(57)【要約】【課題】  簡単な構造で高いアイソレーションが得られる光合分波器の提供。【解決手段】  ガラス基板２２の両面に誘電体多層膜２３，２４が形成されてなる誘電体多層膜型光フィルタ２１と、その一方の誘電体多層膜に接続され入射ポート用光ファイバ２７と反射ポート用光ファイバ２８を有する第１のコリメートレンズ２５と、他方の誘電体多層膜に接続された第２のコリメートレンズ２６とを有する光合分波器であって、前記ガラス基板が、前記他方の誘電体多層膜からの反射光が反射ポート用光ファイバに結合しないような厚さを有することを特徴とする光合分波器２０。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板の両面に誘電体多層膜が形成されてなる誘電体多層膜型光フィルタと、その一方の誘電体多層膜に接続され入射ポート用光ファイバと反射ポート用光ファイバを有する第１のコリメートレンズと、他方の誘電体多層膜に接続された第２のコリメートレンズとを有する光合分波器であって、前記ガラス基板が、前記他方の誘電体多層膜からの反射光が反射ポート用光ファイバに結合しないような厚さを有することを特徴とする光合分波器。
【請求項２】
ガラス基板の厚さが１．３ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載の光合分波器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放送通信融合１芯３波多重ＦＴＴＨソリューションにおいてキーデバイスとなる光合分波器に関し、特に反射ポート側のアイソレーションを向上させるための技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年ＦＴＴＨや、ＣＡＴＶの光ファイバ化などアクセスネットワークに於ける光通信システム需要が増加している。これらのシステムでは放送と通信の融合も盛んに検討されており、１芯３波多重ＦＴＴＨソリューションは最も有望な技術の一つである。
【０００３】
１芯３波多重ＦＴＴＨソリューションはＩＴＵ−Ｔ  Ｇ９８３．３に規定されているように１．３１，１．４９，１．５５μｍ帯の３つの波長帯域を用いて、１本の光ファイバで映像と通信の情報をやり取りする技術である。
図１に示すように１．３１μｍ帯を通信の上りとして、１．４９μｍ帯を通信の下りとして、１．５５μｍ帯を映像用として使用する。
ここで、通信と映像の信号を分けるため、１．３１，１．４９μｍ帯と１．５５μｍ帯とに波長を分ける光合分波器が必要となる。
光合分波器としては、ファイバ型カプラや誘電体多層膜型光フィルタとコリメータとを組み合わせたマイクロオプティクス型光部品等が挙げられるが、ファイバ型カプラでは所望のアイソレーションを達成することが難しいため、誘電体多層膜型光フィルタとコリメータとを組み合わせたマイクロオプティクス型光部品が用いられることが多い。
誘電体多層膜型光フィルタを用いた光合分波器は、２つのコリメートレンズ間に誘電体多層膜型光フィルタを挟み込み、さらに両端に１芯（又は２芯）の光ファイバを把持した円筒形のキャピラリを配置した構造になっている。これらの各構成部品は、エポキシ系、またはアクリル系などの接着剤を用いて固定されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
図２は、従来の光合分波器を例示する図である。この光合分波器は、誘電体多層膜型光フィルタ１と、その両面にそれぞれ一端側が固定されたコリメートレンズ２，３と、これらのコリメートレンズ２，３の他端側に固定されたキャピラリ４，５と、これらのキャピラリ４，５の孔内に挿入固定された光ファイバ６，７，８とから構成されている。
例えば、１．３１，１．４９μｍ帯を透過し１．５５μｍ帯を反射する特性をもつ誘電体多層膜型光フィルタ１を用いた場合、図２のように入射ポート用光ファイバ６に入射した１．４９μｍ帯の光は透過ポート用光ファイバ８から出射され、入射ポート用光ファイバ６に入射した１．５５μｍ帯の光は反射ポート用光ファイバ７から出射される。
図２に示したような構造を持つ光合分波器の一般的な波長特性を図３に示す。図３に示すように、透過ポート側のアイソレーションは４０ｄＢ程度、反射ポート側のアイソレーションは１８ｄＢ程度であるが、これらの数値は主に誘電体多層膜型光フィルタの特性に依存するものである。ところが、１芯３波長多重ＦＴＴＨソリューションでは映像と通信の情報を同じファイバで伝送するため、透過・反射側両方のアイソレーション（遮断率）はできるだけ高い値、例えば３０ｄＢ以上が要求される。
【０００５】
図２に示した一般的な構造の光合分波器のアイソレーション特性は、誘電体多層膜型光フィルタの損失波長特性に大きく依存する。誘電体多層膜型光フィルタ１は、図４に示すようにガラス基板１０上に２種類以上の屈折率の異なる膜１１，１２を多層に積み重ねた多層膜９を形成した構造になっており、このフィルタに光を入射すると、屈折率の異なる層の境界で起こる反射が重なって干渉し、透過率や反射率の波長依存性や偏光依存性が生じる。すなわち、ガラス基板や多層膜を形成する材料を選定し、多層膜の層数や各層の膜厚を最適化することによって、任意の透過率や反射率の波長依存性を有する誘電体多層膜型光フィルタを作製することができる。一般に、ある層数の誘電体多層膜型光フィルタを考えたとき、透過側のアイソレーションを高めようとすれば反射側のアイソレーションが悪化し、逆に反射側のアイソレーションを高めようとすれば透過側のアイソレーションが悪化してしまう。特に反射側のアイソレーションを高めることは難しく、例えば反射側のアイソレーションを３０ｄＢ以上とするためには、透過側の透過帯域の挿入損失を０．００４３５ｄＢ以下にする必要がある。そこで従来技術では、透過・反射側両方のアイソレーションを高めるために、透過ポート側のアイソレーションに関しては１個の誘電体多層膜型光フィルタを使用することで例えば３０ｄＢ以上を実現し、反射ポート側のアイソレーションは後述する方法で例えば３０ｄＢ以上を達成してきた。
【０００６】
反射ポート側のアイソレーションを高くする従来技術としては、以下の３通りが挙げられる。
（１）図５に示すように、反射ポート用光ファイバ７の先端に、カットフィルタ１３入りのコネクタ１４をつなぐ構造。
（２）図６に示すように、反射ポート用光ファイバ７とコリメートレンズ２との間にもう一枚の誘電体多層膜型光フィルタ１５を、接着剤を用いて貼り付ける構造。
（３）図７に示すように、２つの光合分波器を接続用光ファイバ１６により接続した構造。
【特許文献１】特開２００２−１８２０６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記（１）〜（３）の構造には、それぞれ次のような問題があった。
（１）の構造は、部品をモジュール内に組み込むとき、コネクタを使わずに融着接続することが不可能になってしまう。
また、（１）、（２）、（３）の各構造とも、部品点数が多く、製造コストが大きくなり、信頼性も悪化する。
（２）の構造は、ファイバ端部とフィルタの間はエポキシ系やアクリル系などの接着剤を使用するが、この部位では光のパワー密度が大きいため（モードフィールド径：約１０μｍ）、入射される光の強度が大きくなると樹脂の劣化が起こり、挿入損失増加などの故障を発生しやすい。また、ファイバとレンズを融着接続したコリメータを用いる場合、この構造を具体化することができない。
（３）の構造は、部品サイズが大きくなってしまう。また、反射ポートに関して、ファイバとレンズの結合部の数が多いので、挿入損失が増加してしまう。
【０００８】
本発明は前記事情に鑑みてなされ、簡単な構造で高いアイソレーションが得られる光合分波器の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するため、本発明は、ガラス基板の両面に誘電体多層膜が形成されてなる誘電体多層膜型光フィルタと、その一方の誘電体多層膜に接続され入射ポート用光ファイバと反射ポート用光ファイバを有する第１のコリメートレンズと、他方の誘電体多層膜に接続された第２のコリメートレンズとを有する光合分波器であって、前記ガラス基板が、前記他方の誘電体多層膜からの反射光が反射ポート用光ファイバに結合しないような厚さを有することを特徴とする光合分波器を提供する。
【００１０】
本発明の光合分波器において、ガラス基板の厚さが１．３ｍｍ以上であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の光合分波器は、ガラス基板の表裏両面に誘電体多層膜を設けた誘電体多層膜型光フィルタ素子を用いたこと、及び他方の誘電体多層膜からの反射光が反射ポート用光ファイバに結合しないような厚さのガラス基板を用いたことによって、簡単な構造で高いアイソレーションが得られ、例えば反射側のアイソレーション３０ｄＢ以上、透過側のアイソレーション５０ｄＢ以上を達成できる。
また従来技術と比較して部品点数が少なく、組立工程も少ないことから、低価格で信頼性が高い小型の光合分波器を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
図８は、本発明の光合分波器の第１実施形態を示す図であり、図中符号２０は光合分波器、２１は誘電体多層膜型光フィルタ、２２はガラス基板、２３と２４は誘電体多層膜、２５は第１のコリメートレンズ、２６は第２のコリメートレンズ、２５Ａと２６Ａは各コリメートレンズの一端面、２５Ｂと２６Ｂは各コリメートレンズの他端面、２７は入射ポート用光ファイバ、２８は反射ポート用光ファイバ、２９は透過ポート用光ファイバである。
【００１３】
本実施形態の光合分波器２０は、ガラス基板２２の両面に誘電体多層膜２３，２４が形成されてなる誘電体多層膜型光フィルタ２１と、その一方の誘電体多層膜２３に接続され入射ポート用光ファイバ２７と反射ポート用光ファイバ２８を有する第１のコリメートレンズ２５と、他方の誘電体多層膜２４に接続され透過ポート用光ファイバ２９を有する第２のコリメートレンズ２６とからなり、ガラス基板２２が、他方の誘電体多層膜２４からの反射光が反射ポート用光ファイバ２８に結合しないような厚さを有していることを特徴としている。
【００１４】
前記誘電体多層膜型光フィルタ素子２１は、ガラス基板２２の表裏両面に、低屈折率材料からなる膜と高屈折率材料からなる膜を多層に積み重ねてなる誘電体多層膜２３，２４を形成した構造になっている。誘電体多層膜２３，２４を構成する低屈折率材料としては、ＳｉＯ２などが挙げられる。また高屈折率材料としては、Ｔａ２Ｏ５，ＴｉＯ２，Ｎｂ２Ｏ５などが挙げられる。
【００１５】
誘電体多層膜型光フィルタ素子２１のガラス基板２２の厚さは１．３ｍｍ以上であることが好ましく、１．４ｍｍ〜３ｍｍ程度がより好ましい。ガラス基板２２の厚さが１．３ｍｍ未満であると、十分なアイソレーションが得られなくなる。
【００１６】
本実施形態において、前記第１のコリメートレンズ２５と第２のコリメートレンズ２６は、誘電体多層膜型光フィルタ素子２１のそれぞれの面に接着剤を用いて接着固定されている。この接着剤としては、エポキシ系樹脂やアクリル系樹脂が挙げられ、紫外線硬化型エポキシ系樹脂等が好適に用いられる。
【００１７】
本実施形態において、第１，第２のコリメートレンズ２５，２６に接続された３本の光ファイバ２７，２８，２９は、第１，第２のコリメートレンズ２５，２６のそれぞれの一端面２５Ａ，２６Ａに融着接続されている。なお、第１，第２のコリメートレンズ２５，２６と光ファイバ２７，２８，２９との接続は、本例示に限定されず、図２に示すように、光ファイバの端部をキャピラリに挿入固定し、キャピラリの端面をコリメートレンズに接着固定する構成としてもよい。
【００１８】
次に、実際に作製した光合分波器２０について説明する。それぞれの光ファイバ２７，２８，２９は、第１、第２のコリメートレンズ２５，２６のそれぞれの一端面２５Ａ，２６Ａに直接融着されており、第１、第２のコリメートレンズ２５，２６の他端面２５Ｂ，２６Ｂと誘電体多層膜型光フィルタ素子２１のそれぞれの面とは紫外線硬化型エポキシ樹脂等の接着剤で固定されている。第１、第２のコリメートレンズ２５，２６のサイズは、直径が０．４ｍｍ程度、長さが１．７ｍｍ程度であり、出射されるビームのモードフィールド径は１４０μｍ程度である。
【００１９】
誘電体多層膜型光フィルタ素子２１は、ガラス基板２２の両面に誘電体多層膜２３，２４を形成した構造になっており、それぞれ膜厚は数μｍから数十μｍ程度である。フィルタチップサイズは０．７ｍｍ角で厚さが１．５ｍｍである。
【００２０】
前述したように、１個の誘電体多層膜型光フィルタによって透過側・反射側のアイソレーションを同時に高めることは難しい。そこで、図８のように第１の誘電体多層膜型光フィルタ２３（以下、フィルタＡと記す。）を反射側のアイソレーションを高めて設計し、不足している透過側のアイソレーションは第２の誘電体多層膜型光フィルタ２４（以下、フィルタＢと記す。）によって高くするというのが本発明の構造である。
【００２１】
本構造による光合分波器２０の波長特性を図９〜図１１に示す。図９はフィルタＡ単独での透過ポートと反射ポートの損失波長特性を示すグラフであり、図１０はフィルタＢ単独での透過ポートと反射ポートの損失波長特性を示すグラフであり、図１１はフィルタＡとフィルタＢとを備えた誘電体多層膜型光フィルタでの透過ポートと反射ポートの損失波長特性を示すグラフである。これらのグラフに示す通り、反射側に関してはフィルタＡによってアイソレーション３０ｄＢ以上達成されており、透過側に関しては、フィルタＡとフィルタＢを通過することによってアイソレーション５０ｄＢ以上が達成されている。このように本構造によれば、反射側のアイソレーション３０ｄＢ以上、透過側のアイソレーション５０ｄＢ以上を達成することができる。
【００２２】
ここで、本構造の光合分波器２０の光合分波特性について、図１２を用いて具体的に説明する。入射ポート用光ファイバ２７から入射された光３０は、第１のコリメートレンズ２５を介してフィルタＡに入射される。フィルタＡで反射された光３１は、反射ポート用光ファイバ２８を通して出射される。フィルタＡは、図９に示したような損失波長特性を持っているので、反射ポート側のアイソレーションは３０ｄＢ以上が達成できる。
【００２３】
一方、フィルタＡ及びフィルタＢを透過した光３２は、第２のコリメートレンズ２６を介して透過ポート用光ファイバ２９から出射される。フィルタＢは図１０に示したような損失波長特性を持っているので、第２のコリメートレンズ２６を介して透過ポート用光ファイバ２９に結合される光３２のアイソレーションは、図１１に示したようにフィルタＡとフィルタＢの損失波長特性を加えた値になり、この例では５０ｄＢ以上が達成されている。
【００２４】
本実施形態の光合分波器２０は、ガラス基板２２の表裏両面に誘電体多層膜２３，２４を設けた電体多層膜型光フィルタ素子２１を用いたこと、及び他方の誘電体多層膜２４からの反射光が反射ポート用光ファイバ２８に結合しないような厚さのガラス基板２２を用いたことによって、簡単な構造で高いアイソレーションが得られ、例えば反射側のアイソレーション３０ｄＢ以上、透過側のアイソレーション５０ｄＢ以上を達成できる。
また従来技術と比較して部品点数が少なく、組立工程も少ないことから、低価格で信頼性が高い小型の光合分波器２０を提供できる。
【００２５】
なお、フィルタＡおよびフィルタＢは同一のガラス基板上の両面に成膜されていることが望ましいが、紫外線硬化型接着剤などで２個のフィルタチップを接着してもよい。この際に使用する接着剤は、フィルタチップとの間の反射が少なくなるようにガラス基板と屈折率が整合した特性を持っており、かつ温湿度変化に耐えられるような安定性を持っていることが望ましい。
【実施例】
【００２６】
厚さ１ｍｍのガラス基板の両面に、ＳｉＯ２からなる低屈折率材料層とＴａ２Ｏ５からなる高屈折率材料層を交互に多数積層してなる誘電体多層膜を成膜し、誘電体多層膜型光フィルタ素子（以下、光フィルタ素子と記す。）を作製した。作製した光フィルタ素子の波長特性を測定し、結果を図１３〜図１６に示す。
図１３は片面フィルタＡの波長特性を示すグラフであり、図１４は片面フィルタＢの波長特性を示すグラフであり、図１５は両面フィルタＡ＋Ｂの波長特性を示すグラフであり、図１６は図１５中のＸ部の拡大図である。なお、図１５中の符号Ｙは測定限界を示す。
【００２７】
図１５から分かるように、両面に誘電体多層膜を形成した光フィルタ素子ではリップルが発生していることが確認された。また、図１６に示した通り、リップルの周期は約０．７ｎｍであるので、計算すると厚み１ｍｍの光フィルタ素子での干渉であることが分かる。
【００２８】
リップルは図１７に示すように、光フィルタ素子の両面で反射した光が干渉して発生する。実際の光合分波器の構造に合わせてリップルについて計算するためには、単純にそれぞれの次数の反射光による干渉のみを考えるのでは不十分である。すなわち、１次反射光と干渉するのは、２次反射光、あるいはより高次の反射光のうちコリメートレンズを介して光ファイバに結合する分の光であるため、軸ずれによる結合効率の影響を考慮する必要がある。ここで、モードフィールド径を１４０μｍとしたときの結合効率と軸ずれ量の関係を図１８に示す。一例として、光フィルタ素子への入射角度が３．９３°、ガラス基板の厚さが１ｍｍ、接着剤の屈折率が１．５１とすると、１次反射光と２次反射光の軸ずれ量は１４０．７μｍとなり、結合効率は−１７．５ｄＢとなる。同様に、３次反射光の結合効率は−７０．２ｄＢ、４次反射光は−１５７．９ｄＢとなる。
【００２９】
以上の計算結果を基に算出した、光フィルタ素子の裏面の反射減衰量とリップルの大きさの関係を図１９に示す。図１９より、「１次反射光のパワー」と「２次以降の反射光のうちレンズに結合する総パワー」がほぼ同じになったときに、リップルの大きさが最大となることが分かる。また、例えばリップルを１ｄＢ以下にするためには、裏面の反射減衰量を３９ｄＢ以上（光フィルタ素子表面での反射Ｒｆ＝−３２ｄＢ）にする必要がある。現状で成膜できる誘電体多層膜の反射減衰量は最大で３５ｄＢ程度であるので、リップルを１ｄＢ以下にすることはできないということになる。
【００３０】
ここで、図１３〜図１５のグラフと図１９のグラフを比較検討する。波長１４８０ｎｍでみると、光フィルタ素子表面での反射Ｒｆは約３２ｄＢ、裏面の反射減衰量は約２５ｄＢであるから、図１９よりリップルの大きさは約５ｄＢと見積もられる。図１５より、実際のリップルの大きさも５ｄＢ程度であることから、前述した計算は正確であることが分かる。
【００３１】
ここまでリップルについて計算してきたが、本発明において実際に目標としているのは高アイソレーション化であり、より具体的には３０ｄＢ以上という目標値の達成である。前述した通り、現状で得られる誘電体多層膜の反射減衰量は最大３５ｄＢ程度（通常３２ｄＢ程度）であるので、何らかの方法で裏面反射の影響を減らし、リップルを低減する必要がある。裏面反射の影響を減らすための方法は、光フィルタ素子に使用するガラス基板をより厚いものとし、軸ずれ量を大きくする方法が考えられる。
【００３２】
そこで、種々の厚さのガラス基板を用いて光フィルタ素子を作製し、そのアイソレーションを測定した。Ｒｆを−３２ｄＢとしたときのガラス基板の厚さとアイソレーションの関係を図２０に示す。
図２０から、アイソレーションを３０ｄＢ以上とするためには、厚さ１．３ｍｍ以上、好ましくは１．４ｍｍ以上のガラス基板を用いれば良いことが分かる。
【００３３】
前述した実験結果を元に、リップルの発生を防ぐため、厚さ１．５ｍｍのガラス基板の表裏両面に誘電体多層膜を形成した光フィルタ素子を用い、リップル発生の度合及びアイソレーション特性を調べた。
【００３４】
ガラス基板の厚さが１ｍｍの光フィルタ素子を用いて図８に示す構造を有する光合分波器２０を作製する際には、光フィルタ素子のガラス基板のサイズは０．６ｍｍ角とした。これは、石英ガラス製のコリメートレンズの外径が０．４ｍｍであること、フィルタへの入射角が約４°なので１ｍｍ厚では０．０７ｍｍ軸がずれることを考慮して決定したサイズである。
リップルを低減するためにガラス基板の厚さが１．５ｍｍの光フィルタ素子を使用する際には、入射角に依存した軸ずれが約０．１ｍｍ発生する。また、両面フィルタを区別するために、一方のフィルタ面を面取り加工（Ｃ０．０５ｍｍ程度）する必要がある。これらを考慮し、１．５ｍｍ厚のガラス基板のサイズは０．７ｍｍ角とした。
【００３５】
図２１〜図２４に、厚さ１．５ｍｍのガラス基板を用いて作製した光フィルタ素子の損失波長特性を示す。図２１は片面フィルタＡの波長特性を示すグラフであり、図２２は片面フィルタＢの波長特性を示すグラフであり、図２３は両面フィルタＡ＋Ｂの波長特性を示すグラフであり、図２４は図２３中のＸ部の拡大図である。なお、図２３中の符号Ｙは測定限界を示す。
【００３６】
図２１〜図２４に示す結果より、ガラス基板の厚さを１ｍｍとした光フィルタ素子（図図１３〜図１６参照）と比べて、ガラス基板の厚さを１．５ｍｍとしたことによって、リップルが大幅に低減されていることが分かる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】ＩＴＵ−Ｔ  Ｇ９８３．３に規定された波長帯域を示す図である。
【図２】従来の１．３１，１．４９／１．５５μｍ光合分波器の構成図である。
【図３】３波長合分波器の損失波長特性を示すグラフである。
【図４】誘電体多層膜型光フィルタの構造を表す斜視図である。
【図５】従来の高アイソレーション化光合分波器の第１の例を示す構成図である。
【図６】従来の高アイソレーション化光合分波器の第２の例を示す構成図である。
【図７】従来の高アイソレーション化光合分波器の第３の例を示す構成図である。
【図８】本発明の光合分波器の一実施形態を示す構成図である。
【図９】フィルタＡの損失波長特性を示すグラフである。
【図１０】フィルタＢの損失波長特性を示すグラフである。
【図１１】本発明の光フィルタ素子の損失波長特性を示すグラフである。
【図１２】本発明の光合分波器の働きを示す構成図である。
【図１３】実施例で１ｍｍ厚のガラス基板を用いて作製したフィルタＡの損失波長特性を示すグラフである。
【図１４】実施例で１ｍｍ厚のガラス基板を用いて作製したフィルタＢの損失波長特性を示すグラフである。
【図１５】実施例で１ｍｍ厚のガラス基板を用いて作製した光フィルタ素子の損失波長特性を示すグラフである。
【図１６】図１５のＸ部の拡大図である。
【図１７】リップルの発生原理を示す概念図である。
【図１８】軸ずれ量と結合効率の関係を示すグラフである。
【図１９】裏面の反射減衰量とリップルの大きさの関係を示すグラフである。
【図２０】ガラス基板の厚さとアイソレーションの関係を示すグラフである。
【図２１】実施例で１．５ｍｍ厚のガラス基板を用いて作製したフィルタＡの損失波長特性を示すグラフである。
【図２２】実施例で１．５ｍｍ厚のガラス基板を用いて作製したフィルタＢの損失波長特性を示すグラフである。
【図２３】実施例で１．５ｍｍ厚のガラス基板を用いて作製した光フィルタ素子の損失波長特性を示すグラフである。
【図２４】図２３のＸ部の拡大図である。
【符号の説明】
【００３８】
２０…光合分波器、２１…誘電体多層膜型光フィルタ素子、２２…ガラス基板、２３，２４…誘電体多層膜、２５，２６…コリメートレンズ、２５Ａ，２６Ａ…一端面、２５Ｂ，２６Ｂ…他端面、２７…入射ポート用光ファイバ、２８…反射ポート用光ファイバ、２９…透過ポート用光ファイバ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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