(57)【要約】【課題】  スリットノズル先端を拭き取る際に、拭き取り部材の消耗を抑えることができるスリットノズル洗浄装置を提供する。【解決手段】  上ブロック５はスリットノズル１００の傾斜面１０１と略平行な傾斜面８を有し、この傾斜面８に洗浄液を傾斜面１０１に向けて供給する洗浄液供給部９の開口１０が形成され、この開口１０の直上位置の傾斜面の一部を開口１０の面よりも傾斜面１０１側に凸となった規制部１１とし、この規制部１１によって傾斜面１０１と傾斜面８とが接触した場合でも開口１０が塞がれることがないようにしている。また、一対の上ブロック５，５間にはガイド部材１２、１２を介して拭き取り部材１３を配置している。また、拭き取り部材１３はスポンジ、ゴム、樹脂などの比較的軟らかい材料で構成され、スリットノズル１００が下降した場合にスリットノズル１００の下端部形状に倣って、ある程度の幅で接触する。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリットノズルの吐出口に拭き取り部材を接触させながらスリットノズルの長手方向に沿って相対的に移動することで吐出口に付着した余分な塗布液を除去するようにしたスリットノズル洗浄装置において、この洗浄装置は、スリットノズル先端傾斜面に洗浄液を供給する洗浄液供給部を備え、この洗浄液供給部は前記拭き取り部材とともにスリットノズルの長手方向に沿って相対的に移動可能とされ、また前記スリットノズル先端傾斜面によって洗浄液供給部の開口が塞がれるのを防止する規制部を備えていることを特徴とするスリットノズル洗浄装置。
【請求項２】
請求項１に記載のスリットノズル洗浄装置において、前記規制部は、洗浄液供給部の開口よりも上方に形成された凸部であることを特徴とするスリットノズル洗浄装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載のスリットノズル洗浄装置において、前記拭き取り部材にはスリットノズル先端が嵌まり込むＶ字状凹部が形成されていることを特徴とするスリットノズル洗浄装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載のスリットノズル洗浄装置において、前記拭き取り部材は、スリットノズル先端の吐出口に接触する第１の拭き取り部材とスリットノズル先端の両傾斜面に接触する第２の拭き取り部材とからなることを特徴とするスリットノズル洗浄装置。
【請求項５】
請求項１または請求項２に記載のスリットノズル洗浄装置において、前記拭き取り部材は、弾発部材にてスリットノズル先端に接触する方向に付勢されていることを特徴とするスリットノズル洗浄装置。
【請求項６】
スリットノズルの吐出口に付着した余分な塗布液を除去するスリットノズル洗浄装置において、この洗浄装置は、スリットノズルの長手方向に沿って相対的に移動すると共に、洗浄液受給部を備え、この洗浄液受給部は、エアー吐出部と洗浄液吐出部からなり、洗浄液吐出口には洗浄液を貯留するための洗浄液溜め部が形成され、洗浄液溜め部の後方に前記エアー吐出部を設けたことを特徴とするスリットノズル洗浄装置。
【請求項７】
請求項１又は６に記載のスリットノズル洗浄装置において、前記洗浄液供給部と前記拭き取り部材は移動方向に向かって洗浄液供給部の後に拭き取り部材が配置されていることを特徴とするスリットノズル洗浄装置。
【請求項８】
請求項１又は６に記載のスリットノズル洗浄装置において、前記スリットノズルの両サイドにダミーブロックを形成したことを特徴とするスリットノズル洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動方向と直交する方向にスリット状の塗布液吐出口を有するスリットノズルを洗浄する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス基板などの基板上にレジスト膜やカラーフィルタとなる塗布液を一定幅で塗布する装置として従来からスリットノズルが用いられている。スリットノズルを用いれば、塗布液の無駄をなくし且つ効率的に塗布を行えるのであるが、幅広となる分、ノズル先端の周辺部に塗布液の回り込み量も多く、これが乾燥すると大量の異物発生の原因となる。
【０００３】
そこで、従来にあっては、弾性変形する支持部の拭き取り面に布やガーゼを取り付けて洗浄ヘッドを構成し、この洗浄ヘッドの拭き取り面をスリットノズルの吐出口に押し当てて移動する洗浄装置が知られている。（特許文献１の段落[００３１]
）
また、スリットノズルの長さ方向（スリットに沿った方向）に移動するプレートの両面に表面がテフロン（登録商標）樹脂やウレタン樹脂などからなる清掃部材を取り付け、スプリングによって、前記清掃部材をスリットノズルの吐出口に押し当てて移動する洗浄装置が知られている。（特許文献２の段落[００１２]
〜[００１３]
）
更に、スリットノズルの吐出口が開口する下端面、この下端面を挟んだスリットノズルの左右の傾斜面を別々の清掃装置で清掃する装置で、この清掃装置がスリットノズルの下端面（傾斜面）に接触する清掃具と掻き取られた塗布液を吸引する開口部とからなる洗浄装置が知られている。（特許文献３の段落[００２７]
〜[００２９]
）。
【０００４】
また従来のスリットノズル洗浄装置においては、洗浄液供給部から洗浄液とエアーを吹付けるのみであったので、付着したレジストを完全に除去することができなかった。また、物理的洗浄手段がないため、一度こびりついてしまったレジストは洗浄液だけでは簡単に落ちなかったので、最終的には人の手で拭き取らなくてはならなかった。
【特許文献１】特開平５−２０８１５４号公報
【特許文献２】特開平９−１９２５６６号公報
【特許文献３】特開２００２−１７７８４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来のスリットノズル洗浄装置にあっては、洗浄液供給部から洗浄液とエアーを吹きかけるのみであって、付着したレジストを完全に除去することができなかった。また、物理的洗浄手段がないため、一度こびりついてしまったレジストは洗浄液だけでは簡単に落ちずに、最終的には人の手で拭き取らなくてはならなかった。
【０００６】
また、洗浄液供給部からの洗浄液の広がりが小さいため、スリットノズル下端の全域に洗浄液が行き渡らないことがあり、行き渡らせるためには大量の洗浄液を必要とした。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決すべく本発明に係るスリットノズル洗浄装置は、スリットノズルの吐出口に拭き取り部材を接触させながらスリットノズルの長手方向に沿って相対的に移動することで吐出口に付着した余分な塗布液を除去する装置であって、スリットノズル先端傾斜面に洗浄液を供給する洗浄液供給部を備え、この洗浄液供給部は前記拭き取り部材とともにスリットノズルの長手方向に沿って相対的に移動可能とされ、また前記スリットノズル先端傾斜面によって洗浄液供給部の開口が塞がれるのを防止する規制部を備えた構造とした。
【０００８】
また、スリットノズル先端傾斜面によって洗浄液供給部の開口が塞がれるのを防止する規制部を設ける箇所と形状については、例えば、洗浄液供給部の開口よりも上方に凸部を形成することが考えられる。
【０００９】
また、前記拭き取り部材としては、スリットノズル先端が嵌まり込むＶ字状凹部が形成されたもの、或いはスリットノズル先端の吐出口に接触する第１の拭き取り部材とスリットノズル先端の両傾斜面に接触する第２の拭き取り部材とからなるものなどが考えられる。
【００１０】
更に、前記拭き取り部材はスプリングなどの弾発部材にてスリットノズル先端に接触する方向に付勢される構造とするのが好ましい。
【００１１】
また本発明は、ミストの広がりと洗浄効果を向上させる為にスリットノズル洗浄装置の洗浄液供給部に洗浄液を貯める部分を設け、その後方からエアーを吹きかけるようにした。
【００１２】
また、スリットノズル両端での排気流速を抑制し、その他に自己洗浄をする目的でスリットルノズル洗浄装置のスリットノズルの両端部に略相似形ダミーブロックを設けることも可能である。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るスリットノズル洗浄装置によれば、洗浄液をノズル先端に供給しつつ、付着した塗布液を拭き取ることができるので、塗布液が固まることがなく、清掃部材が早期に消耗したり、傷つくことがなくなる。
【００１４】
また、本発明の洗浄装置は、スリットノズル先端傾斜面に洗浄液を噴き付けるときに、洗浄液供給部に規制部により洗浄液供給部の開口が塞がれるのを防止するので、塗布液の乾燥を抑制する効果がある。
【００１５】
更に、洗浄液を貯める部分を設け、その後方からエアーを吹きかけることで、ミストの広がりが向上し、洗浄効果が上がるため、液量も削減される。
【００１６】
また、従来は洗浄後に落ちきれないレジストが乾燥して塗布中の異物となることを防止するために洗浄対象物２０枚ごとに手拭き作業を行っていたが、エアーと洗浄液の２流体ノズルによる洗浄液の噴き付けと、接触式のパッドの物理的な洗浄手段によるノズル洗浄により洗浄効率がアップし、乾燥したレジストの洗浄除去が可能となり手拭き頻度が少なくなる効果がある。
【００１７】
またノズル端付近を洗浄する場合、ノズルと略相似形のダミーブロックがないと排気効率が低減され、流速が落ちてしまうので、洗浄残りの原因となる。  そこで、スリットノズルの両端に略相似形ダミーブロックを設けることにより、ノズル端での排気の流速を落とさずに均一に洗浄が行なえ、ダミーブロックを利用して、洗浄時及び／又は待機時に、ノズル自身の自己洗浄することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。図１は、第１実施例に係るスリットノズル洗浄装置の全体斜視図、図２は同スリットノズル洗浄装置の平面図、図３は図２のＡ−Ａ方向断面図、図４は図３の要部拡大断面図である。
【００１９】
スリットノズル洗浄装置は、レール１にプレート２係合し、プレート２上に設けた洗浄用ブロック３がスリットノズル１００の長手方向に沿って相対的に往復動可能としている。この洗浄用ブロック３は下ブロック４と一対の上ブロック５とからなり、下ブロック４上面に形成した凹部に上ブロック５を嵌め込んで保持している。
【００２０】
前記下ブロック４はプレート２上に取り付けた位置決めプレート６によって位置決めされ、またプレート２に回転可能に螺着したボルト７上に載置され、ボルト７を廻して高さ調整できる構造になっている。
【００２１】
また、上ブロック５はスリットノズル１００の傾斜面１０１と略平行な傾斜面８を有し、この傾斜面８に洗浄液を傾斜面１０１に向けて供給する洗浄液供給部９の開口１０が形成され、この開口１０の直上位置の傾斜面の一部を開口１０の面よりも傾斜面１０１側に凸となった規制部１１とし、この規制部１１によって傾斜面１０１と傾斜面８とが接触した場合でも開口１０が塞がれることがないようにしている。
【００２２】
また、一対の上ブロック５，５間にはガイド部材１２、１２を介して拭き取り部材１３を配置している。拭き取り部材１３のスリットノズル１００の長さ方向に沿った長さは、開口１０を形成した領域と重なっている。また、拭き取り部材１３はスポンジ、ゴム、樹脂などの比較的軟らかい材料で構成され、スリットノズル１００が下降した場合にスリットノズル１００の下端部形状に倣って、ある程度の幅で接触する。
尚、拭き取り部材１３の材料を弾性変形し難い材料で製作する場合には、予めスリットノズル１００の下端部形状に倣った形状の凹部を拭き取り部材１３に形成しておくことが望ましい。
【００２３】
以上において、洗浄液供給部９の開口１０から傾斜面１０１に向けて洗浄液を供給しつつ図示しない駆動装置にてプレート２をスリットノズル１００の長手方向に沿って移動させ、拭き取り部材１３によってスリットノズル１００の吐出口に付着した塗布液を拭き取る。
【００２４】
図５は、第２実施例に係るスリットノズル洗浄装置の平面図、図６は図５のＡ方向矢示図、図７は図５のＢ−Ｂ方向拡大断面図、図８は図６のＣ−Ｃ方向断面図であり、この実施例にあっては拭き取り部材をスリットノズル１００先端の吐出口に接触する第１の拭き取り部材１３１とスリットノズル１００先端の両傾斜面１０１に接触する第２の拭き取り部材１３２とから構成され、第２の拭き取り部材１３２は平面視で洗浄液供給部９の開口１０を形成した領域の若干外側に、第１の拭き取り部材１３１は一方の第２の拭き取り部材１３２よりも更に外側に配置されている。
【００２５】
第１及び第２の拭き取り部材１３１，１３２はスポンジ、ゴム、樹脂などから構成され、第１の拭き取り部材１３１は側面視で略逆Ｕ字状をなし、スリットノズル１００先端が下降して第１の拭き取り部材１３１を押圧するとその変形に伴う弾発力でスリットノズル１００の下端に圧接する。また、第２の拭き取り部材１３２は正面視で略逆Ｖ字状をなし、スリットノズル１００の長さ方向に離間して２個取り付けられ、一方の第２の拭き取り部材１３２は右側の上ブロック５に、他方の第２の拭き取り部材１３２は左側の上ブロック５に一端が固着され、折り曲げた際の弾発力でスリットノズル１００の下端の両傾斜面１０１，１０１に圧接する。
【００２６】
図９は、第３実施例に係るスリットノズル洗浄装置の平面図、図１０は図９のＡ方向矢示図、図１１は図９のＢ−Ｂ方向拡大断面図、図１２は図１０のＣ−Ｃ方向断面図である。
【００２７】
この実施例にあっては、第２の拭き取り部材１３２の形状を正面視で五角形の板状体とし、直交する２辺のうち１辺が下ブロック４の上面、他方の辺が上ブロック５の内側面に当接するようにしている。このような構成にすることで、拭き取り部材の位置決めを正確に行うことができる。
【００２８】
図１３は、第３実施例に係るスリットノズル洗浄装置の平面図、図１４は図１３のＡ−Ａ方向拡大断面図、図１５は図１３のＢ−Ｂ方向拡大断面図である。
【００２９】
この実施例にあっては平面視で洗浄液供給部９の開口１０を形成した領域内に、第１及び第２の拭き取り部材１３１，１３２を配置している。また第１及び第２の拭き取り部材１３１，１３２何れもブロック状をなし、スプリング１３１ａ，１３２ａにてスリットノズル１００に圧接する方向に付勢されている。
【００３０】
また、図１６は、第４実施例に係る拭き取り部材を示す図であり、この実施例にあっては先端が尖った拭き取り部材１３３の基部をケース１３４内に収め、スプリング１３５によって突出方向に付勢している。
【００３１】
図１７は、第５実施例に係るスリットノズル洗浄装置の平面図で、スリットノズルは２箇所の拭き取り部材２０１、２０２で拭き取られる。まず前方の拭き取り部材２０１で付着したレジストを除去し、次に後方の拭き取り部材２０２で洗浄液と拭き取りの仕上げを行う。拭き取り部は交換が容易なように左右別々に取り付けられ、拭き取り部材はノズル先端近傍の側面部（レジストが付着する部分）に接触するように設置されている。ノズルに付着したレジストが洗浄液で膨潤された後に拭き取られるので洗浄効果が増す効果がある。洗浄液供給部には、洗浄液を貯める洗浄液プール部２０４を設け、その後方にあるエアー供給部２０３よりエアー２０７を吹き付けることで洗浄液はミスト状２０８になってノズル傾斜面に当たり洗浄する。
【００３２】
図１８は、前記洗浄装置のＡ−Ａ断面図で、洗浄液供給部に洗浄液を貯める部分として洗浄液プール部２０４を設け、その後方にあるエアー供給部２０３からエアーを吹きかけることで、洗浄液が広がってミスト化する。前記ミストがノズル２１０に吐出されると傾斜面２０９に洗浄液が当たる面積がエアー供給しない場合に比べて広くなる。ノズル洗浄装置は、洗浄液供給部と拭き取り部で洗浄すると同時に、排液兼排気口２０６から排気を行っている。
【００３３】
図１９（ａ）は、ノズル１００にダミーノズル３００を接続する図を示す。ダミーノズル３００はノズル１００と同じ断面を持ち、図１９（ｂ）に示すようにノズル１００両端に接続される。図１９（ｃ）は吐出口３０１側から見た組立図である。ダミーノズルを設けることにより、ノズル端付近を洗浄する時の流速が落ちることもなく均一に洗浄できるので洗浄残りも発生せず、排気効率も改善される。また、ダミーノズルを利用して洗浄待機時に洗浄液を吐出させれば、ノズル自身の自己洗浄が出来るようになる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
半導体製造装置を始めとする液体塗布装置のノズルを洗浄する装置で、特に塗布液の凝固が問題となる装置への応用が可能である。これにより、洗浄作業頻度が低減することによる製造ライン全体の効率化が期待される。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】第１実施例に係るスリットノズル洗浄装置の全体斜視図
【図２】第１実施例に係る同スリットノズル洗浄装置の平面図
【図３】第１実施例に係る図２のＡ−Ａ方向断面図
【図４】第１実施例に係る図３の要部拡大断面図
【図５】第２実施例に係るスリットノズル洗浄装置の平面図
【図６】図５のＡ方向矢示図
【図７】図５のＢ−Ｂ方向拡大断面図
【図８】図６のＣ−Ｃ方向断面図
【図９】第３実施例に係るスリットノズル洗浄装置の平面図
【図１０】図９のＡ方向矢示図
【図１１】図９のＢ−Ｂ方向拡大断面図
【図１２】図１０のＣ−Ｃ方向断面図
【図１３】第３実施例に係るスリットノズル洗浄装置の平面図
【図１４】図１３のＡ−Ａ方向拡大断面図
【図１５】図１３のＢ−Ｂ方向拡大断面図
【図１６】第４実施例に係る洗浄部材を示す図
【図１７】第５実施例に係る洗浄装置の上面図（拭き取り部材が２箇所の構成で２組を併置した場合）
【図１８】図１７のＡ−Ａ方向拡大断面図
【図１９】第５実施例に係るダミーノズルを示す図
【符号の説明】
【００３６】
１．．．レール、２．．．プレート、３．．．洗浄用ブロック、４．．．下ブロック、５．．．上ブロック、６．．．位置決めプレート、７．．．ボルト、８．．．傾斜面、９．．．洗浄液供給部、１０．．．洗浄液供給用の開口、１１．．．規制部、１２．．．ガイド部、１３．．．拭き取り部材、１００．．．スリットノズル、１０１．．．傾斜面、１３１．．．第１の拭き取り部材、１３２．．．第２の拭き取り部材、１３１ａ，１３２ａ．．．スプリング、１３３…拭き取り部材、１３４．．．ケース、１３５．．．スプリング、２０１．．．拭き取り部材（前方）、２０２．．．拭き取り部材（後方）、２０３．．．エアー供給部、２０４．．．洗浄液プール部、２０５．．．Ｏ−リング、２０６．．．排液兼排気口、２０７．．．エアー、２０８．．．ミスト、２０９．．．傾斜面、２１０．．．ノズル、３００．．．ダミーブロック、３０１．．．吐出口。
【図１】
2005270841.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005270841.tif 000005
【図４】
2005270841.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2005270841.tif 000015
【図１４】
2005270841.tif 000016
【図１５】
2005270841.tif 000017
【図１６】
2005270841.tif 000018
【図１７】
2005270841.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
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