(57)【要約】【課題】  半導体製造設備の配管設備において配管ライン上に設置される部品数が画期的に低減されるとともに配管と分岐管と，又は配管とマニュアルバルブとの間の接続点が低減されるＴＳバルブを提供する。【解決手段】  本実施形態にかかるＴＳバルブは，配管ラインから化学薬品溶液が流入される引入口，１つの引入口と２つの排出口とを有し，第１排出口が引入口と水平に形成された第１排出口と第２排出口がマニュアルバルブ部の引入口として作用するＴ字形分岐管，及び分岐管の排出口のうち１つの排出口がマニュアルバルブ部の引入口に連通され，引入口から流入される溶液の流れを遮断又は開放可能なので第２排出口に排出可能なマニュアルバルブ部で形成されていることを特徴とする。  【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
配管ラインに設置されて流路を形成し，前記流路を分岐し，前記前記分岐された流路のうち１つの流路を遮断又は開放可能な樹脂製配管ライン用ＴＳバルブにおいて，
前記配管ラインから化学薬品溶液が流入される引入口と，
１つの引入口と２つの排出口を備え，第１排出口が前記引入口と水平に形成され，第２排出口がマニュアルバルブ部の引入口として作用するＴ字形分岐管と，
前記分岐管の排出口のうち１つの排出口が，前記マニュアルバルブ部の前記引入口に連通され，前記引入口から流入される前記溶液の流れを遮断又は開放することによって，第２排出口に排出可能なマニュアルバルブ部と，を備える，
ことを特徴とする樹脂製配管ライン用ＴＳバルブ。  
【請求項２】
前記引入口と，第１及び第２排出口との各々樹脂製配管を接続可能な接続管取り付け構造を有している，ことを特徴とする請求項１に記載の樹脂製配管ライン用ＴＳバルブ。  
【請求項３】
前記接続管取り付け構造は，各々，前記ＴＳバルブ本体形成されたコネクタと，樹脂製配管と，ナットとを有していることにより，前記樹脂製配管を前記ＴＳバルブ本体に気密で堅固に接続可能である，
ことを特徴とする請求項２に記載の樹脂製配管ライン用ＴＳバルブ。  
【請求項４】
前記樹脂製配管接続管は，前記コネクタ円周の周りに脱着可能な第１補助リングと，前記ナット円周の周りに脱着可能な第２補助リングとを有しており，前記配管接続管の接続状態を視覚的に監視可能である，
ことを特徴とする請求項３に記載の樹脂製配管ライン用ＴＳバルブ。  
【請求項５】
前記第１補助リング及び前記第２補助リングは，
各々，円周の頂点部に有色表示された矢印表示部を有しており，前記矢印表示部は，配管の最適の状態で接続された後，互いに一直線に配置されるように装着されている，
ことを特徴とする請求項３に記載の樹脂製配管ライン用ＴＳバルブ。  
【請求項６】
配管ラインに設置されて流路を形成し，前記流路を分岐し，前記分岐された流路のうち１つの流路を遮断又は開放可能な樹脂製配管ライン用ＴＳバルブにおいて，
下部に１つの引入口と２つの排出口を有するＴ字形分岐管と，
前記分岐管の排出口のうち１つの排出口がマニュアルバルブ部の引入口に連通され，前記引入口から流入される前記溶液の流れを遮断又は開放可能なので，第２排出口へ排出可能なマニュアルバルブ部を備えており，
前記マニュアルバルブ部がハンドル部と，バルブ本体部と，バルブの排出口と，バルブ内に形成されたダイアフラムとで構成されることにより，バルブを介して排出される流路を遮断可能である，
ことを特徴とする樹脂製配管ライン用ＴＳバルブ。  
【請求項７】
配管ラインに設置されて流路を形成し，前記流路を分岐して，前記分岐された流路のうち１つの流路を遮断又は開放可能な樹脂製配管ライン用ＴＳバルブにおいて，
外部から化学薬品溶液が流入される引入口と，
前記引入口から流入された化学薬品溶液が遮断されることなく，直接排出される第１排出口と，
前記引入口から流入された化学薬品溶液の流れを遮断可能に設置された第２排出口と，
前記第２排出口を介して流れる流路が溶液の流れを遮断又は開放するためのダイアフラムと，
前記ダイアフラムに軸で連結され，回転によってダイアフラムの動作を制御して溶液の流れを遮断又は開放可能なように連結されたハンドルと，を備える，
ことを特徴とする樹脂製配管ライン用ＴＳバルブ。  
【請求項８】
配管ラインに設置されて流路を形成し，前記流路を分岐して，前記分岐された流路のうち１つの流路を遮断又は開放可能な樹脂製配管ライン用ＴＳバルブにおいて，
１つの引入口と２つの排出口とを有するＴ字形分岐管と，
１つの引入口と１つの排出口を有し，その引入口から流入される化学薬品溶液の流れを遮断又は開放可能なマニュアルバルブ部が，垂直一体化されている，
ことを特徴とする樹脂製配管ライン用ＴＳバルブ。  
【請求項９】
前記Ｔ字形分岐管の２つの排出口のうち垂直の排出口がマニュアルバルブ部の下部流入部として作用するように構成されている，ことを特徴とする樹脂製配管ライン用ＴＳバルブ。
【請求項１０】
バルブハンドル，上部本体部，ダイアフラム，下部本体部を備えている樹脂製マニュアルバルブにおいて，
前記ダイアフラムは，  
上部本体部を貫通するバルブハンドル部に結合される軸と結合されるための凸ネジ部と，
前記凸ネジ部の下部に一体に形成された棒形状の中央バルブホール閉鎖部と，
前記中央バルブホール閉鎖部の下端部から延長される薄膜部と，
前記薄膜部から延長される第１密閉突出部と，
前記中央バルブホール閉鎖部が，下部低面が前記下部本体部中央に形成された中央バルブホールを開閉するための第２密閉部とを備え，
前記下部本体部は，
前記第１密閉突出部と締結される締結溝部と，
流体流入口から延長され，前記下部本体部の中央に垂直に形成されている中央バルブホールと，
前記中央バルブホールの末端部に形成された第２密閉部とを備えている，
ことを特徴とする樹脂製マニュアルバルブ。
【請求項１１】
半導体設備などの配管設備に使用される接続管取り付け構造において，    
内部に化学薬品などが通過されるシリンダ形状の樹脂製配管と，  
ナットと締結されるネジ山が形成された凸ネジ部と，前記凸ネジ部が延長されて形成された突出部と，この突出部の下部に略コの字形空間を形成するように延長され，前記  樹脂製配管を受容可能な内部結合部を備えているコネクタと，  
前記凸ネジ部の対抗して締結されるように内側に形成された凹ネジ部と，前記凹ネジ部の末端部から前記コネクタの前記突出部を受容可能なように略コの字空間を形成して延長されて形成された楔型突出部を内側に形成して，前記コネクタに結合される場合，前記樹脂製配管の外表面を加圧して維持するナットと，から構成されている，
ことを特徴とする接続管取り付け構造。  
【請求項１２】
接続管取り付け構造の接続状態を視覚的に監視又は観察可能なように前記コネクタに脱着可能な第１補助リングと，前記ナットの外表面に脱着可能な第２補助リングとをさらに備える，ことを特徴とする接続管取り付け構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，ＴＳバルブ（Ｔｅｅ  Ｓｈｕｔ−ｏｆｆ  Ｍａｎｕａｌ  Ｏｐｅｒａｔｅｄ  Ｖａｌｖｅ：以下，ＴＳバルブと称す），ＴＳバルブを構成している樹脂製マニュアルバルブ本体，ダイアフラムの構造，樹脂製接続管取り付け構造に関し，さらに詳細には，半導体製造設備配管ライン，食品製造設備配管ライン，又は化学薬品製造設備配管ラインなどで幅広く使用されている弗素樹脂などで形成されているＴ字形分岐管と，マニュアルバルブを一体に統合された形態のＴＳバルブ，樹脂製マニュアルバルブ本体及びダイアフラムの構造と，樹脂製接続管取り付け構造に関する。  
【背景技術】
【０００２】
現在，半導体製造設備配管ライン，食品製造設備配管ライン，又は化学薬品製造設備配管ラインでは，化学薬品を製造設備に供給するための配管としては耐熱性，耐薬品性，成形性が優れており，低い収縮性を有する不飽和ポリエステル組成物，いわゆる弗素系樹脂製で形成されている配管が幅広く使用されている。このような配管ラインは必要に応じて分岐点で分岐され，多数の製造設備に気密に接続されている。ここで，接続点で分岐管として一般的に弗素樹脂製のＴ字形分岐管とマニュアルバルブ等が幅広く使用されている。
【０００３】
図１は，現在幅広く使用されている半導体製造設備の配管ラインを概略的に示す概念図である。
【０００４】
図１において，複数の化学薬品溶液貯蔵タンク（図示せず）から様々な種類の化学薬品溶液を複数の半導体製造装置５に連続又は断続的に提供するためには，複数の化学薬品溶液貯蔵タンクから各々のメイン供給配管（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｍａｉｎ  ｓｕｐｐｌｙｉｎｇ  ｐｉｐｅ：９）及びサブメイン供給配管（ｃｈｅｍｉｃａｌ  ｓｕｂ−ｍａｉｎ  ｓｕｐｐｌｙｉｎｇ  ｐｉｐｅ：８）が互いに交差しないように設置される。メイン供給配管９及びサブメイン供給配管８の分岐点では，図２ａに示したようなＴ字形分岐管１が設置され，化学薬品の断続が必要な位置にはマニュアルバルブ２が設置されている。このようなＴ字形分岐管１及びマニュアルバルブ２などは，一般的にバルブ又は接続管取り付けでの漏洩を感知する目的で，センサ等が設置されたボックス内に内装されている。
【０００５】
図２ａは，一般的なＴ字形分岐管の詳細な構造を示した斜視図である。図２ｂは，図２ａに示したＴ字形分岐管の各端部に形成された接続管取り付けの構造の１つの例を示した断面図である。図２ｃは，２ａに示したＴ字形分岐管の各端部に形成された接続管取り付け構造の他の例を示した断面図である。図２ｄは，従来のマニュアルバルブの詳細な構造を示した斜視図である。図２ｅは，図２ｄに示した従来のマニュアルバルブの構造を示した例を示した断面図である。図２ｆは，図２ｄに示した従来のマニュアルバルブの構造を示した他の例を示した断面図である。図３ａは，図２ａ及び図２ｄに示したＴ字形取り付け構造とマニュアルバルブを１つのボックス内に統合させるため結合された形態を示した斜視図である。
【０００６】
図２ａに示すＴ字形分岐管１は，弗素樹脂製で形成されており，メイン供給配管９から２つのサブメイン供給配管８に化学薬品の溶液を分岐させる。
【０００７】
以下，図２ｂ及び図２ｃを参照して，メイン供給配管９とＴ字形分岐管１又はＴ字形分岐管１とサブメイン供給配管との間の接続管取り付け構造（ｐｉｐｅ  ｆｉｔｔｉｎｇ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）について簡単に説明する。ここで，接続管取り付け構造は，図２ｅで後述するマニュアルバルブの引入口又は排出口にも形成されている。
【０００８】
図２ｂは，日本国のクラボ産業株式会社で市販されている接続管取り付け構造の１つの例を示した図面であり，このような接続管取り付け構造は，気密性を向上させることにその焦点が合わせている。
【０００９】
図２ｃは，日本国のピラ株式会社で市販され，韓国特許公報第２００２−９２１７２号（特許文献１）に開示されたような構造である。上記公報に開示された接続管取り付け構造は，過締結を防ぐためにその焦点が合わせている。
【００１０】
しかしながら，上記図２ｂに示す気密性を向上させるための接続管取り付け構造や図２ｃに示す過締結を防止する技術は，一般的に締結専用器具を使用して接続管チューブを締結しているため，チューブ等を挿入する作業が非常に困難である。また，専用器具がない場合には，作業が不可能である場合も生じる。さらに，専用器具を必ず提供しなければならないので，製造単価が高くなる，という問題もある。
【００１１】
さらに，このような接続管取り付け構造は，配管ラインでの漏洩が感知された場合に，一般的に半透明な状態であるので接続管が緩むことを綿密にチェックしなければならない。さらに，漏洩テスターを使用して，全体配管設備を１つずつ点検しなければ，漏洩位置を認識することができない。このような理由により，配管の維持補修に相当な費用が要することになる。
【００１２】
したがって，本分野では，配管設備の接続締結管の締結状態が緩むこと等を視覚的に観測可能なようにすることがもっとも重要なことになっている。
【００１３】
一方，図２ｄに示したマニュアルバルブ２は，弗素樹脂製で形成されており，メイン供給配管又はサブメイン供給配管９との間に設置されて，必要に応じて配管内を流れる化学薬品溶液を断続する。
【００１４】
以下，図２ｅ及び図２ｆを参照して，従来のマニュアルバルブの構造及びダイアフラムの構造に対して簡単に説明する。
【００１５】
図２ｄ〜図２ｆにおいて，従来のマニュアルバルブ１００は，バルブハンドル部２０，上部本体部１０，ダイアフラム３０，下部本体部５０などで構成されている。一般的にマニュアルバルブのバルブハンドル部２０は，上部本体部１０を貫通する軸によってダイアフラム３０に連結されている。
【００１６】
バルブハンドル部２０の回転によってダイアフラム３０の開閉動作させるダイアフラム３０は，流体の流量を制御可能なように円板形状を有している。上部本体部１０は，ダイアフラム３０と一緒に下部本体部５０にネジ等を利用して気密結合される。
【００１７】
このようなマニュアルバルブの気密度は，通常ダイアフラム３０と下部本体部５０との結合構造によって異なるようになる。
【００１８】
図２ｅに示した従来のマニュアルバルブにおいて，マニュアルバルブの流量を開閉又は制御するためのダイアフラム３０は，中央突出部３２と，中央バルブホール閉鎖部３７と，薄膜部３５と，第１密閉突出部３３と，第２密閉部３９で構成されている。中央突出部３２内側には，バルブハンドル部２０に連結された軸１１の下部に形成されたネジ部１５に締結するため対応するネジ部３１が形成される。中央バルブホール閉鎖部３７は，中央突出部３２から下部の直径が徐々に大きくなるように延長されて形成され，かつ下部本体部５０の中間バルブホール５０の直径より大きく形成され，傾斜された気密部３９を有する。
【００１９】
薄膜部３５は，中央突出部３２と中央バルブホール閉鎖部３７の中間境界から延長され形成された柔軟性を有する薄膜からなる。薄膜部の外側周辺部には，下部本体部５０の締結部５３に締結されるための第１密閉突出部３３が形成されている。第１密閉突出部３３は，階段形状の突起部で形成されている。これは，下部本体部５０の締結溝部５３に気密に締結されて配管内を流れる流体がバルブ外部に漏洩させないための構造となっている。
【００２０】
したがって，流体の引入口５１に流入された流体は，ダイアフラム３０の中央バルブホール閉鎖部３７が中間バルブホール５５を遮断することによって，流体の流れが遮断される。ハンドルの回転によってダイアフラム３０の中央突出部３２及び中央バルブホール閉鎖部が上昇することにより，バルブが開放されると，流体は矢印の方向に流れて排出口５９の方に流れる。
【００２１】
図２ｆは，他の形態の従来のマニュアルバルブを示した分解断面である。ここで，説明を簡略化するために，図２ｅに示す従来のマニュアルバルブの構成要素の参照符号と図２ｆに示す他の形態のマニュアルバルブの対応する構成要素の参照符号と同一として，その説明を省略する。
【００２２】
図２ｆに示すマニュアルバルブを図２ｅに示すマニュアルバルブと比較すると，従来のマニュアルバルブの構成要素は，略同一である。したがって，以下の説明においては，バルブの全体的な構造に対しては説明を省略し，図２ｅと図２ｆに示しすマニュアルバルブの間の相違点のみ簡略に説明する。
【００２３】
図２ｅに示すマニュアルバルブと比較すると，図２ｆに示す他の形態のマニュアルバルブは，ダイアフラム３０及びダイアフラムの下部本体部５０との締結構造が異なる。
【００２４】
図２ｆにおいて，マニュアルバルブの流量を開閉又は制御するためダイアフラム３０は，中央バルブホール閉鎖部３７に鉄製ネジ３１が挿入固定される。薄膜部３５は，中央バルブホール閉鎖部３７の上端部から水平に円板形に延長され，その薄膜部３５の末端周辺部に第１密閉突出部３３が形成されている。中央バルブホールの閉鎖部は，円形シリンダ形状から先端部分を面取りして傾斜された気密部３９を形成する。
【００２５】
薄膜部３５は，図２ｅに示した薄膜部３５よりも遥かに厚い板厚であるため，柔軟性はそれほど大きくない。下部本体部５０の中央バルブホール５５の第２気密部５７は，ダイアフラム３０の気密部３９に対応するように内側に傾斜するように形成されている。
【００２６】
このような他の形態のマニュアルバルブのバルブ本体及びダイアフラムの構造は，薄膜部３５が厚い平板形状あり，第２密閉部５７が内側に傾斜するように形成されていることにより，バルブが完全に閉鎖された状態では気密性は向上する。しかしながら，一定基準値以上に油圧が上昇した場合や，一定期間使用した場合には，第２密閉部５７での流体の漏洩が発生するという問題や，一定期間が経過した場合に，マニュアルバルブを通過する流体圧力によって第２気密部が徐々に延びるのでマニュアルバルブの内部構成において深刻な影響を及ぶなどの問題が発生する。
【００２７】
さらに，このようなマニュアルバルブの構造は，ダイアフラム３０の平板型薄膜部３５が柔軟性が殆どないため，バルブ内を流れる流量の精密制御が困難である，という問題がある。
【００２８】
さらに，一般的に半導体製造設備においては，図２ａ〜図２ｃに示した配管ライン９，８，分岐管１及びマニュアルバルブ２は数十〜数百個が使用されて非常に複雑な構造となる。一般的に，半導体製造設備，化学薬品及び食料品製造設備においては，多数の配管ライン９，８，分岐管１，マニュアルバルブ２が複雑な構造になっているため，このような配管設備を維持補修することについては，相当な時間と人的資源を必要とする。さらに，化学薬品又はガスが漏洩された場合には，その原因を探すのに数多く分岐管１及び分岐管の接続状態，マニュアルバルブ２などの状態を１つずつ点検しなければならないため，多くの時間と人的資源が消耗されるという問題が生じる。
【００２９】
したがって，このような半導体製造設備，化学薬品及び食料品製造設備において，配管ライン等を単純化させ，ラインの間に設置される部品数，例えば，分岐管１又はマニュアルバルブ２の数を低減することが要求されてきた。このような問題を解決する方法として，図３に示すように，分岐管１とマニュアルバルブ２等を極めて近くに配置して，１つの枠内に内蔵しようとする改善が繰り返し行われてきた。
【００３０】
【特許文献１】大韓民国特許第２００２−９２１７２号公報明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３１】
しかしながら，上記のような改善策では，根本的に配管ラインの設置部品数を低減できないばかりではなく，配管と分岐管，又は配管とマニュアルバルブとの間の接続点を低減することができない，という問題がある。さらに，上記改善策は，配管ラインと配管ラインとの間に交差配列等に無駄な空間が必要となり，むしろ空間活用において逆效果である，という問題がある。さらに，上記改善策は，分岐管１とマニュアルバルブ２間に配管９，又は８が存在するため，同じ配管９，８を介して他の化学薬品溶液を製造設備に順次的に供給する場合には，配管ライン９，８の中に化学薬品溶液が残存し，生産された最終製品（即ち，半導体，又は食料品等）に悪影響を与える恐れがある，という問題もある。
【００３２】
したがって，本発明の目的は，半導体製造設備の配管設備において配管ライン上に設置される部品数を画期的に低減されると共に，配管と分岐管と，又は配管とマニュアルバルブとの間の接続点を低減することが可能な新規かつ改良されたＴＳバルブを提供することにある。
【００３３】
また，本発明の他の目的は，従来の分岐管とマニュアルバルブを一体形のＴＳバルブに取替えることで半導体製造設備の配管設備において各々の分岐管とマニュアルバルブが占有していた空間を低減させることが可能な新規かつ改良されたＴＳバルブを提供することにある。
【００３４】
また，本発明の他の目的は，従来の分岐管とマニュアルバルブを一体形のＴＳバルブに取替えることで半導体製造設備の配管設備において同じ配管９，８を介して異なる化学薬品溶液を製造設備へ順次的に供給する場合にも配管ライン９，８の中に化学薬品溶液が残存せずに，生産された最終製品（即ち，半導体，又は食料品等）への悪影響が全く無く生産性を向上させることが可能な新規かつ改良されたＴＳバルブを提供することにある。
【００３５】
また，本発明の他の目的は，従来の分岐管とマニュアルバルブを一体形のＴＳバルブに取替えることで半導体製造設備の配管設備において配管ライン上に設置される部品数を低減することによって，最初設置及び維持補修に必要な時間及び人的費を低減させる効果と共に化学薬品溶液及びガスが漏洩する事故の際に早い段階で対処することが可能な新規かつ改良されたＴＳバルブを提供することにある。
【００３６】
また，本発明の他の目的は，ＴＳバルブの引入口及び排出口に形成された接続管取り付け構造を改善したことによって，優れた気密性を維持しながら他の専用器具等を使用せずに容易に締結作業を行うことが可能な新規かつ改良された接続管取り付け構造を提供することである。
【００３７】
また，本発明の他の目的は，ＴＳバルブの引入口及び排出口に形成された接続管取り付け構造に一組の補助リングを脱着することによって，配管設備の接続締結状態を解除することを容易に視覚的に見分けられることが可能な新規かつ改良された接続管取り付け構造を提供することにある。
【００３８】
また，本発明の他の目的は，ＴＳバルブにおいてマニュアルバルブ本体部の構造及びダイアフラムの構造を改善することによって，ダイアフラムの第１密閉部及び第２密閉部にて気密度を向上させることが可能な新規かつ改良されたバルブ本体及びダイアフラムの構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３９】
上記課題を解決するため，本発明の第１の観点においては，配管ラインから化学薬品溶液が流入される引入口と，１つの引入口と２つの排出口を備えており，第１排出口が前記引入口と水平に形成され，第２排出口がマニュアルバルブ部の引入口として作用するＴ字形分岐管と，前記分岐管の排出口のうち１つの排出口が，マニュアルバルブ部の引入口に連通され，前記引入口から流入される前記溶液の流れを遮断又は開放することによって，第２排出口に排出可能なマニュアルバルブ部とを備えて，配管ラインに設置され流路を形成する前記流路を分岐し，前記分岐された流路のうち１つの流路を遮断あるいは開放が可能な樹脂製配管ライン用ＴＳバルブが提供される。
【００４０】
また，樹脂製配管ライン用ＴＳバルブは，前記引入口，第１及び第２排出口は各々の樹脂製配管を接続可能な接続管構造を含めている，如く構成するのが好ましい。
【００４１】
また，脂製配管ライン用ＴＳバルブの樹脂製配管接続管構造は，各々前記ＴＳバルブ本体形成されたコネクタ，樹脂製配管，ナットを含めていて樹脂製配管を前記ＴＳバルブ本体に気密で固く接続可能である，のが好ましい。
【００４２】
また，樹脂製配管ライン用ＴＳバルブの樹脂製配管接続管は，前記コネクタ外表面に脱着可能な第１補助リング，及び前記ナット外表面に脱着可能な第２補助リングを有しており，前記配管接続管の接続状態を視覚的に監視可能である，如く構成するのが好ましい。
【００４３】
また，樹脂製配管ライン用ＴＳバルブは，前記第１補助リング及び第２補助リングは各々円周の頂点部が有色に表示された矢印表示部を有しており，前記矢印表示部は配管が最適の状態で接続された上，各々一直線に配置されるように装着されている，如く構成するのが好ましい。
【００４４】
上記課題を解決するため，本発明の第２の観点においては，下部に１つの引入口と２つの排出口を有するＴ字形分岐管と，前記分岐管の排出口のうち１つの排出口がマニュアルバルブ部の引入口に連通され，前記引入口から流入される前記溶液の流れを遮断又は開放可能なので，第２排出口へ排出可能なマニュアルバルブ部を備えており，前記マニュアルバルブ部がハンドル部と，バルブ本体部と，バルブの排出口と，バルブ内に形成されたダイアフラムとで構成されることにより，バルブを介して排出される流路を遮断でき，配管ラインに設置されて流路を形成し，前記流路を分岐し，分岐された流路のうち１つの流路を遮断又は開放可能である，ことを特徴とする樹脂製配管ライン用ＴＳバルブが提供される。
【００４５】
また，樹脂製配管ライン用ＴＳバルブは，外部から化学薬品溶液が流入される引入口と，前記引入口から流入された化学薬品溶液が遮断されることなく，直接排出される第１排出口と，前記引入口から流入された化学薬品溶液の流れを遮断可能に設置された第２排出口と，前記第２排出口を介して流れる流路が溶液の流れを遮断又は開放するためのダイアフラムと，前記ダイアフラムに軸で連結され，回転によってダイアフラムの動作を制御して溶液の流れを遮断又は開放可能なように連結されたハンドルとを備え，配管ラインに設置されて流路を形成し，前記流路を分岐して，分岐された流路のうち１つの流路を遮断又は開放可能である，如く構成される。
【００４６】
また，樹脂製配管ライン用ＴＳバルブは，１つの引入口と２つの排出口とを有するＴ字形分岐管と，１つの引入口と１つの排出口を有し，その引入口から流入される化学薬品溶液の流れを遮断又は開放可能なマニュアルバルブ部が，垂直一体化され，配管ラインに設置されて流路を形成し，前記流路を分岐して，分岐された流路のうち１つの流路を遮断又は開放可能である，如く構成される。
【００４７】
また，樹脂製マニュアルバルブは，バルブハンドルと，上部本体部と，ダイアフラムと，下部本体部とを備え，前記ダイアフラムが，上部本体部を貫通するバルブハンドル部に結合される軸と結合されるための凸ネジ部と，前記凸ネジ部の下部に一体に形成された棒形状の中央バルブホール閉鎖部と，前記中央バルブホール閉鎖部の下端部から延長される薄膜部と，前記薄膜部から延長される第１密閉突出部と，前記中央バルブホール閉鎖部が，下部低面が前記下部本体部中央に形成された中央バルブホールを開閉するための第２密閉部とを備え，前記下部本体部が，前記第１密閉突出部と締結される締結溝部と，流体流入口から延長され，前記下部本体部の中央に垂直に形成されている中央バルブホールと，前記中央バルブホールの末端部に形成された第２密閉部とを備えている，如く構成される。
【００４８】
また，上記課題を解決するため，本発明の第３の観点においては，内部に化学薬品などが通過されるシリンダ形状の樹脂製配管と，ナットと締結されるネジ山が形成された凸ネジ部と，前記凸ネジ部が延長されて形成された突出部と，この突出部の下部に略コの字形空間を形成するように延長され，前記  樹脂製配管を受容可能な内部結合部を備えているコネクタと，前記凸ネジ部の対抗して締結されるように内側に形成された凹ネジ部と，前記凹ネジ部の末端部から前記コネクタの前記突出部を受容可能なように略コの字空間を形成して延長されて形成された楔型突出部を内側に形成して，前記コネクタに結合される場合，前記樹脂製配管の外表面を加圧して維持するナットとで構成されている，ことを特徴とする半導体設備などの配管設備に使用される接続管取り付け構造が提供される。
【００４９】
また，接続管取り付け構造は，接続管取り付け構造の接続状態を視覚的に監視又は観察可能なように前記コネクタに脱着可能な第１補助リングと，前記ナットの外表面に脱着可能な第２補助リングをさらに備える，如く構成するのが好ましい。
【発明の効果】
【００５０】
従来の分岐管とマニュアルバルブを一体化させたことにより，半導体製造設備の配管設備において配管ライン上に設置される部品数を画期的に低減するともに配管と分岐管と，又は配管とマニュアルバルブとの間の接続点が低減される。
【００５１】
さらに，従来の分岐管と，マニュアルバルブを一体形のＴＳバルブに形成するので，半導体製造設備の配管設備において各々の分岐管と，マニュアルバルブが占める空間が低減される。
【００５２】
さらに，従来の分岐管と，マニュアルバルブを一体形のＴＳバルブに形成することで半導体製造設備の配管設備において同一配管９，８を介して互いに他の化学薬品溶液を製造設備へ順次的に供給する場合にも配管ライン９，８内に化学薬品溶液が残存せず，生産された最終製品，半導体，又は食料品等に悪影響を与えないので，最終生産性が向上される。
【００５３】
さらに，ＴＳバルブの引入口及び排出口へ形成された接続管取り付け構造を改善するので，優れた気密性を維持しながら別の専用器具等を使用しなくても容易く締結作業を実行することができる。
【００５４】
さらに，ＴＳバルブの引入口及び排出口へ形成された接続管取り付け構造に一対の補助リングを脱着するので，配管設備の接続締結状態の緩み等を容易く視覚的に判断することができる。
【００５５】
さらに，マニュアルバルブ本体部の構造及びダイアフラムの構造を改善するので，ダイアフラムの第１密閉部及び第２密閉部での気密度を向上させることができる。
【００５６】
さらに，従来の分岐管と，マニュアルバルブを一体形のＴＳバルブに形成することで，半導体製造設備の配管設備において配管ライン上に設置される部品数を低減し，最初設置及び維持補修へ必要な時間及び人的資源を低減でき，化学薬品溶液及びガスの漏洩事故時にも早い段階で対処することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５７】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００５８】
まず，図４〜図７を参照して，第１の実施の形態にかかるＴＳバルブ５００の構成について説明する。
【００５９】
なお，図４は，本実施形態にかかるＴＳバルブの構造を詳細に示した斜視図である。図５ａは，図４に示したＴＳバルブの部分切断断面斜視図である。図５ｂは，図５ａに示したＴＳバルブのマニュアルバルブ部の分解断面である。図５ｃは，図５ａに示したマニュアルバルブ部本体及びダイアフラム構造を示した結合断面図である。
【００６０】
図６ａは，図４に示したＴＳバルブの引入口又は排出口に形成された接続管取り付け構造を詳細に示した分解斜視図である。図６ｂは，図６ａに示した接続管取り付け構造の分解断面図である。図６ｃは，図６ａに示した接続管取り付け構造の結合断面図である。図６ｄは，図６ａに示した接続管取り付け構造の外観を示した平面図である。
【００６１】
まず，図４に示すように，ＴＳバルブ５００は，図２ａに示したＴ字形分岐管１と，図２ｄに示したマニュアルバルブ２の引入口を止め，下部のＴ字形分岐管１へ流体引入口を形成したマニュアルバルブ本体部９０を溶接などの方法で一体形に統合された形態で形成されている。
【００６２】
即ち，図４に示したＴＳバルブ５００は，大きく分ければ，３つの流入／排出口１５１，１５２，１５０と，マニュアルバルブ本体部９０と，下部のＴ字形分岐管部３００とから構成されている。
【００６３】
図４及び図５ａに示すように，３つの引入口／排出口１５１，１５２，１５０は，説明を容易にするため，引入口１５１，第１排出口１５２と，第２排出口１５０としている。なお，これは，本発明を限定させることではなくあくまで説明を容易にするためである。本実施形態にかかるＴＳバルブ５００が設置される位置や方向によって，３つの引入口／排出口１５１，１５２，１５０の機能は，変わることもある。
【００６４】
３つの引入口／排出口１５１，１５２，１５０の各々には，樹脂製配管をＴＳバルブ５００へ接続するための接続管取り付け構造（ｐｉｐｅ  ｆｉｔｔｉｎｇ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ  ：  ２００，図６ａ参照）が形成されている。こいった接続管取り付け構造２００については，図６ａ〜図６ｄを参照しながら詳細に後述することにする。
【００６５】
図４及び図５ａにおいて，ＴＳバルブ５００は，配管ラインから引入口１５１を介して化学薬品溶液が流入されて第１排出口１５２及び第２排出口１５０へ分岐されて流れる。この過程において，引入口１５１へ流入された流体は，第１排出口１５０に排出される一方，マニュアルバルブ本体部９０を介して第２排出口１５２へ排出される。ここで，マニュアルバルブ本体部９０では，溶液の流れが開放又は遮断されることもあり得る。
【００６６】
図５ａの部分切断面斜視図から理解されるように，ＴＳバルブ５００の下部には，Ｔ字形配管（厳密に言えば，逆Ｔ字形であるが，これを単純にＴ字形配管とする）が形成されている。このＴ字形配管は，平らな配管部６４と垂直の配管部６７に構成され，垂直の配管部６７は，上部のマニュアルバルブ本体部９０と直接繋がってマニュアルバルブ本体部９０への引入口として作用する。マニュアルバルブ本体部９０は，ハンドル部８０を回転させることで，このハンドル部８０に支えられたダイアフラム３０（図５ｂ参照）によって化学薬品の流れが開放又は遮断される。
【００６７】
以下，図５ｂ及び図５ｃを参照して，本実施形態にかかるＴＳバルブ５００を構成するマニュアルバルブ本体部９０について詳細に説明する。
【００６８】
図５ｂ及び図５ｃにおいて，本実施形態にかかるＴＳバルブ５００を構成するマニュアルバルブ本体部９０は，図２ｄ〜図２ｆに示した従来のマニュアルバルブと同様に，バルブハンドル部２０，上部本体部１０，ダイアフラム３０，下部本体部５０などから構成されている。
【００６９】
本実施形態にかかるＴＳバルブ５００を構成するマニュアルバルブ本体部９０は，直下部のＴ字形分岐管からの引入口５５が形成されている。この引入口５５から流入された流体は，ダイアフラム３０の動作によって第２排出口１５２へ排出又は遮断される。ここで，第２排出口１５２は，図面の右側に表示になっているが，これは必要によって図面の前，後，又は左側にも形成することができる。
【００７０】
バルブハンドル部２０と，上部本体部１０と，下部本体部５０とは，弗素樹脂インテプロン（特に，ＰＦＡ及びＰＶＤＦ）を用いて射出成形され，ダイアフラム３０はＰＴＦＥを用いて圧縮加工される。
【００７１】
図５ｂ及び図５ｃに示すように，したがって，バルブハンドル部２０の回転によってダイアフラム３０の開閉動作させるダイアフラム３０は，流体の流量を制御可能なように円板形状を有している。上部本体部１０は，ダイアフラム３０と一緒に下部本体部５０にネジ等を利用して気密結合される。
【００７２】
マニュアルバルブ本体部での流量を開閉又は制御するために，ダイアフラム３０は，凸ネジ部３１と，中央バルブホール閉鎖部３７と，薄膜部３５と，第１密閉突出部３３と，第２密閉部３９とを備えている。
【００７３】
凸ネジ部３１は，バルブハンドル部２０へ連結された軸１１の下部に形成された凹ネジ部１５に繋ぐため形成されている。中央バルブホール閉鎖部３７は，凸ネジ部３１から一体に繋い全体的に円筒型になって，下部のＴ字形分岐管の引入口５５より遥かに大きく形成されており，第２密閉部５７に接触され流体の流れを開閉するため中央部にやや円錐形状に形成されている傾斜した気密部３９を有する。
【００７４】
薄膜部３５は，中央バルブホール閉鎖部３７の下段部から繋がって形成された柔軟性の薄膜シートであり，その厚さは約０．５ｍｍ，幅は約８ｍｍ程度で形成されており，耐久性が向上されている。ダイアフラム３０の薄膜部３５の外側回りには，下部のＴ字形分岐管３００に形成された締結部５３へ緊密に締結されるよう第１密閉突出部３３を有する。第１密閉突出部３３は，下方向にテーパ形状の突起に形成されている。また，第１密閉突出部３３は，この突起から延長された羽３６を形成し，第１密閉突出部から気密性を一層向上させる構造になっている。
【００７５】
ここで，本実施形態において，例えば，ダイアフラム３０の直径は約４８ｍｍ，Ｔ字形分岐管からの引入口閉鎖部３７の直径は約２１ｍｍ程度に形成され，約１５ｍｍのＴ字形分岐管からの引入口５５の直径より十分に大きく形成されている。Ｔ字形分岐管からの引入口閉鎖部３７の直径が，Ｔ字形分岐管からの引入口５５の直径よりも十分大きく形成している理由は，流体の供給圧力によってＴ字形分岐管からの引入口５５の拡管などの変形にも安定的に気密性を維持するためである。
【００７６】
さらに，Ｔ字形分岐管からの引入口５５の第２密閉部５７は，外側階段形状に形成されている。このような外側階段形状は，ダイアフラム３０のＴ字形分岐管からの引入口閉鎖部３７の下降による圧力によって変形を吸収するための構造である。
【００７７】
第１密閉突出部３３は，円板の中央部にテーパ形状の突起部に形成されている。これは，下部本体部５３の締結溝部５３により気密に締結されて配管内を流れる流体がバルブ外部に漏洩しないような構造となる。
【００７８】
図５ｂに示すように，下部のＴ字形分岐管３００からの引入口５５に流入された流体は，ダイアフラム３０のＴ字形分岐管からの引入口閉鎖部３７がＴ字形分岐管からの引入口５５を遮断することで，流体流れが遮断される。また，ハンドルの回転によってダイアフラム３０の中央突出部３２及びＴ字形分岐管からの引入口閉鎖部が上昇することによりバルブを開放すると，流体の流れは矢印のように流れて第２排出口１５２へ流れることになる。
【００７９】
ここで，円板形状のダイアフラム３０の第１密閉突出部３３が下部本体部５０の締結溝部５３に気密に固定される。また，上部本体部１０と下部本体部５０とを気密に固定するため，ダイアフラム３０のＴ字形分岐管からの引入口閉鎖部３７は，流体の流れを開閉可能なように柔軟性を有する。
【００８０】
マニュアルバルブ本体部９０の気密性は，第１密閉部及び第２密閉部で検査される。即ち，マニュアルバルブを完全に閉鎖して流体を流入させることで，第２密閉部からの流体の漏洩が発生するか否かを検査してダイアフラムの品質を検査する。
【００８１】
以下，図６ａ〜図６ｄを参照し，樹脂製配管をＴＳバルブ５００へ接続するため接続管取り付け構造（ｐｉｐｅ  ｆｉｔｔｉｎｇ  ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ：２００，図６ａを参照）について詳細に説明する。ここで説明する接続管取り付け構造２００は，一般的なマニュアルバルブの液体引入口及び排出口又は，Ｔ字形分岐管，又は一字形配管接続管へ各々適用される。
【００８２】
図６ａは，図４に示したＴＳバルブの接続管取り付け構造を詳細に示した分解斜視図である。図６ｂは，図６ａに示した接続管取り付け構造の断面図である。図６ｃは，図６ａに示した接続管取り付け構造の分解断面図である。図６ｄは，図６ａに示した接続管取り付け構造の外観を示した平面図である。  
【００８３】
図６ａに示すように，ＴＳバルブ５００に形成された３つの流入／排出口１５１，１５２，１５０の各々には，樹脂製配管１５０を気密に締結するため締結管取り付け構造２００を有する。ＴＳバルブ５００に形成された締結管取り付け構造２００は，ＴＳバルブ５００の本体９０に一体に各々突出形成されたコネクタ１００と，コネクタ１００に樹脂製配管１５０を接続締結するためのナット１１０と，コネクタに挿入装着される第１補助リング１２０と，ナット１１０へ挿入装着される第１補助リング１３０とを備えている。
【００８４】
まず，樹脂製配管１５０は，コネクタ１００へ拡管挿入されて後ナット１１０によって気密で堅固に締結する。さらに，コネクタ１００，樹脂製配管１５０，及びナット１１０が気密に締結されて，最上の締結状態からコネクタ１００の円周へ第１補助リング１２０，ナット１１０の円周へ第２補助リング１３０が装着され締結の状態を視覚的に監視可能である。即ち，第１及び第２補助リング１２０，１３０は，頂点部が互い対抗する形に矢印表示部が形成されている。したがって，第１及び第２補助リング１２０，１３０は，接続締結管が最上の接続締結状態から第１及び第２補助リング１２０，１３０へ形成された矢印表示部を一致させるように装着しておくことにより，振動などでこの流路接続締結管のナット１１０が緩んだ場合に，矢印表示部が食い違うことで接続締結管の締結状態を視覚的に監視することができる。  
【００８５】
図６ａ〜図６ｄに示すように，締結管取り付け構造２００は，半導体製造設備，又は製薬及び食品などの配管設備等へ設置され，配管内部の薬品流れを高純度に維持しながら，高い気密性を維持可能なように，配管とバルブと，パイプとパイプ等を接続するため使用される。  
【００８６】
締結管取り付け構造２００は，コネクタ１００に形成された口径が同一なコネクタ１００の内部結合部１０８へ樹脂製配管１５０を加熱などの方法で拡管させ挿入し，ナット１１０をそのコネクタ１００へ締結することにより，樹脂製配管１５０が気密に接続可能な接続管取り付け構造２００を形成する。
【００８７】
図６ｂに示すように，本実施形態にかかるＴＳバルブ５００の本体へ一体に形成されたコネクタ１００は，第１補助リング挿入部１０７と，凸ネジ部１０９と，及び樹脂製配管１５０の内部結合部１０８で構成されている。
【００８８】
コネクタ１００の片方端部には，ナット１１０を受容可能なように凸ネジ部１０９が形成され，凸ネジ部１０９の内側には，樹脂製配管１５０と結合可能な内部結合部１０８が形成されている。
【００８９】
ナット１１０は，コネクタ１００の凸ネジ部１０９へ締結されるよう内側に凹ネジ部が形成され，樹脂製配管１５０がコネクタ１００の端部へ形成された内部結合部１０８に挿入結合される。ナット１１０の凹ネジ（図示は省略）は，コネクタ１１０の凸ネジ部１０９へ締結されて，樹脂製配管１５０を堅固で気密に締結する機能を遂行する。
【００９０】
図６ｃに示すように，コネクタ１００は，凸ネジが形成されている凸ネジ部１０９の先端部には突出部１０４が形成されている。突出部１０４の末端の下端部は，若干テーパ形状に上方に傾斜して形成される。さらに，突出部１０４の下段には，略コの字形のホムが形成されており，突出部１０４との間隔を置いて，樹脂製配管内部結合部１０８が突出部１０４より長く形成されている。
【００９１】
一方，樹脂製配管内部結合部１０８の末端部は，樹脂製配管１５０の接続が容易なように傾斜又はラウンド形になっている。
【００９２】
樹脂製配管１５０は，一般的に弗素樹脂及びエンジニアリング樹脂の複合材のため，熱に弱い。内部結合部１０８の末端部へ接続するためには，樹脂製配管を若干の熱を加え内部結合部１０８に挿入することで簡単に接続することができる。樹脂製配管１５０がコネクタ１００の内部結合部１０８に接続された後，ナット１１０が，コネクタ１００へ締結されて樹脂製配管を堅固に固定する。
【００９３】
ナット１１０の内部には，コネクタ１００の凸ネジ部１０９に締結可能なように凹ネジ部１１７が形成されている。この凹ネジ１１７は，凸ネジ部１０９の先端に形成されている突出部１０４と受容して整合するように形成され，ネジ部下段に上面がテーパのくさび型の突出部１１５が形成されている。このくさび型の突出部１１５は，コネクタ１００の突出部１０４と内部結合部１０８間に形成された略コの字形溝に正確に挿入するように形成されている。
【００９４】
一方，コネクタ１００の突出部１０８は，ナット１１０の凹ネジ部１１７くさび型突出部１１５間に形成された溝に正確に挿入されるよう設計されている。このような設計によって気密性を向上させるばかりでなく，接続管取り付け構造の過締結を防ぐことができる。
【００９５】
換言すれば，コネクタ１００の突出部１０４と内部結合部１０８との間に形成された略コの字形の溝は，ナット１１０の内側へ形成された突起１１５と樹脂製配管１５０とを一緒に受用可能な大きさに形成されている。したがって，樹脂製配管１５０が挿入されたコネクタ１００にナット１１０が締結される際に，ナット１１０がコネクタ１１０方向へ前進することで，ナット１１０へ形成された砕器型の突出部１１５は，コネクタ１００側に形成された突出部１０４の作用によって樹脂製配管１５０を圧迫する。このように，接続管取り付け構造２００の気密性を向上させる役割をする。
【００９６】
一方，コネクタ１００に形成された突出部１０４とナット１１０へ形成された突出部１１５が互い締結する場合には，突出部１１５は，内部結合部１０８と突出部１０４間に形成された略コの字溝の壁面がストッパの役割を果たすので，接続管取り付け構造２００の過締結（ｏｖｅｒ−ｃｏｕｐｌｉｎｇ）を防止することができる。
【００９７】
一方，本実施形態にかかる締結管取り付け構造２００においては，コネクタ１００の第１補助リング挿入部１０７へ脱着可能な第１補助リング１２０と，ナット１１０のナット突起部１１３へ脱着可能な第２補助リング１３０で形成されている一対の補助リングを有する。こしたがって，締結管取り付け構造２００の締結状態を容易に視覚的で判断できる。換言すれば，図６ｄに示すように，コネクタ１００とナット１１０が締結する最適の気密状態を維持するためには，コネクタ１００側に第１補助リング１２０を装着して，第１補助リングに対抗して一直線上に置けるように第２補助リング１３０を装着することにより，最適の気密状態を表せる第１及び第２補助リング１２０，１３０が一直線ではなく食い違い状態の場合には，ナット１１０が緩んでいる状態であることを即座に認識することができる。
【００９８】
既に完成させ設置された配管の接続管取り付け構造２００にこのように一対の補助リング１２０，１３０を装着する目的は，配管が配管内を流れる液体の圧力差が原因で振動が発生し，ナット１１０を回転させてナット１１０が緩む。このようなナット１１０の緩みにより，締結管２００から有毒ガスが漏洩することになる。当然ながら，様々な装置によってガス漏洩洩が探知可能であるが，半導体製造設備などのような生産ラインの場合には，何千もの接続締結管を状態を点検することは大変困難である。これを点検するために，正常的な締結管のナット１１０を締めすぎると，接続締結管２００からの過締結によってチューブ１５０の密閉を逆に破壊する恐れもある。
【００９９】
このような場合を想定して，コネクタ１００の本体部に第１補助リング１２０を挿入して装着し，ナット１１０の外側へ第２補助リング１３０を挿入しておくことで，振動などで流路ナット１１０が緩んだ場合にも，即座に認識することができる。
【０１００】
ここで，第１補助リング１２０及び第２補助リング１３０の頂点部へ赤色に着色された各々の矢印表示部１２１，１３１は，接続管取り付け構造２００が完全に密封されて漏洩を防ぐ状態を表すよう図６ｄに示すように互いに対抗させて装着することができる。
【０１０１】
コネクタ１００へ脱着可能な第１補助リング１２０は，コネクタ１２０と一体に形成でき，第２補助リング１３０もナット１１０に一体に形成することができる。
【０１０２】
第１補助リング１２０と第２補助リング１３０の頂点部へ形成された矢印表示部１２１，１３１は，図６ｄに示すように，ナット１１０がコネクタ１００へ完全に締結され，最上の気密性を維持した際に可能な限る接近し，相互に対抗して一直線上に装着されるのが好ましい。
【０１０３】
図６ａ及び図６ｂに示すように，第１補助リング１２０はコネクタ１００の本体部１０５と凸ネジ部１０９の間に形成された第１補助リング装着部１０７に挿入可能なように半円形の形状に形成されている。その中央頂点部には，矢印表示部１２１を有しており，内側には約９０度間隔で溝が形成されている。この溝は，コネクタ１００の第１補助リング装着部１０７へ円筒の外面へ９０度間隔に直線形状の形成された直線突起１２５へ装着するための溝である。一般的に，樹脂製配管１５０の場合には，上記の直線形の突起１２５が９０度間隔で形成されている。これは第１及び第２補助リング１２０，１３０を作業者に視覚的に好適に装着するためである。
【０１０４】
第２補助リング１３０は，ナット１１０の外部に形成された凹凸部１１３に挿入可能なように，円形の形状又は一部が開放されている円形形状に形成されており，その中央頂点部には矢印表示部１３１を有している，内側には，凹凸部１３３が形成されており，ナット１１０の外側に形成された凹凸部１１３に装着するための溝となっている。上記のように，ナット１１０の他，表面は，ナット凹凸部１１３と６角ネジ部１１５に形成されている。凹凸部１１３の内側の末端は，一般的に詰まっていて，ナット１１０の外側からコネクタ１００方向にナット１１０の外表面に形成された凹凸部１１３に挿入装着される。第２補助リング１３０にも上記のように，必要な場合にはナット１１０の製造時ナットの外表面へ一体に製造可能なことは当然である。
【０１０５】
一方，一般的に樹脂製配管及び接続締結管等が不透明の白色なので，矢印表示部１２１，１３１を赤，青などの色をつけることで，接続締結管の状態をさらに容易に監視することができる。換言すれば，配管設備において，接続締結管２００が振動又は人によって一時的に回転する場合に，この赤色の矢印がずれるよう配置されるので，配管の緩みとその程度を視覚的に明確に認識でき，配管設備の接続締結管を視覚的に管理又は視覚的監視することができる。このような接続配管の目で管理（即ち，視覚的管理）ができるので，維持補修費が当然ながら低減される。
【０１０６】
図７において本実施形態にかかるＴＳバルブ５００を採用した半導体製造設備６００において，配管設備は，図１に示した従来の配管設備と比較して，部品数が半分に低減される。
【０１０７】
図１に示す半導体製造設備の配管において，メイン供給配管９からサブ供給配管８に分岐される分岐点に分岐管１が設置されて，サブ供給配管８の溶液流れをチェックするためのマニュアルバルブ２が各々分離されて設置されている。一方，図７は，分岐管とマニュアルバルブが一体形で形成されているＴＳバルブ５００を採用した場合の半導体製造設備の配管において，メイン供給配管９からサブ供給配管８へ分岐される分岐点へＴＳバルブ５００が設置されている。このＴＳバルブ５００がサブ供給ライン８の溶液流れをチェックするためのマニュアルバルブ２を一体で有しており，配管ラインの構造が著しく単純で部品数が低減されたことにより，最初設置及び維持補修又は非常時に点検する部品の数が少なくなり，設置及び維持補修又は点検に必要な時間及び人的資源等を著しく低減することができる。
【０１０８】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【０１０９】
本発明は，半導体製造装置などに設けられるチャンバセンサ装置に適用可能であり，特に放射線が散乱するチャンバ内の物理量を測定するためのチャンバセンサ装置に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】図１は，従来の半導体製造設備の配管ラインを概略的に示した概念図である。
【図２ａ】図２ａは，図１に示したＴ字形分岐管を示した斜視図である。
【図２ｂ】図２ｂは，図１に示したマニュアルバルブの詳細に構造を示した斜視図である。
【図２ｃ】図２ｃは，図２ａ及び図２ｂに示したＴ字形分岐管とマニュアルバルブの結合された形態を示した斜視図である。
【図２ｄ】図２ｄは，従来のマニュアルバルブのバルブ本体及びダイアフラム構造を示した分解断面図である。
【図２ｅ】図２ｅは，従来の他のマニュアルバルブのバルブ本体及びダイアフラム構造を示した結合断面図である。
【図２ｆ】図２ｆは，従来の締結管取り付け構造を示した断面図である。
【図３】図３は，従来の他の形態の締結管取り付け構造を示した断面図ある。
【図４】図４は，本実施形態にかかるＴＳバルブの構造を詳細に示した斜視図である。
【図５ａ】図５ａは，図４に示したＴＳバルブの部分切断断面斜視図である。
【図５ｂ】図５ｂは，図５ａに示したＴＳバルブのマニュアルバルブ部の分解断面図である。
【図５ｃ】図５ｃは，図５ａに示したマニュアルバルブ部本体及びダイアフラム構造を示した結合断面図である。
【図６ａ】図６ａは，図４に示したＴＳバルブの接続管取り付け構造を詳細に示した分解斜視図である。
【図６ｂ】図６ｂは，図６ａに示した接続管取り付け構造の断面図である。
【図６ｃ】図６ｃは，図６ａに示した接続管取り付け構造の分解断面図である。
【図６ｄ】図６ｄは，図６ａに示した接続管取り付け構造の外観を示した平面図である。
【図７】図７は，本実施形態にかかる半導体製造設備の配管ラインを概略的に示した概念図である。
【符号の説明】
【０１１１】
８：サブメイン供給配管
９：メイン供給配管
１０：上部本体部
２０：ハンドル部
３０：ダイアフラム
５０：下部本体部
１００：コネクタ
１１０：ナット
１２０：第１補助リング
１３０：第２補助リング
８０：ハンドル部
９０：マニュアルバルブ本体部
１５０：樹脂製配管ライン
２００：接続管取り付け構造
３００：Ｔ字形分岐管部
５００：ＴＳバルブ
６００：半導体製造装置
【図１】
2005083579.tif 000003
【図２ａ】
2005083579.tif 000004
【図２ｂ】
2005083579.tif 000005
【図２ｃ】
2005083579.tif 000006
【図２ｄ】
2005083579.tif 000007
【図２ｅ】
2005083579.tif 000008
【図２ｆ】
2005083579.tif 000009
【図３】
2005083579.tif 000010
【図４】
2005083579.tif 000011
【図５ａ】
2005083579.tif 000012
【図５ｂ】
2005083579.tif 000013
【図５ｃ】
2005083579.tif 000014
【図６ａ】
2005083579.tif 000015
【図６ｂ】
2005083579.tif 000016
【図６ｃ】
2005083579.tif 000017
【図６ｄ】
2005083579.tif 000018
【図７】
2005083579.tif 000019