(57)【要約】【課題】本発明の目的は、炭酸ガススノーを用いた圧電振動子や光学部品、及びそれらを搭載したマスクやトレーといった被洗浄物の炭酸ガススノー洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置を提供することである。【解決手段】上記の目的を達成するために本発明は、炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置において、ガス源、及び炭酸ガス源から噴射するそれぞれのガスが蓋を通して先の炭酸ガススノー噴射装置のなかの隔壁により各々の噴射口に誘導され、かつ前記炭酸ガススノー噴射装置内の複数のみぞを成すガス誘導路が、ガスの噴射口側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物の表面に在ることを特徴とし、また炭酸ガススノー噴射装置内に、ガスの噴射口側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物が少なくとも２つ以上設けられていることを特徴として課題を解決する。【選択図】  図１
2005014181.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置において、
ガス源、及び炭酸ガス源から噴射するそれぞれのガスが蓋を通して該炭酸ガススノー噴射装置のなかの隔壁により各々の噴射口に誘導され、かつ該炭酸ガススノー噴射装置内の複数のみぞを成すガス誘導路が、ガスの噴射口側が狭くガス源側の広いテーパー形の構造物の表面に在ることを特徴とする炭酸ガススノー噴射装置。
【請求項２】
炭酸ガススノー噴射装置内に、ガスの噴射口側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物が少なくとも２つ以上設けられていることを特徴とする請求項１に記載の炭酸ガススノー噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術の分野】
本発明は、炭酸ガススノーを用いた圧電振動子や光学部品、及びそれらを搭載したマスクやトレーといった被洗浄物の洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置は、ひとつの炭酸ガススノー噴射口を具備した単ノズルとなっており、この単ノズルまたは被洗浄物を水平、及び垂直方向に移動する移動装置の上に載置して被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーを噴霧することによって洗浄することが一般的であった。
【０００３】
【特許文献１】
特願平１１−３６８４８７
【０００４】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を本件出願時までに発見するに至らなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年圧電振動子や光学部品といった部品は搭載して使用される機器の小型化に伴い、極めて急激なその容器形状の外形サイズの小型化、及び低背化の市場からの要求があり、その結果としてアルミナセラミックなどの材質から成るそれらの圧電振動子、及び光学部品といった部品を搭載する基板や容器壁の厚さも極力薄くなっており、また囲まれた容器のサイズも小さく、かつ薄くなっているのが現状である。
【０００６】
したがって、ひとつのマスクやトレー上に搭載される、前記の圧電振動子や光学部品の数量も増加しており、洗浄工程で扱われる被洗浄物の数量も急激に増えているのが現状である。
【０００７】
そのため、従来の被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄する炭酸ガススノー洗浄用の単ノズルの炭酸ガススノー噴射装置では、時間が掛かりその結果、洗浄の効率が悪いという問題があった。
【０００８】
また、従来は多数の被洗浄物をひとつずつ単ノズルから噴出する炭酸ガススノーによって洗浄するため、垂直、及び水平方向に移動する移動装置の設定が複雑になり、その結果として被洗浄物の洗浄コストが高くなるといった問題があった。
【０００９】
本発明は、このような技術的背景のもとでなされたものである。
したがって、本発明の目的は、先述の問題を解決する洗浄用の炭酸ガススノー噴射装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために本発明は、炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置において、ガス源、及び炭酸ガス源から噴射するそれぞれのガスが蓋を通して該炭酸ガススノー噴射装置のなかの隔壁により各々の噴射口に誘導され、かつ該炭酸ガススノー噴射装置内の複数のみぞを成すガス誘導路が、ガスの噴射口側が狭くガス源側の広いテーパー形の構造物の表面に在ることを特徴とする。
【００１１】
また、炭酸ガススノー噴射装置内に、ガスの噴射口側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物が少なくとも２つ以上設けられていることを特徴とする。
【００１２】
【本発明の実施の形態】
以下、添付の図面に従がってこの発明の実施例を説明する。なお各図において、同一の符号は同じ対象を示すものとする。
【００１３】
図１は本発明の炭酸ガススノー１を用いて被洗浄物２を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置３の概略の側面から見た模式図である。ボンベなどに収容されたガス源４、及び炭酸ガス源と本発明の炭酸ガススノー噴射装置３とはガス源４の噴射圧などを制御する制御装置を通して同軸ホースを介して繋がっている。
【００１４】
炭酸ガス５とアシストガス６のそれぞれのガスは蓋７を通して炭酸ガススノー噴射装置３のなかに供給される。炭酸ガススノー噴射装置のなかは、隔壁８で内部が分断されており、それぞれのガスは混じることなくガスの噴射口側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物１２の表面１３の複数の溝１０をへて噴射口９へ導かれ、噴射口９から被洗浄物１に噴射される。夫々のガスの噴射口９の間隔は２ｍｍから１５ｍｍであり被洗浄物を効率良く、点状ではなく面状に被洗浄物１を洗浄することができる。
【００１５】
図２は本発明の炭酸ガススノー噴射装置３を噴射口９の側の下面からみた図である。  図１のガスの噴射口９側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物１２が炭酸ガススノー噴射装置３のなかに二つ設けられて居り噴射口が六つある実施例である。
【００１６】
また、図１、及び図２の本実施例のような噴射口９を配する場合、従来のひとつの炭酸ガススノー噴射装置３で洗浄する際に生じてしまう被洗浄物１の表面での噴射ガスの巻き込みが発生しないといった効果を奏する。
【００１７】
図３は本発明の炭酸ガススノー噴射装置３のひとつの実施例におけるガスの噴射口９側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物１２の概略の斜視図である。中心側に位置する炭酸ガススノー噴射口９の外側には、本実施例ではアシストガス６である窒素（Ｎ２）ガスの噴出口９がある。炭酸ガススノー１よりも温度の高い窒素（Ｎ２）ガスで炭酸ガススノー１を囲むように、その外側から噴射することにより炭酸ガススノー１を被洗浄物１に誘導して吹き付け、また被洗浄物１に結露を起こさないといった効果も奏する。また、炭酸ガススノー噴射装置３内での凍結やつまり、結露を防止するのにも良い。なお、本実施例では、ひとつのテーパー形の構造物の表面１３には全部で六つの複数のみぞ１０が設けられているが、みぞの数は幾つでも構わない。
【００１８】
本発明の炭酸ガススノー噴射装置３のガス噴射口９と被洗浄物１との距離は５０ミリメートル程度とすると、一度吹き飛ばし除去した被洗浄物１上の汚れが再び洗浄面に戻ってしまうといった噴射ガスの巻き込みの現象もなく効率的に洗浄ができる。
【００１９】
図４は本発明の炭酸ガススノー１を用いて被洗浄物２を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置３の概略の斜めから見た模式図である。炭酸ガスとアシストガス６のそれぞれのガスは蓋７を通して炭酸ガススノー噴射装置３のなかに供給され、炭酸ガススノー噴射装置のなかにおいて隔壁８で内部は分断されており、それぞれのガスは混じることなくガスの噴射口９側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物１２の表面１３の複数の溝１０をへて噴射口９へ導かれ噴射口９から被洗浄物１に噴射される。構造物１２がテーパー形をしているために、高いガス圧でもテーパー形の構造物１２は飛び出すことがなく、安全に繰り返しの使用が可能となる。本実施例のようなガスの噴射口９側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物１２を用いることによりガスの噴射口９の間隔も容易に変更することが出来、分解やメンテナンスを容易に行うことができる。
【００２０】
図５は本発明の別の実施例である炭酸ガススノー噴射装置３を斜め上からみた概略の斜視図である。この場合においても噴射口９側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物１２が多数重なって炭酸ガススノー噴射装置３を形成している。
【００２１】
図６は本発明の図５の実施例である炭酸ガススノー噴射装置３を噴射口９の側からみた概略の下面図である。同心円状に配列された噴射口９側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物１２の重ねられた順に、アシストガス６と炭酸ガススノーが交互に噴出される。なお、本発明において、噴射口９側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物１２の表面１３に刻まれる複数のみぞ１０の断面形は、二等辺三角形をふくむ多角形でも、半円形でも、楕円形でも構わず、このような場合においても、本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。
【００２２】
図７は本発明の図５の実施例である炭酸ガススノー噴射装置３を内部のガスの誘導路がわかるように炭酸ガススノー噴射装置３の側面方向からみた概略の側面断面図である。図７では炭酸ガススノー噴射装置３は５つのテーパー形の構造物１２から成っており、その内４つのテーパー形の構造物１２の表面には複数の溝１０がある。炭酸ガスと本実施例でのアシストガス６である窒素ガス（Ｎ２  ガス）のそれぞれが、同心円状に炭酸ガススノー噴射装置３の中心から交互にテーパー形の構造物１２の表面１３の複数の溝１０を通して噴射口９へと誘導される。なお、本実施例の図ではテーパー形の構造物１２は５つ連なっているが、４つや６つのほかのテーパー形の構造物１２の数であっても構わない。
【００２３】
図８は本発明の図５の実施例である炭酸ガススノー噴射装置３の蓋７を内部のガスの誘導路がわかるように炭酸ガススノー噴射装置３の内側からみた概略図である。この図の様な溝により図７に示された炭酸ガススノー噴射装置３によって炭酸ガスと本実施例でのアシストガス６である窒素ガス（Ｎ２  ガス）のそれぞれが、同心円状に炭酸ガススノー噴射装置３の中心から交互にテーパー形の構造物１２の表面１３の複数の溝１０を通して噴射口９へと誘導される。
【００２４】
図９は従来の炭酸ガススノー噴射装置３の概略の側面図である。アシストガス６にはこの場合においては窒素ガス（Ｎ２  ガス）を用いている。
【００２５】
【発明の効果】
本発明の炭酸ガススノー噴射装置によれば、ひとつの炭酸ガススノー噴射装置が多孔であるためにひとつの動作で面への吹き付けが可能となり、この層流の流れの働きのために一度吹き飛ばし除去した被洗浄物上の汚れが再び洗浄面に戻ってしまうといった噴射ガスの巻き込みの現象もなく効率的に洗浄でき、洗浄のコストを大幅に削減できるといった効果を奏する。
【００２６】
ガスを用いて被洗浄物を洗浄するために、一例を挙げればチリ状の微粒子を含んだ洗浄する部分に付着する微細物をガスで弾き飛ばしながら洗浄し、ガスが液体とはならず気体であるために、洗浄しながら別にダクトを用いて吸引するだけで先のチリ状の微粒子を含んだ微細物を除去できる。
【００２７】
本発明によれば５μｍよりもさらに小さな１μｍ以下のチリ状の微粒子を含んだ洗浄する部分に付着する微細物を効率的に、汚れの被洗浄物への再付着を防止しながら除去する効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置の概略の側面から見た模式図である。  ガスの噴射口側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物が２つ設けられている実施例である。
【図２】本発明の炭酸ガススノー噴射装置を噴射口の側の下面からみた図である。  図１のガスの噴射口側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物が２つ設けられて居り噴射口が六つある実施例である。
【図３】本発明の炭酸ガススノー噴射装置のひとつの実施例におけるガスの噴射口側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物の概略の斜視図である。
【図４】本発明の炭酸ガススノーを用いて被洗浄物を洗浄する炭酸ガススノー噴射装置の概略の斜めから見た模式図である。
【図５】本発明のべつの実施例である炭酸ガススノー噴射装置を斜め上からみた概略の斜視図である。この場合においても噴射口側が狭くガス源側が広いテーパー形の構造物が多数重なっている。
【図６】本発明の図５の実施例である炭酸ガススノー噴射装置を噴射口の側からみた概略の下面図である。
【図７】本発明の図５の実施例である炭酸ガススノー噴射装置を内部のガスの誘導路がわかるように側面からみた概略の側面断面図である。
【図８】本発明の図５の実施例である炭酸ガススノー噴射装置の蓋を内部のガスの誘導路がわかるように炭酸ガススノー噴射装置の内側からみた概略図である。
【図９】従来の炭酸ガススノー噴射装置の概略の側面図である。  アシストガスはこの場合においてはＮ２ガスである。
【符号の説明】
１  炭酸ガススノー
２  被洗浄物
３  炭酸ガススノー噴射装置
４  ガス源
５  炭酸ガス
６  アシストガス
７  蓋
８  隔壁
９  噴射口
１０  複数のみぞ
１１  ガス誘導路
１２  テーパー形の構造物
１３  テーパー形の構造物の表面
【図１】
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【図２】
2005014181.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005014181.tif 000006
【図５】
2005014181.tif 000007
【図６】
2005014181.tif 000008
【図７】
2005014181.tif 000009
【図８】
2005014181.tif 000010
【図９】
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