(57)【要約】【課題】  合流領域に敷設された通信線が単線の場合においても、更にその通信線に不具合が生じた場合においても、搬送台車同士の衝突を回避することができる衝突防止制御システムを提供する。【解決手段】  合流領域１０に進入した搬送台車１ａは、受信器３ａで通信線７の信号を受信・分析し、制御部８ａで他の合流域の搬送台車の送信する信号波形を受信したか判断する。搬送台車１ｂが送信する信号波形を受信したと判断すると、走行を停止する。搬送台車１ｂが合流領域１０を脱すると受信しないと判断すると、自車の合流域を意味する信号を送信器２ａで送信すると共に、受信器３ａで通信線７上の信号を受信・分析し、制御部８ａで自車の送信する信号が検知できるか判断する。検知できた場合は合流領域１０の走行を継続するが、検知できない場合は通信線７に異常があるとして全ての搬送台車を緊急停止させる。【選択図】図１
2005115590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送台車が走行する軌道内の複数の流入ルートが合流する合流点を含む所定の合流領域に敷設された通信手段と、前記搬送台車に設置され、前記合流領域内において前記通信手段に対して流入ルートを示す固有の識別信号を送信する送信手段と、前記搬送台車に設置され、前記合流領域内において前記通信手段から前記識別信号を受信する受信手段と、前記搬送台車に設置され、前記受信手段で受信した前記識別信号を分析して走行を制御する制御手段と、を備える衝突防止制御システムであって、
前記通信手段は、前記合流領域にループ状に敷設された単線の通信手段であり、
前記制御手段は、自己の流入ルートと異なる流入ルートを示す前記識別信号を前記受信手段で検知している間は走行を停止することを特徴とする衝突防止制御システム。
【請求項２】
前記識別信号として、流入ルート毎に異なる、交流波形信号、パルス周波数波形信号、複数ビットからなるデジタル通信信号のいずれか一つまたはこれら２つ以上の組み合わせを用いることを特徴とする請求項１に記載の衝突防止制御システム。
【請求項３】
前記制御手段は、更に、自己が送信した前記識別信号を自己の前記受信手段で検知しなかった場合は前記通信手段に異常があると判断し、自己の走行を停止すると共に、前記軌道を走行する全ての搬送台車の走行を停止することを特徴とする請求項１または２に記載の衝突防止制御システム。
【請求項４】
前記通信手段に、当該通信手段のインダクタンスをほぼ補償する程度の容量を有するコンデンサを直列に接続することを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の衝突防止制御システム。
【請求項５】
前記搬送台車に、前記送信手段と前記受信手段とを電気的に短絡する結合線を敷設するとともに、当該短絡線にコンデンサを直列に接続することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の衝突防止制御システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軌道上を走行する複数の搬送台車の衝突を防止するために搬送台車の走行を制御する衝突防止制御システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造、液晶製造、ＦＡなどの製造プロセスにおいて、製造過程の品物をプロセスに従い装置から装置に搬送する搬送手段としては、天井より懸垂された軌道上を走行してFOUP（Front Opening Unified Pod）を搬送するOHT（Over head Hoist Transport）、OHS（Over Head Shuttle）、床上を自立走行する搬送台車を用いた搬送システムなど、軌道上を走行する搬送台車による無人搬送システムが主流となっている。
【０００３】
これらの無人搬送システムにおいて、搬送台車の走行する軌道は、製造装置の配置と整合を採って敷設される。また、軌道は、閉ループにて形成され、必要に応じて、分岐・合流が設けられる。そして、軌道を走行する台車の走行方向は、通常、一方通行である。即ち、軌道の合流点においては、複数のルートから走行して来た搬送台車が１つのルートに合流することになるので、複数のルートから搬送台車が同時に合流点に到達すると、当然衝突がおこる。従って、搬送台車を軌道上で走行させる無人搬送システムでは、従来から、合流点を含む合流領域に於ける衝突防止技術が開発されている。
【０００４】
従来の衝突防止技術として、例えば、軌道に１本の導電線（通信線）を敷設し、無人搬送車（搬送台車）に起電力を誘起させる誘導信号発信器と誘導信号受信器を搭載し、複数の無人搬送車の合流領域での衝突を防止する技術が特許文献１に記載されている。特許文献１の技術では、合流領域に到達した無人搬送車は、誘導信号受信器により信号を受信しなかった場合に前進して合流領域を走行する間に誘導信号発信器により信号を発信するとともに、誘導信号受信器により信号を受信した場合に合流領域への走行を停止することにより、複数の無人搬送車の合流領域での衝突を防止している。
【０００５】
また、軌道の両側に２本の導電線（通信線）を敷設し、無人車（搬送台車）の両側に送受信器を搭載し、複数の無人車が合流領域内へ同時に進入した場合にも，衝突を防止するべく適切な制御を行う技術が特許文献２に記載されている。特許文献２の技術では、２本の導電線のそれぞれにおいて、一方の流入路の無人車に搭載された送信手段と他方の流入路の無人車に搭載された受信手段との間で信号を送受信できるよう構成することにより、自車の検知信号の送信と他車の検知信号の受信とを並行して行うようにし、合流領域に到達した無人車は、受信手段により信号を受信しなかった場合に前進して合流領域を走行する間に送信手段により信号を発信するとともに、受信手段により信号を受信した場合に合流領域への走行を停止することにより、複数の無人車の合流領域での衝突を防止している。また、同時に合流領域に複数の無人車が到達した場合は、あらかじめ流入路に優先順位を設けておき、優先軌道上の無人車を優先させて進入させるように構成されている。
【０００６】
【特許文献１】実開平２−９５４０４号公報
【特許文献２】特開平１０−３０１６２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の技術では、搬送台車が発信する信号は全て同じものであり、通信線が単線の場合、受信した信号が、自車が発信する信号であるか他車が発信する信号であるかを判断することができない。従って、特許文献１では、自車が信号を発信している場合には信号の受信をしないようにしている。かかる場合、合流領域に同時に搬送台車が進入した場合は、信号の受信ができず、衝突してしまうという問題がある。
一方、特許文献２では、通信線を単線とせず、軌道に対して通信線を右側と左側の２本設け、それぞれの搬送台車が受信用の通信線と送信用の通信線とを使い分けることができるように構成している。しかし、このような構成の場合、合流領域が複数の軌道により形成されていたり、軌道の追加工事が施されたりすると、通信線の敷設が煩雑となるという問題がある。
【０００８】
更に、無人搬送システムの軌道は、通常、様々な理由で追加工事を施されることが多い。そして、このような追加工事の際に、不注意により、軌道上の合流領域に敷設された通信線に損傷を与え、場合によっては通信線を断線させてしまうトラブルが少なからず発生する。かかる場合、特許文献１または特許文献２の技術では、断線など導電線に不具合が発生していた場合には、先に合流領域に進入した搬送台車から発信された信号を後から合流領域に進入した搬送台車が受信することができず、搬送台車同士が衝突してしまう可能性がある。
【０００９】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、合流領域に敷設された通信線が単線の場合においても、更にその通信線に不具合が生じた場合においても、搬送台車同士の衝突を回避することができる衝突防止制御システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１０】
上記課題を解決するために、第一の発明に係る衝突防止制御システムは、搬送台車が走行する軌道内の複数の流入ルートが合流する合流点を含む所定の合流領域に敷設された通信手段と、前記搬送台車に設置され、前記合流領域内において前記通信手段に対して流入ルートを示す固有の識別信号を送信する送信手段と、前記搬送台車に設置され、前記合流領域内において前記通信手段から前記識別信号を受信する受信手段と、前記搬送台車に設置され、前記受信手段で受信した前記識別信号を分析して走行を制御する制御手段と、を備える衝突防止制御システムであって、前記通信手段は、前記合流領域にループ状に敷設された単線の通信手段であり、前記制御手段は、自己の流入ルートと異なる流入ルートを示す前記識別信号を前記受信手段で検知している間は走行を停止することを特徴とする。
【００１１】
これにより、ループ状に敷設された単線の通信手段上で、自己の流入ルートと異なる流入ルートを示す識別信号を受信手段で検知することにより、合流領域に進入した搬送台車は他の流入ルートから進入した搬送台車が合流領域に既に存在することを確認することになる。そして、他の流入ルートから進入した先行する搬送台車が存在する場合は合流領域を通過するのを待ち、他の流入ルートから進入した先行する搬送台車が存在しない場合は自己の搭載する発信手段で通信手段に自己の流入ルートを示す識別信号を発信しながら走行することにより、合流領域における搬送台車同士の衝突を回避することができる。尚、走行する流入ルートが同一の流入ルートである場合は、複数の搬送台車の走行が可能である。また、断線など通信手段に異常がある場合は、通信手段が合流領域にループ状に敷設された単線であることから、自己の送信手段で送信した識別信号が自己の受信手段で受信できなくなり、通信手段の異常を容易に認識することができる。そして、異常が検知された時点で走行する全ての搬送台車を即時停止させることで衝突を回避することが可能となる。
【００１２】
また、前記識別信号として、流入ルート毎に異なる、交流波形信号、パルス周波数波形信号、複数ビットからなるデジタル通信信号のいずれか一つまたはこれら２つ以上の組み合わせを用いることが好ましい。
【００１３】
これにより、流入ルート毎に異なる、交流波形信号（流入ルート毎に周波数と電圧のいずれか一方または双方が異なる信号）、パルス周波数波形信号（流入ルート毎に周波数が異なる信号）、複数ビットからなるデジタル通信信号（流入ルート毎に異なる複数ビットからなるデジタル通信方式の信号）のいずれか一つの信号またはこれら２つ以上を任意に組み合わせた信号を識別信号として用いることから、双方向通信においても混線することなく、自己の流入ルートと異なる流入ルートを判別することができる。
【００１４】
また、制御手段は、更に、自己が送信した前記識別信号を自己の前記受信手段で検知しなかった場合は前記通信手段に異常があると判断し、自己の走行を停止すると共に、前記軌道を走行する全ての搬送台車の走行を停止することが好ましい。
【００１５】
これにより、断線など通信手段に異常がある場合は、通信手段が合流領域にループ状に敷設された単線であることから、自己の送信手段で送信した識別信号が自己の受信手段で受信できなくなり、通信手段の異常を容易に認識することができる。そして、異常が検知された時点で走行する全ての搬送台車を即時停止させることで衝突を回避することが可能となる。
【００１６】
また、前記通信手段に、当該通信手段のインダクタンスをほぼ補償する程度の容量を有するコンデンサを直列に接続することが好ましい。
【００１７】
これにより、単線の通信手段の長さの増大に伴い増加するインピーダンスの増加を低減し、識別信号の信号レベルの低下を防ぐことができる。
【００１８】
また、前記搬送台車に、前記送信手段と前記受信手段とを電気的に短絡する結合線を敷設するとともに、当該短絡線にコンデンサを直列に接続することが好ましい。
【００１９】
これにより、送信手段と受信手段を搬送台車上に近接して載置することにより発生する相互の空中を伝播する電磁界誘導干渉によるノイズを解消することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照しつつ、本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００２１】
本発明の実施形態を、図１〜図８に基づいて説明する。
尚、本実施形態においては、半導体製品製造施設において、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物を搬送する無人搬送システムに適用した場合について説明する。
【００２２】
まず、図１に基づいて、本実施形態に係る衝突防止制御システムについて説明する。図１は、衝突防止制御システムの構成を示す図であり、ＯＨＴ搬送システムの軌道における合流領域全体の上面図である。
【００２３】
図１に示すように、後述するＯＨＴ搬送システムの軌道には、軌道Ａと軌道Ｃを含む合流域（流入ルート）Ｐａ、軌道Ｂと軌道Ｃを含む合流域（流入ルート）Ｐｂとが形成されており、ＰａとＰｂを合せた領域が、軌道Ａと軌道Ｂが軌道Ｃに合流する合流点を含む合流領域を構成している。また、本実施の形態では、軌道Ａ、軌道Ｂを、それぞれ、ＯＨＴ搬送台車（以下、「搬送台車」と略する。）１ａ、１ｂが走行するケースを想定する。合流域Ｐａには、送信側通信線５ａと受信側通信線６ａが敷設され、合流域Ｐｂには、送信側通信線５ｂと受信側通信線６ｂが敷設される。送信側通信線５ａ、５ｂ、受信側通信線６ａ、６ｂは、１本のループ状導電線により、通信線７（通信手段）を構成している。尚、送信側通信線５ａ、５ｂは、合流領域内で信号を送信し続けるため、合流領域内の各合流域の始めから終わりまで敷設され、受信側通信線６ａ、６ｂは、信号の受信にのみ用いられるため、合流領域内の各合流域に対して短めに敷設される。また、軌道Ａ、Ｂ上には、それぞれ、誘導線制御有効マーク１２ａ、１２ｂ、送信点マーク１４ａ、１４ｂ、停止点マーク１３ａ、１３ｂが設けられており、軌道Ｃ上には、誘導線制御無効マーク１５が設けられる。
【００２４】
また、図１に示すように、搬送台車１ａには、右側誘導信号送受信器２ａ（受信手段・送信手段）と左側誘導信号送受信器３ａ（受信手段・送信手段）が搭載され、合流域Ｐａでは、右側誘導信号送受信器２ａが送信側通信線５ａと電磁結合され、左側誘導信号送受信器３ａが受信側通信線６ａと電磁結合される。また、搬送台車１ｂには、右側誘導信号送受信器２ｂと左側誘導信号送受信器３ｂが搭載され、合流域Ｐｂでは、左側誘導信号送受信器３ｂが送信側通信線５ｂと電磁結合され、右側誘導信号送受信器２ｂが受信側通信線６ｂと電磁結合される。尚、搬送台車１ａの右側誘導信号送受信器２ａと左側誘導信号送受信器３ａ、及び、搬送台車１ｂの右側誘導信号送受信器２と左側誘導信号送受信器３ｂは、それぞれ、進行する合流域に合わせて送信器（送信手段）と受信器（受信手段）との機能を切り替えるように構成される。図１においては、搬送台車１ａは、右側誘導信号送受信器２ａが送信器、左側誘導信号送受信器３ａが受信器であり、搬送台車１ｂは、右側誘導信号送受信器２ｂが受信器、左側誘導信号送受信器３ｂが送信器である。
そして、搬送台車１ａ、１ｂには、それぞれ、マーク読取り器４ａ、４ｂが搭載され、軌道Ａ、Ｂ上の誘導線制御有効マーク１２ａ、１２ｂ、送信点マーク１４ａ、１４ｂ、停止点マーク１３ａ、１３ｂ、軌道Ｃ上の誘導線制御無効マーク１５を読み取るように構成される。更に、搬送台車１ａ、１ｂには、それぞれ、制御部８ａ、８ｂ（制御手段）が設けられ、後述する衝突防止制御システム１１の処理（図５参照）に基づいて、右側誘導信号送受信器２ａ、２ｂ又は左側誘導信号送受信器３ａ、３ｂで信号を発信又は受信・分析して運行を制御したり、マーク読取り器４ａ、４ｂで読み取ったマークにより運行を制御したりする他、後述するＦＯＵＰの移載作業についての制御も行う。
【００２５】
本実施形態に係る衝突防止制御システム１１は、以上に説明した通信線７、搬送台車１ａの右側誘導信号送受信器２ａと左側誘導信号送受信器３ａ、搬送台車１ｂの右側誘導信号送受信器２ｂと左側誘導信号送受信器３ｂ、搬送台車１ａ及び搬送台車１ｂに搭載された制御部８ａ、８ｂから構成される。
【００２６】
ここで、図６及び図７に基づいて、通信線についてより詳細に説明する。図６は、通信線の構成を示す図である。図７は、コンデンサの容量Ｃをパラメータとして、通信線の受信信号レベルの実測値を測定した結果を示す図である。
図６に示すように、通信線７はループに形成され、このループの中間にコンデンサ２１が直結される。一般に、通信線７は長さが長くなる程、インダクタンスが増加しインピーダンスが増えて、誘導電流が流れにくくなり、送信器（図１に示す搬送台車１ａ、１ｂの右側誘導信号送受信器２ａ、２ｂ又は左側誘導信号送受信器３ａ、３ｂのいずれか一方）で送信した信号に対して、受信器（図１に示す搬送台車１ａ、１ｂの右側誘導信号送受信器２ａ、２ｂ又は左側誘導信号送受信器３ａ、３ｂのいずれかもう一方）で受信できる信号レベルも低くなる。従って、インダクタンスの増加の補償には、通信線７にコンデンサ２１の直結することが有効である。
通信線７のインダクタンスＬを補償するコンデンサ２１の容量Ｃは、送信器の信号周波数をｆとすると、一般的に、次式で表せる。
Ｃ＝１／（２πｆ）2／Ｌ    ・・・  （式１）
以下、図７に基づいて、コンデンサ２１の容量Ｃをパラメータとして、実際に通信線７の受信信号レベルの実測値を測定した結果について説明する。尚、コンデンサ２１の容量Ｃの設定値と通信線７の回路条件は、以下のように設定した。
容量Ｃの設定値：０、０．１５、０．２２５、０．３、０．４５μＦ
回路条件  Ｌ（インダクタンス）：１３．７８μＨ
Ｒ（電気抵抗）：１．５４Ω
Ｚ（インピーダンス）：８．９７Ω
送信器の信号周波数：９４ｋＨｚ
図７に示すように、受信信号レベルは、コンデンサ２１の容量Ｃが０．２２５μＦ近傍で最大値となることが確認される。即ち、この受信信号レベル最大の得られた条件でインピーダンスＺは最小になったと言え、この値近傍の容量値のコンデンサ２１を設置することが好ましい。
【００２７】
ここで、図９に基づいて、制御部についてより詳細に説明する。図９は、搬送台車の制御部について説明したブロック図である。
図９に示すように、制御部８には、マーク読取部８０と、識別信号受信部８１と、識別信号送信部８２と、識別信号分析部８３と、識別信号形成部８４と、走行部８５ａ及び停止部８５ｂとからなる走行制御部・停止部８５と、が含まれる。尚、図９において、制御部８は図１における制御部８ａ及び８ｂに相当し、マーク読取り器４は図１におけるマーク読取り器４ａ及び４ｂに相当し、右側誘導信号送受信器２は図１における右側誘導信号送受信器２ａ及び２ｂに相当し、左側誘導信号送受信器３は図１における左側誘導信号送受信器３ａ及び３ｂに相当する。
マーク読取り部８０は、マーク読取り器４で読み取ったマークを識別信号受信部８１、識別信号送信部８２、識別信号形成部８４、走行制御部・停止部８５に出力する。
識別信号受信部８１は、マーク読取り部８０で読み取った誘導線制御有効マークに基づいて、通信線７上の識別信号を右側誘導信号送受信器２又は左側誘導信号送受信器３で受信し、受信した識別信号を識別信号分析部８３に出力する。
識別信号送信部８２は、識別信号形成部８４で形成した識別信号を右側誘導信号送受信器２又は左側誘導信号送受信器３で発信し、また、マーク読取り部８０で読み取った誘導線制御無効マークに基づいて発信を停止する。
識別信号分析部８３は、識別信号受信部８１で受信した識別信号を分析し、識別信号形成部８４、走行制御部・停止部８５、台車側通信部（後述する１次側電源）５０を介して運行制御装置３３（図３参照）に出力する。尚、識別信号分析部８３において、他の合流域の識別信号の有無及び自車の合流域の識別信号の有無の分析は、受信した識別信号が自車の合流域の識別信号と一致するか否かで判断する。
識別信号形成部８４は、マーク読取り部８０で読み取った送信点マークと識別信号分析部８３での他の合流域の識別信号無しとの分析結果に基づいて、自己の合流域を意味する識別信号を形成し、識別信号送信部８２に出力する。
走行制御部・停止部８５は、運行制御装置３３（図３参照）から台車側通信部５０を介して入力された指令に基づいて走行機構６０に対する制御を行う。その他に、識別信号分析部８３での他の合流域の識別信号無しとの分析結果、或いは、自車の合流域の識別信号有りとの分析結果に基づいて、走行部８５ａで搬送台車１の走行を引き続き行う。また、マーク読取り部８０で読み取った停止点マークと識別信号分析部８３での他の合流域の識別信号有りとの分析結果、或いは、自車の合流域の識別信号無しとの分析結果に基づいて、停止部８５ｂで搬送台車の走行を停止する。尚、走行機構６０は、後述するリニアモータなどから構成され、搬送台車１を走行させるための機構である。
尚、制御部８は、その他に、ＯＨＴ台車位置調製機構４１、懸架装置４２、キャリア把持機構４３に対する制御も行う。
【００２８】
次に、図２に基づいて、本実施形態が適用されるＯＨＴ搬送システムについて説明する。図２は、ＯＨＴ搬送システムの構成を示す断面図である。
【００２９】
図２に示すように、搬送台車１（図１における搬送台車１ａ及び１ｂに相当）は、天井５４に懸垂状態に取り付けられた軌道４０上を走行するように構成されている。搬送台車１には、非接触給電１次側電源線（以下、「１次側電源」と略する。）５０と、非接触給電２次側鉄心４９（以下、「２次側鉄心」と略する。）と、が設けられており、非接触給方式で電力供給がなされる。具体的には、１次側電源５０には高周波電力が印加され、２次側鉄心４９に巻回されたコイルに１次側の高周波電力が誘導され非接触で電力伝達が行われるように構成されている。尚、搬送台車１に必要な電力はすべてこの非接触給電で賄われる。
【００３０】
搬送台車１のリニアモータは、軌道４０に敷設されリニアモータの固定子となる２次側永久磁石４６とリニアモータを構成する１次側積層鉄心４７とにより構成される。走行に必要なリニアモータに供給される電力は、まず、２次側鉄心４９に巻回されたコイルに誘導された高周波電流が全波整流により直流電流に変換され、さらに、電源コントローラによりＰＷＭ方式の３相交流電流に変換されて、リニアモータを構成する１次側積層鉄心４７に供給される。リニアモータを構成する１次側積層鉄心４７にＰＷＭ方式で作られた３相交流電流が供給されると、１次側積層鉄心４７には直線状に移動する進行磁界が発生し、１次側積層鉄心４７と対向配置されている２次側永久磁石４６との間の磁気作用で１次側積層鉄心４７に推進力が発生する。以上により、１次側積層鉄心４７と２次側永久磁石４６との間は一定間隔に保持され発生する推進力により、搬送台車１が軌道４０上を走行する。尚、非接触給電を構成する１次側電源５０は後述する運行制御装置３３の通信部３５と搬送台車１との通信（台車側通信部）としても使われる。
【００３１】
搬送台車１には、走行ローラ５２、走行軌道に設けられた分岐用ガイド５１、分岐ローラ５３が設けられており、軌道分岐部では左右に配置された分岐用ガイド５１のいずれか一方を分岐ローラ５３が選択することで軌道４０が選択され、走行ローラ５２で軌道４０を走行するように構成される。具体的には、通常、搬送台車１は後述するシステムコントローラの指令を受けて目的ポイントまで走行する。途中分岐部がある部位では、軌道４０に敷設された左右分岐用ガイド５１のいずれか一方を分岐ローラ５３で選択する方法で、ルートを選択する。
【００３２】
また、搬送台車１には、右側送受信トランス１８（図１に示す右側誘導信号送受信器２ａ及び２ｂに相当）と左側送受信トランス１９（図１に示す左側誘導信号送受信器３ａ及び３ｂに相当）とが構成されており、後述する軌道４０の合流領域に敷設された通信線７、即ち、送信側通信線５（図１に示す送信側通信線５ａ及び５ｂに相当）及び受信側通信線６（図１に示す受信側通信線６ａ及び６ｂに相当）に電磁結合される。
【００３３】
ここで、図８及び表１に基づいて、右側送受信トランスと左側送受信トランスについてより詳細に説明する。図８は、右側送受信トランスと左側送受信トランスの構成について説明した図である。表１は、右側送受信トランスと左側送受信トランスとの間のコンデンサの有無で、空中を伝播する干渉ノイズの低減率を測定した結果について説明した図である。
図８に示すように、右側送受信トランス１８と左側送受信トランス１９は同一物であり、それぞれ、Ｅ形フェライトコア２５にコイル２６が挿入されている。また、Ｅ形フェライトコア２５の連続平面部には導電性の金属で形成された取付けブラケット２４がネジ止めされ、これらブラケット２４には導線２２がネジ止めされている。右側送受信トランス１８と左側送受信トランス１９の導線２２とフェライトコア２５とは電気的に導通短絡されている。そして、それぞれの導線２２の他端はコンデンサ２３の両極に接続されている。
以下、表１に基づいて、右側送受信トランス１８と左側送受信トランス１９との間のコンデンサ２３の有無で、空中を伝播する干渉ノイズの低減率を測定した結果について説明する。尚、空中を伝播して通信線７に誘起され受信器に検出される電圧を干渉ノイズ電圧として検出する方法で測定を行ったが、通信線７と、右側送受信トランス１８、左側送受信トランス１９の状態により測定結果が変化するため、測定は以下の条件で行った。
Ｅ型コアサイズ：６０ｍｍ（Ｗ）×１５ｍｍ（Ｄ）×４０ｍｍ（Ｈ）
コイルターン数：１０４
トランス間距離：１９０ｍｍ（中心間）
コンデンサ容量：１００ＰＦ
発信電圧波高値：３３０Ｖ（Ｓｉｎ波、最大波高値−最小波高値）
発信周波数：９４ｋＨｚ
また、通信線の状態として次の４条件を設定した。
条件１：  軌道の両側に通信線あり
条件２：  送信側通信線あり、受信側軌道切れ目
条件３：  送信側のみ通信線あり
条件４：  軌道の両側ともに通信線なし
【００３４】
【表１】
2005115590.tif 000003
【００３５】
表１の実測結果から、右側送受信トランス１８と左側送受信トランス１９との間にコンデンサ２３を設けることにより、空中を伝播する干渉ノイズを電圧レベル値で約６０〜８０％カットできることが確認できる。即ち、右側送受信トランス１８又は左側送受信トランス１９のいずれか一方の送信器から発信される電磁界が空中を伝播して右側送受信トランス１８又は左側送受信トランス１９のいずれかもう一方の受信器に影響を与える干渉ノイズを回避できたと言える。
【００３６】
更に、図２に示すように、搬送台車１には、ＯＨＴ台車位置調整機構４１と、懸垂ベルト巻き上げ機能を有する懸垂装置４２と、懸垂ベルト４３と、懸垂ベルト４３の先端に設けられたキャリア把持機構４４と、キャリア把持機構４４の先端部に設けられたＦＯＵＰを把持するためのフィンガー４５と、が備えられている。搬送台車１は、位置調整機構４１で位置合わせし、懸垂装置４２にて懸垂ベルト４３を巻上げ、または巻きもどしすることによりフィンガー４５でＦＯＵＰを把持または把持なしの状態でキャリア把持機構４４を上下させる。そして、ＯＨＴ搬送システムには、半導体製造装置５７と半導体製造装置５７のＦＯＵＰ入出ポート５８とが設けられており、ＦＯＵＰ入出ポート５８を中継点として、半導体製造装置５７内部へのシリコンウエハの取込みと取り出しが行われる。
具体的には、搬送台車１は目的地に到達後、ＦＯＵＰの移載作業を行う。例えば、ＦＯＵＰフランジ５６をフィンガー４５で把持し走行して来た搬送台車１が目的地で搭載しているＦＯＵＰ５５をＦＯＵＰ入出ポート５８に降ろす場合、搬送台車１はまず移載位置に到着停止し、位置調整機構４１で正確に位置合わせを行い、次いで、最上部まで巻き上げられた懸垂ベルト４３を逐次巻き降ろし、ＦＯＵＰを半導体製造装置５７のＦＯＵＰ入出ポート５８まで下ろす。ＦＯＵＰ底面がポート面に接触すると、ポート台に取り付けられた図示していないリミットスイッチが作動する。ポート台のリミットスイッチでＦＯＵＰの着地を検知した後、把持機構４４はフィンガー４５を開放しＦＯＵＰをＦＯＵＰ入出ポート台５８上に載置する。ＦＯＵＰ積み下ろし作業終了後、搬送台車１は懸垂ベルト４３を巻上げ、把持機構４４が最上部に到達した時点で、次の指令に従って次ぎの目的地に向かう。
【００３７】
次に、図３に基づいて、本実施形態が適用されるＯＨＴ搬送システムの運行制御の構成について説明する。図３は、ＯＨＴ搬送システムの運行制御の構成を示すブロック図である。
【００３８】
図３に示すように、運行制御装置３３は、運行管理部３４と、通信部３５と、台車監視部３６と、優先台車決定部３７とからなる。運行管理部３４は、ネットワーク３８を介して半導体工場の生産管理システムを司るシステムコントローラ３９とＯＨＴ搬送システムの運行管理に必要な情報のやり取りを行うものである。通信部３５は、前述した１次側電源５０を介して個々の搬送台車1と通信するためのものである。具体的には、各搬送台車１への搬送指令、搬送台車１からの搬送台車位置や、作業進捗報告が非接触給電１次側電線５０を介して伝達される。台車監視部３６は、合流領域１０における搬送台車1同士の衝突を防止するための監視を行うためのものである。優先台車決定部３７は、合流領域１０に同時に進入する搬送台車１の優先順位を決定するものである。
【００３９】
次に、図３〜図５に基づいて、本実施形態に係る衝突防止制御システムの処理について説明する。
図４は、図３における合流領域の詳細説明図である。尚、図４において、図１と同一部位には同一記号を用い、その説明を省略する。また、図４における搬送台車１ｃの右側誘導信号送受信器２ｃ、左側誘導信号送受信器３ｃ、マーク読み取り器４ｃ、制御部８ｃは、搬送台車１ｂの右側誘導信号送受信器２ｂ、左側誘導信号送受信器３ｂ、マーク読み取り器４ｂ、制御部８ｂと同様であり、その説明を省略する。
図５は、本実施形態に係る衝突防止制御システムの処理について説明したフローチャートである。尚、図５で説明する衝突防止制御システムの処理は、搬送台車１ａ、１ｂ、１ｃのそれぞれに搭載されている制御部８ａ、８ｂ、８ｃにより行われるものである。
【００４０】
図３に示すように、本実施の形態の例では、以下のような状況を示している。まず、システムコントローラ３９は搬送台車１ｂにストッカ５９から半導体製造装置５７にＦＯＵＰを搬送するよう指令出した。この指令は、ネットワーク３８を介して運行制御装置３３の運行管理部３４に伝達され、さらに通信部３５を経て搬送台車１ｂに伝達される。搬送台車１ｂは、この指令を受け、ストッカ５９から半導体製造装置５７に向かう途中、合流領域１０に差し掛かり、合流領域１０に進入した所である。一方、搬送台車１ｂから少し遅れて、搬送台車１ａが、システムコントローラ３９の指令を受けて合流領域１０に進入しようとしている。さらに、搬送台車１ｂの後に続いて、搬送台車１ｃが、システムコントローラ３９の指令を受けて合流領域１０に進入しようとしている。
【００４１】
図４及び図５に示すように、まず、搬送台車１ｂが軌道Ｂを矢視方向に走行し、合流領域１０内の合流域Ｐｂに差し掛かる。そして、搬送台車１ｂは自車に搭載されているマーク読取り器４ｂで軌道Ｂに設置されている最初のマークとなる誘導線制御有効マーク１２ｂを読取り（ステップＳ１）、合流領域１０内の合流域Ｐｂに侵入したことを認知する。そして、自車に搭載している右側誘導信号送受信器２ｂを作動させ（ステップＳ２）、受信側通信線６ｂに乗っている信号波形を検出・分析する（ステップＳ３）。続けて、誘導線制御有効マーク１２ｂに近接して設けられている送信点マーク１４ｂをマーク読取り器４ｂで読み取り（ステップＳ４）、ステップＳ３で分析した結果、他の合流域の搬送台車が送信する信号波形があるかどうかを判断する（ステップＳ５）。ここでは、受信した信号波形が自己の合流域Ｐｂの信号波形と一致しないものであるかどうかで判断する。
本実施形態では他の合流域である合流域Ｐａに搬送台車はなく、搬送台車１ｂが検出できる信号波形の分析結果は、他の合流域である合流域Ｐａの搬送台車が送信する信号波形はない、即ち、他の合流域である合流域Ｐａから合流領域１０へ進入した先入車が存在しないということを意味するものである（ステップＳ５：ＮＯ）ので、左側誘導信号送信器３ｂで自車の合流域である合流域Ｐｂを意味する信号を送信側通信線５ｂに乗せて送信を開始する（ステップＳ８）。尚、合流域Ｐｂを意味する信号には交流波形信号（合流域毎に周波数と電圧のいずれか一方または双方が異なる信号）、パルス周波数波形信号（合流域毎に周波数が異なる信号）、複数ビットからなるデジタル通信信号（合流域毎に異なる複数ビットからなるデジタル通信方式の信号）、又は、これら２つ以上を任意に組み合わせた信号の中から必要に応じて選定する。
この時、搬送台車１ｂは、ステップＳ２において既に自車に搭載している右側誘導信号送受信器２ｂを作動させているので、受信側通信線６ｂに乗せられている信号波形を検出できる。つまり、自車が搭載する左側誘導信号送信器３ｂで発信する信号を自車に搭載する右側誘導信号送受信器２ｂで受信することができる。従って、搬送台車１ｂは、自車に搭載する右側誘導信号送受信器２ｂで、受信側通信線６ｂに乗っている信号波形を検出・分析し（ステップＳ９）、自車が搭載する左側誘導信号送信器３ｂで発信する信号を自車に搭載する右側誘導信号送受信器２ｂで受信できたかどうかが判断される（ステップＳ１０）。ここでは、受信した信号波形が自己の合流域Ｐｂの信号波形と一致するものであるかどうかで判断する。
搬送台車１ｂは、右側誘導信号送受信器２ｂの受信信号の分析結果、自車の発信する信号が検出できなかった場合（ステップＳ１０：ＮＯ）、通信線７は断線などの異常ありと判断し、走行を即時停止すると共に、運行管理部３４を介して全ての搬送台車に対して停止するように指令を出し（ステップＳ１１）、処理を終了する。これにより、通信線７の断線により無制御状態に陥ることに起因する衝突事故は回避できる。一方、搬送台車１ｂは、右側誘導信号送受信器２ｂの受信信号の分析結果、自車の発信する信号が検出できた場合（ステップＳ１０：ＹＥＳ）、通信線７が断線していないと判断し、合流域Ｐｂの通過が完了するまで走行を継続させる（ステップＳ１２）。そして、搬送台車１ｂは合流域Ｐｂの終端部の軌道Ｃにおいて、マーク読取り器４ｂで誘導線制御無効マーク１５読み取る（ステップＳ１３）。即ち、誘導線制御無効マーク１５は合流領域１０を通過し終えたことを意味するマークであるので、搬送台車１ｂは左側誘導信号送受信器３ｂによる送信側通信線５ｂへの送信を停止させて（ステップＳ１４）、処理を終了し、合流領域１０を右方向に直進する。
【００４２】
次に、搬送台車１ａは、搬送台車１ｂに遅れて合流領域１０に侵入する。搬送台車１ａは合流領域１０内の合流域Ｐａに差し掛かり、自車に搭載されているマーク読取り器４ａで軌道Ａに設置されている最初のマークとなる誘導線制御有効マーク１２ａを読取り（ステップＳ１）、合流領域１０の合流域Ｐａに侵入したことを認知する。そして、自車に搭載している左側誘導信号送受信器３ａを作動させ（ステップＳ２）、受信側通信線６ａに乗せられている信号波形を検出・分析する（ステップＳ３）。続けて、誘導線制御有効マーク１２ａに近接して設けられている送信点マーク１４ａをマーク読取り器４ａで読み取り（ステップＳ４）、ステップＳ３で分析した結果、他の合流域の搬送台車が送信する信号波形があるかどうかを判断する（ステップＳ５）。ここでは、受信した信号波形が自己の合流域Ｐａの信号波形と一致しないものであるかどうかで判断する。
本実施形態では他の合流域である合流域Ｐｂの搬送台車は搬送台車１ｂがあり、搬送台車１ａが検出できる信号波形の分析結果は、他の合流域の搬送台車が送信する信号波形はある、即ち、他の合流域から合流領域１０へ進入した先入車が存在することを意味するものであるから（ステップＳ５：ＹＥＳ）、搬送台車１ａは停止点マーク１３ａで停止する（ステップＳ６）。そして、搬送台車１ａは停止状態で左側誘導信号送受信器３ａを作動させ続け、受信側通信線６ａに乗せられている信号波形の検出・分析を継続させる（ステップＳ７）。尚、本実施の形態では、この停止期間中、搬送台車１ｂは合流域Ｐｂの終端部に向かい走行を続けるが、搬送台車１ｂが合流域Ｐｂを通過し終えない内に、搬送台車１ｃが合流域Ｐｂに侵入を開始する。この時、搬送台車１ａは停止点マーク１３ａに停止したままである。
【００４３】
合流域Ｐｂに進入した搬送台車１ｃは、基本的には、上述した先行する搬送台車１ｂと同様の動作を行う。即ち、まず、自車に搭載されているマーク読取り器４ｃで軌道Ｂに設置された最初のマークとなる誘導線制御有効マーク１２ｂを読取り（ステップＳ１）、合流領域１０の合流域Ｐｂに侵入したことを認知する。そして、自車に搭載している右側誘導信号送受信器２ｃを作動させ（ステップＳ２）、受信側通信線６ｂに乗せられている信号波形を検出・分析する（ステップＳ３）。続けて、誘導線制御有効マーク１２ｂに近接して設けられている送信点マーク１４ｂをマーク読取り器４ｃで読み取り（ステップＳ４）、ステップＳ３で分析した結果、他の合流域の搬送台車が送信する信号波形があるかどうかを判断する（ステップＳ５）。ここでは、受信した信号波形が自己の合流域Ｐｂの信号波形と一致しないものであるかどうかで判断する。
本実施形態では他の合流域である合流域Ｐａに搬送台車はなく、搬送台車１ｃが検出できる信号波形の分析結果は、他の合流域である合流域Ｐａの搬送台車が送信する信号波形はない、即ち、他の合流域である合流域Ｐａから合流領域１０へ進入した先入車が存在しないということを意味するものである（ステップＳ５：ＮＯ）ので、左側誘導信号送信器３ｃで自車の合流域である合流域Ｐｂを意味する信号を送信側通信線５ｂに乗せて送信を開始する（ステップＳ８）。尚、搬送台車１ｂがまだ合流域Ｐｂに存在し自己の合流域Ｐｂを示す信号波形を発信していたとしても、搬送台車１ｃで受信した信号波形が自己の合流域Ｐｂの信号波形と一致するため、他の合流域の搬送台車が送信する信号波形がないものと判断して、搬送台車１ｃは合流域Ｐｂに進入することが可能となる。
この時、搬送台車１ｃは、ステップＳ２において既に自車に搭載している誘導信号受信器２ｃを作動させているので、通信線６ｂに乗せられている信号波形を検出できる。つまり、自車が搭載する左側誘導信号送信器３ｃで発信する信号を自車に搭載する右側誘導信号送受信器２ｃで受信することができる。従って、搬送台車１ｃは、自車に搭載する右側誘導信号送受信器２ｃで、受信側通信線６ｂに乗っている信号波形を検出・分析し（ステップＳ９）、自車が搭載する左側誘導信号送信器３ｃで発信する信号を自車に搭載する右側誘導信号送受信器２ｃで受信できたかどうかが判断される（ステップＳ１０）。ここでは、受信した信号波形が自己の合流域Ｐｂの信号波形と一致するものであるかどうかで判断する。
搬送台車１ｃは、右側誘導信号送受信器２ｃの受信信号の分析結果、自車の発信する信号が検出できなかった場合（ステップＳ１０：ＮＯ）、通信線７は断線などの異常ありと判断し、走行を即時停止すると共に、運行管理部３４を介して全ての搬送台車に対して停止するように指令を出し（ステップＳ１１）、処理を終了する。これにより、通信線７の断線により無制御状態に陥ることに起因する衝突事故は回避できる。一方、搬送台車１ｃは、右側誘導信号送受信器２ｃの受信信号の分析結果、自車の発信する信号が検出できた場合（ステップＳ１０：ＹＥＳ）、通信線７が断線していないと判断し、合流域Ｐｂの通過が完了するまで走行を継続させる（ステップＳ１２）。尚、搬送台車１ｂがまだ合流域Ｐｂに存在し自己の合流域Ｐｂを示す信号波形を発信していると、当該信号波形が搬送台車１ｃで受信した信号波形が自己の合流域Ｐｂの信号波形と一致するため、搬送台車１ｂが搭載する左側誘導信号送信器３ｂで発信する信号を自車が搭載する左側誘導信号送信器３ｃで発信する信号として、自車に搭載する右側誘導信号送受信器２ｃで受信できたと判断する場合も考えられるが、かかる場合も、通信線７は断線などの異常はないと考えられるので問題はない。そして、搬送台車１ｃは合流域Ｐｂの終端部の軌道Ｃにおいて、マーク読取り器４ｃで誘導線制御無効マーク１５読み取る（ステップＳ１３）。即ち、誘導線制御無効マーク１５は合流領域１０を通過し終えたことを意味するマークであるので、搬送台車１ｃは左側誘導信号送受信器３ｃによる送信側通信線５ｂへの送信を停止させて（ステップＳ１４）、処理を終了し、合流領域１０を右方向に直進する。
【００４４】
一方、ステップＳ５〜Ｓ７の処理を反復しながら、停止点マーク１３ａに停止したままでの搬送台車１ａは、搬送台車１ｃの合流域Ｐｂを通過して左側誘導信号送受信器３ｃが停止されると、始めて、搬送台車１ａが検出できる信号波形の分析結果が、他の合流域である合流域Ｐｂの搬送台車が送信する信号波形はなし、即ち、他の合流域である合流域Ｐｂから合流領域１０へ進入した先入車が存在しないことを意味するものとなる（ステップＳ５：ＮＯ）。そして、搬送台車１ａは、直ちに、停止点マーク１３ａを発進して合流域Ｐａを右方向に進み、同時に右側誘導信号送信器２ａで自車の合流域である合流域Ｐａを意味する信号を送信側通信線５ａに乗せて送信を開始する（ステップＳ８）。尚、合流域Ｐａを意味する信号には交流波形信号（合流域毎に周波数と電圧のいずれか一方または双方が異なる信号）、パルス周波数波形信号（合流域毎に周波数が異なる信号）、複数ビットからなるデジタル通信信号（合流域毎に異なる複数ビットからなるデジタル通信方式の信号）、又は、これら２つ以上を任意に組み合わせた信号の中から必要に応じて選定する。
この時、搬送台車１ａは、ステップＳ２において既に自車に搭載している左側誘導信号送受信器３ａを作動させているので、受信側通信線６ａに乗せられている信号波形を検出できる。つまり、自車が搭載する右側誘導信号送信器２ａで発信する信号を自車に搭載する左側誘導信号送受信器３ａで受信することができる。従って、搬送台車１ａは、自車に搭載する左側誘導信号送受信器３ａで、受信側通信線６ａに乗っている信号波形を検出・分析し（ステップＳ９）、自車が搭載する右側誘導信号送信器２ａで発信する信号を自車に搭載する左側誘導信号送受信器３ａで受信できたかどうかが判断される（ステップＳ１０）。ここでは、受信した信号波形が自己の合流域Ｐａの信号波形と一致するものであるかどうかで判断する。
搬送台車１ａは、左側誘導信号送受信器３ａの受信信号の分析結果、自車の発信する信号が検出できなかった場合（ステップＳ１０：ＮＯ）、通信線７は断線などの異常ありと判断し、走行を即時停止すると共に、運行管理部３４を介して全ての搬送台車に対して停止するように指令を出し（ステップＳ１１）、処理を終了する。これにより、通信線７の断線により無制御状態に陥ることに起因する衝突事故は回避できる。一方、搬送台車１ａは、左側誘導信号送受信器３ａの受信信号の分析結果、自車の発信する信号が検出できた場合（ステップＳ１０：ＹＥＳ）、通信線７が断線していないと判断し、合流域Ｐａの通過が完了するまで走行を継続させる（ステップＳ１２）。そして、搬送台車１ａは合流域Ｐａの終端部の軌道Ｃにおいて、マーク読取り器４ａで誘導線制御無効マーク１５読み取る（ステップＳ１３）。即ち、誘導線制御無効マーク１５は合流領域１０を通過し終えたことを意味するマークであるので、搬送台車１ａは右側誘導信号送受信器２ａによる送信側通信線５ａへの送信を停止させて（ステップＳ１４）、処理を終了し、合流領域１０を右方向にさらに直進する。
【００４５】
このように、本実施形態に係る衝突防止制御システム１１では、図１に示すように、ループ状に敷設された単線の通信線７上で、自己の合流域Ｐａと異なる合流域Ｐｂを示す識別信号を左側誘導信号送受信器３ａで検知することにより、合流領域１０に進入した搬送台車１ａは他の合流域から進入した搬送台車１ｂが合流領域１０に既に存在することを確認することになる。そして、他の合流域Ｐｂから進入した先行する搬送台車１ｂが存在する場合は、先行した搬送台車１ｂが合流領域１０を通過するのを待つ。そして、他の合流域Ｐｂから進入した先行する搬送台車１ｂ及びその後に他の合流域Ｐｂから進入した搬送台車１ｃが存在しなくなると、自己の搭載する右側誘導信号送受信器２ａで通信線７に自己の合流域Ｐａを示す識別信号を発信しながら走行することにより、合流領域１０における搬送台車１ａ、１ｂ、１ｃ同士の衝突を回避することができる。尚、搬送台車１ｂ、１ｃは、走行する軌道が同一であり、合流域Ｐｂの複数での走行が可能である。
【００４６】
また、合流域Ｐａ又は合流域Ｐｂを示す識別信号は、合流域毎に異なる交流波形信号（合流域毎に周波数と電圧のいずれか一方または双方が異なる信号）、パルス周波数波形信号（合流域毎に周波数が異なる信号）、複数ビットからなるデジタル通信信号（合流域毎に異なる複数ビットからなるデジタル通信方式の信号）のいずれか一つの信号またはこれら２つ以上を任意に組み合わせた信号を識別信号として用いることから、双方向通信においても混線することなく、自己の合流域と異なる合流域を判別することができる。
【００４７】
また、図１に示すように、断線など通信線７に異常がある場合は、通信線７が合流領域１０にループ状に敷設された単線であることから、自己の送信器（右側誘導信号送受信器２ａ、左側誘導信号送受信器３ｂ、左側誘導信号送受信器３ｃ）で送信した識別信号が自己の受信器（左側誘導信号送受信器３ａ、右側誘導信号送受信器２ｂ、右側誘導信号送受信器２ｃ）で受信できなくなり、通信線７の異常を容易に認識することができる。そして、異常が検知された時点で走行する全ての搬送台車１ａ、１ｂ、１ｃを即時停止させることで衝突を回避することが可能となる。
【００４８】
また、図６に示すように、通信線７上に通信線７のインダクタンスをほぼ補償する程度の容量を有するコンデンサ２１を直列に設けることにより、単線の通信線７の長さの増大に伴い増加するインピーダンスの増加を低減し、識別信号の信号レベルの低下を防ぐことができる。
【００４９】
また、図８に示すように、右側送受信トランス１８と左側送受信トランス１９とを電気的に短絡する導線２２を敷設し、導線２２にコンデンサ２３を設けることにより、右側送受信トランス１８と左側送受信トランス１９を搬送台車１上に近接して載置することにより発生する相互の空中を伝播する電磁界誘導干渉によるノイズを解消することができる。
【００５０】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいてさまざまな変更が可能なものである。
【００５１】
上述の実施形態では、本発明である衝突防止制御システムを、半導体製品製造施設における、半導体基板や液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の処理対象物を搬送する搬送システムに適用しているが、それに限らない。例えば、工程内や工程間において処理対象物を搬送して処理を加えながら最終製品とする施設の搬送システムに加えて、電子部品や機械部品、化学品、食品、書類等の荷物を搬送する全業種の搬送システムに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】衝突防止制御システムの構成を示す図であり、ＯＨＴ搬送システムの軌道における合流領域全体の上面図である。
【図２】ＯＨＴ搬送システムの構成を示す断面図である。
【図３】ＯＨＴ搬送システムの運行制御の構成を示すブロック図である。
【図４】図３における合流領域の詳細説明図である。
【図５】本実施形態に係る衝突防止制御システムの処理について説明したフローチャートである。
【図６】通信線の構成を示す図である。
【図７】コンデンサの容量Ｃをパラメータとして、通信線の受信信号レベルの実測値を測定した結果を示す図である。
【図８】右側送受信トランスと左側送受信トランスの構成について説明した図である。
【図９】搬送台車の制御部について説明したブロック図である。
【符号の説明】
【００５３】
１、１ａ、１ｂ、１ｃ    搬送台車
２、２ａ、２ｂ、２ｃ    右側誘導信号送受信器（送信器又は受信器）
３、３ａ、３ｂ、３ｃ    左側誘導信号送受信器（送信器又は受信器）
５ａ、５ｂ    送信側通信線
６ａ、６ｂ    受信側通信線
７      通信線
８、８ａ、８ｂ、８ｃ    制御部
１０    合流領域
１１    衝突防止制御システム
１８    右側送受信トランス
１９    左側送受信トランス
２１    コンデンサ
２３    コンデンサ
４０    軌道
【図１】
2005115590.tif 000004
【図２】
2005115590.tif 000005
【図３】
2005115590.tif 000006
【図４】
2005115590.tif 000007
【図５】
2005115590.tif 000008
【図６】
2005115590.tif 000009
【図７】
2005115590.tif 000010
【図８】
2005115590.tif 000011
【図９】
2005115590.tif 000012