第１の解は、Ｙ誤差アダプタの方向性誤差に対応する。Ｃよって規定されるより大きな値すなわち第２の解は、Ｙ誤差アダプタに関する誤差係数（Ｓｙ１２Ｓｙ２１／Ｓｙ２２）−Ｓｙ１１に対応する。
【００６９】
図２に示すような高反射路較正基準を計測する較正手順の一部を参照するに、高反射路基準３０１を第１の直接対の一方の計測ポート１０３１に接続し、同じ高反射路基準３０１を計測ポート１０３１から分離し、次に第１の直接対の他方の計測ポート１０３３に接続する。図１０を参照して、以下の式を書き表わすことができる。
【００７０】
【数２６】
2005055438.tif 000028
【００７１】
ここで、Γｍｅａｓ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘは、第１の試験チャンネル受信器に接続可能な計測ポート、すなわち第１の直接対における係数ポート１０３１における高反射路基準３０１の被計測反射係数であり、Γａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘは同じ計測ポート１０３１における高反射路基準の実際の反射係数である。同じ高反射路較正基準３０１が第１の直接対の対向するポート、すなわち特定の例における計測ポート１０３３に接続される。誤差アダプタＹに関して、以下の式を書き表すこともできる。
【００７２】
【数２７】
2005055438.tif 000029
【００７３】
ここで、Γｍｅａｓ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｙは計測ポート１０３３における高反射路基準３０１の被計測反射係数であり、Γａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｙは計測ポート１０３３における高反射路基準の実際の反射係数である。高反射路基準の被計測反射係数の値、すなわち計測ポート１０３１に関するΓｍｅａｓ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘを、以下の計測し記憶した配列Ａｒｅｆｌｅｃｔ＿１／Ｒ１ｒｅｆｌｅｃｔ＿１から得ることができる。同様に、高反射路基準の被計測反射係数の値、すなわち計測ポート１０３３に関するΓｍｅａｓ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｙを、以下の計測し記憶した配列Ｂｒｅｆｌｅｃｔ＿３／Ｒ２ｒｅｆｌｅｃｔ＿３から得ることができる。同一の高反射路基準が計測ポート１０３１，１０３３に接続されるので、式（２５）中のΓａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘと式（２６）中のΓａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｙを解き、Γ項を互いに等しく設定することができる。得られた関係と式（１３），（１４），（２３），（２４），（２５），（２６）から、以下の関係を書き表わすことができる。
【００７４】
【数２８】
2005055438.tif 000030
【００７５】
当業者には言うまでもないことであるが、式（２７）は二つの未知項を有するが、Ｓｙ２２によるＳｘ２２の表現を可能にしている。従って、これらの二つの未知項について解くためにはもう一つの関係が必要である。
【００７６】
図７及び図１０を参照して、以下の式を書き表わすこともできる。
【００７７】
【数２９】
2005055438.tif 000031
【００７８】
ここで、Γｍｅａｓ＿ｔｈｒｕ１１は、第１の試験チャンネル受信器１１１に接続可能な第１の直接対の計測ポートに関するＡｆ１３＿ｔｈｒｕ／Ｒ１ｆ１３＿ｔｈｒｕとして計測される。（１３），（１４），（２３），（２４）から、下記式を書き表わすことができる。
【００７９】
【数３０】
2005055438.tif 000032
【００８０】
Ｓｘ２２は、第１の計測ポート１０３における信号源整合誤差係数である。式（２９）が平方根関数であるがために、Ｓｘ２２に関する二つの可能な解が存在する。したがって、本計測に関する適切な解について解くために、追加の情報が必要である。
【００８１】
反射トラッキング誤差係数Ｓｘ１２Ｓｘ２１を二つの可能な解の各々について計算し、下記を得る。
【００８２】
【数３１】
2005055438.tif 000033
及び、
【数３２】
2005055438.tif 000034
【００８３】
式（３０）又は式（３１）のいずれかを二乗することで、複素値（Ｓｘ１２ＳＸ２１）２がもたらされる。反射トラッキング係数の二乗は複素変数であるため、その平方根は二つの解を有する。二つの解のそれぞれは同じ大きさを有するが、それらは１８０度位相がずれている。解のうちの一方だけが正当である。正当な解を選択するため、反射トラッキングに関する両方の解は直流（ＤＣ）において解かれる。反射トラッキング特性に基き、正当な解の偏角（argument）は直流にて零である。したがって、この境界条件が与えられると、直流周波数で零に最も近い偏角を有する反射トラッキングについての解は正当な解であり、反射トラッキングパラメータに関する値を決定することができる。
【００８４】
Ｓパラメータ計測値は直流では取得されないので、反射トラッキング係数の偏角に適合する関数が直流における周波数値まで外挿される。具体的には、各々の解についての偏角θを周波数の関数として計算する。この偏角に関する第１の解は、θ（ｆ）Ｓｘ２２＿ｓｏｌｕｔｉｏｎ１として表わされ、第２の解は、θ（ｆ）Ｓｘ２２＿ｓｏｌｕｔｉｏｎ２として表わされる。各々の解について、周波数の計算された関数が＋１８０度点或いは−１８０度点と交差すると、３６０度を付加して周波数の関数として位相の連続関数を形成する。得られた連続関数の各々は、二項多項式を用いた最小和二乗フィッティングアルゴリズムを用いてあてはめられる。ここで、ｆは周波数値を表わし、
【００８５】
【数３３】
2005055438.tif 000035
【００８６】
及び、
【００８７】
【数３４】
2005055438.tif 000036
である。
【００８８】
各二項多項式は、傾斜Ａ１＿Ｓｘ２２とｙ切片Ａ０＿Ｓｘ２２をもった直線を規定している。ｙ切片は、直流におけるθの値を表わす。Ａ０＿Ｓｘ２２に関する可能な二つの解のうち、一方の解だけが零のｙ切片を有する。従って、値Ａ０＿Ｓｘ２２＿ｓｏｌｕｔｉｏｎ１やＡ０＿Ｓｘ２２＿ｓｏｌｕｔｉｏｎ２のどちらでも、零値に最も近いものが正当な解となる。正当な解が特定されると、次に反射トラッキング係数Ｓｘ１２Ｓｘ２１について振幅と位相の両方を計算する。反射トラッキング係数の計算から、信号源整合誤差Ｓｘ２２が計算される。ここで、
【００８９】
【数３５】
2005055438.tif 000037
である。
【００９０】
「Ｂ」と「Ａ」として表わされるファクターは、式（１３）および（１４）から既知である。従って、信号源整合誤差Ｓｘ２２もまた完全に決定することができる。
【００９１】
Ｓｘ２２に関する値が既知であれば、Ｓｙ２２に関する値は式（２７）から計算することができる。Ｓｙ２２は第２の試験チャンネル受信器１１２に接続可能な計測ポート、すなわち、特定の例における計測ポート１０３３における誤差アダプタＹの信号源整合誤差係数である。
【００９２】
Ｓｙ２２に関して確定された値及び式（２３），（２４），（２７）により誤差アダプタＹに関する反射トラッキングの計算が可能になり、その計算式は下記のように表される。
【００９３】
【数３６】
2005055438.tif 000038
【００９４】
したがって、第１の直接対に関する誤差アダプタＸ及び誤差アダプタＹについての方向性と信号源整合と反射トラッキングが決定される。各直接対と間接対に関する誤差アダプタＸ及び誤差アダプタＹについての方向性と信号源整合と反射トラッキングを計算するために同じプロセスが続く。Ｘ誤差アダプタは、第１の試験チャンネル受信器１１１へ接続可能な計測ポート１０３に直列に現れるエラーアーティファクトとして規定される。同様に、Ｙ誤差アダプタは、第２の試験チャンネル受信器１１２へ接続可能な計測ポート１０３に直列に現れるエラーアーティファクトとして規定される。
【００９５】
特定の４ポート実施形態では、計測ポート１０３１，１０３３に関して本明細書に説明した計測と計算は、計測ポート１０３１に関連する誤差アダプタＸに関する方向性と信号源整合と反射トラッキングと、計測ポート１０３３に関連する誤差アダプタＹに関する方向性と信号源整合と反射トラッキングをもたらす。計測ポート１０３１，１０３３に関してここに説明したのと同じ計測と計算を、第２の直接対について実行し（信号源終端計測値を間接対について取得する場合には全ての間接対についても実行する）。信号源終端計測値を間接対について取得しない場合は、方向性と信号源整合と反射トラッキングは米国特許出願第０９／９５４，９６２号（本明細書では、９６２号特許出願と呼ぶ）の教示に従って決定される（この出願の教示内容を参照により本明細書に組み込む）。いくつかのの複数ポート実施形態では、各直接対と間接対ごとに同じ計測と計算をなして、第１の試験チャンネル受信器１１１に接続可能な直接対又は間接対の計測ポートに関連する誤差アダプタＸに関する方向性と信号源整合と反射トラッキングと、第２の試験チャンネル受信器１１２に接続可能な直接対又は間接対の計測ポートに関連する誤差アダプタＹに関する方向性と信号源整合と反射トラッキングを得る。従って、ＮポートＤＵＴ１００は、それに関連するＮ（Ｎ−１）／２個の異なるＸ及びＹ誤差アダプタを有する。別の複数ポート実施形態では、開示された計測を方向性と信号源整合と反射トラッキングを計算すべく全ての直流対について行い、間接対に関する誤差項は９６２号特許出願に従って計算する。
【００９６】
第１の直接対の特定の例ではＡｆ１３＿ｔｅｒｍｔｈｒｕとＢｆ１３＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ，とＲ１ｆ１３＿ｔｅｒｍｔｈｒｕの配列である局部終端直通路６０１について行った順方向の反射及び伝送計測を用いることで、第２の試験チャンネル受信器１１２へ接続可能な計測ポートに現われる負荷整合誤差係数と第１の直接対に関する順方向伝送トラッキング誤差係数について解くことが可能である。計測ポート１０３３に関する負荷整合ΓＬ３と第１の直接対τ１３に関する順方向伝送トラッキングは、以下のように与えられる。
【００９７】
【数３７】
2005055438.tif 000039
及び、
【数３８】
2005055438.tif 000040
【００９８】
第１の直接対の特定の例ではＡｒ１３＿ｔｅｒｍｔｈｒｕとＢｒ１３＿ｔｅｒｍｔｈｒｕとＲ２ｆ１３＿ｔｅｒｍｔｈｒｕの配列である局部終端直通路６０１について行った逆方向の反射及び伝送計測を用いることで、第１の試験チャンネル受信器１１１へ接続可能な計測ポートに現われる負荷整合誤差係数と第１の直接対に関する逆方向伝送トラッキング誤差係数について解くことが可能である。計測ポート１０３１に関する負荷整合ΓＬ１と逆方向伝送トラッキング係数τ３１は、以下のように与えられる。
【００９９】
【数３９】
2005055438.tif 000041
及び、
【数４０】
2005055438.tif 000042
【０１００】
特定の例示的な実施形態では、第２の直接対に関する局部終端直通路６０１についての計測値を用い、第１の直接対について記述した式（３６）〜（３９）に示すのと同じアルゴリズム的公式化を第２の直接対の計測ポートに適用する。したがって、直接対と間接対内の各計測ポートに関する順方向及び逆方向の方向性と信号源整合と反射トラッキングと負荷整合誤差係数と、全ての直接対及び間接対に関する順方向及び逆方向伝送トラッキング誤差係数が決定される。
【０１０１】
本発明の教示による方法の複数ポート実施形態では、全ての直接対の各計測ポートについて、順方向及び逆方向の方向性と、順方向及び逆方向の信号源整合と、順方向及び逆方向の反射トラッキングと、順方向及び逆方向の負荷整合と、順方向及び逆方向の伝送トラッキング誤差係数を、同様に決定する。
【０１０２】
方向性と信号源整合と反射トラッキングは完全に決定することが可能であるため、高反射路較正基準３０１の特性もまた計算することができる。式（２５）又は（２６）を用い、Γａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘまたはΓａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｙについて解くことで、下記が得られる。
【０１０３】
【数４１】
2005055438.tif 000043
又は、
【数４２】
2005055438.tif 000044
【０１０４】
周波数の関数としてのΓａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘの偏角（または独立変数または引数。ただし、前述した如く関数が＋／−１８０度点を通過する際には３６０度が追加される）を、式（３２）または（３３）内の二項多項式を用いた最小和二乗フィッティングアルゴリズムに適合（フィット）させる。適正な関数を記述する得られた二項多項式は、ｙ切片としてのＡ０＿Γａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘと、傾斜（勾配）としてのＡ１＿Γａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘを含む。Ａ０＿Γａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘが１８０度に最も近い値を有する場合には、高反射路較正基準３０１は短絡回路反射係数を有する。Ａ０＿Γａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘが０度に最も近い値を有する場合には、高反射路較正基準３０１は開回路反射係数を有する。したがって、計測された高反射路較正基準のタイプを最小和二乗フィッティング計算から導き出すことができる。しかしながら、直通路６０１の電気長が未知である場合、追加補正用に高反射路較正基準３０１の位相オフセットを知る必要がある。直通路の電気長が既知である場合は、高反射路３０１のタイプを決定し、反射路３０１の位相オフセットを計算することが可能である。
【０１０５】
近傍対の順方向と逆方向の伝送トラッキング誤差係数は、τ１２，τ２１，τ３４，τ４３であり、これらは計測及び計算又は純粋な計算のいずれかにより決定されることができる。順方向及び逆方向の伝送トラッキング誤差係数の純粋な計算の方法は、米国特許出願第１０／０９８，０４０号に教示されており、その教示内容を参照により本明細書に組み込むものとする。
【０１０６】
代替形態として、図１１を参照するに、近傍対の両計測ポート１０３が第１の試験チャンネル受信器１１１に接続可能であるところの各近傍対に関する順方向伝送トラッキング誤差係数は、近傍対の計測ポート１０３間に直通路６０１を接続し、信号発生器１０５を近傍対の計測ポート１０３のうちの第１のポートに接続し、サンプリングアーム１１３を局部終端インピーダンス１１６にて終端することによって計測され計算される。ここでは、近傍対の第１の計測ポート１０３を「ポートＦ」と称する。近傍対の他の計測ポート１０３をここでは「ポートＧ」と称するが、それは、局部終端インピーダンス１０４にて終端されており、それぞれのサンプリングアーム１１３は第１の試験チャンネル受信器１１１に接続されている。ＶＮＡ２００は、基準信号に対する伝送応答の比ＡｆＦＧ＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ／Ｒ１ｆＦＧ＿ｔｅｒｍｔｈｒｕを計測して記憶する。この比は、以下のように伝送トラッキング誤差係数の式において用いられる。
【０１０７】
【数４３】
2005055438.tif 000045
【０１０８】
近傍対の両計測ポート１０３が第１の試験チャンネル受信器１１１に接続可能であるところの同じ近傍対、すなわちポートＦ及びＧに関する逆方向伝送トラッキング誤差係数は、近傍対の計測ポート１０３間に直通路６０１を接続したままにし、信号発生器１０５を近傍対の計測ポート１０３のうちの第２のポートに接続し、サンプリングアーム１１３を局部終端インピーダンス１１６にて終端することにより計測され計算される。近傍対の計測ポート１０３のうちの第１のポートは局部終端インピーダンス１０４にて終端されており、それぞれのサンプリングアーム１１３は第１の試験チャンネル受信器１１１に接続されている。ＶＮＡ２００は、基準信号に対する伝送応答の比ＡｒＦＧ＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ／Ｒ１ｒＦＧ＿ｔｅｒｍｔｈｒｕを計測して記憶する。この比は、以下のように伝送トラッキング誤差係数の式に用いられる。
【０１０９】
【数４４】
2005055438.tif 000046
【０１１０】
例示のために図１１を参照するに、計測ポート１０３１と１０３２からなる近傍対に関する順方向及び逆方向伝送トラッキング誤差係数を決定するための接続図が示されている。順方向伝送計測は、信号発生器１０５を第１の信号路１０７に接続することによってなされる。切り替え回路網１５０は、第１の信号路１０７を計測ポート１０３１に接続し、それぞれのサンプリングアーム１１３１を局部サンプリングアームインピーダンス１１６１にて終端するよう構成されている。切り替え回路網１５０はさらに、計測ポート１０３２を局部終端インピーダンス１０４２にて終端し、サンプリングアーム１１３２を第１の試験チャンネル受信器１１１に接続するよう構成されている。この信号発生器１０５は、所望の周波数範囲を規定する複数の周波数を通じて掃引し、比Ａｆ１２＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ／Ｒ１ｆ１２＿ｔｅｒｍｔｈｒｕを計測する。式（４０）を用い、近傍対に関する順方向伝送トラッキング誤差係数は、下記の如く計算される。
【０１１１】
【数４５】
2005055438.tif 000047
【０１１２】
近傍対と信号伝送スイッチ１０６構成の間の直通路６０１の接続は維持される。図１２を参照するに、切り替え回路網１５０は、計測ポート１０３２を第１の信号路１０７に接続し、それぞれのサンプリングアーム１１３２を局部サンプリング終端インピーダンス１１６２にて終端するよう再構成される。さらに、切り替え回路網１５０は、計測ポート１０３１を局部終端インピーダンス１０４１にて終端し、サンプリングアーム１１３１を第１の試験チャンネル受信器１１１に接続するよう構成される。信号発生器１０５は所望の周波数範囲を規定する複数の周波数全体を掃引し、比Ａｒ１２＿ｔｅｒｍｔｈｒｕ／Ｒ１ｒ１２＿ｔｅｒｍｔｈｒｕを計測する。式（４１）を使用して、近傍対に関する逆方向伝送トラッキング誤差係数は次の如く計算される。
【０１１３】
【数４６】
2005055438.tif 000048
【０１１４】
例示的な実施形態では、計測ポート１０３３と１０３４から構成される近傍対である残りの近傍対について同じ計測と計算プロセスが反復される。当業者には言うまでもないことであるが、第２の試験チャンネル受信器１１２に接続可能な近傍対に関する計測は同じプロセスを用いて実施されるが、計測デバイスとして第２の試験チャンネル受信器１１２と第２の基準チャンネル２０２を用いる。複数ポートの実施形態では、計測及び計算プロセスは全ての近傍対について反復される。
【０１１５】
計測ポートの各直接対と間接対と近傍対について１０個の誤差係数全てが既知になると、ＤＵＴを挿入してＶＮＡにより計測する。挿入したＤＵＴの各直接対と間接対に関する得られた被計測Ｓパラメータは、５１１号特許に従って補正され、ＤＵＴに関する実際のＳパラメータ、すなわち各直接対と間接対に関するＳａｃｔ１１，Ｓａｃｔ２２，Ｓａｃｔ１２，Ｓａｃｔ２１が導かれる。米国特許出願第０９／９５４，９６２号（ここでは、９６２号特許出願と呼ぶ）は、それぞれが一つの直接対又は間接対を表わす実際のＳパラメータ行列である複数の実Ｓパラメータ行列を受容するためのプロセスを教示している（尚、この出願の教示内容を参照により本明細書に組み込む）。単一の複数ポートＤＵＴを表わすのに、複数の直接対と間接対が用いられる。９６２号特許出願の教示に従い、結合されて複数ポートＤＵＴを表わす２ポートデバイスに関する複数の実際のＳパラメータを、複数ポート試験機により被計測ポートに現れるインピーダンスに対して正規化する。複数のＳパラメータ行列はより大きな正規化された単一のＳパラメータ行列に結合され、全体としてＤＵＴを表わす補正され正規化されたＳパラメータを表わす。より大きなＳパラメータ行列をさらに特性インピーダンス、例えば５０オームに対して正規化する。以後、ＤＵＴに関する計測され、補正され、正規化されたＳパラメータ行列を行列Ｓと呼ぶ。
【０１１６】
較正プロセスが非零直通路較正基準６０１と恐らくはオフセットされた高反射路較正基準を用いるため、「シフトされた較正基準面」と呼ぶ直通路較正基準６０１に基づく基準面を、非零直通路較正基準６０１の任意の遅延の電気長と高反射路較正基準３０１の任意のオフセットの総計を表わす電気長の中心に配置する。オンウェーハ計測では、零オフセット高反射路較正基準と未知の非零直通路較正基準を有するのが一般的である。同軸計測用に、零遅延直通路とオフセットされた高反射路を用いて較正することが可能である。本願明細書の教示は、双方の状況、及び、具体的には言及していない直通路較正基準と高反射路較正基準の他の組み合わせに対処する。図６は、シフトされた較正基準面７０１の配置を示す。しかしながら、ＤＵＴの計測のための適正な基準面は、「ＤＵＴ基準面」と呼ぶＤＵＴに接続される各計測ポートに配置された基準面である。ポート１に関するＤＵＴ基準面が、図６に７０２として示されている。各計測ポート１０３は、それぞれ同様に配置されたＤＵＴ基準面を有する。全ての計測値についてＤＵＴ基準面を確立すべく、各直接及び間接対に関するＳパラメータを位相シフトさせる。Ｓパラメータに必要な位相シフト量は、非零直通路較正基準の電気長の決定値から計算される。基準面の誤配置は、直通路６０１とオフセットされた高反射路較正基準３０１を組み合わせた電気長を決定し、それに従って個々の計測され補正されたＳパラメータを調整することにより補正することができる。
【０１１７】
直通路６０１の電気長が未知であり、高反射路３０１のオフセットが既知である場合、各直接対と間接対の間の非零直通路６０１の電気長を決定することができる。対象になる直接対と間接対に関する計測ポートの一例（式（４０）及び関連する記載を参照）として、被計測反射路パラメータΓａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘの最小和二乗フィッティング（式（３２）及び関連する記載を参照）から始める。関数の勾配Ａ１＿Γａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘは、高反射路較正基準３０１の偏角（または独立変数または引数）の微分を表わす。偏角（または独立変数または引数）の微分値は、周波数の関数として、周波数における対応する変化に関する位相の変化、すなわちｄθ／ｄｆを規定する。高反射路較正基準オフセットに帰すことのできない、高反射路較正基準３０１を接続したときに計測される周波数の関数としての任意の位相遅延は、非零直通路６０１を用いた較正プロセスの結果として計測値に導入される位相遅延に帰すことができる。非零直通路の電気長が既知である場合には、直通路較正基準６０１に帰すことのできない任意の位相遅延を高反射路較正基準３０１のオフセットに帰すことができる。したがって、非零直通路６０１及び／又はオフセットされた反射路較正基準に帰すことのできるこの位相遅延は、電気長が既知であるときに最終のＤＵＴ計測値から除外することができる。零オフセット高反射路基準の場合には、周波数の関数としての高反射路基準３０１の位相シフトは非零直通路６０１により導入される負の位相シフトに等しい。秒単位のＴで表わされる非零直通路の電気的遅延と高反射路較正基準のオフセットの総計は、次のように規定される。
【０１１８】
【数４７】
2005055438.tif 000049
【０１１９】
従って、電気的遅延Ｔは周波数の関数として、以下のように表わされる。
【０１２０】
【数４８】
2005055438.tif 000050
【０１２１】
センチメートル単位での電気長ｌは、周波数の関数として電気的遅延から計算される。ここで、ｃは２．９９７９３×１０１０すなわちｃｍ／ｓの単位の光速に等しい。ここで、
【０１２２】
【数４９】
2005055438.tif 000051
である。
【０１２３】
非零直通路６０１及び／又はオフセットされた高反射路からの総計オフセットの電気長ｌを決定するプロセスは、直接対と間接対のそれぞれについて反復される。電気長は、間接対と近傍対について計算または計測することができる。オンウェーハ計測の場合における実用的な事項として、たとえ同一のオンウェーハ較正基準を用いる場合でも、各直接対と間接対ごとに異なる触針がなされる。各直接対と間接対に関する直通路較正計測が異なる触針を有するため、直通路較正基準の電気長は各直接対及び間接対ごとに異なるであろう。従って、異なる電気長が各直接対と間接対と近傍対について維持される。
【０１２４】
多くの場合、近傍対間の直通路６０１は、差動プローブと共に使用するための市販のオンウェーハ用のものではない。従って、近傍対に関するオンウェーハ直通路６０１の電気長は、純粋に実用的な理由から計測するのではなく計算される。差動プローブと共に用いるオンウェーハ直通路較正基準がもしも利用可能になるのであれば、近傍対間の電気長を計測し、それを計測ポートの直接対と間接対について計算することになるであろう。そのときまでは、電気長は共通に近傍対計測ポートを有する直接対と間接対の平均から計算される。
【０１２５】
直通路６０１を近傍対間で計測することができる実施形態、例えば同軸計測では、近傍対間の直通路６０１の電気長を直接対と間接対について前述した如く計測し計算することができる。
【０１２６】
近傍対間の直通路６０１を計測することが不可能かまたは実用的でない実施形態では、直通路較正基準６０１の電気長は直接対と間接対について計測される。次に、一つのポートだけを共通に有する直接対と間接対の平均値から、各近傍対の電気長を計算する。一例として、ポート３とポート４間の直通路６０１の電気長はポート１とポート３間、及び、ポート１とポート４間の直通路較正基準の電気長の平均である。
【０１２７】
ここでは、電気長は、二つのポートを表わす添え字の付いた「ｌ」として表わすものとする。したがって、計測ポート１０３１と１０３３間の電気長は「ｌ１３」として表わされる。例示した４ポートＤＵＴでは、電気長は全ての直通路較正基準について決定され、直接対と間接対の間で計測される直通路６０１に関するｌ１３，ｌ２４，ｌ１４，ｌ２３の電気長が得られる。残りの二つの近傍対の電気長の計算によって、ｌ１２，ｌ３４が得られる。
【０１２８】
直接対と間接対の電気長をもたらす適切な計算をなすために、信号源終端直通路について得られた計測値を用いる。具体的には、計測ポート１０３１と１０３３の間で計測した直通路６０１について、計測値配列Ａｆ１３＿ｔｈｒｕ，Ｒ１ｆ１３＿ｔｈｒｕ，Ｂｆ１３＿ｔｈｒｕ，Ｒ２ｆ１３＿ｔｈｒｕ，Ａｒ１３＿ｔｈｒｕ，Ｒ１ｒ１３＿ｔｈｒｕ，Ｂｒ１３＿ｔｈｒｕ，Ｒ２ｒ１３＿ｔｈｒｕを用い、第１の直接対に関するΓａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘ項を計算する。Γａｃｔ＿ｒｅｆｌｅｃｔ＿ｘは、式（３２）または（３３）からＡ１Γ＿ａｃｔ＿ｒｅｆ１ｅｃｔ＿ｘ項を得て、式（４１）〜（４３）からの電気長の決定を行なうために使用される。同様の計算を複数ポート構成の全ての直接対と間接対について行い、直通路較正基準６０１とオフセットされた反射路の各組み合わせの電気長を決定する。
【０１２９】
行列Ｓの要素は、較正プロセスにおいて用いられた特定の直通路６０１と高反射路３０１の被計測電気長に従って位相シフトされ、較正基準面の誤配置が補正される。例えば、４ポートＤＵＴの実施形態では、電気長ｌ１３は、パラメータＳ１１，Ｓ１３，Ｓ３１，Ｓ３３の補正に用いられる。同様に、電気長ｌ２４は、パラメータＳ２２，Ｓ２４，Ｓ４２，Ｓ４４の補正に用いられ、電気長ｌ１４は、パラメータＳ１４，Ｓ４１の補正に用いられ、電気長ｌ２３は、パラメータＳ２３，Ｓ３２の補正に用いられ、電気長ｌ１２は、パラメータＳ１２，Ｓ２１の補正に用いられ、電気長ｌ３４はパラメータＳ３４，Ｓ４３の補正に用いられる。全ての計測ポート１０３に同一の高反射路較正基準３０１を用いることを想定している。
【０１３０】
現在の好適な方法では、得られた、計測され補正され正規化されたＳパラメータを各周波数ごとに調整する。非回転Ｓパラメータは、一般的な複素パラメータで表わした場合は、
【０１３１】
【数５０】
2005055438.tif 000052
であり、ここで、θｏは補正された非回転Ｓパラメータの位相である。このθ項は計測されたＤＵＴに帰すことのできる計測された位相の成分θｄｕｔ及びシフトされた基準面に帰すことのできる計測された位相の成分δθとして表わすことができ、ここで、
【０１３２】
【数５１】
2005055438.tif 000053
である。次に、センチメートル単位の長さｌを用いて、ＧＨｚ単位の周波数ｆの関数として非零直通路較正基準６０１と高反射路基準に帰すことのできる位相シフトを計算する。ここで、
【０１３３】
【数５２】
2005055438.tif 000054
である。ここで、δθは、基準面のシフトに帰すことのできる位相回転を表わす各電気長ごとに周波数の関数として決定される。電気長、したがって、各２ポートの組み合わせについての周波数の関数として高反射路基準内の任意のオフセットを加えた非零直通路較正基準の電気的遅延の和に帰すことのできる位相シフトが式（４９）から分かると、補正された非回転Ｓパラメータを各Ｓパラメータごとに基準面の周波数の関数として調整することができる。
【０１３４】
したがって、位相補正されたＳパラメータが周波数の関数として計算され、
【０１３５】
【数５３】
2005055438.tif 000055
が得られる。Ｓｄｕｔ行列内の得られたＳパラメータは、計測されたＤＵＴに関する計測され補正され正規化されたＳパラメータを表わす。ここで、計測基準面はＤＵＴ計測基準面７０２に正確に配置されている。
【０１３６】
ＴＲＬ較正プロセスに関する電気長計算の代替実施形態では、高反射路３０１と線路４０１とオプションである整合負荷と信号源終端直通路６０１較正基準の順方向及び逆方向の計測値を直接対用に取得する。直通路６０１に任意の（または全ての）オフセットされた高反射路３０１を加えたものの電気長だけでなく、方向性と反射トラッキングと信号源整合もまた、計測ポート１０３の直接対について計測され計算される。次に、局部的に終端された（局部終端）直通路較正基準６０１の順方向及び逆方向計測値を計測ポートの直接対と間接対について取得し、本明細書の教示にしたがって計算する。代替的には、直接対だけを計測し、伝送トラッキングと負荷整合を、０４０号特許出願の教示から間接対及び近似対について計算することもできる。オプションとして、局部終端直通路６０１の順方向及び逆方向計測値を、本願明細書の教示に従って伝送トラッキングと負荷整合の計算のために取得することができる。ＤＵＴのＳパラメータを計測し、本願明細書の教示に従って補正し正規化する。誤差項から、直通路に任意の（または全ての）オフセットされた高反射路を加えたものの電気長を、間接対及び近似対について以下の如く計算することができる。ここで「ｎ」は第１ポートであり、「ｍ」は第２ポートである。次の関係から始めよう。
【０１３７】
【数５４】
2005055438.tif 000056
【０１３８】
ここで、ΓＳＭ＿ｐｏｒｔｎは、ポート「ｎ」について計測された信号源整合であり、ΓＳＡ＿ｐｏｒｔｎは、ポート「ｎ」に関する実際の信号源整合であり、ＥＤＦｐｏｒｔｎ，ＥＲＦｐｏｒｔｎ，ＥＳＦｐｏｒｔｎはポート「ｎ」について計算した誤差係数である。ΓＳＡ＿ｐｏｒｔｎは、以下のように表される。
【０１３９】
【数５５】
2005055438.tif 000057
【０１４０】
ここで、ΓＬＡ＿ｐｏｒｔｍはポート「ｍ」に関する実際の負荷整合であり、Ｓ１１＿ｔｈｒｕ＿ｎｍ，Ｓ２１＿ｔｈｒｕ＿ｎｍＳ１２＿ｔｈｒｕ＿ｎｍ，Ｓ２２＿ｔｈｒｕ＿ｎｍは、信号源終端直通路較正基準６０１の計測されたＳパラメータである。直通路較正基準６０１が完全な整合を有するものとして規定されるため、式（５１）は以下のように簡略化される。
【０１４１】
【数５６】
2005055438.tif 000058
【０１４２】
及び、
【０１４３】
【数５７】
2005055438.tif 000059
【０１４４】
Ｓ２１＿ｔｈｒｕ＿ｎｍ＝Ｓ１２＿ｔｈｒｕ＿ｎｍであるから、二つの可能な解が存在する。Ｓ２１＿ｔｈｒｕ＿ｎｍの平方根の偏角（または独立変数）を最小和二乗フィッティング及び式（３２）又は（３３）を用いて直線線路にフィッティングさせる（当てはめる）ことで、零に最も近いｙ切片をもった解が正しい解となり、得られた正しい解の偏角は二つの近傍対計測ポート間の電気的遅延長となる。この長さは、式（４６）〜（４９）及び関連する記載に従ってシフトされた基準面の補正に用いられる。
【０１４５】
図１３乃至図１７には、本教示による方法の一実施形態のフローチャートが示されている。この方法では、計測ポート１０３の直接対及び間接対についての計測値を高反射路較正基準３０１と線路較正基準４０１と信号源終端直通路較正基準６０１と局部終端直通路較正基準６０１について取得する。局部終端直通路較正基準６０１の計測値は、計測ポート１０３の各近傍対ごとに取得される。高反射路較正基準３０１は、計測ポート１０３に接続され（２２０１）、切り替え回路網１５０は、刺激に対する反射応答の比のＶＮＡ２００による計測（２２０２）のために構成される。図２を参照されたい。この比は、所望の周波数範囲内の複数の周波数についての反射比に関する値をもたらす。その数をデータ配列内に記憶する。この場合、データ配列の各要素が単一周波数における計測された比を保持する。次に反射路較正基準３０１を切り離し、次の計測ポートへ再接続し（２２０３）、切り替え回路網１５０を再構成し、同様の計測を行ない、それぞれのデータ配列内に記憶する。このプロセスを、ＶＮＡ２００の各計測ポート１０３ごとに継続する。好適な実施形態では、全ての計測値を取得する所望の周波数範囲は同じである。この場合、データ配列内の各要素は所望の周波数範囲の同じ周波数点において計測された結果を表わす。
【０１４６】
図１３のフローチャートでは、信号源１０９における線路４０１の終端と、第１の直接対又は間接対との間の線路較正基準４０１の計測のために、切り替え回路網１５０を接続するステップと構成するステップ（２２０１）が続く。ＶＮＡ２００は、第１及び第２の基準チャンネル２０１，２０２だけでなく、第１及び第２の試験チャンネル受信器１１１，１１２の直接対又は間接対の計測ポート１０３における順方向反射及び伝送応答もまた計測する（２２０２）。切り替え回路網１５０は次に逆方向計測用に再構成され（２２０３）、ＶＮＡ２００は次に第１及び第２の基準チャンネル２０１，２０２だけでなく、第１及び第２の試験チャンネル受信器１１１，１１２の直接対の計測ポート１０３における逆方向反射及び伝送応答もまた計測する（２２０４）。フローチャートには、較正をより低い周波数範囲へ拡張するための図６に示した整合負荷５０１の接続及び計測については示されていない。線路４０１の較正基準の計測は、各直接対と間接対について実行される。
【０１４７】
図１４では、フローチャートは計測ポート１０３の第１の直接対に直通路６０１を接続するステップ（２４０１）で続行する。切り替え回路網１５０を、信号源１０９にて終端した直通路６０１の順方向計測のために構成し（２４０２）、順方向反射及び伝送応答及び基準チャンネル信号を計測してデータ配列内に記憶する。次に、切り替え回路網１５０を、信号源１０９にて終端された直通路６０１を用いて逆方向計測のために再構成（２４０３）し、逆方向反射、伝送応答及び基準チャンネル信号を計測してデータ配列内に記憶する。
【０１４８】
直通路６０１は接続されたままであり、切り替え回路網１５０を順方向計測用に再構成（２５０１）する。ここで、直通路６０１を切り替え回路網１５０内で局部インピーダンス１０４にて局所的に終端する。基準チャンネル信号だけでなく、局部終端直通路６０１の順方向反射及び伝送応答もまた計測し記憶する。次に、切り替え回路網１５０を局部終端直通路６０１の逆方向計測用に再構成し（２５０２）、逆方向反射及び伝送応答と基準チャンネル信号を計測し記憶する。このプロセスを、ＮポートＤＵＴに関する計測ポート１０３のＮ／２個の直接対とＮ（Ｎ−２）／４個の間接対の全てについて反復する（２５０３）。
【０１４９】
プロセスのこの時点で、較正プロセスに用いる計測ポート１０３の直接対と間接対間の直通路／オフセットされた反射路総計の電気長を計算するに十分な情報が存在する。しかしながら、プロセスの目的に合わせ、全ての計算は全ての計測値の取得後に行なわれる。
【０１５０】
図１５には、計測プロセスのオプション部分が示されている。ここでは、局部終端直通路較正基準６０１の順方向及び逆方向の計測値を計測ポート１０３の各近傍対間で取得する。ユーザは、直通路６０１を近傍対のうちの一つの間に接続する（２５０４）。次に、切り替え回路網１５０を局部終端直通路の順方向計測用に構成し（２５０５）、計測値を取得して保存する。次に、切り替え回路網１５０を局部終端直通路６０１の逆方向計測用に構成し（２５０６）、計測値を取得して保存する。このプロセスを、各Ｎ（Ｎ−２）／４個の近傍対に対して反復する。
【０１５１】
図１６のフローチャートでは、直流における境界条件に基いて順方向反射トラッキング誤差係数１９０３を計算し（２７０５）、順方向反射トラッキング誤差係数の結果を用いて、順方向信号源整合１９０２及び順方向方向性１９０１誤差係数を計算するステップ（２７０６）が続く。逆方向反射トラッキング誤差係数１９２０もまた、直流における境界条件に基き計算される（２７０７）。逆方向反射トラッキング誤差係数１９０６の結果を用いて、逆方向方向性１９０４と逆方向信号源整合１９０５を決定する（２７０８）。次に、この方法は、順方向及び逆方向負荷整合と順方向及び逆方向伝送トラッキング誤差係数を決定し（２７０９）、ＴＲＬ較正に基き１０個の誤差項を導く。１０個の誤差項全てを、複数の２ポート計測を介して増分する（２７１１）ループにおいて全ての直接対と間接対について決定する（２７１０）。
【０１５２】
図１７では、このプロセスは、フローチャート上の代替経路として示したオプションのプロセス経路で続行される。一実施形態では、各近傍対ごとの順方向及び逆方向の伝送トラッキング誤差係数を、０４０号特許出願の教示に従って計算（２８０３）する。代替実施形態では、局部終端直通路６０１を計測ポート１０３の各近傍対間で計測（２８０４）した場合、得られた計測値から各近傍対の順方向及び逆方向の伝送トラッキング係数を決定する（２８０５）。伝送トラッキング誤差係数を計測ポート１０３の各近傍対ごとに決定すると、プロセスは、較正プロセスに用いる高反射路較正基準３０１のタイプを決定するステップ（２８０１）と、各直接対と間接対の間の較正プロセスにおいて使用される各直通路較正基準６０１の電気長を計算するステップ（２８０２）で続行する。次に、電気長を、通常、単一の共通計測ポートを有する直接対と間接対の間の電気長の平均に基いて各近傍対について計算（２８０６）する。近傍対間の信号源終端直通路６０１を計測することが実用的である場合には、電気長を直接対用として計算することができる。
【０１５３】
次に、図１８を参照する。全ての系統誤差係数が決定されると、ＤＵＴ１０１を計測のために挿入し、ＮポートＤＵＴを表わすためにＮ（Ｎ−１）／２個の２ポートＳパラメータ行列を生成する（２９０２）。次に、計測されたＤＵＴデータを、５１１号特許の教示に従って補正（２９０３）する。５１１号特許に教示されているように、複数の２ポートデバイスを表わす補正されたＳパラメータ行列を組み合わせて、ＶＮＡの系統誤差について補正されるＮ×ＮのＳパラメータ行列を得る。次に、補正されたＳパラメータ行列を、特性インピーダンスに対して正規化する。
【０１５４】
各直通路６０１について決定されたそれぞれの電気長を用いて、基準面をシフトされた較正基準面６０１からＤＵＴ基準面７０２へ周波数の関数としてシフトさせることによって、計測されたＤＵＴのＮ×Ｎの補正され正規化されたＳパラメータをさらに補正する。基準面のシフト操作によりＮ×ＮのＳｆｉｎａｌ行列が生成されるが、これは、全ての補正を行った後のＤＵＴのみに関するＳパラメータを表わす。
【０１５５】
本教示によるプロセスのさらなる代替実施形態では、全ての計測ポートに関する反射路計測値を取得し、直接対についてのみ線路及び信号源終端直通路に関する計測値を取得する。プロセスのこの時点で、直接対間の直通路／オフセットに関する電気長を計算することが可能である。局部終端直通路６０１の追加の計測値を、計測ポート１０３の直接対と間接対について取得する。伝送トラッキング及び負荷整合係数は、終端された直通路の計測値から計算することができる。高反射路基準の特性を決定して、式（５０）〜（５３）に基づいて間接対に関する電気長を計算する。次に、近傍対に関する電気長を、共通ポートを有する直接及び間接対の平均に基いて計算することができる。全ての誤差係数と電気長を決定すると、ＤＵＴを計測し補正し正規化し、基準面をそれぞれの電気長に基いて適宜ＤＵＴ基準面に対してシフトさせる。
【０１５６】
本教示による方法は、ＤＵＴに関するＳパラメータ特性解明データだけでなく直通路・反射路・線路較正基準に関する計測されたＳパラメータ特性解明データに対してもアクセスするコンピュータにより実行することができる。ＶＮＡは計測を実行し、得られたデータ配列を取り外し可能な媒体に記憶させるか、または何らかの他の形式の記憶媒体へ記憶させるべく通信バスを介してコンピュータへ接続されることができる。本教示による方法は、一般にＶＮＡの一部である計算用プロセッサによって実行することもできる。具体的には、較正プロセスに用いる高反射路較正基準３０１のタイプを知る必要はなく、直通路較正基準６０１の電気長を知る必要はない。反射路較正基準の位相オフセットが既知の場合、本教示による方法は、製造業者のデータに頼ることなく、直通路較正基準６０１の電気長の計測と計算を行うことが可能である。直通路較正基準の電気長が既知である場合は、本教示による方法は反射路較正基準の位相オフセットを計算する。計算された電気長や位相オフセットは、製造業者により供給されるデータよりも正確であり、したがって、被計測データの補正に関するエラーアーティファクトのより正確な計算を提供する。このことは、再現可能な直通路較正基準を得るのが困難であるオンウェーハ計測値の較正時、及び、環境的な条件や繰り返し使用により若干変化してしまった可能性のある特性を有する較正基準の使用時に、特に有利である。加えて、本教示は、非零直通路を用いた較正が伝送基準面を反射路計測値とは異なる位置に配置することを認識している。本教示による方法及び装置は、再現不能な非零直通路の使用に起因する誤差を計算することができる。本教示による方法及び装置はまた、従来技術において補正済みのデータと見なされていたものに対してさらなる補正を施して、伝送計測基準面を反射計測基準面の位置と同じポイントに配置することができる。シフトされた計測基準面に対する追加の補正と組み合わせたより正確な直通路較正基準により、計測機器に試験対象デバイスを接続する接続環境にではなく試験対象デバイスのみに帰し得る周波数応答のより正確な計測値が得られる。
【０１５７】
本発明は、少なくとも２つの計測ポート103を有し、高反射路較正基準301、線路較正基準401、信号源終端直通路較正基準601、及び、局所的に終端された直通路較正基準601を各計測ポート103または計測ポート103の対に出力するベクトルネットワークアナライザ200を具備する方法及び装置に関する。順方向及び逆方向反射トラッキングは、反射トラッキング係数の偏角が直流で零であるような境界条件に基づいて計算される。DUT 101を測定し、その測定値を、誤差係数に基づいて系統誤差について補正する。
【図面の簡単な説明】
【０１５８】
【図１】試験対象デバイス（「ＤＵＴ」）の計測に用いるベクトル回路網分析器（「ＶＮＡ」）、切り替え回路網及び信号分離装置を示す。
【図２】反射路較正基準が接続されたＶＮＡを示す。
【図３】線路較正基準が接続されたＶＮＡと順方向計測用の切り替え回路網構成を示す。
【図４】線路較正基準が接続されたＶＮＡと逆方向計測用の切り替え回路網構成を示す。
【図５】整合負荷較正基準が接続されたＶＮＡを示す。
【図６】信号源終端直通路較正基準が接続されたＶＮＡと、順方向計測用の切り替え回路網構成を示す。
【図７】信号源終端直通路較正基準が接続されたＶＮＡと、逆方向計測用の切り替え回路網構成を示す。
【図８】局部終端直通路較正基準が接続されたＶＮＡと、順方向計測用の切り替え回路網構成を示す。
【図９】局部終端直通路較正基準が接続されたＶＮＡと、逆方向計測用の切り替え回路網構成を示す。
【図１０】本教示による方法において決定される誤差係数の一部に関するフロー図である。
【図１１】計測ポートの近傍対のうちの一つの対の間に接続された局部終端直通路較正基準と順方向計測用の切り替え回路網構成とを用いたオプションのＶＮＡ計測を示す。
【図１２】計測ポートの近傍対のうちの一つの対の間に接続された局部終端直通路較正基準と逆方向計測用の切り替え回路網構成を用いたオプションのＶＮＡ計測を示す。
【図１３】本教示による計測されたＤＵＴのＳパラメータを較正し補正する方法のフローチャートである。
【図１４】本教示による計測されたＤＵＴのＳパラメータを較正し補正する方法のフローチャートである。
【図１５】本教示による計測されたＤＵＴのＳパラメータを較正し補正する方法のフローチャートである。
【図１６】本教示による計測されたＤＵＴのＳパラメータを較正し補正する方法のフローチャートである。
【図１７】本教示による計測されたＤＵＴのＳパラメータを較正し補正する方法のフローチャートである。
【図１８】本教示による計測されたＤＵＴのＳパラメータを較正し補正する方法のフローチャートである。
【符号の説明】
【０１５９】
１０１  ＤＵＴ
１０３  計測ポート
１０５  信号発生器
１０６  信号伝送スイッチ
１５０  切り替え回路網
２００  ベクトル回路網分析器（ＶＮＡ）
４０１  線路較正基準
６０１  直通路較正基準
７０１  シフトされた基準面
７０２  ＤＵＴ基準面
【図１】
2005055438.tif 000060
【図２】
2005055438.tif 000061
【図３】
2005055438.tif 000062
【図４】
2005055438.tif 000063
【図５】
2005055438.tif 000064
【図６】
2005055438.tif 000065
【図７】
2005055438.tif 000066
【図８】
2005055438.tif 000067
【図９】
2005055438.tif 000068
【図１０】
2005055438.tif 000069
【図１１】
2005055438.tif 000070
【図１２】
2005055438.tif 000071
【図１３】
2005055438.tif 000072
【図１４】
2005055438.tif 000073
【図１５】
2005055438.tif 000074
【図１６】
2005055438.tif 000075
【図１７】
2005055438.tif 000076
【図１８】
2005055438.tif 000077