(57)【要約】【課題】  円盤形状のウエハを有する剥離シート付ウエハから容易かつ効率良く作製することができる帯状剥離シート付ウエハの製造方法およびＩＣチップ付シートの製造方法を提供する。また、容易かつ効率良く作製することができる帯状剥離シート付ウエハ、ＩＣチップ付シートおよびＩＣチップ付シートの巻体を提供する。【解決手段】  剥離シート付ウエハ１における第１の剥離シート３ａおよび第２の剥離シート３ｂの端部を、頂点の数が偶数となる多角形のものにするよう切り落とす。そして、この剥離シート付ウエハ１を、前記の多角形の頂点を通るよう平行に複数回切断して複数の部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃを形成する。さらに、それぞれの部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃにおける第２の剥離シート３ｂの端部を接合させて直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎを形成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の剥離シートと、第１の剥離シート上に粘着して設けられた第２の剥離シートと、第２の剥離シート上に粘着して設けられた円盤形状のウエハとを有する剥離シート付ウエハを準備する工程と、
剥離シート付ウエハに対して、ウエハの表面側より第１の方向に沿って第２の剥離シートの肉厚の中程まで延びる切込みを入れ、かつ第１の方向に直交する第２の方向に沿って第１の剥離シートの肉厚の中程まで延びる切込みを入れて、多数のＩＣチップを形成する工程と、
第１の剥離シートおよび第２の剥離シートを、頂点の数が偶数となる多角形のものにするよう、これらの端部を切り落とす工程と、
第１の剥離シートおよび第２の剥離シートの端部が切り落とされた剥離シート付ウエハを、第１の剥離シートおよび第２の剥離シートの多角形の頂点を通るよう第２の方向に沿って平行に複数回切断して複数の部分剥離シート付ウエハを形成する工程と、
それぞれの部分剥離シート付ウエハの端部を接合させて直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハを形成する工程と、
を備えたことを特徴とする帯状剥離シート付ウエハの製造方法。
【請求項２】
剥離シート付ウエハを準備する工程において、第１の剥離シートと第２の剥離シートとの間および第２の剥離シートとウエハとの間には、それぞれ紫外光照射により粘着力が低下する粘着剤層が形成されることを特徴とする請求項１記載の帯状剥離シート付ウエハの製造方法。
【請求項３】
ウエハの投影面の外方における第１の剥離シートと第２の剥離シートとの間に追加粘着剤層を形成し、
一方の部分剥離シート付ウエハの第２の剥離シートの端部および他方の部分剥離シート付ウエハの第２の剥離シートの端部を追加粘着剤層により接合して帯状剥離シート付ウエハを形成することを特徴とする請求項１または２記載の帯状剥離シート付ウエハの製造方法。
【請求項４】
第１の剥離シートと、第１の剥離シート上に粘着して設けられた第２の剥離シートと、第２の剥離シート上に粘着して設けられた円盤形状のウエハとを有する剥離シート付ウエハを準備する工程と、
剥離シート付ウエハに対して、ウエハの表面側より第１の方向に沿って第２の剥離シートの肉厚の中程まで延びる切込みを入れ、かつ第１の方向に直交する第２の方向に沿って第１の剥離シートの肉厚の中程まで延びる切込みを入れて、多数のＩＣチップを形成する工程と、
第１の剥離シートおよび第２の剥離シートを、頂点の数が偶数となる多角形のものにするよう、これらの端部を切り落とす工程と、
第１の剥離シートおよび第２の剥離シートの端部が切り落とされた剥離シート付ウエハを、第１の剥離シートおよび第２の剥離シートの多角形の頂点を通るよう第２の方向に沿って平行に複数回切断して複数の部分剥離シート付ウエハを形成する工程と、
それぞれの部分剥離シート付ウエハの端部を接合させて直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハを形成する工程と、
帯状剥離シート付ウエハの第１の剥離シートを第２の剥離シートから剥離して帯状剥離シート付ウエハを多列のＩＣチップ付シートに分離する工程と、
を備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造方法。
【請求項５】
ＩＣチップ付シートをリールに巻き付ける工程を更に備えており、
帯状剥離シート付ウエハを多列のＩＣチップ付シートに分離しながらこれらのＩＣチップ付シートをリールに巻き付けることを特徴とする請求項４記載のＩＣチップ付シートの製造方法。
【請求項６】
第１の剥離シートと、第１の剥離シート上に粘着して設けられた第２の剥離シートと、第２の剥離シート上に粘着して設けられたウエハとを有し、それぞれの端部が互いに接合された複数の部分剥離シート付ウエハを備え、
部分剥離シート付ウエハは、ウエハの表面側より第１の方向に沿って第２の剥離シートの肉厚の中程まで延びる切込みが入れられ、かつ第１の方向に直交する第２の方向に沿って第１の剥離シートの肉厚の中程まで切込みが入れられ、このことによりウエハは多数のＩＣチップからなることを特徴とする帯状剥離シート付ウエハ。
【請求項７】
各々の部分剥離シート付ウエハは、略同一の大きさの長方形の形状を有することを特徴とする請求項６記載の帯状剥離シート付ウエハ。
【請求項８】
各々の部分剥離シート付ウエハは、略同一の大きさの台形の形状を有し、
隣接する部分剥離シート付ウエハは、互いに台形の上辺と底辺とが反転して接合されていることを特徴とする請求項６記載の帯状剥離シート付ウエハ。
【請求項９】
少なくとも一対の剥離シートと、
各剥離シートに粘着されて支持され、ウエハに切込みが入れられることにより形成された一列のＩＣチップとを備え、
一方の剥離シートの端部および他方の剥離シートの端部が粘着剤層により接合されていることを特徴とするＩＣチップ付シート。
【請求項１０】
少なくとも一対の剥離シートと、各剥離シートに粘着されて支持され、ウエハに切込みが入れられることにより形成された一列のＩＣチップとを有し、一方の剥離シートの端部および他方の剥離シートの端部が粘着剤層により接合されているＩＣチップ付シートを備え、
このＩＣチップ付シートがリールに巻き付けられることにより形成されていることを特徴とするＩＣチップ付シートの巻体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状剥離シート付ウエハの製造方法、ＩＣチップ付シートの製造方法、帯状剥離シート付ウエハ、ＩＣチップ付シートおよびＩＣチップ付シートの巻体に関し、とりわけ、ＩＣチップ付シートを容易かつ効率良く作製することができる帯状剥離シート付ウエハの製造方法およびＩＣチップ付シートの製造方法、あるいは容易かつ効率良く作製することができる帯状剥離シート付ウエハ、ＩＣチップ付シートおよびＩＣチップ付シートの巻体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＩＣチップをアンテナの所定の箇所に取り付ける実装方法において、ウエハを反パターン面上で一枚の剥離シート上に貼り付けてＸＹ軸方向にダイシングし、剥離シートに紫外線を照射する等して粘着力を低下させている。次に細い吸引管でＩＣチップをパターン面側から吸引して剥離シートから剥がし取り、このＩＣチップを他の吸引管で反パターン面側から吸引して受け取り、この吸引管でＩＣチップを所定の箇所へと搬送し、そのパターン面側を予め導電性接着剤を塗布したアンテナの所定の箇所に押し付けている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような実装方法によれば、二種類の吸引管を用意し、各吸引管に複雑な運動をさせなければならないので、ＩＣチップを取り付けるための装置構造が複雑化し、生産効率も低下するという問題がある。また、ＩＣチップは近年ますます小型化の傾向にあり、例えば一辺が０．１ｍｍ〜０．２ｍｍ程度の大きさのものも生産されるが、このように小さくなると吸引管による搬送が困難となる。
【０００４】
そこで、剥離シートと、この剥離シート上に粘着して設けられた円盤形状のウエハとを有する剥離シート付ウエハをダイシングすることにより帯状のＩＣチップ付シートを作製し、このＩＣチップ付シートからＩＣチップを直接アンテナに実装する方法が考えられている。
【０００５】
このような実装方法においては、剥離シート付ウエハから帯状のＩＣチップ付シートを容易かつ効率良く作製することができれば都合が良い。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、円盤形状のウエハを有する剥離シート付ウエハから容易かつ効率良く作製することができる帯状剥離シート付ウエハの製造方法およびＩＣチップ付シートの製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、容易かつ効率良く作製することができる帯状剥離シート付ウエハ、ＩＣチップ付シートおよびＩＣチップ付シートの巻体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、第１の剥離シートと、第１の剥離シート上に粘着して設けられた第２の剥離シートと、第２の剥離シート上に粘着して設けられた円盤形状のウエハとを有する剥離シート付ウエハを準備する工程と、剥離シート付ウエハに対して、ウエハの表面側より第１の方向に沿って第２の剥離シートの肉厚の中程まで延びる切込みを入れ、かつ第１の方向に直交する第２の方向に沿って第１の剥離シートの肉厚の中程まで延びる切込みを入れて、多数のＩＣチップを形成する工程と、第１の剥離シートおよび第２の剥離シートを、頂点の数が偶数となる多角形のものにするよう、これらの端部を切り落とす工程と、第１の剥離シートおよび第２の剥離シートの端部が切り落とされた剥離シート付ウエハを、第１の剥離シートおよび第２の剥離シートの多角形の頂点を通るよう第２の方向に沿って平行に複数回切断して複数の部分剥離シート付ウエハを形成する工程と、それぞれの部分剥離シート付ウエハの端部を接合させて直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハを形成する工程と、を備えたことを特徴とする帯状剥離シート付ウエハの製造方法である。
【０００８】
本発明の帯状剥離シート付ウエハの製造方法によれば、円盤形状のウエハを有する剥離シート付ウエハから帯状剥離シート付ウエハを単純な方法で効率良く形成することができる。
【０００９】
本発明の帯状剥離シート付ウエハの製造方法においては、剥離シート付ウエハを準備する工程において、第１の剥離シートと第２の剥離シートとの間および第２の剥離シートとウエハとの間には、それぞれ紫外光照射により粘着力が低下する粘着剤層が形成されることが好ましい。
これにより、剥離シート付ウエハにおいて第１の剥離シート、第２の剥離シートおよびウエハを確実に接合させることができる。また、紫外光を第１の剥離シート側から照射することにより確実に第１の剥離シートを第２の剥離シートから剥離することができる。
【００１０】
本発明の帯状剥離シート付ウエハの製造方法においては、ウエハの投影面の外方における第１の剥離シートと第２の剥離シートとの間に追加粘着剤層を形成し、一方の部分剥離シート付ウエハの第２の剥離シートの端部および他方の部分剥離シート付ウエハの第２の剥離シートの端部を追加接着剤層により接合して帯状剥離シート付ウエハを形成することが好ましい。
これにより、各部分剥離シート付ウエハを互いに確実に接合することができる。
【００１１】
本発明は、第１の剥離シートと、第１の剥離シート上に粘着して設けられた第２の剥離シートと、第２の剥離シート上に粘着して設けられた円盤形状のウエハとを有する剥離シート付ウエハを準備する工程と、剥離シート付ウエハに対して、ウエハの表面側より第１の方向に沿って第２の剥離シートの肉厚の中程まで延びる切込みを入れ、かつ第１の方向に直交する第２の方向に沿って第１の剥離シートの肉厚の中程まで延びる切込みを入れて、多数のＩＣチップを形成する工程と、第１の剥離シートおよび第２の剥離シートを、頂点の数が偶数となる多角形のものにするよう、これらの端部を切り落とす工程と、第１の剥離シートおよび第２の剥離シートの端部が切り落とされた剥離シート付ウエハを、第１の剥離シートおよび第２の剥離シートの多角形の頂点を通るよう第２の方向に沿って平行に複数回切断して複数の部分剥離シート付ウエハを形成する工程と、それぞれの部分剥離シート付ウエハの端部を接合させて直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハを形成する工程と、帯状剥離シート付ウエハの第１の剥離シートを第２の剥離シートから剥離して帯状剥離シート付ウエハを多列のＩＣチップ付シートに分離する工程と、を備えたことを特徴とするＩＣチップ付シートの製造方法である。
【００１２】
本発明のＩＣチップ付シートの製造方法によれば、円盤形状のウエハを有する剥離シート付ウエハから帯状剥離シート付ウエハを単純な方法で効率良く形成することができ、しかも、この帯状剥離シート付ウエハを用いて帯状のＩＣチップ付シートを容易かつ効率良く作製することができる。
【００１３】
本発明のＩＣチップ付シートの製造方法においては、ＩＣチップ付シートをリールに巻き付ける工程を更に備えており、帯状剥離シート付ウエハを多列のＩＣチップ付シートに分離しながらこれらのＩＣチップ付シートをリールに巻き付けることが好ましい。
これにより、効率良くかつ確実にＩＣチップ付シートの巻体を得ることができる。
【００１４】
本発明は、第１の剥離シートと、第１の剥離シート上に粘着して設けられた第２の剥離シートと、第２の剥離シート上に粘着して設けられたウエハとを有し、それぞれの端部が互いに接合された複数の部分剥離シート付ウエハを備え、部分剥離シート付ウエハは、ウエハの表面側より第１の方向に沿って第２の剥離シートの肉厚の中程まで延びる切込みが入れられ、かつ第１の方向に直交する第２の方向に沿って第１の剥離シートの肉厚の中程まで切込みが入れられ、このことによりウエハは多数のＩＣチップからなることを特徴とする帯状剥離シート付ウエハである。
本発明によれば、単純な方法で効率良く形成することができる帯状剥離シート付ウエハを得ることができる。
【００１５】
本発明の帯状剥離シート付ウエハにおいては、各々の部分剥離シート付ウエハは、略同一の大きさの長方形の形状を有することが好ましい。
あるいは、本発明の帯状剥離シート付ウエハにおいては、各々の部分剥離シート付ウエハは、略同一の大きさの台形の形状を有し、隣接する部分剥離シート付ウエハは、互いに台形の上辺と底辺とが反転して接合されていることが好ましい。
【００１６】
本発明は、少なくとも一対の剥離シートと、各剥離シートに粘着されて支持され、ウエハに切込みが入れられることにより形成された一列のＩＣチップとを備え、一方の剥離シートの端部および他方の剥離シートの端部が粘着剤層により接合されていることを特徴とするＩＣチップ付シートである。
本発明によれば、単純な方法で効率良く形成することができるＩＣチップ付シートを得ることができる。
【００１７】
本発明は、少なくとも一対の剥離シートと、各剥離シートに粘着されて支持され、ウエハに切込みが入れられることにより形成された一列のＩＣチップとを有し、一方の剥離シートの端部および他方の剥離シートの端部が粘着剤層により接合されているＩＣチップ付シートを備え、このＩＣチップ付シートがリールに巻き付けられることにより形成されていることを特徴とするＩＣチップ付シートの巻体である。
本発明によれば、単純な方法で効率良く形成することができるＩＣチップ付シートの巻体を得ることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、円盤形状のウエハを有する剥離シート付ウエハから帯状剥離シート付ウエハを単純な方法で効率良く形成することができる。しかも、この帯状剥離シート付ウエハを用いて帯状のＩＣチップ付シートを容易かつ効率良く作製することができる。また、本発明によれば、帯状剥離シート付ウエハ、ＩＣチップ付シートおよびＩＣチップ付シートの巻体を容易かつ効率良く作製することができる
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図１乃至図３は、本発明の実施形態を示す図である。
このうち、図１は、本発明の実施形態によるＩＣチップ付シートの製造方法の前半部を示す図であり、図２は、本発明の実施形態によるＩＣチップ付シートの製造方法の後半部を示す図である。
【００２０】
〔剥離シート付ウエハの準備工程〕
まず、剥離シート付ウエハ１の準備工程について図１（ａ）、（ｂ）および（ｃ）を用いて説明する。図１（ａ）、（ｃ）は剥離シート付ウエハ１の側断面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）の剥離シート付ウエハ１の上面図である。
図１（ａ）、（ｂ）および（ｃ）に示すように、第１の剥離シート３ａ上に第２の剥離シート３ｂを粘着して設け、さらに第２の剥離シート３ｂ上に、円盤形状のウエハ４ａをそのパターン面が露出するよう粘着して設けることにより剥離シート付ウエハ１を形成する。そして、この剥離シート付ウエハ１をダイシング用定盤（図示せず）上に載置して保持する。
【００２１】
円盤形状のウエハ４ａの投影面における第１の剥離シート３ａと第２の剥離シート３ｂとの間には、所定波長の紫外光照射により粘着力が低下する粘着剤層１２ａが形成されている。また、第２の剥離シート３ｂのウエハ４ａ側の表面にも粘着剤層１２ａと同様の粘着剤層１２ｂが形成されている。
ここで、あらかじめ第２の剥離シート３ｂとウエハ４ａとの間の粘着剤層１２ｂの粘着力を第１の剥離シート３ａと第２の剥離シート３ｂとの間の粘着剤層１２ａの粘着力よりも強くしておくことが好ましい。
【００２２】
また、ウエハ４ａの投影面の外方において第１の剥離シート３ａと第２の剥離シート３ｂとの間に、図１（ａ）、（ｃ）に示すように、追加粘着剤層１２ｃが形成されている。
この追加粘着剤層１２ｃで用いられる粘着剤は、粘着剤層１２ａ、１２ｂで用いられる粘着剤と異なる種類のものであることが好ましい。具体的には、例えば粘着剤層１２ａ、１２ｂが紫外光照射により粘着力が低下するものであり、追加粘着剤層１２ｃとしては、例えば加熱されることにより粘着力が低下する感熱粘着剤が用いられている。
【００２３】
〔剥離シート付ウエハのダイシング工程〕
次に、剥離シート付ウエハのダイシング工程について図１（ｄ）を用いて説明する。図１（ｄ）は、剥離シート付ウエハの上面図および側断面図である。
図１（ｄ）に示すように、ダイシング用定盤上に保持された剥離シート付ウエハ１に、ウエハ４ａの表面側（図１（ａ）の上方側）より第１の方向（図１（ｄ）のＸ方向）に沿って、ダイシングカッター（図示せず）によりウエハ４ａを貫通して第２の剥離シート３ｂの肉厚の中程まで延びる多数本の垂直方向の切込み９ａが形成される。
その後、この剥離シート付ウエハ１に、ウエハ４ａの表面側より第１の方向と直交する第２の方向（図のＹ方向）に沿って、ダイシングカッターによりウエハ４ａおよび第２の剥離シート３ｂを貫通して第１の剥離シート３ａの肉厚の中程まで延びる多数本の垂直方向の切込み９ｂが形成される。
このように、ウエハ４ａに対して多数本の直交する切込み９ａ、９ｂを入れることにより、ウエハ４ａから多数の分離されたＩＣチップ４が形成される。
【００２４】
〔剥離シート付ウエハにおける剥離シートの端部の切断工程〕
次に、図１（ｅ）に示すように、第１の剥離シート３ａおよび第２の剥離シート３ｂの端部がカッターにより切断され、頂点の数が偶数（図においては８個）であり第２の方向（Ｙ方向）に対して対称的な多角形（図においては正八角形）が形成される。
ここで、図１（ｅ）に示すように、ウエハ４ａも同様に、第２の剥離シート３ｂにおける多角形よりも小さくかつこの多角形に略類似する多角形のものにするよう、その端部がトリミングされる。
【００２５】
また、この切断工程においては、図１（ｆ）に示すように、第１の剥離シート３ａにおける多角形が第２の剥離シート３ｂにおける多角形よりも若干小さなものとされるようそれぞれの剥離シート３ａ、３ｂの端部の切断が行われる。
【００２６】
なお、上記の実施形態において、図１（ｄ）に示す剥離シート付ウエハ１のダイシング工程の後に、図１（ｅ）に示す剥離シート３ａ、３ｂの端部の切断工程を行う例を示したが、これに限らず図１（ｅ）に示す切断工程の後に図１（ｄ）に示すダイシング工程を行ってもよい。
【００２７】
〔部分剥離シート付ウエハの形成工程〕
次に、図１（ｆ）に示すように、カッターにより、剥離シート３ａ、３ｂの端部が切り落とされた剥離シート付ウエハ１を、第２の剥離シート３ｂの多角形の頂点を通るよう第２の方向（Ｙ方向）に沿って平行に複数回切断することにより複数の部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃが形成される。
図１（ｆ）に示す例においては、互いに同一の形状であり上下が反転する２つの台形の部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｃと、長方形の部分剥離シート付ウエハ１ｂとが形成される。
【００２８】
〔帯状剥離シート付ウエハの形成工程〕
次に、図２（ａ）（ｂ）に示すように、それぞれの部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃの端部を接合させて直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎが形成される。
図２（ａ）に示すように、台形の部分剥離シート付ウエハ１ａの第２の剥離シート３ｂと、部分剥離シート付ウエハ１ｃの第２の剥離シート３ｂとを互いに台形の上辺と底辺とが反転するよう接合することにより帯状剥離シート付ウエハ１ｍが形成される。一方、図２（ｂ）に示すように、一の長方形の部分剥離シート付ウエハ１ｂの第２の剥離シート３ｂと、他の部分剥離シート付ウエハ１ｂの第２の剥離シート３ｂとを接合することにより帯状剥離シート付ウエハ１ｎが形成される。
【００２９】
このことにより、第１の剥離シート３ａと、第１の剥離シート３ａ上に粘着して設けられた第２の剥離シート３ｂと、第２の剥離シート３ｂ上に粘着して設けられたウエハ４ａとを有し、それぞれの端部が互いに接合された複数の部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃを備え、部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃは、ウエハ４ａの表面側より第１の方向（Ｘ方向）に沿って第２の剥離シート３ｂの肉厚の中程まで延びる切込みが入れられ、かつ第１の方向（Ｘ方向）に直交する第２の方向（Ｙ方向）に沿って第１の剥離シート３ａの肉厚の中程まで切込みが入れられ、このことによりウエハ４は多数のＩＣチップ４からなる帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎを得ることができる。
【００３０】
〔ＩＣチップ付シートの作製工程〕
次に、帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎにおいて、第１の剥離シート３ａを第２の剥離シート３ｂから剥離することにより、帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎが直線状の多列のＩＣチップ付シート１０に分離される。
具体的には、帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎに対して第１の剥離シート３ａ側（図２（ｃ）における下方側）から紫外光を照射させることにより、第１の剥離シート３ａと第２の剥離シート３ｂとの間の粘着剤層１２ａの粘着力を弱め、これにより第１の剥離シート３ａを第２の剥離シート３ｂから剥離する。そして、図２（ｄ）に示すように、直線状の多列のＩＣチップ付シート１０を矢印に示すように幅方向に広がるよう各々別方向に引くことによってＩＣチップ付シート１０を互いに分離することができる。
【００３１】
このことにより、少なくとも一対の第２の剥離シート３ｂと、各第２の剥離シート３ｂに粘着されて支持され、ウエハ４ａに切込みが入れられることにより形成された一列のＩＣチップ４とを備え、一方の第２の剥離シート３ｂの端部および他方の第２の剥離シート３ｂの端部が粘着剤層１２ｂにより接合されているＩＣチップ付シート１０を得ることができる。
【００３２】
なお、紫外光照射によりＩＣチップ４と第２の剥離シート３ｂとの間の粘着剤層１２ｂの粘着力も弱められるが、前述のようにあらかじめ第１の剥離シート３ａと第２の剥離シート３ｂとの間の粘着力よりもＩＣチップ４と第２の剥離シート３ｂとの間の粘着力が強くなっており、かつ、紫外光は第１の剥離シート３ａ側から照射されるので、この剥離工程においてＩＣチップ４が第２の剥離シート３ｂから剥離することはない。
【００３３】
また、前述のように、帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎにおいて、図２（ｃ）に示すように一方の部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃにおける第２の剥離シート３ｂの端部および他方の部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃにおける第２の剥離シート３ｂの端部を接合する追加粘着剤層１２ｃは、加熱されることにより粘着力が低下する感熱粘着剤が用いられているので、紫外光を照射しても一部の部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃが剥離することはない。
【００３４】
〔ＩＣチップ付シートを巻き付ける工程〕
次に、前述のように帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎを多列のＩＣチップ付シート１０に分離しながら、図２（ｅ）に示すように、このＩＣチップ付シート１０がリール１５に巻き付けられる。
このことにより、少なくとも一対の第２の剥離シート３ｂと、各第２の剥離シート３ｂに粘着されて支持され、ウエハ４ａに切込みが入れられることにより形成された一列のＩＣチップ４とを有し、一方の第２の剥離シート３ｂの端部および他方の第２の剥離シート３ｂの端部が粘着剤層１２ｂにより接合されているＩＣチップ付シート１０を備え、このＩＣチップ付シート１０がリール１５に巻き付けられることにより形成されているＩＣチップ付シートの巻体１０ａを得ることができる。
【００３５】
以上のように、本実施の形態によれば、円盤形状のウエハ４ａを有する剥離シート付ウエハ１から帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎを単純な方法で効率良く形成することができ、しかも、この帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎを用いて帯状のＩＣチップ付シート１０を容易かつ効率良く作製することができる。
【００３６】
また、剥離シート付ウエハ１を準備する工程において、第１の剥離シート３ａと第２の剥離シート３ｂとの間および第２の剥離シート３ｂとウエハ４ａとの間には、それぞれ紫外光照射により粘着力が低下する粘着剤層１２ａ、１２ｂが形成されるため、剥離シート付ウエハ１において第１の剥離シート３ａ、第２の剥離シート３ｂおよびウエハ４ａを確実に接合させることができる。また、紫外光を第１の剥離シート３ａ側から照射することにより確実に第１の剥離シート３ａを第２の剥離シート３ｂから剥離することができる。
【００３７】
また、ウエハ４ａの投影面の外方における第１の剥離シート３ａと第２の剥離シート３ｂとの間に追加粘着剤層１２ｃが形成されているので、一方の部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃの第２の剥離シート３ｂの端部および他方の部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃの第２の剥離シート３ｂの端部を追加接着剤層１２ｃにより接合して帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎを形成することができる。このため、各部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｂ、１ｃを互いに確実に接合することができる。
【００３８】
また、本実施の形態によれば、上述の製造方法によって、容易かつ効率良く作製することができる帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎおよびＩＣチップ付シート１０を得ることができる。
【００３９】
また、帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎを多列のＩＣチップ付シート１０に分離しながらこのＩＣチップ付シート１０をリール１５に巻き付けることができ、効率良くかつ確実にＩＣチップ付シートの巻体１０ａを得ることができる。
【００４０】
以下に、ＩＣチップ付シート１０の製造方法における剥離シート３ａ、３ｂの端部の切断工程について詳しく検討する。
【００４１】
前述のように、剥離シート３ａ、３ｂの端部を切断して得られる多角形の頂点の数が４の倍数であるとき、図１（ｅ）（ｆ）に示すように、この多角形の一の向かい合う一対の辺を第１の方向（Ｘ方向）と平行にすることができるとともに、他の向かい合う一対の辺を第２の方向（Ｙ方向）と平行にすることができる。
これにより、同形状で上下が反転する一対の台形の部分剥離シート付ウエハ１ａ、１ｃが１組または複数組得られるとともに、１つの長方形の部分剥離シート付ウエハ１ｂが得られる。このようにして、図２（ａ）（ｂ）に示すように、それぞれの部分剥離付シートウエハ１ａ、１ｂ、１ｃの端部を接合させて直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎを形成することができる。
【００４２】
次に、このＩＣチップ付シート１０の製造方法の変形例について図３を用いて説明する。
図３は、各剥離シート３ａ、３ｂの切断方法の変形例について示す説明図である。
【００４３】
剥離シート３ａ、３ｂの端部を切断して得られる多角形の頂点の数が４の倍数であるときにおいて、図３（ａ）に示すように、多角形の頂角が、第１の方向（Ｘ方向）の両側および第２の方向（Ｙ方向）の両側に突出するものとすることができる。
この場合には、剥離シート付ウエハを図３（ａ）に示すように第２の方向（Ｙ方向）に沿って平行に複数回切断した際、長方形の部分剥離シート付ウエハを得ることができない。しかしながら、同形状で上下が反転する一対の台形の部分剥離シート付ウエハを１組または複数組得ることができる。これにより、図２（ａ）に示すように、それぞれの部分剥離付シートウエハを交互に接合させて直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハを形成することができる。
【００４４】
また、剥離シート３ａ、３ｂの端部を切断して得られる多角形の頂点の数が偶数であるが４の倍数ではないときには、図３（ｂ）に示すように、多角形の向かい合う一対の辺を第２の方向（Ｙ方向）と平行にすることができる。
この場合には、剥離シート付ウエハを図３（ｂ）に示すように第２の方向（Ｙ方向）に沿って平行に複数回切断した際、長方形の部分剥離シート付ウエハを得ることができない。しかしながら、同形状で上下が反転する一対の台形の部分剥離シート付ウエハを１組または複数組得ることができる。これにより、図２（ａ）に示すように、それぞれの部分剥離付シートウエハを交互に接合させて直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハを形成することができる。
【００４５】
また、剥離シート３ａ、３ｂの端部を切断して得られる多角形の頂点の数が偶数であるが４の倍数ではないときにおいて、図３（ｃ）に示すように、多角形の向かい合う一対の辺を第１の方向（Ｘ方向）と平行にすることができる。
この場合には、剥離シート付ウエハを図３（ｃ）に示すように第２の方向（Ｙ方向）に沿って平行に複数回切断した際、同形状で上下が反転する一対の台形の部分剥離シート付ウエハが１組または複数組得られるとともに、１つの長方形の部分剥離シート付ウエハが得られる。これにより、図２（ａ）（ｂ）に示すように、それぞれの部分剥離付シートウエハの端部を接合させて直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハを形成することができる。
【００４６】
以上のように、剥離シート３ａ、３ｂを、頂点の数が偶数であり第２の方向（Ｙ方向）に対して対称的な多角形のものとするよう、これらの端部を切り落とすことにより、直線状に延びる帯状剥離シート付ウエハ１ｍ、１ｎを単純な方法で効率よく形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態によるＩＣチップ付シートの製造方法の前半部を示す図
【図２】本発明の実施形態によるＩＣチップ付シートの製造方法の後半部を示す図
【図３】各剥離シートの切断方法の変形例について示す説明図
【符号の説明】
【００４８】
１      剥離シート付ウエハ
１ａ、１ｂ、１ｃ  部分剥離シート付ウエハ
１ｍ、１ｎ  帯状剥離シート付ウエハ
３ａ    第１の剥離シート
３ｂ    第２の剥離シート
４      ＩＣチップ
４ａ    ウエハ
９ａ、９ｂ  切込み
１０    ＩＣチップ付シート
１０ａ  ＩＣチップ付シートの巻体
１２ａ、１２ｂ  粘着剤層
１２ｃ  追加粘着剤層
１５    リール
【図１】
2005317696.tif 000003
【図２】
2005317696.tif 000004
【図３】
2005317696.tif 000005