(57)【要約】【課題】簡素な構成にも関わらず、扉を開閉するときの操作性に優れ、且つ扉の確実な開閉を可能とする扉ロック装置、及び扉システムを提供する。【解決手段】扉ロック装置５０は、（１）鉛直方向に沿って延び、自身の軸を中心として回転可能な回転ロッド５８と、（２）回転ロッド５８と一体回転可能に設けられており、扉３４の一縁に係止されるフック部６８を有するフック部材６０と、（３）回転ロッド５８の下端部に設けられており、回転ロッド５８の回転を操作する操作部６２と、を備える。この扉ロック装置５０は、扉３４の内側に設けられ扉３４の一縁をロックする。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
扉の内側に設けられ該扉の一縁をロックする扉ロック装置であって、
鉛直方向に沿って延び、自身の軸を中心として回転可能な回転ロッドと、
前記回転ロッドと一体回転可能に設けられており、前記扉の前記一縁に係止されるフック部を有するフック部材と、
前記回転ロッドの下端部に設けられており、該回転ロッドの回転を操作する操作部と、
を備えることを特徴とする扉ロック装置。
【請求項２】
前記フック部材の前記フック部が前記扉の前記一縁に係止され、該扉がロックされた状態において、前記回転ロッドの回転を規制する回転規制手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の扉ロック装置。
【請求項３】
互いに対向する第１及び第２の縁部を有し、第１の軸を中心として開閉可能に該第１の縁部が固定される扉と、
請求項１に記載の扉ロック装置と、を備え、
前記操作部を操作して前記回転ロッドを回転させることにより、前記フック部材の前記フック部が前記扉の前記第２の縁部に係止されて、該扉がロックされることを特徴とする扉システム。
【請求項４】
前記扉の前記第２の縁部は、
前記扉の縁部を内側に折り返してなる第１折り返し部と、
前記第１折り返し部の縁部を更に内側に折り返してなる第２折り返し部と、を有し、
前記フック部材の前記フック部は、前記第２折り返し部に係止されることを特徴とする請求項３に記載の扉システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、扉ロック装置、及び扉システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
高度にデジタル制御された機器は、他からの電磁波の影響を受けやすく、誤動作の原因となっている。そこで、他からの電磁波の影響を受けないように進入を抑えたり、自機で発生した電磁波を外部に漏れないようにしたりして、電子機器に電磁波対策を施す必要がある。
【０００３】
基板処理システムとしての露光システムも電磁波の影響を受けるため、誤動作等を抑制して信頼性の向上を図るべく、電磁波対策が施される。例えば、特許文献１に開示の露光システムでは、レクチルのパターンを基板に露光する露光部、及びレクチルや基板を露光部に搬送する搬送部を、エンクロージャー（遮蔽壁）で遮蔽している。
【０００４】
エンクロージャーの扉を開閉するための扉ロック装置としては、例えば特許文献２に開示のものがある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−１３５４２２号公報
【０００６】
【特許文献２】
特開閉７−３２４５２８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記したような半導体製造装置では、ＳＥＭＩ（Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔｓ  ａｎｄ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格によりヘッドクリアランスが１９８０ｍｍと規定されている。これより高い所に具備すべき扉は、下部の扉と分割して設置するか、下部の扉と一体にするかの選択となる。
【０００８】
このとき、上部の扉と下部の扉を一体物とすれば、高さ寸法が２ｍを越えてしまい、また自重も増加してしまって、搬送や組付け等のハンドリング性が悪い。また板金プレスなど工作機械の寸法制約もある。
【０００９】
そこで、上部の扉を下部の扉と分割することが選択されるが、この場合、上部の扉を開閉する際には、移動式脚立、固定ステップなどの補助治具を用いる必要があり、扉を開閉する際におけるアクセスの利便性が低い。或いは、電動式、空気式アクチュエーターにより駆動して開閉させる必要があり、装置構成が複雑化してしまう。
【００１０】
また、扉はＳＥＭＩ規格により確実なロックが要求されるが、市販のハンドルやラッチによるロック、またはマグネットキャッチ、ボールキャッチによるロックでは、やはり開閉時に扉に手が届く必要があり、アクセスのための補助治具が必要となる。特に、強力なマグネットキャッチを使用すれば、扉を閉める際には有効な手段ではあるが、電子ビームを利用した装置の場合は、この磁場がプロセスに悪影響を及ぼすおそれがある。
【００１１】
本発明は、上記した事情に鑑みて為されたものであり、簡素な構成にも関わらず、扉を開閉するときの操作性に優れ、且つ扉の確実な開閉を可能とする扉ロック装置、及び扉システムを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る扉ロック装置は、扉の内側に設けられ扉の一縁をロックする扉ロック装置である。この扉ロック装置は、（１）鉛直方向に沿って延び、自身の軸を中心として回転可能な回転ロッドと、（２）回転ロッドと一体回転可能に設けられており、扉の一縁に係止されるフック部を有するフック部材と、（３）回転ロッドの下端部に設けられており、回転ロッドの回転を操作する操作部と、を備えることを特徴とする。
【００１３】
この扉ロック装置によれば、操作部を操作して回転ロッドを回転させることにより、フック部材のフック部が扉の一縁に係止され、扉は閉位置にてロックされる。このように、この扉ロック装置は簡素な構成にも関わらず、操作部が回転ロッドの下端部に設けられていることから、扉が高い位置にあるときでもアクセスが容易で操作性に優れ、且つ扉の確実な開閉が可能となる。
【００１４】
本発明に係る扉ロック装置は、フック部材のフック部が扉の一縁に係止され、扉がロックされた状態において、回転ロッドの回転を規制する回転規制手段を備えることを特徴としてもよい。このようにすれば、ロック位置において回転ロッドの回転が規制されることで、フック部材のフック部と扉の一縁との係止が確実に維持され、扉のロックが一層確実になる。
【００１５】
本発明に係る扉システムは、（１）互いに対向する第１及び第２の縁部を有し、第１の軸を中心として開閉可能に第１の縁部が固定される扉と、（２）上記した扉ロック装置と、を備える。そして、操作部を操作して回転ロッドを回転させることにより、フック部材のフック部が扉の第２の縁部に係止されて、扉がロックされることを特徴とする。
【００１６】
この扉システムは、上記した扉ロック装置を備えているため、扉を開閉するときのアクセスが容易で操作性に優れ、且つ扉の確実な開閉が可能となる。
【００１７】
本発明に係る扉システムにおいて、扉の第２の縁部は、扉の縁部を内側に折り返してなる第１折り返し部と、第１折り返し部の縁部を更に内側に折り返してなる第２折り返し部と、を有し、フック部材のフック部は、第２折り返し部に係止されることを特徴としてもよい。このようにすれば、フック部材のフック部による係止がより確実になり、扉のロックが一層確実になる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１９】
図１は、本実施形態に係る基板処理システムとしての電子ビーム近接露光システム（以下、単に「露光システム」ともいう）の構成を示す斜視図である。また図２は、メンテナンス時における露光システムの各装置ブロックの配置を示す斜視図である。
【００２０】
図１及び図２に示すように、露光システム１は複数の装置ブロックを統合して構成されている。具体的には、露光装置ブロック２、メイン制御ブロック３、マスクストッカーブロック４、ミニエンバイロメントブロック５、サブ制御ブロック６、及び操作盤ブロック７を統合して、露光システム１が構成されている。
【００２１】
露光装置ブロック２は、図２に示すように、電子ビーム近接露光装置（以下、単に「露光装置」ともいう）１０と、露光装置１０を包囲するエンクロージャー１２と、を備えている。露光装置１０は、真空チャンバ内で電子ビーム露光を行い、半導体ウェハ上のレジストに対して所望のマスクパターンを転写する。
【００２２】
エンクロージャー１２は、真空チャンバの４つの角に対応して立設された四本の縦枠１４，１６，１８，２０と、縦枠１４，１６，１８，２０の上端に横架された四本の横枠２２，２４，２６，２８と、これら四本の横枠２２，２４，２６，２８上に設けられた天板３０とを有している。これら縦枠１４，１６，１８，２０、横枠２２，２４，２６，２８、及び天板３０は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。
【００２３】
図２において、手前の二本の縦枠１４，１６及び横枠２２により規定される前部開口は、左右一対の下部扉３２，３３及び左右一対の上部扉３４，３５により開閉される。また、後ろの二本の縦枠１８，２０及び横枠２４により規定される後部開口は、左右一対の下部扉３２，３３及び左右一対の上部扉３４，３５により開閉される。これら上部扉３４，３５及び下部扉３２，３３も、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。なお、エンクロージャー１２の左右には扉が設けられることなく、開放されている。
【００２４】
メイン制御ブロック３は、図１に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック２の右隣に隣接して配置されている。このメイン制御ブロック３は、半導体ウェハＷとマスクＭとの位置決めや、露光補正を行うための画像処理等の、真空チャンバ内で半導体ウェハＷに露光処理を施すに際して必要な制御を行うための種々の制御装置を含んでいる。そして、これら制御装置は外形が直方体状をなす筐体４０内に収容されている。この筐体４０は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。筐体４０下部には、図示しない車輪が設けられており、図２に示すように、メイン制御ブロック３は、設置面上を移動可能に設けられている。
【００２５】
マスクストッカーブロック４は、図１に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック２の右隣に隣接して、かつメイン制御ブロック２に隣接して配置されている。マスクストッカーブロック４は、マスクストッカーを含んでいる。マスクストッカーは、所望パターンが形成された複数のマスクＭからなるマスクセットを貯蔵する。このマスクストッカーから、真空チャンバの後壁部に設けられた図示しないマスクローダに、マスクＭが順次供給される。そして、マスクローダは、マスクストッカーから受け取ったマスクＭを真空チャンバ内に供給する。このマスクストッカーは、外形が直方体状をなす筐体４２内に収容されている。この筐体４２は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。筐体４２下部には、図示しない車輪が設けられており、マスクストッカーブロック４は、図２に示すように、設置面上を移動可能に設けられている。
【００２６】
ミニエンバイロメントブロック５は、図１に示すように、通常運転時において、サブ制御ブロック６及び操作盤ブロック７に挟まれた状態で、露光装置ブロック２の左隣に隣接して配置されている。ミニエンバイロメントブロック５は、真空チャンバの左側壁部に設けられた図示しないウェハローダに対し、半導体ウェハＷの供給及び引き取りを行うＩ／Ｏ部を、外形が直方体状をなす筐体４４で囲った局所的高清浄度空間である。筐体４４は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。このミニエンバイロメントブロック５は、露光装置ブロック２の左隣に隣接した状態で固定されている。
【００２７】
サブ制御ブロック６は、図１に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック２の左隣に隣接して、かつミニエンバイロメントブロック５に隣接して配置されている。サブ制御ブロック６は、露光装置１０の電子ビーム照射部を制御する制御装置を含んでいる。この制御装置は、外形が直方体状をなす筐体４６内に収容されている。筐体４６は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。筐体４６下部には、図示しない車輪が設けられており、サブ制御ブロック６は、図２に示すように、設置面上で移動可能に設けられている。
【００２８】
操作盤ブロック７は、図１に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック２の左隣に隣接して、かつミニエンバイロメントブロック５に隣接して配置されている。操作盤ブロック７は、この露光システム１を操作するための操作盤を含んでいる。この操作盤を介して、作業者は露光システム１による露光処理の条件を設定する。この操作盤は、外形が直方体状をなす筐体４８内に収容されている。筐体４８は、ＳＵＳ等の導電性を有する材料から形成されている。筐体４８下部には、図示しない車輪が設けられており、操作盤ブロック７は、図２に示すように、設置面上で移動可能に設けられている。
【００２９】
このように、上記した露光装置ブロック２、メイン制御ブロック３、マスクストッカーブロック４、ミニエンバイロメントブロック５、サブ制御ブロック６、及び操作盤ブロック７を統合することで、露光システム１が構成されている。図１に示すように、通常運転時には、電磁波対策を施すため、露光システム１全体として外形が略直方体状をなすように、これら各装置ブロックが互いに接触するように隣接して配置される。そして、メンテナンス時においてミニエンバイロメントブロック５を除く各装置ブロックは、図２に示すように、設置面上において所定方向に移動される。
【００３０】
この露光システム１では、ヘッドクリアランスが１９８０ｍｍというＳＥＭＩ規格により、エンクロージャー１２において、この高さより高い所にある上部扉３４，３５が、下部扉３２，３３と分割して設けられている。これにより、上部扉３４，３５を開閉する際のアクセスが悪くなるが、後述する扉ロック装置５０，５２を備えることで、これを解消している。以下の説明では、エンクロージャー１２の前部側と後部側とで扉ロック装置５０，５２及びこれを含む扉システムの構成は同一であるため、前部側についてのみ説明する。
【００３１】
扉ロック装置５０，５２は、図３に示すように、上部扉３４，３５を閉めた位置において、上部扉３４，３５の一縁を係止できるように、横枠２２の中間位置に設けられている。すなわち、手前側の一対の縦枠１４，１６間には、ＳＥＭＩ規格のヘッドクリアランスを充足する高さ位置において補助横枠５４が横架されており、この補助横枠５４と横枠２２との間に補助縦枠５６が架設されている。扉ロック装置５０，５２は、これら補助縦枠５６及び補助横枠５４を利用して設置されている。なお、右側の上部扉３４をロックする扉ロック装置５０と、左側の上部扉３５をロックする扉ロック装置５２とは構成が対称であるため、右側の上部扉３４をロックする扉ロック装置５０についてのみ詳述する。
【００３２】
扉ロック装置は、図４及び図５に示すように、回転ロッド５８、フック部材６０、及び操作部６２を備えている。回転ロッド５８は、図６に示すように、断面円形の棒材であり、鉛直方向に沿って延びている。この回転ロッド５８の下端部に、回転ロッド５８の回転を操作するための操作部６２が設けられている。操作部６２は、平面視が長円形状をなす板材であり、一部が切り欠かれて凹部６４が形成されている。
【００３３】
図４及び図５に示すように、補助横枠５４における補助縦枠５６が架設された部位の近傍には、補助横枠５４の上下面を貫通する孔が形成されており、回転ロッド５８は、この孔に下側から挿通されている。
【００３４】
フック部材６０は、図７に示すように、回転ロッド５８に挿通される筒状部６６と、筒状部６６の側壁に設けられたフック部６８とを有している。筒状部６６の側壁には、一のネジ穴７０が形成されている。フック部６８は、筒状部６６の高さ程度の幅の細長い板材を屈曲して形成されており、筒状部６６の軸に垂直な断面が略Ｊ字形をなす。
【００３５】
フック部材６０は、筒状部６６に回転ロッド５８が挿通され、ネジ穴７０にネジ７２が噛合されてネジ７２先端が回転ロッド５８に当接することで、回転ロッド５８に対して一体回転可能に固定されている。本実施形態では、回転ロッド５８には２個のフック部材６０が固定されている。
【００３６】
ここで、上記した構成の扉ロック装置５０は、回転ロッド５８が補助横枠５４の孔に挿通されているのみであるので、孔から抜け落ちてしまわないように支持する必要がある。そこで、図８に示す支持部材７４により、扉ロック装置５０が支持されている。
【００３７】
支持部材７４は、直方体状をなすブロック体から構成されている。支持部材７４には、上下面を貫通する縦孔７６が形成されており、また左右側面を貫通する２個の横孔７８が形成されている。本実施形態では、２個の支持部材７４が、横孔７８を通して雄ネジ８０によりネジ止めされることにより、補助縦枠５６の右側壁に固定されている。回転ロッド５８は、支持部材７４の縦孔７６に挿通され、フック部材６０の筒状部６６が支持部材７４の上面で支持されることにより、抜けを防止されている。これにより、回転ロッド５８は自身の軸を中心として回転可能であり、操作部６２により回転ロッド５８の回転を操作することで、フック部材６０のフック部６８の回転方向位置を制御できるようになっている。
【００３８】
前述したように、右側の上部扉３４をロックする扉ロック装置５０と、左側の上部扉３５をロックする扉ロック装置５２とは構成が対称であり、左側の扉ロック装置５２は、補助縦枠５６の左側壁に固定された支持部材により支持されている。
【００３９】
なお、図９に示すように、左右の上部扉３４，３５をロックした状態において、補助横枠５４を下方から見上げたとき、これら扉ロック装置５０，５２の操作部６２は、互いに重なり合って凹部６４が連通する。これら凹部６４が連通する位置において、補助横枠５４にはネジ穴８２が穿設されている。従って、図４，５及び９に示すように、これら凹部６４を通して補助横枠５４のネジ穴８２に雄ネジ（回転規制手段）８４が噛合されることで、雄ネジ８４の頭部と補助横枠５４との間に操作部６２が挟持される。これにより、回転ロッド５８の自由な回転が規制され、上部扉３４，３５のロックを確実としている。
【００４０】
左右の上部扉３４，３５は、図１に示すように、正面視において矩形状をなし、対向する上下縁部と左右縁部とを有している。これら上下縁部及び左右縁部は、図１０に示すように、主板の縁部を内側に９０度だけ折り返してなる第１折り返し部８６と、第１折り返し部８６の縁部を更に内側に９０度だけ折り返してなる第２折り返し部８８と、を有している。右側の上部扉３４は、蝶番により右縁部（第１の縁部）が縦枠１４に固定され、縦枠１４の軸（第１の軸）を中心として回動可能に構成されている。また左側の上部扉３５は、蝶番により左縁部（第１の縁部）が縦枠１６に固定され、縦枠１６の軸（第１の軸）を中心として回動可能に構成されている。上部扉３４の第２折り返し部８８には、図１０に示すように、弾性及び導電性を有するガスケット９０によりライニングが施されており、導通を確実に取ることで電磁波対策の強化が施されている。ガスケット９０は、例えばＥＰＤＭ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ−ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ−ｄｉｅｎ−ｍｅｔｈｙｌｅｎｅ）スポンジ等の材料からなる弾性体の表面を、アルミ箔等の材料からなる金属箔により被覆して構成することができる。
【００４１】
図１０及び図１１は、左右の上部扉３４，３５の開閉動作を説明するための断面図である。操作部６２を操作して回転ロッド５８を軸周りに回転させることにより、フック部材６０も回転される。よって、図１０に示すように、ロック状態にある右側の上部扉３４を開くときには、操作部６２を操作して回転ロッド５８を反時計回り（回転ロッド５８を上端側から見て）に回転させ、フック部６８と上部扉３４の縁部との係止を解除する。これにより、図１１に示すように、上部扉３４は縦枠１４の軸を中心として回動し、開かれる。このとき、フック部材６０のフック部６８の回転に際して上部扉３４と干渉しないように、フック部６８の寸法が規定されている。
【００４２】
逆に、右側の上部扉３４を閉じるときには、まず上部扉３４の左縁部を補助縦枠５６に当接させ、操作部６２を操作して回転ロッド５８を時計回り（回転ロッド５８を上端側から見て）に回転させ、図１０に示すように、フック部６８先端と上部扉３４の左縁部、より詳細には左縁部の第２折り返し部８８とを係止させる。これにより、上部扉３４が閉じられロックされる。そして、図４，５及び９に示すように、操作部６２の凹部６４を通して補助横枠５４のネジ穴６４に雄ネジ８４を噛合する。これにより、上部扉３４のロックがより確実にされる。なお、左側の上部扉３５の開閉及び施錠開錠も右側の上部扉３４の場合と同様である。
【００４３】
以上、詳述したように、本実施形態に係る扉ロック装置５０，５２及びこれに上部扉３４，３５を含めた扉システムによれば、人の手が届きＳＥＭＩ規格を守れる１９８０ｍｍ〜２０００ｍｍのレベルの高さ位置に操作部６２があり、この操作部６２を操作して回転ロッド５８を回転させることによって、フック部材６０のフック部６８が上部扉３４，３５の一縁に係止され、上部扉３４，３５は閉位置にてロックされる。このように、この扉ロック装置５０，５２は簡素な構成にも関わらず、操作部６２が回転ロッド５８の下端部に設けられていることから、アクセスが容易で操作性に優れ、且つ上部扉３４，３５の確実な開閉が可能となる。
【００４４】
特に、上部扉３４，３５がロックされた状態において、雄ネジ８４の締結により回転ロッド５８の回転が規制されるため、フック部材６０のフック部６８と上部扉３４，３５の一縁との係止が確実に維持され、上部扉３４，３５のロックが一層確実になる。
【００４５】
更に、フック部材６０のフック部６８は、上部扉３４，３５の第２折り返し部８８に係止されるため、フック部６８による上部扉３４，３５の係止がより確実になり、上部扉３４，３５のロックが一層確実になる。
【００４６】
また、扉ロック装置５０，５２は完全に上部扉３４，３５の内側に設けられており、上部扉３４，３５の外側には扉の開閉に関わる部材がなく、露光システム１の複雑化を招くことなくＳＥＭＩ規格を充足することができる。すなわち、ＳＥＭＩ規格ではエンクロージャー１２の扉等は工具を使わないと開かない構造にするか、電気遮断装置とのインターロックを設置することとしている。ただし、メンテナンスのためにエンクロージャー１２の内部から開ける扉は除外されるため、この規定を利用してＳＥＭＩ規格を充足している。
【００４７】
また本実施形態では、上部扉３４，３５の第２折り返し部８８にガスケット９０がライニングされており、電磁波遮蔽の強化が図られているが、これが上部扉３４，３５を閉める際に抵抗になり、ガスケット９０が無い場合と比べて上部扉３４，３５が閉まり難い。しかしながら、フック部材６０は上部扉３４，３５の上部付近と下部付近の２箇所で縁部を係止しており、上部扉３４，３５は確実且つ均等に閉じられる。
【００４８】
なお、本発明は上記した実施形態に限定されることなく種々の変形が可能である。例えば、回転ロッド５８の回転を操作する操作部は、図１２に示すように、回転ロッド５８の下端に直接設けられた摘み部９６であってもよい。また、回転ロッド５８の回転を規制する回転規制手段は、図１２に示すように、雌ネジが刻設された雌ネジ部材９８を含んでいてもよい。この場合、回転ロッド５８の上端の周面に雄ネジを刻設し、この雄ネジを雌ネジ部材９８の雌ネジに噛合させて、ネジの噛合関係による摩擦力により回転ロッド５８の回転を規制する。
【００４９】
また、上記実施形態では、扉ロック装置５０，５２及びこれを備えた扉システムを、電子ビーム近接露光システム１のエンクロージャー１２に適用した形態について説明したが、これに限定されない。例えば、扉ロック装置５０，５２は、単に高い所にある扉の開閉にも適用することが可能である。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、簡素な構成にも関わらず、扉を開閉するときの操作性に優れ、且つ扉の確実な開閉を可能とする扉ロック装置、及び扉システムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】電子ビーム近接露光システムの構成を示す斜視図である（通常運転状態）。
【図２】電子ビーム近接露光システムの構成を示す斜視図である（メンテナンス状態）。
【図３】エンクロージャーの上部扉が開かれた状態を示す斜視図である。
【図４】上部扉の内側に設けられた扉ロック装置の構成を示す正面図である。
【図５】扉ロック装置の構成を示す側面図である。
【図６】下端部に操作部が設けられた回転ロッドを示す斜視図である。
【図７】図７（ａ）〜（ｃ）は、それぞれフック部材の構成を示す斜視図、平面図、及び側面図である。
【図８】図８（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ支持部材の構成を示す斜視図、平面図、及び側面図である。
【図９】左右の上部扉をロックした状態において、補助横枠を下方から見上げたときの、左右両扉ロック装置の操作部が互いに重なり合って凹部が連通している様子を示す図である。
【図１０】上部扉が閉められて扉ロック装置によりロックされている様子を示す平断面図である。
【図１１】上部扉の開閉動作を説明するための平断面図である。
【図１２】扉ロック装置の変形例を示す図である。
【符号の説明】
１…電子ビーム近接露光システム、２…露光装置ブロック、３…メイン制御ブロック、４…マスクストッカーブロック、５…ミニエンバイロメントブロック、６…サブ制御ブロック、７…操作盤ブロック、３４，３５…上部扉、５０，５２…扉ロック装置、５８…回転ロッド、６０…フック部材、６２…操作部、６４…凹部、６８…フック部、８４…雄ネジ、８６…第１折り返し部、８８…第２折り返し部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005009159.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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