(57)【要約】【課題】スズ合金被膜などのように不動態皮膜が形成される金属被膜の劣化予測が精度よくなし得る金属被膜の劣化診断方法および劣化診断システムを提供する。【解決手段】劣化促進試験装置１０と電子顕微鏡２０と組成分析装置３０と寿命予測装置４０とを備えてなる金属被膜の劣化診断システムＳにより、診断対象被膜が形成された試験体を所定条件による劣化促進試験、例えば大気暴露試験をなし、前記劣化促進試験後の試験体断面の電子顕微鏡画像を得て、前記電子顕微鏡画像に基づいて試験体断面の元素マップを作成し、前記元素マップ中の劣化元素による劣化元素層の膜厚を測長するとともに対象被膜の残存膜厚を測長し、前記劣化元素層膜厚ならびに対象被膜の初期膜厚および残存膜厚に基づいて対象被膜の劣化時間関数を作成し、前記劣化時間関数により残存寿命を算出するものである。【選択図】  図１
2005009906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
診断対象被膜が形成された試験体を所定条件で劣化促進試験をなす手順と、
前記劣化促進試験後の試験体断面の電子顕微鏡画像を得る手順と、
前記電子顕微鏡画像に基づいて試験体断面の元素マップを作成する手順と、
前記元素マップ中の劣化元素層の膜厚を測長する手順と、
前記対象被膜の初期膜厚および残存膜厚を測長する手順と、
前記劣化元素層膜厚と、前記対象被膜の初期膜厚および残存膜厚とに基づいて、同対象被膜の劣化時間関数を作成する手順と、
前記劣化時間関数に前記残存膜厚を代入して残存寿命を算出する手順
とを含んでいることを特徴とする金属被膜の劣化診断方法。
【請求項２】
前記劣化促進試験が、屋外暴露試験、恒温恒湿試験、塩水噴霧試験、複合サイクル試験またはガス腐食試験とされてなることを特徴とする請求項１記載の金属被膜の劣化診断方法。
【請求項３】
前記劣化元素が酸素元素とされてなることを特徴とする請求項１記載の金属被膜の劣化診断方法。
【請求項４】
劣化時間関数が下記式であることを特徴とする請求項１記載の金属被膜の劣化診断方法。
Ｙ（ｔ）＝（Ａｔ＋Ｂ）／（Ｃ＊Ｌｎ（ｔ）＋Ｄ）
ここに、
ｔ：時間
Ｙ（ｔ）：対象被膜の膜厚
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ：定数
【請求項５】
金属被膜の劣化診断システムであって、
前記劣化診断システムが、劣化促進試験装置と電子顕微鏡と組成分析装置と寿命予測装置とを備え、
前記組成分析装置は、前記電子顕微鏡により得られた電子顕微鏡画像に基づいて試験体断面の元素マップを作成するものとされ、
前記寿命予測装置は、前記元素マップの劣化元素層の膜厚と、前記対象被膜の初期膜厚および残存膜厚とに基づいて、同対象被膜の劣化時間関数を作成して少なくとも対象被膜の残存寿命を算出するものとされてなる
ことを特徴とする金属被膜の劣化診断システム。
【請求項６】
前記劣化元素が酸素元素とされてなることを特徴とする請求項５記載の金属被膜の劣化診断システム。
【請求項７】
劣化時間関数が下記式であることを特徴とする請求項５記載の金属被膜の劣化診断システム。
Ｙ（ｔ）＝（Ａｔ＋Ｂ）／（Ｃ＊Ｌｎ（ｔ）＋Ｄ）
ここに、
ｔ：時間
Ｙ（ｔ）：対象被膜の膜厚
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ：定数
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は金属被膜の劣化診断方法および劣化診断システムに関する。さらに詳しくは、スズ合金被膜などの不動態皮膜が形成される金属被膜の劣化診断方法および劣化診断システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、基材保護や金属同士の接合に各種金属被膜が用いられている。例えば、銅伝熱管においては基材の銅を保護するため、スズ合金被膜が基材表面に形成されている。また、電子部品においては端子の接合などに、はんだによる金属被膜が形成されている。この金属被膜が腐食などにより劣化すると、基材保護がなし得なくなったり、接触不良を発生したりする。
【０００３】
そのため、金属被膜の劣化予測がなされてその被膜が形成された伝熱管や電子部品などの寿命予測がなされている。この寿命予測は、従来、ＪＩＳ（日本工業規格）（例えばＪＩＳ  Ｃ  ００２３：塩水噴霧試験など）などに従った環境試験により金属被膜からなる試験体に対し劣化促進試験を行い、その試験結果に基づいてなされている。すなわち、劣化した試験体表面の変色度合やその大きさ、変色した試験体の数量、試験体の重量変化、試験体の腐食深さなどを測定し、つまり試験体の劣化度合を測定し、その劣化度合により伝熱管や電子部品などの寿命予測がなされている。
【０００４】
しかしながら、スズ合金被膜においては不動態皮膜が形成され、その不動態皮膜は本来耐食性が高いという特性を有しているところから、環境試験における劣化度合が小さいため、つまり変色度合が少なく、重量変化が小さく、腐食深が浅いなどのため、寿命予測が精度よくなし得ないという問題がある。その結果、伝熱管の被膜の劣化が予想よりも進行している事態が生じているという問題や、電子部品の接合不良が予想よりも早く発生しているという問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、スズ合金被膜などのように不動態皮膜が形成される金属被膜の劣化予測が精度よくなし得る金属被膜の劣化診断方法および劣化診断システムを提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の金属被膜の劣化診断方法は、診断対象被膜が形成された試験体を所定条件で劣化促進試験をなす手順と、前記劣化促進試験後の試験体断面の電子顕微鏡画像を得る手順と、前記電子顕微鏡画像に基づいて試験体断面の元素マップを作成する手順と、前記元素マップ中の劣化元素層の膜厚を測長する手順と、前記対象被膜の初期膜厚および残存膜厚を測長する手順と、前記劣化元素層膜厚と、前記対象被膜の初期膜厚および残存膜厚とに基づいて、同対象被膜の劣化時間関数を作成する手順と、前記劣化時間関数に前記残存膜厚を代入して残存寿命を算出する手順とを含んでいることを特徴とする。
【０００７】
本発明の金属被膜の劣化診断方法においては、前記劣化促進試験が、例えば、屋外暴露試験、恒温恒湿試験、塩水噴霧試験、複合サイクル試験またはガス腐食試験とされる。
【０００８】
また、本発明の金属被膜の劣化診断方法においては、前記劣化元素は、例えば酸素元素とされる。
【０００９】
さらに、本発明の金属被膜の劣化診断方法においては、劣化時間関数は例えば下記式とされる。
【００１０】
Ｙ（ｔ）＝（Ａｔ＋Ｂ）／（Ｃ＊Ｌｎ（ｔ）＋Ｄ）
【００１１】
ここに、
ｔ：時間
Ｙ（ｔ）：対象被膜の膜厚
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ：定数
【００１２】
一方、本発明の金属被膜の劣化診断システムは、金属被膜の劣化診断システムであって、前記劣化診断システムが、劣化促進試験装置と電子顕微鏡と組成分析装置と寿命予測装置とを備え、前記組成分析装置は、前記電子顕微鏡により得られた電子顕微鏡画像に基づいて試験体断面の元素マップを作成するものとされ、前記寿命予測装置は、前記元素マップの劣化元素層の膜厚と、前記対象被膜の初期膜厚および残存膜厚とに基づいて、同対象被膜の劣化時間関数を作成して少なくとも対象被膜の残存寿命を算出するものとされてなることを特徴とする。
【００１３】
本発明の金属被膜の劣化診断システムにおいては、前記劣化元素は、例えば酸素元素とされる。
【００１４】
また、本発明の金属被膜の劣化診断システムにおいては、劣化時間関数は例えば下記式とされる。
【００１５】
Ｙ（ｔ）＝（Ａｔ＋Ｂ）／（Ｃ＊Ｌｎ（ｔ）＋Ｄ）
【００１６】
ここに、
ｔ：時間
Ｙ（ｔ）：対象被膜の膜厚
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ：定数
【００１７】
【作用】
本発明は前記の如く構成されているので、スズ合金被膜のように不動態皮膜が形成されて劣化度合が小さい金属被膜についても精度よくその劣化寿命を予測することができる。その結果、金属被膜が形成された部品の寿命予測の精度が向上されて、それらが使用されている機器の信頼性を向上できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【００１９】
図１に本発明の金属被膜の劣化診断方法に適用される劣化診断システムの一実施形態をブロック図で示す。劣化診断システムＳは、図１に示すように、劣化促進試験装置１０と、電子顕微鏡２０と、組成分析装置３０と、寿命予測装置４０とを主要構成要素として備えてなる。
【００２０】
劣化促進試験装置１０は、診断対象材料からなる診断対象被膜が形成された試験体の劣化を促進させる環境試験をなすものとされる。この環境試験には、屋外暴露試験、恒温恒湿試験、塩水噴霧試験、ガス腐食試験、複合サイクル試験などが含まれているが、診断目的に応じてこの試験の中から適宜選択して試験がなし得るようにされていてもよい。例えば、小型船舶に装備される電子部品の劣化診断をなす場合には、塩水噴霧試験がなし得るようにされていればよい。この劣化促進試験装置については、各種試験に適用されている公知の構成を好適に用いることができるので、その詳細な説明は省略する。
【００２１】
ここで、屋外暴露試験とは試験体を実際の大気中に放置して劣化させる試験をいい、その具体的方法は例えばＪＩＳ  Ｚ  ２３８１に規定されている。この場合、電子部品等が実際に使用される環境に近い環境において試験をなすのが好ましい。
【００２２】
恒温恒湿試験とは所定温度および所定湿度とされた雰囲気中に試験体を放置して劣化させる試験をいい、その具体的方法は例えばＪＩＳ  Ｃ  ００２２に規定されている。
【００２３】
塩水噴霧試験とは海塩や融雪塩などの影響を模擬した試験であって、温度３５℃で５重量％のＮａＣｌ水溶液（中性）を試験体に噴霧し、耐塩霧性の評価をなす試験をいい、その具体的方法は例えばＪＩＳ  Ｃ  ００２３やＪＩＳ  Ｚ  ２３７１に規定されている。
【００２４】
ガス腐食試験とは、所定温度および湿度とされた特定のガス（単一ガスまたは混合ガス）雰囲気中に試験体を放置して劣化させる試験をいい、その具体的方法は例えばＪＩＳ  Ｃ  ００４８に規定されている。
【００２５】
複合サイクル試験とはＪＩＳ  Ｃ  ００２４に規定されている塩水噴霧サイクル試験やＪＩＳ  Ｃ  ００２７に規定されている温湿度サイクル試験をいい、乾燥や湿潤および塩水噴霧を繰り返すことによって劣化を促進させる試験である。
【００２６】
電子顕微鏡２０は電子走査型とされ、電子顕微鏡観察用に加工された試験体断面に電子線を照射し、その試験体から放射される電子線を検出することにより試験体の電子顕微鏡画像を得る。この場合、電子顕微鏡の倍率は例えば１０００倍〜２０００倍とされる。
【００２７】
組成分析装置３０は例えば波長分散型Ｘ線分析装置とされ、電子顕微鏡画像に基づいてその組成分析を行って元素マップを作成する。
【００２８】
寿命予測装置４０は、図２に示すように、元素マップから金属被膜の劣化元素により劣化した層の膜厚（以下、劣化元素層膜厚という）を測長する劣化元素層膜厚測長手段４１と、診断対象とされた金属被膜の初期膜厚および残存膜厚を測長する金属被膜膜厚測長手段４２と、金属被膜の劣化時間関数を作成する劣化時間関数作成手段４３と、劣化時間関数に基づいて金属被膜の残存寿命および総寿命を算出する寿命算出手段４４とを備えてなるものとされる。かかる手段４１，４２，４３，４４を有する寿命予測装置４０は、具体的には、例えばパソコンに元素マップを用いて後述する手順に従って試験体の寿命予測をなすプログラムを格納することにより実現される。
【００２９】
ここで、この寿命予測装置４０における寿命予測の原理について説明する。
【００３０】
金属被膜が例えば酸化により劣化すると、図３に示すように、酸化層が形成される。つまり、酸素層（劣化元素層）が形成される。この酸素層膜厚Ｙｏは、本発明者等の研究によれば、下記式（１）により表されることが判明している。なお、図３中、Ｙｆは初期金属膜厚を示し、Ｙｍは劣化金属膜厚を示し、Ｙｒは残存金属膜厚を示す。
【００３１】
Ｙｏ＝Ａｔ＋Ｂ                                        （１）
【００３２】
ここに、
Ａ，Ｂ：定数
ｔ：時間    〔月〕
【００３３】
また、図３に示すように、酸素層膜厚Ｙｏは劣化した金属膜厚（以下、劣化金属膜厚という）Ｙｍより厚くなっている。この酸素層膜厚Ｙｏの増加係数Ｋ（＝Ｙｏ／Ｙｍ＝Ｙｏ／（Ｙｆ−Ｙｒ））は、本発明者等の研究によれば、下記式（２）により表されることが判明している。
【００３４】
Ｋ＝Ｃ＊Ｌｎ（ｔ）＋Ｄ                                （２）
【００３５】
ここに、
Ｃ，Ｄ：定数
Ｌｎ：自然対数記号
【００３６】
したがって、酸素層膜厚Ｙｏと劣化金属膜厚Ｙｍとの関係は下記式（３）により表される。
【００３７】
Ｙｏ＝ＫＹｍ＝（Ｃ＊Ｌｎ（ｔ）＋Ｄ）Ｙｍ                    （３）
【００３８】
（１）式を（３）式に代入してＹｍについて解いて下記式（４）が得られる。つまり、対象膜厚の時間関数が得られる。
【００３９】
Ｙｍ＝（Ａｔ＋Ｂ）／（Ｃ＊Ｌｎ（ｔ）＋Ｄ）                （４）
【００４０】
式（４）において劣化金属膜厚Ｙｍを残存金属膜厚Ｙｒに置き換え、演算処理、例えば数値計算処理して時間を算出することにより残存寿命ｔＬが算出される。
【００４１】
次に、図４に示すフローチャートを参照しながら、かかる構成とされている劣化診断システムＳによる金属被膜の劣化診断について説明する。
【００４２】
（１）診断対象とされた金属被膜が形成された試験体に対し劣化促進試験を実施する。例えば、銅基板にスズー銀合金被膜が形成された試験体に対し屋外暴露試験を所定期間にわたって実施する。この場合、試験体の数は劣化促進試験における時系列的な変化が観察できるに足るよう調整される。例えば、１８ヶ月にわたる屋外暴露試験をなす場合には、試験開始前の状態を観察するための試験体、試験開始から所定期間経過後の状態を観察するための試験体、例えば１ヶ月後の状態を観察するための試験体、試験開始から８ヶ月後の状態を観察するための試験体など、および試験開始から１８ヶ月後の状態を観察するための試験体が準備される。なお、試験開始前に金属被膜の初期膜厚を測長しておく。
【００４３】
（２）試験体の断面を電子顕微鏡により観察して試験体断面の電子顕微鏡画像を取得する。つまり、試験開始前の試験体断面の電子顕微鏡画像、試験開始から所定期間経過後の試験体断面の電子顕微鏡画像、試験終了時の試験体断面の電子顕微鏡画像を取得する。例えば、前掲の如く１８ヶ月にわたる屋外暴露試験をなす場合には、試験開始前の試験体断面の電子顕微鏡画像、試験開始から１ヶ月後の試験体断面の電子顕微鏡画像、試験開始から８ヶ月後の試験体断面の電子顕微鏡画像、および試験開始から１８ヶ月後の試験体断面の電子顕微鏡画像を取得する。
【００４４】
（３）前記（２）で取得された試験体断面の電子顕微鏡画像に基づいて、各試験体断面に対する組成分析を行う。
【００４５】
（４）前記（３）による組成分析に基づいて金属被膜断面の元素マップを作成する。例えば、屋外暴露試験における試験体については、スズマップや酸素マップつまりスズ濃度分布や酸素濃度分布を作成する。
【００４６】
（５）前記（４）により得られた元素マップの中から試験対象の金属被膜を劣化させる元素（以下、劣化元素という）層（以下、劣化元素層という）の膜厚を各試験体について測長する。例えば、屋外暴露試験においては酸化により金属被膜の劣化が生ずるので、酸素濃度分布に基づいて酸素層膜厚を各試験体について測長する。この膜厚の測長は、例えば酸素濃度分布画像を適当な閾値により２値化し、その２値化画像における酸素層膜厚を測定することによりなされたり、酸素濃度分布画像における任意の数点の酸素層膜厚を測定しその平均値を算出したりすることによりなされる。
【００４７】
（６）金属被膜の残存膜厚を測長する。この測長も前記酸素層膜厚の測長と同様にして行う。
【００４８】
（７）金属被膜の初期膜厚および前記（５）および（６）の測長結果に基づいて、前掲の手順により金属被膜の劣化時間関係を求める。つまり、前掲の式（４）を算出する。
【００４９】
（８）前記（７）により得られた式に金属被膜の残存膜厚を代入して金属被膜の残存膜厚が劣化する時間を算出する。つまり、金属被膜の残存寿命を算出する。また、得られた残存寿命に例えば試験期間を加算することにより、金属被膜の総寿命を算出する。この場合、酸素層膜厚を前記の式（１）に代入して得られた期間（時間）を劣化に要した期間として用いて、金属被膜の総寿命を算出するようにしてもよい。
【００５０】
このように、この実施形態では、試験体断面の電子顕微鏡画像から元素マップを作成して試験体断面の劣化元素層（例えば屋外暴露試験では酸素層）の膜厚などに基づいて金属被膜の劣化時間関数を求め、その関数から残存する金属被膜の劣化時間を算出して金属被膜の残存寿命を算出し、ついで金属被膜の総寿命を算出するようにしているので、金属被膜の劣化を精度よく予測できる。
【００５１】
したがって、金属被膜が形成されている伝熱管や電子部品の耐用年数を精確に知ることができ、それらが使用されている機器の信頼性を向上できる。
【００５２】
【実施例】
以下、より具体的な実施例に基づいて本発明をより具体的に説明する。
【００５３】
実施例１
銅基板の上にスズ−亜鉛合金被膜を膜厚を１５μｍにて形成して、つまり初期膜厚を１５μｍにて形成して屋外暴露試験を１８ヶ月にわたって実施し、試験開始前のサンプル（サンプル１）、試験開始後１ヶ月のサンプル（サンプル２）、試験開始後８ヶ月のサンプル（サンプル３）および試験終了後のサンプル（サンプル４）を得た。得られたサンプル１〜４について、電子顕微鏡画像を得た後にその画像に基づいて組成分析を行って元素マップを作成して図５に示す。得られた元素マップの中から酸素マップ（酸素濃度分布を示す画像）を選択してサンプル２〜４における酸素層膜厚を測長するとともに、残存金属膜厚を測長した。測長は、サンプル２〜４の各々について任意の３点を測定しその平均値を算出することにより行った。初期金属膜厚ならびに得られた酸素層膜厚および残存金属膜厚を表１に示す。また、酸素層膜厚の時間的変化を図６にグラフで示す。
【００５４】
図６に示すグラフより定数Ａ，Ｂを算出し、その値を表１に併せて示す。
【００５５】
また、サンプル２〜４について増加係数Ｋを算出し、その値を表１に併せて示すとともに、試験期間と増加係数Ｋとの関係を図７にグラフで示す。なお、図７において、横軸は対数目盛とされている。
【００５６】
図７に示すグラフより定数Ｃ，Ｄを算出し、その値を表１に併せて示す。
【００５７】
得られた定数Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ、酸素層膜厚Ｙｏおよび残存金属膜厚を式（１）、（４）に代入して劣化に要した期間（以下、劣化期間という）ｔｏおよび残存寿命ｔＬを算出し、その結果を表２に示す。また、表２に金属被膜の総寿命Ｔも併せて示す。
【００５８】
表２より、劣化期間ｔｏは１７．５ヶ月となり、試験期間１８ヶ月とほぼ一致する。また、残存寿命ｔＬは４０ヶ月と推定され、総寿命Ｔは５７．５ヶ月と推定される。
【００５９】
実施例２
銅基板の上にスズ−鉛合金被膜を膜厚を約１０μｍに形成して実施例１と同様にサンプル１２〜１４の酸素層膜厚を測長するとともに、初期金属膜厚および残存金属膜厚を測長した。得られた酸素層膜厚、初期金属膜厚および残存金属膜厚を表１に示す。また、酸素層膜厚の時間的変化を図６にグラフで示す。
【００６０】
図６に示すグラフより定数Ａ，Ｂを算出し、その値を表１に併せて示す。
【００６１】
また、サンプル１２〜１４について増加係数Ｋを算出し、その値を表１に併せて示すとともに、試験期間と増加係数Ｋとの関係を図７にグラフで示す。
【００６２】
図７に示すグラフより定数Ｃ，Ｄを算出し、その値を表１に併せて示す。
【００６３】
得られた定数Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ、酸素層膜厚Ｙｏおよび残存金属膜厚を式（１）、（４）に代入して劣化期間ｔｏおよび残存寿命ｔＬを算出し、その結果を表２に示す。また、表２に金属被膜の総寿命Ｔも併せて示す。
【００６４】
表２より、劣化期間ｔｏは１７．３ヶ月となり、試験期間１８ヶ月とほぼ一致する。また、残存寿命ｔＬは３ヶ月と推定され、総寿命Ｔは２０．３ヶ月と推定される。
【００６５】
実施例３
銅基板の上にスズ−銀合金被膜を膜厚を約１０μｍにて形成して実施例１と同様にサンプル２２〜２４の酸素層膜厚を測長するとともに、初期金属膜厚および残存金属膜厚を測長した。得られた酸素層膜厚、初期金属膜厚および残存金属膜厚を表１に示す。また、酸素層膜厚の時間的変化を図６にグラフで示す。なお、サンプル２４については下地金属まで腐食が進行しているのが確認された。
【００６６】
図６に示すグラフより定数Ａ，Ｂを算出し、その値を表１に併せて示す。
【００６７】
また、サンプル２２〜２４について増加係数Ｋを算出し、その値を表１に併せて示すとともに、試験期間と増加係数Ｋとの関係を図７にグラフで示す。
【００６８】
図７に示すグラフより定数Ｃ，Ｄを算出し、その値を表１に併せて示す。
【００６９】
得られた定数Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ、酸素層膜厚Ｙｏおよび残存金属膜厚を式（１）、（４）に代入して劣化期間ｔｏおよび残存寿命ｔＬを算出し、その結果を表２に示す。また、表２に金属被膜の総寿命Ｔも併せて示す。
【００７０】
表２より、劣化期間ｔｏは８．７５ヶ月となり、サンプル２３の試験期間８ヶ月とほぼ一致する。また、残存寿命ｔＬは５ヶ月と推定され、総寿命Ｔは１３．７５ヶ月と推定される。この推定された総寿命１３．７５ヶ月は、サンプル２４については下地金属まで腐食が進行しているのが確認されたことからも妥当であるといえる。
【００７１】
【表１】
2005009906.tif 000003
【００７２】
【表２】
2005009906.tif 000004
【００７３】
以上、本発明を実施形態および実施例に基づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態および実施例のみに限定されるものではなく、種々改変が可能である。例えば、実施例においてはスズ合金を例に取り説明されているが、本発明の適用はスズ合金に限定されるものではなく、各種金属被膜の総寿命の予測に適用でき、例えば単一金属のスズや銅についても適用できる。
【００７４】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によればスズ合金被膜のように不動態皮膜が形成されて劣化度合が小さい金属被膜についても精度よくその総寿命を予測することができるという優れた効果が得られる。その結果、金属被膜が形成された部品が寿命予測の精度が向上されて、それらが使用されている機器の信頼性を向上できるという優れた効果も得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の金属被膜の劣化診断方法に用いられる劣化診断システムのブロック図である。
【図２】同システムの寿命予測装置の詳細ブロック図である。
【図３】劣化試験後の試験体断面の模式図である。
【図４】本発明の金属被膜の劣化診断方法における手順を示すフローチャートである。
【図５】実施例１の試験体の断面画像であって、同（ａ）は電子顕微鏡画像を示し、同（ｂ）はスズマップを示し、同（ｃ）は酸素マップを示す。
【図６】実施例１〜３の酸素層膜厚の時間変化を示すグラフである。
【図７】増加係数と試験期間との関係を示すグラフである。
【符号の説明】
１０        劣化促進試験装置
２０        電子顕微鏡
３０        組成分析装置
４０        寿命予測装置
４１        劣化元素層膜厚測長手段
４２        金属被膜膜厚測長手段
４３        劣化時間関数作成手段
４４        寿命算出手段
Ｓ        劣化診断システム
【図１】
2005009906.tif 000005
【図２】
2005009906.tif 000006
【図３】
2005009906.tif 000007
【図４】
2005009906.tif 000008
【図５】
2005009906.tif 000009
【図６】
2005009906.tif 000010
【図７】
2005009906.tif 000011