(57)【要約】【課題】  極微小液滴を噴射する。【解決手段】  インクが貯溜されている圧力室１１０に噴出圧を付与するアクチュエータ２１と、圧力室１１０に連通し、飛翔軌道１０１を有するメイン液滴６１を噴射可能であるとともに、メイン液滴６１の噴射に伴ってメイン液滴６１よりも小体積のサテライト液滴６３を噴射するノズル８ａと、圧力室１１０に連通し、飛翔軌道１０１と交点Ｘにおいて交わる飛翔軌道１０２を有するメイン液滴６２を噴射するノズル８ｂとを備えている。また、アクチュエータ２１を制御する制御装置と、用紙を搬送するプラテンローラとをさらに備えている。そして、制御装置が、交点Ｘにおいてメイン液滴６１、６２が衝突して合体液滴６４を形成するように、且つ、サテライト液滴６３が用紙に着弾するようにアクチュエータ２１を制御する。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
媒体上にドットを形成する液滴噴射装置であって、
液体が貯溜されている貯溜室に噴出圧を付与する噴出圧付与部と、
前記貯溜室に連通し、第１の飛翔軌道に第１のメイン液滴を噴射可能であるとともに、前記第１のメイン液滴よりも小体積のサテライト液滴を前記第１のメイン液滴の噴射に伴って噴射する第１のノズルと、
前記貯溜室に連通し、前記第１の飛翔軌道と所定の交点において交わる第２の飛翔軌道に第２のメイン液滴を噴射する第２のノズルと、
前記噴出圧付与部を制御する制御手段と、
前記媒体を保持する媒体保持手段とを備えており、
前記制御手段が、前記交点において前記第１のメイン液滴と前記第２のメイン液滴とが衝突して合体液滴を形成するように、且つ、前記第１のノズルから噴射された前記サテライト液滴が前記媒体に着弾するように前記噴出圧付与部を制御することを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
媒体上にドットを形成する液滴噴射装置であって、
液体が貯溜されている貯溜室に噴出圧を付与する噴出圧付与部と、
前記貯溜室に連通し、第１の飛翔軌道に第１のメイン液滴を噴射可能な第１のノズルと、
前記貯溜室に連通し、前記第１の飛翔軌道と所定の交点において交わる第２の飛翔軌道に第２のメイン液滴を噴射可能な第２のノズルと、
前記第１のノズルから前記第１のメイン液滴と前記第１のメイン液滴とは離れて飛翔する前記第１のメイン液滴よりも小体積のサテライト液滴とを噴射させ、且つ、前記第２のノズルから前記第１のメイン液滴と前記交点において衝突して合体液滴を形成する前記第２のメイン液滴を噴射させるように前記噴射圧付与部を制御する制御手段と、
前記サテライト液滴の飛翔軌道に交差する位置に前記媒体を保持する印刷媒体保持手段とを備えていることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項３】
前記合体液滴の飛翔方向が、前記第１のノズルから噴射したサテライト液滴の飛翔方向とは異なることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴噴射装置。
【請求項４】
前記サテライト液滴の体積は、０．００２〜０．５ｐｌであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
【請求項５】
前記第１の飛翔軌道が前記媒体保持手段に保持された媒体に対して垂直となっていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
【請求項６】
前記第１のノズルの噴射口と、前記第２のノズルの噴射口とが同一平面上に形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
【請求項７】
前記第１のノズルの噴射口が形成された第１の平面と、前記第２のノズルが形成された第２の平面とは互いに交差する平面であり、
前記第１のノズルが、その軸線が前記第１の飛翔軌道に沿うように、且つ、前記第２のノズルが、その軸線が前記第２の飛翔軌道に沿うように形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
【請求項８】
前記第１のノズルの噴射口におけるノズル径と前記第２のノズルの噴射口におけるノズル径とが異なっていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
【請求項９】
前記第１のノズルの噴射口におけるノズル径が、前記第２のノズルの噴射口におけるノズル径よりも小さく、
前記第１のノズルの噴出口と前記交点との直線距離が、前記第２のノズルの噴出口と前記交点との直線距離よりも長いことを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
【請求項１０】
前記制御手段が前記噴射圧付与部を駆動したときに、次式が成立することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
Ｌ１／Ｖ１＝Ｌ２／Ｖ２
Ｌ１：前記第１のノズルの噴出口と前記交点との直線距離
Ｌ２：前記第２のノズルの噴出口と前記交点との直線距離
Ｖ１：前記第１のノズルから噴射される前記第１のメイン液滴の噴射速度
Ｖ２：前記第２のノズルから噴射される前記第２のメイン液滴の噴射速度
【請求項１１】
前記第１のノズルから噴射される前記第１のメイン液滴の噴射速度が４．５ｍ／ｓｅｃ以上、且つ７．０ｍ／ｓｅｃ未満であり、
前記第２のノズルから噴射される前記第２のメイン液滴の噴射速度が４．５ｍ／ｓｅｃ未満であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
【請求項１２】
前記第１のノズルの噴出口は、真円形状又は楕円形状を有しており、
前記サテライト液滴の飛翔軌道が、前記第１の飛翔軌道と同一であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
【請求項１３】
前記第１のノズルの噴出口は、外縁の一部が切り欠かれた真円形状又は楕円形状を有しており、
前記サテライト液滴の飛翔軌道が、前記第１の飛翔軌道から切り欠かれた方向に傾いていることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
【請求項１４】
前記合体液滴の飛翔軌道上に前記合体液滴を受け止めるための液滴キャッチ部を設けたことを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載の液滴噴射装置。
【請求項１５】
前記液滴キャッチ部で受け止められた前記合体液滴を排出するための排出路をさらに備えていることを特徴とする請求項１４に記載の液滴噴射装置。
【請求項１６】
前記貯溜室に液体を供給するための液体室と、
前記液滴キャッチ部で受け止められた前記合体液滴を前記液体室に送出するための送出路とをさらに備えていることを特徴とする請求項１４に記載の液滴噴射装置。
【請求項１７】
前記送出路は毛管力により前記合体液滴を前記液体室まで吸い上げることを特徴とする請求項１６に記載の液滴噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、極微小な液滴を噴射することが可能なインクジェットプリンタなどの液滴噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタでは、印刷画質の向上を図るために、ヘッドから噴射されるインク液滴をできるだけ微小なものにすることが望まれている。このような観点から、インクに吐出エネルギーを付与するアクチュエータの制御パルス波形を工夫したり、ノズル径を小さくしたりすることにより、２ｐｌ程度の微小インク液滴を噴射できるようになっている。
【０００３】
しかし近年、さらに高画質の高精細印刷を実現するため、２ｐｌよりも小さい極微小インク液滴を噴射する必要が生じている。ところが、上述した制御パルス波形の工夫やノズル径の縮小という手法でインク液滴をさらに微小なものにすることは困難である。
【０００４】
上述したのとは異なる手法によりインク液滴を微小化する技術として、１回の圧力変動に起因してノズルから吐出されるメインドット（メイン液滴）とサテライトドット（サテライト液滴）とをほぼ同じ重量となり、且つこれら２つのインク滴の着弾位置がずれるように、制御パルス波形を調整すると共に、ノズルと被印刷媒体との距離を調整する技術が知られている（特許文献１）。この技術によると、メイン液滴の微小化が図れると共にサテライト液滴が拡大されてこれをメインインク液滴とは別の印刷ドットとすることができる。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−２８５２２２号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、例えば写真画質を有する非常に高精細な画像を印刷するためには、上記技術によって得られるよりもさらに微小なインク液滴を噴射する必要がある。また、インクジェットプリンタにおいては、微小なインク液滴を噴射するという要望以外に、導電ペーストを噴射して極めて微細な電気回路パターンを基板上に印刷するという要望もある。
【０００７】
そこで、本発明の主たる目的は、極微小液滴を噴射できる液滴噴射装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００８】
本発明の液滴噴射装置は、媒体上にドットを形成する液滴噴射装置であって、液体が貯溜されている貯溜室に噴出圧を付与する噴出圧付与部と、前記貯溜室に連通し、第１の飛翔軌道に第１のメイン液滴を噴射可能であるとともに、前記第１のメイン液滴よりも小体積のサテライト液滴を前記第１のメイン液滴の噴射に伴って噴射する第１のノズルと、前記貯溜室に連通し、前記第１の飛翔軌道と所定の交点において交わる第２の飛翔軌道に第２のメイン液滴を噴射する第２のノズルと、前記噴出圧付与部を制御する制御手段と、前記媒体を保持する媒体保持手段とを備えており、前記制御手段が、前記交点において前記第１のメイン液滴と前記第２のメイン液滴とが衝突して合体液滴を形成するように、且つ、前記第１のノズルから噴射された前記サテライト液滴が前記媒体に着弾するように前記噴出圧付与部を制御する。
【０００９】
また、別の観点から本発明の液滴噴射装置は、媒体上にドットを形成する液滴噴射装置であって、液体が貯溜されている貯溜室に噴出圧を付与する噴出圧付与部と、前記貯溜室に連通し、第１の飛翔軌道に第１のメイン液滴を噴射可能な第１のノズルと、前記貯溜室に連通し、前記第１の飛翔軌道と所定の交点において交わる第２の飛翔軌道に第２のメイン液滴を噴射可能な第２のノズルと、前記第１のノズルから前記第１のメイン液滴と前記第１のメイン液滴とは離れて飛翔する前記第１のメイン液滴よりも小体積のサテライト液滴とを噴射させ、且つ、前記第２のノズルから前記第１のメイン液滴と前記交点において衝突して合体液滴を形成する前記第２のメイン液滴を噴射させるように前記噴射圧付与部を制御する制御手段と、前記サテライト液滴の飛翔軌道に交差する位置に前記媒体を保持する印刷媒体保持手段とを備えている。
【００１０】
本発明によると、第１のメイン液滴とともに噴射した第１のメイン液滴よりも小体積のサテライト液滴（極微小液滴）を媒体に着弾させて媒体上に微小なドットを形成することができる。また、噴射圧付与部を１つ有するだけで、極微小液滴のみを媒体に着弾させる液滴噴射装置を構成できるため、このような液滴噴射装置を低コストで実現することができる。
【００１１】
本発明においては、前記合体液滴の飛翔方向が、前記第１のノズルから噴射したサテライト液滴の飛翔方向とは異なることが好ましい。これによると、媒体に合体液滴を着弾させず、媒体上にサテライト液滴のみによってドットを形成することができる。
【００１２】
本発明においては、前記サテライト液滴の体積が、０．００２〜０．５ｐｌであることが好ましい。サテライト液滴をこの体積に調整することにより媒体上により微小なドットを形成することができる。
【００１３】
また、本発明においては、前記第１の飛翔軌道が前記媒体保持手段に保持された媒体に対して垂直となっていることが好ましい。これによると、媒体上に円形のドットを形成することができるため、画質品質を高めることができる。
【００１４】
さらに、本発明においては、前記第１のノズルの噴射口と、前記第２のノズルの噴射口とが同一平面上に形成されていてもよい。これによると、第１のノズル及び第２のノズルを簡単に形成することができるため、液滴噴射装置の製造コストを低くすることができる。
【００１５】
また、本発明においては、前記第１のノズルの噴射口が形成された第１の平面と、前記第２のノズルが形成された第２の平面とは互いに交差する平面であり、前記第１のノズルが、その軸線が前記第１の飛翔軌道に沿うように、且つ、前記第２のノズルが、その軸線が前記第２の飛翔軌道に沿うように形成されていてもよい。これによると、第１のノズル及び第２のノズルを噴射特性が安定するように形成することができ、サテライト液滴、第１及び第２のメイン液滴を精度良く噴射させることができる。
【００１６】
加えて、本発明においては、前記第１のノズルの噴射口におけるノズル径と前記第２のノズルの噴射口におけるノズル径とが異なっていてもよい。これによると、第２のノズルから余分なサテライト液滴を噴射させないようにできるため、余分なサテライト液滴により媒体を汚すという不具合を回避することができる。
【００１７】
また、本発明にはおいては、前記第１のノズルの噴射口におけるノズル径が、前記第２のノズルの噴射口におけるノズル径よりも小さく、前記第１のノズルの噴出口と前記交点との直線距離が、前記第２のノズルの噴出口と前記交点との直線距離よりも長いことが好ましい。これによると、第１のノズルからサテライト液滴を噴射させ、第２のノズルからサテライト液滴を噴射させないようにし、且つ、第１のメイン液滴と第２のメイン液滴とを衝突させることができる。
【００１８】
さらに、本発明においては、前記制御手段が前記噴射圧付与部を駆動したときに、次式が成立することが好ましい。
Ｌ１／Ｖ１＝Ｌ２／Ｖ２
Ｌ１：前記第１のノズルの噴出口と前記交点との直線距離
Ｌ２：前記第２のノズルの噴出口と前記交点との直線距離
Ｖ１：前記第１のノズルから噴射される前記第１のメイン液滴の噴射速度
Ｖ２：前記第２のノズルから噴射される前記第２のメイン液滴の噴射速度
これによると、第１及び第２のメイン液滴を確実に衝突させることができる。
【００１９】
加えて、本発明においては、前記第１のノズルから噴射される前記第１のメイン液滴の噴射速度が４．５ｍ／ｓｅｃ以上、且つ７．０ｍ／ｓｅｃ未満であり、前記第２のノズルから噴射される前記第２のメイン液滴の噴射速度が４．５ｍ／ｓｅｃ未満であることが好ましい。これによると、第１のノズルから良好なサテライト液滴を噴射させつつ、第２のノズルからサテライト液滴を噴射させないようにすることができる。
【００２０】
また、本発明においては、前記第１のノズルの噴出口が、真円形状又は楕円形状を有しており、前記サテライト液滴の飛翔軌道が、前記第１の飛翔軌道と同一であってもよい。これによると、サテライト液滴を精度よく噴射させることができる。
【００２１】
または、本発明においては、前記第１のノズルの噴出口が、外縁の一部が切り欠かれた真円形状又は楕円形状を有しており、前記サテライト液滴の飛翔軌道が、前記第１の飛翔軌道から切り欠かれた方向に傾いていてもよい。これによると、サテライト液滴が交点を通過しなくなるため、サテライト液滴と第２のメイン液滴とが衝突しにくくなる。
【００２２】
加えて、本発明においては、前記合体液滴の飛翔軌道上に前記合体液滴を受け止めるための液滴キャッチ部を設けることが好ましい。これによると、合体液滴を不必要に着弾させることがなく余計なドットを形成されなくなる。
【００２３】
また、本発明においては、前記液滴キャッチ部で受け止められた前記合体液滴を排出するための排出路をさらに備えていることがより好ましい。これによると、液滴キャッチ部が保持している液体を排出することができるため、液滴キャッチ部の容量を小さくすることができる。
【００２４】
または、本発明においては、前記貯溜室に液体を供給するための液体室と、前記液滴キャッチ部で受け止められた前記合体液滴を前記液体室に送出するための送出路とをさらに備えていることがより一層好ましい。これによると、合体液滴をリサイクルすることができるため、ランニングコストを低くすることができる。
【００２５】
さらに、本発明においては、前記送出路が毛管力により前記合体液滴を前記液体室まで吸い上げることがより一層好ましい。これによると、合体液滴を簡単な構成で効率よく吸い上げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明の第１の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。図１は、第１の実施の形態に係るインク噴射部を含むインクジェットプリンタの概略構成を示す斜視図である。尚、説明の都合上インクジェットプリンタの一部を切断した状態を示している。図１に示すように、インクジェットプリンタ１には、媒体である用紙４１を搬送する搬送手段であり、且つ用紙４１を記録位置において保持する媒体保持手段としてのプラテンローラ４０ａ、４０ｂと、プラテンローラ４０ａ、４０ｂとともに用紙４１を挟持するガイドローラ４２ａ、４２ｂと、搬送手段により搬送される用紙４１に対してインク液滴を噴射するインクジェットヘッド１０と、制御装置２０とを備えている。
【００２７】
プラテンローラ４０ａ、４０ｂは、図示しないフレームに回転可能に取り付けられており、モータ４４によって回転駆動される。用紙４１は、インクジェットプリンタ１の側方に設けられた図示しない給紙カセットから給紙され、プラテンローラ４０ａ、４０ｂにより一定速度で搬送されて、インクジェットヘッド１０から噴射されるインクにより所定の印刷がなされ、その後、排紙される。
【００２８】
尚、図１では、用紙４１の給紙機構と排紙機構の詳細な図示を省略している。また、図１に描かれたインクジェットプリンタ１はモノクロプリンタであってインクジェットヘッド１０が１つしか配置されていないが、カラー印刷を行う場合にはイエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの少なくとも４つのインクジェットヘッド１０が平行に配置される。
【００２９】
インクジェットヘッド１０は、用紙４１の搬送方向に対して垂直方向に延在しているラインヘッドであって、インク噴射面が所定の角度で用紙４１と対向するようにフレームに対して固定設置されている。インクジェットヘッド１０のインク噴射面（下面）には、制御装置２０の制御に基づいてインク液滴を噴射するノズル８ａ、８ｂが、インクジェットヘッド１０の長手方向に沿って多数配列されている。また、ノズル８ａとノズル８ｂとは、インクジェットヘッド１０の短手方向に沿うように並んで配置されている。ノズル８ａは、ノズル８ａから噴射されたインク液滴の飛翔軌道（第１の飛翔軌道）が用紙４１に対して実質的に垂直となるように形成されており、ノズル８ｂは、ノズル８ｂから噴射されたインク液滴の飛翔軌道（第２の飛翔軌道）が、ノズル８ａから噴射したインク液滴の飛翔軌道と所定の角度で交わるように形成されている。インクジェットヘッド１０のインク噴射面の反対面（上面）には、制御装置２０に制御されてノズル８ａ、８ｂからインク液滴を噴射させるためのアクチュエータ２１がインクジェットヘッド１０の長手方向に沿って多数配列されている。インクジェットヘッド１０内には、一対のノズル８ａ、８ｂ、これらに連通する１の個別インク流路１２０、及び１つのアクチュエータ２１を含むインク噴射部１００がインクジェットヘッド１０の延在方向に沿って多数配列されている。さらに、インクジェットヘッド１０のインク噴射面には、インクジェットヘッド１０の延在方向に沿って延在しているとともに、短手方向の断面がＬ形状を有する突出部１０ａが配置されている。
【００３０】
制御装置２０は、モータ４４やインクジェットヘッド１０などインクジェットプリンタ１内の各部の動作を制御するものである。特に、本実施の形態において、制御装置２０は、アクチュエータ２１に与えられる１回の噴射信号（用紙４１上の１ドットに対応した駆動パルスを意味する）で、ノズル８ａから比較的大径（例えば直径４〜２５μｍ程度）のメイン液滴（第１のメイン液滴）６１の噴射とともにメイン液滴６１の噴射に遅れてこれよりも小体積（例えば直径１．６〜１０μｍ程度、体積０．００２〜０．５ｐｌ程度）のサテライト液滴６３が噴射され、且つ、これと同時にノズル８ｂからメイン液滴（第２のメイン液滴）６２が１つだけ噴射される。ノズル８ａから噴射されたメイン液滴６１とノズル８ｂから噴射されたメイン液滴６２とが衝突して形成された合体液滴６４の飛翔軌道がメイン液滴６１の飛翔軌道とは異なるものとする（図２参照）。尚、インク液滴の噴射速度及び体積は、ノズル８ａ、８ｂの噴射口の面積に基づいて、噴射信号のパルス高さやパルス数、パルス幅などの少なくともいずれか一つを調整することで制御することができる。
【００３１】
次に、インクジェットヘッド１０の内部構成について図２及び図３を参照しつつ説明する。図２は、インクジェットヘッド１０におけるインク噴射部１００の断面図である。図３は、図２に示すIII−III線の断面図である。図２及び図３に示すように、インクジェットヘッド１０においては、図示されない駆動回路で発生した駆動パルス信号（グランド電位及び正の所定電位のいずれかを選択的にとる）により駆動されるアクチュエータ２１と、個別インク流路を形成する流路ユニット４とが積層されている。アクチュエータ２１及び流路ユニット４はエポキシ系の熱硬化性の接着剤によって接着されており、アクチュエータ２１の上面には、図示されない駆動回路で発生した駆動パルス信号を印加するためにフレキシブル配線基板（図示せず）等が接合されている。さらに、流路ユニット４のインク噴射面に突出部１０ａの端部が垂直方向に嵌合されている。
【００３２】
流路ユニット４は、金属材料からなる薄板状の４枚のプレート（アクチュエータプレート２２、キャビティプレート２３、サプライプレート２４、マニホールドプレート２５）と、インクを噴射するノズル８ａ、８ｂを備えたポリイミド等の合成樹脂製のノズルプレート２６とが積層されることによって構成されている。最上部のアクチュエータプレート２２は、アクチュエータ２１に接している。
【００３３】
キャビティプレート２３の表面には、アクチュエータ２１の動作により選択的に噴射されるインクを貯溜する複数の圧力室（貯溜室）１１０が、インクジェットヘッド１０の長手方向（図２では紙面に垂直な方向、図３では左右方向）に沿って、一列に形成されている。
【００３４】
サプライプレート２４には、圧力室１１０の一端をノズル８ａ、８ｂに連通させる連通孔１１１と、圧力室１１０の他端を後述するマニホールド流路１１５に連通させる連通孔１１２とがそれぞれインクジェットヘッド１０の長手方向に沿って、一列に配列するように形成されている。
【００３５】
マニホールドプレート２５には、圧力室１１０の一端をノズル８ａ、８ｂに連通させる連通孔１１３が形成されている。さらに、マニホールドプレート２５には、インクを圧力室１１０に供給するマニホールド流路１１５が、複数の圧力室１１０がなす列の下方においてその列方向に長く形成されている。マニホールド流路１１５の一端は、図示されないインク供給源に接続されている。
【００３６】
ノズルプレート２６には、ノズル８ａ、８ｂが形成されている。このように、インクジェットヘッド１０内には、マニホールド流路１１５から連通孔１１２、圧力室１１０、連通孔１１１、連通孔１１３を経てノズル８ａ、８ｂに至る個別インク流路１２０が延在方向に沿って多数配列するように形成されている。ノズル８ａは、メイン液滴６１の直線状の飛翔軌道（第１の飛翔軌道）１０１及びサテライト液滴６３の直線状の飛翔軌道（第３の飛翔軌道）１０３が用紙４１に対して実質的に垂直となるように形成されている。ノズル８ｂは、メイン液滴６２の直線状の飛翔軌道（第２の飛翔軌道）１０２が、ノズル８ａ、８ｂと用紙４１との間にある交点Ｘで飛翔軌道１０１と交わるように形成されている（図１参照）。さらに、ノズルプレート２６には、インクキャッチ部３０に連通する突出部１０ａの端部が嵌合する溝がインクジェットヘッド１０の長手方向に延在するように形成されている。この溝の底部にはマニホールド流路１１５に連通するための孔が多数形成されている。
【００３７】
突出部１０ａは、その短手方向における一端部から他端部に亘って形成されており且つＬ形状を有する毛管インク流路１０ｂを備えている。毛管インク流路１０ｂは、突出部１０ａの長手方向に沿って多数配列されている。突出部１０ａがノズルプレート２６のインク噴射面に形成されている溝に嵌合されているとき、その溝の底部に形成されているマニホールド流路１１５に連通するための孔と管インク流路１０ｂの一端部とが接続される。管インク流路１０ｂの反対側の開放端部にはインクキャッチ部３０が形成されている。
【００３８】
インクキャッチ部３０は、用紙４１と交点Ｘとの間における、合体液滴６４の飛翔軌道１０４上に配置されているとともに、飛翔軌道１０４上を飛翔してきた合体液滴６４を受け取るものである。飛翔軌道１０４上においては、インクキャッチ部３０の下端部が上端部よりもノズル８ａ、８ｂ側に突出しており、この突出領域が合体液滴６４を受け取る領域となる。インクキャッチ部３０が合体液滴６４を受け取ると、毛管インク流路１０ｂが毛管力により合体液滴６４のインクを吸い上げてマニホールド流路１１５に送出する。尚、毛管インク流路１０ｂは、吸い上げたインクを別途用意した他の排出箇所に排出するように構成されていてもよい。
【００３９】
アクチュエータ２１は、圧力室１１０に対応するように配置されているとともに、個別電極３５と圧電シート３７とが積層された積層構造を有している。圧電シート３７は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものであり、その下面は圧力室１１０の上壁となるアクチュエータプレート２２に隣接している。アクチュエータプレート２２は常にグランド電位に保たれており、多数のインク噴射部１００に共通の共通電極として機能している。個別電極３５は、圧電シート３７と同じ表面形状を有している（図１参照）。また、個別電極３５は、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなるものであり、図示しないフレキシブル配線基板に接続されている。制御装置２０はフレキシブル配線基板を介して個別電極３５に供給する駆動パルス信号を制御することができる。
【００４０】
圧電シート３７はその厚み方向に分極されている。従って、制御装置２０から個別電極３５にグランド電位より高い電位が印加されることで、圧電シート３７に対してその分極方向に電界が印加される。圧電シート３７に電界が印加されると、電界が印加された部分が活性層として働き、その厚み方向に伸長するとともに、圧電横効果により面方向に収縮しようとする。これにともなって圧電シート３７及びアクチュエータプレート２２は圧力室１１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。つまり、アクチュエータ２１にはユニモルフ型の駆動機構が実現されている。
【００４１】
次に、ノズル８ａ、８ｂの構造について、図４をさらに参照しつつ詳細に説明する。図４はノズル８ａ、８ｂの拡大図である。図４（ａ）はノズル８ａ、８ｂの断面図を、図４（ｂ）はインク噴射面（ノズル８ａ、８ｂの噴射口側）から見たノズル８ａ、８ｂの外観図を示している。図４（ａ）に示すように、ノズル８ａの噴射口及びノズル８ｂの噴射口は真円形状を有するとともに同一平面上に形成されている。また、ノズル８ａの噴射口から交点Ｘまでの直線距離Ｌ１が、ノズル８ｂの噴射口から交点Ｘまでの直線距離Ｌ２よりも長くなっている。さらに、図４（ｂ）に示すように、ノズル８ａの噴射口のノズル径である直径Ｄ１がノズル８ｂの噴射口のノズル径である直径Ｄ２よりも小さく、言い換えればノズル８ａの噴射口の開口面積がノズル８ｂの噴射口の開口面積よりも小さくなっている。インク液滴の噴射特性として、同じ噴射圧が付与された場合には、噴射口の開口面積が小さくなるに伴ってインク液滴の噴射速度が高く、開口面積が大きくなるに伴ってインク液滴の噴射速度が低くなる。つまり、本実施の形態においては、ノズル８ａにおけるメイン液滴６１の噴射速度Ｖ１が、ノズル８ｂにおけるメイン液滴６２の噴射速度Ｖ２よりも高くなる。また、メイン液滴６１、６２を同時に且つ実質的に直線状に噴射させるとともに、交点Ｘでメイン液滴６１、６２を衝突させるため、
Ｌ１／Ｖ１＝Ｌ２／Ｖ２
の関係が成立している。
【００４２】
次に、インク噴射部１００の動作について図５及び図６を参照しつつ説明する。図５は、制御装置２０がアクチュエータ２１を駆動したときのインク噴射部１００の断面図である。図６は、ノズル８ａからインク液滴が噴射される状態を示した図である。まず、制御装置２０は、図５に示すように、予めアクチュエータ２１及びこれに隣接するアクチュエータプレート２２が圧力室１１０側へ凸になるように、個別電極３５に所定の電位を印加しておく。そして制御装置２０は、噴射要求があるごとに、一旦アクチュエータ２１及びこれに隣接するアクチュエータプレート２２がフラット形状を有するように個別電極３５に印加する電位をグランド電位に下げる（図３参照）。その後、制御装置２０は、所定のタイミングで再びアクチュエータ２１及びこれに隣接するアクチュエータプレート２２が圧力室１１０側へ凸になるように、個別電極３５に所定の電位を印加する。
【００４３】
このように、制御装置２０が、圧力室１１０の容積を低下させた状態から一旦容積を低下させる前の状態にすることにより、圧力室１１０内部が負圧となり圧力室１１０はマニホールド流路１１５からインクを吸い込む。さらに、制御装置２０が再び圧力室１１０の容積を低下させることにより、圧力室１１０内部が正圧になり圧力室１１０のインクがノズル８ａ、８ｂから同時に噴射される。つまり、制御装置２０は、ノズル８ａ、８ｂから同時にインク液滴を噴射させるため個別電極３５に矩形波の駆動パルス信号を印加することになる。このパルス幅は、圧力室１１０内において圧力波がマニホールド流路１１５からノズル８ａ、８ｂまで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）であり、圧力室１１０内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさるため、強い圧力でノズル８ａ、８ｂから同時にインク液滴を噴射させることができる。
【００４４】
本実施の形態においては、サテライト液滴６３が噴射されるか否かは噴射速度に依存している。一例として、粘度５ｃＰ、表面張力４０ｍＮ／ｍのインクを噴射する場合には、インク液滴の噴射速度が４．５ｍ／ｓｅｃ未満であるときには、図６（ａ）に示すように、サテライト液滴６３は噴射されない。そして、インク液滴の噴射速度が４．５ｍ／ｓｅｃ以上、且つ７．０ｍ／ｓｅｃ未満であるときには、図６（ｂ）に示すように、良好なサテライト液滴６３が噴射される。このとき、サテライト液滴６３はメイン液滴を追従するようにメイン液滴６１と同じ軌道をメイン液滴６１よりも低速で飛翔する。同じ軌道で飛翔している。つまり、メイン液滴６１の飛翔軌道１０１とサテライト液滴６３の飛翔軌道１０３とが同一となっている。しかし、インク液滴の噴射速度が７．０ｍ／ｓｅｃ以上であるときには、図６（ｃ）に示すように、不安定なサテライト液滴が多数噴射される。以上より、本実施の形態においては、制御装置２０が、ノズル８ａからのインク液滴の噴射速度を４．５ｍ／ｓｅｃ以上、且つ７．０ｍ／ｓｅｃ未満となり、また、ノズル８ｂのインク液滴の噴射速度を４．５ｍ／ｓｅｃ未満となるように制御することが好ましい。このインク液滴の噴射速度は、前述のように、ノズルの開口面積の他に、個別電極３５に印加される電圧や、パルス幅などにより決定される。
【００４５】
次に、インク噴射部１００の動作の詳細について図７を参照しつつ説明する。図７は、インク噴射部１００のインク液滴の噴射状態を時系列で示す断面図である。制御装置２０がアクチュエータ２１に駆動パルス信号を供給することにより、アクチュエータ２１が駆動され、図７（ａ）に示すように、ノズル８ａから、メイン液滴６１が飛翔軌道１０１に沿って噴射速度Ｖ１で噴射されるとともに、サテライト液滴６３が飛翔軌道１０３に沿って噴射速度Ｖ１よりも低速の噴射速度Ｖ４で噴射される。これと同時に、ノズル８ｂからは、メイン液滴６２のみが飛翔軌道１０２に沿って噴射速度Ｖ２で噴射される。そして、図７（ｂ）に示すように、交点Ｘにおいてメイン液滴６１、６２が衝突して合体液滴６４が形成される。この合体液滴６４は飛翔軌道１０１とは異なる新たな直線状の飛翔軌道１０４に沿って速度Ｖ３で飛翔する。このとき、サテライト液滴６３はノズル８ａから噴射されたメイン液滴６１の後を飛翔しているため、メイン液滴６２と衝突することなく、速度Ｖ４で飛翔し続ける。そして、図７（ｃ）に示すように、合体液滴６４はインクキャッチ部３０に着弾し、サテライト液滴６３は用紙４１上に着弾する。そして、図７（ｄ）に示すように、インクキャッチ部３０に着弾した合体液滴６４はインクキャッチ部３０に保持されているインクと一体となり、毛管インク流路１０ｂに吸引され、毛管インク流路１０ｂからマニホールド流路１１５に送出される。用紙４１上に着弾したサテライト液滴６３は、用紙４１上のドットと成る。
【００４６】
以上説明した第１の実施の形態によると、０．００２〜０．５ｐｌという小体積のサテライト液滴６３を噴射して用紙４１上に着弾させることができるため、用紙４１上に微小なドットを形成することができる。
【００４７】
また、ノズル８ａから噴射されるサテライト液滴６３の飛翔軌道１０３が用紙４１に対して実質的に垂直となっているため、用紙４１上に円形のドットを形成することができ、画質品質を高めることができる。
【００４８】
さらに、ノズルプレート２６において、ノズル８ａ、８ｂの噴射口が同一平面上に形成されているため、ノズルプレート２６に孔空け加工するという簡単な方法でノズル８ａ、８ｂを形成することができる。これによりインクジェットヘッド１０の製造コストを低くすることができる。
【００４９】
加えて、ノズル８ａの噴射口から交点Ｘまでの直線距離Ｌ１が、ノズル８ｂの噴射口から交点Ｘまでの直線距離Ｌ２よりも長い、且つ、ノズル８ａの噴射口の直径Ｄ１がノズル８ｂの噴射口の直径Ｄ２よりも小さくなっている。また、ノズル８ａの噴射速度をＶ１（４．５ｍ／ｓｅｃ以上、且つ７．０ｍ／ｓｅｃ未満）、ノズル８ｂの噴射速度をＶ２（４．５ｍ／ｓｅｃ未満）としたときに、Ｌ１／Ｖ１＝Ｌ２／Ｖ２の関係を成立させているため、ノズル８ａから良好なサテライト液滴６３を噴射させつつ、ノズル８ｂからメイン液滴６２のみを噴射させ、さらにメイン液滴６１、６２を確実に衝突させることができる。
【００５０】
また、合体液滴６４を受け取るインクキャッチ部３０を備えているため、合体液滴６４を用紙４１に着弾させることがない。さらに、インクキャッチ部３０で受け取った合体液滴４０が、毛管インク流路１０ｂを介してマニホールド流路１１５に供給されてリサイクルできるため、インクが無駄にならず、ランニングコストを低くすることができる。さらに、毛管インク流路１０ｂは毛管力によりインクを吸引するので以上の構成を簡単に実現することができる。
【００５１】
尚、第１の実施の形態では、ノズルプレート２６において、ノズル８ａ、８ｂの噴射口が同一平面上に形成される構成であるが、このような構成に限定されるものではない、例えば、図８（ａ）に示すように、ノズル８ａ'の噴射口の平面に対する垂直方向がメイン液滴の飛翔軌道１０１'に沿うように、且つ、ノズル８ｂ'の噴射口の平面に対する垂直方向がメイン液滴の飛翔軌道１０２'に沿うようにノズルプレート２６'が形成されていてもよい。このとき、ノズル８ａ'の噴射口の平面が用紙４１に対して平行となっている。尚、ノズル８ａ'、８ｂ'の噴射口は真円形状を有しており、ノズル８ａ'の噴射口から飛翔軌道１０１'及び飛翔軌道１０２'の交点Ｘ'までの直線距離Ｌ１'が、ノズル８ｂ'の噴射口から交点Ｘ'までの直線距離Ｌ２'よりも長くなっている。また、図８（ｂ）に示すように、ノズル８ａ'の噴射口の直径Ｄ１'がノズル８ｂ'の噴射口の直径Ｄ２'よりも小さく、言い換えればノズル８ａ'の噴射口の開口面積がノズル８ｂ'の噴射口の開口面積よりも小さくなっている。
【００５２】
これによると、ノズル８ａ'、８ｂ'を噴射特性が安定するように形成することができ、メイン液滴６１、６２、サテライト液滴６３を精度良く噴射させることができる。
【００５３】
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。第２の実施の形態においては、ノズルの形状のみが第１の実施の形態と異なるため、他の部材については第１の実施の形態と同一の符号を付してその説明を省略する。
【００５４】
第２の実施の形態に係るインク噴射部のノズルの構造について、図９を参照しつつ詳細に説明する。図９はインク噴射部１００Ａのノズル８ａＡ、８ｂＡの拡大図である。尚、図９（ａ）はノズル８ａＡ、８ｂＡの断面図を、図９（ｂ）はインク噴射面から見たノズル８ａＡ、８ｂＡの外観図を示している。ノズル８ａＡ、８ｂＡは、制御装置２０の制御に基づいてインク液滴を噴射するものである。
【００５５】
制御装置２０は、アクチュエータ２１に与えられる１回の噴射信号で、ノズル８ａＡから比較的大径のメイン液滴（第１のメイン液滴）６１Ａの噴射に伴ってこれよりも小体積（体積０．００２〜０．５ｐｌ程度）のサテライト液滴６３Ａが噴射され、且つ、これと同時にノズル８ｂからメイン液滴（第２のメイン液滴）６２Ａが１つだけ噴射されるとともに、ノズル８ａＡから噴射されたメイン液滴６１Ａとノズル８ｂＡから噴射されたメイン液滴６２Ａとが衝突して形成された合体液滴６４Ａの飛翔軌道がメイン液滴６１Ａの飛翔軌道とは異なるものとなるように制御する（図１１参照）。
【００５６】
ノズル８ａＡは、メイン液滴６１Ａの直線状の飛翔軌道（第１の飛翔軌道）１０１Ａが用紙４１に対して実質的に垂直となるように形成されている。ノズル８ｂＡは、メイン液滴６２Ａの直線状の飛翔軌道（第２の飛翔軌道）１０２Ａが、ノズル８ａＡ、８ｂＡと用紙４１との間にある交点ＸＡで飛翔軌道１０１Ａと交わるように形成されている（図１１参照）。
【００５７】
図９（ａ）に示すように、ノズル８ａＡの噴射口及びノズル８ｂＡの噴射口は真円形状を有するとともに同一平面上に形成されている。また、ノズル８ａＡの噴射口から交点ＸＡまでの直線距離が、ノズル８ｂＡの噴射口から交点ＸＡまでの直線距離と同じになっている（図中Ｌ）。さらに、図９（ｂ）に示すように、ノズル８ａＡの噴射口の直径、及びノズル８ｂＡの噴射口の直径が同じになっている（図中Ｄ）。そして、ノズル８ａＡの噴射口の外縁にはノズル８ｂＡとノズル８ａＡとを結ぶ方向に延在する切り欠き部８１が形成されている。切り欠き部８１の切り欠き面積は微小であるので、ノズル８ａＡの噴射口の開口面積と、ノズル８ｂＡの噴射口の開口面積とは実質的に同一であり、ノズル８ａＡからのメイン液滴の噴射速度と、ノズル８ｂＡからのメイン液滴の噴射速度とが実質的に同一となる。そして、メイン液滴６１Ａ、６２Ａは同時に且つ実質的に直線状に噴射されるため、ノズル８ａＡから噴射されるメイン液滴と、ノズル８ａＢから噴射されるメイン液滴とが交点ＸＡで衝突することになる。
【００５８】
次に、ノズル８ａＡにおけるインク噴射動作について図１０を参照しつつ説明する。図１０はノズル８ｂＡから約６．０ｍ／ｓｅｃでインク液滴が噴射される状態を示した図である。尚、アクチュエータ２１の駆動方法、及びノズル８ｂＡからのインク噴射動作は、第１の実施の形態と同様であるため、詳細な説明を省略する。
【００５９】
制御装置２０がアクチュエータ２１に駆動パルス信号を供給することにより、アクチュエータ２１が駆動され、メイン液滴６１Ａの噴射が開始されると、図１０（ａ）に示すように、ノズル８ａＡからインクが押しだされる。このとき、図１０（ｂ）に示すように、押し出されたインクが若干切り欠き部８１側に引き込まれる。そして、さらに押し出されたインクは、図１０（ｃ）に示すように、テール部分が切り欠き部８１側に引き込まれた状態でインク液滴を形成する。そして、図１０（ｄ）に示すように、図１０（ｃ）において形成されたインク液滴は、その先端部分とテール部分とに分離され、当該先端部分がメイン液滴６１Ａを形成するとともに、当該テール部分がサテライト液滴６３Ａを形成する。メイン液滴６１Ａは飛翔軌道１０１Ａに沿って飛翔する。サテライト液滴６３Ａは、テール部分が切り欠き部８１側に引き込まれたときの慣性力により、メイン液滴６３Ａの飛翔軌道１０１Ａに比べて切り欠き部８１側に傾いた飛翔軌道（第３の飛翔軌道）１０３Ａに沿って飛翔する（図参照１１参照）。
【００６０】
次に、インク噴射部１００Ａの動作の詳細について図１１を参照しつつ説明する。図１１は、インク噴射部１００Ａのインク液滴の噴射状態を時系列で示す断面図である。制御装置２０がアクチュエータ２１に駆動パルス信号を供給することにより、アクチュエータ２１が駆動され、図１１（ａ）に示すように、ノズル８ａからは、メイン液滴６１Ａが飛翔軌道１０１Ａに沿って噴射速度Ｖで噴射されるとともに、サテライト液滴６３Ａが飛翔軌道１０３Ａに沿って噴射速度Ｖよりも低速の噴射速度Ｖ４で噴射される。また、これと同時にノズル８ｂからは、メイン液滴６２Ａのみが飛翔軌道１０２Ａに沿って噴射速度Ｖで噴射される。そして、図１１（ｂ）に示すように、交点ＸＡにおいてメイン液滴６１Ａ、６２Ａが衝突して合体液滴６４Ａが形成される。この合体液滴６４Ａは、飛翔軌道１０１Ａとは異なる新たな直線状の飛翔軌道１０４Ａに沿って速度Ｖ３Ａで飛翔する。
【００６１】
サテライト液滴６３Ａは、飛翔軌道１０１Ａと異なる飛翔軌道１０３Ａに沿って飛翔しているため、交点ＸＡを通過しない。このため、サテライト液滴６３Ａは、ノズル８ｂＡから噴射されたメイン液滴６２Ａと衝突することなく、速度Ｖ４で飛翔し続ける。そして、図１１（ｃ）に示すように、合体液滴６４Ａはインクキャッチ部３０に着弾し、サテライト液滴は用紙４１上に着弾する。そして、図１１（ｄ）に示すように、インクキャッチ部３０に着弾した合体液滴６４Ａはインクキャッチ部３０に保持されているインクと一体となり、毛管インク流路１０ｂに吸引され、毛管インク流路１０ｂからマニホールド流路１１５に供給される。用紙４１上に着弾したサテライト液滴６３Ａは、用紙４１上のドットと成る。
【００６２】
以上説明した、第２の実施の形態によると、切り欠き部８１により、サテライト液滴６３Ａが交点ＸＡを通過することがないため、サテライト液滴６３Ａとメイン液滴６２との衝突を確実に防止することができる。これにより、０．００２〜０．５ｐｌという小体積のサテライト液滴６３Ａを噴射させるとともに、確実に用紙４１上に着弾させることができる。
【００６３】
以上、第１及び第２の実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、第１の実施の形態においては、ノズル８ａから噴射されるメイン液滴６１の飛翔軌道１０１、及びサテライト液滴６３の飛翔軌道１０３が用紙４１に対して垂直となっているが、これらの飛翔軌道が用紙４１に対して斜めとなっていてもよい。
【００６４】
また、第１の実施の形態においては、ユニモルフ型のアクチュエータ２１を用いる構成であるが、アクチュエータは積層型の圧電アクチュエータや静電アクチュエータ等の構成のものであってよい。また、サーマル方式のインクジェットヘッドに適用してもよい。
【００６５】
加えて、第１の実施の形態においては、インクジェットヘッド１００がラインヘッドとして構成されているが、シリアルヘッドであってもよい。この場合、インクジェットヘッドが用紙４１の搬送方向と直交する方向に往復移動するように制御されていればよい。このようにすると、より短いヘッドで大きなサイズの用紙に印刷を施すことが可能になる。
【００６６】
さらに、第１及び第２の実施の形態においては、合体液滴６４、６４Ａがインクキャッチ部３０に着弾する構成であるが、キャッチ部３０を備えず、合体液滴を用紙４１に着弾させる構成であってもよい。
【００６７】
さらに、第１及び第２の実施の形態においては、噴射媒体としてインクを用いる構成でるが、噴射媒体として導電ペーストを用いる構成でもよい。これにより、極めて微細な電気回路パターンを印刷可能である。また、噴射媒体として有機発光体を用いてもよい。これにより、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（ＯＥＬＤ）などの高精細ディスプレイデバイスを作成したりすることもできる。また、噴射媒体として光学樹脂を用いてマイクロアレイレンズや光導波路を作成することもできる。そのほか、微小なドットを被印刷媒体上に形成する用途であれば、他の噴射媒体を用いることができる。
【００６８】
さらに、第１及び第２の実施の形態においては、サテライト液滴の噴射速度がメイン液滴の噴射速度よりも遅いものであったが、最近、サテライト液滴の噴射速度がメイン液滴の噴射速度よりも速くなる現象も確認されており、このような場合であっても本発明に適用することができる。
【００６９】
さらに、第１及び第２の実施の形態においては、ノズル８ａからサテライト液滴６３、６３Ａを噴射させ、ノズル８ｂからはサテライト液滴を噴射させないようにしていたが、これに限られることはなく、ノズル８ｂからもサテライト液滴が噴射するものであってもよい。この場合、ノズル８ｂから噴射したサテライト液滴をキャッチできるようにキャッチ部３０を構成するか、又は、ノズル８ｂから噴射したサテライト液滴をキャッチするために専用のキャッチ部を別途設けることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るインク噴射部を含むインクジェットプリンタの概略構成を示す斜視図である。
【図２】図１に示すインクジェットヘッドにおけるインク噴射部の断面図である。
【図３】図２に示すIII−III線の断面図である。
【図４】図３に示すノズルの拡大図である。
【図５】図１に示すインク噴射部のアクチュエータを駆動したときの断面図である。
【図６】図３に示すノズルからインク液滴が噴射される状態を示した図である。
【図７（ａ）】図１に示すインク噴射部のインク液滴の噴射状態を時系列で示す断面図である。
【図７（ｂ）】図１に示すインク噴射部のインク液滴の噴射状態を時系列で示す断面図である。
【図７（ｃ）】図１に示すインク噴射部のインク液滴の噴射状態を時系列で示す断面図である。
【図７（ｄ）】図１に示すインク噴射部のインク液滴の噴射状態を時系列で示す断面図である。
【図８】図２に示すノズルの変形例を示す断面図である。
【図９】第２の実施の形態に係るインク噴射部のノズルの拡大図である。
【図１０】図９に示すノズルからのインク液滴噴射動作を示す断面図である。
【図１１（ａ）】図９に示すインク噴射部のインク液滴の噴射状態を時系列で示す断面図である。
【図１１（ｂ）】図９に示すインク噴射部のインク液滴の噴射状態を時系列で示す断面図である。
【図１１（ｃ）】図９に示すインク噴射部のインク液滴の噴射状態を時系列で示す断面図である。
【図１１（ｄ）】図９に示すインク噴射部のインク液滴の噴射状態を時系列で示す断面図である。
【符号の説明】
【００７１】
１     インクジェットプリンタ
８ａ、８ｂ、８ａＡ、８ｂＡ  ノズル
１０   インクジェットヘッド
１０ｂ 毛管インク流路
１０ａ 突出部
２０   制御装置
２１   アクチュエータ
３０   インクキャッチ部
４０ａ、４０ｂ       プラテンローラ
４１   用紙
１００、１００Ａ     インク噴射部
１０１、１０１Ａ     飛翔軌道
１０２、１０２Ａ     飛翔軌道
１０３、１０３Ａ     飛翔軌道
１１０ 圧力室
【図１】
2005254579.tif 000003
【図２】
2005254579.tif 000004
【図３】
2005254579.tif 000005
【図４】
2005254579.tif 000006
【図５】
2005254579.tif 000007
【図６】
2005254579.tif 000008
【図７（ａ）】
2005254579.tif 000009
【図７（ｂ）】
2005254579.tif 000010
【図７（ｃ）】
2005254579.tif 000011
【図７（ｄ）】
2005254579.tif 000012
【図８】
2005254579.tif 000013
【図９】
2005254579.tif 000014
【図１０】
2005254579.tif 000015
【図１１（ａ）】
2005254579.tif 000016
【図１１（ｂ）】
2005254579.tif 000017
【図１１（ｃ）】
2005254579.tif 000018
【図１１（ｄ）】
2005254579.tif 000019