(57)【要約】    【課題】  相互干渉を防止して所望の光学特性を有する光通信用の部品を製造することができる薄膜フィルタの実装方法を提供する。    【解決手段】  まず、複数の薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４の反りの向きを揃えて硝子ブロック２０上に並べ（第１の工程）、次に薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４に光硬化型の接着剤を塗布し（第２の工程）、その後カバー硝子３０で薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４を押圧しながら光を照射して接着剤を硬化させる（第３の工程）。【選択図】      図１（ｃ）
2005250131.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の薄膜フィルタの反りの向きを揃えて基板上に並べる第１の工程と、
この第１の工程の後、前記薄膜フィルタに接着剤を塗布する第２の工程と、
この第２の工程の後、カバー部材で前記薄膜フィルタを押圧しながら前記接着剤を硬化させる第３の工程と
を含むことを特徴とする薄膜フィルタの実装方法。
【請求項２】
前記接着剤は光硬化型であり、前記基板は透明であることを特徴とする請求項１記載の薄膜フィルタの実装方法。
【請求項３】
前記第１の工程の前に前記基板に接着剤を塗布することを特徴とする請求項１又は２記載の薄膜フィルタの実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は薄膜フィルタの実装方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光通信用の部品、例えばフィルタの製造では、出射される光の帯域を分けるため、２枚以上の光学特性の異なる薄膜フィルタを透明な基板上に並列に実装する。 
この薄膜フィルタには、厚さ数μｍのポリイミドを支持体の上に薄膜を形成したポリイミド支持体光通信用フィルタや、基板上に形成した薄膜を基板から剥離させた自立膜光通信用フィルタ等がある。
【０００３】
従来の薄膜フィルタの実装方法を次に述べる。
【０００４】
まず、ＵＶ接着剤を透明な基板の所定の位置に塗布する。
【０００５】
次に、接着剤が塗布された基板上に薄膜フィルタを位置決め用の機械を用いて位置決めしながら順次載せていく。
【０００６】
すべての薄膜フィルタを載せた後、ＵＶ光を接着剤に照射して薄膜フィルタを基板に実装する。
【特許文献１】特開２００１−３４３５５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、薄膜フィルタには、例えば１０μｍ程度の反りがある。
【０００８】
反りの向きを揃えないで薄膜フィルタを並列に実装した場合、薄膜フィルタに入射する光の角度がバラツキ、相互干渉が引き起こされ、所望の光学特性（分光特性）を得ることができない。
【０００９】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は相互干渉を防止して所望の光学特性を有する光通信用の部品を製造することができる薄膜フィルタの実装方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため請求項１記載の発明は、複数の薄膜フィルタの反りの向きを揃えて基板上に並べる第１の工程と、この第１の工程の後、前記薄膜フィルタに接着剤を塗布する第２の工程と、この第２の工程の後、カバー部材で前記薄膜フィルタを押圧しながら前記接着剤を硬化させる第３の工程とを含むことを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の薄膜フィルタの実装方法において、前記接着剤は光硬化型であり、前記基板は透明であることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２記載の薄膜フィルタの実装方法において、前記第１の工程の前に前記基板に接着剤を塗布することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
この発明の薄膜フィルタの実装方法によれば、相互干渉を防止して所望の光学特性を有する光通信用の部品を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１５】
図１（ａ）〜（ｃ）はこの発明の一実施形態に係る薄膜フィルタの実装方法を説明する図であり、図１（ａ）はすべての薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４を硝子ブロック（基板）２０の上面の決められた位置に並列に載せた状態を示す図、図１（ｂ）は薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４が並べられた硝子ブロック２０の上面にカバー硝子（カバー部材）３０を載せ、カバー硝子３０で押圧する直前の状態を示す図、図１（ｃ）は薄膜フィルタ１１，１２，１３、１４の一方の面に硝子ブロック２０が、他方の面にカバー硝子３０がそれぞれ貼り付けられた完成品としてのフィルタを示す図である。
【００１６】
薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４はそれぞれ複数の薄膜を積層して形成された多層膜フィルタである。
【００１７】
薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４を硝子ブロック２０に並べる前に、予めそれらの反りの方向を合わせる。
【００１８】
硝子ブロック２０は透明であり、その上面は所定の平面度を有する。なお、図示しないが硝子ブロック２０の上面には、カバー硝子３０で薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４を押圧したとき、硝子ブロック２０の上面で薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４が移動するのを阻止するためのガイド部材が配置されている。
【００１９】
まず、硝子ブロック２０の上面に接着剤（図示せず）を塗布する。
【００２０】
次に、薄膜フィルタ１１の凹面側を硝子ブロック２０の上面に向けて硝子ブロック２０上の予め決められた位置に位置決め用の機械を用いて載せる。
【００２１】
その後、薄膜フィルタ１２，１３，１４を凹面側を硝子ブロック２０の上面に向けて硝子ブロック２０上の予め決められた位置に位置決め用の機械を用いて順次載せる。（第１の工程）。
【００２２】
すべての薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４を決められた位置に並列に載せた後（図１（ａ）参照）、ＵＶ硬化型（光硬化型）の接着剤（図示せず）を薄膜フィルタ１１，１２，１３、１４の一方の面（硝子ブロック２０に固定されていない側の面）に塗布する（第２の工程）。
【００２３】
次に、薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４を並べた硝子ブロック２０の上面にカバー硝子３０を載せ、カバー硝子３０を上方から押圧する（図１（ｂ）参照）。
【００２４】
押圧力が所定値（例えば５０Ｋｇｆ）に達した後、その圧力を保持しながら接着剤にＵＶ光を所定時間（例えば２〜３分）に亘って照射し、接着剤を硬化させる（第３の工程）。
【００２５】
その結果、薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４に硝子ブロック２０とカバー硝子３０とが貼り付けられた光通信用の部品としてのフィルタが完成する（図１（ｃ）参照）。
【００２６】
最後に、干渉計等を用いて薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４の平坦度を測定して、設計どおりの平坦度（例えば１〜２μｍ程度）であることを確認する。
【００２７】
この実施形態によれば、薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４の所定の平坦度を確保して薄膜フィルタ１１，１２，１３，１４に入射する光の角度のバラツキを小さくしたので、
相互干渉を防止して所望の光学特性を有するフィルタを提供することができる。
【００２８】
図２はこの発明に係る薄膜フィルタの実装方法で得られたフィルタの使用例を説明するための模式図、図３は図２のIII−III線に沿う断面図であり、図１のフィルタと共通する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００２９】
このフィルタは硝子ブロック２０とカバー硝子３０との間にスペーサとしてのＳｉＯ2 単層膜１１０と４つのバンドパスフィルタ（薄膜フィルタ、以下ＢＰＦという）１１１，１１２，１１３，１１４とが接着剤層１５０を介して配置されている。
【００３０】
接着剤層１５０には第１の工程の前に塗布される接着剤１５０ａと第２の工程で塗布される接着剤１５０ｂとが含まれている。
【００３１】
薄膜フィルタ１１１，１１２，１１３，１１４と硝子ブロック２０及びカバー硝子３０との貼り付け方法は上記実施形態と同様であるのでその説明を省略する。
【００３２】
なお、硝子ブロック２０には反射面としての誘電体多層膜ミラー１２１が施されている。また、カバー硝子３０には反射防止膜１３１が施されている。
【００３３】
ここで、薄膜フィルタ１１１，１１２，１１３，１１４の特性を以下のように仮定する。
【００３４】
第１のＢＰＦ１１１では波長λ１を中心波長とする所定帯域ＢＰ１の光Ｃ１が透過し、帯域ＢＰ１以外の帯域の光が反射する。
【００３５】
第２のＢＰＦ１１２では波長λ２を中心波長とする所定帯域ＢＰ２の光Ｃ２が透過し、帯域ＢＰ２以外の帯域の光が反射する。
【００３６】
第３のＢＰＦ１１３では波長λ３を中心波長とする所定帯域ＢＰ３の光Ｃ３が透過し、帯域ＢＰ３以外の帯域の光が反射する。
【００３７】
第４のＢＰＦ１１４では波長λ４を中心波長とする所定帯域ＢＰ４の光Ｃ４が透過する。
【００３８】
なお、λ１とλ２とλ３とλ４との間には、λ１＜λ２＜λ３＜λ４の関係がある。
【００３９】
反射防止膜１３１を介してカバー硝子３０に入射した光ＣはＳｉＯ2 単層膜１１０を透過し、硝子ブロック２０の誘電体多層膜ミラー１２１で反射され、第１のＢＰＦ１１１に至る。帯域ＢＰ１の光Ｃ１は第１のＢＰＦ１１１を透過し、カバー硝子３０の反射防止膜１３１から図２に示すように入射光と同じ側に出射する。
【００４０】
帯域ＢＰ１以外の帯域の光は第１のＢＰＦ１１１で反射された後、誘電体多層膜ミラー１２１で再び反射され、第２のＢＰＦ１１２に至る。帯域ＢＰ２の光Ｃ２は第２のＢＰＦ１１２を透過し、カバー硝子３０の反射防止膜１３１から図２に示すように入射光と同じ側に出射する。
【００４１】
以後、同様にして第３のＢＰＦ１１３を透過した帯域ＢＰ３の光Ｃ３及び第４のＢＰＦ１１４を透過した帯域ＢＰ４の光Ｃ４がカバー硝子３０の反射防止膜１３１から図２に示すように入射光と同じ側にそれぞれ出射する。
【００４２】
その結果、図２に示すように分光された光Ｃ１、Ｃ２、Ｃ３、Ｃ４がカバー硝子３０から出射される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１（ａ）】図１（ａ）はすべての薄膜フィルタを硝子ブロックの上面の決められた位置に並列に載せた状態を示す図である。
【図１（ｂ）】図１（ｂ）は薄膜フィルタが並べられた硝子ブロックの上面にカバー硝子を載せ、カバー硝子で押圧する直前の状態を示す図である。
【図１（ｃ）】図１（ｃ）は薄膜フィルタの一方の面に硝子ブロックが、他方の面にカバー硝子がそれぞれ貼り付けられた完成品としてのフィルタを示す図である。
【図２】図２はこの発明に係る薄膜フィルタの実装方法で得られたフィルタの使用例を説明するための模式図である。
【図３】図３は図２のIII−III線に沿う断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１１，１２，１３，１４  薄膜フィルタ
２０  硝子ブロック（基板）
３０  カバー硝子（カバー部材）
１１１，１１２，１１３，１１４  ＢＰＦ（薄膜フィルタ）
１５０ａ，１５０ｂ  接着剤
【図１（ａ）】
2005250131.tif 000003
【図１（ｂ）】
2005250131.tif 000004
【図１（ｃ）】
2005250131.tif 000005
【図２】
2005250131.tif 000006
【図３】
2005250131.tif 000007