(57)【要約】【課題】作動部品が対向部品に当接する際の衝突打音を低減する効果を長期間にわたって維持する。【解決手段】電磁駆動バルブに用いられる作動減速装置３６は、相対作動するアーマチャシャフト２１（作動部品）とバルブステム１６（対向部品）とが近接するにつれてアーマチャシャフト２１のバルブステム１６に対する相対速度を減速するものである。作動減速装置３６はアーマチャシャフト２１に装着される第１取付け部３７と、バルブステム１６に装着されて第１取付け部３７に対向する第２取付け部４１と、両取付け部３７，４１間に粘性流体封入用の密封空間４５を形成する金属ベローズ製の伸縮ケース４４とを備える。伸縮ケース４４と密封空間４５とを備える減速部には、密封空間４５に気体４７を封入することにより構成され、かつ密封空間４５内の圧力に応じて伸縮する伸縮手段を設ける。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対移動する作動部品と対向部品とが近接するにつれて前記作動部品の前記対向部品に対する相対速度を減速する作動減速装置であり、
前記作動部品に装着される第１取付け部と前記対向部品に装着されて前記第１取付け部と対向する第２取付け部との間に非圧縮性流体封入用の密封空間を形成する金属材又は耐熱材製の伸縮ケースを備えるとともに、前記密封空間に非圧縮性流体を備え、前記伸縮ケースと前記密封空間とを備える減速部には、前記密封空間内の圧力に応じて伸縮する伸縮手段を有することを特徴とする作動減速装置。
【請求項２】
前記第１取付け部の前記第２取付け部に対する対向面及び前記第２取付け部の前記第１取付け部に対する対向面は互いに略平行に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の作動減速装置。
【請求項３】
前記非圧縮性流体が粘性流体であることを特徴とする請求項１又は２に記載の作動減速装置。
【請求項４】
前記伸縮手段は、前記密封空間に気体を封入した構成であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の作動減速装置。
【請求項５】
前記伸縮手段は、前記伸縮ケースの一端部を前記第１又は第２取付け部に対する連結部とするとともに、前記伸縮ケースの他端部に前記密封空間を形成する移動部を前記第２又は第１取付け部に対して相対移動可能に連結した構成であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の作動減速装置。
【請求項６】
前記伸縮手段は、前記第１及び第２取付け部のそれぞれに前記伸縮ケースを取付け、前記第１取付け部に取付けられる伸縮ケースの他端部に前記移動部を連結するとともに、前記移動部を前記第２取付け部に取付けられる伸縮ケースの他端部に連結した構成であることを特徴とする請求項５に記載の作動減速装置。
【請求項７】
前記伸縮手段は、前記第１及び第２取付け部の一方に前記伸縮ケースを取付け、前記伸縮ケースの他端部に前記移動部を連結するとともに、前記移動部を前記第１及び第２取付け部の他方に密封嵌合した構成であることを特徴とする請求項５に記載の作動減速装置。
【請求項８】
前記第１及び第２取付け部を互いに離間させる方向へ付勢する弾発手段を備えることを特徴とする請求項５〜７のいずれか１つに記載の作動減速装置。
【請求項９】
一端に弁体を有するバルブステムと、一端が前記バルブステムの一端に対向して配置されかつアーマチャに作用する電磁力により前記バルブステムに対して相対移動するアーマチャシャフトとを備えた電磁駆動バルブであり、
前記アーマチャシャフトを前記作動部品とするとともに、前記バルブステムを前記対向部品とし、請求項１〜８のいずれか１つに記載の作動減速装置を用いて前記アーマチャシャフトと前記バルブステムとが近接するにつれて前記アーマチャシャフトの前記バルブステムに対する相対速度を減速することを特徴とする電磁駆動バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、相対移動する作動部品と対向部品とが近接するにつれて作動部品の対向部品に対する相対速度を減速する作動減速装置、及びその作動減速装置を用いた電磁駆動バルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、内燃機関の吸気バルブ又は排気バルブとして、カムシャフトの回転に基づいて開閉駆動されるバルブに代えて、電磁力によって開閉駆動される電磁駆動バルブを採用することが考えられている。こうした電磁駆動バルブは、吸気バルブ又は排気バルブとして機能する弁体を一端に有するバルブステム、バルブステムと同軸上に配置され、かつアーマチャを有するアーマチャシャフト、アーマチャを中立位置に付勢する一対のスプリング、及びアーマチャの変位方向に配設される一対の電磁石を備える。この電磁駆動バルブでは、電磁石の電磁コイルへの通電により励磁電流が流れると、アーマチャに対し電磁石に向かう電磁力が作用する。従って、両電磁石の電磁コイルに交互に励磁電流が流されることにより、弁体が開閉駆動される。
【０００３】
上記電磁駆動バルブでは、通常、弁体の閉弁時にバルブステムとアーマチャシャフトとの対向面間に所定の間隙が形成されるようになっている。これは、バルブステムが熱膨張したり電磁駆動バルブの各構成部品に製造誤差等があったりしても、弁体を確実に閉弁させるためである。反面、前記間隙により、弁体の開弁時に作動部品であるアーマチャシャフトが対向部品であるバルブステムに向けて相対移動（変位）する。そして、アーマチャシャフトが、その作動ストロークの一方の端であるバルブステムに当接すると、衝突打音を生ずる場合がある。
【０００４】
これに対しては、アーマチャシャフトがバルブステムに近づくにつれてそのアーマチャシャフトのバルブステムに対する相対速度を減速する作動減速装置を設けることが有効である。こうした作動減速装置として、例えば特許文献１には、第１取付け部、第２取付け部及び伸縮ケースを備えたものが提案されている。第１取付け部はアーマチャシャフトに装着され、第２取付け部はバルブステムに装着される。伸縮ケースはゴム状弾性材によって形成され、一端が第１取付け部に取付けられ他端が第２取付け部に取付けられている。そして、伸縮ケースにより、両取付け部間に介在された粘性流体が密封されている。
【０００５】
この作動減速装置によると、アーマチャシャフトがバルブステムに近づく側へ相対移動する際、粘性流体が伸縮ケースを膨張させながら対向面間から押出される。このとき発生する流体摩擦力（スクィーズ力）によって、アーマチャシャフトのバルブステムに対する相対速度が減速される。この減速により、アーマチャシャフトのバルブステムとの衝突力が緩和され、前述した衝突打音が低減される。また、アーマチャシャフトがバルブステムから離れる側へ相対移動する際には、膨張している伸縮ケースが自身の弾性復元力によって元の形状に戻ろうとする。この際、伸縮ケースから粘性流体に対し内方へ向かう力（内圧）が付加され、粘性流体が対向面間に戻される。
【特許文献１】特開２００１−３３６６６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、前述した作動減速装置を用いた電磁駆動バルブでは、粘性流体を密封するゴム状弾性体からなる伸縮ケースが長期間の使用によりへたり、伸縮ケースの弾性力が低下するおそれがある。この場合、伸縮ケースから粘性流体に対して付加される内圧が低下し、アーマチャシャフトとバルブステムとの対向面間に粘性流体が十分戻されなくなって、衝突打音を低減する効果が得られなくなるおそれがある。
【０００７】
本発明はこのような実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、作動部品が対向部品に当接する際の衝突打音を低減する効果を長期間にわたって維持することのできる作動減速装置を提供するとともに、その作動減速装置を用いた電磁駆動バルブを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明にかかる作動減速装置は、相対移動する作動部品と対向部品とが近接するにつれて作動部品の対向部品に対する相対速度を減速するためのものであり、作動部品に装着される第１取付け部と対向部品に装着されて第１取付け部と対向する第２取付け部との間に非圧縮性流体封入用の密封空間を形成する金属材又は耐熱材製の伸縮ケースを備えるとともに、密封空間に非圧縮性流体を備え、伸縮ケースと密封空間とを備える減速部には、密封空間内の圧力に応じて伸縮する伸縮手段を有している。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、第１取付け部の第２取付け部に対する対向面及び第２取付け部の第１取付け部に対する対向面は互いに略平行に形成されているとする。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の発明において、非圧縮性流体が粘性流体であるとする。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１つに記載の発明において、伸縮手段は、密封空間に気体を封入した構成であるとする。
【００１１】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１つに記載の発明において、伸縮手段は、伸縮ケースの一端部を第１又は第２取付け部に対する連結部とするとともに、伸縮ケースの他端部に密封空間を形成する移動部を第２又は第１取付け部に対して相対移動可能に連結した構成であるとする。
【００１２】
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、伸縮手段は、第１及び第２取付け部のそれぞれに伸縮ケースを取付け、第１取付け部に取付けられる伸縮ケースの他端部に移動部を連結するとともに、移動部を第２取付け部に取付けられる伸縮ケースの他端部に連結した構成であるとする。
【００１３】
請求項７に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、伸縮手段は、第１及び第２取付け部の一方に伸縮ケースを取付け、伸縮ケースの他端部に移動部を連結するとともに、移動部を第１及び第２取付け部の他方に密封嵌合した構成であるとする。
【００１４】
請求項８に記載の発明は、請求項５〜７のいずれか１つに記載の発明において、第１及び第２取付け部を互いに離間させる方向へ付勢する弾発手段を備えるとする。
請求項９に記載の発明にかかる電磁駆動バルブは、一端に弁体を有するバルブステムと、一端がバルブステムの一端に対向して配置されかつアーマチャに作用する電磁力によりバルブステムに対して相対移動するアーマチャシャフトとを備えており、アーマチャシャフトを作動部品とするとともに、バルブステムを対向部品とし、請求項１〜８のいずれか１つに記載の作動減速装置を用いてアーマチャシャフトとバルブステムとが近接するにつれてアーマチャシャフトのバルブステムに対する相対速度を減速するようにしている。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１に記載の発明によれば、金属材又は耐熱材製の伸縮ケースは、伸縮を繰り返してもへたりにくいという特性を有する。このため、伸縮ケース自体の耐久的な弾性力の低下を抑制することができる。
【００１６】
伸縮ケースとしては、作動部品の作動方向に伸縮が容易な形状が好ましく、例えば、軸方向に伸縮しやすい金属ベローズ又は金属ダイヤフラムが好ましい。ただし、こうした伸縮ケースは、径方向には変形しにくいため、作動部品が対向部品に向けて作動する際、非圧縮性流体を第１及び第２取付け部の対向部間から押出すことが困難になる。
【００１７】
しかし、請求項１に記載の発明では、作動部品と対向部品とが近接することに伴い密封空間内の圧力が高まると、この圧力に応じて伸縮する伸縮手段を減速部に有している。このため、伸縮手段を伸縮させることで非圧縮性流体を第１及び第２取付け部の対向部間から押出すことができる。ここで、第１取付け部の第２取付け部に対する対向面及び第２取付け部の第１取付け部に対する対向面は、請求項２に記載の発明によるように、互いに略平行に形成されていることが好ましい。両対向面が略平行であると、第１及び第２取付け部の対向面間の非圧縮性流体を外方のいずれの方向にも略均等に押出すことができる。
【００１８】
そして、前述した非圧縮性流体の押出しに伴い発生する流体摩擦力（スクィーズ力）によって作動部品の対向部品に対する相対速度が減速し、作動部品と対向部品との衝突力が緩和され、衝突打音が低減される。特に、請求項３に記載の発明によるように、非圧縮性流体として粘性流体を用いることが好ましい。この場合、粘性流体が第１及び第２取付け部の対向部間から押出される際に発生する流体摩擦力をより大きくすることができ、作動部品の対向部品との当接時に生ずる衝突打音をより好適に低減することができる。
【００１９】
また、伸縮手段の復元力により非圧縮性流体に内圧が付加される。従って、作動部品が対向部品から離れる際には、この内圧によって非圧縮性流体を第１及び第２取付け部の対向部間に戻すことができる。
【００２０】
このように、伸縮ケース自体がへたりにくく弾性力が低下しにくいことに加え、第１及び第２取付け部の対向部間から非圧縮性流体を押出したり戻したりすることができる。
ここで、伸縮手段は、密封空間にへたりが生じにくい伸縮体を設けることにより、或いは、請求項４に記載の発明によるように、密封空間に気体を封入することにより構成することができる。密封空間に気体を封入した場合、作動部品と対向部品とが近接することに伴い密封空間内の圧力が高まると、この圧力に応じて気体が収縮し、第１及び第２取付け部の対向部間から非圧縮性流体を押出すことができ、収縮された気体の膨張しようとする力により非圧縮性流体に内圧を付加することができる。また、密封空間と連通する金属ベローズや金属ダイヤフラム等から構成されるアキュムレータを設けることにより伸縮手段を構成することもでき、さらには、伸縮ケース自体を用いて伸縮手段を構成することもできる。従って、作動部品が対向部品に当接する際の衝突打音を低減する効果を長期間にわたって維持することができる。
【００２１】
そして、請求項４に記載の発明によるように、密封空間に気体を封入することにより伸縮手段を構成すれば、密封空間にへたりが生じにくい伸縮体を設けるよりも安価に伸縮手段を構成することができる。
【００２２】
また、請求項５に記載の発明によるように、伸縮ケース自体を用いて伸縮手段を構成すれば、作動部品と対向部品とが近接することに伴い密封空間内の圧力が高まると、この圧力を受けて移動部が第２又は第１取付け部に対し相対移動し、それに伴い伸縮ケースの他端部が第１又は第２取付け部に対する連結部としての一端部に対して相対移動する。従って、伸縮ケースを伸長させることができる。
【００２３】
このように、伸縮ケースを伸長させるようにすれば、第１及び第２取付け部の対向部間から非圧縮性流体を押出すことができ、伸長した伸縮ケースの縮もうとする力により非圧縮性流体に内圧を付加することができる。
【００２４】
また、請求項６に記載の発明によれば、移動部は、第１及び第２取付け部のそれぞれに対して伸縮ケースを介して取付けられるので、これら両取付け部に対して相対移動可能とすることができる。また、移動部は、第１取付け部に取付けられる伸縮ケースの他端部と第２取付け部に取付けられる伸縮ケースの他端部とを連結するので、密封空間から非圧縮性流体が漏れるのを確実に防止することができる。
【００２５】
また、請求項７に記載の発明によれば、移動部は、第１及び第２取付け部の一方に対しては伸縮ケースを介して取付けられ、第１及び第２取付け部の他方に対しては密封嵌合されているので、密封空間から非圧縮性流体が漏れるのを防止しながら、第１及び第２取付け部に対して相対移動可能とすることができる。
【００２６】
ところで、請求項５〜７のいずれか１つに記載の発明によれば、作動部品と対向部品とが近接すると伸縮ケースが伸長し、これにより、伸縮ケースは縮もうとする。このため、作動部品が対向部品から離れる際には、伸縮ケースの縮もうとする力によって作動部品が対向部品から離間するのが妨げられる。
【００２７】
この点、請求項８に記載の発明によれば、第１及び第２取付け部を互いに離間させる方向へ付勢する弾発手段を備えていることから、第１及び第２取付け部は、弾発手段からそれら両取付け部を互いに離間させようとする付勢力を受ける。このため、作動部品が対向部品から離れる際、伸縮ケースの縮もうとする力によって作動部品が対向部品から離間するのが妨げられるとしても、作動部品を対向部品から確実に離間させることができる。
【００２８】
請求項９に記載の発明によれば、電磁駆動バルブでは、アーマチャに作用する電磁力により、アーマチャシャフトがバルブステムに対して相対移動する。そして、アーマチャシャフトがバルブステムに当接すると、その相対移動がバルブステムに伝達される。この伝達によりバルブステムが作動して、弁体が開弁又は閉弁する。
【００２９】
こうした作動を行う電磁駆動バルブにおいて、作動減速装置が前述した請求項１〜８のいずれか１つに記載の発明と同様の作用及び効果を奏する。従って、伸縮ケースが長期間の使用によりへたることに起因して、アーマチャシャフトがバルブステムに当接する際の衝突打音を低減できなくなるのを抑制することができる。すなわち、衝突打音を低減する効果を長期間にわたって維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
（第１実施形態）
以下、本発明を、作動減速装置を用いた電磁駆動バルブに具体化した第１実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。
【００３１】
図１に示すように、内燃機関のシリンダヘッド１１には、吸気通路の一部又は排気通路の一部をなし、かつ燃焼室１２に連通するポート１３が形成されている。ポート１３の燃焼室１２側の端部には弁座（バルブシート）１４が設けられている。シリンダヘッド１１にはバルブガイド１５が取付けられ、このバルブガイド１５によって、バルブステム１６がシリンダヘッド１１に対し軸方向（図１の上下方向）へ摺動可能に支持されている。バルブステム１６の燃焼室１２側の端部には弁体１７が設けられている。ポート１３は、バルブステム１６が下方へ変位して弁体１７が弁座１４から離座することにより燃焼室１２と連通（開弁）状態となる。また、ポート１３は、バルブステム１６が上方へ変位して弁体１７が弁座１４に着座することにより燃焼室１２と遮断（閉弁）状態となる。
【００３２】
バルブステム１６の上端部近傍にはロアリテーナ１８が取付けられている。シリンダヘッド１１とロアリテーナ１８との間であってバルブステム１６の周りには、ロアスプリング１９が圧縮状態で配置されており、このロアスプリング１９によってバルブステム１６が閉弁方向（上方）へ常に付勢されている。
【００３３】
バルブステム１６と同軸上にはアーマチャシャフト２１が配置されており、このアーマチャシャフト２１の下端がバルブステム１６の上端と対向している。アーマチャシャフト２１の上端部にはアッパリテーナ２２が取付けられている。シリンダヘッド１１には、ケーシング（図示略）を介してアッパキャップ２３が固定されている。アッパキャップ２３とアッパリテーナ２２との間にはアッパスプリング２４が圧縮状態で配置されており、このアッパスプリング２４によってアッパリテーナ２２が常にバルブステム１６側へ付勢されている。アッパスプリング２４によるアッパリテーナ２２の付勢方向は、弁体１７の開弁方向（下方）と同じである。
【００３４】
アーマチャシャフト２１の軸方向における略中央部には、高透磁率材料からなるアーマチャ２５が取付けられている。前記ケーシング（図示略）内において、アーマチャ２５とアッパリテーナ２２との間にはアッパコア２６が固定されている。同じく、ケーシング内において、アーマチャ２５とロアリテーナ１８との間にはロアコア２７が固定されている。アッパコア２６及びロアコア２７は高透磁率材料によって形成されている。アッパコア２６及びロアコア２７には、滑り軸受２８，２９を介してアーマチャシャフト２１が往復動可能に支持されている。
【００３５】
アッパコア２６において、アーマチャ２５と対向する面（図１の下面）には溝２６Ａが形成され、この溝２６Ａ内に電磁コイルからなるアッパコイル３１が収容及び保持されている。そして、これらのアッパコア２６及びアッパコイル３１により、バルブステム１６及び弁体１７を閉弁方向に駆動するための電磁石（閉駆動用電磁石）３２が構成されている。
【００３６】
同様に、ロアコア２７においてアーマチャ２５と対向する面（図１の上面）には溝２７Ａが形成され、この溝２７Ａ内に電磁コイルからなるロアコイル３３が収容及び保持されている。そして、これらのロアコア２７及びロアコイル３３により、バルブステム１６及び弁体１７を開弁方向に駆動するための電磁石（開駆動用電磁石）３４が構成されている。
【００３７】
以上が電磁駆動バルブ３５の基本構造である。この電磁駆動バルブ３５では、バルブステム１６が対向部品に相当し、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に対して相対移動する作動部品に相当する。また、電磁駆動バルブ３５では、弁体１７の閉弁時にバルブステム１６及びアーマチャシャフト２１の対向面間に所定の間隙が形成されるようになっている。これは、バルブステム１６が熱膨張したり、電磁駆動バルブ３５の各構成部品に製造誤差等があったりしても、弁体１７を確実に閉弁させるためである。反面、前記間隙により、弁体１７の開弁時にアーマチャシャフト２１がバルブステム１６に向けて相対移動（変位）する。そして、アーマチャシャフト２１が、その作動ストロークの一方の端であるバルブステム１６に当接すると、衝突打音を生ずる場合がある。
【００３８】
そこで、前述した基本構造に加え、電磁駆動バルブ３５には、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に近接するにつれてアーマチャシャフト２１のバルブステム１６に対する相対速度を減速する作動減速装置３６が設けられている。
【００３９】
次に、この作動減速装置３６の構造について説明する。図２に示すように、作動減速装置３６は第１取付け部３７、第２取付け部４１及び伸縮ケース４４を備えている。第１取付け部３７は、有底筒状をなす装着部３８と、その装着部３８の開放側の端部（図２の上端部）外周に形成されたフランジ部３９とを備えている。そして、装着部３８がアーマチャシャフト２１に対しその下方から嵌められることによって、第１取付け部３７がアーマチャシャフト２１においてバルブステム１６に対向する端部（下端部）に装着されている。
【００４０】
同様に、第２取付け部４１は、有蓋筒状をなす装着部４２と、その装着部４２の開放側の端部（図２の下端部）外周に形成されたフランジ部４３とを備えている。そして、装着部４２がバルブステム１６に対しその上方から嵌められることによって、第２取付け部４１がバルブステム１６においてアーマチャシャフト２１に対向する端部（上端部）に装着されている。
【００４１】
ここで、第１取付け部３７の第２取付け部４１に対する対向面３７Ａ、及び第２取付け部４１の第１取付け部３７に対する対向面４１Ａは互いに平行又は略平行に形成されている。そして、弁体１７が閉弁された状態では、両取付け部３７，４１、より詳しくは両装着部３８，４２の対向面３７Ａ，４１Ａ間に所定の大きさの間隙Ｇが形成される。本実施形態では、この間隙Ｇが実質的にバルブステム１６とアーマチャシャフト２１との間の前述した間隙に相当している。
【００４２】
伸縮ケース４４は金属材からなるベローズ（金属ベローズ）によって構成されている。伸縮ケース４４の一端部（下端部）は第２取付け部４１のフランジ部４３に対し、また他端部（上端部）は第１取付け部３７のフランジ部３９に対し、例えば電子ビーム溶接等の方法によってそれぞれ固定されている。金属ベローズは、その形状（蛇腹状）から、軸方向には弾性変形により伸縮しやすいが、ゴム状弾性体によって伸縮ケースを構成した場合とは異なり、径方向には変形しにくいという特性を有している。また、金属ベローズは伸縮を繰り返してもへたりにくいという特性を有している。
【００４３】
両取付け部３７，４１及び伸縮ケース４４によって囲まれた空間は非圧縮性流体封入用の密封空間４５となっている。密封空間４５内には、グリース、油等の粘度の高い流体（粘性流体）４６が非圧縮性流体として封入されている。本実施形態では、粘度の高い潤滑油として知られているグリースが粘性流体４６として用いられている。
【００４４】
前述した伸縮ケース４４と密封空間４５とによって減速部が構成されている。この減速部には、密封空間４５内の圧力に応じて伸縮する伸縮手段が設けられている。伸縮手段は、密封空間４５に空気、窒素等の気体４７を封入することによって構成されている。本実施形態では、気体４７として空気が用いられ、この空気が圧縮させることのできる状態で密封空間４５内に封入されている。なお、減速部は伸縮ケース４４及び密封空間４５を必須の構成要素として備えるが、これら以外の要素が加えられてもよい。
【００４５】
ところで、粘性流体４６及び気体４７は、例えば装着部３８の底部にあけられた孔４８を通じて密封空間４５に注入される。そして、密封空間４５が粘性流体４６及び気体４７によって満たされた状態で、球体等からなる栓４９が孔４８に圧入されることにより、孔４８が塞がれる。また、図２では気体４７と粘性流体４６とが分離しているが、気体４７が粘性流体４６中に分散してもよい。
【００４６】
上記構成の作動減速装置３６を用いた電磁駆動バルブ３５では、図１において両電磁石３２，３４のコイル３１，３３に通電されない場合には、アーマチャ２５は、アッパスプリング２４及びロアスプリング１９間の中立位置、すなわち、両電磁石３２，３４間の略中央に維持される。このとき、作動減速装置３６では図３に示すように両装着部３８，４２が相互に当接している。
【００４７】
この状態からアッパコイル３１への通電により吸引電流が流れると、アッパコア２６及びアーマチャ２５からなる磁気回路が形成され、アッパコイル３１の周りに磁力線が生じ、アーマチャ２５に対し閉駆動用の電磁石３２に向かう電磁力が作用する。この電磁力により、アーマチャ２５が閉駆動用の電磁石３２に向けて変位し、その途中で弁体１７が弁座１４に着座し閉弁状態となる。アーマチャ２５がさらに変位してアーマチャシャフト２１がバルブステム１６から離れる側（上側）へ相対移動すると、装着部３８が装着部４２から上方へ離間する。アーマチャ２５がアッパコア２６に当接する位置まで変位すると、図２に示すように対向面３７Ａ，４１Ａ間に所定の大きさの間隙Ｇが形成される。
【００４８】
前記の状態からアッパコイル３１への通電により開放電流が流れると、アーマチャ２５は、アッパスプリング２４の付勢力により開弁方向、すなわち、開駆動用の電磁石３４に向けて変位する。これに伴いアーマチャシャフト２１がバルブステム１６に対して近づく側へ相対移動し、伸縮ケース４４を収縮させながら第１取付け部３７が第２取付け部４１に近接しようとする。この際、対向面３７Ａ，４１Ａ間の粘性流体４６が径方向外方へ押出される必要がある。ここで、金属ベローズからなる伸縮ケース４４は径方向に変形しにくいため、この伸縮ケース４４の変形のみによっては、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に向けて作動する際、粘性流体４６が入り込む空間を確保して粘性流体４６を対向面３７Ａ，４１Ａ間から押出すことが困難である。
【００４９】
しかし、第１実施形態では、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に近接することに伴い密封空間４５内の圧力が高まると、この圧力に応じて圧縮される気体４７を封入している。このため、気体４７を図２において矢印で示すように圧縮させることにより、粘性流体４６を対向面３７Ａ，４１Ａ間から径方向外方へ押出すことが可能である。この際、第１及び第２取付け部３７，４１の両対向面３７Ａ，４１Ａが略平行であるため、同対向面３７Ａ，４１Ａ間の粘性流体４６を径方向外方のいずれの方向にも略均等に押出すことができる。そして、アーマチャシャフト２１及びアーマチャ２５がさらに変位すると、図３に示すように装着部３８が装着部４２に当接し、間隙Ｇが実質的に零となる。
【００５０】
ここで、上述のように間隙Ｇの減少に伴いその間隙Ｇから粘性流体４６が押出される際には、粘性流体４６による流体摩擦力（スクィーズ力）が発生する。この流体摩擦力によって、アーマチャシャフト２１のバルブステム１６に対する相対速度が減速される。この減速により、装着部３８が装着部４２に当接する際の衝突力が緩和され、その当接に伴う衝突打音が低減される。特に、第１実施形態では非圧縮性流体として粘性流体４６を用いていることから、他の種類の流体を非圧縮性流体として用いた場合に比べ、粘性流体４６が間隙Ｇから押出される際に発生する流体摩擦力をより大きくすることができる。これに伴い、アーマチャシャフト２１のバルブステム１６との当接時に生ずる衝突打音をより好適に低減することができる。また、両装着部３８，４２の当接により、対向面３７Ａ，４１Ａ間の粘性流体４６を全部押出すことで、より大きな流体摩擦力を発生させることができる。さらに、こうした流体摩擦力は、小さな構成でも大きな力を発生させることができることから、可動部の小型化及び軽量化を図ることもできる。
【００５１】
さらに、アーマチャシャフト２１及びアーマチャ２５が変位すると、アーマチャシャフト２１はロアスプリング１９に抗してバルブステム１６を同方向へ変位させるため、図１に示すように弁体１７が弁座１４から離座して開弁状態となる。そして、アーマチャシャフト２１及びアーマチャ２５が開弁方向に所定量変位した時点で、ロアコイル３３に通電されると、ロアコア２７及びアーマチャ２５からなる磁気回路が形成され、ロアコイル３３の周りに磁力線が生じ、アーマチャ２５に対し開駆動用の電磁石３４に向かう電磁力が発生する。アーマチャ２５がロアコア２７に当接する位置まで変位すると、弁体１７は全開状態となる。
【００５２】
弁体１７がこの全開状態に保持された後、ロアコイル３３への通電により開放電流が流れると、アーマチャ２５を全開状態に保持するための磁気吸引力が消滅する。このため、アーマチャ２５は、ロアスプリング１９の付勢力により閉駆動用の電磁石３２に向けて変位し始める。この際、両装着部３８，４２が相互に当接した状態のまま、バルブステム１６はアーマチャシャフト２１とともに変位する。この状態では、密封空間４５内の気体４７は圧縮されたままである。
【００５３】
その後、アーマチャ２５の変位量が所定値に達すると、アッパコイル３１への通電が開始される。この通電によりアッパコイル３１に吸引電流が流れると、アーマチャ２５に対し閉駆動用の電磁石３２に向かう電磁力が作用し、アーマチャ２５が同電磁石３２に向けて変位する。アーマチャ２５がさらに変位し弁体１７が弁座１４に着座して閉弁状態になると、バルブステム１６はそれ以上閉弁方向に変位しなくなる。このため、その後は、アーマチャシャフト２１のみがアッパスプリング２４に抗して同方向へ変位する。このアーマチャシャフト２１の変位により、装着部３８が装着部４２から離間して、それらの対向面３７Ａ，４１Ａ間の間隙Ｇが徐々に大きくなる。
【００５４】
このように離間する際には、図３において矢印で示すように前記の圧縮された気体４７の膨張しようとする力（復元力）により、粘性流体４６に対し内方へ向かう圧力（内圧）が付加され、粘性流体４６が両装着部３８，４２間に戻される。この際、第１及び第２取付け部３７，４１の両対向面３７Ａ，４１Ａが略平行であるため、同対向面３７Ａ，４１Ａ間に対し全方向から粘性流体４６を略均等に戻すことができる。
【００５５】
その後、アーマチャ２５がアッパコア２６に当接すると、アーマチャシャフト２１はそれ以上同方向に変位しなくなる。この状態では、図２に示すように、対向面３７Ａ，４１Ａ間の間隙Ｇが最大となる。
【００５６】
従って、上記のように両電磁石３２，３４のコイル３１，３３に交互に励磁電流が流されるように通電を制御することにより、弁体１７が開閉駆動される。
以上詳述した第１実施形態によれば、次の効果が得られる。
【００５７】
（１）仮に、ゴム状弾性体によって伸縮ケースを構成すると、弾性変形（膨張及び元の形状への復帰）の繰返しにより伸縮ケースがへたって伸びっぱなしになり、弾性力が低下するおそれがある。これに対し、第１実施形態では、伸縮を繰り返してもへたりにくい特性を有する金属材である金属ベローズによって伸縮ケース４４を構成している。このため、伸縮ケース４４が繰り返し伸縮されても伸縮ケース４４自体の耐久的な弾性力の低下（へたり）を抑制することができる。
【００５８】
（２）金属ベローズは、アーマチャシャフト２１の移動方向には伸縮が容易であるが径方向には変形しにくい。このため、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に近づく際には、粘性流体４６を第１及び第２取付け部３７，４１の対向面３７Ａ，４１Ａ間から押出すことが困難になる。これに対し、第１実施形態では、気体４７を密封空間４５に封入している。このため、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に近づくことに伴い高くなる密封空間４５内の圧力に応じて気体４７を伸縮させ、粘性流体４６を対向面３７Ａ，４１Ａ間から押出すことができる。そして、このとき発生する流体摩擦力（スクィーズ力）によってアーマチャシャフト２１のバルブステム１６に対する相対速度を減速し、アーマチャシャフト２１とバルブステム１６との衝突力を緩和して、衝突打音を低減することができる。
【００５９】
また、圧縮された気体４７の膨張しようとする力（復元力）により粘性流体４６に内圧を付加することができる。従って、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６から離れる際には、この付加した内圧によって粘性流体４６を対向面３７Ａ，４１Ａ間に戻すことができる。
【００６０】
このように、対向面３７Ａ，４１Ａ間から粘性流体４６を確実に押出したり戻したりすることができることに加え、前記（１）で説明したように内外両伸縮ケース５２，５３自体がへたりにくく弾性力が低下しにくい。このことから第１取付け部３７（アーマチャシャフト２１）が第２取付け部４１（バルブステム１６）に当接する際の衝突打音を低減する効果を長期間にわたって維持することができる。
【００６１】
（３）密封空間４５に気体４７を封入することにより伸縮手段を構成しているため、へたりが生じにくい伸縮体を密封空間４５に設けるよりも安価に伸縮手段を構成することができる。
【００６２】
（第２実施形態）
次に、本発明を具体化した第２実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第２実施形態の構成において第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【００６３】
第２実施形態では、両取付け部３７，４１が第１実施形態とは異なる形態を有している。図４に示すように第１取付け部３７においては、フランジ部３９が装着部３８の下端部外周に設けられている。第２取付け部４１においては、前記フランジ部３９よりも大きな外径を有するフランジ部４３が装着部４２の上端部外周に設けられている。
【００６４】
また、第２実施形態では、伸縮ケース及び移動部５１によって伸縮手段が構成されている。移動部５１はリング状をなし、アーマチャシャフト２１の回りに配置されている。伸縮ケースとして、それぞれ金属ベローズによって形成された内側伸縮ケース５２及び外側伸縮ケース５３が用いられている。
【００６５】
内側伸縮ケース５２はアーマチャシャフト２１の回りに配置され、その一端部（下端部）は第１取付け部３７に対する連結部とされ、フランジ部３９の上面に対し密着状態で固定されている。外側伸縮ケース５３は内側伸縮ケース５２よりも大径状をなし、その内側伸縮ケース５２の外側においてアーマチャシャフト２１の回りに配置されている。外側伸縮ケース５３の一端部（下端部）は第２取付け部４１に対する連結部とされ、フランジ部４３の上面外周部に対し密着状態で固定されている。
【００６６】
内外両伸縮ケース５２，５３の各他端部（上端部）は第１及び第２取付け部３７，４１に対する非連結部とされている。内側伸縮ケース５２の他端部（上端部）は移動部５１の下面内周部分に対し、また外側伸縮ケース５３の他端部（上端部）は移動部５１の下面外周部分に対し、それぞれ密着状態で固定されている。このように、一端部が第１取付け部３７に連結された内側伸縮ケース５２の他端部には、移動部５１が第２取付け部４１に対して相対移動可能に連結されている。また、一端部が第２取付け部４１に連結された外側伸縮ケース５３の他端部には、移動部５１が第１取付け部３７に対して相対移動可能に連結されている。
【００６７】
両取付け部３７，４１、移動部５１及び内外両伸縮ケース５２，５３によって囲まれた空間は密封空間４５となっており、粘性流体４６がこの密封空間４５内に封入されている。なお、密封空間４５には、第１実施形態とは異なり気体４７は封入されていない。
【００６８】
上記構成の作動減速装置３６を用いた電磁駆動バルブ３５では、図１においてアーマチャ２５がアッパコア２６に当接して弁体１７が閉弁状態になっているときには、図４に示すように対向面３７Ａ，４１Ａ間に所定の大きさの間隙Ｇが形成される。この状態からアッパコイル３１に開放電流が流されると、アーマチャ２５は、アッパスプリング２４の付勢力により開駆動用の電磁石３４に向けて変位し、第１取付け部３７が第２取付け部４１に近接しようとする。ここで、移動部５１は、第１及び第２取付け部３７，４１のそれぞれに対して内外両伸縮ケース５２，５３を介して取付けられていることから、両取付け部３７，４１に対して相対移動可能である。そのため、前記近接に伴い密封空間４５内の粘性流体４６の圧力が高まると、粘性流体４６による図４の矢印方向の力により、移動部５１が第１及び第２取付け部３７，４１に対し相対移動する。これに伴い内側伸縮ケース５２及び外側伸縮ケース５３の各他端部（上端部）が各一端部（下端部）に対して相対移動して、同内側伸縮ケース５２及び外側伸縮ケース５３が伸長する。
【００６９】
このように内外両伸縮ケース５２，５３が伸長することで、両取付け部３７，４１の対向面３７Ａ，４１Ａ間から粘性流体４６が押出される。そして、アーマチャシャフト２１及びアーマチャ２５がさらに変位すると、両装着部３８，４２が相互に当接し、間隙Ｇが実質的に零となる。
【００７０】
間隙Ｇの減少に伴いその間隙Ｇから粘性流体４６が押出される際には、粘性流体４６による流体摩擦力（スクィーズ力）が発生する。この流体摩擦力によって、アーマチャシャフト２１のバルブステム１６側への相対移動が減速される。この減速により、第１取付け部３７が第２取付け部４１に当接する際の衝突力が緩和され、その当接に伴う衝突打音が低減される。
【００７１】
一方、アーマチャ２５がロアコア２７に当接して弁体１７が全開状態に保持されているときに、ロアコイル３３に開放電流が流されると、アーマチャ２５を保持するための磁気吸引力が消滅する。このため、アーマチャ２５は、ロアスプリング１９の付勢力により閉駆動用の電磁石３２に向けて変位し始める。この際、両装着部３８，４２が相互に当接した状態のまま、バルブステム１６はアーマチャシャフト２１とともに変位する（図１参照）。
【００７２】
その後、アーマチャ２５の変位量が所定値に達して、アッパコイル３１に吸引電流が流されると、アーマチャ２５に対し閉駆動用の電磁石３２に向かう電磁力が作用し、アーマチャ２５が同電磁石３２に向けて変位する。アーマチャ２５がさらに変位し弁体１７が弁座１４に着座して閉弁状態になると、バルブステム１６はそれ以上閉弁方向に変位しなくなる。このため、その後は、アーマチャシャフト２１のみがアッパスプリング２４に抗して同方向へ変位する。このアーマチャシャフト２１の変位により装着部３８が装着部４２から離間して、それらの対向面３７Ａ，４１Ａの間隙Ｇが徐々に大きくなる。
【００７３】
この際、前記の伸長した内外両伸縮ケース５２，５３が縮もうとする力により粘性流体４６に対し内方へ向かう力（内圧）が付加され、内外両伸縮ケース５２，５３間の粘性流体４６の一部が対向面３７Ａ，４１Ａ間に戻される。
【００７４】
その後、アーマチャ２５がアッパコア２６に当接すると、アーマチャシャフト２１はそれ以上同方向に変位しなくなる。この状態では、図４に示すように、対向面３７Ａ，４１Ａ間の間隙Ｇが最大となる。
【００７５】
なお、両取付け部３７，４１、移動部５１及び内外両伸縮ケース５２，５３によって囲まれた空間は密封空間４５となっている。このため、上記のように内外両伸縮ケース５２，５３が伸縮しても密封空間４５内の粘性流体４６が漏れ出るおそれはない。
【００７６】
従って、第２実施形態によれば前記した（１）に加え、次の効果（４）が得られる。
（４）伸縮ケースとして内側伸縮ケース５２及び外側伸縮ケース５３を用いている。内側伸縮ケース５２の一端部（下端部）を第１取付け部３７に対する連結部とし、外側伸縮ケース５３の一端部（下端部）を第２取付け部４１に対する連結部としている。また、内外両伸縮ケース５２，５３の他端部（上端部）を第１及び第２取付け部３７，４１に対する非連結部としている。そして、内外両伸縮ケース５２，５３の各上端部に密封空間４５を形成する移動部５１を連結している。換言すると、移動部５１を、第１及び第２取付け部３７，４１のそれぞれに対して内外両伸縮ケース５２，５３を介して取付けている。このようにして、伸縮ケース４４自体を用いて伸縮手段を構成している。
【００７７】
そのため、移動部５１を両取付け部３７，４１に対して相対移動可能とすることができる。
また、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に近づく側へ相対移動する際には、移動部５１の移動を伴いながら内外両伸縮ケース５２，５３を伸長させることで、対向面３７Ａ，４１Ａ間から粘性流体４６を押出すことができる。しかも、この伸長した内外両伸縮ケース５２，５３が縮もうとする力により粘性流体４６に内圧を付加して、同粘性流体４６を対向面３７Ａ，４１Ａ間に戻すことができる。
【００７８】
このように、対向面３７Ａ，４１Ａ間から粘性流体４６を確実に押出したり戻したりすることができることに加え、前記（１）で説明したように内外両伸縮ケース５２，５３自体がへたりにくく弾性力が低下しにくい。このことから、前記（２）と同様に、第１取付け部３７が第２取付け部４１に当接する際の衝突打音を低減する効果を長期間にわたって維持することができる。
【００７９】
さらに、移動部５１は内側伸縮ケース５２の他端部（上端部）と外側伸縮ケース５３の他端部（上端部）とを連結しているため、密封空間４５から粘性流体４６が漏れ出るのを確実に防止することができる。
【００８０】
（第３実施形態）
次に、本発明を具体化した第３実施形態について、第２実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第３実施形態の構成において第２実施形態と同様の構成については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【００８１】
第３実施形態では、図５に示すように第１取付け部３７が装着部３８のみによって構成されている。また、伸縮ケース６６及び移動部６３によって伸縮手段が構成されている。移動部６３は、装着部３８よりも若干大きな内径を有する筒状部６４と、筒状部６４の外周面上部に設けられたフランジ部６５とによって構成されており、筒状部６４において第１取付け部３７に対し軸方向へ相対移動可能に被せられている。この筒状部６４を装着部３８に密封嵌合するために、装着部３８の外周部には、その全周にわたって環状の溝６１が形成されており、Ｏリング６２が筒状部６４の内周面に接触した状態で溝６１に係止されている。
【００８２】
伸縮ケース６６は金属ベローズによって形成されており、その一端部（下端部）は第２取付け部４１に対する連結部とされ、フランジ部４３の上面外周部分に対し密着状態で固定されている。伸縮ケース６６の他端部（上端部）は第１及び第２取付け部３７，４１に対する非連結部され、移動部６３のフランジ部６５の下面外周部分に対し密着状態で固定されている。このように伸縮ケース６６の他端部には、移動部６３が第１取付け部３７に対して相対移動可能に連結されている。
【００８３】
そして、両取付け部３７，４１、伸縮ケース６６、移動部６３等によって囲まれた空間は密封空間４５となっており、粘性流体４６がこの密封空間４５内に封入されている。なお、密封空間４５には、第２実施形態と同様に気体４７は封入されていない。
【００８４】
上記構成の作動減速装置３６を用いた電磁駆動バルブ３５では、図５に示すように対向面３７Ａ，４１Ａ間に間隙Ｇが形成されている状態からアッパコイル３１に開放電流が流されると、アッパスプリング２４の付勢力を受けたアーマチャ２５が開駆動用の電磁石３４に向けて変位する。この変位により、第１取付け部３７が第２取付け部４１に近接する。ここで、移動部６３は、第２取付け部４１に対しては伸縮ケース６６を介して取付けられ、第１取付け部３７に対しては密封嵌合されていることから、両取付け部３７，４１に対して密着状態で相対移動可能である。そのため、前記近接に伴い密封空間４５内の粘性流体４６の圧力が高まると、粘性流体４６による図５の矢印方向の力により、移動部６３が第１及び第２取付け部３７，４１に対し相対移動する。これに伴い伸縮ケース６６の他端部（上端部）が一端部（下端部）に対して相対移動して、伸縮ケース６６が伸長する。
【００８５】
このように伸縮ケース４４が伸長することで、両取付け部３７，４１の対向面３７Ａ，４１Ａ間から粘性流体４６が押出される。この際、粘性流体４６による流体摩擦力（スクィーズ力）が発生する。この流体摩擦力によって、アーマチャシャフト２１のバルブステム１６側への相対移動が減速される。この減速により、第１取付け部３７が第２取付け部４１に当接する際の衝突力が緩和され、その当接に伴う衝突打音が低減される。
【００８６】
一方、対向面３７Ａ，４１Ａ間に間隙Ｇが形成されていない状態で弁体１７が弁座１４に着座して閉弁状態になり、その後もアーマチャシャフト２１のみがアッパスプリング２４に抗して閉駆動用の電磁石３２に向けて変位すると、装着部３８が装着部４２から離間する。これに伴い対向面３７Ａ，４１Ａの間隙Ｇが徐々に大きくなる。この際、前記の伸長した伸縮ケース６６が縮もうとする力により粘性流体４６に対し内方へ向かう力（内圧）が付加され、粘性流体４６の一部が対向面３７Ａ，４１Ａ間に戻される。
【００８７】
なお、両取付け部３７，４１、移動部６３及び伸縮ケース６６によって囲まれた空間は密封空間４５となっている。しかも、移動部６３の筒状部６４は、第１取付け部３７の外周面に係止したＯリング６２に対し接触しており、同移動部６３はこの接触状態を維持しながら第１取付け部３７に対し摺動する。このため、上記のように伸縮ケース６６が伸縮して移動部６３が両取付け部３７，４１に対し相対移動しても密封状態が保持され、密封空間４５から粘性流体４６が漏れ出るおそれはない。
【００８８】
従って、第３実施形態によれば前記した（１）に加え、次の効果（５），（６）が得られる。
（５）伸縮ケース６６の一端部（下端部）を第２取付け部４１に対する連結部とするとともに、伸縮ケース６６の他端部（上端部）を第１及び第２取付け部３７，４１に対する非連結部としている。そして、伸縮ケース６６の他端部（上端部）に密封空間４５を形成する移動部６３を連結している。このようにして、伸縮ケース６６自体を用いて伸縮手段を構成している。
【００８９】
そのため、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に近づく側へ相対移動する際には、移動部６３の移動を伴いながら伸縮ケース６６を伸長させることで、対向面３７Ａ，４１Ａ間から粘性流体４６を押出すことができる。また、伸長した伸縮ケース６６が縮もうとする力により粘性流体４６に内圧を付加して、同粘性流体４６を対向面３７Ａ，４１Ａ間に戻すことができる。
【００９０】
このように、対向面３７Ａ，４１Ａ間から粘性流体４６を確実に押出したり戻したりすることができることに加え、前記（１）で説明したように伸縮ケース６６自体がへたりにくく弾性力が低下しにくい。このことから、前記（２），（４）と同様に、第１取付け部３７が第２取付け部４１に当接する際の衝突打音を低減する効果を長期間にわたって維持することができる。
【００９１】
（６）第２取付け部４１に伸縮ケース６６の一端部（下端部）を取付け、伸縮ケース６６の他端部（上端部）に移動部６３を連結し、さらに移動部６３を第１取付け部３７に密封嵌合することにより伸縮手段を構成している。このため、密封空間４５から粘性流体４６が漏れ出るのを防止しながら、移動部６３を第１及び第２取付け部３７，４１に対して相対移動可能とすることができる。
【００９２】
（第４実施形態）
次に、本発明を具体化した第４実施形態について、第２実施形態との相違点を中心に説明する。なお、第４実施形態の構成において第２実施形態と同様の構成については、同一の符号を付すことにより説明を省略する。
【００９３】
ここで、伸縮ケース自体を用いて伸縮手段を構成した前記第２実施形態によれば、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に近接すると内外両伸縮ケース５２，５３が伸長するが、それに伴い発生する弾性復元力により同伸縮ケース５２，５３が縮もうとする。そのため、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６から離間する際には、この内外両伸縮ケース５２，５３の縮もうとする力によってその離間が妨げられる。
【００９４】
そこで、第４実施形態では、図６に示すように、第１取付け部３７におけるフランジ部３９が装着部３８の軸方向における中間部分に形成されている。装着部３８の回りであって、フランジ部３９と第２取付け部４１のフランジ部４３との間には、スプリング５６が弾発手段として圧縮状態で配設されており、このスプリング５６により両取付け部３７，４１が互いに離間する方向へ付勢されている。
【００９５】
上記構成の作動減速装置３６を用いた電磁駆動バルブ３５では、図６に示すように対向面３７Ａ，４１Ａ間に間隙Ｇが形成されている状態からアッパコイル３１に開放電流が流されると、アッパスプリング２４の付勢力を受けたアーマチャ２５が開駆動用の電磁石３４に向けて変位する。この際、第１取付け部３７がスプリング５６を圧縮させながら第２取付け部４１に近接し、内外両伸縮ケース５２，５３を伸長させることで、両装着部３８，４２の対向面３７Ａ，４１Ａ間から粘性流体４６が押出される。
【００９６】
一方、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６から離間する際には内外両伸縮ケース５２，５３の縮もうとする力によってその離間が妨げられる。しかし、スプリング５６が蓄圧したばね力を開放するため、第１及び第２取付け部３７，４１は、スプリング５６からそれら両取付け部３７，４１を互いに離間させようとする付勢力を受ける。この付勢力によって対向面３７Ａ，４１Ａ間の間隙Ｇが強制的に拡大され、両取付け部３７，４１が相互に離間する。
【００９７】
そして、内外両伸縮ケース５２，５３が縮もうとする力により粘性流体４６に対し内方へ向かう力（内圧）が付加され、内外両伸縮ケース５２，５３間の粘性流体４６の一部が対向面３７Ａ，４１Ａ間に速やかに戻される。
【００９８】
従って、第４実施形態によれば、前述した（１），（４）に加え、次の効果が得られる。
（７）第１取付け部３７及び第２取付け部４１の間にスプリング５６を圧縮状態で設けている。このため、第１取付け部３７が第２取付け部４１から離間する側へ相対移動する際、内外両伸縮ケース５２，５３の縮もうとする力によってアーマチャシャフト２１がバルブステム１６から離間するのが妨げられるとしても、スプリング５６によって対向面３７Ａ，４１Ａの間隔を強制的に拡大させることができる。その結果、アーマチャシャフト２１をバルブステム１６から確実に離間させることができる。
【００９９】
なお、本発明は次に示す別の実施形態に具体化することができる。
・第１実施形態の伸縮ケース４４として、金属ベローズに代えて金属製の薄板からなるダイヤフラム（金属ダイヤフラム）を用いてもよい。金属ダイヤフラムは伸縮を繰り返してもへたりにくいという特性を有する。また、金属ダイヤフラムはその形状から、金属ベローズと同様、軸方向については撓むことにより伸縮しやすいが径方向には変形しにくいという特性も有する。この金属ダイヤフラムからなる伸縮ケース４４を用いた作動減速装置３６の一例を図７に示す。
【０１００】
この場合、伸縮ケース４４の中心部分に孔７１をあけ、この孔７１において伸縮ケース４４を第２取付け部４１の装着部４２に被せる。そして、伸縮ケース４４における孔７１の近傍部分を装着部４２又はフランジ部４３に密着状態で固定する。一方、伸縮ケース４４の外周部分を第１取付け部３７のフランジ部３９に密着状態で固定する。そして、両取付け部３７，４１及び伸縮ケース４４によって囲まれた密封空間４５に粘性流体４６及び気体４７を封入する。
【０１０１】
このようにすると、伸縮ケース４４の伸縮の態様が金属ベローズ製の伸縮ケースと若干異なるものの、前述した第１実施形態と同様、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に当接する際の衝突打音を低減する効果を長期間にわたって維持することができる。
【０１０２】
・第２実施形態の金属材として、金属ベローズに代えて金属ダイヤフラムを用いてもよい。この金属ダイヤフラムからなる伸縮ケースを用いた作動減速装置３６の一例を図８に示す。
【０１０３】
この場合、移動部７２をリング状に形成し、アーマチャシャフト２１の回りにおいて、両取付け部３７，４１に対して相対移動可能に配置する。また、伸縮ケースとして、それぞれ金属ダイヤフラムによって形成された内側伸縮ケース７３及び外側伸縮ケース７４を用いる。内側伸縮ケース７３をアーマチャシャフト２１の回りに配置し、その一端部（下端部）を第１取付け部３７に対する連結部とし、フランジ部３９の上面に対し密着状態で固定する。外側伸縮ケース７４を内側伸縮ケース７３よりも大径に形成し、その内側伸縮ケース７３と同心上に配置する。外側伸縮ケース７４の一端部（下端部）を第２取付け部４１に対する連結部とし、フランジ部４３の上面外周部分に密着状態で固定する。
【０１０４】
内外両伸縮ケース７３，７４の各他端部（上端部）を第１及び第２取付け部３７，４１に対する非連結部とする。内側伸縮ケース７３の他端部（上端部）を移動部７２の下面内周部分に対し、また外側伸縮ケース７４の他端部（上端部）を移動部７２の下面外周部分に対し、それぞれ密着状態で固定する。このようにして、移動部７２を各取付け部３７，４１に対して内外各伸縮ケース７３，７４を介して取付けることにより、移動部７２をこれら両取付け部３７，４１に対して相対移動可能とする。
【０１０５】
そして、両取付け部３７，４１、移動部７２及び内外両伸縮ケース７３，７４によって囲まれた密封空間４５内に粘性流体４６を封入する。なお、密封空間４５には、第２実施形態と同様、気体４７を封入しない。
【０１０６】
この場合、アーマチャシャフト２１がバルブステム１６に近接することに伴い密封空間４５内の圧力が高まると、この圧力を受けて移動部７２が両取付け部３７，４１に対し相対移動し、それに伴い内外両伸縮ケース７３，７４の各他端部（上端部）が一端部（下端部）に対して相対移動する。この相対移動により内外両伸縮ケース７３，７４が伸長し、両取付け部３７，４１の対向面３７Ａ，４１Ａ間から粘性流体４６が押出され、また伸長した内外両伸縮ケース７３，７４の縮もうとする力により粘性流体４６に内圧が付加される。また、内側伸縮ケース７３の他端部（上端部）と外側伸縮ケース７４の他端部（上端部）とが移動部７２によって連結されるため、密封空間４５から粘性流体４６が漏れ出にくい。
【０１０７】
従って、内外両伸縮ケース７３，７４の伸縮の態様が金属ベローズ製の伸縮ケースと若干異なるものの、第２実施形態と同様の効果が得られる。すなわち、両取付け部３７，４１の対向面３７Ａ，４１Ａ間から粘性流体４６を押出すことができ、伸長した内外両伸縮ケース７３，７４の縮もうとする力により粘性流体４６に内圧を付加することができる。また、移動部７２を、両取付け部３７，４１に対して相対移動可能とすることができるほか、移動部７２によって密封空間４５から粘性流体４６が漏れるのを確実に防止することができる。
【０１０８】
また、第３実施形態の伸縮ケース６６として、前記と同様に金属ベローズに代えて金属ダイヤフラムを用いてもよい。
・第３実施形態、及び上記図８等を用いて説明した別の実施形態においても、第４実施形態と同様に、第１取付け部３７及び第２取付け部４１の間に、両取付け部３７，４１を互いに離間させる方向へ付勢する弾発手段（スプリング）を設けてもよい。このようにすると、弾発手段の付勢力によって第１取付け部３７を第２取付け部４１から離間させて、伸長した伸縮ケース６６，７３，７４の縮もうとする力により対向面３７Ａ，４１Ａ間に粘性流体４６を速やかにかつ確実に戻すことができる。
【０１０９】
・内側伸縮ケース５２及び外側伸縮ケース５３と、第１取付け部３７及び第２取付け部４１との関係について、各伸縮ケース５２，５３が固定される取付け部３７，４１を、第２及び第４実施形態と逆にしてもよい。この場合、外側伸縮ケース５３の一端部を第１取付け部３７に固定し、内側伸縮ケース５２の一端部を第２取付け部４１に固定する。移動部５１をバルブステム１６側に配置し、内外両伸縮ケース５２，５３の他端部を移動部５１に固定する。
【０１１０】
・第３実施形態において、移動部６３を第１取付け部３７に代えて第２取付け部４１に摺動可能に設けてもよい。この場合、伸縮ケース６６の一端部を第１取付け部３７に固定し、他端部を移動部６３に固定する。
【０１１１】
・第１実施形態について、図９に示すように、装着部３８のバルブステム１６側（下側）の端面に環状の仕切部７６を形成するとともに、装着部４２のアーマチャシャフト２１側（上側）の端面に環状の仕切部７７を形成する。そして、両仕切部７６，７７を相互に当接させた状態で、伸縮ケース４４により粘性流体４６及び気体４７が密封された空間を、仕切部７６，７７よりも内側の内室７８と外側の外室７９とに仕切るようにしてもよい。第２〜第４実施形態についても同様である。こうすることにより、内室７８内の粘性流体４６を仕切部７６，７７の対向面３７Ａ，４１Ａ間を通じて外室７９に押出すことで、より大きな流体摩擦力を発生させることが可能となる。
【０１１２】
また、この場合、内室７８内に前記第４実施形態と同様の弾発手段（スプリング）を配設し、この弾発手段によって両取付け部３７，４１を離間させるようにしてもよい。
・伸縮手段は、密封空間４５内の圧力に応じて伸縮するものであればよい。従って、密封空間４５内に気体４７を封入して伸縮手段を構成する第１実施形態、伸縮ケース自体を伸縮手段として用いる第２〜第４実施形態に限らず、伸縮手段を上記条件を満たす範囲内で変更可能である。
【０１１３】
例えば、へたりが生じにくい伸縮体を密封空間４５内に設けることにより伸縮手段を構成してもよい。この場合、図１０に示すように、金属ベローズからなる伸縮体８１を密封空間４５内に配置し、その伸縮体８１の一端部（図１０の上端部）を第１取付け部３７に固定する。さらに、第１取付け部３７において伸縮体８１の固定部分と対応する箇所に孔８２を設ける。こうすると、伸縮体８１の内部が孔８２を通じて大気に開放されて、伸縮体８１に対する空気の出入りが可能となるため、伸縮体８１が密封空間４５内の圧力に応じて伸縮する。なお、伸縮体８１を第１取付け部３７に代えて第２取付け部４１に固定してもよい。また、複数の伸縮体８１を用い、これらを第１取付け部３７及び第２取付け部４１の両方に固定してもよい。
【０１１４】
また、図１１に示すように、金属ベローズからなるアキュムレータ８３を密封空間４５に接続することにより伸縮手段を構成してもよい。この場合、アキュムレータ８３を密封空間４５の外部に設け、そのアキュムレータ８３の一端部（図１１の下端部）を第１取付け部３７に固定する。さらに、第１取付け部３７においてアキュムレータ８３の固定部分と対応する箇所に孔８４を設ける。こうすると、アキュムレータ８３の内部が孔８４を通じて密封空間４５に連通した状態となる。密封空間４５内の粘性流体４６のアキュムレータ８３に対する出入りが可能となるため、アキュムレータ８３が密封空間４５内の圧力に応じて伸縮する。なお、アキュムレータ８３を第１取付け部３７に代えて第２取付け部４１に固定してもよい。また、複数のアキュムレータ８３を用い、これらを第１取付け部３７及び第２取付け部４１の両方に固定してもよい。
【０１１５】
さらに、図１２に示すように、金属ダイヤフラムを隔壁８５として有するアキュムレータ８６を密封空間４５に接続することにより伸縮手段を構成してもよい。この場合、アキュムレータ８６を密封空間４５の外部に設け、そのアキュムレータ８６の一端部（図１２の下端部）を第１取付け部３７に固定する。さらに、第１取付け部３７においてアキュムレータ８６の固定部分と対応する箇所に孔８７を設ける。アキュムレータ８６の内部において、隔壁８５を挟んで孔８７とは反対側の空間（蓄圧室８８）に圧縮性の気体を封入する。こうすると、アキュムレータ８６の内部が孔８７を通じて密封空間４５に連通した状態となる。密封空間４５内の粘性流体４６のアキュムレータ８６に対する出入りが可能となり、隔壁８５が密封空間４５内の圧力に応じて伸縮する。なお、アキュムレータ８６を第１取付け部３７に代えて第２取付け部４１に固定してもよい。また、複数のアキュムレータ８６を用い、これらを第１取付け部３７及び第２取付け部４１の両方に固定してもよい。
【０１１６】
・伸縮ケースを金属材に代えて耐熱材によって形成してもよい。ここで、耐熱材は１５０°Ｃ以上の耐熱温度を有する材料である。耐熱材製の伸縮ケースは金属材製の伸縮ケースと同様、伸縮を繰り返してもへたりにくいという特性を有する。このため、金属材によって伸縮ケース４４を形成した場合と同様の作用及び効果が得られる。
【０１１７】
・前記各実施形態において、少なくとも一方の取付け部３７，４１を制振材料によって形成してもよい。制振材料としては、金属系制振材料、例えば制振合金、制振鋼板等を用いることができる。そのほかにも、スラグ複合材等の無機系制振材料や、高分子材料等の有機系制振材料を用いることもできる。このようにすれば、アーマチャシャフト２１のバルブステム１６との当接による衝撃力をより緩和することが可能となる。
【０１１８】
・本発明の電磁駆動バルブは、内燃機関の吸・排気バルブ以外のバルブにも適用可能である。要は、一端に弁体を有するバルブステムと、一端がバルブステムの一端に対向して配置されかつアーマチャに作用する電磁力によりバルブステムに対して相対移動するアーマチャシャフトとを備えた電磁駆動バルブであれば適用可能である。
【０１１９】
・本発明の作動減速装置は、作動部品と、その軸方向に位置する対向部品とを備え、作動部品が対向部品に対して相対移動するものであれば、電磁駆動バルブ以外にも用いることが可能である。
【０１２０】
・非圧縮性流体として粘性流体４６以外の流体を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２１】
【図１】本発明を内燃機関用電磁駆動バルブに具体化した第１実施形態についてその構成を示す概略断面図。
【図２】電磁駆動バルブにおける作動減速装置を示す部分断面図。
【図３】作動減速装置の作動状態を示す部分断面図。
【図４】本発明の第２実施形態における作動減速装置を示す部分断面図。
【図５】本発明の第３実施形態における作動減速装置を示す部分断面図。
【図６】本発明の第４実施形態における作動減速装置を示す部分断面図。
【図７】作動減速装置の別の実施形態を示す部分断面図。
【図８】作動減速装置の別の実施形態を示す部分断面図。
【図９】作動減速装置の別の実施形態を示す部分断面図。
【図１０】作動減速装置の別の実施形態を示す部分断面図。
【図１１】作動減速装置の別の実施形態を示す部分断面図。
【図１２】作動減速装置の別の実施形態を示す部分断面図。
【符号の説明】
【０１２２】
１６…バルブステム（対向部品）、１７…弁体、２１…アーマチャシャフト（作動部品）、２５…アーマチャ、３５…電磁駆動バルブ、３６…作動減速装置、３７…第１取付け部、３７Ａ，４１Ａ…対向面、４１…第２取付け部、４４，６６…伸縮ケース、４５…密封空間、４６…粘性流体（非圧縮性流体）、４７…気体、５１，６３，７２…移動部、５２，７３…内側伸縮ケース、５３，７４…外側伸縮ケース、５６…スプリング（弾発手段）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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