(57)【要約】【課題】  基板の蒸着過程で自重により基板の中心部が下方に垂れることを防止するために、基板両側を固定した状態で一側に引張力を与えることで、基板の垂れ現象を防止できる有機物蒸着装置および蒸着方法を提供する。【解決手段】  外部と隔離される内部空間が備わり、一側に基板が搬入または搬出される出入口および前記出入口を開閉するゲートが備わったチャンバー１１０と;前記チャンバー１１０内の上側に備わって、搬入された基板の両端を加圧力によりそれぞれ固定し、その固定された基板の両端のうち一端を外側方向に移動して基板の垂れ量を減少させるように基板に引張力を提供する基板搭載台２００と;前記基板搭載台２００の上面中心部に結合されて前記基板搭載台２００を回転または昇降させる回動昇降部３００と;前記チャンバー１１０内の下部に設けられ、有機物質を気化して基板に蒸発させる加熱部１４０および有機物ボート１４２と;を含んで有機物蒸着装置を構成する。【選択図】  図１
2005273014.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機物蒸着装置であって、
外部と隔離される内部空間が備わり、一側に基板が搬入または搬出される出入口および前記出入口を開閉するゲートが備わったチャンバーと;
前記チャンバー内の上側に備わって、搬入された基板の両端を加圧力によりそれぞれ固定し、その固定された基板の両端のうち一端を外側方向に移動して基板の垂れ量を減少させるように基板に引張力を提供する基板搭載台と;
前記基板搭載台の上面中心部に結合されて前記基板搭載台を回転または昇降させる回動昇降部と;
前記チャンバー内の下部に設けられ、有機物質を気化して基板に蒸発させる加熱部および有機物ボートと;
を含んで構成されることを特徴とする有機物蒸着装置。
【請求項２】
前記基板搭載台は、
前記基板搭載台の内部に設けられ、基板の縁部４辺が安着されるように中央部が貫通された板状に形成され、その一側が他側から分離される基板安着ホルダーと;
前記基板安着ホルダーの上側に設けられて昇降し、下降時に基板の上面縁部を加圧して基板を固定し、中央部が貫通された板状に形成され、前記基板安着ホルダーと同一線上でその一側が他側から分離される加圧ホルダーと;
前記加圧ホルダーの上側縁部に下方に向かって設けられ、空気の流入または排出によって基板の縁部を加圧または減圧するように上下往復運動をする第１駆動部と;
前記第１駆動部と直交配置され、分離される加圧ホルダーに固定され、空気の流入または排出によって左右往復運動をして両端が固定された基板の一端を引っ張って垂れを防止するように、一側が分離された基板安着ホルダーおよび加圧ホルダーを左右に往復させる第２駆動部と;を含むことを特徴とする請求項１記載の有機物蒸着装置。
【請求項３】
前記基板安着ホルダーには、基板整列手段がさらに設けられたことを特徴とする請求項２記載の有機物蒸着装置。
【請求項４】
前記基板整列手段は、
接した２辺縁部に２個ずつ位置され、所定位置で基準点になる４個の位置固定シリンダーと;
前記位置固定シリンダーとの対向位置にそれぞれ設けられ、他の２辺縁部に２個ずつ位置させられて往復運動をする４個の整列シリンダーと;を含み、
前記整列シリンダーが基板の接する２辺を加圧して移動し、位置固定シリンダーの位置まで移動して基板を整列させることを特徴とする請求項３記載の有機物蒸着装置。
【請求項５】
前記第１および第２駆動部は、
板状に設けられるベースと;
前記ベースの上面両端に上方に直立するように設けられる固定板と;
前記固定板に介在させられて介在方向に往復運動をし、先端中央部に設けられた軸が前方の固定板を貫通して突出させられるように設けられる移動板と;
前記後方の固定板と移動板との間に両端が固定された状態で備わり、内部に空気が充填されて体積が増加すると、軸を前方に直進させるベローズと;
前記ベローズに外部から流入する空気を注入する空気注入ノズルと;
前記ベローズからの空気の排出により収縮する過程で、ベローズに復元力を提供するように移動板と固定板との間に備わった軸の途中に設けられるスプリングと;から構成されることを特徴とする請求項４記載の有機物蒸着装置。
【請求項６】
前記基板搭載台は、
板状のベースと;
前記ベースの上面両端で固定する基板の両端と平行にそれぞれ備わって、一端は固定式で、他端は移動式で基板に圧力を提供する基板固定部と;
前記基板固定部のうち移動式基板固定部の外側面に直交状態で備わり、基板固定部を外側方向に移動して基板に引張力を与える引張力提供部と;から構成されることを特徴とする請求項１記載の有機物蒸着装置。
【請求項７】
前記基板固定部で提供する加圧力と、引張力提供部で提供する引張力とを制御する制御部がさらに設けられることを特徴とする請求項６記載の有機物蒸着装置。
【請求項８】
前記基板固定部は、
長さ方向に延長され、基板の固定部位よりも長い板状に備わる下板と;
前記下板と同一形状に上側に位置させられ、上面に基板が載置される板状の固定ホルダーと;
前記固定ホルダーの一側縁部に設けられ、長さ方向に延長される断面"Ｌ"（この"Ｌ"はＬの点対称の形状を意味する）状の位置固定板と;
前記位置固定板の上側中央部に離隔状態で設けられる板状の駆動部固定板と;
前記駆動部固定板と前記固定ホルダーとの離隔空間で上下に移動して固定ホルダーに位置された基板の上面を加圧または減圧し、長さ方向に延長される板状の加圧ホルダーと;
前記駆動部固定板の上面中央部に備わって、基板に圧力を提供するように移動軸の先端が固定された加圧ホルダーを昇降させる垂直方向駆動部と;から構成されたことを特徴とする請求項７記載の有機物蒸着装置。
【請求項９】
前記基板固定部の下部には、その基板固定部の位置をそれぞれ可変とし、基板の大きさによって位置を調節する水平移動ガイドがさらに設けられることを特徴とする請求項８記載の有機物蒸着装置。
【請求項１０】
前記垂直方向駆動部の移動軸上には、第１圧力測定部がさらに設けられることを特徴とする請求項９記載の有機物蒸着装置。
【請求項１１】
前記第１圧力測定部は、ロードセルであることを特徴とする請求項１０記載の有機物蒸着装置。
【請求項１２】
前記垂直方向駆動部は、空圧または油圧シリンダーであることを特徴とする請求項１１記載の有機物蒸着装置。
【請求項１３】
前記引張力提供部は、
前記基板固定部の下板および固定ホルダーの外側壁に結合される板状の固定側板と;
前記固定側板と外側方向に離隔された位置に設けられ、ベースの一側縁部に直立させられるように固定された板状の駆動部固定側板と;
前記駆動部固定側板の外壁に設置され、移動式基板固定部を水平方向に移動して基板に引張力を提供するように、移動軸の先端が移動される基板固定部に固定された水平方向駆動部と;から構成されることを特徴とする請求項１２記載の有機物蒸着装置。
【請求項１４】
前記水平方向駆動部の移動軸上には、第２圧力測定部がさらに設けられることを特徴とする請求項１３記載の有機物蒸着装置。
【請求項１５】
前記第２圧力測定部は、ロードセルであることを特徴とする請求項１４記載の有機物蒸着装置。
【請求項１６】
前記水平方向駆動部は、空圧または油圧シリンダーであることを特徴とする請求項１５記載の有機物蒸着装置。
【請求項１７】
前記ロードセルは、少なくとも一つ設けられることを特徴とする請求項１１または１５記載の有機物蒸着装置。
【請求項１８】
前記垂直および水平方向駆動部は、
基板の厚さに応じて基板に加える加圧力および引張力が変わることを特徴とする請求項１７記載の有機物蒸着装置。
【請求項１９】
前記制御部には、
電気的に連結され、第１および２圧力測定部で検出された結果値が数値として出力されるディスプレイがさらに設けられることを特徴とする請求項１８記載の有機物蒸着装置。
【請求項２０】
基板をチャンバーの内部に設けられた基板搭載台の固定ホルダーに搬入する基板の搬入段階と;
前記基板が両側の基板固定部に安着されて垂直方向駆動部により基板の両側を固定する基板の両側固定段階と;
前記基板の両側を固定した基板固定部のうちいずれか一つの基板固定部に設けられた引張力提供部の水平方向駆動部により、基板の一側を外部方向に引っ張る基板の一側引張段階と;
ローディングされた基板に有機物を蒸着する基板の蒸着段階と;
蒸着が終了した基板を外部に搬出する基板の搬出段階と;から構成されることを特徴とする有機物蒸着方法。
【請求項２１】
前記基板搭載台は、
長さ方向に延長される板状に形成され、一端が下方に折り曲げられる固定ホルダーと;
前記固定ホルダーと水平状態でその固定ホルダーの折り曲げ部位と対向するように、他端が下方に折り曲げられる移動ホルダーと;
前記固定ホルダーおよび移動ホルダーの底面でそれぞれ接触または分離させられるように昇降し、対向する断面"Ｌ"状に形成された加圧ホルダーと;
前記固定ホルダーおよび移動ホルダーの上面縁部に多数個固定され、移動軸の先端が固定ホルダーおよび移動ホルダーの縁部に垂直方向に貫通し、その貫通部位を通して加圧ホルダーにそれぞれ対向して固定される垂直方向駆動部と;
前記移動ホルダーの外側面上部に多数個固定され、移動軸の先端が固定ホルダーを水平方向に貫通し、その貫通部位を通して移動ホルダーに固定される水平方向駆動部と;
前記固定ホルダーおよび移動ホルダーの内側面に対向する縁部と、加圧ホルダーの内側面に対向する縁部にそれぞれ設けられる基板接触部と;を含んで設けられることを特徴とする請求項１記載の有機物蒸着装置。
【請求項２２】
前記垂直および水平方向駆動部は、
ボルトまたはシリンダーのうちのいずれか一つであることを特徴とする請求項２１記載の有機物蒸着装置。
【請求項２３】
前記基板接触部は、
摩擦力が大きく軟性の材質により備わり、内側から外側に行くほど下方に傾斜角を有して設けられて基板の垂れを最小化することを特徴とする請求項２２記載の有機物蒸着装置。
【請求項２４】
前記基板接触部は、
シリコンパッドまたはゴムにより形成されて設けられることを特徴とする請求項２３記載の有機物蒸着装置。
【請求項２５】
前記基板接触部の傾斜角は、
０゜〜９０゜の間で形成されることを特徴とする請求項２４記載の有機物蒸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機物蒸着装置および蒸着方法に関するもので、詳しくは、大面積基板に有機物を蒸着する過程で、内部に搬入される基板の垂れを防止できる有機物蒸着装置および蒸着方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近、情報通信技術の飛躍的な発展および市場の膨脹によって、ディスプレイ素子として平板表示素子が脚光を浴びている。この平板表示素子としては、液晶表示素子、プラズマディスプレイ素子、有機発光素子などが代表的である。
【０００３】
これらのうち、有機発光素子は、迅速な応答速度、既存の液晶表示素子よりも低い消費電力、軽量性、別途のバックライト装置が不要で超薄型に設けられる点、高輝度などの非常に優れた長所を有しており、次世代のディスプレイ素子として脚光を浴びている。
【０００４】
この有機発光素子は、基板上に陽極膜、有機薄膜、陰極膜を被覆して陽極と陰極との間に電圧をかけることで、適当なエネルギーの差が有機薄膜に形成されて自発光する原理に基づいている。すなわち、注入される電子と正孔とが再結合して残った励起エネルギーが光として発生する。このとき、有機物質のドーパント量に応じて発生する光の波長を調節することで、フルーカラーを実現することができる。また、生産性の向上およびディスプレイの大型化に伴い、ディスプレイの製作に使用されるガラス基板も徐々に大型化されつつある。
【０００５】
有機発光素子は、基板上に陽極、正孔注入層、正孔運送層、発光層、電子運送層、電子注入層、陰極が順に積層されて構成される。ここで、陽極には、面抵抗が小さく透過性の良いＩＴＯ(Indium Tin Oxide)が主に使用される。また、有機薄膜は、発光効率を高めるために、正孔注入層、正孔運送層、発光層、電子運送層、電子注入層などの多層に構成されており、発光層として使用される有機物質には、Ａｌｑ３、ＴＰＤ、ＰＢＤ、ｍ-ＭＴＤＡＴＡ、ＴＣＴＡなどがある。また、陰極には、ＬｉＦ-Ａｌ金属膜が使用される。また、有機薄膜が空気中の水分および酸素に非常に弱いことから、素子の寿命を増大させるためにその最上部に封止膜が形成される。
【０００６】
しかしながら、この有機発光素子は、前述した多様な長所にもかかわらず、未だに大面積有機発光素子に対する量産装置が確実に標準化されてないため、次世代のディスプレイ素子としての確固たる位置が確保されていない。すなわち、液晶表示素子やプラズマディスプレイ素子の急速な大面積化とともに、大面積パネルを生産できる量産装置が開発および標準化されつつあるので、有機発光素子を次世代のディスプレイ素子として確実に位置づけられる大面積有機発光素子の量産装置の開発が強く要求されている。
【０００７】
一方、有機発光素子などの平板ディスプレイを製作するとき、ディスプレイの特性上、ガラス基板上にディスプレイ素子を設けるが、このようなディスプレイの製造工程中の蒸着工程を行う場合、ガラス基板は、真空内で蒸着面が下方に向かうように、ホールディング装置であるガラスチャックによりホールディングすべきである。
【０００８】
前記ガラスチャックとしては、ガラス基板の４辺を物理的に支持するクリッピング(Clipping)チャックが広く使用されており、その他に、気圧差を用いた真空チャック方法、電気場および静電気誘導を用いた静電チャックが使用される。
【０００９】
前記真空チャックは、吸着板を平板基板の裏側に当てて吸着板の空気を吸入することで、気圧差により平板基板をホールディングする方法であって、ほとんど真空状態で行われる蒸着工程では使用できず、構造が複雑であるという問題点があった。
【００１０】
すなわち、平板ディスプレイでは、埃、水蒸気、酸素などの異物質が不良率上昇の主な要因として作用するので、真空状態での作業が必要になるが、真空チャックは、このような真空装置に適用できないという問題点があった。
【００１１】
また、前記静電チャックは、平板基板の裏側に電流を流し、その電流により形成された電場がガラスなどの材質からなる平板基板を帯電させることで、静電気力により平板基板をホールディング(付着)する方法であって、この方法は、真空中でも使用できるが、後述するようにいくつかの短所がある。
【００１２】
すなわち、静電チャック方法は、広い面積を有する平板基板をホールディングするために大きな電場を要するので、消費電力が増加し、多様な種類の蒸着工程を経る間、継続して電流を供給するために複雑な機械装置が必要となり、電流により基板に形成された電場が平板基板に載置される蒸着化学物質などに影響を及ぼして性能が低下するという問題点があった。
【００１３】
前記ガラス基板のクリッピング時、中央部が自重により下方に垂れるが、このとき、ガラス基板の厚さが０．７mmである場合、３７０mm×４７０mmの基板は、ほぼ１mm程度に垂れ、６００mm×７２０mmの基板は、ほぼ５mm程度に垂れる。また、前記真空チャックは、真空内で行われる蒸着工程では使用できず、前記静電チャックは、大面積ガラス基板に使用する場合、非常に強い電場を要するとともに、基板移送時の電線処理が困難である。
【００１４】
従来の有機物蒸着装置は、内部で蒸着工程が行われるチャンバーと、このチャンバーの内部上側に設けられて基板を搭載する基板搭載台と、この基板搭載台に位置された基板の上側に設けられるマグネットホルダーと、前記基板の下側にマスクが備わったマスクホルダーと、前記チャンバー内の下部に設けられて有機物質を気化して基板に蒸発させる加熱部と、チャンバー内の下部に設けられる有機物ボートと、から構成される。
【００１５】
ここで、前記有機物ボートに蒸着する有機物質の適当量を予測して載置した後、真空チャンバー内部の圧力を真空ポンプにより１０-6Torr程度に下げる。このとき、有機物ボートは、一般にモリブデンにより構成される。その後、加熱部に電圧を印加し、温度調節装置により蒸着物質の融点付近まで温度を上昇させた後、再び微細に調節しながら気化されるまで温度を上昇させる。このとき、有機物ボート上の物質が徐々に蒸発しはじめると、予め装着されたシャッターを開放することで、蒸発した各物質分子が基板に蒸着する。このとき、シャッターは、有機物ボート上にある有機物質の気化直前に残存する各不純物が基板に蒸着されることを防止する。
【００１６】
このような従来の有機物蒸着装置においては、基板を基板搭載台に搭載する過程で、大面積化された基板が自重により下方に垂れることで、均一な蒸着作業が行われにくいという問題点があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は、従来の問題点を解決するためになされたもので、基板の蒸着過程で、自重により基板の中心部が下方に垂れることを防止するために、基板の両側を固定した状態で一側に引張力を与えることで、基板の垂れを防止できる有機物蒸着装置および蒸着方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
前記目的を達成するために、本発明は、有機物蒸着装置であって、外部と隔離される内部空間が備わり、一側に基板が搬入または搬出される出入口および前記出入口を開閉するゲートが備わったチャンバーと;前記チャンバー内の上側に備わって、搬入された基板の両端を加圧力によりそれぞれ固定し、その固定された基板の両端のうち一端を外側方向に移動して基板の垂れ量を減少するように基板に引張力を提供する基板搭載台と;前記基板搭載台の上面中心部に結合されて前記基板搭載台を回転または昇降させる回動昇降部と;前記チャンバー内の下部に設けられ、有機物質を気化して基板に蒸発させる加熱部および有機物ボートと;を含んで構成されることで、基板に有機物を蒸着するために、搬入されたチャンバーの内部に基板を搭載する基板搭載台を設け、前記基板搭載台に搭載される大面積基板の垂れを防止することが好ましい。
【００１９】
また、前記基板搭載台は、前記基板搭載台の内部に設けられ、基板の４辺縁部が安着されるように中央部が貫通された板状に形成され、その一側が他側から分離される基板安着ホルダーと;前記基板安着ホルダーの上側に設けられて昇降し、下降時に基板の上面縁部を加圧して基板を固定し、中央部が貫通された板状に形成され、前記基板安着ホルダーと同一線上でその一側が他側から分離される加圧ホルダーと;前記加圧ホルダーの上側縁部に下方に向かって設けられ、空気の流入また排出によって基板の縁部を加圧または減圧するように上下往復運動する第１駆動部と;前記第１駆動部と直交配置され、分離される加圧ホルダーに固定され、空気の流入または排出によって左右往復運動して両端が固定された基板の一端を引っ張って垂れを防止するように一側が分離された基板安着ホルダーおよび加圧ホルダーを左右に往復させる第２駆動部と;を含むことで、基板安着ホルダーに安着された基板の上面縁部を加圧ホルダーで加圧して基板を固定するとき、第１駆動部および第２駆動部により基板に加圧力および引張力を与え、前記第１駆動部により基板の両端を固定した状態で、第２駆動部により両端が固定された基板の一側を外側方向に移動して基板に引張力を加えるので、大面積基板が下方に垂れることを防止するので好ましい。
【００２０】
また、前記第１および２駆動部は、板状に設けられるベースと;前記ベースの上面両端に上方に直立させられるように設けられる固定板と;前記固定板に介在させられて介在方向に往復運動し、先端中央部に設けられた軸が前方の固定板を貫通して突出するように設けられる移動板と;前記後方の固定板と移動板との間に両端が固定された状態で備わり、内部に空気が充填されて体積が増加すると、軸を前方に直進させるベローズと;前記ベローズに外部から流入する空気を注入する空気注入ノズルと;前記ベローズからの空気の排出により収縮する過程で、ベローズに復元力を提供するように移動板と固定板との間に備わった軸の途中に設けられるスプリングと;から構成されることで、空気がベローズの内部に充填される状態によって、直進および後進力を与えるので好ましい。
【００２１】
また、前記基板固定部で提供する加圧力と、引張力提供部で提供する引張力とを制御する制御部がさらに設けられることで、加圧力および引張力の強さに応じて、基板の垂れ量検査および結果による加圧力および引張力の補正が可能であるので好ましい。
【００２２】
また、前記基板固定部は、長さ方向に延長され、基板の固定部位よりも長い板状に備わる下板と;前記下板と同一の形状に上側に位置させられ、上面に基板が載置される板状の固定ホルダーと;前記固定ホルダーの一側縁部に設けられ、長さ方向に延長されて断面"Ｌ"（この"Ｌ"はＬの点対称の形状を意味する）状に形成される位置固定板と;前記位置固定板の上側中央部に離隔状態で設けられる板状の駆動部固定板と;前記駆動部固定板と前記固定ホルダーとの離隔空間で上下に移動して固定ホルダーに位置させられた基板の上面を加圧または減圧し、長さ方向に延長される板状の加圧ホルダーと;前記駆動部固定板の上面中央部に備わって、基板に加圧力を提供するように移動軸先端が固定された加圧ホルダーを昇降させる垂直方向駆動部と;から構成されることで、前記基板固定部の上部に加圧ホルダーを昇降させ垂直方向駆動部が設けられ、簡単な構造で基板の両端を垂直方向駆動部により固定するので好ましい。
【００２３】
また、垂直方向駆動部の移動軸上に第１圧力測定部がさらに設けられることで、垂直方向の荷重値を測定して出力するので好ましい。
【００２４】
また、前記第１圧力測定部は、ロードセルであることが好ましい。
【００２５】
また、前記引張力提供部は、前記基板固定部の下板と固定ホルダーの外側壁に結合される板状の固定側板と;前記固定側板と外側方向に離隔された位置に設けられ、ベースの一側縁部に直立させられるように固定された板状の駆動部固定側板と;前記駆動部固定側板の外壁に設置され、移動式基板固定部を水平方向に移動して基板に引張力を提供するように移動軸先端が移動させられる基板固定部に固定される水平方向駆動部と;から構成されることで、前記基板固定部のいずれか一つの基板固定部の外側壁に設けられ、基板の両端を固定した状態で外部方向に作動して引張力を提供するので、その引張力により基板の垂れを防止するので好ましい。
【００２６】
また、ロードセルは、少なくとも一つ設けられることで、より正確な加圧力および引張力を測定できるので好ましい。
【００２７】
また、垂直方向駆動部および水平方向駆動部は、基板の厚さによって基板に加える加圧力および引張力が変わることで、基板の厚さおよび大きさなどの基板状態によって変更される場合も、最適の加圧力および引張力を基板に加えるので好ましい。
【００２８】
また、前記制御部には、電気的に連結され、第１および２圧力測定部で検出された結果値が数値として出力されるディスプレイがさらに設けられることで、作業者が加圧力および引張力を数値により認識できるので好ましい。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の有機物蒸着装置および蒸着方法は、チャンバーの内部に設けられた基板搭載台に基板を安着し、前記基板の縁部両端を固定した後、その固定された基板の両端のうち一端を外側方向に移動して基板に引張力を与えることで、自重により下方に垂れた基板をいずれか一方向に引っ張って大面積基板の垂れを防止できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３１】
[実施形態１]
本発明の第１実施形態による有機物蒸着装置は、図１に示したように、内部に搭載された基板Ｓに蒸着が行われるチャンバー１１０と、このチャンバー１１０の内部に備わって基板Ｓの側面を固定する第１駆動部２２０と、この第１駆動部２２０と直交する上部に設けられ、基板Ｓが垂れないように空圧によって引張力を提供する第２駆動部２４０と、前記チャンバー１１０の上面に備わって、このチャンバー１１０の内部に設けられた基板Ｓに有機物質を気化して蒸発する過程で、基板Ｓの全体に有機物質が分布されるように回転する回動昇降部３００と、から構成される。
【００３２】
ここで、前記チャンバー１１０は、外部と隔離される内部空間を備えており、その一側に基板Ｓを搬入・搬出するための出入口(図示せず)が形成され、この出入口を開閉するゲート(図示せず)が設けられる。また、前記チャンバー１１０の内部に基板Ｓを位置させることで、基板Ｓの上部に有機薄膜を蒸着する構造となっている。
【００３３】
また、前記チャンバー１１０内の底面縁部に真空ポンプＰが設けられるが、この真空ポンプＰは、チャンバー１１０の内部圧力を低下させる構成要素である。すなわち、基板Ｓの表面に純粋な有機物を蒸着するためには、チャンバー１１０内部の不純物が除去された状態で有機物を蒸着すべきであるので、有機物の蒸着前に、蒸着チャンバー１１０内部の気体を吸入して除去する役割を果たす。
【００３４】
このチャンバー１１０内の上側には、プレート２０２、このプレート２０２から下方に所定距離だけ離隔されて設けられる基板搭載台２００、ハウジング１２０が順に設けられ、前記基板搭載台２００は、基板安着ホルダー２１０、加圧ホルダー２０８、第１駆動部２２０および第２駆動部２４０により構成される。
【００３５】
前記プレート２０２の一側には、固定側板２０４が設けられ、前記プレート２０２の他側には、水平に移動する移動側板２０６が設けられる。また、それら固定側板２０４および移動側板２０６の下端に横方向に備わった基板安着ホルダー２１０と、この基板安着ホルダー２１０と水平に設けられて上下に昇降する加圧ホルダー２０８と、が設けられる。
【００３６】
ここで、前記ハウジング１２０は、下側が開口された断面"コ"（この"コ"はコの線対称の形状を意味する）状に形成され、その両側下端に横方向に設けられたマスクホルダー１２２と、その内部上側に板状に形成されて磁力を提供するマグネットホルダー１２４と、前記マスクホルダー１２２に安着されるマスク１２６と、から構成される。
【００３７】
前記マグネットホルダー１２４は、マスク１２６に磁力を提供し、基板Ｓの下面であるパターン形成面にマスク１２６を密着させる。
【００３８】
前記基板安着ホルダー２１０は、基板Ｓの４辺が安着されるように中央部が貫通された板状に形成され、一側の基板安着ホルダー２１０が他側から分離される。
【００３９】
前記加圧ホルダー２０８は、前記基板安着ホルダー２１０と相応する形状に形成され、前記基板安着ホルダー２１０の上側に設けられて第１駆動部２２０により上下に昇降する。また、前記加圧ホルダー２０８は、下降時に基板Ｓの上面縁部を加圧して前記基板Ｓを固定し、中央部が貫通された板状に形成され、前記基板安着ホルダー２１０と同一線上で、一側の基板安着ホルダー２１０が他側から分離される。
【００４０】
すなわち、前記基板安着ホルダー２１０の上側に設けられて第１駆動部２２０により昇降する加圧ホルダー２０８は、基板安着ホルダー２１０に安着される基板Ｓの上面縁部を固定する。
【００４１】
前記基板安着ホルダー２１０は、図２に示したように、中央部が貫通された板状に形成され、その上面と内側面との接触部分に形成された段差に基板Ｓが安着される。
【００４２】
また、前記基板安着ホルダー２１０には、安着される基板Ｓを整列するために、位置固定シリンダー１３０と、この位置固定シリンダー１３０と対向する整列シリンダー１３２と、が基板Ｓの４辺にそれぞれ設けられる。
【００４３】
前記位置固定シリンダー１３０は、空圧により駆動され、蒸着するために搭載される基板Ｓに基準点を与える。
【００４４】
前記整列シリンダー１３２は、空圧により駆動され、基板Ｓの整列時、前記基板Ｓを基準点となる位置固定シリンダー１３０に移動させる。
【００４５】
ここで、二つの隣接した辺に位置する４個の位置固定シリンダー１３０は、所定位置で基準点となり、それら４個の位置固定シリンダー１３０と対向して、他の二つの隣接した辺に位置する４個の整列シリンダー１３２は、基準点となる位置固定シリンダー１３０に基板Ｓの側面から加圧力を提供して基板Ｓを整列させる。
【００４６】
ここで、前記加圧ホルダー２０８を昇降する第１駆動部２２０は、前記第１駆動部２２０と加圧ホルダー２０８との間に設けられた伝達部２１２により往復運動をする。また、前記伝達部２１２は、内側から再び外側に折り曲げられた棒状に形成される。
【００４７】
前記移動側板２０６は、プレート２０２の一側上面にガイドにより外側方向に自由移動し、横方向に設置された第２駆動部２４０により直線往復運動の距離を調節するようになる。
【００４８】
前記第１駆動部２２０は、図３に示したように、板状に形成されたベース２２２と、このベース２２２の上面両側に上方に設置された一対の固定板２２４と、これら固定板２２４に介在されて往復運動するとともに、その先端中央部に形成された軸２２８が前方に設けられた固定板２２４を貫通して外部に突出された移動板２２６と、前記後方に設けられた固定板２２４と移動状態である移動板２２６との間に両端が固定された状態で備わり、外部に設けられた圧縮機(図示せず)から提供される空気が内部に充填されて体積が増加することで、移動板２２６の軸２２８を前方に直進させるベローズ２３２と、このベローズ２３２に外部から流入する空気を注入する空気注入ノズル２３４と、前記ベローズ２３２からの空気排出により収縮する過程でベローズ２３２に復元力を提供するように、移動状態である移動板２２６と該移動板２２６の後方に設けられた固定板２２４との間の軸２２８に備わるスプリング２３６と、から構成される。ここで、前記スプリング２３６の緩衝力を調節するために、スプリング２３６を加圧または減圧する緩衝力調節板２３８が軸２２８上に固定される。
【００４９】
ここで、前記第２駆動部２４０は、第１駆動部２２０と同一の形状および機能を有するので、詳しい説明は省略する。ただ、前記第１駆動部２２０は、固定側板２０４および移動側板２０６に縦方向に固定設置されて加圧ホルダー２０８を昇降し、前記第２駆動部２４０は、前記第１駆動部２２０との直交状態でプレート２０２の移動側板２０６付近に設置され、前記移動側板２０６の上端に固定された状態で空圧により移動側板２０６を外側方向に移動して復帰させる。
【００５０】
一方、図中、未説明符号２４２はベース、２４４は固定板、２４６は移動板、２４８は軸、２５０はクランプ、２５２はベローズ、２５４は空気注入ノズル、２５６はスプリング、２５８は緩衝力調節板をそれぞれ示している。
【００５１】
前記回動昇降部３００は、図１に示したように、チャンバー１１０の上面に設置され、蒸着する基板Ｓに有機物質を気化して蒸発させるとき、全体の基板Ｓに有機物質が塗布されるように回転し、回動昇降部ハウジング３０４の内部で下方に延長され、その下端がチャンバー１１０の内部に備わった基板搭載台２００の上面に設置される第１中空軸３０６と、この第１中空軸３０６の外部に設けられ、その下端がマグネットホルダー１２４の上面に設置される第２中空軸３０８と、その上部に設けられ、外部の圧縮機から第１および第２駆動部２２０,２４０、位置固定シリンダー１３０および整列シリンダー１３２に空圧を提供するエアー注入部３０２と、を備えている。
【００５２】
前記第１中空軸３３０の下端に設けられた基板搭載台１４０のマスクホルダー１４２は、サーボモータ(図示せず)の駆動により上下移動し、前記第２中空軸３４０の下端に設けられたマグネットホルダー１４４は、シリンダー(図示せず)により上下移動する。
【００５３】
また、基板Ｓが搭載された基板搭載台２００を回動させるために、別途の回動装置(図示せず)が設けられる。
【００５４】
また、前記チャンバー１１０内の下側には、有機物質を気化して基板Ｓに蒸発させるための加熱部１４０および有機物ボート１４２が備わる。
【００５５】
以下、本実施形態による有機物蒸着装置の動作を説明すると、図１および図３に示したように、まず、外部の運送手段(図示せず)によりチャンバー１１０の一側に形成された出入口を通して基板搭載台２００の基板安着ホルダー２１０に基板Ｓを安着させる。
【００５６】
その後、チャンバー１１０の出入口をゲートで閉鎖した後、内部の底面縁部に設けられた多数個の真空ポンプＰによりチャンバー１１０内部の気体を吸入して外部に排出する。
【００５７】
その後、基板安着ホルダー２１０に安着された基板Ｓを固定するために上側に設けられた加圧ホルダー２０８が下降するように、固定側板２０４および移動側板２０６に設置された第１駆動部２２０のベローズ２３２内部に外部の圧縮機から供給される空気を注入し、そのベローズ２３２の体積が増加すると、移動板２２６の軸２２８を前進させ、その前進させられた軸２２８の端に設けられたクランプ２３０により伝達部２１２を下降させ、この伝達部２１２に設けられた加圧ホルダー２０８をも下降させる。
【００５８】
その後、前記加圧ホルダー２０８が下降することで、基板Ｓの上面縁部を加圧して固定し、基板Ｓが堅固に固定されると、移動側板２０６を移動する第２駆動部２４０に空気を注入することで、第１駆動部２２０と同一の方法で第２駆動部２４０の軸２４８が前進し、移動側板２０６を外側に水平移動させる。
【００５９】
ここで、前記基板安着ホルダー２１０と加圧ホルダー２０８との間に介在させられた基板Ｓは、堅固に固定された状態であり、このとき、移動側板２０６に設けられた第２駆動部２４０が作動して前記移動側板２０６を外側方向に移動させると、基板Ｓのいずれか一辺を引っ張ることで、自重により発生する垂れなしに水平に基板Ｓを位置させる。
【００６０】
その後、前記チャンバー１１０内の底面に設けられた加熱部１４０に電圧を印加し、温度調節装置(図示せず)により蒸着物質の融点付近まで温度を上昇させた後、再び微細に調節しながら気化されるまで温度を上昇させる。このとき、徐々に有機物ボート１４２上の物質が蒸発しはじめると、予め装着されたシャッター(図示せず)を開放して蒸発させられた各物質分子を基板Ｓに蒸着させる。このとき、シャッターは、有機物ボート１４２上に設けられた有機物質の気化直前に残存する各不純物が基板Ｓに蒸着させられることを防止する。
【００６１】
その後、前記昇降回動部３００により基板Ｓを回動させることで、全体的に有機物質を基板Ｓに分布させる。その後、基板Ｓの蒸着が終了すると、第２駆動部２４０に存在する空気を排出する。また、軸２４８上に設けられたスプリング２５６の復元力により移動側板２０６が復帰し、基板Ｓの引張力を除去する。また、加圧ホルダー２０８は、空気が排出された第１駆動部２２０により上昇し、外部の運送手段により基板Ｓを外部に搬出する。
【００６２】
よって、前記有機物蒸着装置１００のチャンバー１１０内で蒸着作業を行うとき、大型化基板Ｓが自重により下方に垂れることを防止するために、両端を固定した基板Ｓを水平方向に引っ張る。
【００６３】
[実施形態２]
本発明の第２実施形態による有機物蒸着装置は、図示してないが、内部に搭載された基板Ｓに蒸着が行われるチャンバー(図示せず)と、このチャンバー内の上側に備わって、基板Ｓの両端を固定した状態で大型化基板Ｓの垂れを防止する基板搭載台４００と、前記チャンバーの上面に備わって、このチャンバーの内部に設けられた基板Ｓに有機物質を気化して蒸発させる過程で、全体の基板Ｓに有機物質が分布されるように回転する回動昇降部(図示せず)と、から構成される。
【００６４】
また、前記有機物蒸着装置は、前述した実施形態と同一の構造および機能を有するので、基板搭載台４００を除いた部分の説明は省略する。
【００６５】
また、前記基板搭載台４００に搭載される基板Ｓの両端に加圧力および引張力を加えて垂れを防止するとき、その加圧力および引張力を制御する制御部(図示せず)が設けられ、前記制御部と電気的に連結されて加圧力および引張力の出力値を数値として出力するディスプレイ(図示せず)が備わる。
【００６６】
また、前記チャンバー内の下部には、有機物質を気化して基板Ｓに蒸発させる加熱部(図示せず)および有機物ボート(図示せず)が備わる。
【００６７】
前記基板搭載台４００は、図４および図５に示したように、板状に形成されたベース５４０と、このベース５４０の両端にそれぞれ設けられる基板固定部４１０，５１０と、前記ベース５４０の上面に横方向に設けられる一対の水平移動ガイド５４２と、前記基板固定部４１０，５１０のうちいずれか一つの外側面に直交状態で備わり、基板固定部４１０，５１０を外側方向に移動して基板に引張力を与える引張力提供部５５０と、を備えており、前記水平移動ガイド５４２の上面両端には、基板固定部４１０，５１０がそれぞれ備わる。
【００６８】
また、前記ベース５４０の両端に直立させられた状態で、駆動部固定側板５４４および側板５３６が設けられる。
【００６９】
前記基板固定部４１０，５１０は、水平移動ガイド５４２上で水平方向に移動することで、基板Ｓの大きさに応じて間隔を調節して位置させる。
【００７０】
前記基板固定部４１０，５１０は、同一の形状および機能をそれぞれ有し、前記基板固定部４１０は、一側に備わった固定式であり、他の基板固定部５１０は、他側に備わった移動式である。ここで、固定式および移動式の基板固定部４１０，５１０は、両方とも移動可能であり、大面積化された基板Ｓの大きさに応じて間隔を調節することで、大きさの相異なる基板Ｓに蒸着を行う。
【００７１】
また、前記基板固定部４１０，５１０は、ベース５４０に横方向に設けられた一対の水平移動ガイド５４２に接した状態で、一側は固定され、他側は水平移動するように固定部材４１２および移動部材５１２が備わり、前記一対の固定部材４１２または一対の移動部材５１２の上面に設置され、縦方向に延長される板状の下板４１４，５１４と、その上側に前記下板４１４，５１４と同一の形状で位置され、前記下板４１４，５１４との間隔を維持するための直立板が介在させられ、上面に基板Ｓが置かれる板状の固定ホルダー４１６，５１６と、これら固定ホルダー４１６，５１６の一側縁部に設けられ、長さ方向に延長される断面"Ｌ"（この"Ｌ"はＬの点対称の形状を意味する）状に形成された位置固定板４１８，５１８と、これら位置固定板４１８，５１８の上側中央部に離隔状態で設けられる板状の駆動部固定板４２０，５２０と、これら駆動部固定板４２０，５２０と固定ホルダー４１６，５１６との離隔空間で上下に移動して固定ホルダーに位置させられた基板の上面を加圧し、長さ方向に延長される加圧ホルダー４２６，５２６と、前記駆動部固定板４２０，５２０の上面中央部に備わって、基板Ｓに加圧力を提供するように加圧ホルダー４２６，５２６を昇降させる垂直方向駆動部４２８，５２８と、から構成される。
【００７２】
また、前記加圧ホルダー４２６，５２６と、これら加圧ホルダー４２６，５２６の上側に設けられる移動板４２４，５２４と、からなる加圧部４２２，５２２には、その離隔空間を維持するために多数個の垂直軸が設けられる。
【００７３】
前記加圧部４２２，５２２は、加圧ホルダー４２６，５２６と、移動板４２４，５２４と、から構成される。
【００７４】
ここで、前記垂直方向駆動部４２８，５２８は、油圧または空圧シリンダーからなり、外部から流体または気体を受けて基板Ｓに加圧力を加える。
【００７５】
また、前記垂直方向駆動部４２８，５２８の移動軸上には、第１圧力測定部Ｌ１が設けられる。ここで、前記第１圧力測定部Ｌ１は、ロードセルであり、このロードセルに荷重を加えると圧縮または伸縮により変形するが、この変形量を変形測定装置により電気信号として検出した後、デジタル信号に変えることで、加圧力が制御部のディスプレイに数値として出力される。
【００７６】
また、前記垂直方向駆動部４２８，５２８の第１圧力測定部Ｌ１と加圧ホルダー４２６，５２６との間には、連結板４３０，５３０が介在させられる。
【００７７】
すなわち、前記垂直方向駆動部４２８，５２８は、下方に下降して基板Ｓを加圧するが、このとき、ロードセルに基板Ｓを加圧する加圧力である荷重が加えられ、その荷重が電気信号からデジタル信号に変わることで加圧力が数値として出力される。
【００７８】
前記引張力提供部５５０は、直立状態で設けられ、移動式基板固定部５１０の下板５１４と、固定ホルダー５１６の外側壁に結合される直立された板状の固定側板５５２と、この固定側板５５２と離隔されて設けられ、ベース５４０の一側縁部に設けられた板状の駆動部固定側板５４４と、この駆動部固定側板５４４の外壁に設置されて基板固定部５１０を水平方向に移動する水平方向駆動部５５４と、から構成される。
【００７９】
ここで、前記固定側板５５２と駆動部固定側板５４４との間隔を維持するために、水平軸が介在させられる。
【００８０】
ここで、前記水平方向駆動部５５４は、油圧または空圧シリンダーからなり、外部から流体または気体を受け、基板Ｓを固定した基板固定部５１０を外部方向に移動して基板Ｓに引張力を加える。
【００８１】
また、前記水平方向駆動部５５４の移動軸上には、第２圧力測定部Ｌ２が設けられる。ここで、前記第２圧力測定部Ｌ２は、ロードセルであり、このロードセルに荷重を加えると圧縮または伸縮により変形するが、この変形量を変形測定装置により電気信号として検出した後、デジタル信号に変えることで、制御部のディスプレイに引張力が数値として出力される。
【００８２】
すなわち、前記水平方向駆動部５５４は、水平方向に移動する移動軸が外部方向に移動し、両側が固定された基板Ｓの一側を引っ張るが、このとき、ロードセルに基板Ｓを加圧する引張力である引張荷重が加えられ、その荷重が電気信号からデジタル信号に変わることで引張力が数値としてディスプレイに出力される。
【００８３】
ここで、前記第１および第２圧力測定部Ｌ１，Ｌ２であるロードセルは、少なくとも一つ以上設置することができ、より均一かつ正確な荷重を測定するために、多数個設置されることが好ましい。
【００８４】
また、前記垂直方向駆動部４２８，５２８および水平方向駆動部５５４は、基板Ｓの厚さに応じて基板Ｓに加えられる加圧力および引張力が変わる。
【００８５】
そのため、前記第１および第２圧力測定部Ｌ１，Ｌ２により基板Ｓに加えられる加圧力および引張力を予め測定した後、その測定値をデータ化してフィードバック回路化することで、多量の基板Ｓに蒸着工程を自動化して量産することができる。
【００８６】
前記基板Ｓを基板搭載台２００にローディングする過程で、基板Ｓの垂れを３段階に分けるが、図６の(ａ)に示したように、第１段階において、両側に設けられた固定ホルダー４１６，５１６を加圧ホルダー４２６，５２６が加圧せずに、荷重を全く加えていない状態の基板Ｓの垂れ量がａで、大面積基板Ｓの自重により基板Ｓの中心部で垂れが最も大きなものとなる。
【００８７】
また、第２段階において、図６の(ｂ)に示したように、前記固定ホルダー４１６，５１６に基板Ｓが位置させられた状態で、前記固定ホルダー４１６，５１６の上側に設けられた加圧ホルダー４２６，５２６が下降し、基板Ｓの両端に加圧力を加えて両端を固定した状態の基板Ｓの垂れ量がｂで、前記基板Ｓは、自重により中心部で垂れが発生するが、両端が固定された状態であるので、自由安着された状態よりは垂れの程度が軽微なものとなる。
【００８８】
また、第３段階において、図６の(ｃ)に示したように、前記固定ホルダー４１６，５１６および加圧ホルダー４２６，５２６により基板Ｓが固定された状態で、一側に設けられた固定ホルダー５１６および加圧ホルダー５２６が外側方向に移動して基板Ｓに引張力を提供しており、このとき、基板Ｓの垂れはほとんど発生しない。すなわち、基板Ｓの両端を固定して一側を引っ張る過程で基板Ｓに引張荷重を加えるので、自重による垂れが発生しなくなる。
【００８９】
ここで、図７の(ａ)および(ｂ)は、基板Ｓの各辺のうち相対的に長い両側を固定した状態で基板Ｓに加圧力および引張力を同時に加えるとき、基板Ｓの両端を把持した長さによる垂れ長さを示したグラフであり、固定ホルダー４１６，５１６および加圧ホルダー４２６，５２６に両端が固定された基板Ｓは、基板の把持長さが増大するほど垂れ長さが減少し、固定ホルダー４１６，５１６に基板Ｓが自由安着された状態は、最上部のグラフに示されており、前記基板Ｓの両端を加圧ホルダー４２６，５２６で固定した状態は、中間部のグラフに示されており、前記基板Ｓの両端を加圧ホルダー４２６，５２６で固定し、その固定された基板Ｓの一側に設けられた固定ホルダー５１６および加圧ホルダー５２６を外部方向に移動して基板Ｓを引っ張った状態は、最下部のグラフに示されている。
【００９０】
したがって、検査値が示されたグラフによると、前記基板Ｓの両端を固定した状態で一側に引張力を提供したとき、基板Ｓの垂れ量が最も少ないことが分かる。
【００９１】
また、基板の把持長さが長いほど、基板Ｓの垂れ量が減少することが分かる。
【００９２】
また、図８の(ａ)および(ｂ)は、基板Ｓの各辺のうち相対的に短い両側を固定した状態で基板Ｓに加圧力および引張力を同時に加えるとき、基板Ｓの両端を把持した長さによる垂れ長さを示したグラフであり、固定ホルダー４１６，５１６および加圧ホルダー４２６，５２６に両端が固定された基板Ｓは、基板の把持長さが増大するほど垂れ長さが減少し、固定ホルダー４１６，５１６に基板Ｓが自由安着された状態は、最上部のグラフに示されており、前記基板Ｓの両端を加圧ホルダー４２６，５２６で固定した状態は、中間部のグラフに示されており、前記基板Ｓの両端を加圧ホルダー４２６，５２６で固定し、その固定された基板Ｓの一側に設けられた固定ホルダー３１６および加圧ホルダー３２６を外部方向に移動して基板Ｓを引っ張った状態は、最下部のグラフに示されている。
【００９３】
したがって、検査値が示されたグラフによると、前記基板Ｓの両端を固定した状態で一側に引張力を提供したとき、基板Ｓの垂れ量が最も少ないことが分かる。
【００９４】
また、基板の把持長さが長いほど、基板Ｓの垂れ量が減少することが分かる。
【００９５】
ここで、基板Ｓの４辺のうち相対的に長い２辺を固定して基板Ｓを安着した状態、基板Ｓの両端を固定した状態、両端を固定した基板Ｓの一側に引張力を提供した状態のうち、基板Ｓを固定した状態で一側に引張力を提供したとき、基板の垂れの程度が最も少なくなり、基板の把持長さが長いほど、垂れの程度が少なくなることが分かる。
【００９６】
また、基板Ｓの４辺のうち相対的に短い２辺を固定して基板Ｓを安着した状態、基板Ｓの両端を固定した状態、両端を固定した基板Ｓの一側に引張力を提供した状態のうち、基板Ｓを固定した状態で一側に引張力を提供したとき、基板の垂れの程度が最も少なくなり、基板の把持長さが長いほど垂れの程度が少なくなり、基板Ｓの長い部分を固定した状態よりは、短い部分を固定した状態で垂れが相対的に小さいことが分かる。
【００９７】
以下、本実施形態による基板搭載台の動作を説明すると、図３および図４に示すように、前記基板搭載台４００の両側に備わる基板固定部４１０，５１０の固定ホルダー４１６，５１６に基板が安着されると、前記固定ホルダー４１６，５１６に安着された基板Ｓを固定するために上側に設けられた加圧ホルダー４２６，５２６を下降させるように、基板固定部４１０，５１０にそれぞれ設けられた水平方向駆動部４２８，５２８に空気を注入するので、移動軸が下降して基板Ｓの両側を固定し、一側に設けられた基板固定部５１０を移動するように設置された水平方向駆動部５５４を作動させることで、基板Ｓの一側を引っ張る。
【００９８】
ここで、前記固定ホルダー４１６，５１６と加圧ホルダー４２６，５２６との間に介在させられた基板Ｓは、堅固に固定された状態であり、水平方向駆動部５５４の作動により基板Ｓの一側を外側方向に引っ張ることで、自重により発生する垂れなしに水平に基板Ｓを位置させる。
【００９９】
したがって、前記有機物蒸着装置のチャンバー内で蒸着作業を行うとき、大型化基板Ｓが自重により下方に垂れることを防止するために、基板Ｓを水平方向に引っ張る。
【０１００】
本発明の有機物蒸着装置の基板蒸着方法は、図９に示したように、基板の搬入段階Ｓ６００と;基板の両側固定段階Ｓ６１０と;基板の一側引張段階Ｓ６２０と;基板の蒸着段階Ｓ６３０と;基板の搬出段階Ｓ６４０と;から構成される。
【０１０１】
前記基板の搬入段階Ｓ６００は、前記基板Ｓを外部の運送手段によりチャンバー１１０の内部に設けられた基板搭載台４００の基板固定部４１０，５１０および固定ホルダー４１６，５１６に搬入する段階である。
【０１０２】
前記基板の両側固定段階Ｓ６１０は、前記基板Ｓが両側基板固定部４１０，５１０に安着され、垂直方向駆動部４２８，５２８により基板Ｓの両側を固定する段階である。
【０１０３】
前記基板の一側引張段階Ｓ６２０は、前記基板Ｓの両側を固定した基板固定部４１０，５１０のうちいずれか一つの基板固定部５１０に設けられた引張力提供部５５０の水平方向駆動部５５４により基板Ｓの一側を外部方向に引っ張る段階である。
【０１０４】
前記基板の蒸着段階Ｓ６３０は、ローディングされた基板Ｓに加熱部(図示せず)で提供する熱により蒸着物質を加熱して気化し、その気化された物質を基板Ｓに蒸着する段階である。
【０１０５】
前記基板の搬出段階Ｓ６４０は、蒸着が終了した基板Ｓを外部に搬出する段階である。
【０１０６】
[実施形態３]
本発明の第３実施形態による有機物蒸着装置は、図示してないが、内部に搭載された基板Ｓに蒸着が行われるチャンバー(図示せず)と、このチャンバー内の上側に備わって、基板Ｓの両端を固定した状態で大型化基板Ｓの垂れを防止する基板搭載台６００と、前記チャンバーの上面に備わって、このチャンバーの内部に設けられた基板Ｓに有機物質を気化して蒸発する過程で、全体の基板Ｓに有機物質が分布されるように回転する回動昇降部(図示せず)と、から構成される。
【０１０７】
また、前記有機物蒸着装置は、前述した実施形態と同一の構造および機能を有するので、基板搭載台６００を除いた部分は説明を省略する。
【０１０８】
本実施形態の基板搭載台６００は、図１０の(ａ)、(ｂ)および(ｃ)に示したように、固定ホルダー６１０、移動ホルダー６１２、加圧ホルダー６２０，６２２、垂直方向駆動部６３０、水平方向駆動部６３２および基板接触部６４０により構成される。
【０１０９】
前記固定ホルダー６１０は、長さ方向に延長される板状であり、一端が下方に折り曲げられて形成される。
【０１１０】
前記移動ホルダー６１２は、前記固定ホルダー６１０と水平状態に設けられ、前記固定ホルダー６１０の折り曲げ部位と対向するように他端が下方に折り曲げられ、前記固定ホルダー６１０の長さより相対的に小さい。
【０１１１】
前記加圧ホルダー６２０，６２２は、前記固定ホルダー６１０および移動ホルダー６１２の底面でそれぞれ接触または分離されるように昇降し、対向する断面"Ｌ"状に形成される。
【０１１２】
前記垂直方向駆動部６３０は、ボルトまたは空圧シリンダーであり、前記ボルトを回転させ、基板接触部６４０に介在させられた基板Ｓを手動で加圧または減圧して基板搭載台６００に搭載するか、前記シリンダーのシリンダーロッドの往復運動によって基板接触部６４０に介在させられた基板を自動で加圧または減圧して基板搭載台６００に搭載する。すなわち、前記垂直方向駆動部６３０がボルトである場合、ボルトを回転すると、ねじ山により加圧ホルダー６２２が固定ホルダー６１０および移動ホルダー６１２の底面両端に接触または分離させられる。
【０１１３】
また、前記垂直方向駆動部６３０は、前記固定ホルダー６１０および移動ホルダー６１２の上面縁部に多数個固定される。前記垂直方向駆動部６３０が空圧シリンダーである場合、シリンダーロッドが固定ホルダー６１０および移動ホルダー６１２の縁部に垂直方向に貫通し、シリンダーロッドの先端が加圧ホルダー６２２内に相互対向して固定される。
【０１１４】
前記水平方向駆動部６３２は、ボルトまたは空圧シリンダーであって、前記ボルトを回転させ、基板接触部６４０に介在させられた基板Ｓを手動で加圧または減圧して基板搭載台６００に搭載するか、前記シリンダーのシリンダーロッドの往復運動によって基板接触部６４０に介在させられた基板を自動で加圧または減圧して基板搭載台６００に搭載する。すなわち、前記水平方向駆動部６３２がボルトである場合、ボルトを回転させると、ねじ山により加圧ホルダー６２２が固定ホルダー６１０および移動ホルダー６１２の底面両端に接触または分離させられる。
【０１１５】
また、前記水平方向駆動部６３２は、移動ホルダー６１２の外側面上部に多数個固定される。前記垂直方向駆動部６３０が空圧シリンダーである場合、シリンダーロッドが固定ホルダー６１０を水平方向に貫通し、シリンダーロッドの先端が移動ホルダー６１２に固定される。
【０１１６】
前記基板接触部６４０は、前記固定ホルダー６１０および移動ホルダー６１２の内側面に対向する縁部と、加圧ホルダー６２２の内側面に対向する縁部と、にそれぞれ設けられ、摩擦力が大きく軟性の材質であるシリコンパッドまたはゴムなどにより形成され、基板Ｓの表面の損傷を防止する。
【０１１７】
また、前記基板接触部６４０は、図１１に示したように、内側から外側に行くほど下方に傾斜角θを有して設けられ、基板搭載台６００に基板Ｓを固定するとき、前記基板Ｓは、最初、凸状に固定されるが、基板Ｓの一端を引っ張ると、垂れ現象をさらに減少できるので、ほぼ平面に近い基板Ｓの状態を維持することができる。
【０１１８】
ここで、基板接触部６４０の傾斜角は、０゜〜９０゜の間で形成されることが好ましい。
【０１１９】
以下、本実施形態における基板搭載台の基板固定過程を説明すると、図１０の(ａ)、(ｂ)および(ｃ)に示したように、外部の運送手段(図示せず)により有機物蒸着装置(図示せず)内に設けられた基板搭載台６００に基板Ｓが搬入され、その搬入された基板Ｓは、加圧ホルダー６２０の基板接触部６４０の両端に安着させられるが、このとき、自重により基板Ｓの中心部に垂れが発生する。
【０１２０】
その後、図１０の(ｂ)に示したように、固定ホルダー６１０と、この固定ホルダー６１０と対向する移動ホルダー６１２の上面縁部に備わった多数個の垂直方向駆動部６３０が作動し、前記垂直方向駆動部６３０のシリンダーロッドの先端に固定された加圧ホルダー６２０，６２２が上昇することで、固定ホルダー６１０と加圧ホルダー６２０、移動ホルダー６１２と加圧ホルダー６２２との間に介在された基板Ｓの両端を固定するが、このときも、前記基板Ｓの中心部に僅かの垂れが発生する。ここで、前記基板Ｓを固定するとき、固定面の上下部に設けられた軟質の基板接触部６４０により基板Ｓの損傷を防止する。
【０１２１】
その後、図１０の(ｃ)に示したように、前記移動ホルダー６１２の外側壁の上端縁に備わった多数個の水平方向駆動部６３２が作動すると、この水平方向駆動部６３２は、固定ホルダー６１０から離隔されるように外側方向に前記移動ホルダー６１２を移動させ、この移動ホルダー６１２の下側で基板を支持する加圧ホルダー６２２を移動させる。すなわち、前記基板Ｓの一端は、固定ホルダー６１０に設けられた基板接触部６４０および加圧ホルダー６２０に設けられた基板接触部６４０により固定され、前記基板Ｓの他端は、移動ホルダー６１２の基板接触部６４０および加圧ホルダー６２０に設けられた基板接触部６４０により固定されるが、そのうち、前記移動ホルダー６１２および加圧ホルダー６２０により固定された基板Ｓの他端を、水平方向駆動部６３２の動作により外側方向に移動させると、前記基板Ｓの他端に引張力を与えることで、水平状態で基板Ｓを支持するようになる。
【０１２２】
また、図１２の(ａ)に示したように、基板Ｓの前後左右端を固定し、基板の４辺に四方に引張力が加えられることで、基板Ｓの垂れを防止することができる。
【０１２３】
また、図１２の(ｂ)に示したように、基板Ｓの各縁部、すなわち対角線方向に加圧力および引張力を与えることで、その概念をいずれの方向にも拡張して適用できるので、その活用幅が大きい。
【０１２４】
また、ガラス基板のように脆性を有する基板Ｓだけでなく、プラスチック基板およびステンレススチール基板などの良好な伸縮性を有する基板にも充分に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】本発明の第１実施形態による有機物蒸着装置の全体的な構成を示した側断面図である。
【図２】本発明の有機物蒸着装置の整列部を示した平面図である。
【図３】本発明の有機物蒸着装置の第１および第２駆動部を示した平面図および側断面図である。
【図４】本発明の第２実施形態による有機物蒸着装置の基板搭載台を示した斜視図である。
【図５】図４の断面図である。
【図６】前記有機物蒸着装置の基板搭載台に基板を固定する過程を示した概略図である。
【図７】前記有機物蒸着装置の基板搭載台に基板を固定するとき、基板の左右を把持した状態における垂れ長さおよび基板の把持長さを示したグラフである。
【図８】前記有機物蒸着装置の基板搭載台に基板を固定するとき、基板の上下を把持した状態における垂れ長さおよび基板の把持長さを示したグラフである。
【図９】本発明の有機物蒸着方法を示したフローチャートである。
【図１０】本発明の第３実施形態による有機物蒸着装置の基板搭載台を示した斜視図である。
【図１１】図１０の基板搭載台の基板接触部を示した部分概略図である。
【図１２】前記有機物蒸着装置の基板搭載台に搭載される基板を垂直・水平方向および対角線方向に拡張して固定する工程を示した概念図である。
【符号の説明】
【０１２６】
１００  有機物蒸着装置
１１０  チャンバー
１３０  位置固定シリンダー
１３２  整列シリンダー
１４０  加熱部
１４２  有機物ボート
２００  本発明の第１実施形態による基板搭載台
２０４  固定側板
２０６  移動側板
２０８  加圧ホルダー
２１０  基板安着ホルダー
２１２  伝達部
２２０  第１駆動部
２４０  第２駆動部
３００  回動昇降部
４００  本発明の第２実施形態による基板搭載台
４１０，５１０  基板固定部
４１２  固定部材
４１４，５１４  下板
４１６，５１６  固定ホルダー
４１８，５１８  位置固定板
４２２，５２２  加圧部
４２４，５２４  移動板
４２６，５２６  加圧ホルダー
４２８，５２８  垂直方向駆動部
５４０  ベース
５４２  水平移動ガイド
５５０  引張力提供部
５５２  固定側板
５５４  水平方向駆動部
５５６  移動軸窓
Ｌ１，Ｌ２  第１および第２圧力測定部
６００  本発明の第３実施形態による基板搭載台
６１０  固定ホルダー
６１２  移動ホルダー
６２０，６２２  加圧ホルダー
６３０  垂直方向駆動部
６３２  水平方向駆動部
６４０  基板接触部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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