(57)【要約】【課題】狭ピッチの半導体素子を検査するための接触特性が安定し、組立性の良好な検査装置の製造が困難である。【解決手段】本発明は、狭ピッチに形成された検査対象物の電極と電気的に接触する第一の接触端子と、該第一の接触端子から引き回された配線と、該配線と電気的に接触する第二の接触端子を有し、両者の接触端子は結晶性を有する部材のエッチング穴を用いて形成し、金属シートで裏打ちされたプローブシートを用いたプローブカードおよびそれを用いた半導体装置の検査方法（製造方法）である。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子と、該接触端子各々から引き出された配線と、該配線と電気的に接続され、かつ多層配線基板の電極に接続される複数の周辺電極とを有するプローブシートであって、
該接触端子及び該周辺電極は、角錐形状又は角錐台形状であることを特徴とするプローブシート。
【請求項２】
被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子と、該接触端子各々から引き出された配線と、該配線と電気的に接続され、かつ多層配線基板の電極に接続される複数の周辺電極とを有するプローブシートであって、
該複数の接触端子を取り囲むように形成された第１の金属膜と、該第１の金属膜を取り囲むように形成された第２の金属膜とを有することを特徴とするプローブシート。
【請求項３】
被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子と、該接触端子各々から引き出された配線と、該配線と電気的に接続され、かつ多層配線基板の電極に接続される複数の周辺電極とを有するプローブシートであって、
該接触端子及び該周辺電極は、角錐形状又は角錐台形状であり、
該複数の接触端子と該複数の周辺電極との間に、該複数の接触端子を取り囲むように形成された第１の金属膜と、該第１の金属膜を取り囲むように形成された第２の金属膜とを有することを特徴とするプローブシート。
【請求項４】
請求項２又は３記載のプローブシートであって、
該第１の金属膜の外周は、円状に形成されることを特徴とするプローブシート。
【請求項５】
請求項２又は３記載のプローブシートであって、
該プローブシートの該第１の金属膜と該第２の金属膜との間の領域は、該プローブシートの該第１の金属膜又は該第２の金属膜が形成された領域よりも柔軟性があることを特徴とするプローブシート。
【請求項６】
請求項２又は３記載のプローブシートであって、
さらに、該複数の周辺電極を取り囲むように形成された第３の金属膜を有し、該第３の金属膜には位置決め用の孔が設けられていることを特徴とするプローブシート。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載のプローブシートであって、
該接触端子及び該周辺電極は、結晶性を有する基板の異方性エッチングによる穴を型材としてめっきすることにより形成されたものであることを特徴とするプローブシート。
【請求項８】
請求項７記載のプローブシートであって、
該周辺電極は、格子状に配置されていることを特徴とするプローブシート。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載のプローブシートであって、
さらに、該配線と電気的に接続されるグランド層及び電源層を有し、
該グランド層又は該電源層に接続される配線は、該グランド層と該電源層のいずれにも接続されない配線よりも、配線幅が広く形成されていることを特徴とするプローブシート。
【請求項１０】
被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子と、該接触端子各々から引き出された配線と、該配線と電気的に接続される電極を有する多層配線基板を有するプローブカードであって、
該多層配線基板の電極と該配線とは、角錐形状又は角錐台形状の周辺電極を介して電気的に接続されていることを特徴とするプローブカード。
【請求項１１】
被検査対象の電気的特性を検査するテスタと電気的に接続される多層配線基板と、
該多層配線基板の電極に接続される複数の周辺電極と被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子とを有するプローブシートと、
該プローブシートの該複数の接触端子が形成された領域に押し付け力を付与する手段とを有するプローブカードであって、
該プローブシートは、さらに、該複数の接触端子を取り囲むように形成された第１の金属膜と、該第１の金属膜を取り囲むように形成された第２の金属膜とを有し、
該押し付け力を付与する手段は、該第２の金属膜が形成された領域に対して該第１の金属膜が形成された領域及び該複数の接触端子が形成された領域が傾動可能になるように、配置されていることを特徴とするプローブカード。
【請求項１２】
被検査対象の電気的特性を検査するテスタと電気的に接続される多層配線基板と、
該多層配線基板の電極に接続される複数の周辺電極と被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子とを有するプローブシートと、
該プローブシートの該複数の接触端子が形成された領域に押し付け力を付与する手段とを有するプローブカードであって、
該接触端子及び周辺電極は、角錐形状又は角錐台形状であり、
該プローブシートは、さらに、該複数の接触端子を取り囲むように形成された第１の金属膜と、該第１の金属膜を取り囲むように形成された第２の金属膜とを有し、
該押し付け力を付与する手段は、該第２の金属膜が形成された領域に対して該第１の金属膜が形成された領域及び該複数の接触端子が形成された領域が傾動可能になるように、配置されていることを特徴とするプローブカード。
【請求項１３】
請求項１１又は１２記載のプローブカードであって、
該第１の金属膜と該第２の金属膜との間の領域は、該プローブシートの該第１の金属膜又は該第２の金属膜が形成された領域よりも柔軟性を有することを特徴とするプローブカード。
【請求項１４】
請求項１１又は１２記載のプローブカードであって、
該プローブシートは、さらに、該複数の周辺電極を取り囲むように形成され、かつ位置決め用の孔が設けられた第３の金属膜を有し、
該多層配線基板は、さらに、位置決め用の孔を有し、
該複数の周辺電極と該多層配線基板の電極との接続は、該第３の金属膜に設けられた位置決め用の孔及び該多層配線基板に設けられた位置決め用の孔を通るノックピンを挿入することにより位置合わせしていることを特徴とするプローブカード。
【請求項１５】
請求項１４記載のプローブカードであって、
該複数の周辺電極及び該多層配線基板の電極は、格子状に配置されていることを特徴とするプローブカード。
【請求項１６】
請求項１０から１５のいずれかに記載のプローブカードであって、
該接触端子及び該周辺電極は、結晶性を有する基板の異方性エッチングによる穴を型材としてめっきすることにより形成されたものであることを特徴とするプローブカード。
【請求項１７】
被検査対象を載せる試料台と、
該被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子を有し、かつ該被検査対象の電気的特性を検査するテスタと電気的に接続されるプローブカードと、
を有する半導体検査装置であって、
該プローブカードは、請求項１０から１６のいずれかであることを特徴とする半導体検査装置。
【請求項１８】
ウエハに回路を作りこみ、半導体素子を形成する工程と、該半導体素子の電気的特性を検査する工程と、該ウエハをダイシングし、該半導体素子ごとに分離する工程と
を有する半導体装置の製造方法であって、
該半導体素子の電気的特性を検査する工程では、
該半導体素子の電極に接触する複数の接触端子と、該複数の接触端子を取り囲むように形成された第１の金属膜と、該第１の金属膜を取り囲むように形成された第２の金属膜とを有するプローブシートを用い、
該プローブシートの該第１の金属膜が形成された領域及び該複数の接触端子が形成された領域に押し付け力を付与しつつ、該複数の接触端子を該半導体素子に設けられた電極に接触させて検査することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項１９】
ウエハに回路を作りこみ、半導体素子を形成する工程と、該半導体素子の電気的特性を検査する工程と、該ウエハをダイシングし、該半導体素子ごとに分離する工程と
を有する半導体装置の製造方法であって、
該半導体素子の電気的特性を検査する工程では、
該半導体素子の電極に接触する複数の接触端子、該複数の接触端子を取り囲むように形成された第１の金属膜、及び該第１の金属膜を取り囲むように形成された第２の金属膜とを有するプローブシートと、
該プローブシートの該第１の金属膜が形成された領域及び該複数の接触端子が形成された領域に押し付け力を付与する手段と、
を有するプローブカードを用いて、
該複数の接触端子を該半導体素子に設けられた電極に接触させて検査することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２０】
請求項１８又は１９記載の半導体装置の製造方法であって、
該複数の接触端子は、角錐形状又は角錐台形状であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２１】
請求項２０記載の半導体装置の製造方法であって、
該複数の接触端子は、結晶性を有する基板の異方性エッチングによる穴を型材としてめっきすることにより形成されたものであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プローブシート、プローブカード、および半導体検査装置および半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体素子回路をウエハに形成後に行う半導体装置の製造工程のうち、主に検査工程の流れの一例を、代表的な半導体装置の出荷形態であるパッケージ品、ベアチップおよびＣＳＰを例にして、図１２に示した。
【０００３】
半導体装置の製造工程では、図１２に示したように大きく分けて次の３つの検査が行われる。まず、ウエハに半導体素子回路および電極を形成したウエハ状態で行われ、導通状態および半導体素子の電気信号動作状態を把握するウエハ検査、続いて半導体素子を高温や高印加電圧等の状態において不安定な半導体素子を摘出するバーンイン検査、そして半導体装置を出荷する前に製品性能を把握する選別検査である。
【０００４】
このような半導体装置の検査に用いられる装置（半導体検査装置）の従来技術として、特許文献１がある（以下、従来技術１という）。この技術は、薄膜支持フレームと、この支持フレームに固定されたフレキシブルな薄膜と、試験される装置の接触パッド上に加圧されるように薄膜の外面の中央領域に設けられた複数の試験プローブ接触子と、各プローブ接触子を試験回路へ接続する薄膜上の複数の導電性トレースと、プローブ試験接触子が試験されるべき装置の接触パッド上に加圧されたときに前記薄膜中央領域を自動的に回動させる手段（中央領域の薄膜の内面に固定された加圧プレートとこの加圧プレートの中央をピボット的に加圧する頭部が半球形のピボットポストからなる）とを具備した自己水平化薄膜試験プローブが記載されている。
【０００５】
他の従来技術として、特許文献２がある（以下、従来技術２という）。この技術は、支持部材と、先端を尖らせた接触端子をプロービング側の領域部に複数併設し、該各接触端子に電気的につながって引き出される複数の引き出し用配線と絶縁層を挟んでグランド層とを有する多層フィルムと、多層フィルムにおける裏側に固定された枠と、押さえ部材と、各接触端子の先端を各電極に接触させるための接触圧を前記支持部材から前記押さえ部材に対して付与する接触圧付与手段と、前記接触端子群の先端面を前記電極群の面に接触させる際、接触端子群の先端面が電極群の面に倣って平行出しするコンプライアンス機構とを備えた接続装置、及び該接続装置を検査対象物の電極に接触させることにより、電気的接続を取り検査を行う検査システムが記載されている。
【０００６】
【特許文献１】
特開平７−７０５６号公報（特願平６−２８２００）
【特許文献２】
特開平１１−２３６１５号公報（特願平１０−４９９１２）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来技術１では、接触端子を接触端子を加圧するために薄膜の周辺部を固着し、薄膜全体が伸びて張った状態で、加圧する方式である。したがって加圧プレートと被検査対象物との平行出しは、薄膜の張力に依存しており、また、薄膜を配線基板下面から張り出させる場合、大きな引っ張り力が薄膜にかかるため配線が断線しやすくなり、薄膜の張り出し量に限界がある。また、薄膜が伸びた状態となるため、接触端子先端部の配置が拡大し、先端位置精度の確保が困難となる。さらに、ピボットポストと加圧プレートには、初期的な平行出し機構がなく、傾いた状態で被検査対象物に片当たりしてしまう可能性もあり、被検査対象物を損傷する恐れが大きい。
【０００８】
一方、上記従来技術２では、接触圧荷重制御も、平行出し倣いも、センターピボットの周囲に設けられたスプリングプローブで行われるため、両者の制御動作を両立するようにスプリング圧を設定することが難しく、さらに押さえ部材が横方向にずれてしまうという課題を有していた。また、接触端子先端部の位置精度は、薄膜の張り出し量に微妙に連動して変動するため、先端位置精度の確保が難しいという課題を有している。
【０００９】
以上説明したように、何れの従来技術においても、半導体素子等の被検査対象物の高密度化に伴う狭ピッチ多ピンに対応したプロービングを、被検査対象物および接触端子を損傷することなく、接触端子先端の位置精度を確保して、低荷重で安定し、組み立てが容易な方式を実現しようとする点について、満足できるものではなかった。
【００１０】
また、近年の半導体素子の高集積化に伴って、電極の狭ピッチ化（例えば０．１ｍｍ程度以下）や高密度化が更に進むようになり、加えて、信頼性をより明確に把握するための高温（例えば８５℃〜１５０℃）での動作試験が実施される傾向になってきているため、これらに対応できる検査装置が望まれている。
【００１１】
本発明の目的は、接触端子の先端位置精度を確保し、狭ピッチの電極構造を有する半導体素子を確実に検査できる検査装置を提供することである。
【００１２】
本発明の他の目的は、周辺電極への良好な接続を確保し、信頼性を向上させた半導体装置の製造方法を提供することである。
【００１３】
本発明の他の目的は、シート組み込み性を向上し、検査装置の組み立てコストを抑えて半導体装置の検査工程のコストを抑えることにより、半導体装置全体の製造コストを抑えた半導体装置の製造方法を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記いずれかの目的を達成するために、本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば次のとおりである。
（１）被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子と、該接触端子各々から引き出された配線と、該配線と電気的に接続される複数の周辺電極とを有するプローブシートであって、該接触端子及び該周辺電極は、角錐形状又は角錐台形状であることを特徴とするプローブシート。
（２）被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子と、該接触端子各々から引き出された配線と、該配線と電気的に接続される複数の周辺電極とを有するプローブシートであって、該複数の接触端子を取り囲むように形成された第１の金属膜と、該第１の金属膜を取り囲むように形成された第２の金属膜とを有することを特徴とするプローブシート。
（３）被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子と、該接触端子各々から引き出された配線と、該配線と電気的に接続される電極を有する多層配線基板を有するプローブカードであって、該多層配線基板の電極と該配線とは、角錐形状又は角錐台形状の周辺電極を介して電気的に接続されていることを特徴とするプローブカード。
（４）被検査対象の電気的特性を検査するテスタと電気的に接続される多層配線基板と、該多層配線基板の電極に接続される複数の周辺電極と被検査対象に設けられた電極と接触する複数の接触端子とを有するプローブシートと、
該プローブシートの該複数の接触端子が形成された領域に押し付け力を付与する手段とを有するプローブカードであって、該プローブシートは、さらに、該複数の接触端子を取り囲むように形成された第１の金属膜と、該第１の金属膜を取り囲むように形成された第２の金属膜とを有し、該押し付け力を付与する手段は、該第２の金属膜が形成された領域に対して該第１の金属膜が形成された領域及び該複数の接触端子が形成された領域が傾動可能になるように、配置されていることを特徴とするプローブカード。
（５）ウエハに回路を作りこみ、半導体素子を形成する工程と、該半導体素子の電気的特性を検査する工程と、該ウエハをダイシングし、該半導体素子ごとに分離する工程とを有する半導体装置の製造方法であって、該半導体素子の電気的特性を検査する工程では、該半導体素子の電極に接触する複数の接触端子、該複数の接触端子を取り囲むように形成された第１の金属膜、及び該第１の金属膜を取り囲むように形成された第２の金属膜とを有するプローブシートと、該プローブシートの該第１の金属膜が形成された領域及び該複数の接触端子が形成された領域に押し付け力を付与する手段と、を有するプローブカードを用いて、該複数の接触端子を該半導体素子に設けられた電極に接触させて検査することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、発明の実施の形態を、図面を用いて詳しく説明する。なお、発明の実施の形態を説明するために添付する各図面において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【００１６】
本明細書中では、主な用語を次のように定義する。半導体装置とは、その形態に関わらず、回路が形成されたウエハ状態のもの（例えば、図１（ａ））であっても、半導体素子（例えば、図１（ｂ））であっても、その後パッケージされたもの（ＱＦＰ、ＢＧＡ、ＣＳＰ等）であっても構わない。尚、図１は被検査対象の一例であり、電極３の配列は、周辺電極配列であるか全面電極配列であるかを問わない。プローブシートとは、被検査対象の電極と接触する接触端子とそこから引き出された配線を有するシートをいう。プローブカードとは、被検査対象の電極と接続して、測定器であるテスタと該被検査対象とを電気的に接続するコネクタとして機能する構造体（例えば、図２に示す構造体）をいう。
【００１７】
本発明に係るプローブカードの構造について図２および図３を用いて説明する。図２（ａ）は、本発明に係るプローブカードの第１の実施の形態の要部を示す断面図であり、図２（ｂ）は、その主要部品を分解して図示した斜視図である。本プローブカードの第１の実施の形態は、支持部材（上部固定板）７と、該支持部材７にねじ止めされる中間板２４の中央部に高さ方向に調整可能に固定され、下部先端に突起部１２ａを有してセンターピボットの働きをし、該突起部１２ａの先端を支点として可動する押し駒２２を介してプローブシート６に押圧力を付与するばね１２ｂを装填したスプリングプローブ１２と、該プローブシート６の複数個の接触端子４が形成された領域を囲むように裏面に接着固定された枠２１と、プローブシート６の接触端子４が形成された領域の裏面との間にシリコーンシートなどの緩衝材２３および押し駒２２を中央部に有し、該枠２１にねじ止めされる中間板２４とを含み構成される。そして、この支持部材７は、該支持部材７に設けられた平行出し調整ねじ２５により、プローブカードの接触端子４の面と半導体素子の対応する電極面の平行出しが実施される。
【００１８】
本プローブカードでは、中間板２４の中央部に設置したスプリングプローブ１２の先端の突起部１２ａにより微傾動可能に保持された押し駒２２に対し、該スプリングプローブ１２により所望のほぼ一定の押し付け力（例えば、５００ピン程度の場合、押し込み量１５０μｍで２０Ｎ程度）を付与する（押圧する）ことにより、複数個の接触端子が形成された領域に所望のほぼ一定の押し付け力を付与する構造の、コンプライアンス機構を用いている。なお、押し駒２２の上面中央部に突起部１２ａと係合する円錐溝２２ａが形成されている。
【００１９】
上記プローブシート６は、図２（ａ）（ｂ）に示すように、シートのプロービング側の中央領域部に半導体素子２の電極群３と接触するための複数個の接触端子４を形成し、該接触端子４の周囲を二重に囲むように金属膜３０ａおよび枠２１に対応した領域に金属膜３０ｂを形成し、プローブシート６の４辺の周辺部に多層配線基板５０との信号授受のための複数個の周辺電極５を形成し、該周辺電極５を囲むように周辺電極固定板９に対応した領域に金属膜３０ｃを形成し、該接触端子４と周辺電極５との間に多数の引き出し配線２０を形成したプローブシート６で形成される。更に、上記接触端子４を形成した領域のプローブシート６の裏面には、枠２１が接着固定され、信号授受のためのプローブシート６の周辺電極５を形成した部分の裏面には、周辺電極固定板９が接着固定される。更に、上記枠２１は、中間板２４にねじ止めされる。この中間板２４には、スプリングプローブ１２が固定され、下部先端の突起部１２ａが、押し駒２２の上面中央に形成された円錐溝２２ａと係合するように構成される。
【００２０】
なお、金属膜３０ａは、図３ｂに示したように、複数個の接触端子４の群の中央部に間隔がある場合は、中央部にも金属膜３０ｄを形成してもよい。また、金属膜３０ｃには、位置決め用のノックピン用孔３０ｅおよびねじ挿入用孔３０ｆをパターン形成しておくことにより、組み立て性を向上することができる。
【００２１】
例えば、図１３に示したように、金属膜３０ｃの位置決め用のノックピン用孔３０ｅおよび多層配線基板５０の対応するノックピン用孔５０ｅおよび下押さえ板３３のノックピン用孔３３ｅおよび周辺電極固定板９のノックピン用孔９ｅを用いて、ノックピン３４により全体を位置決めして、周辺電極固定板９を下押さえ板３３にねじ止め固定する。次に、プローブシート６に周辺電極５の群を囲むように固着した周辺電極固定板９に緩衝材３１をはさんで周辺押さえ板３２を、周辺電極固定板９のノックピン用孔９ｅおよび周辺押さえ板３２のノックピン用孔３２ｅを用いてノックピン３４で位置決めして、下押さえ板３３にねじ止め固定することにより、緩衝材３１を介して周辺電極５の群を多層配線基板５０の電極５０ａに押し付けて接続する。
【００２２】
ここで、プローブシート６の接触端子４の群を二重に取り囲むように円状の金属膜３０ａおよび（枠２１に対応した領域に）金属膜３０ｂを形成することにより、内側の金属膜３０ａで、該接触端子群の位置精度を確保し、枠２１に対応した領域に形成した金属膜３０ｂとその内側の金属膜３０ａとの間の金属膜３０のない柔軟性を有したプローブシート領域で、接触対象のウエハ面の微妙な傾きに金属膜で裏打ちされた部分を保ったまま倣い動作ができる構造が実現可能となる。すなわち、複数の接触端子４が金属膜３０ａで取り囲むことで、検査動作時に該接触端子が形成された領域に余分な応力が加わるのを防ぐことができ、従って被検査対象の電極との精確な接触が実現できる。加えて、金属膜３０を、４２アロイあるいはインバーなどのシリコンウエハとほぼ同程度の線膨張率を持った材料を使用することにより、被検査対象（シリコンウエハ）とほぼ一致することができ、高温時でも接触端子先端の位置精度を確保することができる。
【００２３】
また、前記したようにプローブシート６の周辺部の周辺電極５の群を囲むように周辺電極固定板９に対応した領域に金属膜３０ｃを形成することにより、プローブシート６の強度を確保でき、該周辺電極群の位置精度を確保することができ、組み立て時の取り扱いも容易となる。加えて、金属膜３０ｃにホトリソマスクによる一括エッチング処理で、位置精度および形状が正確な位置決め用孔およびねじ挿入孔を形成することにより、組み立て作業を容易にすることができる。
【００２４】
次に、本発明に係る接続装置の第２の実施の形態を図３を用いて説明する。図３（ａ）は、本発明に係る接続装置の第２の実施の形態の要部を示す断面図であり、図３（ｂ）は、その主要部品を分解して図示した斜視図である。本接続装置の第２の実施の形態における第１の実施の形態と相違する点は、押し駒２２に押圧力を付与する手段として、スプリングプローブ１２にかえてスプリングプランジャ１３および突起状の押さえピン１４を用いる点、あるいは該スプリングプランジャ１３を固定した中間板２４と、支持部材７とを板ばね１５で可動な状態で保持する構造を用いる点、あるいは金属膜３０ａの接触端子群４の中央部に間隔がある場合は、中央部にも金属膜３０ｄを形成する点にある。いずれの変更も、第１の実施の形態の例で開示した構造と必要に応じて組み合わせて実施可能である。
【００２５】
尚、所望のほぼ一定の押し付け力を付与するコンプライアンス機構は、上記実施の形態に限らず、種々変更してもよい。
【００２６】
次に、前記プローブカードにて用いられるプローブシート（構造体）の一例について、その製造方法を図４を参照して、説明する。
【００２７】
図４は、図２に示すプローブカードを形成するための製造プロセスのうち、特に、型材であるシリコンウエハ８０に異方性エッチングで形成した角錐台状の穴を型材として用いて、角錐台状の接触端子先端部および引き出し配線２０をポリイミドシートと一体で形成し、該ポリイミドシートに金属膜をポリイミド接着シートで接合し、該金属膜に補強板および位置決め用ノックピン孔としてエッチング加工して形成したプローブシート６を形成する製造プロセスを工程順に示したものである。
【００２８】
まず図４（ａ）に示す工程が実行される。この工程は、厚さ０．２〜０．６ｍｍのシリコンウエハ８０の（１００）面の両面に熱酸化により二酸化シリコン膜８１を０．５μｍ程度形成し、ホトレジストを塗布し、フォトリソグラフィ工程により角錐台状の穴をあける位置のホトレジストを除去したパターンを形成した後、該ホトレジストをマスクとし、二酸化シリコン膜８１をフッ酸とフッ化アンモニウムの混合液によりエッチング除去して、前記二酸化シリコン膜８１をマスクとして、シリコンウエハ８０を強アルカリ液（例えば、水酸化カリウム）により異方性エッチングして、（１１１）面に囲まれた角錐台状のエッチング穴８０ａを形成する工程が実行される。
【００２９】
ここで、本実施例ではシリコンウエハ８０を型材としたが、型材としては、結晶性を有するものであればよく、その範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。また、本実施例では異方性エッチングによる穴を角錐台状としたが、その形状は、角錐状でもよく、小さな針圧で安定した接触抵抗を確保できる程度の接触端子４を形成できる形状の範囲で、種々変更可能である。また、接触対象とする電極に、複数の接触端子で接触するようにしてもよいことはいうまでもない。
【００３０】
次に、図４（ｂ）に示す工程が実行される。この工程はマスクとして用いた二酸化シリコン膜８１をフッ酸とフッ化アンモニウムの混合液によりエッチング除去して、再度シリコンウエハ８０の全面を、ウェット酸素中での熱酸化により、二酸化シリコン膜８２を、０．５μｍ程度形成し、その表面に導電性被覆８３を形成し、次に該導電性被覆８３の表面に、ポリイミド膜８４を形成し、ついで、接触端子４を形成すべき位置にあるポリイミド膜８４を、上記導電性被覆８３の表面に至るまで除去する工程が実行される。
【００３１】
上記導電性被覆８３としては、例えば、クロムをスパッタリング法あるいは蒸着法により成膜することにより、厚さ０．１μｍ程度のクロム膜を形成して、該クロム膜を形成した表面に銅をスパッタリング法あるいは蒸着法により成膜することにより、厚さ１μｍ程度の銅膜を形成すればよい。該銅膜に数μｍ厚の銅をめっきで形成して、レーザ加工の耐性を増してもよい。上記ポリイミド膜８４を除去するには、例えば、レーザ穴あけ加工あるいはポリイミド膜８４の表面にアルミニウムマスクを形成してドライエッチングを用いればよい。
【００３２】
次に、図４（ｃ）に示す工程が実行される。まず、該ポリイミド膜８４の開口部に露出した導電性被覆８３に、該導電性被覆８３を電極として、硬度の高い材料を主成分として電気めっきして、接触端子４および接続電極部４ｂを一体として形成する。硬度の高いめっき材料として、例えば、ニッケル８ａ、ロジウム８ｂ、ニッケル８ｃを順次にめっきして接触端子４および接続電極部４ｂを一体として接触端子部８を形成すればよい。
【００３３】
次に、上記の接触端子部８およびポリイミド膜８４に導電性被覆８６を形成し、ホトレジストマスク８７を形成した後、配線材料８８をめっきする。
【００３４】
上記導電性被覆として、例えば、クロムをスパッタリング法あるいは蒸着法により成膜することにより、厚さ０．１μｍ程度のクロム膜を形成して、該クロム膜を形成した表面に銅をスパッタリング法あるいは蒸着法により成膜することにより、厚さ１μｍ程度の銅膜を形成すればよい。また、配線材料としては、銅を用いればよい。
【００３５】
次に、図４（ｄ）に示す工程が実行される。この工程は上記ホトレジストマスク８７を除去し、配線材料８８をマスクとして導電性被覆８６をソフトエッチング除去した後、接着層８９および金属膜３０を形成し、該金属膜３０にホトレジストマスク９１を形成するものである。
【００３６】
ここで、接着層８９としては、例えば、ポリイミド系接着シートあるいは、エポキシ系接着シートを用いればよい。また、金属膜３０として、４２アロイ（ニッケル４２％および鉄５８％の合金で線膨張率４ｐｐｍ／℃）あるいはインバー（例えば、ニッケル３６％および鉄６４％の合金で線膨張率１．５ｐｐｍ／℃）の様な低線膨張率で、かつシリコンウエハ（シリコン型材）８０の線膨張率に近い金属シートを、接着層８９で配線材料８８を形成したポリイミド膜８４に貼り合わせて構成することにより、形成されるプローブシート６の強度向上、大面積化が図れるほか、検査時の温度による位置ずれ防止等、様々な状況下での位置精度確保が可能である。この主旨において、金属膜３０としては、バーンイン検査時の位置精度確保をねらい、被検査対象の半導体素子の線膨張率に近い線膨張率の材料を用いてもよい。
【００３７】
上記接着工程は、例えば、接触端子部８および配線材料８８を形成したポリイミド膜８４を形成したシリコンウエハ８０と、接着層８９および金属膜３０を重ね合わせて、１０〜２００Ｋｇｆ／ｃｍ２で加圧しながら接着層８９のガラス転移点温度（Ｔｇ）以上の温度を加え、真空中で加熱加圧接着すればよい。
【００３８】
次に、図４（ｅ）に示す工程が実行される。この工程は、上記ホトレジストマスク９１により金属膜３０をエッチングした後、プロセスリング９５を前記金属膜３０に接着剤９６で固着し、該プロセスリング９５に保護フィルム９７を接着した後、中央をくりぬいた保護フィルム９８をマスクとして二酸化シリコン８２をフッ酸とフッ化アンモニウムの混合液によりエッチング除去するものである。金属膜３０として、４２アロイシートあるいはインバーシートを用いた場合は、塩化第二鉄溶液でスプレーエッチングすればよい。また、ホトレジストマスクとしては、液状レジストでもフィルム状レジスト（ドライフィルム）でもよい。
【００３９】
次に、図４（ｆ）に示す工程が実行される。この工程は上記保護フィルム９７および９８を剥離し、シリコンエッチング用保護治具１００を取り付けて、シリコンをエッチング除去するものである。例えば、中間固定板１００ｄに、前記プロセスリング９５をねじ止めして、ステンレス製の固定治具１００ａとステンレス製のふた１００ｂとの間にＯリング１００ｃを介して装着し、型材であるシリコンウエハ８０を強アルカリ液（例えば、水酸化カリウム）によりエッチング除去すればよい。
【００４０】
次に、図４（ｇ）に示す工程が実行される。この工程は上記シリコンエッチング用保護治具１００を取り外し、図４（ｄ）と同様にプロセスリング９５に保護フィルムを接着し、二酸化シリコン８２および導電性被覆８３（クロムおよび銅）およびニッケル８ａをエッチング除去し、保護フィルムを除去した後、プローブシートの枠２１と金属膜３０ｂとの間、および周辺電極固定板９と金属膜３０ｃとの間に接着剤９６ｂを塗布して、金属膜３０の所定の位置に固着するものである。
二酸化シリコン膜８２は、フッ酸とフッ化アンモニウムの混合液によりエッチング除去し、クロム膜を過マンガン酸カリウム液によりエッチング除去し、銅膜およびニッケル膜８ａをアルカリ性銅エッチング液によりエッチング除去すればよい。
なお、この一連のエッチング処理の結果、接触端子表面に露出するロジウムめっき８ｂを用いるのは、電極３の材料であるはんだやアルミニウム等が付きにくく、ニッケルより硬度が高く、酸化されにくく接触抵抗が安定なためである。
【００４１】
次に、上記のプローブシート枠２１および周辺電極固定板９の外周部に沿って一体となったポリイミド膜８４および接着層８９を切り出すことで、図４（ｈ）のように、プローブカード１０５に取り付けられるプローブシートになる。
【００４２】
次に、上記プローブシートとは製造工程が若干異なる第二の形態のプローブシートの製造方法について、図５を参照して、その製造工程を説明する。
【００４３】
図５（ａ）〜（ｅ）は、プローブシートを形成する他の製造プロセスを工程順に示したものである。
【００４４】
まず図４（ａ）に示したシリコンウエハ８０に角錐状のエッチング穴８０ａを形成し、その表面に二酸化シリコン膜８２を形成し、その上に形成した導電性被覆８３の表面に、接続端子部８を開口するようにホトレジストマスク８５を形成する工程が実行される。
【００４５】
次に、図５（ｂ）に示す上記ホトレジストマスク８５をマスクとして、上記導電性被覆８３を給電層として電気めっきして、接触端子４ａおよび接続電極部４ｂを一体として形成し、該ホトレジストマスク８５を除去する工程が実行される。めっき材料として、例えば、ニッケル８ａ、ロジウム８ｂ、ニッケル８ｃを順次にめっきして接触端子４ａおよび接続電極部４ｂを一体として接触端子部８を形成すればよい。
【００４６】
次に、図５（ｃ）に示す工程が実行される。この工程は、上記接触端子部８および導電性被覆８３を覆うようにポリイミド膜８４ｂを形成し、上記接触端子部８からの引き出し配線接続用穴を形成すべき位置にある該ポリイミド膜８４ｂを、上記接触端子部８の表面に至るまで除去し、該ポリイミド膜８４ｂに導電性被覆８６を形成し、ホトレジストマスク８７を形成した後、配線材料８８をめっきするものである。
上記ポリイミド膜８４ｂの一部を除去するには、例えば、レーザ穴あけ加工あるいはポリイミド膜８４ｂの表面にアルミニウムマスクを形成してドライエッチングを用いればよい。
上記導電性被覆として、例えば、クロムをスパッタリング法あるいは蒸着法により成膜することにより、厚さ０．１μｍ程度のクロム膜を形成して、該クロム膜を形成した表面に銅をスパッタリング法あるいは蒸着法により成膜することにより、厚さ１μｍ程度の銅膜を形成すればよい。また、配線材料としては、銅めっきあるいは、銅めっきにニッケルめっきをした材料を用いればよい。
【００４７】
次に、図５（ｄ）に示す工程が実行される。この工程は、上記ホトレジストマスク８７を除去し、配線材料８８をマスクとして導電性被覆８６をエッチング除去した後、接着層８９および金属膜９０を接着し、ホトレジストマスクで該金属膜９０をエッチングして所望の金属膜のパターンを形成するものである。
【００４８】
次に、図４（ｅ）〜（ｇ）と同様な工程を経て、図５（ｅ）に示すように、プローブカード１０５に取り付けられるプローブシートになる。
【００４９】
第三の形態のプローブシートの製造方法について、図６を参照して、その製造工程を説明する。
【００５０】
本プローブシートの製造方法は、初期的に選択エッチング用のめっき膜を形成する点以外は、図４、図５で記述したプローブシートの製造方法と同様である。該選択めっき膜６１は、接触端子の高さ（ポリイミド膜からの突出量）を確保するために用いるものである。本製造工程では、異方性エッチングによる穴を型材として接触端子を作成する場合でも、狭ピッチかつ高密度の接触端子を維持しつつ、その高さを独立、かつ自由に調整することができます。
【００５１】
上記の選択めっき膜６１を用いてプローブシートを形成する製造方法の一例について図６を用いて次に説明する。
【００５２】
まず、図６（ａ）に示す工程が実行される。この工程は、図４（ａ）、図４（ｂ）と同様な工程で、シリコンウエハ８０に角錐状のエッチング穴を形成し、その表面に二酸化シリコン膜８２および導電性被覆８３を形成し、図４（ｂ）とは異なり、接触端子部８を形成する部分に、ホトレジスト６０あるいはドライフィルムのパターンを形成する。
【００５３】
次に、図６（ｂ）に示す工程が実行される。前記の導電性被覆８３を電極として、選択めっき膜６１をめっきする。選択めっき膜６１としては、例えば、銅を１０〜５０μｍめっきする。
【００５４】
次に、図６（ｃ）に示す工程が実行される。この工程は、ホトレジスト６０および選択めっき膜（銅めっき層）６１の表面にクロム膜を形成し、その表面にポリイミド膜６２を形成し、該ポリイミド膜６２の表面にアルミニウムマスク６３を形成する工程が実行される。ここで、厚さ０．１μｍ程度のクロム膜を形成するのは、工程上でポリイミドとの接着性を確保するためであり、クロム膜を省略することも可能である。
【００５５】
次に、図６（ｄ）に示す工程が実行される。この工程は、前記ポリイミド膜６２の表面に形成したアルミニウムマスク６３により、レーザあるいはドライエッチでポリイミド膜６２およびホトレジスト６０を、接触端子部８を形成する部分に対応する部分を除去する工程が実行される。
【００５６】
次に、図６（ｅ）に示す工程が実行される。この工程は、前記アルミニウムマスク６３を除去して、導電性被覆８３および選択めっき膜６１を電極として、硬度の高い材料を主成分として電気めっきして、接触端子４ａおよび接続電極部４ｂを一体として形成するものである。硬度の高いめっき材料として、例えば、ニッケル８ａ、ロジウム８ｂ、ニッケル８ｃを順次にめっきして接触端子４ａおよび接続電極部４ｂを一体として接触端子部８を形成すればよい。
【００５７】
次に、図４（ｃ）〜図４（ｄ）と同様な工程で、図６（ｆ）に示した引き出し配線８８および所望の金属膜３０のパターンを形成する。
【００５８】
次に、図４（ｅ）〜図４（ｇ）と同様な工程で、図６（ｇ）に示したプローブシートを形成する。
【００５９】
第四の形態のプローブシートの製造方法について、図７を参照して、その製造工程を説明する。
【００６０】
本プローブシートの製造方法は、接触端子の高さ（ポリイミド膜からの突出量）を確保するため、図６と同様に初期的に選択エッチング用のめっき膜を形成する点以外は、図４、図５で記述したプローブシートの製造方法と同様である。図６で示した工程と異なる点は、接触端子部８を形成する部分に形成したホトレジスト６０を除去して、ポリイミドで接触端子部も一体的に充填する製法とする点である。
【００６１】
上記の選択めっき膜６１を用いてプローブシートを形成する製造方法の一例について図７を用いて次に説明する。
【００６２】
まず、図７（ａ）に示す工程が実行される。この工程は、図６（ａ）、図６（ｂ）と同様な工程で、シリコンウエハ８０に角錐状のエッチング穴を形成し、その表面に二酸化シリコン膜８２および導電性被覆８３を形成し、接触端子部８を形成する部分に、ホトレジスト６０あるいはドライフィルムのパターンを形成し、該導電性被覆８３を電極として、選択めっき膜６１をめっきする。その後、ホトレジスト６０を上記導電性被覆８３の表面に至るまですべて除去して、その後、クロム膜６４を形成し、ポリイミド６２ａで接触端子部も一体的に充填したポリイミド膜を形成する。この場合、クロム膜を省略することも可能である。
【００６３】
次に、図６（ｄ）〜図６（ｇ）と同様な工程で、図６（ｇ）に示したプローブシートを形成する。
【００６４】
なお、図７（ｃ）および図７（ｄ）に示したように、金属膜をマスクとして、ポリイミド接着層およびポリイミド膜をレーザあるいはドライエッチング等で接触端子部周辺を除去して、金属膜で補強され、接触端子部が配線材料で支持された両持ち梁あるいは、図７（ｅ）に示したように、片持ち梁を形成してもよい。これらの両持ち梁あるいは、片持ち梁構造により、接触端子の接触面の高さばらつき吸収量が大きくできる。これらの両持ち梁あるいは片持ち梁の構造は、他のプローブシートの製造法でも同様に形成してもよいことはいうまでもない。
【００６５】
第５の形態のプローブシートの製造方法について、図８を参照して、その製造工程を説明する。
【００６６】
本プローブシートの製造方法は、ホトレジスト６５を用いて接触端子部８を形成し、一旦、該ホトレジスト６５を除去して接触端子部８を露出し、ポリイミド膜８４ｂで覆った後、ポリイミド膜８４ｂの一部を除去して引き出し配線８８を形成する点以外は、図６で記述したプローブシートの製造方法と同様である。
【００６７】
上記の製造方法の一例について図８を用いて次に説明する。
【００６８】
まず、図８（ａ）に示す工程が実行される。この工程は、図６（ａ）〜図６（ｅ）と同様な工程で、選択めっき膜６１表面のホトレジスト６５のパターンを用いて、シリコンウエハ８０に形成した角錐状のエッチング穴を型材として、接触端子部８を形成する。ここで図６ｃのポリイミド膜６２あるいは図７ｂのポリイミド膜６２ａにかえて、除去が容易なホトレジスト６５を用いることが望ましい。
【００６９】
次に、図８（ｂ）に示す工程が実行される。この工程は前記のホトレジスト６５を除去して、接触端子部８のシリコンウエハ８０の反対面を露出し、ポリイミド膜８４ｂで覆った後、アルミニウムマスク６３ａを形成するものである。
【００７０】
次に、図８（ｃ）に示す工程が実行される。この工程は前記アルミニウムマスク６３ａを用いて引き出し配線８８と接続する部分のポリイミド膜８４ｂを接触端子部８の表面に至るまで除去し、その後、図６（ｆ）と同様の工程で、引き出し配線および接着層８９および金属膜３０のパターンを形成するものである。
【００７１】
次に、図４（ｅ）〜図４（ｇ）と同様な工程で、図８（ｄ）に示したプローブシートを形成する。
【００７２】
以上、プローブシートの製造方法について幾つか述べたが、その工程は必要に応じて適宜組合せ可能である。
【００７３】
なお、高速電気信号検査用のプローブとして電気信号の乱れを極力防止するためには、プローブシートの表面（両表面あるいは一方の面）あるいは、グランド層を挟んだプローブシート構造とすればよい。例えば、金属膜のパターンを形成した面に導電材料のスパッタ膜を形成する。スパッタ膜材料としては、クロム、チタン、銅、金、ニッケルなどを単独、あるいは組み合わせて用いればよい。
【００７４】
また、金属膜３０を可能な限り残して、グランド層７０として利用することも可能である。また、図９に示したように、銅膜を引き出し配線２０の上の接着層８９と金属膜３０との間に多層膜として形成し、グランド層７０として用いてもよい。また、図１０に示したように、例えば、図４（ｆ）の直後にシリコンウエハ８０をエッチング除去して、表面に導電性被覆８３が露出した段階で、ホトレジストマスクを形成して導電性被覆８３でグランド層７０を形成することも可能である。
【００７５】
以上、プローブシートのグランド層の形成方法については、前述の図４〜図８のどの製法のプローブカードにも適用できることは言うまでもない。
【００７６】
より高速の電気信号検査を可能にするために、接触端子の近傍に、電気信号の乱れを防止する目的で、コンデンサあるいは抵抗器などの搭載部品７２を設置するためのプローブシート６の一例を、図１４に示した。図１４（ａ）にグランド層７０および電源層７１をシート状にして、逐次積層形成したプローブシート６に搭載部品７２を接続した断面図、図１４（ｂ）に、プローブシート６表面に搭載部品７２を接続した平面概略図を示した。例えば、図１４（ｂ）のような状態でプローブシート６に搭載部品７２を接続する場合は、グランド用および電源用配線の配線幅を可能な限り広くして配線抵抗値を下げ、グランド配線と電源配線が隣同士（ペア線）になるように配置し、各々の配線に搭載する部品の接続用電極となる部分の絶縁層を、レーザあるいはドライエッチングなどの穴あけ加工技術を用いて穴あけ加工して、ビア形成用穴７２ａを設け、その穴に、はんだあるいはめっきなどの導電材料７２ｂを充填して、はんだ接合あるいは金属拡散接合などで搭載部品７２をプローブシート６に接合すればよい。
【００７７】
プローブシート６の周辺電極５の群を、多層配線基板５０の表面に形成した電極群５０ａに導通させるための該周辺電極群５のパターンおよびそれに対応する多層配線基板５０の該電極群５０ａのパターンの一例を、図１５に示した。
【００７８】
プローブシート６の配線２０および周辺電極５は、例えば、図４〜図８の製造プロセスによる薄膜配線形成により、ポリイミドシートの一方の面に接触端子が突出した形で形成され、ポリイミド内部に配線２０が形成される。そのため、配線２０がポリイミドで覆われるため、多層配線基板５０の表面に形成した電極群５０ａに配線２０が接触することがなく、短絡することがない構成である。このプローブシート６の周辺電極５の群を、スルーホールビア５０ｄで多層配線基板５０の内部配線５０ｂに接続された電極群５０ａに、前述したノックピン３４を用いて位置決めして、緩衝材３１を挟んで周辺押さえ板で押さえ込むことにより、両電極を圧接する。
【００７９】
ここで、個別の電極５０ａに対して、プローブシート６の周辺電極５を複数個形成するのは、接触面の異常や異物、凹凸などによる接触不良の可能性を少なくして、安定した接触を確保するためである。個々の周辺電極５に複数個の接触端子を設けるのは、電極の寸法に余裕がある場合に形成すればよいのであり、１個であってもよいことは、いうまでもない。
【００８０】
ここで、図４〜図８の製造プロセスによるプローブシート６を形成する場合、周辺電極５を角錐形状あるいは角錐台形状等の接触端子とすることができるため、従来の半球状めっきバンプや平面電極同士の接触と比較して、硬度のある接触端子で低接触圧で安定した接触特性値が実現でき、また、ホトリソ工程で形成するため、先端位置精度が良好な接続を実現できる。上記理由により先端位置精度が良好であることから、位置決め用孔による位置合わせだけで、多層配線基板５０の電極群５０ａとの正確な接続が容易に実現できる。なによりも、多層配線基板の電極群５０ａに接続するための周辺電極５を、ウエハ電極接続用の接触端子４と共に同一面側に一括形成することができ、効率的である。
【００８１】
次に、以上説明した本発明に係るプローブカードを用いた半導体検査装置について図１１を用いて説明する。
【００８２】
図１１は、本発明に係る半導体検査装置を含む検査システムの全体構成を示す図である。図１１は、所望の荷重をウエハ１の面に加えて電気特性検査を実施する試験装置を示す。この状態では、スプリングプローブ１２の荷重が全接触端子に加わり、ウエハ１の電極３に接触した接触端子４、引き出し配線２０、周辺電極５、配線基板５０の電極５０ａ、内部配線５０ｂ、接続端子５０ｃを通じて半導体素子の電気的特性の検査を行うテスタ（図示せず）との間で検査用電気信号の送受信が実施される。
【００８３】
検査システムの全体構成において、プローブカードはウエハプローバとして構成されている。この検査システムは、被検査対象である半導体ウエハ１を支持する試料支持系１６０と、被検査対象（ウエハ）１の電極３に接触して電気信号の授受を行うプローブカード１２０と、試料支持系１６０の動作を制御する駆動制御系１５０と、被検査対象１の温度制御を行う温度制御系１４０と、半導体素子（チップ）２の電気的特性の検査を行うテスタ１７０とで構成される。この半導体ウエハ１は、多数の半導体素子（チップ）が配列され、各半導体素子の表面には、外部接続電極としての複数の電極３が配列されている。試料支持系１６０は、半導体ウエハ１を着脱自在に載置してほぼ水平に設けられた試料台１６２と、この試料台１６２を支持するように垂直に配置される昇降軸１６４と、この昇降軸１６４を昇降駆動する昇降駆動部１６５と、この昇降駆動部１６５を支持するＸ−Ｙステージ１６７とで構成される。Ｘ−Ｙステージ１６７は、筐体１６６の上に固定される。昇降駆動部１６５は、例えば、ステッピングモータなどから構成される。試料台１６２の水平および垂直方向における位置決め動作は、Ｘ−Ｙステージ１６７の水平面内における移動動作と、昇降駆動部１６５による上下動などとを組み合わせることにより行われる。また、試料台１６２には、図示しない回動機構が設けられており、水平面内における試料台１６２の回動変位が可能にされている。
【００８４】
試料台１６２の上方には、プローブ系１２０が配置される。すなわち、例えば、図２に示すプローブカード１２０および多層配線基板５０は、当該試料台１６２に平行に対向する姿勢で設けられる。各々の接触端子４は、該プローブカード１２０のプローブシート６に設けられた引き出し配線２０、周辺電極５を介して、多層配線基板５０の電極５０ａおよび内部配線５０ｂとを通して、該配線基板５０に設けられた接続端子５０ｃに接続され、該接続端子５０ｃに接続されるケーブル１７１を介して、テスタ１７０と接続される。
【００８５】
ここで、ヒータにより所望の温度に加熱されたウエハと該ウエハの電極に接触して電気信号検査を実施するための接触端子を形成したプローブシートの温度差による位置ずれを防止し、位置合わせを精確にしかも短時間に実施するため、プローブシートあるいはプローブカードの表面あるいは内部にあらかじめ温度制御の可能な発熱体を形成しておいてもよい。発熱体としては、例えば、Ｎｉ−Ｃｒのような抵抗値の高い金属材料や高抵抗の導電樹脂を直接プローブシートあるいは多層配線基板層に形成したり、該材料を形成したシートをプローブシートにはさんだり、プローブカードに貼り付けてもよい。また、発熱体として暖めた液体をヒートブロック内のチューブに流して該ヒートブロックをプローブカードに接触させてもよい。
【００８６】
加熱されたウエハからの熱放射と、プロービング時の接触からプローブカードの温度が決まる従来方法と異なり、上記のようにプローブシートを独立して検査時の温度に保っておくことにより、ウエハとプローブシート間の検査時の温度差の発生を防止することができ、位置精度の精確なプロービングが可能となる。
【００８７】
駆動制御系１５０は、ケーブル１７２を介してテスタ１７０と接続される。また、駆動制御系１５０は、試料支持系１６０の各駆動部のアクチュエータに制御信号を送って、その動作を制御する。すなわち、駆動制御系１５０は、内部にコンピュータを備え、ケーブル１７２を介して伝達されるテスタ１７０のテスト動作の進行情報に合わせて、試料支持系１６０の動作を制御する。また、駆動制御系１５０は、操作部１５１を備え、駆動制御に関する各種指示の入力の受付、例えば、手動操作の指示を受け付ける。
【００８８】
試料台１６２には、半導体素子２を加熱させるためのヒータ１４１が備えられている。温度制御系１４０は、試料台１６２のヒータ１４１あるいは冷却治具を制御することにより、試料台１６２に搭載された半導体ウエハ１の温度を制御する。また、温度制御系１４０は、操作部１５１を備え、温度制御に関する各種指示の入力の受付、例えば、手動操作の指示を受け付ける。ここで、上記プローブシートあるいはプローブカードの一部に設けた温度制御の可能な発熱体と試料台１６２のヒータ１４１とを連動させて温度制御してもよい。
【００８９】
以下、半導体検査装置の動作について説明する。まず、被検査対象である半導体ウエハ１は、試料台１６２の上に位置決めして載置され、Ｘ−Ｙステージ１６７および回動機構を駆動制御し、半導体ウエハ１上に配列された複数個の半導体素子上に形成された電極３の群を、プローブカード１２０に並設された多数の接触端子４の直下に位置決めする。その後、駆動制御系１５０は、昇降駆動部１６５を作動させて、多数の電極（被接触材）３の全体の面が接触端子の先端に接触した時点から３０〜１００μｍ程度押し上げる状態になるまで試料台１６２を上昇させることによって、プローブシート６において多数の接触端子４が並設された領域部４ａを張り出させて平坦度を高精度に確保された多数の接触端子４における各々の先端を、コンプライアンス機構（押圧機構）により半導体素子に配列された多数の電極３の群（全体）の面に追従するように倣って平行出しすることによって半導体ウエハ１上に配列された各被接触材（電極）３に倣って均一な荷重（１ピン当たり３〜１５０ｍＮ程度）に基づく押し込みによる接触が行われ、各接触端子４と各電極３との間において低抵抗（０．０１Ω〜０．１Ω）で接続されることになる。
【００９０】
さらに、ケーブル１７１、配線基板５０、および接触端子４を介して、半導体ウエハ１に形成された半導体素子とテスタ１７０との間で、動作電流や動作検査信号などの授受を行い、当該半導体素子の動作特性の可否などを判別する。さらに、上記の一連の検査動作が、半導体ウエハ１に形成された複数の半導体素子の各々について実施され、動作特性の可否などが判別される。
【００９１】
最後に、上記半導体検査装置を用いた検査工程、又は検査方法を含む、半導体装置の製造方法について図１２を参照して説明する。
【００９２】
本発明に係る半導体装置の製造方法は、ウエハに回路を作りこみ、半導体素子を形成する工程と、本発明に係る半導体検査装置によりウエハレベルで複数の半導体素子２の電気的特性を一括して検査する工程と、該ウエハをダイシングし、半導体素子ごとに分離する工程と、該半導体素子を樹脂等で封止する工程を有するものである。
【００９３】
本発明に係る他の半導体装置の製造方法は、ウエハに回路を作りこみ、半導体素子を形成する工程と、本発明に係る半導体検査装置によりウエハレベルで複数の半導体素子２の電気的特性を一括して検査する工程と、該ウエハをダイシングし、半導体素子ごとに分離する工程を有するものである。
【００９４】
本発明に係る他の半導体装置の製造方法は、ウエハに回路を作りこみ、半導体素子を形成する工程と、該ウエハを樹脂等で封止する工程と、該封止されたウエハに形成された複数の半導体素子２の電気的特性を本発明に係る半導体検査装置により一括して検査する工程を有するものである。
【００９５】
本発明に係る他の半導体装置の製造方法は、ウエハに回路を作りこみ、半導体素子を形成する工程と、該ウエハを樹脂等で封止する工程と、該封止されたウエハに形成された複数の半導体素子２の電気的特性を本発明に係る半導体検査装置により一括して検査する工程と、該ウエハをダイシングし、半導体素子ごとに分離する工程を有するものである。
【００９６】
上記した半導体装置の製造方法における該半導体素子２の電気的特性を検査する工程では、本願で開示したプローブカードを用いることにより、位置精度よく良好な接触特性を得ることができる。
【００９７】
すなわち、結晶性を有する基板の異方性エッチングによる穴を型材としてめっきすることで形成される角錐形状又は角錐台形状の接触端子４を用いて検査することにより、低接触圧で安定した接触特性を実現でき、下部にある半導体素子を傷めずに検査することが可能である。また、複数の接触端子４が金属膜３０ａで取り囲まれる構造をとるため、検査動作時でも該接触端子は余分な応力を受けず、該半導体素子２の電極との精確な接触が実現できる。複数個の半導体素子２を一括で検査することも可能になる。
【００９８】
さらに、半導体素子２の電極への圧痕は、小さく、しかも点（角錐形状又は角錐台形状に穴があいた点）になるため、該電極表面には圧痕のない平らな領域が残ることになり、図１２に示すように接触による検査が複数回あっても対応できる。
【００９９】
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【０１００】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【０１０１】
（１）接触端子の先端位置精度を確保し、狭ピッチの電極構造を有する半導体素子を確実に検査できる検査装置を提供することができる。
【０１０２】
（２）電極への良好な接続を確保し、信頼性を向上させた半導体装置の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、半導体素子（チップ）が配列された被接触対象であるウエハを示す斜視図であり、（ｂ）は半導体素子（チップ）を示す斜視図である。
【図２】（ａ）は、本発明に係るプローブカードの第一実施例の要部を示す断面図である。
（ｂ）は、図２の主要部品を分解して図示した斜視図である。
【図３】（ａ）は、本発明に係るプローブカードの第二実施例の要部を示す断面図である。
（ｂ）は、図３の主要部品を分解して図示した斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｈ）は、本発明に係るプローブカードにおけるプローブシート部分を形成する製造プロセスを工程順に示したものである。
【図５】（ａ）〜（ｅ）は、本発明に係るプローブカードにおけるプローブシートを形成する他の製造プロセスを工程順に示したものである。
【図６】（ａ）〜（ｇ）は、本発明に係るプローブカードにおけるプローブシートを形成する他の製造プロセスを工程順に示したものである。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、本発明に係るプローブカードにおけるプローブシートを形成する他の製造プロセスを工程順に示したものであり、（ｄ１）および（ｅ１）は、それぞれ本発明に係るプローブカードにおけるプローブシートの接触端子部８を形成した領域の一部概略断面図を示したものであり、（ｄ２）は、（ｄ１）の接触端子部８を形成した領域の一部を、（ｄ１）の下面から見た平面図であり、（ｅ２）は、（ｅ１）の接触端子部８を形成した領域の一部を、（ｅ１）の下面から見た平面図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、本発明に係るプローブカードにおけるプローブシートを形成する他の製造プロセスを工程順に示したものである。
【図９】図９は、本発明に係るプローブカードにおけるグランド層を形成したプローブシートの概略断面図を示したものである。
【図１０】図１０は、本発明に係るプローブカードにおけるグランド層を形成した他のプローブシートの概略断面図を示したものである。
【図１１】本発明に係る検査システムの一実施の形態を示す全体概略構成を示す図である。
【図１２】半導体装置の検査工程の一実施例を示す工程図である。
【図１３】本発明に係るプローブカードの組み立て方法を示す概略図である。
【図１４】（ａ）は、本発明に係るプローブカードの一実施例の要部を示す断面図である。
（ｂ）は、図１４の部品搭載部分の配線を拡大して図示した平面概略図である。
【図１５】本発明に係る多層配線基板表面の周辺電極パターンおよびプローブシートの配線パターンの一例を示したものである。
【符号の説明】
１…ウエハ、２…半導体素子（チップ）、３…電極（被接触材）、４…接触端子、４ｂ…接続電極部、５…周辺電極、６…プローブシート、７…支持部材、８…接触端子部、８ａ…ニッケル、８ｂ…ロジウム、８ｃ…ニッケル、９…周辺電極固定板、９ｅ…ノックピン用孔、１２…スプリングプローブ、突起部１２ａ、１２ｂ…ばね、１３…スプリングプランジャ、１４…押さえピン、１５…板ばね、２０…引き出し配線、２１…枠、２２…押し駒、２２ａ…円錐溝、２３…緩衝材、２４…中間板、２５…平行出し調整ねじ、３０…金属膜、３０ａ…金属膜、３０ｂ…金属膜、３０ｃ…金属膜、３０ｄ…金属膜、３０ｅ…ノックピン用孔、３０ｆ…ねじ挿入用孔、３１…緩衝材、３２…周辺押さえ板、３２ｅ…ノックピン用孔、３３…下押さえ板、３３ｅ…ノックピン用孔、３４…ノックピン、５０…多層配線基板、５０ａ…電極、５０ｂ…内部配線、５０ｃ…接続端子、５０ｄ…スルーホールビア、５０ｅ…ノックピン用孔、６０…ホトレジスト、６０ａ…ホトレジスト、６１…選択めっき膜、６２…ポリイミド膜、６２ａ…ポリイミド膜、６３…アルミニウムマスク、６３ａ…アルミニウムマスク、６４…クロム膜、６５…ホトレジスト、７０…グランド層、７１…電源層、７２…搭載部品、７２ａ…ビア形成用穴、７２ｂ…導電材料、８０…シリコンウエハ、８０ａ…エッチング穴、８１二酸化シリコン膜、８２…二酸化シリコン膜、８３…導電性被覆、８４…ポリイミド膜、８４ｂ…ポリイミド膜、８６…導電性被覆、８７…ホトレジストマスク、８８…配線材料、８９…接着層、９１…ホトレジストマスク、９５…プロセスリング、９６…接着剤、９６ｂ…接着剤、９７…保護フィルム、９８…保護フィルム、１００…シリコンエッチング用保護治具、１００ａ…固定治具、１００ｂ…ふた、１００ｃ…Ｏリング、１００ｄ…中間固定板、１０５…プローブカード、１２０…プロ−ブカード、１４０…温度制御系、１４１…ヒータ、１５０…駆動制御系、１５１…操作部、１６０…試料支持系、１６２…試料台、１６４…昇降軸、１６５…昇降駆動部、１６６…筺体、１６７…Ｘ−Ｙステージ、１７０…テスタ、１７１…ケーブル、１７２…ケーブル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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