(57)【要約】【課題】  真空系の基板処理装置内に搬送したときの規定真空度への到達時間を短縮でき、稼動率の向上に寄与するクリーニング部材を提供する。【解決手段】  ベースフィルムの片面に金属膜または金属酸化物膜からなる蒸着膜を形成して支持体を構成し、この支持体の蒸着膜側にクリーニング層が設けられ、その反対側に粘着剤層が設けられていることを特徴とするクリーニングシート、とくに、上記支持体の常態吸湿率が２．０重量％未満である上記構成のクリーニングシート、またこのクリーニングシートが、その粘着剤層を介して搬送部材に貼り付けられていることを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルムの片面に金属膜または金属酸化物膜からなる蒸着膜を形成して支持体を構成し、この支持体の蒸着膜側にクリーニング層が設けられ、その反対側に粘着剤層が設けられていることを特徴とするクリーニングシート。
【請求項２】
支持体の常態吸湿率が２．０重量％未満である請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項３】
常態吸湿量が５０μｇ／cm2 以下である請求項１または請求項２に記載のクリーニングシート。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のクリーニングシートが、その粘着剤層を介して搬送部材に貼り付けられていることを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項５】
請求項４に記載のクリーニング機能付き搬送部材を、基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
【請求項６】
請求項５に記載のクリーニング方法によりクリーニングされた基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーニングシートおよびこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体、プラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置では、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板をつぎつぎに汚染することになるため、定期的に装置を停止して洗浄処理する必要があった。このため、稼動率の低下や多大な労力が必要になるという問題があった。
【０００３】
これらの問題を解決するため、基板処理装置内にクリーニング部材として粘着性物質を固着した基板を搬送することにより、装置内に付着した異物をクリーニング除去する方法が提案されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−３１２８６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記の提案方法は、装置を停止して洗浄処理する必要がなく、稼動率の低下や多大な労力を回避する有力な方法である。しかしながら、クリーニング部材を真空系の基板処理装置内に搬送したときに、規定真空度への到達時間が長くなることがあり、そのぶん稼動率を十分に改善できない場合があった。
【０００５】
本発明は、このような事情に照らし、真空系の基板処理装置内に搬送したときの規定真空度への到達時間を短縮でき、もって稼動率のさらなる向上に寄与するクリーニング部材を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、クリーニング部材として、支持体の片面にクリーニング層を、他面に粘着剤層を設けて、クリーニングシートとし、このシートを上記粘着剤層を介して搬送部材上に貼り付けてクリーニング機能付き搬送部材とし、これを基板処理装置内に搬送して、装置内に付着した異物をクリーニング除去する方法について、種々検討してきたが、この方法において、クリーニングシート中に含まれる水分が基板処理装置内で揮散して、装置の真空度を低下させる原因となっていることがわかった。
また、クリーニングシートに含まれる水分は、クリーニング層と粘着剤層とを支持する支持体にその多くが含まれており、この支持体から揮散する水分量を規制すれば、水分の揮散に起因した真空度の低下を抑制できるものと考えた。
【０００７】
そこで、本出願人は、上記の考えにもとづいて、支持体の材料構成を含めた広範囲の実験検討を繰り返した結果、ベースフィルムの片面に特定の蒸着膜を形成して支持体を構成し、この支持体の上記蒸着膜側にクリーニング層を、その反対側に粘着剤層を設けたクリーニングシートを使用することにより、またこのシートにおける上記支持体の常態吸湿率を特定値以下に規制することにより、真空系の基板処理装置内に搬送したときの真空度の顕著な低下がみられなくなり、規定真空度への到達時間が短縮されて、稼動率のさらなる向上に貢献できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】
すなわち、本発明は、ベースフィルムの片面に金属膜または金属酸化物膜からなる蒸着膜を形成して支持体を構成し、この支持体の蒸着膜側にクリーニング層が設けられ、その反対側に粘着剤層が設けられていることを特徴とするクリーニングシート、とくに、上記支持体の常態吸湿率が２．０重量％未満である上記構成のクリーニングシート、また常態吸湿量が５０μｇ／cm2 以下である上記構成のクリーニングシートに係るものである。
また、本発明は、上記構成のクリーニングシートが、その粘着剤層を介して搬送部材に貼り付けられていることを特徴とするクリーニング機能付き搬送部材と、このクリーニング機能付き搬送部材を、基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法とに係るものである。さらに、本発明は、上記構成のクリーニング方法によりクリーニングされた基板処理装置を提供できるものである。
【発明の効果】
【０００９】
このように、本発明では、ベースフィルムの片面に金属膜または金属酸化物膜からなる蒸着膜を形成して支持体を構成し、この支持体の上記蒸着膜側にクリーニング層を設けるようにしたことにより、また上記支持体の常態吸湿率を２．０重量％未満に規制したことにより、クリーニング部材として高い異物除去性を発揮するとともに、真空系の基板処理装置内に搬送したときの規定真空度への到達時間を短縮でき、もって稼動率のさらなる向上に寄与するクリーニング部材を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明のクリーニングシートにおいて、支持体としては、ベースフィルムの片面に金属膜または金属酸化物膜からなる蒸着膜を形成したものが用いられる。中でも、常態吸湿率が２．０重量％未満であるものが好ましく、とくに好ましくは１．０重量％以下、より好ましくは０．５重量％以下、さらに好ましくは０．３重量％以下、最も好ましくは０．０１重量％以下の（とくに０重量％に近い）ものが用いられる。
上記の常態吸湿率とは、支持体固有の値であって、支持体を上記した材料構成として、その常態吸湿率を上記範囲に規制することにより、真空系への基板処理装置内に搬送したときの真空度の顕著な低下を大きく抑制でき、その結果、規定真空度への到達時間をより短縮でき、稼動率の一層の向上をはかることができる。
【００１１】
このような支持体において、ベースフィルムとしては、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレン−酢酸ビニル共重合体などからなるプラスチックフィルムが用いられ、これらのフィルムを１種または２種以上組み合わせて用いたものであってもよく、また片面または両面にコロナ処理などの表面処理を施したものであってもよい。フィルムの厚さは、通常１〜２００μｍ程度である。
また、このベースフィルムの片面に公知の方法により蒸着形成される蒸着膜としては、アルミニウム、シリコン、鉄、コバルト、ニッケルなどからなる金属膜や、アルミナ、酸化チタン、ＩＴＯ（インジウム・錫複合酸化物）などの金属酸化物膜が用いられる。これらの蒸着膜の厚さは、通常１〜１，０００ｎｍ程度である。
【００１２】
本発明のクリーニングシートは、上記支持体の蒸着膜側にクリーニング層が、その反対側に粘着剤層が設けられた構成からなる。ここで、蒸着膜側にクリーニング層を設ける理由は、支持体を構成するベースフィルム中に含まれる水分がクリーニング層を介して処理装置内へ揮散するのを蒸着膜を介在させることによって抑制するためであり、これにより水分の揮散に起因した真空度の低下が抑制される。
このように構成される本発明のクリーニングシートは、常態吸湿量が５０μｇ／cm2 以下であるのが好ましく、より好ましくは４０μｇ／cm2 以下である。この常態吸湿量は、支持体とその両側のクリーニング層および粘着剤層とに含まれるシート全体の水分含量を表しており、上記範囲に規制することにより、真空系の基板処理装置内に搬送したときの真空度の低下抑制にさらに好結果が得られるものである。
【００１３】
クリーニング層は、とくに限定されないが、引張弾性率（試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７）が１０〜２，０００ＭＰａであるのが望ましい。引張弾性率が１０ＭＰａ以上であると、ラベル切断時のクリーニング層のはみ出しや切断不良が抑えられ、プリカット方式で汚染のないクリーニング機能付ラベルシートを製造でき、また搬送時に装置内の接触部位に接着して搬送トラブルを引き起こすおそれがない。また、引張弾性率が２，０００ＭＰａ以下であると、搬送系の付着異物の除去性に好結果が得られる。
【００１４】
このようなクリーニング層は、材質などにとくに限定はなく、たとえば、耐熱性を考慮して、ポリイミドなどの材料を使用することができる。しかし、とくに望ましくは、紫外線や熱などの活性エネルギー源により重合硬化した樹脂層から構成されているのがよい。これは、上記の重合硬化により分子構造が三次元網状化して実質的に粘着性がなくなり、基板処理装置内への搬送時に装置接触部と強く接着せず、基板処理装置内を確実に搬送できるクリーニング部材が得られるからである。
【００１５】
上記の重合硬化した樹脂層としては、たとえば、感圧接着性ポリマーに分子内に不飽和二重結合を１個以上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）および重合開始剤と必要により架橋剤などを含ませた硬化型の樹脂組成物を、活性エネルギー源とくに紫外線により硬化したものが挙げられる。
上記した感圧接着性ポリマーには、たとえば、（メタ）アクリル酸および／または（メタ）アクリル酸エステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーが挙げられる。このアクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーとして分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を用いたり、合成後のアクリル系ポリマーに分子内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で化合結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内に不飽和二重結合を導入してもよい。この導入によりアクリル系ポリマー自体も活性エネルギー源による重合硬化反応に関与させることができる。
【００１６】
また、重合性不飽和化合物としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１０，０００以下の低分子量体であるのがよく、とくに硬化時の三次元網状化が効率良くなされるように５，０００以下の分子量を有しているのが好ましい。
このような重合性不飽和化合物には、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールへキサ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、オリゴエステル（メタ）アクリレートなどがあり、これらの中から、１種または２種以上が用いられる。
【００１７】
重合開始剤としては、とくに限定されず、公知のものを使用できる。たとえば、活性エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤が、光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、シメチルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヒキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノンなどの光重合開始剤が、用いられる。
【００１８】
上記のクリーニング層は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力（ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じて測定）が０．２Ｎ／１０mm幅以下、好ましくは０．０１〜０．１Ｎ／１０mm幅程度であるのがよい。このような低粘着ないし非粘着とすることにより、搬送時に装置内の被接触部と接着することがなく、搬送トラブルを引き起こすおそれがない。また、このようなクリーニング層の厚さとしては、とくに限定されないが、通常は、１〜１００μｍ程度であるのがよい。
【００１９】
支持体の蒸着膜とは反対側に設けられる粘着剤層は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力が、０．０１〜１０Ｎ／１０mm幅、好ましくは０．０５〜５Ｎ／１０mm幅であるのがよい。粘着力が低すぎると、シリコンウエハなどの搬送部材に貼り付けたときの接着力が不足し、搬送中にシート剥離などの不都合をきたすおそれがあり、また高すぎると、クリーニングシートを搬送部材から剥離除去する際に、支持体フィルムがさけるおそれがある。このような粘着剤層の厚さは、とくに限定されないが、通常は１〜１００μｍ程度、好ましくは５〜５０μｍ程度であるのがよい。
【００２０】
このような粘着剤層は、その材料構成について、とくに限定されず、アクリル系やゴム系などの通常の粘着剤をいずれも使用できる。これらの中でも、アクリル系の粘着剤として、重量平均分子量が１０万以下の成分が１０重量％以下であるアクリル系ポリマーを主剤としたものが、とくに好ましく用いられる。
上記のアクリル系ポリマーは、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとしこれに必要により共重合可能な他のモノマーを加えたモノマー混合物を、重合反応させることにより、合成できるものである。
【００２１】
本発明のクリーニングシートにおいては、上記のクリーニング層や粘着剤層を保護するために、これらの層上に保護フィルムを貼り合わせてもよい。
保護フィルムの材質などにはとくに限定はない。たとえば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系の剥離剤などで剥離処理した、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるプラスチックフィルムが挙げられる。その厚さとしては、通常５〜２００μｍ程度であるのがよい。
【００２２】
本発明においては、上記構成のクリーニングシートを、支持体の蒸着膜とは反対側に設けられた粘着剤層を介して、搬送部材に貼り付けることにより、クリーニング機能付き搬送部材とする。ここで、上記の搬送部材は、とくに限定されないが、たとえば、半導体ウエハ，ＬＣＤ，ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ用基板，その他コンパクトディスク，ＭＲヘッドなどの基板などが挙げられる。
【００２３】
本発明においては、上記のクリーニング機能付き搬送部材を、基板処理装置内に搬送することにより、上記装置内に付着する異物を上記搬送部材のクリーニング層に吸着させ、クリーニング除去する。その際、真空系の基板処理装置でも、真空度が極端に低下することはなく、規定真空度に到達する時間を短縮でき、また装置内の接触部位にクリーニング層が接着することもなく、良好に搬送でき、搬送性とクリーニング性との両立を容易にはかれて装置の稼動率の向上に大きく貢献させることかできる。                        
【００２４】
本発明において、基板処理装置にはとくに限定はなく、露光装置、レジスト塗布装置、現像装置、アッシング装置、ドライエッチング装置、イオン注入装置、ＰＶＤ装置、ＣＶＤ装置、検知装置などの各種装置が挙げられる。これらの中でも、本発明の効果を奏するうえで、真空系の装置がとくに望ましい。本発明においては、前記の方法によりクリーニングされた基板処理装置を提供できるものである。
【００２５】
つぎに、本発明の実施例を記載してより具体的に説明する。ただし、本発明は、以下の実施例にのみ限定されない。以下、部とあるのは重量部を意味する。
以下の実施例および比較例で示した支持体の「常態吸湿率」と、クリーニングシートの「常態吸湿量」との測定方法には、カールフィッシャー方法（三菱化学社製の電量滴定式水分測定装置「ＣＡ−０６型」＋加熱気化装置「ＶＡ−０６」）を使用した。
その際、ガラス板上に、支持体では既知の粘着テープによりその蒸着膜とは反対側を、クリーニングシートではその粘着剤層側を、それぞれ貼り合わせて、１５０℃に加熱したときのガスを滴定セルに導入して、含有水分量を測定した。
【００２６】
また、上記の測定にあたり、支持体およびクリーニングシートを常態下〔２３℃，５０％ＲＨ（相対湿度）の雰囲気中〕に１０日間放置して、支持体およびクリーニングシートの吸湿量を飽和状態として、測定に供した。
支持体の「常態吸湿率」は、上記飽和状態としたときの支持体の全重量Ｗ１を測定し、また上記の方法で測定した水分量Ｗ０とから、「常態吸湿率」＝（Ｗ０／Ｗ１）×１００（重量％）として、求められる。
【実施例１】
【００２７】
アクリル酸２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチル２０部およびアクリル酸５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に、ポリエチレングリコール２００ジメタクリレート（新中村化学社製の商品名「ＮＫエステル４Ｇ」）２００部、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業社製の商品名「コロネートＬ」）３部および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ社製の商品名「イルガキュアー６５１」）３部を、均一に混合して、紫外線硬化型の樹脂組成物Ａを調製した。
【００２８】
これとは別に、温度計、撹拌機、窒素導入管および還流冷却管を備えた内容量が５００ｍｌの３つ口フラスコ型反応器内に、アクリル酸２−エチルへキシル７３部、アクリル酸ｎ−ブチル１０部、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド１５部およびアクリル酸５部からなるモノマー混合物、重合開始剤として２，２′−アゾビスイソブチロニトリル０．１５部、酢酸エチル１００部を、全体が２００ｇになるように配合して投入し、窒素ガスを約１時間導入しながら撹拌し、内部の空気を窒素で置換した。
その後、内部の温度を５８℃にし、この状態で約４時間保持して重合を行い、粘着剤ポリマー溶液を得た。つぎに、この粘着剤ポリマー溶液１００部に対して、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業社製の商品名「コロネートＬ」）３部を、均一に混合して、粘着剤溶液Ａを調製した。
【００２９】
片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（厚さが３８μｍ、幅２５０mm）からなる保護フィルムの剥離処理面に、上記の粘着剤溶液Ａを、乾燥後の厚さが７μｍとなるように塗布した。その粘着剤層上に、支持体として、片面にアルミを蒸着したポリプロピレンフィルム（蒸着膜の厚さが０．０１μｍ、ベースフィルムの厚さが１０μｍ、幅２５０mm）を、アルミ蒸着膜を外側にして、積層した。
つぎに、この支持体のアルミ蒸着膜上に、上記の紫外線硬化型の樹脂組成物Ａを、乾燥後の厚さが１５μｍとなるように塗布して、樹脂層を設けるとともに、その表面に前記と同様の保護フィルムの剥離処理面を貼り合わせて、積層シートＡとした。
【００３０】
この積層シートＡに、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１，０００ｍＪ／cm2 照射して、重合硬化した樹脂層からなるクリーニング層を有するクリーニングシートＡを得た。このシートＡを、２３℃，５０％ＲＨの雰囲気中に１０日間放置して、シートＡ全体の吸湿量を飽和状態とした。クリーニング層上の保護フィルムを剥がし、カールフィッシャー法にて常態吸湿量を測定したところ、２５．０μｇ／cm2 であった。
また、このクリーニングシートＡとは別に、支持体（片面にアルミを蒸着したポリプロピレンフィルム）のみを、２３℃，５０％ＲＨの雰囲気中に１０日間放置して、この支持体の吸湿量を飽和状態としたのち、カールフィッシャー法によりその常態吸湿率を測定、算出したところ、０．３２重量％であった。
【００３１】
このクリーニングシートＡの粘着剤層側の保護フィルムを剥がして、８インチのシリコンウエハのミラー面に、ハンドローラで貼り付けることにより、クリーニング機能付き搬送部材Ａを作製した。このクリーニング機能付き搬送部材Ａについて、この搬送部材Ａを１cm×１cmの大きさに裁断し、真空度測定装置として、昇温脱離質量分析装置（電子化学社製の「ＥＭＤ−ＷＡ１０００Ｓ」）に投入して、真空度が１０-9Ｔｏｒｒになるまでの時間を測定した。その結果は、４０分であった。
この結果からも明らかなように、上記のクリーニング機能付き搬送部材Ａは、クリーニングシートＡの支持体としてアルミを蒸着した低吸湿性材料を使用して、アルミ蒸着膜側にクリーニング層を設けるようにしたことにより、水分の揮散量を低減でき、その結果、１０-9Ｔｏｒｒの真空度に到達するまでの時間が短くなり、真空系の基板処理装置内にも支障なく搬送できることがわかった。
【実施例２】
【００３２】
支持体として、片面にアルミナ（酸化アルニミウム）を蒸着したポリプロピレンフィルム（蒸着膜の厚さ：０．０１μｍ、ベースフィルムの厚さ：１０μｍ、幅２５０mm）を用いた以外は、実施例１と同様にして、クリーニングシートＢを作製した。
このクリーニングシートＢを、２３℃，５０％ＲＨの雰囲気中に１０日間放置し、シートＢの吸湿量を飽和状態とした。クリーニング層上の保護フィルムを剥がし、カールフィッシャー法にて常態吸湿量を測定したところ、３６．０μｇ／cm2 であった。
また、このクリーニングシートＢとは別に、支持体（片面にアルミナを蒸着したポリプロピレンフィルム）のみを、２３℃，５０％ＲＨの雰囲気中に１０日間放置して、この支持体の吸湿量を飽和状態としたのち、カールフィッシャー法によりその常態吸湿率を測定、算出したところ、０．３９重量％であった。
【００３３】
このクリーニングシートＢの粘着剤層側の保護フィルムを剥がして、８インチのシリコンウエハのミラー面に、ハンドローラで貼り付けることにより、クリーニング機能付き搬送部材Ｂを作製した。このクリーニング機能付き搬送部材Ｂについて、この搬送部材Ｂを１cm×１cmの大きさに裁断し、真空度測定装置として、昇温脱離質量分析装置（電子化学社製の「ＥＭＤ−ＷＡ１０００Ｓ」）に投入して、真空度が１０-9Ｔｏｒｒになるまでの時間を測定した。その結果は、４８分であった。
この結果からも明らかなように、上記のクリーニング機能付き搬送部材Ｂは、クリーニングシートＢの支持体としてアルミナを蒸着した低吸湿性材料を使用して、アルミナ蒸着膜側にクリーニング層を設けるようにしたことにより、水分の揮散量を低減でき、その結果、１０-9Ｔｏｒｒの真空度に到達するまでの時間が短くなり、真空系の基板処理装置内にも支障なく搬送できることがわかった。
【００３４】
比較例１
支持体として、６−ナイロンフィルム（厚さが２５μｍ、幅が２５０mm）を使用した以外は、実施例１と同様にして、クリーニングシートＣを作製した。
このクリーニングシートＣを、２３℃，５０％ＲＨの雰囲気中に１０日間放置し、シートＣの吸湿量を飽和状態とした。クリーニング層上の保護フィルムを剥がし、カールフィッシャー法にて常態吸湿量を測定したところ、８０．０μｇ／cm2 であった。
また、このクリーニングシートＣとは別に、支持体（６−ナイロンフィルム）のみを、２３℃，５０％ＲＨの雰囲気中に１０日間放置して、この支持体の吸湿量を飽和状態としたのち、カールフィッシャー法によりその常態吸湿率を測定、算出したところ、２．９重量％であった。
【００３５】
このクリーニングシートＣの粘着剤層側の保護フィルムを剥がして、８インチのシリコンウエハのミラー面に、ハンドローラで貼り付けることにより、クリーニング機能付き搬送部材Ｃを作製した。このクリーニング機能付き搬送部材Ｃについて、この搬送部材Ｃを１cm×１cmの大きさに裁断し、真空度測定装置として、昇温脱離質量分析装置（電子化学社製の「ＥＭＤ−ＷＡ１０００Ｓ」）に投入して、真空度が１０-9Ｔｏｒｒになるまでの時間を測定した。その結果は、１２０分であった。
この結果からも、上記のクリーニング機能付き搬送部材Ｃは、クリーニングシートＣの支持体として高吸湿性材料を使用したことにより、水分揮散量を低減できず、その結果、１０-9Ｔｏｒｒの真空度に到達するまでの時間が長くなり、真空系の基板処理装置内に搬送すると、装置を故障させるおそれがあり、使用困難であることがわかった。