(57)【要約】【課題】  収容すべき基板が大型化した場合であっても、基板用カセットの重量増加を回避するとともに、基板の収容効率の低下を回避することが可能な、大型基板用カセットを提供する。【解決手段】  後側フレーム１４１，１４２に設けられる支持フレーム１５１，１６１，１７１，１８１，１９１は、ハット型の断面形状を有し、先端部に向かうほど、高さおよび幅が狭くなるように設けられている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面側から大型基板の出し入れを可能とし、前記大型基板を積層状態に収容するための大型基板用カセットであって、
ベース部材と、
前記ベース部材の後端部側から上方に向かって立上がる後側部材と、
上下方向に所定の間隔で複数配設された状態で前記後側部材に支持され、前記後側部材から前方に向けて延びるように設けられる複数の基板支持手段と、
を備え、
前記基板支持手段は、前記後側部材から前方に向けて延び、左右方向に所定の間隔で複数設けられる支持フレームからなり、
前記支持フレームは、その長手方向に対して交差する断面形状が、上方に向けて突出する凸部領域と、前記凸部領域から両側に向けて張出すフランジ部領域とを有する、大型基板用カセット。
【請求項２】
前記凸部領域の上面が略水平に配設され、
前記凸部領域の高さ方向の長さが、後方から前方にかけて短くなるように設けられることを特徴とする、請求項１に記載の大型基板用カセット。
【請求項３】
前記支持フレームの幅が、後方から前方にかけて狭くなることを特徴とする、請求項１または２に記載の大型基板用カセット。
【請求項４】
前記フランジ部領域は、前記凸部領域から遠ざかるにつれて下方に向けて傾斜していることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の大型基板用カセット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板用カセットに関し、より特定的には、大型基板用カセットの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイ等にはガラス基板が用いられているが、その製造プロセスにおいては、工程間におけるガラス基板の搬送・ストック等のために、このガラス基板を複数枚蓄積させた状態で保持する基板用カセットが用いられる。
【０００３】
この基板用カセットとしては、以下に示す特許文献１および特許文献２等に開示されるものがある。特許文献１に開示される基板用カセットは、側板の両側面から内方に向かって延びる長尺リブを張出させ、基板の両側面側から基板を支持する構造が採用されている。また、特許文献２に開示される基板用カセットは、側板の両側面を連結する梁部材を設け、この梁部材に設けられた突出体の上に基板を載置する構造が採用されている。
【０００４】
近年、フラットパネルディスプレイ等の大型化が進んでおり、たとえば、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板の大きさは、従来は、１１００ｍｍ（短辺寸法）×１３００ｍｍ（長辺寸法）が最大サイズであったが、より大きくなり、１５００（短辺寸法）×１８００（長辺寸法）、１８００ｍｍ（短辺寸法）×２１００ｍｍ（長辺寸法）等が考えられており、その後も、ガラス基板の大きさは加速的に大型化されるものと思われる。その結果、ガラス基板の大型化に伴い基板用カセットも大型化することになる。また、ガラス基板の厚さについても、今後は薄型化されるものと思われる。そのため、基板の大型化および薄型化により、大型基板の自重による撓みも無視することのできない問題となる。また、基板用カセット自体の大型化に伴なう重量の増大も、搬送行程において問題となる。
【０００５】
ここで、上記特許文献１に開示された基板用カセットを大型基板用カセットとして適用した場合には、大型基板の自重による撓みを回避するため、長尺リブを内方に向かって大きく張出させる必要が生じる。しかし、長尺リブを長くした場合、基板用カセット自体の重量が増大する。また、基板用カセットへの基板の搬送搬出時に用いる搬送アームによる基板支持領域が基板の中央部となり、基板の搬送時における基板の撓みが問題となってしまう。また、これを回避するために、搬送アームの形状を魚の骨状（フィッシュボーン型）にすることも考えられるが、特殊形状の搬送アームが必要となる。さらに、基板の搬送時における搬送アームの動作においては、長尺リブを回避させるための動きが必要となるため、上下の長尺リブの間隔に搬送アームの動作のための距離を含ませる必要が生じ、基板カセットにおける基板の収容効率を向上させることができない。
【０００６】
また、特許文献２に開示された基板用カセットを、大型基板に適用した場合は基板の撓みは問題とならない。しかし、フレームの両側面を連結する梁部材が設けられている結果、梁部材が専有する領域を搬送アームの動作のための空間に利用することができず、基板用カセットにおける基板の収容効率を向上させることができない。
【特許文献１】特開２００１−１４６２９５号公報
【特許文献２】特開平１１−３５０８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明が解決しようとする課題は、上記したように、基板の大型化にともなう、基板用カセットの大型化および重量増加を招く点、収容時における大型基板の撓みを考慮した場合の、基板用カセットにおける基板の収容効率の低下を招く点にある。したがって、この発明の目的は、収容すべき基板が大型化した場合であっても、基板用カセットの重量増加を回避するとともに、基板の収容効率の低下を回避することが可能な、大型基板用カセットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明に基づいた大型基板用カセットにおいては、前面側から大型基板の出し入れを可能とし、上記大型基板を積層状態に収容するための大型基板用カセットであって、ベース部材と、上記ベース部材の後端部側から上方に向かって立上がる後側部材と、上下方向に所定の間隔で複数配設された状態で上記後側部材に支持され、上記後側部材から前方に向けて延びるように設けられる複数の基板支持手段とを備えている。さらに、上記基板支持手段は、上記後側部材から前方に向けて延び、左右方向に所定の間隔で複数設けられる支持フレームからなり、上記支持フレームは、その長手方向に対して交差する断面形状が、上方に向けて突出する凸部領域と、上記凸部領域から両側に向けて張出すフランジ部領域とを有している。
【０００９】
また、上記大型基板用カセットの他の形態としては、上記凸部領域の上面が略水平に配設され、上記凸部領域の高さ方向の長さが、後方から前方にかけて短くなるように設けられている。
【００１０】
また、上記大型基板用カセットの他の形態としては、上記支持フレームの幅が、後方から前方にかけて狭くなるように設けられている。
【００１１】
また、上記大型基板用カセットの他の形態としては、上記フランジ部領域は、上記凸部領域から遠ざかるにつれて下方に向けて傾斜するように設けられている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に基づいた大型基板用カセットによれば、支持フレームにおいて、その長手方向に対して交差する断面形状が、上方に向けて突出する凸部領域と、この凸部領域から両側に向けて張出すフランジ部領域とを有する、いわゆるハット型の形状を採用することにより、後側部材から前方に向けて大きく延ばした場合であっても、基板荷重に対する強度を確保しつつ、支持フレームの軽量化を図ることを可能としている。また、支持フレームの幅が、後方から前方にかけて狭くなるように設けることによっても、支持フレームの軽量化を図ることを可能とする。
【００１３】
また、フランジ部領域は、凸部領域から外側に向かって張出していることから、清浄工程においても、洗浄液の水溜まりが形成されず、洗浄液の排水効率を高めることを可能としている。さらに、フランジ部領域を、凸部領域から遠ざかるにつれて下方に向けて傾斜するように設けることで、さらに、洗浄液の排水効率を高めることを可能とする。
【００１４】
また、凸部領域の上面が略水平に配設し、この凸部領域の高さ方向の長さが、後方から前方にかけて短くなるように設けることで、上下に配置された支持フレームの先端部における相互の間隔を広げることを可能とする。これにより、上方の支持フレームに基板が載置された状態において、支持フレームが下方に撓んだ場合であっても、上方の支持フレームの下面と、下方の支持フレームの上面との間に、所定の間隙を確保することが可能となる。その結果、上下に配置された支持フレームの設置間隔を拡大する必要がなくなり、大型基板用カセットの大型化を回避することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に基づいた大型基板用カセットの実施の形態について、図を参照しながら説明する。まず、図１を参照して、本実施の形態における大型基板用カセット１００の概略構成について説明する。なお、図１は、本実施の形態における大型基板用カセット１００の構成を示す全体斜視図である。なお、便宜上、一部図示を省略して示している。
【００１６】
（大型基板用カセット１００の構造）
この大型基板用カセット１００は、１５００ｍｍ（短辺寸法）×１８００ｍｍ（長辺寸法）、１８００ｍｍ（短辺寸法）×２１００ｍｍ（長辺寸法）等の大きさを備えるガラス基板をその前面側からの出し入れを可能とし（図中矢印Ｓ方向）、このガラス基板を積層状態に収容することを目的としている。矩形に配置される底面外枠フレーム１０１，１０２，１０３，１０４を有し、この底面外枠フレーム１０１，１０２，１０３，１０４に対向する上方側には、上面外枠フレーム１２１，１２２，１２３，１２４が設けられ、底面外枠フレーム１０１，１０２，１０３，１０４の四隅に設けられるコーナフレーム１１０，１１１，１１２，１１３により、底面外枠フレーム１０１，１０２，１０３，１０４と上面外枠フレーム１２１，１２２，１２３，１２４とが連結されている。なお、前面側においては、上面外枠フレーム１２１が設けられない構造の採用も可能である。
【００１７】
底面外枠フレーム１０２と上面外枠フレーム１２２との間には、基板側面ガイドフレーム１３０，１３１，１３２，１３３が設けられ、底面外枠フレーム１０４と上面外枠フレーム１２４との間には、基板側面ガイドフレーム１３４，１３５，１３６，１３７が設けられている。
【００１８】
後部側に位置する底面外枠フレーム１０３には、上方に向かって立上がる後側フレーム１４１，１４２，１４３，１４４が設けられ、それぞれの上端部は、上面外枠フレーム１２３に連結されている。
【００１９】
後側フレーム１４１，１４２には、前方に向けて延びる支持フレーム１５１，１６１，１７１，１８１，１９１が所定のピッチで上下方向において積層するように設けられている。同様に、後側フレーム１４３，１４４には、前方に向けて延びる支持フレーム１５１，１６２，１７２，１８２，１９２が所定のピッチで上下方向において積層するように設けられている。
【００２０】
ここで、支持フレーム１５１，１５２において、同一ガラス基板を支持する第１基板支持手段を構成し、それぞれの上面が同じ高さ位置となるように後側フレーム１４１〜１４４に取付られている。同様に、支持フレーム１６１，１６２において、同一ガラス基板を支持する第２基板支持手段を構成し、それぞれの上面が同じ高さ位置となるように後側フレーム１４１〜１４４に取付られ、支持フレーム１７１，１７２において、同一ガラス基板を支持する第３基板支持手段を構成し、それぞれの上面が同じ高さ位置となるように後側フレーム１４１〜１４４に取付られ、支持フレーム１８１，１８２において、同一ガラス基板を支持する第４基板支持手段を構成し、それぞれの上面が同じ高さ位置となるように後側フレーム１４１〜１４４に取付られ、支持フレーム１９１，１９２において、同一ガラス基板を支持する第５基板支持手段を構成し、それぞれの上面が同じ高さ位置となるように後側フレーム１４１〜１４４に取付られている。なお、図１においては、ガラス基板を収容する領域として５段のみ図示しているが、段数は５段に限定されるものではなく、たとえば２０段、３０段のものが市場においては用いられる。
【００２１】
また、基板側面ガイドフレーム１３０〜１３７には、ガラス基板の側面を指示するため、上記各後側フレームによって規定される支持面と同一高さとなるように、支持ピン２１０が複数設けられている。なお、この支持ピン２１０は、必要に応じて設けられるものであり、支持ピン２１０を設けない構成の採用も可能である。
【００２２】
各外枠フレーム、ベースフレーム、コーナフレーム、および後側フレームに用いられる材料としては、ステンレス、アルミ、樹脂等、炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料等が挙げられる。
【００２３】
また、支持ピンに用いられる材料としては、樹脂（ポリエーテル、エーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリカーボネート等）、ステンレス、アルミ等、炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料等が挙げられる。
【００２４】
（支持フレームの構造）
次に、図２から図５を参照して、支持フレームの構造について説明する。なお、上記した支持フレームの構造は、全て同一構造であるため、支持フレーム１５１を代表例として、その構造について説明する。なお、図２は、支持フレーム１５１の平面図であり、図３は、支持フレーム１５１の側面図であり、図４は、図２中ＩＶ−ＩＶ線矢視断面図であり、図５は、支持フレーム１５１の後側フレーム１４１，１４２への取付け構造を示す分解部分斜視図である。
【００２５】
まず、図２〜図４を参照して、この支持フレーム１５１は、その長手方向に対して交差する断面形状が、上方に向けて突出する凸部領域１５１ａと、この凸部領域から両側に向けて張出すフランジ部領域１５１ｂ、１５１ｃとを有している。このフランジ部領域１５１ｂ、１５１ｃは、凸部領域１５１ａから遠ざかるにつれて下方に向けて傾斜するように設けられ、ハット型の断面形状を有している。
【００２６】
凸部領域１５１ａの高さ方向の長さ（Ｈ）が、後方から前方にかけて短くなるように設けられ、さらに、支持フレーム１５１の幅（Ｗ）が、後方から前方にかけて狭くなるように設けられている。図４において、支持フレーム１５１の後側フレーム１４１，１４２への取付側寸法は、Ｗ＝約８０ｍｍ、Ｗ１＝約４０ｍｍ、Ｗ２＝約２０ｍｍ、Ｈ＝約２５ｍｍ、Ｈ１＝約２０ｍｍである。また、支持フレーム１５１の先端側の対応寸法は、Ｗ＝約３０ｍｍ、Ｗ１＝約１７ｍｍ、Ｗ２＝約７．５ｍｍ、Ｈ＝約１５ｍｍ、Ｈ１＝約５ｍｍである。支持フレーム１５１の全長（Ｌ）は１７００ｍｍである。
【００２７】
この支持フレーム１５１に用いられる材料としては、ステンレス、アルミ、カーボン、チタン、炭素繊維を含む炭素繊維強化プラスチック材料等、これらの材料と樹脂との複合品等が挙げられる。
【００２８】
図５を参照して、支持フレーム１５１の後側フレーム１４１，１４２への取付けにおいては、支持フレーム１５１の後端側に、図４に示すような山型のスペーサ２００を挿入する。このスペーサ２００は、支持フレーム１５１のフランジ部領域１５１ｂ、１５１ｃを支持し、傾斜面を有する本体部２０１と、支持フレーム１５１の凸部領域１５１ａを支持する突出部２０２とを有している。
【００２９】
また、図５に示すように、本体部２０１および突出部２０２には、あらかじめビス孔２０１ｈ、２０２ｈが設けられている。後側フレーム１４１，１４２の内面側には、本体部２０１の側面を受けるためのスリット溝Ｓがあらかじめ設けられている。支持フレーム１５１の後端側に、スペーサ２００を挿入した状態で、ビス２０３を用いて、支持フレーム１５１にスペーサ２００を固定する。さらに、スペーサ２００の側部を後側フレーム１４１，１４２のスリット溝Ｓを用いて位置決めして、ビス２０４を用いて、後側フレーム１４１，１４２にスペーサ２００を固定する。これにより、後側フレーム１４１，１４２の所定位置（所定高さ）において、支持フレーム１５１の凸部領域１５１ａの上面が水平となるように、支持フレーム１５１が後側フレーム１４１，１４２に固定される。
【００３０】
（作用・効果）
上記構成からなる大型基板用カセット１００によれば、支持フレーム１５１において（他の支持フレームにおいても同様である）、その長手方向に対して交差する断面形状が、上方に向けて突出する凸部領域１５１ａと、この凸部領域１５１ａから両側に向けて張出すフランジ部領域１５１ｂ，１５１ｃとを有する、いわゆるハット型の形状を採用している。これにより、後側フレーム１４１，１４２から前方に向けて大きく延ばした場合であっても、ガラス基板荷重に対する強度を確保しつつ、支持フレーム１５１の軽量化を図ることができる。また、支持フレーム１５１の幅（Ｗ）が、後方から前方にかけて狭くなるように設けることによっても、支持フレーム１５１の軽量化を図ることができる。
【００３１】
また、フランジ部領域１５１ｂ，１５１ｃは、凸部領域１５１ａから外側に向かって張出していることから、たとえば清浄工程においても、洗浄液の水溜まりが形成されず、洗浄液の排水効率を高めることができる。さらに、フランジ部領域１５１ｂ，１５１ｃを、凸部領域１５１ａから遠ざかるにつれて下方に向けて傾斜するように設けることで、さらに、洗浄液の排水効率を高めることができる。
【００３２】
さらに、凸部領域１５１ａの上面が略水平に配設し、この凸部領域１５１ａの高さ方向の長さ（Ｈ）が、後方から前方にかけて短くなるように設けることで、上下に配置された支持フレームの先端部における相互の間隔を広げることを可能とする。たとえば、従来の構造の支持フレームの場合を図６（Ａ），（Ｂ）に示し、本実施の形態における構造の支持フレームの場合を図７（Ａ），（Ｂ）に示して、両者を比較する。
【００３３】
図６（Ａ），（Ｂ）を参照して、従来の支持フレーム５５１の場合、支持フレーム５５１の高さ方向の長さ（Ｈ）は全体にわたって均一であり、約２５ｍｍ程度である。また、上方に位置する支持フレーム５５１の上面と、下方に位置する支持フレーム５５１の上面との間の距離は、約５５ｍｍである。ここで、支持フレーム５５１の上にガラス基板４００を載置した場合、ガラス基板４００を搬出するため、搬送アーム６００を挿入するための計算上の有効スペーズ距離は、支持フレーム５５１の上面と支持フレーム５５１の上面との間の距離（約５５ｍｍ）となる。
【００３４】
しかし、支持フレーム５５１の上にガラス基板４００を載置した場合、ガラス基板４００の自重により、約５ｍｍ程度の撓みが生じる。その結果、この状態での、搬送アーム６００を挿入するための実効有効スペーズ距離は、５０ｍｍとなる。ここで、基板用カセットへの基板の搬送搬出時に用いる搬送アーム６００の厚みは約２３ｍｍである。その結果、搬送アーム６００を基板用カセット内に挿入させる場合のクリアランスは２７ｍｍとなる。
【００３５】
次に、搬送アーム６００によりガラス基板を搬出させる場合には、搬送アーム６００によりガラス基板４００を上方に持ち上げる必要が生じる。この場合、上側に位置する支持フレーム５５１にガラス基板４００が載置されている場合には、支持フレーム５５１が撓んでいるため、上側の支持フレーム５５１の下面と下側の支持フレーム５５１の上面との間隔は約２５ｍｍとなる。したがって、ガラス基板４００の持ち上げ許容距離は約２５ｍｍとなる。
【００３６】
一方、図７（Ａ），（Ｂ）を参照して、本実施の形態における支持フレーム１５１の場合、支持フレーム１５１の高さ方向の長さ（Ｈ）は先端側に向かうにしたがって徐々に高さが細くなる形態を有し、先端部の高さは約１５ｍｍ程度である。上方に位置する支持フレーム１５１の上面と、下方に位置する支持フレーム１５１の上面との間の距離は、従来と同様に約５５ｍｍである。ここで、支持フレーム１５１の上にガラス基板４００を載置した場合、ガラス基板４００を搬出するため、搬送アーム６００を挿入するための計算上の有効スペーズ距離は、支持フレーム１５１の上面と支持フレーム１５１の上面との間の距離（約５５ｍｍ）となる。
【００３７】
支持フレーム１５１の上にガラス基板４００を載置した場合、ガラス基板４００の自重により、従来と同様に約５ｍｍ程度の撓みが生じる。その結果、この状態での、搬送アーム６００を挿入するための実効有効スペーズ距離は、５０ｍｍとなる。ここで、基板用カセットへの基板の搬送搬出時に用いる搬送アーム６００の厚みは約２３ｍｍである。その結果、搬送アーム６００を基板用カセット内に挿入させる場合のクリアランスは、従来と同様に２７ｍｍとなる。
【００３８】
次に、搬送アーム６００によりガラス基板を搬出させる場合には、搬送アーム６００によりガラス基板４００を上方に持ち上げる必要が生じる。この場合、上側に位置する支持フレーム１５１にガラス基板４００が載置されている場合には、支持フレーム１５１が撓んでいるため、上側の支持フレーム１５１の下面と下側の支持フレーム１５１の上面との間隔は約３５ｍｍとなる。したがって、ガラス基板４００の持ち上げ許容距離は約３５ｍｍとなる。
【００３９】
このように、従来の構造に比べ、搬送アーム６００を基板用カセット内に挿入させる場合のクリアランスは維持させたまま、ガラス基板４００の持ち上げ許容距離を大幅に拡大することを可能とする（プラス１０ｍｍ）。
【００４０】
なお、上記実施の形態においては、支持フレームを２列設ける場合を図示しているが、図８の大型基板用カセット１００Ａに示すように、支持フレームを４列設ける（支持フレーム１５１〜１５４，１６１〜１６４，１７１〜１７４，１８１〜１８４，１９１〜１９４）構成の採用も可能であり、また、この支持フレームの列数は、搬送すべきガラス基板の大きさに応じて適宜選択されるものである。
【００４１】
また、図９に示すように、支持フレーム１５１にアルミ部材を用いた場合には、その表面に（他の支持フレームにおいても同様である）被覆膜１５２を設けるようにすることも可能である。この被覆膜１５２におていては、表面抵抗値、電気導電性（静電気防止）、熱伝導性・耐熱性、面精度・潤滑性・耐磨耗性・発塵性、耐食性・硬度・気密性、抗菌性等がコントロールされる。たとえば、植田アルマイト工業社製、ユニマイト（登録商標）を用いることが可能である。
【００４２】
なお、本実施の形態における支持フレームにおいては、先端部に向かうほど、高さ（Ｈ）および幅（Ｗ）が狭くなるように設けているが、本発明の特徴は、ハット型の断面形状を有している点にあり、高さ（Ｈ）および幅（Ｗ）が狭くならならない構成、高さ（Ｈ）のみ、または、幅（Ｗ）のみが狭くなる構成の採用も可能である。また、図１０に示すように、支持フレーム１５１Ａの途中領域から高さ（Ｈ）が狭くなる形態、図１１に示すように、支持フレーム１５１Ｂの途中領域から幅（Ｗ）が狭くなる形態の採用も可能である。
【００４３】
したがって、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に基づいた実施の形態における大型基板用カセットの構成を示す全体斜視図である。
【図２】本発明に基づいた実施の形態における大型基板用カセットに用いられる支持フレームの平面図である。
【図３】本発明に基づいた実施の形態における大型基板用カセットに用いられる支持フレームの側面図である。
【図４】図２中ＩＶ−ＩＶ矢視断面図である。
【図５】本発明に基づいた実施の形態における大型基板用カセットに用いられる支持フレームの、後側フレームへの取付け構造を示す分解部分斜視図である。
【図６】従来構造の大型基板用カセットに用いられる支持フレームの問題点を示す図である。
【図７】本発明に基づいた大型基板用カセットに用いられる支持フレームの作用効果を示す図である。
【図８】本発明に基づいた他の実施の形態における大型基板用カセットの構成を示す全体斜視図である。
【図９】本発明に基づいた他の実施の形態における支持フレームの他の形態を示す断面図である。
【図１０】本発明に基づいた他の実施の形態における支持フレームのさらに他の形態を示す断面図である。
【図１１】本発明に基づいた他の実施の形態における支持フレームのさらに他の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１００，１００Ａ  大型基板用カセット、１０１，１０２，１０３，１０４  底面外枠フレーム、１１０，１１１，１１２，１１３  コーナフレーム、１２１，１２２，１２３，１２４  上面外枠フレーム、１３０，１３１，１３２，１３３，１３４，１３５，１３６，１３７  基板側面ガイドフレーム、１４１，１４２，１４３，１４４  後側フレーム、１５１〜１５４，１６１〜１６４，１７１〜１７４，１８１〜１８４，１９１〜１９４，１５１Ａ，１５１Ｂ  支持フレーム、１５１ａ  凸部領域、１５１ｂ，１５１ｃ  フランジ部領域、１５２  被覆膜、２００  スペーサ、２０１  本体部、２０１ｈ，２０２ｈ  ビス孔、２０２  突出部、２０３，２０４  ビス、２１０  支持ピン、４００  ガラス基板、６００  搬送アーム、Ｓ  スリット溝。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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