(57)【要約】【課題】  静電モータの固定子用電極体、移動子用電極体の寿命を延ばす。【解決手段】  固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂには駆動電極パターン２が設けられ、カバーフィルム４で覆われている。固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの互いに接触する平面に微細な凸部５形状をもたせ、互いに凸部５同士の接触により間隔を保持する。凸部５は、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの一方にのみ設け、他方は平坦な面でもよい。凸部５で固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隙が保持される、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂのカバーフィルム４の摩耗が減少し固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの寿命を延ばす。【選択図】          図１
2005278324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定子用電極体と移動子用電極体が互いに接触しつつ相対運動する静電モータであって、互いに接触する平面に微細な凸部形状をもたせ、互いに凸部同士の接触により間隔を保持するようにした静電モータ。
【請求項２】
固定子用電極体と移動子用電極体が互いに接触しつつ相対運動する静電モータであって、互いに接触する平面の一方に微細な凸部形状をもたせ、該凸部と他方の面との接触により間隔を保持するようにした静電モータ。
【請求項３】
固定子用電極体と移動子用電極体の間隙には液体を介在させ、固定子用電極体と移動子用電極体の接触による摩擦力を低減させるようにした請求項１又は請求項２に記載の静電モータ。
【請求項４】
前記液体は絶縁性のある液体である請求項３に記載の静電モータ。
【請求項５】
前記液体はジメチルポリシロキサンである請求項３に記載の静電モータ。
【請求項６】
前記液体はフルオロカーボンである請求項３に記載の静電モータ。
【請求項７】
固定子用電極体と移動子用電極体が互いに接触する面の部材を成形し、ほかの導電体又は機械的機能を持つ部分を張り合わせて、固定子用電極体および移動子用電極体が構成されている請求項１乃至６の内いずれか１項に記載の静電モータ。
【請求項８】
固定子用電極体と移動子用電極体が互いに接触する面の部材をポリイミド又はフッ素樹脂で構成する請求項１乃至６の内いずれか１項に記載の静電モータ。
【請求項９】
前記凸部形状は畝状凸部形状であり、固定子用電極体の畝状凸部形状と移動子用電極体の畝状凸部形状はスキューさせて形成されている請求項１に記載の静電モータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電気力を駆動源とする静電モータに関する。
【背景技術】
【０００２】
静電モータは、固定子用電極体と移動子用電極体に、それぞれ細かい周期の導電体で構成された駆動電極パターンを設け、それぞれの駆動電極パターンに周期的な電圧を印加することによって、固定子用電極体と移動子用電極体の対応する固定子用電極と移動子用電極同士の静電引力と隣の電極への静電斥力を利用して移動子用電極体を駆動固定子用電極体に対して相対移動させるよう駆動するものである。
【０００３】
この静電モータには、直動型と回転型があり、直動型は固定子用電極体に対して移動子用電極体を直線状に相対移動させるものであり、回転型は固定子用電極体に対して移動子用電極体を相対的に回転させるものである。いずれの型においても、効果的に静電モータを働かせるために、微小な間隔をおいて固定子用電極体と移動子用電極体を対向させて配置し、且つ両者間の機械的摩擦による抵抗を減らすために微小な直径を持つビーズ状の球体又は円筒体をこの両者間に介在させる方法が用いられている。
【０００４】
さらに、静電モータを実用的に利用するには高い電界を与えることが重要であるため、固定子用電極体と移動子用電極体のそれぞれの駆動電極パターン間、およびそれらの相互の間隙を満たす媒体が気体ではコロナ放電などが発生するために絶縁維持が困難なため、絶縁性液体又は真空を必要としていた（非特許文献１参照）。
【０００５】
図１２は、従来の固定子用電極体１ａ又は移動子用電極体１ｂを構成する電極体１の断面説明図である。固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂは、概略同一に構成され、絶縁体で構成されたベースフィルム３（樹脂フィルム）に接着剤、エッチング処理等で銅箔等の導電体で構成された駆動電極パターン２が形成されており、該この駆動電極パターン２が設けられベースフィルム３の両面には絶縁体のカバーフィルム４（樹脂フィルム）で覆って絶縁層を形成している。さらに、電極体１には駆動電極に電源とを接続するための穴が設けられている。
【０００６】
図１３は、従来の直動型静電モータの説明図で、図１３（ａ）は、直動型静電モータを構成する電極体１の斜視図であり、該電極体１の一方の面側には３相の駆動電極パターン２が設けられ、この駆動電極パターン２は、３相の各相通電用の穴と各相電極とが導電通路で接続されている。但し、３相の１つの相の各電極への導電通路は、電極体１の他方の面側に設けられ、該導電通路が他の相の電極等と接続されることを防止している。なお、カバーフィルム４はこの両面に設けた電極や導電通路の上を覆うように接着され絶縁層を形成しているものである。
【０００７】
図１３（ｂ）は、この電極体１上に固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間の間隙を維持するためにビーズ１０を散布した状態を示している。又、図１３（ｃ）は、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂを対向させて１対の固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂで静電モータを形成するときの説明図であり、各電極体１ａ，１ｂの駆動電極パターン２が設けられている側が対向するように固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂは配置されるものである。又、図１３（ｄ）は、この１対の固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂで形成された静電モータの断面説明図である。固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂとの一方の間隙から絶縁性液体等と共に固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂとの間隙に導入されたビーズ１０は、他方の間隙から流出し、絶縁性液体等と共に循環することになり、このビーズ１０によって固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂとの間の間隙が保持される。
【０００８】
【非特許文献１】“Development of An Electrostatic Actuator Exceeding 10N Propulsive Force”IEEE MEMS’92,Travemunde(Germany),Feb.4-7,1992 Toshiki NIINO et.al.．
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
固定子用電極体と移動子用電極体との間の間隙を保持し、摩擦抵抗を減らすためのビーズや円筒体は固定されておらず、フリーの状態で固定子用電極体と移動子用電極体との間隙に位置するものであり、間隙を満たす媒体が絶縁性液体であるときには、該絶縁性液体に混入されているビーズが、間隙から排出された後、再び間隙内に導入されるには、困難である。固定子用電極体と移動子用電極体との間隙は、数十μｍ程度で非常に狭い間隙であることから、再度ビーズがこの間隙に侵入することは困難であり、結果的にこの間隙に存在するビーズ等は減少していき、固定子用電極体と移動子用電極体が直接接触して摩擦抵抗が上昇すると共に、長期的には固定子用電極体と移動子用電極体は、それぞれ摩耗による損傷が発生し、電気的漏電、ショートが生じて寿命を低下させていた。
【００１０】
そこで、本発明の目的は、固定子用電極体、移動子用電極体の寿命を延ばすことのできる静電モータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明は、固定子用電極体と移動子用電極体が互いに接触しつつ相対運動する静電モータであって、請求項１に係わる発明は、固定子用電極体と移動子用電極体の互いに接触する平面に微細な凸部形状をもたせ、互いに凸部同士の接触により間隔を保持するようにしたものである。又、請求項２に係わる発明は、固定子用電極体と移動子用電極体の互いに接触する平面の一方に微細な凸部形状をもたせ、該凸部と他方の面との接触により間隔を保持するようにしたものである。
【００１２】
又、請求項３に係わる発明は、固定子用電極体と移動子用電極体の間隙には液体を介在させ、固定子用電極体と移動子用電極体の接触による摩擦力を低減させるようにした。請求項４に係わる発明は、この液体を絶縁性のある液体とし、請求項５に係わる発明は、この液体はジメチルポリシロキサンとし、請求項６に係わる発明は、フルオロカーボンとした。また、請求項７に係わる発明は、固定子用電極体と移動子用電極体が互いに接触する面の部材を成形し、ほかの導電体又は機械的機能を持つ部分と張り合わせて、固定子用電極体および移動子用電極体が構成されているものとした。さらに、請求項８に係わる発明は、固定子用電極体と移動子用電極体の互いに接触する面の部材をポリイミド又はフッ素樹脂で構成した。又、請求項９に係わる発明は、前記凸部形状を畝状凸部形状とし、固定子用電極体の畝状凸部形状と移動子用電極体の畝状凸部形状はスキューさせて形成した。
【発明の効果】
【００１３】
本発明は、固定子用電極体と移動子用電極体のどちらか一方又は両方の接触面に凸部形状が設けられ、この凸部形状が他方の接触面（凸部形状）と接触することにより、固定子用電極体と移動子用電極体を保持することから、固定子用電極体と移動子用電極体の寿命を延ばすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明のいくつかの実施形態について図面と共に説明する。  
図１は、本発明の第１の実施形態における一対の固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂで形成された静電モータの要部断面図である。  
この第１の実施形態の固定子用電極体１ａ、移動子用電極体１ｂと従来の固定子用電極体、移動子用電極体の相違する点は、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの対向面にそれぞれ凸部５が固定されている点である。他は、図１２，図１３で説明した従来の固定子用電極体と移動子用電極体と同一である。この固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの対向面に設けられた凸部５同士接触して固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隙を保持するようにしたものである。この凸部５は、一定のパターンで配置しても、又は、ランダムに配置してもよい。但し、固定子用電極体１ａに対して移動子用電極体１ｂが相対移動するものであるから、各移動位置に応じて接触している凸部５の数と接触凸部５の間隔が大きく変化しないように、配置することがのぞましい。
【００１５】
この凸部５を電極体１の表面に固定する方法としては、固定子用駆動電極パターン２ａ、移動子用駆動電極パターン２ｂを覆うカバーフィルム４の上に摩擦係数の小さい樹脂等の材料で構成された凸部５を接着剤で接着することによって、又は、超音波摩擦溶接などの溶接技術を用いたり、又は液状化させた突条部材を付着させたのち固化させることによって形成する。  
又、この凸部５の形状は、球体の一部、楕球体の一部等で構成される凸部５の先端を滑らかな突状面とし接触圧を低減し摩擦抵抗の少ない形状とする。
【００１６】
実際の寸法例としては、凸部５同士が接触するまでの凸部５の水平方向平均距離を４０μｍ、凸部５の半径を５μｍ程度であると、各電極体１の厚みを１００μｍ以上とする。このとき、充分な凸部５を設け、凸部５同士の間隔を狭くし、固定子用電極体１ａ、移動子用電極体１ｂは凸部５以外の平坦部のたわみは僅かで、又凸部５以外の部分で接触することがないようにする。また、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隙に介在し絶縁を維持するために絶縁性液体を用いるときは、ジメチルポリシロキサンやフルオロカーボン等を用いる。この絶縁性液体を用いることにより、凸部の接触による摩擦抵抗を小さくすることができる。
【００１７】
図２は、この第１の実施形態における動作状態の説明図である。固定子用電極体１ａに対して移動子用電極体１ｂが図中右から左に移動するように駆動されているものであり、図中黒く表示している凸部５が互いに接触し、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隔を保持しているものであり、白く表現した凸部５は互いに接触していないものである。この図３に示すように、固定子用電極体１ａに対して移動子用電極体１ｂが相対移動しても、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂとの対向面の全体に亘って平均して凸部５同士が接触して固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隔を保持するものである。
【００１８】
図３は、本発明の第２の実施形態における一対の固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂで形成された静電モータの要部断面図である。  
この第２の実施形態では、凸部５とカバーフィルム４（樹脂フィルム）を一体的に成形するものである。球体、楕球体の一部をなす凸部５を表面に形成するようカバーフィルム４を成形し、このカバーフィルム４を固定子用駆動電極パターン２ａ、移動子用駆動電極パターン２ｂが設けられたベースフィルム３の駆動電極パターン２側の面に接着して、固定子用駆動電極パターン２ａ、移動子用駆動電極パターン２ｂを覆い固定子用電極体１ａおよび移動子用電極体１ｂを形成する。そしてこの固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの凸部５が設けられた側を互いに対向させて配置し、静電モータを構成する。この第２の実施形態においても、ジメチルポリシロキサンやフルオロカーボン等の絶縁性液体を固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隙に介在させるようにする。
【００１９】
図４は、本発明の第３の実施形態における一対の固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂで形成された静電モータの要部断面図である。  
この第３の実施形態は、駆動電極パターン２の部材を空中に支持した状態で絶縁材料６でモールドして固定子用電極体１ａ又は移動子用電極体１ｂを形成するものである。このモールドする金型に成形品の凸部５に対応する形状を設けておき、一体的に凸部５も形成するものである。モールドする間、固定子用駆動電極パターン２ａ、移動子用駆動電極パターン２ｂの部材を支持するための絶縁性補助部材を設ける場合、この支持するための絶縁性補助部材をモールドする絶縁材料と密着性がよいように、この絶縁材料と同種の材料で設けることが好ましい。
【００２０】
このモールドする材料は、化学反応により固化する材料、例えばエポキシ樹脂を用い、必要に応じて絶縁性フィラーを混入して強度、剛性、寸法安定性を向上させるようにする。又材料として可塑性樹脂、例えばポリエステル樹脂を用い成形したり、溶融したガラス材料を用いて成形してもよい。さらに粉体、例えばアルミナ、ジルコニアなどを用いてこれを焼結成形してもよい。こうして得られた固定子用電極体１ａ、移動子用電極体１ｂで静電モータを構成する。この第３の実施形態においても、第１，第２の実施形態と同様に絶縁性液体を固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隙に介在させるようにしてもよい。
【００２１】
図５は、本発明の第４の実施形態の説明図である。この第４の実施形態は直動型静電モータの例で、第１〜第３の実施形態において球体又は楕球体の一部で形成された凸部５の代わりに畝状の凸部５’を固定子用電極体１ａ又は移動子用電極体１ｂの対向面に設けたものである。なお、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂを積層して静電モータを構成するときは、両面にこの畝状凸部５’を設けてもよい。
【００２２】
図５（ａ）は、固定子用電極体１ａ又は移動子用電極体１ｂを構成する電極体１のそれぞれの駆動電極パターン２ａ，２ｂが設けられた側を上面とした電極体１の斜視図である。電極体１のそれぞれの駆動電極パターン２ａ，２ｂが設けられた側のカバーフィルム４の表面には、畝状凸部５’が設けられている。この図５（ａ）で示す畝状凸部５’は、波状に形成され、所定間隔をもって平行に配置されている。又、この畝状凸部５’の上端は平面若しくは、僅かに丸みをもって形成されている。さらに固定子用電極体１ａに設ける畝状凸部５’と移動子用電極体１ｂに設ける畝状凸部５’はスキューさせて形成されている。
【００２３】
図５（ｂ）は、この固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂに設けた畝状凸部５’を１８０度スキューさせて形成したものの説明図である。畝状凸部５’が波状に形成されていることから、一方の畝状凸部５’が他方の畝状凸部５’間の谷に嵌合することはなく、畝状凸部５’の上面同士が接触して移動子用電極体１ｂは固定子用電極体１ａに対して相対移動するものである。このように畝状凸部５’をスキューさせた固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂを、図５（ｃ）に示すように、畝状凸部５’を有する面を対向させて配置して静電モータを形成する。
【００２４】
畝状凸部５’のスキューは、図５（ｂ）示すように１８０度スキューさせなくても、畝状凸部５’が他方の畝状凸部５’間の谷に嵌合しないようにある程度の傾きがあればよいものである。又、畝状凸部５’も、図５に示すように波状に形成しなくても、直線状の畝状凸部５’であってもよく、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂとを対向させて配置したとき、固定子用電極体１ａの畝状凸部５’と移動子用電極体１ｂの畝状凸部５’の線が交差するようにスキュー（傾き）を与えておけばよいものである。
【００２５】
図６は、この第４の実施形態の固定子用電極体１ａ、移動子用電極体１ｂを構成する電極体１の構成を説明する説明図である。図６（ａ）はこの電極体１の分解説明図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＡの部分の断面図である。  
駆動電極パターン２が設けられたポリイミドからなるベースフィルム３にはその両面にポリイミドで構成されたカバーフィルム４がエポキシ接着剤等で接着される。そして、駆動電極パターン２が設けられた側に接着されるカバーフィルム４の表面には、畝状凸部５が形成されているものを用いる。なお、図６（ｂ）中符号８は接着剤の層である。この第４の実施形態においても、上述した各実施形態と同様に絶縁性液体を固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隙に介在させるようにしてもよい。
【００２６】
図７は、本発明の第５の実施形態における一対の固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂで形成された静電モータの要部断面図である。  
この第５の実施形態は、固定子用電極体１ａ又は移動子用電極体１ｂのどちらか一方に凸部５を固着し他方は凸部５を設けないものである。一方の電極体にはポリイミド製の凸部５を固着したカバーフィルム４を有する電極体とし、他方は表面が平坦なポリイミド製のカバーフィルム４を有する電極体とする。そして、凸部５と平坦なフィルム面が互いに接して摺動する際の摩耗、固着を防ぐため、一方にＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン（四ふっ化エチレン））などの表面エネルギーが低い材料をスバッタし、他方は互いの反応性を低減させるために無機材料を付着させるようにする。この第５の実施形態においても、上述した各の実施形態と同様に絶縁性液体を固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隙に介在させるようにしてもよい。
【００２７】
図８は、本発明の第６の実施形態における一対の固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂで形成された静電モータの要部断面図である。  
この第６の実施形態は、固定子用電極体１ａ又は移動子用電極体１ｂのどちらか一方に凸部５が一体的に形成されたカバーフィルム４を設けるか、又は、図４に示した第３の実施形態と同様に、モールド成形によって凸部５も一体的に形成する。なお、両者共にモールド成形してもよい。そして他方の電極体は、平坦なカバーフィルム４または、モールドによって平坦な面を形成したものとしたものである。図８に示す例では、固定子用電極体１ａは、平坦なカバーフィルム４を、駆動電極パターン２を有するベースフィルム３に接着し、移動子用電極体１ｂをモールドで形成して、この固定子用電極体１ａとの対向面に凸部５を一体的に形成した例を示している。この実施形態では、平坦なカバーフィルム４はポリエチレンで構成し、凸部５を有するモールド材料やカバーフィルム４はポイミドで構成し、互いに接して摺動する際の摩耗、固着を防ぐため、第５の実施形態と同様に、一方にＰＴＥＦなどの表面エネルギーが低い材料をスバッタし、他方は互いの反応性を低減させるために無機材料を付着させるようにする。又は、カバーフィルム４等の材料自体に同様な効果のあるものを使用する。この第６の実施形態においても、上述した各の実施形態と同様に絶縁性液体を固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隙に介在させるようにしてもよい。
【００２８】
図９は、本発明の第７の実施形態の説明図である。この第７の実施形態は、回転型の静電モータの例であり、且つ固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの組みを複数積層して構成した静電モータの例を示している。
【００２９】
図９に示す例では、固定子用電極体１ａは駆動電極パターン２ａ側が上方を向くように配置され、移動子用電極体１ｂの駆動電極パターン２ｂ側が下方を向くように配置されるもので、この移動子用電極体１ｂの駆動電極パターン側には畝状凸部５’が形成され、固定子用電極体１ａの移動子用電極体１ｂとの対向面には、畝状凸部５を意図的には形成していない。
【００３０】
回転型静電モータの固定子用電極体１ａおよび移動子用電極体１ｂの駆動電極パターンは、図９に示すように回転中心を中心として放射状に駆動電極パターン２ａ，２ｂが配設される。そして、この駆動電極パターン２ａ，２ｂはプリント配線板の製作技術を用いて作成する。そのため、駆動電極パターンの導電部がベースフィルム３より突出することになる。そして、この駆動電極パターン２ａ，２ｂが設けられた側をカバーフィルム４の接着等で覆うと、駆動電極パターン２ａ，２ｂの形状がカバーフィルム４の表面に生じる。すなわち放射状の畝状凸部５が結果的に生じる。
【００３１】
そこで、固定子用電極体１ａ又は移動子用電極体１ｂのどちらか一方、この実施形態では、移動子用電極体１ｂを作成するときは、移動子用駆動電極パターン２ｂの導電部間には接着層を厚くして、移動子用駆動電極パターン２ｂとの段差をなくしてカバーフィルム４を接着する。そして、カバーフィルム４は、移動子用駆動電極パターン２ｂの放射状導電部の方向に対してスキューさせた畝状凸部５’を形成したものとする。これによって、固定子用電極体１ａには、固定子用駆動電極パターン２ａに起因して結果的に形成された固定子用駆動電極パターン２ａと同じパターンの畝状凸部と、移動子用電極体１ｂに形成された畝状凸部５’が対向し接触するが、この畝状凸部５’はスキューしていることから、畝状凸部５’が相手方の畝状凸部間の谷部に嵌合するようなことはない。この第７の実施形態においても、ジメチルポリシロキサンやフルオロカーボン等の絶縁性液体の中にこの積層された固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂを入れて固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隙に絶縁性液体を介在させるようにしてもよい。
【００３２】
図１０は、本発明の第８の実施形態の固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの組みを複数積層して大きなトルクを発生させるようにした静電モータの断面図である。固定子用電極体１ａ、移動子用電極体１ｂは、それぞれ固定子筐体２０、移動子固定部材３０に固定されている。固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂが交互に重ねられて静電モータを構成していることから、固定子用電極体１ａ又は移動子用電極体１ｂの一方のみに、その両面に凸部５を形成し、他方には平坦な面として構成したものである。図１０に示す例では、固定子用電極体１ａの両面に凸部５を形成し、移動子用電極体１ｂの両面は平坦な面としている。但し、積層した電極体１の最外面の対向する電極体１がない面には、凸部５を設ける必要はない。図１０において、最下層の固定子用電極体１ａの下面にも凸部５が設けられているが、この面の凸部５は必ずしも設ける必要はないものである。
【００３３】
図１１は、本発明の第９の実施形態も、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの組みを複数積層して大きなトルクを発生させるようにした静電モータの断面図である。この第９の実施形態は、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの一方の面にのみ凸部５を設け、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂを交互に重ねて固定子筐体２０、移動子筐体３０にそれぞれ固定し、静電モータを形成したものである。図１１に示す例では、固定子用電極体１ａは固定子用駆動電極パターン２ａが形成された側の面に凸部５を設け、移動子用電極体１ｂは、移動子用駆動電極パターン２ｂが形成された側とは反対側の面に凸部５が設けられており、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂを交互に重ねることによって、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間がこれら凸部５でその間隔が保持されるもので、移動子用電極体１ｂはこの凸部５と平坦な面の接触し摺動しながら固定子用電極体１ａに対して相対移動するものである。又、この第８、第９実施形態においても、第７の実施形態にと同様に絶縁性液体の中にこの積層された固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂを入れて固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの間隙に絶縁性液体を介在させるようにしてもよいものである。
【００３４】
上述した各実施形態において、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂの対向面間の間隙には、絶縁性ガスを満たすように構成してもよく、又絶縁性液体を満たすようにしてもよい。絶縁性液体としては、ジメチルポリシロキサン又はフルオロカーボン等を用いる。また、固定子用電極体１ａと移動子用電極体１ｂが接触する部分、すなわち、凸部５および該凸部５と接触する面（カバーフィルム４）を構成する部材は、摺動性に優れたポリイミドやフッ素樹脂で構成する。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の第１の実施形態における一対の固定子用電極体と移動子用電極体で形成された静電モータの要部断面図である。
【図２】同第１の実施形態における動作状態の説明図である。
【図３】本発明の第２の実施形態における一対の固定子用電極体と移動子用電極体で形成された静電モータの要部断面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態における一対の固定子用電極体と移動子用電極体で形成された静電モータの要部断面図である。
【図５】本発明の第４の実施形態の説明図である。
【図６】同第４の実施形態の電極体の構成を説明する説明図である。
【図７】本発明の第５の実施形態における一対の固定子用電極体と移動子用電極体で形成された静電モータの要部断面図である。
【図８】本発明の第６の実施形態における一対の固定子用電極体と移動子用電極体で形成された静電モータの要部断面図である。
【図９】本発明の第７の実施形態の説明図である。
【図１０】本発明の第８の実施形態の静電モータの断面図である。
【図１１】本発明の第９の実施形態の静電モータの断面図である。
【図１２】従来の固定子用電極体又は移動子用電極体を構成する電極体の断面説明図である。
【図１３】従来の直動型静電モータの説明図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  電極体
１ａ  固定子用電極体
１ｂ  移動子用電極体
２  駆動電極パターン
２ａ  固定子用駆動電極パターン
２ｂ  移動子用駆動電極パターン
３  ベースフィルム
４  カバーフィルム
５  凸部
５’  畝状凸部
６  絶縁材料
８  接着剤
９  通電用の穴
１０  ビーズ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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