(57)【要約】【課題】基板カセットにおける基板の収納枚数を多くすると共に、任意の棚に収納された基板の搬入出ができるようにすることである。【解決手段】直方体枠状に形成され、その一側面にガラス基板Ｇの搬入出用開口１ａが設けられたカセット本体１に、前記搬入出用開口１ａと略平行にして複数本の支持軸４を略水平面内に配置させ、各段の支持軸４を独立して駆動回転させることにより、それらに支持されたガラス基板Ｇを搬入出させる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
直方体枠状のカセット本体に基板を多段支持する多数の棚が形成され、前記カセット本体の特定の側面が基板の搬入出用開口となっていて、前記棚を構成する棚部材は、前記搬入出用開口と略平行となって略水平面内に配置された複数本の支持部材で構成された基板カセットであって、
前記支持部材は回転可能になっていることを特徴とする基板カセット。
【請求項２】
各段の棚を構成する複数本の支持部材は、駆動手段により各段毎に独立して駆動回転されることを特徴とする請求項１に記載の基板カセット。
【請求項３】
各段の棚を構成する複数本の支持部材は、制動手段により、各段毎に独立して制動されることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板カセット。
【請求項４】
前記制動手段は、制動機能を有する駆動モータであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板カセット。
【請求項５】
前記各支持部材どうしの間には、遮蔽板が設けられていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の基板カセット。
【請求項６】
請求項１に記載の基板カセットと、
該基板カセットにおける基板の搬入出用開口の前方に前記基板カセットに対して相対的に昇降可能に配置されて、基板を保持して前記基板カセットに搬入出させる基板搬入出手段とを備えたことを特徴とする基板搬入出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数枚の基板を多段に収納するための基板カセットと、前記基板カセットに基板を搬入出させるための基板搬入出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置等に使用されるガラス基板を、多段に収納するための基板カセットには各種のものが存している（例えば、特許文献１参照）。このガラス基板は、平面視において方形の薄板状であり、その大きさは、５００ｍｍ×６００ｍｍのものから、近時の技術の発展に伴い、２０００ｍｍ×１８００ｍｍのものも存している。
【０００３】
前記基板カセットにおいて、収納状態におけるガラス基板の撓みを防止するため、水平面内に複数本の貫通する支持部材を取付けた構成のものが存している。しかし、この構成の基板カセットでは、各ガラス基板を搬入出させるために、それらを基板支持棒に対して昇降させるための昇降装置と、ガラス基板を水平移動させるための移動装置とを別途、設けなければならない。
【０００４】
例えば、図１１に示される基板カセットＡ’は、複数本のローラ付きフレーム５１が、基板カセットＡ’の底面部を貫通して昇降する形態である。各ローラ付きフレーム５１の上面には、ガラス基板Ｇを移動させるための駆動ローラ５２が設けられていて、各駆動ローラ５２を所定方向に回転させることによって、支持部材５３から持ち上げたガラス基板Ｇを搬入出させる。このため、ガラス基板Ｇを持ち上げる分だけ、棚間隔Ｈ’を大きくしなければならない。また、この構成の基板カセットＡ’の場合、ガラス基板Ｇを基板カセットＡ’から搬出させる際には、最下段の基板収納棚Ｒに支持されたガラス基板Ｇから順次、上段のガラス基板Ｇを搬出させる必要がある。同様に、ガラス基板Ｇを基板カセットＡ’に搬入させる際には、最上段の基板収納棚Ｒから順次、下段の基板収納棚Ｒに搬入させる必要がある。このため、ガラス基板Ｇを、任意の基板収納棚Ｒに搬入出することは困難である。また、前記ローラ付きフレーム５１を、基板カセットＡ’の両サイドから挿入させる構成にすると、棚間隔Ｈ’が大きくなってしまい、ガラス基板Ｇの収納枚数が少なくなってしまう。更に、前記ローラ付きフレーム５１を設けなければならないため、設備が大掛かりなものとなってしまう。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−１９８４０５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した不具合に鑑み、各基板を基板カセットの任意の段に搬入出できるようにすると共に、基板カセットの外形寸法をほぼ同一にしたままで、該基板カセットに収納される基板の枚数が多くなるようにすることを課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための請求項１の発明は、直方体枠状のカセット本体に基板を多段支持する多数の棚が形成され、前記カセット本体の特定の側面が基板の搬入出用開口となっていて、前記棚を構成する棚部材は、前記搬入出用開口と略平行となって略水平面内に配置された複数本の支持部材で構成された基板カセットであって、前記支持部材は回転可能になっていることを特徴としている。
【０００８】
この発明によれば、各段の棚を構成する複数本の支持部材が回転自在であるため、各支持部材に基板を支持したままで搬入出が可能である。これにより、基板カセットに対して、該基板の搬入出手段を相対的に昇降させて、前記搬入出手段を特定の段の棚に配置させることにより、任意の段の棚に対して基板の搬入出をすることができる。また、前記基板を支持部材から離して搬入出させる必要はない。これにより、各段に形成された基板収納棚の棚間隔を低くすることができ、基板カセットの外形寸法を大きくすることなく、基板の収納枚数を増加させることができる。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１の発明を前提として、各段の棚を構成する複数本の支持部材は、駆動手段により各段毎に独立して駆動回転されることを特徴としている。この発明によれば、基板カセット自体に基板の搬入出機能を有しているため、別途、基板の搬入出手段を設ける必要がない。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１又は２の発明を前提として、各段の棚を構成する複数本の支持部材は、制動手段により、各段毎に独立して制動されることを特徴としている。この発明によれば、制動手段の作用により、基板カセットの搬送時、昇降時等の移動時において、各支持部材で支持している基板が支持位置から移動しにくくなると共に、制動手段の解除により、各棚に対する基板の搬入出が可能となる。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項１ないし３のいずれかの発明を前提として、前記制動手段は、制動機能を有する駆動モータであることを特徴としている。この発明によれば、同一の駆動モータにより、棚を構成する各支持部材の駆動と制動との双方が可能となる。
【００１２】
請求項５の発明は、請求項１ないし４のいずれかの発明を前提として、前記各支持部材どうしの間には、遮蔽板が設けられていることを特徴としている。この発明によれば、各支持部材に直接支持された基板が、前記各支持部材と接触しながら滑ることにより摩耗粉等の異物が生じても、それらが落下して下方の基板に付着することが防止される。
【００１３】
請求項６に記載の発明は、請求項１に記載の基板カセットと、該基板カセットにおける基板の搬入出用開口の前方に前記基板カセットに対して相対的に昇降可能に配置されて、基板を保持して前記基板カセットに搬入出させる基板搬入出手段とを備えたことを特徴としている。この発明によれば、基板カセットに基板を搬入出させるための機構は、該基板カセットと別体にして設けられている。このため、基板カセットの構成を簡単なものにすることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態を挙げて本発明を更に詳細に説明する。図１は第１実施形態の基板カセットＡ１  の全体斜視図、図２は同じく平面図、図３は基板カセットＡ１  の要部の拡大平面図、図４は同じく拡大正面図、図５は同じく拡大側面図、図６は図５の部分の斜視図である。図１及び図２に示されるように、第１実施形態の基板カセットＡ１  を構成する直方体枠状のカセット本体１は、樹脂、或いは金属と樹脂との複合体より成る。そして、その左右の側面と奥の側面に、複数本（本実施形態の場合、左右の側面に６本、奥の側面に２本）の縦板２が所定間隔をおいて取付けられていると共に、その上下面に複数本（本実施形態の場合、３本）の横板３が所定間隔をおいて取付けられている。また、その手前の側面は、ガラス基板Ｇを搬入出させるために開口されていて、搬入出用開口１ａが形成されている。ガラス基板Ｇは、前記搬入出用開口１ａから搬入出方向Ｐに沿ってカセット本体１内に搬入出される。
【００１５】
前記カセット本体１の左右の側面に取付けられた各縦板２どうしは、相対向して取付けられている。そして、各縦板２には、４本の支持軸４が、前述したガラス基板Ｇの搬入出用開口１ａと略平行となって、しかも、略水平面内に、所定間隔をおいて取付けられている。これらの支持軸４の上方の空間部には、各支持軸４を「棚部材」として、ガラス基板Ｇを収納するための基板収納棚Ｒが形成されている。更に、４本の支持軸４は、各縦板２の高さ方向に所定間隔（棚間隔Ｈ）をおいて取付けられている。この結果、カセット本体１の内部に、多段にして各基板収納棚Ｒが形成されている。
【００１６】
図３及び図４に示されるように、前記各支持軸４は、それらの両端部が、対応する縦板２に取付けられた軸受５に支承されている。このため、各支持軸４は回転自在である。また、各支持軸４の両端部の近傍には、ガラス基板Ｇの幅方向の端部を支持するための段付軸形状の端部支持体６が対称にして装着されていると共に、一対の端部支持体６の間には、ガラス基板Ｇの中央部を支持するための４個の中央部支持体７が、所定間隔をおいて装着されている（図２参照）。一対の端部支持体６の外径と、各中央部支持体７の外径は同一である。基板カセットＡ１  の各基板収納棚Ｒに収納されたガラス基板Ｇは、一対の端部支持体６と各中央部支持体７に載置されて支持される。これにより、ガラス基板Ｇは、その幅方向の両端部だけでなくその中央部も支持されて、該ガラス基板Ｇが撓むことが防止される。しかも、前記一対の端部支持体６には、大径のフランジ部６ａが設けられている。このため、基板カセットＡ１  に収納されたガラス基板Ｇが、例えば搬送中の振動により水平方向にずれた場合であっても、該ガラス基板Ｇの幅方向の端縁部が前記フランジ部６ａに当接する。この結果、前記ガラス基板Ｇの幅方向の端部が、いずれかの端部支持体６から外れるおそれはない。
【００１７】
第１実施形態の基板カセットＡ１  では、前述した各段の支持軸４は、ブレーキ付きの駆動モータＭによって同時に同方向に回転される。次に、その構成について説明する。図２ないし図４に示されるように、各支持軸４の一端部は、対応する縦板２から突出されていて、当該部分に、マグネティックカップリングＣを構成する従動側の円筒体８が装着されている。また、前記マグネティックカップリングＣを構成する駆動側の円筒体９は、基板カセットＡ１  の一方側の側面に、基板カセットＡ１  の奥行方向（ガラス基板Ｇの搬入出方向Ｐ）に沿って取付けられた駆動回転軸１１に装着されている。この駆動回転軸１１の両端部は、カセット本体１を構成する最前部と最後部の各縦板２に取付けられたブラケット１２に、回転可能に支承されている。また、前記駆動回転軸１１の奥側の端部は、駆動モータＭのモータ軸１３に連結されている。各駆動モータＭは、それぞれ独立して駆動させることができる。
【００１８】
前記マグネティックカップリングＣは、各支持軸４と駆動回転軸１１を磁力により非接触で連結するものである。図４及び図５に示されるように、マグネティックカップリングＣを構成する従動側の円筒体８の外周面には、Ｎ極の磁力板とＳ極の磁力板とが、軸方向に沿って傾斜状態で交互に貼り付けられている。同じく、駆動側の円筒体９の外周面には、Ｎ極の磁力板とＳ極の磁力板とが、傾斜状態で交互に貼り付けられている。駆動モータＭを作動させ、そのモータ軸１３を所定方向に回転させると、それに伴って駆動回転軸１１及び駆動側の各円筒体９も同方向に回転される。すると、各円筒体９の外周面に貼り付けられたＮ極の磁力板とＳ極の磁力板が交互に、従動側の円筒体８の外周面に貼り付けられたＮ極の磁力板とＳ極の磁力板に磁力を作用させる。これにより、従動側の円筒体８が所定方向に回転され、それに伴って各支持軸４が同方向に駆動回転される。このように、各支持軸４は、マグネティックカップリングＣを介して、非接触で駆動回転軸１１に連結されている。ここで、前記駆動モータＭはブレーキを内装している。このため、駆動モータＭの非作動時にはブレーキが作動され、各支持軸４が自由回転しないようにしている。これにより、基板カセットＡ１  の搬送時等において、収納された各ガラス基板Ｇがずれて落下するおそれはない。
【００１９】
図４に示されるように、第１実施形態の基板カセットＡ１  における各段の支持軸４の間で、前述した棚間隔Ｈのほぼ中央部分には、基板カセットＡ１  の横断面のほぼ全域に亘って遮蔽板１４が取付けられている。この遮蔽板１４は、下側のガラス基板Ｇに異物が付着することを防止するためのものである。即ち、駆動モータＭを作動させて各支持軸４を駆動回転させると、各支持軸４に支持されたガラス基板Ｇが水平移動される。このとき、一対の端部支持体６及び各中央部支持体７の部分では、それらとガラス基板Ｇの裏面とが常に接触しているため、該ガラス基板Ｇを水平移動させる際に、摩耗粉等の異物が生じるおそれがある。この異物が落下し、直下のガラス基板Ｇに付着すると、該ガラス基板Ｇが不良となってしまう。しかし、本実施形態の基板カセットＡ１  では、各段の支持軸４の間に遮蔽板１４が設けられているため、異物が直下のガラス基板Ｇに落下することはない。これにより、直下のガラス基板Ｇが不良となることが防止され、当該ガラス基板Ｇが使用される液晶表示装置の生産効率を向上させることができる。
【００２０】
第１実施形態の基板カセットＡ１  において、該基板カセットＡ１  の特定の基板収納棚Ｒに収納されたガラス基板Ｇを搬出する場合の作用について説明する。図７に示されるように、基板カセットＡ１  が、その搬入出用開口１ａを基板載置台１５に近接して設置される。そして、基板カセットＡ１  と基板載置台１５とを相対的に昇降させ、両者の高さを合致させる。これにより、基板カセットＡ１  の特定の基板収納棚Ｒを構成する各支持軸４に装着されている端部支持体６と中央部支持体７は、前記基板載置台１５の上面に設けられた各駆動ローラ１５ａとほぼ同一高さに配置される。これらの駆動ローラ１５ａは、図示しない手段により駆動可能である。この状態で、特定の基板収納棚Ｒに対応する駆動モータＭのみを作動させ、駆動回転軸１１を回転させ、マグネティックカップリングＣを介して当該基板収納棚Ｒにおける各支持軸４を所定方向Ｑ（ガラス基板Ｇを搬出させる方向）に駆動回転させる。これにより、図８に示されるように、特定の基板収納棚Ｒを構成する各支持軸４に支持されていたガラス基板Ｇが水平移動される。このとき、ガラス基板Ｇの底面部と、各支持軸４における一対の端部支持体６及び各中央部支持体７との間で摩耗粉等の異物が生じても、該異物は遮蔽板１４に落下するのみで、直下のガラス基板Ｇに付着することはない。このため、直下のガラス基板Ｇが不良となることが防止される。
【００２１】
各支持軸４が駆動回転されることによって水平移動され、基板カセットＡ１  の搬入出用開口１ａから突出したガラス基板Ｇは、基板載置台１５の上面に設けられた各駆動ローラ１５ａに駆動されながら搬出される。別の基板収納棚Ｒにガラス基板Ｇを搬入出させる場合、基板カセットＡ１  と基板載置台１５を相対的に昇降させて、上記と同一の作用を行う。また、基板カセットＡ１  の特定の基板収納棚Ｒにガラス基板Ｇを搬入させる場合には、上記と逆の作用を行う。
【００２２】
上記したように、第１実施形態の基板カセットＡ１  は、各基板収納棚Ｒに対応して取付けられた駆動モータＭを独立して作動させることにより、当該基板収納棚Ｒにおける各支持軸４を駆動回転させ、前記各支持軸４に支持されたガラス基板Ｇを搬入出させる形態である。各駆動モータＭは、各段毎に独立して駆動させることができるため、ガラス基板Ｇを、基板カセットＡ１  の任意の基板収納棚Ｒに搬入出させることができる。また、ガラス基板Ｇを、各支持軸４に支持させたままの状態で搬入出させることができる（換言すれば、ガラス基板Ｇを搬入出させるために、それらを各支持軸４から持ち上げる必要がない）。特に、ガラス基板Ｇの幅方向の両端部のみを支持する形態のカセット本体では、ガラス基板Ｇの中央部の撓み量が大きくなるため、搬入出の際に持ち上げる量も大きくなり、棚間隔も大きくしなければならない。しかし、本発明の基板カセットＡ１  では、ガラス基板Ｇを各支持軸４に支持させたまま搬入出させることができるため、各支持軸４の棚間隔Ｈを小さくすることができる。これにより、基板カセットＡ１  の全体の大きさをそのままにして、該基板カセットＡ１  におけるガラス基板Ｇの収納枚数を多くすることができる。
【００２３】
次に、第２実施形態の基板カセットＡ２  について、第１実施形態の基板カセットＡ１  と異なる部分についてのみ説明する。図９及び図１０に示されるように、第２実施形態の基板カセットＡ２  は、第１実施形態の基板カセットＡ１  と同一形状のカセット本体１に、同一形状の各支持軸４が回転自在に支承されている。各支持軸４は、それぞれマグネティックカップリングＣを介して、各回転軸１６（第１実施形態の基板カセットＡ１  における駆動回転軸１１に相当する）に連結されているが、前記各回転軸１６の一端部は、電磁ブレーキＢに接続されている。この電磁ブレーキＢは、通電状態においてブレーキが解除されると共に、非通電状態においてブレーキが作用する構成である。このため、前記電磁ブレーキＢの非通電状態では、各支持軸４は回転不能である。また、各段の電磁ブレーキＢは、それぞれ独立して作動させることができる。
【００２４】
第２実施形態の基板カセットＡ２  では、第１実施形態の基板カセットＡ１  と同様に、ガラス基板Ｇを支持するための各支持軸４は回転自在であるが、これらが駆動回転されることはない。このため、第２実施形態の基板カセットＡ２  は、その搬入出用開口１ａの前方に、前記基板カセットＡ２  に対して相対的に昇降可能に配置されて、ガラス基板Ｇを搬入出させるための基板搬入出手段（ガイドレール１７、ボールねじ２１等）を備えた基板載置台１５と組み合わされて使用される。即ち、基板カセットＡ２  と基板搬入出手段とから、基板搬入出装置Ｄが構成されている。
【００２５】
次に、基板搬入出手段について説明する。図９に示されるように、基板カセットＡ２  に対して相対的に昇降可能な基板載置台１５の上面には、その幅方向（ガラス基板Ｇの搬入出方向Ｐと直交する水平方向）に沿って、複数本の駆動ローラ１５ａが取付けられている。これらの駆動ローラ１５ａは、図示しない手段により駆動され、搬入出されるガラス基板Ｇを支持しながら水平移動させるためのものである。そして、前記基板載置台１５の上面で、幅方向のほぼ中央部には、基板載置台１５の長手方向（ガラス基板Ｇの搬入出方向Ｐ）に沿って、ガイドレール１７が敷設されている。ガイドレール１７に装着されたガイド体１８には、アーム１９が取付けられている。また、前記ガイドレール１７に隣接して、ボールねじ２１が配設されていて、ボールねじ２１は、その一端部に連結されたボールねじ用モータ２２を駆動させることにより所定方向に回転される。アーム１９の後端部に取付けられたナット部材２３が、前記ボールねじ２１に螺合されている。このため、ボールねじ用モータ２２を作動させることにより、アーム１９は、ガイドレール１７にガイドされながら、ガラス基板Ｇの搬入出方向Ｐに沿って進退される。また、アーム１９の前端部には、ガラス基板Ｇの端部の下面を真空吸着するための各吸着パッド１９ａが設けられている。これらの吸着パッド１９ａは、真空吸着装置（図示せず）に接続されている。
【００２６】
基板搬入出装置Ｄの作用を説明する。ここでは、第２実施形態の基板カセットＡ２  の特定の基板収納棚Ｒに収納されたガラス基板Ｇを搬出する場合の作用について説明する。基板カセットＡ２  と基板載置台１５とを相対的に昇降させ、両者の高さを合致させる。ボールねじ用モータ２２を作動させ、ボールねじ２１を所定方向に回転させる。そして、アーム１９を、ガイドレール１７にガイドさせながら、ガラス基板Ｇの搬入出方向Ｐに沿って前進させる。これにより、アーム１９の前端部は、基板カセットＡ２  に入り込み、該基板カセットＡ２  における特定の基板収納棚Ｒに収納されたガラス基板Ｇの後端部の直下に配置される。この状態で、真空吸着装置を作動させると、ガラス基板Ｇの後端部の下面とアーム１９の各吸着パッド１９ａとが真空吸着される。
【００２７】
この状態で、特定の基板収納棚Ｒにおける電磁ブレーキＢに通電してそのブレーキを解除させる。この結果、前記特定の基板収納棚Ｒを構成する各支持軸４は、回転自在となる。そして、再びボールねじ用モータ２２を作動させ、ボールねじ２１を反対方向に回転させる。アーム１９は、ガラス基板Ｇの後端部を真空吸着したまま、ガラス基板Ｇの搬入出方向Ｐに沿って後退される。これにより、特定の基板収納棚Ｒに収納されていたガラス基板Ｇは、各支持軸４を回転させながら搬出される。その状態のガラス基板Ｇを、図１０において二点鎖線で示す。このとき、ガラス基板Ｇの底面部と各支持軸４に装着された端部支持体６及び中央部支持体７とが接触することによって異物が生じても、その異物は遮蔽板１４に落下するのみで、下方のガラス基板Ｇに付着するおそれがないことは、第１実施形態の基板カセットＡ１  の場合と同様である。
【００２８】
基板カセットＡ２  における特定の基板収納棚Ｒから引き出されたガラス基板Ｇは、基板載置台１５に設けられた各駆動ローラ１５ａに支持される。この基板カセットＡ２  にガラス基板Ｇを搬入させるときは、上記と逆の作用を行う。
【００２９】
この実施形態の基板カセットＡ２  の場合、ガラス基板Ｇの搬入出手段は、基板カセットＡ２  と別体にして設けられている。このため、第１実施形態の基板カセットＡ１  と同様の効果が奏されることに加えて、基板カセットＡ２  の構成を簡単なものにすることができる。また、基板カセットＡ２  と別体に設けられた基板搬入出手段によって、該基板カセットＡ２  から搬出されたガラス基板Ｇを、そのまま別の装置にセットさせることもできる。
【００３０】
上記した第１実施形態の基板カセットＡ１  では、各支持軸４の駆動手段、及び制動手段として、ブレーキ付きの駆動モータＭを使用している。このため、同一の駆動モータＭで、駆動と制動の双方を行うことができる。しかし、前記駆動モータＭがブレーキなしのものであっても、例えば減速のための歯車機構が内装されている場合、該歯車機構によって上記のブレーキ作用とほぼ同一の作用を実現させることができる。
【００３１】
上記した第１及び第２の各実施形態の基板カセットＡ１，Ａ２  では、ガラス基板Ｇを支持するための各支持軸４と駆動モータＭに接続された駆動回転軸１１とをマグネティックカップリングＣによって連結した形態である。このため、クリーンルームであっても、そのまま使用できるという利点がある。しかし、歯車やベルト等を使用して、両者を連結させても構わない。また、各段の支持軸４を、例えばベルト連結させることによって同時に駆動回転させる構成であっても構わない。
【００３２】
上記した基板搬入出装置Ｄにおける基板搬入出手段は、ガイドレール１７、ボールねじ２１等から構成されている。しかし、これ以外の機構、例えばエアシリンダであっても構わない。
【００３３】
【発明の効果】
本発明に係る基板カセットは、直方体枠状のカセット本体に基板を多段支持する多数の棚が形成され、前記カセット本体の特定の側面が基板の搬入出用開口となっていて、前記棚を構成する棚部材は、前記搬入出用開口と略平行となって略水平面内に配置された複数本の支持部材で構成された基板カセットであって、前記支持部材は回転可能になっていることを特徴としている。このため、次に示す効果が奏される。（１）基板カセットに対して、該基板の搬入出手段を相対的に昇降させて、前記搬入出手段を特定の段の棚に配置させることにより、任意の段の棚に対して基板の搬入出をすることができる。（２）各支持部材に基板を支持したまま、その搬入出が可能である。このため、各段に形成された基板収納棚の棚間隔を低くすることができ、基板の収納枚数を増加させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施形態の基板カセットＡ１  の全体斜視図である。
【図２】同じく平面図である。
【図３】基板カセットＡ１  の要部の拡大平面図である。
【図４】同じく拡大正面図である。
【図５】同じく拡大側面図である。
【図６】図５の部分の斜視図である。
【図７】基板カセットＡ１  の特定の基板収納棚Ｒに収納されていたガラス基板Ｇを搬出させる状態の作用説明図である。
【図８】図７の状態の斜視図である。
【図９】基板搬入出装置Ｄの平面図である。
【図１０】同じく側面断面図である。
【図１１】従来の基板カセットＡ’に収納されたガラス基板Ｇを搬入出させる状態の模式図である。
【符号の説明】
Ａ１，Ａ２  ：基板カセット
Ｂ：電磁ブレーキ（制動手段）
Ｄ：基板搬入出装置
Ｇ：ガラス基板（基板）
Ｍ：駆動モータ（駆動手段）
Ｒ：基板収納棚（棚）
１：カセット本体
１ａ：搬入出用開口
４：支持軸（支持部材）
１４：遮蔽板
１７：ガイドレール（基板搬入出手段）
２１：ボールねじ（基板搬入出手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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