(57)【要約】【課題】工業製品の生産ラインにおいて、ロット処理前後の装置状態を迅速に把握することができる生産管理システムおよび生産管理方法を提供する。【解決手段】複数の処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎについての各種履歴データ（装置履歴データ２１、ロット履歴データ２２、ポート履歴データ、モード履歴データなど）が格納されているデータベースサーバ２０と、データベースサーバ２０に格納されている前記各種履歴データから、抽出条件３２により処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎおよび期間を指定して複種類のデータを抽出し、抽出された前記データを結合し、結合された前記データを時系列に並べ替え、並べ替えられた前記データを処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎごとに統合履歴ファイル３３に出力する手段（履歴データ抽出・統合処理部３１）を有するコンピュータ３０と、を有する。【選択図】図１
2005128676.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
工業製品の生産ラインにおける生産管理システムであって、
複数の処理装置についての各種履歴データが格納されているデータベースと、
前記データベースに格納されている前記各種履歴データから、前記処理装置および期間を指定して複種類のデータを抽出し、抽出された前記データを結合し、結合された前記データを時系列に並べ替え、並べ替えられた前記データを前記処理装置ごとに出力する手段を有するコンピュータと、
を有することを特徴とする生産管理システム。
【請求項２】
請求項１記載の生産管理システムにおいて、
前記データベースに格納されている前記各種履歴データには、前記処理装置の稼動状態の履歴を示す装置履歴データと、前記処理装置におけるロット処理の履歴を示すロット履歴データと、が含まれていることを特徴とする生産管理システム。
【請求項３】
請求項２記載の生産管理システムにおいて、
前記データベースに格納されている前記各種履歴データには、さらに、前記処理装置において処理される製品の投入口の履歴を示すポート履歴データ、および／または前記処理装置において処理される製品の投入方法の履歴を示すモード履歴データ、が含まれていることを特徴とする生産管理システム。
【請求項４】
工業製品の生産ラインにおける生産管理方法であって、
複数の処理装置についての各種履歴データが格納されているデータベースから、前記処理装置および期間を指定して複種類のデータを抽出する第１の工程と、
抽出された前記複種類のデータを結合する第２の工程と、
結合された前記データを時系列に並べ替える第３の工程と、
並べ替えられた前記データを前記処理装置ごとに出力する第４の工程と、
を有することを特徴とする生産管理方法。
【請求項５】
請求項４記載の生産管理方法において、
前記データベースに格納されている前記各種履歴データには、前記処理装置の稼動状態の履歴を示す装置履歴データと、前記処理装置におけるロット処理の履歴を示すロット履歴データと、が含まれており、
前記第１の工程では、前記装置履歴データと前記ロット履歴データから前記複種類のデータが抽出されることを特徴とする生産管理方法。
【請求項６】
請求項５記載の生産管理方法において、
前記データベースに格納されている前記各種履歴データには、さらに、前記処理装置において処理される製品の投入口の履歴を示すポート履歴データ、および／または前記処理装置において処理される製品の投入方法の履歴を示すモード履歴データ、が含まれており、
前記第１の工程では、さらに、前記ポート履歴データおよび／または前記モード履歴データから前記複種類のデータが抽出されることを特徴とする生産管理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生産管理システムおよび生産管理方法に関し、特に工業製品の生産ラインにおける各処理装置の稼動履歴データの管理に適用して有効な技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明者が検討した技術として、例えば、工業製品の生産ラインにおける生産管理においては、ロット処理履歴データファイル、装置稼動履歴データファイルのデータから、処理装置の処理開始時刻およびロットＩＤ（ロット識別コード）をキーにしてソート（並べ替え）して、各履歴データを作成して表示する技術が考えられる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−１５７１１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、前記のような生産管理の技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。
【０００４】
例えば、ロット処理履歴と装置稼動履歴から装置ごとに処理したロットを時系列に把握することは可能であるが、そのロットを処理した前後の装置状態を把握することは困難である。
【０００５】
したがって、そのロットの処理前後の装置状態を調査するために、別途分析が必要となる。そのため、ロット不良が発生した場合、その不良の原因分析を行うのに長時間を要することが考えられる。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、工業製品の生産ラインにおいて、ロット処理前後の装置状態を迅速に把握することができる生産管理システムおよび生産管理方法を提供することにある。
【０００７】
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【０００９】
すなわち、本発明による生産管理システムは、複数の処理装置についての各種履歴データ（処理装置の稼動状態の履歴を示す装置履歴データ、処理装置におけるロット処理の履歴を示すロット履歴データ、処理装置において処理される製品の投入口の履歴を示すポート履歴データ、処理装置において処理される製品の投入方法の履歴を示すモード履歴データなど）が格納されているデータベースと、前記データベースに格納されている前記各種履歴データから、前記処理装置および期間を指定して複種類のデータを抽出し、抽出された前記データを結合し、結合された前記データを時系列に並べ替え、並べ替えられた前記データを前記処理装置ごとに出力する手段を有するコンピュータと、を有するものである。
【００１０】
また、本発明による生産管理方法は、複数の処理装置についての各種履歴データが格納されているデータベースから、前記処理装置および期間を指定して複種類のデータを抽出する第１の工程と、抽出された前記複種類のデータを結合する第２の工程と、結合された前記データを時系列に並べ替える第３の工程と、並べ替えられた前記データを前記処理装置ごとに出力する第４の工程と、を有するものである。
【００１１】
よって、処理装置および期間を指定することで、処理装置の状態履歴に装置ごとのロット処理履歴を時系列に統合して表示するので、ロット処理前後の処理装置の状態を迅速に把握することが可能となる。
【発明の効果】
【００１２】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００１３】
（１）ロット処理状態の前後に装置状態が出力・表示されるため、不良が発生したロットの処理前後における装置状態を簡易な方法で迅速に把握することが可能となる。
【００１４】
（２）装置障害発生後に処理したロットを迅速に把握することが可能となる。
【００１５】
（３）ロット不良となった前後の装置状態を調査することで、ロット不良が発生する前兆の装置状態を事前に把握することが可能となり、その対策を行うことで、生産ライン停止時間の短縮を図ることが可能となる。
【００１６】
（４）ロット処理状態の前後に装置状態が出力・表示されるため、どのような装置状態でロットを処理したのかが明確になり、不良対策において、原因調査工数の短縮を図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１８】
図１は本発明の一実施の形態の生産管理システムの構成および処理フローを示す概略図、図２は図１のコンピュータ３０内の履歴データ抽出・統合処理部３１の処理フローを示すフローチャート、図３は本実施の形態における装置履歴データの一例を示す図、図４は本実施の形態における装置ごとのロット履歴データの一例を示す図、図５は本実施の形態における履歴データ抽出・統合処理部３１の処理結果の一例を示す図、図６は本実施の形態における履歴データ抽出・統合処理部３１の処理結果の一例を示す図である。
【００１９】
まず、図１により、本実施の形態の生産管理システムの構成の一例を説明する。本実施の形態の生産管理システムは、例えば半導体装置などの工業製品の生産ラインにおける生産管理システムとされ、生産基幹システム１０、データベースサーバ２０、コンピュータ３０などから構成され、半導体装置などの工業製品を生産するための複数の処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎに接続されている。
【００２０】
生産基幹システム１０は、半導体装置などの工業製品の生産を管理する生産基幹システムであり、処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎの稼動状態の履歴を示す装置履歴データ１１、処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎにおけるロット処理の履歴を示すロット履歴データ１２、処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎにおいて処理される製品の投入口の履歴を示すポート履歴データ、処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎにおいて処理される製品の投入方法の履歴を示すモード履歴データ、などの各種履歴データが格納されている。
【００２１】
データベースサーバ２０は、生産基幹システム１０内のデータが損傷を受けないように、生産基幹システム１０内の各種データが複製されているデータベースサーバである。
【００２２】
コンピュータ３０は、データベースサーバ２０内の各種履歴データに対して、履歴データの抽出・統合の処理を実行する履歴データ抽出・統合処理部３１などを有するコンピュータである。例えば、履歴データ抽出・統合処理部３１はプログラムなどの形態で存在し、ハードウエアと協働して処理を実行する。
【００２３】
次に図１および図２により、本実施の形態の生産管理システムおよび生産管理方法の処理手順を説明する。
【００２４】
まず、処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎについての各種履歴データ（装置履歴データ１１、ロット履歴データ１２、ポート履歴データ、モード履歴データなど）を生産基幹システム１０に格納する。
【００２５】
次に、生産基幹システム１０内の各種履歴データを複製して、データベースサーバ２０に格納する（装置履歴データ（複製版）２１、ロット履歴データ（複製版）２２など）。
【００２６】
続いて、データベースサーバ２０に格納されている装置履歴データ（複製版）２１、ロット履歴データ（複製版）２２などのデータから必要なデータを抽出してデータ処理（履歴データ抽出・統合）を行う。その際、抽出条件３２によりデータの抽出条件が指定される。抽出条件としては、処理装置、期間などが指定される。履歴データ抽出・統合処理部３１の処理結果として統合履歴ファイル３３が出力される。統合履歴ファイル３３は、コンピュータ３０に接続されたモニタ上に表示され、またはプリントアウトされる。
【００２７】
図２に、履歴データ抽出・統合処理部３１の処理フローを示す。履歴データ抽出・統合処理部３１では、以下の手順（ステップ）で処理が実行される。
【００２８】
ステップＳ１０１で、抽出条件３２を取得する。抽出条件としては、処理装置（装置ＩＤ）、収集期間などの条件を指定する。
【００２９】
ステップＳ１０２で、収集期間と装置ＩＤを確認する。そして、収集期間または装置ＩＤに問題があるときは、処理を終了し、問題がないときはステップＳ１０３へ進む。
【００３０】
ステップＳ１０３で、装置履歴の該当件数を取得する。
【００３１】
ステップＳ１０４で、ロット履歴の該当件数を取得する。
【００３２】
ステップＳ１０５で、最大処理件数を確認する。そして、装置履歴・ロット履歴の該当件数が最大処理件数を超えている場合は処理を終了し、最大処理件数以内の場合はステップＳ１０６へ進む。
【００３３】
ステップＳ１０６で、装置履歴データ（複製版）２１から、抽出条件３２に従って装置履歴のデータを取得する。図３に装置履歴データの一例を示す。装置履歴データは、各処理装置の稼動状態の履歴を示すデータであり、ロット処理とは全く非同期に収集される。図３は、装置ＩＤがＥＱＰ０１である処理装置についての装置履歴データである。図３において、遷移時間は、当該処理装置が処理を行った年・月・日・時刻であり、時刻はミリ秒の単位まで表示してある。装置状態は当該処理装置のスタンバイ（待機）、トラブル発生、処理などの稼動状態を示し、装置メモは問題が発生した時の状態などを示す。
【００３４】
ステップＳ１０７で、ロット履歴データ（複製版）２２から、抽出条件３２に従って処理装置ごとのロット履歴のデータを取得する。図４に処理装置ごとのロット履歴データの一例を示す。ロット履歴データは、各処理装置におけるロット処理の履歴を示すデータであり、ロットに対する作業履歴と処理装置のロット処理履歴から作成される。図４は、装置ＩＤがＥＱＰ０１である処理装置についてのロット履歴データである。遷移時間は、当該処理装置が処理を行った年・月・日・時刻であり、時刻はミリ秒の単位まで表示してある。工程はロットに対して実施した処理内容を示し、ロットＩＤは処理したロットの識別コードを示す。
【００３５】
ステップＳ１０８で、抽出した装置履歴と装置ごとのロット履歴のデータを結合する。
【００３６】
ステップＳ１０９で、処理開始時間をキーにして時系列に並べ替え（ソート）を行う。
【００３７】
ステップＳ１１０で、時系列にソートされた統合履歴ファイル３３を出力し、そのファイルを画面表示または印刷する。図５に、装置履歴のデータ（図３）と装置ごとロット履歴のデータ（図４）を時系列に統合したデータの一例を示す。図５では、２００３年６月２０日６時２９分５３．６３４秒に装置トラブルが発生している。そして、装置トラブル前後に処理したロットがＬＯＴ０１−０１、ＬＯＴ０２−０１〜ＬＯＴ０２−０４であることが迅速に把握することができる。
【００３８】
したがって、装置状態履歴と処理装置ごとのロット履歴が時系列に入れ子で表示されるので、迅速にロット前後の装置状態を把握することが可能となる。
【００３９】
また、装置履歴データとロット履歴データの他に、さらに、ポート（処理する製品を装置に投入する入り口）の履歴、すなわち、処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎにおいて処理される製品の投入口の履歴を示すポート履歴のデータや、処理モード（製品を装置に投入する方法：自動／手動）の履歴、すなわち、処理装置４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎにおいて処理される製品の投入方法の履歴を示すモード履歴のデータなどを時系列に統合して出力・表示することで、そのロットを処理する前後で何が行われたかを迅速に把握することが可能となる。
【００４０】
図６に、ポート履歴のデータとモード履歴のデータを時系列に統合して出力したデータを示す。１番のポート（Ｐｏｒｔ＿ＩＤ：１）に対して処理する製品を、手動（ＭＯＤＥ：Ｍａｎｕａｌ）で投入したのか、自動（ＭＯＤＥ：Ａｕｔｏ）で投入したのかを迅速に把握することが可能となり、不良の原因分析がさらに容易になる。
【００４１】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００４２】
例えば、前記実施の形態においては、各種履歴データをデータベースサーバ２０に複製し、データベースサーバ２０内の各種履歴データ（複製版）からデータを抽出してデータ処理（履歴データ抽出・統合）を行う場合について説明したが、これに限定されるものではなく、データベースサーバ２０を省略して、直接、生産基幹システム１０内の各種履歴データからデータを抽出してデータ処理を行ってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４３】
以上述べたように、本願において開示された発明は、生産ラインで生産されるすべての工業製品について適用可能であり、特に、精密度の高い加工・処理が要求される処理装置を利用して生産される工業製品については最適である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施の形態である生産管理システムの構成および処理フローを示す概略図である。
【図２】図１のコンピュータ内の履歴データ抽出・統合処理部の処理フローを示すフローチャートである。
【図３】本発明の一実施の形態における装置履歴データの一例を示す図である。
【図４】本発明の一実施の形態における装置ごとのロット履歴データの一例を示す図である。
【図５】本発明の一実施の形態における履歴データ抽出・統合処理部の処理結果の一例を示す図である。
【図６】本発明の一実施の形態における履歴データ抽出・統合処理部の処理結果の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０  生産基幹システム
１１  装置履歴データ
１２  ロット履歴データ
２０  データベースサーバ
２１  装置履歴データ（複製版）
２２  ロット履歴データ（複製版）
３０  コンピュータ
３１  履歴データ抽出・統合処理部
３２  抽出条件
３３  統合履歴ファイル
４０ａ，４０ｂ，…，４０ｎ  処理装置
【図１】
2005128676.tif 000003
【図２】
2005128676.tif 000004
【図３】
2005128676.tif 000005
【図４】
2005128676.tif 000006
【図５】
2005128676.tif 000007
【図６】
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