(57)【要約】【課題】  基板処理装置内に確実に搬送して、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に洗浄除去できるクリーニングシートを提供する。【解決手段】  クリーニング層が熱溶融型接着剤からなることを特徴とするクリーニングシート、とくにクリーニング層の片面に搬送部材固定用接着層が積層された上記クリーニングシート、基材の片面にクリーニング層を、反対面に搬送部材固定用接着層を有する上記クリーニングシート。またこれらのクリーニングシートを搬送部材上にクリーニング層または搬送部材固定用接着層を介して貼り合わせて、クリーニング機能付き搬送部材とし、この搬送部材を基板処理装置内にこの装置の異物除去が必要な個所を加温しながら搬送して、異物を洗浄除去することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーニング層が熱溶融型接着剤からなることを特徴とするクリーニングシート。
【請求項２】
クリーニング層の片面に搬送部材固定用接着層が積層されてなる請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項３】
基材の片面にクリーニング層を、反対面に搬送部材固定用接着層を有する請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項４】
基材とクリーニング層との間に中間層として感圧性粘着剤からなる層を有する請求項３に記載のクリーニングシート。
【請求項５】
搬送部材固定用接着層は、感圧性粘着剤または熱溶融型接着剤からなる請求項２〜４のいずれかに記載のクリーニングシート。
【請求項６】
クリーニング層の表面にエチレン・α−オレフィン共重合体からなる保護フィルムが貼り合わされてなる請求項１〜５のいずれかに記載のクリーニングシート。
【請求項７】
搬送部材上に、請求項１〜６のいずれかに記載のクリーニングシートを、そのクリーニング層または搬送部材固定用接着層を介して貼り合わせてなるクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項８】
基板処理装置内に、この装置内の異物除去が必要な個所を加温しながら、請求項７に記載のクリーニング機能付き搬送部材を搬送し、異物を洗浄除去することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
【請求項９】
請求項８に記載のクリーニング方法により、装置内の異物が洗浄除去されてなる基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、フラットパネルディスプレイなどの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングシートに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種の基板処理装置は、各搬送系と基板を物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板をつぎつぎに汚染することになり、定期的に装置を停止させ、洗浄処理する必要がある。このため、稼働率の低下や多大な労力が必要になる問題があった。
【０００３】
これらの問題を解決するため、基板処理装置内に、粘着性物質を固着した基板を搬送することにより、基板処理装置内に付着した異物をクリーニング除去する方法（特許文献１，２参照）が、提案されている。これらの提案方法は、前記の問題を克服する非常に有効な方法である。
【特許文献１】特開平１０−１５４６８６号公報（第２〜４頁）
【特許文献２】特開２００１−１３４１８６号公報（第１〜６頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかるに、特許文献１の方法では、粘着性物質と装置接触部とが強く接着して剥がれなくなり、基板を確実に搬送できなくなる場合があった。また、特許文献２の方法でも、若干ではあるが粘着性を示すため、基板搬送中にやはり装置接触部と接着して、搬送性が悪くなる問題があった。
【０００５】
本発明は、このような事情に照らし、基板処理装置内に確実に搬送することにより、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に洗浄除去できるクリーニングシートを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、上記の目的を達成するため、鋭意検討した結果、クリーニング層を熱溶融型接着剤で構成することにより、基板処理装置内への常温での搬送時には接着力をほとんど示さないため、良好な搬送性が得られ、一方、異物除去が必要な個所に対してこの個所を加温しながら搬送させると、異物除去に必要な十分な接着力が発現され、これにより搬送性良好にして異物を簡便かつ確実に洗浄除去できることを知り、本発明を完成するに至った。
【０００７】
すなわち、本発明は、クリーニング層が熱溶融型接着剤からなることを特徴とするクリーニングシートに係るものである。
とくに、本発明は、クリーニング層の片面に搬送部材固定用接着層が積層されてなる上記構成のクリーニングシート、基材の片面にクリーニング層を、反対面に搬送部材固定用接着層を有する上記構成のクリーニングシート、基材とクリーニング層との間に中間層として感圧性粘着剤からなる層を有する上記構成のクリーニングシート、搬送部材固定用接着層が感圧性粘着剤または熱溶融型接着剤からなる上記構成のクリーニングシート、クリーニング層の表面にエチレン・α−オレフィン共重合体からなる保護フィルムが貼り合わされてなる上記構成のクリーニングシートを、提供できるものである。
【０００８】
また、本発明は、搬送部材上に、上記した各構成のクリーニングシートを、そのクリーニング層または搬送部材固定用接着層を介して貼り合わせてなるクリーニング機能付き搬送部材を提供できるものである。
さらに、本発明は、基板処理装置内に、この装置内の異物除去が必要な個所を加温しながら、上記構成のクリーニング機能付き搬送部材を搬送し、異物を洗浄除去することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法を提供できるものである。また、本発明は、このようなクリーニング方法により、装置内の異物が洗浄除去されてなる基板処理装置を提供できるものである。
【発明の効果】
【０００９】
このように、本発明においては、クリーニング層を熱溶融型接着剤で構成したことにより、基板処理装置内に確実に搬送して、装置内に付着している異物を簡便かつ確実に洗浄除去できるクリーニングシートとこれを使用したクリーニング機能付き搬送部材を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明のクリーニングシートについて、図面を参考にして説明する。図１〜図４は、本発明のクリーニングシートＡ〜Ｄを示す断面図である。
【００１１】
図１において、クリーニングシートＡは、クリーニング層１の単層からなり、この層１が熱溶融型接着剤から構成されている。
図２において、クリーニングシートＢは、上記同様の熱溶融型接着剤からなるクリーニング層１の片面に搬送部材固定用接着層２が積層され、この接着層２は感圧性粘着剤または熱溶融型接着剤から構成されている。
【００１２】
図３において、クリーニングシートＣは、基材３を使用し、この基材３の片面に上記同様の熱溶融型接着剤からなるクリーニング層１を有するとともに、この基材３の反対面に上記同様の感圧性粘着剤または熱溶融型接着剤からなる搬送部材固定用接着層２を有する構成となっている。
図４において、クリーニングシートＤは、上記の図３に示すクリーニングシートＣの構成において、さらに基材３とクリーニング層１との間に中間層４として感圧性粘着剤からなる層を有する構成となっている。
【００１３】
これらのクリーニングシートＡ〜Ｄにおいて、クリーニング層１を構成する熱溶融型接着剤には、オレフィン系重合体や熱可塑性エラストマーなど、熱溶融型の高分子物質からなるものが広く使用可能である。
オレフィン系重合体としては、低密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超高分子量ポリエチレン、エチレンと炭素数３〜１２のα−オレフィン、ステレン、酢酸ビニル、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸エステル、アイオノマーなどの各種ビニル化合物との共重合体などのポリエチレン系重合体、また、プロピレン単独の重合体、ブロック型のプロピレン・エチレン共重合体、ランダム型のプロピレン・エチレン共重合体、ブロック型のプロピレン・エチレン・ブチレン共重合体、ランダム型のプロピレン・エチレン・ブチレン共重合体、超分子量ポリプロピレンなどのポリプロピレン系重合体、さらに、ポリブテン、ポリメチルペンテン、超高分子量ポリブテン、超高分子量ポリメチルペンテンなどの炭素数４以上のα−オレフィン系重合体が挙げられる。
【００１４】
また、熱可塑性エラストマーとしては、ポリスチレン系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、ポリウレタン系エラストマー、ポリエステル系エラストマーなどが挙げられる。
これらの中でも、一般式：Ａ−Ｂ−ＡまたはＡ−Ｂ（Ａは芳香族ビニル重合体ブロックまたは結晶性を示すオレフィン重合体ブロックを示し、Ｂはジエン重合体ブロックまたはこれを水素添加してなるオレフィン重合体ブロックを示す）で表されるブロック共重合体は、オレフィン系重合体からなる連続相に分散した相を形成しやすいため、望ましい。
ポリスチレン系エラストマーとしては、硬質部（結晶部）となるポリスチレンブロックと、軟質部となるジエン系モノマー重合体ブロックとのブロック共重合体またはその水素添加重合体が挙げられる。より具体的には、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）、スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＰＳ）などを例示できる。
【００１５】
クリーニング層１を構成する熱溶融型接着剤は、上記のような熱溶融型の高分子物質の中から、その１種を単独で使用したものであってもよいし、２種以上を組み合わせて使用したものであってもよい。また、これらの高分子物質に対し、必要により、粘着付与剤、老化防止剤、帯電防止剤、充填剤、相溶化剤、粘度調整剤などの各種の添加剤を配合したものであってもよい。
【００１６】
このような熱溶融型接着剤からなるクリーニング層１の厚さとしては、通常、１〜２００μｍであるのがよく、好ましくは２〜１００μｍ、より好ましくは５〜７５μｍであるのがよい。クリーニング層１は、押出機で成形してもよいし、有機溶剤溶液または水に分散させたディスバージョンの状態で、塗布方法により製膜してもよい。
なお、このクリーニング層１は、通常は単層構造とされるが、場合により軟化点や組成に応じて多層構造にしてもよい。
【００１７】
また、クリーニングシートＢ〜Ｄにおいて、搬送部材固定用接着層２は、各クリーニングシートの搬送部材への貼り付けを容易にするためのものであり、これには感圧性粘着剤または熱溶融型接着剤が用いられる。搬送部材固定用接着層２の厚さは、通常、３〜２００μｍであるのがよい。
感圧性粘着剤としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコン系粘着剤など、公知の各種の粘着剤がいずれも使用可能である。
熱溶融型接着剤としては、クリーニング層１を構成する前記の熱溶融型接着剤と同様のものが用いられる。ただし、クリーニング層１と異なる材料であってもよいし、全く同じ材料であってもよい。
【００１８】
さらに、クリーニングシートＣ，Ｄにおいて、基材３の材質には、とくに限定はなく、合成樹脂、金属薄、天然樹脂などの種々の薄層品を使用でき、それらの多孔質材料を用いてもよく、また単層構造だけでなく多層構造であってもよい。合成樹脂としては、オレフィン系重合体、ポリイミド、ポリアミド、ポリエステル、ポリエーテル、ポリカーボネート、ポリウレタンなどが挙げられる。基材３の厚さとしては、通常、１０〜２００μｍであるのがよい。
【００１９】
また、クリーニングシートＤにおいて、中間層４には、前記した搬送部材固定用接着層２と同様の感圧性粘着剤、つまり、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコン系粘着剤などの各種の粘着剤をいずれも使用できる。
これらの粘着剤を基材３とクリーニング層１の間の中間層として設けることにより、クリーニング層１に付着させた異物の保持性を向上させることができる。中間層４の厚さとしては、通常、５〜２００μｍであるのがよい。
【００２０】
なお、クリーニングシートＡ〜Ｄにおいて、クリーニング層１の露出表面には基板処理装置内への搬送までの間、汚れ防止用の保護フィルムを貼り合わせておくのが望ましい。保護フィルムには、剥離性を有する種々のものを使用できる。エチレン・α−オレフィン共重合体からなるものは、非シリコン系のものとして基板処理装置内へのシリコンの転着を防げるため、望ましい。
また、クリーニングシートＢ〜Ｄにおいて、搬送部材固定用接着層２の露出表面には、汚れ防止や取り扱い性の向上のため、剥離ライナーを貼り合わせておくのが望ましい。このような剥離ライナーには、剥離性を有する種々のものを使用できるが、前記保護フィルムの場合と同様の非シリコン系のものを使用すると、基板処理装置内へのシリコンの転着を防げるので、望ましい。
【００２１】
本発明においては、上記の各クリーニングシートを搬送部材上に貼り合わせることにより、すなわち、クリーニングシートＡではクリーニング層１を介して、クリーニングシートＢ〜Ｄでは搬送部材固定用接着層２を介して、搬送部材上に貼り合わせることにより、クリーニング機能付き搬送部材とする。その際、搬送部材固定用接着層２が感圧性粘着剤からなる場合、常態での粘着性を利用して、搬送部材上に単に押圧するだけで貼り付けできる。搬送部材固定用接着層２が熱溶融型接着剤からなる場合、クリーニング層１を直接貼り付ける場合と同様に、加温により接着力を付勢した状態で貼り付けすればよい。
【００２２】
本発明においては、このようなクリーニング機能付き搬送部材を、クリーニング層１上の保護フィルムを剥がして、基板処理装置内に搬送する。その際、クリーニング層１は常態でほとんど接着力を示さず、たとえば、シリコンウエハのミラー面に対して、２５℃で０．１Ｎ／２０mm幅以下の接着力しか示さないため、基板処理装置内への搬送性に支障をきたすことはない。
【００２３】
また、基板処理装置内への搬送にあたり、装置内の異物除去が必要な個所を加温しながら、搬送させると、この加温個所ではクリーニング層１の接着力が付勢され、たとえば、シリコンウエハのミラー面に対して、８０℃の加温状態で通常０．５Ｎ／２０mm幅以上、好ましくは１〜１０Ｎ／２０mm幅、より好ましくは３〜８Ｎ／２０mm幅の接着力を示すようになり、結果として、加温個所に付着する異物を効果的に洗浄除去できる。
【００２４】
本発明のクリーニング機能付き搬送部材において、クリーニングシートを貼り合わせる搬送部材としては、とくに限定はなく、異物除去の対象となる基板処理装置の種類に応じて、各種の基板が用いられる。具体的には、半導体ウエハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ用基板、その他、コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの基板などが挙げられる。
【００２５】
また、本発明において、クリーニングが行われる基板処理装置としては、とくに限定されず、たとえば、露光装置、レジスト塗布装置、現像装置、アッシング装置、ドライエッチング装置、イオン注入装置、ＰＶＤ装置、ＣＶＤ装置、外観検査装置、ウエハプローバなどが挙げられる。
本発明においては、前記のクリーニング方法により装置内の異物が洗浄除去されてなる基板処理装置を提供することができる。
つぎに、本発明の実施例を記載して、より具体的に説明する。ただし、本発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。なお、以下において、部とあるのは重量部を意味するものとする。
【実施例１】
【００２６】
熱溶融型接着剤（三井デュポン社製の「ＥＶＡ１４０７」）を使用して、押出機により、厚さが５０μｍのクリーニング層を形成した。
このクリーニング層の片面に、保護フィルムとして厚さが３０μｍのエチレン・α−オレフィン共重合体からなるフィルム（東レ社製の「トレファン２５００」）を貼り合わせて、クリーニングシートとした。
つぎに、このクリーニングシートのクリーニング層を８インチのシリコンウェハの裏面（ミラー面）に、加熱プレス（１３０℃，１分間，１kg／cm2 ）により貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材を作製した。
【実施例２】
【００２７】
熱溶融型接着剤（三井デュポン社製の「ＥＶＡＰ−２８０７」）を使用して、押出機により、厚さが３０μｍのクリーニング層を形成し、このクリーニング層の片面に、実施例１と同じ保護フィルムを貼り合わせた。
これとは別に、アクリル酸２−エチルヘキシル８０部、アクリル酸エチル１８部およびアクリル酸２部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量８０万）１００部に、イソシアネート系硬化剤（日本ポリウレタン工業社製の「コロネートＬ」）６部を混合し、感圧性粘着剤とした。
【００２８】
この感圧性粘着剤を、厚さが２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる基材の片面に塗布乾燥して、厚さが２０μｍの搬送部材固定用接着層を形成し、この上に厚さが１００μｍのα−オレフィン系重合体からなる剥離ライナーを貼り合わせた。この基材の他面側に、前記のクリーニング層の保護フィルムとは反対面側を貼り合わせて、クリーニングシートとした。
つぎに、このクリーニングシートの搬送部材固定用接着層上の剥離ライナーを剥がし、その粘着剤面を８インチのシリコンウェハの裏面（ミラー面）にハンドローラで貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材を作製した。
【実施例３】
【００２９】
熱溶融型接着剤（三井デュポン社製の「ＥＶＡ１４０７」）を使用して、押出機により、厚さが１５μｍのクリーニング層を形成し、このクリーニング層の片面に、実施例１と同じ保護フィルムを貼り合わせた。
これとは別に、アクリル酸−２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチル２０部およびアクリル酸５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量８０万）１００部に、イソシアネート系硬化剤（日本ポリウレタン工業社製の「コロネートＬ」）６部を混合し、感圧性粘着剤とした。
【００３０】
この感圧性粘着剤を、厚さが２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる基材の片面に塗布乾燥して、厚さが２０μｍの搬送部材固定用接着層を形成し、この上に厚さが１００μｍのα−オレフィン系重合体からなる剥離ライナーを貼り合わせた。この基材の他面側に上記の感圧性粘着剤を塗布乾燥して、厚さが３０μｍの中間層を形成し、この上に前記クリーニング層の保護フィルムとは反対面側を貼り合わせて、クリーニングシートとした。
つぎに、このクリーニングシートの搬送部材固定用接着層上の剥離ライナーを剥がし、その粘着剤面を８インチのシリコンウェハの裏面（ミラー面）にハンドローラで貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材を作製した。
【００３１】
比較例１
アクリル酸２−エチルヘキシル８０部、アクリル酸メチル１５部およびアクリル酸５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に、ウレタンアクリレート５０部、ベンゾフェノン３部およびイソシアネート系硬化剤（日本ポリウレタン工業社製の商品名「コロネートＬ」）５部を均一に混合し、紫外線硬化型の樹脂組成物を調製した。
これとは別に、上記の樹脂組成物から、ウレタンアクリレート５０部を除いた以外は、上記と同様にして、感圧性粘着剤を調製した。
【００３２】
厚さが２５μｍのポリエステルフィルムからなる基材の片面に、上記の感圧性粘着剤を塗布乾燥して、厚さが１０μｍの搬送部材固定用接着層を形成し、この上に厚さが３８μｍの剥離処理したポリエステルフィルムからなる剥離ライナーを貼り合わせた。この基材の他面側に、上記の紫外線硬化型の樹脂組成物を塗布乾燥して、厚さが２０μｍの樹脂層を形成し、この上に上記剥離ライナーと同様構成の保護フィルムを貼り合わせた。このシートに、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量３，０００ｍＪ／cm2 照射して、重合硬化した樹脂層からなるクリーニング層を有するクリーニングシートとした。
つぎに、このクリーニングシートの搬送部材固定用接着層上の剥離ライナーを剥がし、その粘着剤面を８インチのシリコンウェハの裏面（ミラー面）にハンドローラで貼り付けて、クリーニング機能付き搬送部材を作製した。
【００３３】
上記の実施例１〜３および比較例１の各クリーニング機能付き搬送部材について、以下の方法により、搬送性および異物除去性の評価を行った。
これらの結果は、表１に示されるとおりであった。
【００３４】
＜搬送性の評価＞
クリーニング機能付き搬送部材のクリーニング層上の保護フィルムを剥がし、シリコンウエハのミラー面に幅２０mmで貼り付け、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７に準じて、常温（２５℃）下で、シリコンウエハに対する１８０°引き剥がし粘着力を測定する。
この粘着力が０．１Ｎ／２０mm幅以下であれば、基板処理装置内への搬送を支障なく行え、搬送性が良好と評価できる。
【００３５】
＜異物除去性の評価＞
クリーニング機能付き搬送部材のクリーニング層上の保護フィルムを剥がし、シリコンウエハのミラー面に幅２０mmで貼り付け、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７に準じて、８０℃の雰囲気中で、シリコンウエハに対する１８０°引き剥がし粘着力を測定する。
この粘着力が０．５Ｎ／２０mm幅以上であれば、基板処理装置内に付着した異物の除去を効果的に行え、異物除去性が良好と評価できる。
【００３６】
表１
┌────┬──────────┬──────────┐
│        │      搬送性        │    異物除去性      │
│        │  〔：２５℃粘着力〕│  〔：８０℃粘着力〕│
│        │  （Ｎ／２０mm幅）  │  （Ｎ／２０mm幅）  │
├────┼──────────┼──────────┤
│実施例１│        ０          │        ４．８      │
│実施例２│        ０          │        ６．１      │
│実施例３│        ０          │        ３．８      │
├────┼──────────┼──────────┤
│比較例１│        ０．２      │        ０．１      │
└────┴──────────┴──────────┘
【００３７】
上記の表１の結果から、本発明の実施例１〜３の各クリーニング機能付き搬送部材は、クリーニング層の常態（２５℃）での接着力が０であるため、搬送性が良好であり、かつ加温下（８０℃）では良好な接着力を示すため、基板処理装置内に付着した異物の除去性に好結果が得られ、比較例１に比べて、クリーニング部材としての性能にすぐれていることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明のクリーニングシートの一例を示す断面図である。
【図２】本発明のクリーニングシートの他の例を示す断面図である。
【図３】本発明のクリーニングシートの別の例を示す断面図である。
【図４】本発明のクリーニングシートのさらに別の例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
Ａ〜Ｄ  クリーニングシート
１  クリーニング層
２  搬送部材固定用接着層
３  基材
４  中間層
【図１】
2005237447.tif 000003
【図２】
2005237447.tif 000004
【図３】
2005237447.tif 000005
【図４】
2005237447.tif 000006