(57)【要約】【課題】ミニチュア小径ベアリング内輪の高速精密研削に好適な円筒研削方法および円筒研削装置を提供する。【解決手段】主軸基準端面１１ａと搬送押圧部２のフローティング部材２１の押圧面２１ｂとの間に被加工物６を挟持し、被加工物外周をシュー４で保持して、砥石３により被加工物外周面を研削加工する。上記フローティング部材は小径ボール２３により被加工物方向に付勢され、この付勢力で上記押圧面が対向する被加工物端面６ｂを押圧する。小径ボール２３に対するフローティング部材２１の自動調芯作用により、フローティング部材押圧面２１ｂは対向する被加工物端面６ｂに倣って全押圧面で均等に被加工物端面を押圧する。この全押圧面均等押圧により、被加工物６は主軸基準端面１１ａとシュー４とを基準として安定保持されて回転するので、精密な研削加工が行われる。フローティング部材２１は質量が小さいから、回転起動停止が瞬時に行われる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の外周面をシューで摺接支持し、上記被加工物の一端面を主軸の基準端面に対向させて、上記被加工物の他端面を自動調芯構造の押圧部材で押圧することにより、上記一端面を上記基準端面に押圧密着させ、上記主軸の回転により上記被加工物を回転させながら、砥石で上記被加工物の外周面を研削加工することを特徴とする円筒研削方法。
【請求項２】
被加工物の一端面に対向する基準端面を備え、回転する主軸と、
上記被加工物の外周面を摺接支持するシューと、
上記被加工物の他端面を押圧面で押圧して上記一端面を上記基準端面に押圧密着させる自動調芯構造の押圧部材と、
上記被加工物の外周面を研削加工する砥石と、を具備することを特徴とする円筒研削装置。
【請求項３】
上記自動調芯構造が、小径ボールとこの小径ボールに接する円錐凹部とで構成されている請求項２記載の円筒研削装置。
【請求項４】
上記自動調芯構造が、押圧部材の軸芯後端部とこの軸芯後端部に接する小径ボールで構成され、
上記押圧部材の外周が空隙を挟んでカバーに保持されて、上記押圧部材がフローティング部材となっている請求項２記載の円筒研削装置。
【請求項５】
上記軸芯後端部が、上記押圧部材の中心穴底部に配置されていて、該軸芯後端部に上記小径ボールに接する円錐凹部が形成されている請求項４記載の円筒研削装置。
【請求項６】
上記押圧部材には、上記押圧面を備えた前部フランジを外周前側に、後部フランジを外周後側に、被加工物支持杆部を上記前部フランジから前方に突出して、それぞれ配設されている請求項４記載の円筒研削装置。
【請求項７】
上記カバーの前側に内径段部が形成されていて、上記後部フランジが、上記内径段部と係合可能となっている請求項６記載の円筒研削装置。
【請求項８】
上記小径ボールが、上記押圧部材の上記押圧面を含む面付近に配置されている請求項３ないし７のいずれかに記載の円筒研削装置。
【請求項９】
上記小径ボールが、上記押圧部材とスラストワッシャとに挟まれていて、
上記押圧部材の上記軸芯後端部および上記スラストワッシャの小径ボール当接部に、上記小径ボールを受け入れる円錐凹部がそれぞれ形成され、
上記スラストワッシャが上記小径ボールを介して上記押圧部材を被加工物側に付勢するようになっている請求項４、６または７に記載の円筒研削装置。
【請求項１０】
上記押圧部材の質量が被加工物の質量の２倍以下である請求項２ないし９のいずれかに記載の円筒研削装置。
【請求項１１】
被加工物がミニチュア小径ベアリング内輪であって、砥石が上記内輪のレース面を研削加工する請求項２ないし１０のいずれかに記載の円筒研削装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、円筒研削方法および円筒研削装置に関し、特に、ミニチュア小径ベアリングの内輪の研削に好適な円筒研削方法および円筒研削装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ミニチュア小径ベアリングの内輪のような小径の被加工物の円筒研削技術として、従来、主軸の基準端面に被加工物の一端面を当接させ、外周をシューで保持して、主軸の回転動力を被加工物に伝えて被加工物回転とシューへの当接力を与えながら、砥石で研削する技術が知られている。この技術においては、主軸基準端面への被加工物当接作用は、主軸と同期回転する押圧部材を被加工物の他端面に押圧する方法や、磁石により主軸基準端面に吸着する方法が知られている。
【０００３】
前者の押圧部材による方法は、例えば特許文献１、特許文献２に開示されている。
【０００４】
【特許文献１】
実公平６−７８８５号公報  （明細書第４ページ左欄第４７行〜右欄第２３行、第４ページ右欄第３０行〜第５ページ左欄第２行および第１図参照）
【０００５】
【特許文献２】
実開平１−１４９２６０号公報  （明細書第１４ページ第９行〜第１２行および第４図参照）
【０００６】
特許文献１では、図４に示すように、主軸（当接回転部材）１１０の基準端面１１０ａとピン１２９のフランジ状当接面１２９ｂとの間に被加工物１３３を挟持する。被加工物１３３の外周はシュー１３４で摺接支持され、主軸１１０と押圧回転部材１０１との回転により回転駆動されながら、砥石１３２で研削加工される。ピン１２９は、ベアリング１２７、１２８によりスリーブ１２６内に回転自在に保持され、被押圧部１２９ａを押圧回転部材１０１で押される。これにより、フランジ状当接面１２９ｂが被加工物１３３を押圧して主軸基準端面１１０ａとでこれを挟持する。
【０００７】
なお、スリーブ１２６は、ローダアーム１２３の一端部に摺動自在に保持されている。また、押圧回転部材１０１は、主軸１１０と同期回転し、油圧により軸線方向に駆動される。ローダアーム１２３は、ピン１２９のボス部１２９ｃを被加工物１３３の中心穴１３３ａに挿入した状態で、図示しない供給位置、排出位置と図の加工位置との間を旋回し、被加工物１３３を供給、排出し、加工中は、図のように、加工位置で停止している。旋回移動中、被加工物１３３の主軸側端面１３３ｂは、スライドプレート１１３に摺接していて、ピン１２９から落下することはない。
【０００８】
特許文献１の技術では、被加工物１３３の両端面１３３ｂ、１３３ｃの並行度が悪かったり、ピン１２９の軸線と主軸１１０の軸線が並行にセットされていなかったりすると、フランジ状当接面１２９ｂが被加工物端面１３３ｃに片当たりし、被加工物１３３を傾けて主軸基準端面１１０ａから浮かし、不安定な支持状態で研削加工が行われる。その結果、被加工物１３３が振動する等して加工精度を劣化させる、という欠点がある。また、主軸１１０と押圧回転部材１０１とを同期回転するための構成が必要となる。
【０００９】
特許文献２では、図５に示すように、主軸（当接回転部材）１１０の基準端面１１０ａと押圧回転部材１１１の前端部３か所の弾性突起部１１１ａ、１１１ａ、１１１ａとの間に被加工物１３３を挟持する。被加工物１３３の外周はシュー１３４で摺接支持され、主軸１１０と押圧回転部材１１１との回転により回転駆動されながら、砥石１３２で研削加工される。押圧回転部材１１１と弾性突起部１１１ａとは一体で同一材料で形成され、おそらく、弾性プラスチック材料のような弾性材を用いているものと思われる。
【００１０】
特許文献２の技術では、被加工物１３３の両端面１３３ｂ、１３３ｃの並行度が悪かったり、押圧回転部材１１１の軸線と主軸１１０の軸線が並行にセットされていなかったりしても、弾性突起部１１１ａの弾性変形により、３か所の弾性突起部１１１ａが被加工物端面１３３ｃをかなり均等に押圧するから、被加工物１３３は比較的安定して支持される。しかし、押圧回転部材１１１の材料がプラスチック等の弾性材料であるから、研削液や研削液に混入する砥粒、削り屑等により損耗しやすいという欠点がある。また、主軸１１０と押圧回転部材１１１とを同期回転するための構成が必要となる。
【００１１】
後者の磁石により吸着する方法では、研削加工中に被加工物が磁化するので、脱磁する脱磁工程を研削工程の後に追加しなければならない。また、非磁性体の被加工物には適用することができない。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
この発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、被加工物を主軸基準端面とシューとに安定かつ正確に押圧しながら支持することにより精密円筒研削ができる円筒研削方法および円筒研削装置を提供しようとするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この発明では、被加工物６（符号は図１〜３参照）の外周面をシュー４で摺接支持し、上記被加工物の一端面を主軸１１の基準端面１１ａに対向させて、上記被加工物の他端面を自動調芯構造の押圧部材２１で押圧することで、上記一端面を上記基準端面に押圧密着させ、上記主軸の回転により上記被加工物を回転させながら、砥石３で上記被加工物の外周面を研削加工することにより、上記目的が達成される。
【００１４】
また、この発明においては、上記自動調芯構造が、押圧部材２１の軸芯後端部２１ａとこの軸芯後端部に接する小径ボール２３で構成され、上記押圧部材の外周が空隙２７を挟んでカバー２５に保持されて、上記押圧部材がフローティング部材となっているようにしたり、更に、上記小径ボールが、上記押圧部材の押圧面２１ｂを含む面付近に配置したり、上記小径ボールが、上記押圧部材とスラストワッシャ２２とに挟まれていて、上記押圧部材の上記軸芯後端部および上記スラストワッシャの小径ボール当接部に、上記小径ボールを受け入れる円錐凹部２１ａ、２２ｂがそれぞれ形成され、上記スラストワッシャが上記小径ボールを介して上記押圧部材を被加工物側に付勢するようにしたりすると、自動調芯が円滑に作用し、同時に、小径ボール２３を付勢するスラストワッシャ２２等の付勢手段に伝わる回転トルクを大幅に抑制でき、主軸１１による被加工物の回転が非常に円滑になる。
【００１５】
上記押圧部材の質量が被加工物の質量の２倍以下であるようにすれば、押圧部材２１と被加工物との慣性モーメントが小さく、回転する主軸１１との接離に応じて追随性よく回転起動停止する。
【００１６】
ミニチュア小径ベアリング内輪レース面の研削にこの発明を適用すれば、真円度に優れた高精度のミニチュア小径ベアリング内輪を得ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、この発明に係る実施形態について、図１〜図３を参照して説明する。
【００１８】
図１は、この発明の一実施形態を示す部分縦断面図、図２は、図１のＩＩ−ＩＩ矢視図、図３は、図１の要部拡大断面図である。
【００１９】
図１〜図３において、１は主軸部、２は搬送押圧部、３は砥石、４はシュー、５はローダアームである。
【００２０】
［主軸部の構成］
上記主軸部１には、回転自在の主軸１１と、この主軸１１の後部に直結された主軸モータ１２とが備えられている。主軸１１の前端面には、主軸軸線と直交する基準端面１１ａ（図３参照）が形成されている。この基準端面１１ａ部分には、耐摩耗性材料のバッキングプレートを取り付けたり、表面に耐摩耗処理を施したりすることが好ましい。
【００２１】
［搬送押圧部の構成］
上記搬送押圧部２は、この実施の形態では、上記ローダアーム５の先端部に固定されている。この搬送押圧部２には、押圧部材２１、スラストワッシャ２２、小径ボール２３、スリーブ２４、カバー２５およびバネ２６を備えている。
【００２２】
上記小径ボール２３は、押圧部材２１とスラストワッシャ２２とに挟まれている。上記スリーブ２４は、スラストワッシャ２２を内挿して摺動案内するようになっている。カバー２５は、スリーブ２４の前端部に固定され、押圧部材２１の外周を空隙２７を挟んで囲んでいる。上記バネ２６は、スラストワッシャ後端部２２ａとスリーブ２４の穴底部２４ａとの間に弾装されスラストワッシャ２２を前方に付勢している。
【００２３】
上記押圧部材２１の中心穴底部（軸芯後端部）には、円錐凹部２１ａが形成され、この円錐凹部２１ａが上記小径ボール２３を受け入れ、これに当接する。また、上記スラストワッシャ２２の前端部中心の小径ボール当接部にも、円錐凹部２２ｂが形成され、この円錐凹部２２ｂが上記小径ボール２３を受け入れ、これに当接する。すなわち、押圧部材２１は、その円錐凹部２１ａで小径ボール２３に接し、カバー２５とは空隙２７で隔てられていて、カバー２５内で小径ボール２３を中心に自由に首振りできる自動調芯構造のフローティング部材になっている。
【００２４】
押圧部材２１の外周には、前方に押圧面２１ｂを備えた前部フランジ２１ｃと、後部フランジ２１ｄとが備えられている。上記後部フランジ２１ｄは、カバー２５の内径段部２５ａと係合可能となっていて、押圧部材２１の搬送押圧部２からの脱落を防止している。
【００２５】
上記円錐凹部２１ａは、この実施の形態では、上記押圧面２１ｂを含む面と交差させてあるので、小径ボール２３は、押圧部材２１の押圧面２１ｂを含む面付近に配置されている。この配置は、自動調芯動作を非常にスムーズにする。
【００２６】
２１ｅは、前部フランジ２１ｃから前方に突出した被加工物支持杆部である。この被加工物支持杆部２１ｅは被加工物６の穴６ｄ内に挿入され、後に説明するように、被加工物６をその供給位置Ｌ、排出位置Ｕ、加工位置Ｍ間に移動するとき、この挿入状態により、押圧部材２１が被加工物６を保持することになる。
【００２７】
上記搬送押圧部２のスリーブ２４後端には、配管継ぎ手２８が取り付けられていて、この配管継ぎ手２８経由で、図示省略の空圧源からエアがシリンダ室２９に導入され、スラストワッシャ２２を前方に付勢するようになっている。すなわち、スラストワッシャ２２は、上記バネ２６により常時付勢されており、それに加えて、エアがシリンダ室２９に導入されたときは、エア圧＋バネ力で強力に付勢される。これらの付勢力により、スラストワッシャ２２は、小径ボール２３を介して押圧部材２１を被加工物６側に付勢する。
【００２８】
この実施の形態では、直径が１２ｍｍの被加工物を対象としているが、被加工物がより小さい場合は、バネ２６を用いないで空圧だけで付勢したり、バネ力だけで付勢して、自動調芯構造の軸線方向負荷を軽減することもできる。
【００２９】
［砥石、シューと主軸部、搬送押圧部］
上記砥石３とシュー４とは、図２に示すように、被加工物（この実施の形態では、ミニチュア小径ベアリングの内輪）６の外周に配設されている。すなわち、フロントシュー４ａとリアシュー４ｂとが被加工物６の外周を摺接支持し、砥石３は、被加工物６の半径方向から切り込んで被加工物６の外周面（内輪のレース面６ｃ）を研削加工するようになっている。
【００３０】
被加工物６は、その軸線方向には、次のようにして主軸部１と搬送押圧部２との間に支持される。
【００３１】
被加工物６の一端面６ａを回転する主軸１１の基準端面１１ａに対向させて、被加工物６の他端面６ｂを上記の自動調芯構造の押圧部材２１の押圧面２１ｂで押圧することにより、上記一端面６ａを基準端面１１ａに、図３のように、押圧密着させ、主軸１１の回転により被加工物６を回転させながら、主軸１１と押圧部材２１との間で被加工物６を支持する。
【００３２】
シュー４ａ、４ｂの各先端は、シューが半径方向に支持する被加工物６の軸線が、周知のように、主軸１１の軸線と僅かずれるように配置してある。この配置により、被加工物６が主軸１１により回転駆動されると、被加工物６はシュー４ａ、４ｂの各先端に押し付けられながら回転する。
【００３３】
押圧部材２１の軸線は、シューの先端位置で決定される被加工物６の軸線と一致させてあり、押圧部材２１の押圧面２１ｂが被加工物６の端面６ｂを押圧しているときは、押圧部材２１は被加工物６と一体となって回転する。自動調芯構造となっている円錐凹部２１ａ、２２ｂと小径ボール２３は、上記の被加工物６の軸線と一致させてあるから、いずれかの円錐凹部２１ａ、２２ｂと小径ボール２３とは、互いに滑ってピボット軸受のように作用し、押圧部材２１が回転するときも、スラストワッシャ２２は回転しない。
【００３４】
なお、押圧部材２１の軸線は、被加工物６の軸線と多少ずれていても、格別の支障はない。押圧部材２１の軸線を主軸１１の軸線と一致させた研削実験でも、押圧部材２１の軸線と被加工物６の軸線とを一致させた場合と比べて、ボール等の磨耗、研削加工された被加工物の真円度に大きな差異は認められなかった。
【００３５】
このようになっているので、主軸１１は、基準端面１１ａから回転動力を伝えて、被加工物６と押圧部材２１とを回転することになる。そこで、もし、押圧部材２１の質量が被加工物６の質量に比べてあまりに大きいと、被加工物６の端面６ｂと押圧部材２１の押圧面２１ｂとが滑ったり、（被加工物６＋押圧部材２１）の慣性が大きくなって、被加工物６の起動停止の応答が遅くなる。この応答性劣化は、生産性低下の原因になり、また、起動停止時の主軸基準端面１１ａと被加工物端面６ａとの摩損を招く。実験により確かめたところ、押圧部材２１の質量が、被加工物６の質量の２倍以下であると、被加工物６の起動停止が速やかに行われ、応答性がよかった。
【００３６】
上記小径ボール２３は、この実施の形態では、硬球を用い、その表面は、摩損防止のためにダイヤモンドコーティングが施されている。また、両円錐凹部２１ａ、２２ｂの表面は精密に仕上げてある。
【００３７】
被加工物６の両端面６ａ、６ｂが完全に並行であれば、このようにして、押圧部材２１の押圧により、被加工物６の一端面６ａが主軸１１の基準端面１１ａに密着し、被加工物６は、シュー４と基準端面１１ａとにより安定して支持されて精密に研削加工される。しかし、被加工物６の両端面６ａ、６ｂは完全には並行でない場合があり、もし、押圧部材２１に自動調芯構造が備わっていないと、押圧部材２１の押圧面２１ｂが被加工物６の他端面６ｂ全面を押圧せず、端面６ｂ上の１か所で押圧して、被加工物６を傾け、主軸１１の基準端面１１ａから部分的に浮き上がらせる傾向が現れ、被加工物６を振動させる等して精密な研削加工が行われなくなる。
【００３８】
この発明においては、自動調芯構造を備えているから、被加工物両端面６ａ、６ｂの並行度が多少悪くても、押圧部材２１の押圧面２１ｂが被加工物６の端面６ｂに倣って傾斜し、端面６ｂ全面を均等に押圧し、この均等押圧により、被加工物６は安定して支持されて精密に研削加工される。
【００３９】
［被加工物の供給、排出］
次に、被加工物６の供給部、排出部について説明する。
【００４０】
先端に搬送押圧部２を固定したローダアーム５は、図２に示すように、その軸５ａ回りに旋回可能で、搬送押圧部２を被加工物供給位置Ｌ、排出位置Ｕ、加工位置Ｍ間に移動させる。ローダアーム軸５ａは、その軸線方向に所要距離往復可能で、ローダアーム５を、図１に示すように、前進位置Ｆと後退位置Ｒとの間で往復させることができる。
【００４１】
被加工物供給位置Ｌには、供給シュート７があって、この供給シュート７内には未加工の被加工物６、６が１列に収納されている。被加工物排出位置Ｕには、図示省略の排出シュートが配設されている。加工位置Ｍは、既に説明した主軸部１、砥石３、シュー４が配置された位置である。
【００４２】
８は、被加工物供給位置Ｌから加工位置Ｍにかけて、上記主軸基準端面１１ａとほぼ同一面に配置された被加工物６の案内板である。
【００４３】
［研削サイクルの動作説明］
以上の構成において、被加工物の供給、研削加工、排出の研削サイクル動作を説明する。
【００４４】
（１）供給シュートから搬送押圧部への被加工物受け渡し
ローダアーム５が、被加工物供給位置Ｌで後退位置Ｒから前進位置Ｆへ移動すると、押圧部材２１の被加工物支持杆部２１ｅが、供給シュート７最下端の被加工物６Ｕの穴６ｄ内に挿入される。ローダアーム５は、前進位置Ｆのままローダアーム軸５ａ回りに旋回して加工位置Ｍまで至る。この間、被加工物６の前端面６ａは案内板８に接しており、被加工物支持杆部２１ｅから外れて落下することはない。
【００４５】
（２）搬送押圧部に受け渡された被加工物の研削加工
加工位置Ｍに達すると、被加工物支持杆部２１ｅに保持された被加工物６は、主軸基準端面１１ａと対向し、シュー４ａ、４ｂに支持される位置に配置される。
【００４６】
ここで、搬送押圧部２のシリンダ室２９にエアが供給され、このエア圧とバネ２６のバネ力とにより、押圧部材２１が被加工物６を押圧して、被加工物端面６ａが主軸基準端面１１ａに密着される。押圧部材２１はその自動調芯構造により、押圧面２１ｂが被加工物端面６ｂに正確に倣って、被加工物端面６ａと主軸基準端面１１ａとの密着は保証される。この状態で、主軸１１の回転動力が被加工物６、押圧部材２１に確実に伝達され、被加工物６と押圧部材２１とは一体になって回転を開始し、被加工物６外周をシュー４ａ、４ｂに押し付けながら、安定して回転を続ける。
【００４７】
砥石３が、この安定回転中の被加工物６に切り込み、その外周面６ｃを精密に研削加工する。
【００４８】
（３）搬送押圧部の加工済み被加工物の排出
ローダアーム５が逆に旋回して、研削加工を終了した被加工物６は、案内板８に沿って被加工物排出位置Ｕまで搬送される。被加工物排出位置Ｕでは排出シュートの入口の爪が被加工物６を受け入れられる位置に移動してきて、ローダアーム５が後退位置Ｒに移動するのに伴い、被加工物６が被加工物支持杆部２１ｅから外れて排出シュートに移され、加工済み品として排出される。
【００４９】
排出が終わると、ローダアーム５が更に逆に旋回して、空になった押圧部材２１が被加工物供給位置Ｌに至り、上記（１）の動作に移行して、サイクルが繰り返される。
【００５０】
この発明では、小さい押圧部材に細密な加工を施して自動調芯構造を組み込み、研削加工実験を行った結果、主軸基準端面と被加工物端面との密着性を格段に向上し、非常に精密な、特に真円度のよい研削加工が実現できることを確認できた。しかも、自動調芯構造の押圧力付勢側には回転が伝わらず、被加工物と小さい押圧部材だけが回転するから、回転部分の慣性モーメントが小さくて回転起動停止時間が短く、研削サイクルタイムが短縮されることも確認できた。
【００５１】
この発明は、ミニチュア小径ベアリングの内輪レース面の研削加工のような、高度の真円度を要求される小径小サイズの被加工物の研削加工に特に有用である。また、磁力で被加工物を吸着するものではないから、非磁性体、弱磁性体の材料の被加工物にも容易に適用できる。
【００５２】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明では、被加工物の外周面をシューで摺接支持し、上記被加工物の一端面を主軸の基準端面に対向させて、上記被加工物の他端面を自動調芯構造の押圧部材で押圧することにより、上記一端面を上記基準端面に押圧密着させ、上記主軸の回転により上記被加工物を回転させながら、砥石で上記被加工物の外周面を研削加工するようにした。自動調芯作用により押圧部材が被加工物端面に倣って全押圧面で均等に被加工物端面を押圧するから、被加工物は主軸基準端面とシューとを基準として安定保持されて回転し、真円度のよい精密な研削加工が行われる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態を示す部分縦断面図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ矢視図。
【図３】図１の要部拡大断面図。
【図４】従来の円筒研削装置を示す部分拡大断面図。
【図５】従来の円筒研削装置を示す部分拡大断面図。
【符号の説明】
１  主軸部
２  搬送押圧部
３  砥石
４  シュー
４ａ  フロントシュー
４ｂ  リアシュー
５  ローダアーム
５ａ  ローダアーム軸
６  被加工物
６ａ  一端面
６ｂ  他端面
６ｃ  内輪のレース面
６ｄ  穴
７  供給シュート
８  案内板
１１  主軸
１１ａ  基準端面
１２  主軸モータ
２１  押圧部材（フローティング部材）
２１ａ  円錐凹部
２１ｂ  押圧面
２１ｃ  前部フランジ
２１ｄ  後部フランジ
２１ｅ  被加工物支持杆部
２２  スラストワッシャ
２２ａ  スラストワッシャ後端部
２２ｂ  円錐凹部
２３  小径ボール
２４  スリーブ
２４ａ  穴底部
２５  カバー
２５ａ  内径段部
２６  バネ
２７  空隙
２８  配管継ぎ手
２９  シリンダ室
Ｆ  前進位置
Ｌ  被加工物供給位置
Ｍ  加工位置
Ｒ  後退位置
Ｕ  被加工物排出位置
【図１】
2005014189.tif 000003
【図２】
2005014189.tif 000004
【図３】
2005014189.tif 000005
【図４】
2005014189.tif 000006
【図５】
2005014189.tif 000007