(57)【要約】【課題】半導体ウェハ製造のように多数の工程を持つ製品の生産スケジューリングにおいて、生産の変動に対応したメンテナンススケジュールになっていないため、生産計画スケジューリングシステムＰＰ（Plant Planner）における、生産ラインでの生産計画に対する実行精度の向上が見込まれない。【解決手段】設備の現状の稼働情報および製品の処理レシピ情報を含む処理履歴データを取得する。そして、処理履歴データを用いてロット処理レシピに依存するメンテナンスファクターとメンテナンスの計画サイクル基準から設備メンテナンスのスケジュールを演算する。そして、得られた演算結果を生産スケジューリングシステムに設定する。これにより、生産計画の実行精度の向上を図ることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
設備の現状の稼働情報および製品の処理レシピ情報を含む処理履歴データを取得する機能と、
前記処理履歴データを用いてロット処理レシピに依存するメンテナンスファクターとメンテナンスの計画サイクル基準から設備メンテナンスのスケジュールを演算する機能と、
得られた演算結果を前記生産スケジューリングシステムに設定する機能とを備えている生産管理システム。
【請求項２】
前記処理履歴データは、ロットの処理データと計画サイクル基準から設備メンテナンス計画を策定した設備稼働データであることを特徴とする請求項１記載の生産管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体製造の生産管理に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
各製造設備と製造管理システム(Ｍanufacturing Ｅxecution Ｓystem)とがオンラインで接続されている半導体製造工場において、製品の生産は、ＭＥＳおよびディスパッチシステムにより制御されている。また、製品の処理履歴情報，測定評価結果ならびに設備の稼働情報等の情報はＭＥＳにより収集，管理されている。
【０００３】
従来の生産管理システムとして、特許文献１がある。従来の生産管理システムについて図３を用いて説明する。
【０００４】
図３は、従来の生産管理システムにおけるハードウェアの構成を示すブロック図である。この生産管理システムは、図３に示すように、工程１から工程ｎまで含む生産ライン１１から各設備毎の処理ロット、処理数量、処理開始終了時間および稼働状況等の状況データを常時収集するデータ収集手段１２と、データ収集手段１２から得られたデータを一定時間蓄積し統計処理し各工程へのロット到着分布を含む各種の統計データを作成する統計解析部１４と、データ収集手段１２から得られたデータを予め与えられたディスパッチングルールに基き処理し生産指示データを作成するディスパッチング部１６と、生産ラインあるいはその一部分の適切なモデルをもつとともに統計解析部１４で作成された統計データとディスパッチングルールを入力し生産ラインあるいはその一部分の生産状況を再現しディスパッチングルールの違いによる生産ラインの効率の差を評価するに足りるデータを出力するシミュレータ１５とを備えている。また、通信手段１３はディスパッチング部１６から出力する生産データを生産ライン１１の処理設備に転送する機能をもっている。
【特許文献１】特開平７−４０２０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の生産管理システムでは、工程処理の指示等は生産計画スケジューリングシステム（以下ＰＰ：Plant Planner）の計画に基づいて、ＭＥＳおよびディスパッチシステムにより制御されており、ＭＥＳは製品を主体に管理するシステムであるため、設備に関する情報に関しては、詳細な情報を扱えないという課題があった。すなわち、ＭＥＳでは、設備の状態を「生産、待機、計画停止、計画外停止」の４つに分類はしているが、ＭＥＳでは生産要求およびその変動に対して、必要とされる設備の保全計画の管理を含む設備停止時間のスケジュール管理は行えない。この様に従来の生産管理システムでは、設備停止計画の情報をＰＰに対応したデータとして、反映することができない課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するために本発明の生産管理システムは、生産要求に対して、設備の現状の稼働情報および製品の処理レシピ情報を含む処理履歴データを取得する機能と前記処理履歴データを用いてロット処理レシピに依存するメンテナンスファクターとメンテナンスの計画サイクル基準から設備メンテナンスのスケジュールを演算する機能と得られた演算結果を前記生産管理システムに設定する機能とを備えている。
【発明の効果】
【０００７】
生産計画スケジューリングシステム（ＰＰ）への反映およびその実績の差分比較により、計画系と実行系の能力差異を把握できる。これにより、生産計画の実行精度の向上が図れる。
【０００８】
また、生産の変動に対応したメンテナンススケジュールの作成が即座に図れる。これにより、設備の処理および稼働の実力とともに，メンテナンス時に発生するロスを把握する事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明の第一の実施の形態におけるシステム構成を示す図である。本発明のシステムは、従来のシステム構成に対して、設備保全管理部２と生産スケジューリング部６を構成要素として付加している。設備保全管理部２は、現状設備の稼働状態と生産要求より、設備メンテナンス計画を作成して、設備稼働情報データとしてデータ収集手段３に反映する。さらに、データ収集手段３は、生産ライン１の各工程でのロツト処理状況に関する常時収集したデ−タと設備稼働データを統計解析部４で統計処理して設定パラメータに対応する統計データを作成する。生産スケジューリング部６は、データ収集手段３の情報に基づいて、生産要求より、生産スケジュールを作成して生産指示をディスパッチング部７に対して行う。ディスパッチング部７は、シミュレータ５により検証されたディスパッチングルールに従って、通信手段８を介して、生産ライン１に対してロットの進行指示を行う。
【００１０】
図２は、設備保全管理部の構成を示す図である。設備保全管理部２は、定期メンテナンス項目に対して実施頻度とその標準作業時間ｓｔをマスター情報のメンテナンス基準データベース２ｃと、ＣＶＤ装置における膜厚値等の製品処理レシピに依存するレシピ依存メンテナンスファクターデータベース２ｂを有している。その情報を基に、生産ライン１の各工程での設備稼働および製品の処理に関するデータを常時収集するデータ収集手段２ａのデータから、メンテナンススケジュール作成演算２ｄを実行することにより、定期メンテナンス時期と停止時間の管理を行うことができる。さらに、定期メンテナンス項目および故障対応毎に作業実績を収集することができる。本発明では、このような機能を有した設備保全管理部２により現状設備の稼働状態と生産要求および生産の変動に対して、設備メンテナンス計画を作成する。そして、設備稼働情報データとしてデ−タ収集手段３に反映することで生産要求に対応した設備稼働パラメータをＰＰのスケジューリングに反映させることができる。
【００１１】
以上の説明では、主として、ＰＰに対してのメンテナンス計画パラメータの設定方法に関して説明したが、これに限定されるものでなく、シミュレータおよび、ディスパチャーについても、広く適用可能である。
【産業上の利用可能性】
【００１２】
本発明は、半導体装置の生産管理に関するものであり、生産計画スケジューリングシステム（ＰＰ：Plant Planner）での生産スケジュールと製造現場での生産進捗の差異の要因を低減するために有用である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の第一の実施の形態におけるシステム構成を示す図
【図２】設備保全管理部の構成を示す図
【図３】従来の生産管理システムにおけるハードウェアの構成を示すブロック図
【符号の説明】
【００１４】
１  生産ライン
２  設備保全管理部
２ａ  データ収集手段
２ｂ  レシピ依存メンテナンスファクターデータベース
２ｃ  メンテナンス基準データベース
２ｄ  メンテナンススケジュール作成演算
３  データ収集手段
４  統計解析部
５  シミュレータ
６  生産スケジューリング部
７  ディスパッチング部
８  通信手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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