(57)【要約】【課題】  欠陥等の形状或いは検査対象物における位置や配向によらず、検査対象物の欠陥等を検出するに最適な状態でのＸ線検査の可能なＸ線検査装置を提供する。【解決手段】  Ｘ線源とこのＸ線源に対峙させて設けられたラインセンサとの間に形成されるＸ線ビーム面を横切ってテーブルを移動させて該テーブル上に載置された検査対象物を透視検査するＸ線検査装置において、前記テーブルを、前記Ｘ線ビーム面と交差する軸を中心に傾斜可能に設けたことを特徴とする。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線源とこのＸ線源に対峙させて設けられたラインセンサとの間に形成されるＸ線ビーム面を横切ってテーブルを移動させて該テーブル上に載置された検査対象物を透視検査するＸ線検査装置において、
前記テーブルを、前記Ｘ線ビーム面と交差する軸を中心に傾斜可能に設けたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＸ線検査装置において、
更に前記テーブルを、前記Ｘ線ビーム面とのなす角度を調整可能に設けたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項３】
前記テーブルは、前記Ｘ線ビーム面を横切って移動可能に設けられた検査台に傾斜機構を介して任意の角度の傾斜可能に支持されたものである請求項１または２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記傾斜機構は、前記テーブルを支持した支持体を前記Ｘ線ビーム面に垂直な軸を中心として任意の角度で傾ける第１の機構と、この第１の機構の回動軸と直交する方向を軸として前記支持体に対して前記テーブルを傾ける第２の機構とからなる請求項３に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記第１の機構の回転軸は、前記テーブルよりも上側に、前記テーブルとの間の距離を調節可能に設けられることを特徴とする、請求項４に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、欠陥等の検出を容易にするために検査台に載置した検査対象物の向きを調整する機能を有するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線透過による検査装置は、医療分野、工場における製品の検査、或いは、空港における所持品のセキュリティチェック、港湾における税関による貨物の検査等、幅広い分野において活用されている。
この種の検査装置は、一般に、Ｘ線発生装置から発生したＸ線を検査対象物（対象者を含む）に向けて照射し、対象物を透過したＸ線をラインセンサを用いて検知し、透過強度の違いを画像化して検査対象物の内部を調べるように構成されている。
【０００３】
上記Ｘ線検査装置の例として、回路基板（検査対象物）に垂直にＸ線を照射するとともに予め定めた傾斜角度からもＸ線を切り換えて照射することにより、回路基板に装着された電子部品間の接合を短時間で検査する装置の発明がある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２９６２０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、Ｘ線検査装置の用途として、配管の欠陥検査等、筒状の対象物の検査を行う場合がある。このような検査では、例えば、配管の径方向に入った欠陥等（外からは見えない未貫通の割れ等）を透過Ｘ線の影の濃淡（割れ等があるとその部分はＸ線が透過し易いので透過後のＸ線強度が当該部のみ強くなる）により検出することになる。
しかし、例えば、図１のように、配管１の径方向に配向した（割れの長手方向が径方向に一致した）細長い割れ２、３の検出を行う場合、長手方向がX線Ｂ２に垂直な方向に一致する割れ２は、ラインセンサ４上にほぼその全長に相当する巾のX線画像（影）２ａを形成するので、容易に検出することができる。しかし、その長手方向と、Ｘ線Ｂ３の方向とが一致している割れ３は、ラインセンサ４上に、微小な点状のＸ線画像（影）３aを形成するのみであるので、それを検出することは困難となってしまう。
【０００５】
また、上記の他にも、同様の理由により欠陥等の形状、検査対象物における位置や配向と、Ｘ線照射を行うときのＸ線ビームの向きとの関係により該欠陥等の検出が困難になる場合がある。
上記の事情を考慮し、本発明においては、欠陥等の形状或いは検査対象物における位置や配向によらず、検査対象物の欠陥等を検出するに最適な状態でのＸ線検査の可能なＸ線検査装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、請求項１の発明によっては、Ｘ線源とこのＸ線源に対峙させて設けられたラインセンサとの間に形成されるＸ線ビーム面を横切ってテーブルを移動させて該テーブル上に載置された検査対象物をＸ線透視検査するＸ線検査装置において、  前記テーブルを、前記Ｘ線ビーム面と交差する軸を中心に傾斜可能に設けたことを特徴とするＸ線検査装置が提供される。
【０００７】
好ましくは前記テーブルを、前記Ｘ線ビーム面とのなす角度を調整可能に設けることとしてもよく（請求項２）、前記Ｘ線ビーム面を横切って移動可能に設けられた検査台に傾斜機構を介して任意の角度の傾斜可能に支持することとしてもよい（請求項３）。
また、傾斜機構は、前記テーブルを支持した支持体を前記X線ビーム面に垂直な軸を中心として任意の角度で傾ける第１の機構と、この第１の機構の回動軸と直交する方向を軸として前記支持体に対して前記テーブルを傾ける第２の機構により構成するようにすればよい（請求項４）。
【０００８】
さらに前記第1の機構の回転軸を、前記テーブルよりも上側に、前記テーブルとの間の距離を調節可能に設けても良い（請求項５）。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のX線検査装置は、検査対象物を載置するテーブルを傾斜させる傾斜手段を備えるので、検査対象物を、Ｘ線ビーム面に対し任意の角度で傾斜させることができる。この結果検査対象物内部の欠陥等の長手方向をＸ線ビームの方向に対し、最も検出しやすい方向、すなわち垂直に設定することができる。このため、ラインセンサ側に長さの長いX線画像（影）を形成できるので、欠陥等を容易に検出することができる。
【００１０】
また、傾斜の回動軸がテーブルより上側に設置してあり、テーブルと軸との距離を調節できるので、以下の効果が期待できる。すなわち、該検査対象物の軸を中心軸として傾斜させても、検査対象物はその軸を中心として回動するのみであり、その位置は殆ど移動することがない。このため、配管等円筒状の検査対象物に径方向の欠陥等が入っている場合にも、容易に該欠陥等を検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明のＸ線検査装置にかかる一実施形態を、図面を参照しながら説明する。
図２に示すように、Ｘ線検査装置１０は、X線発生装置１１、ラインセンサ１２、検査台２０及び走行機構６０等を備えて構成される。
図２において、Ｘ線は、Ｘ線発生装置１１により図中上から下に向かって扇状に照射され、扇状照射面Ｓ（Ｘ線ビーム面）を形成する。また、X線発生装置１１に対峙して、Ｘ線発生装置１１の下方にラインセンサ１２が設置されている。
【００１２】
このような扇形照射面Ｓ（Ｘ線ビーム面）を横切るように設けられた走行機構６０は、扇状照射面Ｓに対して垂直（水平方向）に、互いに平行に設置された２条のリニアガイド６１ａ、６１ｂと、該リニアガイド６１ａ、６１ｂ上にそれらを跨ぐように載置される台車６２とを備えて構成される。
台車６２は、リニアガイド６１ａ、６１ｂに沿って（図２中の矢印Ｘ１、Ｘ２方向）、図示しない車輪とその駆動機構によりリニアガイド６１ａ、６１ｂ上をそれぞれ走行できる２つの走行部６４ａ、６４ｂと、これらの走行部６４ａ、６４ｂ間に張架された2本の横木（リニアガイド）６３ａ、６３ｂとを備える。平行に設けられた横木６３ａ、６３ｂは、検査台２０を移動自在に指示するリニアガイドとして機能する。
【００１３】
すなわち、検査台２０は、横木６３ａ、６３ｂに挟みこまれるように台車６２上に設置され、図示しない車輪とその駆動機構により、横木６３ａ、６３ｂに沿って（図２中の矢印Ｙ１、Ｙ２参照）走行可能に設けられている。
また、詳細は後述するが、検査台２０は、配管Ｐ等の検査対象物を載置するテーブル４０を備え、テーブル４０を、扇状照射面Ｓに対して垂直な方向の中心軸２４を中心として任意の角度で傾斜させる（図２の矢印Ｖ方向）機構（第１の機構）と、扇状照射面Ｓとなす角度を調整可能に傾斜させる（図２の矢印Ｈ方向）機構（第２の機構）とを備える。
【００１４】
なお、以上に説明したＸ線検査装置１０の全体は図示しない遮蔽体に覆われており、該遮蔽体のＸ２方向側端部には、上下に移動する遮蔽扉ＳＨ（図２には図示せず、図５参照）がある。台車６２は、遮蔽扉ＳＨを通過して遮蔽扉ＳＨの反対側までリニアガイド６１ａ、６１ｂ上を走行することができる。
次に検査台２０の構造について図３を参照して説明する。
【００１５】
検査台２０は、概略的には四角形状のテーブル４０と、このテーブル４０を傾斜可能に支持した中枠３０と、更にこの中枠３０を該中枠３０の傾斜の向きと直交する方向を軸として回動自在に支持した外枠２１とにより構成される。具体的には前記テーブル４０は、検査対象物を載置する四角形状の載置面を形成したもので、その一端部両側に一対の軸ピン４１ａ、４１ｂを突設すると共に、他端部下面に円弧状のラックギヤ４２ａ、４２ｂを突設した構造を有している。そしてこのテーブル４０は、上記一対の軸ピン４１ａ、４１ｂを前記中枠３０に設けられた軸受３６ａ、３６ｂに嵌め込むと共に、前記ラックギヤ４２ａ、４２ｂを前記中枠３０に設けられたピニオンギヤ３８ａ、３８ｂにそれぞれ噛合させることで、中枠３０の内側に傾斜可能に組み付けられている。尚、上記ピニオンギヤ３８ａ、３８ｂは、中枠３０に取り付けられたモータ３７ａ、３７ｂによりそれぞれ回転駆動される。これらのモータ３７ａ、３７ｂにより前記ピニオンギヤ３８ａ、３８ｂを介してラックギヤ４２ａ、４２ｂを上下動させることで、前記テーブル４０が前記軸受３６ａ、３６ｂに軸支された軸ピン４１ａ、４１ｂを支点として中枠３０に対して傾けられる。
【００１６】
一方、前記中枠３０の前記テーブル４０が傾斜する向きに対向する２つの辺部上面の各中央部には、該中枠３０の上方に向けて一対の高さ調整機構が設けられている。これらの高さ調整機構は、基本的には中枠３０に平行に突設された支持体３１ａ、３１ｂと、これらの支持体３１ａ、３１ｂ間に上下動自在に支持された調整体３２とからなる。特にこの調整体３２は、該調整体３２に一体に組み付けられたラックギヤ３３を、前記支持体３１ａに設けられたモータ３４により駆動されるピニオンギヤ３５に噛合させて前記支持体３１ａ、３１ｂに組み付けられている。そして調整体３２は、モータ３４の回転により上記ピニオンギヤ３５およびラックギヤ３３を介して前記支持体３１ａ、３１ｂに対して、ひいては中枠３０に対する高さが調整可能に設けられている。
【００１７】
また高さ調整機構における上記各調整体３２の上端部には一対の軸ピン２４ａ、２４ｂが、その軸心を揃えて同軸（中心軸２４）に設けられている。これらの軸ピン２４ａ、２４ｂは、前述した外枠２１の上面に突設された支柱２２ａ、２２ｂの各上端部に設けられた軸受２３ａ、２３ｂにそれぞれ軸支されるものである。このような軸受機構を介することで前述した如くテーブル４０を支持した中枠３０が、外枠２１に対して前述したテーブル４０の傾斜方向と直交する方向に傾斜可能に設けられている。尚、中枠３０の傾斜は、例えば前記軸ピン２４ａ、２４ｂに連結された図示しないモータを回転させることによって行われる。
【００１８】
上述した如く構成された検査台２０においては、軸受支柱２２ａ、２２ｂ、軸受２３ａ、２３ｂ、軸ピン２４ａ、２４ｂ、一対の調整体３２、支持板３１ａ、３１ｂ等により、Ｘ線照射面に対して直角な軸を中心としてテーブル４０を傾斜させる第１の機構が構成される。また、軸ピン４１ａ、４１ｂ、軸受３６ａ、３６ｂ、ラックギヤ４２ａ、４２ｂ、モータ３７ａ、３７ｂ、ピニオンギヤ３８ａ、３８ｂ等により、Ｘ線照射面に対してテーブル４０を傾斜させる第２の機構が構成される。
【００１９】
次に、Ｘ線検査装置１０の作用について説明する。
前述のように、検査台２０は、配管Ｐ等の検査対象物を載置するテーブル４０を、扇状照射面Ｓに対して垂直な方向の中心軸２４を中心として任意の角度で傾斜させる（図２の矢印Ｖ方向）機構（第１の機構）と、扇状照射面Ｓとテーブル４０のなす角度を調整可能に傾斜させる（図２の矢印Ｈ方向）機構（第２の機構）とを備える。このため、検査台２０のテーブル４０に載置した配管Ｐ等を、例えば径方向に配向した細長い欠陥等をその長手方向がＸ線照射ビーム方向に垂直となるように、傾斜させることができる。このため、Ｘ線照射を行うと、図１の割れ２と同様に、ラインセンサ１２上には、該欠陥等の長いＸ線画像（影）が生じるので、該欠陥等を容易に検出することができる。
【００２０】
前述のように中心軸２４は、テーブル４０より上にあり、配管Ｐの軸と中心軸２４とが一致するように中心軸２４とテーブル４０との距離Ｌ１（図４（ａ）参照）を調節することができるので、配管Ｐの軸と中心軸２４とを一致させることができる。このため、図４（ａ）に示すように、テーブル４０を傾斜させると、配管Ｐは回転するが、その位置は殆ど移動せず、Ｘ線画像の観察に有利である。上記の調節機構がなく、中心軸を配管Ｐ等の軸に一致させることが出来ない場合にテーブル４０を傾斜させると、例えば、図４（ｂ）のように配管Ｐの位置が移動してしまい、Ｘ線画像の観察に不都合を生じるが、本Ｘ線検査装置１０においてはそのような問題はない。
【００２１】
次にＸ線検査装置１０の使用方法について図５〜図６を参照して説明する。
Ｘ線発生装置１１とは遮蔽扉ＳＨを隔てた場所で、図５に示すように台車６２に載置された検査台２０のテーブル４０に、検査対象物、例えば、配管Ｐを、その軸を水平かつリニアガイド６１a、６１ｂに平行に載置する。
いったん遮蔽扉ＳＨを開けて、台車６２をリニアガイド６１ａ、６１bに沿ってＸ１方向に走行させ、遮蔽扉ＳＨを通過させる。台車６２が遮蔽扉ＳＨを通過した後に遮蔽扉を閉め、Ｘ線発生装置１１からＸ線を発生させ、扇状照射面Ｓを形成させる。そしてテーブル４０上の配管Ｐが、扇状照射面Ｓを通過するようにする。配管Ｐを透過したＸ線は下に設置したラインセンサ１２に検知されるので、その透過Ｘ線の強弱からＸ線画像を構成させ、欠陥等の検出を行う。このとき、配管Ｐの軸が水平でない場合（図６（ａ）の場合）には、図６（ｂ）に示すように傾斜機構（第２の傾斜機構）により、テーブル４０を扇状照射面Sに対し傾斜させて配管Ｐの軸を水平面と一致させる。また、テーブル４０上の配管Ｐ等が扇状照射面Ｓの中心からずれて偏った位置にある場合には、横木６３ａ、６３ｂに沿って検査台２０を扇状照射面Ｓに平行な方向に移動させ、扇状照射面Ｓの中心にあわせる。さらに、細長いクラック等の欠陥２の長手方向が径方向にある場合には、傾斜機構（第１の機構）によりテーブル４０を扇状照射面Sに垂直な軸を中心として傾斜させ、欠陥の長手方向が、Ｘ線ビームに対し垂直になるように（すなわち、図１の割れ２と同じ配向となるように）調節する。その際、必要があれば、配管Ｐの軸と中心軸とが一致するよう調節機構によりテーブル４０と中心軸２４との距離を調節する。
【００２２】
このようにして、欠陥等を最も検出しやすい位置及び方向に検査対象物を位置付けてＸ線検査を行うので、容易に欠陥を検出することができる。
Ｘ線検査後には、配管Ｐ等を載置した場所まで戻り、配管Ｐ等を下ろして別の検査対象物を載置して同様の手順により検査を行う。
なお、本実施例形態においては、台車６２、検査台２０はリニアガイド（又は横木）に沿って走行することとしたが、それ以外の走行手段によってもよく、また、例えば、ベルトコンベアによって移動させることとしてもよい。
【００２３】
さらに、傾斜機構（第1の機構、第2の機構）及び中心軸とテーブルとの距離の調節機構についても本実施形態に限ることなく別の機構によってもよい。例えば、ねじによる手動調節によってもよい。
尚、テーブル４０上に配管（検査対象物）Ｐを載置するに際しては、ボルト等を用いてその軸心を挟み込んで該配管（検査対象物）Ｐをテーブル４０上に固定することが好ましい。このようにしてテーブル４０上に配管（検査対象物）Ｐを固定すれば、テーブル４０を傾けても配管Ｐが位置ずれすることがないのでＸ線照射面Ｓに対して配管Ｐを所望とする角度に容易に位置付けることが可能となる。この際、ばね力を利用して配管（検査対象物）Ｐの重量に応じてその高さ位置が変化する受台等を用いて、前記ボルトに配管（検査対象物）Ｐの固定位置を自動的に設定することも好適である。このような受台を用いれば、重量密度が同じで大きさの異なる幾つかの検査対象物Ｐを順次Ｘ線透視検査するような場合、その作業効率の向上を図ることが可能となる。
【００２４】
またテーブル４０上に光学センサやカメラを組み込んでおき、光学センサやカメラを介して検出される検査対象物Ｐの情報に従ってその中心位置を計算して該検査対象物Ｐの前述したボルトによる固定位置を設定するように構成することも勿論可能である。更にはこのようにして固定した検査対象物Ｐの軸心を、前述した中心軸２４に一致させるような軸合わ機構を組み込んでおくことも有用である。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】配管等の径方向に細長く配向した欠陥等のＸ線検査による検出の難易を示す概念図である。
【図２】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０の検査台２０、走行機構６０等を示す概略構成図である。
【図３】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０の検査台２０の構造を示す斜視図である。
【図４】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０の回転機構によるテーブル４０及び検査対象物（配管Ｐ）の回転の様子を示す概念図である。
【図５】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０による検査方法を示す概念図である。
【図６】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置１０の傾斜機構の作用を示す概念図である。
【符号の説明】
【００２６】
１０  Ｘ線検査装置
１１  ラインセンサ
２０  検査台
２４  中心軸
２４ａ、２４ｂ  軸ピン
３０  中枠（テーブルの支持体）
４０  テーブル
４２ａ、４２ｂ  ラックギヤ
６０  走行機構
Ｓ  扇状照射面
Ｐ  配管（検査対象物）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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