(57)【要約】【課題】  光を照射することにより被着体を損傷することなく容易に剥がすことができ、しかも保存性に優れる粘着テープを提供する。【解決手段】  光を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層と、前記粘着剤層上に積層された積層体とからなる粘着テープであって、前記積層体は、波長３６５ｎｍの光の透過率が４０％以上であり、かつ、波長４００〜４５０ｎｍの範囲における光の透過率の最大値が４０％以下である粘着テープ。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層と、前記粘着剤層
上に積層された積層体とからなる粘着テープであって、前記積層体は、波長３６５ｎｍの
光の透過率が４０％以上であり、かつ、波長４００〜４５０ｎｍの範囲における光の透過
率の最大値が４０％以下であることを特徴とする粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光を照射することにより被着体を損傷することなく容易に剥がすことができ、
しかも保存性に優れる粘着テープに関する。
【背景技術】
【０００２】
粘着テープに求められる性能はその用途により様々であるが、用途によっては、必要な間
だけ強固に被着体に接着して固定できる一方で、使用後には容易に剥がせることが要求さ
れることがある。
例えば、ＩＣチップの製造工程において、高純度なシリコン単結晶等から切り出した厚膜
ウエハを所定の厚さにまで研削して薄膜ウエハとする場合に、厚膜ウエハを支持板に接着
して補強することにより、効率よく作業を進めることが提案されている。このとき厚膜ウ
エハと支持板とを接着するための両面粘着テープとしては、研削工程中には強固に接着す
る一方で、研削工程終了後には得られた薄膜ウエハを損傷することなく支持板から剥がせ
ることが求められる。
【０００３】
粘着テープを剥がす方法としては、例えば、物理的な力を加えて引き剥がすことが考えら
れる。しかしながら、この方法では被着体が軟弱な場合には重大な損傷を与えてしまうこ
とがある。また、粘着剤を溶解できる溶剤を用いて粘着テープを剥がす方法も考えられる
。しかしながら、この方法も被着体が溶剤によって侵されるものである場合には用いるこ
とができない。
このように、いったん接着に用いた粘着テープは、接着力が強固であるほど、被着体を損
傷することなく剥がすことが困難であるという問題点があった。
【０００４】
これに対して特許文献１には、アジド化合物を含有する粘着剤を用いた粘着テープが開示
されている。アジド化合物は、紫外線を照射することにより分解して窒素ガスを放出する
。従って、アジド化合物を含有する粘着剤を用いて接着した接着面に紫外線を照射すると
、アジド化合物が分解して放出された窒素ガスにより粘着剤が発泡し、粘着剤の接着力を
低下させるため、容易に被着体を剥離することができる。しかしながら、実際には、アジ
ド化合物が分解して放出された窒素ガスは粘着剤内に気泡としてたまり、被着体に強く接
着している場合等では、粘着剤の外に充分に放出されず被着体を剥離できないといった問
題があった。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２００２３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明者らは、これまでに、光を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有す
る粘着剤層を有する粘着テープを用いれば、気体発生剤から発生した気体が粘着剤層の外
へ放出されて、接着面の少なくとも一部を剥がし接着力を低下させることができることを
見出した。
このような気体発生剤としては、アゾ化合物やアジド化合物等が好適である。アゾ化合物
やアジド化合物は、主に波長３６５ｎｍ付近の紫外線領域の光を吸収して気体を発生する
性質を有することから、光源として紫外線ランプ等を用いて紫外線を照射することにより
剥離を行っている。しかしながら、アゾ化合物やアジド化合物の多くは波長４００〜４５
０ｎｍの可視光線領域でもわずかながら感光することから、遮光していない場所に保存し
た場合や、ＩＣチップの製造等に用いた場合の工程上において、少しずつ気体が発生して
しまい、剥離の際に紫外線を照射しても剥離できるだけの充分な気体を発生し得ず、剥離
できなくなってしまうことがあった。
【０００７】
本発明は、上記の現状に鑑み、光を照射することにより被着体を損傷することなく容易に
剥がすことができ、しかも保存性に優れる粘着テープを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、光を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層と、前
記粘着剤層上に積層された積層体とからなる粘着テープであって、前記積層体は、波長３
６５ｎｍの光の透過率が４０％以上であり、かつ、波長４００〜４５０ｎｍの範囲におけ
る光の透過率の最大値が４０％以下である粘着テープである。
以下に本発明を詳述する。
【０００９】
本発明の粘着テープは、光を照射することにより気体を発生する気体発生剤を含有する粘
着剤層（以下、気体発生層ともいう）を有する。
なお、本明細書において光とは、特に断らない限りにおいては、赤外線、可視光線、紫外
線だけでなく、電子線、エックス線、中性子線等の電離放射線をも包含するものである。
【００１０】
上記気体発生剤としては特に限定されないが、例えば、アゾ化合物、アジド化合物等が好
適に用いられる。
上記アゾ化合物としては、例えば、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチ
ルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルプロピル）−２−メチル
プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）
、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルエチル）−２−メチルプロピオンアミド］、２
，２’−アゾビス（Ｎ−ヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス
（Ｎ−プロピル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−エチル−２
−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（
ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス
｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−
アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−
アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビ
ス［２−（５−メチル−２−イミダゾリン２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、
２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン２−イル）プロパン］ジハイドロクロライ
ド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン２−イル）プロパン］ジサルフェイト
ジハイドロレート、２，２’−アゾビス［２−（３，４，５，６−テトラハイドロピリミ
ジン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス｛２−［１−（
２−ヒドロキシエチル）−２−イミダゾリン２−イル］プロパン｝ジハイドロクロライド
、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾリン２−イル）プロパン］、２，２’−アゾ
ビス（２−メチルプロピオンアミジン）ハイドロクロライド、２，２’−アゾビス（２−
アミノプロパン）ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシア
シル）−２−メチル−プロピオンアミジン］、２，２’−アゾビス｛２−［Ｎ−（２−カ
ルボキシエチル）アミジン］プロパン｝、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンア
ミドオキシム）、ジメチル２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジメチル
２，２’−アゾビスイソブチレート、４，４’−アゾビス（４−シアンカルボニックアシ
ッド）、４，４’−アゾビス（４−シアノペンタノイックアシッド）、２，２’−アゾビ
ス（２，４，４−トリメチルペンタン）等が挙げられる。
これらのアゾ化合物は、主に波長３６５ｎｍ程度の紫外線領域の光を照射することにより
窒素ガスを発生する。
【００１１】
上記アジド化合物としては、例えば、３−アジドメチル−３−メチルオキセタン、テレフ
タルアジド、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルベンズアジド；３−アジドメチル−３−メチルオキセ
タンを開環重合することにより得られるグリシジルアジドポリマー等のアジド基を有する
ポリマー等が挙げられる。これらのアジド化合物は、主に波長３６５ｎｍ程度の紫外線領
域の光を照射することにより窒素ガスを発生する。
【００１２】
これらの気体発生剤のうち、上記アジド化合物は衝撃を与えることによっても容易に分解
して窒素ガスを放出することから、取り扱いが困難であるという問題がある。更に、上記
アジド化合物は、いったん分解が始まると連鎖反応を起こして爆発的に窒素ガスを放出し
その制御ができないことから、爆発的に発生した窒素ガスによって被着体が損傷すること
があるという問題もある。このような問題から上記アジド化合物の使用量は限定されるが
、限定された使用量では充分な効果が得られないことがある。
【００１３】
一方、上記アゾ化合物は、アジド化合物とは異なり衝撃によっては気体を発生しないこと
から取り扱いが極めて容易である。また、連鎖反応を起こして爆発的に気体を発生するこ
ともないため被着体を損傷することもなく、光の照射を中断すれば気体の発生も中断でき
ることから、用途に合わせた接着性の制御が可能であるという利点もある。従って、上記
気体発生剤としては、アゾ化合物を用いることがより好ましい。
【００１４】
上記アゾ化合物は、１０時間半減期温度が８０℃以上であることが好ましい。１０時間半
減期温度が８０℃未満であると、本発明の粘着テープは、キャストにより気体発生層を形
成して乾燥する際に発泡を生じてしまったり、経時的に分解反応を生じて分解残渣がブリ
ードアウトしてしまったり、経時的に気体を発生して貼り合わせた被着体との界面に浮き
を生じさせてしまったりすることがある。１０時間半減期温度が８０℃以上であれば、耐
熱性に優れていることから、高温での使用及び安定した貯蔵が可能である。
【００１５】
１０時間半減期温度が８０℃以上であるアゾ化合物としては、下記一般式（１）で表され
るアゾアミド化合物等が挙げられる。下記一般式（１）で表されるアゾアミド化合物は、
耐熱性に優れていることに加え、後述するアクリル酸アルキルエステルポリマー等の粘着
性を有するポリマーへの溶解性にも優れ、接着性物質中に粒子として存在しないものとす
ることができる。
【００１６】
【化１】
2005097507.tif 000002
【００１７】
式（１）中、Ｒ１及びＲ２は、それぞれ低級アルキル基を表し、Ｒ３は、炭素数２以上の
飽和アルキル基を表す。なお、Ｒ１とＲ２は、同一であっても、異なっていてもよい。
【００１８】
上記一般式（１）で表されるアゾアミド化合物としては、例えば、２，２’−アゾビス（
Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−
メチルプロピル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−
２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルエチル）−２−
メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ヘキシル−２−メチルプロピオン
アミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−プロピル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２
’−アゾビス（Ｎ−エチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−
メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオン
アミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プ
ロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プ
ロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオ
ンアミド］等が挙げられる。なかでも、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプ
ロピオンアミド）及び２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピ
オンアミド］は、溶剤への溶解性に特に優れていることから好適に用いられる。
【００１９】
上記気体発生剤は、上記気体発生層中に粒子として存在しないことが好ましい。なお、本
明細書において、気体発生剤が粒子として存在しないとは、電子顕微鏡により上記気体発
生層を観察したときに気体発生剤を確認することができないことを意味する。上記気体発
生層中に気体発生剤が粒子として存在すると、光を照射したときに粒子の界面で光が散乱
して気体発生効率が低くなってしまったり、気体発生層の表面平滑性が悪くなったりする
ことがある。
【００２０】
上記気体発生剤を粒子として存在しないようにするには、通常、上記気体発生層を構成す
る粘着剤に溶解する気体発生剤を選択するが、粘着剤に溶解しない気体発生剤を選択する
場合には、例えば、分散機を用いたり、分散剤を併用したりすることにより気体発生層中
に気体発生剤を微分散させる。気体発生層中にアゾ化合物を微分散させるためには、気体
発生剤は、微小な粒子であることが好ましく、更に、これらの微粒子は、例えば、分散機
や混練装置等を用いて必要に応じてより細かい微粒子とすることが好ましい。即ち、電子
顕微鏡により上記気体発生層を観察したときに気体発生剤を確認することができない状態
まで分散させることがより好ましい。
【００２１】
本発明の粘着テープでは、上記気体発生剤から発生した気体は気体発生層の外へ放出され
る。これにより、本発明の粘着テープを被着体に貼り付けた接着面に光を照射すると気体
発生剤から発生した気体が被着体から接着面の少なくとも一部を剥がし接着力を低下させ
るため、容易に被着体から剥離することができる。この際、気体発生剤から発生した気体
の大部分は気体発生層の外へ放出される。上記気体発生剤から発生した気体の大部分が気
体発生層の外へ放出されないと、気体発生層が気体発生剤から発生した気体により全体的
に発泡してしまい、接着力を低下させる効果を充分に得ることができず、被着体にのり残
りを生じさせてしまうことがある。なお、被着体に糊残りを生じさせない程度であれば、
気体発生剤から発生した気体の一部が気体発生層中に溶け込んでいたり、気泡として気体
発生層中に存在していたりしてもかまわない。
【００２２】
上記気体発生層を構成する粘着剤は、光を照射することにより気体を発生させて接着力を
低下させる前の状態における弾性率を調整するためにあらかじめ架橋されており、例えば
、後述する光硬化型接着性樹脂に対してあらかじめ光による刺激を与えて接着性を保持す
る程度に架橋しておくか、イソシアネート化合物等の化学架橋されたものを配合しておく
。予め架橋されていることにより、上記粘着剤の弾性率が高くなるため、気体発生剤から
発生した気体が気泡として気体発生層中に留まりにくくなり、気体発生層の外への放出が
促進される。
【００２３】
上記気体発生層を構成する粘着剤は、光を照射することにより架橋する架橋成分を含有す
ることが好ましい。上記光を照射することにより架橋する架橋成分としては、例えば、分
子内にラジカル重合性の不飽和結合を有してなるアクリル酸アルキルエステル系及び／又
はメタクリル酸アルキルエステル系の重合性ポリマーと、ラジカル重合性の多官能オリゴ
マー又はモノマーとを主成分とし、必要に応じて光重合開始剤を含んでなる光硬化型接着
性樹脂等からなるものが挙げられる。
【００２４】
上記重合性ポリマーは、例えば、分子内に官能基を持った（メタ）アクリル系ポリマー（
以下、官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーという）をあらかじめ合成し、分子内に上
記の官能基と反応する官能基とラジカル重合性の不飽和結合とを有する化合物（以下、官
能基含有不飽和化合物という）と反応させることにより得ることができる。
【００２５】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーは、常温で粘着性を有するポリマーとして、
一般の（メタ）アクリル系ポリマーの場合と同様に、アルキル基の炭素数が通常２〜１８
の範囲にあるアクリル酸アルキルエステル及び／又はメタクリル酸アルキルエステルを主
モノマーとし、これと官能基含有モノマーと、更に必要に応じてこれらと共重合可能な他
の改質用モノマーとを常法により共重合させることにより得られるものである。上記官能
基含有（メタ）アクリル系ポリマーの重量平均分子量は通常２０万〜２００万程度である
。
【００２６】
上記官能基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸等のカルボキシル
基含有モノマー；アクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシエチル等のヒド
ロキシル基含有モノマー；アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル等のエポキシ
基含有モノマー；アクリル酸イソシアネートエチル、メタクリル酸イソシアネートエチル
等のイソシアネート基含有モノマー；アクリル酸アミノエチル、メタクリル酸アミノエチ
ル等のアミノ基含有モノマー等が挙げられる。
【００２７】
上記共重合可能な他の改質用モノマーとしては、例えば、酢酸ビニル、アクリロニトリル
、スチレン等の一般の（メタ）アクリル系ポリマーに用いられている各種のモノマーが挙
げられる。
【００２８】
上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーに反応させる官能基含有不飽和化合物として
は、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマーの官能基に応じて上述した官能基含有モ
ノマーと同様のものを使用できる。例えば、上記官能基含有（メタ）アクリル系ポリマー
の官能基がカルボキシル基の場合はエポキシ基含有モノマーやイソシアネート基含有モノ
マーが用いられ、同官能基がヒドロキシル基の場合はイソシアネート基含有モノマーが用
いられ、同官能基がエポキシ基の場合はカルボキシル基含有モノマーやアクリルアミド等
のアミド基含有モノマーが用いられ、同官能基がアミノ基の場合はエポキシ基含有モノマ
ーが用いられる。
【００２９】
上記多官能オリゴマー又はモノマーとしては、分子量が１万以下であるものが好ましく、
より好ましくは光照射による粘着剤層の三次元網状化が効率よくなされるように、その分
子量が５０００以下でかつ分子内のラジカル重合性の不飽和結合の数が２〜２０個のもの
である。このようなより好ましい多官能オリゴマー又はモノマーとしては、例えば、トリ
メチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）
アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール
テトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタ（メタ）ア
クリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。その
他、１，４−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ
（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、市販のオリゴ
エステル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの多官能オリゴマー又はモノマー
は、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００３０】
上記光重合開始剤としては、例えば、波長２５０〜８００ｎｍの光を照射することにより
活性化されるものが挙げられ、このような光重合開始剤としては、例えば、メトキシアセ
トフェノン等のアセトフェノン誘導体化合物；ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾイン
イソブチルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール、アセ
トフェノンジエチルケタール等のケタール誘導体化合物；フォスフィンオキシド誘導体化
合物；ビス（η５−シクロペンタジエニル）チタノセン誘導体化合物、ベンゾフェノン、
ミヒラーケトン、クロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、ジメチルチオキサン
トン、ジエチルチオキサントン、α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒ
ドロキシメチルフェニルプロパン等の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。これらの光重
合開始剤は、単独で用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。
【００３１】
上記光硬化型接着性樹脂は、光を照射することにより粘着剤の全体が均一にかつ速やかに
重合架橋して一体化するため、重合硬化によるゴム状領域のｔａｎδの減少が著しくなり
、粘着力が大きく低下する。更に、上記光硬化型接着性樹脂を含有する粘着剤に、光を照
射すると、気体発生層全体のゴム状領域のｔａｎδが減少して硬化するため、気体発生剤
から発生した気体が気泡として気体発生層中に留まりにくくなり、気体発生層の外への放
出が促進される。
【００３２】
上述の効果は、気体発生剤から気体が発生する以前に架橋が進行しなければ得ることがで
きない。従って、上記架橋成分としては、気体発生剤から気体が発生する以前に架橋が形
成されるようなものを選択することが好ましい。従って、上記気体発生剤から気体を発生
させる光の波長と、上記架橋成分を架橋させる光の波長とが重複しない波長領域が存在す
ることが好ましい。これにより、まず架橋成分を架橋させる波長の光を照射した後に、気
体発生剤から気体を発生させる波長の光を照射することにより、より効果的に発生した気
体を気体発生層の外へ放出するようにすることができる。
【００３３】
上記粘着剤は、更に、光増感剤を含有することが好ましい。上記光増感剤としては特に限
定されないが、例えば、チオキサントン等が好適である。
上記光増感剤は、上記気体発生剤への光による刺激を増幅する効果を有することから、光
増感剤を含有することにより、気体発生剤の感光領域以外の波長領域の光の照射により気
体を放出させることができる。また、粘着剤に含有させる上記気体発生剤と光増感剤との
量を調整することにより、気体の発生に必要な光量、気体発生にかかる時間等を自由に制
御することができ、用途に合わせた性質を付与することができ、被着体の選択の幅が広が
る。なお、上記チオキサントンは光重合開始剤としても用いることができる。
【００３４】
本発明の粘着テープは、上記気体発生層上に積層体が積層された構造を有する。
上記積層体は、単層のものであってもよく、複数の層からなるものであってもよいが、少
なくとも基材層を有することが好ましい。上記積層体が上記基材層のみからなる場合には
、本発明の粘着テープは片面粘着テープとなる。また、上記積層体は、上記基材層の他に
も、粘着剤層（以下、非気体発生粘着剤層ともいう）や、後述する遮光層等を有していて
もよい。上記積層体が非気体発生粘着剤層を有しており、かつ、該非気体発生粘着剤層が
上記気体発生層とは反対側の表面に露出する場合には、本発明の粘着テープは、両面粘着
テープとなる。
なお、この場合、上記非気体発生粘着剤層を構成する粘着剤としては特に限定されず、例
えば、従来公知の粘着剤を用いることができ、また、上記気体発生層を構成する粘着剤と
同様のものを用いることもできる。
【００３５】
上記基材層としては、例えば、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、
ＡＢＳ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の
透明な樹脂からなるもの等が挙げられるが、積層体全体として以下の光学特性を有するも
のでなければならない。
【００３６】
本発明の粘着テープの使用方法としては、例えば、本発明の粘着テープを用いて被着体を
接着し、被着体に何らかの加工等を行った後、通常は、上記積層体側から上記気体発生層
に紫外線を照射して、上記気体発生層に含まれる気体発生剤から気体を発生させて剥離を
行う。これらの一連の工程は可視光線下で行われることが多いが、このとき、上記気体発
生層は、上記積層体を通過した可視光線に暴露される恐れがある。従って、上記積層体に
は、下述する光学性能が要求される。
【００３７】
即ち、上記積層体は、波長３６５ｎｍの光の透過率が４０％以上であり、かつ、波長４０
０〜４５０ｎｍの範囲における光の透過率の最大値が４０％以下である。波長３６５ｎｍ
の光の透過率が４０％未満であると、剥離の際に極めて高エネルギーの紫外線を照射しな
ければ気体発生剤から気体を発生させることができず、又は、紫外線を照射しても気体が
発生せず剥離ができない。好ましくは５０％以上である。また、波長４００〜４５０ｎｍ
の範囲における光の透過率の最大値が４０％を超えると、可視光線下における保存性に劣
る。好ましくは３０％以下、より好ましくは２０％以下である。
【００３８】
上記積層体にこのような光学特性を付与する方法としては特に限定されないが、例えば、
波長４００〜４５０ｎｍに吸収ピークを有する可視光線吸収剤を、積層体を構成するいず
れかの層中に配合する方法が好適である。
上記可視光線吸収剤を、積層体を構成するいずれかの層中に配合する態様としては特に限
定されず、例えば、上記基材層中に配合する態様；上記基材の表面処理層、例えば、上記
気体発生層と上記積層体との間の結合力を高めるために形成するアンカーコート層中に配
合する態様；上記非気体発生粘着剤層中に配合する態様等が挙げられる。具体的には、上
記基材を成形する際に、基材を構成する樹脂中に可視光線吸収剤を配合して混練する方法
；上記基材の表面処理剤溶液中に可視光線吸収剤を配合し、これを基材の片面又は両面に
塗工する方法；上記非気体発生粘着剤に可視光線吸収剤を配合し、これを上記気体発生層
とは反対側の表面に塗工する方法等が挙げられる。
これらの態様は、単独で用いられてもよいし、２種以上が併用されてもよい。
【００３９】
上記可視光線吸収剤としては特に限定されず、例えば、Ｓｈｉｇｅｎｏｘ  ＶＲＡ−４３
７、Ｓｈｉｇｅｎｏｘ  ＶＲＡ−４４４（いずれもハッコールケミカル社製）等が挙げら
れる。これらの可視光線吸収剤は、波長４００〜４５０ｎｍの光を吸収する一方で、波長
３６５ｎｍの光はほとんど吸収しない。
【００４０】
本発明の粘着テープは、上記気体発生層上に上記積層体が積層された構造を有することか
ら、極めて保存性に優れる。
上記気体発生剤としてアゾ化合物やアジド化合物を用いた場合には、主に波長３６５ｎｍ
の光を照射することにより気体を発生するが、これらの気体発生剤の多くは波長４００〜
４５０ｎｍの可視光線によってもわずかながら反応して気体を発生することがある。本発
明の粘着テープにおいては、上記気体発生剤を含有する気体発生層上に上述の光学特性を
有する積層体が積層されていることから、可視光線下に保存しても可視光線の大半が上記
積層体に吸収され、ほとんど上記気体発生層に到達することがない。従って、可視光線下
でも安定して保存することができる。
一方、本発明の粘着テープを用いて接着を行った被着体を剥離する場合には、波長３６５
ｎｍ付近の光を上記積層体側から照射すれば、この波長の光の大半は上記積層体を通過し
て上記気体発生層に到達することから気体が発生し、容易に剥離することができる。
【００４１】
本発明の粘着テープを製造する方法としては特に限定されず、例えば、ポリエチレンテレ
フタレート等の基材層を含む積層体上に、上記気体発生剤等を含有する粘着剤等をドクタ
ーナイフやスピンコーター等を用いて塗工する等の従来公知の方法を用いることができる
。
【００４２】
本発明の粘着テープは、被着体が軟弱で破損しやすいものであっても破損させることなく
、紫外線等の光を照射することにより容易に剥離することができる。更に、可視光線下で
あっても極めて保存性に優れる。
【発明の効果】
【００４３】
本発明によれば、光を照射することにより被着体を損傷することなく容易に剥がすことが
でき、しかも保存性に優れる粘着テープを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下に実施例を掲げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限
定されるものではない。
【００４５】
（実施例１）
＜粘着剤の調製＞
下記の化合物を酢酸エチルに溶解させ、紫外線を照射して重合を行い、重量平均分子量７
０万のアクリル共重合体を得た。
得られたアクリル共重合体を含む酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２
−イソシアナトエチルメタクリレート３．５重量部を加えて反応させ、更に、反応後の酢
酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、ペンタエリスリトールトリアクリレー
ト４０重量部、光重合開始剤（イルガキュア６５１）５重量部、ポリイソシアネート０．
５重量部を混合し粘着剤（１）の酢酸エチル溶液を調製した。
ブチルアクリレート                ７９重量部
エチルアクリレート                １５重量部
アクリル酸                          １重量部
２−ヒドロキシエチルアクリレート    ５重量部
光重合開始剤                    ０．２重量部
（イルガキュア６５１、５０％酢酸エチル溶液）
ラウリルメルカプタン          ０．０１重量部
【００４６】
また、粘着剤（１）の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、２，２’−ア
ゾビス−（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）３０重量部、及び、２，４−ジエ
チルチオキサントン３．６重量部を混合して、気体発生剤を含有する粘着剤（２）を調製
した。
更に、粘着剤（１）の酢酸エチル溶液の樹脂固形分１００重量部に対して、Ｓｈｉｇｅｎ
ｏｘ  ＶＲＡ−４３７（ハッコールケミカル社製）０．１２重量部を混合して、可視光線
吸収剤を含有する粘着剤（３）を調製した。
【００４７】
＜両面粘着テープの作製＞
粘着剤（２）の酢酸エチル溶液を、両面にコロナ処理を施した厚さ５０μｍの透明なポリ
エチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面に乾燥皮膜の厚さが約５０μｍとなる
ように塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥
状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤（２）層の表面に離型処理を施したＰＥＴフィル
ムを貼り付けた。
【００４８】
粘着剤（３）の酢酸エチル溶液を、表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムの上に乾燥
皮膜の厚さが約３０μｍとなるように塗工し１１０℃、５分間加熱して溶剤を揮発させ塗
工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤（
２）層を設けたＰＥＴフィルムの粘着剤（２）層のないコロナ処理を施した面と、粘着剤
（３）層を設けたＰＥＴフィルムの粘着剤（３）層の面とを貼り合わせた。その後、４０
℃で３日間静置養生した。これにより両面に粘着剤層が設けられ、その表面が離型処理が
施されたＰＥＴフィルムで保護された両面粘着テープを得た。両面粘着テープの粘着剤層
はいずれも透明であった。
【００４９】
なお、積層体の評価試験用として同様の方法により、粘着剤（２）層が形成されていない
テープ、即ち、厚さ５０μｍの透明なＰＥＴフィルムの片面に厚さが約３０μｍ粘着剤（
３）層が形成されたテープも作製した。
【００５０】
（実施例２）
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）１００重量部に対してＳｈｉｇｅｎｏｘ  ＶＲＡ
−４３７（ハッコールケミカル社製）０．０７２重量部を溶融混合して押出機にて押し出
して、厚さ５０μｍの可視光線吸収剤を含有するポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
フィルムを得、更にこのフィルムの両面にコロナ処理を施した。
【００５１】
この可視光線吸収剤を含有するＰＥＴフィルムの片面に、実施例１で調製した粘着剤（２
）の酢酸エチル溶液を乾燥皮膜の厚さが約５０μｍとなるように塗工し１１０℃、５分間
加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで
、粘着剤（２）層の表面に離型処理を施したＰＥＴフィルムを貼り付けた。
【００５２】
粘着剤（１）の酢酸エチル溶液を、表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムの上に乾燥
皮膜の厚さが約３０μｍとなるように塗工し１１０℃、５分間加熱して溶剤を揮発させ塗
工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤（
２）層を設けた可視光線吸収剤を含有するＰＥＴフィルムの粘着剤（２）層のないコロナ
処理を施した面と、粘着剤（１）層を設けたＰＥＴフィルムの粘着剤（１）層の面とを貼
り合わせた。その後、４０℃で３日間静置養生した。これにより両面に粘着剤層が設けら
れ、その表面が離型処理が施されたＰＥＴフィルムで保護された両面粘着テープを得た。
両面粘着テープの粘着剤層はいずれも透明であった。
【００５３】
なお、積層体の評価試験用として同様の方法により、粘着剤（２）層が形成されていない
テープ、即ち、厚さ５０μｍの可視光線吸収剤を含有するＰＥＴフィルムの片面に厚さが
約３０μｍ粘着剤（１）層が形成されたテープも作製した。
【００５４】
（実施例３）
両面にコロナ処理を施した厚さ５０μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）
フィルムの片面に、アンカーコート剤の固形分１００重量部に対してＳｈｉｇｅｎｏｘ  
ＶＲＡ−４３７（ハッコールケミカル社製）３．６重量部を加えた液を、乾燥後の皮膜の
厚さが約１μｍとなるように塗工し乾燥させてアンカーコート層を形成した。
【００５５】
このアンカーコート層の形成されたＰＥＴフィルムのアンカーコート層上に、実施例１で
調製した粘着剤（２）の酢酸エチル溶液を乾燥皮膜の厚さが約５０μｍとなるように塗工
し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着
性を示した。次いで、粘着剤（２）層の表面に離型処理を施したＰＥＴフィルムを貼り付
けた。
【００５６】
粘着剤（１）の酢酸エチル溶液を、表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムの上に乾燥
皮膜の厚さが約３０μｍとなるように塗工し１１０℃、５分間加熱して溶剤を揮発させ塗
工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤（
２）層を設けた可視光線吸収剤を含有するＰＥＴフィルムの粘着剤（２）層のないコロナ
処理を施した面と、粘着剤（１）層を設けたＰＥＴフィルムの粘着剤（１）層の面とを貼
り合わせた。その後、４０℃で３日間静置養生した。これにより両面に粘着剤層が設けら
れ、その表面が離型処理が施されたＰＥＴフィルムで保護された両面粘着テープを得た。
両面粘着テープの粘着剤層はいずれも透明であった。
【００５７】
なお、積層体の評価試験用として同様の方法により、粘着剤（２）層が形成されていない
テープ、即ち、厚さ５０μｍの透明ＰＥＴフィルムの片面に厚さが約３０μｍ粘着剤（１
）層が、もう片面に可視吸収剤を含むアンカーコート層が形成されたテープも作製した。
【００５８】
（実施例４）
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）１００重量部に対してＳｈｉｇｅｎｏｘ  ＶＲＡ
−４３７（ハッコールケミカル社製）３．６重量部を溶融混合した樹脂と、ポリエチレン
テレフタレート（ＰＥＴ）とを共押出機を用いて共押し出しして、厚さ５０μｍのポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの表面に、厚さ１μｍの可視光線吸収剤を含有
するポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）からなる遮光層が積層されたフィルムを得、
更にこのフィルムの遮光層が形成されていない側の面にコロナ処理を施した。なお、これ
を評価試験用の積層体として後の試験に供した。
【００５９】
このＰＥＴフィルムの遮光層が形成されていない側の片面に、実施例１で調製した粘着剤
（２）の酢酸エチル溶液を乾燥皮膜の厚さが約５０μｍとなるように塗工し１１０℃、５
分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次
いで、粘着剤（２）層の表面に離型処理を施したＰＥＴフィルムを貼り付けた。その後、
４０℃で３日間静置養生した。これにより片面に粘着剤層が設けられ、その表面が離型処
理が施されたＰＥＴフィルムで保護された片面粘着テープを得た。片面粘着テープの粘着
剤層は透明であった。
【００６０】
（比較例１）
実施例１で調製した粘着剤（２）の酢酸エチル溶液を、両面にコロナ処理を施した厚さ５
０μｍの透明なポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムの片面に乾燥皮膜の厚さ
が約５０μｍとなるように塗工し１１０℃、５分間加熱して塗工溶液を乾燥させた。乾燥
後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤（２）層の表面に離型処理を
施したＰＥＴフィルムを貼り付けた。
【００６１】
粘着剤（１）の酢酸エチル溶液を、表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムの上に乾燥
皮膜の厚さが約３０μｍとなるように塗工し１１０℃、５分間加熱して溶剤を揮発させ塗
工溶液を乾燥させた。乾燥後の粘着剤層は乾燥状態で粘着性を示した。次いで、粘着剤（
２）層を設けたＰＥＴフィルムの粘着剤（２）層のないコロナ処理を施した面と、粘着剤
（３）層を設けたＰＥＴフィルムの粘着剤（１）層の面とを貼り合わせた。その後、４０
℃で３日間静置養生した。これにより両面に粘着剤層が設けられ、その表面が離型処理が
施されたＰＥＴフィルムで保護された両面粘着テープを得た。両面粘着テープの粘着剤層
はいずれも透明であった。
【００６２】
なお、積層体の評価試験用として同様の方法により、粘着剤（２）層が形成されていない
テープ、即ち、厚さ５０μｍの透明なＰＥＴフィルムの片面に厚さが約３０μｍ粘着剤（
１）層が形成されたテープも作製した。
【００６３】
（比較例２）
ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）１００重量部に対してカーボンブラック（三菱化
学社製、♯２７００）１０重量部を溶融混合して押出機にて押し出して、厚さ５０μｍの
カーボンブラックを含有するポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムを得、更に
このフィルムの両面にコロナ処理を施した。
このカーボンブラックを含有するＰＥＴフィルムを用いた以外は比較例１と同様にして両
面粘着テープ及び積層体の評価試験用テープを作製した。
【００６４】
（評価）
実施例１〜４及び比較例１、２で作製した両面粘着テープ、片面粘着テープ及び積層体の
評価試験用テープを用いて以下の評価を行った。
結果を表１に示した。
【００６５】
（１）積層体の光透過率の測定
積層体の評価試験用テープについて分光光度計を用いて、波長３６５ｎｍの光の透過率、
及び、波長４００〜４５０ｎｍの範囲における光の透過率の最大値を測定した。
【００６６】
（２）剥離性の評価
両面粘着テープの粘着剤（２）層を保護するＰＥＴフィルムを剥がし、直径２０ｃｍ、厚
さ約７５０μｍのシリコンウエハに貼り付け、一方、粘着剤（１）層又は粘着剤（３）層
を保護するＰＥＴフィルムを剥がし、直径２０．４ｃｍのガラス板を真空プレス機を用い
て粘着剤層に貼り付けて被着体を作製した。
この被着体をシリコンウエハ側が下になるように設置した後、ガラス板側から超高圧水銀
灯を用いて、波長３６５ｎｍの紫外線をガラス板表面への照射強度が４０ｍＷ／ｃｍ２と
なるよう照度を調節して照射した。ガラス側から目視により観察して、シリコンウエハと
両面粘着テープとが完全に剥離するまでの時間を測定した。
なお、片面粘着テープについても、ガラス板と接着しない以外は、同様の評価を行った。
【００６７】
（３）非剥離性の評価
両面粘着テープ又は片面粘着テープを、粘着剤（２）層側が下になるように設置した後、
上方３ｍの高さから紫外線カット蛍光灯を用いて、可視光線を照射した。上側から目視に
より観察して、粘着剤（２）層と表面に離型処理が施されたＰＥＴフィルムとの間に一部
でも浮きが発生するまでの時間を測定した。
【００６８】
【表１】
2005097507.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明によれば、光を照射することにより被着体を損傷することなく容易に剥がすことが
でき、しかも保存性に優れる粘着テープを提供できる。