(57)【要約】【課題】完全な開放状態においても、部分的開放状態においても対称な流れとなる、簡単且つ経済的に製造できる真空制御バルブを提供する。【解決手段】変位可能に閉塞部材６を支持する支持ユニット１３がバルブ本体１の貫通路２内に配置され、支持ユニット１３は、貫流路に対してシールされているチャンバ２８を有する。固定腕２６、２７の一方に通孔２９を備え、バルブ本体１の外方に位置する駆動ユニット９の出力軸１０は通孔２９及びバルブ本体１を貫通する孔により案内される。チャンバ２８は弁ロッド１８の孔１９及び中空部２０に連通して、弁ロッド１８とガイド連結部材２１との間で作用するシールリング２２によりシールされている。駆動ユニット９は出力軸１０及び回転可能に装着されたスピンドル１４を備える。スピンドル１４は、閉塞部材６を調節する作動部であり、孔１９内に配置された弁ロッド１８の雌ネジと協働する。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
貫流路を有するバルブ本体と；バルブシートに接触して前記貫流路を閉塞する真空制御バルブの閉塞位置とバルブシートから離間した真空制御バルブの開放位置との間の制御経路に亘って調節される閉塞部材と；駆動ユニットを備え、前記制御経路に亘って前記閉塞部材を調節する調節装置と；前記閉塞部材を支持し、該閉塞部材に対して移動可能に保持されている支持ユニットと；を有する真空制御バルブにおいて、
前記支持ユニットは貫流路内に配置されて、前記バルブ本体に固定されており、該支持ユニットはチャンバを備え、該チャンバは前記貫流路からシールされ、前記調節装置又は少なくとも前記調節装置の一部が配設されていることを特徴とする真空制御バルブ。
【請求項２】
前記支持ユニットのチャンバは、外気と連通し大気圧に維持されていることを特徴とする請求項１記載の真空制御バルブ。
【請求項３】
前記支持ユニットは、支持体と、該支持体を前記バルブ本体に固定する少なくとも一つの固定腕とからなり、該固定腕は通孔を備え、該通孔は一端が大気に連通し且つ大気圧とされ、他端は前記支持ユニットのチャンバに接続されていることを特徴とする請求項２記載の真空制御バルブ。
【請求項４】
前記支持ユニットは、少なくとも二つの固体腕を有し、該各固定腕は前記支持体の異なる場所に係合し、該支持体と前記バルブ本体との間に延出していることを特徴とする請求項３記載の真空制御バルブ。
【請求項５】
前記支持体は、前記貫流路の中央に配置されることを特徴とする請求項３記載の真空制御バルブ。
【請求項６】
前記閉塞部材は、少なくとも一つの弁ロッドを有し、該弁ロッドは前記調節装置の駆動部材と協働することを特徴とする請求項１記載の真空制御バルブ。
【請求項７】
前記弁ロッドは、貫流路の軸方向に延出していることを特徴とする請求項６記載の真空制御バルブ。
【請求項８】
前記弁ロッドは、前記支持ユニット内に又は支持ユニットのところで移動可能に支持されていることを特徴とする請求項６記載の真空制御バルブ。
【請求項９】
前記閉塞部材は、前記支持ユニットに対して前記弁ロッドの軸周りに回転するように固定されていることを特徴とする請求項８記載の真空制御バルブ。
【請求項１０】
前記支持ユニットは、前記閉塞部材の方向に延出するガイド連結部材を備え、前記弁ロッドは該ガイド連結部材内又はガイド連結部材のところで移動可能に支持されていることを特徴とする請求項８記載の真空制御バルブ。
【請求項１１】
前記支持ユニットのチャンバを貫流路に対してシールするシールリングが設けられ、該シールリングは前記弁ロッドをガイド連結部材に対してシールすることを特徴とする請求項１０記載の真空制御バルブ。
【請求項１２】
前記支持ユニットのチャンバを前記バルブ本体の貫流路に対してシールするベローズが設けられ、該ベローズは一端が前記支持ユニットに、他端が前記閉塞部材または前記弁ロッドに配置されていることを特徴とする請求項１０記載の真空制御バルブ。
【請求項１３】
前記弁ロッドは、その自由端に始まり軸方向に延出する孔を有し、該孔は一端が閉塞され、前記駆動ユニットに回動される駆動部材の雄ネジと係合する雌ネジを備えることを特徴とする請求項６記載の真空制御バルブ。
【請求項１４】
前記駆動部材は、前記支持ユニットのチャンバ内に配設されると共に、回転可能に前記支持ユニットに支持され、且つバルブ本体の外方に配置された前記駆動ユニットにより伝達部材を介して駆動されるスピンドルであることを特徴とする請求項１３記載の真空制御バルブ。
【請求項１５】
前記駆動部材は、前記支持ユニットのチャンバ内に配置された駆動ユニットの出力軸であることを特徴とする請求項１３記載の真空制御バルブ。
【請求項１６】
前記バルブシートは、前記バルブ本体に配置されていることを特徴とする請求項１記載の真空制御バルブ。
【請求項１７】
前記バルブシートは、前記バルブ本体が接合された真空室の壁面にフランジ接合されていることを特徴とする請求項１記載の真空制御バルブ。
【請求項１８】
前記閉塞部材は、前記真空制御バルブの閉塞位置において、前記バルブシートのシール面と接触する弾性のシールリングが配設されていることを特徴とする請求項１記載の真空制御バルブ。
【請求項１９】
前記閉塞部材は、前記貫流路の拡幅部内に配置されていることを特徴とする請求項１記載の真空制御バルブ。
【請求項２０】
前記閉塞部材は、前記バルブ本体の貫流路の外方に配置されていることを特徴とする請求項１記載の真空制御バルブ。
【請求項２１】
前記閉塞部材は、板状であり、その面に垂直方向に移動することを特徴とする請求項１記載の真空制御バルブ。
【請求項２２】
前記貫流路は、前記バルブ本体を直線状に貫通していることを特徴とする請求項１記載の真空制御バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空制御バルブに関し、より詳細には、貫流路を備えるバルブ本体と、バルブシートに接触して貫流路を閉塞する閉塞位置とバルブシートから離間した開放位置との間の制御経路に亘って調節可能な閉塞部材と、駆動ユニットを備え制御経路に亘って閉塞部材を調節する調節手段とを有する真空制御バルブに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空制御バルブを構成する種々の従来例がある。例えば、特許文献１は、バルブ本体を貫通する貫流路の軸に垂直に移動する板状の閉塞部材を有する真空制御バルブを開示している。この板状閉塞部材は貫流路の軸に平行する軸の周りを旋回する。旋回は板状閉塞部材の面内において行われる。貫流路は閉塞部材によって大きく又は小さく覆われて、貫流路の流れを制御する。このバルブは完全にシールした状態を有し、この状態においては、閉塞部材は完全に通路を覆い、貫流路内を移動可能に支持された環状のシール部材が閉塞部材に対して調節される。
【０００３】
かかる真空制御バルブにおいては、制御領域の開口部が貫流路軸に対して対称ではないので、バルブを流通するガスの流れが非対称となり、半導体技術のような種々の利用分野においては好ましくない。
【０００４】
特許文献２は、対称な流れとなる実施例を含む制御バルブを示し、記載している。この目的のため、帯状あるいは板状の部材が同時に移動して、貫流路断面が反対側から同時に狭められ貫流路の開口は貫流路軸に対して対象となる。このバルブの不都合な点は、同時に移動して貫流路を狭める部材のため、バルブが比較的大きい構造（貫流路開口の軸に対して垂直方向に）となることである。更に、このバルブには完全なシール状態がない。
【０００５】
バルブ本体の貫流路が９０°屈曲しているコーナーバルブも知られている。バルブ本体内を移動可能に支持され、シールされた挿通装置を介してバルブ本体の外部に導出されるロッドに閉塞部材が装着される。ロッド及びロッドに装着された閉塞部材を移動する駆動ユニットはバルブ本体の外部に配設される。この種のコーナバルブは、例えば、特許文献３に記載されている。
【０００６】
特許文献４に開示されるバルブにおいては、バルブ本体内の貫流路は直線状ではなく、バルブ本体の入口及び出口の軸線が角度を有して配置されるバルブ本体の内壁中をカーブ又は屈曲して延びている。この内壁は閉塞部材により閉じられ、開放される貫流路開口を有する。閉塞部材は、挿通装置を介してバルブ本体外部に導出するロッドに固定されている。このバルブはバルブ本体の外部に配置された手動ハンドルにより開閉される。
【０００７】
特許文献５はバルブ本体を貫通する貫流路が直線状のパイプライン・バルブを開示している。貫流路内にバルブシートが配置され、バルブの閉じ状態において、バルブシートに対して閉塞部材が調節される。かかる目的のため、閉塞部材に二本のロッドが横方向に、貫流路の軸に平行に配設され、挿通装置を介してバルブ本体の穿孔を貫通している。バルブ本体に配設されたシリンダ内を移動するピストンがロッドの他端に固定される。シリンダはバルブ本体内の貫流路に囲まれた領域にある。このバルブは完全な開放状態と完全な閉塞状態のみを有している。それゆえ、制御バルブではない。
【特許文献１】ＵＳＰ５８７３５６２
【特許文献２】ＵＳ６３２５０９６Ｂ１
【特許文献３】ＤＥ−ＯＳ３４２２５８９
【特許文献４】ＵＳＰ１６９９２１７
【特許文献５】ＵＳＰ４５７７６５４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の目的の１つは、完全な開放状態においても、部分的開放状態においても対称な流れとなる真空制御バルブを提供するにある。
【０００９】
本発明の他の目的は、簡単且つ経済的に製造できる真空制御バルブを提供するにある。
【００１０】
本発明の他の目的は、有利な制御が行える真空制御バルブを提供するにある。
【００１１】
本発明の他の目的は、完全なシール状態を有する真空制御バルブを提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明による真空制御バルブは、貫流路を有するバルブ本体と、バルブシートに接触して前記貫流路を閉塞する真空制御バルブの閉塞位置とバルブシートから離間した真空制御バルブの開放位置との間の制御経路に亘って調節される閉塞部材と、駆動ユニットを備え、前記制御経路に亘って前記閉塞部材を調節する調節装置と、前記閉塞部材を支持し、該閉塞部材に対して移動可能に保持されている支持ユニットとを有する真空制御バルブにおいて、前記支持ユニットは貫流路内に配置されて、前記バルブ本体に固定されており、該支持ユニットはチャンバを備え、該チャンバは前記貫流路からシールされ、前記調節装置又は少なくとも前記調節装置の一部が配設されていることを特徴とする。
【００１３】
かかる真空制御バルブにおいては、バルブが部分的開放状態においても、完全な開放状態と同様に対称的な流れが達成できる。また、真空制御バルブの完全なシール状態も備えることができる。バルブは簡単な構造でコンパクトである。
【００１４】
本発明の詳細と更なる利点とを以下に図に示す実施例を参照して記載する。以下の記載から本発明の更なる目的が明らかとなるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
［実施例］
本発明による真空制御バルブの第１の実施例を図１乃至図７に示す。バルブは貫流路２を備えるバルブ本体１を有し、バルブ本体１は円筒状パイプ部材により形成され、該円筒状パイプ部材は直線状貫流路２の入口と出口を形成する二つの端部の環状フランジ３、４を備える。バルブ本体１は、例えば、一方のフランジ３を真空室５に、他方のフランジ４を図示しないポンプに結合する。
【００１６】
バルブは、更に、バルブの完全な閉塞位置（図７）と完全な開放位置との間で調節できるプレート状の閉塞部材６を有する。完全な閉塞位置において、閉塞部材６はバルブ本体１に配設されたバルブシート７に接触する。本実施例においては、バルブシート７は、特に、バルブ本体１の前端部に配設している。閉塞部材６の弾性シールリング８、例えばＶｉｔｏｎ（商品名）製リングが、バルブシート７のシール面に押圧される。シールリング８をバルブシート７に配置し、閉塞部材６にシール面を配置することも考えられ、原理的に可能である。
【００１７】
バルブの完全な閉塞状態においては、貫流路２は真空的密に閉塞部材６により閉塞される。閉塞部材６の完全閉塞位置と完全開放位置との間の調節経路はバルブの制御経路により形成され、それによってバルブの通路断面が制御されて変化する。
【００１８】
例えば、１０−６バールまたはそれ以下の真空範囲で生じ、過渡領域（＜１０−３）においても一部生じる、ガス分子の大きな平均自由行程を有するガス分子流は、本発明によるバルブにより有利に制御できる。
【００１９】
閉塞部材６を制御経路により調節するために、例えばステップモータやＡＣサーボモータあるいはＤＣサーボモータによって構成される駆動ユニット９を備える調節装置を有する。駆動ユニット９は、ギアユニットを介することも可能であるが、駆動ユニット９により回転する出力軸１０を有する。出力軸の端部にピニオン１１が配設され、該ピニオン１１は、支持ユニット１３に回動可能に装着されたスピンドル１４のピニオン１２に歯合する。スピンドル１４の回転支持はボールベアリング１５，１６によりなされる。スピンドル１４の回転軸は貫流路２の軸と平行に延出し、図に示す実施例においては２つの軸は一致している。スピンドル１４は、閉塞部材６に面する自由端に隣接する領域に沿って雄ネジを備える。
【００２０】
弁ロッド１８が、貫流路２の軸方向に延出するように閉塞部材６に配設される。弁ロッド１８は自由端から軸方向に延びる孔１９を有し、該孔１９は袋状で、スピンドル１４の雄ネジと協働する雌ネジを備える。更に、弁ロッド１８には、環状断面を有する中空部２０が形成される。この中空部２０は弁ロッド１８の自由端から始まり、軸方向に延びて孔１９を囲んでいる。支持ユニット１３は貫流路２の軸方向に延びるガイド連結部材２１を有する。ガイド連結部材２１は弁ロッド１８の環状断面の中空部２０に嵌入する。例えばＶｉｔｏｎ（商標）製の弾性シールリング２２が、中空部２０における弁ロッド１８の自由端に近接した径方向の外部境界壁に配設される。該シールリング２２はガイド連結部材２１の外部ジャケット面に接触し、ガイド連結部材２１を弁ロッド１８に対してシールする。これに代えて、シールリングをガイド連結部材２１の自由端近傍に配置して中空部２０の外壁内面に接触させることも可能である。
【００２１】
閉塞部材６はガイド連結部材２１と中空部２０とにより、支持ユニット１３に対して変位できるように支持されている。板状閉塞部材６がその面に垂直に、貫流路２の軸１７の方向に変位可能に装着されている。弁ロッド１８は、中空部２０の自由端領域において内部境界壁から径方向外方に突出する突出部２３を備えており、該突出部２３により中空部２０は狭幅とされている。該突出部２３は、ガイド連結部材２１の内壁にガイド連結部材２１の軸方向に延びる溝２４内に突出している。このように、閉塞部材６はバルブ本体１に対しての捩じり（回転）に対して固定されている。
【００２２】
変位可能に閉塞部材６を支持する支持ユニット１３がバルブ本体１の貫通路２内に配置され、バルブ本体１に固定される。支持ユニット１３は、貫流路２の中央に配置される支持体２５を有し、該支持体２５は対向する位置に固定腕２６，２７の一端が配置される。固定腕２６，２７の他端はバルブ本体１に固定される。このように、貫流路２は、ガイド連結部材２１を有する支持体２５と貫流路２の径方向に延出する固定腕２６、２７とからなる支持ユニット１３により架橋されている。支持体２５、固定腕２６、２７及びバルブ本体１は図に示す実施例のように一体に形成されている。
【００２３】
支持ユニット１３は、貫流路に対してシールされているチャンバ２８を有する。固定腕２６、２７の一方に通孔２９を備え、該通孔２９は一端がチャンンバ２８に開口し、他端はバルブ本体１を貫通する孔に接続して、バルブ本体１の外部の大気に開口する。そのため、チャンバ２８は通孔２９を介して大気に連通し、大気圧となる。バルブ本体１の外方に位置する駆動ユニット９の出力軸１０は通孔２９及びバルブ本体１を貫通する孔により案内される。
【００２４】
チャンバ２８は支持体２５の凹部からなる。ガイド連結部材２１は、閉塞部材６から遠方側の端部に環状フランジ３０を備え、該環状フランジ３０は、シールリング３１を介して支持体２５の凹部を閉鎖している。チャンバ２８は、更に、ガイド連結部材２１の内部と接続し、更に、チャンバ２８は弁ロッド１８の孔１９及び中空部２０に連通して、弁ロッド１８とガイド連結部材２１との間で作用するシールリング２２によりシールされている。本実施例においては、調節装置は、前述したような、駆動ユニット９からなり、駆動ユニット９は出力軸１０及び回転可能に装着されたスピンドル１４を備える。スピンドル１４は、閉塞部材６を調節する作動部であり、孔１９内に配置された弁ロッド１８の雌ネジと協働する。この調節装置の一部、すなわち、ピニオン１１を備える出力軸１０の前端部とスピンドル１４はチャンバ２８内に配置される。
【００２５】
駆動ユニット９の出力軸１０が回動すると、スピンドル１４が対応して回転し、スピンドル１４の前端が孔１９内にねじ込まれ、または孔１９から押し出される。このようにして、板状に構成された閉塞部材６は制御経路に沿ってそれ自身の面に垂直に変位し、必要なバルブの通路断面に調節でき、完全に閉塞されたバルブのシール状態とすることができる。
【００２６】
駆動ユニット９の制御に付いては、従来の方法で行うことができ、詳細に記述する必要はない。バルブの状態は、図示しない対応する位置表示装置により検知することもできる。
【００２７】
図８及び図９に示す実施例は、バルブ本体１の貫流路２に対するチャンバ２８のシールのためにベローズ３２（たとえば、膨張ベローズ、ダイアフラム・ベローズ、コルゲート・ベローズ）を備える点で前記の実施例とは異なる。ベローズ３２は、例えば溶接により、真空的密に支持ユニット１３に、例えば環状フランジ３０に、その一端を装着し、他端は閉塞部材６か弁ロッド１８に装着される。この場合、支持ユニット１３に対する捩じれ（回転）に対してはベローズによって固定するように閉塞部材６が固定される。図１〜図７に示す中空部２０相当する孔１９を囲む中空部は本実施例では排除できる。図８において、バルブ本体１がフランジで結合されている真空室５が概略的に示されている。貫流路２と連通する開口部３３が真空室５の室壁に配設される。室内に面する端面３４の端部が、ここに示す構成においては、最小流量断面を制御する制御エッジを形成する。
【００２８】
図１０に示す実施例は、バルブシート７が真空室５の壁３５に配置されている点が図８、図９の実施例と異なる。壁３５に、閉塞部材６のシールリング８と協働するシール面が備えられる。本実施例においては、バルブ本体１がフランジで固定されている真空室５の壁３５がバルブシートの領域において真空制御バルブの一部を形成する。
【００２９】
図１１に示す構造的変更例はバルブ本体１の貫流路２の内に、すなわち貫流路２の拡径部に、閉塞部材６が配置されている点に於いて、図１０の実施例とは異なる。バルブシート７はバルブ本体１に、特に貫流路２の拡径部の端面に、形成されている。該端面は貫流路２の軸１７に垂直に延びている。
【００３０】
図１２に示す構造的変更例は、駆動ユニット９が通孔２９内のコグベルト３６によりスピンドル１４を駆動する点において図８、図９に示す実施例とは異なる。本実施例においては、コグベルト３６が駆動ユニット９の駆動力をスピンドル１４に伝達する伝達部材を形成する。一側において駆動ユニット９に駆動されるピニオン３７はスピンドル１４の他側に配置されたピニオン３８と協働する。
【００３１】
図１３に示す構造的変更例においては、駆動ユニット９は支持ユニット１３のチャンバ２８に直接配置されている。駆動ユニット９の出力軸３９は自由端に近接する領域に雄ネジを備え、該雄ネジが弁ロッド１８の孔１９内に配置された雌ネジと歯合する。チャンバ２８は通孔２９を介して大気に連通している。
【００３２】
図１４〜図１６に示す実施例においては、支持ユニット１３のチャンバ２８は側壁４０、４１、底壁４２、天壁４３により画成されている。側壁４０、４１はバルブ本体１を貫通して、貫流路２を架橋しバルブ本体１の両側で溶接などにより固定される。天壁４３に中央開口が配設され、該開口は天壁４３にガイド連結部材４４の内部と連通する。弁ロッド１８の外周面と協働するシールリング４５がガイド連結部材４４の内壁に配置される。弁ロッド１８はガイド連結部材４４とシールリング４５とにより支持ユニットに軸方向に変位可能に支持され、シールされた直線的案内挿通装置を構成する。
【００３３】
駆動ユニット９はバルブ本体１の外方に配置され、外部ネジを備える出力軸４６はバルブ本体１の開口を介してチャンバ２８に突出している。出力軸４６上にはナット４７が配置されている。レバー４８が一端をナット４７に、他端を弁ロッド１８の自由端領域に関節状に結合されている。出力軸４６が回動すると、出力軸上をナット４７が移動し、レバー４８と弁ロッド１８により閉塞部材６が完全な閉塞位置（図１５）と完全な開放位置（図１４）との間を移動する。
【００３４】
図１７〜図１９に示す構造的変更例は、レバーに代えて連結リンク４９がナット４７に配設されている点が図１４〜図１６に示す構造的変更例とは異なる。該連結リンク４７はナット４７の移動に伴って変位される。連結リンク４９のリンク面５１上を転動するローラ５０が、弁ロッド１８の自由端に回転可能に装着されている。閉塞部材６は、連結リンク４９の移動に伴って図１８に示す位置から図１７に示す位置まで上昇する。図に示す本実施例においては、連結リンク４９が図１８に示す位置に戻ると、閉塞部材６は自重により降下する。連結リンク４９は両側にローラ５０と協働するリンク面を有することも考えられ可能である。
【００３５】
以上の記載及び図面が本発明についての記述であるが、本発明の思想及び技術範囲から逸脱せずに種々の変更案が実施可能であることは当該技術分野の技術者にとっては明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明による真空制御バルブの一実施例を示す斜視図である。
【図２】図１に示すバルブの他の視点からの斜視図である。
【図３】破線で概略を示す真空室に結合されたバルブの側面図である。
【図４】図３のＡ−Ａに沿った断面図である。
【図５】図４に示すバルブの完全開放状態を示す、Ｂ−Ｂに沿った断面図である。
【図６】図５に示すバルブの部分的開放状態（制御状態）を示す断面図である。
【図７】図５に示すバルブの完全閉じ状態すなわちシール状態を示す断面図である。
【図８】本発明による真空制御バルブの他の実施例の完全開放状態を示す断面図で、真空室及びその内部を破線により概略的に示す。
【図９】図８に示すバルブの完全閉じ状態を示す拡大断面図である。
【図１０】本発明による真空制御バルブの他の実施例を示す断面図で、部分的に示す真空室に結合された状態を示す。
【図１１】本発明による真空制御バルブの他の実施例を示す断面図である。
【図１２】本発明による真空制御バルブの他の実施例を示す断面図である。
【図１３】本発明による真空制御バルブの他の実施例を示す断面図である。
【図１４】本発明による真空制御バルブの他の実施例における完全開放状態を示す部分断面図である。
【図１５】図１４に示すバルブの完全閉じ状態を示す部分断面図である。
【図１６】図１５に示すバルブのＣ−Ｃに沿った断面図である。
【図１７】本発明による真空制御バルブの他の実施例の完全開放状態を示す断面図である。
【図１８】図１７に示すバルブの完全閉じ状態を示す断面図である。
【図１９】図１７に示すバルブのＤ−Ｄに沿った断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１・・・バルブ本体、２・・・貫流路、３、４・・・環状フランジ、５・・・真空室、６・・・閉塞部材、７・・・バルブシート、８・・・シールリング、９・・・駆動ユニット、１０、３９、４６・・・出力軸、１１、１２・・・ピニオン、１３・・・支持ユニット、１４・・・スピンドル、１５、１６・・・ボールベアリング、１７・・・貫流路軸、１８・・・弁ロッド、１９・・・弁ロッドの孔、２０・・・中空部、２１、４４・・・ガイド連結部材、２２・・・シールリング、２６、２７・・・固体腕、２８・・・チャンバ、２９・・・通孔、３２・・・ベローズ、３６・・・コグベルト、３７、３８・・・ピニオン、４７・・・ナット、４８・・・レバー、４９・・・結合リンク、５０・・・ローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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