(57)【要約】      （修正有）【課題】構造体を支持するマウントの気体アクチュエータの給気または排気気体を直動電気アクチュエータの冷却に利用することにより、マウント装置および露光装置の小型化とランニングコストの低減を実現するマウント装置および露光装置を提供する。【解決手段】構造体の振動状態を検出するセンサの出力信号を用いて、支持対象物である前記構造体の除振を行うマウント装置において、多自由度駆動を可能とする直動電気アクチュエータと気体アクチュエータを有し、該気体アクチュエータの作動気体により前記直動電気アクチュエータを冷却する機構を有することで、マウント装置および露光装置の小型化とランニングコストの低減を実現する。【選択図】        図１（ａ）
2005016537.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
構造体の振動状態を検出するセンサの出力信号を用いて、支持対象物である前記構造体の除振を行うマウント装置において、多自由度駆動を可能とする直動電気アクチュエータと気体アクチュエータを有し、該気体アクチュエータの作動気体により前記直動電気アクチュエータを冷却する機構を有することを特徴とするマウント装置。
【請求項２】
前記気体アクチュエータは、前記支持対象物を支持する気体ばねと該気体ばねへの作動気体の給気・排気を制御するサーボ弁を有し、前記直動電気アクチュエータは、永久磁石、磁気回路およびコイルを組み合わせたリニアモータであることを特徴とする請求項１に記載のマウント装置。
【請求項３】
前記気体アクチュエータは、前記支持対象物を支持する＋／−対向型の気体ばねと該気体ばねへの作動気体の給気・排気を制御する４方サーボ弁を有することを特徴とする請求項１または２に記載のマウント装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載のマウント装置において、絶縁プラスチック製の密閉ジャケット中に前記コイルを配した前記直動電気アクチュエータを冷却する機構、前記サーボ弁への給気気体を前記密閉ジャケット中へ供給する機構、前記密閉ジャケット中に供給された気体を回収し前記サーボ弁へ供給する機構を有することを特徴とするマウント装置。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれかに記載のマウント装置において、絶縁プラスチック製の密閉ジャケット中に前記コイルを配した前記直動電気アクチュエータを冷却する機構、前記密閉ジャケット中に前記サーボ弁からの排気気体が供給される機構と、前記密閉ジャケット中に供給された気体を回収する機構を有することを特徴とするマウント装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載のマウント装置で構造体を支持することを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体アクチュエータを制御する気体の有効利用によるマウント装置および露光装置のランニングコストの低減と小型化に関する技術である。
【０００２】
【従来の技術】
半導体露光装置などの精密機器においては、微細加工を安定して実現するために外部環境から機器への振動伝達を極力遮断しなくてはならない。よって、それらの精密機器はマウント装置（除振装置）に搭載することが必須となっている。特に半導体露光装置では露光用ＸＹ基板ステージが高速かつ連続的に移動するので、マウント装置には外部振動に対する除振性能とステージの動作により発生する内部振動に対する制振性能とをバランスよく実現することが求められる。
【０００３】
このような要求に対して近年ではアクティブ方式のマウント装置が実用化されており、振動センサの検出信号に応じてアクチュエータを駆動することによって効果的な振動制御が可能となっている。アクティブ方式のマウント装置は、ばねおよびダンパ特性を有する支持機構だけで構成された受動的なマウント装置では困難な、除振性能と制振性能のバランスのとれた支持を可能にする。
【０００４】
従来技術に見られるマウント装置の典型的な実施例は特許文献１（マウント装置）に開示されている。同公報によると、除振対象である定盤の振動を検出する振動センサとして加速度センサを、また、定盤を駆動するアクチュエータとして気体ばねを採用している。加速度センサはその検出軸が水平方向および鉛直方向を向くように設置されており、それぞれ定盤の水平方向の加速度と鉛直方向の加速度を検出する。また、気体ばねは推力発生軸が水平方向および鉛直方向と一致するように定盤を支持しており、それぞれ定盤に対して水平方向と鉛直方向の推力を作用させる。水平方向と鉛直方向のそれぞれにおいて、加速度センサの検出信号に適切な補償を施した補償値に応じて気体ばねを駆動するという、いわゆる振動フィードバックを行うことによって、定盤の振動を好適に抑制している。
【０００５】
定盤の支持脚であるマウントのアクチュエータには、前記気体ばねの内部圧力をそれへの気体の給排気を調整するバルブによって制御する気体アクチュエータや電磁駆動式の直動電気アクチュエータなどがある。気体ばねを使用した気体アクチュエータは定盤の重量支持に充分な大推力を比較的容易に発生できるが、高周波域の制振制御に適していない。直動電気アクチュエータは気体アクチュエータに比べ広域な周波数帯の制御が可能であるが大推力の発生が容易でない。そのため、最近は直動電気アクチュエータと気体アクチュエータを併用するのが一般的である。
【０００６】
直動電気アクチュエータは、推力の大きさに比例して発熱量が大きくなる。そのため、大きな推力を発生する直動電気アクチュエータには冷却機構が必要となる場合がある。直動電気アクチュエータの冷却方法としては、液体又は気体により直動電気アクチュエータで発生する熱を奪う方法、直動電気アクチュエータにフィンを付けることによる自然冷却方法などがある。従来技術に見られる直動電気アクチュエータの冷却機構の典型的な実施例は、特許文献２（リソグラフィ投影装置に於けるボイスコイルモータの冷却装置）に開示されている。
【０００７】
現在、半導体露光装置を搭載するマウント装置で用いられる直動電気アクチュエータの冷却方法としては、冷却効果の大きい液体又は気体により直動電気アクチュエータで発生する熱を奪う方法が用いられている。
【０００８】
液体による冷却方法は、一般的に気体による冷却方法に比べ冷却効果が大きい。しかし、液体による冷却は、液漏れへの充分な対策が要求されるため、マウント装置の価格が高くなる、メンテナンスの手間が掛かるなどの問題がある。液漏れは、一般的に気体漏れに比べ他機構への影響が大きい。
【０００９】
気体による冷却方法では、気体の種類を気体漏れによる他機構への影響少ないものとすることにより、気体漏れへの対策コストを安くでき、結果としてマウント装置価格を低減できる。しかし、気体による冷却方法は、一般的に液体による冷却方法に比べ冷却効果が小さく、大量の気体を消費するため、ランニングコストが液体による冷却方法よりも高くなる傾向がある。
【００１０】
【特許文献１】
特開平１０−２５６１４４公報
【特許文献２】
特開２００１−２８４２４７公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上の点に着目して成されたもので、構造体を支持するマウントの気体アクチュエータの給気または排気気体を直動電気アクチュエータの冷却に利用することにより、マウント装置および露光装置の小型化とランニングコストの低減を実現するマウント装置および露光装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
▲１▼  請求項１に対応
本発明は前記問題点を解決するために、請求項１に示すように構造体の振動状態を検出するセンサの出力信号を用いて、支持対象物である前記構造体の除振を行うマウント装置は、多自由度駆動を可能とする直動電気アクチュエータと気体アクチュエータを有し、該気体アクチュエータの作動気体により前記直動電気アクチュエータを冷却する機構を有することを特徴とする。
【００１３】
▲２▼  請求項２に対応
前記直動電気アクチュエータは、マウント装置の設置面の振動を支持対象物に極力伝えないようにするために、永久磁石、磁気回路およびコイルを組み合わせたリニアモータとすることが望ましい。
【００１４】
▲３▼  請求項３に対応
前記気体アクチュエータは、前記直動電気アクチュエータの冷却のための気体量をより安定したものとしたい場合、構造体を支持する＋／−対向型の気体ばねと気体ばねへの作動気体の給気・排気を制御する４方サーボ弁を有する構造とすることが望ましい。
【００１５】
▲４▼  請求項４、５に対応
前記直動電気アクチュエータを冷却する機構は、前記直動電気アクチュエータの冷却する機構へ供給された気体を回収する必要がある場合、絶縁プラスチック製の密閉ジャケット中に前記コイルを配した構造とすることが望ましい。
【００１６】
なお、さらに詳細に説明すれば、本発明は下記の構成によって前記課題を解決できた。
【００１７】
（１）構造体の振動状態を検出するセンサの出力信号を用いて、支持対象物である前記構造体の除振を行うマウント装置において、多自由度駆動を可能とする直動電気アクチュエータと気体アクチュエータを有し、該気体アクチュエータの作動気体により前記直動電気アクチュエータを冷却する機構を有することを特徴とするマウント装置。
【００１８】
（２）前記気体アクチュエータは、前記支持対象物を支持する気体ばねと該気体ばねへの作動気体の給気・排気を制御するサーボ弁を有し、前記直動電気アクチュエータは、永久磁石、磁気回路およびコイルを組み合わせたリニアモータであることを特徴とする前記（１）に記載のマウント装置。
【００１９】
（３）前記気体アクチュエータは、前記支持対象物を支持する＋／−対向型の気体ばねと該気体ばねへの作動気体の給気・排気を制御する４方サーボ弁を有することを特徴とする前記（１）または（２）に記載のマウント装置。
【００２０】
（４）前記（１）ないし（３）のいずれかに記載のマウント装置において、絶縁プラスチック製の密閉ジャケット中に前記コイルを配した前記直動電気アクチュエータを冷却する機構、前記サーボ弁への給気気体を前記密閉ジャケット中へ供給する機構、前記密閉ジャケット中に供給された気体を回収し前記サーボ弁へ供給する機構を有することを特徴とするマウント装置。
【００２１】
（５）前記（１）ないし（３）のいずれかに記載のマウント装置において、絶縁プラスチック製の密閉ジャケット中に前記コイルを配した前記直動電気アクチュエータを冷却する機構、前記密閉ジャケット中に前記サーボ弁からの排気気体が供給される機構と、前記密閉ジャケット中に供給された気体を回収する機構を有することを特徴とするマウント装置。
【００２２】
（６）前記（１）ないし（５）のいずれかに記載のマウント装置で構造体を支持することを特徴とする露光装置。
【００２３】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施例について図を用いて詳細に説明する。
【００２４】
［１］マウント装置の概説
図１は、本発明の一実施例に係わるマウント装置の主要構造図であり、（ａ）にマウント装置のシステム図、（ｂ）に直動電気アクチュエータとしてリニアモータを用いたときの、気体アクチュエータの排気気体を用いたリニアモータの冷却システム図（気体の流れは、本発明の一実施例である４方サーボ弁の排気気体を利用してリニアモータを冷却する場合のもの）を示す。
【００２５】
図１（ａ）において、支持対象である構造体１０５の除振を行うマウント装置は構造体１０５を支持するマウント１０６、構造体１０５の振動および位置を観測する加速度センサや変位センサのどのセンサ１０３、そのセンサ１０３の出力信号をもとにマウント１０６を構成する気体アクチュエータ１０２と直動電気アクチュエータ１０１を操作するコントローラ１０４により構成される。マウント１０６は、水平方向と鉛直方向に駆動させるための気体アクチュエータ１０２と直動電気アクチュエータ１０１を必要個数有する。
【００２６】
［２］直動電気アクチュエータの説明
直動電気アクチュエータ１０１としては、円筒状の回転型モータを直線状に展開したリニアモータ（リニア誘導モータ、リニア同期モータ、リニアパルスモータ、リニア直流モータ、リニアハイブリッドモータなど）、円筒状の回転型モータとはことなった電磁的構成を有するリニアアクチュエータ（リニア振動アクチュエータ、リニア電磁ソレノイド、リニア電磁ポンプ）などが考えられる。本実施例では、直動電気アクチュエータ１０１の設置面であるパレット１０７の振動を支持対象物である構造体１０５に極力伝えないようにするために、直動電気アクチュエータ１０１を永久磁石、磁気回路とコイルを組み合わせた直流型のリニアモータ１２１とする。
【００２７】
［３］リニアモータの説明
図２に、本発明の一実施例である絶縁プラスチック製の冷却ジャケット中にコイルを配した直流型のリニアモータ１２１の断面図を示す。リニアモータ１２１は、円筒状の回転型モータを直線状に展開した構造で、永久磁石２０１〜２０４、磁気回路，コイル２０５，２０６、ヨーク２０７，２０８で構成され、コイルに電流を流すことで発生する電磁力により、対象物に対して推力を与える。
【００２８】
［４］密閉ジャケット構造
リニアモータ１２１の冷却機構１１０は、サーボ弁１０８のへの給気気体によりリニアモータ１２１を冷却する場合、またはサーボ弁１０８からの排気気体を回収する場合、リニアモータ１２１の外部への気体漏れを防ぐために、冷却ジャケット２１０中にコイル２０５を配した密閉ジャケット構造とし、冷却ジャケット２１０にサーボ弁１０８への給気気体、またはサーボ弁１０８からの排気気体をホース１１６をとおして供給し、冷却ジャケット２１０からの排気はホース１２０をとおして冷却ジャケット２１０の外部へ排気される構造とすることが望ましい。リニアモータ１２１の冷却後の気体を回収する必要が無い場合は、前記した冷却ジャケット２１０中にコイル２０５を配した密閉ジャケット構造である必要はない。
【００２９】
冷却ジャケット２１０の材質としては、絶縁プラスチック、セラミックやガラス材料などが考えられる。本実施例では、低価格、耐熱性、重量、衝撃への強さなどの面から絶縁プラスチックとする。
【００３０】
［５］気体アクチュエータ
マウント１０６を駆動させるための気体アクチュエータ１０２は、気体ばね１０９と気体ばね１０９への作動気体の給気・排気を制御するサーボ弁１０８により構成される。前記作動気体としては、用途によって、エアや窒素またはヘリウムなどが考えられる。
【００３１】
気体アクチュエータ１０２は、気体ばね１０９とそれに気体を供給するサーボ弁１０８で構成されている。気体ばね１０９は、１台で鉛直方向と水平１方向への駆動機構を有する。鉛直方向の駆動は３方サーボ弁１１１によりタンク（Ａ）１１３内の圧力を調整することによって行う。水平１方向への駆動は、４方サーボ弁１１２からのタンク（Ｂ）１１４、タンク（Ｃ）１１５への気体の供給量を一定に保ち、４方サーボ弁１１２によりタンク（Ｂ）１１４とタンク（Ｃ）１１５の気体排出比率を調整することによって行う。
【００３２】
［６］サーボ弁の説明
図３は、本発明の一実施例に係わるサーボ弁の構造図であり、（ａ）は３方サーボ弁１１１の構造図、（ｂ）は４方サーボ弁１１２の構造図である。
【００３３】
図３（ａ）を用いて、３方サーボ弁１１１の構造について説明する。３方サーボ弁１１１の中央には左右２つのノズル３０５，３０６が設けられており、その中央にフラッパー３０１が配設されている。左ノズル３０５は排出ポート３０４に、右ノズル３０６は供給ポート３０２に接続されており、フラッパー３０１下部にはコントロールポート３０３が設けられている。フラッパー３０１の上部にはアマーチャー３０８が有り、隣接してコイル３０９が設置されており、ピボット３１０を支点としてフラッパー３０１を制御する。
【００３４】
図３（ｂ）を用いて、４方サーボ弁１１２の構造について説明する。４方サーボ弁１１２の中央には左右２つのノズル３１８，３１９が設けられており、その中央にフラッパー３２１が配設されている。左ノズル３１８はコントロールポート（Ａ）３１３に、右ノズル３１９はコントロールポート（Ｂ）３２２に接続されており、フラッパー３２１下部には排出ポート３１１が設けられている。また、オリフィス３１５を挟んで左ノズル３１８とコントロールポート（Ａ）３１３、右ノズル３１９とコントロールポート（Ｂ）３２２の間に供給ポート３１２が接続されている。フラッパー３２１の上部にはアマーチャー３１６が有り、隣接してコイル３１４が設置されており、ピボット３１７を支点としてフラッパー３２１を制御する。
【００３５】
［７］サーボ弁の給気気体を利用してリニアモータを冷却する方法の構造説明図４において、本発明の一実施例に係わるサーボ弁の作動気体を用いたリニアモータ１２１の冷却システムであり、（ａ）は３方サーボ弁１１１および４方サーボ弁１１２への給気気体を利用してリニアモータ１２１を冷却する方法、（ｂ）は３方サーボ弁１１１の排気気体を利用してリニアモータ１２１を冷却する方法、（ｃ），（ｄ）は４方サーボ弁１１２の排気気体を利用してリニアモータ１２１を冷却する方法である。なお、（ａ）〜（ｃ）は、前記リニアモータが密閉ジャケット中にコイルを配した構造である場合、（ｄ）は、前記リニアモータ自体が前記冷却機構を有しない場合である。
【００３６】
図４（ａ）を用いて、リニアモータ１２１が冷却ジャケット中にコイルを配した構造である場合（リニアモータ１２１を冷却するための冷却機構１１０とリニアモータ１２１が一体となった構造物である場合）の３方サーボ弁１１１および４方サーボ弁１１２への給気気体を利用してリニアモータ１２１を冷却する方法について説明する。３方サーボ弁１１１のコントロールポート３０３にはタンク（Ａ）１１３、３方サーボ弁１１１の排出ポート３０４には気体排気口が接続される。４方サーボ弁１１２のコントロールポート（Ａ）３１３にはタンク（Ｂ）１１４、４方サーボ弁１１２のコントロールポート（Ｂ）３２２にはタンク（Ｃ）１１５が接続される。３方サーボ弁１１１の供給ポート３０２および４方サーボ弁１１２の供給ポート３１２には、リニアモータ１２１の冷却機構１１０が接続される。３方サーボ弁１１１および４方サーボ弁１１２への供給気体は、リニアモータ１２１の冷却機構１１０を通して供給される。
【００３７】
［８］３方サーボ弁の排気気体を利用してリニアモータを冷却する方法の構造説明
図４（ｂ）を用いて、リニアモータ１２１が冷却ジャケット中にコイルを配した構造である場合（リニアモータ１２１を冷却するための冷却機構１１０とリニアモータ１２１が一体となった構造物である場合）の３方サーボ弁１１１の排気気体を利用してリニアモータ１２１を冷却する方法について説明する。３方サーボ弁１１１のコントロールポート３０３および４方サーボ弁１１２のコントロールポート（Ａ）３１３、コントロールポート（Ｂ）３２２とタンク（Ａ）１１３、タンク（Ｂ）１１４、タンク（Ｃ）１１５の接続は、図４（ａ）と同じである。３方サーボ弁１１１の排出ポート３０４には、リニアモータ１２１の冷却機構１１０に接続され、４方サーボ弁１１２の排出ポート３１１には、気体の排気口に接続される。３方サーボ弁１１１の排出ポート３０４から放出された気体は、リニアモータ１２１の冷却機構１１０を通して排気される。
【００３８】
［９］４方サーボ弁の排気気体を利用してリニアモータを冷却する方法の構造説明
図４（ｃ）を用いて、リニアモータ１２１が冷却ジャケット中にコイルを配した構造である場合（リニアモータ１２１を冷却するための冷却機構１１０とリニアモータ１２１が一体となった構造物である場合）の４方サーボ弁１１２の排気気体を利用してリニアモータ１２１を冷却する方法について説明する。３方サーボ弁１１１のコントロールポート３０３および４方サーボ弁１１２のコントロールポート（Ａ）３１３、コントロールポート（Ｂ）３２２とタンク（Ａ）１１３、タンク（Ｂ）１１４、タンク（Ｃ）１１５の接続は、図４（ａ）と同じである。３方サーボ弁１１１の排出ポート３０４は気体の排気口に接続され、４方サーボ弁１１２の排出ポート３１１には、リニアモータ１２１の冷却機構１１０に接続される。４方サーボ弁１１２の排出ポート３１１から放出された気体は、リニアモータ１２１の冷却機構１１０を通して排気される。
【００３９】
［１０］４方サーボ弁の排気気体を利用してリニアモータを冷却する方法の構造説明（冷却ジャケットなし）
図４（ｄ）を用いて、リニアモータ１２１が冷却ジャケット中にコイルを配した構造でない場合（リニアモータを冷却するための冷却機構４０１とリニアモータ１２１が別々の構造物である場合）の一実施例として、４方サーボ弁１１２の排気気体を利用してリニアモータ１２１を冷却する方法を説明する。３方サーボ弁１１１のコントロールポート３０３および４方サーボ弁１１２のコントロールポート（Ａ）３１３、コントロールポート（Ｂ）３２２とタンク（Ａ）１１３、タンク（Ｂ）１１４、タンク（Ｃ）１１５の接続は、図４（ａ）と同じである。３方サーボ弁１１１の排出ポート３０４は気体の排気口に接続され、４方サーボ弁１１２の排出ポート３１１には、リニアモータ１２１の外部に存在する冷却機構４０１に接続される。４方サーボ弁１１２の排出ポート３１１から放出された気体は、リニアモータ１２１の冷却機構４１０によりリニアモータに向けて排気される。
【００４０】
３方サーボ弁１１１は、供給ポート３０２からコントロールポート３０３への気体の供給量と、コントロールポート３０３から排出ポート３０４への気体の放出量の比率を制御するものである。そのため、タンク（Ａ）の圧力変動が大きいとき、コントロールポート３０３から排出ポート３０４へ放出される排気気体の流量変動が大きくなる。
【００４１】
４方サーボ弁１１２は、コントロールポート（Ａ）３１３から排出ポート３１１への気体の放出量と、コントロールポート（Ｂ）３２２から排出ポート３１１への気体の放出量の比率を制御するものである。また、４方サーボ弁１１２からタンク（Ｂ）１１４、タンク（Ｃ）１１５各々への気体供給量は、ほぼ等しく、一定である。それらのことから、排出ポート３１１から放出される排気気体の流量は、タンク（Ｂ）１１４、タンク（Ｃ）１１５の各々の圧力比変動による影響を受けにくく比較的安定している。
【００４２】
［１１］露光装置の構造説明
図５において、本実施例のマウント装置を有する露光装置の主要構造図である。図５において、（ａ）は露光装置の平面図、（ｂ）は露光装置の正面図、（ｃ）は露光装置の側面図である。
【００４３】
レチクルステージ（Ｒ−ｓｔａｇｅ）５０１は、レチクル５０２を移動させる手段で、図中Ｙ方向に可動な構造である。
【００４４】
図５においては、静圧空気軸受等の支持機構を用いて精密なレチクルステージ５０１の位置決めを可能にしている。レチクルステージ５０１の位置は、レーザ干渉計等で位置検出し、磁石とコイルからなるリニアモータで推力を与え、位置決め制御を行う。通常、磁石を可動部であるレチクルステージ５０１に搭載し、コイルを構造体１０５に搭載することが一般的である。また、本実施例の露光装置は、必要に応じてレチクルステージ５０１の可動方向の速度または加速度を検出する振動検出手段を搭載し、その出力をレチクルステージ制御回路に加え、特性の改善を図る。ウエハステージ（Ｗ−ｓｔａｇｅ）５０３は、ウエハ５０４を移動させる手段で、図中ＸＹ方向に可動な構造であり、ウエハ５０４の微小回転やチルト等の機構も有する。
【００４５】
ステッパタイプの露光装置では、レチクルステージ５０１は微小なアライメント機構のみを有する場合が多く、その場合、レチクルステージ５０１の駆動反力は無視できるほど小さいのでマウント制御回路にレチクルステージ駆動信号を加えず、ウエハステージ駆動信号のみをマウント制御回路に加えれば良い場合が多い。また、スキャナタイプの露光装置では、レチクルステージを搭載する構造体とウエハステージを搭載する構造体を分離し、それぞれを別のマウントで支持する構成もある。その場合、レチクルステージを搭載した構造体を支持するマウントにはレチクルステージ駆動信号を加え、ウエハステージを搭載した構造体を支持するマウントにはウエハステージ駆動信号を加える構成にする。
【００４６】
構造体１０５は、３個のマウント１０６によって支持され、３個のマウントはパレット１０７によって固定部が一体化される。このパレット１０７は、設置床５０５に設置される。３個のマウント１０６のうち１個は、Ｘ方向とＺ方向に推力を発生するための気体アクチュエータと直動電気アクチュエータを有し、残り２個のマウント１０６はそれぞれＹ方向とＺ方向のそれらを必要個数有するものである。
【００４７】
本実施例において、マウントを駆動させる気体アクチュエータは、水平方向駆動が３方サーボ弁有する気体アクチュエータ、鉛直方向駆動が４方サーボ弁を有する気体アクチュエータとしたが、その他にも鉛直方向駆動および水平方向駆動させる気体アクチュエータを共に４方サーボ弁を有する気体アクチュエータとする、２方サーボ弁や５方サーボ弁を有する気体アクチュエータを用いるなどの他の方法でも実施可能である。本実施例で明記したマウント装置および露光装置は一例であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲においては、種々の形態で実施することができる。
【００４８】
【発明の効果】
▲１▼請求項１に対応
構造体の振動状態を検出するセンサの出力信号を用いて、支持対象物である前記構造体の除振を行うマウント装置において、多自由度駆動を可能とする直動電気アクチュエータと気体アクチュエータを有し、該気体アクチュエータの作動気体により前記直動電気アクチュエータを冷却する機構を有することで、冷却専用流体および冷却専用流体管理装置が不要となる。それにより、マウント装置および露光装置のランニングコスト低減と小型化が可能となる。
【００４９】
また、前記直動電気アクチュエータの冷却気体をマウント装置および露光装置の他機構と人体への影響の少ない気体とすることにより、破損時の気体漏れ対策のための機構が不要となる。それにより、マウント装置および露光装置のコスト低減と小型化が可能となる。
【００５０】
▲２▼  請求項２に対応
前記直動電気アクチュエータを、永久磁石、磁気回路とコイルを組み合わせたリニアモータとすることにより、前記直動電気アクチュエータを介したマウント装置の設置面から支持対象物への振動伝達をほぼ絶縁できる。
【００５１】
▲３▼  請求項３に対応
前記気体アクチュエータを、前記支持対象物を支持する＋／−対向型の気体ばねと気体ばねへの作動気体の給気・排気を制御する４方サーボ弁とし、その排気により直動電気アクチュエータを冷却することにより、前記気体アクチュエータから直動電気アクチュエータの冷却機構へのより安定した気体供給ができる。
【００５２】
▲４▼  請求項４、５に対応
前記直動電気アクチュエータを、絶縁プラスチック製の冷却ジャケット中にコイルを配したリニアモータとし、前記冷却ジャケット中に前記サーボ弁への給気気体または前記サーボ弁からの排気気体を供給することにより、前記冷却ジャケット中に供給された気体を回収することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１（ａ）】本発明の一実施例に係わるマウント装置の主要構造図であり、マウント装置のシステム図である。
【図１（ｂ）】本発明の一実施例に係わるマウント装置の主要構造図であり、直動電気アクチュエータとしてリニアモータを用いたときの、気体アクチュエータの排気気体を用いたリニアモータの冷却システム図（気体の流れは、本発明の一実施例である４方サーボ弁の排気気体を利用してリニアモータを冷却する場合のもの）である。
【図２】本発明の一実施例である絶縁プラスチック製の冷却ジャケット中にコイルを配したリニアモータの断面図である。
【図３（ａ）】本発明の一実施例に係わるサーボ弁の構造図であり、３方サーボ弁の構造図である。
【図３（ｂ）】本発明の一実施例に係わるサーボ弁の構造図であり、は４方サーボ弁の構造図である。
【図４（ａ）】本発明の一実施例に係わるサーボ弁の作動気体を用いたリニアモータの冷却システムを示す図であり、サーボ弁への給気気体を利用してリニアモータを冷却する方法である。なお、前記リニアモータが密閉ジャケット中にコイルを配した構造である場合である。
【図４（ｂ）】本発明の一実施例に係わるサーボ弁の作動気体を用いたリニアモータの冷却システムを示す図であり、３方サーボ弁の排気気体を利用してリニアモータを冷却する方法である。なお、前記リニアモータが密閉ジャケット中にコイルを配した構造である場合である。
【図４（ｃ）】本発明の一実施例に係わるサーボ弁の作動気体を用いたリニアモータの冷却システムを示す図であり、４方サーボ弁の排気気体を利用してリニアモータを冷却する方法である。なお、前記リニアモータが密閉ジャケット中にコイルを配した構造である場合である。
【図４（ｄ）】本発明の一実施例に係わるサーボ弁の作動気体を用いたリニアモータの冷却システムを示す図であり、４方サーボ弁の排気気体を利用してリニアモータを冷却する方法である。なお、前記リニアモータ自体が前記冷却機構を有しない場合である。
【図５】本発明の一実施例であるマウント装置を有する露光装置の主要構造図であり、（ａ）は露光装置の平面図、（ｂ）は露光装置の正面図、（ｃ）は露光装置の側面図である。
【符号の説明】
１０１  直動電気アクチュエータ
１０２  気体アクチュエータ
１０３  センサ
１０４  コントローラ
１０５  構造体
１０６  マウント
１０７  パレット
１０８  サーボ弁
１０９  気体ばね
１１０  冷却機構
１１１  ３方サーボ弁
１１２  ４方サーボ弁
１１３  タンク（Ａ）
１１４  タンク（Ｂ）
１１５  タンク（Ｃ）
１１６，１１７，１１８，１１９，１２０  ホース
１２１  リニアモータ
２０１，２０２，２０３，２０４  永久磁石
２０５，２０６  コイル
２０７，２０８  ヨーク
２０９，２１０  冷却ジャケット
３０１  フラッパー
３０２  供給ポート
３０３  コントロールポート
３０４  排出ポート
３０５，３０６，３０７  ノズル
３０８  アマーチャー
３０９  コイル
３１０  ピボット
３１１  排出ポート
３１２  供給ポート
３１３  コントロールポート（Ａ）
３１４  コイル
３１５  オリフィス
３１６  アマーチャー
３１７  ピボット
３１８，３１９，３２０  ノズル
３２１  フラッパー
３２２  コントロールポート（Ｂ）
４０１  冷却機構
５０１  レチクルステージ
５０２  レチクル
５０３  ウエハステージ
５０４  ウエハ
５０５  設置床
【図１（ａ）】
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【図１（ｂ）】
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【図２】
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【図３（ａ）】
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【図３（ｂ）】
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【図４（ａ）】
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【図４（ｂ）】
2005016537.tif 000009
【図４（ｃ）】
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【図４（ｄ）】
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【図５】
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