(57)【要約】【課題】従来技術と比較してオゾン供給装置の稼動効率および窒素酸化物の処理効率が向上した窒素酸化物処理装置を提供することを課題とするものである。【解決手段】ＮＯを含む被処理ガスは、受感部１２を経由してオゾン処理装置５に供給され、その間に被処理ガス中のＮＯとそれ以外のＮＯｘの各濃度がＮＯ濃度測定装置１により測定され、オゾン量制御装置４ではＮＯ濃度測定装置１からの入力に従って被処理ガス中のＮＯをＮＯ２などに酸化するために必要なオゾン量が算出され、その結果がオゾン供給装置３に入力される。オゾン供給装置３から供給されたオゾンにより酸化処理された被処理ガスは、吸着装置６においてＮＯ２などが吸着され、ＮＯ２などを吸着した吸着剤は脱着装置７において脱着され、脱着ガスは気液接触装置８において水などで溶解除去される。【選択図】        図１
2005013807.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
窒素酸化物を含む被処理ガス中の一酸化窒素の濃度を測定するＮＯ濃度測定装置、上記被処理ガスをオゾンにより酸化処理するオゾン処理装置、上記オゾン処理装置にオゾンを供給するオゾン供給装置、上記ＮＯ濃度測定装置により測定された一酸化窒素の濃度に応じて上記オゾン処理装置に供給するオゾン量を制御するオゾン量制御装置、上記オゾン処理装置により処理された上記被処理ガスを吸着剤により吸着処理する吸着装置、吸着処理した上記吸着剤を脱着処理する脱着装置、および上記脱着装置により脱着した脱着ガスを、二酸化窒素を溶解し得るＮＯｘ溶媒と接触させて上記脱着ガス中の窒素酸化物を溶解除去する気液接触装置を備えたことを特徴とする窒素酸化物処理装置。
【請求項２】
上記ＮＯ濃度測定装置は、上記被処理ガス中の一酸化窒素以外の窒素酸化物の濃度を測定可能なものを含み、上記オゾン供給装置は上記気液接触装置にもオゾンを供給可能であることを特徴とする請求項１記載の窒素酸化物処理装置。
【請求項３】
上記ＮＯｘ溶媒は、水、または無機塩の水溶液であることを特徴とする請求項１または請求項２記載の窒素酸化物処理装置。
【請求項４】
上記脱着装置は、上記吸着剤を７０〜５００℃程度の温度で脱着処理可能であることを特徴とする請求項１記載の窒素酸化物処理装置。
【請求項５】
上記脱着装置により脱着した脱着ガスを冷却する冷却装置を備えたことを特徴とする請求項１または請求項４記載の窒素酸化物処理装置。
【請求項６】
上記冷却装置は、上記気液接触装置の上手に設置されたことを特徴とする請求項５記載の窒素酸化物処理装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、窒素酸化物処理装置に関し、特に自動車、発電所、ボイラー、焼却炉などから排出される窒素酸化物を含むガスを浄化して環境中に戻すことに好適な窒素酸化物処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
窒素酸化物を含むガスから窒素酸化物を除去する技術として、例えば窒素酸化物を含むガス流を窒素酸化物吸着装置に供給し、これにより前記吸着装置に吸着させ、オゾン／酸素を含有するガス流を前記吸着装置に供給して窒素酸化物をオゾンにて酸化し、それを水スクラバーで吸収除去する方法は、特許文献１から公知である。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−１１９８２８号公報（請求項１、段落番号０００５、図１）
【０００４】
ところで多くの工業用プラント、例えば酸処理プラントなどから排出されるガス中の窒素酸化物としては、一般的に通常の吸着剤では吸着され難い一酸化窒素（ＮＯ）が多く、前記吸着剤では吸着され易い二酸化窒素（ＮＯ２）が少ない問題がある。前記特許文献１では、吸着工程後の脱着工程においてオゾンまたは酸素をパージガスとして使用しているので、含有量の多い一酸化窒素は吸着工程において殆ど吸着されずに系外に排出され、その結果、窒素酸化物の処理効率が低下する問題があった。さらに前記脱着工程後の酸化処理により生じたＮＯ２は、前記水スクラバーで吸収除去する際に、下記の反応式（１）にしたがって水と反応してその一部は不活性なＮＯに戻ってしまって、かかる面からも窒素酸化物の処理効率が低下する問題があった。
３ＮＯ２＋Ｈ２Ｏ→ＮＯ＋２ＨＮＯ３・・・・・・（１）
【０００５】
また、多くの工業用プラント、例えば酸処理プラントなどから排出されるガス中の窒素酸化物の濃度は、一般的に経時的な変動が大きく、例えば１時間の間に数十ｐｐｍから数万ｐｐｍにわたる濃度変動が屡々生じる。従来技術では、かかる窒素酸化物濃度の変動に対処するために、ＮＯをＮＯ２などに酸化する際に常に過大量のオゾンを用いてきたが、そのために大型のオゾン発生機並びに未反応の過剰オゾンを分解処理するための大型のオゾン分解装置を備える必要があるので、窒素酸化物処理装置が大型化し、コスト高となる問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、斯界における如上の問題に鑑みて、従来技術と比較して小型でありながら窒素酸化物の処理効率が向上した窒素酸化物処理装置を提供することを課題とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の窒素酸化物処理装置は、窒素酸化物を含む被処理ガス中の一酸化窒素の濃度を測定するＮＯ濃度測定装置、上記被処理ガスをオゾンにより酸化処理するオゾン処理装置、上記オゾン処理装置にオゾンを供給するオゾン供給装置、上記ＮＯ濃度測定装置により測定された一酸化窒素の濃度に応じて上記オゾン処理装置に供給するオゾン量を制御するオゾン量制御装置、上記オゾン処理装置により処理された上記被処理ガスを吸着剤により吸着処理する吸着装置、吸着処理した上記吸着剤を脱着処理する脱着装置、および上記脱着装置により脱着した脱着ガスを、二酸化窒素を溶解し得るＮＯｘ溶媒と接触させて上記脱着ガス中の窒素酸化物を溶解除去する気液接触装置を備えたことを特徴とするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１〜図３は、本発明の窒素酸化物処理装置における実施の形態１を説明するものであって、図１は実施の形態１の窒素酸化物処理装置の概略フロー図であり、図２は後記のオゾン処理装置５におけるオゾン処理の効果を実証するための実験データを示すグラフであり、図３は被処理ガスのＮＯｘ濃度と硝酸濃度との関係を示すグラフである。
【０００９】
図１において、実施の形態１の窒素酸化物処理装置は、その主要部分として、ＮＯ濃度測定装置１、ダクト２ａ、ダクト２ｂ、オゾン供給装置３、オゾン量制御装置４、オゾン処理装置５、吸着装置６、脱着装置７、および気液接触装置８を備えている。なお図１における矢印は、被処理ガス、脱着ガス、処理済みガスなどのガスの流れ方向を示す。
【００１０】
ダクト２ａは、被処理ガスの導入口２１からオゾン処理装置５に至るダクト部分２２、およびオゾン処理装置５と吸着装置６を繋ぎ、吸着装置６の排気部となるダクト部分２３とを含む。ダクト２ｂは、脱着装置７から気液接触装置８に至るダクト部分２４、および気液接触装置８の排気部となるダクト部分２５とを含む。ダクト部分２５には、排気ファン２６が設置されている。オゾン供給装置３は、オゾン供給装置本体３１、ダクト部分２２内に設置されたオゾン注入口３２、オゾン供給装置本体３１とオゾン注入口３２とを接続するオゾン供給管路３３、気液接触装置８内に設置されたオゾン注入口３４、およびオゾン供給装置本体３１とオゾン注入口３４とを接続するオゾン供給管路３５とを備えている。
【００１１】
ＮＯ濃度測定装置１は、ＮＯ濃度測定装置本体１１とダクト部分２２内のオゾン注入口３２の手前に設置されて、窒素酸化物（ＮＯｘ）に対する受感部１２および受感部１２とＮＯ濃度測定装置本体１１とを繋ぐ信号線路１３を備えており、ＮＯ濃度測定装置本体１１は、受感部１２から線路１３を経由して入力される信号に基づいて被処理ガス中のＮＯの濃度とそれ以外の窒素酸化物の濃度とを区別して測定可能である。吸着装置６は、例えば吸着塔や吸着槽などであってよく、その内部に吸着剤を充填した吸着層６１、および吸着層６１の上部に設置されたオゾン分解層６２を備えている。脱着装置７は、例えば脱着塔や脱着槽などであってよく、その内部に脱着対象となるＮＯｘ吸着済みの吸着剤が収容された吸着剤収容部７１、および当該収容部７１の周囲に設置されたヒータ７２を備えている。
【００１２】
気液接触装置８は、ハウジング８１、脱着ガス収容室８２、フィルター室８３、フィルター外室８４、液溜め室８５、仕切壁８６、仕切壁８７、管路８８、および循環ポンプ８９を備えている。脱着ガス収容室８２は、ハウジング８１内の上部に設けられて、ダクト部分２４の一端が開口しており、脱着装置７から供給される脱着ガスがそこに収容される。仕切壁８６は、脱着ガス収容室８２と当該室８２の下部に設けられたフィルター室８３や当該室８３の外側のフィルター外室８４とを仕切るものであるが、但し、脱着ガス収容室８２とフィルター室８３の後記する中心空間部との間はガスの通過が可能な多孔板となっている。フィルター室８３は、内部に中心空間部を有する、軸に直交する方向の断面がドーナツ状のフィルター充填部を備えている。当該フィルター充填部は、通気性の内筒と通気性の外筒から構成されていて、当該両筒間に気液の接触面積を増大させるための充填材、例えばガラスウール、テトラポット状などの広表面積を有する小粒などが充填されている。仕切壁８７は、液溜め室８５とフィルター室８３やフィルター外室８４とを仕切るものであるが、但し、上記フィルター充填部を流下する液体の通過は可能となっている。
【００１３】
管路８８は、液溜め室８５と、フィルター室８３の上記フィルター充填部の上端近傍とを繋ぎ、当該上端近傍内に挿入された部分は、多数の小孔が設けられた散液部となっている。液溜め室８５には、ＮＯ２を溶解し得るＮＯｘ溶媒、例えば水、次亜塩素酸ナトリウムあるいはその他の無機塩類の水溶液などが溜められている。脱着ガス中には、被処理ガスに元から含まれている、あるいはＮＯがオゾンにより酸化された際に生じた、ＮＯ２並びにそれ以外の種々の窒素酸化物が含まれているが、上記のＮＯｘ溶媒は、ＮＯ２のみならずそれら種々の窒素酸化物を良好に溶解する。しかして液溜め室８５内のＮＯｘ溶媒は、脱着ガスに含まれているそれらを溶解して当該脱着ガスからそれらを除去する機能をなすものであって、循環ポンプ８９を稼動することにより、管路８８の上記散液部から散液され、上記フィルター充填部内を流下し、仕切壁８７を通過して液溜め室８５内に還流する。その間に、脱着ガス中の窒素酸化物は、ＮＯｘ溶媒に溶解して当該溶媒と共に液溜め室８５内に集められる。ＮＯｘ溶媒に溶解したＮＯ２などは、周囲に存在する酸素により酸化して硝酸や亜硝酸となるが、硝酸化を一層確実に進めるために、オゾン注入口３４から、液溜め室８５にオゾンあるいはオゾン化ガス（酸素の一部がオゾンに変化したオゾン含有酸素あるいはオゾン含有空気）がバブリングされる。
【００１４】
つぎに実施の形態１のガス処理装置の動作に就いて説明する。ＮＯを含む被処理ガスは、ダクト２の導入口２１から導入され、受感部１２およびオゾン注入口３２を順次経由してオゾン処理装置５に供給される。その間に、被処理ガス中のＮＯとそれ以外のＮＯｘの各濃度がＮＯ濃度測定装置１により測定され、その結果はオゾン量制御装置４に入力される。オゾン量制御装置４では、ＮＯ濃度測定装置１からの入力に従って被処理ガス中のＮＯを効果的にＮＯ２などに酸化するために必要なオゾン量が算出され、その結果がオゾン供給装置３に入力される。なおその際に、前記したように、ＮＯ２の一部は、被処理ガス中に含まれている水分（水蒸気）と前記反応式（１）にしたがって反応してＮＯに戻るので、かかる戻り反応の程度を可及的に抑制するために、オゾン処理装置５に供給されるオゾン量は、ＮＯ濃度測定装置１により測定されたＮＯの１モルに対して１．５〜２モル程度とすることが好ましく、かくするとＮＯを効率よくＮＯ２などに酸化することができる。
【００１５】
ダクト部分２２に導入された直後よりもＮＯ２などを高濃度で含む被処理ガスは、吸着装置６の吸着層６１においてＮＯ２およびその他のＮＯｘが吸着除去され、未分解のオゾンはオゾン分解層６２において分解され、かくして清浄化された被処理ガスはダクト部分２３から大気中に放出される。オゾン処理装置５に供給されるオゾン量を上記の量範囲とすることにより、またＮＯ濃度測定装置１により被処理ガス中のＮＯ濃度が測定されて上記オゾン量が決定可能となることにより、オゾン供給装置３の過稼動が防止され、且つ過剰オゾン量を少なくし得てオゾン分解層６２の稼動負担が軽減する。
【００１６】
図２は、オゾン処理装置５におけるオゾン処理の効果を実証するための実験データを示すグラフであって、縦軸は、導入口２１における被処理ガス中の全窒素酸化物の濃度（ＮＯｘｉｎ）に対するダクト部分２３の出口における被処理ガス中の全窒素酸化物の濃度（ＮＯｘｏｕｔ）の比であり、横軸は吸着装置６における吸着実験時間（ｈ）である。この実験では、導入口２１から特定の被処理ガスを一定流量でダクト２ａに供給してダクト部分２３から排出し続け、この供給開始の３０分後からオゾン処理装置５を稼動させて、当該特定被処理ガス中のＮＯの１モルに対してオゾンが１．５モルとなるようにオゾン化ガスが添加された。
【００１７】
図２から明らかなように、オゾン化ガスが添加されなかった間のＮＯｘｏｕｔ／ＮＯｘｉｎ比は、０．２前後であるが、オゾン化ガスが添加された直後からは、上記比は略ゼロとなっている。このことは、オゾン処理装置５の稼動前では当該特定被処理ガス中の、吸着困難なＮＯが吸着装置６を通過し排気されたのに対して、オゾン処理装置５の稼動中ではＮＯが吸着容易なＮＯ２などに酸化され吸着除去されたことによる。
【００１８】
本発明において、吸着層６１内に充填された吸着剤としては、ＮＯ２に対して良好な吸着能を示す限り特に制限はなく、斯界で公知あるいは周知の各種のものが採用可能である。例えば、γ−アルミナに白金を担持させた貴金属系吸着剤、活性炭素系吸着剤、塩化銅で活性化したゼオライトなどの親水性吸着剤類、ＳｉＯ２／Ａｌ２Ｏ３比（Ａｌ２Ｏ３１モルあたりのＳｉＯ２のモル数、以下Ｓ／Ａ比）が３〜３６０、特に４〜２００のゼオライト、就中、Ｎａ２Ｏあるいはその他の金属イオン含有物質がＨイオンで置換されることによって当該金属イオン含有物質の含有量が、１重量％以下、特に０．５重量％以下となっているような疎水性吸着剤類が例示される。このうち疎水性吸着剤類は、吸湿状態であってもＮＯ２およびそれ以外のＮＯｘに対して優れた吸着性能を有すると共に、後記するように水分とＮＯｘに対する脱着特性に顕著な差異があって、両者を個別に脱着させ易いので特に好ましい。
【００１９】
疎水性吸着剤類の市販品としては、東ソー社の商品名ゼオライト３６０ＨＵＤ１Ｃ（Ｓ／Ａ比：１５）、ゼオライト３９０ＨＵＤ３Ｃ（Ｓ／Ａ比：３６０）、ゼオライト３３１ＨＳＡ（Ｓ／Ａ比：６）、ゼオライト３３０ＨＵＡ（Ｓ／Ａ比：６）、ゼオライト３５０ＨＵＡ（Ｓ／Ａ比：１０）、ゼオライト３６０ＨＵＡ（Ｓ／Ａ比：１４）、ゼオライト３９０ＨＵＡ（Ｓ／Ａ比：４００）、米国ＵＯＰ社の商品名ＭＦＩ−４０（Ｓ／Ａ比：４０）などが例示される。
【００２０】
オゾン分解層６２は、活性炭（例えば、品川煉瓦社製の商品名；セカード）あるいはその他の斯界で公知あるいは周知の各種のオゾン分解剤にて構成することができる。
【００２１】
吸着層６１におけるＮＯｘの吸着量が飽和点に近づくにつれて吸着剤の吸着能が低下する。よって吸着剤の吸着能を良好に維持するために、例えば吸着装置６の出口におけるＮＯｘ濃度が同装置６の入り口におけるＮＯｘ濃度の１０％程度に達した時点で、吸着装置６内の吸着剤は脱着装置７の吸着剤収容部７１に移され、吸着装置６には新しい、あるいは脱着装置７で脱着処理された吸着剤が充填される。
【００２２】
脱着装置７の吸着剤収容部７１に収容された吸着剤は、ヒータ７２により加熱されて脱着処理される。その際に排気ファン２６が稼動されて、脱着装置７の底から流入した大気は、ダクト部分２４、気液接触装置８、およびダクト部分２５を順次経由して、外部に放出される。
【００２３】
吸着剤として前記したＨイオンが置換された疎水性ゼオライトが採用されている場合には、当該吸着剤は、１３０℃前後を境にしてそれより低温度側は専ら吸着水の脱着が生じ、それより高温度側では残留吸着水の脱着と共にＮＯ２およびそれ以外のＮＯｘの脱着が生じる。よって気液接触装置８の稼動効率を高めるために、先ず例えば７０〜１３０℃程度の加熱で吸着水を脱着せしめ、その後、例えば１３０〜５００℃程度の加熱にて残留吸着水の脱着とＮＯ２やＮＯｘの脱着を行うことが好ましい。したがって脱着装置７としては、７０〜５００℃での脱着が可能なものが好ましい。
【００２４】
脱着装置７からの脱着ガスは、ダクト部分２４を経て気液接触装置８の脱着ガス収容室８２内に収容され、そこからフィルター室８３に入って上記フィルター充填部内を降下する間に同フィルター充填部内を流下するＮＯｘ溶媒と接触し、当該脱着ガス中のＮＯ２やＮＯｘは、同溶媒に溶解して液溜め室８５内に集められる。それらが同溶媒に溶解除去された脱着ガス（主として大気）は、フィルター外室８４を経由してダクト部分２５から外部に放出される。
【００２５】
ＮＯｘ溶媒として水が用いられた場合には、ＮＯ２などは水に溶解した際に大気中や水などに含まれている酸素やオゾンにより酸化されて硝酸や亜硝酸を生成し、硝酸水溶液や亜硝酸水溶液などとして回収利用される。一方、上記無機塩類に一例としての次亜塩素酸ナトリウムの水溶液が用いられた場合には、硝酸ナトリウム水溶液や亜硝酸水溶液などして回収利用される。但し水や上記水溶液に溶解したＮＯ２は、前記反応式（１）に従がってその一部はＮＯに戻るので、実施の形態１では、この戻りを可及的に防止するために、また上記硝酸化を高度に進めるために、注入口３４からオゾン化ガスあるいはオゾンが液溜め室８５内のＮＯｘ溶媒中にバブリングされる。実施の形態１では、ＮＯ濃度測定装置１により、前記したように被処理ガス中のＮＯの濃度とそれ以外の窒素酸化物の濃度とを区別して測定され、またＮＯはＮＯ２などに酸化されるので、脱着装置７から気液接触装置８に供給される脱着ガス中のＮＯｘの量は、予めある程度正確に把握されているので、ＮＯｘ溶媒中にバブリングすべきオゾン量も過不足なく事前に算定されバブリングされる。かくすることにより過剰のオゾンを消費することなく、硝酸やその塩を効率よく回収可能となる。なお必要に応じて、気液接触装置８の入口に脱着ガス中のＮＯｘ濃度を測定する装置を設置してもよい。
【００２６】
図４は、２０℃、被処理ガスのＮＯ濃度が１００ｐｐｍの状態下において、当該被処理ガスにおけるＮＯｘ（ＮＯ２＋Ｎ２Ｏ４）の濃度（ｐｐｍ）、ＮＯ２の濃度（ｐｐｍ）、およびＮ２Ｏ４の濃度（ｐｐｍ）をパラメータとして、オゾン処理装置５から気液接触装置８に導入された当初の被処理ガス中の上記各窒素酸化物の濃度（ｐｐｍ）と、液溜め室８５内における硝酸水溶液の硝酸濃度（重量％）との平衡関係を示す。
【００２７】
実施の形態２．
図４は、本発明の窒素酸化物処理装置における実施の形態２の概略フロー図である。図４において、符号９は冷却装置を示し、しかして実施の形態２の窒素酸化物処理装置においては、脱着装置７と気液接触装置８とは、ダクト部分２４に設けられた冷却装置９を介して繋がれている。冷却装置９は、一種の熱交換器であって、ダクト部分２４に連通する冷却ハウジング９１とその内部を冷却するコイル状の冷却管９２とを備えている。脱着装置７から供給される脱着ガスは、冷却ハウジング９１内を通過中に冷却され、ついで気液接触装置８に至って脱着ガス中のＮＯｘは、前記実施の形態１の場合と略同様にしてＮＯｘ溶媒に溶解して除去される。なお、脱着装置７から供給される脱着ガスが冷却装置９で冷却された際に、当該脱着ガスに含まれている水蒸気は、凝縮して液化し、また含有ＮＯｘの多くが生成した水に溶解して硝酸水溶液や亜硝酸水溶液のミストが形成される。したがって、冷却装置９を設けることにより気液接触装置８のＮＯｘの溶解除去の機能が軽減されるので、実施の形態２における気液接触装置８は、前記実施の形態１でのそれに設けられた管路８８や循環ポンプ８９は不要であり、さらに場合によってはフィルター室８３も省略可能である。
【００２８】
【発明の効果】
本発明の窒素酸化物処理装置は、以上説明した通り、窒素酸化物を含む被処理ガス中の一酸化窒素の濃度を測定するＮＯ濃度測定装置、上記被処理ガスをオゾンにより酸化処理するオゾン処理装置、上記オゾン処理装置にオゾンを供給するオゾン供給装置、上記ＮＯ濃度測定装置により測定された一酸化窒素の濃度に応じて上記オゾン処理装置に供給するオゾン量を制御するオゾン量制御装置、上記オゾン処理装置により処理された上記被処理ガスを吸着剤により吸着処理する吸着装置、吸着処理した上記吸着剤を脱着処理する脱着装置、および上記脱着装置により脱着した脱着ガスを、二酸化窒素を溶解し得るＮＯｘ溶媒と接触させて上記脱着ガス中の窒素酸化物を溶解除去する気液接触装置を備えたことを特徴とするものであるので、被処理ガス中に含まれている一酸化窒素の量に応じて、オゾン供給装置にてそれを酸化するに必要なオゾン量を製造し、上記オゾン処理装置に供給することによりオゾン供給装置の稼動効率が向上し、且つ窒素酸化物の処理効率も向上する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１のガス処理装置の概略フロー図。
【図２】オゾン処理の効果を実証するための実験データを示すグラフ。
【図３】被処理ガスのＮＯｘ濃度と硝酸濃度との関係を示すグラフ。
【図４】実施の形態２の概略フロー図。
【符号の説明】
１  ＮＯ濃度測定装置１、１１  ＮＯ濃度測定装置本体、１２  受感部、
２ａ  ダクト、２１  導入口、２３  ダクト部分、２ｂ  ダクト、
２４  ダクト部分、２５  ダクト部分、２６  排気ファン、
３  オゾン供給装置、３１  オゾン供給装置本体、３２  オゾン注入口、
３３  オゾン供給管路、３４  オゾン注入口、３５  オゾン供給管路、
４  オゾン量制御装置、５  オゾン処理装置、６  吸着装置、６１  吸着層、
６２  オゾン分解層、７  脱着装置、７１  吸着剤収容部、７２  ヒータ、
８  気液接触装置、８１  ハウジング、８２  脱着ガス収容室、
８３  フィルター室、８４  フィルター外室、８５  液溜め室、８６  仕切壁、
８７  仕切壁、８８  管路、８９  循環ポンプ、９  冷却装置、
９１  ガス通過室、９２  冷却管。
【図１】
2005013807.tif 000003
【図２】
2005013807.tif 000004
【図３】
2005013807.tif 000005
【図４】
2005013807.tif 000006