(57)【要約】【課題】  均一でムラのない膜を形成することが可能な、膜形成方法の提供を目的とする。【解決手段】  液晶層の駆動電極７２が形成された基板７０に、インクジェットヘッド２０から液状体７３を塗布して、液晶分子の配向膜を形成する方法であって、液状体７３の塗布前または塗布中に、駆動電極７２に電流を供給することにより、液状体７３を沸点未満に加熱して流動化を促進させる。また、液状体７３の塗布後に、駆動電極７２に電流を供給することにより、液状体７３を沸点以上に加熱して乾燥させる。なお、複数の駆動電極７２に異なる電流を供給して、乾燥状態を制御することも可能である。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電体層が形成された基板上に液状体を塗布して膜を形成する方法であって、
前記液状体の塗布前または塗布中に、前記導電体層に電流を供給することを特徴とする膜形成方法。
【請求項２】
前記導電体層に対する電流の供給は、前記導電体層の温度が前記液状体の沸点未満となるように行うことを特徴とする請求項１に記載の膜形成方法。
【請求項３】
導電体層が形成された基板上に液状体を塗布して膜を形成する方法であって、
前記液状体の塗布後に、前記導電体層に電流を供給することを特徴とする膜形成方法。
【請求項４】
前記導電体層に対する電流の供給は、前記導電体層の温度が前記液状体の沸点以上となるように行うことを特徴とする請求項３に記載の膜形成方法。
【請求項５】
前記導電体層は、電気的に分離された複数の導電部を備え、
前記基板上の中央部に配置された前記導電部に対して、前記基板上の周縁部に配置された前記導電部より、多くの電流を供給することを特徴とする請求項３または請求項４に記載の膜形成方法。
【請求項６】
前記導電体層は、電気的に分離された複数の導電部を備え、
前記液状体の塗布中または塗布後の領域に配置された前記導電部に対して、前記液状体の塗布前の領域に配置された前記導電部より、多くの電流を供給することを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の膜形成方法。
【請求項７】
前記導電体層は、画像表示素子を駆動する電極層であることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の膜形成方法。
【請求項８】
前記導電部は、パッシブマトリクス型の電気光学装置における走査電極または信号電極であることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の膜形成方法。
【請求項９】
前記導電体層は、画像表示素子の周囲に形成された遮光膜であることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の膜形成方法。
【請求項１０】
前記導電部は、画像表示素子の周囲に形成された遮光膜を電気的に分離した複数の遮光部であることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の膜形成方法。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載の膜形成方法を使用して製造したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜形成方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プロジェクタに搭載される光変調装置や、携帯電話等に搭載される直視型表示装置として、液晶表示装置が広く用いられている。この液晶表示装置は、対向配置された一対の基板により、液晶層が挟持されて構成されている。その一対の基板の内側には、液晶層に電界を印加するための透明電極が形成されている。その電極の内側には、電界無印加時において液晶分子の配列を制御する配向膜が形成されている。そして、電界無印加時と電界印加時との液晶分子の配列変化に基づいて、画像表示を行うようになっている。
【０００３】
上述した配向膜は、ポリイミド等の高分子材料によって構成されている。配向膜を形成するには、配向膜の形成材料を含む液状体を基板上に塗布し、塗布された液状体を加熱処理して乾燥膜を得る。その後、乾燥膜の表面をラビング処理することにより、配向膜を形成することができる。なお、液状体を基板上に塗布する方法として、スピンコート法やディップ法、スプレー法、印刷法、液滴吐出法などを利用することが可能である。
【０００４】
そのうち液滴吐出法は、基板上に複数の液滴を吐出することにより液状体を塗布する方法である。この場合、吐出された液滴が基板上に濡れ広がり、隣接する液滴と結合することによって、液状体が塗布された状態となる。この液滴吐出法は、所定量の液状体を所定位置に正確に塗布することが可能であり、また液状体を効率的に利用することが可能であるという利点を有する。
【特許文献１】特開平９−１０５９３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、液滴吐出法による液状体の塗布時には、吐出された液滴が濡れ広がる前に、液滴の溶媒の一部が蒸発する場合がある。これにより、液滴の粘度が増加して流動性が低下する。この場合、配向膜を均一に形成することが困難になるという問題がある。
また、大きな基板上に配向膜を形成する場合には、液滴吐出装置のヘッドを改行させることにより、複数行にわたって液状体を塗布する。この場合に液滴の流動性が低下すると、隣接行の境界部分において液状体の混合不良が発生して、当該部分に改行スジが現れるという問題がある。この改行スジは、液晶表示装置の表示品質を低下させる原因となる。
【０００６】
一方、塗布された液状体の乾燥時には、基板上の中央部において溶媒の蒸気分圧が高くなり、周縁部では蒸気分圧が低くなる。そのため、中央部では乾燥が遅れるのに対して、周縁部では速やかに乾燥して、配向膜に乾燥ムラが発生するという問題がある。この乾燥ムラも、液晶表示装置の表示品質を低下させる原因となる。
【０００７】
なお特許文献１には、配向膜形成溶液を塗布してから加熱を開始するまでの時間を制御することにより、均一な配向膜を形成する方法が提案されている。しかしながら、その加熱には発熱量が不均一な赤外線またはマイクロ波を利用するため、配向膜を均一に形成するのは困難である。
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、均一でムラのない膜を形成することが可能な、膜形成方法の提供を目的とする。
また、表示品質に優れた液晶表示装置および電子機器の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の膜形成方法は、導電体層が形成された基板上に液状体を塗布して膜を形成する方法であって、前記液状体の塗布前または塗布中に、前記導電体層に電流を供給することを特徴とする。
この構成によれば、導電体層を発熱させて、塗布された液状体を加熱することができる。そして、液状体の塗布前または塗布中に導電体層が予備加熱されるので、塗布された液状体の温度低下による粘度増加が抑制される。これにより、液状体の流動化が促進され、液状体は均一な厚さに濡れ広がる。また、複数行にわたって液状体を塗布する場合でも、隣接行の境界部分において液状体が良好に混合されるので、改行スジの発生を防止することが可能になる。したがって、均一な膜を形成することができる。
【００１０】
また、前記導電体層に対する電流の供給は、前記導電体層の温度が前記液状体の沸点未満となるように行うことが望ましい。
この構成によれば、液状体の蒸発による粘度増加が抑制される。これにより、液状体の流動化が促進され、均一な膜を形成することができる。
【００１１】
一方、本発明の他の膜形成方法は、導電体層が形成された基板上に液状体を塗布して膜を形成する方法であって、前記液状体の塗布後に、前記導電体層に電流を供給することを特徴とする。
この構成によれば、赤外線やマイクロ波などを利用する場合と比べて、液状体を均一に加熱することが可能になり、ムラのない膜を形成することができる。また、赤外線やマイクロ波などを照射する加熱手段も不要となり、設備コストを低減することができる。さらに、塗布された液状体に近接する導電体層によって液状体を加熱するので、少ない熱量で速やかに液状体を乾燥させることが可能になり、消費エネルギーの低減および乾燥時間の短縮を実現することができる。
【００１２】
また、前記導電体層に対する電流の供給は、前記導電体層の温度が前記液状体の沸点以上となるように行うことが望ましい。
この構成によれば、乾燥ムラのない膜を形成することができる。
【００１３】
また、前記導電体層は、電気的に分離された複数の導電部を備え、前記基板上の中央部に配置された前記導電部に対して、前記基板上の周縁部に配置された前記導電部より、多くの電流を供給することが望ましい。
この構成によれば、基板上の中央部に塗布された液状体が強く加熱されるので、基板上において液状体の乾燥速度を均一化することができる。したがって、ムラのない配向膜を形成することができる。
【００１４】
また、前記導電体層は、電気的に分離された複数の導電部を備え、前記液状体の塗布中または塗布後の領域に配置された前記導電部に対して、前記液状体の塗布前の領域に配置された前記導電部より、多くの電流を供給する構成としてもよい。
この構成によれば、液状体の塗布中または塗布後の領域について直ちに乾燥処理を行うことが可能になり、乾燥時間を短縮することができる。また、液状体の重ね塗りを効率的に行うことも可能になる。
【００１５】
また、前記導電体層は、画像表示素子を駆動する電極層であることが望ましい。
この構成によれば、膜形成領域のほぼ全体に電極が形成されているので、液状体を均一に加熱することが可能になる。したがって、均一な膜を形成することができる。
【００１６】
また、前記導電部は、パッシブマトリクス型の電気光学装置における走査電極または信号電極であってもよい。
この構成によれば、ストライプ状に形成された各電極の両端部から、簡単に電流を供給することができる。
【００１７】
また、前記導電体層は、画像表示素子の周囲に形成された遮光膜であってもよい。また、前記導電部は、画像表示素子の周囲に形成された遮光膜を電気的に分離した複数の遮光部であってもよい。
これらの構成によっても、上記目的を達成することができる。
【００１８】
一方、本発明の電気光学装置は、上述した膜形成方法を使用して製造したことを特徴とする。
この構成によれば、均一でムラのない膜を形成することができるので、表示品質に優れた電気光学装置を提供することができる。
【００１９】
一方、本発明の電子機器は、上述した電気光学装置を備えたことを特徴とする。
この構成によれば、表示品質に優れた電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。なお本明細書では、液晶表示装置の構成部材における液晶層側を内側と呼ぶことにする。
【００２１】
［第１実施形態］
最初に、本発明の第１実施形態につき、図１ないし図５を用いて説明する。第１実施形態の膜形成方法は、図２に示す液晶表示装置１における配向膜７４の形成方法であって、配向膜７４の形成材料を含む液状体を基板７０上に塗布し、塗布された液状体を乾燥させて配向膜７４を形成するものであり、液状体の塗布前、塗布中および塗布後に、液晶層２の駆動電極７２に電流を供給して、液状体を加熱するものである。
【００２２】
［液晶表示装置］
図１は液晶表示装置の斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ線における正面断面図である。図２に示す液晶表示装置１は、下基板７０および上基板８０により液晶層２を挟持して構成されている。なお、本実施形態ではパッシブマトリクス型の液晶表示装置を例にして説明するが、本発明をアクティブマトリクス型の液晶表示装置に適用することも可能である。
【００２３】
図２に示すように、液晶表示装置１では、ガラス等の透明材料からなる下基板７０および上基板８０が対向配置されている。下基板７０の内側には、カラーフィルタ層７６が形成されている。このカラーフィルタ層には、赤、緑または青の各色光を透過する複数のカラーフィルタＲ，Ｇ，Ｂがマトリクス状に配置されている（図６参照）。また、各カラーフィルタを透過した色光の混色を防止するため、図２に示す各カラーフィルタＲ，Ｇ，Ｂの周囲には、金属クロム等の黒色材料からなるブラックマトリクス（遮光膜）７７が配置されている。さらに、カラーフィルタ層７６の内側には、カラーフィルタ層の保護膜７９が形成されている。なお、カラーフィルタ層７６およびその保護膜７９は、上基板８０の内側に形成してもよい。
【００２４】
下基板７０および上基板８０の内側には、液晶層に電界を印加するための駆動電極７２，８２が形成されている。この駆動電極７２，８２は、ＩＴＯ等の透明導電性材料によりストライプ状に形成されている。そして図１に示すように、下基板７０の駆動電極７２と上基板８０の駆動電極８２とが直交するように配置されている。なお、各駆動電極７２，８２は駆動用ＩＣ５に接続され、この駆動用ＩＣ５から一方の駆動電極に対して走査信号が供給されるとともに、他方の駆動電極に対してデータ信号が供給されるようになっている。また、両電極の交点付近に図２に示す各カラーフィルタＲ，Ｇ，Ｂが配置されてドット領域が構成され、異なる色光を透過するカラーフィルタを備えた３個のドット領域により１個の画素（画像表示素子）領域が構成されている。
【００２５】
さらに図２に示すように、各駆動電極７２，８２を覆うように、配向膜７４，８４が形成されている。この配向膜７４，８４は、電界無印加時における液晶分子の配向状態を制御するものである。配向膜７４，８４は、ポリイミド等の有機高分子材料によって構成され、その表面にラビング処理が施されている。これにより電界無印加時には、配向膜７４，８４の表面付近における液晶分子が、その長軸方向をラビング処理方向に一致させて、配向膜７４，８４と略平行に配向されるようになっている。なお、配向膜７４の表面付近における液晶分子の配向方向と、配向膜８４の表面付近における液晶分子の配向方向とが所定角度だけずれるように、各配向膜７４，８４に対してラビング処理が施されている。これにより液晶分子は、液晶層２の厚さ方向に沿ってらせん状に積層されるようになっている。
【００２６】
下基板７０および上基板８０の間隔は、両基板の間に配置されたビーズ状スペーサ（図示せず）の直径によって規定され、たとえば５μｍ程度に保持されている。また両基板７０，８０は、熱硬化型や紫外線硬化型などの接着剤からなるシール材３によって周縁部が接合されている。そして、両基板７０，８０とシール材３とによって囲まれた空間に液晶層２が封止されている。この液晶層２にはネマチック液晶等が採用され、液晶表示装置１の動作モードとしてスーパーツイステッドネマチック（ＳＴＮ）モードが採用されている。なお上記以外の液晶材料を採用することも可能であり、また上記以外の動作モードを採用することも可能である。
【００２７】
なお、下基板７０および上基板８０の外側には、相互の偏光軸（透過軸）が所定角度だけずれた状態で偏光板（不図示）が配置されている。また入射側偏光板の外側には、バックライト（不図示）が配置されている。
【００２８】
そして、バックライトから照射された光は、入射側偏光板の偏光軸に沿った直線偏光に変換されて、下基板７０から液晶層２に入射する。この直線偏光は、電界無印加状態の液晶層２を透過する過程で、液晶分子のねじれ方向に沿って所定角度だけ旋回し、出射側偏光板を透過する。これにより、電界無印加時には白表示が行われる（ノーマリーホワイトモード）。一方、液晶層２に電界を印加すると、電界方向に沿って配向膜７４，８４と垂直に液晶分子が再配向する。この場合、液晶層２に入射した直線偏光は旋回しないので、出射側偏光板を透過しない。これにより、電界無印加時には黒表示が行われる。なお、印加する電界の強さによって階調表示を行うことも可能である。また、バックライトから照射された白色光はカラーフィルタ層７６を透過する過程で有色光に変換されるので、加法混色によりカラー画像表示を行うことも可能である。
【００２９】
（液滴吐出装置）
本実施形態は、上述した配向膜７４，８４の形成方法に関するものである。配向膜７４，８４は、その構成材料溶液を液滴吐出装置から吐出することによって形成する。そこで、液滴吐出装置につき図３および図４を用いて説明する。
図３は、液滴吐出装置の斜視図である。図３において、Ｘ方向はベース１２の左右方向であり、Ｙ方向は前後方向であり、Ｚ方向は上下方向である。液滴吐出装置１０は、インクジェットヘッド（以下、単にヘッドと呼ぶ）２０と、基板４８を載置するテーブル４６とを主として構成されている。なお、液滴吐出装置１０の動作は、制御装置２３により制御されるようになっている。
【００３０】
基板４８を載置するテーブル４６は、第１移動手段１４によりＹ方向に移動および位置決め可能とされ、モータ４４によりθｚ方向に揺動および位置決め可能とされている。一方、ヘッド２０は、第２移動手段によりＸ方向に移動および位置決め可能とされ、リニアモータ６２によりＺ方向に移動および位置決め可能とされている。またヘッド２０は、モータ６４，６６，６８により、それぞれα，β，γ方向に揺動および位置決め可能とされている。これにより、液滴吐出装置１０は、ヘッド２０のインク吐出面２０Ｐと、テーブル４６上の基板４８との相対的な位置および姿勢を、正確にコントロールすることができるようになっている。
【００３１】
ここで、ヘッド２０の構造例について、図４を参照して説明する。図４は、インクジェットヘッドの側面断面図である。ヘッド２０は、液滴吐出方式によりインク２をノズル９１から吐出するものである。液滴吐出方式として、圧電体素子としてのピエゾ素子を用いてインクを吐出させるピエゾ方式や、インクを加熱して発生した泡（バブル）によりインクを吐出させる方式など、公知の種々の技術を適用することができる。このうちピエゾ方式は、インクに熱を加えないため、材料の組成等に影響を与えないという利点を有する。そこで、図４のヘッド２０には、上述したピエゾ方式が採用されている。
【００３２】
ヘッド２０のヘッド本体９０には、リザーバ９５およびリザーバ９５から分岐された複数のインク室９３が形成されている。リザーバ９５は、各インク室９３にインクを供給するための流路になっている。また、ヘッド本体９０の下端面には、インク吐出面を構成するノズルプレートが装着されている。そのノズルプレートには、インクを吐出する複数のノズル９１が、各インク室９３に対応して開口されている。そして、各インク室９３から対応するノズル９１に向かって、インク流路が形成されている。一方、ヘッド本体９０の上端面には、振動板９４が装着されている。なお、振動板９４は各インク室９３の壁面を構成している。その振動板９４の外側には、各インク室９３に対応して、ピエゾ素子９２が設けられている。ピエゾ素子９２は、水晶等の圧電材料を一対の電極（不図示）で挟持したものである。その一対の電極は、駆動回路９９に接続されている。
【００３３】
そして、駆動回路９９からピエゾ素子９２に電圧を印加すると、ピエゾ素子９２が膨張変形または収縮変形する。ピエゾ素子９２が収縮変形すると、インク室９３の圧力が低下して、リザーバ９５からインク室９３にインク２が流入する。またピエゾ素子９２が膨張変形すると、インク室９３の圧力が増加して、ノズル９１からインク２が吐出される。なお、印加電圧を変化させることにより、ピエゾ素子９２の変形量を制御することができる。また、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子９２の変形速度を制御することができる。すなわち、ピエゾ素子９２への印加電圧を制御することにより、インク２の吐出条件を制御しうるようになっている。
【００３４】
なお、図３に示すキャッピングユニット２２は、ヘッド２０におけるインク吐出面２０Ｐの乾燥を防止するため、液滴吐出装置１０の待機時にインク吐出面２０Ｐをキャッピングするものである。またクリーニングユニット２４は、ヘッド２０におけるノズルの目詰まりを取り除くため、ノズルの内部を吸引するものである。なおクリーニングユニット２４は、ヘッド２０におけるインク吐出面２０Ｐの汚れを取り除くため、インク吐出面２０Ｐのワイピングを行うことも可能である。
【００３５】
（塗布方法）
次に、上述した液滴吐出装置を用いて、配向膜の形成材料を含む液状体を塗布する方法につき、図５を用いて説明する。図５は、液状体の塗布方法の説明図であって、図２のＢ−Ｂ線における平面断面図である。なお以下には、下基板７０の内側に配向膜を形成する場合を例にして説明するが、同様の方法により上基板の内側に配向膜を形成することも可能である。
【００３６】
本実施形態では、下基板７０に形成された駆動電極７２に電流を供給し、その電気抵抗によりジュール熱を発生させて液状体を加熱する。そこで、図５に示すように、各駆動電極７２を電源５０に接続する。具体的には、ストライプ状に形成された複数の駆動電極７２をそれぞれ可変抵抗器５２に直列接続し、さらにこれらを電源５０に対して並列接続する。この電源５０として、印加電圧を自在に変更しうるものを採用することが望ましい。また可変抵抗器５２として、抵抗値を０から無限大まで変更しうるものを採用することが好ましい。これらにより、各駆動電極７２に供給する電流量を自在に調整することができる。
そして、すべて駆動電極７２に電流を供給し、各駆動電極７２を予備加熱する。その際、各駆動電極７２の温度が、塗布される液状体７３の溶媒の沸点未満の温度となるように、各駆動電極７２に対する供給電流量を調整する。
【００３７】
一方、配向膜の形成材料である可溶性ポリイミドを、ガンマブチルラクトン（沸点２０４℃）等の溶媒に溶解して、塗布すべき液状体７３を作製する。そしてこの液状体７３を、液滴吐出装置のインクジェットヘッド２０から駆動電極７２の表面に吐出する。なお、上述したヘッド２０の幅方向には、複数のノズルが一列ないし千鳥状に配置されている。そこで、その幅方向と直交する方向にヘッド２０を移動させつつ、ヘッド２０の各ノズルから液状体を吐出することにより、液状体７３を面状に塗布することができる。なお、下基板７０における配向膜形成領域の幅がヘッド２０の幅と同等の場合には、ヘッド２０を１回スイープさせるだけで、配向膜形成領域の全体に液状体を塗布することが可能である。
【００３８】
ここで、各駆動電極７２は予備加熱されているので、液状体７３の温度低下による粘度増加が抑制される。なお、液状体７３の溶媒の沸点未満の温度（例えば５０℃）で予備加熱されているので、溶媒の蒸発による粘度増加も抑制される。これにより、吐出された液状体７３の流動化が促進され、液状体７３は均一な厚さに濡れ広がる。したがって、均一な配向膜を形成することができる。ここで、基板周辺における溶媒の蒸気分圧を高くした状態で液状体７３を塗布することが望ましい。この場合、溶媒の自然蒸発をも抑制することができるので、より均一な配向膜を形成することができる。
【００３９】
一方、図５に示すように、配向膜形成領域の幅がヘッド２０の幅より大きい場合には、配向膜形成領域を複数行に分割し、各行についてヘッド２０をスイープさせることにより、配向膜形成領域の全体に液状体７３を塗布する。この場合、ストライプ状に形成された駆動電極７２の長手方向にヘッド２０をスイープさせて、液状体７３を塗布することが望ましい。なお実際には、駆動電極７２の幅はヘッド２０の幅より格段に小さいので、１回のスイープにより複数の駆動電極７２の表面に液状体７３が塗布されることになる。
【００４０】
この場合にも、各駆動電極７２は予備加熱されているので、吐出された液状体は良好に濡れ広がる。そして、隣接行に塗布された液状体は、相互の境界部分で良好に混合される。これにより、いわゆる改行スジの発生を防止することが可能になる。したがって、表示品質に優れた液晶表示装置を提供することができる。
【００４１】
上述したように、各駆動電極７２に供給する電流量は自在に調整可能とされている。そこで、液状体７３の塗布中または塗布後の行に配置された駆動電極７２について、供給電流量を増加させてもよい。この場合、当該駆動電極７２の温度が、液状体７３の沸点以上の温度となるように、供給電流量を増加させる。これにより、液状体７３の塗布中または塗布後の行について直ちに乾燥処理を行うことが可能になり、乾燥時間を短縮することができる。また、配向膜形成領域の全体に液状体を塗布した時点で、最初の塗布行に対する乾燥処理を完了させておくことも可能である。この場合、直ちに最初の塗布行から液状体を重ね塗りすることが可能になり、重ね塗りを効率的に行うことができる。
【００４２】
（乾燥方法）
次に、配向膜形成領域の全体に塗布された液状体を乾燥させる方法について説明する。
配向膜形成領域の全体に対して液状体７３の塗布が終了した時点で、すべての駆動電極７２の温度が液状体の沸点以上の温度（例えば２２０℃）となるように、各駆動電極７２に対する供給電流量を増加させる。これにより、液状体７３が加熱されてその溶媒が蒸発し、乾燥膜が形成される。
【００４３】
なお、駆動電極７２は配向膜形成領域のほぼ全体に形成されているので、塗布された液状体７３を均等に加熱することができる。したがって、オーブンやホットプレート、赤外線ランプなどで加熱する場合と比べて、ムラのない配向膜を形成することができる。なお、オーブンやホットプレート、赤外線ランプなどの加熱手段も不要となり、設備コストを低減することができる。一方、配向膜の直下に配置された駆動電極７２により液状体７３を加熱するので、少ない熱量で速やかに液状体７３を乾燥させることが可能になり、消費エネルギーの低減および乾燥時間の短縮を実現することができる。この場合、下基板７０を高温にすることなく液状体７３を加熱することができるので、下基板７０の膨張変形による断線等を防止することができる。
【００４４】
ところで、液状体７３の一部分から溶媒が蒸発すると、溶媒の蒸気分圧が上昇して、その周辺部分における溶媒の蒸発が抑制される。そのため、配向膜形成領域の中央部における液状体７３の乾燥速度は、周辺部に比べて遅くなる傾向にある。そこで、配向膜形成領域の中央部に配置された駆動電極７２に供給する電流量を、周辺部に配置された駆動電極７２に供給する電流量より多くすることが望ましい。これにより、配向膜形成領域の中央部に塗布された液状体７３が強く加熱され、その乾燥が促進されるので、配向膜形成領域における乾燥速度を均一化することができる。したがって、ムラのない配向膜を形成することができる。
【００４５】
［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態につき、図６および図７を用いて説明する。図６は、ブラックマトリクスの説明図であって、図２のＣ−Ｃ線における平面断面図である。第２実施形態の膜形成方法は、ブラックマトリクス（遮光膜）７７に電流を供給して液状体を加熱する点で、第１実施形態と異なっている。なお、第１実施形態と同様の構成となる部分については、その詳細な説明を省略する。
【００４６】
（塗布方法）
本実施形態では、下基板に形成されたブラックマトリクス７７に電流を供給し、その電気抵抗によりジュール熱を発生させて液状体を加熱する。なお、一般的なブラックマトリクス７７は、電気的に連続して形成されている。この場合には、図６に示すように、ブラックマトリクス７７の両端部を電源５０に接続する。
図７は、ブラックマトリクスの変形例の説明図であって、図２のＣ−Ｃ線に相当する部分における平面断面図である。図７に示すブラックマトリクス７７は、電気的に分離された複数の遮光部７８によって構成されている。各遮光部７８は、配向膜形成領域の一辺（紙面上下方向）に沿って電気的に連続形成され、他辺（紙面左右方向）に沿って電気的に分離形成されている。この場合には、第１実施形態と同様に、各遮光部７８をそれぞれ可変抵抗器５２に直列接続し、さらにこれらを電源５０に対して並列接続する。
【００４７】
次に、ブラックマトリクス７７に電流を供給する。これにより、図２に示すブラックマトリクス７７で発生した熱が、保護膜７９を介して各駆動電極７２に伝達され、各駆動電極７２が予備加熱される。なお、各駆動電極７２の温度が、塗布される液状体の溶媒の沸点未満の温度となるように、ブラックマトリクス７７に対する供給電流量を調整する。
そして、配向膜７４の形成材料を含む液状体を、液滴吐出装置のインクジェットヘッドから駆動電極７２の表面に吐出する。このとき、各駆動電極７２は予備加熱されているので、吐出された液状体の粘度増加が抑制されて、液状体は均一な厚さに濡れ広がる。したがって、均一な配向膜を形成することができる。
【００４８】
また、配向膜形成領域の幅がヘッドの幅より大きい場合には、第１実施形態と同様に配向膜形成領域を複数行に分割し、各行についてヘッドをスイープさせることにより、配向膜形成領域の全体に液状体を塗布する。なお、図７のようにブラックマトリクス７７を形成した場合には、遮光部７８が電気的に連続形成されている方向にヘッドをスイープさせて、液状体を塗布することが望ましい。これにより、液状体の塗布中または塗布後の行に配置された遮光部７８についてのみ、供給電流量を増加させることができる。なお、当該遮光部７８によって過熱される駆動電極の温度が、液状体の沸点以上の温度となるように、供給電流量を増加させることが望ましい。これにより、液状体の塗布中または塗布後の行について直ちに乾燥処理を行うことが可能になり、乾燥時間を短縮することができる。また、液状体の重ね塗りを効率的に行うことも可能になる。
【００４９】
（乾燥方法）
次に、配向膜形成領域の全体に塗布された液状体を乾燥させる。具体的には、すべての駆動電極の温度が液状体の沸点以上の温度となるように、ブラックマトリクス７７に対する供給電流量を増加させる。なお、図７のようにブラックマトリクス７７を形成した場合には、配向膜形成領域の中央部に配置された遮光部７８に供給する電流量を、周辺部に配置された遮光部７８に供給する電流量より多くすることが望ましい。これにより、配向膜形成領域の乾燥速度を均一化することが可能になり、ムラのない配向膜を形成することができる。
【００５０】
以上に説明したように、第２実施形態では、液状体の塗布前および塗布中において、ブラックマトリクス７７に電流を供給し、液状体を加熱する構成とした。これにより、第１実施形態と同様に、均一な配向膜を形成することが可能になり、また改行スジの発生を防止することが可能になる。また第２実施形態では、液状体の塗布後にも、ブラックマトリクス７７に電流を供給し、塗布された液状体を乾燥させる構成とした。これにより、第１実施形態と同様に、ムラのない配向膜を形成することが可能になる。
【００５１】
［電子機器］
次に、本実施形態の膜形成方法を使用して製造した電子機器につき、図８を用いて説明する。図８は、携帯電話の斜視図である。図８において符号１０００は携帯電話を示し、符号１００１は表示部を示している。この携帯電話１０００には、本実施形態の膜形成方法を使用して製造した液晶表示装置が表示部１００１に採用されている。したがって、表示品質に優れた携帯電話１０００を低コストで提供することができる。
【００５２】
なお、本発明の技術範囲は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述した各実施形態に種々の変更を加えたものを含む。すなわち、各実施形態で挙げた具体的な材料や構成などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。例えば、上記には液晶表示装置の配向膜を形成する場合を例にして説明したが、液晶表示装置の保護膜を形成する場合や、液晶層を塗布する場合などにも、本発明を適用することが可能である。また、液晶表示装置以外の電気光学装置における機能膜を形成する場合にも本発明を適用することが可能である。例えば、有機ＥＬ装置の発光層および正孔注入層を形成する場合や、プラズマディスプレイ装置の蛍光体膜を形成する場合などにも、本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】液晶表示装置の斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線における正面断面図である。
【図３】液滴吐出装置の斜視図である。
【図４】インクジェットヘッドの側面断面図である。
【図５】液状体の塗布方法の説明図である。
【図６】ブラックマトリクスの平面図である。
【図７】ブラックマトリクスの変形例の説明図である。
【図８】携帯電話の斜視図である。
【符号の説明】
【００５４】
２０インクジェットヘッド  ７０基板  ７２駆動電極  ７３液状体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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