(57)【要約】【課題】  ステージの位置決めの精度を向上させ、位置決め後の位置変動量を小さくすることができる移動ステージの移動制御装置を実現する。【解決手段】  位置決め対象である試料ステージ２が目標アドレスであるＮに達したときに、目標アドレスを（Ｎ＋１）に変更し、その後、対象が（Ｎ＋１）に達したとき、目標アドレスをＮに戻す制御を繰り返し行うようにする。このような目標アドレスの変更を繰り返すことにより、アドレスＮと（Ｎ＋１）の境目付近に、試料ステージを位置決めすることができる。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料等が載せられるステージと、ステージの目標アドレス値を発生するジェネレータと、ジェネレータからのアドレス値に基づいてステージを直線状に移動させる移動機構と、ステージの位置を監視するステージ位置測定装置と、ステージの移動目標アドレス値と測定されたステージ位置とを比較し、その比較値により、ステージ移動機構を制御するようにしたステージの位置決めシステムにおいて、ステージの目標移動アドレスＮに対して、ステージの移動機構に供給するアドレス値を、Ｎと（Ｎ＋１）あるいは（Ｎ−１）に変化させるように構成したステージの移動制御装置。
【請求項２】
ステージの移動目標アドレス値と測定されたステージ位置とを比較し、その比較値が０となったとき、ジェネレータからの目標アドレス値を、（Ｎ＋１）あるいは（Ｎ−１）に変更させ、比較値が０となったとき、ジェネレータからの目標アドレス値をＮに戻す動作を繰り返すように構成した請求項１記載のステージの移動制御装置。
【請求項３】
試料等が載せられるステージと、ステージの目標アドレス値を発生するジェネレータと、ジェネレータからのアドレス値に基づいてステージを直線状に移動させる移動機構と、ステージの位置を監視するステージ位置測定装置と、ステージの移動目標アドレス値と測定されたステージ位置とを比較し、その比較値により、ステージ移動機構を制御するようにしたステージの位置決めシステムにおいて、測定されたステージの位置信号に、〔０，−１〕の値を繰り返す矩形波信号を重畳させるように構成し、〔１〕の値は、ステージのディジタル化したアドレスの一つ分に相当させたステージの移動制御装置。
【請求項４】
試料等が載せられるステージと、ステージの目標アドレス値を発生するジェネレータと、ジェネレータからのアドレス値に基づいてステージを直線状に移動させる移動機構と、ステージの位置を監視するステージ位置測定装置と、ステージの移動目標アドレス値と測定されたステージ位置とを比較し、その比較値により、ステージ移動機構を制御するようにしたステージの位置決めシステムにおいて、ジェネレータから発生するステージの目標アドレス値に、〔０，−１〕の値を繰り返す矩形波信号を重畳させるように構成し、〔１〕の値は、ステージのディジタル化したアドレスの一つ分に相当させたステージの移動制御装置。
【請求項５】
〔０，−１〕の値を繰り返す矩形波信号の周波数は、任意に変更し得るように構成した請求項３および４記載のステージの移動制御装置。
【請求項６】
試料等が載せられるステージと、ステージの目標アドレス値を発生するジェネレータと、ジェネレータからのアドレス値に基づいてステージを直線状に移動させる移動機構と、ステージの位置を監視するステージ位置測定装置と、ステージの移動目標アドレス値と測定されたステージ位置とを比較し、その比較値により、ステージ移動機構を制御するようにしたステージの位置決めシステムにおいて、ステージの目標アドレス値を発生するジェネレータは、目標アドレス値発生部と矩形波発生部とを有し、目標アドレス値発生部からのステージの移動目標アドレス値に矩形波発生部からの矩形波を重畳させた信号を出力するように構成し、矩形波発生部は、ランダムノイズ源の信号をレベル調整し、その後Ａ／Ｄ変換を行い、０と１との２値化を行い、〔０，＋１〕の値を繰り返す矩形波信号を発生し、〔１〕の値は、ステージのディジタル化したアドレスの一つ分に相当させたステージの移動制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走査電子顕微鏡や電子ビーム描画装置の試料ステージを移動させ、定められた位置にステージを移動制御する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
走査電子顕微鏡では、試料の各領域を高い倍率で高分解能の像を観察するために、試料を移動ステージの上に載置し、ステージの移動距離を制御しながら、試料の所望の領域を電子ビーム光軸上に位置させるようにしている。また、電子ビーム描画装置では、被描画材料を移動ステージ上に載置し、ステージを移動させながら、電子ビームによりパターンの描画を行っている。
【０００３】
ここで、試料ステージを正確な距離移動させるため、従来では、リニアスケール等を用いた位置決め装置においては、位置決め指令部の発生する目標値に対する、位置決め対象の応答値との差分をフィードバックすることによって、精度高くステージの移動の制御を行っている。この際、例えば、エアシリンダ内のピストンに接続されたロッドの先端に試料ステージを固定し、試料ステージを駆動し、試料ステージを移動制御するようにしている。試料ステージを目標位置に移動させる１軸の位置決め系の例を図１に示す。
【０００４】
図１において、位置決めの対象である、試料１を保持した試料ステージ２は、試料ステージ２を移動させ位置決めのための駆動力を発生させるエアシリンダ３のロッド４の先端に固定されている。試料ステージ２は、図示していない直動ガイドレールにより、エアシリンダ３の稼働方向にのみ移動できるように保持されている。
【０００５】
エアシリンダ３内には、図中左右に移動するピストン５が設けられ、このピストン５によってエアシリンダ３内部は遮られ、左側の圧力室６ａと、右側の圧力室６ｂとが形成される。２つの圧力室６ａと６ｂには、それぞれサーボバルブ７ａ、７ｂからの配管８ａ、８ｂが接続されている。試料ステージ２の位置決めは、左右の圧力室６ａ、６ｂに流入する空気流量制御によってなされる。すなわち、エアー源９ａ、９ｂより供給された空気がサーボバルブ７ａ、７ｂにより制御され、圧力室６ａ、６ｂに対する流量がコントロールされる。
【０００６】
例えば、試料ステージ２を図中右方向に移動させたい場合には、サーボバルブ７ａからエアシリンダ３内の左側圧力室６ａに供給するエアーの流量を増加させ、逆にサーボバルブ７ｂからエアシリンダ３内の右側圧力室６ｂに供給するエアーの流量を減少させる。その結果、ピストンは右方向に移動し、この移動によりロッド４の先端に固定された試料ステージ２は右側に移動することになる。逆に、試料ステージ２を図中左方向に移動させたい場合には、サーボバルブ７ａからエアシリンダ３内の左側圧力室６ａに供給するエアーの流量を減少させ、逆にサーボバルブ７ｂからエアシリンダ３内の右側圧力室６ｂに供給するエアーの流量を増加させる。その結果、ピストンは左方向に移動し、この移動によりロッド４の先端に固定された試料ステージ２は左側に移動することになる。
【０００７】
上記したように、試料ステージ２は図中左右方向に移動可能となるが、試料ステージ２の移動位置の制御は次のようにして行われる。まず、コマンドジェネレータ１０から発せられる位置指令値が補償器１１を通してサーボバルブ７ａ、７ｂのドライバ１２に供給される。ドライバ１２は、与えられた位置指令値に基づきサーボバルブ７ａ、７ｂを制御し、エアシリンダ３内の左右の圧力室６ａ、６ｂに供給するエアーの流量を増加あるいは減少させる。
【０００８】
上記したエアシリンダ３内の左右の圧力室６ａ、６ｂに供給するエアーの流量を増加あるいは減少させることにより、試料ステージ２は、コマンドジェネレータ１０から指令された位置にまで移動する。この試料ステージ２の移動位置は、リニアスケール１３によって常に監視されており、試料ステージ２の位置信号は、リニアスケール１３から補償器１１に供給される。
【０００９】
補償器１１は、コマンドジェネレータ１０からの位置指令値と、リニアスケールで計測された試料ステージ２の位置とを比較し、２つの値が０となった時点で、試料ステージ２は指定された位置に移動される。ドライバ１２は２つのサーボバルブを制御し、その時のエアーの流量に固定する。このとき、リニアスケール１３の分解能がステージ２の位置決めの最小分解能となる。
【００１０】
ところで、コマンドジェネレータ１０から発せられる試料ステージ２に対する位置決め目標アドレスがＮであったとすると、位置決めのフィードバックループは、試料ステージ２のアドレスが（Ｎ＋１）、あるいは（Ｎー１）になったとき、つまり偏差量が存在して初めて働くために、最終的な位置決め精度は、アドレス１つ分が表している距離よりも大きなものになってしまい、それ以内における試料ステージ２の振動や位置ドリフトを制御することは、理論的にできない。
【００１１】
このような移動ステージの位置を測定し、その測定値をフィードバックさせて移動ステージを所定の目標位置へ移動させるようにした位置決め装置は、例えば、特許文献１に示されている。
【特許文献１】特開平８−２８６７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、例えば、走査電子顕微鏡等の高倍率で試料を観察する装置においては、必要な停止位置精度はサブμｍ程度であるにも関わらず、位置決め完了後の振動の許容量は、非常に小さく、nmの単位の誤差が問題となる。つまり、離散的な精密位置決めが必要となる。前記背景技術の項で説明した通常の制御を行って、この許容範囲内に位置決め完了後の振動を抑えようとすると、リニアスケール１３の分解能としては、サブnm程度の非常に分解能が高いものが必要となる。
【００１３】
しかしながら、このように高い分解能のリニアスケールを用いて位置決めを行う場合、一般的なパルス列による制御を行うことを考慮すると、位置決め対象を高速移動させたときに発生するパルスレートは非常に高いものとなってしまう。例えば、０．５nmの分解能のリニアスケールを用いて、５００nm/sの速度で移動させたときには、１GPPS（１秒間に1G個）のパルス列が発生する。このような非常に高いパルスレートを取り扱うことは困難であり、必然的に最高速度に制限が発生してしまう。
【００１４】
本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、その目的は、ステージの位置決めの精度を向上させ、位置決め後の位置変動量を小さくすることができる移動ステージの移動制御装置を実現するにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１の発明に基づく移動ステージの移動制御装置は、試料等が載せられるステージと、ステージの目標アドレス値を発生するジェネレータと、ジェネレータからのアドレス値に基づいてステージを直線状に移動させる移動機構と、ステージの位置を監視するステージ位置測定装置と、ステージの移動目標アドレス値と測定されたステージ位置とを比較し、その比較値により、ステージ移動機構を制御するようにしたステージの位置決めシステムにおいて、ステージの目標移動アドレスＮに対して、ステージの移動機構に供給するアドレス値を、Ｎと（Ｎ＋１）あるいは（Ｎ−１）に変化させるように構成したことを特徴としている。
【００１６】
請求項２の発明に基づくステージの移動制御装置は、請求項１の発明において、ステージの移動目標アドレス値と測定されたステージ位置とを比較し、その比較値が０となったとき、ジェネレータからの目標アドレス値を、（Ｎ＋１）あるいは（Ｎ−１）に変更させ、比較値が０となったとき、ジェネレータからの目標アドレス値をＮに戻す動作を繰り返すように構成したことを特徴としている。
【００１７】
請求項３の発明に基づくステージの移動制御装置は、測定されたステージの位置信号に、〔０，−１〕の値を繰り返す矩形波信号を重畳させるように構成し、〔１〕の値は、ステージのディジタル化したアドレスの一つ分に相当させたことを特徴としている。
【００１８】
請求項４の発明に基づくステージの移動制御装置は、ジェネレータから発生するステージの目標アドレス値に、〔０，−１〕の値を繰り返す矩形波信号を重畳させるように構成し、〔１〕の値は、ステージのディジタル化したアドレスの一つ分に相当させたことを特徴としている。
【００１９】
請求項５の発明に基づくステージの移動制御装置は、請求項３および４記載の発明において、測定されたステージの位置信号、あるいは、ステージの目標アドレス値に重畳される、〔０，−１〕の値を繰り返す矩形波信号の周波数を、任意に変更し得るように構成したことを特徴としている。
【００２０】
請求項６の発明に基づくステージの移動制御装置は、ステージの目標アドレス値を発生するジェネレータは、目標アドレス値発生部と矩形波発生部とを有し、目標アドレス値発生部からのステージの移動目標アドレス値に矩形波発生部からの矩形波を重畳させた信号を出力するように構成し、矩形波発生部は、ランダムノイズ源の信号をレベル調整し、その後Ａ／Ｄ変換を行い、０と１との２値化を行い、〔０，＋１〕の値を繰り返す矩形波信号を発生し、〔１〕の値は、ステージのディジタル化したアドレスの一つ分に相当させたを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
請求項１の発明に基づく移動ステージの移動制御装置は、試料等が載せられるステージと、ステージの目標アドレス値を発生するジェネレータと、ジェネレータからのアドレス値に基づいてステージを直線状に移動させる移動機構と、ステージの位置を監視するステージ位置測定装置と、ステージの移動目標アドレス値と測定されたステージ位置とを比較し、その比較値により、ステージ移動機構を制御するようにしたステージの位置決めシステムにおいて、ステージの目標移動アドレスＮに対して、ステージの移動機構に供給するアドレス値を、Ｎと（Ｎ＋１）あるいは（Ｎ−１）に変化させるように構成したことを特徴としている。
【００２２】
このような構成とすることで、停止位置精度仕様に合わせた比較的分解能の低いステージ位置測定装置を用いて、移動の高速性を確保し、かつ、目標アドレスの１つ先あるいは前との境界位置に位置決めを行うように構成したので、位置決め完了後の振動を小さく抑えることができる。
【００２３】
請求項２の発明に基づくステージの移動制御装置は、請求項１の発明において、ステージの移動目標アドレス値と測定されたステージ位置とを比較し、その比較値が０となったとき、ジェネレータからの目標アドレス値を、（Ｎ＋１）あるいは（Ｎ−１）に変更させ、比較値が０となったとき、ジェネレータからの目標アドレス値をＮに戻す動作を繰り返すように構成したことを特徴としており、請求項１の発明と同様の効果が得られる。
【００２４】
請求項３の発明に基づくステージの移動制御装置は、測定されたステージの位置信号に、〔０，−１〕の値を繰り返す矩形波信号を重畳させるように構成し、〔１〕の値は、ステージのディジタル化したアドレスの一つ分に相当させたことを特徴としている。このような構成とすることで請求項１の発明と同様な効果が得られると共に、請求項２の発明に比べ、２種の信号を比較して位置決め目標値を変更する必要がなくなり、制御ループへの負担をかけることがなくなる。
【００２５】
請求項４の発明に基づくステージの移動制御装置は、ジェネレータから発生するステージの目標アドレス値に、〔０，−１〕の値を繰り返す矩形波信号を重畳させるように構成し、〔１〕の値は、ステージのディジタル化したアドレスの一つ分に相当させたことを特徴としている。このような構成とすることで請求項３の発明と同様な効果が得られる。
【００２６】
請求項５の発明に基づくステージの移動制御装置は、請求項３および４記載の発明において、測定されたステージの位置信号、あるいは、ステージの目標アドレス値に重畳される、〔０，−１〕の値を繰り返す矩形波信号の周波数を、任意に変更し得るように構成したことを特徴としている。こりような構成とすることで、制御対象である試料ステージの固有振動を励起しにくいように、矩形波信号の周波数を設定することができる。
【００２７】
請求項６の発明に基づくステージの移動制御装置は、ステージの目標アドレス値を発生するジェネレータは、目標アドレス値発生部と矩形波発生部とを有し、目標アドレス値発生部からのステージの移動目標アドレス値に矩形波発生部からの矩形波を重畳させた信号を出力するように構成し、矩形波発生部は、ランダムノイズ源の信号をレベル調整し、その後Ａ／Ｄ変換を行い、０と１との２値化を行い、〔０，＋１〕の値を繰り返す矩形波信号を発生し、〔１〕の値は、ステージのディジタル化したアドレスの一つ分に相当させたことを特徴としている。このような構成では、矩形波信号の周期がランダムに変化するので、位置決め対象のステージの固有振動数を励起しにくくなる。また、この発明では、請求項４および５の発明で行う矩形波信号の周波数の調整が不要となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明するが、本発明の基本的な考え方は、停止位置精度仕様に合わせた比較的分解能の低いリニアスケールを用いて、移動の高速性を確保し、かつ、位置決め完了後の振動を小さく抑えるため、目標アドレスの１つ先あるいは前との境界位置に位置決めを行う。ここでは、目標アドレスの１つ先あるいは前との境界位置に位置決めを行う方法を、これ以降「境目制御」と称することにする。
【００２９】
この「境目制御」方式をより詳細に説明すると、位置決め対象が目標アドレスであるＮに達したときに、目標アドレスを（Ｎ＋１）に変更し、その後、対象が（Ｎ＋１）に達したとき、目標アドレスをＮに戻す制御を繰り返し行うようにする。このような目標アドレスの変更を繰り返すことにより、アドレスＮと（Ｎ＋１）の境目付近に、試料ステージを位置決めすることができる。
【００３０】
このような制御を行うことにより、同じ分解能のリニアスケールを用いたときは、「境目制御」を用いない場合に比較して、位置決め完了時の振動振幅をより小さくすることができる。また、最終位置決めアドレスをアドレスの境界に一意的に決定できるために、「境目制御」を用いない場合に比較して、位置決め精度を高くすることができる。
【００３１】
図２は本発明に基づく試料ステージの移動制御装置の第１の実施の形態を示しており、図１に示した従来装置と同一ないしは類似の構成要素には、同一番号を付し、その詳細な説明を省略する。図２の実施の形態では、コマンドジェネレータ１０から発生させた位置決め指令値と、試料ステージ２の位置に応じたリニアスケール１３からの応答値との偏差量を観測し、偏差量に応じて判定回路１４は、コマンドジェネレータ１０の指令値を変更できるように構成している。
【００３２】
この図２の構成における「境目制御」の動作を説明すると、まず位置決め指令値と応答値との偏差量を観測し、判定回路１４により、偏差が０になったときに、コマンドジェネレータ１０の目標アドレスを、Ｎから（Ｎ＋１）に変更する。その後、次に偏差が０になったときに、目標アドレスをＮに戻す。このような制御を繰り返すことによって、試料ステージ２をアドレスＮと（Ｎ＋１）の境界付近に位置決めすることが可能となる。
【００３３】
図３に本発明の他の実施の形態を示す。この実施の形態では、図１の従来装置の構成に、リニアスケール１３により測定される試料ステージ２の応答値に対して、〔０，−１〕の値を付加するための矩形波信号発生器１５を設けている。このような構成とすることで、コマンドジェネレータ１０から指令された位置決め目標アドレスがＮであり、かつ矩形波信号発生器１５からの値が〔０〕であった場合には、制御は行われない。しかし、矩形波信号発生器１５からの値が〔−１〕であった場合には、試料ステージ２があたかも（Ｎ−１）に位置するかのように見なされるため、一つ先のアドレスを目標に制御が行われる。
【００３４】
一方、位置決め目標アドレスがＮで、試料ステージ２の計測されたアドレスが（Ｎ＋１）であり、かつ、矩形波信号発生器１５からの矩形波信号が〔−１〕である場合には、ステージの制御は行われず、矩形波信号が〔０〕になったときには、一つ前のアドレスを目標値として試料ステージ２の移動制御が行われる。
【００３５】
このように、第２の実施の形態では、試料ステージ２がアドレスＮと（Ｎ＋１）の境目に位置決めされることになる。この際、位置決めを指令する部分は、図２に示した第１の実施の形態のように、位置決め偏差値をモニターして、位置決め目標値を変更する必要がないため、制御ループへ負担をかけることがない。
【００３６】
なお、試料ステージ２は、通常その機械的固有振動数を有している場合が多い。そのため、矩形波信号発生器１５からの矩形波信号の周波数がこの固有振動数に一致、あるいはその整数倍、あるいはその整数倍の１に一致すると、制御対象である試料ステージの固有振動が励起され、位置決め時における振動振幅が大きなってしまう。そのため、本実施の形態では、矩形波信号発生器１５からの矩形波信号の周波数を可変できるように構成している。したがって、装置を動作させる前に、制御対象である試料ステージ２の固有振動が励起されにくいように、矩形波信号の周波数を所望の値に設定することが可能となる。
【００３７】
図４には本発明の第３の実施の形態が示されている。この実施の形態では、コマンドジェネレータ１０の内部に、目標位置発生部１６と、〔０，−１〕の値を付加するための矩形波信号発生器１５を設けている。この矩形波信号発生器１５は、発生する付加矩形波信号の周波数を変えることができるように構成されている。この実施の形態におけるコマンドジェネレータ１０から発生される位置決め指令値は、目標位置発生部１６からの位置決め指令アドレスと、矩形波信号発生器１５からの矩形波信号が加算されたものとなる。
【００３８】
上記した構成で、目標位置発生部１６から発生された位置決め目標アドレスがＮであるとき、試料ステージ２のアドレスがＮであり、かつ矩形波信号発生器１５からの信号が〔０〕である場合には、試料ステージの移動制御は行われないが、矩形波信号が（＋１）になったときには、位置決め指令アドレスが（Ｎ＋１）になるため、一つ先のアドレスを目標に制御が実行される。
【００３９】
このように、第３の実施の形態では、試料ステージ２がアドレスＮと（Ｎ＋１）の境目に位置決めされることになる。この際、位置決めを指令する部分は、図２に示した第１の実施の形態のように、位置決め偏差値をモニターして、位置決め目標値を変更する必要がないため、制御ループへ負担をかけることがない。  一方、目標位置発生部１６から発生された位置決め目標アドレスがＮであるとき、試料ステージ２のアドレスが（Ｎ＋１）であり、かつ矩形波信号発生器１５からの付加信号が〔＋１〕である場合には、試料ステージの移動制御は行われないが、矩形波の付加信号が〔０〕になったときには、位置決め指令アドレスが（Ｎ−１）になるため、一つ先のアドレスを目標に制御が実行される。
【００４０】
なお、試料ステージ２は、前記したように、通常その機械的固有振動数を有している場合が多い。そのため、矩形波信号発生器１５からの矩形波付加信号の周波数がこの固有振動数に一致、あるいはその整数倍、あるいはその整数倍の１に一致すると、制御対象である試料ステージの固有振動が励起され、位置決め時における振動振幅が大きくなってしまう。そのため、本実施の形態では、矩形波信号発生器１５からの矩形波付加信号の周波数を可変できるように構成している。したがって、装置を動作させる前に、制御対象である試料ステージ２の固有振動が励起されにくいように、矩形波信号の周波数を所望の値に設定することが可能となる。
【００４１】
図５は本発明の他の実施の形態を示しているが、この実施の形態は、図４で示した第３の実施の形態における矩形波の付加信号を作成する方式が異なる。図４に示した第３の実施の形態では、付加信号は特定の周波数の矩形波であったが、本実施の形態では、ランダムノイズ源１８からのレベル調整器１９でレベルの調整を行った後、信号をＡ／Ｄ変換器２０でＡ／Ｄ変換を行い、０と１との２つの値の存在比がおよそ５０％となるように、２値化した信号を用いる。
【００４２】
このような構成では、実施の形態と同様な動作を行うことができるが、目標位置信号に付加される信号周期がランダムに変化するので、位置決め対象である試料ステージ２の固有振動数を励起しにくくなり、第２と第３の実施の形態のような矩形波の付加信号の周波数を調整することが不要となる。
【００４３】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、第１〜第４の実施の形態に限定されず幾多の変形も可能である。例えば、試料ステージの位置決めを行うため、試料ステージを空気圧シリンダを用いて移動させたが、試料ステージの移動のためにはそれ以外にリニアモータ、超音波モータ、あるいは、回転モータと送りネジから成る試料ステージの移動機構を用いても良い。また、フルクローズドループ制御だけではなく、モータ側のみの制御、セミクローズドループ制御にも応用することができる。また、試料位置の測定にリニアスケールを用いたが、その他の位置測定装置、例えば、レーザー干渉計を用いて試料位置の測定を行うようにしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明を走査電子顕微鏡の試料ステージ制御に用いた場合には、研究開発の分野、半導体デバイスの検査分野等で利用される。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】従来の試料ステージの位置決め装置を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態を示す図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  試料
２  試料ステージ
３  エアシリンダ
４  ロッド
５  ピストン
６  圧力室
７  サーボバルブ
８  配管
９  エアー源
１０  コマンドジェネレータ
１１  補償器
１２  ドライバ
１３  リニアスケール
【図１】
2005216216.tif 000003
【図２】
2005216216.tif 000004
【図３】
2005216216.tif 000005
【図４】
2005216216.tif 000006
【図５】
2005216216.tif 000007