(57)【要約】【課題】  支持板が上昇した状態で液晶セルが支持板を通過しても、支持板は傾かない搬送機および液晶注入装置を提供する。【解決手段】  液晶セル１０１に液晶を注入する工程において、液晶セル１０１は液晶皿１０３中の液晶に接液した状態で搬送される。接液した状態の液晶セル１０１が、昇降軸１０３によって上昇させた位置にある支持板３０１上を移動するとき、支持部材３０５を支持板３０１と架台部３０９の間に挿入する。このとき、液晶セル１０１や液晶皿１０３の重みによって搬送板１０４は傾かないので、液晶皿１０３中の液晶はこぼれない。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶注入装置内で、液晶が入れられた液晶皿および前記液晶に対して接液状態とされた液晶セルの搬送を行う搬送機において、
前記液晶皿および前記液晶セルが載置される支持板と、
前記支持板に載置された接液状態の前記液晶皿および前記液晶セルを水平方向に移動させる搬送機構と、
前記支持板の底面を支持する垂直軸と、
前記垂直軸を上下に駆動して、前記支持板が前記搬送機のベース上に載置される降下位置と前記支持板が前記ベースから浮上した上昇位置との間で前記支持板を昇降させる駆動手段と、
前記上昇位置のときに前記支持板と前記ベースとの隙間に挿入され、前記支持板の底面を支持して前記支持板の傾きを阻止する支持部材とを備えたことを特徴とする搬送機。  
【請求項２】
液晶注入装置内で、液晶が入れられた液晶皿および前記液晶に対して接液状態とされた液晶セルの搬送を行う搬送機において、
前記搬送機のベース上に固定され、前記液晶皿および前記液晶セルを第１の水平方向に搬送する第１の搬送機構と、
前記液晶皿および前記液晶セルを前記第１の水平方向と異なる第２の水平方向に搬送する第２の搬送機構が設けられた支持板と、
前記支持板の底面を支持する垂直軸と、
前記垂直軸を上下に駆動して、（１）前記液晶皿および前記液晶セルが前記第１の搬送機構に搭載される第１の搭載状態となる降下位置と、（２）前記支持板が前記ベースから浮上し、上昇した前記第２の搬送機構により前記液晶皿および前記液晶セルが持ち上げられて、前記第２の搬送機構に搭載状態となる上昇位置との間で前記支持板を昇降させる駆動手段と、
前記上昇位置のときに前記支持板と前記ベースとの隙間に挿入され、前記支持板の底面を支持して前記支持板の傾きを阻止する支持部材とを備えたことを特徴とする搬送機。
【請求項３】
請求項１または２に記載の液晶注入装置の搬送機において、
前記支持部材は、前記支持板に対向する面および前記ベースに対向する面の少なくとも１面に転動体を備えることを特徴とする搬送機。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一つに記載の前記搬送機を備えた液晶注入装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶セルに液晶を注入する液晶注入装置および、液晶注入装置に用いられる搬送機に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶注入装置では、液晶セルに液晶を接液したまま液晶セルと液晶皿をチャンバ間で搬送する場合がある。そのような搬送に用いられる装置として、搬送用ローラを有する昇降台を昇降軸によって上下移動させる液晶セル搬送機が知られている。たとえば、特許文献１参照。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２１５６１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した液晶セル搬送機では、液晶セルおよび液晶皿が載置された搬送用の皿トレイが昇降軸の上部を通過して搬送台の端へ差し掛かると、液晶セルや液晶皿の重みのため昇降台が傾いてトレイが傾くなどして、液晶皿に入った液晶がこぼれるという問題点があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、液晶注入装置内で、液晶が入れられた液晶皿および前記液晶に対して接液状態とされた液晶セルの搬送を行う搬送機において、前記液晶皿および前記液晶セルが載置される支持板と、前記支持板に載置された接液状態の前記液晶皿および前記液晶セルを水平方向に移動させる搬送機構と、前記支持板の底面を支持する垂直軸と、前記垂直軸を上下に駆動して、前記支持板が前記搬送機のベース上に載置される降下位置と前記支持板が前記ベースから浮上した上昇位置との間で前記支持板を昇降させる駆動手段と、前記上昇位置のときに前記支持板と前記ベースとの隙間に挿入され、前記支持板の底面を支持して前記支持板の傾きを阻止する支持部材とを備えたことを特徴とする。
請求項２の発明は、液晶注入装置内で、液晶が入れられた液晶皿および前記液晶に対して接液状態とされた液晶セルの搬送を行う搬送機において、前記搬送機のベース上に固定され、前記液晶皿および前記液晶セルを第１の水平方向に搬送する第１の搬送機構と、前記液晶皿および前記液晶セルを前記第１の水平方向と異なる第２の水平方向に搬送する第２の搬送機構が設けられた支持板と前記支持板の底面を支持する垂直軸と、前記垂直軸を上下に駆動して、（１）前記液晶皿および前記液晶セルが前記第１の搬送機構に搭載される第１の搭載状態となる降下位置と、（２）前記支持板が前記ベースから浮上し、上昇した前記第２の搬送機構により前記液晶皿および前記液晶セルが持ち上げられて、前記第２の搬送機構に搭載状態となる上昇位置との間で前記支持板を昇降させる駆動手段と、前記上昇位置のときに前記支持板と前記ベースとの隙間に挿入され、前記支持板の底面を支持して前記支持板の傾きを阻止する支持部材とを備えたことを特徴とする。
請求項３の発明は、請求項１または２に記載の液晶注入装置の搬送機において、前記支持部材は、前記支持板に対向する面および前記ベースに対向する面の少なくとも１面に転動体を備えることを特徴とする。
請求項４の発明の液晶注入装置は、請求項１乃至３のいずれか一つに記載の前記搬送機を備えたものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、支持板がベースから浮上したときには、支持板の底面が支持部材によって支持されて傾きが阻止されるので、支持板上を液晶セルおよび液晶皿が水平に移動して液晶皿の液晶がこぼれるようなことはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明による液晶注入装置について図１を用いて説明する。図１は液晶注入装置の平面図であるが、装置内に搬送された液晶セルなどについては、わかりやすいように側面から見た図とした。液晶セルは一対のガラス基板を所定の隙間を設けて貼り合わせたものである。ガラス基板には、透明導電膜による電極パターンが形成され、液晶分子を一定方向に揃えるためのラビング処理が施されている。
【０００８】
図１に示す例では、複数の液晶セル１０１が、基板面が垂直となるように立てた状態でカセットトレイ１０２に収められている。このとき、各液晶セル１０１は、液晶セル１０１に形成された液晶注入口が下側となるようにセットされる。液晶注入は、液晶セルの隙間を真空にし、液晶セル１０１の液晶注入口を液晶皿１０３に入った液晶に浸すことによって行われる。
【０００９】
液晶注入装置１００は、ゲートバルブＧ２、Ｇ３を介して接続された３つのチャンバＣＨ１〜ＣＨ３を有している。チャンバＣＨ１、ＣＨ３には液晶セル搬入・搬出用のゲートバルブＧ１、Ｇ４が設けられており、さらに、チャンバＣＨ１には、バルブＶ１を介して接続された真空ポンプＰと大気開放用のバルブＶ２が設けられている。なお、バルブＶ２からＮ２を導入してチャンバＣＨ１を大気圧に戻すようにしてもよい。また各チャンバＣＨ１〜ＣＨ３の内部には搬送機（不図示）が設置されているが、詳細は後述する。この搬送機によって液晶セルのチャンバへの搬出搬入および、チャンバ間の移動を行っている。
【００１０】
初期状態では、すべてのゲートバルブＧ１〜Ｇ４、真空バルブＶ１、大気開放用のバルブＶ１は閉められている。まず、ゲートバルブＧ１を開けて、カセットトレイ１０２に載せられた液晶セル１０１と搬送板１０４に載せられた液晶皿１０３とを、チャンバＣＨ１内にそれぞれ搬入する。その後、ゲートバルブＧ１を閉じるとともに真空バルブＶ１を開けて真空ポンプＰによりチャンバＣＨ１内を真空排気する。所定の真空状態になったならば、液晶皿１０３を載せた搬送板１０４を上方向に移動し、液晶セル１０１の液晶注入口を液晶皿１０３に入った液晶に浸す（接液作業）。以降、液晶セル１０１、カセットトレイ１０２および液晶皿１０３を搬送板１０４に載せた状態で液晶セル１０１を搬送する。次に真空バルブＶ１を閉じた後にバルブＶ２開けて、チャンバＣＨ１内を大気圧に戻す。その結果、液晶皿１０３の液晶が差圧によって液晶セル１０１内に注入される。
【００１１】
次にゲートバルブＧ２を開け、液晶セル１０１に液晶を接液したまま液晶セル１０１をチャンバＣＨ２に搬入する。そしてゲートバルブＧ２を閉じて所定時間保持することにより、注入動作が継続される。一方、チャンバＣＨ１には、次の液晶セル１０１および液晶皿１０３が搬入され、接液工程が行われる。
【００１２】
チャンバＣＨ２における液晶注入を所定時間行ったならば、次にゲートバルブＧ３を開けて、液晶セル１０１をチャンバＣＨ３へ搬送し、ゲートバルブＧ３は閉じて、所定時間保持する。なお、図１に液晶注入装置１００では、チャンバＣＨ１、ＣＨ２は図示Ｘ方向に並べられているが、チャンバＣＨ３はチャンバＣＨ２に対してＹ方向（Ｘ方向に対して直行する方向）に並べられている。そのため、液晶セル１０１をチャンバＣＨ２からチャンバＣＨ３に搬送する際に、搬送方向を９０度変更する。
【００１３】
チャンバＣＨ３において、液晶セル１０１への液晶注入が完了したならば、ゲートバルブＧ４を開いて液晶セル１０１を液晶注入装置１００から搬出する。上述した一連の処理により液晶セル１０１の液晶注入工程が終了する。
【００１４】
次に液晶注入装置１００に設置される搬送機について、図２の（ａ）および（ｂ）を参照して説明する。
図２（ａ）はチャンバＣＨ１およびチャンバＣＨ２を図１のＡ方向から見た側面図である。図２（ｂ）はチャンバＣＨ２およびチャンバＣＨ３を図１のＢ方向から見た側面図である。液晶注入装置１００には２０３〜２１０の搬送機が設けられている。
【００１５】
液晶セル１０１が納められたカセットトレイ１０２は、チャンバＣＨ１内の搬送機２０３上に搬入される。液晶皿１０３が載置された搬送板１０４は、チャンバＣＨ１の搬送機２０４上に搬入され、この搬送機２０４によってさらに搬送機２０５に搬送される。搬送機２０５は、搬送板１０４を上方へ搬送し、液晶皿１０３の液晶に液晶セル１０１を接液させるものである。搬送機２０５の詳細については後述する。チャンバＣＨ１〜ＣＨ３内では、液晶に接液した状態で液晶セル１０１を搬送するために、液晶セル１０１、カセットトレイ１０２および液晶皿１０３を搬送板１０４に載せた状態で搬送する。搬送機２０６は、チャンバＣＨ１からチャンバＣＨ２へ、液晶セル１０１を搬出する搬送機である。
【００１６】
チャンバＣＨ２に搬入された液晶セル１０１は搬送機２０７により搬送機２０８へと搬送される。搬送機２０８に搬出された液晶セル１０１は一定時間保持される。その後、搬送機２０８は搬送方向を図２（ａ）のＸ方向から図２（ｂ）のＹ方向へと変更する。搬送機２０８の詳細については後述する。搬送機２０９はチャンバＣＨ２からチャンバＣＨ３へ液晶セル１０１を搬出するものである。チャンバＣＨ３の搬送機２１０上に搬入された液晶セル１０１はそこに一定時間保持された後、チャンバＣＨ３から搬出される。
【００１７】
次に搬送機２０５について、図３および図４を用いて説明する。図３は支持板３０２が降下位置にあるときの搬送機２０５を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。一方、図４は支持板３０２が上昇位置にあるときの搬送機２０５を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。図中の白矢印は液晶セル１０１の移動方向を示す。
【００１８】
搬送機２０５は、支持板３０１、搬送用ローラ３０２、昇降軸３０３、シリンダ３０４、支持部材３０５、支持部材用軸３０６、シリンダ３０７、転動体３０８および架台部３０９を備えている。支持板３０１は、液晶セル１０１を移動するための搬送用ローラ３０２を備えている。搬送用ローラ３０２はモータなどのアクチュエータによって回転駆動され、液晶セル１０１を搬送方向に搬送する。また、支持板３０１の中央下部には昇降軸３０３が取り付けられている。シリンダ３０４によって昇降軸３０３が矢印方向に駆動されることによって、支持板３０１が上下方向に駆動される。
【００１９】
３０５は支持板３０１が傾かないように支える支持部材であって、搬送機２０５の架台部３０９上に４箇所設けられている。支持部材３０５は、シリンダ３０７によって矢印方向に駆動される支持部材用軸３０６に接続されている。これにより支持部材３０５は水平方向に移動することができる。支持部材３０５は、支持板３０１が図４に示すように上昇位置にあるときには、支持板３０１と架台部３０９との間に挿入され、支持板３０１が図３に示すように降下位置にあるときには、支持板３０１と架台部３０９との間から引き抜かれる。支持部材３０５は、ローラなどの転動体３０８を備えており、転動体３０８の回転によって支持板３０１と架台部３０９の間に支持部材３０５は、容易に挿入される。
【００２０】
図５を参照して、本発明の搬送機２０５による、液晶セル１０１の搬送について説明する。図５は、支持板３０１を上昇位置としたときの、液晶セル１０１の搬送を示したものである。支持板３０１と架台部３０９との間には、支持部材３０５が挿入されている。
【００２１】
搬送機２０５においては、液晶セル１０１が支持板３０１の端に移動した場合であっても、支持板３０１と架台部３０９との間に支持部材３０５が挿入されるので、支持板３０１が図中の矢印方向Ｒへ傾くことはない。よって、液晶セル１０１を搬送機２０６へ搬送する際、液晶セル１０１を載せた搬送板１０４が搬送機２０６の端に引っかかって止まったり、液晶皿１０３の液晶がこぼれたりするのを防止することができる。
【００２２】
次いで、搬送機２０８について、図６および図７を用いて説明する。図６、図７はともに搬送機２０８を示す図であるが、図６は搬送方向がＸ方向である状態を示し、図７は搬送方向がＹ方向である状態を示す。図６、および７において、（ａ）は搬送機２０８の平面図であり、（ｂ）は側面図、（ｃ）は正面図である。
【００２３】
搬送機２０８は、Ｘ方向搬送用ローラ６０１、Ｙ方向搬送用ローラ６０３、支持部材６０７および架台部６１１から構成される。
Ｘ方向搬送用ローラ６０１は、架台部６１１に固定されたＸ方向搬送ベース部６０２に備え付けられ、モータなどのアクチュエータによって回転駆動され、液晶セル１０１をＸ方向に搬送する。Ｙ方向搬送用ローラ６０３は、支持板６０４に備え付けられ、モータなどのアクチュエータによって回転駆動され、液晶セル１０１をＹ方向に搬送する。支持板６０４の中央下部には昇降軸６０５が取り付けられており、シリンダ６０６によって昇降軸６０５が矢印方向に駆動されることによって、支持板６０４は上下方向に駆動される。
【００２４】
支持部材６０７は支持板６０４が傾かないように支える支持部材であって、搬送機２０８の架台部６１１上に４箇所設けられている。支持部材６０７は、シリンダ６０９によって矢印方向に駆動される支持部材用軸６０８に接続されている。これにより支持部材６０７は水平方向に移動することができる。支持部材６０７は、支持板６０４が図７に示すように上昇位置にあるときには、支持板６０４と架台部６１１との間に挿入され、支持板６０４が図６に示すように降下位置にあるときには、支持板６０４と架台部６１１との間から引き抜かれる。支持部材６０７は、ローラなどの転動体６１０を備えており、転動体６１０の回転によって支持板６０４と架台部６１１の間に支持部材６０７は、容易に挿入される。
【００２５】
次に、図８を参照して、搬送機２０８による液晶セル１０１のＸ方向およびＹ方向への搬送動作を説明する。図８の（ａ）は液晶セル１０１のＸ方向への搬送を示す図であり、図８の（ｂ）は液晶セル１０１のＹ方向への搬送を示す図である。
支持板６０４が降下位置にあるときは、Ｙ方向搬送用ローラ６０３の位置はＸ方向搬送用ローラ６０１の位置よりも低い位置になる。よって、液晶セル１０１を載せた搬送板１０４には、Ｘ方向搬送用ローラ６０１のみが接し、図８（ａ）に示すように、液晶セル１０１は、Ｘ方向搬送用ローラ６０１によってＸ方向に搬送される。一方、支持板６０４が上昇位置にあるときは、Ｙ方向搬送用ローラ６０３の位置はＸ方向搬送用ローラ６０１の位置よりも高い位置になる。よって、液晶セル１０１を載せた搬送板１０４には、Ｙ方向搬送用ローラ６０３のみが接し、図８（ｂ）に示すように、液晶セル１０１はＹ方向搬送用ローラ６０３によってＹ方向に搬送される。
【００２６】
次に、搬送機２０８によるＸ方向からＹ方向への搬送方向の変更について説明する。
Ｘ方向から搬送された液晶セル１０１は、図８（ａ）に示すように支持板６０４を降下位置にした状態で搬入される。次にＸ方向搬送用ローラ６０１に載せた状態で一旦停止する。次に支持板６０４を上昇位置へと上昇させる。そして、図６（ｂ）に示すように、液晶セル１０１をＹ方向搬送用ローラ６０３に載せる。そして、Ｙ方向搬送用ローラ６０３を回転駆動して、液晶セル１０１をＹ方向に搬送する。このようにして、Ｘ方向から搬送されてきた液晶セル１０１はＹ方向へと搬送される。
【００２７】
たとえば、液晶セル１０１の搬送経路をカーブさせて、Ｘ方向からＹ方向に液晶セル１０１の搬送方向を変更した場合、非常に広い面積が必要となるという問題点がある。一方、搬送機２０８は、コンパクトにできる。
【００２８】
Ｘ方向搬送時において、Ｘ方向搬送用ローラ６０１が備え付けられているＸ方向搬送ベース部６０２は架台部６１１に固定されているので、搬送板１０４は傾くことはない。一方、Ｙ方向搬送時は、支持板６０４と架台部６１１の間に支持部材６０７が挿入されるので、搬送板１０４は傾くことはない。よって、Ｘ方向からＹ方向へ搬送方向を変えるときも、搬送板１０４は、他の搬送機の端に引っかかって停止したり、液晶が液晶皿１０３からこぼれることはない。
【００２９】
液晶セル１０１をＹ方向からＸ方向への搬送方向を変更する場合には、図８（ｂ）に示すように支持板６０４の上昇位置で液晶セル１０１を搬入し、図８（ａ）に示すような支持板６０４の降下位置で液晶セル１０１をＸ方向に搬出すればよい。
【００３０】
本実施形態の搬送機２０５の支持部材３０５には転動体３０８が備え付けられているが、支持部材３０５の形状が、支持板３０１と架台部３０８の間に容易に挿入される形状であるならば、特に転動体３０８を備えなくてもよい。搬送機２０８の支持部材６０７も同様にしてよい。
【００３１】
また、本実施形態の搬送機２０５の支持部材３０５は、支持板３０１が上昇位置にあるとき支持板３０１と架台部３０８との間に挿入されるが、支持板３０１が上昇位置よりさらに上昇させた後、支持部材３０５は支持板３０１と架台部３０８との間に移動し、支持板３０１を上昇位置まで下げることによって、支持部材３０５を支持板３０１と架台部３０８との間に配置してもよい。搬送機２０８の支持部材６０７も同様の動作をさせてもよい。
【００３２】
特許請求の範囲の要素と実施の形態との対応関係を説明する。
請求項１の発明の搬送機構は、搬送用ローラ３０２に対応する。垂直軸は、昇降軸３０３に対応する。ベースは架台部３０９に対応する。降下位置は、図３に示す支持板３０１が降下した位置に対応する。上昇位置は、図４に示す支持板３０１が上昇した位置に対応する。駆動手段はシリンダ３０４に対応する。請求項２の発明のベースは、架台部６１１に対応する。第１の水平方向は、Ｘ方向に対応する。第１の搬送機構は、Ｘ方向搬送用ローラ６０１に対応する。第２の方向は、Ｙ方向に対応する。第２の搬送機構は、Ｙ方向搬送用ローラ６０３に対応する。垂直軸は、昇降軸６０５に対応する。降下位置は、図６に示す支持板６０４が降下した位置に対応する。上昇位置は、図７に示す支持板６０４が上昇した位置に対応する。駆動手段はシリンダ６０６に対応する。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の液晶注入装置の構成を示す図である。
【図２】（ａ）および（ｂ）は本発明の液晶注入装置の側面図である。
【図３】（ａ）は支持板が降下位置にあるときの本発明の搬送機の平面図であり、（ｂ）は側面図であり、（ｃ）は正面図である。
【図４】（ａ）は支持板が上昇位置にあるときの本発明の搬送機の平面図であり、（ｂ）は側面図であり、（ｃ）は正面図である。
【図５】本発明の搬送機による液晶セルの搬送を説明するための図である。
【図６】（ａ）は支持板が降下位置にあるときの本発明の他の搬送機の平面図であり、（ｂ）は側面図であり、（ｃ）は正面図である。
【図７】（ａ）は支持板が上昇位置にあるときの本発明の他の搬送機の平面図であり、（ｂ）は側面図であり、（ｃ）は正面図である。
【図８】（ａ）は、液晶セルのＸ方向の搬送を示す図である。（ｂ）は、Ｙ方向の搬送を示す図である。
【符号の説明】
【００３４】
１００  液晶注入装置
２０５、２０８  搬送機
３０１、６０４  支持板
３０２  搬送用ローラ
３０３、６０５  昇降軸
３０５、６０８  支持部材
３０８、６１０  転動体
３０９、６１１  架台部
６０１  Ｘ方向搬送用ローラ
６０３  Ｙ方向搬送用ローラ
【図１】
2005352019.tif 000003
【図２】
2005352019.tif 000004
【図３】
2005352019.tif 000005
【図４】
2005352019.tif 000006
【図５】
2005352019.tif 000007
【図６】
2005352019.tif 000008
【図７】
2005352019.tif 000009
【図８】
2005352019.tif 000010