(57)【要約】【目的】従来の薄膜印刷装置のスペース効率を高めると共に、駆動系の制御を高精度にする。【構成】版胴１の軸をサイドフレーム２の軸受に回転自由に取り付け、軸の両端に略同径のピニオン３、３を固定する。版胴１の下には定盤４を設置し、両側にリニアガイド５，５とラック６、６を平行に敷設する。版胴１の後方には、アニロックスロール７とドクターロール８を版胴１と平行に架設する。サイドフレーム２は、両サイドの底部に直線軸受９、９を固着し、直線軸受９、９をリニアガイド５，５に滑動自由に咬合する。ピニオン３、３は、ラック６、６に噛合し、片側のピニオン３に常時噛合する第１伝動ギア１０を介してピニオン３、３を走行用モータ１１に接続する。アニロックスロール７は、一方の軸端に駆動用モータ１２を接続し、他方の軸端に第２伝動ギア１３を固定する。ドクターロール８は、周面をアニロックスロール７に接し、第２伝動ギア１３に常時噛合する第３伝動ギア１４を軸端に固定して減速駆動する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
版胴を回転してステージに定着した基板が版胴の下を通過するときに版胴に装着した版に塗布した材料液を基板に転写して基板の表面に薄膜を成膜する装置において、
この装置が、
前記ステージを定置してその両側に敷設した直線軌道上を版胴が回転しながら印刷方向と戻り方向に往復移動する版胴移動式であることを特徴とする薄膜印刷装置。
【請求項２】
前記材料液を版に塗布するときは、
前記版胴を直線軌道から離間してその場で回転させることを特徴とする請求項１記載の薄膜印刷装置。
【請求項３】
前記版胴を戻り方向に移動するときは、
前記ステージを下降してステージに定着した基板と版胴に装着した版の間にギャップを設けることを特徴とする請求項１記載の薄膜印刷装置。
【請求項４】
前記版胴の軸の両端にピニオンを固定し、
このピニオンを移動自由にして前記直線軌道をなすラックに噛合し、
これよりピニオンを回転してピニオンと一体の版胴を回転しながらラック上を移動させることを特徴とする請求項１記載の薄膜印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ガラス基板の表面に所定の膜厚の薄膜を印刷して成膜する薄膜印刷装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】
液晶ガラス基板は、世代毎に大型化が進み、第６世代と呼ばれる以降のガラス基板のサイズはメーカによって多少の違いはあるが１５００×１８００ｍｍ以上の大きさになる。
このため、ガラス基板の大型化に対応して薄膜印刷装置などの製造装置の設置スペースや作業スペースの効率を高める必要がでてきた。
尚且つ、第６世代以前のサイズの小さなガラス基板についても対応でき、同様の効果が得られる装置が求められている。
【０００３】
ところが、従来の薄膜印刷装置は、図９に示すように、走行用モータ１１の回転を減速機１９を介して外ピニオン２０に伝達し、同軸に固定した左右の内ピニオン２１、２１を回転して内ピニオン２１、２１に噛合する下向きのラック６、６を摺動し、版胴１の前後にラック６、６と一体の定盤４を往復移動させる定盤移動式の印刷装置であった。
このため、印刷時に定盤４とラック６、６が版胴１の後方に大きく突出するので、ガラス基板の大型化に伴って版胴１の前方だけでなく、後方にも大きな移動スペースを必要とするようになった。
【０００４】
また、版胴１の片側の軸端に駆動ギア２２を固定し、この駆動ギア２２を２つのアイドラ２３、２３を介して外ピニオン２０に接続していた。
これにより、外ピニオン２０を介して走行用モータ１１の回転を駆動ギア２２に伝え、版胴１を定盤４の移動方向と同じ方向に回転していた。
このため、駆動ギア２２と外ピニオン２０の中間に２つのアイドラ２３、２３が介在するので３段階のバックラッシュ（歯車の歯面と歯面の間の遊び）が発生し、版胴１の回転速度や定盤４の移動速度を高精度に制御するのが困難であった。
【０００５】
そこで本発明は、従来の薄膜印刷装置のスペース効率を高めると共に、駆動系の制御を高精度にすることを目的になされたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するために、本発明は以下のように構成した。
【０００７】
すなわち、本発明の薄膜印刷装置は、版胴を回転してステージに定着した基板が版胴の下を通過するときに版胴に装着した版に塗布した材料液を基板に転写して基板の表面に薄膜を成膜する装置において、この装置が、前記ステージを定置してその両側に敷設した直線軌道上を版胴が回転しながら印刷方向と戻り方向に往復移動する版胴移動式であることにより上記目的が達成される。
【０００８】
また、本発明の薄膜印刷装置は、前記材料液を版に塗布するときは、前記版胴を直線軌道から離間してその場で回転させることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の薄膜印刷装置は、前記版胴を戻り方向に移動するときは、前記ステージを下降してステージに定着した基板と版胴に装着した版の間にギャップを設けることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の薄膜印刷装置は、前記版胴の軸の両端にピニオンを固定し、このピニオンを移動自由にして前記直線軌道をなすラックに噛合し、これよりピニオンを回転してピニオンと一体の版胴を回転しながらラック上を移動させることを特徴とする。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１２】
図１に、本発明を実施した薄膜印刷装置の概略図を示す。
薄膜印刷装置は、フレキソ版転写によって基板の表面に所定の膜厚の薄膜を印刷して成膜するラック＆ピニオン駆動による版胴移動式の印刷機で、走行案内にＬＭ（直動）ガイドを使用する。
図１において、版胴１の軸をサイドフレーム２の軸受に回転自由に取り付け、軸の両端に略同径のピニオン３、３を固定する。
版胴１の下には定盤４を設置し、両側にリニアガイド５，５とラック６、６を平行に敷設する。
版胴１の後方には、アニロックスロール７とドクターロール８を版胴１と平行に架設する。
【００１３】
サイドフレーム２は、両サイドの底部に直線軸受９、９を固着し、直線軸受９、９をリニアガイド５，５に滑動自由に咬合する。
また、図示しない押込機構を備え、ボールネジをパルスモータ制御して版胴１をアニロックスロール７に圧着する。
【００１４】
ピニオン３、３は、ラック６、６に噛合し、片側のピニオン３に常時噛合する第１伝動ギア１０を介してピニオン３、３を走行用モータ１１に接続する。
これにより、版胴１とピニオン３、３を回転自由にして走行用モータ１１を回転すると、版胴１とピニオン３、３がラック６、６上を回転しながら移動する。
【００１５】
ラック６、６は、図２に示すように、両端部６ａ、６ａを上下動可能に構成して図示しないラック昇降機構を備え、端部６ａにある版胴１を移動させるときは、図２（ａ）に示すように、端部６ａを上昇してラック６、６とピニオン３、３を接続し、端部６ａにある版胴１をその場で回転させるときは、図２（ｂ）に示すように、端部６ａを下降してラック６、６とピニオン３、３を離間する。
定盤４は、図示しないテーブル昇降機構を備え、版胴１を印刷方向へ移動するときは定盤４を上昇し、版胴１を戻り方向へ移動するときは定盤４を下降する。
【００１６】
アニロックスロール７は、一方の軸端に駆動用モータ１２を接続し、他方の軸端に第２伝動ギア１３を固定する。
ドクターロール８は、周面をアニロックスロール７に接し、第２伝動ギア１３に常時噛合する第３伝動ギア１４を軸端に固定して減速駆動する。
【００１７】
本発明を実施した薄膜印刷装置は以上のような構成で、図３に示すように、最初に駆動用モータ１２を回転してアニロックスロール７とドクターロール８を互いに逆方向に回転し、ディスペンサ１５を軸方向に移動してアニロックスロール７とドクターロール８の間に塗布液を滴下する。
このとき、アニロックスロール７に付いた余分な塗布液を掻き取り板１６で掻き落とす。
塗布液は、２つのロール間で練られてアニロックスロール７の周面に液薄膜となって保持される。
【００１８】
次に、図４に示すように、ラック６、６の端部６ａを下降してピニオン３、３を離間し、走行用モータ１１を回転して版胴１をその場で回転させる。
そして、版胴１の回転スピードがアニロックスロール７と等速になるまで加速し、等速になったらサイドフレーム２を押し込んで版胴１をアニロックスロール７に圧着する。
このとき、圧着の始点を記憶し、版胴１が１回転して始点に復帰したら版胴１をアニロックスロール７から離間する。
これにより、版胴１に装着した版１７に塗布液の薄膜が転移する。
【００１９】
次に、図５に示すように、図示しないロボットにより定盤４に基板１８を載置して吸引定着し、定盤４を上昇して塗布液の膜厚が所定の膜厚になるように分解能０．０１μｍの精度で基板１８の板厚に応じて定盤４の高さを調節する。
また、図６に示すように、ラック６、６の端部６ａを上昇してピニオン３、３に接続し、走行用モータ１１を正転して例えば２０〜３０ｍ／分の速度で版胴１を印刷方向に移動する。
これにより、塗布液の薄膜が版１７から基板１８に転写塗布される。
【００２０】
次に、図７に示すように、２度刷りを防ぐため、基板１８が版胴１の版１７に接しないように定盤４を下降する。
そして、図８に示すように、走行用モータ１１を逆転して例えば３０ｍ／分の最高速度で版胴１を戻り方向に移動して元の印刷開始位置に戻す。
以上の処理を基板の印刷枚数が予定枚数に達するまで繰り返す。
なお、印刷パターンを変更するために版１７を交換するときは、版胴１を印刷方向に移動した後、ラック６、６の端部６ａを下降してピニオン３、３を離間し、版胴１をその場で回転させて版胴１から版１７を取り外す。
【００２１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の薄膜印刷装置はステージを定置して版胴が移動する版胴移動式なので、従来のように印刷時にステージが版胴の後方に大きく突出することがなくなり、その分スペースを節減できる。
そのため、装置のスペース効率が高まりガラス基板の大型化に対応できるようになる。
【００２２】
また、ステージを定置して版胴だけを駆動するので、従来のようにステージと版胴を同期駆動するためのアイドラを介在させる必要がなくなり、その分駆動系の精度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を実施した薄膜印刷装置の概略図である。
【図２】両端が上下動可能なラックの模式図である。
【図３】アニロックスロールに塗布液を塗布するときの模式図である。
【図４】版に塗布液の薄膜を転移するときの模式図である。
【図５】基板の板厚に応じて定盤の高さを調節するときの模式図である。
【図６】版胴を印刷方向に移動するときの模式図である。
【図７】基板が版に接しないように定盤を下降するときの模式図である。
【図８】版胴を印刷の戻り方向に移動するときの模式図である。
【図９】従来の薄膜印刷装置の概略図である。
【符号の説明】
１            版胴
２            サイドフレーム
３            ピニオン
４            定盤
５            リニアガイド
６            ラック
７            アニロックスロール
８            ドクターロール
９            直線軸受
１０            第１伝動ギア
１１            走行用モータ
１２            駆動用モータ
１３            第２伝動ギア
１４            第３伝動ギア
１５            ディスペンサ
１６            掻き取り板
１７            版
１８            基板
１９            減速機
２０            外ピニオン
２１            内ピニオン
２２            駆動ギア
２３            アイドラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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