(57)【要約】【課題】  アンモニアに対する選択性を大きく向上することができるアンモニアセンサを提供すること。【解決手段】  アルミナ製の絶縁基板（５）上には、一対のリード部（７）、（９）が配置され、各リード部（７）、（９）には、一対の櫛歯電極（１１）、（１３）がそれぞれ接続され、櫛歯電極（１１）、（１３）の上には、櫛歯電極（１１）、（１３）の全てを覆うように感応層（１５）が配置されている。櫛歯電極（１１）、（１３）は、主としてＰｔ及びＡｕの混合物からなる混合電極（又は主としてＰｔ及びＡｕの合金からなる電極、或いは主としてＰｔ及びＡｕの混合物及び合金からなる電極）である。つまり、この櫛歯電極（１１）、（１３）には、Ｐｔ及びＡｕを例えば９０重量％含んでおり、特にＰｔ−Ａｕに対するＰｔの含有量は１〜９９重量％の範囲に設定されている。【選択図】 図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の電極と、該一対の電極に接して設けられた感応部と、を有する素子部を備えたアンモニアセンサにおいて、
前記感応部が、固体超強酸物質を含み、且つ、前記一対の電極が、主としてＰｔ及びＡｕからなることを特徴とするアンモニアセンサ。
【請求項２】
前記Ｐｔ及びＡｕは、Ｐｔ及びＡｕの混合物、Ｐｔ及びＡｕの合金、又はＰｔ及びＡｕの混合物及び合金の状態で存在することを特徴とする前記請求項１に記載のアンモニアセンサ。
【請求項３】
前記電極中のＰｔの含有量は、Ｐｔ及びＡｕの合計量に対して１〜９９重量％であることを特徴とする前記請求項１又は２に記載のアンモニアセンサ。
【請求項４】
前記固体超強酸物質は、ハメットの酸度関数ＨOにして−１１．９３以下であり、且つ、ゼオライトを除くものであることを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに記載のアンモニアセンサ。
【請求項５】
前記固体超強酸物質は、ハメットの酸度関数ＨOにして−１１．９３以下であり、且つ、該固体超強酸物質を構成する主成分の酸化物と副成分の酸化物もしくは酸化物イオンとが、化学結合していることを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに記載のアンモニアセンサ。
【請求項６】
前記固体超強酸物質は、Ｆｅ2Ｏ3、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、ＨｆＯ2、ＳｎＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2から選ばれる１種の酸化物を主成分とし、且つ、副成分としてＷＯ3、ＭｏＯ3、Ｂ2Ｏ3、ＳＯ42-、ＰＯ43-から選ばれる少なくとも１種を含有するものであることを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに記載のアンモニアセンサ。
【請求項７】
前記固体超強酸物質は、ＷＯ3／ＺｒＯ2、ＳＯ42-／ＺｒＯ2、ＰＯ43-／ＺｒＯ2、ＳＯ42-／ＴｉＯ2から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする前記請求項１〜６のいずれかに記載のアンモニアセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検知ガス中のアンモニア濃度を検出するアンモニアセンサに関する。この種のアンモニアセンサは、例えば内燃機関の排ガス中のアンモニア濃度を測定するために用いられ、特に、尿素を添加してＮＯxを浄化するＮＯx選択還元システムに好適に使用される。
【背景技術】
【０００２】
近年では、内燃機関から排出されるＮＯxを浄化する研究が進んでおり、例えばＳＣＲ（Selective Catalytic Reduction）触媒に尿素を添加することによりアンモニアを発生させ、そのアンモニアによりＮＯxを還元して排ガスを浄化する技術（ＮＯx選択還元システム）が開発されている。
【０００３】
この技術では、排出されるＮＯxをアンモニアにより高効率で還元浄化するために、尿素の添加量を調節する必要があるので、アンモニア濃度を正確に測定する必要がある。
そのため、例えばＷＯ3を主体とし、貴金属を添加した感応層を用いたアンモニアセンサ（例えば特許文献１参照）や、ＷＯ3を主体としＭｏＯ3を添加した感応層を用いたアンモニアセンサ（例えば特許文献２参照）が開示されている。
【特許文献１】特開平５−８７７６０号公報  （第２頁）
【特許文献２】特開平１０−１９８２１号公報  （第２頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記特許文献１に記載のアンモニアセンサは、ＮＯ、ＮＯ2に感度があり（特許文献２参照）、尿素を添加して排ガス（ディーゼル排ガス）中のＮＯxを還元浄化するＮＯx選択還元システムに使用できないという問題がある。
【０００５】
また、前記特許文献２に記載のアンモニアセンサでは、選択性は改善されているものの、選択性改善のために添加されているＭｏＯ3の融点が７９５℃、沸点が１１５５℃と低いため、上述したＮＯx選択還元システムに使用するには、耐熱性に問題があり、排ガス中で使用することは困難である。
【０００６】
この対策として、本願発明者等は、ディーゼル排ガス中で十分な選択性を持って使用できるアンモニアセンサを得るべく、検知材料について様々な検討を行った。
その結果、ＷＯ3／ＺｒＯ2等の固体超強酸と呼ばれる材料を検知材として利用することで、選択性に優れるアンモニアセンサが得られることを見いだした。
【０００７】
しかしながら、この様な材料を用いても、アンモニア以外の妨害ガス成分に対する感度を完全にゼロにすることはできず、アンモニア選択性についての更なる改善が必要であった。
【０００８】
本発明は、前記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、アンモニアに対する選択性を大きく向上することができるアンモニアセンサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）請求項１の発明は、一対の電極と、該一対の電極に接して設けられた感応部と、を有する素子部を備えたアンモニアセンサにおいて、前記感応部が、固体超強酸物質を含み、且つ、前記一対の電極が、主としてＰｔ及びＡｕからなることを特徴とするアンモニアセンサを要旨とする。
【００１０】
本発明では、電極が、主としてＰｔ及びＡｕからなるので、例えば電極がＡｕのみからなる場合に比べて、電極材の触媒活性がある程度（即ちアンモニアが完全に燃焼されない程度に）高くなり、それによって、妨害ガス成分が電極近傍で燃焼・除去されるので、アンモニア選択性が向上すると考えられる。
【００１１】
つまり、電極がＡｕのみからなる場合には、Ａｕの触媒能力が低くＡｕによって各種ガス成分が燃焼・除去され難いので、アンモニアだけでなく被検知ガス中に存在する各種の妨害ガス成分（例えば炭化水素、ＣＯ、ＣＯ2、ＮＯｘ等）が、電極間に存在する感応部に到達する。そのため、アンモニアだけでなく各種の妨害ガス成分によって、感応部のインピーダンスが変化し、結果として、アンモニア選択性が低下してしまう。
【００１２】
それに対して、本発明では、電極の構成成分として、Ａｕだけでなく触媒能力の高いＰｔが含まれているので、Ｐｔによって妨害ガス成分が燃焼・除去される。そのため、残ったアンモニアが電極間に存在する感応部に到達し、それによって感応部のインピーダンスが変化するので、アンモニアのみを選択的に検出することができる。
【００１３】
更に、主としてＰｔ及びＡｕからなる電極を用いると、ＷＯ3／ＺｒＯ2等の感応部構成物質の電子雲にひずみが生じ、即ち、ＷＯ3種等の感応部構成物質の電子状態が変化し、これが、各種のガスに対する感度に影響を及ぼして、アンモニア選択性の向上に寄与することも推定される。
【００１４】
ここで、前記主としてとは、電極全体を１００重量％としたときに、Ｐｔ及びＡｕの含有量が７０重量％以上であることを意味する。
また、電極を構成するものとしては、Ｐｔ及びＡｕ以外に、一般的には、センサの基板との接合性を高めるための共素地の成分（例えばＡｌ2Ｏ3やＺｒＯ2）や、その他の不純物（例えば鉛ガラス、硼酸系ガラス）等が含まれるが、通常は、それらの成分は、電極全体のうち３０重量％以下である。
【００１５】
尚、前記感応部としては、感応部全体を１００重量％としたときに、固体超強酸物質を８０重量％以上含有するものであることが好ましい。
（２）請求項２の発明は、前記Ｐｔ及びＡｕは、Ｐｔ及びＡｕの混合物、Ｐｔ及びＡｕの合金、又はＰｔ及びＡｕの混合物及び合金の状態で存在することを特徴とする前記請求項１に記載のアンモニアセンサを要旨とする。
【００１６】
本発明は、Ｐｔ及びＡｕ（電極）の構成を例示したものである。尚、電極がＰｔやＡｕからなる混合電極となるか、合金電極となるか、或いは混合物及び合金からなる電極となるかは、ＰｔとＡｕの含有量による。
【００１７】
また、Ｐｔ及びＡｕが単なる混合物の状態である場合には、偏析等が発生して電極の経時変化が起こる可能性があるが、合金の場合には、この様な経時変化が起こり難い。
（３）請求項３の発明は、前記電極中のＰｔの含有量は、Ｐｔ及びＡｕの合計量に対して１〜９９重量％であることを特徴とする前記請求項１又は２に記載のアンモニアセンサを要旨とする。
【００１８】
後述する実験例（図３〜図６参照）から明らかな様に、Ｐｔの含有量が１〜９９重量％の場合には、アンモニア選択性に優れているという効果がある。しかも、後述する実験例（図７参照）から明らかな様に、アンモニアセンサの感度が高いという効果もある。
【００１９】
（４）請求項４の発明は、前記固体超強酸物質は、ハメットの酸度関数ＨOにして−１１．９３以下であり、且つ、ゼオライトを除くものであることを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに記載のアンモニアセンサを要旨とする。
【００２０】
本発明では、前記固体超強酸物質を感応部の材料として用いるので、アンモニアに対して感度が大きく、選択性が高く、耐熱性が高いという利点がある。
ここで、ゼオライトを除外したのは、耐熱性が低いからである。詳しくは、ＮＨ3に対して良好な感度を有するＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3比が小さい（Ａｌ量が多い）ゼオライトは、耐熱性が悪く、特に排気系材料としては適さないという問題がある（例えば自動車技術会学術講演会前刷集９６１  ７３〜７６頁参照）。また、感応部が、主として（好ましくは全体が）前記固体超強酸物質からなる場合には、前記効果が高いので一層好適である。ここで、前記主としてとは、感応部全体を１００重量％としたときに、固体超強酸物質が８０重量％以上含有していることを意味する。
【００２１】
尚、前記ハメットの酸度関数ＨOは、あるハメット塩基［Ｂ］に溶媒がプロトンを与える能力の尺度となるもので、下記式（１）に対して、下記（２）のように表される。
【００２２】
【化１】
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（５）請求項５の発明は、前記固体超強酸物質は、ハメットの酸度関数ＨOにして−１１．９３以下であり、且つ、該固体超強酸物質を構成する主成分の酸化物と副成分の酸化物もしくは酸化物イオンとが、化学結合していることを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに記載のアンモニアセンサを要旨とする。
【００２３】
本発明では、前記固体超強酸物質を感応部の材料として用いるので、アンモニアに対して感度が大きく、選択性が高く、しかも、主成分、副成分とも酸化物（もしくは酸化物イオン）からなるので、耐熱性が高いという利点がある。
【００２４】
尚、副成分が主成分に結合した本発明の固体超強酸物質の比表面積としては、３５〜８０ｍ2／ｇ程度が好ましい。また、感応部が、主として（好ましくは全体が）前記固体超強酸物質からなる場合には、前記効果が高いので一層好適である。
【００２５】
（６）請求項６の発明は、前記固体超強酸物質は、Ｆｅ2Ｏ3、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、ＨｆＯ2、ＳｎＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2から選ばれる１種の酸化物を主成分とし、且つ、副成分としてＷＯ3、ＭｏＯ3、Ｂ2Ｏ3、ＳＯ42-、ＰＯ43-から選ばれる少なくとも１種を含有するものであることを特徴とする前記請求項１〜３のいずれかに記載のアンモニアセンサを要旨とする。
【００２６】
本発明では、前記固体超強酸物質（金属酸化物超強酸）を感応部の材料として用いるので、アンモニアガスを、応答性良く、且つ、感度良く、しかも、精度良く選択的に検知することができるという利点がある。
【００２７】
尚、感応部が、主として（好ましくは全体が）前記固体超強酸物質からなる場合には、前記効果が高いので一層好適である。
（７）請求項７の発明は、前記固体超強酸物質は、ＷＯ3／ＺｒＯ2、ＳＯ42-／ＺｒＯ2、ＰＯ43-／ＺｒＯ2、ＳＯ42-／ＴｉＯ2から選ばれる少なくとも１種であることを特徴とする前記請求項１〜６のいずれかに記載のアンモニアセンサを要旨とする。
【００２８】
本発明では、前記固体超強酸物質を感応部の材料として用いるので、アンモニアガスを、応答性良く、且つ、感度良く、しかも、精度良く選択的に検知することができるという利点がある。
【発明の効果】
【００２９】
以上詳述した様に、本発明により、アンモニアに対して選択性が高いアンモニアセンサが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下に、本発明のアンモニアセンサを実施するための最良の形態（実施例）について説明する。
【実施例１】
【００３１】
ａ）まず、本実施例のアンモニアセンサの構成について説明する。尚、図１はアンモニアセンサの主要部分及びその分解した状態を示す斜視図、図２は図１のＡ−Ａ’断面図である。
【００３２】
図１に示す様に、本実施例のアンモニアセンサ１は、アンモニア濃度に応じてインピーダンス（Ｚ）が変化する感ガス材料を用いたアンモニアセンサ１である。つまり、本実施例では、交流を印加したときに、アンモニア濃度に応じて感ガス材料のインピーダンス（Ｚ）が変化するので、そのインピーダンスの変化に基づいてアンモニア濃度を検出する。
【００３３】
前記アンモニアセンサ１の要部を構成する素子部３は、絶縁基板５上に、以下の様に、順次各構成要素が積層されたものである。尚、各構成要素が積層された絶縁基板５をセンサ素子部材６と称し、図２ではその先端側のみを示している。
【００３４】
つまり、アルミナ製の絶縁基板５上には、白金を主成分とする一対のリード部７、９が配置され、各リード部７、９には、一対の櫛歯電極１１、１３がそれぞれ接続され、櫛歯電極１１、１３の上には、櫛歯電極１１、１３の全てを覆うように前記感ガス材料からなる感応部（感応層）１５が配置されている。
【００３５】
特に本実施例では、前記櫛歯電極１１、１３は、主としてＰｔ及びＡｕの混合物からなる混合電極（又は主としてＰｔ及びＡｕの合金からなる電極、或いは主としてＰｔ及びＡｕの混合物及び合金からなる電極）として構成されている。
【００３６】
つまり、この櫛歯電極１１、１３には、Ｐｔ及びＡｕを７０重量％以上含み、残部が共素地や不純物となっており、特にＰｔ及びＡｕの合計量を１００重量％とした場合には、Ｐｔの含有量は１〜９９重量％の範囲に設定されている。
【００３７】
また、図２に示す様に、絶縁基板５内には、素子部３を加熱するヒータ１９と、測温抵抗体である温度センサ２１とが配置されている。このヒータ１９は主として白金からなり、温度センサ２１も主として白金からなる。
【００３８】
前記感応層１５は、厚膜印刷により形成された膜厚約３０μｍの多孔質の感ガス材料、即ち固体超強酸物質からなる。この固体超強酸物質は、周囲の雰囲気のアンモニア濃度が変化すると、そのインピーダンス（又は抵抗）が変化する性質を有する物質である。
【００３９】
具体的には、感応層１５は、Ｆｅ2Ｏ3、ＴｉＯ2、ＺｒＯ2、ＨｆＯ2、ＳｎＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＳｉＯ2等から選ばれる酸化物を主成分（含有量：９９〜７５mol％）とし、少なくともＳＯ42-、ＰＯ43-、ＷＯ3、ＭｏＯ3、Ｂ2Ｏ3等から選ばれる副成分（含有量：１〜２５mol％）を含むものである。
【００４０】
尚、感応層１５中の主成分及び副成分の含有量は、例えば高周波プラズマ発光分光分析装置（ＩＲＩＳ  Ａdvantage  ＩＣＡＰ、日本ジャーレルアッシュ社製）を用いて、各元素を定量し、酸化物に換算して求めることができる。
【００４１】
尚、カーボン等のデポジットなどが櫛歯電極１１、１３や感応層１５に付着することを防止するために、感応層１５の全てを覆う様に、厚膜印刷により膜厚約３０μｍの保護層を形成しても良い。この保護層としては、主としてマグネシアアルミナスピネル（ＭｇＡｌ2Ｏ4）からなる多孔質のものを適用できる。
【００４２】
ｂ）次に、本実施例のアンモニアセンサ１（特にセンサ素子部材６）の製造方法について説明する。
(1)まず、本実施例の要部である櫛歯電極１１、１３の形成に用いるＰｔ−Ａｕペーストの製造方法を説明する。
【００４３】
乳鉢にＰｔ粉末及びＡｕ粉末を所定の割合となるように量りとり、有機溶媒と分散剤とを入れ、らいかい機で４時間分散混合したした後、有機バインダ及び粘度調整剤を添加して、更に４時間湿式混合を行ってペースト化した。
【００４４】
尚、Ｐｔ−Ａｕペーストの製造方法は、上記方法に限定されるものではなく、例えば、３本ロールミルを用いた方法や、ポットミルを用いた方法でも良い。
(2)次に、絶縁基板５上に、リード部７、９及び櫛歯電極１１、１３を形成する。
【００４５】
まず、リード部７、９と絶縁基板５とを同時に形成する。具体的には、Ａｌ2Ｏ3のグリーンシート上に、リード部７、９の形状に開口部を有するマスク（図示せず）を用い、Ｐｔ系ペーストを印刷し、７０℃にて５分間乾燥した後、４００℃にて４時間脱脂し、１５２０℃にて２時間焼成して、リード部７、９を有する絶縁基板５を形成する。
【００４６】
一方、櫛歯電極１１、１３を形成するために、櫛歯電極１１、１３の形状の開口部を有するマスク（図示せず）を用い、リード部７、９の端部と櫛歯電極１１、１３の端部とを重ねる様にして、Ｐｔ−Ａｕペーストを印刷し、５５℃にて１時間乾燥し、例えば１２００℃で１時間焼成する。尚、Ｐｔ−Ａｕペーストの焼成温度は、ＰｔとＡｕとの比率によって変化する。
【００４７】
これにより、（Ｐｔの含有量がＰｔ及びＡｕの合計量に対して例えば１〜９９重量％の範囲の）主としてＰｔ及びＡｕの混合物からなる混合電極（又は主としてＰｔ及びＡｕの合金からなる電極、或いは主としてＰｔ及びＡｕの混合物及び合金からなる電極）である櫛歯電極１１、１３が形成される。
【００４８】
(3)次に、櫛歯電極１１、１３を覆って、感応層１５を形成する。
具体的には、オキシ硝酸ジルコニウムをＨ2Ｏに溶解させ、アンモニア水を加えてｐＨ８に調整する。得られた水酸化ジルコニウムを吸引濾過し、洗浄する。その後、乾燥機にて、１１０℃で２４時間乾燥後、電気炉にて、４００℃で２４時間焼成し、高比表面積のＺｒＯ2粉末を得る。
【００４９】
一方、タングステン酸アンモニウムをＨ2Ｏに溶解させ、アンモニア水を加えて、ｐＨ１０〜１１に調整された溶液（Ｗ溶液）を得る。
そして、前記の方法にて得られたＺｒＯ2粉末とＷ溶液とを用い、Ｗ量とＺｒＯ2量とを調整して、即ち、Ｗ量がＷＯ3換算で（ＷＯ3量及びＺｒＯ2量の合計量を１００重量％としたときに）２〜４０重量％の範囲の所定値となるように調整して、るつぼに入れる。その後、乾燥機にて、１２０℃で２４時間乾燥後、電気炉にて、８００℃で５時間焼成し、目的のＷを含有したＺｒＯ2の粉末を得る。
【００５０】
次に、乳鉢に、前記主成分及び副成分からなる粉末（Ｗを含有したＺｒＯ2粉末）と有機溶剤と分散剤とを入れ、らいかい機で４時間分散混合した後、バインダーを添加し、更に４時間湿式混合を行ってスラリーとし、粘度調整を行ってペーストとする。
【００５１】
そして、この感ガス材料のペーストを、前記櫛歯電極１１、１３を印刷した絶縁基板５上にスクリーン印刷し、厚膜化する。その後、６０℃で乾燥後、６００℃で１時間焼成して、感ガス材料のペーストを絶縁基板５上に焼き付ける。
【００５２】
これにより、本実施例のアンモニアセンサ１のセンサ素子部材６が完成する。
ｃ）実験例
次に、本実施例の効果を確認するために行った実験例１、２について説明する。まず、各実験例で用いる試料や実験装置等について説明する。
【００５３】
・アンモニアセンサ
本実験例では、前記実施例１の製造方法にて（但し下記表１の条件で櫛歯電極を形成）、実験に供する試料No.１〜８のアンモニアセンサを製造した。
【００５４】
【表１】
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・評価装置（ガス測定装置）
後述する実験例１、２に使用する評価装置として、モデルガス発生装置を使用した。
【００５５】
この評価装置では、評価装置におけるガス流中に、実験に用いるアンモニアセンサを配置し、所定電圧（２Ｖ）、所定の周波数（４００Ｈｚ）の交流電圧を、アンモニアセンサの両電極のリード部間に印加し、その際に両電極間に流れる電流値から、アンモニアセンサ（従って感応層）のインピーダンスを測定した。
【００５６】
尚、ＮＨ3の感度は、ＮＨ3＝０ppmのガス組成のインピーダンスをＺbase、ＮＨ3が混入したガス組成のインピーダンスをＺNH3としたとき、インピーダンスの変化量（Ｚbase−ＺNH3）をＺbaseで除した値、即ち、｛（Ｚbase−ＺNH3）／Ｚbase｝×１００として求めることができる。
【００５７】
以下、各実験例について、具体的に説明する。
（実験例１）
本実験例は、櫛歯電極のＰｔの含有量が異なる場合におけるアンモニアセンサのアンモニア選択性を調べたものである。
【００５８】
本実験例では、各試料のアンモニアセンサを前記評価装置に取り付け、ガス温：２８０℃、素子温：３５０℃の条件で、評価装置に、ＮＨ3濃度：１００ppm、妨害ガス（Ｃ3Ｈ6、ＣＯ、ＮＯ、ＮＯ2）：各１００ppm（但し、Ｃ3Ｈ6は１００ppmＣ）のガスを供給し、その際の各アンモニアセンサの感度を求めた。
【００５９】
その結果を、図３〜図６に記す。尚、図３〜図６では、各妨害ガスの感度は、１００ppmアンモニアに対する感度を１０００としたときの割合（規格値）で示している。
図３〜図６から明らかな様に、Ｐｔの含有量が０重量％（即ちＡｕ１００重量％）の場合には、アンモニアの感度（規格値１０００）に対して、各種の妨害ガスの感度（規格値）が、−６０〜２００程度と、比較的大きな影響を受けていることが分かる。
【００６０】
それに対して、Ｐtの含有量が１重量％以上の場合には、各種の妨害ガスの感度が、いずれもほぼ０となっており、アンモニアの選択性が極めて高いことが分かる。
（実験例２）
本実験例は、櫛歯電極の（Ｐｔ−Ａｕに対する）Ｐtの含有量が異なる場合におけるアンモニアセンサの感度を調べたものである。
【００６１】
本実験例では、各試料のアンモニアセンサを前記評価装置に取り付け、ガス温：２８０℃、素子温：３５０℃の条件で、評価装置に、ＮＨ3濃度：１００ppmのガスを供給し、その際の各アンモニアセンサの感度を求めた。その結果を、図７に記す。
【００６２】
この図７から明らかな様に、本発明の範囲の試料No.２〜７のアンモニアセンサは、十分な感度を有していることが分かる。
つまり、上述した実験例１、２から、Ｐｔの含有量が１〜９９重量％のものが、アンモニアに対する感度及びアンモニアの選択性に優れており、極めて好ましいものであることが分かる。
【００６３】
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実施しうることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】実施例１のアンモニアセンサの素子部の全体及び分解した状態を示す説明図である。
【図２】実施例１の素子部の図１におけるＡ−Ａ’断面図である。
【図３】実験例１のＰt含有量に対する妨害ガス等の感度の変化を示すグラフである。
【図４】実験例１のＰt含有量に対する妨害ガス等の感度の変化を示すグラフである。
【図５】実験例１のＰt含有量に対する妨害ガス等の感度の変化を示すグラフである。
【図６】実験例１のＰt含有量に対する妨害ガス等の感度の変化を示すグラフである。
【図７】実験例２のＰt含有量に対する感度の変化を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６５】
１…アンモニアセンサ
３…素子部
５…絶縁基板
６…センサ素子部材
７、９…リード部
１１、１３…櫛歯電極
１５…感応層
１９…ヒータ
２１…温度センサ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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