(57)【要約】      （修正有）【課題】セラミックグリーンシートの伸びを防止でき、且つキャリアフィルムから破損・変形させることなく確実に剥離できるグリーンシートの熱圧着方法。【解決手段】矩形状のセラミックグリーンシート２を下面で保持したキャリアフィルム１２を、上パンチ部１３を下パンチ部１４側へ加圧することによりセラミックグリーンシート２を被積層体１１の上面に熱圧着し、しかる後、セラミックグリーンシート２の四隅部近傍でキャリアフィルム１２に取着・固定させた４個のチャック部材１５のうち、セラミックグリーンシート２の一辺に沿って隣接配置された一対のチャック部材１５を静止させた状態で、残りの２個のチャック部材１５を一対のチャック部材１５側へ移動させることによってキャリアフィルム１２を残りの２個のチャック部材１５が取着されている側からセラミックグリーンシート２より線剥離させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形状の被積層体が載置されている熱圧着装置の下パンチ部と上パンチ部との間で、前記被積層体の上方に、矩形状のセラミックグリーンシートを下面で保持したキャリアフィルムを配置させるとともに、前記下パンチ部及び上パンチ部の少なくとも一方より熱を発しながら、上パンチ部を下パンチ部側へ加圧することにより前記セラミックグリーンシートを前記被積層体の上面に熱圧着せしめ、しかる後、前記セラミックグリーンシートの四隅部近傍で前記キャリアフィルムに取着・固定させた４個のチャック部材のうち、キャリアフィルム進行方向に直角もしくは平行なセラミックグリーンシートの一辺に沿って隣接配置された一対のチャック部材を静止させた状態で、残りの２個のチャック部材を前記一対のチャック部材側もしくは上方へ移動させることによって前記キャリアフィルムを前記残りの２個のチャック部材が取着されている側からセラミックグリーンシートより線剥離させるようにしたことを特徴とするセラミックグリーンシートの熱圧着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミックグリーンシートの熱圧着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
たとえば積層セラミックコンデンサのような積層セラミック電子部品を製造する場合、キャリアフィルム上にセラミックスラリーを塗布・乾燥させ、セラミックグリーンシートを形成し、キャリアフィルムによって保持されたままのセラミックグリーンシートに内部電極となるべき導電膜を形成し、その上にセラミックスラリーを塗布してセラミックグリーンシートを形成した後、乾燥し所定寸法にカットし、キャリアフィルムによって保持したまま、このセラミックグリーンシートを、キャリアフィルムを介して他のセラミックグリーンシートに熱圧着させ、その後、キャリアフィルムだけを剥離する、といったいわゆる転写法を繰り返し、積層セラミック生成形体を得る。
【０００３】
次いで、この積層セラミック生成形体を所定の形状にカットした後、焼成の各ステップを実施し、積層セラミック焼結体を得る。
【０００４】
次いで、この積層セラミック焼結体に、端子電極を形成して、積層セラミック電子部品を得る。
【０００５】
このような従来の積層セラミック電子部品を得るために採用されているセラミックグリーンシートの熱圧着方法について図３を用いて説明する。
【０００６】
まず図３（ａ）に示すように、セラミックグリーンシート２が裏打ちされているキャリアフィルム３２が上パンチ３３及び下パンチ３４の間に搬送される。
【０００７】
次に、図３（ｂ）に示すように、セラミックグリーンシート２を被積層体１１に熱圧着する。
【０００８】
次に、図３（ｃ）に示すように、キャリアフィルム３２の一部を上パンチ３３に内蔵された吸引機構３３ａにより吸引しながら、上パンチ３３をキャリアフィルム３２より離間させることにより、キャリアフィルム３２をセラミックグリーンシート２より剥離させる。このとき、セラミックグリーンシートの一部のみ吸引する事で、キャリアフィルムには、直ちに湾曲部分が生じ、セラミックグリーンシートに対し線剥離の状態となり、キャリアフィルムから所定の大きさのセラミックグリーンシート２を破損・変形させることなく確実に剥離できる。
【０００９】
次に、図３（ｄ）に示すように、キャリアフィルム３２をセラミックグリーンシート２より離間させる。これらの工程を繰り返すことにより、積層体が抽出される大型積層体が形成される（特許文献１、２参照。）。
【特許文献１】特許第３２５３０２５号公報  （３−５頁、図１）
【特許文献２】特許第３３１７２９９号公報  （３−５頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上述した従来の熱圧着方法によれば、上パンチ３３に吸引機構３３ａを内蔵しているため、上パンチ３３に加熱機構を内蔵した場合、吸引機構とあいまって構造が複雑になるという問題点があった。
【００１１】
一方、下パンチ３４に加熱機構を内蔵した場合、被積層体１１が常に加熱されるため、セラミックグリーンシート２の伸びの原因となる問題点があった。
【００１２】
また、上パンチ３３に吸引機構３３ａを内蔵しているため、加圧が均一に行われないという問題点があった。
【００１３】
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、複雑な機構を用いることなく、加圧が均一に行われるとともに、セラミックグリーンシートの伸びを防止でき、且つキャリアフィルムから所定の大きさのセラミックグリーンシートを破損・変形させることなく確実に剥離できるセラミックグリーンシートの熱圧着方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明にかかるセラミックグリーンシートの熱圧着方法は、矩形状の被積層体が載置されている熱圧着装置の下パンチ部と上パンチ部との間で、前記被積層体の上方に、矩形状のセラミックグリーンシートを下面で保持したキャリアフィルムを配置させるとともに、前記下パンチ部及び上パンチ部の少なくとも一方より熱を発しながら、上パンチ部を下パンチ部側へ加圧することにより前記セラミックグリーンシートを前記被積層体の上面に熱圧着せしめ、しかる後、前記セラミックグリーンシートの四隅部近傍で前記キャリアフィルムに取着・固定させた４個のチャック部材のうち、キャリアフィルム進行方向に直角もしくは平行なセラミックグリーンシートの一辺に沿って隣接配置された一対のチャック部材を静止させた状態で、残りの２個のチャック部材を前記一対のチャック部材側もしくは上方へ移動させることによって前記キャリアフィルムを前記残りの２個のチャック部材が取着されている側からセラミックグリーンシートより線剥離させるようにしたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、隣接する一対のチャック部材を固定した状態で、他の一対のチャック部材を駆動することによって、キャリアフィルムをセラミックグリーンシートより線剥離させるため、上パンチに吸引機構を内蔵する必要がないことから、複雑な機構を用いることなく、加圧が均一に行われるとともに、キャリアフィルムから所定の大きさのセラミックグリーンシートを破損・変形させることなく確実に剥離できる。
【００１６】
また、下パンチに加熱機構を内蔵する必要がないため、セラミックグリーンシート２の伸びを防止できるという効果もある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
図１及び図２は本発明の熱圧着方法を説明するための図であり、同図に示されている熱圧着装置２０は、上パンチ部１３と、被積層体１１を支持する下パンチ部１４とを備え、上パンチ部１３と被積層体１１の間に、セラミックグリーンシート２が裏打ちされているキャリアフィルム１２を所定の方向へ搬送するようになっている。なお上パンチ部、下パンチ部の材質はＳＵＳを用いるが、本用途の加熱（６０〜１００℃）加圧（５０〜１５０Ｋｇｆ／ｃｍ２）等の負荷に耐えうる材質であれば転用は可である。
【００１９】
被積層体１１は、セラミックグリーンシート２と導体パターン３が交互に積層されている。
【００２０】
キャリアフィルム１２上にセラミックグリーンシート２が形成され、さらに上に導体パターン３がスクリーン印刷などで所定の位置に印刷して形成されている。
【００２１】
キャリアフィルム１２は、二軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルム（ポリエステルフィルム）または二軸延伸ポリプロピレンフィルムなどの硬質樹脂材料から形成された、長尺状のフィルムである。
【００２２】
セラミックグリーンシート２は、各種セラミック誘電体粉末、樹脂バインダー及び溶剤からなるスラリー状の組成物をコーティング法または印刷法により製膜することによりキャリアフィルム１２表面に形成される。このセラミックグリーンシート２の厚みは、たとえば１μｍ〜２０μｍ程度とされる。
【００２３】
また、セラミックグリーンシート１２の上面には、スクリーン印刷法などにより、Ｐｄ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｃｕなどの金属粉末を含む導電性ペーストが導体パターン３として形成される。
【００２４】
下パンチ部１４は、被積層体１１に接する表面を平坦にすることが好ましい。このとき、油圧サーボ、サーボモータなどにより、下パンチ部１４を上昇させ加圧する。また、上パンチ部１３を下降させ、加圧しても良く、あるいはこれらの組み合わせでも良い。また、上パンチ部１３、下パンチ部１４の少なくとも一方にはヒータが内蔵されており、加圧と同時に加熱が行われる。
【００２５】
以下、本発明の熱圧着方法について上述した熱圧着装置２０の動作に基づいて説明する。
【００２６】
まず、図１（ａ）に示すように、下パンチ部１４上に載置させた被積層体１１と上パンチ部１３との間に、セラミックグリーンシート２が裏打ちされているキャリアフィルム１２を、セラミックグリーンシート２の周囲に該当する４隅をチャック部材１５で固定することにより、キャリアフィルム１２が上パンチ部１３側となるように配置させる。
【００２７】
チャック部材１５の形状は、１ｃｍ×１ｃｍの正方形状の他、任意の形状が用いられる。
【００２８】
次に、図１（ｂ）に示すように、上パンチ部１３及び又は下パンチ部１４により加熱加圧することにより、セラミックグリーンシート２を被積層体１１に熱圧着させる。
【００２９】
次に、図１（ｃ）に示すように、上パンチ部１３を上昇させ、キャリアフィルム１２から離間させる。次に、図１（ｄ）、図２に示すように、隣接する一対のチャック部材１５ａ、１５ｂを固定した状態で、他の一対のチャック部材１５ｃ、１５ｄをキャリアフィルム１２の進行方向に駆動することによって、キャリアフィルム１２をセラミックグリーンシート２より線剥離させる。
【００３０】
次に、図１（ｅ）に示すように、下パンチ部１４を下降させ、キャリアフィルム１２から離間させる。このとき、キャリアフィルム１２の一部がセラミックグリーンシート２より線剥離しているため、キャリアフィルム１２からセラミックグリーンシート２を破損させることなく確実に剥離できる。また、上パンチ部１３の内部に吸引機構を設けるなど、複雑な機構を用いる必要がない。
【００３１】
これらの工程を繰り返すことにより、セラミックグリーンシート２と導体パターン３が交互に積層された大型積層体が形成される。
【００３２】
なお、本発明は以上の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更・改良を加えることは何ら差し支えない。
【００３３】
例えば、上述の実施形態では、キャリアフィルムをセラミックグリーンシートより線剥離させるのに、キャリアフィルム１２に取着・固定させた４個のチャック部材のうち、キャリアフィルム１２の進行方向に直角なセラミックグリーンシートの一辺に沿って隣接配置された一対のチャック部材を静止させた状態で、残りの２個のチャック部材を一対のチャック部材側へ移動させるようにしたが、これに代えて、キャリアフィルム１２の進行方向に平行なセラミックグリーンシートの一辺に沿って隣接配置された一対のチャック部材を静止させた状態で、残りの２個のチャック部材を一対のチャック部材側へ移動させるようにしても構わない。
【００３４】
また、キャリアフィルム１２をセラミックグリーンシート２より線剥離させるのに、チャック部材１５ａ、１５ｂを固定した状態で、残りの2個のチャック部材１５ｃ、１５ｄをキャリアフィルム１２の進行方向に移動させるようにしても良いし、チャック部材１５ｃ、１５ｄを固定した状態で、残りの２個のチャック部材１５ａ、１５ｂをキャリアフィルム１２の進行方向に対して垂直方向に移動させるようにしても良い。
【００３５】
更に、一対のチャック部材１５ａ、１５ｂを固定した状態で、他の一対のチャック部材１５ｃ、１５ｄを回転させながら移動させたり、上方へ移動させることにより線剥離させるようにしても良い。この場合、キャリアフィルム１２の進行方向における、チャック部材１５の寸法を例えば３ｃｍとするなど、大きめにすると良い。
【００３６】
また更に、セラミックグリーンシート２を台板上の被積層体１１に熱圧着せしめる工程と、熱圧着されたセラミックグリーンシート２上に導体パターン３を形成する工程を繰り返すようにしても良い。
【００３７】
更にまた、セラミックグリーンシート２は、誘電体以外のセラミックスでも良い。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の熱圧着方法を説明するための図であり、（ａ）セラミックグリーンシートが裏打ちされているキャリアフィルムを上パンチ及び下パンチの間に配置した状態を示す断面図、（ｂ）セラミックグリーンシートを被積層体に熱圧着した状態を示す断面図、（ｃ）上パンチをキャリアフィルムより離間させた状態を示す断面図、（ｄ）キャリアフィルムをセラミックグリーンシートより線剥離させた状態を示す断面図、（ｅ）キャリアフィルムをセラミックグリーンシートより離間させた状態を示す断面図である。
【図２】本発明の熱圧着方法を説明するための図であり、（ａ）、セラミックグリーンシートの周囲に該当する４隅をチャック部材で固定した状態を示す平面図、（ｂ）隣接する一対のチャック部材を固定した状態で、他の一対のチャック部材を駆動させた状態を示す平面図である。
【図３】従来の熱圧着方法を説明するための図であり、（ａ）セラミックグリーンシートが裏打ちされているキャリアフィルムを上パンチ及び下パンチの間に配置した状態を示す断面図、（ｂ）セラミックグリーンシートを被積層体に熱圧着した状態を示す断面図、（ｃ）キャリアフィルムの一部を吸引しながら、上パンチをキャリアフィルムより離間させることにより、キャリアフィルムをセラミックグリーンシートより線剥離させた状態を示す断面図、（ｄ）キャリアフィルムをセラミックグリーンシートより離間させた状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
２０・・・熱圧着装置
２・・・セラミックグリーンシート
３・・・導体パターン
１１・・・被積層体
１２・・・キャリアフィルム
１３・・・上パンチ部
１４・・・下パンチ部
１５・・・チャック部材
【図１】
2005217178.tif 000003
【図２】
2005217178.tif 000004
【図３】
2005217178.tif 000005