(57)【要約】【課題】スリット状のノズル開口の長手方向における吐出流量むらの発生を抑える。【解決手段】ノズル３２を内管４０とノズル本体４２とから構成する。ノズル本体４２にスリット状のノズル開口４１を形成する。内管４０の内外を連通する吐出孔４５をノズル開口４１の反対側の位置に形成し、液流路４６の長さを長くする。ノズル開口４１の長手方向に沿って所定の間隔で、補強ピン４８をノズル本体４２及び内管４０を貫通するように取り付ける。補強ピン４８を取り付ける際に、互いに隣接する補強ピン４８の取付角度を変える。液流路４６内を横切っている補強ピン４８の中で最もノズル開口に近いものの下流側に、処理液の流通を規制する堰部材５０を設ける。ノズル開口４１の長手方向における吐出流量むらの発生を抑えることができる。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリット状のノズル開口を有するノズル本体と、このノズル本体内に前記ノズル開口の長手方向に略平行に設けられ、処理液が供給される内管と、この内管に設けられ、前記処理液を前記ノズル開口に供給するために前記長手方向に所定間隔で配置される吐出孔とからなる合成樹脂製の処理液吐出装置において、
前記吐出孔を前記ノズル開口の反対側に形成するとともに、この吐出孔から吐出した前記処理液をノズル開口に流通させる液流路と、
前記ノズル本体及び前記内管を貫通してこれらを固定するように設けられ、ノズル開口の変形を防止する補強部材とを有することを特徴とする処理液吐出装置。
【請求項２】
前記補強部材は、前記長手方向に所定の間隔で設けられていることを特徴とする請求項１記載の処理液吐出装置。
【請求項３】
前記補強部材は、前記内管のほぼ中心を通り、互いに隣接する補強部材は交差するように、その取付角度がずらされていることを特徴とする請求項１または２記載の処理液吐出装置。
【請求項４】
前記液流路内の前記補強部材の中で、前記ノズル開口に最も近いものの下流側に、前記処理液の流通を規制する堰部材が設けられていること特徴とする請求項１ないし請求項３記載の処理液吐出装置。
【請求項５】
前記ノズル本体の両側面に、前記内管内に前記処理液を供給するための供給口が設けられていることを特徴とする請求項１ないし４記載の処理液吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、合成樹脂材料で形成され、スリット状のノズル開口を備えた２重管構造の処理液吐出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
感光材料、写真製版材料、磁気記録材料、記録紙材料、感光性平版印刷版（以下、単にＰＳ版という）などを製造する際には、薄い金属板、紙、フイルム等のウェブ状の被塗布体を長手方向に連続して走行させつつ各種処理を行っている。例えば、ＰＳ版の製造ラインでは、ＰＳ版の支持体としてアルミ材を帯状薄板にしたアルミウェブが用いられている。このアルミウェブは、ロール状に巻かれたアルミコイルの形態でＰＳ版製造ラインにセットされ、感光層塗布前に、まずエッチング処理装置、電解処理装置などにおいて各種表面処理が施される。これらの各表面処理装置では、搬送中のアルミウェブをエッチング処理液、電解処理液等の各種処理液が貯められた処理槽中に浸漬させて表面処理を施すと共に、この処理槽に定期的に処理液の原液を供給して処理液の濃度が常に一定になるようにしている。
【０００３】
ＰＳ版の品質を上げるためには、これらの表面処理をアルミウェブの幅方向にわたって均一に行う必要がある。そのため、各表面処理装置では、処理槽内に原液を供給した際に処理槽内の処理液の濃度がアルミウェブの幅方向で変化するのを防ぐため、処理槽に原液を吐出する処理液吐出装置として、アルミウェブの幅方向の長さよりも長いスリット状のノズル開口が形成されたスリット型ノズルを用いるのが通常である（例えば、特許文献１参照）。また、エッチング及び電解処理に用いられる処理液としては、塩酸、硝酸などの金属腐食性の強い処理液が一般に使用されるため、例えば特許文献２に記載されているように、前記スリット型ノズルを合成樹脂材料で形成するのが通常である。さらに、特許文献２では、スリット型ノズルを、前記ノズル開口が形成されたノズル本体と、このノズル本体内に挿入され、ノズル開口と対向する位置に所定の間隔で複数の吐出孔が形成された内管とからなる２重管構造にすることにより、ノズル開口の長手方向にわたって処理液が均一に吐出されるようにしている。
【０００４】
【特許文献１】
特開平９−２４８９７７号公報  （第４頁）
【特許文献２】
特開２０００−４７３９６号公報  （第５頁）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、合成樹脂で形成されたスリット型ノズルは、金属製のものと比較して耐腐食性は優れているが、機械的強度では劣っている。そのため、処理液の液圧によりノズル開口が変形し、ノズル開口の長手方向にわたって吐出される処理液の量に不均一さ、つまり、吐出流量むらが生じてしまう。このようなノズル開口の変形を防止する対策として、例えば、ノズル開口の長手方向に沿って所定の間隔で、補強部材を前記ノズル本体及び前記内管を貫通するように取り付ける方法がある。
【０００６】
しかしながら、これらの補強部材の一部分が、前記吐出孔から吐出した処理液をノズル開口まで流通させる液流路内に露呈してしまうため、処理液の流れが補強部材の露呈部分により乱される。その結果、液流の乱れに起因する吐出流量むらが発生してしまう。また、特許文献２に記載されているように、各吐出孔とノズル開口とが対向している場合には、液流路の長さが短くなってしまう。そのため、各吐出孔から吐出した処理液が充分に整流されないままノズル開口に達してしまい、その結果、吐出流量むらが発生してしまうので対策が求められていた。
【０００７】
本発明は、スリット状のノズル開口の長手方向における吐出流量むらの発生を抑えるようにした処理液吐出装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、スリット状のノズル開口を有するノズル本体と、このノズル本体内に前記ノズル開口の長手方向に略平行に設けられ、処理液が供給される内管と、この内管に設けられ、前記処理液を前記ノズル開口に供給するために前記長手方向に所定間隔で配置される吐出孔とからなる合成樹脂製の処理液吐出装置において、前記吐出孔を前記ノズル開口の反対側に形成するとともに、この吐出孔から吐出した前記処理液をノズル開口に流通させる液流路と、前記ノズル本体及び前記内管を貫通してこれらを固定するように設けられ、ノズル開口の変形を防止する補強部材とを有することを特徴とする。また、前記補強部材は、前記長手方向に所定の間隔で設けられていることが好ましい。
【０００９】
また、本発明は、前記補強部材は、前記内管のほぼ中心を通り、互いに隣接する補強部材は交差するように、その取付角度がずらされていることが好ましい。さらに、前記液流路内の前記補強部材の中で、前記ノズル開口に最も近いものの下流側に、前記処理液の流通を規制する堰部材が設けられていることが好ましい。また、前記ノズル本体の両側面に、前記内管内に前記処理液を供給するための供給口が設けられていることが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明を実施した電解処理装置の概略図である。電解処理装置１０は上述したように、ＰＳ版製造ラインの一工程であり、エッチング処理後のアルミウェブ１１を塩酸または硝酸などを主体とした電解処理液１２に浸漬させ、電解電流を印加することにより、アルミウェブ１１の表面に均一に粗面化処理を施す。
【００１１】
電解処理装置１０には、電解処理液１２が貯留されたラジアル型の電解処理槽１５と、この電解処理槽１５内でアルミウェブ１１を支持搬送するラジアルドラムローラ１６と、電解処理槽１５の上方に設けられ、アルミウェブ１１を所定の方向に支持搬送する複数のパスローラ１７とが設けられている。これらラジアルドラムローラ１６とパスローラ１７とによりアルミウェブ１１の搬送路が構成されている。なお、電解処理槽１５の種類としては、縦型、フラット型、ラジアル型等の各種処理槽があるが、本実施形態ではラジアル型の処理槽を用いて説明する。
【００１２】
ラジアルドラムローラ１６は、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）、炭素鋼、ステンレス鋼などのローラに、ゴムやフッ素樹脂、塩化ビニル樹脂などの耐酸性及びアルミウェブ１１に対する保護性の強いものをラインニングしたものが用いられ、その回転軸がアルミウェブ１１の搬送方向と直交するように電解処理槽１５に取り付けられている。このラジアルドラムローラ１６は、アルミウェブ１１を支持搬送するだけではなく、後述する電極とアルミウェブ１１との間隔を所定の距離に維持する。
【００１３】
電解処理槽１５の内壁面は、ラジアルドラムローラ１６を囲むように略円筒状に形成され、この内壁面上には、半円筒状の電極２０ａ，２０ｂがラジアルドラムローラ１６を挟むように設けられている。この電極２０ａ，２０ｂは、グラファイトや白金などから形成され、複数の小電極と絶縁体とが交互に配置されている。また、電極２０ａ，２０ｂは、互いに反対の極性の電解電流が印加されるように、交流電源２１に接続されている。
【００１４】
交流電源２１から印加される電解電流は、本実施形態では交流電流を用いるが、交流と直流とを重畳した電流を用いることもできる。この交流電流の波形は、特に限定されず、正弦波電流、矩形波電流、三角波電流等を選択することができる。さらに、この交流電流の周期、ＤＵＴＹ比等を適切な値に設定することによりアルミウェブ１１のアノード反応時間（アルミウェブ１１が陽極反応する時間）とカソード反応時間（アルミウェブ１１が陰極反応する時間）とが制御され、アルミウェブ１１の表面に均一に粗面化処理を施すことが可能となる。
【００１５】
電解処理槽１５のアルミウェブ１１の搬送方向上流側には、電解処理槽１５から溢れ出た電解処理液１２を受けて一時的に貯留する処理液受槽２４が設けられている。この処理液受槽２４の底面には、貯留した電解処理液１２を排出する戻り配管２７が接続されている。戻り配管２７のもう一方の開口端部は、電解処理槽１５の下側に設けられた貯層２８に接続されている。処理液受槽２４内の電解処理液１２は、時間当たり略一定量ずつ戻り配管２７を通って貯槽２８に流れる。この貯槽２８では、図示は省略するが電解処理液１２の濃度の測定及び調整が行われる。
【００１６】
貯槽２８で濃度調整された電解処理液１２は、送液配管３０を介して再び電解処理槽１５に送られる。この送液配管３０の一方の開口端部は、貯槽２８内に挿入されて電解処理液１２の液中で開口し、もう一方の開口端部は、送液配管３０を介して送られた電解処理液１２を電解処理槽１５内に吐出するスリット型ノズル（以下、単にノズルという）３２，３３の両側面に接続されている。また、送液配管３０の配管途中には、貯槽２８内の電解処理液１２を汲み上げて電解処理槽１５に送る送液ポンプ３５と、バルブ３６と、配管内の電解処理液１２の逆流を防止する逆流防止弁３７とが設けられている。
【００１７】
ノズル３２，３３は、それぞれ電極２０ａと電極２０ｂとの間、電極２０ｂの下流側に設けられている。なお、設置するノズルの数は任意でよいが、電解処理液１２は電解処理反応により、その濃度が変化してしまう。その結果、ノズルが１個しか設けられていない場合には、ノズル付近の電解処理液１２の濃度と、このノズルから離れた箇所の電解処理液１２の濃度とに差が生じてしまうおそれがある。そのため、ノズルは２個以上設けることが好ましい。また、このノズルを配置する箇所も特に限定はされず、任意の箇所に設けてよい。
【００１８】
次に、図２及び図３を用いてノズル３２，３３の構造について説明する。図２は、ノズル３２を正面から見た断面図であり、図３は、図２に記載されているノズル３２のＩＩＩ  −ＩＩＩ  線に沿った断面図である。図２及び図３に示すように、ノズル３２は２重管構造であり、円筒状の内管４０と、この内管４０を覆うように形成され、電解処理液１２を電解処理槽１５に吐出させるスリット状のノズル開口４１が設けられたノズル本体４２とから構成される。なお、内管４０及びノズル本体４２の材質としては酸やアルカリなどに対する耐腐食性を有していれば任意のものを用いてよく、例えば、塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレンなどの合成樹脂材料が用いられる。
【００１９】
ノズル開口４１は、アルミウェブ１１の幅方向の全域にわたって均一に電解処理液１２を吐出できるように、その長手方向の長さがアルミウェブ１１の幅方向の長さよりも長く形成されている。また、ノズル本体４２の両側面には、送液配管３０を介して送液された電解処理液１２を内管４０内に給液するための給液口４３ａ，４３ｂが形成されている。ノズル本体４２の両側面から電解処理液１２を給液することにより、ノズル本体４２内の液圧が均一化される。
【００２０】
内管４０の周面には、所定のピッチで内管４０の内外を連通する複数の吐出孔４５が、ノズル開口４１の反対側の位置に形成されている。そのため、内管４０とノズル本体４２との間には、吐出孔４５から吐出した電解処理液１２をノズル開口４１まで流通させるための液流路４６が形成されている。吐出孔４５をノズル開口４１の略反対側の位置に形成したので、この液流路４６の長さを、特許文献２に記載されているような吐出孔がノズル開口と対向する位置に形成されているものより、長くすることができる。その結果、電解処理液１２の液流を整流する整流効果を従来のノズルよりも高めることができる。これにより、吐出孔４５から吐出した電解処理液１２が、ノズル開口４１に到達するまでの間に整流され、このノズル開口４１の長手方向における吐出量むらが緩和される。
【００２１】
ノズル本体４２には、送液ポンプ３５により内管４０内に給液された電解処理液１２の液圧によるノズル開口４１の変形を防止するために、内管４０及びノズル本体４２を貫通するように補強部材としての補強ピン４８が取り付けられている。この補強ピン４８は、例えば、塩化ビニル、ポリプロピレン、ポリエチレンなどの合成樹脂製であり、ノズル開口４１の長手方向に沿って所定の間隔で取り付けられている。これらは、超音波溶着などにより、内管４０、ノズル本体４２に固着される。なお、補強ピン４８に代えて、合成樹脂製の補強ボルトを用いてもよい。さらに、これらの補強ピン４８は、全て同一の角度で取り付けるのではなく、互いに隣接する補強ピン４８の取付角度を交互に変えて略十字（図３参照）に取り付けることが好ましい。これにより、補強ピン４８を全て同一角度で取り付けたときよりもノズル本体４２の剛性が増し、液圧によるノズル開口４１の変形を最小限に抑えることができる。
【００２２】
補強ピン４８は、内管４０及びノズル本体４２を貫通するように取り付けられているため、その一部分は液流路４６内を横切っている。その結果、この補強ピン４８によって、電解処理液１２の液流に乱れが生じ、この液流の乱れに起因して吐出流量むらが発生する。従って、補強ピン４８によって生じさせられた液流の乱れを緩和するために、液流路４６内を横切っている補強ピン４８の中で最もノズル開口４１に近いものの下流側に、電解処理液１２の流通を規制する堰部材５０を設ける。なお、本実施形態では、堰部材５０は内管４０の外周面側に設けられているが、これに限らず、電解処理液１２の流通を規制できれば、例えば、ノズル本体４２の内面側に設けても良い。また、この堰部材５０は、ノズル開口４１の長手方向に沿って均一な高さに形成されている。
【００２３】
液流路４６内の電解処理液１２の液流は、補強ピン４８によって乱されてしまうが、堰部材５０において一時的に貯留されることにより、その乱れは緩和される。その結果、ノズル開口４１の長手方向における吐出流量むらの発生が抑えられる。なお、ノズル３３もノズル３２と同一の構成であり、同一部材には同一名称を用いてその説明を省略する。
【００２４】
本実施形態のノズル３２，３３は、ノズル開口４１の変形を防止するために、互いに隣接する補強ピン４８の取付角度を変えて略十字（図３参照）に取り付けると共に、整流効果を得るために、吐出孔４５をノズル開口４１の略反対側に形成して液流路４６の長さを長くし、さらに、補強ピン４８による液流の乱れを緩和するために、堰部材５０を設けている。しかしながら、吐出流量むらの発生をある程度抑えることができればよいという場合には、ノズルの構成を簡略化することができる。この簡略化の例を図４（ａ），（ｂ）に示す。
【００２５】
図４（ａ）、（ｂ）は、簡略化されたノズル５５，５６の図２におけるＩＩＩ  −ＩＩＩ  線相当の断面図である。なお、ノズル５５，５６は、ノズル３２，３３と基本的には同一の構成であり、同一部材には同一名称を用いてその説明を省略する。（ａ）に示すように、ノズル５５は、ノズル３２，３３と比較すると、補強ピン４８が全て同一角度に取り付けられていると共に、堰部材５０が設置されていない。また、（ｂ）に示すように、ノズル５６は、堰部材５０が設置されていないだけで、後はノズル３２，３３と同じ構成である。詳しくは後述するが、ノズル５５，５６を用いても、従来のノズルと比較してノズル開口４１の長手方向における吐出流量むらの発生を抑えることができる。さらに、ノズル３２，３３と比較して低コストに製造できるという利点がある。
【００２６】
次に、本実施形態の作用について説明する。図１に示すように、送液ポンプ３５により、貯槽２８から汲み上げられた電解処理液１２は、図２及び図３に示すように、送液配管３０を介して各ノズル３２，３３の両側面に形成された給液口４３ａ，４３ｂに給液される。両側面から給液を行うことで、ノズル本体４２内の液圧が均一化される。また、ノズル本体４２には、その内部を貫通するように所定の間隔で補強ピン４８が取付角度をずらして取り付けられているため、液圧によりノズル開口４１が変形することはない。
【００２７】
給液口４３ａ，４３ｂから内管４０内に給液された電解処理液１２は、各吐出孔４５を通って液流路４６に流れ出す。各吐出孔４５から流れ出した電解処理液１２は、液流路４６に沿ってノズル開口４１に到達するまでの間に整流されると共に、堰部材５０にて一時的に貯留される。これにより、液流路４６内を横切っている補強ピン４８によって生じさせられた液流の乱れが緩和される。堰部材５０にて一時的に貯留された後、電解処理液１２は、ノズル開口４１からその長手方向にわたって均一に電解処理槽１５内に吐出される。その結果、電解処理槽１５内の電解処理液１２の濃度が、アルミウェブ１１の幅方向で均一化される。
【００２８】
なお、本実施形態では、ＰＳ版製造ラインの電解処理装置１０に用いられているノズルついて説明したが、これに限定されるものではなく、アルミウェブ表面に研磨材スラリーを注ぎながら回転ブラシでウェブ表面をブラッシングして砂目立てする回転ブラシ処理装置、アルミウェブ表面をエッチング処理するエッチング処理装置、各種表面処理が施されたアルミウェブに洗浄液を吹き付けて洗浄する洗浄処理装置などに用いられるノズルにも本発明を適用することができる。
【００２９】
例えば、図５に示すように、ＰＳ版製造ラインの洗浄処理装置５９には、洗浄処理槽６０内に設けらたパスロール６１により支持搬送されているアルミウェブ１１の表裏面に対向するように複数個のノズル６２が設けられている。そのため、各ノズル６２の両側面に、図示しない洗浄液貯槽から各ノズル６２に洗浄液を送液する送液配管６３を接続し、さらに、各ノズル６２を前記ノズル３２，  ３３と同一の構造にすることにより、アルミウェブ１１の幅方向にわたって均一に洗浄液を吹き付けることができる。これにより、局所的に洗浄液の吹付け量が少なくなって、アルミウェブ１１の表面上に洗浄むらが発生してしまうことを防止できる。
【００３０】
本発明は、ＰＳ版製造ラインに限定されるものではなく、搬送経路上に、酸性溶液、アルカリ性溶液、水などの各種処理液を吐出するスリット型ノズルを備えた各種処理装置に適用することができる。
【００３１】
［実施例］
以下に、本発明の効果を明確にするために、本発明の実施したノズルと、従来のノズルとにおいて、ノズル開口の長手方向における吐出流量むらの発生を比較した。本発明の実施例１として前記ノズル３２（図２及び図３参照）を用い、実施例２として前記ノズル５５（図４（ａ）参照）を用い、実施例３として前記ノズル５６（図４（ｂ）参照）を用いた。また、比較例として用いた従来のノズルを図６（ａ）〜（ｃ）に示す。なお、ノズル３２，３３と同一の部材には同一名称を用いてその説明を省略する。
【００３２】
比較例１として図６（ａ）に示したノズル６５を用いた。ノズル６５は単管構造であり、補強ピン４８が全て同一角度に取り付けられている。なお、給液口はノズル本体６６の側面の片側にしか設けられていない。また、比較例２として（ｂ）に示したノズル６８を用いた。ノズル６８は、前記ノズル６５とほほ同一構造であり、異なるものとしてノズル本体６６の両側面に給液口４３ａ，４３ｂが設けられている。さらに、比較例３として（ｃ）に示したノズル６９を用いた。ノズル６９は、前記ノズル６８を２重管構造にしたものであり、ノズル本体６６内に内管７０が設けられている。この内管７０には、複数の吐出孔４５がノズル開口４１とほぼ対向する位置に形成されている。
【００３３】
本実施例では、ノズル本体４２，４６、内管４０，７０として塩化ビニルを用いた。また、ノズル開口４１の長手方向の長さを１７００ｍｍとした。また、補強ピン４８としては塩化ビニルが用いられ、断面φ２０ｍｍ、６０ｍｍピッチで２５本取り付けられた。さらに、処理液としては水が用いられ、その温度は１５〜５０℃、吐出流量は５００〜１５００Ｌ／ｍｉｎ、吐出圧力は０．２〜０．３ＭＰａであった。
【００３４】
本実施例では、各ノズルのノズル開口４１から吐出される水の量をカップ等を用いて、５０ｍｍピッチでその開口の長手方向に沿って測定し、吐出水量のむらを比較した。その比較結果を表１に示す。表１には、実施例１〜３及び比較例１〜３に対応して、給液がノズル本体側面の片側或いは両側から行われるかが書き込まれた「給液」欄、２重管構造であるか否かが書き込まれた「２重管」欄、吐出孔４５がノズル開口４１と対向しているか、或いは反対側に形成されているかが書き込まれた「吐出孔向き」欄、補強ピン４８が同一角度、或いは略十字に取り付けられているかが書き込まれた「補強部材」欄、堰部材５０が設けられているか否かが書き込まれた「堰部材」欄、測定された吐出水量のむらをパーセント表示で表したものが書き込まれた「長手方向むら」欄が設けられている。
【００３５】
【表１】
2005040693.tif 000003
【００３６】
表１に示すように、互いに隣接する補強ピン４８の角度を変えて取り付け、吐出孔４５をノズル開口４１の略反対側に形成して液流路４６の長さを長くし、さらに堰部材５０を設けることによって、ノズル開口４１から吐出される吐出水量のむらが減少し、実施例１では４％に抑えられた。また、実施例２及び３においてもそれぞれ３９％、２５％に抑えられているので、使用する工程及び装置にもよるが実用上は差し支えない。
【００３７】
【発明の効果】
以上のように、本発明の処理液吐出装置によれば、整流効果を得るために、内管の内外を連通する吐出孔をノズル開口の反対側の位置に形成して液流路の長さを長くし、また、ノズル開口の変形を防止するために、ノズル開口に沿って所定の間隔で、補強部材をノズル本体及び内管を貫通するように取り付けたので、ノズル開口の長手方向における吐出流量むらの発生を抑えることができる。さらに、互いに隣接する補強部材の取付角度を変えると共に、液流路内を横切っている補強ピンの中で最もノズル開口に近いものの下流側に堰部材を設けることにより、その効果を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の処理液吐出装置を用いたＰＳ版製造ラインの電解処理装置の概略図である。
【図２】同処理液吐出装置を正面から見た断面図である。
【図３】同処理液吐出装置の図２におけるＩＩＩ  −ＩＩＩ  線に沿った断面図である。
【図４】同処理液吐出装置を簡略した他の実施例を示し、図２におけるＩＩＩ  −ＩＩＩ  線相当の断面図である。
【図５】同処理液吐出装置をＰＳ版製造ラインの洗浄装置に用いた他の実施形態を示した概略図である。
【図６】従来の同処理液吐出装置を示した断面図である。
【符号の説明】
１１  アルミウェブ
１２  電解処理液
１５  電解処理槽
３２，３３  スリット型ノズル
４０  内管
４１  ノズル開口
４２  ノズル本体
４３ａ，４３ｂ  給液口
４５  吐出孔
４６  液流路
４８  補強ピン
５０  堰部材
【図１】
2005040693.tif 000004
【図２】
2005040693.tif 000005
【図３】
2005040693.tif 000006
【図４】
2005040693.tif 000007
【図５】
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【図６】
2005040693.tif 000009