(57)【要約】【課題】カセットと測定ステージの間で効率良く基板を搬送する簡易な構成の基板搬送装置を提供する。【解決手段】測定ステージ４の準備位置Ａに対して、一方側に受渡し位置Ｂを他方側に受取り位置Ｃを夫々設け、受渡し位置Ｂと受取り位置Ｃを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体１２に受渡し部材１３と受取り部材１４を夫々設け、移動体１２の移動により受渡し部材１３が受渡し位置Ａから基板Ｗを測定ステージ４に搬送するとともに、受取り部材１４が測定ステージ４から基板Ｗを受取り位置Ｃに搬送するようにした。【選択図】  図６
2005015069.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収納可能なカセットと検査装置の測定ステージとの間で基板を搬送する基板搬送装置において、測定ステージの準備位置に対して、一方側に第１の基板搬送アームによってカセットから取り出した基板を受け渡す受渡し位置を、他方側に測定ステージから取り出した基板を第２の基板搬送アームが受け取る受取り位置を、夫々等距離に設け、受渡し位置と受取り位置を結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に、受渡し位置から準備位置に往復移動される受渡し部材と準備位置から受取り位置に往復移動される受取り部材を夫々設け、移動体の移動により第１の基板搬送アームに保持された基板を測定ステージに搬送するとともに、測定ステージに保持された基板を受取り位置に搬送するようにし、測定ステージを準備位置において昇降する受渡し部材と受取り部材に干渉しないように形成したことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
カセットを受渡し位置の前側と受取り位置の前側に夫々載置し、受渡し位置と供給側カセットを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受渡し部材に基板を受け渡す第１の基板搬送アームを設け、受取り位置と収納側カセットを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受取り部材から基板を受け取る第２の基板搬送アームを設け、両基板搬送アームを受渡し位置と受取り位置において昇降する受渡し部材と受取り部材に干渉しないように形成したことを特徴とする請求項１記載の基板搬送換装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板や液晶表示基板などの基板を収納したカセットと検査装置の測定ステージとの間で搬送する基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板搬送装置はロボット（特許文献１）や搬送アーム（特許文献２，３）によりカセットから取り出した未検査の基板を検査装置の測定ステージに搬送し、検査装置による検査が完了すると、測定ステージから検査済みの基板を前記ロボットや搬送アームにより元のカセット又は他のカセットに収納するものが知られている。
特許文献２に記載された搬送アームは、基板をカセットと基板受け渡し位置とにわたって搬送する第１の基板搬送アームと、基板受け渡し位置と検査装置とにわたって基板を搬送する第２の基板搬送アームとから成り、第１の基板搬送アームによりカセットから取り出した基板を基板受け渡し位置で第２の基板搬送アームに受け渡し、その基板を第２の基板搬送アームが検査装置の測定ステージに搬送するようになっている。
特許文献３に記載された搬送アームは、門型をした回動アームに一対の搬送アームを組み付けたものであって、回動アームを前後左右に移動することでカセットから取り出した基板を検査装置の測定ステージに搬送するようになっている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−２１８１３１号公報
【特許文献２】
特開平７−７８８５９号公報
【特許文献３】
特開２００２−２６１１４４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来では、検査済みの基板をロボット等によって測定ステージからカセットに収納しないと、次に検査する基板をその測定ステージに搬送させることができない。そのために、検査装置の能率が向上しても基板一枚当たりの検査工程にかかる時間が長くなる。そこで、本発明の課題は、カセットと測定ステージの間で効率良く基板を搬送する簡易な構成の基板搬送装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題解決のため、本願では、複数の基板を収納可能なカセットと検査装置の測定ステージとの間で基板を搬送する基板搬送装置において、測定ステージの準備位置に対して、一方側に第１の基板搬送アームによってカセットから取り出した基板を受け渡す受渡し位置を、他方側に測定ステージから取り出した基板を第２の基板搬送アームが受け取る受取り位置を、夫々等距離に設け、受渡し位置と受取り位置を結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に、受渡し位置から準備位置に往復移動される受渡し部材と準備位置から受取り位置に往復移動される受取り部材を夫々設け、移動体の移動により第１の基板搬送アームに保持された基板を測定ステージに搬送するとともに、測定ステージに保持された基板を受取り位置に搬送するようにし、測定ステージを準備位置において昇降する受渡し部材と受取り部材に干渉しないように形成した。
【０００６】
具体的には、カセットを受渡し位置の前側と受取り位置の前側に夫々載置し、受渡し位置と供給側カセットを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受渡し部材に基板を受け渡す第１の基板搬送アームを設け、受取り位置と収納側カセットを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受取り部材から基板を受け取る第２の基板搬送アームを設け、両基板搬送アームを受渡し位置と受取り位置において昇降する受渡し部材と受取り部材に干渉しないようにした。
【０００７】
【発明の実施の形態】
実施の形態について図面を参照して説明する。図１〜３に示す基板搬送装置１は、複数の基板Ｗを収納可能なカセット２ａ，２ｂと検査装置３の測定ステージ４との間で基板Ｗを搬送するものである。検査装置３にはフォーサ５ａが前後左右に移動する平面サーボモータ５が配設され、フォーサ５ａの前端部に前方へ張出す測定ステージ４が設けられている。その測定ステージ４には、基板Ｗを保持するように複数の位置決め部材６が設けられている。本実施形態の検査装置３は、基板Ｗを準備位置Ａから測定位置Ａ１に移動させた後、測定ステージ４の上方に設置されたカメラ７によって基板Ｗの画像を取り込み、画像処理装置（図示しない）によって基板Ｗの検査を行うものである。測定ステージ４の準備位置Ａに対して、一方側に供給側カセット２ａから取り出した基板Ｗを受け渡す受渡し位置Ｂを、他方側に測定ステージ４から取り出した基板Ｗを受け取る受取り位置Ｃを、夫々等距離に設けてある。受渡し位置Ｂの前側と受取り位置Ｃの前側には夫々カセット置場８が設けてある。カセット置場８には複数の基板Ｗを収納可能な供給側カセット２ａ，収納側カセット２ｂが夫々載置されている。
【０００８】
測定ステージ４の前側にはアクチュエータ９がブラケット１０を介して設置され、アクチュエータ９の第１可動体９ａが受渡し位置Ｂと受取り位置Ｃを結ぶ方向へ移動するようになっている。第１可動体９ａにはロッド部１１ａが昇降可能なシリンダ１１が取り付けてあり、ロッド部１１ａには移動体１２が取り付けられている。移動体１２の両端側には、受渡し部材１３と受取り部材１４が前記準備位置Ａと受渡し位置Ｂ（受取り位置Ｃ）と等しい距離となるように夫々取り付けてある。このことから、第１可動体９ａが受渡し位置Ｂと受取り位置Ｃの間を往復移動することで、受渡し部材１３は受渡し位置Ｂと準備位置Ａとの間を往復移動し、受取り部材１４は準備位置Ａと受取り位置Ｃとの間を往復移動するようになっている。前記ロッド部１１ａは、図４（ａ）に示すように移動体１２を降下させた時には、受渡し部材１３と受取り部材１４が測定ステージ４より下側に位置し、図４（ｂ）に示すように移動体１２を上昇させた時には、受渡し部材１３と受取り部材１４が測定ステージ４より上側に位置するように設定されている。また、受渡し部材１３と受取り部材１４は、準備位置Ａで昇降させた時に測定ステージ４と干渉しないように、例えば互いに異なるフォーク状に形成されている。受渡し部材１３と受取り部材１４には基板Ｗを保持するように複数の位置決め部材１５が設けられている。
【０００９】
測定ステージ４の両側にはアクチュエータ１６，１７がブラケット１８を介して設置され、アクチュエータ１６，１７の第２可動体１６ａ，１７ａがカセット２の上端位置と下端位置とを結ぶ方向へ移動するようになっている。その第２可動体１６ａ，１７ａには支持部材１９を介してアクチュエータ２０，２１が取り付けられ、アクチュエータ２０，２１の第３可動体２０ａ，２１ａが前記第２可動体１６ａ，１７ａに対して垂直方向に移動するようになっている。第３可動体２０ａ，２１ａには移動体２２が取り付けてあり、その移動体２２には第１，２の基板搬送アーム２３，２４が取り付けられている。第１の基板搬送アーム２３は、受渡し部材１３を受渡し位置Ｂで昇降させた時に受渡し部材１３と干渉しないように、例えば互いに異なるフォーク状に形成されている。また、第２の基板搬送アーム２４は、受取り部材１４を受取り位置Ｃで昇降させた時に受取り部材１４と干渉しないように、例えば互いに異なるフォーク状に形成されている。第１，２の基板搬送アーム２３，２４には基板Ｗを保持するように複数の位置決め部材２５が設けられている。
【００１０】
前記第２可動体１６ａ，１７ａは、図５（ａ）に示すように、カセット２の最上段の基板Ｗを取り出し可能な高さ位置から順次基板Ｗを取り出し可能なように移動され、図２，３に示すように下端側に移動した時には、第１，２の基板搬送アーム２３，２４が受渡し位置Ｂ、受取り位置Ｃにおいて測定ステージ４と同一高さとなるように設定されている。また、第３可動体２０ａ，２１ａは、図３，図５（ａ）に示すように第３可動体２０ａ，２１ａが後端側に移動した時には、第１，２の基板搬送アーム２３，２４が受渡し位置Ｂ、受取り位置Ｃ或いは、受渡し位置Ｂ、受取り位置Ｃの上方空間に位置し、図５（ｂ）に示すように前端側に移動した時には、第１，２の基板搬送アーム２３，２４が受渡し位置Ｂ、受取り位置Ｃの前側にある供給側カセット２ａ，収納側カセット２ｂ内に挿入されるように設定されている。
【００１１】
次に、上記のように構成した基板搬送装置１による基板Ｗの搬送動作について説明する。検査装置３によって基板Ｗの検査が行われている時には、図１〜３に示すようにロッド部１１ａを降下して受渡し部材１３と受取り部材１４を測定ステージ４より下方に位置させてある。そして、第１可動体９ａを移動して受渡し部材１３を受渡し位置Ｂ、受取り部材１４を準備位置Ｃに移動させてある。また、第２可動体１７ａを下端側に移動して第２の基板搬送アーム２４を測定ステージ４と同一高さに移動させてある。この状態において、第２，３可動体１６ａ，２０ａによって第１の基板搬送アーム２３を所定の高さまで上昇させた後、供給側カセット２ａ内に挿入させる。第１の基板搬送アーム２３が未検査の基板Ｗ１の下側に移動した後、第２可動体１６ａによって第１の基板搬送アーム２３を僅かに上昇させると、第１の基板搬送アーム２３に設けた位置決め部材２５により未検査の基板Ｗ１が保持される。その状態で、第３可動体２０ａを後端側に移動して供給側カセット２ａから未検査の基板Ｗ１を取り出し、第２可動体１６ａを下端側に移動して第１の基板搬送アーム２３を測定ステージ４と同一高さに移動させ、受渡し位置Ｂに位置させる。
【００１２】
その後、検査装置３によって基板Ｗの検査が完了して測定ステージ４が測定位置Ａ１から準備位置Ａに移動すると、シリンダ１０により移動体１２を上昇させ、第１の基板搬送アーム２３から受渡し部材１３に未検査の基板Ｗ１が受け渡されるとともに、測定ステージ４から受取り部材１４に検査済みの基板Ｗ２が受け渡される。また、図６（ａ）の状態で、第１可動体９ａを受取り位置Ｃに向けて移動させる。図６（ｂ）に示すように受渡し部材１３が準備位置Ａの上方、受取り部材１４が受取り位置Ｃの上方に移動すると、シリンダ１０により移動体１２を降下させ、受渡し部材１３から測定ステージ４に未検査の基板Ｗ１が受け渡されるとともに、受取り部材１４から第２の基板搬送アーム２４に検査済みの基板Ｗ２が受け渡される。その後、第１可動体９ａを受渡し位置Ｂに向かって移動させる。測定ステージ４に保持された未検査の基板Ｗ１は準備位置Ａから測定位置Ａ１に移動した後、検査装置３によって検査される。また、第２の基板搬送アーム２４に保持された検査済みの基板Ｗ２は、前記検査が行われている間に第２，３可動体１７ａ，２１ａによって収納側カセット２ｂの所定位置に収納されるようになっている。そして、供給側カセット２ａに収納された未検査の基板Ｗ１がすべて収納側カセット２ｂに収納されるまで繰り返される。
【００１３】
このように、受渡し位置Ｂと受取り位置Ｃを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体１２に、受渡し位置Ｂと準備位置Ａとの間で往復移動する受渡し部材１３と準備位置Ａと受取り位置Ｃとの間で往復移動する受取り部材１４とを設けたことで、検査装置３によって基板Ｗの検査が完了すると、直ちに測定ステージ４から検査済みの基板Ｗ２を受取り位置Ｃへ搬出するとともに、次に検査する基板Ｗ１を受渡し位置Ｂから測定ステージ４に搬入することができる。また、カセット２ａ，２ｂと受渡し位置Ｂ、受取り位置Ｃとの間で基板Ｗを搬送させる第１，２の基板搬送アーム２３，２４を備えているので、検査装置３の検査時間を利用して、カセット２ａから未検査の基板Ｗ１を受渡し位置Ｂに搬送することができるとともに、受取り位置Ｃから検査済みの基板Ｗ２をカセット２ｂに収納することができる。よって、未検査の基板Ｗ１と検査済みの基板Ｗ２をほぼ同時に交換させることで、検査装置３の停止時間を短くでき基板Ｗ一枚当たりの検査工程にかかる時間を短くできる。
【００１４】
【発明の効果】
以上のように本願では、基準位置の測定ステージの一方側に受渡し位置を、他方側に受取り位置を、夫々等距離に設け、受渡し位置と受取り位置を結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受渡し部材と受取り部材を夫々設け、測定ステージと受渡し部材と受取り部材を、基準位置において受渡し部材と受取り部材が測定ステージに対して干渉しないようにしたので、移動体によって受渡し部材と受取り部材を昇降、移動させるのみで、測定ステージ上から検査済みの基板を取出すと共に未検査の基板を搬送でき、基板の着脱を瞬時に行うことができて装置の稼働率を向上できる。また、測定ステージ上への基板の着脱を移動体の昇降及び移動によって行えるので、装置の構成を簡易にでき、製造コストを低くできる。
【００１５】
更に、カセットを受渡し位置の前側と受取り位置の前側に夫々載置し、受渡し位置と供給側カセットを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受渡し部材に基板を受け渡す第１の基板搬送アームを設け、受取り位置と収納側カセットを結ぶ方向へ往復移動可能でかつ昇降可能な移動体に受取り部材から基板を受け取る第２の基板搬送アームを設け、両基板搬送アームを受渡し位置と受取り位置において昇降する受渡し部材と受取り部材に干渉しないようにしたので、検査作業中に、簡易な機構によりカセットから取り出した基板を受渡し部材に載置できると共に、簡易な機構により受取り部材上の基板をカセットに収納でき、基板の搬送を安価な装置で省力化できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のカセットと測定ステージとの間で基板を搬送する基板搬送装置の平面図である。
【図２】図１の正面図であって、検査装置を省略した図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図であって、検査装置を省略した図である。
【図４】準備位置において受渡し部材をシリンダにより昇降させた状態を示す図である。
【図５】第１の基板搬送アームの移動状態を示す図である。
【図６】受渡し部材と受取り部材の移動状態を示す図である。
【符号の説明】
１    基板搬送装置
２ａ  供給側カセット
２ａ  収納側カセット
３    検査装置
４    測定ステージ
１２    移動体
１３    受渡し部材
１４    受取り部材
２２    移動体
２３    第１の基板搬送アーム
２４    第２の基板搬送アーム
Ａ    準備位置
Ｂ    受渡し位置
Ｃ    受取り位置
Ｗ    基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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