(57)【要約】【課題】  カールの発生量が少なく、保護フィルムの浮きがなく、搬送部材への貼り合わせが良好であるクリーニングシートを作製することにより、基板処理装置に確実に搬送できるとともに、装置内に付着している異物を簡便、確実に除去できるクリーニング部材を提供することを目的する。【解決手段】  クリーニング層上に離型性を有する保護フィルムが貼り合わされてなるクリーニングシートにおいて、上記の保護フィルムが、ポリオレフィン系フィルムとこれ以外のプラスチックフィルムとの積層フィルムからなり、かつその熱収縮率が０．１％以下であることを特徴とするクリーニングシート、とくに上記の保護フィルムがポリオレフィン系フィルムとポリエステルフィルムとの２層構造または３層構造の積層フィルムである上記構成のクリーニングシート。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーニング層上に離型性を有する保護フィルムが貼り合わされてなるクリーニングシートにおいて、上記の保護フィルムは、ポリオレフィン系フィルムとこれ以外のプラスチックフィルムとの積層フィルムからなり、かつその熱収縮率が０．１％以下であることを特徴とするクリーニングシート。
【請求項２】
保護フィルムは、ポリオレフィン系フィルムとポリエステルフィルムとの積層フィルムである請求項１に記載のクリーニングシート。
【請求項３】
保護フィルムは、ポリオレフィン系フィルムとポリエステルフィルムとの２層構造の積層フィルムである請求項２に記載のクリーニングシート。
【請求項４】
保護フィルムは、ポリエステルフィルムの両側にポリオレフィン系フィルムを積層した３層構造の積層フィルムであり、その熱収縮率が０．０５％以下である請求項２に記載のクリーニングシート。
【請求項５】
クリーニング層は、実質的に粘着力を有しない請求項１〜４のいずれかに記載のクリーニングシート。
【請求項６】
支持体上にクリーニング層を有する請求項１〜５のいずれかに記載のクリーニングシート。
【請求項７】
支持体の片面にクリーニング層を有し、他面に粘着剤層を有する請求項１〜５のいずれかに記載のクリーニングシート。
【請求項８】
搬送部材に、請求項１〜７のいずれかに記載のクリーニングシートが、粘着剤層を介して貼り合わされてなるクリーニング機能付き搬送部材。
【請求項９】
請求項１〜６のいずれかに記載のクリーニングシート、または請求項８に記載のクリーニング機能付き搬送部材を、クリーニング層上の保護フィルムを剥離して、基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法。
【請求項１０】
請求項９に記載のクリーニング方法によりクリーニングされた基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーニングシートおよびこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、金属不純物などの異物を嫌う各種の基板処理装置では、各搬送系と基板とを物理的に接触させながら搬送する。その際、基板や搬送系に異物が付着していると、後続の基板をつぎつぎに汚染することになり、定期的に装置を停止して、洗浄処理する必要があった。このため、稼働率の低下や多大な労力が必要になるという問題があった。
【０００３】
これらの問題を解決するため、基板処理装置内に、クリーニング部材として粘着性物質を固着した基板を搬送して、装置内に付着する異物をクリーニング除去する方法（特許文献１参照）や、同じくクリーニング部材として板状部材を搬送して、基板裏面に付着する異物を除去する方法（特許文献２参照）が提案されている。
【特許文献１】特開平１０−１５４６８６号公報
【特許文献２】特開平１１−８７４５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
これらの提案方法によると、装置を停止して洗浄処理する必要がなく、稼働率の低下や多大な労力を回避でき、とくにクリーニング部材として粘着性物質を固着した基板を用いる方法は、異物の除去性にすぐれている。しかし、この方法では、クリーニング層として粘着性物質を使用しているため、基板処理装置内に搬送したときに、処理装置の接触部と強く接着しすぎて、搬送できなくなることがあった。
【０００５】
これに対し、本発明者らは、たとえば、支持体上に実質的に粘着性のないクリーニング層を設けたクリーニングシートを作製し、このクリーニングシートあるいはこのシートをシリコンウエハなどの搬送基板上に貼り合わせたクリーニング機能付き搬送部材をクリーニング部材とし、これを基板処理装置内に搬送すると、上記のような基板処理装置の接触部と強く接着することがなく、搬送性良好にして、装置内に付着する異物を簡便、確実にクリーニング除去できることを、既に、見出している。
ところが、このようなクリーニング部材において、クリーニング層の保護のために、その上に離型性のある保護フィルムを貼り合わせると、クリーニングシートのシート全体がカールし、保護フィルムの浮きが発生したり、シリコンウエハなどの搬送部材への貼り合わせができなくなるという不都合を生じることがあった。
【０００６】
本発明は、このような事情に照らし、カールの発生量が少なく、保護フィルムの浮きがなく、搬送部材への貼り合わせが良好であるクリーニングシートを作製することにより、基板処理装置に確実に搬送できるとともに、装置内に付着している異物を簡便、確実に除去できるクリーニング部材を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、上記の目的に対し、鋭意検討した結果、クリーニングシートのカール発生がクリーニング層上に貼り合わせる保護フィルムの熱収縮に起因する、つまりシートの作製段階において加熱乾燥などによる熱負荷を受けたときに、貼り合わせた保護フィルムが熱収縮してカールの発生を引き起こすものであると考えた。
この考えに基づいて、保護フィルムの材質構成などに関し、広範囲の実験検討を行った結果、ポリオレフィン系フィルムとこれ以外のプラスチックフィルムとの積層フィルムとして、その熱収縮率を特定値以下に規制したものを使用すると、シートのカール発生を大きく低減でき、保護フィルムの浮きがなく、シリコンウエハなどの搬送部材への貼り合わせが良好に行えることを見出し、本発明を完成した。
【０００８】
すなわち、本発明は、クリーニング層上に離型性を有する保護フィルムが貼り合わされてなるクリーニングシートにおいて、上記の保護フィルムは、ポリオレフィン系フィルムとこれ以外のプラスチックフィルムとの積層フィルムからなり、かつその熱収縮率が０．１％以下であることを特徴とするクリーニングシートに係るものである。
とくに、上記の保護フィルムが、ポリオレフィン系フィルムとポリエステルフィルムとの積層フィルムである上記構成のクリーニングシート、上記の保護フィルムが、ポリオレフィン系フィルムとポリエステルフィルムとの２層構造の積層フィルムである上記構成のクリーニングシート、上記の保護フィルムが、ポリエステルフィルムの両側にポリオレフィン系フィルムを積層した３層構造の積層フィルムであり、その熱収縮率が０．０５％以下である上記構成のクリーニングシートを、提供できるものである。
【０００９】
また、本発明は、上記のクリーニング層が、実質的に粘着力を有しない上記構成のクリーニングシート、支持体上にクリーニング層を有する上記構成のクリーニングシート、支持体の片面にクリーニング層を有し、他面に粘着剤層を有する上記構成のクリーニングシートを、提供できるものである。
さらに、本発明は、搬送部材に、上記構成のクリーニングシートが、粘着剤層を介して貼り合わされてなるクリーニング機能付き搬送部材に係るものである。
また、本発明は、上記構成のクリーニングシート、または上記構成のクリーニング機能付き搬送部材を、クリーニング層上の保護フィルムを剥離して、基板処理装置内に搬送することを特徴とする基板処理装置のクリーニング方法と、このクリーニング方法によりクリーニングされた基板処理装置とに係るものである。
【発明の効果】
【００１０】
このように、本発明においては、クリーニング層に貼り合わせる保護フィルムとして、ポリオレフィン系フィルムとこれ以外のプラスチックフィルムとの積層フィルムで、その熱収縮率が０．１％以下となるものを用いたことにより、保護フィルムに起因したカールの発生量を低減でき、保護フィルムの浮きがなく、搬送部材への貼り合わせが容易であるクリーニングシートを作製でき、基板処理装置内に確実に安定して搬送できるとともに、処理装置内に付着している異物を簡便、確実にクリーニング除去できる、実用性の極めて高いクリーニング部材を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明のクリーニングシートにおいて、クリーニング層上に貼り合わせる保護フィルムは、離型性を有するポリオレフィン系フィルムとこれ以外のプラスチックフィルムとの積層フィルムからなり、その熱収縮率が０．１％以下に規制されたものである。このような保護フィルムを使用することにより、クリーニングシートのカール発生を低減でき、保護フィルムの浮きをなくせ、搬送部材への貼り合わせが容易となる。これに対し、熱収縮率が０．１％より大きくなると、このような効果は得られない。
なお、本明細書において、保護フィルムの熱収縮率とは、８０℃で３分間加熱したのちの熱収縮率を意味するものである。
【００１２】
積層フィルムの熱収縮率を０．１％以下とするため、離型性を有するポリオレフィン系フィルムと積層するプラスチックフィルムは、それ自体の熱収縮率が０．０２％以下であるものが望ましい。この観点から、とくに望ましい積層フィルムは、ポリオレフィン系フィルムとポリエステルフィルムとの積層フィルムである。
また、２層構造の積層フィルムでも３層構造以上の積層フィルムでもよい。積層フィルム全体の熱収縮率としては、その積層構造に応じて適宜規制するのが望ましく、たとえば２層構造では０．１％以下、とくに０．０５％以下であるのがよく、また３層構造では、０．０５％以下、とくに０．０２％以下であるのがよい。
本発明において、とくに好ましい保護フィルムとしては、ポリオレフィン系フィルムとポリエステルフィルムとの２層構造の積層フィルムであるか、あるいはポリエステルフィルムの両側にポリオレフィン系フィルムを積層した３層構造の積層フィルムで、その熱収縮率が０．０５％以下であるものを挙げることができる。
【００１３】
本発明において、上記保護フィルムを貼り合わせるクリーニング層は、とくに限定されないが、引張弾性率（試験法：ＪＩＳ  Ｋ７１２７）が１０ＭＰａ以上、好ましくは１０〜２，０００ＭＰａであるのがよい。引張弾性率が１０ＭＰａ以上であると、ラベル切断時のクリーニング層のはみ出しや切断不良が抑えられ、プリカット方式で汚染のないクリーニング機能付ラベルシートを製造でき、また搬送時に装置内の接触部位に接着して搬送トラブルを引き起こすおそれがない。また、引張弾性率が２，０００ＭＰａ以下であると、搬送系上の付着異物の除去性に好結果が得られる。
【００１４】
このようなクリーニング層は、材質などにとくに限定されないが、紫外線や熱などの活性エネルギー源により重合硬化した樹脂層から構成されているのが望ましい。この理由としては、上記の重合硬化により分子構造が三次元網状化して実質的に粘着性がなくなり、搬送時に装置接触部と強く接着することがなく、基板処理装置内を確実に安定して搬送できるクリーニング部材が得られるからである。
上記重合硬化した樹脂層としては、たとえば、感圧接着性ポリマーに、分子内に不飽和二重結合を１個以上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）および重合開始剤と、必要により架橋剤などを含ませた硬化型の樹脂組成物を、活性エネルギー源、とくに紫外線により硬化したものが挙げられる。
【００１５】
感圧接着性ポリマーには、たとえば、（メタ）アクリル酸および／または（メタ）アクリル酸エステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーが挙げられる。このアクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーとして分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を用いたり、合成後のアクリル系ポリマーに分子内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で化合結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内に不飽和二重結合を導入してもよい。この導入によりアクリル系ポリマー自体も活性エネルギー源による重合硬化反応に関与させることができる。
【００１６】
重合性不飽和化合物としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１０，０００以下の低分子量体であるのがよく、とくに硬化時の三次元網状化が効率良くなされるように、５，０００以下の分子量を有しているのが好ましい。
このような重合性不飽和化合物としては、たとえば、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、オリゴエステル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。これらの化合物の中から、その１種または２種以上が用いられる。
【００１７】
重合開始剤としては、とくに限定されず、公知のものを使用できる。
たとえば、活性エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、シメチルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヒキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン、２，２−ジメトキシー２−フェニルアセトフェノンなどの光重合開始剤が挙げられる。
【００１８】
上記のクリーニング層は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力（ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じて測定）が０．２Ｎ／１０mm幅以下、好ましくは０．０１〜０．１Ｎ／１０mm幅程度であるのがよい。このような低粘着ないし非粘着とすることにより、搬送時に装置内の接触部位と強く接着することがなく、搬送トラブルを引き起こすおそれがない。また、このようなクリーニング層の厚さは、とくに限定されないが、通常０．１〜１００μｍ、好ましくは１〜５０μｍ程度であるのがよい。
【００１９】
本発明においては、上記のクリーニング層をこれ単独で成形してクリーニングシートとしてもよいし、支持体を使用し、この支持体上にクリーニング層を有する構成のクリーニングシートを作製してもよく、さらに支持体の片面にクリーニング層を有し、他面に粘着剤層を有する構成のクリーニングシートを作製してもよい。
【００２０】
上記の支持体としては、とくに限定されないが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィンや、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるプラスチックフィルムが挙げられる。
支持体は、上記の樹脂からなる単層フィルムでも、積層フィルムでもよく、片面または両面にコロナ処理などの表面処理を施したものでもよい。また、支持体の厚さとしては、とくに限定されないが、通常５〜２００μｍであるのがよい。
【００２１】
また、この支持体の他面に設けられる粘着剤層は、その材料構成について、とくに限定されないが、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力が、０．０１〜１０Ｎ／１０mm幅、好ましくは０．０５〜５Ｎ／１０mm幅であるのがよい。粘着力が低すぎると、搬送部材に貼り付けたときの接着力が不足し、搬送中にシート剥離などの不都合をきたすおそれがあり、また高すぎると、クリーニングシートを搬送部材から剥離除去する際に、支持体フィルムが裂けるおそれがある。
また、このような粘着剤層の厚さは、とくに限定されないが、通常は５〜１００μｍ、好ましくは５〜３０μｍ程度であるのがよい。
【００２２】
このような粘着剤層は、その材料構成について、とくに限定されず、アクリル系やゴム系などの通常の粘着剤がいずれも使用できる。これらの中でも、アクリル系の粘着剤として、重量平均分子量が１０万以下の成分が１０重量％以下であるアクリル系ポリマーを主剤としたものが、とくに好ましく用いられる。
上記のアクリル系ポリマーは、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとしこれに必要により共重合可能な他のモノマーを加えたモノマー混合物を、重合反応させることにより、合成できるものである。
【００２３】
本発明においては、上記構成のクリーニングシートを、粘着剤層を介して搬送部材上に貼り合わせることにより、クリーニング機能付き搬送部材とすることができる。ここで、クリーニングシート自体のカールの発生量が少なくて、保護フィルムの浮きもないため、上記貼り合わせを良好に行うことができる。
なお、上記貼り合わせに際し、クリーニングシートが支持体の他面側に粘着剤層を有するものでは、その粘着剤層を利用して貼り合わせできるが、粘着剤層を持たない構成のものでは、前記と同様の粘着剤を用いて貼り合わせればよい。
また、上記の搬送部材としては、とくに限定されず、種々の基板を使用できる。たとえば、半導体ウエハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの基板などが挙げられる。
【００２４】
本発明においては、上記構成のクリーニングシート、または上記構成のクリーニング機能付き搬送部材を、クリーニング部材として、これを、そのクリーニング層上の保護フィルムを剥離して、基板処理装置内に搬送することにより、上記装置内に付着する異物をクリーニング層に吸着させて、クリーニング除去する。その際、クリーニングシートにカールがほとんどみられないため、基板処理装置内を確実に安定して搬送させることができるし、クリーニング層が装置接触部と強く接着することもなく、良好な搬送性を維持でき、結果として、異物除去性に格段にすぐれた効果が奏される。
【００２５】
本発明において、クリーニングが行われる基板処理装置としては、とくに限定されず、たとえば、露光装置、レジスト塗布装置、現像装置、アッシング装置、ドライエッチング装置、イオン注入装置、ＰＶＤ装置、ＣＶＤ装置、外観検査装置、ウエハプローバなどが挙げられる。本発明においては、上記のクリーニング方法によりクリーニングされた上記の各基板処理装置を提供することができるものである。
【００２６】
つぎに、本発明の実施例を記載して、より具体的に説明する。ただし、本発明はこれらの実施例にのみ限定されるものではない。なお、以下において、部とあるのは重量部を意味するものとする。
なお、以下の実施例において、保護フィルムの熱収縮率は、保護フィルムを８０℃に３分間加熱したのち、流れ方向の収縮率をクイックビジョンＱＶ４０４−ＰＲＯ（画像顕微鏡：ミツトヨ社製）を用いて、測定したものである。
【実施例１】
【００２７】
アクリル酸２−エチルヘキシル７５部、アクリル酸メチル２０部およびアクリル酸５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に、ポリエチレングリコール２００ジメタクリレート（新中村化学社製の商品名「ＮＫエステル４Ｇ」）２００部、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業社製の商品名「コロネートＬ」）３部、エポキシ系化合物（三菱瓦斯化学社製の商品名「テトラッドＣ」）２部および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スペシャリティケミカルズ社製の商品名「イルガキュアー６５１」）３部を、均一に混合して、紫外線硬化型の樹脂組成物Ａを調製した。
【００２８】
これとは別に、温度計、撹拌機、窒素導入管および還流冷却管を備えた内容量が５００ｍｌの３つ口フラスコ型反応器内に、アクリル酸２−エチルへキシル７３部、アクリル酸ｎ−ブチル１０部、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド１５部およびアクリル酸５部からなるモノマー混合物、重合開始剤として２，２′−アゾビスイソブチロニトリル０．１５部、酢酸エチル１００部を、全体が２００ｇになるように配合して投入し、窒素ガスを約１時間導入しながら撹拌し、内部の空気を窒素で置換した。
その後、内部の温度を５８℃にし、この状態で約４時間保持して重合を行い、粘着剤ポリマー溶液を得た。つぎに、この粘着剤ポリマー溶液１００部に、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業社製の商品名「コロネートＬ」）３部を、均一に混合して、粘着剤溶液Ａを調製した。
【００２９】
片面がシリコーン系剥離剤にて剥離処理された長尺ポリエステルフィルム（厚さが５０μｍ、幅が２５０mm）からなる剥離フィルムのシリコーン剥離処理面に、上記の粘着剤溶液Ａを、乾燥後の厚さが１５μｍとなるように塗布した。
その粘着剤層上に、支持体として、長尺ポリエステルフィルム（厚さが２５μｍ、幅が２５０mm）を積層した。さらに、この支持体の上に、上記の紫外線硬化型の樹脂組成物Ａを、乾燥後の厚さが３０μｍとなるように塗布して、樹脂層を設け、その表面に、下記の保護フィルムＡを貼り合わせ、積層シートＡとした。
上記の保護フィルムＡとは、厚さが５０μｍのポリエステルフィルムと厚さが３０μｍのポリプロピレンフィルムとから２層構造の積層フィルムからなるものであり、その熱収縮率は０．０５％である。この積層フィルムからなる保護フィルムＡのポリプロピレンフィルム側を樹脂層表面に貼り合わせるようにした。
【００３０】
この積層シートＡに、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１，０００ｍＪ／cm2 照射して、重合硬化した樹脂層からなるクリーニング層を有するクリーニングシートＡを作製した。このクリーニングシートＡの保護フィルムＡを剥がし、クリーニング層のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力（ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じて測定）を測定したところ、０．０６Ｎ／１０mm幅であった。また、このクリーニング層の引張り強さ（試験法：ＪＩＳ  Ｋ７１２７）は、４４０Ｍｐａであった。
【００３１】
つぎに、このクリーニングシートＡの粘着剤層上の剥離フィルムを剥がして、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで貼り合わせ、クリーニング機能付き搬送部材Ａを作製した。その際、クリーニングシートＡにはカールがほとんどみられず、保護フィルムＡの浮きもなく、上記貼り合わせを良好に行えた。
なお、粘着剤層のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０°引き剥がし粘着力は、１．５Ｎ／１０mm幅であった。このクリーニング機能付き搬送部材Ａを使用し、以下のように基板処理装置の異物除去試験を行った。
【００３２】
まず、レーザー表面検査装置により、新品の８インチシリコンウエハ２枚のミラー面の０．２μｍ以上の異物を測定したところ、それぞれ、１０個、３個であった。これらのウエハを、別々の真空スパッタリング装置に、ミラー面を下側に向けて搬送したのち、レーザー表面検査装置でミラー面を測定したところ、８インチウエハサイズのエリア内で、それぞれ、１６，０５０個、１６，６４３個であった。
【００３３】
つぎに、前記のクリーニング機能付き搬送部材Ａのクリーニング層上の保護フィルムＡを剥がして、上記の１６，０５０個の異物が付着していたウエハステージを持つスパッタリング装置に搬送してみたところ、クリーニング層がウエハから剥がれることも、装置接触部と強く接着することもなく、安定に搬送することができた。
この操作を５回線り返し、その後に新品の８インチシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー異物検査装置で再び０．２μｍ以上の異物を測定した。その結果、初期に対し９０％の異物を除去できていた。
【実施例２】
【００３４】
クリーニング層に貼り合わせる保護フィルムとして、保護フィルムＡに代えて、厚さが５０μｍのポリエステルフィルムの両側に厚さが３０μｍのポリプロピレンフィルムを積層した３層構造の積層フィルムからなる保護フィルムＢ（熱収縮率：０．０２％）を使用した以外は、実施例１と同様にして、クリーニングシートＢを作製した。
つぎに、このクリーニングシートＢの粘着剤層上の剥離フィルムを剥がして、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで貼り合わせ、クリーニング機能付き搬送部材Ｂを作製した。その際、クリーニングシートＢにはカールがほとんどみられず、保護フィルムＢの浮きもなく、上記貼り合わせを良好に行えた。
【００３５】
このクリーニング機能付き搬送部材Ｂを用いて、実施例１と同様に、以下のように基板処理装置の異物除去試験を行った。
すなわち、クリーニング機能付き搬送部材Ｂのクリーニング層上の保護フィルムＢを剥がして、前記の１６，６４３個の異物が付着していたウエハステージを持つスパッタリング装置に搬送してみたところ、クリーニング層がウエハから剥がれることも、装置接触部と強く接着することもなく、安定に搬送することができた。
この操作を５回線り返し、その後に新品の８インチシリコンウエハをミラー面を下側に向けて搬送し、レーザー異物検査装置で再び０．２μｍ以上の異物を測定した。その結果、初期に対し９３％の異物を除去できていた。
【００３６】
比較例１
クリーニング層に貼り合わせる保護フィルムとして、保護フィルムＡに代えて、厚さが３０μｍのポリプロピレンフィルムと厚さが５０μｍのポリエチレンフイルムを積層した２層構造の積層フィルムからなる保護フィルムＣ（熱収縮率：０．５％）を使用した以外は、実施例１と同様にして、クリーニングシートＣを作製した。
つぎに、このクリーニングシートＣの粘着剤層上の剥離フィルムを剥がして、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで貼り合わせ、クリーニング機能付き搬送部材の作製を試みた。しかし、クリーニングシートＣにカールが発生し、上記の貼り合わせが不可能となり、クリーニング機能付き搬送部材を作製できなかった。
【００３７】
比較例２
クリーニング層に貼り合わせる保護フィルムとして、保護フィルムＡに代えて、厚さが５０μｍのポリエチレンフィルムの両側に厚さが３０μｍのポリプロピレンフィルムを積層した３層構造の積層フィルムからなる保護フィルムＤ（熱収縮率：０．３％）を使用した以外は、実施例１と同様にして、クリーニングシートＤを作製した。
つぎに、このクリーニングシートＤの粘着剤層上の剥離フィルムを剥がして、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで貼り合わせ、クリーニング機能付き搬送部材の作製を試みた。しかし、クリーニングシートＤにカールが発生し、上記の貼り合わせが不可能となり、クリーニング機能付き搬送部材を作製できなかった。