(57)【要約】【課題】位置合わせマークが設けられたスプロケットホールを有しないテープを精度良く位置合わせするための位置合わせ方法及び位置合わせ装置を提供することを目的とする。【解決手段】概略撮像手段１０と、位置合わせマークの概略位置を認識する概略位置認識手段２０と、概略位置合わせ手段３０と、詳細撮像手段４０と、詳細位置認識手段５０と、詳細位置合わせ手段６０とからなる位置合わせ装置をもちいて、まず、概略撮像手段１０にて位置合わせマーク周辺の概略撮像して、概略の位置合わせを行い、次に、詳細撮像手段４０にて位置合わせマークを詳細撮像して、位置合わせマークの位置を認識し、詳細位置合わせを行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置合わせマークが設けられたスプロケットホールを有しないテープにおいて、搬送時のテープの滑りにより、位置合わせマークが本来くるべき所定の位置に対して大きくずれることにより、位置合わせができない場合において、まず、概略撮像手段（１０）にて位置合わせマーク周辺の概略撮像をして、概略の位置合わせを行い、次に、詳細撮像手段（４０）にて位置合わせマークを詳細撮像して、位置合わせマークの位置を認識し、詳細位置合わせを行うことを特徴とするテープの位置合わせ方法。
【請求項２】
詳細撮像手段より大きな面積を撮像できる概略撮像手段（１０）と、概略撮像の結果から位置合わせマークの概略位置を認識する概略位置認識手段（２０）と、概略撮像の結果から位置合わせマークが詳細撮像手段（１０）の撮像範囲に入る程度に概略位置合わせを行う概略位置合わせ手段（３０）と、詳細撮像を行う詳細撮像手段（４０）と、詳細撮像の結果から位置合わせマークの詳細位置を認識する詳細位置認識手段（５０）と、位置合わせマークの詳細位置により詳細位置合わせを行う詳細位置合わせ手段（６０）とからなることを特徴とするテープの位置合わせ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスプロケットホールを有しないテープで各種回路基板を製造もしくは検査する装置に用いられる位置合わせ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
テープキャリアを製造もしくは検査する際の位置合わせは、一定の間隔で設けられたスプロケットホールをガイドにしてテープの搬送、位置合わせを行うのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
図４に、一定の間隔で設けられたスプロケットホール１１２を有するテープ１１１が突起を有するスプロケットガイド１３１によって搬送されている様子を示す。
図５に、一定の間隔で設けられたスプロケットホール１１２を有するテープ１１１に、位置合わせマーク１１４及び配線回路１１５等を形成した回路基板１１３を連続的に作り込んだテープキャリアの一例を示す。
【０００４】
スプロケットホール１１２を有するテープ１１１は、図４に示すように、スプロケットホール１１２と同ピッチの突起を有するスプロケットガイド１３１によって搬送される。この場合、テープ１１１の搬送量はスプロケットホール１１２の数で管理され、スプロケットホール１１２の一つの送り量を１ＰＦ（パーフォレーション）という。
【０００５】
スプロケットホール１１２を有するテープ１１１ではスプロケットガイド１３１によって搬送されるため、スプロケットホール１１２が破損しない限り搬送量は一定の精度で行われ、位置合わせも精度良く行うことができる。
【０００６】
反面、回路基板の薄型化の中でベース基材の厚さが薄くなり、搬送中にスプロケットホール１１２が破損するという問題も発生している。
【０００７】
また、スプロケットホール１１２を設けない方が製品を作り込む有効面を大きくとることができるという利点もあることから、スプロケットホールを有しないテープの採用が近年増加してきている。
【０００８】
図６に、スプロケットホールを有しないテープ１２１を搬送用駆動ローラー１４１で搬送している様子を示す。
図７に、スプロケットホールを有しないテープ１２１に、位置合わせマーク１２４及び配線回路１２５等を形成した回路基板１２３が連続的に作り込まれたテープキャリアの一例を示す。
【０００９】
スプロケットホールを有しないテープ１２１の場合、図６に示すように、テープ１２１は搬送用駆動ローラー１４１で搬送される。
この場合、テープの搬送量は搬送用駆動ローラー１４１に取り付けられたロータリーエンコーダで管理する方法が一般的であるが、搬送用駆動ローラー１４１にはスプロケットガイドのように形状的にしっかりとした引っかかりがないため、搬送用駆動ローラー１４１とテープ１２１の間のすべりによって搬送量に誤差を生じ易い。
【００１０】
図８に示すように、搬送量の移動誤差が少なく、位置合わせマーク１２４が詳細撮像手段の撮像範囲１２６から外れない場合は位置合わせが正しく行われるが、図９に示すように、搬送量の移動誤差が大きく、位置合わせマーク１２４が詳細撮像手段の撮像範囲１２
６から外れてしまうと位置合わせができなくなり、一般的には装置が停止し作業者によって調整した後、再稼働することになるため装置の稼働率が低下してしまう。
【特許文献１】特公平０６−１１０６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記問題点に鑑み考案されたもので、位置合わせマークが設けられたスプロケットホールを有しないテープを精度良く位置合わせするための位置合わせ方法及び位置合わせ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に於いて上記課題を達成するために、まず請求項１においては、位置合わせマークが設けられたスプロケットホールを有しないテープにおいて、搬送時のテープの滑りにより、位置合わせマークが本来くるべき所定の位置に対して大きくずれることにより、位置合わせができない場合において、まず、概略撮像手段１０にて位置合わせマーク周辺を概略撮像して、概略の位置合わせを行い、次に、詳細撮像手段４０にて位置合わせマークを詳細撮像して、位置合わせマークの位置を認識し、詳細位置合わせを行うことを特徴とするテープの位置合わせ方法としたものである。
【００１３】
また、請求項２においては、詳細撮像手段より大きな面積を撮像できる概略撮像手段１０と、概略撮像の結果から位置合わせマークの概略位置を認識する概略位置認識手段２０と、概略撮像の結果から位置合わせマークが詳細撮像手段４０の撮像範囲に入る程度に概略位置合わせを行う概略位置合わせ手段３０と、詳細撮像を行う詳細撮像手段４０と、詳細撮像の結果から位置合わせマークの詳細位置を認識する詳細位置認識手段５０と、位置合わせマークの詳細位置により詳細位置合わせを行う詳細位置合わせ手段６０とからなることを特徴とするテープの位置合わせ装置としたものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のテープの位置合わせ方法及び位置合わせ装置を用いて、スプロケットホールを有しないテープを概略撮像手段と詳細撮像手段の２段階で位置合わせしていくため、位置合わせマークが撮像範囲から外れることもなく、精度の良い位置合わせができ、いわゆる装置のチョコ停を未然に防ぎ、装置の稼働率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本発明のテープの位置合わせ装置を布線検査機に取り付けた一実施例を示す構成概略図である。
【００１６】
リール６に巻かれた位置合わせマーク４及び配線回路５等を形成した回路基板３が連続的に作り込まれたスプロケットホールを有しないテープ１が搬送用駆動ローラー７によって図の左から右に搬送され、所定の距離だけ搬送した後に停止する。停止した後に詳細撮像手段４０がテープ１上に設けられた位置合わせマーク４が本来くるべき所定の位置に移動し位置合わせマーク４を詳細撮像する。
【００１７】
この時、搬送用駆動ローラー７とスプロケットホールを有しないテープ１の間の滑りによって位置合わせマーク４が詳細撮像手段４０の撮像範囲４１に入らないことが詳細撮像手段４０に接続された詳細位置認識手段５０により認識された場合（図２（ａ）参照）、詳細撮像手段４０に変わって、概略撮像手段１０にて位置合わせマーク４を概略撮像し（図２（ｂ）参照）、概略撮像手段１０に接続された概略位置認識手段２０により位置合わ
せマーク４の概略位置を認識し、搬送用駆動ローラー７及び逆搬送用駆動ローラー８を備えた概略位置合わせ手段３０により概略位置合わせを行う（図２（ｃ）参照）。
【００１８】
さらに、詳細撮像手段４０にて、位置合わせマーク４を詳細撮像し（図３（ｄ）参照）、詳細位置認識手段５０により位置合わせマーク４の詳細位置を認識し、Ｘ−Ｙ−θステージからなる詳細位置合わせ手段６０により詳細位置合わせを行う（図３（ｅ）参照）。
【００１９】
ここで、詳細撮像手段４０および概略撮像手段１０は、例えば、ＣＣＤカメラ等が用いられる。ここで、詳細撮像手段４０のＣＣＤカメラのレンズ倍率を１．２倍、画像処理装置への取り込みの画素数を６４０×４８０ピクセル、分解能を６．２５μｍとすると詳細撮像範囲は４×３ｍｍとなる。また、概略撮像手段１０のＣＣＤカメラでレンズ倍率を０．４倍にすると概略撮像範囲は１２×９ｍｍとなり、位置合わせマークが直径１ｍｍの円の場合、±５．５ｍｍのずれに対応することができる。
【００２０】
詳細撮像手段４０と概略撮像手段１０については、別々のＣＣＤカメラとしてもよく、同一のＣＣＤカメラにズームレンズを取り付けた兼用型でもよい。
【００２１】
概略位置認識手段２０と概略位置認識手段５０はソフトウェアで、パターンマッチング機能、重心位置検出機能等を有する。
【００２２】
概略位置合わせ手段３０は搬送用駆動ローラー７および逆搬送用駆動ローラー８を使う。位置合わせマーク４のずれが搬送用駆動ローラー７とテープの滑りのみにより発生する場合は、通常ずれの方向は所定の位置よりテープの流れに対して手前側になるので、その場合は搬送用駆動ローラー７のみとしても構わない。
【００２３】
詳細位置合わせ手段６０は検査治具９を取り付けたＸ−Ｙ−θステージを使う。
Ｘ−Ｙ−θステージはテーブル側にあってもよく、その場合はテーブルに真空吸着機構等のテープ保持機構を持たせ、テープを保持したテーブルがＸ−Ｙ−θステージによって微小移動しても構わない。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の位置合わせ装置の一実施例を示す模式構成図である。
【図２】（ａ）〜（ｃ）は、本発明の位置合わせ方法における工程の一部を模式的に示す説明図である。
【図３】（ｄ）〜（ｅ）は、本発明の位置合わせ方法における工程の一部を模式的に示す説明図である。
【図４】スプロケットホールを有するテープをスプロケットガイドにて搬送している様子を示す説明図である。
【図５】スプロケットホールを有するテープの一例を模式的に示す説明図である。
【図６】スプロケットホールを有しないテープを搬送用駆動ローラーにて搬送している様子を示す説明図である。
【図７】スプロケットホールを有しないテープの一例を模式的に示す説明図である。
【図８】スプロケットホールを有しないテープの位置合わせ状態を模式的に示す説明図である。
【図９】スプロケットホールを有しないテープの位置合わせ状態を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００２５】
１、１２１……スプロケットホールを有しないテープ
３、１１３、１２３……回路基板
４、１１４、１２４……位置合わせマーク
５、１１５、１２５……配線回路
６……リール
７……搬送用駆動ローラー
８……逆搬送用駆動ローラー
９……テーブル
１０……概略撮像手段
１１……概略撮像手段の撮像範囲
１２……検査治具
２０……概略位置認識手段
３０……概略位置合わせ手段
４０……詳細撮像手段
４１、１２６……詳細撮像手段の撮像範囲
５０……詳細位置認識手段
６０……詳細位置合わせ手段
１１１……スプロケットホールを有するテープ
１１２……スプロケットホール
１４１……搬送用駆動ローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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