(57)【要約】【課題】微細ピッチのパネル電極の検査が容易であり、低コストで検査することができるディスプレイパネル検査装置を提供する。【解決手段】導電性の接触部材をディスプレイパネルのパネル電極に接触させることにより、該ディスプレイパネルを検査するディスプレイパネル検査装置であって、前記接触部材が、無機材料からなる支持板上に形成された棒状突起樹脂部上に形成される導体であり、当該接触部材が前記パネル電極に対応する位置に複数個形成されている。【選択図】        図１
2005016959.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性の接触部材をディスプレイパネルのパネル電極に接触させることにより、該ディスプレイパネルを検査するディスプレイパネル検査装置であって、前記接触部材が、無機材料からなる支持板上に形成された棒状突起樹脂部上に形成される導体であり、当該接触部材が前記パネル電極に対応する位置に複数個形成されてなるディスプレイパネル検査装置。
【請求項２】
前記棒状突起樹脂部と同じ樹脂からなる樹脂部がさらに前記支持板の裏面に形成されてなる請求項１記載のディスプレイパネル検査装置。
【請求項３】
前記樹脂部が前記棒状突起樹脂部と同一形状を呈してなる請求項２記載のディスプレイパネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はディスプレイパネル検査装置に関する。さらに詳しくは、液晶表示装置またはＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置などのディスプレイパネルを検査するのに用いられるディスプレイパネル検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ディスプレイの製造工程では、ガラスなどのフラットな基板上にマトリックス状に配置した能動素子と該能動素子に電源と信号を伝達するための配線を形成したパネル基板上の電極に、ドライバーＩＣを接続する前に、パネル基板の欠陥の検査が実施されている。
【０００３】
従来の検査装置の一例として、パネル基板上の複数の電極に対応するように設けたプローブを電極に押し当てて、前記プローブの他端に接続されたドライバーＩＣによって、パネルの能動素子の欠陥および配線の断線と短絡の有無を検査するディスプレイパネル用検査装置がある（たとえば、特許文献１参照）。前記プローブとして、ポリカーボネートからなる基台上に設けられた支持台に支持される複数の棒状接触部材からなるものや、ポリカーボネートからなる基台上に、ゴムなどの弾力性を有する背面緩衝材を配置し、その上にポリイミドなどの可撓性を有するフィルム上に銅電極を積層した積層体の複数の板状の接触子からなるものがあげられている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平６−３０８０３４号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
前記棒状接触部材からなるプローブでは、微細ピッチ（たとえば、４０μｍピッチ）のパネル電極を検査するのに、直径が約２０μｍの棒を作製し、この棒をパネル電極ピッチに５μｍ以下の精度で合わせて配置する必要があるが、かかる作業は難しいという問題がある。
【０００６】
一方、前記板状の接触子からなるプローブでは、ポリイミドフィルムのような可撓性のある基板に微細配線を形成した基板を用いる場合、つぎのような問題が発生する。
【０００７】
まず、配線は、基板上にスパッタなどのドライプロセスによる成膜またはめっきなどで金属導体を形成したのち、レジストを塗布し、ついで写真製版でパターニングしたのち、エッチングによって形成される。しかしながら、ポリイミドのような厚さ２０〜７０μｍの薄いフィルム基板では、容易に変形するため、レジストを均一に塗布することができないために、数十μｍの幅の配線を形成するのが難しいという問題がある。
【０００８】
また、ポリイミドフィルムは吸水しやすく約０．２％伸びるため、パネル電極の領域が２５ｍｍあるとすると、両端電極間の伸びによるずれは５０μｍになる。５０μｍずれると、１００μｍピッチの接続はできないことになる。したがって、伸びを抑えるためには湿度コントロール設備が必要となり、設備の負担が大きくなるという問題がある。
【０００９】
本発明は、叙上の事情に鑑み、微細ピッチのパネル電極の検査が容易であり、低コストで検査することができるディスプレイパネル検査装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明のディスプレイパネル検査装置は、導電性の接触部材をディスプレイパネルのパネル電極に接触させることにより、該ディスプレイパネルを検査するディスプレイパネル検査装置であって、前記接触部材が、無機材料からなる支持板上に形成された棒状突起樹脂部上に形成される導体であり、当該接触部材が前記パネル電極に対応する位置に複数個形成されてなることを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明のディスプレイパネル検査装置を説明する。
【００１２】
実施の形態１
図１〜２に示されるように、本発明のディスプレイパネル検査装置の一実施の形態にかかわるプローブカードは、フラットな支持板１と、該支持板１上に形成される棒状突起樹脂部２と、液晶パネル（図示せず）の入力端子に接触される、該棒状突起樹脂部２上に形成され、前記支持板１に配設される複数個の導電性の接触部材３と、液晶パネルを駆動させる液晶パネル駆動用ドライバなどが内蔵されたＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）（図示せず）と、印刷配線ボードＰＷＢ（Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｗｒｉｔｉｎｇ  Ｂｏａｒｄ）（図示せず）とを備えている。なお、図１において、４ａ、４ｂはそれぞれ前記接触部材３の配線部および導体部分である。
【００１３】
前記支持板１は、微細配線が形成できるように、厚さ０．５〜１．０ｍｍのガラス、シリコンまたはセラミックなどの剛性のある無機材料で作製されている。とくに支持板１をガラスで作製すると、ガラスは透明であるため、パネル電極との位置合わせを容易にできるという利点がある。支持板１の表面には、前記棒状突起樹脂部２が、たとえば２０〜６０μｍ程度の高さでほぼ半月状に形成されている。また、この棒状突起樹脂部２は前記接触部材３の両側で露出するように形成されている。なお、本明細書において、棒状突起とは、畝のように盛上った部分、すなわち棒の一部が支持板の表面から出ているように見える突起を意味している。
【００１４】
前記棒状突起樹脂部２の形成方法としては、たとえばエポキシ、ポリイミドまたはシリコーン樹脂を前記支持板１の上に印刷し、２００〜３５０℃の温度で焼成する方法をあげることができる。とくに、シリコーン樹脂はガラス転移温度が低くヤング率が小さいため、変形量を大きくすることができる。
【００１５】
前記接触部材３は、導体である銅、ニッケル、金、クロムまたはタングステンなどで作製されている。この接触部材３の形成方法としては、スパッタリングまたはめっきなどで金属膜を作製したのち、写真製版とエッチングを用いて形成する方法がある。なお、本発明においては、この形成方法に限定されるものではなく、薄く形成した金属膜上にレジストを写真製版にてパターニングし、電気めっきで導体を成膜したのち、レジストを除去し、ついで薄く付けた膜をエッチングで除去する方法でも形成することができる。
【００１６】
本実施の形態では、前記接触部材３の導体部分４ｂは、パネル電極の表面に凹凸があっても接触部材３とパネル電極を確実に接触させるために、緩衝材である棒状突起樹脂部２上に形成されている。この接触部材３をパネル電極に押し付けたときに、パネル電極の凸になっているところでは、棒状突起樹脂部２は大きく変形し、パネル電極が凹になっているところでは、棒状突起樹脂部２の変形は小さいため、接触部材３の導体部分４ｂをパネル電極にすべて接触させることができる。
【００１７】
また、導体部分４ｂは棒状突起樹脂部２上に形成してあるため、変形が容易であり、樹脂と導体部分４ｂが剥離することがない。
【００１８】
さらに、棒状突起樹脂部２を構成する樹脂は吸水のため伸びようとするが、この棒状突起樹脂部２はガラスなどの水を吸収しない無機材料からなる支持板１上に直接形成されているため、吸水で伸びることはない。そのため、接触部材３の導体部分４ｂの間隔は吸水によって変化することはなく、微細なパネル電極にも対応させることができる。したがって、微細ピッチのパネル電極の検査が容易であり、湿度コントロール設備を必要としないので、低コストで検査することができる検査装置を得ることができる。
【００１９】
本実施の形態では、図３に示されるように、液晶パネル５の上のパネル電極６にプローブカードを被せ、接触部材３とパネル電極６とを接触させたのち、矢印Ｆの方向に該接触部材３を押さえ付けた場合、前記棒状突起樹脂部２が接触部材３間に盛上り部７を形成する。
【００２０】
このように、接触部材３の両側で棒状突起樹脂部２を露出させることで、該棒状突起樹脂部２の変形を容易にしているため、接触部材３の導体部分４ｂの界面での剥離を防止している。
【００２１】
実施の形態２
つぎに本発明の実施の形態２を説明する。前記実施の形態では、支持板１の表面に棒状突起樹脂部２を形成したが、棒状突起樹脂部２は硬化すると収縮するため、支持板１の厚さが０．５ｍｍ以下になると２０μｍ程度の反りが発生する。かかる反りは、支持板１が薄くなるほど大きくなる傾向があり、前記パネル電極６と接触部材３の接触を阻害する惧れがある。このため、本実施の形態では、図４に示されるように、支持板１の裏面にも樹脂部８を形成する。この樹脂部８を形成することにより、前記支持板１が曲がることを防止することができる。反りは棒状突起樹脂部２のヤング率に影響されるため、反りをなくすためには前記樹脂部８として、棒状突起樹脂部２と同じ材料を同じ厚さだけ、すなわち同一形状にしてもよいし、材料のヤング率を考慮して塗布厚さを変えてもよい。
【００２２】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、微細ピッチのパネル電極の検査が容易であり、低コストで検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のディスプレイパネル検査装置の実施の形態１にかかわるプローブカードを示す要部斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である
【図３】本発明の一実施の形態にかかわるプローブカードの使用例を示す説明図である。
【図４】本発明のディスプレイパネル検査装置の実施の形態２にかかわるプローブカードを示す要部断面図である。
【符号の説明】
１  支持板、２  棒状突起樹脂部、３  接触部材、４ａ  配線部、４ｂ  導体部分、５  液晶パネル、６  パネル電極、７  盛上り部、８  樹脂部。
【図１】
2005016959.tif 000003
【図２】
2005016959.tif 000004
【図３】
2005016959.tif 000005
【図４】
2005016959.tif 000006