(57)【要約】【課題】従来の多ピンワイヤプローブを用いて簡単に測定ピッチの変更が可能なワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具及びピッチ変換治具を提供することを目的とする。【解決手段】ワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具は、ワイヤプローブ１０とプローブガイド板２０とワイヤ固定板３０と固定枠４０とで構成されており、ワイヤプローブ１０はワイヤ固定板３０に接着剤５１等で固定され、ワイヤプローブ１０の測定ピッチはプローブガイド板２０にて設定され、ピッチ変換治具を用いてワイヤプローブ１０の測定ピッチを変更し、プローブガイド板２０を取り替えることにより測定ピッチの変更ができるようになっている。【選択図】図１
2005134285.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤプローブガイド板、ワイヤ固定板、固定枠及びマトリックス状に配設されたワイヤプローブからなる検査治具であって、ピッチ変換治具を用いて前記ワイヤプローブの測定ピッチを変更し、前記ワイヤプローブガイド板を取り替えることによりワイヤプローブの測定ピッチを変更できるようにしたことを特徴とするワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具。
【請求項２】
請求項１に記載のピッチ変換治具であって、前記ピッチ変換治具は、先端部に変更前の測定ピッチの開口溝が、先端部から所定の距離隔てて、変更後の測定ピッチの櫛状の溝が形成されていることを特徴とするピッチ変換治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント基板等、各種通電検査に使用する多ピンワイヤプローブで、このプローブ間ピッチが可変できるワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板の電通検査で、基板の多端子に、全て一度に給電する際は、基板のパターンに応じた多ピンワイヤプローブを基板個別に製作して対応していたが、特にBGA基板の場合のピン配列はマトリックス形状で、ピン数とピン間隔が異なるだけのものを個別に製作していた。
【０００３】
従来、BGA基板検査用の給電プローブは、グリッド（マトリックス）状に並んだ基板のパッドに、同じ配列の多ピン給電プローブを押し当てて、そこに給電し、基板の検査を行っている。ピン数は、正方形に配列されるため、３２×３２＝１０２４ピンから６４×６４＝４０９６ピン等があり、ピン間隔は０.４ｍｍから１ｍｍと様々である。
【０００４】
実際の電通検査は、BGA基板に合わせてプローブを個別に製作し、対応している。この方法では、１０２４ピン（３２×３２）で０.５ｍｍピッチと０.６ｍｍピッチの違いでも、それぞれの対応プローブを製作して検査を行っている。スプリングプローブでは、１ピンあたり１０００円が相場で、１０００ピンとなると１００万円のコストが基板毎にかかって、問題となっている。
【０００５】
上記問題点を緩和するために、プローブの配列ピッチを無段階に変更し、同じ試験治具で試験できるピッチ可変構造が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
しかしながら、構造的に複雑で、価格も高いのが問題である。
【特許文献１】特開平０６−２２２１１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑み、鋭意検討した結果考案されたもので、従来の多ピンワイヤプローブを用いて簡単に測定ピッチの変更が可能なワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具及びピッチ変換治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、ワイヤプローブガイド板、ワイヤ固定板、固定枠及びマトリックス状に配設されたワイヤプローブからなるピッチ可変検査治具であって、ピッチ変換治具を用いて前記ワイヤプローブの測定ピッチを変更し、前記ワイヤプローブガイド板を取り替えることによりワイヤプローブの測定ピッチを変更できるようにしたことを特徴とするワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具としたものである。
【０００８】
また、請求項２においては、請求項１に記載のピッチ変換治具であって、前記ピッチ変換治具は、先端部に変更前の測定ピッチの開口溝が、先端部から所定の距離隔てて、変更後の測定ピッチの櫛状の溝が形成されていることを特徴とするピッチ変換治具としたものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具は、ピッチ変換治具を用いて測定ピッチを変更し、ワイヤプローブガイド板を交換することで新ピッチの検査治具が製作できるため、従来の検査治具の半分以下のコストに抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は、本発明のワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具の一実施例を模式的に示す斜視図である。図２は、図１の斜視図をＡ−Ａ’線で切断した模式構成断面図である。
【００１１】
本発明のワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具は、ワイヤプローブ１０とプローブガイド板２０とワイヤ固定板３０と固定枠４０とで構成されており、ワイヤプローブ１０はワイヤ固定板３０に接着剤５１等で固定され、ワイヤプローブ１０の測定ピッチはプローブガイド板２０にて設定され、ピッチ変換治具を用いて測定ピッチを変更し、プローブガイド板２０を取り替えることにより測定ピッチの変更ができるようになっている。また、ワイヤプローブ１０のピッチＰは、０．５ｍｍ前後が多く使用され、同一ピッチ可変検査治具で、可変できる測定ピッチの可変範囲は±０．１〜０．２ｍｍである。
【００１２】
プローブガイド板２０及びワイヤ固定板３０は、絶縁性で、機械的な強度を有する材料であれば各種の材料が使用できる。固定枠４０は、機械的に強度のある材料であればいずれの材料でも使用可能である。ワイヤプローブ１０は、通常０．１ｍｍφ前後のタングステンワイヤが使用され、先端部は、電気的接触を良くするため、ニッケル、金皮膜等が形成される場合もある。ワイヤプローブ１０はリードを介して測定機器に電気的に接続されている。
【００１３】
図３及び図４は、本発明のピッチ変換治具の一例を示す模式平面図である。
図３のピッチ変換治具７０ａは、ワイヤプローブ１０の測定ピッチＰ1をＰ2に変更（増加）するための治具である。また、図４のピッチ変換治具７０ｂは、ワイヤプローブ１０の測定ピッチＰ2をＰ1に変更（減少）するための治具である。ここで、Ｐ1とＰ2は、Ｐ2＞Ｐ1の関係になっている。
ピッチ変換治具７０ａ及びピッチ変換治具７０ｂは、所定厚の樹脂板、金属板等の板材を加工して作製され、変更前の測定ピッチの溝が先端部に形成されており、蛇行するようにして変更後の測定ピッチになるように櫛状の溝が所定の長さ形成されている。櫛状の溝の幅はワイヤプローブ１０の径より若干大きめに設定されている。櫛状の溝の加工法としては、パンチング成型、レーザー加工、エッチング加工等各種の加工法が適用できる。
ピッチ変換治具７０ａ及びピッチ変換治具７０ｂは、基本的構成は同じで、変更後の測定ピッチを増加させるか、減少させるかでピッチ変換治具の形状が若干異なる。
【００１４】
図５は、ピッチ変換治具７０ａを用いてワイヤプローブ１０の測定ピッチＰ1をＰ2に変更する状態を示す模式平面図である。
【００１５】
図６は、ピッチ変換治具７０ｂを用いてワイヤプローブ１０の測定ピッチＰ2をＰ1に変更する状態を示す模式平面図である。
【００１６】
いずれの場合もピッチ変換治具７０ａ及びピッチ変換治具７０ｂをいずれもＸ方向用とＹ方向用の2枚用いて、各ワイヤプローブ１０間に差し入れることで、ワイヤプローブ１０をＸ、Ｙ同じ測定ピッチにピッチ変更した事例で、この後上記プローブガイド板２０をセットし、変換冶具７０ａ及び変換冶具７０ｂをそれぞれ抜くことにより、測定ピッチが変更されたワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具を得ることができる。
【００１７】
図7は、ピッチ変換治具７０ａ及びピッチ変換治具７０ｂを用いて、Ｘ方向とＹ方向の測定ピッチを異なったピッチに変更した事例で、ピッチ変換治具７０ａをＹ方向に、ピッチ変換治具７０ｂをＸ方向に各ワイヤプローブ１０間に差し入れることで、Ｘ方向の測定ピッチをＰ1からＰ2に、Ｙ方向の測定ピッチをＰ2からＰ1にピッチ変更したもので、この後上記プローブガイド板２０をセットし、ピッチ変換冶具７０ａ及び変換冶具７０ｂを抜くことにより、それぞれ測定ピッチが変更されたワイヤプローブを用いたピッチ可変検査
治具を得ることができる
このように、本発明のピッチ変換治具を用いることにより、マトリックス状に配列され、かつ、同一ピッチ可変検査治具で可変ピッチ範囲が±０．１〜０．２ｍｍであれば、Ｘ、Ｙ方向任意の測定ピッチ変更が可能であり、ワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具の測定ピッチを容易に変更できる。
【００１８】
ここで、ピッチ変換治具で測定ピッチを変換して作製したワイヤプローブを用いた１０２４ピン（３２×３２）検査治具のワイヤプローブの挙動について説明する。
例えば、変換治具で当初測定ピッチが０．５ｍｍピッチの検査治具の測定ピッチを０．６ｍｍに変換した場合ワイヤプローブ１０は３．２（０．１ｍｍ×３２）ｍｍシフトし、センター振り分けでも１．６ｍｍシフトする。また、測定ピッチを０．７ｍｍに変換した場合ワイヤプローブ１０は６．４（０．２ｍｍ×３２）ｍｍシフトし、センター振り分けでも３．２ｍｍシフトする。このように、プローブガイド板２０で、ピッチ変更するとワイヤプローブ１０のシフトとそれに伴うワイヤプローブ１０のたわみが発生する。
測定ピッチを０．５から０．６ｍｍに変更した場合、ワイヤプローブ１０のシフトとたわみのワイヤプローブ長への影響は、ワイヤプローブ１０のワイヤ固定板３０からの垂直方向の突出量Ｌ1は、ワイヤプローブ１０の固定板３０からのワイヤプローブ長Ｌを３０ｍｍとした場合２９．９８ｍｍとなり、垂直方向の突出量差δＬ1は、０．０２ｍｍとなる。
また、測定ピッチを０．５から０．７ｍｍに変更した場合、ワイヤプローブ１０のシフトとたわみのワイヤプローブ長の影響は、ワイヤプローブ１０の固定板３０からの垂直方向の突出量Ｌ2は、ワイヤプローブ１０の固定板３０からの垂直方向の突出量Ｌを３０ｍｍとした場合２９．９５ｍｍとなり、垂直方向の突出量差δＬ2は、０．０５ｍｍとなる。
このように、同一ピッチ可変検査治具で、測定ピッチを０．１〜０．２ｍｍの範囲で変更しても、ワイヤプローブ１０の垂直直方向の突出量差δＬ1、δＬ2はワイヤプローブ長Ｌを３０ｍｍに対し０．０５ｍｍの範囲に収まり、検査治具として問題とはならない。
【実施例１】
【００１９】
まず、２ｍｍ厚の樹脂板（商品名：エコノール）を用いて、０．５５ｍｍピッチで、１０２４（３２×３２）ピン用に穴あけ加工してプローブガイド板２０及びワイヤ固定板３０を作製し、アルミニウムを加工して固定枠４０を作製し、０．１２ｍｍφのタングステンワイヤをセットし、０．５５ｍｍピッチ、１０２４（３２×３２）ピン用のワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具を作製した。
【００２０】
次に、２ｍｍ厚の金属板をレーザー加工して先端部のピッチＰ1が０．５５ｍｍ、溝幅６１が０．１５ｍｍの開口溝を、３ｍｍ隔てた所から、溝幅６１が０．１５ｍｍ、ピッチＰ2が０．６ｍｍの櫛状の溝を形成したピッチ変換治具７０ａを２個作製した。
【００２１】
次に、０．５５ｍｍピッチのプローブガイド板２０を取り外し、０．６ｍｍピッチのピッチ変換治具７０ａをＸ、Ｙ方向から０．１２ｍｍφのワイヤプローブ１０間に差し入れ、別途作製しておいた０．６ｍｍピッチのプローブガイド板２０をセット、固定して、ピッチ変換冶具７０ａを抜くことにより、ワイヤプローブ１０の測定ピッチ０．５５ｍｍを０．６ｍｍに変更したワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具を作製した。
【００２２】
ワイヤプローブ１０の測定ピッチを０．５５ｍｍから０．６ｍｍに変更すると、プローブガイド板２０の穴位置のオフセット量はプローブガイド板２０の中心から両サイドに割り振った場合、最大で、０．４ｍｍとなり、ワイヤ固定板３０とプローブガイド板２０の距離を３０ｍｍとした場合、このオフセット量はほとんど問題にならない。
【実施例２】
【００２３】
次に、２ｍｍ厚の金属板をレーザー加工して先端部のピッチＰ1が０．６ｍｍ、溝幅６１が０．１５ｍｍの開口溝を、３ｍｍ隔てた所から、溝幅６１が０．１５ｍｍ、ピッチＰ2が０．５ｍｍの櫛状の溝を形成したピッチ変換治具７０ｂを２個作製した。
【００２４】
次に、上記実施例１で作製したワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具の０．６ｍｍピッチのプローブガイド板２０を取り外し、０．５ｍｍピッチのピッチ変換治具７０ｂをそれぞれＸ、Ｙ方向から０．１２ｍｍφのワイヤプローブ１０間に差し入れ、別途作製しておいた０．５ｍｍピッチのワイヤプローブガイド板２０をセット、固定して、ピッチ変換冶具７０ｂを抜くことにより、ワイヤプローブ１０の測定ピッチ０．６ｍｍを０．５ｍｍに変更したワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具を作製した。
【実施例３】
【００２５】
まず、実施例１及び実施例２で作製したワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具及びピッチ変換治具を用いて、まず、測定ピッチ０．５ｍｍのワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具の０．５ｍｍピッチのプローブガイド板２０を取り外し、０．６ｍｍピッチのピッチ変換治具７０ａをＹ方向から、０．５５ｍｍピッチのピッチ変換治具７０ｂをＸ方向から０．１２ｍｍφのワイヤプローブ１０間にそれぞれ差し入れ、別途作製しておいたＸ方向ピッチ０．６ｍｍ、Ｙ方向ピッチ０．５５ｍｍのプローブガイド板２０をセット、固定して、ピッチ変換冶具７０ａ及び７０ｂを抜くことにより、測定ピッチがＸ方向０．６ｍｍ、Ｙ方向０．５５ｍｍのワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具を作製した。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明のワイヤプローブを用いたピッチ可変検査治具の一実施例を示す模式的に示す説明図である。
【図２】図１のワイヤプローブをＡ−Ａ’線にて切断した模式構成断面図である。
【図３】本発明のピッチ変換治具の一例を示す模式平面図である。
【図４】本発明のピッチ変換治具の他の例を示す模式平面図である。
【図５】本発明のピッチ変換治具７０ａを用いてワイヤプローブのピッチ変換をしている状態を示す説明図である。
【図６】本発明のピッチ変換治具７０ｂを用いてワイヤプローブのピッチ変換をしている状態を示す説明図である。
【図７】本発明のピッチ変換治具７０ａ及び７０ｂを用いてワイヤプローブのピッチ変換をしている状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２７】
１０……ワイヤプローブ
２０……プローブガイド板
２１、２２、１２１……接着層
３０……ワイヤ固定板
４０……固定枠
５１……接着剤
６１……開口溝
７０ａ、７０ｂ……ピッチ変換治具
Ｐ1……変更前の測定ピッチ
Ｐ2……変更後の測定ピッチ
Ｄ……ワイヤプローブ直径
Ｐ……測定ピッチ
Ｌ……ワイヤ固定板からのワイヤプローブ長
Ｌ1、Ｌ2……ワイヤ固定板からの垂直方向の突出量
δＬ1、δＬ2……垂直方向の突出量差
【図１】
2005134285.tif 000003
【図２】
2005134285.tif 000004
【図３】
2005134285.tif 000005
【図４】
2005134285.tif 000006
【図５】
2005134285.tif 000007
【図６】
2005134285.tif 000008
【図７】
2005134285.tif 000009