(57)【要約】【課題】接着剤の硬化時間を短縮することにより第一部材と第二部材の接着精度を向上することができる硬化装置及び硬化方法を提供することを提供すること。【解決手段】接着剤３２を硬化させることで第一部材３０と第二部材３４を固定する硬化装置１０であり、第一部材３０を支持して第二部材３４を加圧する加圧部４０と、接着剤３２に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、接着剤３２を仮硬化させるフラッシュ光照射部２２と、仮硬化された接着剤３２に紫外線を照射して本硬化させる紫外線照射部２６とを備える。【選択図】  図３
2005015600.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着剤を硬化させることで第一部材と第二部材を固定する硬化装置であり、
前記第一部材を支持して前記第二部材を加圧する加圧部と、
前記接着剤に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、前記接着剤を仮硬化させるフラッシュ光照射部と、
前記仮硬化された前記接着剤に紫外線を照射して本硬化させる紫外線照射部と、
を備えることを特徴とする硬化装置。
【請求項２】
前記加圧部は、
前記第一部材を支持する支持部と、
前記第二部材を押圧する押圧部と、を有しており、
前記押圧部は、前記第二部材の端部に押し当てるための傾斜面部を有することを特徴とする請求項１に記載の硬化装置。
【請求項３】
前記フラッシュ光照射部を格納する第一収容部と、
前記紫外線照射部を格納する第二収容部と、
前記第一収容部を開閉自在に遮断する第一遮断部と、
前記第二収容部を開閉自在に遮断する第二遮断部と、
を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の硬化装置。
【請求項４】
前記フラッシュ光照射部は、フラッシュランプにより前記フラッシュ光を発生させることを特徴とする請求項１に記載の硬化装置。
【請求項５】
前記第一部材と前記第二部材と前記接着剤の組立体を、前記第一収容部から前記第二収容部へ搬送する搬送部を備えることを特徴とする請求項１に記載の硬化装置。
【請求項６】
接着剤を硬化させることで第一部材と第二部材を固定する硬化方法であって、
加圧部が前記第一部材を支持して前記第二部材を加圧する加圧ステップと、
前記接着剤に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、前記接着剤を仮硬化させるフラッシュ光照射ステップと、
前記仮硬化された前記接着剤に紫外線を照射して本硬化させる紫外線照射ステップと、
を備えることを特徴とする硬化方法。
【請求項７】
前記フラッシュ光照射ステップでは、フラッシュランプにより前記フラッシュ光を発生させることを特徴とする請求項６に記載の硬化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、接着剤を仮硬化及び本硬化させることで、第一部材と第二部材を固定するための硬化装置と硬化方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
第一部材と第二部材が接着剤により固定される例としては、コアスライダとサスペンションの端部が接着剤により接合され、この接着剤が紫外線ランプによる紫外線照射により仮硬化される例がある（たとえば特許文献１。）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０―４６１１０号公報（第２頁、図９）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このように紫外線照射により接着剤を仮硬化させる方法を用いると、次のような問題がある。
第一部材と第二部材をある程度の圧力を加えながら固定して、紫外線照射により接着剤を仮硬化させると、仮硬化のための紫外線の照射時間がたとえば数秒間程度かかる。その結果として仮硬化時間及び加圧時間が比較的長くかかる。
このため、仮硬化が完了するまでには第一部材と第二部材はこの数秒間相互に固定されていない状態であり、圧力を加えられることによって、第一部材と第二部材が互いにずれるおそれがある。したがって、第一部材と第二部材の組立時の接着精度が悪くなる。
そこで本発明は上記課題を解消し、接着剤の仮硬化時間を短縮することにより第一部材と第二部材の接着精度を向上することができる硬化装置及び硬化方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
第１の発明の硬化装置は、接着剤を硬化させることで第一部材と第二部材を固定する硬化装置であり、前記第一部材を支持して前記第二部材を加圧する加圧部と、前記接着剤に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、前記接着剤を仮硬化させるフラッシュ光照射部と、前記仮硬化された前記接着剤に紫外線を照射して本硬化させる紫外線照射部と、を備えることを特徴とする。
【０００６】
以上の構成によれば、加圧部は、第一部材を支持して第二部材を加圧する。フラッシュ光照射部は、接着剤に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、接着剤を仮硬化させる。紫外線照射部は前記仮硬化された前記接着剤に紫外線を照射して本硬化させる。
これにより、フラッシュ光照射部が、接着剤に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、接着剤を短時間で仮硬化させるから、照射時間が短縮できる。その結果として仮硬化時間及び加圧時間を短縮できる。この仮硬化の後に、接着剤を紫外線照射により本硬化させることにより第一部材と第二部材を接着して固定するので、第一部材と第二部材がずれることによって接着精度が悪化することを防止し、接着精度を向上させることができる。また、生産のサイクルタイムを短縮できる。
【０００７】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記加圧部は、前記第一部材を支持する支持部と、前記第二部材を押圧する押圧部と、を有しており、前記押圧部は、前記第二部材の端部に押し当てるための傾斜面部を有することを特徴とする。
以上の構成によれば、支持部は、前記第一部材を支持する。押圧部は前記第二部材を押圧する。そして、押圧部は前記第二部材の端部に押し当てるための傾斜面部を有する。
これにより、押圧部は、第二部材の押圧部側の表面と面接触状態で当接するのではなくて、第二部材の端部と線接触状態で当接し、押圧するようになっている。したがって、押圧部による押圧によって第二部材が傷つけられることを防ぐことができる。
【０００８】
第３の発明は、第１の発明の構成または第２の発明の構成において、前記フラッシュ光照射部を格納する第一収容部と、前記紫外線照射部を格納する第二収容部と、前記第一収容部を開閉自在に遮断する第一遮断部と、前記第二収容部を開閉自在に遮断する第二遮断部と、を備えることを特徴とする。
以上の構成によれば、第一収容部はフラッシュ光照射部を格納する。第二収容部は紫外線照射部を格納する。第一収容部は開閉自在な第一遮断部を備える。第二収容部は開閉自在な第二遮断部を備える。
第一収容部は、フラッシュ光を照射する時には第一遮断部を閉じ、第二収容部は、紫外線を照射するときには第二遮断部を閉じる。
【０００９】
これにより、第一収容部に格納されているフラッシュ光照射部から照射されるフラッシュ光と、第二収容部に格納されている紫外線照射部から照射される紫外線が相互に干渉することを防止することができる。
また、第一収容部に外部から異物が混入することを防止でき、第一収容部の内部環境を維持することができる。同様に、第二収容部についても、外部から異物が混入することを防止でき、第二収容部の内部環境を維持することができる。
【００１０】
第４の発明は、第一の発明の構成において、前記フラッシュ光照射部は、フラッシュランプにより前記フラッシュ光を発生させることを特徴とする。
このような構成によれば、フラッシュ光照射部が、接着剤に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、接着剤を短時間で仮硬化させるから、照射時間が短縮できる。その結果として、仮硬化時間及び加圧時間を短縮できる。
【００１１】
第５の発明は、第１の発明の構成において、前記第一部材と前記第二部材と前記接着剤の組立体を、前記第一収容部から前記第二収容部へ搬送する搬送部を備えることを特徴とする。
このような構成によれば、前記第一部材と前記第二部材と前記接着剤の組立体は第一収容部から第二収容部へ搬送できる。
【００１２】
第６の発明の硬化方法は、接着剤を硬化させることで第一部材と第二部材を固定する硬化方法であって、加圧部が前記第一部材を支持して前記第二部材を加圧する加圧ステップと、前記接着剤に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、前記接着剤を仮硬化させるフラッシュ光照射ステップと、前記仮硬化された前記接着剤に紫外線を照射して本硬化させる紫外線照射ステップと、を備えることを特徴とする。
【００１３】
上記構成によれば、加圧ステップでは、第一部材を支持して第二部材を加圧する。フラッシュ光照射ステップでは、接着剤に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、接着剤を仮硬化させる。紫外線照射ステップでは前記仮硬化された前記接着剤に紫外線を照射して本硬化させる。
これにより、フラッシュ光照射ステップにおいて、接着剤に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、接着剤を短時間で仮硬化させるから、照射時間が短縮できる。その結果として、仮硬化時間及び加圧時間を短縮できる。この仮硬化の後に、接着剤を紫外線照射により本硬化させることによって第一部材と第二部材を接着して固定させるので、第一部材と第二部材が相互にずれることによって接着精度が悪化することを防止し、接着精度を向上させることができる。また、生産のサイクルタイムを短縮できる。
【００１４】
第７の発明は第６の発明の構成において、前記フラッシュ光照射ステップでは、フラッシュランプによりフラッシュ光を発生させることを特徴とする。
このような構成によれば、フラッシュ光照射ステップにおいて、接着剤に短パルスで光強度の高いフラッシュ光を照射することにより、接着剤を瞬時に硬化させるから、照射時間が短縮できる。その結果として仮硬化時間を短縮できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の硬化装置の好ましい実施形態の一例を示している。図２は第一部材３０と第二部材３４が接着剤３２により固定される手順を示している。
図１に示す硬化装置１０は、たとえば液晶パネル製造ラインの一部である。
図１の硬化装置１０は、図２の接着剤３２を仮硬化及び本硬化させることで第一部材３０と第二部材３４を固定するための装置である。第一部材３０は、たとえば素子パネルであり、第二部材３４はたとえばＣＦ（カラーフィルター）パネルである。
【００１６】
図１の硬化装置１０は、第一部材給材部１２、接着剤塗布部１４、第一搬送部１６ａ、第二部材給材部１８、第二部材搭載部１７、第二搬送部１６ｂ、第一収容部２０、フラッシュ光照射部２２、第三搬送部１６ｃ、第二収容部２１、紫外線照射部２６、そして組立体除材部２８を備えている。
上記第一部材供給部１２から組立体除材部２８までの各部は図１のＸ方向に配列されている。
【００１７】
第一部材給材部１２は素子パネル給材装置とも呼ぶ。接着剤３２はシール材とも言い、接着剤塗布部１４はシール剤塗布装置とも呼ぶ。搬送部１６ａ、１６ｂ及び１６ｃはパネル搬送装置とも呼ぶ。第二部材給材部１８はＣＦ（カラーフィルター）パネル給材装置とも呼ぶ。第二部材搭載部１８はＣＦパネル搭載装置とも呼ぶ。第一収容部２０とフラッシュ光照射部２２は、仮硬化装置とも呼ぶ。第二収容部２１と紫外線照射部２６は、本硬化装置とも呼ぶ。組立体除材部２８はパネル除材装置とも呼ぶ。
【００１８】
第二部材給材部１８は第二部材搭載部１７と図１のＹ方向に並べて接して配置されている。フラッシュ光照射部２２は、第一収容部２０に格納されている。紫外線照射部２６は、第二収容部２１に格納されている。
図２は、図１の硬化装置１０によって、接着剤３２が仮硬化及び本硬化されることで第一部材３０と第二部材３４が固定される手順を示す図である。第一部材３０は、たとえば素子パネルである。第二部材３４は、たとえばＣＦ（カラーフィルター）パネルである。
【００１９】
図２（Ａ）は、準備された第一部材３０を示している。第一部材３０は図１の第一部材給材部１２によって接着剤塗布部１４に供給される。
図２（Ｂ）は、図１の接着剤塗布部１４において、第一部材３０の表面３０Ａに接着剤３２がたとえば複数箇所塗布して形成された状態を示している。第一部材３０の表面３０Ａの各接着剤３２は、接着剤塗布部１４によって塗布される。
【００２０】
図２（Ｃ）は、第二部材搭載部１７において、第一部材３０の表面３０Ａの各接着剤３２に図２に示す第二部材３４が供給されて搭載された状態を示している。第二部材３４は図１の第二部材給材部１８によって第二部材搭載部１７に供給されて、接着剤３２上に搭載される。
図２（Ｄ）は、フラッシュ光照射部２２において、第一部材３０と第二部材３４の間に位置する接着剤３２に対してフラッシュ光が照射され、接着剤３２が仮硬化した状態を示している。
【００２１】
図２（Ｅ）は、図１の紫外線照射部２６において、第一部材３０と第二部材３４の間に位置する接着剤３２に紫外線が照射され、接着剤３２が本硬化した状態を示している。
１つの第一部材３０と４つの第二部材３４が複数箇所の接着剤３２によって固定されることで組立体が構成されており、この構造体は組立体３６と呼ぶ。
組立体３６は、組立体除材部２８によって、本硬化装置１０から除去され、次の処理工程に搬送される。
【００２２】
次に、図３及び図４を参照して、第一収容部２０とフラッシュ光照射部２２の構造について説明する。
フラッシュ光照射部２２は、図３に示すように第一収容部２０内に格納されている。フラッシュ光照射部２２は、加圧部４０とフラッシュランプ４４とからなる。
加圧部４０について説明する。加圧部４０は、第一部材３０を支持する支持部としてのベース４０ｄと、第二部材３４を押圧する押圧部としての圧着部４０ｂと、圧着部４０ｂを保持する加圧部本体４０ａとからなる。圧着部４０ｂは圧着治具とも呼ぶ。
【００２３】
図４に示すように、圧着部４０ｂは、第二部材３４の端部３４ｆを押圧する部分には、傾斜面部４０ｃを有している。傾斜面部４０ｃが第二部材３４の端部３４ｆに当接して第二部材３４を押圧又は加圧する。
これにより、圧着部４０ｂは、第二部材３４と、第二部材３４の圧着部側表面３４ｇと面接触状態で当接することはない。圧着部４０ｂは、第二部材３４と、第二部材３４の端部３４ｆにおいて線接触状態で当接し、第二部材３４を加圧するようになっている。したがって、圧着部４０ｂによる加圧によって第二部材３４が傷つけられることを防ぐことができる。その結果として、第一部材３０と第二部材３４と接着剤３２の組立体３６の品質を向上させることができる。また、圧着部４０ｂには、接着剤３２（接着部材とも呼ぶ）以外のパネル要素部、すなわち第一部材３０と第二部材３４への照射を防止する必要がある場合、接着剤３２以外を遮光できる遮光マスクを形成、または別途遮光マスクを設置し、接着剤３２のみを照射する構造を付加してもよい。
図３に示すように、加圧部４０は、モータ６４ａによって図３のＺ方向の動作が制御され、このモータ６４ａは制御部６０により動作が制御される。
【００２４】
フラッシュランプ４４について説明する。
フラッシュランプ４４は、例えばフラッシュ光を発生するランプであり、接着剤３２に短パルスで光強度の高いフラッシュ光Ｌ１をたとえば圧着部４０ｂと透明の第二部材３４を通して接着剤３２に照射することができる。フラッシュ光Ｌ１により、接着剤３２は短時間に仮硬化するから、仮硬化のための照射時間が短縮できる。その結果として、仮硬化時間及び加圧時間を短縮できる。
【００２５】
フラッシュランプ４４は、前述した通り、短パルスでかつ光強度の高いフラッシュ光を発生するランプである。ランプの種類としては、たとえばキセノンランプ、メタルハライドランプ、クリプトンランプ、キセノン―水銀ランプ等ある。その波長域は近紫外線乃至可視光、そして近赤外線領域までを有している。
フラッシュランプ４４は、電源部６２ｇから高圧パルスを印加すると、ランプ内部に封入されたキセノン気体が一瞬にして絶縁破壊を起こす。この破壊が、コンデンサに蓄積された電気エネルギーを極めて短い時間の間にランプ内に一挙に放出し、この時、フラッシュ光Ｌ１が生じる。このとき、その光強度波形は、尖頭波形であっても、矩形波形であってもかまわない。
【００２６】
このフラッシュランプ４４が発生する光のパルス幅（半値全幅）は、たとえばｍｓｅｃ（ミリ秒）オーダのパルス幅の光を発生する。
このフラッシュランプ４４が、たとえばキセノンフラッシュランプである場合には、その光の照射時間は、たとえば上述したようにｍｓｅｃ（ミリ秒）オーダであり、このフラッシュランプのフラッシュ光Ｌ１は、好ましくは図示していないフロスト板により散乱されて均一化された後に、図４に示す接着剤３２に照射してもよい。
【００２７】
図５は、フラッシュランプ４４がキセノンフラッシュランプである場合の例を示している。図５のグラフの横軸は時間軸であり、縦軸はフラッシュランプの光強度（尖頭出力）を示している。
図３に示す制御部６０は、電源６２ｇに指令を与えることにより、このフラッシュ光Ｌのパルス幅Ｗと尖頭出力Ｐの少なくともいずれか一方の値、好ましくは両方の値を制御することができる。この制御により、接着剤３２の処理対象部における加熱処理の深さと温度を調整することができる。
【００２８】
たとえば尖頭出力Ｐの出力値が一定であり、パルス幅Ｗが大きくなれば加熱深さは大きくなり、パルス幅Ｗが狭くなれば加熱深さは小さくなる。パルス幅Ｗが一定の場合に、尖頭出力Ｐの出力値が大きくなればピーク温度が高くなり、尖頭出力Ｐの出力値が小さくなればピーク温度が低くなる。
このように、フラッシュ光（光の一例）のパルス幅および尖頭出力をそれぞれ制御することで、被処理体である接着剤３２の熱伝導に適した光の照射時間と熱容量を制御でき、処理対象部における加熱したい深さと温度を制御することができる。
フラッシュランプ４４は電源６２ｇにより点灯される。電源６２ｇは、制御部６０の指令により動作が制御される。
【００２９】
次に、図３の第三搬送部１６ｃについて説明する。
第三搬送部１６ｃは、第一部材３０と第二部材３４と接着剤３２の組立体３６を、第一収容部２０から第二収容部２１へ搬送するための搬送装置５２を格納している。この構成により、組立体３６は硬化装置１０の外部に出さずに第一収容部２０から第二収容部２１へ搬送できる。
これにより、組立体３６に硬化装置の外部の異物が付着することを防止でき、硬化処理時の組立体３６の品質を向上させることができる。
搬送装置５２はモータ６４ｄによって動作が制御される。
【００３０】
次に、図３の第二収容部２１と紫外線照射部２６について説明する。
紫外線照射部２６は図３に示すように第二収容部２１内に格納されている。
紫外線照射部２６は、組立体３６をその表面に保持するベース４８と紫外線光源部５０とからなる。
【００３１】
図３の紫外線光源部５０について説明する。
紫外線光源部５０は、例えばＵＶ（紫外線）ランプであり、接着剤３２に紫外線Ｌ２を照射することができる。紫外線Ｌ２により接着剤３２は本硬化し、第一部材３０と第二部材３４とを機械的に確実に固定することができる。
紫外線光源部５０は電源６２ｈにより点灯される。電源６２ｈは、制御部６０の指令により動作が制御される。
【００３２】
上述の、第一収納部２０と第二収納部２１について図３により、説明する。
第一収納部２０は、第一収容部２０の開口部２０ａ、２０ｂを開閉自在に遮断する第一遮断部５４を備えている。第一遮断部５４は、第一シャッター５４ａと第二シャッター５４ｂとからなる。
組立体３６が、図１に示す第二搬送部１６ｂにより第一収容部２０内に搬送されるときに、組立体３６が開口部２０ａを通過するのに必要な時間だけ第一シャッター５４ａが開き、そのほかの時間は閉じるようになっている。
【００３３】
組立体３６が、図１に示す第一収容部２０内から第三搬送部１６ｃに搬送されるときに、組立体３６が開口部２０ｂを通過するのに必要な時間だけ第二シャッター５４ｂが開き、そのほかの時間は閉じるようになっている。
第一シャッター５４ａはモータ６４ｂによって、たとえば図３に示す矢印方向の動作が制御され、第二シャッター５４ｂはモータ６４ｃによって、たとえば図３に示す矢印方向の動作が制御される。
【００３４】
第二収納部２１は、第二収容部２１の開口部２１ａ、２１ｂを開閉自在に遮断する第二遮断部５６を備えている。第二遮断部５６は、第三シャッター５６ａと第四シャッター５６ｂとからなる。
組立体３６が、図１に示す第三搬送部１６ｃにより第二収容部２１内に搬送されるときに、組立体３６が開口部２１ａを通過するのに必要な時間だけ第三シャッター５６ａが開き、そのほかの時間は閉じるようになっている。
【００３５】
組立体３６が、図１に示す第二収容部２１内から組立体除材部２８に搬送されるときに、組立体３６が開口部２１ｂを通過するのに必要な時間だけ第四シャッター５６ｂが開き、そのほかの時間は閉じるようになっている。
第三シャッター５６ａはモータ６４ｅによって、例えば図３の示す矢印方向の動作が制御される。第四シャッター５６ｂはモータ６４ｆによって、たとえば図３に示す矢印方向の動作が制御される。
また、第一収容部２０は、フラッシュ光Ｌ１を照射する時には第一遮断部５４を閉じ、第二収容部２１は、紫外線Ｌ２を照射するときには第二遮断部５６を閉じるようになっている。
【００３６】
このような構成によれば、組立体３６が第一収容部２０から第三搬送部１６ｃを通って第二収容部２１内へ搬送される際に、次のメリットがある。
つまり、第一収容部２０に格納されているフラッシュ光照射部２２から照射されるフラッシュ光Ｌ１と、第二収容部２１に格納されている紫外線照射部２６から照射される紫外線Ｌ２が相互に干渉するのを確実に防止することができる。
また、第一収容部２０に外部から異物が混入することを防止でき、第一収容部２０の内部環境を維持することができる。同様に、第二収容部２１についても、外部から異物が混入することを防止でき、第二収容部２１の内部環境を維持することができる。
【００３７】
次に、本発明の硬化方法を含む組立体３６の製造方法の一例を、主に図６と図７を参照して説明する。
図６は、図１の硬化装置１０によって、接着剤３２が仮硬化及び本硬化されることで、第一部材３０と第二部材３４が接着して固定される手順を示す図である。
図２に示すように、たとえば１枚の第一部材３０の表面には、複数箇所、一例として４箇所に接着剤３２が塗布される。各接着剤３２の上には各々第二部材３４が搭載される。しかし、図６では、説明の便宜のために、その内の１箇所の接着剤３２とその接着剤３２上に搭載される第二部材３４が例示されている。
図７は、図１の硬化装置１０を用いて、接着剤３２が仮硬化及び本硬化されることで第一部材３０と第二部材３４が接着して固定される手順を示すフロー図である。
【００３８】
まず、図７のステップＳＴ１では、図１の接着剤塗布部１４において、図６（Ａ）と図６（Ｂ）に示すように、接着剤３２が第一部材３０の表面３０Ａ上に塗布して形成される。図６（Ｂ）に示す第一部材３０と接着剤３２は、図６（Ａ）に示す第一部材３０と接着剤３２のＡ−Ａ線断面図である。
接着剤３２はディスペンサー８０によって塗布される。このディスペンサー８０には、接着剤供給部８０Ａから図６（Ｂ）に示す矢印方向に接着剤３２が供給される。接着剤供給部８０Ａは制御部１００によって制御される。
接着剤３２は、図６（Ａ）に示すように、空間Ｓを囲む壁状に形成され、開口部３２ａを有する。開口部３２ａは、図１に示す硬化装置１０における硬化工程が終了した後の工程において、第一部材３０と第二部材３４の間に、例えば液晶を注入するための通路である。
【００３９】
図７のステップＳＴ２では、図１の第二部材搭載部１７においては、図６（Ｃ）に示すよう第二部材３４が吸着治具１０４によって吸着され、接着剤３２上に位置決めされ、接着剤３２上に搭載される。
吸着治具１０４は、第二部材３４の端部３４ｆと線接触状態で接する部分には、傾斜面部１０４ａを有している。傾斜面部１０４ａが、第二部材３４の端部３４ｆに線接触状態で当接して第二部材３４を吸着する。
第二部材３４の端部３４ｆだけが吸着治具１０４と当接するから、吸着治具１０４は第二部材３４の端部３４ｆと面接触状態ではなくて線接触状態で当接し、第二部材３４を吸着するようになっている。
【００４０】
これにより、例えばＣＦパネルである第二部材３４の表面を傷つけることを防止することができる。その結果として、第二部材３４の表面が傷つくことによって、第二部材３４を含む製品の品質が悪くなることを防止することができる。
吸着治具１０４は、吸引部１０２によって第二部材３４を着脱自在に吸着するようになっている。その吸着は、吸引部１０２が発生する負圧によって矢印Ｈ方向に第二部材３４を吸引することによって行われる。吸引部１０２は制御部１００により動作が制御される。
【００４１】
図７のステップＳＴ３では、図６（Ｄ）に示すよう第二部材３４が圧着部４０ｂを介して圧力Ｇによって押圧または加圧される。第二部材３４を加圧する理由は、第一部材３０と第二部材３４の間に位置する接着剤３２の厚さを一定の間隔ｄに制御することにより、第一部材３０と第二部材３４の間隔ｄを制御するためである。
【００４２】
圧着部４０ｂは、第二部材３４の端部３４ｆと接する部分には、傾斜面部４０ｃを有している。傾斜面部４０ｃが第二部材３４の端部３４ｆに線接触状態で当接して第二部材３４を加圧する。
第二部材３４の端部３４ｆだけが圧着部４０ｂと当接するから、圧力着部４０ｂは第二部材３４の端部３４ｆと面接触状態ではなくて線接触状態で当接し、第二部材３４を加圧するようになっている。
たとえば、ＣＦパネルである第二部材３４の表面を傷つけることを防止することができる。その結果として、第二部材３４の表面が傷つくことによって、第二部材３４を含む組立体３６の品質が悪くなることを防止することができる。
【００４３】
図７のステップＳＴ４では、図６（Ｄ）に示すように、フラッシュランプ４４がフラッシュ光Ｌ１をたとえば圧着部４０ｂと透明の第二部材３４を透過して接着剤３２に照射する。このフラッシュ光Ｌ１は、短パルスでかつ強度の高いフラッシュ光である。このフラッシュ光Ｌ１は、接着剤３２の表面を短時間で加熱し、接着剤３２を仮硬化させることができる。
【００４４】
接着剤３２を仮硬化させるために、ＵＶ（紫外線）ランプを使用した場合には通常では、例えば５秒間の紫外線照射が必要であるのに対して、本発明の実施形態では、フラッシュランプ４４を使用する場合には、フラッシュ光Ｌ１の照射時間は、たとえば０．  ３ｍｓｅｃ（ミリ秒）で足りる。その結果、仮硬化時間及び加圧時間が大幅に短縮する。
【００４５】
従来、たとえば第一部材に対して第二部材を接着剤を介して仮硬化する場合に、第二部材の表面全体を面接触により加圧することがある。この場合には、第二部材の表面全体に均等に加圧することが非常に難しく、仮硬化時間及び加圧時間が長いと第一部材と第二部材が当初設定した位置から相互にずれ、第一部材と第二部材の接着精度が悪くなるという問題がある。
【００４６】
また、仮硬化のための光の照射が長い場合には、例えばＣＦパネルである第二部材が熱によって膨張してしまう。この結果、第一部材と第二部材が当初設定した位置から相互にずれる。
そこで、本発明の実施形態では、接着剤３２の仮硬化のためにフラッシュランプ４４を使用することにより短時間で接着材３２を仮硬化させることで、仮硬化時間及び加圧時間が短縮できる。
【００４７】
この結果として、第一部材３０と第二部材３４が相互にずれることを防止し、接着精度の向上を図ることができるのである。
また、フラッシュ光Ｌ１の照射時間は短時間であるから、例えばＣＦパネルである第二部材３４が熱によって膨張してしまうことによる第一部材３０と第二部材３４が当初設定した位置から相互にずれるという問題も防止できるのである。
さらに、仮硬化が短時間で完了するから、生産サイクルを短縮できるという効果もある。
【００４８】
図７のステップＳＴ５では、図６（Ｅ）に示すように、紫外線光源部５０が紫外線Ｌ２を接着剤３２に照射する。この紫外線Ｌ２は、接着剤３２を本硬化させることができる。
上記ステップＳＴ４において接着剤３２を仮硬化させた後に、ステップ５において接着剤３２を本硬化させることによって第一部材３０と第二部材３４を固定するので、第一部材３０と第二部材３４は機械的に確実に接着して固定することができるのである。
【００４９】
図８は、上記ステップＳＴ５が終了した後に、所定の工程を経て完成される製品の一例を示している。図８に示しているのは液晶表示装置のいわゆる一画素分である。
液晶表示装置１３５の構造例についてここで簡単に説明しておく。
液晶表示装置１３５は、第一部材３０であるＴＦＴアレイ基板と、第二部材３４であるカラーフィルタ基板および液晶層１５０を有している。
第一部材３０の上には、駆動用スイッチング素子であるＴＦＴ１５８および表示電極１５２が形成されている。
第二部材３４には、カラーフィルタ１４４および保護膜１４６が形成されている。保護膜１４６の上には、共通電極１４８が形成されている。
【００５０】
図８の液晶層１５０は、第一部材３０と第二部材３４を接着剤３２を用いて貼り合わせた後に、両者の隙間に注入される。表示電極１５２と共通電極１４８の間には電圧が印加される。これによって、液晶分子１５１の再配列が起こり、光を透過または遮断するようになる。この操作は、液晶表示装置１３５の各画素について行うことにより、液晶表示装置は画像を表示できる。
表示電極１５２および共通電極１４８は、透明導電膜であるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）の被膜が用いられている。
【００５１】
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。
また、本発明は、仮硬化にはＵＶ（紫外線）ランプを使用していて、精度が要求される接着工程に広く応用できる。
また、本発明は、液晶表示装置以外の表示装置、たとえば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置やその他の構造の異なる装置を製造するのに用いることができる。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の硬化装置の好ましい実施形態を示す斜視図。
【図２】本発明の硬化方法の好ましい実施形態の手順を示す斜視図。
【図３】本発明の硬化装置の、仮硬化と本硬化を行う部分を示す図。
【図４】本発明の硬化装置の、仮硬化を行う部分を示す図。
【図５】短パルスで光強度の高いフラッシュ光の例を示す図。
【図６】本発明の硬化方法の手順の一例を示す図。
【図７】本発明の硬化方法の手順の一例を示すフロー図。
【図８】本発明の硬化方法を経て、最終的に生産される完成品の一例を示す断面図。
【符号の説明】
１０・・・硬化装置、２０・・・第一収容部、２２・・・フラッシュ光照射部、２１・・・第二収容部、２６・・・紫外線照射部、３０・・・第一部材、３２・・・接着剤、３４・・・第二部材、４０・・・加圧部、１６ｃ・・・第三搬送部、５４・・・第一遮断部、５６・・・第二遮断部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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