(57)【要約】      （修正有）【課題】非接触吸着具に懸垂保持されているワークを傷、曲げ、ストレスをかけずに位置決めし、搬送する非接触搬送具を提供する。【解決手段】高圧空気をワークＨに向かって噴出することにより、高速気流による減圧作用により生じる負圧にてワークＨを非接触にて吸引保持する非接触吸着具Ｇに、ワーク端面に接触する垂直な面を有する固定ガイド１０および移動可能な傾斜面を有する可動ガイド６とで形成される位置決め装置を装着した非接触搬送具にて構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを非接触にて吸引保持する非接触吸着具に、ワーク端面に接触する垂直な面を有する固定ガイドおよび移動可能な傾斜面を有する可動ガイドとで構成される位置決め装置を装着した非接触搬送具。
【請求項２】
前記＜請求項１＞記載の位置決め装置を装着したの非接触搬送具を移送具に装着した非接触搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ、液晶ガラス基板を位置決めした状態にて非接触にて搬送する非接触搬送具に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
非接触搬送具とは、気体をワークに向かって噴出することによりワークとの間隙を通過する高速気流により生じる減圧作用により、ワークを空中に浮遊した非接触状態にて懸垂保持する機能を有している。
【０００３】
ワークは非接触状態にて懸垂保持されているので自由移動が可能である。
【０００４】
そのため移動を規制し、搬送が可能にするためワークの端面に接触させて、ワーク移動を規制するガイドを設けている。
【０００５】
通常ガイドは、垂直なガイドをワークの外形よりやや大きな間隔を設けて、非接触吸着具に取り付けられており、ワークはその間隔内で遊動可能である。
【０００６】
そのためワークの搬送中に遊動を止める場合や位置決めする場合は、ガイドを中心方向に移動させワーク端面を押圧し、ガイドに挟み込み接触させて遊動を停止させる方法を用いてる。
【０００７】
従来の位置決め装置を備えた非接触搬送具としては、特開昭６２−１５７７９２号公報に記載されている「位置決め機構を備えた空気保持装置」がある。
【０００８】
この方法は垂直なガイドを非接触吸着具に移動可能に装着し、非接触にて保持されているワークの外側にあるガイドをシリンダにより移動させ、ワーク端面を押圧してワークを挟み込んで遊動を止め、位置決めする方法である。
【０００９】
この方法であると、ワーク端面を押圧するためワーク端面を欠けさせたり破損し、またワークを押圧するためワークにストレスをかけたり、曲げたり、破損させるという問題がある。
【００１０】
またワークの遊動を止めるためワークを押圧しなければならず、そのためワークが曲がり正確な位置決めは困難であるという問題ある。
【特許文献１】特開昭６２−１５７７９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
解決しようとする問題点は、ワーク端面を欠けさせたり破損させたり、またワークにストレスをかけたり、曲げたり、破損させること無く正確な位置決めをすることである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の問題点は、＜請求項１＞の気体を噴出することによりワークを非接触にて吸引保持する非接触吸着具に、ワーク端面に接触する垂直な面を有する固定ガイドおよび移動可能な傾斜面を有したガイドとで構成される位置決め装置を装着した非接触搬送具により解決できる。
【００１３】
＜請求項２＞は、＜請求項１＞の位置決め装置を装着した非接触搬送具を搬送具に装着した非接触搬送装置である。
【発明の効果】
【００１４】
移動可能なガイドのワーク端面と接触する部分が傾斜している面であるので、ワークは押さえつけるられることはなく摺動するためワーク端面に押圧がかからず
１  ワーク端面を欠けさせたり、損傷させることはない。
２  ワークを破損させない。
３  ワークを曲げることはない。
４  ワークを遊動させない。
５  正確な位置決めが可能。
６  ワークにストレスを生じさせない。
７  ワークを落下させない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
ワークを非接触にて吸引保持する非接触吸着具に、ワーク端面に接触する垂直な面を有する固定ガイドおよび移動可能な傾斜面を有する可動ガイドとで構成される位置決め装置を装着した非接触搬送具により実現した。
【実施例】
【００１６】
図１は本発明の位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａの実施例の平面図であって、図２はその側面図である。
【００１７】
図６に位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａを移送具であるロボットＣに装着した位置決め装置を装着した非接触搬送装置Ｅを示す。
【００１８】
吸着具Ｇは、基体１の上面中央部に、高圧空気源に接続する空気供給口２が設けられ、該気体供給口２は管路３を通り基体１の下方に開口する空間にて形成されるクッション室４に通じており、クッション室４の底部周囲には作動面５を形成している。
【００１９】
吸着具Ｇの側端にはワークＨの保持時にワークＨの動きを規制する垂直面９を有する固定ガイド１０が２ヶ、可動ガイド６が１ヶ、１２０°間隔で設けられている。
【００２０】
固定ガイド１０の下端はワークＨを非接触にて保持した場合に、該下端がワークＨ端部上面より下方に位置している。
【００２１】
可動ガイド６の下端には吸着具Ｇの中心に向かって爪８が形成され、該爪８の底面は上方に向く傾斜面７を有している。
【００２２】
可動ガイド６は吸着具Ｇに上面に装着されシリンダ１１に取り付けられており、吸着具Ｇの中心方向に前後進する。
【００２３】
上記の構成にて位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａを構成する。
【００２４】
作動面５はワークＨと対向する。
【００２５】
空気供給口２より高圧空気を吸着具Ｇに供給した場合、作動面５とワークＨとの間隙が大なる時、クッション室４はエゼクタ効果により負圧になり、また作動面２と通気性シートＨとの間隙は高速空気流により負圧になり、ともにワークＨに対して吸引力が働く。
【００２６】
ワークＨが吸引され作動面５とワークＨとの距離が小になると、クッション室４および作動面２と通気性シートＨとの間隙は、急激に正圧になりワークＨを引き離す。
【００２７】
ロボットＣに位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａを装着して、台２２に搭載されたワークを懸垂し搬送する位置決め装置を装着した非接触搬送装置Ｅを構成する。
【００２８】
ロボットＣのアーム２３に装着された位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａが台２２に搭載されているワークＨ上に近接したときに、高圧空気を空気供給口２より供給し、ワークＨに向かって噴出する。
【００２９】
ワークＨは発生する負圧により、位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａに吸引保持される。
【００３０】
その状態にて、図３に示すようにシリンダ１１を後退させ可動ガイド６の爪８の斜面７をワークＨに接触摺動させ、ワークＨを固定ガイドＧに押し当て位置決めする。
【００３１】
ワークＨは斜面７により少し押し下げられるためワークＨに弱い吸引力が働き、斜面７に弱い力で押し付けられ、遊動することはない。
【００３２】
ワークＧは斜面７と摺動しながら押されるため、ワークＨを固定ガイド９に押し当てる力は非常に弱く、また吸引力により斜面７に押し付け当てられる力も非常に弱く、ワークＨの端部を損傷したり、ワークＨを曲げたりまたストレスをかけることはない。
【００３３】
シリンダ１１の後退距離は、ワークＨの端が固定ガイド１０の垂直面９に接触し、ワークＨの他端が斜面７に摺動し、微少量し押し下げられワークＨに弱い吸引力が働き、ワークＨの遊動が停止する位置になるように設定している。
【００３４】
次にアーム２３を上昇、回転させ所定の場所まで移動させ、位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａへの高圧空気の供給を停止すると同時に、シリンダ１１を前進させ、ワークＨを位置決めした状態にて位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａより脱着させる。
【００３５】
非接触搬送装置Ｅは、ワークＨをガイドにより損傷させることなく非接触状態にて搬送し、脱着する。
【００３６】
図４に示すように、爪の形状１５は斜面１６は下方に傾斜しているものでも良い。
【００３７】
この場合は、斜面１６によりワークＨが持ち上げられ作動面５に接近するため、ワークＨに反発力が働きワークＨを引き離し、斜面１６に押しつけられるためワークＨが遊動することを防止する。
【００３８】
可動ガイドは、図５に示すようにクッション効果のある緩衝具２０に取り付けたバー２１もよい。
【００３９】
固定ガイドおよび可動ガイドの数は、ワークの形状、搬送方法によりその数、配置を決定する。
【００４０】
可動ガイドの移動機構は、シリンダ以外に前後進する移動機構、例えばネジ、形状記憶材を用いた機構もよい。
【００４１】
吸着具Ｇは本実施例の機構以外に、空気を噴出することにより負圧を発生する機構のものであればよく、例えば特開平７−８８７９２号公報記載の非接触吸着具でもよい。  
【００４２】
その他吸着具Ｇは静電気、磁気、空気吸引を利用してワークを非接触にて懸垂保持する吸着具もよい。 
【００４３】
位置決め装置を装着した非接触搬送具ＡはロボットＣに限らず、仕様に応じた往復運動、昇降運動、回転運動可能な移送具に装着してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
ウエハ、ガラス基板、セラミック等の精緻な精密部品を非接触にて所定の位置に搬送する装置に用いられる可能性がある。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａの側面図＜請求項１＞。
【図２】本発明の位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａの平面図る＜請求項１＞。
【図３】本発明の位置決め装置を装着した非接触搬送具Ａの操作を示す側面図である＜請求項１＞。
【図４】本発明の別の可動ガイド１５を示す側面図である＜請求項１＞。
【図５】本発明の他の可動ガイド１９を示す側面図である＜請求項１＞。
【図６】本発明の位置決め装置を装着した非接触搬送具を装着した非接触搬送装置である＜請求項２＞。
【符号の説明】
【００４６】
１  基体
２   空気供給口
４  クッション室  
５  作動面
６、１５  可動ガイド
７、１６  斜面
８、１７  爪
９  垂直面
１０、１３  固定ガイド  
１１，１４  シリンダ
Ｇ  吸着具
Ｈ  ワーク
Ｃ  ロボット
Ｅ  位置決め装置を装着した非接触搬送装置
【図１】
2005317857.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2005317857.tif 000006
【図５】
2005317857.tif 000007
【図６】
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