(57)【要約】【課題】  施工性とスペース効率に優れる有効なクリーンルームを実現する。【解決手段】  スタッカークレーン２の設置領域を清浄領域として設定してそこに清浄空気を吹き出すためのファンフィルターユニット４を清浄領域の上部に設ける。クリーンストッカー１はその上部にファンフィルターユニット１０を具備してそれ自体で内部を清浄に維持可能である。レタンスペース５をクリーンストッカーの隣接位置にそのクリーンストッカーのケーシングを利用して周囲より区画することで形成する。クリーンストッカーを建屋の２階層にわたって上下に２段積みにして設置し、下段側のクリーンストッカーには下段側のスタッカークレーンを下階層の床面上に設置し、上段側のクリーンストッカーには上段側のスタッカークレーンを上層階の天井面より吊り支持して設置する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーンストッカーおよびスタッカークレーンを設置するためのクリーンルームであって、スタッカークレーンの設置領域を清浄領域として設定してその清浄領域に清浄空気を吹き出すためのファンフィルターユニットを清浄領域の上部に設けるとともに、クリーンストッカーはその上部にファンフィルターユニットを具備してその内部空間がそれ自体で清浄領域とされ、かつ、前記清浄領域およびクリーンストッカー内に吹き出された清浄空気の還気経路であるレタンスペースをクリーンストッカーの隣接位置にそのクリーンストッカーのケーシングを利用して周囲より区画して形成したことを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】
請求項１記載のクリーンルームであって、クリーンストッカーを建屋の２階層にわたって上下に２段積みにして設置し、下段側のクリーンストッカーには下段側のスタッカークレーンを下階層の床面上に設置し、上段側のクリーンストッカーには上段側のスタッカークレーンを上層階の天井面より吊り支持して設置したことを特徴とするクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば半導体や液晶の生産施設等として使用されるクリーンルーム、特にその内部にクリーンストッカーとスタッカークレーンを設置する場合に採用して好適なクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
そのようなクリーンルームとしては図４に示す構造のものが一般的である。これは、クリーンルーム内の床面上にクリーンストッカー１を２列をなすように対向配置して、それらの間においてスタッカークレーン２を走行可能に設け、そのスタッカークレーン２によって収容物を搬送してクリーンストッカー１の各収納棚に出し入れするようにしたものである。この場合、クリーンルーム内の全体が清浄領域とされ、その天井面には天井チャンバー３から室内に清浄空気を吹き出すためのファンフィルターユニット４を設け、室内の壁面には清浄空気を天井チャンバー３に戻すための還気経路であるレタンスペース５を設けるようにしている。
【０００３】
また、特許文献１には、ケーシング内に収容棚と移載ロボットを組み込むとともにファンフィルターユニットを備えたストッカーについての提案がある。
【特許文献１】特開２０００−２５９１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、図４に示したような従来一般の構造のクリーンルームを施工するに際しては、天井チャンバー３やレタンスペース５を建屋工事として施工し、その後にファンフィルターユニット４等の建屋に付帯する設備機器類を設備工事として施工し、さらにその後にクリーンストッカー１やスタッカークレーン２を生産機器の設置工事として後施工するようにしている。そのため全体工期が長くかかるばかりでなく、それら各種の工事を手戻りなく効率的に実施するためには複雑な施工管理や工程管理を必要とし、しかもそれぞれの工事を独立に行うために各所に充分な作業スペースや機器設置スペースを確保しておく必要があるので、クリーンルームの面積や高さに充分な余裕を持たせる必要があり、特にクリーンルームの有効幅Ｗやその設置階の階高Ｈを大きく設定する必要がある。
【０００５】
したがって、図５に示すように階高Ｈをあまり大きく確保できない場合にはクリーンストッカー１の高さを小さくして収容量を犠牲にせざるを得ないし、そのような場合には図示しているように各階にクリーンルームを設けて収容量を確保することもあるが、クリーンルームを各階に独立に設ける限りはスペース効率を改善できないばかりか、各階のクリーンルーム相互間にわたって収容物を搬送するために上下方向の搬送手段も別に必要となるので、無駄なスペースがますます増大してしまうものである。
【０００６】
なお、特許文献１に示されるようなファンフィルターユニットを備えたストッカーをそのまま図４や図５に示したような通常のクリーンルームに設置することは、ファンフィルターユニットが二重に設けられることになるので過剰設備となってしまい、現実的ではない。
【０００７】
上記事情に鑑み、本発明は施工性とスペース効率を改善することのできる有効なクリーンルームを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、クリーンストッカーおよびスタッカークレーンを設置するためのクリーンルームであって、スタッカークレーンの設置領域を清浄領域として設定してその清浄領域に清浄空気を吹き出すためのファンフィルターユニットを清浄領域の上部に設けるとともに、クリーンストッカーはその上部にファンフィルターユニットを具備してその内部空間がそれ自体で清浄領域とされ、かつ、前記清浄領域およびクリーンストッカー内に吹き出された清浄空気の還気経路であるレタンスペースをクリーンストッカーの隣接位置にそのクリーンストッカーのケーシングを利用して周囲より区画して形成したことを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１の発明のクリーンルームにおいて、クリーンストッカーを建屋の２階層にわたって上下に２段積みにして設置し、下段側のクリーンストッカーには下段側のスタッカークレーンを下階層の床面上に設置し、上段側のクリーンストッカーには上段側のスタッカークレーンを上層階の天井面より吊り支持して設置したことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１の発明のクリーンルームは、その内部に設置するクリーンストッカーとしてファンフィルターユニットを具備してそれ自体で清浄環境を維持可能なものを採用することにより、そのクリーンストッカーの設置領域を清浄領域とせずにスタッカークレーンの設置領域のみを限定的に清浄領域とするものであり、それによりクリーンストッカーの他には必要最小限のファンフィルターユニットのみを設置することでクリーンルーム全体を合理的に清浄領域とすることができる。また、クリーンルームの施工に際しては、建屋工事と並行作業によりクリーンストッカーの設置工事が可能であり、しかもレタンスペースをクリーンストッカーのケーシングを利用して形成することによりそれを建屋工事として独立に設ける場合に較べて省スペースを実現でき、以上のことから効率的な施工が可能であるしスペース効率を充分に高めることができる。
【００１１】
請求項２の発明のクリーンルームは、上記に加え、クリーンストッカーを２階層にわたって２段積みにして設置してそれぞれにスタッカークレーンを設け、特に上段側のクリーンストッカーにはスタッカークレーンを上層階の天井面から吊り支持して設置することにより、各階の階高が小さい場合でも充分な収容量を確保できるし、無駄なスペースが生じることなくスペース効率を充分に高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は本発明の実施形態であるクリーンルームを示すもので、（ａ）は断面図、（ｂ）は平面図である。このクリーンルームは、図４に示した従来のものと同様にその内部にクリーンストッカー１を２列に並べて配置し、それらクリーンストッカー１の間にスタッカークレーン２を設置するものであるが、クリーンストッカー１としてはその上部にファンフィルターユニット１０を具備しているものを採用している。すなわちそのクリーンストッカー１は、それ自身が備えているファンフィルターユニット１０により天井チャンバー３から清浄空気を吸引することによりそれ自体でその内部空間を清浄に維持できるものとなっている。
【００１３】
実施形態のクリーンルームはそのようなクリーンストッカー１を設置するものであることから、クリーンストッカー１の設置領域については清浄領域とする必要がなく、それ以外の領域、つまりクリーンストッカー１の間に設置されるスタッカークレーン２の設置領域を主たる清浄領域として設定すれば充分であり、したがって天井チャンバー３に設けるファンフィルターユニット４を、スタッカークレーン２の設置領域を対象としてそこに清浄空気を吹き出すように設けることで足りるものとなっている。そこで本実施形態のクリーンルームでは、図４に示した従来の場合のように天井チャンバー３を全面的に設けてそこに多数のファンフィルターユニット４を設置することに代えて、図１（ａ）に示すように天井チャンバー３をクリーンストッカー１の設置領域の上部にのみ設けてスタッカークレーン２の設置領域の上部においては天井チャンバー３を省略しており、またクリーンストッカー２の上部に設けた天井チャンバー３の側壁面に対してファンフィルターユニット４を設けることにより、そのファンフィルターユニット４によって天井チャンバー３からスタッカークレーン２の設置領域に対して清浄空気を横向きに吹き出してそこを清浄に維持するものとなっている。
【００１４】
さらに、本実施形態のクリーンルームでは、図１（ｂ）に示すようにクリーンストッカー１の背面とクリーンルームの壁面１１との間に若干のクリアランスを確保し、そのクリアランスの左右にクリーンパーティション１２を取り付けることのみでそこに清浄空気の還気経路であるレタンスペース５を形成しており、ファンフィルターユニット１０によってクリーンストッカー１内に吹き出された清浄空気、およびファンフィルターユニット４によりスタッカークレーン２の設置領域に吹き出された清浄空気は、そのレタンスペース５を通して天井チャンバー３に戻されて循環させられるようになっている。
【００１５】
このように、本実施形態のクリーンルームでは、それ自体で清浄環境を維持可能なクリーンストッカー１を採用することにより、スタッカークレーン２の設置領域を限定的に清浄領域とすることのみで支障なく清浄度を維持できるので合理的であるし、天井チャンバー３やファンフィルターユニット４は必要最小限に設ければ良いから、クリーンルーム全体の構成の簡略化を図ることができるし、クリーンルームの所要高さ寸法を小さくすることが可能であって階高Ｈを小さくすることも可能である。また、クリーンストッカー１のケーシングを利用して壁面１１との間にレタンスペース５を形成することにより、そのレタンスペース５のために格別のスペースを確保することなく無駄なスペースを有効活用することができ、クリーンルームの有効幅Ｗを小さくすることができる。そして、クリーンストッカー１やスタッカークレーン２等の設置工事を建屋工事や設備工事と並行作業により行うことも可能であるので施工性を改善できるし、それらの作業のために必要とされる余裕スペースも削減することが可能であるのでスペース効率に優れたものとできる。
【００１６】
なお、レタンスペース５を上記のようにクリーンストッカー１の背面側に設けることに代えて、図２に示すようにクリーンパーティション１２をクリーンストッカー１のケーシングに連なるように取り付けることでレタンスペース５をクリーンストッカー１に並べて設置することも可能であり、それによればクリーンルームの有効幅Ｗをより小さくすることが可能である。
【００１７】
図３は他の実施形態を示す。これは、図５に示したように建屋の階高Ｈが充分に確保できない場合の適用例であるが、通常のように各階に独立にクリーンルームを設置するのではなく、単一のクリーンルームを２階層にわたって設けるようにしたものである。すなわち、連続している２階層の間のスラブに開口部１５を設けて、下層階の床面からクリーンストッカー１（１ａ、１ｂ）を開口部１５を通して上下に２段積みにしてその頂部が上層階の天井部に達するように設置している。それらクリーンストッカー１は図１に示したものと同様に最上部にファンフィルターユニット１０を具備していて、それ自体で内部空間を清浄に維持できるものである。
【００１８】
そして、本実施形態では、上記実施形態と同様に２段積みにしたクリーンストッカー１を２列をなすように対向配置してそれらの間にスタッカークレーン２（２ａ、２ｂ）を設置するのであるが、下段側のクリーンストッカー１ａには下段側のスタッカークレーン２ａを通常のように床面上に設置し、上段側のクリーンストッカー１ｂには上段側のスタッカークレーン２ｂを上層階の天井面より吊り支持して設置しており、これにより上段側のクリーンストッカー１ｂに対する収納物の出し入れを支障なく行うことができるものとなっている。
【００１９】
また、上記実施形態と同様に、それらスタッカークレーン２（２ａ、２ｂ）の設置領域を対象としてその上部にファンフィルターユニット４を設置しており、そのファンフィルターユニット４およびクリーンストッカー１に設けられたファンフィルターユニット１０からの清浄空気を、上記実施形態と同様にしてクリーンストッカー１の背面側に形成したレタンスペース５により天井チャンバー３に戻すようにしている。
【００２０】
本実施形態によれば、各階の階高Ｈを大きく確保できない場合であっても、クリーンストッカー１を２階層にわたって２段積みにして設置することにより、２階層分の全高を有効に活用することができてスペース効率を充分に高めることができる。具体例を挙げれば、従来において図５に示したうに各階のクリーンストッカー１の収容棚が２段である場合には全体として４段の収納棚しか確保できないが、同一階高であっても本実施形態のようにクリーンストッカー１を２階層にわたって連続的に多段に設置すれば６段の収容棚を確保でき、収容効率を５０％も拡大することができることになる。
【００２１】
そして、図５に示したように各階にそれぞれクリーンルームを独立に設ける場合には、それぞれの階に全面的に天井チャンバー３を設けてそこに多数のファンフィルターユニット４を設置する必要があるばかりでなく、上下のクリーンルームどうしを連絡して収容物を相互に搬送するための上下方向の搬送手段も必要となり、そのためのスペースを確保する必要があるが、本実施形態ではそのような上下方向の搬送手段を必要としないことは言うに及ばず、下階側には天井チャンバー３やファンフィルターユニット４すらも必要なく、したがってスペース効率を十分に高めることができるばかりでなく、コストおよび施工性の点でも極めて有効である。
【００２２】
なお、吊り支持により設置した上段側のスタッカークレーン２ｂの駆動部からの発塵によってその周囲の清浄度が低下することが懸念される場合には、図示しているようにその近辺に吸込口１６を設けて天井チャンバー３に吸引することにより、そこでの清浄度を維持することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の一実施形態であるクリーンルームの概略構成を示す図である。
【図２】同、レタンスペースの位置を変更した場合の例を示す図である。
【図３】同、他の実施形態であるクリーンルームの概略構成を示す図である。
【図４】従来一般のクリーンルームの一例を示す図である。
【図５】同、他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００２４】
１  クリーンストッカー
２  スタッカークレーン
３  天井チャンバー
４  ファンフィルターユニット
５  レタンスペース
１０  ファンフィルターユニット
１１  壁面
１２  クリーンパーティション
１５  開口部
１６  吸込口
【図１】
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【図２】
2005273945.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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