(57)【要約】【課題】  効率的な脱気処理を可能にして脱気効果を高めるとともに、構成部品の単純化及び部品点数の削減を実現して生産性向上及びコストダウンに寄与し、また、汎用性を高める。【解決手段】  脱気槽２に供給された被処理水Ｗｏに対して真空吸引することにより、被処理水Ｗｏから溶存酸素を除去して処理水Ｗｓを生成する給水用脱気装置１を構成するに際して、脱気槽２の内部に、所定量の被処理水Ｗｏを溜めることができる複数の脱気処理皿３…と、各脱気処理皿３…に対して所定距離Ｈｓの位置に配し、かつ脱気処理皿３…に対してそれぞれシャワー状の被処理水Ｗｏ…を吹付けることにより泡Ｂを発生させる複数の噴射ノズル４…を設けた。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
脱気槽に供給された被処理水に対して真空吸引することにより、前記被処理水から溶存酸素を除去して処理水を生成する給水用脱気装置において、前記脱気槽の内部に、所定量の被処理水を溜めることができる複数の脱気処理皿と、各脱気処理皿に対して所定距離の位置に配し、かつ前記脱気処理皿に対してそれぞれシャワー状の被処理水を吹付けることにより泡を発生させる複数の噴射ノズルを設けたことを特徴とする給水用脱気装置。
【請求項２】
前記複数の噴射ノズルの一又は二以上に開閉バルブをそれぞれ接続し、前記複数の噴射ノズルの一又は二以上を選択して使用できることを特徴とする請求項１記載の給水用脱気装置。
【請求項３】
前記脱気槽における複数の位置に、前記脱気槽の内部に対して真空吸引を行う真空吸引口を設けることを特徴とする請求項１記載の給水用脱気装置。
【請求項４】
前記脱気槽は、水平方向に長い筒状に形成し、前記複数の脱気処理皿を水平方向に並べて配するとともに、前記脱気槽の下方に、水平方向に長い筒状に形成した貯水槽を配し、この貯水槽と前記脱気槽を通水管により接続してなることを特徴とする請求項１記載の給水用脱気装置。
【請求項５】
前記貯水槽に接続した貯水タンクを備えるとともに、前記貯水槽の水位が上限レベルに達したなら当該貯水槽から前記貯水タンクに送水し、かつ前記貯水槽の水位が下限レベルに達したなら当該貯水槽から前記貯水タンクへの送水を停止し、他方、前記貯水タンクの水位が上限レベルに達したなら被処理水に対する脱気処理を停止し、かつ前記貯水タンクの水位が下限レベルに達したなら被処理水に対する脱気処理を行うシーケンス制御部を備えることを特徴とする請求項４記載の給水用脱気装置。
【請求項６】
前記貯水槽から前記貯水タンクに送水する送水ポンプから吐出する処理水の一部を前記脱気槽又は前記貯水槽の内部に戻すリターン回路を備えることを特徴とする請求項５記載の給水用脱気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、脱気槽に供給された被処理水に対して真空吸引することにより、被処理水から溶存酸素を除去して処理水を生成する給水用脱気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ホテルやマンション等に設置される給水設備や給湯設備では、水道水中の溶存酸素により、ボイラ等の給湯機器や水道管の内部に錆が発生し、水道水の赤濁（赤水）や給湯機器等の寿命低下の原因となる。特に、食品製造等の分野で使用される蒸気ボイラ設備では、腐食による穴空き等が発生しやすく、数年程度の使用で修理や部品交換が必要になる場合も少なくない。
【０００３】
このため、従来より、給水設備や給湯設備に供給される水道水（被処理水）中の溶存酸素を除去する脱気装置も提案されている。この種の脱気装置としては、その脱気原理によって、中空糸気体透過膜モジュールや脱気塔を用いた真空脱気方式や蒸気の熱源を利用して加熱により脱気する加熱脱気方式等の各種タイプが知られている。
【０００４】
特に、真空脱気方式を用いた脱気装置としては、特開平１０−１５１４４２号公報で開示される真空脱気装置が知られている。この脱気装置は、気密に形成された脱気塔内に気液接触材の充填層を形成し、脱気塔の上方から被処理水を供給し、充填層の下方から処理水を排出すると共に、真空手段により脱気塔内の気体を排出するようにした真空脱気装置において、気液接触材を下方から支持する支持部材の開口率を３５パーセント以上に設定したものである。これにより、支持部材から落下する処理水の水膜形成が防止され、充填層支持部材の下方に空間が生じても、ここにおける酸素の再溶解が抑制される。
【特許文献１】特開平１０−１５１４４２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述した従来の脱気装置は、次のような問題点があった。
【０００６】
第一に、基本的な脱気作用は、処理水の噴射と真空吸引に頼るため、十分な脱気効果を得ることができない。
【０００７】
第二に、主要部に複雑な構成部品が必要になり、また、部品点数も多くなるため、製造工数の増加に伴う生産性の低下や部品及び製造に伴うコストアップを招く。
【０００８】
第三に、単位時間当たりの処理量が限られるため、大量の給水が要求されるホテルやマンション等では、給水需要に応じた複数台の脱気装置が必要となり、大幅な設備コストを強いられる。
【０００９】
本発明は、このような背景技術に存在する課題を解決した給水用脱気装置の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上述した課題を解決するため、脱気槽２に供給された被処理水Ｗｏに対して真空吸引することにより、被処理水Ｗｏから溶存酸素を除去して処理水Ｗｓを生成する給水用脱気装置１を構成するに際して、脱気槽２の内部に、所定量の被処理水Ｗｏを溜めることができる複数の脱気処理皿３…と、各脱気処理皿３…に対して所定距離Ｈｓの位置に配し、かつ脱気処理皿３…に対してそれぞれシャワー状の被処理水Ｗｏ…を吹付けることにより泡Ｂを発生させる複数の噴射ノズル４…を設けたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
このような構成を有する本発明に係る給水用脱気装置１によれば、次のような顕著な効果を奏する。
【００１２】
（１）  シャワー状の被処理水Ｗｏを脱気処理皿３…に溜まった被処理水Ｗｏに吹付けることにより多量の泡Ｂを発生させるため、効率的な脱気処理が可能となり、脱気効果を飛躍的に高めることができる。
【００１３】
（２）  主要部は噴射ノズル４…と脱気処理皿３…で構成できるため、構成部品の単純化及び部品点数の削減を実現でき、製造工数の低減に伴う生産性向上と部品及び製造上のコストダウンに寄与できる。
【００１４】
（３）  単位時間当たりの処理量を大量に確保できることに加え、処理量を容易に変更できるため、各種用途や各種給水状態に対して柔軟に対応でき、汎用性に優れるとともに、貯水タンクを設置した場合における貯水タンクの小型化、更には貯水タンクにおける処理水Ｗｓの劣化防止にも寄与できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明に係る給水用脱気装置１によれば、最良の形態により、複数の噴射ノズル４…の一又は二以上に開閉バルブ５…をそれぞれ接続し、複数の噴射ノズル４…の一又は二以上を選択して使用できる。これにより、各種用途や各種給水状態に係る水量に対応して処理能力を容易に変更（増減）できる。また、脱気槽２における複数の位置に、脱気槽２の内部に対して真空吸引を行う真空吸引口６…を設ける。これにより、複数の噴射ノズル４…を配した場合であっても脱気槽２内における均一な真空吸引を行うことができる。
【００１６】
一方、脱気槽２は、水平方向に長い筒状に形成し、複数の脱気処理皿３…を水平方向に並べて配するとともに、脱気槽２の下方に、水平方向に長い筒状に形成した貯水槽７を配し、この貯水槽７と脱気槽２を通水管８…により接続して構成する。これにより、脱気槽２における複数の脱気処理皿３…の組付等が容易になるなど、組立性及び設計自由度を高めることができるとともに、小型化にも寄与できる。また、給水用脱気装置１には、貯水槽７に接続した貯水タンク９を備えるとともに、貯水槽７の水位Ｌｗが上限レベルＬｕに達したなら当該貯水槽７から貯水タンク９に送水し、かつ貯水槽７の水位Ｌｗが下限レベルＬｄに達したなら当該貯水槽７から貯水タンク９への送水を停止し、他方、貯水タンク９の水位Ｌｔｗが上限レベルＬｔｕに達したなら被処理水Ｗｏに対する脱気処理を停止し、かつ貯水タンク９の水位Ｌｔｗが下限レベルＬｔｄに達したなら被処理水Ｗｏに対する脱気処理を行うシーケンス制御部１０を備える。これにより、給湯設備等に対する処理水Ｗｓの十分かつ安定した供給を維持することができる。さらに、貯水槽７から貯水タンク９に送水する送水ポンプ１１から吐出する処理水Ｗｓの一部を脱気槽２又は貯水槽７の内部に戻すリターン回路１２を備える。これにより、貯水槽７から貯水タンク９への送水を円滑に行うことができる。
【実施例】
【００１７】
次に、本発明に係る好適な実施例を挙げ、図面に基づき詳細に説明する。
【００１８】
まず、本実施例に係る給水用脱気装置１の構成について、図１〜図４を参照して説明する。
【００１９】
図１に示す給水用脱気装置１において、２は脱気槽を示す。この脱気槽２は、全体を密閉構造とし、剛性素材により水平方向に長い円筒状に形成する。脱気槽２の内部下面部には、複数の脚部２１…を所定間隔置きに固定し、この脚部２１…の上に、チャンネル状に折曲形成した処理皿支持部２２を固定する。また、処理皿支持部２２の上には、剛性素材で形成した複数（実施例は九つ）の脱気処理皿３…を水平方向に並べて固定する。一つの脱気処理皿３（他の脱気処理皿３…も同じ）は、図２及び図３に示すように、円形の底面部２３とこの底面部２３の周縁から立上げたリング形の側面部２４を有する。なお、実施例の底面部２３は、中心側を下方に湾曲させた例を示したが、平坦であってもよい。
【００２０】
一方、各脱気処理皿３…の上方、即ち、脱気槽２の上面部には、各脱気処理皿３…に対応した複数の噴射ノズル４…を配設する。一つの噴射ノズル４（他の噴射ノズル４…も同じ）は、脱気槽２の上面部に、外部から内部に貫通する分岐管２５を取付け、脱気槽２の内部に臨む分岐管２５の先端（下端）に噴射ノズル４を取付ける。この場合、噴射ノズル４は、脱気処理皿３の底面部２３における中心の真上に配し、かつ当該中心から所定距離Ｈｓだけ離間させる。噴射ノズル４は、供給された被処理水Ｗｏをシャワー状に噴射する機能を有する。なお、噴射ノズル４は、内部の自然流をそのまま噴射口４ｏから噴射するタイプであってもよいし、内部で螺旋水流を発生させ、この螺旋水流を噴射口４ｏから噴射するタイプであってもよい。さらに、必要により噴射角度や噴射量等の噴射状態を調整できるタイプであってもよい。
【００２１】
また、脱気槽２の下方には、貯水槽７を配設する。貯水槽７は、全体を密閉構造とし、剛性素材により水平方向に長い円筒状に形成する。そして、この貯水槽７の上面部と脱気槽２の下面部を異なる位置に配した複数（実施例は二本）の通水管８…により接続する。実施例の通水管８…は、脱気槽２の支持機能も兼ねている。なお、脱気槽２と貯水槽７は、単一の槽により一体に形成することもできるが、脱気槽２と貯水槽７を分けることにより、脱気槽２における複数の脱気処理皿３…の組付等が容易になるなど、組立性及び設計自由度を高めることができるとともに、小型化にも寄与できる。貯水槽７の側面部（端面部又は周面部）には、上側から下側へ、満水検出器２６ｆ，上限レベル検出器２６ｕ，下限レベル検出器２６ｄ，渇水検出器２６ｅ及びアース器２６ｇを所定間隔置きに順次付設する。これにより、上限レベル検出器２６ｕは、貯水槽７に貯まった処理水Ｗｓの水位Ｌｗが上限レベルＬｕに達したことを検出できるとともに、下限レベル検出器２６ｄは、同水位Ｌｗが下限レベルＬｄに達したことを検出できる。さらに、満水検出器２６ｆ及び渇水検出器２６ｅは、満水状態及び渇水状態をそれぞれ検出することができる。
【００２２】
他方、脱気槽２の外部に至る各分岐管２５…は、それぞれ開閉バルブ（電磁弁）５…を介して本管２７に接続するとともに、この本管２７は、給水バルブ２９を介して給水源（上水道設備等）２８に接続する。開閉バルブ５…を設けることにより、複数の噴射ノズル４…の一又は二以上を選択して使用でき、この結果、各種用途や各種給水状態に係る水量に対応して処理能力を容易に変更（増減）できる。
【００２３】
さらに、脱気槽２の上面部における複数の位置、望ましくは各噴射ノズル４…の相互間には、脱気槽２の内部に対して真空吸引を行う真空吸引口６…を設ける。真空吸引口６…を複数の位置に分散させて設けることにより、複数の噴射ノズル４…を配した場合であっても脱気槽２内における均一な真空吸引を行うことができる。そして、各真空吸引口６…は、真空ライン３０を介して真空ポンプ３１に接続する。また、真空ライン３０の中途には真空圧力を検出する真空圧力検出器３２を接続する。
【００２４】
一方、貯水槽７の下面部には、送水ライン３３の一端を接続するとともに、この送水ライン３３の他側は、送水ポンプ１１及び逆止弁３７を介して別途の貯水タンク９に接続する。送水ライン３３には、送水ポンプ１１から吐出する処理水Ｗｓの一部を脱気槽２（又は貯水槽７）の内部に戻すリターン回路１２を付設する。リターン回路１２は、送水ポンプ１１の吐出側における送水ライン３３と脱気槽２の内部を接続するリターン管３４と、このリターン管３４の中途に接続した開閉バルブ３５を備える。この場合、リターン回路１２により戻す水流量は、貯水タンク９に送水する水流量に対して１／１０程度となるように、開閉バルブ３５の開度或いはリターン管３４の径などにより設定する。
【００２５】
貯水タンク９は、脱気槽２により溶存酸素が除去された処理水Ｗｓを一時的に貯留する機能を有する。したがって、この貯水タンク９には、図示を省略したが、給水設備や給湯設備等に処理水Ｗｓを供給する排水口（設備ライン）を備えている。また、貯水タンク９には、上限レベル検出器３６ｕ，下限レベル検出器３６ｄ及びアース器３６ｇを付設する。この場合、各レベル検出器３６ｕ，３６ｄ及びアース器３６ｇは、貯水タンク９の天面部にそれぞれ所定間隔をおいて取付ける。これにより、上限レベル検出器３６ｕは、貯水タンク９に貯まった処理水Ｗｓの水位Ｌｔｗが上限レベルＬｔｕに達したことを検出できるとともに、下限レベル検出器３６ｄは、同水位Ｌｔｗが下限レベルＬｔｄに達したことを検出できる。
【００２６】
さらに、１０は、シーケンス制御部であり、給水用脱気装置１を自動制御（シーケンス制御）する機能を備えている。このため、シーケンス制御部１０の入力ポートには、前述した真空圧力検出器３２，満水検出器２６ｆ，上限レベル検出器２６ｕ，下限レベル検出器２６ｄ，渇水検出器２６ｅ，アース器２６ｇ，上限レベル検出器３６ｕ，下限レベル検出器３６ｄ及びアース器３６ｇをそれぞれ接続するとともに、シーケンス制御部１０の出力ポートには、前述した開閉バルブ５…，給水バルブ２９，開閉バルブ３５，真空ポンプ３１及び送水ポンプ１１をそれぞれ接続する。
【００２７】
図４には、給水用脱気装置１の外観構成を示す。なお、図４において、図１と同一部分には同一符号を付すことにより、その構成を明確にした。図４中、４１は上面に各部品等を設置する基台、４２…は貯水槽７を支持する支持脚部、４３はトップカバー、４４はコントロールボックスをそれぞれ示す。コントロールボックス４４には、上述したシーケンス制御部１０を内蔵するとともに、正面パネルには、前述した満水検出器２６ｆ及び渇水検出器２６ｅが満水及び渇水を検出した際などに点灯する各種警報ランプ４５…や運転スイッチ等の各種操作スイッチ４６…を備える。
【００２８】
次に、本実施例に係る給水用脱気装置１の動作について、図１〜図４を参照しつつ図６に示すフローチャートに従って説明する。
【００２９】
今、貯水槽７及び貯水タンク９は共に空の状態にあるものとする。また、噴射ノズル４…は全て使用し、全ての開閉バルブ５…が開に切換制御されているものとする。この状態では、給水バルブ２９が閉、開閉バルブ３５が閉、送水ポンプ１１がオフ（送水ライン３３が閉）になっている。
【００３０】
運転を開始するには、コントロールボックス４４に備える運転スイッチをオンにする。これにより、真空ポンプ３１が作動（オン）し、脱気槽２内部に対する真空吸引が行われる（ステップＳ１）。脱気槽２の真空圧力は、真空圧力検出器３２により検出され、この検出結果は、シーケンス制御部１０に付与される。シーケンス制御部１０は、真空圧力を監視し、予め設定した設定値（実施例は、−９５〔ｋＰａ〕）に達したなら、給水バルブ２９を開に切換制御する（ステップＳ１）。
【００３１】
これにより、給水源２８から各噴射ノズル４…に被処理水（水道水）Ｗｏが供給され、各噴射ノズル４…の噴射口４ｏ…から、シャワー状の被処理水Ｗｏが勢いよく噴射する（ステップＳ２）。噴射した被処理水Ｗｏは、所定距離Ｈｓだけ離間した各脱気処理皿３…の底面部２３…に均一に吹付けられる（ステップＳ３）。この場合、図２に示すように、脱気処理皿３…には、所定量の被処理水Ｗｏが溜まるため、脱気処理皿３…に溜まった被処理水Ｗｏの水面に、シャワー状の被処理水Ｗｏが勢いよく衝突し、脱気処理皿３…上には多量の泡Ｂが発生する（ステップＳ４）。この結果、被処理水Ｗｏ中の溶存酸素等の気体成分は、泡Ｂとなって遊離するため、真空ポンプ３１に吸引されることにより大気中に排出される。
【００３２】
一方、脱気処理皿３…上では、溶存酸素等の気体成分が除去された処理水Ｗｓが生成され、この処理水Ｗｓは脱気処理皿３…から落下する。処理水Ｗｓは、脱気槽２の下面部を流れて通水管８…に至り、この通水管８…を通って貯水槽７に貯留される。そして、貯水槽７に貯留した処理水Ｗｓの水位Ｌｗが上昇し、上限レベルＬｕに達すれば、上限レベル検出器２６ｕにより検出されるため、シーケンス制御部１０は、送水ポンプ１１をオン（送水ライン３３を開）に制御するとともに、開閉バルブ３５を開に切換制御する。これにより、貯水槽７内の処理水Ｗｓは貯水タンク９に移送される（ステップＳ５，Ｓ６）。この際、リターン回路１２により、貯水槽７から貯水タンク９に送水される処理水Ｗｓの一部は脱気槽２の内部に戻される。この場合、リターン回路１２を設けなければ、貯水槽７側が真空吸引されているため、送水ポンプ１１を作動させても送水は円滑に行われないが、リターン回路１２により負圧が小さくなり、貯水槽７から貯水タンク９への送水を円滑に行うことができる。また、貯水槽７内における処理水Ｗｓの水位Ｌｗが下降し、下限レベルＬｄに達すれば、下限レベル検出器２６ｄにより検出されるため、シーケンス制御部１０は、送水ポンプ１１をオフ（送水ライン３３を閉）に制御するとともに、開閉バルブ３５を閉に切換制御する（ステップＳ７，Ｓ８）。よって、貯水槽７内における処理水Ｗｓの水位Ｌｗは、シーケンス制御部１０により所定範囲内に維持される。
【００３３】
他方、貯水タンク９に処理水Ｗｓが貯まり、処理水Ｗｓの水位Ｌｔｗが上昇することにより上限レベルＬｔｕに達すれば、上限レベル検出器３６ｕにより検出されるため、シーケンス制御部１０は、給水バルブ２９を閉に切換制御し、脱気処理を停止する（ステップＳ９，Ｓ１０）。この場合、真空ポンプ３１は作動（オン）を継続してもよいし、必要により停止（オフ）させてもよい。また、給湯設備等において処理水Ｗｓが使用され、貯水タンク９内における処理水Ｗｓの水位Ｌｔｗが下降することにより下限レベルＬｔｄに達すれば、下限レベル検出器３６ｄにより検出されるため、シーケンス制御部１０は、給水バルブ２９を開に切換制御する（ステップＳ１１，Ｓ１）。なお、真空ポンプ３１が停止している場合には、給水バルブ２９を開にする前に作動させる。これにより、脱気処理が再開される。よって、貯水タンク９内における処理水Ｗｓの水位Ｌｔｗは、シーケンス制御部１０により所定範囲内に維持されるとともに、給湯設備等に対する処理水Ｗｓの十分かつ安定した供給が維持される。
【００３４】
このような本実施例に係る給水用脱気装置１によれば、シャワー状の被処理水Ｗｏを脱気処理皿３…に溜まった被処理水Ｗｏに吹付けることにより多量の泡Ｂを発生させるようにしたため、効率的な脱気処理が可能となり、脱気効果を飛躍的に高めることができる。また、主要部は噴射ノズル４…と脱気処理皿３…で構成できるため、構成部品の単純化及び部品点数の削減を実現でき、製造工数の低減に伴う生産性向上と部品及び製造上のコストダウンに寄与できる。しかも、単位時間当たりの処理量を大量に確保できることに加え、処理量を容易に変更できるため、各種用途や各種給水状態に対して柔軟に対応でき、汎用性に優れるとともに、貯水タンク９の小型化、更には貯水タンク９における処理水Ｗｓの劣化防止にも寄与できる。
【００３５】
図５は、水温が２２〔℃〕，脱気槽２内部の真空圧力が−９５〔ｋＰａ〕に設定した状態における噴射ノズル４から噴射する水流量〔リットル／分〕に対する処理水Ｗｓ（被処理水Ｗｏ）の溶存酸素濃度〔ｍｇ／リットル〕のデータを、特性線Ｃｓ（Ｃｏ）で示したものである。この場合、被処理水（水道水）Ｗｏの溶存酸素濃度は、７．７３〔ｍｇ／リットル〕である（特性線Ｃｏ）。これに対して、本実施例に係る給水用脱気装置１により脱気処理を行った後の処理水Ｗｓの溶存酸素濃度は、水流量１０〔リットル／分〕において０．８２〔ｍｇ／リットル〕，水流量１５〔リットル／分〕において１．１７〔ｍｇ／リットル〕，水流量２０〔リットル／分〕において１．５６〔ｍｇ／リットル〕まで低減される。このように、水流量は少ないほど脱気効果は高められ、水流量１０〔リットル／分〕では、溶存酸素濃度が概ね１／１０程度まで低減される。なお、このような水流量は、開閉バルブ５…の使用数量を選定するなどにより最適な値に設定することができる。
【００３６】
以上、実施例について詳細に説明したが、本発明はこのような実施例に限定されるものではなく、細部の構成，形状，数量，素材等において本発明の要旨を逸脱しない範囲で任意に変更，追加，削除することができる。例えば、脱気処理皿３…の形状，大きさ，取付方法，数量、また、脱気処理皿３…と噴射ノズル４…の距離Ｈｓ等は、脱気効果を考慮して任意に選定或いは変更することができる。さらに、開閉バルブ５…は、シーケンス制御部１０により切換制御する場合を示したが、手動により操作するタイプであってもよい。一方、貯水タンク９を設置するか否かは任意であり、貯水槽７の処理水Ｗｓを直接設備ラインへ供給してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の好適な実施例に係る給水用脱気装置のブロック回路図、
【図２】同給水用脱気装置に備える脱気処理皿及び噴射ノズルの断面正面図、
【図３】同給水用脱気装置に備える脱気処理皿の平面図、
【図４】同給水用脱気装置の外観正面図、
【図５】同給水用脱気装置により脱気処理した処理水の水流量に対する溶存酸素濃度のデータを示す特性図、
【図６】同給水用脱気装置の動作処理手順を示すフローチャート、
【符号の説明】
【００３８】
１    給水用脱気装置
２    脱気槽
３…  脱気処理皿
４…  噴射ノズル
５…  開閉バルブ
６…  真空吸引口
７    貯水槽
８…  通水管
９    貯水タンク
１０  シーケンス制御部
１１  送水ポンプ
１２  リターン回路
Ｗｏ  被処理水
Ｗｓ  処理水
Ｈｓ  所定距離
Ｂ    泡
【図１】
2005138033.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005138033.tif 000005
【図４】
2005138033.tif 000006
【図５】
2005138033.tif 000007
【図６】
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