(57)【要約】  【課題】  入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性が安定であるサーキュレータを提供すること。  【解決手段】  平行平板導体１，２間に、この平行平板導体１，２の内面に互いに対向させて２枚のフェライト板６，７が配置され、この２枚のフェライト板６，７に対して放射状に高周波信号を入出力する３本の入出力用誘電体線路３，４，５が配置されており、これら入出力用誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａが２枚のフェライト板６，７の少なくとも一方に当接しているとともに、入出力用誘電体線路３，４は、その他端３ｂ，４ｂが他の高周波回路部品に接続するための接続用誘電体線路８，９に間隔Ｗ１，Ｗ２をおいて接続されているサーキュレータである。入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性を安定にすることができ、かつ安定に製造することができる。【選択図】  図１
2005217672.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間の内面に互いに対向させて２枚のフェライト板が配置され、該２枚のフェライト板に対して放射状に前記高周波信号を入出力させる３本以上の入出力用誘電体線路が配置されており、これら入出力用誘電体線路の一端が前記２枚のフェライト板の少なくとも一方に当接しているとともに、２本以上の前記入出力用誘電体線路は、その他端が他の高周波回路部品に接続するための接続用誘電体線路に間隔をおいて接続されていることを特徴とするサーキュレータ。
【請求項２】
平板導体間に、互いに対向させた２枚のフェライト板と、該２枚のフェライト板に対して放射状に配置された、高周波信号を入出力させる３本以上の入出力用誘電体線路とを配置してから、これら入出力用誘電体線路の一端を前記２枚のフェライト板の少なくとも一方に当接させるとともに、２本以上の前記入出力用誘電体線路の他端を他の高周波回路部品に接続するための接続用誘電体線路に間隔をおいて接続し、しかる後、前記平板導体を、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で平行に固定することを特徴とするサーキュレータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非放射性誘電体線路型のミリ波集積回路やミリ波レーダモジュール等に用いられるサーキュレータおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、特にミリ波帯の高周波信号を伝送する高周波用伝送線路として、非放射性誘電体線路（NonRadiative Dielectric Waveguide、以下、ＮＲＤガイドともいう。）が知られている。
【０００３】
この非放射性誘電体線路の基本的構成は、図３に部分破断斜視図で示すように、所定の間隔ａをもって平行に配置された平行平板導体11，12間に、断面が矩形状の誘電体線路13を、間隔ａを高周波信号の波長λに対してａ≦λ／２として配置したものである。これにより、外部から誘電体線路13へのノイズの侵入をなくし、かつ外部への高周波信号の放射をなくして、誘電体線路13中により高周波信号をほとんど損失なく伝搬させることができる。なお、波長λは使用周波数における空気中（自由空間）での高周波信号の波長である。
【０００４】
このような非放射性誘電体線路を用いて構成される非放射性誘電体線路型のサーキュレータの例としては、従来より様々なものが提案されている。例えば、特許文献１または特許文献２には、図４（ａ）に平面図で、また（ｂ）にその要部のＢ−Ｂ’線断面図で示すように、平行平板導体11，12間にフェライト板17，18とその周囲に放射状に誘電体線路14，15，16とを配置し、これら誘電体線路14，15，16の端部とフェライト板17，18との間に間隔Ｗを設けた例が開示されている。なお、図４（ａ）において、平行平板導体11，12は図示していない。
【０００５】
また、特許文献３には、誘電体線路14，15，16の端部とフェライト板17，18との間に間隔Ｗを設け、さらにこの間隔Ｗに樹脂層（樹脂接着材層）を設けた例が開示されている。
【０００６】
このような非放射性誘電体線路型のサーキュレータは、誘電体線路14，15，16とフェライト板17，18との接続部のうち一つの接続部から入力された高周波信号を、フェライト板17，18の面内で時計回りまたは反時計回りに隣接する他の接続部より出力するものである。
【０００７】
また、このようなサーキュレータは、ミリ波集積回路やミリ波レーダモジュール等の高周波回路の構成要素として、通常は、誘電体線路14，15，16のフェライト板17，18が接続されていない側の端部に、他の高周波回路部品に接続するための接続用誘電体線路19，20，21が接続されて使用される。
【特許文献１】特開平11−308023号公報
【特許文献２】特開2003−163509号公報
【特許文献３】特開2003−198212号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１乃至特許文献３には、誘電体線路14，15，16のフェライト板17，18が接続されていない側の端部に接続される接続用誘電体線路19，20，21との関係については開示されておらず、それら従来のサーキュレータでは、接続用誘電体線路19，20，21の配置に対して、誘電体線路14，15，16またはフェライト板17，18の製造における寸法公差のために、誘電体線路14，15，16が接続用誘電体線路19，20，21と物理的に干渉してしまい、このサーキュレータを用いた高周波回路を正常に組み立てることができなくなることがあるという問題点があった。
【０００９】
また、これに対して誘電体線路14，15，16またはフェライト板17，18の製造における寸法公差以上に大きい間隔を誘電体線路14，15，16の端部とフェライト板17，18との間に設ける場合には、その間隔が、実際の製造上は、組み立て装置が持っている部品の取り付け精度の性能やその性能の安定性のために、それら誘電体線路14，15，16およびフェライト板17，18を平行平板導体11，12に取り付ける際に、それらの取り付け位置の再現性が十分に確保されないことから一定とならないことがある。そのため、高周波信号の入出力の透過損失が大きくなったり、入出力間のアイソレーションが小さくなったりして、サーキュレータの特性が不安定になるという問題点があった。
【００１０】
本発明は上記のような従来の技術における問題点を解決すべく案出されたものであり、その目的は、非放射性誘電体線路型のサーキュレータにおいて、他の高周波回路部品と接続するための接続用誘電体線路を含み、これと高周波信号を入出力させる入出力用誘電体線路とを物理的に干渉することなく安定に組み込み可能であり、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性が安定であるサーキュレータおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために、本発明者らは、サーキュレータの特性として、フェライト板17，18と接続用誘電体線路19，20，21との間において、誘電体線路14，15，16の端部との間隔が接続用誘電体線路19，20，21側に設けられたときに誘電体線路14，15，16と接続用誘電体線路19，20，21との間を透過する高周波信号の透過損失が大きくなる影響よりも、誘電体線路14，15，16の端部との間隔がフェライト板17，18側に設けられたときに誘電体線路14，15，16間を順方向に透過する高周波信号の透過損失が大きくなるか、あるいは順方向に透過する高周波信号に対する逆方向に透過する高周波信号の比であるアイソレーションが小さくなる影響の方が、通常は大きくなることに着目した。そして、鋭意研究を行なった結果、本発明を完成するに至った。
【００１２】
本発明のサーキュレータは、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間の内面に互いに対向させて２枚のフェライト板が配置され、この２枚のフェライト板に対して放射状に前記高周波信号を入出力させる３本以上の入出力用誘電体線路が配置されており、これら入出力用誘電体線路の一端が前記２枚のフェライト板の少なくとも一方に当接しているとともに、２本以上の前記入出力用誘電体線路は、その他端が他の高周波回路部品に接続するための接続用誘電体線路に間隔をおいて接続されていることを特徴とするものである。
【００１３】
本発明のサーキュレータの製造方法は、平板導体間に、互いに対向させた２枚のフェライト板と、この２枚のフェライト板に対して放射状に配置された、高周波信号を入出力させる３本以上の入出力用誘電体線路とを配置してから、これら入出力用誘電体線路の一端を前記２枚のフェライト板の少なくとも一方に当接させるとともに、２本以上の前記入出力用誘電体線路の他端を他の高周波回路部品に接続するための接続用誘電体線路に間隔をおいて接続し、しかる後、前記平板導体を、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で平行に固定することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のサーキュレータによれば、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間の内面に互いに対向させて２枚のフェライト板が配置され、この２枚のフェライト板に対して放射状に高周波信号を入出力させる３本以上の入出力用誘電体線路が配置され、これら入出力用誘電体線路の一端が２枚のフェライト板の少なくとも一方に当接しているとともに、２本以上の入出力用誘電体線路は、その他端が他の高周波回路部品に接続するための接続用誘電体線路に間隔をおいて接続されていることから、入出力用誘電体線路や接続用誘電体線路の線路長に製造における寸法公差があっても、入出力用誘電体線路と接続用誘電体線路との間に設けられた間隔がこの入出力用誘電体線路や接続用誘電体線路の線路長の製造における寸法公差を吸収する働きをするとともに、入出力用誘電体線路とフェライト板との当接部が入出力用誘電体線路とフェライト板との配置を一定にする働きをするため、所定の位置に配置される接続用誘電体線路によって入出力用誘電体線路が物理的に干渉されることがなく、また、組み立て装置に対して部品の良好な取り付け精度や取り付け位置の良好な再現性を厳しく要求しなくても、入出力用誘電体線路とフェライト板との配置が一定になるので、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性が安定なものとなる。
【００１５】
本発明のサーキュレータの製造方法によれば、平板導体間に、互いに対向させた２枚のフェライト板と、この２枚のフェライト板に対して放射状に配置された、高周波信号を入出力させる３本以上の入出力用誘電体線路とを配置してから、これら入出力用誘電体線路の一端を前記２枚のフェライト板の少なくとも一方に当接させるとともに、２本以上の前記入出力用誘電体線路の他端を他の高周波回路部品に接続するための接続用誘電体線路に間隔をおいて接続し、しかる後、前記平板導体を、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で平行に固定することから、製造時に各部材に厳しい寸法公差を要求しなくても、また組み立て装置に対して部品の良好な取り付け精度や取り付け位置の良好な再現性を厳しく要求しなくても、入出力用誘電体線路が接続用誘電体線路の配置に物理的に干渉されることなく、かつ入出力用誘電体線路とフェライト板との配置が確実に一定になるように、フェライト板，入出力用誘電体線路および接続用誘電体線路を所定位置に安定して配置することができるので、同じ特性のサーキュレータを安定して製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明のサーキュレータ       およびその製造方法について、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１７】
図１は、本発明のサーキュレータの実施の形態の一例を示す模式的な図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はその要部のＡ−Ａ’線断面図である。また、図２は、本発明のサーキュレータの製造方法の実施の形態の一例を示す模式的な図であり、（ａ），（ｂ），（ｃ）はそれぞれ製造工程の工程順に工程１，工程２，工程３の終了後の様子を示し、それぞれ、（ａ）は２つの平板導体の一方の上面にフェライト板および入出力用誘電体線路を配置する工程１の終了後の断面図、（ｂ）はさらにその一方の平板導体のその同じ面上に接続用誘電体線路を配置する工程２の終了後の断面図、（ｃ）は一方の平板導体の上面に配置されたフェライト板，入力用誘電体線路および接続用誘電体線路上に他方の平板導体を平行に配置して、平行平板導体間にフェライト板，入出力用誘電体線路および接続用誘電体線路を固定する工程３の終了後の断面図である。図１および図２において、１，２は平行平板導体（１および２のそれぞれは平板導体）、３，４，５は入出力用誘電体線路、６，７はフェライト板、８，９は入出力用誘電体線路３，４に他の高周波回路部品を接続する接続用誘電体線路、10は入出力用誘電体線路５に接続された無反射終端器、11は金属シート、12は接着材層、３ａ，４ａ，５ａはそれぞれ入出力用誘電体線路３，４，５の一端（ただし、４ａおよび５ａは３ａと同様の構成であり、図１（ｂ）および図２においては図示していない。）、３ｂ，４ｂ，５ｂはそれぞれ入出力用誘電体線路３，４，５の他端（ただし、４ｂおよび５ｂは３ｂと同様の構成であり、図１（ｂ）および図２においては図示していない。）、３a1，４a1，５a1はそれぞれ入出力用誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａの一部分を突出させて設けられた、フェライト板６，７を支持する支持部（ただし、４a1および５a1は３a1と同様の構成であり、図１（ｂ）および図２においては図示していない。）である。なお、図１（ａ）においては、平行平板導体１，２および金属シート11は図示していない。
【００１８】
図１に示す本発明のサーキュレータの実施の形態の一例は、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体１，２間に、この平行平板導体１，２の内面に互いに対向させて２枚のフェライト板６，７が配置され、この２枚のフェライト板６，７に対して放射状に高周波信号を入出力する３本の入出力用誘電体線路３，４，５が配置されており、これら入出力用誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａが２枚のフェライト板６，７の少なくとも一方に当接しているとともに、入出力用誘電体線路３，４は、その他端３ｂ，４ｂが他の高周波回路部品に接続するための接続用誘電体線路８，９にそれぞれ間隔Ｗ１，Ｗ２をおいて接続されている構成である。この構成において、入出力用誘電体線路５の一端５ａの他端５ｂには、間隔をおかずに隙間なく無反射終端器10が接続されている。なお、入出力用誘電体線路５にも、無反射終端器10を接続せずに接続用誘電体線路を接続する場合には、入出力用誘電体線路３，４にそれぞれ接続用誘電体線路８，９を接続するのと同様に、入出力用誘電体線路５の他端をその接続用誘電体線路に間隔をおいて接続すればよい。
【００１９】
この構成において、入出力用誘電体線路３，４と接続用誘電体線路８，９との間に設けられる間隔Ｗ１，Ｗ２の大きさは、それらに伝送させる高周波信号の波長をλとすると、λ／８を上限にこれに近い値が好適である。このように設定すれば、入出力用誘電体線路３，４と接続用誘電体線路８，９との間を透過する高周波信号の透過損失を十分に小さくすることができ、しかも、接続用誘電体線路８，９とフェライト板６，７との間に入出力用誘電体線路３，４を挿入するのに十分な領域を確保することができる。
【００２０】
図１に示す例の本発明のサーキュレータによれば、以上のような構成により、入出力用誘電体線路３，４や接続用誘電体線路８，９の線路長に製造における寸法公差（寸法ばらつき）があっても、入出力用誘電体線路３，４と接続用誘電体線路８，９との間に設けられた間隔Ｗ１，Ｗ２がこの入出力用誘電体線路３，４や接続用誘電体線路８，９の線路長の寸法ばらつきを吸収する働きをするとともに、入出力用誘電体線路３，４とフェライト板６，７との当接部が入出力用誘電体線路３，４とフェライト板６，７との配置を一定にする働きをするため、所定の位置に配置される接続用誘電体線路８，９に入出力用誘電体線路３，４が物理的に干渉されることがなく、また、組み立て装置に対して部品の良好な取り付け精度や取り付け位置の良好な再現性を厳しく要求しなくても、入出力用誘電体線路３，４とフェライト板６，７との配置が一定になるので、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性が安定なものとなる。
【００２１】
また、図１に示す本発明のサーキュレータの例では、好ましい構成として、平行平板導体１，２の内面と誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７との間にはそれぞれ金属シート11を介在させており、この金属シート11に誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７がめり込んでいるとよい。
【００２２】
また、図１に示す例においては、誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａのそれぞれには、それら端部の一部分を突出させてフェライト板６，７を支持する支持部３a1，４a1，５a1が設けられている。また、金属シート11は良導体である金属から成るものであり、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７の両方をめり込ませて密着させている。また、平行平板導体１，２のそれぞれと金属シート11との間には、接着材層12を介在させている。
【００２３】
このような誘電体線路３，４，５のそれぞれの一端３ａ，４ａ，５ａに設けられた支持部３a1，４a1，５a1は、それら支持部３a1，４a1，５a1に載置されたフェライト板６，７および誘電体線路３，４，５が押圧されることにより誘電体線路３，４，５とともにフェライト板６，７を金属シート11にめり込ませて密着させるように働き、このような構成により、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７の両方が金属シート11にめり込んで密着している。
【００２４】
そして、このような金属シート11は、誘電体線路３，４，５との当接部にあっては所望の伝送モード以外の別のモードへの結合を抑制するように働き、フェライト板６，７との当接部にあってはフェライト板６，７の周囲の磁場の状態を一定にするように働く。このような金属シート11の働きによって、平行平板導体１，２間に閉じ込められる高周波信号の電磁界を確実に所望の状態にすることができるので、さらに入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性を安定させることができる。
【００２５】
次に、図２に示す本発明のサーキュレータの製造方法の実施の形態の一例は、平板導体１，２間に、互いに対向させた２枚のフェライト板６，７と、この２枚のフェライト板６，７に対して放射状に配置された、高周波信号を入出力させる３本の入出力用誘電体線路３，４，５とを配置してから、これら入出力用誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａを２枚のフェライト板６，７の少なくとも一方に当接させるとともに、２本の入出力用誘電体線路３，４の他端３ｂ，４ｂを他の高周波回路部品に接続するための接続用誘電体線路８，９に間隔Ｗ１，Ｗ２をおいて接続し、しかる後、平板導体１，２を、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で平行に固定する構成である。
【００２６】
図２に示す本発明のサーキュレータの製造方法の例は、上記構成により、製造時に接続用誘電体線路８，９の配置に物理的に干渉されることがなく、かつ入出力用誘電体線路３，４，５とフェライト板６，７との配置が確実に一定になるようにフェライト板６，７と入出力用誘電体線路３，４，５と接続用誘電体線路８，９とを所定位置に安定して配置することができるので、同じ特性のサーキュレータを安定して製造することができる。
【００２７】
図２に示す例においては、まず、図２（ａ）にその終了後の様子を断面図で示す工程１においては、下側の平板導体１の上面にフェライト板６，７および入出力用誘電体線路３２，４，５（４，５については同様の構成なので図示を省略している。）を配置する。その際、まず、下側のフェライト板６を平板導体１の上面の所定の基準位置Ｘ１に配置した後、平板導体１の上面のフェライト板６の周囲に放射状に入出力用誘電体線路３，４，５を配置し、それら入出力用誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａに設けられた支持部３a1，４a1，５a1上に上側のフェライト板７を配置する。そして、このようなフェライト板６，７の少なくとも一方に対して入出力用誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａを当接させる。このようにすれば、フェライト板６とフェライト板７とが製造における寸法公差等により寸法が異なっていたとしても、入出力用誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａとフェライト板６，７との間の間隔をなくすかもしくは最小にすることができる。
【００２８】
さらに、このような工程１において、好ましくは、下側の平板導体１には、予め接着剤層を介して金属シート11を貼り付けておき、この平板導体１上に貼り付けられた金属シート11上に、上記のようにフェライト板６，７および入出力用誘電体線路３，４，５を配置し、その後、フェライト板６，７および入出力用誘電体線路３，４，５を上から板状の物等の平らな面で押圧して、下側のフェライト板６および入出力用誘電体線路３，４，５の下面を下側の金属シート11にめり込ませるとよい。この場合には、下側のフェライト板６および誘電体線路３，４，５の下面が下側の金属シート11にめり込んでいる部分がストッパとして働くため、一度配置が決められたフェライト板６，７および入出力用誘電体線路３，４，５が製造工程の途中に振動等で位置ずれを起こさないように仮止めすることができる。このような仮止めは、例えば、熱硬化性接着剤等のような半固体状の物で仮止めするのに比べて位置ずれが生じない点で優れており、また、仮止めのために熱処理等の必要もなく、処理に手間がかからない点でも優れている。
【００２９】
またさらに、このような工程１において、下側のフェライト板６を下側の平板導体１の上面に貼り付けられた金属シート11上で基準位置Ｘ１を基準に配置を決めた上で、押圧して金属シート11にめり込ませ、その後、このフェライト板６に対して、誘電体線路３，４，５を配置した上で、押圧して金属シート11にめり込ませることにより、上側のフェライト板７および誘電体線路３，４，５を取り付けてもよい。この場合には、誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａをフェライト板６，７に当接させる際に、基準位置Ｘ１に位置決めした下側のフェライト板６が、上記と同様の理由で位置ずれしないため、下側の平板導体１上にフェライト板６，７および誘電体線路３，４，５を基準位置Ｘ１を基準にして安定した状態で仮止めすることができる。
【００３０】
次に、図２（ｂ）にその終了後の様子を断面図で示す工程２においては、下側の平板導体１のフェライト板６，７および誘電体線路３，４，５が仮止めされた上面と同じ面上に、入出力用誘電体線路３，４の他端３ａ，４ａに対して間隔をおいて接続するように接続用誘電体線路８，９を配置する。その際、接続用誘電体線路８，９は、フェライト板６とは別の基準位置Ｘ２を基準にして配置すればよい。さらに、入出力用誘電体線路３，４および接続用誘電体線路８，９のそれぞれの線路長には、平板導体１上に配置された入出力用誘電体線路３，４と接続用誘電体線路８，９との間の間隔Ｗ１，Ｗ２が高周波信号の波長λに対してλ／８以下となるように公差（線路長のばらつき）を設定するとよい。このようにすれば、接続用誘電体線路８，９をそれの基準位置Ｘ２に配置しても、入出力用誘電体線路３，４と接続用誘電体線路８，９とが物理的に干渉することがなく、入出力用誘電体線路３，４と接続用誘電体線路８，９とを確実に配置することができる。また、入出力用誘電体線路３，４と接続用誘電体線路８，９との間の隙間により生じる高周波信号に対するインピーダンスの変化が無視できるようになるので、入出力用誘電体線路３，４と接続用誘電体線路８，９との間を透過する高周波信号の透過損失を十分に小さくすることができる。
【００３１】
また、このような工程２においても、好ましくは、接続用誘電体線路８，９が配置される下側の平板導体１の上面に予め金属シート11を貼り付けておいて、この平板導体１の上面に貼り付けられた金属シート11上に接続用誘電体線路８，９を配置した後、接続用誘電体線路８，９を上から板状の物等の平らな面で押圧して、接続用誘電体線路８，９を金属シート11にめり込ませるとよい。この場合には、接続用誘電体線路８，９が金属シート11にめり込んでいる部分がストッパとして働くため、一度配置が決められた接続用誘電体線路８，９が製造工程の途中に振動等で位置ずれを起こさないように仮止めすることができる。
【００３２】
最後に、図２（ｃ）にその終了後の様子を断面図で示す工程３においては、下側の平板導体１上に配置されたフェライト板６，７、入出力用誘電体線路３，４，５および接続用誘電体線路８，９の上に上側の平板導体２を平板導体１に対して高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で平行に配置して固定し、平行平板導体１，２間にフェライト板６，７、入出力用誘電体線路３，４，５および接続用誘電体線路８，９を固定することによって、本発明のサーキュレータが完成する。この構成において、平行平板導体１，２間に配置されたフェライト板６，７、入出力用誘電体線路３，４，５および接続用誘電体線路８，９をそれぞれの所定位置に固定するには、平行平板導体１，２をネジ止めしてもよいし、予め誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７の平行平板導体１，２に対向する面に塗布しておいた接着剤を最後に硬化させてもよい。また、予め誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７の平行平板導体１，２に対向する面に付着させておいた半田あるいは金属ろうを最後に加熱溶融させた後、冷却固化させてもよい。
【００３３】
また、このような工程３においても、好ましくは、上側の平板導体２の下面に予め金属シート11を貼り付けておいてから、上記のように、平行平板導体１，２間にフェライト板６，７、入出力用誘電体線路３，４，５および接続用誘電体線路８，９を固定しながら、平板導体２に貼り付けられた金属シート11に上側のフェライト板７、入出力用誘電体線路３，４，５の上面および接続用誘電体線路８，９の上面をめり込ませるとよい。この場合には、上下のフェライト板６，７、入出力用誘電体線路３，４，５および接続用誘電体線路８，９の上下面のいずれもが金属シート11にめり込んで密着されるため、製造時に安定に、非放射性誘電体線路としての対称性を良好にすることができ、そのために、高周波信号の不要な伝送モードが抑制され、入出力される高周波信号の透過損失が小さいサーキュレータを製造することができる。
【００３４】
本発明において、金属シート11は、例えば薄板状に成型された金属製のシートや薄く圧延された金属箔あるいは金属テープを用いればよく、金属シート11の材料には、銅，アルミニウム（Ａｌ），鉄（Ｆｅ），銀（Ａｇ），金（Ａｕ），白金（Ｐｔ），ＳＵＳ（ステンレススチール），真鍮（Ｃｕ−Ｚｎ合金）等を用いればよい。中でも、アルミニウム（Ａｌ），金（Ａｕ），白金（Ｐｔ），真鍮（Ｃｕ−Ｚｎ合金）は、程良い柔らかさがあって誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７をめり込ませやすいため好適である。これらを用いれば、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７を金属シート11に確実にめり込ませて密着させることができる。また、金属シート11の厚さは、例えば、ミリ波信号に対しては80μｍ程度が好適である。金属シート11が厚すぎる場合には、金属シート11が変形しにくくなり、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７をめり込ませて均一な密着状態を得にくくなる傾向があり、金属シート11が薄すぎる場合には、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７のめり込む深さが不十分となる不都合がある。
【００３５】
なお、金属シート11の厚さは、必ずしも全面にわたって一様な厚みのものを用いる必要はなく、例えば誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７がめり込む深さにそれぞれ対応させて、予め厚みに分布を持たせたものを用いてもよい。
【００３６】
また、金属シート11には、予め平板導体１または２側の面に、接着材層12としての粘着質の層を形成しておいてもよい。このようにすれば、平板導体１または平板導体２の特定の領域のみに金属シート11を貼り付けたい場合に、予め接着材層12が形成された金属シート11を所望のパターン形状に加工すれば、金属シート11および接着材層12を一度に加工できるので都合がよい。また、金属シート11は複数枚を重ねて用いても構わない。
【００３７】
また、接着材層12の材質には、アクリル系樹脂であって粘着質のもの（市販のアルミテープに塗布されているようなもののうち、例えば、アクリル系重合体成分の平均分子量，ガラス転移温度，カルボキシル基の含有量および水酸基の含有量等を最適化することにより耐熱性が改良されたもので構わない。）、またはアクリル系樹脂，エポキシ系樹脂もしくはシリコン系樹脂の接着材を用いればよい。また、接着材層12の厚さは、例えば、ミリ波信号に対しては50μｍ程度が好適である。接着材層12が厚すぎる場合には、金属シート11の表面が波打ってしまい、非放射性誘電体線路構造の上下の非対称性を生じることとなって高周波信号が所望の伝送モード以外のモードに結合しやすくなる傾向があり、接着材層12が薄すぎる場合には、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７のめり込む深さが大きくなる効果が十分に得られなくなる傾向がある。
【００３８】
また、金属シート11は、接着材層12を介さずに直接、平板導体１または平板導体２に、圧着や融着等で貼り付けてもよい。この場合には、接着材層12を用いたときよりも、非放射性誘電体線路構造の上下の対称性が良好になり、高周波信号が所望の伝送モード以外のモードに結合しにくくなる。
【００３９】
また、誘電体線路３，４，５の材質には、四フッ化エチレン，ポリスチレン等の樹脂、または低比誘電率のコーディエライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ２Ｏ３・５ＳｉＯ２）セラミックス，アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）セラミックス，ガラスセラミックス等のセラミックスが好ましく、これらはミリ波帯域において低損失である。また、誘電体線路３，４，５の断面形状は基本的には矩形状であるが、矩形の角部をまるめた形状であってもよく、高周波信号の伝送に使用される種々の断面形状のものを使用することができる。
【００４０】
また、誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａに設けられる支持部３a1，４a1，５a1は誘電体線路３，４，５と別体であっても構わない。その場合には、支持部３a1，４a1，５a1は誘電体線路３，４，５と別の材質であっても構わない。また、誘電体線路３，４，５の一端３ａ，４ａ，５ａに支持部３a1，４a1，５a1を設ける替わりに、上下のフェライト板６，７の間に支持体を設けても構わない。
【００４１】
また、フェライト板６，７の材質には、フェライトの中でも、例えばミリ波信号に対しては、亜鉛・ニッケル・鉄酸化物（ＺｎａＮｉｂＦｅｃＯｘ）が好適である。なお、フェライト板６，７は押圧時に壊れやすいので、フェライト板６，７を押圧するときには、プラスチック等の柔らかい物で押圧するとよい。
【００４２】
また、フェライト板６，７の形状は、通常は円板状とされるが、その他、平面形状が正多角形状であってもよい。その場合は、接続される誘電体線路の本数をｎ本（ｎは３以上の整数）とすると、その平面形状は正ｍ角形（ｍは３以上のｎより大きい整数）とするのがよい。
【００４３】
また、平行平板導体（平板導体）１，２の材質には、高い電気伝導度および良好な加工性等の点で、Ｃｕ，Ａｌ，Ｆｅ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，ＳＵＳ（ステンレススチール），真鍮（Ｃｕ−Ｚｎ合金）等の導体板が好適である。あるいは、セラミックス，樹脂等から成る絶縁板の表面にこれらの導体層を形成したものでもよい。
【００４４】
かくして、本発明によれば、非放射性誘電体線路型のサーキュレータにおいて、他の高周波回路部品と接続するための接続用誘電体線路を含み、これと高周波信号を入出力する入出力用誘電体線路とを物理的に干渉することなく安定に組み込み可能であり、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性が安定であるサーキュレータおよびその製造方法を提供することができる。
【００４５】
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を行なうことは何等差し支えない。例えば、予めフェライト板６，７に誘電体線路３，４，５を当接させて固定した後、その誘電体線路３，４，５が固定されたフェライト板６，７を下側の平板導体１の上面の基準位置Ｘ１に配置してもよい。この場合には、フェライト板６，７を平板導体１の上面に配置するときには、既に誘電体線路３，４，５がフェライト板６，７に固定されているため、先に基準位置Ｘ１に配置されたフェライト板６，７に対して誘電体線路３，４，５を配置するよりも、フェライト板６，７が基準位置Ｘ１からずれにくいものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明のサーキュレータの実施の形態の一例を示す模式的な図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はその要部のＡ−Ａ’線断面図である。
【図２】本発明のサーキュレータの製造方法の実施の形態の一例を示す模式的な図であり、（ａ），（ｂ），（ｃ）は、それぞれ製造工程の工程順に工程１，工程２，工程３の終了後の様子を示す断面図である。
【図３】非放射性誘電体線路の基本的構成を示す部分破断斜視図である。
【図４】従来のサーキュレータの例を示す模式的な図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はその要部のＢ−Ｂ’線断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１，２：平行平板導体（平板導体）
３，４，５：入出力用誘電体線路
３ａ，４ａ，５ａ：入出力用誘電体線路の一端
３ｂ，４ｂ，５ｂ：入出力用誘電体線路の他端
３a1，４a1，５a1：支持部
６，７：フェライト板
８，９：接続用誘電体線路
10：無反射終端器
11：金属シート
12：接着材層
【図１】
2005217672.tif 000003
【図２】
2005217672.tif 000004
【図３】
2005217672.tif 000005
【図４】
2005217672.tif 000006