(57)【要約】【課題】集積化された配管部でも比較的簡易な構成で容易に流量調整可能とすること。【解決手段】流量調整システムは、流体の流路４に設けられる少なくとも一つの流量調整弁５と、流量調整弁５を駆動するために同弁５のそれぞれに対して設けられるモータ６と、モータ６を遠隔操作するために同モータ６に対して取り外し可能に接続されるハンディターミナル３とを備える。必要に応じてハンディターミナル３をモータ６に接続し、ハンディターミナル３を操作してモータ６により流量調整弁５を駆動することにより、流路４における流体の流量を調整するように構成される。ハンディターミナル３の操作盤１０には、所定の暗証番号を記憶するためのメモリが設けられる。この操作盤１０には、流量調整した後の流量調整弁５の開度を記憶するメモリが設けられる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体の流路に設けられる少なくとも一つの流量調整弁と、
前記流量調整弁を駆動するために前記流量調整弁のそれぞれに対して設けられる駆動手段と、
前記駆動手段を遠隔操作するために前記駆動手段に対して取り外し可能に接続される携帯型遠隔操作手段と
を備え、必要に応じて前記携帯型遠隔操作手段を前記駆動手段に接続し、前記携帯型遠隔操作手段を操作して前記駆動手段により前記流量調整弁を駆動することにより前記流路における流体の流量を調整することを特徴とする流量調整システム。
【請求項２】
前記携帯型遠隔操作手段とは別に前記駆動手段を集中制御するための集中制御手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の流量調整システム。
【請求項３】
前記携帯型遠隔操作手段は、操作盤を備え、前記操作盤は、前記流量調整弁の駆動量を表示するための駆動量表示手段と、前記流量調整弁について設定される駆動量を入力するための駆動量入力手段と、前記入力された駆動量に基づいて前記駆動手段を制御するための制御手段とを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の流量調整システム。
【請求項４】
前記流量調整弁の駆動量を記憶するための駆動量記憶手段を備えたことを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の流量調整システム。
【請求項５】
所定の暗証番号を記憶するための暗証番号記憶手段を備え、前記携帯型遠隔操作手段は、前記暗証番号を入力するための暗証番号入力手段と、前記暗証番号記憶手段に記憶された暗証番号と前記暗証番号入力手段により入力された暗証番号とが一致したとき以外は前記携帯型遠隔操作手段の動作を禁止するための動作禁止手段とを含むことを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の流量調整システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば、半導体製造装置内の薬液や純水などの流体の流量を調整するために使用される流量調整システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、流路における流体の流量調整は、手動流量調整弁、電動流量調整弁及び流量フィードバック制御弁などを使用して行われている。ここで、手動流量調整弁は、半導体製造装置内における薬液や純水の流量調整に比較的多く使用されている。下記の特許文献１乃至３には、手動流量調整弁を使用した一例が記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−１６４１１２号公報（第２，３頁、図１）
【特許文献２】特開平９−２６６１９０号公報（第３頁、図２）
【特許文献３】特開平１０−２２２５０号公報（第２−４頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、近年の半導体製造装置などは、配管部の集積化が進み、作業者の手が届き難い位置に手動流量調整弁が配置されることもある。このため、手動流量調整弁を使用して流体の流量を調整しようとした場合に、その弁が手動では操作し難く、流量調整が難しくなることがあった。
【０００５】
一方、手動流量調整弁の代わりに電動流量調整弁や流量フィードバック制御弁を設けてコントローラで集中制御することも考えられる。しかし、これらの弁を使用した場合には、コントローラとの間で電気配線などが必要となり、弁の数が増えると構成も複雑になる。
【０００６】
この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、集積化された配管部でも比較的簡易な構成で容易に流量調整することを可能とした流量調整システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、流体の流路に設けられる少なくとも一つの流量調整弁と、流量調整弁を駆動するために流量調整弁のそれぞれに対して設けられる駆動手段と、駆動手段を遠隔操作するために駆動手段に対して取り外し可能に接続される携帯型遠隔操作手段とを備え、必要に応じて携帯型遠隔操作手段を駆動手段に接続し、携帯型遠隔操作手段を操作して駆動手段により流量調整弁を駆動することにより流路における流体の流量を調整することを趣旨とする。
【０００８】
上記発明の構成によれば、集積化した配管部にて手の届き難い位置に流量調整弁が設置されていても、必要に応じて携帯型遠隔操作手段を駆動手段に接続することにより、その携帯型遠隔操作手段により駆動手段を遠隔操作して流量調整弁を任意に駆動することが可能となる。これにより、流路における流体の流量を任意に調整することが可能となる。また、携帯型遠隔操作手段は、駆動手段に対して取り外し可能であることから、この携帯型遠隔操作手段が一つあれば、複数の流量調整弁に対して使用可能となる。
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、携帯型遠隔操作手段とは別に駆動手段を集中制御するための集中制御手段を備えたことを趣旨とする。
【００１０】
上記発明の構成によれば、請求項１に記載の発明の作用に加え、携帯型遠隔操作手段を使用しないときは、集中制御手段により駆動手段を集中制御することで、流量調整弁による流体の流量調整が可能となる。
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、携帯型遠隔操作手段は、操作盤を備え、操作盤は、流量調整弁の駆動量を表示するための駆動量表示手段と、流量調整弁について設定される駆動量を入力するための駆動量入力手段と、入力された駆動量に基づいて駆動手段を制御するための制御手段とを含むことを趣旨とする。
【００１２】
上記発明の構成によれば、請求項１又は２に記載の発明の作用に加え、作業者は、操作盤の駆動量表示手段の表示から、対象となる流量調整弁の駆動量の現状を視認可能である。また、作業者が、操作盤の駆動量入力手段により流量調整弁について設定される駆動量を入力することで、制御手段が入力された駆動量に基づいて駆動手段を制御し、流量調整弁が駆動される。
【００１３】
上記目的を達成するために、請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３の何れかに記載の発明において、流量調整弁の駆動量を記憶するための駆動量記憶手段を備えたことを趣旨とする。
【００１４】
上記発明の構成によれば、請求項１乃至３の何れかに記載の発明の作用に加え、駆動量記憶手段に記憶された駆動量を参照することにより、流量調整弁の現状の駆動量が確認可能である。
【００１５】
上記目的を達成するために、請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４の何れかに記載の発明において、所定の暗証番号を記憶するための暗証番号記憶手段を備え、携帯型遠隔操作手段は、暗証番号を入力するための暗証番号入力手段と、暗証番号記憶手段に記憶された暗証番号と暗証番号入力手段により入力された暗証番号とが一致したとき以外は携帯型遠隔操作手段の動作を禁止するための動作禁止手段とを含むことを趣旨とする。
【００１６】
上記発明の構成によれば、請求項１乃至４の何れかに記載の発明の作用に加え、正規の作業者以外の者が流量調整弁による流量を変えようとしても、特定の作業者が暗証番号入力手段により正規の暗証番号を入力しない限り、携帯型遠隔操作手段の動作は動作禁止手段により禁止される。従って、流路における流体流量が不特定の作業者により不用意に変更されることがない。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に記載の発明によれば、集積化された配管部においても比較的簡易な構成で容易に流量調整することができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の効果に加え、流量調整弁の使い勝手を向上させることができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明の効果に加え、流量調整弁を使用した流量調整を簡易な作業にすることができる。
【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１乃至３の何れかに記載の発明の効果に加え、参照される駆動量を、流量を再調整する際の目安とすることができる。
【００２１】
請求項５に記載の発明によれば、請求項１乃至４の何れかに記載の発明の効果に加え、調整後の流量につきその信頼性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
［第１実施形態］
以下、本発明の流量調整システムを具体化した第１実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】
図１に流量調整システムの概略構成図を示す。この流量調整システムは、半導体製造装置１に設けられる複数の流量制御弁２と、各流量制御弁２を操作するためのハンディターミナル３とを備える。各流量制御弁２は、集積化した配管部において作業者の手の届き難い位置に設置されている。各流量制御弁２は、流体としての薬液や純水の流路４に設けられる流量調整弁５と、各流量調整弁５を駆動するために同弁５のそれぞれに対して設けられるモータ６とを備える。モータ６は、本発明の駆動手段に相当する。モータ６は、ケーブル７を介してコネクタ８に接続される。これらコネクタ８及びケーブル７を介して外部からモータ６に通電される。流量調整弁５は、モータ６により弁軸が駆動されることで、弁体を弁座に対して移動させてその駆動量としての開度を調整するように構成される。この開度調整により、流路４を流れる薬液などの流量が調整される。
【００２４】
ハンディターミナル３は、携帯可能で、各モータ６を遠隔操作するためのものであり、本発明の携帯型遠隔操作手段に相当する。ハンディターミナル３は、操作盤１０と、操作盤１０から延びるケーブル１１と、ケーブル１１の先端に設けられるコネクタ１２とを含む。コネクタ１２は、半導体製造装置１の各コネクタ８に接続可能に設けられる。これにより、ハンディターミナル３が各モータ６に対して取り外し可能に接続される。そして、必要に応じてハンディターミナル３を各流量制御弁２のモータ６に接続し、ハンディターミナル３を操作してモータ６により流量調整弁５を駆動することにより、流路４における薬液などの流量を調整するようになっている。
【００２５】
図２にハンディターミナル３の構成を詳しく示す。操作盤１０は、液晶型の表示器１３と、キーボード１４とを含む。表示器１３は、文字や数字を表示する。キーボード１４は、増減キー１５、電源キー１６、モードキー１７及びスタートキー１８を含む。増減キー１６は、表示器１３に表示される数字を増減するために操作される。電源キー１６は、ハンディターミナル３に電源を投入するために操作される。モードキー１７は、作動モードを変更するために操作される。この実施形態では、予め「開度表示モード」、「開度設定モード」及び「暗証番号入力モード」が設けられており、モードキー１７を押すごとに、「開度表示モード」、「開度設定モード」及び「暗証番号入力モード」が順次設定される。ここで、「開度表示モード」は、流量調整弁５の開度を数値に置き換えて表示するモードである。「開度設定モード」は、流量調整弁５の開度を設定するためのモードである。「暗証番号入力モード」は、ハンディターミナル３に関する所定の暗証番号を入力するためのモードである。スタートキー１８は、流量調整弁５の開度を設定してから流量調整を実行するために操作される。この実施形態で、表示器１３は、流量調整弁５の開度を数値により表示するための本発明の駆動量表示手段に相当する。増減キー１５は、流量調整弁５について設定される開度を数値により入力するための本発明の駆動量入力手段に相当する。
【００２６】
この他、操作盤１０には、充電式のバッテリ１９と、ＣＰＵ２０及びメモリ２１が内蔵される。この実施形態で、バッテリ１９は、操作盤１０それ自体に電源を供給すると共に、ケーブル１１、コネクタ１２、コネクタ８及びケーブル７を介して、ハンディターミナル３が各モータ６に接続されることにより、モータ６にも電源を供給するようになっている。この実施形態で、ＣＰＵ２０は、操作盤１０の動作を制御する。メモリ２１には、所定の制御プログラムや前述した暗証番号などが記憶される。また、メモリ２１には、個々の流量調整弁５について前回設定された開度がそれぞれ記憶される。この実施形態で、メモリ２１は、流量調整弁５の開度を記憶するための本発明の駆動量記憶手段に相当する。ＣＰＵ２０は、「開度設定モード」で入力された数値に基づきモータ６を制御するためのものであり、本発明の制御手段に相当する。また、ＣＰＵ２０は、メモリ２１に記憶された暗証番号と、増減キー１５により入力された暗証番号とが一致したとき以外はハンディターミナル３の動作を禁止する。この実施形態で、メモリ２１は、暗証番号を記憶するための本発明の暗証番号記憶手段に相当する。増減キー１５は、暗証番号を入力するための本発明の暗証番号入力手段に相当する。また、ＣＰＵ２０は、本発明の動作禁止手段に相当する。
【００２７】
以上説明した本実施形態の流量調整システムによれば、半導体製造装置１の集積化した配管部において、作業者の手の届き難い位置に流量調整弁５を含む流量制御弁２が設置されていても、必要に応じてハンディターミナル３を各流量制御弁２のモータ６に接続することで、そのハンディターミナル３によりモータ６を遠隔操作して流量調整弁５を任意に駆動することが可能となる。これにより、各流路４における薬液などの流量を任意に調整することが可能となる。このため、集積化された配管部においても比較的簡易な構成で容易に流量調整することができる。また、流量調整後の各流量調整弁５に係る開度は、ハンディターミナル３のメモリ２１に記憶させることができる。
【００２８】
また、ハンディターミナル３は、各モータ６に対して取り外し可能に接続されるので、このハンディターミナル３が一つあれば、流量調整弁５及びモータ６を含む複数の流量制御弁２に対して使用可能である。このため、流量制御弁の各々に対して操作盤を設けた場合に比べ、構成部品数を少なくすることができる。
【００２９】
この実施形態では、作業者は、操作盤１０の表示器１３の表示から、対象となる流量調整弁５の開度の現状を視認可能である。また、作業者は、操作盤１０の増減キー１５により流量調整弁５について設定される開度を入力することで、ＣＰＵ２０が入力された開度に基づいてモータ６を制御し、流量調整弁５が駆動される。このため、各流量調整弁５を使用した流量調整を簡易な作業にすることができる。しかも、手動調整感覚となるため、取り扱いが簡単である。
【００３０】
この実施形態では、メモリ２１に記憶された開度を参照することで、個々の流量調整弁５の現状の開度が確認可能である。このため、参照される開度を、流量を再調整する際の目安とすることができる。
【００３１】
この実施形態では、正規の作業者以外の者が流量調整弁５による流量を変えようとしても、特定の作業者が増減キー１５により正規の暗証番号を入力しない限り、ハンディターミナル３の動作はＣＰＵ２０により禁止される。つまり、ハンディターミナル３は、暗証番号を入力しない限りその操作がロックされる。従って、流路４における薬液などの流量が不特定な者により不用意に変更されることがない。このため、調整後の流量につきその信頼性を高めることができる。
【００３２】
この実施形態では、ハンディターミナル３にバッテリ１９も設けてハンディターミナル３及びモータ６に電源を供給するようにしているので、流量調整システムとして機動性に優れたものとなる。また、個々のモータ６のために特別な電源を設けなくてもよく、半導体製造装置１の構成が特に複雑化することがない。
【００３３】
［第２実施形態］
次の、本発明の流量調整システムを具体化した第２実施形態を図面を参照して詳細に説明する。尚、この実施形態で、第１実施形態と同じ構成要素については同一の符号を付して説明を省略し、以下には異なった点を中心に説明する。
【００３４】
図３に流量調整システムの概略構成図を示す。この実施形態では、本発明の携帯型遠隔操作手段としてのハンディターミナル３３とは別に各流量制御弁２のモータ６を集中制御するための本発明の集中制御手段としてのホストコントローラ３１及びモータドライバ３２を備えた点で、第１実施形態と構成が異なる。
【００３５】
流量制御弁２のモータ６は、ケーブル７及びコネクタ８を介してモータドライバ３２に接続される。モータドライバ３２には、多数の流量制御弁２のモータ６が接続可能である。ホストコントローラ３１は、半導体製造装置１の制御をつかさどるものであり、同装置を構成する電動流量調整弁及び流量フィードバック制御弁などを制御すると共に、各流量制御弁２を制御できるように構成される。
【００３６】
モータドライバ３２は、本発明の駆動量記憶手段としてのメモリ３４を内蔵している。このメモリ３４には、各流量調整弁５の現状の開度が記憶される。モータドライバ３２には、専用の電源３５が接続される。従って、各モータ６には、この電源３５から給電が行われる。
【００３７】
ハンディターミナル３３は、モータドライバ３２に設けられるコネクタ８に取り外し可能に接続される。この実施形態では、ハンディターミナル３３が、モータドライバ３２及びケーブル７などを介して各流量制御弁２のモータ６に取り外し可能に接続される。
【００３８】
従って、この実施形態でも、必要に応じてハンディターミナル３３を、モータドライバ３２を介して各流量制御弁２のモータ６に接続することで、そのハンディターミナル３３によりモータ６を遠隔操作して流量調整弁５を任意に駆動することが可能となる。これにより、各流路４における薬液などの流量を任意に調整することが可能となる。このため、集積化された配管部においても比較的簡易な構成で容易に流量調整することができる。流量調整後の各流量調整弁５の開度は、モータドライバ３２に内蔵したメモリ３４に記憶させることができる。
【００３９】
一方、ハンディターミナル３３を使用しないときは、ホストコントローラ３１及びモータドライバ３２によりモータ６を集中制御することで、そのモータ６に対応する流量調整弁５により薬液などの流量調整が可能となる。このため、各流量調整弁５の使い勝手を向上させることができる。
【００４０】
尚、この発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で以下のように実施することもできる。
【００４１】
（１）前記各実施形態では、ハンディターミナル３のメモリ２１やモータドライバ３２のメモリ３４に、流量調整後の流量調整弁５の開度を記憶するようにしたが、流量調整弁に設けられるメモリに流量調整後の開度を記憶するようにしてもよい。また、ハンディターミナルの操作に関連した暗証番号を記憶するためのメモリを、流量調整弁に設けてもよい。
【００４２】
（２）前記第１実施形態では、本発明の駆動量入力手段として増減キー１５を使用したが、本発明の駆動量入力手段としてボリューム式の摘みを使用してもよい。
【００４３】
（３）前記各実施形態では、操作盤１０に充電式のバッテリ１９を電源として使用したが、乾電池を電源として使用したり、ＡＣ／ＤＣ変換アダプタを設けることにより交流電源を使用したりしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】第１実施形態に係り、流量調整システムを示す概略構成図。
【図２】ハンディターミナルを詳しく示す図。
【図３】第２実施形態に係り、流量調整システムを示す概略構成図。
【符号の説明】
【００４５】
３    ハンディターミナル（携帯型遠隔操作手段）
４    流路
５    流量調整弁
６    モータ（駆動手段）
１０    操作盤
１３    表示器（駆動量表示手段）
１５    増減キー（駆動量入力手段、暗証番号入力手段）
２０    ＣＰＵ（制御手段、動作禁止手段）
２１    メモリ（駆動量記憶手段、暗証番号記憶手段）
３１    ホストコントローラ
３２    モータドライバ（３１,３２：集中制御手段）
３３    ハンディターミナル（携帯型遠隔操作手段）
３４    メモリ（駆動量記憶手段）
【図１】
2005217270.tif 000003
【図２】
2005217270.tif 000004
【図３】
2005217270.tif 000005