(57)【要約】【課題】  高周波帯域においても優れた透磁率と飽和磁化強度とを有する低損失の複合磁性粒子粉末成形体の製造方法を提供すること。【解決手段】  金属磁性粒子であるパーマロイ粒子１の表面が酸化物磁性被膜であるフェライト被膜２により被覆されている複合磁性粒子の粉末をグラファイト製の型に充填し、放電プラズマ焼結装置を用いて真空中で焼結成形する。なお、焼結反応された成形体の相対密度を８０〜９６％の範囲に制御することが好ましい。また、金属磁性粒子の材料としてはパーマロイの他に、鉄、コバルト、ニッケルなどの単金属やスーパーアロイ、若しくはこれらの金属をベースとする合金などであってもよい。さらに、フェライト被膜の材料としては、ＮｉＺｎフェライト、Ｃｏフェライト、Ｍｇフェライト、ＣｏＺｎフェライトやこれらのフェライトを主成分とする複合フェライトなどであってもよい。【選択図】  図３
2005068526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属磁性粒子の表面を酸化物磁性被膜により被覆して複合磁性粒子を生成する第１のステップと、
前記複合磁性粒子の粉末を放電プラズマ焼結成形することにより、前記複合磁性粒子同士が前記酸化物磁性被膜を介してネック形成されて物理的に結合するとともに前記金属磁性粒子同士を磁気的に結合させる第２のステップと、
を備えていることを特徴とする複合磁性粒子粉末成形体の製造方法。
【請求項２】
前記第２のステップにおける放電プラズマ焼結成形は、前記複合磁性粒子の粉末に超微粒子フェライト粉末を混合させて実行されるものであることを特徴とする請求項１に記載の複合磁性粒子粉末成形体の製造方法。
【請求項３】
前記超微粒子のフェライトは、ＮｉＺｎフェライト、Ｃｏフェライト、Ｍｇフェライト、ＣｏＺｎフェライトあるいはこれらのフェライトを主成分とする複合フェライトであることを特徴とする請求項２に記載の複合磁性粒子粉末成形体の製造方法。
【請求項４】
前記第２のステップにおける放電プラズマ焼結成形は、成形体の相対密度が８０％以上９６％以下の範囲となるように実行されることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の複合磁性粒子粉末成形体の製造方法。
【請求項５】
前記金属磁性粒子は、鉄、コバルトまたはニッケル金属あるいはこれらの金属をベースとする合金または超合金からなることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の複合磁性粒子粉末成形体の製造方法。
【請求項６】
前記酸化物磁性被膜は、フェライトからなることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の複合磁性粒子粉末成形体の製造方法。
【請求項７】
前記酸化物磁性被膜のフェライトは、ＮｉＺｎフェライト、Ｃｏフェライト、Ｍｇフェライト、ＣｏＺｎフェライトあるいはこれらのフェライトを主成分とする複合フェライトであることを特徴とする請求項６に記載の複合磁性粒子粉末成形体の製造方法。
【請求項８】
前記第１のステップにおける被覆は超音波励起フェライトメッキ法により実行されることを特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載の複合磁性粒子粉末成形体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複合磁性粒子粉末成形体の製造方法に関し、より詳細には、高周波帯域においても優れた透磁率と飽和磁化強度とを有する低損失の複合磁性粒子粉末成形体の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年の各種電子機器の小型化・軽量化に伴い、これらの電子機器に搭載されるスイッチング電源などの各種部品についても小型化・軽量化が要求されている。このような小型化・軽量化は、薄型化が求められるノート型パソコン、小型携帯機器、薄型ＣＲＴあるいはフラットパネルディスプレイなどに用いられるスイッチング電源で特に強く要求されている。しかしながら、従来のスイッチング電源は、その主要な構成部品であるトランス、リアクトルなどの磁気部品が大きな体積を占めざるを得ず、小型化・軽量化・薄型化には限界があった。
【０００３】
このようなスイッチング電源に使用されるトランスやリアクトルなどの磁気部品用部材には、従来、センダストやパーマロイなどの金属磁性材料や、フェライトなどの酸化物磁性材料が使用されていた。金属磁性材料は高い飽和磁束密度と透磁率とを有する反面、電気抵抗率が低いために、特に高周波帯域における渦電流損失が大きくなってしまい、高速動作や高周波駆動が求められる近年の磁気部品の小型化への障害となる。一方、酸化物磁性材料は、金属磁性材料に比べて電気抵抗率が高いために高周波帯域で生じる渦電流損失が小さいものの、飽和磁束密度が小さいためにその体積を小さくすることが困難である。磁気部品用部材として金属磁性材料または酸化物磁性材料のいずれの磁性材料を用いる場合も、磁性体コアの体積がインダクタンス値を決定づける主要因であり、磁性材料そのものの磁気特性を向上させない限り、磁気部品の小型化・軽量化・薄型化は困難となっていた。
【０００４】
このような問題に鑑みて、最近では、高い飽和磁束密度と透磁率とを有する金属磁性粒子の表面に、電気抵抗率の高い酸化物磁性材料の被膜を形成した複合磁性材料が提案されるようになってきた。このような複合磁性材料では、酸化物磁性被膜の厚さを厚くしすぎると透磁率や飽和磁束密度などの磁気特性の低下が生じるため、金属磁性粒子相互間の絶縁が得られる範囲で、被膜を均一に薄く形成させることが重要とされる。
【０００５】
例えば、特許文献１には、金属磁性材料の表面に高透磁率の金属酸化物の被膜を形成した高透磁率磁性材料が提案されている。また、特許文献２には、１〜１０μｍの金属磁性粒子の表面をＭ−ＦｅｘＯ４（ただし、ＭはＮｉ、Ｍｎ、Ｚｎの何れかであり、ｘは２以下である）で組成表記されるスピネル組成の金属酸化物磁性材料で被覆した高密度焼結磁性体が提案されており、このような高密度焼結磁性体を得るために、金属磁性材料の磁気特性を損なわない温度で熱処理を施した後に熱間静水圧焼成するとの製造方法が開示されている。また、特許文献３には、金属または金属間化合物の磁性体微粒子粉末の表面をソフトフェライト層で被覆してこの微粒子粉末を圧縮成形し、磁性体微粒子相互間の磁路をソフトフェライト層を介して形成した複合磁性材料の発明が開示されている。さらに、特許文献４には、軟磁性金属粒子に高抵抗の軟磁性物質を被覆し、これをプラズマ活性化焼結して複合軟磁性材料製の磁性コアを製造する方法が開示されており、この方法で得られた磁性コアは、高抵抗軟磁性物質被覆の厚さを適正に設定することでコアロスを所望の値とすることができるとされている。
【０００６】
【特許文献１】特開昭５３−９１３９７号公報
【特許文献２】特開昭５６−３８４０２号公報
【特許文献３】特開２００３−８６４１５号公報
【特許文献４】特開平５−４７５４１号公報
【非特許文献１】鴇田正雄、「ニューセラミックス」、Ｎｏ．１０、ｐ．４３〜５３  （１９９７）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来の酸化物磁性材料被膜を有する金属磁性材料の成形は、特許文献１および特許文献２に記載されている方法を含め、圧縮成形法や真空焼結法あるいは還元雰囲気焼結法などによる常圧焼結や、ホットプレス焼結法やＨＩＰ焼結法などによる加圧焼結により行われていた。
【０００８】
図１は圧縮成形法で成形した際の複合磁性粒子同士の接触状態の例を説明するための図で、この図において、１は金属磁性粒子であるパーマロイ粒子、２は酸化物磁性被膜であるフェライト被膜、そして、４はフェライト被膜されたパーマロイ粒子たる複合磁性粒子同士の接触部である。圧縮成形法で成形を行うと、この図に示すように、これらの複合磁性粒子の表面は曲面であるために粒子同士が点接触し、パーマロイ粒子１相互間の磁気的結合部分が極端に小さくなって透磁率が低くなってしまう。このような複合磁性粒子を塑性変形させて粒子同士の接触面積を大きくし透磁率を高めることも可能であるが、複合磁性粒子が塑性変形する際にフェライト被膜２が破壊され、パーマロイ粒子１とフェライト被膜２の間で剥離が生じたり、フェライト被膜２にクラックが入ったりする。また、微視的に見るとフェライト被膜２の凹凸により、複合磁性粒子同士の接触部は点接触であるため、透磁率の向上には限界があった。そこで、焼結により複合磁性粒子相互間で熱拡散反応を起させ、磁性粒子間での磁気的結合を損なうことなく粒子同士を物理的に結合する成形方法が提案されている。
【０００９】
図２は、焼結成形法で成形した際の複合磁性粒子同士の接触状態の例を説明するための図で、この図において、１は金属磁性粒子であるパーマロイ粒子、２は酸化物磁性被膜であるフェライト被膜、そして、５はフェライト被膜されたパーマロイ粒子たる複合磁性粒子同士の反応部である。この図に示すように焼結成形法によれば、焼結により複合磁性粒子のフェライト被膜２相互間で熱拡散反応が生じてフェライト被膜２が破壊されることなく反応し、微視的に見たフェライト被膜２の凹凸による複合磁性粒子同士の接触部も点接触から一体化した面での接触となる。その結果、複合磁性粒子間での磁気的結合を損なうことなく粒子同士を物理的に結合することが可能となる。
【００１０】
しかしながら、このような焼結に要する温度は９００〜１２００℃であり、また、焼結時間は１時間以上が必要とされ、このような高温で１時間以上複合磁性粒子を保持すると、酸化物磁性被膜であるフェライト被膜２に含まれる酸素原子が金属磁性粒子であるパーマロイ粒子１側に拡散してフェライト被膜２が還元されてしまう。そのため、フェライト被膜２はその酸素欠損のために電気抵抗率が低下し、結果的に渦電流損失が大きくなってしまうこととなる。また、焼結条件を成形体の全域に渡って均一とすることが事実上困難であるために、焼結部位によっては複合磁性粒子の結晶成長が促進され、フェライト被膜２を突き破ってパーマロイ粒子１同士が反応し、電気抵抗率が低下して結果的に磁気部品に渦電流損失が大きくなってしまうという問題も生じる。逆に、フェライト被膜２が化学的に安定に維持される温度である２００〜５００℃程度の低温で成形を行っても、複合磁性粒子同士の焼結は進行せず磁気的結合の増大は期待できない。
【００１１】
特許文献４に記載のようにプラズマ活性化焼結法を用いると、６００〜１２００℃の温度で１〜１０分間程度の短時間で焼結成形することができ、酸化物磁性被膜から金属磁性粒子への酸素原子の拡散を防ぐことができる。また、非特許文献１に記載のように、放電プラズマ焼結では、加圧下でのプラズマの放電により粒子界面が活性化されているために、他の焼結方法に比較して結晶成長を抑えて緻密化させることができる。しかしながら、酸化物磁性被膜の厚みが薄い場合には、僅かの結晶成長によっても酸化物磁性被膜を突き破って金属磁性粒子同士が反応してしまい、電気抵抗率が低下して結果的に渦電流損失が大きくなる。また、酸化物磁性被膜を厚くすると透磁率や飽和磁束密度などが低下してしまう。
【００１２】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、高周波帯域においても優れた透磁率と飽和磁化強度とを有する低損失の複合磁性粒子粉末成形体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、このような目的を達成するために、第１の発明は、金属磁性粒子の表面を酸化物磁性被膜により被覆して複合磁性粒子を生成する第１のステップと、前記複合磁性粒子の粉末を放電プラズマ焼結成形することにより、前記複合磁性粒子同士が前記酸化物磁性被膜を介してネック形成されて物理的に結合するとともに前記金属磁性粒子同士を磁気的に結合させる第２のステップと、を備えていることを特徴とする複合磁性粒子粉末成形体の製造方法である。
【００１４】
第２の発明は、第１の発明において、前記第２のステップにおける放電プラズマ焼結成形は、前記複合磁性粒子の粉末に超微粒子フェライト粉末を混合させて実行されるものであることを特徴とする。好ましくは、前記超微粒子のフェライトは、ＮｉＺｎフェライト、Ｃｏフェライト、Ｍｇフェライト、ＣｏＺｎフェライトあるいはこれらのフェライトを主成分とする複合フェライトである。
【００１５】
第１および第２の発明において、好ましくは、前記第２のステップにおける放電プラズマ焼結成形は、成形体の相対密度が８０％以上９６％以下の範囲となるように実行される。また、好ましくは、前記金属磁性粒子は、鉄、コバルトまたはニッケル金属あるいはこれらの金属をベースとする合金または超合金からなる。さらに、好ましくは、前記酸化物磁性被膜はフェライトからなり、このフェライトは、ＮｉＺｎフェライト、Ｃｏフェライト、Ｍｇフェライト、ＣｏＺｎフェライトあるいはこれらのフェライトを主成分とする複合フェライトである。
【発明の効果】
【００１６】
本発明により、フェライト被膜の絶縁性能を維持して渦電流損失を抑制し、かつ、金属磁性粒子相互間での磁気的結合を実現することができ、これにより、高周波帯域においても高い透磁率と高い飽和磁化強度を有する低損失の複合磁性粒子粉末成形体を提供することが可能となる。
【００１７】
また、このような複合磁性粒子粉末成形体をトランスなどの部品の磁気部材として用いることとすれば、従来の磁気部材を用いる場合と比較して、小型化・薄型化が可能になる。これにより、ノート型パソコン、小型携帯機器、簿型ＣＲＴ、テレビなどの電源として従来にない薄型のトランスやスイッチング電源を実現することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【実施例１】
【００１９】
図３は、本発明の粉末成形体をなす複合磁性粒子の構造例を説明するための図で、この複合磁性粒子は、金属磁性粒子であるパーマロイ粒子１の表面が、酸化物磁性被膜であるフェライト被膜２により被覆されている。この複合磁性粒子の作製は、超音波励起フェライトメッキ法（例えば、特許文献３参照）により、以下のように実行した。先ず、金属磁性粒子としてアトマイズ法により作製した直径１０μｍの球形パーマロイ粒子を用い、これをガラス製の反応容器中にＦｅＣｌ２、ＮｉＣｌ２、ＺｎＣｌ２の混合水溶液中に浸漬させ、酸化剤であるＮａＮＯ２、および、ｐＨコントロール剤であるＮＨ４ＯＨを所定量供給しながら反応溶液である混合水溶液のｐＨ値を６．０に維持する。この時、反応溶液の温度は熱浴により８０℃に保持し、周波数１９．５ｋＨｚの超音波ホーンにより反応溶液に超音波を与え、この状態で３０分間保持する。その後、球形パーマロイ粒子の粉末を水洗し、環境温度６０℃の大気中で１時間乾燥させて採取した。これにより、直径１０μｍの球形パーマロイ粒子の表面に平均厚さ０．１μｍのＮｉＺｎフェライト被膜が形成される。
【００２０】
こうして得られた複合磁性粒子をグラファイト製の型に充填し、放電プラズマ焼結装置を用いて、真空中で、加圧力１ｔｏｎ／ｃｍ２、焼結温度（型表面温度）６００℃、焼結保持時間３分の条件で焼結を実行した。このようにして、外径１０ｍｍ、内径Φ４ｍｍ、厚さ５ｍｍのリング型のコアを作製した。
【００２１】
図４および図５は、このようにして得られたコアの断面をＳＥＭ観察した際の複合磁性粒子同士の接触状態を説明するための図で、図４は低倍率像、図５は高倍率像である。図４に示すように、焼結反応はフェライト被膜２部分で生じており、フェライトのネック形成部６のように、金属磁性粒子１同士が直接接触することなくフェライト被膜２を介して複合磁性粒子同士がネック形成されているのが確認された。また、図５に示すように、フェライト被膜２を突き破って金属磁性粒子１同士が反応している箇所は殆ど認められなかった。
【実施例２】
【００２２】
実施例１で説明したフェライト被膜パーマロイ粒子粉末を、放電プラズマ焼結装置を用いて、焼結温度（型表面温度）を３００〜１０００℃、焼結保持時間を１〜１０分の各時間で焼結させ、外径１０ｍｍ、内径Φ４ｍｍ、厚さ５ｍｍのリング型のコアを作製した（表１の比較例２ａ〜ｈ）。
【００２３】
図６および図７は、このようにして得られた本実施例のコアの断面をＳＥＭ観察した際の複合磁性粒子同士の接触状態を説明するための図で、焼結温度が低い試料および焼結保持時間が短い試料では粒子同士の焼結は進んでおらず、図６に示すように、粒子同士は点接触となってしまっていた。これとは逆に、焼結温度が高い試料および焼結保持時間が長い試料では、図７に示すように、結晶粒成長の進行により、粒子同士の反応部５のフェライト被膜２を突き破って金属磁性粒子１同士が反応している箇所が多数観察された。
【００２４】
これまで説明してきた実施例１および２で得られたリング型コアに絶縁被覆された導体線を巻きつけてインダクタを作製し、Ｂ−ＨトレーサおよびＬＣＲメータを用いて、飽和磁束密度Ｂｓ、周波数５ＭＨｚでの比透磁率μｓおよびμ”を測定した。ここで、μ”は、比透磁率μｓを複素透磁率（μ’−ｉμ”）で表記した場合の虚部であり、この値は磁気特性の損失の指標となる。交流磁界中では磁束密度が磁界の変化に追いつかずに磁界波の位相が遅れるため、透磁率μの実数項μ’と虚数項μ”とに分けて考えることになる。このうち、実数項μ’は磁界と同じ位相の磁束密度成分に関するもので、虚数項μ”は位相の遅れを含む指標であり磁気エネルギの損失分に相当する。一般に、エネルギ損失は熱エネルギとなって発熱される。また、アルキメデス法により密度測定も行った。これらの測定により得られた結果を表１に示す。
【００２５】
【表１】
2005068526.tif 000003
【００２６】
この表に示した結果から明らかなように、焼結温度および焼結保持時間を適正に設定してフェライト被膜部分同士を焼結反応させることにより、好ましい磁気特性を有する複合磁性粒子粉末成形体が得られることが分かる。これは、焼結条件の適正化により、フェライト被覆を介して金属磁性粒子同士がネック形成され、これにより、金属磁性粒子同士を磁気的に結合させた状態で、複合磁性粒子同士が物理的に結合されるためである。これにより、高周波帯域においても損失の小さい磁気部品を得ることができる。
【実施例３】
【００２７】
実施例１で作製したフェライト被膜パーマロイ粒子粉末と、平均粒径１０ｎｍの超微粒子ＮｉＺｎフェライト粉末とを、重量比１００：５の割合で混合し、この混合粉末をグラファイト製の型に充填し、実施例１と同条件で焼結を実行し、外径１０ｍｍ、内径Φ４ｍｍ、厚さ５ｍｍのリング型のコアを作製した。
【００２８】
このようにして得られたコアの断面をＳＥＭ観察した結果、図８に示すように、焼結反応はフェライト被膜２部分で生じておりフェライトのネック形成部６のように、金属磁性粒子１同士が直接接触することなくフェライト被膜２を介して複合磁性粒子同士がネック形成されているのが確認され、また、フェライト被膜２を突き破って磁性金属粒子１同士が反応している箇所は殆ど認められなかった。なお、図８中に符号３で示したものは、超微粒フェライト粒子である。
【実施例４】
【００２９】
実施例３で説明した混合粉末を、放電プラズマ焼結装置を用いて、焼結温度（型表面温度）を３００〜１０００℃、焼結保持時間を１〜１０分の各時間で焼結させ、外径１０ｍｍ、内径Φ４ｍｍ、厚さ５ｍｍのリング型のコアを作製した（表２の比較例４ａ〜ｈ）。
【００３０】
図９および図１０は、このようにして得られた本実施例のコアの断面をＳＥＭ観察した際の複合磁性粒子同士の接触状態を説明するための図で、焼結温度が低い試料および焼結保持時間が短い試料では粒子同士の焼結は進んでおらず、図９に示すように、粒子同士は点接触となってしまっていた。これとは逆に、焼結温度が高い試料および焼結保持時間が長い試料では、図１０に示すように、結晶粒成長の進行により、粒子同士の反応部５のフェライト被膜２を突き破って金属磁性粒子１同士が反応している箇所が多数観察された。
【００３１】
これまで説明してきた実施例３および４で得られたリング型コアに絶縁被覆された導体線を巻きつけてインダクタを作製し、Ｂ−ＨトレーサおよびＬＣＲメータを用いて、飽和磁束密度Ｂｓ、周波数５ＭＨｚでの比透磁率μｓおよびμ”を測定した。また、アルキメデス法により密度測定も行った。これらの測定により得られた結果を表２に示す。
【００３２】
【表２】
2005068526.tif 000004
【００３３】
この表に示した結果から明らかなように、焼結温度および焼結保持時間を適正に設定してフェライト被膜部分およびフェライト微粒子同士を焼結反応させることにより、好ましい磁気特性を有する複合磁性粒子粉末成形体が得られることが分かる。これは、焼結条件の適正化により、フェライト被覆を介して金属磁性粒子同士がネック形成され、これにより、金属磁性粒子同士を磁気的に結合させた状態で、複合磁性粒子同士が物理的に結合されるためである。これにより、高周波帯域においても損失の小さい磁気部品を得ることができる。
【００３４】
このように、本発明の複合磁性粒子粉末成形体によれば、高周波帯域においても低損失の磁気部品を得ることが可能となる。また、表１および表２に示した結果からは、焼結反応された成形体の相対密度を８０〜９６％の範囲に制御することが好ましいことが分かる。なお、本発明において、金属磁性粒子の材料としては透磁率が高い金属材料であればよく、パーマロイの他に、鉄、コバルト、ニッケルなどの単金属やスーパーアロイ、若しくはこれらの金属をベースとする合金などであってもよい。また、フェライト被膜および添加する超微粒子フェライト粉末の材料としては、高い電気抵抗率を有するＮｉＺｎフェライト、Ｃｏフェライト、Ｍｇフェライト、あるいは、高い飽和磁化を有するＣｏＺｎフェライト、さらには、これらのフェライトを主成分とする複合フェライトなどであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、高周波帯域においても低損失の磁気部品を得ることが可能な複合磁性粒子粉末成形体の提供を可能とする。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】圧縮成形法で成形した際の複合磁性粒子同士の接触状態の例を説明するための図である。
【図２】焼結成形法で成形した際の複合磁性粒子同士の接触状態の例を説明するための図である。
【図３】本発明の粉末成形体をなす複合磁性粒子の構造例を説明するための図である。
【図４】実施例１で得られたコアの断面をＳＥＭ観察した際の複合磁性粒子同士の接触状態を説明するための図である。
【図５】実施例１で得られたコアの断面をＳＥＭ観察した際の複合磁性粒子同士の接触状態を説明するための図である。
【図６】実施例２で得られた本実施例のコアの断面をＳＥＭ観察した際の複合磁性粒子同士の接触状態を説明するための図である。
【図７】実施例２で得られた本実施例のコアの断面をＳＥＭ観察した際の複合磁性粒子同士の接触状態を説明するための図である。
【図８】実施例３で得られた本実施例のコアの断面をＳＥＭ観察した際の複合磁性粒子同士の接触状態を説明するための図である。
【図９】実施例４で得られた本実施例のコアの断面をＳＥＭ観察した際の複合磁性粒子同士の接触状態を説明するための図である。
【図１０】実施例４で得られた本実施例のコアの断面をＳＥＭ観察した際の複合磁性粒子同士の接触状態を説明するための図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  金属磁性粒子
２  酸化物磁性被膜
３  超微粒フェライト粒子
４  フェライト被膜されたパーマロイ粒子たる複合磁性粒子同士の接触部
５  フェライト被膜されたパーマロイ粒子たる複合磁性粒子同士の反応部
６  フェライトのネック形成部
【図１】
2005068526.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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