(57)【要約】【課題】  同タイプの他機種にまったく同じ部品で取り付けることができるとともに、耐圧性、気密性、耐アウトガス性等を損なうことなく、パルス管冷凍機のコールドヘッドに対するガス圧縮機やバルブユニット等の機械的な可動部品の運動に起因する微小な電気ノイズの影響を防止することのできるパルス管冷凍機を提供する【解決手段】  パルス管冷凍機３のガス連結管８の途中に電気的に絶縁可能な表面処理が施された金属材料をからなる金属絶縁体１０を挿入した。金属絶縁体１０は、一対のフランジ１１，１１に挟持され、一対のフランジ１１，１１は、絶縁体のカラー１２を介してボルト１３及びナット１４によって締結されている。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パルス管冷凍機のガス連結管に電気的ノイズ伝達防止手段を備えた冷凍機であって、該電気的ノイズ伝達防止手段が、電気的に絶縁可能な表面処理が施された金属材料から構成されるとともに、ガス連結管の途中に挿入されていることを特徴とするパルス管冷凍機。
【請求項２】
パルス管冷凍機のガス連結管に電気的ノイズ伝達防止手段を備えた冷凍機であって、該電気的ノイズ伝達防止手段が、電気的に絶縁可能な表面処理が施された金属材料と、該金属材料の両端に接続された密封型かつ着脱自在な継手とから構成されていることを特徴とするパルス管冷凍機。
【請求項３】
前記電気的に絶縁可能な表面処理がセラミックコーティング加工である請求１または２に記載のパルス管冷凍機。
【請求項４】
前記金属材料がステンレス材料である請求項１または２に記載のパルス管冷凍機。
【請求項５】
前記金属材料がアルミニウム材料であって、前記電気的に絶縁可能な表面処理がタフラム加工（登録商標）である請求項１又は２に記載のパルス管冷凍機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡、蛍光Ｘ線分析計等の超高感度分析装置の検出部や検出素子、例えばＸ線探傷装置でＸ線を検出する半導体等の冷却に用いるパルス管冷凍機に関し、特に電気的ノイズ伝達防止手段を備えたパルス管冷凍機に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡、蛍光Ｘ線分析計等の超高感度分析装置の検出部や検出素子等の冷却に用いるパルス管冷凍機を備えたシステムは、機械的に運動する部品を有するガス圧縮機やバルブユニットをパルス管冷凍機のコールドヘッドから切り離した状態で配置するとともに、バルブユニットとコールドヘッドとをガス配管を介して配管接続することにより、ガス圧縮機やバルブユニットの機械的振動がコールドヘッドに伝わらない構造とされている。
【０００３】
しかしながら、前記構造を採用しても、ガス圧縮機やバルブユニットにおける機械的な可動部品の運動に起因する微小な電気的ノイズがガス連結管を介してコールドヘッドに伝達するのを阻止することが困難であった。そこで、この微小な電気的ノイズがコールドヘッドに伝わるのを阻止するため、バルブユニットからコールドヘッドに冷媒ガスを供給する経路を形成する器具やガス配管、管継手等をガラスエポキシ樹脂やポリカーボネート等の電気絶縁材料で形成し、微小な電気的ノイズに起因する超感度分析装置の検出精度の低下を防止するようにしたものが知られている（下記特許文献１参照）。
【０００４】
また、図７に示すように、フッ素樹脂、ガラスエポキシ樹脂、ポリカーボネート、セラミック等の電気絶縁材料で形成されたパイプ１０１の両端に、ばね作用で開閉する密封手段を備えた脱着可能な継手１０２を設けた管継手１００も知られている。
【０００５】
さらに、前記圧縮機ユニットから前記蓄冷器の高温端までのガス流路に配設した管継手の互いに接合する接合面に電気的に絶縁可能な表面処理を施し、前記微小な電気的ノイズの伝達を防止するようにしたものが提案されている（特願２００２−２７８０６１号）。
【０００６】
【特許文献１】特許第２９９７８７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記特許２９９７８７７号公報や図７に示したものは、コールドヘッドに対する微小な電気的ノイズの影響を防止することは可能であるが、バルブユニットからコールドヘッドに冷媒ガスを供給する経路を形成する器具やガス配管、管継手等がガラスエポキシ樹脂やポリカーボネート等の樹脂からなる電気絶縁材料で形成されているため、次のような問題がある。
ａ．樹脂の強度からみて金属と比べてはるかに強度が低く、肉厚にしなければならず、耐圧性の点で問題がある。
ｂ．一般に、このような冷凍機では冷媒ガスとしてヘリウムを用いており、樹脂は、その材質から分子量の少ないヘリウムのリークが著しく、気密性の点で問題がある。
ｃ．樹脂はアウトガスが発生するため、冷媒ガスの汚染が著しく、所定の冷却性能を満たさないおそれがあり、性能上の点で問題がある。
ｄ．これらを解消するために、冷媒ガスを供給する経路を形成する器具やコールドヘッド側ガス配管、管継手等の全ての内部にメッキを蒸着するか、あるいは、該器具やコールドヘッド側ガス配管、管継手等の全てをセラミックで成形する等が考えられるが、相当の工数がかかり、製造上、コスト上問題がある。
【０００８】
さらに、冷却装置の管継手が互いに接合する接合面に電気的に絶縁可能な表面処理を施したものは、同タイプのパルス管冷凍機であっても、機種ごとに異なる部品を用意する必要があり、汎用性に欠けるというきらいがある。
【０００９】
本発明の第１の目的は、同タイプの他機種にまったく同じ部品で取り付けることができるとともに、冷媒ガスを供給する経路を形成する器具やガス配管、管継手等の耐圧性、気密性、耐アウトガス性等を損なうことなく、パルス管冷凍機のコールドヘッドに対するガス圧縮機やバルブユニット等の機械的な可動部品の運動に起因する微小な電気的ノイズの影響を防止することのできるパルス管冷凍機を提供することにある。
【００１０】
本発明の第２の目的は、第１の目的に加え、ガス連結管等の密封性を保ったまま簡単に脱着できる電気的ノイズ伝達防止手段を備えたパルス管冷凍機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１の発明は、前記第１の目的を達成するために、パルス管冷凍機のガス連結管に設けられる電気的ノイズ伝達防止手段を、絶縁可能な表面処理が施された金属材料から構成するとともに、ガス連結管の途中に挿入したものである。
【００１２】
請求項２の発明は、前記第２の目的を達成するために、パルス管冷凍機のコールドヘッドとバルブユニットを結ぶガス連結管に設けられる電気的ノイズ伝達防止手段を、電気的に絶縁可能な表面処理が施された金属材料と、該金属材料の両端に接続された密封型かつ着脱自在な継手とから構成したものである。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１または２の発明において、前記電気的に絶縁可能な表面処理をセラミックコーティング加工としたものである。
【００１４】
請求項４の発明は、請求項１または２の発明において、前記金属材料をステンレス材料としたものである。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項1又は２の発明において、電気的に絶縁可能な表面処理が施される金属材料をアルミニウム材料とし、電気的に絶縁可能な表面処理をタフラム（ＵＬＶＡＣ社の登録商標）加工としたものである。
なお、タフラム加工は、アルミニウムの表面に硬質酸化膜を形成し、この酸化膜とポリテトラフルオロエチレンとの複合体を形成する加工技術である。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明によれば、ガス圧縮機やバルブユニット等の機械的な可動部品の運動に起因する微小な電気的ノイズは、ガス連結管の途中に挿入された電気的に絶縁可能な表面処理が施された金属材料によって阻止され、該ノイズがパルス管冷凍機のコールドヘッドに伝達されることがないので、パルス管冷凍機が使用される超高感度分析装置の測定精度に影響を及ぼすことがない。
【００１７】
また、請求項１の発明は、電気的ノイズ伝達防止手段に形成された冷媒ガスの流路を金属材料で構成することができるので、圧縮機ユニットあるいはバルブユニットからコールドヘッドに冷媒ガスを供給する経路を形成する器具やガス連結管、管継手等の冷媒ガスが接触する部分のすべてを金属材料から形成することができる。金属材料は、樹脂と比較して、はるかに強度があり、冷媒ガスのリークもなく、また、アウトガスが発生することもないため、該器具やコールドヘッド側ガス配管、管継手等を樹脂等の特別な電気絶縁材料で形成したものに較べ、耐圧性、気密性、性能等にすぐれたパルス管冷凍機を得ることができる。
【００１８】
さらに、請求項１の発明は、ガス連結管の途中に電気的に絶縁可能な表面処理が施された金属材料を挿入するだけでよいので、同タイプの他機種のパルス管冷凍機にまったく同じ部品で取り付けることが可能となり、コールドヘッド本体やバルブユニット本体に電気的絶縁処理を施すというような改良が必要でないため、製作が容易であり、またコストの低減も図れる。
【００１９】
請求項２の発明によれば、請求項１の発明の効果に加え、金属材料に設けた継手を介して、金属材料をコールドヘッドやバルブユニット等に取り付けられた管継手に容易に脱着でき、しかも、その脱着に際し、コールドヘッドやバルブユニットやガス連結管に封入された冷媒ガスが漏れることがないので、既に稼動しているパルス管冷凍機に対しても電気的ノイズ伝達防止手段を容易に装着することができるという効果を有する。
【００２０】
請求項3の発明によれば、請求項１または２の発明の効果に加え、電気的に絶縁可能な表面処理にセラミックコーティングを採用したので、絶縁性については申し分がない。
【００２１】
請求項4の発明によれば、金属材料としてステンレス材料を使用しているので、耐圧強度の面では、他の材料より優位である。
【００２２】
請求項５の発明によれば、電気的に絶縁可能な表面処理としてタフラム加工を採用したので、他の表面処理に比べ加工が容易であり、また、微小な電気的ノイズの伝達を確実に阻止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明のパルス管冷凍機の第１の実施の形態を図１〜４に基づいて説明する。図1は本発明のパルス管冷凍機が使用されるシステムの概略全体図である。
パルス管冷凍機が使用されるシステムは、内部に冷媒ガスを充填したガス圧縮機（図示せず）を有する圧縮機ユニット１と、圧縮機ユニット１に圧縮機高圧ガス連結管４及び圧縮機低圧ガス連結管５を介して配管接続されるバルブユニット２と、バルブユニット２にコールドヘッドガス連結管６、７、８を介して接続されるコールドヘッド３ａとハウジング３ｂを有するパルス管冷凍機３とから構成されている。コールドヘッド連結管８の途中には、図２〜４に示す電気的ノイズ伝達防止手段が挿入されている（図１では示さず）。なお、圧縮機高圧ガス連結管４、圧縮機低圧ガス連結管５、コールドヘッドガス連結管６、７、８は、それぞれ、パルス管冷凍機３のガス連結管を構成している。また、図１の１ｃは、コールドヘッドケーブルである。
【００２４】
圧縮機高圧ガス連結管４は、その両端部に管継手４ａ，４ｂを備えており、一方の管継手４ａは、圧縮ユニット１に形成された高圧側吐出口１ａ（管継手）に接続され、他方の管継手４ｂは、バルブユニット２に取り付けた高圧側管継手２ａに接続される。ガス圧縮機によって圧縮された冷媒ガスは、圧縮機高圧ガス連結管４を介してバルブユニット２に送られるようになっている。同様に、圧縮機低圧ガス連結管５も、その両端に管継手５ａ，５ｂを備えており、一方の管継手５ａは、圧縮機ユニット１に形成された低圧側吸引口１ｂ（管継手）に接続され、他方の管継手５ｂは、バルブユニット２に取り付けた低圧側管継手２ｂに接続される。パルス管冷凍機３からの低圧の冷媒ガスは、圧縮機低圧ガス連結管５を介してバルブユニットから圧縮機によって吸引されるようになっている。圧縮機高圧ガス連結管４及び圧縮機低圧ガス連結管５は、ステンレス鋼等の金属材料からなるフレキシブルチューブ等の管としてそれぞれ構成されている。
【００２５】
コールドヘッドガス連結管７は、その両端に管継手７ａ，７ｂを備えており、一方の管継手７ａは、バルブユニット２に取り付けたバルブユニット管継手２ｃに接続され、他方の管継手７ｂは、パルス管冷凍機側に取り付けたコールドヘッド管継手３ｃに接続される。バルブユニット管継手２ｃは、比較的短いコールドヘッドガス連結管６を介してバルブユニット２に取り付けられ、コールドヘッド管継手３ｃは、比較的短いコールドヘッドガス連結管８を介してコールドヘッドに取り付けられている。バルブユニット２からパルス管冷凍機３に送られる圧縮機からの高圧の冷媒ガスと、パルス管冷凍機３からバルブユニット２に戻るパルス管冷凍機で断熱膨張した低圧の冷媒ガスとが、バルブユニット２の切替えによって交互にコールドヘッドガス連結管６，７，８を流れるようになっている。コールドヘッドガス連結管６，７，８は、銅あるいはステンレス鋼等の金属材料から形成されている。
【００２６】
圧縮機ユニット１、バルブユニット２、コールドヘッド３ａにそれぞれ取り付けられた管継手１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ，２ｃ，３ｃの継手部と、圧縮機高圧ガス連結管４、圧縮機低圧ガス連結管５、コールドヘッドガス連結管７に取り付けられた管継手４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，７ａ，７ｂの継手部には、ばね作用によって作動し、管継手が互いに連結されたとき自動的に管継手の流路を開き、管継手の連結が解かれたとき自動的に管継手の流路を閉じる密封手段（図示せず）が設けられている。また、管継手の継手部は、相手側の継手部との脱着を容易にするため、ネジ結合構造とされている。
【００２７】
コールドヘッドガス連結管８の途中に挿入される電気的ノイズ伝達防止手段は、電気的に絶縁可能な表面処理を施した金属材料からなる絶縁体１０（以下、「金属絶縁体１０」という）と、金属絶縁体１０を両側から挟持する一対のフランジ１１，１１と、金属絶縁体１０を挟持した一対のフランジ１１，１１を締結するボルト１３及びナット１４と、ボルト１３及びナット１４が一対のフランジ１１，１１や金属絶縁体１０と直接接触するのを阻止するカラー１２を有している。
【００２８】
金属絶縁体１０は、図３，４に詳細に示すように、適宜の厚さを有する断面略円形状の金属材料から形成されている。金属絶縁体１０の中心部には、冷媒ガスが流れる断面略円形状の流路１０ａが、金属絶縁体１０の厚さ方向を貫通して形成されている。金属絶縁体１０の厚さ方向の外側両端面には、それぞれ、流路１０ａの外周を囲むようにシール材、例えばＯリング１５が挿入される環状の凹溝１０ｃ，１０ｃが形成されている。さらに、環状の凹溝１０ｃ、１０ｃの外方には、同心円上に略等間隔で配設された複数個、図においては４個の断面円形状のカラー挿入孔１０ｂ〜１０ｂが金属絶縁体１０の厚さ方向を貫通して形成されている。金属材料としては、ステンレス材料、アルミニウム材料、銅材料等がある。
【００２９】
金属絶縁体１０を構成する金属材料の表面には、電気的に絶縁可能な表面処理が施されている。この表面処理は、流路１０ａや４個のカラー挿入孔１０ｂ〜１０ｂや環状凹溝１０ｃ，１０ｃも含めて施すことが好ましい。電気的に絶縁可能な表面処理としては、アルミニウム材料の表面に硬質酸化皮膜を形成し、この酸化皮膜とポリテトラフルオロエチレンとの複合体を形成するタフラム（ＵＬＶＡＣ社の登録商標）加工やセラミックコーティング加工等がある。電気的に絶縁可能な表面処理としてタフラム加工を施す場合には、金属材料としてアルミニウム材料が採用される。セラミックコーティング加工を施す場合には、耐圧強度等を考慮すると、金属材料はステンレス材料が好ましい。
【００３０】
金属絶縁体１０を両側から挟持する一対のフランジ１１，１１は、左右対称の同一構造であるので、コールドヘッド３ａ側のフランジ１１について説明する。フランジ１１は、適宜の厚さを有する断面略円形状の銅あるいはステンレス鋼等の金属材料から形成されている。フランジ１１の外径は、金属絶縁体１０の外径にほぼ等しい大きさとされている。フランジ１１の中心部には、金属絶縁体１０に形成した流路１０ａと略同一の径を有する断面円形状の流路１１ａが、該フランジの厚さ方向を貫通して形成されている。さらに、該流路１１ａの外方には、金属絶縁体１０に形成したカラー挿入孔１０ｂ〜１０ｂに対応して、複数個、図においては４個のカラー挿入孔１１ｂ〜１１ｂが、フランジの厚さ方向を貫通して形成されている。フランジ１１に形成したカラー挿入孔１１ｂ〜１１ｂは、金属絶縁体１０に形成したカラー挿入孔１０ｂ〜１０ｂと同一の径及び配置とされており、金属絶縁体１０に形成したカラー挿入孔１０ｂ〜１０ｂと協働して、４個のカラー挿入孔を形成している。
【００３１】
さらに、フランジ１１の外側端面には、フランジ１１に形成した流路１１ａに連通するとともに、コールドヘッドガス連結管８ｂが挿入接続される短いパイプ１１ｃが一体に取り付けられている。なお、バルブユニット２側のフランジ１１の外側端面にも、同様に、コールドヘッドガス連結管８ａが挿入接続される短いパイプ１１ｃが一体に取り付けられている。パイプ１１ｃ、１１ｃは、銅あるいはステンレス鋼等の金属材料から形成されている。また、コールドヘッドガス連結管８ａ、８ｂは、コールドヘッドガス管８に電気的ノイズ伝達防止手段を挿入するため、コールドヘッドガス管８を２分割したものである。
【００３２】
一対のフランジ１１，１１に形成されたカラー挿入孔１１ｂ〜１１ｂと金属絶縁体１０に形成されたカラー挿入孔１０ｂ〜１０ｂから構成される４個のカラー挿入孔には、それぞれ一対のカラー１２，１２が挿入されている。一対のカラー１２，１２は、同一構造であるので、一方のカラー１２について説明する。カラー１２は、フランジ１１に形成されたカラー挿入孔１１ｂと金属絶縁体１０に形成したカラー挿入孔１０ａに挿入される円柱状の挿入部１２ｂと、挿入部１２ｂより大きな径を有し、フランジ１１の外側端面に当接する当接面を有する適宜厚さの鍔部１２ａとから構成されている。
【００３３】
カラーの挿入部１２ｂの長さは、フランジ１１の厚さと金属絶縁体１０の１／２の厚さの和よりわずかに短い大きさとされており、一対のカラー１２，１２を挿入したとき一対のカラー１２，１２の端面間に隙間ができるようにされている。カラー１２の中心部には、一対のフランジ１１，１１を締結するボルト１３を通すボルト孔１２ｃがカラー１２の軸線方向に貫通して形成されている。
【００３４】
カラー１２は、通常、フッ素樹脂、ガラスエポキシ樹脂、ポリカーボネート、セラミック等の電気絶縁材料から形成されている。なお、前記金属絶縁体１０と同様に、電気的に絶縁可能な表面処理を施した金属材料から形成することもできる。このような構造をしたカラー１２，１２は、ボルト１３をカラー１２,１２のボルト孔１２ｃ１２ｃに通して、フランジ１１，１１をボルト１３及びナット１４で相互に締結したとき、ボルト１３やナット１４がフランジ１１，１１や金属絶縁体１０に直接接触するのを阻止するスペーサーとして機能する。
【００３５】
また、フランジ１１，１１を互いに締結するボルト１３やナット１４は、金属絶縁体１０と同様に、電気的に絶縁可能な表面処理を施した金属材料から形成することが好ましい。さらに、ボルト１３やナット１４に使われるボルト用ワッシャ１３、ナット用ワッシャ１４ａ、１４ｂ等も電気的に絶縁可能な表面処理を施した金属材料から形成することが好ましい。
【００３６】
このように構成された第１の実施の形態のパルス管冷凍機によれば、圧縮機ユニット１やバルブユニット２等の機械的な可動部品の運動に起因する微小な電気的ノイズは、コールドヘッド連結管６，７，８を介して伝達されるが、該微小な電気的ノイズは、コールドヘッドガス連結管８の途中に挿入された電気的ノイズ伝達防止手段９を構成する金属絶縁体１０よって阻止されるので、該微小な電気的ノイズがコールドヘッド３ａに伝わるのを防止することができる。なお、電気的に絶縁可能な表面処理としてタフラム加工を採用すれば、前記微小な電気的ノイズの伝達を確実に阻止することができる。超高感度分析装置の測定にパルス管冷凍機を使用しても測定精度に影響を及ぼすことがない。
【００３７】
また、金属絶縁体１０を、コールドヘッド３ａ近くのコールドヘッドガス連結管８に設ければ、圧縮機ユニット１からコールドヘッド連結管８ａまでの経路を伝わる微小な電気的ノイズは、金属絶縁体１０によってすべて阻止されるので、コールドヘッド３ａに対する該微小な電気的ノイズの影響を確実に防止することができる。
【００３８】
一対のフランジ１１、１１を締結するボルト１３やナット１４は、電気絶縁性のカラーを介在させたことによって、フランジ１１、１１と当接することがないため、ボルト１３やナット１４が拾う機械的な可動部品の運動に起因する微小な電気的ノイズがコールドヘッド３ａ側のフランジ１１に伝わるのを阻止することができるので、該ボルト１３やナット１４が拾う微小な電気的ノイズがコールドヘッドガス連結管８ｂを介してコールドヘッド３ａに伝わることもない。さらに、ボルト１３やナット１４やワッシャ１３ａ，１４ａ、１４ｂも電気絶縁性の金属材料から形成すれば、コールドヘッド３ａに対する微小な電気的ノイズの影響を一層排除することができる。
【００３９】
電気的ノイズ伝達防止手段９に形成された冷媒ガスの流路１０ａ，１０ｂは、金属材料で構成されているので、バルブユニット２からコールドヘッド３ａに冷媒ガスを供給する経路を形成する器具やコールドヘッドガス連結管、管継手等の冷媒ガスが接触する部分は、すべて金属材料から形成したものを使用することができる。金属材料は、樹脂と比較して、はるかに強度があり、冷媒ガスのリークもなく、また、アウトガスを発生することもないため、該器具やガス連結管、管継手等を樹脂等の特別な電気絶縁材料で形成したものに較べ、耐圧性、気密性、性能等にすぐれたパルス管冷凍機を得ることができる。なお、金属絶縁体１０の金属材料としてステンレス材料を採用すれば、電気的ノイズ伝達防止手段９の耐圧性は、他の材料に比べ優れたものとなる。
【００４０】
さらに、電気的ノイズ伝達防止手段９を構成する金属絶縁体１０は、コールドヘッドガス配管８の途中に挿入されるので、同タイプの他機種のパルス管冷凍機のシステムにまったく同じ部品で取り付けることが可能となり、コールドヘッド３ａやバルブユニット２に電気的絶縁処理を施すというような改良が必要ないので、製作が容易となり、また、コストの低減も図れる。
【００４１】
次に、本発明のパルス管冷凍機の第２の実施の形態を図５〜６に基づいて説明する。この第２の実施の形態のパルス管冷凍機は、電気的ノイズ伝達防止手段をパルス管冷凍機やバルブユニット等に取り付けられた管継手に脱着できるようにしたものであり、電気的ノイズ伝達防止手段の基本構造やパルス管冷凍機の構造は、第１の実施の形態と同一構造であるので、図５〜６中、第１の実施の形態と同一構造のものは、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
【００４２】
この実施の形態の電気的ノイズ伝達防止手段１６は、一対のフランジ１１，１１の外側端面に継手部１８，１９を取り付けたものである。継手部１８は、コールドヘッドガス連結管７に取り付けられた管継手７ｂの継手部（図示せず）に接続し、継手部１９は、コールドヘッド３ａに取り付けられた菅継手３ｃの継手部３ｃ１に接続するようになっている。
【００４３】
継手部１８は、冷媒ガス流路１８ａを有し、該冷媒ガス流路１８ａとフランジ１１に形成された冷媒ガス流路１１ａとを連通する短いパイプ１７を介して、コールドヘッドガス連結管７側のフランジ１１に一体的に取り付けられている。同様に、継手部１９は、冷媒ガス流路１９ａを有し、該冷媒ガス流路１９ａとフランジ１１に形成された冷媒ガス流路１１ａとを連通する短いパイプ１７を介して、コールドヘッド３ａ側のフランジ１１に一体的に取り付けられている。パイプ１７，１７は、銅あるいはステンレス鋼等の金属材料から形成されている。
【００４４】
該継手部１８，１９には、ばね作用によって作動し、相手側の管継手３ｃ，２ｃに連結されたとき自動的に継手部の流路１８ａ，１９ａを開き、連結が解かれたとき自動的に継手部の流路１８ａ，１９ａを閉じる密封手段（図示せず）が設けられている。なお、相手側の管継手３ｃ、２ｃの継手部にも同様の密封手段が設けられていることは、第１の実施の形態で説明したとおりである。
【００４５】
また、該継手部１８，１９は、相手の継手部との脱着を容易にするため、ネジ結合構造とされている。該継手部１８，１９に形成されるネジ部（図示せず）は、相手の継手部に対応して、雌ネジあるいは雄ネジのいずれかを適宜選択して形成されている。
【００４６】
このように構成された第２の実施の形態のパルス管冷凍機によれば、第１の実施の形態のパルス管冷凍機の作用効果に加え、次のような作用効果を奏する。金属絶縁体１０を挟持する一対のフランジ１１の両端に密閉型でかつ脱着可能な継手部１８，１９が設けられており、金属絶縁体１０は、継手部１８介して、コールドヘッド連絡管に取り付けられた管継手７ｃに、また、継手部１９介して、コールドヘッド３ａに取り付けられた管継手３ｃにそれぞれ容易に脱着でき、しかも、その脱着に際し、コールドヘッド３ａやバルブユニット２やガス連結管６，７，８に封入された冷媒ガスが外部に漏れることがないので、既に稼動しているパルス管冷凍機に電気的ノイズ伝達防止手段１６を容易に装着することができる。
【００４７】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されず種々の設計変更が可能であり、それらはいずれも本発明に含まれる。
例えば、第１の実施の形態では、電気的ノイズ伝達防止手段９をコールドヘッドガス連結管８の途中に挿入したものを示したが、コールドヘッドガス連結管６やコールドヘッドガス連結管７の途中に挿入するようにしてもよい。さらに、圧縮機高圧ガス連結管４や圧縮機低圧ガス連結管５に付加的に挿入してもよい。
【００４８】
また、第２の実施の形態では、電気的ノイズ伝達防止手段１６をコールドヘッド３ａに取り付けられた管継手３ｃに接続したものを示したが、バルブユニット２に取り付けられた管継手２ｃに接続するようにしてもよい。さらに、高圧側管継手２ａや低圧側管継手２ｂに付加的に接続するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明のパルス管冷凍機が使用されるシステムの概略全体図。
【図２】本発明の第１の実施の形態のパルス管冷凍機概略図。
【図３】本発明の第１の実施の形態の電気的ノイズ伝達防止手段の縦断面図。
【図４】本発明の第１の実施の形態のA−A断面図。
【図５】本発明の第２の実施の形態のパルス管冷凍機概略図。
【図６】本発明の第２の実施の形態の電気的ノイズ伝達防止手段の縦断面図。
【図７】従来の電気絶縁管継手
【符号の説明】
【００５０】
１              圧縮機ユニット
２              バルブユニット
２ｃ            バルブユニット管継手
３              パルス管冷凍機
３ａ            コールドヘッド
３ｃ            コールドヘッド管継手
６，７，８      コールドヘッドガス連結管
９              電気的ノイズ伝達防止手段
１０            金属絶縁体
１１            フランジ
１２            カラー
１５            Ｏリング（シール材）
１６            電気的ノイズ伝達防止手段
１７            パイプ
１８，１９      継手部
【図１】
2005273969.tif 000003
【図２】
2005273969.tif 000004
【図３】
2005273969.tif 000005
【図４】
2005273969.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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