(57)【要約】【課題】インクジェットプリンタヘッド用のインク流路が形成されたキャビティユニットの各プレート１５〜１８を積層接着するに際して、  接着剤が積層最上層のプレートの外表面に溢れ出るのを確実に防ぐ。【解決手段】隣接するプレート１５〜１８の相対向する合わせ面のうちの片面一方には、インク流路と間隔を置いた外周位置に、接着剤５３を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝４６〜４８を凹み形成する。ベースプレート１８以外の各プレート１５〜１７には、逃がし溝４６〜４８と連通し且つ当該各プレート１５〜１７の厚み方向に貫通する空気逃がし穴４９〜５１を設ける。積層最上層の第１マニホールドプレート１５における空気逃がし穴４９の形状を、合わせ面側では小径で外表面側では大径の段付き状に形成する。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定パターンの液体流路が少なくとも片面に形成された略矩形の薄板状部品の複数枚を、接着剤を介して積層接着する構造において、
隣接する薄板状部品の相対向する合わせ面のうち少なくとも一方には、前記液体流路と間隔を置いた位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝を凹み形成する一方、
前記薄板状部品群のうち積層方向の一方の端に位置する薄板状部品を除く各薄板状部品には、前記逃がし溝と連通し且つ当該薄板状部品の厚み方向に貫通する空気逃がし穴を設け、
積層方向の他方の端に位置する薄板状部品における空気逃がし穴の形状を、合わせ面側では小径で外表面側では大径の段付き状に形成したことを特徴とする薄板状部品の積層接着構造。
【請求項２】
所定パターンの液体流路が少なくとも片面に形成された略矩形の薄板状部品の複数枚を、接着剤を介して積層接着する構造において、
隣接する薄板状部品の相対向する合わせ面のうち少なくとも一方には、前記液体流路と間隔を置いた位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝を凹み形成する一方、
前記薄板状部品群のうち積層方向の一方の端に位置する薄板状部品を除く各薄板状部品には、前記逃がし溝と連通し且つ当該薄板状部品の厚み方向に貫通する空気逃がし穴を設け、
積層方向の他方の端に位置する薄板状部品における空気逃がし穴の穴径を、当該薄板状部品と隣接する薄板状部品における空気逃がし穴の穴径よりも大きくしたことを特徴とする薄板状部品の積層接着構造。
【請求項３】
前記薄板状部品は、複数のノズルを有するインクジェットプリンタヘッド用のプレートであり、前記液体流路は、インク供給源から前記各ノズルにインクを送るためのインク流路であることを特徴とする請求項１または２に記載した薄板状部品の積層接着構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドや電子部品等に用いられる複数枚の薄板状部品を積層状に接着固定する構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、圧電式のインクジェットプリンタヘッドは、インク流路を有する複数のプレートを接着剤を介して積層固定してなるキャビティユニットと、当該キャビティユニットの各圧力室に充填されたインクを加圧する圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータに外部機器からの制御情報を伝送するケーブル部材とを備えている。
【０００３】
特許文献１には、前述したキャビティユニットの一例が開示されている。この例のキャビティユニットは、複数個のノズルを有するノズルプレート、前記各ノズルごとの圧力室を有するベースプレート、インク供給源からのインクを溜めたのち前記各圧力室に補充するマニホールド室を有する２枚のマニホールドプレート、及びスペーサプレートにより構成されている。前記各プレートは、組立て時の積層順にいうと、下からベースプレート、スペーサプレート、２枚のマニホールドプレート、ノズルプレートと重ね接合されている。
【０００４】
前記積層方向に隣接するプレートの合わせ面（接着面）のうち少なくとも一方には、前記圧力室や前記マニホールド室と間隔を置いた位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝が凹み形成されている。各プレートには、前記逃がし溝に連通する空気逃がし穴が各プレートの厚み方向に貫通して設けられ、積層方向の一方の端において各逃がし溝は前記空気逃がし穴により外部に開放され、他端においては封止されている。
【０００５】
前記キャビティユニットを組立てる場合は、まず、前記各プレートの合わせ面に接着剤を塗布した状態で、下から順にベースプレート、スペーサプレート、２枚のマニホールドプレートを積層する。
【０００６】
次いで、この段階で最上層に位置する（以下、積層最上層という）マニホールドプレートと積層時に最下層に位置する（以下、積層最下層という）のベースプレートとに挟持力または押圧力を作用させることにより、前記プレート群を接着固定する。この加圧接合により、隣接するプレート同士の合わせ面の間や前記接着剤中に紛れ込んだ空気（気泡）は、前記逃がし溝及び前記空気逃がし穴を通って前記キャビティユニットの外部に排出される。
【０００７】
その後、一体化されたフレーム群（積層体）の外表面（マニホールドプレートの上面）にノズルプレートを接着剤で固定するのである。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−９６４７８号公報（図７及び図８参照）
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、例えば接着剤の粘度が低かったり接着剤の塗布量が多かったりした場合は、プレート群の加圧接合時に、積層最上層のマニホールドプレートの空気逃がし穴から接着剤の余剰分が外に溢れ出すことになる。このため、従来は、前記溢れ出た余剰接着剤の始末のために、プレート群の一体化後ノズルプレートの接着前に拭き取り作業を行わなければならず、余計な手間がかかるという問題があった。
【００１０】
また、拭き取るという作業では、積層体の外表面（マニホールドプレートの上面）に前記溢れ出た余剰接着剤が引き延ばされて拭き残ってしまう場合があるから、例えばマニホールドプレートの空気逃がし穴のうち外表面（上面）側の穴縁部等において、残存する余剰接着剤が瘤状に盛り上がって硬化することにより、積層体の外表面（マニホールドプレートの上面）の平滑度が低下するという問題があった。
【００１１】
このように、残存する余剰接着剤の硬化により積層体の外表面に起伏が生ずると（平滑度が低いと）、ノズルプレートを接着する際に塗布する接着剤の塗布厚さを均一に保つことができないから、積層体とノズルプレートとの接着不良を招くおそれがあった。仮に、このような状態の積層体の外表面にノズルプレートを接着したとしても、ノズルプレートに反りや傾きが生ずるから、インクジェットプリンタヘッドとして製品化した状態でのインク滴の吐出特性に悪影響を及ぼすのであった。
【００１２】
そこで本発明は、以上のような問題を解消した薄板状部品の積層接着構造を提供することを技術的課題とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため、請求項１の発明は、所定パターンの液体流路が少なくとも片面に形成された略矩形の薄板状部品の複数枚を、接着剤を介して積層接着する構造において、隣接する薄板状部品の相対向する合わせ面のうち少なくとも一方には、前記液体流路と間隔を置いた位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝を凹み形成する一方、前記薄板状部品群のうち積層方向の一方の端に位置する薄板状部品を除く各薄板状部品には、前記逃がし溝と連通し且つ当該薄板状部品の厚み方向に貫通する空気逃がし穴を設け、積層方向の他方の端に位置する薄板状部品における空気逃がし穴の形状を、合わせ面側では小径で外表面側では大径の段付き状に形成したというものである。
【００１４】
請求項２の発明は、所定パターンの液体流路が少なくとも片面に形成された略矩形の薄板状部品の複数枚を、接着剤を介して積層接着する構造において、隣接する薄板状部品の相対向する合わせ面のうち少なくとも一方には、前記液体流路と間隔を置いた位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝を凹み形成する一方、前記薄板状部品群のうち積層方向の一方の端に位置する薄板状部品を除く各薄板状部品には、前記逃がし溝と連通し且つ当該薄板状部品の厚み方向に貫通する空気逃がし穴を設け、積層方向の他方の端に位置する薄板状部品における空気逃がし穴の穴径を、当該薄板状部品と隣接する薄板状部品における空気逃がし穴の穴径よりも大きくしたというものである。
【００１５】
請求項３の発明は、請求項１または２に記載した薄板状部品の積層接着構造において、前記薄板状部品は、複数のノズルを有するインクジェットプリンタヘッド用のプレートであり、前記液体流路は、インク供給源から前記各ノズルにインクを送るためのインク流路であるというものである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。まず、図１〜図４を参照しながら、圧電式インクジェットプリンタヘッド１０の概要について説明する。図１は第１実施形態における圧電式インクジェットプリンタヘッドの分離斜視図、図２はキャビティユニットの分解斜視図、図３はキャビティユニットの部分拡大分解斜視図、図４は図１のＶ−Ｖ視拡大断面図である。
【００１７】
図１に示すように、第１実施形態における圧電式のインクジェットプリンタヘッド１０は、下から順に、金属板製のキャビティユニット１１と、プレート積層型の圧電アクチュエータ１２と、外部機器に接続するためのケーブル部材としてのフレキシブルフラットケーブル１３とを接着剤を介して重ね接合してなるものである。この圧電式インクジェットプリンタヘッド１０では、最下層に位置するキャビティユニット１１の下面側に開口されたノズル２０から下向きにインクを吐出（噴射）するように構成されている。
【００１８】
キャビティユニット１１は、下から順に、ノズルプレート１４、２枚のマニホールドプレート１５，１６、スペーサプレート１７、及び圧力室１９を有するベースプレート１８の計５枚の薄板をそれぞれ接着剤を介して重ね接合することにより積層した構造となっている（図２〜図４参照）。
【００１９】
実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート１４を除いて、各プレート１５〜１８は４２％ニッケル合金鋼板製である。また、これら各プレート１５〜１８は５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有している。
【００２０】
ノズルプレート１４には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のインク吐出用のノズル２０が、当該ノズルプレート１４の第１の方向（キャビティユニット１１の長辺方向、図２及び図３ではＸ軸方向）に沿って２列の千鳥配列状に多数設けられている。すなわち、図３に示すように、ノズルプレート１４におけるノズル２０は、当該ノズルプレート１４の第１の方向と略平行状に延びる２つの基準線１４ａ，１４ｂに沿って、微少ピッチＰの間隔で千鳥配列状に多数形成されている。
【００２１】
２枚のマニホールドプレート１５，１６には、マニホールド室２１としてのインク通路２１ａ，２１ｂがノズル２０の並び列の両側に沿って延びるように形成されている（図２及び図３参照）。ただし、ノズルプレート１４に隣接する第１マニホールドプレート１５のインク通路２１ａは、当該第１マニホールドプレート１５の上面側にのみ開放するように凹み形成されている（図３及び図４参照）。各マニホールド室２１は、第２マニホールドプレート１６にスペーサプレート１７を重ね接合することにより密閉される構造となっている。
【００２２】
ベースプレート１８には、キャビティユニット１１の短辺方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる細幅の圧力室１９が、板厚み方向に貫通するように多数形成されている（図１〜図３参照）。
【００２３】
図３に詳細に示すように、これら圧力室１９は、キャビティユニット１１の長辺方向（Ｘ軸方向）に沿って２列の千鳥配列状に配置されている。キャビティユニット１１の短辺部に対して略直交する中央線（図示せず）を挟んだ両側に、キャビティユニット１１の長辺方向（Ｘ軸方向）と略平行状に延びる２つの基準線１８ａ，１８ｂを設定すると、前記中心線よりも左側の圧力室１９の先端流路１９ａは、右側の基準線１８ｂ上に位置している。前記中心線よりも右側の圧力室１９の先端流路１９ａは、左側の基準線１８ａ上に位置している。
【００２４】
従って、左右両側の圧力室１９は、互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる。
【００２５】
図２〜図４に示すように、各圧力室１９の先端流路１９ａは、スペーサプレート１７と２枚のマニホールドプレート１５，１６とに形成された千鳥状配列の各連通路２２を介して、ノズルプレート１４の各ノズル２０に連通している。
【００２６】
各圧力室１９の基端（他端）は、断面積の小さい細長の絞り部１９ｄを介して穴径の大きい基端流路１９ｂに連通している。これら各基端流路１９ｂは、前記スペーサプレート１７の左右両側部位に形成された貫通穴２３を介して、マニホールドプレート１５，１６のマニホールド室２１（インク通路２１ｂ）に連通している。
【００２７】
なお、各圧力室１９の基端流路１９ｂ及び絞り部１９ｄは、ベースプレート１８の下面側にのみ開口するように凹み形成されている（図３及び図４参照）。各基端流路１９ｂの直径は、スペーサプレート１７の貫通穴２３の穴径と略同じになっている。また、多数並設された圧力室１９の側壁の剛性低下を防ぐために、各圧力室１９の長手方向中途部には、ベースプレート１８の板厚の半分程度の厚みを有する連設部１９ｃが形成されている。
【００２８】
ベースプレート１８の一端部に穿設されたインク供給穴２５は、同じくスペーサプレート１７の一端部に穿設されたインク供給穴２４を介して各マニホールド室２１（インク通路２１ｂ）に連通している（図１及び図２参照）。ベースプレート１８のインク供給穴２５の上面には、インクタンク等のインク供給源（図示せず）から供給されるインク中の塵を除去するためのフィルタ２６が張設されている。
【００２９】
以上の構成において、インク供給源（図示せず）からインク供給穴２４，２５を介して各マニホールド室２１内に流入したインクは、これら各マニホールド室２１から貫通穴２３、基端流路１９ｂ及び絞り部１９ｄを通って各圧力室１９内に分配されたのち、これら各圧力室１９内から各連通路２２を介して、当該各圧力室１９に対応するノズル２０に至るのである。
【００３０】
なお、実施形態では、前述したインク通路２１ａ，２１ｂ（マニホールド室２１）、連通路２２、貫通穴２３、圧力室１９、先端流路１９ａ、基端流路１９ｂ、絞り部１９ｄ、インク供給穴２４，２５、及びノズル２０等が請求項に記載した「所定パターンの液体流路（インク流路）」に相当する。
【００３１】
次に、図５〜図８を参照しながら、キャビティユニット１１を組立てる構成及びその態様の一例を説明する。図５はリードフレームの積層状態を示す分解斜視図、図６はベースプレートを下にして積層順に配置したキャビティユニットの分解斜視図、図７は各プレートにおける逃がし溝及び空気逃がし穴を示す要部拡大分解斜視図、図８のうち（ａ）は積層前の各プレートの接着剤塗布状態を示す断面図、（ｂ）はプレート群の積層接着状態を示す断面図である。
【００３２】
図５に示すように、所定パターンのインク流路が形成された薄板状部品としてのマニホールドプレート１５，１６、スペーサプレート１７、及びベースプレート１８は、それぞれリードフレーム４１ａ〜４１ｄに複数枚ずつ（実施形態では６枚ずつ）形成されている。
【００３３】
各リードフレーム４１ａ〜４１ｄは、略矩形枠状のフレーム枠４２と、当該フレーム枠４２の内径側に並列状に配置される同一種類のプレート１５〜１８群とを備えている。同一種類のプレート１５〜１８群とフレーム枠４２とは、微少幅のブリッジ片４３を介して一体的に連結されている。各フレーム枠４２の一対の長辺部には、送り用の穴４４（実施形態では６つずつ）が適宜間隔で並ぶように形成されている。また、各フレーム枠４２の長辺部の一方には、位置決め用のピン（図示せず）を差し込むための位置決め穴４５（実施形態では２つ）が形成されている。
【００３４】
実施形態では、リードフレーム４１ａ〜４１ｄは、ステンレス製または４２％Ｎｉを含む鉄合金製の１枚の金属薄板をエッチング加工またはプレス加工することにより、キャビティユニット１１を構成する各プレート１５〜１８ごとに４種類製作される。
【００３５】
エッチング加工またはプレス加工により、各リードフレーム４１ａ〜４１ｄのプレート１５〜１８群には、例えば連通路２２やインク通路２１ａ，２１ｂ等のインク流路も同時に形成される。
【００３６】
この場合、積層方向に隣接するプレート１５〜１８の合わせ面のうち少なくとも一方の広幅面には、連通路２２やインク通路２１ａ，２１ｂ等のインク流路と間隔を置いた外周位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝４６，４７，４８が凹み形成される（図６及び図７参照）。実施形態では、組立て時に最下層に位置する（以下、積層最下層という）ベースプレート１８の片面、下から２層目のスペーサプレート１７の片面、及び下から３層目の第２マニホールドプレート１６の片面に、それぞれ板厚の半分程度の逃がし溝４８，４７，４６が凹み形成される。
【００３７】
また、各プレート１５〜１７には、逃がし溝４６〜４８に連通し且つ各プレート１５〜１７の板厚み方向（積層方向）に貫通する空気逃がし穴４９，５０，５１が、積層方向に重なるように形成されている。
【００３８】
組立て時に最上層に位置する（以下、積層最上層という）第１マニホールドプレート１５の空気逃がし穴４９は、合わせ面側（積層方向下面側）では小径Ｄｂで外表面側（積層方向上面側）では大径Ｄａの段付き状に形成される（図６及び図８参照）。当該空気逃がし穴４９の大径部４９ａの穴径Ｄａは、小径部４９ｂの穴径Ｄｂよりも大きいだけでなく、他のプレート１６，１７に形成される空気逃がし穴５０，５１の穴径Ｄｏや逃がし溝４８の幅よりも大きくなっている。また、空気逃がし穴４９の小径部４９ｂの穴径Ｄｂは、他のプレート１６，１７の空気逃がし穴５０，５１の穴径Ｄｏと同程度の大きさとなっている。
【００３９】
積層最下層のベースプレート１８に形成される凹み穴５２は、当該ベースプレート１８の逃がし溝４８と同程度の深さ（板厚の半分程度）であり且つ積層方向下面側には連通しない凹み状に形成される（図８（ａ）（ｂ）参照）。換言すると、積層最下層に位置するベースプレート１８の凹み穴５２の底は塞がれている。
【００４０】
キャビティユニット１１を組立てる（積層固定する）に際しては、まず、金属薄板をエッチング加工等することにより、リードフレーム４１ａ〜４１ｄを準備する。次いで、それぞれのプレート１５〜１８のうち例えば逃がし溝４６〜４８が形成されている側の広幅面に接着剤５３を塗布する（図８（ａ）参照）。
【００４１】
次いで、各フレーム枠４２に形成された位置決め穴４５，４５に、ジグに突設した位置決め用のピンを下方から差し込むことにより、積層方向に並ぶプレート１５〜１８同士の位置決めをしながら、各リードフレーム４１ａ〜４１ｄを所定の順序で積層する。
【００４２】
実施形態では、キャビティユニット９の使用状態（下面側にノズル２０が開口する状態）とは上下が逆になるように、リードフレーム４１ａ〜４１ｄを積層するので（図５参照）、積層する順番は、下から順に、ベースプレート１８、スペーサプレート１７、２枚のマニホールドプレート１５，１６となっている。
【００４３】
この場合、図８（ａ）に示すように、積層最上層の第１マニホールドプレート１５の外表面には、空気逃がし穴４９の大径部４９ａが外向き（積層方向上向き）に開口することになる。他のプレート１６〜１８群は、それぞれの片面に形成された逃がし溝４６〜４８が積層方向上向きに開口するように配置される。
【００４４】
各リードフレーム４１ａ〜４１ｄを所定の順序で積層したのち、積層最下層のリードフレーム４１ｄと積層最上層のリードフレーム４１ａとに挟持力または押圧力を作用させ、熱硬化性接着剤を使用する場合には同時に加熱することにより、積層方向に並ぶ複数のプレート１５〜１８を接着固定する。
【００４５】
この加圧接合時には、余分な接着剤５３が逃がし溝４６〜４８に流れ込む。さらに余分な接着剤５３は空気逃がし穴４９〜５１及び凹み穴５２内に充満する。ここで、積層方向に隣接するプレート１５〜１８の合わせ面（広幅面）の間や接着剤５３中に紛れ込んだ空気（気泡）は、横方向の逃がし溝４６〜４８及び縦方向の空気逃がし穴４９〜５１及び凹み穴５２中の接着剤５３とともに移動して、一体化されたプレート１５〜１８群（積層体）の外部に排出される。
【００４６】
その結果、積層方向に隣接するプレート１５〜１８の合わせ面（広幅面）の間に、空気（気泡）を含まない接着剤５３による安定的な接着兼シール層を形成することができる。
【００４７】
また、積層最上層の第１マニホールドプレート１５の外表面に外向きに開口する空気逃がし穴４９の大径部４９ａの穴径Ｄａは、小径部４９ｂの穴径Ｄｂよりも大きい、換言すると、外気に通ずる大径部４９ａの容積（空洞体積）が小径部４９ｂよりも大きいから、第１マニホールドプレート１５の外表面に溢れ出そうとする余剰接着剤５３を大径部４９ａに一旦溜め込むことができる。
【００４８】
従って、第１マニホールドプレート１５の外表面に余剰接着剤５３が漏出するおそれを著しく低減することができ、余剰接着剤５３の始末のための拭き取り作業を省略することができる。
【００４９】
また、第１マニホールドプレート１５の外表面に溢れ出そうとする余剰接着剤５３を大径部４９ａに一旦溜め込むことにより、積層体の外表面（第１マニホールドプレート１５の外表面）に余剰接着剤５３が溢れ出す（漏出する）おそれを著しく低減することができるので、当該積層体の外表面の平滑度を、  エッチング加工等した後の平滑な状態のままで維持することができる。
【００５０】
なお、ノズルプレート１４は、第１マニホールドプレート１５に、ノズル２０を連通路２２に一致させて接着したとき、空気逃がし穴４９を覆う大きさに形成されている。これにより、インクジェットプリンタヘッド１０の使用時にキャビティユニット１１の外表面に付着したインクが空気逃がし穴４９からインクジェットプリンタヘッド１０内に侵入するのを防止している。
【００５１】
また、上記のように大径部４９ａにより第１マニホールドプレート１５の外表面に接着剤が溢れ出すことが防止されているから、ノズルプレート１４を接着する際に塗布する接着剤の塗布厚さを均一に保つことができ、積層体とノズルプレート１４との接着状態を良好なものとすることができる。従って、  インクジェットプリンタヘッド１０として製品となった状態でのインク漏れ等の不良を防止することができる。
【００５２】
また、前述のように、積層体の外表面の平滑度を良好な状態で維持することができるから、ノズルプレート１４に反りや傾きが生ずるおそれも少なく、製品化状態でのインク滴の吐出特性も良好なものとすることができる。
【００５３】
以上のことから、インクジェットプリンタヘッド１０の製品としての歩留まりが向上するのである。
【００５４】
なお、積層方向に隣接するプレート１５〜１８の合わせ面（広幅面）のような狭い隙間を液状の接着剤５３が通過する毛細管現象では、断面積大の隙間よりも毛細管力が大きい断面積小の隙間に、接着剤５３が先に引き寄せられる。これにより、インク流路としての連通路２２や貫通穴２３等の各断面積よりも逃がし溝４６〜４８の各断面積を小さく設定すれば、隣接プレート１５〜１８の合わせ面間の接着剤５３を、インク流路よりも先に逃がし溝４６〜４８に引き寄せて空気逃がし穴４９〜５１及び凹み穴５２内に導くことができるから、インク流路が接着剤５３で塞がれるのを防ぐことができる。
【００５５】
プレート１５〜１８群を接着固定した後は、ポンチ等の工具（図示せず）で各ブリッジ片４３を下向きに押圧したり打ち抜いたりすることにより、一体化されたプレート１５〜１８群（積層体）をフレーム枠４２から切り離す。その後、積層体の外表面（第１マニホールドプレート１５の外表面）にノズルプレート１４を接着剤で固定する。以上のようにして、積層構造のキャビティユニット１１が完成する。
【００５６】
ノズルプレート１４を接着固定する際に、このノズルプレート１４で空気逃がし孔４９の大径部４９ａを封止するようにすると、第１マニホールドプレート１５の外表面に、余剰接着剤５３の硬化による起伏がないから、換言すると積層体の外表面の平滑度が良好であるから、別途シール剤等を用意しなくても、空気逃がし穴４９の大径部をノズルプレート１４で確実に塞ぐことができる。
【００５７】
これにより、部品点数及び工程数を減らして製造コストの低減にも寄与することができるのである。
【００５８】
図９（ａ）（ｂ）に示す第２実施形態は積層最上層に位置する第１マニホールドプレート１５の空気逃がし穴の別例である。この第２実施形態において構成及び作用が第１実施形態と変わらないものは、第１実施形態のものと同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００５９】
この実施形態では、第１マニホールドプレート１５の空気逃がし穴４９′の穴径Ｄ′は、少なくとも当該第１マニホールドプレート１５の積層方向下面側に位置する第２マニホールドプレート１６の空気逃がし穴５０の穴径Ｄｏよりも大きくなっている。すなわち、第２実施形態の空気逃がし穴４９′全体が第１実施形態の大径部４９ａと同様の機能を備えているのである。
【００６０】
従って、この場合も、第１マニホールドプレート１５の外表面に溢れ出そうとする余剰接着剤５３を大径の空気逃がし穴４９′に一旦溜め込むことができるから、第１マニホールドプレート１５の外表面に余剰接着剤５３が漏出するおそれを著しく低減することができ、第１実施形態と同様の作用効果を得ることができるのである。
【００６１】
ところで、図１及び図４に示すように、圧電アクチュエータ１２は、１枚の厚さが３０μｍ程度の圧電セラミックス板からなる圧電シート２７等を複数枚積層した構造である。
【００６２】
各圧電シート２７のうち最下層のシート２７と、これから上方へ数えて偶数番目のシート２７との上面（広幅面）には、キャビティユニット１１の各圧力室１９に対応する箇所ごとに、細幅の個別電極（図示せず）が圧電アクチュエータ１２の長辺方向（Ｘ軸方向）に沿って列状に形成されている。下から奇数番目の各圧電シート２７の上面には、複数個の圧力室１９に対して共通するコモン電極（図示せず）が形成されている。各圧電シート２１のうち個別電極とコモン電極とが積層方向に重なる箇所（個別電極とコモン電極とで挟まれる箇所）は、圧電縦効果で歪みを生じる活性部となっている。
【００６３】
最上層の圧電シート２７の上面には、各個別電極に対して電気的に接続される個別用表面電極２８と、各コモン電極に対して電気的に接続されるコモン用表面電極２９とが形成されている（図１参照）。
【００６４】
このようなプレート積層型の圧電アクチュエータ１２の下面（各圧力室１９と相対向する広幅面）全体には、接着剤としてのインク非浸透性合成樹脂材からなる接着シート３０（図４参照）を予め貼着するか、または熱硬化性接着剤を予め塗布する。そして、圧電アクチュエータ１２の各個別電極をキャビティユニット１１の各圧力室１９に対応させた状態で、圧電アクチュエータ１２はキャビティユニット１１の上面に接着固定される。
【００６５】
また、圧電アクチュエータ１２の上面にフレキシブルフラットケーブル１３を重ね接合することにより、当該フレキシブルフラットケーブル１３の各種配線パターン（図示せず）は、圧電アクチュエータ１２の個別用表面電極２８及びコモン用表面電極２９に電気的に接合される。
【００６６】
以上の構成において、圧電アクチュエータ１２の各個別電極のうち任意のものと、これに対応するコモン電極との間に電圧を印加すると、これら両電極に対応する活性部に、圧電縦効果による積層方向の歪みが発生する。この歪みにより前記任意の個別電極に対する圧力室１９の内容積が縮小するので、当該圧力室１９内のインクがノズル２０から液滴状に吐出する（所定の印字が行われる）。
【００６７】
本発明は、前述の実施形態に限らず、様々な態様に具体化できる。例えば前記各実施形態では、キャビティユニット９の使用状態（下面側にノズル２０が開口する状態）とは上下が逆になるように、リードフレーム４１ａ〜４１ｄ、ひいてはプレート１５〜１８を積層していたが、これに限らず、第１マニホールドプレート１５が積層最下層で、べースプレート１８が積層最上層になるように（キャビティユニット９の使用状態と同じになるように）、リードフレーム４１ａ〜４１ｄを積層する場合にも適用できる。
【００６８】
この場合、積層最上層のベースプレート１８の凹み穴５２を、板厚み方向に貫通する空気逃がし穴とし、この空気逃がし穴が、合わせ面側（積層方向下面側）では小径で外表面側（積層方向上面側）では大径の段付き状に形成されるか、または、少なくともスペーサプレート１７の空気逃がし穴５１の穴径Ｄｏよりも大きく設定されることになる。また、積層最下層に位置することになる第１マニホールドプレート１５の空気逃がし穴４９を底のある非貫通穴とすればよい。さらに、圧電アクチュエータ１２をベースプレート１８の穴５２を覆う大きさに形成し、穴５２からインク等の異物が侵入するのを防止することもできる。
【００６９】
前記各実施形態では、本発明をインクジェットプリンタヘッドの組立てに適用したが、本発明は例えば電子部品の組立てにも適用できることはいうまでもない。
【００７０】
【発明の効果】
以上に説明したように、請求項１に係る薄板状部品の積層接着構造は、隣接する薄板状部品の相対向する合わせ面のうち少なくとも一方には、液体流路と間隔を置いた位置に、接着剤を塗布する箇所に沿って細幅の逃がし溝を凹み形成する一方、前記薄板状部品群のうち積層方向の一方の端に位置する薄板状部品を除く各薄板状部品には、前記逃がし溝と連通し且つ当該薄板状部品の厚み方向に貫通する空気逃がし穴を設け、積層方向の他方の端に位置する薄板状部品における空気逃がし穴の形状を、合わせ面側では小径で外表面側では大径の段付き状に形成したものである。
【００７１】
この構成によると、複数枚の薄板状部品を積層接着するに際しては、薄板状部品の外表面に外向きに開口する空気逃がし穴の大径部の容積（空洞体積）が小径部よりも大きくなることにより、前記積層最上層の薄板状部品の外表面に溢れ出そうとする余剰接着剤を前記大径部に一旦溜め込むことができるから、薄板状部品の外表面に余剰接着剤が漏出するおそれを著しく低減することができる。
【００７２】
これにより、前記薄板状部品の外表面の平滑度を、  加工等した後の平滑な状態のままで維持することができるから、当該薄板状部品の外表面に、例えばノズルプレートや圧電アクチュエータ等の別部材を接着するに際して、良好な接着状態を得ることができるという効果を奏する。
【００７３】
請求項２の構成によると、積層方向の端に位置する薄板状部品における空気逃がし穴の穴径を、当該薄板状部品と隣接する薄板状部品における空気逃がし穴の穴径よりも大きくしているから、当該薄板状部品の空気逃がし穴全体が、請求項１に記載した空気逃がし穴の大径部と同様の機能を備えることになる。従って、この場合も、請求項１の発明と同様の作用効果を奏する。
【００７４】
請求項３の発明は、請求項１または２に記載した薄板状部品の積層接着構造において、前記薄板状部品は、複数のノズルを有するインクジェットプリンタヘッド用のプレートであり、前記液体流路は、インク供給源から前記各ノズルにインクを送るためのインク流路としたものである。従って、インクジェットプリンタヘッド用の各プレートを確実に接着し、インク流路からインクが外に漏出するという事故を確実に防止して、インクジェットプリンタヘッドの必要な性能を確保できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】圧電式インクジェットプリンタヘッドの分離斜視図である。
【図２】キャビティユニットの分解斜視図である。
【図３】キャビティユニットの部分拡大分解斜視図である。
【図４】図１のＶ−Ｖ視拡大断面図である。
【図５】リードフレームの積層状態を示す分解斜視図である。
【図６】ベースプレートを下にして積層順に配置したキャビティユニットの分解斜視図である。
【図７】各プレートにおける逃がし溝及び空気逃がし穴を示す要部拡大分解斜視図である。
【図８】（ａ）は積層前の各プレートの接着剤塗布状態を示す断面図、（ｂ）はプレート群の積層接着状態を示す断面図である。
【図９】（ａ）は第２実施形態における積層前の各プレートの接着剤塗布状態を示す断面図、（ｂ）はプレート群の積層接着状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１０  圧電式インクジェットプリンタヘッド
１１  キャビティユニット
１２  圧電アクチュエータ
１４  ノズルプレート
１５，１６    マニホールドプレート
１７  スペーサプレート
１８  ベースプレート
１９  圧力室
２０  ノズル
２１  マニホールド室
２２  連通路
２３  貫通穴
４６，４７，４８  逃がし溝
４９，４９′，５０，５１    空気逃がし穴
４９ａ  大径部
４９ｂ  小径部
５２    凹み穴
５３  接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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