(57)【要約】  【課題】  光量調節方法および装置において、感光材料を露光するための、複数の光の互いの波長の相違によって生じる感光材料の露光ムラを抑制する。  【解決手段】  感光材料１の露光レベルを予め定められた所定の一定露光レベルにせしめる光量と波長との関係を満たす光を光学フィルタを通して受光部２０で受光したときに、この受光部２０から所定の一定出力値が出力されるように透過特性が定められた光学フィルタである光学フィルタ４０を用意し、各レーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ…から射出された各レーザ光を上記光学フィルタ４０を通して受光部２０で個別に受光して受光部２０から出力される各レーザ光の出力値が上記所定の一定出力値になるように各レーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ…から射出される各レーザ光の光量を調節する。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
感光材料露光用の複数の光照射手段から射出された各光の光量を調節する光量調節方法であって、
感光材料の露光レベルを予め定められた所定の一定露光レベルにせしめる光量と波長との関係を満たす光を光学フィルタを通して受光手段で受光したときに、該受光手段から所定の一定出力値が出力されるように透過特性が定められた前記光学フィルタを用意し、
前記各光照射手段から射出された各光を前記光学フィルタを通して前記受光手段で個別に受光し、各光の個別の受光により該受光手段から出力される各出力値が前記所定の一定出力値になるように各光照射手段から射出される各光の光量を調節することを特徴とする光量調節方法。
【請求項２】
感光材料露光用の複数の光照射手段から射出された各光を個別に受光する受光手段と、
前記光照射手段と前記受光手段との間に配置された光学フィルタであって、感光材料の露光レベルを予め定められた所定の一定露光レベルにせしめる光量と波長との関係を満たす光を該光学フィルタを通して前記受光手段で受光したときに、該受光手段から所定の一定出力値が出力されるように透過特性が定められた前記光学フィルタと、
前記各光照射手段から射出された各光を前記光学フィルタを通して前記受光手段で個別に受光し、各光の個別の受光により該受光手段から出力される各出力値が前記所定の一定出力値になるように各光照射手段から射出される各光の光量を調節する光量調節手段とを備えたことを特徴とする光量調節装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光量調節方法および装置に関し、詳しくは、複数の光照射手段から射出される各光の光量を調節する光量調節方法および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数のレーザ光源から射出されるレーザ光を用いて感光材料に画像情報の記録を行う画像記録装置が知られている。このような装置においては、複数のレーザ光源から射出された各レーザ光の光量を、シリコンを主な構成材料とする受光素子を用いて測定し、各レーザ光の光量が予め定められた所定の光量となるように調節している。また、上記シリコンを主な構成材料とする受光素子等は、一般に受光する光の波長によって感度が異なるので、すなわち、上記受光素子により互いに波長が異なるレーザ光を受光した場合には、受光した各レーザ光の光量が同じであっても受光素子から出力される各出力値は各レーザ光毎にそれぞれ異なるので、上記出力値が各レーザ光の光量をより正確に示すものとなるように、これらの出力値を各レーザ光の波長に応じて補正している。（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特公平０７−１１７４４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、レーザ光の照射を受けて画像が露光される感光材料についても照射を受けるレーザ光の波長によって露光の感度が異なる。すなわち、上記感光材料が波長の互いに異なるレーザ光を受光した場合には、各レーザ光の光量が等しくても各レーザ光によって露光される感光材料の露光レベルが異なる。そのため、上記のように受光素子からの出力を波長に応じて補正した出力値に基づいて各レーザ光の光量が互いに等しくなるように調節した後に各レーザ光により感光材料を露光しても、この感光材料に記録される画像の濃度にムラが生じるという問題がある。
【０００４】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、感光材料を露光するための、複数の光の互いの波長の相違によって生じる感光材料の露光ムラを抑制することができる光量調節方法および装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の光量調節方法は、感光材料露光用の複数の光照射手段から射出された各光の光量を調節する光量調節方法であって、感光材料の露光レベルを予め定められた所定の一定露光レベルにせしめる光量と波長との関係を満たす光を光学フィルタを通して受光手段で受光したときに、この受光手段から所定の一定出力値が出力されるように透過特性が定められた前記光学フィルタを用意し、各光照射手段から射出された各光を前記光学フィルタを通して受光手段で個別に受光し、各光の個別の受光によりこの受光手段から出力される各出力値が前記所定の一定出力値になるように各光照射手段から射出される各光の光量を調節することを特徴とするものである。
【０００６】
本発明の光量調節装置は、感光材料露光用の複数の光照射手段から射出された各光を個別に受光する受光手段と、前記光照射手段と前記受光手段との間に配置された光学フィルタであって、感光材料の露光レベルを予め定められた所定の一定露光レベルにせしめる光量と波長との関係を満たす光をこの光学フィルタを通して前記受光手段で受光したときに、この受光手段から所定の一定出力値が出力されるように透過特性が定められた前記光学フィルタと、各光照射手段から射出された各光を前記光学フィルタを通して前記受光手段で個別に受光し、各光の個別の受光により受光手段から出力される各出力値が前記所定の一定出力値になるように各光照射手段から射出される各光の光量を調節する光量調節手段とを備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
前記「感光材料の露光レベルを予め定められた所定の一定露光レベルにせしめる」とは、感光材料の露光状態を予め定められた所定の一定の露光状態にすることを意味するものであり、例えば、感光材料中の互いに異なる領域に同じ露光レベルで露光された画像は、この感光材料を現像すると同一濃度を示す画像となる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の光量調節方法および装置は、感光材料の露光レベルを予め定められた所定の一定露光レベルにせしめる光量と波長との関係を満たす光を光学フィルタを通して受光手段で受光したときに、この受光手段から所定の一定出力値が出力されるように透過特性が定められた上記光学フィルタを用意し、各光照射手段から射出された各光を上記光学フィルタを通して受光手段で個別に受光し、各光の個別の受光によりこの受光手段から出力される各出力値が上記所定の一定出力値になるように各光照射手段から射出される各光の光量を調節するようにしたので、各光照射手段から射出される各光の波長が互いに異なっていても、予め定められた所定の一定露光レベルで感光材料が露光されるように各光の光量を調節することができ、これにより、上記各光の互いの波長の相違によって生じる感光材料の露光ムラを抑制することができる。また、各光を受光した受光手段から出力される各出力値が上記所定の一定出力値になるように各光照射手段から射出される各光の光量を調節したときに、感光材料が予め定められた所定の一定露光レベルで露光されるようにしたので、各光の光量の調節を容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。図１は本発明の光量調節方法を実施する光量調節装置を搭載した露光装置の概略構成を示す斜視図、図２は縦軸に出力を横軸に波長を示す座標軸上に受光部から出力される所定の一定出力値を示した図である。
【００１０】
露光装置１００に搭載されている本発明の光量調節装置１０１は、感光材料露光用の複数の光照射手段であるレーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ…（各レーザ光照射部をまとめてレーザ光照射部１０ともいう）から射出された、各レーザ光を個別に受光する受光部２０と、各レーザ光照射部１０と受光部２０との間に配置された光学フィルタ４０と、各レーザ光照射部１０から射出される各光の光量を調節する光量調節部３０とを備えている。
【００１１】
光学フィルタ４０は、感光材料１の露光レベルを予め定められた所定の一定露光レベルにせしめる光量と波長との関係を満たす光をこの光学フィルタ４０を通して受光部２０で受光したときに、受光部２０から所定の一定出力値が出力されるように透過特性が定められている。
【００１２】
感光材料１の露光レベルを予め定められた所定の一定露光レベルにせしめる光量と波長との関係を満たす光をこの光学フィルタ４０を通して受光部２０で受光したときに受光部２０から出力される出力値は、図２の直線Ｈで示されるように受光した光の波長によらず一定の値となり、この一定の値Ｑｏが上記所定の一定出力値となる。
【００１３】
上記光学フィルタ４０は、例えば、ガラス基板上に薄膜を積層する一般的な方法によって作成することができる。
【００１４】
光量調節部３０は、各レーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ…から射出された各レーザ光を光学フィルタ４０を通して個別に受光した受光部２０が出力する各出力値を、上記所定の一定出力値である値Ｑｏに一致させるように各レーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ…から射出される各レーザ光の光量を調節するものである。
【００１５】
上記レーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ…は、図１の矢印Ｘ方向に直線的に並べられて露光装置１００に配置されており、上記レーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ…それぞれに対応するレーザ光源駆動部１１Ａ、１１Ｂ…（各レーザ光源駆動部をまとめてレーザ光源駆動部１１ともいう）によって駆動される。なお、上記各レーザ光照射部１０は、例えば半導体レーザで構成されたものとすることができる。
【００１６】
受光部２０はシリコンを主な構成材料とする受光素子からなり、この受光部２０は、移送部６１により上記矢印Ｘ方向に移送されて、上記レーザ光照射部１０から射出される各レーザ光を受光する各受光位置に順次配置される。移送部６１によって受光部２０が移送されるときには、受光部２０の受光面上に配置されている上記光学フィルタ４０も受光部２０に配置されたままこの受光部２０とともに移送される。
【００１７】
感光材料１は、２次元状の回路パターンを形成するためのフォトレジストが塗布されたプリント基板作成用の基板としたり、液晶表示基板作成用の基板としたり、あるいはプラズマディスプレイ基板作成用の基板とすることができる。
【００１８】
露光装置１００は、上記レーザ光照射部１０およびレーザ光源駆動部１１の他に、上記感光材料１と移送部６１を配置した載置台６２、載置台６２を上記矢印Ｘ方向と直交する図１中の矢印Ｙ方向に搬送する搬送部６３、および上記各構成要素の動作や信号の入出力のタイミング等、装置全体の動作を制御するコントローラ５０を備えている。なお、上記移送部６１と感光材料１とは上記矢印Ｙ方向に並べられて載置台６２上に配置されている。
【００１９】
なお、受光部２０から出力される出力値は、この受光部２０が受光したレーザ光の単位時間当りの光量を示す出力値としたり、あるいはレーザ光照射部１０から射出されるレーザ光がパルス状のレーザ光である場合には、受光部２０が受光した上記パルス状のレーザ光の１パルス分の光量を示す出力値等とすることができる。
【００２０】
以下、上記光量調節装置１０１により、レーザ光照射部１０から射出されるレーザ光の光量を調節する場合について説明する。
【００２１】
移送部６１が、受光部２０を上記矢印Ｘ方向に移送し、この受光部２０をレーザ光照射部１０Ａから射出されたレーザ光を受光する受光位置Ｇａに位置させる。受光位置Ｇａに位置した受光部２０は、レーザ光照射部１０Ａから射出された波長λａの感光材料１を露光するレーザ光を受光し、このレーザ光の受光により受光部２０から出力された上記レーザ光の光量を示す出力値を光量調節部３０に入力する。
【００２２】
光量調節部３０は、レーザ光照射部１０Ａから射出された上記感光材料１を露光するレーザ光の受光により受光部２０から出力される出力値が上記値Ｑｏになるようにレーザ光源駆動部１１Ａを制御してこのレーザ光源駆動部１１Ａがレーザ光照射部１０Ａに供給する駆動電流を調節する（図２参照）。受光部２０から出力される出力値が上記値Ｑｏとなるように上記レーザ光照射部１０Ａから射出されるレーザ光の光量が調節されると、光量調節部３０から上記光量を固定する信号が出力され、この信号を入力したレーザ光源駆動部１１Ａがレーザ光照射部１０Ａから射出されるレーザ光の光量を固定（クランプ）する。これにより、レーザ光照射部１０Ａから射出されるレーザ光の光量の調節が終了する。
【００２３】
つづいて、移送部６１が、受光部２０を矢印Ｘ方向に移送し、この受光部２０をレーザ光照射部１０Ｂから射出されたレーザ光を受光する受光位置Ｇｂに位置させる。受光位置Ｇｂに位置した受光部２０は、レーザ光照射部１０Ｂから射出された波長λｂのレーザ光を受光し、上記レーザ光の受光により受光部２０から出力された出力値を光量調節部３０に入力する。
【００２４】
光量調節部３０は、上記と同様にレーザ光照射部１０Ｂから射出されたレーザ光の受光により受光部２０から出力される出力値が上記値Ｑｏになるように、レーザ光源駆動部１１Ｂを制御してレーザ光照射部１０Ｂに供給する駆動電流を調節する。受光部２０から出力される出力値が上記値Ｑｏとなるように上記レーザ光照射部１０Ｂから射出されるレーザ光の光量が調節されると、上記と同様に光量調節部３０からの信号を入力したレーザ光源駆動部１１Ｂがレーザ光照射部１０Ｂから射出されるレーザ光の光量を固定（クランプ）する。これにより、レーザ光照射部１０Ｂから射出されるレーザ光の光量の調節が終了する。
【００２５】
以後、移送部６１により、受光部２０をレーザ光照射部１０Ｃ、１０Ｄ…から射出される各レーザ光を受光する受光位置Ｇｃ、Ｇｄ…に順次位置させ、光量調節部３０により、上記受光位置Ｇｃ、Ｇｄ…に位置する毎に受光部２０から出力される出力値が上記値Ｑｏとなるように各レーザ光の光量を調節し、レーザ光源駆動部１１Ｃ、１１Ｄ…により、各レーザ光照射部１０Ｃ、１０Ｄ…それぞれから射出されるレーザ光の光量を固定（クランプ）する。このようにして、各レーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｄ…から射出されるレーザ光の光量の調節が全て終了する。
【００２６】
各レーザ光照射部１０から射出されるレーザ光の光量の調節が全て終了すると、搬送部６３が載置台６２を上記各レーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ…が並ぶ上記矢印Ｘ方向と直交する矢印Ｙ方向に搬送する。
【００２７】
コントローラ５０は、上記載置台６２の搬送と同期して、予め画像描画部６５に入力され記憶された画像データが示す画像が載置台６２に載置された感光材料１上に露光されるように、各レーザ光照射部１０あるいは各レーザ光源駆動部１１を制御して各レーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ…からのレーザ光の射出をＯＮ・ＯＦＦさせる。これにより、感光材料１に上記画像データが示す画像が露光される。ここで、各レーザ光照射部１０Ａ、１０Ｂ…から射出されるレーザ光の光量は上記各レーザ光毎に固定（クランプ）された光量となっているので、感光材料１に露光される画像の露光レベルを上記予め定められた所定の一定露光レベルにすることができる。
【００２８】
なお、各レーザ光照射部から射出される各レーザ光の光量の調節は、レーザ光源に供給する駆動電流を調節する場合に限らず、レーザ光が伝播する光路の断面積を制限する絞りをレーザ光照射部に配置してこの絞りの調節によりレーザ光の光量の調節を行うようにしてもよい。
【００２９】
上記のように各レーザ光照射部から射出される各レーザ光の光量の調節を行うことにより、各レーザ光の互いの波長に相違があっても感光材料を予め定められた所定の一定露光レベルに露光することができ、感光材料の露光ムラを抑制することができる。また、温度や経時変化によりレーザ光照射部から射出されるレーザ光の波長がシフトした場合でも、個々のレーザ光照射部から射出されるレーザ光の波長を測定することなく各レーザ光の光量を上記と同様に調節することができ、上記波長の測定等に要する時間とコストを削減できる。
【００３０】
なお、上記光学フィルタは、受光部の受光面上に配置する場合に限らず、上記受光面から離れたレーザ光照射部と受光部との間に配置するようにしてもよい。
【００３１】
また、受光部は、シリコンを主な構成材料とする受光素子から構成されたものに限らず、受光した光の光量を示す出力値を出力するものであればどのような構成からなるものでもよい。
【００３２】
また、光照射手段は、単一のレーザ光源から射出された波長範囲が狭いレーザ光を射出するものであってもよいし、あるいは、複数のレーザ光源から射出された各レーザ光を合波してなる波長範囲が広い合波レーザ光を射出するものであってもよい。さらに、この光照射手段は、レーザ光を射出するものに限らずハロゲンランプや水銀ランプ等から発せられた波長範囲が広い光を射出するものとしてもよい。すなわち、波長範囲が広い光であっても、この光を受光した受光部から出力される上記光の光量を示す出力値を上記所定の一定出力値に一致させることにより、感光材料を上記所定の一定露光レベルで露光することができる。このように波長範囲が広い光に対しても、上記と同様に本発明の光量調節方法および装置を適用することができるので、本出願人により既に提案されている特許文献（特開２００２−２０２４４２等）に記載されている露光装置にも上記光量調節方式を適用することができる。すなわち、本発明の光量調節方式を用いて、上記提案されている露光装置の複数の光照射手段である各露光ヘッドから射出される各合波レーザ光の光量の調節を行うことができる。
【００３３】
以下、光学フィルタの透過特性の適切な設定によって、感光材料に露光される画像に生じる画質ムラを抑制する作用について詳しく説明する。なお、上記画質のムラは、例えば、複数の光照射部から射出される波長が互いに異なる各光を用いて感光材料上に画像を露光する場合において、受光部の感度および感光材料の感度が波長依存性を有するために生じるものである。図３は受光部の分光感度特性を示す図、図４は受光部の分光感度特性と感光材料の適正露光光量の波長依存性とに起因して生じる光量調節誤差を示す図、図５は受光部に光学フィルタを配置した場合の調節光量と適正照射光量の関係を示す図、図６は光学フィルタを配置した受光部の実質分光感度特性を示す図である。上記「適正露光光量」、「光量調節誤差」、「適正照射光量」、「調節光量」および「実質分光感度特性」等については以下の記述内容中で説明する。
【００３４】
複数の光照射部から射出される各光のピーク波長がλｏ〜λｏ+Δλの範囲に広がっていて、Δλの波長範囲で上記各ピーク波長がばらつく場合を考える。図３の線Ｊは、シリコンを主な材料とする受光素子を用いて構成された受光部の一般的な分光感度特性を示している。さらに、この図３を上記波長範囲において拡大した図を図４（ａ）に示す。図４（ａ）中の線Ｊ１１は上記分光感度特性を拡大して示している。
【００３５】
受光部が受光した光の単位時間当りの光量Ｐと受光部で光電変換され出力された上記光量Ｐを示す出力値である光電変換電流値Ｉと受光部の感度ηとの関係は、下記式１で表すことができる。
【００３６】
Ｉ＝η・Ｐ          式１
ここで、受光部の感度ηは波長依存性を有するので、受光部から一定の出力値が出力されるときに光照射部から射出される各光の単位時間当りの光量（以後、「調節光量」という）は波長によって変動する。例えば、波長依存性を有する受光部の長波長側（λｏ＋△λ）の感度が図４（ａ）中の線Ｊ１１に示すように、短波長側（λｏ）の感度に比して１０％高い場合における上記調節光量は、図４（ｃ）中の線Ｊ１４に示すように、長波長側における光量が短波長側における光量に比して概略１０％小さくなる。また、感光材料の露光レベルを予め定められた所定の一定露光レベルにせしめる光量である「適正露光光量」は露光に使用される波長に応じて変動し、例えば、図４（ｂ）中の線Ｊ１２に示すように短波長側の適正露光光量より長波長側の適正露光光量の方が大きくなる場合においては、露光装置で感光材料を予め定められた所定の一定露光レベルに露光するために光照射部から射出すべき光の単位時間当りの光量である「適正照射光量」は図４（ｃ）中の線Ｊ１３で示すように短波長側の光量より長波長側の光量の方が大きくなる。なお、光照射部から射出された光の光量が上記適正照射光量である場合に感光材料が上記適正露光光量で露光される。
【００３７】
したがって、受光部から所定の一定出力値が出力されるように光照射部から射出される光の単位時間当りの光量を調節しても、上記線Ｊ１４と線Ｊ１３との差で示される分だけ光量の調節誤差（以後、「光量調節誤差」という）が生じ、上記調節光量（図４（ｃ）中の線Ｊ１４参照）は適正照射光量（図４（ｃ）中の線Ｊ１３参照）に一致しない。すなわち、上記各波長における光は、感光材料の露光レベルを一定露光レベルにせしめる光量と波長との関係を満たすものとはならない。
【００３８】
その結果、波長に応じて光量調節誤差の大きさは異なるものとなり、例えば、図４（ｃ）中の線Ｊ１４で示すように、複数の光照射部から射出される各光のうちの波長λｏに近い短波長側の光は感光材料を適正露光光量で露光することができるが、波長λｏ＋Δλに近い長波長側の光は適正露光光量を大きく下回った光量で感光材料を露光することになり、複数の光照射部から射出された互いに波長が異なる各光を用いて感光材料を露光した画像に画質ムラが発生する。
【００３９】
これに対して、上記光量調節誤差が小さくなるように、すなわち調節光量を適正照射光量に一致させるようにし、この状態で受光部から所定の一定出力値が出力されるように光照射部から射出される各光の単位時間当りの光量を調節すれば、各光照射部から射出される各光の光量を上記適正照射光量に一致させることができ、これにより、感光材料を予め定められた所定の一定露光レベルに露光することができる。
【００４０】
そこで、受光部の前面に光学フィルタを配置し、この光学フィルタにより上記波長による各特性の変化を相殺するようにして上記調節光量を適正照射光量に一致させるようにする。すなわち、上記光学フィルタの透過特性と受光部の分光感度とを合成した実質的な受光部の分光感度（以後、「実質分光感度」という）を、調節光量と適正照射光量とが一致するように定める。これにより、受光部の感度の波長依存性（図４（ａ）参照）および感光材料の適正露光光量の波長依存性（図４（ｂ）参照）による影響が上記実質分光感度特性で相殺され、上記受光部から所定の一定出力値が出力されるように光照射部から射出される光の光量を調節することにより、各光照射部から射出される各光の単位時間当りの光量を上記適正照射光量に一致させることができる。
【００４１】
より具体的には、図５（ｂ）の線Ｊ１２に示す感光材料の適正露光光量に基づいて適正照射光量が図５（ｃ）の線Ｊ１３に示されるように定められ、調節光量（図５（ｃ）の線Ｊ３４に示す）が上記適正照射光量（図５（ｃ）の線Ｊ１３）に一致するように、受光部の実質分光感度（図５（ａ）の線Ｊ３１に示す）を設定する。実質分光感度の設定は、光学フィルタの透過特性を次のように設定することにより行う。この光学フィルタの透過特性と図６（ｂ）の線Ｊ１１で示す受光部の分光感度特性との合成により、受光部の実質分光感度特性が定められるので、この合成した実質分光感度特性が図６（ｃ）の線Ｊ３１で示すもの（すなわち上記図５（ａ）の線Ｊ３１で示すもの）となるように、線Ｊ３１で示される実質分光感度と線Ｊ１１で示される分光感度とから光学フィルタの透過特性（図６（ａ）の線Ｊ２１で示す）を定める。
【００４２】
その後、受光部から所定の一定出力値が出力されるように各光照射部から射出される各光の単位時間当りの光量を調節し、上記各光の光量を上記適正照射光量に一致させる。これにより、複数の光照射部から射出される各光の互いの波長の違いを考慮することなく、受光部からの出力値が所定の一定値になるように調節するだけで、各光照射部から射出される光の光量が適正照射光量となるように調節することができ、感光材料に露光される画像に生じる画質ムラを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の光量調節装置の概略構成を示す斜視図
【図２】受光部から出力される所定の一定出力値を示す図
【図３】受光部の分光感度特性を示す図
【図４】受光部の分光感度特性と感光材料の適正露光光量とに起因して生じる光量調節誤差を示す図
【図５】受光部に光学フィルタを配置した場合の調節光量と適正照射光量の関係を示す図
【図６】光学フィルタを配置した受光部の実質分光感度特性を示す図
【符号の説明】
【００４４】
１０    レーザ光照射部
２０    受光部
４０    光学フィルタ
【図１】
2005083872.tif 000003
【図２】
2005083872.tif 000004
【図３】
2005083872.tif 000005
【図４】
2005083872.tif 000006
【図５】
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【図６】
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