(57)【要約】      （修正有）【課題】研削ホイールをホイールマウンタに簡易かつ容易に装着可能であると共に，研削ホイールと被研削物の接触部に十分に研削液を供給可能なインフィード方式とクリープフィード方式とで兼用可能な研削ホイールの着脱機構等を提供する。【解決手段】回転可能なスピンドル２００と，スピンドルの先端部に形成されたホイールマウンタ３００とホイールマウンタに装着される研削ホイール４００とを有する研削ホイールの着脱機構１０であって，ホイールマウンタには，フランジ５００を係合するための係合部３１０が設けられており，ホイールマウンタの係合部を係合するための係合受入部５１０を有するフランジ５００を使用してホイールマウンタに設けられた係合部を研削ホイールに設けられた貫通孔４１０を介在させてフランジの係合受入部と係合することにより，研削ホイールをホイールマウンタに固定する。【選択図】図２
2005138235.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能なスピンドルと，前記スピンドルの先端部に形成されたホイールマウンタと，前記ホイールマウンタに装着される研削ホイールとを有する研削ホイールの着脱機構であって，
前記ホイールマウンタには，フランジを係合するための係合部が設けられており，
前記ホイールマウンタの前記係合部を係合するための係合受入部を有するフランジを使用して，前記ホイールマウンタに設けられた前記係合部を前記研削ホイールに設けられた貫通孔を介在させて前記フランジの前記係合受入部と係合することにより，前記研削ホイールを前記ホイールマウンタに固定する，
ことを特徴とする研削ホイールの着脱機構。
【請求項２】
回転可能なスピンドルと，
前記スピンドルの先端部に形成されると共に，研削ホイールを所定位置に設置するための第１の係合部と，前記研削ホイールを圧着固定するためのフランジを係合するための第２の係合部とを有するホイールマウンタと，
前記ホイールマウンタの第１の係合部と係合する貫通孔を有する研削ホイールと，
前記ホイールマウンタの前記第１の係合部に前記研削ホイールが装着されている状態で，前記ホイールマウンタの前記第２の係合部と係合するための係合受入部を有するフランジと，からなる
ことを特徴とする研削ホイールの着脱機構。
【請求項３】
前記ホイールマウンタ内部には研削液を供給するための研削液供給管が設けられていると共に，前記フランジの内部に研削液を供給するための研削液供給管と前記研削液を被研削物に供給するノズルが設けられており，
前記フランジを前記ホイールマウンタに装着した場合に，前記ホイールマウンタ内の研削液供給管と前記フランジ内の研削液供給管とが結合される，ことを特徴とする請求項１または２に記載の研削ホイールの着脱機構。
【請求項４】
被研削物の表面を研削ホイールによって研削する研削装置であって，
回転可能なスピンドルの先端部に形成されたホイールマウンタに装着された前記研削ホイールを前記研削ホイール内側からフランジを介して固定すると共に，
前記フランジ内に設けられた研削液供給ノズルにより，前記研削ホイール内側から前記研削液を供給する，
ことを特徴とする研削装置。
【請求項５】
前記請求項１〜請求項３に記載の研削ホイール着脱機構において使用される研削ホイール着脱冶具であって，
前記研削ホイール着脱冶具は，
研削ホイールを支持する研削ホイール支持部と，
研削ホイールが支持された研削ホイール支持部を上下動させる研削ホイール移動機構と，
前記研削ホイール移動機構の高さを調整する調整部と，を有する，
ことを特徴とする研削ホイールの着脱冶具。
【請求項６】
回転可能なスピンドルと，前記スピンドルの先端部に形成されると共に，研削ホイールを所定位置に設置するための第１の係合部と，前記研削ホイールを圧着固定するためのフランジを係合するための第２の係合部とを有するホイールマウンタと，前記ホイールマウンタの第１の係合部と係合する貫通孔を有する研削ホイールと，前記ホイールマウンタの前記第１の係合部に前記研削ホイールが装着されている状態で，前記ホイールマウンタの前記第２の係合部と係合するための係合受入部を有するフランジと，からなる研削ホイール着脱機構における研削ホイールの装着方法であって，
前記ホイールマウンタの第１の係合部と前記研削ホイールの貫通孔を係合した後，前記ホイールマウンタの第２の係合部と前記フランジの係合受入部を係合させて，前記研削ホイールを前記ホイールマウンタに固定する，
ことを特徴とする研削ホイールの装着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，研削ホイールの着脱機構，研削装置，研削ホイールの着脱冶具，及び研削ホイールの装着方法に関し，さらに詳細には，インフィード方式とクリープフィード方式とで兼用可能な研削ホイールの着脱機構等に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ），ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ  Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）等の回路が表面に複数形成された半導体ウェハは，裏面の研削により所定の厚さに加工された後，各回路ごとに分割されて，個々の半導体チップとして，各種の電子機器に利用されている。特に，近年においては，携帯電話機等の小型化，薄型化，軽量化のニーズに応えるべく，半導体ウェハの厚さも１００μｍ〜５０μｍ程度まで薄くする必要に迫られている。
【０００３】
上記半導体ウェハの裏面研削する際には，垂直方向の回転軸を有するスピンドルと，スピンドルの下端に形成されたホイールマウンタと，ホイールマウンタに装着された研削ホイールとからなる研削装置が使用される。かかる研磨装置において，研削装置に備えられたチャックテーブルには，表面側が下方向となるように半導体ウェハが保持され，かかる状態において，スピンドルを回転させながら下降させることにより，研削ホイールの下部に装着された研削ホイールが半導体ウェハの裏面に接触されて，半導体ウェハの裏面が研削される。
【０００４】
例えば，特許文献１には，研削ホイールをホイールマウンタに密着させた後，ホイールマウンタに形成された複数のネジ穴と研削ホイールに形成された複数のネジ穴とに対して，複数のネジを螺着固定する研削ホイールの着脱機構が開示されている。しかしながら，上記特許文献１に記載の着脱機構では，例えば６本以上の複数のネジを使用する場合には，研削ホイールの装着に時間がかかり過ぎる，という問題がある。
【０００５】
また，特許文献２には，研削ホイールの内周面に沿って設けられた複数個の供給孔から研削液を供給して半導体ウェハを研削する研削装置が開示されている。なお，特許文献２においては，研削液がモーターを含むスピンドルハウジングに配設されたスピンドル軸の内部通路を通ってホイールマウンタの分岐路に入り，この分岐路から供給孔を経て半導体ウェハに供給されるように構成されている。しかしながら，特許文献２に記載の研削装置では，研削水の噴出口が砥石の近傍に位置しているため，噴出口にコンタミが詰まり易く，研削ホイールと半導体ウェハとの接触部に研削液が十分に供給されないことが発生する。このため，半導体ウェハの研削焼けや研削ホイールの偏摩耗が生じる，という問題がある。
【０００６】
また，特許文献３には，研削ホイールの内側に別途に配設されたノズルユニットにより，研削ホイールと半導体ウェハとの接触部に研削液が供給される平面研削盤が開示されている。上記特許文献３に記載の装置によれば，研削ホイールと半導体ウェハとの接触部に研削液を確実に且つ充分に供給出来ると共に，接触部以外への無駄な供給を防止することができる。かかる装置によれば，上記特許文献１及び特許文献２のような問題が生じることはない。
【０００７】
ところで，研削方法には，大略，自転する被研削物に対して砥石軸をスラスト方向に送り込む研削方式（インフィード方式）と，砥石軸の高さ方向を固定し，被研削物を横方向（砥石軸に対してラジアル方向）から送り込む研削方式（クリープフィード方式）の２種類の方法が知られている。近年においては，上記研削方式のうち１つの研削方式に固定された研削装置よりも，一台の装置で上記２つの研削方式を切り換えて兼用することが可能な研削装置が要求されるようになってきている。
【０００８】
【特許文献１】特開２００３一１８１７６７
【特許文献２】特開２００３一６８６９０
【特許文献３】特開平７−２２３１５２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら，上記特許文献３に記載の平面研削盤においては，上記インフィード方式には対応可能であるが，被研削物を横方向から送り込むクリープフィード方式では，研削ホイールの内側に配設されたノズルユニットが障害になって被研削物を横方向から送り込むことができないため，クリープフィード方式の研削方法には対応できない，という問題がある。
【００１０】
したがって，本発明の目的は，研削ホイールをホイールマウンタに簡易かつ容易に装着可能であると共に，研削ホイールと被研削物の接触部に十分に研削液が供給することが可能な新規かつ改良されたインフィード方式とクリープフィード方式とで兼用可能な研削ホイールの着脱機構等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため，本発明の第１の観点においては，回転可能なスピンドルと，前記スピンドルの先端部に形成されたホイールマウンタと，前記ホイールマウンタに装着される研削ホイールとを有する研削ホイールの着脱機構であって，前記ホイールマウンタには，フランジを係合するための係合部が設けられており，前記ホイールマウンタの前記係合部を係合するための係合受入部を有するフランジを使用して，前記ホイールマウンタに設けられた前記係合部を前記研削ホイールに設けられた貫通孔を介在させて前記フランジの前記係合受入部と係合することにより，前記研削ホイールを前記ホイールマウンタに固定する，ことを特徴とする研削ホイールの着脱機構が提供される。
【００１２】
上記記載の発明では，フランジを使用して研削ホイールをホイールマウンタに固定するので，複数箇所をネジ留めする方法と比較して，簡易かつ容易に短時間で研削ホイールの着脱を実行することができる。
【００１３】
上記課題を解決するため，本発明の第２の観点においては，回転可能なスピンドルと，前記スピンドルの先端部に形成されると共に，研削ホイールを所定位置に設置するための第１の係合部と，前記研削ホイールを圧着固定するためのフランジを係合するための第２の係合部とを有するホイールマウンタと，前記ホイールマウンタの第１の係合部と係合する貫通孔を有する研削ホイールと，前記ホイールマウンタの前記第１の係合部に前記研削ホイールが装着されている状態で，前記ホイールマウンタの前記第２の係合部と係合するための係合受入部を有するフランジと，からなることを特徴とする研削ホイールの着脱機構が提供される。
【００１４】
上記記載の発明では，ホイールマウンタの第１の係合部は研削ホイールが所定位置に固定されると共に，第２の係合部はフランジが装着されて研削ホイールがホイールマウンタに固定されるので，複数箇所をネジ留めする方法と比較して，簡易かつ容易に短時間で研削ホイールの着脱を実行することができる。
【００１５】
また，前記ホイールマウンタ内部には研削液を供給するための研削液供給管が設けられていると共に，前記フランジの内部に研削液を供給するための研削液供給管と前記研削液を被研削物に供給するノズルが設けられており，前記フランジを前記ホイールマウンタに装着した場合に，前記ホイールマウンタ内の研削液供給管と前記フランジ内の研削液供給管とが結合される，如く構成すれば，ノズルを配置したフランジを使用して比較的離れた位置から研削液を供給するので，研削液の供給口がコンタミで塞がれることなく，研削ホイール内側から研削ホイールと被研削物の接触部に十分に研削液を供給することができる。さらに，被研削物を横方向から送り込むクリープフィード方式を採用しても障害物は存在しないので，インフィード方式とクリープフィード方式とで兼用可能な研削ホイールの着脱機構が提供される。
【００１６】
上記課題を解決するため，本発明の第３の観点においては，被研削物の表面を研削ホイールによって研削する研削装置であって，回転可能なスピンドルの先端部に形成されたホイールマウンタに装着された前記研削ホイールを前記研削ホイール内側からフランジを介して固定すると共に，前記フランジ内に設けられた研削液供給ノズルにより，前記研削ホイール内側から前記研削液を供給する，ことを特徴とする研削装置が提供される。
【００１７】
上記記載の発明では，フランジを使用して研削ホイールをホイールマウンタに固定できるので，複数箇所をネジ留めする方法と比較して，簡易かつ容易に短時間で研削ホイールの着脱を実行することができる。さらに，ノズルを配置したフランジを使用して比較的離れた位置から研削液を供給するので，研削液の供給口がコンタミで塞がれることなく，研削ホイール内側から研削ホイールと被研削物の接触部に十分に研削液を供給することができる。さらに，被研削物を横方向から送り込むクリープフィード方式を採用しても障害物は存在しないので，インフィード方式とクリープフィード方式とで兼用可能な研削装置が提供される。
【００１８】
上記課題を解決するため，本発明の第４の観点においては，前記請求項１〜請求項３に記載の研削ホイール着脱機構において使用される研削ホイール着脱冶具であって，前記研削ホイール着脱冶具は，研削ホイールを支持する研削ホイール支持部と，研削ホイールが支持された研削ホイール支持部を上下動させる研削ホイール移動機構と，前記研削ホイール移動機構の高さを調整する調整部と，を有することを特徴とする研削ホイールの着脱冶具が提供される。
【００１９】
上記記載の発明では，研削ホイールを着脱する際において，研削ホイールが研削装置等に接触して破損することなく，簡易かつ容易にホイールマウンタに着脱することができる。
【００２０】
上記課題を解決するため，本発明の第４の観点においては，回転可能なスピンドルと，前記スピンドルの先端部に形成されると共に，研削ホイールを所定位置に設置するための第１の係合部と，前記研削ホイールを圧着固定するためのフランジを係合するための第２の係合部とを有するホイールマウンタと，前記ホイールマウンタの第１の係合部と係合する貫通孔を有する研削ホイールと，前記ホイールマウンタの前記第１の係合部に前記研削ホイールが装着されている状態で，前記ホイールマウンタの前記第２の係合部と係合するための係合受入部を有するフランジと，からなる研削ホイール着脱機構における研削ホイールの装着方法であって，前記ホイールマウンタの第１の係合部と前記研削ホイールの貫通孔を係合した後，前記ホイールマウンタの第２の係合部と前記フランジの係合受入部を係合させて，前記研削ホイールをホイールマウンタに固定する，ことを特徴とする研削ホイールの装着方法が提供される。
【００２１】
上記記載の発明では，フランジを使用して研削ホイールをホイールマウンタに固定できるので，複数箇所をネジ留めする方法と比較して，簡易かつ容易に短時間で研削ホイールの着脱を実行することができる。さらに，ノズルを配置したフランジを使用して比較的離れた位置から研削液を供給するので，研削液の供給口がコンタミで塞がれることなく，研削ホイール内側から研削ホイールと被研削物の接触部に十分に研削液を供給することができる。さらに，被研削物を横方向から送り込むクリープフィード方式を採用しても障害物は存在しないので，インフィード方式とクリープフィード方式との双方で実施することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば，フランジを使用して研削ホイールをホイールマウンタに固定できるので，複数箇所をネジ留めする方法と比較して，簡易かつ容易に短時間で研削ホイールの着脱を実行することができる。さらに，ノズルを配置したフランジを使用して比較的離れた位置から研削液を供給するので，研削液の供給口がコンタミで塞がれることなく，研削ホイール内側から研削ホイールと被研削物の接触部に十分に研削液を供給することができる。さらに，被研削物を横方向から送り込むクリープフィード方式を採用しても障害物は存在しないので，インフィード方式とクリープフィード方式とで兼用可能な研削ホイール着脱機構等が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００２４】
（第１の実施の形態）
以下，図１〜図４に基づいて，第１の実施の形態にかかる研削ホイールの着脱機構１０について説明する。なお，図１は，第１の実施の形態にかかる研削ホイールの着脱機構１０の構成を示す説明図である。
【００２５】
まず，図１に示すように，本実施形態にかかる研削ホイールの着脱機構１０においては，従来と同様に，スピンドルハウジング１００内に配設された回動可能なスピンドル軸２００の先端部にホイールマウンタ３００に形成されており，かかるホイールマウンタ３００には研削ホイール４００が取り付けられている。かかる研削ホイール４００は，スピンドル軸２００の回転によって回転される。
【００２６】
一方，軸回転するチャックテーブル６００の上面には，半導体ウェハ等の被研削物Ｗが吸着固定されており，研削ホイール４００を好適な圧力で被研削物Ｗに押し付けられて被研削物Ｗの研削がおこなわれる。
【００２７】
本実施形態においては，研削ホイール４００は，研削液を供給するためのノズル５３０が設けられたフランジ５００を介してホイールマウンタ３００に固定される。かかるノズル５３０により，研削ホイール４００と被研削物Ｗとの接触部に研削液８００を確実に且つ充分に供給することができる。
【００２８】
次に，図２に基づいて，本実施形態にかかる研削ホイールの装着機構の詳細について説明する。なお，図２（ａ）は，本実施形態にかかる研削ホイールをホイールマウンタに装着する方法を示す分解図である。図２（ｂ）は，本実施形態にかかる研削ホイールがホイールマウンタに装着された状態を示す説明図である。
【００２９】
図２（ａ）に示すように，ホイールマウンタ３００の内部には，研削液の供給路３３０が設けられており，モーターを含むスピンドルハウジング（図示せず）に配設されたスピンドル軸の内部通路を通って，ホイールマウンタ３００の供給路３３０に研削液が供給される。さらに，ホイールマウンタ３００には，研削ホイ一ル４００の貫通孔４１０の位置合わせをして係合するための第１の係合部３１０が設けられている。かかる第１の係合部３１０の径は，研削ホイールの内径Ｂよりも若干小さめに形成されており，研削ホイールが所定位置に係合される。さらに，ホイールマウンタ３００の第１の係合部３１０の内側には，フランジ５００を係合するために，その側面に螺旋上の凹凸を有する第２の係合部３２０が設けられている。
【００３０】
研削ホイール４００は，断面略コの字型形状を有する円柱形状であって，その中央部に貫通孔４１０が例えば内径Ｂの大きさで形成されている。かかる研削ホイール４００は，その貫通孔４１０をホイールマウンタ３００の第１の係合部３１０に挿入することにより，位置決めされる。なお，この状態において，ホイールマウンタ３００の第１の係合部３１０は，研削ホイール４００の厚さよりも若干低い高さで設計されていると共に，ホイールマウンタ３００の第２の係合部３２０は，研削ホール４００から所定高さだけ突出するような高さに設計されている。
【００３１】
本実施形態にかかるフランジ５００は，ホイールマウンタ３００の第１の係合部３１０に研削ホイール４００が装着されている状態で，ホイールマウンタ３００の第２の係合部３２０に係合されて，研削ホイール４００をホイールマウンタ３００に固定するものである。なお，かかるフランジ５００の係合面の径Ａは，研削ホイール４００の貫通孔４１０の内径Ｂよりも若干大きくなるように，かつ研削ホイール４００の内径よりも小さくなるように設計されており，フランジ５００をホイールマウンタ３００の第２の係合部３２０に係合することにより，研削ホイール４００をホイールマウンタ３００に圧着固定することができる。また，フランジ５００の係合面の反対面には，所定角度の斜面が形成されており，かかる斜面には研磨液を被研磨物に供給するためのノズル５３０が形成されている。
【００３２】
さらに，図３に基づいて，本実施形態にかかるフランジの構成を詳細に説明する。
【００３３】
図３に示すように，本実施形態にかかるフランジ５００は，ホイールマウンタとの接続面と，被研削物との対向面とを有する略台形形状である。さらに，フランジの中央部には，ホイールマウンタ３００の第２の係合部３３０と係合するための係合受入部５１０が形成されている。
【００３４】
一方，フランジ内には，ホイールマウンタ３００の研磨液供給路３３０から供給された研磨液を受け入れる研磨液供給路５２０が設けられており，さらに，かかる研磨液供給路５２０に連通するノズル５３０がフランジの傾斜面に水平方向から所定角度αで設置されている。かかるノズル５３０により，半導体ウェハＷに研磨液が供給される。なお，かかるノズル５３０は，位置調整及び角度調整が可能に構成することにより，被研磨物の種類，大きさ，研削条件等に応じて好適な研磨を実行することができる。また，かかるノズル５３０は，研削液を均一に供給するために，複数個設けることが好ましい。
【００３５】
上記構成において，ホイールマウンタ３００の第１の係合部３１０に研削ホイール４００が貫通孔４１０を介して装着されている状態で，ホイールマウンタ３００の第２の係合部３３０とフランジ５００の係合受入部５１０を係合することにより，図２（ｂ）に示すように，研削ホイール４００はホイールマウンタ３００圧着固定される。このとき，ホイールマウンタ３００の研削液供給路３３０とフランジ５００の研磨液供給路５２０も連通するように位置合わせされる。
【００３６】
かかる状態において，研磨液は，モーターを含むスピンドルハウジングに配設されたスピンドル軸の内部通路を通ってホイールマウンタ３００の研磨液供給路３３０に供給され，さらに，フランジ５００の研磨液供給路５２０を介してノズル５３０に供給される。かかるノズル５３０に供給された研磨液は，研磨ホイール４００の内側から所定角度αで被研磨物Ｗに供給することができる。
【００３７】
本実施形態においては，フランジを使用して研削ホイールをホイールマウンタに固定できるので，複数箇所をネジ留めする方法と比較して，簡易かつ容易に短時間で研削ホイールの着脱を実行することができる。さらに，ノズルを配置したフランジを使用するので，研削液供給口をコンタミで塞がれることはなく，研削ホイールの内側から研削ホイールと被研削物の接触部に十分に研削液が供給されるインフィード方式とクリープフィード方式とで兼用可能な研削装置が提供される。
【００３８】
次に，本実施形態にかかる研削ホイール着脱冶具７００の構成について説明する。図４は，本実施形態にかかる研削ホイール着脱冶具７００の構成を示す説明図である。なお，本実施形態にかかる研削ホイール着脱冶具７００は，研削ホイールの着脱を行う際に，研削ホイール４００を支持する治具として使用されるものである。
【００３９】
本実施形態にかかる研削ホイール着脱冶具７００は，基台７１０と，研削ホイールを載置するための研削ホイール載置台７２０と，研削ホイール載置台７２０を上下に昇降させるための昇降手段７３０と，昇降手段７３０の高さを調整する調整ねじ７４０と，から構成されている。
【００４０】
上記構成の研削ホイール着脱冶具７００において，まず，研削ホイール４００を研削ホイール載置台に搭載する。次いで，研削ホイール載置台に研削ホイールを搭載した状態で，高さ調整ねじ７４０により昇降手段７３０を伸ばして所定位置（ホイールマウンタ付近）まで送る。さらに，研削ホイール載置冶具の開口部（例えば１２０°で開口された開口部：図示せず）から，フランジを挿入し，両手でフランジを回転させてホイールマウンタ３００に装着する。
【００４１】
なお，上記においては，研削ホイール４００をホイールマウンタ３００に装着する方法についてのみ説明したが，上記と反対の操作をおこなうことにより，研削ホイール４００をホイールマウンタ３００から取り外す際にも使用することができる。
【００４２】
上記構成の研削ホイール着脱冶具によれば，研削ホイールを着脱する際において，研削ホイールが研削装置等に接触して破損することなく，簡易かつ容易にホイールマウンタに着脱することができる。
【００４３】
本実施形態においては，フランジを使用して研削ホイールをホイールマウンタに固定できるので，複数箇所をネジ留めする方法と比較して，簡易かつ容易に短時間で研削ホイールの着脱を実行することができる。さらに，ノズルを配置したフランジを使用するので，研削液供給口をコンタミで塞がれることはなく，研削ホイールの内側から研削ホイールと被研削物の接触部に十分に研削液が供給され，インフィード方式とクリープフィード方式で兼用可能となる。
【００４４】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【００４５】
例えば，上記実施形態においては，フランジを係合するための第２の係合部を，研削ホイールの貫通孔と係合するための第１の係合部内に設けた例を挙げて説明したが，かかる例には，限定されない。例えば，マウンタ中央部にはフランジを係合するための第２の係合部のみを設け，研削ホイールの位置決めするための第１の係合部（例えば突起）を任意の場所に設けることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は，研削ホイールの着脱機構，研削装置，研削ホイールの着脱冶具，及び研削ホイールの装着方法に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】第１の実施の形態にかかる研削ホイールの着脱機構１０の構成を示す説明図である。
【図２】図２（ａ）は，本実施形態にかかる研削ホイールがホイールマウンタに装着する方法を示す分解図である。図２（ｂ）は，本実施形態にかかる研削ホイールがホイールマウンタに装着された状態を示す説明図である。
【図３】図３（ａ）は第１の実施の形態にかかるフランジの詳細を説明するための斜視図である。  図３（ｂ）は，第１の実施の形態にかかるフランジの詳細を説明するための断面図である。
【図４】第１の実施の形態にかかる研削ホイール着脱冶具の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０  研削ホイールの着脱機構
１００  スピンドルハウジング
２００  スピンドル軸
３００  ホイールマウンタ
３１０  第１の係合部
３２０  第２の係合部
３３０  研削液供給路
４００  研削ホイール
４１０  貫通孔
５００  フランジ
５１０  係合受入部
５２０  研磨液供給路
５３０  ノズル
６００  チャックテーブル
７００  研削ホイール着脱冶具
７１０  基台
７２０  研削ホイール載置台
７３０  昇降手段
７４０  調整ねじ
Ｗ  被研削物
【図１】
2005138235.tif 000003
【図２】
2005138235.tif 000004
【図３】
2005138235.tif 000005
【図４】
2005138235.tif 000006