(57)【要約】【課題】連続してファインなプリント基板の形成のため、一定のサイズに裁断し、前処理工程を施したフレキシブル銅張積層板１の上面を均一にエッチングする方法である。【解決手段】複数の銅張積層板１の上下両面に感光性レジスト２と保護フィルム３をラミネートして連結し、原画フィルム４を介して露光する際に紫外線の照射は、前記複数のフレキシブル銅張積層板１の端部およびその近傍上下両面にラミネートされた感光性レジスト２部分は、両面対称部分の一方を照射したときは他方を照射しないようにする。感光性レジスト２は、少なくとも紫外線の照射を受けるときは光重合反応により硬化してアルカリ現像液に対して不溶解となり、照射を受けないときはアルカリ現像液に溶解するものか、或いは紫外線の照射を受けるときは光解離反応により軟化してアルカリ現像液により溶解し、照射を受けないときは溶解しないものを用いる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント基板の製造方法において、所望のサイズに裁断して前処理を施した複数のフレキシブル銅張積層板１の上下両面に、感光性レジスト２および保護フィルム３を連続してラミネートし、原画フィルム４を介して露光する場合、前記フレキシブル銅張積層板１の各縁部および近傍上下両面にラミネートした感光性レジスト２部分に対する紫外線の照射は、上下面対称部分の一方を照射したときは他方を照射しないようにすることを特徴とする配線基板の連続的製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配線基板の連続的製造方法の改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
多数のプリント基板を連続的に効率よくエッチングする方法として、例えば、ローラコンベア等の搬送手段によりプリント基板を水平に搬送し、二次元的に配列されたスプレー管群でエッチング液をその表面にスプレーする方法が採用されている。そしてプリント基板の片面をエッチングする場合は、搬送されるプリント基板の上方または下方のいずれかにエッチング液のスプレー管群を配列する。また、両面を同時にエッチングする場合は上方及び下方の両方にスプレー管群を二次元的に配列する。
【０００３】
このようなエッチング方法において、水平に搬送されるプリント基板の上方におけるスプレー管群の各ノズルよりスプレーされたエッチング液は、プリント基板の上表面を流れて周辺部から下方へ流下するが、その際プリント基板の上表面の中央部は周辺部よりエッチング液の滞留を生じやすいので、スプレーされたエッチング液が反応面に作用しにくいものである。そのため、プリント基板の中央部におけるエッチング速度が周辺部より低下し、均一なエッチングを行うことが困難になり、プリント基板のファイン化を妨げる大きな原因になっている。
【０００４】
この問題を解決するため、プリント基板に衝突するエッチング液の接触圧圧力を均一にするのではなく、その搬送方向に対して直角方向の周辺部より中間部に衝突するエッチング液の圧力を高くし、プリント基板の中間部から周辺部へのエッチング液の流れを円滑にする方法が知られている。しかしながら、プリント基板の搬送方向に対して直角方向の中間部に衝突するエッチング液の接触圧力を周辺部より大きくするだけでは、プリント基板の搬送方向に直角方向の不均一なエッチング現象はかなり制御できるが、プリント基板の搬送方向に不均一なエッチング現象を解決するには至らない。
【０００５】
この改善策として、特許第３１０８７５０号は、プリント基板の搬送に同期して、搬送方向のスプレー管の噴射量を変化させ、常にプリント基板の中央部の噴射圧力を搬送方向両端部よりも大きく制御する手段を提案している。しかし、このような制御はその装置が複雑となり、故障をおこしやすいという欠点をともなう。
【０００６】
さらに、エッチング液には溶解せず、レジスト除去液で溶解する帯状の接続用フィルムを用いて、基板の縁部同士を連結し、エッチング及びレジスト除去をするエッチングの方法が特願２００１−０１９５９６号に提案されている。この方法によると、プリント基板上面のエッチング液は搬送方向と直角方向のみに流れ落ちるため、エッチング力の違いは幅方向のみとなり、プリント基板の搬送方向に不均一なエッチング現象を明らかに抑制できる。しかし、上記した帯状の接続フィルムでは、アルカリ現像液で溶解してしまうため、アルカリ現像工程とエッチング工程の間で基板を接続する必要があり、このような湿った基板へ接続フィルムを貼り付けることが困難であった。また、搬送中の引っ張り応力が強いエッチング装置を用いた場合においては、工程の途中段階で分離してしまうことがあった。
【特許文献１】特開２００２−１６４６３９号公報
【特許文献２】特開２００２−２２３０５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
解決しようとする問題点は、プリント基板の形成のため、エッチングの対象となる銅張積層板（銅箔層と絶縁層とからなる。）がフレキシブルなものである場合において、効率よく連続してエッチングすることができ、前記搬送方向における不均一なエッチング現象を抑制し、基板のファイン化を実現できる方法を提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
フレキシブルな銅張積層板は、ロールに巻き取った状態で提供されることが多い。これは、該銅張積層板の製造工程において取り扱いやすい利点があるためである（なお、シート状に形成されたものについても、以下の工程に際しては事情は同一である。）。しかし、エッチングの前処理工程、例えば銅張積層板の穴あけ工程にあってはロール状のものを一定のサイズに切断し、その複数枚を重ねてドリルで穴あけし、メッキ処理を施すなどしなければ著しく手間を要することになり、ロール状のままでは効率的に処理することができない。すると、一定のサイズに切断された状態では、その余の工程である露光工程、現像工程、エッチング工程、剥離工程などにおいて、いわゆるリジットな銅張積層板に比して無理な搬送を強いられたり、工程毎に切断された銅張積層板を接続し、解離するなどリジットな銅張積層板と比較して扱いにくい欠点が生ずる。
【０００９】
本発明は、上記問題を解結するため、前記切断された銅張積層板を前記エッチング工程に至るまで縁部同士を連結して処理し、剥離工程で該連結を解離して後処理工程へ進めるようにし、連続して効率よく、かつ、不均一なエッチング現象を制御でき、プリント基板のファイン化を維持できるようにした。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、従来提案されている方法と異なり、前処理工程後露光工程に進める前に感光性レジストとその外面に保護フィルムをラミネートし、露光後保護フィルムを巻き取り剥離し、感光性レジストにより前記縁部同士の連結を維持できるようにし、現像工程、エッチング工程において効率よく連続処理でき、かつ、前記のごとくプリント基板上面のエッチング液は搬送方向と直角方向にのみ流れ落ちるようにし、プリント基板のファイン化を維持できるようにした利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明において用いる感光性レジストは、少なくとも露光工程において紫外線を受けると光重合反応により硬化し、従ってもろく曲げ強度が小さくなるが、現像工程におけるアルカリ現像液に対して不溶解となり、紫外線を受けないと重粘性で、アルカリ現像液に溶解するものを適用するか、或いは、少なくとも露光工程において紫外線を受けると光解離反応により軟化し、現像工程におけるアルカリ現像液に対して溶解し、紫外線を受けないと硬度を維持し、アルカリ現像液に不溶解であるものを適用する。
【実施例】
【００１２】
図１は連結方法を示す縦断面説明図（矢印により紫外線照射の状況を示す。）で、一定のサイズに裁断し、前処理工程を経た複数のフレキシブル銅張積層板１に感光性レジスト２と保護フィルム３を両面にラミネートして連結し、原画フィルム４を配した状態を示している。このようにラミネートすれば、フレキシブル銅張積層板１は感光性レジスト２と保護フィルム３とにより連結されるので、扱いを容易にするためこの状態で例えばロール状に巻き取り、露光工程に回すことができ効率よく処理することができる（露光に際しては、これを解いて露光装置にセットできる。）。露光後前記両面の保護フィルム３を巻き取り剥離すると、その状態では銅張積層板１は、感光性レジスト２によって連結されているが、該感光性レジスト２は紫外線を照射された部分が硬化しており、次の現像工程では溶解せず、また、照射されなかった部分は溶解するか、或いは照射された部分は軟化し次の現像工程では溶解し、照射されなかった部分は溶解しない。従って、現像が終了し、次のエッチング工程において、フレキシブル銅張積層板１の縁部同士の連結を維持するためには、その縁部およびその近傍にラミネートされた感光性レジスト２の一部に対する紫外線の照射部位を選択する必要がある。
【００１３】
前記縁部およびその近傍にラミネートされた感光性レジスト２の部分に対する紫外線照射部位の選択は、図１に示すように、エッチング液の噴出圧力と搬送中の引っ張り応力に耐え得るようにするため、前記のごとくフレキシブル銅張積層板１の両面にラミネートされた各感光性レジスト２に対しそれぞれ異なる部位とする。即ち、フレキシブル銅張積層板１の上面にラミネートされた感光性レジスト２に対し紫外線を照射した部分と対称の下面にラミネートされた感光性レジスト２部分は照射を行わないようにする。図２は紫外線照射部位選択の一例を示す平面図で、上面斜線帯状部分に紫外線を照射したときは下面対称部分には照射しない。このようにすれば、（用いる感光性レジストの相違により逆の状態になるが、例えば）現像後上面では感光性レジスト２の硬化部分５が残り、下面では溶解部分６となり、反対に上面では溶解部分６と対称の下面部分は硬化部分５として残り、エッチング工程における搬送の際、各フレキシブル銅張積層板１の縁部同士の連結を保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】連結方法を示す縦断面説明図である。
【図２】紫外線照射部位選択の一例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００１５】
１    フレキシブル銅張積層板
２    感光性レジスト
３    保護フィルム
４    原画フィルム
５    硬化部分
６    溶解部分
【図１】
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【図２】
2005217109.tif 000004