(57)【要約】【課題】  洗浄用薬液の持ち出し量を減らし、処理能力を向上させた湿式洗浄装置および湿式洗浄方法を提供する。【解決手段】  被洗浄物９を洗浄用薬液に浸漬させて洗浄する薬液槽１２と、薬液槽１２から取り出された被洗浄物を清浄するリンス槽１３とを備えた湿式洗浄装置１において、薬液槽１２の上方に取り出された被洗浄物９に向けて気体を吹き付ける噴出口３７を設ける。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を洗浄用薬液に浸漬させて洗浄する薬液槽と、前記洗浄された被洗浄物を前記薬液槽から上方に取り出す搬送手段と、前記薬液槽から取り出された被洗浄物を清浄するリンス槽とを備えた湿式洗浄装置において、前記薬液槽には、前記洗浄された被洗浄物に向けて気体を吹き出す噴出口が設けられ、前記被洗浄物に付着した洗浄用薬液を前記気体により滴下させるように構成したことを特徴とする湿式洗浄装置。
【請求項２】
前記薬液槽は、その上周縁に当該薬液槽内に向かって下向きに傾斜した滴下薬液回収部を有する請求項１に記載の湿式洗浄装置。
【請求項３】
前記噴出口は、前記気体の吹き出し方向を変えることができる駆動手段を有する請求項１または２に記載の湿式洗浄装置。
【請求項４】
前記リンス槽は、純水槽である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の湿式洗浄装置。
【請求項５】
前記搬送手段は、前記被洗浄物を保持し、前記被洗浄物と共に前記洗浄用薬液に浸漬される容器を有し、前記容器の底面には、前記滴下薬液を通過させる隙間が設けられている請求項１乃至４のいずれか１項に記載の湿式洗浄装置。
【請求項６】
被洗浄物を洗浄用薬液に浸漬させて洗浄する洗浄工程、前記洗浄工程の被洗浄物を上方に取り出す取り出し工程及び前記取り出し工程の被洗浄物を清浄するリンス工程を含む湿式洗浄方法において、前記取り出し工程の被洗浄物に向けて気体を吹き付けることにより、前記取り出し工程の被洗浄物に付着した洗浄用薬液を滴下させることを特徴とする湿式洗浄方法。
【請求項７】
前記滴下させた洗浄用薬液を回収し、該回収された洗浄用薬液を前記洗浄工程に戻す請求項６に記載の湿式洗浄方法。
【請求項８】
前記気体の吹き付け方向を変えながら、前記取り出し工程の被洗浄物に向けて気体を吹き付ける請求項６または７に記載の湿式洗浄方法。
【請求項９】
前記リンス工程において、純水を用いて清浄する請求項６乃至８のいずれか１項に記載の湿式洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄用薬液を使用して被洗浄物の表面に付着した微粒子、汚染物質などを除去洗浄した後、被洗浄物を清浄（リンス）する湿式洗浄装置および湿式洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄用薬液を使用した湿式洗浄装置は、広い分野において使用されてきた。例えば、ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ）などの各種表示装置の製造や、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ−Ｓｃａｌｅ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  ｃｉｒｃｕｉｔ）などの半導体装置の製造において、基板、パネル、ウェーハなどの被洗浄物を洗浄するために用いられていた。
【０００３】
湿式洗浄装置の基本的な構成は、洗浄用薬液を満たした薬液槽と純水を満たした純水槽等のリンス槽を準備して、搬送手段によって被洗浄物を各槽に順次浸漬させていく構成であった。被洗浄物は、搬送手段によってまず薬液槽の上方まで移動され、次に下方に移動されて薬液槽に浸漬され、所定時間経過した後に上方に移動されて槽から取り出され、更に次の槽の上方まで移動され浸漬が繰り替えされる。
【０００４】
従来の湿式洗浄装置において、薬液槽は基板を充分に洗浄するため複数槽設けられ、純水槽は基板に付着した洗浄用薬液を充分に除去するため複数槽設けられていた。
【０００５】
また、従来の湿式洗浄装置では、処理能力を増やし生産性を高めるために、複数の被洗浄物を同時に各槽に浸漬するバッチ方式が採用されていた。バッチ方式の洗浄装置においては、複数の被洗浄物を収容したキャリアを搬送し、各槽に浸漬するために、キャリアを保持するバスケットと称される搬送手段としての容器が設けられていた。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２０６７１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の湿式洗浄装置では、被洗浄物を薬液槽に浸漬した後に、上方に移動して薬液槽から取り出し、次の槽の上方まで移動する間に、被洗浄物に付着した洗浄用薬液が滴下するので薬液槽からの洗浄用薬液の持ち出し量が多かった。
【０００８】
更に、被洗浄物に付着した洗浄用薬液は純水槽中にも持ち込まれるので、その分の洗浄用薬液も無駄になっていた。
【０００９】
バッチ方式の湿式洗浄装置にあっては、複数の被洗浄物を浸漬するため、被洗浄物に付着して消費される洗浄用薬液の量が多くなり、更にキャリアおよびそれを保持する容器にも洗浄用薬液が付着するので、薬液槽からの洗浄用薬液の持ち出し量が増加してしまっていた。
【００１０】
しかも、被洗浄物に付着して洗浄用薬液が純水槽に持ち込まれるため、純水槽における洗浄用薬液の除去効果が低減し、結果として純水槽の数を増やして対応していたのである。
【００１１】
本発明は前述した点に鑑みてなされたもので、洗浄用薬液の持ち出し量を減らし、処理能力を向上させた湿式洗浄装置および湿式洗浄方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するため本発明の湿式洗浄装置は、被洗浄物を洗浄用薬液に浸漬させて洗浄する薬液槽と、前記洗浄された被洗浄物を前記薬液槽から上方に取り出す搬送手段と、前記薬液槽から取り出された被洗浄物を清浄するリンス槽とを備えた湿式洗浄装置において、前記薬液槽には、前記洗浄された被洗浄物に向けて気体を吹き出す噴出口が設けられ、前記被洗浄物に付着した洗浄用薬液を前記気体により滴下させるように構成したことを特徴とする。
【００１３】
更に、本発明の湿式洗浄装置は、前記薬液槽が、その上周縁に当該薬液槽内に向かって下向きに傾斜した滴下薬液回収部を有することが好ましい。
【００１４】
更に、本発明の湿式洗浄装置は、前記噴出口が、前記気体の吹き出し方向を変えることができる駆動手段を有することが好ましい。
【００１５】
更に、本発明の湿式洗浄装置は、前記リンス槽が、純水槽であることが好ましい。
【００１６】
更に、本発明の湿式洗浄装置は、前記搬送手段が、前記被洗浄物を保持し、前記被洗浄物と共に前記洗浄用薬液に浸漬される容器を有し、前記容器の底面には、前記滴下薬液を通過させる隙間が設けられている請求項１乃至４のいずれか１項に記載の湿式洗浄装置。
【００１７】
更に、本発明の湿式洗浄装置は、前記被洗浄物を複数個同時に洗浄するバッチ方式であることが好ましい。
【００１８】
また、本発明の湿式洗浄方法は、被洗浄物を洗浄用薬液に浸漬させて洗浄する洗浄工程、前記洗浄工程の被洗浄物を上方に取り出す取り出し工程及び前記取り出し工程の被洗浄物を清浄するリンス工程を含む湿式洗浄方法において、前記取り出し工程の被洗浄物に向けて気体を吹き付けることにより、前記取り出し工程の被洗浄物に付着した洗浄用薬液を滴下させることを特徴とする。
【００１９】
更に、本発明の湿式洗浄方法は、前記滴下させた洗浄用薬液を回収し、該回収された洗浄用薬液を前記洗浄工程に戻すことが好ましい。
【００２０】
更に、本発明の湿式洗浄方法は、前記気体の吹き付け方向を変えながら、前記取り出し工程の被洗浄物に向けて気体を吹き付けることが好ましい。
【００２１】
更に、本発明の湿式洗浄方法は、前記リンス工程において、純水を用いて清浄することが好ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の湿式洗浄装置は、薬液槽の上方に取り出された被洗浄物に向けて気体を吹き出す噴出口を設けているため、薬液槽の上方において、薬液槽から取り出された被洗浄物に向けて気体を吹き付け、被洗浄物に付着した洗浄用薬液を元の薬液槽に強制的に滴下させることができる。そして、滴下した洗浄用薬液は、薬液槽に戻り、再び洗浄用薬液として使用することができるので、洗浄用薬液の持ち出し量を低減することができる。
【００２３】
更に、本発明の湿式洗浄装置において、薬液槽が、その上周縁に当該薬液槽内に向かって下向きに傾斜した滴下薬液回収部を有する場合は、噴出口から吹き付けた気体によって滴下した洗浄用薬液を効率的に元の薬液槽に回収することができる。
【００２４】
更に、本発明の湿式洗浄装置において、噴出口が気体の吹き出し方向を変えることができる駆動手段を有する場合は、駆動手段によって気体の吹き出し方向を変えることで、様々な角度から被洗浄物に対して気体を吹き付けることができ、被洗浄物に付着した洗浄用薬液をより多く薬液槽内に滴下させることができる。
【００２５】
更に、本発明の湿式洗浄装置において、リンス槽として純水槽を配置している場合、純水槽に持ち込まれる洗浄用薬液の量を減らすことができ、純水槽における被洗浄物に付着した洗浄用薬液の除去効果が向上し、純水槽の数を減らすこと又は純水槽での処理時間を短くすることができ、処理能力を向上させることができる。加えて、洗浄用薬液の種類によっては、廃棄のために純水槽中に混入した洗浄用薬液を分離して回収する必要があるが、純水槽に持ち込まれる洗浄用薬液の量が減ったことにより、純水槽の廃液から洗浄用薬液を分離するためのフィルタの寿命を延ばすことができる。
【００２６】
更に、本発明の湿式洗浄装置において、搬送手段が被洗浄物を保持し、被洗浄物と共に薬液槽に浸漬する容器を有する場合は、薬液槽の洗浄用薬液が、被洗浄物だけではなく容器にも付着するため、多量の洗浄用薬液が持ち出される状態となるが、これに対して噴出口から気体を吹き付け、被洗浄物および容器に付着した洗浄用薬液を当該薬液槽に滴下させるので、多量の洗浄用薬液が持ち出されることを防止でき好ましい。加えて、容器の底面に隙間を設けることにより、噴出口から吹き付ける気体によって被洗浄物および容器に付着した洗浄用薬液が滴下しやすくなるので好ましい。
【００２７】
更に、本発明の湿式洗浄装置において、被洗浄物を複数個同時に洗浄するバッチ方式である場合は、薬液槽の洗浄用薬液が、複数個の被洗浄物に付着するため、多量の洗浄用薬液が消費されうる状態となるが、これに対して噴出口から気体を吹き付け、複数個の被洗浄物に付着した洗浄用薬液を強制的に元の薬液槽に滴下させるので、多量の洗浄用薬液が消費されることを防止でき好ましい。
【００２８】
また、本発明の湿式洗浄方法においては、被洗浄物を薬液槽の上方に取り出し、被洗浄物に向けて噴出口から気体を吹き付け、被洗浄物に付着した洗浄用薬液を強制的に元の薬液槽に滴下させるため、滴下した洗浄用薬液は、薬液槽に戻り、再び洗浄用薬液として使用することができるので、洗浄用薬液の消費を低減することができる。
【００２９】
更に、本発明の湿式洗浄方法において、噴出口が、駆動手段によって気体の吹き出し方向を変えながら、被洗浄物に向けて気体を吹き付けることで、様々な角度から被洗浄物に対して気体を吹き付けることができ、被洗浄物に付着した洗浄用薬液をより多く滴下させることができる。
【００３０】
更に、本発明の湿式洗浄方法において、洗浄用薬液を強制的に滴下させた被洗浄物を続けて純水槽に浸漬することで、純水槽に持ち込まれる洗浄用薬液の量を減らすことができ、純水槽における被洗浄物に付着した洗浄用薬液の除去効果が向上し、純水槽の数を減らすこと又は純水槽での処理時間を短くすることができ、処理能力を向上させることができる。加えて、洗浄用薬液の種類によっては、廃棄のために純水槽中に混入した洗浄用薬液を分離して回収する必要があるが、純水槽に持ち込まれる洗浄用薬液の量が減ったことにより、純水槽の廃液から洗浄用薬液を分離するためのフィルタの寿命を延ばすことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態を図１乃至図３を参照して説明する。図１は、本発明の湿式洗浄装置１の全体の構成を示す概略図である。
【００３２】
湿式洗浄装置１は、搬入部３、処理部５および搬出部７を有している。搬入部３は、被洗浄物９を装置内に搬入する場所である。被洗浄物９として複数枚の基板を用いる場合は、基板を収容するキャリアごと装置に搬入され、洗浄されることになる。
【００３３】
処理部５には、洗浄用薬液、純水等が満たされた槽１１〜１６が配置されており、また、被洗浄物９を搬送するための搬送手段１７（搬入部３からの搬入および搬出部７への搬出も行う）が設けられている。処理部５の槽１１〜１６としては、搬入部３側から、洗浄用薬液が満たされた薬液槽１１、１２が２槽、その後、リンス槽として純水が満たされた純水槽１３〜１６が４槽設けられている。本発明で用いられる洗浄用薬液としては特に制限されるものはなく、従来から使用されている洗浄液等を使用することができる。また、リンス槽には、純水だけではなく、その他の洗浄用薬液を清浄するリンス液を使用することができる。なお、最後のリンス槽（図１においては純水槽１６）は、被洗浄物９を乾燥しやすくするため、温めてもよい。
【００３４】
また、各槽１１〜１６に隣接して超音波発生機を設け、被洗浄物９を洗浄中に超音波を加えて洗浄効果を高める構成としてもよい。
【００３５】
搬出部７は、被洗浄物９を装置から搬出する場所である。搬出部７から被洗浄物９を取り出す前に、被洗浄物９を乾燥させるオーブンを設けてもよい。
【００３６】
搬送手段１７は、図１の矢印で示すルートで、搬入部３において搬入された被洗浄物９を搬送し、各槽１１〜１６に浸漬する。搬送手段１７は、被洗浄物９を搬送するために、被洗浄物９を保持する容器を有していてもよい。
【００３７】
図２は、図１のＡで囲った一点鎖線の部分をより詳細に図示したものであり、図３は、その変形例である。図２および図３においては、複数枚の基板３１等の被洗浄物９およびそれらを収納したキャリア３３を搬送して洗浄するバッチ方式を採用しており、更に搬送手段１７は、基板３１およびキャリア３３を搬送および浸漬するために、それらを保持する容器３５を有している。図２および図３において、基板３１、キャリア３３および容器３５の搬送経路は矢印で示しており、薬液槽１２の上方、純水槽１３の上方に搬送した時の基板３１、キャリア３３および容器３５を点線で示している。
【００３８】
図２および図３において、薬液槽１１には洗浄用薬液２１が、薬液槽１２には洗浄用薬液２２が、純水槽１３には純水２３がそれぞれ満たされており、薬液槽１１および薬液槽１２の上方には噴出口３７が設けられている。
【００３９】
噴出口３７は、薬液槽１１、１２の上方において、薬液槽１１、１２から取り出された被洗浄物に向けて気体を吹き付け、被洗浄物に付着した洗浄用薬液を強制的に滴下させるものである。図２および図３においては、被洗浄物である基板３１およびキャリア３３と共に容器３５も薬液槽１１，１２に浸漬させているので、噴出口３７は、被洗浄物である基板３１およびキャリア３３並びに容器３５に対して気体を吹き付け、被洗浄物および容器３５に付着した洗浄用薬液を滴下させる。
【００４０】
噴出口３７は、例えば、図２に示すようにノズル状のものでもよいし、図３に示すように開口であってもよい。なお、図３においては、噴出口３７の開口内部に風向調節板３７ａ、３７ｂを設けて、吹き出す気体の向きを調節できるようになっている。噴出口３７の配置としては、図２および図３のように、処理部５の天井に設けてもよいし、側面に設けてもよい。
【００４１】
なお、噴出口３７から気体を吹き出すために、図示しない送風機が設けられている。噴出口３７から吹き出す気体は、特に制限されるものではないが、コスト的に乾燥空気が好ましく、更に高性能フィルタを通過させた乾燥清浄空気がより好ましい。
【００４２】
滴下した洗浄用薬液は、薬液槽１１、１２に戻り、再び洗浄用薬液２１、２２として使用することができるので、本発明の湿式洗浄装置１は、洗浄用薬液２１，２２の消費を低減することができる。
【００４３】
更に、後段に配置された純水槽１３〜１６に持ち込まれる洗浄用薬液の量を減らすことができ、純水槽における被洗浄物に付着した洗浄用薬液の除去効果が向上し、純水槽の数を減らすこと又は純水槽での処理時間を短くすることができ、処理能力を向上させることができる。
【００４４】
加えて、洗浄用薬液の種類によっては、廃棄のために純水槽中に混入した洗浄用薬液を分離して回収する必要があるが、純水槽に持ち込まれる洗浄用薬液の量が減ったことにより、純水槽の廃液から洗浄用薬液を分離するためのフィルタの寿命を延ばすことができる。
【００４５】
噴出口３７には、噴出口３７の気体の吹き出し方向を変えることができる駆動手段３９を設けてもよい。図２においては、駆動手段３９によって、噴出口３７を左右に首振り運動させて、気体の吹き出し方向を変える構成となっている。図３においては、図示しない駆動手段によって、風向調節板３７ａ、３７ｂを動かして、気体の吹き出し方向を変える構成となっており、薬液槽１１の上方の風向調節板３７ａは紙面左向きに、薬液槽１２の上方の風向調節板３７ｂは紙面右向きに気体が吹き出すようになっている。駆動手段３９としては、モータ等を用いて適宜構成される。
【００４６】
駆動手段３９によって、噴出口３７の吹き出し方向を変えることで、様々な角度から被洗浄物および容器３５に対して気体を吹き付けることができ、被洗浄物および容器３５に付着した洗浄用薬液をより多く滴下させることができる。
【００４７】
更に、噴出口３７を複数個（図２においては２個）設け、様々な角度から被洗浄物および容器３５全体に対して気体を吹き付けるように配置して、付着した洗浄用薬液をより多く滴下させるようにすることが好ましい。
【００４８】
なお、図２および図３においては、薬液槽１１の上方および薬液槽１２の上方の両方に噴出口３７を設置したが、装置コストを低減し、気体吹き付けによる処理時間を低減するために、いずれか一方だけであっても、洗浄用薬液の消費を低減することができる。特に、いずれか一方に噴出口３７を設ける場合は、純水槽１３の直前の薬液槽１２に設けることが好ましい。こうすれば、薬液槽１２で被洗浄物に付着した洗浄用薬液２２を回収することができ、更に純水槽１３に持ち込まれる洗浄用薬液の量も減らせるので、純水槽における洗浄用薬液の除去効果も向上させることができるのである。
【００４９】
また、薬液槽１１および薬液槽１２は、その上周縁に当該薬液槽内に向かって下向きに傾斜した滴下薬液回収部４１，４３、４５を有していてもよい。図２に示すように、滴下薬液回収部４１は、薬液槽１１の搬入部側に設けられ、薬液槽１１内に向かって下向きに傾斜している。また、滴下薬液回収部４３は、薬液槽１１と薬液槽１２との間に設けられ、薬液槽１１内に向かって下向きに傾斜している。更に、滴下薬液回収部４５は、薬液槽１２と純水槽１３との間に設けられており、薬液槽１２内に向かって下向きに傾斜している。
【００５０】
なお、滴下薬液回収部４３は、図３に示すように、山形とし、薬液槽１１内に向かって下向きに傾斜した箇所４３ａと薬液槽１２内に向かって下向きに傾斜した箇所４３ｂの両方を備えた形状であってもよい。また、図示しない薬液槽１１、１２の紙面垂直方向における前後にも滴下薬液回収部を設けることは有効である。
【００５１】
滴下薬液回収部４１、４３、４５は、薬液槽内に向かって下向きに傾斜しているため、噴出口３７から吹き出した気体によって滴下した洗浄用薬液を効率的に元の薬液槽に回収することができる。
【００５２】
被洗浄物を保持する容器３５は、噴出口３７からの気体によって付着した洗浄用薬液が滴下しやすいように、底面には、洗浄用薬液滴下用の隙間が設けられていることが好ましい。特に、洗浄用薬液が滴下しやすいように、円柱状の部材で底面および側面が構成されていることが好ましい。
【００５３】
このような構成の湿式洗浄装置１において、被洗浄物９は、搬入部３から薬液槽１１の上方まで搬送され、薬液槽１１の洗浄用薬液２１中に浸漬され、所定時間経過した後に薬液槽１１の上方に取り出され、噴出口３７から被洗浄物９に向けて気体が吹き付けられ、被洗浄物９に付着した薬液２１を強制的に滴下させられ、次の薬液槽１２へ搬送される。次の薬液槽１２においても、被洗浄物９は、薬液槽１２の洗浄用薬液２２中に浸漬され、所定時間経過した後に薬液槽１２の上方に取り出され、噴出口３７から被洗浄物９に向けて気体が吹き付けられ、被洗浄物９に付着した洗浄用薬液２２を強制的に滴下させられ、次の純水槽１３へ搬送されるのである。
【００５４】
噴出口３７は、被洗浄物９に向けて気体を吹き出す際に、駆動手段３９によって気体の吹き出し方向を変えながら、被洗浄物９に向けて気体を吹き付けることにより、被洗浄物９全体の洗浄用薬液を滴下できるので好ましい。
【００５５】
なお、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更をすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の湿式洗浄装置の全体の構成を示す概略図
【図２】図１のＡで囲った一点鎖線の部分をより詳細に示す概略図
【図３】図２の変形例を示す概略図
【符号の説明】
【００５７】
１  湿式洗浄装置
９  被処理物
１１、１２  薬液槽
１３〜１６  純水槽
１７  搬送手段
３５  容器
３７  噴出口
３９  駆動手段
４１、４３、４５  滴下薬液回収部
【図１】
2005217184.tif 000003
【図２】
2005217184.tif 000004
【図３】
2005217184.tif 000005