(57)【要約】【課題】板状部材に貼付されたシートを剥離するとともに、これを一連にして巻き取りできるようにしたシート剥離装置及び方法を提供すること。【解決手段】ディスク基板Ｄに貼付されたシートＳを巻き取る巻取手段１６と、シートＳの外周部分に一部が外側に突出して非接着領域を形成する状態で連結テープを貼付する貼付手段１７とを備え、巻取手段１６をディスク基板Ｄに対して相対移動させてシートＳを巻取先端部から巻取後端部に向かって剥離し、巻取後端部までシートＳを巻き取ったときに、当該巻取後端部に貼付された連結テープの非接着領域を次の剥離対象となるディスク基板上のシートＳの巻取先端部に転着して当該シートを巻き取りできるようにした。【選択図】          図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材に貼付されたシートを剥離するためのシート剥離装置において、
前記板状部材に対して相対移動可能に設けられるとともに、前記シートの外周部分を巻取先端部としてシートを巻き取る巻取手段と、前記巻取先端部の反対側となる巻取後端部に、一部が外側に突出して非接着領域を形成する状態で片状の連結テープを貼付する貼付手段とを備え、
前記巻取手段は、前記巻取後端部までシートを巻き取ったときに、次の剥離対象となる板状部材に貼付されたシートの巻取先端部に前記非接着領域を転着して当該シートを巻き取ることを特徴とするシート剥離装置。
【請求項２】
前記貼付手段に向かって帯状の連結テープを供給するテープ供給手段と、このテープ供給手段により供給された帯状の連結テープを所定長さの片状に切断する切断手段とを更に含むことを特徴とする請求項１記載のシート剥離装置。
【請求項３】
前記巻取手段は複数のローラを含み、一部のローラは制動装置を介して所定のタイミングで回転規制されて前記シートと連結テープとの分離を防止することを特徴とする請求項１又は２記載のシート剥離装置。
【請求項４】
板状部材に貼付されたシートの外周部分を巻取先端部とする一方、当該巻取先端部の反対側を巻取後端部として前記シートを巻き取る巻取手段と、
前記板状部材の巻取後端部に、一部が外側に突出して非接着領域を形成する状態で連結テープを貼付する貼付手段とを用い、
前記巻取手段を前記板状部材に対して相対移動させてシートを巻取先端部から巻取後端部に向かって剥離し、
前記巻取後端部までシートを巻き取ったときに、当該巻取後端部に貼付された連結テープの非接着領域を次の剥離対象となる板状部材上のシートの巻取先端部に転着して当該シートを巻き取り、
以後、同様の工程によって前記シートが連結テープを介して一連に連なる状態で巻き取られることを特徴とするシート剥離方法。
【請求項５】
前記連結テープは、帯状の連結テープを貼付手段に供給する際に、所定長さの片状に切断して供給されることを特徴とする請求項４記載のシート剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はシート剥離装置及び剥離方法に係り、例えば、情報記録媒体を構成するディスク基板にスタンパを貼合する際に用いられる樹脂層の上面を覆っている剥離材を剥離するに好適な剥離装置及び剥離方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
コンパクトディスク等の情報記録媒体においては、ポリカーボネート等からなるディスク基板の面に紫外線硬化型の樹脂層を設け、当該樹脂層にピット等の微細な凹凸を形成して反射膜及び保護膜を順次積層する構成が採用されている。
【０００３】
前記凹凸の形成に際しては、ディスク基板の一方の面に樹脂層を設けておき、当該樹脂層に対して凹凸面を備えたスタンパを貼合し、次いで、ディスク基板側から紫外線を照射して樹脂層を硬化させた後にスタンパを剥離する、という手法が採用されている。ここで、前記樹脂層は、上面に剥離材を備えた状態でディスク基板に貼付されており、その剥離材を剥離して樹脂層を露出させてスタンパの貼合に備えるようになっている。
【０００４】
前記剥離材の剥離装置としては、例えば、特許文献１に記載された装置を利用することができる。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−１６３１０５号公報
【０００６】
前記特許文献１は、板状部材をなす半導体ウエハの上面に保護シートが貼付されており、当該保護シートを剥離するに際し、上部に配置された剥がしヘッドに接着テープを保持させるとともに、当該接着テープの一部を保護シートに貼り付けた状態で、剥がしヘッドを移動させることで保護シートを半導体ウエハから剥離可能とする構成が示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に記載された剥離装置にあっては、剥離された保護シートを一枚ずつ廃棄するものであるため、剥がしヘッドを廃棄位置まで移動させるための移動ストロークが長くなってしまうばかりでなく、廃棄物としての保護シートが嵩張ってしまう、という不都合がある。しかも、順次移送されてくる半導体ウエハから保護シートを剥離する場合の剥がし効率も非常に悪いものとなる。
【０００８】
【発明の目的】
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、板状部材に貼付されたシートを剥離しつつ一連となる状態で巻取可能とし、且つ、各板状部材から剥離されたシートを相互に連結させるための連結テープの使用量を最小限にすることのできる剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明は、板状部材に貼付されたシートを剥離するためのシート剥離装置において、
前記板状部材に対して相対移動可能に設けられるとともに、前記シートの外周部分を巻取先端部としてシートを巻き取る巻取手段と、前記巻取先端部の反対側となる巻取後端部に、一部が外側に突出して非接着領域を形成する状態で片状の連結テープを貼付する貼付手段とを備え、
前記巻取手段は、前記巻取後端部までシートを巻き取ったときに、次の剥離対象となる板状部材に貼付されたシートの巻取先端部に前記非接着領域を転着して当該シートを巻き取る、という構成を採っている。このような構成によれば、板状部材のシートが一連に連なった状態で巻き取りできるようになり、各板状部材のシートを一枚ずつ剥離して廃棄する必要性を一掃することができる。しかも、各シートを連結するためのテープも必要最小限の長さので足りるようになり、テープ消費量も大幅に軽減でき、原反テープを供給する回数を減らした連続動作を実現することができる。
【００１０】
前記シート剥離装置は、前記貼付手段に向かって帯状の連結テープを供給するテープ供給手段と、このテープ供給手段により供給された帯状の連結テープを所定長さの片状に切断する切断手段とを更に含む、という構成を採るとよい。このように構成することで、シート剥離装置を単一のユニットとして提供することで、板状部材にシートが貼付された対象物から当該シートを剥離する装置としての汎用性を付与することが可能となる。
【００１１】
また、前記巻取手段は複数のローラを含み、一部のローラは制動装置を介して所定のタイミングで回転規制されて前記シートと連結テープとの分離を防止するように設けることが好ましい。これにより、シートを巻き取っている過程において、シート間の連続性が確保され、安定した巻き取りを行うことができる。
【００１２】
更に、本発明は、板状部材に貼付されたシートの外周部分を巻取先端部とする一方、当該巻取先端部の反対側を巻取後端部として前記シートを巻き取る巻取手段と、
前記板状部材の巻取後端部に、一部が外側に突出して非接着領域を形成する状態で連結テープを貼付する貼付手段とを備え、
前記巻取手段を前記板状部材に対して相対移動させてシートを巻取先端部から巻取後端部に向かって剥離し、
前記巻取後端部までシートを巻き取ったときに、当該巻取後端部に貼付された連結テープの非接着領域を次の剥離対象となる板状部材に貼付されたシートの巻取先端部に転着して当該シートを巻き取り、
以後、同様の工程によって前記シートが連結テープを介して一連に連なる状態で巻き取られる、という方法を採っている。
【００１３】
前記剥離方法において、連結テープは、帯状の連結テープを貼付手段に供給する際に、所定長さの片状に切断して供給されるようにすることが好ましい。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明が光記録媒体を構成するディスク基板にピット形成用のスタンパを貼合する貼合装置に適用された実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００１５】
図１には、本実施形態に係る貼合装置の全体構成が概略的に示され、図２には、図１の一部を省略した概略平面図が示されている。これらの図において、貼合装置１は、下位装置２と、当該下位装置２と実質的に同様の構造体を反転させた上位装置３とにより構成されている。これら下位装置２と上位装置３は、それぞれベースフレームＦ１，Ｆ２にモータＭ１，Ｍ２を介して回転可能に支持された回転駆動軸４、５と、各回転駆動軸４，５に固定されて略水平面内で回転可能な円形のテーブル６，７と、下位側に位置するテーブル６の周方向略９０度間隔位置の外周側に配置された四つの第１の支持装置８と、上位側に位置するテーブル７の周方向略９０度間隔位置の外周側に配置された四つの第２の支持装置９とを備えて構成されている。第１及び第２の支持装置８，９は、平面視略円形となる外形を備えており、第１の支持装置８は、板状部材としてのディスク基板Ｄを吸着板１０で吸着する一方、第２の支持装置９は、スタンパＳＴを吸着板１１で吸着するようになっている。各支持装置８，９は、テーブル６，７を水平面内で回転させてディスク基板ＤとスタンパＳＴの中心を図１中二点鎖線で示される貼合中心位置Ｐに合わせて相対的に接近させることで貼合が行えるようになっている。
【００１６】
図２に示されるように、前記貼合装置１において、前記第１及び第２の支持装置８，９が上下方向に対向する領域はスタンパ貼合ステーションとなる。下位装置２は、スタンパ貼合ステーションから半時計方向に９０度進んだ位置が図示しない搬送装置を介してディスク基板Ｄが移載される準備ステーションとなり、当該準備ステーションから９０度進んだ位置が、樹脂層Ｌ（本実施例では紫外線硬化型樹脂層）をディスク基板Ｄに貼付する樹脂層貼合ステーションとなり、更に９０度進んだ位置が、前記樹脂層Ｌの上面を保護するシート（剥離材）Ｓを剥離装置１５で剥離し、その下面側の樹脂層Ｌを露出させる剥離ステーションとなる。この一方、上位装置３は、前記スタンパ貼合ステーションに対して９０度手前側となる位置がスタンパＳＴの準備ステーションとなり、貼合ステーションから９０度進んだ位置がスタンパＳＴ側に貼合されるディスク基板Ｄの下面側から樹脂層Ｌに紫外線を照射する紫外線照射ステーションとなり、当該紫外線照射ステーションから更に９０度進んだ位置がディスク基板Ｄの取り出しステーションとなる。
【００１７】
前記剥離装置１５は、図示しないアーム等を介して前記剥離ステーションの上部に配置されている。この剥離装置１５は、図３ないし図５に示されるように、連結テープＴを介してシートＳを一連にし、この状態でロール状に巻き取りできるように構成されている。これを更に詳述すると、剥離装置１５は、一連とされたシートＳを巻き取る巻取手段１６と、前記連結テープＴをシートＳに貼付する貼付手段１７と、片面が粘着面とされたロール状の原反テープＴ１を貼付手段１７に向かって供給するテープ供給手段１８と、当該テープ供給手段１８によって供給された原反テープＴ１を所定長さに切断して小さな片状となる連結テープＴに切断する切断手段１９とを備えて構成されている。
【００１８】
前記巻取手段１６は、略鉛直面内に向けられたフレーム板Ｆ３の下部に取り付けられたスライダユニット２１と、フレーム板Ｆ３の上部に配置されてモータＭ３により駆動される巻取ローラ２２を含んで構成されている。図５に示されるように、スライダユニット２１は、その前面側に、前記ディスク基板Ｄに対して横方向に相対移動可能に設けられたスライダテーブル２３を備え、当該スライダテーブル２３の前面側に、シリンダ２４を介して上下に移動可能な昇降テーブル２５が設けられている。この昇降テーブル２５にはフレーム板Ｆ３の面と略平行な姿勢となる支持板２７が固定され、当該支持板２７の前面側の下部に、下向き略コ字状のブラケット３０を介して第１のローラ３１と、図示しない真空ポンプに接続される吸着グリッド３２が支持されている。また、支持板２７には、前記第１のローラ３１の隣接位置に第２のローラ３３が設けられ、当該第２のローラ３３は、その上方に配置された制動装置としての第１のブレーキ装置３５によって所定のタイミングで回転と停止が制御される。ここで、第１のブレーキ装置３５は、支持板２７に固定されたベースブロック３６と、このベースブロックに取り付けられたシリンダ３７と、当該シリンダ３７の下端側に設けられたブレーキシュー３８とにより構成されている。この第１のブレーキ装置３５の側方において、前記巻取ローラ２２と第１のローラ３１との間には、第３ないし第６のローラ４０，４１，４２，４３が前記フレーム板Ｆ３に支持され、第４のローラ４１は制動装置としての第２のブレーキ装置４５によって所定タイミングで回転と停止が制御されるようになっている。第２のブレーキ装置４５は、シリンダ４６と、当該シリンダ４６の先端に設けられたブレーキシュー４７とにより構成されている。また、前記第５のローラ４２は、バッファローラとして作用するものであり、図４に示されるように、フレーム板Ｆ３の面内に設けられたスロット穴４８に沿って移動可能に設けられており、実線位置と二点鎖線位置との間で移動可能となっている。なお、スロット穴４８のフレーム板Ｆ３の裏面側には図示しないばねが設けられ、当該ばねにより、第５のローラ４２が図４中左側へ付勢されるようになっている。
【００１９】
前記貼付手段１７は、図４に示されるように、前記フレーム板Ｆ３にブラケット５０を介して略鉛直向きに支持された貼付用シリンダ５１と、この貼付用シリンダ５１の下端部に設けられた吸着グリッド５２と、当該吸着グリッド５２を昇降させるグリッド昇降シリンダ５３とにより構成されている。ブラケット５０は、フレーム板Ｆ３の面内に設けられたスロット穴５４に沿って、フレーム板Ｆ３の裏面側に設けられた図示しないシリンダを介して図４中実線位置と二点鎖線位置との間で移動可能に設けられており、これにより、貼付用シリンダ５１は、テープ供給手段１８より供給されるテープＴ１から切り離される連結テープＴを受け取る上方位置と、これより横方向に離れる位置との間で移動可能となっている。また、貼付手段１７は、グリッド昇降シリンダ５３が下降した位置で連結テープＴを吸着グリッド５２にて受け取り、貼付用シリンダ５１を伸長させて吸着グリッド５２を下降させたときに、ディスク基板Ｄの樹脂層Ｌを覆っているシートＳの外周部分に連結テープＴを貼り付けできるようになっている。この貼り付けは、連結テープＴの略半分程度とされ、残りの略半分領域が、シートＳの外周側に突出して非接着領域を形成する。
【００２０】
前記テープ供給手段１８は、ロール状の原反テープＴ１を保持する保持ローラ５７と、この保持ローラ５７に保持された原反テープＴ１の最外周に接するダンサローラ５８と、このダンサローラ５８からの原反テープＴ１を繰り出す繰出しローラ６０と、当該繰出しローラ６０に原反テープＴ１を挟み込むピンチローラ５９と、繰り出された原反テープＴ１をカットし易いように水平に送るための駆動ローラ６２と、この駆動ローラ６２の側方に配置されるとともに、当該駆動ローラ６２との間に掛け回されるベルト６４を介して回転可能な従動ローラ６５とにより構成されている。ここで、従動ローラ６５の側方位置において、当該従動ローラ６５との間に所定間隔を隔てた位置に受けローラ６６が配置され、当該受けローラ６６によって原反テープＴ１から繰り出された連結テープＴを受け止めできるようになっている。
【００２１】
前記切断手段１９は、切断用シリンダ７０と、このシリンダ７０に固定されたカッター７１とからなる。カッター７１は、前記受けローラ６６と従動ローラ６５との間の隙間内に入り込み可能に設けられており、当該カッター７１が下降したときに、受けローラ６６の領域まで供給された原反テープＴ１を小片状に切断して連結テープＴを形成することとなる。
【００２２】
次に、本実施例におけるシート剥離方法について、図６ないし図１２をも参照しながら説明する。
【００２３】
剥離装置１５を最初に駆動させる際の初期設定に関しては、原反テープＴ１を保持ローラ５７から所定長さ引き出し、第１のローラ３１から第６のローラ４３まで順次掛け回し、これのリード端を巻取ローラ２２に固定する。そして、吸着グリッド３２の下面側に達する位置でカットしてリードテープＴ２を形成しておく。その後、保持ローラ５７から引き出された原反テープＴ１の引き出し方向を変え、ダンサローラ５８、ピンチローラ５９，繰出しローラ６０を通過させて駆動ローラ６２及び従動ローラ６５の位置まで延びるように掛け直し、これにより初期設定を完了することができる。なお、巻取ローラ２２には、前記吸着グリッド３２まで引き出し可能となる別途のリードテープを設けるようにしてもよい。また、既に、シートＳを一定量巻き取っている状態で再稼働するような場合には前記リードテープＴ２は存在しないこととなる。従って、図６ないし図１１では、巻取ローラ２２から吸着グリッド３２までの間に示されるテープに関して参照符号Ｔ２、Ｓを付してある。
【００２４】
以上の初期設定が完了した状態で、図２に示されるように、シート剥離ステーションに対して、第１の支持装置８上に支持されたディスク基板Ｄが移動してくると、繰出しローラ６０と駆動ローラ６２が回転し、原反テープＴ１を所定量受けローラ６６上へ繰り出し、グリッド昇降シリンダ５３が下降し、吸着グリッド５２にて原反テープＴ１を保持した状態で前記切断手段１９のカッター７１によって切断する。これによって得られた連結テープＴが、貼付手段１７の吸着グリッド５２に吸着された状態で下降し（図６参照）、当該連結テープＴの略半分領域がシートＳの外周部分に貼付されるとともに、残りの略半分領域が外側に突出して非接着領域を下面側に形成することとなる（図７参照）。ここで、連結テープＴが接着された略半分領域に対応したシートＳの外周部分が巻取後端部を形成し、これの略１８０度反対側となるシートＳの外周部分が巻取先端部を形成することとなる。
【００２５】
このようにして連結テープＴがシートＳに貼付されると、前述した初期設定において巻取手段１６側の吸着グリッド３２の領域まで配置されたリードテープＴ２は、前記シリンダ２４の昇降テーブル２５を下降させることによって吸着グリッド３２を支持している支持板２７が下降してシートＳの巻取先端部に接着することとなる（図８参照）。この際、吸着グリッド３２は当該吸着グリッド３２の下面側に位置するリードテープＴ２を吸着しているとともに、第１のブレーキ装置３５におけるブレーキシュー３８が第２のローラ３３の外周面側を押圧するように作用してリードテープＴ２の位置を安定して保つ状態に保たれる。
【００２６】
次いで、第１のブレーキ装置３５による第２のローラ３３の回転規制を解除する一方、第２のブレーキ装置４５のブレーキシュー４７が第４のローラ４１の外周面を押圧すると同時にスライダユニット２１が作動し、前記吸着グリッド３２が第３のローラ４０から離れる右方向に移動する（図９参照）。そして、この移動に伴って、シートＳが次第に剥離されて下面側の樹脂層Ｌを露出させることとなる。この際、吸着グリッド３２は、吸着を解除した状態に保たれてシートＳの剥離を妨げるようなことはない。
【００２７】
吸着グリッド３２が巻取後端部に位置する連結テープＴの位置まで達すると、吸着グリッド３２が連結テープＴを吸着することとなる（図１０参照）。すると、第１のブレーキ装置３５のブレーキシュー３８が第２のローラ３３の外周面を押圧して当該外周面に接するシートＳの相対滑りを規制すると同時に、第２のブレーキ装置４５のブレーキシュー４７が第４のローラ４１の外周面を押圧するのを解除し、前記シリンダ２４の昇降テーブル２５を上昇させて吸着グリッド３２を支持している支持板２７が若干上昇し、当該吸着グリッド３２がディスク基板Ｄから離れた上方に移動することとなる（図１１参照）。
【００２８】
そして、前記吸着グリッド３２が巻取先端部側に戻るとともに、バッファローラである前記第５のロー４２が図示しないばねの力によりシートＳの移動量を吸収しながら当該巻取先端側の上方に位置したときに、巻取ローラ２２がモータＭ３の駆動により巻取方向に回転することによって第５のローラ４２が所定の位置に到達し、シートＳの剥離を完了する。そこで、現状吸着グリッド３２が待機している連結テープＴの非接着領域は、次に送られてくるディスク基板Ｄの巻取先端部に貼付するための接着領域となる。この際、テープ供給手段１８では所定長さのテープＴ１を供給し、次のディスク基板Ｄの巻取後端部に貼付すべき連結テープＴを切断手段１９で切断して貼付手段１７の吸着グリッド５２に吸着させる動作が並行してなされ、以後、同様の工程で、剥離ステーションに順次送られてくるディスク基板ＤからシートＳが剥離されることとなる。
【００２９】
以後、図１２（Ａ）〜（Ｈ）に示されるように、巻取後端部の連結テープＴを次のディスク基板Ｄ上のシートＳにおける巻取前端部に転着する動作を繰り返すことで、図３に示されるようにシートＳを連続させることができ、これを巻取手段１６によってロール状に巻き取ることができる。
【００３０】
なお、シートＳが剥離された後のディスクＤは、図２に示されるスタンパ貼合ステーションに送られ、シートＳの剥離によって露出した樹脂層にスタンパＳＴが貼合されることとなる。
【００３１】
従って、このような実施例によれば、帯状に連なるテープをそのままシートＳに貼り付けて当該シートＳを巻き取る構成ではなく、シートＳ間を相互に連結するに足りる僅かな長さの連結テープＴを得てこれをシートＳ間に介在させて一連のシートとして巻き取る構成であるから、原反テープＴ１を最小限の使用量に抑えてシートＳを相互に連結できる、という効果を得ることができる。しかも、シートＳを一枚ずつ剥離して廃棄せずに、連続巻取方式であるため、巻き取ったシートを効率的に集約でき、従来のように、一枚ずつ廃棄していた場合に比べて廃棄処分時の取扱性も非常に簡便なものとなる。
【００３２】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、材料、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材料などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【００３３】
例えば、前記実施形態では、板状部材として光記録媒体を構成するディスク基板Ｄに設けられた樹脂層Ｌを覆うシートＳを剥離対象として図示、説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、例えば、半導体ウエハを研削する際の保護若しくは補強のために貼付された粘着シートを剥離する場合や、その他のシートを被着体から剥離する場合等、種々の剥離装置として適用することが可能である。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、板状部材のシートが一連に連なった状態で巻き取りできる他、各シートを連結するためのテープも必要最小限の長さとしてテープ消費量も大幅に軽減できるシート剥離装置を提供することができる。しかも、ロール状に巻回された原反テープを剥離装置にセットする回数を減らすことが可能となり、テープ交換作業が頻繁に要求されることなく装置の連続動作を可能として剥離効率を飛躍的に改善することができる。
【００３５】
また、テープ供給手段と切断手段を併設した構成を採用した構成では、シート剥離装置をユニットとして利用可能となり、板状部材にシートが貼付されたものから当該シートを剥離する装置としての汎用性も付与可能となる。
【００３６】
更に、前記巻取手段の一部を構成するローラが制動装置を介して回転規制される構成を採用した場合には、巻取動作に際してシートと連結テープとの分離も効果的に防止することができ、巻き取られたシートの連続性を安定して保つことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態に係る剥離装置が光記録媒体用のディスク基板にスタンパを貼合する貼合装置に組み込まれた状態の全体構成を示す概略構成図。
【図２】前記貼合装置の各ステーションを説明するための概略平面図。
【図３】シートを連結テープで連結した状態を示す概略平面図。
【図４】本実施形態に係る剥離装置の概略正面図。
【図５】前記剥離装置の要部を拡大した概略斜視図。
【図６】シートを剥離する際の初期工程を示す概略正面図。
【図７】図６の次の工程を示す概略正面図。
【図８】図７の次の工程を示す概略正面図。
【図９】図８の次の工程を示す概略正面図。
【図１０】図９の次の工程を示す概略正面図。
【図１１】図１０の次の工程を示す概略正面図。
【図１２】（Ａ）〜（Ｈ）は、シート剥離と、当該シートを連結テープで一連にする動作の説明図。
【符号の説明】
１５  剥離装置
１６  巻取手段
１７  貼付手段
１８  テープ供給手段
１９  切断手段
３１  第１のローラ
３２  吸着グリッド
３３  第２のローラ
３５  第１のブレーキ装置（制動装置）
４０  第３のローラ
４１  第４のローラ
４２  第５のローラ
４３  第６のローラ
４５  第２のブレーキ装置（制動装置）
５１  貼付用シリンダ（貼付手段）
５２  吸着グリッド（貼付手段）
７０  切断用シリンダ（切断手段）
７１  カッター（切断手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005015160.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2005015160.tif 000013
【図１２】
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