(57)【要約】【課題】  簡易な処理で迅速にシール剤の検査を行うことができるシール剤の検査装置およびその方法、電気光学装置の製造方法を提供する。【解決手段】  基板母材１２上に描画されたシール剤９の形状を検査する。基板母材１２上には、矩形状に形成された矩形部からなるシール剤９がマトリックス状に配列されており、それぞれの矩形部の各辺部分が互いに直交する共通の直線上にそれぞれ位置するように描画されている。このシール剤９の上方にラインカメラ２１を配設し、前記ラインカメラ２１とシール剤９とを相対的に前記直線方向に沿ってそれぞれ平行可能なステージ１１と、ラインカメラ２１をシール剤９に対して相対的に所定の回転角度で回転させることができるロータリシリンダ３４とを備えた。【選択図】    図１
2005128519.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状に形成されたシール剤がマトリックス状に配列され、それぞれのシール剤の各辺部分が互いに直交する共通の直線上にそれぞれ位置するように形成されてなるシール剤の形状または寸法を検査するシール剤検査装置であって、
前記シール剤の上方にライン状に撮像する撮像手段を配設し、
前記撮像手段と前記シール剤を、前記直線方向に沿って相対的に平行移動させる移動機構を備えたことを特徴とするシール剤検査装置。
【請求項２】
前記撮像手段と前記シール剤を、相対的に所定の回転角度で回転させることができる回転機構とを備えたことを特徴とする請求項１に記載のシール剤検査装置。
【請求項３】
前記シール剤の上方に前記共通の直線に跨るように複数の前記撮像手段を配設したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシール剤検査装置。
【請求項４】
前記撮像手段と前記シール剤との相対位置を検出して、各撮像データで撮像された領域を算出する算出手段と、
該算出手段により、各撮像データから共通撮像領域を抽出して、抽出された共通撮像領域を重ね合わせて出力されるように各撮像データを合成する合成手段とを備えたことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のシール剤検査装置。
【請求項５】
前記基板を昇降させる昇降手段を備え、前記昇降手段により前記基板を前記ステージに対して上昇させた状態で前記撮像手段に撮像させることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のシール剤検査装置。
【請求項６】
前記撮像手段によって得られる前記シール剤からの反射光の強度分布に基づいて、前記シール剤の断面形状または断面積を検出することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のシール剤検査装置。
【請求項７】
矩形状に形成されたシール剤がマトリックス状に配列され、それぞれのシール剤の各辺部分が互いに直交する共通の直線上にそれぞれ位置するように形成されてなるシール剤の形状または寸法を検査するシール剤検査方法であって、
前記シール剤の上方にライン状に撮像する撮像手段を配設し、第１の方向に隣り合う前記シール剤と前記撮像手段を、第１の方向に相対的に移動させつつ撮像する工程と、
第２の方向に隣り合う前記シール剤と前記撮像手段を、第２の方向に相対的に移動させつつ撮像する工程と、を有することを特徴とするシール剤検査方法。
【請求項８】
前記シール剤が形成された基板と、他の基板を貼り合わせて形成される電気光学装置の製造方法であって、
請求項７に記載のシール剤検査方法によりシール剤の検査を行う工程を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
前記シール剤の検査工程での検査結果を前記シール剤の描画工程にフィードバックし、前記シール剤の描画状態を調整することを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シール剤の検査装置およびその方法、電気光学装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示パネル等の液晶装置には、一対の基板をシール剤を介して接合し、該シール剤内に液晶を封入してなるものが知られている。この種の液晶装置は、一方の基板にシール剤を例えば略矩形状に描画し、描画したシール剤で区画される領域に液晶を滴下した状態で、他方の基板と貼り合わせることで製造される。
ところで、描画されたシール剤に亀裂が生じていると、その部分に液晶が浸透してしまい、製品の信頼性が損なわれてしまうため、液晶を滴下する前に、シール剤の形状を検査する工程を設けて、シール剤の亀裂の有無を検査する技術が提案されている。
例えば、特許文献１には、基板に形成されたシール剤の画像を取り込むＣＣＤカメラを備え、前記ＣＣＤカメラにより取り込んだ画像をコンピュータで解析してシール剤の断線の幅を検出する技術が提案されている。
【特許文献１】特開２００２−３５０８７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の技術においては、ＣＣＤカメラにより撮像を行っているため、検査対象の不要な領域まで撮像されてしまう。そのため、撮像されたデータからシール剤が撮像された領域を抽出する処理が必要となり処理が煩雑化してしまう。また、一度の撮像で検査できるシール剤の領域は短く抑えられているので、シール剤全体の検査を終了するのに長時間を要してしまい、作業負担が大きくなるとともに、液晶装置の製造工程が長期化してしまうという問題がある。
【０００４】
従って本発明は、簡易な処理で迅速にシール剤の検査を行うことができるシール剤の検査装置およびその方法、電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るシール剤の検査装置は、矩形状に形成されたシール剤がマトリックス状に配列され、それぞれのシール剤の各辺部分が互いに直交する共通の直線上にそれぞれ位置するように形成されてなるシール剤の形状または寸法を検査するシール剤検査装置であって、前記シール剤の上方にライン状に撮像する撮像手段を配設し、前記撮像手段と前記シール剤を、前記直線方向に沿って相対的に平行移動させる移動機構を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この発明によれば、前記撮像手段を前記移動機構により相対的に移動させて、前記撮像手段の撮像領域が前記共通の直線に跨るように前記撮像手段を位置させるとともに、前記回転機構により前記撮像手段の撮像領域の長手方向を前記共通の直線の長手方向に一致するように調整することで、前記撮像手段による撮像される領域の長手方向で前記シール剤の辺部分を撮像することができる。従って、一度の撮像で、各シール剤の広範囲な部位を撮像することができ、撮像された部位のシール剤の状態を一度に検査することができる。
さらに、前記撮像手段と前記シール剤を、相対的に所定の回転角度で回転させることができる回転機構を備えた構成とすると、前記撮像手段で各シール剤を一の直線方向（例えば幅方向）に渡って検査した後に、前記回転機構により前記撮像手段を前記複数の基板に対して相対的に回転させて、各シール剤を他の直線方向（例えば長手方向）に渡って検査することで、各シール剤を漏れなく迅速に検査することができる。
【０００７】
このように、１つの撮像手段のみを用いて簡便な操作で各シール剤の状態を検査することができるので、コストを抑えつつ、簡易な処理で迅速にシール剤の検査を行うことができる。また、撮像する際に、検査する対象の部分にのみ照明を当てればよいので、この点でもコストを抑えることができる。
【０００８】
ここで、前記移動機構により撮像手段と前記シール剤のいずれを移動してもよいが、前記シール剤を移動させるようにすると、前記撮像手段の撮像位置を固定できるので、撮像手段のブレを確実に防止できる点で好ましい。
また、前記シール剤は、各基板毎に形成したものであってもよいし、一つのマザー基板（基板母材）の上に形成されたものであってもよい。
【０００９】
また、前記シール剤の上方に前記共通の直線に跨るように複数の前記撮像手段を配設した構成とすると、前記ステージ上に配列されたシール剤をそれぞれの直線方向（幅方向、長手方向）に前記撮像手段に対して相対的に移動させることで、各シール剤の状態を一度に検査することができるので、製造工程を大幅に短縮することも可能となる。
【００１０】
また、前記撮像手段と前記シール剤との相対位置を検出して、各撮像データで撮像された領域を算出する算出手段と、該算出手段により、各撮像データから共通撮像領域を抽出して、抽出された共通撮像領域を重ね合わせて出力されるように各撮像データを合成する合成手段とを備えることが好ましい。
【００１１】
このようにすると、各撮像データで撮像された領域を前記合成手段により合成して全体像を作成することができるので、前記マトリックス状に配列されたシール剤のうち、どの部位のものが不良を起こしているかを一目で把握することができ、全体の位置関係を容易に把握できる。
【００１２】
また、前記基板を昇降させる昇降手段を備え、前記昇降手段により前記基板を前記ステージに対して上昇させた状態で前記撮像手段に撮像させるようにすることが好ましい。
このようにすると、撮像する際の照明の反射を抑えることができるので、検査の精度を向上させることができる。
【００１３】
また、前記撮像手段によって得られる前記シール剤からの反射光の強度分布に基づいて、前記シール剤の断面形状または断面積を検出するようにしてもよい。この構成によれば、平面形状のみならず、断面形状や断面積として見た場合の良否を判定することができる。
【００１４】
本発明に係るシール剤の検査方法は、矩形状に形成されたシール剤がマトリックス状に配列され、それぞれのシール剤の各辺部分が互いに直交する共通の直線上にそれぞれ位置するように形成されてなるシール剤の形状を検査するシール剤検査方法であって、前記シール剤の上方にライン状に撮像する撮像手段を配設し、第１の方向に隣り合う前記シール剤と前記撮像手段を、第１の方向に相対的に移動させつつ撮像する工程と、第２の方向に隣り合う前記シール剤と前記撮像手段を、第２の方向に相対的に移動させつつ撮像する工程と、を有することを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、一度に広範囲のシール剤の部位を撮像することができ、撮像された部位のシール剤の状態を一度に検査することができる。さらに、前記撮像手段で各シール剤を一の直線方向（例えば幅方向）に渡って検査した後に、前記回転機構により前記撮像手段を前記複数の基板に対して相対的に回転させて、各シール剤を他の直線方向（例えば長手方向）に渡って検査することで、ステージ上に配列された各シール剤を漏れなく迅速に検査することができる。
【００１６】
本発明に係る電気光学装置の製造方法は、前記シール剤が形成された基板と、他の基板を貼り合わせて形成される電気光学装置の製造方法であって、上記本発明のシール剤検査方法によりシール剤の検査を行う工程を含むことを特徴とする。
この構成によれば、各シール剤の検査を迅速に行えるので、信頼性を高めることができる。なお、シール剤の検査は、上記他の基板を貼り合わせる前に行っても良いし、上記他の基板が透明基板であれば、他の基板を貼り合わせた後に行っても良い。
【００１７】
また、上記電気光学装置の製造方法において、前記シール剤の検査工程での検査結果を前記シール剤の描画工程にフィードバックし、前記シール剤の描画状態を調整することが望ましい。この構成によれば、例えばシール剤の描画工程に異常が起こっていた場合、フィードバックが早いため、早急に改善策を講じることができ、正常な状態に戻すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態におけるシール剤の検査装置およびその方法、電気光学装置の製造方法を図面と共に説明する。図１は本発明の実施の形態におけるシール剤の検査装置の平面図である。同図に示したように、検査対象であるシール剤が描画された基板は、平面視略矩形状に形成された直方体形状のステージ１１上に戴置されている。ステージ１１には、図示しないＸＹ駆動機構が設けられ、該ＸＹ駆動機構を制御することにより、ステージ１１の高さ（Ｚ方向）を一定に保ちつつ水平方向（Ｘ方向またはＹ方向）に移動させることができる。
ここで、ＸＹ駆動機構としては、例えば、ステージ１１底面にＸ方向またはＹ方向に延設された搬送レールを設け、該搬送レール上でステージ１１をＸ方向またはＹ方向に移動制御するアクチュエータを有するように構成することができるが、これに限られるものではない。
【００１９】
ステージ１１の上にはガラス基板などの基板母材１２が給材されている。基板母材１２は、ステージ１１上に吸引吸着などの方法で所定の位置に位置決めされた状態で戴置される。また、ステージ１１には、その表面を横断するように昇降可能なリフトピン４１が設けられ、ステージ１１表面に戴置される基板母材１２をステージ１１表面から上昇させた状態で保持できるようにしている（図３参照）。
基板母材１２には、シール剤９が矩形状（額縁状）に複数描画されており、それぞれのシール剤９がマトリックス状に配列されている（図４参照）。また、それぞれのシール剤９は、その各辺部分が互いに直交する共通の直線上にそれぞれ位置するように描画されている。すなわち、互いに同一の行を構成するシール剤９は、行方向（Ｘ方向）の各辺部分が同一直線Ｘ０（図５参照）上に位置するように描画されている。また、互いに同一の列を構成するシール剤９は、列方向（Ｙ方向）の各辺部分が同一直線Ｙ０（図４参照）上に位置するように描画されている。
【００２０】
なお、基板母材１２上のシール剤９で区画された領域は、液晶滴下部８とされ、本実施の形態におけるシール剤９の検査装置による検査が終了した後に液晶が滴下される。これについては後述する。
【００２１】
一方、ステージ１１の上方には長柱状のコラム１３が配設され、該コラム１３にラインカメラ装置２０が装着されている。図２は本発明の実施の形態におけるシール剤検査装置の概略構成図である。同図に示すように、ラインカメラ装置２０は、ステージ１１上の基板母材１２に対向するように配設されるラインカメラ２１と、該ラインカメラ２１の高さ位置を調整するＺ軸調整機構２３と、該ラインカメラ２１をＺ軸に対して回動させる回動機構２２と、を備えている。また、ラインカメラ装置２０は、照明光源２４に接続された光ファイバ２６を備えている。光ファイバ２６の先端部にはライトガイド２５が装着され、ライトガイド２５の先端部から照明用の光が照射される。
【００２２】
図３は図２に示したシール剤検査装置のより詳細な構成図である。同図に示したように、ラインカメラ２１は、開口部を下面に向けた断面コ字状に形成されたクランプ３２に、止めネジ３１により挟持されている。また、クランプ３２の基端側（上端側）には、ベアリング３３を介してロータリシリンダ３４が接続され、該ロータリシリンダ３４を制御することにより、ラインカメラ２１のＺ軸に対する回動角度（θ角度）を制御できるようにしている。
また、クランプ３２の側面には、光ファイバ２６を保持するアーム３５が移動自在に取り付けられており、該アーム３５の姿勢を制御することにより、ライトガイド２５から照射される光の向きを調整することができる。
そして、ロータリシリンダ３４やＺ軸調整機構２４には、それぞれレーザ干渉計等の距離検出センサや回動角度検出センサが装着されており、これらにより、ラインカメラ２１と、ラインカメラ２１の撮像領域５１（図４参照）に位置するシール剤９との相対位置を検出できるようにしている。
【００２３】
また、ラインカメラ装置２０は、図示しない制御端末に接続されている。この制御端末は、検出されたラインカメラ２１とシール剤９との相対位置に基づいて、各撮像データで撮像された撮像領域５１を算出する算出手段と、該算出手段により、各撮像データから共通撮像領域を抽出して、抽出された共通撮像領域を重ね合わせて各撮像データを合成する合成手段とを備えている。
【００２４】
以下、本実施の形態におけるシール剤の検査装置の動作について説明する。
図４、図５は本発明の実施の形態におけるシール剤検査装置の検査工程を示す工程説明図である。まず、基板母材１２はステージ１１上で規制部材やプッシャなどの適宜の位置決め手段を用いて概略位置決めされた状態で真空吸着などで固定保持される。その後、ＸＹ機構によりステージ１１を水平方向に移動することで、ステージ１１上に戴置された基板母材１２のアライメント（原点出し）を行う。
【００２５】
このアライメントは、例えば、基板母材１２に形成された位置決めパターン１４がラインカメラ２１の中心軸に一致するようにして行うことができる。このアライメントにより、ラインカメラ２１の撮像領域５１が基板母材１２の対角線端部に位置するシール剤９角部を含む辺部分に跨るようにラインカメラ２１を位置させるとともに、撮像領域５１の長手方向がこの辺部分を含む共通の直線（この場合はＹ０）に一致するように調整する。
ここで、リフトピン４１をステージ１１表面よりも上昇させて、基板母材１２をステージ１１表面から上昇させた状態で保持する。
【００２６】
次いで、図４に示すように、ラインカメラ２１を固定した状態で、ステージ１１をＹ方向に沿って移動させ、基板母材１２をＸ方向一端側（上端側）からＸ方向他端側（下端側）に向かって移動させる（ラインａ）。このとき、ラインカメラ２１は所定間隔毎に撮像処理を行い、移動させた領域（直線Ｙ０を含む領域）の全体を撮像する。
【００２７】
このようにすると、ラインカメラ２１による撮像領域５１の長手方向で、前記シール剤９の辺部分を撮像することができる。従って、一度の撮像で、各シール剤９の広範囲の部位を撮像することができ、撮像された部位のシール剤９の状態を一度に検査することができる。
【００２８】
このとき、リフトピン４１をステージ１１表面よりも上昇させて、基板母材１２をステージ１１表面から上昇させた状態で保持しているので、撮像する際の照明の反射を抑えることができ、検査の精度を向上させることができる。
【００２９】
そして、基板母材１２をＸ方向他端側まで移動させると、一旦撮像処理を停止して、基板母材１２をＸ方向に移動させて、シール剤９の一列分だけＸ方向に位置をずらす（ラインｂ）。それから、基板母材１２をＸ方向他端側（下端側）からＸ方向一端側（上端側）に向かって移動させる（ラインｃ）とともに、ラインカメラ２１は再度所定間隔毎に撮像処理を行う。
これらの処理を繰り返し行って、マトリックス状に配置したシール剤９の各列に渡って撮像処理を行う。
【００３０】
各列の撮像処理が完了すると、ロータリシリンダ３４を駆動させてラインカメラ２１をＺ軸に対して９０度回転させて、この状態で固定する。そして、図５に示すように、ステージ１１をＸ方向に沿って移動させ、基板母材１２をＹ方向一端側（右端側）からＹ方向他端側（左端側）に向かって移動させる（ラインｄ）とともに、ラインカメラ２１は所定間隔毎に撮像処理を行い、移動させた領域（直線Ｘ０を含む領域）の全体を撮像する。
【００３１】
そして、基板母材１２をＹ方向他端側まで移動させると、一旦撮像処理を停止して、基板母材１２をＹ方向に移動させて、シール剤９の一行分だけＹ方向に位置をずらす（ラインｅ）。それから、基板母材１２をＹ方向他端側（左端側）からＹ方向一端側（右端側）に向かって移動させる（ラインｆ）とともに、ラインカメラ２１は再度所定間隔毎に撮像処理を行う。
これらの処理を繰り返し行って、マトリックス状に配置したシール剤９の各行に渡って撮像処理を行う。
【００３２】
このように、１台のラインカメラ２１のみを用いて簡便な操作で各シール剤９の状態を検査することができるので、コストを抑えつつ、簡易な処理で迅速にシール剤９の検査を行うことができる。また、撮像する際に、検査する対象の部分にのみ照明を当てればよいので、この点でもコストを抑えることができる。
【００３３】
また、各撮像データで撮像された撮像領域５１を前記合成手段により合成することで全体像を作成することができるので、前記マトリックス状に配列されたシール剤９のうち、どの部位のものが不良を起こしているかを一目で把握することができ、全体の位置関係を容易に把握できる。
【００３４】
図６、図７は本発明の他の実施の形態におけるシール剤検査装置の検査工程を示す工程説明図である。これらの図に示すように、マトリックス状に配列された各シール剤９の各列に渡ってラインカメラ２１ｘ１…２１ｘ５をＸ軸上に配設するとともに、各シール剤９の各行に渡ってラインカメラ２１ｙ１…２１ｙ７をＹ軸上に配設しており、この点が前実施の形態と異なっている。
【００３５】
そして、図６に示すように、ステージ１１をＹ方向一端側から他端側に移動させて、各ラインカメラ２１ｘ１…２１ｘ５により各シール剤９の各列の部分を撮像する。それから、図７に示すように、ステージ１１をＸ方向一端側から他端側に移動させて、各ラインカメラ２１ｙ１…２１ｙ７により各シール剤９の各行の部分を撮像する。
【００３６】
このようにすると、前記ステージ１１上に配列されたシール剤９をそれぞれの直線方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に前記ラインカメラ２１に対して相対的に移動させることで、各シール剤９の状態を一度に検査することができるので、製造工程を大幅に短縮することも可能となる。
【００３７】
また、上述のように検査されたシール剤９が用いられる液晶装置の製造方法の一例として、一対の基板の双方が、ストライプ状に形成された複数の電極を具備するパッシブマトリクス型液晶装置の製造方法について簡単に説明する。
【００３８】
はじめに、一対の基板母材（第１の基板母材、第２の基板母材）の各液晶セル形成領域に、電極や配向膜等の必要な要素を形成する。次いで、各液晶セル形成領域毎に額縁状の未硬化シール剤を塗布する。そして、上述したシール剤の検査装置により適正に描画されていると判定されたものについては、シール剤で区画されている領域（液晶セル形成領域）に液晶を滴下する。さらに第１の基板母材と、第２の基板母材とを該シール剤を介して貼着し、複数の液晶セルが一体化された液晶装置ユニットを形成する。次に、液晶装置ユニットの一対の基板母材を圧着しながら、未硬化のシール剤を硬化する。
【００３９】
また、シール剤の検査装置により例えばシール剤の形状に異常があることが発見された場合にはシール剤の粘度を調整する、シール剤の量が不足している場合や過多な場合にはシール剤の吐出量を調整する等、シール剤の検査結果をシール剤の描画工程にフィードバックし、次のロットから適正なシール剤となるように描画状態を調整する。このようにすれば、液晶の漏れ等を検出して初めてシール不良の発生を認識する場合に比べてシール剤描画工程へのフィードバックが早くなり、不良品を長期間作り続けるような不具合がなくなる。不良と判定されたロット自体は、その液晶セルを不良品として管理し、以後の製造工程、検査工程から排除する。もしくは、不良となったシール剤を基板母材上から一旦除去し、描画条件を調整した後、同じ基板母材上に再度描画し直しても良い。
【００４０】
次に、液晶装置ユニットを切断し、複数の液晶セルが一方向に配列した短冊状の液晶装置ユニットに分割する。そして最後に、短冊状の液晶装置ユニットを切断し、複数の液晶セルに分割した後、各液晶セルの外側に偏光子、位相差板等の光学素子を貼着することにより、複数のパッシブマトリクス型液晶装置を同時に製造することができる。
【００４１】
なお、上記実施の形態では、図３に示したように、基板母材１２上にシール剤９を描画した後、他の基板を貼り合わせる前にシール剤検査装置を用いてシール剤の検査を行う例について説明したが、図８に示したように、他の基板１１２がガラス、石英、透明プラスティック等の光透過性を有する基板であれば、他の基板１１２を貼り合わせた後に、他の基板１１２を通してシール剤の検査を行っても良い。図３の方法では描画直後のシール剤９の形状や寸法を検査することができるが、図８の方法では液晶滴下、基板貼り合わせ後のシール剤９、すなわち他の基板１１２によって押圧され、ある程度つぶれた状態のシール剤９を検査することができる。したがって、この方法によれば、完成品により近い状態での検査や良否判定を行うことができる。現状使用されているシール剤は乳白色のものが多いが、このようなシール剤であっても他の基板１１２を通して十分に検査が可能である。また、液晶滴下後に基板を貼り合わせるプロセスではなく、基板貼り合わせ後にシール剤の液晶注入口から液晶の真空注入を行う従来一般の組み立てプロセスに本方法を適用することも可能である。このように、他の基板１１２を貼り合わせた後、他の基板１１２を通してシール剤の検査を行う場合にも、上述した場合と同様、シール剤の検査結果をシール剤の描画工程にフィードバックし、次のロットから適正なシール剤となるように描画状態を調整することが望ましい。不良と判定されたロット自体は、その液晶セルを不良品として管理し、以後の製造工程、検査工程から排除すれば良い。
【００４２】
さらに、上記実施の形態では、シール剤９の平面形状、平面寸法の検査のみについて述べたが、同じ装置を用いてシール剤９の断面形状検査を行うこともできる。この種のシール剤検査装置は、図２に示すライトガイド２５からの照明光が基板母材１２表面で反射した光をラインカメラ２１で検出している。したがって、シール剤９の部分に照明光を照射したときに、図９に示すように、ラインカメラ２１の撮像領域内の位置によって反射光の強度が変化する、いわゆる反射光の強度分布曲線が検出される。ここで、反射光強度分布曲線の形状はシール剤９の断面形状に相当するため、所定の位置の範囲内で反射光強度を積分することによりシール剤９の断面積（強度分布曲線の内側の面積）を検出することができる。例えばこの検査を両基板を貼り合わせた後に行えば、つぶれた状態でのシール剤９の断面形状や断面積という観点から、正常なものが得られているか否かを検査することもできる。
【００４３】
なお、本発明の適用対象は、上述した実施の形態のみに限られるものではなく、例えば、前記シール剤は、各矩形部をそれぞれの基板上に描画してもよい。さらに、複数のシール剤が描画された基板母材の周縁部に描画されるダミーシール剤についても適用することができる。また、液晶装置のタイプとしては、パッシブマトリックス型、アクティブマトリックス型、あるいは透過型、反射型、半透過反射型いずれにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の実施の形態におけるシール剤検査装置の平面図である。
【図２】本発明の実施の形態におけるシール剤検査装置の概略構成図である。
【図３】本発明の実施の形態におけるシール剤検査装置のより詳細な構成図である。
【図４】本発明の実施の形態におけるシール剤検査装置の検査工程を示す工程説明図である。
【図５】本発明の実施の形態におけるシール剤検査装置の検査工程を示す工程説明図である。
【図６】本発明の他の実施の形態におけるシール剤検査装置の検査工程を示す工程説明図である。
【図７】本発明の他の実施の形態におけるシール剤検査装置の検査工程を示す工程説明図である。
【図８】本発明のさらに他の実施の形態におけるシール剤検査の様子を示す説明図である。
【図９】本発明の実施の形態におけるシール剤検査装置の反射光強度分布を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
９…シール剤、１１…ステージ、１２…基板母材、２０…ラインカメラ装置、２１…ライ
ンカメラ、３４…ロータリシリンダ  
【図１】
2005128519.tif 000003
【図２】
2005128519.tif 000004
【図３】
2005128519.tif 000005
【図４】
2005128519.tif 000006
【図５】
2005128519.tif 000007
【図６】
2005128519.tif 000008
【図７】
2005128519.tif 000009
【図８】
2005128519.tif 000010
【図９】
2005128519.tif 000011