(57)【要約】【課題】  一辺が８ｍｍ以下の小型の光学部品を洗浄した後の乾燥はスピン乾燥ではシミや汚れができてしまい、光学部品をピンセットでつかみクリーニングペーパーで汚れを拭き取るという高度の熟練を要する手拭き作業に頼らざるを得なかった。【解決手段】  底部に複数の貫通孔を有する光学部品挿入部を平板状の基板に縦横マトリクス状に多数形成した樹脂製の乾燥治具に多数の小型光学部品を装着して、スピン乾燥時の遠心力の方向と乾燥治具の法線方向とのなす角度が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°にならないようにして課題を解決した。【選択図】  図８
2005024236.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄して乾燥前の小型の光学部品を保持してスピン乾燥装置の回転体に装着して前記回転体とともに回転させて前記光学部品や乾燥治具に付着した洗浄液を除去することができる光学部品の乾燥治具において、前記乾燥治具が平板であり，前記平板の一方の側に光学部品を挿入することができる開口部を有する少なくとも一つの光学部品挿入部を有し、前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有し、前記底部の一部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する貫通孔が形成されており、前記光学部品挿入部の底部の全ての貫通孔の断面の形状が円形であり、ｍとｎを整数とするとき、前記光学部品挿入部が前記乾燥治具にｍ行ｎ列のマトリクス状に形成されていることを特徴とする光学部品の乾燥治具。
【請求項２】
請求項１に記載の光学部品の乾燥治具において、前記乾燥治具が、ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂を用いて形成されていることを特徴とする光学部品の乾燥治具。
【請求項３】
洗浄して乾燥前の小型の光学部品を平板状の乾燥治具に保持してスピン乾燥装置の回転体に装着して前記回転体とともに回転させて前記光学部品や乾燥治具に付着した洗浄液を除去するスピン乾燥工程を含む光学部品のスピン乾燥方法において、前記乾燥治具が平板の一方の側に光学部品を挿入することができる開口部を有する少なくとも一つの光学部品挿入部を有し、前記少なくとも一つの光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有し、前記底部の一部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する貫通孔が形成されており、前記光学部品挿入部の底部の全ての貫通孔の断面の形状が円形であり、ｍとｎを整数とするとき、前記光学部品挿入部が前記乾燥治具にｍ行ｎ列のマトリクス状に形成されており、前記スピン乾燥装置の回転体の回転時における前記回転体の回転の中心軸線をＺ軸と定義して、Ｚ軸の回転体の上方になる方向をＺ軸の正の方向と定義し、前記回転体に装着された前記乾燥治具の回転時に回転の内側になる平面（以下、乾燥治具の内側平面ともいう）の中心（以下、中心Ｏともいう）を通りＺ軸に平行でＺ軸と同じ方向に正の方向を有する座標軸をＺ’軸と定義し、Ｚ’軸に直交しＺ軸と前記中心Ｏを最短距離で結んで延長した直線をＹ軸と定義し、中心ＯからみてＹ軸のＺ軸から遠ざかる方向をＹ軸の正の方向と定義し、右手座標系でＹ軸とＺ’軸に直交し前記中心Ｏを通る座標軸をＸ軸と定義したとき、Ｚ’軸と前記乾燥治具の内側平面内のＺ’軸に平行な線分のなす角度をθｃとし、前記θｃの値はＸ軸の正の方向を手前にしてＸ軸のまわりに時計回りにＺ’軸から前記乾燥治具の内側平面まで測ったときの前記角度θｃの値をθｃの正の値とし、Ｘ軸と前記乾燥治具の内側平面内のＸ軸に平行な線分のなす角度をθｄとし、前記θｄの値はＺ’軸の正の方向を手前にしてＺ’軸のまわりに時計回りにＸ軸から前記光学部品の内側平面内のＸ軸に平行な線分まで測ったときの前記角度θｄの値をθｄの正の値としたとき、前記光学部品を保持した前記乾燥治具を前記回転体に装着するときに、前記θｃの値が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°または−９０°±５°のいずれかの値になる状態とθｄの値が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°または−９０°±５°のいずれかの値になる状態が両立しない装着状態に光学部品を保持した前記乾燥治具を前記回転体に装着してスピン乾燥を行うことを特徴とする光学部品のスピン乾燥方法。
【請求項４】
請求項３に記載の光学部品のスピン乾燥方法において、前記乾燥治具が、主としてポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂を用いて形成されていることを特徴とする光学部品のスピン乾燥方法。
【請求項５】
洗浄して乾燥前の小型の光学部品を平板状の乾燥治具に保持してスピン乾燥装置の回転体に装着して前記回転体とともに回転させて前記光学部品や乾燥治具に付着した洗浄液を除去することができるスピン乾燥装置において、前記乾燥治具が平板の一方の側に光学部品を挿入することができる開口部を有する少なくとも一つの光学部品挿入部を有し、前記開口部が円または楕円形であり，前記少なくとも一つの光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有し、前記底部の一部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する貫通孔が形成されており、ｍとｎを整数とするとき、前記光学部品挿入部が前記乾燥治具にｍ行ｎ列のマトリクス状に形成されており、前記スピン乾燥装置の回転体の回転時における前記回転体の回転の中心軸線をＺ軸と定義して、Ｚ軸の回転体の上方になる方向をＺ軸の正の方向と定義し、前記回転体に装着された前記乾燥治具の回転時に回転の内側になる平面（以下、乾燥治具の内側平面ともいう）の中心（以下、中心Ｏともいう）を通りＺ軸に平行でＺ軸と同じ方向に正の方向を有する座標軸をＺ’軸と定義し、Ｚ’軸に直交しＺ軸と前記中心Ｏを最短距離で結んで延長した直線をＹ軸と定義し、中心ＯからみてＹ軸のＺ軸から遠ざかる方向をＹ軸の正の方向と定義し、右手座標系でＹ軸とＺ’軸に直交し前記中心Ｏを通る座標軸をＸ軸と定義したとき、Ｚ’軸と前記乾燥治具の内側平面内のＺ’軸に平行な線分のなす角度をθｇとし、前記θｇの値はＸ軸の正の方向を手前にしてＸ軸のまわりに時計回りにＺ’軸から前記乾燥治具の内側平面まで測ったときの前記角度θｇの値をθｇの正の値とし、Ｘ軸と前記乾燥治具の内側平面内のＸ軸に平行な線分のなす角度をθｈとし、前記θｈの値はＺ’軸の正の方向を手前にしてＺ’軸のまわりに時計回りにＸ軸から前記光学部品の内側平面内のＸ軸に平行な線分まで測ったときの前記角度θｈの値をθｈの正の値としたとき、前記回転体の光学部品装着部が、前記θｇの値が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°または−９０°±５°のいずれかの値になる状態とθｈの値が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°または−９０°±５°のいずれかの値になる状態が両立しない装着状態に前記光学部品を装着してスピン乾燥を行うことができるように構成されていることを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項６】
請求項５に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品挿入部の底部の全ての貫通孔の断面の形状が円形であることを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項７】
請求項５または６に記載のスピン乾燥装置において、前記乾燥治具が、主としてポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂を用いて形成されていることを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれかに記載のスピン乾燥装置において、前記乾燥治具が洗浄治具としても使用可能な治具であることを特徴とするスピン乾燥装置。
【請求項９】
請求項５〜８のいずれか１項に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品が一辺が８ｍｍ以下の光学部品であることを特徴とするスピン乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光通信に用いられるアイソレーター、サーキュレーター、ＷＤＭ、フィルター等のモジュールに組み込まれる水晶、イットリュウム、バナデート、方解石、バリウム等の単結晶および、多層膜フィルターならびにプリズム等や小型のレンズなどの光学部品、特殊な形状をした光学部品を洗浄した後に被洗浄物に付着している洗浄液を除去するスピン乾燥装置およびスピン乾燥方法、ならびにそれに用いることができる光学部品の乾燥治具治具（以下，光学部品保持治具あるいは光学部品の保持治具ともいう）に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信では、アイソレーター、サーキュレーター、ＷＤＭ、フィルター等の様々なモジュールが使用されるが  これらのモジュールには水晶、イットリュウム、バナデート、方解石、バリウム等の単結晶や多層膜フィルター、プリズム等（以下、これらと小型のレンズのような光学部品や特殊な形状をした光学部品を総称して光学部品ともいう）が組み込まれている。
【０００３】
通常、フィルター等のモジュールは、光ファイバーからモジュールに入力された光をたとえば多層膜フィルター等の光学部品に入力させて、透過、反射、分離、および屈折等の光学現象を利用することにより、モジュールの機能を実現させている。フィルター等の表面が汚れていると、光ファイバーからモジュールに入力された光が汚れたフィルターの表面で減衰したり乱反射したりして結合損失が増大したり、モジュールの機能を損なってしまうことがある。モジュールに用いる光学素子の表面の清浄度はモジュールの品質上きわめて重要である。
【０００４】
このため、従来は、たとえば３本の棒状の支持具で多数の光学部品を３方向から３点支持をしたり、光学部品を光学部品挿入部を有する光学部品保持治具（前記治具は、ケースと呼称するのが適切な場合もあるが、その場合も含めて、特に必要な場合を除き治具と総称する）に入れて保持したりして超音波洗浄機で光学部品の汚れを落とし表面を清浄にして後、スピン乾燥機で付着した洗浄液を除去していたが、光学部品の最大面の大きさが８ｍｍ角（すなわち、一辺の寸法が８ｍｍの正方形）以下のような小さいものを洗浄する際には、従来の３点支持をする治具で光学部品を支持して洗浄すると、支持具で光学部品を確実に支持するには支持具の強度を保つために支持具をあまり細くすることができないため、超音波洗浄するとき、光学部品の支持具の陰になった部分に超音波が効果的に当たらずに光学部品の汚れが残ってしまったり、従来の品物を保持する保持治具類を使用すると洗浄中や洗浄後の乾燥時に光学部品が欠落することがある上に、洗浄の仕上げ工程としてのいわゆる水切り工程、すなわち光学部品に付着した洗浄液を除去する乾燥工程で、洗浄残液を完全に取り去ることが出来ず、そのままでは光学部品の汚れとして残ってしまい、正常なモジュールを構成するのに用いることができない光学部品が多発してしまうという大問題があった。
【０００５】
そのため、実際には、光学部品をモジュールに実装するときに１個ずつ専用のピンセットなどで光学部品を持ち、その表面を溶剤を浸したクリーニングペーパーで拭き上げなければならなかった。
【０００６】
この光学部品の拭き作業は、表面を清浄にする光学部品が非常に小さいため、光学部品を１個ずつピンセットで注意深くつかみ、有機溶剤等をつけたクリーニングペーパーで汚れを拭き取る作業は、非常に高度な熟練を要し、満足な品質特性を有するように光学部品を洗浄することが出来るようになるためには、少なくとも数ヶ月の訓練が必要であった。また、この拭き作業は作業効率が悪く、多層膜フィルターの例では１時間に２０個程度しか清浄にすることが出来なかった。
【０００７】
図１１は、従来のスピン乾燥機の要部をモデル的に示した図である。
【０００８】
図１１で、符号１３０１は従来のスピン乾燥機、１３０２はスピン乾燥機１３０１の外枠、１３０３はスピン乾燥機１３０１を構成する回転させることが出来る回転板を有する回転体、１３１０〜１３１３は回転体１３０３の回転板に取り付けられたホルダで被乾燥物としての光学部品（以下、ワークとも称する）を保持した乾燥治具や光学部品保持治具を保持した保持枠（以下、クレードルともいう）（図示せず）を保持するためのホルダ、１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃはそれぞれホルダ１３１０〜１３１３の側壁、１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂはそれぞれ側壁１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ，１３１３ｃに設けられたクレードル設置用溝、１３１５は前記クレードルの位置決めのための支持棒、１３１６は回転方向を示す矢印、１３２０はスピン乾燥機の蓋、１３２３は蓋に設けられた送風口、１３２２は送風口に取り付けられているフィルタである。
【０００９】
図１１で、ホルダ１３１０〜１３１３は回転体１３０３にネジなどで固定された状態で保持されている。
【００１０】
図１１のようなスピン乾燥機で、洗浄したワークの乾燥を行う際は、ワークを保持した乾燥治具や光学部品保持治具を入れたクレードルに設けられた装着用の突起部（図２０に図示）をホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれのワーク設置用溝１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂに挿入してホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれに入れて配置した後に、回転体１３０３をたとえば矢印１３１６の方向に回転させることによってスピン乾燥を行う。このとき、回転体に装着されたクレードルの底面は、図２０のように、回転体の回転により与えられる遠心力の方向に直交するように前記ホルダに取り付けられるようになっている。
【００１１】
図１２は、ワークの３点支持による保持方法について説明する図である。
【００１２】
図１２で、符号１３３１は被乾燥物としての乾燥するワーク、１３３２〜１３３４はワーク１３３１を固定するための光学部品支持部品である。
【００１３】
図１２で光学部品支持部品１３３２および１３３４は、ワーク１３３１の側面の各辺のおおよそ中央に配置されており、光学部品支持部品１３３３はおおよそ光学部品支持部品１３３２と１３３４を結ぶ直線の垂直２等分線上の光学部品側面に配置されている。また、ワーク１３３１は光学部品支持部品１３３２〜１３３４の一部のみと接触して位置が固定されている。
【００１４】
図１２において、ワーク１３３１を洗浄・乾燥する際にはワークを固定するための光学部品支持部品１３３２〜１３３４の接触面積は可能な限り少ない方が良いとされている。
【００１５】
図１３〜図１５は、図１２の光学部品支持部品の例を説明するための図で、図１３は１本の光学部品支持部品の斜視図、図１４は図１３の光学部品支持部品を図１３の直線Ｙ１−Ｙ２で切った断面を斜めから見た図、図１５は図１３の光学部品支持部品がワークを保持している状態を説明するための図である。
【００１６】
図１３〜図１５で、符号１３４０は従来の光学部品支持部品、１３４１は光学部品支持部品１３４０を構成する支柱、１３４２は支柱１３４１の端部に設けられたネジ、１３４３は光学部品支持部品１３４０を構成する支持板、１３４１ａ，１３４１ｂは支柱１３４１の溝に入れた支持板１３４３をカシメによって固定しているカシメ部分、１３４４は支持板１３４３に形成されたＶ字溝である。
【００１７】
図１３および図１４に示した光学部品支持部品１３４０には支柱１３４１の先端部にネジ１３４２が設けられており、図示しないが、複数本の光学部品支持部品１３４０を支持部品取り付け枠に光学部品を保持するのに適当な間隔で固定できるように形成して洗浄・乾燥治具が構成されている。また、支持板１３４３はテフロン（米国デュポン社の商品名）のようなフッ素樹脂で形成されており、ある程度の弾力性を有しており、形状が図示の如くＶ字型の溝を有するノコギリの刃状に形成されている。
【００１８】
図１５で、ワーク１３３１は、水平方向に２つとそれに直交する方向の１つの計３つの方向から３つの光学部品支持部品１３４０の支持板１３４３のＶ字形の溝部分によって支えられている。
【００１９】
図１３〜図１５を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワーク１３３１を固定した場合、支持板１３４３のワークを支持する部分がＶ字型の溝形状に形成されているために、ワーク１３３１は３方の側面の上下の稜線部分だけが支持板１３４３のＶ字型の溝に支持される形で支持板１３４３との接触面積が比較的小さいように固定される。
【００２０】
しかし、図１３〜図１５を用いて説明したような光学部品支持部品１３４０の支持板１３４３は、フッ素樹脂で光学部品を支持していることなどから、一辺が１０ｍｍ以上のワークしか固定することが出来ず、これ以下の小さいワークに関しては別の方法で固定するしかなかった。
【００２１】
図１６および図１７は光学部品支持部品の図１３〜図１５を用いて説明した例とは別の例を説明する図で、図１６は１本の光学部品支持部品の斜視図、図１７は図１６の光学部品支持部品３本によってワークが固定されている状態を説明するための図である。
【００２２】
図１６および図１７で、符号１３５０は光学部品支持部品、１３５１は光学部品支持部品１３５０を構成する支柱、１３５３は支柱１３５１に設けられたワークを固定するためのＶ字形の溝である。
【００２３】
図１６で、支柱１３５１は円柱形であり、直径はφ６ｍｍ〜１０ｍｍである。また、溝１３５３は一定の間隔で支柱１３５１に設けられている。
【００２４】
図１７で、ワーク１３３１は支柱１３５１に形成された溝１３５３の部分にワーク１３３１の一部を入れることによって固定されている。この場合、図中のワーク１３３１の左右の辺は、中央より少し上の方を支持されている。
【００２５】
図１８は、ワーク１３３１が光学部品支持部品によって固定されているときのワークと支持部品の接触状態を説明するための図であり、図１６の矢印１３５４の方向から見た図である。
【００２６】
図１８でワーク１３３１は、支柱１３５１に形成された溝１３５３が作る斜面に接することによって固定されている。
【００２７】
図１６および図１７を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワークを固定した場合、支柱１３５１が円筒形に構成されているため、溝１３５３の部分も円筒形となっており、ワークとの接触面積は極めて少なくて済む。しかし、ワークの一辺が８ｍｍ以下である場合、図１８のように支柱１３５１がワークに非常に近い位置にある状態でワークを固定するため、洗浄する際にワークに支柱１３５１の影の部分になる部分が生じるため、超音波を効果的にワークに当てることが出来ず、洗浄自体がうまくいかないという欠点があった。
【００２８】
以上説明したように、ワークが小さい場合は光学部品支持部品によってワークを固定できなかったり、固定できた場合でもワークを効果的に洗浄することが出来ないという大きな問題があった。
【００２９】
そのため、通常、ワークを洗浄・乾燥する際には、ワークを洗浄治具に収納した後に、洗浄治具をクレードルなどに入れて洗浄・乾燥する方法が採られている。
【００３０】
図１９は、従来の洗浄・乾燥治具の斜視図である。
【００３１】
図１９で、符号１３５５は従来の洗浄・乾燥治具、１３５６はワークを入れるための光学部品挿入部である。光学部品挿入部１３５６は穴状になっており、穴の底部の周辺部はそこに挿入した光学部品を保持するための光学部品載置枠１３５６ａとその内側に洗浄液を通過させるための貫通孔１３５６ｂが設けられている。この貫通孔１３５６ｂの直径はワークより十分小さく、光学部品載置枠１３５６ａの中央部に設けられている。
【００３２】
図１９のような洗浄・乾燥治具を用いて洗浄・乾燥を行うときは、光学部品挿入部にワークを治具に入れて治具ごとクレードルなどに入れてホルダに載置する。
【００３３】
図２０は従来のスピン乾燥機を説明するための断面図である。
【００３４】
図２０において、符号１０１０はスピン乾燥機の回転体、１０１１は回転体１０１０を回転させるときの回転軸、１０１２ａ，１０１２ｂ，１０１３ａ，１０１３ｂは回転体１０１０と回転軸１０１１を連結・固定する固定ネジ、１０１４，１０１５は乾燥するワークを入れて保持する洗浄・乾燥治具、１０１６，１０１７はワークを載置し保持する洗浄・乾燥治具１０１４，１０１５を載置するクレードル、１０１８ａ，１０１９ａはクレードルの突起部を保持するホルダ、１０２０は回転体の上部枠、１０１８ｂ、１０１９ｂはホルダ１０１８ａ，１０１９ａに設けられたクレードル吊り下げ用の溝、１０１８，１０１９はクレードルの突起部でホルダ１０１８ａ，１０１９ａの溝１０１８ｂ、１０１９ｂに入れてホルダ１０１８ａ，１０１９ａにクレードル１０１６，１０１７を保持する連結ピン，１０２１〜１０２４は回転体１０１０の回転時にクレードルを支えるためにホルダ１０１８ａ，１０１９ａに取り付けられている支持棒、１３７０は回転板である。
【００３５】
図２０で、クレードル１０１６，１０１７は、洗浄・乾燥治具の上面部分１０１４ａ，１０１５ａが（洗浄・乾燥治具が平行平板のとき、前記クレードルの底面が）回転軸１０１１の回転中心となる中心軸線Ａ１−Ａ２に平行になるように、かつ、前記中心軸線Ａ１−Ａ２を中心に描いた仮想の円筒の洗浄・乾燥治具の上面部分１０１４ａ，１０１５ａの中央における外側面の接平面（図示せず）に平行になるように、さらに、回転体１０１０の中心軸線であるＡ１−Ａ２に対して対称に配置されており、洗浄・乾燥治具に載置した光学部品を洗浄後、回転軸１０１１を中心にして回転体全体を回転させることによって洗浄した光学部品に残った洗浄液を除去して光学部品を乾燥させるようになっている。
【００３６】
しかし、ワークがたとえば１．４ｍｍ角のような小型の光学部品の場合、図１９と図２０を用いて説明したような従来の乾燥方法では、ワークから完全に洗浄液の残りを除去することが出来ない上に、スピン乾燥機の回転を止めると、残った洗浄液はワークの他の面に回り込んで水分が再付着してしまったり流れ出してワークを濡らしてしまうことが多く、残った水分が多層膜フィルターなどのワークにシミなどを作ってしまうため、良好な洗浄・乾燥が出来なかった。
【００３７】
そのため、従来は残った水分を除去するために多層膜フィルターなどのワークをピンセットで注意深くつかみ、クリーニングペーパーで水分を拭き取る手作業を必要としていた。
【００３８】
図２１および図２２は従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液のふき取り方法について説明するための模式図である。
【００３９】
図２１および図２２において、符号４００はワーク、５０１は綿棒、５０２，５０３は綿棒５０１の端部、５０４は綿棒の動く方向を示す矢印、５１０はハンドラップ、５１１は有機溶剤、５１２はハンドラップの皿部、５１３はピンセット、５１４は管である。
【００４０】
図２１で、ハンドラップ５１０の内部には有機溶剤５１１が入っており、有機溶剤５１１は管５１４を毛管現象によって皿部５１２まで浸み届くため、綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３に適量の有機溶剤５１１を付けることが出来る。  
図２２で、ワーク４００をピンセット５１３によってつまみ、有機溶剤をしみこませた綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３を矢印５０４の方向へ動かしながら、ワーク４００の光学面４０１と４０２を拭いて清浄にすることが出来る。
【００４１】
また、綿棒５０１に有機溶剤を付けないでワーク４００をふき、水分をワーク４００から除去することも出来る。
【００４２】
図２１および図２２を用いて説明したような洗浄・乾燥方法は、図１１〜図２０を用いて説明したような方法では洗浄・乾燥出来ないものの洗浄・乾燥に用いられることが多い。しかし、このようなワークは一辺が８ｍｍ以下と非常に小さくピンセットで掴みながら水分をふき取ったりする作業は非常に困難な作業である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００４３】
以上説明したように、従来は水晶、イットリュウム、バナデート、方解石、バリウム等の小型の単結晶や多層膜フィルター、プリズム等の光学部品（ワーク）をピンセットでつかみクリーニングペーパーで汚れを拭き取ることによって清浄なフィルターなどを得ていた。しかし、清浄にするワークが非常に小さいため、ワークをピンセットでつかみクリーニングペーパーで汚れを拭き取る作業は、非常に熟練を要し、満足した品質特性を得るためには、数ヶ月の作業者トレーニングが必要であった。また、この拭き作業を収得しても作業効率が悪く、２０個／時間の多層膜フィルターしか清浄にすることが出来なかった。
【００４４】
また、従来の洗浄・乾燥治具を用いた洗浄・乾燥方法／装置では、洗浄する多層膜フィルターなどのワークに水分が残ってしまい、良好な洗浄を施された清浄な多層膜フィルターを得ることができず、結果として、残った水分を除去するために多層膜フィルターなどのワークをピンセットでつかみクリーニングペーパーで残留洗浄液により生じたシミや水分を拭き取る手作業を必要としていた。
【００４５】
そのため、従来のような、長時間の作業者トレーニングが不可欠な熟練を要する作業を必要とせず、かつ、作業効率が良く、一度に多数の光学部品を洗浄・乾燥することが出来て、モジュールの機能を満足に発揮できるような良好な状態の光学部品を得ることが出来る乾燥方法／装置の実現が強く望まれていた。
【００４６】
本発明はこのような点に鑑みて成されたものであり、本発明の目的は、長時間の作業者トレーニングが不可欠な熟練を要する作業を必要とせず、かつ、作業効率が良く、洗浄した多層膜フィルターなどの光学部品をモジュールなどに使用する際に、モジュールの機能を満足に発揮できるような良好な状態に洗浄・乾燥することが可能であり、一度に多数の光学部品の乾燥が可能であり、さらには、モジュールなどに使用する一辺が８ｍｍ以下のように小さな光学部品をも大量乾燥することを可能とする乾燥治具とそれを用いた乾燥方法／装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００４７】
本発明は前記の課題を解決せんとしてなされたものである。
【００４８】
以下、本発明の特徴を具体的に説明する。
【００４９】
本発明の請求項１に記載の光学部品の乾燥治具は、洗浄して乾燥前の小型の光学部品を保持してスピン乾燥装置の回転体に装着して前記回転体とともに回転させて前記光学部品や乾燥治具に付着した洗浄液を除去することができる光学部品の乾燥治具であり、前記乾燥治具が平板であり，前記平板の一方の側に光学部品を挿入することができる開口部を有する少なくとも一つの光学部品挿入部を有し、前記光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有し、前記底部の一部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する貫通孔が形成されており、前記光学部品挿入部の底部の全ての貫通孔の断面の形状が円形であり、ｍとｎを整数とするとき、前記光学部品挿入部が前記乾燥治具にｍ行ｎ列のマトリクス状に形成されていることを特徴とする光学部品の乾燥治具である。
【００５０】
本発明の請求項２に記載の光学部品の乾燥治具は、請求項１に記載の光学部品の乾燥治具において、前記乾燥治具が、ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂を用いて形成されていることを特徴とする光学部品の乾燥治具。
【００５１】
本発明の請求項３に記載の光学部品のスピン乾燥方法は、洗浄して乾燥前の小型の光学部品を平板状の乾燥治具に保持してスピン乾燥装置の回転体に装着して前記回転体とともに回転させて前記光学部品や乾燥治具に付着した洗浄液を除去するスピン乾燥工程を含む光学部品のスピン乾燥方法において、前記乾燥治具が平板の一方の側に光学部品を挿入することができる開口部を有する少なくとも一つの光学部品挿入部を有し、前記少なくとも一つの光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有し、前記底部の一部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する貫通孔が形成されており、前記光学部品挿入部の底部の全ての貫通孔の断面の形状が円形であり、ｍとｎを整数とするとき、前記光学部品挿入部が前記乾燥治具にｍ行ｎ列のマトリクス状に形成されており、前記スピン乾燥装置の回転体の回転時における前記回転体の回転の中心軸線をＺ軸と定義して、Ｚ軸の回転体の上方になる方向をＺ軸の正の方向と定義し、前記回転体に装着された前記乾燥治具の回転時に回転の内側になる平面（以下、乾燥治具の内側平面ともいう）の中心（以下、中心Ｏともいう）を通りＺ軸に平行でＺ軸と同じ方向に正の方向を有する座標軸をＺ’軸と定義し、Ｚ’軸に直交しＺ軸と前記中心Ｏを最短距離で結んで延長した直線をＹ軸と定義し、中心ＯからみてＹ軸のＺ軸から遠ざかる方向をＹ軸の正の方向と定義し、右手座標系でＹ軸とＺ’軸に直交し前記中心Ｏを通る座標軸をＸ軸と定義したとき、Ｚ’軸と前記乾燥治具の内側平面内のＺ’軸に平行な線分のなす角度をθｃとし、前記θｃの値はＸ軸の正の方向を手前にしてＸ軸のまわりに時計回りにＺ’軸から前記乾燥治具の内側平面まで測ったときの前記角度θｃの値をθｃの正の値とし、Ｘ軸と前記乾燥治具の内側平面内のＸ軸に平行な線分のなす角度をθｄとし、前記θｄの値はＺ’軸の正の方向を手前にしてＺ’軸のまわりに時計回りにＸ軸から前記光学部品の内側平面内のＸ軸に平行な線分まで測ったときの前記角度θｄの値をθｄの正の値としたとき、前記光学部品を保持した前記乾燥治具を前記回転体に装着するときに、前記θｃの値が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°または−９０°±５°のいずれかの値になる状態とθｄの値が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°または−９０°±５°のいずれかの値になる状態が両立しない装着状態に光学部品を保持した前記乾燥治具を前記回転体に装着してスピン乾燥を行うことを特徴とする光学部品のスピン乾燥方法である。
【００５２】
本発明の請求項４に記載の光学部品のスピン乾燥方法は、請求項３に記載の光学部品のスピン乾燥方法において、前記乾燥治具が、主としてポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂を用いて形成されていることを特徴とする光学部品のスピン乾燥方法である。
【００５３】
本発明の請求項５に記載の光学部品のスピン乾燥装置は、洗浄して乾燥前の小型の光学部品を平板状の乾燥治具に保持してスピン乾燥装置の回転体に装着して前記回転体とともに回転させて前記光学部品や乾燥治具に付着した洗浄液を除去することができるスピン乾燥装置において、前記乾燥治具が平板の一方の側に光学部品を挿入することができる開口部を有する少なくとも一つの光学部品挿入部を有し、前記開口部が円または楕円形であり，前記少なくとも一つの光学部品挿入部は光学部品載置部としての底部を有し、前記底部の一部には前記平板の前記開口部とは反対側まで貫通する貫通孔が形成されており、ｍとｎを整数とするとき、前記光学部品挿入部が前記乾燥治具にｍ行ｎ列のマトリクス状に形成されており、前記スピン乾燥装置の回転体の回転時における前記回転体の回転の中心軸線をＺ軸と定義して、Ｚ軸の回転体の上方になる方向をＺ軸の正の方向と定義し、前記回転体に装着された前記乾燥治具の回転時に回転の内側になる平面（以下、乾燥治具の内側平面ともいう）の中心（以下、中心Ｏともいう）を通りＺ軸に平行でＺ軸と同じ方向に正の方向を有する座標軸をＺ’軸と定義し、Ｚ’軸に直交しＺ軸と前記中心Ｏを最短距離で結んで延長した直線をＹ軸と定義し、中心ＯからみてＹ軸のＺ軸から遠ざかる方向をＹ軸の正の方向と定義し、右手座標系でＹ軸とＺ’軸に直交し前記中心Ｏを通る座標軸をＸ軸と定義したとき、Ｚ’軸と前記乾燥治具の内側平面内のＺ’軸に平行な線分のなす角度をθｇとし、前記θｇの値はＸ軸の正の方向を手前にしてＸ軸のまわりに時計回りにＺ’軸から前記乾燥治具の内側平面まで測ったときの前記角度θｇの値をθｇの正の値とし、Ｘ軸と前記乾燥治具の内側平面内のＸ軸に平行な線分のなす角度をθｈとし、前記θｈの値はＺ’軸の正の方向を手前にしてＺ’軸のまわりに時計回りにＸ軸から前記光学部品の内側平面内のＸ軸に平行な線分まで測ったときの前記角度θｈの値をθｈの正の値としたとき、前記回転体の光学部品装着部が、前記θｇの値が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°または−９０°±５°のいずれかの値になる状態とθｈの値が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°または−９０°±５°のいずれかの値になる状態が両立しない装着状態に前記光学部品を装着してスピン乾燥を行うことができるように構成されていることを特徴とするスピン乾燥装置である。
【００５４】
本発明の請求項６に記載の光学部品のスピン乾燥装置は、請求項５に記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品挿入部の底部の全ての貫通孔の断面の形状が円形であることを特徴とするスピン乾燥装置である。
【００５５】
本発明の請求項７に記載の光学部品のスピン乾燥装置は、請求項５または６に記載のスピン乾燥装置において、前記乾燥治具が、主としてポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂を用いて形成されていることを特徴とするスピン乾燥装置である。
【００５６】
本発明の請求項８に記載の光学部品のスピン乾燥装置は、請求項５〜７のいずれかに記載のスピン乾燥装置において、前記乾燥治具が洗浄治具としても使用可能な治具であることを特徴とするスピン乾燥装置である。
【００５７】
本発明の請求項９に記載の光学部品のスピン乾燥装置は、請求項５〜８のいずれかに記載のスピン乾燥装置において、前記光学部品が一辺が８ｍｍ以下の光学部品であることを特徴とするスピン乾燥装置。
【発明の効果】
【００５８】
本発明により、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を併用せずに、一度に大量に短時間で高い品質で乾燥することがすることができるようになった。
【００５９】
本発明によるスピン乾燥装置は、従来は全く不可能とされていた一辺が２ｍｍ以下の光学部品のスピン乾燥さえも量産レベルで実現させたものであり、一辺が８ｍｍ以下の光学部品の洗浄・乾燥工程において、従来は手拭き工程に頼っていた乾燥をスピン乾燥により量産レベルで行えるようにしたという大きな効果をもたらしたものである。
【００６０】
そして、本発明は、光学部品の洗浄と乾燥を、洗浄工程と乾燥工程において同一の治具を用いて保持し、一環した工程として行うことを可能にした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６１】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について説明する。なお、説明に用いる各図は本発明の例を理解できる程度に各構成成分の寸法、形状、配置関係などを概略的に示してある。そして本発明の説明の都合上、部分的に拡大率を変えて図示する場合もあり、本発明の例の説明に用いる図は、必ずしも実施例などの実物や記述と相似形でない場合もある。また、各図において、同様な構成成分については同一の番号を付けて示し、重複する説明を省略することもある。
【００６２】
図２３は、洗浄や乾燥工程において用いるクレードルについて説明する図である。図２３中の（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図で、点線８０１〜８０４でそれらの対応する位置関係を示してある。
【００６３】
図２３で、符号８００はクレードル、８１１〜８１４はクレードルの側壁、８２０と８２１は側壁８１２と８１３の下部につけられているピン、８３０はクレードル８００をもつときに用いる取っ手部分、８５２〜８５４はそれぞれ側壁８１１〜８１４の内側の下方（すなわち、クレードルの底部）に設けられた支柱、８５１は洗浄・乾燥治具を載置する載置部で支柱８５２〜８５４に固定されているである。クレードル８００は、たとえばステンレス鋼製のものを用いることができる。
【００６４】
図２３で、光学部品を保持した洗浄・乾燥治具をクレードル８００に入れて洗浄した光学部品のスピン乾燥を行う場合、洗浄・乾燥治具を載置部８５１の上に載置して、クレードルをスピン乾燥機に装着する。載置部８５１は、これに限定されないが、クレードルの下方、たとえばピン８２０，８２１の位置よりわずかに上に形成しておき、平行平板の洗浄・乾燥治具を用いる場合は、スピン乾燥機の回転体に装着した状態のクレードルの底面と載置部８５１と平行平板の洗浄・乾燥治具の表面と裏面がすべて平行になるように形成しておくと取扱上好都合である。
【００６５】
図１は本発明の光学部品のスピン乾燥方法に用いるスピン乾燥機を説明する斜視図である。
【００６６】
図１において、符号１は本発明のスピン乾燥機、２はスピン乾燥機１を構成し内部を保護するケースとしての外枠、３はスピン乾燥機１を構成する回転させることが出来る回転体、１０〜１３は回転体３の内部に設けられたクレードルを保持することが出来るホルダ、１０ａ，１０ｂはホルダ１０に設けられたクレードル設置用の溝、１２ａ，１２ｂはホルダ１２に設けられたクレードル設置用の溝、１５はホルダに保持する前記乾燥治具を入れたクレードルを保持するための支持棒である。符号１６は回転体３の回転する方向を示す矢印、２０は外枠２の蓋としてのカバー、２１ａ，２１ｂ，２１ｃはカバー２０に設けられたイオナイザ、２２はカバー２０の中央部に設けられたフィルタ、２３はカバー２０のフィルタ２２の付近に設けられた穴部、２５は温度センサーである。図示していないが、図１の穴部２３のフィルタ２２の裏側には、ワーク乾燥を確実にすることを助ける熱風を送風する送風機が接続されており、フィルタ２２を通って、たとえば８０度Ｃの熱風（従来は熱風を用いていなかった）がワークの取り付けられている回転体３の内側に向けて送られるようになっている。
【００６７】
図１で、スピン乾燥機１は、ホルダ１０〜１３を回転板と上板の間にネジなどによって固定してある回転体３と、回転体３を内部に入れることが出来る外枠２、および外枠２の蓋としてのカバー２０によって構成されている。また、ホルダ１０には前記乾燥治具を入れたクレードルのピンと契合するように作られている溝１０ａおよび１０ｂが設けられており、かつ、ホルダ１０の内側に溝１０ａおよび１０ｂよりも下部にクレードルを止めて保持するための支持棒が設けられている。ホルダ１０〜１３は全く同一の構造となっている。回転体３は図の矢印１６の方向に回転できるように構成されている。ホルダ１０〜１３も回転体３に固定して設けられており、回転体３と同方向に回転させることが出来る。
【００６８】
また、カバー２０は外枠２と連結されており、カバー２０を閉めたときにスピン乾燥機１の内側になる部分にイオナイザー２１ａ，２１ｂ，２１ｃが設けられていて、スピン乾燥機内にイオンを発生させることができるようになっており、カバー２０の中央部には、カバー２０からスピン乾燥機の内部に熱風を送ることができるように、フィルタ２２および穴部２３が設けられている。
【００６９】
イオナイザー２１ａ，２１ｂ，２１ｃの発生するイオンは、ワークが回転中に空気との摩擦による静電気を防止する効果を有する。
【００７０】
クレードルには、洗浄・乾燥治具が、クレードルの前記裏面と洗浄・乾燥治具のクレードルの底部に面する面（以下、洗浄・乾燥治具の裏面ともいう）が平行になるように入れられている。１つのクレードルには１個の洗浄・乾燥治具が平面的に配置されて収納されている。
【００７１】
図１を用いて説明したようなスピン乾燥機を用いてスピン乾燥を行う場合、まず、カバー２０を開けて、図１のように、中の回転体３が見える状態にしてから、ワークを入れた洗浄・乾燥治具を入れたクレードルの取っ手部分をもって、たとえばホルダ１０の場合、溝１０ａおよび溝１０ｂにピンを挿入して支持棒１５によって位置決めしてクレドールを配置し、ホルダ１１〜１３に関しても同様の操作をしてホルダ１０〜１３にワークを入れた乾燥治具を入れたクレードルを配置していく。このようにして、必要な全てのクレードルの配置が完了したらカバー２０を所定の手順で閉じて外枠２に係合させる。この後に、回転機構を作動させて回転体３ごとクレードルを回転させて乾燥を行う。
【００７２】
このとき、前記回転体の光学部品装着部が、前記θｇ（θｃ）の値が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°または−９０°±５°のいずれかの値になる状態とθｈ（θｄ）の値が０°±５°または９０°±５°または１８０°±５°または−９０°±５°のいずれかの値になる状態が両立しない装着状態に前記光学部品を装着してスピン乾燥を行う。
【００７３】
図１を用いて説明したようなスピン乾燥機を用いたスピン乾燥を行った場合、各クレードルは回転中心軸からある程度離れた状態で回転が行われ円運動することにより、内部のワークは遠心力を受けることとなる。この際に、たとえばホルダ１０に固定されたクレードル内の洗浄・乾燥治具は、回転中心軸を中心とする円筒とクレードル内の洗浄・乾燥治具の位置での接平面と所定の角度をなした状態で円運動を行うため、内部のワークも回転中心軸を中心とする円筒とワークの接平面が所定の角度をなして回転する。
【００７４】
ワークとしての光学部品は、多くの場合、いくつかの平面部分を有するように形成されている。また、洗浄・乾燥治具の光学部品挿入部およびその近傍には、平面となっている部分が形成されていることが多い。
【００７５】
前記所定の角度が０°の場合、スピン乾燥機の回転体３に、ワークを保持した洗浄・乾燥治具を入れたクレードルをホルダに取り付けて回転体３を回転させてワークのスピン乾燥を行う際に、回転運動に対してきわめて安定であると考えられていた。洗浄・乾燥治具に挿入する小型の光学部品は、その光学的に重要な平面を損傷させないように、平面部分が洗浄・乾燥治具の裏面や表面に平行に配置される場合が多い。したがって、多くの場合、回転体３の回転によって生じる遠心力に直交するワークの平面が存在する。また、遠心力の方向に直交する洗浄・乾燥治具の平面部分が存在する。所定の角度を従来のように０°にしたスピン乾燥において、ワークやその周辺の洗浄・乾燥治具の、前記遠心力の方向に直交する平面に洗浄液の残りが付着したまま、遠心力によって飛ばされて除去されることなく残ってしまい、前記のようなシミなどの原因となってしまう。
【００７６】
ここで、図１のスピン乾燥機に取り付けた８０℃の熱風を乾燥機中に送る効果について説明する。
【００７７】
本発明のスピン乾燥機の回転体３に前記図１を用いて説明したようにワークを装着してスピン乾燥を行うと、回転体３の回転による遠心力の効果で、ワークおよびそれを保持している洗浄・乾燥治具から洗浄液が確実に除去されるが、熱風の効果により熱的な乾燥も行われ、スピン乾燥を一層短時間で行うことができる。
【００７８】
本発明のスピン乾燥装置ならびにスピン乾燥方法は、被乾燥物としての光学部品やそれを洗浄や乾燥のために収納している洗浄・乾燥治具のスピン乾燥機の前記回転体への取り付け方とそれを回転させることによる遠心力の方向の関係ならびに洗浄・乾燥治具の構造を適切に選ぶことあるいは形成することによって、従来はスピン乾燥で洗浄液を十分に除去できなかった前記光学部品の洗浄液を、極めて正確に除去することができるものである。
【００７９】
光学部品を洗浄し、乾燥する場合、洗浄・乾燥品質をよくするとともに、製造コストを低減するなどのために、洗浄するときに光学部品を保持する保持具を乾燥するときにそのまま使用することができることが好ましい。
【００８０】
本発明において、被乾燥物としての光学部品を保持する保持具を洗浄・乾燥治具と呼称することが多いのは、同一の保持具を洗浄に用いることができるとともに、洗浄後、その保持具に入れたままで当該光学部品の乾燥を行うことができることによるものである。
【００８１】
以上、本発明のスピン乾燥機を中心に洗浄した光学部品の乾燥方法と乾燥装置について説明したが、本発明の光学部品の乾燥方法と乾燥機の乾燥の効果を高めるには、その乾燥に用いる光学部品保持具すなわち洗浄・乾燥治具が重要になる。
【００８２】
以下、本発明に用いる乾燥治具について、図を用いて説明する。
【００８３】
本発明に用いる乾燥治具の光学部品挿入部は、後述のように、被乾燥物であるワークの当該寸法よりも大きく形成されており、ワーク載置部に設けられている貫通孔は、ワークを載置してスピン乾燥を行っているときに、洗浄液の除去に必要な全ての貫通孔がワークによって塞がれてしまわないような形状・寸法の配置になっている。このことによって、スピン乾燥時にワークと治具に付着していた水分など洗浄液が貫通孔を通って治具の外部へ逃げることができる。  
スピン乾燥機の回転体を回転させない状態では、ワークが自重で光学部品挿入部の底部に沿って、光学部品挿入部の底部下方にあり、スピン乾燥機の回転体を回転させた状態では、ワークが遠心力の作用で、光学部品挿入部の底部に沿って、上方に移動する。ワークおよび乾燥治具に付着している洗浄液は、遠心力の方向に移動され、貫通孔を通ってワークおよび乾燥治具から除去される。光学部品挿入部に穴のついた蓋を設けた場合、蓋に付着した洗浄液の一部は、穴を通り、光学部品挿入部内に入り、ワークに付着した洗浄液とともに、貫通孔を通って除去される。回転体を回転させた状態で、光学部品挿入部内の洗浄液は、遠心力の作用で光学部品挿入部の底面の上部にたまりやすい。このとき、ワークの外形より光学部品挿入部の内径を適宜大きくしておけば、光学部品挿入部の底面の上部にある貫通孔がそこに移動してきたワークによって全部塞がれてしまうことはなく、そこに集まった洗浄液は容易に貫通孔から除去される。
【００８４】
図２〜図７は本発明を適用して洗浄・乾燥を行うことができる光学部品の例を示す斜視図である。図２の符号１５０と図４の符号１５２は、多層膜フィルタ、ガーネットなどの平板型の小型の光通信用部品、図３の符号１５１はプリズム、図５の符号１５３は半球形のレンズ、図６の符号１５４はルチル、図７の符号１５５はセルフォックレンズである。近年の技術の進歩に伴い、これらの光学部品の中には、従来よりも大幅に小型化することとコストダウンすることが要求されている。本発明の乾燥治具にこれらの光学部品を入れて、量産に適した方法で、一度に大量に、確実に乾燥することができる。
【００８５】
図８〜図１０は本発明の実施の形態例における洗浄・乾燥治具の例を説明する図で、図８は本発明の実施の形態例としての洗浄・乾燥治具の平面図、図９は光学部品挿入部の平面図、図１０は図９の直線Ｘ９−Ｘ１０の位置で切った光学部品挿入部の断面図である。
【００８６】
図８〜図１０で、符号１７０は本発明の洗浄・乾燥治具、１７１は洗浄・乾燥治具１７０を構成する基板で、ワークを挿入して保持できる光学部品挿入部を有する平板状の基板、１７８は基板１７１の裏面、１７２は乾燥するワークを入れるための入り口が円形の光学部品挿入部、１７２ａは光学部品挿入部１７２の開口部に形成されたテーパ部、１７６は光学部品挿入部１７２の内壁、１７３は光学部品挿入部１７２の底部、１７７は内壁１７６と底部１７３の境界線、１７４，１７４ａ，１７４ｂ，１７４ｃは底部１７３に形成された貫通孔で基板１７１の裏面まで貫通して形成されている。符号１７５ａ，１７５ｂ，１７５ｃ，１７５ｄ，１７５ｅは基板１７１の四隅と中央に設けられた穴で、基板１７１の裏面まで貫通して形成されており、基板１７１の光学部品挿入部１７２に光学部品を挿入して後基板１７１に蓋（図示せず）を取り付けるときに固定用のピンを差し込むのに用いることができる。
【００８７】
貫通孔１７４は貫通孔１７４ａ，１７４ｂ，１７４ｃを総称してあるいはそれぞれ代表して表した呼称で、各貫通孔１７４ａは底部１７３の周辺部に形成されており、各貫通孔１７４ｂは底部１７３の中心と境界線１７７の中間に形成されており、貫通孔１７４ｃは底部１７３の中心に形成されている。各貫通孔１７４ａと各貫通孔１７４ｂはそれぞれ図９のように同心円上に形成されている。そして、貫通孔１７４ａ，１７４ｂ，１７４ｃは、全て、断面が円形で、底部１７３から基板１７１の裏面１７８までおおぬね同じ断面形状で貫通して形成されている。
【００８８】
洗浄・乾燥治具１７０の一つの好適な寸法例をあげると図８に図示の状態で、基板１７１の外形の一辺が１１０ｍｍの四隅に図示のように面取り部を設けたものになっており、光学部品挿入部１７２の内壁１７６の内径が９．０ｍｍであり、基板１７１の厚みが８．３ｍｍ、貫通孔１７４ａは底部１７６の中心を円の中心とする円周上に貫通孔の中心が位置する直径１ｍｍの円形断面を有する貫通孔を等間隔に１２個形成されており、貫通孔１７４ｂは底部１７６の中心を円の中心とする円周上に貫通孔の中心が位置する直径１ｍｍの円形断面を有する貫通孔を等間隔に８個形成されており、貫通孔１７４ｃは底部１７３の中心を中心とする直径１ｍｍの円形断面を有する貫通孔として形成されており、貫通孔１７４ａ、１７４ｂ、１７４ｃはほぼ同じ断面形状で基板１７１の裏面まで貫通して形成されている。底部１７３の内壁１７６の位置での厚みは１ｍｍである。
【００８９】
図８〜図１０に示した本発明の洗浄・乾燥治具１７０の光学部品挿入部１７２に光学部品を挿入して後基板１７１に蓋（図示せず）を取り付けて、洗浄・乾燥治具１７０をクレードルに入れて、図１を用いて説明した本発明のスピン乾燥機の回転体に載置し、光学部品のスピン乾燥を行ったところ、極めて良好な乾燥を行うことができた。
【００９０】
ワークとして、一辺が１ｍｍの正方形の上下面で、厚みが０．５ｍｍの光学部品１００個を、１０×１０個の光学部品挿入部がマトリクス状に配置された本発明の洗浄・乾燥治具に入れ、４個の前記洗浄・乾燥治具を図１を用いて説明したスピン乾燥機の回転体に装着して、光学部品４００個の洗浄をし、洗浄後の乾燥を行ったところ光学面に全くシミを生じない良好な乾燥を行うことが出来た。
【００９１】
このように、本発明のスピン乾燥方法／スピン乾燥装置は、一度に多数の小型光学部品の洗浄・乾燥を行うことができる
図８〜図１０を用いて説明した洗浄・乾燥治具は、樹脂を用いて一体成形すると安価に製造することができ、超音波洗浄を含む洗浄にも用いることができ、洗浄と乾燥を同じ治具で行うことができる。繰り返し使用することができるので、量産にも使用することができる。なかでも、ポリエーテル・エーテル・ケトン樹脂（ＰＥＥＫ材）を使用することが特に好ましく、使用中の有害なゴミの発生もなく、洗浄・乾燥品質上からも、繰り返し使用する観点からも特に好ましい。
【００９２】
以上、図面を参照しながら本発明の実施の形態例を説明したが、本発明はこれに狭く限定されるものではなく、多くのバリエーションを可能とするものである。
【産業上の利用可能性】
【００９３】
以上説明したように、本発明により、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を併用せずに、一度に大量に短時間で高い品質で乾燥することがすることができるようになった。そして、本発明は、光学部品の洗浄と乾燥を、洗浄と乾燥で同一の治具で保持し、一環工程として行うことを可能にした。
【００９４】
このことにより、本発明は光通信用の光学部品はもとより、近年小型化が進められているカメラや携帯電話などの部品の洗浄・乾燥にも大きな貢献をすることができ、工業上広く用いることができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明のスピン乾燥方法に用いるスピン乾燥機の要部をモデル的に示した斜視図である。
【図２】本発明を適用して洗浄・乾燥を行うことができる光学部品の例を示す斜視図である。
【図３】本発明を適用して洗浄・乾燥を行うことができる光学部品の例を示す斜視図である。
【図４】本発明を適用して洗浄・乾燥を行うことができる光学部品の例を示す斜視図である。
【図５】本発明を適用して洗浄・乾燥を行うことができる光学部品の例を示す斜視図である。
【図６】本発明を適用して洗浄・乾燥を行うことができる光学部品の例を示す斜視図である。
【図７】本発明を適用して洗浄・乾燥を行うことができる光学部品の例を示す斜視図である。
【図８】本発明の実施の形態例としての洗浄・乾燥治具の平面図である。
【図９】図８の洗浄・乾燥治具の光学部品挿入部の平面図である。
【図１０】図９の直線Ｘ９−Ｘ１０の位置で切った光学部品挿入部の断面図である。
【図１１】従来のスピン乾燥機の要部をモデル的に示した斜視図である。
【図１２】ワークの３点支持による保持方法について説明する図である。
【図１３】光学部品支持部品の例を説明するための図で、光学部品支持部品１本の斜視図である。
【図１４】図１３の光学部品支持部品を直線Ｙ１−Ｙ２の位置で切った断面を斜めから見た図である。
【図１５】図１３の光学部品支持部品３本でワークを保持している状態を説明するための図である。
【図１６】光学部品支持部品の例を説明するための図で、光学部品支持部品一本の斜視図である。
【図１７】図１６の光学部品支持部品３本でワークを保持している状態を説明する図である。
【図１８】ワークと支持部品の接触状態を説明するための図である。
【図１９】従来の洗浄・乾燥治具の斜視図である。
【図２０】従来のスピン乾燥機を説明するための断面図である。
【図２１】従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する模式図である。
【図２２】従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する模式図である。
【図２３】クレードルについて説明する図である。図中、（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図である。
【符号の説明】
【００９６】
１，１３０１：スピン乾燥機
３，１０１０，１３０３：回転体
１３７０：回転板
８００，１０１６，１０１７：クレードル
８３０：取っ手部分
１７０，１０１４，１０１５，１３５５：洗浄・乾燥治具
１０〜１３，１０１８ａ，１０１９ａ，１３１０〜１３１３：ホルダ
１０ａ，１０ｂ，１２ａ，１２ｂ，１０１８ｂ，１０１９ｂ：溝
１５，１０２１〜１０２４，１３１５：支持棒
１６，５０４，１３１６：矢印
２０：スピン乾燥機のカバー
２１ａ，２１ｂ，２１ｃ：イオナイザ
２２：フィルタ  
２３：穴部
１７１：基板
１７２，１３５６：光学部品挿入部
１７２ａ：テーパ形成部
１７４，１７４ａ，１７４ｂ，１７４ｃ，１３５６ｂ：貫通孔
１７３：底部
１７６：内壁
１７７：内壁と底部の境界線
１７８：洗浄・乾燥治具の基板の裏面
４００，１３３１：ワーク（光学部品）
１７５ａ，１７５ｂ，１７５ｃ，１７５ｄ，１７５ｅ：基板に設けられた穴
５０１：綿棒
５０２，５０３：端部
５１０：ハンドラップ
５１１：有機溶剤
５１２：皿部
５１３：ピンセット
５１４：管
１０１１：回転軸
１０１２ａ，１０１２ｂ，１０１３ａ，１０１３ｂ：固定ネジ
１０２０：上部枠
１０１８，１０１９：連結ピン
１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃ：側壁
１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂ：クレードル設置用溝
１３３２〜１３３４，１３４０，１３５０：光学部品支持部品
１３５６ａ：光学部品載置枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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