(57)【要約】 【課題】  天井に走行レールを敷設して、搬送台車を走行させるＯＨＴ搬送システムでは、レールの分岐、合流部に直角折れ、急カーブ形状が適用できない。このため密度の高い軌道敷設が困難で、結果的に搬送台車の稼働率を低下させている。【解決手段】  天井の台車走行面を強磁性体材料で構成し、走行台車に強力な永久磁石を搭載し、走行車輪により形成される隙間を介し、永久磁石で強磁性体平板に磁気吸着させる。１つの走行輪に走行モータを、また各走行輪軸にステアモータを付け、台車走行ルートに光学読取りマークを敷設することにより、自律走行制御のＯＨＴ搬送システムを可能とした。また、万一の台車落下に備え、落下防止用フックの取り付けも可能な構成とした。【選択図】  図1
2005138724.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に敷設された強磁性体材料からなる強磁性体平板の垂直方向下面より３つ以上の走行車輪で接触する搬送台車で、前記強磁性体平板に隙間を隔て配置され搬送台車に取付けられた永久磁石の磁気吸引力で前記搬送台車および前記搬送台車が積載する荷物を懸垂し、前記強磁性体平板表面を走行する搬送台車であって、前記走行車輪に走行駆動用モータ、操舵角度制御用に操舵モータを有し、前記搬送台車に搭載されたコントローラにより自律的に走行制御できる磁気吸引天井懸垂型搬送台車。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気吸引天井懸垂型搬送台車であって、落下防止用の吊り部材を有し、該吊り部材の一端は搬送台車に固定され、他端は天井に敷設された強磁性体平板の搬送台車の走行路沿いに延在して設けられた溝を接触することなく貫通し、強磁性体平板上部まで配置され、強磁性体平板貫通部より上部は溝幅以上の幅となるよう変形され、該搬送台車の磁気吸引力が減退し、該搬送台車の永久磁石が前記強磁性体平板より離隔、搬送台車が落下した場合前記吊り部材が溝幅以上の幅に変形された部位で強磁性体平板上部に当接して搬送台車を吊り下げ、搬送台車および搬送台車が積載する荷物の地上まで落下するのを食い止める機能を有する落下防止部材を設けた磁気吸引天井懸垂型搬送台車。
【請求項３】
請求項１、２に記載の磁気吸引天井懸垂型搬送台車であって、走行路に沿い、搬送台車誘導のための、バーコード、光学反射テープなどの光学マーク、或いは電子方式認識による非接触ＩＣチップが敷設され、走行台車に搭載した光学センサ或いは無線通信方式の読取り装置で、該光学マーク或いは該非接触ＩＣチップが発信する情報を読取り、読取った情報に基づき走行台車を誘導する光学式誘導手段或いは無線通信による電子式誘導手段を搭載した磁気吸引天井懸垂型搬送台車。          
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネル、プラズマディスプレー、半導体集積回路などの製造工程における基板搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場における製造途中のウエハは、ウエハキャリアであるＦＯＵＰ(Front Opening
Unified Pod)に収納され、床上を搬送するＡＧＶ搬送台車、天井に敷設された軌道から吊り下げ状態でＦＯＵＰを把持するＯＨＴ(Over head
Hoist Transport)搬送台車、天井に敷設された軌道を走行するＯＨＳ(Over Head
Shuttle)などの搬送手段により、製造装置間を搬送される。
【０００３】
前記３つの搬送手段のうち、最近ＯＨＴ搬送台車、中でも分岐軌道を有する分岐型ＯＨＴは，搬送効率向上に寄与するところが大きく、搬送装置の主流として多用されるに至っている。
他方社会の急速な高齢化に伴い、福祉機器、老人介護機器に関する一般の関心が高まり、これら機器の研究開発も盛んとなり、現在様々な介護機器の提案がなされている。
この様な介護機器の一つとして、高齢者歩行介助を目的に、鉄板を敷設した天井に車輪を有する台車を磁力で吸着させ、この台車に高齢者の体重を支えさせ、しかも手元レバー操作で搬送台車の進行方向を自由にコントロールすることで、足の弱った高齢者が歩行時足にかかる重量負担を軽減する、歩行アシスト装置の提案がなされている。
【０００４】
半導体製造工程におけるＯＨＴ搬送と、老人介護に於ける歩行をアシストする機器は用途は全く異なり、本来無縁であるが、天井走行させる台車技術に於いて共通点が生じている。
また、ＯＨＴ搬送システムに於いては、多種多様な搬送軌道レイアウトのニーズが出されているが、軌道分岐形態の制約のため対応不可能な場合も明らかになってきた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図８は従来技術によるＯＨＴ搬送システムにおける軌道例である。（特許文献1、２）軌道は本線軌道３１と分岐軌道３２から構成されている。搬送台車２は製造装置５が実施する処理の上流工程の処理済みシリコンウエハが収納されたＦＯＵＰを積載して本線軌道３１上を走行、分岐部３０において分岐軌道３２に移り、製造装置５まで運搬し、製造装置５の搬入荷受け台６上に積載して来たＦＯＵＰを載置する。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２７０４３５
【特許文献２】特願２００３−１０９９４４
【０００７】
分岐部３０における従来技術による分岐軌道への乗移りの状況を図９、１０を用い説明する。図９は分岐部３０の軌道構造であり、図１０は搬送台車２の走行機構部の断面図である。
４２はＯＨＴ搬送台車が懸垂され走行する軌道で天井６４に取付けられている。４６は軌道に敷設される永久磁石、４７は一次側積層鉄心コアおよびコイル、４０は走行ローラ、４５はガイドローラ、２３は昇降機構で、該昇降機構２３の下方にベルト巻き上げ機構、キャリア把持機などが組込まれている。４３は分岐用ガイド、４４は分岐ローラである。
【０００８】
リニアモータの一次側積層鉄心４７に３相交流電流が供給されると、一次側コイルに直線状に移動する進行磁界が発生し、一次側鉄心４７と対向配置されている永久磁石４６との間の磁気作用で一次側鉄心コア４７に推進力が発生する。一次側鉄心コア４７と二次側永久磁石４６との間は一定間隔に保持されており、発生した推進力で走行ローラ４０が従動回転し軌道４２上を走行する。
【０００９】
図９において、ＯＨＴ搬送台車は下方Ａ部より分岐部に進入し、分岐軌道Ｃに進もうとしている。軌道Ａ部まで直進してきたＯＨＴ搬送台車２は分岐ガイドレール４３の端部に差し掛かる手前で分岐ローラ４４を分岐ガイドレール４３の右側となるよう分岐ローラスライドバー４８を右側にスライドさせる。さらに軌道を上方に進むに従い分岐ローラ４４が分岐ガイドレール４３の右側に接触し、ＯＨＴ搬送台車は該分岐ガイドレール４３にカイドされて走行する。これによりＯＨＴ搬送台車は分岐動作を完了させ、ＯＨＴ搬送台車は分岐ガイド４３にガイドされＣ方向に前進する。
【００１０】
以上のように軌道上を走行させる従来技術によるＯＨＴ搬送システムに於ける分岐では、分岐点の手前から分岐の準備が必要で、かつ分岐走行路の屈曲度合いも緩やかで、急角度での方向転換は困難である。従って、例えば図１１に点線で示す仮想分岐軌道３３を敷設しようとした場合、主軌道３１から装置５への仮想軌道分岐部３４、あるいは装置５の仮想分岐軌道３３から主軌道３１に合流する仮想軌道合流部３５は軌道の敷設角度が急で、現実には台車走行が不可能となり、軌道敷設も不可能となる。従って実際の軌道は図１１に実線で示す構造しか採れない。即ち隣接する製造装置個々に独立の分岐軌道を敷設すると狭い領域に分岐と合流の軌道を密にレイアウトせざるを得なくなり、曲がり角度が急となり搬送台車の滑らかな走行が物理的に困難になる。
【００１１】
しかし、図１１の実線に示す軌道では新たに次ぎの問題が発生する。即ち、製造装置Ａの荷受け台にＯＨＴ搬送台車２が停止していると、製造装置Ｂ、ＣにアクセスしようとするＯＨＴ搬送台車は製造装置Ａの手前で待たされる。さらに、製造装置ＣにアクセスしようとするＯＨＴ搬送台車は、製造装置Ｂの荷受け台に停止しているＯＨＴ搬送台車によっても待たされることになり、点線で示した仮想軌道に比べ搬送効率は著しく低下する。
本発明における第1の技術課題は、図１１に点線で示す急カーブ軌道が実現できるＯＨＴ搬送システムを提供する所にある。
【００１２】
また、高齢者歩行介助機器として、鉄板を敷設した、天井に車輪を有する台車を磁力で吸着させ、高齢者の体重の一部をこの台車が支え、手元レバー操作で進行方向をコントロールすることで、足の弱った高齢者の足にかかる負担を軽減する歩行アシスト装置の場合、（特許文献３、特許文献４）天井に敷設される強磁性体平板材料の表面状態に異常が発生し、磁石と強磁性体平板材間のギャップが規定値以上に拡大されるかまたは、外部より強力な磁界が負荷されるなどにより、磁気吸引力が急激に減退し、最悪高齢者が走行体と一体に落下する恐れがある。
【００１３】
【特許文献３】特許第２５１７８８１
【特許文献４】特開平７−２５２１００
【００１４】
しかし、従来技術では、過剰重量の荷物積載に対し、定荷重バネで負荷調整を行う方法の提案はあるが、予測し難い磁気吸引力の減退により引起される落下に対しては、何ら対策が為されていない。走行台車の積載する対象が、高齢者の場合は無論、荷物であっても落下する荷物の直下に人が存在した場合など重大な事故に繋がる可能性もある。本発明における第２の技術課題は、走行台車の落下防止に対する保護機能の追加にある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
請求項１に記載の搬送台車には、天井に敷設された強磁性体材料からなる強磁性体平板と接触する３つ以上の走行ローラにより形成される僅かな隙間を設けて、永久磁石が取付けられる。搬送台車は該永久磁石の磁力により吸着し懸垂される。永久磁石の吸引力は十分大きく、搬送台車および搬送台車が懸垂する荷物重量を十分支えることが出来る。走行車輪には走行モータが、また、走行車輪ホルダー軸にはステア角度を制御するステアモータが取付けられていて、コントローラの指令によりステア角度を制御しながら自走できるので、前記搬送台車は荷物を懸垂し、目的場所まで走行方向を必要に応じ切り替えながら前記強磁性体平板表面を走行することができる。
【００１６】
請求項２記載の磁気吸引天井懸垂型搬送台車は請求項１に記載の磁気吸引天井懸垂型搬送台車に落下防止用の吊り部材を取付けたものである。
落下防止用吊り部材の一端は搬送台車に固定され、他端は搬送台車の走行路沿いに強磁性体平板に設けられた溝を貫通して、強磁性体平板の上面まで配置される。貫通部における落下防止用吊り部材の断面寸法は、溝幅より十分小さいので溝に接触することはない。また貫通部より上部は、溝幅以上の幅に形作られ、磁気吸引力が減退し搬送台車が前記強磁性体平板より離隔、搬送台車が落下した場合、前記吊り部材が溝幅以上の幅に変形された部位で強磁性体平板上面に当接し、搬送台車を吊り下げ、搬送台車および搬送台車が積載する荷物が地上まで落下するのを食い止める。これにより、搬送台車直下で作業している人や、機器類の安全が確保される。
【００１７】
請求項３に記載の光学式誘導手段または電子方式認識手段を搭載した搬送台は、請求項１、２に記載の磁気吸引天井懸垂型搬送台車であって光学センサまたは、無線通信方式の読取り装置を搭載している。また走行路沿い敷設されたバーコードや、光学反射テープなどの光学マーク或いは非接触ＩＣチップを走行台車に搭載した前記光学センサ或いは無線通信方式の読取り装置で読取ることで搬送台車の現在位置を確認しながら、目的地への進行方向を決定できる。
【発明の効果】
【００１８】
磁気吸引天井懸垂型搬送台車は、コントローラによる走行モータと操舵モータ制御が可能で強磁性体平板上を自走できる。従って、レール上を走行する搬送台車では実現できない、直角横行、斜行、急カーブ走行が可能になり、走行パターンの自由度が増すため、走行方向前方に位置する製造装置荷受け台に停止している走行台車があっても、これを避けて通過できるので、待ち時間が無く、台車稼働率の向上が図れる。
【００１９】
また、落下防止機構を有する走行台車にあっては、強磁性体平板の表面状態の状態変化により、磁石と、強磁性体平板間の隙間変動や、外部からの磁気作用など、予期せぬ状態変化による搬送台車の磁気吸引力低下により搬送台車が落下しても、落下防止装置が強磁性体平板の溝に引っ掛かり、吊り下げ状態となって、床面まで落下することはない。これにより、搬送台車直下で作業している人の安全確保と、搬送台車直下に存在する機器類破損の未然防止が出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に関する第一の実施形態として磁気吸引天井懸垂型搬送台車の実施例を、第二の実施形態として落下防止用吊り部材を取付けた磁気吸引天井懸垂型搬送台車について図面を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００２１】
本発明による第一の実施例を図1ないし図５を用い説明する。
図１に本発明による磁気吸引天井懸垂型搬送台車の構造を示す。Ａは上面図、ＢはＰＰ’矢視断面である。図1は搬送台車１がＦＯＵＰ４を把持した状態である。搬送台車１は大別して走行部３７、昇降機構２３、把持機構３８により構成される。走行部３７は前輪ユニット１０、後輪ユニット２０、永久磁石２１、前輪ステアモータ１８、後輪ステアモータ１９およびこれらを固定する保持板３９、台車吊軸２２と走行部カバー３６などからなる。また、把持機構３８は昇降ベルト２４、把持部２５、フィンガー２６により構成される。６５はＣＣＤバーコード読取りセンサで、走行ルートに敷設されるバーコードを読取る。
【００２２】
次ぎに本発明の主要部である走行部３７について詳述する。
まず、前輪ユニット１０を構成する走行輪１１は回転軸となる走行輪軸１２と一体となっている。また走行輪軸１２は走行輪軸受１３を介して走行輪軸受ホルダー１７に回転自由に組み込まれる。
【００２３】
前走行輪１１の走行輪軸１２には走行モータ５４が取付けられ、走行モータ５４の外形部は走行モータ取付け部材５５により走行輪軸受ホルダー１７に固定されている。これにより走行輪１１は走行モータ５４により回転駆動される。また走行モータ５４は台車コントローラ６０により回転のＯＮ、ＯＦＦおよび回転速度が制御される。
【００２４】
また、走行輪軸受ホルダー１７は走行輪ホルダー軸２７で走行輪ホルダー軸受２８に回転自由に組み込まれる。走行輪ホルダー軸受２８は保持板３９に固定される。走行輪ホルダー軸２７にはプーリー１４が挿入されセットビスなどで走行輪ホルダー軸２７に固定されている。また、保持板３９には前輪ステアモータ１８が取付けられ、該前輪ステアモータ１８の回転軸にはモータプーリ１６が挿入されセットビスなどで固定されている。また、プーリー１４とモータプーリ１６はタイミングベルト１５で連結され前輪ステアモータ１８の正逆回転により走行輪ホルダー軸２７が左右方向のステア角に設定される。
【００２５】
次に後輪ユニットについて述べる。
後輪は２つの後輪ユニット２０で構成される。各後輪ユニット２０は基本的には前輪ユニット１０と同じである。即ち、後輪ユニット２０を構成する走行輪１１は回転軸となる走行輪軸１２と一体となっている。また走行輪軸１２は走行輪軸受１３を介して走行輪軸受ホルダー１７に回転自由に組み込まれる。走行輪軸受ホルダー１７は走行輪ホルダー軸２７で走行輪ホルダー軸受２８に回転自由に組み込まれる。走行輪ホルダー軸受２８は保持板３９に固定される。走行輪ホルダー軸２７にはプーリー１４が挿入されセットビスなどで走行輪ホルダー軸２７に固定されている。
【００２６】
また、保持板３９には後輪ステアモータ１９と２つの後輪ユニット２０が後輪ステアモータ１９を中心として左右対称に取付けられている。該後輪ステアモータ１９の回転軸にはモータプーリ１６が挿入され、セットビスなどで固定されている。また、走行輪ホルダー軸２７に挿入されている左右のプーリー１４、１４とモータプーリ１６はタイミングベルト１５で連結され、後輪ステアモータ１９の正逆回転により２つの走行輪ホルダー軸２７、２７も連動して左右方向のステア角に設定される。後輪ステアモータ１９はコントローラ６０に結線されコントローラ６０の制御により正逆回転する。
【００２７】
一方永久磁石２１は非磁性体金属材料からなる台車吊軸２２の先端部に固定される、永久磁石２１および台車吊軸２２は台車および、搬送台車が吊る荷物の重量を支えなければならないので、永久磁石２１の台車吊軸２２への取付け方法も含めこれら重量に十分耐える構造としている。台車吊軸２２と永久磁石２１との結合部には、必要に応じより強固な結合構造を実現するため強磁性体材料を挿入している。また、永久磁石２１と強磁性体平板３とのギャップGは通常数ミリメータ以内に設定している。
【００２８】
なお、本実施例の磁力吸着台車１は、１つの走行モータ５４と、２つのステアモータ（前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９）を装備しているが、個々の車輪に走行モータとステアモータを設置することも可能である。また、車輪数を３つとしているが、４つとした場合も３つの場合と同様に実施できる。
【００２９】
また、図１では直方体の永久磁石２１がほぼ中央に設けられているが、永久磁石の個数、配置、形状は適用システムに応じ適宜最適化を行う。例えば、リング状の磁石で走行輪を囲むように配置することも可能である。
次に磁力吸着台車１の走行機構により実現できる３つの走行パターンについて図３ないし図５を用い説明を行う。
【００３０】
図３は直角に方向転換する横行の場合である。
直進してきた磁力吸着台車１−ａは１−ｂで直角に方向転換を行う。磁力吸着台車１はＰ１地点で走行モータ５４を停止させて止まる。前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９の両方を同時に作動させ、モータプーリ１６にタイミングベルト１５を介して連結している走行輪ホルダー軸２７、２７、２７をそれぞれ９０度回転させる。
【００３１】
次いで走行モータ５４を起動させ、横行による走行でＰ２地点まで走行し、モータ５４を停止させる。次いで前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９の両方を同時に作動させ走行輪ホルダー軸２７、２７、２７をそれぞれ９０度逆回転させ走行輪を元の方向に戻し、走行モータ５４を起動させ１−ｃに到る。なお本直角横行による直角走行は、レールを用いた従来技術のＯＨＴ搬送台車では通常不可能な走行形態である。
【００３２】
図４は斜行の場合である。
１−ａで直進してきた磁力吸着台車１は１−ｂで斜め方向転換を行う。磁力吸着台車１はＰ１地点で走行モータ５４を一旦停止させて止まる。前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９の両方を同時に作動させ、モータプーリ１６にタイミングベルト１５を介して連結している走行輪ホルダー軸２７、２７、２７をそれぞれ所定の斜行角度回転させる。次いで走行モータ５４を起動させＰ２地点まで斜行による走行を行い再び走行モータ５４を停止させ停止する。次いで前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９を両方同時に作動させ、走行輪ホルダー軸２７、２７、２７をＰ１地点で回転させた所定斜行角度だけ逆回転させ、走行輪のステア角を元の方向に戻し、走行モータ５４を起動させ１−ｃに到る。
【００３３】
図５はカーブ走行の場合である。
１−ａで直進してきた磁力吸着台車１は１−ｂでカーブ走行動作に入る。磁力吸着台車１はＰ１地点で走行モータ５４の速度を落し、前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９を両方同時に作動させ、モータプーリ１６にタイミングベルト１５を介して連結している走行輪ホルダー軸２７、２７、２７をそれぞれ一定時間かけ一定速度で９０度まで徐々に回転させる。磁力吸着台車１の描くカーブの曲率半径は走行輪ホルダー軸２７の回転速度と、走行モータ５４の回転速度の比により任意にコントロールできる。走行輪ホルダー軸２７、２７、２７が９０度回転し終えたＰ２点でカーブ動作は完了し、磁力吸着台車１は直線走行に入る。
【００３４】
次に本発明により磁気吸引天井懸垂型搬送台車が図２に示す軌道を走行する場合について説明する。
本実施例１の磁力吸着台車１は強磁性体平板３上を自由に走行できるので、走行用レールは不要である。しかし、運行制御上は一定の定められたルートを走行させる必要があり、これを図１１に例示した従来のレール上を走行するＯＨＴ走行台車の「軌道」と区別して「ルート」と呼称することにする。従ってルートの場合は物理的なレールは存在しない。
【００３５】
図２において、磁力吸着台車１−Ａは製造装置５−Ａに未処理基板の収納されたＦＯＵＰを配達しようとしており、また、磁力吸着台車１−Ｂは磁力吸着台車１−Ａの後方を、製造装置５−Ｂから処理済基板の収納されたＦＯＵＰを受け取り、図示されていないストッカーまで搬送しようとしている。
【００３６】
磁力吸着台車１−Ａは主ルート５６を走行し、ルート分岐部５８−Ａに達する。磁力吸着台車１−Ａはルート分岐部５８−Ａで製造装置５−Ａの搬入荷受台６−Ａに未処理基板の収納されたＦＯＵＰを配達するため分岐ルート５７−Ａ側に方向を変更する。この時磁力吸着台車１は「００２９」ないし「００３１」に述べた「斜行」または「横行」動作に移る。具体的には、分岐部５８−Ａで走行モータ５４を一旦停止させて止まる。前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９の両方を同時に作動させ、モータプーリ１６にタイミングベルト１５を介して連結している走行輪ホルダー軸２７、２７、２７をそれぞれ所定の斜行角度回転させる。次いで走行モータ５４を起動させ分岐入部屈曲点６１−Ａまで斜行による走行を行い、再び走行モータ５４を停止させ停止する。
【００３７】
次いで、前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９を両方同時に作動させ、走行輪ホルダー軸２７、２７、２７を５８−Ａ地点で回転させた所定斜行角度だけ逆回転させて走行輪の走行角度を元に戻し、走行モータ５４を起動させ搬入荷受台６−Ａに至る。磁力吸着台車１−Ａは搬入荷受台６−Ａ上に懸垂してきた未処理基板の収納されたＦＯＵＰを荷降ろしする。
【００３８】
一方、磁力吸着台車１−Ｂは磁力吸着台車１−Ａに続き分岐部５８−Ａに到る。この時、磁力吸着台車１−Ａは製造装置５−Ａの搬入荷受台６−ＡでＦＯＵＰの荷下ろし作業中で、搬入荷受台６−Ａに停止している。従って、磁力吸着台車１−Ｂは分岐部５８−Ａを磁力吸着台車１−Ａに妨害されることなく通過し、分岐部５８−Ｂに到る。分岐部５８−Ｂに於いて磁力吸着台車１−Ｂは前述の「斜行」または「横行」動作に移り、分岐入部屈曲点６１−Ｂを経て製造装置５−Ｂの搬出荷受台７−Ｂに到達する。
【００３９】
他方、搬入荷受台６−Ａで製造装置５−ＡにＦＯＵＰを荷下ろした磁力吸着台車１−Ａは走行モータ５４を起動させ、分岐ルート５７−Ａ上を進み分岐出部屈曲点６２−Ａで走行モータ５４を停止させて止まる。前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９の両方を同時に作動させ、モータプーリ１６にタイミングベルト１５を介して連結している走行輪ホルダー軸２７、２７、２７をそれぞれ分岐部５８−Ａに於いて回転させた斜行角度に相当する角度を逆方向に回転させる。次いで走行モータ５４を起動させルート合流部５９−Ａまで走行し、再び走行モータ５４−Ａを停止させる。次いで前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９を両方同時作動させ、走行輪ホルダー軸２７、２７、２７を主ルート走行角度に再設定し、走行モータ５４を起動させ主ルート５６上を次の目的地まで走行する。
【００４０】
また、処理基板の収納されたＦＯＵＰが載置された製造装置５−Ｂの搬出荷受台７−Ｂに到達した磁力吸着台車１−Ｂは、該ＦＯＵＰを把持懸垂して回収する。  次いで走行モータ５４を起動させ分岐ルート５７−Ｂ上を進み分岐出部屈曲点６２−Ｂで走行モータ５４を停止させて止まる。前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９の両方を同時に作動させ、モータプーリ１６にタイミングベルト１５を介して連結している走行輪ホルダー軸２７、２７、２７をそれぞれ分岐部５８−Ｂにおいて回転させた斜行角度に相当する角度逆方向に回転させる。次いで走行モータ５４を起動させルート合流部５９−Ｂまで走行し、再び走行モータ５４を停止させ停止する。次いで前輪ステアモータ１８と後輪ステアモータ１９を両方同時作動させ、走行輪ホルダー軸２７、２７、２７を主ルート走行角度に再設定し、走行モータ５４を起動させ主ルート５６上を図示されていない次の目的であるストッカーまで走行する。
【００４１】
以上により、磁力吸着台車１−Ａが製造装置５−Ａに停止中であっても、後続の磁力吸着台車１−Ｂは磁力吸着台車１−Ａの存在に関係なく製造装置５−Ｂにアクセスできることは明白である。
【実施例２】
【００４２】
落下防止用の吊り部材を取付けた磁気吸引天井懸垂型搬送台車について図６，７を用い説明する。
落下防止用吊り部材を装備した磁気吸引天井懸垂型搬送台車を図６に示す。図６は図１に示した磁力吸着台車１にフック５１を取付けたもので、基本構造は図１と同じである。従って同一部分については説明を省略する。
【００４３】
図６の落下防止用吊り部材５１は丸棒材からなり、一端を走行部カバー３６に溶接などの手段により固定され、他端側は強磁性体平板３に設けられた溝５０より上部で略直角に曲げられる。折り曲げられた部分の長さは溝５０の幅に比べ十分長い。本落下防止用の吊り部材を取付けた磁気吸引天井懸垂型搬送台車の場合、強磁性体平板３の改造が必要となる。即ち、落下防止用に設けられたフック５１を通過させるための溝が強磁性体平板３に設けられる必要がある。図６の溝５０がこれに該当し、溝５０は磁力吸着台車１が走行するルート全域、全長に渡り設けられる。また、溝幅は磁力吸着台車１のフック５１が走行中強磁性体平板３に接触することのない、十分にして最小な幅としている。
【００４４】
図７は落下防止用フック５１の取付けられた磁力吸着台車１の走行ルートのレイアウト図である。走行ルートは主ルート５６と分岐ルート５７からなる。また、主ルート５６と分岐ルート５７に平行して溝５０が設けられている。走行ルートにはバーコードなどの光学マーク５２が敷設されており、磁力吸着台車１に搭載されたＣＣＤバーコード読取りセンサ６５により読み取られる。台車コントローラ６０には地図情報が記憶されており、バーコード読取りセンサ６５で読取ったバーコードを参照して分岐部、合流部、カーブなどの識別を行うと同時に自己の存在場所を認識する。また、主ルート５６および分岐ルート５７の周囲に製造装置５およびストッカー５３が配置されている。
【００４５】
次に、落下防止用フック５１の機能について説明する。
永久磁石２１と強磁性体平板３間のギャップＧは磁力吸着台車１が荷物を懸垂しても十分吸着できる寸法に維持している、従って通常の状態で磁力吸着台車１が落下することはあり得ないが、何らかのアクシデントで磁力吸着台車１の走行ルートに当たる強磁性体平板３表面に異物が付着し、磁力吸着台車１の走行輪１１がこの異物に乗り上げ、永久磁石２１と強磁性体平板３間のギャップＧが異常に拡大され磁気吸引力が急激に低下し、磁気吸引力が磁力吸着台車１および懸垂荷物重量を支えられなくなった場合落下が起こる。
【００４６】
また、磁気吸引力の低下は永久磁石２１と強磁性体平板３間の磁界を打消すような強力な磁界が外部から与えられた場合も発生する。これら予想外のアクシデントで磁力吸着台車１が天井より落下した場合、フック５１が無い場合、磁力吸着台車１および懸垂荷物は一体に床面まで落下する。落下地点に作業者が存在した場合や、他の装置が設置されていた場合、落下による被害は一層拡大する。しかし、落下防止用フック５１が設けられている場合、落下は起こってもフック５１が強磁性体平板３に引っ掛かり、走行台車はフック５１に支えられて天井にぶら下がり、床面まで落下することはない。従って、本落下防止用フック５１を設けることにより、人身事故、器物破損などの事故を未然に防止することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
搬送台車走行用のレールを天井に敷設することなく、天井表面を走行面として搬送台車を走行させ、該搬送台車により荷物を搬送する天井搬送方式を採用した搬送システム、特に荷物を懸垂状態で天井面を走行面として搬送する搬送システム。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】磁力吸着型ＯＨＴ搬送台車外形図
【図２】磁力吸着型ＯＨＴ搬送台車システムのレイアウト図
【図３】磁力吸着型ＯＨＴ搬送台車の横行走行
【図４】磁力吸着型ＯＨＴ搬送台車の斜行走行
【図５】磁力吸着型ＯＨＴ搬送台車のカーブ走行
【図６】落下防止用フック付磁力吸着型ＯＨＴ搬送台車外形図
【図７】落下防止用フック付磁力吸着型ＯＨＴ搬送台車システムのレイアウト図
【図８】従来技術によるＯＨＴ搬送台車の走行軌道レイアウト図
【図９】従来技術によるＯＨＴ搬送台車の分岐軌道図
【図１０】従来技術によるＯＨＴ搬送台車走行機構図
【図１１】従来技術によるＯＨＴ搬送台車の軌道図
【符号の説明】
【００４９】
１．磁力吸着台車
２．レール搬送台車
３．強磁性体平板
１１．走行輪
１８．前輪ステアモータ
１９．後輪ステアモータ
２１．永久磁石
２７．走行輪ホルダー軸
５０．溝
５１．フック
５２．光学マーク
５４．走行モータ
５６．主ルート
５７．分岐ルート
６５．ＣＣＤバーコード読取りセンサ
【図１】
2005138724.tif 000003
【図２】
2005138724.tif 000004
【図３】
2005138724.tif 000005
【図４】
2005138724.tif 000006
【図５】
2005138724.tif 000007
【図６】
2005138724.tif 000008
【図７】
2005138724.tif 000009
【図８】
2005138724.tif 000010
【図９】
2005138724.tif 000011
【図１０】
2005138724.tif 000012
【図１１】
2005138724.tif 000013