(57)【要約】【課題】薄板状のワークのエッジをむらなく均一にかつ極めて面粗度の小さい鏡面に研摩できるようにし、かつ加工ひずみであるピットが研摩面に生ずるのを防止できるようにする。【解決手段】研摩剤を含んだゴムホイール１５を回転させて薄板状のワーク１４のエッジ１６に当接させ該エッジを研摩するエッジの研摩方法において、エッジ１６における研摩方向が面方向から略４５°方向となるように、ゴムホイール１５の周速度とワーク１４の周速度とからゴムホイール１５の回転軸１９の必要傾斜角度αを算出し、該回転軸１９を該必要傾斜角度αに傾けて研摩する構成を特徴とする。【選択図】        図２
2005040877.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研摩剤を含んだゴムホイールの回転軸の軸心を薄板状のワークの面と平行な方向から傾けて前記ゴムホイールを回転させ、該ゴムホイールを前記ワークのエッジに当接させて該エッジを斜め方向に研摩することを特徴とするワークのエッジの研摩方法。
【請求項２】
研摩剤を含んだゴムホイールを回転させて薄板状のワークのエッジに当接させ該エッジを研摩するエッジの研摩方法において、前記エッジにおける研摩方向が面方向から略４５°方向となるように前記ゴムホイールの回転軸をワークの面と平行な方向から傾けて研摩することを特徴とするワークのエッジの研摩方法。
【請求項３】
研摩剤を含んだゴムホイールを回転させて薄板状のワークのエッジに当接させ該エッジを研摩するエッジの研摩方法において、前記エッジにおける研摩方向が面方向から略４５°方向となるように、前記ゴムホイールの周速度と前記ワークの周速度とから前記ゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し、該回転軸を該必要傾斜角度に傾けて研摩することを特徴とするワークのエッジの研摩方法。
【請求項４】
研摩剤を含んだゴムホイールを回転させて薄板状のワークのエッジに当接させ該エッジを研摩するエッジの研摩方法において、前記エッジにおける研摩方向が面方向から略４５°方向となるように、前記ゴムホイールの周速度と前記ワークの周速度とから前記ゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し、該回転軸を該必要傾斜角度に傾けた状態で前記ゴムホイールを前記エッジに退避可能に軽く押圧して弾性的に当接させると共に、かつ前記ゴムホイールを前記エッジの断面形状に沿って移動させて該エッジを研摩することを特徴とするワークのエッジの研摩方法。
【請求項５】
薄板状のワークを取付け可能に構成されたワーク取付け台と、研摩剤を含んだゴムホイールが回転軸に固定され該回転軸を回転可能に構成されたスピンドル部と、前記ワークのエッジにおける研摩方向が前記回転軸の面方向から所定角度傾斜した方向となるように前記ゴムホイールの周速度と前記ワークの周速度とから前記ゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し前記回転軸を該必要傾斜角度に傾ける傾斜装置と、数値制御により駆動されて前記ゴムホイールを前記ワークのエッジに弾性的に押圧しかつ該エッジの断面形状に沿って前記ゴムホイールを移動させて該エッジを研摩するように構成されたスピンドル支持機構とを備えたことを特徴とするワークのエッジの研摩装置。
【請求項６】
薄板状のワークを取付け可能に構成されたワーク取付け台と、研摩剤を含んだゴムホイールが回転軸に固定され該回転軸を回転可能に構成されたスピンドル部と、前記ワークのエッジにおける研摩方向が前記回転軸の面方向から略４５°方向となるように前記ゴムホイールの周速度と前記ワークの周速度とから前記ゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し前記回転軸を該必要傾斜角度に傾ける傾斜装置と、数値制御により前記ゴムホイールを前記ワークのエッジに押圧し前記ワークの面方向のトラバースが可能かつ該エッジの断面形状に沿って前記ゴムホイールを移動させて研摩することが可能に構成されたスピンドル支持機構と、該スピンドル支持機構が取り付けられ前記ゴムホイールを前記エッジに押圧した際に該ゴムホイールが退避し弾性的に押圧可能に構成された浮動機構とを備えたことを特徴とするワークのエッジの研摩装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハ等のワークのエッジの研摩方法及び装置に係り、特に研摩剤を含んだゴムホイールの回転軸の軸心をワークの面と平行な方向から傾けた状態で、該ゴムホイールをワークのエッジに当接させてエッジを研摩することで、例えば研摩方向がワークの面方向から略４５°方向となるようにして、該エッジをむらなく均一にかつ極めて面粗度の小さい鏡面に研摩できるようにし、かつピットと呼ばれる微細な加工ひずみが研摩面に生ずるのを防止できるようにしたワークのエッジの研摩方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来ワークの一例たる半導体ウェーハの外周エッジ、オリエンテーションフラット（ＯＦ）及びノッチの面取り研削及び研摩は、特許文献１から特許文献４に示されているように、総形に成形されたメタルボンド砥石を用いた粗研削を行った後、仕上げ用の砥石（例えばレジンボンド砥石）を用いてエッジ等が鏡面になるように仕上げ研摩を行っている。
【０００３】しかし総形の砥石を用いた場合、砥石の溝の最深部にはクーラントが入りにくいため、砥石が痛み易く、またエッジの端部の円周方向に条痕が残って面粗度が大きくなり易いという問題があった。この場合、図１１に示すように、砥石１を矢印Ａ方向に回転させ、同様に矢印Ａ方向に回転しているウェーハ２の面方向と直角方向、即ち矢印Ｚ１方向及び矢印Ｚ２方向にトラバースさせながら研摩を行うと、図１２に示すように、条痕２ａが微細化するが、加工ひずみであるピット２ｂが全くなくなるわけではない。
【０００４】本願出願人は、特許文献３に示されているように、砥石を弾性的にウェーハに押圧するための砥石の浮動機構を提案すると共に、特許文献４から特許文献６に示されているように、研摩剤を含んだゴムホイールを砥石として用いたワークのエッジ、ノッチ等の研摩方法及び装置を提案しており、特に大きな直径のゴムホイールを使用することにより、更なる条痕の微細化を行うことができ、これは総形の砥石においてトラバースの速度を高めたと同様の現象であると考えられる。
【０００５】しかしながら、従来のようにゴムホイールが固定された回転軸の軸心がウェーハの面方向と平行となるようにして研摩を行っても、エッジの全周には２乃至３個程度のピットが残存してしまっていた。業界では、このようなわずかなピットの存在も許容されなくなって来ており、ピットを全周で０にするために何らかの方策が必要とされていた。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−１０４２２８号公報
【特許文献２】特開平６−２６２５０５号公報
【特許文献３】特開平１１−２０７５８４号公報
【特許文献４】特開２０００−５２２１０号公報
【特許文献５】特開２０００−３１７７８７号公報
【特許文献６】特開２００１−３００８３７号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記した従来技術の欠点を除くためになされたものであって、その目的とするところは、研摩剤を含んだゴムホイールの回転軸の軸心を薄板状のワークの面と平行な方向から傾けてゴムホイールを回転させ、該ゴムホイールをワークのエッジに当接させて該エッジを斜め方向に研摩することによって、条痕を微細化してエッジをむらなく均一にかつ極めて面粗度の小さい鏡面に研摩できるようにし、かつエッジにおけるピットのような加工ひずみを防止できるようにすることである。
【０００８】また他の目的は、上記方法において、エッジにおける研摩方向がワークの面方向から略４５°方向となるようにゴムホイールの回転軸をワークの面と平行な方向から傾けて研摩することによって、加工ひずみを最も効果的に防止できるようにすることである。
【０００９】更に他の目的は、上記方法において、エッジにおける研摩方向が面方向から略４５°方向となるように、ゴムホイールの周速度とワークの周速度とからゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し、該回転軸を該必要傾斜角度に傾けることによって、ゴムホイールの回転速度とワークの回転速度が大きく異なっても、ワークの面方向から略４５°方向に研摩できるようにすることである。
【００１０】また他の目的は、上記方法において、ゴムホイールをエッジに退避可能に軽く押圧して弾性的に当接させると共に、ゴムホイールをエッジの断面形状に沿って移動させて該エッジを研摩することによって、押圧力を弱め、ワークに加工ひずみや亀裂を生じさせることなく、エッジの上下面から端面にかけて連続的に高品質かつ高精度の研摩ができるようにすることである。
【００１１】更に他の目的は、薄板状のワークを取付け可能に構成されたワーク取付け台と、研摩剤を含んだゴムホイールが回転軸に固定され該回転軸を回転可能に構成されたスピンドル部と、ワークのエッジにおける研摩方向が回転軸の面方向から所定角度傾斜した方向となるようにゴムホイールの周速度とワークの周速度とからゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し回転軸を該必要傾斜角度に傾ける傾斜装置と、数値制御により駆動されてゴムホイールをワークのエッジに弾性的に押圧しかつ該エッジの断面形状に沿ってゴムホイールを移動させて該エッジを研摩するように構成されたスピンドル支持機構とを備えることによって、研摩方向をワークの面方向から所定角度傾斜した方向とするために必要な傾斜角度をゴムホイールに与えると共に、エッジの断面形状に沿った軌跡研摩を可能にすることであり、またこれによってエッジの上下面から端部に至るまで、加工ひずみのない研摩面に仕上げることができるようにすることである。
【００１２】また他の目的は、上記構成において、スピンドル支持機構が取り付けられゴムホイールをエッジに押圧した際に該ゴムホイールが退避し弾性的に押圧可能に構成された浮動機構とを備えることによって、ゴムホイールが軽い押圧力でワークに接触するようにして、ワークに加工ひずみや亀裂を生じさせることなく研摩できるようにすることである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
要するに本発明方法（請求項１）は、研摩剤を含んだゴムホイールの回転軸の軸心を薄板状のワークの面と平行な方向から傾けて前記ゴムホイールを回転させ、該ゴムホイールを前記ワークのエッジに当接させて該エッジを斜め方向に研摩することを特徴とするものである。
【００１４】また本発明方法（請求項２）は、研摩剤を含んだゴムホイールを回転させて薄板状のワークのエッジに当接させ該エッジを研摩するエッジの研摩方法において、前記エッジにおける研摩方向が面方向から略４５°方向となるように前記ゴムホイールの回転軸をワークの面と平行な方向から傾けて研摩することを特徴とするものである。
【００１５】また本発明方法（請求項３）は、研摩剤を含んだゴムホイールを回転させて薄板状のワークのエッジに当接させ該エッジを研摩するエッジの研摩方法において、前記エッジにおける研摩方向が面方向から略４５°方向となるように、前記ゴムホイールの周速度と前記ワークの周速度とから前記ゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し、該回転軸を該必要傾斜角度に傾けて研摩することを特徴とするものである。
【００１６】また本発明方法（請求項４）は、研摩剤を含んだゴムホイールを回転させて薄板状のワークのエッジに当接させ該エッジを研摩するエッジの研摩方法において、前記エッジにおける研摩方向が面方向から略４５°方向となるように、前記ゴムホイールの周速度と前記ワークの周速度とから前記ゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し、該回転軸を該必要傾斜角度に傾けた状態で前記ゴムホイールを前記エッジに退避可能に軽く押圧して弾性的に当接させると共に、かつ前記ゴムホイールを前記エッジの断面形状に沿って移動させて該エッジを研摩することを特徴とするものである。
【００１７】また本発明装置（請求項５）は、薄板状のワークを取付け可能に構成されたワーク取付け台と、研摩剤を含んだゴムホイールが回転軸に固定され該回転軸を回転可能に構成されたスピンドル部と、前記ワークのエッジにおける研摩方向が前記回転軸の面方向から所定角度傾斜した方向となるように前記ゴムホイールの周速度と前記ワークの周速度とから前記ゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し前記回転軸を該必要傾斜角度に傾ける傾斜装置と、数値制御により駆動されて前記ゴムホイールを前記ワークのエッジに弾性的に押圧しかつ該エッジの断面形状に沿って前記ゴムホイールを移動させて該エッジを研摩するように構成されたスピンドル支持機構とを備えたことを特徴とするものである。
【００１８】また本発明装置（請求項６）は、薄板状のワークを取付け可能に構成されたワーク取付け台と、研摩剤を含んだゴムホイールが回転軸に固定され該回転軸を回転可能に構成されたスピンドル部と、前記ワークのエッジにおける研摩方向が前記回転軸の面方向から略４５°方向となるように前記ゴムホイールの周速度と前記ワークの周速度とから前記ゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し前記回転軸を該必要傾斜角度に傾ける傾斜装置と、数値制御により前記ゴムホイールを前記ワークのエッジに押圧し前記ワークの面方向のトラバースが可能かつ該エッジの断面形状に沿って前記ゴムホイールを移動させて研摩することが可能に構成されたスピンドル支持機構と、該スピンドル支持機構が取り付けられ前記ゴムホイールを前記エッジに押圧した際に該ゴムホイールが退避し弾性的に押圧可能に構成された浮動機構とを備えたことを特徴とするものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図面に示す実施例に基いて説明する。本発明に係るワークのエッジの研摩装置１０は、図１から図３において、ワーク取付け台（図示せず）と、スピンドル部１１と、傾斜装置１２と、スピンドル支持機構１３と、浮動機構（図示せず）とを備えている。
【００２０】ワーク取付け台は、薄板状のワーク（例えば、ウェーハ）１４を取付け可能に構成されたものであって、該ワーク１４を水平に吸着固定可能に構成され、スピンドル支持機構１３に接近又は離間する方向に直進往復動すると共に、該ワーク１４を水平面内で、矢印Ａ又は矢印Ｄ方向に回転させることができるように構成されている。
【００２１】スピンドル部１１は、研摩剤を含んだゴムホイール１５が回転軸１９に固定され、該回転軸１９を回転可能に構成されたものであって、ワーク１４の面方向と平行にスピンドル支持機構１３に取り付けられている。
【００２２】スピンドル部１１の先端部１１ａは、傾斜装置１２によって回転軸１９を傾斜させて研摩を行う際に、ワーク１４に干渉することがないように、ゴムホイール１５よりも小さく形成されている。
【００２３】回転軸１９は、モータ２０によって回転駆動されるように構成されている。モータ２０の回転軸（図示せず）は、スピンドル部内の回転軸２１に連結され、該回転軸２１は先端部１１ａ内に収容された、例えばかさ歯車（図示せず）を介して回転軸１９に連結されている。
【００２４】スピンドル部１１は、スピンドル支持機構１３に回動自在に支持されており、後端部に傾斜装置１２の歯車２２が取り付けられている。
【００２５】傾斜装置１２は、図１に示すように、ワーク１４のエッジ１６における研摩方向が面方向から略４５°方向となるようにゴムホイール１５の周速度とワーク１４の周速度とからゴムホイール１５の回転軸１９の必要傾斜角度αを算出し、該回転軸１９を該必要傾斜角度αに傾けるためのものである。
【００２６】この傾斜装置１２により、図１に示すように、回転軸１９の軸心が、軸心Ｏから軸心Ｐに傾斜するようになっている。
【００２７】傾斜装置１２は、例えばスピンドル部１１に取り付けられた歯車２２に、該歯車２２よりも小径の歯車２３が噛合するように構成し、該歯車２３をモータ２４により回転させるように構成している。モータ２４は、例えばステッピングモータであり、該モータ２４及び歯車２３は、スピンドル支持機構１３に取り付けられている。
【００２８】なお、この傾斜装置１２の構成は一例に過ぎず、ゴムホイール１３の回転軸１９の傾斜角度を任意に設定できるものであれば、どのような構成であってもよい。例えば更に多くの歯車を用いて歯車列を構成することにより、回転軸１９の傾斜角度を微調整できるようにしてもよいし、ウォーム歯車機構を用いてもよい。
【００２９】ここで研摩方向がワーク１４の面方向から略４５°方向となるようにするための必要傾斜角度αの求め方について説明する。図４において、ワーク１４が矢印Ａ方向に周速度ｖｘ  で回転すると、ゴムホイール１５によって相対的に矢印ｘ方向に周速度ｖｘ  で研摩されることになる。ゴムホイール１５が矢印ｙ方向に周速度ｖｙ  で回転しているとき、周速度ｖｘ  と周速度ｖｙ  との合成速度ｖの方向がワーク１４に対して４５°方向となるときの周速度ｖｙ  の角度が必要傾斜角度αである。必要傾斜角度αは、式１で求めることができる。
【００３０】
【数１】
2005040877.tif 000003
【００３１】ワーク１４の周速度ｖｘ  ／ゴムホイール１５の周速度ｖｙ  ＝ｋとおけば、式１は式２のように一般化することができる。なお、合成速度ｖは、式３で求めることができる。
【００３２】
【数２】
2005040877.tif 000004
【００３３】
【数３】
2005040877.tif 000005
【００３４】ここで、必要傾斜角度αと合成速度ｖについて、０≦ｋ≦０．１の範囲で計算してみると、表１のようになる。なお、合成速度ｖについては、ゴムホイール１５の周速度ｖｙ  ＝２１０００ｍｍ／ｓｅｃとして計算している。このように、傾斜装置１２は、ワーク１４の周速度ｖｘ  とゴムホイール１５の周速度ｖｙ  の比率から、必要傾斜角度αを算出し、その角度だけ傾斜装置１２が回転軸１９を傾けるように構成されている。
【００３５】
【表１】
2005040877.tif 000006
【００３６】スピンドル支持機構１３は、図１、図２、図５及び図６に示すように、数値制御によりゴムホイール１５をワーク１４のエッジ１６に押圧し、ワーク１４の面方向のトラバースが可能かつ該エッジ１６の断面形状に沿ってゴムホイール１５を移動させて研摩することが可能に構成されている。
【００３７】ゴムホイール１５は、エッジ１６やオリエンテーションフラット１８の研摩に適した、厚みのある円板形に形成されている。ノッチ（図示せず）を研摩する場合には、該ノッチの幅よりも薄い円板形のゴムホイール（図示せず）が用いられる。
【００３８】浮動機構は、スピンドル支持機構１３が取り付けられ、ゴムホイール１５をワーク１４のエッジ１６に押圧した際に、該ゴムホイール１５が退避し弾性的に押圧可能に構成されたものであって、押圧力を任意に調節して、例えば極く軽い押圧力で研摩を行うことにより、ナノメータオーダの除去加工ができるようになっている。
【００３９】そして本発明方法（請求項１）は、研摩剤を含んだゴムホイール１５の回転軸１９の軸心を薄板状のワーク１４の面と平行な方向から傾けてゴムホイール１５を回転させ、該ゴムホイール１５をワーク１４のエッジ１６に当接させて該エッジを斜め方向に研摩する方法である。
【００４０】また本発明方法（請求項２）は、研摩剤を含んだゴムホイール１５を回転させて薄板状のワーク１４のエッジ１６に当接させ該エッジを研摩するエッジの研摩方法において、エッジ１６における研摩方向が面方向から略４５°方向となるようにゴムホイール１５の回転軸１９をワーク１４の面と平行な方向から傾けて研摩する方法である。
【００４１】また本発明方法（請求項３）は、研摩剤を含んだゴムホイール１５を回転させて薄板状のワーク１４のエッジ１６に当接させ該エッジを研摩するエッジの研摩方法において、エッジ１６における研摩方向が面方向から略４５°方向となるように、ゴムホイール１５の周速度とワーク１４の周速度とからゴムホイール１５の回転軸１９の必要傾斜角度αを算出し、該回転軸１９を該必要傾斜角度αに傾けて研摩する方法である。
【００４２】また本発明方法（請求項４）は、研摩剤を含んだゴムホイール１５を回転させて薄板状のワーク１４のエッジ１６に当接させ該エッジを研摩するエッジの研摩方法において、エッジ１６における研摩方向が面方向から略４５°方向となるように、ゴムホイール１５の周速度とワーク１４の周速度とからゴムホイール１５の回転軸１９の必要傾斜角度αを算出し、該回転軸１９を該必要傾斜角度αに傾けた状態でゴムホイール１５をエッジ１６に退避可能に軽く押圧して弾性的に当接させると共に、かつゴムホイール１５をエッジ１６の断面形状に沿って移動させて該エッジ１６を研摩する方法である。
【００４３】本発明は、上記のように構成されており、以下その作用について説明する。スピンドル部１１については、図１及び図３において、モータ２０を回転させると、スピンドル部１１内の回転軸２１が回転し、先端部１１ａ内のかさ歯車を介して回転軸１９が回転し、これによってゴムホイール１５が回転する。モータ２０の回転方向によって、ゴムホイール１５を正逆回転させることが可能である。
【００４４】傾斜装置１２は、ゴムホイール１５の周速度とワーク１４の周速度からゴムホイール１５の必要傾斜角度αを算出し、モータ２４が所定角度（歯車２２の回転角度が必要傾斜角度αと同一となるように、歯車２２，２３の歯数比により定まる。）だけ矢印Ｆ方向に回転する。すると歯車２３も矢印Ｆ方向に回転し、歯車２２はこれと逆方向となる矢印Ｇ方向に必要傾斜角度αだけ回転して、スピンドル部１１を同角度αだけ傾斜させる。これによって回転軸１９も該必要傾斜角度αだけ傾斜する。
【００４５】なお、ゴムホイール１５の傾斜角度を予め固定しておき、ゴムホイール１５の回転速度とワーク１４の回転速度の調節により、実質的にワーク１４の面方向から略４５°方向に研摩するようにしてもよい。
【００４６】また研摩方向は、ワーク１４の面方向から略４５°方向としたが、これはピットや亀裂の発生を防止するという目的を達成するためには４５°方向が望ましいということであり、必ずしもワーク１４の面方向から厳密に４５°である必要はない。従って、エッジ１６の端部１６ｃに加工ひずみであるピットや亀裂が生じなければ、４５°方向でなくてもよい。
【００４７】研摩の際には、図３、図５及び図６に示すように、ゴムホイール１５を必要傾斜角度αだけ傾斜させておき、スピンドル支持機構１３におけるスピンドル部１１の上下動及びワーク取付け台の直進往復動を制御することにより行う。
【００４８】具体的には、ワーク取付け台により、ワーク１４を矢印Ａ方向に回転させておき、まずゴムホイール１５を矢印Ｂ方向に回転させ、エッジ１６の断面形状に沿って矢印Ｃ方向にゴムホイール１５を移動させて、エッジの上面１６ａから端部１６ｃまでアップカットにより連続的に研摩し、次にゴムホイール１５を矢印Ｄ方向に回転させ、エッジ１６の断面形状に沿って矢印Ｅ方向にゴムホイール１５を移動させて、エッジの下面１６ｂから端部１６ｃまでアップカットにより連続的に研摩を行う。
【００４９】また研摩の際には、ゴムホイール１５は、浮動機構によって適宜退避しながら、極く軽い押圧力で弾性的にエッジ１６に当接している。
【００５０】これによって、図７に示すように、ワーク１４のエッジ１６の端部１６ｃにおいて、該ワーク１４の面方向から略４５°方向に条痕１６ｄが形成されるような研摩が行われるので、該端部１６ｃに、従来総形の砥石を使用した場合に見られたような加工ひずみであるピットや亀裂の発生を完全に防止することができる。なお、図７に示した条痕１６ｄは、その方向を明示するために実際よりも大きく拡大して示したものであり、実際にはエッジ１６は鏡面に研摩されているので、肉眼では条痕１６ｄが見えることはない。
【００５１】本発明装置は、ゴムホイール１５を使用しているので、粗研削から仕上げ研摩までを一度に行うことが可能である。なお、研摩の際には、ゴムホイール１５をワーク１４の面方向にトラバースさせながら研摩を行うことも可能である。
【００５２】オリエンテーションフラット１８を研摩する場合には、ワーク１４の回転を停止させてゴムホイール１５をトラバースさせて行う。
【００５３】
【発明の効果】
本発明は、上記のように研摩剤を含んだゴムホイールの回転軸の軸心を薄板状のワークの面と平行な方向から傾けてゴムホイールを回転させ、該ゴムホイールをワークのエッジに当接させて該エッジを斜め方向に研摩するようにしたので、条痕を微細化してエッジをむらなく均一にかつ極めて面粗度の小さい鏡面に研摩でき、かつエッジにおけるピットのような加工ひずみを防止できる効果がある。
【００５４】また上記方法において、エッジにおける研摩方向がワークの面方向から略４５°方向となるようにゴムホイールの回転軸をワークの面と平行な方向から傾けて研摩するようにしたので、加工ひずみを最も効果的に防止できる効果がある。
【００５５】更に上記方法において、エッジにおける研摩方向が面方向から略４５°方向となるように、ゴムホイールの周速度とワークの周速度とからゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し、該回転軸を該必要傾斜角度に傾けるようにしたので、ゴムホイールの回転速度とワークの回転速度が大きく異なっても、ワークの面方向から略４５°方向に研摩できる効果がある。
【００５６】また上記方法において、ゴムホイールをエッジに退避可能に軽く押圧して弾性的に当接させると共に、ゴムホイールをエッジの断面形状に沿って移動させて該エッジを研摩するようにしたので、押圧力が弱くなり、ワークに加工ひずみや亀裂を生じさせることなく、エッジの上下面から端面にかけて連続的に高品質かつ高精度の研摩ができる効果が得られる。
【００５７】更に薄板状のワークを取付け可能に構成されたワーク取付け台と、研摩剤を含んだゴムホイールが回転軸に固定され該回転軸を回転可能に構成されたスピンドル部と、ワークのエッジにおける研摩方向が回転軸の面方向から所定角度傾斜した方向となるようにゴムホイールの周速度とワークの周速度とからゴムホイールの回転軸の必要傾斜角度を算出し回転軸を該必要傾斜角度に傾ける傾斜装置と、数値制御により駆動されてゴムホイールをワークのエッジに弾性的に押圧しかつ該エッジの断面形状に沿ってゴムホイールを移動させて該エッジを研摩するように構成されたスピンドル支持機構とを備えたので、研摩方向をワークの面方向から所定角度傾斜した方向とするために必要な傾斜角度をゴムホイールに与えると共に、エッジの断面形状に沿った軌跡研摩を可能にする効果があり、またこの結果エッジの上下面から端部に至るまで、加工ひずみのない研摩面に仕上げることができる効果が得られる。
【００５８】またスピンドル支持機構が取り付けられゴムホイールをエッジに押圧した際に該ゴムホイールが退避し弾性的に押圧可能に構成された浮動機構とを備えたので、ゴムホイールが軽い押圧力でワークに接触し、ワークに加工ひずみや亀裂を生じさせることなく研摩できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１から図７は、本発明の実施例に係り、図１はワークのエッジの研摩装置の斜視図である。
【図２】ワークのエッジに傾斜状態のゴムホイールが当接している状態を示す斜視図である。
【図３】ワークのエッジに傾斜状態のゴムホイールが当接している状態を示す部分縦断面側面図である。
【図４】ワークの面から略４５°方向の研摩のための、ゴムホイールの必要傾斜角度αを求めるためのベクトル図である。
【図５】ワークのエッジの上面から端部にかけての断面形状に沿ってゴムホイールを移動させて連続的に研摩を行う状態を示す部分縦断面図である。
【図６】ワークのエッジの下面から端部にかけての断面形状に沿ってゴムホイールを移動させて連続的に研摩を行う状態を示す部分縦断面図である。
【図７】ワークの面方向から４５°方向に条痕ができるようにエッジの端部が研摩された状態を示す拡大側面図である。
【図８】図８及び図９は、従来例に係り、図８は総形の砥石でウェーハを研摩している状態を示す斜視図である。
【図９】ウェーハのエッジに加工ひずみであるピットが形成されている状態を示す拡大側面図である。
【符号の説明】
１０    ワークのエッジの研摩装置
１１    スピンドル部
１２    傾斜装置
１３    スピンドル支持機構
１４    ワーク
１５    ゴムホイール
１６    エッジ
１９    回転軸
Ｏ    軸心
Ｐ    軸心
【図１】
2005040877.tif 000007
【図２】
2005040877.tif 000008
【図３】
2005040877.tif 000009
【図４】
2005040877.tif 000010
【図５】
2005040877.tif 000011
【図６】
2005040877.tif 000012
【図７】
2005040877.tif 000013
【図８】
2005040877.tif 000014
【図９】
2005040877.tif 000015