(57)【要約】【課題】  光カプラによりモニタ光を分岐し、分岐されたモニタ光を、反射板を介して光検出器で受光し、信号光はそのまま透過するように構成すること。【解決手段】  光導波路は、光カプラ１１によってモニタ用光導波路２と信号光用光導波路１０とに分岐される。分岐されたモニタ用光導波路２と信号光用光導波路１０には、光導波路２，１０を横切るように、基板１の表面と垂直な方向から角度θで傾斜して形成された溝３が設けられている。溝３には、ポリイミド膜と金反射膜からなる反射板４が挿入されている。反射板４は、光カプラ１１によって分岐されたモニタ光を、フォトダイオード６の受光部６ａに向けて反射させ、信号光はそのまま透過するように構成されている。【選択図】  図１
2005134572.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上にモニタ用光導波路と信号光用光導波路が形成された光導波路と、該光導波路を横切り、かつ前記基板の表面と垂直な方向から所定の傾斜角度で形成された溝と、該溝に挿入され、前記信号光用光導波路に伝搬する光を透過し、該信号光用光導波路に伝搬する光の一部が分岐された前記モニタ用光導波路に伝播する光を反射する反射板とから構成されたことを特徴とする光導波回路。
【請求項２】
前記光導波路の所定位置に、モニタ用光導波路と信号光用光導波路とに分岐する光カプラを設け、前記反射板が、前記信号光用光導波路の信号光を透過し、前記モニタ用光導波路のモニタ光を反射することを特徴とする請求項１に記載の光導波回路。
【請求項３】
前記光導波路が、石英ガラスの埋め込み型光導波路であることを特徴とする請求項１又は２に記載の光導波回路。
【請求項４】
前記反射板としてポリイミド膜に金反射膜をパターン化したものを用いることを特徴とする請求項１，２又は３に記載の光導波回路。
【請求項５】
前記傾斜角度を略２０度〜略５０度にしたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の光導波回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光導波回路に関し、より詳細には、光通信システムに応用可能な平面光波回路を用いた光導波回路に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、光通信システムとしては、インターネットなどにより通信トラフィックの大容量化が求められ波長分割多重（ＷＤＭ）システムなどの光通信システムが用いられている。そのような中で光ファイバ、あるいは光導波路を用いた光回路においては、光導波路を伝送される信号の光強度を一定に保ったり、あるいはチャネル間の光強度レベルを均一にするなど、信号光の光強度を適切な値に制御するデバイスが必要とされている。このような場合、信号光の光強度を光回路中でモニタし、あるいはさらに、モニタした結果に基づき光強度を制御することが行われている。
【０００３】
このような光信号の光強度のモニタには、従来から光導波路上に光カプラを設けて信号光の一部を分岐する方法が用いられている。しかしながら、このような光カプラを用いた場合、光導波回路を構成する光学部品の点数が増加し、それらの光学部品を融着接続する必要があるため、光導波回路の構成が複雑化するといった問題があった。
【０００４】
これに対して、光カプラを用いることなく、信号光を一部反射させて光強度をモニタする方法が提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。この特許文献１に記載されている光デバイスは、光導波路の所定箇所に光軸に対して斜めに端面を形成し、その端面で光軸とは異なる方向に反射された信号光の一部である反射光を検出して、光強度をモニタするものである。
【０００５】
また、特許文献２に記載されている光ファイバは、光ファイバの所定箇所に光軸に対して垂直な端面を形成して信号光の一部を外部に出射させ、出射された光の一部を光軸に対して斜めの他の端面によって反射させて取り出して、光強度をモニタするものである。
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１及び２に記載されているように、信号光の一部を反射させて光強度のモニタを行う場合、斜めの端面での信号光の反射率は、反射する信号光の偏波状態によって異なる値になるため、正しい光強度がモニタできないといった問題があった。
【０００７】
【特許文献１】特開平６−３３１８３７号公報
【特許文献２】特開２０００−１５５２３５号公報
【特許文献３】特開２００２−１８２０５１号公報
【特許文献４】特開２００１−１３３３９号公報
【非特許文献１】T.Sawada,et al.,“Ultrathin(5μｍ)flexible reflective waveplate of fluorinated polyimide and elimination of polarization sensitivity in titanium-diffusedl ithium niobate waveguide circuits,"Jpn.J.Appl.Phys.,Vol.37(1998)pp.6408-6413
【非特許文献２】T.Hashimoto et al.,“Wultichip optical hybrid integration technique with planar lightwave circuit platform," J.Lightwave technol.,Vol.16,p.1249,1998)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
さらに、信号光の光強度のモニタには、光導波路に対して斜めに溝を形成し、ごく薄い誘電体多層膜による反射フィルタを挿入する方法が報告されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００９】
図８は、従来の光導波回路を説明するための構成図で、図中符号４１は基板（Ｓｉ）、４２は石英系の光導波路、４２ａはコア（信号光用光導波路）、４２ｂはクラッド、４３は反射板挿入用の溝、４４は反射板（反射フィルタ）、４４ａはポリイミド膜、４４ｂは誘電体多層膜、４５はシリコーン樹脂、４６はフォトダイオード、４６ａは受光部、４７はサブキャリアを示している。
【００１０】
この光導波回路においては、信号光の一部を上方に反射してフォトダイオード４６の受光部４６ａにより受光してモニタし、残りの光はそのまま透過することができ、光導波路４２が１本の直線で済むという特徴がある。
【００１１】
しかしながら、このような等方的な反射板４４を用いると偏波依存性が生じるという問題があった。これは、斜め面で信号光を反射する際には、基板４１の水平方向の偏波成分は反射面に対して平行であるのに対して、垂直方向の偏波成分は反射面の傾き角度θだけ異なるためである。そのため、図８に示された光導波回路では、誘電体多層膜４４ｂを構成する各層の誘電体材料や各層の膜厚などを調整することにより、各直交偏波の反射率の差を補償しており、その形成や調整は容易ではないと推測する。
【００１２】
さらに、作製した反射板４４は、使用できる角度や反射率が誘電体多層膜４４ｂによって固定されるため、当初想定された角度や反射率でしか用いることができない。そのため、実装構造などの都合により溝４３の角度を変えたり、光導波回路の用途により反射率（モニタ回路ではモニタ回路への分岐率）を変えたりするためには、反射板４４自体を設計しなおす必要があるという問題があった。
【００１３】
一方、ダイシングやエッチングにより斜面を形成し、反射面を形成する方法も報告されている（例えば、特許文献４参照）。しかしながら、その時にはダイシング面やエッチング面を鏡面にしないと損失が生じたり、あるいは光が散乱して迷光の原因となるにもかかわらず、鏡面状態を作り出すことは現実には困難であるという問題があった。
【００１４】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、光カプラによりモニタ光を分岐し、分岐されたモニタ光を、反射板を介して光検出器で受光し、信号光はそのまま透過するように構成したモニタ用の光導波回路を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、基板上にモニタ用光導波路と信号光用光導波路が形成された光導波路と、該光導波路を横切り、かつ前記基板の表面と垂直な方向から所定の傾斜角度で形成された溝と、該溝に挿入され、前記信号光用光導波路に伝搬する光を透過し、該信号光用光導波路に伝搬する光の一部が分岐された前記モニタ用光導波路に伝播する光を反射する反射板とから構成されたことを特徴とする。
【００１６】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記光導波路の所定位置に、モニタ用光導波路と信号光用光導波路とに分岐する光カプラを設け、前記反射板が、前記信号光用光導波路の信号光を透過し、前記モニタ用光導波路のモニタ光を反射することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、前記光導波路が、石英ガラスの埋め込み型光導波路であることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１，２又は３に記載の発明において、前記反射板としてポリイミド膜に金属膜をパターン化したものを用いることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の発明において、前記傾斜角度を略２０度〜略５０度にしたことを特徴とする。
【００２０】
反射板としてポリイミド膜に金反射膜を蒸着したものを用いると、その反射率は９５％以上と良好であり、かつ斜めにして反射しても偏波依存性は角度に関わらず原理的に存在しない（例えば、非特許文献１参照）。
【００２１】
その金反射膜を用いて、例えば、光モニタ回路を構成するには次のようにすればよい。まず、信号光とモニタ光とを分岐する光カプラを光回路上に形成し、信号光用光導波路とモニタ用光導波路との分離は光回路上で行う。次に、その両者を横切るごく狭い幅２０μｍの斜め溝を形成し、上述した反射板を挿入し、樹脂により固定する。
【００２２】
このような反射板を、光導波路を横切る細溝に挿入して樹脂によって固定する方法は、アレイ導波路格子（ＡＷＧ）などの光導波回路の偏波無依存化において、１／２波長板を挿入する技術として、十分に実績のある方法である。ここで信号光については透過し、モニタ光については基板の表面方向に反射してフォトダイオード（ＰＤ）素子により受光してモニタする必要がある。この金反射膜を蒸着したポリイミド膜は、金反射膜をエッチングすることにより任意のパターンにすることができて、金反射膜が除去された所は低い損失で光を透過させることができる。
【００２３】
したがって、信号光用光導波路に対応する場所のみ、金反射膜をエッチングにより除去するようにすれば、上述した所望の特性が得られ、モニタ用光導波路のみ光量をモニタすることができる。
【００２４】
ここで反射面に関しては、溝の表面等が鏡面にならず多少の凹凸、欠け等があってもガラスとほぼ等しい屈折率を持つシリコーン樹脂を充填しているため散乱等の問題はなく、また、損失についても反射面（ポリイミド膜に蒸着した金反射膜）が９５％以上の反射率を持つため全く問題ない。一方、金反射膜がエッチングされ信号光が透過する部分についても、例えば、０．２ｄＢの低い損失で透過させることが可能である。
【００２５】
なお、このようなポリイミド膜は、既に述べたようにＡＷＧ等の偏波無依存化に用いられている１／２波長板と材質、作製工程は基本的に同じである。また、ＡＷＧなどで実際に溝に挿入されたものが既に生産されて商品化されており、現実に使われている技術であるため作製も容易であり、信頼性も高い。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明によれば、基板上にモニタ用光導波路と信号光用光導波路が形成された光導波路と、光導波路を横切り、かつ基板の表面と垂直な方向から所定の傾斜角度で形成された溝と、この溝に挿入され、信号光用光導波路に伝搬する光を透過し、この信号光用光導波路に伝搬する光の一部が分岐されたモニタ用光導波路に伝播する光を反射する反射板とから構成されたので、反射率の偏波依存性を調整した誘電体多層膜を用いることなく、単純な金反射膜のみを用いてモニタ回路を構成できる。また、同一の反射板を用いても、光カプラの分岐率は光回路の設計により独立に自由に決めることができるという特徴がある。
【００２７】
また、反射面の角度が変わっても偏波依存性が生じることはないから、フォトダイオードの形状や実装の形態により、反射面の角度も自由に変えられるという特徴もある。さらにダイシングした溝の表面荒さ、欠け、形状ゆがみなどに金反射膜の反射率が影響されて劣化することはないので、溝のダイシング条件が表面を鏡面にするまで良好でなくとも良好な反射率が得られる。
【００２８】
さらに、安価で小型で高性能なモニタ用光モジュールや光トランシーバなどに応用可能な光導波回路を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。  
【実施例１】
【００３０】
図１及び図２は、本発明に係る光導波回路の実施例１を説明するための構造図で、図１は平面図、図２は図１のＡ-Ａ’線断面図である。図中符号１は基板（Ｓｉ）、２は石英系の光導波路、２ａはコア（モニタ用光導波路）、２ｂはクラッド、３は反射板挿入用の溝、４は反射板（ポリイミド）、４ａはポリイミド膜、４ｂは金反射膜、５はシリコーン樹脂、６はフォトダイオード（ＰＤ）、６ａは受光部、７はサブキャリア、８はワイヤボンダ、９はサブキャリアの位置決め用突起、１０は信号光用光導波路、１１は光カプラを示している。
【００３１】
図１において、本実施例１に係る光導波回路は、基板１上に形成された平面導波路型の８本（８チャンネル；ｃｈ１〜ｃｈ８）の光導波路を有し、この光導波路は、光入力部から光出力部に向けて互いに平行かつ等間隔に配置され、所定箇所において、光カプラ１１によってモニタ用光導波路２と信号光用光導波路１０とに分岐されている。分岐されたモニタ用光導波路２と信号光用光導波路１０の所定箇所には、これらの光導波路２，１０を横切るようにして基板１内に達するように、基板１の表面と垂直な方向から所定の角度θで傾斜して形成された溝３が設けられている。
【００３２】
この溝３には、ポリイミド膜４ａと金反射膜４ｂからなる反射板４が挿入され、シリコーン樹脂５が充填されている。また、光導波路上でかつシリコーン樹脂５の上方には、反射板４によって反射されたモニタ光を受光部６ａで受光できるようにフォトダイオード６が配置されている。また、光導波路は、石英ガラスの埋め込み型光導波路であることが望ましい。
【００３３】
また、反射板４は、光カプラ１１によって分岐されたモニタ光を、フォトダイオード６の受光部６ａに向けて反射させ、信号光はそのまま透過するように構成されている。シリコーン樹脂５の上には、フォトダイオード６を固定するためのサブキャリア７が設けられ、このサブキャリア７によってフォトダイオード６の高さが決まるようになっている。また、サブキャリア７の位置決めを行うための突起９が光導波路の表面に接するように設けられている。また、フォトダイオード６とサブキャリア７とはワイヤボンダ８で接続されている。
【００３４】
このように、８チャネルの石英ガラス製の比屈折率０．７５％の光導波路を２５０μｍピッチで基板１上に形成した。左側から各々のチャネルに光信号が入射され、光カプラ１１により光強度１０％分がモニタ光として分岐されている。この分岐率については、光導波回路で作製しているため設計により自由に変えることができる。そして全ての光導波路を横切り、光導波路面に垂直から略３０度傾けた方向にダイシングソーにより、幅２０μｍ、深さ１００μｍの溝３が形成されている。そして溝３には、図３に示したような反射板４が挿入され、光学的に透明なシリコーン樹脂５によって固定されている。
【００３５】
ここで、この反射板４は、厚さ１５μｍであり、その表面に厚さ約０．５μｍの金反射膜４ｂがスパッタにより形成され、その後、信号光用光導波路１０に対応する場所はエッチングにより金反射膜を取り除いた。この厚さの反射板４は、屈折率をガラス導波路に合わせた樹脂を注入することにより、透過損失を０．２ｄＢと極めて低く抑えられる。したがって、モニタ光についてはこの反射板４により上部に反射される。一方、信号光については低損失で透過する。
【００３６】
なお、図３は反射板の構成図で、信号光の透過する部分を、表面の金反射膜４ｂのみを除去し、ポリイミド膜４ａが見えるようにした例であるが、さらに、上述したエッチングを進めてポリイミド膜４ａを全てパターン化して反射板４自体の全体の形状が、図４のようなもの、つまり、信号光の透過する部分を、金反射膜４ｂ及びポリイミド膜４ａをともに削除した部分Ａであってもよい。図４のものについては、金蒸着した反射板４を型で打ち抜く機械的な方法でも作成することができる。このようなものでは、ポリイミド膜４ａとガラスとのわずかな屈折率の差に起因する、図３において存在する反射を除去できるというメリットがある。
【００３７】
以下に、モニタ光が受光される原理についてさらに詳細に説明する。  
ポリイミド膜４ａに金を蒸着した金反射膜４ｂについては、９５％以上の優れた反射率を有する。そして、その反射光を受光できるように、受光径２００μｍの面型のフォトダイオード６が、図２のように実装されている。このフォトダイオード６は、電極の取り出しを容易にし、かつ基板１上に実装するのが容易なようにセラミック製のサブキャリア７にＡｕＳｎ半田によって固定され、フォトダイオード６の表面の電極は、ワイヤボンダ８によりサブキャリア７経由で取り出している。
【００３８】
ここでフォトダイオード６の受光部６ａの表面は、反射光が余り広がらないように高さ１００μｍの所に固定されている。ここでこのフォトダイオード６の高さは、サブキャリア７の形状により基板１の表面を高さ基準面として、自動的に所望の高さになるようにしている。なお、このサブキャリア７自体の形状やその位置決め用突起９の場所・形状は、実装時に用いる装置、治具あるいはフォトダイオード６の形状に基づき都合のよい形状を用いればよい。あるいは、位置決め用の突起９として別の部材を用いてもよいし、基板１上に硬化性の樹脂等で作製してもよい。
【００３９】
また、水平方向の位置は、サブキャリア７を固定する際、基板１上に形成されたマーカなどの何らかの位置基準を用いれば容易に±１０μｍ以内の精度で固定することができる。通常のチップマウンタで容易に行える作業である。あるいはフォトダイオード６からの出力電流をモニタしながら調心を行う、いわゆるアクティブ調心で固定してもよい。
【００４０】
一方、信号光用光導波路１０が反射板４に接する場所は、金反射膜４ｂがパターン化により取り除かれており低損失で通過する。このようにして、８チャネルの導波光の光強度をモニタすることができる。図１は８チャネルの例を示したものであるが、本構造によると、例えば３２ｃｈなどよりチャネル数の多いモニタ回路を１回の反射板４の挿入により作製することができるという特徴がある。
【００４１】
なお、信号光用光導波路１０とモニタ用光導波路２との間隔は、２５０μｍピッチ、各チャネル間は５００μｍピッチで設計した。この間隔については光導波路の設計で自由に変えることができる。
【００４２】
また、反射板４は、例えば、アレイ導波路格子の偏波無依存化等に用いる１／２波長板と同等のものであり、商品として十分な実績を持つ。
【００４３】
反射板４を溝３に挿入する際の溝内における位置精度は、モニタ用光導波路２に金反射膜４ｂがありさえすればよいため±５０μｍもあれば十分である。この程度の位置合わせは、反射板４と光導波路に何らかの印を設け顕微鏡で観察することにより容易に行える。
【００４４】
モニタ光を受光する受光部６ａには、受光径２００μｍで８ｃｈのフォトダイオードアレイを用いた。このフォトダイオードアレイは、ＡｕＳｎ半田によりサブキャリア７に背面を固定し、ワイヤボンディングによりサブキャリア７上の電極に各フォトダイオード素子上の電極を取り出している。これらフォトダイオードアレイ素子のサブキャリア７への固定、並びにフォトダイオード素子付きサブキャリア７の光導波路基板上への実装における調心方法は、各々に形成したマーカを用いてもよいし、サブキャリア７の角のような外形的な基準点を用いてもよい。
【００４５】
この実装精度は、±１０μｍで全く問題ないため通常のチップマウンタで行うことができる。光導波路側の都合により、例えば、隣接チャネル間の光クロストークを極めて低く抑えるために、モニタ用光導波路２のチャネル間距離を変える時には、アレイではなく単体のフォトダイオード素子を個々にサブキャリア７上に所望の間隔で実装してもよい。この作業もチップマウンタで容易に行える作業であり、サブキャリア７に固定した後は、通常のアレイ素子のように一括でハンドリングすることが可能である。
【００４６】
以上のように、多チャネルモニタモジュールの作製が、アレイ素子実装を用いることにより多チャネル分１度に行うことができる。
【００４７】
このような光モニタ用モジュールにおいて、１．５５μｍで信号光用光導波路における反射板の透過時における過剰損失は、０．２ｄＢと極めて低く抑えられた。また、モニタ光として取り出した光は、ほとんど損失無しに受光することができた。
【００４８】
またさらに、光導波路の回路構成については、任意の構成が可能であり、図１に示した光導波回路に限られるわけではない。例えば、光カプラが波長の違いに基づき分岐するＷＤＭカプラであってもよい。あるいは光入力部側にアレイ導波路格子（ＡＷＧ）のような回路が加わっていても良い。光カプラが基板上になく、他の基板にであってもよい。さらには、光カプラが基板外で光ファイバ型のもので構成されていても良い。
【００４９】
以上、ＰＤアレイ素子を樹脂封止する例を示したが、ＰＤ素子またはＰＤアレイ素子を缶封止等により気密封止したものを用いるとさらに信頼性を向上することができる。また、本実施例１では、溝３を基板１の表面と垂直な方向から略３０度傾けて作製した例を示したが、この傾斜角度は溝の加工のしやすさや実装形態により、略２０度から略５０度の範囲内で調製することが可能である。
【実施例２】
【００５０】
図５は、本発明に係る光導波回路の実施例２を説明するための構成図で、３波長のトランシーバモジュールに用いた例を示している。図中符号２１は基板（Ｓｉ）、２２は石英系の光導波路、２３は反射板挿入用の溝（垂直方向から４０度傾けている）、２４は反射板（ポリイミド）、２６はフォトダイオード（ＰＤ）、２６ａは受光部、３１は第１の波長フィルタ、３２は第２の波長フィルタ、３３はレーザダイオード（ＬＤ）、３４は素子実装部（光導波路のクラッドをエッチングしたもの）を示している。
【００５１】
この動作の概略は次の通りである。左上の光入出力部へは局側から波長１．４９μｍ及び１．５５μｍの光信号が入力する。このうち波長１．５５μｍの光は、第１の波長フィルタ３１により受信ポート１へ分波される。さらに波長１．４９μｍの光は、第２の波長フィルタ３２により受信ポート２へ分波される。ここで受信ポート１，２に対しては、実施例１で説明したような、斜めの反射板挿入用の溝２３がダイシングされ、その溝２３には、図６に示すような反射板２４が挿入されており、一部に金反射膜２４ｂが形成されてモニタ光を反射し、信号光の透過する部分を、表面の金反射膜２４ｂのみを除去し、ポリイミド膜４ａが見えるようにした。
【００５２】
一方、右側には、１．３１μｍのファブリペロレーザ素子３３が表面実装により実装されており、１．３１μｍの光を出射する。この１．３１μｍの光は、第１及び第２の波長フィルタ３１，３２の透過域であるため低損失で透過し、さらにポリイミド反射板２３も透過する。以上の構成で、波長１．３１μｍの光信号をトランシーバから局側へ、波長１．４９μｍ、１．５５μｍの光信号を局側からトランシーバ側へ伝送するトランシーバを実現している。光信号速度は３波長共に１Ｇｂｉｔ／ｓである。
【００５３】
ここで光導波路は、基板２１上に比屈折率０．４５％で作製されている石英系ガラスの光導波路２２を用いている。また、第１及び第２の波長フィルタ３１，３２については、従来の光トランシーバなどでも十分に実績のある、ポリイミド膜上に誘電体多層膜を製膜して作製した波長フィルタを用いている。ここで光導波路を横切り、光導波路面に垂直な幅２０μｍ、深さ１００μｍの溝２３をダイシングにより形成し、その溝２３に厚さ２０μｍの波長フィルタ３１，３２を挿入している。また、ＬＤ３３の実装についても従来の光トランシーバ等で用いられている表面実装技術を用いている。
【００５４】
すなわち、ＬＤ３３の実装部のオーバークラッドを上部から反応性イオンエッチングにより基板２１をエッチングストップ層として削り光導波路端面を露出させた後に、素子搭載部にＬＤ３３の固定と電極取り出しに必要な、金配線とＡｕＳｎ層を各々パターン化する。その後、ＬＤ３３をマーカによる位置合わせで光軸を合わせてＡｕＳｎ半田により表面実装している（例えば、非特許文献２参照）。
【００５５】
図７は、反射板と上部に反射された信号光を受光するためのフォトダイオードの実装構造の拡大図で、図中符号２２は光導波路、２２ａはコア、２２ｂはクラッド、２４ａはポリイミド膜、２４ｂは金反射膜、２５はシリコーン樹脂、２７はサブキャリア、２８はワイヤボンダ、２９はサブキャリアの位置決め用突起を示している。なお、図５と同じ機能を有する構成要素には同一の符号を付してある。
【００５６】
実施例１の光モニタと異なり、この光トランシーバでは１Ｇｂ／ｓの信号光を受信する必要があり、受光径８０ｍｍのＰＤ２６を用いて受光帯域を２．５Ｇｂ／ｓに拡大している。ちなみに光モニタなどで用いられるＰＤ２６の受光径は、例えば、３００ｍｍ、帯域は３０ＭＨｚ程度である。このように受光径が小さくなると実施例１のように反射板２４の角度が略３０度では、わずかな反射板２４の角度ずれ等で光軸がずれ受光感度が劣化するという問題があった。
【００５７】
そのため、図７では、反射板２４の角度θが略４０度となるように反射板挿入用の溝２３をダイシングしている。このように溝２３の角度が基板面に対して垂直からの傾きが大きくなるほど、図７に示したようにダイシング時の表面荒れ、鋭角部のチッピングなどが増加する。しかし、反射板２４自体が反射媒体であるため、樹脂封止することにより散乱などの悪影響は回避できる。
【００５８】
このように反射板２４の角度を大きくすることにより、反射板２４からＰＤ２６までの距離をより近づけることができビーム広がりを防ぎ、またＰＤ２６への入射角度がより垂直に近づいたことによりビームがより円形に近い状態で受信することができ、図２に比べてより小さい受光径のＰＤに対応可能になっている。このＰＤ２６の受光感度から算出した過剰損失は０．３ｄＢ程度であった。
【００５９】
本実施例２においては、１．４９ｍｍ、１．５５ｍｍの信号を共に反射板２４によって上部に跳ね上げ面型ＰＤ２６で受信する例を示したが、その他種々の構成が可能である。例えば、１．４９ｍｍに対応する受信ポート２に対応する場所の金反射膜２４ｂを除去して透過させ、受信用ＰＤ２６を表面実装する、あるいは基板２１の端面まで光導波路で導波させた後、光ファイバピグテイルの気密封止ＰＤモジュールに接続することもありうる。反射板２４は、金反射膜２４ｂのパターニングを用いているため、その横切る光導波路のうちどの光導波路の光を上部への反射し、どの光導波路の光を透過させるかは任意であることに特徴がある。そのため上述した構成に限定されるものではなく、任意の設計、任意のレイアウトの光導波回路への応用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る光導波回路の実施例１を説明するための構造図である。
【図２】図１のＡ-Ａ’線断面図である。
【図３】実施例１に用いられる反射板の構成図である。
【図４】実施例１に用いられる反射板の他の構成図である。
【図５】本発明に係る光導波回路の実施例２を説明するための構成図である。
【図６】実施例２に用いられる反射板の構成図である。
【図７】反射板と上部に反射された信号光を受光するためのフォトダイオードの実装構造の拡大図である。
【図８】従来の光導波回路を説明するための構成図である。
【符号の説明】
【００６１】
１，２１  基板（Ｓｉ）
２，２２  石英系の光導波路
２ａ，２２ａ  コア
２ｂ，２２ｂ  クラッド
３，２３  反射板挿入用の溝
４，２４  反射板（ポリイミド）
４ａ，２４ａ  ポリイミド膜
４ｂ，２４ｂ  金反射膜
５、２５  シリコーン樹脂
６，２６  フォトダイオード（ＰＤ）
６ａ，２６ａ  受光部
７，２７  サブキャリア
８，２８  ワイヤボンダ
９，２９  サブキャリアの位置決め用突起
１０  信号光用光導波路
１１  光カプラ
３１  第１の波長フィルタ
３２  第２の波長フィルタ
３３  レーザダイオード（ＬＤ）
３４  素子実装部
４１  基板（Ｓｉ）
４２  石英系の光導波路
４２ａ  コア（信号光用光導波路）
４２ｂ  クラッド
４３  反射板挿入用の溝
４４  反射板（反射フィルタ）
４４ａ  ポリイミド膜
４４ｂ  誘電体多層膜
４５  シリコーン樹脂
４６  フォトダイオード
４６ａ  受光部
４７  サブキャリア
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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