(57)【要約】【課題】薄型で小型の集積型静電アクチュエータを提供すること。【解決手段】集積型静電アクチュエータは、ガラス基板１０に固定されて配置された基板電極２４と、上記ガラス基板１０に対して少なくとも一端が固定され且つ上記基板電極２４に対向して配置された導電性を有する渦巻き形状の薄板状部材１６とよりなり、上記基板電極２４と上記薄板状部材１６の間に電圧を印加することで上記薄板状部材１６を変位させる、複数の静電アクチュエータと、上記複数の静電アクチュエータの薄板状部材１６の上記ガラス基板１０に固定されていない部分によって支持された板状部材１２とを備える。そして、上記基板電極２４と上記薄板状部材１６との間に電圧を印加することで、上記板状部材１２を上記ガラス基板１０に対して実質的に鉛直な方向に変位させる。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に固定されて配置された基板電極と、前記基板に対して少なくとも一端が固定され且つ前記基板電極に対向して配置された導電性を有する第１の薄板状部材とよりなり、前記基板電極と前記第１の薄板状部材の間に電圧を印加することで前記第１の薄板状部材を変位させる、複数の静電アクチュエータと、
前記複数の静電アクチュエータの第１の薄板状部材の前記基板に固定されていない部分によって支持された板状部材と、
を具備し、
前記基板電極と前記第１の薄板状部材との間に電圧を印加することで、前記板状部材を前記基板に対して実質的に鉛直な方向に変位させることを特徴とする集積型静電アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１の薄板状部材は、過冷却液体域を有する非晶質合金からなる渦巻き形状の電極であることを特徴とする請求項１に記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項３】
前記第１の薄板状部材に対向する前記基板電極はそれぞれ、複数の部位に分割され、
その分割された各々の電極に対する印加電圧を独立に制御することを特徴とする請求項１または２に記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項４】
前記板状部材を支持する前記複数の静電アクチュエータを少なくとも２以上のグループに分け、
各々のグループに対して独立に印加電圧を制御することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項５】
前記複数の静電アクチュエータは、前記基板上の所定の部位に対して所定の対称性をもって少なくとも２以上のグループに区分されていることを特徴とする請求項４に記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項６】
前記板状部材が電力もしくは電気信号を入出力する電極を有する電子デバイスであるか、もしくはそれを固定した部材であることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項７】
前記電子デバイスが撮像素子であることを特徴とする請求項６に記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項８】
前記電子デバイスのパッケージ部材に前記集積型静電アクチュエータが封止されていることを特徴とする請求項６に記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項９】
前記基板の前記板状部材に対向する領域の外周部に配置され、前記基板に少なくとも一端が固定された、複数の第２の薄板状部材を更に具備し、
前記板状部材に形成された電極と前記第２の薄板状部材が電気的に接続されていることを特徴とする請求項６乃至８の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項１０】
前記第２の薄板状部材が渦巻き形状の過冷却液体域を有する非晶質合金であることを特徴とする請求項９に記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項１１】
前記第２の薄板状部材の前記基板に対する鉛直方向への変位に対する剛性が、前記第１の薄板状部材のそれよりも小さいことを特徴とする請求項９または１０に記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項１２】
前記板状部材の所定領域がレンズとして機能し、
前記基板の前記所定領域に対向する部位が光を透過することを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項１３】
前記板状部材の所定領域に開口が設けられ、
前記開口にレンズが固定され、
前記基板の前記所定領域に対向する部位が光を透過することを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項１４】
前記板状部材の所定領域が透明であり、
前記所定領域にレンズが固定され、
前記基板の前記所定領域に対向する部位が光を透過することを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項１５】
前記複数の静電アクチュエータの一つもしくは複数に対して、他の静電アクチュエータとは異なる静電気力を作用させることによって、前記板状部材を前記基板に対して傾けることを特徴とする請求項１乃至１４の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【請求項１６】
前記複数の静電アクチュエータの第１のグループが更に複数のグループに分割され、
前記複数の静電アクチュエータの第２のグループが更に複数のグループに分割され、
前記第１のグループの静電アクチュエータへの電圧印加によって前記板状部材を前記基板に対して鉛直な方向に変位させ、
前記第２のグループの静電アクチュエータへの電圧印加によって、前記板状部材の前記基板に対する傾きを制御することを特徴とする請求項１５に記載の集積型静電アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型の静電アクチュエータを複数備える集積型静電アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
内視鏡や携帯電話用カメラなどの小型撮像ユニットはこれまで、固定焦点が一般的であったが、撮像素子の画素ピッチの縮小に伴い、焦点調節機構の搭載が要望されている。
【０００３】
焦点調節を行なう方式としては、一部もしくは全部のレンズを駆動する方法と、撮像素子を駆動する方法との２つが考えられる。後者の撮像モジュールの焦点調節を行うためには、従来は電磁式のアクチュエータを用いるのが一般的であったが、コイルや磁石を必要とする電磁式アクチュエータは小型化に限界があり、超小型撮像モジュールへの適用は困難である。このため、各種の静電式アクチュエータが提案されているが、多くは変位量制限があって実際の適用は難しいのが現状である。
【０００４】
例えば、大きな変位量が得られる静電アクチュエータとして、特許文献１に開示されている方法が提案されている。この特許文献１に開示の静電アクチュエータは、レンズを矩形の枠内に組み込み、この枠の外面に多数の帯状電極を形成し、その外面に微小な間隙を隔てて配置された多相の交番電圧を印加する帯状電極を形成した固定基板の間に作用する静電気力によって駆動するものである。この方式は、歩進駆動であるため、駆動量の制限がない点で優れている。
【特許文献１】特公平１１−２８１８７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１に開示されているような静電アクチュエータは、既存の電磁式アクチュエータと比較すると小型で、歩進駆動式なので十分な変位量も得られるが、駆動するレンズを高密度の帯状電極を形成した枠部材に組み込む必要があり、更にその外側にやはり高密度の帯状駆動を配置する必要があるため、レンズ径に対して、撮像モジュールの外形がかなり大きくなってしまう問題がある。
【０００６】
本発明は、上記の点に鑑みてなされたもので、焦点調整に十分な変位量と固体撮像素子もしくはレンズを駆動するのに十分な可搬質量が得られ、小さな外形の撮像モジュールを構成できる、薄型（１ｍｍ程度）で小型の集積型静電アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の集積型静電アクチュエータの一態様は、
基板に固定されて配置された基板電極と、上記基板に対して少なくとも一端が固定され且つ上記基板電極に対向して配置された導電性を有する第１の薄板状部材とよりなり、上記基板電極と上記第１の薄板状部材の間に電圧を印加することで上記第１の薄板状部材を変位させる、複数の静電アクチュエータと、
上記複数の静電アクチュエータの第１の薄板状部材の上記基板に固定されていない部分によって支持された板状部材と、
を具備し、
上記基板電極と上記第１の薄板状部材との間に電圧を印加することで、上記板状部材を上記基板に対して実質的に鉛直な方向に変位させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、焦点調整に十分な変位量と固体撮像素子もしくはレンズを駆動するのに十分な可搬質量が得られ、小さな外形の撮像モジュールを構成できる、薄型（１ｍｍ程度）で小型の集積型静電アクチュエータを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【００１０】
［第１実施形態］  
まず、本発明の第１実施形態について、図１（Ａ）乃至図６を用いて説明する。
【００１１】
図１（Ａ）は本実施形態に係る集積型静電アクチュエータを用いたレンズ駆動機構を示す斜視図であり、図２は図１（Ａ）中に記された矢印の方向から見た側面図である。即ち、例えば厚さ０．３ｍｍの透明なガラス基板１０に対向して板状部材１２が配置されており、この板状部材１２の中央部は、凸レンズ１４として構成されている。ここで、上記板状部材１２は、ガラス成形によって形成され、その中央部が凸レンズ状、周辺部が厚さ０．１ｍｍの平板状である。このような板状部材１２は、ガラス基板１０から延在する複数の渦巻き形状の薄板状部材１６によって支持されている。また、ガラス基板１０の周辺部には、複数の外部リード電極１８が形成されている。これら外部リード電極１８の詳細については後述する。
【００１２】
図３は、図１（Ａ）に示す状態から上記板状部材１２を取り除いた状態を示した図である。上記渦巻き形状の多数の薄板状部材１６は、その根元部分２０でガラス基板１０に固定され、頂面部分２２において上記板状部材１２に接合されている。これにより、板状部材１２が多数のバネによって上記ガラス基板１０に対して支持された形態となっている。ここで、根元部分２０から頂面部分２２までの高さ、即ちガラス基板１０と板状部材１２との間隔は、０．３ｍｍである。また、ガラス基板１０の板状部材１２における中央部の凸レンズ１４の領域に対向する部位では、薄板状部材１６は形成されない。
【００１３】
次に、図１（Ｂ）を参照して、それぞれ静電アクチュエータとして機能する個々の薄板状部材１６の詳細な構成について説明する。即ち、上記渦巻き形状の薄板状部材１６は、導電性を有する金属ガラスで構成されており、ガラス基板１０におけるその直下の領域には、表層絶縁膜（図示せず）を介してチタン薄膜よりなる基板電極２４が形成され、該基板電極２４からは基板電極引き出し配線２６が延在している。一方、上記薄板状部材１６のガラス基板１０に固定された根元部分２０においては、該根元部分２０が、ガラス基板１０の表層絶縁膜（図示せず）に開口されたコンタクト孔２８を介して、可動電極引き出し配線３０に電気的に接続されている。なお、基板電極２４と可動電極引き出し配線３０とは、電気的に分離している。
【００１４】
図４（Ａ）は図１（Ｂ）の上面図であり、図４（Ｂ）は薄板状部材１６の図示を省略したものである。これらの図から分かるように、薄板状部材１６のガラス基板１０に固定された根元部分２０以外の領域において、薄板状部材１６と基板電極２４とが対向している。
【００１５】
また、図４（Ａ）に示した直線Ａ−Ａ’の断面図を図５（Ａ）に示す。ガラス基板１０には、チタン薄膜よりなる配線層で構成される基板電極２４と可動電極引き出し配線３０とが形成され、さらにその上部に、表層絶縁膜３２が形成されている。金属ガラスよりなる薄板状部材１６は、その根元部分２０でガラス基板１０に接合しており、表層絶縁膜３２に開口されたコンタクト孔２８を介して可動電極引き出し配線３０に電気的に接続されている。一方、渦巻き形状の薄板状部材１６の頂面部分２２においては、板状部材１２と接合している。
【００１６】
係る構成の静電アクチュエータにおいては、基板電極引き出し配線２６と可動電極引き出し配線３０との間に電圧を印加すると、基板電極２４と薄板状部材１６の電位差によって静電気力が生じ、薄板状部材１６はガラス基板１０側に変位する。ここで、薄板状部材１６は渦巻き形の形状となっているので、その頂面部分２２は、ガラス基板１０に対してほぼ鉛直方向に変位する。この変位量は、薄板状部材１６の鉛直方向へのバネ性と静電気力との釣り合いで決まることになる。また、基板電極２４と薄板状部材１６とは、その根元部分２０の近傍では近接しているので大きな静電気力が生じ、板状部材１２とガラス基板１０の間に直接静電気力を作用させるような構成と比較すると低い電圧で駆動することができる。
【００１７】
このような静電アクチュエータは、ガラス基板１０にスパッタリングと犠牲層エッチングによって渦巻き形状の薄板状部材１６を形成し、それを立体的に加熱成型する方法によって形成できる。この際、基板電極２４や引き出し配線も含めて半導体製造に用いるフォトリソグラフィー技術の適用が可能であるので、非常に微小なアクチュエータを比較的容易に製作できる。加えて、薄板状部材１６の素材として過冷却液体域を有する非晶質合金を用いることにより、平面形状で形成した渦巻き形状の部材を立体的に変形させてから過冷却液体域まで加熱することで、図４（Ａ）に示す形態の静電アクチュエータを安定して形成することができる。このような過冷却液体域を有する非晶質合金よりなる渦巻き形状の薄板状部材を用いた形態の静電アクチュエータは、例えば特許第３２１０９６８号に製造方法も含めて詳細に開示されている。
【００１８】
次に、本実施形態に係る集積型静電アクチュエータの駆動法について説明する。
【００１９】
図６は、図１（Ａ）で示した集積型静電アクチュエータから、板状部材１２を取り除いた状態を示す図である。各々が静電アクチュエータとして機能する薄板状部材１６は、合計で５２個配置されている。このように多数の静電アクチュエータで板状部材１２を支持することによって、一つ一つの静電アクチュエータの発生する力が弱くても、安定した駆動が可能となる。これらの静電アクチュエータは、図１（Ｂ）に示された基板電極引き出し配線２６と可動電極引き出し配線３０との間に電圧を印加することで駆動する。
【００２０】
なお、本実施形態においては、図６の各々の薄板状部材の参照番号１６に記された添え字に従って、薄板状部材１６−１，１６−２，１６−３，１６−４，１６−５の５つのグループに分けて、各々の可動電極引き出し配線３０をそれぞれ外部リード電極１８−１，１８−２，１８−３，１８−４，１８−５に接続する。また、５２個全ての薄板状部材１６に対向する基板電極２４の基板電極引き出し配線２６は、外部リード電極１８−０に接続されている。これらの接続については特に図示しないが、ガラス基板１０の通常の半導体製造技術で形成される２層配線によって実現できる。
【００２１】
ここで、例えば外部リード電極１８−０を接地して外部リード電極１８−１に電圧を印加すると、１６個の薄板状部材１６−１を含むグループに印加電圧に応じた静電気力が作用して、板状部材１２をガラス基板１０の方向に一定量押し下げる。更に、外部リード電極１８−２にも同じ電圧を印加すると、１２個の薄板状部材１６−２を含むグループにも印加電圧に応じた静電気力が作用して、板状部材１２のガラス基板１０の方向への変位量が更に大きくなる。同様にして、外部リード電極１８−３、１８−４、及び１８−５に順次同じ電圧を印加すると、薄板状部材１６−３、１６−４、及び１６−５の各グループにも順次静電気力が作用して、板状部材１２のガラス基板１０に対する変位量が順次増大する。このように、外部リード電極１８−１〜１８−５の内、いくつの外部リード電極に電圧を印加するかによって、板状部材１２の変位量を段階的に制御できる。
【００２２】
また、図６から分かるように、上記薄板状部材１６の５つのグループは、ガラス基板１０の中心に対して対称の配置となっているので、板状部材１２は、ガラス基板１０に対して傾きを生じることなく鉛直に変位する。一方、ガラス基板１０に対して平行な方向への変位については、薄板状部材１６が渦巻き形状であり、その頂面部分２２において板状部材１２を支持していることから、非常に小さくなる。
【００２３】
このように、静電アクチュエータとして機能する多数の薄板状部材１６を、薄板状部材１６−１のグループ乃至薄板状部材１６−５のグループの５つのグループに分けて、同一グループ内の複数個の薄板状部材１６を一括して同一の電圧で駆動するようにし、電圧を印加するグループの数を変えることで段階的な板状部材１２の変位が可能になる。このため、変位量を制御するために印加電圧を制御する必要が無く、電圧源と外部リード電極１８−１〜１８−５それぞれへの電圧のＯＮ／ＯＦＦを切り替えるだけで、多段階の変位制御が可能となる。一般的には静電アクチュエータは高い駆動電圧を要するので、精密な電圧制御回路を省略して単純な昇圧回路と切り替え回路のみで構成できることは、特に小型バッテリーで駆動する携帯機器に組み込まれる光学系への適用を考えた場合に好適である。
【００２４】
また、薄板状部材１６を渦巻き形状としてその頂面で板状部材１２を支持することと、グループ分けされた各々のグループの複数の薄板状部材１６がガラス基板１０の所定部位に対して対称に位置することとによって、板状部材１２をガラス基板１０に対して傾きやガラス基板１０に対して平行な方向への変位を生じることなく、鉛直方向に変位させることが出来るので、板状部材１２の中央部に配置された凸レンズ１４の変位を光学系の焦点移動に用いた場合、偏芯収差を生じることなく、良好な結像性能を維持できる。
【００２５】
図５（Ｂ）は、本実施形態に係る集積型静電アクチュエータを用いた実際の焦点調整機能付き超小型撮像モジュールの光学系の断面模式図である。この光学系では、第１レンズ３４と第３レンズ３６との間に、上述したような本実施形態に係る集積型静電アクチュエータを用いた集積型静電アクチュエータを配置している。即ち、この光学系では、板状部材１２の中央部のレンズ１４が第２レンズとして機能する。この場合、ガラス基板１０は透明なガラス基板であるので、入射光を第３レンズ３６に通すことができる。係る構成によれば、入射光は、第１レンズ３４、第２レンズとして機能する板状部材１２の中央部のレンズ１４、及び第３レンズ３６によって、固体撮像素子３８に結像する。ここで、第１レンズ３４、ガラス基板１０、第３レンズ３６、及び固体撮像素子３８を固定して、板状部材１２つまりレンズ１４をこれらに対して相対的に変位させることによって焦点調節を行なう。
【００２６】
このような構成において、適切な光学設計を行なうことで微小な第２レンズの変位で広い範囲の焦点調節を行なうことが可能なので、本実施形態に係る集積型静電アクチュエータを用いることで、非常に薄型の焦点調節機能付き撮像モジュールを得ることができる。また、矩形の板状部材１２における円形のレンズ１４の領域を除いた四隅の領域を有効に活用して多数の静電アクチュエータを組み込むことで、撮像モジュール全体の大きさを非常に小さくすることが可能である。
【００２７】
なお、本実施形態にあっては、板状部材１２における周辺の平板状部位と中央部のレンズ状部位とが一体で形成されているが、開口を有する平板状部材に別体のレンズを組み込んでも良い。
【００２８】
［第２実施形態］  
次に、本発明の第２実施形態について図７を参照して説明する。本実施形態は、上記第１実施形態の変形例であり、よって、本実施形態に係る集積型静電アクチュエータの構造は上記第１実施形態のそれと同一であるが、薄板状部材１６のグループの分け方が異なる。
【００２９】
即ち、本実施形態においては、図７の各々の薄板状部材の参照番号１６に記された添え字に従って、薄板状部材１６−１，１６−２，１６−３，１６−４，１６−６，１６−７，１６−８，１６−９の８つのグループに分けて、各々の可動電極引き出し配線３０をそれぞれ外部リード電極１８−１，１８−２，１８−３，１８−４，１８−６，１８−７，１８−８，１８−９に接続するようにしている。また、５２個全ての薄板状部材１６に対向する基板電極２４の基板電極引き出し配線２６は、外部リード電極１８−０に接続されている。ここで、外部リード電極１８−０を接地して外部リード電極１８−１〜１８−４の何れかに電圧を印加すると、これらに対応する薄板状部材１６−１のグループ乃至薄板状部材１６−４のグループは、上記第１実施形態と同様に板状部材１２の所定の部位に対して各々対称に配置されているので、板状部材１２はガラス基板１０に対して平行な方向に変位する。これに対して、外部リード電極１８−６〜１８−９の何れか一つに電圧を印加すると、これらに対応する薄板状部材１６−６のグループ乃至薄板状部材１６−９のグループは、板状部材１２の所定の部位に対して各々非対称に配置されているので、板状部材１２はガラス基板１０に対して傾きを生じることになる。
【００３０】
従って、例えば図５（Ｂ）に示したような光学系に適用した場合には、第１レンズ３４、第２レンズとして機能する板状部材１２の中央部のレンズ１４、及び第３レンズ３６によって構成される光学系の光軸に対して、組み立て誤差などの影響で固体撮像素子３８が傾いて取り付けられたとしても、使用時において常に外部リード電極１８−６〜１８−９の何れか一つもしくは複数に所定の電圧を印加することで、上記の光軸のズレを補正することができる。このように、板状部材１２の所定部位に対して対称に配置されたグループの薄板状部材１６に対して静電気力を作用させることによって、板状部材１２を並進駆動させ、また、板状部材１２の所定部位に対して非対称に配置されたグループ（この場合は一つであっても良い）の薄板状部材１６に対して静電気力を作用させることによって、板状部材１２に傾きを与えることが可能である。この傾きは、上記のように初期の組み付け誤差の補正に用いることができる。あるいは、個々の薄板状部材１６の形状バラツキによって、板状部材１２の所定部位に対して対称に配置された薄板状部材１６のグループに静電気力を作用させても板状部材１２に若干の傾きが生じる場合に、薄板状部材１６の板状部材１２の所定部位に対して非対称に配置されたグループに静電気力を印加することでこれを補正することもできる。
【００３１】
このように、本実施形態に係る集積型静電アクチュエータを用いることによって、光軸の微妙なズレを静電気力によって補正することで、精密な個別調整なしに、光軸ズレの少ない高性能な焦点調節機能付き超小型撮像モジュールを得ることができる。
【００３２】
［第３実施形態］  
次に、本発明の第３実施形態を図８（Ａ）乃至図９を用いて説明する。本実施形態は上記第１実施形態の変形例であり、上記第１実施形態が多数の静電アクチュエータを複数のグループに分けることで駆動電圧のアナログ制御を行なうことなく段階的な駆動を実現したのに対して、本実施形態は、薄板状部材１６に静電気力を作用させる基板電極２４に相当する部位を複数の領域に分割する方式である。
【００３３】
図８（Ａ）は本実施形態に係る集積型静電アクチュエータにおける個々の静電アクチュエータの詳細図であり、図８（Ｂ）は図８（Ａ）から薄板状部材１６を取り除いた状態での上面図である。即ち、本実施形態においては、基板電極２４は４つの領域に分割されて、基板電極２４−１，２４−２，２４−３，２４−４として形成される。そして、これら基板電極２４−１，２４−２，２４−３，２４−４各々から基板電極引き出し配線２６−１，２６−２，２６−３，２６−４が延在されている。
【００３４】
係る構成の静電アクチュエータつまり薄板状部材１６は、図９に示すように、５２個がガラス基板１０に配置される。このガラス基板１０は図６に示したように内部に配線層（図示せず）を有するものであるが、本実施形態では、上記第１実施形態とは逆に、全ての薄板状部材１６に対応する可動電極引き出し配線３０を外部リード電極１８−０に接続している。そして、全ての薄板状部材１６に対応する基板電極引き出し配線２６−１，２６−２，２６−３，２６−４を外部リード電極１８−１，１８−２，１８−４，１８−４に接続している。
【００３５】
而して、例えば外部リード電極１８−０を接地して、外部リード電極１８−１に電圧を印加すると、全ての薄板状部材１６の一部の領域（基板電極２４−１に対向する部位）に静電気力が作用して、各薄板状部材１６の頂面部分２２で支持された板状部材１２（図示せず）をガラス基板１０の方向に一定量押し下げる。更に、外部リード電極１８−２にも同じ電圧を印加すると、全ての薄板状部材１６において静電気力が作用する領域が拡大（基板電極２４−２に対向する部位が加わる）して、板状部材１２のガラス基板１０の方向への変位量が更に大きくなる。同様にして、外部リード電極１８−３，１８−４に順次同じ電圧を印加すると、薄板状部材１６において静電気力が作用する部位が更に順次増えて、板状部材１２のガラス基板１０に対する変位量が順次増大する。このように、外部リード電極１８−１〜１８−４の内、いくつの電極に電圧を印加するかによって、板状部材１２の変位量を段階的に制御できる。
【００３６】
このように、本実施形態においても、上記第１実施形態と同様に変位量を制御するために印加電圧を制御する必要が無く、電圧源と各外部リード電極１８−１〜１８−４への電圧のＯＮ／ＯＦＦを切り替えるだけで、多段階の変位制御が可能となる。
【００３７】
また、更に、上記第２実施形態で説明したように、本実施形態のような構成の薄板状部材１６を対称に配置したグループと非対称に配置したグループとにグループ分けすることで、ガラス基板１０に対して鉛直な方向への変位と、ガラス基板１０に対する傾き制御とを行えるようにしても良いことは勿論である。
【００３８】
［第４実施形態］  
次に、本発明の第４実施形態について、図１０乃至図１６を参照して説明する。
【００３９】
図１０及び図１１は、本第４実施形態に係る集積型静電アクチュエータを組み込んだ焦点調節機構付き撮像モジュールの構成を示す斜視図及び上面図である。即ち、この撮像モジュールは、リード端子４２を有するパッケージ４０に、集積型静電アクチュエータ４４を組み込み、更にその上部に、固体撮像素子３８を配置したものである。ここで、固体撮像素子３８の中央の矩形領域４６が撮像エリアである。
【００４０】
上記固体撮像素子３８は６つの電極パッド４８を有し、これら電極パッド４８と集積型静電アクチュエータ４４の周辺部に形成された渦巻き形状の導電性を有する金属ガラスで構成された６つの薄板状部材５０の頂面とが、ボンディングワイヤ５２で接続されている。また、集積型静電アクチュエータ４４には、上記薄板状部材５０の近傍位置にそれぞれ、対応する薄板状部材５０と電気的に接続された６つの引き出し用電極パッド５４が配置され、該引き出し用電極パッド５４は、パッケージ４０の電極パッド５６にボンディングワイヤ５８によって接続されている。なお、パッケージ４０の電極パッド５６は、各々対応するパッケージ４０のリード端子４２と電気的に接続している。
【００４１】
また、集積型静電アクチュエータ４４の９つの駆動用電極パッド６０（上記第１乃至第３実施形態における外部リード電極１８に対応する）とパッケージ４０の９つの電極パッド６２とは、ボンディングワイヤ６４で接続されている。
【００４２】
図１２は、図１０中に破線の矩形で示した領域の拡大図である。即ち、上記薄板状部材５０は、その根元部分６６で集積型静電アクチュエータ４４の基板６８に接合されており、特に図示しないが、基板６８の内部配線層によって引き出し用電極パッド５４に接続されている。この図１２に示すように、薄板状部材５０は、上記薄板状部材１６と同様に渦巻きバネ形状に形成されており、その頂面７０において固体撮像素子３８の電極パッド４８とボンディングワイヤ５８によって接続されている。即ち、固体撮像素子３８の６つの電極パッド４８は、ボンディングワイヤ５２、薄板状部材５０、引き出し用電極パッド５４、ボンディングワイヤ５８、及び電極パッド５６を介して、パッケージ４０のリード端子４２に接続している。また、集積型静電アクチュエータ４４の９つの駆動用電極パッド６０は、同図に示すように、ボンディングワイヤ６４及びパッケージ４０の電極パッド６２を介して、パッケージ４０のリード端子４２に接続している。
【００４３】
ここで、図１３は図１０に示す状態から上記固体撮像素子３８及びボンディングワイヤ５２，５８，６４を取り除いた状態を示す図であり、図１４はこの図１３中に破線の矩形で囲んで示す領域の拡大図である。これらの図に示すように、集積型静電アクチュエータ４４の、上記固体撮像素子３８の下側に該当する領域には、３６個の渦巻き形状の薄板状部材１６が形成されている。ここで、薄板状部材１６は、図１（Ｂ）で説明したのと同様の静電アクチュエータであり、その根元部分２０において、集積型静電アクチュエータ４４の基板６８に固定されており、特に図示しないが、図１（Ｂ）の基板電極２４に相当する固定電極が、この基板６８に形成されている。
【００４４】
なお、上記薄板状部材５０は、上記薄板状部材１６と同様の工程を経て形成されるが、対応する固定電極（図１（Ｂ）で説明した基板電極２４に相当する）は形成されず、静電アクチュエータではない単なるバネ部材である。また、図１３及び図１４から分かるように、上記薄板状部材５０は上記薄板状部材１６と類似の形状であるが、その螺旋の幅が小さく、鉛直方向の変位に対して小さなバネ定数を有する。
【００４５】
また、何れの図においても図示していないが、固体撮像素子３８の裏面は、薄板状部材１６の頂面部分２２に接着されており、バネ形状の薄板状部材１６の３６個全てで固体撮像素子３８を支持する形態となっている。個々の薄板状部材１６の構成については、第１実施形態において図１（Ｂ）及び図４（Ａ）を参照して説明した通りであり、各々の薄板状部材１６に対応して、特に図示しないがそれに対向する基板電極（図１（Ｂ）の基板電極２４に相当）と基板電極引き出し配線（図１（Ｂ）の基板電極引き出し配線２６に相当）、可動電極引き出し配線（図１（Ｂ）の可動電極引き出し配線３０に相当）が形成されている。
【００４６】
図１５（Ａ）は、集積型静電アクチュエータ４４の上面図である。ここで、同図の各々の薄板状部材の参照番号１６に記された添え字に従って、薄板状部材１６−１，１６−２，１６−３，１６−４，１６−５，１６−６，１６−７，１６−８の８つのグループに分けて、各々のグループの薄板状部材１６に対応する可動電極引き出し配線が、駆動用電極パッド６０−１，６０−２，６０−３，６０−４，６０−５，６０−６，１６−７，６０−８にそれぞれ接続され、また、３６個の基板電極の基板電極引き出し配線は全て駆動用電極パッド６０−０に接続されるようになっている。
【００４７】
これら駆動用電極パッド６０とパッケージ４０のリード端子４２との接続は、図１６に示すようになっている。即ち、駆動用電極パッド６０−０，６０−１，６０−２，６０−３，６０−４，６０−５，６０−６，１６−７，６０−８は、電極パッド６２を介して、リード端子４２−０，４２−１，４２−３，４２−４，４２−５，４２−６，４２−７，４２−８にそれぞれ接続されている。また、固体撮像素子３８の６つの電極パッド４８は、薄板状部材５０、引き出し用電極パッド５４、及び電極パッド５６を介して、リード端子４２−９，４２−１０，４２−１１，４２−１２，４２−１３，４２−１４にそれぞれ接続されている。
【００４８】
係る構成において、リード端子４２−０を接地して、外部リード電極４２−１〜４２−４の何れかに電圧を印加すると、これらに対応する薄板状部材１６−１のグループ乃至薄板状部材１６−４のグループは固体撮像素子３８の所定の部位に対して各々対称に配置されているので、固体撮像素子３８は、集積型静電アクチュエータ４４の基板６８及びパッケージ４０に対して平行な方向に変位する。一方、リード端子４２−６〜４２−９の何れか一つに電圧を印加すると、これらに対応する薄板状部材１６−６のグループ乃至薄板状部材１６−９のグループは固体撮像素子３８の所定の部位に対して各々非対称に配置されているので、固体撮像素子３８は、集積型静電アクチュエータ４４の基板６８及びパッケージ４０に対して傾きを生じることになる。
【００４９】
図１５（Ｂ）は、本実施形態に係る集積型静電アクチュエータ４４を組み込んだ焦点調節機構付き撮像モジュールの断面模式図である。図１０乃至図１５（Ａ）及び図１６においては特に図示しなかったが、パッケージ４０の上部にはカバーガラス７２が貼り付けられ、固体撮像素子３８と集積型静電アクチュエータ４４はパッケージ４０に封止されて、不活性ガスが封入されている。このようにパッケージ４０を封止することは、薄板状部材１６及び５０を構成する金属ガラスの酸化を防止する意味で特に望ましい。
【００５０】
そして、パッケージ４０の上部には、３つのレンズよりなる撮像レンズ群７４が固定され、集積型静電アクチュエータ４４の駆動によって固体撮像素子３８が光軸に対して鉛直方向に変位して焦点調節を行なう。
【００５１】
実際の駆動においては、上記第２実施形態の場合と同様に、対称に配置された薄板状部材のリード端子４２−０を接地してリード端子４２−１〜４２−４の一つあるいは複数に電圧を印加することでパッケージ４０に対する固体撮像素子３８の高さを変位させて焦点調節を行ない、必要に応じてリード端子４２−６〜４２−９の一つあるいは複数に電圧を印加することによって、組み立て時の固体撮像素子３８の撮像レンズ群７４に対する光軸ズレの補正などを行なう。
【００５２】
このように、本実施形態にあっては、撮像レンズ群７４に対する固体撮像素子３８の相対的な移動による焦点調節機構が、固体撮像素子３８のパッケージ４０内で行なわれるので、非常に薄く、小型の焦点調節機構付き撮像モジュールを実現できる。
【００５３】
更に、本実施形態にあっては、上記第１及び第２実施形態と異なり、可動部位から配線を引き出す必要があるが、図１２に示したように固体撮像素子３８の配線は薄板状部材５０を介して行なっており、この薄板状部材５０の鉛直方向の剛性をボンディングワイヤ５２のそれよりも十分に小さくすることによって、ボンディングワイヤ５２の剛性のために固体撮像素子３８の動作が妨げられたり、各々のボンディングワイヤ５２の変形に伴う不均一な抗力によって固体撮像素子３８が傾いたりすることを防ぐことができる。また、図１４に示したように、薄板状部材５０の鉛直方向の変位に対する剛性を静電アクチュエータとして機能する薄板状部材１６よりも小さくすることは、薄板状部材５０の剛性が静電アクチュエータの動作を妨げる度合いが少なくなる点で特に望ましい。
【００５４】
また、薄板状部材１６及び５０は過冷却液体域を有する非晶質合金で構成されており、上記第１実施形態において説明したように微細な渦巻き形状のバネ構造体を形成するのに適している。
【００５５】
なお、本実施形態にあっては、集積型静電アクチュエータ４４が固体撮像素子３８を駆動する形態となっているが、固体撮像素子以外の電子デバイスを駆動することも可能であることは言うまでもない。例えば、共焦点光学系の受光素子をパッケージ４０内で変位させることによって装置の小型化を図るなどの応用が考えられる。
【００５６】
以上実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形や応用が可能なことは勿論である。
【００５７】
例えば、各部分の寸法は一例を挙げただけであり、それに限定されるものではない。
【００５８】
また、静電アクチュエータつまり薄板状部材１６の配列個数も、上記個数に限定されるものではない。
【００５９】
（付記）
前記の具体的実施形態から、以下のような構成の発明を抽出することができる。
【００６０】
（１）  基板に固定されて配置された基板電極と、上記基板に対して少なくとも一端が固定され且つ上記基板電極に対向して配置された導電性を有する第１の薄板状部材とよりなり、上記基板電極と上記第１の薄板状部材の間に電圧を印加することで上記第１の薄板状部材を変位させる、複数の静電アクチュエータと、
上記複数の静電アクチュエータの第１の薄板状部材の上記基板に固定されていない部分によって支持された板状部材と、
を具備し、
上記基板電極と上記第１の薄板状部材との間に電圧を印加することで、上記板状部材を上記基板に対して実質的に鉛直な方向に変位させることを特徴とする集積型静電アクチュエータ。
【００６１】
（対応する実施形態）
この（１）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第１乃至第４実施形態が対応する。
【００６２】
（作用効果）
この（１）に記載の集積型静電アクチュエータでは、板状部材１２が、第１の薄板状部材としての一端がガラス基板１０に固定された例えば５２個の渦巻き形状の薄板状部材１６によって支持されており、各々の薄板状部材１６に対向する基板電極２４との静電気力によって、板状部材１２が変位する。
【００６３】
従って、この（１）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、静電アクチュエータとして機能する個々の薄板状部材１６は一端がガラス基板１０に固定されているので、この近傍において強い静電気力が作用して、比較的小さな駆動電圧で大きな変位が得られる。
【００６４】
（２）  上記第１の薄板状部材は、過冷却液体域を有する非晶質合金からなる渦巻き形状の電極であることを特徴とする（１）に記載の集積型静電アクチュエータ。
【００６５】
（対応する実施形態）
この（２）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第１乃至第４実施形態が対応する。
【００６６】
（作用効果）
この（２）に記載の集積型静電アクチュエータでは、薄板状部材１６が渦巻き形状で、過冷却液体域を有する非晶質合金よりなる。
【００６７】
従って、この（２）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、薄板状部材１６を、例えば、微細加工が可能なフォトリソグラフィー技術による平面構造で形成し、これを変形・応力緩和処理を行なう手法で、立体的な多数のバネ形状を一括して成形できる。過冷却液体域を有する非晶質合金は、この応力緩和処理を比較的低温で行なうことができる。
【００６８】
また、渦巻き形状とすることで、変位に際して横ずれの少ないアクチュエータが得られる。
【００６９】
（３）  上記第１の薄板状部材に対向する上記基板電極はそれぞれ、複数の部位に分割され、
その分割された各々の電極に対する印加電圧を独立に制御することを特徴とする（１）または（２）に記載の集積型静電アクチュエータ。
【００７０】
（対応する実施形態）
この（３）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第３実施形態が対応する。
【００７１】
（作用効果）
この（３）に記載の集積型静電アクチュエータでは、薄板状部材１６に対向する基板電極２４は４つの領域に分割されている。
【００７２】
従って、この（３）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、各々の基板電極に個別に電圧を印加することで、段階的に板状部材１２の変位を制御できる。
【００７３】
（４）  上記板状部材を支持する上記複数の静電アクチュエータを少なくとも２以上のグループに分け、
各々のグループに対して独立に印加電圧を制御することを特徴とする（１）乃至（３）の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【００７４】
（対応する実施形態）
この（４）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第１乃至第４実施形態が対応する。
【００７５】
（作用効果）
この（４）に記載の集積型静電アクチュエータでは、ガラス基板１０に形成された例えば５２個の薄板状部材は、例えば１６−１〜１６−５の５つのグループに分けられ、各々独立に電圧を印加することができる。
【００７６】
従って、この（４）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、各々の薄板状部材のグループに順次電圧を印加することで、印加する電圧値を段階的に変化させることなく、板状部材１２を段階的に変位させることができる。
【００７７】
（５）  上記複数の静電アクチュエータは、上記基板上の所定の部位に対して所定の対称性をもって少なくとも２以上のグループに区分されていることを特徴とする（４）に記載の集積型静電アクチュエータ。
【００７８】
（対応する実施形態）
この（５）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第１乃至第４実施形態が対応する。
【００７９】
（作用効果）
この（５）に記載の集積型静電アクチュエータでは、例えば薄板状部材１６−１のグループ乃至薄板状部材１６−５のグループは板状部材１２の所定部位に対して対称な配置となっている。
【００８０】
従って、この（５）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、各々のグループの静電アクチュエータである薄板状部材は、板状部材１２の所定部位に対して対称に配置されているため、駆動によって板状部材１２が傾くことはない。
【００８１】
（６）  上記板状部材が電力もしくは電気信号を入出力する電極を有する電子デバイスであるか、もしくはそれを固定した部材であることを特徴とする（１）乃至（５）の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【００８２】
（対応する実施形態）
この（６）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００８３】
（作用効果）
この（６）に記載の集積型静電アクチュエータでは、集積型静電アクチュエータ４４によって電子デバイス、例えば固体撮像素子３８が支持されており、固体撮像素子３８の電極パッド４８は集積型静電アクチュエータ４４の引き出し用電極パッド５４に電気的に接続されている。
【００８４】
従って、この（６）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、電子デバイスが集積型静電アクチュエータによって支持されることで、電子デバイスに薄型の変位機能を付加することができる。
【００８５】
（７）  上記電子デバイスが撮像素子であることを特徴とする（６）に記載の集積型静電アクチュエータ。
【００８６】
（対応する実施形態）
この（７）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００８７】
（作用効果）
この（７）に記載の集積型静電アクチュエータでは、集積型静電アクチュエータ４４によって固体撮像素子３８が支持されており、固体撮像素子３８の電極パッド４８は集積型静電アクチュエータ４４の引き出し用電極パッド５４に電気的に接続されている。
【００８８】
従って、この（７）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、固体撮像素子３８を集積型静電アクチュエータ４４によって支持することで、撮像モジュールの焦点調節機構を非常に薄い形状で実現できる。
【００８９】
（８）  上記電子デバイスのパッケージ部材に上記集積型静電アクチュエータが封止されていることを特徴とする（６）に記載の集積型静電アクチュエータ。
【００９０】
（対応する実施形態）
この（８）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００９１】
（作用効果）
この（８）に記載の集積型静電アクチュエータでは、パッケージ４０に組み込まれた固体撮像素子３８をマウントした集積型静電アクチュエータ４４は、カバーガラス７２によって封止されている。
【００９２】
従って、この（８）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、封止することによって、薄板状部材１６の酸化を防止し、信頼性が向上する。
【００９３】
（９）  上記基板の上記板状部材に対向する領域の外周部に配置され、上記基板に少なくとも一端が固定された、複数の第２の薄板状部材を更に具備し、
上記板状部材に形成された電極と上記第２の薄板状部材が電気的に接続されていることを特徴とする（６）乃至（８）の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【００９４】
（対応する実施形態）
この（９）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００９５】
（作用効果）
この（９）に記載の集積型静電アクチュエータでは、固体撮像素子３８の電極パッド４８はボンディングワイヤ５２を介して、第２の薄板状部材としての薄板状部材５０の頂面７０に電気的に接続されている。
【００９６】
従って、この（９）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、薄板状部材５０の鉛直方向の剛性をボンディングワイヤ５２のそれよりも十分に小さくすることによって、ボンディングワイヤ５２の剛性のために固体撮像素子３８の動作が妨げられたり、各々のボンディングワイヤ５２の変形に伴う不均一な抗力によって固体撮像素子３８が傾いたりすることを防ぐことができる。
【００９７】
（１０）  上記第２の薄板状部材が渦巻き形状の過冷却液体域を有する非晶質合金であることを特徴とする（９）に記載の集積型静電アクチュエータ。
【００９８】
（対応する実施形態）
この（１０）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【００９９】
（作用効果）
この（１０）に記載の集積型静電アクチュエータでは、薄板状部材５０は渦巻き形状で、過冷却液体域を有する非晶質合金よりなる。
【０１００】
従って、この（１０）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、薄板状部材５０を、例えば、微細加工が可能なフォトリソグラフィー技術による平面構造で形成し、これを変形・応力緩和処理を行なう手法で立体的な多数のバネ形状を一括して成形できる。過冷却液体域を有する非晶質合金は、この応力緩和処理を比較的低温で行なうことができる。
【０１０１】
また、渦巻き形状とすることで、変位に際して横ずれの少ないアクチュエータが得られる。
【０１０２】
（１１）  上記第２の薄板状部材の上記基板に対する鉛直方向への変位に対する剛性が、上記第１の薄板状部材のそれよりも小さいことを特徴とする（９）または（１０）に記載の集積型静電アクチュエータ。
【０１０３】
（対応する実施形態）
この（１１）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第４実施形態が対応する。
【０１０４】
（作用効果）
この（１１）に記載の集積型静電アクチュエータでは、配線経路の一部として用いられる薄板状部材５０の幅を静電アクチュエータとして用いられる薄板状部材１６の幅よりも小さくする。
【０１０５】
従って、この（１１）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、配線経路の一部として用いられる薄板状部材５０の幅を静電アクチュエータとして用いられる薄板状部材１６の幅よりも小さくすることで、薄板状部材５０の剛性が静電アクチュエータの動作を妨げる度合いが少なくなる。
【０１０６】
（１２）  上記板状部材の所定領域がレンズとして機能し、
上記基板の上記所定領域に対向する部位が光を透過することを特徴とする（１）乃至（５）の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【０１０７】
（対応する実施形態）
この（１２）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第１乃至第３実施形態が対応する。
【０１０８】
（作用効果）
この（１２）に記載の集積型静電アクチュエータでは、板状部材１２の所定領域、例えば中央部がレンズ状となっており、ガラス基板１０のこの中央部領域に対向する部位は透明である。これらが第１レンズ３４と第３レンズ３６の間に配置される。
【０１０９】
従って、この（１２）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、レンズ１４を含む板状部材１２をアクチュエータとして機能するガラス基板１０にマウントして撮像光学系の光路中に配置してレンズ１４を変位させるよう構成することで、薄型の焦点調節機能を得ることができる。
【０１１０】
また、矩形の板状部材１２における円形のレンズ１４の領域を除いた四隅の領域を有効に活用して多数の静電アクチュエータを組み込むことで、撮像モジュール全体の大きさを小さくすることが可能である。
【０１１１】
（１３）  上記板状部材の所定領域に開口が設けられ、
上記開口にレンズが固定され、
上記基板の上記所定領域に対向する部位が光を透過することを特徴とする（１）乃至（５）の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【０１１２】
（対応する実施形態）
この（１３）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第１実施形態が対応する。
【０１１３】
（作用効果）
この（１３）に記載の集積型静電アクチュエータは、板状部材１２の所定領域、例えば中央部に開口が設けられ、そこにレンズ１４が固定されおり、ガラス基板１０のこの開口に対向する部位は透明である。これらが第１レンズ３４と第３レンズ３６の間に配置される。
【０１１４】
従って、この（１３）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、レンズ１４を含む板状部材１２をアクチュエータとして機能するガラス基板１０にマウントして撮像光学系の光路中に配置してレンズを変位させるよう構成することで、薄型の焦点調節機能を得ることができる。
【０１１５】
また、矩形の板状部材１２における円形のレンズ１４の領域を除いた四隅の領域を有効に活用して多数の静電アクチュエータを組み込むことで、撮像モジュール全体の大きさを小さくすることが可能である。
【０１１６】
（１４）  上記板状部材の所定領域が透明であり、
上記所定領域にレンズが固定され、
上記基板の上記所定領域に対向する部位が光を透過することを特徴とする（１）乃至（５）の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【０１１７】
（対応する実施形態）
この（１４）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第１実施形態が対応する。
【０１１８】
（作用効果）
この（１４）に記載の集積型静電アクチュエータは、板状部材１２の所定領域、例えば中央部が透明に構成され、そこにレンズ１４が固定されており、ガラス基板１０のこの所定領域に対向する部位も透明となっている。これらが第１レンズ３４と第３レンズ３６の間に配置される。
【０１１９】
従って、この（１４）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、レンズ１４を含む板状部材１２をアクチュエータとして機能するガラス基板１０にマウントして撮像光学系の光路中に配置してレンズを変位させるよう構成することで、薄型の焦点調節機能を得ることができる。
【０１２０】
また、矩形の板状部材１２における円形のレンズ１４の領域を除いた四隅の領域を有効に活用して多数の静電アクチュエータを組み込むことで、撮像モジュール全体の大きさを小さくすることが可能である。
【０１２１】
（１５）  上記複数の静電アクチュエータの一つもしくは複数に対して、他の静電アクチュエータとは異なる静電気力を作用させることによって、上記板状部材を上記基板に対して傾けることを特徴とする（１）乃至（１４）の何れかに記載の集積型静電アクチュエータ。
【０１２２】
（対応する実施形態）
この（１５）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第２乃至第４実施形態が対応する。
【０１２３】
（作用効果）
この（１５）に記載の集積型静電アクチュエータでは、例えば外部リード電極１８−６〜１８−９の何れか一つに電圧を印加すると、これらに対応する薄板状部材１６−６のグループ乃至薄板状部材１６−９のグループは板状部材１２の所定の部位に対して各々非対称に配置されているので、板状部材１２はガラス基板１０に対して傾きを生じることになる。
【０１２４】
従って、この（１５）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、第１レンズ３４、第２レンズとして機能する板状部材１２の中央部のレンズ１４、第３レンズ３６によって構成される光学系の光軸に対して、組み立て誤差などの影響で固体撮像素子３８が傾いた場合にあって、使用時において常に外部リード電極１８−６〜１８−９の何れか一つもしくは複数に所定の電圧を印加することで、上記の光軸のズレを補正することが出来る。
【０１２５】
（１６）  上記複数の静電アクチュエータの第１のグループが更に複数のグループに分割され、
上記複数の静電アクチュエータの第２のグループが更に複数のグループに分割され、
上記第１のグループの静電アクチュエータへの電圧印加によって上記板状部材を上記基板に対して鉛直な方向に変位させ、
上記第２のグループの静電アクチュエータへの電圧印加によって、上記板状部材の上記基板に対する傾きを制御することを特徴とする（１５）に記載の集積型静電アクチュエータ。
【０１２６】
（対応する実施形態）
この（１６）に記載の集積型静電アクチュエータに関する実施形態は、第２乃至第４実施形態が対応する。
【０１２７】
（作用効果）
この（１６）に記載の集積型静電アクチュエータでは、例えば外部リード電極１８−０を接地して外部リード電極１８−１〜１８−４の何れかに電圧を印加すると、これらに対応する薄板状部材１６−１のグループ乃至薄板状部材１６−４のグループは板状部材１２の所定の部位に対して各々対称に配置されているので、板状部材１２はガラス基板１０に対して平行な方向に変位する。一方、外部リード電極１８−６〜１８−９の何れか一つに電圧を印加すると、これらに対応する薄板状部材１６−６のグループ乃至薄板状部材１６−９のグループは板状部材１２の所定の部位に対して各々非対称に配置されているので、板状部材１２はガラス基板１０に対して傾きを生じることになる。
【０１２８】
従って、この（１６）に記載の集積型静電アクチュエータによれば、第１レンズ３４、第２レンズとして機能する板状部材１２の中央部のレンズ１４、第３レンズ３６によって構成される光学系の光軸に対して、組み立て誤差などの影響で固体撮像素子３８が傾いた場合にあって、使用時において常に外部リード電極１８−６〜１８−９の何れか一つもしくは複数に所定の電圧を印加することで、上記の光軸のズレを補正することが出来る。このように板状部材１２の所定部位に対して対称に配置されたグループの薄板状部材１６に対して静電気力を作用させることによって板状部材１２を並進駆動させて、板状部材１２の所定部位に対して対称に配置されたグループ（この場合は一つであっても良い）の薄板状部材１６に対して静電気力を作用させることによって板状部材１２に傾きを与えることが可能である。この傾きは、上記のように初期の組み付け誤差の補正に用いることができる。あるいは、個々の薄板状部材１６の形状バラツキによって、薄板状部材１６の板状部材１２の所定部位に対して対称に配置されたグループに静電気力を作用させても板状部材１２に若干の傾きが生じる場合に、薄板状部材１６の板状部材１２の所定部位に対して非対称に配置されたグループに静電気力を印加することでこれを補正することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１２９】
【図１】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係る集積型静電アクチュエータを用いたレンズ駆動機構を示す斜視図であり、（Ｂ）は静電アクチュエータとして機能する個々の薄板状部材の詳細な構成を示す図である。
【図２】図１（Ａ）中に記された矢印の方向から見た側面図である。
【図３】図１（Ａ）に示す状態から板状部材を取り除いた状態を示した図である。
【図４】（Ａ）は図１（Ｂ）の上面図であり、（Ｂ）は薄板状部材の図示を省略した図である。
【図５】（Ａ）は図４（Ａ）に示した直線Ａ−Ａ’の断面図であり、（Ｂ）は第１実施形態に係る集積型静電アクチュエータを用いた実際の焦点調整機能付き超小型撮像モジュールの光学系の断面模式図である。
【図６】図１（Ａ）で示した集積型静電アクチュエータから板状部材を取り除いた状態を示す図である。
【図７】本発明の第２実施形態に係る集積型静電アクチュエータの板状部材を取り除いた状態を示す図である。
【図８】（Ａ）は本発明の第３実施形態に係る集積型静電アクチュエータにおける個々の静電アクチュエータの詳細図であり、（Ｂ）は（Ａ）から薄板状部材を取り除いた状態での上面図である。
【図９】第３実施形態に係る集積型静電アクチュエータの板状部材を取り除いた状態を示す図である。
【図１０】本発明の第４実施形態に係る集積型静電アクチュエータを組み込んだ焦点調節機構付き撮像モジュールの構成を示す斜視図である。
【図１１】図１０の焦点調節機構付き撮像モジュールの上面図である。
【図１２】図１０中に破線の矩形で示した領域の拡大図である。
【図１３】図１０に示す状態から固体撮像素子及びボンディングワイヤを取り除いた状態を示す図である。
【図１４】図１３中に破線の矩形で囲んで示す領域の拡大図である。
【図１５】（Ａ）は第４実施形態に係る集積型静電アクチュエータの上面図であり、（Ｂ）は第４実施形態に係る集積型静電アクチュエータを組み込んだ焦点調節機構付き撮像モジュールの断面模式図である。
【図１６】駆動用電極パッドとパッケージのリード端子との接続を説明するための焦点調節機構付き撮像モジュールの上面図である。
【符号の説明】
【０１３０】
１０…ガラス基板、  １２…板状部材、  １４…レンズ、  １６，１６−１〜１６−９，５０…薄板状部材、  １８，１８−０〜１８−９…外部リード電極、  ２０，６６…根元部分、  ２２…頂面部分、  ２４，２４−１〜２４−４…基板電極、  ２６，２６−１〜２６−４…基板電極引き出し配線、  ２８…コンタクト孔、  ３０…可動電極引き出し配線、  ３２…表層絶縁膜、  ３８…固体撮像素子、  ４０…パッケージ、  ４２，４２−０〜４２−１４…リード端子、  ４４…集積型静電アクチュエータ、  ４６…矩形領域、  ４８，５６，６２…電極パッド、  ５２，５８，６４…ボンディングワイヤ、  ５４…引き出し用電極パッド、  ６０，６０−０〜６０−８…駆動用電極パッド、  ６８…基板、  ７０…頂面、  ７２…カバーガラス、  ７４…撮像レンズ群。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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