(57)【要約】【課題】  省スペース、省エネルギ、ＴＡＴの短縮が可能であるカラーフィルタ基板の製造方法を提供する。【解決手段】  縦横に並べられた複数の表示ドット領域Ｄ内に着色要素５９ｒ，ｇ，ｂの材料を液滴吐出する工程を有するカラーフィルタ基板の製造方法である。少なくとも１つの表示ドット領域Ｄ分の間隔を開けて複数の表示ドット領域Ｄ内に着色要素５９ｒ，ｇ，ｂの材料を吐出し、さらに、吐出された着色要素材料を乾燥する１回目のプロセスを実行する。次に、１回目のプロセスで液滴吐出されなかった表示ドット領域Ｄ内に着色要素５９ｒ，ｇ，ｂの材料を吐出し、さらに、吐出された着色要素材料を乾燥する２回目のプロセスを実行する。【選択図】        図１
2005134639.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に着色要素材料を液滴吐出する工程を有するカラーフィルタ基板の製造方法において、
少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第１工程と、
該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第２工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項２】
縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に着色要素材料を液滴吐出する工程を有し、異なる３色以上の着色要素をストライプ配列に並べて成るカラーフィルタ基板の製造方法において、
異なる色の着色要素が並ぶ方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第１工程と、
該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第２工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項３】
縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に着色要素材料を液滴吐出する工程を有し、異なる３色以上の着色要素をデルタ配列に並べて成るカラーフィルタ基板の製造方法において、
細いバンクを横切る方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第１工程と、
該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第２工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１つにおいて、着色要素は赤色、緑色、青色の３色であることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。
【請求項５】
縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に異なる色の着色要素が設けられて成るカラーフィルタ基板を製造するカラーフィルタ基板の製造装置において、
着色要素材料を液滴状態で吐出する液滴吐出手段と、
吐出された着色要素材料を乾燥する乾燥手段とを有し、
少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に前記液滴吐出手段を用いて着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を前記乾燥手段を用いて乾燥させ、次に、
液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、その吐出された前記着色要素材料を乾燥させる
ことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項６】
縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に異なる色の着色要素がストライプ配列で設けられて成るカラーフィルタ基板を製造するカラーフィルタ基板の製造装置において、
着色要素材料を液滴状態で吐出する液滴吐出手段と、
吐出された着色要素材料を乾燥する乾燥手段とを有し、
異なる色の着色要素が並ぶ方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥させ、次に、
液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、その吐出された前記着色要素材料を乾燥させる
ことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項７】
縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に異なる色の着色要素がデルタ配列で設けられて成るカラーフィルタ基板を製造するカラーフィルタ基板の製造装置において、
着色要素材料を液滴状態で吐出する液滴吐出手段と、
吐出された着色要素材料を乾燥する乾燥手段とを有し、
細いバンクを横切る方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥させ、次に、
液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥させる
ことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項８】
請求項５から請求項７のいずれか１つにおいて、前記液滴吐出手段は、赤色、緑色、青色の３色の着色要素を吐出することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項９】
請求項５から請求項８のいずれか１つにおいて、異なる複数の色の着色要素材料を吐出するノズルを共通のキャリッジに設けたことを特徴とするカラーフィルタ基板の製造装置。
【請求項１０】
請求項１から請求項４に記載のカラーフィルタ基板の製造方法を実施する工程を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
縦横に並べられた複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を液滴吐出する工程を有する電気光学装置の製造方法において、
少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第１工程と、
該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第２工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１２】
縦横に並べられた複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を液滴吐出する工程を有し、異なる３色以上のＥＬ発光要素をストライプ配列に並べて成る電気光学装置の製造方法において、
異なる色のＥＬ発光要素が並ぶ方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第１工程と、
該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第２工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
縦横に並べられた複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を液滴吐出する工程を有し、異なる３色以上のＥＬ発光要素をデルタ配列に並べて成る電気光学装置の製造方法において、
細いバンクを横切る方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第１工程と、
該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第２工程と
を有することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１４】
請求項１１から請求項１３のいずれか１つにおいて、ＥＬ発光要素は赤色、緑色、青色の３色であることを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー表示を行う際に用いられるカラーフィルタ基板の製造方法及びその製造装置に関する。また、本発明は、液晶装置やエレクトロルミネッセンス装置等といった電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、携帯電話機、携帯情報端末機、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）等といった電子機器に、液晶装置やエレクトロルミネッセンス装置等といった電気光学装置が広く用いられている。例えば、電子機器に関する各種の情報を視覚的に表示するために電気光学装置が用いられている。
【０００３】
電気光学装置として液晶装置を考えた場合、その液晶装置によってカラー表示を行うときには、その液晶装置の内部にカラーフィルタ基板が設けられる。カラーフィルタ基板は、例えば、透光性のガラス等によって形成された基材上にカラーフィルタを形成することによって作製される。カラーフィルタとは、Ｒ（赤）色、Ｇ（緑）色、Ｂ（青）色の３色の着色要素や、Ｃ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロー）の３色の着色要素を平面内に所定の配列で並べることによって形成された光学要素である。
【０００４】
また、電気光学装置としてエレクトロルミネッセンス装置を考えた場合、このエレクトロルミネッセンス装置の内部には、一般に、エレクトロルミネッセンス基板が設けられる。そして、このエレクトロルミネッセンス基板は、例えば、透光性のガラス等によって形成された基材上に、複数のＥＬ発光要素をマトリクス状に配列することによって形成される。
【０００５】
ところで、基材上にカラーフィルタを形成してカラーフィルタ基板を作製する際、すなわち、基材上に複数の着色要素を形成する際に、従来、インクジェット技術を利用して基材上に着色要素の材料を供給する方法が知られている。この方法によれば、ノズル等といった液滴吐出部から着色要素材料が液滴として基材上へ吐出される（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開２００３−１０７２３８号公報（第１５頁、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来のカラーフィルタ基板の製造方法においては、インクジェット技術によって吐出した各色の着色要素に関して混色が発生することを避けなければならない。そのため、従来は、１色の着色要素材料を吐出するごとに焼成処理を行って、その１色の着色要素を乾燥させることにより、異なった色間での混色を防いでいた。しかしながら、この方法では、液滴吐出と乾燥とを１つのプロセスとした場合に、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色分のプロセスが必要となり、それ故、３つのプロセス分の装置が必要となって大きなスペースが必要となり、３つのプロセス分のエネルギが必要であり、さらに、ＴＡＴ（Turnaround Time）、すなわち、１つの対象物に対して処理が開始されてからその処理が完了するまでの時間、が長くかかるという問題があった。
【０００８】
本発明は、従来方法における上記の問題点に鑑みて成されたものであって、省スペース、省エネルギ、ＴＡＴの短縮が可能であるカラーフィルタ基板の製造方法、カラーフィルタ基板の製造装置、そして電気光学装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法は、縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に着色要素材料を液滴吐出する工程を有するカラーフィルタ基板の製造方法において、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第１工程と、該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第２工程とを有することを特徴とする。
【００１０】
次に、本発明に係る他のカラーフィルタ基板の製造方法は、縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に着色要素材料を液滴吐出する工程を有し、異なる３色以上の着色要素をストライプ配列に並べて成るカラーフィルタ基板の製造方法において、異なる色の着色要素が並ぶ方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第１工程と、該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第２工程とを有することを特徴とする。
【００１１】
次に、本発明に係るさらに他のカラーフィルタ基板の製造方法は、縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に着色要素材料を液滴吐出する工程を有し、異なる３色以上の着色要素をデルタ配列に並べて成るカラーフィルタ基板の製造方法において、細いバンクを横切る方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第１工程と、該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥する第２工程とを有することを特徴とする。
【００１２】
以上の各構成のカラーフィルタ基板の製造方法において、着色要素は赤色、緑色、青色の３色や、シアン、マゼンタ、イエローの３色等とすることが望ましい。
【００１３】
以上に記載した各構成のカラーフィルタ基板の製造方法によれば、例えば３色の着色要素を２回の工程で形成できるので、ＴＡＴを短縮でき、設備を配設するスペースを節約でき、設備が消費する電力その他のエネルギを節約できる。しかも、液滴吐出の際には、間隔を開けて液滴吐出ができるので、着色要素材料が混色するのを防止できる。
【００１４】
次に、本発明に係るカラーフィルタ基板の製造装置は、縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に異なる色の着色要素が設けられて成るカラーフィルタ基板を製造するカラーフィルタ基板の製造装置において、着色要素材料を液滴状態で吐出する液滴吐出手段と、吐出された着色要素材料を乾燥する乾燥手段とを有し、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に前記液滴吐出手段を用いて着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を前記乾燥手段を用いて乾燥させ、次に、液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、その吐出された前記着色要素材料を乾燥させることを特徴とする。
【００１５】
液滴吐出手段としては、圧電素子を用いた材料の容量変化を利用して材料を液滴状態で吐出する方式の装置や、材料の熱膨張を利用して材料を液滴状態で吐出する方式の装置や、その他適宜の装置を用いることができる。また、乾燥手段としては、ホットプレートや、その他適宜の加熱装置を用いることができる。
【００１６】
次に、本発明に係る他のカラーフィルタ基板の製造装置は、縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に異なる色の着色要素がストライプ配列で設けられて成るカラーフィルタ基板を製造するカラーフィルタ基板の製造装置において、着色要素材料を液滴状態で吐出する液滴吐出手段と、吐出された着色要素材料を乾燥する乾燥手段とを有し、異なる色の着色要素が並ぶ方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥させ、次に、液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、その吐出された前記着色要素材料を乾燥させることを特徴とする。
【００１７】
次に、本発明に係るさらに他のカラーフィルタ基板の製造装置は、縦横に並べられた複数の表示ドット領域内に異なる色の着色要素がデルタ配列で設けられて成るカラーフィルタ基板を製造するカラーフィルタ基板の製造装置において、着色要素材料を液滴状態で吐出する液滴吐出手段と、吐出された着色要素材料を乾燥する乾燥手段とを有し、細いバンクを横切る方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥させ、次に、液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記着色要素材料を乾燥させることを特徴とする。
【００１８】
以上に記載した各構成のカラーフィルタ基板の製造装置によれば、例えば３色の着色要素を２回の工程で形成できるので、ＴＡＴを短縮でき、設備を配設するスペースを節約でき、設備が消費する電力その他のエネルギを節約できる。しかも、液滴吐出の際には、間隔を開けて液滴吐出ができるので、着色要素材料が混色するのを防止できる。
【００１９】
上記の各構成のカラーフィルタ基板の製造装置においては、異なる複数の色の着色要素材料を吐出するノズルを共通のキャリッジに設けることが望ましい。こうすれば、キャリッジの１回の走査によって複数色の着色要素を同時に形成できるので、ＴＡＴをさらに一層短縮できる。
【００２０】
次に、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、以上に記載した構成のカラーフィルタ基板の製造方法を実施する工程を有することを特徴とする。すなわち、この電気光学装置はカラーフィルタ基板を構成要件とする電気光学装置であって、そのカラーフィルタ基板を上記のカラーフィルタ基板の製造方法によって製造することを特徴とする。このような電気光学装置としては、液晶装置、有機ＥＬ装置等が考えられる。但し、この場合の有機ＥＬ装置は、有機ＥＬ装置によって白色光の光像を形成した上で、その光像をカラーフィルタ基板によってカラー表示に変換する構成である。
【００２１】
次に、本発明に係る他の電気光学装置の製造方法は、縦横に並べられた複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を液滴吐出する工程を有する電気光学装置の製造方法において、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第１工程と、該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第２工程とを有することを特徴とする。
【００２２】
この電気光学装置は有機ＥＬ装置であって、異なる色の光、すなわち波長の異なる光を発光するＥＬ発光要素を用いる構成のものである。異なる色の光としては、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色や、Ｃ，Ｍ，Ｙの３色等が考えられる。
【００２３】
次に、本発明に係るさらに他の電気光学装置の製造方法は、縦横に並べられた複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を液滴吐出する工程を有し、異なる３色以上のＥＬ発光要素をストライプ配列に並べて成る電気光学装置の製造方法において、異なる色のＥＬ発光要素が並ぶ方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第１工程と、該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第２工程とを有することを特徴とする。
【００２４】
次に、本発明に係るさらに他の電気光学装置の製造方法は、縦横に並べられた複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を液滴吐出する工程を有し、異なる３色以上のＥＬ発光要素をデルタ配列に並べて成る電気光学装置の製造方法において、細いバンクを横切る方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第１工程と、該第１工程において液滴吐出されなかった表示ドット領域内にＥＬ発光要素材料を吐出し、さらに、吐出された前記ＥＬ発光要素材料を乾燥する第２工程とを有することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
（カラーフィルタ基板の製造方法及びその製造装置の実施形態）
以下、本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法及びその製造装置を一実施形態を挙げて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されるものでないことは、もちろんである。また、これから説明するカラーフィルタ基板の製造方法及び製造装置は、図１５（ｋ）に示すカラーフィルタ基板１を製造するものとする。
【００２６】
本実施形態のカラーフィルタ基板の製造装置は、その主要部として、図７に示すカラーフィルタ形成ユニット２を有する。このカラーフィルタ形成ユニット２は、緑色の着色要素形成装置３ｇと、赤色の着色要素形成装置３ｒと、青色の着色要素形成装置３ｂと、乾燥装置としてのホットプレート４とを有する。
【００２７】
これら各機器の間には、基材を搬送するための搬送装置、例えば、ロボットアーム６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄが配設される。ロボットアーム６ａ，６ｂ，６ｃは、互いに隣り合う機器の間で基材を搬送する。また、ロボットアーム６ｄは、ホットプレート４と第１番目の着色要素形成装置３ｇとの間で基材を搬送する。
【００２８】
各着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂは、図８に示すように、着色要素形成部７と、着色要素材料供給部８とを有する。着色要素形成部７は、ベース９と、このベース９上に設置されたＸ方向駆動系１１Ｘと、同じくベース９上に設置されたＹ方向駆動系１１Ｙとを有する。
【００２９】
Ｘ方向駆動系１１Ｘは、駆動モータ１２と、その駆動モータ１２によって駆動されて自身の中心軸線を中心として回転するネジ軸１３とを有する。ネジ軸１３には、キャリッジ１４がネジ嵌合している。駆動モータ１２が作動してネジ軸１３が正時計回転又は反時計回転すると、それにネジ嵌合するキャリッジ１４が矢印Ｘ方向で往復移動する。
【００３０】
Ｙ方向駆動系１１Ｙは、ベース９上に固定されたネジ軸１６と、そのネジ軸１６に嵌合する嵌合部材を回転駆動する駆動モータ１７と、この駆動モータ１７に固定されたステージ１８とを有する。ステージ１８は、着色要素形成処理を受けるカラーフィルタ基板の基材１９を支持するための基材支持手段として機能する。この基材１９はステージ１８上に載せられた上、容易には位置ズレしないように、例えば、空気吸引によって吸着固定されたり、適宜の機械的なクランプ機構によって固定されたりする。Ｙ方向モータ１７が作動して上記の嵌合部材が正時計回転又は反時計回転すると、ステージ１８がネジ軸１６にガイドされて矢印Ｙ方向で往復移動する。Ｙ方向は上記のＸ方向に直角の方向である。
【００３１】
Ｙ方向駆動系１１Ｙを構成するネジ軸１６上にはクリーニング装置２１が配設され、このクリーニング装置２１と一体なモータ２２の出力軸がネジ軸１６にネジ嵌合している。モータ２２を作動させてクリーニング装置２１をキャリッジ１４の所まで搬送すれば、このクリーニング装置２１によってキャリッジ１４をクリーニングすることができる。
【００３２】
着色要素材料供給部８には着色要素材料を貯留した容器２３が配置される。そして、容器２３とキャリッジ１４とはパイプ２４によってつながっている。このパイプ２４を通して、容器２３内の液状物、すなわち着色要素材料がキャリッジ１４内へ供給される。図７の着色要素形成装置３ｇ内の容器２３には緑色の着色要素材料が貯留され、着色要素形成装置３ｒ内の容器２３には赤色の着色要素材料が貯留され、そして、着色要素形成装置３ｂ内の容器２３には青色の着色要素材料が貯留される。
【００３３】
図８の着色要素形成部７を構成するキャリッジ１４の底面には、例えば図１０に示すようなインクジェットヘッド２６が１つ又は複数設けられている。このインクジェットヘッド２６は、ほぼ長方形状のケーシング２７を有し、そのケーシング２７の底面には複数のノズル２８が設けられている。これらのノズル２８は、直径約０．０２〜０．１ｍｍ程度の微小な開口を有する。
【００３４】
本実施形態では、複数のノズル２８は２列にわたって設けられ、これにより、２本のノズル列２９，２９が形成されている。個々のノズル列２９において、ノズル２８は一定の間隔で直線上に設けられている。これらのノズル列２９には、矢印Ｂで示す方向から液状物、すなわち着色要素材料が供給される。供給された着色要素材料は圧電素子の振動に従って各ノズル２８から微小な液滴として吐出される。なお、ノズル列２９の個数は、１本又は３本以上であっても良い。
【００３５】
インクジェットヘッド２６は、図１１に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート３１と、それに対向して配置された振動板３２と、その両者を互いに接合する複数の仕切り部材３３とを有する。また、ノズルプレート３１と振動板３２との間には、着色要素材料を貯留するための複数の貯留室３４と、着色要素材料が一時的に溜る個所である液溜り３６とが、各仕切り部材３３によって形成されている。さらに、複数の貯留室３４と液溜り３６とが通路３７を介して互いに連通している。また、振動板３２の適所に着色要素材料の供給孔３８が形成されており、この供給孔３８に図８のパイプ２４を介して容器２３が接続されている。容器２３から供給された着色要素材料Ｍ０は、液溜り３６に充填され、さらに、通路３７を通って貯留室３４に充填される。
【００３６】
ノズルプレート３１には、着色要素材料を貯留室３４からジェット状に噴射、すなわち吐出するためのノズル２８が設けられている。このノズル２８が複数個並べられてノズル列２９を構成することは図１０に関連して既述した通りである。また、振動板３２において貯留室３４に対応する面には着色要素材料を加圧するための加圧体３９が取り付けられている。この加圧体３９は、図１２に示すように、圧電素子４１及びこれを挟持する一対の電極４２ａ及び４２ｂを有する。
【００３７】
圧電素子４１は、電極４２ａ及び４２ｂへの通電によって矢印Ｃで示す外側へ突出するように撓み変形し、これにより貯留室３４の容積を増大させる機能を有する。そして、貯留室３４の容積が増大すると、その増大した容積分に相当する着色要素材料Ｍ０が液溜り３６から通路３７を通って貯留室３４内へ流入する。
【００３８】
一方、圧電素子４１への通電を解除すると、圧電素子４１と振動板３２とが共に元の形状に戻り、貯留室３４も元の容積に戻る。そのため、貯留室３４の内部にある着色要素材料の圧力が上昇し、ノズル２８から着色要素材料が液滴４３となって吐出される。なお、液滴４３は、着色要素材料に含まれる溶剤等の種類にかかわらず、微小な液滴としてノズル２８から安定して吐出される。
【００３９】
図８の着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂは、図９に示す制御装置９０を有する。この制御装置９０は、図８の着色要素形成部７内のＸ方向モータ１２、Ｙ方向モータ１７及びキャリッジ１４の各要素の動作を制御する。なお、着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂは、図８のクリーニング用モータ２２の動作を制御する制御部も有するが、その制御部についての詳しい説明は省略する。
【００４０】
制御装置９０は、コンピュータによって構成された駆動信号制御部９１と、コンピュータによって構成されたヘッド位置制御部９２とを有する。これらの制御部は信号線９７を通して互いに情報を共有できるようになっている。駆動信号制御部９１は、キャリッジ１４を駆動するための波形Ｓ０をアナログアンプ９３へ出力する。また、駆動信号制御部９１は、着色要素材料をいずれの位置に吐出するかを示すビットマップデータＳ１をタイミング制御部９４へ出力する。
【００４１】
アナログアンプ９３は、上記の波形Ｓ０を増幅して中継回路９５へ伝送する。タイミング制御部９４は、クロックパルス回路を内蔵し、上記のビットマップデータＳ１に従って吐出タイミング信号Ｓ２を中継回路９５へ出力する。中継回路９５は、タイミング制御部９４から送られた吐出タイミング信号Ｓ２に従って、アナログアンプ９３から送られた波形Ｓ０をキャリッジ１４の入力ポートへ出力する。
【００４２】
ヘッド位置制御部９２は、Ｘ−Ｙ制御回路９６へキャリッジ１４の位置に関する情報Ｓ３を出力する。Ｘ−Ｙ制御回路９６は、送られてきたキャリッジ１４の位置情報Ｓ３に基づいて、Ｘ方向におけるキャリッジ１４の位置を制御する信号をＸ方向モータ１２に出力し、さらに、Ｙ方向におけるステージ１８の位置を制御する信号をＹ方向モータ１７に出力する。
【００４３】
駆動信号制御部９１及びヘッド位置制御部９２に関する以上の構成により、キャリッジ１４は、ステージ１８に載置された基材１９の希望の座標位置が到来したときに着色要素材料を液滴として吐出し、これにより、基材１９上の希望位置に着色要素材料の液滴が着弾して塗布される。
【００４４】
次に、図１０に示したインクジェットヘッド２６を用いて行われる、カラーフィルタ基板の製造方法について説明する。なお、本実施形態の製造方法で製造するカラーフィルタ基板は、その全体を図１５（ｋ）に符号１で示す構成のものであり、基材１９上にブラックマスク５３が形成され、その上にバンク５４が形成され、そのバンク５４によって区画された領域Ｄ内に着色要素５９ｒ，５９ｇ，５９ｂが設けられている。
【００４５】
着色要素５９ｒは赤色着色要素であり、着色要素５９ｇは緑色着色要素であり、着色要素５９ｂは青色着色要素であり、これらの着色要素が矢印Ａ方向から見て平面的に適宜の配列で並べられることにより、カラーフィルタが構成される。本実施形態では、図２に示すように、各色着色要素がストライプ配列で並べられるものとする。このストライプ配列は、１方向（すなわち、図２の縦方向）にＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）を順々に並べ、それと直角の方向に同じ色を並べた配列である。
【００４６】
図１３〜図１５は本実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法を構成する各工程を工程順に示している。まず、図１３（ａ）において、透光性のガラス、透光性のプラスチック等によって形成された基材１９の上に、ブラックマスク５３を形成する材料として、クロム、ニッケル、アルミニウム等を材料として、例えばドライメッキ法を用いて金属薄膜５３ａを形成する。この場合、金属薄膜５３ａの厚さは、０．１〜０．５μｍ程度であることが望ましい。
【００４７】
次に、図１３（ｂ）において、感光性樹脂であるレジスト５７ａを一様な厚さで塗布し、そのレジスト５７ａをマスクを介して露光し、さらに現像して、レジスト５７ａを所定のパターンに形成する。次に、このレジストパターンをマスクとして金属薄膜５３ａをエッチングして、図１３（ｃ）に示すように、所定形状、本実施形態では矢印Ａ方向から見て格子形状のブラックマスク５３を形成する。
【００４８】
次に、図１３（ｄ）において、ブラックマスク５３の上に、感光性樹脂５４ａを一様な厚さで形成し、これにフォトリソグラフィ処理を施して図１３（ｅ）に示すように所定パターンのバンク５４をブラックマスク５３と同じ形状、すなわち格子形状に形成する。このとき、バンク５４の高さは１．０μｍ程度に形成するのが望ましい。バンク５４は、基材１９の表面を、液滴を吐出するための領域に区分けする区分け要素として作用する。
【００４９】
こうしてバンク５４を形成することにより、基材１９上にそのバンク５４によって区分けされた複数の表示用ドット領域Ｄが形成される。バンク４が格子形状であることにより、これら複数の表示用ドット領域Ｄは、矢印Ａ方向から見てマトリクス状に並ぶことになる。バンク５４としては、特に黒色のものを用いる必要はなく、例えば、ウレタン系又はアクリル系の硬化型の感光性樹脂組成物を用いることができる。
【００５０】
なお、バンク５４は表示用ドット領域Ｄ内に着色要素材料を収容することが主な役割であり、このバンク４の表面に着色要素材料が付着することは好ましくない。従って、バンク４の材質としては、着色要素材料をはじく性質を有するもの、すなわち撥液性を有するものであることが望ましい。この意味からバンク５４は、フッ素系樹脂、シリコン樹脂、又は、チタニア含有樹脂等によって形成されることが好ましい。
【００５１】
以上のように基材１９上にバンク５４が形成された後、その基材１９を図７の着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂの所定位置、具体的には図８のステージ１８上の所定位置に順々に載置する。そして、各着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂ内のＸ方向駆動系１１Ｘ及びＹ方向駆動系１１Ｙを作動させると共に、図１１の加圧体３９を作動させることにより、以下のような着色要素形成処理を行う。
【００５２】
なお、本実施形態では、着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂを用いた液滴吐出処理と、図７のホットプレート４を用いた焼成処理、すなわち乾燥処理との結合を１つのプロセスとしたとき、２回のプロセスによってカラーフィルタを完成させるようにしている。具体的には、まず、第１回目のプロセスにおいて、図１（ａ）のように、縦列、すなわち異なる色の着色要素５９ｒ，５９ｇ，５９ｂが並ぶ方向に関して、１つの表示ドット領域Ｄに相当する間隔を開けて複数の表示ドット領域内に着色要素５９ｒ，５９ｇ，５９ｂを形成する。そして、第２回目のプロセスにおいて、図１（ｂ）のように、第１回目には液滴吐出されなかった表示ドット領域Ｄ内に着色要素５９ｒ，５９ｇ，５９ｂを形成する。これにより、目標とするストライプ配列のカラーフィルタが形成される。
【００５３】
なお、表示ドット領域Ｄは、表示の最小単位となる領域のことであり、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色を用いたカラー表示の場合は、それら３つの表示用ドット領域Ｄによって１つの画素が形成される。また、白黒表示又はモノカラー表示の場合は、１つの表示用ドット領域Ｄによって１つの画素が形成される。
【００５４】
着色要素の形成処理をさらに具体的に説明すれば、まず、図１４（ｆ）において、Ｇ色の着色要素を形成すべき表示用ドット領域Ｄｇ内へ、図１０に示したインクジェットヘッド２６を用いて、Ｇ色着色要素材料を液滴４３として吐出する。この液滴吐出は１つの表示用ドット領域Ｄに対して１回でも良いし、複数回でも良い。通常、供給されたＧ色着色要素材料はバンク５４よりも上方へ突出する。
【００５５】
次に、図１４（ｇ）において、先に液滴吐出した表示用ドット領域Ｄｇに対して表示用ドット領域Ｄの１つ分離れたＲ色の着色要素を形成すべき表示用ドット領域Ｄｒ内へ、図１０に示したインクジェットヘッド２６を用いて、Ｒ色着色要素材料を液滴４３として吐出する。供給されたＲ色着色要素材料は、通常、バンク５４よりも上方へ突出する。
【００５６】
次に、図１４（ｈ）において、先に液滴吐出した表示用ドット領域Ｄｒに対して表示用ドット領域Ｄの１つ分離れたＢ色の着色要素を形成すべき表示用ドット領域Ｄｂ内へ、図１０に示したインクジェットヘッド２６を用いて、Ｂ色着色要素材料を液滴４３として吐出する。供給されたＢ色着色要素材料は、通常、バンク５４よりも上方へ突出する。
【００５７】
以上により、図７の３つの着色要素形成装置３ｇ，３ｒ，３ｂによって、間隔を開けて着色要素材料の液滴吐出を行った後、基材１９をホットプレート４の上に置いて焼成処理、すなわち乾燥処理を行う。これにより、図１４（ｉ）に示すように、着色要素材料が固化して各色の着色要素５９ｒ，５９ｇ，５９ｂが所定の厚さに形成される。焼成処理は、例えば、５０℃、１０分程度の加熱処理によって行われる。
【００５８】
以上の第１回目の着色要素形成プロセスにおいては、図１（ａ）に示したように、異なる色の着色要素が並ぶ方向（すなわち、図の縦方向）に関しては、表示ドット領域Ｄの１個分の間隔を開けて、異なる着色要素材料を液滴として吐出したので、各色着色要素材料間で混色が発生することはない。
【００５９】
以上により、第１回目のプロセスが終了すると、図７において、基材１９はロボットアーム６ｄによって第１番目の着色要素形成装置３ｇまで戻され、そして、３つの着色要素形成装置３ｇ，３ｒ，３ｂ及びホットプレート４を用いた第２回目のプロセスを受ける。つまり、図１５（ｊ）に示すように、第１回目のプロセスで液滴吐出されなかった表示ドット領域Ｄ内に各色の着色要素材料を順々に吐出する。このときも、液滴吐出される表示ドット領域Ｄは互いに表示ドット領域Ｄの１個分だけ互いに離れているので、各色着色要素材料間で混色が発生することはない。
【００６０】
次に、基材１９を、再度、図７のホットプレート４の上に置いて焼成処理、すなわち乾燥処理を行う。これにより、図１５（ｋ）に示すように、着色要素材料が固化して各色の着色要素５９ｒ，５９ｇ，５９ｂが所定の厚さに形成される。以上により、カラーフィルタ基板１が製造される。
【００６１】
以上の説明から明らかなように、本実施形態では、図２に示す３色の着色要素５９ｒ，５９ｇ，５９ｂをストライプ配列で形成する際に、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示したように、液滴吐出及び焼成処理から成る１つのプロセスを２回繰り返している。従来の着色要素形成方法においては、３色の着色要素を形成する際には、各色ごとに液滴吐出と焼成処理とを繰り返していたので、ＴＡＴが長く、広いスペースを必要とし、電力等の消費量も多かった。これに対し、本実施形態では、液滴吐出及び焼成処理が、それぞれ、２回で済むので、ＴＡＴを短縮でき、省スペース、省エネルギを達成できる。しかも、各着色要素間で混色も発生しない。
【００６２】
（カラーフィルタ基板の製造方法の第２実施形態）
上記の実施形態では、図２に示したように、着色要素５９ｇ，５９ｒ，５９ｂの配列をストライプ配列とした。しかしながら、これに代えて、図４又は図６に示すデルタ配列を採用することもできる。デルタ配列は、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色の着色要素５９ｇ，５９ｒ，５９ｂが３角形の頂点に置かれ、その３角形が縦横に繰り返して並べられた配列である。このデルタ配列に関しては、着色要素５９ｇ，５９ｒ，５９ｂを取り囲む格子状パターンのバンク５４の縦側の幅をＷ１とし、横側の幅をＷ２としたとき、図４に示すようにＷ１＜Ｗ２になる場合と、図６に示すようにＷ１＞Ｗ２になる場合とがある。
【００６３】
図４のようにＷ１＜Ｗ２となるようなカラーフィルタ基板１に対して本発明を適用する場合には、図７の着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂ及びホットプレート４を用いた第１回目のプロセスで、図３（ａ）に示すように、幅の細いバンク５４を横切る方向（すなわち、図３（ａ）の縦方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて着色要素材料の液滴を各表示ドット領域内へ吐出し、さらに乾燥する。そして、図７の着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂ及びホットプレート４を用いた第２回目のプロセスで、図３（ｂ）に示すように、第１回目には液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を液滴吐出し、さらに乾燥する。これにより、図４のカラーフィルタ基板が製造される。
【００６４】
一方、図６のようにＷ１＞Ｗ２となるようなカラーフィルタ基板に対して本発明を適用する場合には、図７の着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂ及びホットプレート４を用いた第１回目のプロセスで、図５（ａ）に示すように、幅の細いバンク５４を横切る方向（すなわち、図５（ａ）の横方向に関して、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて着色要素材料の液滴を各表示ドット領域内へ吐出し、さらに乾燥する。そして、図７の着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂ及びホットプレート４を用いた第２回目のプロセスで、図５（ｂ）に示すように、第１回目には液滴吐出されなかった表示ドット領域内に着色要素材料を液滴吐出し、さらに乾燥する。これにより、図６のカラーフィルタ基板が製造される。
【００６５】
図３に示す方法の場合でも、図５に示す方法の場合でも、第１回目及び第２回目のプロセスにおいて、液滴吐出は表示用ドット領域の少なくとも１個分離れた距離を隔てて行われるので、異なる色の着色要素間で混色が発生することはない。
【００６６】
（変形例）
以上の実施形態では、カラーフィルタを構成する着色要素としてＲ，Ｇ，Ｂの３色を考えた。しかしながら、着色要素としては、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外にＣ（シアン）、Ｍ（マゼンタ）、Ｙ（イエロー）とすることもできる。
【００６７】
また、図７に示した実施形態では、Ｒ，Ｇ，Ｂの１色を液滴吐出する３つの着色要素形成装置３ｒ，３ｇ，３ｂを用いて、Ｒ，Ｇ，Ｂを１色ずつ液滴吐出する場合を例示した。しかしながら、これに代えて、例えば、図１０のインクジェットヘッド２６内にＲ，Ｇ，Ｂの３色の着色要素材料の供給系を設け、それらの供給系に対応してノズル列２９を設けることにより、１つの着色要素形成装置によってＲ，Ｇ，Ｂの着色要素材料を同時に吐出することもできる。
【００６８】
（電気光学装置の製造方法の第１実施形態）
以下、電気光学装置として液晶装置を例示して、本発明に係る電気光学装置の製造方法の実施形態を説明する。図１６は、液晶装置の一実施形態であって、スイッチング素子を用いない単純マトリクス方式であり、且つ、反射型表示と透過型表示を選択的に行うことができる半透過反射型の液晶装置を示している。
【００６９】
ここに示す液晶装置６１は、液晶パネル６２に照明装置６６及び配線基板６４を付設することによって形成されている。液晶パネル６２は、矢印Ａ方向から見て長方形状又は正方形状の第１基板６７ａと、矢印Ａ方向から見て同じく長方形状又は正方形状の第２基板６７ｂとを、矢印Ａ方向から見て環状のシール材６８によって貼り合わせることによって形成されている。
【００７０】
第１基板６７ａと第２基板６７ｂとの間には間隙、いわゆるセルギャップが形成され、そのセルギャップ内に液晶が注入されて液晶層６５を形成している。符号７９はセルギャップを維持するためのスペーサを示している。なお、観察者は矢印Ａ方向から液晶装置６１を観察する。
【００７１】
第１基板６７ａは、透光性のガラス、透光性のプラスチック等によって形成された第１基材７１ａを有する。この第１基材７１ａの液晶側の表面には、反射膜７２が形成され、その上に絶縁膜７３が形成され、その上に第１電極７４ａが形成され、その上に配向膜７６ａが形成されている。また、第１基材７１ａの照明装置６６側の表面には第１偏光板７７ａが、例えば貼着によって装着されている。
【００７２】
第１基板６７ａに対向する第２基板６７ｂは、透光性のガラス、透光性のプラスチック等によって形成された第２基材７１ｂを有する。この第２基材７１ｂの液晶側の表面には、カラーフィルタ７８が形成され、その上に第２電極７４ｂが形成され、その上に配向膜７６ｂが形成されている。また、第２基材７１ｂの外側の表面には第２偏光板７７ｂが、例えば貼着によって装着されている。
【００７３】
第１基板６７ａ側の第１電極７４ａは図１６の左右方向へ延びる線状電極である。また、第１電極７４ａは複数本形成されていて、それらは紙面垂直方向へ互いに平行に並べられている。つまり、複数の第１電極７４ａは、矢印Ａ方向から見てストライプ状に形成されている。
【００７４】
また、第２基板６７ｂ側の第２電極７４ｂは、図１６の紙面垂直方向に延びる線状電極である。また、第２電極７４ｂは複数本形成されていて、それらは図１６の左右方向へ互いに平行に並べられている。つまり、複数の第２電極７４ｂは、第１電極７４ａに直交する方向へ延びるストライプ状に形成されている。
【００７５】
第１電極７４ａと第２電極７４ｂとは矢印Ａ方向から見て多数のマトリクス状に並ぶ点で交差しており、これらの交差点が表示のためのドット領域を構成している。Ｒ，Ｇ，Ｂの３色や、Ｃ，Ｍ，Ｙの３色の着色要素から成るカラーフィルタを用いてカラー表示を行う場合には、上記のドット領域の１つずつにそれら３色のうちの１つずつが対応して配置され、３色の集まりが１つのユニットになって１画素を構成する。そして、その画素の多数が矢印Ａ方向から見てマトリクス状に並ぶことにより、有効表示領域Ｖが形成され、この有効表示領域Ｖの領域内に文字、数字、図形等といった像が表示される。
【００７６】
表示の最小単位である表示用ドット領域に対応して、反射膜７２に開口８１が形成されている。これらの開口８１は、照明装置６６から供給される面状の光を透過させて、透過型の表示を実現する。なお、透過型の表示を行うにあたっては、反射膜７２に開口８１を設けることだけに限られず、例えば、反射膜７２の膜厚を薄くすることによっても透過型の表示を実現できる。
【００７７】
第１基材７１ａは第２基材７１ｂを越えて外側へ張り出す張出し部８０を有している。第１基板６７ａ側の第１電極７４ａはシール材６８を横切ってその張出し部８０上に延び出て配線７５となっている。また、張出し部８０の辺縁には外部接続端子５７が形成されている。配線基板６４は、その外部接続端子５７に導電接続されている。第２基板６７ｂ側の第２電極７４ｂは、シール材６８の内部に分散された導通材６９を介して第１基板６７ａ側の配線７５に接続されている。なお、導通材６９は、図１６ではシール材６８の幅寸法とほとんど同じ寸法で描いてあるが、実際は、導通材６９はシール材６８の幅よりも小さくなっており、そのため、シール材６８の幅方向には複数の導通材６９が存在するのが普通である。
【００７８】
張出し部８０の表面において、配線７５と外部接続端子５７との間には駆動用ＩＣ６３がＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film：異方性導電膜）５８によって接着されている。そして、このＡＣＦ５８により、駆動用ＩＣ６３のバンプが配線７５及び外部接続端子５７に導電接続している。この実装構造により、配線基板６４から駆動用ＩＣ６３へ信号及び電圧が供給される。一方、駆動用ＩＣ６３からの走査信号及びデータ信号が第１電極７４ａや第２電極７４ｂへ伝送される。
【００７９】
図１６において、照明装置６６は、観察側から見て液晶パネル６２の背面に緩衝材８８を挟んで配設され、バックライトとして機能する。この照明装置６６は、基板８７に支持された光源としてのＬＥＤ（Light Emitting Diode）８６と、導光体８２とを有する。導光体８２の観察側の表面には拡散シート８３が設けられ、その反対側の面には反射シート８４が設けられる。ＬＥＤ８６を点状光源とする光は、導光体８２の受光面８２ａから導光体８２の内部に取り込まれ、その内部を伝播する間に光出射面８２ｂから面状光となって出射する。
【００８０】
上記構成より成る液晶装置６１において反射型の表示が行われる場合には、太陽光、室内光等といった外部光が第２基板６７ｂを通して液晶層６５の内部に取り込まれ、反射膜７２で反射した後、再び液晶層６５へ供給される。一方、透過型の表示が行われる場合には、照明装置６６のＬＥＤ８６が発光し、導光体８２の光出射面８２ｂから面状の光が出射し、反射膜７２に設けた複数の開口８１を通過した光が液晶層６５へ供給される。
【００８１】
液晶層６５に光が供給されたとき、第１電極７４ａ及び第２電極７４ｂの一方に走査信号が与えられ、それらの他方にデータ信号が与えられると、当該データ信号が与えられた部分の表示用ドットに所定電圧が印加されて液晶が駆動され、当該表示用ドットに供給された光が変調される。このような変調が、有効表示領域Ｖ内の表示用ドットごと、換言すれば画素ごとに行われ、文字、数字、図形等といった希望する像がその有効表示領域Ｖ内に形成され、観察者によって矢印Ａ方向から観察される。
【００８２】
本実施形態の液晶装置６１の製造方法を考えると、それに含まれるカラーフィルタ７８が図７〜図１２に示したカラーフィルタ基板の製造装置を用いて、図１〜図６及び図１３〜図１５に示した製造方法によって製造されることに特徴がある。図７に示したカラーフィルタ形成ユニット２を用いて行われるカラーフィルタ基板の製造工程においては、着色要素が３色であるにも関わらず、２回のプロセスによってカラーフィルタ基板が形成されるので、液晶装置６１の全体の製造方法として見た場合でも、ＴＡＴの短縮化、省スペース、省エネルギを達成できる。
【００８３】
（変形例）
図１６の実施形態では、半透過反射型で単純マトリクス方式の液晶装置に本発明を適用した。しかしながら、本発明は、これ以外に、反射型表示機能を持たない半透過型の単純マトリクス方式の液晶装置や、透過型表示機能を持たない反射型の単純マトリクス方式の液晶装置や、ＴＦＤ（Thin Film Diode）等といった２端子型のスイッチング素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置や、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）等といった３端子型のスイッチング素子を用いたアクティブマトリクス方式の液晶装置等といった各種の液晶装置に適用できる。
【００８４】
（電気光学装置の製造方法の第２実施形態）
以下、本発明に係る電気光学装置の製造方法の一実施形態を電気光学装置の一例であるエレクトロルミネッセンス装置を例に挙げて説明する。なお、本発明がこの実施形態に限定されるものでないことは、もちろんである。図１８は、エレクトロルミネッセンス装置の電気的な構成の一実施形態を示している。また、図１７は、その電気的な構成に対応する機械的な構成の一部分の断面構造を示している。なお、本明細書で、エレクトロルミネッセンス基板とは、基板上にＥＬ発光要素が形成されて成る構造体である。また、エレクトロルミネッセンス装置とは、エレクトロルミネッセンス基板に反射電極やその他の光学要素を付設して成る電気光学装置である。
【００８５】
図１８において、エレクトロルミネッセンス装置１０１は、データ信号を出力する駆動用ＩＣ１０７と、走査信号を出力する駆動用ＩＣ１０８とを有する。駆動用ＩＣ１０７は、複数の信号線１０４へデータ信号を出力する。また、駆動用ＩＣ１０８は、複数の走査線１０３へ走査信号を出力する。走査線１０３と信号線１０４とは複数の部分で交差し、それらの交差部分には画素を構成する表示用ドット領域が形成される。図１７では、Ｇ色の表示用ドット領域Ｄｇ、Ｒ色の表示用ドット領域Ｄｒ，Ｂ色の表示用ドット領域Ｄｂを示している。個々の表示用ドット領域はＲ，Ｇ，Ｂの３色のＥＬ発光要素のうちの１つを含む領域であり、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色に対応する表示用ドット領域が集まって１つの画素が構成される。
【００８６】
図１８において、１つの表示用ドット領域の中には、スイッチング薄膜トランジスタ１０９、カレント薄膜トランジスタ１１０、画素電極１１１、反射電極１１２、そしてＥＬ発光要素１１３が含まれる。なお、発光要素１１３に関しては、Ｇ色を発光する発光要素１１３ｇと、Ｒ色を発光する発光要素１１３ｒと、Ｂ色を発光する発光要素１１３ｂとが所定の配列、例えば図２に示したストライプ配列や、図４及び図６で示したデルタ配列で並べられる。
【００８７】
図１７において、信号線１０４及び共通給電線１０５によって複数の表示ドット領域Ｄが形成される。符号１３０は層間絶縁膜である。複数の表示ドット領域Ｄの内部には、画素電極１１１及び発光要素１１３が形成される。そして、発光要素１１３の上に反射電極１１２が形成される。各発光要素１１３は、下層部分の正孔注入層１１３Ａ上に上層部分の有機半導体膜１１３Ｂを重ねることによって形成される。なお、図１７では、カレント薄膜トランジスタ１１０は示されているが、これと異なる断面に存在するスイッチング薄膜トランジスタ１０９は図示されていない。
【００８８】
カレント薄膜トランジスタ１１０は、ソース・ドレイン領域１１７ａ，１１７、チャネル領域１１８、ゲート電極１１６、中継電極１２６，１２７を有する。また、基材１０２上にはゲート絶縁膜１２１ａが形成され、そのゲート絶縁膜１２１ａの上に層間絶縁膜１２２が形成される。
【００８９】
図１７において、複数の表示用ドット領域Ｄの中から適宜のものを選択して、その領域内の画素電極１１１と反射電極１１２との間に所定の電圧を印加すると、当該表示ドット領域Ｄ内の発光要素１１３が発光し、基材１０２の外側（すなわち、図１７の下方側）に文字、数字、図形等といった像がカラー表示される。
【００９０】
本実施形態のエレクトロルミネッセンス装置１０１の製造方法を考えると、それに含まれるエレクトロルミネッセンス基板（すなわち、図１７のエレクトロルミネッセンス装置１０１から反射電極１１２を削除した構造体）が図７〜図１２に示したカラーフィルタ基板の製造装置を用いて、図１〜図６に示した製造方法によって製造される。
【００９１】
なお、図７〜図１２に示した装置は、これをカラーフィルタ基板の製造方法に用いる場合には、インクジェット技術を用いてカラーフィルタの着色要素を形成するのであるが、これをエレクトロルミネッセンス基板の製造に用いる場合には、着色要素を形成することに代えて、ＥＬ発光要素１１３の正孔注入層１１３Ａ及び有機半導体膜１１３Ｂをインクジェット技術を用いて形成することになる。
【００９２】
また、本発明によれば、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色に対応するＥＬ発光要素１１３を形成する際に、２回のプロセスを実行するものとし、第１回目のプロセスでは、図１、図３、図５等に示したように、少なくとも１つの表示ドット領域分の間隔を開けて複数の表示ドット領域内にＥＬ発光要素１１３の材料を液滴吐出し、さらに焼成によって乾燥させる。そして、第２回目のプロセスにおいて、第１回目には液滴吐出がされなかった表示ドット領域に対してＥＬ発光要素１１３の材料を液滴吐出し、さらに焼成によって乾燥する。これにより、ＥＬ発光要素１１３が３色であるにも拘わらず、２回のプロセスによってエレクトロルミネッセンス基板が形成されるので、エレクトロルミネッセンス装置の全体の製造方法として見た場合でも、ＴＡＴの短縮化、省スペース、省エネルギを達成できる。
【００９３】
（その他の実施形態）
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものでなく、請求の範囲に記載した発明の範囲内で種々に改変できる。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法及び製造装置は、液晶装置、有機ＥＬ装置等といった電気光学装置に用いられるカラーフィルタ基板を製造する際に好適に用いられる。また、本発明に係る電気光学装置の製造方法は、液晶装置、有機ＥＬ装置等といった電気光学装置を短いＴＡＴで効率良く製造する際の好適に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法の主要工程の一実施形態を示す図である。
【図２】カラーフィルタにおける着色要素の配列の一例であるストライプ配列を示す図である。
【図３】本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法の主要工程の他の実施形態を示す図である。
【図４】カラーフィルタにおける着色要素の配列の他の一例であるデルタ配列（横バンク＜縦バンク）を示す図である。
【図５】本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法の主要工程のさらに他の実施形態を示す図である。
【図６】カラーフィルタにおける着色要素の配列のさらに他の一例であるデルタ配列（横バンク＞縦バンク）を示す図である。
【図７】本発明に係るカラーフィルタ基板の製造装置の主要部の一実施形態を示す平面図である。
【図８】図７の装置の主要部である着色要素形成装置の一例を示す斜視図である。
【図９】図８の装置の動作を制御するための制御装置の一例を示す回路ブロック図である。
【図１０】図８の装置の主要部であるインクジェットヘッドの一例を示す斜視図である。
【図１１】図１０のインクジェットヘッドの内部構造を示す斜視図である。
【図１２】図１１におけるＤ−Ｄ線に従った断面図である。
【図１３】本発明に係るカラーフィルタ基板の製造方法の一実施形態の一部を示す工程図である。
【図１４】図１３に示す工程に続く工程を示す工程図である。
【図１５】図１４に示す工程に続く工程を示す工程図である。
【図１６】電気光学装置の一例である液晶装置の一例を示す断面図である。
【図１７】電気光学装置の他の一例である有機ＥＬ装置の一例を示す断面図である。
【図１８】図１７に示す有機ＥＬ装置の電気的な構成を示す回路図である。
【符号の説明】
【００９６】
１．カラーフィルタ基板、  ２．カラーフィルタ形成ユニット、
３ｒ，３ｇ，３ｂ．着色要素形成装置、  ４．ホットプレート、
６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ．ロボットアーム、  ７．着色要素形成部、
８．着色要素材料供給部、  ９．ベース、  １１Ｘ，１１Ｙ．駆動系、
１２，１７、２２．駆動モータ、  １３，１６．ネジ軸、  １４．キャリッジ、
１８．ステージ、  １９．基材、  ２３．材料容器、  ２４．パイプ、
２６．インクジェットヘッド、  ２７．ケーシング、  ２８．ノズル、
２９．ノズル列、  ３１．ノズルプレート、  ３２．振動板、  ３３．仕切り部材、
３４．貯留室、  ３６．液溜り、  ３７．通路、  ３８．供給孔、  ３９．加圧体、
４１．圧電素子、４２ａ，４２ｂ．電極、  ４３．液滴、  ５３．ブラックマスク、
５３ａ．金属薄膜、  ５４．バンク、  ５４ａ．感光性樹脂、  ５７ａ．レジスト、
５９ｒ，５９ｇ，５９．着色要素、  ６１．液晶装置、  ６２．液晶パネル、
６５．液晶層、  ７８．カラーフィルタ、  ９０．制御装置
１０１．エレクトロルミネッセンス装置、  １１１．画素電極、  １１２．反射電極、
１１３．ＥＬ発光要素、  １１３Ａ．正孔注入層、  １１３Ｂ．有機半導体膜、
Ｄ．表示用ドット領域、  Ｍ０．着色要素材料
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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