(57)【要約】【課題】印刷精度を高くすることを目的とする。また、従来の加工パターンに比較し、スクリーン版を小さく製作でき、スクリーン版のコストを抑えることを目的とする。また、スクリーン版の寿命を長くすることを目的とする。【解決手段】スキージ３とスクリーン製版１００とを用いてワーク６にスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機において、前記スクリーン製版１００に対向して配置され、前記ワーク６を配置するテーブル１００と、前記スクリーン製版１００と前記テーブル１０との間の空間を略密封するスクリーン密封部と、前記スクリーン製版１００と前記テーブル１０との間の略密封された空間に気体を供給する供給部５００とを備え、前記供給部５００は、前記スキージ３の位置に基づいて、供給する気体の供給量を制御することを特徴とする。【選択図】        図８
2005014460.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スキージとスクリーン製版とを用いてワークにスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機において、
前記スクリーン製版に対向して配置され、前記ワークを配置するテーブルと、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の略密封された空間に気体を供給する供給部と
を備え、
前記供給部は、
前記スキージの位置に基づいて、供給する気体の供給量を制御することを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項２】
前記供給部は、
予めスキージの位置と供給する気体の供給量との関係を示すデータを記憶する記憶部と、
スキージの位置を検出する検出部と、
前記検出部が検出したスキージの位置と前記記憶部に記憶した前記データとを用いて前記供給する気体の供給量を制御する制御部と
を備えたことを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷機。
【請求項３】
スキージとスクリーン製版とを用いてワークにスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機において、
前記スクリーン製版に対向して配置され、前記ワークを配置するテーブルと、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と、
前記スクリーン密封部により略密封された空間の圧力を感知する圧力センサと、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の略密封された空間に気体を供給する供給部と
を備え、
前記供給部は、
前記圧力センサが感知した略密封された空間の圧力を用いて前記供給する気体の供給量を制御することを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項４】
スクリーン製版を用いてワークにスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機において、
前記スクリーン製版に対向して配置され、前記ワークを配置するテーブルと、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の略密封された空間に気体を供給する供給部と
を備え、
前記供給部は、
前記略密封された空間に気体を供給する場合に前記気体の温度を制御して供給することを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項５】
前記供給部は、
前記気体の温度を冷却する制御をして供給することを特徴とする請求項４記載のスクリーン印刷機。
【請求項６】
スクリーン製版を用いてワークにスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機において、
前記スクリーン製版に対向して配置され、前記ワークを配置するテーブルと、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の略密封された空間に静電気を除去するイオンを含む気体を供給する供給部と
を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
【請求項７】
前記供給部は、
静電気を除去するイオンを含む第１の気体と静電気を除去するイオンを含まない第２の気体とを吸引し、吸引した前記第１の気体と前記第２の気体とを混合して供給することを特徴とする請求項６記載のスクリーン印刷機。
【請求項８】
前記供給部は、
供給する気体をろ過するフィルターを備えたことを特徴とする請求項１または２または３または４または５または６または７のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
【請求項９】
前記供給部は、
前記スクリーン製版のスクリーンと前記テーブルに配置されるワークとの間の隙間を略一定に保つように気体を供給することを特徴とする請求項１または２または３または４または５または６または７または８のいずれかに記載のスクリーン印刷機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板への電気配線の印刷やエッチングにおけるレジストの印刷等に使用されるスクリーン印刷機に係り、より詳細にはスクリーンメッシュとワークとの間のガス圧をスクリーンメッシュのスキージ印刷面側のガス圧と比較し、高くすることを特徴とするスクリーン印刷方法に使用するスクリーン印刷機に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のスクリーン印刷では、スクリーン版と印刷するワークとの間に数ｍｍの隙間をあけ、スクリーン版にインクを供給後、スキージにてスクリーン版を下方向に押さえスクリーン版を伸ばしながら、加工基板であるワークとスクリーン版を密着させるようにして、スキージを手前に移動させ、スクリーン版の張力により加工基板であるワークからスクリーン版を離すようにして、加工基板であるワークに印刷を行っていた。
例えば、スクリーン枠内寸法が３２０ｍｍでは１．５ｍｍ程度、また、スクリーン枠内寸法が１０００ｍｍ〜２５００ｍｍ、あるいは、それ以上と大きくなるにつれて、２〜６ｍｍの隙間を空けていた。あるいは、さらに大きな隙間が必要であった。
【０００３】
従来のスクリーン版とワークとの間に、例えば、上記２〜６ｍｍの隙間をあけて印刷する方法では、スクリーン版を伸ばして印刷するため、印刷精度が悪い問題と、スクリーン版を伸ばして印刷するため、スクリーン版を大きく作る必要があり、スクリーン版のコストが上がる問題と、スクリーン版を伸ばして印刷するためスクリーン版の寿命が短くなる問題があった。
【０００４】
また、従来技術として以下の手段が文献に記載されている。印刷精度を高めることができると共に、スクリーンメッシュを伸ばして使用することによるスクリーンメッシュの劣化等を防ぐことのできるスクリーン印刷方法及び装置を提供することを目的とし、手段として、スクリーンメッシュと前記スクリーンメッシュを保持するスクリーン枠とから成るスクリーン版に、インク供給部にてインクを供給し、前記インクの供給された前記スクリーンメッシュ上でスキージを摺動させてこの摺動面からインクを押出し、被印刷物の前記摺動面に対応する印刷面に前記インクを転移させるスクリーン印刷方法であって、少なくとも前記スクリーン版と前記被印刷物を、前記スキージの通過したスクリーンメッシュが被印刷物の前記印刷面から分離する圧力状態とする（特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００３−０８９１９０号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１では、漠然とした方法を述べているだけで、実際の工業製品として製品化するには密閉化の構成、装置の制御方法、印刷の仕方等の具体的記載に欠けていた。
【０００７】
本発明は、印刷精度を高くすることを目的とする。
また、従来の加工パターンに比較し、スクリーン版を小さく製作でき、スクリーン版のコストを抑えることを目的とする。
また、スクリーン版の寿命を長くすることを目的とする。
また、より実際の製品化に即した装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明のスクリーン印刷機は、
スキージとスクリーン製版とを用いてワークにスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機において、
前記スクリーン製版に対向して配置され、前記ワークを配置するテーブルと、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の略密封された空間に気体を供給する供給部と
を備え、
前記供給部は、
前記スキージの位置に基づいて、供給する気体の供給量を制御することを特徴とする。
【０００９】
前記供給部は、
予めスキージの位置と供給する気体の供給量との関係を示すデータを記憶する記憶部と、
スキージの位置を検出する検出部と、
前記検出部が検出したスキージの位置と前記記憶部に記憶した前記データとを用いて前記供給する気体の供給量を制御する制御部と
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
本発明のスクリーン印刷機は、
スキージとスクリーン製版とを用いてワークにスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機において、
前記スクリーン製版に対向して配置され、前記ワークを配置するテーブルと、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と、
前記スクリーン密封部により略密封された空間の圧力を感知する圧力センサと、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の略密封された空間に気体を供給する供給部と
を備え、
前記供給部は、
前記圧力センサが感知した略密封された空間の圧力を用いて前記供給する気体の供給量を制御することを特徴とする。
【００１１】
本発明のスクリーン印刷機は、
スクリーン製版を用いてワークにスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機において、
前記スクリーン製版に対向して配置され、前記ワークを配置するテーブルと、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の略密封された空間に気体を供給する供給部と
を備え、
前記供給部は、
前記略密封された空間に気体を供給する場合に前記気体の温度を制御して供給することを特徴とする。
【００１２】
前記供給部は、
前記気体の温度を冷却する制御をして供給することを特徴とする。
【００１３】
本発明のスクリーン印刷機は、
スクリーン製版を用いてワークにスクリーン印刷をおこなうスクリーン印刷機において、
前記スクリーン製版に対向して配置され、前記ワークを配置するテーブルと、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の空間を略密封するスクリーン密封部と、
前記スクリーン製版と前記テーブルとの間の略密封された空間に静電気を除去するイオンを含む気体を供給する供給部と
を備えたことを特徴とする。
【００１４】
前記供給部は、
静電気を除去するイオンを含む第１の気体と静電気を除去するイオンを含まない第２の気体とを吸引し、吸引した前記第１の気体と前記第２の気体とを混合して供給することを特徴とする。
【００１５】
前記供給部は、
供給する気体をろ過するフィルターを備えたことを特徴とする。
【００１６】
前記供給部は、
前記スクリーン製版のスクリーンと前記テーブルに配置されるワークとの間の隙間を略一定に保つように気体を供給することを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
図１は、実施の形態１のスクリーン印刷機テーブル部の上面図である。
図１において、１０は、テーブル、１２１は、後述のスクリーン製版１００に向かって気体を供給する供給孔である開口部、１２３は、吸引口である。テーブル１０の上面には、長穴状の開口部１２１が、略四角形のテーブル１０の各辺に沿って２つずつ計８箇所設けられている。吸引口１２３は、被印刷物を吸引することによりテーブルに配置し固定する。開口部１２１は、吸引口１２３が被印刷物を吸引することによりテーブルに固定した際に、被印刷物に接しない位置に形成される。後述するように、開口部１２１は、スクリーン製版１００に向かって気体を供給する。
【００１８】
図２は、実施の形態１のスクリーン印刷機テーブル部の断面図である。
図２において、１は、スクリーン版、５は、スクリーン枠、１１は、ばねサポート、１００は、スクリーン製版、１３１は、スクリーン受け部、１３２は、密封補助部、１３３は、凸部、１４１は、パッキン材であるスポンジ、１４２は、パッキン材であるスポンジ、１５０は、ばね材である。スクリーン製版１００は、スクリーン版１とスクリーン枠５とを備えている。また、スクリーン密封部は、スクリーン受け部１３１と密封補助部１３２とを備えている。スクリーン受け部１３１は、凸部１３３を備えている。テーブル１０は、図１と同様である。
図２において、テーブル１０は、スクリーン製版１００に対向して配置される。テーブル１０は、略四角柱の形状をしており、テーブル１０の側面には、密封補助部１３２がすきまばめに保持されている。すなわち、密封補助部１３２は、テーブル１０と摺動自在に配置される。密封補助部１３２は、テーブル１０に合わせ略四角の枠状に形成され、密封補助部１３２は、下面をテーブル１０に数本のボルトで固定されたばねサポート１１により複数のばね材１５０を介してテーブル１０の側面に保持されている。密封補助部１３２は、上面を密封補助部１３２の上面の形状に合わせて略四角の枠状に形成されたスポンジ１４２を介してスクリーン受け部１３１により押圧され、保持されている。スクリーン受け部１３１は、印刷機体に固定されている。スクリーン受け部１３１の一部である凸部１３３は、密封補助部１３２の枠から内側にも外側にもはみ出さないように、略四角の枠状に形成されている。凸部１３３は、環状に形成され、スポンジ１４２を押圧するように下向きに凸に形成されている。下向きに凸に形成することにより広い平面でスポンジ１４２を押圧するよりも押圧面積を小さくし、広い平面でスポンジ１４２を押圧するよりもある一定の押す力に対する圧力を高めている。密封補助部１３２は、ばね材１５０の反発力により、ばねサポート１１とスポンジ１４２を介した凸部１３３とに狭持され、凸部１３３を押圧している。すなわち、密封補助部１３２は、テーブル１０により弾性体を介して上記スクリーン受け部１３１に押圧される。また、反対に、上記凸部がスポンジ１４２を介して上記密封補助部１３２に押圧される。テーブル１０は、被印刷物の寸法に合わせて上下に位置調整のため移動するが、テーブル１０が移動しても密封補助部１３２が凸部１３３を押圧するように、テーブル１０の移動量より大きい伸縮量を有するばね材１５０を用いる。
したがって、凸部１３３と密封補助部１３２との間は、テーブル１０が移動しても密封（シール）されている。
スクリーン受け部１３１の上面は、スポンジ１４１を挟んでスポンジ１４１を押圧するようにスクリーン製版１００のスクリーン枠５に固定されている。スポンジ１４１は、スクリーン受け部１３１とスクリーン枠５とが接触する形状に合わせて略四角の枠状に形成されている。
したがって、スクリーン受け部１３１とスクリーン枠５と間は、密封（シール）されている。
したがって、スクリーン密封部は、スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間を略密封する。
【００１９】
図３は、実施の形態１のスクリーン印刷機テーブル部の断面図である。
図３において、１２２は、スクリーン製版１００に向かって気体を供給する供給孔である圧縮空気供給部である。図３は、図２に図示されていない図２においても有する圧縮空気供給部１２２を示している。テーブル１０は、図１，２と同様である。スクリーン製版１００は、図２と同様である。圧縮空気供給部１２２は、テーブル１０下部に設けられ、図１におけるテーブル１０上面の開口部１２１に通じていて、スクリーン製版１００に向かって気体を供給する。図３では、８個所の開口部１２１のうち２個所の断面が現れている。
【００２０】
図４は、スクリーン密封部を省略した実施の形態１の印刷時の状態を表した図である。
図４において、３は、スキージ、８は、インク、６は、ワークである。開口部１２１は、図１と同様である。スクリーン版１、スクリーン枠５、スクリーン製版１００は、図２と同様である。圧縮空気供給部１２２は、図３と同様である。テーブル１０は、図１、図２及び図３と同様である。
図４において、スキージ３がワーク６を押圧しながらインク８をワーク６に押出すように移動することによりワーク６は印刷される。
図４において、図１の説明でも述べたように、開口部１２１は、吸引口１２３が被印刷物であるワーク６を吸引することによりテーブルに固定した際に、ワーク６に接しない位置すなわちテーブル１０に配置されるワーク６の外側に形成される。開口部１２１は、圧縮空気供給部１２２により供給された気体をスクリーン製版１００に向かって供給する。供給された気体によりスクリーン版１下部の雰囲気圧力がスクリーン版１上部の雰囲気圧力よりも高くなれば、すなわち、スクリーン製版１００に対し、対向して配置されたテーブルとは反対側に有する雰囲気の圧力よりも高い圧力であれば、スクリーン版１とワーク６との隙間が少なくてもスキージ３にて印刷時にスクリーン版１とワーク６が容易に離れながら印刷することが可能となる。
ここで、供給する気体は、空気と窒素とのいずれかであることが望ましい。空気は、ワーク６を汚染しないためにもクリーンエアであるとなおよい。ワーク６を汚染しないためにも不活性ガスである窒素と同様に、アルゴン等でもよい。
【００２１】
図５は、実施の形態１における印刷の状態を示す図である。図５を用いて印刷の状態を詳しく説明する。
図５において、２はスクレッパ、４はスキージユニットである。その他の構成は、図１と同様である。
スキージユニット４は、スクレッパ２、スキージ３をそれぞれ昇降可能に支持している。また、スキージユニット４は、スクリーン面と平行な水平方向に移動する。
【００２２】
図５（ａ）において、スクレッパ２が矢印の移動方向に向かってスクリーン版１上を摺動し、インク８をスクリーン版１上に均一となるようにコーティングする。コーティングすることで、スクリーン版１のパターン孔にインク８を充填或いはふたをする。この時、スキージ３は、上部に移動している。
【００２３】
図５（ｂ）において、スキージ３が矢印の移動方向に向かってスクリーン版１上を摺動し、スキージ３がワーク６を押圧しながらインク８をワーク６に押出すように移動することによりワーク６は印刷される。スキージ３は、スクリーン版１のパターン幅よりは少なくとも大きい幅に形成され、この幅でもって、スクリーン版１と面ではなく線で接触するように接触位置の角を面取り、或いはＲ凸状にせず、なるべく尖らせるように形成されている。
スキージ３が矢印の移動方向に向かってスクリーン版１上を摺動する場合に、開口部１２１は、後述する供給部５００により供給された気体をスクリーン製版１００に向かって供給する。供給された気体によりスクリーン版１下部の雰囲気圧力がスクリーン版１上部の雰囲気圧力よりも高くなれば、すなわち、スクリーン製版１００に対し、対向して配置されたテーブルとは反対側に有する雰囲気の圧力よりも高い圧力であれば、スクリーン版１とワーク６との隙間が少なくてもスキージ３にて印刷時にスクリーン版１とワーク６が容易に版離れながら印刷することが可能となる。圧縮気体の供給量は、スクリーン版１とワーク６との隙間Ｇが略一定となるように、或いは、少なくともパターンが形成された部分とワークとの隙間が所定の大きさ以上となるように調整制御される。所定の大きさとして、例えば、スクリーン製版の枠内寸法が３２０ｍｍのスクリーン製版なら１ｍｍ程度、スクリーン製版の枠内寸法が２５００ｍｍのスクリーン製版なら２〜３ｍｍが望ましい。なお、前記制御の詳細は、後述する。
ここで、供給する気体は、空気と窒素とのいずれかであることが望ましい。空気は、ワーク６を汚染しないためにもクリーンエアであるとなおよい。ワーク６を汚染しないためにも不活性ガスである窒素と同様に、アルゴン等でもよい。
【００２４】
図６は、スキージの位置と、エアー供給量及びスクリーンとワーク６との隙間との関係を示す図である。
まず、スクリーン製版１００が、スクリーン受け部１３１に配置される。その後、図５（ａ）で示すスクレッパ２によりコーティングされ、スクリーン版１とワーク６との初期ギャップ（隙間）が所定の隙間になるようにテーブル１０が上昇する。例えば、スクリーン製版の枠内寸法が３２０ｍｍのスクリーン製版なら初期ギャップを０．１〜０．２ｍｍ、スクリーン製版の枠内寸法が２５００ｍｍのスクリーン製版なら初期ギャップを１〜２ｍｍになるように設定する。そして、図５（ｂ）で示すスキージ３によりワーク６にスクリーン印刷が行なわれる。図６では、図５（ｂ）で示すスキージ３によりワーク６にスクリーン印刷が行なわれる際のスキージ３の位置と、エアー供給量（実線）及びスクリーン版１とワーク６との隙間との関係（二点鎖線）を示している。
【００２５】
スキージ３は、スクリーン版１中央部においてスクリーン製版の枠内寸法の約３分の１程度の距離を摺動しながらスクリーン版１を押圧する。
図６において、示されているギャップＧは、印刷方向に対しスキージ３の後方にスキージ３から所定の位置離れた位置での値を示している。スキージ３がスクリーン版１上に下降し、スキージ３がスクリーン版１を押圧すると、初期ギャップがそもそも小さいため、スクリーン版１とワーク６との隙間Ｇが０に近い値となる。この時は、まだ、エアー供給はおこなっていない。
【００２６】
スキージ３がスクリーン版１に設けられているパターンの開始位置まで進んだところで、或いは直前でエアー供給を開始する。エアー供給量は、その後、スクリーン版１とワーク６との隙間が所定の距離となるように調整される。スクリーン印刷が行なわれるとパターンに充填されていたインク８がワーク６に転写されパターン孔が空洞となるため、供給した気体がパターン孔から漏れていく。よって、スキージ３が進み、インク８がワーク６に転写されるに従って空洞となるパターン孔の面積が増加する。この増加に伴い、エアー供給量を増加させながらスクリーン版１とワーク６との隙間が所定の距離となるように調整される。
ここで、エアー供給を開始すると、スクリーン版１は、スキージ３で押えつけられている位置から大きく立ちあがり、その他の部分では、水平面に近い上部に凸となる円弧を形成する。エアーは、図１に示したように、テーブル１０の各縁近くの８箇所の開口部１２１から供給され、スキージ３の印刷方向両側の隙間を抜けてスクリーン版１全面にわたって広がる。スクリーン版１は、局所的にスキージ３で押えつけられているように押し上げられる。したがって、スキージ３で押えつけられている位置の前後のワーク６上部におけるスクリーン版１とワーク６とのギャップは、略同一のギャップとなる。
なお、以上では、開口部１２１が８箇所の場合を説明したが、図１４に示すように、開口部１２１は、印刷進行方向に対し手前側に略直角方向に長穴状に１箇所形成しても構わない。この１箇所の場合も開口部１２１から供給したエアーは、スキージ３の印刷方向両側の隙間を抜けてスクリーン版１の全面に渡って広がるので、略同一のギャップを得られる。
【００２７】
印刷が終了し、スキージ３がスクリーン版１の押圧終了位置まで来て、スキージ３が上昇すると、それまで、スクリーン枠５とスキージ３とでエアー供給によりスクリーン版１の上側への撓みを押えていたものがスクリーン枠５だけでスクリーン版１を押えることになるので、スクリーン版１の上側への撓み量が増加してしまう。撓み量が増加するとそれだけスクリーン版１を引き伸ばすことになりスクリーン版１の劣化を早めてしまう。そこで、スキージ３がスクリーン版１の押圧終了位置まで来て、スキージ３が上昇するとほぼ同時にエアー供給量を減少させ、スクリーン版１とワーク６との隙間が所定の距離となるように調整される。
【００２８】
図７は、実施の形態１におけるスクリーン印刷機の動作のフローチャート図である。
Ｓ（ステップ）１２０１において、まず、初期状態としてテーブル１０の位置は、まだ、上記スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間が略密封されていない位置まで下降している。また、スクリーン製版１００自体もまだ、スクリーン受け部１３１に設置されていない。
Ｓ１２０２において、スクリーン製版１００が、スクリーン受け部１３１に設置される。
Ｓ１２０３において、インク８がスクリーン版１上に供給され、スクレッパ２によりスクリーン版１上がコーティングされる。
Ｓ１２０４において、ワーク６が搬入され、テーブル１０に配置される。
Ｓ１２０５において、テーブル１０が上昇し、スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間が略密封される。そして、テーブル１０の昇降によりスクリーン製版１００とワーク６との初期隙間Ｇ０が調整セットされる。
Ｓ１２０６において、スキージ３が下降し、スクリーン版１の押圧を開始する。
Ｓ１２０７において、スキージ３がスクリーン版１上を摺動し、スキージ３の位置がスクリーンのパターン位置までくると、或いは直前まで来ると、圧縮気体の供給が開始される。圧縮気体の供給は、テーブル１０に設けられた開口部１２１すべてから供給される。したがって、スクリーン版１は、スキージ３により押圧されている箇所を除いて、ワーク６から離れる方向に凸に撓む。
Ｓ１２０８において、スキージ３の移動と共に気体供給量を増加させ、所定の隙間Ｇ１を維持するように、或いは、所定の隙間Ｇ１以上になるように供給量を調整する。
Ｓ１２０９において、印刷が終了し、スキージ３が上昇する。これと同時期に気体供給量を減少させ、所定の隙間Ｇ１を維持するように、或いは、所定の隙間Ｇ１以上になるように供給量を調整する。
Ｓ１２１０において、気体供給を停止する。気体供給を停止することで、スクリーン製版１００とワーク６との隙間が初期隙間Ｇ０に戻る。
Ｓ１２１１において、テーブル１０を下降させ、スクリーン製版１００と上記テーブル１０との間の空間の略密封を解除する。
Ｓ１２１２において、ワーク６を搬出して印刷動作を終了する。
【００２９】
次に、前記Ｓ１２０８で述べた、スキージ３の移動と共に気体供給量を増加させ、前記の隙間Ｇ１を維持する、或いは、所定の隙間Ｇ１以上になるように制御する気体供給量の制御について説明する。
図８は、実施の形態１におけるスクリーン印刷機のエアー供給を示す図である。図８は、図４に示したスクリーン密封部を省略した印刷時の状態において、圧縮空気供給部１２２を介して供給部５００により気体を供給する場合を示している。
供給部５００は、スクリーン製版１００とテーブル１０とスクリーン密封部とにより形成される略密封された空間（以下、「略密封空間」という。）に気体を供給する。この供給に際して、供給部５００は、スキージ３の移動と共に気体の供給量を増加させる制御することにより、所定の隙間Ｇ１を維持する、或いは、所定の隙間Ｇ１以上になるように制御する。すなわち、スクリーン製版１００のスクリーン版１とテーブル１０に配置されるワーク６との間の隙間を略一定に保つように、或いは、所定の隙間Ｇ１以上になるように供給する気体の供給量を制御する。
供給部５００は、圧縮空気を略密封空間に供給するブロア５１０、ブロア５１０の回転数を制御する制御装置５２０、及びスキージ３の位置を検出するスキージ位置検出部５２５を備える。
【００３０】
（１）制御装置５２０の記憶部５２２は、スキージ３の位置とエアー供給量との関係を示すスキージ位置関係データを記憶している。このスキージ位置関係データは、図６に示したスキージ３の位置とエアー供給量との関係が一例である。
スキージ３の位置とエアー供給量との関係を示すデータは、実験的に取得する。図６では一例として直線的な関係を示しているが、実験的にデータを取得することで精度の高い制御が可能となる。エアー供給量は、スクリーン製版１００の大きさにより異なり、あるいは、上記で述べたように、印刷後のインクの抜けたパターン孔からの気体の流出があるので、スクリーン製版１００のパターンの違いによっても異なる。従って、スクリーン製版１００の大きさ、パターンの相違等によりデータを取得する。
パターンの相違については、例えば、スクリーン製版１００の大きさごとに、移動するスキージ３の位置を基準として、スキージ３の進行方向に対してスキージ３の後方に生じる空洞となるパターン孔の面積と、隙間Ｇを所定の値に維持するために供給するべき気体の供給量との関係をスキージ位置関係データとして取得する。そして、スキージ３の進行方向後方に生じる空洞となるパターン孔の面積に応じて、供給する気体の供給量を制御する。このように気体を供給するべき原因に直接結びつくパターン孔の空洞というデータを取得することとなるので、精度の高い制御が可能となる。
取得したスキージ位置関係データは、制御装置５２０の入力部５２３から入力する。入力したスキージ位置関係データは、記憶部５２２に記憶される。入力部５２３の形態は、例えばタッチパネル、キーボード等とする。
（２）印刷のためスキージ３がスクリーン版１の上を押圧しながら移動を開始すると、スキージ位置検出部５２５はスキージ３の位置を検出し、検出結果を制御装置５２０に出力する。
（３）制御装置５２０の制御部５２１は、記憶部５２２に記憶した前記スキージ位置関係データを読み込み、前記関係データとスキージ位置検出部５２５が検出したスキージ３の位置とを用いて、スキージ位置関係データに従って供給する気体の供給量を制御する。
（４）制御手段としては、制御装置５２０の出力部５２４が制御信号をブロア５１０へ送る。ブロア５１０は、インバータ（図示していない）を備える。そして、前記制御信号により制御されるインバータがブロア５１０の回転数を調整する。これにより、スキージ３の位置に基づいて、スクリーン製版１００のスクリーン版１とテーブル１０に配置されるワーク６との間の隙間を略一定に保つように供給する気体の供給量を制御する。
【００３１】
以上のように実施の形態１では、スキージ位置に基づいて、供給する気体の供給量を調整するので、隙間Ｇを略一定に維持することができる。また、隙間Ｇは従来の印刷方式に比べて小さい値で維持できるので、印刷精度を高めることができる。
【００３２】
また、隙間Ｇを小さい値に維持できるので、スクリーン版１を伸ばして印刷する必要がなくなり、スクリーンを小型化しコストを低減することができる。
【００３３】
また、略密封空間の圧力をスクリーン版１の上部の雰囲気圧力よりも高い値として隙間Ｇを形成するとともに、隙間Ｇの形成において隙間Ｇを所定の小さい値に維持することにより、スクリーン版１に余分な負荷をかけることなく円滑にワーク６からスクリーン版１を版離れさせることができる。これによりスクリーン版１の寿命を長くすることができる。
【００３４】
また、制御装置５２０とスキージ位置検出部５２５とを備えたので、スキージ３の位置に基づき供給する気体の供給量を高い精度で動的に制御することができる。
【００３５】
実施の形態２．
実施の形態２は、圧力センサを使用してエアー供給量を制御する実施形態である。図８を用いて、圧力センサを用いることによりエアー供給量を制御する場合を説明する。
図８において、テーブル１０は、圧力センサ６０１、６０２を備えている。圧力センサ６０１、６０２は略密封空間の圧力を感知し、感知した圧力を制御装置５２０に出力する。制御装置５２０は、入力した圧力に基づきブロア５１０を制御する。
なお、圧力センサ６０１、６０２は、略密封空間の圧力を感知できる場所であれば、テーブル１０に限らずどこに設置しても構わない。
動作について説明する。
（１）記憶部５２２は、スクリーン製版１００のスクリーン版１とテーブル１０に配置されるワーク６との間の隙間を一定に保つのに必要な圧力と、その圧力を発生するためにブロア５１０が供給するべき圧縮空気の供給量との関係を示す圧力関係データを記憶する。このデータは、実施の形態１のスキージ位置関係データと同様に、実験的に求める。
（２）制御装置５２０は、圧力センサ６０１、６０２から略密封空間の圧力を入力する。
（３）制御部５２１は、記憶部５２２に記憶する圧力関係データを読み込むとともに、入力した圧力をもとに読み込んだ圧力関係データを参照する。そして、参照結果をもとに、圧力関係データの示す圧縮空気の供給量となるようにブロア５１０を制御する制御信号を出力部５２４からブロア５１０ヘ出力する。ブロア５１０の制御は、実施の形態１と同様にインバータで行なう。
これにより、略密封空間の圧力を用いて、実施の形態１と同様にスクリーン製版１００のスクリーン版１とテーブル１０に配置されるワーク６との間の隙間を略一定に保つように供給する気体の供給量を制御する。
（４）上記の圧力センサ６０１、６０２を用いる場合は、特にスキージ３の位置をデータとして必要としないが、スキージ３の所定位置ごとに、隙間Ｇを略一定に保つ圧力とブロア５１０による圧縮空気の供給量との関係を測定して、スキージ３の位置を加味したデータを用いても構わない。
【００３６】
以上のように、圧力センサを用いて気体の供給量を制御するので、スキージ位置を考慮することなく供給する気体の供給量を制御することができる。
【００３７】
実施の形態３．
実施の形態３は、電空レギュレータ５３０を使用して、供給する圧縮空気の供給量を制御する実施形態である。図９は、入力電圧に比例した圧力を取得可能な比例制御機器である電空レギュレータ５３０により、供給する圧縮空気の供給量、或いは、スクリーン製版１００とテーブル１０との間の空間の圧力を制御する場合を示している。図８ではブロア５１０により圧縮空気を供給したが、図９では図８のブロア５１０が電空レギュレータ５３０となっており、電空レギュレータ５３０が工場エアー等の圧縮空気を吸入する点が相違している。
電空レギュレータ５３０を用いることにより、電気信号を制御して、略密封空間に供給する気体の圧力を制御することが可能である。
図９に示すように、電空レギュレータ５３０は、圧縮空気（例えば、工場エアー）を吸入して所定の圧力の気体を供給する。
電空レギュレータ５３０の制御は、実施の形態１におけるスキージ位置関係データによるブロア５１０の制御の場合と同様である。すなわち、制御装置５２０の記憶部５２２は、前記隙間Ｇを略一定に維持するのに必要なスキージ３の位置と電空レギュレータ５３０が供給するべき圧縮空気の圧力との関係を示すレギュレータ関係データを記憶している。そして、このレギュレータ関係データとスキージ位置検出部５２５が検出したスキージ３の位置とを用いて、制御部５２１はスキージ３の位置に基づいて、電空レギュレータ５３０が供給する圧縮空気の圧力を制御する。制御部５２１は出力部５２４から電空レギュレータ５３０に制御信号を送信することにより、電空レギュレータ５３０を制御する。
【００３８】
また、図９は、図８と同様に圧力センサ６０１、６０２を備えている。実施の形態２の図８で説明した圧力センサ６０１、６０２で感知した圧力を用いてブロア５１０を制御するのと同様に、実施の形態３においても、スキージ位置を考慮することなく圧力センサ６０１、６０２で感知した圧力を用いて、電空レギュレータ５３０を制御することが可能である。すなわち、実施の形態２と同様に、記憶部５２２は、隙間Ｇを略一定に維持するべき略密封空間の圧力と電空レギュレータ５３０が供給するべき気体の圧力との関係を示す関係データを記憶している。そして、制御部５２１が、この関係データと圧力センサ６０１、６０２が感知した圧力とを用いて、電空レギュレータ５３０を制御して隙間Ｇを略一定に維持するべき圧力の圧縮空気を供給させる。
【００３９】
以上のように、電空レギュレータ５３０を用いて供給する空気の圧力、或いは、スクリーン製版１とテーブル１０との間の空間の圧力を調整するので、工場エアーを利用して、隙間Ｇを略一定に維持することができる。
また、電空レギュレータ５３０を用いるので、供給する空気の圧力を動的に制御することができる。
【００４０】
実施の形態４．
実施の形態４は、供給する気体を冷却する実施形態である。
図１０は、実施の形態４におけるスクリーン印刷機のエアー供給を示す図である。実施の形態４は、ブロア５１０により供給する圧縮空気を冷却装置５４０で冷却して、冷却した圧縮空気を略密封空間に供給する。
通常は、ブロア５１０から排気される圧縮空気は、大気温度（スクリーン版１上部の雰囲気温度）に比べて温度が高いことから、冷却して供給する実施形態である。
大気温度よりも高い温度の圧縮空気が略密封空間に供給された場合には、圧縮空気と大気温度との温度差により、スクリーン製版１００、スクリーン版１、ワーク６、テーブル１０等が熱変位、熱膨張を生じる。スクリーン版１、ワーク６等は、それぞれ熱膨張係数が異なるため熱変位の量が相違して、印刷時の誤差の原因となる。このため、実施の形態４は、冷却装置５４０によりブロア５１０から排気される圧縮空気を冷却して、熱変位による印刷時の誤差低減を図る。例えば、冷却したエアーを一旦バッファとしてのタンクに供給し、タンクから圧縮エアーを弁にて圧力調整をしながら供給する。
【００４１】
図１０において、供給部５００は、ブロア５１０の排気側に、冷却装置５４０を備えている。また、テーブル１０は温度センサ５２７を備えており、温度センサ５２７が検知した温度は温度検出部５２６を介して制御装置５２０へ送られる。制御装置５２０は、入力した温度センサ５２７が感知した略密封空間内の温度を用いて、冷却装置の冷却強度（冷却（熱交換）能力）を制御する。冷却装置５４０の例としてはクーラー、あるいはチラーユニット等がある。
以下、動作を説明する。
（１）記憶部５２２は、予め略密封空間内の温度と冷却装置の冷却強度との関係を示す冷却関係データを記憶している。
（２）温度センサ５２７が略密封空間内の温度を感知する。制御装置５２０は、温度センサ５２７の感知した温度を温度検出部５２６を介して入力する。
（３）制御部５２１は、記憶部５２２に記憶している冷却関係データと温度センサ５２７の感知した温度とを用いて冷却装置５４０の冷却強度を制御する。これにより、ブロア５１０から供給される空気の温度が制御される。
上記では制御装置５２０を使用したが、制御装置５２０を用いることなく冷却装置５４０単独で冷却しても構わない。例えば、冷却装置５４０として空気を冷媒とする空冷装置やその他の冷媒を用いた冷却装置を用いても構わない。
また、ブロア５１０自体に冷却装置を設置しても構わない。例えば、前記の空冷装置や冷却装置をブロア５１０自体に設け冷却しても構わない。
【００４２】
以上のように、冷却装置５４０を設けてブロア５１０が供給する圧縮空気を冷却する制御を行うので、スクリーン版１、ワーク６等の熱変位の増加を防止して印刷精度を高くすることができる。
【００４３】
実施の形態５．
実施の形態５は、供給する気体にイオンを含ませる実施形態である。
図１１は、実施の形態５におけるスクリーン印刷機のエアー供給を示す図である。供給部５００は、静電気を除去するイオンを含んだ圧縮空気を供給するイオンブロア５５０を備える。
スクリーン印刷機においては、例えば、スキージ３でスクリーン版１を押圧してワーク６に印刷する場合に静電気が生じ易い。すなわち、スキージ３とスクリーン版１との間、あるいは、スクリーン版１とワーク６の間に静電気が発生する。また、ワーク６がテーブル１０を離れる時にワーク６とテーブル１０との間にも静電気が生じる。静電気が発生した場合は、スクリーン版１やワーク６に「ごみ」が付着しやすくなり、印刷精度の悪化を招く。また、静電気が発生した場合は、スクリーン版１がワーク６から離れにくくなり、円滑な版離れを阻害する。
そこで、静電気を除去するイオンを含んだ圧縮空気を供給することでスクリーン版１やワーク６等に生じた静電気を除去し、印刷精度を維持するとともに、スクリーン版１の版離れを円滑にする。
【００４４】
図１２は、本実施の形態５の別の例を示す図である。図１２は、静電気を除去するイオンを含んだ圧縮空気を供給するイオンブロア５５０と、通常のブロア５１０とを用いてイオンを含む圧縮空気を供給することを示す。
供給部５００は、イオンブロア５５０とブロア５１０とを備えている。
ブロア５１０は、２つの吸入口を有しており、一方の吸入口からはイオンを含まない気体（第２の気体、例えば大気）を吸気として吸い込む。他方の吸入口は、イオンブロア５５０の排気口と接続されており、イオンブロア５５０が排出したイオンを含む排気（第１の気体）を吸気として吸い込む。
そして、ブロア５１０は、前記イオンを含まない気体（第２の気体）と前記イオンを含む排気（第１の気体）とを所定の配分で混合して、イオンを含む圧縮空気として略密封空間に向かって供給する。
【００４５】
以上のように、本実施の形態によれば、静電気を除去するイオンを含んだ圧縮空気を供給するイオンブロア５５０を備えたので、静電気を除去することにより、印刷精度の悪化を防止し、スクリーン版１をワーク６から円滑に版離れさせることができる。また、印刷工程と同時に静電気の除去を行うので、印刷工程と別個に静電気の除去工程を設ける必要がなくなり、コストの低減を図ることができる。
【００４６】
以上のように、ブロア５１０にイオンブロア５５０を取り付けて、イオンを含む圧縮気体を略密封空間に向けて供給するので、イオンブロア５５０の容量が小さい場合においても、イオンを含む圧縮空気を供給して、静電気を除去することができる。この静電気の除去により印刷精度を維持するとともに、スクリーン版１の版離れを円滑にすることができる。
【００４７】
実施の形態６．
実施の形態６は、略密封空間に供給する気体をフィルターを用いてろ過し、清浄にして供給する実施形態である。
図１３は、実施の形態６におけるスクリーン印刷機のエアー供給を示す図である。図１３は、実施の形態１を示す図８に対して、略密封空間に供給する気体をろ過するフィルター５６１、フィルター５６２を備えた点が異なる。
すなわち、ブロア５１０は、吸気側にフィルター５６２を備え、吸気を清浄にする。また、供給側にもフィルター５６１を備えて、排出した圧縮空気を清浄とする構成である。なお、図１３では、ブロア５１０の吸気側と供給側とにフィルターを備えているが、フィルターは吸気側と供給側とのいずれか一方に備えても構わない。フィルターとしては、例えば、へパフィルターがあるが、これに限られない。
【００４８】
以上のようにフィルターを備えることで印刷時において「ごみ」を除去することにより、印刷精度を高くすることができる。
【００４９】
【発明の効果】
本発明は、スクリーン印刷において、スクリーン版１とワーク６との間の略密封空間のガス圧をスクリーン版１のスキージ印刷面側のガス圧と比較し高くすることにより、スクリーン版１を用いてスキージによりワーク６に印刷時にガス圧の差圧によりからスクリーン版１を離していくことにより、スクリーンメッシュとワーク６との隙間を従来に比較して少なくして印刷することを可能とする。
また、この場合に、略密封空間に供給する気体の供給量を制御するので、略密封空間における圧力を維持する。
これらにより、スクリーン版１のワーク６からの版離れを円滑にして、印刷の精度を高めることができる。また、従来の加工パターンに比較し、スクリーン版を小さく製作でき、スクリーン版のコストを抑えることができる。また、スクリーン版の寿命を長くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１におけるスクリーン印刷機テーブル部の上面図である。
【図２】実施の形態１におけるスクリーン印刷機テーブル部の断面図である。
【図３】実施の形態１におけるスクリーン印刷機テーブル部の断面図である。
【図４】スクリーン密封部を省略した実施の形態１の印刷時の状態を表した図である。
【図５】実施の形態１における印刷の状態を示す図である。
【図６】スキージの位置と、エアー供給量及びスクリーンとワークとの隙間との関係を示す図である。
【図７】実施の形態１におけるスクリーン印刷機の動作のフローチャート図である。
【図８】実施の形態１におけるスクリーン印刷機のエアー供給を示す図である。
【図９】実施の形態３におけるスクリーン印刷機のエアー供給を示す図である。
【図１０】実施の形態４におけるスクリーン印刷機のエアー供給を示す図である。
【図１１】実施の形態５におけるスクリーン印刷機のエアー供給を示す図である。
【図１２】実施の形態５別の例を示す図である。
【図１３】実施の形態６におけるスクリーン印刷機のエアー供給を示す図である。
【図１４】開口部１２１を１箇所有するテーブル１０の上面図である。
【符号の説明】
１  スクリーン版、２  スクレッパ、３  スキージ、４  スキージユニット、５  スクリーン枠、６  ワーク、８  インク、１０  テーブル、１１  ばねサポート、１００  スクリーン製版、１２１  開口部、１２２  圧縮空気供給部、１２３  吸引口、１３１  スクリーン受け部、１３２  密封補助部、１３３  凸部、１４１，１４２  スポンジ、１５０  ばね材、５００  供給部、５１０  ブロア、５２０  制御装置、５２１  制御部、５２２  記憶部、５２３  入力部、５２４  出力部、５２５  スキージ位置検出部、５２６  温度検出部、５２７  温度センサ、５３０  電空レギュレータ、５４０  冷却装置、５５０  イオンブロア、５６１，５６２  フィルター、６０１，６０２  圧力センサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2005014460.tif 000011
【図１０】
2005014460.tif 000012
【図１１】
2005014460.tif 000013
【図１２】
2005014460.tif 000014
【図１３】
2005014460.tif 000015
【図１４】
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