(57)【要約】【解決課題】  ベアリング機構のスライダの部分に駆動機構を一体に設けるようにした構造を提供する。【解決手段】  スパイラル状の溝が形成された軸１００と、この軸に遊嵌されたナットを持つスライダ１０４と、スライダと溝との間に介在された複数の転動体１０８と、を備えてなるスパイラルベアリング駆動装置である。スライダはモータを備え、このモータのロータ１１２にナットが一体に形成されてなる。モータは、第１の磁性体と、第２の磁性体と、この磁性体間に配置され、第１及び第２の磁性体に対して所定方向に相対的に移動可能な第３の磁性体と、から構成され、第１の磁性体及び第２の磁性体のそれぞれは、励磁可能な複数の電磁コイルを順番に配置し、第３の磁性体は、着磁された永久磁石を順番に配置してなる構成を備えている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパイラル状の溝が形成された軸と、この軸に遊嵌されたナットを持つスライダと、スライダと前記溝との間に介在された複数の転動体と、を備えてなるスパイラルベアリング駆動装置において、前記スライダはモータを備え、このモータのロータに前記ナットが一体に形成されてなるスパイラルベアリング駆動装置。
【請求項２】
前記モータが、第１の磁性体と、第２の磁性体と、この磁性体間に配置され、前記第１及び第２の磁性体に対して所定方向に相対的に移動可能な第３の磁性体と、から構成され、
前記第１の磁性体及び第２の磁性体のそれぞれは、励磁可能な複数の電磁コイルを順番に配置してなる構成を備えており、
前記第３の磁性体は、着磁された永久磁石を順番に配置してなる構成を備えており、前記第１の磁性体と前記第２の磁性体は、第１の磁性体の電磁コイルと第２の磁性体の電磁コイルとが互いに配列ピッチ差を持つように配置された構成を備え、
かつ、前記ロータが前記第３の磁性体から構成され、当該第３の磁性体に前記羽根構造が一体に形成されてなる請求項１記載のスパイラルベアリング駆動装置。
【請求項３】
前記第１又は／及び第２磁性体の電磁コイルに励磁電流を供給する励磁回路手段を設けて成る請求項２記載のスパイラルベアリング駆動装置。
【請求項４】
前記励磁回路手段は、前記第１及び第２磁性体の電磁コイルを、それぞれの磁性体側で同極側に切り替える信号を前記第１又は／及び第２の磁性体に供給する請求項３記載のスパイラルベアリング駆動装置。
【請求項５】
前記回路手段は、前記第１の磁性体の電磁コイルと前記第２の磁性体の電磁コイルにそれぞれ位相の異なった周波数信号を供給するように構成されてなる請求項４記載のスパイラルベアリング駆動装置。
【請求項６】
前記第１磁性体、第２磁性体、及び第３磁性体のそれぞれを円弧状に形成してなる請求項２乃至５の何れか１項記載のスパイラルベアリング駆動装置。
【請求項７】
前記第１磁性体及び第２磁性体を等距離に配置し、この第１磁性体と第２磁性体との中間に前記第３磁性体を配した請求項２乃至６の何れか1項記載のスパイラルベアリング駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スパイラルベアリング駆動装置に係わり、特に、モータのロータ自体にナットが一体に構成されたスパイラルベアリング駆動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種のスパイラルベアリングとして、ボールネジユニットが知られている。このボールネジユニットは、特開２００２−１６８３１７号公報に記載されているように、基端側軸 受部材および先端側軸 受部材に軸支されたボール ねじ 軸に螺着され、ボール ねじ 軸の正逆回転 で正逆移動するスライダとしてのヘッドユニットが所定の動作を行うように構成されたボール ねじ 駆動装置であり、このボール ねじ 駆動装置は、ボール ねじ 軸を回転 駆動するＸ軸 サーボモータと、ヘッドユニット５のボール ねじ 軸上の位置を検出する位置センサとしてのロータリーエンコーダと、このロータリーエンコーダの検出値に基づきＸ軸 サーボモータに向けてボール ねじ 軸が共振しない回転 数になる制御信号を出力する制御装置とから構成されている。
【特許文献１】特開２００２−１６８３１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来のボールネジユニットは、モータがネジ軸を回転する構成となっていたために、モータのロータに対してねじ軸が負荷となっていた。また、ねじ軸を回転させるモータが必要となり、駆動機構が複雑になるという問題がった。
本発明はこのような課題を解決するために、ベアリング機構のスライダの部分に駆動機構を一体に設けるようにした構造を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
前記目的を達成するために、本発明は、スパイラル状の溝が形成された軸と、この軸に遊嵌されたナットを持つスライダと、スライダと前記溝との間に介在された複数の転動体と、を備えてなるスパイラルベアリング駆動装置において、前記モータのロータに前記ナットが一体に形成されてなるスパイラルベアリング駆動装置であることを特徴とするものである。
【０００５】
前記モータが、第１の磁性体と、第２の磁性体と、この磁性体間に配置され、前記第１及び第２の磁性体に対して所定方向に相対的に移動可能な第３の磁性体と、から構成され、前記第１の磁性体及び第２の磁性体のそれぞれは、励磁可能な複数の電磁コイルを順番に配置してなる構成を備えており、前記第３の磁性体は、着磁された永久磁石を順番に配置してなる構成を備えており、前記第１の磁性体と前記第２の磁性体は、第１の磁性体の電磁コイルと第２の磁性体の電磁コイルとが互いに配列ピッチ差を持つように配置された構成を備え、かつ、前記ロータが前記第３の磁性体から構成され、当該第３の磁性体に前記羽根構造が一体に形成されてなる。前記第１又は／及び第２磁性体の電磁コイルに励磁電流を供給する励磁回路手段を設けて成る。
【０００６】
前記励磁回路手段は、前記第１及び第２磁性体の電磁コイルを、それぞれの磁性体側で同極側に切り替える信号を前記第１又は／及び第２の磁性体に供給する。前記回路手段は、前記第１の磁性体の電磁コイルと前記第２の磁性体の    電磁コイルにそれぞれ位相の異なった周波数信号を供給するように構成されてなる。前記第１磁性体、第２磁性体、及び第３磁性体のそれぞれを円弧状に形成してなる。前記第１磁性体及び第２磁性体を等距離に配置し、この第１磁性体と第２磁性体との中間に前記第３磁性体を配した。
【０００７】
以上説明した本発明によれば、モータのロータをネジ軸に遊嵌するナットと一体に構成しているために、ネジ軸がモータの回転機構に対して負荷にならず、かつスライダ内にモータを構成しているために機械構成が簡単にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１は、本発明に係わるスパイラルベアリング駆動装置の一形態に係わる構造を示す模式図である。図２はその一部拡大図である。１００は、ネジ軸（主軸）である。ネジ軸の回りにはスパイラル状の溝（ねじ溝）１０２が形成されている。ネジ軸に対してはスライダ１０４のナット１０６が転動体１０８を介して遊嵌されている。ナットは中空の円形を呈しており、中空内にねじ軸１０２が貫通している。
【０００９】
ナット１０６のネジ軸側(中心部)は転動体１０８を転動自在に収容するように、ねじ軸に向かって開放した円周状の断面Ｖ字型の溝１１０を備えている。ナットの外周縁１１２はスライダ１０４内に収容されている。
【００１０】
スライダ１０４はナットを回転するモータを備えている。すなわち、ナットがモータのロータになっている。ナットの外周部１１２は複数の永久磁石１１２Ａが交互に異極になるように、ナットの円周方向に沿って設けられている。ナット本体は非磁性体で構成されている。スライダのモータ固定子１１４は全体円形に形成され、ナットの外周縁を収容する断面四角状になった円周状の開口１１６が形成されている。この開口内にナットの外周縁部１１２が収容されている。モータ固定子の中心部は中空に形成されており、ねじ軸がこの中空部を貫通し、かつ、ナット（ロータ）がこの中空部内に配置されている。
【００１１】
この開口のネジ軸方向に沿った両面には、ナットの永久磁石１１２Ａに臨む複数の励磁コイル１２０が円周方向設けられている。この励磁コイル１２０は交互に異極に励磁されるように構成される。ナットの径方向におけるモータ固定子１１４側端部の小Ｖ溝１２１はベアリング１２２を介してナットの端部１２１Ａと接続され、ナット１０６がモータ固定子１１４に対して回転自在に支持されている。
【００１２】
電磁コイルに供給される電流の極性をパルス状に交互に切り換えることによって、ナットを回転させることができる。ナットは転動体を介してネジ軸に対して回転でき、ナットが回転するとナットに支持されたスライダ（モータ固定子）が、図１の矢印に示すように、ねじ軸に沿って進退可能である。符号１３０は副軸部であり、固定部１３２を介してモータ固定子１１４を副軸部１３０に支持して、スライダがナットに連れ回ることを抑制している。
【００１３】
図３乃至図６は、ナットの回転の原理図である。ナットは既述の永久磁石と電磁コイルの組み合わせた磁性体構造によって既述のとおり回転する。この磁性体構造は、第１の磁性体（Ａ相コイル）１０及び第２の磁性体（Ｂ相コイル）１２の間に第３の磁性体１４を介在した構成を備えている。これら磁性体は環状（円弧状、円状）に構成されている。第３の磁性体がナット、すなわちモータのロータに相当する。
【００１４】
第１の磁性体１０は、交互に異極に励磁可能なコイル１６が、所定間隔、好適には、均等間隔を介して順番に配列された構成を備えている。この第１の磁性体の等価回路図を図７に示す。図３−図６によれば、後述のとおり、２相の励磁コイルには、始動回転中（２π）中常時全コイルを既述した極性で励磁させている。したがって、ロータやスライダ等の被駆動手段を高トルクで回転・駆動することが可能となる。
【００１５】
図７（１）に示すように、複数の電磁コイル１６（磁性単位）が等間隔に直列に接続されている。符号１８Ａはこの磁気コイルに周波数パルス信号を印加する励磁回路のブロックである。この励磁回路から電磁コイル１６にコイルを励磁させるための励磁信号を流したとき、隣接するコイル間で交互に磁極の向きが変わるように、各コイルが励磁されるように予め設定されている。図７（２）に示すように、電磁コイル１６が並列に接続されていても良い。
【００１６】
この励磁回路１８Ａから第１の磁性体１０の電磁コイル１６に、供給される励磁電流の極性の方向を所定の周期で交互に切り替えるための周波数を持った信号を印加すると、図３乃至図６に示すように、第３磁性体１４の側の極性がＮ極→Ｓ極→Ｎ極と交互に変化する磁気パターンが形成される。周波数パルス信号が逆極性になると、第１磁性体の第３磁性体側の極性がＳ極→Ｎ極→Ｓ極と交互に変化する磁気パターンが発生する。この結果、第１の磁性体１０に現れる励磁パターンは周期的に変化する。
【００１７】
第２の磁性体１２の構造は、第１磁性体１０と同様であるが、第２磁性体の電磁コイル１８は第１磁性体の電磁コイル１６に対して位置的にずれて配列されている点が異なる。すなわち、特許請求の範囲に記載されているように、第１磁性体のコイルの配列ピッチと第２磁性体のコイルの配列ピッチとが所定のピッチ差（角度差）を持つように設定されている。このピッチ差は、永久磁石（第３の磁性体）１４がコイル１６,１８に対して励磁電流の周波数の１周期（２π）に対応して動く距離、すなわち、１対のＮ極とＳ極の合計距離、それの１／４であるπ／２に対応する距離が好適である。
【００１８】
次に第３磁性体１４について説明する。図３乃至図６に示されるように、この第３磁性体１４は、第１の磁性体及び第２の磁性体の間に配置されており、交互に逆の極性を持った複数の永久磁石２０（黒く塗り潰されている。）が線状（円状）に、所定間隔、好適には均等間隔を介して配列されている。
第１の磁性体１０と第２の磁性体１２とは等距離を介してに対向配置されており、第１の磁性体と第２の磁性体との中心位置に第３の磁性体１４が配置されている。第３の磁性体において個々の永久磁石の配列ピッチは、殆ど第１磁性体１０及び第２磁性体１２における磁気コイルの配列ピッチと同じである。
【００１９】
次に第１磁性体１０と第２磁性体１２との間に既述の第３磁性体１４が配置された磁気体構造の動作を、図３乃至図６を利用して説明する。既述の励磁回路（図７の１８である。後に説明する。）によって、ある瞬間において第１磁性体及び第２磁性体の電磁コイル１６,１８には、図３の（１）に示すような励磁パターンが発生する。
【００２０】
この時、第１磁性体１０の第３磁性体１４側に臨む表面の各コイル１６には、→Ｓ→Ｎ→Ｓ→Ｎ→Ｓ→のパターンで磁極が生じ、第２磁性体１２の第３磁性体１４側に臨む表面のコイル１８には、→Ｎ→Ｓ→Ｎ→Ｓ→Ｎ→のパターンで磁極が生じる。ここで、図中実線で表示される矢印は引力を示し、一点鎖線で表示される矢印は反力を示す。
【００２１】
次の瞬間、（２）に示すように、第１の磁性体に駆動回路１８（図７）を介して印加されるパルス波の極性が反転すると、（１）の第１の磁性体１０のコイル１６に発生する磁極と第３の磁性体１４の表面の永久磁石２０の磁極との間に反発力が発生し、一方、第２の磁性体１２のコイル１８に発生している磁極と第３の磁性体１４の永久磁石の表面の磁極との間に引力が発生しているために、（１）乃至（５）に示すように、第３の磁性体は、図示右方向に順次移動する。
【００２２】
第２の磁性体１２のコイル１８に、第１の磁性体の励磁電流とは位相がずれたパルス波が印加されており、（６）乃至（８）に示すように、第２の磁性体１２のコイル１８の磁極と第３の磁性体１４の永久磁石２０の表面の磁極とが反発して第３の磁性体１４をさらに右方向に移動させる。（１）乃至（８）は永久磁石がπに対応する距離を移動した場合を示しており、（９）乃至（１６）が残りのπに対応する距離を移動した場合、すなわち、（１）乃至（１６）で電磁コイル１６,１８に供給される周波数信号の１周期分（２π）に相当する距離を第３の磁性体が第１・第２磁性体に対して相対的に移動する。
【００２３】
このように、第１の磁性体（Ａ相）と第２の磁性体（Ｂ相）とに互いに位相が異なる周波数信号をそれぞれ供給することにより、第３の磁性体１４をリニアにスライドさせることができるか、或いは第３の磁性体１４をロータとして回転させることができる。
【００２４】
第１の磁性体、第２の磁性体、及び第３の磁性体を円弧状にすると、図１に示す磁気構造は回転モータを構成するものとなる。すなわち、これら磁性体の構造によって、モータ等の回転駆動体を実現できる。
【００２５】
この磁気構造によれば、第３の磁性体には第１の磁性体及び第２の磁性体から磁力を受けて動くことができるために、第３の磁性体を動かす際のトルクが大きくなり、トルク／重量バランスが優れたものになるので、高トルクで駆動可能な小型モータを提供することが可能となる。
【００２６】
図８は第１の磁性体の電磁コイル（Ａ相電磁コイル）１６、及び第２の磁性体の電磁コイル（Ｂ相電磁コイル）１８に励磁電流を印加するための励磁回路１８Ａの一例を示すブロック図である。
【００２７】
この励磁回路は、Ａ相電磁コイル１６及びＢ相電磁コイル１８にそれぞれ制御されたパルス周波数信号を供給するように構成されている。符号３０は水晶発振器であり、符号３１はこの発振周波数信号をＭ分周して基準パルス信号を発生させるためのＭ−ＰＬＬ回路３1である。
【００２８】
符号３４は第３の磁性体（この場合はロータ）１４の回転速度に対応した位置検出信号を発生するセンサである。このセンサとしてはホールセンサ（磁気センサ）、光学式のものが好適に選択できる。ロータには永久磁石の数に対応する数のホールが形成され、このホールがセンサに対応すると、センサはホールの箇所を通過する毎にパルスを発生させる。符合３４Ａは、Ａ相電磁コイルのドライバ回路に検出信号を供給するためのＡ相側センサであり、符号３４Ｂは、Ｂ相電磁コイルのドライバ回路に検出信号を供給するためのＢ相側センサである。
【００２９】
このセンサ３４Ａ，Ｂからのパルス信号はそれぞれ、第１・第２の磁性体に励磁電流を供給するためのドライバ３２に出力されている。符号３３はＣＰＵであり、Ｍ―ＰＬＬ回路３１及びドライバ３２に所定の制御信号を出力する。
【００３０】
図９は、ドライバ部の詳細構成を示すブロック図である。このドライバ部は、Ａ相側極性切替部３２Ａと、Ｂ相側極性切替部３２Ｂと、Ａ相側位相補正部３２Ｃと、Ｂ相側位相補正部３２Ｅと、Ａ相バッファ３２Ｇと、Ｂ相バッファ３２Ｈと、Ｄ−ＰＬＬ回路３２Ｉと、正転／逆転切替部３２Jと、を備えて構成されている。
【００３１】
このドライバ３２には、水晶発振器の発振周波数をＭ分周した基本波３１が入力される。この基本波は、Ａ相コイル（第１磁性体）用の極性切替部３２Ａによって極性が切り替えられ、Ａ相コイル用位相補正部３２Ａに入力される。また、この基本波３１は、Ｂ相コイル（第２磁性体）用位相切替部３２Ｂによって位相が制御され、Ｂ相コイル用位相補正部３２Ｅに出力される。
【００３２】
ＣＰＵ３３の制御信号は、ロータ又はスライダの正転（前進）／逆転（後進）の切替部３２Ｊに出力され、切替部３２ＪはＣＰＵ３３による制御の下、正転／逆転に合わせて、前記Ａ、Ｂ相極性切替部３２Ａ，３２Ｂを制御する。
【００３３】
Ａ相センサ３４Ａからの出力は、Ａ相コイル用位相補正部３２Ｃに出力され、Ｂ相センサ３４Ｂからの出力は、Ｂ相コイル用位相補正部３２Ｅに出力される。また、Ａ相極性切替部３２Ａから出力された、極性が切り替えられた基本波がＡ相位相補正部３２Ｃに出力され、Ｂ相極性切替部からの基本波がＢ相位相補正部３２Ｅに出力される。なお、基本波がさらにＤ−ＰＬＬ回路３２Ｉにおいて位相ロック後分周率（Ｄ）で逓倍された周波数信号がＡ相位相補正部３２ＣとＢ相位相補正部３２Ｅにそれぞれ入力される。
【００３４】
前記ＣＰＵ３３は、図示しない運転入力手段からの入力情報に基づき、第３の磁性体であるロータの回転速度、又は、スライダの速度を制御するために、既述のＭ分周率を所定のメモリから読み出してこの読み出し値（Ｍ）によって基本波の周波数を変化させる。また、後述するが、Ｄ−ＰＬＬの分周率（Ｄ）についても同様である。これら分周率はロータの回転速度、スライダの移動速度等磁性体の動作特性の値に応じて変化するが、この変化特性がメモリテーブルの形式で所定のメモリ領域に予め設定記憶されている。
【００３５】
Ａ相位相補正部３２ＣとＢ相位相補正部３２Ｅは、第３の磁性体であるロータやスライダを回転又は直進させるために、Ａ相コイルとＢ相コイルのそれぞれに互いに適切に位相差を持たせた励磁用周波数信号を出力するために、Ａ相用励磁周波数信号とＢ相用励磁周波数信号の位相をそれぞれ既述のセンサ３４Ａ、３４Ｂの信号に同期させるようにして補正する。
【００３６】
Ａ相バッファ部３２Ｇは、Ａ相コイルに位相補正された周波数信号を供給するための回路手段であり、Ｂ相バッファ部３２Ｈは、Ｂ相コイルに位相補正された周波数信号を供給するための回路手段である。
【００３７】
図１０は、既述の磁性体構造を具体化したものであり、（１）はスライダ及びナットをこの磁性体構造で構成したことを示す概念斜視図、（２）はロータ（ナット／模式図）の概略平面図、（３）はＡ相電磁コイル（第１磁性体）、（４）はＢ相電磁コイル（第２磁性体）を示したものである。
【００３８】
このモータは、ステータ（モータ固定子）に相当する一対のＡ相磁性体１０とＢ相磁性体１２を備え、そしてロータ（ナット）を構成する既述の第３の磁性体１４とを備え、Ａ相磁性体とＢ相磁性体との間にロータ１４がねじ軸を中心に回転自在に配置されている。ロータには６つの永久磁石が円周方向に均等に設けられ、そして永久磁石の極性は交互に反対になるようになっており、ステータには６つの電磁コイルが円周方向に均等に設けられている。図１０において、一点鎖線で示される円形領域は中空になった領域であり、ここにネジ軸が貫通配置される。
【００３９】
Ａ相センサ３４ＡとＢ相センサ３４Ｂとが、特定の距離Ｔ(π／２に相当する距離)を介してＡ相磁性体（第1磁性体）のケース内面側壁に設けられている。Ａ相センサ３４ＡとＢ相センサ３４Ｂとの距離には、Ａ相コイル１６に供給される周波数信号とＢ相コイル１８に供給される周波数信号とに所定の位相差を設けるために相当する値が適用される。
【００４０】
既述のとおり、円状に形成されたロータの円周方向の縁には、均等に複数（例えば、ロータの円周方向に均等に配置してある永久磁石の数分、この実施例では６個）のホール３５が形成されている。センサは、発光部と受光部からなる。このホールにはセンサの発光部からの赤外光を常時反射して位置検出時に吸収する部材が適用されている。
【００４１】
今、Ａ相・Ｂ相センサは、ロータ１４が回転している間既述のホール３５がこのセンサを通過する都度、パルスを発生する。すなわち、ホール３５には光を吸収する凹溝又は光吸収材が設けられ、ホールがセンサを通過する都度、センサの受光部は発光部から発光された光を受光しない。したがって、センサは、ロータ１４の回転速度とホールの数に応じて所定の周波数でパルス波を発生する。
【００４２】
図１０は、ドライバ３２において成されるコイル励磁用周波数信号のための信号処理に係わる波形図を示すものである。以下の説明においては、必要に応じて図８を参照すると良い。（１）は基本周波数波形であり、（２）はＡ相センサ３４Ａからの信号、（３）はＢ相センサ３４Ｂからの信号である。既述のとおり、Ａ相センサとＢ相センサとは特定の位相差（この場合π／２）を出すようにしてモータに設置されている（図8参照）。
【００４３】
前記Ａ相位相補正部３２Ｃは公知のＰＬＬ制御を実行して、Ａ相センサの出力波形（2）の位相と基本波（1）の位相とを同期させ、（４）のようなＡ相コイル１６を励磁するためのパルス波をＡ相コイル用バッファ回路３２Ｇに出力する。このバッファ回路構成については後述する。
【００４４】
バッファ回路は周波数を持った入力パルスによって、Ａ相コイルに励磁電流を通電するための、このバッファ回路にあるトランジスタをＰＷＭ制御する。Ｂ相位相補正部３２Ｅの動作も同じである。（５）はＢ相位相補正部３２ＥからＢ相電磁コイル用バッファ回路３２Ｈに出力される駆動波形である。（４）と（５）を比較して分かるように、Ａ相コイル１６へ供給される励磁信号とＢ相コイル１８へ供給される励磁信号とは互いに位相が異なり、位相差はπ／２である。
【００４５】
図１２はロータやスライダを逆転させるときの信号波形を示したものである。この波形と図１１の波形とを比較すると、Ｂ相電磁コイル１８に供給される励磁用パルス波の極性が図１２では逆転されている点のみが異なる。図１１の（５）と図１２（５）を比較されたい。図１１から図１２に切り換えた際には、図１１の回転方向に対し制動を行っていることになる。
【００４６】
図１３はベアリング構造の応用例である。既述のベアリング構造はプリンターのインクジェットヘッドの移動機構に適用可能である。３００はローラであり、３０２は記録媒体であり、３０４はインクヘッドであり、これが既述のスライダ(図１の１０４)によって構成されている。インクヘッドは内部に形成された既述のモータ機構によってロータ(ナット)を正転・逆転させることによって図示左右に移動可能である。
【００４７】
図１４は、主軸を２基（１００−１，１００−２）並行に配置し、各主軸の同位置にそれぞれスライダ１０４―１，１０４―２を配置する。各スライダ間にはフレーム３１０が介装されている。これらスライダのモータを同期回転制御することにより、２つの主軸に沿ってフレーム３１０が進退可能である。
【００４８】
図１３がスライダが水平移動する形態であり、図１４はスライダが垂直移動する形態であるのに対して、図１５に示された構造は、スライダが傾斜移動する例である。２つの主軸が並行ではあるが、接地面に対して傾斜して固定されている。この主軸の一等に既述の駆動タイプのスライダが装着され、他の主軸には非駆動型のスライダ１０４―３が配置されている。駆動タイプのスライダ１０４―１内のモータのロータ、すなわちナットを励磁回転させることによって、２つのスライダ間のフレーム３１０が進退可能である。
【００４９】
以上説明したように、スライダにモータ駆動機構を形成し、このモータのロータとナットとを一体に形成させるようにしたので、ネジ軸がモータの回転機構に対して負荷にならず、かつスライダ内にモータを構成しているために機械構成が簡単にできるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明に係わるベアリング構造の実施形態を示す一部断面図である。
【図２】その一部拡大図である。
【図３】モータのロータと一体に形成されたナットを回転させるための磁性体構造の模式図と動作原理を示したものである。
【図４】図１に続く動作原理を示したものである。
【図５】図２に続く動作原理を示したものである。
【図６】図３に続く動作原理を示したものである。
【図７】電磁コイルの接続状態を示す等価回路図である。
【図８】電磁コイルに励磁電流を印加するための励磁回路の一例を示すブロック図である。
【図９】励磁回路のドライバ部の詳細構成を示すブロック図である。
【図１０】磁性体構造を具体化してなるスライダの原理図である
【図１１】ドライバにおいて成されるコイル励磁用周波数信号のための信号処理に係わる波形図である。
【図１２】ロータやスライダを逆転させるときの信号波形である。
【図１３】ベアリング構造の適用例を示した原理図である。
【図１４】他の適用例に係わる原理図である。
【図１５】さらに他の適用例に係わる原理図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０：第１磁性体、１２：第２磁性体、１４：第３磁性体、１６,１８：電磁コイル、２０：永久磁石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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