(57)【要約】【課題】  吐出開始時から終期まで高い精度で一定の吐出量で液体を吐出することができる可撓性チューブを提供する。【解決手段】  可撓性チューブ２０は流入側の固定端部２１と流出側の固定端部２２とを有し、これらの間には弾性変形部２３が設けられている。弾性変形部２３には凸形弧状部４２が設けられ、この凸形弧状部４２は円周方向にほぼ等間隔に設けられた３つの頂点部４１をそれぞれ変形中心とし頂点部４１に接する仮想円Ｓの曲率よりも小さい曲率で外方に向けて凸状に湾曲している。それぞれの凸形弧状部４２の円周方向相互間には凹形弧状部４３が連なっており、凹形弧状部４３は外方に向けて凹状に湾曲している。弾性変形部の膨張収縮時にはそれぞれの凸形弧状部４２が円周方向に弾性変形し、凹形弧状部４３が半径方向に弾性変形する。【選択図】    図３
2005083337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薬液供給装置に組み込まれ、内側の膨張収縮室と外側の加圧室とを区画する薬液供給用の可撓性チューブであって、
前記薬液供給装置に固定される筒状の流入側の固定端部と、前記薬液供給装置に固定される筒状の流出側の固定端部と、前記流入側と流出側の固定端部の間の弾性変形部とを前記可撓性チューブに設け、
円周方向にほぼ等間隔の３つの頂点部をそれぞれ変形中心とし前記頂点部に接する仮想円の曲率よりも小さい曲率で外方に向けて凸状に湾曲した凸形弧状部と、それぞれの前記凸形弧状部の円周方向相互間に連なって外方に向けて凹状に湾曲した凹形弧状部とを前記弾性変形部に形成し、
前記弾性変形部の膨張収縮時にそれぞれの前記凸形弧状部が前記頂点部を中心に円周方向に弾性変形し、前記凹形弧状部が半径方向に弾性変形することを特徴とする薬液供給用の可撓性チューブ。
【請求項２】
薬液供給装置に組み込まれ、内側の膨張収縮室と外側の加圧室とを区画する薬液供給用の可撓性チューブであって、
前記薬液供給装置に固定される筒状の流入側の固定端部と、前記薬液供給装置に固定される筒状の流出側の固定端部と、前記流入側と流出側の固定端部の間の弾性変形部とを前記可撓性チューブに設け、
径方向に湾曲し周方向に延びて形成され軸方向に弾性変形する軸方向変形部を前記弾性変形部に形成し、
前記弾性変形部の膨張収縮時に前記軸方向変形部を弾性変形させることを特徴とする薬液供給用の可撓性チューブ。
【請求項３】
請求項２記載の薬液供給用の可撓性チューブにおいて、前記軸方向変形部を前記弾性変形部の全周に形成することを特徴とする薬液供給用の可撓性チューブ。
【請求項４】
請求項２記載の薬液供給用の可撓性チューブにおいて、前記軸方向変形部を前記弾性変形部の両端部に形成することを特徴とする薬液供給用の可撓性チューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は薬液などの液体を所定量吐出する薬液供給装置に用いられる可撓性チューブに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスや液晶基板の製造プロセスにおいては、フォトレジスト液などの化学薬剤が使用されている。たとえば、半導体デバイスの製造プロセスにおいては、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布するために、半導体ウエハを水平面内に回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を滴下するようにしている。レジスト液の塗布のために使用される薬液供給装置としては、従来、特許文献１に記載されるように、装置本体の内部に可撓性チューブを組み込んで、その内側に膨張収縮室を形成し、その外側に加圧室を形成するようにしたタイプのポンプが開発されており、このタイプのポンプはチューブポンプとも言われている。
【０００３】
このような薬液供給装置には、特許文献１に記載されるように、装置本体をパイプ状ないし筒状の部材により形成し、装置本体と可撓性チューブとの間に形成される加圧室に外部のポンプから加圧媒体を供給することにより加圧室の容積を変化させるようにしたタイプと、可撓性チューブを収容する装置本体に相互に径の相違する小型ベローズ部と大型ベローズ部とを設けてこれらのベローズ部を軸方向に変形させることにより加圧室の容積を変化させるようにしたタイプとがある。
【０００４】
いずれのタイプにおいても、可撓性チューブを膨張収縮させて可撓性チューブをポンプ動作させることによって入口側からチューブ内部に流入させた液体を出口側から外部に吐出させることができる。可撓性チューブとしては、特許文献１に記載のように、可撓性チューブの弾性変形部に形成した断面ほぼ長円形の扁平部を膨張収縮させるようにした扁平形と、特許文献２に記載のように、円筒形状の弾性変形部に軸方向に延びる複数の溝を形成するようにした円筒形がある。
【特許文献１】特開平１１−２３００４８号公報
【特許文献２】特開２０００−２３４５８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液体をチューブ出口側から外部に吐出させるには、加圧室の容積を大きくして可撓性チューブを収縮させることになるので、吐出量を一定にするには加圧室の容積拡大に応じて可撓性チューブが一定の割合で収縮するようにすることが重要であるとともに、一度のポンプ動作によって吐出することができる液体量を多くするには収縮時の容積変化量を大きくできるようにすることが重要である。
【０００６】
ところで、上述のように弾性変形部を断面ほぼ長円形とした扁平形の可撓性チューブにあっては、２つの半円形部とこれらを連結させる２つの直線部とにより弾性変形部が形成されているので、液体吐出時には主として２つの直線部が相互に接近するように弾性変形することになり、加圧室の容積拡大量に応じて扁平部の変形量を一定の割合で変化させることができる。しかしながら、この扁平形の可撓性チューブが加圧収縮していくと、直線部が相互に接触してしまい、それ以上収縮させても加圧量と吐出量とが比例関係にならなくなり、吐出量が正確でなくなる。しかも、長い直線部を有することから２つの半円形部はその外部から圧力が加えられると径方向外側に変形することになり、扁平部はその長手方向の寸法が長くなるように変形して収縮するので、可撓性チューブを収容するための装置本体つまりハウジングに扁平部が接触しないように装置本体の径を大きく設定する必要がある。
【０００７】
一方、上述のように、弾性変形部を全体的に円筒形状としてその外周面に軸方向に延びる複数の溝を形成するようにした扁平チューブにあっては、弾性変形部を収縮させるには、それぞれの溝を径方向内方に変形させて４つの円弧状部の円周方向の幅が短くなるように変形させることになるので、加圧室に高い圧力を加えないと収縮変形させることができない。しかしながら、高い圧力を加えて収縮変形させる場合には、弾性変形部の変形量によっては加圧室の圧力変化率と弾性変形部の弾性変形率とが一定とならないことがある。また、ハウジングやハウジングとポンプ間など他の要素部材の圧力による変形を原因とする吐出精度への影響があるから、それらの影響を小さくして吐出精度を高めるためには、加圧室への印加圧力は小さい方が良い。
【０００８】
吐出初期から後期までの吐出過程において吐出量が一定となるように可撓性チューブを変形させるには、可撓性チューブを小さい圧力によって収縮させることが望ましいが、可撓性チューブの両端部は装置本体のジョイント部に固定されており、しかも可撓性チューブはフッ素樹脂などのようにシリコーンゴムなどに比して伸び率の小さい素材により形成されているので、上述のように円弧状部の幅を縮小させるようにして可撓性チューブを変形させるには加圧室に大きな圧力を加える必要がある。この圧力は可撓性チューブの変形量に応じて変化するだけでなく、可撓性チューブの外側の装置本体つまりハウジングにも伝達されて加圧ロスともなるので、加圧室の圧力変化率と弾性変形部の弾性変形率とが一定とならずに、これらの変化率は可撓性チューブの変形量に応じて相違することになる。このように、ポンプの吐出過程において吐出初期と後期とで可撓性チューブを変形させるために必要な圧力変化率に差があると、液体吐出の全過程で吐出量が一定とならなくなり、吐出精度が低下する。
【０００９】
本発明の目的は、吐出開始時から終期まで高い精度で一定の吐出量で液体を吐出することができる可撓性チューブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の薬液供給用の可撓性チューブは、薬液供給装置に組み込まれ、内側の膨張収縮室と外側の加圧室とを区画する薬液供給用の可撓性チューブであって、前記薬液供給装置に固定される筒状の流入側の固定端部と、前記薬液供給装置に固定される筒状の流出側の固定端部と、前記流入側と流出側の固定端部の間の弾性変形部とを前記可撓性チューブに設け、円周方向にほぼ等間隔の３つの頂点部をそれぞれ変形中心とし前記頂点部に接する仮想円の曲率よりも小さい曲率で外方に向けて凸状に湾曲した凸形弧状部と、それぞれの前記凸形弧状部の円周方向相互間に連なって外方に向けて凹状に湾曲した凹形弧状部とを前記弾性変形部に形成し、前記弾性変形部の膨張収縮時にそれぞれの前記凸形弧状部が前記頂点部を中心に円周方向に弾性変形し、前記凹形弧状部が半径方向に弾性変形することを特徴とする。
【００１１】
本発明の薬液供給用の可撓性チューブは、薬液供給装置に組み込まれ、内側の膨張収縮室と外側の加圧室とを区画する薬液供給用の可撓性チューブであって、前記薬液供給装置に固定される筒状の流入側の固定端部と、前記薬液供給装置に固定される筒状の流出側の固定端部と、前記流入側と流出側の固定端部の間の弾性変形部とを前記可撓性チューブに設け、径方向に湾曲し周方向に延びて形成され軸方向に弾性変形する軸方向変形部を前記弾性変形部に形成し、前記弾性変形部の膨張収縮時に前記軸方向変形部を弾性変形させることを特徴とする。
【００１２】
本発明の薬液供給用の可撓性チューブは、前記軸方向変形部を前記弾性変形部の全周に形成することを特徴とする。また、前記軸方向変形部を前記弾性変形部の両端部に形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の可撓性チューブにあっては、弾性変形部の膨張収縮時にそれぞれの凸形弧状部が頂点部を中心に円周方向に弾性変形し、凹形弧状部が半径方向に弾性変形するので、弾性変形部の収縮時のチューブ内部が接触するまでの容積変化量が大きくなり、一度の収縮変形によって多量の液体を吐出させることができる。弾性変形部の変形率は変形状態に拘わらず一定となり、吐出開始時から終期まで高い精度で一定の吐出量で液体を吐出することができ、液体の吐出精度を高めることができる。また、同じ吐出量を得る従来の技術に比較して、ハウジングを小さくできる。
【００１４】
本発明の可撓性チューブにあっては、弾性変形部に径方向に湾曲し周方向に延びて形成され軸方向に弾性変形する軸方向変形部を形成し、弾性変形部の膨張収縮時に軸方向変形部を弾性変形させるようにしたので、可撓性チューブの外側から加える圧力を高めることなく、弾性変形部を膨張収縮させることができ、液体の吐出精度を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１は可撓性チューブを用いた薬液供給装置を示す断面図であり、図２は可撓性チューブを用いた他のタイプの薬液供給装置を示す断面図である。
【００１６】
図１に示す薬液供給装置は筒状の装置本体つまりハウジングを有し、装置本体と可撓性チューブとの間に形成される加圧室に外部のポンプから加圧媒体を供給することにより加圧室の容積を変化させるようにしたタイプである。図１に示されるように、ハウジング１０は円筒１１と、これの一端部に設けられる流入側のジョイント１２と、他端部に設けられる流出側のジョイント１３とにより形成されており、流入側のジョイント１２には供給側流路１４が接続され、この供給側流路１４は薬液収容部としての薬液タンク１５に接続されている。流出側のジョイント１３には流出側流路１６が接続され、この流出側流路１６は薬液吐出部としての塗布ノズル１７に接続されている。塗布ノズル１７から半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布する場合には、薬液タンク１５内にはフォトレジスト液が収容される。
【００１７】
供給側流路１４にはこの流路を開閉するための供給側開閉弁１８が設けられ、流出側流路１６にはこの流路を開閉するための流出側開閉弁１９が設けられている。それぞれの開閉弁１８，１９としては、電気信号により作動するソレノイドバルブ、空気圧により作動するエアオペレートバルブを用いても良く、さらには逆止弁を用いるようにしても良い。
【００１８】
ハウジング１０内には可撓性チューブ２０が組み込まれており、この可撓性チューブ２０は、流入側のジョイント１２に固定される筒状の流入側の固定端部２１と、流出側のジョイント１３に固定される筒状の流出側の固定端部２２とを有し、両方の固定端部２１，２２の間は弾性変形部２３となっている。可撓性チューブ２０によりその内側の膨張収縮室２４と外側の加圧室２５とにより区画され、加圧室２５はハウジング１０と可撓性チューブ２０との間に形成されている。加圧室２５内には加圧媒体Ｍとして液体などの非圧縮性の流体ないし流動体が充填されており、ハウジング１０に形成された供給ポート２６を介して外部から加圧室２５に加圧媒体Ｍが供給されるようになっている。加圧室２５内に加圧媒体Ｍを加圧供給したり、吸引排出することによって可撓性チューブ２０を膨張収縮させるために、ポンプ２７が供給ポート２６に接続されている。このポンプ２７は直線往復動するロッド２８に取り付けられるベローズ２９を有しており、ロッド２８を電動モータやアクチュエータなどの駆動手段によって往復動することにより可撓性チューブ２０が膨張収縮する。
【００１９】
したがって、膨張収縮室２４内に液体が入り込んだ状態のもとでポンプ２７から加圧室２５内に加圧媒体Ｍを供給すると、可撓性チューブ２０の弾性変形部２３が収縮変形して膨張収縮室２４が収縮し塗布ノズル１７から液体が吐出される。このときには、供給側開閉弁１８は閉じられ流出側開閉弁１９は開かれる。一方、ポンプ２７によって加圧室２５内の加圧媒体Ｍを排出すると、可撓性チューブ２０は膨張変形して膨張収縮室２４が膨張して薬液タンク１５内の液体が膨張収縮室２４内に流入する。このときには、供給側開閉弁１８は開かれ流出側開閉弁１９は閉じられる。このように可撓性チューブ２０の弾性変形部２３の膨張収縮により薬液タンク１５内の液体は順次塗布ノズル１７に送られる。
【００２０】
図２に示す薬液供給装置は可撓性チューブを収容する装置本体に相互に径の相違する小型ベローズ部と大型ベローズ部とを設けてこれらのベローズ部を軸方向に変形させることにより加圧室の容積を変化させるようにしたタイプである。図２に示されるように、ハウジング１０は流入側のジョイント１２ａが取り付けられる固定ディスク３１と、流出側のジョイント１３ａが取り付けられる固定ディスク３２とを有している。一方の固定ディスク３１には大型ベローズ部３３が設けられ、他方の固定ディスク３２には小型ベローズ部３４が設けられ、両方のベローズ部３３，３４の間には作動ディスク３５が設けられており、これらのハウジング１０を構成する部材は樹脂により一体に成形されている。両方のベローズ部３３，３４を軸方向に変形させて加圧室の容積を変化させるために、ハウジング１０にはポンプ駆動部３６が取り付けられており、このポンプ駆動部３６はモータ３７により駆動されるボールねじ３８と、このボールねじ３８にねじ結合され作動ディスク３５に係合するボールナット３９とを有している。したがって、モータ３７によりボールナット３９を直線往復動することによって可撓性チューブ２０の弾性変形部２３が膨張収縮し、図１に示す薬液供給装置と同様に、薬液タンク１５内の液体は塗布ノズル１７に順次送られる。なお、図２においては、図１における部材と共通する部材には同一の符号が付されている。
【００２１】
図３は図１および図２に示された薬液供給装置に組み込まれる可撓性チューブ２０の一例を示す図であり、この可撓性チューブ２０はフッ素樹脂であるＰＦＡにより一体に成形されている。可撓性チューブ２０の流入側と流出側の固定端部２１，２２はそれぞれ装置本体つまりハウジング１０に固定され、それぞれのジョイントの形状に対応させて円筒形状となっており、両方の固定端部２１，２２の間はテーパー部４０を介して弾性変形部２３となっている。なお、それぞれの固定端部２１，２２は円筒形状に限られず、四角形や多角形としても良い。
【００２２】
弾性変形部２３は、図３（Ｃ）に示されるように、円周方向にほぼ１２０度毎に等間隔となった３つの頂点部４１を有しており、それぞれの頂点部４１は可撓性チューブ２０の中心Ｏから同一の半径位置となっている。弾性変形部２３には、３つの頂点部４１に外接する仮想円Ｓの曲率半径よりも小さい曲率半径で外方に向けて凸状に湾曲した凸形弧状部４２が形成されている。凸形弧状部４２は頂点部４１を円周方向の中心として、頂点部４１の数に対応させて３つ形成されており、それぞれの凸形弧状部４２の円周方向相互間はこれらに連なって外方に向けて凹状に湾曲した凹形弧状部４３となっている。このように、可撓性チューブ２０の弾性変形部２３には、３つある凹形弧状部４３のうち２つの凹形弧状部４３の間に凸形弧状部４２が設けられており、凸形弧状部４２は仮想上の外接円Ｓに接する部分が頂点部４１となっており、円周方向に凸形弧状部４２と凹形弧状部４３とが交互となって３個所ずつ形成されている。
【００２３】
図４（Ａ）は図３と同様に可撓性チューブ２０には外側から圧力が加えられておらず、チューブ自体の弾性によって弾性変形部２３が広がった膨張状態を示す断面図であり、図４（Ｂ）は可撓性チューブ２０に外側から圧力が加えられて弾性変形部２３が最も収縮した状態を示す。図示するように、円周方向にほぼ等間隔に３つの凸形弧状部４２を形成し、それぞれの凸形弧状部４２の曲率半径を仮想円Ｓの曲率半径よりも小さく設定すると、弾性変形部２３が収縮するときには、それぞれの凸形弧状部４２は頂点部４１を変形中心としてそれぞれの凸形弧状部４２の対向面が接近するように、つまり円周方向に折り曲げられるように弾性変形する。このときには、凹形弧状部４３は凸形弧状部４２の円周方向の弾性変形に伴って可撓性チューブ２０の中心部に向けて半径方向に弾性変形することになるが、頂点部４１は半径方向には内方にも外方にも変位しない。
【００２４】
このように、弾性変形部２３の断面形状を三つ葉形とすると、収縮変形前後における断面積の差を大きくすることができるので、扁平形よりも可撓性チューブ２０の一度の収縮動作によって多量の液体を吐出することができる。しかも、頂点部４１を３つ設けると、それぞれの頂点部４１は径方向に変形することなく、僅かに径方向内方に変形する程度で頂点部４１の径方向外方への変形発生がなく、ハウジング１０を小型化することができ、結果的に加圧媒体Ｍの量を少なくすることができる。
【００２５】
前述した扁平形の弾性変形部を有する可撓性チューブと、本発明の可撓性チューブとのそれぞれについて吐出量を測定した。それぞれの測定に際しては、可撓性チューブの弾性変形部の軸方向の長さが同一であり、固定端部の外径が同一の可撓性チューブを使用した。その結果、本発明の可撓性チューブの吐出量は、扁平形の可撓性チューブに比して吐出量が１．５倍となり、最も収縮した時の本発明の可撓性チューブの最大寸法部の幅は扁平形の７５％であり、ハウジング１０の小型化を達成することができる。しかも、扁平形の場合には、直線部が相互に接触した後には、それ以上収縮させても加圧量と吐出量とが比例関係にならなくなり、吐出量が正確でなくなる。
【００２６】
図３に示す弾性変形部２３は３つの頂点部４１が円周方向に１２０度置きとなって等間隔に設けられているが、収縮時に頂点部４１が径方向に変位することなく、凸形弧状部４２が頂点部４１を変形中心として凸形弧状部４２の対向面が接近するように円周方向に折り曲げられるように弾性変形するのであれば、３つの頂点部４１を１２０度よりもずらして設けるようにしても良い。
【００２７】
図５は可撓性チューブ２０の変形例における弾性変形部２３を示す断面図であり、図５に示す凸形弧状部４２は、図３に示した弾性変形部２３の凸形弧状部４２が半円よりも小さい角度となっているのに対して、半円部４２ａと直線部４２ｂとを有しており、これらの半円部４２ａと直線部４２ｂとにより凸形弧状部４２が形成され、それぞれの直線部４２ｂは凹形弧状部４３に連なっている。
【００２８】
図６は比較例として示す可撓性チューブの弾性変形部を示す断面図であり、この弾性変形部２３には円周方向にほぼ９０度毎に４つの凸形弧状部４２が設けられている。図６に示すように、弾性変形部２３を収縮させるには、それぞれの頂点部４１が径方向内方に中心に向けて変位させなければならず、収縮を終了させて所定量の液体を吐出させるには大きな加圧力を加える必要がある。加圧室に大きな圧力を加えると、ハウジング１０にも大きな圧力が加わることになり、圧力伝達ロスが発生するだけでなく、圧力変化に対して可撓性チューブ２０の弾性変形量が直線的に変化することなく、チューブの変形状態に応じて圧力変化率と弾性変形率とが一定とならずに、これらに差が生じ易くなることになり、またハウジングや他の部品の圧力による変形があり、これによる吐出精度への影響が圧力の低い場合よりも大きくなる。結果的には吐出率を高精度に設定することができなくなることが実験により判明した。
【００２９】
したがって、図３および図４に示すように、弾性変形部２３の断面形状を三つ葉形とすると、収縮変形時には頂点部４１が径方向に変位することなく、頂点部４１を屈曲中心としてそれぞれの凸形弧状部４２が円周方向に折れ曲がるように変形することから、大きな圧力を加圧室２５に加えることなく、弾性変形部２３を変形させることができる。これにより、液体吐出量は弾性変形部２３が変形開始から終了まで一定とすることができ、高精度で一定の吐出量で液体を吐出させることができる。
【００３０】
図７は本発明の可撓性チューブの他の具体例を示す図であり、弾性変形部２３の両端部には、径方向外方に向けて湾曲して突出する軸方向変形部４５が形成されている。軸方向変形部４５は、図７（Ｃ）に示されるように、凹形弧状部４３の部分を中心として凸形弧状部４２の一部にまで達するように周方向に延びて弧状に形成されている。図７に示す可撓性チューブ２０にあっては、弾性変形部２３の両端部のそれぞれの凹形弧状部４３に２個所ずつ形成されているので、合計１２の軸方向変形部４５が形成されている。ただし、この数は可撓性チューブ２０の厚み、長さ寸法などに応じて任意に設定することができる。
【００３１】
可撓性チューブ２０を圧縮させるときには、弾性変形部２３が収縮すると、弾性変形部２３には軸方向には引っ張り力が作用して、弾性変形部２３には引っ張り歪みが発生することになる。このとき、軸方向変形部４５が平坦となるように軸方向に変形することから、比較的低い圧力を加えることによって弾性変形部２３を収縮させることができる。
【００３２】
図８は本発明の可撓性チューブの他の具体例を示す図であり、弾性変形部２３の両端部には軸方向変形部４５が弾性変形部２３の全周に環状に連なって２つずつ形成されている。ただし、軸方向変形部４５の数は２つずつに限られず、任意の数とすることができる。このように軸方向変形部４５を全周に連なってループ状に形成することにより、図７の場合と同様に弾性変形部２３の収縮時に軸方向変形部４５が変形することから、比較的低い圧力を加えることによって弾性変形部２３を収縮させることができる。
【００３３】
軸方向変形部４５は、図７および図８に示す場合には、弾性変形部２３の両端部に設けられているが、これに限られず、弾性変形部２３の軸方向の中央部に設けるようにしても良いし、全体に及ばせて軸方向変形部４５を設けるようにしても良い。
【００３４】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。たとえば、可撓性チューブ２０の材質としては、吐出すべき液体の種類に応じて、フッ素樹脂に限られず、ＰＰ，ＰＣおよびポリエチレンなどを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】可撓性チューブを用いた薬液供給装置を示す断面図である。
【図２】可撓性チューブを用いた他のタイプの薬液供給装置を示す断面図である。
【図３】（Ａ）は図１および図２に示された可撓性チューブを示す斜視図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）における矢印３Ｂ方向の矢視図であり、（Ｃ）は同図（Ａ）における３Ｃ−３Ｃ線に沿う断面図であり、（Ｄ）は同図（Ｂ）の矢印３Ｄ方向の矢視図であり、（Ｅ）は同図（Ｂ）における矢印３Ｅ方向の矢視図であり、（Ｆ）は同図（Ｂ）における３Ｆ−３Ｆ線に沿う断面図である。
【図４】（Ａ）は弾性変形部の収縮前の状態を示す断面図であり、（Ｂ）は収縮した状態の弾性変形部を示す断面図である。
【図５】可撓性チューブの変形例を示す断面図である。
【図６】比較例としての可撓性チューブを示す断面図である。
【図７】（Ａ）は可撓性チューブの変形例を示す斜視図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）における７Ｂ−７Ｂ線に沿う断面図であり、（Ｃ）は同図（Ａ）における７Ｃ−７Ｃ線に沿う断面図である。
【図８】（Ａ）は可撓性チューブの変形例を示す斜視図であり、（Ｂ）は同図（Ａ）における８Ｂ−８Ｂ線に沿う断面図であり、（Ｃ）は同図（Ｂ）における８Ｃ−８Ｃ線に沿う断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０      ハウジング（装置本体）
１１      円筒
１２，１３      ジョイント
１４      供給側流路
１５      薬液タンク
１６      流出側流路
１７      塗布ノズル
１８，１９      開閉弁
２０      可撓性チューブ
２１，２２      固定端部
２３      弾性変形部
２４      膨張収縮室
２５      加圧室
２６      供給ポート
３１，３２      固定ディスク
３３      大型ベローズ部
３４      小型ベローズ部
３５      作動ディスク
４０      テーパー部
４１      頂点部
４２      凸形弧状部
４３      凹形弧状部
４５      軸方向変形部
【図１】
2005083337.tif 000003
【図２】
2005083337.tif 000004
【図３】
2005083337.tif 000005
【図４】
2005083337.tif 000006
【図５】
2005083337.tif 000007
【図６】
2005083337.tif 000008
【図７】
2005083337.tif 000009
【図８】
2005083337.tif 000010