(57)【要約】 【課題】  複数のレーザ光源にビットマップメモリからの画像を割り振って、分割して感材上を露光し、その分割像を接続して１つの合算像として描画する。【解決手段】  レーザ光源と、そのスポットを投影する光学系を対にして複数配設し光学ヘッド１を構成する。このヘッド１に配設した各レーザ光源からのスポット結像位置を変位量検出部７で計測し、基準位置とのずれ量を求めて記憶部２３に記憶する。この記憶値を制御ユニット８で読み出し、そのｙ側ずれ量を駆動制御部４の指令で移動する感材部２の現在位置と比較する。その比較結果で読み出したビットマップメモリ３９からのデータと、前記記憶値のｘ側ずれ量を光源コントロール部９に送って各レーザ光源の発光指令信号とする。指令を受けたレーザ光源が光学ヘッドと対向する位置に設置した感材部２上を露光し、レーザ光源毎の分割像を接続して合算し１つの描画像を得るようにした。 【選択図】    図１ 
2005128329.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光源と、そのレーザスポットを投影する光学系を複数配設して構成した光学ヘッドと、この光学ヘッドからの各レーザスポットを受けてその結像位置と予め定めた基準位置とを比較し、ｘ、ｙ方向のずれ量として検出しレーザスポット毎に記憶する変位量検出部と、前記光学ヘッドと対向する位置に設置される感材部を、光学ヘッドに対して相対的にＸＹ方向に変化させる送り手段を有する駆動制御部と、この駆動制御部によって順次変化する感材部の現在位置と前記変位量検出部の各ｙ側記憶内容を比較して、描画すべき画像を記憶したビットマップメモリのｙ側読み出しアドレスをずれ量分だけ補正して出力する演算部と、前記アドレスによりビットマップメモリから読み出した画像と前記変位量検出部のｘ側記憶内容を光学ヘッドの各レーザ光源に伝へ、ｘ側記憶内容にずれがあるとき、そのずれ量分だけ補正してレーザ光源を発光させ感材部上を露光していく光源コントロール部と、を備えたことを特徴とする光描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光描画装置に関するもので、特に複数のレーザ光源にビットマップメモリからの画像データを割り振って与え、そのレーザスポットで感材上を露光し、レーザ光源毎の分割像を接続して合算し１つの描画像を得るようにしたものである。
【背景技術】
【０００２】
光ビームを用いて画像を感材上に描画していく装置は、各種の分野で使用されている。例えばＩＣのパターンやプリント基板などを扱う業界では、日々多用されているだけでなく、実装密度を高めるためや一層のスピード化・小型化を図るために工夫と改良が進められている。
このような光描画装置の１つとしてステッパーが知られている。これはＩＣなどのパターンを予めマスクとして作成し、この作成したマスクを光学系中に別途設置して、それを縮小撮影して感材に投影していくものである。そのため感材上では０．２μｍ程度の線径が得られるものが実用化されており、現在多くの台数が提供されている。しかしマスクを予め準備することが必要であり、装置自身もステップ機構を組み込むこともあってどうしても大型化し高価になってしまう。従って小形で安価なマスクレスの光描画装置が望まれている。またダイレクトに光描画できるものとしてポリゴンミラーを利用した各種の装置が知られている。これらの装置は比較的小型で安価に製造できるという利点があるが、光学系が走査系であるためどうしても軸外光線を使用しなければならず、その分、光スポット径が太くなってしまい１０μｍ位が限界となっている。またポリゴンミラー面から感材上までの距離がｆθレンズの設置などによって長くなっしまう場合が多く、ポリゴン面での反射角の変化によってはビーム束が楕円になってしまうという弊害もある。そのため中心光軸だけを利用した光学系で、感材面までの距離を短くして絞り込んだスポット径のビームで高精細の描画が出来る装置が望まれる。電子線を利用した描画装置も知られている。しかしこの装置によれば、極細スポットを得ることが出来るが内部を真空にしたユニットが必要であり、その中で描画させなければならない。
描画速度を向上させるために複数のレーザ光源をヘッド上に設置した、いわゆるマルチビーム方式というものも知られている。この方式によればヘッド全体を移動させることで複数のビームを同時に利用できるという利点がある。しかし発生させたマルチビームの各間隔はヘッドに設置したレーザの取り付け位置によって制限され、取り付け位置に誤差があればそれを救済することもできない。また１つのポリゴンミラーを用いてマルチビーム化した複合型のものも知られている。この複合型によれば１つのポリゴンミラーに複数のレーザ光源からの光ビームを与え、その反射光を光源毎に異なる結像面に導くようにしている。そのため１つのポリゴンミラーから光源数に見合った分の出力数を短時間の基に得ることが出来るという利点がある反面、ポリゴンミラーからの反射光を別個に導くための光学系数が増加してしまい、装置全体が大型化して光学系毎の濃度調整も必要となる。
【特許文献１】特開２０００−２８４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は上記問題を解決した光描画装置を提供することを目的とする。即ち、小形で安価なマルチビーム方式のマスクレス光描画装置を提供することである。それもレンズの中心光軸だけを利用した光学系によるスポット径で高精細のビームが得られるようにした装置を提供することである。そしてさらに光学ヘッドに搭載した複数レーザ光源と、そのレーザスポットを投影する光学系の取り付け位置に誤差があったとしてもそれを救済して、分割露光した像を１つの合算像として接続しながら描画できるようにし、光源などの取り付け精度を大幅に緩めたヘッドを利用可能とすることである。それによって１つの画像を光源数に応じて分割出力しても、それらを接続して合算した像とすることを可能とし、高速描画が出来るようにした装置を提供しようとすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するため本発明は、レーザ光源と、そのレーザスポットを投影する光学系を複数配設して構成した光学ヘッドと、この光学ヘッドからの各レーザスポットを受けてその結像位置を予め定めた基準位置と比較し、ｘ、ｙ方向ずれ量として検出しレーザスポット毎に記憶する変位量検出部と、前記光学ヘッドと対向する位置に設置される感材部を、光学ヘッドに対して相対的にＸＹ方向に変化させる送り手段を有する駆動制御部と、この駆動制御部によって順次変化する感材部の現在位置と前記変位量検出部の各ｙ側記憶内容を比較して、描画すべき画像を記憶したビットマップメモリのｙ側読み出しアドレスをずれ量分だけ補正して出力する演算部と、前記アドレスによりビットマップメモリから読み出した画像と前記変位量検出部のｘ側記憶内容を光学ヘッドの各レーザ光源に伝へ、ｘ側記憶内容にずれがあるとき、そのずれ量分だけ補正してレーザ光源を発光させ感材部上を露光していく光源コントロール部と、を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
本発明は、複数の光源と、その撮影光学系を対にして配した光学ヘッド１と、感材部２の両者を相対的に移動させて感材上に所望画像を描画していくようにしたから、光学ヘッドに配設した複数光源で直接感材部を露光していくことができ、マスクレスとすることができる。またレンズの中心光軸だけを利用する光学系としたので高精細スポットの描画を行うことが出来る。そして前記複数光源等の取り付け位置に誤差があったとき、それを救済して発光することができるようにしたから、１つの画像を複数に分割した像として出力したとしても、それを正確に接続して合算した１つの画像とすることが出来る。それによって分割数に応じた高速描画を進めることが出来る。しかも光源等の位置誤差の救済は、光学ヘッドの製造組立と調整作業を容易にすることが出来るという大きな副次的効果ももたらす。そして全体として経済的にも安価な光描画装置を提供することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下に本発明に係わる光描画装置について図面を参照しながら説明する。図１は本発明装置の概略ブロック図である。図において１は基台上にレーザ光源と、そのレーザスポットを投影する光学系（以下両者をまとめてＬＰという）を複数配設して構成した光学ヘッドで、ｘ方向に移動できるようステージ上に取り付けられている。２は感材部で、光学ヘッド１と平行な平面上をｙ方向に移動できるよう図示してないステージ上に取り付けられ、前記各ＬＰからのスポットによって露光される。４は光学ヘッド１と感材部２をｘ、ｙ方向に移動させて、両者の位置関係を相対的に変化させる送り手段を備えた駆動制御部である。この駆動制御部４にはｘ、ｙ方向のステージと連結するモータやボイスコイルなど各種の駆動部とその制御部、それと前記相対的な変化量を知るための現在位置判定部などが収容されている。５は光学ヘッド１のｘ方向移動量を検出し駆動制御部４に伝えるｘ方向の現在位置検出器、６は感材部２のｙ方向移動量を検出し駆動制御部４に伝えるｙ方向の現在位置検出器である。７は変位量検出部で、光学ヘッド１に配設した各ＬＰの取り付け精度を検出する。詳しくは後に述べるが各ＬＰからの光を受け、その発光位置を予め定めた基準位置からのずれ量として検出する。検出した値はｘ、ｙ方向のずれ量として内部の記憶部に記憶され、制御ユニット８によって読み出される。読み出された一方のｙ側ずれ量は、前記駆動制御部４の指令で順次変化していく光学ヘッド１と感材部２の現在位置と比較照合される。その結果、得られた信号をアドレスとして制御ユニット８内のビットマップメモリをアクセスし、その１ライン分のデータを読み出して光源コントロール部９に送り出す。ｘ側のずれ量は変位量検出部７から直接光源コントロール部９に伝えられ、光学ヘッドの各ＬＰに対する発光指令信号となる。そのため光学ヘッド１は、前記した駆動制御部４によって第１の位置と第２の位置間を選択的に移動し、変位量検出部７と感材部２上に対向するよう設置される。１０は装置全体を制御する制御ユニット８への入力部で、マウス、キーボードの他、ＭＯやＣＤなどの読み取り装置で構成される。
本発明による光描画装置は、上記のようにまずＬＰを複数配設して光学ヘッド１を構成する。そしてこのヘッドを第１と第２の位置に移動自在となし、第１の位置にあるときヘッド上に配設した各ＬＰの取り付け位置を１つの変位量検出部７で計測し、基準位置と比較してそのずれ量を求めて記憶する。次いでこの記憶値に基づいて各ＬＰの発光タイミングを決定し、そのタイミングでＬＰ毎に分割露光して作成した各像を接続して１つの合算像となし、求める描画を感材部２に行っていくようにした。そのため光学ヘッド１は、描画動作を開始する前に感材部２と同等位置に設置した変位量検出部７によってＬＰ取り付け位置の計測が義務づけられ、その後、第２位置に移動して各ＬＰからのスポットが感材部２を露光できるように移動される。そのため駆動制御部４の指令で動作する送り手段は、前記計測によって検出されるずれ量に見合った送り分解能が必要となる。以下に詳しく説明していく。
【０００７】
図２は光学ヘッド１に配設した各ＬＰと感材部２に得られる描画像の関係について示した説明図である。図２Ａはヘッド１ＡにＬＰａ〜ＬＰｄの４つのＬＰを仮想の基準線１１に沿って配設した状態を示したもので、それぞれｄｘの間隔を持っている。このような光学ヘッド１Ａの各ＬＰを後に述べるビットマップメモリの記憶内容に対応したデータで同時に点灯し、図の矢印１２方向にｄｘだけ駆動制御部４によって移動させると、感材部２内に設置した感材１３には、４つのＬＰａ〜ＬＰｄによって長さＸの像１４が得られる。つまり各ＬＰの配設間隔ｄｘに見合った各ＬＰ毎の分割露光像が接続合算されて１つのＸ画像１４となる。そのため１つのＬＰでＸの長さの描画像を得る場合に比して１／４の速度で得ることが出来る。
図２Ｂによるものは、光学ヘッド１Ｂに４列のＬＰａ〜ＬＰｄを、３行ＬＰ１〜ＬＰ３、仮想の基準線１１、１５に沿って配設したもので、各ＬＰの間隔はそれぞれｄｘとｄｙとなっている。このような光学ヘッド１Ｂに図１の光源コントロール部９から信号を送り、各ＬＰをビットマップメモリの内容に対応したデータで同時に点灯し、図２Ａの矢印１２と同じ方向にｄｘ相当分だけヘッド１Ｂを移動させたとすれば、ＬＰ１〜ＬＰ３を構成する各ＬＰによって１４−１〜１４−３の像が感材１３に同時に得られる。この像１４のそれぞれはＬＰａ〜ＬＰｄの配設間隔ｄｘに見合った分割露光像が接続合算されて長さＸの１つの像となったものである。こうして３つの像１４−１〜１４−３が得られたら、感材１３を図の矢印１６方向にｄｙだけ図１の駆動制御部４を動作して移動させると、感材１３には各列を構成する４つのＬＰａ〜ＬＰｄによって長さＹの画像１７が得られる。つまり行方向のＬＰ間隔ｄｙに見合った露光像の合計で１つのＹ画像１７となり、この像１７が４つ作成される。但し、図では混雑さを避けるためＬＰｄによる列で作成された像１７ｄだけを示したものとなっている。
本発明では上記のように光学ヘッド１をｘ方向に移動することで感材１３上にｘ方向の露光を与へ、感材１３をｙ方向に移動することでｙ方向への露光を与えることを基本としている。そのためｘ、ｙ両方向への相対的な移動と複数配設したＬＰのオン・オフを、ビットマップメモリに収容したデータに基づいて関連づけるようにすれば所定の描画を行っていくことが出来る。従って基準線１１、１５に沿わせて配設した複数のＬＰを同時に点灯し、ヘッド１を矢印１２方向にｄｘだけ移動させれば、ＬＰの行方向の数（この場合ＬＰ１〜ＬＰ３）に合った像１４−１〜１４−３が同時に得られる。また像１４の露光後に感材１３を矢印１６方向にｄｙだけ移動させれば、ＬＰの列方向の数（この場合ＬＰａ〜ＬＰｄ）に合った像１７ａ〜１７ｄが同時に得られる。
【０００８】
図３は光学ヘッド１Ｃと感材１３に得られる描画像についてさらに説明するものである。図Ａは３行×３列のＬＰを配した光学ヘッド１Ｃを示したもので、ｄｘとｄｙの間隔を持って仮想基準線１１、１５に沿って配されている。図Ｂ〜Ｄはこのヘッド１Ｃによって得られる描画像を示したものである。同図Ｂにおいて太線で示した像１４−１は、ＬＰ１を構成するＬＰａ〜ＬＰｃからの露光によって得られる合算した像である。像１４−２は、ＬＰ１から間隔ｄｙだけ隔てられた位置に配されたＬＰ２のＬＰａ〜ＬＰｃによって露光された合算像である。像１４−３も同じようにＬＰ３を構成するＬＰａ〜ＬＰｃの露光によって作成された像である。従って全ＬＰを同時に点灯し、図３Ａに示した矢印１２方向にヘッド１Ｃをｄｘ分だけ移動することで、長さＸの３つの像１４−１〜１４−３を同時に求めることが出来る。
図Ｃによるものは、図Ｂの状態から感材を矢印１６方向にｙ１分だけ移動して像１８を作成したものである。即ち、図Ｂで像１４の描画が終了したらヘッド１Ｃを図Ａの矢印１２と逆方向に移動して原点に復帰させる。この復帰動作は制御ユニット８からの指令で駆動制御部４を動作し、その送り手段によって光学ヘッド１Ｃを移動させる事によって行う。この復帰動作中にやはり駆動制御部４から感材部２に指令を送って図Ｃの矢印１６方向にｙ１だけ移動させる。そして全ＬＰを点灯しながら光学ヘッド１Ｃを図Ａの矢印１２方向に移動していけば、３つの像１８−１〜１８−３を得ることが出来る。勿論、各像１８−１〜１８−３は、像１４の場合と同じようにヘッド１Ｃ上のＬＰ間隔ｄｙに相当する分だけ隔てられた感材上の位置に、ＬＰａ〜ＬＰｃの露光によって作成された分割像を接続した合算像である。
図Ｄによるものは、図Ｃの状態からさらに感材１３を矢印１６方向にｙ１分だけ移動して像１９を作成したものである。即ち、図Ｃで像１８の描画が終了したらヘッド１Ｃを図Ａの矢印１２と逆方向に移動して原点に復帰させる。この復帰動作中に駆動制御部４から感材部２に指令を送って感材１３を矢印１６方向にｙ１だけ移動させる。そして全ＬＰを点灯しながら光学ヘッド１Ｃを矢印１２方向に移動させれば、点線で示した３つの像１９−１〜１９−３を描画することが出来る。この像１９−１〜１９−３は像１８の場合と同じようにヘッド１Ｃ上のＬＰ間隔ｄｙに相当する分だけ隔てられた位置に、ＬＰａ〜ＬＰｃの露光によって描画された合算像である。
以上のようにＬＰを複数配設したヘッド１Ｃをｘ方向１２に移動し、このヘッド１Ｃと平行平面上を移動するように設置した感材部２を、ｙ方向１６に順次ｙ１だけ移動していくことによって複数の像１４、１８、１９を描画していくことが出来る。図では、この像１４、１８、１９を区別するため太線、実線、点線として示したが、実際には同じ像であることは明白であろう。そして例えばｄｘとｄｙを５ｍｍとし、ＬＰによって得られるビーム径を１μｍとすれば、図３の例ではＸ＝１５ｍｍの長さの像が得られる。そして各ｄｙ間には１４、１８、１９のような像を５０００本描画する事が出来る。また図３の例では３×３のＬＰがヘッド１Ｃに配されたものとなっているが、これを８×８とすれば４ｃｍ四方の画像を得ることが出来、２４×２４のヘッドとすれば１２ｃｍ四方の画像を得ることが出来る。このような光学ヘッドを使用すればＬＰの数に応じたサイズの描画を行うことが出来る。
図３Ｅによるものはｙ方向の像を得るときの説明図である。図２Ｂの例ではｄｙ分の１回の送り動作で像１７を得るものとなっていた。この図３Ｅの例では前記したｙ１の送りとヘッド１のｘ方向の往復運動で得るようにしたものである。図において任意の像、例えば１８−１を露光後、ヘッドをｘの原点に復帰させると共に、感材１３をｙ１だけ移動させる。そして光学ヘッド１を矢印１２で示した順方向に移動させ、任意のＬＰ、例えばＬＰ１のｃが図のＬＳ位置に来たときそれを発光し、ＬＥ位置に来たときそれを消灯する。すると１７ｃ１の像が出来る。次にヘッド１を原点に復帰させ感材１３の２回目ｙ１送りを実施する。そしてヘッドを矢印１２方向に移動してＬＰｃがＬＳ位置に来たとき発光し、ＬＥ位置に来たとき消灯すると１７ｃ２の像が出来る。同様にヘッドの往復移動と感材のｙ１送りを繰り返して行うことによって、ｄｙに相当する長さのｙ方向像１７ｃが得られる。そしてこの場合、ＬＳからＬＥまでが像１７ｃの線幅ｗとなる。このように図２Ｂで説明したｄｙ分の像１７を１回の送り動作で求める場合だけでなく、ｙ１分の感材送りとヘッドの往復運動の繰り返しを多数回行って、ｄｙ相当分の像を求めるということも加えることで描画の利用範囲を大きく拡張することが出来る。
【０００９】
以上説明してきた光学ヘッド１は、全て仮想基準線１１、１５に沿って正確に配設されているものであった。そのためヘッド１や感材部２を移動させても複数のＬＰによって１つの像として接続し合算する事が出来た。しかしながらヘッドに配されるＬＰの位置は、取り付け時の調整やヘッド製作時の誤差などによってバラツキが発生する。このバラツキを吸収しないと露光した分割像は１つにつながらず、使用できる品質の画像を作成することは出来ない。
本発明はこのバラツキを吸収するため変位量検出部７を使用する。この検出部７は光学ヘッド１と平行平面上に設置され、光学ヘッド１が第１の位置である検出部７上に移動することによってそこに配設された各ＬＰからの光を受光する。そして検出部７上に予め定めた基準位置と各ＬＰからの光点位置とを比較し、ｘ、ｙ方向のずれ量としてを算出し記憶する。そしてこの算出結果のうち、ｙ側内容で描画する画像を記憶したビットマップメモリの読み出しアドレスを補正し、ｘ側内容で光学ヘッド１の発光タイミングを補正し、それによって全ＬＰがあたかも基準線１１、１５に沿って正確に配設されているものとして扱えるようにした。
図４は変位量検出部７を説明するための図である。同図Ａにおいて光学ヘッド１Ｃには図３Ａと同じように３行×３列のＬＰが配設されている。このようなヘッド１Ｃを第２の位置である感材部２面上から平行移動して変位量検出部７の第１位置で規定し、各ＬＰからの光点を検出部７で検出できるようにする。つまりヘッド１は装置本体に固定した感材部３と変位量検出部７上の第１と第２の位置を選択的に移動して、移動したときのそれぞれの位置が規定できるよう準備される。図４の例では検出部７をレチクル等の位置判定部材を用いて構成してあり、図Ｂのような光学的寸法線２０が予め施されている。この寸法線２０は、ヘッド１Ｃ上のＬＰと同じようにｄｘとｄｙに相当する間隔をもって配されていて、その各交点２１は基準点として作用し、この基準点上で各ＬＰからの光点を受けたとき、ヘッド上での各ＬＰ取り付け位置が正常であると判定し、記憶部２３に「ｘ＝０、ｙ＝０」を送り出す。実際には各交点２１とＬＰの光点位置が完全に一致する必要はなく、両者の位置関係が任意の位置を基準としたとき相似関係にあると検出されればよい。
今、ヘッド１Ｃを検出部７上で位置規定し、全ＬＰを点灯してその光を検出部７に向かわせたとき、仮にＬＰ２行のＬＰｂ列（以下ＬＰ２・ｂという）からの光が寸法線２０上で基準点となる交点２１ｂより外れた位置２２に結像したとする。すると検出部７は寸法線２０からの変位量Δｙ１を求め、例えばこのΔｙ１は交点２１ｂより下側に２ドットずれていることを表す「＋２」として記憶部２３に送り出し、光源ＬＰ２・ｂは「ｘ＝０、ｙ＝＋２」のずれがあることを記憶する。同じようにＬＰ３・ｃからの光が寸法線２０上で基準点２１ｃより外れた位置２４に結像したとする。すると検出部７は寸法線２０からの変位量Δｙ２を求め、例えばこのΔｙ２は交点２１ｃより上側に２ドットずれていることを表す「−２」として記憶部２３に送り出し、光源ＬＰ３・ｃでは「ｘ＝０、ｙ＝−２｝のずれがあることを記憶する。
図５はこの時のＬＰ位置と記憶部２３の記憶内容を示したものである。ヘッド１Ｃ上のＬＰ２・ｂは、前記のように基準線１１より基準線１５上でΔｙ１相当分だけずれて配置されており、またＬＰ３・ｃも基準線１１より基準線１５上でΔｙ２相当分だけずれて配置されたものとなっている。このようなヘッド１Ｃを変位量検出部７上で位置規定し点灯すると、検出部７は各ＬＰからの光を受けて寸法線１５、２０によって規定される基準位置と位置関係を照合し、その結果を記憶部２３に送り出す。ＬＰ１を構成する３つのＬＰａ〜ＬＰｃからの光は、いずれも寸法線２０の交点２１上にあるのでずれ量は「０」であり、従って記憶部２３にはＬＰａ、ＬＰｂ、ＬＰｃともにｘ側「０」、ｙ側「０」が図のように記録される。ＬＰ２を構成するＬＰａとＬＰｃからの光も、検出部７上で交点２１上に位置しているのでｘ、ｙ側とも「０」が記録される。しかしＬＰｂからの光は前記のようにΔｙ１だけずれた位置に結像するので、そのずれ量は「＋２」と判定され、記憶部２３に「ｘ＝０、ｙ＝＋２」が記録される。同じようにしてＬＰ３を構成するＬＰの内、ＬＰａとＬＰｂはｘ、ｙとも「０」が記録され、ＬＰｃが「ｘ＝０、ｙ＝−２」として記録される。
以上のようにして全ＬＰの位置情報が記憶部２３に記録されると、その内容は制御ユニット８によって読み出され次の工程に進む。尚、図４、５ではＬＰがｙ方向にだけずれている場合を例としているが、実際にはｘ方向にもずれは発生し、ｘ、ｙ方向とも寸法線（基準位置）２０から外れてしまうということも起こり得る。変位量検出部７はこれらのずれ量をＬＰ毎に計測し、その結果を図５に示したように記憶部２３に記録して全ＬＰの位置情報を求める。また図４の例では検出部７の位置判定部材を光学的寸法線２０を施したレチクルを使用したときのものとなっているが、この判定部材をとしては４分割フォトダイオードやＰＤＳ（ポジショニング・センシティブ・デバイス）なども基準位置からの変位量を検出できるものとして使用することが出来る。
【００１０】
図６に示した表２５は、図１の制御ユニット８に収容される演算部内での演算結果を示した説明図である。この表２５は前記した図４の記憶部２３から読み出したＬＰのｙ側ずれ量信号と、感材部２のｙ方向移動量を検出する現在位置検出器６からの信号を受けて両者を比較照合し、演算した結果を説明用としてまとめたもので実際には存在しない。演算結果は制御ユニット８内に設置したビットマップメモリの画像データ読み出し位置（アドレス）指令信号となる。
図において左上に示した２６の欄はヘッド１の行方向ＬＰ１〜ＬＰ３を示し、２７の欄は列方向のＬＰａ〜ＬＰｃを示している。また２８の欄は感材部２の現在位置をＹ値として示したもので、この例では各ｄｙ間で−２から＋２迄あり、その間に０〜９の位置が示されている。つまり例えば、図３の各ｄｙ間を０〜９の１０本の画線で描画し、ＬＰの取り付け誤差を±２の範囲で許容する例となっている。従って±２を超える取り付け誤差のあるＬＰを配設した光学ヘッド１は、この図６の対象外となる。
図５を用いて説明したように光学ヘッド１のＬＰ１を構成している３つのＬＰａ〜ＬＰｃは、いずれもその光点を図４Ｂの基準位置２１に結ばせているからずれ量はない。そのためｘ、ｙとも「０」が記憶部２３に記録される。この記憶部２３から読み出されるずれ量のうちｙ側信号は、感材部２のｙ側現在位置検出器６信号と演算部８で比較される。まず感材部２の現在位置が検出器６によって「−２」、「−１」と順次検出されながら、ＬＰａ〜ＬＰｃのずれ信号「０」とそれぞれ比較される。しかし後に説明するビットマップメモリには「−２」と「−１」に相当するアドレスがないから、その読み出し位置を指令するデータは出力されない。図６ではこれをＬＰ１内に２９を付した「×」で示した。感材部２がｙ方向に順次「−２」、「−１」から「０」位置に移動すると、その感材位置信号「０」と記憶部２３からのずれ信号「０」が演算部８で比較加算され、ビットマップメモリから画像を読み出すためのアドレス信号が出力される。
ビットマップメモリの例を図７を用いて説明する。同図においてビットマップメモリ３９は、光学ヘッド１ＣのＬＰ配設と対応して構成されていて、ＭＰ１〜ＭＰ３、ＭＰａ〜ＭＰｃにそれぞれ区切られた領域をもって構成される。そして各領域にはｙ方向に０〜９のアドレスが付され、各アドレスにビットマップ状画像が収容される。そのためヘッド１Ｃの例えば光源ＬＰ１・ａは、ビットマップメモリ３９のＭＰ１・ａと対応する領域に収容した画像の出力を受け持ち、光源ＬＰ３・ｃはビットマップメモリ３９のＭＰ３・ｃと対応する領域に収容した画像の出力だけを受け持つことになる。今、前記したように感材部２が「０」位置にあり、記憶部２３からのＬＰ１に関するずれ信号「０」が演算部８に送られてくると、両「０」信号によってビットマップメモリ３９のアドレス「０」を指定するＭＰ１・０ａ、ＭＰ１・０ｂ、ＭＰ１・０ｃが出力される。このＭＰ１・０ａ〜ＭＰ１・０ｃのアドレス信号を、図６ではＬＰ１の欄のａ〜ｃのそれぞれに「０」３０として示した。
感材部２がさらに進んで位置信号が「１」になると、演算部８は記憶部２３のＬＰ１からのずれ信号「０」と比較加算し、ビットマップメモリＭＰ１・１ａ〜ＭＰ１・１ｃ上に位置する画像を読み出すためのアドレス信号「１」を出力する。表２５のＬＰ１・ａ〜ＬＰ１・ｃ部にはこれを「１」３１として示した。以後同様にして感材部２が「９」位置に進むと、その位置信号「９」と記憶部２３のＬＰ１ずれ信号「０」が演算部８で比較加算され、ビットマッブメモリＭＰ１・９ａ〜ＭＰ１・９ｃを読み出すためのアドレス信号「９」３２を出力する。そしてビットマップ上には「９」以降の画像は存在しないから感材部２が「＋１」、「＋２」位置に進んでも、それによって出力されるデータは発生しない。図の表２５ではこれを「×」の２９で示した。以上でＬＰ１に関する演算は終わる。
ＬＰ２ではＬＰｂだけが「＋２」ずれているから、このずれ分に見合うビットマップメモリ３９読み出し位置指令信号を演算し出力することになる。まず感材部２が「−２」位置にあるとき、記憶部２３のＬＰ２・ｂからは図５のように「＋２」のずれ量信号が発信されるから、両者を加算した「０」信号３３を演算し、これをアドレス信号として図７のビットマップメモリ３９からＭＰ２・０ｂを読み出して出力する。ＭＰ２・ａとＭＰ２・ｃには感材位置「−２」に関するデータがないので「×」３４となる。感材部２が進んで「−１」位置になると、その位置信号「−１」とＬＰ２・ｂのずれ信号「＋２」が比較加算され「１」が演算される。そしてこの「１」がアドレス信号となって図７Ｂのビットマップメモリ３９からＭＰ２・１ｂを読み出す。ＬＰ２・ａとＬＰ２・ｃはデータがないから「×」データ３４のままである。感材部２がさらに進んで「０」位置になると、ＬＰ２・ａとＬＰ２・ｃはずれ量「０」と比較加算され「０」が演算される。ＬＰ２・ｂには位置「０」とずれ「＋２」が比較されて「２」が演算される。以後同じようにして感材部２が「７」位置に進むと、図６のようにＬＰ２・ａとＬＰ２・ｃは「７」が演算され、図７のビットマップメモリ３９ＭＰ２・７ａとＭＰ２・７ｃからデータを読み出すためのアドレス信号となる。ＬＰ２・ｂは位置信号「７」とずれ信号「２」から「９」３５となる。この「９」信号によって図７のビットマップメモリ３９からＭＰ２・９ｂのデータが読み出される。そして感材部２が「８」位置に進むと、ＬＰ２・ｂはビットマップメモリへの読み出し位置がなくなって「×」データとなり、ＬＰ２・ａとＬＰ２・ｃは「８」となる。感材部２が「９」位置になってＬＰ２・ａとＬＰ２・ｃの演算処理が済むと、感材部２は「＋１」位置に進む。しかし既にビットマップメモリ３９のアドレスは存在しないので何も出力されない。感材部２が「＋２」に進んだときも同様である。以上のようにしてＬＰ２に関する演算は終わる。
次にＬＰ３を処理する場合について説明する。この場合は図５でＬＰｃのｙ側に「−２」のずれが発生しているから、これを救済するものでなければならない。そのため感材部２が「２」の位置に来たとき、その位置信号「２」と記憶部２３からのＬＰ３・ｃのずれ信号「−２」を加算して「０」信号３６を作成し、これをＭＰ３・０ｃ用のアドレス信号とする。そして感材部２が順次移動して「＋２」位置に来たとき、つまり「１１」位置に来たとき、ずれ信号「−２」と比較して「９」信号３７を作成し、ＭＰ３・９ｃのアドレス信号とする。ＬＰ３・ａ、ＬＰ３・ｂではずれ量信号がないため、感材部２の移動に伴って「０」位置の時「０」、「１」位置の時「１」、・・・「９」位置の時「９」のアドレスが発生する。
以上、図６として示した表２５に基づいてＬＰのずれ量と感材部２の現在位置関係についてＬＰ１、ＬＰ２、ＬＰ３に分けて説明してきた。しかしこの表は前記したように演算部の演算過程を示したものであり実際には存在しない。そしてＬＰ１からＬＰ３の演算は同時的に進行されるから、感材部２が位置「−２」にあるときＬＰ１の「×」信号２９、ＬＰ２の「×」信号３４と「０」信号３３、ＬＰ３の「×」が演算され、それぞれ対応するアドレス信号が出力される。しかし実際には２９、３４などの「×」信号によるアドレスは存在しないから、この場合「０」信号３３によるＭＰ２・０ｂだけが出力される。感材部２が「−１」位置になるとＬＰ１はａ、ｂ、ｃとも「×」２９で、ＬＰ３も同じである。そしてＬＰ２・ｂでは「１」が演算されＭＰ２・１ｂを指定するアドレスが出力される。感材部２の位置が「０」になるとＬＰ１ではａ、ｂ、ｃとも「０」３０となって図７のようにＭＰ１・０ａ、ＭＰ１・０ｂ、ＭＰ１・０ｃのアドレスを指令する。ＬＰ２ではＬＰ２・ｂが演算された「２」によってＭＰ２・２ｂが指定される。ＬＰ２・ａとＬＰ２・ｃは「０」によってＭＰ２・０ａとＭＰ２・０ｃが指定される。そしてＬＰ３ではＬＰａとＬＰｂが「０」で、ＬＰｃは「×」となる。以下同じように感材の位置毎に対応するビットマップメモリのアドレスを指定する信号が、ＬＰ１〜ＬＰ３同時的に出力され、その出力によって読み出されたビットマップメモリのＭＰ１〜ＭＰ３画像が光学ヘッドの各ＬＰに発光信号となって伝えられる。
以上、図２、３のように光学ヘッド１を矢印１２で示したｘ方向に移動し、感材部２を矢印１６で示したｙ方向に移動するときを例として図６について説明してきた。即ち感材部２がＹ値２８方向に現在位置を移動していくことで、光学ヘッド１のＬＰ取り付け位置ずれ量を救済する例について説明してきた。従って逆に光学ヘッド１をｙ方向１６に、感材部２をｘ方向１２に逆に移動させるようにした場合は、図６の表２５は光学ヘッド１の移動に伴う現在位置の変化によって実施されるものとなる。又、図５に示したヘッドずれ量の記憶部２３では、ｙ側だけの例となっているが、ヘッドのずれは前記したようにｘ側にも発生するであろうから、図６の表２５にはｘ側とｙ側の両方のデータが必要となる。また図４、５の例ではΔｙ１、Δｙ２を「＋２」、「−２」とし、それぞれを交点２１から２ドットづれたものとしてある。そのためヘッド上でのＬＰ取り付け位置に「±２」の誤差がある時を例とした演算結果を図６としてある。つまり感材の現在位置を示すＹ値２８は「−２」から「＋２」までを範囲とし、その中で誤差を吸収する例となっている。この許容範囲は任意に設定することが出来るが、これについては後に図１１を用いて詳しく説明する。
以上のように本発明では、感材部２とヘッド１の相対的な移動に伴う現在位置の変化と、光学ヘッド上のｙ側ＬＰ位置ずれ量とから、ＬＰで描画するデータが記憶されたビットマップメモリの読み出し位置を指定するアドレスを補正するようにした。それによって光学ヘッドに配設したＬＰの位置誤差を吸収できるようにした。
【００１１】
図８は図１に示した描画装置の説明用詳細ブロック図で、光学ヘッド１、感材部２、変位量検出部７を垂直に配置した例となっている。図において制御ユニット８には制御部３８、ビットマップメモリ３９，演算部４０などが収容されている。制御部３８は入力部１０からの各種データを受け装置全体を管理し、ビットマップメモリ３９には画像データが記憶される。制御部３８からの指令で動作する演算部４０には、駆動制御部４からの感材部２と光学ヘッド１の現在位置信号が信号線４２を経て伝えられ、また記憶部２３からのＬＰずれ量信号（ｙ）が信号線４３を経て伝えられている。演算部４０は伝えられた２つの信号４２、４３からビットマップメモリ３９の読み出しアドレスを演算し、その結果をアドレス信号線４７から制御部３８に伝えてビットマップメモリ３９から指定した部分を読み出し、データ用信号線４１から演算部４０に伝える。演算部４０は伝えられたビットマップメモリからのデータを光源コントロール部９内のラインバッファ４４に伝える。このラインバッファ４４は光学ヘッドＬＰ１〜ＬＰ３毎に対応して４４−１〜４４−３が設置され、ビットマップメモリ３９からの１ライン分のデータ、つまり図３Ｂに示した長さＸ分となる像１４−１のデータがバッファ４４−１に、バッファ４４−２には像データ１４−２が、バッファ４４−３には像データ１４−３がそれぞれ記憶される。４５は分配器で、各ラインバッファ４４に記憶された１ライン分のデータを各ＬＰａ〜ＬＰｃ用に分けて分配する。各ＬＰが分配器４５から送られてきたデータを受け取ると、光学ヘッド１が駆動制御部４からの指令でｘ方向１２に移動して感材部２上に所定の画像を露光していく。
【００１２】
このような装置において、光学ヘッド１上の各ＬＰが感材１３上に画像を露光していく過程を図５、６、７、８を用いて説明する。まず光学ヘッド１を移動して変位量検出部７上の第１位置で規定し、各ＬＰを点火して検出部７の結像点と図４で説明した基準点とを比較する。すると全ＬＰのｘ、ｙ方向のずれ量が検出され、それが記憶部２３に記憶される。そしてそのｙ側内容は信号線４３を経て演算部４０に向かう。前記の変位量検出部７と位置照合が終わった光学ヘッド１は、感材部２上の予め定めた第２位置に原点復帰し走査指令が来るのを待つ。感材部２が露光を開始する原点位置（この場合「−２」位置）にあるとき、感材部２のｙ方向現在位置は現在位置検出器６によって検出され、それが駆動制御部４を経て信号４２として演算部４０に伝えられる。演算部４０はそれを受けて前記のずれ量信号４３と比較演算する。まずＬＰ１では図５のようにずれ量は「０」であり、位置信号４２は「−２」であるから演算部４０はその加算信号「−２」を出力し、ビットマップメモリ３９の読み出しアドレス信号４７とする。しかしビットマップメモリ３９には「−２」に相当するアドレスは存在しないので、図６のようにＬＰ１のＬＰａ〜ＬＰｃはアドレス信号なしの「×」データ２９となる。ＬＰ２ではＬＰａとＬＰｃが同じように「×」データ３４であり、ＬＰｂが位置信号「−２」とずれ信号「＋２」の演算によって「０」３３と算出され、これが図７のＭＰ２・０ｂのアドレスデータとなる。またＬＰ３では全て「×」データとなる。こうして感材部２の位置「−２」に関するビットマップメモリ３９のアドレスが演算されると、そのアドレス信号４７を受けて制御部３８がビットマップメモリ３９からデータを読み出して信号４１として演算部４０からラインバッファ４４に送り出す。ＬＰ１に相当するラインバッファ４４−１にはＬＰａ〜ＬＰｃの全てが「×」データ２９であり、ＬＰ２のラインバッファ４４−２にはＬＰａとＬＰｃが「×」データ３４、ＬＰｂがアドレス「０」３３の画像データが書き込まれる。ＬＰ３のラインバッファ４４−３は全て「×」となる。このような内容がラインバッファ４４に書き込まれると、分配器４５はそれを読み出して各ＬＰにその内容を送り出す。そしてヘッド１がｘ方向に移動すると、ＬＰ１、ＬＰ３では全て点灯せず、ＬＰ２・ｂだけが点灯して感材１３上を露光する。それによって例えば図３の像１４−２のうちＬＰｂ部だけが露光される。光学ヘッド１の移動が停止しＬＰ２・ｂの光が消えると、ヘッド１は駆動制御部４の送り手段によって原点に戻りつつ次の演算を開始する。
以上のようにして感材の最初の位置「−２」について処理が終わると次の位置「−１」の処理にはいる。まず感材部２が駆動制御部４の送り手段によって移動し、現在位置検出器６がｙ１分を検出すると「−１」の位置信号を信号線４２から演算部４０に送り出す。すると演算部４０はＬＰ１用として位置「−１」とずれ量「０」の演算をするが、前記したようにビットマップメモリ３９には「−１」に相当するアドレスはないので、図６のように全て「×」データ２９となる。ＬＰ２ではＬＰａとＬＰｃが「×」データ３４となるが、ＬＰｂでは位置「−１」とずれ量「＋２」とから「１」が演算される。これが図７のＭＰ２・１ｂを指定するアドレス信号４７となる。
ＬＰ３では全てが「×」として演算される。こうして位置「−１」の演算が進められると、制御部３８はビットマップメモリ３９から指定されたアドレスのデータを読み出し、信号線４１からラインバッファ４４に伝える。ラインバッファ４４−１は全て「×」であるが、ラインバッファ４４−２にはＬＰｂ部用のデータＭＰ２・１ｂが書き込まれる。ＬＰ３のラインバッファ４４−３は全て「×」である。分配器４５はこの各ラインバッファ４４からデータを読み出して各ＬＰに分配する。光学ヘッド１が駆動制御部４によってｘ方向１２に移動していくとＬＰ２・ｂだけが発光し、例えば図３の像１８−２のうちＬＰｂ部だけの像を感材１３上に露光していく。この露光が終了すると光学ヘッド１は駆動制御部４の送り手段によって原点に復帰し、感材部２はｙ方向１６に移動しながら次の動作に備える。
【００１３】
感材部２がｙ１分移動すると、現在位置検出器６は位置信号「０」を駆動制御部４を介して信号線４２から演算部４０に伝える。演算部４０はその位置信号「０」とずれ量信号４３を比較する。ＬＰ１では位置「０」とずれ量「０」からアドレス「０」３０が出力される。それによって制御部３８はビットマップメモリ３９からＬＰａ〜ＬＰｃともに「０」位置にある画像データＭＰ１・０ａ、ＭＰ１・０ｂ、ＭＰ１・０ｃを読み出してラインバッファ４４−１に送り記憶させる。ＬＰ２ではＬＰａとＬＰｃが、位置「０」とずれ量「０」からアドレス信号は「０」となり、ＬＰｂでは位置「０」とずれ量「＋２」から「２」のアドレス信号が出力される。それによってラインバッファ４４−２にはＬＰａが「０」、ＬＰｂが「２」、ＬＰｃが「０」のデータが記憶される。ＬＰ３ではＬＰａとＬＰｂでは位置「０」とずれ量「０」から「０」のアドレス信号が出力され、ＬＰｃではずれ量が「−２」であるためアドレス信号は「×」であり出力されない。このようにして得られたアドレスによってビットマップメモリ３９から読み出されたデータはラインバッファ４４に送られ、分配器４５によって各ＬＰに伝達される。ＬＰ１ではａ、ｂ、ｃの全ＬＰが発光するから光学ヘッド１が移動することによって、例えば図３の像１４−１が感材１３に露光される。ＬＰ２ではそのａとｃがアドレス「０」のデータに基づいて発光し、ＬＰｂはアドレス「２」に基づいて発光する。ＬＰ３ではＬＰａとＬＰｂが発光するので、例えば図３の像１４−３の内ＬＰａとＬＰｂ部だけが描画される。こうして感材部２の位置「０」に関する露光処理が終了すると、光学ヘッド１は原点に復帰し、感材が移動して次の処理を待つ。
感材１３がｙ１分移動して位置検出器６が「１」を検出すると、ＬＰ１では全ＬＰのアドレスが「１」３１と演算され、ＬＰ２ではＬＰａとＬＰｃが「１」、ＬＰｂが「３」と演算される。またＬＰ３ではＬＰａとＬＰｂが「１」と演算されるが、ＬＰｃでは「×」のままである。このような演算結果を受けて読み出されたデータ４１は分配器４５に送られ各ＬＰが所定の露光を行っていく。感材１３が位置「２」になるとＬＰ１は全て「２」となり、ＬＰ２はＬＰａとＬＰｃが「２」、ＬＰｂが「４」となる。そしてＬＰ３ではＬＰａとＬＰｂが「２」となり、ＬＰｃが「０」３６となる。これによって全ＬＰがビットマップメモリ３９からのデータを受けて発光する。
以後同じようにして感材１３が位置「７」になるとＬＰ１は全て「７」となり、ＬＰ２ではａとｃが「７」で、ｃが「９」３５となり、ＬＰ３ではａ、ｂが「７」でｃが「５」となる。そして感材１３が位置「８」になるとＬＰ２・ｂでは「×」となり、位置が「＋２」になるとＬＰ３ではａとｂが「×」で、ｃが「９」３７となる。
【００１４】
以上、図５の光学ヘッド１Ｃを例として描画の過程を説明してきた。しかしこの図５の例ではＬＰ２・ｂに「＋２」、ＬＰ３・ｃに「−２」という整数の取り付け誤差がある場合となっていて、小数点以下の端数を持つ誤差については触れられていない。そのため例えば「+１．２」というような誤差があった場合、それを「１」に丸めて処理するということになる。 
図９はこのような端数の生じた光学ヘッドのずれ量を変位量検出部７で検出し、記憶部２３に記憶させた内容を示したものである。この記憶部２３によれば図５と同じようにＬＰ２・ｂのｙ側に「＋１．２」、ＬＰ３・ｃのｙ側に「−１．８」のずれ量が検出された例となっている。次に、この場合の処理の仕方について演算過程を示した図１０、１１を用いながら説明する。図１０において４８は図６と同じように感材部２のＹ値を「−２」から「２」まで示したもの、図１１はＹ値の「３」から「＋２」までを示したものである。そしてそれぞれには小数点以下を表す０〜９が従属している。４９〜５１はＬＰ１〜ＬＰ３で、図６に２７で示したＬＰに相当している。図９において正規の位置からずれて配置された最初のＬＰは、ＬＰ２・ｂの「＋１．２」である。この「＋１．２」に対処するため図１０では、感材部２がＹ値「−１．２」に位置したとき、演算部４０は図７の信号線４７からビットマップメモリ３９の読み出しアドレスを出力する。図１０ではこのアドレスを「０」５２としてＬＰ２・ｂのＹ値「−１．２」位置に示した。ＬＰ１、ＬＰ３ではずれ量「０」のため位置「−１．２」のとき演算部４０からのアドレス信号は発せられない。このような状態を図６ではデータなしの「×」として示したが、図１０、１１ではこの「×」を省略してある。そして感材部２が移動して位置「−０．２」になると、演算部４０はずれ量「＋１．２」と比較し、ＬＰ２・ｂ用としてビットマップ３９のアドレス「１」５３を出力する。指定されたアドレスからの内容は信号線４１からラインバッファ４４−２、分配器４５を経て光源ＬＰ２・ｂに伝達される。
感材部２が「０．０」位置に進むと、図９ではＬＰ１が全てずれ量信号「０」のため、ビットマップメモリ３９のアドレスを指定する「０」５４を出力する。同様にＬＰ２のａ、ｃ、ＬＰ３のａ、ｂもずれ量は「０」なので、「０」５４が出力される。そして感材部２が位置「０．８」に進むと、この位置信号とＬＰ２のずれ量「＋１．２」が演算されて、ＬＰ２・ｂでは「２」５５が出力される。以下、同じようにして感材部２が位置「１．０」の時ＬＰ２・ｂ、ＬＰ３・ｃ以外では「１」のデータが出力され、位置「１．８」の時ＬＰ２・ｂでは、この位置信号とヘッドのずれ量信号「＋１．２」とから「３」５６が出力される。そしてＬＰ３・ｃではずれ量「−１．８」とによって「０」５７が出力される。位置信号が「７．０」になると、図１１のようにＬＰ２・ｂとＬＰ３・ｃ以外は「７」となり、位置「７．８」の時ＬＰ２・ｂは「９」となって、このＬＰ２に関するデータの出力は終了する。またＬＰ３・ｃでは「６」５８が出力される。そして感材位置が「＋１．８」に進んだときＬＰ３・ｃは「９」５９となって、このＬＰ３・ｃのずれ量「−１．８」を救済し、補正するための演算処理が終了する。
以上のように小数点以下の端数が生じたときも、整数のずれ量を持ったヘッドの場合と同じように処理していくことが出来る。そしてこの図１０、１１では感材部２が、例えば位置「１」から「２」に進む間をヘッドが０から９の１０回往復することによって小数点以下の誤差を補正して救済し、それによって精度を１０倍向上させるようにしている。従って光学ヘッドに配設した各ＬＰのずれ量を１／１００の単位で救済したい場合には、前記「１」から「２」までの間を１００回ヘッドが移動するようにしてやればよい。しかしながら描画速度は精度に反比例することになる。
【００１５】
図１２は感材部２上で得られるレーザスポットの描画精度について説明するものである。同図Ａは図５、６のようにずれ量が整数値のヘッドを用いて描画した像６０である。そのうち像６０ａは中心線６１を基準として感材１３に露光したものであり、例えば図５のＬＰ２・ａによって露光される。これに対し像６０ｂは像６０ａに接続して露光された像で、例えば図５のＬＰ２・ｂによって描画される。但し、図５のＬＰ２・ｂは「＋２」のずれ量となっているが、この図１２Ａでは「＋２．５」のずれ量となっていて、そのうちの「＋２」分のずれについては前記した図６などの演算によって補正したが、残りの「＋０．５」分については補正しきれないまま露光されてしまった例となっている。そのため像６０ｂの中心線６１ｂは像６０ａの中心線６１から「０．５」だけずれてしまい、像６０ａ、ｂ間に「０．５」の段差を作り出してしまっている。一方、残りの像６０ｃは像６０ｂに接続して露光された像で、例えば図５のＬＰ２・ｃで作成される。但し図５の例ではｙ側ずれ量が「０」となっているが、この図１２Ａでは「−０．５」分のずれが補正できないまま露光された例となっている。そのため像６０ｃの中心線６１ｃは、像６０の中心線６１より「０．５」だけずれてしまい、像６０ｂ、ｃ間に「０．５」の段差を作り出してしまっている。この段差を作り出す「０．５」という値は、６０ｂ、６０ｃの様な接続となったときに発生する最大誤差量であり、それは「１」ドット分の違いとなって現れる。従って「０．５」以上の段差が接続像間に生じてしまうような場合は、その接続部が接続されずに分断された像となってしまい、描画像として採用する事が出来ない。よって図５のように小数点以下のＬＰ取り付け位置誤差を救済できない方式の場合、その誤差の最大許容値は「０．５」ということになる。
これに対し図１２Ｂによるものは、図９、１０、１１のように小数点以下のずれ量を救済し、補正できるようにしたときの像６０の例である。同図において像６０ａは中心線６１を基準として感材１３に露光された像で、例えば図９のＬＰ２・ａによって作成される。また像６０ｂは像６０ａに接続して露光され、例えば図９のＬＰ２・ｂによって露光される。但し図９のＬＰ２・ｂでは「＋１．２」のずれ量となっているが、この例では「＋１．２５」となっている。そのため前記図Ａの場合と同じように「０．０５」の補正が出来ず、そのまま露光されていて中心線６１位置が６１ｂｂになってしまっている。さらに像６０ｃは、例えば図９のＬＰ２・ｃによって露光された像である。但し、図９の例ではｙ側ずれ量が「０」となっているが、この例では「０．０５」の誤差が補正出来ないまま露光された例となっている。そのため中心線６１位置は６１ｃｃに変化してしまっている。像６０ｂ、ｃに発生した「０．０５」という値は、前記の図Ａの例のときに発生する最大誤差量と同様に、１／１０ドット分の違いとなって現れる。従って「０．０５」以上の段差が接続像間に生じてしまうような場合は、精度上好ましくないものとなる。
【００１６】
次にずれ量がｘ側に発生した場合について説明する。ｘ側のずれ量も図８の記憶部２３に記憶されるが、そのずれ量信号は演算部４０には向かわず、図に点線４６で示したように直接光源コントロール部９の分配器４５に伝えられる。分配器４５は各ＬＰに与える発光信号をずれ量分だけ遅延させる。この遅延によってずれ量が補正される。ｘとｙ側の両方にＬＰのずれがある場合には、ｙ側については演算部４０によって演算した結果でビットマップメモリ３９からのデータを分配器４５に与え、その分配器４５にｘ側のずれ量に相当する分の遅延信号を与えるようにして各ＬＰを動作し、描画を実行していく。
【００１７】
以上、図１、８に基づいて説明してきたが、光学ヘッド１は図２Ａに示した１行だけのものでもよく、また大きな面積の画像に対処するために複数の光学ヘッドを設置することも出来る。例えば前記したようにｄｘとｄｙが５ｍｍで８×８のＬＰを配設したヘッド１つでは、４ｃｍ四方の画像までしか描画する事が出来ない。しかしこのヘッドを２つ設置して連結すれば、倍のサイズの画像を求めることが出来る。その場合にも描画動作を開始する前に変位量検出部７によってＬＰ取り付け位置を計測し、その結果によって各ＬＰを管理できるようにしておかなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明による装置を示す説明用概略ブロック図。
【図２】光学ヘッドと感材部に得られる像の関係を示した説明図。
【図３】光学ヘッドと感材部に得られる像の関係を示したもう１つの説明図。
【図４】光学ヘッドと変位量検出部の関係を示した説明図。
【図５】光学ヘッドと記憶部の説明図。
【図６】演算部での演算過程を示した説明図。
【図７】ビットマップメモリの説明図。
【図８】図1の詳細説明図。
【図９】記憶部の内容を示した説明図。
【図１０】演算部での演算過程を示した説明図。
【図１１】演算部での演算過程を示した説明図。
【図１２】感材部上で得られるレーザスポットの描画精度を説明する図。
【符号の説明】
【００１９】
１・・・光学ヘッド      ２・・・感材部      ４・・・駆動制御部      ５、６・・・現在位置検出器      ７・・・変位量検出部      ８・・・制御ユニット      ９・・・光源コントロール部      １０・・・入力部      １１・・・基準線      １３・・・感材      １５・・・基準線      ２０・・・寸法線      ２３・・・記憶部      ２５・・・表      ３８・・・制御部      ３９・・・ビットマップメモリ      ４０・・・演算部      ４１、４２、４３、４６、４７・・・信号線      ４４・・・ラインバッファ      ４５・・・分配器      
【図１】
2005128329.tif 000003
【図２】
2005128329.tif 000004
【図３】
2005128329.tif 000005
【図４】
2005128329.tif 000006
【図５】
2005128329.tif 000007
【図６】
2005128329.tif 000008
【図７】
2005128329.tif 000009
【図８】
2005128329.tif 000010
【図９】
2005128329.tif 000011
【図１０】
2005128329.tif 000012
【図１１】
2005128329.tif 000013
【図１２】
2005128329.tif 000014