(57)【要約】      （修正有）【課題】単一のアナログ入力信号によって、一対の電空変換式空気レギュレータの取出圧力を対称形に制御する。【解決手段】同一の圧力源から圧力供給を受ける一次圧力導入口１２と二次圧力取出口１３間を開閉する主弁１５と二次圧力取出口とパイロット圧室２８の圧力差に応じて移動し、主弁を開閉作動させる浮動ピストン２０とを備えた空気レギュレータブロックを一対設け、板ばね体４１の表裏に位置させてそれぞれ形成した一対の流量制御面とを有するフラッパ４０をアナログ入力信号の大小に応じて弾性変形させる電空変換ブロックを一つ設け、一対の空気レギュレータブロックの各パイロット圧室を大気に連通させる一対のノズル通路４７を、フラッパの板ばね部分の表裏に導き、フラッパが正逆いずれかに弾性変形したとき、該一対のノズル通路の開口端とフラッパの一対の流量制御面との距離が一方で増加し他方で減少するように配置した。【選択図】図１
2005009501.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の空気レギュレータブロックと、一つの電空変換ブロックとを有し、
一対の空気レギュレータブロックはそれぞれ、同一の圧力源から圧力供給を受ける一次圧力導入口と；二次圧力取出口と；上記一次圧力導入口と二次圧力取出口間を開閉する主弁と；上記二次圧力取出口とパイロット圧室の圧力差に応じて移動し、上記主弁を開閉作動させる浮動ピストンと；を備え、
上記電空変換ブロックは、弾性変形可能な板ばね体と、この板ばね体の表裏に位置させてそれぞれ形成した一対の流量制御面とを有するフラッパと；このフラッパをアナログ入力信号の大小に応じて弾性変形させて上記一対の流量制御面の位置を変化させる電磁駆動装置と；を備え、
上記一対の空気レギュレータブロックの各パイロット圧室を大気に連通させる一対のノズル通路を、上記フラッパの板ばね部分の表裏に導き、上記電磁駆動装置によりフラッパが正逆いずれかに弾性変形したとき、該一対のノズル通路の開口端とフラッパの一対の流量制御面との距離が一方で増加し他方で減少するように配置したことを特徴とするタンデム型電空変換式空気レギュレータ。
【請求項２】
請求項１記載のタンデム型電空変換式空気レギュレータにおいて、上記電磁駆動装置は、上記フラッパの板ばね部分に軸線を直交させて設けたコイルボビン部と、このコイルボビン部に巻回され上記アナログ入力信号を付与されるコイルと、上記電空変換ブロックに支持した、上記コイルボビン部と同軸の永久磁石アッセンブリとを備えているタンデム型電空変換式空気レギュレータ。
【請求項３】
請求項２記載のタンデム型電空変換式空気レギュレータにおいて、一対のノズル通路の少なくとも一方は、その開口端近傍が一対の永久磁石アッセンブリ内に形成されているタンデム型電空変換式空気レギュレータ。
【請求項４】
請求項２記載のタンデム型電空変換式空気レギュレータにおいて、上記コイルボビン部は、板ばね部分の表裏に対称形に一対が位置し、永久磁石アッセンブリは、この一対のコイルボビン部に対応して一対が備えられており、この一対の永久磁石アッセンブリにそれぞれ上記ノズル通路が形成されているタンデム型電空変換式空気レギュレータ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】
本発明は、単一のアナログ入力信号（電気入力量）の大小に応じて、一対の電空変換式空気レギュレータの取出圧力を対称形に制御するタンデム型電空変換式空気レギュレータに関する。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】
電空変換式空気レギュレータとして従来、一次圧力導入口と、二次圧力取出口と、一次圧力導入口と二次圧力取出口間を開閉する主弁と、二次圧力取出口とパイロット圧室との圧力差に応じて移動し、上記主弁を開閉作動させるとともに二次圧力取出口を大気に連通させる浮動ピストンと、パイロット圧室を大気に連通させるノズル通路と、このノズル通路の開口端に対向する弾性変形可能な板ばねを有するフラッパと、このフラッパのノズル通路の開口端に対する位置をアナログ入力信号（例えば電流）の大小に応じて変化させる電磁駆動装置とを備えたものが知られている。
【０００３】
このような電空変換式空気レギュレータにおいてパイロット圧室と大気の連通面積が一定である場合、二次圧力の変動によって、浮動ピストンが二次圧力取出口側に移動すると、主弁が一次圧力導入口と二次圧力取出口の間を開き、一次圧力導入口の空気が二次圧力取出口に流れて二次圧力取出口内の圧力が高まる。一方、浮動ピストンがパイロット圧室側に移動すると二次圧力取出口の空気が大気側に流れ、二次圧力取出口の圧力が低下する。このような動作により、二次圧力取出口の圧力がほぼ一定に保たれる。
【０００４】
一方、電磁駆動装置に与える電流量を変化させると、その電流量の大小に応じて、フラッパの板ばねが弾性変形して、フラッパとノズル通路の開口端との距離が変化し、パイロット圧室と大気の連通面積が変化する。その結果、パイロット圧室から大気側に排出される空気量が変化し、パイロット圧室の圧力が変化するので、二次圧力取出口の圧力を調整することができる。
【０００５】
この電空変換式空気レギュレータは、従来、どのような用途でも単独で用いられていた。
【０００６】
本発明者は、位置制御や除振制御装置における対向する二つの圧力室の制御は、対称形に、つまり一方を増加させるときには他方は減少させるという関係で行われることに着目し、一対の電空変換式空気レギュレータの取出圧力を対称形に制御できる装置が有用であるとの着眼に基づいて本発明に至ったものである。
【０００７】
【発明の目的】
すなわち、本発明は、単一のアナログ入力信号（電気入力量）によって、一対の電空変換式空気レギュレータの取出圧力を対称形に制御することができるタンデム型電空変換式空気レギュレータを得ることを目的とする。
【０００８】
【発明の概要】
本発明のタンデム型電空変換式空気レギュレータは、一対の空気レギュレータブロックと、一つの電空変換ブロックとを有しており、一対の空気レギュレータブロックはそれぞれ、同一の圧力源から圧力供給を受ける一次圧力導入口と；二次圧力取出口と；上記一次圧力導入口と二次圧力取出口間を開閉する主弁と；上記二次圧力取出口とパイロット圧室の圧力差に応じて移動し、上記主弁を開閉作動させる浮動ピストンと；を備えている。一方、電空変換ブロックは、弾性変形可能な板ばね体と、この板ばね体の表裏に位置させてそれぞれ形成した一対の流量制御面とを有するフラッパと；このフラッパをアナログ入力信号の大小に応じて弾性変形させて上記一対の流量制御面の位置を変化させる電磁駆動装置と；を備えていて、一対の空気レギュレータブロックの各パイロット圧室を大気に連通させる一対のノズル通路は、フラッパの板ばね部分の表裏に導かれ、電磁駆動装置によりフラッパが正逆いずれかに弾性変形したとき、該一対のノズル通路の開口端とフラッパの一対の流量制御面との距離が一方で増加し他方で減少するように配置されている。
【０００９】
電磁駆動装置は、例えば、フラッパの板ばね部分に軸線を直交させて設けたコイルボビン部と、このコイルボビン部に巻回されアナログ入力信号を付与されるコイルと、電空変換ブロックに支持した、コイルボビン部と同軸の永久磁石アッセンブリとによって構成できる。
【００１０】
一対のノズル通路の少なくとも一方は、その開口端近傍を一対の永久磁石アッセンブリ内に形成することができる。
【００１１】
別の態様では、コイルボビン部を、板ばね部分の表裏に対称形に一対を位置させ、永久磁石アッセンブリは、この一対のコイルボビン部に対応させて一対を設け、この一対の永久磁石アッセンブリにそれぞれノズル通路を形成することができる。
【００１２】
本発明のタンデム型電空変換式空気レギュレータは、具体的には例えば一対の空気レギュレータブロックの二次圧力取出口を、両ロッド型シリンダの一対の対向圧力室にそれぞれ接続して用いることができる。
【００１３】
【発明の実施形態】
図１は、本発明によるタンデム型電空変換式空気レギュレータ１００の第一の実施形態を示している。このタンデム型電空変換式空気レギュレータ１００は、一対の空気レギュレータブロック１０Ｌ、１０Ｒと、電空変換ブロック３０とを有している。
【００１４】
空気レギュレータブロック１０Ｌと１０Ｒは、同一同寸構造（又は対称構造）で、単一のハウジング１１内に収納されている。ハウジング１１は、図１の下方から順に、ロアハウジング１１ａ、ミドルハウジング１１ｂ及びアッパハウジング１１ｃを備えている。図では、左方の空気レギュレータブロック１０Ｌの要素にサフィックスＬを、右方の空気レギュレータブロック１０Ｒの要素にサフィックスＲを付す。
【００１５】
ロアハウジング１１ａには、一次圧力導入共通口１２Ｃと、一対の二次圧力取出口１３Ｌ（１３Ｒ）が開口している。一次圧力導入共通口１２Ｃは、ロアハウジング１１ａ内で一次圧力導入口１２Ｌと１２Ｒとに分岐している。一次圧力導入口１２Ｌ（１２Ｒ）と二次圧力取出口１３Ｌ（１３Ｒ）の間は、通路１４Ｌ（１４Ｒ）によって連通しており、この通路１４Ｌ（１４Ｒ）が主弁１５Ｌ（１５Ｒ）によって開閉される。主弁１５Ｌ（１５Ｒ）は圧縮ばね１６Ｌ（１６Ｒ）の力によって常時通路１４Ｌ（１４Ｒ）を閉じている。ロアハウジング１１ａ内には、二次圧力取出口１３Ｌ（１３Ｒ）及び通路１４Ｌ（１４Ｒ）に連通する二次圧力取出室１７Ｌ（１７Ｒ）が形成されている。
【００１６】
ミドルハウジング１１ｂとロアハウジング１１ａの間及びミドルハウジング１１ｂとアッパハウジング１１ａの間にはそれぞれ、浮動ピストン２０Ｌ（２０Ｒ）のパイロットダイアフラム２１Ｌ（２１Ｒ）及びコントロールダイアフラム２２Ｌ（２２Ｒ）の周縁部が気密に挟着されている。浮動ピストン２０Ｌ（２０Ｒ）は、パイロットダイアフラム２１Ｌ（２１Ｒ）とコントロールダイアフラム２２Ｌ（２２Ｒ）の間にリリーフ室２３Ｌ（２３Ｒ）を有し、中心部にスペーサブロック２４Ｌ（２４Ｒ）を有している。このスペーサブロック２４Ｌ（２４Ｒ）には、取出室１７Ｌ（１７Ｒ）とリリーフ室２３Ｌ（２３Ｒ）とを連通させる連通穴２５Ｌ（２５Ｒ）が形成されており、左右のリリーフ室２３Ｌと２３Ｒは、ミドルハウジング１１ｂに形成した連通路２６によって連通している。この連通路２６は、大気連通穴２６Ｃによって大気に連通し、その結果、リリーフ室２３Ｌ（２３Ｒ）は大気と連通している。浮動ピストン２０Ｌ（２０Ｒ）は、ロアハウジング１１ａ内に上述の二次圧力取出室１７Ｌ（１７Ｒ）を画成する。
【００１７】
連通穴２５Ｌ（２５Ｒ）は、軸部通路２５ａと径方向通路２５ｂからなり、軸部通路２５ａが主弁１５Ｌ（１５Ｒ）と一体に設けたリリーフ弁１８Ｌ（１８Ｒ）によって開閉される。すなわち、リリーフ弁１８Ｌ（１８Ｒ）が連通穴２５Ｌ（２５Ｒ）を閉じているときは取出室１７Ｌ（１７Ｒ）内の空気がリリーフ室２３Ｌ（２３Ｒ）に流れることはなく、主弁１５Ｌ（１５Ｒ）（リリーフ弁１８Ｌ（１８Ｒ））と浮動ピストン２０Ｌ（２０Ｒ）との相対位置が離隔してリリーフ弁１８Ｌ（１８Ｒ）が軸部通路２５ａを開くと、取出室１７Ｌ（１７Ｒ）内の空気は、連通穴２５Ｌ（２５Ｒ）、リリーフ室２３Ｌ（２３Ｒ）、大気連通穴２６を介して大気に開放される（リリーフされる）。浮動ピストン２０Ｌ（２０Ｒ）は、アッパハウジング１１ｃと浮動ピストン２０Ｌ（２０Ｒ）との間に挿入した圧縮コイルばね２７Ｌ（２７Ｒ）により、図１の下方、つまりスペーサブロック２４Ｌ（２４Ｒ）の連通穴２５Ｌ（２５Ｒ）（軸部通路２５ａ）がリリーフ弁１８Ｌ（１８Ｒ）に当接してリリーフ通路を閉じる方向に移動付勢されている。
【００１８】
アッパハウジング１１ｃと浮動ピストン２０Ｌ（２０Ｒ）との間には、パイロット圧室２８Ｌ（２８Ｒ）が形成されている。ロアハウジング１１ａ、ミドルハウジング１１ｂ及びアッパハウジング１１ｃにはそれぞれ、このパイロット圧室２８Ｌ（２８Ｒ）を取出室１７Ｌ（１７Ｒ）に連通させるハウジング内連通路２９Ｌ（２９Ｒ）が形成され、この通路２９Ｌ（２９Ｒ）の一部には、オリフィス２９ａが形成されている。オリフィス２９ａは、取出室１７Ｌ（１７Ｒ）内の圧力変化をタイムラグを与えてパイロット圧室２８Ｌ（２８Ｒ）に生じさせる。
【００１９】
以上の構成により、各空気レギュレータブロック１０Ｌ（１０Ｒ）は、電空変換ブロック３０が存在しないと仮定すると、それぞれ次のように動作する。二次圧力取出口１３Ｌ（１３Ｒ）側の圧力（取出室１７Ｌ（１７Ｒ）内の圧力）が急に上がり、圧縮コイルばね２７Ｌ（２７Ｒ）の力に打ち勝って浮動ピストン２０Ｌ（２０Ｒ）を押し上げる程高くなると、軸部通路２５ａがリリーフ弁１８Ｌ（１８Ｒ）から離れて取出室１７Ｌ（１７Ｒ）内の空気を大気にリリーフする。つまり、取出室１７Ｌ（１７Ｒ）（二次圧力取出口１３Ｌ（１３Ｒ））側の圧力が下がる。逆に、取出室１７Ｌ（１７Ｒ）の圧力が急に下降し、パイロットダイアフラム２１Ｌ（２１Ｒ）と圧縮コイルばね２７Ｌ（２７Ｒ）による下向きの力がコントロールダイアフラム２２Ｌ（２２Ｒ）による上向きの力よりも大きくなると、浮動ピストン２０Ｌ（２０Ｒ）は下降してリリーフ弁１８Ｌ（１８Ｒ）を介して主弁１５Ｌ（１５Ｒ）を圧縮ばね１６Ｌ（１６Ｒ）の力に抗して押し下げ、通路１４Ｌ（１４Ｒ）を開く。従って、一次圧力導入口１２Ｌ（１２Ｒ）側の一次圧力が二次圧力取出室１７Ｌ（１７Ｒ）（二次圧力取出口１３Ｌ（１３Ｒ））側に導かれ、該取出室１７Ｌ（１７Ｒ）（二次圧力取出口１３Ｌ（１３Ｒ））の圧力が上昇する。つまり、浮動ピストン２０Ｌ（２０Ｒ）は、二次圧力取出口１３Ｌ（１３Ｒ）とパイロット圧室２８Ｌ（２８Ｒ）の圧力差に応じて移動し、主弁１５Ｌ（１５Ｒ）を開閉作動させる。二次圧力取出室１７Ｌ（１７Ｒ）の圧力変動に応じて以上の動作が繰り返される結果、一次圧力導入口１２Ｌ（１２Ｒ）からの一次圧力に拘わらず、二次圧力取出口１３Ｌ（１３Ｒ）に一定の二次圧力を取り出すことができる。
【００２０】
電空変換ブロック３０は、アッパハウジング１１ｃ上に位置する左右のハウジング３１ａ、３１ｂを有している。このハウジング３１ａと３１ｂの間には、フラッパ４０が支持されている。このフラッパ４０は、円板状の弾性変形可能な板ばね体４１と、この板ばね体４１の中心部の表裏に、該板ばね体４１に軸線を直交させて固定した一対の有底のコイルボビン部４２Ｌ、４２Ｒと、この一対のコイルボビン部４２Ｌ、４２Ｒの筒状部外周にそれぞれ巻回したコイル（ムービングコイル）４３Ｌ、４３Ｒとを有し、板ばね体４１の周縁部がハウジング３１ａと３１ｂとの間に挟着固定されている。板ばね体４１の表裏（有底コイルボビン部４２Ｌ（４２Ｒ）の底部）には、互いに平行な一対の流量制御面４１Ｌ（４１Ｒ）が形成されている。一対のコイル４３Ｌと４３Ｒは同一方向に巻かれ互いに接続されている。
【００２１】
ハウジング３１ａと３１ｂにはそれぞれ、円柱状の永久磁石アッセンブリ４４Ｌ、４４Ｒが支持されている。この一対の永久磁石アッセンブリ４４Ｌ、４４Ｒは、フラッパ４０のコイルボビン部４２Ｌ、４２Ｒと同軸で隙間をもって対向する永久磁石４５Ｌ、４５Ｒとヨーク４６Ｌ、４６Ｒとを有している。コイル４３Ｌ、４３Ｒと永久磁石アッセンブリ４４Ｌ、４５Ｌは、板ばね体４１を弾性変形させる電磁駆動装置を構成する。ハウジング３１ａ、３１ｂには、永久磁石アッセンブリ４４Ｌ（４４Ｒ）とフラッパ４０を収納した部屋を大気に連通させる大気連通穴３２Ｌ、３２Ｒが形成されている。
【００２２】
アッパハウジング１１ｃには、一対の空気レギュレータブロック１０Ｌ（１０Ｒ）のパイロット圧室２８Ｌ（２８Ｒ）に連通するノズル通路３４Ｌ（３４Ｒ）が形成されている。また、ハウジング３０ａ（３０ｂ）と永久磁石アッセンブリ４４Ｌ（４４Ｒ）には、このノズル通路３４Ｌ（３４Ｒ）に連通するノズル通路４７Ｌ（４７Ｒ）が形成されていて、該ノズル通路４７Ｌ（４７Ｒ）の開口端は、フラッパ４０の板ばね体４１部分の表裏に同一軸線上に位置している。
【００２３】
そして、フラッパ４０のコイル４３Ｌ（４３Ｒ）に通電しない状態では、ノズル通路４７Ｌの開口端と流量制御面４１Ｌとの距離と、ノズル通路４７Ｒの開口端と流量制御面４１Ｒとの距離は等しく、フラッパ４０（板ばね体４１）が正逆いずれかに弾性変形すると、流量制御面４１Ｌとノズル通路４７Ｌの開口端と距離と流量制御面４１Ｒとノズル通路４７Ｒの開口端との距離が一方で増加し他方で減少する。
【００２４】
空気レギュレータブロック１０Ｌ（１０Ｒ）の一次圧力導入共通口１２Ｃは、圧縮空気源５０に接続されている。また二次圧力取出口１３Ｌと１３Ｒは、例えば図３に示す両ロッド型シリンダ６０の一対の対向圧力室６１ＨＬと６１ＨＲに接続されている。すなわち、両ロッド型シリンダ６０は、シリンダ６２に嵌められ一対の対向圧力室６１ＨＬと６１ＨＲを画成するピストン６３を有していて、このピストン６３の両側に固定したロッド６４がシリンダ６２の外部に導かれて固定されている。シリンダ６２は、リニアモーションベアリング６５を介してガイドロッド６６に直線移動自在に支持されており、シリンダ６２上には移動テーブル６７が固定されている。対向圧力室６１ＨＬと６１ＨＲは、一方の圧力を高めるとき、他方の圧力を低下させるように制御され、その結果、移動テーブル６７が左右に調速されて往復移動する。
【００２５】
すなわち、上記構成の本タンデム型電空変換式空気レギュレータ１００は、コイル４３Ｌ（４３Ｒ）に正逆の電流を流すと、永久磁石アッセンブリ４４Ｌ（４４Ｒ）との電磁作用により、フラッパ４０が弾性変形して図の左右に移動する。フラッパ４０が例えば図の左方に移動すると、流量制御面４１Ｌとノズル通路４７Ｌの開口端との距離が縮まり、流量制御面４１Ｒとノズル通路４７Ｒの開口端との距離が広がる。流量制御面４１Ｌとノズル通路４７Ｌの距離が縮まると、パイロット圧室２８Ｌから逃げる空気の量が少なくなるから、二次圧力取出口１３Ｌでの取出二次圧力が大きくなる。一方、流量制御面４１Ｒとノズル通路４７Ｒの開口端との距離が広がると、パイロット圧室２８Ｒから逃げる空気の量が多くなるから、二次圧力取出口１３Ｒでの取出二次圧力が小さくなる。つまり、両ロッド型シリンダ６０の対向圧力室６１ＨＬの圧力が上昇するのと対向圧力室６１ＨＲの圧力が下降するのが同時に生じ、しかもこの圧力上昇と下降がバランスする。フラッパ４０が図の右方に移動した場合は対向圧力室６１ＨＬの圧力が下降し対向圧力室６１ＨＲの圧力が上昇する。
【００２６】
図２は、本発明によるタンデム型電空変換式空気レギュレータ１００の第二の実施形態を示す。この実施形態では、電空変換ブロック３０の両側に一対の空気レギュレータブロック１０Ｌ、１０Ｒを配置しており、圧縮空気源５０を個別に一次圧力導入口１２Ｌと１２Ｒに接続している。第一の実施形態では、空気レギュレータブロック１０Ｌ、１０Ｒが縦型である（縦型に描いた）のに対し、この実施形態では横型であって、電空変換ブロック３０を中心とする対称形状をなしている。空気レギュレータブロック１０Ｌ、１０Ｒのハウジング１１Ｌ、１１Ｒは独立していて、それぞれサイドハウジング１１ａＬ（１１ａＲ）、ミドルハウジング１１ｂＬ（１１ｂＲ）及びサイドハウジング１１ｃＬ（１１ｃＲ）を備えている。電空変換ブロック３０のハウジング３１ｃは、空気レギュレータブロック１０Ｌのサイドハウジング１１ｃＬと、空気レギュレータブロック１０Ｒのサイドハウジング１１ｃＲとの間に挟着されており、フラッパ４０の板ばね体４１は、ハウジング１１ｃＬとハウジング３１ｃの間に挟着されている。ハウジング３１ｃには大気連通穴３２が形成されている。
【００２７】
この実施形態では、第一の実施形態の一対のコイルボビン部４２Ｌ、４２Ｒ、一対の永久磁石アッセンブリ４４Ｌ、４４Ｒをそれぞれ単一の有底コイルボビン部４２（コイル４３）、永久磁石アッセンブリ４４（永久磁石４５、ヨーク４６）に代え、板ばね体４１と平行をなす流量制御面４１Ｌ、４１Ｒをコイルボビン部４２の底部の表裏に形成している。空気レギュレータブロック１０Ｌのハウジング１１ｃＬに形成したノズル通路３４Ｌの開口端は直接、この流量制御面４１Ｌに対向し、空気レギュレータブロック１０Ｒのハウジング１１ｃＲに形成したノズル通路３４Ｒは、永久磁石アッセンブリ４４に形成したノズル通路４７Ｒに連通し、このノズル通路４７Ｒの開口端が流量制御面４１Ｒに対向している。この他の要素は第一の実施形態と同一であり、同一の要素には同一の符号を付している。
【００２８】
この実施形態においても、第一の実施形態と同様の作用を得ることができる。また、以上の実施形態は、本タンデム型電空変換式空気レギュレータ１００を両ロッド型シリンダ６０の対をなす対向圧力室６１ＨＬと６１ＨＲの圧力制御に用いたものであるが、本発明は、単一のアナログ入力信号（電気入力量）によって、一対の電空変換式空気レギュレータの取出圧力を対称形に制御する場合一般に広く適用できる。
【００２９】
【発明の効果】
本発明によれば、単一のアナログ入力信号（電気入力量）によって、一対の電空変換式空気レギュレータの取出圧力を対称形に制御することができるタンデム型電空変換式空気レギュレータを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるタンデム型電空変換式空気レギュレータの第一の実施形態を示す縦断面図である。
【図２】同第二の実施形態を示す縦断面図である。
【図３】本発明によるタンデム型電空変換式空気レギュレータを用いる空気作動機器として例示する、両ロッド型シリンダ装置の模式断面図である。
【符号の説明】
１０Ｌ  １０Ｒ  電空変換式空気レギュレータブロック
１１    ハウジング
１１ａ  ロアハウジング
１１ｂ  ミドルハウジング
１１ｃ  アッパハウジング
１１ａＬ  サイドハウジング
１１ｂＬ  ミドルハウジング
１１ｃＬ  サイドハウジング
１２Ｌ  １２Ｒ  一次圧力導入口
１３Ｌ  １３Ｒ  二次圧力取出口
１４Ｌ  １４Ｒ  通路
１５Ｌ  １５Ｒ  主弁
１６Ｌ  １６Ｒ  圧縮ばね
１７Ｌ  １７Ｒ  二次圧力取出室
２０Ｌ  ２０Ｒ  浮動ピストン
２１Ｌ  ２１Ｒ  パイロットダイアフラム
２２Ｌ  ２２Ｒ  コントロールダイアフラム
２３Ｌ  ２３Ｒ  リリーフ室
２４Ｌ  ２４Ｒ  スペーサブロック
２５Ｌ  ２５Ｒ  連通穴
２５ａ  軸部通路
２５ｂ  径方向通路
２７Ｌ  ２７Ｒ  圧縮コイルばね
２８Ｌ  ２８Ｒ  パイロット圧室
２９Ｌ  ２９Ｒ  ハウジング内通路
２９ａ  オリフィス
３０  電空変換ブロック
３１ａ  ３１ｂ  ハウジング
３２Ｌ  ３２Ｒ  大気連通穴
４０  フラッパ
４１  板ばね体
４１Ｌ  ４１Ｒ  流量制御面
４２  ４２Ｌ  ４２Ｒ  コイルボビン部
４３  ４３Ｌ  ４３Ｒ  コイル
４４  ４４Ｌ  ４４Ｒ  永久磁石アッセンブリ
４５  ４５Ｌ  ４５Ｒ  永久磁石
４６  ４６Ｌ  ４６Ｒ  ヨーク
４７Ｌ  ４７Ｒ  ノズル通路
５０  圧縮空気源
６０  両ロッド型シリンダ
６１ＨＬ  ６１ＨＲ  対向圧力室
１００  タンデム型電空変換式空気レギュレータ
【図１】
2005009501.tif 000003
【図２】
2005009501.tif 000004
【図３】
2005009501.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成16年8月24日(2004.8.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005009501.tif 000006