(57)【要約】【課題】金属材料処理方法及び装置において、部材における亀裂の発生を抑制することで長寿命化を図ると共に装置の簡素化を図る。【解決手段】溶接部１３により接合された金属材料１１，１２の表面に、この金属材料１１，１２より低温度で気化する低温気化材１４を所定厚さで塗布し、高密度エネルギとしてのレーザ光１５を塗布された低温気化材１４に向けて、その焦点が低温気化材１４の表面となるように照射し、この低温気化材１４を蒸発させる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属材料の表面に該金属材料より低温度で気化する低温気化材を所定厚さで塗布し、該塗布された低温気化材の表面に向けて高密度エネルギを照射し、該低温気化材を蒸発させ、前記金属材料の表面に圧縮応力を発生させることを特徴とする金属材料処理方法。
【請求項２】
請求項１記載の金属材料処理方法において、前記金属材料の表面層における金属組織を微細化させることを特徴とする金属材料処理方法。
【請求項３】
請求項１または２記載の金属材料処理方法において、前記金属材料が鉄系材料であるときは、前記低温気化材がアルミニウム合金を含むものとすることを特徴とする金属材料処理方法。
【請求項４】
請求項３記載の金属材料処理方法において、前記アルミニウム合金の粉末を有機溶剤と混合してペースト状とし、鉄系材料の表面に塗布することを特徴とする金属材料処理方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一つに記載の金属材料処理方法において、前記低温気化材の表面に透明液体層を設け、該透明液体層の上方から前記低温気化材の表面に向けて高密度エネルギを照射することを特徴とする金属材料処理方法。
【請求項６】
請求項５記載の金属材料処理方法において、前記透明液体層は、大気中で形状を保持できる粘性体であることを特徴とする金属材料処理方法。
【請求項７】
金属材料の表面に対して該金属材料より低温度で気化する低温気化材を所定厚さで塗布する低温気化材塗布手段と、該塗布された低温気化材の表面に向けて高密度エネルギを照射する高密度エネルギ照射手段と、該高密度エネルギ照射手段を前記低温気化材の表面に沿って移動させる移動手段とを具えたことを特徴とする金属材料処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属材料の表面にピーニング処理を施すことで内部残留応力を低減させる金属材料処理方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図８は、一般的なボイラ配管の概略図、図９−１から図９−４は、従来の金属材料の補修方法を説明するための概略図である。
【０００３】
火力発電プラントや化学プラントにて、図８に示すように、ボイラ管寄せ管台は高温水や水蒸気等の高圧流体を流動させるものであり、複数の管台００１の下端部が溶接により管寄せ００２に接合された構造をなしている。そして、この各管台００１の上端部には図示しない伝熱管が連結される一方、管寄せ００２は図示しない給水装置に連結されている。このようなボイラ管寄せ管台では、起動停止時に生じる温度差や内部に高圧の蒸気等が流動することによる振動などにより、管台００１と管寄せ００２との接合部に機械疲労やクリープ疲労が作用し、この接合部に亀裂が発生することがある。また、管台００１の下端部を溶接により管寄せ００２に接合するとき、この溶接部の周辺には溶接熱により引張応力が残留することとなり、この残留応力が亀裂を促進させる要因となっている。
【０００４】
そこで、従来は、非破壊検査によって管台００１と管寄せ００２との接合部に亀裂が検出されると、この亀裂部を除去して再溶接することで補修している。即ち、図９−１に示すように、管台００１と管寄せ００２との溶接部００３の周辺亀裂００４が発生すると、図９−２に示すように、この亀裂部００４を除去（除去部００５）し、図９−３に示すように、この除去部００５を再溶接（再溶接部００６）し、図９−４に示すように、この再溶接部００６を平坦面に研削加工する。
【０００５】
なお、残留応力を除去する技術として下記特許文献１に記載されたものがある。この特許文献１に記載された「レーザ衝撃ピーニング」は、部品の表面に削磨耗質を持つテープを接着し、このテープの表面に水のカーテンを流しながら、レーザを連続して発射し、且つ、連続して移動することで、削磨耗質の蒸発によりレーザ衝撃ピーニングを実行するものである。
【０００６】
【特許文献１】特表平１１−５０８８２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、上述した従来における亀裂の補修方法にあっては、作業性が良くなく、多大の作業時間を要していた。即ち、管寄せ００２に対する各管台００１の接合位置は接近しており、作業スペースが狭いものであり、作業者や補修設備の搬入や移動、並びに各種の作業が困難なものとなっている。
【０００８】
また、上述した特許文献１の「レーザ衝撃ピーニング」にあっては、部品に貼ったテープの表面に水のカーテンを流しながらレーザを連続して発射するものである。そのため、レーザ装置以外に給水設備が必ず必要となり、装置が大掛かりなものになって、前述と同様に、狭い作業スペースでの作業が困難なものとなってしまう。
【０００９】
本発明はこのような問題を解決するものであって、部材における亀裂の発生を抑制することで長寿命化を図ると共に装置の簡素化を図った金属材料処理方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の目的を達成するための請求項１の発明の金属材料処理方法は、金属材料の表面に該金属材料より低温度で気化する低温気化材を所定厚さで塗布し、該塗布された低温気化材の表面に向けて高密度エネルギを照射し、該低温気化材を蒸発させ、前記金属材料の表面に圧縮応力を発生させることを特徴とするものである。
【００１１】
請求項２の発明の金属材料処理方法では、前記金属材料の表面層における金属組織を微細化させることを特徴としている。
【００１２】
請求項３の発明の金属材料処理方法では、前記金属材料が鉄系材料であるときは、前記低温気化材がアルミニウム合金を含むものとすることを特徴としている。
【００１３】
請求項４の発明の金属材料処理方法では、前記アルミニウム合金の粉末を有機溶剤と混合してペースト状とし、鉄系材料の表面に塗布することを特徴としている。
【００１４】
請求項５の発明の金属材料処理方法では、前記低温気化材の表面に透明液体層を設け、該透明液体層の上方から前記低温気化材の表面に向けて高密度エネルギを照射することを特徴としている。
【００１５】
請求項６の発明の金属材料処理方法では、前記透明液体層は、大気中で形状を保持できる粘性体であることを特徴としている。
【００１６】
請求項７の発明の金属材料処理装置は、金属材料の表面に対して該金属材料より低温度で気化する低温気化材を所定厚さで塗布する低温気化材塗布手段と、該塗布された低温気化材の表面に向けて高密度エネルギを照射する高密度エネルギ照射手段と、該高密度エネルギ照射手段を前記低温気化材の表面に沿って移動させる移動手段とを具えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１の発明の金属材料処理方法によれば、金属材料の表面にこの金属材料より低温度で気化する低温気化材を所定厚さで塗布し、塗布された低温気化材の表面に向けて高密度エネルギを照射し、低温気化材を蒸発させて金属材料表面に圧縮応力を発生させるようにしたので、この低温気化材の蒸発圧が金属材料に衝撃力を付与し、金属材料の表面が塑性変形して圧縮応力が付与されることとなり、内部に残留する引張応力を除去することができ、その結果、亀裂の発生を抑制することで部材の長寿命化を図ることができると共に、装置の簡素化を図ることができる。
【００１８】
請求項２の発明の金属材料処理方法によれば、前記金属材料の表面層における金属組織を微細化させるようにしたので、金属材料はその表面が再結晶温度域まで加熱されてから急冷されることとなり、内部組織を微細化することができ、その結果、亀裂の発生を抑制することで部材の長寿命化を図ることができる。
【００１９】
請求項３の発明の金属材料処理方法によれば、金属材料が鉄系材料であるときは、低温気化材がアルミニウム合金を含むものとしたので、高密度エネルギの照射により低温気化材してのアルミニウム合金を確実に蒸発させ、鉄系材料に適度な圧縮応力を付与して引張応力の除去と内部組織の微細化を可能とすることができる。
【００２０】
請求項４の発明の金属材料処理方法によれば、アルミニウム合金の粉末を有機溶剤と混合してペースト状とし、鉄系材料の表面に塗布するようにしたので、処理作業を簡素化することができる。
【００２１】
請求項５の発明の金属材料処理方法によれば、低温気化材の表面に透明液体層を設け、透明液体層の上方から低温気化材の表面に向けて高密度エネルギを照射するようにしたので、高密度エネルギを低温気化材に照射したとき、透明液体層により蒸発圧の外部への放出を抑制して金属材料の表面に向かうようにすることで、処理効率を向上することができる。
【００２２】
請求項６の発明の金属材料処理方法によれば、低温気化材の表面に透明液体層を容易に設けることができ、作業性を向上することができる。
【００２３】
請求項７の発明の金属材料処理装置によれば、金属材料の表面に対してこの金属材料より低温度で気化する低温気化材を所定厚さで塗布する低温気化材塗布手段と、塗布された低温気化材の表面に向けて高密度エネルギを照射する高密度エネルギ照射手段と、高密度エネルギ照射手段を低温気化材の表面に沿って移動させる移動手段とを設けたので、低温気化材塗布手段により金属材料の表面に低温気化材を塗布し、その低温気化材の表面に高密度エネルギ照射手段により高密度エネルギを照射しながら、移動手段により低移動させることで低温気化材を連続して蒸発させるため、この低温気化材の蒸発圧が金属材料に衝撃力を付与し、金属材料の表面が塑性変形して圧縮応力が付与されることとなり、内部に残留する引張応力を除去することができると共に、金属材料はその表面が再結晶温度域まで加熱されてから急冷されることとなり、内部組織を微細化することができ、その結果、亀裂の発生を抑制することで部材の長寿命化を図ることができると共に、装置の簡素化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下に、本発明に係る金属材料処理方法及び装置の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００２５】
図１は、本発明の実施例１に係る金属材料処理方法を表す概略図、図２は、実施例１の金属材料処理方法の作用を表す概略図、図３及び図４は、実施例１の金属材料処理方法による金属組織微細化を説明する概略図である。
【００２６】
図１に示すように、金属材料１１，１２を溶接（溶接部１３）により接合した場合、溶接後に金属材料１１，１２が常温まで冷却されると、溶接部１３の周辺部に引張応力Ｆが残留してしまう。本実施例の金属材料処理方法は、金属材料１１，１２を溶接して接合した後、溶接部１３の周辺部に特定の処理を行うことで残留した引張応力Ｆを除去すると共に、金属材料１１，１２の表面の組織を微細化することで、亀裂の発生を防止するものである。
【００２７】
即ち、本実施例の金属材料処理方法では、図１及びに図２示すように、まず、溶接部１３により接合された金属材料１１，１２の表面に、この金属材料１１，１２より低温度で気化する低温気化材１４を所定厚さで塗布する。この場合、金属材料１１，１２が鉄系材料であるときには、この低温気化材１４をアルミニウム合金が適切であり、具体的には、アルミニウム合金の粉末を有機溶剤と混合してペースト状とし、金属材料１１，１２の表面に噴霧またははけ塗りにより、数十μｍの厚さに塗布する。
【００２８】
次に、金属材料１１，１２の表面に塗布された低温気化材１４に向けて高密度エネルギとしてのレーザ光１５を照射する。この場合、図示しないレーザ装置を用い、レーザヘッド１６を金属材料１１，１２及び低温気化材１４に対して所定高さに維持し、レーザ光１５の焦点を塗布された低温気化材１４の表面に調節する。
【００２９】
すると、金属材料１１，１２のそのままで、低温気化材１４のみがレーザ光により加熱されて蒸発し、蒸発圧が発生する。そして、この低温気化材１４の蒸発圧が金属材料１１，１２に衝撃力を付与し、この金属材料１１，１２の表面が僅かに塑性変形して圧縮応力が付与されることとなる。そのため、金属材料１１，１２の内部に残留する引張応力が低減、または除去され、逆に圧縮応力が残留することにもなる。
【００３０】
また、図３に示すように、金属材料１１，１２は、レーザ光１５の照射によりその表面が再結晶温度域まで加熱され、その後に急冷されることとなる。そのため、図４に示すように、金属材料１１，１２は、その表面から所定厚さの領域で内部組織が微細化され、微細金属組織１７となる。
【００３１】
そして、レーザヘッド１６を、金属材料１１，１２及び低温気化材１４に対して水平方向に所定速度で移動することで、レーザ光１５を塗布された低温気化材１４の全域にわたって照射して過熱することで、金属材料１１，１２における残留引張応力の除去及び内部組織の微細化を実行する。
【００３２】
このように実施例１の金属材料処理方法にあっては、溶接部１３により接合された金属材料１１，１２の表面に、この金属材料１１，１２より低温度で気化する低温気化材１４を所定厚さで塗布し、高密度エネルギとしてのレーザ光１５を塗布された低温気化材１４に向けて、その焦点が低温気化材１４の表面となるように照射し、この低温気化材１４を蒸発させている。
【００３３】
従って、レーザ光１５により低温気化材１４のみを加熱して蒸発させることで蒸発圧が発生し、この低温気化材１４の蒸発圧が金属材料１１，１２の表面に衝撃力を付与し、金属材料１１．１２の表面が塑性変形して圧縮応力が付与される。そのため、金属材料１１，１２の内部に残留する引張応力を低減、除去することができる。また、金属材料１１，１２はその表面が再結晶温度域まで加熱されてから急冷されるため、内部組織を微細化することができる。その結果、亀裂の発生を抑制することで金属材料１１，１２の長寿命化を図ることができる。
【００３４】
また、実施例１の金属材料処理方法では、金属材料１１，１２の必要な表面に事前に低温気化材１４を塗布し、この低温気化材１４に向けて高密度エネルギとしてのレーザ光１５を照射するだめでよく、作業中に水などの供給作業を不要とすることで作業を簡素化して作業時間を短縮することができ、作業性、施工性を向上することができる。
【実施例２】
【００３５】
図５は、本発明の実施例２に係る金属材料処理方法を表す概略図である。なお、前述した実施例で説明したものと同様の機能を有する部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００３６】
実施例２の金属材料処理方法では、図５に示すように、低温気化材１４の表面に透明液体層１８を設け、この透明液体層１８の上方から低温気化材１４の表面に向けて高密度エネルギとしてのレーザ光１５を照射するようにしている。
【００３７】
従って、まず、溶接部１３により接合された金属材料１１，１２の表面に低温気化材１４を所定厚さで塗布し、次に、この低温気化材１４が塗布された領域を枠体１９により囲み、この枠体１９内に透明液体層１８を充填する。そして、この状態で、透明液体層１８を通し、低温気化材１４に向けて高密度エネルギとしてのレーザ光１５を照射する。
【００３８】
すると、低温気化材１４がレーザ光により加熱されて蒸発し、この蒸発圧が金属材料１１，１２に衝撃力を付与する。このとき、透明液体層１８により上方への蒸発圧の放出が抑制され、金属材料１１，１２の表面に向かう蒸発力が拡大することとなる。そのため、この金属材料１１，１２の表面が十分に塑性変形して圧縮応力が付与されることとなり、金属材料１１，１２の内部に残留する引張応力が確実に除去または圧縮応力が残留することとなる。また、金属材料１１，１２における微細金属組織１７の領域が拡大する。
【００３９】
このように実施例２の金属材料処理方法にあっては、溶接部１３により接合された金属材料１１，１２の表面に低温気化材１４を所定厚さで塗布し、この低温気化材１４の上方に透明液体層１８を設け、この状態で、高密度エネルギとしてのレーザ光１５を低温気化材１４に向けて照射し、この低温気化材１４を蒸発させている。
【００４０】
従って、レーザ光１５により透明液体層１８を通して低温気化材１４を加熱して蒸発させることで蒸発圧が発生し、この蒸発圧が透明液体層１８により金属材料１１，１２の表面に集中して衝撃力を付与し、金属材料１１．１２の表面が塑性変形して圧縮応力が付与される。そのため、金属材料１１，１２の内部に残留する引張応力を確実に低減、除去することができる。また、金属材料１１，１２はその表面が再結晶温度域まで加熱されてから急冷されるため、内部組織を所定厚さまで微細化することができる。その結果、低温気化材の蒸発圧を効率的に金属材料１１，１２に付与することができ、作業性を向上することができる。
【００４１】
なお、この実施例２にて、透明液体層１８とは、大気中で形状を保持できる粘性体であればよく、水やゼリー体を用いることが望ましい。この場合、透明液体層１８は、レーザ光を通し、このレーザの吸収ができるだけ無いもの、例えば、透過度が約９０以上の有するもの、あるいは、１２μｍから０．４μｍの波長領域を９０以上の透過度があるものとすることが望ましい。
【実施例３】
【００４２】
図６は、本発明の実施例３に係る金属材料処理装置をボイラ管寄せ管台の溶接部の処理装置に適用した概略図である。なお、前述した実施例で説明したものと同様の機能を有する部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００４３】
実施例３にて、図６に示すように、ボイラ管寄せ管台は、高温水や水蒸気等の高圧流体を流動させるものであり、複数の管台２１の下端部が溶接（溶接部２３）により管寄せ２２に接合された構造となっている。本実施例の金属材料処理装置は、管台２１に装着された装置本体３１と、溶接部２３の周辺の管台２１及び管寄せ２２の表面に低温気化材１４を塗布する低温気化材塗布装置（図示略）と、塗布された低温気化材１４の表面に向けて高密度エネルギとしてのレーザ光１５を照射するレーザヘッド１６と、レーザヘッド１６を低温気化材１４の表面に沿って移動させる駆動装置（移動手段）３２とを有している。
【００４４】
この駆動装置３２は、装置本体３１に対して、レーザヘッドを管台２１の外周に沿って移動可能であると共に、上下方向に沿って昇降可能となっている。なお、３３は駆動装置３２への駆動力伝達ケーブル、３４は回転ハンドルケーブル、３５は昇降ハンドルケーブル、３６はレーザ光伝達ケーブルである。
【００４５】
従って、まず、本実施例の金属材料処理装置を管台２１の所定の位置に装着し、溶接部２３の周辺の管台２１及び管寄せ２２の表面に低温気化材１４を塗布する。次に、レーザヘッド１６から低温気化材１４に向けてレーザ光１５を照射しながら、回転ハンドルケーブル３４や昇降ハンドルケーブル３５を用いて、駆動装置３２を遠隔操作して装置本体３１と一体のレーザヘッド１６を移動し、低温気化材１４が塗布されたすべての領域にレーザ光１５を照射する。
【００４６】
すると、低温気化材１４がレーザ光１５により加熱されて蒸発し、この蒸発圧が金属材料１１，１２に衝撃力を付与し、表面が僅かに塑性変形して圧縮応力が付与されるため、金属材料１１，１２の内部に残留する引張応力が低減、除去され、また圧縮応力が残留する。また、金属材料１１，１２は、レーザ光１５の照射によりその表面が再結晶温度域まで加熱されて急冷されるため、金属材料１１，１２の表面部は内部組織が微細化される。
【００４７】
このように実施例３の金属材料処理装置にあっては、ユニットを一体化して管台２１に装着し、遠隔操作により処理を行うようにしている。従って、作業者が狭いスペースで各種の作業を行う必要はなく、作業を容易に行うことができると共に、作業時間を短縮することができる。また、装置が簡素化して製造コストを低減することができる。
【００４８】
なお、実施例３では、装置本体３１とは別に、低温気化材塗布装置を設けたが、低温気化材噴射装置として装置本体３１に搭載し、全ての作業を遠隔で行うようにしても良い。
【実施例４】
【００４９】
図７は、本発明の実施例４に係る金属材料処理をチューブ管の溶接部の処理装置に適用した概略図である。なお、前述した実施例で説明したものと同様の機能を有する部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【００５０】
実施例４にて、図７に示すように、チューブ管４１は管台４２により支持され内面に溶接部４３を有する構造となっている。本実施例の金属材料処理装置は、チューブ管４１に挿入して移動及び回転可能な装置本体５１と、この装置本体５１に装着されて溶接部４３の周辺のチューブ管４１の内面に低温気化材を塗布する低温気化材噴射装置５２と、塗布された低温気化材の表面に向けて高密度エネルギとしてのレーザ光を照射するレーザヘッド５３と、レーザヘッド５３を低温気化材１４の表面に沿って移動させる駆動装置（移動手段）５４とを有している。
【００５１】
この駆動装置５４は、駆動ケーブル５５を介して装置本体５１に連結されており、この駆動装置５４により装置本体５１を介して低温気化材噴射装置５２及びレーザヘッド５３をチューブ管４１の内面に沿って回動及び昇降可能となっている。低温気化材噴射装置５２には、連結ケーブル５６を介して低温気化材供給装置５７が連結されている。また、レーザヘッド５３には、連結ケーブル５８を介してレーザユニット５９が連結されている。そして、駆動装置５４、低温気化材供給装置５７、レーザユニット５９はコントローラ６０により駆動制御可能となっている。
【００５２】
従って、本実施例の金属材料処理装置をチューブ管４１内に挿入し、駆動装置５４により装置本体５１を所定の位置に移動して位置決めする。この状態で、まず、装置本体５１を移動しながら、低温気化材噴射装置５２により溶接部４３の周辺のチューブ管４１の内面に低温気化材を塗布する。次に、装置本体５１を移動しながら、レーザヘッド５３から低温気化材に向けてレーザ光を照射する。すると、低温気化材がレーザ光により加熱されて蒸発し、この蒸発圧がチューブ管４１に衝撃力を付与し、表面が僅かに塑性変形して圧縮応力が付与されるため、内部に残留する引張応力が低減、除去され、また圧縮応力が残留する。また、チューブ管４１は、レーザ光の照射によりその表面が再結晶温度域まで加熱されて急冷されるため、内部組織が微細化される。
【００５３】
このように実施例４の金属材料処理装置にあっては、低温気化材噴射装置５２とレーザヘッド５３を装置本体５１にユニット化し、駆動装置５４によりチューブ管４１内を移動自在に支持し、遠隔操作により処理を行うようにしている。従って、作業者が狭いスペースで各種の作業を行う必要はなく、作業を容易に行うことができると共に、作業時間を短縮することができる。
【００５４】
なお、上述した各実施例にて、金属材料とは、鉄系だけでなく、ニッケル系やチタン系とすることができ、また、高密度エネルギをレーザ光としたが、これに限らず、例えば、電子ビームでも良い。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明に係る金属材料処理方法及び装置は、金属材料の表面に低温気化材を塗布し、この低温気化材の表面に高密度エネルギを照射して蒸発させることで亀裂を防止するようにしたものであり、疲労が発生しやすい部位に適用することが有用であり、特に、内部引張応力が残留した部位への適用が効果的である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施例１に係る金属材料処理方法を表す概略図である。
【図２】実施例１の金属材料処理方法の作用を表す概略図である。
【図３】実施例１の金属材料処理方法による金属組織微細化を説明する概略図である。
【図４】実施例１の金属材料処理方法による金属組織微細化を説明する概略図である。
【図５】本発明の実施例２に係る金属材料処理方法を表す概略図である。
【図６】本発明の実施例３に係る金属材料処理装置をボイラ管寄せ管台の溶接部の処理装置に適用した概略図である。
【図７】本発明の実施例４に係る金属材料処理をチューブ管の溶接部の処理装置に適用した概略図である。
【図８】一般的なボイラ配管の概略図である。
【図９−１】従来の金属材料の補修方法を説明するための概略図である。
【図９−２】従来の金属材料の補修方法を説明するための概略図である。
【図９−３】従来の金属材料の補修方法を説明するための概略図である。
【図９−４】従来の金属材料の補修方法を説明するための概略図である。
【符号の説明】
【００５７】
１１、１２  金属材料
１３  溶接部
１４  低温気化材
１５  レーザ光（高密度エネルギ）
１６  レーザヘッド（高密度エネルギ照射手段）
１７  微細金属組織
１８  透明液体層
２１  管台
２２  間寄せ
２３  溶接部
３１  装置本体
３２  駆動装置（移動手段）
４１  チューブ管
４３  溶接部
５１  装置本体
５２  低温気化材噴射装置（低温気化材塗布手段）
５３  レーザヘッド（高密度エネルギ照射手段）
５４  駆動装置（移動手段）
【図１】
2005238273.tif 000003
【図２】
2005238273.tif 000004
【図３】
2005238273.tif 000005
【図４】
2005238273.tif 000006
【図５】
2005238273.tif 000007
【図６】
2005238273.tif 000008
【図７】
2005238273.tif 000009
【図８】
2005238273.tif 000010
【図９−１】
2005238273.tif 000011
【図９−２】
2005238273.tif 000012
【図９−３】
2005238273.tif 000013
【図９−４】
2005238273.tif 000014