(57)【要約】【課題】プラズマ曝露後の輝度の低下が少ない真空紫外線励起発光素子用の蛍光体を提供する。【解決手段】式ａＭ１Ｏ・ｂＭ２２Ｏ３・ｃＰ２Ｏ５（式中のＭ１はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上であり、Ｍ２はＢおよびＡｌからなる群より選ばれる１種以上であり、ａは０．５以上６．０以下の範囲であり、ｂは０を超え１．５以下の範囲であり、ｃは０．５以上３．５以下の範囲である。）で示される化合物に付活剤としてＥｕが含有されてなることを特徴とする真空紫外線励起発光素子用の蛍光体。【選択図】          なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
式ａＭ１Ｏ・ｂＭ２２Ｏ３・ｃＰ２Ｏ５（式中のＭ１はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上であり、Ｍ２はＢおよびＡｌからなる群より選ばれる１種以上であり、ａは０．５以上６．０以下の範囲であり、ｂは０を超え１．５以下の範囲であり、ｃは０．５以上３．５以下の範囲である。）で示される化合物に付活剤としてＥｕが含有されてなることを特徴とする真空紫外線励起発光素子用の蛍光体。
【請求項２】
請求項１記載の蛍光体であって、式（Ｍ３１−ｄＥｕｄ）２（Ｐ１−ｅＭ４ｅ）２Ｏ７−２ｅ（式中のＭ３はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上の元素であり、Ｍ４はＢおよびＡｌからなる群より選ばれる１種以上の元素であり、ｄは０を超え０．５以下の範囲であり、ｅは０を超え０．６以下の範囲である。）で示されることを特徴とする真空紫外線励起発光素子用の蛍光体。
【請求項３】
請求項１記載の蛍光体であって、式（Ｍ５１−ｆＥｕｆ）３ＢＰ３Ｏ１２（式中のＭ５はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上の元素であり、ｆは０を超え０．４以下の範囲である。）で示されることを特徴とする真空紫外線励起発光素子用の蛍光体。
【請求項４】
請求項１記載の蛍光体であって、式（Ｍ６１−ｇＥｕｇ）３ＢＰＯ７（式中のＭ６はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上の元素であり、ｇは０を超え０．４以下の範囲である。）で示されることを特徴とする真空紫外線励起発光素子用の蛍光体。
【請求項５】
請求項１記載の蛍光体であって、式（Ｍ７１−ｈＥｕｈ）６ＢＰ５Ｏ２０（式中のＭ７はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上の元素であり、ｈは０を超え０．３以下の範囲である。）で示されることを特徴とする真空紫外線励起発光素子用の蛍光体。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の蛍光体を用いてなることを特徴とする真空紫外線励起発光素子。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（以下「ＰＤＰ」という。）および希ガスランプなどの真空紫外線励起発光素子用の蛍光体およびその蛍光体を用いてなる真空紫外線励起発光素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
蛍光体は、ＰＤＰや希ガスランプなどのような真空紫外線励起発光素子に用いられており、真空紫外線によって励起され発光する蛍光体はすでに知られている。そのうち、ホウ酸塩蛍光体またはリン酸塩蛍光体としては、（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕが赤色蛍光体として、ＬａＰＯ４：Ｔｂが緑色蛍光体として、実用化または提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
これらの蛍光体を用いてなる真空紫外線励起発光素子は、希ガス中の放電によりプラズマを発生させ、プラズマを発生させた場所の近傍に配置した真空紫外線励起発光素子用の蛍光体にプラズマから放射された真空紫外線が照射されることにより蛍光体にエネルギーが供給されて励起され、その結果、蛍光体から放射される可視光により発光する仕組みとなっている。このような蛍光体は、蛍光体へエネルギーを供給するプラズマに曝露される結果、従来の真空紫外線励起発光素子用の蛍光体では輝度が低くなるという問題があった。このため、蛍光体へのエネルギー供給による輝度の低下が少ない真空紫外線励起発光素子用の蛍光体が求められていた。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−１２９７９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、プラズマ曝露後の輝度の低下が少ない真空紫外線励起発光素子用の蛍光体を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の課題を解決すべく蛍光体の組成について鋭意研究を重ねた結果、アルカリ土類金属元素と、Ｂ元素および／またはＡｌ元素と、Ｐ元素とを含有する特定の化合物に付活剤としてＥｕが含有されてなる蛍光体が、真空紫外線励起で強い発光を示し、プラズマ曝露後の輝度の低下が少ないことを見出し、本発明を完成するに到った。
【０００７】
すなわち本発明は、式ａＭ１Ｏ・ｂＭ２２Ｏ３・ｃＰ２Ｏ５（式中のＭ１はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上であり、Ｍ２はＢおよびＡｌからなる群より選ばれる１種以上であり、ａは０．５以上６．０以下の範囲であり、ｂは０を超え１．５以下の範囲であり、ｃは０．５以上３．５以下の範囲である。）で示される化合物に付活剤としてＥｕが含有されてなることを特徴とする真空紫外線励起発光素子用の蛍光体を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下に本発明について詳しく説明する。
本発明の真空紫外線励起発光素子用の蛍光体は式（Ｉ）
ａＭ１Ｏ・ｂＭ２２Ｏ３・ｃＰ２Ｏ５・・・（Ｉ）
で示される化合物に、付活剤としてＥｕが含有されてなる。式中のＭ１がＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上であり、Ｍ２がＢおよびＡｌからなる群より選ばれる１種以上であり、ａが０．５以上６．０以下の範囲であり、ｂが０を超え１．５以下の範囲であり、ｃが０．５以上３．５以下の範囲である場合に、この蛍光体は真空紫外線励起で強い発光を示し、プラズマ曝露後の輝度の低下が少ない。ｂが０であり、Ｂおよび／またはＡｌが含有されない場合は、真空紫外線励起による発光の輝度が低くなる。
【０００９】
ここで、ａ＝２．０、ｂ＋ｃ＝１．０（ただし、ｂ＞０である。）である場合の式（Ｉ）で示される化合物に付活剤としてＥｕが含有されてなり、式（ＩＩ）
（Ｍ３１−ｄＥｕｄ）２（Ｐ１−ｅＭ４ｅ）２Ｏ７−２ｅ・・・（ＩＩ）
（式中のＭ３はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上の元素であり、Ｍ４はＢおよびＡｌからなる群より選ばれる１種以上の元素であり、ｄは０を超え０．５以下の範囲であり、ｅは０を超え０．６以下の範囲である。）で示される化合物からなる真空紫外線励起発光素子用の蛍光体は、真空紫外線励起で強い発光を示し、プラズマ曝露後の輝度の低下が特に少ないので好ましい。
【００１０】
ここで、Ｅｕの含有量を表すｄの値は０．００１以上０．４以下の範囲であることが好ましく、より好ましくは０．００５以上０．２以下の範囲であり、さらに好ましくは０．０１以上０．１０以下の範囲である。そして、Ｍ４の含有量を表すｅの値は、０．０００１以上０．６以下の範囲であることが好ましく、より好ましくは０．００１以上０．５以下の範囲であり、さらに好ましくは０．０１以上０．４以下の範囲である。Ｍ３はＳｒである場合が好ましく、Ｍ４はＢである場合が好ましい。
【００１１】
また、ａ＝３．０、ｂ＝０．５、ｃ＝１．５であり、Ｍ２がＢである場合の式（Ｉ）で示される化合物に付活剤としてＥｕが含有されてなり、式（ＩＩＩ）
（Ｍ５１−ｆＥｕｆ）３ＢＰ３Ｏ１２・・・（ＩＩＩ）
（式中のＭ５はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上の元素であり、ｆは０を超え０．４以下の範囲である。）で示される化合物からなる真空紫外線励起発光素子用の蛍光体は、真空紫外線励起で強い発光を示し、プラズマ曝露後の輝度の低下が特に少ないので好ましい。Ｍ５がＳｒである場合が好ましく、ｆの範囲が０．００１以上０．３以下の範囲であることがより好ましく、ｆの範囲が０．００５以上０．１５以下の範囲であることがさらに好ましい。
【００１２】
また、ａ＝３．０、ｂ＝ｃ＝０．５であり、Ｍ２がＢである場合の式（Ｉ）で示される化合物に付活剤としてＥｕが含有されてなり、式（ＩＶ）
（Ｍ６１−ｇＥｕｇ）３ＢＰＯ７・・・（ＩＶ）
（式中のＭ６はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上の元素であり、ｇは０を超え０．４以下の範囲である。）で示される化合物からなる真空紫外線励起発光素子用の蛍光体は、真空紫外線励起で強い発光を示し、プラズマ曝露後の輝度の低下が特に少ないので好ましい。Ｍ６がＳｒである場合が好ましく、ｇの範囲が０．００１以上０．２以下の範囲であることがより好ましく、ｇの範囲が０．００５以上０．１５以下の範囲であることがさらに好ましい。
【００１３】
さらに、ａ＝６．０、ｂ＝０．５、ｃ＝２．５であり、Ｍ２がＢである場合の式（Ｉ）で示される化合物に付活剤としてＥｕが含有されてなり、式（Ｖ）
（Ｍ７１−ｈＥｕｈ）６ＢＰ５Ｏ２０・・・（Ｖ）
（式中のＭ７はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上の元素であり、ｈは０を超え０．３以下の範囲である。）で示される化合物からなる真空紫外線励起発光素子用の蛍光体は、真空紫外線励起で強い発光を示し、プラズマ曝露後の輝度の低下が特に少ないので好ましい。Ｍ７はＳｒからなる場合が好ましく、ｈの範囲が０．０００１以上０．１５以下の範囲であることがより好ましく、ｈの範囲が０．００１以上０．０１以下の範囲であることがさらに好ましい。
【００１４】
これらの式（ＩＩ）、（ＩＩＩ）、（ＩＶ）、（Ｖ）で示される化合物からなる蛍光体のうち、高い輝度を示すので、前記の式（ＩＩ）、（ＩＶ）、（Ｖ）で示される化合物からなる蛍光体がより好ましく、前記の式（ＩＩ）で示される化合物からなる蛍光体がさらに好ましい。
【００１５】
次に、本発明の蛍光体の製造方法について説明する。
本発明の蛍光体の製造方法は特に限定されるものではなく、例えば、酸素以外の所定の元素を含む化合物の混合物を焼成することによって製造することができる。例えば、好ましい組成の一つである組成式Ｓｒ１．９８Ｅｕ０．０２Ｐ１．６８Ｂ０．３２Ｏ６．６８で示される化合物からなる蛍光体は、ＳｒＣＯ３、Ｅｕ２Ｏ３、（ＮＨ４）２ＨＰＯ４、Ｂ２Ｏ３をＳｒ：Ｅｕ：Ｐ：Ｂが１．９８：０．０２：１．６８：０．３２となるように秤量し、混合して焼成することにより製造することができる。
【００１６】
本発明の蛍光体を製造するためのカルシウム化合物、ストロンチウム化合物、バリウム化合物、リン化合物、ホウ素化合物、アルミニウム化合物としては、例えば高純度（９９％以上）の水酸化物、炭酸塩、硝酸塩、アンモニウム塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分解し酸化物になりうるものかまたは高純度の酸化物を用いることができる。
【００１７】
リン化合物としては、高温で分解して酸化物になりうるリン酸水素アンモニウム、リン酸アンモニウムなどのリン化合物か高純度（９９％以上の）の酸化物を用いることができる。さらに、カルシウムとリンとを含む第２リン酸カルシウム、アルミニウムとリンとを含むリン酸アルミニウムなどの複合酸化物も用いることができる。
【００１８】
これらの化合物の混合には、通常工業的に用いられているボールミル、Ｖ型混合機、攪拌装置等を用いることができる。
【００１９】
混合して得られた混合物を、例えば、９００℃から１３００℃の温度範囲にて１時間から数十時間保持して焼成することにより本発明の蛍光体が得られる。また、出発原料の化合物として、水酸化物、炭酸塩、硝酸塩、アンモニウム塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で分解し酸化物になりうるものを用いた場合、該化合物を酸化物としたり、水分を除去するために焼成の前に例えば、４００℃以上９００℃未満の温度範囲で仮焼することができる。
【００２０】
焼成時の雰囲気としては、特に限定されるものではなく、窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気；空気、酸素、酸素含有窒素、酸素含有アルゴン等の酸化性雰囲気；水素含有窒素、水素含有アルゴン等の還元性雰囲気のいずれも用いることができるが、例えば、窒素やアルゴン等の不活性ガスに水素を０．１から１０体積％含有させた還元性雰囲気が好ましい。また、還元性の強い雰囲気で焼成するために適量の炭素を出発原料の化合物の混合物に添加して焼成することもできる。仮焼時の雰囲気は不活性雰囲気、酸化性雰囲気、還元性雰囲気のいずれでもよい。
【００２１】
焼成時の固相反応を促進させるためにフラックスを添加することもできる。本発明においては原料のホウ酸を０．５〜１００重量％過剰に添加することで同様の効果を得ることも可能である。さらに、蛍光体の結晶性を高めるために、必要に応じて２回以上焼成してもよい。
【００２２】
以上の方法により得られた蛍光体の粉末を、ボールミルやジェットミルなどを用いて粉砕することができ、粉砕と焼成を２回以上繰り返してもよい。得られた蛍光体粉末は必要に応じて洗浄あるいは分級することも可能である。
【００２３】
以上の方法などにより得られる蛍光体は、電子線、Ｘ線、紫外線、真空紫外線などで励起されて通常は紫〜青色で発光し、特に青色アルミン酸塩蛍光体ＢＡＭに比べ、真空紫外線励起時の輝度が高く、またプラズマ曝露後の輝度低下が少ないためＰＤＰおよび希ガスランプなどの真空紫外線励起発光素子用に好適である。
【００２４】
ここで、本発明の蛍光体を用いてなる真空紫外線励起発光表示素子の例としてＰＤＰを挙げてその製造方法について説明する。ＰＤＰの作製方法としては例えば、特開平１０−１９５４２８号公報に開示されているような公知の方法が使用できる。すなわち、青色、緑色、赤色発光用のそれぞれの真空紫外線励起発光素子用蛍光体を、例えば、セルロース系化合物、ポリビニルアルコールのような高分子化合物および有機溶媒からなるバインダーと混合して蛍光体ペーストを調製する。本発明の背面基板の内面の、隔壁で仕切られアドレス電極を備えたストライプ状の基板表面と隔壁面に、蛍光体ペーストをスクリーン印刷などの方法によって塗布し、３００〜６００℃の温度範囲で焼成し、それぞれの蛍光体層を形成させる。これに、蛍光体層と直交する方向の透明電極およびバス電極を備え、内面に誘電体層と保護層を設けた表面ガラス基板を重ねて接着する。内部を排気して低圧のＸｅやＮｅ等の希ガスを封入し、放電空間を形成させることにより、ＰＤＰを作製することができる。
【００２５】
【実施例】
次に、本発明を実施例によりさらに詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。また、発光輝度の測定は蛍光体を真空槽内に設置し、６．７Ｐａ（５×１０−２ｔｏｒｒ）以下の真空に保持し、エキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機株式会社製Ｈ００１２型）を用いて真空紫外線を照射することで行った。また、蛍光体を空気中において５００℃で３０分保持して加熱処理を行った後に前記と同様にして輝度の測定を行った。さらに、加熱処理後の蛍光体を、圧力が１３．２Ｐａで組成が５体積％Ｘｅ−９５体積％Ｎｅの雰囲気中に設置し、５０Ｗのプラズマに１５分間曝露させてプラズマ曝露処理を行った後に前記と同様にして輝度の測定を行った。
【００２６】
実施例１
Ｓｒ１．９８Ｅｕ０．０２Ｐ１．６８Ｂ０．３２Ｏ６．６８（式（ＩＩ）：（Ｍ３１−ｄＥｕｄ）２（Ｐ１−ｅＭ４ｅ）２Ｏ７−２ｅにおいてＭ３がＳｒであり、Ｍ４がＢであり、ｄが０．０１、ｅが０．１６の場合である。）を製造するにあたり、炭酸ストロンチウム（関東化学株式会社製：純度９９．９％）とリン酸水素アンモニウム（関東化学株式会社製：純度９９．０％）と酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製：純度９９．９９％）とホウ酸（関東化学株式会社製：純度９９．５％）を用いた。これらの原料をモル比でＳｒ：Ｅｕ：Ｐ：Ｂ＝１．９８：０．０２：１．６８：０．３２となるように秤量し、アセトン中、メノウ乳鉢により十分湿式混合した後、乾燥させた。混合粉末をステンレス製の金型に入れ３０ＭＰａの圧力で１５ｍｍ×３ｍｍの円形ペレットに成型した。得られたペレットをアルミナボートに入れ、電気炉内を空気雰囲気にし、６００℃で１２時間保持した後、室温まで徐冷した。この成型体を十分に粉砕し、再度円形ペレットに成型した後、アルミナボートに入れ、電気炉内を水素とアルゴンとの混合ガス（水素を５体積％含有）雰囲気中にし、１１００℃で１２時間保持して再焼成し、その後室温まで徐冷した。得られた蛍光体に２５４ｎｍの紫外線を照射したところ青色に発光し、１４６ｎｍの真空紫外線を照射したところ、強い青色発光が観測された。１４６ｎｍの真空紫外線を照射した時、市販の青色蛍光体ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕの輝度を１００とすると、実施例１の蛍光体の輝度は１８８であった。市販の青色蛍光体ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕにおいて、加熱処理後の輝度が９０、プラズマ曝露処理後の輝度が７０と変化するのに対し、実施例１の蛍光体では加熱処理後の輝度が１８８、プラズマ曝露後の輝度は１８０であった。
【００２７】
実施例２
Ｓｒ２．９７Ｅｕ０．０３ＢＰ３Ｏ１２（式（ＩＩＩ）：（Ｍ５１−ｆＥｕｆ）３ＢＰ３Ｏ１２においてＭ５がＳｒであり、ｆが０．０１の場合である。）を製造するにあたり、炭酸ストロンチウム（関東化学株式会社製：純度９９．９％）とリン酸水素アンモニウム（関東化学株式会社製：純度９９．０％）と酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製：純度９９．９９％）とホウ酸（関東化学株式会社製：純度９９．５％）を用いた。これらの原料をモル比でＳｒ：Ｅｕ：Ｂ：Ｐ＝２．９７：０．０３：１．０：３．０となるように秤量し、アセトン中、メノウ乳鉢により十分湿式混合した後、乾燥させた。混合粉末をステンレス製の金型に入れ３０ＭＰａの圧力で１５ｍｍ×３ｍｍの円形ペレットに成型した。得られたペレットをアルミナボートに入れ、電気炉内を空気雰囲気にし、６００℃で１２時間保持した後、室温まで徐冷した。この成型体を十分に粉砕し、再度円形ペレットに成型した後、アルミナボートに入れ、電気炉内を水素とアルゴンとの混合ガス（水素を５体積％含有）雰囲気中にし、１０００℃で１２時間保持して再焼成し、その後室温まで徐冷した。得られた蛍光体に２５４ｎｍの紫外線を照射したところ青色に発光し、１４６ｎｍの真空紫外線を照射したところ、強い青色発光が観測された。１４６ｎｍの真空紫外線を照射した時、市販の青色蛍光体ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕの輝度を１００とすると、実施例２の蛍光体の輝度は８０であった。青色蛍光体ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕにおいて、加熱処理後の輝度が９０、プラズマ曝露処理後の輝度が７０と変化するのに対し、実施例２の蛍光体では加熱処理後の輝度が８０、プラズマ曝露後の輝度は７５であった。
【００２８】
実施例３
Ｓｒ２．９７Ｅｕ０．０３ＢＰＯ７（式（ＩＶ）：（Ｍ６１−ｇＥｕｇ）３ＢＰＯ７においてＭ６がＳｒであり、ｇが０．０１の場合である。）を製造するにあたり、炭酸ストロンチウム（関東化学株式会社製：純度９９．９％）とリン酸水素アンモニウム（関東化学株式会社製：純度９９．０％）と酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製：純度９９．９９％）とホウ酸（関東化学株式会社製：純度９９．５％）を用いた。これらの原料をモル比でＳｒ：Ｅｕ：Ｂ：Ｐ＝２．９７：０．０３：１．０：１．０となるように秤量した以外は、実施例２と同様に行なった。得られた蛍光体に２５４ｎｍの紫外線を照射したところ紫色に発光し、１４６ｎｍの真空紫外線を照射したところ、紫色発光が観測された。１４６ｎｍの真空紫外線を照射した時、実施例３の蛍光体の輝度を１００とすると加熱処理後の輝度が１０１、プラズマ曝露処理後の輝度が９２であった。
【００２９】
実施例４
Ｓｒ５．９４Ｅｕ０．０６ＢＰ５Ｏ２０（式（Ｖ）：（Ｍ７１−ｈＥｕｈ）６ＢＰ５Ｏ２０においてＭ７がＳｒであり、ｈが０．０１の場合である。）を製造するにあたり、炭酸ストロンチウム（関東化学株式会社製：純度９９．９％）とリン酸水素アンモニウム（関東化学株式会社製：純度９９．０％）と酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製：純度９９．９９％）とホウ酸（関東化学株式会社製：純度９９．５％）を用いた。これらの原料をモル比でＳｒ：Ｅｕ：Ｂ：Ｐ＝５．９４：０．０６：：１．０：５．０となるように秤量した以外は、実施例２と同様に行なった。得られた蛍光体に２５４ｎｍの紫外線を照射したところ青色に発光し、１４６ｎｍの真空紫外線を照射したところ、強い青色発光が観測された。１４６ｎｍの真空紫外線を照射した時、市販の青色蛍光体ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕの輝度を１００とすると、実施例４の蛍光体の輝度は１１４であった。青色蛍光体ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕにおいて、加熱処理後の輝度が９０、プラズマ曝露処理後の輝度が７０と変化するのに対し、実施例４の蛍光体では加熱処理後の輝度が１１２、プラズマ曝露後の輝度は１１０であった。
【００３０】
比較例１
Ｓｒ１．９８Ｅｕ０．０２Ｐ２Ｏ７（式（ＩＩ）：（Ｍ３１−ｄＥｕｄ）２（Ｐ１−ｅＭ４ｅ）２Ｏ７−２ｅにおいてＭ３がＳｒであり、Ｍ４がＢであり、ｄが０．０１、ｅが０の場合である。）を製造するにあたり、炭酸ストロンチウム（関東化学株式会社製：純度９９．９％）とリン酸水素アンモニウム（関東化学株式会社製：純度９９．０％）と酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製：純度９９．９９％）を用いた。これらの原料をモル比でＳｒ：Ｅｕ：Ｐ＝１．９８：０．０２：２．０となるように秤量し、その後の操作は実施例１と同様に行なった。焼成後に得られた蛍光体に２５４ｎｍの紫外線を照射したところ青色に発光したが、１４６ｎｍの真空紫外線を照射するとほとんど発光しなかった。１４６ｎｍの真空紫外線を照射した時、市販の青色蛍光体ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕの輝度を１００とすると、比較例１の蛍光体の輝度は６であった。輝度が低いため、比較例１における加熱処理およびプラズマ処理後の輝度は測定できなかった。
【００３１】
【発明の効果】
本発明の蛍光体は、真空紫外線励起時に高い輝度で発光し、プラズマ曝露後の輝度低下が少ないため、ＰＤＰおよび希ガスランプなどの真空紫外線励起発光素子用に好適であり、高輝度の真空紫外線励起発光素子が実現できるため工業的に極めて有用である。