(57)【要約】【課題】動作流体に含まれる異物を挟み込み難く弁体の機械的な強度も強く、高速に開弁動作し、さらに、低コストで製作可能な逆止弁を提供する。【解決手段】弁体１０は、流路を開閉する開閉部分１０２と、弁座に固定される固定部分１０１と、固定部分１０１と開閉部分１０２とをつなぐ腕部分１０３とで構成され、固定部分１０１において弁座２０と接する部位の厚さ、及び、開閉部分１０２において流路２０１の外周を囲む部位の厚さよりも、腕部分１０３の少なくとも固定部分１０１側の厚みを薄くしたものである。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が通過する流路の開いた弁座と弁体とを備えた逆止弁において、前記弁体は、前記流路を開閉する開閉部分と、前記弁座に固定される固定部分と、前記固定部分と前記開閉部分とをつなぐ腕部分とで構成され、前記固定部分において弁座と接する部位の厚さ、及び、前記開閉部分において前記流路の外周を囲む部位の厚さよりも、前記腕部分の少なくとも前記固定部分側の厚みは薄いことを特徴とする逆止弁。
【請求項２】
前記弁体はエッチングにて加工されることを特徴とする請求項１記載の逆止弁。
【請求項３】
前記弁体の前記固定部分の腕部分側端面は、凸状に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の逆止弁。
【請求項４】
前記弁体の前記固定部分の前記弁座と接する面側に、一端が前記腕部分まで達し他端が該固定部の外周端まで達する溝を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の逆止弁。
【請求項５】
前記弁体の前記固定部分の幅は前記腕部分の幅よりも広く、さらに、前記溝の幅は前記腕部分の幅と概略等しいことを特徴とする請求項４記載の逆止弁。
【請求項６】
前記弁体の前記腕部分に、穴が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の逆止弁。
【請求項７】
前記弁体の前記固定部分の前記弁座と接する面側に、一端が前記腕部分まで達する溝があり、該溝の他の端部付近に穴が設けられていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の逆止弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、動作流体に含まれる異物に強く機械的な強度も強く、さらに高速に開く逆止弁に関する。
【０００２】
【従来の技術】
弁体の幅よりも一回り大きな凹部を、弁座の弁体に対向する部分に設け、弁体と弁座との間に進入した異物を挟み込み難くしたのものがある。（例えば特許文献１及び特許文献２参照）
また、弁座と弁体との接触面積を小さくして、開弁動作をスムーズにするとともに進入した異物を挟み込み難くし、さらに、弁体にリブを設けて機械的な強度を高めた逆止弁がある。（例えば特許文献３参照）
【特許文献１】特開２０００−２５７５６１号公報
【特許文献２】実開平５−６２７７４号公報
【特許文献３】特開２００２−２８５９６４号公報
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２の構成では、弁体の幅よりも一回り大きな凹部を弁座に加工する必要がありコスト高の要因となっていた。
【０００３】
特許文献３の構成では、リブにより弁体の機械的強度を高めている。さらに、弁体の一部を弁座から浮かせて弁座と弁体との接触面積を小さくしたので、弁体が閉鎖状態から開き始める際に弁座への吸着を防ぎ、弁体の開き動作をスムーズにしている。そして、弁体の先端に設けたリング状の凸部と弁体固定部分との高さを揃えるために、腕部分にプレス加工にて段部を設けている。しかし、プレスにて加工する段部は、スプリングバックにより加工誤差が大きく、先端に設けたリング状凸部が弁座に密着できず逆止性能が著しく低下し逆流を生じることがあった。また、プレスによる変形量のばらつきにより腕部分のばね定数がばらつくため、弁体が開くのに必要な圧力差がまちまちとなっていた。また、プレスでは超小型の弁体を製作するのが難しかった。
【０００４】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、動作流体に含まれる異物を挟み込み難く弁体の機械的な強度も強く、高速に開弁動作し、さらに、低コストで製作可能な逆止弁の提供を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、流体が通過する流路の開いた弁座と弁体とを備えた逆止弁において、前記弁体は、前記流路を開閉する開閉部分と、前記弁座に固定される固定部分と、前記固定部分と前記開閉部分とをつなぐ湾曲可能な腕部分とで構成され、前記固定部分にて弁座と接する部位の厚さ、及び、前記開閉部分にて前記流路の外周を囲む部位の厚さよりも、前記腕部分の少なくとも前記固定部分側の厚みは薄くしたものである。
この構成によれば、弁体の腕部分の少なくとも前記固定部分側は前記弁座から浮いているため異物を挟み込み難い構造になっている。また、弁体の腕部分の少なくとも前記固定部分側は前記弁座から浮いているため、弁体が閉鎖状態から開き始める際に、弁座への吸着を防ぎ、高速な開弁動作が可能となっている。さらに、上述の性能を弁体の腕部分の板厚を薄くする加工のみで実現でき、弁座の凹部の加工を省略できるので加工コストが削減される。また、プレス加工におけるスプリングバックは生じないので、開閉部分を確実に弁座に密着可能な弁体を製作できる。また、腕部分のばね定数のばらつきがなく弁体が開くのに必要な圧力差を一定に管理した弁体を製作できる。
【０００６】
また、本発明は、上記の逆止弁において、開閉部分における流路の外周を囲む領域の板厚よりも、腕部分の弁座から浮いている部分の弁体の板厚を薄くしてあるので、弁体の中で一番応力が加わる流路を開閉する部分の剛性を確保しながら、腕部分のばね定数を低くし、少ない圧力差で弁体が開くようになっている。
上記構成によれば、弁体をエッチングにて加工すると、ハーフエッチング加工によって板厚の差を簡単に形成することができ、特に低コストで大量に製作することができ好ましい。また、エッチングによる加工ではスプリングバックは発生しないので、開閉部分を確実に弁座に密着可能な弁体を製作できる。また、腕部分のばね定数のばらつきがなく弁体が開くのに必要な圧力差を一定に管理した弁体を製作できる。さらに、大きさ１ミリメートル以下の超小型の弁体を容易に製作できる。
【０００７】
また、請求項３の逆止弁は、上記請求項１又は請求項２のいずれかにおいて、前記弁体の前記固定部分の前記腕部分側端面を、凸状に形成したものである。
【０００８】
ここで、例えば、弁体の固定部分の前記腕部分側端面を弁体の幅方向に直線状に設けると、弁座とそこから浮上している弁体の腕部分との間で、弁座に設けた流路から弁体の固定部分方向へ向う流れは、固定部分によってほぼ直角に方向を曲げられる。この場合、流体は急な曲がり角度に沿って流れないため、弁体取り付け部近傍に流れの淀む領域が発生し、そこに異物が堆積することが考えられる。そして、その堆積する異物によって、弁閉鎖時でも弁体が弁座に密着できず逆止性能が低下する可能性が考えられる。
【０００９】
上記の構成によれば、凸状に形成することで、弁座とそこから浮上している弁体の腕部分との間の流れは、固定部分に当たっても急な角度で方向を曲げられないので淀み難くなる。その結果、流体内に含まれる異物の堆積により閉鎖時に弁体が弁座に密着できずに生じる、逆止性能の低下をより確実に防止できる。
【００１０】
また、請求項４の逆止弁は、請求項１又は２のいずれかにおいて、前記弁体の前記固定部分の前記弁座と接する面側に、一端が前記腕部分まで達し他端が該固定部の外周端まで達する溝を設けたものである。
【００１１】
こうすることで、弁体を弁座に接合した際にその接合部に貫通穴ができる。そして、弁座とそこから浮上している弁体の腕部分との間の流れは、貫通穴を通って弁体の外部に排出され淀み難くなる。その結果、流体内に含まれる異物の堆積により、閉鎖時に弁体が弁座に密着できずに生じる逆止性能の低下をより確実に防止できる。
【００１２】
また、請求項５の逆止弁は、上記請求項４の逆止弁において、前記弁体の前記固定部分の幅は前記腕部分の幅よりも広く、さらに、前記溝の幅を前記腕部分の幅と概略等しくしたものである。
【００１３】
こうすることで、弁座とそこから浮上している弁体の腕部分との間で、弁座に設けた流路から弁体の固定部分方向へ向う流れは、固定部分に当たることなく弁体の外部に流れ淀まない。したがって、流体内に含まれる異物の堆積により、閉鎖時に弁体が弁座に密着できずに生じる逆止性能の低下を最も確実に防止できる。
【００１４】
また、請求項６の逆止弁は、上記請求項１又は請求項２のいずれかの逆止弁において、前記弁体の前記腕部分に、穴を設けたものである。こうすることで、弁座とそこから浮上している弁体の腕部分との間の流れは、穴を通って弁体の外部に排出され淀み難くなる。その結果、流体内に含まれる異物の堆積により、閉鎖時に弁体が弁座に密着できずに生じる逆止性能の低下をより確実に防止できる。
【００１５】
また、請求項７の逆止弁は、上記請求項１又は請求項２のいずれかの逆止弁において、前記弁体の前記固定部分の前記弁座と接する面側に、一端が前記腕部分まで達する溝を設け、さらに、該溝の他の端部付近に穴を設けたものである。こうすることで、弁座とそこから浮上している弁体の腕部分との間の流れは、溝と穴を通って弁体の外部に排出され淀み難くなる。その結果、流体内に含まれる異物の堆積により、閉鎖時に弁体が弁座に密着できずに生じる逆止性能の低下を防止できる。さらに、弁の開閉に伴い曲がる腕部分に穴を設けなくて良いため、弁体のばね定数の低下を招かない。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１７】
先ず、本発明に係わる逆止弁の弁体構造について図１から図２を用いて説明する。図１は本発明の逆止弁が閉鎖した状態の断面を示しており、図２は本発明の逆止弁を構成する弁体の弁座側から見た平面を示している。
【００１８】
本発明の逆止弁は、流路２０１が加工された弁座２０と弁体１０とで構成されている。そして、弁座２０に接合される固定部分１０１と、弁座２０に開いた流路２０１を開閉する開閉部分１０２と、固定部分１０１と開閉部分１０２とをつなぐ腕部分１０３とで、弁体１０は構成されている。そして、弁体１０の腕部分１０３の板厚は、固定部分１０１や開閉部分１０２に比べて薄くなっている（図２では板厚の厚い部分に斜線を引いて示した）。また、開閉部分１０２は流路２０１の外形よりも一回り大きくなっている。また、弁座２０の少なくとも弁体１０側に重なる面には、段差がなくフラットになっている。
【００１９】
弁体１０は固定部分１０１の板厚の厚い部分の全てを弁座２０に密着させられて固定される。その固定方法は、接着、拡散接合、溶接、ねじ止め等、従来知られている方法を適宜選択することができる。そして、弁体１０は腕部１０３の薄肉部分が弁座２０から離れるようにして弁座２０に固定されており、弁座２０と弁体１０の腕部分１０３との間には隙間ができている。
【００２０】
具体的に説明すると、弁体１０はステンレスを含む金属製薄板で製作され、固定部分１０１や開閉部分１０２の板厚は概略３０ミクロン、腕部分の板厚は概略１５ミクロンとなっている。そして、腕部分１０３の薄い板厚は、弁体１０の外形をエッチング加工する時に、腕部分１０３の部分にハーフエッチング加工を施すことで実現しており、低コストで大量に製作可能となっている。また、弁座２０に開いている流路２０１は概略０．８ミリメートルの円形をしている。また、弁体１０において、流路２０１の中心から腕部分１０３の固定部分１０１側の端部までの距離は概略０．５ミリメートルの大きさである。このような、超小型の弁体の加工においては特に、プレスは高い精度が要求され難しく加工コストが高いが、エッチングは高精度なものを容易に製作できるためコストが低くなる。
【００２１】
次に、本発明の逆止弁の動作について図１に基づいて説明する。図１において流体は、図下方から上方へは流れることが可能で、逆方向へは逆止弁の作用によって流れが阻害される。以降、図において弁座２０より下方を流入側、弁座２０より上方を流出側と呼ぶ。
流入側と流出側の圧力差が小さい場合や、流入側より流出側の圧力が高い場合、弁体１０の開閉部分１０２は、腕部分１０３の弾性により弁座２０に開けられた流路２０１に密接する。開閉部分１０２は流路２０１の外形よりも一回り大きくなっているため、流路２０１は閉鎖され、流体の流れも阻害される。このような閉鎖時には、流入側より流出側の圧力が高くなっているため、開閉部分１０２に流路２０１の流入側へ窪ませようとする大きな変形力が加わる。しかし、その変形力により開閉部分１０２に発生する応力に十分耐えられるように、開閉部分１０２の板厚を設計することで、開閉部分１０２の変形は防止され、窪み変形が繰り返し生じることによる弁体１０の疲労破壊を防止できる。具体的には、流路２０１が直径０．８ミリメートルの円形をしている場合、開閉部分１０２の板厚を３０ミクロンとすることで、約４０気圧の圧力差に耐えられることを確認している。
流入側の圧力が流出側よりも十分に高くなると、弁体１０の開閉部分１０２を上方へ移動する力が圧力差によって発生する。その結果、弁体１０の腕部分１０３が変形して、弁体１０の開閉部分１０２が上方へ移動し流路が構成される。その際、腕部分１０３の板厚を薄くし弁体１０と弁座２０との接触面積を小さくしたので、弁体１０が弁座２０に吸着して開き難くなることが防がれ、弁体の開き動作がスムーズにおこなわれる。また、腕部分１０３の板厚を薄くすることで、ばね定数を低くしてあるので、少ない圧力差で弁体が開くことが可能となっている。
【００２２】
次に、流体に微細な異物が混入している場合について説明する。弁座と弁体との間は従来異物を挟み込みやすい部分であったが、腕部分１０３の板厚を固定部分１０１や開閉部分１０２に比べて薄くし、腕１０３と弁座２０との間に概略１５ミクロンの隙間を設けたため、異物を挟み込むことなく排出可能となっている。その結果、異物の挟み込みによる弁閉鎖時の逆止性能の低下や、弁体の破損が生じるのを未然に防止できる。
【００２３】
ここで、弁体１０の形状を図３に示したようにしても良い。図３は弁座側から見た弁体の平面を示しており、斜線で示した部分の板厚が厚く他は薄くなっている。つまり、開閉部分１０２において、弁座２０に開けられた流路２０１の外周を囲む部位の板厚は厚いが、中央部分は薄くなっている。こうする事で、開閉部分１０２の機械的な強度を強く保ちながら質量を軽くすることができ、弁体の開き動作をよりスムーズにすることができる。
【００２４】
さらに、弁体の形状は今までに示した片持ち形状だけではなく、図４に示すように、複数の腕部分を有するものでも良い。ここで、図４は弁座側から見た弁体の平面を示してあり、図面中にて斜線で示した部分の板厚が厚く他は薄くなっている。
【００２５】
図１から図４に示した逆止弁において、弁体１０の固定部分１０１の腕部分側端面１０５は直線形状としたが、図５に示した本発明に関する他の実施例の逆止弁では、弁体１０の固定部分１０１の腕部分側端面１０５を凸状に形成してある。図５も弁座側から見た弁体の平面を示してあり、図５においても斜線で示した部分の板厚が厚く、他は薄くなっている。
【００２６】
こうする事で、流入側の圧力が流出側よりも十分に高く、弁体１０の腕部分１０３が変形して、弁体１０の開閉部分１０２が上方へ移動し流路が構成されている場合に、流路２０１から流入し弁体１０の固定部分１０１へ向かう流体は、腕部分側端面１０５に当たっても流れの方向が直角に曲げられないので淀み難い。その流線を図５に二股に分かれた矢印で示した。その結果、弁座２０とそこから浮上している弁体１０の腕部分１０３との間に、流体内に含まれる異物が堆積するのをより確実に防止でき、異物の挟み込みによる弁閉鎖時の逆止性能の低下や、弁体の破損が生じるのをより確実に防止できる。
【００２７】
また、ステンレスを含む金属製薄板で弁体１０を製作すれば、このような複雑な形状も、弁体１０の外形のエッチング加工と同時に、ハーフエッチング加工にて薄板部分を実現でき、低コストで大量に製作が可能である。
【００２８】
さらに、図６に示した本発明に関する他の実施例の逆止弁では、図面上破線で囲だ領域の内部である弁体１０の固定部分１０１に、一端が腕部分１０３まで達し他端が固定部１０１の外周端まで達する溝１０４を形成した。図６も弁座側から見た弁体の平面を示してあり、図６においても斜線で示した部分の板厚が厚く、他は薄くなっている。
【００２９】
こうする事で、流入側の圧力が流出側よりも十分に高く、弁体１０の腕部分１０３が変形して、弁体１０の開閉部分１０２が上方へ移動した際の、流路２０１から流入し弁体１０の固定部分１０１へ向かう流体は、溝１０４と弁座２０との間に形成された貫通穴を流れることが可能となる。本実施例においても流路２０１から流入し弁体１０の固定部分１０１へ向かう流体は、腕部分側端面１０５に当たっても流れの方向が直角に曲げられないので淀み難くなる。その結果、弁座２０とそこから浮上している弁体１０の腕部分１０３との間に、流体内に含まれる異物が堆積するのをより確実に防止でき、異物の挟み込みによる弁閉鎖時の逆止性能の低下や、弁体の破損が生じるのをより確実に防止できる。
【００３０】
また、ステンレスを含む金属製薄板で弁体１０を製作すれば、このような複雑な形状も、弁体１０の外形のエッチング加工と同時に、ハーフエッチング加工にて薄板部分を実現でき、低コストで大量に製作が可能である。
【００３１】
さらに、図７に示した本発明に関する他の実施例の逆止弁では、図面上破線で囲だ領域の内部である弁体１０の固定部分１０１に、一端が腕部分１０３まで達し他端が固定部１０１の外周端まで達する溝１０４が形成してあり、固定部分１０１の幅は腕部分１０３の幅よりも広く、さらに、溝１０４の幅は腕部分１０３の幅と概略等しく形成してある。図７も弁座側から見た弁体の平面を示してあり、図７においても斜線で示した部分の板厚が厚く他は薄くなっている。
【００３２】
こうする事で、流入側の圧力が流出側よりも十分に高く、弁体１０の腕部分１０３が変形して、弁体１０の開閉部分１０２が上方へ移動した際の、流路２０１から流入し弁体１０の固定部分１０１へ向かう流体は、溝１０４と弁座２０との間に形成された貫通穴を固定部分に当たることなく流れることが可能となる。この実施例では、流れは方向を変えられることがないので最も淀み難い。その結果、弁座２０とそこから浮上している弁体１０の腕部分１０３との間に、流体内に含まれる異物が堆積するのを最も確実に防止でき、異物の挟み込みによる弁閉鎖時の逆止性能の低下や、弁体の破損が生じるのを最も確実に防止できる。
【００３３】
また、ステンレスを含む金属製薄板で弁体１０を製作すれば、このような複雑な形状も、弁体１０の外形のエッチング加工と同時に、ハーフエッチング加工にて薄板部分を実現でき、低コストで大量に製作が可能である。
【００３４】
さらに、図８に示した本発明に関する他の実施例の逆止弁では、弁体１０の腕部分１０３に弁体の板厚方向に貫通する穴１０６が設けられている。図８も弁座側から見た弁体の平面を示してあり、斜線で示した部分の板厚が厚く他は薄くなっている。
【００３５】
こうする事で、流入側の圧力が流出側よりも十分に高く、弁体１０の腕部分１０３が変形して、弁体１０の開閉部分１０２が上方へ移動した際の、流路２０１から流入し弁体１０の固定部分１０１へ向かう流体は、穴１０６を通って弁体１０と弁座２０の隙間から外部に流れることが可能となる。その結果、弁座２とそこから浮上している弁体１０の腕部分１０３との間に、流体内に含まれる異物が堆積するのを防止でき、異物の挟み込みによる弁閉鎖時の逆止性能の低下や、弁体の破損が生じるのを防止できる。
【００３６】
また、ステンレスを含む金属製薄板で弁体１０を製作すれば、このような複雑な形状も、弁体１０の外形のエッチング加工と同時に穴１０６も加工できるとともに、ハーフエッチング加工にて薄板部分を実現でき、低コストで大量に製作が可能である。
また、穴１０６は、腕部分１０３の固定部分１０１側端部の近傍に設けると、流れが淀みやすい領域に、穴１０６を通って弁体１０と弁座２０の隙間から外部に流出する流れが生じ淀まなくなるため好ましい。
【００３７】
さらに、図９に示した本発明に関する他の実施例の逆止弁では、弁体１０の図面上破線で囲だ領域の内部である弁体１０の固定部分１０１に、一端が腕部分１０３まで達する溝１０７が形成してあり、その溝の他の端部付近に弁体の板厚方向に貫通する穴１０６が設けられている。図９も弁座側から見た弁体の平面を示してあり、斜線で示した部分の板厚が厚く他は薄くなっている。
【００３８】
こうする事で、流入側の圧力が流出側よりも十分に高く、弁体１０の腕部分１０３が変形して、弁体１０の開閉部分１０２が上方へ移動した際の、流路２０１から流入し弁体１０の固定部分１０１へ向かう流体は、穴１０６を通って弁体１０と弁座２０の隙間から外部に流れることが可能となる。その結果、弁座２とそこから浮上している弁体１０の腕部分１０３との間に、流体内に含まれる異物が堆積するのを防止でき、異物の挟み込みによる弁閉鎖時の逆止性能の低下や、弁体の破損が生じるのを防止できる。
【００３９】
また、ステンレスを含む金属製薄板で弁体１０を製作すれば、このような複雑な形状も、弁体１０の外形のエッチング加工と同時に穴１０６も加工できるとともに、ハーフエッチング加工にて薄板部分を実現でき、低コストで大量に製作が可能である。
本構成の場合、弁の開閉に伴い曲がる腕部分１０３に穴１０６を設けなくて良いため、弁体のばね定数の低下を招かずに、流体内に含まれる異物が堆積するのを防止できる。
【００４０】
以上述べてきた逆止弁は、従来逆止弁が用いられていたところに使用できるが、弁体の機械的な強度が強く高い圧力に晒されても変形し難い特性と、弁体の開き動作が速い特性とから、圧電素子で駆動するポンプに用いるのに好適である。
というのは、圧電素子はパワー密度が大きく周波数応答性が高いものの、１周期の変位が小さいため、圧電素子を駆動源とした小形で高出力のポンプを実現するためには、弁部での逆流の原因となる弁板の変形が小さいと同時に応答性の良い逆止弁が望まれているからである。本発明の逆止弁を圧電素子で駆動するポンプに用いることで、この要求を満たすことができるとともに、動作流体に含まれる異物の挟み込みによる弁閉鎖時の逆止性能の低下や、弁体の破損が起こらないポンプを実現できる。
【００４１】
特に、圧電素子にてピストンあるいはダイアフラムを駆動し、そのピストンあるいはダイアフラムにより容積が変わるポンプ室と、ポンプ室へ動作流体を流入させる入口流路と、ポンプ室から動作流体を流出させる出口流路とを備え、入口流路の合成イナータンス値が出口流路の合成イナータンス値よりも小さいポンプの、入口流路に設ける逆止弁として最適である。
【００４２】
というのは、本構成のポンプは圧電素子の駆動により生じるポンプ室内の圧力を高めるほど、効率よく大きな流量を流すことができる特徴があり、本発明の逆止弁は高速な開弁動作が可能であると同時に前述したように約４０気圧という高い圧力差に耐えられるため、この構成のポンプに本発明の逆止弁を用いるとポンプ室内圧を十分に高めた駆動が可能になるからである。
【００４３】
以上説明したように、本実施形態の逆止弁の構造によると、弁体の腕部分の少なくとも固定部分側は弁座から浮いているため、異物を挟み込み難く、弁体が弁座に吸着して開き難くなるのを防ぎ、弁体の開き動作をスムーズにして高速な開弁動作が可能な逆止弁を構成できる。さらに、上述の性能を弁体の腕部分の板厚を薄くする加工のみで実現でき、弁座の凹部の加工を省略できるので低コストで、また、弁体の開閉部分を確実に弁座に密着可能で、さらに、弁体が開くのに必要な圧力差を一定に管理した逆止弁を製作できる。
【００４４】
また、開閉部分における流路の外周を囲む領域弁体の板厚よりも、腕部分の弁座から浮いている部分の弁体の板厚を薄くしてあるので、弁体の中で一番応力が加わる流路を開閉する部分の剛性を確保しながら、腕部分のばね定数を低くし、少ない圧力差で弁体が開く逆止弁を構成できる。
また、弁体をエッチングにて加工することで、弁体の開閉部分を確実に弁座に密着可能な逆止弁を、特に低コストで大量に製作できる。さらに、超小型の弁体を容易に製作することができる。
【００４５】
さらに、図５乃至図９に示した構造によって、弁座とそこから浮上している弁体の腕部分との間の流れが淀み難くなる。その結果、流体内に含まれる異物の堆積のため、弁閉鎖時に弁体が弁座に密着できないために生じる逆止性能の低下を確実に防止した逆止弁を構成できる。
【００４６】
以上、本実施形態によれば、動作流体に含まれる異物に強く機械的な強度も強といった高い信頼性を有し、高速に開弁動作し、さらに、低コストで製作可能な逆止弁を提供できる。さらに、本発明の逆止弁を圧電素子で駆動するポンプに用いることで、小形高出力のポンプが実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示した断面図である。
【図２】本発明に係わる弁体の、一実施形態の弁座側平面を示した平面図である。
【図３】本発明に係わる弁体の、他の実施形態の弁座側平面を示した平面図である。
【図４】本発明に係わる弁体の、他の実施形態の弁座側平面を示した平面図である。
【図５】本発明に係わる弁体の、他の実施形態の弁座側平面を示した平面図である。
【図６】本発明に係わる弁体の、他の実施形態の弁座側平面を示した平面図である。
【図７】本発明に係わる弁体の、他の実施形態の弁座側平面を示した平面図である。
【図８】本発明に係わる弁体の、他の実施形態の弁座側平面を示した平面図である。
【図９】本発明に係わる弁体の、他の実施形態の弁座側平面を示した平面図である。
【符号の説明】
１０：弁体
２０：弁座
１０１：固定部分
１０２：開閉部分
１０３：腕部分
１０４：溝
１０５：腕部分側端面
１０６：穴
１０７：溝
２０１：流路
【図１】
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【図２】
2005009531.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005009531.tif 000009
【図８】
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【図９】
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