(57)【要約】【課題】清浄環境内外の受け渡しの際に、物自体を乾燥させること無く、物がウエット状態を維持したパスボックスを提供する。【解決手段】課題を解決するために本発明は、清浄環境度が異なる環境内外を直接連通させることができない２つの環境空間の間を隔絶する壁を貫通して設けたパスボックスにおいて、該パスボックスの前記各空間に面した部分に、夫々、物品の投入口と、該パスボックスの内部には水を蓄えることのできる水槽を配置し、該水槽の中を通して２つの環境空間の間で物の出し入れ作業を行うことで課題を解決する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
清浄環境度が異なる環境内外を直接連通させることができない２つの環境空間の間を隔絶する壁を貫通して設けたパスボックスにおいて、
該パスボックスの前記各空間に面した部分に、夫々、物品の投入口と、該パスボックスの内部には水を蓄えることのできる水槽を配置し、該パスボックスの内部には仕切板が水中まで配置され、該水槽の中を通して２つの環境空間の間で物の出し入れ作業を行うことを特徴とするパスボックス。
【請求項２】
請求項１記載の該水槽の中には、メッシュ状の受け容器を配置し、該受け容器が移動することで、２つの環境空間の間で物を移動させることを特徴とするパスボックス。
【請求項３】
請求項１記載のパスボックス内部には、超音波洗浄機能を有したことを特徴とするパスボックス。
【請求項４】
請求項１記載のパスボックスの内部に貯める水は、室内から室外に水の流れを発生する水系が採られており、水の出口である室内側にはフィルタを設置しポンプにより水流を起こし、水の吸い込み口は水槽の下方にあり、水の供給口は水槽の上方にあることを特徴とするパスボックス。
【請求項５】
請求項１記載のパスボックス内を通過させる物は、光学部品や圧電部品であることを特徴とするパスボックス。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、清浄環境度が異なる環境内外で、物自体を乾燥させること無く、物がウエット状態を維持しながら、直接連通させることができない２つの環境空間の間で物の受け渡しを実現するパスボックスに関する。
【０００２】
【従来の技術】
室内空気の清浄度が所定のレベルに維持されているクリーンルームでは、作業者の入退室は汚染源の侵入や発塵の原因となり、物の持ち込みによる汚染を阻止し、あるいはそれを防止するために無塵衣を着用したり、エアーシャワーを浴びる等の手続を要するため、作業効率の点からも極力クリーンルームへの入退出を避ける必要がある。そこで、クリーンルームの内外で作業者に入退室を伴わずに物品のみの受け渡しが出来るように、室内外を隔絶する壁面を貫通してパスボックスを設けることが一般的に知られている。
【０００３】
また、一般にパスボックスとは、直接連通させることができない２つの環境空間の間で物の受け渡しを主眼にしたものであることから、最低２つの環境にひとつづつの投入口、取出口を設けておけば、各々の環境での投入口、取出口の開閉の時間をずらすことで、直接２つの空間環境をパスボックスを介して連結することができ、物の受け渡しを実現するものである。従って、パスボックスの内部は隔離された空間を得ることで、バスボックス本来の目的は果たされるものである。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−８１２３６
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、今日は半導体ウエハやＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭをはじめとする洗浄（クリーン）環境で電子部品や精密部品、あるいは、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭなどその製造過程で微細のほこりや塵を嫌う製品が多く出回っている。当然のことながら、これらの製品はクリーンルームと称する室内環境でゴミ、塵、汚染、汚れ、シミと言った一般的にはコンタミネーションと呼ばれる微細なほこりなど、製品に付着して性能や機能を悪化させる原因を排除した洗浄環境の中で製品が製造、加工されているのが現状である。
【０００６】
一方半導体ウエハには属するものでは無いにしても、洗浄環境の中で製造や加工を必要とする電子部品のひとつに、水晶を材料とした振動子や弾性表面波素子、あるいは最近ではデジタルスチルカメラ、デジタルビデオ、カメラ付き携帯電話などに搭載するレンズモジュール部品を構成する光学用フィルタ部品などもある。
【０００７】
ここでレンズモジュール部品を構成する光学用フィルタ部品に着目すると、光学用フィルタ部品は、水晶の材料を基板とし光学用フィルタとしての機能を最大限に発揮させるために、光学用フィルタの光を通過させる主面に偏光効果をもった表面処理加工を行うなど、化学薬品による表面コーティング処理が必要となる。
【０００８】
このようなフィルタ部品の場合には、上述するコンタミネーションは半導体ウエハの製造工程にも匹敵する洗浄環境を必要とし、各加工工程間での製品の受け渡し時も非常に神経を使う作業となる。そして、コンタミネーションの抑制策や防止策としてはコンタミネーションの付着を防ぐ製品の扱いで、各製造工程の前後で行う簡易な洗浄（予備洗浄）から、最終的な仕上げ洗浄（精密洗浄）に至るまで、製品を乾燥させないことで、外的なコンタミネーションを抑制することも知られている。
【０００９】
前述の一連の背景から、コンタミネーションを防ぎ絶えず製品表面を洗浄状態に保ちながら、製造工程を通過させるためには、従来から知られるパスボックスでは、パスボックス内が大気環境の従来品では非常に作業性が悪いという現状がある。そして、工程ごとで度々洗浄環境の内外を製品が往来することから、工程の移動間でも、できるだけのコンタミネーションの抑制が要求される現状と課題がある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
そこで従来の課題を解決するために本発明は、清浄環境度が異なる環境内外を直接連通させることができない２つの環境空間の間を隔絶する壁を貫通して設けたパスボックスにおいて、該パスボックスの前記各空間に面した部分に、夫々、物品の投入口と、該パスボックスの内部には水を蓄えることのできる水槽を配置し、該パスボックスの内部には仕切板が水中まで配置され、該水槽の中を通して２つの環境空間の間で物の出し入れ作業を行うことを特徴とするパスボックスである。
【００１１】
そして、前述のパスボックス内の水槽の中には、メッシュ状の受け容器を配置し、該受け容器が移動することで、２つの環境空間の間で物を移動させることでより作業性を上げることができ、また、パスボックスを通過させるごとに超音波洗浄処理ができるように超音波洗浄機能を有することで、総合的にコンタミネーションの防止に効果を発揮するものである。
【００１２】
要するに本発明では、パスボックス内を通過させる製品として、光学部品を例として挙げた場合に、光学部品表面に付着するコンタミネーションの防止と抑制効果を上げるために、清浄環境度が異なる環境内外を直接連通させることができない２つの環境空間の間を隔絶する壁を貫通して設けたパスボックスの内部に水槽を配置し、該パスボックスの内部には仕切板が水中まで配置され、その水槽内部をメッシュ状の受け容器を配置し、このメッシュ状の受け容器を清浄環境度が異なる環境内外の一方から他方に移動させることで、一貫して製品の表面に水分を付着することで、従来に挙げる課題のコンタミネーションを防止して清浄環境度が異なる環境内外をパスボックスを介して受け渡することができる。
【００１３】
そして、パスボックスの内部に貯める水は、室内から室外に水の流れを発生する水系が採られており、水の出口である室内側にはフィルタを設置しポンプにより水流を起こし、水の吸い込み口は水槽３の下方にあり、水の供給口は水槽の上方に配置することでコンタミネーションの解消に対してもより効果を発揮するパスボックスにより従来の課題を解決する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従ってこの発明の実施例を説明する。なお、各図において同一の符号は同様の対象を示すものとする。
図１に本発明のパスボックスの一実施形態を示す。図１において、パスボックス１は、クリーンルームの室内と室外とを隔絶する壁を貫通して設けたボックス１本体の室内に面した部分と室外に面した部分とに、夫々、投入口（取出口）２を設けている。
【００１５】
ボックス１本体は一般的な形状で、一例を挙げるとＡ３版程度（６００ミリ×３００ミリ）の書類が投入口２、取出口２から出し入れできる程度の扉６と、ボックス１内部ではこれらの書類が十分に移動、取り扱いができる程度の容積があれば足りる。また、投入口２や取出口２の壁面からの張出しなども極力抑えられているのが好ましい。そしてボックス１の材質については、ボックス１内部で水を扱うため防錆効果を持つ金属材料や樹脂材料などが好ましい。
【００１６】
ところで、本発明の特徴であるが、清浄環境度が異なる環境内外を直接連通させることができない２つの環境空間の間を隔絶する壁を貫通して設けたパスボックス１において、該パスボックス１の前記各空間に面した部分に、夫々、物品の投入口２と、該パスボックス１本体の内部には水を蓄えることのできる水槽３を配置し、該パスボックスの内部には仕切板５が水中まで配置され、該水槽３の中を通して２つの環境空間の間で物の出し入れ作業を行うことを特徴とするパスボックスである。
【００１７】
また、室内側と室外側との大気環境の違いを遮断するために、パスボックス１のほぼ中間には、水中に達する仕切板５が設けられている。仕切板５により大気（空気）の循環を無くすことで、よりコンタミネーションが室外から室内へ流れなくする構造にもなっている。ここで仕切板５の材質はパスボックス１本体と同じで十分である。
【００１８】
そして、前述のパスボックス１内の水槽３の中には、メッシュ状の受け容器４を配置し、該受け容器４が移動することで、２つの環境空間の間で物を移動させることでより作業性を上げることができ、また、パスボックス１内部を通過させるごとに超音波洗浄処理ができるように超音波洗浄機能を有することで、総合的にコンタミネーションの防止に効果を発揮するものである。
【００１９】
図２に示すのは、本発明の実施例の一例としてパスボックス１内を通過させる製品に光学部品を例として挙げた場合に、光学部品表面に付着するコンタミネーションの防止と抑制効果を上げることが目的で、清浄環境度が異なる環境内外を直接連通させることができない２つの環境空間の間を隔絶する壁を貫通して設けたパスボックス１の内部に水槽３を配置するものである。
【００２０】
実際の作業性を考慮すると図３に示すように、その水槽３内部にメッシュ状の受け容器４を配置し、このメッシュ状の受け容器４を清浄環境度が異なる環境内外の一方から他方に移動させることで、一貫して製品の表面に水分を付着することができ、従来に挙げる課題のコンタミネーションを防止して清浄環境度が異なる環境内外をパスボックス１を介して受け渡することができる。図３（ａ）はパスボックス１への投入と取出時の概念図であり、同時に超音波洗浄効果を付加することでパスボックス１を通過させるときのコンタミネーションの改善を行う流れを示すものである。
【００２１】
そして、図３（ｂ）はパスボックス１内部の受け容器４を中心としたパスボックス１を通過するときの概念を示した図である。ここで、本発明の特徴でもあるパスボックス１の内部に貯める水は、室内から室外に水の流れを発生する水系が採られており、水の出口である室内側にはフィルタ（Ｆ）を設置しポンプ（Ｐ）により水流を起こすものである。ここで、水の吸い込み口（Ａ）は水槽３の下方にあり、水の供給口（Ｂ）は水槽の上方にすることで、水槽３内の水とその水流に対しても極力コンタミネーションの要因が混在しない工夫が施されている。
【００２２】
また、単に製品の受け渡しとしてのパスボックス１の利用に留まらず、パスボックス１内部を通過させるごとに超音波洗浄処理ができるように超音波洗浄機能を有する構造を付加することで、総合的にコンタミネーションの防止効果を得ることができる。なお、本実施例では光学部品を中心に記述しているが、圧電部品などコンタミネーションに対して慎重な取り扱いを要する材料についても大きな効果を奏するものである。
【００２３】
【発明の効果】
本発明のパスボックスは、特にコンタミネーションの改善を意図した工夫が採り入れらたもので、空気清浄度が異なるために直接連通させることができない２空間の間を隔絶する壁を貫通して設けたパスボックスの機能と性能を高めたものである。本発明により容易にコンタミネーションの課題を解消し、特に塵埃の取り込みを大幅に解消することができ、生産性と製品の品質を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のパスボックスを示す概念図である。
【図２】本発明のパスボックスの詳細を説明する概念図である。
【図３】本発明のパスボックスで作業性を考慮し受け容器によりバスボックス内部の製品の投入／取出をし、超音波洗浄効果への考慮と、水流に関する概念を説明した概念図である。
【符号の説明】
１      パスボックス
２      投入口／取出口
３      水槽
４      受け容器
５      仕切板
【図１】
2005024128.tif 000003
【図２】
2005024128.tif 000004
【図３】
2005024128.tif 000005