(57)【要約】【目的】  Ｘ−Ｙステージ移動の際の真直再現誤差を低減し、安価な案内駆動系を使用せずに充分な測定再現性を有する二次元測定装置を提供する。【解決手段】  二次元測定装置は、ベース１上に、被測定物を載置する被測定物保持部６と、Ｘステージ２と、Ｘステージを跨いで配置された門形のサブベース２１と、門形サブベースに配設されたＹステージ２２と、Ｚ軸方向に移動可能なテレビ顕微鏡（検出器）２９と、Ｘステージ及びＹステージをそれぞれ案内駆動するボール循環形リニアガイド３Ａ、３Ｂ、２３Ａ、２３Ｂとモータ４、２４とを備え、さらに、保持部がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動時の真直誤差を高精度で検出するため、保持部の側面に取り付けたＸ軸、Ｙ軸真直バー１３、４３に近接・対向して三角測量方式レーザ変位計１４、４４を設ける。【選択図】  図１
2005024567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
べ一スと、前記べ一ス上に配置されてその上面に被測定物を載置する被測定物保持部と、前記被測定物保持部を第１の軸方向に移動可能な第１のステージと、前記第１のステージを上記第１の軸方向に案内駆動する第１の軸案内駆動手段と、前記第１のステージの上方に取り付けられた画像検出手段とを備え、前記画像検出手段により検出した画像信号から前記被測定物の位置を測定する位置測定装置において、前記被測定物保持部の第１軸方向の側面に上記第１のステージの第１の軸方向の移動時の上記第１のステージの真直変動を検出する手段を設け、かつ前記画像検出手段により検出した画像信号を前記真直変動検出手段から得られる信号で補正することを特徴とする被測定物の位置測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の位置測定装置において、さらに、前記べ一ス上に、前記第１のステージを跨いでそれと直交する方向に移動可能な第２のステージを設けると共に、前記画像検出手段を当該第２のステージ上に取り付けられている位置測定装置。
【請求項３】
請求項１に記載の位置測定装置において、前記真直変動検出手段は、前記被測定物保持部の前記第１の軸方向の側面に取り付けられた平面鏡と、当該平面鏡の反射面に近接・対向して設けられたレーザ干渉計とから構成されている位置測定装置。
【請求項４】
請求項１に記載の位置測定装置において、前記第１のステージと前記被測定物保持部との間には、さらに、前記被測定物を回転可能な回転ステージを設けてなる位置測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶基板や液晶表示素子の製造工程等において、その表面に形成されるマスク等の精密パターンを測定するために用いられる二次元測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶基板や液晶表示素子の製造工程等では、その表面に形成されるマスク等の精密パターンの寸法を測定する必要がある。従来、かかる精密パターンを測定するための装置としては、一般に、被測定物である基板をＸ−Ｙステージ上で移動しながら、その表面の精密パターンをテレビ顕微鏡などで撮像して測定するものは、既に知られている。
【０００３】
ところで、かかる液晶基板や液晶表示素子を利用した表示装置は、近年、その大形化や高精密化が強く要求されており、この要求に伴って、これら液晶基板や液晶表示素子上の精密パターンの寸法測定を行う二次元測定装置にも、これら大形化した基板や素子の表面上に高精密化して形成された精密パターンを、より正確に測定することが求められている。具体的には、最近では、数百ミリメータ〜千ミリメータ（数１００ｍｍ〜１０００ｍｍ）の範囲にわたって０．１μｍ以下の測定再現性（測定精度）が求められるようになっている（特許文献１参照）。
【０００４】
従来、このような測定には、例えば添付の図３に示すような二次元測定装置が用いられていた。すなわち、図にも示すように、ベース１上に、被測定物を位置決めするＸステージ２と、このＸステージ２を跨いで設けた門型のＹステージ２２とを設け、このＹステージ２２にはＺステージ２７を組み付け、さらに、このＺステージ上にテレビ顕微鏡２９を搭載する。そして、これらＸステージ２、Ｙステージ２２、Ｚステージ２７を移動しながら、検出装置であるテレビ顕微鏡２９を、被測定物である上記基板上で位置決めを行う。なお、これらＸステージ２及びＹステージ２２の移動量は、レーザ干渉計８ａ、８ｂ、８ｃと平面鏡７ａ、７ｂ、３７により高精度に測定する。これにより、上記テレビ顕微鏡２９及び図示しない画像処理装置によって測定した顕微鏡視野内の被測定点位置と、上記レーザ干渉計８ａ、８ｂ、８ｃによって測定したＸステージ及びＹステージの移動量とから、上記被測定物上での被測定点の二次元寸法（Ｘ方向及びＹ方向の位置）を測定する。
【０００５】
ところで、上記従来技術になる二次元測定装置及びその方法では、例えば、寸法の測定における測定再現誤差に、ステージのＸ‐Ｙ軸方向での移動の際の真直誤差が加算される構造である。すなわち、例えば、ステージをＸ軸方向に移動する際、ステージの移動に伴うヨーイングやローリングなどの影響によりＹ軸（進行方向に垂直な方向）に変動が生じ、これが誤差の原因となる。そこで、このＸ‐Ｙ軸方向での移動の真直再現誤差を最大限に高める必要があり、従来では、例えば、このＸ‐Ｙ軸方向でのステージの案内には、静圧空気軸受５３ａ、５２ｂ、６３及び駆動リニアモータ５４、６４の組み合わせが用いられていた。
【０００６】
しかしながら、これらの技術によれば、測定再現精度は０．１μｍ〜０．２μｍ程度となるため、これにより得られる真直案内再現性は０．２μｍ程度となっていた。しかし、上記したように、被測定物の大形化に伴い、数１００ｍｍ〜１０００ｍｍの移動量を有する静圧空気軸受は、その大きな寸法にわたって高精度な加工が必要とされるため、非常に高価なものとなってしまう。加えて、リニアモータもやはり高価であり、さらには、その発熱量も大きく、そのため、高い測定再現精度、真直案内再現性が求められる装置に熱変位による大きな測定誤差をもたらすこととなり、好ましくなった。
【０００７】
また、その他の二次元測定装置及び方法としては、添付の図４にも示すように、テレビ顕微鏡２９をＺ方向に位置決めし、次いで、被測定物１０１をＸＹステージ１０２（図では示されないが、上記同様、ＸステージとＹステージを重ねた構造）上でＸ‐Ｙ方向に位置決めするものが既に知られている。なお、このＸＹステージ１０２の被測定物の外側（側面）には、ＸＹ軸に平行な反射面を有する平面鏡１０７ａ、１０７ｂが設けられており、やはり、レーザ干渉計１０８ａ、１０８ｂにより、Ｘ‐Ｙ軸方向の移動量を高精度で測定するものである。
【０００８】
なお、この装置及び方法では、上記レーザ干渉計１０８ａ、１０８ｂから平面鏡１０７ａ、１０７ｂへ向けて出射するレーザ光線の交点が上記テレビ顕微鏡２９の光軸が一致するように設定しておき、かつ、被測定面（被測定物の上面）とほぼ同じＺ位置に設定することにより、原理的には、Ｘ‐Ｙ軸方向での移動の際、真直度の再現誤差をレーザ干渉計で検出できるものである。具体的には、例えば、Ｘ‐Ｙステージ１０２がＸ方向に移動する場合は、このＸ軸に平行な平面鏡１０７ａの変位をレーザ干渉計１０８ｂで測定すれば、Ｘ軸での移動の真直度（すなわち、Ｙ軸方向での変位）を測定することが可能となる。
【０００９】
ところで、上述した従来技術になる二次元測定装置及び方法においても、レーザ干渉計を利用することにより、ステージ移動の際の真直度を測定することは可能であるが、しかしながら、以下のような問題点が指摘される。
【００１０】
すなわち、Ｘ‐Ｙ方向に移動する位置決めステージ１０２を跨いでＺステージ１０９が配設され、さらに、レーザ干渉計１０８ａ、１０８ｂが上記Ｘ‐Ｙステージ１０２の端部に配設される構造であるため、これらを取り付けるベース１１０の寸法が大きくなってしまう。そのため、Ｘ‐Ｙステージ１０２の移動に伴って、そのステージ重量による負荷重心点が移動してしまい、上記ベース１１０が歪んでしまい、それに伴って、ベース上に設けられたレーザ干渉計１０８ａ、１０８ｂと平面鏡１０７ａ、１０７ｂとの間の距離や位置関係が変動してしまい、各ステージの移動距離を正確かつ高精度に測定することが困難となる問題点があった。
【００１１】
さらに、上記の構成では、レーザ干渉計１０８ａ、１０８ｂと平面鏡１０７ａ、１０７ｂとの間の距離は、被測定物の寸法（例えば、数１００ｍｍ〜１０００ｍｍ）より大きくなるため、各ステージの移動距離の測定が温度や気圧など、環境の影響を受けやすく、測定誤差が大きくなってしまうという問題点もあった。すなわち、例えば、平面鏡とレーザ干渉計との間を２００ｍｍ程度の距離を離して配置し、温度が０．５℃変化した場合、空気の屈折率の変化に伴って、測定距離は２００ｍｍ×０．５℃×１０-6／ｍｍ・℃＝１×１０-4ｍｍ＝０．１μｍだけ変化してしまい、これがそのまま測定誤差となってしまう。そのため、これでは必ずしも充分な測定再現精度や真直案内再現性を得ることは出来なかった。
【００１２】
【特許文献１】特開２０００−１９４１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
すなわち、上述したように、被測定物の大形化及びそのパターンの高精密化に伴って、数１００ｍｍ〜１０００ｍｍの範囲にわたって０．１μｍ程度以下の測定再現性が求められるが、しかしながら、上述した従来技術では、Ｘ‐Ｙ軸方向の移動における真直再現誤差がそのまま測定誤差となり、また、ステージの駆動系からの発熱も大きいため、上述した超精密測定には適さず、かつ、その価格も非常に高価なものとなってしまう。
【００１４】
そこで、本発明では、上記した従来技術における問題点を解消し、すなわち、上述したような高価な案内駆動系を使用することなく、Ｘ‐Ｙステージを移動の際の真直再現誤差を大幅に低減して充分な測定再現性を得ることが可能で、かつ、大形化に対しても装置を安価に構成することが可能な二次元測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
かかる上記の目的を達成するため、本発明によれば、まず、表面に被測定物を載置する被測定物保持部と、ベース上に配設されて前記被測定物保持部を二次元平面のＸ軸方向に移動するＸステージと、前記ベース上に配設されて前記Ｘ軸に垂直なＹ軸方向に延びて配置されたサブベースと、前記サブベース上を前記二次元平面のＹ軸方向に移動するＹステージと、前記Ｙステージに取り付けられて前記二次元平面に垂直なＺ軸方向に移動可能な画像検出手段と、前記Ｘステージを前記Ｙ軸方向に案内駆動するＸ軸案内駆動手段と、前記Ｙステージを前記Ｙ軸方向に案内駆動するＹ軸案内駆動手段とを備え、前記画像検出手段により検出した画像信号から前記被測定物の二次元寸法を測定する二次元測定装置において、さらに、前記被測定物保持部のＸ軸方向移動時のＹ軸方向における真直誤差を検出する手段を、前記被測定物保持部のＸ軸方向の側面に近接・対向して設け、かつ、前記被測定物保持部のＹ軸方向移動時のＸ軸方向における真直誤差を検出する手段を、前記被測定物保持部のＹ軸方向の側面に近接・対向して設けた二次元測定装置が提供される。
【００１６】
かかる構成の二次元測定装置によれば、上記真直誤差検出手段は、各ステージの真直誤差を高精度で検出することが可能となり、前記Ｘ軸案内駆動手段と前記Ｙ軸案内駆動手段を、それぞれ、比較的安価に構成することが可能な電動モータとボール循環形リニアガイドで構成しても、所望の測定再現性（測定精度）を得ることができる。また、前記真直誤差検出手段は、それぞれ、三角測量方式のレーザ変位計、または、レーザ干渉計により構成することが好ましい。
【００１７】
また、前記真直誤差検出手段は、それぞれ、前記被測定物保持部のＸ軸方向及びＹ軸方向の側から数ｍｍ〜数十ｍｍの距離で対向配置することが好ましく、かつ、前記Ｘ軸案内駆動手段と前記Ｙ軸案内駆動手段は、それぞれ、数百ｍｍ〜千ｍｍの範囲で前記被測定物保持部をＸ−Ｙ軸方向に移動可能とすることにより、近年、その大形化や高精密化が強く要求されている液晶基板や液晶表示素子上のパターン寸法測定に対応することが出来る。
【発明の効果】
【００１８】
以上の詳細な説明からも明らかなように、本発明によれば、高価な案内駆動系を使用することなく、Ｘ‐Ｙステージを移動の際の真直再現誤差を大幅に低減して充分な測定再現性を得ることが可能で、かつ、大形化に対しても装置を安価に構成することが可能な二次元測定装置を提供することが出来るという優れた効果を発揮する。
を
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施の形態になる二次元測定装置の斜視図であり、この図において、参照符号１は、本装置の基台となるベースを示しており、２はＸステージを示している。また、このベース１上には、上記Ｘステージ２を跨ぐように、門形（「コ」の字型）のサブベース２１が設けられ、このサブベース上にＹステージ２２が設けられている。
【００２０】
一方、上記した門形のサブベース２１には、やはり、ボール循環形リニアガイド２３Ａ、２３Ｂ、Ｙ軸モータ２４等が設けられており、これらボール循環形リニアガイドに案内されながら、上記Ｙステージ２２は、Ｙ軸モータ２４に結合されたボールねじ２５により駆動されてＹ軸方向に移動する。なお、このＹステージ２２は、上記Ｘステージ２に直交するように配設されている。
【００２１】
この門形のサブベース２１には、さらに、Ｚステージベース２６が取り付けられている。なお、このＺステージベース２６には、Ｚステージ２７が、Ｘ軸及びＹ軸に直交するように配設されている。そして、このＺステージ２７には検出器取付テーブル２８が配設されており、被測定物の表面を検出する検出器であるテレビ顕微鏡２９が、この検出器取付テーブル２８に取り付けられている。
【００２２】
また、このベース１には、ボール循環形リニアガイド３Ａ、３Ｂ、Ｘ軸モータ４、このＸ軸モータに結合されたボールねじ５が取り付けられ、これにより、上記Ｘステージ２は、ボール循環形リニアガイド３Ａ、３Ｂに案内されながら、Ｘ軸モータ４に結合されたボールねじ５によって、Ｘ軸方向に駆動される。すなわち、本実施の形態では、上述したように、大形化に伴って非常な高価なものとなってしまう静圧空気軸受や、やはり高価なリニアモータに代え、比較的安価に構成することが出来る機構、例えば、電動モータとボール循環形リニアガイド、を採用することが可能になる。
【００２３】
一方、上記Ｘステージ２の上面には、被測定物保持部６が取り付けられている。すなわち、この被測定物保持部６の上面には、被測定物である液晶基板や液晶表示素子が搭載して固定される。また、図にも示すように、上記被測定物保持部６のＹ軸方向端面（側面）には、被測定面とほぼ同じ高さ位置に、円形の反射鏡７ａ、７ｂが取り付けられている。さらに、これら反射鏡７ａ、７ｂに対向する上記ベース１上の位置には、Ｘ軸レーザ干渉計８ａ、８ｂ及びレーザ管９（レーザ発振器）が取り付けられており、このレーザ管９から出射されたレーザ光はビームスプリッタ１０、ミラー１１ａ、１１ｂ（ハーフミラーを含む）を介して上記Ｘ軸レーザ干渉計８ａ、８ｂに入射される。これらのレーザ光は、これらＸ軸レーザ干渉計８ａ、８ｂを通って上記反射鏡７ａ、７ｂに入射して反射し、再び、上記Ｘ軸レーザ干渉計８ａ、８ｂに入り、そこでレーザ光の干渉を利用して上記Ｘステージ２のＸ軸方向における移動量が測定される。
【００２４】
加えて、上記被測定物保持部６のＸ軸方向端面（側面）には、被測定面とほぼ同じ高さ位置に、Ｘ軸と平行な平面１２を有する横長形状の反射鏡である、Ｘ軸真直バー１３が取り付けられている。そして、このＸ軸真直バー１３に近接かつ対向して、例えば、三角測量方式のレーザ変位計１４が取り付けられており、これにより、上記Ｘ軸と平行な平面１２、換言すれば、上記Ｘステージ２のＹ軸方向における変位量を計測できる。すなわち、これによれば、上記Ｘ‐Ｙステージ２を比較的安価な駆動・案内機構を利用してＸ‐Ｙ軸方向に移動する場合に発生する真直誤差、特に、ＸステージをＸ軸方向に移動する際のＹ軸方向での変位（変動）を高精度に計測できることとなる。
【００２５】
さらに、上記Ｚステージベース２６には検出器であるテレビ顕微鏡２９にも、被測定面に近い位置に円形の反射鏡３７が取り付けられており、一方、上記ベース１上における上記反射鏡３７に対向した位置には、レーザ光がＹ軸に平行に出入射することが可能な高さ位置に、Ｙ軸レーザ干渉計３８が取り付けられている。具体的には、このＹ軸レーザ干渉計３８は、上記した三角測量方式のレーザ変位計１４の上部に配置されている。これによれば、上記レーザ管９から射出してビームスプリッタ１０で分離されたレーザ光は、ミラー３１ａ、３１ｂを介してＹ軸レーザ干渉計３７に入射する。その後、このレーザ光は、上記反射鏡３７上に入射して反射し、再び、上記Ｙ軸レーザ干渉計３７に入り、そこでレーザ光の干渉を利用してＹ軸方向の移動量を測定する。なお、厳密には、上記Ｘステージ２はＹ軸方向には移動しないが、ここでは、テレビ顕微鏡２９が、上記門形のサブベース２１のＺステージ２７上でＹ軸方向に移動することから、上記Ｘステージ２のＹ軸方向における相対的な変位量を測定することとなる。
【００２６】
さらに、上記門形のサブベース２１の下面には、やはり上記被測定面に近い高さ位置に、Ｙ軸に平行な平面４２を有する横長形状の反射鏡である、Ｙ軸真直バー４３が配設されている。一方、このＹ軸に平行な平面４２に近接、かつ、対向して、図に破線で示すように、レーザ変位計４４（三角測量方式）が取り付けられている。これにより、上記Ｙ軸と平行な平面４２、換言すれば、上記Ｙステージ２２でのＸ軸方向における（より具体的には、上記Ｙ軸と平行な平面４２と上記検出器取付テーブル２８との間の）変位量を計測できる。すなわち、これによれば、上記Ｙステージ２２を比較的安価な駆動・案内機構（具体的には、ボール循環形リニアガイド２３Ａ、２３ＢやＹ軸モータ２４等）を利用してＹ軸方向に移動する場合における真直誤差を計測できることとなる。
【００２７】
なお、上記のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動動作は、図示しない制御装置からの指令に基づいて、上記Ｘ軸モータ４及びＹ軸モータ２４を回転駆動する、これにより、その上面に被測定物である液晶基板や液晶表示素子を搭載固定した被測定物保持部６及びＺステージベース２６を移動させて、その被測定部分（基板上の精密パターンなど）をテレビ顕微鏡２９の視野内に位置決めすることとなる。
【００２８】
次に、やはり図示しないフォーカス制御装置からの指令により、上記検出器取付テーブル２８をＺ軸方向に位置決めする。その際のＺ軸方向の移動量は、被測定物であるガラス基板などの厚さの不均一（いわゆる、厚さむら）や反りに起因する数百μｍ程度であり、これは、例えば特願平１０−１８６２１１号（特開２０００−１９４１５号公報）に示されるように、弾性案内により真直案内の再現精度が０．０１μｍ程度の微動Ｚステージを使用して構成している。
【００２９】
このようにしてテレビ顕微鏡２９の視野内において位置決めして合焦点状態で得られた画像を、図示しない画像処理装置及びコンピュータにより処理し、画面内の被測定点の位置や微細なパターンの寸法などを算出することとなる。そして、この時、上記ステージのＸ‐Ｙ軸方向の移動に伴って行われる移動量（寸法）の測定については、以下の様にして行われる。
【００３０】
添付の図２のフローチャートに示すように、まず、上記したレーザ干渉計８ａ、８ｂで検出したステージのＸ軸方向の移動量（例えば、Ｘ軸上での２点間の距離）と、上記レーザ干渉計３８で検出したＹ軸の位置とから、そのＹ軸上の位置での上記テレビ顕微鏡２９のＸ軸方向における移動量（寸法測定）をコンピュータにより算出する（ステップＳ１）。この時、ステージのＸ軸方向の移動に伴って、ヨーイングやローリングなどの影響により、数μｍ程度、Ｙ軸方向でのずれ（真直誤差）が生じる。しかしながら、このＹ軸方向での真直誤差は、上記レーザ変位計１４により検出されており、そこで、この検出した誤差（ずれ）量を上記コンピュータに送付する（ステップＳ２）。これにより、コンピュータは、上記誤差（ずれ）量を補正してステージのＸ軸方向の移動量を算出する（ステップＳ３）。
【００３１】
次に、Ｙ軸方向での移動量（寸法測定）は、上記Ｙ軸レーザ干渉計３８により検出されるＹ軸方向の移動量としてコンピュータにより算出する（ステップＳ４）。この時、ステージのＹ軸方向の移動に伴って、やはりヨーイングやローリングなどの影響により、数μｍ程度、Ｘ軸方向でのずれ（真直誤差）が生じる。しかしながら、このＸ軸方向での真直誤差は、上記レーザ変位計４４により検出されており、そこで、この検出した誤差（ずれ）量を上記コンピュータに送付する（ステップＳ５）。これにより、コンピュータは、上記誤差（ずれ）量を補正してステージのＹ軸方向の移動量を算出する（ステップＳ６）。
【００３２】
なお、上記の実施の形態になる測定装置で使用されたレーザ変位計は、所謂、三角測量方式の変位計であり、温度変化が０．１℃以内のサーマルチャンバー内では、０．０５μｍ以内の測定再現精度を有している。そのため、上記のようにして算出されたＸ‐Ｙステージの移動量と、先に算出した上記テレビ顕微鏡２９の視野内における測定点の位置とに基づけば、被測定物である上記基板上に形成された精密パターンの寸法をコンピュータによって０．１μｍ以内の再現精度で測定することが可能となる。
【００３３】
ここで、上記の実施の形態になる測定装置では、互いに近接、かつ、対向して配置された、レーザ変位計１４とＸ軸真直バー１４の間の距離、及び、レーザ変位計４４とＸ軸真直バー４４の間の距離は、８ｍｍであった。この距離は、例えば、上記図４により示した従来の測定装置におけるレーザ干渉計１０８ａと平面鏡１０７ａとの間の距離、レーザ干渉計１０８ｂと平面鏡１０７ｂとの間の距離（１２００ｍｍ程度）と比較して、１／１００以下、多く見積もっても１／１０以下になっており、これにより、温度差による測定距離の誤差への影響を１／１０以下に低減することが可能になる。なお、上記の距離は、８ｍｍに限定することなく、求められる誤差許容度により、数ｍｍ〜数十ｍｍの範囲で、適宜、設定することとが可能である。
【００３４】
以上に述べた如く、本発明の上記の実施の形態になる測定装置によれば、装置のＸ‐Ｙステージを移動する際に生じる真直再現誤差を非常に高い精度で補正することが出来ることから、上記した従来技術で述べた静圧空気軸受のような高価な案内駆動系を使用することなく、低価格なボール循環形リニアガイドやモータを用いても、二次元（Ｘ‐Ｙ軸方向）における高精度な測定が可能になる。
【００３５】
なお、上記に述べた実施の形態になる測定装置では、Ｘ‐Ｙ軸方向でのステージ移動の真直誤差（真直度）を測定・検出して補正するため、上記の三角測量方式のレーザ変位計を用いるものとして説明を行ったが、しかしながら、本発明はこれに限定されることなく、これに代えて、例えば、上記においてＸ‐Ｙ軸方向のステージの移動量を測定・検出するために用いた小形のレーザ干渉計や静電容量型の変位計など、高精度な比較測定の可能な変位計を用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の一実施の形態になる二次元測定装置の構成を説明するための斜視図である。
【図２】上記本発明の二次元測定装置における移動量（寸法）の測定動作を説明するためのフローチャート図である。
【図３】従来技術になる二次元測定装置の一例を示す図である。
【図４】従来技術になる二次元測定装置の他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００３７】
１ ベース
２ Ｘステージ
２１ サブベース
２２ Ｙステージ
３Ａ、３Ｂ、２３Ａ、２３Ｂ ボール循環形リニアガイド
４、２４ モータ
２５ ボールねじ
２６ Ｚステージベース
２７ Ｚステージ
２９ （検出器）テレビ顕微鏡
６ 被測定物保持部
７ａ、７ｂ 反射鏡
８ａ、８ｂ Ｘ軸レーザ干渉計
９ レーザ管（レーザ発振器）
１３、４３ Ｘ軸、Ｙ軸真直バー
１４、４４ 三角測量方式レーザ変位計
【図１】
2005024567.tif 000003
【図２】
2005024567.tif 000004
【図３】
2005024567.tif 000005
【図４】
2005024567.tif 000006