(57)【要約】【課題】  カバーシートに変形癖が付いている場合でも、カバーシートを支持テーブルの載置面上に確実に密着させつつ、このカバーシートにディスク基板を貼り合わせる。【解決手段】  光ディスク製造装置では、カバーシート２４が支持テーブル４８の載置面４９上に載置されると、エアーノズル１４２から空気流を噴射させ、この空気流をカバーシート２４に吹き付けると共に、カバーシート２４を支持テーブルに設けられた静電チャック１３２により載置面４９上に吸着する。これにより、カバーシート２４にカール癖が付いている場合でも、このカバーシート２４を空気流により平坦状になるように矯正しつつ、静電チャック１３２からの静電力によりカバーシート２４全体を支持テーブルの載置面上に密着させることができる。この後、真空雰囲気中でディスク基板１２をカバーシート２４上に載置し、ディスク基板１２を加圧することによりカバーシート２４に貼り合わせる。【選択図】  図６
2005216426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
片側の面が記録面とされ、該記録面に情報記録層が形成されたディスク基板と、樹脂フィルムの片側の面に粘着膜が成膜されて構成され、該粘着膜を介して前記情報記録層を覆うように前記記録面に貼り合わされるカバーシートと、を有する光ディスクの製造方法であって、
前記カバーシートを支持テーブルの載置面上に載置すると共に、該カバーシートを前記支持テーブルに設けられた静電チャックにより前記支持テーブルの載置面上に吸着した後、
前記ディスク基板及び前記静電チャックにより支持テーブル上に吸着された前記カバーシートを所定の真空度まで減圧された真空雰囲気中に保持しつつ、前記ディスク基板の記録面を前記カバーシートの粘着膜上に載置し、該粘着膜を介してディスク基板を前記カバーシートに貼り合わせる貼合工程を有することを特徴とする光ディスクの製造方法。
【請求項２】
前記支持テーブルの載置面上に載置された前記カバーシートに気流を吹き付け、該気流により前記カバーシートを前記支持テーブルの載置面側へ加圧しつつ、前記静電チャックを作動開始させて該静電チャックにより前記カバーシートを前記支持テーブルの載置面上に吸着することを特徴とする請求項１記載の光ディスクの製造方法。
【請求項３】
前記静電チャックにより前記カバーシートを前記支持テーブルの載置面上に吸着した後、
前記ディスク基板及び前記支持テーブルの載置面上に吸着された前記カバーシートが格納された気密室内を所定の真空度まで減圧し、該気密室内で前記ディスク基板を前記カバーシートに貼り合わせることを特徴とする請求項１又は２記載の光ディスクの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク基板の記録面上に薄膜状のカバーシートを貼り合わせて光ディスクを製造する光ディスクの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ光を用いて情報を記録し、又は再生する光ディスクとしては、例えば、ＣＤ−Ｒ（Compact Disc-recordable)、ＣＤ（Compact Disc)、ＤＶＤ（digital versatile disc）、ＤＶＤ−Ｒ（digital versatile disc-recordable）等が既に普及しているが、近年、光ディスクに対しては、映像情報等の情報を更に大量に格納したいという要望があり、記録情報の高密度化の検討が進んでいる。このような光ディスクに対する情報記録密度は、おおむねディスク上の光ビームのスポットサイズで決まり、このスポットサイズは、レーザ波長をλ、対物レンズの開口数をＮＡとすると、λ／ＮＡに比例する。このため、光ディスクに対する記録密度を高めるためには、レーザ光の短波長化が必要となると共に、対物レンズの高ＮＡ化が効果的である。しかし、光ディスクの傾きにより発生するコマ収差はＮＡの３乗に比例して大きくなるため、高ＮＡ化によってディスクのチルト等による傾きに対するマージンが極めて小さくなり、わずかな傾きでもビームスポットがぼやけ、高密度での記録及び再生が実現できなくなる。従って、高密度化に適した従来の光ディスクでは、レーザ光の透過層であるカバー層を十分薄いもの（例えば、０．１ｍｍ程度のもの）とし、高ＮＡに伴うディスクの傾きによるコマ収差の増加を抑制する必要がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
上記のような光ディスクの製造ラインでは、例えば、予め情報記録層が形成されたディスク基板の記録面上に樹脂フィルムを基材とする薄膜状のカバーシートを貼り合せ、このカバーシートによりディスク基板上に透明なカバー層を形成して光ディスクを製造する。ここで、カバーシートは、樹脂フィルム及びこの樹脂フィルムの片側の面に形成された粘着膜から構成されている。このカバーシートをディスク基板に貼り合わせる際には、先ず、カバーシートの粘着膜上にディスク基板を重ね合せてカバーシートとディスク基板との積層体（以下、これを「ディスク積層体」という。）を構成する。この状態では、粘着膜全体がディスク基板の記録面に均一に密着しておらず、カバーシートがディスク基板へ十分な接合力で接合されていない。このため、光ディスクの製造ラインでは、ディスク積層体をその厚さ方向に沿って所定の加圧力で加圧し、カバーシート全体をディスク基板の記録面に均一に密着させる。これにより、ディスク積層体におけるカバーシートがディスク基板へ十分な接合力で貼り合わされて、製品素材として光ディスクが製造される。
【０００４】
上記のような光ディスクを製造する製造装置（以下、「光ディスク製造装置」という。）としては、例えば、特許文献２に示されているように、支持テーブル上に載置されたカバーシート上にディスク基板を重ね合わせ、これらのディスク基板及びカバーシートを真空槽内へ格納し所定の真空度まで減圧した後に、この真空槽内で弾性を有する加圧部材であるパッドによりディスク基板を支持テーブル上のカバーシート側へ加圧し、カバーシートをディスク基板の記録面に貼り合わせるものがある。このようにカバーシートをディスク基板の記録面に貼り合せる貼合工程を、十分に高い真空度まで減圧された真空雰囲気中で行うことにより、ディスク基板に貼り合わされたカバーシートと記録面との間に残留するエアーの排出が促進されるので、カバーシートとディスク基板の記録面との密着が不完全になることを効果的に防止できる。
【０００５】
また、上記のようなカバーシート及びディスク基板の中心部には、円形の開口部及びセンターホールがそれぞれ形成されており、光ディスク製造装置では、支持テーブルの中心部から突出するセンターピンをカバーシートの開口部及びディスク基板のセンターホールにそれぞれ挿入することにより、カバーシート及びディスク基板をそれぞれ中心が一致するように位置決めする。
【特許文献１】特開平１１−３１３３７号公報（第９−１０頁、図４）
【特許文献２】特開平２００３−２１７１９２号公報（第８頁、図１及び図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記のような光ディスク製造装置により光ディスクを製造する場合に、支持テーブル上に載置されたカバーシートにカール癖等の変形癖が付いている場合には、このような変形癖が付いているカバーシート上にディスク基板を重ね合わせると、ディスク基板とカバーシートとの間に局部的に隙間が生じてしまうことがある。このようにディスク基板とカバーシートとの間に隙間が生じた状態のまま、真空雰囲気中で加圧部材によりディスク基板とカバーシートとを加圧して貼り合わせても、加圧中にディスク基板とカバーシートとの間から空気を完全に排出できず、ディスク基板のカバーシートとの間に微小な気泡（空気）が残留してしまうことがある。このようなディスク基板とカバーシートとの間に存在する気泡は、記録再生時に光ディスクに入射するレーザ光を散乱させ、また光ディスクの外観品質を低下させるので、光ディスクの品質及び製造歩留まりを低下させる原因となる。
【０００７】
また、カバーシートに変形癖が付いていると、支持テーブル上に載置されたカバーシートの開口部内へのセンターピンの挿入が浅くなって、このセンターピンによるカバーシートに対する位置決め精度が低下する場合がある。これにより、カバーシートとディスク基板とがそれぞれの中心が一致しない状態で貼り合わされてカバーシートとディスク基板との間に位置ずれが生じたり、カバーシート上に載置されたディスク基板を加圧する際にカバーシートの一部がディスク基板に対して面方向へ滑ってカバーシートに皺が発生することがあった。
【０００８】
本発明の目的は、上記事実を考慮して、カバーシートに変形癖が付いている場合でも、カバーシートを支持テーブルの載置面上に確実に密着させつつ、このカバーシートにディスク基板を貼り合わせることができる光ディスクの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る光ディスクの製造方法は、片側の面が記録面とされ、該記録面に情報記録層が形成されたディスク基板と、樹脂フィルムの片側の面に粘着膜が成膜されて構成され、該粘着膜を介して前記情報記録層を覆うように前記記録面に貼り合わされるカバーシートと、を有する光ディスクの製造方法であって、前記カバーシートを支持テーブルの載置面上に載置すると共に、該カバーシートを前記支持テーブルに設けられた静電チャックにより前記支持テーブルの載置面上に吸着した後、前記ディスク基板及び前記静電チャックにより支持テーブル上に吸着された前記カバーシートを所定の真空度まで減圧された真空雰囲気中に保持しつつ、前記ディスク基板の記録面を前記カバーシートの粘着膜上に載置し、該粘着膜を介してディスク基板を前記カバーシートに貼り合わせる貼合工程を有することを特徴とする。
【００１０】
本発明に係る光ディスクの製造方法では、先ず、カバーシートを支持テーブルの載置面上に載置すると共に、このカバーシートを支持テーブルに設けられた静電チャックにより支持テーブルの載置面上に吸着することにより、静電チャックからの静電力によりカバーシート全体を支持テーブルの載置面上に密着させることができるので、カバーシートにロール癖等の変形癖が付いている場合でも、カバーシートの一部が支持テーブルの載置面上から浮き上がった状態になることを確実に防止できる。
【００１１】
本発明の光ディスクの製造方法では、次いで、ディスク基板及び静電チャックにより支持テーブル上に吸着されたカバーシートを真空雰囲気中に保持しつつ、ディスク基板の記録面をカバーシートの粘着膜上に載置し、この粘着膜を介してディスク基板をカバーシートに貼り合わせる。
【００１２】
この結果、例えば、カバーシートの一部が支持テーブルから浮き上っていることに起因し、カバーシートとこのカバーシート上に重ねあわされたディスク基板との間からの空気の排出が不完全になり、互いに貼り合わされたディスク基板のカバーシートとの間に微小な気泡（空気）が残留することを効果的に防止でき、またカバーシートとディスク基板とがそれぞれの中心が一致しない状態で貼り合わされてカバーシートとディスク基板との間に位置（センター）ずれが生じたり、カバーシート上に載置されたディスク基板を加圧して貼り合わせる際に、カバーシートがディスク基板に対して面方向へ滑ってカバーシートに皺が発生することを効果的に防止できる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように本発明に係る光ディスクの製造方法によれば、カバーシートに変形癖が付いている場合でも、カバーシートを支持テーブルの載置面上に確実に密着させつつ、このカバーシートにディスク基板を貼り合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態に係る光ディスクの製造方法について図面を参照して説明する。
【００１５】
先ず、本発明の実施形態に係る光ディスクの構成について説明する。図１には、本発明の実施形態に係る光ディスクの製造方法により製造された光ディスクが示されている。この光ディスク１０は、従来のＤＶＤ−Ｒ等の光ディスクに対して高密度の情報記録が可能とされたものであり、例えば、従来の光ディスクと比較して、記録再生用のレーザ光として短波長の青紫レーザ光を用いると共に、ディスク駆動装置の対物レンズの開口数ＮＡを０．８５程度まで増大することで、１２ｃｍ径の光ディスク１０に対する片面記録容量を２７Ｇバイト程度まで高めることを想定している。
【００１６】
光ディスク１０には、円板状に形成されたディスク基板１２が設けられており、このディスク基板１２の片側の面は情報の記録面１４とされている。ディスク基板１２の記録面１４側には、光反射層１８及び光吸収層２０が順に積層されており、これらの光反射層１８及び光吸収層２０により情報記録層（以下、単に「記録層」という。）１６が構成されている。また光ディスク１０には、記録層１６を覆うようにディスク基板１２上に透明なカバー層２２が設けられている。このカバー層２２は、透明樹脂を素材とするカバーシート２４により構成され、その厚さが１００μｍ程度とされている。
【００１７】
ディスク基板１２は、ＰＣ（ポリカーボネイト）等の樹脂を素材としてモールド成形されている。またカバーシート２４は、ＰＣ（ポリカーボネイト）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）等の透明な樹脂フィルム２６及び、この樹脂フィルム２６の片側の面に形成された粘着膜２８からなる。粘着膜２８は、公知のアクリル系、ゴム系、シリコン系等の粘着剤により形成されるが、透明性及び耐久性の観点からは、アクリル系粘着剤が望ましい。またカバーシート２４における樹脂フィルム２６及び粘着膜２８のそれぞれの厚さは、カバー層２２の設定値に応じて決められるが、例えば、カバー層２２の厚さの設定値が１００μｍの場合には、樹脂フィルム２６の厚さが８０μｍに設定され、粘着膜２８の厚さが２０μｍに設定される。
【００１８】
ディスク基板１２の中心部には、光ディスク１０の回転中心となる軸心ＳＤに沿って円形のセンターホール２９が穿設されている。またカバー層２２の中心部には、軸心ＳＤを中心としてセンターホール２９よりも大径とされた円形の開口部３０が形成されている。
【００１９】
図２には、本発明の実施形態に係る光ディスク製造装置が示されている。この光ディスク製造装置４０は光ディスクの製造ラインに配置され、モールド成形等により成形されたディスク基板１２にカバーシート２４を貼り合わせて光ディスク１０を製造するためのものであり、光ディスク製造装置４０には、光ディスクの製造ラインにてそれぞれ独立した工程を経て製造されたディスク基板１２及びカバーシート２４が供給される。
【００２０】
光ディスク製造装置４０には、装置全体を制御するための制御ユニット３８（図４参照）を内蔵した本体ケーシング４２が設けられており、この本体ケーシング４２の上面部には、その中央付近に円板状の第１ターンテーブル４４が設置されている。この第１ターンテーブル４４は、その軸心Ｓ１を中心として本体ケーシング４２により回転可能に支持されている。第１ターンテーブル４４上の外周側には、それぞれ円板状に形成された６個のテーブル台４６が軸心Ｓ１を中心とする周方向に沿って等ピッチで配置されている。これらのテーブル台４６上には、それぞれ円板状の支持テーブル４８が同軸的に配置されている。支持テーブル４８の上面は、図３に示されるように、平滑な平面からなる載置面４９とされ、この載置面４９上には、カバーシート２４及びディスク基板１２が載置可能とされている。
【００２１】
各支持テーブル４８には、その載置面４９の中心部から突出するようにセンターピン５０が配置されている。センターピン５０は、図４に示されるように、第１ターンテーブル４４、テーブル台４６及び支持テーブル４８をそれぞれ貫通するスライド穴５２内へ摺動可能に挿入されており、その先端側を支持テーブル４８の載置面４９の中心部から突出させている。センターピン５０は略丸棒状に形成されており、支持テーブル４８と同軸的に配置されている。
【００２２】
図３に示されるように、センターピン５０には、その先端部に基端側よりも外径が小さい細径部５４が設けられている。この細径部５４は、その外径がディスク基板１２のセンターホール２９の内径よりも僅かに小さくされている。またセンターピン５０は、細径部５４に対して基端側の部分が外径一定の大径部５６とされており、この大径部５６の外径は、カバーシート２４の開口部３０の内径よりも僅かに小さくされている。センターピン５０には、細径部５４と大径部５６との間に段差状のディスク支持部５８が形成されている。
【００２３】
図４に示されるように、センターピン５０は、その下端側を本体ケーシング４２内まで突出させており、センターピン５０の下端部にはブロック状のジョイント部材６０が取り付けられている。また本体ケーシング４２内には、センターピン５０の下側に第１リニアアクチュエータ６２が配置されている。第１リニアアクチュエータ６２は、シリンダ６４及びこのシリンダ６４から上方へ突出する駆動ロッド６６を備えており、駆動ロッド６６をシリンダ６４により高さ方向（矢印Ｈ方向）に沿ってスライド可能に支持している。駆動ロッド６６の先端部にはジョイント部材６１が取り付けられており、駆動ロッド６６は、ジョイント部材６０，６１を介してセンターピン５０に着脱可能に連結されている。
【００２４】
ここで、第１リニアアクチュエータ６２のシリンダ６４は、ブラケット（図示省略）を介して本体ケーシング４２における周回位置Ｐ３に対応する位置に固定されており、第１ターンテーブル４４が回転してカバーシート２４及びディスク基板１２が載置された支持テーブル４８が周回位置Ｐ３に移動してくると、その支持テーブル４８に配置されたセンターピン５０のジョイント部材６０が駆動ロッド６６のジョイント部材６１に嵌挿されて連結される。また支持テーブル４８上でのカバーシート２４とディスク基板１２との貼り合せが完了した後、第１ターンテーブル４４が回転して支持テーブル４８が周回位置Ｐ３から離脱すると、その支持テーブル４８のジョイント部材６０もジョイント部材６１から離脱する。
【００２５】
第１リニアアクチュエータ６２は、制御ユニット３８によりサーボ制御可能とされており、制御ユニット３８から入力した制御信号に対応する速度で駆動ロッド６６を所定の移動量だけ上昇又は下降させる。これにより、センターピン５０は、駆動ロッド６６の移動量に応じて支持テーブル４８の載置面４９からの突出長を変化させる。
【００２６】
図３に示されるように、支持テーブル４８は、肉厚円板状のテーブル本体１３０と、このテーブル本体１３０の上面部分に貼り付けられたシート状の静電力チャック１３２を備えており、この静電チャック１３２の上面部分は支持テーブル４８の載置面４９を形成している。静電チャック１３２は、図６に示されるように、下面部に薄膜状のプリント電極が形成された電極シート１３６、プリント電極に接続されたケーブル１３８及び、プリント電極をテーブル本体１３０から絶縁する絶縁層１４０により構成されている。この静電チャック１３２は、ケーブル１３８を通して制御ユニット３８によりプリント電極に駆動電圧が印加されると、支持テーブル４８の載置面４９上に載置されたカバーシート２４に対して静電的な吸着力（ジャンセン・ラーベック力）を作用させる。なお、本実施形態では、静電チャック１３２として単極方式のものを用いているが、双極方式の静電チャックを用いても良い。
【００２７】
図２に示されるように、光ディスク製造装置４０には、第１ターンテーブル４４の外周側に、シート供給ユニット６８、ディスク供給ユニット７０、第１ターンテーブル４４よりも小径の第２ターンテーブル７２及びディスク搬出ユニット７４が設置されている。なお、図２では、シート供給ユニット６８によりカバーシート２４の供給を受ける位置にある支持テーブル４８を起点とし、第１ターンテーブル４４の回転方向（反時計方向）に沿って６個の支持テーブル４８及びテーブル台４６が保持される位置をそれぞれ周回位置Ｐ１〜Ｐ６として以下の説明を行う。
【００２８】
シート供給ユニット６８は、周回位置Ｐ１に保持された支持テーブル４８の外周付近に配置されている。このシート供給ユニット６８は、周回位置Ｐ１にある支持テーブル４８上にカバーシート２４を供給するためのものである。またディスク供給ユニット７０は周回位置Ｐ２の外周付近に配置されており、このディスク供給ユニット７０には、複数枚のディスク基板１２が積載可能とされたディスク台７６及び、このディスク台７６上に積載された複数枚のディスク基板１２から１枚のディスク基板１２を把持し、このディスク基板１２を周回位置Ｐ２にある支持テーブル４８上へ搬送する搬送アーム７８が設けられている。
【００２９】
光ディスク製造装置４０には、周回位置Ｐ１にある支持テーブル４８の上方にエアーノズル１４２が配置されると共に、周回位置Ｐ３にあるテーブル台４６の上方に真空槽８０が配置されている。ここで、エアーノズル１４２は、図６（Ａ）に示されるように、エアー配管１４４を通して加圧エアーを供給するためのエアー供給源（図示省略）に接続されている。またエアー配管１４４の途中には電磁バルブ１４６が配置されており、この電磁バルブ１４６は制御ユニット３８からの制御信号に従って開閉可能とされている。エアーノズル１４２は、そのエアー噴射口を支持テーブル４８の載置面４９へ向けて開口させており、電磁バルブ１４６の開放時にエアー供給源から供給された加圧空気を放射状の空気流として支持テーブル４８の載置面４９側へ噴射する。
【００３０】
また真空槽８０は、図４に示されるように、下方に向った開いた容器状に形成されており、その下端面には全周に亘って弾性を有するシール部材（図示省略）が取り付けられている。また光ディスク製造装置４０には、真空槽８０の上方に支持フレーム８４が配置されており、この支持フレーム８４は、真空槽８０を吊り下げた状態でテーブル台４６の上方に支持している。また真空槽８０の頂面部にはサブフレーム８６が固定されている。
【００３１】
図４に示されるように、支持フレーム８４には、真空槽８０を昇降するための第２リニアアクチュエータ８８が搭載されている。この第２リニアアクチュエータ８８は、支持フレーム８４に固定されたシリンダ９０及び、このシリンダ９０から下方へ突出する駆動ロッド９２を備えており、駆動ロッド９２の先端部がサブフレーム８６に連結されている。第２リニアアクチュエータ８８は、制御ユニット３８により制御され、制御ユニット３８からの制御信号に従って真空槽８０をテーブル台４６の上方へ離間した開放位置（図４参照）及び真空槽８０の下端面をテーブル台４６に圧接させる密閉位置（図７参照）の何れかに保持する。ここで、密閉位置に保持された真空槽８０内には外部から密閉された気密室９４が形成される。
【００３２】
真空槽８０内には、略肉厚円板状に形成された加圧部材９６が支持テーブル４８に正対するように支持され、この加圧部材９６の下面部には弾性を有する弾性パッド９８が固着されている。一方、サブフレーム８６には、加圧部材９６を支持及び駆動するための第３リニアアクチュエータ１００が搭載されている。この第３リニアアクチュエータ１００は、サブフレーム８６に固定されたシリンダ１０２及び、このシリンダ１０２から下方へ突出する駆動ロッド１０４を備えており、この駆動ロッド１０４は、真空槽８０の頂板部に取付けられたシールリング１０６内を挿通して真空槽８０内まで突出し、その先端部が加圧部材９６の上面中央部に連結されている。
【００３３】
第３リニアアクチュエータ１００は、真空槽８０が密閉位置に保持された状態で、制御ユニット３８により制御され、制御ユニット３８からの制御信号を受けると、加圧部材９６を支持テーブル４８の上方へ待機した待機位置（図４参照）から支持テーブル４８上に載置されたカバーシート２４及びディスク基板１２に圧接する押圧位置まで下降させ、加圧部材９６によりカバーシート２４及びディスク基板１２を加圧した後、加圧部材９６を待機位置へ復帰させる。
【００３４】
図４に示されるように、真空槽８０には、フレキシブルホース１０８の一端部が内部に連通するように連結されており、このフレキシブルホース１０８を通して真空ポンプ等の真空発生装置（図示省略）が接続されている。この真空発生装置も、制御ユニット３８により制御され、制御ユニット３８は、真空槽８０が密閉位置へ下降して気密室９４が形成されると、真空発生装置により気密室９４内の空気を吸入して気密室９４内を所定の真空度まで減圧する。
【００３５】
第２ターンテーブル７２は、第１ターンテーブル４４上で製造された光ディスク１０を一時保管するためのものであり、図２に示されるように、周回位置Ｐ６に保持された支持テーブル４８の外周付近に配置されている。この第２ターンテーブル７２上には、その軸心Ｓ３を中心とする周方向に沿ってディスク基板１２が載置可能とされた４個のディスク支持台１１０が設けられている。なお、図２では、第１ターンテーブル４４に最も近接する位置にあるディスク支持台１１０を起点とし、第２ターンテーブル７２の回転方向（反時計方向）に沿って４個のディスク支持台１１０が保持される位置をそれぞれ周回位置Ｒ１〜Ｒ４として以下の説明を行う。
【００３６】
図２に示されるように、光ディスク製造装置４０には、第２ターンテーブル７２に隣接してディスク搬出ユニット７４が設置されており、このディスク搬出ユニット７４には、複数枚のディスク基板１２がそれぞれ積載可能とされたＮＧディスク台１１２及び良品ディスク台１１４が設けられると共に、周回位置Ｐ６に保持された支持テーブル４８、周回位置Ｒ１に保持されたディスク支持台１１０、ＮＧディスク台１１２及び良品ディスク台１１４の間で光ディスク１０を搬送する搬送アーム１１６が設けられている。
【００３７】
また、光ディスク製造装置４０には、第２ターンテーブル７２における周回位置Ｒ２に保持されたディスク支持台１１０の上方に光ディスク１０の表面（光入射面）から保護フィルム３６（図５（Ｂ）参照）を剥離、回収する剥離ユニット１１８が設置されると共に、周回位置Ｒ３に保持されたディスク支持台１１０の上方に光ディスク１０の光入射面の平面性、軸心ＳＤを基準とする傾き量等を検査するための面状検査ユニット１２０が設置されている。
【００３８】
なお、ディスク基板１２に貼り合わされるカバーシート２４（図３参照）は、図５（Ｂ）に示されるように、長尺帯状の樹脂フィルム２６、この樹脂フィルム２６の片側の面に形成された粘着膜２８、この粘着膜２８に貼り付けられた剥離シート３４及び、樹脂フィルム２６の粘着膜２８とは反対側の面に貼り付けられた保護フィルム３６からなる４層構造の積層シート材３２を加工素材として製造される。具体的には、環状の打抜刃（図示省略）により積層シート材３２における保護フィルム３６、樹脂フィルム２６及び粘着膜２８を円板状に打抜くことでカバーシート２４を成形する。このとき、カバーシート２４の粘着膜２８に貼り付けられた剥離シート３４は、打抜刃により打抜かれることなく長尺帯状のまま残される。この長尺帯状の剥離シート３４は、積層シート材３２から打抜かれたカバーシート２４を搬送するためのキャリアベースとして用いられる。このようにしてカバーシート２４が打抜き加工された積層シート材３２は、図５（Ａ）に示されるように、一旦ロール状に巻き取られた後、シート供給ユニット６８に装填される。
【００３９】
次に、上記のように構成された光ディスク製造装置４０を用いた光ディスク１０の製造方法について説明する。
【００４０】
光ディスク製造装置４０では、支持テーブル４８が周回位置Ｐ１に移動してくると、シート供給ユニット６８が積層シート材３２における剥離シート３４から１枚のカバーシート２４を剥離すると共に、このカバーシート２４を粘着膜２８が上方を向くように支持テーブル４８の載置面４９上に載置する。このとき、カバーシート２４の素材である積層シート材３２がロール状に巻き取られた状態で保管され、シート供給ユニット６８へ装填されることから、剥離シート３４から剥離されたカバーシート２４には、通常、積層シート材３２の撓み方向へカールしようとするカール癖が付いており、このカール癖は、積層シート材３２における内周側に巻き取られていたカバーシート２４ほど強いものになる。このような強いカール癖が付いたカバーシート２４をシート供給ユニット６８により支持テーブル４８の載置面４９上に載置した場合には、図８（Ａ）又は（Ｂ）に示されるように、カールが生じたカバーシート２４の一部が支持テーブル４８の載置面４９から浮き上ったままの状態になり易い。
【００４１】
具体的には、カバーシート２４の表面（光入射面）が外周側を向くように積層シート材３２が巻き取られていた場合には、カバーシート２４は、図８（Ａ）に示されるように、載置面４９へ向かって凸状になるようにカールし、載置面４９上で径方向に沿った両端部が載置面４９から浮き上った状態になり易く、またカバーシート２４の光入射面が内周側を向くように積層シート材３２が巻き取られていた場合には、カバーシート２４は、図８（Ｂ）に示されるように、載置面４９へ向かって凹状になるようにカールし、径方向に沿った中央部が載置面４９から浮き上った状態になり易い。このとき、図８（Ａ）に示されるように、カバーシート２４の中央部付近が載置面４９から浮き上った状態となると、カバーシート２４の開口部３０内へのセンターピン５０の挿入が浅くなり、センターピン５０の大径部５６によりカバーシート２４を所定の精度で位置決めできなくなる。
【００４２】
光ディスク製造装置４０では、シート供給ユニット６８によりカバーシート２４が支持テーブル４８上に載置されると、これに同期し、制御ユニット３８がエアー配管１４４に配置された電磁バルブ１４６を開放する。これにより、エアーノズル１４２から空気流が放射状に噴射されて載置面４９上に載置されたカバーシート２４上面の略全域に向かって吹き付けられる。この空気流によりカバーシート２４全体に載置面４９側へ加圧されるので、例えば、載置面４９上に載置された時に図８（Ａ）又は（Ｂ）に示されるように、カバーシート２４の一部が載置面４９から浮き上った状態になっていても、空気流が発生する圧力（空気圧）によりカバーシート２４を平坦状に矯正し、カバーシート２４全体を載置面４９に密着した状態にでき、カバーシート２４をセンターピン５０の大径部５６により所定の精度で確実を位置決めできる。このとき、カバーシート２４の撓み方向の剛性及びカバーシート２４に生じ得るカールの最大量に応じてエアーノズル１４２から噴射される空気流の量及び流速を適宜調整しておけば、この空気流を吹き付けることによりカバーシート２４全体を載置面４９に確実に密着させることが可能になる。
【００４３】
制御ユニット３８は、電磁バルブ１４６を開放した後に静電チャック１３２に駆動電圧を印加する。これにより、静電チャック１３２が静電的な吸着力を載置面４９上に載置されたカバーシート２４に作用させ、カバーシート２４全体を載置面４９上に吸着する。制御ユニット３８は、静電チャック１３２への駆動電圧の印加開始後に、電磁バルブ１４６を閉鎖してカバーシート２４への空気流の吹き付けを停止させる。このとき、カバーシート２４にロール癖が付いていても、静電チャック１３２からの吸着力によりカバーシート２４の一部が載置面４９上から浮き上ることが確実に防止される。
【００４４】
光ディスク製造装置４０では、静電チャック１３２によりカバーシート２４が支持テーブル４８の載置面４９上に吸着されると、第１ターンテーブル４４を反射時計方向へ所定の回転量（６０°）回転させ、カバーシート２４が載置された支持テーブル４８を周回位置Ｐ２に移動させる。カバーシート２４と共に支持テーブル４８を周回位置Ｐ２に移動すると、ディスク供給ユニット７０は、ディスク台７６上に積載された複数枚のディスク基板１２から１枚のディスク基板１２を把持し、このディスク基板１２を周回位置Ｐ２にある支持テーブル４８上へ搬送し、センターホール２９をセンターピン５０の細径部５４の外周側へ嵌挿しつつ、ディスク基板１２をセンターピン５０のディスク支持部５８上に載置する。
【００４５】
このとき、第１リニアアクチュエータ６２によりセンターピン５０が上限位置に保持されており、この上限位置では、図６に示されるようにセンターピン５０における大径部５６の先端側が載置面４９から上方へ突出している。これにより、図６（Ｂ）に示されるように、センターピン５０の細径部５４によりディスク基板１２の中心が支持テーブル４８の軸心Ｓ２と一致するように位置決めされると共に、センターピン５０のディスク支持部５８によりディスク基板１２がカバーシート２４の上方へ離間した状態で支持される。
【００４６】
光ディスク製造装置４０では、ディスク供給ユニット７０によりディスク基板１２がセンターピン５０のディスク支持部５８上に載置されると、第１ターンテーブル４４を反射時計方向へ６０°回転させ、カバーシート２４及びディスク基板１２が供給された支持テーブル４８を周回位置Ｐ３に移動させる。カバーシート２４及びディスク基板１２と共に支持テーブル４８が周回位置Ｐ３に移動すると、制御ユニット３８は、図７（Ａ）に示されるように、第２リニアアクチュエータ８８により真空槽８０を開放位置から密閉位置へ下降させる。これにより、真空槽８０内には外部から密閉された気密室９４が形成される。次いで、制御ユニット３８は、真空発生装置により気密室９４内から空気を吸引して気密室９４内を所定の真空度まで減圧する。このとき、真空発生装置は、気密室９４内を５〜１００Ｐａの範囲から設定された目標真空度（本実施形態では、３０Ｐａ以下）まで減圧し、カバーシート２４とディスク基板１２との貼り合わせが完了するまで気密室９４内を３０Ｐａ以下に維持する。
【００４７】
なお、真空雰囲気中では静電チャック１３２からの放電現象が促進され、カバーシート２４に対する吸着力が低下する現象が生じるが、カバーシート２４が載置面４９に一旦密着した後は、載置面４９からカバーシート２４が剥離し難い状態となることから、真空雰囲気中でもカバーシート２４が載置面４９に密着した状態が維持される。
【００４８】
制御ユニット３８は、気密室９４内が３０Ｐａ以下まで減圧されると、制御ユニット３８は、第１リニアアクチュエータ６２により上限位置にあるセンターピン５０を所定の下限位置まで下降させる。この下限位置では、センターピン５０は、図７（Ｂ）に示されるように、支持テーブル４８の載置面４９から突出しないように、その先端が載置面４９よりも下方に位置する。センターピン５０が上限位置から下限位置へ下降することにより、センターピン５０のディスク支持部５８上に載置されていたディスク基板１２は、カバーシート２４上まで移動し、ディスク基板１２の記録面１４がカバーシート２４の粘着膜２８上に載置される。
【００４９】
制御ユニット３８は、センターピン５０が下限位置へ下降すると、静電チャック１３２への駆動電圧の印加を停止すると共に、第３リニアアクチュエータ１００により加圧部材９６を待機位置（図７（Ａ）参照）から押圧位置（図７（Ｂ）参照）まで下降させ、加圧部材９６の弾性パッド９８によりディスク基板１２及びカバーシート２４を所定の加圧力で加圧する。このとき、駆動電圧の印加が停止された静電チャック１３２は、カバーシート２４に対する吸着力を徐々に低下させ、加圧部材９６による加圧中にカバーシート２４に対する吸着力を略消失させる。
【００５０】
また制御ユニット３８は、制御ユニット３８は、加圧部材９６の弾性パッド９８からディスク基板１２及びカバーシート２４へ加えられる加圧力が０．２ｋＰａ〜１．０ｋＰａの範囲内から選択された目標値（本実施形態では、０．５ｋＰａ）となるように、第３リニアアクチュエータ１００が発生する駆動力を制御し、この駆動力を所定の加圧時間（例えば、０．２秒）維持した後、第３リニアアクチュエータ１００により加圧部材９６を押圧位置から待機位置へ復帰させる。これにより、ディスク基板１２の記録面１４全体がカバーシート２４の粘着膜２８に均一に密着し、カバーシート２４がディスク基板１２へ十分な接合力で貼り合わされ、製品素材としての光ディスク１０（図１参照）の製造が完了する。
【００５１】
制御ユニット３８は、加圧部材９６を待機位置に復帰させると、真空発生装置を通して気密室９４内を大気へ開放した後、第２リニアアクチュエータ８８により真空槽８０を密閉位置から開放位置へ復帰させる。また第１ターンテーブル４４の外周側には除電装置（図示省略）が配置されており、この除電装置は、真空槽８０が開放位置へ復帰すると、周回位置Ｐ３にある支持テーブル４８及び支持テーブル４８上の光ディスク１０に作動時の静電力チャック１３２とは逆極性に帯電した除電風を吹き付け、支持テーブル４８及び光ディスク１０を除電する。
【００５２】
光ディスク製造装置４０では、真空槽８０が開放位置に復帰すると、第１ターンテーブル４４を反時計方向へ回転して光ディスク１０が載置された支持テーブル４８を周回位置Ｐ５まで移動させた後、更に周回位置Ｐ６まで移動させる。これに連動し、光ディスク製造装置４０は、ディスク搬出ユニット７４の搬送アーム７８により周回位置Ｐ６にある支持テーブル４８上に載置された光ディスク１０を把持し、この光ディスク１０の表裏を反転しつつ、光ディスク１０を第２ターンテーブル７２における周回位置Ｒ１にあるディスク支持台１１０上に載置する。
【００５３】
第２ターンテーブル７２は、周回位置Ｒ１にあるディスク支持台１１０上に光ディスク１０が載置されると、反時計方向へ間欠的に回転し、光ディスク１０が載置された支持テーブル４８を周回位置Ｒ２及び周回位置Ｒ３にそれぞれ一旦停止させた後、周回位置Ｒ４まで移動させる。このとき、剥離ユニット１１８は、周回位置Ｒ２に一旦停止しているディスク支持台１１０上に載置された光ディスク１０から保護フィルム３６を剥離し、この保護フィルム３６を回収する。
【００５４】
また面状検査ユニット１２０は、周回位置Ｒ３に一旦停止しているディスク支持台１１０上に載置された光ディスク１０の上面（光入射面）の平面性、傾き量等の面状を検査する。この面状検査ユニット１２０による検査結果は、光ディスク製造装置４０の制御ユニット（図示省略）へ送信される。制御ユニットは、面状検査ユニット１２０による検査結果に基づいて、第２ターンテーブル７２により周回位置Ｒ３まで搬送されてきた光ディスク１０が予め決められた品質基準を満たしていないＮＧ品か、品質基準を満たしている良品かを判断する。
【００５５】
面状検査ユニット１２０による検査完了後に、第２ターンテーブル７２により光ディスク１０が周回位置Ｐ４まで搬送されてくると、光ディスク製造装置４０の制御ユニットは、周回位置Ｐ４にある光ディスク１０がＮＧ品である場合には、この光ディスク１０を搬送アーム１１６により把持させ、ディスク支持台１１０上からＮＧディスク台１１２上に搬送してＮＧディスク台１１２上に積載し、また周回位置Ｐ４にある光ディスク１０が良品である場合には、この光ディスク１０を搬送アーム１１６により把持させ、ディスク支持台１１０上から良品ディスク台１１４上に搬送して良品ディスク台１１４上に積載する。これらのディスク台１１２，１１４上に積載されたＮＧ品及び良品としての光ディスク１０は、それぞれ所定のロット枚数まで貯まると、ディスク台１１２，１１４上から再検査工程、塗装工程等の他の工程が行われる装置等へ搬出される。
【００５６】
以上説明したように、本実施形態に係る光ディスクの製造方法では、先ず、カバーシート２４を支持テーブル４８の載置面４９上に載置し、このカバーシート２４に空気流を吹き付けると共に、カバーシート２４を支持テーブルに設けられた静電チャック１３２により載置面４９上に吸着することにより、カバーシート２４にカール癖が付いている場合でも、このカバーシート２４を空気流により平坦状になるように矯正しつつ、静電チャック１３２からの静電力によりカバーシート２４全体を支持テーブルの載置面上に密着させることができるので、カバーシートの一部が支持テーブルの載置面上から浮き上がった状態になることを確実に防止できる。
【００５７】
本実施形態に係る光ディスクの製造方法では、次いで、ディスク基板１２及び静電チャック１３２により支持テーブル４８上に吸着されたカバーシート２４を真空雰囲気中に保持しつつ、ディスク基板１２の記録面１４をカバーシート２４の粘着膜２８上に載置した後、加圧部材９６によりディスク基板１２及びカバーシート２４を加圧してディスク基板１２をカバーシート２４に貼り合わせる。
【００５８】
この結果、例えば、カバーシート２４の一部が支持テーブル４８の載置面４９から浮き上っていることに起因し、カバーシート２４とこのカバーシート２４上に重ねあわされたディスク基板１２との間からの空気の排出が不完全になり、互いに貼り合わされたディスク基板１２のカバーシート２４との間に微小な気泡（空気）が残留することを効果的に防止でき、またカバーシート２４とディスク基板１２とがそれぞれの中心が一致しない状態で貼り合わされてカバーシート２４とディスク基板１２との間に位置（センター）ずれが生じたり、カバーシート２４上に重ね合わされたディスク基板１２を加圧部材９６により加圧する際に、カバーシート２４がディスク基板１２に対して面方向へ滑ってカバーシート２４に皺が発生することを効果的に防止できる。
【００５９】
また本実施形態に係る光ディスクの製造方法では、支持テーブル４８の載置面４９上に載置されたカバーシートに空気流を吹き付け、この空気流によりカバーシート２４を支持テーブル４８の載置面４９側へ加圧しつつ、静電チャック１３２を作動開始させて静電チャック１３２によりカバーシートを支持テーブルの載置面４９上に吸着することにより、静電チャック１３２の作動開始前に、カール癖等によりカバーシート２４の一部が載置面４９から浮き上った状態になっていても、空気流が発生する圧力（空気圧）によりカバーシート２４を平坦状に矯正し、カバーシート２４全体を載置面４９に密着した状態としつつ、このカバーシート２４を静電チャック１３２により載置面４９上に吸着できる。
【００６０】
なお、本実施形態では、カバーシート２４に空気流を吹き付けたが、無論、不活性ガス、窒素等の空気以外の気流をカバーシート２４に吹き付けてカバーシート２４を載置面４９側へ加圧しても良く、またカバーシート２４の外周端付近をを上方から押圧用部材を押し当てて加圧し、カバーシート２４全体を確実に載置面４９に密着させるようにしても良い。
【００６１】
また本実施形態に係る光ディスクの製造方法では、静電チャック１３２によりカバーシート２４を支持テーブル４８の載置面４９上に吸着した後に、ディスク基板１２及び支持テーブル４８の載置面４９上に吸着されたカバーシート２４を真空槽８０内へ搬入し、この真空槽８０内に形成された気密室９４を所定の真空度まで減圧した後、この気密室９４内でディスク基板１２をカバーシート２４に貼り合わせる。これにより、大気圧下で静電チャック１３２により静電的な吸着力を発生させ、この吸着力によりカバーシート２４を載置面４９上に吸着できるので、静電チャック１３２からの放電現象を抑制しつつ、静電チャック１３２により効果的にカバーシート２４を吸着できる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施形態に係る光ディスクの構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係る光ディスクの製造方法が実施される光ディスク製造装置の構成を示す平面図である。
【図３】図２に示される光ディスク製造装置における支持テーブル及びセンターピンの構成を示す斜視図である。
【図４】図２に示される光ディスク製造装置における真空槽及び真空槽を支持及び駆動するための機構の構成を示す側面断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る光ディスクの製造方法に用いられるカバーシートの素材である積層シート材の構成を示す斜視図及び側面断面図である。
【図６】（Ａ）は支持テーブル上に載置されたカバーシートへ空気流を吹き付けている状態を示す側面図、（Ｂ）は支持テーブル上にカバーシート及びディスク基板が載置された状態を示す側面図である。
【図７】（Ａ）は真空槽が密閉位置に下降して真空槽内に密閉室が形成された状態を示す側面断面図、（Ｂ）は密閉室内で加圧部材が加圧位置まで下降してディスク基板及びカバーシートを加圧した状態を示す側面断面図である。
【図８】支持テーブル上に載置されたカバーシートにカールが生じてカバーシートの一部が載置面から浮き上った状態を示し側面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１０      光ディスク
１２      ディスク基板
１４      記録面
２４      カバーシート
２８      粘着膜
４０      光ディスク製造装置
４８      支持テーブル
４９      載置面
８０      真空槽
９４      気密室
１３２    静電チャック
１４２    エアーノズル
【図１】
2005216426.tif 000003
【図２】
2005216426.tif 000004
【図３】
2005216426.tif 000005
【図４】
2005216426.tif 000006
【図５】
2005216426.tif 000007
【図６】
2005216426.tif 000008
【図７】
2005216426.tif 000009
【図８】
2005216426.tif 000010