(57)【要約】【課題】一列に並べた複数の手動弁の間でガス流量を均一化し、全体をコンパクト化すること。【解決手段】集積弁ユニット１は、一列に並べた複数の手動弁２Ａ〜２Ｆの各々に同じガスを供給し、その供給されたガスを複数の手動弁２Ａ〜２Ｆから出力する。集積弁ユニット１は、複数の手動弁２Ａ〜２Ｆを一体的に取り付ける流路ブロック３を備える。流路ブロック３は、ガスを流すための主流路４と、主流路４から分岐して各手動弁２Ａ〜２Ｆの入力口２ａ，２ｂに通じる分岐流路５と、主流路４の上流側から分岐して主流路４の下流側に位置する手動弁２Ｆの入力口２ｂに通じるバイパス流路６とを含む。各分岐流路５は、隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆ同士の入力口２ａ，２ｂを互いに連通させる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一列に並べた複数の手動弁の各々の入力口に同じガスを供給し、その供給されたガスを前記複数の手動弁の出力口から出力する集積弁ユニットであって、
前記複数の手動弁を一体的に取り付ける流路ブロックを備え、前記流路ブロックは、前記ガスを流すための主流路と、前記主流路から分岐して前記各手動弁の前記入力口に通じる分岐流路と、前記主流路の上流側から分岐して前記主流路の下流側に位置する手動弁の入力口に通じるバイパス流路とを含み、前記各分岐流路は、隣り合う手動弁同士の入力口を互いに連通させることを特徴とする集積弁ユニット。
【請求項２】
一列に並べた複数の手動弁の各々の入力口に同じガスを供給し、その供給されたガスを前記複数の手動弁の出力口から出力する集積弁ユニットであって、
前記複数の手動弁を一体的に取り付ける流路ブロックを備え、前記流路ブロックは、前記ガスを流すための主流路と、前記主流路から分岐して前記各手動弁の前記入力口に通じる分岐流路とを含み、前記各分岐流路は、隣り合う手動弁同士の前記入力口を互いに連通させることを特徴とする集積弁ユニット。
【請求項３】
前記各分岐流路の前記主流路からの分岐部分における流路径を、前記主流路の下流側に位置する分岐流路から上流側に位置する分岐流路へかけて順次小さくしたことを特徴とする請求項２に記載の集積弁ユニット。
【請求項４】
一列に並べた複数の手動弁の各々の入力口に同じガスを供給し、その供給されたガスを前記複数の手動弁の出力口から出力する集積弁ユニットであって、
前記複数の手動弁を一体的に取り付ける流路ブロックを備え、前記流路ブロックは、前記ガスを流すための主流路と、隣り合う手動弁同士の前記入力口を互いに連通させる連通流路と、前記主流路から分岐して前記複数の手動弁のうち一部の手動弁の入力口に通じる分岐流路とを含むことを特徴とする集積弁ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数の手動弁を流路ブロックに集積してなる集積弁ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の集積弁として、例えば、図１２に示すものがある。この種の集積弁４０に関連する技術は、例えば、特許文献１乃至３に記載されている。
【０００３】
図１２に示す集積弁４０は、一列に並べた複数の手動弁３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄ，３１Ｅ，３１Ｆを含む。これらの手動弁３１Ａ〜３１Ｆの各々は、一本の主配管３２に対し複数の分岐管３３を介して並列に接続される。そして、各手動弁３１Ａ〜３１Ｆに、主配管３２及び分岐管３３を通じて同じガスが供給され、そのガスが各手動弁３１Ａ〜３１Ｆから出力される。
【０００４】
ところが、上記の集積弁４０では、主配管３２の長さの影響から、主配管３２の上流側に位置する手動弁３１Ａに比べて主配管３２の下流側に位置する手動弁３１Ｆでガス流量が少なくなる傾向があった。このため、複数の手動弁３１Ａ〜３１Ｆの間でガス流量にバラツキが生じることになった。
【０００５】
そこで、上記不具合を改善するために、図１３に示すように、主配管３２の上流部位と下流部位とをつなぐバイパス配管３４を設けて、上流側の手動弁３１Ａと下流側の手動弁３１Ｆとの間で、ガス流量の均一化を図ることが考えられる。
【０００６】
【特許文献１】特開平１１−３１１３５５号公報（第１頁、図１）
【特許文献２】特開２０００−２８４７０号公報（第４頁、図１）
【特許文献３】特開２００３−９１３２２号公報（第３頁、図１〜３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、図１３に示す集積弁では、主配管３２とバイパス配管３４がスペースをとることになり、集積弁全体としては、大型化する傾向があった。また、複数の集積弁を隣接させて集積弁装置を構成しようとした場合、各配管３２〜３４が込み入り、装置全体が複雑になる傾向があった。
【０００８】
この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、一列に並べた複数の手動弁の間でガス流量を均一化し、全体をコンパクト化することを可能とした集積弁ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、一列に並べた複数の手動弁の各々の入力口に同じガスを供給し、その供給されたガスを複数の手動弁の出力口から出力する集積弁ユニットであって、複数の手動弁を一体的に取り付ける流路ブロックを備え、流路ブロックは、ガスを流すための主流路と、主流路から分岐して各手動弁の入力口に通じる分岐流路と、主流路の上流側から分岐して主流路の下流側に位置する手動弁の入力口に通じるバイパス流路とを含み、各分岐流路は、隣り合う手動弁同士の入力口を互いに連通させることを趣旨とする。
【００１０】
上記発明の構成によれば、流路ブロックの主流路を流れるガスは、各分岐流路を通じて対応する入力口から、一列に並べた複数の手動弁の各々へ供給され、必要に応じて各手動弁から出力される。また、主流路からバイパス流路へもガスが流れ、そのガスは、主流路の下流側に位置する手動弁の入力口からその手動弁にも供給される。さらに、各分岐流路が、隣り合う手動弁同士の入力口を互いに連通させるので、隣り合う手動弁同士の間でガス流量の差が少なくなる。従って、主流路の上流側に位置する手動弁と主流路の下流側に位置する手動弁との間でガス流量のバラツキが少なくなる。また、このようにガスが流れる主流路、分岐流路及びバイパス流路が流路ブロックに形成されるので、手動弁の外部へ張り出す配管を設ける必要がない。
【００１１】
上記目的を達成するために、請求項２に記載の発明は、一列に並べた複数の手動弁の各々の入力口に同じガスを供給し、その供給されたガスを前記複数の手動弁の出力口から出力する集積弁ユニットであって、複数の手動弁を一体的に取り付ける流路ブロックを備え、流路ブロックは、ガスを流すための主流路と、主流路から分岐して各手動弁の入力口に通じる分岐流路とを含み、各分岐流路は、隣り合う手動弁同士の入力口を互いに連通させることを趣旨とする。
【００１２】
上記発明の構成によれば、流路ブロックの主流路を流れるガスは、各分岐流路を通じて対応する入力口から、一列に並べた複数の手動弁の各々へ供給され、必要に応じて各手動弁から出力される。また、各分岐流路が、隣り合う手動弁同士の入力口を互いに連通させるので、隣り合う手動弁同士の間でガス流量の差が少なくなる。従って、主流路の上流側に位置する手動弁と主流路の下流側に位置する手動弁との間でガス流量のバラツキが少なくなる。さらに、このようにガスが流れる主流路及ぶ分岐流路が流路ブロックに形成されるので、手動弁の外部へ張り出す配管を設ける必要がない。
【００１３】
上記目的を達成するために、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、各分岐流路の主流路からの分岐部分における流路径を、主流路の下流側に位置する分岐流路から上流側に位置する分岐流路へかけて順次小さくしたことを趣旨とする。
【００１４】
上記発明の構成によれば、請求項２に記載の発明の作用に加え、主流路の下流側に位置する手動弁から上流側に位置する手動弁へかけて、各分岐流路におけるガス流量が均一化され、各手動弁に供給されるガス流量のバラツキが少なくなる。
【００１５】
上記目的を達成するために、請求項４に記載の発明は、一列に並べた複数の手動弁の各々の入力口に同じガスを供給し、その供給されたガスを前記複数の手動弁の出力口から出力する集積弁ユニットであって、複数の手動弁を一体的に取り付ける流路ブロックを備え、流路ブロックは、ガスを流すための主流路と、隣り合う手動弁同士の入力口を互いに連通させる連通流路と、主流路から分岐して複数の手動弁のうち一部の手動弁の入力口に通じる分岐流路とを含むことを趣旨とする。
【００１６】
上記発明の構成によれば、流路ブロックの主流路を流れるガスは、主流路の下流側に位置する手動弁から上流側に位置する手動弁へかけてその一部の手動弁に対応して設けられた分岐流路及び入力口を通じてその手動弁へ供給される。ここで、隣り合う手動弁同士の入力口が、連通流路により互いに連通することから、各手動弁の間でガス流量の差が少なくなる。従って、各手動弁の間でガス流量のバラツキが少なくなる。また、このようにガスが流れる主流路、分岐流路及び連通流路が流路ブロックに形成されるので、手動弁の外部へ張り出す配管を設ける必要がない。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に記載の発明によれば、一列に並べた複数の手動弁の間でガス流量を均一化することができ、集積弁ユニットの全体をコンパクト化することができる。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、一列に並べた複数の手動弁の間でガス流量を均一化することができ、集積弁ユニットの全体をコンパクト化することができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明によれば、請求項２に記載の発明の効果に比べ、複数の手動弁の間でガス流量を一層均一化することができる。
【００２０】
請求項４に記載の発明によれば、一列に並べた複数の手動弁の間でガス流量を均一化することができ、集積弁ユニットの全体をコンパクト化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
［第１実施形態］
以下、本発明の集積弁ユニットを具体化した第１実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００２２】
図１に本実施形態の集積弁ユニット１を平面図に示す。図２に集積弁ユニット１の正面図を一部破断して示す。図３に集積弁ユニット１の側面図を示す。図中の矢印はガスの流れを表す。集積弁ユニット１は、一列に並べた複数の手動弁２Ａ，２Ｂ，２Ｃ，２Ｄ，２Ｅ，２Ｆと、それら手動弁２Ａ〜２Ｆを一体的に取り付けるための流路ブロック３とを備える。
【００２３】
図２に示すように、各手動弁２Ａ〜２Ｆは、二つの入力口２ａ，２ｂと、一つの出力口２ｃとを含む。流路ブロック３は、その内部に、ガスを流すための主流路４と、主流路４から分岐して各手動弁２Ａ〜２Ｆの入力口２ａ，２ｂに通じる分岐流路５と、主流路４の上流側から分岐して主流路４の下流側に位置する手動弁２Ｆの入力口２ｂに通じるバイパス流路６と、各手動弁２Ａ〜２Ｆの出力口２ｃに通じる出力流路７とを含む。各分岐流路５は、隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆ同士の入力口２ａ，２ｂを互いに連通させる。すなわち、各分岐流路５は先端が二股に分岐し、それら先端が隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆの入力口２ａ，２ｂに連通する。各手動弁２Ａ〜２Ｆの二つの入力口２ａ，２ｂは、各手動弁２Ａ〜２Ｆの内部に設けられた弁座２ｄ周りの空間２ｅを通じて互いに連通する。従って、隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆの入力口２ａ，２ｂが分岐流路５を介して連通することにより、各手動弁２Ａ〜２Ｆの入力側（弁座２ｄの周りの空間２ｅ）が互いに直列に接続される。
【００２４】
流路ブロック３において、主流路４の入口側には、管継手８が設けられる。この管継手８にガス供給用の配管が接続される。また、流路ブロック３において、各出力流路７の出口側には、管継手９が設けられる。これら管継手９にガス導出用の配管が接続される。そして、この集積弁ユニット１において、一列に並べた手動弁２Ａ〜２Ｆには、管継手８から主流路４を通じて同じガスが供給され、その供給されたガスが各手動弁２Ａ〜２Ｆに分配され、それらを経由して各出力流路７を通り、対応する管継手９からそれぞれ出力されるようになっている。
【００２５】
以上説明した集積弁ユニット１の構成によれば、流路ブロック３の主流路４を流れるガスは、各分岐流路５を通じて対応する入力口２ａ，２ｂから、一列に並べた複数の手動弁２Ａ〜２Ｆの各々へ供給され、必要に応じて各手動弁２Ａ〜２Ｆを経由して出力される。また、主流路４からバイパス流路６へもガスが流れ、そのガスは、主流路４の下流側に位置する手動弁２Ｆの入力口２ｂからその手動弁２Ｆにも供給される。さらに、各分岐流路５が、隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆ同士の入力口２ａ，２ｂを互いに連通させるので、隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆ同士の間でガス流量の差が少なくなる。従って、主流路４の上流側に位置する手動弁２Ａと主流路４の下流側に位置する手動弁２Ｆとの間でガス流量のバラツキが少なくなる。このため、一列に並べた複数の手動弁２Ａ〜２Ｆの間でガス流量を均一化することができる。
【００２６】
また、この集積弁ユニット１によれば、上記のようにガスが流れる主流路４、分岐流路５及びバイパス流路６が流路ブロック３に形成されるので、各手動弁２Ａ〜２Ｆの外部へ張り出す配管を設ける必要がない。このため、集積弁ユニット１の全体をコンパクト化することができる。
【００２７】
［第２実施形態］
次に、本発明の集積弁ユニットを具体化した第２実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００２８】
尚、この実施形態において第１実施形態と同等の構成要素については同一の符号を付して説明を省略する。
【００２９】
図４に本実施形態の集積弁ユニット１１を平面図に示す。図５に集積弁ユニット１１の正面図を一部破断して示す。図６に集積弁ユニット１１の背面図を一部破断して示す。図７に集積弁ユニット１１の側面図を示す。この実施形態の集積弁ユニット１１は、各手動弁２Ａ〜２Ｆを個別に取り付ける複数の流路ブロック１２Ａ〜１２Ｆと、各流路ブロック１２Ａ〜１２Ｆを一体的に取り付ける一つの流路ブロック１３とを備える。これら流路ブロック１２Ａ〜１２Ｆ，１３に対して複数の手動弁２Ａ〜２Ｆが一体的に取り付けられる。
【００３０】
第１実施形態の流路ブロック３と同様、この実施形態の流路ブロック１３の内部には、図５に示すように、主流路４、分岐流路５及びバイパス流路６が形成される。また、図５に示すように、各流路ブロック１２Ａ〜２Ｆには、それぞれ二つの入力口１２ａ，１２ｂ及び一つの出力口１２ｃが形成される。図７に示すように、各流路ブロック１２Ａ〜１２Ｆには、その二つの入力口１２ａ，１２ｂと各手動弁２Ａ〜２Ｆに設けられるの二つの入力口２ａ，２ｂとを通じさせる連通流路１２ｄが形成される。これにより、流路ブロック１３に形成された各分岐流路５が、各流路ブロック１２Ａ〜１２Ｆの連通流路１２ｄを通じて、各手動弁２Ａ〜２Ｆの入力側に連通している。この実施形態で、各分岐流路５及び連通流路１２ｄにより、隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆ同士の入力側が互いに連通するのは、第１実施形態の場合と同じである。
【００３１】
従って、この実施形態の集積弁ユニット１１でも、第１実施形態の集積弁ユニット１と同様の作用効果を得ることができる。
【００３２】
［第３実施形態］
次に、本発明の集積弁ユニットを具体化した第３実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００３３】
図８に本実施形態の集積弁ユニット２１の正面図を一部破断して示す。この集積弁ユニット２１は、第１実施形態における集積弁ユニット１の一部を変形したものであり、図８は図２と対比される。すなわち、この実施形態における流路ブロック２２の内部には、主流路４及び分岐流路５が形成されるが、バイパス流路は省略される。この実施形態では、各分岐流路５が各手動弁２Ａ〜２Ｆの入力口２ａ，２ｂに連通すると共に、主流路４の下流端が下流側に位置する手動弁２Ｆの入力口２ｂに連通している。その他の構成は、第１実施形態のそれと同じである。
【００３４】
従って、この実施形態における集積弁ユニット２１によれば、流路ブロック２２の主流路４を流れるガスは、各分岐流路５を通じて対応する入力口２ａ，２ｂから、一列に並べた複数の手動弁２Ａ〜２Ｆの各々へ供給され、必要に応じて各手動弁２Ａ〜２Ｆを経由して出力される。また、各分岐流路５が、隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆ同士の入力口２ａ，２ｂを互いに連通させるので、隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆ同士の間でガス流量の差が少なくなる。従って、主流路４の上流側に位置する手動弁２Ａと主流路４の下流側に位置する手動弁２Ｆとの間でガス流量のバラツキが少なくなる。このため、一列に並べた複数の手動弁２Ａ〜２Ｆの間でガス流量を均一化することができる。また、このようにガスが流れる主流路４及び分岐流路５が流路ブロック２２に形成されるので、手動弁２Ａ〜２Ｆの外部へ張り出す配管を設ける必要がない。このため、集積弁ユニット２１の全体をコンパクト化することができる。
【００３５】
［第４実施形態］
次に、本発明の集積弁ユニットを具体化した第４実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００３６】
図９に本実施形態の集積弁ユニット２３の正面図を一部破断して示す。この集積弁ユニット２３は、第２実施形態における集積弁ユニット１１の一部を変形したものであり、図９は図５と対比される。すなわち、この実施形態における流路ブロック２４の内部には、主流路４及び分岐流路５が形成されるが、バイパス流路は省略される。この実施形態では、各分岐流路５が各流路ブロック１２Ａ〜１２Ｆの入力口１２ａ，１２ｂに連通すると共に、主流路４の下流端が下流側に位置する流路ブロック１２Ｆの入力口２ｂに連通している。その他の構成は、第２実施形態のそれと同じである。
【００３７】
従って、この実施形態の集積弁ユニット２１でも、第３実施形態の集積弁ユニット２１と同様の作用効果を得ることができる。
【００３８】
［第５実施形態］
次に、本発明の集積弁ユニットを具体化した第５実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００３９】
図１０に本実施形態の集積弁ユニット２５の正面図を一部破断して示す。この集積弁ユニット２５は、第３実施形態における集積弁ユニット２１の一部を変形したものであり、図１０は図８と対比される。すなわち、この実施形態における流路ブロック２６の内部には、主流路４及び分岐流路５Ａ〜５Ｄが形成される。そして、各分岐流路５Ａ〜５Ｄの主流路４からの分岐部分における流路径が、主流路４の下流側に位置する分岐流路５Ａから上流側に位置する分岐流路５Ｄへかけて（図１０の左から右へかけて）順次小さくなっている。主流路４の上流側寄りに位置する二つの手動弁２Ａ，２Ｂの間の分岐流路は省略され、二つの手動弁２Ａ、２Ｂの間は連通流路２７により連通している。
【００４０】
従って、この実施形態の集積弁ユニット２５によれば、主流路４の下流側に位置する手動弁２Ｆから上流側に位置する手動弁２Ａへかけて、分岐流路５Ａ〜５Ｄにおけるガス流量が均一化され、各手動弁２Ａ〜２Ｆに供給されるガス流量のバラツキが少なくなる。このため、第３実施形態の集積弁ユニット２１に比較して、複数の手動弁２Ａ〜２Ｆの間で、ガス流量を一層均一化することができる。その他の作用効果は、第３実施形態のそれと同じである。
【００４１】
［第６実施形態］
次に、本発明の集積弁ユニットを具体化した第６実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００４２】
図１１に本実施形態の集積弁ユニット２５の正面図を一部破断して示す。この集積弁ユニット２８は、第３実施形態における集積弁ユニット２１の一部を変形したものであり、図１１は図８と対比される。この実施形態における流路ブロック２９の内部には、ガスを流すための主流路４と、隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆ同士の入力口２ａ，２ｂを互いに連通させる複数の連通流路３０Ａ〜３０Ｅと、主流路４から分岐して複数の手動弁２Ａ〜２Ｆのうち一部の手動弁２Ａ，２Ｃ，２Ｄの入力口２ａ，２ｂに通じる分岐流路５とが形成される。この実施形態で、主流路４の上流側で分岐する分岐流路５は、上流側に位置する手動弁２Ａの入力口２ａに通じると共に、中間に位置する手動弁２Ｃ，２Ｄの間に設けられる連通流路３０Ｃに連通している。また、主流路４の上流端は、その上流側に位置する手動弁２Ｆの入力口２ｂに連通している。つまり、主流路４に沿って並ぶ複数の手動弁２Ａ〜２Ｆに対し、主流路４の上流側に位置する手動弁２Ｆ、中間に位置する手動弁２Ｃ，２Ｄ、下流側に位置する手動弁２Ａの各々の入力口２ａ，２ｂに対し、主流路４からガスが供給されるようになっている。
【００４３】
従って、流路ブロック２９の主流路４を流れるガスは、主流路４の下流側に位置する手動弁２Ｆから上流側に位置する手動弁２Ａへかけて、その一部の手動弁２Ａ，２Ｃ，２Ｄに対応して設けられた分岐流路５、連通流路３０Ｃ及び入力口２ａ，２ｂ等を通じてそれらの手動弁２Ａ，２Ｃ，２Ｄ，２Ｆへ供給される。ここで、隣り合う手動弁２Ａ〜２Ｆ同士の入力口２ａ，２ｂが、連通流路３０Ａ〜３０Ｅにより互いに連通することから、各手動弁２Ａ〜２Ｆの間でガス流量の差が少なくなる。従って、各手動弁２Ａ〜２Ｆの間でガス流量のバラツキが少なくなる。このため、第３実施形態の集積弁ユニット２１に比較して、複数の手動弁２Ａ〜２Ｆの間で、ガス流量を一層均一化することができる。その他の作用効果は、第３実施形態のそれと同じである。
【００４４】
尚、この発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で、構成の一部を適宜に変更して実施することもできる。例えば、前記各実施形態における手動弁の数に対し、その数を増減してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】第１実施形態の集積弁ユニットを示す平面図。
【図２】同じく、集積弁ユニットを一部破断して示す正面図。
【図３】同じく、集積弁ユニットを示す側面図。
【図４】第２実施形態の集積弁ユニットを示す平面図。
【図５】同じく、集積弁ユニットを一部破断して示す正面図。
【図６】同じく、集積弁ユニットを一部破断して示す背面図。
【図７】同じく、集積弁ユニットを示す側面図。
【図８】第３実施形態の集積弁ユニットを一部破断して示す正面図。
【図９】第４実施形態の集積弁ユニットを一部破断して示す正面図。
【図１０】第５実施形態の集積弁ユニットを一部破断して示す正面図。
【図１１】第６実施形態の集積弁ユニットを一部破断して示す正面図。
【図１２】従来例の集積弁を示す平面図。
【図１３】従来例の集積弁を示す平面図。
【符号の説明】
【００４６】
１    集積弁ユニット
２Ａ〜２Ｆ    手動弁
２ａ，２ｂ    入力口
２ｃ    出力口
３    流路ブロック
４    主流路
５    分岐流路
５Ａ〜５Ｄ    分岐流路
６    バイパス流路
１１  集積弁ユニット
１２Ａ〜１２Ｆ    流路ブロック
１３    流路ブロック
２１    集積弁ユニット
２２    流路ブロック
２３    集積弁ユニット
２４    流路ブロック
２５    集積弁ユニット
２６    流路ブロック
２７    連通路流路
２８    集積弁ユニット
２９    流路ブロック
３０Ａ〜３０Ｅ    連通流路
【図１】
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【図２】
2005273868.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005273868.tif 000006
【図５】
2005273868.tif 000007
【図６】
2005273868.tif 000008
【図７】
2005273868.tif 000009
【図８】
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【図９】
2005273868.tif 000011
【図１０】
2005273868.tif 000012
【図１１】
2005273868.tif 000013
【図１２】
2005273868.tif 000014
【図１３】
2005273868.tif 000015