(57)【要約】【課題】いずれの方向から通流する微風であっても、その風向を特定して確実に検出することができる。【解決手段】短冊状の防塵処理紙１０の幅方向の中央部に長手方向に沿った折り込み線１１が設けられている。この折り込み線１１の各側方に位置する防塵処理紙１０の各側部に、それぞれの側部における防塵処理紙１０の側縁から折り込み線１２まで達する複数の切り込み１２が、折り込み線１２に沿って所定の間隔をあけて折り込み線１２にそれぞれ垂直な状態で形成されている。各側部に形成される切り込み１２同士は、折り込み線１１の長手方向にずれている。各側部において隣接する切り込み１２間に形成される紙片１３は、折り込み線１１に沿って隣接する紙片１３同士が相互に垂直状態になるように、折り込み線に沿って折り曲げられている。【選択図】  図１
2005134222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
短冊状の防塵処理紙の幅方向の中央部に長手方向に沿った折り込み線が設けられ、
該折り込み線の一方の側方に位置する該防塵処理紙の一方の側部に、該側部における該防塵処理紙の側縁から該折り込み線まで達する複数の切り込みが、該折り込み線に沿って所定の間隔をあけて該折り込み線にそれぞれ垂直な状態で形成されとともに、該折り込み線の他方の側方に位置する該防塵処理紙の他方の側部に、該側部における該防塵処理紙の側縁から該折り込み線まで達する複数の切り込みが、該折り込み線に沿って所定の間隔をあけて該折り込み線にそれぞれ垂直な状態で、しかも、前記一方の側部に形成される切り込みとは該折り込み線の長手方向にずれた状態で形成され、
各側部において隣接する切り込み間に形成される紙片が、該折り込み線に沿って隣接する紙片同士が相互に垂直状態になるように、該折り込み線に沿って折り曲げられていることを特徴とする微風検出器。
【請求項２】
前記短冊状の防塵処理紙は、長手方向の寸法が幅方向の寸法の１０倍になっている請求項１に記載の微風検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、クリーンルーム内に微風が進入することを検出するために好適に使用される微風検出器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一対のガラス基板の間に液晶層を挟んで構成される液晶表示装置では、一方のガラス基板に、ＴＦＴ等のスイッチング素子を設けたアクティブマトリクス基板を用いた大型の液晶表示装置が開発されている。例えば、ガラス基板上にＴＦＴ（薄膜トランジスタ）がマトリクス状に設けられたアクティブマトリクス基板を製造する場合には、ドライエッチング等によって半導体膜を高精度でパターニングする必要がある。このため、ＴＦＴ等のスイッチング素子が設けられるガラス基板のエッチング表面に微細な塵埃（パーティクル）が付着しないように、ＴＦＴの製造がクリーンルーム内にて行われている。
【０００３】
しかしながら、クリールーム内にパーティクルが進入すると、ガラス基板の表面にパーティクルが付着し、ガラス基板の表面に形成される半導体膜を高精度でパターニングすることができないおそれがある。
【０００４】
このため、クリーンルームの内部に塵埃が進入しないように、クリーンルームを気密状態に保持するようにされる。しかしながら、ガラス基板をローダーによってクリーンルーム内に搬入するために開口部が設けられており、この開口部の周辺部におけるわずかな間隙からパーティクルが微風によってクリーンルーム内に進入するおそれがある。
【０００５】
このように、わずかな間隙から微風がクリーンルーム内に進入することにより、パーティクルがクリーンルーム内に進入するため、間隙が生じている箇所において、クリーンルーム内に進入する微風を検出することにより、クリーンルーム内にパーティクルが進入していることを予測できる。従って、わずかな隙間から進入する微風を検出できればパーティクルがクリーンルーム内に進入することを防止するための対策を容易に講じることができる。
【０００６】
しかしながら、微細なパーティクルは、非常に小さな風圧の微風によっても、クリーンルーム内に進入し得るために、ごくわずかな風圧の微風を検出することが必要になる。
【０００７】
このために、例えば、風力を検出するために使用される風力計を使用することが考えられる。風力計は、通常、風力によって風車が回転することにより風力（圧力）の強度（風圧）を検出するようになっている。しかしながら、このような風力計では、風車が回転するような大きな風圧しか検出することができず、クリーンルーム内にパーティクルを進入させるような小さな風圧の微風を検出することはできない。
【０００８】
特許文献１（特開平８−２２０５６７号公報）には、細長状に形成された中空体を糸の先端部に連結し、中空体の内部に空気よりも比重が小さい気体を充填した風向計が開示されている。
【特許文献１】特開平８−２２０５６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
この特許文献１に開示された風向計では、所定形状の中空体を製造して、その内部に、空気よりも比重の小さな気体を充填する必要があり、容易に製造することができず、製造コストが損なわれるという問題がある。
【００１０】
これに対して、風圧の小さな微風の風向のみを検出するために、適当な大きさの短冊状（長方形状）の吹流しを使用することが考えられる。この場合には、吹流し自体にパーティ来るが付着すると、クリーンルーム内に進入する微風によって、吹流しに付着したパーティクルがクリーンルーム内に進入するおそれがある。このために、吹流し自体にパーティクルが付着しないように、吹流しの材質等を考慮する必要がある。
【００１１】
このために、パーティクルが付着しにくいプラスチックによって短冊状の吹流しを形成することができる。しかしながら、プラスチック製の吹流しでは、薄くして軽量化することが容易ではなく、従って、厚さ方向（表面に対して垂直方向）に通流する微風によって揺動するものの、吹流しの表面に沿って通流する微風によっては揺動せず、その微風を検出することができないおそれがある。また、吹流しに対して斜め下方から微風が通流すると、吹流しは不規則に揺れるために、微風の風向を特定することができないおそれもある。さらには、プラスチック製の吹流しでは静電気が発生するために、静電気の影響によって揺動することにより微風を誤検出するおそれもある。
【００１２】
これに対して、パーティクルが付着しないように、防塵処理された紙（防塵処理紙）によって、適当な大きさの短冊状の吹流しを形成して使用することも考えられる。この場合、プラスチック製の吹流しよりも薄く軽量になるために、吹流しの表面に沿った微風によって不規則に揺動し、やはり、風向を特定することができないおそれがある。
【００１３】
さらには、防塵処理紙によって形成された４枚の短冊状の吹流しを、中空の四角柱状が形成されるように配置して微風を検出することも考えられる。しかしながら、この場合には、微風による各吹流しの揺れが一定せず、やはり、風向を特定することができないおそれがある。
【００１４】
また、短冊状の防塵処理紙を捻じることによって吹流しを形成して使用することも考えられる。しかしながら、この場合には、吹流し自体が高い剛性になり、微風が当たってもほとんど揺動せず、微風を検出することができないおそれがある。
【００１５】
本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、クリーンルーム内にパーティクルを進入させるような微風であっても、確実に検出することができ、しかも、その風向も確実に検出することができ、さらには、容易に製作することができる微風検出器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の微風検出器は、短冊状の防塵処理紙の幅方向の中央部に長手方向に沿った折り込み線が設けられ、該折り込み線の一方の側方に位置する該防塵処理紙の一方の側部に、該側部における該防塵処理紙の側縁から該折り込み線まで達する複数の切り込みが、該折り込み線に沿って所定の間隔をあけて該折り込み線にそれぞれ垂直な状態で形成されとともに、該折り込み線の他方の側方に位置する該防塵処理紙の他方の側部に、該側部における該防塵処理紙の側縁から該折り込み線まで達する複数の切り込みが、該折り込み線に沿って所定の間隔をあけて該折り込み線にそれぞれ垂直な状態で、しかも、前記一方の側部に形成される切り込みとは該折り込み線の長手方向にずれた状態で形成され、各側部において隣接する切り込み間に形成される紙片が、該折り込み線に沿って隣接する紙片同士が相互に垂直状態になるように、該折り込み線に沿って折り曲げられていることを特徴とする。
【００１７】
前記短冊状の防塵処理紙は、長手方向の寸法が幅方向の寸法の１０倍になっている。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の微風検出器は、いずれの方向から通流する微風であっても、確実に揺動するために、微風を確実に検出することができる。しかも、微風の風向も確実に特定することができる。防塵処理紙によって形成されているために、パーティクルが付着するおそれがなく、クリーンルーム内に進入する微風とともにパーティクルがクリーンルーム内に進入することを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２０】
図１は、本発明の微風検出器の一例を示す斜視図である。この微風検出器は、防塵処理された短冊状の紙に切り込みを形成して折り曲げることによって形成されている。図２は、この微風検出器とされる短冊状（長方形状）の防塵処理紙を示す平面図である。この短冊状の防塵処理紙１０は、長手方向の寸法が幅方向の寸法の１０倍程度、例えば、長さが２４ｃｍ、幅が２．４ｃｍになっており、幅方向の中央部における長手方向に沿った中心線に沿った折り込み線１１が形成されている。
【００２１】
また、折り込み線１１によって二分された防塵処理紙１０の各側部の一方には、３ｃｍ間隔で、その側部における防塵処理紙１０の側縁から折り込み線１１に達する７本の切り込み１２が、それぞれ折り込み線１１に対して垂直状態になるように形成されている。
【００２２】
防塵処理紙１０の各側部の他方には、長手方向の一方の端縁から２ｃｍの間隔をあけて、その側部における防塵処理紙１０の側縁から折り込み線１１に達する１本の切り込み１２が、折り込み線１１に対して垂直状態になるように形成されている。また、この側部における長手方向の他方の端縁から１ｃｍの間隔をあけて、その側部における防塵処理紙１０の側縁から折り込み線１１に達する１本の切り込み１２が、折り込み線１１に対して垂直状態で形成されている。そして、この側部には、これら両端の切り込み１２の間に、３ｃｍ間隔で、その側部における防塵処理紙１０の側縁から折り込み線１１に達する６本の切り込み線１２が形成されている。
【００２３】
従って、防塵処理紙１０には、幅方向の中央に設けられた折り込み線１１の一方の側部には、折り込み線１１に沿った長さが３ｃｍの８個の紙片１３が形成されており、他方の側部には、両端部に、折り込み線１１に沿った長さが２ｃｍと１ｃｍの紙片１３がそれぞれ形成されるとともに、両端部の各紙片１３の間に、折り込み線１１に沿った長さが３ｃｍの７個の紙片１３が形成されている。
【００２４】
このような構成の防塵処理紙１０は、図１に示すように、防塵処理紙１１の上記他方の側部の他方の端部に位置する長さが１ｃｍの紙片１３が、折り込み線１１に沿って折り曲げられず、前記長さが１ｃｍの紙片１３に隣接する紙片１３が、前記１ｃｍの紙片１３に対して垂直に折り曲げられている。そして、その次の紙片１３は前記１ｃｍの紙片１３と同様折り曲げられず、さらにその次の紙片１３は前記垂直に折り曲げられた紙片１３と同方向に垂直に折り曲げられている。残りの紙片は同様に、折り曲げない紙片１３と、同方向に垂直に折り曲げる紙片１３とが順に交互に配置されるようにされる。
【００２５】
また、上記一方の側部に位置する紙片１３については、他方の端部に位置する紙片、すなわち、前記他方の側部の他方の端部に位置する長さ１ｃｍの紙片１３と幅方向に隣接する紙片１３は折り曲げられず、この紙片１３に隣接する紙片１３は、他方の側部の垂直に折り曲げられた紙片１３と折り込み線１１に対して線対称の位置になるように折り曲げられている。すなわち、これら紙片１３は同一平面状に形成される。残りの紙片は同様に、折り曲げない紙片１３と、他方の側部の垂直に折り曲げられた紙片１３と折り込み線１１に対して線対称の位置に折り曲げられた紙片１３とが順に交互に配置されるようにされる。
【００２６】
従って、折り込み線１１は、長さが２ｃｍの紙片１３の側から、谷折りと、折り曲げられていない長さ１ｃｍの部分と、山折りと、折り曲げられていない長さ１ｃｍの部分とが繰り返し順に形成されるように折り曲げられて形成されるようになる。
【００２７】
このような構成の微風検出器は、例えば、液晶表示装置のアクティブマトリクス基板を製造するためのクリーンルームにおけるガラス基板がローダーによってクリーンルーム内に導入される開口部の近辺に、長さが２ｃｍの紙片１３を上側として吊り下げられる。そして、クリーンルーム内に微風が進入する場合には、その微風が、折り曲げられた各紙片１３に衝突する。この場合、防塵処理紙１０における上下方向に隣接する紙片１３同士が相互に垂直状態になっており、従って、各紙片１３は、平面視では上下方向に沿った折り込み線１１の周囲に、９０°の間隔で配置されている。従って、折り込み線１１の周囲のいずれの方向から微風が通流しても、その微風は、いずれかの紙片１３に衝突することになり、微風によって防塵処理紙は確実に揺動することになる。
【００２８】
しかも、折り込み線１１を挟んで上下方向にずれた状態で配置される紙片１３同士は、折り込み線１１が折り曲げられていない長さ１ｃｍの部分によって相互に接続されているために、折り込み線が折り曲げられていないその長さ１ｃｍの部分において、その上部と下部とが容易に屈曲される。従って、上下方向のいずれの部分に対して微風が吹き付けられても、防塵処理紙が屈曲することになり、その屈曲によって微風の風向を検出することができる。
【００２９】
以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
クリーンルーム内に微風が進入することを検出するために好適に使用される微風検出器の分野において、微風を確実に検出することができ、また容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の微風検出器の一例を示す斜視図である。
【図２】その微風検出器とされる防塵処理紙の平面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１０  防塵処理紙
１１  折り込み線
１２  切り込み
１３  紙片
【図１】
2005134222.tif 000003
【図２】
2005134222.tif 000004