(57)【要約】【課題】  簡単な構成からなり、小さな収差で微小な光スポットを効率よく得ることができ、かつ、集光スポットを記録媒体に容易に近接させることができる反射屈折対物光学系を得る。【解決手段】  近接場光により記録及び／又は再生に使用される反射屈折対物光学系。反射屈折対物レンズ１０と透光性平板２０とで構成されている。レンズ１０は、正の光学的パワーを有し入射光線を透過させる第１面１１と、正の光学的パワーを有し入射光線を反射させる第２面１２とを備え、該第２面１２の中央付近に平面部１２ａが形成されている。平板２０は互いにほぼ平行な第３面２１と第４面２２とを備え、第３面２１が前記第２面１２と接合されている。入射光線は第１面１１を透過した後第２面１２で反射し、再び第１面１１で反射して第２面１２の平面部１２ａを透過し、第４面２２付近に集光する。【選択図】  図１
2005134539.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
近接場光による情報の記録及び／又は再生に使用される反射屈折対物光学系において、
正の光学的パワーを有し入射光線を透過させる第１面と、正の光学的パワーを有し入射光線を反射させ、中央付近に平面部が形成された第２面とを備えた反射屈折対物レンズと、
互いにほぼ平行な第３面と第４面とを備え、第３面が前記反射屈折対物レンズの第２面と接合された透光性平板とから構成され、
入射光線は前記反射屈折対物レンズの第１面を透過した後第２面で反射し、再び第１面で反射して第２面の平面部を透過し、前記平板の第４面付近に集光すること、
を特徴とする反射屈折対物光学系。
【請求項２】
前記反射屈折対物レンズの第１面と第２面との少なくとも一方が非球面であることを特徴とする請求項１に記載の反射屈折対物光学系。
【請求項３】
前記反射屈折対物レンズの第１面には、入射光線を透過させ、再び第１面に入射する光線に対して反射させる特性を有する誘電体多層膜が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の反射屈折対物光学系。
【請求項４】
前記反射屈折対物レンズの第２面には、前記平面部を除いて反射膜が形成されていることを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載の反射屈折対物光学系。
【請求項５】
前記平板の第４面には入射光線の波長以下の大きさを有する微細構造が形成されていることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３又は請求項４に記載の反射屈折対物光学系。
【請求項６】
入射瞳直径をＤ、入射瞳最大の光線が前記第２面を透過する際の直径をｄとしたとき、ｄ／Ｄ＜０．５の式を満足することを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４又は請求項５に記載の反射屈折対物光学系。
【請求項７】
前記反射屈折対物レンズの厚さをｔＬ、前記平板の厚さをｔＰとしたとき、０．１＜ｔＰ／ｔＬ＜０．７の式を満足することを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５又は請求項６に記載の反射屈折対物光学系。
【請求項８】
前記反射屈折対物レンズの第２面と前記平板の第３面との間に介在される接着剤の膜厚は、入射光線の波長をλとしたとき、５０λ以下であることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３、請求項４、請求項５、請求項６又は請求項７に記載の反射屈折対物光学系。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射屈折対物光学系、詳しくは、微小光スポットを形成するために用いられる、さらに詳しくは、近接場光による情報の記録及び／又は再生に使用される反射屈折対物光学系に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、光記録再生技術において、微小な光スポットを得るためにはなるべく高い開口数ＮＡで光を回折限界まで集光させることが望まれる。しかし、従来のレンズによる光スポットの小径化は限界に達していた。これは、光束を空気中に伝播させて集光する対物レンズのＮＡがほぼ１．０に近づいたことによる。
【０００３】
集光点付近に誘電体を使用することで光スポット径の限界を引き上げることが可能であり、高屈折率物質からなる固浸ミラー（Solid  Immersion  Mirror）を用いて光の実効的な開口数ＮＡ（Numerical  Aperture）を大きくする方法が提案されている（特許文献１，２参照）。
【０００４】
特許文献１，２に開示されている固浸ミラーは、いずれもレンズ面に集光させる構成となっている。近接場光を利用して情報の記録及び／又は再生を行う場合には、レンズ面（集光点）と記録媒体との間隔を、光の波長以下の微小な間隔で制御する必要がある。しかし、レンズ面は曲率を有しているために集光点と記録媒体との微小な間隔を測定／制御することは困難である。
【０００５】
また、特許文献１では、集光点付近のレンズ表面に微小開口を作製することが提案されている。しかし、曲面であるレンズ表面に微小開口などの微小構造を、電子ビームを使用して作製する場合など、電子ビームの焦点合わせなどで困難な作業を伴う。
【０００６】
また、特許文献１に開示されている固浸ミラーは、平面（入射面）と凸面とからなり、光学的パワーを有する面が一つであるために、球面収差とコマ収差の発生を抑えることが困難で、軸外での収差、特にコマ収差が大きいという問題点を有している。
【特許文献１】特開２００２−４８９７３号公報
【特許文献２】特開２０００−１６２５０３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明の目的は、簡単な構成からなり、小さな収差で微小な光スポットを効率よく得ることができ、かつ、集光スポットを記録媒体に容易に近接させることのできる反射屈折対物光学系を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以上の目的を達成するため、本発明は、近接場光による情報の記録及び／又は再生に使用される反射屈折対物光学系において、正の光学的パワーを有し入射光線を透過させる第１面と、正の光学的パワーを有し入射光線を反射させ、中央付近に平面部が形成された第２面とを備えた反射屈折対物レンズと、互いにほぼ平行な第３面と第４面とを備え、第３面が前記反射屈折対物レンズの第２面と接合された透光性平板とから構成され、入射光線は前記反射屈折対物レンズの第１面を透過した後第２面で反射し、再び第１面で反射して第２面の平面部を透過し、前記平板の第４面付近に集光することを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る反射屈折対物光学系は、一体的に接合された反射屈折対物レンズと透光性平板とで構成されており、集光面である第４面は平面である。従って、集光点と記録媒体との微小な間隔を測定／制御することが容易になり、集光スポットを記録媒体に容易に近接させることができる。しかも、集光面である第４面を平面とすることで、該平面に近接場光を発生させる微小構造の作製が容易になる。
【００１０】
さらに、入射光線は正の光学的パワーを有する第１面及び第２面で屈折あるいは反射されるため、球面収差とコマ収差の発生を抑えることが可能になり、特に軸外での収差が小さくなる。
【００１１】
本発明に係る反射屈折対物光学系において、反射屈折対物レンズの第１面と第２面との少なくとも一方は非球面であることが好ましい。収差を良好に補正することができる。
【００１２】
また、反射屈折対物レンズの第１面には、入射光線を透過させ、再び第１面に入射する光線に対して反射させる特性を有する誘電体多層膜が形成されていてもよい。さらに、反射屈折対物レンズの第２面には、平面部を除いて反射膜が形成されていてもよい。入射光線を効率的に利用することができる。
【００１３】
また、平板の第４面には入射光線の波長以下の大きさを有する微細構造が形成されていてもよい。近接場光を効果的に発生させることができ、回折限界以下の光スポットを得ることができる。
【００１４】
さらに、入射瞳直径をＤ、入射瞳最大の光線が前記第２面を透過する際の直径をｄとしたとき、ｄ／Ｄ＜０．５の式を満足することが好ましい。不要光成分を小さくすることができる。
【００１５】
さらに、反射屈折対物レンズの厚さをｔＬ、平板の厚さをｔＰとしたとき、０．１＜ｔＰ／ｔＬ＜０．７の式を満足することが好ましい。光学系全体の厚みを小さくしながら、良好な光学性能を得ることができる。
【００１６】
さらに、反射屈折対物レンズの第２面と平板の第３面との間に介在される接着剤の膜厚は、入射光線の波長をλとしたとき、５０λ以下であることがこのましい。接着剤の膜厚の変化に伴う集光位置の変動を極力小さく抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明に係る反射屈折対物光学系の実施例について添付図面を参照して説明する。
【００１８】
（実施例１〜４の概略構成と集光作用）
図１、図４、図６及び図８に、本発明に係る反射屈折対物光学系の実施例１〜４の構成をそれぞれ示す。図２、図５、図７及び図９はそれらの波面収差特性を示している。
【００１９】
各実施例１〜４において、反射屈折対物光学系は、反射屈折対物レンズ１０と透光性平板２０とから構成されている。反射屈折対物レンズ１０は、正の光学的パワーを有し入射光線を透過させる第１面１１と、正の光学的パワーを有し入射光線を反射させ、中央に平面部１２ａが形成された第２面１２とを備えている。
【００２０】
透光性平板２０は、互いにほぼ平行な第３面２１と第４面２２とを備え、第３面２１が前記反射屈折対物レンズ１０の第２面１２と接合されている。
【００２１】
図１、図４、図６及び図８において、入射光線Ｌ１，Ｌ２は最外周の入射光線を示し、これらの入射光線はまず第１面１１に入射する。この入射光線は第１面によって屈折されて第２面１２に入射する。第２面１２には中央の平面部１２ａを除いて反射膜が施されており、光線は第２面１２で反射される。
【００２２】
第２面１２で反射された光線は、再び第１面１１に入射する。第１面１１への再入射光線は第１面１１で反射され、第２面１２の平面部１２ａを透過する。この平面部１２ａを透過した光線は平板２０を透過し、該平板２０の第４面２２の表面近傍に集光する。
【００２３】
集光点付近には、多くのエネルギーが集まるので、熱エネルギーが多く発生する。従来のようにレンズ面に光を集光させると、発生した熱によりレンズ形状が変化し性能の劣化が生じる。本実施例１〜４のように、第２面１２の平面部１２ａに透光性平板２０を接合する構成では、平板２０を熱伝導性のよい材料で構成したり、集光点以外の場所に放熱用の構成を持たせたりすることで、熱による性能劣化を防ぐことができる。
【００２４】
（コンストラクションデータ及び収差）
ここで、実施例１〜４に関する光学系のコンストラクションデータを以下の表１〜４に示す。設計波長光に対する波面収差特性は、図２、図５、図７、図９に示されている。また、図３には実施例１における第１面１１での屈折角度及び反射角度を示している。
【００２５】
【表１】
2005134539.tif 000003
【００２６】
【表２】
2005134539.tif 000004
【００２７】
【表３】
2005134539.tif 000005
【００２８】
【表４】
2005134539.tif 000006
【００２９】
第１面１１及び第２面１２は非球面であり、その面形状は以下の式（１）で定義されるものとする。
【００３０】
【数１】
2005134539.tif 000007
【００３１】
ところで、入射光線は、第１面１１で２回、第２面１２で１回の屈折又は反射している。収差補正の観点から、軸上収差（球面収差）及び軸外収差（コマ収差）を補正するためには、少なくとも２面の正の光学的パワーを有する球面に加えて非球面が必要であることが知られている。
【００３２】
従って、実施例１〜４のように、光線が正の光学的パワーを有する三つの面に作用され、そのうち少なくとも１面が非球面であると、軸上及び軸外共に良好な性能を有する光学系を実現することができる。つまり、第１面１１又は第２面１２の少なくとも一つが非球面であることが、軸外収差補正の観点から好ましい。
【００３３】
一般的に光学系の性能は、マレーシャル限界以下の波面収差（０．０７０波長以下）であれば、良好であると判断できる。実施例１〜４においては、図２、図５、図７及び図９に示すように、１°の軸外光に対しても０．０４波長以下の波面収差であり、マレーシャル限界以下の波面収差となっている。
【００３４】
また、実施例１〜４において、第１面１１は屈折と反射の役割を同一の面で行っている。これによって、反射屈折対物レンズ１０を二つの光学面のみで構成することができる。レンズ１０は屈折／反射という複雑な光路を備えたレンズでありながら、２面だけで構成しているため、従来のガラスモールド方式やプラスチックモールド方式を用いた非球面レンズの加工と同様に作製できる点で好ましい。
【００３５】
（第２面の反射膜と光の利用効率）
前述の如く、第２面には平面部１２ａを除いて反射膜が施されている。この反射膜は、アルミニウムや銀を蒸着したり、ＴｉＯ2，ＳｉＯ2などを多層に蒸着した誘電体多層膜としたものであることが、高い反射率を得ることができるので好ましい。平面部１２ａのみを覆うマスクを第２面の前面に配置して蒸着を行うことにより、第２面１２に対して平面部１２ａを除いた反射膜を成膜することができる。
【００３６】
第２面１２の平面部１２ａは、反射膜を有していないので、第１面１１を透過して第２面の平面部１２ａを透過してしまう光線が存在する。この光線は最終的に集光に寄与しないので、不要光となってしまう。光の利用効率を高めるためにはこのような不要光の成分を小さくすることが好ましい。具体的には、以下の条件式（２）を満足することが好ましい。
【００３７】
ｄ／Ｄ＜０．５        …（２）
Ｄ：入射瞳直径
ｄ：入射瞳最大の光線が第２面を透過する際の直径
【００３８】
条件式（２）の上限を超えると、不要光成分の割合が大きくなって効率的な集光が困難になる。条件式（２）の上限を０．３５とすれば、さらに好ましい効率で集光させることができる。以下の表５に各実施例１〜４におけるｄ，Ｄ及びｄ／Ｄの値を示す。
【００３９】
【表５】
2005134539.tif 000008
【００４０】
（接着剤）
ところで、第２面１２の平面部１２ａは接着剤によって平板２０の第３面２１と接合されている。この接着剤が厚いと収縮により平板２０に反りが発生するので、接着剤の厚みは薄いほうが好ましい。また、接着剤の厚みの変動は集光位置である平板２０の第４面２２の位置を変化させることになる。従って、接着剤の膜厚を極力薄くしておけば、第４面の位置変化も小さくできるので好ましい。具体的に、接着剤の膜厚は入射光線の波長λに対して５０λ以下であることが好ましい。
【００４１】
膜厚が５０λ以下であることは、膜厚の変動が数％であった場合に、第４面の位置変化が数波長以下であることを保証する。接着剤の膜厚を１０λ以下とすれば、さらに好ましい。
【００４２】
平板２０の第４面２２の表面近傍には集光スポットが形成される。後述する開口数ＮＡに関する説明から明らかであるが、集光スポット近傍の屈折率が高いほうが大きなＮＡを達成することができ、その結果、小さな光スポットを得ることができる。従って、平板２０の屈折率は反射屈折対物レンズ１０及び接着剤の屈折率よりも大きいことが好ましい。屈折率の大きな媒質からなる平板２０を用いることで、より小さな光スポットを形成することができる。
【００４３】
（レンズと平板の厚み）
また、反射屈折対物レンズ１０の厚みと平板２０の厚みとの和が光学系の全体の厚みを決めている。従って、光学系全体をコンパクトに構成するためには、両者の厚みを小さくすることが好ましい。しかしながら、単に、レンズ１０の厚みや平板２０の厚みのみを薄くしても良好な光学性能を得ることは困難である。具体的には、以下の条件式（３）を満足することが好ましい。
【００４４】
０．１＜ｔＰ／ｔＬ＜０．７        …（３）
ｔＬ：反射屈折対物レンズの厚み
ｔＰ：透光性平板の厚み
【００４５】
前記条件式（３）はレンズ１０の厚みと平板２０の厚みの比を示している。条件式（３）の上限を超えると、レンズ１０に対して平板２０が厚くなりすぎる。換言すると、第１面１１と第２面１２との距離が近くなりすぎ、第１面１１を透過した光線が第２面１２で反射された後、再び第１面１１に入射するときの光線高さが、最初に第１面１１に入射した位置と違わなくなる。良好な光学性能を得るためには、この光線高さの差を大きく設定するために、条件式（３）の上限を超えないことが必要となる。
【００４６】
一方、条件式（３）の下限を超えると、光学性能的には有利ではあるが、平板２０の厚さの下限には製造上の限界が存在するため、実質的にレンズ１０が大きくなることを意味する。この場合、光学系が全体として大型化するために好ましくはない。
【００４７】
以上の点に鑑みると、条件式（３）の上限を０．５、下限を０．２とすると、さらに小型で高性能な光学系を得ることができる。以下の表６に各実施例１〜４におけるｔＰ，ｔＬ及びｔＰ／ｔＬの値を示す。
【００４８】
【表６】
2005134539.tif 000009
【００４９】
（開口数ＮＡ）
また、入射光線は平板２０の第４面２２の表面付近で集光する。集光された光は、集光点付近に近接された図示しない記録媒体に伝達され、情報の記録及び／又は再生を行う。
【００５０】
具体的には、開口数ＮＡは以下の式（４）で定義される。
【００５１】
ＮＡ＝ｎ×ｓｉｎθ        …（４）
ｎ：集光点付近の媒質の屈折率
θ：集光点に集光する光線の光軸となす最大角度
【００５２】
第２面１２の面頂点付近に集光する場合は、反射屈折対物レンズ１０の屈折率ｎが通常のガラスの場合は１．５以上を有するので、開口数ＮＡは１．０もしくはそれ以上に大きくなり、微小スポットを得ることが可能になるので好ましい。
【００５３】
開口数ＮＡが１．０以上の光学系により形成された微小スポットによって記録及び／又は再生を行うためには、記録媒体を集光スポットに近接させる必要がある。近接場光は伝播光ではないために距離が大きいと指数関数的に減衰してしまう。そこで、集光スポットと記録媒体の記録表面との距離は波長以下であることが好ましい。さらには、波長の１／３以下であると、より強い近接場光の伝達が行えるので好ましい。
【００５４】
（第１面に施す薄膜）
反射屈折対物レンズ１０の第１面１１には以下の３種類の薄膜を施すことが考えられる。
【００５５】
第１は、第１面１１の中央付近に第２面１２と同様に光線を反射させる特性を有するアルミニウムや銀の薄膜を形成することである。この反射膜は図１に符号１１ａで示す領域に形成される。この場合、第１面１１の中心付近の光線は反射膜によって遮光されて第１面１１から入射することはできないが、周辺の光線を効率的に集光に作用させることができる。
【００５６】
第２は、第１面１１の全面にハーフミラーのように透過も反射も１／２ずつ作用する薄膜を形成することである。第１面１１にこのような薄膜を設けると、入射光線を入射位置に拘わらず全て集光に利用することができる。しかしながら、光線は薄膜（ハーフミラー）に２回作用するため、入射エネルギーの最大１／４しか利用できず、エネルギー効率も１／４を超えることはできない。また、全ての入射角度において、ｐ偏光もｓ偏光も共に５０％近い反射率を有する反射膜は、現状のところ、誘電体多層膜、金属薄膜のいずれを用いても達成することは困難である。従って、エネルギー効率も１／４を大きく下回ることになる。
【００５７】
第３は、第１面１１に入射光線の大部分を透過させ、再び第１面１１に入射する光線の大部分を反射させる特性を有する誘電体多層膜を形成することである。このような特性を持つ膜は、前記２種類の薄膜と比較して光の利用効率を高めることができる。
【００５８】
図３は、実施例１における、対物レンズ１０の第１面１１で屈折される光線（入射光線）の屈折角と、第１面１１で屈折されて第２面１２で反射され、再び第１面１１に入射して反射されるべき光線の反射角（＝入射角）とを示すグラフである。横軸は反射屈折対物レンズ１０の光軸からの距離（ｍｍ）であり、縦軸は角度（度）である。対物レンズ１０の光線入射位置が同じであっても、屈折時と反射時とで角度が異なることを利用して、第３の薄膜の特性（透過／反射）を変えている。
【００５９】
このような誘電体多層膜は、例えば、以下の表７に示す４０層の多層構造で実現することができる。なお、表７において、屈折率２．２の材料はＴｉＯ2であり、屈折率１．５の材料はＳｉＯ2である。
【００６０】
【表７】
2005134539.tif 000010
【００６１】
図１０に波長が４０５ｎｍにおける表７記載の誘電体多層膜の反射率の角度依存性を示す。この誘電体多層膜では、ガラス内での入射角度が約７°より大きい光線は反射され、約７°より小さい光線は透過する。例えば、実施例１の場合には、反射屈折対物レンズ１０に入射する光線は全て第１面１１を透過する。そして、第２面１２で反射され第１面１１に再び入射する光線のうち、光軸近傍（光軸からの距離約０．１５ｍｍ以内）の光線は第１面１１を透過してしまうが、それ以外の大部分の光線は第１面１１で反射される。波長が異なる場合は各層の厚みを波長に応じて比例した値にすることで、全く同様の角度依存性を実現することができる。誘電体多層膜は高屈折率と低屈折率の材料を交互に積層したものであり、このような積層構造によって入射角度がついたときの反射率を高くすることができる。
【００６２】
誘電体多層膜は２０層以上であることが好ましい。一般に、誘電体多層膜は層数を増やすと、角度特性や波長特性の立ち上がりが急になるという特性がある。各実施例１〜４の如く、反射屈折対物レンズ１０の第１面１１に設ける誘電体多層膜においても立ち上がりが急であるほど、光の利用効率が高くなるので好ましい。
【００６３】
（記録再生媒体との間隔）
ところで、集光スポットを光記録及び／又は再生に利用する場合には、集光スポットの開口数ＮＡを利用するために、記録媒体は集光スポットの近傍に位置することが望ましい。具体的には、開口数ＮＡが１を超える角度を有する光線は集光スポットで全反射されるため、光学系から抜け出ることはできない。しかし、集光スポットに極めて近い領域（近接場領域）では開口数ＮＡが１を超える角度の光線であっても、電磁波が浸み出しているので、記録媒体をその領域に配置することで、記録及び／又は再生を行うことができる。
【００６４】
具体的には、平板２０の第４面２２と記録媒体との間隔を波長の１／２以下に設定することが好ましい。さらに、１／３以下に設定するとより効率的な記録及び再生が可能である。
【００６５】
記録媒体と対物レンズとの近接制御を行う方法の一つに、二つの物体間の静電容量をモニターし、制御する方法がある。対物レンズ側の面が曲面の場合には、場所によってレンズと記録媒体との距離が異なるため、静電容量測定用の電極の位置によって距離情報が異なり、制御が困難である。それに対し、本実施例１〜４の場合には、対物レンズと記録媒体との距離が、全面に渡って一定であるため、電極をどこに配置してもノイズが少なく、良好な制御を行うことができる。
【００６６】
集光点にはレンズ１０の開口数ＮＡに見合った大きさの光スポットが形成される。即ち、入射光線が一様であった場合、いわゆるエアリー環と呼ばれるパターンが形成され、その中心スポットの直径Ｄは以下の式（５）で表されることが一般に知られている。
【００６７】
Ｄ＝１．２２λ／ＮＡ        …（５）
【００６８】
従って、仮に、開口数ＮＡが１．５で波長が４００ｎｍの場合、直径Ｄは３２５ｎｍの光スポットを得ることができる。
【００６９】
（微小構造）
さらに、小さな光スポットを得るためには、集光スポット近傍に波長以下の寸法を有する近接場光発生構造を設けることが好ましい。
【００７０】
このような微小構造としては、例えば、図１１（Ａ）に示す金属の薄膜１５に設けられた波長以下の大きさを有する開口１３、図１１（Ｂ）に示す先端曲率が波長以下の誘電体からなる円錐型突起１４、あるいは、該突起１４に金属の薄膜１５を施したものを挙げることができる。また、図１１（Ｃ）に示す先端曲率が波長以下の金属製円錐型突起１６を設けてもよい。さらには、図１１（Ｄ）に示すボウタイ型の突起１７，１７を設けたものであってもよい。
【００７１】
波長以下の微小構造体に光が作用すると、該構造体の近辺には構造体の大きさに応じた近接場光が発生する。従って、集光点付近に波長以下の大きさを有する構造体を設け、記録媒体を構造体に近接させることで、記録媒体のうち構造体の大きさに応じた領域のみが近接場光と相互作用を生じ、微小領域での記録及び／又は再生を行うことができる。
【００７２】
さらに詳しくは、微小構造体の大きさは波長の１／５よりも小さいことが好ましい。具体的には、直径３００ｎｍ、高さ３００ｎｍの円錐状のアルミニウム製の突起であって、先端部の半径が８０ｎｍ以下である構造体とすればよい。図１１（Ｄ）に示したボウタイ型の突起１７，１７は、厚みｘを１００ｎｍとし、間隔ｙを８０ｎｍ以下として半径８０ｎｍ以下の先端部１７ａを向かい合わせたものである。
【００７３】
記録媒体と構造体との間隔は、構造体の最小構造の大きさよりも小さいことが望ましい。近接場光による記録／再生では、微小構造から浸み出す近接場光の大きさは微小構造程度であり、減衰距離も同程度であることが知られている。そこで、記録媒体を最小構造よりも近づけることが効率のよい記録／再生を行うための条件となる。
【００７４】
さらに、実施例１〜４では、反射屈折対物レンズ１０と透光性平板２０とを別々に作製して接着している。従って、前記微小構造をエッチングやリソグラフィ等の技術で平板２０の第４面２２に作製するのは、ウエハーのような平板上に作製するのと同様に行うことができる。
【００７５】
即ち、微小構造を作製したウエハーを所定の大きさに切断した後、レンズ１０の第２面１２の平面部１２ａに接合することで光学系を構成することができる。ウエハーに微小構造を形成する方法であれば、多くの平板２０を１回のプロセスで大量生産することができ、生産性が向上する。
【００７６】
（他の実施例）
なお、本発明に係る反射屈折対物光学系は前記実施例に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更できる。
【００７７】
特に、反射屈折対物レンズや透光性平板の構造の詳細は任意であり、また、それらのコンストラクションデータや波面収差はあくまで例示である。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明に係る反射屈折対物光学系の実施例１を示す構成図である。
【図２】前記実施例１の波面収差特性を示すグラフである。
【図３】前記実施例１の第１面での屈折角度及び反射角度を示すグラフである。
【図４】本発明に係る反射屈折対物光学系の実施例２を示す構成図である。
【図５】前記実施例２の波面収差特性を示すグラフである。
【図６】本発明に係る反射屈折対物光学系の実施例３を示す構成図である。
【図７】前記実施例３の波面収差を示すグラフである。
【図８】本発明に係る反射屈折対物光学系の実施例４を示す構成図である。
【図９】前記実施例４の波面収差を示すグラフである。
【図１０】誘電体多層膜の入射角度に対する反射率を示すグラフである。
【図１１】集光面に形成される微小構造の例を示し、（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は断面図、（Ｄ）は斜視図である。
【符号の説明】
【００７９】
１０…反射屈折対物レンズ
１１…第１面
１２…第２面
１２ａ…平面部
２０…透光性平板
２１…第３面
２２…第４面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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