(57)【要約】【課題】扉の一縁を相手側に密接させて、容易且つ確実にロックすることを可能とする扉ロック装置、及び扉システムを提供する。【解決手段】扉ロック装置５０は、所定方向に沿って延びる縁部６０，６２に対して扉３３の一縁５６を当接させてロックするために、扉３３に取り付けられる。この装置５０は、所定間隙を隔てて設けられた第１及び第２の挟持面９６，１００を有する挟持部７２と、扉３２の主面と交差する軸を中心として、挟持部７２を回転させるための操作部７０と、を備える。そして、挟持部７２は、操作部７０により回転方向の位置が変位されることで、第１及び第２の挟持面９６，１００の間で、扉３３の一縁５６と縁部６０，６２とを挟持してロック可能に設けられている。【選択図】  図１４
2005016255.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定方向に沿って延びる縁部に対して扉の一縁を当接させてロックするために、該扉に取り付けられる扉ロック装置であって、
所定間隙を隔てて設けられた第１及び第２の挟持面を有する挟持部と、
前記扉の主面と交差する軸を中心として、前記挟持部を回転させるための操作部と、を備え、
前記挟持部は、
前記操作部により回転方向の位置が変位されることで、前記第１及び第２の挟持面の間で、前記扉の前記一縁と前記縁部とを挟持してロック可能に設けられていることを特徴とする扉ロック装置。
【請求項２】
前記扉をロックするときに前記縁部側に位置する前記第１の挟持面はテーパー面を含み、
前記扉の前記一縁と前記縁部とを挟持する前記第１及び第２の挟持面の間隙は、前記操作部によりロックするに伴い漸次狭まるように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の扉ロック装置。
【請求項３】
前記扉をロックするときに前記扉の前記一縁側に位置する前記第２の挟持面は、前記操作部による前記挟持部の回転範囲内において、該一縁と常に接するように設けられていることを特徴とする請求項１に記載の扉ロック装置。
【請求項４】
所定方向に沿って延びる縁部に対して一縁が当接される扉と、
前記扉に取り付けられる請求項１に記載の扉ロック装置と、
を備えることを特徴とする扉システム。
【請求項５】
前記扉の前記一縁と前記縁部との間に設けられており、弾性及び導電性を有するガスケットを備えることを特徴とする請求項４に記載の扉システム。
【請求項６】
前記縁部を含む他の扉を有し、前記扉と該他の扉とは観音開きにより開閉されることを特徴とする請求項４に記載の扉システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、扉ロック装置、及び扉システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
高度にデジタル制御された機器は、他からの電磁波の影響を受けやすく、誤動作の原因となっている。そこで、他からの電磁波の影響を受けないように進入を抑えたり、自機で発生した電磁波を外部に漏れないようにしたりして、電子機器に電磁波対策を施す必要がある。
【０００３】
基板処理システムとしての露光システムも電磁波の影響を受けるため、誤動作等を抑制して信頼性の向上を図るべく、電磁波対策が施される。例えば、特許文献１に開示の露光システムでは、レクチルのパターンを基板に露光する露光部、及びレクチルや基板を露光部に搬送する搬送部を、エンクロージャーで遮蔽している。エンクロージャーは、メンテナンスのための扉を有する。扉としては、アクセス性を向上させるために、観音開きの扉が利用されることが多い。
【０００４】
エンクロージャーの扉を開閉するための扉ロック装置としては、例えば特許文献２に開示のものがある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−１３５４２２号公報
【特許文献２】
特開平７−３２４５２８号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記したような観音開きの扉を利用したエンクロージャーでは、一対の扉間の隙間を完全に塞いで電磁波対策の万全を図るために、両扉の重なり合う縁部の間で導電性のガスケットを挟み込むと有効である。
【０００７】
しかしながら、上記した従来の扉ロック装置では、このような場合に両扉の縁部を密接させてロックすることが容易ではなかった。
【０００８】
本発明は、上記した事情に鑑みて為されたものであり、扉の一縁を相手側に密接させて、容易且つ確実にロックすることを可能とする扉ロック装置、及び扉システムを提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る扉ロック装置は、所定方向に沿って延びる縁部に対して扉の一縁を当接させてロックするために、扉に取り付けられる。この装置は、所定間隙を隔てて設けられた第１及び第２の挟持面を有する挟持部と、扉の主面と交差する軸を中心として、挟持部を回転させるための操作部と、を備える。そして、挟持部は、操作部により回転方向の位置が変位されることで、第１及び第２の挟持面の間で、扉の一縁と縁部とを挟持してロック可能に設けられていることを特徴とする。
【００１０】
この扉ロック装置では、操作部により挟持部を回転操作することで、扉の一縁とそれが当接される縁部とを第１及び第２の挟持面の間で挟持して、容易且つ確実にロックすることができる。
【００１１】
本発明に係る扉ロック装置では、扉をロックするときに縁部側に位置する第１の挟持面はテーパー面を含み、扉の一縁と縁部とを挟持する第１及び第２の挟持面の間隙は、操作部によりロックするに伴い漸次狭まるように設けられていることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉をロックするときに、第１及び第２の挟持面の間隙に重なり合った扉の一縁と縁部とをガイドし易く、且つ間隙が漸次狭まることでロックが確実となる。
【００１２】
本発明に係る扉ロック装置では、扉をロックするときに扉の一縁側に位置する第２の挟持面は、操作部による挟持部の回転範囲内において、その一縁と常に接するように設けられていることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉をロックするときに、第１及び第２の挟持面の間隙に、重なり合った扉の一縁と縁部とをガイドし易くなる。
【００１３】
本発明に係る扉システムは、所定方向に沿って延びる縁部に対して一縁が当接される扉と、扉に取り付けられる上記扉ロック装置と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
この扉システムでは、操作部により挟持部を回転操作することで、扉の一縁とそれが当接される縁部とが第１及び第２の挟持面の間で挟持され、容易且つ確実にロックされる。
【００１５】
本発明に係る扉システムは、扉の一縁と縁部との間に設けられており、弾性及び導電性を有するガスケットを備えることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉の一縁と縁部との隙間が塞がれて電磁波対策の向上が図られる。
【００１６】
本発明に係る扉システムは、縁部を含む他の扉を有し、扉と他の扉とは観音開きにより開閉されることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉及び他の扉の開放時には広い開口が得られるため、内部へのアクセスが容易になる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１８】
図１は、本実施形態に係る基板処理システムとしての電子ビーム近接露光システム（以下、単に「露光システム」ともいう）の構成を示す斜視図である。また図２は、メンテナンス時における露光システムの各装置ブロックの配置を示す斜視図である。
【００１９】
図１及び図２に示すように、露光システム１は複数の装置ブロックを統合して構成されている。具体的には、露光装置ブロック２、メイン制御ブロック３、マスクストッカーブロック４、ミニエンバイロメントブロック５、サブ制御ブロック６、及び操作盤ブロック７を統合して、露光システム１が構成されている。
【００２０】
露光装置ブロック２は、図２に示すように、電子ビーム近接露光装置（以下、単に「露光装置」ともいう）１０と、露光装置１０を包囲するエンクロージャー１２と、を備えている。露光装置１０は、真空チャンバ内で電子ビーム露光を行い、半導体ウェハ上のレジストに対して所望のマスクパターンを転写する。
【００２１】
エンクロージャー１２は、真空チャンバの４つの角に対応して立設された四本の縦枠１４，１６，１８，２０と、縦枠１４，１６，１８，２０の上端に横架された四本の横枠２２，２４，２６，２８と、これら四本の横枠２２，２４，２６，２８上に設けられた天板３０とを有している。これら縦枠１４，１６，１８，２０、横枠２２，２４，２６，２８、及び天板３０は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。
【００２２】
図２において、手前の二本の縦枠１４，１６及び横枠２２により規定される前部開口は、左右一対の下部扉３２，３３及び左右一対の上部扉３４，３５により開閉される。なお、手前の二本の縦枠１４，１６の下端には、補助横枠３６が横架されている。また、手前の二本の縦枠１４，１６の間で上部扉と下部扉の境界には、補助横枠３７が横架されている。
【００２３】
また、後ろの二本の縦枠１８，２０及び横枠２４により規定される後部開口は、左右一対の下部扉３２，３３及び左右一対の上部扉３４，３５により開閉される。なお、後ろの二本の縦枠１４，１６の下端には、補助横枠が横架されている。また、後ろの二本の縦枠１４，１６の間で上部扉と下部扉の境界には、補助横枠が横架されている。これら上部扉３４，３５、下部扉３２，３３、及び補助横枠も、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。なお、エンクロージャー１２の左右には扉が設けられることなく、開放されている。
【００２４】
メイン制御ブロック３は、図１に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック２の右隣に隣接して配置されている。このメイン制御ブロック３は、半導体ウェハＷとマスクＭとの位置決めや、露光補正を行うための画像処理等の、真空チャンバ内で半導体ウェハＷに露光処理を施すに際して必要な制御を行うための種々の制御装置を含んでいる。そして、これら制御装置は外形が直方体状をなす筐体４０内に収容されている。この筐体４０は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。筐体４０下部には、図示しない車輪が設けられており、図２に示すように、メイン制御ブロック３は、設置面上を移動可能に設けられている。
【００２５】
マスクストッカーブロック４は、図１に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック２の右隣に隣接して、かつメイン制御ブロック２に隣接して配置されている。マスクストッカーブロック４は、マスクストッカーを含んでいる。マスクストッカーは、所望パターンが形成された複数のマスクＭからなるマスクセットを貯蔵する。このマスクストッカーから、真空チャンバの後壁部に設けられた図示しないマスクローダに、マスクＭが順次供給される。そして、マスクローダは、マスクストッカーから受け取ったマスクＭを真空チャンバ内に供給する。このマスクストッカーは、外形が直方体状をなす筐体４２内に収容されている。この筐体４２は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。筐体４２下部には、図示しない車輪が設けられており、マスクストッカーブロック４は、図２に示すように、設置面上を移動可能に設けられている。
【００２６】
ミニエンバイロメントブロック５は、図１に示すように、通常運転時において、サブ制御ブロック６及び操作盤ブロック７に挟まれた状態で、露光装置ブロック２の左隣に隣接して配置されている。ミニエンバイロメントブロック５は、真空チャンバの左側壁部に設けられた図示しないウェハローダに対し、半導体ウェハＷの供給及び引き取りを行うＩ／Ｏ部を、外形が直方体状をなす筐体４４で囲った局所的高清浄度空間である。筐体４４は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。このミニエンバイロメントブロック５は、露光装置ブロック２の左隣に隣接した状態で固定されている。
【００２７】
サブ制御ブロック６は、図１に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック２の左隣に隣接して、かつミニエンバイロメントブロック５に隣接して配置されている。サブ制御ブロック６は、露光装置１０の電子ビーム照射部を制御する制御装置を含んでいる。この制御装置は、外形が直方体状をなす筐体４６内に収容されている。筐体４６は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。筐体４６下部には、図示しない車輪が設けられており、サブ制御ブロック６は、図２に示すように、設置面上で移動可能に設けられている。
【００２８】
操作盤ブロック７は、図１に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック２の左隣に隣接して、かつミニエンバイロメントブロック５に隣接して配置されている。操作盤ブロック７は、この露光システム１を操作するための操作盤を含んでいる。この操作盤を介して、作業者は露光システム１による露光処理の条件を設定する。この操作盤は、外形が直方体状をなす筐体４８内に収容されている。筐体４８は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。筐体４８下部には、図示しない車輪が設けられており、操作盤ブロック７は、図２に示すように、設置面上で移動可能に設けられている。
【００２９】
このように、上記した露光装置ブロック２、メイン制御ブロック３、マスクストッカーブロック４、ミニエンバイロメントブロック５、サブ制御ブロック６、及び操作盤ブロック７を統合することで、露光システム１が構成されている。図１に示すように、通常運転時には、電磁波対策を施すため、露光システム１全体として外形が略直方体状をなすように、これら各装置ブロックが互いに接触するように隣接して配置される。そして、メンテナンス時においてミニエンバイロメントブロック５を除く各装置ブロックは、図２に示すように、設置面上において所定方向に移動される。
【００３０】
この露光システム１では、メンテナンス時においてエンクロージャー１２の下部扉３２，３３が開放される。以下の説明では、エンクロージャー１２の前部側と後部側とで扉ロック装置５０、及びこれを含む扉システムの構成は同一であるため、前部側についてのみ説明する。
【００３１】
図３は、左右の下部扉３２，３３を背面側からみた斜視図である。図２及び図３に示すように、下部扉３２，３３は正面視において矩形状をなす。右側の下部扉３３は、右縁部が蝶番５２を介して縦枠１６に開閉可能に取り付けられる。一方、左側の下部扉３２は、左縁部が蝶番５２を介して縦枠１４に開閉可能に取り付けられる。これにより、左右の下部扉３２，３３は観音開きにより開閉される。
【００３２】
これら左右の下部扉３２，３３の縁部は、左側の下部扉３２の右縁部を除き、内側に９０度に屈曲され第１折り返し部５４が形成されており、更に第１折り返し部５４が内側に９０度だけ屈曲されて第２折り返し部５６が形成されている。左側の下部扉３２の右縁部は、内側に９０度に屈曲され第３折り返し部５８が形成されており、第３折り返し部５８が外側に９０度だけ屈曲されて第４折り返し部６０が形成され、更に第４折り返し部６０が内側に１８０度だけ屈曲されて第５折り返し部６２が形成されている。
【００３３】
左側の下部扉３２の第４及び第５折り返し部６０，６２が、本発明における「所定方向に沿って延びる縁部」を構成し、右側の下部扉３３の第２折り返し部５４が、本発明における「扉の一縁」を構成する。
【００３４】
右側の下部扉３３に、本実施形態に係る扉ロック装置５０が取り付けられている。扉ロック装置５０は、操作部７０と挟持部７２とを備えている。操作部７０は、図４及び図５に示すように、下部扉３３に固定される固定部７４と、ハンドル７６と、回転板７８とを有している。
【００３５】
固定部７４は、下部扉３３の開口に嵌め込まれて固定される。この固定部７４は、ハンドル７６を収納可能な凹部８０を有する。ハンドル７６は、図５及び図６に示すように、下部扉３３の主面に直交する軸Ｘを中心として、略９０度の角度範囲で回転する。回転板７８は、図７に示すように、外形が短冊形をなし、後述する挟持部７２と連結される連結部８２を有する。この連結部８２には、挟持部７２に対してネジ止めするための孔８４が設けられている。この回転板７８は、固定部７４の背面側において、ハンドル７６と一体回転可能に連結されている。図７及び図８に示すように、このハンドル７６の回転により、回転板７８が、ハンドル７６と共に略９０度の角度範囲で回転される。図７に示すように、ロック時には回転板７８の長手方向は水平方向に沿い、図８に示すように、アンロック時には回転板７８の長手方向は鉛直方向に沿う。
【００３６】
挟持部７２は、図９に示すように、本体部８６と挟持板部８８とを有する。本体部８６は、図１０に示すように、円板の略１／４に相当するような外形を有する。本体部８６の表面側には、回転板７８を連結するための連結部９０が設けられている。また、本体部８６の裏面側には、挟持板部８８を連結するための連結部９２が設けられている。これら連結部９０，９２は、孔９４を通して連通されている。また、本体部８６の裏面側には、下部扉３３の第２折り返し部５６に常時接する挟持面（第２の挟持面）９６が、略円弧状に設けられている。なお挟持面９６のうち、後述する挟持板部８８の挟持面１００と対峙するのは、その一部のみである。
【００３７】
挟持板部８８は、図１１に示すように、矩形の外形を有する。挟持板部８８は、本体部８６に対してネジ止めするための孔９８を有する。挟持板部８８の本体部８６と対面する挟持面（第１の挟持面）１００は、テーパー面１０２を含んでいる。テーパー面１０２は、中央付近から側縁に向かって傾斜している。
【００３８】
図９に示すように、これら回転板７８、挟持部７２の本体部８６及び挟持板部８８とが、軸Ｘ方向に重ね合わされ、ネジ１０４により連結される。このとき、図１２に示すように、本体部８６の挟持面９６と挟持板部８８の挟持面１００とは、軸Ｘ方向に所定の間隙Ｓを持って離間している。この間隙Ｓは、後述するように、下部扉３３の第２折り返し部５６、下部扉３２の第４及び第５折り返し部６０，６２、及びこれらの間に介在されるガスケット（図１４の１０６）の厚みを考慮して規定される。
【００３９】
図１３は、扉ロック装置５０がロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。この状態では、図１４に示すように、右側の下部扉３３の第２折り返し部５６と、左側の下部扉３２の第４及び第５折り返し部６０，６２とが、本体部８６の挟持面９６と挟持板部８８の挟持面１００との間で挟持される。なお、右側の下部扉３３の第２折り返し部５６と左側の下部扉３２の第４折り返し部６２との間にはガスケット１０６が設けられている。よって、第２折り返し部５６と第４折り返し部６０とは、このガスケット１０６を介して当接されている。このガスケット１０６は、例えば、ＥＰＤＭ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ−ｄｉｅｎ−ｍｅｔｈｙｌｅｎｅ）スポンジ等の材料からなる弾性体の表面を、アルミ箔等の材料からなる金属箔により被覆して構成されており、弾性及び導電性を有する。
【００４０】
図１５は、扉ロック装置５０がアンロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。図１５に示すように、ハンドル７６を軸Ｘを中心に反時計回りに回すと、回転板７８を介して挟持部７２が軸Ｘを中心に回転され、挟持板部８８の挟持面１００と左側の下部扉３２の第５折り返し部６２との当接が解除されるため、左右下部扉３２，３３のロックが解除される。ただし、この場合であっても、本体部８６の挟持面９６は、右側の下部扉３３の第２折り返し部５６に接した状態にある。すなわち、挟持部７２の本体部８６の挟持面９６は、ハンドル７６による挟持部７２の回転範囲内（略９０度の回転範囲）において、常に下部扉３３の第２折り返し部５６に接している。
【００４１】
左右の下部扉３２，３３をロックするときには、ハンドル７６を軸Ｘを中心として時計回りに回して挟持部７２を回転させて、図１３に示すように、本体部８６の挟持面９６と挟持板部８８の挟持面１００との間で、右側の下部扉３３の第２折り返し部５６と、左側の下部扉３２の第４及び第５折り返し部６０，６２とを挟持する。このとき、挟持部７２の本体部８６の挟持面９６は下部扉３３の第２折り返し部５６に常に接しており、また挟持板部８８の挟持面１００はテーパー面１０２を含むため、左右下部扉３２，３３の重なり部分を挟持面９６，１００間にガイドし易く、また間隙Ｓが漸次狭まることでロックを確実に行うことができる。
【００４２】
このように本実施形態では、操作部７０により挟持部７２を回転操作することで、左右下部扉３２，３３の重なり部分を挟持部７２の挟持面９６，１００の間で挟持して、容易且つ確実にロックすることができる。
【００４３】
このとき、挟持部７２の本体部８６の挟持面９６は下部扉３３の第２折り返し部５６に常に接しており、また挟持板部８８の挟持面１００はテーパー面１０２を含むため、下部扉３２，３３をロックするときに重なり部分を挟持面９６，１００間にガイドし易く、且つ間隙Ｓが漸次狭まることでロックが確実となる。
【００４４】
また、左右の下部扉３２，３３の重なり部分に弾性及び導電性を有するガスケット１０６を設けているため、左右の下部扉３２，３３の隙間が完全に塞がれて、電磁波対策の向上が図られる。このように、ガスケット１０６を挟んでロックするときは、ガスケット１０６を押し潰すための潰し代と、押し潰す力が必要である。本実施形態に係る扉ロック装置５０では、挟持部７２の本体部８６の挟持面９６は下部扉３３の第２折り返し部５６に常に接しており、この挟持面９６に向かって挟持板部８８の挟持面１００により第４及び第５折り返し部６０，６２を引き付けて挟持するため、挟持面９６，１００間で十分な押し潰し力を得ることができ、ガスケット１０６を押し潰して左右の下部扉３２，３３の隙間を完全に塞ぐことができる。
【００４５】
また、左右の下部扉３２，３３は観音開きにより開閉されるため、メンテナンス時には広い開口が得られ、エンクロージャー１２内へのアクセスが容易になってメンテナンス性の向上が図られる。
【００４６】
上記したように、左右の下部扉３２，３３は重なり部分が挟持部７２の挟持面９６，１００の間で挟持され、確実にロックされて電磁波対策の向上が図られる。しかしながら、電磁波対策のより一層の向上を図るためには、下部扉３２，３３の上縁部と補助横枠３７との密接を図る必要があり、また下部扉３２，３３の下縁部と補助横枠３６との密接を図る必要がある。そこで、エンクロージャー１２は、図３及び図１６に示すように、上縁ロック装置１１０と下縁ロック装置１１２とを更に備えている。なお、上縁ロック装置１１０と下縁ロック装置１１２とは実質的に構成が同一であるため、上縁ロック装置１１０についてのみ詳細を説明する。
【００４７】
上縁ロック装置１１０は、上下方向に沿って延びるロッド１１４と、ロッド１１０の上下動をガイドするガイド部１１６とを有している。ガイド部１１６は、図１７に示すように、直方体状の外形を有する部材であって、上下方向に貫通する貫通孔１１８を有する。また、ガイド部１１６には前面と後面とを貫通する開口部１２０が設けられている。貫通孔１１８の軸と開口部１２０の軸とは交差しており、これら貫通孔１１８と開口部１２０とは連通している。ガイド部１１６の上面には、一対のネジ穴１２２が設けられている。
【００４８】
ガイド部１１６は、下部扉３３の上縁部の第１折り返し部５４に、ネジ穴１２２を通してネジ止めされている。そして、ロッド１１４の上端がガイド部１１６の貫通孔１１８に挿通され、下端が扉ロック装置５０の回転板７８に連結されている。従って、ハンドル７６の回転により回転板７８が回転されることで、ロッド１１４が上下動されるようになっている。なお、ロッド１１４の上端は、扉ロック装置５０によるロック時には開口部１２０よりも上にあり、アンロック時には開口部１２０よりも下にある。
【００４９】
下縁ロック装置１１２も上縁ロック装置１１０と同様の構成を有し、ガイド部１１６が下部扉３３の下縁部の第１折り返し部５４に、ネジ穴１２２を通してネジ止めされている。そして、ロッド１１４の下端がガイド部１１６の貫通孔１１８に挿通され、上端が扉ロック装置５０の回転板７８に連結されている。従って、ハンドル７６の回転により回転板７８が回転されることで、ロッド１１４が上下動されるようになっている。なお、ロッド１１４の下端は、扉ロック装置５０によるロック時には開口部１２０よりも下にあり、アンロック時には開口部１２０よりも上にある。
【００５０】
補助横枠３７には、図１８に示すように、上縁ロック装置１１０のガイド部１１６に対応する位置に、ロック板１３０がネジ止めされている。ロック板１３０は、図１９に示すように、板状の部材であって、補助横枠３７にネジ止めするための孔１３２を有している。ロック板１３０には、上縁ロック装置１１０のロッド１１４が挿通される孔が設けられており、この孔には樹脂スリーブ１３６が嵌め込まれている。ロッド１１４は、この樹脂スリーブ１３６の孔１３４内を進退する。下部扉３３が閉じられるとき、図２０（ａ）に示すように、ロック板１３０は上縁ロック装置１１０のガイド部１１６の開口部１２０に進入し、ロック板１３０の孔１３４とガイド部１１６の貫通孔１１８とが連通される。そして、図２０（ｂ）に示すように、ハンドル７６を回すことでロッド１１４が上昇して、ロッド１１４がロック板１３０の孔１３４に挿通される。これにより、下部扉３３の上縁が補助横枠３７に引き寄せられ、密接される。ここで、図２０に示すように、ロッド１１４の上端は円錐台状に縮径されていると好ましい。このようにすれば、ロック板１３０の孔１３４への挿通が容易になる。なお、下部扉３３の上縁部の第２折り返し部５６の内側には、前述したガスケット１０６と同様なガスケットによりライニングが施されており、下部扉３３の上縁と補助横枠３７との隙間が完全に閉塞されて電磁遮蔽の一層の向上が図られている。下縁ロック装置１１２も、上縁ロック装置１１０と同様に作用し、下部扉３３の下縁が補助横枠３６に引き寄せられ、密接される。
【００５１】
なお、左側の下部扉３２にも、右側の下部扉３３と同様の上縁ロック装置１１０及び下縁ロック装置１１２が設けられており、上下縁がそれぞれ補助横枠３７，３６に引き寄せられ、密接される。左側の下部扉３２のロック装置は、上下縁をロックするためのものであり、挟持部７２が設けられていないことの他は、右側の下部扉３３に設けられた扉ロック装置５０と同様の構成を有する。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、扉の一縁を相手側に密接させて、容易且つ確実にロックすることを可能とする扉ロック装置、及び扉システムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】電子ビーム近接露光システムの構成を示す斜視図である（通常運転状態）。
【図２】電子ビーム近接露光システムの構成を示す斜視図である（メンテナンス状態）。
【図３】左右の下部扉を背面側からみた斜視図である。
【図４】扉ロック装置の操作部を正面から見た図である（ロック状態）。
【図５】扉ロック装置の操作部を側面から見た図である（ロック状態であって、ハンドルの取り出し時）。
【図６】扉ロック装置の操作部を正面から見た図である（アンロック状態）。
【図７】扉ロック装置の操作部を背面から見た図である（ロック状態）。
【図８】扉ロック装置の操作部を背面から見た図である（アンロック状態）。
【図９】扉ロック装置の挟持部の構成を示す斜視図である。
【図１０】挟持部の本体部の構成を示す図である。
【図１１】挟持部の挟持板部の構成を示す図である。
【図１２】扉ロック装置の挟持部の構成を示す側面図である。
【図１３】扉ロック装置がロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。
【図１４】扉ロック装置がロック状態にあるときの様子を示す断面図である。
【図１５】扉ロック装置がアンロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。
【図１６】扉ロック装置と上縁ロック装置及び下縁ロック装置とを示す正面図である（説明の便宜上、下部扉を省略して図示している。）。
【図１７】上縁（下縁）ロック装置のガイド部の構成を示す図である。
【図１８】扉ロック装置と上縁ロック装置及び下縁ロック装置とを示す側面図である。
【図１９】補助横枠に取り付けられるロック板の構成を示す図である。
【図２０】上縁ロック装置による下部扉のロックの様子を説明するための側断面図である。
【符号の説明】
１…電子ビーム近接露光システム、２…露光装置ブロック、３…メイン制御ブロック、４…マスクストッカーブロック、５…ミニエンバイロメントブロック、６…サブ制御ブロック、７…操作盤ブロック、３２，３３…下部扉、５０…扉ロック装置、５６…第２折り返し部、６０…第４折り返し部、６２…第５折り返し部、７０…操作部、７２…挟持部、９６，１００…挟持面、１０２…テーパー面、１０６…ガスケット、Ｓ…間隙、Ｘ…軸。
【図１】
2005016255.tif 000003
【図２】
2005016255.tif 000004
【図３】
2005016255.tif 000005
【図４】
2005016255.tif 000006
【図５】
2005016255.tif 000007
【図６】
2005016255.tif 000008
【図７】
2005016255.tif 000009
【図８】
2005016255.tif 000010
【図９】
2005016255.tif 000011
【図１０】
2005016255.tif 000012
【図１１】
2005016255.tif 000013
【図１２】
2005016255.tif 000014
【図１３】
2005016255.tif 000015
【図１４】
2005016255.tif 000016
【図１５】
2005016255.tif 000017
【図１６】
2005016255.tif 000018
【図１７】
2005016255.tif 000019
【図１８】
2005016255.tif 000020
【図１９】
2005016255.tif 000021
【図２０】
2005016255.tif 000022