(57)【要約】【課題】  ２つの圧電振動子を収容する場合でも、外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることができるとともに、内部に収納する圧電振動子を安定して振動させることが可能な高信頼性の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置を提供することにある。【解決手段】  圧電振動子収納用パッケージは、第１の圧電振動子２を収容するための第１の凹部６を有する第１の絶縁基体１と、第２の圧電振動子２２を収容するための第２の凹部２６を有する第２の絶縁基体２１と、第１の圧電振動子２の電極が接続される第１の電極パッド３と、第２の圧電振動子２２の電極が接続される第２の電極パッド２３と、配線導体４、２４とを具備しており、第１の圧電振動子２は、第１の凹部６内に立設され、第２の圧電振動子２２は、第２の凹部２６内に立設される。【選択図】  図３
2005217535.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に平板状の第１の圧電振動子を収容するための第１の凹部を有する第１の絶縁基体と、該第１の絶縁基体の上面の前記第１の凹部の周囲に接合される、下面に平板状の第２の圧電振動子を収容するための第２の凹部を有する第２の絶縁基体と、前記第１の凹部の内側面に形成された、前記第１の圧電振動子の電極が接続される第１の電極パッドと、前記第２の凹部の内側面に形成された、前記第２の圧電振動子の電極が接続される第２の電極パッドと、前記第１および第２の電極パッドから前記第１の絶縁基体の外表面に導出される配線導体とを具備しており、前記第１の圧電振動子は、その一側面が前記第１の凹部の底面に対して隙間を空けて対向するように前記第１の凹部内に立設され、前記第２の圧電振動子は、その一側面が前記第２の凹部の底面に対して隙間を空けて対向するように第２の凹部内に立設されることを特徴とする圧電振動子収納用パッケージ。
【請求項２】
前記第１および第２の凹部は直方体状であり、前記第１および第２の凹部の内側面の角部にそれぞれ前記第１および第２の電極パッドが形成されていることを特徴とする請求項１記載の圧電振動子収納用パッケージ。
【請求項３】
前記第１および第２の圧電振動子は、平面視で交差するように前記第１および第２の凹部にそれぞれ収容されることを特徴とする請求項１または請求項２記載の圧電振動子収納用パッケージ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の圧電振動子収納用パッケージと、前記第１および第２の凹部内にそれぞれ立設されているとともに端部に形成された電極が前記第１および第２の電極パッドにそれぞれ電気的に接続された前記第１および第２の圧電振動子とを具備していることを特徴とする圧電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部に圧電振動子を収容するための圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、圧電振動子を収容するための圧電振動子収納用パッケージとして、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体，ガラスセラミックス等から成るセラミックス製パッケージが用いられている。従来の圧電振動子収納用パッケージは、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、上面中央部に圧電振動子３４を収容するための直方体状の凹部３３を有するとともに、その凹部３３の底面の隅部に圧電振動子３４の端部が取着される段差部３７が設けられた絶縁基体３１を具備している。また、この段差部３７の上面から絶縁基体３１の側面や下面等の外表面にかけてメタライズ導体等からなる配線導体３５が導出されている。なお、図４（ａ）は従来の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置の一例を示す平面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ’線における断面図である。
【０００３】
そして、絶縁基体３１の凹部３３内に圧電振動子３４を、その主面が凹部３３の底面に対向するように収納するとともに、この圧電振動子３４の端部に形成されている電極を凹部３３内の段差部３７上に露出する配線導体３５に導電性接着剤３８等の電気的接続手段を介して電気的に接続し、しかる後、絶縁基体３１の上面の凹部３３の周囲に蓋体３２を接合することにより、絶縁基体３１の凹部３３と蓋体３２とから成る容器の内部に圧電振動子３４が気密に封止された圧電装置を構成することができる。なお、凹部３３は、蓋体３２を絶縁基体３１の上面の凹部３３を取囲む部位に形成されたメタライズ層３６に銀ろう等のろう材を介してシームウエルド法等で接合することにより気密封止される。
【０００４】
このようにして形成された圧電装置は、絶縁基体３１の外表面（図４では下面）に導出された配線導体３５と外部電気回路基板の電極パッドとを半田等のろう材を介して接続することにより外部電気回路基板に実装され、圧電振動子３４と外部電気回路とが配線導体３５を介して電気的に接続される。
【０００５】
圧電装置が実装された外部電気回路基板は、コンピュータや携帯電話、デジタルカメラ等の電子機器を構成する部品として使用される。
【特許文献１】特開２００２−３３６３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
近年、このような圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置は小型化、特に外部電気回路基板に実装されたときの実装面積を小さくすることが強く要求されている。
【０００７】
しかしながら、従来の圧電振動子収納用パッケージでは、圧電振動子３４が、その主面が絶縁基体３１の凹部３３の底面に対向するようにして収納されるため、圧電振動子３４の振動を妨げずに凹部３３内に収納しようとすると、面積の大きな圧電振動子３４の主面に見合う分だけ凹部３３の底面の面積を広く確保しておく必要があった。また、段差部３７の上面に露出する配線導体３５は、圧電振動子３４の端部の電極を導電性接着剤３８等により良好に接続させるため、配線導体３５を圧電振動子３４の端部より両側にはみ出すように大きくする必要があった。従って、絶縁基体３１の凹部３３の底面の面積を圧電振動子３４の主面より十分に大きくする必要があり、その結果、絶縁基体３１の平面視での面積が大きくなって、圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置の外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることが非常に難しいという問題を有していた。
【０００８】
また、圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置は、それが部品として用いられる電子機器の多機能化や高精度化の要求に応じて周波数特性の異なる２つの圧電振動子を収容することが求められるようになってきている。
【０００９】
周波数特性の異なる２つの圧電振動子を使用する場合、別々の圧電振動子収納用パッケージに収容し、外部電気回路基板に実装するため、実装面積が非常に大きくなってしまうという問題点があった。
【００１０】
本発明は、かかる問題点に鑑み案出されたものであり、その目的は、２つの圧電振動子を収容する場合でも、外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることができるとともに、内部に収納する圧電振動子を安定して振動させることが可能な高信頼性の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の圧電振動子収納用パッケージは、上面に平板状の第１の圧電振動子を収容するための第１の凹部を有する第１の絶縁基体と、該第１の絶縁基体の上面の前記第１の凹部の周囲に接合される、下面に平板状の第２の圧電振動子を収容するための第２の凹部を有する第２の絶縁基体と、前記第１の凹部の内側面に形成された、前記第１の圧電振動子の電極が接続される第１の電極パッドと、前記第２の凹部の内側面に形成された、前記第２の圧電振動子の電極が接続される第２の電極パッドと、前記第１および第２の電極パッドから前記第１の絶縁基体の外表面に導出される配線導体とを具備しており、前記第１の圧電振動子は、その一側面が前記第１の凹部の底面に対して隙間を空けて対向するように前記第１の凹部内に立設され、前記第２の圧電振動子は、その一側面が前記第２の凹部の底面に対して隙間を空けて対向するように第２の凹部内に立設されることを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の圧電振動子収納用パッケージにおいて、好ましくは、前記第１および第２の凹部は直方体状であり、前記第１および第２の凹部の内側面の角部にそれぞれ前記第１および第２の電極パッドが形成されていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージにおいて、好ましくは、前記第１および第２の圧電振動子は、平面視で交差するように前記第１および第２の凹部にそれぞれ収容されることを特徴とするものである。
【００１４】
また、本発明の圧電装置は、上記いずれかの構成の圧電振動子収納用パッケージと、前記第１および第２の凹部内にそれぞれ立設されているとともに端部に形成された電極が前記第１および第２の電極パッドにそれぞれ電気的に接続された前記第１および第２の圧電振動子とを具備していることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の圧電振動子収納用パッケージは、第１の圧電振動子が、その一側面が前記第１の凹部の底面に対して隙間を空けて対向するように前記第１の凹部内に立設されており、また、第２の圧電振動子が、その一側面が前記第２の凹部の底面に対して隙間を空けて対向するように第２の凹部内に立設されることから、各圧電振動子の振動を妨げないようにして各凹部内に圧電振動子をそれぞれ収納することができるとともに、面積の小さい圧電振動子の一側面に見合う分だけ各凹部の底面の面積を確保しておけばよく、第１および第２の凹部の底面の面積を非常に小さくすることができる。その結果、複数の圧電振動子を１つの圧電振動子収納用パッケージに収納することができるとともに、第１および第２の絶縁基体の平面視での面積を小さくすることができ、圧電振動子収納用パッケージ全体の外部電気回路基板に対する実装面積を非常にきわめて小さくすることができる。
【００１６】
また、第１および第２の圧電振動子の端部に形成された電極を、第１および第２の凹部の内側面に形成された第１および第２の電極パッドに、それぞれ縦方向に幅広く接続することができることから、この接続部の機械的強度を強くすることができ、圧電振動子の接続信頼性に優れた圧電振動子収納用パッケージを提供することができる。
【００１７】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージは、好ましくは、第１および第２の凹部が直方体状であり、内側面の角部にそれぞれ第１および第２の電極パッドが形成されていることから、第１および第２の圧電振動子をそれぞれ対応する各凹部の対角方向に立設することができ、第１および第２の凹部の平面視における面積をより一層小さくすることができる。
【００１８】
また、第１および第２の凹部の各内側面の角部に形成された第１および第２の電極パッドが、第１および第２の圧電振動子のそれぞれの端部を直角に覆うため、第１および第２の圧電振動子と第１および第２の電極パッドとのそれぞれの接続面積が大きくなって接続信頼性をより向上させることができる。
【００１９】
さらに、圧電振動子が振動するときに重要な部分である圧電振動子の中央部と凹部の内側面との間の距離を大きく確保することができ、その結果、第１および第２の圧電振動子をより安定して正確に振動させることができる。
【００２０】
さらに、第１および第２の圧電振動子は、好ましくは、平面視で交差するように第１および第２の凹部にそれぞれ収容されることから、２つの圧電振動子を収容する圧電振動子収納用パッケージとしては平面視で１つの絶縁基体の実装面積で済むこととなり、さらに外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることができる。
【００２１】
また、第１および第２の圧電振動子を、平面視で交差するように第１および第２の凹部にそれぞれ収容するようにした場合、第１の電極パッドと第２の電極パッドとが上下に連続しないようにして形成されるので、周波数特性の異なる２つの圧電振動子を第１の電極パッドと第２の電極パッドを介して別々の配線導体と接続させることができ、第１の電極パッドおよび第２の電極パッドにそれぞれ接続される第１および第２の圧電振動子からの振動が上下で干渉することをより有効に防いでより一層高精度とすることができる。また同時に、第１および第２の電極パッドから第１の絶縁基体の外表面に導出される配線導体の引き回しが容易になり、生産性をより良好に確保することもできる。
【００２２】
本発明の圧電装置は、上記構成の圧電振動子収納用パッケージと、第１および第２の凹部内にそれぞれ立設されているとともに端部に形成された電極が第１および第２の電極パッドにそれぞれ電気的に接続された第１および第２の圧電振動子とを具備していることから、外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることができるとともに、内部に収納する圧電振動子を安定して振動させることが可能な高信頼性のものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
次に、本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置を添付の図面を基に説明する。図３は本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置の実施の形態の一例を示した断面図であり、第１の圧電振動子２が収容された第１の絶縁基体１の上面に、第２の圧電振動子２２が収容された第２の絶縁基体２１を接合した状態を示している。図１（ａ）は、図３の圧電振動子収納用パッケージの第１の絶縁基体１側を詳しく説明するための平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図である。また、図２（ａ）は、図３の圧電振動子収納用パッケージの第２の絶縁基体２１側を詳しく説明するための平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ’線における断面図である。
【００２４】
これらの図において１は第１の絶縁基体、２は第１の圧電振動子、３は第１の電極パッド、４および２４は配線導体、２１は第２の絶縁基体、２２は第２の圧電振動子、２３は第２の電極パッドである。なお、配線導体は、わかりやすいように第１の絶縁基体１側と第２の絶縁基体２１側とで異なる符合を付けるようにした。
【００２５】
そして、主として第１の絶縁基体１、第２の絶縁基体２１、第１の圧電振動子２、第２の圧電振動子２１、第１の電極パッド３、第２の電極パッド２３、配線導体４、２４で本発明の圧電振動子収納用パッケージが構成されている。この第１の絶縁基体１に第１の圧電振動子２を、また第２の絶縁基体２１に第２の圧電振動子２２を収納し、第１の絶縁基体１の上面の第１の凹部６の周囲に第２の絶縁基体２１の下面の第２の凹部２６の周囲を接合することにより本発明の圧電装置が構成される。
【００２６】
第１の絶縁基体１および第２の絶縁基体２１は、酸化アルミニウム質焼結体（アルミナセラミックス）や窒化アルミニウム質焼結体，ムライト質焼結体，ガラスセラミックス等のセラミックス、エポキシ樹脂，ポリイミド樹脂等の有機樹脂、有機樹脂中にセラミックスやガラス等のフィラー粒子を分散結合して成る複合材料等から成り、例えば一辺の長さが２〜２０ｍｍ程度で厚みが０．５〜３ｍｍ程度の直方体状である。
【００２７】
第１の絶縁基体１は、その上面に第１の圧電振動子２を収納するための例えば直方体状である第１の凹部６が形成されている。また、第２の絶縁基体２１は、その下面に第２の圧電振動子２１を収納するための例えば直方体状である第２の凹部２６が形成されている。
【００２８】
このような第１および第２の絶縁基体１、２１は以下のようにして作製される。先ず、酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム、酸化珪素、酸化マグネシウム、酸化カルシウム等の原料粉末に適当な有機バンイダ、溶剤、可塑剤等を添加混合して泥漿状となし、これを従来周知のドクタブレード法やカレンダーロール法等によりシート状に成形し、複数枚のセラミックグリーンシートを得る。しかる後、セラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施して、四角形状のものと枠状のものとを形成し、第１の絶縁基体１であれば四角形状のものが下層に位置するように、また、枠状のものが上層に位置するように上下に積層して上面に第１の凹部６を有する積層体を形成し、その積層体を高温（約１６００℃）で焼成することにより第１の絶縁基体１と成る。また、第２の絶縁基体２１であれば、第１の絶縁基体１と同様に製作し、最後に絶縁基体を反転させることで第２の絶縁基体２１の下面に第２の凹部２６が形成される。
【００２９】
第１および第２の絶縁基体１，２１の第１および第２の凹部６，２６の内側面に形成されている第１および第２の電極パッド３，２３は、第１および第２の凹部６，２６に収納される第１および第２の圧電振動子２，２２の各電極を電気的に接続するためのパッドとして機能する。
【００３０】
第１および第２の圧電振動子２，２２は、例えば、水晶や弾性表面波素子等であり、通常、その外形が四角形状の平板状であり、その端部には電極（図示せず）が形成されている。また、振動を妨げられず、正確に振動するために、その一側面がそれぞれ第１および第２の凹部６，２６の底面に対して２０〜５０μｍの隙間を空けて対向するように第１および第２の凹部６，２６内に立設されているのがよい。
【００３１】
このような隙間は、第１および第２の圧電振動子２，２２を第１および第２の電極パッド３，２３に接続する際、第１および第２の圧電振動子２，２２の一側面を第１および第２の凹部６，２６から浮かして接続するか、または、第１および第２の凹部６，２６の底面に設けた、絶縁体や導電体から成る凸部９，２９の上面に第１および第２の圧電振動子２，２２を載置させることによって形成される。
【００３２】
本発明の圧電振動子収納用パッケージにおいては、第１および第２の圧電振動子２，２２は、その一側面が第１および第２の凹部６，２６の底面に対して隙間を空けて対向するようにして第１および第２の凹部６，２６内に立設されて収納される。これにより、第１および第２の圧電振動子２，２２の振動を妨げないようにして第１および第２の凹部６，２６内に第１および第２の圧電振動子２，２２を収納することができるとともに、面積の小さい第１および第２の圧電振動子２，２２の一側面に見合う分だけの第１および第２の凹部６,２６の底面の面積を確保しておけばよく、第１および第２の凹部６，２６の底面の面積を非常に小さくすることができる。
【００３３】
その結果、複数の圧電振動子を１つの圧電振動子収納用パッケージに収納することができるとともに、第１および第２の絶縁基体１，２１の平面視での面積を小さくすることができ、圧電振動子収納用パッケージ全体の外部電気回路基板に対する実装面積を非常にきわめて小さくすることができる。
【００３４】
なお、第１および第２の圧電振動子２，２２の端部に形成された電極と第１および第２の電極パッド３，２３との接続は、例えば導電性接着剤７や半田等の電気的接続手段によって行なわれる。
【００３５】
この場合、第１の圧電振動子２の端部に形成された電極を、第１の凹部６の内側面に形成された第１の電極パッド３に縦方向に幅広く接続することができ、かつ第２の圧電振動子２２の端部に形成された電極を、第２の凹部２６の内側面に形成された第２の電極パッド２３に縦方向に幅広く接続することができることから、この接続部の機械的強度を強くすることができ、圧電振動子の接続信頼性に優れた圧電振動子収納用パッケージを提供することができる。
【００３６】
第１の電極パッド３に接続された第１の圧電振動子２の電極は、配線導体４を介して第１の絶縁基体１の外表面（図１（ｂ）の例では下面）に導出され、その導出部分が半田等を介して外部電気回路基板に接続されることにより、第１の圧電振動子２の電極が外部電気回路に電気的に接続される。
【００３７】
また、第２の電極パッド２３に接続された第２の圧電振動子２２の電極は、第２の絶縁基体に形成された配線導体２４を介して第１の絶縁基体１側の配線導体４と電気的に接続され、配線導体４を介して第１の絶縁基体１の外表面（下面等）に導出される。そして、配線導体４の導出部分を外部電気回路基板に接続することにより、配線導体４，２４を介して、第２の圧電振動子２２の電極が外部電気回路に電気的に接続される。
【００３８】
第２の絶縁基体２１の配線導体２４と第１の絶縁基体１の配線導体４との電気的接続は、例えば、第２の絶縁基体２１の下面のうち第１の絶縁基体１の上面に接合される外周部分に配線導体２４を導出させておくとともに、この第２の絶縁基体２２側の配線導体２４の導出部分に対応するようにして、第１の絶縁基体１の上面の外周部に第１の配線導体４を導出させておき、配線導体４と配線導体２４とを上下位置合わせして、第１の絶縁基体１の上面に第２の絶縁基体２２を接合することにより行うことができる。
【００３９】
第１の絶縁基体１の配線導体４の導出部分には、配線導体４よりも幅の広い外部接続用パッド８を形成しておき、圧電振動子収納用パッケージの外部電気回路基板への接続をより一層容易かつ強固なものとしてもよい。
【００４０】
なお、第１および第２の電極パッド３，２３や配線導体４，２４、および外部接続用パッド８は、タングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀等の金属材料からなり、例えばタングステンからなる場合であれば、タングステン粉末に有機溶剤、バインダー等を添加し混練して作製した導電ペーストを、第１の絶縁基体１や第２の絶縁基体２１となるグリーンシートの表面等に所定パターンに印刷することにより形成される。
【００４１】
第１および第２の電極パッド３，２３は、第１および第２の凹部６，２６の内側面、または、隣接する内側面の角部のいずれに形成されていてもよい。また、第１および第２の電極パッド３，２３は、内側面の平滑な表面に導電ペーストを被着させたものであってもよく、内側面に形成した切り欠きに導電ペーストを充填したものであってもよい。
【００４２】
また、第１の電極パッド３と第２の電極パッド２３とは、電気的に接続されていてもよく、電気的に接続されていなくてもよい。
【００４３】
第１の絶縁基体１と第２の絶縁基体２１との接合は、例えば、第１の絶縁基体１および第２の絶縁基体２１の各接合面となる部位に、それぞれタングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀等の金属材料から成る、例えば、メタライズ層や金属板等の封止用枠体５，２５を形成しておき、封止用枠体５、２５同士を半田等を介して接続させることにより行なうことができる。なお、封止用枠体５，２５の表面は凹凸の少ない滑らかな面であることが望ましい。
【００４４】
第１の絶縁基体１と第２の絶縁基体２１との接合は、封止用枠体５，２５を介して接合するものに限らず、ガラスや樹脂等を介して接合するようにしてもよい。この場合、第１の絶縁基体１と第２の絶縁基体２１とのガラスや樹脂等の接合材による接合を容易なものとするために第１の絶縁基体１と第２の絶縁基体２１との外形寸法を同じにすることが望ましい。
【００４５】
なお、第１および第２の電極パッド３，２３および外部接続用パッド８の露出表面には、第１および第２の電極パッド３，２３および外部接続用パッド８の酸化腐食を防止するとともに、第１および第２の電極パッド３，２３と第１および第２の圧電振動子２，２２の各電極との接続や、外部接続用パッド８と外部電気回路基板との接続を強固なものするために、例えば１〜１０μｍ程度の厚みのニッケルめっき層と０．１〜３μｍ程度の厚みの金めっき層とが順次被着されているのがよい。
【００４６】
そして、第１および第２の圧電振動子２，２２を第１および第２の絶縁基体１，２１のそれぞれの第１および第２の凹部６，２６に収納し、第１および第２の圧電振動子２，２２の端部に形成された電極（図示せず）を凹部６，２６の内側面に形成された第１および第２の電極パッド３，２３に導電性接着剤７，２７等の電気的接続手段を介して接続する。この際、導電性接着剤２７を配線導体２４（第２の電極パッド２３）の絶縁基体２１の下面に露出した表面にも塗布形成しておく。これにより、第１の絶縁基体１と第２の絶縁基体２１とを接合する際、配線導体２４（第２の電極パッド２３）の絶縁基体２１の下面に露出した表面に形成された導電性接着剤２７により配線導体２４（第２の電極パッド２３）と配線導体４との電気的接続が可能となる。
【００４７】
次に、第１の絶縁基体１の封止用枠体５の周囲に第１の絶縁基体１と第２の絶縁基体２１を気密封止するためのガラスや樹脂を塗布する。さらに、第２の圧電振動子２２を収容した第２の絶縁基体２１を反転させて第１の圧電振動子２を収容した第１の絶縁基体１に位置決めした後、封止用枠体５、２５が合うように熱処理して接合することにより、第１の圧電振動子２および第２の圧電振動子２１が、第１の絶縁基体１と第２の絶縁基体２１とからなる容器の内部に気密封止され、圧電装置として完成する。
【００４８】
本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置において、第１および第２の凹部６，２６は、直方体状であり、内側面の角部に第１および第２の電極パッド３，２３が形成されていることが好ましい。これにより、第１および第２の圧電振動子２，２２をそれぞれ対応する第１および第２の凹部６，２６の対角方向に立設することができ、第１および第２の凹部６，２６の平面視における面積をより一層小さくすることができる。
【００４９】
また、第１および第２の凹部６，２６の各内側面の角部に形成された第１および第２の電極パッド３，２３が、第１および第２の圧電振動子２，２２のそれぞれの端部を直角に覆うため、第１および第２の圧電振動子２，２２と第１および第２の電極パッド３，２３とのそれぞれの接続面積が大きくなって接続信頼性をより向上させることができる。
【００５０】
さらに、圧電振動子が振動するときに重要な部分である圧電振動子の中央部と凹部の内側面との間の距離を大きく確保ことができ、その結果、第１および第２の圧電振動子２，２２をより安定して正確に振動させることができる。
【００５１】
また、第２の絶縁基体２１の第２の凹部２６の対向する角部に形成する一対の第２の電極パッド２３の形状を同一形状とすれば、第１の絶縁基体１の配線導体４と第２の絶縁基体２１の電極パッド２３とを接合する際に第２の絶縁基体２１の接続方向が１８０度回転したとしても、電気的特性は同じものとなるため、絶縁基体の接合する方向違いを防止することが可能となる。
【００５２】
また、本発明の圧電振動子収納用パッケージおよび圧電装置において、第１および第２の圧電振動子２，２２は、平面視で交差するように第１および第２の凹部６，２６にそれぞれ収容されることが好ましい。
【００５３】
第１および第２の圧電振動子２，２２を、平面視で交差するように第１および第２の凹部６，２６にそれぞれ収容した場合には、２つの第１および第２の圧電振動子６，２６を収容する圧電振動子収納用パッケージとしては平面視で１つの絶縁基体の実装面積で済むこととなり、さらに外部電気回路基板に対する実装面積を小さくすることができる。
【００５４】
また、第１および第２の圧電振動子２，２２を、平面視で交差するように第１および第２の凹部６、２６にそれぞれ収容するようにした場合、第１の電極パッド３と第２の電極パッド２３とが上下に連続しないようにして形成されるので、周波数特性の異なる２つの圧電振動子を第１の電極パッド３と第２の電極パッド２３を介して別々の配線導体と接続させることができ、第１の電極パッド３および第２の電極パッド２３にそれぞれ接続される第１および第２の圧電振動子２，２２からの振動が上下で干渉することをより有効に防いでよりいっそう高精度とすることができる。また同時に、第１および第２の電極パッド３，２３から第１の絶縁基体１の外表面に導出される配線導体４，２４の引き回しが容易になり、生産性をより良好に確保することもできる。
【００５５】
さらに、第１および第２の圧電振動子２，２２の第１および第２の電極パッド３，２３に接続されている側面と、第１および第２の電極パッド３，２３との間の距離は０．１〜０．５ｍｍ程度であるのがよい。これにより、この間にある導電性接着剤７，２７等の電気的接続手段が固有な振動をしにくくなり、主振動モードを乱すことを抑制できる。
【００５６】
本発明の第１および第２の電極パッド３，２３は、第１および第２の凹部６，２６の角部にそれぞれ形成された平面視形状が、Ｕ字状、Ｖ字状、四角形状等の切欠き部の内面に形成されるのがよい。その場合、第１および第２の圧電振動子２，２２と、第１および第２の電極パッド３，２３とを容易にかつ、より正確な位置合わせすることができるとともに、各電極パッドと導電性接着剤７，２７との接合面積が大きくなることで、各電極パッドと電気的接続手段との接合強度が高まる。さらに、第１および第２の圧電振動子２，２２の端部が切欠き部に嵌め込まれて立設されるので、少ない量の導電性接着剤７，２７で、第１および第２の圧電振動子２，２２と導電性接着剤７，２７との接合面積を確保でき、接合強度を維持したまま、第１および第２の圧電振動子２，２２の振動する部位を大きくすることができる。また、導電性接着剤７，２７の接続部以外への漏れを少なくでき、かつ良好なメニスカスを形成することができる。
【００５７】
なお、第１の絶縁基体１において、第１の凹部６を取囲む側壁部の上端部を第１の圧電振動子２の振動を妨げない程度に第１の凹部６の内側に向けて張り出すようにしてもよい。また、第２の絶縁基体２１において、第２の凹部２６を取囲む側壁部の下端部を第２の圧電振動子２２の振動を妨げない程度に第２の凹部２６の内側に向けて張り出すようにしてもよい。これにより、第１の絶縁基体１と第２の絶縁基体２１との接合面積をより大きく確保し、第１の絶縁基体１と第２の絶縁基体２１との絶縁基体１との接合をより強固とすることができる。
【００５８】
なお、本発明は、上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、種々の変形は可能である。例えば、第１および第２の絶縁基体１，２１は三層以上のセラミック層を積層することにより形成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】（ａ）は本発明の圧電振動子収納用パッケージにおける第１の絶縁基体の実施の形態の一例を示す平面図、（ｂ）は（ａ）の第１の絶縁基体のＡ−Ａ’線における断面図である。
【図２】（ａ）は本発明の圧電振動子収納用パッケージにおける第２の絶縁基体の実施の形態の一例を示す平面図、（ｂ）は（ａ）の第２の絶縁基体のＡ−Ａ’線における断面図である。
【図３】本発明の圧電振動子収納用パッケージの実施の形態の一例を示す断面図である。
【図４】（ａ）は従来の圧電振動子収納用パッケージの平面図、（ｂ）は（ａ）の圧電振動子収納用パッケージのＢ−Ｂ’線における断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１・・・・・・・第１の絶縁基体
２・・・・・・・第１の圧電振動子
３・・・・・・・第１の電極パッド
４，２４・・・・配線導体
５，２５・・・・封止用枠体
６・・・・・・・第１の凹部
７，２７・・・・導電性接着剤
８・・・・・・・外部接続用パッド
２１・・・・・・第２の絶縁基体
２２・・・・・・第２の圧電振動子
２３・・・・・・第２の電極パッド
２６・・・・・・第２の凹部
【図１】
2005217535.tif 000003
【図２】
2005217535.tif 000004
【図３】
2005217535.tif 000005
【図４】
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