(57)【要約】    【課題】  複数の処理を同一処理室内で行って装置のコンパクト化を図ると共に、非使用時の回転工具が洗浄の際の水しぶきを良好に回避することができるワーク処理装置を提供する。    【解決手段】  ワークに対して少なくとも加工処理と洗浄処理とを行うワーク処理装置であって、処理室１１内に駆動装置により移動可能に支持された処理ヘッド３０が備えられ、該処理ヘッド３０の先端部に、洗浄液を噴射することにより上記洗浄処理を行う噴射ノズル１１１と、上記加工処理を行う回転工具５２を着脱可能に支持する装着部１１０とが設けられ、上記回転工具５２を使用しない非加工処理時には上記装着部１１０から取り外された回転工具５２を着脱可能に保持して処理室１１内から処理室１１外へ移動させ、上記回転工具５２を使用する加工処理時には回転工具５２を上記装着部１１０に取り付けるべく処理室１１外から処理室１１内へ移動させる移動手段３１を設けた。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに対して少なくとも加工処理と洗浄処理とを行うワーク処理装置であって、処理室内に駆動装置により移動可能に支持された処理ヘッドが備えられ、該処理ヘッドの先端部に、洗浄液を噴射することにより上記洗浄処理を行う噴射ノズルと、上記加工処理を行う回転工具を着脱可能に支持する装着部とが設けられ、上記回転工具を使用しない非加工処理時には上記装着部から取り外された回転工具を処理室内から処理室外へ移動させ、上記回転工具を使用する加工処理時には回転工具を着脱可能に保持して上記装着部に取り付けるべく処理室外から処理室内へ移動させる移動手段が設けられていることを特徴とするワーク処理装置。
【請求項２】
処理室の壁面には移動手段による回転工具の移動時に該回転工具を通過させる開口部が設けられ、移動手段は、回転工具の移動時はその移動と連動して上記開口部を開け、非移動時は上記開口部を閉じる蓋部材が備えられていることを特徴とする請求項１に記載のワーク処理装置。
【請求項３】
回転工具は、処理ヘッドへの着脱用カプラーを有し、該ヘッドの装着部に装着されるときは着脱用カプラーを装着位置に移動させると共に、該ヘッドの装着部から取り外されるときは着脱用カプラーを非装着位置に移動させるカプラー操作手段が備えられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワーク処理装置。
【請求項４】
回転工具には駆動源であるエアモータが付帯され、処理ヘッドの装着部には、処理ヘッド側に設けられたエア供給通路の端部が開口しており、回転工具には、上記エアモータに至るエア供給通路が設けられ、回転工具を処理ヘッドの装着部に装着したときに、上記両エア供給通路が連通することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のワーク処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークのバリ、返り等を回転工具で除去するブラシ加工処理、ワークに付着した切粉などを洗い流す洗浄処理、ワーク表面をエアブローで乾燥させる乾燥処理等を行うワーク処理装置に関する技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ワークの製造工程において、鋳造により製造または工作機械などにより加工されたワークは、バリや返り等をブラシ等の回転工具で除去するブラシ加工処理、ワークに付着した切粉等を洗浄液で洗い流す洗浄処理、エアブローによりワーク表面に付着した水分を除去する乾燥処理などを行うワーク処理装置に受け渡されることがある。
【０００３】
このようなワーク処理装置として例えば特許文献１に記載の処理装置があり、この処理装置は、上記ワークとしてのウエハの表面に付着したパーティクルや有機汚染物等を除去する。処理装置は、表面処理装置と、裏面処理装置と、加熱処理装置とを独立の処理室と共に備え、表面及び裏面処理装置でウエハの表裏に付着したパーティクル等を除去し、加熱処理装置で加熱してウエハを乾燥させる。また、表面処理装置は、プレ洗浄と仕上洗浄との２段階の処理を行うことが可能である。すなわち、ウエハを回転させると共にアーム先端に取り付けられて下面にブラシやスポンジ等を有する処理体をウエハ表面に当接させる。そして、該処理体を中心から周縁部まで移動させると共に超純水でパーティクル等を洗い流すプレ洗浄を行う。その後、アームを処理体の交換位置まで回転させて処理体を交換して上記プレ洗浄と同様の処理を行う仕上洗浄を実行する。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２８５６７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１にはプレ洗浄と仕上洗浄の２つの処理工程を同一処理室内で行っているが、このように複数の作業を同一処理室内で行うように構成することによって装置全体のコンパクト化を図ることができる。
【０００６】
しかしながら、異種の処理、例えば回転工具によるブラシ加工処理と洗浄ノズルによる洗浄処理とを同一処理室内で行うように構成すると、それぞれの処理に必要な工具や部材等が非使用時には処理室内に収容されることになり、その結果、例えば洗浄の際の水しぶきが回転工具の回転軸受等に侵入し、油、グリスなどが流出して潤滑の効果が低減し、回転工具の耐久性が低下するという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、複数の処理を同一処理室内で行って装置のコンパクト化を図ると共に、非使用時の回転工具が洗浄の際の水しぶきを良好に回避することができるワーク処理装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は次のように構成したことを特徴とする。
【０００９】
まず、本願の請求項１に記載の発明は、ワークに対して少なくとも加工処理と洗浄処理とを行うワーク処理装置であって、処理室内に駆動装置により移動可能に支持された処理ヘッドが備えられ、該処理ヘッドの先端部に、洗浄液を噴射することにより上記洗浄処理を行う噴射ノズルと、上記加工処理を行う回転工具を着脱可能に支持する装着部とが設けられ、上記回転工具を使用しない非加工処理時には上記装着部から取り外された回転工具を着脱可能に保持して処理室内から処理室外へ移動させ、上記回転工具を使用する加工処理時には回転工具を上記装着部に取り付けるべく処理室外から処理室内へ移動させる移動手段が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
次に、請求項２に記載の発明は、上記請求項１に記載のワーク処理装置において、処理室の壁面には移動手段による回転工具の移動時に該回転工具を通過させる開口部が設けられ、移動手段は、回転工具の移動時はその移動と連動して上記開口部を開け、非移動時は上記開口部を閉じる蓋部材が備えられていることを特徴とする。
【００１１】
次に、請求項３に記載の発明は、上記請求項１または請求項２に記載のワーク処理装置において、回転工具は、処理ヘッドへの着脱用カプラーを有し、該ヘッドの装着部に装着されるときは着脱用カプラーを装着位置に移動させると共に、該ヘッドの装着部から取り外されるときは着脱用カプラーを非装着位置に移動させるカプラー操作手段が備えられていることを特徴とする。
【００１２】
そして、請求項４に記載の発明は、上記請求項１から請求項３のいずれかに記載のワーク処理装置において、回転工具には駆動源であるエアモータが付帯され、処理ヘッドの装着部には、処理ヘッド側に設けられたエア供給通路の端部が開口しており、回転工具には、上記エアモータに至るエア供給通路が設けられ、回転工具を処理ヘッドの装着部に装着したときに、上記両エア供給通路が連通することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
まず、請求項１に記載の発明によれば、処理ヘッド及び移動手段を回転工具を着脱可能な構成として、加工処理時と非加工処理時とで回転工具を授受するようにしたことにより、同一処理室内で加工と洗浄という異種の作業を行うことができるので、処理室を共有することができ、装置のコンパクト化を図ることができる。さらに、移動手段により、非加工処理時には回転工具を処理室外に移動させることによって、ワークの洗浄の際には回転工具が処理室外に位置することになるから、非使用時（非加工処理時）において回転工具に洗浄による水しぶきが掛かることを回避することができる。その結果、回転工具の軸受等からの油やグリスの流出を回避することができるので、回転工具の耐久性を確保することができる。
【００１４】
また、回転工具を処理室外に移動可能としたことにより、工具の交換やメンテナンス等の際に回転工具を処理室外に移動させることができて作業性が向上する。
【００１５】
次に、請求項２に記載の発明によれば、移動手段に蓋部材が備えられていることによって、回転工具の移動と蓋部材による開口部の開閉を連動して同期させて行うことができるので、装置の機材及び動作の簡素化を図ることができる。
【００１６】
次に、請求項３に記載の発明によれば、加工処理時には着脱用カプラーを装着位置に、非加工処理時には該カプラーを非装着位置に移動させるカプラー操作手段を備えたことによって、回転工具を上記カプラーを介して簡単かつ確実に処理ヘッドに着脱させることができる。
【００１７】
そして、請求項４に記載の発明によれば、回転工具の駆動源をエアモータとし、回転工具を処理ヘッドに装着したときに、処理ヘッドの装着部に開口するエア供給通路の端部が回転工具側のエア供給通路と連続することになり、回転工具の装着とエア供給通路の形成接続とを同時に行うことができるので、装置ひいては着脱動作の簡素化を図ることができる。また、上記駆動源としてのエアモータにも、非加工処理時に水しぶきが掛からず、駆動不良が免れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係る実施の形態について説明する。
【００１９】
まず、図１に示すように、ワーク処理装置１は、シリンダヘッドＳを移送するワーク移送装置１０と、シリンダヘッドＳのバリや返り等をブラシで除去する加工処理を行うと共に該ヘッドＳに洗浄液を吹き付けて洗浄処理を行う洗浄処理室１１と、シリンダヘッドＳをエアブローすることによって乾燥処理を行う乾燥処理室１２と、作業者ＸがシリンダヘッドＳを上記ワーク移送装置１０に取り付けたり取り外したりする作業スペース１３とを有している。
【００２０】
上記ワーク移送装置１０は、駆動軸２０と該駆動軸２０を矢印ａ方向に回動させる駆動源２１とを有し、駆動軸２０には該軸周りに１２０度毎に合計３つのクランプ機構２２…２２が水平に備えられている。各クランプ機構２２は、シリンダヘッドＳを長手方向両端から把持する一対のアーム２３，２３が備えられている。また、クランプ機構２２は、回転軸２４を有し、上記アーム２３，２３に把持されたシリンダヘッドＳを矢印ｂ方向に回転可能とされている。
【００２１】
一方、上記洗浄処理室１１は、該処理室内１１に処理ヘッド３０を備え、処理室１１上方には該処理ヘッド３０の図示しない駆動装置、洗浄液供給源、及びエア供給源が備えられている。上記駆動装置は、処理ヘッド３０を洗浄処理室１１内で３次元に任意に移動させることができる。また、洗浄処理室１１の側壁近傍には、後述する回転工具保持装置３１が備えられている。
【００２２】
また、上記乾燥処理室１２には、シリンダヘッドＳにエアを吹き付け、洗浄処理後のシリンダヘッドＳの表面を乾燥させるエアブロー装置４０が備えられている。
【００２３】
次に、図２〜図４を参照して、回転工具保持装置３１の構造について説明する。
【００２４】
回転工具保持装置３１は、蓋部材５０と、該蓋部材５０に固着され、回転工具５２を着脱可能に保持するプレート部材５１と、該回転工具５２の処理ヘッド３０への着脱及び当該装置３１への着脱を行うカプラー操作機構５３と、上記蓋部材５０を水平方向に移動させる蓋部材移動機構５４とを有している。
【００２５】
上記洗浄処理室１１の側壁には開口部１１ａが設けられ、該開口部１１ａの処理室１１内部側（図３及び図４において右側：背面側）に上記蓋部材５０が位置している。蓋部材５０の開口側縁部の処理室１１外部側（図３及び図４において左側：正面側）にはパッキン６０が設けられ、蓋部材５０が開口部１１ａを密閉するように構成されている。
【００２６】
また、蓋部材５０の正面側表面には、上記プレート部材５１が外部側に立設されている。プレート部材５１には、処理室１１内部側にフランジ５１ａが設けられ、該フランジ５１ａを介して蓋部材５０にボルト６１…６１で締結されている。また、プレート部材５１には、穿設された挿入穴７５ａに位置決めピン７５（図５参照）が挿入固定され、さらに該プレート部材５１の正面側端部には上記カプラー操作機構５３の駆動源としてのエアシリンダ８０を支持するための板部材６３が連設されている。
【００２７】
一方、上記回転工具５２には、装着部７０と加工ブラシ７１とが設けられ、両者は連結部材７２により並列に連結されている。装着部７０は、回転工具５２を処理ヘッド３０に装着する部材である着脱用カプラー１２２（図５参照）を有し、該装着部７０の構成については後ほど詳述する。加工ブラシ７１は、エアモータ７３と、該エアモータ７３の駆動軸先端に固着されたブラシ７４とを有している。また、連結部材７２には、位置決めピン７５が嵌合する嵌合穴６２が設けられている（図５参照）。位置決めピン７５は、図５に１つだけ図示しているが、これを含めて２つ以上備えており、これにより連結部材７２の回転姿勢が決まる。一方、図５に示すように、連結部材７２の上部側には、エアモータ７３にエアを供給するエア供給通路を構成する導入通路７６が設けられている。該導入通路７６は、連結部材７２の上部側に開口し、連結部材７２内部で曲折して連結部材７２の背面側に連通するように設けられている。そして、導入通路７６は下流端部からエアモータ７３にパイプ部材７７（図３、図４参照）で連結されている。
【００２８】
上記カプラー操作機構５３は、上記回転工具５２の装着部７０に対して正面側に、エアシリンダ８０と、該エアシリンダ８０を上記板部材６３端部で揺動可能に支持する支持部材８１と、エアシリンダ８０のロッド８０ａの先端に連結されたリンク機構８２とを有している。リンク機構８２は、上記プレート部材５１の上方側に設けられた支持部９０に回転可能に支持された支軸９１と、該支軸９１の両端に一端が接続された一対のアーム部材９２，９２と、該アーム部材９２の他端に設けられて上記着脱用カプラー１２２のフランジ１４０（図５参照）に係合するローラ９３を有している。
【００２９】
蓋部材移動機構５４は、処理室１１側壁の外部側に設けられた補強プレート１００と、該補強プレート１００の処理室１１外部側に一端が固定されて他端側にロッド１０１ａを伸縮させるエアシリンダ１０１と、該エアシリンダ１０１のロッド１０１ａ先端に固着されて左右方向に延設された連結板１０２と、該連結板１０２の左右端近傍に一端が固着されて他端が上記蓋部材５０に固着された一対のガイドロッド１０３，１０３と、上記補強プレート１００に固設されてそれぞれのガイドロッド１０３，１０３を移動可能に支持する一対のガイド支持部材１０４，１０４とを有している。
【００３０】
補強プレート１００は、処理室１１の外部側側壁にスペーサ１０５を介してボルト１０６…１０６で四隅を固着されている。また、補強プレート１００には上記開口部１１ａと同等の大きさの開口部１００ａが設けられ、両開口部１１ａ，１００ａを介して上記回転工具５２及びカプラー操作機構５３が処理室１１内外に移動可能とされている。
【００３１】
次に、処理ヘッド３０及び回転工具５２の装着部１１０，７０について図５を用いて説明する。
【００３２】
まず、処理ヘッド３０には、下側先端部付近の側部に噴射ノズル１１１が設けられると共に該噴射ノズル１１１には処理ヘッド３０内部を通って上記不図示の洗浄液供給源から洗浄液供給通路１１２が開通している。また、同じく処理ヘッド３０下端部近傍には、回転工具５２を装着する装着部１１０が設けられ、装着部１１０の直上部には上記不図示のエア供給源に連通する開口１１３が設けられ、該開口１１３から処理ヘッド３０下端に連通するエア通路１１４が設けられている。また、装着部１１０には途中周面上に凹陥部１１０ａが設けられている。さらに、装着部１１０の外周には、エアが外部に抜けることを防止するためのキャップ１１５が備えられている。該キャップ１１５は、上端付近で複数のネジ１１６（１つのみ図示）により処理ヘッド３０に固着されている。
【００３３】
回転工具５２側の装着部７０は、回転工具５２の連結部材７２に一対のネジ１２０，１２０で連結された本体部１２１と、該本体部１２１の周囲でに上下方向に所定距離移動可能に備えられた着脱用カプラー１２２と、該着脱用カプラー１２２を本体部１２１に対して上方向に付勢するコイルスプリング１２３と、本体部１２１の周壁に嵌め込まれた複数のボール部材１２４…１２４（２つのみ図示）とを有している。
【００３４】
本体部１２１は、内部にエア供給通路としての中空部１３０が設けられた筒状の部材であり、外周部には上記スプリング１２３の下端を係止する係止段部１３１が設けられ、該係止段部１３１の上方には上記ボール部材１２４…１２４が上記中空部１３０に一部突出可能に嵌入される支持穴１３２，１３２が設けられている。また、本体部１２１上端には、上記着脱用カプラー１２２の上方への移動を規制する規制段部１３３が設けられている。また、本体部１２１の中空部１３０の上方側は、上記処理ヘッド３０の装着部１１０の外径と略同じ内径とされている。
【００３５】
着脱用カプラー１２２は、下端にリング状のフランジ１４０を有し、該フランジ１４０は上記カプラー操作機構５３のローラ９３，９３と係合可能とされている。また、該カプラー１２２の内壁には、上記スプリング１２３の上端を係止する係止段部１４１が設けられている。さらに、該カプラー１２２の上端部には、内方に傾斜したテーパ面１４２が設けられている。
【００３６】
次に、本実施の形態における作用効果について説明する。
【００３７】
まず、図１に示すワーク処理装置１において、作業者Ｘは、乾燥処理を終了して作業スペース１３に移動してきたシリンダヘッドＳを次工程に受け渡すと共に、未処理のシリンダヘッドＳをアーム２３，２３に把持させる。そして、駆動軸２０を１２０度ａ方向に回転させてシリンダヘッドＳを洗浄処理室１１内に移動させる。次に、洗浄処理室１１内において、処理ヘッド３０に回転工具５２を装着する。そして、クランプ機構２２の回転軸２４を回転させると共に、処理ヘッド３０を所定の位置に移動させて、シリンダヘッドＳ表面のバリや加工返りを上記回転工具５２で除去する。次に、処理ヘッド３０を移動させて回転工具５２を回転工具保持装置３１に受け渡し、該回転工具保持装置３１は回転工具５２を処理室１１外部に移動させる。続いて、処理ヘッド３０の噴射ノズル１１１から洗浄液を噴射して、シリンダヘッドＳ表面に付着した切粉等を洗い流す。洗浄処理が終了すると、駆動軸２０を１２０度回転させてシリンダヘッドＳを乾燥処理室１２内に移動させる。乾燥処理室１２では、エアブロー装置４０によりシリンダヘッドＳにエアを吹き付けて、該シリンダヘッドＳ表面を乾燥させる。そして、駆動軸２０を１２０度回転させて、シリンダヘッドＳを作業スペース１３に移動させる。これらの作業及び処理を３つのクランプ機構２２…２２により各処理室１１，１２及び作業スペース１３で同時に行うことになる。
【００３８】
ここで、処理ヘッド３０に回転工具５２を装着する際の処理ヘッド３０及び回転工具保持装置３１の動作について説明する。
【００３９】
まず、シリンダヘッドＳが洗浄処理室１１に導入されると、蓋部材５０を処理室１１内部側に移動させて処理室１１側壁の開口部１１ａを開口させる。すなわち、図３及び図４に矢印ｃで示すようにエアシリンダ１０１を制御してロッド１０１ａを縮めることによって、連結板１０２及びガイドロッド１０３，１０３を介して蓋部材５０を移動させて開口部１１ａを開口させる。すると、該蓋部材５０に一体のプレート部材５１及び該プレート部材５１に着脱可能に保持された回転工具５２が、上記開いた開口部１１ａを通過して、処理室１１外部から処理室１１内部へ移動し、所定の装着位置で停止する。
【００４０】
図６は、回転工具５２を処理ヘッド３０に装着する直前の状態（処理室１１内での装着位置）を示し、このとき、カプラー操作機構５３のローラ９３，９３は着脱用カプラー１２２を下方に押圧しており、さらにボール部材１２４…１２４は、着脱用カプラー１２２のテーパ面１４２を介して本体部１２１から外部への脱落が防止された状態でフリーな状態である。
【００４１】
なお、回転工具５２の非使用時は、上記のようにカプラー操作機構５３のローラ９３，９３で着脱用カプラー１２２を下方に押圧しているため、回転工具５３自体の動きが防止され、回転工具５３を安定してプレート部材５１上に位置決め保持することができる。その結果、蓋部材５０の開閉動作時等に伴う振動によってもプレート部材５１に対する回転工具５３の位置がずれることがない。
【００４２】
次に、図７に示すように、処理ヘッド３０の装着部１１０を本体部１２１の中空部１３０に挿入した後、図８に示すように、カプラー操作機構５３を作動させる。すなわち、矢印ｄで示すようにエアシリンダ８０のロッド８０ａを縮めて、リンク機構８２を操作して、矢印ｅで示すようにアーム部材９２，９２を支軸９１を中心に９０度上方に回動させる。その結果、図９に矢印ｆで示すように、着脱用カプラー１２２が上方に解放されることになり、スプリング１２３の付勢により該カプラー１２２の上端は本体部１２１の規制段部１３３に押し付けられる。このとき、ボール部材１２４…１２４は、着脱用カプラー１２２のテーパ面１４２を介して本体部１２１の内側に押圧され、処理ヘッド３０の装着部１１０の凹陥部１１０ａに嵌り込む。その結果、処理ヘッド３０と本体部１２１ないし回転工具５２が固着されることになって、図１０に矢印ｇで示すように、処理ヘッド３０と回転工具５２が一体となって上方に移動し、回転工具保持装置３１のプレート部材５１から取り外される。その後、蓋部材５０が閉じられ、プレート部材は処理室１１の外へ移動することになる。
【００４３】
次に、処理ヘッド３０に装着された回転工具５２を回転工具保持装置３１に受け渡す際の、処理ヘッド３０及び回転工具保持装置３１の動作について説明する。
【００４４】
まず、加工処理が終了すると、上記の処理ヘッド３０に回転工具５２を装着する際と同様に開口部１１ａを開口させる。
【００４５】
図１０は、回転工具５２を処理ヘッド３０から取り外す直前の状態をも示し、このとき、着脱用カプラー１２２は、スプリング１２３の付勢により本体部１２１に対して上方に押圧されており、回転工具５２と処理ヘッド３０とは固着された状態である。
【００４６】
次に、図１１の矢印ｈに示すように、回転工具５２の連結部材７２の位置決め用嵌合穴６２にプレート部材５１の位置決めピン７５が適正に挿入されるように処理ヘッド３０が不図示の駆動装置によって移動制御される。
【００４７】
そして、位置決めピン７５が嵌合穴６２に適正に挿入された後、図１２の矢印ｉに示すように、カプラー操作機構５３のエアシリンダ８０のロッド８０ａを伸ばす制御を行い、リンク機構８２を介してアーム部材９２，９２を矢印ｊ方向に９０度水平方向に回動させる。これによって、図１３に示すように、スプリング１２３で上方に付勢されていた着脱用カプラー１２２が、フランジ１４０をローラ９３，９３によって下方（矢印ｋ参照）に押圧されることにより下方に移動する。その結果、ボール部材１２４…１２４の外方にテーパ面１４２の内側に開くスペースが確保され、ボール部材１２４…１２４が処理ヘッド３０の装着部１１０の凹陥部１１０ａから離れて、処理ヘッド３０への固着作用が解除される。したがって、図１４に矢印ｍで示すように、回転工具５２を回転工具保持装置３１側に受け渡して、処理ヘッド３０のみが上方に退避することができるようになる。
【００４８】
このように、処理ヘッド３０及び回転工具保持装置３１は、それぞれ回転工具５２を着脱可能としたことによって、洗浄処理の際には回転工具保持装置３１により回転工具５２を洗浄処理室１１外部に移動させることができる。その結果、加工処理と洗浄処理という異種の作業を同一処理室内で行うので装置１全体のコンパクト化を図ることができると共に、洗浄処理の際つまり非加工処理時において回転工具保持装置３１、特に加工ブラシ７１の軸受などに洗浄液が侵入して、潤滑油やグリスなどが流出することを回避することができ、回転工具５２の耐久性を確保することができる。
【００４９】
このとき、回転工具保持装置３１側の装着部７０を洗浄処理室１１に設けられた開口部１１ａを開閉するための蓋部材５０の外部側に配設することにより、開口部１１ａの開閉と連動して同期させてに回転工具５２の受け渡しを行うことができるので、装置３１の機材及び動作の簡素化を図ることができる。
【００５０】
非加工処理時には着脱用カプラー１２２を下方に押し下げ、加工処理時には解放してスプリング１２３の付勢によって上方に移動させるカプラー操作機構５３を備えたことによって、上記カプラー１２２を介して処理ヘッド３０及び回転工具保持装置３１の装着部１１０，７０に回転工具５２を簡単かつ確実に処理ヘッド３０に着脱させることができる。
【００５１】
また、回転工具５２を処理室１１外に移動可能としたことにより、工具の交換やメンテナンス等の際に回転工具５２を洗浄処理室１１外に移動させることができて作業性が向上する。
【００５２】
一方、加工ブラシ７１の駆動源であるエアモータ７３にエアを供給するためのエア供給通路は、処理ヘッド３０側には処理ヘッド３０に設けられた開口１１３を介して該ヘッド３０下端に連通するエア通路１１４が設けられ、一方、回転工具保持装置３１の装着部７０側には本体部１２１に設けられた中空部１３０と連結部材７２の導入通路７６と該導入通路７６から上記エアモータ７３に連通するパイプ部材７７とで構成されている。
【００５３】
このようにエア供給通路を構成することにより、回転工具５２を処理ヘッド３０に装着したときに、処理ヘッド３０の装着部１１０に開口するエア供給通路の下端部が回転工具５２側のエア供給通路と連続することになり、回転工具５２の装着とエア供給通路の形成接続とを同時に行うことができるので、装置１ひいては着脱動作のの簡素化を図ることができる。また、エアモータ７３にも、非加工処理時に水しぶきが掛からず、駆動不良が免れる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明は、複数の処理を同一処理室内で行って装置のコンパクト化を図ると共に、非使用時の回転工具が洗浄の際の水しぶきを良好に回避することができるワーク処理装置を提供する。本発明は、ワークのバリ、返り等を回転工具で除去するブラシ加工処理、ワークに付着した切粉などを洗い流す洗浄処理、ワーク表面をエアブローで乾燥させる乾燥処理等を行うワーク処理装置に関する技術分野に広く好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態に係るワーク処理装置の概略平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線による矢視断面図である。
【図３】図２のＢ−Ｂ線による矢視断面図である。
【図４】図２のＣ−Ｃ線による矢視断面図である。
【図５】処理ヘッド及び回転工具の装着部を示す拡大縦断面図である。
【図６】処理ヘッドに回転工具を装着するときの動作説明図である。
【図７】図６に続く処理ヘッドに回転工具を装着するときの動作説明図である。
【図８】その場合のカプラー操作機構の動作説明図である。
【図９】図７に続く処理ヘッドに回転工具を装着するときの動作説明図である。
【図１０】図９に続く処理ヘッドに回転工具を装着するときの動作説明図、及び処理ヘッドから回転工具を取り外すときの動作説明図である。
【図１１】図１０に続く処理ヘッドから回転工具を取り外すときの動作説明図である。
【図１２】その場合の操作機構の動作説明図である。
【図１３】図１１に続く処理ヘッドから回転工具を取り外すときの動作説明図である。
【図１４】図１２に続く処理ヘッドから回転工具を取り外すときの動作説明図である。
【符号の説明】
【００５６】
１            ワーク処理装置
１１          処理室（洗浄処理室）
１１ａ        開口部
３０          処理ヘッド
３１          移動手段（回転工具保持装置）
５０          蓋部材
５２          回転工具
５３          カプラー操作手段（操作手段）
７３          エアモータ
７６          エア供給通路（導入通路）
１１０        装着部
１１１        ノズル
１１４        エア供給通路（エア通路）
１２２        着脱用カプラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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