(57)【要約】【課題】複雑な形状の被処理部材にも対応可能な、被処理部材の外周面に部分的に陽極酸化皮膜を高速で形成するアルミニウム合金の陽極酸化処理方法を提供すること。【解決手段】電解槽１１に被処理部材３０の断面形状よりも若干大きな形状の開口穴１４を設け、陽極酸化皮膜が形成される被処理部材３０の被処理部位３１が電解槽１１の内部に位置するように被処理部材３０を開口穴１４に挿通させることにより、被処理部材３０における被処理部位３１と他の部位３２との境界３３で、開口穴１４と被処理部材３０との隙間Ｓが形成され、電解槽１１の外部に配置されたエアー吐出口１６より被処理部材３０の外周面の全方向から被処理部材３０の境界３３にエアーＧを吹き付け、電解槽１１の内部より隙間Ｓから流出した電解液Ｌを除去させるようにした。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミニウム合金からなる被処理部材の外周面に部分的に陽極酸化皮膜を形成する陽極酸化処理方法であって、
電解槽に前記被処理部材の断面形状よりも若干大きな形状の開口穴を設け、陽極酸化皮膜が形成される前記被処理部材の被処理部位が前記電解槽の内部に位置するように前記被処理部材を前記開口穴に挿通させることにより、前記被処理部材における前記被処理部位と他の部位との境界で、前記開口穴と前記被処理部材との隙間が形成され、
前記電解槽の外部に配置されたエアー吐出口より前記被処理部材の外周面の全方向から前記被処理部材の前記境界にエアーを吹き付け、前記電解槽の内部より前記隙間から流出した電解液を除去させるようにしたことを特徴とするアルミニウム合金の陽極酸化処理方法。
【請求項２】
前記電解槽の内部に電解液を噴出させる吐出ノズルを配設し、該吐出ノズルより噴出された電解液が前記電解槽から排出され、この排出された電解液が前記吐出ノズルに戻される循環操作を行いながら、通電して前記被処理部位に陽極酸化処理を施すことを特徴とする請求項１に記載のアルミニウム合金の陽極酸化処理方法。
【請求項３】
前記吐出ノズルから噴出される電解液は、前記吐出ノズルから前記被処理部材の断面中心への方向に対して１５〜２５°の角度で噴出され、この噴出された電解液が電解槽の内部で前記被処理部材の周囲を回転しながら流されることを特徴とする請求項２に記載のアルミニウム合金の陽極酸化処理方法。
【請求項４】
前記隙間を０．５〜１．０ｍｍになるように設定し、前記エアー吐出口の吹き付けエアーの圧力を０．３〜０．４ＭＰａ、吹き付け角度を前記被処理部材の軸方向に対して４５〜６０°としたことを特徴とする請求項１に記載のアルミニウム合金の陽極酸化処理方法。
【請求項５】
前記電解槽の内部に電解液を噴出させる吐出ノズルを配設し、該吐出ノズルより噴出される電解液の流速を１０〜１２ｍ／秒に設定したことを特徴とする請求項４に記載のアルミニウム合金の陽極酸化処理方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アルミニウム及びアルミニウム合金（以下、アルミニウム合金という）からなる被処理部材の外周面に部分的に陽極酸化皮膜を形成する陽極酸化処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、アルミニウム合金は軽量で加工性、耐食性に優れていることより家庭用品や建材、自動車部品等、幅広い用途で用いられている。その多くは、陽極酸化処理が施されているが、その処理工程に長い時間がかかっていた。例えば、１０μｍ程度の陽極酸化皮膜を生成させるのに、電解浴中で３０〜４０分の直流電解を行う必要があり、処理時間を短縮しようとして電流密度を増加させると、ジュール熱の発生により皮膜の厚さが不均一となったり皮膜焼けとなったりすることがあった。
【０００３】
そこで、電解槽の内壁面に多数の噴出ノズルを配置し、被処理部材に向けて電解液を循環噴出させる技術（例えば、特許文献１参照）や、モーターを使用して電解槽内を振動させたりミクロ気泡を発生させたりすることで電解液を攪拌する技術（例えば、特許文献２参照）が知られている。このような技術によれば、陽極酸化皮膜の生成にともなって発生するジュール熱が効率よく放出されるので、電流密度を増加させても焼けが生じにくく、陽極酸化処理の工程時間が短縮できるものであったが、大掛かりな設備が必要であるとともに、被処理部材の形状が複雑なものではエッジ部から皮膜焼けが発生する恐れがあった。
【０００４】
一方、陽極酸化皮膜は耐磨耗用としても用いられており、磨耗箇所に部分的に処理する場合は、被処理部位以外の部位をマスキングして電解浴中に浸漬させていた。そこで、中空パイプ状で複数の孔を有した電極を回転させながら、両端に蓋を取付けた筒状の被処理部材内面に電解液を噴射する技術（例えば、特許文献３参照）や、筒状内面に電極を設置し、電極と内面間にのみに電解液を流すため筒状両端部をガスケット、Ｏリングでシーリングする技術（例えば、特許文献４参照）が知られている。
【０００５】
また、特開２００２−２７５６８６や特開平１１−３１５３９６のように、柱状、筒状物の外周面の一部分に陽極酸化処理を施すため、処理部分境界にＯリングなどのシール部材を設置、シーリングし、処理部分外周から均一に電解液を流し込む技術が知られている（例えば、特許文献５又は特許文献６参照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来の技術においては、被処理部材が円筒内面や筒状外周面といったものであり、被処理部位の形状も単純なものであった。すなわち、上記した従来の技術を、そのまま被処理部材の形状が複雑なものに対応することは、被処理部位とそれ以外との部位との境界のシール性の観点からみて困難であった。また被処理部材の形状が複雑になれば、皮膜焼けが集中することが多くなるという問題もあった。
【０００７】
それゆえ、本発明は、以上の事情を背景になされたものであり、複雑な形状の被処理部材にも対応可能な、被処理部材の外周面に部分的に陽極酸化皮膜を高速で形成するアルミニウム合金の陽極酸化処理方法を提供することを技術的課題とするものである。
【０００８】
【特許文献１】
特開平１１−２３６６９６号公報
【特許文献２】
特開２０００−２８２２９３号公報
【特許文献３】
特開平１１−１１７０９２号公報
【特許文献４】
特開２０００−２６９９９号公報
【特許文献５】
特開２００２−２７５６８６号公報
【特許文献６】
特開平１１−３１５３９６号公報
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は、請求項１に記載のように、アルミニウム合金からなる被処理部材の外周面に部分的に陽極酸化皮膜を形成する陽極酸化処理方法であって、電解槽に被処理部材の断面形状よりも若干大きな形状の開口穴を設け、陽極酸化皮膜が形成される被処理部材の被処理部位が電解槽の内部に位置するように被処理部材を前記開口穴に挿通させることにより、被処理部材における被処理部位と他の部位との境界で、前記開口穴と被処理部材との隙間が形成され、電解槽の外部に配置されたエアー吐出口より被処理部材の外周面の全方向から被処理部材の境界にエアーを吹き付け、電解槽の内部より前記隙間から流出した電解液を除去させるようにしたことを特徴とするアルミニウム合金の陽極酸化処理方法とした。
【００１０】
本発明に係るアルミニウム合金の陽極酸化処理方法によれば、陽極酸化皮膜を形成する被処理部位と他の部位との境界において、被処理部材と開口穴との隙間から漏れる電解液をエアーで除去し、被処理部位と処理しない部位とのシーリング効果を高めることができる。すなわち、被処理部材の形状に合わせたシール材の製作や、マスキング処理を施すことなく、複雑形状を有した被処理部材の外周面であっても部分的に陽極酸化皮膜を形成することができる。また、必要とされる被処理部位のみに陽極酸化皮膜が形成されるので、通電する電力量を最小限に抑えることができる。
【００１１】
好ましくは、請求項２に記載のように、電解槽の内部に電解液を噴出させる吐出ノズルを配設し、該吐出ノズルより噴出された電解液が電解槽から排出され、この排出された電解液が前記吐出ノズルに戻される循環操作を行いながら、通電して被処理部位に陽極酸化処理を施すことが望ましい。これにより、陽極酸化皮膜の生成にともなって発生するジュール熱を被処理部材から速やかに除去することができる。このように吐出ノズルから電解液を噴出させる場合は、その圧力の影響を考慮して、被処理部位と処理しない部位とのシール性を高める必要があるが、本発明では被処理部材と開口穴との間に意識的に隙間を形成させ、その隙間から流出した電解液を除去させるようにしたので、Ｏリング等のシール部材のシール性を向上させなくても、被処理部材に部分的に陽極酸化皮膜を形成することができる。
【００１２】
さらに好ましくは、請求項３に記載のように、吐出ノズルから噴出される電解液は、吐出ノズルから被処理部材の断面中心への方向に対して１５〜２５°の角度で噴出され、この噴出された電解液が電解槽の内部で被処理部材の周囲を回転しながら流されることが望ましい。これによれば、電解液が被処理部材の周囲を回転しながら流れることによって、陽極酸化皮膜を被処理部外周面に均一に形成することができるとともに、陽極酸化皮膜の生成にともなって発生するジュール熱を被処理部材の全体から速やかに除去することができる。また、ジュール熱を吸収して液温が上がった電解液は、電解槽から排出され、循環して再び供給管から噴出されるときは放熱されて液温が下がった状態となっているため、被処理部位と電極との間は常に液温の低い電解液が流れていることとなる。従って、電流密度を増加させても連続的にジュール熱が除去されるので、皮膜厚さの不均一な部位や皮膜焼けを生じることなく、陽極酸化処理の工程時間を大幅に低減することが可能となる。
【００１３】
また好ましくは、請求項４に記載のように、前記隙間を０．５〜１．０ｍｍになるように設定し、エアー吐出口の吹き付けエアーの圧力を０．３〜０．４ＭＰａ、吹き付け角度を被処理部材の軸方向に対して４５〜６０°とすることが望ましい。これにより、被処理部材と開口穴との隙間から漏れる電解液が、処理しない他の部位に被覆したり溜まったりすることなく、より効果的に陽極酸化処理することができる。
【００１４】
さらに好ましくは、請求項５に記載のように、電解槽の内部に電解液を噴出させる吐出ノズルを配設し、該吐出ノズルより噴出される電解液の流速を１０〜１２ｍ／秒に設定することが望ましい。これにより、更にジュール熱を速やかに除去する事ができ、皮膜厚さの不均一や皮膜焼けの発生を防ぐことができる。また、被処理部材の形状や皮膜焼けの状況に応じて、電解液の噴出パターンを変更することもできる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施形態を、図面を用いて説明する。図１は本発明に係る陽極酸化処理方法の第１実施形態を模式的に示す図であり、図１（ａ）は主要断面図、図１（ｂ）は横断面図である。尚、図１（ａ）は被処理部材の軸方向に並行な断面であり、図１（ｂ）は被処理部材の軸方向に垂直な断面である。図２は、図１（ａ）の右側から見た側面図であり、図３は、図１（ａ）の部分拡大図である。
【００１６】
図１に示すように、本実施形態における陽極酸化処理装置１０は、電解液Ｌを収容する電解槽１１が設けられている。図１（ｂ）に示すように、電解槽１１の中央部に被処理部材３０が保持されている。被処理部材３０はアルミニウム合金の押出材から成るが、アルミニウム合金の鋳造材、鍛造材であってもよい。被処理部材３０の断面形状は、サッシのように複数のリブを有した複雑の形状のもので、軸方向において一定断面のものを使用した。
【００１７】
陽極酸化皮膜を形成する被処理部位３１は被処理部材３０の中央とし、その中央の被処理部位３１に接する両端に陽極酸化処理を施さない他の部位３２が位置されている。被処理部材３１と他の部位３２との間は境界３３としてある。被処理部位３１以外の他の部位３２には、陽電極１８が接続されている。尚、本実施形態では、被処理部材３０の中央を被処理部としたが、必要に応じて被処理部材３０の先端付近に陽極酸化処理を施すことも可能である。
【００１８】
電解槽１１は、樹脂材（塩ビ）からなり、図１（ｂ）に示すように横断面では正方形を呈している。電解槽１１の内部には、４つの陰極１９と供給管１２が配設されている。陰電極１９は、電解槽１１の４つの内壁面の水平方向中央に、供給管１２は、電解槽１１内の四隅に位置している。陰電極１９の材質はチタンであるが、銅などでもよい。
【００１９】
電解槽１１の側壁１１ａには、被処理部材３０の断面形状よりも若干大きな形状の開口穴１４が設けられている。陽極酸化皮膜が形成される被処理部材３０の被処理部位３１が電解槽１１の内部に位置するように、被処理部材３０を水平方向に開口穴１４に挿通させることにより、境界３３で開口穴１４と被処理部材３０との隙間Ｓが形成されている。この隙間Ｓは、小さいと被処理部材３０の挿通性が悪くなり、大きいと漏れる電解液Ｌが多くなってしまうので、クリアランスとして０．５〜１．０ｍｍになるように設定されている。
【００２０】
隙間Ｓから流出した電解液Ｌが、処理しない他の部位３２へ漏れるのを防ぐため、電解槽１１の外部に配置されたエアー吐出口１６より被処理部材３０の外周面の全方向から境界３３に向かってエアーＧを吹き付けるようになっている。すなわち、電解槽１１の内部より隙間Ｓから流出した電解液Ｌを除去させるようにしてあり、エアーＧにより電解液Ｌは吹き飛ばされたり側壁１１ａを伝わったりしてタンクＲへ返される。
【００２１】
図２に示すように、円形状のエアー供給管１５は側壁１１ａに固定されており、エアー供給管１５に内側に複数のエアー吐出口１６が設けられている。エアー供給管１５の中心点は、被処理部材３０の断面形状の外接円の中心点Ｏにあわせてあり、被処理部材３０の軸方向に垂直な断面（図２）においては、エアー吐出口１６は中心点Ｏに向けられている。
【００２２】
被処理部材３０の軸方向に平行な断面では、図３に示すように、エアー吐出口１６の吹き付け角度θ１を、被処理部材３０の軸方向に対して４５〜６０°としてある。また、エアー吐出口１６の吹き付けエアーＧの圧力を０．３〜０．４ＭＰａとしてある。
【００２３】
電解槽１１の内部の供給管１２には複数の吐出ノズル１３が形成されており、電解液Ｌが噴出されるようになっている。吐出ノズル１３の噴出方向ｆ１３は、吐出ノズル１３〜中心点Ｏへの方向に対して１５〜２５°の角度θ２となっている。すなわち、吐出ノズル１３から噴出される電解液Ｌは、吐出ノズル１３から被処理部材３０の断面中心点Ｏへの方向に対して１５〜２５°の角度θ２で噴出される。更に、この噴出された電解液Ｌが電解槽１１の内部で被処理部材３０の周囲を回転しながら流されるように、角度θ２は調整される。
【００２４】
本実施形態では、吐出ノズル１３は、１本の供給管１２に対し７ヶ、計２８ヶが設置されており、電解液Ｌが直進パターンで噴出されるようになっている。形状に応じて吐出ノズル１３を取り替え噴出パターンを変更することも可能である。吐出ノズル１３から噴出された電解液Ｌの流速は１０〜１２ｍ／秒に設定している。
【００２５】
吐出ノズル１３から噴出された電解液Ｌは、やがて電解槽１１の排出口から排出され、タンクＲに貯留される。タンクＲには、冷却チラーが設置されている。タンクＲに貯留された電解液Ｌは、ポンプＰによって吸い込まれて供給管１２に供給され、再び吐出ノズル１３から噴出される。このようにして、電解液Ｌは、循環操作されている。この循環操作を行いながら、陰電極１９と陽電極１８とを通電して被処理部材３０に陽極酸化処理を施すと、電解液Ｌによりジュール熱を除去しながら被処理部位３１に陽極酸化皮膜が形成される。
【００２６】
以上のように、本発明に係るアルミニウム合金の陽極酸化処理方法においては、陽極酸化皮膜を形成する被処理部位３１と他の部位３２との境界３３において、被処理部材３０と開口穴１４との隙間Ｓから漏れる電解液ＬをエアーＧで除去し、被処理部位３１と処理しない部位３２とのシーリング効果を高めることができる。すなわち、被処理部材３０の断面形状に合わせたシール材の製作や、マスキング処理を施すことなく、複雑な形状を有した被処理部材３０の外周面であっても部分的に陽極酸化皮膜を形成することができる。また、必要とされる被処理部位３１のみに陽極酸化皮膜が形成されるので、通電する電力量を最小限に抑えることができる。
【００２７】
また、循環操作を行いながら、通電して被処理部位３１に陽極酸化処理を施すので、陽極酸化皮膜の生成にともなって発生するジュール熱を被処理部材３０から速やかに除去することができる。このように吐出ノズル１３から電解液Ｌを噴出させる場合は、その圧力の影響を考慮して、被処理部位３１と処理しない部位３２とのシール性を高める必要があるが、意識的に隙間Ｓを形成させ、その隙間Ｓから流出した電解液Ｌを除去させるようにしたので、Ｏリング等のシール部材を設けて、そのシール性を向上させなくても、被処理部材３０に部分的に陽極酸化皮膜を形成することができる。
【００２８】
また、吐出ノズル１３から噴出される電解液Ｌは、電解槽１１の内部で被処理部材３０の周囲を回転しながら流され、電解液Ｌが被処理部材３０の周囲を回転しながら流れることによって、陽極酸化皮膜を被処理部位３１の外周面に均一に形成することができるとともに、陽極酸化皮膜の生成にともなって発生するジュール熱を被処理部材の全体から速やかに除去することができる。また、ジュール熱を吸収して液温が上がった電解液Ｌは、電解槽１１から排出され、循環して再び供給管から噴出されるときは放熱されて液温が下がった状態となっているため、被処理部位３１と電極１９との間は常に液温の低い電解液Ｌが流れていることとなる。従って、電流密度を増加させても連続的にジュール熱が除去されるので、皮膜厚さの不均一な部位や皮膜焼けを生じることなく、陽極酸化処理の工程時間を大幅に低減することが可能となる。
【００２９】
また、隙間Ｓを０．５〜１．０ｍｍになるように設定し、エアー吐出口１６の吹き付けエアーＧの圧力を０．３〜０．４ＭＰａ、吹き付け角度θ１を被処理部材３０の軸方向に対して４５〜６０°とし、吐出ノズル１３より噴出される電解液Ｌの流速を１０〜１２ｍ／秒に設定することにより、被処理部材３０と開口穴１４との隙間Ｓから漏れる電解液Ｌが、処理しない他の部位３２に被覆したり溜まったりすることなく、より効果的に陽極酸化処理することができる。
【００３０】
次に、本発明に係るアルミニウム合金の表面処理方法の第２実施形態を説明する。図４は、本発明に係る第２実施形態を模式的に示す図であり、図４（ａ）は主要断面図、図４（ｂ）は横断面図である。本第２実施形態の主な構成は上述した第１実施形態と同様であるので、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
【００３１】
図４に示すように、本第２実施形態における陽極酸化処理装置５０は、電解液Ｌを収容する電解槽５１が設けられている。電解槽５１の内部の供給管５２には、１本に対し７ヶ計２８ヶの吐出ノズル５３が設置されており、電解液Ｌが噴出されるようになっている。この吐出ノズル５３は噴霧パターンであり、流速１０〜１２ｍ／秒で図４に示すように被処理部材３０に向け噴射している。これにより被処理部材３０の外周面隅々まで電解液Ｌが噴射され、均一に皮膜形成が形成され、高速陽極酸化による電流集中を緩和、皮膜焼け発生を防ぐようになっている。
【００３２】
電解槽５１は上方部が開放されて排出部５７となっており、吐出ノズル５３から噴出された電解液Ｌはオーバーフローして排出され、タンクＲに貯留される。タンクＲには冷却チラーが設置されている。タンクＲに貯留された電解液ＬはポンプＰによって供給管５２に供給され、再度吐出ノズル５３から噴出される。このような電解液Ｌの循環操作により、常に冷却された液を供給し、高速陽極酸化によるジュール熱を除去することが可能となっている。
【００３３】
本発明に係るアルミニウム合金の陽極酸化処理方法の第２実施形態においても、陽極酸化皮膜を形成する被処理部位３１と他の部位３２との境界３３において、被処理部材３０と開口穴１４との隙間Ｓから漏れる電解液ＬをエアーＧで除去するので、上記した第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００３４】
【実施例】
次に、本発明の実施例について、比較例と対比して具体的に説明する。
【００３５】
被処理部材には、６０００系アルミニウム合金をＴ５処理した押出材で、図１〜４で示した被処理部材３０と同様でサッシのような形状が複雑で肉厚が薄いものを使用した。被処理部材は従来の方法と同様に前処理（脱脂、エッチング、酸洗）を施した後、装置にセットする。電解液は、濃度２００ｇ／Ｌの硫酸水溶液を用い、浴温度は１０℃とした。
【００３６】
実施例１、２は陽極酸化処理装置１０を使用、実施例３は陽極酸化処理装置５０を使用し、比較例４は処理しない部分にマスキングテープやマスキングインクなどを施し、通常のバッチ処理装置を使用した。また、比較例５は被処理部材に７０００系アルミニウム合金をＴ６処理した円筒状押出材を使用し、Ｏリングで処理部分境界をシーリングする構造をもつ装置で処理を行った。処理条件を表１に示す。
【００３７】
【表１】
2005068458.tif 000003
【００３８】
電解液の噴出流速は、供給管に設置された吐出ノズルのオリフィス径寸法と流量から概算した。通電はスロースタートとし、通電時間はスロースタートの昇圧時間も含めたものとした。膜厚は、処理後の被処理部材を切断した断面を光学顕微鏡（２０倍）にて観察して測定した。硬度（ビッカース硬さ）は、常温でＪＩＳ−Ｚ２２４４に従い５点平均により測定した。表面粗さは、ＪＩＳ−Ｂ０６０１に従い十点平均粗さ（Ｒｚ）を測定した。これらの結果も表１に併せて示す。
【００３９】
通電後、実施例１〜３はいずれも比較例４のバッチ処理同等に陽極酸化皮膜が均一に形成され、皮膜焼けも発生せず良好な表面状態であった。また、実施例１〜３は比較例４と比べて大幅に電流密度を増加させることができ、短時間で２０μｍもの陽極酸化皮膜を形成することができた。更に実施例１〜３は皮膜硬度（ビッカース硬さ）がＨｖ４００近くまで達し、表面粗さもＲｚ６．３μｍ以下と耐磨耗性に要求される品質を満足するものであった。
【００４０】
バッチ処理である比較例４は、処理しない部分にマスキングを行う必要があり大変手間が掛かるのに対し、実施例１〜３はマスキング工数や処理体断面形状に合わせたシーリング材を必要することなく、部分的に皮膜を形成することが可能となった。また、実施例１〜３は形状が複雑で処理面積が広く、焼けが発生しやすいのだが、比較例５のような被処理体が単純形状であるものと同様な効果を得ることができる。
【００４１】
尚、被処理体の形状を変更する場合は、貫通孔とエアー吐出口を断面形状に合わせて設定すればよい。また、陽極酸化処理装置１０においては、吐出ノズルからの電解液噴出角度を、被処理体の形状や焼けの発生状況に応じて変更してもよい。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、大規模な設備や複雑な制御を用いることなく、生成される陽極酸化皮膜の品質を満足しながら陽極酸化処理の工程時間も低減でき、アルミニウム合金からなる複雑な断面形状を有した被処理部材の外周面に部分的に陽極酸化皮膜を形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るアルミニウム合金の陽極酸化処理方法の第１実施形態を模式的に示す図であり、図１（ａ）は主要断面図、図１（ｂ）は横断面図である。
【図２】図１（ａ）の右側から見た側面図である。
【図３】図１（ａ）の部分拡大図である。
【図４】本発明に係る第２実施形態を模式的に示す図であり、図４（ａ）は主要断面図、図４（ｂ）は横断面図である。
【符号の説明】
１０、５０    陽極酸化処理装置
１１、５１    電解槽
１１ａ        側壁
１２、５２    供給管
１３、５３    吐出ノズル
１４          開口穴
１６          エアー吐出口
１７、５７    排出部
１８          陽電極
１９          陰電極
３０          被処理部材
３１          被処理部位
３２          他の部位
３３          境界
Ｌ            電解液
Ｏ            断面中心
Ｐ            ポンプ
Ｒ            タンク
Ｓ            隙間
ｆ１３        噴出方向
θ１、θ２    角度
【図１】
2005068458.tif 000004
【図２】
2005068458.tif 000005
【図３】
2005068458.tif 000006
【図４】
2005068458.tif 000007