(57)【要約】【課題】発塵やアウトガスを抑制すると共に、寿命延長を可能にしてメンテナンスフリー化やメンテナンス期間の延長を実現する。【解決手段】ねじ軸３とナット６との間に複数のボール５が転動可能に配設され、且つ各ボール５間に保持ピース１０が介装されたボールねじ装置１において、ねじ軸３およびナット６をステンレス鋼で形成すると共に、保持ピース１０をポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂で形成し、且つねじ軸３の軌道面、ナット６の軌道面およびボール５の転動面の内の少なくとも該ボール５の転動面に０．１〜１０μｍの厚さの潤滑剤被覆を設ける。【選択図】      図１
2005016589.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外方部材と内方部材との間に複数の転動体が転動可能に配設され、且つ各転動体の間に保持ピースが介装された転動装置において、
前記外方部材および前記内方部材をステンレス鋼で形成すると共に、前記保持ピースをポリエーテルエーテルケトン樹脂で形成し、且つ前記外方部材の軌道面、前記内方部材の軌道面および前記転動体の転動面の内の少なくとも該転動体の転動面に０．１〜１０μｍの厚さの潤滑剤被覆を設けたことを特徴とする転動装置。
【請求項２】
前記外方部材の軌道面、前記内方部材の軌道面および前記転動体の転動面の内の少なくとも一つの面に硬質層を設けたことを特徴とする請求項１記載の転動装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶パネル製造装置や半導体製造装置等に用いられる転動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、転動装置は、外方部材と内方部材との間に複数の転動体が転動自在に配設されており、軌道面にグリース等の潤滑剤を供給して転がり摩擦を減少させ、装置の耐久性を向上させている。
このような転動装置を真空下で使用すると、潤滑剤の蒸気がその使用環境を汚染するため、潤滑剤としては低蒸気圧の潤滑油又は固体潤滑剤が用いられている。
【０００３】
一般的な固体潤滑剤としては、二硫化モリブデンなどの層状物質、金、銀、鉛などの軟質金属系固体潤滑剤、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）などの高分子系固体潤滑剤が知られている。
真空中で転動装置を使用する代表的な装置例である半導体製造装置や液晶パネル製造装置で前記した固体潤滑剤被膜を形成した転動装置を使用した場合、固体潤滑剤の摩耗粉（パーティクル）がパターン上に付着して回路を短絡させる虞れがあるので、導電性のある軟質金属系の固体潤滑剤の使用は敬遠される。また、二硫化モリブデン、ＰＴＦＥなどの固体潤滑剤は非導電性であるが、これらの固体潤滑剤は摺動相手材に転移し難く、しかも耐摩耗性が低いので、耐久性の点で軟質金属系の固体潤滑剤よりも劣る。
【０００４】
そこで、本出願人等は、少なくとも転動体の表面に緻密な窒化層を形成してさらに官能基を有する含フッ素重合体とパーフロロポリエーテル（ＰＦＰＥ）からなる潤滑剤を被覆した転動装置を提案した（特許文献１参照）。
また、外方部材の軌道面、内方部材の軌道面および転動体の転動面の内の少なくとも一つの面に２０°Ｃにおける蒸気圧が１０−１１  Ｔｏｒｒ以下であるアルキル化シクロペンタンを主成分とする潤滑剤被膜を備えた転動装置を提案した（特許文献２参照）。
このような潤滑剤被膜を形成した転動装置では、発塵性やアウトガスを抑制することができ、且つ従来の固体潤滑剤を用いた転動装置と比較して寿命を延長することができる。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−２４８７０８号公報
【特許文献２】
特開２００１−７２９８７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１および特許文献２に記載の転動装置においては、薄い潤滑膜による潤滑であり、いずれ被膜がなくなれば寿命に達することになる。
近年の液晶パネル製造装置や半導体製造装置における低発塵化、低アウトガス化の要求は益々厳しくなっており、発塵、アウトガスを減らすためには上記潤滑膜の膜厚を極限まで小さくする必要があるが、これは逆に寿命を低下させることにつながる。
【０００７】
液晶パネル製造装置や半導体製造装置に使用される転動装置は、低発塵、低アウトガスでありながら、メンテナンスフリー化やメンテナンス期間の延長を求められることも多く、薄い被膜だけの潤滑ではこれらの相矛盾する要求に応えることは難しいのが現状である。
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、発塵やアウトガスを抑制することができると共に、寿命延長を可能にしてメンテナンスフリー化やメンテナンス期間の延長を実現することができる転動装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、外方部材と内方部材との間に複数の転動体が転動可能に配設され、且つ各転動体の間に保持ピースが介装された転動装置において、
前記外方部材および前記内方部材をステンレス鋼で形成すると共に、前記保持ピースをポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂で形成し、且つ前記外方部材の軌道面、前記内方部材の軌道面および前記転動体の転動面の内の少なくとも該転動体の転動面に０．１〜１０μｍの厚さの潤滑剤被覆を設けたことを特徴とする。
請求項２に係る発明は、請求項１において、前記外方部材の軌道面、前記内方部材の軌道面および前記転動体の転動面の内の少なくとも一つの面に硬質層を設けたことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態の一例を図を参照して説明する。図１は本発明に係る転動装置の実施の形態の一例であるボールねじ装置の要部断面図、図２は各転動体間に介装された保持ピースを説明するための図、図３は発塵試験装置の概略図、図４は本発明に係る転動装置の他の実施の形態であるリニアガイド装置を説明するための図である。
【００１０】
本発明の実施の形態の一例であるボールねじ装置１は、図１に示すように、外周面に螺旋状のねじ溝２を有するねじ軸（内方部材）３に、内周面にねじ溝２に対応する螺旋状のねじ溝４を有するナット（外方部材）６が螺合されている。
ナット６のねじ溝４とねじ軸３のねじ溝２とは互いに対向して両者の間に螺旋状の負荷軌道を形成しており、該負荷軌道には転動体としての多数のボール（鋼球）５が転動可能に装填されている。また、各ボール５の間には、図２に示すように、保持ピース１０が介装されている。保持ピース１０は、円筒又は円柱状に形成されて軸方向の両端部にボール５の形状に対応する凹面部１１が形成されている。そして、ねじ軸３（又はナット６）の回転により、ナット６（又はねじ軸３）がボール５の転動を介して軸方向に移動するようになっている。
【００１１】
また、ナット６の外周面の一部には平坦面が設けられ、この平坦面には両ねじ溝２，４間に連通する２個一組の孔７がねじ軸３を跨ぐように形成されている。この一組の孔７にボール循環部材の一例である略コ字状の循環チューブ８の両端を嵌め込むことにより、両ねじ溝２，４間の負荷軌道に沿って公転するボール５を該負荷軌道の途中から循環チューブ８ですくい上げて元の負荷軌道に戻し、これにより、ボール５を無限循環させるようにしている。なお、ボール循環方式としては、循環チューブ式の他に、例えばエンドキャップ式やこま式等を挙げることができる。
【００１２】
ここで、この実施の形態では、ねじ軸３およびナット６をステンレス鋼で形成すると共に、保持ピース１０をポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂で形成し、且つねじ軸３のねじ溝２面（軌道面）、ナット６のねじ溝４面（軌道面）およびボール５の転動面の内の少なくとも該ボール５の転動面に０．１〜１０μｍの厚さの潤滑剤被覆を設け、更に、ねじ軸３のねじ溝２面（軌道面）、ナット６のねじ溝４面（軌道面）およびボール５の転動面の内の少なくとも一つの面に硬質層を設けている。
【００１３】
前記保持ピース１０の素材であるポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂は、優れた耐熱性、耐薬品性、機械的性質および電気絶縁性を有する合成樹脂として公知の合成樹脂であり、このＰＥＥＫには、耐摩耗性を改善するためにガラス繊維、カーボン繊維、チタン酸カリウムウィスカーなどを添加してもよく、また、潤滑性改善のためにＰＴＦＥ、二硫化モリブデン、グラファイトなどの微粒子を添加してもよい。
【００１４】
この実施の形態に用いることができる市販のＰＥＥＫ樹脂としては、ビクトレックス・エムシー社製でガラス繊維強化した１５０ＧＬ３０、４５０ＧＬ３０、炭素繊維強化した１５０ＣＡ３０、４５０ＣＡ３０、摺動性を改善した１５０ＦＣ３０、４５０ＦＣ３０やナチュラルＰＥＥＫ１５１Ｇ、３８１Ｇ、４５０Ｇ等を挙げることができる。このようなＰＥＥＫ樹脂は熱可塑性プラスチック材料であり、射出成形が可能である。
このように各ボール５の間に保持ピース１０を介装してボール同士の逆作動を防止することで、ボールねじ装置の温度上昇が低くなって潤滑剤のわずかな蒸発も抑えることができ、これにより、アウトガスの発生を抑制できると共に、長寿命化を図ることができる。
【００１５】
また、前記潤滑剤被膜としては、パーフロロポリエーテル（ＰＦＰＥ）又はパーフルオロポリアルキルエーテル（ＰＦＡＥ）を主成分とするフッ素油、アルキル化シクロペンタンを主成分とした潤滑油、ポリフェニルエーテルを主成分とした潤滑油の他、これらの低蒸気圧潤滑油を基油としたグリースを用いることができる。これらの潤滑剤被膜は、低蒸気圧であるから短時間で揮発せず、発塵、アウトガスの発生を低く抑えることができ、上記保持ピース１０の効果と相まってメンテナンスフリー化やメンテナンス期間の延長を実現することができる。なお、前記潤滑剤被膜の膜厚は、用途や使用条件によって異なるが、実用上０．３〜５μｍが発塵、アウトガス、寿命の点でより好ましい。
【００１６】
パーフロロポリエーテル（ＰＦＰＥ）またはパーフルオロポリアルキルエーテル（ＰＦＡＥ）の具体例としては、アウジモント社製のフォンブリン（ＦＯＭＢＬＩＮ）、デュポン社製のクライトックス（ＫＲＹＴＯＸ）、ダイキン工業社製のデムナムなどを市販品として挙げることができる。
また、アルキル化シクロペンタンを主成分とした潤滑油としては、トリ（２−オクチルドデシル）シクロペンタンが挙げられる。なお、トリ（２―オクチルドデシル）シクロペンタンとしては、Ｎｙｅ  Ｌｕｂｒｉｃａｎｔｓ社製のＳｙｎｔｈｅｔｉｃ  ｏｉｌ  ２００１Ａ  （商品名）が市販されている。この他、トリ−ｎ−オクチルシクロペンタン、テトラ−ｎ−オクチルシクロペンタン、ペンタ−ｎ−オクチルシクロペンタン、トリ−ｎ−ノニルシクロペンタン、ペンタ−ｎ−デシルシクロペンタン、ペンタ−ｎ−ドデシルシクロペンタン、テトラ−２−エチルヘキシルシクロペンタン等のようなアルキル化シクロペンタンを使用してもよい。
【００１７】
ポリフェニルエーテルとしては、松村石油研究所のアルキルジフェニルエーテル、ペンタフェニルエーテル、テトラフェニルエーテル、モノアルキルテトラフェニルエーテル、ジアルキルテトラフェニルエーテル等を使用することができる。
なお、潤滑油のコーティング方法は、有機溶剤に潤滑剤を溶かした溶液に浸漬するか、スプレーで塗布するか、注射器で滴下する方法などが考えられる。コーティング後、溶剤及び潤滑剤の低沸点分を蒸発させるために、大気又は真空中で加熱処理を行ってもよい。
【００１８】
前記硬質層は、単層又は複層のどちらでもよい。この硬質層としては、窒化等の拡散処理やダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、窒化炭素（ＣＮｘ）、炭窒化硼素（ＢＣＮ）、窒化クロム（ＣｒＮ）、窒化チタン（ＴｉＮ）、炭化チタン（ＴｉＣ）、炭化タングステン（ＷＣ）、炭化バナジウム（ＶＣ）等の硬質膜を単層に被覆するか複数の硬質膜を複数積層してもよい。
このような硬質層を形成することにより、潤滑剤の濡れ性の改善と摺動面の耐摩耗性の向上を図ることができ、寿命の更なる延長を図ることができる。
【００１９】
【実施例】
３０％の炭素繊維を添加したＰＥＥＫ樹脂を射出成形で成形して図２と同一構造の保持ピースを得た。次に、図１と同一構造のボールねじ装置の各ボール間にこの保持ピースを組み込んだもの（実施例１〜７）、各ボール間に保持ピースを組み込まないもの（比較例１〜５）、各ボール間にスペーサボール（比較例６）を組み込んだものについて、それぞれ耐久試験および発塵試験を次の条件で行った。
【００２０】
耐久試験条件は、次の通りである、
試験ボールねじ装置：日本精工株式会社製Ｗ１５０３ＫＡ（軸径１５ｍｍ、リード１０）
材質：ＳＵＳ４４０Ｃ（ねじ軸、ナット、ボール）
ＳＵＳ３０４（循環チューブ）
荷重：軸方向荷重１１０Ｎ（ダブルナット方式）
ストローク：１８０ｍｍ
軸回転速度：２０００ｍｉｎ−１
真空度：２×１０−４Ｐａ
寿命の判定は、初期トルクの３倍に達した時点で寿命とした。
【００２１】
発塵試験条件は、次の通りである。
試験ボールねじ装置：日本精工株式会社製Ｗ１５０３ＫＡ（軸径１５ｍｍ、リード１０）
材質：ＳＵＳ４４０Ｃ（ねじ軸、ナット、ボール）
ＳＵＳ３０４（循環チューブ）
荷重：デッドウェイト５０Ｎ（シングルナット方式）
ストローク：３００ｍｍ
真空度：２×１０−４Ｐａ
試験時間：２４時間
図３に発塵試験装置の一例を示す。図３において、符号２０はボールねじ装置を収容する真空容器、２１はナット、２２はねじ軸、２３はナット２１の回り止め、２４はねじ軸２２を回転させる駆動モータ、２５はパーティクルを集めるための集塵ロート、２６は真空パーティクルモニタ（アネルバ社製ＤＭ−１００）である。
【００２２】
次に、実施例及び比較例の仕様を説明する。
（実施例１）
含フッ素重合体（フォンブリンＺ  ＤＩＡＣ）とフッ素油（デムナムＳ−２００）の混合物を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆し、各ボール間にＰＥＥＫ樹脂（ビクトレックス・エムシー社製４５０ＣＡ３０）を射出成形して得られた保持ピースを挿入した。
（実施例２）
アルキル化シクロペンタン（Ｎｙｅ  Ｌｕｂｒｉｃａｎｔｓ社製のＳｙｎｔｈｅｔｉｃ  ｏｉｌ  ２００１Ａ  （商品名））をねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆し、各ボール間にＰＥＥＫ樹脂（ビクトレックス・エムシー社製４５０ＣＡ３０）を射出成形して得られた保持ピースを挿入した。
【００２３】
（実施例３）
ペンタフェニルエーテル（松村石油研究所製Ｓ−３１０５）をねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆し、各ボール間にＰＥＥＫ樹脂（ビクトレックス・エムシー社製４５０ＣＡ３０）を射出成形して得られた保持ピースを挿入した。
（実施例４）
含フッ素重合体（フォンブリンＺ  ＤＩＡＣ）とフッ素油（デムナムＳ−２００）の混合物を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆し、各ボール間にＰＥＥＫ樹脂（ビクトレックス・エムシー社製４５０Ｇ）を射出成形して得られた保持ピースを挿入した。
【００２４】
（実施例５）
含フッ素重合体（フォンブリンＺ  ＤＩＡＣ）とフッ素油（デムナムＳ−２００）の混合物を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆し、各ボール間にＰＥＥＫ樹脂（ビクトレックス・エムシー社製４５０ＣＡ３０）を射出成形して得られた保持ピースを挿入した。また、ねじ軸に２μｍのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を被覆した。ＤＬＣの成膜は、アンバランスドマグネトロンスパッタ装置を用い、グラファイトをターゲットとし、Ａｒとメタンの混合雰囲気中で形成した。なお、ＤＬＣの密着性向上と内部応力を緩和するため、下地にＣｒを被覆し、Ｃｒから組成を傾斜させてＷ，Ｗからカーボン層についても、ＷからＣまで組成を傾斜させて最上層はカーボン単層とした。
【００２５】
（実施例６）
含フッ素重合体（フォンブリンＺ  ＤＩＡＣ）とフッ素油（デムナムＳ−２００）の混合物を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆し、各ボール間にＰＥＥＫ樹脂（ビクトレックス・エムシー社製４５０ＣＡ３０）を射出成形して得られた保持ピースを挿入した。また、ねじ軸に２μｍの窒化炭素（ＣＮｘ）を被覆した。ＣＮｘの成膜は、アンバランスドマグネトロンスパッタ装置を用い、グラファイトをターゲットとし、Ａｒと窒素の混合雰囲気中で形成した。
【００２６】
（実施例７）
フッ素グリース（フォンブリンＹＶＡＣ３）を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆し、各ボール間にＰＥＥＫ樹脂（ビクトレックス・エムシー社製４５０ＣＡ３０）を射出成形して得られた保持ピースを挿入した。また、ねじ軸に２μｍのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を被覆した。ＤＬＣの成膜方法は実施例５と同様である。
【００２７】
（比較例１）
保持ピースを取り除いて総ボール形式とし、含フッ素重合体（フォンブリンＺＤＩＡＣ）とフッ素油（デムナムＳ−２００）の混合物を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆した。
（比較例２）
保持ピースを取り除いて総ボール形式とし、含フッ素重合体（フォンブリンＺＤＩＡＣ）とフッ素油（デムナムＳ−２００）の混合物を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆すると共に、ねじ軸に２μｍのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を被覆した。ＤＬＣの成膜方法は実施例５と同様である。
【００２８】
（比較例３）
保持ピースを取り除いて総ボール形式とし、アルキル化シクロペンタン（Ｎｙｅ  Ｌｕｂｒｉｃａｎｔｓ社製のＳｙｎｔｈｅｔｉｃ  ｏｉｌ  ２００１Ａ  （商品名））を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆すると共に、ねじ軸に２μｍのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を被覆した。ＤＬＣの成膜方法は実施例５と同様である。（比較例４）
保持ピースを取り除いて総ボール形式とし、ペンタフェニルエーテル（松村石油研究所製Ｓ−３１０５）を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆すると共に、ねじ軸に２μｍのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）を被覆した。ＤＬＣの成膜方法は実施例５と同様である。
【００２９】
（比較例５）
保持ピースを取り除いて総ボール形式とし、フッ素グリース（フォンブリンＹＶＡＣ３）を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆した。
（比較例６）
総ボールではなく、負荷ボールよりも径が小さいスペーサボールを１個おきに挿入し、含フッ素重合体（フォンブリンＺ  ＤＩＡＣ）とフッ素油（デムナムＳ−２００）の混合物を、ねじ軸、ナット、ボール、循環チューブに１μｍ被覆した。
試験結果を表１に示す。なお、寿命は比較例１の寿命を１とした時の比で表した。発塵量についても、比較例１の単位時間当たりの発塵量を１とした時の比で表した。
【００３０】
【表１】
2005016589.tif 000003
【００３１】
表１から明らかなように、本発明例である実施例１〜７は比較例１〜６に比べて寿命が大幅に向上しており、また、発塵量も大幅に減少しているのが判る。特に、ねじ軸に硬質層を設けた実施例５〜７については、寿命の更なる延長が認められる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
【００３２】
例えば、上記実施の形態では、転動装置としてボールねじ装置を例に採ったが、これに限定されず、ボールねじ装置以外の転動装置、例えば図４に示すリニアガイドに本発明を適用しても同様の効果が得られることは言うまでもない、
リニアガイド装置３０は、図４に示すように、軸方向に延びる案内レール（内方部材）３１と、該案内レール３１上に軸方向に相対移動可能に跨架されたスライダ（外方部材）３２とを備えており、案内レール３１の両側面にはそれぞれ軸方向に延びる転動体転動溝３３が形成されている。スライダ３２のスライダ本体３２Ａには、その両袖部３４の内側面にそれぞれ転動体転動溝３３に対向する転動体転動溝３５が形成されると共に、袖部３４内に軸方向に貫通する転動体通路３８が形成されている。
【００３３】
また、スライダ本体３２Ａの前後両端にはそれぞれ前記両転動体転動溝３３，３５間と前記転動体通路３８とを連通する半円弧状に湾曲した転動体循環路を有するエンドキャップ（図示せず）がねじ等を介して固定されており、前記両転動体転動溝３３，３５間、前記転動体循環路及び前記転動体通路３８によって転動体無限循環軌道を構成している。
そして、この転動体無限循環軌道には転動体としての多数のボールＢが循環可能に装填されると共に、各ボールＢ間には図２に示す保持ピース１０が介装されており、これらのボールＢの転動を介してスライダ３２が案内レール３１上を軸方向に沿って相対移動できるようになっている。
【００３４】
ここで、この実施の形態では、案内レール３１およびスライダ３２をステンレス鋼で形成すると共に、保持ピース１０をポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂で形成し、且つ案内レール３１の転動体転動溝３３面（軌道面）、スライダ３２の転動体転動溝３５面（軌道面）およびボールＢの転動面の内の少なくとも該ボールＢの転動面に０．１〜１０μｍの厚さの潤滑剤被覆を設け、更に、案内レール３１の転動体転動溝３３面（軌道面）、スライダ３２の転動体転動溝３５面（軌道面）およびボールＢの転動面の内の少なくとも一つの面に硬質層を設けている。なお、その他の構成および作用は図１及び図２に示した実施の形態と同様であるので、その説明を省略する。
【００３５】
【発明の効果】
上記の説明から明らかなように、請求項１の発明によれば、各転動体の間に保持ピースを介装して転動体同士の逆作動を防止することで、転動装置の温度上昇が低くなって潤滑剤のわずかな蒸発も抑えることができるので、アウトガスの発生を抑制できると共に、長寿命化を図ることができる。また、潤滑剤被膜は、低蒸気圧であるから短時間で揮発せず、発塵、アウトガスの発生を低く抑えることができると共に、大気中だけでなく、真空中においても好適に使用することができ、上記保持ピースの効果と相まってメンテナンスフリー化やメンテナンス期間の延長を実現することができる。
請求項２の発明では、請求項１の発明に加えて、外方部材の軌道面、内方部材の軌道面および転動体の転動面の内の少なくとも一つの面に硬質層を設けることで、耐摩耗性の向上と潤滑剤の転動面への濡れ性が改善されるため、更なる長寿命化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る転動装置の実施の形態の一例であるボールねじ装置の要部断面図である。
【図２】各転動体間に介装された保持ピースを説明するための図である。
【図３】発塵試験装置の概略図である。
【図４】本発明に係る転動装置の他の実施の形態であるリニアガイド装置を説明するための図である。
【符号の説明】
１…ボールねじ装置（転動装置）
３…ねじ軸（内方部材）
５…ボール（転動体）
６…ナット（外方部材）
１０…保持ピース
【図１】
2005016589.tif 000004
【図２】
2005016589.tif 000005
【図３】
2005016589.tif 000006
【図４】
2005016589.tif 000007