(57)【要約】【課題】半導体ウエーハの研磨を自動化して行う際、研磨後のウエーハの割れの有無をより短時間で検査し、アンローディング時間への影響が小さく、ウェーハの両面研磨をより効率的に行うことができる両面研磨装置及び割れ検査方法を提供する。【解決手段】半導体ウェーハの両面研磨装置であって、少なくとも、上下の定盤８ａ，８ｂと、各定盤に貼付された研磨布９ａ，９ｂと、研磨の際に前記上下の研磨布の間でウェーハＷを保持するキャリア４と、研磨前後のウェーハを搬送する搬送ロボット１３と、研磨後のウェーハを前記搬送ロボットにより保持した状態でウェーハの割れの有無を検査する手段１２とを備えているものであることを特徴とする両面研磨装置１。【選択図】図１
2005238405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハの両面研磨装置であって、少なくとも、上下の定盤と、各定盤に貼付された研磨布と、研磨の際に前記上下の研磨布の間でウェーハを保持するキャリアと、研磨前後のウェーハを搬送する搬送ロボットと、研磨後のウェーハを前記搬送ロボットにより保持した状態でウェーハの割れの有無を検査する手段とを備えているものであることを特徴とする両面研磨装置。
【請求項２】
前記ウェーハの割れの有無を検査する手段が、前記研磨後のウェーハの表面に光を当てる照明手段と、該ウェーハの画像を検出する画像検出手段と、該画像検出手段により得られた画像データを画像処理する画像処理手段と、該画像処理された画像の明暗により前記ウェーハの割れの有無を判定する判定手段とを有するものであることを特徴とする請求項１に記載の両面研磨装置。
【請求項３】
前記画像検出手段が、ＣＣＤカメラ又はビジコンカメラであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の両面研磨装置。
【請求項４】
前記ウェーハの割れの有無を検査する手段が割れを検出した場合に、該ウェーハを割れが検出されなかったウェーハとは別途回収する割れウェーハ回収手段及び／または前記搬送ロボットの動作を停止する手段が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の両面研磨装置。
【請求項５】
前記ウェーハの割れの有無を検査する手段が割れを検出した場合に、警報音を発する警報手段が設けられていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の両面研磨装置。
【請求項６】
両面研磨装置により半導体ウェーハを研磨した後、研磨後のウェーハの割れの有無を検査する方法であって、半導体ウエーハをキャリアにセットして上下の定盤にそれぞれ貼付された研磨布の間で保持し、研磨剤を供給するとともに上下の研磨布と摺接させて研磨を行い、研磨後のウエーハを搬送ロボットにより保持して前記キャリアから取り出した後、アンローディングステーションに搬送する前に、前記搬送ロボットにより保持した状態で前記ウエーハの割れの有無を検査することを特徴とする半導体ウエーハの割れの検査方法。
【請求項７】
前記半導体ウェーハを研磨した後、前記キャリアから取り出す前に、該ウェーハに水をかけること、下定盤を回転させること、及びキャリアを回転させることの少なくともいずれか１つの方法により、前記ウェーハの表面から研磨剤を除去することを特徴とする請求項６に記載の半導体ウエーハの割れの検査方法。
【請求項８】
前記半導体ウェーハの割れの有無の検査を、該ウェーハを垂直に又は傾斜して保持した状態で行うことを特徴とする請求項６又は請求項７に記載の半導体ウエーハの割れの検査方法。
【請求項９】
前記半導体ウェーハの割れの有無の検査を、該ウェーハの表面に光を当て、画像検出手段により得られた画像データを画像処理し、画像の明暗により前記ウェーハの割れの有無を検査することを特徴とする請求項６ないし請求項８のいずれか１項に記載の半導体ウエーハの割れの検査方法。
【請求項１０】
前記画像の明暗により前記ウェーハの割れの有無を検査する場合、該ウェーハの外縁部より内側に設定された円形又は楕円形の二重線の間の領域における明暗により割れの有無を検査することを特徴とする請求項９に記載の半導体ウエーハの割れの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウエーハ等の半導体ウエーハの両面研磨装置、及び半導体ウェーハを両面研磨した後、研磨後のウェーハの割れの有無を検査する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、シリコンウエーハ等の半導体ウエーハを研磨する装置として、片面研磨装置と両面研磨装置が使用されている。
一般的な両面研磨装置としては、図６及び図７に示すような遊星歯車機構を用いた、いわゆる４ウエイ方式の装置５０が知られている。
【０００３】
このような両面研磨装置５０によりシリコンウエーハＷを研磨する場合、キャリア５１に複数形成されたウエーハ保持孔５８にウエーハＷを挿入して保持する。そして、保持孔内のウエーハＷを研磨布５７ａ，５７ｂがそれぞれ貼付された上定盤５６ａ及び下定盤５６ｂで挟み込み、スラリー供給孔５３を通じて研磨スラリーを供給するとともに、キャリア５１をサンギヤ５４とインターナルギヤ５５との間で自転公転させる。これにより、各保持孔内のウエーハＷの両面を同時に研磨することができる。
【０００４】
また、他の形態の両面研磨装置として、例えば、図８及び図９に示されるように、上下の定盤３６ａ，３６ｂ（研磨布３７ａ，３７ｂ）の間に挟まれたキャリア３１を自転させずに小さな円を描くように揺動させる装置３０が知られている（特許文献１参照。）。保持孔３４を有するキャリア３１がキャリアホルダ３８に保持され、ホルダ３８の軸受部３９には偏心アーム４０が回転自在に挿着されている。
【０００５】
研磨の際、全ての偏心アーム４０をタイミングチェーン４２を介して回転軸４１を中心に同期して回転させることにより、キャリアホルダ３８に保持されたキャリア３１が、自転せずに水平面内で小さな円を描くようにして円運動を行うことができる。このような、いわば揺動式の両面研磨装置３０であれば小型化することができるため、比較的狭いスペースで研磨作業を行うことができる。近年のウエーハの大口径化に伴い、揺動式の両面研磨装置３０が多く用いられるようになっている。
【０００６】
このような両面研磨装置３０による研磨手順をさらに具体的に説明すると、例えば２５枚のウエーハを収容したボックス（一般的に、ＦＯＳＢ、ＦＯＵＰなどと呼ばれている。）が自動搬送装置（ＡＧＶ等）によって所定の位置まで運ばれ、両面研磨装置３０のローディングステーション（ローダ部）に配置される。
【０００７】
次いで、ボックス内のウエーハを、キャリア３１の各保持孔３４内にセットした後、上下の定盤３６ａ，３６ｂ（研磨布３７ａ，３７ｂ）によりウエーハＷの両面を挟み込む。上下の定盤３６ａ，３６ｂを回転させるとともにキャリア３１を揺動させ、スラリー供給孔３３から研磨スラリーを供給する。スラリーは、キャリア３１のスラリー通過孔３５等を通じて下側の研磨布３７ｂにも達し、ウエーハＷの両面が研磨布３７ａ，３７ｂとそれぞれ摺接することにより同時に研磨される。所定の時間研磨を行った後、定盤３６ａ，３６ｂとキャリア３１の運動を停止する。そして、保持孔３４内のウエーハＷは、ウエット状態を保ちながらアンローディングステーション（アンローダ部）へと搬出され、回収用容器（水槽）内に回収される。
【０００８】
従来、キャリアの保持孔にウエーハをセットし、また、研磨後のウエーハをキャリアから回収する作業は人手により行われていた。しかし、近年では自動化が進み、ボックス内のウエーハのローディングや研磨後のウエーハのアンローディングなどが搬送ロボットにより自動的に行われるようになってきている。
【０００９】
例えば、揺動式の両面研磨装置では、機械的な位置決め機能（インデックス機能）を有するキャリアホルダとし、図９に示したような５つの保持孔３４を有するキャリア３１であれば、７２°ずつ回転させて位置決めすることで、各保持孔３４に対し搬送ロボットにより定位置でウエーハを１枚ずつ自動でセットすることができる。また、研磨後は、同様にキャリア３１を回転させることで、搬送ロボットによりウエーハＷを１枚ずつ取り出すことができる。
【００１０】
このように両面研磨装置の自動化が進んでいるが、例えば、ウェーハの一部が保持孔から飛び出した状態で研磨されてしまった場合など、研磨中にウェーハが割れることがある。このように割れが発生したウェーハは、もはや製品として使用できないので、取り除く必要がある。
そこで、研磨後のウェーハを搬送ロボットによりキャリアから取り出し、アンローディングステーションの回収用容器に回収する前にウェーハの割れを検査する工程が必要となる。
【００１１】
従来、ウェーハの割れを検査するには、作業員が目視で確認する方法のほか、光学センサー等を備えた割れ検査用のステーションを設置し、この検査用ステーションに研磨後のウェーハをセットして割れを検査する方法がある。
【００１２】
例えば、ウェーハの外周部の割れやキズを検査する方法として、回転テーブル上にウェーハを水平に載置して吸着保持し、ウェーハの外周部に光を照射することにより発生した回折光の強度に基づいてキズ等の欠陥を検出する方法が提案されている（特許文献２参照）。この方法によれば、回転テーブルを回転させることによってウェーハの全周を連続して検査することができるとされている。
【００１３】
しかし、このような検査方法を研磨後のウェーハの割れ検査に適用した場合、研磨後のウェーハを回転テーブルに一旦セットし、検査後、アンローディングステーションに搬送する必要がある。そのため、ウェーハの搬送回数が多くなり、従って、研磨後、ウェーハをアンローディングステーションの回収用容器に搬送するまでの時間が長くなり、生産性が低下するという問題がある。
また、検査用の回転テーブル等によってウェーハが汚染されるおそれもある。
【００１４】
【特許文献１】特開平１０−２０２５１１号公報
【特許文献２】特開２００１−１１８８９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
そこで、本発明は、半導体ウエーハの研磨を自動化して行う際、研磨後のウエーハの割れの有無をより短時間で検査し、アンローディング時間への影響が小さく、ウェーハの両面研磨をより効率的に行うことができる両面研磨装置及び割れ検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明によれば、半導体ウェーハの両面研磨装置であって、少なくとも、上下の定盤と、各定盤に貼付された研磨布と、研磨の際に前記上下の研磨布の間でウェーハを保持するキャリアと、研磨前後のウェーハを搬送する搬送ロボットと、研磨後のウェーハを前記搬送ロボットにより保持した状態でウェーハの割れの有無を検査する手段とを備えているものであることを特徴とする両面研磨装置が提供される（請求項１）。
【００１７】
このように研磨前後のウェーハを搬送する搬送ロボット等のほか、研磨後のウェーハを搬送ロボットにより保持した状態でウェーハの割れの有無を検査する手段を備えた両面研磨装置とすれば、研磨後のウェーハをアンローディングステーションに搬送する途中で、検査用のテーブル等に載置せずに、割れの有無を検査することができる。従って、この両面研磨装置を用いれば、研磨後のウェーハの割れの有無をより短時間で検査することができ、テーブル等により汚染されることもなく、両面研磨を極めて効率的に行うことができ、研磨工程全体の自動化にも資することになる。
【００１８】
前記ウェーハの割れの有無を検査する手段は、前記研磨後のウェーハの表面に光を当てる照明手段と、該ウェーハの画像を検出する画像検出手段と、該画像検出手段により得られた画像データを画像処理する画像処理手段と、該画像処理された画像の明暗により前記ウェーハの割れの有無を判定する判定手段とを有するものとすることができる（請求項２）。
割れを検査する手段が、上記のような照明手段と、画像検出手段と、画像処理手段と、判定手段とを有するものであれば、研磨後のウェーハを搬送ロボットにより保持したままの状態でも、画像の明暗によりウェーハの割れを確実に検出することができる。
【００１９】
この場合、前記画像検出手段は、ＣＣＤカメラ又はビジコンカメラであることが好ましい（請求項３）。
例えばＣＣＤカメラ、又はビジコンカメラであれば、ウェーハ表面の画像を鮮明にとらえ、割れの有無をより確実に判定することができる。また、これらのカメラは小型なので、両面研磨装置も小型化することができる。
【００２０】
また、前記ウェーハの割れの有無を検査する手段が割れを検出した場合に、該ウェーハを割れが検出されなかったウェーハとは別途回収する割れウェーハ回収手段及び／または前記搬送ロボットの動作を停止する手段が設けられていることが好ましい（請求項４）。
このように割れウェーハ回収手段や、搬送ロボットの動作を停止する手段が設けられていれば、割れが検出されたウェーハと、割れの無い正常なウェーハとを区別して回収することができ、割れが生じたウェーハを確実に取り除くことができる。
【００２１】
また、前記ウェーハの割れの有無を検査する手段が割れを検出した場合に、警報音を発する警報手段が設けられたものとすることもできる（請求項５）。
このような警報手段が設けられていれば、作業員が常に監視していなくても、ウェーハに割れが生じたことを作業員に確実に知らせることができ、装置の運転を停止するなど、その後の対策を適切にとることができる。
【００２２】
さらに本発明によれば、両面研磨装置により半導体ウェーハを研磨した後、研磨後のウェーハの割れの有無を検査する方法であって、半導体ウエーハをキャリアにセットして上下の定盤にそれぞれ貼付された研磨布の間で保持し、研磨剤を供給するとともに上下の研磨布と摺接させて研磨を行い、研磨後のウエーハを搬送ロボットにより保持して前記キャリアから取り出した後、アンローディングステーションに搬送する前に、前記搬送ロボットにより保持した状態で前記ウエーハの割れの有無を検査することを特徴とする半導体ウエーハの割れの検査方法が提供される（請求項６）。
【００２３】
このように研磨後のウエーハを搬送ロボットにより保持してキャリアから取り出した後、アンローディングステーションに搬送する前に、搬送ロボットにより保持した状態でウエーハの割れの有無を検査すれば、検査用のテーブル等にウェーハを載置せずに、短時間で割れの有無を検査することができるし、ウェーハを汚染することもない。従って、研磨作業を効率的に行うことができ、自動化に大いに資することができるとともに、ウェーハ品質を向上させることができる。
【００２４】
この場合、前記半導体ウェーハを研磨した後、前記キャリアから取り出す前に、該ウェーハに水をかけること、下定盤を回転させること、及びキャリアを回転させることの少なくともいずれか１つの方法により、前記ウェーハの表面から研磨剤を除去することが好ましい（請求項７）。
研磨後のウエーハの表面に研磨剤の泡が付着している場合、割れの誤検出を招くおそれがあるが、予め水をかけるなどして研磨剤を除去すれば、そのような誤検出を防ぐことができる。
【００２５】
前記半導体ウェーハの割れの有無の検査を、該ウェーハを垂直に又は傾斜して保持した状態で行うことが好ましい（請求項８）。
このようにウェーハを垂直に又は傾斜して保持した状態とすれば、表面に付着している研磨剤や水が滴り落ち、誤検出をより確実に防ぐことができる。
【００２６】
前記半導体ウェーハの割れの有無の検査を、該ウェーハの表面に光を当て、画像検出手段により得られた画像データを画像処理し、画像の明暗により前記ウェーハの割れの有無を検査することが好ましい（請求項９）。
このようにウェーハの表面に光を当てれば、割れた箇所の明暗がよりはっきりするので、割れの有無をより確実に判定することができる。
【００２７】
前記画像の明暗により前記ウェーハの割れの有無を検査する場合、該ウェーハの外縁部より内側に設定された円形又は楕円形の二重線の間の領域における明暗により割れの有無を検査することが好ましい（請求項１０）。
【００２８】
研磨後のウェーハに割れが発生していれば、ほとんどの場合、上記のように設定した二重線の間の領域に反映されるので割れを検出することができ、また、検査領域が狭いので、より短時間で検査することができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、研磨後の半導体ウェーハの割れの有無の検査をアンローディングステーションに搬送する前に、ウェーハを搬送ロボットで保持した状態で行うことができるため、検査用のテーブル等に載置することなく、短時間で効率的に検査を行うことができる。従って、研磨工程で割れが発生したウェーハを迅速かつ確実に判別することで研磨作業を効率的に行うことができ、両面研磨工程の自動化に大いに資するとともに、ウェーハの高品質化もはかることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の好適な態様として、シリコンウエーハを両面研磨する場合について添付の図面に基づいて具体的に説明する。
図１は本発明に係る両面研磨装置の一例を示している。この両面研磨装置１には、研磨装置本体（研磨部）２のほか、ローディングステーション（ローダ部）１０、アンローディングステーション（アンローダ部）１６、研磨前後のウエーハを搬送する搬送ロボット１３等が設けられている。
【００３１】
なお、装置本体２は、偏心アーム７、キャリアホルダ３等を有する揺動式のものであり、図４に示したように、上下の定盤８ａ，８ｂ、各定盤８ａ，８ｂに貼付された研磨布９ａ，９ｂ、スラリー供給手段３３、キャリア４等を具備し、キャリア４には、ウェーハ保持孔５のほか、スラリー通過孔６が形成されている。また、装置本体２は、キャリア４を揺動させるほか、回転（自転）させることもできるインデックス機能を有している。
【００３２】
さらに、この装置１には、研磨後のウェーハを搬送ロボット１３により保持した状態でウェーハの割れの有無を検査する手段（割れ検査手段）１２が備えられている。
図３は、割れ検査手段１２の構成の一例を示している。この割れ検出手段１２は、研磨後、搬送ロボット１３により保持されたウェーハＷの表面に光を当てる照明手段（白色蛍光灯）２２と、該ウェーハＷの画像を検出する画像検出手段（ＣＣＤカメラ）２１と、該画像検出手段２１により得られた画像データを画像処理する画像処理手段（コンピュータ、モニター）２３と、該画像処理された画像の明暗によりウェーハＷの割れの有無を判定する判定手段（判定回路）２４を有している。
なお、各手段は上記のものに限定されず、例えば画像検出手段２１としては、ビジコンカメラ等を使用することもできる。
【００３３】
次に、図２に示した研磨工程の一例等も参照しつつ、シリコンウエーハの研磨を行い、研磨後のウェーハの割れを検査する手順について説明する。
【００３４】
まず、図１に示したように、研磨すべきウエーハＷを収容したボックス１１がボックス自動搬送装置１４により運ばれ、ローダ部１０へと配置される。ボックス１１のローダ部１０への搬送方法は特に限定されるものではなく、床面上を自走する自走型搬送車（ＡＧＶ）により搬送する方式のほか、室内の天井部にレールを敷設し、レールに沿ってボックス１１を搬送する方式（ＯＨＴ）としても良い。
【００３５】
ローダ部１０に配置されたボックス１１は、オープナー等により蓋が開封される。そして、搬送ロボット１３によりボックス１１内のウエーハＷをキャリア４の保持孔５にセットする（図２の工程（Ａ））。
なお、搬送ロボット１３を、例えばウェーハＷの下面をすくい上げて保持するタイプの保持手段と、上面を吸着して保持するタイプの保持手段とを有するものとすれば、ボックス１１からウェーハＷの下面をすくい上げて取り出し、センタリングステージ１５に一旦載置した後、上面を吸着保持し直すことができる。このようにウェーハＷの上面を吸着保持すれば、キャリア４の保持孔内に確実にセットすることができる。
【００３６】
次いで、上定盤８ａを下降させて上下の定盤８ａ，８ｂにそれぞれ貼付された研磨布９ａ，９ｂの間でウェーハＷを保持する。そして、上下の定盤を所定の方向に回転させ、スラリー供給孔３３から研磨剤を供給するとともに保持孔内の各ウェーハＷを上下の研磨布９ａ，９ｂと摺接させて両面研磨を行う（図２の工程（Ｂ））。
【００３７】
所定の時間研磨を行った後、各定盤８ａ，８ｂの回転を停止する。停止後、上定盤８ａを上方に移動させ、研磨後のウエーハを搬送ロボット１３により保持してキャリア４から取り出すが、研磨後のウェーハＷの表面には研磨剤が付着しており、研磨剤の泡などが割れの誤検出を招くおそれがある。従って、ウェーハＷをキャリア４から取り出す前に、ウェーハＷの表面に付着している研磨剤を除去しておくことが好ましい（図２の工程（Ｃ））。
【００３８】
ウェーハＷの表面に付着している研磨剤は、ウェーハＷに水をかけること、下定盤８ｂを回転させること、及びキャリア４を回転させることの少なくともいずれか１つの方法により効果的に除去することができる。例えば、図４に示すように、ウェーハＷに対してノズル２０から水を噴射することにより表面の研磨剤の泡を効果的に除去することができる。なお、研磨後のウェーハＷに水をかける手段としては、研磨布９ａ，９ｂを保湿するために従来用いられている噴射ノズルを兼用しても良いし、上定盤９ａに設けられたスラリー供給孔３３を利用しても良い。
また、水はかけずに、あるいは水をかけた後、下定盤８ｂを回転させるか、キャリア４を回転させることによりウェーハＷの表面に付着している研磨剤や水を除去するようにしても良い。
【００３９】
研磨剤を除去した後、搬送ロボット１３によってウェーハＷを保持し、キャリア４から取り出す（図２の工程（Ｄ））。
前記したように、搬送ロボット１３に、ウエーハＷの表面を吸着するタイプの保持手段を設けておけば、研磨後のウェーハＷを確実に吸着保持してキャリア４から取り出すことができる。
【００４０】
次いで、アンローディングステーション１６に搬送する前に、搬送ロボット１３により保持した状態で割れ検査手段１２によりウエーハＷの割れの有無を検査する（図２の工程（Ｅ））。
検査を行う際は、図３に示したように、搬送ロボット１３により保持したままウェーハＷの表面に対し、照明手段２２により光を当てる。このとき、ウエーハＷを水平に保持すると、ウェーハ表面に水等が付着したままとなって誤検出を招くおそれがある。従って、水切りのため、ウェーハＷを垂直に（又は傾斜して）保持することが好ましい。
【００４１】
光が当てられたウェーハＷの表面をＣＣＤカメラ２１により撮影し、得られた画像データを画像処理するコンピュータ２３に送る。そしてコンピュータ２３により画像処理された画像をモニターに表示する。このとき、ウェーハＷに割れが生じていれば、割れの無い部分と割れている部分とでは画像の明暗に差（濃淡）が生じることになるので、明暗によりウェーハＷの割れの有無を確実に判定することができる。例えば、判定回路２４において、ウェーハ面内の他の領域よりも明るい領域がある場合に、「割れ有り」と判定するようにすれば良い（図２の工程（Ｆ））。
【００４２】
なお、検査領域はウェーハ全面としても良いが、外縁部は面取り加工が施されていたり、位置決め等のためのオリエンテーションフラット又はノッチが形成されており、これらの外縁箇所を「割れ」と誤認してしまうおそれがある。そこで、一部の領域、例えば、図５に示したように、ウェーハＷの外縁部より内側に設定された円形（又は楕円形）の二重線２７ａ，２７ｂの間の領域における明暗により割れの有無を判定することもできる。
【００４３】
ウェーハＷに割れが発生すると、多くの場合周辺からクラックが入るので、上記のように設定した二重線２７ａ，２７ｂの間の領域に割れが含まれることになり、また、二重線２７ａ，２７ｂの間の領域のみを検査対象領域とすれば、検査領域が狭いので、より短時間で確実に割れの有無を判定することができる。なお、二重線２７ａ，２７ｂは、ウェーハＷの周辺部に発生した小さな割れやカケも検出できるように、できるだけ大きな円形等に設定することが好ましいが、ウェーハＷの外縁部に近いほど、わずかにずれたときに外縁部を割れとして判定してしまうおそれがある。従って、例えばウェーハＷにノッチ２８が形成されている場合は、ノッチ２８よりも内側に二重線２７ａ，２７ｂの領域を設定することが好ましい。
また、二重線２７ａ，２７ｂの間の幅は適宜設定すれば良いが、例えば、１画素を１ｍｍ幅とした場合、５ｍｍ〜１０ｍｍ幅（５〜１０画素）に設定することができる。
【００４４】
上記のように研磨後のウェーハＷを搬送ロボット１３により保持した状態でウェーハＷの割れの有無を検査した後、ウェーハＷを回収するが、割れが検出されたウェーハＷは、割れが検出されなかったウェーハＷとは別途回収する手段を設けておくことが好ましい。
例えば、図１に示したように、アンローディングステーション１６における正規の回収用容器１７とは別に、割れウェーハ回収容器１９を設けておき、判定回路２４により割れがあると判定された場合、搬送ロボット１３がそのウェーハを割れウェーハ回収容器１９内に自動的に収容するように設定しておく。
あるいは、ウェーハの割れが検出された場合、搬送ロボット１３の動作を停止するように設定しておき、作業員がそのウェーハの割れを確認した上で回収容器１９に入れるか、あるいは手で回収するようにしてもよい。
【００４５】
さらに、図３に示したように、割れを検出した場合に、警報音を発する警報手段２５を設けておいても良い。このような警報手段２５を設けておけば、作業員が常に監視する必要がなくなるし、割れの発生を直ちに認識することができ、装置の運転を停止して原因を調査するなど、適切な措置を講ずることができる。
【００４６】
割れが検出されなかったウェーハは、搬送ロボット１３によりそのままアンローディングステーション１６の回収用容器（水槽）１７に収容する（図２の工程（Ｇ））。
そして、キャリア４の全てのウェーハについて、上記のように割れの有無を検査する（図２の工程（Ｈ））。
【００４７】
キャリア４の全ウエーハについて検査が終了したら、前記と同様にしてローダ部１０のボックス１１内から次のバッチのウェーハＷを取り出し、キャリア４にセットする。そして研磨を行った後、割れの有無を検査する。
【００４８】
同じボックス内の全てのウエーハＷが研磨され、回収用容器内１７に収容されたら、自動搬送装置（ＡＧＶ）１８により次工程（洗浄）へと運ばれる。
【００４９】
このように本発明に係る両面研磨装置１によれば、研磨後のウェーハを搬送ロボット１３により保持したままの状態でウェーハの割れの有無を検査する手段１２を備えているので、検査用のテーブル等に載置せずにウェーハの割れ検査を短時間で確実に行うことができる。また、研磨後、テーブル等に載置して汚染されることもない。従って、ウェーハを研磨した後、短時間で回収することができ、研磨作業を極めて効率的に行うことができるし、ウェーハ品質を向上させることができる。
【００５０】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は単なる例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【００５１】
例えば、研磨装置内の配置は、図１のものに限定されず、適宜設定すれば良い。また、搬送ロボットは、ローディング用とアンローディング用をそれぞれ別に設けてもよい。
また、本発明は、揺動式の両面研磨装置に限定されず、４ウエイ方式の両面研磨装置や、その他の方式のものにも適用することができる。
さらに、ウエーハの割れを検査する手段としては、光源としてＬＥＤを用い、フォトダイオード等の受光センサーで割れを検出する方式のものとすることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に係る両面研磨装置の一例を示す概略図である。
【図２】本発明に係る両面研磨工程の一例を示すフロー図である。
【図３】本発明に係る割れ検査手段の一例を示す概略構成図である。
【図４】水噴射ノズルの一例を示す概略図である。
【図５】割れ検査領域として設定した二重線の一例を示す概略図である。
【図６】４ウェイ方式の両面研磨装置の一例を示す概略図である。
【図７】遊星歯車構造を示す概略平面図である。
【図８】揺動式の両面研磨装置の概略図である。
【図９】揺動式の両面研磨装置におけるキャリアホルダの概略平面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…両面研磨装置、  ２…研磨装置本体、  ３…キャリアホルダ、  ４…キャリア、
５…保持孔、  ６…スラリー通過孔、  ７…偏心アーム、  ８ａ，８ｂ…定盤、
９ａ，９ｂ…研磨布、  １０…ローディングステーション（ローダ部）、
１１…ウエーハ収容ボックス、  １２…割れ検査手段、  １３…搬送ロボット、
１４…ボックス自動搬送装置、  １５…センタリングステージ、
１６…アンローディングステーション（アンローダ部）、
１７…回収用容器（水槽）、  １８…自動搬送装置、
１９…割れウェーハ回収用容器、  ２０…水噴射ノズル、
２１…画像検出手段（ＣＣＤカメラ）、  ２２…照明手段、
２３…画像処理手段（コンピュータ、モニター）、  ２４…判定手段（判定回路）、
２５…警報手段、  ２７ａ，２７ｂ…二重線、  ３３…スラリー供給孔、
Ｗ…ウエーハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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