(57)【要約】【課題】  エリアセンサカメラは２次元的な広がりを有するレンズ等で集光された光を画素単位で取得するものである。このようなレンズ等で光を集光する場合には、「レンズ収差」による誤差が発生することが知られている。ＣＣＤカメラ内の撮像素子に結像される画像が実物とは異なる現象が発生することは広く一般に知られている。この「レンズ収差」による誤差の具体例としては、直線であるはずものが曲線の像として結像したり、或いは、被写体の実物の各部の比率と結像した像の各部の比率とが異なる等の問題があるため、測定精度には限界がある。【解決手段】  被洗浄物を洗浄した後に採取される採取液に含まれる付着物に関する情報を画像処理によって取得する清浄度測定装置において、  上記付着物を走査することによって撮影する撮像手段の一例としてラインセンサカメラ１５を設けた清浄度測定装置。【選択図】図１
2005024478.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を洗浄した後に採取される採取液に含まれる付着物に関する情報を画像処理によって取得する清浄度測定装置において、
上記付着物を走査することによって撮影する撮像手段を具備することを特徴とする清浄度測定装置。
【請求項２】
更に、前記付着物の重量を測定するための重量測定器を具備してなる請求項１記載の清浄度測定装置。
【請求項３】
前記付着物に関する情報に、該付着物の尖鋭度も含んでなる請求項１、又は請求項２のいずれかに記載の清浄度測定装置。
【請求項４】
前記走査は、前記撮像手段又は前記付着物の何れかの位置を変化させることによって行ってなる請求項１から請求項３のいずれかに記載の清浄度測定装置。
【請求項５】
被洗浄物を洗浄した後に採取される採取液に含まれる付着物に関する情報を画像処理によって取得する清浄度測定方法において、
上記付着物を走査することによって撮影する撮像手段による撮影工程と、
該撮影工程で撮影された画像の平均輝度値を算出した後に、該画像を二値化する二値化工程と、
該二値化工程で二値化された画像に基づいて付着物の径を算出する径算出工程と、
を備えることを特徴とする清浄度測定方法。
【請求項６】
更に、前記二値化工程で二値化された画像の画素に関し、
互いに隣接し且つ同じ情報を具備する画素を１つの集合と認識した後に、
該１つの集合と認識された画素の集合の総数を算出する総数算出工程を備えてなる請求項５記載の清浄度測定方法。
【請求項７】
更に、付着物を予め定められた方式に基づいて分類する分類工程を備えてなる請求項５、又は請求項６のいずれかに記載の清浄度測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄物を洗浄した後に採取される採取液に含まれる付着物に関する情報を画像処理によって取得する清浄度測定装置及び清浄度測定方法の技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、機械加工製品（金属製、樹脂製、ガラス製等）等の被洗浄物の表面に付着する金属屑やガラス粉等の付着物（以下、「粒子」ともいう）を洗浄水で洗い流し、その採取液から付着物に関する情報（例；大きさ、形状、個数等）を測定する清浄度測定装置と清浄度測定方法とがある。
このような従来の清浄度測定装置及び清浄度測定方法の一例としては、下記特許文献１に示すようなものがある。
この特許文献１に示される清浄度測定装置及び清浄度測定方法は、ＣＣＤカメラを用いて付着物を撮影し、その撮影した付着物の画像に対して画像処理等を行うことによって、該付着物に関する情報を測定することによって上記機械加工製品等の清浄度を測定するものである。
一般的にＣＣＤカメラはエリアセンサカメラの一例であり、その原理は、レンズで集光された光を細かく分割された画素単位で取得するものである。
即ち、従来においては、上記エリアセンサカメラを用いて被写体（ここでは上記付着物）の像を画素単位で取得することによって付着物に関する情報を取得していた。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２１８５３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、エリアセンサカメラを用いて付着物に関する情報を取得する場合に、以下に示すようなエリアセンサカメラ特有の特性のために、測定精度が向上し難い問題がある。
既に上述したように、エリアセンサカメラは２次元的な広がりを有するレンズ等で集光された光を画素単位で取得するものである。
このようなレンズ等で光を集光する場合には、「レンズ収差」（別称；「歪み」とも称される）による誤差が発生することが知られている。
ＣＣＤカメラ内の撮像素子に結像される画像の形状が、実物の形状とは異なる現象が発生することは広く一般に知られており、その主たる原因は上記「レンズ収差」である。
例えば、この「レンズ収差」による誤差の具体例としては、直線であるはずものが曲線の像として結像したり、或いは、被写体の実物の各部の比率と結像した像の各部の比率とが異なる等の問題がある。
このような誤差のため、エリアセンサカメラで撮影した画像に基づいて上記付着物に関する情報を測定した場合に、その測定精度には限界がある。
また、例えば、特に略円形のレンズを用いた場合に、撮像素子に結像した像のうち外縁部分（外円周付近）の像の収差による誤差は、中心部分の像と比較して大きい等の問題がある。
他にも、例えば、本来連続的な直線若しくは曲線として表現されるはずの画像が、上記収差のために、撮像素子の画素単位で不連続なものとして結像するような問題がある。
そこで従来は、上記不連続を連続化するためのソフトウェアを用いて補正していたが、この補正作業は画素単位で処理が行われるため、その処理に多大な時間が掛かる問題があった。
【０００５】
更に、画像品質を高めるために、エリアセンサカメラの画素数を増加すると、上記連続化の処理に更に多大な時間が掛かる等の問題が発生するため、エリアセンサカメラの画素数を安易に増加させることはできなかった。
また、高画素数のエリアセンサカメラを用いることが可能であったとしても、そのような高画素数のエリアセンサカメラは高価であるので、清浄度測定装置の製作コストを増加させてしまう問題がある。
更にまた、エリアセンサカメラは、動く被写体の像を取得する場合に十分にその性能を発揮することができないため、複数の被洗浄物を洗浄した後に採取される複数の付着物を連続的にコンベア上に載せ、コンベアを作動させることによって連続的にコンベア上の付着物を撮影することは不可能とも言える。
つまり、エリアセンサカメラを用いる場合には、その収差による誤差と画素数の制限とによって、付着物に関する情報を精度よく測定することが不可能であった。
そこで、本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、収差による誤差や画素数の制限を受けることなく、より精度良く付着物に関する情報を取得することが可能な清浄度測定装置、及び清浄度測定方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００７】
請求項１においては、被洗浄物を洗浄した後に採取される採取液に含まれる付着物に関する情報を画像処理によって取得する清浄度測定装置において、
上記付着物を走査することによって撮影する撮像手段を具備することを特徴とする清浄度測定装置として構成されている。
【０００８】
請求項２においては、更に、前記付着物の重量を測定するための重量測定器を具備してなる清浄度測定装置として構成されている。
【０００９】
請求項３においては、前記付着物に関する情報に、該付着物の尖鋭度も含んでなる清浄度測定装置として構成されている。
【００１０】
請求項４においては、前記走査は、前記撮像手段又は前記付着物の何れかの位置を変化させることによって行ってなる清浄度測定装置として構成されている。
【００１１】
請求項５においては、被洗浄物を洗浄した後に採取される採取液に含まれる付着物に関する情報を画像処理によって取得する清浄度測定方法において、
上記付着物を走査することによって撮影する撮像手段による撮影工程と、
該撮影工程で撮影された画像の平均輝度値を算出した後に、該画像を二値化する二値化工程と、
該二値化工程で二値化された画像に基づいて付着物の径を算出する径算出工程と、
を備えることを特徴とする清浄度測定方法として構成されている。
【００１２】
請求項６においては、更に、前記二値化工程で二値化された画像の画素に関し、
互いに隣接し且つ同じ情報を具備する画素を１つの集合と認識した後に、
該１つの集合と認識された画素の集合の総数を算出する総数算出工程を備えてなる清浄度測定方法として構成されている。
【００１３】
請求項７においては、更に、付着物を予め定められた方式に基づいて分類する分類工程を備えてなる清浄度測定方法として構成されている。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。
【００１５】
請求項１に示すように構成したので、本発明の清浄度測定装置は、走査しながら被写体をライン（線）で捉えるので、従来のＣＣＤカメラ等のエリアセンサカメラのように２次元的に（面で）捉える場合と異なって、レンズ収差等による原理上の誤差が発生しにくい。
したがって、本発明の清浄度測定装置は、従来のものと比較して、付着物に関する情報（例；大きさ、形状、個数等）を、より精度良く取得することが可能となる。
具体的には、レンズ収差等による原理上の誤差が発生しにくいため、従来の技術で問題であった、本来連続的な直線若しくは曲線として表現されるはずの画像が、レンズ収差のために撮像素子の画素単位で不連続なものとして結像するような問題を解消することが可能となる。
即ち、本来の付着物の形状をより正確に画像として取得することが可能となるので、大きさ、形状、個数等の付着物に関する情報をより正確に取得することが可能となる。
更に、従来は必要であった不連続な直線又は曲線を連続化するためのソフトウェアを用いて補正する処理も簡略化することが可能となるので、清浄度を測定する際における測定時間を短縮することが可能となる。
また、本発明の上記撮像手段は、従来のＣＣＤカメラ等のエリアセンサカメラと比較して動く被写体を撮影するのに適しているので、将来的に複数の付着物をコンベア等に載置して作動させることによって連続的に撮影することも可能となる。
【００１６】
請求項２に示すように構成したので、本発明の清浄度測定装置は、従来のものと比較して、精度良く「大きさ」、「形状」、「個数」の他に、付着物の重量も測定することが可能となるので、更に多くの付着物に関する情報を取得することが可能となって、より詳しく付着物に関する情報を測定することが可能となる。
【００１７】
請求項３に示すように構成したので、更に本発明の清浄度測定装置は、付着物の尖鋭度を測定することが可能となるので、特に付着物の尖鋭度に関して測定したいというユーザ（使用者）の要望に応えることが可能となる。
【００１８】
請求項４に示すように構成したので、前記走査が、前記撮像手段又は前記付着物の何れかの位置を変化させることによって行うことで、撮像手段と前記付着物とが相対運動を行うことになるので、結果的に撮像手段が付着物を容易に走査することが可能となる。
【００１９】
請求項５に示すように構成したので、本発明の清浄度測定方法は、上記清浄度測定装置の場合と同様に、走査しながら被写体をライン（線）で捉えるので、従来のＣＣＤカメラ等のエリアセンサカメラのように２次元的に（面で）捉える場合と異なって、レンズ収差等による原理上の誤差が発生しにくい。
したがって、本発明の清浄度測定方法は、従来のものと比較して、付着物に関する情報（例；大きさ、形状、個数等）を、より精度良く取得することが可能となる。
具体的には、レンズ収差等による原理上の誤差が発生しにくいため、従来の技術で問題であった、本来連続的な直線若しくは曲線として表現されるはずの画像が、レンズ収差のために撮像素子の画素単位で不連続なものとして結像するような問題を解消することが可能となる。
即ち、本来の付着物の形状をより正確に画像として取得することが可能となるので、大きさ、形状、個数等の付着物に関する情報をより正確に取得することが可能となる。
更に、従来は必要であった不連続な直線又は曲線を連続化するためのソフトウェアを用いて補正する処理も簡略化することが可能となるので、清浄度を測定する際における測定時間を短縮することが可能となる。
【００２０】
請求項６に示すように構成したので、例えば、付着物が二値化された画像データ中において黒で表示されるのであれば、その黒の画素同士を１つの集合とみなし、該集合の総数を算出することによって、該付着物の総数を算出する（総数算出工程）ことが容易に可能となる。
【００２１】
請求項７に示すように構成したので、付着物を分類することによって、被洗浄物に付着していた付着物を詳しく分析することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付図面を参照しながら、本発明を実施するための最良の形態について説明し、本発明の理解に供する。尚、以下の形態は、本発明を具体化した一例であって、本発明の技術的範囲を限定する性格のものではない。
図１は本発明に係る清浄度測定装置の正面図、図２は図１の清浄度測定装置の平面図及び側面図、図３は図１の清浄度測定装置に関する操作（作業）手順或いは動作手順を順に示すフローチャート、図４は図１の清浄度測定装置に関する粒子の画像による形状の確認についての操作手順或いは動作手順を順に示すフローチャート、図５はＣＰＵ５´にインストールされる検出粒子の演算処理手段（ソフトウェア）の一実施例を示すフローチャート、図６はラインセンサカメラ１５と付着物との関係を示した模式図である。
【００２３】
図１〜図２に示すように、清浄度測定装置１は台２上の一側にディスプレイ（モニタともいう）３が配備され、ディスプレイ３のすぐ下方に操作盤４が設置されている。ディスプレイ３の下方の台２の下には、パーソナルコンピュータ本体（ＰＣ本体）５が収納されている。
尚、図２（ａ）は清浄度測定装置の平面図であり、図２（ｂ）は清浄度測定装置の側面図である。
台２上のディスプレイ３と反対側の一端隅角部には吸引口６が開口され、この吸引口６上にはフィルター（濾紙ともいう）Ｆをセットできるようになっている。
そして、吸引口６上に、機械加工製品（金属製、樹脂製、ガラス製等）等の被洗浄物の表面に付着する金属屑やガラス粉等の付着物（以下、「粒子」ともいう）を洗浄水で洗い流した後に採取される採取液（サンプリング液ともいう）の注入容器としてのフラスコ７が下端出口７ａを下向きにして立設されている。
また、フラスコ７上端の注入口７ｂには、キャップ１０が着脱可能に嵌着されている。吸引口６の台２の下方には、採取液の受けタンク１７が配備され、その下方に吸引ポンプ（真空ポンプともいう）８が設置され、タンク（図示せず）を介して吸引口６に一端が接続されている。タンク１７内に溜まった採取液を捨てられるように、タンク取り出し用の開閉扉９が設けられている。なお、操作盤４上には、各種操作ボタン４ａが配置されている。
【００２４】
台２上の中央部寄りに、開閉扉１１ａ付きの開口（図示せず）を下部に備えた収納ケース１１が設置され、収納ケース１１内には付着物の重量を測定するための重量測定器（本例では、電子天秤）１２が配設されている。
重量測定器１２上には梯形（本例では円形）のフィルターＦの円筒状載置台（計量皿ともいう）１３が設置されている。
この載置台１３の上面（計量皿ともいう）１３ａ部付近には、乾燥機としてのヒータ１４が組み込まれており、載置台１３の上面の計量皿１３ａに載置されたフィルターＦをヒータ１４で加熱して乾燥するようになっている。
そして、フィルターＦの乾燥が済むと、重量が重量測定器１２で測定されるようになっている。
【００２５】
収納ケース１１内において載置台１３の上方には、ラインセンサカメラ１５が下向きに配置されている。
このラインセンサカメラ１５は、別称「ラインスキャンカメラ」とも称されるものであって、ここでいう被写体である付着物を走査することによって撮影する撮像手段の一例である。
更に、ラインセンサカメラ１５は、台２の横方向（ｘ方向）と縦方向（ｙ方向）に走査される走査機構（ｘ−ｙテーブルモータともいう）１６の走査部１６ａに懸架される構成となっており、走査部１６ａにパルスモータ（図示せず）を設けることによって、該走査部１６ａは該パルスモータを介して載置台１３上のフィルターＦを全体的に網羅するように移動（走査）することが可能となる。
【００２６】
また、ラインセンサカメラ１５は、走査しながら被写体をライン（線）で捉えるので、従来のＣＣＤカメラ等のエリアセンサカメラのように２次元的に（面で）捉える場合と異なって、レンズ収差等による原理上の誤差が発生しにくい。
したがって、ラインセンサカメラ１５で撮影した画像に基づいて、付着物に関する情報（例；大きさ、形状、個数等）を、より精度良く取得することが可能となる。
具体的には、レンズ収差等による原理上の誤差が発生しにくいため、従来の技術で問題であった、本来連続的な直線若しくは曲線として表現されるはずの画像が、レンズ収差のために撮像素子の画素単位で不連続なものとして結像するような問題を解消することが可能となる。
即ち、本来の付着物の形状をより正確に画像として取得することが可能となるので、大きさ、形状、個数等の付着物に関する情報をより正確に取得することが可能となる。
更に、従来は必要であった不連続な直線又は曲線を連続化するためのソフトウェアを用いて補正する処理も簡略化することが可能となるので、清浄度を測定する際における測定時間を短縮することが可能となる。
また、ラインセンサ１５は、ＣＣＤカメラ等のエリアセンサカメラと比較して動く被写体を撮影するのに適しているので、将来的に複数の付着物をコンベア等に載置して作動させることによって連続的に撮影することも可能となる。
【００２７】
また、上述においては、ラインセンサカメラ１５の位置を変化させることによって、付着物に対して走査する構成について述べているが、装置の構成によっては逆にラインセンサカメラ１５を固定し付着物の位置を変化させることによって、結果的にラインセンサカメラ１５が付着物を相対的に走査する構成としても良い。
即ち、図６のラインセンサカメラ１５と付着物１００とを清浄度測定装置の上面より見た平面図に模式的に示すように、ラインセンサカメラ１５の位置を変化させる場合は、例えば、ラインセンサカメラ１５を実線矢印の方向に移動させることによって、付着物を走査することが可能となる。つまり、上記走査部１６ａを実線矢印の方向に移動させる。
逆に、付着物１００側の位置を変化させる場合には、例えば、付着物１００が載せられる計量皿１３ａを支持する載置台１３を点線矢印の方向に移動させる。
これによって、結果的にラインセンサカメラ１５が実線矢印の方向に移動した場合と同様に、ラインセンサカメラ１５が付着物を相対的に走査することが可能となって、ラインセンサカメラ１５が付着物を撮影することが可能となる。
勿論、ラインセンサカメラ１５と載置台１３とを共に作動させても良い。
尚、載置台１３を点線矢印の方向に移動させる構成としては、例えば、載置台１３の下部にステッピングモータ等を駆動源とする車輪を設け、更に台２上にレール等を設けることによって、該車輪が該レール上を移動するような構成であっても良い。
【００２８】
ラインセンサカメラ１５により撮影されたフィルターＦ上の付着物の映像（画像）は、後述するように使用者が操作することにより、画像のままでＰＣ本体５に内蔵されたメモリ（図示せず）に記憶される。
そして、それらの記憶させた画像はディスプレイ３に映し出して見ることができるが、ＰＣ本体５内では、各付着物の大きさとして最大径および面積を検出し、ディスプレイ３の一側方寄りに付着物の画像とともに表示する。
本例では、ＰＣ本体５に、ラインセンサカメラ１５の走査機構１６の走査制御のほか、全ての付着物の大きさ（最大径）を検出したのち、数値の大きいものから順に並べて表示したり、所定大きさ（最大径）以上ごとの付着物の個数を自動的に算出して表示したりする後述の演算処理手段（ソフトウェア：図５）をインストールしている。
【００２９】
次に、上記のように構成された清浄度測定装置１について走査手順を図面に基づいて説明する。
【００３０】
図３に示すように、ＰＣ本体５の操作盤４のメインスイッチ４ａをＯＮすることにより、ソフトウエアが起動すると、ディスプレイ３上に下記のような操作（作業）手順あるいは動作手順が順に表示される。
【００３１】
（ステップＳ１０）
ソフトウェアが起動することによって、ディスプレイ３には、濾紙（フィルターＦ）を測定します。計量皿（１３ａ）へ載せ、（操作盤４上の）ＯＫボタンを押して下さいと表示される。
【００３２】
（ステップＳ２０）
ディスプレイ３には、濾紙重量を測定中です。しばらくお待ち下さいと表示される。
［この間、ヒータ１４で濾紙を乾燥したのち、重量測定器１２により濾紙の重量を測定する。］
（ステップＳ３０）
ディスプレイ３には、濾紙重量の測定が終わりました。濾紙をフラスコ（７の下端出口７ａ（吸引口６））へセットし、サンプリング液を注入して下さいと表示される。
【００３３】
（ステップＳ４０）
ディスプレイ３には、サンプリング液の注入が終わりましたら、（操作盤４上の）ＯＫボタン（４ａ）を押して下さいと表示される。
【００３４】
（ステップＳ５０）
ディスプレイ３には、濾過中です。しばらくお待ち下さいと表示される。
【００３５】
（ステップＳ６０）
ディスプレイ３には、濾過終了しました。濾紙を計量皿（１３ａ）へ載せ、（操作盤４上の）ＯＫボタン（４ａ）を押して下さいと表示される。
【００３６】
（ステップＳ７０）
ディスプレイ３には、計測中です。しばらくお待ち下さいと表示される。
【００３７】
この計測中における処理について説明する。
【００３８】
ヒータ１４で濾紙を乾燥した後に、重量測定器１２により濾紙の重量を測定する。
その後、ラインセンサカメラ１５を走査機構１６により走査させることによって、付着物を撮影する（撮影工程）。
該撮影工程で撮影された画像データは、例えば、後述するＰＣ本体５に設けられる書き換え可能なＲＡＭ等に記憶する。
上記撮影工程の後に、ラインセンサカメラ１５で撮影した画像の平均輝度値を算出し、該画像を例えば「白」又は「黒」等の２色に分ける二値化処理を行う（二値化工程）。
該二値化工程では、例えば、後述するＣＰＵ５’が上記ＲＡＭに記憶された画像データに対して行っても良い。
続いて、該二値化工程で二値化された画像データに基づいて、付着物の径を算出する（径算出工程）。
ここでいう径とは、一般的な円の意味を含むと共に、既に上述したような最大径（付着物上において互いに最も離れた端部同士の距離）や最小径（付着物上において互いに最も近接した端部同士の距離）の意味も含むものであって、付着物の大きさの寸法全般を意味するものである。
この径算出工程では、例えば以下のような処理を具体的に行っても良い。
【００３９】
ＣＰＵ５’は、上記二値化工程で二値化された画像データに関し、互いに隣接し且つ同じ情報を具備する画素同士を１つの集合と認識する。
即ち、例えば、二値化された画像データ中において、隣接した画素同士が「黒」等の同じ情報を具備するものであれば、その「黒」の情報を具備する画素同士を１つの集合とみなす処理を行う。
この処理によって、例えば、付着物が二値化された画像データ中において黒で表示されるのであればその黒の画素同士を１つの集合とみなし、ＣＰＵ５’が、該集合の径を画素数を計測することで求めたり、或いは該集合の総数を算出することによって、該付着物の径や総数を算出する（総数算出工程）ことが容易に可能となる。
【００４０】
更に、ＣＰＵ５’は、上述において算出した付着物の径を予め定められた方式に基づいて分類しても良い（分類工程）。
ここで予め定められた方式の具体例としては次のような場合がある。
例えば、清浄度測定装置の使用者によって、径の大きさ毎に段階的に分類されたルール（方式）が予め定められ、該予め定められた方式は清浄度測定装置のＰＣ本体５のＲＡＭ等に予め設定して記憶することが可能であるものとする。
この場合に、ＣＰＵ５’は、計測した付着物の径の大きさが上記分類において、どの段階に含まれるかを判断し、その判断結果をＲＡＭ等に記憶することで付着物を分類しても良い。
このように分類することによって、被洗浄物に付着していた付着物を詳しく分析することが可能となる。
【００４１】
また、付着物に関する情報に、該付着物の尖鋭度を含めても良い。
ここでいう尖鋭度とは、例えば、上述において画素数によって計測される付着物の大きさ基づいて、長軸方向の長さと短軸方向の長さとの倍率（比率）で算出されるものであっても良い。その他、パターン認識等によって尖鋭度を判定するものであっても良い。
このように、付着物の尖鋭度を算出することによって、特に付着物の尖鋭度に関して測定したいというユーザ（使用者）の要望に応えることが可能となる。
【００４２】
（ステップＳ８０）
ディスプレイ３には、例えば、測定結果が以下のように表示される。
計測が終了しました。粒子（付着物）の総重量＝１２ｍｇです。最大粒子の最大径＝１．０ｍｍ＊面積＝１．９［平方ミリメートル］です。計測データを保存しますか。ｙｅｓ／ｎｏボタンで選択すると表示される。（ｙｅｓボタンを押したと仮定する。）
【００４３】
（ステップＳ９０→Ｓ１００）
ディスプレイ３には、データを保存中です。しばらくお待ち下さいと表示される。
【００４４】
（ステップＳ１１０→Ｓ１２０）
ディスプレイ３には、粒子の形状を画像で確認しますか。ｙｅｓ／ｎｏボタンで選択すると表示される。（ｙｅｓボタンを押したと仮定する。）
【００４５】
（ステップＳ１３０）
ディスプレイ３上にラインセンサカメラ１５により映し出されている粒子（付着物）の画像と最大径が表示されるので、付着物の形状を確認することができる。なお、粒子の画像による形状の確認についての操作手順を、下記に詳しく説明する。
【００４６】
（ステップＳ２１０→Ｓ２２０）
図４に示すように、上記ステップＳ１２０で粒子の形状を画像で確認しますかと選択要求されるので、画像モニタするか否かをｙｅｓ／ｎｏボタンで選択する。（ｙｅｓボタンを押したと仮定する。）
（ステップＳ２３０）
ディスプレイ３には、ご覧になりたい粒子を上記の計測データ上でマウス操作により選択し、ファイル（記憶）されているか新たに入力するかをクリックして下さいと表示される。
【００４７】
（ステップＳ２４０）
ディスプレイ３には、終了するか否かをｙｅｓ／ｎｏボタンが表示される。（ｎｏボタンを押したと仮定する）
（ステップＳ２５０→Ｓ２６０→Ｓ２７０）
ファイルか入力かのうち、ファイルを選択すると、ファイルされた画像が表示されるが、ファイルされていない場合には、入力を選択すると、選択された粒子の位置にラインセンサカメラ１５が走査機構１６により移動し、ラインセンサカメラ１５が撮影中の画像を表示する（この状態では、画像としてはメモリには記憶されていない）。なお、ラインセンサカメラ１５が映し出した粒子の画像を拡大したり、元の大きさに戻したりすることもできる。その他、粒子の計測データに基づき、粒子の大きさを最大径０．○○ｍｍ（例えば０．１ｍｍ）以上と設定すれば、設定した粒子に該当する個数を表示したり、各最大径毎の粒子の個数を表示したり、最大径と個数との関係をグラフにして表示したり、それらの表示した内容を印刷したりすることもできる。
【００４８】
図５は、ＣＰＵ５’にインストールされる上記した検出粒子の演算処理手段（ソフトウエア）の一実施例を示すフローチャートである。
【００４９】
このフローチャートは、図４に示すように、最大粒子の検出および最大径の算出並びに粒子総重量の算出に関するものである。
【００５０】
（１）
電子天秤１２で測定されたフィルターＦだけの重量Ａがメモリに記憶される。
【００５１】
（２）
次に、電子天秤１２で測定されたフィルターＦと粒子（付着物）の合計重量Ｂがメモリに記憶される。
【００５２】
（３）
上記のＡとＢの重量が重量データとしてＣＰＵ５’に送られ、Ｂ−Ａ＝粒子総重量Ｃが算出され、ディスプレイ３上に表示される。
【００５３】
（４）
ｘ−ｙテーブルモータが作動することによりラインセンサカメラ１５が移動し、フィルターＦ上の粒子を列状に順に撮影する。
【００５４】
（５）
こうして撮影された粒子は、撮影順に画像情報としてＣＰＵ５’に取り込まれる。
【００５５】
（６）
ＣＰＵ５’に取り込まれた各粒子の画像情報は、対象とされる被洗浄物に応じて予め設定されている粒子の色調と外郭からなる判別基準に基づいて判別データ化される。
【００５６】
（７）
各粒子の画像データは、画素（ドット）に分析されて画素数が読み取られる。このとき、一直線状に並んだ画素数が全方向において読み取られ、それらのうちの最大の画素数が各粒子の最大径として算出されるとともに、本例ではさらに各粒子を構成している画素数も読み取られ、これが粒子の面積として算出されて各粒子ごとに演算処理される。なお、粒子の最大径は、本例の場合０．０３ｍｍ×最大画素数で算出され、面積は（０．０３ｍｍ）２×画素数で算出される。
【００５７】
（８）
各粒子の最大径に基づいて大きいものから順番に整列され、順位・最大径・面積が同時にディスプレイ３上に表示される。また、粒子の順位（例えばＮｏ．２）をキーボード上のカーソルで選択すれば、その順位の粒子の画像もディスプレイ３上に表示される。
【００５８】
尚、図示は省略するが、使用者がＰＣ本体５のキーボードから、付着物（粒子）の許容最大径と許容総重量および所定径以上の許容個数をＣＰＵ５’に入力することができ、この場合には、粒子中の最大径が許容最大径を超えているか否か、および粒子の総重量が許容総重量を超えているか否か、あるいはそれらに加えて粒子中において所定径以上の個数が許容個数を超えているか否かを、上記したディスプレイ３上に表示される各粒子のデータと比較し、即座に洗浄度の合否判定が自動的になされるようにすることができる。この場合のフローチャータは、使用者が任意に入力する複数種類の合否データに対し測定される上記粒子の各データを比較する手段を設け、入力される全ての合否データをクリアしていると合格、一つでも合否データをクリアしていないと不合格とディスプレイ３上に表示させればよい。
【００５９】
以上に本発明の清浄度測定装置の一実施例について説明したが、本発明は下記のように実施あるいは使用することができる。
【００６０】
（Ａ）
あらかじめ基準になる清浄度のデータ（例えば、最大径０．○○ｍｍ以上の粒子が○○個以下）を本発明の清浄度測定装置１のＰＣ本体５にインプットしておき、基準の清浄度をクリアしているか否かを即座に判定することができる。
【００６１】
（Ｂ）
例えば、加工部品を部品専用の洗浄装置により洗浄したのちに、洗浄済みの部品を入念に洗浄し、その洗浄後の洗浄水を採取して本発明の清浄度測定装置１で測定して規定の洗浄状態に達しているか否かを判断することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明に係る清浄度測定装置の正面図。
【図２】図１の清浄度測定装置の平面図及び側面図。
【図３】図１の清浄度測定装置に関する操作（作業）手順或いは動作手順を順に示すフローチャート。
【図４】図１の清浄度測定装置に関する粒子の画像による形状の確認についての操作手順或いは動作手順を順に示すフローチャート。
【図５】ＣＰＵ５´にインストールされる検出粒子の演算処理手段（ソフトウェア）の一実施例を示すフローチャート。
【図６】ラインセンサカメラ１５と付着物との関係を示した模式図。
【符号の説明】
【００６３】
１    清浄度測定装置
３    ディスプレイ
４    操作盤
４ａ    操作盤４上の各種ボタン
５    ＰＣ本体
５’  ＣＰＵ
７    フラスコ
１２    重量測定器（電子天秤）
１３    載置台
１３ａ    計量皿
１４    ヒータ
１５    ラインセンサカメラ（ラインスキャンカメラ）
Ｆ    フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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