(57)【要約】【課題】永電磁式マグネットチャックからワークを容易に取り外しできるようにするとともに、永電磁式マグネットチャックのメンテナンス性を改善し、同時にチャック面の精度を維持できるようにする。【解決手段】 定極性永久磁石（５）と、主コイル（９）が巻かれている可逆性永久磁石（７）と、両者の定極性永久磁石（５）および可逆性永久磁石（７）に接する主磁極部材（８）とを有し、上記主磁極部材（８）は複数設けられて互いに異なる極性で隣接する永電磁式のマグネットチャック（１）において、先端にチャック面（４ａ）を有する補助磁極部材（４）が各主磁極部材（８）に固定的に設けられ、各補助磁極部材（４）に対応する複数の補助コイル（６）を保持する枠体（３）が着脱可能に設けられる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
定極性永久磁石（５）と、主コイル（９）が巻かれている可逆性永久磁石（７）と、両者の定極性永久磁石（５）および可逆性永久磁石（７）に接する主磁極部材（８）とを有し、上記主磁極部材（８）は複数設けられて互いに異なる極性で隣接する永電磁式のマグネットチャック（１）において、
先端にチャック面（４ａ）を有する補助磁極部材（４）が各主磁極部材（８）に固定的に設けられ、各補助磁極部材（４）に対応する複数の補助コイル（６）を保持する枠体（３）が着脱可能に設けられることを特徴とする永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置（２）。
【請求項２】
補助磁極部材（４）が主磁極部材（８）と別体として構成され、主磁極部材（８）のチャック面（８ａ）に固定されていることを特徴とする請求項１記載の永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置（２）。
【請求項３】
補助磁極部材（４）が主磁極部材（８）と一体に構成されていることを特徴とする請求項１記載の永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置（２）。
【請求項４】
請求項１の永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置（２）において、補助コイル（６）に交番型減衰電流を流すことにより、ワーク（１２）の残留磁気を消去することを特徴とするワーク残留磁気による吸着解除方法。
【請求項５】
請求項１の永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置（２）において、補助コイル（６）に所定の方向の電流を流して、チャック面（４ａ）をワーク（１２）の残留磁気の極性と同極に着磁させ、ワーク（１２）の固有保磁力とほぼ同一の磁場を形成することにより、ワーク（１２）の残留磁気を消去することを特徴とするワーク残留磁気による吸着解除方法。
【請求項６】
請求項１の永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置（２）において、補助コイル（６）に所定の方向の電流を流して、チャック面（４ａ）をワーク（１２）の残留磁気の極性と同極に着磁させ、ワーク（１２）の固有保磁力よりも弱い磁場を形成することにより、ワーク（１２）の残留磁気を減磁することを特徴とするワーク残留磁気による吸着解除方法。
【請求項７】
請求項１の永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置（２）において、補助コイル（６）に所定の方向の電流を流して、チャック面（４ａ）をワーク（１２）の残留磁気の極性と同極に着磁させながら、かつワーク（１２）の固有保磁力よりも弱い磁場を形成させながら、ワーク（１２）を取り外すことを特徴とするワーク残留磁気による吸着解除方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークを磁力により固定する永電磁式マグネットチャックにおいて、ワークの残留磁気による吸着を解除する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、永電磁式マグネットチャックを開示している。その技術による永電磁式マグネットチャックは、定極性永久磁石と、極性変更用の主コイルが巻き付けられた可逆性永久磁石と、先端にチャック面を有し両永久磁石に接する磁極部材とを有する。両永久磁石は、磁極部材に作用し、主コイルに電流を流して、可逆性永久磁石の極性を変更することにより、磁極部材のチャック面へのワークの吸着動作（チャッキング動作）と吸着解除動作（チャッキング解除動作）とを行っている。この可逆性永久磁石の極性を変更してのチャッキング解除動作により、両永久磁石による磁場がチャック面の外側で消滅し、ワークをチャック面から取り外すことが可能となる。しかし、ワークによっては、チャッキング動作時に生じていた強い磁場のために、磁場の消滅後もワークはチャック面との対向部分が磁化されたままとなり、該対向部分に残留磁気が生じる。そのためワークはなおもチャック面に強く吸着し、ワークの取り外しを困難とするほか、無理に取り外すことにより、変形やキズを生じてワークの精度を損なったり、場合によっては作業時にケガをすることもある。また、ワークの加工基準面に切削鉄粉等が付着し、後の工程での加工精度を損なう。
【０００３】
このようなワークの残留磁気による弊害をなくするため、特許文献１の永電磁式マグネットチャックでは、電磁石が設けられている。即ち、磁極部材は、先端にチャック面を有する補助磁極部材部分と両永久磁石に接する主磁極材部分からなるとともに、補助磁極部材部分に補助コイルが巻き付けられて電磁石が形成され、ワークのチャッキング解除後、電磁石によりワークの脱磁（残留磁気除去）を行っている。
【０００４】
上記の特許文献１の技術によると、（１）電磁石のメンテナンス性が悪いこと。（２）電磁石のメンテナンス性を向上するために、電磁石を着脱可能とした場合、または残留磁気の小さなワークの加工の際は必要がないので電磁石を取り外せるように、電磁石を着脱可能とした場合には、電磁石の再取付け時に、チャック面の精度が損なわれるおそれがある。などの問題がある。
【０００５】
上記の（１）について詳述すると、ワークの取付・取り外し作業等によって、電磁石の補助コイルが損傷する場合があり、その場合、補助磁極部材部分が補修作業の障害物となって、補助コイルの補修が困難である。
【０００６】
上記の（２）について詳述する。電磁石を着脱可能に構成すれば、補修作業の際に、やはり補助磁極部材部分が補修作業の障害物となることや、また補助コイルが補修不能な場合は、補助磁極部材部分ごと交換する必要がある等の問題点が残るものの、電磁石のメンテナンス性は向上する。また、電磁石を着脱可能に構成すれば、残留磁気の小さなワークを扱う場合には、電磁石を取り外すことができ、電磁石を取り外してできるだけ大きなチャッキング力を得るのが好ましい。すなわち可逆性永久磁石の極性を変更する際に、主コイルは大電流を必要とするが、その際効率よく極性を変更するために、短時間に大電流を流す。このとき電磁石の補助コイル内の磁束が急激に変動し、補助コイルに起電力が生じる。この起電力が可逆性永久磁石の着磁を妨げるので、チャッキング力が弱くなる。チャッキング力を強くするには、主コイルにより大きな電流を流す必要がある。従って、残留磁気の影響が少ない即ち脱磁の必要がないワークのを扱う場合は、電磁石を取り外すのが好ましい。しかしこのような補助コイルの補修後の電磁石の再取付けの場合や、ワークが変更されて電磁石の再取付を必要とする場合、互いの取付面間、即ち補助磁極部材部分と主磁極部材部分の間に異物が入って、チャック面の精度が損なわれるおそれがある。
【特許文献１】特許第２９７４６９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
したがって、本発明の課題は、永電磁式マグネットチャックからワークを容易に取り外しできるようにするとともに、永電磁式マグネットチャックのメンテナンス性を改善し、同時にチャック面の精度を維持できるようにする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題のもとに、請求項１の発明は、定極性永久磁石と、主コイルが巻かれている可逆性永久磁石と、両者の定極性永久磁石および可逆性永久磁石に接する主磁極部材とを有し、上記主磁極部材は複数設けられて互いに異なる極性で隣接する永電磁式のマグネットチャックにおいて、先端にチャック面を有する補助磁極部材が各主磁極部材に固定的に設けられ、各補助磁極部材に対応する複数の補助コイルを保持する枠体が着脱可能に設けられることを特徴とする。
【０００９】
補助磁極部材は、請求項２によると、主磁極部材と別体として構成され、主磁極部材のチャック面に固定され、請求項３によると、主磁極部材と一体に構成される。ここに補助磁極部材は主磁極部材と別体とは、補助磁極部材が、ボルト等によって分離可能に主磁極部材に固定されている状態、およびロー付けなどの溶接、圧接、圧入、接着等によって分離不能に主磁極部材に接合されている状態を含み、同じく一体とは、補助磁極部材が接合によらず主磁極部材と一体物により形成されている状態である。
【００１０】
そして、請求項４のワーク残留磁気による吸着解除方法は、請求項１の永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置において、補助コイルに交番型減衰電流を流すことにより、ワークの残留磁気を消去する。
【００１１】
請求項５のワーク残留磁気による吸着解除方法は、請求項１の永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置において、補助コイルに所定の方向の電流を流し、チャック面をワークの残留磁気の極性と同極に着磁させ、ワークの固有保磁力とほぼ同一の磁場を形成することにより、ワークの残留磁気を消去する。
【００１２】
請求項６のワーク残留磁気による吸着解除方法は、請求項１の永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置において、補助コイルに所定の方向の電流を流して、チャック面をワークの残留磁気の極性と同極に着磁させ、ワークの固有保磁力よりも弱い磁場を形成することにより、ワークの残留磁気を減磁する。
【００１３】
請求項７のワーク残留磁気による吸着解除方法は、請求項１の永電磁式のマグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置において、補助コイルに所定の方向の電流を流して、チャック面をワークの残留磁気の極性と同極に着磁させながら、かつワークの固有保磁力よりも弱い磁場を形成させながら、ワークを取り外すことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１によると、補助磁極部材と補助コイルとによって電磁石が形成され、ワークに残留磁気が存在していても、補助コイルに所定の電流を流すことによって、永電磁式マグネットチャックからワークが容易に取り外しできるようになる。また、永電磁式マグネットチャックに対して、補助コイル付きの枠体が着脱自在であり、枠体が補助磁極部材に案内され同時に位置決めされるから、その着脱操作および載置が容易で、補助コイルの補修の際に補助磁極部材が障害物とならないのでメンテナンスも簡単になり、同時にメンテナンスのためやワークの残留磁気の強弱に基づく枠体の着脱に際して補助磁極部材の取り外しや取り付けの必要がないため、チャック面の精度が維持できる。
【００１５】
請求項２によると、補助磁極部材が後付けとして取付けできるから、既設の永電磁式マグネットチャックに本発明が容易に適用でき、また長さ、形状、および材質等の改良も可能となる。
【００１６】
請求項３によると、チャック面の精度が維持され、更に、補助磁極部材と主磁極部材とが一体であるから、接合部分がなくその部分での磁気抵抗が大きくならず、磁束が有効に利用できる。
【００１７】
請求項４によると、残留磁気の極性と関係なく、確実に消磁でき、しかも、ほぼ完全に消磁できるので、ワーク残留磁気による吸着が解除可能となると共に、ワークの後工程での着磁による切削粉等の吸着などの悪影響がなくなる。
【００１８】
請求項５によると、その操作によりほぼ消磁できるので、ワーク残留磁気による吸着が解除可能となると共に、後工程での着磁による悪影響がなくなり、更に短時間で消磁できるので、消費電力を抑えかつ長い作業時間を必要としない。
【００１９】
請求項６によると、ワークの残留磁気による吸着が解除可能となるまで、残留磁気が小さくなるので、ワークを取り外すことが可能となると共に、後工程での着磁による悪影響を小さくすることができ、更に短時間で減磁できるので、消費電力を抑えかつ長い作業時間を必要としない。
【００２０】
請求項７によると、互いに対向するワーク面とチャック面の極性は同極なので、互いに反発し、ワークはチャック面から離間する方向の力を受け続け、これにより、ワークを容易に取り外すことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の前提となる永電磁式マグネットチャック１を示しており、図２は、本発明の永電磁式マグネットチャック１のワーク残留磁気による吸着解除装置２で用いられる枠体３を示している。図３は、図２の部分拡大図であり、４つの補助コイル６を示す。図４は、図３のＡ−Ａ断面図であり、図５は、４つの補助コイル６の接続例を模式化した結線図である。図６は、永電磁式マグネットチャック１に補助磁極部材４が取り付けられており、それに枠体３を組み込むときの状態を示している。また、図７および図９は、チャッキング動作時、チャッキング解除時をそれぞれ示している。図８は、図７の平面図であって、チャッキング動作時の永電磁式マグネットチャック１の全体図であり、枠体３および複数の補助コイル６とともに吸着解除装置２を構成する補助コイル制御回路１７も示す。
【００２２】
まず、図１において、永電磁式マグネットチャック１は、複数の定極性永久磁石５と、主コイル９が巻かれている複数の可逆性永久磁石７と、両者の定極性永久磁石５および可逆性永久磁石７に接する複数の主磁極部材８とを有している。可逆性永久磁石７および主磁極部材８は、共に角柱状であり、それらの上下の面で接した状態としてチャック本体１０の内部に一定の間隔をおいて、図８の永電磁式マグネットチャック１の全体平面図に示す補助磁極部材４に対応して、碁盤の目状に整列状態で納められている。
【００２３】
可逆性永久磁石７の下面は、隣合う可逆性永久磁石７の極性に対して異なる極性でチャック本体１０の内底に当接しており、また主磁極部材８の上部は、チャック上面体１１の孔１１ａに嵌まり、チャック上面体１１の上面と同一の平面に露出して、チャック面８ａを形成している。また、定極性永久磁石５は、主コイル９とチャック上面体１１とで形成される空間内で、隣合う主磁極部材８の間に介在し、ＮまたはＳ極の磁極面によって主磁極部材８の側面に当接し、隣合う主磁極部材８に互いに異なる極性を付与している。このように、複数の主磁極部材８は、複数整列状態で設けられ、互いに異なる極性で隣接している。
【００２４】
なお、主磁極部材８およびチャック本体１０、また補助磁極部材４は、比透磁率が大きく、かつ残留磁束密度の小さい材質、例えば、軟鉄やケイ素鋼により構成されている。また、チャック上面体１１は、磁束をワーク１２に有効に作用させるために非磁性体材料により構成される。
【００２５】
つぎに、図２において、枠体３は、プラスチックス、ゴム、ガラス、セラミックス、ロウ、スポンジ（表面が膜状に形成されて孔のない方が好ましい。）などの材料を用いて、主磁極部材８に対応する位置に、磁極部材挿入孔１３を有する板状のものとして例えば成形型により成形される。その成形の際に、各巻き付け状態の補助コイル６は、インサート成形型の所定の位置に支持され、成形後に磁極部材挿入孔１３の周りに位置する。なお枠体３の成形時に、適当な位置に１または２以上の取付け孔１４が形成される。
【００２６】
枠体３には、剛性を得るため、アルミなどの強磁性体でない材料で骨格を形成したり、ガラス繊維、炭素繊維などを混入してもよい。枠体３の厚みは、スポンジ等の弾性変形部材を用いる場合を除いて、補助磁極部材４の高さ以下に設定される。
【００２７】
隣接する補助コイル６は、同一方向または反対方向に巻かれており、互いに逆回りに電流が流れるように結線されている。実施例では図５に示すように複数、例えば４つの補助コイル６は、直列に結線され１つの接続グループを形成している。また、各接続グループは接続線１６に並列に接続されている。なお、接続グループを形成せず、全ての補助コイル６を直列、又は並列に結線してもよい。
【００２８】
図６において、枠体３は、補助磁極部材４に着脱可能に組み合わせられる。このため、複数の補助磁極部材４は、主磁極部材８と同じ底面積の角柱体で枠体３の厚みにほぼ等しい高さとして構成され、チャック面８ａに固定的に取付けられ、その先端の上面でチャック面８ａに代わるチャック面４ａを形成する。主磁極部材８に対する補助磁極部材４の取付けは、取付けボルト１５を用いて行うか、または接着により行われる。この組み合わせ時に、磁極部材挿入孔１３は、補助磁極部材４に案内されて、挿入される。この結果、補助コイル６は、補助磁極部材４の周囲に位置し、その位置から容易に取り外せる状態となる。この装着状態で枠体３の上面は、補助磁極部材４のチャック面４ａよりも突出していない。
【００２９】
なお、図１０のように、補助磁極部材４は、主磁極部材８の先端部分を延長して一体の部材として形成することもできる。即ち、主磁極部材８はチャック面４ａを有する補助磁極部材部分と主磁極部材部分とからなる。補助磁極部材４と主磁極部材８とが接合によらず一体の部材、即ち一体物で形成されておれば、接合部がなくなるため、磁気抵抗が高くならず、必要な磁力が確保できる点で有利である。
【００３０】
枠体３は、ワーク１２の残留磁気に対処する部材である。従って、ワーク１２の加工後に、ワーク１２に残留磁気が小さいか、またはワーク１２に残留磁気があっても、ワーク１２自体が軽量でチャック面４ａから容易に取り外せるとき、枠体３は、必要とされないことから、枠体３は、永電磁式マグネットチャック１から取り外されても良い。枠体３が永電磁式マグネットチャック１から取り外されておれば、その内部の補助コイル６の損傷の恐れがなくなり、また補助コイル６がもたらす悪影響を避けることができる。即ち、チャッキング動作時に補助コイル６内に起電力が生じて、可逆性永久磁石７の着磁が妨げられ、そのため補助磁極部材４のチャック面４ａで必要な磁束（チャッキング力）を得ることができず、より大電流を主コイル９に流す必要を回避することができる。
【００３１】
チャック面４ａが水平面か緩い傾斜面のときに、枠体３は、ボルトや両面接着テープなどによって永電磁式マグネットチャック１に固定してもよいが、自重のみによる固定としてもよい。この組み合わせ状態で、枠体３は、磁極部材挿入孔１３と補助磁極部材４との嵌まり合いによって規制され、所定の位置に載置されると共に、可逆性永久磁石７の極性変更時の磁束の変化によって力が働いても、所定の位置に維持される。これに対して、チャック面４ａが鉛直面や急な傾斜面のとき、枠体３は、ボルトや両面接着テープなどによって永電磁式マグネットチャック１に固定される。この時に、取付け孔１４は、ボルト挿入用として利用される。
【００３２】
図７および図８は、永電磁式マグネットチャック１に枠体３を装着し、補助磁極部材４のチャック面４ａで鉄やニッケル等の強磁性体製のワーク１２を磁気的にチャッキングしたときの状態を示す。チャッキング動作時に、チャック開始スイッチ２０が操作され、主コイル制御装置１８によって制御されて、主コイル９に図示の極性となるように電流が流されるため、これによる可逆性永久磁石７の磁束および定極性永久磁石５からの磁束は、主磁極部材８で合流し、主磁極部材８、補助磁極部材４から磁性体のワーク１２に到達する。そして、ワーク１２の中の磁束は、隣の補助磁極部材４、主磁極部材８から定極性永久磁石５や可逆性永久磁石７、チャック本体１０を経て元に戻る。このような閉磁路によって、ワーク１２はチャック面４ａに磁気的に吸着され、固定される。この状態でワーク１２に必要な加工が行われる。
【００３３】
ワーク１２の加工が終了したら、チャッキング解除のために、チャック解除スイッチ２１が操作され、主コイル制御装置１８によって制御されて、チャッキング動作時とは逆方向の電流が流され、図９のように、可逆性永久磁石７の極性が反転する。これにより、可逆性永久磁石７および定極性永久磁石５の両永久磁石からの磁束は、主磁極部材８、チャック本体１０を介して互いに永電磁式マグネットチャック１の内部で閉回路を形成するため、チャック面４ａの外側への磁束が消滅し、ワーク１２に対する磁気的吸着が無くなるため、ワーク１２はチャック面４ａから取り外せる状態となる。
【００３４】
ところが、ワーク１２に残留磁気があると、補助磁極部材４のチャック面４ａからのワーク１２の取り外しが困難となる。すなわちワーク１２には、チャッキング時の補助磁極部材４、主磁極部材８による磁束と同方向の磁束が残留し、チャッキング解除後もワーク１２がチャック面４ａに吸着されている。この残留磁気の程度（強度）は、ワーク材質、形状、熱処理や機械加工などの加工歴によって異なるが、ダイス鋼のような硬くて残留磁束密度が大き材質は、大きく、軟鉄のような残留磁束密度が小さい材質は小さい。図１１は、或るワーク１２の磁界強度Ｈの変化に伴う磁束密度Ｂおよび磁気分極Ｊの変化を表した磁気履歴曲線の模式図である。実線は磁束密度で表現したＢ−Ｈ磁気履歴曲線であり、点線は磁気分極で表現したＪ−Ｈ磁気履歴曲線である。図１２は、或るワーク１２の減磁曲線を表し、図１１の磁気履歴曲線の第２象限部分である。そこで、複数の補助コイル６と、枠体３と、補助コイル制御回路１７とから構成される永電磁式マグネットチャック１のワーク残留磁気による吸着解除装置２を用いて、下記の方法により吸着解除を行う。
【００３５】
（１）取り外しスイッチ１９を操作し、補助コイル制御回路１７を介して補助コイル６に交番型減衰電流を流す。交番型減衰電流は、消磁に必要な大きさの電流を交番させながら次第にゼロに近づける。これによって、ワーク１２の残留磁気は磁化曲線に沿って極性転換しながらゼロに近づく。この方法によると、残留磁気の極性と関係なく、確実に消磁でき、しかも、ほぼ完全に消磁できるので、ワーク残留磁気による吸着が解除可能となると共に、ワーク１２の後工程での残留磁気による悪影響例えば切削粉などの吸着がなくなる。
【００３６】
（２）取り外しスイッチ１９を操作し、補助コイル制御回路１７を介して補助コイル６に所定の方向の電流を流して、チャック面４ａをワーク１２の残留磁気の極性と同極に着磁させ、ワーク１２の固有保磁力Ｈｃｊとほぼ同一の磁場を形成する。これによりほぼ消磁できるので、ワーク残留磁気による吸着が解除可能となると共に、後工程での着磁による悪影響がなくなる。
【００３７】
（３）取り外しスイッチ１９を操作し、補助コイル制御回路１７を介して補助コイル６に所定の方向の電流を流して、チャック面４ａをワーク１２の残留磁気の極性と同極に着磁させ、ワーク１２の固有保磁力よりも弱い磁場を形成する。これにより、ワーク残留磁気による吸着が解除可能となるまで、残留磁気が小さくなるので、ワーク１２を取り外すことが可能となると共に、後工程での着磁による悪影響を小さくすることができる。
【００３８】
（４）取り外しスイッチ１９を操作し、補助コイル制御回路１７を介して補助コイル６に所定の方向の電流を流して、チャック面４ａをワーク１２の残留磁気の極性と同極に着磁させ、かつワーク１２の固有保磁力よりも弱い磁場を形成させながら、ワーク１２を取り外す。互いに対向するワーク１２の面とチャック面４ａの極性は同極なので、互いに反発し、ワーク１２はチャック面４ａから離間する方向の力を受ける。これによって、ワーク１２を取り外すことが可能となる。このときに形成される磁場は制限されず、ワーク１２の固有保磁力よりもかなり弱い磁場であってもよい。なお、補助コイル６には、取り外しスイッチ１９を操作後、ワーク１２をチャック面８ａから離間させて取り外すのに要する所定時間、例えば５秒間だけ通電される。
【００３９】
なお、前記（１）、（２）、（３）、および（４）のいずれの方法とも、取り外しスイッチ１９を設けず、チャック解除スイッチ２１を操作することにより、チャッキング解除と同時に、またはチャッキング解除よりも遅れて、補助コイル制御回路１７を介して補助コイル６に電流を流す構成としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は、永電磁式マグネットチャック１の単体に適用される他、工作機械に組み込まれている永電磁式マグネットチャック１にも適用できる。新規な永電磁式マグネットチャック１の設計に当たっては、補助磁極部材４と主磁極部材８とを一体のものとして構成するが、既存の永電磁式マグネットチャック１の改良に際しては、その主磁極部材８に補助磁極部材４を取付けて、枠体３を組み込むことになる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明に係る永電磁式マグネットチャック１の一部の断面図である。
【図２】枠体３、および補助コイル６の全体平面図である。
【図３】図２の部分拡大図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】補助コイル６の接続例を模式化した結線図である。
【図６】本発明に係る永電磁式マグネットチャック１に枠体３を組み込むときの状態を示す。
【図７】チャッキング動作時における本発明に係る永電磁式マグネットチャック１の一部の断面図である。
【図８】チャッキング動作時における本発明に係る永電磁式マグネットチャック１の全体平面図である。
【図９】チャッキング解除時における本発明に係る永電磁式マグネットチャック１の一部の断面図である。
【図１０】補助磁極部材４が主磁極部材８と一体に形成される永電磁式マグネットチャック１に枠体３を組み込むときの状態を示す。
【図１１】或るワーク１２の磁界強度の変化に伴う磁束密度、および磁気分極の変化を表した磁気履歴曲線の模式図である。
【図１２】或るワーク１２の減磁曲線の模式図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  永電磁式マグネットチャック
２  永電磁式マグネットチャックのワーク残留磁気による吸着解除装置
３  枠体
４  補助磁極部材        ４ａ  チャック面
５  定極性永久磁石
６  補助コイル
７  可逆性永久磁石
８  主磁極部材          ８ａ  チャック面
９  主コイル
１０  チャック本体
１１  チャック上面体    １１ａ  孔
１２  ワーク
１３  磁極部材挿入孔
１４  取付け孔
１５  取付けボルト
１６  接続線
１７  補助コイル制御回路
１８  主コイル制御装置
１９  取り外しスイッチ
２０  チャック開始スイッチ
２１  チャック解除スイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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