(57)【要約】【課題】ワークに付着している洗浄液が濯ぎ槽に混入してしまうことを極力防止できるワーク洗浄装置及びワーク洗浄方法を得る。【解決手段】ワークを洗浄する洗浄液が貯溜された洗浄槽１２と、洗浄槽１２で洗浄されたワークが投入されワークを濯ぐ洗浄水が貯溜された濯ぎ槽１４、１６、２８と、濯ぎ槽１４、１６、２８に水を供給する水供給手段と、を有するワーク洗浄装置であって、濯ぎ槽に供給する水の水量とワークの投入量とに基づいて所定の水量を算出する演算手段と、演算手段により算出された水量の水をワークに対して放出しワークに付着した洗浄液を除去する水放出手段５４と、を設けた構成とした。【選択図】      図１
2005238153.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを洗浄する洗浄液が貯溜された洗浄槽と、前記洗浄槽で洗浄された前記ワークが投入され前記ワークを濯ぐ洗浄水が貯溜された濯ぎ槽と、前記濯ぎ槽に水を供給する水供給手段と、を有するワーク洗浄装置であって、
前記濯ぎ槽に供給する水の水量と前記ワークの投入量とに基づいて所定の水量を算出する演算手段と、前記演算手段により算出された水量の水を前記ワークに対して放出し前記ワークに付着した洗浄液を除去する水放出手段と、を設けたことを特徴とするワーク洗浄装置。
【請求項２】
前記水放出手段により洗浄液が除去された前記ワークに空気を吹き付ける空気供給手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載のワーク洗浄装置。
【請求項３】
前記水放出手段から放出された水と前記空気供給手段により吹き付けられた空気により前記ワークから取り除かれた水の少なくとも一方の水を含む廃液が貯溜される液切槽を設け、
前記水供給手段は前記液切槽に貯溜された廃液を廃液処理する廃液処理手段であり、前記廃液処理手段で廃液処理されて分離した再生水が前記濯ぎ槽に供給されることを特徴とする請求項１又は２に記載のワーク洗浄装置。
【請求項４】
前記水放出手段は、前記濯ぎ槽に貯溜された洗浄水を放出することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のワーク洗浄装置。
【請求項５】
前記濯ぎ槽は、複数設けられ、
前記水放出手段から放出される水を貯溜する前記濯ぎ槽には、他の濯ぎ槽の洗浄水が供給されることを特徴とする請求項４に記載のワーク洗浄装置。
【請求項６】
洗浄液が貯溜された洗浄槽にワークを投入し洗浄する洗浄工程と、洗浄水が貯溜された濯ぎ槽に前記洗浄工程で洗浄された前記ワークを投入し前記ワークを濯ぐ濯ぎ工程と、水供給手段により前記濯ぎ槽に水を供給する水供給工程と、を有するワーク洗浄方法であって、
前記濯ぎ槽に供給する水の水量と前記ワークの投入量とに基づいて所定の水量を演算手段により算出する演算工程と、前記演算工程により算出された水量の水を前記洗浄工程で洗浄された後でありかつ前記濯ぎ工程で濯がれる前の前記ワークに対して放出し前記ワークに付着した洗浄液を除去する水放出工程と、を有することを特徴とするワーク洗浄方法。
【請求項７】
前記水放出工程において洗浄液が除去された前記ワークに空気供給手段により空気を吹き付ける空気供給工程を設けたことを特徴とする請求項６に記載のワーク洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に構成部品を実装して回路形成したモジュール部品などのワークを洗浄するワーク洗浄装置及びワーク洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図２に示すように、従来のワーク洗浄装置２００では、洗浄槽２０２で洗浄したワークが洗浄後に第１濯ぎ槽２０４、第２濯ぎ槽２０６、第３濯ぎ槽２０８と順番に持ち込まれ、各濯ぎ槽２０４、２０６、２０８においてワークの濯ぎが行われる（下記特許文献１参照）。このワーク洗浄装置２００では、各濯ぎ槽２０４、２０６、２０８における水質悪化を防止するために、第３濯ぎ槽２０８から溢れた洗浄水を第２濯ぎ槽２０６に落とし、さらに第２濯ぎ槽２０６から溢れた洗浄水を第１濯ぎ槽２０４に落とし、第１濯ぎ槽２０４から溢れた洗浄水を廃液処理装置２１０に落として廃液処理され、この廃液処理で分離された水を再生水として第３濯ぎ槽２０８に供給していた。
【０００３】
また、図３に示すように、別のワーク洗浄装置３００として、洗浄槽３０２の上方にシャワー器３０４を取り付けたものがある。このワーク洗浄装置３００では、洗浄槽３０２で洗浄されたワークがシャワー器３０４から放出される水で洗浄されることにより、ワークに付着した洗浄液を除去することができる（下記特許文献２参照）。シャワー器３０４により洗浄液が除去されたワークは各濯ぎ槽３０６、３０８、３１０に順番に持ち込まれ、各濯ぎ槽３０６、３０８、３１０においてワークの濯ぎが行われる。なお、この洗浄槽３０２の内部の洗浄廃液は、逆浸透圧型フィルタ３１２によって廃液処理される。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−３２５７６７号公報
【特許文献２】特開平８−１３１９７９号公報
【特許文献３】特開平５−１５８５８号公報
【特許文献４】特開２００３−１４５０６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記特許文献１に記載されたワーク洗浄装置では、洗浄槽で洗浄されたワークが洗浄後に濯ぎ槽に持ち込まれると、ワークに付着した洗浄液が第１濯ぎ槽に混入し濯ぎ槽の洗浄水が汚れてしまう。このため、各濯ぎ槽間で再生水を循環させているが、洗浄するワークの処理量がある程度増えると、再生水を循環させたとしても、第１濯ぎ槽の洗浄水の水質が悪化し、各濯ぎ槽の洗浄水を頻繁に定期交換しなければならならい。この結果、ワークの洗浄効率が著しく低下し、廃液処理量も増大する。また、各濯ぎ槽の洗浄水を頻繁に定期交換すると、水道水の使用量が増加する。これらは、近年ＩＳＯ１４００１において、使用する水道水の削減と廃液排出の削減への取り組みの強化が求められており、かかる観点から問題となる。
【０００６】
また、上記特許文献２に記載されたワーク洗浄装置では、ワークに付着した洗浄液がシャワー器からの水とともに洗浄槽に落下するため、洗浄槽内部の大量の洗浄廃液を廃液処理しなければならず、逆浸透圧型フィルタの劣化が早くなる問題がある。また、シャワー器から放出された水によりワークに付着した洗浄液を除去しても、その後にワークを液切りしなければ、僅かながらも各濯ぎ槽に洗浄液が混入してしまうおそれがある。さらに、ワーク毎に追加する水道水が必要となり、水道水の使用量が多いことも問題になる。
【０００７】
そこで、本発明は、上記事情を考慮し、ワークに付着している洗浄液が濯ぎ槽に混入してしまうことを極力防止できるワーク洗浄装置及びワーク洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の発明は、ワークを洗浄する洗浄液が貯溜された洗浄槽と、前記洗浄槽で洗浄された前記ワークが投入され前記ワークを濯ぐ洗浄水が貯溜された濯ぎ槽と、前記濯ぎ槽に水を供給する水供給手段と、を有するワーク洗浄装置であって、前記濯ぎ槽に供給する水の水量と前記ワークの投入量とに基づいて所定の水量を算出する演算手段と、前記演算手段により算出された水量の水を前記ワークに対して放出し前記ワークに付着した洗浄液を除去する水放出手段と、を設けたことを特徴とする。
【０００９】
請求項１に記載の発明によれば、洗浄槽にてワークが洗浄液により洗浄される。洗浄槽で洗浄されたワークは、水放出手段から放出された水によりワークに付着した洗浄液が除去される。洗浄液が除去されたワークは、濯ぎ槽に投入され、内部に貯溜された洗浄水により濯がれる。
ここで、水放出手段から放出される水の水量は、水供給手段から濯ぎ槽に供給される水の水量と濯ぎ槽に投入されるワークの投入量とに基づいて演算手段により算出されるため、ワークに付着した洗浄液を十分に除去することができることに加え、ワークを濯ぎ槽で濯いでも、濯ぎ槽の内部の洗浄水の水質の悪化を極力防止することができる。このため、濯ぎ槽内部の洗浄水を交換する必要がなく水道水の使用量を格段に低減することができるとともに、濯ぎ槽内部の洗浄水を廃液処理装置などにより廃液処理する必要がなく排出される廃液を削減することができる。この結果、地球環境保全に大いに貢献できる。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のワーク洗浄装置において、前記水放出手段により洗浄液が除去された前記ワークに空気を吹き付ける空気供給手段を設けたことを特徴とする。
【００１１】
請求項２に記載の発明によれば、水放出手段により洗浄液が除去されたワークに空気供給手段から空気が吹き付けられると、ワークに付着した洗浄液が水と共にワークから吹き飛ばされる。これにより、ワークに付着した洗浄液をほとんど除去することができ、ワークを濯ぎ槽で濯いでも、濯ぎ槽内部に貯溜された洗浄水の水質悪化を極力防止することができる。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のワーク洗浄装置において、前記水放出手段から放出された水と前記空気供給手段により吹き付けられた空気により前記ワークから取り除かれた水の少なくとも一方の水を含む廃液が貯溜される液切槽を設け、前記水供給手段は前記液切槽に貯溜された廃液を廃液処理する廃液処理手段であり、前記廃液処理手段で廃液処理されて分離した再生水が前記濯ぎ槽に供給されることを特徴とする。
【００１３】
請求項３に記載の発明によれば、液切槽には、水放出手段から放出された水と空気供給手段により吹き付けられた空気によりワークから取り除かれた水の少なくとも一方の水を含む廃液が貯溜される。この液切槽に貯溜された廃液は、廃液処理手段により廃液処理されて再生水が分離され、この分離された再生水が濯ぎ槽に供給される。このように、この液切槽に貯溜された廃液を有効利用することにより、水道水の使用量を格段に低減することができる。
また、従来のように濯ぎ槽内部の洗浄水を全て廃液処理手段で廃液処理する場合と比較して、廃液処理手段の廃液処理負担を軽減することができる。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のワーク洗浄装置において、前記水放出手段は、前記濯ぎ槽に貯溜された洗浄水を放出することを特徴とする。
【００１５】
請求項４に記載の発明によれば、濯ぎ槽に貯溜された洗浄水を水放出手段で放出することにより、濯ぎ槽に貯溜された洗浄水を有効に活用することができるため、水道水の使用量を格段に低減することができる。
なお、濯ぎ槽の貯溜された洗浄水を使用した場合でも、水放出手段から放水される水の水量が演算手段により所定の水量となるように算出されるため、濯ぎ槽の内部の洗浄水が不足することはなく、濯ぎ能力が低下することはない。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のワーク洗浄装置において、前記濯ぎ槽は、複数設けられ、前記水放出手段から放出される水を貯溜する前記濯ぎ槽には、他の濯ぎ槽の洗浄水が供給されることを特徴とする。
【００１７】
請求項５に記載の発明によれば、水放出手段から放出される洗浄水を貯溜する濯ぎ槽には他の濯ぎ槽の洗浄水が供給されるため、濯ぎ槽内部の洗浄水を循環させることができる。これにより、濯ぎ槽内部の洗浄水の汚染を効果的に防止できる。
【００１８】
請求項６に記載の発明は、洗浄液が貯溜された洗浄槽にワークを投入し洗浄する洗浄工程と、洗浄水が貯溜された濯ぎ槽に前記洗浄工程で洗浄された前記ワークを投入し前記ワークを濯ぐ濯ぎ工程と、水供給手段により前記濯ぎ槽に水を供給する水供給工程と、を有するワーク洗浄方法であって、前記濯ぎ槽に供給する水の水量と前記ワークの投入量とに基づいて所定の水量を演算手段により算出する演算工程と、前記演算工程により算出された水量の水を前記洗浄工程で洗浄された後でありかつ前記濯ぎ工程で濯がれる前の前記ワークに対して放出し前記ワークに付着した洗浄液を除去する水放出工程と、を有することを特徴とする。
【００１９】
請求項６に記載の発明によれば、洗浄工程において、洗浄槽にてワークが洗浄液により洗浄される。水放出工程において、洗浄工程で洗浄されたワークは水放出手段から放出された水によりワークに付着した洗浄液が除去される。濯ぎ工程において、洗浄液が除去されたワークは濯ぎ槽に投入され、内部に貯溜された洗浄水により濯がれる。
ここで、水放出工程において水放出手段から放出される水の水量は、演算工程において水供給工程にて水供給手段から濯ぎ槽に供給される水の水量と濯ぎ工程にて濯ぎ槽に投入されるワークの投入量とに基づいて演算手段により算出されるため、ワークに付着した洗浄液を十分に除去することができることに加え、ワークを濯ぎ槽で濯いでも、濯ぎ槽の内部の洗浄水の水質の悪化を極力防止することができる。このため、濯ぎ槽内部の洗浄水を交換する必要がなく水道水の使用量を格段に低減することができるとともに、濯ぎ槽内部の洗浄水を廃液処理装置などにより廃液処理する必要がなく排出される廃液を削減することができる。この結果、地球環境保全に大いに貢献できる。
【００２０】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のワーク洗浄方法において、前記水放出工程において洗浄液が除去された前記ワークに空気供給手段により空気を吹き付ける空気供給工程を設けたことを特徴とする。
【００２１】
請求項７に記載の発明によれば、水放出工程により洗浄液が除去されたワークに空気供給工程において空気供給手段から空気が吹き付けられると、ワークに付着した洗浄液が水と共にワークから吹き飛ばされる。これにより、ワークに付着した洗浄液をほとんど除去することができ、濯ぎ工程においてワークを濯ぎ槽で濯いでも、濯ぎ槽内部に貯溜された洗浄水の水質悪化を極力防止することができる。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１に記載の発明は、水放出手段から放出される水の水量が水供給手段から濯ぎ槽に供給される水の水量と濯ぎ槽に投入されるワークの投入量とに基づいて演算手段により算出されるため、ワークに付着した洗浄液を十分に除去することができることに加え、ワークを濯ぎ槽で濯いでも、濯ぎ槽の内部の洗浄水の水質の悪化を極力防止することができる。このため、濯ぎ槽内部の洗浄水を交換する必要がなく水道水の使用量を格段に低減することができるとともに、濯ぎ槽内部の洗浄水を廃液処理装置などにより廃液処理する必要がなく排出される廃液を削減することができる。この結果、地球環境保全に大いに貢献できる。
【００２３】
請求項２に記載の発明は、水放出手段により洗浄液が除去されたワークに空気供給手段から空気が吹き付けられると、ワークに付着した洗浄液が水と共にワークから吹き飛ばされるため、ワークに付着した洗浄液をほとんど除去することができ、ワークを濯ぎ槽で濯いでも、濯ぎ槽内部に貯溜された洗浄水の水質悪化を極力防止することができる。
【００２４】
請求項３に記載の発明は、液切槽には水放出手段から放出された水と空気供給手段により吹き付けられた空気によりワークから取り除かれた水の少なくとも一方の水を含む廃液が貯溜され、この液切槽に貯溜された廃液は廃液処理手段により廃液処理されて再生水が分離され、この分離された再生水が濯ぎ槽に供給される構成としたので、この液切槽に貯溜された廃液を有効利用することができ、水道水の使用量を格段に低減することができる。また、従来のように濯ぎ槽内部の洗浄水を全て廃液処理手段で廃液処理する場合と比較して、廃液処理手段の廃液処理負担を軽減することができる。
【００２５】
請求項４に記載の発明は、濯ぎ槽に貯溜された洗浄水を水放出手段で放出することにより、濯ぎ槽に貯溜された洗浄水を有効に活用することができるため、水道水の使用量を格段に低減することができる。
【００２６】
請求項５に記載の発明は、水放出手段から放出される洗浄水を貯溜する濯ぎ槽には他の濯ぎ槽の洗浄水が供給されるため、濯ぎ槽内部の洗浄水を循環させることができ、濯ぎ槽内部の洗浄水の汚染を効果的に防止できる。
【００２７】
請求項６に記載の発明は、水放出工程において水放出手段から放出される水の水量は、演算工程において水供給工程にて水供給手段から濯ぎ槽に供給される水の水量と濯ぎ工程にて濯ぎ槽に投入されるワークの投入量とに基づいて演算手段により算出されるため、ワークに付着した洗浄液を十分に除去することができることに加え、ワークを濯ぎ槽で濯いでも、濯ぎ槽の内部の洗浄水の水質の悪化を極力防止することができる。このため、濯ぎ槽内部の洗浄水を交換する必要がなく水道水の使用量を格段に低減することができるとともに、濯ぎ槽内部の洗浄水を廃液処理装置などにより廃液処理する必要がなく排出される廃液を削減することができる。この結果、地球環境保全に大いに貢献できる。
【００２８】
請求項７に記載の発明は、水放出工程により洗浄液が除去されたワークに空気供給工程において空気供給手段から空気が吹き付けられると、ワークに付着した洗浄液が水と共にワークから吹き飛ばされるため、ワークに付着した洗浄液をほとんど除去することができ、濯ぎ工程においてワークを濯ぎ槽で濯いでも、濯ぎ槽内部に貯溜された洗浄水の水質悪化を極力防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
次に、本発明の一実施形態に係るワーク洗浄装置及びワーク洗浄方法について、図面を参照して説明する。
【００３０】
図１に示すように、ワーク洗浄装置１０は、ワーク（図示省略）を洗浄するための洗浄槽１２を備えている。この洗浄槽１２の内部には所定量の洗浄液が貯溜されている。また、洗浄槽１２の近傍には、ワークを濯ぐための第１濯ぎ槽１４が配置されている。第１濯ぎ槽１４の近傍には、第１濯ぎ槽１４で濯がれたワークをさらに濯ぐための第２濯ぎ槽１６が配置されている。第１濯ぎ槽１４と第２濯ぎ槽１６とは、ハンドバルブ１８、フィルタ２０、ハンドバルブ２２、ポンプ２４、電磁バルブ２６を介して配管１により接続されている。この第１濯ぎ槽１４及び第２濯ぎ槽１６の内部には、ワークを濯ぐための洗浄水が貯溜されている。
【００３１】
また、第２濯ぎ槽１６の近傍には、第２濯ぎ槽１６で濯がれたワークをさらに濯ぐための第３濯ぎ槽２８が配置されている。第２濯ぎ槽１６と第３濯ぎ槽２８とは、ハンドバルブ３０、フィルタ３２、ハンドバルブ３４、ポンプ３６、電磁バルブ３８を介して配管３により接続されている。この第３濯ぎ槽２８の内部には、ワークを濯ぐための純水が貯溜されている。また、第３濯ぎ槽２８の近傍には、水道水を再生処理して純水に変えるための純水再生装置４０が配置されている。この純水再生装置４０には、水道水を浄水とするための活性炭（図示省略）が設けられている。また、この活性炭が劣化すると、別の新しい活性炭に交換することができるようになっている。第３濯ぎ槽２８は、ハンドバルブ４２、ストレーナ４４、ハンドバルブ４６、ポンプ４８及び逆止弁５０を介して配管５により純水再生装置４０と接続されている。また、水道水の純水再生装置４０への供給は電磁バルブ５２により制御されている。
【００３２】
ここで、ワーク洗浄装置１０には、洗浄槽１２で洗浄されたワークに付着した洗浄液をワークから除去するシャワー器（水放出手段）５４が設けられている。このシャワー器５４は、ハンドバルブ５６、フィルタ５８、ハンドバルブ６０、ポンプ６２及び電磁バルブ６４を介して配管７により第１濯ぎ槽１４と接続されている。この電磁バルブ６４は図示しない制御部（演算手段）によりその開閉が制御される構成になっている。
また、シャワー器５４の近傍には、ワークに対して空気を吹き付ける液切エアノズル（空気供給手段）６６が配置されている。これらシャワー器５４と液切エアノズル６６は、液切槽６８の内部に配置されている。
【００３３】
また、第３濯ぎ槽２８の近傍には、第３濯ぎ槽２８で濯ぎが行われたワークに対して空気を吹き付ける水切エアノズル７０が配置されている。この水切エアノズル７０は、水切槽７２の内部に配置されている。
【００３４】
さらに、ワーク洗浄装置１０には、廃液処理装置（廃液処理手段）７４が設けられている。この廃液処理装置７４は、洗浄液が混入した廃液を濃縮廃液と再生水とに分離する機能を有している。また、廃液処理装置７４は、電磁バルブ７６、７８、ハンドバルブ８０、ストレーナ８２、ハンドバルブ８４、ポンプ８６、ハンドバルブ８８、フィルタ９０及びハンドバルブ９２を介して、液切槽６８及び水切槽７２と配管９によりそれぞれ接続されている。これにより、液切槽６８及び水切槽７２にそれぞれ貯溜された廃液を廃液処理装置７４に供給することができる。また、廃液処理装置７４は、第２濯ぎ槽１６と配管１１等で接続されており、廃液処理により分離した再生水を第２濯ぎ槽１６の内部に還流（供給）することができる。
【００３５】
また、廃液処理装置７４の近傍には廃液タンク９４が配置されており、廃液処理装置７４と配管１３等により接続されている。廃液処理装置７４で廃液処理されて分離した濃縮廃液を廃液タンク９４に供給できるようになっている。
廃液タンク９４はハンドバルブ９６、フィルタ９８、ハンドバルブ１００を並列的に設けた並列構造にポンプ１０２及び電磁バルブ１０４を直列的に設けた直列構造を介して配管１５により洗浄槽１２と接続されており、洗浄槽１２の内部の洗浄原液を廃液タンク９４に供給できるようになっている。
特に、フィルタ９８を並列に設けたことにより、フィルタ９８に目詰まりが生じた場合に、運転中でも容易に切り換え交換することができる。
なお、各配管１、３、７、１５には、圧力計１０６が適宜設けられている。
【００３６】
また、ローダ（図示省略）により、ワークを保持した状態で、洗浄槽１２、液切槽６８、第１濯ぎ槽１４、第２濯ぎ槽１６、第３濯ぎ槽２８、水切槽７２のそれぞれの槽に投入されるワークラック１０８が設けられている。また、ワークラック１０８をローダ（図示省略）により洗浄槽１２に投入した後、洗浄槽１２から液切槽６８、液切槽６８から第１濯ぎ槽１４、第１濯ぎ槽１４から第２濯ぎ槽１６、第２濯ぎ槽１６から第３濯ぎ槽２８、第３濯ぎ槽２８から水切槽７２にワークラック１０８を自動的に搬送してアンローダ（図示省略）に搬出するためのワークラック搬送手段（図示省略）が設けられている。
なお、ワークラック１０８は、上記のように１個だけ設けられている場合に限られるものではなく、複数個設けられている構成でも良い。複数個のワークラック（図示省略）を用いることにより、各槽での洗浄工程（後述）あるいは各濯ぎ工程（後述）などが同時に行えるため、ワークの洗浄がより効率的となる。
【００３７】
次に、本実施形態のワーク洗浄装置１０を用いたワーク洗浄方法について説明する。
【００３８】
先ず、本実施形態のワーク洗浄装置１０を用いた洗浄されるワークについて説明する。対象となるワークは、ＶＣＯ、ＴＣＸＯ、混成集積回路、高周波アンプなど、基板上に構成部品を実装して回路形成したモジュール部品が主として対象となるが、これに限られない。例えば、上記構成部品を、ソルダーペーストを用いてセラミック又はガラスエポキシ樹脂などからなる親基板上にリフロー実装した後、残留しているフラックス及びはんだボールを洗浄して除去する工程や、例えば、ガラスエポキシ樹脂などからなる親基板を子基板にカットした時に発生する切屑を洗浄して除去する工程に本実施形態のワーク洗浄装置１０が用いられる。
【００３９】
図１に示すように、ワークがワークラック１０８で保持されて、洗浄槽１２の洗浄液で洗浄される（洗浄工程）。これにより、上述したように、ワークに残留しているはんだボールが除去され、また、カット時に発生する切屑が除去される。なお、除去されたはんだボール及び切屑は、フィルタ９８で濾過され、濾過後の洗浄液が洗浄槽１２に戻される。
【００４０】
洗浄槽１２で洗浄されたワークは、ワークラック１０８により保持された状態で、ワークラック搬送手段により液切槽６８に自動搬送される。液切槽６８では、ワークがワークラック１０８により保持された状態で、シャワー器５４から放出された洗浄水によりワークに付着した洗浄液がワークから除去される（水放出工程）。
ここで、シャワー器５４から放出される水の水量は、制御部（演算手段）により制御される電磁バルブ６４で調整することができる。制御部では、廃液処理装置７４で廃液処理され分離された再生水が第２濯ぎ槽１６に還流する還流量と、各濯ぎ槽１４、１６、２８に投入されるワークの投入量とに基づいて必要な水量が算出され（演算工程）、この算出された水量の水が１回の放出でシャワー器５４から放出される。シャワー器５４では、この水量の水が間欠的（例えば、３分〜３０分間隔）に放出される。
なお、シャワー器５４からの放水量は、制御部による電磁バルブ６４の制御により適宜調整することができる。
また、第１濯ぎ槽１４の洗浄水をシャワー器５４から放出することにより、第１濯ぎ槽１４の洗浄水を有効に活用することができ、水道水の使用量を格段に低減することができる。
【００４１】
次に、シャワー器５４からの放水により洗浄液がほぼ除去されたワークに対して、液切エアノズル６６から空気が吹き付けられる（空気供給工程）。これにより、ワークに付着した洗浄液混じりの水がワークからほぼ完全に除去される。なお、シャワー器５４から放出された水、ワークに付着した洗浄液及び液切エアノズル６６からの空気の吹き付けによりワークから取り除かれた洗浄液混じりの水は、液切槽６８に廃液として貯溜される。
【００４２】
空気供給工程を経たワークは、ワークラック１０８により保持された状態で、ワークラック搬送手段により第１濯ぎ槽１４に搬送される。第１濯ぎ槽１４において、ワークは、ワークラック１０８に保持された状態で、内部に貯溜された洗浄水により濯がれる（第１濯ぎ工程）。これにより、ワークから完全に洗浄液が除去される。
【００４３】
第１濯ぎ槽１４において洗浄水により濯がれたワークは、ワークラック１０８により保持された状態で、ワークラック搬送手段により第２濯ぎ槽１６に自動搬送される。第２濯ぎ槽１６において、ワークは、ワークラック１０８に保持された状態で、内部に貯溜された洗浄水により濯がれる（第２濯ぎ工程）。これにより、ワークから完全に洗浄液が除去される。なお、第２濯ぎ槽１６の内部の洗浄水は、適宜第１濯ぎ層１４に供給されている。
ここで、第２濯ぎ槽１６には廃液処理装置７４で廃液処理されて分離した再生水が供給され、第２濯ぎ槽１６の洗浄水が補充される。
【００４４】
第２濯ぎ槽１６において洗浄水により濯がれたワークは、ワークラック１０８により保持された状態で、ワークラック搬送手段により第３濯ぎ槽２８に自動搬送される。第３濯ぎ槽２８において、ワークは、ワークラック１０８に保持された状態で、内部に貯溜された純水により濯がれる（第３濯ぎ工程）。これにより、ワークは水道水を純水再生装置４０で再生処理された純水（水電導度１．２μｓ／ｃｍ以下）により濯がれるため、ワークの濯ぎ効果を格段に向上させることができ、ワークから完全に洗浄液を除去することができる。また、純水再生装置４０に用いられている活性炭の寿命を延ばすことができる。
ここで、第３濯ぎ槽２８には、槽内の水を清浄にすると共に、撹拌して槽内の水質を均一にするために循環水量６〜１２リットル／分で純水再生装置４０により再生処理された純水が配管１７を通して適宜供給される。これにより、ワーク投入量が増加した場合でも、第３濯ぎ槽２８内部の純水が劣化することがなく、ワークの濯ぎ効果が低下することがない。
なお、第３濯ぎ槽２８の内部の純水は、配管３を通して第２濯ぎ槽１６に適宜供給される。これにより、第２濯ぎ槽１６の内部の洗浄水の品質を格段に向上させることができる。さらに、第２濯ぎ槽１６の内部の洗浄水が配管１を通して第１濯ぎ層１４に適宜供給されることにより、第１濯ぎ槽１４の内部の洗浄水の品質を格段に向上させることができる。
【００４５】
第３濯ぎ槽２８において洗浄水により濯がれたワークは、ワークラック１０８により保持された状態で、ワークラック搬送手段により水切槽７２に自動搬送される。水切槽７２において、ワークはワークラック１０８に保持された状態で、水切エアノズル７０からワークに空気が吹き付けられる（水切工程）。これにより、ワークに付着した洗浄水がワークから除去される。
【００４６】
ここで、液切層６８及び水切槽７２の内部に貯溜した廃液は、廃液処理装置７４に適宜供給される。この廃液処理装置７４では、供給された廃液が濃縮廃液と再生水とに分離される。この分離された再生水は第２濯ぎ槽１６に還流され（水供給工程）、濃縮廃液は廃液タンク９４に送られる。これにより、液切層６８及び水切槽７２の内部に貯溜した廃液を有効に利用することができ、水道水の使用量を格段に低減することができる。なお、洗浄槽１２の内部の洗浄原液も廃液タンク９４に送られる。
【００４７】
なお、上記したワークの洗浄方法では、ワークが１個のワークラック１０８に保持された状態で各槽に順次移動していく構成を示したが、これに限られることはなく、複数個のワークラック（図示省略）を別個独立に制御して、上記各工程を行うようにしてもよい。これにより、ワークの単位時間当たりの洗浄量を増加させることができる。
【００４８】
以上のように、本実施形態のワーク洗浄装置１０を用いたワーク洗浄方法によれば、ワークを各濯ぎ槽１４、１６、２８に投入する前に、シャワー器５４から放出された水により洗浄されるため、ワークから洗浄液を除去した状態で、ワークを各濯ぎ槽１４、１６、２８に投入することができる。
特に、シャワー器５４から放出される水の水量は、廃液処理装置７４から第２濯ぎ槽１６に還流される再生水の水量と各濯ぎ槽１４、１６、２８に投入されるワークの投入量とに基づいて制御部により算出されるため、ワークに付着した洗浄液を十分に除去することができることに加え、ワークを各濯ぎ槽１４、１６、２８で濯いでも、各濯ぎ槽１４、１６、２８の内部の洗浄水の水質の悪化を極力防止することができる。
また、シャワー器５４から放水されたワークに液切エアノズル６６から空気を吹き付けて、ワークに付着した洗浄液混じりの水をほぼ完全にワークから除去することにより、ワークの投入により各濯ぎ槽１４、１６、２８に持ち込まれる洗浄液を略完全に無くすことができる。
これらにより、各濯ぎ槽１４、１６、２８内部の洗浄水を交換する必要がなく水道水の使用量を格段に低減することができるとともに、廃液処理装置７４で洗浄水を廃液処理する必要がないため濃縮廃液の排出を削減できる。この結果、本実施形態のワーク洗浄装置１０は、地球環境保全に大いに貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係るワーク洗浄装置の概略構成図である。
【図２】従来のワーク洗浄装置の概略構成図である。
【図３】従来のワーク洗浄装置の概略構成図である。
【符号の説明】
【００５０】
１０    ワーク洗浄装置
１２    洗浄槽
１４    濯ぎ槽
１６    濯ぎ槽
２８    濯ぎ槽
５４    シャワー器（水放出手段）
６６    液切エアノズル（空気供給手段）
６８    液切槽
７４    廃液処理装置（水供給手段、廃液処理手段）
【図１】
2005238153.tif 000003
【図２】
2005238153.tif 000004
【図３】
2005238153.tif 000005