(57)【要約】      （修正有）【課題】特別な支持脚を設けなくても基板収納容器を傾斜させて安定的に保持でき、ローディングやアンローディング時に基板が汚染されることなく、また基板収納容器の種類が変わっても兼用して使用できる保持台を提供する。【解決手段】ベースプレート１と前記ベースプレートの一端１０に設けられ基板収納容器を支える支持部２と、ベースプレートの他端１１に支持部２と向き合うように設けられ基板収納容器の背面を支持する背面支持部材６とからなる基板収納容器の保持台。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースプレートと前記ベースプレートの一端に設けられ基板収納容器を傾斜させて支持する支持部と前記ベースプレートの他端に前記支持部と向き合うように設けられ基板収納容器の背面を支える背面支持部とからなる基板収納容器の保持台。
【請求項２】
前記支持部が前記ベースプレートの向き合う辺に１対設けられ、傾斜面と、基板収納容器を誘導する誘導部と基板収納容器を搭載する傾斜支持部を備えていることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器の保持台。
【請求項３】
前記ベースプレートが、搭載した基板収納容器を任意の位置に回動させる回転機構を有することを特徴とする請求項１又は２の何れか１項記載の基板収納容器の保持台。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやマスクガラスなどの基板を収納する基板収納容器を傾斜させて支持し、基板収納容器から手動で基板をローディングしたり、アンローディングしたり、容器本体の開口部に蓋体を取り付けるために好適な保持台に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一端に開口を有し、内部に基板を水平状態で高さ方向に一定間隔で隔置させて収納する容器本体と、開口を閉鎖する蓋体とからなる基板収納容器が知られていた。基板収納容器の容器本体と蓋体とは、蓋体の側壁に取り付けられる１対の係止クランプ部材を容器本体の側壁に設けられた係止部に噛み合わせる事で係止されて、開口を閉鎖して、基板を汚染することなく安全に保管したり搬送するのに使用されていた。
【０００３】
こうした基板収納容器からの基板のローディングやアンローディングは、通常は自動機によって正面の開口部から水平状態で行われるが、検査工程などでは作業員が手動で行う事もあった。この場合、基板収納容器の開口を正面にして、水平状態のまま基板をローディングしたり、アンローディングしたり開口部を天側に向けて基板を垂直状態にしてからローディング、アンローディングしたりしていた。
【０００４】
このように従来、基板収納容器から基板をローディングしたり、アンローディングしたりする場合、基板収納容器は正面に開口を向けるか、天側に開口を向けるかして作業台に載置されて、作業がなされていた。
【０００５】
【特許文献１】
特開平７−３３０１７８号公報（図２〜４）
【特許文献２】
特開平８−８３３３号公報（全公報）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
基板収納容器の開口部と相対する背面側の外側壁は、通常基板の形状に沿わせて曲面状に形成されているので、容器本体開口部を天側に向けて支持する場合は、開口部と相対する背面側の外側壁に容器本体を安定させて支持する為の支持脚を形成しておく必要があった。また、開口が天側を向いている場合、基板が垂直状態では自立できないので、基板の位置が安定せず、ローディングやアンローディングの際に支持部と基板とが擦れてしまい、基板が汚染されると言った問題があった。一方、開口が正面に有るときは、作業が終了した後に蓋体を取り付けるには、蓋体を平行に容器本体に押しつけなくてはいけないので、取り付け作業が困難であると言った問題があった。
【０００７】
従来の水平の支持台を使う場合、作業者の視線の高さが一定の位置にあるために、全ての支持部の奥側までをはっきりと見通すことが難しく、基板を支持部等と擦らずに奥部まで水平にアンローディングするのが難しかった。水平支持台の場合、容器本体に収納された基板の前後方向のバラツキが大く、支持部の上下方向の基板の位置のバラツキを確認するのに気を取られていると取り付ける蓋体の平行度がずれ易くなる。このように、蓋体の平行度が狂ってしまうと蓋体に取り付けられたリテーナの櫛状に分離した収納溝で、隣接する基板を誤って別の位置に斜めに収納してしまう恐れがあった。
【０００８】
また、基板収納容器を治具を使って僅かに傾斜させることも行われていたが、基板収納容器の開口部前後方向の位置決めは、通常、基板収納容器の背面の外形に接触するストッパーにて行っており、基板収納容器の品種が変わると、基板収納容器の外形状や寸法が微妙に異なり、特に湾曲形状の物と平面形状のものとでは接触位置が異なるし、開口部の左右方向のガタも生じ易いので、これらを安定的に位置決めする事ができなかった。このように本発明は、特別な支持脚を設けなくても基板収納容器を精度良く、内部に収納した基板がずれたり、擦れたりしないでローディングしたり、アンローディングでき、蓋体の取り付けも容易な基板収納容器用保持台を提供することを課題としている。また、本発明の別の目的は基板収納容器の種類が変わっても基板を安定的に支持可能で蓋体の取り付け取り外しが可能な兼用化された保持台を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記した問題点を解決するためのものであり、第一の発明はベースプレートと前記ベースプレートの一端に設けられ、基板収納容器を傾斜させて支持する傾斜支持部と前記ベースプレートの他端に前記傾斜部材と向き合うように設けられ基板収納容器の背面を支える背面支持部材とからなる基板収納容器の保持台であり、第二の発明は、前記傾斜支持部が前記ベースプレートの向き合う辺に１対設けられ、前記傾斜支持部材は傾斜面と、基板収納容器を誘導する誘導部を備えていることを特徴とする基板収納容器の保持台であり、第三の発明は、前記ベースプレートが、搭載した基板収納容器を任意の位置に回動させる回転機構を有していることを特徴とする基板収納容器の保持台である。
【００１０】
ここで、ベースプレートは、略平坦な板状部材であって一端部に基板収納容器を搭載可能な傾斜面を有する傾斜支持部が設けられていて、他端には背面支持部材が設けられている。こうした傾斜支持部と背面支持部とは、ベースプレートと一体的に形成されても、別部材として形成されたものを取り付けて固定したものであっても良い。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の基板収納容器２０用の保持台の好ましい実施形態を図面を使って説明する。本実施形態における保持台は図１、図２に示すように、略５角形状をしたベースプレート１の相対する２辺に、基板収納容器２０を支持する１対の傾斜支持部２が設けられている。傾斜支持部２は、台形状をした枠体として形成され、ベースプレート１の一端１０から他端１１に向かって平行に傾斜する第一の傾斜面３と、第二の傾斜面４が設けられ、それぞれの傾斜面の外方向の側面には、搭載される基板収納容器２０を導き入れるために外方向に拡開した誘導部５が形成されている。また、ベースプレート１の他端部１１には、搭載された基板収納容器２０の下方向のストッパーとなり、第一の傾斜面３、第二の傾斜面４と向き合う第三の傾斜面７を有する背面支持部材６が設けられている。
【００１２】
ここで、基板収納容器２０は、図８に示したような正面に開口を有し、内部に基板を水平状態で一定間隔で収納する為の１対の支持部２３を有する容器本体２１と、容器本体２１の開口を密封状態に閉鎖する蓋体２２とからなる。容器本体２１は、底面２５に自動機との間で位置決めをする位置決め部材２４が三角形状に３箇所設けられていて、必要に応じて底面２５の一部又は全部を覆い基板収納容器２０の識別や固定に用いられるボトムプレートが取り付けられる。蓋体２２は、容器本体２１と相対向する内面に、容器本体２１に収納された基板のそれぞれを個別に保持する為に櫛状に分岐された突片を有するリテーナが取り付けられていて、蓋体２２の側面にはシール部材が取り付けられている。また、蓋体２２の側面には、容器本体２１の側壁に設けられる１対の係止部２６と嵌合して蓋体２２を係止する係止クランプが設けられている。
【００１３】
図３〜図５は、実施形態の保持台に上記した基板収納容器２０の容器本体２１（蓋体２２を取り除いた状態）を搭載した状態を示している。図４に有るように、容器本体２１の開口部が斜め上方を向くように、すなわちベースプレート１の一端１０側に開口部が位置するように搭載される。容器本体２１の底面２５の側壁には、基板収納容器２０を搬送する為にそれぞれ左右に張り出した１対のレール部材が設けられている。傾斜部材の誘導部５は、前記した容器本体２１の１対のレール部材の側面と接触して、左右方向の位置決めをしながら容器本体２１を傾斜面へと導くことができる。こうして、傾斜部材に搭載された容器本体２１は、背面部が第三の傾斜面７を有する背面支持部材６と接触して、開口部の前後方向の位置が決められる。このようにして容器本体２１が保持台８に斜めに保持される。なお、第三の傾斜面７は基板収納容器２０の幅方向の中心線部に位置するように１箇所に設けられている。背面支持部材６を１箇所とすることで、容器本体２１の背面が平面状でも曲面状でも安定して支持できるようになる。背面支持部材６をベースプレート１の幅方向に複数も受ける場合、異なる基板収納容器２０を搭載する場合に、背面支持部材６と基板収納容器２０と先に接触する部分に基板収納容器２０が引っかかって傾きが生じたりして基板を支持部２３と擦らずに、安定的に取り出すことが難しくなる。
【００１４】
第一の傾斜面３、第二の傾斜面４は、ベースプレート１が載置される水平面となす角度が５°〜４５°好ましくは２０°〜３０°に設定される。第三の傾斜面７は、第一の傾斜面３、第二の傾斜面４とほほ直交するように形成されている。このような角度で基板を傾斜させることで、基板は支持部２３上にしっかりと支持されバラツクことがないので、手動でも安定的に基板を容器本体２１から取り出したり挿入したりできる。また、基板収納容器２０を傾斜面で支持するときに、基板収納容器２０の底面２５又は、ボトムプレートがベースプレート１に接地しないように、基板収納容器２０をベースプレート１から浮かせて支持するように背面支持部材６の位置が決められている。このようにすることで、基板収納容器２０の種類が変わっても、ボトムプレートや容器底面２５がベースプレート１に当たって、傾斜部による基板収納容器２０の支持が不安定になることが無く、安定した作業が可能となる。
【００１５】
こうした保持台８は、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリスチレン、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレンテレフタレートなどの熱可塑性樹脂から形成することができるが、基板収納容器２０の接触による静電気の発生を嫌う場合には、炭素繊維、金属繊維、あるいは導電性カーボンなどの導電性の添加剤を含有した樹脂したり、成形品の表面に帯電防止処理をを施すことが好ましい。
【００１６】
図６、図７は本発明の保持台の第二の実施形態であり、ベースプレート１の下方にベープレートを回転させる回転機構３０を内蔵したものである。回転機構３０は、ベースプレート１の下面の中心部に取り付けられた円形をした軸部３２と、軸部３２を取り囲むように取り付けられた軸受け部３３を有する回転プレート３１とからなり、回転プレート３１の下方には、支持台８を支える複数の支持脚３４が設けられている。このような回転機構３０を設けることによって、保持台に保持された基板収納容器２０の開口を任意の方向に向けて作業をすることができるようになるので、作業効率が良くなる。
【００１７】
さらに、作業を行う任意の位置例えば、容器本体２１の開口部を９０゜毎に回転できるように、ベースプレート１の一端１０から９０゜毎に回転の抵抗が強まり、回転位置を固定できるように回転方向に嵌合部を設けておくと良い。前記嵌合部は、ベースプレート１と回転プレート３１との相対する面の一方にはベースプレート１の半径方向に形成された円周上の溝と凹部を、他方には前記凹部に嵌り込む球状突起を設けておき、回転軌道上で、球状突起が凹部の一部に嵌り込むように設けることができる。このようにすることで、１台の保持台によって、異なる複数の位置で基板を取り出したり挿入したりできるので、１又は復数の人数で複数の作業をこなすことにも使用できる。
【００１８】
本実施形態では、既に蓋体２２を取り外した状態の容器本体２１を保持台に保持した例を示したが、これに限らず、基板収納容器２０を搭載して、蓋体２２を取り外したり、蓋体２２を取り外した容器本体２１に、再び蓋体２２を取り付けたりすることに使用することができる。こうした保持台８を使うことにより、支持部２３に支持された基板を全ての支持部２３に渡って確認することができ、しかも基板は一定間隔で、開口部の前後方向のずれもなく精度良く位置するようになるので、蓋体２２の内面に取り付けられたリテーナの櫛状の突片が隣接する基板を誤って収納してしまうことも防止できる。このように本発明の保持台８を使用すると、容器本体２１への蓋体２２の取り付け作業も安全に効率良く行うことができる。
【００１９】
なお、蓋体２２と容器本体２１との係止は、蓋体２２側壁に設けられるクランプ部材の例で説明したが、これに限らず、ＳＥＭＩ規格（Ｅ６２）で標準化され自動開閉機構を内蔵したＦＩＭＳ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｔａｎｄａｒｄ）ドアや蓋体２２正面に設けられた係止部品を容器本体２１の開口部内周面の係止凹部まで移動させて係止するなどの方式であっても良い。
【００２０】
回転機構３０は、手動での回転例を示したが、これに限らず、モーターやエアシリンダー等のアクチュエータを使って自動的に一定角度を回動するようにすることもできる。また、回転機構３０を取り付けたときのストッパーとしては、ベースプレート１又は回転プレート３１に設けられたギア部と、ギア部と噛み合う弾性突片を回転プレート３１又はベースプレート１に設けておき、これらを噛み合わせることで行っても良い。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の基板収納容器用の保持台を使うと、基板の位置が一定方向に揃い、傾斜しているので作業時に基板の奥側までよく見えるようになるので、手動での基板の取り出しや挿入を安定的に容易に行うことができる。また、本発明の作業台を用いることで基板が一定間隔で一定の方向を向いているので、蓋体の取り付け作業も容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる保持台を表す実施形態の斜視図。
【図２】本発明に係わる保持台を表す実施形態の側面図。
【図３】本発明に係わる保持台に容器本体を載せた状態を表す正面図。
【図４】本発明に係わる保持台に容器本体を載せた状態を表す側面図。
【図５】本発明に係わる保持台に容器本体を載せた状態を表す背面図。
【図６】本発明に係わる保持台を表す第二の実施形態を表す側面図。
【図７】本発明に係わる保持台の第二の実施形態に容器本体を載せた状態を表す正面図
【図８】本発明の保持台に搭載される基板収納容器を表す略斜視図。
【符号の説明】
１  ベースプレート  、２  傾斜支持部  、３  第一の傾斜面  、４  第二  の傾斜面  ５  誘導部  、６  背面支持部材  、７  第三の傾斜面  、８  保  持台    １０  ベースプレートの一端  、１１  ベースプレートの他端
２０  基板収納容器  、２１  容器本体  、２２  蓋体    、  ３０  回転機  構  、３１  回転プレート  、３２  軸部  ３３  軸受け部、    ３４  支持      脚
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005005403.tif 000007
【図６】
2005005403.tif 000008
【図７】
2005005403.tif 000009
【図８】
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