(57)【要約】【課題】  ＦＰＣに形成される配線間隔を広げる。【解決手段】  インクジェットヘッドは、内部に個別インク流路が形成された流路ユニットと、流路ユニットの上面に接着されたアクチュエータユニットとを含んでなる。アクチュエータユニットの上面には、圧力室１０と対向する位置に複数の個別電極３５が設けられ複数の個別電極列３７が形成されている。個別電極３５は、圧力室１０に対向する位置に配置された主電極領域３５ａ及び主電極領域３５ａにつながりＦＰＣの端子４６と接続される補助電極領域３５ｂを有している。アクチュエータユニットの個別電極列３７のうち、ＦＰＣの基端側に最も近い側の個別電極列３７において、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａよりもＦＰＣの基端側にある個別電極３５と、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａよりもＦＰＣの先端側にある個別電極３５とが混在している。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配列されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、
前記圧力室に対応して形成された主電極領域及び前記主電極領域につながった補助電極領域をそれぞれ有する複数の個別電極を有すると共に、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するアクチュエータユニットと、
前記補助電極領域とそれぞれ電気的に接続された複数の端子を有すると共に、前記複数の端子にそれぞれ接続された複数の配線が一方向に延在して前記端子から引き出された平型柔軟ケーブルとを備えており、
前記アクチュエータユニットには、前記個別電極が前記一方向と交差する方向に沿って複数配列された個別電極列が互いに平行となるように複数配列されており、
前記複数の個別電極列のうち少なくとも前記平型柔軟ケーブルの先端から前記配線が引き出される方向に最も離れた前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが混在していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記複数の個別電極列のうち少なくとも前記平型柔軟ケーブルの先端から前記配線が引き出される方向に最も離れた前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが混在していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記アクチュエータユニットには、１つおきの前記個別電極列に属する前記個別電極が前記一方向に沿って複数配列された個別電極行が互いに平行となるように複数配列されており、
隣り合う２つの前記個別電極行に属する複数の前記個別電極が、互いに異なる前記個別電極列に属していることを特徴とする請求項２又は３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記アクチュエータユニットには、１つおきの前記個別電極列に属する前記個別電極が前記一方向に沿って複数配列された個別電極行が互いに平行となるように複数配列されており、
隣り合う２つの前記個別電極行に属する複数の前記個別電極が、互いに異なる前記個別電極列に属していることを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記個別電極行には、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されている領域があることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記個別電極行には、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極が複数連続して配置された領域を有する第１の個別電極行と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極が複数連続して配置された領域を有する第２の個別電極行とがあり、
前記第１の個別電極行と前記第２の個別電極行とが２つずつ交互に配列されていることを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記主電極領域が前記圧力室に対向した位置に配置されており、
前記圧力室の平面形状が２つの鋭角部を有する平行四辺形形状であり、前記交差する方向が前記圧力室の短い方の対角線と平行であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配列されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、
主電極領域及び前記主電極領域につながった補助電極領域をそれぞれ有する複数の個別電極を有すると共に、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、
前記補助電極領域とそれぞれ電気的に接続された複数の端子を有すると共に、前記複数の端子にそれぞれ接続された複数の配線が一方向に延在した平型柔軟ケーブルとを備えており、
前記流路ユニットには、２つの鋭角部を有する平行四辺形形状の平面形状を有する前記圧力室が前記一方向と交差する方向に沿って複数配列された圧力室列が互いに平行となるように複数配列されており、
前記アクチュエータユニットには、前記主電極領域を前記圧力室に対向して配置した前記個別電極が互いに平行な複数の個別電極列をなし、すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項１１】
２つの鋭角部を有する平行四辺形形状の平面形状を有しそれぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配列されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、
主電極領域及び前記主電極領域につながった補助電極領域をそれぞれ有する複数の個別電極を有すると共に、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記圧力室の容積を変化させる複数のアクチュエータユニットと、
１つの前記アクチュエータユニットを単位として複数の前記補助電極領域とそれぞれ電気的に接続された複数の端子を有すると共に、前記複数の端子にそれぞれ接続された複数の配線が一方向に延在した複数の平型柔軟ケーブルとを備えており、
前記流路ユニットには、前記アクチュエータユニットと対向する領域ごとに、前記圧力室が前記一方向と交差する方向に沿って複数配列された圧力室列が互いに平行となるように複数配列されており、
各アクチュエータユニットには、前記圧力室に対向した前記主電極領域を有する前記個別電極が前記圧力室列と平行に複数配列された個別電極列が互いに平行となるように複数配列されており、すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが混在していることを特徴とするインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体にインクを吐出して印刷を行うインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットヘッドは、インクジェットプリンタ等において、インクタンクから供給されたインクを複数の圧力室に分配し、各圧力室に選択的にパルス状の圧力を付与することによりノズルからインクを吐出する。圧力室に選択的に圧力を付与するための一つの手段として、圧電性のセラミックからなる複数の圧電シートが積層されたアクチュエータユニットが用いられることがある。
【０００３】
かかるインクジェットヘッドの一例として、連続平板状の圧電シートを、複数の圧力室に跨って形成された共通電極と、各圧力室毎に対向して配置され主電極部及び外部より電圧が印加される補助電極部からなる複数の個別電極とで挟み込んだ複数のアクチュエータユニットを有するものが知られている（特許文献１参照）。個別電極及び共通電極に挟まれ且つ積層方向に分極された圧電シートの部分は、個別電極がフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）からの駆動電圧の供給によって、共通電極と異なる電位にされると、いわゆる圧電縦効果により積層方向に伸縮する。これにより圧力室内の容積が変動し、圧力室に連通したノズルから記録媒体に向けてインクを吐出することが可能となっている。また、１つのアクチュエータユニットにおいて、全ての個別電極は、補助電極部が主電極部に対して全て同じ側に形成されつつ、一方向に沿って配列された状態となっている。一方、補助電極部と接続されるＦＰＣには、複数の接続パッド（端子）が各補助電極部の配置状態に対応して形成されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−３１１９５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１に記載のインクジェットヘッドにおいては、アクチュエータユニットの複数の個別電極の補助電極部が全て同方向を向くように配置されているので、画像の高解像度化や高速印字の要求に対応するために圧力室が高密度に配置されるに連れ、補助電極部同士の間隔が小さくなり、各補助電極部に対応するＦＰＣの各接続パッド同士の間隔が小さくなる。それに伴ってＦＰＣの各接続パッドから引き出される配線の幅や間隔が製造限界を超えるほど狭くなりつつある。そのため、要求される画像の高解像度化や圧力室の高密度化に対する障害要因となるとともに、インクジェットヘッドのサイズが大型化する問題が生じる。
【０００６】
そこで、本発明の目的は、個別電極の間隔を広げることなくＦＰＣなどの平型柔軟ケーブルに形成される配線間隔を広げることが可能なインクジェットヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００７】
本発明のインクジェットヘッドは、それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配列されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、前記圧力室に対応して形成された主電極領域及び前記主電極領域につながった補助電極領域をそれぞれ有する複数の個別電極を有すると共に、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するアクチュエータユニットと、前記補助電極領域とそれぞれ電気的に接続された複数の端子を有すると共に、前記複数の端子にそれぞれ接続された複数の配線が一方向に延在して前記端子から引き出された平型柔軟ケーブルとを備えている。そして、前記アクチュエータユニットには、前記個別電極が前記一方向と交差する方向に沿って複数配列された個別電極列が互いに平行となるように複数配列されており、前記複数の個別電極列のうち少なくとも前記平型柔軟ケーブルの先端から前記配線が引き出される方向に最も離れた前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが混在している。
【０００８】
これによると、個別電極の間隔を広げることなく平型柔軟ケーブルに形成された配線の幅や間隔を比較的大きくすることが可能になる。つまり、平型柔軟ケーブルの基端に最も近い個別電極列には、補助電極領域が平型柔軟ケーブルの先端側にある個別電極と、補助電極領域が平型柔軟ケーブルの基端側にある個別電極とが混在しているので、主電極領域よりも平型柔軟ケーブルの基端側にある２つの補助電極領域の間には、別の補助電極領域が存在しないことがあり得る。このような２つの補助電極領域の間には配線の幅や配線間隔を比較的大きくした複数の配線を形成することができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製が容易になる。また、画像の高解像度化や圧力室の高密度化に対応できるようになるとともに、これに伴うインクジェットヘッドの大型化を防ぐことが可能となる。
【０００９】
本発明では、前記複数の個別電極列のうち少なくとも前記平型柔軟ケーブルの先端から前記配線が引き出される方向に最も離れた前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されていることが好ましい。これにより、平型柔軟ケーブルの基端に最も近い個別電極に対応して形成された端子の間隔を全域に亘って均等に広くすることができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製がさらに容易になる。また、画像の高密度化や圧力室の高密度化への対応が容易になる。
【００１０】
また、本発明では、すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが混在していることが好ましい。これにより、すべての個別電極列に対応して形成された端子の各々に接続された配線の幅や間隔を広くすることができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製がさらに容易になる。また、画像の高密度化や圧力室の高密度化への対応がより容易になる。
【００１１】
また、本発明では、すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されていることが好ましい。これにより、すべての個別電極列に対応して形成された端子の間隔を広範な範囲に亘って均等に広くすることができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製がさらに容易になる。また、画像の高密度化や圧力室の高密度化への対応がさらに容易になる。
【００１２】
また、このとき、前記アクチュエータユニットには、１つおきの前記個別電極列に属する前記個別電極が前記一方向に沿って複数配列された個別電極行が互いに平行となるように複数配列されており、隣り合う２つの前記個別電極行に属する複数の前記個別電極が、互いに異なる前記個別電極列に属していてもよい。これにより、複数の個別電極を列方向に千鳥状パターンで高密度に配列させることが可能になる。
【００１３】
また、このとき、前記個別電極行には、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されている領域があってもよい。これにより、端子の分布領域内で端子間隔の広い領域が確実にできるので、平型柔軟ケーブルにおける配線の幅や間隔に余裕が生まれる。また、さらに、前記個別電極行には、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極が複数連続して配置された領域を有する第１の個別電極行と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極が複数連続して配置された領域を有する第２の個別電極行とがあり、前記第１の個別電極行と前記第２の個別電極行とが２つずつ交互に配列されていてもよい。これにより、端子の分布領域内の広範な範囲で、端子間隔の広い領域が確実にできるので、平型柔軟ケーブルにおける配線の幅や間隔に広範な範囲での余裕が生まれる。また、補助電極領域が主電極領域よりも平型柔軟ケーブルの先端側にある個別電極と、補助電極領域が主電極領域よりも平型柔軟ケーブルの基端側にある個別電極との２種類を規則的に配列することが可能になる。そのため、個別電極のパターン設計が容易になる。
【００１４】
また、本発明において、前記主電極領域が前記圧力室に対向した位置に配置されており、前記圧力室の平面形状が２つの鋭角部を有する平行四辺形形状であり、前記交差する方向が前記圧力室の短い方の対角線と平行であることが好ましい。これにより、圧力室を高密度に配列させることが可能になる。
【００１５】
また、本発明のインクジェットヘッドは、別の観点では、それぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配列されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、主電極領域及び前記主電極領域につながった補助電極領域をそれぞれ有する複数の個別電極を有すると共に、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記圧力室の容積を変化させるアクチュエータユニットと、前記補助電極領域とそれぞれ電気的に接続された複数の端子を有すると共に、前記複数の端子にそれぞれ接続された複数の配線が一方向に延在した平型柔軟ケーブルとを備えている。そして、前記流路ユニットには、２つの鋭角部を有する平行四辺形形状の平面形状を有する前記圧力室が前記一方向と交差する方向に沿って複数配列された圧力室列が互いに平行となるように複数配列されており、前記アクチュエータユニットには、前記主電極領域を前記圧力室に対向して配置した前記個別電極が互いに平行な複数の個別電極列をなし、すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが交互に配置されている。これにより、すべての個別電極列に対応して形成された端子の各々に接続された配線の幅や間隔を全域に亘って均等に広くすることができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製がさらに容易になる。これに対応して、圧力室も高密度に配列することができる。
【００１６】
また、本発明のインクジェットヘッドは、別の観点では、２つの鋭角部を有する平行四辺形形状の平面形状を有しそれぞれがノズルに連通した複数の圧力室が平面に沿って配列されており、インク供給口から前記圧力室を経て前記ノズルに至るインク流路を内部に有する流路ユニットと、主電極領域及び前記主電極領域につながった補助電極領域をそれぞれ有する複数の個別電極を有すると共に、前記流路ユニットの前記平面に固定されて前記圧力室の容積を変化させる複数のアクチュエータユニットと、１つの前記アクチュエータユニットを単位として複数の前記補助電極領域とそれぞれ電気的に接続された複数の端子を有すると共に、前記複数の端子にそれぞれ接続された複数の配線が一方向に延在した複数の平型柔軟ケーブルとを備えている。そして、前記流路ユニットには、前記アクチュエータユニットと対向する領域ごとに、前記圧力室が前記一方向と交差する方向に沿って複数配列された圧力室列が互いに平行となるように複数配列されており、各アクチュエータユニットには、前記圧力室に対向した前記主電極領域を有する前記個別電極が前記圧力室列と平行に複数配列された個別電極列が互いに平行となるように複数配列されており、すべての前記個別電極列において、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの先端側にある前記個別電極と、前記補助電極領域が前記主電極領域よりも前記平型柔軟ケーブルの基端側にある前記個別電極とが混在している。これにより、複数のアクチュエータユニットが用いられ圧力室が高密度化したヘッドにおいても、すべての個別電極列に対応して形成された端子の各々に接続された配線の幅や間隔を広くすることができる。したがって、平型柔軟ケーブルの作製がさらに容易になるとともに全体的な低コスト化に寄与する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。図２は、図１のII−II線における断面図であり、インクジェットヘッドを構成するホルダにヘッド本体が組み付けられた状態を示している。図３は、図２に示すヘッド本体に補強板が接着された状態を示す斜視図である。インクジェットヘッド１は、シリアル式のインクジェットプリンタ（図示略）に用いられて、副走査方向に平行に搬送されてきた用紙に対してマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックの４色のインクを吐出して記録するものである。図１及び図２に示すようにインクジェットヘッド１は、４色のインクをそれぞれ貯溜する４つのインク室３が形成されたインクタンク７１と、このインクタンク７１の下方に配置されたヘッド本体７０とを備えている。
【００１９】
インクタンク７１の内部には、４つのインク室３が主走査方向に並んで形成されており、図２中左方のインク室３からマゼンタ、イエロー、シアン、ブラックのインクが順に貯溜されている。これら４つのインク室３は、対応するインクカートリッジ（図示せず）がチューブ４０（図１参照）によってそれぞれ接続されており、インクカートリッジからインク室３に各色のインクが供給されるようになっている。また、図２及び図３に示すようにインクタンク７１が、平面矩形形状の補強板４１に組み付けられている。この補強板４１は、略直方体形状を有するホルダ７２に紫外線型硬化剤４３で固着されている。さらに、この補強板４１には図３に示すように、平面形状が長方形形状の開口部４２が形成されており、この開口部４２内に後述のアクチュエータユニット２１を配置するようにしてヘッド本体７０が接着固定されている。インクタンク７１の下端部には、４つのインク室３にそれぞれ連通する４つのインク導出口３ａが形成されている。一方、補強板４１には、図３に示すように、４つのインク導出口３ａとそれぞれ連なる平面形状が楕円形状の４つの貫通孔４１ａが形成されている。
【００２０】
ヘッド本体７０は、それぞれの色ごとに複数のインク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤によって接着されたアクチュエータユニット２１とを含んでいる。流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成であり、これら流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１はインクタンク７１の下方に配置されている。流路ユニット４の上面には、平面形状が楕円形状の４つのインク供給口４ａ（図４参照）が形成されている。また、図３に示すように補強板４１には、補強板４１に形成された貫通孔４１ａと流路ユニット４に形成されたインク供給口４ａとがそれぞれ連なるようにして流路ユニット４が接着されている。この構成により、インクタンク７１内の４種類のインクが、インクタンク７１に形成された４つのインク導出口３ａ及び補強板４１に形成された４つの貫通孔４１ａを通ってそれぞれに対応する流路ユニット４の４つのインク供給口４ａから流路ユニット４内に供給されている。
【００２１】
また、ヘッド本体７０は、流路ユニット４のインク吐出面７０ａを外部に露出する状態で、補強板４１がホルダ７２の下面に形成された段付き状の開口部７２ａに装着されており、ホルダ７２と流路ユニット４との間はシール剤７３により封止されている。また、ヘッド本体７０の底面は微小径を有する多数のノズル８（図６参照）が配列されたインク吐出面７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるフレキシブルプリント回路（ＦＰＣ）５０が接合され主走査方向の一方に引き出されるとともに、屈曲しながら上方に引き出されている。ＦＰＣ５０のアクチュエータユニット２１と対向する部分における上面には、ＦＰＣ５０及びアクチュエータユニット２１を保護する保護プレート４４が貼付されている。
【００２２】
アクチュエータユニット２１に接合されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材７４を介してインクタンク７１の側面に沿うように引き出され、このＦＰＣ５０上にドライバＩＣ７５が設置されている。一方で、ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ７５から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１（後に詳述）に伝達するように、ハンダ付けによって電気的に接合されている。
【００２３】
図２において、ホルダ７２のドライバＩＣ７５に対向する側壁には、ドライバＩＣ７５の熱を外部に放散する為の開口部７２ｂが形成されている。さらに、ドライバＩＣ７５とホルダ７２の開口部７２ｂとの間には、略直方体形状のアルミ板からなるヒートシンク７６がドライバＩＣ７５に密着するように配置されている。これらヒートシンク７６及び開口部７２ｂにより、ドライバＩＣ７５で発生した熱を効率的に散逸させることができる。また、開口部７２ｂ内には、ホルダ７２の側壁とヒートシンク７６の隙間を埋めるためのシール剤７７が配置されており、インクジェットヘッド１の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。
【００２４】
図４は、ヘッド本体７０の平面図である。図４に示すように、ヘッド本体７０は副走査方向に延在した矩形平面形状を有している。図４において、流路ユニット４内には、流路ユニット４の長手方向に沿って互いに平行に延在された４つのマニホールド流路５が形成されている。これらマニホールド流路５には、流路ユニット４の４つのインク供給口４ａを通じてインクタンク７１のインク室３からそれぞれインクが供給される。本実施の形態では、図４中上方に示すマニホールド流路５から下方に向かって順にマゼンタ、イエロー、シアン及びブラックに対応するマニホールド流路５Ｍ、５Ｙ、５Ｃ、５Ｋが形成されている。また、流路ユニット４の上面であって４つのインク供給口４ａを覆う位置には、フィルタ部材４５が配置されている。フィルタ部材４５は、各インク供給口４ａと重なる位置に複数の微小孔が形成されたフィルタ４５ａを有している。こうして、インクタンク７１から流路ユニット４内に流通するインク内のゴミなどがフィルタ部材４５のフィルタ４５ａによって捕獲される。
【００２５】
流路ユニット４の上面には、平面形状が長方形形状のアクチュエータユニット２１が、インク供給口４ａを避けたほぼ中央部分に接着されている。アクチュエータユニット２１と流路ユニット４との接着領域と対応する流路ユニット４の下面は、多数のノズル８（図６参照）が配列されたインク吐出領域となっている。アクチュエータユニット２１に対向する流路ユニット４の接着領域には、マトリクス状に配列された多数の圧力室１０（図６参照）が形成されている。言い換えると、アクチュエータユニット２１はすべての圧力室１０に跨る寸法を有している。
【００２６】
図５は、図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。流路ユニット４に形成された圧力室１０は、角部にアールが施された略菱形の平面形状を有しており、その長い方の対角線は流路ユニット４の幅方向（主走査方向）に平行である。このような形状に圧力室１０が形成されていることで、後述のように圧力室１０を高密度に配置可能となる。各圧力室１０の一端はノズル８に連通しており、他端はアパーチャ１３を介してマニホールド流路５に連通しており、各マニホールド流路５には、ノズル８に連通して各圧力室１０毎に形成された多数の個別インク流路７（図６参照）が接続されている。図５には、図面を分かりやすくするために流路ユニット４内にあって破線で描くべき圧力室１０、アパーチャ１３及びノズル８等を実線で描いている。
【００２７】
図６は、個別インク流路を示す断面図であり、図５に示すVI−VI線に沿った断面図である。圧力室１０の一方の鋭角部には、アパーチャ１３が連通し、他方の鋭角部には、インクを吐出するノズル８が連通している。図６から分かるように、各ノズル８は、圧力室１０及びアパーチャ（すなわち絞り）１３を介してマニホールド流路５と連通して圧力室１０に対応した流路を構成している。このようにして、ヘッド本体７０には、圧力室１０毎の流路である複数の個別インク流路７が形成されている。
【００２８】
ヘッド本体７０は、図６に示すように、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６〜２９及びノズルプレート３０の合計１０枚のシート材が積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた９枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。
【００２９】
アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート１４〜１７（図７参照）が積層され且つそのうちの最上層だけが電界印加時に活性部となる部分を有する層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）とされ、残り３層が活性部を有しない非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０の空隙を構成するほぼ菱形の孔が、アクチュエータユニット２１の貼付範囲内に多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１３との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００３０】
アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３となる孔のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１３とマニホールド流路５との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６〜２９は、マニホールド流路５に加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００３１】
これら１０枚のシート２１〜３０は、図６に示すような個別インク流路７が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路７は、マニホールド流路５からまず上方へ向かい、アパーチャ１３において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１３から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。
【００３２】
図６から明らかなように、各プレートの積層方向において圧力室１０とアパーチャ１３とは異なるレベルに設けられている。これにより、図５に示すように、アクチュエータユニット２１に対向した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１３を、当該圧力室に隣接する別の圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。
【００３３】
図５に戻って、複数の各圧力室１０は、その長い対角線の一端においてノズル８に連通されていると共に、長い対角線の他端においてアパーチャ１３を介してマニホールド流路５に連通されている。後述するように、アクチュエータユニット２１上には、平面形状がほぼひし形で圧力室１０よりも一回り小さい個別電極３５（図７参照）が、圧力室１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図５には、図面を簡略にするために、複数の個別電極３５のうちの幾つかだけを描いている。
【００３４】
圧力室１０は、配列方向Ａ（第１の方向）及び配列方向Ｂ（第２の方向）の２方向にマトリクス状に隣接配置されるとともに、配列方向Ａに沿って複数の圧力室１０が千鳥状配列パターンで形成されている。配列方向Ａは、インクジェットヘッド１の長手方向、すなわち流路ユニット４の延在方向であって、圧力室１０の短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす圧力室１０の一斜辺方向である。そして、圧力室１０の両方の鋭角部は、隣接する別の２つの圧力室の間に位置している。
【００３５】
配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置された圧力室１０は、配列方向Ａに沿って解像度に対応した間隙を介して配置されている。例えば、本実施の形態では、１５０ｄｐｉの解像度による印字を可能とするため、隣接する圧力室１０は配列方向Ａに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔している。また、圧力室１０は、アクチュエータユニット２１内において、配列方向Ｂに１６個並べられているとともに、図５の紙面に対して垂直な方向（第３の方向）から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）沿って８個並べられている。
【００３６】
マトリクス状に配置された多数の圧力室１０は、図５に示す配列方向Ａに沿って、複数の圧力室列１１を形成している。複数の圧力室列１１は、第３の方向から見て、各マニホールド流路５との相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の幅方向における一方から他方（図５中下方から上方）に向けて、１１ｃ→１１ａ→１１ｄ→１１ｂ→１１ｃ→１１ａ→・・１１ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。なお、これら周期的に４個ずつ配置された第１〜第４の圧力室列毎に４つの圧力室群１２が形成されており、各圧力室群１２の圧力室１０が各マニホールド流路５とそれぞれアパーチャ１３を介して連通している。つまり、各圧力室群１２は各マニホールド流路５毎に形成されているため、４色のインクに対応するように圧力室群１２Ｍ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｋに分けられる。これら４つの圧力室群１２Ｍ，１２Ｙ，１２Ｃ，１２Ｋのそれぞれに属する圧力室１０がアクチュエータユニット２１によって容積変化されることで４色のインクを各圧力室群１２と連通したノズル８から吐出することが可能になる。
【００３７】
第１の圧力室列１１ａを構成する圧力室１０ａ及び第３の圧力室列１１ｃを構成する圧力室１０ｃにおいては、第３の方向から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に関して、ノズル８が図５の紙面下側に偏在している。そして、ノズル８が、図５中平面視においてそれぞれ対応する圧力室１０の下端部の左側付近と隣接している。一方、第２の圧力室列１１ｂを構成する圧力室１０ｂ及び第４の圧力室列１１ｄを構成する圧力室１０ｄにおいては、第４の方向に関して、ノズル８が図４の紙面上側に偏在している。そして、ノズル８が、図５中平面視においてそれぞれ対応する圧力室１０の上端部の右側付近と隣接している。第１及び第４の圧力室列１１ａ、１１ｄにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ａ、１０ｄの半分以上の領域が、マニホールド流路５と重なっている。第２及び第３の圧力室列１１ｂ、１１ｃにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ｂ、１０ｃのほぼ全領域が、マニホールド流路５ａと重なっていない。そのため、いずれの圧力室列に属する圧力室１０についてもこれに連通するノズル８がマニホールド流路５ａと重ならないようにしつつ、マニホールド流路５の幅を可能な限り広くして各圧力室１０にインクを円滑に供給することが可能となっている。
【００３８】
なお、流路ユニット４のキャビティプレート２２には、マニホールド流路５Ｃとマニホールド流路５Ｋ間の領域と重なる位置において、複数の空隙６０が形成されている。複数の空隙６０は圧力室１０と同じように配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向に隣接配置されている。配列方向Ａに沿う複数の空隙６０は、互いに平行な４列の空隙列６１を形成しており、それら４列の空隙列６１によって空隙群６２が構成されている。空隙群６２の複数の空隙６０は、キャビティプレート２２に形成された圧力室１０と同じ形状及び同じ大きさを有する孔がアクチュエータユニット２１及びベースプレート２３によって塞がれることによって画定されている。つまり、空隙６０にはインク流路が接続されていないため、複数の空隙６０はインクで満たされることがない。また、流路ユニット４のインク吐出面７０ａにおいて、空隙６０と連なるノズルが空隙群６２と対向する位置に形成されていないため、インク吐出面７０ａに形成されたインク吐出領域がブラック色のインクを吐出するブラック領域とマゼンタ、イエロー及びシアン色のインクを吐出するカラー領域とに分けられることになる。このようにインク吐出領域がカラー領域とブラック領域とに分けられることで、ブラック色のインクだけをパージするためのキャップを配置しやすくなる。なお、空隙群６２をキャビティプレート２２に形成する理由は、インクの吐出を行う圧力室１０に対する剛性の均一化によりインク吐出特性を改善するためである。
【００３９】
次に、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。アクチュエータユニット２１上には、圧力室１０と同じ配列パターンで多数の個別電極３５がマトリクス状に配置されている。各個別電極３５は、平面視において圧力室１０と対向する位置に配置されている。このように複数の圧力室１０及び個別電極３５が規則正しく配置されていることで、設計が容易になる。
【００４０】
図７は、アクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図６における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。図８は、図４に示す２点鎖線で囲まれた領域を示す拡大図である。なお、図７（ａ）においては各個別電極３５と電気的に接続されたＦＰＣ５０を２点鎖線で描いている。また、図８を分かりやすくするために、本来、破線で描かれるアクチュエータユニット２１の個別電極３５及びＦＰＣ５０の端子４６、配線４８を実線で描いている。図７（ａ）、（ｂ）に示すように、個別電極３５は圧力室１０と対向する位置に配置されており、平面視において圧力室１０の平面領域内に形成された主電極領域３５ａと、主電極領域３５ａにつながっており且つ圧力室１０の平面領域外に形成された補助電極領域３５ｂとから構成されている。
【００４１】
図７（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート１４，１５，１６，１７を含んでいる。これら圧電シート１４〜１７は、ヘッド本体７０内のインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート１４〜１７が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート１４上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート１４〜１７は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。
【００４２】
最上層の圧電シート１４上に形成された個別電極３５の主電極領域３５ａは、図７（ｂ）に示すように、圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の主電極領域３５ａにおける一方の鋭角部は延出され、補助電極領域３５ｂとつながっている。補助電極領域３５ｂの先端には、個別電極３５と電気的に接続された円形のランド部３６が設けられている。図７（ｂ）に示すように、ランド部３６は、キャビティプレート２２において圧力室１０が形成されていない領域に対向している。ランド部３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図７（ａ）に示すように、補助電極領域３５ｂにおける表面上に形成されている。
【００４３】
図８に示すように、複数の個別電極３５は圧力室列１１と同様に配列方向Ａに沿って互いに平行に配列された複数の個別電極列３７を形成している。隣接する個別電極列３７同士では、列中で隣接する個別電極３５の間に別の列中の個別電極３５が位置するように配置されている。ちょうど、配列方向Ａにおける個別電極３５の配列間隔（ピッチ）の１／２だけずれている。全体的には、複数の個別電極３５が、配列方向Ａに沿って千鳥状配列パターンで形成されている。つまり、第４の方向に沿う複数の個別電極３５が互いに平行な複数の個別電極行を形成しており、隣り合う２つの個別電極行に属する個別電極３５が互いに異なる個別電極列３７に属している。複数の個別電極列３７は圧力室列１１ａ〜１１ｄに対応する個別電極列３７ａ〜３７ｄに分けられている。これら個別電極列３７ａ〜３７ｄを１つの群として、４つの圧力室群１２に対応する４つの個別電極群３８が構成されている。各個別電極列３７は、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の基端側（図８における下方側）に形成された個別電極３５と、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の先端側（図８における上方側）に形成された個別電極３５とを含んでいる。配列方向Ａには、各補助電極領域３５ｂがＦＰＣ５０の基端側と先端側とを交互に向くように配置されている。また、個別電極群３８において、配列方向Ｂについても、各補助電極領域３５ｂがＦＰＣ５０の基端側又は先端側を交互に向くように配列されている。つまり、図８に示すように、個別電極行において、補助電極領域３５ｂがＦＰＣ５０の基端側にある個別電極３５と先端側にある個別電極３５とが第４の方向に沿って交互に配置されている。
【００４４】
本実施形態では、カラーインクを吐出する領域（カラー領域）とブラックインクを吐出する領域（ブラック領域）との間に、個別電極３５の配置が不要な４列の空隙列６１が介在している。しかし、行中における補助電極領域３５ｂの配置の規則性はこれら２つの領域を跨いで連続している。空隙列６１が介在しない場合でも、このような規則性の連続は重要で、個別電極３５が配置される領域の全域に亘って、ＦＰＣ５０の配線を無理のない間隔で引き回すことができる。なお、本実施の形態のように複数の領域を個別電極行が跨ぐような場合には、領域間で上述の規則性が不連続であってもよい。つまり、介在する個別電極不要領域が一種の緩衝領域となってＦＰＣ５０の配線間隔を規制することはない。
【００４５】
図７に戻って最上層の圧電シート１４とその下側の圧電シート１５との間には、圧電シート１４と同じ外形及び略２μｍの厚みを有する共通電極３４が介在している。個別電極３５及び共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。
【００４６】
共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しく一定の電位、本実施の形態ではグランド電位に保たれている。
【００４７】
ＦＰＣ５０は、図７（ａ）に示すように、ベースフィルム４９と、その下面に形成された複数の配線４８と、ベースフィルム４９の下面のほぼ全体を覆うカバーフィルム５２と、を含む。ベースフィルム４９は略２５μｍ、配線４８は略９μｍ、カバーフィルム５２は略２０μｍの厚みをそれぞれ有する。カバーフィルム５２には、配線４８より小さな面積の貫通孔５３が、アクチュエータユニット２１に形成されたランド部３６に対応して複数形成されている。ベースフィルム４９、配線４８、及び、カバーフィルム５２は、各貫通孔５３の中心と配線４８の中心線とが対応し、配線４８の外周縁部分がカバーフィルム５２に覆われるよう、互いに位置合わせして積層される。ＦＰＣ５０の端子４６は、貫通孔５３を介して、配線４８と接続されている。
【００４８】
ベースフィルム４９及びカバーフィルム５２は、いずれも絶縁性を有するシート部材である。本実施形態において、ベースフィルム４９はポリイミド樹脂からなり、カバーフィルム５２は感光性材料からなる。このようにカバーフィルム５２を感光性材料から構成することで、多数の貫通孔５３を形成するのが容易になる。
【００４９】
配線４８は、銅箔により形成されている。配線４８は、ドライバＩＣ７５と接続された配線であり、ベースフィルム４９の下面において、所定のパターンを形成している。
【００５０】
端子４６は、例えばニッケルなどの導電性材料から構成されている。端子４６は、貫通孔５３を塞ぐと共に、貫通孔５３の外側周縁を覆い、カバーフィルム５２の下面より突出して形成されている。端子４６の径は略５０μｍ、カバーフィルム４０下面からの厚みは略３０μｍである。
【００５１】
図８に示すように、ＦＰＣ５０の複数の端子４６は、個別電極３５のランド部３６に対向する位置に複数設けられており、各端子４６がそれぞれ１つのランド部３６と接合できるよう構成されている。また、各端子４６は配線４８がＦＰＣ５０の基端側及び先端側に向けて一方向（流路ユニット４の幅方向であって主走査方向）に引き出されており、ＦＰＣ５０の基端側に引き出された配線４８によって各端子４６が独立してドライバＩＣ７５に接続されている。これにより、圧力室１０ごとに電位を制御することが可能となっている。なお、本実施の形態のＦＰＣ５０においては、ＦＰＣ５０の端子４６にランド部３６と接続するための半田メッキを電解メッキで施すために、端子４６から配線４８がＦＰＣ５０の基端側及び先端側に向かって引き出されている。また、ＦＰＣ５０の各端子４６に半田メッキが施された後に、ＦＰＣ５０のアクチュエータユニット２１と対向する部分（ＦＰＣ５０の複数の端子４６が形成された領域）を残してＦＰＣ５０の先端側部分が切断され、図４に示すようなＦＰＣ５０の形態となっている。
【００５２】
また、ＦＰＣ５０の各端子４６から引き出された複数の配線４８のうち、当該端子４６から引き出された配線４８以外の配線４８が当該端子４６の周辺領域を避けて配線非形成領域３９を形成するように屈曲している。また、ＦＰＣ５０の各端子４６から引き出された配線４８は、端子４６周辺領域に挟まれた領域においてほぼ等間隔に配設されている。
【００５３】
次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート１４の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート１４を活性部が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート１５〜１７を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート１４中の電極に挟まれた電界印加部分が活性部（圧力発生部）として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。
【００５４】
本実施の形態では、圧電シート１４において個別電極３５と共通電極３４とによって挟まれた部分は、電界が印加されると圧電効果によって歪みを発生する活性部として働く。一方、圧電シート１４の下方にある３枚の圧電シート１５〜１７は、外部から電界が印加されることが無く、そのために活性部としてほとんど機能しない。したがって、圧電シート１４において主に主電極領域３５ａと共通電極３４とによって挟まれた部分が、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。
【００５５】
一方、圧電シート１５〜１７は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート１４と下層の圧電シート１５〜１７との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート１４〜１７全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図７（ａ）に示したように、圧電シート１４〜１７で構成されたアクチュエータユニット２１の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート）２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート１４〜１７は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート１４〜１７は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド流路５側から吸い込む。
【００５６】
なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート１４〜１７が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクがマニホールド流路５側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート１４〜１７が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。こうして、ノズル８からインクが吐出されると共に、インクジェットヘッド１が適宜、主走査方向に移動され用紙に所望画像が印刷される。
【００５７】
以上のようなインクジェットヘッド１によると、アクチュエータユニット２１の複数の個別電極３５と電気的に接続されたＦＰＣ５０の端子４６から引き出された複数の配線４８の間隔を比較的大きな間隔にすることが可能になる。つまり、図８に示すようにＦＰＣ５０の基端側に最も近いアクチュエータユニット２１の個別電極列３７ｃには、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の先端側にある個別電極３５と、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の基端側にある個別電極３５とが交互に存在している。そのため、上記公報のように隣接する個別電極３５の補助電極領域３５ｂが同方向を向いて配置されたのと比較して、隣接する補助電極領域３５ｂ間の距離が２倍に長くなっている。すなわち、個別電極列３７ｃにおいて、互いに隣接する３つの個別電極３５を考えたときに、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の基端側にある２つの個別電極３５に挟まれた個別電極３５の補助電極領域３５ｂがＦＰＣ５０の先端側にあるので、配列方向Ａに平行な方向において隣接する補助電極領域３５ｂ間の距離が長くなる。そのため、ＦＰＣ５０の基端に最も近い個別電極３５に対応して形成されたＦＰＣ５０の各端子４６の各々に接続された配線４８の幅や間隔を広くすることができる。したがって、ＦＰＣ５０の作製のときに、ＦＰＣ５０の配線４８間隔が広くなっているので、その作製が容易になる。しかも、アクチュエータユニットのサイズの大きくして個別電極３５のランド部３６の間隔を広げてランド部３６に接続されるＦＰＣ５０の端子４６の間隔を広げるとともに配線４８の間隔を広げる必要がなくなり、インクジェットヘッドのサイズの大型化も防ぐことができる。また、画像の高解像度化や圧力室の高密度化に容易に対応することができる。
【００５８】
また、インクジェットヘッド１のアクチュエータユニット２１に形成されたすべての個別電極列３７において、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の先端側にある個別電極３５と、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の基端側にある個別電極３５とが交互に存在しているので、すべての個別電極列に対応して形成された端子４６の各々に接続された配線４８の幅や間隔を全域に亘って均等に広くすることができる。したがって、ＦＰＣ５０の作製がさらに容易になる。また、複数の圧力室１０で構成される圧力室群１２の平面形状の自由度が増す。つまり、複数の個別電極３５にそれぞれ対向する複数の圧力室１０がなす圧力室群の形状がどのような平面形状になっていても、個別電極３５がなすいずれの個別電極列においても、配列方向Ａに沿って交互に補助電極領域３５ｂが配置されておれば、補助電極領域３５ｂのランド部３６の間隔が広がるので、ＦＰＣ５０の端子４６間隔も広がり且つ端子４６から引き出された配線４８の幅や間隔も広がる。さらに、本実施の形態では、個別電極列の延在する方向に対して、ほぼ直交して配線４８が引き出されている。このことは、同じランド部３６の同幅であっても、配線幅や配線間隔を狭めることなくより多くの配線４８を配設できることに寄与している。
【００５９】
なお、本実施の形態におけるインクジェットヘッド１においては、アクチュエータユニット２１に形成された複数の個別電極３５がなす複数の個別電極列３７は、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の先端側にある個別電極３５と、補助電極領域３５ｂが主電極領域３５ａに対してＦＰＣ５０の基端側にある個別電極３５とが交互に配置されている。これにより、ランド部３６の同幅を広げることができ、高密度高解像度のインクジェットヘッド１が得られる。
【００６０】
続いて、本発明の他の実施形態によるインクジェットヘッドについて、以下に説明する。図９は、本発明の他の実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。図１０は、図９のX−X線に沿った断面図である。インクジェットヘッド１００は、図９に示すように、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体１７０と、ヘッド本体１７０の上方に配置され且つ２つのインク溜まり１０３が形成されたベースブロック１７１と、ヘッド本体１７０の上面に接合されたＦＰＣ１５０とを含んでいる。
【００６１】
ヘッド本体１７０は、図１０に示すように、インク流路が形成された流路ユニット１０４と、流路ユニット１０４の上面にエポキシ系の熱硬化性接着剤によって接着された複数のアクチュエータユニット１２１とを含んでいる。流路ユニット１０４は、複数の薄板を積層して互いに接着させた構成である。また、ヘッド本体１７０の底面は微小径を有する多数のノズル１０８（図１３参照）が配列されたインク吐出面１７０ａとなっている。また、アクチュエータユニット１２１の上面には、ＦＰＣ１５０が接合され左又は右に引き出されるとともに、ＦＰＣ１５０が図１０中において屈曲しながら上方に引き出されている。
【００６２】
図１１は、ＦＰＣ１５０が接合されたヘッド本体１７０を上方から見た平面図である。図１１に示すように、流路ユニット１０４は、主走査方向に延在した矩形平面形状を有し、その内部にマニホールド流路１０５が設けられている。このマニホールド流路１０５は、流路ユニット４の長手方向（主走査方向）と平行に延在する複数の副マニホールド流路１０５ａに分岐しており、ベースブロック１７１からのインクが開口（インク供給口）１０３ａを通じて供給される。
【００６３】
流路ユニット１０４の上面には、平面形状が台形である４つのアクチュエータユニット１２１が、開口１０３ａを避けるように、千鳥状で２列に配列されて接着されている。各アクチュエータユニット１２１は、その平行対向辺（上辺及び下辺）が流路ユニット１０４の長手方向に沿うように配置されている。複数の開口１０３ａは流路ユニット１０４の長手方向に沿って２列に配列されており、各列５個、計１０個の開口１０３ａがアクチュエータユニット１２１と干渉しない位置に設けられている。そして、隣接するアクチュエータユニット１２１の斜辺同士が、流路ユニット１０４の幅方向（副走査方向）に部分的にオーバーラップしている。
【００６４】
インク吐出面１７０ａには、アクチュエータユニット１２１の接着領域に対応する領域ごとに、多数のノズル１０８がマトリクス状に配列されて、インク吐出領域が形成されている。各アクチュエータユニット１２１の接着領域には、多数の圧力室１１０（図１３参照）がマトリクス状に配列されて、圧力室群１０９が形成されている。言い換えると、アクチュエータユニット１２１は、圧力室群１０９を構成する多数の圧力室１１０に跨る寸法を有している。
【００６５】
図１０に戻って、ベースブロック１７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック１７１内のインク溜まり１０３は、ベースブロック１７１の長手方向に沿って延在する略直方体の中空領域である。インク溜まり１０３は、その一端に設けられた開口（図示せず）を通じて外部に設置されたインクタンク（図示せず）からインクが供給され、常にインクで満たされている。インク溜まり１０３には、インクを流出するための開口１０３ｂが、その延在方向に沿って２列に計１０個設けられている。これら開口１０３ｂは、流路ユニット１０４の開口１０３ａと接続されるように千鳥状に設けられている。すなわち、インク溜まり１０３の１０個の開口１０３ｂと流路ユニット１０４の１０個の開口１０３ａは、平面視において、同じ位置関係となるように設けられている。
【００６６】
ベースブロック１７１の下面１７３は、開口１０３ｂの近傍部分１７３ａにおいて周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック１７１は、この近傍部分１７３ａにおいてのみ流路ユニット１０４の開口１０３ａの近傍部分と接触している。そのため、開口１０３ｂの近傍部分１７３ａ以外の領域は、ヘッド本体１７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット１２１が配されている。本実施の形態では、アクチュエータユニット１２１に接続されたＦＰＣ１５０と下面１７３との間に所定の間隙が残されている。
【００６７】
ホルダ１７２は、ベースブロック１７１を把持する把持部１７２ａと、副走査方向に間隔をおいて設けられ把持部１７２ａの上面から上方に向けて突出する一対の突出部１７２ｂとを含んでいる。ベースブロック１７１は、ホルダ１７２の把持部１７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。アクチュエータユニット１２１に接続されたＦＰＣ１５０は、スポンジなどの弾性部材１８３を介してホルダ１７２の突出部１７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。そして、ホルダ１７２の突出部１７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ１５０上にドライバＩＣ１８０が設置されている。ＦＰＣ１５０は、ドライバＩＣ１８０から出力された駆動信号をヘッド本体１７０のアクチュエータユニット１２１に伝達するものであり、アクチュエータユニット１２１及びドライバＩＣ１８０とは半田付けによって電気的に接合されている。
【００６８】
ドライバＩＣ１８０の外側表面には略直方体形状のヒートシンク１８２が密着配置されているため、ドライバＩＣ１８０で発生した熱を効率的に散逸させることができる。ドライバＩＣ１８０及びヒートシンク１８２の上方においては、ＦＰＣ１５０の外側に接続された基板１８１が配置されている。ヒートシンク１８２の上面と基板１８１との間、および、ヒートシンク１８２の下面とＦＰＣ１５０との間は、それぞれシール部材１８４で接着されており、インクジェットヘッド１００の本体にゴミやインクが侵入することを防いでいる。
【００６９】
図１２は、図１１に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。図１２に示すように、流路ユニット１０４内のアクチュエータユニット１２１と対向する領域には、流路ユニット１０４の長手方向（主走査方向）と平行に４本の副マニホールド流路１０５ａが延在している。各副マニホールド流路１０５ａには、ノズル１０８の各々に通じる上述した個別インク流路７と同様な多数の個別インク流路１０７が接続されている（図１３参照）。
【００７０】
流路ユニット１０４上面の圧力室群１０９は、アクチュエータユニット１２１の外形とほぼ同じ大きさの台形形状を有し、各アクチュエータユニット１２１について１つずつ形成されている。圧力室群１０９に属する各圧力室１１０は、その長い対角線の一端（一方の鋭角部）においてノズル１０８に連通されていると共に、長い対角線の他端（他方の鋭角部）においてアパーチャ１１２に連通されている。後述するように、アクチュエータユニット１２１上には、平面形状がほぼ菱形で圧力室１１０よりも一回り小さい個別電極１３５（図１４参照）が、圧力室１１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図１２において、図面を分かりやすくするために、ＦＰＣ１５０の下方にあって破線で描くべきアクチュエータユニット１２１、圧力室１１０（圧力室群１０９）、アパーチャ１１２及びノズル１０８を実線で描いている。
【００７１】
図１３は、図１２に示すXIII−XIII線に沿った断面図である。ヘッド本体１７０
は、図１３に示すように、上から、アクチュエータユニット１２１、キャビティプレート１２２、ベースプレート１２３、アパーチャプレート１２４、サプライプレート１２５、マニホールドプレート１２６、１２７、１２８、カバープレート１２９及びノズルプレート１３０が積層された積層構造を有している。こられのうち、アクチュエータユニット１２１を除いた９枚のプレート１２２〜１３０から流路ユニット１０４が構成されている。これらのプレート１２２〜１３０は、それぞれステンレス鋼などからなる金属プレートである。流路ユニット１０４は、上述した流路ユニット４とほぼ同様な構成を有している。つまり、キャビティプレート１２２には圧力室１１０、アパーチャプレート１２４にはアパーチャ１１２、３枚のマニホールドプレート１２６〜１２８にはそれぞれ副マニホールド流路１０５ａ（マニホールド流路１０５）、ノズルプレート１３０にはノズル１０８がそれぞれ設けられている。圧力室１１０、アパーチャ１１２等の流路の構成要素は、図１３に示すように、各プレートに形成された貫通孔により連通されて、個別インク流路７と同様の個別インク流路１０７が構成されている。この個別インク流路１０７は、流路ユニット１０４内で圧力室１１０毎に形成されている。なお、本実施の形態では、上述した流路ユニット４におけるマニホールドプレート２９が、カバープレート１２９と置き換わっている点で異なる。このカバープレート１２９には、マニホールド流路用の開口はない。
【００７２】
図１２に戻って、圧力室１１０は、配列方向Ｅ及び配列方向Ｆの２方向にマトリクス状に隣接配置されるとともに、配列方向Ｅに沿って複数の圧力室１１０が千鳥状配列パターンで形成されている。配列方向Ｅは、インクジェットヘッド１００の長手方向、すなわち流路ユニット１０４の延在方向であって、圧力室１１０の短い方の対角線と平行である。配列方向Ｆは、配列方向Ｅと鈍角θ´をなす圧力室１１０の一斜辺方向である。そして、圧力室１１０の両方の鋭角部は、隣接する他の２つの圧力室の間に位置している。
【００７３】
図１２に示すように、圧力室１１０は、配列方向Ｅに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔して配列している。また、圧力室１１０は、配列方向Ｆに１６個並べられているとともに、図１２の紙面に対して垂直な方向から見て、配列方向Ｅと直交する方向Ｇに沿って８個並べられている。１つのアクチュエータユニット１２１内には、配列方向Ｅに延びる圧力室列１１１が互いに平行に１６列形成されており、全体として６００ｄｐｉの解像度で印字ができるようになっている。
【００７４】
これら１６本の圧力室列１１１は、所定の間隔を介して隣接しており、圧力室群１０９が構成されている。圧力室列１１１は、図１２の紙面に対して垂直な方向からみて、副マニホールド流路１０５ａとの相対位置に応じて、第１の圧力室列１１１ａ、第２の圧力室列１１１ｂ、第３の圧力室列１１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１１ａ〜１１１ｄは、アクチュエータユニット２１の上辺から下辺に向けて、１１１ｃ→１１１ｄ→１１１ａ→１１１ｂ→１１１ｃ→１１１ｄ→…→１１１ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。
【００７５】
第１の圧力室列１１１ａを構成する圧力室１１０ａ及び第２の圧力室列１１１ｂを構成する圧力室１１０ｂにおいては、配列方向Ｅと直交する方向にとった方向Ｇに関して、ノズル１０８が下側に偏在し、それぞれ対応する圧力室１０の下端部付近と対向している。一方、第３の圧力室列１１１ｃを構成する圧力室１１０ｃ及び第４の圧力室列１１１ｄを構成する圧力室１１０ｄにおいては、方向Ｇに関して、ノズル１０８が上側に偏在し、それぞれ対応する圧力室１１０の上端部付近と対向している。
【００７６】
次に、アクチュエータユニット１２１について説明する。アクチュエータユニット１２１は、上述したアクチュエータユニット２１とほぼ同様な構成を有しており、図１３に示すように、４枚の圧電シート１４１〜１４４が積層され且つそのうちの最上層だけが電界印加時に活性部となる部分を有する層（以下、単に「活性部を有する層」というように記する）とされ、残り３層が活性部を有しない非活性層とされたものである。アクチュエータユニット１２１上には、図１２に示すように、平面形状がほぼひし形で圧力室１１０よりも一回り小さい個別電極１３５（図１４参照）が、圧力室１１０と対向するようにマトリクス状に配列されている。なお、図１２には、図面を簡略にするために、複数の個別電極１３５のうちの幾つかだけを描いており、それらにはハッチングが施されている。このように複数の圧力室１１０及び個別電極１３５が規則正しく配置されていることで、設計が容易になる。
【００７７】
図１４は、図１２に示す一点鎖線で囲まれた領域を示す拡大図である。なお、図１４において、図面を分かりやすくするために、本来、破線で描かれるアクチュエータユニット１２１上の個別電極１３５及びＦＰＣ１５０の端子１４６、配線４８を実線で描いている。図１３及び図１４に示すように、個別電極１３５は圧力室１１０と対向する位置に配置されており、平面視において圧力室１１０の平面領域内に形成された主電極領域１３５ａと、主電極領域１３５ａにつながっており且つ圧力室１１０の平面領域外に形成された補助電極領域１３５ｂとから構成されている。
【００７８】
図１３に示すように、４枚の圧電シート１４１〜１４４はそれぞれの厚みがほぼ同じである。これら圧電シート１４１〜１４４は、ヘッド本体１７０内のインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１１０に跨って配置されている。いずれも、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。
【００７９】
最上層の圧電シート１４１上に形成された個別電極１３５の主電極領域１３５ａは、図１４に示すように、圧力室１１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の主電極領域１３５ａにおける一方の鋭角部は延出され、補助電極領域１３５ｂとつながっている。補助電極領域１３５ｂの先端には、個別電極１３５と電気的に接続された円形のランド部１３６が設けられている。ランド部１３６は、キャビティプレート１２２において圧力室１１０が形成されていない領域に対向している。ランド部１３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図１３に示すように、補助電極領域１３５ｂの表面上に形成されている。
【００８０】
図１４に示すように、複数の個別電極１３５は圧力室列１１１と同様に配列方向Ｅに沿って互いに平行に配列された複数の個別電極列１３７を構成している。複数の個別電極列１３７は圧力室列１１１ａ〜１１１ｄに対応する個別電極列１３７ａ〜１３７ｄに分けられている。各個別電極列１３７は、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の基端側（図１４における下方側）に形成された個別電極１３５と、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の先端側（図１４における上方側）に形成された個別電極１３５とを含んでおり、これらの補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の基端側又は先端側を向くように配列方向Ｅに沿って交互に配置されている。また、複数の個別電極１３５により、方向Ｇに沿って複数配列され互いに平行な複数の個別電極行１３８が形成されている。隣り合う２つの個別電極行１３８に属する個別電極１３５は互いに異なる個別電極列１３７に属している。また、行中の補助電極領域１３５ｂの配置方向により、２種類の個別電極行１３８がある。第１の個別電極行１３８ｂは、補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の先端側に形成された個別電極１３５の連続配置により構成されている。一方、第２の個別電極行１３８ａは、補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の基端側に形成された個別電極１３５により構成されたものである。そして、個別電極行１３８ａと個別電極行１３８ｂとは、配列方向Ｅに沿って２つずつ交互に配列されている。なお、各補助電極領域１３５ｂ（ランド部１３６）に対応して、ＦＰＣ１５０の端子１４６や配線４８が形成されることになるが、これにより、端子１４６の分布する全域で、端子間隔の広い部分が場所によらず確実にできるので、ＦＰＣ１５０における配線４８の幅や間隔に余裕が生まれる。
【００８１】
図１３に戻って最上層の圧電シート１４１とその下側の圧電シート１４２との間には、圧電シート１４１と同じ外形及び略２μｍの厚みを有する共通電極１３４が介在している。個別電極１３５及び共通電極１３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。共通電極１３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極１３４は、すべての圧力室１１０に対応する領域において等しく一定の電位、本実施の形態ではグランド電位に保たれている。
【００８２】
ＦＰＣ１５０は、図１３に示すように、上述したＦＰＣ５０とほぼ同じ構成を有しており、複数の配線４８と電気的に接続された端子１４６の配置形態だけが異なっている。これより、同様なものについては同符号で示し説明を省略する。ＦＰＣ１５０の複数の端子１４６は、個別電極１３５のランド部１３６に対向する位置に複数設けられており、各端子１４６がそれぞれ１つのランド部１３６と接合できるよう構成されている。また、各端子１４６は配線４８がＦＰＣ１５０の基端側及び先端側に向けて一方向（流路ユニット１０４の幅方向であって副走査方向）に引き出されている。このうち、ＦＰＣ１５０の基端側に引き出された配線４８によって各端子１４６が独立してドライバＩＣ７５に接続されている。これにより、圧力室１１０ごとに電位を制御することが可能となっている。なお、本実施の形態のＦＰＣ１５０においては、上述のＦＰＣ５０と同様に、ＦＰＣ１５０の端子１４６にランド部１３６と接続するための半田メッキを電解メッキで施すために、端子１４６から配線４８がＦＰＣ１５０の基端側及び先端側に向かって引き出されている。また、ＦＰＣ１５０の各端子１４６に半田メッキが施された後に、ＦＰＣ１５０のアクチュエータユニット１２１と対向する部分（ＦＰＣ１５０の複数の端子１４６が形成された領域）を残してＦＰＣ１５０の先端側部分が切断され、図１１に示すようなＦＰＣ１５０の形態となっている。
【００８３】
また、ＦＰＣ１５０の各端子１４６から引き出された複数の配線４８のうち、当該端子１４６から引き出された配線４８以外の配線４８が当該端子１４６の周辺領域を避けて配線非形成領域１３９を形成するように屈曲している。また、ＦＰＣ１５０の各端子１４６から引き出された配線４８は、端子１４６周辺領域に挟まれた領域においてほぼ等間隔に配設されている。
【００８４】
次に、アクチュエータユニット１２１の駆動方法について述べる。なお、上述したアクチュエータユニット２１とアクチュエータユニット１２１との構成がほぼ同様になっているので、その駆動方法についてもほぼ同様なものである。つまり、アクチュエータユニット１２１は、圧電シート１４１の分極方向がその厚み方向の、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。したがって、個別電極１３５を共通電極１３４に対して正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート１４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性部として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。
【００８５】
一方、圧電シート１４２〜１４４は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート１４１と下層の圧電シート１４２〜１４４との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート１４１〜１４４全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図１３に示したように、アクチュエータユニット１２１の下面は圧力室１１０を区画する隔壁（キャビティプレート１２２）の上面に固定されているので、結果的に圧電シート１４１〜１４４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル１０８からインクが吐出される。その後、個別電極１３５を共通電極１３４と同じ電位に戻すと、圧電シート１４１〜１４４は元の形状になって圧力室１１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド流路１０５側から吸い込む。
【００８６】
なお、他の駆動方法として、予め個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極１３５を共通電極１３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極１３５と共通電極１３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート１４１〜１４４が元の形状に戻ることにより、圧力室１１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクが圧力室１１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート１４１〜１４４が圧力室１１０側へ凸となるように変形し、圧力室１１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。こうして、ノズル１０８からインクが吐出され搬送されてきた用紙に対して所望画像が印刷される。
【００８７】
以上のようなインクジェットヘッド１００によると、アクチュエータユニット１２１の複数の個別電極１３５と電気的に接続されたＦＰＣ１５０の端子１４６から引き出された複数の配線４８の間隔を比較的大きな間隔にすることが可能になる。つまり、図１４に示すようにＦＰＣ１５０の基端側に最も近いアクチュエータユニット１２１の個別電極列１３７ｂでは、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の先端側にある個別電極１３５と、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の基端側にある個別電極１３５とが交互に存在している。そのため、上述のインクジェットヘッド１と同様にＦＰＣ１５０の基端に最も近い個別電極１３５に対応して形成されたＦＰＣ１５０の各端子１４６もその間隔を広くすることができる。すなわち、個別電極列１３７ｂにおいて、互いに隣接する３つの個別電極１３５を考えたときに、補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の基端側にある２つの個別電極１３５に挟まれた個別電極１３５の補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の先端側にあるので、配列方向Ｅにおいて隣接するランド部１３６間の距離が長くなるからである。したがって、ＦＰＣ１５０の作製のときに、ＦＰＣ１５０の端子１４６間隔も広くなって配線４８を引き出すための空間的余裕が生まれるので、その作製が容易になる。また、アクチュエータユニットのサイズを大きくすることで、個別電極１３５のランド部１３６の間隔を広げるとともに配線４８の間隔を広げる必要がなくなり、インクジェットヘッドのサイズの大型化も防ぐことができる。また、千鳥パターンで配置された圧力室１１０のそれぞれに対向する位置に個別電極１３５が配置されているので、圧力室１１０及び個別電極１３５を高密度に配列させることが可能になり、画像の高解像度化や圧力室の高密度化に容易に対応することができる。
【００８８】
また、インクジェットヘッド１００のアクチュエータユニット１２１に形成されたすべての個別電極列１３７において、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の先端側にある個別電極１３５と、補助電極領域１３５ｂが主電極領域１３５ａに対してＦＰＣ１５０の基端側にある個別電極１３５とが交互に存在し、さらに、補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の基端側にある個別電極１３５が方向Gに沿って連続して配置された個別電極行１３８ａと、補助電極領域１３５ｂがＦＰＣ１５０の先端側にある個別電極１３５が方向Ｇに沿って連続して配置された個別電極行１３８ｂとが、配列方向Ｅに沿って２つずつ交互に配列されているので、すべての個別電極１３５に対応して形成された端子１４６の各々に接続された配線４８の幅や間隔を全域に亘って均等に広くすることができる。したがって、高密度な配線にかかわらず、ＦＰＣ１５０の作製がさらに容易になる。さらに、高解像度化や高密度化に容易に対応することができるとともに、同様の効果を兼ね備えてインクジェットヘッドの長尺化にも対応することができる。また、複数の圧力室１１０で構成される圧力室群１０９の平面形状の自由度が増す。つまり、複数の個別電極１３５にそれぞれ対向する複数の圧力室１１０がなす圧力室群の形状がどのような平面形状になっていても、個別電極１３５がなすいずれの個別電極列においても、配列方向Ｅに沿って交互に補助電極領域１３５ｂが配置されておれば、補助電極領域１３５ｂのランド部１３６の間隔が広がるので、ＦＰＣ１５０の端子１４６間隔も広がり且つ端子１４６から引き出された配線４８の幅や間隔も広がる。また、各圧力室１１０が配列方向Ｅに千鳥状に配列することで、さらに高密度なインクジェットヘッドとなる。さらに、本実施の形態では、個別電極列の延在する方向に対して、ほぼ直交して配線４８が引き出されている。このことは、同じランド部１３６の同幅であっても、配線幅や配線間隔を狭めることなくより多くの配線４８を配設できることに寄与している。
【００８９】
本実施形態におけるすべての個別電極１３５は、アクチュエータユニット１２１毎に上述のような規則的な配置形態で配列されているが、図１２に示す２本の２点鎖線間である帯状領域Ｒ（すなわち、隣接したアクチュエータユニット１２１の方向Ｇにおいてオーバーラップする領域）では、個別電極１３５の補助電極領域１３５ｂが対応するＦＰＣ１５０の基端側又は先端側に向くように形成されていてもよい。つまり、帯状領域Ｒに存在する個別電極１３５の補助電極領域１３５ｂがすべて同方向を向き、互いに流路ユニット１０４の幅方向にオーバーラップしない領域にある補助電極領域１３５ｂが、ＦＰＣ１５０の先端又は基端側を向くように配列方向Ｅに沿って交互に配置されておれば、補助電極領域の間隔が広がり、ＦＰＣ１５０の端子の間隔も広がることになる。隣接した２つのアクチュエータユニット１２１に形成された複数の個別電極列１３７のうち、少なくとも各ＦＰＣ１５０の基端側に最も近い個別電極列１３７において、補助電極領域１３５ｂがそれぞれＦＰＣ１５０の先端側にある個別電極１３５と、基端側にある個別電極１３５とが混在されておれば、各圧力室群１０９の平面形状に制約（すなわち、流路ユニット１０４の幅方向に互いに圧力室群１０９がオーバーラップするような平面形状となる制約）が生じるものの、上述したような効果を得ることができる。
【００９０】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいてさまざまな設計変更が可能なものである。例えば、上述した実施の形態におけるインクジェットヘッド１，１００は圧電方式のアクチュエータユニットによって駆動され、インクがノズルから吐出されるが、ＦＰＣ５０，１５０から送られた信号によって各圧力室内のインクを加熱し、圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与する方式のインクジェットヘッドであっても適用可能である。つまり、ＦＰＣ５０，１５０の端子４６，１４６と接続される個別電極３５，１３５のランド部３６，１３６までは同じ構成とし、各圧力室に加熱体を設けて、各圧力室に対応する個別電極と加熱体とを接続しておれば、ＦＰＣからの信号によって加熱体を加熱することが可能となり、このようなインクジェットヘッドにも適用可能となる。
【００９１】
また、ＦＰＣ５０，１５０は、端子４６，１４６に対する半田メッキを施す上での利便性から、いずれの端子４６，１４６からもＦＰＣ５０，１５０の基端側及び先端側に配線４８が引き出されている構成としたが、基端側にだけ配線４８が引き出されているＦＰＣを用いてもよい。この場合、端子位置が、ＦＰＣの先端側から基端側に移るに従い、それから引き出される配線４８の数が次第に増える。つまり、配線４８の密度が、ＦＰＣの先端側から基端側に移るに従い高くなる。そこで、少なくとも基端側のアクチュエータユニットの領域だけでも、各実施の形態で示したような規則性を補助電極領域に対して付与することで、配線４８の数が増えても無理のない密度で各配線４８を配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図２】図１のII−II線における断面図である。
【図３】図２に示すヘッド本体に補強板が接着された状態を示す斜視図である。
【図４】ヘッド本体の平面図である。
【図５】図４内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図６】図５のVI−VI線における断面図である。
【図７】本発明の一実施形態によるインクジェットヘッドのアクチュエータユニットを示しており、（ａ）は図６における一点鎖線で囲まれた部分の拡大図であり、（ｂ）は個別電極の平面図である。
【図８】図８は、図４に示す２点鎖線で囲まれた領域を示す拡大図である。
【図９】本発明の他の実施形態によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図１０】図９のX−X線に沿った断面図である。
【図１１】ＦＰＣが接合されたヘッド本体の平面図である。
【図１２】図１１に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大平面図である。
【図１３】図１２に示すXIII−XIII線に沿った断面図である。
【図１４】図１２に示す一点鎖線で囲まれた領域を示す拡大図である。
【符号の説明】
【００９３】
１，１００  インクジェットヘッド
４，１０４  流路ユニット
４ａ，１０３ａ  インク供給口
８，１０８  ノズル
１０，１１０  圧力室
２１，１２１  アクチュエータユニット
３５，１３５  個別電極
３５ａ，１３５ａ  主電極領域
３５ｂ，１３５ｂ  補助電極領域
３７（３７ａ，３７ｂ，３７ｃ，３７ｄ），１３７（１３７ａ，１３７ｂ，１３７ｃ，１３７ｄ）  個別電極列
１３８（１３８ａ，１３８ｂ）  個別電極行
４６，１４６  端子
４８  配線
５０，１５０  ＦＰＣ（平型柔軟ケーブル）
【図１】
2005238839.tif 000003
【図２】
2005238839.tif 000004
【図３】
2005238839.tif 000005
【図４】
2005238839.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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