(57)【要約】【課題】個々のヘッドモジュールの位置精度、各ヘッドモジュール相互間の位置精度を高くしなくても、高画質を得ることができるラインヘッドを形成する。【解決手段】  複数のヘッドモジュール１０の「Ｎ」番目（Ｎは、自然数）のヘッドモジュール１０（Ｎ）におけるノズル１３ａ列と、隣接する「Ｎ＋１」番目のヘッドモジュール１０（Ｎ＋１）におけるノズル１３ａ列とが、その並び方向（図中、ヘッドモジュール１０の長手方向）においてオーバーラップし、オーバーラップ部で、インク液滴の着弾位置を、オーバーラップせずにノズル間隔の０．５倍〜１．５倍の範囲内で補正する着弾位置補正手段を有するようにした。【選択図】図１０
2005138390.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヘッドモジュールと、
複数の前記ヘッドモジュールを内部に配置するヘッドフレームと
を備えるとともに、
前記ヘッドモジュールは、
複数のエネルギー発生素子を配列したヘッドチップと、
液滴を吐出するためのノズルを複数配列したノズル列を形成したノズル部材と、
前記ヘッドチップの前記エネルギー発生素子の形成面と前記ノズル部材との間に積層され、各前記エネルギー発生素子と各前記ノズルとの間に液室を形成するための液室形成部材と
を備え、
前記エネルギー発生素子により、前記液室内の液体を前記ノズル列中の任意の前記ノズルから吐出する液体吐出ヘッドであって、
前記ヘッドフレームに配置された「Ｎ」番目（Ｎは、自然数）の前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列と、この「Ｎ」番目の前記ヘッドモジュールに隣接する「Ｎ＋１」番目の前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列とが前記ノズル列の並び方向においてオーバーラップし、
前記ノズル列のオーバーラップ部で、各前記ノズルから吐出される液滴の着弾位置を、オーバーラップせずにノズル間隔の０．５倍〜１．５倍の範囲内で補正する着弾位置補正手段を有する
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記着弾位置補正手段は、液滴を吐出する前記ノズルを駆動ノズルとしたとき、前記ノズル列のオーバーラップ部で、駆動ノズルを完全にオーバーラップさせずにノズル間隔の０．５倍〜１．５倍の範囲内で着弾位置を補正する駆動位置補正手段である
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記着弾位置補正手段は、少なくとも前記ノズル列のオーバーラップ部で、前記ノズルから吐出する液滴の吐出方向を前記ノズル列の並び方向において複数の方向に可変とした偏向吐出手段である
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記着弾位置補正手段は、「Ｎ」番目の前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列の各前記ノズルから液滴を吐出するタイミングと、「Ｎ＋１」番目の前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列の各前記ノズルから液滴を吐出するタイミングとの間に時間差を設けるモジュール間時間補正手段である
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記着弾位置補正手段は、少なくとも１つの前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列を複数の前記ノズルからなるブロックに分け、前記ノズルから液滴を吐出するタイミングをブロックごとに変化させるブロック間時間補正手段である
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
前記ノズル部材の一方の面に貼り合わせられることにより前記ノズル部材を支持し、前記ヘッドチップを内部に配置するためのヘッドチップ配置孔が形成されたモジュールフレームを有し、
前記モジュールフレームは、他の前記モジュールフレームが前記ノズル列の並び方向において直列に配置されるときに互いに係合するための係合部を備え、
複数の前記ヘッドモジュールの各前記係合部同士が係合することにより前記ノズル列がオーバーラップする
ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項７】
複数のヘッドモジュールと、
複数の前記ヘッドモジュールを内部に配置するヘッドフレームと
を備えるとともに、
前記ヘッドモジュールは、
複数のエネルギー発生素子を配列したヘッドチップと、
液滴を吐出するためのノズルを複数配列したノズル列を形成したノズル部材と、
前記ヘッドチップの前記エネルギー発生素子の形成面と前記ノズル部材との間に積層され、各前記エネルギー発生素子と各前記ノズルとの間に液室を形成するための液室形成部材と
を備え、
前記エネルギー発生素子により、前記液室内の液体を前記ノズル列中の任意の前記ノズルから吐出する液体吐出装置であって、
前記ヘッドフレームに配置された「Ｎ」番目（Ｎは、自然数）の前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列と、この「Ｎ」番目の前記ヘッドモジュールに隣接する「Ｎ＋１」番目の前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列とが前記ノズル列の並び方向においてオーバーラップし、
前記ノズル列のオーバーラップ部で、各前記ノズルから吐出される液滴の着弾位置を、オーバーラップせずにノズル間隔の０．５倍〜１．５倍の範囲内で補正する着弾位置補正手段を有する液体吐出ヘッドを備える
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液体吐出装置において、
各前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列の各前記ノズルから初期状態で吐出された液滴の着弾位置ずれを補正情報として記憶する位置補正記憶手段を備え、
前記位置補正記憶手段に記憶された補正情報に基づいて液滴の吐出を制御する
ことを特徴とする液体吐出装置。
【請求項９】
複数のヘッドモジュールと、
複数の前記ヘッドモジュールを内部に配置するヘッドフレームと
を備えるとともに、
前記ヘッドモジュールは、
複数のエネルギー発生素子を配列したヘッドチップと、
液滴を吐出するためのノズルを複数配列したノズル列を形成したノズル部材と、
前記ヘッドチップの前記エネルギー発生素子の形成面と前記ノズル部材との間に積層され、各前記エネルギー発生素子と各前記ノズルとの間に液室を形成するための液室形成部材と
を備え、
前記ヘッドフレームに配置された「Ｎ」番目（Ｎは、自然数）の前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列と、この「Ｎ」番目の前記ヘッドモジュールに隣接する「Ｎ＋１」番目の前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列とが、前記ノズル列の並び方向においてオーバーラップしており、
前記エネルギー発生素子により、前記ノズル列のオーバーラップ部で、各前記ノズルから吐出される液滴の着弾位置を、オーバーラップせずにノズル間隔の０．５倍〜１．５倍の範囲内で補正する、前記液室内の液体を前記ノズルから吐出する液体吐出ヘッドの吐出調整方法であって、
各前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列の各前記ノズルから初期状態で液滴を吐出し、各前記ヘッドモジュールごとに所定のパターンを印刷する第１工程と、
印刷されたパターンから各前記ヘッドモジュールごとの液滴の着弾位置を取り込む第２工程と、
取り込まれた着弾位置を基に各前記ヘッドモジュールごとの位置合わせ基準を決定する第３工程と、
印刷されたパターンと位置合わせ基準とのずれを補正情報として記憶する第４工程と
を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの吐出調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタ等の液体吐出装置において、液体を吐出するためのヘッドとして用いられる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置と、液体吐出ヘッドの吐出調整方法に関する。詳しくは、隣接するヘッドモジュールのノズル列をオーバーラップさせ、オーバーラップ部で液滴の着弾位置が連続するようにすることで、高い組立て精度を確保しなくても高画質なラインヘッドを構成することができる技術に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液体吐出装置の一例として、インクジェットプリンタが知られており、インクジェットプリンタのプリンタヘッドについては、種々の技術が開示されている。従来の一般的なプリンタヘッドは、ほとんどがシリアルヘッドであり、シリアル方式では、ノズルを有するヘッドを記録媒体の幅方向に移動させて印画を行う。また、多数のヘッドを記録媒体の幅方向に並べて配置し、印画幅分のラインヘッドを形成したライン方式も知られている。
【０００３】
ライン方式においては、記録媒体の全幅にわたるヘッドを、シリコンウエハやガラス等で一体に形成することは、製造方法、歩留まり問題、発熱問題、コスト問題等、様々な問題があって、現実的ではない。このため、小さなヘッドを、端部同士が繋がるように複数並設して、それぞれのヘッドに適当な信号処理を行うことにより、記録媒体に印画する段階で、記録媒体の全幅にわたる記録を行うようにしている。
【０００４】
このようなラインヘッドの製造方法として、例えば、特許文献１では、プリンタヘッドをモジュール化し、そのヘッドモジュールを複数直列に配置して長尺のラインヘッドを形成している。
ヘッドモジュールを並べることで、様々な用紙サイズに対応する長尺なラインヘッドの製造ができるだけでなく、モジュール単位で性能のチェックができるという利点がある。また、ラインヘッドを組み立てる際に一部のモジュールに不都合があれば、不良モジュールだけの交換で済むため、生産上の歩留りの向上ができる。
【特許文献１】特開２００２−８６６９５号公報
【０００５】
上記の特許文献１の技術では、特許文献１の図２に開示されているように、インクを吐出する多数のノズル４２を備えた４つのプリントヘッドダイ４０（ヘッドチップに相当するもの）を１つの担体３０で担持し、モジュール化してインクジェットプリントヘッドアセンブリ１２（ヘッドモジュールに相当するもの）を構成する。そして、複数のインクジェットプリントヘッドアセンブリ１２を装着アセンブリに装着して長尺のラインヘッドを形成し、ワイドアレイインクジェットプリントヘッドアセンブリ（液体吐出ヘッドに相当するもの）とする。
【０００６】
ここで、ワイドアレイインクジェットプリントヘッドアセンブリを位置決めするには、プリントヘッドダイ４０の担体３０と装着アセンブリとの間を適切に位置合わせする必要がある。担体３０と装着アセンブリとの間の位置合わせが不良であると、例えば、インク液滴の軌道の誤差、印刷不能領域の発生等を引き起こし、これらは印刷の質を劣化させるからである。したがって、担体３０と装着アセンブリ間の位置合わせ不良を回避するために、インクジェットプリントヘッドアセンブリ１２と装着アセンブリ間の相対的な位置決めを正確にする必要がある。
【０００７】
そこで、特許文献１の図５及び図８に開示されているように、装着アセンブリは複数の基準体７０を含み、インクジェットプリントヘッドアセンブリ１２は、担体３０が少なくとも基準体７０の１つと接触するように装着アセンブリに装着される。
基準体７０は、略Ｔ字形又は略Ｌ字形のものとして概略的に図示されているように、基部７５と、基部７５から突出する突出部７６とを有する。基準体７０の基部７５は、担体３０の側面３１及び３３に沿って延出する一方、基準体７０の突出部７６は、担体３０の側面３２及び３４に沿って延出する。
【０００８】
また、特許文献１の図６に開示されているように、基準体７０は、ｘ基準体７１、ｙ基準体７２及びｚ基準体７３を含み、装着アセンブリ１６内のインクジェットプリントヘッドアセンブリ１２の位置についての基準点を設置する。そして、インクジェットプリントヘッドアセンブリ１２は、装着アセンブリ１６内に装着されると、ｘ基準体７１、ｙ基準体７２及びｚ基準体７３に接する。したがって、ｘ基準体７１、ｙ基準体７２及びｚ基準体７３が、インクジェットプリントヘッドアセンブリ１２のｘ軸、ｙ軸及びｚ軸に沿って、それぞれ装着アセンブリ１６に関してインクジェットプリントヘッドアセンブリ１２を位置決めする。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、前述の特許文献１の技術は、複数の基準体７０を含む装着アセンブリ１６に対し、個々のインクジェットプリントヘッドアセンブリ１２を１つ１つ嵌め込んで装着する方法であり、基準体７０のｘ基準体７１、ｙ基準体７２及びｚ基準体７３によってインクジェットプリントヘッドアセンブリ１２が位置決めされる。そのため、画質と生産性との両立が困難であるという問題がある。
【００１０】
すなわち、第１に、複数の基準体７０におけるｘ基準体７１、ｙ基準体７２及びｚ基準体７３の位置や形状がそれぞれ正確でなければ、そもそも基準が不正確なものとなるために、各インクジェットプリントヘッドアセンブリ１２の位置がずれて位置決めされてしまい、画質が悪くなる。逆に、画質を向上させるために基準体７０の位置や形状を正確に得ようとすると、生産性が悪くなる。
【００１１】
また、第２に、インクジェットプリントヘッドアセンブリ１２を装着アセンブリ１６に装着するためには、ｘ基準体７１、ｙ基準体７２及びｚ基準体７３との間に適当な嵌め込みスペースが必要であるが、スペースが大きければ生産性が向上するものの、インクジェットプリントヘッドアセンブリ１２の位置の誤差が大きくなり、画質が悪くなる。逆に、画質を向上させるためにスペースを小さくすれば嵌め込みに支障が生じ、生産性が悪くなる。
【００１２】
したがって、インクジェットプリントヘッドアセンブリ１２の位置精度を高め、画質を向上させようとすると生産性が悪くなり、生産性を向上させようとすると位置精度が累積的に悪化して画質に問題が生ずる。そして、このような問題は、複数のインクジェットプリントヘッドアセンブリ１２を直列に配置したワイドアレイインクジェットプリントヘッドアセンブリにおいて顕著になる。すなわち、シリアルヘッドのようなヘッド移動手段を持たないことからいわゆるマルチパス方式が使えず、各インクジェットプリントヘッドアセンブリ１２相互間の位置精度の悪さがそのまま画質に表現されてしまうのである。
【００１３】
そのため、前述の特許文献１の技術では、印刷不能領域の発生が生じないように、隣接するインクジェットプリントヘッドアセンブリ１２間でプリントヘッドダイ４０が完全にオーバーラップするようにしている。しかし、特許文献１では、プリントヘッドダイ４０のオーバーラップ部で、各ノズル４２から吐出されるインク液滴の着弾位置も完全にオーバーラップしてしまうことによる密度増加や濃度増加の問題について記載がなく、このような問題に対処し、均一な画質を得ることについての開示はない。
【００１４】
したがって、本発明が解決しようとする課題は、個々のヘッドモジュールの位置精度、各ヘッドモジュール相互間の位置精度を高くしなくても、高画質を得ることができるラインヘッドを形成することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、以下の解決手段によって、上述の課題を解決する。
本発明の１つである請求項１の発明は、複数のヘッドモジュールと、複数の前記ヘッドモジュールを内部に配置するヘッドフレームとを備えるとともに、前記ヘッドモジュールは、複数のエネルギー発生素子を配列したヘッドチップと、液滴を吐出するためのノズルを複数配列したノズル列を形成したノズル部材と、前記ヘッドチップの前記エネルギー発生素子の形成面と前記ノズル部材との間に積層され、各前記エネルギー発生素子と各前記ノズルとの間に液室を形成するための液室形成部材とを備え、前記エネルギー発生素子により、前記液室内の液体を前記ノズル列中の任意の前記ノズルから吐出する液体吐出ヘッドであって、前記ヘッドフレームに配置された「Ｎ」番目（Ｎは、自然数）の前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列と、この「Ｎ」番目の前記ヘッドモジュールに隣接する「Ｎ＋１」番目の前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列とが前記ノズル列の並び方向においてオーバーラップし、前記ノズル列のオーバーラップ部で、各前記ノズルから吐出される液滴の着弾位置を、オーバーラップせずにノズル間隔の０．５倍〜１．５倍の範囲内で補正する着弾位置補正手段を有することを特徴とする液体吐出ヘッドである。
また、請求項７の発明の液体吐出装置は、上記請求項１の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする。
【００１６】
なお、上記発明において、ヘッドモジュールは、ノズル部材とモジュールフレームとを貼り合わせたものとすることができる。この場合、モジュールフレームにヘッドチップ配置孔を形成し、このヘッドチップ配置孔内のノズル部材にノズル列を形成する。そして、ヘッドチップをヘッドチップ配置孔に接着等によって配置すれば、ヘッドチップのエネルギー発生素子とノズルとが対向する。
さらにまた、このようなヘッドモジュールは、ヘッドモジュール配置孔内に直列に配置し、ヘッドフレームと貼り合わせることができる。
【００１７】
ここで、ヘッドモジュール配置孔内に配置された「Ｎ」番目（Ｎは、自然数）のヘッドモジュールにおけるノズル列と、隣接する「Ｎ＋１」番目のヘッドモジュールにおけるノズル列とは、ノズル列の並び方向においてオーバーラップしている。
この状態で液室内の液体にエネルギーを付与すると、本発明においては、各ノズルから吐出される液滴の着弾位置が完全にはオーバーラップせず、ノズル間隔の０．５倍〜１．５倍の範囲内で着弾位置を補正することができる。
【００１８】
次に、本発明の他の１つである請求項９の発明は、上記請求項１の液体吐出ヘッドの吐出調整方法であって、各前記ヘッドモジュールにおける前記ノズル列の各前記ノズルから初期状態で液滴を吐出し、各前記ヘッドモジュールごとに所定のパターン（直線ラインパターン、ジグザグパターン、曲線パターン等）を印刷する第１工程と、印刷されたパターンから各前記ヘッドモジュールごとの液滴の着弾位置を取り込む第２工程と、取り込まれた着弾位置を基に各前記ヘッドモジュールごとの位置合わせ基準を決定する第３工程と、印刷されたパターンと位置合わせ基準とのずれを補正情報として記憶する第４工程とを含むことを特徴とする。
【００１９】
上記発明においては、吐出調整する前の初期状態で実際に液滴を吐出し、その着弾位置を取り込む。そして、取り込まれた着弾位置を基にして各ヘッドモジュールごとの位置合わせ基準を決定し、着弾位置とのずれを求める。このずれは、補正情報として記憶されるので、以後、補正情報に基づいてノズルから液滴を吐出することにより、ノズル列のオーバーラップ部において液滴の着弾位置が完全にオーバーラップすることはなく、かつノズル間隔の０．５倍〜１．５倍の範囲で連続する。
【００２０】
なお、本発明のエネルギー発生素子は、ヒータ等の発熱抵抗体、ピエゾ素子等の圧電素子、ＭＥＭＳ等を用いることが可能であるが、以下の実施形態では発熱抵抗体２２が相当する。また、本発明の液室形成部材は、実施形態ではバリア層１２に相当する。さらにまた、実施形態では、モジュールフレーム１１には４つのヘッドチップ配置孔１１ｂが形成され、１つのヘッドモジュール１０には４つのヘッドチップ２０が設けられる。そして、このヘッドモジュール１０を直列に４個接続してＡ４版の長さにするとともに、それを４列設けて、Ｙ（イエロー）、Ｍ（マゼンタ）、Ｃ（シアン）、及びＫ（ブラック）の４色のカラーラインヘッドである液体吐出ヘッド１を形成している。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の液体吐出ヘッドによれば、複数のヘッドモジュールを直線状に配置してラインヘッドを形成した場合に、個々のヘッドモジュールの位置精度、各ヘッドモジュール相互間の位置精度を高くしなくても、ヘッドモジュール間でインク液滴の着弾位置にギャップ（印刷不能領域）が生ずることはなく、しかも、着弾位置が完全にオーバーラップしてしまうことによる密度増加や濃度増加も生じないので、高画質を得ることができる。
【００２２】
また、本発明の液体吐出ヘッドの吐出調整方法によれば、簡単かつ確実に、着弾位置が完全にオーバーラップすることなく、ノズル間隔の０．５倍〜１．５倍の範囲で連続するように調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面等を参照して、本発明の一実施形態について説明する。図１は、本発明の一実施形態である液体吐出ヘッド１を示す平面図と、この平面図中、Ｘ方向の矢視側面図（断面図）である。また、図２は、液体吐出ヘッド１内に実装されているヘッドチップ２０とその周囲の構成を示す側面の断面図及び下面から見た平面図である。さらに、図３は、吐出方向を複数の方向に可変としたヘッドチップ２０を部分的に示す平面図及び側面の断面図である。
【００２４】
液体吐出ヘッド１は、液体吐出装置（本実施形態では、カラーラインインクジェットプリンタ）に搭載されるヘッドとして用いられるものである。図１に示すように、液体吐出ヘッド１は、ヘッドフレーム２と、プリント基板３と、複数のヘッドモジュール１０とから構成されている。ヘッドモジュール１０は、図１の平面図において、長手方向に４個、直列に接続されており、その直列に接続された４個のヘッドモジュール１０が４列設けられている。直列に接続された４個のヘッドモジュール１０で１色を印画するものであり、本実施形態では、４色（Ｙ、Ｍ、Ｃ、及びＫ）の液体吐出ヘッド１（ラインヘッド）を構成している。
【００２５】
また、各ヘッドモジュール１０内には、４個のヘッドチップ２０が設けられている。図２は、１つのヘッドチップ２０を示している、
ヘッドチップ２０は、シリコン等からなる半導体基板２１と、この半導体基板２１の一方の面に析出形成された発熱抵抗体２２（本発明におけるエネルギー発生素子に相当するもの）とを備えている。半導体基板２１の発熱抵抗体２２が形成された面と同一面側であって発熱抵抗体２２が形成された縁部と反対側の縁部には、アルミニウムからなる接続パッド２３が形成されている。そして、発熱抵抗体２２とこの接続パッド２３とは、半導体基板２１上に形成された導体部（図示せず）を介して接続されている。
【００２６】
ヘッドチップ２０の発熱抵抗体２２が形成された面側は、バリア層１２（本発明における液室形成部材に相当するもの）を介してノズルシート１３（本発明におけるノズル部材に相当するもの）に積層されている。バリア層１２は、インク液室１４の側壁を形成するためのものであって、例えば、感光性環化ゴムレジストや露光硬化型のドライフィルムレジストからなり、ヘッドチップ２０の半導体基板２１の発熱抵抗体２２が形成された面の全体に積層された後、フォトリソプロセスによって不要な部分が除去されることにより形成されている。
【００２７】
図２中、平面図は、１つの発熱抵抗体２２と、その発熱抵抗体２２の周囲に設けられたバリア層１２を示している。バリア層１２は、発熱抵抗体２２の３辺の近傍を囲むように、平面的に見たときに略凹状に形成される。
なお、本件出願人は、未開示の先願技術である特願２００３−０３７３４３、特願２００２−３６０４０８、及び特願２００３−５５２３６等により、吐出方向を複数の方向に可変とする技術を既に提案しているが、この場合には、図３に示すように、２つに分割された発熱抵抗体２２が並設される。
【００２８】
さらにまた、ノズルシート１３は、複数のノズル１３ａが形成されたものであり、例えば、ニッケルによる電鋳技術により形成され、ノズル１３ａの位置が発熱抵抗体２２の位置と合うように、すなわちノズル１３ａが発熱抵抗体２２に対向するように、より具体的には、ノズル１３ａの中心軸と発熱抵抗体２２の中心とが平面的に見たときに一致するように（図２の平面図参照）、バリア層１２と貼り合わされている。なお、発熱抵抗体２２が２つに分割されている場合には、分割の中心がノズル１３ａの中心軸と一致するようにする（図３の平面図参照）。
【００２９】
インク液室１４は、発熱抵抗体２２を囲むように、半導体基板２１とバリア層１２とノズルシート１３とから構成されたものであり、吐出するインクが満たされるとともに、インクの吐出時にはインクの加圧室となるものである。半導体基板２１の発熱抵抗体２２が形成された面がインク液室１４の底壁を構成し、バリア層１２の発熱抵抗体２２を略凹状に囲む部分がインク液室１４の側壁を構成し、ノズルシート１３がインク液室１４の天壁を構成している。そして、インク液室１４は、図２の断面図に示すように、ヘッドモジュール１１と半導体基板２１との間の隙間によって形成される流路１６と連通される。
【００３０】
上記の１個のヘッドチップ２０には、通常、１００個単位の発熱抵抗体２２が備えられており、プリンタの制御部（図示せず）からの指令によってこれら発熱抵抗体２２のそれぞれを一意に選択して、発熱抵抗体２２に対応するインク液室１４内のインクを、インク液室１４に対向するノズル１３ａから吐出させることができる。
【００３１】
すなわち、インク液室１４にインクが満たされた状態で、発熱抵抗体２２に短時間、例えば、１〜３μｓｅｃの間パルス電流を流すことにより、発熱抵抗体２２が急速に加熱される。その結果、発熱抵抗体２２と接する部分に気相のインク気泡が発生し、そのインク気泡の膨張によってある体積のインクが押しのけられる（インクが沸騰する）。これによって、ノズル１３ａに接する部分の上記押しのけられたインクと同等の体積のインクがインク液滴としてノズル１３ａから吐出される。そして、この液滴が印画紙上に着弾されることで、ドット（画素）が形成される。
【００３２】
ここで、発熱抵抗体２２が２つに分割されている場合、その並び方向は、図３に示すように、ノズル１３ａの並び方向（図３の平面図中、左右方向）である。そして、各々の発熱抵抗体２２がインクを沸騰させる温度に到達するまでの時間（気泡発生時間）を同時にすれば、２つの発熱抵抗体２２上で同時にインクが沸騰し、インク液滴は、ノズル１３ａの中心軸方向に吐出される。
【００３３】
これに対し、２つに分割した発熱抵抗体２２の気泡発生時間に時間差が生じると、２つの発熱抵抗体２２上で同時にインクが沸騰しない。そのため、図３の断面図に矢印で示すように、インク液滴の吐出方向がノズル１３ａの中心軸方向から角度θだけずれ、ノズル１３ａの並び方向に偏向して吐出される。これにより、偏向なくインク液滴が吐出されたときの着弾位置からずれた位置に、インク液滴が着弾することとなる。
【００３４】
続いて、ヘッドモジュール１０のより詳細な構造について説明する。
図４は、１つのヘッドモジュール１０を示す平面図及び正面図である。本実施形態のヘッドモジュール１０は、内部に配置された４つのヘッドチップ２０と、モジュールフレーム１１と、ノズルシート１３と、バッファタンク１５とから構成されている。
【００３５】
モジュールフレーム１１は、厚みが約０．５ｍｍ程度のアルミナセラミックス、インバー鋼、ステンレス鋼等から形成されたものであり、図４に示すように、平面的に見たときに略長方形状に形成されるとともに、左右両端側には、略Ｌ形に切り欠かれた係合部１１ａを有する。また、本実施形態では、４箇所に、略長方形状のヘッドチップ配置孔１１ｂが形成されている。ヘッドチップ配置孔１１ｂは、ヘッドチップ２０の外形よりわずかに大きな孔形を有し、ヘッドチップ２０を内部に完全に配置できるようになっている。さらにまた、左右両端のヘッドチップ配置孔１１ｂは、係合部１１ａによって切り欠かれていないモジュールフレーム１１の左右両端部まで突き出ている。
【００３６】
図５は、モジュールフレーム１１をノズルシート１３上に配置した状態を示す平面図及び正面図である。本実施形態では、モジュールフレーム１１又はノズルシート１３に熱硬化型のエポキシ樹脂系フィルム接着材からなる接着層が予め形成されており、ホットプレスによって両者を熱圧着することで接合する。これにより、モジュールフレーム１１は、配線パターン部１３ｂを除くノズルシート１３の領域と略重なり合う。なお、配線パターン部１３ｂは、銅箔をポリイミド等で両面側から挟み込んだ、いわゆるサンドイッチ構造をなすことで形成されており、ヘッドチップ配置孔１１ｂ内にヘッドチップ２０が配置されたときに、超音波ボンダーによってヘッドチップ２０と電気的に接続される。
【００３７】
ノズルシート１３と接合されたモジュールフレーム１１のヘッドチップ配置孔１１ｂの領域内には、その下側に位置するノズルシート１３が見えるが、この部分に配線パターンはなく、ポリイミドフィルムのみである。そして、ヘッドチップ配置孔１１ｂの領域内にあるノズルシート１３に対して、１つのヘッドチップ２０における発熱抵抗体２２の数に対向する数のノズル１３ａを一方向に整列させたノズル１３ａ列が形成される。
【００３８】
ノズル１３ａの形成は、エキシマレーザーにより行う。また、レーザー光により形成されたノズル１３ａには、テーパーが付くため、モジュールフレーム１１側からレーザー光を照射してノズル１３ａを形成する。これにより、ノズル１３ａは、インクの吐出面（ノズルシート１３の外表面）に近づくに従って開口径が次第に小さくなるようにテーパーが付いた孔となる。
また、このときに、その後の工程で使用する位置合わせマーク１Ｌ，１Ｒ・・・４Ｌ，４Ｒも形成しておく。位置合わせマークの形状は、図５に示す例では円形であるが、十字型等、位置合わせに都合が良ければ特に限定されるものではない。また、位置の認識ができれば貫通していなくても良い。
【００３９】
ヘッドチップ２０は、図４に示すように、ヘッドチップ配置孔１１ｂ内にあって、発熱抵抗体２２の真下にノズル１３ａが位置する（ｘｙ方向の位置決め精度が±１μｍである）ように熱圧着されているが、ヘッドチップ２０の配置には、位置合わせマーク１Ｌ，１Ｒ・・・４Ｌ，４Ｒが利用されている。すなわち、ヘッドチップ配置孔１１ｂの領域内にあるノズルシート１３に形成された位置合わせマーク１Ｌ，１Ｒ・・・４Ｌ，４Ｒと、予めヘッドチップ２０に形成しておいた位置合わせマークとを合わせながら、チップマウンターを用いてアライメントしながら熱圧着する。なお、ノズルシート１３とヘッドチップ２０との間の接着層（感光性環化ゴムレジスト等からなるバリア層１２が接着層を兼ねる）の厚みを一定にするため、圧着力が均一になるように注意する必要がある。
【００４０】
バッファタンク１５は、インクを一時貯留するためのタンクである。そして、図４に示すように、バッファタンク１５の外面はモジュールフレーム１１の外形に沿った形状で、モジュールフレーム１１の外形よりも小さい略相似形となされている。なお、バッファタンク１５の接着は、ベース治具上にノズルシート１３を密着させ、ノズルシート１３の平坦性を確保しつつ行われる。
【００４１】
図６は、バッファタンク１５が取り付けられた状態を示す側面の断面図である。図６に示すように、バッファタンク１５の接着によってヘッドモジュール１０が完成すると、バッファタンク１５の内部に、空洞となった共通液体流路１５ａが形成される。すなわち、バッファタンク１５は、下面側（モジュールフレーム１１との接着面側）が開口されるとともに、側壁及び天壁が同一厚みに形成され、断面が略逆凹形となっていることから、共通液体流路１５ａを形成する。そして、図４に示すように、バッファタンク１５の天壁には穴１５ｂが形成されており、この穴１５ｂを介してインクタンク（図示せず）から共通液体流路１５ａ内にインクが供給される。
【００４２】
ところで、本実施形態では、図１に示すように、ヘッドモジュール１０を直列に４個接続したものを４列設けている。
ここで、ヘッドモジュール１０自体を精密な寸法で製作することができても、それを複数並べて高精度な液体吐出ヘッド１に仕上げるには困難が伴う。そして、ヘッドモジュールの配列精度が悪化すると、印刷したときのインク液滴の着弾位置に悪影響を及ぼし、精度が悪い場合には不良品となり、不良品が多いと歩留りが悪化するためコストアップになる。
【００４３】
そこで次に、複数のヘッドモジュール１０を用いて１つの液体吐出ヘッド１を製造する過程について説明する。
図７は、ヘッドモジュール１０を並べて配置した状態を示す平面図及び正面図である。図７中、平面図では複数のヘッドモジュール１０を図示しているが、正面図では、１つのヘッドモジュール１０が配置された状態を図示している。
【００４４】
図７の平面図に示すように、ベース治具５１には、位置合わせマークＢＬ，ＢＲが設けられており、これを基準として各ヘッドモジュール１０が載置される。すなわち、ベース治具５１の位置合わせマークＢＬ，ＢＲによって原点と平行出しを行い、これを基準に、ヘッドモジュール１０側の位置合わせマーク（図５に示す位置合わせマークの例えば１Ｌと３Ｒ）を利用し、マウンターを使って、合計１６個のヘッドモジュール１０をベース治具５１上に整列させて載置する。
【００４５】
ここで、ベース治具５１上には、粘着シート５２（紫外線、熱等で粘着力が低減するもの）が貼り付けられている。したがって、ベース治具５１上にヘッドモジュール１０をマウントすれば、ヘッドモジュール１０が平坦なベース治具５１に密着する。この場合、マウントの精度は、位置、平行度ともに通常±５〜１０μｍ程度であり、ヘッドモジュール１０のノズル面の平面度は、ベース治具５１の平坦面によって確保される。なお、粘着シート５２を用いるのではなく、例えば真空吸着によってヘッドモジュール１０を保持することもできる。
【００４６】
また、直列に整列した４つのヘッドモジュール１０は、各モジュールフレーム１１の両端部にある係合部１１ａ同士が係合するように、すなわち、略Ｌ形に切り欠かれた部分同士が互いに連結するように配置される。そのため、係合部１１ａによって切り欠かれていないモジュールフレーム１１の左右両端部にまで突き出したヘッドチップ２０は、その並び方向においてオーバーラップする。
【００４７】
図８は、このように整列した各ヘッドモジュール１０に対し、ヘッドフレーム２を接着する工程を示す正面図及び平面図である。ここで、ヘッドフレーム２は、直列に配置された４個のヘッドモジュール１０を内部に配置できるように、剛性の高い金属板等に対してヘッドモジュール配置孔２ａを４個形成したものである。すなわち、図８の平面図に示すように、ベース治具５１上に配置された４個のヘッドモジュール１０が内部に入り込むように、ヘッドモジュール配置孔２ａが形成されたものである。なお、ヘッドフレーム２には、別工程で既にプリント基板３が接着済みである。
【００４８】
ヘッドモジュール配置孔２ａの大きさは、ヘッドモジュール１０のバッファタンク１５よりも若干大きく、モジュールフレーム１１よりも若干小さくなっている。そのため、図８の正面図に示すように、上側からヘッドフレーム２をベース治具５１上に配置すると、バッファタンク１５の外面から全体的に突出するモジュールフレーム１１の鍔部１１ｃが図８の平面図のハッチング部と重なる。ここで、ハッチング部にはシリコン系の接着剤４が塗布されているので、各モジュールフレーム１１の鍔部１１ｃとヘッドフレーム２とがベース治具５１上で接合される。なお、接着剤４はインクシールを兼ねる。
【００４９】
図９は、ヘッドフレーム２を接着した後、ベース治具５１上から取り外す工程を示す正面図であり、図９（ａ）は、接着時の状態を示し、図９（ｂ）は、取り外し時の状態を示している。
図９（ａ）に示すように、ヘッドフレーム２は、基準位置合わせ５３によって、ヘッドモジュール１０に対する平面的な位置決めがされる。また、ヘッドフレーム２とヘッドモジュール１０との間に上下方向のギャップがあっても、ギャップのばらつきは接着剤４によって吸収される。したがって、ヘッドモジュール１０のノズル面の平面性はそのまま確保される。
【００５０】
そして、粘着シート５２の種類に応じて、光透過性材料（例えばガラス、アクリル等）からなるベース治具５１の下から粘着シート５２に紫外線を照射するか、粘着シート５２を加熱する等すれば、粘着シート５２の粘着力が低下する。すると、図９（ｂ）に示すように、ベース治具５１上から接合体（ヘッドモジュール１０及びヘッドフレーム２）を取り外すことができるようになる。
【００５１】
そして、図１中、Ｘ方向矢視側面図に示すように、ノズルシート１３の配線パターン部１３ｂとプリント基板３とをヒートバーではんだ付けし、はんだ付けした周辺部をシリコン系の封止材でコーティングすることで、図１に示す液体吐出ヘッド１が形成される。なお、プリント基板３は、平面図で見たときに、ヘッドフレーム２のヘッドモジュール配置孔２ａを避けるように形成されている。また、プリント基板３は、各ヘッドモジュール１０のモジュールフレーム１１とは接触せず、各ヘッドモジュール１０のモジュールフレーム１１間に配置される。
【００５２】
このように、図１に示す液体吐出ヘッド１は、４つのヘッドモジュール１０を１列に整列させることで、Ａ４対応のラインヘッドとなっている。また、ヘッドモジュール１０列（４個のヘッドモジュール１０からなるもの）を４列並べて、Ｙ、Ｍ、Ｃ、及びＫの４色（カラー）対応のカラーラインヘッドとなっている。
【００５３】
そして、直列に接続された２つのヘッドモジュール１０を、それぞれヘッドモジュール「Ｎ」（左側）、ヘッドモジュール「Ｎ＋１」（右側）とし、ヘッドモジュール「Ｎ」及び「Ｎ＋１」内の４つのヘッドチップ２０を左側から順に、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、及び２０Ｄ（図１参照）とすると、ヘッドモジュール「Ｎ」のヘッドチップ２０Ｄと、ヘッドモジュール「Ｎ＋１」のヘッドチップ２０Ａとは、少なくとも１つのノズル１３ａ（図５参照）が、ヘッドチップ２０の並び方向においてオーバーラップするように配置されている。すなわち、ヘッドモジュール「Ｎ」のヘッドチップ２０Ｄのうち、最もヘッドモジュール「Ｎ＋１」側にあるノズル１３ａは、ヘッドモジュール「Ｎ＋１」のヘッドチップ２０Ａのうち、最もヘッドモジュール「Ｎ」側にあるノズルよりも、右側に位置している。
【００５４】
上述したように、図１に示す液体吐出ヘッド１は、正確にヘッドモジュール１０を配置して組み立てられるが、配列精度を高めれば生産性に劣ることとなり、逆にヘッドモジュール１０の配列精度が悪ければ、インク液滴の着弾位置がずれてしまう。すなわち、ヘッドモジュールのつなぎ目でのドットずれ、画像の段差、カラーレジストレーションのずれ等が発生し、画質が低下する。
ここで、画質低下の原因である、ヘッドモジュール間におけるインク液滴の着弾位置ずれの態様には、ｘ方向（ノズル列方向）のずれ、ｙ方向（記録媒体の搬送方向）のずれ、ノズル列方向のドット並びの傾きがある。
【００５５】
図１０は、ｘ方向のずれの要因となるヘッドモジュール１０の位置不良を示す説明図であり、図１０（ａ）は、ヘッドモジュール１０のｘ方向の位置合わせがずれた状態を示し、図１０（ｂ）は、ヘッドモジュール１０のノズル面が基準平面に対してｙ軸方向を軸とした回転方向に傾いた状態を示している。
この場合、ｘ方向の着弾位置のずれ量は、ヘッドモジュール１０のｘ方向マウントずれとノズル面の傾きによるずれの合成となり、インク液滴がノズル１３ａから理想的に直進するとすれば、ずれ量は、ｘ＋ｄ・ｔａｎα（ｘ＝ｘ方向マウントずれ，ｄ＝ノズル１３ａと記録面との距離，α＝ヘッドモジュール１０のノズル面の傾き）となる。
【００５６】
図１１は、駆動位置補正手段による画質の低下防止の説明図である。例えば、図１１（ａ）のようにオーバーラップ部が８ノズル分あり、「Ｎ」番目のヘッドモジュールから「Ｎ＋１」番目のヘッドモジュールへの切り替え位置が左から４ノズルと５ノズルの間としたとき、ｘ方向の着弾位置ずれが無ければ、図１１（ａ）のようにドットは等間隔でつながる。
ここで、例えば「Ｎ＋１」番目のヘッドモジュールが右に２．３ドット分ずれて組み立てられた場合（前記傾きαはゼロとする）、図１１（ｂ）のようになり着弾ドットに隙間が生じる。
隙間が生じると、印刷方向に白い部分、いわゆる白スジが生じ、好ましくない。
【００５７】
そこで、本実施形態では、ノズル１３ａ列の中でインク液滴を実際に吐出する駆動ノズルを調整するための駆動位置補正手段（本発明における「着弾位置補正手段」に相当するものの１例である）を備えることにより、画質の低下を防止している。
図１１（ｂ）の場合、「Ｎ＋１」番目の駆動ノズルの位置を全体に左に２ドットシフトすることで、図１１（ｃ）のように、つなぎ目のドット間隔を正規の間隔の１．３倍まで近づけることができる。
このことにより白スジを目立たなくすることが出来る。
【００５８】
「Ｎ＋１」番目のヘッドモジュールの組立て位置が左にずれている場合は、補正なしだと着弾ドットに重なりが生じることになる。印刷物には、印刷方向にスジ状の濃度の濃い部分が生じる。
この場合も、上記と同様に駆動ノズルを全体に右にシフトすることでつなぎ目が目立たないように補正することができる。
つなぎ目のドット間隔は任意に設定できるが、本実施形態では正規のドット間隔の０．５倍以上１．５倍未満になるよう調整している。これは、画質などを考慮して、例えば０．３倍以上１．３倍未満、０より大きく１倍以下、等としてもよい。白すじを目立たなくするためには、少なくとも１．５倍以下であることが望ましい。
【００５９】
また、本実施形態では、ノズル１３ａから吐出するインク液滴の吐出方向をノズル１３ａ列の並び方向において複数の方向に可変とした偏向吐出手段（本発明における「着弾位置補正手段」の他の例である）を備えている。すなわち、図３に示すように、２つに分割した発熱抵抗体２２の気泡発生時間に時間差を生じさせることで、インク液滴の吐出方向をノズル１３ａ列の並び方向に偏向して吐出させることができるようになっている。したがって、ｘ方向マウントずれを完全に解消することができるので、個々のヘッドモジュール１０の位置精度、各ヘッドモジュール１０相互間の位置精度を高くしなくても、高画質を得ることができるようになる。
【００６０】
なお、ｘ方向マウントずれが偏向吐出手段のみで解消できる程度ならば、駆動位置補正手段による駆動ノズルの調整は不要である。
また、ノズル面の傾きに関しても、傾きαに相当する偏向吐出を行うことにより、ノズル面の傾きによるずれを完全に解消することができる。
【００６１】
図１２は、ｙ方向のずれの要因となるヘッドモジュール１０の位置不良を示す説明図であり、図１２（ａ）は、ヘッドモジュール１０のｙ方向の位置合わせがずれた状態を示し、図１２（ｂ）は、ヘッドモジュール１０のノズル面が基準平面に対してｘ軸方向を軸とした回転方向に傾いた状態を示している。
この場合、ｙ方向の着弾位置のずれ量は、ｘ方向の場合と同様、ｙ＋ｄ・ｔａｎβ（ｙ＝ｙ方向マウントずれ，ｄ＝ノズル１３ａと記録面との距離，β＝ヘッドモジュール１０のノズル面の傾き）となる。
【００６２】
本実施形態では、「Ｎ」番目のヘッドモジュール１０（Ｎ）の各ノズル１３ａからインク液滴を吐出するタイミングと、「Ｎ＋１」番目のヘッドモジュール１０（Ｎ＋１）の各ノズル１３ａからインク液滴を吐出するタイミングとの間に時間差を設けるモジュール間時間補正手段（本発明における「着弾位置補正手段」の他の例である）を備えることにより、ｙ方向マウントずれ及びノズル面の傾きによるずれを解消している。すなわち、吐出タイミングは、吐出周期単位で調整が可能なので、ｙ方向の記録ピッチ単位での調整ができる。
【００６３】
この点に関しさらに詳述すると、本実施形態の場合、ヘッドモジュール１０が固定されており、記録媒体（紙、ＯＨＰフィルム等）を搬送しながらインク液滴を吐出するので、記録媒体の搬送速度と吐出周期とによって搬送方向（図１２の左右方向）の解像度が決まる。そこで、図１２の例においては、搬送速度を考慮し、「Ｎ＋１」番目のヘッドモジュール１０（Ｎ＋１）の吐出周期を２周期分だけ調整することで、ｙ方向マウントずれをほぼ解消している。なお、図１２では、ノズル間隔とｙ方向の記録ピッチとが等しく表現されているが、ｙ方向の記録ピッチについてはノズル間隔より細かくすることができ、例えば、搬送方向の解像度が１２００ｄｐｉであれば２１．２μｍ、４８００ｄｐｉのであれば５．３μｍピッチでの調整が可能となる。
【００６４】
図１３は、ノズル列方向のドット並びの傾きの要因となるヘッドモジュール１０の位置不良を示す説明図である。
図１３に示すように、ノズル列方向のドット並びの傾きは、ヘッドモジュール１０の向きがｘｙ平面上で傾く、すなわち、ノズル列がｘ軸に平行でなくなることにより生ずる。
【００６５】
ヘッドモジュール１０の傾きは、ｙ方向マウントずれの場合と同様に、吐出タイミングをずらすことで調整することができるが、本実施形態では、傾いた「Ｎ＋１」番目のヘッドモジュール１０（Ｎ＋１）におけるノズル１３ａ列を３ブロックに分け、各ブロックごとに液滴を吐出するタイミングを変化させるブロック間時間補正手段（本発明における「着弾位置補正手段」の他の例である）を備えることで、より細かい調整を可能としている。
【００６６】
ブロックの数は、傾きの大きさと搬送方向（図１３の左右方向）の記録ピッチに応じて決定すれば良く、本実施形態では、８個のノズル１３ａからなるブロックを３ブロックとした。そして、各ブロックの吐出周期を１周期ずつずらすことで、画像の段差を最小限（記録ピッチ以下）にしている。例えば、ｘ軸からのずれが３０μｍで傾いている場合、記録ピッチが５．３μｍ（４８００ｄｐｉ）で、ヘッドモジュール１０の記録幅が５４．１４４ｍｍ（６００ｄｐｉで１２００ドットに相当）のとき、幅９．５６７ｍｍ（２２６ドット）ごとに１周期ずらせば、ほぼ平行に補正することができる。なお、幅１９．１３４ｍｍ（５５２ドット）ごとに２周期ずらせば段差が大きくなるが、ブロック間時間補正手段を簡素化することができる。
【００６７】
次に、高画質を得るための液体吐出ヘッドの吐出調整方法について説明する。最初に、図１に示す各ヘッドモジュール１０の各ノズル１３ａから初期状態でインク液滴を吐出し、例えば、各ヘッドモジュール１０ごとのノズル１３ａ列の並び方向の直線ラインパターンを印刷する（第１工程）。印刷するパターンは必ずしも直線ラインである必要はなく、各ヘッドモジュールの相対的な位置関係が分かれば、ジグザグであっても曲線であってもよい。この印刷は、紙送り精度を精密に管理した検査用の印刷機を使用して行う。第１工程によって印刷されたパターン（ライン）は、スキャナを使用した第２工程で、各ヘッドモジュール１０ごとのインク液滴の着弾位置として取り込まれる。そして、取り込まれた着弾位置を基に各ヘッドモジュール１０ごとの位置合わせ基準を決定する（第３工程）。
【００６８】
図１４は、位置合わせ基準の決定方法を示す説明図である。また、図１５は、ｙ方向のずれの最大値を決定する方法を示す説明図である。
位置合わせ基準の決定に際しては、各ヘッドモジュールによる着弾位置（始点及び終点位置）を測定する。そして、図１４に示すように、各ヘッドモジュールによる印刷ラインの重心を原点とし、印刷ラインの方向の平均をｘ軸の向きとして、位置合わせ基準を計算で算出する。また、ｙ方向のずれの最大値は、図１５に示すように、各ヘッドモジュールの位置合わせ基準を直線上に並べて算出する。印刷ラインと位置合わせ基準とのずれは、ｘ、ｙ、傾きの３つのパラメータに分けられ、第４工程で、補正情報としてＲＯＭ（本発明における位置補正記憶手段に相当するもの）に記憶される。
【００６９】
図１６は、補正情報に基づく液体吐出ヘッドの動作フローチャート及びブロック図である。図１６に示すように、印刷画像データは、ＤＳＰ（デジタルシグナルプロセッサ）に読み込まれて２値化処理される。一方、各ヘッドモジュールの各ノズルから初期状態で吐出されたインク液滴の着弾位置ずれは、上記のとおり、補正情報としてＲＯＭに格納されており、ＤＳＰが読み取る。
【００７０】
そして、この補正情報に基づいて、２値化処理された印刷画像データをＤＳＰ内で位置補正処理を行い、インク液滴の吐出を制御して印刷する。すなわち、駆動位置補正手段、偏向吐出手段、モジュール間時間補正手段及びブロック間時間補正手段を用いて、上述したように、ｘ方向（ノズル列方向）のずれ、ｙ方向（記録媒体の搬送方向）のずれ、ノズル列方向のドット並びの傾きを補正する。したがって、液体吐出ヘッドの組立て精度を高くしなくても、高画質を得ることができる。
【００７１】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上述した実施形態に限定されることなく、例えば以下のような種々の変形が可能である。
（１）モジュールフレーム１１には４つのヘッドチップ配置孔１１ｂを形成することで、１つのヘッドモジュール１０には４つのヘッドチップ２０が搭載されるようにした。しかし、これに限らず、１つのヘッドモジュール１０に対してヘッドチップ２０を何個搭載しても良い。
【００７２】
（２）ラインヘッドとして液体吐出ヘッド１を形成するに際し、本実施形態では、４個のヘッドモジュール１０を直列に接続したヘッドモジュール１０列を４列設けたが、これに限らず、液体吐出ヘッド１の用途や色数に応じて、１つの液体吐出ヘッド１のヘッドモジュール１０数を増減することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明による液体吐出ヘッドの一実施形態を示す平面図及び図中、Ｘ方向の矢視側面図（断面図）である。
【図２】液体吐出ヘッド内に実装されているヘッドチップとその周囲の構成を示す断面図及び下面から見た平面図である。
【図３】吐出方向を複数の方向に可変としたヘッドチップを部分的に示す平面図及び側面の断面図である。
【図４】１つのヘッドモジュールを示す平面図及び正面図である。
【図５】モジュールフレームをノズルシート上に配置した状態を示す平面図及び正面図である。
【図６】バッファタンクが取り付けられた状態を示す側面の断面図である。
【図７】ヘッドモジュールを並べて配置した状態を示す平面図及び正面図である。
【図８】各ヘッドモジュールに対し、ヘッドフレームを接着する工程を示す正面図及び平面図である。
【図９】ヘッドフレームを接着した後、ベース治具上から取り外す工程を示す正面図である。
【図１０】ｘ方向のずれの要因となるヘッドモジュールの位置不良を示す説明図である。
【図１１】駆動位置補正手段による画質の低下防止の説明図である。
【図１２】ｙ方向のずれの要因となるヘッドモジュールの位置不良を示す説明図である。
【図１３】ノズル列方向のドット並びの傾きの要因となるヘッドモジュールの位置不良を示す説明図である。
【図１４】位置合わせ基準の決定方法を示す説明図である。
【図１５】ｙ方向のずれの最大値を決定する方法を示す説明図である。
【図１６】補正情報に基づく液体吐出ヘッドの動作フローチャート及びブロック図である。
【符号の説明】
【００７４】
１  液体吐出ヘッド
２  ヘッドフレーム
２ａ  ヘッドモジュール配置孔
３  プリント基板
４  接着剤
１０  ヘッドモジュール
１１  モジュールフレーム
１１ａ  係合部
１１ｂ  ヘッドチップ配置孔
１１ｃ  鍔部
１２  バリア層
１３  ノズルシート
１３ａ  ノズル
１３ｂ  配線パターン部
１３ｃ  電極
１３ｄ  開口部
１４  インク液室
１５  バッファタンク
１５ａ  共通液体流路
１５ｂ  穴
１６  流路
２０  ヘッドチップ
２１  半導体基板
２２  発熱抵抗体
２３  接続パッド
５０  保持手段
５１  ベース治具
５２  粘着シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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