(57)【要約】【課題】  気体の漏洩が発生した際に、作業員の危険な作業を伴わずにガスの排気を効率よく行える排気装置を得る。【解決手段】  筐体１内にガス供給源２を収納することにより外部へのガス漏洩を防止するガス供給設備の排気装置であって、通常時は、スプリング９の弾性力により吸気口カバー５と風受けカップ８が密着し、ガス漏洩により緊急排気が開始されると、筐体１内部が陰圧になることにより、風受けカップ８が引き圧により引き出され、筐体１内部への吸気口が形成されるようにしたので、緊急時に人手を介さなくても自動的に吸気量を増やし、緊急排気に必要な圧力を低下させることができる。【選択図】        図３
2005040712.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体供給設備が筐体に収納され、上記筐体の外部への気体の漏洩を防止しながら、排気設備へ上記筐体から排気する排気装置において、
上記気体供給設備から上記筐体内への気体の漏洩が検知器によって検知された際に、上記筐体内の空気を排気する排気調節器と、
上記筐体の壁面に設けられ、上記筐体内と外部との空気の流通を可能にする吸気口と、
上記筐体壁面の内側に、上記吸気口を塞ぐように設置され、上記気体供給設備からの気体漏洩時には、上記排気調節器からの排気により上記筐体内部が陰圧となることで生じる吸引力を受けて上記筐体の内部方向へ引き出され、上記吸気口を開放する吸気調節器を備えたことを特徴とする排気装置。
【請求項２】
吸気調節器は、吸気口を塞ぐ蓋と、
上記蓋に対し、吸気口を塞ぐ方向に付勢する弾性体を備えたことを特徴とする請求項１記載の排気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ガス供給設備等で使用される排気装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体プロセス装置への特殊材料ガス供給設備や半導体プロセス装置からの排気を行う設備では、有害な気体を使用するため、これらの有害ガスが漏洩した場合に、有害ガスが外部へ放出されないようにする必要がある。
【０００３】
従来のガス供給設備の例としては、例えば、特許文献１に開示された従来の有害気体用ガスボックスがある。この有害気体用ガスボックスは、有害ガスの供給設備を密閉のガスボックスに収納し、その中に有害ガスの濃度監視計器が取り付けられているものである。有害ガスが漏洩し、濃度が許容限界を超えた場合には、ボックス内の有害ガス含有気体はポンプを介して気体処理系に排気される。これにより、有害ガスが漏洩しても、有害ガス含有気体はボックス内に密閉され、外部に漏れることなく気体処理系に導入される。
【０００４】
【特許文献１】実開昭６２−５６１３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のガス供給設備の排気装置では、通常時と緊急時での箱体内への吸気量の切り換えを簡単な構成で自動的に行うことができなかった。緊急時に作業員が切り替えの作業を行うことは危険を伴うので、このような作業は自動化する必要があった。
【０００６】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、第１の目的は、気体の漏洩が発生した際に、作業員の作業を伴わずに効率よく気体の排気を行える排気装置を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明に係る排気装置は、気体供給設備から筐体内への気体の漏洩が検知器によって検知された際に、筐体内の空気を排気する排気調節器と、筐体の壁面に設けられ、筐体内と外部との空気の流通を可能にする吸気口と、筐体壁面の内側に、吸気口を塞ぐように設置され、気体供給設備からの気体漏洩時には、排気調節器からの排気により筐体内部が陰圧となることで生じる吸引力を受けて筐体の内部方向へ引き出され、吸気口を開放する吸気調節器を備えたものである。
【発明の効果】
【０００８】
この発明は、気体供給設備から筐体内への気体の漏洩が検知器によって検知された際に、筐体内の空気を排気する排気調節器と、筐体の壁面に設けられ、筐体内と外部との空気の流通を可能にする吸気口と、筐体壁面の内側に、吸気口を塞ぐように設置され、気体供給設備からの気体漏洩時には、排気調節器からの排気により筐体内部が陰圧となることで生じる吸引力を受けて筐体の内部方向へ引き出され、吸気口を開放する吸気調節器を備えたので、気体の漏洩が発生した際に、筐体内部への吸気量が増加し、排気調節器からの排気に必要な圧力を低下させることができる。よって、作業員の手作業を伴わずに気体の排気を効率よく行える排気装置を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、この発明の実施の様々な形態を説明する。
実施の形態１．
図１は、この発明の実施の形態１による、排気装置１００の全体を示す図である。排気装置１００は、筐体１内部にガス供給源（気体供給設備）２を収納し、筐体１の上面にはガス漏れ発生時の排気口（排気調節器）１８が備えられている。排気口１８は、筐体１内部の図示されていない排気処理設備等につながっており、ガス検知器（図示せず）がガス漏れを検知すると、後述する緊急排気を行うように制御される。また、筐体扉３には吸気口１９が備えられている。
【００１０】
図２は、この発明の実施の形態１による排気装置１００内部の一部を示した図である。筐体扉３の内側の吸気口１９の裏側部分には、吸気調節器４が設置されている。
【００１１】
図３は、排気装置１００の吸気調節器４の構成を示す分解図である。図３を用いて吸気調節器４の構成について説明する。吸気調節器４は、吸気口カバー５、金網６、カップ受け軸７、風受けカップ（蓋）８を備えている。
【００１２】
吸気口カバー５は、筐体扉３の内側の吸気口１９の裏側に取り付けられており、吸気口１９を塞いでいる。吸気口カバー５の周囲の取り付け部分は、隙間を埋めるためコーキング加工されている。吸気口カバー５は、筐体扉３に対し、若干の傾きを持たせて取り付けられている。これは、後述するように、カップ受け軸７を筐体扉３に対し若干の傾きを持たせて設置する必要があるためである。また、吸気口カバー５の表面には、筐体１外部との微量な空気の流入、流出を可能とする隙間１２が設けられている。
吸気口カバー５の中央部分は円形の金網６となっており、吸気口１９を通じて外部との空気の入出が可能となっている。なお、金網６の形状は円形以外のものであってもよい。金網６の中央部には、風受けカップ８を取り付けるためのカップ受け軸７が設置されている。
【００１３】
カップ受け軸７に、風受けカップ８、スプリング９、ワッシャー１０、ナット１１を取り付けることにより、図２に示すような吸気調節器４が構成される。金網６は、風受けカップ８によって完全に覆い隠される。
カップ受け軸７の先端はナット１１を締め付けるためネジ山加工が施されており、ボルトの機能を有している。また、風受けカップ８と吸気口カバー５が接触する部分では、隙間をなくすため風受けカップ８の周辺をラバー加工等により加工する。
【００１４】
また、吸気口カバー５、金網６、カップ受け軸７、風受けカップ８、スプリング９、ワッシャー１０、ナット１１の材質は、筐体１内部の燃焼による形状変形を避けるため、ＳＵＳ（Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｕｓｅ  Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ  ｓｔｅｅｌ）製となっている。
【００１５】
次に、実施の形態１による排気装置１００の動作について説明する。
図４は、排気装置１００の吸気調節器４の動作を説明するための図である。図４（ａ）は、通常時の吸気調節器４の状態を示しており、図４（ｂ）は、ガス漏洩等の緊急時の吸気調節器４の状態を示している。
【００１６】
通常時には、図４（ａ）に示すように、風受けカップ８はスプリング９により図中の矢印Ａ方向に付勢され、吸気口カバー５に密着している。ただし、吸気口カバー５表面には隙間１２が設けられているので、筐体１内部は完全な密閉状態にはならない。隙間１２を通じて生じる微量な空気の流れにより、筐体１内部の空気が循環し、このため、筐体１内部の１箇所に設置されたガス検知器におけるガス漏れ検知の精度を上げることができる。
【００１７】
また、カップ受け軸７は筐体扉３に対し若干の傾きを持って取り付けられている。これにより、風受けカップ８にはスプリング９の付勢力に加えて傾いた軸方向の重力が加わり、より確実に風受けカップ８と吸気口カバー５を密着させることができる。また、これによりスプリング９が破断してしまった場合でも、風受けカップ８と吸気口カバー５の間に隙間ができることを防ぐ効果がある。
【００１８】
排気装置１００においてガス供給源２からのガス漏れが発生すると、筐体１に設置されたガス検知器が筐体１内部のガスの濃度上昇を検知する。ガスの濃度が一定値以上になると、排気口１８を通じて筐体１内から排気処理設備への緊急排気が開始される。この時、単位時間当たりの排気量はガスの漏洩速度以上である必要がある。緊急排気が開始されると、筐体１内部の圧力が下がる。その結果、風受けカップ８は図４（ｂ）に示す矢印Ｂ方向の引力を受け、スプリング９を収縮させて筐体１内部へ引き出される。これにより、図４（ｂ）に示すように吸気調節器４と吸気口カバー５との間に隙間ができ、吸気口１９を通じた筐体１への吸気が発生する。
【００１９】
上述した漏洩速度以上の速度で排気口１８からの排気を行うためには、一定の排気圧力が必要となる。筐体１内部への吸気量が増加して排気量との差が小さくなることにより、この排気に必要な圧力は小さくなる。実施の形態１では、緊急排気時に筐体１内への吸気口１９からの吸気が発生することにより、この排気に必要な圧力を下げることが可能となる。
緊急排気が終了し、筐体１内部の気圧が元に戻ると、スプリング９の復元力と風受けカップ８自身の重みにより、風受けカップ８は再び吸気口カバー５に密着する。
【００２０】
以上のように、この実施の形態１によれば、筐体扉３の内側に、通常時は、スプリング９の弾性力により吸気口カバー５と風受けカップ８を密着させ、ガス供給源２からのガス漏洩により緊急排気が開始されると、風受けカップ８が筐体１内部方向へ引き出され、筐体１内部へ吸気口１９からの吸気が可能になるようにしたので、緊急時に人手を介さなくても自動的に吸気量を増やし、排気口１８からの排気に必要な圧力を下げることができる排気装置を得ることができる。
また、漏洩時でも、緊急排気が起動するまでは吸気量が増えないので、外部へのガスの漏洩を防止することができる。
また、通常時は、吸気口カバー５に設けられた隙間１２を通じた微量な空気の出入りが発生し、筐体１内の空気が循環するので、ガス検知器の検知精度を向上させることができる。
【００２１】
なお、実施の形態１は、ガス供給設備における排気装置であったが、例えばガスの除害設備にも同様の排気機構を利用することができる。
【００２２】
実施の形態２．
実施の形態１は、風受けカップ８により筐体１の吸気口が塞がれる構成であったが、実施の形態２は、風受けカップ８の代わりに板状の風受けが用いられる。
【００２３】
図５は、この発明の実施の形態２による、排気装置２００の一部を示した図である。図２、図３と同一の符号は同一の構成要素を表している。図に示すように、排気装置２００の吸気調節器１３は、吸気口カバー５と板（蓋）１４を備えている。
【００２４】
次に、実施の形態２による排気装置２００の動作について説明する。
図６は、排気装置２００の吸気調節器１３の動作を説明するための図である。図６（ａ）は、通常時の吸気調節器１３の状態を示しており、図６（ｂ）は、ガス漏洩等の緊急時の吸気調節器１３の状態を示している。図に示すように、板１４は、吸気口カバー５にスプリング１５を介して接続されている。
【００２５】
通常時には、図６（ａ）に示すように、板１４によってスプリング１５が圧縮され、板１４は吸気口カバー５に密着した状態である。この時、筐体１内部への空気の入出は隙間１２のみを通じて行われる。
【００２６】
排気装置２００において、ガス供給源２からのガス漏れが発生すると、筐体１に設置されたガス検知器（図示せず）が筐体１内部のガスの濃度上昇を検知する。ガスの濃度が一定値以上になると、排気口を通じて筐体１内から処理設備への緊急排気が開始される。緊急排気は、筐体１内でのガスの漏洩速度以上の排気量で行われる。緊急排気の排気量が必要な排気量に達すると、筐体１内部の気圧が下がる。その結果、板１４は筐体１内側方向への力を受け、スプリング１５を伸張させて筐体１内部へ引き出される。これにより、図６（ｂ）に示すように吸気調節器１３において外部との間に隙間ができ、その隙間から吸気口を通じて筐体１への吸気が発生する。この吸気により排気抵抗が下がるので、緊急時に必要な排気量で筐体１内部の排気をすることが可能となる。
筐体１内部の気圧が元に戻れば、スプリング１５の復元力と板１４自身の重みにより、板１４は再び吸気口カバー５に密着する。
【００２７】
以上のように、この実施の形態２によれば、筐体扉３の内側に、通常時は、板１４の重みにより、吸気口カバー５と板１４が密着し、ガス供給源２からのガス漏洩により緊急排気が開始されると、板１４が筐体１内側方向へ引き出され、筐体１内部へ吸気口からの吸気が可能になるようにしたので、緊急時に人手を介さなくても自動的に吸気量を増やし、排気口からの排気に必要な圧力を下げることができる排気装置を得ることができる。
また、漏洩時でも、緊急排気が起動するまでは吸気量が増えないので、外部へのガスの漏洩を防止することができる。
また、通常時は、吸気口カバー５に設けられた隙間１２を通じた微量な空気の入出しか発生しないので、ガス検知器の検知精度も向上する。
【００２８】
なお、実施の形態１と同様、実施の形態２においても、ガス供給設備のみならず、ガスの除害設備の排気装置としても利用することができる。
【００２９】
実施の形態３．
図７は、実施の形態３による、排気装置３００の概観を示す図である。図２と同一の符号は同一の構成要素を表している。実施の形態１及び２では、吸気調節器４，１３を筐体扉３の下部に設けていたが、実施の形態３では、図に示すように、吸気調節器１６は筐体扉３の中心部の高さの位置に配置されている。なお、吸気調節器１６の形状は、例えば、実施の形態１の吸気調節器４と同様であってもよいし、実施の形態２の吸気調節器１３と同様であってもよい。吸気調節器１６の筐体１内部側の吸気口には、仕切り板１７が設けられている。仕切り板１７により、吸気調節器１６を通じて吸気された空気の流れが筐体１内部の下方へ導かれるようになっている。また、仕切り板１７を設けることによって、吸気された空気の通り道が狭くなるため、筐体１底部辺りでの空気の流速が大きくなる効果がある。
【００３０】
筐体１内でガス供給源２からのガス漏れが発生した場合、ガス供給源２内のガスが空気より重い気体（図中の気体２１）である場合には、漏洩した気体２１は筐体１内の下部に溜まる。筐体１内の気体２１を含む空気は、排気口１８からの緊急排気により排気されるが、実施の形態３では、仕切り板１７を設けたことにより、緊急排気時の吸気が大きな風速で筐体１の下方へ流れるので、筐体１の下部に溜まった気体２１が筐体１の上方へ押し上げられ、排気口１８からの緊急排気を効率よく行うことができる。
また、ガス供給源２内のガスが空気より軽い気体（図中の気体２０）である場合には、漏洩した気体２０は筐体１内の上部へ流れ、排気口１８から排気される。
【００３１】
以上のように、この実施の形態３によれば、吸気調節器１６を筐体１の中央部に設け、吸気口から吸気された空気が筐体１の下方に速い風速で流れるように仕切り板１７を設けたので、漏洩した気体が空気より重い気体であっても、効率よく緊急排気できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】この発明の実施の形態１による、排気装置の全体を示す図である。
【図２】この発明の実施の形態１による、排気装置の一部を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態１による、排気装置の吸気調節器の構成を示す分解図である。
【図４】（ａ）は、実施の形態１による吸気調節器の通常時の状態を示す図、（ｂ）は、吸気調節器のガス漏洩時の状態を示す図である。
【図５】この発明の実施の形態２による、排気装置の一部を示した図である。
【図６】（ａ）は、実施の形態１による吸気調節器の通常時の状態を示す図、（ｂ）は、吸気調節器のガス漏洩時の状態を示す図である。
【図７】この発明の実施の形態３による、排気装置の概観を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  筐体、２  ガス供給源、３  筐体扉、４，１３，１６  吸気調節器、５  吸気口カバー、６  金網、７  カップ受け軸、８  風受けカップ、９，１５  スプリング、１０  ワッシャー、１１  ナット、１２  隙間、１４  板、１７  仕切り板、１８  排気口、１９  吸気口、１００，２００，３００  排気装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005040712.tif 000008
【図７】
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