(57)【要約】【課題】シール部分が１個でスロー排気と本排気を行うことができる構成の簡素な排気バルブを提供すること。【解決手段】弁体当接面２ｅから離れて吸引孔２ｂと弁体収容孔２ｄとを連通させる連通位置と、前記弁体当接面２ｅに当接して前記吸引孔２ｂと前記弁体収容孔２ｄとを遮断する遮断位置との間で移動可能な主弁体７と、弁体当接面２ｅに当接するリング状当接部９ｃ１が端部に形成され且つ主弁体７の外側を覆うカバー壁（９ｂ＋９ｃ）およびカバー壁（９ｂ＋９ｃ）の内外を連通させるスロー排気用の連通孔９ｄが形成された副弁体９とを備え、前記副弁体９は、弾性部材１１により常時弁体当接面２ｅに向けて押圧された状態で主弁体７に支持され且つ主弁体７の移動に連動して移動するとともに、主弁体７の前記遮断位置からの移動距離が所定範囲以上になると主弁体７と一緒に移動するように構成された排気バルブ１。【選択図】    図１
2005016648.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ０１）〜（Ａ０５）を備えたことを特徴とする排気バルブ、
（Ａ０１）吸引孔と排気孔と前記吸引孔および排気孔を連通させるバルブ収容孔とを有し、前記吸引孔の下流端が開口する吸引孔開口端壁の前記吸引孔の外側に弁体当接面が形成されたバルブケース、
（Ａ０２）前記弁体当接面から離れて前記吸引孔と前記バルブ収容孔とを連通させる連通位置と、前記弁体当接面に当接して前記吸引孔と前記バルブ収容孔とを遮断する遮断位置との間で移動可能な主弁体、
（Ａ０３）前記主弁体に連結されたロッドであって前記主弁体を移動させるために移動操作されるロッド、
（Ａ０４）前記弁体当接面に当接するリング状当接部が端部に形成され且つ前記主弁体の外側を覆うカバー壁を有し前記カバー壁にはカバー壁の内外を連通させるスロー排気用の連通孔が形成された副弁体、
（Ａ０５）前記主弁体との間に設けられた弾性部材により常時前記弁体当接面に向けて押圧された状態で前記主弁体に支持され且つ前記主弁体の移動に連動して移動する前記副弁体であって、前記主弁体が遮断位置に移動した状態および前記遮断位置からの移動距離が所定範囲以内の状態では前記リング状当接部が前記弁体当接面に当接し、前記主弁体の前記遮断位置からの移動距離が所定範囲以上になると前記主弁体と一緒に移動する前記副弁体。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ０６）を備えたことを特徴とする請求項１記載の排気バルブ、
（Ａ０６）流路断面積を調節する絞り孔が形成された流量調節部材であって、前記副弁体に装着されたときに前記絞り孔が前記連通孔に重なる位置に配置されるように構成された前記流量調節部材。
【請求項３】
下記の構成要件（Ａ０７）を備えたことを特徴とする請求項２記載の排気バルブ、
（Ａ０７）口径の異なる複数の絞り孔が形成された前記流量調節部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＳＴＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ  走査型トンネル顕微鏡）およびＡＦＭ（Ａｔｏｍｉｃ  Ｆｏｒｃｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ  原子間力顕微鏡）等のＳＰＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｐｒｏｂｅ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ  走査型プローブ顕微鏡）や、電子ビーム描画装置等の微細な加工や観察を行う装置において、内部が真空に保持されるエアロックチャンバの排気装置で使用する排気バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
前記種類の排気装置として、下記の技術（Ａ）〜（Ｄ）が従来公知である。
（Ａ）図３に示す従来の一般的な排気装置
図３は従来の一般的な排気装置の説明図である。
図３に示す排気装置は、エアロックチャンバ０１には、通常の仕切バルブ０２および流量可変バルブ０３が並列に接続され、エアロックチャンバ０１内部の気圧は真空計０４でチェックされる。このような装置で粗引き排気するときの手順は次のとおりである。
（１）流量を絞った流量可変バルブ０３で排気する。
（２）設定圧力に達したのを真空計０４でチェックする。
（３）前記設定圧力に達した後で仕切バルブ０２を開けて大流量で排気する。
前記手順（１）〜（３）では仕切バルブを開くタイミング制御に真空計０３を使用しているが、排気工程のデータを採った後では、真空計０３を使用せずにタイマ制御に換えることができる。
【０００３】
（Ｂ）図４に示す従来の排気バルブ
図４は従来の排気バルブの説明図である。
図４に示す従来の排気バルブは、バルブケース０６、アクチュエータケース０７、第３ケース０８を有している。バルブケース０６にはエアロックチャンバに連通する吸引孔０６ａ、排気孔０６ｂおよび弁体収容孔０６ｃが形成されている。前記吸引孔０６ａの下流端には弁座０６ｄが形成されている。
前記バルブケース０６とアクチュエータケース０７の連結部には弁体収容孔０６ｃが開口しており、弁体収容孔０６ｃの開口端にはベローズ連結リング０９が固定されている。前記弁体収容孔０６ｃには、主弁体０１０が前記弁座０６ｄに当接、離隔可能に配置されている。主弁体０１０は円筒０１１の一端に固定連結されており、円筒０１１の他端部は前記アクチュエータケース０７を貫通してその外端には円形プレート０１２が固定連結されている。円形プレート０１２はアクチュエータケース０７のプレート収容孔０７ａ内部にスライド可能に支持されている。前記円筒０１１の外側において、前記主弁体７と前記ベローズ連結リング０９との間にベローズ０１３が配置されている。また、前記主弁体０１０とアクチュエータケース０７との間には圧縮コイルバネ０１４が配置されている。前記圧縮コイルバネ０１４により主弁体０１０は常時弁座０６ｄに押圧されている。
【０００４】
前記主弁体０１０には貫通孔０１０ａが形成されており、貫通孔０１０ａは前記円筒０１１の内孔０１１ａと連通している。前記貫通孔０１０ａは、前記吸引孔０６ａ側の小径部と前記円筒０１１側の大径部を有しており、前記小径部と大径部との境界部には小径弁座０１０ｂが形成されている。また、前記主弁体０１０にはその外側面と前記貫通孔０１０ａとを接続する小径排気孔０１０ｃが形成されている。
前記貫通孔０１０ａの大径部と円筒０１１の内孔とは同一の内径を有している。前記貫通孔０１０ａの大径部には副弁体０１５が収容されており副弁体０１５は、前記貫通孔０１０ａの大径部および前記円筒０１１の内孔の内部で移動可能である。
【０００５】
前記副弁体０１５にはロッド０１６の一端部が連結されている。ロッド０１６の他端部は前記円形プレート０１２を貫通し、その外端には円形の小径プレート０１７が固定連結されている。前記第３ケース０８にはピストン収容孔０８ａが形成されており、ピストン収容孔０８ａにはピストン０１８がスライド可能に収容されている。ピストン０１８は円筒部０１８ａおよび端壁部０１８ｂを有しており、端壁部０１８ｂにはロッド貫通孔０１８ｃが形成されている。前記ロッド０１６は前記ロッド貫通孔０１８ｃを貫通しており、前記小径プレート０１７はピストン０１８の端部壁０１８ｂの外側（前記副弁体０１５側とは反対側）に配置されている。
前記副弁体０１５は円筒０１１内部に配置された圧縮バネ０１９により常時小径弁座０１０ｂに押圧されている。
【０００６】
前記第３ケース０８にはエア供給孔０８ｂが形成されており、前記エア供給孔０８ｂから矢印Ａに示すように圧縮エアを供給したときにピストン０１８が外方（図４で右方）に移動するように構成されている。前記ピストン０１８が外方に移動すると、端部壁０１８ｂおよびそれに当接する小径プレート０１７が右方に移動し、そのときに、ロッド０１６および副弁体０１５が前記圧縮バネ０１９を圧縮しながら右方に移動するように構成されている。副弁体０１５が右方に移動すると、前記小径排気孔０１０ｃにより吸引孔０６ａおよび排気孔０６ｂが連通する。このとき、小径排気孔０１０ｃを通って矢印Ｃ方向に気体が流れるので、スロー排気を行うことができる。
前記エア供給孔０８ｂの外端を大気に連通させた場合には、前記圧縮バネ０１９により副弁体０１５、ロッド０１６およびプレート０１７が左方に移動し、副弁体０１５は小径弁座０１０ｂに当接する。
【０００７】
前記アクチュエータケース０７にはエア供給孔０７ｂが形成されており、前記エア供給孔０７ｂから矢印Ｂに示すように圧縮エアを供給したときに円形プレート０１２が外方（図４で右方）に移動するように構成されている。前記円形プレート０１２が外方に移動すると、円筒０１１および弁体０１０が圧縮バネ０１４を圧縮しながら右方に移動するように構成されている。弁体０１０が右方に移動して弁座０６ｄから離れると、前記吸引孔０６ａおよび排気孔０６ｂが直接連通するので大流量で排気を行うことができる。
前記エア供給孔０７ｂの外端を大気に連通させた場合には、前記圧縮バネ０１４により弁体０１０、円筒０１１および円形プレート０１２が左方に移動し、弁体０１０は弁座０６ｄに当接する。このとき、前記吸引孔０６ａおよび排気孔０６ｂは遮断される。
【０００８】
（Ｃ）特許文献１（特開昭６−１９６３９１号公報）記載の技術）
この公報には前記従来技術（Ａ）と同様に２系統の排気系を備えた真空排気装置が記載されている。
（Ｄ）特許文献２（特開昭５８−１０６８３０号公報）記載の技術）
この公報には、予備室と前記予備室の真空排気系との間に設けられ前記予備室および真空排気系の圧力差に応じて排気コンダクタンスが可変のバルブが記載されている。
【０００９】
【特許文献１】特開平６−１９６３９１号公報（公報第１頁の「要約」の欄）
【特許文献２】特開昭５８−１０６８３０号公報（公報第１頁の「特許請求の範囲」の欄、図３）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
（図３に示す従来技術の問題点）
前記図３に示す従来技術ではエアロックチャンバ０１に２個のバルブ０２，０３が別々に接続されるので、２個のバルブを設置するためのスペースや２本の排気管が必要となる。また、２個の可動部材（バルブ０２，０３の可動弁体）がそれぞれシール面を有しており、各シール面では弁座と弁体とがある程度大きな圧接力で押圧されたり離隔したりする。このため２個のシール部分がパーティクル発生源となる。
また、エアロックチャンバ０１側の真空配管が２系統あって、一般に細いスロー排気管のクリーニング（部品加工完成時のクリーニング、装置操業時のクリーニング等）が容易でない。
【００１１】
（図４に示す従来技術の問題点）
前記図４に示す技術は、エアロックチャンバに接続される流路にシール部分（弁座と弁体）が２か所有り、２か所の部分で弁座と弁体とがある程度大きな圧接力で押圧されたり離隔したりする。その場合、２か所のシール部分がパーティクル発生源となる。
【００１２】
（特許文献１記載の技術の問題点）
特許文献１記載の技術では、前記図３に示す従来技術と同様の問題点がある。
（特許文献２記載の技術の問題点）
特許文献２記載の技術では、真空排気系統を遮断するバルブが示されていないので、真空排気系統を遮断したり連通させたりする際のパーティクルの発生についてはどのようになるか分からないが、排気コンダクタンスを調節するためのバルブとは別に排気系統を遮断するための別のバルブが必要となるので、結局、別々に構成した２個のバルブが必要となる。この場合、バルブの設置スペースが２か所必要になるという問題点がある。
【００１３】
本発明は、前述の事情に鑑み、次の記載内容（Ｏ０１）を技術的課題とする。
（Ｏ０１）シール部分が１個でスロー排気と本排気を行うことができる構成の簡素な排気バルブを提供すること。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施の形態の要素との対応を容易にするため、実施の形態の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。なお、本発明を後述の実施の形態の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施の形態に限定するためではない。
【００１５】
（本発明）
前記課題を解決するために、本発明の排気バルブは、下記の構成要件（Ａ０１）〜（Ａ０５）を備えたことを特徴とする。
（Ａ０１）吸引孔（２ｂ）と排気孔（２ｃ）と前記吸引孔（２ｂ）および排気孔（２ｃ）を連通させる弁体収容孔（２ｄ）とを有し、前記吸引孔（２ｂ）の下流端が開口する吸引孔開口端壁の前記吸引孔（２ｂ）の外側に弁体当接面（２ｅ）が形成されたバルブケース（２）、
（Ａ０２）前記弁体当接面（２ｅ）から離れて前記吸引孔（２ｂ）と前記弁体収容孔（２ｄ）とを連通させる連通位置と、前記弁体当接面（２ｅ）に当接して前記吸引孔（２ｂ）と前記弁体収容孔（２ｄ）とを遮断する遮断位置との間で移動可能な主弁体（７）、
（Ａ０３）前記主弁体（７）に連結されたロッド（１３）であって前記主弁体（７）を移動させるために移動操作されるロッド（１３）、
（Ａ０４）前記弁体当接面（２ｅ）に当接するリング状当接部（９ｃ１）が端部に形成され且つ前記主弁体（７）の外側を覆うカバー壁（９ｂ＋９ｃ）を有し前記カバー壁（９ｂ＋９ｃ）にはカバー壁（９ｂ＋９ｃ）の内外を連通させるスロー排気用の連通孔（９ｄ）が形成された副弁体（９）、
（Ａ０５）前記主弁体（７）との間に設けられた弾性部材（１１）により常時前記弁体当接面（２ｅ）に向けて押圧された状態で前記主弁体（７）に支持され且つ前記主弁体（７）の移動に連動して移動する前記副弁体（９）であって、前記主弁体（７）が遮断位置に移動した状態および前記遮断位置からの移動距離が所定範囲以内の状態では前記リング状当接部（９ｃ１）が前記弁体当接面（２ｅ）に当接し、前記主弁体（７）の前記遮断位置からの移動距離が所定範囲以上になると前記主弁体（７）と一緒に移動する前記副弁体（９）。
【００１６】
（本発明の作用）
前記構成を備えた本発明の排気バルブでは、バルブケース（２）は、吸引孔（２ｂ）と排気孔（２ｃ）と前記吸引孔（２ｂ）および排気孔（２ｃ）を連通させる弁体収容孔（２ｄ）とを有し、前記吸引孔（２ｂ）の下流端が開口する吸引孔開口端壁の前記吸引孔（２ｂ）の外側に弁体当接面（２ｅ）が形成されている。
主弁体（７）に連結されたロッド（１３）は、前記主弁体（７）を移動させるために移動操作される。前記ロッド（１３）の移動に応じて、主弁体（７）は、前記弁体当接面（２ｅ）から離れて前記吸引孔（２ｂ）と前記弁体収容孔（２ｄ）とを連通させる連通位置と、前記弁体当接面（２ｅ）に当接して前記吸引孔（２ｂ）と前記弁体収容孔（２ｄ）とを遮断する遮断位置との間で移動する。
前記主弁体（７）に支持され且つ前記主弁体（７）の移動に連動して移動する副弁体（９）は、前記主弁体（７）との間に設けられた弾性部材（１１）により常時前記弁体当接面（２ｅ）に向けて押圧される。前記副弁体（９）は、前記主弁体（７）が遮断位置に移動した状態および前記遮断位置からの移動距離が所定範囲以内の状態では前記リング状当接部（９ｃ１）が前記弁体当接面（２ｅ）に当接する。前記副弁体（９）は、前記主弁体（７）が前記遮断位置からの移動距離が所定範囲以上になると前記主弁体（７）と一緒に移動する。前記副弁体（９）のカバー壁（９ｂ＋９ｃ）は、前記主弁体（７）の外側を覆う。前記カバー壁（９ｂ＋９ｃ）に形成されたスロー排気用の連通孔（９ｄ）はカバー壁（９ｂ＋９ｃ）の内外を連通させる。
【００１７】
したがって、前記主弁体（７）が遮断位置に移動した状態では、前記主弁体（７）は前記弁体当接面（２ｅ）に当接して吸引孔（２ｂ）と弁体収容孔（２ｄ）とを遮断する。この場合吸引孔（２ｂ）に対して、弁体収容孔（２ｄ）および排気孔（２ｃ）は遮断される。この状態では前記主弁体（７）の外側をカバーする副弁体（９）のリング状当接部（９ｃ１）は前記主弁体（７）の外側において前記弁体当接面（２ｅ）に当接している。
この場合、吸引孔（２ｂ）と弁体収容孔（２ｄ）とは主弁体（７）により遮断されているので、副弁体（９）のリング状当接部（９ｃ１）と弁体当接面（２ｅ）との当接部の気密性は必要ではない。
その状態（遮断状態）において主弁体（７）が弁体当接面（２ｅ）から離れた場合、離れた距離が所定範囲内であれば、前記副弁体（９）のリング状当接部（９ｃ１）と弁体当接面（２ｅ）とは当接した状態に保持される。この状態では、吸引孔（２ｂ）の気体は副弁体（９）のカバー壁（９ｂ＋９ｃ）内部に流入し、カバー壁（９ｂ＋９ｃ）のスロー排気用の連通孔（９ｄ）を通ってカバー壁（９ｂ＋９ｃ）外側の弁体収容孔（２ｄ）内に流出し、さらに排気孔（２ｃ）から排気される。
前記主弁体（７）の前記弁体当接面（２ｅ）からの移動距離が所定範囲以上になると、副弁体（９）のリング状当接部（９ｃ１）が弁体当接面（２ｅ）から離れるので、前記リング状当接部（９ｃ１）と弁体当接面（２ｅ）との間に形成される隙間か大きくなり、排気コンダクタンスが小さくなる。このとき、大量の気体が吸引孔（２ｂ）から弁体収容孔（２ｄ）を通って排気孔（２ｃ）に流れる。
【００１８】
前記本発明の排気バルブにおいて、下記の構成要件（Ａ０６）を備えることが可能である。
（Ａ０６）流路断面積を調節する絞り孔（１２ｂ１〜１２ｂ５）が形成された流量調節部材（１２）であって、前記副弁体（９）に装着されたときに前記絞り孔（１２ｂ１〜１２ｂ５）が前記連通孔（９ｄ）に重なる位置に配置されるように構成された前記流量調節部材（１２）。
前記構成要件（Ａ０６）を備えた排気バルブは、流路断面積を調節する絞り孔（１２ｂ１〜１２ｂ５）が形成された流量調節部材（１２）を、前記副弁体（９）に装着することにより、前記連通孔（９ｄ）を通過する気体の流量を容易に調節することができる。
【００１９】
また、前記構成要件（Ａ０６）を備えた排気バルブは、下記の構成要件（Ａ０７）を備えることが可能である。
（Ａ０７）口径の異なる複数の絞り孔（１２ｂ１〜１２ｂ５）が形成された前記流量調節部材（１２）。
前記構成要件（Ａ０７）を備えた排気バルブは、前記口径の異なる複数の絞り孔（１２ｂ１〜１２ｂ５）が形成された１個の流量調節部材（１２）を使用して、前記連通孔（９ｄ）を通過する気体の流量を、異なる複数の値に調節することができる。
【００２０】
【実施の形態】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１の排気バルブの説明図で、図１Ａは正断面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図、図１Ｃは前記図１Ｂに示されるコントロールリングの作用説明図である。
【００２１】
図１において、排気バルブ１は、バルブケース２およびアクチュエータケース３を有しており、バルブケース２の連結フランジ２ａとアクチュエータケース３の連結フランジ３ａとはボルト（図示せず）により連結されている。
バルブケース２にはエアロックチャンバ（図示せず）に連通する吸引孔２ｂ、排気孔２ｃおよび弁体収容孔２ｄが形成されている。前記吸引孔２ｂの下流端が開口する端壁には、吸引孔２ｂの外側部分に弁体当接面２ｅが形成されている。
前記アクチュエータケース３には円筒状のピストン収容孔３ｂが形成されている。ピストン収容孔３ｂの外端部（連結フランジ３ａの反対側の端部）はカバープレート４により閉塞されている。
【００２２】
ピストン収容孔の内端部（バルブケース２との連結側端部）および外端部には圧縮エア供給孔３ｃおよび３ｄが形成されている。また、前記連結フランジ３ａにはロッドガイド孔３ｅが形成されている。
前記ピストン収容孔３ｂ内にはピストン６がスライド可能に収容されており、前記ピストン６の位置を検出するため、アクチュエータケース３の外側面には遮断位置センサＳＮ１、スロー排気位置センサＳＮ２および連通位置センサＳＮ３が設けられている。
前記弁体収容孔２ｄには、主弁体７が前記弁体当接面２ｅに当接、離隔可能に収容されている。主弁体７は大径部７ａおよび大径部７ａから右方に延びる小径部７ｂおよび前記小径部７ｂの右端に設けた円板状のバネ受け７ｃを有している。大径部７ａの前記弁体当接面２ｅに対向する部分にはシールリング８が装着されており、小径部７ｂの外側面は円筒面に形成されている。
【００２３】
前記主弁体７の小径部７ｂの円筒面には副弁体９のボス部９ａがスライド可能に装着されている。副弁体９はボス部９ａと前記ボス部９ａの左端外周から半径方向に広がる端壁９ｂと、前記端壁９ｂの外端から弁体当接面２ｅに向かって延びる円筒壁９ｃとを有している。円筒壁９ｃの左端は前記弁体当接面２ｅに当接するリング状当接部９ｃ１として構成されている。前記端壁９ｂおよび円筒壁９ｃにより前記主弁体７の外側をカバーするカバー壁（９ｂ＋９ｃ）が形成されている。前記カバー壁（９ｂ＋９ｃ）の端壁９ｂにはカバー壁（９ｂ＋９ｃ）の内外を連通させるスロー排気用の連通孔９ｄが形成されている。
前記副弁体９のボス部９ａと前記主弁体７のバネ受け７ｃとの間には圧縮バネ（弾性部材）１１が配置されている。前記圧縮バネ１１により、副弁体９は常時弁体当接面２ｅ側に押圧されている。
前記副弁体９の端壁９ｂの右側面およびボス部９ａの外側面には前記連通孔９ｄの外径を絞るためのコントロールリング（流量調節部材）１２が回転可能に装着されている。
【００２４】
コントロールリング１２は円筒部１２ａおよびリング状のプレート部１２ｂを有している。図１Ｂにおいて、プレート部１２ｂには、孔径が順次小さくなる複数のポート（絞り孔）１２ｂ１，１２ｂ２，１２ｂ３，１２ｂ４，１２ｂ５が形成されている。図１Ｃから分かるように、前記コントロールリング１２を矢印方向に回転させることにより、前記ポート１２ｂ１〜１２ｂ５が順次前記連通孔９ｄと重なる位置に移動するように構成されている。前記コントロールリング１２の円筒部１２ａには１個のネジ孔１２ａ１が形成されている。
排気バルブ１の使用用途に応じて、前記コントロールリング１２を回転させ、適切な大きさのポート（絞り孔）１２ｂ１〜１２ｂ５のいずれかを、前記連通孔９ｄに重ねた状態で、前記ネジ孔１２ａ１に螺合するネジ（図示せず）を締めつけてコントロールリング１２を副弁体９に固定してから出荷する。前記連通孔９ｄに重なるポート１２ｂ１〜１２ｂ５を選択することにより、選択されたポートの大きさに応じて、スロー排気時の排気コンダクタンス（排気抵抗）を調節することができる。
【００２５】
前記主弁体７のバネ受け７ｃとピストン６とはロッド１３により連結されている。圧縮エア供給孔３ｄから圧縮エアを供給して圧縮エア供給孔３ｃからエアを排出することによりピストン６を左方に移動させることができる。また、圧縮エア供給孔３ｃから圧縮エアを供給して圧縮エア供給孔３ｄからエアを排出することによりピストン６を右方に移動させることができる。
前記ピストン６を図１で左右に移動させることにより主弁体７を左右に移動させることができる。そして、主弁体７の左右の移動に連動して副弁体９を左右に移動させることができる。
【００２６】
（実施の形態１の作用）
図２は前記図１に示す排気バルブの作用説明図であり、図２Ａは排気バルブが遮断状態の場合を示す図、図２Ｂは排気バルブがスロー排気状態の場合を示す図、図２Ｃは排気バルブが連通状態の場合を示す図である。
図２Ａの排気バルブ１が遮断状態の場合には、ピストン６は遮断位置センサＳＮ１により検出される位置（遮断位置）に移動している。このとき、主弁体７のシールリング８は弁体当接面２ｅに押圧されており、この状態では吸引孔２ｂと、弁体収容孔２ｄおよび排気孔２ｃとは遮断されている。また、この状態では、圧縮バネ１１により副弁体９のリング状当接部９ｃ１が弁体当接面２ｅに押圧されている。
【００２７】
なお、図２Ａの排気バルブ１が遮断状態の場合において、弁体当接面２ｅと副弁体９のリング状当接部９ｃ１の接触部は、弁体当接面２ｅと主弁体７のシールリング８の接触部の外側に配置されている。すなわち、排気される気体の流れる方向に沿って、弁体当接面２ｅに対するリング状当接部９ｃ１の接触部は、シールリング８の接触部の下流側に配置されている。
この場合、弁体当接面２ｅに対するリング状当接部９ｃ１の接触部はシール性が無くても、弁体当接面２ｅに当接する主弁体７のシールリング８により前記吸引孔２ｂと弁体収容孔２ｄとの遮断が行われる。したがって、弁体当接面２ｅとリング状当接部９ｃ１との接触部は副弁体９の連通孔９ｂとコントロールリング１２のポート１２ｂとによって形成される連通部のコンダクタンスに比較して充分小さいコンダクタンスであれば目的を達するので厳密なシール性を必要としない。したがって、前記接触部を高精度に加工する必要がない。
この結果、実施の形態１の排気バルブ１は、構成が簡素となり、製造コストを節約することができる。
【００２８】
前記図２Ａの排気バルブ１が遮断状態の場合に圧縮エア供給孔３ｃから圧縮エアを供給すると同時に圧縮エア供給孔３ｄからエアを排気するとピストン６は右方に移動する。ピストン６はスロー排気位置センサＳＮ２に検出されるスロー排気位置に移動して、図２Ｂの位置に停止、固定される。
図２Ｂの排気バルブ１がスロー排気状態の場合、主弁体７のシールリング８は前記弁体当接面２ｅから少しだけ離れた状態である。この場合、吸引孔２ｂのエアは、シールリング８と弁体当接面２ｅとの間を通ってカバー壁（９ｂ＋９ｃ）の内側に流れ、さらに、連通孔９ｄおよびポート１２ｂ５を通って弁体収容孔２ｄおよび排気孔２ｃに流れる。この場合、流量を絞った状態で排気することができる。
【００２９】
前記図２Ｂの排気バルブ１がスロー排気状態の場合に圧縮エア供給孔３ｃから圧縮エアを供給すると同時に圧縮エア供給孔３ｄからエアを排気するとピストン６は右方に移動する。ピストン６が連通位置センサＳＮ３に検出される連通位置に移動すると、図２Ｃの状態となる。
図２Ｃの排気バルブ１が図２Ａの前記遮断状態から図２Ｃの連通状態に向かって所定距離以上移動すると、図２Ｃから分かるように、副弁体９が圧縮バネ１１により左方に押圧されて端壁９ｂの左端面が主弁体７の大径部７ａの右端面に当接している。この状態（端壁９ｂの左端面が主弁体７の大径部７ａの右端面に当接した状態）では前記主弁体７および副弁体９は一体的に移動する。
【００３０】
図２Ｃの排気バルブ１が連通状態の場合、主弁体７のシールリング８は前記弁体当接面２ｅから所定距離以上離れた状態である。この場合、吸引孔２ｂのエアは、シールリング８と弁体当接面２ｅとの間を通り、さらにリング状当接部９ｃ１と弁体当接面２ｅとの間を通って弁体収容孔２ｄおよび排気孔２ｃに流れる。この場合、大流量で排気することができる。
【００３１】
前記実施の形態１によれば、吸引孔２ｂに接続されるエアロックチャンバを大気状態から排気する最初の段階で、流量を絞って排気（スロー排気またはソフト排気）することができ、その後に最大流量で排気することができる。
また、前記副弁体９に対するコントロールリング１２の回転位置を調節することによりスロー排気時の流量を容易に変更することができる。
また、排気バルブ１を閉じたときに真空側（エアロックチャンバ側）に露出するシール部分（固定部材と可動部材との接触部分）は、主弁体７のシールリング８と弁体当接面２ｅとの接触部分だけである。すなわち、前記図４に示す従来技術の副弁体のシール部分を必要としない。このため、前記シール部分（シールリング８と弁体当接面２ｅとの接触部分）の総面積が小さくなるので、パーティクルの発生を少なくすることができる。また、排気バルブ１の構成が簡単になるのでクリーニングが容易になる。
【００３２】
（変更例）
以上、本発明の実施の形態を詳述したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施の形態を下記に例示する。
（Ｈ０１）前記主弁体７の移動機構は圧縮気体を使用したアクチュエータの代わりに、電動モータを使用することが可能である。
【００３３】
【発明の効果】
前述の本発明の排気バルブは、下記の効果（Ｅ０１）を奏することができる。
（Ｅ０１）シール部分が１個でスロー排気と本排気を行うことができる構成の簡素な排気バルブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明の実施の形態１の排気バルブの説明図で、図１Ａは正断面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図、図１Ｃは前記図１Ｂに示されるコントロールリングの作用説明図である。
【図２】図２は前記図１に示す排気バルブの作用説明図であり、図２Ａは排気バルブが遮断状態の場合を示す図、図２Ｂは排気バルブがスロー排気状態の場合を示す図、図２Ｃは排気バルブが連通状態の場合を示す図である。
【図３】図３は従来の一般的な排気装置の説明図である。
【図４】図４は従来の排気バルブの説明図である。
【符号の説明】
２…バルブケース、
２ｂ…吸引孔、
２ｃ…排気孔、
２ｄ…弁体収容孔、
２ｅ…弁体当接面、
７…主弁体、
９…副弁体、
９ｃ１…リング状当接部、
９ｄ…連通孔、
１１…弾性部材、
１２…流量調節部材（コントロールリング）
１３…ロッド、
（９ｂ＋９ｃ）…カバー壁、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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