(57)【要約】【課題】加工電極の大きさによらず加工時間の短縮が可能な放電加工装置を提供すること。【解決手段】一対の下送り用流入バルブ１１０，１１１及び一対の上送り用流出バルブ１１２，１１３が上部油圧室１０３に接続し、一対の上送り用流入バルブ１１４，１１５及び下送り用流出バルブ１１６，１１７が下部油圧室１０４に接続した放電加工装置１０であって、加工電極２０の送り速度に合わせて駆動対象となるバルブ数を制御するとともに、制御装置４３の発するパルス列信号により駆動対象となる各バルブを所望の駆動デューティ比でデューティ制御した。これにより、加工状態に適した加工電極２０の送り速度設定を可能とし、加工電極２０の大きさによらず加工時間を短縮することができた。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加工電極と、当該加工電極をワークに対する放電開始位置まで移動させ、放電中前記加工電極に送りを与えるとともに、放電終了後に前記加工電極を元の位置へ戻す電極駆動手段と、前記加工電極と前記ワークとの間に放電電圧を印加する放電電源とを備え、前記ワークを放電加工する放電加工装置であって、
前記電極駆動手段として、前記加工電極に送りを与える油圧シリンダと、
前記油圧シリンダ内に摺動可能に挿入された少なくとも１個のピストンと、
前記加工電極の上下への移動方向に対応して前記油圧シリンダ内に前記ピストンによって形成される上下一対の油圧室と、
上部油圧室に対して共に接続された下送り用流入バルブ及び上送り用流出バルブと、
下部油圧室に対して共に接続された上送り用流入バルブ及び下送り用流出バルブと、
前記上送り用流入バルブ及び前記下送り用流入バルブへ作動油を供給する手段と、
前記上送り用流出バルブ及び前記下送り用流出バルブから排出される作動油を回収する手段と、
前記一対の油圧室内の作動油の圧力を夫々制御するためにパルス列信号を発生して複数の前記バルブをデューティ制御することにより、複数の前記バルブを開弁位置と閉弁位置との間でデューティ駆動させる制御手段とを備え、
前記下送り用流入バルブ、前記下送り用流出バルブ、前記上送り用流入バルブ、及び前記上送り用流出バルブは、各々が同数ずつ複数設けられていることを特徴とする放電加工装置。
【請求項２】
前記加工電極の移動時において、放電開始から前記ワークに所定深さの孔をあけるまでの間よりも、移動開始から放電開始までの間又は放電終了から元の位置に戻すまでの間の方が、駆動対象となる前記バルブの数が多いことを特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
【請求項３】
放電加工により前記ワークに貫通孔が形成される場合において、放電開始から前記ワークを貫通するまでの間よりも、前記ワークの貫通時から放電終了までの間の方が、駆動対象となる前記バルブの数が多いことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の放電加工装置。
【請求項４】
前記ワークの貫通時から放電終了までの間よりも、移動開始から放電開始までの間又は放電終了から元の位置に戻すまでの間の方が、駆動対象となる前記バルブの数が多いことを特徴とする請求項３に記載の放電加工装置。
【請求項５】
前記加工電極の移動時において、放電開始から前記ワークに所定深さの孔をあけるまでの間よりも、移動開始から放電開始までの間又は放電終了から元の位置に戻すまでの間の方が、駆動対象となる前記バルブの駆動デューティ比が高いことを特徴とする請求項１〜４いずれか１項に記載の放電加工装置。
【請求項６】
放電加工により前記ワークに貫通孔が形成される場合において、放電開始から前記ワークを貫通するまでの間よりも、前記ワークの貫通時から放電終了までの間の方が、駆動対象となる前記バルブの駆動デューティ比が高いことを特徴とする請求項１〜５いずれか１項に記載の放電加工装置。
【請求項７】
前記ワークの貫通時から放電終了までの間よりも、移動開始から放電開始までの間又は放電終了から元の位置に戻すまでの間の方が、駆動対象となる前記バルブの駆動デューティ比が高いことを特徴とする請求項５に記載の放電加工装置。
【請求項８】
前記加工電極を下方向へ移動させるときに、前記下送り用流入バルブと前記下送り用流出バルブが実質的に同位相においてデューティ駆動される一方、前記加工電極を上方向へ移動させるときに、前記上送り用流入バルブと前記上送り用流出バルブが実質的に同位相においてデューティ駆動されることを特徴とする請求項１〜７いずれか１項に記載の放電加工装置。
【請求項９】
前記加工電極を下方向へ移動させるときに、前記下送り用流入バルブと前記下送り用流出バルブが実質的に逆位相においてデューティ駆動される一方、前記加工電極を上方向へ移動させるときに、前記上送り用流入バルブと前記上送り用流出バルブが実質的に逆位相においてデューティ駆動されることを特徴とする請求項１〜７いずれか１項に記載の放電加工装置。
【請求項１０】
複数の前記バルブと前記油圧室とを接続する作動油の流路の継ぎ目を密封する部分のシール手段としてメタルシールが使用されていることを特徴とする請求項１〜９いずれか１項に記載の放電加工装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、放電加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、金属材料等に孔加工を行う方法として放電加工がある。放電加工は加工時にバリやスパッタ等が発生しないため、後処理工程が不要であるという利点がある。しかしながら、切削加工やレーザ加工等と比べ加工時間が長くかかるという問題がある。そこで、本出願人らは先に特許文献１にて放電加工用電極送り装置を開示している。
【０００３】
この放電加工用電極送り装置は、加工電極を圧電素子（ＰＺＴ）により掴み替えて送る所謂インチワーム方式を採用している。これにより、加工電極を高速高応答に駆動させ、加工中の非放電時間を短縮することで放電加工の高速化を図っている。
【０００４】
【特許文献１】特開平５−１４６９１９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に示す放電加工用電極送り装置の場合、応答性が高い反面推力が小さいため、加工電極が大きく（加工孔径が大きく）なると応答性が落ち高速化効果が小さくなる。特にパイプ電極を用いる場合、加工液供給装置を備え重量が嵩むため、加工電極を送ることができない。すなわち、加工時間を短縮することができない。
【０００６】
本発明は上記問題点に鑑み、加工電極の大きさによらず加工時間の短縮が可能な放電加工装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する為に、請求項１に記載の放電加工装置は、加工電極と、当該加工電極をワークに対する放電開始位置まで移動させ、放電中加工電極に送りを与えるとともに、放電終了後に加工電極を元の位置へ戻す電極駆動手段と、加工電極とワークとの間に放電電圧を印加する放電電源とを備え、ワークを放電加工するものである。その際、電極駆動手段として、加工電極に送りを与える油圧シリンダと、油圧シリンダ内に摺動可能に挿入された少なくとも１個のピストンと、加工電極の上下への移動方向に対応して油圧シリンダ内にピストンによって形成される上下一対の油圧室と、上部油圧室に対して共に接続された下送り用流入バルブ及び上送り用流出バルブと、下部油圧室に対して共に接続された上送り用流入バルブ及び下送り用流出バルブと、上送り用流入バルブ及び下送り用流入バルブへ作動油を供給する手段と、上送り用流出バルブ及び下送り用流出バルブから排出される作動油を回収する手段と、一対の油圧室内の作動油の圧力を夫々制御するためにパルス列信号を発生して複数のバルブをデューティ制御することにより、複数のバルブを開弁位置と閉弁位置との間でデューティ駆動させる制御手段とを備えており、下送り用流入バルブ、下送り用流出バルブ、上送り用流入バルブ、及び上送り用流出バルブが、同数ずつ複数設けられることを特徴とする。
【０００８】
このように、本発明の放電加工装置は電極駆動手段を構成する下送り用流入バルブ、下送り用流出バルブ、上送り用流入バルブ、及び上送り用流出バルブは、各々が同数ずつ複数設けられている。従って、駆動対象となるバルブ数を制御することによって、油圧室への作動油の流入量を制御し、送り速度を調整することができる。すなわち、送り速度の高速化により加工時間を短縮することができる。尚、電極駆動手段が油圧式であるので、小型であっても高い推力を有し、パイプ電極（例えばφ２ｍｍ）のような付帯装置を有することで駆動荷重が大きく・重たくなった加工電極でも駆動させることができる。また、油圧を駆動源としているため、電極駆動時の振動が収まるまでの時間が短い（減衰性が良い）ので、加工電極とワークとの接触による非放電時間を短縮することができる。すなわち加工時間を短縮することができる。
【０００９】
また、制御手段によって各バルブに夫々パルス列信号を供給し、各バルブをデューティ駆動させることにより、一対の油圧室間の圧力差を任意で制御することができる。従って、油圧室への作動油の流入量を微小化することもできるので、簡単に高精度の位置決めを行うことができ、送り速度及び分解能の制御範囲の幅を広げることができる。尚、各バルブはデジタル的に制御することができるので、制御性もよく、高精度の送りを容易に且つ低コストで実現することができる。
【００１０】
このように、駆動対象となるバルブ数を制御するとともに各バルブを所望の駆動デューティ比でデューティ制御することにより、加工状態に適した加工電極の送り速度設定を可能とし、その結果、加工電極の大きさによらず加工時間を短縮することができる。
【００１１】
その際、請求項２に記載のように、加工電極の移動時において、放電開始からワークに所定深さの孔をあけるまでの間よりも、移動開始から放電開始までの間又は放電終了から元の位置の戻すまでの間の方が、駆動対象となるバルブの数が多いことが好ましい。
【００１２】
放電加工によりワークに所定深さの孔（貫通／非貫通どちらでも良い）を形成する際、加工電極がワークと短絡すると、加工電極が引き戻し動作に入るため加工時間を長くする原因となる。従って、なるべく短絡しないような最適な送り速度とする必要がある。そのためには駆動対象となるバルブの数を変更（例えば４バルブ）して最適な加工電極の送り速度を実現する。そして、移動開始から放電開始までの間又は放電終了から元の位置の戻すまでの間は非放電状態であるので、駆動対象となるバルブの数を増やして（例えば８バルブ）送り速度を上げることで、加工時間を短縮することができる。
【００１３】
尚、ワークに貫通孔を形成する場合には、請求項３に記載のように、放電開始からワークを貫通するまでの間よりも、ワークの貫通時から放電終了までの間の方が、駆動対象となる前記バルブの数が多いことが好ましい。また、請求項４に記載のように、ワークの貫通時から放電終了までの間よりも、移動開始から放電開始までの間又は放電終了から元の位置の戻すまでの間の方が、駆動対象となる前記バルブの数が多いことが好ましい。ワークを貫通した時点においては、ワークに多少なりとも加工残りが存在する。従って、ワークの貫通時から放電終了までの間においては、放電開始からワークを貫通するまでの間よりバルブ数を多くし、非放電時である移動開始から放電開始までの間又は放電終了から元の位置の戻すまでの間よりバルブ数を少なくすると良い。
【００１４】
請求項５に記載のように、加工電極の移動時において、放電開始からワークに所定深さの孔をあけるまでの間よりも、移動開始から放電開始までの間又は放電終了から元の位置の戻すまでの間の方が、駆動対象となるバルブの駆動デューティ比が高いことが好ましい。上述のように、駆動対象となるバルブ数を変えることによって、加工電極の送り速度を調整することもできる。しかしながら、各バルブは制御手段によりデューティ制御される。従って、駆動対象となるバルブの駆動デューティ比を変えることにより、加工電極の送り速度を調整することもできる。例えば放電時は送り速度を低速にし、非放電時には送り速度を高速にすることにより、加工時間を短縮することができる。
【００１５】
尚、ワークに貫通孔を形成する場合、上述したようにワーク貫通時には、ワークに多少なりとも加工残りが存在する。従って、加工残りを加工するために、請求項６に記載のように放電開始からワークを貫通するまでの間よりも、ワークの貫通時から放電終了までの間の方が、駆動対象となる前記バルブの駆動デューティ比が高いことが好ましい。また、請求項７に記載のように、ワークの貫通時から放電終了までの間よりも、移動開始から放電開始までの間又は放電終了から元の位置の戻すまでの間の方が、駆動対象となる前記バルブの駆動デューティ比が高いことが好ましい。
【００１６】
尚、デューティ制御により各バルブの開閉動作は種々の態様が可能であるが、その一例として、請求項８に記載のように、加工電極を下方向へ移動させるときに、下送り用流入バルブと下送り用流出バルブが実質的に同位相においてデューティ駆動され、加工電極を上方向へ移動させるときに、上送り用流入バルブと上送り用流出バルブが実質的に同位相においてデューティ駆動されても良い。また、請求項９に記載のように、加工電極を下方向へ移動させるときに、下送り用流入バルブと下送り用流出バルブが実質的に逆位相においてデューティ駆動され、加工電極を上方向へ移動させるときに、上送り用流入バルブと上送り用流出バルブが実質的に逆位相においてデューティ駆動されても良い。
【００１７】
同様に、請求項１０に記載のように、複数のバルブと油圧室とを接続する作動油の流路の継ぎ目を密封する部分のシール手段としてメタルシールが使用されていることが好ましい。バルブを油圧シリンダのシリンダブロックと一体化して、バルブと油圧室とを接続する作動油の流路を形成すると、流路の剛性が高くなるので応答性を高めることができる。その際、継ぎ目を密封する部分に弾性部材であるＯリングに代わってメタルシールを使用することで、応答性の低下を防ぐことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。尚、本発明の放電加工装置は、燃料噴射ノズル、オリフィス、ニードル部品等の金属材料部品に対する加工（例えば小径孔）に適している。尚、本実施の形態においては、貫通孔を形成するものとして以下に説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、第１の実施の形態における放電加工装置の概略構成図である。
【００１９】
図１に示すように、放電加工装置１０は、加工電極２０と、加工電極２０により加工されるワーク３０と、加工電極２０を上下方向に駆動させる電極駆動手段４０と、加工電極２０とワーク３０との間に放電電圧を印加する放電電源５０とにより構成される。
【００２０】
加工電極２０は例えばタングステン線や銅線からなり、その一端が電極ホルダ２１に固定されている。尚、本実施の形態においてはφ１．５ｍｍの銅線を加工電極２０として用いるものとする。電極ホルダ２１は加工液供給ポンプ２２に連結されており、加工電極２０としてパイプ電極を使用する際には、電極ホルダ２１を介して加工電極２０に加工液を供給することが可能な構成となっている。また、電極ホルダ２１上には回転装置２３が配設されており、丸孔加工時には加工電極２０を回転可能な構成となっている。
【００２１】
加工電極２０の下方には、加工液３１が満たされた加工槽３２が配置され、加工すべきワーク３０が加工槽３２内の加工液３１中に浸漬配置されている。尚、本実施の形態において、０．５ｍｍ厚のＳＵＳ板をワーク３０として用いた。
【００２２】
電極駆動手段４０は、油圧デジタルユニット４１（以下油圧ユニットという）と、当該油圧ユニット４１に対して作動油を供給・回収する作動油供給ポンプ４２と、油圧ユニット４１の動作を制御する制御装置４３とにより構成される。尚、この電極駆動手段４０は本実施形態の特徴部分であるので、その詳細については後述する。電極駆動手段４０の油圧ユニット４１は、電極ホルダ２１及び回転装置２３を介して加工電極２０に連結しており、油圧変化により加工電極２０を上下方向に駆動させることができる。
【００２３】
放電電源５０は、加工電極２０とワーク３０との間に放電電圧を印加する。具体的には、電極駆動手段４０を動作させて加工電極２０を下方向に移動させ、加工電極２０とワーク３０との間の距離が所定の値になった時点で放電電源５０を作動させる。これにより、加工電極２０とワーク３０との間に放電電圧が印加され、放電加工が実施される。尚、本実施の形態においては、放電電源５０として電圧１１０Ｖ、コンデンサ容量３３００ｐＦのものを用いた。
【００２４】
また、電極駆動手段４０の油圧ユニット４１はＮＣ軸６０に接続されている。従って、ＮＣ軸６０によって油圧ユニット４１ごと加工電極２０を上下方向に駆動させることも可能である。
【００２５】
次に、電極駆動手段４０について図１及び図２を用いて説明する。図２は電極駆動手段４０の内、油圧ユニット４１の構成を説明するための概略構成図である。尚、本実施形態の放電加工装置１０における電極駆動手段４０部分は、本出願人が先に出願した特開平１４−０６６８５９号公報に記載のテーブル送りシステムを基本とするものであるので、詳細な記載は省略し、本実施形態の特徴部分を以下に説明するものとする。
【００２６】
油圧ユニット４１は、図２に示すように、油圧シリンダ１００に対して８個のバルブ１１０〜１１７が接続され、当該バルブ１１０〜１１７を制御することにより、図示されないリンク等を介してピストンロッド１０１に連結する加工電極２０を上下方向に移動させるものである。ピストンロッド１０１はピストン１０２に連結されており、当該ピストン１０２は油圧シリンダ１００の内部に摺動可能に挿入配置されている。そして、ピストン１０２は、当該ピストン１０２と油圧シリンダ１００とにより構成される上下一対の油圧室１０３，１０４における圧力変化により上下に移動する。尚、従来油圧シリンダにおいては、シリンダとピストンとの間の摺動面に作動油の油漏れを防ぐためにＯリングが配置されている。しかしながら、Ｏリングのような弾性部材を用いると、ピストン駆動の応答性を低下させる要因となる。従って、本実施形態の放電加工装置１０においては、油圧シリンダ１００とピストン１０２との間の隙間を密封するシール手段としてのＯリングが廃止され、シリンダ１００とピストン１０２との間の隙間が狭く設けられている。
【００２７】
上部油圧室１０３には、加工電極２０を下方向へ送るための一対の下送り用流入バルブ１１０，１１１と、加工電極２０を上方向へ送るための一対の上送り用流出バルブ１１２，１１３とが接続されている。また、下部油圧室１０４には、加工電極２０を上方向へ送るための一対の上送り用流入バルブ１１４，１１５と、加工電極２０を下方向へ送るための一対の下送り用流出バルブ１１６，１１７とが接続されている。下送り用流入バルブ１１０，１１１と上送り用流入バルブ１１４，１１５は、開弁時に作動油供給ポンプ４２から供給される作動油を油圧シリンダ１００内に送り、下送り用流出バルブ１１６，１１７と上送り用流出バルブ１１２，１１３は、開弁時に油圧シリンダ５内の作動油を作動油供給ポンプ４２の回収タンクへ排出する。
【００２８】
また、各バルブ１１０〜１１７と油圧室１０３，１０４とを接続する作動油の流路の継ぎ目には、シール手段としてＯリングではなく図示されないメタルシールが使用されている。各バルブ１１０〜１１７を油圧シリンダ１００のシリンダブロックと一体化して、各バルブ１１０〜１１７と油圧室１０３，１０４とを接続する作動油の流路を形成すると、流路の剛性が高くなるので応答性を高めることができる。その際、継ぎ目を密封する部分に弾性部材であるＯリングに代わってメタルシールを使用することで、応答性の低下を防いでいる。尚、本実施の形態において、作動油の圧力は１２ＭＰａであり、各バルブ１１０〜１１７として最短開弁時間が０．５ｍｓの応答性を有するものを使用した。
【００２９】
制御装置４３は、パルス列信号を発生するとともに各バルブ１１０〜１１７に当該信号を印加してデューティ制御を行う。信号を受けた各バルブ１１０〜１１７は夫々デューティ制御されて開閉し、各バルブ１１０〜１１７の開閉動作に応じて加工電極２０が上又は下方向に移動する。
【００３０】
また、制御装置４３は、駆動対象となるバルブ数の切替え制御も行う。すなわち、加工電極２０の送り速度に応じて、下送り用流入バルブ１１０，１１１、下送り用流入バルブ１１６，１１７、上送り用流出バルブ１１２，１１３、及び上送り用流入バルブ１１４，１１５の計８バルブを駆動対象としたり、各一対のバルブの内一方のみ（すなわち４バルブ）を駆動対象とする切替えを行う。
【００３１】
ここで、図３に示すタイミングチャートの一例を用いて、各バルブ１１０〜１１７の制御と加工電極２０の送り速度との関係を説明する。図３において、加工電極駆動とは加工電極２０が上方向あるいは下方向に移動している状態を示す。
【００３２】
図３に示すように、加工開始（元位置から加工電極２０が移動開始）から放電開始までの間は、非放電状態である。従って、加工電極２０の送り速度を高速にするために、８バルブ１１０〜１１７全てを駆動対象とし、所定の駆動デューティ比にて各バルブ１１０〜１１７が開弁位置と閉弁位置との間でデューティ駆動され、加工電極２０が高速で下方向に送られる。
【００３３】
次に、加工電極２０の送り量をもとに、加工電極２０の放電が開始される。このとき、放電開始から放電加工によりワーク３０を貫通するまでの間は、加工電極２０とワーク３０との間の短絡及びそれに伴う開放（加工電極２０の引き戻し）によるロスを防ぐために、加工電極２０の送り速度を低速とする必要がある。従って、制御装置４３からの信号により、駆動対象となるバルブが８バルブ１１０〜１１７から４バルブ１１０，１１２，１１４，１１６（或いは１１１，１１３，１１５，１１７）に切替えられ、上述と同じ駆動デューティ比のまま各バルブ１１０，１１２，１１４，１１６（或いは１１１，１１３，１１５，１１７）がデューティ駆動され、加工電極２０が低速で下方向（或いは上方向）に送られる。
【００３４】
ここで、加工電極２０がワーク３０を貫通した時点では、まだ加工残りが存在する。従って、ワーク３０貫通時から放電が終了するまでの間は、上述の放電開始から貫通までの間より高速で、加工開始から放電開始までの間より低速の送り速度に調整されることが好ましい。尚、ワーク３０の貫通時は加工電極２０の送り量から判断される。従って、図３に示すように、制御装置４３からの信号により駆動対象となるバルブを８バルブ１１０〜１１７に切替え、各バルブ１１０〜１１７の駆動デューティ比を上述よりも低くして加工電極２０の送り速度を中速にする。このように、ワーク３０に対して孔が貫通する前後で送り速度を変えることにより、短絡等を防止しつつ加工時間を短縮することができる。尚、この場合、８バルブ１１０〜１１７に切替え、各バルブ１１０〜１１７を低デューティ比にてデューティ駆動させる例を示した。しかしながら、４バルブ１１０，１１２，１１４，１１６（或いは１１１，１１３，１１５，１１７）のままで、駆動デューティ比をそれ以前よりも高くして各バルブ１１０，１１２，１１４，１１６（或いは１１１，１１３，１１５，１１７）をデューティ駆動させ、加工電極２０の送り速度を中速としても良い。
【００３５】
そして、加工電極２０の送り量から放電終了タイミングを判断し、放電電源５０をオフして放電終了とする。放電終了から加工終了（加工電極２０を元位置まで戻した状態）までの間は非放電状態であるので、加工開始から放電開始までの間同様の駆動デューティ比をもって８バルブ１１０〜１１７をデューティ駆動させ、加工電極２０を高速で元位置まで後退させて加工終了となる。
【００３６】
上述のバルブ制御により１．５ｍｍφの加工電極２０を用いて０．５ｍｍ厚のＳＵＳ板を加工したところ、通常のサーボモータ方式（ボールネジ駆動）では約４．５秒／孔かかったのに対して、１．６秒／孔で加工することができた。従って、本実施形態の放電加工装置１０によれば、加工時間を大幅に短縮することができる。
【００３７】
尚、各バルブ１１０〜１１７は制御装置４３から発せられるパルス列信号によりデューティ制御されており、各バルブ１１０〜１１７はパルス列信号によって種々のデューティ駆動の態様をとることができる。ここで、デューティ駆動の一例を図４に示す。尚、図４においては、加工電極２０を下方向に移動（例えば図３における加工開始から放電開始までの間）させる例を示す。
【００３８】
各バルブ１１０〜１１７が閉じている状態から、図４に示すように下送り用流入バルブ１１０，１１１と下送り用流出バルブ１１６，１１７とを同時に同位相においてデューティ駆動させることにより、油圧シリンダ１００のピストンロッド１０１に送りを与えて、加工電極２０を下方向に移動させることができる。また、図４に示すように下送り用流入バルブ１１０，１１１と下送り用流出バルブ１１６，１１７に印加するパルス列信号を、相互に１８０°位相をずらして（逆位相）印加しても加工電極２０を下方向に移動させることができる。それ以外にも、高い駆動デューティ比をもって下送り用流入バルブ１１０，１１１と下送り用流出バルブ１１６，１１７とをデューティ駆動させ、低い駆動デューティ比をもって上送り用流出バルブ１１２，１１３と上送り用流入バルブ１１４，１１５とをデューティ駆動させることにより、加工電極２０を下方向に移動させても良い。
【００３９】
以上のように、本実施形態の放電加工装置１０は、電極駆動手段４０の油圧ユニット４１として各一対の下送り用流入バルブ１１０，１１１、下送り用流入バルブ１１６，１１７、上送り用流出バルブ１１２，１１３、及び上送り用流入バルブ１１４，１１５を有しており、制御装置４３により駆動対象となるバルブ数を制御することで、加工電極２０の送り速度を調整することができる。従って、送り速度の幅を広げることができ、加工状態に合わせて加工電極２０の送り速度を調整することができるので、加工時間を短縮することができる。
【００４０】
また、制御装置４３から発せられたパルス列信号により、各バルブ１１０〜１１７をデューティ制御してデューティ駆動させることができるので、一対の油圧室１０３，１０４間の圧力差を任意で制御することができる。従って、油圧室１０３，１０４への作動油の流入量を微小化することもできるので、簡単に高精度の位置決めを行うことができ、送り速度及び分解能の制御範囲の幅を広げることができる。尚、各バルブ１１０〜１１７はデジタル的に制御することができるので、制御性もよく、高精度の送りを容易に且つ低コストで実現することができる。
【００４１】
また、本発明の放電加工装置１０における電極駆動手段４０は油圧式である。従って、小型であっても高い推力を有し、パイプ電極（例えばφ２ｍｍ）のような付帯装置を有することで駆動荷重が大きく・重くなった加工電極２０でも駆動させることができ、加工時間を短縮することができる。また、油圧を駆動源としているため、電極駆動時の振動が収まるまでの時間が短い（減衰性が良い）ので、加工電極２０とワーク３０との接触による非放電時間を短縮することができる。すなわち加工電極２０の大きさによらず加工時間を短縮することができる。
【００４２】
以上本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態のみに限定されず、種々変更して実施する事ができる。
【００４３】
本実施の形態において、油圧ユニットを構成するバルブが８個からなる例を示した。しかしながら、バルブ数は８個に限定されるものではなく、下送り用流入バルブ、下送り用流出バルブ、上送り用流入バルブ、及び上送り用流出バルブが、夫々同数ずつ複数設けられればよい。従って、１２個や１６個のバルブから構成されても良い。
【００４４】
本実施の形態においては、駆動対象となるバルブ数を制御し、当該バルブをデューティ制御することで加工電極の送り速度を調整する例を示した。しかしながら、例えば１２個のバルブから構成される場合、図５に示すように、駆動対象となるバルブの駆動デューティ比を加工開始から加工終了まで一定としたまま、バルブを３段階で切替える（１２→４→８→１２）ことにより、加工電極の送り速度を調整しても良い。また、図６に示すように、加工開始から加工終了までの駆動対象となるバルブを８バルブのままで固定し、駆動デューティ比のみによって、送り速度を調整しても良い。尚、図５，６において、加工電極駆動タイミング、放電タイミング、及び送り速度は図４と同一である。
【００４５】
また、本実施の形態の放電加工装置において、ピストンの応答性をあげるために油圧シリンダとピストンとの間のＯリングを廃止し、油圧シリンダとピストンとの間の隙間を狭くするように部品の精度を高めた。従って、加工精度の点から油圧シリンダの長さを短くし、上下方向の動作範囲を短く（例えば２００ｍｍ）している。しかしながら、電極駆動手段の油圧ユニットはＮＣ軸に接続されているため、加工電極の消耗等により動作範囲が足りない場合でも、ＮＣ軸を電極手段と併せて駆動させることで加工することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態における放電加工装置の概略構成図である。
【図２】油圧ユニットの構成を説明するための概略構成図である。
【図３】各バルブの制御と加工電極の送り速度との関係を説明するためのタイミングチャートである。
【図４】各バルブのデューティ駆動の一例を示す図である。
【図５】第１実施形態の変形例を示す図である。
【図６】第１実施形態の変形例を示す図である。
【符号の説明】
１０・・・放電加工装置
２０・・・加工電極
３０・・・ワーク
４０・・・電極駆動手段
４１・・・油圧デジタルユニット
４３・・・制御装置
１００・・・油圧シリンダ
１０３・・・上部油圧室
１０４・・・下部油圧室
１１０，１１１・・・下送り用流入バルブ
１１２，１１３・・・上送り用流出バルブ
１１４，１１５・・・上送り用流入バルブ
１１６，１１７・・・下送り用流出バルブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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