(57)【要約】【課題】焼結助剤成分を偏析させることなく主成分中に均一に分散させた耐還元性誘電体組成物、およびこれを用いた耐久性や中高圧用特性の優れたセラミック電子部品を提供することを目的とする。【解決手段】Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノ−ル溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより耐還元性誘電体組成物を製造する構成とする。【選択図】  図１
2005015275.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより製造されることを特徴とする耐還元性誘電体組成物。
【請求項２】
Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより製造した耐還元性誘電体組成物において、前記コロイド状懸濁液に含まれる（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分は、前記（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して、０．５〜６．０モルの範囲内であることを特徴とする耐還元性誘電体組成物。
【請求項３】
Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより製造した耐還元性誘電体組成物であって、前記添加物は、前記（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して、各々Ｍｎ３Ｏ４が０．０５〜０．８モルの範囲内、Ｖ２Ｏ５が０．０２〜０．４モルの範囲内及びＹ２Ｏ３が０．０１〜０．３モルの範囲内であることを特徴とする耐還元性誘電体組成物。
【請求項４】
Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより製造した耐還元性誘電体組成物であって、前記コロイド状懸濁液に含まれる（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分は、前記（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して、０．５〜６．０モルの範囲内であることを特徴とし、さらに前記添加物は、前記（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して、各々Ｍｎ３Ｏ４が０．０５〜０．８モルの範囲内、Ｖ２Ｏ５が０．０２〜０．４モルの範囲内及びＹ２Ｏ３が０．０１〜０．３モルの範囲内であることを特徴とする耐還元性誘電体組成物。
【請求項５】
第１の複数のセラミック誘電体層の間にＮｉもしくはＮｉを主成分とする合金よりなる内部電極層を設けた有効層及び第２の複数のセラミック誘電体層より成る無効層を有した基体と、前記基体の両端部から側部に至るように設けられ、前記内部電極層と電気的に接合された一対の外部電極とを備えたチップ型のセラミック電子部品であり、前記セラミック誘電体層を請求項１〜４いずれか１記載の耐還元性誘電体組成物で構成したことを特徴とするセラミック電子部品。
【請求項６】
第１の複数のセラミック誘電体層の間にＮｉ或いはＮｉを主成分とする合金よりなる内部電極層を設けた有効層及び第２の複数のセラミック誘電体層より成る無効層を有した基体と、前記基体の両端部から側部に至るように設けられ、前記内部電極層と電気的に接合された一対の外部電極と、前記外部電極にそれぞれ接続された端子とを備え、前記基体及び外部電極が樹脂により埋め込まれたモールド型のセラミック電子部品であり、前記セラミック誘電体層を請求項１〜４いずれか１記載の耐還元性誘電体組成物で構成したことを特徴とするセラミック電子部品。
【請求項７】
第１の複数のセラミック誘電体層の間にＮｉ或いはＮｉを主成分とする合金よりなる内部電極層を設けた有効層及び第２の複数のセラミック誘電体層より成る無効層を有した基体と、前記基体の両端部から側部に至るように設けられ、前記内部電極層と電気的に接合された一対の外部電極と、前記外部電極にそれぞれ接続されたリード線とを備え、前記基体及び外部電極が樹脂により被覆されたリード型のセラミック電子部品であり、前記セラミック誘電体層を請求項１〜４いずれか１記載の耐還元性誘電体組成物で構成したことを特徴とするセラミック電子部品。
【請求項８】
前記外部電極は上層、下層の二層構造であり、下層は前記基体の端面のみに設けたことを特徴とする請求項５〜７いずれか１記載のセラミック電子部品。
【請求項９】
耐還元性誘電体組成物の製造方法であって、Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とが順次行われることを特徴とする耐還元性誘電体組成物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内部電極が卑金属から成り、ＪＩＳ規格ＳＬ特性を満足し、高周波電流が流れるためＱ値（誘電体損失係数の逆数）が高く且つ低自己発熱が要求されるスイッチング電源のトランジスタスナバー回路、液晶ディスプレイパネル（ＬＣＤ）を構成しているバックライトのインバータ電源回路、及び低歪み率が要求される通信用デジタルモデムの対サージ回路等の中高圧用部品に用いられる耐還元性誘電体組成物およびこれを用いたセラミック電子部品に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、通信用モデム、ＬＣＤ及びスイッチング電源等のＰＣ周辺機器及び電子通信機器の軽薄短小化に伴いそれに使用される重要な受動部品の１つであるセラミックコンデンサも従来の円板型から積層型への移行が急速に進み、スイッチング電源回路やモデム回路の小型化、樹脂モールド化、及びＬＣＤの薄型化に寄与している。また、信用調査機関のデータによると西暦２００５年にはセラミックコンデンサの積層化率は９０％を超える事が確実であり、低定格電圧品のみならず中高圧品、更には安全規格品の領域にまで積層化が波及するのは時間の問題である。
【０００３】
例えば、１００ＫＨｚ程度の高周波電流が流れるスイッチング電源のトランジスタスナバー回路には定格電圧が２〜３ＫＶＤＣで静電容量が数１０ｐＦのＪＩＳ規格ＳＬ特性を満足する中高圧用積層セラミックコンデンサが使用されており、回路の小型化に寄与している。また、ＬＣＤの薄型化に伴いバックライトのインバータ電源回路には、従来の円板型に代わって、定格電圧が３ＫＶＤＣで静電容量が数１０〜１００ｐＦのＪＩＳ規格ＳＬ特性を満足する中高圧用積層セラミックコンデンサが適用されつつある。
【０００４】
上記中高圧用積層セラミックコンデンサの構造は、セラミック誘電体層と内部電極層が交互に複数積層されて静電容量を取得する有効層が形成され、その有効層の上下に全体の寸法調整と内部気密封止の為にセラミック誘電体層のみから成る無効層が形成されている。そして、内部電極層の電気的接続は、それらの終端部分が露出した両端面に外部電極を設けることによって行い、これら外部電極表面には半田付け実装を容易に且つ支障なく行える様に、Ｎｉ鍍金の上にＳｎ鍍金又はＣｕ鍍金が層状に施された構造となっている。
【０００５】
従来より、この様な用途のＪＩＳ規格ＳＬ特性を満足する中高圧用積層セラミックコンデンサは、低損失であると同時に高周波電流により異常発熱しないことが求められており、誘電体組成物としては主成分であるＳｒＴｉＯ３−ＣａＴｉＯ３系に数種類の添加物を加えたものが主流である（例えば特許文献１参照）。
【０００６】
主成分であるＳｒＴｉＯ３−ＣａＴｉＯ３−ＭｇＴｉＯ３系に添加物としてＺｒＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｖ２Ｏ５等を加えた組成物が開示されており、これによると主成分を構成している化合物の比率で静電容量温度変化率を制御し、添加物により絶縁破壊電圧と絶縁抵抗値を向上させることが記載されている。
【０００７】
しかし、上記誘電体組成物は、耐還元性を有しているものではなく、内部電極としてＰｄ系貴金属の使用を前提としたものであり、特に高積層数高静電容量の品種において原材料コストの面で問題がある。これを解決する方法として、Ｐｄ系の貴金属に代わりコストの安いＮｉあるいはＮｉを主成分とする合金を使用することが公知であり、中高圧用積層セラミックコンデンサに占める卑金属内部電極品の割合は増加傾向にある。
【０００８】
Ｎｉは卑金属であるので、従来の貴金属の積層セラミックコンデンサの様に酸素雰囲気中で焼成することは不可能で、低酸素分圧雰囲気中においてＮｉが酸化されないように焼成しなければならない。セラミックコンデンサ用として公知であるＡＢＯ３の一般式で表現されるペロブスカイト酸化物は、１０００℃以上の高温においてＮｉの酸化還元平衡酸素分圧以下の雰囲気に晒されると還元され、絶縁抵抗値が低下したり、電界を印加した状態での信頼性試験、いわゆる負荷寿命での不良率が増大し、コンデンサ用誘電体としての機能を果たさなくなる。
【０００９】
これに対して、これらペロブスカイト酸化物が、ＡサイトとＢサイトに存在するイオンの化学量論比を変化させたり、あるいは格子中にドナーとなって固溶しうる、例えば遷移金属イオン等を添加したりすることによって、前述のような熱処理を行っても還元されにくくなる性質を利用して、ペロブスカイト酸化物と微量の添加物から構成される多くの耐還元性誘電体組成物が考案され、開示されている。以前の耐還元性誘電体組成物は、静電容量の温度変化率が大きいＪＩＳ規格Ｆ特性は言うまでもないが、静電容量の温度変化率が小さいＪＩＳ規格Ｂ特性或いはＥＩＡ規格Ｘ７Ｒ特性が主流であったが、近年積極的な材料開発が行われ、卑金属化が困難とされていた低誘電率系のＪＩＳ規格ＣＯＧ特性或いはＪＩＳ規格ＳＬ特性が積層セラミックコンデンサに適用されている（例えば、特許文献２参照）には主成分のＳｒＴｉＯ３−ＣａＴｉＯ３系に対して、添加物としてＶ２Ｏ５及びＭｎＣＯ３、焼結助剤としてＳｉＯ２−ＣａＯ系化合物を各々含有した耐還元性誘電体組成物が開示されている。これにより、歪み率が小さく、ＤＣバイアス特性に優れ、しかも安価なＮｉ系の内部電極を使用した大容量の積層セラミックコンデンサが主として５０ＶＤＣの低定格電圧品を中心に商品化されている。
【００１０】
【特許文献１】
特開平７−２１１１４０号公報
【特許文献２】
特開２００２−８０２７８号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の耐還元性誘電体組成物の多くは主成分であるペロブスカイト酸化物に対する微量添加物の均一な分散性や反応性を考慮して設計されたものであるとは言い難く、工程上制御しえない要因によって製品の特性、品質が変動し、歩留まりの低下や信頼性不良を引き起こす問題があった。
【００１２】
例えば、従来のプロセスである仮焼混合法により作製した耐還元性誘電体組成物は微量添加物の中でも特にＳｉＯ２−ＣａＯ系やＳｉＯ２−ＣａＯ−ＢａＯ系等の焼結助剤成分を均一に分散させることが難しく、焼結助剤成分が不均一に分散した組成物であった。その結果、焼成時の反応過程で局部的な異常反応を起こし、結晶粒子径のばらつきが大きくなりしかもポアーが多い不均質な微細構造となり、静電容量や誘電体損失のばらつきが生じ、絶縁破壊電圧が低く、また超加速寿命試験（ＨＡＬＴ）における故障時間の分布が広く、平均故障時間が短いという問題点を有していた。
【００１３】
本発明は以上のような課題を解決し、焼結助剤成分を偏析させることなく主成分中に均一に分散させた耐還元性誘電体組成物、およびＱ値が高く、高周波電流下において自己発熱が小さく、中高圧用として耐久信頼性に優れたセラミック電子部品を提供することを目的としている。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより耐還元性誘電体組成物を製造する構成とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１に記載の発明は、Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより製造した耐還元性誘電体組成物であって、Ｃａ、Ｂａ及びＳｉを含有するコロイド状懸濁液の均一分散が達成され、主成分であるＳｒＴｉＯ３−ＣａＴｉＯ３固溶体粒子の周囲がこれらの成分により均一にコーティングされ、焼成時に局部的な異常反応がなく焼結助剤成分が均一に分散された非常に緻密な組織を有する耐還元性誘電体組成物を構成することができる。
【００１６】
本発明の請求項２に記載の発明は、Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより製造した耐還元性誘電体組成物において、コロイド状懸濁液に含まれる（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分は、（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して、０．５〜６．０モルの範囲内であることを特徴とする耐還元性誘電体組成物であって、添加物の種類とその添加量を主成分の粉末に対して規定することにより、優れた初期特性と耐久信頼性を有し、高周波電流下における自己発熱が小さい中高圧用積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を実現することが可能な耐還元性誘電体組成物を得ることができる。
【００１７】
本発明の請求項３に記載の発明は、Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより製造した耐還元性誘電体組成物において、添加物は、（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して、各々Ｍｎ３Ｏ４が０．０５〜０．８モルの範囲内、Ｖ２Ｏ５が０．０２〜０．４モルの範囲内及びＹ２Ｏ３が０．０１〜０．３モルの範囲内であることを特徴とする耐還元性誘電体組成物であって、添加物の種類とその添加量を主成分の粉末に対して規定することにより、優れた初期特性と耐久信頼性を有し、高周波電流下における自己発熱が小さい中高圧用積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を実現することが可能な耐還元性誘電体組成物を得ることができる。
【００１８】
本発明の請求項４に記載の発明は、Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより製造した耐還元性誘電体組成物において、コロイド状懸濁液に含まれる（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分は、（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して、０．５〜６．０モルの範囲内であることを特徴とし、さらに添加物は、（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して、各々Ｍｎ３Ｏ４が０．０５〜０．８モルの範囲内、Ｖ２Ｏ５が０．０２〜０．４モルの範囲内及びＹ２Ｏ３が０．０１〜０．３モルの範囲内であることを特徴とする耐還元性誘電体組成物であって、添加物の種類とその添加量を主成分の粉末に対して規定することにより、優れた初期特性と耐久信頼性を有し、高周波電流下における自己発熱が小さい中高圧用積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を実現することが可能な耐還元性誘電体組成物を得ることができる。
【００１９】
本発明の請求項５に記載の発明は、第１の複数のセラミック誘電体層の間にＮｉもしくはＮｉを主成分とする合金よりなる内部電極層を設けた有効層及び第２の複数のセラミック誘電体層より成る無効層を有した基体と、基体の両端部から側部に至るように設けられ、内部電極層と電気的に接合された一対の外部電極とを備えたチップ型のセラミック電子部品であり、セラミック誘電体層を請求項１〜４いずれか１記載の耐還元性誘電体組成物で構成したことを特徴とするセラミック電子部品であって、セラミック誘電体層を耐還元性誘電体組成物で構成することにより、所定の製品規格値を全て満足しうる中高圧用積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を得ることができる。
【００２０】
本発明の請求項６に記載の発明は、第１の複数のセラミック誘電体層の間にＮｉ或いはＮｉを主成分とする合金よりなる内部電極層を設けた有効層及び第２の複数のセラミック誘電体層より成る無効層を有した基体と、基体の両端部から側部に至るように設けられ、内部電極層と電気的に接合された一対の外部電極と、外部電極にそれぞれ接続された端子とを備え、基体及び外部電極が樹脂により埋め込まれたモールド型のセラミック電子部品であり、セラミック誘電体層を請求項１〜４いずれか１記載の耐還元性誘電体組成物で構成したことを特徴とするセラミック電子部品であって、セラミック誘電体層を耐還元性誘電体組成物で構成することにより、所定の製品規格値を全て満足しうる中高圧用積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を得ることができる。
【００２１】
本発明の請求項７に記載の発明は、第１の複数のセラミック誘電体層の間にＮｉ或いはＮｉを主成分とする合金よりなる内部電極層を設けた有効層及び第２の複数のセラミック誘電体層より成る無効層を有した基体と、基体の両端部から側部に至るように設けられ、内部電極層と電気的に接合された一対の外部電極と、外部電極にそれぞれ接続されたリード線とを備え、基体及び外部電極が樹脂により被覆されたリード型のセラミック電子部品であり、セラミック誘電体層を請求項１〜４いずれか１記載の耐還元性誘電体組成物で構成したことを特徴とするセラミック電子部品であって、セラミック誘電体層を耐還元性誘電体組成物で構成することにより、所定の製品規格値を全て満足しうる中高圧用積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を得ることができる。
【００２２】
本発明の請求項８に記載の発明は、外部電極は上層、下層の二層構造であり、下層は基体の端面のみに設けたことを特徴とする請求項５〜７いずれか１記載のセラミック電子部品であって、中高圧用積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を得ることができる。
【００２３】
本発明の請求項９に記載の発明は、耐還元性誘電体組成物の製造方法であって、Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とが順次行われることを特徴とする耐還元性誘電体組成物の製造方法であって、焼成時に局部的な異常反応がなく焼結助剤成分が均一に分散された非常に緻密な組織を有する耐還元性誘電体組成物を製造することができる。
【００２４】
以下、実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、セラミック電子部品としてチップ型中高圧用積層セラミックコンデンサ、モールド型セラミックコンデンサやリードタイプのセラミックコンデンサを例として説明する。
【００２５】
図１は、本発明の実施の形態におけるチップ型中高圧用積層セラミックコンデンサの側断面図である。１１は積層体、１２ａ、１２ｂ、１２ｃは内部電極層、１３はセラミック誘電体層、１４はＮｉ質下層外部電極である。図１に示されるチップ型中高圧用積層セラミックコンデンサは、セラミック誘電体層１３とＮｉを含む内部電極層１２ａ、１２ｂ、１２ｃとを交互に積層して形成された静電容量取得層となる有効層の上下に無効層としてセラミック誘電体層１３が積層されて積層体１１が形成されており、該積層体１１の両端部に内部電極層１２ｂ，１２ｃと電気的に接合されたＮｉ質下層外部電極１４が設けられ、その上にＡｇ質上層外部電極１５が設けられた構成となっている。
【００２６】
次に、図２は、本発明の実施の形態におけるモールド型中高圧用積層セラミックコンデンサの側断面図である。２１は積層体、２２ａ、２２ｂ、２２ｃは内部電極層、２３はセラミック誘電体層、２４はＮｉ質下層外部電極、２５はＡｇ質上層外部電極、２６は熱硬化性樹脂、２７は端子である。図２に示されるモールド型中高圧用積層セラミックコンデンサは、セラミック誘電体層２３とＮｉを含む内部電極層２２ａ、２２ｂ、２２ｃとを交互に積層して形成された静電容量取得層となる有効層の上下に無効層としてセラミック誘電体層２３が積層されて積層体２１が形成されており、該積層体２１の両端部に内部電極層２２ｂ，２２ｃと電気的に接合されたＮｉ質下層外部電極２４が設けられ、その上にＡｇ質上層外部電極２５が設けられた構成となっている。熱硬化性樹脂２６に埋込まれた積層体２１の両端部から導電性の端子２７が引出され、該端子２７を介して回路基板に表面実装できるように構成されている。
【００２７】
次に、図３は本発明の実施の形態におけるリード型中高圧用積層セラミックコンデンサの側断面図である。３１は積層体、３２ａ、３２ｂ、３２ｃは内部電極層、３３はセラミック誘電体層、３４はＮｉ質下層外部電極、３５はＡｇ質上層外部電極、３６は外装材、３７はリード線、３８は半田である。図３に示されるリード型中高圧用積層セラミックコンデンサは、セラミック誘電体層３３とＮｉを含む内部電極層３２ａ、３２ｂ、３２ｃとを交互に積層して形成された静電容量取得層となる有効層の上下に無効層としてセラミック誘電体層３３が積層されて積層体３１が形成されており、該積層体３１の両端部に内部電極層３２ｂ、３２ｃと電気的に接合されたＮｉ質下層外部電極３４が設けられ、その上にＡｇ質上層外部電極３５が設けられた構成となっている。そして、外装材３６に被覆された積層体３１の両端部から導電性のリード線３７が引出され、該リード線３７を介して回路基板に半田付けできるように構成されている。３種類の構造を有する中高圧用積層セラミックコンデンサは、それぞれの特徴を生かしてユーザの要望に応じた使い分けが可能であるが、特にモールド型及びリード型中高圧用積層セラミックコンデンサは、異常電圧による沿面放電の心配がなく、さらに回路基板には各々の積層体の両端部から引出された端子及びリード線が半田付けされる為、回路基板にたわみが発生したとしても積層体本体には機械的応力が一切印加されないため、回路設計上優位性の極めて高いものである。
【００２８】
中高圧用積層セラミックコンデンサのセラミック誘電体層を構成している耐還元性誘電体組成物は、Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより製造したものであり、好ましくはコロイド状懸濁液に含まれる（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分は、（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して、０．５〜６．０モルの範囲内であり、添加物は（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して、各々Ｍｎ３Ｏ４が０．０５〜０．８モルの範囲内、Ｖ２Ｏ５が０．０２〜０．４モルの範囲内及びＹ２Ｏ３が０．０１〜０．３モルの範囲内である。
【００２９】
本発明の実施において使用する（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末は、平均粒子径と粒子径分布の幅が小さいものが好ましい。また、反応性についてはそれが小さい方がＳＬ特性の発現が容易であるので、結晶化度の高い粉末を使用するのが好ましい。このような主成分の粉末を製造する工程において混入する不純物としては、ストロンチウム、カルシウム以外のアルカリ土類金属や鉄、珪素及びアルミニウム等があるが、これらの不純物は数千ｐｐｍのオーダで含有されていても特に支障はない。この（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末は、ＪＩＳ規格ＳＬ特性（−１０００〜３５０ｐｐｍ／℃）を満足させる上において最も重要なものである。この化合物はＳｒＴｉＯ３−ＣａＴｉＯ３の各粉末、若しくはＳｒＣＯ３−ＣａＣＯ３−ＴｉＯ２の各粉末から固相反応により合成される。具体的には、１１００〜１３００℃の仮焼温度で合成され、粉砕工程等を経由して本発明のセラミック電子部品である中高圧用積層セラミックコンデンサを製造する為に４．０〜７．０ｍ２／ｇのＢＥＴ値を有する粉末に調整される。
【００３０】
主成分の粉末を混合するコロイド状懸濁液の出発材料であるＣａ及びＢａの酢酸塩及びＳｉのアルコキシドは一般的市販品が使え、これらに含有される不純物は似通った化学的性質を有する金属であるため、前述の主成分と同様に数千ｐｐｍのオーダで含有されていても特に支障はない。また、アルコキシドを溶解させるエタノールも一般的な市販品が使用できる。
【００３１】
これら酢酸塩やアルコキシドは水−エタノール溶液中で水和したイオンとして存在し、後のアンモニア水の滴下によって微細な水酸化物をコロイド状懸濁液の形で生成し、これを主成分の粉末と混合した際、均一な状態で分散されるのが望ましい為、アンモニア水の濃度は１モル／リットル以下、工程の設備的、時間的余裕がある場合にはより低濃度にするのが望ましい。アンモニア水の濃度が１モル／リットルを超えて高濃度になると、前述の水酸化物が偏って生成し組成的に不均一な状態で主成分の粉末と混合されるため、最終的に組成不均一な耐還元性誘電体組成物となり、本発明の意図するところとは全く異なった結果となる。
【００３２】
主成分である（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍにおいて、ｘは、０．２≦Ｘ≦０．５の範囲である。Ｘが０．２未満では１０〜１００℃の温度範囲で相転移を起こさない為に静電容量の温度変化率が大きくなり、ＪＩＳ規格ＳＬ特性（−１０００〜３５０ｐｐｍ／℃）から逸脱し、またＸが０．５を超えると誘電率が著しく低下する。さらに、ｍは、０．９９４≦ｍ≦１．００６の範囲である。ｍが０．９４４未満ではセラミック誘電体層において粒成長が助長されると同時に耐還元性が損なわれるため、Ｑ値の低下および絶縁破壊電圧の劣化が生じる。また、ｍが１．００６を超えるとセラミック誘電体層が難焼結となり、緻密な焼結体を得るのに高い焼結温度を有する。
【００３３】
次に、（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して添加される各添加物の量は、中高圧用積層セラミックコンデンサの製品特性である誘電率、Ｑ値、静電容量の温度変化率、絶縁抵抗、絶縁破壊電圧、高温負荷寿命、自己発熱及び焼成温度における耐還元性の観点から限定される。
【００３４】
（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対してＭｎ３Ｏ４が０．８モルを超えると静電容量の温度変化率が大きくなり、ＪＩＳ規格ＳＬ特性から逸脱し、また０．０５モル未満になると耐還元性が損なわれ、Ｑ値が低下し、絶縁抵抗及び絶縁破壊電圧が劣化する。主成分の粉末１００モルに対してＶ２Ｏ５が０．４モルを超えると耐還元性が損なわれ容易に還元され、絶縁抵抗及び絶縁破壊電圧が劣化し、また０．０２モル未満になると高温負荷寿命が短くなる。主成分の粉末１００モルに対してＹ２Ｏ３が０．３モルを超えると絶縁破壊電圧が劣化し、また０．３モル未満になると高温負荷寿命が短くなる。
【００３５】
さらに、（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末１００モルに対して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される焼結助剤成分が６．０モルを超えると誘電率が低下すると共に高温負荷寿命が劣化し、また０．５モル未満になると焼結助剤成分としての効果が得られず焼成による緻密化が不完全となり同時にＱ値が低下し、自己発熱が増大する。
【００３６】
次に、本発明のセラミック電子部品の一つである中高圧用積層セラミックコンデンサの詳細な製造方法について説明する。
【００３７】
主成分である（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される粉末及び添加物であるＭｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５、Ｙ２Ｏ３の各々の所定量を組成表に基づいて電子天秤で秤量し、５ｍｍφのＺｒＯ２質ボールが３５０ｇ入った内容積が６００ＣＣのポリエチレン製ポットミル中に投入する。次に、Ｂａ、Ｃａの酢酸塩及びＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）の所定量を同じく組成表に基づいて電子天秤で秤量した後、酢酸塩は１００ＣＣの純水に、またＴＥＯＳは１５０ＣＣのエタノールに別々に溶解させる。そして、酢酸塩水溶液をエタノール溶液中に投入して、プロペラ攪拌機で攪拌を続けながら１規定のアンモニア水を所定量滴下して、（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される焼結助剤成分を含むコロイド状懸濁液を得た。
【００３８】
次に、該コロイド状懸濁液を上記ポットミル中に投入し１００ｒｐｍの回転速度で２０時間混合した。混合物は１５０メッシュのシルクスクリーンで濾過して、テフロン（登録商標）シートを敷いたステンレスバット中に投入し、そして防爆型乾燥機を使用して１２０℃の温度で乾燥した。乾燥した塊状物はアルミナ乳鉢中で解砕した後、３２メッシュのナイロン篩を通過してアルミナ製坩堝に入れて４００℃／２時間の条件で熱処理してスラリー用粉末とした。
【００３９】
次に、スラリー用粉末を所定量の溶剤及び可塑剤と共に混合することにより湿潤した。湿潤後、ポリビニルブチラール樹脂より成るビヒクルを混合してシート成形用スラリーを作製した。
【００４０】
次に、該スラリーを１５０メッシュのシルクスクリーンで濾過した後、成膜してセラミック生シートを得た。そして、該セラミック生シートと、Ｎｉペーストより作製した内部電極シートを用いて転写工法により所定の積層仕様に基ずいて積層した後、切断してグリーンチップを得た。
【００４１】
次に、得られたグリーンチップを面取りした後、その両端面に下層外部電極となるＮｉペーストを塗布し乾燥した後、脱脂した。そして、回転式雰囲気炉により還元雰囲気焼成を実施した。焼成は、グリーンガス、ＣＯ２及びＮ２により調整したＮｉの平衡酸素分圧よりも２桁程度低い酸素分圧雰囲気中で１２５０゜Ｃの温度で２時間保持した。そして、焼成したチップの両端面に上層外部電極となるＡｇペーストを塗布して大気中で焼き付けた後、Ｎｉ鍍金及びその上にＳｎ鍍金を施すことにより図１に示した様な、本発明のセラミック電子部品の一つであるチップ型中高圧用積層セラミックコンデンサを得ることができる。
【００４２】
また、チップ型中高圧用積層セラミックコンデンサ素子の両端面に導電性の金属端子を半田付けした後、該素子及び金属端子の主要な部分を熱硬化性樹脂で埋め込むことにより図２に示した様な、本発明のセラミック電子部品の一つであるモールド型中高圧用積層セラミックコンデンサを得ることができる。
【００４３】
さらに、チップ型中高圧用積層セラミックコンデンサ素子の両端面に導電性のリード線を半田付けした後、該素子及びリード線の主要な部分を外装材で被覆することにより（図３）に示した様な、本発明のセラミック電子部品の一つであるリード型中高圧用積層セラミックコンデンサを得ることができる。
【００４４】
この様にして得られたセラミック電子部品の一つである中高圧用積層セラミックコンデンサは、そのセラミック誘電体層が限定された耐還元性誘電体組成物より構成されており、しかもその微細構造が非常に均一で緻密な組織を有しているため、Ｑ値が高く、静電容量温度変化率がＪＩＳ規格ＳＬ特性を満足し、高周波電流下において自己発熱が小さく、中高圧用として耐久信頼性に優れており、ＬＣＤを構成しているバックライトのインバータ電源回路等の主として高周波高パルスが印加される回路に適用される。また、本発明の中高圧用積層セラミックコンデンサは、その形状がチップ型、モールド型及びリード型としてそれぞれの構造上の特徴を生かしてユーザの要望に応じた使い分けが可能である。
【００４５】
【実施例】
次に本発明の具体例を説明する。
【００４６】
（実施例１）
実験の手順は（表１）に示した組成表に従って、主成分である（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．１≦Ｘ≦０．６  ０．９９２≦ｍ≦１．００８）の一般式で表される粉末（共立マテリアル製）及び添加物であるＭｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５、Ｙ２Ｏ３の各々の所定量を電子天秤で秤量した配合物と、Ｃａ及びＳｉより成る焼結助剤成分を含むコロイド状懸濁液をポットミルで混合して各々の出発原料粉末を作製する。なお、本実施例における、焼結助剤成分の組成はＣａＳｉＯ３である。
【００４７】
【表１】
2005015275.tif 000003
【００４８】
次に、作製した粉末を使用して、テストサンプルとして図１に示したような形状が３２１６サイズのＮｉ内部電極チップ型積層セラミックコンデンサを試作して総合評価するものである。
【００４９】
なお、テストサンプルであるＮｉ内部電極チップ型積層セラミックコンデンサの製造方法は、実施の形態において示した一連の手順と同じである。
【００５０】
以下に、試作したＮｉ内部電極チップ型積層セラミックコンデンサの評価項目及び評価方法について説明する。
【００５１】
靜電容量（Ｃａｐ）とＱ値はＹＨＰ製ＬＣＲメータ４２８４Ａを使用して１Ｖ／１ＭＨｚの信号電圧下で測定した。誘電率は測定した靜電容量（Ｃａｐ）値と試作したＮｉ内部電極チップ型積層セラミックコンデンサのセラミック誘電体層の厚み及び対向電極面積より算出した。絶縁抵抗値（ＩＲ）はアドバンテスト社製絶縁抵抗計Ｒ８３４０Ａを使用して５００ＶＤＣを１分間印加して測定した。絶縁破壊電圧（ＢＤＶ）は菊水電子製耐圧計を使用してシリコーン油中で直流破壊電圧を測定した。靜電容量の温度変化率（Ｃａｐ−ＴＣ）は恒温槽にＹＨＰ製ＬＣＲメータ４２８４Ａを接続して０〜＋１２５℃の範囲内で測定した。自己発熱は高周波電源を使用してコイルのインダクタンスＬとコンデンサの静電容量Ｃａｐによる共振回路を応用して２００ＫＨｚの周波数で共振させながら徐々に昇圧して２ＫＶの電圧で測定した。また、信頼性評価の一環として、１２５℃の温度で１．５ＫＶＤＣの電圧を印加して高温負荷試験を実施した。
【００５２】
靜電容量とＱ値は各々２０個測定に供し、絶縁抵抗値と絶縁破壊電圧は各々１０個、靜電容量の温度変化率と自己発熱は各々２個測定し、平均値を算出した。また、高温負荷試験は、各組成物により試作したテストサンプルを各々２０個ずつ専用の基板に半田付け実装した後、条件下で実施し、１０００時間に至るまでに３個以上破壊したものをＮＧとした。
【００５３】
これら一連の測定結果を（表２）に示した。ここで、（表２）のＲｕｎＮｏ．は（表１）のＲｕｎＮｏ．に対応している。また、（表２）中のＲｕｎＮｏ．に※印を記したものは、評価項目の内少なくとも１つについて良好な結果が得られなかったテストサンプルであり、本発明範囲外の耐還元性誘電体組成物である。
【００５４】
【表２】
2005015275.tif 000004
【００５５】
（表１）及び（表２）より明らかな様に、主成分である（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍにおいて、モル比Ｘが０．２未満では＋１２５℃における静電容量の温度変化率が大きくなりＪＩＳ規格ＳＬ特性を満足せず、さらにＱ値が低下し、高温負荷寿命が悪化した。またＸが０．５を超えると誘電率が著しく低下した。さらに、モル比ｍが０．９４４未満ではセラミック誘電体層において粒成長が著しくなり同時に耐還元性が損なわれる為、Ｑ値が低下して、さらに絶縁破壊電圧が劣化した。また、ｍが１．００６を超えると焼結性が乏しくなる為、緻密質なセラミック誘電体層が形成されにくくなり、誘電率が低下して、さらにＱ値も低下した。
【００５６】
次に、（Ｓｒ０．６３３Ｃａ０．３６７）１．００３ＴｉＯ３．００３で表される主成分の粉末１００モルに対してＭｎ３Ｏ４が０．８モルを超えると静電容量の温度変化率曲線において転移点が消滅し、ＪＩＳ規格ＳＬ特性から逸脱した。また０．０５モル未満になると耐還元性が損なわれ、Ｑ値が低下し、絶縁抵抗及び絶縁破壊電圧が劣化し、自己発熱が増大し、高温負荷寿命が悪化した。主成分の粉末１００モルに対してＶ２Ｏ５が０．４モルを超えると耐還元性に問題が生じ、絶縁抵抗及び絶縁破壊電圧が劣化し、自己発熱が増大し、高温負荷寿命が悪化した。また０．０２モル未満になると高温負荷寿命が著しく悪化した。主成分の粉末１００モルに対してＹ２Ｏ３が０．３モルを超えると絶縁破壊電圧が劣化し、また０．０１モル未満になると高温負荷寿命が悪化した。
【００５７】
さらに、主成分の粉末１００モルに対してＣａＳｉＯ３で表される焼結助剤成分が６．０モルを超えると誘電率が低下し、高温負荷寿命が悪化した。また０．５モル未満になると焼結助剤成分としての効果が得られず、Ｑ値が低下し、自己発熱が増大した。
【００５８】
これに対して、本発明範囲内の耐還元性誘電体組成物により作製したＮｉ内部電極チップ型積層セラミックコンデンサは、良好な焼結性と耐還元性とを有し、静電容量の温度変化率がＪＩＳ規格ＳＬ特性を満足すると同時に中高圧用としての用途に適した電気特性を有し、高周波電流下における自己発熱が小さく、耐久信頼性に優れたものであった。
【００５９】
以上の様に、実施例１の耐還元性誘電体組成物によれば、ＬＣＤを構成しているバックライトのインバータ電源等の高周波高パルスが印加される回路に最適な高Ｑ値、低発熱の中高圧用チップ型積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を実現することが可能である。
【００６０】
（実施例２）
次に、更にレベルの高い電気特性及び耐久信頼性を有する低発熱のＮｉ内部電極中高圧用積層セラミックコンデンサを実現できる耐還元性誘電体組成物を得るために、（表１）中のＲｕｎＮｏ．３の耐還元性誘電体組成物を現状条件として、これに品質工学の手法を適用して全体の最適化を図った。
【００６１】
具体的には、ＲｕｎＮｏ．３の耐還元性誘電体組成物中の添加物及び焼結助剤であるＹ２Ｏ３、Ｍｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５及びＣａＳｉＯ３を制御因子として選定し、そして（Ｓｒ０．６３３Ｃａ０．３６７）１．００３ＴｉＯ３．００３で表される主成分粉末１００モルに対する各々の制御因子の量をそれぞれ３水準振って実験直交表を作成し、これに基づいてテストサンプルであるＮｉ内部電極の積層セラミックコンデンサを試作して所定の電気特性を測定する。次に、測定した各々の電気特性に関する要因効果図を作成した後、該要因効果図よりベストの電気特性が得られる為の各々の制御因子の水準の組み合わせを決定するものである。
【００６２】
実験の計画表を（表３）に示した。
【００６３】
【表３】
2005015275.tif 000005
【００６４】
（表３）によれば、（表１）中のＲｕｎＮｏ．３の耐還元性誘電体組成物における（Ｓｒ０．６３３Ｃａ０．３６７）１．００３ＴｉＯ３．００３で表される主成分の粉末１００モルに対して、制御因子である各々の添加物及び焼結助剤成分の量を現状条件とし、該現状条件を基準にして添加物及び焼結助剤成分量を上下に振った。また、品質工学の重要なポイントである誤差因子Ｎ１、Ｎ２としては還元雰囲気焼成温度を取り上げた。次に、（表３）に基づいて（表４）に示したようなＬ９実験直交表を作成した。
【００６５】
【表４】
2005015275.tif 000006
【００６６】
（表４）は、実験番号１〜９及び現状条件として（Ｓｒ０．６３３Ｃａ０．３６７）１．００３ＴｉＯ３．００３で表される主成分の粉末１００モルに対する各々の制御因子の量をモル単位で示した実験直交表である。該実験直交表に基づいて、主成分の粉末（共立マテリアル製  平均粒子径：０．５１μｍ  ＢＥＴ値：５．６２ｍ２／ｇ）及び添加物であるＭｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５、Ｙ２Ｏ３の各々の所定量を電子天秤で秤量した配合物と、ＣａＳｉＯ３の量に相当するＣａ及びＳｉより成る焼結助剤成分を含むコロイド状懸濁液をポットミルで混合して各々の出発原料粉末を作製した。
【００６７】
次に、作製した各々の粉末を使用して、１２５０℃及び１３００℃の焼成温度で焼成してテストサンプルとして２層の有効層を有する３２１６サイズのチップ型積層セラミックコンデンサを試作した。なお、該チップ型積層セラミックコンデンサの詳細な試作方法は、実施の形態において示した一連の方法と同じである。
【００６８】
次に、試作した一連のテストサンプルの評価項目としてＱ値、絶縁抵抗値（ＩＲ）、絶縁破壊電圧（ＢＤＶ）を取り上げて、（実施例１）に記載した測定方法により各々の評価項目を測定した。
【００６９】
そして、一連の測定結果を専用の解析ソフトを用いて解析した後、各々の評価項目に対して（表５）に示した様な感度に関する要因効果図をそれぞれ作成した。品質工学の解析において、ＳＮ比優先及び感度優先の考え方がある。ＳＮ比とは誤差因子Ｎ１、Ｎ２に対するバラツキ度合いであり、ここでは１２５０゜Ｃ及び１３００゜Ｃの焼成温度に対する評価項目の安定性を意味する。感度とは値の大きさであり、ここでは評価項目の値そのものを意味する。本実施例の目的は、よりレベルの高い電気特性及び耐久信頼性を有するＮｉ内部電極中高圧用積層セラミックコンデンサを実現する為の耐還元性誘電体組成物を得ることであり、従ってＱ値、絶縁抵抗値（ＩＲ）、絶縁破壊電圧（ＢＤＶ）の各々の評価項目共にその値が大きい方が望ましい為、感度優先の考え方を適用した。
【００７０】
【表５】
2005015275.tif 000007
【００７１】
ここで、（表５）の感度に関する要因効果図より、各評価項目ごとに最も感度の高い制御因子の水準の組み合わせを決定し、それに基づいてＱ値、絶縁抵抗値（ＩＲ）、絶縁破壊電圧（ＢＤＶ）の各値を推定した。結果は（表６）に示されている。（表６）によれば、最も高いＱ値が得られる水準の組み合わせにおいて、バランスの取れた良好な電気特性が得られることがわかる。
【００７２】
【表６】
2005015275.tif 000008
【００７３】
次に、最も高いＱ値が得られた制御因子の水準の組み合わせによる耐還元性誘電体組成物を使用して定格電圧が３ＫＶＤＣで静電容量値が１００ＰＦのチップ型のＮｉ内部電極中高圧用積層セラミックコンデンサを４５３２サイズで設計して試作した。試作方法は、耐還元性誘電体組成物より作製したセラミック生シートと、Ｎｉペーストより作製した内部電極シートを用いて転写工法により所定の積層仕様に基ずいて積層するという実施の形態における一連の操作と同じである。
【００７４】
試作したチップ型のＮｉ内部電極中高圧用積層セラミックコンデンサは、図１に示した様な構造を有しており、有効層数が２０層で、静電容量値が１００ＰＦ±５．０％という規格値を満足し、Ｑ値が６８０〜７３０と高く、絶縁破壊電圧が１３〜１４ＫＶＤＣで非常に高レベルの電気特性が確認された。また、静電容量の温度変化率は２０℃基準を基準にして、＋１２５℃での静電容量変化率が−１０．０％程度でありＪＩＳ規格ＳＬ特性を満足していた。更に、室温での自己発熱は２００ＫＨｚの周波数で共振させながら徐々に昇圧して２ＫＶの電圧で測定したところ３〜４℃と小さく、また＋１２５℃の温度で定格電圧の２倍である６ＫＶＤＣを１０００時間印加したが、絶縁劣化の進行による絶縁破壊等の発生はなく、耐久信頼性に優れたものであった。
【００７５】
次に、チップ型のＮｉ内部電極中高圧用積層セラミックコンデンサの両端部に金属端子を半田付けした後、該積層セラミックコンデンサ本体及び金属端子の主要な部分をエポキシ系の熱硬化性樹脂に埋め込むことにより図２に示した様なモールド型のＮｉ内部電極中高圧用積層セラミックコンデンサを完成させた。該モールド型の積層セラミックコンデンサは、チップ型の積層セラミックコンデンサと同様に非常に優れた電気特性を有し、所定の製品規格値を満足していることは言うまでもないが、モールド型に特有の高圧パルス印加時の沿面リークの心配がなく、また基板に実装された状態でのたわみ強度に優れ、より高度な耐久信頼性を有しているものである。該モールド型の積層セラミックコンデンサを＋１２５℃の恒温槽にセットして４ＫＶで１００ＫＨｚの高周波電圧を１０００時間印加したが、焼損や絶縁破壊等の発生はなかった。ものである。
【００７６】
以上の様に、本発明の耐還元性誘電体組成物に品質工学を適用することにより、高Ｑ値、低発熱および高絶縁破壊電圧が要求されているインバータ電源回路等に十分適用できるための非常に高度な電気特性、高周波特性及び耐久信頼性とを有するＮｉ内部電極中高圧用積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を実現することができる。
【００７７】
【発明の効果】
以上のように、本発明では、Ｃａ及びＢａのうち少なくとも一種以上の酢酸塩水溶液とＳｉの金属アルコキシドエタノール溶液を撹拌混合しながらアンモニア水を滴下して（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される成分を含むコロイド状懸濁液を作製する工程と、該コロイド状懸濁液を（Ｓｒ１−ＸＣａＸ）ｍＴｉＯ２＋ｍ（但し、０．２≦Ｘ≦０．５  ０．９９４≦ｍ≦１．００６）の一般式で表される主成分の粉末及び耐還元性を発現させるための微量の添加物と共に混合して原料粉末を作製する工程とを順次行うことにより製造した耐還元性誘電体組成物であるため、Ｃａ、Ｂａ及びＳｉを含有するコロイド状懸濁液の均一分散が達成され、主成分であるＳｒＴｉＯ３−ＣａＴｉＯ３固溶体粒子の周囲がこれらの成分により均一にコーティングされる為、焼成時に局部的な異常反応がなく焼結助剤成分が均一に分散された非常に緻密な組織を有するセラミック誘電体層が形成されるため、中高圧用として良好な電気特性と耐久信頼性を有するＮｉ内部電極積層セラミックコンデンサを実現することができる。
【００７８】
また、（Ｃａ１−ＸＢａＸ）ＳｉＯ３（但し、０≦Ｘ≦１）の一般式で表される焼結助剤成分の量及び添加物の種類とその添加量を規定することにより、或いは品質工学の手法を用いて更なる最適化を図ることにより、高度な製品特性を有し、且つ高周波のパルスが印加される回路において優れた耐久信頼性を有するＮｉ内部電極中高圧用積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を実現することができる。
【００７９】
また、耐還元性誘電体組成物を使用することにより、中高圧用としてそれぞれの特徴を生かして、ユーザの要望に応じた回路設計が可能なチップ型、モールド型及びリード型のＮｉ内部電極積層セラミックコンデンサに代表されるセラミック電子部品を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態におけるチップ型中高圧用積層セラミックコンデンサの側断面図
【図２】本発明の実施の形態におけるモールド型中高圧用積層セラミックコンデンサの側断面図
【図３】本発明の実施の形態におけるリード型中高圧用積層セラミックコンデンサの側断面図
【符号の説明】
１１、２１、３１  積層体
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、３２ａ、３２ｂ、３２ｃ内部電極層
１３、２３、３３  セラミック誘電体層
１４、２４、３４  Ｎｉ質下層外部電極
１５、２５、３５  Ａｇ質上層外部電極
２６  熱硬化性樹脂
２７  端子
３６  外装材
３７  リード線
３８  半田
【図１】
2005015275.tif 000009
【図２】
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【図３】
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