(57)【要約】【課題】本発明は、圧電素子から振動板を介して精度良い加圧位置と安定した加圧量をインク室へ伝え、品質の高い印刷を可能とするインクジェットヘッドを提供することを課題とする。【解決手段】本発明は、振動板と圧電素子とを中継部材を介して接合し、該中継部材のノズル列方向と直交する方向の長さをＴｆ、前記圧電素子の前記中継部材と接合される面のノズル列方向と直交する方向の長さをＴｐ、前記圧電素子の前記中継部材と接合される面のノズル列方向と直交する方向の活性部長さをＴａ、とするとき、Ｔａ＜Ｔｆ＜Ｔｐとしたことを特徴とする。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを蓄える加圧室と流路となるリストリクタとからなるチャンバプレートと、電気信号の印加により前記加圧室内に圧力変動を発生させる圧電素子と、前記加圧室とリストリクタの壁面の内少なくとも一部を形成している振動板と、前記リストリクタにインクを供給する共通インク供給路と、インク液滴を加圧室から噴射するオリフィスと、前記圧電素子を固定する圧電素子固定板等によって構成された複数のノズルを有するオンデマンド型マルチノズルインクジェットヘッドにおいて、前記振動板と前記圧電素子とを中継部材を介して接合し、該中継部材のノズル列方向と直交する方向の長さをＴｆ、前記圧電素子の前記中継部材と接合される面のノズル列方向と直交する方向の長さをＴｐ、前記圧電素子の前記中継部材と接合される面のノズル列方向と直交する方向の活性部長さをＴａ、とするとき、Ｔａ＜Ｔｆ＜Ｔｐとしたことを特徴とするインクジェットプリントヘッド。
【請求項２】
前記中継部材と前記振動板との接着面は、そのノズル列方向の幅Ｗｆが、前記圧電素子と前記中継部材との接着面のノズル列方向の幅Ｗｐよりも狭いことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記中継部材はシリコンからなり、ウェットエッチング、またはドライエッチング法により形成したことを特徴とする請求項１または２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
請求項１、請求項２、及び請求項３の何れかに記載のインクジェットヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット式記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、複数のノズルを有するオンデマンド型マルチノズルインクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインクジェットヘッドは、高集積を実現するために、振動板中央に細長い凸部を設けることが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。振動板には金属薄板をエッチングする、もしくはエレクトロフォーミングする方法が用いられてきた。しかし、最近では、耐薬品性に優れた樹脂層と薄い金属板をラミネートし金属層を所定のパターンにエッチングする、または樹脂層上に所定のパターンにエレクトロフォーミングを行うことにより、細長い凸部を形成した２層構造からなるものが考案されている。この方法によれば、圧電素子により振動板の加圧される面積を一定にすることができ、かつ、インクによる振動板の腐食を防ぐことができる。
【０００３】
また、圧電振動子の先端にモールド成形した凸部形状部材を接着する方法も提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特許第３０７０６２５号明細書
【特許文献２】
米国特許第４，７５１，７７４号明細書
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
インク滴を安定して精度良く吐出させるためには、振動板と他の部品、例えば流路部材とを接着する場合、流路部材に設けられたインク室と振動板凸部の位置を精度良く合わせる必要が有る。しかしながら、例えば流路部材としてシリコンなどの低熱膨張材料を使用した場合、樹脂製の高熱膨張材料を振動板として使用すると位置ずれを起こしやすく、複雑な工程を必要とし、接着剤の制約を行わねばならない。
【０００６】
また、凸部をエッチングやエレクトロフォーミングにて製作するため、ノズル配置を高密度化すると、凸部形状を精度良く製作するためには、厚みが制限される。例えば７５ｎｐｉ（ｎｏｚｚｌｅ  ｐｅｒ  ｉｎｃｈ）以上の高密度にすると、突部の剛性が著しく低下するため、凸部が圧電素子駆動時の変形および、振動板の振動に追従してしまう。インク室と振動板凸部を精度良く合わせたとしても、圧電素子固定板と圧電素子の位置ずれ及び内部活性層の位置ずれにより、インク室の加圧位置がずれてしまい凸部の十分な機能を果たせない。
【０００７】
また、特許文献２の方法は、前述同様７５ｎｐｉ以上の高密度ヘッドに対して、この様な凸部形状を加工することは困難で、インク室との相対位置を高精度に配置することは不可能である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、振動板と圧電素子とを中継部材を介して接合し、該中継部材のノズル列方向と直交する方向の長さをＴｆ、前記圧電素子の前記中継部材と接合される面のノズル列方向と直交する方向の長さをＴｐ、前記圧電素子の前記中継部材と接合される面のノズル列方向と直交する方向の活性部長さをＴａ、とするとき、Ｔａ＜Ｔｆ＜Ｔｐとすることによって達成される。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一例を図面を参照して説明する。
【００１０】
図１は、本発明の実施例におけるインクジェットヘッドの構成を示す分解図を示し、図２は断面図を示す。
【００１１】
図１、図２において、流路部１はノズル２を有するオリフィスプレート３とインク室４を有するチャンバプレート５、振動板６を有するダイアフラムプレート７、及び流路を補強するための補強プレート８とにより構成される。流路部１の各部品は、基準ピン２８ａを用いて図示していない接着剤シートにより接着する。また、駆動部９はインク室４に対応した中継部材１０を有する中継プレート１１と圧電素子１２と、支持台１３とより構成され、圧電素子１２の電極部は銅箔付きセラミックプレート１４と導電性ペーストにより電気的に結合される。駆動部９は前記各部材を接合した後、中継プレート１１、圧電素子１２、導電性ペースト、及びセラミックプレート１４上の銅箔を、所望の幅、間隔で切断することで各ノズルに対応させる。
【００１２】
中継プレート１１は位置決めのための基準穴２３を、また、チャンバプレート５の同様の基準穴を有しており、基準ピン２８ｂを用いて流路部１と駆動部９、つまり、中継部材１０とインク室４との相対位置を高精度に決めることができる。本実施例では、中継プレート１１とチャンバプレート５はシリコンをドライエッチングにより高精度加工したものを使用している。加工精度は±２μｍ以下である。
【００１３】
図３に、１ノズル分の中継部材１０及び圧電素子１２の拡大図を示す。圧電素子１２は、Ｄ３１、Ｄ３３の両タイプとも使用できるが、外部電極からの信号線の引出しが容易なＤ３３タイプを使用している。中継部材１０の振動板７との接合面の幅Ｗ２は、駆動部９をノズルに対応させて切断する幅Ｗ１よりも狭い突起部を有している。これにより、振動加圧部の高集積化が可能となる。
【００１４】
中継部材１０と圧電素子１２のノズル列方向は、前述の通り接合後切断するため位置ずれは発生しない。しかしながら、ノズル列方向と直行する方向においては圧電素子ブロックのそりやゆがみにより、中継部材１０と圧電素子１２を前述の組立ほど精度良く位置決めすることが出来ない。また、圧電素子の内部電極３１の位置ずれまたは、長さの不揃いにより、内部電極３１の重なった部分からなる活性部Ｔａの位置が中継部材１０に対してノズル列方向と直行する方向にずれることがある。
【００１５】
図４に、中継部材１０のノズル列方向と垂直な方向の長さＴｆを変化させた場合の圧電素子の最大変位量の変化を示す。圧電素子最大変位量は、圧電素子単体の場合の最大変位量に対する比率で示している。Ｔｆを短くすることで最大変位量は大きくなるが、その変化量は、圧電素子１２の活性部幅Ｔａを境に、Ｔａよりも短くするとそれよりも長い時の変化量に比べ非常に大きくなる。このことはつまり、ＴｆをＴａよりも短くした場合、活性部Ｔａの位置ずれや圧電素子１２と中継部材１０のノズル列方向と垂直な方向の相対位置がずれると、圧電素子１０の変位量が大きく変化してしまうことを示している。圧電素子１２の変位量が変化すれば、インク室４の加圧量も変化するため、インクの吐出特性に大きく影響する。また、Ｔｆを圧電素子１２の長さＴｐよりも長くすると、微細加工された中継部材１０の圧電素子１０からはみ出した部分は、圧電素子１２の支持が無いために振動板６の振動の影響を受けやすくなる。加えて、シリコンは脆いため、流路部材１との組立時に賭けが発生し、振動板加圧面積が変化する不良が発生しやすくなる。以上のことから、ＴｆはＴａ＜Ｔｆ＜Ｔｐの範囲とすることで、安定した振動板６の加圧、つまり安定したインクの吐出が得られる。
【００１６】
次に、上述のインクジェットヘッドを用いた本発明のインクジェット式記録装置の一例を図５により説明する。
【００１７】
図５において、筺体３０の上部にヘッドベース３１が配置され、その上に４本のプリントヘッド組３２が設けられている。筺体３０の内部には図示しないロール紙搬送装置や制御装置が収納されている。４本のプリントヘッド組３２には４本のインク供給管３４から、カラーの印刷をするためにシアン、マジェンタ、イエロー、ブラックのインクが供給される。各ヘッド組３２には、印刷用紙の長手方向と直角の方向に、例えば２０個のヘッドが配列され、各ヘッドには図２に示したノズルが例えば１２８個設けられている。ノズル２（図２）と対向するように印刷用紙３３が搬送される。この図では矢印の方向にロール紙が搬送され、その上流に図示しないロール紙供給装置が配置されている。
【００１８】
筺体３０の上部のフレーム３９と４０との間にロッド３７，３８が設けられ、そのロッド３７，３８を支持体３５，３６が摺動できるように支持されている。この支持体３５，３６に前記へードベース３１が取付けられているので、プリントヘッド組３２は印刷用紙３３の長手方向と直角の方向に移動してヘッドクリーニング機構４０の位置まで移動することができる。
【００１９】
本発明のインクジェットヘッドは、上記のような記録装置のほかに汎用の小形のインクジェット式記録装置にも勿論使用することができる。
【００２０】
【発明の効果】
本発明によれば、圧電素子と振動板の間に高精度加工された中継部材を設け、中継部材のノズル列方向と直交する方向の長さをＴｆ、前記圧電素子の中継部材と接合される面のノズル列方向と直交する方向の長さをＴｐ、前記圧電素子の中継部材と接合される面のノズル列方向と直交する方向の活性部長さをＴａとするとき、Ｔａ＜Ｔｆ＜Ｔｐとすることで、圧電素子から振動板を介して精度良い加圧位置と安定した加圧量をインク室へ伝える事が可能となり、品質の高い印刷を可能とするインクジェットヘッドを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るインクジェットヘッドの分解図である。
【図２】本発明に係るインクジェットヘッドの断面図である。
【図３】本発明に係るインクジェットヘッドの１ノズル分の圧電素子と中継部材の拡大図である。
【図４】中継部材の長さＴｆと最大変位量の関係を示す図である。
【図５】本発明に係るインクジェット式記録装置の一実施例を示す外観図である。
【符号の説明】
１は流路部、２はノズル、３はオリフィスプレート３、４はインク室、５はチャンバプレート、６は振動板、７はダイアフラムプレート、８は補強プレート、９は駆動部、１０は中継部材、１１は中継プレート、１２は圧電素子、１３は支持台、１４は銅箔付きセラミックプレート１４、１５はフレキシブルプリントサーキット、１６は中継部材郡、２３は基準穴、２７はインク導入管、２８ａと２８ｂは基準ピン、５１は内部電極である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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