(57)【要約】【課題】  搬送台車を安全に停止させる。【解決手段】  走行路を走行する搬送台車１と、搬送台車１を制御するモータ駆動部２と、モータ駆動部２に電力を供給する電源７０と、走行する搬送台車１を停止させる励磁作動型の接触ブレーキ６とを備えている。そして、電源７０および／またはモータ駆動部２の異常時に、搬送台車７０の運動エネルギーを電気エネルギーに変換し、それにより搬送台車１に制動力を付与するモータ３と、電源７０および／またはモータ駆動部２の異常時に、電気エネルギーをブレーキ電力として接触ブレーキ６に供給することで、接触ブレーキ６を作動させるブレーキ作動部５とを備えている。【選択図】  図１
2005250737.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行路を走行する搬送台車と、
前記搬送台車を制御する制御部と、
前記制御部に電力を供給する電源部と、
走行する前記搬送台車を停止させる励磁作動型のブレーキ機構と、
前記電源部および／または制御部の異常時に、前記搬送台車の運動エネルギーを電気エネルギーに変換し、それにより前記搬送台車に制動力を付与する発電制動機構と、
前記電源部および／または制御部の異常時に、前記電気エネルギーをブレーキ電力として前記ブレーキ機構に供給することで、前記ブレーキ機構を作動させるブレーキ作動機構と
を備えていることを特徴とする搬送装置。
【請求項２】
前記発電制動機構が、
前記電源部及び制御部の正常時には、前記搬送台車を走行させる電動機構であることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記電気エネルギーへの変換量を調節することで前記制動力の大きさを調節する調節部を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記ブレーキ機構が、
前記走行路との接触摩擦により走行する搬送台車を停止させる
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電源系又は駆動系に不具合が生じた場合に、走行路を走行する走行台車を停止させる搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造、液晶製造、ＦＡなどにおける搬送手段は、ＯＨＴ(Over head Hoist Transport)やＯＨＳ(Over Head Shuttle)などの走行路上を走行する台車による無人搬送システムが主流となってきている。ＯＨＴ、ＯＨＳは走行路上を走行するため、無軌道で床上を走る無人搬送台車に比べて高速走行が可能である。かかる走行路上には複数台の搬送台車が走行しており、搬送台車同士が衝突するおそれがあるため、これまでに、例えば特許文献１のような搬送台車同士の衝突を防止する衝突制御装置が提案されている。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−３１１７２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載の衝突制御装置は、搬送台車が走行する走行路上に位置情報を記憶したテープを設け、各搬送台車に設けられているセンサにより検出したテープの位置情報を、通信手段を介して制御盤に送信し、その位置情報に基づいて各搬送台車を制御して互いに衝突しないようにしている。しかしながら、制御盤が故障したり、停電等により電源から制御盤に電力が供給されなくなったりする場合は、各搬送台車からの位置情報を受信し、各搬送台車を制御するということができなくなり、衝突してしまうおそれがある。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、搬送台車を安全に停止させることができる搬送装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００６】
本発明は、走行路を走行する搬送台車と、搬送台車を制御する制御部と、制御部に電力を供給する電源部と、走行する搬送台車を停止させる励磁作動型のブレーキ機構と、電源部および／または制御部の異常時に、搬送台車の運動エネルギーを電気エネルギーに変換し、それにより搬送台車に制動力を付与する発電制動機構と、電源部および／または制御部の異常時に、電気エネルギーをブレーキ電力として前記ブレーキ機構に供給することで、ブレーキ機構を作動させるブレーキ作動機構とを備えている。
【０００７】
この構成によると、停電や故障等による異常時に、ブレーキ機構と発電制動機構の制動力とにより、搬送台車を安全に停止させることができる。これにより、停電や故障等による異常時に、走行路に複数台の搬送台車が走行している場合でも、搬送台車同士が衝突し破損するなどのおそれがなくなる。また、励磁式のブレーキ機構を動作し続けるための電気エネルギーを発電制動機構から得ることができ、省エネルギーを実現することができる。また、搬送台車が完全に停止すれば発電制動機構は電気エネルギーを生成しなくなるため、搬送台車が停止すると共に、ブレーキ機構が解除される。従って、ブレーキ機構を解除するための機構を設ける必要がなくなる。
【０００８】
本発明の発電制動機構が、電源部及び制御部の正常時には、搬送台車を走行させる電動機構であることが好ましい。これによると、電動機構と発電制動機構とを別々に設ける必要がなく、省スペースを実現することができる。
【０００９】
本発明は、電気エネルギーへの変換量を調節することで制動力の大きさを調節する調節手段を備えていてもよい。これによると、発電手段による制動力を調節することができ、搬送台車をさらに効率よく停止させることができる。
【００１０】
本発明のブレーキ手段が、走行路との接触摩擦により走行する搬送台車を停止させることが好ましい。これによると、搬送台車を確実に停止させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
【００１２】
（第１の実施形態）
本発明の第１の実施の形態に係る搬送台車停止装置は、図６に示す搬送システム１００において好適に用いられている。搬送システム１００は、処理内容がそれぞれ異なる複数の半導体製造装置１０５及びストッカ１０４をそれぞれ備える各ベイ１０９（図中の点線で囲んだ領域）が複数備えられて構成されている。各ベイ１０９内の各半導体製造装置１０５及びストッカ１０４は、工程内軌道１０８で連結され、さらに、工程内軌道１０８は、分岐軌道１０７を介して工程間軌道１０６に連結されている。尚、以下の説明において、工程間軌道１０６、分岐軌道１０７、及び工程内軌道１０８を総じて走行路と称する。
【００１３】
走行路は、半導体を搬送する複数の懸垂型の搬送台車１が走行可能な走行路となっている。これらの走行路は工場の上方（天井側）に設置され、半導体が各搬送台車１に吊り下げられるように搭載されて搬送される。走行路は、平面部材が上下に平行配置され、真中に垂直に平面部材が配設された、断面がエの字型となる形状を有している（図３（ｂ）参照）。尚、ここで半導体とは、例えば、図示しないＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれるカセット（収納容器）内に複数枚収納された半導体ウェハである。ＦＯＵＰは略立方体の形状を有しており、その上面中央にＦＯＵＰを把持して搬送するためのフランジが配設されている。半導体は、カセット単位で搬送され、各半導体製造装置１０５内で所定の処理が施されていく。以下の説明で、搬送台車１によって搬送される搬送物をＦＯＵＰと称する。
【００１４】
ストッカ１０４は複数のＦＯＵＰが収納可能な保管手段であって、搬送システム１００につき１つ又は複数配置されている。ＦＯＵＰが処理待ちの状態などのときに、ＦＯＵＰはストッカ１０４に搬送され、ストッカ１０４内で要求されるまで保管されるようになっている。また、半導体製造装置１０５は、工程内軌道１０８の直下に位置するように配置され、搬送台車１によりＦＯＵＰが載置されると、内部に取り込み、クリーンな環境でＦＯＵＰに収納されている半導体ウェハに薄膜形成、フォトリソグラフィー、エッチングなどの処理を施す。半導体製造装置１０５及びストッカ１０４は、図２に示すシステムコントローラ９０と通信可能となっており、システムコントローラ９０の指示により各装置が動作するようになっている。
【００１５】
次に、搬送台車１について図３を参照しつつ説明する。搬送台車１は、上述したように、ＦＯＵＰを把持し走行路を走行し半導体製造装置１０５及びストッカ１０４に搬送する。図３（ａ）に示すように、搬送台車１は、走行機１１と、昇降機体１２と、ベルト１３と、昇降体１４と、フィンガ１５とを有している。
【００１６】
走行機１１は、図３（ｂ）及び図３（ｃ）に示すように、支持体１１ａ、支持アーム１１ｂ、及び走行体１１ｃを有しており、走行路を一方向（図６中矢印方向）に走行する。走行体１１ｃは、走行路の上下に配設されている平面部材に挟持されて回転する車輪３ａを有しており、車輪３ａに接続されている回転型のコイルモータ３（発電制動機構・電動機構）（以下、単にモータ３と称す）が駆動することにより、車輪３ａが回転し走行路を走行する。また、走行体１１ｃは、走行路の上下に配設されている平面部材に平行するように接触ブレーキ６（ブレーキ機構）が設けられており、搬送システムの異常時には、接触ブレーキ６を走行路に押付けて、その接触摩擦により搬送台車１を停止させるようになっている。走行体１１ｃには、支持アーム１１ｂを介して走行路の下方に位置するように支持体１１ａが配設されており、支持体１１ａの下部に昇降機体１２が配設されている。
【００１７】
昇降機体１２は、図示しないモータに接続されたリールを有しており、そのリールにベルト１３が巻回されている。ベルト１３の先端には、昇降体１４が配設されており、リールの正逆回転により、ベルト１３を介して昇降体１４が昇降するようになっている。また、ベルト１３は、半導体製造装置１０５等に載置できるまでＦＯＵＰを降下させることができる長さを有している。昇降体１４の下部には、フィンガ１５が設けられている。フィンガ１５は、ＦＯＵＰのフランジを挟持可能なように開閉可能となっている。上記構成により、搬送台車１は、ＦＯＵＰを把持して、走行路を走行することができるようになっている。
【００１８】
次に、搬送台車１の回路構造及び各機能について図１及び図２を参照しつつ説明する。図２に示すように、搬送台車１は、搬送システム１００を制御するシステムコントローラ９０と無線又は有線により通信可能なコントローラ８０（制御部）を有しており、上述の各機構を動作させるようになっている。また、搬送台車１は、電源７０（電源部）を備えており、コントローラ８０は、電源７０から電力が供給されるようになっている。電源７０は、後述のモータ駆動部２及びブレーキ作動部５にも電力を供給するようになっている。尚、図２には示していないが、システムコントローラ９０は、半導体製造装置１０５やストッカ１０４等にも通信可能となっている。また、電源７０は、搬送台車１が備えていなくても良く、搬送台車１の外部から電力が供給されるようになっていても良い。
【００１９】
上記したように、コントローラ８０は、走行機１１、昇降機体１２、ベルト１３、昇降体１４及びフィンガ１５を動作させる。搬送台車１の走行機１１は、モータ駆動部２（制御部）と、モータ３と、調節部４と、ブレーキ作動部５（ブレーキ作動機構）と、接触ブレーキ６とを備えている。
【００２０】
モータ駆動部２は、モータ３に制御信号を出力する。また、モータ駆動部２は、電源７０に接続されており、電源７０の異常時には、制御信号の出力を停止するようになっている。モータ３は、上述したように車輪３ａに接続されており、平時は、車輪３ａを回転駆動及び停止させることにより走行体１１ｃを走行させる。また、電源７０の異常時にモータ駆動部２からの信号が停止すると、惰性により回転する車輪３ａと共に回転することで、運動エネルギーを電気エネルギーに変換する発電機として作用するようになっている。さらに、発電機として作用する際に発生する制動力を、車輪３ａに付与することでブレーキの役割を果たすようになっている。尚、ここで電気エネルギーとは、電力のことをいう。
【００２１】
モータ駆動部２とモータ３とには、ブリッジダイオード７が接続されている。ブリッジダイオード７のアノード側にはコイル６１が接続されている。コイル６１は、励磁式の接触ブレーキ６を作動させるためのソレノイドである。接触ブレーキ６は、ブレーキシューであり、走行路に押付けることにより搬送台車１にブレーキをかけるようになっている。このコイル６１に電流が流れると、接触ブレーキ６が作動し接触摩擦により搬送台車１にブレーキをかけるようになっている。
【００２２】
コイル６１には調節部４が接続され、自己保持リレー８を介して、ブリッジダイオード７のカソード側に接続されている。自己保持リレー８は、平時は開状態となっており、電源７０の異常時には、後述するブレーキ作動部５から出力されるパルス駆動電圧により、閉状態となる。自己保持リレー８は、閉状態となると、パルス駆動電圧が断たれた後も反転への入力があるまで閉状態を保持できるようになっている。
【００２３】
自己保持リレー８が閉状態となると、ブリッジダイオード７、コイル６１及び調節部４で閉ループを形成する。そして、電源７０の異常時に発電機として作用するモータ３からの交流電力がブリッジダイオード７で全波整流され、接触ブレーキ６を作動させるブレーキ電力として閉ループに電力が供給されるようになっている。これにより、コイル６１に電流が流れ、接触ブレーキ６が作動するようになっている。また、調節部４は、インダクタンスであり、自己保持リレー８が閉状態となり形成される閉ループ内に流れる電流の大きさを調節する。尚、コイル６１及び調節部４を発電機として作用するモータ３の負荷となることで、上述のモータ３による制動力が働くようになっている。
【００２４】
ブレーキ作動部５は、調節部４及び自己保持リレー８に並列接続されている。また、ブレーキ作動部５は、電源７０に接続されており、電源７０が異常の場合、つまり電源７０から電力が供給されなくなった場合、パルス駆動電圧を出力して自己保持リレー８を閉状態とするようになっている。これにより、上述した閉ループを形成し、モータ３から閉ループに電力が供給されるようになる。
【００２５】
ブレーキ作動部５は、コンデンサ５ａ、ダイオード５ｂ、インダクタンス５ｃ及びスイッチ回路５ｄを有している。スイッチ回路５ｄは、励磁式のスイッチの開閉状態を切替えできる機能を有しており、平時には、スイッチは開状態となっており、電源７０の異常時には閉状態となるようになっている。スイッチが閉状態となると、コンデンサ５ａに蓄えられている電力で、自己保持リレー８にパルス駆動電圧を出力するようになっている。かかるパルス駆動電圧により、上述したように、自己保持リレー８が閉状態となり、接触ブレーキ６が作動するようになっている。尚、ダイオード５ｂ及びインダクタンス５ｃは、電流の方向や大きさを調節する周知なものであるため説明は省略する。
【００２６】
スイッチ回路５ｄは、図１（ｂ）に示すように、コイル５１、トランジスタ５２、インダクタンス５３及びコンパレータ５４を備えている。コイル５１は、エミッタ接地されているトランジスタ５２のコレクタに接続されており、プルアップされている。また、トランジスタ５２のベースには、ドライブ電力量を調節するインダクタンス５３を介してコンパレータ５４が接続されている。コンパレータ５４の―入力部には、電源７０から電力が入力されており、＋入力部は、プルアップされている。尚、コンパレータ５４の―入力部に入力されている電力は、＋入力部と同電位となるように変圧されている。これにより、電源７０が正常の場合は、電位差がなく、コンパレータ５４は動作しないようになっている。
【００２７】
コンパレータ５４は、電源７０の異常時に電力の供給が停止されると、＋入力部の電位が―入力部の電位より高くなるため、差分電圧が出力される。これにより、トランジスタ５２のベースに電流が流れ、コレクタ−エミッタ間に電流が流れるようになる。従って、コイル５１に電流が流れるようになる。コイル５１に電流が流れると、励磁式のスイッチが閉状態となり、コンデンサ５ａから自己保持リレー８にパルス駆動電圧を出力するようになっている。これにより、自己保持リレー８は閉状態となる。
【００２８】
次に、電源７０の異常時における搬送装置の動作について説明する。
【００２９】
電源７０の異常や停電等により、コンパレータ５４のー入力部の電位が落ちると、コンパレータ５４の電位差が生じるため、コンパレータ５４から差分電圧が出力される。それにより、トランジスタ５２が動作し、コレクタ−エミッタ間に電流が流れるようになり、コイル５１に電流が流れるようになる。それにより、コイル５１の励磁式のスイッチが閉状態となる。そうすることにより、コンデンサ５ａに蓄えられている電力により、自己保持リレー８にパルス駆動電圧が出力され、自己保持リレー８は閉状態となる。
【００３０】
また、一方で、モータ３は電源７０の異常や停電等によりモータ駆動部２からの制御信号が停止されると、惰性により回転することで発電機として作用し、発電された電力はブリッジダイオード７により全波整流されたあと、コイル６１に供給される。コイル６１に電流が流れると、接触ブレーキ６は励磁作動型であるため、接触ブレーキ６が作動し、搬送台車１が接触摩擦によりブレーキがかかる。また、モータ３が発電し、コイル６１及び調節部４がモータ３の負荷となることで制動力が発生し、搬送台車１にブレーキがかかる。接触摩擦と制動力との２つのブレーキ作用により搬送台車１が停止する。尚、搬送台車１が停止すると、モータ３は発電しなくなるため、コイル６１に電力が供給されず、接触ブレーキ６によるブレーキが解除される。このため、ブレーキ解除機構を設ける必要がなくなる。
【００３１】
尚、本実施の形態における搬送台車停止装置は、電源７０の異常時に作動するようにしているが、電源７０だけでなくモータ駆動部２の異常時にも作動するようにしてもよい。
【００３２】
以上、説明したように、本実施の形態は、走行路を走行する搬送台車１と、搬送台車１を制御するモータ駆動部２（制御部）と、モータ駆動部２に電力を供給する電源７０（電源部）と、走行する搬送台車１を停止させる励磁作動型の接触ブレーキ６（ブレーキ機構）と、電源７０および／またはモータ駆動部２の異常時に、搬送台車１の運動エネルギーを電気エネルギーに変換し、それにより搬送台車１に制動力を付与するモータ３（発電制動機構）と、電源７０および／またはモータ駆動部２の異常時に、電力（電気エネルギー）をブレーキ電力として接触ブレーキ６に供給することで、接触ブレーキ６を作動させるブレーキ作動機構５とを備えている。
【００３３】
上記構成により、停電等の故障による異常時に搬送台車を制御する制御部に電力が供給できない場合に、接触ブレーキ６による接触摩擦とモータ３の制動力とにより、搬送台車を安全に停止させることができる。これにより、走行路に複数台の搬送台車１が走行している場合には、搬送台車１同士が衝突し破損するなどのおそれがなくなる。また、励磁式の接触ブレーキ６を動作し続けるための電気エネルギーをモータ３から得ることができ、省エネルギーを実現することができる。また、搬送台車１が完全に停止すればモータ３は電気エネルギーを生成しなくなるため、搬送台車１が停止すると共に、接触ブレーキ６が解除される。従って、接触ブレーキ６を解除するための機構を設ける必要がなくなる。さらに、接触ブレーキ６は、作動後、モータ３の電気エネルギーで動作し続けるため、ブレーキ作動部５は、接触ブレーキ６を作動させるだけの電力を備えているだけでよくなる。
【００３４】
尚、コンデンサ５ａは、予め充電されているが、電源７０の正常時に充電される構成であってもよい。また、自己保持リレー８が閉状態となり形成される閉ループ内の電力の大きさを調節するため調節部４を設けているが、コイル６１や、モータ３に用いられるコイル（図示せず）の巻き数を増減させて調節するようにしてもよい。
【００３５】
また、自己保持リレー８は、平時が開状態となっており、電源７０の異常時に閉状態となるようにしているが、逆であっても良い。つまり、自己保持リレー８を無励磁作動型のリレーを用いて、平時のときは、電源７０から電力を供給されることによりリレーを開状態とする。そして、電源７０の異常時にはリレーに電力が供給されなくなり、リレーは閉状態となる。これにより、接触ブレーキ６を作動させることができる。
【００３６】
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施の形態について図４を参照しつつ説明する。本実施の形態は、接触ブレーキ６を作動させるブレーキ作動部５の回路構成が第１の実施形態と相違する。以下、その相違点について説明する。尚、第１の実施形態と同様の部材は、同じ符号を付し、説明は省略する。
【００３７】
本実施の形態は、第１の実施形態の自己保持リレー８の部分にサイリスタ９を用いている。サイリスタ９のアノード側に調節部４を接続し、カソード側にブリッジダイオード７を接続している。そして、ブレーキ作動部２０からサイリスタ９のゲートに電流が供給されると、サイリスタ９がオン状態となり、コイル６１に電流が流れ、接触ブレーキ６が作動するようになっている。尚、サイリスタ９は、一度電流が流れ始めると、ゲートに電流が流れなくなってもオン状態を維持するため、ゲートには短パルスを供給するだけでよい。
【００３８】
ブレーキ作動部２０はゲート回路１０を備えており、ゲート回路１０は、サイリスタ９のゲートに接続されている。ゲート回路１０は、上記したように、サイリスタ９をオン／オフ状態を切替える短パルスを供給する。ゲート回路１０は、サイリスタ９のノイズによる誤動作を防ぐために、インダクタンス１０ａ・１０ｂおよびコンデンサ１０ｃとを備えたフィルタを構成している。そして、ゲート回路１０は、スイッチ回路５ｄに接続され、さらに、コンデンサ５ａおよびダイオード５ｂが接続されている。尚、コンデンサ５ａ、ダイオード５ｂおよびスイッチ回路５ｄは第１の実施形態と同様のため説明は省略する。
【００３９】
次に、電源７０の異常時における本実施の形態の搬送装置の動作について説明する。
【００４０】
電源７０の異常や停電時には、スイッチ回路５ｄのスイッチが閉状態となる。それにより、コンデンサ５ａに充電されている電力がサイリスタ９のゲートに供給されることにより、サイリスタ９がオン状態となる。それにより、コイル６１、ブリッジダイオード７及び調節部４からなる閉ループが形成される。また、一方で、モータ３は電源７０の異常や停電等によりモータ駆動部２からの制御信号が停止されると、惰性により回転することで発電機として作用し、発電された電力はブリッジダイオード７により全波整流されたあと、コイル６１に供給される。接触ブレーキ６は励磁作動型であるため、コイル６１に電流が流れると、接触ブレーキ６が作動し、搬送台車１が接触摩擦によりブレーキがかかる。さらに、コイル６１および調節部４を負荷とすることで、モータ３は制動力を発生し、搬送台車１にブレーキがかかる。
【００４１】
以上、説明したように、本実施の形態において第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、ゲート回路１０により、ノイズ等によりサイリスタ９が動作することを防ぐことができる。
【００４２】
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施の形態について図５を参照しつつ説明する。本実施の形態は、接触ブレーキ６を作動させるブレーキ作動部５の回路構成が第１の実施形態と相違する。以下、その相違点について説明する。尚、第１の実施形態と同様の部材は、同じ符号を付し、説明は省略する。
【００４３】
本実施の形態は、第１の実施形態の自己保持リレー８の部分にトライアック１１を用いている。また、モータ３は単相２線式となっており、ブリッジダイオード７を省略している。トライアック１１は、２つのサイリスタを反対向きに接続し、ゲートを１つにまとめたものである。また、トライアック１１は、双方向に電流を流すことができるため、モータ３が単相２線式の場合は、第１の実施形態のブリッジダイオード７を必要としないようになっている。
【００４４】
トライアック１１のゲートにはゲート回路１０が接続されており、さらに、絶縁回路１２が接続されている。絶縁回路１２は、コイル１２ａ・１２ｂを対向配置したリレー回路であり、一方のコイル１２ａはコイルゲート回路１０に接続され、もう一方のコイル１２ｂは、駆動回路１３に含まれている。尚、駆動回路１３は、第１の実施形態のスイッチ回路５ｄと同じ構成であり、コイル１２ｂは、コイル５１に相当するため、説明は省略する。
【００４５】
電源７０の異常時には、コイル１２ｂに電流が流れるようになっている。コイル１２ｂに電流が流れると誘導起電力により、コイル１２ａにも電流が発生するようになっている。従って、ゲート回路１０を介してトライアック１１のゲートに電流が供給されるようになっている。トライアック１１のゲートに電流が供給されると、トライアック１１がオン状態となり、モータ３を発電機としてコイル６１、調節部４及びトライアック１１の閉ループに電流が流れるようになっている。コイル６１に電流が流れると接触ブレーキ６が作動し、ブレーキがかかるようになっている。
【００４６】
次に、電源７０の異常時における本実施の形態の搬送装置の動作について説明する。
【００４７】
電源７０の異常や停電時には、駆動回路１３のコイル１２ｂに電流が流れ、磁界が発生する。それに伴い、コイル１２ａに電流が発生する。それにより、ゲート回路１０を介してトライアック１１のゲートに電流が供給されることにより、トライアック１１がオン状態となる。それにより、コイル６１及び調節部４からなる閉ループが形成される。また、一方で、モータ３は電源７０の異常や停電等によりモータ駆動部２からの制御信号が停止されると、惰性により回転することで発電機として作用し、発電された電力がコイル６１に供給される。接触ブレーキ６は励磁作動型であるため、コイル６１に電流が流れると、接触ブレーキ６が作動し、搬送台車１が接触摩擦によりブレーキがかかる。さらに、コイル６１および調節部４を負荷とすることで、モータ３は制動力を発生し、搬送台車１にブレーキがかかる。
【００４８】
以上、本実施の形態において、第１及び第２の実施の形態と同様の効果を得ることができる。また、本実施の形態においては、モータ３を２線式とし、トライアック１１を用いることで全波整流器のブリッジダイオード７を必要としなくなる。
【００４９】
また、本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能である。例えば、上述の実施の形態では、搬送台車停止装置は半導体製造システムにおいて好適に用いられているが、これに限定されず、別のシステム内に用いられてもよい。また、走行路は上方（天井側）に配設されているが、これに限定されることはない。
【００５０】
本発明は、上記の好ましい実施形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】（ａ）本発明の第１の実施形態に係る搬送装置の回路図。（ｂ）（ａ）中のリレー部分（破線部分）の回路図。
【図２】搬送台車の機能ブロック図。
【図３】（ａ）搬送台車の全体概略図。（ｂ）（ａ）に描かれている走行機と走行路との正面図である。（ｃ）（ａ）に描かれている走行機と走行路との側面図。
【図４】本発明の第２の実施形態にかかる搬送装置の回路図。
【図５】本発明の第３の実施形態にかかる搬送装置の回路図。
【図６】本発明の搬送装置を好適に用いた搬送システムの全体概略図。
【符号の説明】
【００５２】
１    搬送台車
２    モータ駆動部
３    モータ
４    調節部
５    ブレーキ作動部
５ａ  コンデンサ
５ｄ  スイッチ回路
６    接触ブレーキ
７    ブリッジダイオード
８    自己保持リレー
７０  電源
【図１】
2005250737.tif 000003
【図２】
2005250737.tif 000004
【図３】
2005250737.tif 000005
【図４】
2005250737.tif 000006
【図５】
2005250737.tif 000007
【図６】
2005250737.tif 000008