(57)【要約】【課題】 コストが安くなるとともに、ハンドリング、芯出し等位置合わせに関する時間を省略することが可能となり、しかも、１回のチャッキングでノッチ部と周縁部の研磨を行えるノッチ部研磨装置を提供する。【解決手段】  ウエハWのノッチ部Vを研磨する研磨手段32が移動機構31を介してウエハWのチャック手段3に取り付けられている。チャック手段3は、回転軸24aを備えるとともに回転軸24aと直交したウエハWをチャックするテーブル24bを備えたチャックテーブル24と、前記チャックテーブル24の回転軸24aを回転させる回転機構25を備えたチャック手段本体26とからなり、移動機構31は、チャック手段本体26に取り付けられている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハのノッチ部を研磨する研磨手段が、移動機構を介してウエハのチャック手段に取り付けられたことを特徴とするノッチ部研磨装置。
【請求項２】
前記チャック手段は、回転軸を備えるとともに回転軸と直交した前記ウエハをチャックするテーブルを備えたチャックテーブルと、前記チャックテーブルの回転軸を回転させる回転機構を備えたチャック手段本体とからなり、前記移動機構は、チャック手段本体に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のノッチ部研磨装置。
【請求項３】
前記移動機構は、ウエハと同一の平面内においてウエハに接近・離間する方向に研磨手段を移動させる第１の移動手段を有することを特徴とする請求項１または２に記載のノッチ部研磨装置。
【請求項４】
前記第１の移動手段の接近・離間する方向は、ウエハの中心方向であることを特徴とする請求項３に記載のノッチ部研磨装置。
【請求項５】
前記第１の移動手段は、前記研磨手段がウエハに接触したときの負荷を緩衝する緩衝部材を備えていることを特徴とする請求項３または４に記載のノッチ部研磨装置。
【請求項６】
前記研磨手段は、回転軸に砥石と回転駆動手段が取り付けられたものであることを特徴とする請求項１から５に記載のノッチ部研磨装置。
【請求項７】
前記移動機構に、チャックされたウエハのノッチ部を検出するノッチ部検出手段が設けられていることを特徴とする請求項１から６に記載のノッチ部研磨装置。
【請求項８】
前記ノッチ部検出位置は、研磨手段の回転軸の延長上に位置することを特徴とする請求項７に記載のノッチ部研磨装置。
【請求項９】
前記移動機構は、研磨手段を回転軸方向に移動させる第２の移動手段を有することを特徴とする請求項８に記載のノッチ部研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハのＶノッチ等を研磨する研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウエハの外周部には、デバイスプロセス各装置によるウエハの位置決めを行うためのＶ字状のノッチ部が形成されている。このノッチ部に位置決めのためのピン等を押し当てた際に塵埃が発生することから、塵埃発生防止のためにノッチ部の表面粗さを向上させるための研磨を行うことが好ましい。
【０００３】
半導体ウエハのノッチの面取りについては、ウエハ面に平行なＸ軸とＹ軸に沿って移動を行わせるモータおよび送りねじからなるＸ軸、Ｙ軸それぞれ独立した送り機構を有し、送り機構の先に備えた砥石台の位置決めに用い、また、ウエハのノッチ溝底円を描く曲率中心を中心として回転させる、ウエハを保持する真空チャックおよびターンテーブルからなるウエハ側機構からなるものが知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
また、これにおいて前記Ｘ−Ｙ平面と直交するＺ軸方向に回転軸を有する総型砥石を用いることが示されている（第２の実施の形態）。これは高精度なＶ斜面を得ることを目的としたもので、数値制御により位置を制御して行う研磨装置である。
【特許文献１】特開２００２−５２４７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献１のものでは、数値制御を利用することによりその制御部並びに機構に高度なものを利用することになり、非常に高価な装置になってしまう。また、ウエハを真空チャックに設置する際にターンテーブルの回転中心とノッチ溝底円を描く曲率中心とを一致もしくはノッチ部のなす角θの二等分線上に位置させるようにしなければならず、単に芯出しすれば良いというものではないため、その制約による設置の手間を有することになる。また、ウエハと平行な平面内にある直交したＸ軸とＹ軸に沿った送り軸を有するための装置が大きくなってしまう。
【０００６】
この発明はこれら課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明によるノッチ部研磨装置は、ウエハのノッチ部を研磨する研磨手段が移動機構を介してウエハのチャック手段に取り付けられたことを特徴とするものである。
【０００８】
ウエハのチャック手段は、例えば、ウエハの芯出し装置に対向して設けられ、この芯出し装置によって芯出しされたウエハがチャック手段に受け渡される。チャック手段に保持されたウエハは、このノッチ部研磨装置によってノッチ部を研磨されるとともに、例えば、ウエハ外周部研磨装置がチャック手段近くに設けられることによって、別途の受け渡し装置を設けることなく、その外周部に面取り研磨などの外周部加工が施される。
【０００９】
移動機構は、研磨手段を作動位置と退避位置とに移動させるもので、例えば、ウエハと同一の平面内においてウエハに接近・離間する方向に研磨手段を移動させる第１の移動手段、研磨手段をその回転軸方向に移動させる第２の移動手段などを有するものとされる。
【００１０】
前記チャック手段は、回転軸を備えるとともに回転軸と直交した前記ウエハをチャックするテーブルを備えたチャックテーブルと、前記チャックテーブルの回転軸を回転させる回転機構を備えたチャック手段本体とからなり、前記移動機構は、チャック手段本体に取り付けられていることが好ましい。
【００１１】
チャック手段本体は、チャックテーブルおよび回転機構などの可動部を支持する固定部を意味し、固定ベースに固定されてチャックテーブルを支持する支持フレーム、支持フレームに取り付けられてチャックテーブルの回転軸を回転可能に支持するケーシングなどから構成される。
【００１２】
前記移動機構は、ウエハと同一の平面内においてウエハに接近・離間する方向に研磨手段を移動させる第１の移動手段を有していることが好ましい。
【００１３】
研磨手段は、ウエハと同一の平面に直交する方向からウエハに接近・離間する構成も可能であるが、ウエハと同一の平面内においてウエハに接近・離間させることにより、ウエハに接触した時点を研磨開始の基準位置とすることができ、研磨開始位置の位置決めが容易となる。
【００１４】
前記第１の移動手段の接近・離間する方向は、ウエハの中心方向であることが好ましく、これにより、研磨開始の基準位置の位置決めがより一層容易となる。
【００１５】
前記第１の移動手段は、前記研磨手段がウエハに接触したときの負荷を緩衝する緩衝部材を備えていることが好ましい。
【００１６】
緩衝部材は、例えば、研磨手段をウエハに接近する方向に付勢するコイルばねとされる。移動機構による移動量が適切でない場合、移動機構によるウエハと砥石との負荷によりウエハが割れることになるが、緩衝部材により負荷が軽減され割れを防止することが可能であるとともに、数値制御による位置制御のような厳密な制御が必要ないので、数値制御に関する装置、機構等が省略でき大幅なコストダウンが図れる。
【００１７】
前記研磨手段は、回転軸に砥石と回転駆動手段が取り付けられたものであることが好ましい。
【００１８】
砥石は、例えば、総型砥石とされる。例えば総型砥石を用いた場合、回転駆動することにより当接したウエハのノッチ部の端面および面取り部を同時に研磨することができ、チャックテーブルをノッチ部の範囲内に相当する角度範囲で回転往復させることにより満遍なく砥石をウエハに当接させノッチ部の研磨を十分行えるようになる。特に第１の移動手段に緩衝部材を用いた場合は、緩衝部材により砥石が動くので、前記往復回転させるだけで砥石の位置を制御せずにノッチ部全体の研磨が行えるようになる。
【００１９】
前記移動機構に、チャックされたウエハのノッチ部を検出するノッチ部検出手段が設けられていることが好ましい。
【００２０】
ノッチ部検出手段は、ウエハ周縁におけるノッチ部を検出するもので、光が透過したときにノッチ部有りを検出する位置センサ（例えば光透過式フォトインタラプタ）、光が反射しないときにノッチ部有りを検出する位置センサ（例えば光反射式フォトインタラプタ）などが適宜使用される。
【００２１】
前記ノッチ部検出位置は、研磨手段の回転軸の延長上に位置することが好ましい。
【００２２】
このようにすると、検出位置＝回転軸の延長上となるので、砥石を回転軸方向に移動させることにより位置あわせが容易になる。
【００２３】
前記移動機構は、研磨手段の回転軸方向に移動させる第２の移動手段を有することが好ましい。
【００２４】
この場合に、第２の移動手段は、研磨手段およびノッチ部検出手段を研磨手段がウエハ対応位置にあるノッチ部研磨位置とノッチ部検出手段がウエハ対応位置にあるノッチ部検出位置とに停止させるものとされる。検出位置が回転軸の延長上にありしかも第２の移動手段による移動方向となるので、位置あわせがより一層容易になる。
【００２５】
砥石を総型砥石としている場合、この発明のノッチ部研磨装置を使用し、チャックテーブルを全回転させてウエハ周縁部全体の端面、面取り部を研磨しても良い。
【発明の効果】
【００２６】
この発明のノッチ部研磨装置によると、ウエハのノッチ部を研磨する研磨手段が移動機構を介してウエハのチャック手段に取り付けられたので、別途ノッチ部研磨装置を用意するやり方に比べ、コストが安くなるとともに、ハンドリング、芯出し等位置合わせに関する時間を省略することが可能となり、しかも、ノッチ部研磨時以外は移動機構により研磨手段をウエハの周囲から退避させることにより、チャックした状態で周囲にウエハの周縁部（端面、ウエハの一方の面の面取り部、ウエハの他方の面取り部）を研磨する研磨装置を配して研磨が行えるなど、１回のチャッキングでノッチ部と周縁部の研磨を行えることになる。さらにチャックしている面の反対側であるウエハ表面を研磨する研磨装置を配することで１回のチャッキングで研磨できる部分が多くなるなど効率の向上に寄与する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、図１の左を後、右を前というものとし、また、上下および垂直については、図１の上下および上下方向をいい、左右については、図１の奥側を左、手前側を右というものとし、水平については、前記垂直と直交するものをいうものとする。なお、この前後、上下および左右などは便宜上のものであり、実際の設置に際しては、上下方向を前後または左右方向にするなどの変更が可能であり、その方向は限定されるものではない。
【００２８】
図１および図２は、この発明のノッチ部研磨装置(7)を含んだ研磨システム(1)を示している。研磨システム(1)は、円盤状ウエハ(W)を垂直状態で芯出しする芯出し装置(2)と、芯出しされたウエハ(W)を芯出し装置(2)から受け取るチャック装置（チャック手段）(3)と、芯出し装置(2)をチャック装置(3)方向に移動させるウエハ移動装置(4)と、ウエハ(W)の外周縁部の加工を行う少なくとも１つ（図示は２つ）の外周縁部研磨装置(5)(6)と、ウエハ(W)に形成されたＶ字状のノッチ部(V)の研磨を行うノッチ部研磨装置(7)とを備えている。
【００２９】
ウエハ移動装置(4)は、固定ベース(11)に設けられた前後方向にのびるレール(12)と、レール(12)に沿って移動する移動体(13)とを有しており、芯出し装置(2)は、移動体(13)の下面に取り付けられた垂直フレーム(13a)に懸垂式に支持され、チャック装置(3)は、芯出し装置(2)に対向するように固定ベース(11)に取り付けられている。
【００３０】
芯出し装置(2)は、芯出しの基準となる水平基準軸（基準軸）を有し移動体(13)の垂直フレーム(13a)に取付けプレート(15)を介して支持されている垂直状のベースプレート(14)と、ベースプレート(14)に固定されてウエハ(W)を支持してその落下を防止するホルダ(16)と、ウエハ(W)の倒れを防止してホルダ(16)とともにウエハ(W)を垂直に仮保持する仮保持手段(17)と、ベースプレート(14)に基準軸を介して左右に対向するように設けられ基準軸に対して接近離間方向に移動可能な垂直状の可動プレート(18)と、ベースプレート(14)に設けられた基準軸を中心として左右および上下対称に配置されるように可動プレート(18)の上下端部に突出状に設けられており可動プレート(18)が接近方向に移動した際にウエハ(W)の外周縁部に径方向外方から当接する計４つの高分子樹脂材製ウエハ当接部材(19)と、ウエハ当接部材(19)が対称関係を保ったまま接近離間方向に移動するよう可動プレート(18)を駆動するラック・ピニオン機構(20)とを備えている。
【００３１】
この芯出し装置(2)によると、吸着機能を有するウエハ搬送ロボットによりウエハ(W)をホルダー(16)に支持させ、次いで、仮保持手段(17)が９０°回動してウエハ(W)を垂直に仮保持し、次いで、可動プレート(18)を移動させることにより、ウエハ当接部材(19)がウエハ(W)に当接して、ウエハ(W)を芯出しすることができる。
【００３２】
チャック装置(3)は、前記水平基準軸上に回転軸(24a)を有するとともに回転軸(24a)と直交した前記ウエハ(W)をチャックするテーブル(24b)を備えたチャックテーブル(24)と、前記チャックテーブル(24)の回転軸(24a)を回転させる回転機構(25)を備えたチャック手段本体(26)とからなる。
【００３３】
回転機構(25)は、固定ベース(11)に固定されてチャックテーブル(24)の回転軸(24a)をベルト(25b)を介して回転させるモータ(25a)を有している。
【００３４】
チャック手段本体(26)は、固定ベース(11)に固定されてチャックテーブル(24)を懸垂式に支持する垂直状の支持フレーム(26a)、支持フレーム(26a)に取り付けられてチャックテーブル(24)の回転軸(24a)を回転可能に支持するケーシング(26b)などから構成されている。
【００３５】
外周縁部研磨装置(5)(6)は、外周部研磨用、チャンファ部研磨用などに使用されるもので、各外周縁部研磨装置(5)(6)は、円盤状砥石(27)、砥石軸(28)、回転駆動部を内蔵したケーシング(29)などからなり、垂直軸回りに揺動可能に設けられている。
【００３６】
ノッチ部研磨装置(7)は、ウエハ(W)のチャック手段本体(26)に設けられた移動機構(31)と、移動機構(31)に設けられてチャック手段(3)にチャックされたウエハ(W)のノッチ部(V)を研磨する研磨手段(32)と、移動機構(31)に設けられてチャック手段(3)にチャックされたウエハ(W)のノッチ部(V)を検出するノッチ部検出手段(33)とを備えている。
【００３７】
移動機構(31)は、ウエハ(W)と同一の平面（垂直面）内においてウエハ(W)の中心方向（上下方向）に移動してウエハ(W)に接近・離間する方向に研磨手段(32)およびノッチ部検出手段(33)を移動させる第１の移動手段(34)と、研磨手段(32)の回転軸に平行な面（回転軸方向）に研磨手段(32)およびノッチ部検出手段(33)を移動させる第２の移動手段(35)とを有している。
【００３８】
以下では、図３から図７までを参照して、ノッチ部研磨装置(7)の詳細な説明を行う。
【００３９】
第１移動手段(34)は、この実施形態では、研磨手段(32)およびノッチ部検出手段(33)を上下方向に移動させるように構成されており、図３に示すように、研磨手段(32)および検出手段(33)を支持する基台(41)と、基台(41)を昇降させる昇降シリンダ(42)と、昇降シリンダ(42)を支持するコ字状の昇降シリンダ支持ブラケット(43)と、昇降シリンダ支持ブラケット(43)に設けられて基台(41)の昇降を案内する前後１対の昇降ガイド(44)とを有している。第１移動手段(34)によると、昇降シリンダ(42)のシリンダロッド(42a)の進退によって基台(41)したがって研磨手段(32)および検出手段(33)が降昇させられる。このシリンダロッド(42a)の後退位置は、ノッチ部検出手段(33)または研磨手段(32)がウエハ当接位置に位置するノッチ部検出位置または研磨位置とされ、同前進位置は、ノッチ部検出手段(33)または研磨手段(32)が軸方向のノッチ部検出位置または研磨位置を保った状態でウエハから離間する位置（それぞれ、離間検出位置、離間研磨位置という）とされている。
【００４０】
研磨手段(32)は後述する研磨手段支持手段(45)により、検出手段(33)は後述する検出手段支持手段(46)によりそれぞれ基台(41)に支持されている。
【００４１】
第２移動手段(35)は、第１移動手段(34)を支持して軸方向に前後移動し研磨手段(32)を前記離間研磨位置に、ノッチ部検出手段(33)を前記離間検出位置に往復移動させる研磨位置・検出位置切り替え手段(47)と、研磨手段(32)およびノッチ部検出手段(33)を芯出し装置(2)からのウエハ(W)の受け取り、外周縁研磨装置(5)(6)による加工の邪魔にならない位置である退避位置と前記研磨位置・検出位置切り替え手段(47)を作動させる作動位置とに往復移動させる退避位置・作動位置切り替え手段(48)と、砥石部(59a)(59b)(59c)が複数設けられている研磨手段(32)の使用に際してどの砥石部(59a)(59b)(59c)を研磨に使用するかを決定する砥石部切り替え手段(49)とを有している。
【００４２】
研磨位置・検出位置切り替え手段(47)は、昇降シリンダ支持ブラケット(43)を軸方向移動可能に支持する上下１対のスライドレール(51)と、スライドレール(51)を支持するＵ字状のレール支持ブラケット(52)と、レール支持ブラケット(52)の後面に設けられて昇降シリンダ支持ブラケット(43)を軸方向に移動させる軸方向移動シリンダ(53)とを有している。研磨位置・検出位置切り替え手段(47)によると、軸方向移動シリンダ(53)のシリンダロッド(53a)の進退によって昇降シリンダ支持ブラケット(43)したがって基台(41)が前後移動させられる。このシリンダロッド(53a)の後退位置は、ノッチ部検出手段(33)がウエハ平面内に位置するノッチ部検出位置とされ、同前進位置は、研磨手段(32)がウエハ平面内に位置する研磨位置とされている。
【００４３】
退避位置・作動位置切り替え手段(48)は、研磨位置・検出位置切り替え手段(47)のレール支持ブラケット(52)の下面に固定されたスライドガイド(54)と、スライドガイド(54)を軸方向移動可能に支持するスライドレール(55)と、スライドレール(55)を支持するＵ字状のレール支持ブラケット(56)と、レール支持ブラケット(56)後面に設けられてスライドガイド(54)を軸方向に移動させる軸方向移動シリンダ(57)とを有している。退避位置・作動位置切り替え手段(48)によると、軸方向移動シリンダ(57)のシリンダロッド(57a)の進退によってスライドガイド(54)したがって研磨位置・検出位置切り替え手段(47)のレール支持ブラケット(52)が前後移動させられる。
【００４４】
砥石部切り替え手段(49)は、退避位置・作動位置切り替え手段(48)のレール支持ブラケット(56)の下面に固定されて軸方向に移動する移動体(49a)を有している。移動体(49a)は、ボールネジ（図示略）によって前後移動させられる。砥石部切り替え手段(49)自体は、チャック手段本体(26)に支持されており、移動体(49a)を所定位置に移動させることにより、退避位置・作動位置切り替え手段(48)のレール支持ブラケット(56)の位置決めが行われる。移動体(49a)の位置は、砥石部(59a)(59b)(59c)が複数設けられている研磨手段(32)のどの砥石部(59a)(59b)(59c)を研磨に使用するかによって決定される。移動体(49a)の移動手段は、ボールネジに限られるものではなく、例えば、シリンダを複数段設けても良く、この場合、シリンダが端まで移動させられた位置でいずれかの砥石部(59a)(59b)(59c)に位置合わせがなされるようにすればよい。
【００４５】
研磨手段(32)は、図４に拡大して示すように、回転軸(58)に砥石(59)および回転駆動手段（図示略）が取り付けられたもので、回転駆動手段を内蔵したケーシング(60)が研磨手段支持手段(45)のブラケット(64)に支持されている。砥石(59)は、回転軸方向に並ぶ複数の総型砥石部(59a)(59b)(59c)を有している。
【００４６】
ノッチ部検出手段(33)は、図３および図５などに示すように、左右方向から見てＵ字状のローラ支持ブラケット(61)と、ローラ支持ブラケット(61)の前後壁に回転可能に支持されてウエハ(W)に下方からあてがわれる左右１対のローラ(62)と、１対のローラ(62)の中間に設けられて光の透過有無によってノッチ部(V)を検出する位置センサ(63)とを有している。
【００４７】
研磨手段支持手段(45)は、図６に詳しく示すように、研磨手段(32)のケーシング(60)が嵌め入れられる前後方向貫通孔を有し基台(41)の上方に配置されて研磨手段(32)のケーシング(60)に固定されている直方体状の可動ブラケット(64)と、基台(41)に上方突出状に設けられかつ可動ブラケット(64)に設けられた図６における左右の垂直貫通孔に相対移動可能に挿通された左右１対の上向きガイドバー(65)と、各上向きガイドバー(65)の上部に相対移動可能に嵌められた左右のスライドガイド(66)と、左右の上向きガイドバー(65)の中間に位置するように可動ブラケット(64)に下方突出状に設けられた下向きガイドバー(67)と、下向きガイドバー(67)に巻装されるとともに基台(41)の上面に設けられた環状凹所(41a)と可動ブラケット(64)の下面に設けられた環状凹所(64a)とに受け止められて基台(41)と可動ブラケット(64)とが互いに離れる方向に付勢する緩衝部材としての圧縮コイルばね(68)とからなる。
【００４８】
検出手段支持手段(46)は、図７に示すように、ローラ支持ブラケット(61)の後面に固定されている直方体状の可動ブラケット(69)と、基台(41)に上方突出状に設けられかつ可動ブラケット(69)に設けられた図７における左右の垂直貫通孔に相対移動可能に挿通された左右１対の上向きガイドバー(70)と、可動ブラケット(69)に設けられ各上向きガイドバー(70)の上部に相対移動可能に嵌められた左右のスライドガイド(71)と、左右の上向きガイドバー(70)の中間に位置するように可動ブラケット(69)に下方突出状に設けられた下向きガイドバー(72)と、下向きガイドバー(72)に巻装されるとともに基台(41)の上面に設けられた環状凹所(41b)と可動ブラケット(69)の下面に設けられた環状凹所(69a)とに受け止められて基台(41)と可動ブラケット(69)とが互いに離れる方向に付勢する緩衝部材としての圧縮コイルばね(73)とからなる。
【００４９】
研磨手段支持手段(45)および検出手段支持手段(46)は、位置センサ(63)（ノッチ部検出位置）が研磨手段(32)の回転軸(58)の延長上に位置するように、基台(41)に所定の間隔をおいて取り付けられている。
【００５０】
このノッチ部研磨装置(7)によると、ノッチ部(V)の研磨を行わない場合には、図８（ａ）に示す退避位置に位置させられ、このとき、退避位置・作動位置切り替え手段(48)のシリンダロッド(57a)および研磨位置・検出位置切り替え手段(47)のシリンダロッド(53a)は、いずれも後退位置にあり、研磨手段(32)およびノッチ部検出手段(33)は、芯出し装置(2)からのウエハ(W)の受け取りおよび外周縁部研磨装置(5)(6)によるウエハ(W)の外周縁部の加工の妨げにならない位置まで退避させられている。
【００５１】
ノッチ部(V)の研磨を行う際には、まず、退避位置・作動位置切り替え手段(48)のシリンダロッド(57a)を前進させてスライドガイド(54)を前方に移動させる。これにより、図８（ｂ）に示すように、研磨位置・検出位置切り替え手段(47)および第１移動手段(34)が前方に移動させられる。研磨位置・検出位置切り替え手段(47)のシリンダロッド(53a)は、後退位置（ノッチ部検出位置）にあり、これにより、ノッチ部検出手段(33)のローラ(62)がウエハ(W)の真下（離間検出位置）に位置させられる。
【００５２】
図８（ｂ）の状態で、第１移動手段(34)のシリンダロッド(42a)を後退させると、基台(41)が上昇させられ、図８（ｃ）に示すように、ノッチ部検出手段(33)のローラ(62)がウエハ(W)に当接する。この際、検出手段支持手段(46)の圧縮コイルばね(73)が圧縮され、圧縮コイルばね(73)の弾性力により緩衝されるとともに圧縮に対応する負荷がローラ(62)からウエハ(W)に与えられる。ノッチ部(V)の位置検出に際しては、芯出し時に偶然ノッチ部(V)がノッチ部検出手段(33)の位置（この例では真下）にある時を除いて、チャック手段(3)のチャックテーブル(24)を回転させてノッチ部(V)の位置決めを行う。すなわち、チャックテーブル(24)によってウエハ(W)を回転させると、光の透過有無を検出する位置センサ(63)は、ノッチ部(V)が位置センサ(63)の位置に来た時点でオン信号を出力し、この信号により、チャックテーブル(24)の回転を停止させることにより、図５および図７に示す位置にウエハ(W)が停止する。
【００５３】
ここで、第１移動手段(34)のシリンダロッド(42a)を前進させて、基台(41)を図８（ｂ）の位置まで降下させておいてから、図９（ａ）に示すように、研磨位置・検出位置切り替え手段(47)のシリンダロッド(53a)を前進させ、これを前進位置（研磨位置）に移動させる。これにより、研磨手段(32)の砥石(59)がノッチ部(V)の真下（離間研磨位置）に位置させられる。砥石(59)の複数の総型砥石部(59a)(59b)(59c)のうちのどれがノッチ部(V)の真下に位置するかは、砥石部切り替え手段(49)の移動体(49a)の位置の調整によって決定される。
【００５４】
図９（ａ）の状態で、第１移動手段(34)のシリンダロッド(42a)を後退させると、基台(41)が上昇させられ、図９（ｂ）のように、研磨手段(32)の砥石(59)がノッチ部(V)に当接する。この際、研磨手段支持手段(45)の圧縮コイルばね(68)が圧縮され、圧縮コイルばね(68)の弾性力により緩衝されるとともに圧縮に対応する負荷が砥石(59)からウエハ(W)に与えられた状態でノッチ部(V)が研磨される。こうして、緩衝部材としての圧縮コイルばね(68)により第１の移動手段(34)による負荷が軽減され、ウエハ(W)の割れが防止される。研磨に際しては、初期位置がノッチ部(V)の最深部となっておりかつ圧縮コイルばね(68)により砥石(59)が動くことから、チャックテーブル(24)を揺動（所定角度範囲の往復回転運動）させることで、この往復回転だけで砥石(59)の位置を制御せずにノッチ部(V)全体の研磨が行える。
【００５５】
なお、上記において、第２の移動手段(35)は、３つの位置切り替え手段(47)(48)(49))から構成されているが、これに限られるものではなく、１つの移動手段（例えば、ボールねじ、リニアモータなど）を使用して、その停止位置が少なくとも１つの研磨位置、検出位置および退避位置となるように制御してもよい。上記実施形態のように、研磨・検出位置および退避位置をそれぞれ異なる軸方向移動シリンダ(53)(57)で行うことにより、位置制御を容易なものとすることができる。
【００５６】
また、砥石(59)の回転軸方向に並ぶ複数の総型砥石部(59a)(59b)(59c)の形状はすべて同じであっても良いし、要求に応じて使い分けられるように異なる形状であっても良い。砥石(59)に設ける総型砥石部は、１つでもよく、この場合には、砥石部切り替え手段(49)を省略することができる。上記実施形態のように、総型砥石部(59a)(59b)(59c)を２つ以上とすることにより、砥石交換の頻度を少なくすることができ、ノッチ部(V)の研磨効率を向上させることができる。
【００５７】
また、第１移動手段は、上下方向に移動するように取り付けられた例を示したが、その方向はこれに限られず、任意に定められうるものであるとともに、移動機構(31)がチャック手段本体(26)のうち支持フレーム(26a)に取り付けられた例を示したが、これに限らず、ケーシング(26b)に取り付けられてもよく、これらの取り付けに応じて説明中の上下、左右等の表現は変わることは言うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
従来高価で大型の数値制御による位置制御装置を用いてノッチ部を研磨していたところ、それらを省略したコンパクトな構成で安価に作成可能な本発明は十分利用可能といえる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】この発明によるノッチ部研磨装置を含む研磨システム装置を示す側面図である。
【図２】同平面図である。
【図３】この発明によるノッチ部研磨装置を示す拡大側面図である。
【図４】研磨手段の拡大側面図である。
【図５】図３のV-V線に沿う断面図である。
【図６】図４のVI-VI線に沿う断面図である。
【図７】図３のVII-VII線に沿う断面図である。
【図８】この発明によるノッチ部研磨装置のノッチ部検出時の作動状態の変化を示す図である。
【図９】この発明によるノッチ部研磨装置のノッチ部研磨時の作動状態の変化を示す図である。
【符号の説明】
【００６０】
(3)       チャック手段
(7)       ノッチ部研磨装置
(24)      チャックテーブル
(24a)     回転軸
(24b)     テーブル
(25)      回転機構
(26)      チャック手段本体
(31)      移動機構
(32)      研磨手段
(33)      ノッチ部検出手段
(34)      第１の移動手段
(35)      第２の移動手段
(58)      回転軸
(59)      砥石
(68)      緩衝部材
(W)       ウエハ
(V)       ノッチ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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