(57)【要約】【課題】  本発明は、優れた信頼性や表示特性を有する電気泳動表示装置を簡易に製造する方法と、その方法を用いて製造された電気泳動表示装置を提供することを目的とする。【解決手段】  本発明は、互いに対向して配置される第１基板及び第２基板と、これらの基板の間で各小区域を格子状に囲むよう設けられる隔壁と、第１基板と第２基板との間に設けられる絶縁性液体と、絶縁性液体中に分散される複数の帯電粒子と、第１基板若しくは第２基板上に、各画素に対応して設けられる第１電極と、第１基板若しくは第２基板上に、各画素に対応して設けられる第２電極と、第１電極及び第２電極に電圧を印加する駆動手段とを具備し、隔壁は、対向する二辺夫々の少なくとも一部に設けられる孔を有し各小区域を区分する第１構造体と、孔を塞ぐよう設けられる第２構造体とを有することを特徴とする電気泳動表示装置を提供する。【選択図】  図１ 
2005250354.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向して配置される第１基板及び第２基板と、
前記第１基板と前記第２基板との間で各小区域を格子状に囲むよう設けられる隔壁と、
前記第１基板と前記第２基板との間に設けられる絶縁性液体と、
前記絶縁性液体中に分散される複数の帯電粒子と、
前記第１基板若しくは前記第２基板上に、各画素に対応して設けられる第１電極と、
前記第１基板若しくは前記第２基板上に、前記各画素に対応して設けられる第２電極と
、
前記第１電極及び前記第２電極に電圧を印加する駆動手段とを具備し、
前記隔壁は、対向する二辺夫々の少なくとも一部に設けられる孔を有し前記各小区域を
区分する第１構造体と、前記孔を塞ぐよう設けられる第２構造体とを有する
ことを特徴とする電気泳動表示装置。
【請求項２】
前記小区域は１つ若しくは複数の前記画素で構成されることを特徴とする請求項１記載の
電気泳動表示装置。
【請求項３】
前記第１構造体は前記第１基板に接着され、前記第２構造体は前記第２基板に接着されて
いることを特徴とする請求項１記載の電気泳動表示装置。
【請求項４】
前記第１構造体が前記小区域を囲むように形成され、前記孔は前記対向する二辺夫々の一
部に設けられることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気泳動表示装
置。
【請求項５】
前記孔は前記対向する二辺夫々の中央に設けられることを特徴とする請求項４記載の電気
泳動表示装置。
【請求項６】
前記孔は前記対向する二辺夫々の中央以外に互い違いになるよう設けられることを特徴と
する請求項４記載の電気泳動表示装置。
【請求項７】
前記第２基板上に設けられる、第１色を呈する第１フィルタと前記第１色とは異なる第２
色を呈する第２フィルタと前記第１色とも前記第２色とも異なる第３色を呈する第３フィ
ルタとを含むカラーフィルタをさらに具備し、
前記第２構造体は前記第１フィルタと前記第２フィルタと前記第３フィルタを積層した
積層体を含む
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気泳動表示装置。
【請求項８】
第１基板若しくは第２基板の一方の主面上に、各画素に対応して設けられる第１電極を形
成する工程と、
前記第１基板若しくは前記第２基板の前記一方の主面上に、前記各画素に対応して設け
られる第２電極を形成する工程と、
前記第１基板の、前記一方の主面上に、格子の対向する二辺夫々の少なくとも一部に設
けられる孔を有し各小区域を区分する第１構造体を形成する工程と、
前記第２基板の、前記一方の主面上の前記孔に対応する領域に、前記孔以上の大きさの
第２構造体を形成する工程と、
前記第１構造体と前記第２構造体とで前記孔を塞がないよう、前記第１基板及び前記第
２基板の前記一方の主面同士を対向させて貼り合わせる工程と、
絶縁性液体中に複数の帯電粒子を分散させた分散液を、前記孔を通じて前記第１基板と
前記第２基板との間に注入する工程と、
前記分散液を注入した前記第１基板と前記第２基板の少なくとも一方を基板面内で移動
させ、前記第１構造体と前記第２構造体とで前記孔を塞ぐ工程と
を具備することを特徴とする電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記小区域は１つ若しくは複数の前記画素で構成されることを特徴とする請求項８記載の
電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記第１構造体が前記小区域を囲むように形成され、前記孔は前記対向する二辺夫々の一
部に設けられることを特徴とする請求項８若しくは９に記載の電気泳動表示装置の製造方
法。
【請求項１１】
前記孔は前記対向する二辺夫々の中央に設けられることを特徴とする請求項１０記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【請求項１２】
前記孔は前記対向する二辺夫々の中央以外に互い違いになるよう設けられることを特徴と
する請求項１０記載の電気泳動表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気泳動表示装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報携帯端末が急速に発展し、低消費電力、軽量、薄型の表示装置のニーズが高
まってきている。現状では、情報携帯端末のディスプレイとして反射型液晶表示装置が広
く用いられている。しかし、反射型液晶表示装置は偏光板を使用するため光の利用効率が
低く、使用環境によっては十分な明るさが得られず、表示の視認性が悪い場合がある。
【０００３】
偏光板を使用せずに明るい反射型ディスプレイが得られる方式として、電気泳動表示装
置が知られている。この装置は、透明電極を形成した一対の基板の間に、分散液を挟んだ
構造を持っている。分散液は、帯電した粒子（帯電粒子）と、色素を溶解することで着色
した絶縁性液体等からなる。透明電極を介して分散液に電圧を印加すると、電荷を有する
帯電粒子はその電荷とは逆の極性の電極へ移動する。観測者側の電極に帯電粒子が集まる
と、帯電粒子の色が表示される。一方、観測者側と反対の電極に帯電粒子が集まると、絶
縁性液体の色を観測者は視認することになる。すなわち、帯電粒子と絶縁性液体の色の差
によって表示が行われる。
【０００４】
電気泳動表示装置において、画素の周辺部などに隔壁を設けて分散液を小区域に分割す
ることは、画素間の粒子の移動防止に有効である。つまり、各々の画素（小区域）の周辺
部に隔壁を形成すれば、隣り合った画素間での分散液の対流による帯電粒子の移動がなく
なり、保持性に優れた表示装置を作ることができるのである。しかし、隔壁を設けると、
分散液の層を基板間に形成する際、液晶表示装置でよく行われているような注入法、すな
わち基板の端に注入口を設けてそこから毛細管現象を利用して分散液を注入する方法が困
難となる。隔壁を有する電気泳動表示装置に分散液を封入する方法としては、以下の方法
が提案されている。
【０００５】
１つは、各画素周辺部に隔壁（土手部）を設け、吐出装置を用いて種々の色の分散液を
各々の画素に入れることで、多色表示を可能にする方法である（例えば、特許文献１参照
）。この吐出装置とはインクジェット・プリンターに用いられるインクジェット装置と同
様のもので、分散液を隔壁で隔てられた各画素に入れることができる。しかしながら、こ
のインクジェット装置を用いる方法では、分散液の吐出工程に長時間を要するという問題
がある。例えば、１００万画素の電気泳動表示装置に１０本のノズルをもつインクジェッ
ト装置で分散液を吐出するには、所望の画素上へのノズルの位置を合わせ、分散液の吐出
、ノズルの移動という操作を１０万回も繰り返す必要がある。したがって、量産性が低い
。
【０００６】
また、隔壁上に接着層を用いて流路を形成し、液体分散媒を注入する方法もある（例え
ば、特許文献２参照）。この方法では、比較的短時間で注入を行うことができると考えら
れる。しかしながら、この接着層は注入時には未硬化であるため、接着層の材料が絶縁性
液体（液体分散媒）に溶出したり、接着層に含まれるイオン性不純物が絶縁性液体中に溶
出したりする恐れがある。このような溶出が起こると、絶縁性液体の電気抵抗が低下し、
焼き付きやコントラスト低下などの表示不良を起こす。また、隔壁の幅は１００μｍ程度
とかなり狭いため、高い精度で隔壁上に接着層を印刷する必要がある。そして、万一接着
層の印刷位置がずれると、隔壁の上面以外の部分に接着層が付いてしまい表示不良となる
ので、信頼性を確保するためには、隔壁の幅を１００μｍより狭くすることは困難と思わ
れる。
【特許文献１】特開２００１−２３５７７１公報（第３−４頁、第１図）
【特許文献２】特開２００２−１４８６６３公報（第３−７頁、第４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述したように、従来は、優れた信頼性や表示特性を有する電気泳動表示装置を簡易に
製造することが出来なかった。
【０００８】
本発明は、この問題に鑑み、優れた信頼性や表示特性を有する電気泳動表示装置を簡易
に製造する方法と、その方法を用いて製造された電気泳動表示装置を提供することを目的
とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
そこで、本発明は、互いに対向して配置される第１基板及び第２基板と、第１基板と第
２基板との間で各小区域を格子状に囲むよう設けられる隔壁と、第１基板と第２基板との
間に設けられる絶縁性液体と、絶縁性液体中に分散される複数の帯電粒子と、第１基板若
しくは第２基板上に、各画素に対応して設けられる第１電極と、第１基板若しくは第２基
板上に、各画素に対応して設けられる第２電極と、第１電極及び第２電極に電圧を印加す
る駆動手段とを具備し、隔壁は、対向する二辺夫々の少なくとも一部に設けられる孔を有
し各小区域を区分する第１構造体と、孔を塞ぐよう設けられる第２構造体とを有すること
を特徴とする電気泳動表示装置を提供する。
【００１０】
本発明においては、小区域は１つ若しくは複数の画素で構成されても良い。
【００１１】
また本発明においては、第１構造体は第１基板に接着され、第２構造体は第２基板に接
着されていても良い。
【００１２】
また本発明においては、第１構造体が小区域を囲むように形成され、孔は対向する二辺
夫々の一部に設けられても良い。
【００１３】
また本発明においては、孔は対向する二辺夫々の中央に設けられても良い。
【００１４】
また本発明においては、孔は対向する二辺夫々の中央以外に互い違いになるよう設けら
れても良い。
【００１５】
また本発明においては、第２基板上に設けられる、第１色を呈する第１フィルタと第１
色とは異なる第２色を呈する第２フィルタと第１色とも第２色とも異なる第３色を呈する
第３フィルタとを含むカラーフィルタをさらに具備し、第２構造体は第１フィルタと第２
フィルタと第３フィルタを積層した積層体を含んでも良い。
【００１６】
また本発明は、第１基板若しくは第２基板の一方の主面上に、各画素に対応して設けら
れる第１電極を形成する工程と、第１基板若しくは第２基板の前記一方の主面上に、各画
素に対応して設けられる第２電極を形成する工程と、第１基板の、一方の主面上に、格子
の対向する二辺夫々の少なくとも一部に設けられる孔を有し各小区域を区分する第１構造
体を形成する工程と、第２基板の、一方の主面上の孔に対応する領域に、孔以上の大きさ
の第２構造体を形成する工程と、第１構造体と第２構造体とで孔を塞がないよう、第１基
板及び第２基板の一方の主面同士を対向させて貼り合わせる工程と、絶縁性液体中に複数
の帯電粒子を分散させた分散液を、孔を通じて第１基板と第２基板との間に注入する工程
と、分散液を注入した第１基板と第２基板の少なくとも一方を基板面内で移動させ、第１
構造体と第２構造体とで孔を塞ぐ工程とを具備することを特徴とする電気泳動表示装置の
製造方法を提供する。
【００１７】
本発明においては、小区域は１つ若しくは複数の画素で構成されても良い。
【００１８】
また本発明においては、第１構造体が小区域を囲むように形成され、孔は対向する二辺
夫々の一部に設けられても良い。
【００１９】
また本発明においては、孔は対向する二辺夫々の中央に設けられても良い。
【００２０】
また本発明においては、孔は対向する二辺夫々の中央以外に互い違いになるよう設けら
れても良い。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、優れた信頼性や表示特性を有する電気泳動表示装置を簡易に製造する
方法と、その方法を用いて製造された電気泳動表示装置を提供することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態に係る電気泳動表示装置について詳細に
説明する。
【００２３】
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置を図１及び図２を用いて説明す
る。図１（ａ）は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図１（ｂ）
は本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図、図２（ａ）、（ｂ）は夫々図１（ａ）ａ
−ａ´間の断面図、図１（ｂ）ｂ−ｂ´間の断面図である。
【００２４】
図１では、便宜的に４つの画素を抽出して平面図としており、この図の中央の一点鎖線
は画素の境界部を示す。すなわち、１つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までと
なる。図２では、図中の中央の一点鎖線が画素の境界部を示し、１つの画素は図の端の点
線から、この一点鎖線までとなる。
【００２５】
図２（ｂ）に示すように、本実施形態の電気泳動表示装置は、第１基板３と第２基板４
とが対向して配置され、第１基板３と第２基板４との間には、各画素（各小区域）を囲む
ように隔壁１０が設けられる。隔壁１０は、第１基板３上に形成された第１構造体１と、
第２基板４上に形成された第２構造体２からなり、第１構造体１と第２構造体２とで各画
素を格子状に囲んでいる。また、第１基板３上には隔壁１０で囲まれた内部の領域、つま
り画素に対応する領域に設けられる画素電極（第１電極）５が形成され、第２基板４上に
は隔壁１０に対応する領域に設けられる対向電極（第２電極）６が設けられる。画素電極
５は、第１基板３上に形成されたＴＦＴ素子２３に接続されており、対向電極６は駆動（
電圧印加）回路（図示せず）に接続されている。これらの電極５、６表面には、表面コー
ト層９が形成されている。そして、これらの電極が形成された第１基板３、第２基板４、
及び隔壁１０の間に、帯電粒子７を分散した絶縁性液体８からなる分散液１１が配置され
る。
【００２６】
そして、図１（ｂ）に示すように、第１構造体１と第２構造体２とは、夫々第１基板３
と第２基板４の双方に接触している。格子の４つの角を含むほぼ全体を形成する第１構造
体１の対向する二辺夫々の中央に孔３１があり、孔３１より大きい第２構造体２で、この
孔３１を塞いでいる。そして、図１（ａ）に示すように、分散液１１を注入する際にはこ
の孔３１を塞がずに流路として用い、分散液１１注入後にこの孔３１を塞ぐものである。
【００２７】
次に、以下の特性の部材を使用した場合について本実施形態の電気泳動表示装置の表示
原理を説明する。帯電粒子７は黒色で、正に帯電している。帯電粒子７を分散させている
絶縁性液体８としては、透明の液体を使用している。第１基板３および第２基板４にはガ
ラスなどの透明基板を使用し、第１電極５および第２電極６にはＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  
ｔｉｎ  ｏｘｉｄｅ）などの透明電極を用いている。第２基板４の外側には白色の板（図
示せず）を置いており、第１基板３側を観測面としている。隔壁１、２材料は透明のもの
を使用している。図２（ｂ）では左の画素が白表示、右の画素が黒表示を行っている。
【００２８】
図２（ｂ）の左側の画素に示すように、第２電極６を基準電位（ゼロボルト）とし、第
１電極５に正極性の電圧を印加すると、帯電粒子７は第２電極６近傍へ移動する。この電
気泳動表示装置を第１基板３側から見ると、第１電極５、第１基板３、第２基板４はいず
れも透明であるため、第２基板４の外側に置いた白色の板の色を視認することになり、白
表示となる。
【００２９】
図２（ｂ）の右側の画素に示すように、第２電極６を基準電位（ゼロボルト）とし、第
１電極５に負極性の電圧を印加すると、帯電粒子７は第１電極５近傍へ移動する。この電
気泳動表示装置を第１基板３側から見ると、第１電極５と第１基板３は透明であり、帯電
粒子７の黒色を視認することになり、黒表示となる。
【００３０】
この例では帯電粒子７が黒色の場合を説明したが、帯電粒子７がシアン、マゼンダ、イ
エロー、紫、灰色などの着色をした光吸収性の粒子であってもよい。また、絶縁性液体８
を透明の液体の場合を説明したが、白濁あるいは着色した液体を用い、第２基板４の外側
に置いた白色の板を省いてもよい。これとは逆に、帯電粒子７が白など光散乱性の粒子で
、絶縁性液体８が黒色、シアン、マゼンダ、イエロー、紫、灰色などの着色をした光吸収
性であってもよい。
【００３１】
画素の周辺部に隔壁を設けないと、隣接する画素の電場の影響や対流の影響で、帯電粒
子７が隣の画素へ移動してしまうことがある。また、隔壁を設けずに電気泳動表示装置の
基板面を垂直にして置いておくと、帯電粒子７の比重が絶縁性液体８の比重より大きい場
合には、重力の影響で帯電粒子７が電気泳動表示装置の下側に沈降してしまう。本実施形
態の場合は、画素の周辺部に隔壁１０を設けたため、この問題は生じない。すなわち、本
実施形態の電気泳動表示装置を長時間駆動しても、あるいは長時間立てて保管しても、各
画素は隔壁で囲まれていることから、それぞれの画素における帯電粒子７の濃度には変化
がなく、表示ムラは生じず、優れた表示特性を有する。
【００３２】
次に、本実施形態に係る電気泳動表示装置の製造方法を図１、図３及び図４を用いて説
明する。図３は、本実施形態の電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図であり、２つの
画素を抽出して説明している。また、図４は、本実施形態に係る電気泳動表示装置を示す
平面図であり、（ａ）が第１基板側からみた図、（ｂ）が第２基板側から見た図である。
【００３３】
まず、第１基板３上にＴＦＴ素子２３、信号線２１、ゲート線２２、補助容量線（図示
せず）、第１電極５を常法により形成する。ＴＦＴ素子２３のゲート電極（図示せず）は
ゲート線２２に、ソース電極（図示せず）は信号線２１に、ドレイン電極（図示せず）は
第１電極５に接続し、第１電極５は、信号線２１とゲート線２２とで囲まれた画素領域に
形成する。第２基板４上には、信号線２１やゲート線２２に対応する領域に格子状となる
よう、第２電極６を常法により形成する。これらの電極上には、有機膜からなる表面コー
ト層９を形成する。この表面コート層９は、電極５、６表面に帯電粒子７が吸着すること
を防ぎ、電極５、６の凹凸を平坦化する機能を有する。なお、使用する分散液１１によっ
ては、表面コート層９を省略しても本発明の効果を得ることができる。
【００３４】
図３（ａ）に示すように、第１基板３の主面上に第１構造体１を、図３（ｂ）に示すよ
うに、第２基板４の主面上に第２構造体２をフォトリソグラフィー工程により形成する。
このとき、第１構造体１は、画素を囲む格子の４つの角を含む、ほぼ全体を形成しており
、格子の対向する二辺夫々の中央に孔３１が開いた形状とする。そして、孔３１は、対向
する二辺の一方の側で大きな開口を有する第１開口部３２と、他方の側で第１開口部３２
より小さい開口を有する第２開口部３３の２段階となっている。また、第２構造体２は、
上述した対向する二辺に対応する領域に、第１開口部３２より小さく第２開口部３３より
も大きい幅を有する柱状の形状とする。
【００３５】
図３（ｃ）に示すように、第１基板３の第１構造体１を形成した側の主面と第２基板４
の第２構造体２を形成した側の主面とを対向して貼り合わせる。このとき、第１構造体１
と第２構造体２とが接触しないようにして、後の工程で注入する分散液１１の流路を確保
する。基板３、４の周辺部には、注入口および排気口を除いて接着層（図示せず）を塗布
しておいてもよい。この場合、周辺部には注入口や排気口部分以外には孔３１を設けない
ことにより隔壁１０が壁となり、後の工程で画素内に接着剤が接触した分散液が注入され
ることを防ぐことが出来る。
【００３６】
図３（ｄ）に示すように、第１基板３と第２基板４の間に、絶縁性液体８中に帯電粒子
７を分散させた分散液１１を注入する。注入方向は、孔３１の形成されない二辺に平行な
方向とする。図３（ｄ）の矢印は、第１構造体１と第２構造体２の隙間を分散液１１が浸
入していく様子を示している。基板３、４周辺部に設けた注入口に分散液１１を接触させ
ることで、分散液１１が毛細管現象により基板３、４間に注入される。分散液１１が進入
する前に基板３、４間に存在した空気は、分散液１１によって押し出され、自然に排気口
より排出される。不揮発性の絶縁性液体８を用いて注入を真空下で行う場合は、この排出
口は不要となる。
【００３７】
図３（ｅ）に示すように、第１基板３と第２基板４の少なくとも一方を基板面内方向で
移動し、図１（ｂ）に示すように、第１構造体１の孔３１を第２構造体２で塞ぐように第
１構造体１と第２構造体２を接触させる。第２構造体２の幅は第１開口部３２よりは小さ
いものの第２開口部３３よりは大きいため、第１構造体１に接触して止まる。その後、基
板３、４の周辺部に塗布した接着層を硬化させる。また、注入口と排気口を接着剤で封じ
、分散液１１を基板３、４間に密閉する。接着層を事前に塗布していない場合は、接着剤
を周辺部に塗布し、その後硬化させる。最後に電圧印加回路（不図示）を接続し、電気泳
動表示装置が完成する。
【００３８】
本実施形態の方法により電気泳動表示装置を製造すれば、画素周辺部に隔壁１０を有す
る電気泳動表示装置であっても容易に分散液１１を画素内に注入できる。また、基板３、
４周辺部に設けられた接着層と分散液１１の間には隔壁１０が存在するため、接着層と分
散液１１はほとんど接しない。そのため、接着層の成分が分散液１１に溶け出すことがな
く、高抵抗のまま分散液１１を隔壁１０内に封入することができる。その結果、焼き付き
不良のない信頼性の高い電気泳動表示装置を得ることができる。
【００３９】
また、第１構造体１と第２構造体２とを本実施形態で示したような形状とする場合、図
５の分散液１１の注入時における、第１構造体１の第１開口部３２側の端と第２構造体２
の第１開口部３２側の面との距離をＬ１、同じく第１構造体１の第２開口部３３側の端と
第２構造体２の第２開口部３３側の面との距離をＬ２とすると、Ｌ１とＬ２の少なくとも
一方は、約５μｍ以上であることが好ましい。約５μｍ以上とすることにより、注入時に
気泡が混入し難いことから表示特性が向上可能であり、また注入時間を短くすることが出
来る。また、図５に示すように、分散液１１の注入時における、第１構造体１の孔３１の
形成されない二辺のうちの一方と第２構造体２との距離をｄ１、この二辺のうちの他方と
第２構造体２との距離をｄ２とすると、ｄ１とｄ２少なくとも一方は、約５μｍ以上であ
ることが好ましい。約５μｍ以上とすることにより、注入時に気泡の混入し難いことから
表示特性が向上可能であり、また注入時間を短くすることが出来る。さらに、開口部を塞
ぐために、Ｗ１＞Ｗ３＞Ｗ２である必要がある。また、Ｗ２を約１５μｍ以上とすること
により、注入時に気泡が混入し難いことから表示特性が向上可能である。
【００４０】
第１構造体１や第２構造体２を構成する材料として感光性材料を用いると、容易に隔壁
１０を形成することができる。特に、化学増幅型感光性エポキシ樹脂は、高アスペクト比
の形状が得られるため、第１基板３と第２基板４の距離が広い場合でも、幅の狭い隔壁１
０を形成できる。
【００４１】
高さ数十μｍ以上の隔壁１０を感光性樹脂で形成する場合、露光時には数十μｍ以上の
深さで光が樹脂の中に進入しなければならない。そのため、隔壁１０に用いる感光性樹脂
は透明性（光透過性）の高い材料が好ましい。したがって、完成した隔壁１０は透明ある
いは半透明のものとなる。この場合、隔壁１０部分では、第１電極５と第２電極６との間
の電場強度にかかわらず常に光が透過状態となり、コントラストを低下させる。この隔壁
１０部分での光抜けを防ぐには、隔壁１０部分に光遮光層を設ければよい。この遮光層は
クロム薄膜をフォトリソグラフィープロセスでパターニングすることで形成してもよいし
、ＴＦＴ（薄膜トランジスター）２３などのスイッチング素子、あるいはスイッチング素
子に電気的に接続された配線、あるいは画素の補助容量を形成するための補助容量線を遮
光層として利用してもいい。こうすることによって、遮光層を形成する工程を省くことが
できる。
【００４２】
また、第１構造体１および第２構造体２が、それぞれ第１基板３および第２基板４と接
着されている部分の幅は１μｍ以上が好ましい。この幅が１μｍ未満だと、第１基板３と
第２基板４とを基板面内でずらして第１構造体１と第２構造体２とを押し当てたときに、
基板３、４から第１構造体１あるいは第２構造体２が取れてしまう（もげてしまう）こと
がある。
【００４３】
また、本実施形態では第２基板４上に格子状の対向電極６を設け、その上に第１構造体
１と第２構造体２とで格子状となる隔壁１０を設けているが、これに限られるものではな
く、画素の中央部に対向電極６を設けるなど、隔壁１０と対向電極６のパターンが同一で
なくてもよい。隔壁１０と対向電極６のパターンが同一でない場合は、画素電極５と対向
電極６の面積の比を５：１から５０：１程度とすることが好ましい。本実施形態のように
画素周辺部に対向電極６がある方が、画素の中央部に対向電極６を設ける場合より、帯電
粒子７の移動がより低電圧で行えるため好ましい。
【００４４】
帯電粒子７の平均粒径は、０．０５μｍ以上かつ５μｍ以下程度であると、安定した分
散状態が得られるため好ましい。
【００４５】
隔壁１０によって分割される小区域は、本実施形態では画素単位としたが、画素単位で
はなく９画素単位などより大きな単位であってもよい。
【００４６】
（第１の実施形態（第１の変形例））
次に、第１の実施形態に係る第１の変形例について説明する。本変形例では、第１の実
施形態と同様の部分については説明を省略する。
【００４７】
図６の断面図に示すように、本変形例の電気泳動表示装置は、透明電極からなる対向電
極４１の形状を隔壁１０の形状に合わせた格子状とはせずに一面に一様に形成し、絶縁性
液体８を透明とはせずに白色不透明として第１基板３側を観測面とする点が、第１の実施
形態とは異なる。
【００４８】
また、第１の実施形態と同様に駆動を行い、図面の下側を観測面とすると、左側の画素
は白表示となり、右側の画素は黒表示となる点は第１の実施形態と同様であるが、左側の
画素では白色不透明の絶縁性液体が視認されることにより白表示となる点が異なる。
【００４９】
本変形例においても、隔壁１０は第１の実施形態と同様な構造とする。つまり、第１基
板３上の第１構造体１と、第２基板４上の第２構造体２からなり、分散液１１注入後は第
１構造体１と第２構造体２とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、格子の４つの
角を含むほぼ全体を形成する第１構造体１の対向する二辺夫々の中央に孔３１があり、孔
３１より大きい第２構造体２で、この孔３１を塞いでいる。そして、分散液１１を注入す
る際にはこの孔３１を塞がずに流路として用い、分散液１１注入後にこの孔３１を塞ぐ。
このような構成とすることにより、第１の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことか
ら優れた表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を
得ることが出来る。
【００５０】
（第１の実施形態（第２の変形例））
次に、第１の実施形態に係る第２の変形例について説明する。本変形例では、第１の実
施形態と同様の部分については説明を省略する。
【００５１】
図７の断面図に示すように、本変形例の電気泳動表示装置は、第１基板上に画素電極を
第２基板上に対向電極を形成した構成とはせずに、第１基板１上に画素電極として用いる
第１電極４２と第１電極４２よりも面積の小さい第２電極４３とを形成した構成とする点
が第１の実施形態とは異なる。第２電極４３は、画素の端部を横切って１行もしくは１列
の画素で共通とされたストライプ状とすれば良い。また、第１電極４２は第２電極４３以
外の部分で画素全体に広がった形状とし、ＴＦＴ２３に接続される。第２電極４３をＴＦ
Ｔに接続し、第１電極４２を共通電極としても良い。また、第２電極４３は、隣接する画
素で共通とされた格子状としても良い。
【００５２】
本変形例においても、隔壁１０は第１の実施形態と同様な構造とする。つまり、第１基
板３上の第１構造体１と、第２基板４上の第２構造体２からなり、分散液１１注入後は第
１構造体１と第２構造体２とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、格子の４つの
角を含むほぼ全体を形成する第１構造体１の対向する二辺夫々の中央に孔３１があり、孔
３１より大きい第２構造体２で、この孔３１を塞いでいる。そして、分散液１１を注入す
る際にはこの孔３１を塞がずに流路として用い、分散液１１注入後にこの孔３１を塞ぐ。
このような構成とすることにより、第１の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことか
ら優れた表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を
得ることが出来る。
【００５３】
また、上述した第１の変形例及び第２の変形例は、次に示す第２の実施形態以降の実施
形態に適用することも可能である。
【００５４】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態に係る電気泳動表示装置を図８を用いて説明する。本実
施形態については、第１の実施形態と異なる点についてのみ説明し、同様の部分について
は説明を省略する。
【００５５】
図８（ａ）は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図８（ｂ）は
本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図である。図８では、便宜的に４つの画素を抽
出して平面図としており、この図の中央の一点鎖線は画素の境界部を示す。すなわち、１
つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。
【００５６】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、隔壁が第１基板上の第１構造体１と
第２基板上の第２構造体２とからなり、分散液注入後（図８（ｂ））は第１構造体１と第
２構造体２とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、格子の４つの角を含むほぼ全
体を形成する第１構造体１の対向する二辺夫々の中央に孔５１があり、孔５１より大きい
第２構造体２で、この孔５１を塞いでいる。そして、分散液を注入する際（図８（ａ））
にはこの孔５１を塞がずに流路として用い、分散液注入後にこの孔５１を塞ぐ。
【００５７】
しかしながら本実施形態では、孔５１の大きさを、第１の実施形態のように２段階にせ
ず、第２構造体２よりは小さい形状としている点が第１の実施形態と異なる。
【００５８】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことから優れた
表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を得ること
が出来る。また、本実施形態では、第２構造体２が出っ張っており、出っ張りのある格子
となっている。そのため、第２構造体２が出っ張っていない第１の実施形態は、画素電極
の面積を大きくすることができ、より好ましい。なお、Ｗ４を１５μｍ以上とすることに
より、注入時に気泡の混入し難いことから表示特性が向上可能である。
【００５９】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態に係る電気泳動表示装置を図９を用いて説明する。本実
施形態については、第１の実施形態と異なる点についてのみ説明し、同様の部分について
は説明を省略する。
【００６０】
図９（ａ）は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図９（ｂ）は
本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図である。図９では、便宜的に４つの画素を抽
出して平面図としており、この図の中央の一点鎖線は画素の境界部を示す。すなわち、１
つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。
【００６１】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、隔壁が第１基板上の第１構造体１と
第２基板上の第２構造体２とからなり、分散液注入後（図９（ｂ））は第１構造体１と第
２構造体２とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、格子の４つの角を含むほぼ全
体を形成する第１構造体１の対向する二辺夫々に第１の孔５２、第２の孔５３があり、孔
５２、５３より大きい第２構造体２で、この孔５２、５３を塞いでいる。そして、分散液
を注入する際（図９（ａ））にはこの孔５２、５３を塞がずに流路として用い、分散液注
入後にこの孔５２、５３を塞ぐ。
【００６２】
本実施形態では、孔５２、５３の位置を、第１構造体１の対向する二辺夫々の中央とす
るのではなく、中央以外に互い違いにしている点が第１、第２の実施形態とは異なる。こ
のとき、第１の孔５２と第２の孔５３とは、対向する二辺の中央から夫々等距離となるよ
う設けることが好ましい。等距離とすることにより、注入時の分散液の流れが偏ることな
く、気泡の発生を防止することができるという効果を得ることが出来る。また、第１の孔
５２と第２の孔５３とは、第２構造体２で塞ぐことが出来るよう、第２構造体２よりも小
さいことが必要であるが、これらは、同じ大きさであることが好ましい。同じ大きさとす
ることにより、注入時の分散液の流れが偏ることなく、気泡の発生を防止することができ
るという効果を得ることが出来る。
【００６３】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことから優れた
表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を得ること
が出来る。
【００６４】
（第４の実施形態）
次に、本発明の第４の実施形態に係る電気泳動表示装置を図１０を用いて説明する。本
実施形態については、第１の実施形態と異なる点についてのみ説明し、同様の部分につい
ては説明を省略する。
【００６５】
図１０（ａ）は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図１０（ｂ
）は本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図である。図１０では、便宜的に４つの画
素を抽出して平面図としており、この図の中央の一点鎖線は画素の境界部を示す。すなわ
ち、１つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。
【００６６】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、隔壁が第１基板上の第１構造体１と
第２基板上の第２構造体６１とからなり、分散液注入後（図１０（ｂ））は第１構造体１
と第２構造体６１とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、格子の４つの角を含む
ほぼ全体を形成する第１構造体１の対向する二辺夫々に孔５１があり、第２構造体６１で
、この孔５１を塞いでいる。そして、分散液を注入する際（図１０（ａ））にはこの孔５
１を塞がずに流路として用い、分散液注入後にこの孔５１を塞ぐ。
【００６７】
また本実施形態では、孔５１の大きさを、第１の実施形態のように２段階にしない点が
第２の実施形態と同様である。しかしながら、第２構造体６１の大きさを孔５１と全く同
じとして、分散液の注入後はこの孔５１を塞いで完全な格子状としている点が、第１、第
２の実施形態とは異なる。つまり、上述の実施形態では、分散液の注入後、第２構造体が
孔の一方から孔とその周辺を覆うのに対し、本実施形態では、第２構造体６１が孔５１に
嵌め込まれている。
【００６８】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことから優れた
表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を得ること
が出来る。また、隔壁により規定される画素が完全な四角になるため、ＯＮ−ＯＦＦ時の
帯電粒子の移動がスムーズとなり、第１の実施形態より応答時間が短くなるという効果を
得ることも出来る。ただし、本実施形態では、分散液の注入後、第１構造体１の孔５１を
第２構造体６１で塞ぐ際、両基板がずれていると孔５１を塞ぐことが出来ない。したがっ
て、上述した第１、第２及び第３の実施形態の方が合せマージンを取る事ができるため、
製造が容易であるといえる。
【００６９】
（第５の実施形態）
次に、本発明の第５の実施形態に係る電気泳動表示装置を図１１を用いて説明する。本
実施形態については、第１の実施形態と異なる点についてのみ説明し、同様の部分につい
ては説明を省略する。
【００７０】
図１１（ａ）は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図１１（ｂ
）は本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図である。図１１では、便宜的に４つの画
素を抽出して平面図としており、この図の中央の一点鎖線は画素の境界部を示す。すなわ
ち、１つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。
【００７１】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、隔壁が第１基板上の第１構造体６２
と第２基板上の第２構造体６３とからなり、分散液注入後（図１１（ｂ））は第１構造体
６２と第２構造体６３とで各画素を格子状に囲んでいる。この格子は、第１構造体６２の
対向する二辺夫々に孔５４、５５があり、第２構造体６３で、この孔５４、５５を塞いで
いる。そして、分散液を注入する際（図１１（ａ））にはこの孔５４、５５を塞がずに流
路として用い、分散液注入後にこの孔５４、５５を塞ぐ。
【００７２】
また本実施形態では、孔５４、５５の大きさを、第１の実施形態のように２段階にしな
い点が第２の実施形態と同様である。しかしながら、第１構造体６２は格子の４つの角を
囲む形状としない点が第１、第２の実施形態とは異なる。つまり、第１構造体６２は、格
子の対向する二辺と、もう一対の対向する二辺の中心部分を担い、第２構造体６３が、も
う一対の対向する二辺の両端部を担うのである。従って、第１構造体６２だけでは、対向
する二辺夫々の両端部に、第３の孔５４、第４の孔５５の２つの孔が形成され、この孔５
４、５５より大きい２つの部材からなる第２構造体６３でこれらの孔５４、５５を塞いで
いるのである。
【００７３】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことから優れた
表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を得ること
が出来る。ただし、本実施形態では、第１構造体６２の形成された第１基板と、第２構造
体６３の形成された第２基板とを貼り合わせる際、両基板がずれていると第１構造体６２
と第２構造体６３を組合せた孔５４、５５が形成できない。したがって、上述した第１、
第２及び第３の実施形態の方が合せマージンを取る事ができるため、製造が容易であると
いえる。
【００７４】
（第６の実施形態）
次に、本発明の第５の実施形態に係る電気泳動表示装置を図１２、図１３及び図１４を
用いて説明する。本実施形態については、第１の実施形態と異なる点についてのみ説明し
、同様の部分については説明を省略する。
【００７５】
図１２（ａ）は本実施形態の製造過程での電気泳動表示装置を示す平面図、図１２（ｂ
）は本実施形態の電気泳動表示装置を示す平面図、図１３（ａ）、（ｂ）は夫々図１２（
ａ）ｃ−ｃ´間の断面図、図１２（ｂ）ｄ−ｄ´間の断面図である。また、図１４は、図
１２（ｂ）を左側から見た断面図である。
【００７６】
図１２では、便宜的に４つの画素を抽出して平面図としており、この図の中央の一点鎖
線は画素の境界部を示す。すなわち、１つの画素は図の端の点線から、この一点鎖線まで
となる。図１３、図１４では、図中の中央の一点鎖線が画素の境界部を示し、１つの画素
は図の端の点線から、この一点鎖線までとなる。
【００７７】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、隔壁が第１基板上の第１構造体７１
と第２基板上の第２構造体７２、７３、７４とからなり、分散液注入後（図１２（ｂ））
は第１構造体７１と第２構造体７２、７３、７４とで各画素を格子状に囲んでいる。この
格子は、格子の４つの角を含むほぼ全体を形成する第１構造体７１の対向する二辺夫々に
孔３１があり、孔３１より大きい第２構造体７２、７３、７４で、この孔３１を塞いでい
る。そして、分散液を注入する際（図１２（ａ））にはこの孔３１を塞がずに流路として
用い、分散液注入後にこの孔３１を塞ぐ。
【００７８】
また本実施形態では、孔３１の大きさを、第１の実施形態のように２段階にせず、第２
構造体７２、７３、７４よりは小さい形状としている点が第２の実施形態と同様である。
しかしながら、第２基板４に形成された第２構造体７２、７３、７４が夫々、赤のカラー
フィルタ層７２、緑のカラーフィルタ層７３、青のカラーフィルタ層７４を所定箇所に積
層して形成したものであり第１基板３に達しない構成である点、従って、第１基板３に形
成された第１構造体７１の孔３１が第１基板３にまで達する深い孔でない点が第１、第２
の実施形態とは異なる。
【００７９】
次に、本実施形態の電気泳動表示装置の製造方法を、第１の実施形態とは異なる点のみ
説明する。つまり、第１構造体７１の形成方法および第２構造体とカラーフィルタとを兼
ねる赤のカラーフィルタ層７２、緑のカラーフィルタ層７３、青のカラーフィルタ層７４
の形成方法を説明する。
【００８０】
第１構造体７１は、第１基板３の主面上に２回のフォトリソグラフィー工程を行うこと
によって形成する。１回目は、第１構造体７１の一部、つまり孔３１の底辺を形成する高
さまでを一様に形成し、２回目で、孔３１の部分以外に、孔３１の側辺が出来るよう形成
し、第１構造体７１が完成する。第２構造体１０は、赤のカラーフィルタ層７２、緑のカ
ラーフィルタ層７３、青のカラーフィルタ層７４をフォトリソグラフィー工程によって形
成する際、各々のカラーフィルタ層を所定の領域に積層させて形成した。
【００８１】
本実施形態においても、第１の実施形態と同様に、表示ムラが生じ難いことから優れた
表示特性が得られ、焼き付き不良が生じ難いことから信頼性が高いという効果を得ること
が出来る。また、本実施形態ではカラーフィルタの形成工程と第２構造体の形成工程を兼
ねることから第２構造体形成のためのリソグラフィ工程を省略できるという効果を得るこ
とも出来る。さらに、本実施形態の第１構造体と第２構造体とは、基板面に垂直な方向で
もオーバーラップしていることから、分散液の膨張や収縮により両基板間の距離が変化し
ても、隔壁として機能することが出来る。
【実施例】
【００８２】
以下、各実施形態に関する実施例を説明する。
【００８３】
（実施例１）
図１、図２、図３、図４および図５に示すような第１の実施形態に関する実施例１の電
気泳動表示装置について説明する。なお、１画素毎の周りを隔壁で囲むものとし、１画素
のサイズは縦１２５μｍ、横１２５μｍとし、Ｌ１＝１０μｍ、Ｌ２＝１００μｍ、ｄ１
＝４５μｍ、ｄ２＝４５μｍ、Ｗ１＝３０μｍ、Ｗ２＝２０μｍ、Ｗ３＝２５μｍとした
。
【００８４】
まず、厚さ約０．７ｍｍの無アルカリガラス基板からなる第１基板３上にＴＦＴ素子２
３、信号線２１、ゲート線２２、補助容量線（図示せず）を常法により形成した。次に、
ＩＴＯからなる第１電極５を形成した。なお、第１電極５とＴＦＴ素子２３のドレイン電
極、信号線２１とＴＦＴ素子２３のソース電極、ゲート線２２とＴＦＴ素子２３のゲート
電極は夫々電気的に接続されている。次に、厚さ約０．７ｍｍの無アルカリガラス基板か
らなる第２基板４上にＩＴＯからなる第２電極６を形成した。その後、この第１電極５お
よび第２電極６上にポリイミド溶液をスピンコートし、ホットプレート上で加熱すること
で厚さ５０ｎｍの表面コート層９を形成した。
【００８５】
この第１基板３および第２基板４上に、化学増幅型感光性エポキシ樹脂（ネガ型）をス
ピンナーを用いて３０μｍの厚さに塗布した。９５℃のホットプレートでプリベークした
後、フォトマスクを介して露光した。これを９５℃のホットプレートでベークした後、有
機溶媒中に浸漬することで現像し、高さ３０μｍの第１構造体１及び第２構造体２を夫々
形成した。その後、１８０℃のホットプレート上でポストベークし、十分に化学増幅型感
光性エポキシ樹脂を硬化させた。この工程によって、化学増幅型感光性エポキシ樹脂の硬
化物からなる隔壁１０（第１構造体１および第２構造体２）を形成した。なお、図１（ａ
）に示すように、第１構造体１は、画素を囲む格子の４つの角を含む、ほぼ全体を形成し
て格子の対向する二辺夫々の中央に孔３１が開いた形状であり、孔３１は対向する二辺の
一方の側で大きな開口を有する第１開口部３２と、他方の側で第１開口部３２より小さい
開口を有する第２開口部３３の２段階となっている。また、第２構造体２は、上述した対
向する二辺に対応する領域に、第１開口部３２より小さく第２開口部３３よりも大きい幅
を有する柱状の形状とする。
【００８６】
次に、第２基板４の周辺部に注入口および排気口を除いて、直径３０μｍの円筒形のガ
ラスロッドを混ぜた室温硬化型２液性エポキシ接着剤をディスペンサーを用いて塗布した
。その後、第１基板３の主面上と第２基板４の主面上が対向するように、第１基板３の上
に第２基板４をのせ、前記接着剤を介して貼り合わせた。このとき、図１（ａ）に示すよ
うに、第１構造体１と第２構造体２の間には空間があり、注入の際の流路が確保されてい
る。
【００８７】
この接着剤が硬化する前に、注入口に分散液１１を滴下した。毛細管現象により基板間
に分散液１１が注入され、すべての画素に分散液１１を満たすことができた。その後、第
１基板３を固定したまま第２基板４を軽く押しながらずらし、図１（ｂ）に示すように、
第１構造体１の孔３１を第２構造体２で塞ぐように第１構造体１と第２構造体２を接触さ
せた。この状態で第１基板３と第２基板４を約３０分間固定し、室温硬化型２液性エポキ
シ接着剤を硬化させた。次に、注入口と排気口を接着剤で封じ、分散液１１を基板間に密
閉した。
【００８８】
分散液１１には、絶縁性液体８としてシリコーンオイルを、帯電粒子７として表面にポ
リスチレンをコートしたカーボン粒子を使用した。この場合、絶縁性液体８は透明であり
、帯電粒子７は黒色であった。第２基板４の第２電極６を形成した面とは反対の面には、
光沢紙（不図示）を貼り付け、白色を呈する反射板とした。最後に電圧印加回路（不図示
）を接続し、電気泳動表示装置を完成させた。なお、第１構造体１と第２構造体２の高さ
をともに３０μｍとしたので、完成した電気泳動表示装置の基板間の距離も３０μｍとな
った。なお、第１構造体１と第２構造体２の高さを同じにすることで、基板間のＧａｐを
高精度に制御することができた。
【００８９】
この電気泳動表示装置を駆動したところ、コントラスト８：１で、白表示時に反射率５
０％という優れた表示特性が得られた。また、焼き付き等の表示不良はなく、長時間駆動
してもコントラストの低下は見られなかった。また、本実施例では、約５分間で分散液１
１の注入を完了することができ、本実施例の注入方法が簡便で量産性に優れていることが
裏付けられた。
【００９０】
（実施例２）
図６に示すような、第１の実施形態の第１の変形例に関する実施例２について説明する
。本実施例では、実施例１と同様な部分については説明を省略する。
【００９１】
本実施例では、第２電極４１を第２基板４上の一面に形成し、白色の帯電粒子７と、黒
色を呈する絶縁性液体８を用いた以外は、実施例１と同様にして電気泳動表示装置を作製
した。第２電極４１としてはＩＴＯを用い、帯電粒子７としては白色の酸化チタン粒子（
平均粒径は０．３μｍ）を、絶縁性液体８としてはジメチルシリコンに黒色の色素（スー
ダンブラック）を溶かしたものを用いた。その結果、実施例１と同様の効果を得ることが
できた。
【００９２】
（実施例３）
図７に示すような、第１の実施形態の第２の変形例に関する実施例３について説明する
。本実施例では、実施例１と同様な部分については説明を省略する。
【００９３】
本実施例では、第１電極４２と第２電極４３の双方を第１基板３上に形成した以外は実
施例１と同様にして電気泳動表示装置を作製した。第１電極４２、第２電極４３はＩＴＯ
で作製し、第１電極４２と第２電極４３の比は１０：１とした。その結果、実施例１と同
様の効果を得ることができた。
【００９４】
（実施例４）
図８に示すような、第２の実施形態に関する実施例４について説明する。本実施例では
、実施例１と同様な部分については説明を省略する。
【００９５】
本実施例では、孔５１の大きさを、実施例１のように２段階にせず、第２構造体２より
は小さい形状とした以外は実施例１と同様にして電気泳動表示装置を作製した。１画素の
サイズは縦１２５μｍ、横１２５μｍとし、Ｌ１＝１５μｍ、Ｌ２＝１００μｍ、ｄ１＝
４５μｍ、ｄ２＝４５μｍ、Ｗ４＝２０μｍ、Ｗ３＝２５μｍとした。その結果、実施例
１と同様の効果を得ることができた。
【００９６】
（実施例５）
図９に示すような、第３の実施形態に関する実施例５について説明する。本実施例では
、実施例４と同様な部分については説明を省略する。
【００９７】
本実施例では、孔５２、５３の位置を、第１構造体１の対向する二辺夫々の中央とする
のではなく、中央以外に互い違いにした以外は実施例４と同様にして電気泳動表示装置を
作製した。１画素のサイズは縦１２５μｍ、横１２５μｍとし、Ｌ１＝１５μｍ、Ｌ２＝
１００μｍ、ｄ１＝８０μｍ、ｄ２＝１０μｍ、Ｗ４＝２０μｍ、Ｗ３＝２５μｍとした
。その結果、実施例４と同様の効果を得ることができた。
【００９８】
（実施例６）
図１０に示すような、第４の実施形態に関する実施例６について説明する。本実施例で
は、実施例４と同様な部分については説明を省略する。
【００９９】
本実施例では、第２構造体６１の大きさを孔５１と全く同じとして、分散液の注入後は
この孔５１を塞いで完全な格子状とした以外は実施例４と同様にして電気泳動表示装置を
作製した。１画素のサイズは縦１２５μｍ、横１２５μｍとし、Ｌ１＝１５μｍ、Ｌ２＝
７０μｍ、ｄ１＝４２．５μｍ、ｄ２＝４２．５μｍ、Ｗ４＝Ｗ３＝２０μｍとした。そ
の結果、実施例４と同様の効果を得ることができた。ただし、この実施例では、孔５１の
幅と第２構造体６１の幅が等しくなるように、精度よく第１構造体１および第２構造体６
１を作製する必要がある。
【０１００】
（実施例７）
図１１に示すような、第５の実施形態に関する実施例７について説明する。本実施例で
は、実施例４と同様な部分については説明を省略する。
【０１０１】
本実施例では、第１構造体６２は、格子の対向する二辺と、もう一対の対向する二辺の
中心部分を担い、第２構造体６３が、もう一対の対向する二辺の両端部を担うよう形成し
た以外は実施例４と同様にして電気泳動表示装置を作製した。１画素のサイズは縦１２５
μｍ、横１２５μｍとし、ｄ３＝４５μｍ、Ｌ３＝３０μｍ、Ｌ４＝８０μｍ、Ｗ５＝Ｗ
６＝４０μｍとした。その結果、実施例４と同様の効果を得ることができた。ただし、こ
の実施例では、図１１の上下方向にずれがある、若しくは第１構造体６２と第２構造体６
３とが精度良く作製されないと、第１構造体６２と第２構造体６３とを貼り合わせること
が出来ないため、精度が要求される。
【０１０２】
（実施例８）
図１２、図１３及び図１４に示すような、第６の実施形態に関する実施例８について説
明する。本実施例では、実施例４と同様な部分については説明を省略する。
【０１０３】
本実施例では、第２基板４に形成された第２構造体７２、７３、７４が夫々、赤のカラ
ーフィルタ層７２、緑のカラーフィルタ層７３、青のカラーフィルタ層７４を所定箇所に
積層して形成したものであり第１基板３に達しない構成である点、従って、第１基板３に
形成された第１構造体７１の孔３１が第１基板３にまで達する深い孔でない点以外は実施
例４と同様にして電気泳動表示装置を作製した。１画素のサイズは縦１２５μｍ、横１２
５μｍとし、Ｌ１＝２０μｍ、Ｌ２＝９０μｍ、ｄ１＝４５μｍ、ｄ２＝４５μｍ、Ｗ４
＝２０μｍ、Ｗ３＝２５μｍとした。また、第１構造体７１の第１基板３（表面コート層
９）表面からの高さをＴ１、第２構造体７２、７３、７４の第２基板４（表面コート層９
）表面からの高さをＴ２として、Ｔ１＝２７μｍ、Ｔ２＝４．５μｍとした。
【０１０４】
本実施例の電気泳動表示装置の製造方法を、実施例４とは異なる点のみ説明する。つま
り、第１構造体７１の形成方法および第２構造体とカラーフィルタとを兼ねる赤のカラー
フィルタ層７２、緑のカラーフィルタ層７３、青のカラーフィルタ層７４の形成方法を説
明する。
【０１０５】
第１電極５を形成した第１基板３の上に、化学増幅型感光性エポキシ樹脂（ネガ型）を
スピンナーを用いて２７μｍの厚さに塗布した。９５℃のホットプレートでプリベークし
た後、フォトマスクを介して露光した。これを９５℃のホットプレートでベークした後、
有機溶媒中に浸漬することで現像し、高さ２７μｍの第１構造体１の開口部より下の部分
（Ｔ１の高さまで）を形成した。この上に、化学増幅型感光性エポキシ樹脂（ネガ型）を
スピンナーを用いて３μｍの厚さに塗布した。９５℃のホットプレートでプリベークした
後、フォトマスクを介して露光した。これを９５℃のホットプレートでベークした後、有
機溶媒中に浸漬することで現像し、先程形成した高さ２７μｍの構造体上に、開口部を除
いて高さ３μｍの構造体を積層した。その後、１８０℃のホットプレート上でポストベー
クし、十分に化学増幅型感光性エポキシ樹脂を硬化させた。これにより、開口部を有する
第1構造体７１を形成した。
【０１０６】
第２基板４の上に赤色の顔料を含む感光性アクリル樹脂をスピンナーを用いて２μｍの
厚さに塗布した。８０℃のホットプレートでプリベークした後、フォトマスクを介して露
光した。これを有機アルカリ水溶液中に浸漬することで現像し、厚さ２μｍの赤のカラー
フィルタ層７２と、第２構造体の一部を形成した。この上に、緑色の顔料を含む感光性ア
クリル樹脂をスピンナーを用いて２μｍの厚さに塗布した。８０℃のホットプレートでプ
リベークした後、フォトマスクを介して露光した。これを有機アルカリ水溶液中に浸漬す
ることで現像し、厚さ２μｍの緑のカラーフィルタ層７３と、第２構造体の一部を形成し
た。この第２構造体の一部は、赤のカラーフィルタ材料で形成した第２構造体の一部の上
に形成されている。この上に青色の顔料を含む感光性アクリル樹脂をスピンナーを用いて
２μｍの厚さに塗布した。８０℃のホットプレートでプリベークした後、フォトマスクを
介して露光した。これを有機アルカリ水溶液中に浸漬することで現像し、厚さ２μｍの青
のカラーフィルタ層７３と、第２構造体の一部を形成した。この第２構造体の一部は、赤
及び緑のカラーフィルタ材料で形成した第２構造体の一部の上に形成されており、これら
３色のカラーフィルタ材料で第２構造体が構成されている。なお、赤、緑、青のカラーフ
ィルタ層を重ねることによって、第２構造体の高さは４．５μｍとなった。
【０１０７】
この電気泳動表示装置を駆動したところ、コントラスト８：１で、白表示時に反射率５
０％という優れた表示特性が得られた。また、焼き付き等の表示不良はなく、長時間駆動
してもコントラストの低下は起こらなかった。また、本実施例では、約１０分間で分散液
の注入を完了することができ、本実施例の注入方法が簡便で量産性に優れていることが裏
付けられた。
【０１０８】
また、本実施例ではカラーフィルタ部材を積層させることで第２構造体を作製したため
、第２構造体形成のためのフォトリソグラフィー工程を省略できた。また、本実施例の第
１構造体および第２構造体は基板面と垂直方向でオーバーラップしているため、分散液の
膨張や収縮により基板間の距離が変化しても、隔壁として機能することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、（ａ）は分散液を注入する前、（ｂ）は分散液を注入した後を示す。
【図２】本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置の断面図であり、（ａ）は図１（ａ）のａ−ａ´間の断面図、（ｂ）は図１（ｂ）のｂ−ｂ´間の断面図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）とも、本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置の製造工程を示す断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る電気泳動表示装置を示す平面図であり、（ａ）が第１基板側からみた図、（ｂ）が第２基板側から見た図である。
【図５】分散液を注入する際の第１構造体と第２構造体との間の距離を説明する平面図である。
【図６】本発明の第１の実施形態の第１の変形例に係る電気泳動表示装置を示す断面図である。
【図７】本発明の第１の実施形態の第２の変形例に係る電気泳動表示装置を示す断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、（ａ）は分散液を注入する前、（ｂ）は分散液を注入した後を示す。
【図９】本発明の第３の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、（ａ）は分散液を注入する前、（ｂ）は分散液を注入した後を示す。
【図１０】本発明の第４の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、（ａ）は分散液を注入する前、（ｂ）は分散液を注入した後を示す。
【図１１】本発明の第５の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、（ａ）は分散液を注入する前、（ｂ）は分散液を注入した後を示す。
【図１２】本発明の第６の実施形態に係る電気泳動表示装置の平面図であり、（ａ）は分散液を注入する前、（ｂ）は分散液を注入した後を示す。
【図１３】本発明の第６の実施形態に係る電気泳動表示装置の断面図であり、（ａ）は図１２（ａ）のｃ−ｃ´間の断面図、（ｄ）は図１２（ｂ）のｄ−ｄ´間の断面図である。
【図１４】本発明の第６の実施形態に係る電気泳動表示装置の断面図であり、図１２（ｂ）の左側から見た断面図である。
【符号の説明】
【０１１０】
１，６２，７１…第１構造体
２，６１，６３…第２構造体
３…第１基板
４…第２基板
５，４２…第１電極
６，４１，４３…第２電極
７…帯電粒子
８…絶縁性液体
９…表面コート層
１０…隔壁
１１…分散液
２１…信号線
２２…ゲート線
２３…ＴＦＴ素子
３１，５１…孔
３２…第１開口部
３３…第２開口部
５２…第１の孔
５３…第２の孔
５４…第３の孔
５５…第４の孔
７２…赤のカラーフィルタ層
７３…緑のカラーフィルタ層
７４…青のカラーフィルタ層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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