(57)【要約】【課題】ノズル孔の位置を簡単な方法で確実に検出することができる液滴吐出ヘッド、ノズル孔位置検出方法および液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッド３は、ノズル孔３２１と該ノズル孔３２１に連通する圧力室３２２と該圧力室３２２内に充填された液体の圧力を変化させるアクチュエータ３２３とを有し、アクチュエータ３２３を駆動して液体の圧力を変化させることによりノズル孔３２１から液体を液滴として吐出する複数の液滴吐出素子３２を並べて形成したものであり、各液滴吐出素子３２のノズル孔３２１が並べて形成されたノズル面３１に、液滴を吐出するのに使用しない少なくとも１つのノズル孔様孔３６を有する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズル孔と該ノズル孔に連通する圧力室と該圧力室内に充填された液体の圧力を変化させる駆動部とを有し、前記駆動部を駆動して前記液体の圧力を変化させることにより前記ノズル孔から前記液体を液滴として吐出する複数の液滴吐出素子を並べて形成した液滴吐出ヘッドであって、
前記各液滴吐出素子のノズル孔が並べて形成されたノズル面に、液滴を吐出するのに使用しない少なくとも１つのノズル孔様孔を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記ノズル孔様孔は、前記ノズル孔を形成するのと同じ工程および方法で形成されたものである請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記ノズル孔様孔とこれに隣り合う前記ノズル孔との間隔は、前記ノズル孔の配列間隔と同じになっている請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記ノズル孔様孔の奥に、空隙が連通して形成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記液滴吐出素子と同様に形成された液滴吐出素子を備え、当該液滴吐出素子のノズル孔への流路を塞ぐ処理を施して当該ノズル孔に液体が流入しないようにすることにより、当該ノズル孔をノズル孔様孔としたものである請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔の位置を検出するノズル孔位置検出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドのノズル面の電子画像をカメラにより撮像するステップと、
前記電子画像を画像処理することにより前記ノズル孔様孔の位置を検出するステップと、
前記検出した前記ノズル孔様孔の位置と、前記ノズル孔様孔の位置に対する前記ノズル孔の相対位置関係に関する情報とに基づいて、前記ノズル孔の位置を検出するステップとを有することを特徴とするノズル孔位置検出方法。
【請求項７】
ワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに保持されたワークに対して液滴を吐出する請求項１ないし５のいずれかに記載の少なくとも１つの液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出手段と、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出手段とを水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に相対的に移動させるＸ軸方向移動手段と、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出手段とを前記Ｘ軸方向に垂直かつ水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるＹ軸方向移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドのノズル面の電子画像を撮像するカメラと、
前記液滴吐出ヘッドのノズル面を照明する照明手段と、
前記電子画像を画像処理することにより前記ノズル孔様孔の位置を検出する画像処理手段と、
前記画像処理手段により検出された前記ノズル孔様孔の位置と、前記ノズル孔様孔および前記ノズル孔の相対位置関係に関する情報とに基づいて、前記ノズル孔の位置を検出する検出手段とを備えることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
前記カメラは、前記ワークテーブルと一体となって移動するように設置されている請求項７に記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出ヘッド、ノズル孔位置検出方法および液滴吐出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンターと同様の方式によって基板に液滴を吐出することにより、例えば液晶表示装置におけるカラーフィルタや有機ＥＬ表示装置等を製造したり、基板上に金属配線を形成したりするのに使用することができる工業用の液滴吐出装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この液滴吐出装置では、例えば基板等のワークと液滴吐出ヘッドとを主走査方向および副走査方向に相対的に移動しつつ、液滴吐出ヘッドから吐出した液滴をワークに着弾させる。
【０００３】
このような液滴吐出装置では、ワーク上での液滴の着弾位置を正確に制御する必要があるので、液滴吐出ヘッドの各ノズル孔の位置を正確に把握する必要がある。このため、従来は、液滴吐出ヘッドから実際に液滴を吐出させ、着弾したドットの位置をカメラで観測することによってノズル孔の位置を間接的に検出し、そのノズル孔位置の情報に基づいて、液滴吐出ヘッドの搭載位置や搭載角度を調整したり、液滴の吐出タイミング等を補正する補正データに反映させたりしている。
【０００４】
しかしながら、上記の従来の方法では、測定したノズル孔がたまたま液滴飛行曲がり等の不具合を有している場合には、間違った補正データを入手することになるという問題がある。この問題は、複数のノズル孔から吐出して着弾した複数のドットの位置を観測して平均化すれば解消できるが、こうするには多大な時間と手間がかかるという問題がある。また、いずれにしても、上記従来の方法では、液滴吐出ヘッドから実際に液滴を吐出させなければノズル孔位置を検出できず、補正データが得られないので、時間と手間がかかるという問題がある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１０−２６０３０７号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ノズル孔の位置を簡単な方法で確実に検出することができる液滴吐出ヘッド、ノズル孔位置検出方法および液滴吐出装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出ヘッドは、ノズル孔と該ノズル孔に連通する圧力室と該圧力室内に充填された液体の圧力を変化させる駆動部とを有し、前記駆動部を駆動して前記液体の圧力を変化させることにより前記ノズル孔から前記液体を液滴として吐出する複数の液滴吐出素子を並べて形成した液滴吐出ヘッドであって、
前記各液滴吐出素子のノズル孔が並べて形成されたノズル面に、液滴を吐出するのに使用しない少なくとも１つのノズル孔様孔を有することを特徴とする。
これにより、ノズル面を撮像した電子画像を画像認識する場合、ノズル孔様孔には常に液体が入っておらず、ノズル孔様孔の部分は照明光を反射しないので、ノズル孔様孔の位置を正確かつ確実に検出することができる。
【０００８】
本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記ノズル孔様孔は、前記ノズル孔を形成するのと同じ工程および方法で形成されたものであることが好ましい。
これにより、製造工程を増やすことなく容易にノズル孔様孔を形成することができ、製造コストの増大を防止することができる。また、ノズル孔様孔の位置精度を良好に確保するのも容易である。
【０００９】
本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記ノズル孔様孔とこれに隣り合う前記ノズル孔との間隔は、前記ノズル孔の配列間隔と同じになっていることが好ましい。
これにより、ノズル孔様孔を容易に形成することができるとともに、ノズル孔様孔とノズル孔との相対位置関係を容易に把握することができる。
本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記ノズル孔様孔の奥に、空隙が連通して形成されていることが好ましい。
これにより、ノズル面を見たときノズル孔様孔の内部がより暗く見えるので、ノズル面を撮像した電子画像において、ノズル孔様孔の境界がよりはっきりし、その位置をより正確かつ確実に検出することができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出ヘッドでは、前記液滴吐出素子と同様に形成された液滴吐出素子を備え、当該液滴吐出素子のノズル孔への流路を塞ぐ処理を施して当該ノズル孔に液体が流入しないようにすることにより、当該ノズル孔をノズル孔様孔としたものであることが好ましい。
これにより、既に設計が完了している現流の液滴吐出ヘッドに対する設計変更を行う必要がなく、追加加工によってノズル孔様孔を設けることができるので、簡単にノズル孔様孔を設けることができる。
【００１１】
本発明のノズル孔位置検出方法は、本発明の液滴吐出ヘッドの前記ノズル孔の位置を検出するノズル孔位置検出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドのノズル面の電子画像をカメラにより撮像するステップと、
前記電子画像を画像処理することにより前記ノズル孔様孔の位置を検出するステップと、
前記検出した前記ノズル孔様孔の位置と、前記ノズル孔様孔の位置に対する前記ノズル孔の相対位置関係に関する情報とに基づいて、前記ノズル孔の位置を検出するステップとを有することを特徴とする。
これにより、ノズル孔の位置を簡単な方法で確実に検出することができるノズル孔位置検出方法を提供することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置は、ワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに保持されたワークに対して液滴を吐出する本発明の少なくとも１つの液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出手段と、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出手段とを水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に相対的に移動させるＸ軸方向移動手段と、
前記ワークテーブルと前記液滴吐出手段とを前記Ｘ軸方向に垂直かつ水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるＹ軸方向移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドのノズル面の電子画像を撮像するカメラと、
前記液滴吐出ヘッドのノズル面を照明する照明手段と、
前記電子画像を画像処理することにより前記ノズル孔様孔の位置を検出する画像処理手段と、
前記画像処理手段により検出された前記ノズル孔様孔の位置と、前記ノズル孔様孔および前記ノズル孔の相対位置関係に関する情報とに基づいて、前記ノズル孔の位置を検出する検出手段とを備えることを特徴とする。
【００１３】
これにより、ノズル孔の位置を簡単な方法で確実に検出することができる液滴吐出装置を提供することができる。そして、検出されたノズル孔の位置の情報は、例えば、液滴吐出手段上での液滴吐出ヘッドの搭載位置や搭載角度を調整したり、あるいは、各液滴吐出素子からの液滴の吐出タイミング等を補正する補正データに反映させたりすることができる。その結果、液滴吐出ヘッドから吐出した各液滴が着弾する位置をより正確に制御することができるので、より正確な描画パターンをワークに形成することができる。
【００１４】
本発明液滴吐出装置では、前記カメラは、前記ワークテーブルと一体となって移動するように設置されていることが好ましい。
これにより、カメラに専用の移動機構を設けることなしに、カメラを液滴吐出ヘッドの下方に移動させてノズル面を撮像することができるので、装置の構成を簡素化することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出ヘッド、ノズル孔位置検出方法および液滴吐出装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図、図２は、本発明の液滴吐出ヘッドの実施形態を示す断面側面図および底面図、図３は、図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドおよびカメラを示す側面図、図４は、図１に示す液滴吐出装置のブロック図である。
【００１６】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、ワークを保持するワークテーブル２と、ワークテーブル２に保持されたワークに対して液滴を吐出する液滴吐出ヘッド３を有する液滴吐出手段４と、液滴吐出ヘッド３のノズル面３１の電子画像を撮像するカメラ５と、ワークテーブル２と液滴吐出手段４とを水平な方向に移動させる移動手段６と、液滴吐出ヘッド３のノズル面３１を照明する照明手段８とを備えている。
【００１７】
この液滴吐出装置１は、工業用の液滴吐出装置（インクジェット描画装置）であり、例えば液晶表示装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）装置、電気泳動表示装置等の製造に用いることができるものである。なお、本発明は、このような工業用液滴吐出装置に限らず、文字・画像等を印刷する通常のインクジェットプリンタに適用することもできる。
【００１８】
図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド３は、複数の液滴吐出素子３２を並べて一体的に形成したものであり、ケーシング３３と、このケーシング３３の底面側に接合されたノズルプレート３４とを有している。
各液滴吐出素子３２は、ノズル孔３２１と、ノズル孔３２１に連通する圧力室３２２と、圧力室３２２内に充填された液体の圧力を変化させるアクチュエータ（駆動部）３２３とを有している。
【００１９】
各ノズル孔３２１は、ノズルプレート３４に形成されている。本実施形態では、図２（ｂ）に示すように、これらのノズル孔３２１は、ノズル面３１（ノズルプレート３４の底面）に等間隔で一列に並べて配置されているが、ノズル孔３２１は、二列以上に配列されていてもよく、また、間隔が異なる個所があってもよい。
各圧力室３２２は、ケーシング３３の内部に形成されている。また、ケーシング３３の内部には、各圧力室３２２に連通する共通の液室３３１が形成されている。図示しないタンクからパイプ３５を通って供給される液体は、この液室３３１に流入した後、各圧力室３２２内に供給される。
【００２０】
アクチュエータ３２３は、圧電素子を有するピエゾアクチュエータで構成されている。後述するヘッドドライバ７がアクチュエータ３２３に通電すると、アクチュエータ３２３は、変形し、圧力室３２２の容積を変化させる。これにより、圧力室３２２内に充填された液体の圧力が変化し、その結果、ノズル孔３２１からこの液体が液滴として吐出される。
なお、本発明の液滴吐出ヘッド３は、上記の構成に限定されるものではなく、他の各種の方式のものに適用することができる。例えば、液滴吐出ヘッド３は、通電により発熱する発熱体を駆動部として用い、この発熱体によって液体を加熱して気泡を生じさせることによって液滴を吐出するように構成されたもの（すなわち、膜沸騰式インクジェットヘッド）でもよい。
【００２１】
液滴吐出素子３２が吐出する液体（分散液を含む）としては、特に限定されるものではなく、例えば、インク、カラーフィルタのフィルタ材料、有機ＥＬ装置におけるＥＬ発光層を形成するための蛍光材料、ＰＤＰ装置における蛍光体を形成するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板の表面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための液状電極材料、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する粒子材料、金属配線を形成するための液状金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料等が挙げられる。
【００２２】
このような液滴吐出ヘッド３は、ノズル面３１（ノズルプレート３４）に、液滴を吐出するのに使用しないノズル孔様孔（ダミーノズル孔）３６を有している。このノズル孔様孔３６は、ノズル孔３２１とほぼ同様の形態の孔である。
液滴吐出ヘッド３を製造する際には、このノズル孔様孔３６は、ノズル孔３２１を形成するのと同じ工程および方法で形成するのが好ましい。これにより、製造工程を増やすことなく容易にノズル孔様孔３６を形成することができ、製造コストの増大を防止することができる。また、ノズル孔様孔３６の位置精度を良好に確保するのも容易である。
なお、ノズルプレート３４にノズル孔３２１およびノズル孔様孔３６を形成する方法は、特に限定されないが、例えば、エッチング、ドリル加工、パンチ加工、レーザー加工等の方法が挙げられる。
【００２３】
図示の構成では、ノズル孔様孔３６とこれに隣り合うノズル孔３２１との間隔は、ノズル孔３２１の配列間隔と同じになっている。これにより、ノズル孔様孔３６を容易に形成することができるとともに、ノズル孔様孔３６とノズル孔３２１との相対位置関係を容易に把握することができる。なお、ノズル孔様孔３６とこれに隣り合うノズル孔３２１との間隔は、ノズル孔３２１の配列間隔と異なっていてもよい。
【００２４】
また、本実施形態では、ノズル孔様孔３６の奥（ケーシング３３内）に、空隙３３２が連通して形成されている。これにより、ノズル面３１を見たときノズル孔様孔３６の内部がより暗く見えるので、ノズル面３１をカメラ５によって撮像した電子画像において、ノズル孔様孔３６の境界がよりはっきりし、その位置をより正確かつ確実に検出することができる。
【００２５】
なお、図示の構成では、ノズル孔様孔３６は、ノズル面３１に一つ形成されているが、二つ以上形成されていてもよい。また、図示の構成では、ノズル孔様孔３６の口径は、ノズル孔３２１の口径と同じになっているが、異なっていてもよい。例えば、ノズル孔様孔３６の口径をノズル孔３２１より大きくすることにより、ノズル面３１をカメラ５によって撮像した電子画像において、ノズル孔様孔３６の位置をより検出しやすくすることができる。
【００２６】
図１に示すように、このような液滴吐出ヘッド３は、液滴吐出手段４に設置されている。移動手段６は、この液滴吐出手段４を基台（図示せず）に対し水平なＸ軸方向（図１中の左右方向）に移動させるＸ軸方向移動手段６１を有している。
ワークテーブル２は、その上面に載置したワークを例えば真空吸着等の保持手段によって保持し得るようになっている。ワークとするものは特に限定されないが、例えば、ガラス基板、シリコン基板、フレキシブル基板等の各種基板や、レンズ等の光学部品等が挙げられる。
【００２７】
移動手段６は、このワークテーブル２を基台（図示せず）に対しＸ軸方向に垂直かつ水平なＹ軸方向（図１中の上下方向）に移動させるＹ軸方向移動手段６２を有している。
Ｘ軸方向移動手段６１およびＹ軸方向移動手段６２としては、例えばリニアモータ等を用いた構成が挙げられるが、これに限定されることなく、同様の機能を有するものであれば他のいかなるものでも良い。
【００２８】
カメラ５は、ワークテーブル２の下側に、上方を向いた姿勢で設置されている。カメラ５は、ワークテーブル２と一体となって移動するように設置されている。このカメラ５は、例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）等の固体撮像素子と、カメラレンズとを有している。ワークテーブル２の、カメラ５の上方に位置する部分には、開口（孔）２１が形成されている。
液滴吐出装置１では、移動手段６を作動することにより、液滴吐出ヘッド３の下方にカメラ５を位置決めして図３に示すような状態にすることができ、この状態でカメラ５により、開口２１を介して、ノズル面３１の電子画像を撮像することができる。
【００２９】
図３に示すように、照明手段８は、光源を内蔵する本体８１と、本体８１とカメラ５のレンズ鏡筒５１とを接続する光ケーブル８２と、レンズ鏡筒５１内に設置され、光ケーブル８２を通って伝達された照明光を反射するハーフミラー８３とで構成されている。このような照明手段８は、カメラ５によってノズル面３１を撮像する際、ノズル面３１を同軸落射方式により、照明する。なお、照明手段８は、上記の構成に限らず、他の方式により照明するものであってもよい。
【００３０】
図４に示すように、液滴吐出装置１は、さらに、液滴吐出ヘッド３を駆動するヘッドドライバ７と、カメラ５により撮像された電子画像を画像処理する画像処理手段９と、ディスプレイ１１（出力手段）と、制御手段（検出手段）１０とを有している。
制御手段１０は、移動手段６、ヘッドドライバ７、画像処理手段９、照明手段８およびディスプレイ１１をそれぞれ制御する。この制御手段１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）１０１と、記憶部（記憶手段）１０２とを有している。記憶部１０２は、ＣＰＵ１０１に読み取り可能な記憶媒体（記録媒体）を有しており、この記憶媒体は、磁気的、光学的記録媒体、もしくは半導体メモリ等で構成されている。
【００３１】
Ｘ軸方向移動手段６１、Ｙ軸方向移動手段６２は、それぞれ、例えばリニアエンコーダおよび原点センサー等の位置センサー（図示せず）を備えている。制御手段１０は、これらの位置センサーの検出結果に基づき、Ｘ軸方向移動手段６１およびＹ軸方向移動手段６２の作動をクローズドループ制御によりそれぞれ制御し、液滴吐出手段４およびワークテーブル２の位置を把握する。なお、上記の構成に限らず、Ｘ軸方向移動手段６１およびＹ軸方向移動手段６２の作動制御は、オープンループ制御でもよい。
ヘッドドライバ７は、制御手段１０から入力された描画パターンデータに基づいて、液滴吐出ヘッド３の各液滴吐出素子３２を駆動する。
【００３２】
液滴吐出装置１は、制御手段１０の制御に基づき、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の一方を主走査方向、他方を副走査方向として、液滴吐出手段４とワークテーブル２とを相対的に移動しつつ、ワークテーブル２上に保持されたワークに向けて各液滴吐出素子３２から液滴を吐出することにより、ワークに所定のパターンを描画することができる。
ディスプレイ１１は、例えばＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ−Ｒａｙ  Ｔｕｂｅ）、液晶ディスプレイなどで構成されており、例えば操作画面、データ入力画面、カメラ５により撮像されたノズル面３１の画像等を表示することができる。
【００３３】
さて、このような液滴吐出装置１では、次のようにして、液滴吐出ヘッド３のノズル孔３２１の位置を検出することができる。
［１］  まず、移動手段６を作動して液滴吐出ヘッド３の下方にカメラ５を位置決めし、カメラ５により、ノズル面３１の電子画像を撮像する。
［２］  撮像されたノズル面３１の電子画像は、画像処理手段９の記憶部９１に取り込まれる。画像処理手段９は、この電子画像を画像処理することにより、ノズル孔様孔３６の位置を検出する。このとき、ノズル孔様孔３６には、液体が入っていないので、ノズル孔様孔３６の部分は照明光を反射しない。よって、ノズル面３１の電子画像においては、ノズル孔様孔３６の部分が他の部分よりも暗く写り、境界がはっきりとするので、画像処理手段９は、ノズル孔様孔３６の位置を正確かつ確実に検出することができる。
これに対し、各ノズル孔３２１には、液体が充満しているので、各ノズル孔３２１の部分は照明光を反射し、電子画像中では他の部分との境界がはっきりしない。よって、画像処理手段９によってノズル面３１の電子画像中の各ノズル孔３２１の位置を検出するのは困難である。
【００３４】
［３］  画像処理手段９によって検出されたノズル孔様孔３６の位置の情報は、制御手段１０へ出力される。また、制御手段１０には、その液滴吐出ヘッド３に固有な、ノズル孔様孔３６の位置に対するノズル孔３２１の相対位置関係に関する情報（例えば、ノズル孔様孔３６と隣接するノズル孔３２１との距離の情報）が既知情報として認識されている。よって、制御手段１０は、ノズル孔様孔３６の位置の情報と、ノズル孔様孔３６およびノズル孔３２１の相対位置関係に関する情報とに基づいて、ノズル孔３２１の位置を算出することができる。
【００３５】
このように、本発明では、まずノズル孔様孔３６の位置を検出し、その位置の情報に基づいて、ノズル孔３２１の位置を検出する。これにより、ノズル孔３２１に液体が充満していてノズル孔３２１の画像認識が困難である場合であっても、ノズル孔３２１の位置を正確かつ確実に検出することができる。
検出されたノズル孔３２１の位置の情報は、記憶部１０２に格納されるとともに、ディスプレイ１１等を介して出力される。そして、オペレーターは、このノズル孔３２１の位置の情報に基づいて、液滴吐出手段４上での液滴吐出ヘッド３の搭載位置や搭載角度を調整したり、あるいは、各液滴吐出素子３２からの液滴の吐出タイミング等を補正する補正データに反映させたりする。これにより、液滴吐出ヘッド３から吐出した各液滴が着弾する位置をより正確に制御することができるので、より正確な描画パターンをワークに形成することができる。
【００３６】
また、本発明では、ノズル孔３２１の実際の位置を検出することができるので、より正確なノズル孔３２１の位置の情報を得ることができる。これに対し、本発明と異なり、液滴吐出ヘッド３から吐出された液滴が着弾してなるドットの位置をカメラで観測することによってノズル孔３２１の位置を間接的に検出するような場合には、測定したノズル孔３２１がたまたま液滴飛行曲がり等の不具合を有している場合には、間違った補正データを入手することになり、不都合を生じる。一方、本発明では、このような不都合もない。
また、本発明では、液滴吐出ヘッド３から実際に液滴を吐出させなくても、ノズル孔３２１の位置を検出することができるので、簡単かつ迅速にノズル孔３２１の位置を検出することができる。
【００３７】
以上、本発明のノズル孔位置検出方法について説明したが、本発明のノズル孔位置検出方法は、上記のような液滴吐出装置１で実施されるものに限らない。例えば、液滴吐出装置１の液滴吐出手段４を製造する（組み立てる）装置でも、次のようにして、本発明のノズル孔位置検出方法を利用することができる。液滴吐出手段４のキャリッジ（支持部材）に液滴吐出ヘッド３を搭載する際には、ノズル孔３２１の位置を正確な位置に位置決めする必要があるが、新品の状態の液滴吐出ヘッド３では、通常、ノズル孔３２１に目詰まり防止用の液体が注入されているので、ノズル孔３２１の位置を正確に画像認識することは極めて困難である。この場合に、本発明のノズル孔位置検出方法によってノズル孔３２１の位置を検出することにより、液滴吐出ヘッド３を高い位置精度で容易に搭載することができる。
【００３８】
図５は、本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態を示す断面側面図および底面図である。
以下、図５に基づき、本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
【００３９】
図５に示す液滴吐出ヘッド３’は、液滴吐出素子３２と同様に形成された擬似液滴吐出素子（ダミー液滴吐出素子）３７を備えている。この擬似液滴吐出素子３７は、液滴吐出素子３２と同様に、ノズル孔（ノズル孔様孔３６）と、圧力室３２２と、アクチュエータ３２３とを有している。
この擬似液滴吐出素子３７には、ノズル孔（ノズル孔様孔３６）への流路を塞ぐ処理（追加加工）が施されている。この処理は、図示の構成では、圧力室３２２とノズル孔（ノズル孔様孔３６）との間の流路に塞栓物３７１を設ける処理としているが、これに限らず、いかなる方法の処理でもよい。
【００４０】
上記の処理により、擬似液滴吐出素子３７のノズル孔には、液室３３１から液体が流入しないようになっている。これにより、液滴吐出ヘッド３’では、擬似液滴吐出素子３７のノズル孔をノズル孔様孔３６として用いることができる。
このような液滴吐出ヘッド３’では、既に設計が完了している現流の液滴吐出ヘッドに対する設計変更を行う必要がなく、追加加工によってノズル孔様孔３６を設けることができるので、簡単にノズル孔様孔３６を設けることができる。また、この追加加工により使用不可能となったノズルを省いて残りのノズルのみを使った印字に変更することは、印字制御を変更することにより可能である。
【００４１】
以上、本発明の液滴吐出ヘッド、ノズル孔位置検出方法および液滴吐出装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す平面図。
【図２】本発明の液滴吐出ヘッドの実施形態を示す図であり、（ａ）は、断面側面図、（ｂ）は、底面図。
【図３】図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドおよびカメラを示す側面図。
【図４】図１に示す液滴吐出装置のブロック図。
【図５】本発明の液滴吐出ヘッドの他の実施形態を示す図であり、（ａ）は、断面側面図、（ｂ）は、底面図。
【符号の説明】
１……液滴吐出装置  ２……ワークテーブル  ２１……開口  ３、３’……液滴吐出ヘッド  ３１……ノズル面  ３２……液滴吐出素子  ３２１……ノズル孔３２２……圧力室  ３２３……アクチュエータ  ３３……ケーシング  ３３１……液室  ３３２……空隙  ３４……ノズルプレート  ３５……パイプ  ３６……ノズル孔様孔  ３７……擬似液滴吐出素子  ３７１……塞栓物  ４……液滴吐出手段  ５……カメラ  ５１……レンズ鏡筒  ６……移動手段  ６１……Ｘ軸方向移動手段  ６２……Ｙ軸方向移動手段  ７……ヘッドドライバ  ８……照明手段  ８１……本体  ８２……光ケーブル  ８３……ハーフミラー  ９……画像処理手段  ９１……記憶部  １０……制御手段  １０１……ＣＰＵ  １０２……記憶部  １１……ディスプレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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