(57)【要約】【課題】  ハイパワーの半導体デバイスに対して安定した動作電流の供給を実現する。【解決手段】  半導体デバイス１０に対して動作信号の入出力を行う配線基板１と、半導体デバイス１０に動作電源を供給するための電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３とを、絶縁フィルム４を介して積層した構造の実装部材を備える。半導体デバイス１０には、配線基板１より入出力信号や微小な駆動電流を供給し、電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３より大電流の駆動主電流を供給する。【選択図】  図１
2005134337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスに対して動作信号の入出力を行う配線基板と、
前記半導体デバイスに動作電源を供給するための電源供給用導体板および接地用導体板とを、絶縁体を介して積層した構造を有し、
前記配線基板における動作信号の入出力用の電極パッドと、電源供給用導体板および接地用導体板における接続電極とを、同一の実装面内に半導体デバイスの電極レイアウトと一致するように配してなることを特徴とする半導体デバイスの実装部材。
【請求項２】
前記配線基板、電源供給用導体板および接地用導体板は、前記配線基板が最も実装面側に配置されており、
電源供給用導体板および接地用導体板は、前記配線基板を貫通するピン状導体を圧入され、該ピン状導体の端面が配線基板表面に位置することによって接続電極が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体デバイスの実装部材。
【請求項３】
半導体デバイスに対して動作信号の入出力を行う配線基板と、
前記半導体デバイスに動作電源を供給するための電源供給用導体板および接地用導体板とを、絶縁体を介して積層した構造を有し、
前記配線基板における動作信号の入出力用の電極パッドと、電源供給用導体板および接地用導体板における接続電極とを、同一の実装面内に半導体デバイスの電極レイアウトと一致するように配してなり、
前記実装面に半導体デバイスを接続していることを特徴とする半導体デバイスの実装構造。
【請求項４】
前記配線基板、電源供給用導体板および接地用導体板は、前記配線基板が最も実装面側に配置されており、
電源供給用導体板および接地用導体板は、前記配線基板を貫通するピン状導体を圧入され、該ピン状導体の端面が配線基板表面に位置することによって接続電極が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の半導体デバイスの実装構造。
【請求項５】
半導体デバイスに対して動作信号の入出力を行う配線基板と、前記半導体デバイスに動作電源を供給するための電源供給用導体板および接地用導体板とを、絶縁体を介して積層した構造を有し、
前記配線基板における動作信号の入出力用の電極パッドと、電源供給用導体板および接地用導体板における接続電極とを、同一の実装面内に半導体デバイスの電極レイアウトと一致するように配してなる実装部材と、
前記電源供給用導体板および接地用導体板を介して、前記実装部材に実装される半導体デバイスに動作電源を供給する電源供給手段とを備えていることを特徴とする半導体デバイスの駆動装置。
【請求項６】
前記配線基板、電源供給用導体板および接地用導体板は、前記配線基板が最も実装面側に配置されており、
電源供給用導体板および接地用導体板は、前記配線基板を貫通するピン状導体を圧入され、該ピン状導体の端面が配線基板表面に位置することによって接続電極が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の半導体デバイスの駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に半導体チップを搭載してなる半導体デバイスの駆動装置、特に、ハイパワーの半導体チップを搭載した消費電流の大きい半導体デバイスの駆動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
最近のＣＰＵ（Central Processing Unit）は、その演算処理能力の増大に伴う高集積化のため、動作電流が増大する傾向にある。また、高集積化されたＣＰＵでは、回路パターン等の微細化による絶縁性の低下から漏れ電流も増加の一途を辿り、これも、ＣＰＵにおける消費電流の増加の要因となっている。このため、近年では、デバイス駆動用電源として１００アンペアを越える大電流を消費するような半導体デバイスの開発も進んでいる。
【０００３】
また、半導体チップであるＣＰＵをデバイス基板上に搭載してなる半導体デバイスは、実装基板上にＢＧＡ（Ball Grid Array）やＬＧＡ（Land Grid Array）と呼ばれるパッケージスタイルにて実装することが一般的に行われている。
【０００４】
ＢＧＡやＬＧＡにて実装される半導体デバイスは、デバイス基板における裏面側（実装基板との対向面側）に、マトリクス状に配された多数の電極パッドを有しており、これらの電極パッドが該半導体デバイスの駆動装置側に備えられた実装基板上の所定の電極パッドと接続されることにより、動作電源の供給、ＧＮＤとの接続、処理信号の入出力が可能となる。
【０００５】
従来では、上記実装基板として単層もしくは多層のプリント基板が用いられており、該プリント基板の配線層において、動作電源用、ＧＮＤ用、および信号入出力用の配線および電極パッドが形成される。
【０００６】
しかしながら、プリント基板の同一の配線層において、動作電源用、ＧＮＤ用、および信号入出力用の各種配線および電極パッドを形成する構成では、消費電流の大きい半導体デバイス（ハイパワーデバイス）に対して、その配線層の導体厚（銅箔）が３０〜７５μｍと薄いことにより、動作電源のための大電流を供給できなくなるといった問題がある。すなわち、駆動電流に見合う導体断面積が得られず、導体抵抗に対し電流値の２乗に比例して増大する電力損失のため、プリント基板自体が発熱したり、半導体デバイスの動作状態の変化による消費電流の変化に高速に追従できない等の問題が生じている。
【０００７】
ハイパワーデバイスに対して大電流を供給するためには、実装基板となるプリント基板を多層化し、複数層を電源供給用およびＧＮＤ用に専用使用することが考えられる。また、特許文献１には、信号配線層と電源供給層とをそれぞれ別のプリント基板に分割し、電源供給層を含むプリント基板の導体厚を厚くした実装構造が記載されている。
【特許文献１】特開平４−１１８９８４号（公開日平成４年４月２０日）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来のハイパワーデバイスは、その集積度が低く、駆動電源として供給される電流も最大でも３０アンペア程度であった。この程度の電流供給を行う場合では、上記従来の構成のように、デバイスを装着する実装基板（プリント基板）を多層化し、複数層を電源供給用およびＧＮＤ用に専用使用することなどで対処することが可能であった。しかしながら、近年開発が進んでいる１００アンペアを越える大電流を消費するような半導体デバイスでは、上記従来の構成ではやはり電流供給が困難であるといった問題が生じる。
【０００９】
すなわち、１００アンペアを越える大電流を半導体デバイスに供給しようとする場合、プリント基板の導体では、その厚さが最大でも７０μｍと薄いため電力損失が大きくなり、プリント基板の発熱等の問題が解消できない。また、電源供給層をさらに多層化して電流供給の問題を解決しようとすると、プリント基板のコストが著しく増大する。
【００１０】
また、上述のようなハイパワーデバイスでは、消費電力や漏れ電流低減のため動作電圧が低電圧化してきており、導体の抵抗損失によって生じる半導体デバイスへの供給電圧の電圧降下が許容できなくなっている。
【００１１】
さらには、半導体デバイスは、その出荷前に良品・不良品の判別試験に加えて、初期不良を発見するためのバーンインと呼ばれる試験が実施される。バーンインでは、半導体デバイスに通常使用時よりも大きい負荷を与えて試験が実施されるため、その供給電流も通常使用時よりも大きくなる。このため、バーンイン装置において、半導体デバイスに対して動作電流を供給するための駆動装置では、電圧効果補償のため直流電源装置が大型化したり、発熱の冷却装置が大型化する等、バーンイン装置に与える影響が多大となる。
【００１２】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、動作電流が１００アンペアを越えるようなハイパワーの半導体デバイスに対して安定した動作電流の供給を可能とする半導体デバイスの駆動装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る半導体デバイスの実装部材は、上記課題を解決するために、半導体デバイスに対して動作信号の入出力を行う配線基板と、前記半導体デバイスに動作電源を供給するための電源供給用導体板および接地用導体板とを、絶縁体を介して積層した構造を有し、前記配線基板における動作信号の入出力用の電極パッドと、電源供給用導体板および接地用導体板における接続電極とを、同一の実装面内に半導体デバイスの電極レイアウトと一致するように配してなることを特徴としている。
【００１４】
また、上記半導体デバイスの実装部材は、前記配線基板、電源供給用導体板および接地用導体板は、前記配線基板が最も実装面側に配置されており、電源供給用導体板および接地用導体板は、前記配線基板を貫通するピン状導体を圧入され、該ピン状導体の端面が配線基板表面に位置することによって接続電極が形成されていることを特徴としている。
【００１５】
本発明に係る半導体デバイスの実装構造は、上記課題を解決するために、半導体デバイスに対して動作信号の入出力を行う配線基板と、前記半導体デバイスに動作電源を供給するための電源供給用導体板および接地用導体板とを、絶縁体を介して積層した構造を有し、前記配線基板における動作信号の入出力用の電極パッドと、電源供給用導体板および接地用導体板における接続電極とを、同一の実装面内に半導体デバイスの電極レイアウトと一致するように配してなり、前記実装面に半導体デバイスを接続していることを特徴としている。
【００１６】
本発明に係る半導体デバイスの実装構造は、上記課題を解決するために、半導体デバイスに対して動作信号の入出力を行う配線基板と、前記半導体デバイスに動作電源を供給するための電源供給用導体板および接地用導体板とを、絶縁体を介して積層した構造を有し、前記配線基板における動作信号の入出力用の電極パッドと、電源供給用導体板および接地用導体板における接続電極とを、同一の実装面内に半導体デバイスの電極レイアウトと一致するように配してなる実装部材と、前記電源供給用導体板および接地用導体板を介して、前記実装部材に実装される半導体デバイスに動作電源を供給する電源供給手段とを備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る半導体デバイスの実装部材は、以上のように、半導体デバイスに対して動作信号の入出力を行う配線基板と、前記半導体デバイスに動作電源を供給するための電源供給用導体板および接地用導体板とを、絶縁体を介して積層した構造を有し、前記配線基板における動作信号の入出力用の電極パッドと、電源供給用導体板および接地用導体板における接続電極とを、同一の実装面内に半導体デバイスの電極レイアウトと一致するように配してなる構成である。
【００１８】
上記構成の実装部材を用いることにより、半導体デバイスは、配線基板より入出力信号を（さらに微小な駆動電流をも）受け、電源供給用導体板および接地用導体板から大電流の駆動主電流を受けて駆動される。
【００１９】
半導体デバイスに動作電源を供給するための電源供給用導体板および接地用導体板は、配線基板の配線層を用いず、板厚の大きい導体板（例えば厚さ１ｍｍ程度の銅板）を用いることで従来に比べて極めて大きな導体断面積を確保でき、それゆえ、供給される電流が大きなものとなっても、導体の抵抗損失を最小限にできると共に、動作状態の変化による消費電流の変化にも高速に追従でき、安定した電源供給を行うことができるといった効果を奏する。
【００２０】
また、上記半導体デバイスの実装部材では、前記配線基板、電源供給用導体板および接地用導体板は、前記配線基板が最も実装面側に配置されており、電源供給用導体板および接地用導体板は、前記配線基板を貫通するピン状導体を圧入され、該ピン状導体の端面が配線基板表面に位置することによって接続電極が形成されている。
【００２１】
それゆえ、電源供給用導体板および接地用導体板を半導体デバイスと接続するための接続電極を実装面まで引き出すための構造を容易に実現できるといった効果を奏する。
【００２２】
尚、上記構成において、電源供給用導体板および接地用導体板のうち実装面から遠い側の導体板に圧入されるピン状導体は、他方の導体板を貫通する必要があるが、該ピン状導体が貫通する導体板に対して絶縁される構成となる。この構成は、例えば、ピン状導体が貫通する導体板において絶縁隙間となる貫通穴を設けておくことで容易に実現できる。また、電源供給用導体板および接地用導体板に設けられるピン状導体は、配線基板の配線層導体とも接触しないように配置されることは明らかである。
【００２３】
本発明に係る半導体デバイスの実装構造および駆動装置は、上記構成の実装部材を備えることにより同様の効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の一実施形態について図１ないし図４に基づいて説明すると以下の通りである。本実施の形態では、本発明をバーンイン装置に適用した場合を例にとって説明を行う。すなわち、以下の説明におけるバーンイン装置も本発明に係る半導体デバイスの駆動装置の一形態と見なされるものである。
【００２５】
先ず、半導体デバイスの構成を図２（ａ），（ｂ）を参照して説明する。半導体デバイス１０は、図２（ａ）に示すように、半導体チップ１０１をデバイス基板１０２上に搭載してなる構成である。また、デバイス基板１０２の裏面側（半導体チップ１０１の搭載面と反対側）には、マトリクス状に配置された多数の電極パッド１０３が形成され、デバイス基板１０２のおもて面側（半導体チップ１０１の搭載側）のプリント配線と接続されている。
【００２６】
なお、デバイス基板１０２の裏面の電極パッド１０３は、バーンイン時にその全てが用いられるものとは限らない。例えば、電源供給用に約１００個、ＧＮＤ用に約１００個、信号入出力用に約１００個程度である。
【００２７】
次に、上記導体デバイス１０に対してバーンインを実施するバーンイン装置について、図１を参照して説明する。
【００２８】
上記バーンイン装置では、半導体デバイス１０に動作電流を供給したり、信号の入出力を行ったりするための実装基板に代わる構成として、バーンイン基板１、電源供給用導体板２、およびＧＮＤ用導体板３を供えている。
【００２９】
上記バーンイン基板１は、半導体デバイス１０に供給する動作信号や一部の微小電流の電源を伝達する回路、半導体デバイス１０の動作状態を監視するモニタ回路等を有したプリント基板である。
【００３０】
電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３は、半導体デバイス１０に動作電源（動作動電圧ＶＤＤおよび接地電圧ＧＮＤ）を供給するための専用の２枚の導体板（例えば銅板）である。電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３は、半導体デバイス１０がハイパワーデバイスであり供給される動作電流が大電流であることから、導体抵抗を低くして抵抗損失を抑制するために、板厚の大きな導体板（０．６ｍｍ〜２．０ｍｍ程度）として具備される。
【００３１】
バーンイン基板１、電源供給用導体板２、ＧＮＤ用導体板３は、それぞれの間に絶縁性フィルム（あるいは絶縁板）４を介して積層配置される。この場合の積層順序は特に限定されるものではないが、他の電源（ＶＤＤ２、ＶＤＤ３といった）のＧＮＤを共通化する場合、電源供給用導体板２の電流よりさらに大きな電流がＧＮＤ用導体板３に流れるため、電源供給用導体板２よりＧＮＤ用導体板３を厚くする必要性があることを考慮すると、半導体デバイス１０との接続の容易性からバーンイン基板１を最上層（半導体デバイス１０に最も近い層）、次層に電源供給用導体板２、最下層にＧＮＤ用導体板３とすることが好ましい。こうすすることで、下層の導体板から出るピン状導体を長くしなくてよい。図１では、電源供給用導体板２を２番目の層、ＧＮＤ用導体板３を３番目の層（最下層）としている。
【００３２】
電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３には、図３（ａ），（ｂ）に示すように、半導体デバイス１０のＶＤＤとＧＮＤの電極レイアウトと一致する位置に多数のピン状導体２１，３１が圧入配設されている（尚、同図においてピン状導体の本数は簡略化されている）。ピン状導体２１，３１は、その先端が最上層のバーンイン基板１表面と同一面になるような長さを有し、圧入部分は導体板２，３の厚さを越えないようになっている。また、電源供給用導体板２には、ＧＮＤ用導体板３におけるピン状導体３１と一致する位置にピン状導体３１よりも大きな径を有する貫通孔２２が形成されている。貫通孔２２は、電源供給用導体板２とＧＮＤ用導体板３とを積層した際に、電源供給用導体板２とピン状導体３１とを非接触として、その間の絶縁性を確保する絶縁隙間となる。
【００３３】
電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３におけるピン状導体２１，３１の圧入は、電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３にエッチングにて微細孔をあけ、該微細孔にピン状導体２１，３１を圧入する方法が好適である。
【００３４】
さらに、上記ピン状導体２１，３１は、最上層にあるバーンイン基板１を貫通して、その先端がバーンイン基板１表面と同一面に露出している。この時、バーンイン基板１自体は絶縁性基板であるため、ピン状導体２１，３１の貫通部分に絶縁隙間を設ける必要がない。つまり、バーンイン基板１では、ピン状導体２１，３１と対応する箇所にピン状導体２１，３１を貫通させるための適度な大きな孔（孔の内壁がピン状導体２１，３１と接触するような大きさでもよい）があればよく、該孔の周囲においてバーンイン基板１表面に配置される他の電極となる充電導体が露出しないよう配線層がパターニングされていればよい。すなわち、ピン状導体２１，３１は、バーンイン基板１における配線層との絶縁性が確保されていればよい。
【００３５】
バーンイン基板１、電源供給用導体板２、ＧＮＤ用導体板３、および絶縁性フィルム４は、それぞれにおいて積層時の位置決め基準孔（電源供給用導体板２、ＧＮＤ用導体板３では位置決め基準孔２３，３２：図３（ａ），（ｂ）参照）を有しており、これらの位置決め基準孔に絶縁性の位置決めピン５を貫通させることによって基板面内方向の位置決めが正確になされる。
【００３６】
また、電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３は、バーンイン基板１と位置決めして積層した際、その一端が他の導体板の一端と積層方向において重ならないように突出した部分を有する。この突出部分には電源接続用孔２４およびＧＮＤ接続用孔３３が設けられており、バーンイン装置に備えられた電源接続部８１あるいはＧＮＤ接続部８２と接続される。
【００３７】
次に、バーンイン装置に半導体デバイス１０を接続するための構成について説明する。本実施の形態に係るバーンイン装置では、該バーンイン装置に対する半導体デバイス１０の電気的接続を介助するためにソケット６が使用される。先ずは、このソケット６の構成を図４（ａ），（ｂ）を参照して説明する。
【００３８】
ソケット６は、図４（ｂ）に示すように、大別して上枠部６１と下台部６２とから構成されている。上枠部６１は、ソケット６をバーンイン装置に固定すると共に、バーンインを実施する半導体デバイス１０をセットするための部材であり、その上面には半導体デバイス１０と同じのサイズの枠となるデバイス枠部６３が設けられている。
【００３９】
また、下台部６２は、半導体デバイス１０を載置するためのデバイス載置台６４が基台部６５に対して間にバネ６６を介してフローティング状に取り付けられた構成となっている。さらに、下台部６２では、デバイス載置台６４および基台部６５を双方向伸縮性のあるコンタクトピン６７が貫通している。コンタクトピン６７は、図４（ａ）に示すように、半導体デバイス１０の下面における電極パッド１０３と同ピッチのマトリクス状に配置されている。
【００４０】
尚、図４（ａ）に示すように、上記コンタクトピン６７がマトリクス状に設けられているソケット６では、該ソケット６は半導体デバイス１０の電極レイアウトに関わらず使用が可能な汎用のものとなる。しかしながら、上記コンタクトピン６７は、半導体デバイス１０の電極レイアウトに一致させて必要な箇所のみに配置することも可能である。この場合、そのようなソケット６は、半導体デバイス１０の電極レイアウトに合わせて製作されるものとなるが、コンタクトピン６７の使用本数を減らすことができ、ソケット６の製造コストを下げることができる。
【００４１】
次に、半導体デバイス１０にバーンインを実施する際の取り付け形態を、再度図１を参照して説明する。
【００４２】
バーンイン装置の補強台８３上に、ソケット６、バーンイン基板１、電源供給用導体板２、ＧＮＤ用導体板３が、上からこの順序で載置され、これらがボルト８４にてバーンイン装置に対し固定される。上記補強台８３は、撓みを生じないよう剛性の高い金属台とすることが好ましく、その場合、ＧＮＤ用導体板３と補強台８３との間には絶縁性フィルム４が介される。電源供給用導体板２、ＧＮＤ用導体板３は、電源接続部８１あるいはＧＮＤ接続部８２と接続される。
【００４３】
またこの時、バーンイン基板１、電源供給用導体板２、ＧＮＤ用導体板３は位置決めピン５によって位置合わせされているが、これらの部材に対してさらにソケット６の位置合わせも必要となる。このため、ソケット６では、基台部６５の下面に位置決め突起６８が設けられており、この位置決め突起６８をバーンイン基板１に設けられた位置決め孔１１と嵌合させることによってソケット６がバーンイン基板１に対して位置決めされる。
【００４４】
バーンインが実施される半導体デバイス１０は、ソケット６のデバイス載置台６４に載置され、このときデバイス枠部６３内にはめ込まれることによってソケット６に対して位置決めされる。載置された半導体デバイス１０は、図示しない押圧機構によって下方に押圧される。この押圧力によって、デバイス載置台６４が下降し、半導体デバイス１０の下面の電極パッド１０３がコンタクトピン６７の上端と接する。
【００４５】
上記半導体デバイス１０において、信号入出力用の電極パッド１０３はコンタクトピン６７Ａによってバーンイン基板１表面の電極パッド（図示せず）と接触する。電流供給用の電極パッド１０３はコンタクトピン６７Ｂによって電源供給用導体板２に圧入されたピン状導体２１と接触する。そして、ＧＮＤ接続用の電極パッド１０３はコンタクトピン６７ＣによってＧＮＤ用導体板３に圧入されたピン状導体３１と接触する。
【００４６】
上記構成のバーンイン装置により、半導体デバイス１０は、バーンイン基板１より入出力信号や微小な駆動電流を受け、電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３から大電流の駆動主電流を受けて駆動される。電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３では、プリント基板の配線層を用いず、板厚の大きい導体板（例えば厚さ１ｍｍ程度の銅板）を用いることで従来に比べて極めて大きな導体断面積を確保でき、供給される電流が大きなものとなっても、導体の抵抗損失を最小限にできると共に、動作状態の変化による消費電流の変化にも高速に追従でき、安定した電源供給を行うことができる。
【００４７】
また、上記電源供給用導体板２およびＧＮＤ用導体板３は、その板厚が自由に設定できるものであり、今後の更なる開発によって、さらに大電流かつ低電圧のデバイスが開発されたとしても板厚を大きくすることで（あるいは導体板の層数を増やすことで）容易に対応できる。また、本発明をバーンイン装置に適用した場合、該バーンイン装置において直流電源装置や冷却装置の小型化を図ることができる。
【００４８】
尚、上記説明では本発明をバーンイン装置に適用した場合を例示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、通常の装置において本発明を適用することも可能である。すなわち、半導体デバイスの駆動装置における実装基板に、上記バーンイン基板に相当するプリント基板、電源供給用導体板、およびＧＮＤ用導体板からなる構成を利用し、半導体デバイスの実装にはソケットではなくＢＧＡ（Ball Grid Array）やＬＧＡ（Land Grid Array）等を用いた実装構造とすることも可能である。また、通常の装置において本発明を適用する場合に半導体デバイスの実装にソケットを用いることも可能である。
【００４９】
また、上記説明では、バーンイン基板１、電源供給用導体板２、ＧＮＤ用導体板３からなる実装部材に対して、一つの半導体デバイス１０を取り付けた構成を例示しているが、これはあくまで例示に過ぎず、実装される半導体デバイス１０の数は特に限定されない。バーンイン装置では、複数の半導体デバイス１０に対して同時にバーンインを実施できるように、複数の半導体デバイス１０を実装可能とすることが好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
動作電流が１００Ａを越えるようなハイパワーの半導体デバイスに安定して動作電流を供給することができ、半導体デバイスの駆動装置や半導体デバイスのバーンイン装置等の用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施形態を示すものであり、バーンイン装置の要部構成を示す断面図である。
【図２】半導体デバイスの構成を示す図であり、図２（ａ）は側面図、図２（ｂ）は底面図である。
【図３】図３（ａ）は電源供給用導体板の平面図、図３（ｂ）はＧＮＤ用導体板の平面図である。
【図４】上記バーンイン装置に用いられるソケットの構成を示す図であり、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は側面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１        バーンイン基板（配線基板）
２        電源供給用導体板
３        ＧＮＤ用導体板（接地用導体板）
４        絶縁フィルム（絶縁体）
１０        半導体デバイス
２１・３１  ピン状導体
８１        電源接続部（電源供給手段）
８２        ＧＮＤ接続部（電源供給手段）
【図１】
2005134337.tif 000003
【図２】
2005134337.tif 000004
【図３】
2005134337.tif 000005
【図４】
2005134337.tif 000006