(57)【要約】      （修正有）【課題】高価なＰｄＮｉを使用しなくてもＰｄＮｉを使用した場合と同等またはそれ以上の耐食性および耐摩耗性を実現でき且つ比較的低コストで製造することができる、金属被覆された金属部材を提供する。【解決手段】金属部材の表面にＮｉおよび不可避不純物からなる第１の層が形成され、この第１の層上にＮｉとＰと不可避不純物からなる第２の層が形成され、この第２の層上に貴金属からなる第３の層が形成されている。第２の層は１０〜１５重量％のＰを含み、第１の層の厚さは３μｍ以上であり且つ第２の層の厚さが０．１μｍ以上である。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属部材の表面にＮｉおよび不可避不純物からなる第１の層が形成され、この第１の層上にＮｉとＰと不可避不純物からなる第２の層が形成され、この第２の層上に貴金属からなる第３の層が形成され、第１の層の厚さが３μｍ以上であり且つ第２の層の厚さが０．１μｍ以上であることを特徴とする、金属被覆された金属部材。
【請求項２】
金属部材の表面にＮｉおよび不可避不純物からなる第１の層が形成され、この第１の層上にＮｉとＰと不可避不純物からなる第２の層が形成され、この第２の層上に貴金属からなる第３の層が形成され、第１の層の厚さが２μｍ以上であり且つ第２の層の厚さが０．３μｍ以上であることを特徴とする、金属被覆された金属部材。
【請求項３】
前記第２の層が１０重量％以上のＰを含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の金属被覆された金属部材。
【請求項４】
前記第２の層が１０〜１５重量％のＰを含むことを特徴とする、請求項１または２に記載の金属被覆された金属部材。
【請求項５】
前記第３の層がＡｕまたはＡｕ合金からなる層であることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれかに記載の金属部材。
【請求項６】
前記第３の層の厚さが０．０５〜０．２μｍであることを特徴とする、請求項５に記載の金属部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、金属被覆された金属部材に関し、特に、電子部材、電気部材、機械部材、半導体部材、磁気部材、酸やアルカリなどに対する耐薬品性、耐熱性および耐腐食性などの耐環境性を必要とする部材、装飾部材などに用いられる金属被覆された金属部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、下地素材金属の表面に被膜処理をして電気的な接触抵抗、半田濡れ性、耐摩耗性、機械強度、潤滑性、耐環境性、耐薬品性、光沢などの装飾性などの金属部材の表面の各種の特性を改善する方法として、比較的低コストで高性能な特性を得ることが可能なめっき処理が広く行われている。
【０００３】
このめっき処理では、通常、所望の特性を得るために素材金属材と被覆金属材が適宜選択されるが、特に低コストで且つ電気的な接触抵抗、半田濡れ性、耐摩耗性、機械強度、潤滑性、耐環境性、耐薬品性、光沢などの装飾性などの各種の特性に優れた材料の組み合わせとして、素材金属材の上に中間層の金属を電気めっきし、さらにその上にＡｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｒｈなどの貴金属またはこれらを主成分とする合金やＳｎ、Ｃｕ、Ｃｒまたはこれらの合金などを電気めっきすることが行われている。
【０００４】
特に、耐摩耗性、機械強度、潤滑性、耐環境性などに優れたコネクタ材としては、中間層の金属として比較的低価格のＮｉおよびＮｉ合金などを被膜した上に貴金属をめっきしたコネクタ材が広く用いられている。
【０００５】
また、高耐食性および高耐久性が求められるコネクタ材として、Ｎｉ中間層の上に耐食性および耐摩耗性に優れたＰｄＮｉを被覆し、その上にＡｕめっきを被覆したコネクタ材が開発されている。このような高耐食性および高耐久性のコネクタ材では、省金化によるコスト削減策として、通常、Ａｕの膜厚は、接触抵抗を下げるのに最低限必要な０．０５〜０．２μｍに設定されている。
【０００６】
一方、金属材料の表面に無電解Ｎｉ−Ｐ合金めっきを施し、その上に電解Ｎｉ−Ｐ合金めっきを施し、その上に仕上げめっきを施す表面処理方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、リードフレーム基材上にＮｉまたはＮｉ合金めっきを施し、その上にＮｉ−Ｐ、Ｎｉ−ＢまたはＮｉ−Ｃｏ合金めっきを施し、その上にＡｕめっきを施したリードフレームも知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開平３−２２９８９１号公報（第２頁）
【特許文献２】
特開平９−２５２０７０号公報（段落番号００１１）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
近年、電子材料ではさらにコストを削減することが望まれており、上記のようなＮｉ中間層の上に被覆したＰｄＮｉの上にＡｕめっきを被覆したコネクタ材では、コストを削減するためにＡｕの膜厚をこれ以上薄くすると、耐環境性が著しく劣化してしまうという問題がある。また、コストを削減するために中間層として単純にＮｉ層を厚くすると、Ｎｉは柔らかく、耐摩耗性が低く、耐腐食性も不十分であるため、表層の貴金属層を厚くしなければならなくなり、結局コスト高になってしまう。
【０００９】
そのため、本発明者は、Ａｕの次に高価なＰｄＮｉを他の低価格の金属に置き換えることを検討した。しかし、特許文献１および特許文献２に開示されたように中間層としてＮｉＰ層を用いると、ＮｉＰは硬く且つ耐摩耗性がＮｉより高いが、成膜速度がＮｉに比べて著しく遅く、厚く成膜する場合には設備コストがかかるという欠点がある。また、ＮｉＰ層を単体として下地層とすると、耐腐食性が不十分であり、同様に表層の貴金属層を厚くしなければならず、コスト高になる。また、半田濡れ性の向上に効果があるとされている特許文献２に記載された合金めっきをそのままコネクタ材に適用して、１μｍのＮｉ合金めっきを施し、その上に０．０２〜０．３μｍのＮｉ−Ｐ合金めっきを施し、その上に０．１μｍのＡｕめっきを施した場合には、耐磨耗性は向上するものの、所望の耐食性を得ることができなかった。
【００１０】
したがって、本発明は、このような従来の問題点に鑑み、高価なＰｄＮｉを使用しなくてもＰｄＮｉを使用した場合と同等またはそれ以上の耐食性および耐摩耗性を実現でき且つ比較的低コストで製造することができる、金属被覆された金属部材を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究し、様々な低コストの代替金属を試した結果、Ｎｉからなる下地層を３μｍ以上形成した上に、Ｎｉ−Ｐ合金からなる中間層を０．１μｍ以上形成すると、表層のＡｕ層の膜厚を０．０５〜０．２μｍにした場合にも、高価なＰｄＮｉを用いた場合と同等またはそれ以上の耐食性および耐摩耗性を実現でき且つ比較的低コストで製造することができる、金属被覆された金属部材を提供することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１２】
すなわち、本発明による金属被覆された金属部材は、金属部材の表面にＮｉおよび不可避不純物からなる第１の層が形成され、この第１の層上にＮｉとＰと不可避不純物からなる第２の層が形成され、この第２の層上に貴金属からなる第３の層が形成され、第１の層の厚さが３μｍ以上であり且つ第２の層の厚さが０．１μｍ以上であることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明による金属被覆された金属部材は、金属部材の表面にＮｉおよび不可避不純物からなる第１の層が形成され、この第１の層上にＮｉとＰと不可避不純物からなる第２の層が形成され、この第２の層上に貴金属からなる第３の層が形成され、第１の層の厚さが２μｍ以上であり且つ第２の層の厚さが０．３μｍ以上であることを特徴とする。
【００１４】
また、上記の金属被覆された金属部材において、第２の層は、好ましくは１０重量％以上、さらに好ましくは１０〜１５重量％のＰを含む。また、第３の層がＡｕまたはＡｕ合金からなる層であるのが好ましい。この場合、第３の層の厚さが０．０５〜０．２μｍであるのが好ましい。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明による金属被覆された金属部材の実施の形態では、Ｎｉからなる３μｍ以上形成した上に、Ｎｉ−Ｐ合金からなる中間層を０．１μｍ以上形成することにより、表層のＡｕ層の膜厚を良好な接触抵抗が得られる最低限の膜厚である０．０５〜０．２μｍにした場合にも、良好な耐食性および耐摩耗性を得ることができる。
【００１６】
また、Ｎｉ−Ｐ合金中のＰ含有率と耐食性との関係を調べたところ、図１に示すように、Ｎｉ−Ｐ合金中のＰ含有率が高くなるにしたがって耐食性が向上し、Ｐ含有率が１０重量％を超えたあたりで満足な耐食性を得ることができることがわかった。一方、Ｎｉ−Ｐ合金中のＰ含有率とめっき効率との関係を調べたところ、図２に示すように、めっき効率は、Ｐ含有率が１０重量％を越えたあたりから下がり、Ｐ含有率が１５重量％を超えると２０％程度になって生産性の観点から実用に向かないことがわかった。また、耐摩耗性は、Ｐ含有率が変化しても大きな差は見られない。したがって、Ｎｉ−Ｐ合金中のＰ含有率は、１０〜１５重量％が望ましい。
【００１７】
また、Ｎｉ−Ｐ合金からなる中間層の成膜方法として電解法を選択すると、耐食性が著しく向上する。
【００１８】
【実施例】
以下、本発明による金属被覆された金属部材の実施例について詳細に説明する。
【００１９】
［実施例１〜６］
縦６０ｍｍ、横６０ｍｍ、厚さ０．３ｍｍの銅基板の縦５０ｍｍ、横６０ｍｍの部分に、電気めっき法により表１に示す厚さにＮｉを成膜し、さらにその上に電解めっき法により表１に示す厚さにＮｉＰを成膜し、さらにその上に電気めっき法により０．１μｍの厚さにＡｕＣｏを成膜することにより、金属被覆された金属部材を作製し、耐食性および耐摩耗性を評価した。
【００２０】
以下、この金属被覆された金属部材を作製するための前処理と各めっき条件について説明する。
【００２１】
（前処理）
まず、銅基板をアルカリ脱脂液中に浸漬し、電圧５Ｖを加えて２分間保持した後、脱脂液から取り出して純水で水洗いし、濃度５％の硫酸水溶液中に３０秒間浸漬した後、硫酸水溶液から取り出して再び純水で水洗いした。
【００２２】
（Ｎｉめっき）
スルファミン酸ニッケル（Ｎｉ含有率１００ｇ／Ｌ）、塩化ニッケル（Ｎｉ含有率１５ｇ／Ｌ）、ホウ酸（３０ｇ／Ｌ）および光沢剤（レベリング剤）からなるめっき浴中に、上記の前処理を行った銅基板とＮｉ電極板を浸漬し、銅基板をマイナス極、Ｎｉ電極板をプラス極に接続し、電流密度を５．０Ａ／ｄｍ２に設定し、銅基板上に表１のような膜厚までＮｉをめっきした。なお、Ｎｉめっきの成膜では、スターラーを３００ｒｐｍで回転させてめっき浴を攪拌し、浴温を５０℃に保持した。
【００２３】
（Ｎｉ−Ｐめっき）
Ｎｉ−Ｐのめっき浴として、硫酸ニッケル（２００ｇ／Ｌ）、次亜リン酸ナトリウム（２０ｇ／Ｌ）、ホウ酸（２０ｇ／Ｌ）、塩化ナトリウム（２０ｇ／Ｌ）、リン酸（５ｍＬ）からなるめっき浴を使用し、このめっき浴の温度を７０℃、ｐＨを２．３に保持し、このめっき浴中に、上記のＮｉめっきした後に水洗した銅基板を、Ｎｉ電極板と共に浸漬し、銅基板をマイナス極、Ｎｉ電極板をプラス極に接続し、表１のような膜厚までＮｉ−Ｐをめっきした。なお、Ｎｉ−Ｐめっきの成膜では、スターラーを３００ｒｐｍで回転させてめっき浴を攪拌し、浴温を７０℃に保持した。
【００２４】
（ＡｕＣｏめっき）
めっき浴として、シアン浴である日本高純度化学株式会社製のオーロブライトＨＳ−５を使用した。すなわち、タンクに１．３Ｌの純水を入れて、温度を５０℃に上げ、建浴用塩オーロブライトＢＡと建浴用添加剤オーロブライトＢＢを溶解し、さらに純水を加えて全体を２Ｌにした後、オーロブライトｐＨ調整塩を添加してｐＨを４．０に調整し、シアン金カリウムを金濃度として６ｇ／Ｌ添加し、めっき浴とした。このめっき浴に、上記のＮｉとＮｉ−Ｐの成膜を行った銅基板と、Ｔｉ表面に白金を被覆した電極板とを浸漬して、銅基板をマイナス極、Ｔｉ表面に白金を被覆した電極板をプラス極に接続し、０．７２Ａを３０秒間通電することにより、銅基板上に厚さ０．１μｍのＡｕＣｏ合金をめっきした。なお、ＡｕＣｏ合金めっきの成膜では、スターラーを３００ｒｐｍで回転させてめっき浴を攪拌し、浴温を５０℃に保持した。
【００２５】
このようにめっきを成膜した銅基板を純水で洗浄した後、エアを吹き付けて乾燥させた。
【００２６】
上記のようにめっきを成膜した銅基板を試験片として、耐食性および耐摩耗性の評価を行った。耐食性の評価は、試験片に対してＪＩＳＨ８６１６による硝酸曝気試験（硝酸蒸気中において２５℃で２時間放置）を行い、曝気試験前後で表面の腐食の程度を評価（耐食性に優れている場合は○、やや優れている場合は△、悪い場合は×として評価）することにより行った。また、耐摩耗性の評価は、先端が直径５ｍｍの球状のＳＵＳ製圧子を試験片に垂直に立て、圧子の軸方向に５０ｇの加重を付与した状態で、ピン先端を試験片の表面に同一軌道上を往復させて引き掻き、その際、ピン先端の往復距離を一定（１２．５ｍｍ）として周波数１．０Ｈｚ（６０サイクル／分）で往復運動させ、試験片の摩耗巾を計測することにより行った。この摩耗巾が少ないほど摩耗性に優れている。この評価では、中間層にＰｄＮｉを用いたサンプルを基準とし、これより摩耗巾が狭い場合は○、広い場合は×とした。これらの試験片の評価結果を表１に示す。
【００２７】
【表１】
2005068445.tif 000002
【００２８】
［比較例１〜７］
表１に示すようにＮｉめっきとＮｉ−Ｐの厚さを変えた以外は実施例と同様の方法により試験片を作製し、実施例と同様の方法により耐食性および耐摩耗性の評価を行った。これらの試験片の評価結果を表１に示す。
【００２９】
［比較例８］
中間層としてＮｉ−Ｐをめっきしなかった以外は実施例と同様の方法により、Ｎｉを３μｍ成膜し、その上にＡｕＣｏを０．１μｍ成膜して試験片を作製し、実施例と同様の方法により耐食性および耐摩耗性の評価を行った。この試験片の評価結果を表１に示す。
【００３０】
［比較例９〜１５］
下地層としてＮｉをめっきしなかった以外は実施例と同様の方法により、Ｎｉ−Ｐの膜厚を０．１、０．５、１、２、３、４および５μｍに変えて、試験片を作製し、実施例と同様の方法により耐食性および耐摩耗性の評価を行った。これらの試験片の評価結果を表１に示す。
【００３１】
［比較例１６、１７］
比較例１７は、従来の耐食性および耐摩耗性を得るために行われているＰｄＮｉを用いためっき構成の典型例であり、この比較例では、下地層としてＮｉめっきを３μｍ、中間層としてＰｄＮｉめっきを０．５μｍ、最表層としてＡｕＣｏめっきを０．１μｍ施して試験片を作製した。また、比較例１６では、ＰｄＮｉめっきの厚さを０．０５μｍにした以外は、比較例１７と同様の方法により試験片を作製した。これらの試験片について実施例と同様の方法により評価を行った。その評価結果を表１に示す。
【００３２】
表１からわかるように、比較例１〜７の場合、すなわち、Ｎｉめっきの厚さが１μｍの場合、Ｎｉめっきの厚さが２μｍでＮｉ−Ｐめっきの厚さが０．１μｍ以下の場合、Ｎｉめっきの厚さが３μｍでＮｉ−Ｐめっきの厚さが０．０５μｍ以下の場合には、満足する耐食性を得ることができなかった。また、下地層としてＮｉだけを用いた比較例８では、耐腐食性および耐摩耗性のいずれも実施例より劣っていた。また、比較例９〜１５では、Ｎｉ−Ｐめっきの厚さを５μｍにしたもの（比較例８）でも満足する耐食性を得ることができなかった。さらに、実施例４〜６では、耐食性および耐摩耗性のいずれも比較例１７（従来例）と同等またはそれ以上の結果になった。また、実施例１〜３では、耐食性がやや劣り、ＰｄＮｉめっきの厚さを０．０５μｍにした比較例１６と同等であったが、耐摩耗性に優れていた。
【００３３】
また、実施例では最表層のＡｕめっきの膜厚を０．１μｍとしたが、０．０５〜０．２μｍの範囲でほぼ同様な結果が得られた。
【００３４】
なお、Ｎｉ−Ｐめっきは同じ厚さのＰｄＮｉめっきの１０分の１程度の価格で製造することができるので、実施例では、ＰｄＮｉを使用した場合と同等またはそれ以上の耐食性および耐摩耗性を実現でき且つ比較的低コストで製造することができる、金属被覆された金属部材を提供することができる。
【００３５】
【発明の効果】
上述したように、本発明によれば、高価なＰｄＮｉを使用しなくてもＰｄＮｉを使用した場合と同等またはそれ以上の耐食性および耐摩耗性を実現でき且つ比較的低コストで製造することができる、金属被覆された金属部材を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ｎｉ−Ｐ合金中のＰ含有率と耐食性の関係を示すグラフ。
【図２】Ｎｉ−Ｐ合金中のＰ含有率とめっき効率の関係を示すグラフ。
【図１】
2005068445.tif 000003
【図２】
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