(57)【要約】【課題】  厚さ方向の導電性を機械的特性を維持しつつ適切な範囲に調整できる燃料電池用セパレータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】  成形材料１を樹脂２と多数の導電フィラー３とにより調製し、多数の導電フィラー３のうち、大部分の導電フィラー３のＸＹ面４を凹凸部１２の配列方向と略直交する方向に意識的に配向する。大部分の導電フィラー３のＸＹ面４を凹凸部１２の配列方向と略直交する方向に配向して樹脂中における導電フィラー３の接触回数を減少させるので、黒鉛の充填量を増加したり、黒鉛を大きくしたり、黒鉛のアスペクト比を変更せずとも、厚さ方向の導電性や体積抵抗率を高めたり、低くできる。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成形材料により成形され、表裏面の少なくともいずれか一方に、凹凸部を並べ備えた燃料電池用セパレータであって、
成形材料を、少なくとも樹脂と複数の導電フィラーとから調製し、複数の導電フィラーのうち、少なくとも一部の導電フィラーを凹凸部の配列方向と交わる方向に配向したことを特徴とする燃料電池用セパレータ。
【請求項２】
成形材料の樹脂を硬化性樹脂とするとともに、導電フィラーを黒鉛としてそのＸＹ面を凹凸部の配列方向と交わる方向に配向した請求項１記載の燃料電池用セパレータ。
【請求項３】
請求項１又は２記載の燃料電池用セパレータの製造方法であって、成形材料を用いて中間体を圧縮成形するとともに、成形材料の少なくとも一部の導電フィラーを圧縮方向と交わる方向に配向する工程と、中間体を複数重ねてブロック体を形成する工程と、ブロック体をその導電フィラーの配向方向と交わる方向に切断して板体を形成し、この板体を成形してその表裏面の少なくともいずれか一方に凹凸部を並べて形成する工程とを含んでなることを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
【請求項４】
請求項１又は２記載の燃料電池用セパレータの製造方法であって、成形材料を用いて中間体を押出成形するとともに、成形材料の少なくとも一部の導電フィラーを押出方向に配向する工程と、中間体を複数重ねてブロック体を形成する工程と、ブロック体をその導電フィラーの配向方向と交わる方向に切断して板体を形成し、この板体を成形してその表裏面の少なくともいずれか一方に凹凸部を並べて形成する工程とを含んでなることを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
【請求項５】
請求項１又は２記載の燃料電池用セパレータの製造方法であって、金型に成形材料を充填するとともに、圧縮方向と交わる方向から加圧して中間体を成形する工程と、この中間体を成形してその表裏面の少なくともいずれか一方に凹凸部を並べて形成する工程とを含んでなることを特徴とする燃料電池用セパレータの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃料電池を構成する固体高分子型の燃料電池用セパレータ及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の燃料電池用セパレータは、図示しないが、所定の混合材料により板体にプレス成形あるいは射出成形され、表裏両面に、流路を形成する複数の凹凸部が交互に配列されており、複数枚が積層されることにより燃料電池を形成する（特許文献１、２参照）。所定の混合材料は、例えばフェノール樹脂と黒鉛とが混合されることにより調製される。
【０００３】
ところで、燃料電池用セパレータは、一般的に厚さ方向（層方向ともいう）と面方向の導電性が大きく異なる値（例えば、５倍以上の値）になり、厚さ方向の導電性を十分に確保することができない傾向がある。係る点に鑑み、従来においては、混合材料の黒鉛の充填量を増加したり、黒鉛を大きくしたり、あるいは黒鉛のアスペクト比（ａｓｐｅｃｔ  ｒａｔｉｏ）を変更等する方法が採用されている（特許文献３、４参照）。
【特許文献１】特開平１０−３３４９２７号公報
【特許文献２】特開２００３−２８２０８６号公報
【特許文献３】特開２００２−１００３７８号公報
【特許文献４】特開２００１−１４３７１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の燃料電池用セパレータは、以上のように構成され、厚さ方向の導電性を確保するため、黒鉛の充填量を増加したり、黒鉛を大きくしたり、黒鉛のアスペクト比を変更するようにしている。
しかしながら、係る方法を採用する場合には、厚さ方向の導電性をある程度確保することができるものの、曲げ強度が低下したり、割れる際の歪み量が小さくなる等、機械的特性が低下するという大きな問題が新たに生じることとなる。
【０００５】
本発明は、上記に鑑みなされたもので、厚さ方向の導電性を機械的特性を維持しつつ適切な範囲に調整することのできる燃料電池用セパレータ及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明においては、上記課題を解決するため、成形材料により成形され、表裏面の少なくともいずれか一方に、凹凸部を並べ備えたものであって、
成形材料を、少なくとも樹脂と複数の導電フィラーとから調製し、複数の導電フィラーのうち、少なくとも一部の導電フィラーを凹凸部の配列方向と交わる方向に配向したことを特徴としている。
なお、成形材料の樹脂を硬化性樹脂とするとともに、導電フィラーを黒鉛としてそのＸＹ面を凹凸部の配列方向と交わる方向に配向することが好ましい。
【０００７】
また、本発明においては、上記課題を解決するため、請求項１又は２記載の燃料電池用セパレータの製造方法であって、
成形材料を用いて中間体を圧縮成形するとともに、成形材料の少なくとも一部の導電フィラーを圧縮方向と交わる方向に配向する工程と、中間体を複数重ねてブロック体を形成する工程と、ブロック体をその導電フィラーの配向方向と交わる方向に切断して板体を形成し、この板体を成形してその表裏面の少なくともいずれか一方に凹凸部を並べて形成する工程とを含んでなることを特徴としている。
【０００８】
また、本発明においては、上記課題を解決するため、請求項１又は２記載の燃料電池用セパレータの製造方法であって、
成形材料を用いて中間体を押出成形するとともに、成形材料の少なくとも一部の導電フィラーを押出方向に配向する工程と、中間体を複数重ねてブロック体を形成する工程と、ブロック体をその導電フィラーの配向方向と交わる方向に切断して板体を形成し、この板体を成形してその表裏面の少なくともいずれか一方に凹凸部を並べて形成する工程とを含んでなることを特徴としている。
【０００９】
また、本発明においては、上記課題を解決するため、請求項１又は２記載の燃料電池用セパレータの製造方法であって、
金型に成形材料を充填するとともに、圧縮方向と交わる方向から加圧して中間体を成形する工程と、この中間体を成形してその表裏面の少なくともいずれか一方に凹凸部を並べて形成する工程とを含んでなることを特徴としている。
【００１０】
ここで、特許請求の範囲における成形材料は少なくとも樹脂と複数の導電フィラーとから配合されれば良く、この樹脂と複数の導電フィラーとは混練（ｋｎｅａｄｉｎｇ）されずに混合（ｂｌｅｎｄｉｎｇ）されることが好ましい。この成形材料には、フッ素樹脂、フッ素系化合物、カップリング剤、改質剤、充填剤等からなる他の材料が含有されても良い。
【００１１】
樹脂としては、熱可塑性樹脂、硬化性樹脂、天然・合成ゴムのいずれもが含まれ、導電フィラーを被覆するものでも、そうでなくても良い。導電フィラーは、ＸＹＺ表示法により表示可能な略片状に形成され、ＸＹのアスペクト比が２〜１００の範囲内であるのが好ましい。また、凹凸部は、燃料電池用セパレータの表面に配列されても良いし、裏面に配列されても良く、あるいは燃料電池用セパレータの表裏両面にそれぞれ配列されても良い。
【００１２】
複数の導電フィラーは、少なくともその一部が凹凸部の配列方向と交わる方向に指向すれば良く、全部あるいは大部分が指向するものでも良い。一部の導電フィラーは、凹凸部の配列方向と３０°以上の角度で交わるよう配向（ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ）されることが好ましい。さらに、本発明に係る燃料電池用セパレータは、平面視で長方形、正方形、多角形等に成形でき、部分的に薄くても良いし、厚くても構わない。
【００１３】
本発明によれば、少なくとも一部の導電フィラーを凹凸部の配列方向に向けるのではなく、凹凸部の配列方向と交わる方向に向けるので、厚さ方向の導電路を形成する複数の導電フィラーの数、接触数、部位を減少させることができる。したがって、接触抵抗が少なくなり、厚さ方向の導電性が向上する。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、機械的な特性を維持しながら厚さ方向の導電性を適切な範囲に調整することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における導電性の燃料電池用セパレータは、図１ないし図３に示すように、成形材料１により導電性の板体１０に成形されるが、成形材料１を樹脂２と多数の導電フィラー３とにより調製し、この多数の導電フィラー３のうち、大部分の導電フィラー３のＸＹ面４を凹凸部１２の配列方向と略直交する方向に意識的に配向するようにしている。
【００１６】
成形材料１は、少なくとも樹脂２と多数の導電フィラー３とから調製され、これらがミキサー等により混合して使用される。成形材料１には、その特性を喪失しない範囲において、炭酸カルシウム、タルク、カオリン、珪藻土、シリカ、ベントナイト、ゼオライト、マイカ、水酸化アルミニウム、酸化チタン、活性炭、木炭、ガラス繊維、アラミド繊維等を適宜添加しても良い。
【００１７】
樹脂２と多数の導電フィラー３の配合は、樹脂１００質量部に対して導電フィラー１００〜２，０００質量部、好ましくは樹脂１００質量部に対して導電フィラー３００〜１，５００質量部、より好ましくは樹脂１００質量部に対して導電フィラー５００〜１，５００質量部が良い。これは、樹脂１００質量部に対して導電フィラー１００質量部未満の場合には、燃料電池用セパレータの電気的特性に支障を来たすからである。逆に、導電フィラー２，０００質量部を越える場合には、燃料電池用セパレータの気密性（ガス透過率）や機械的特性に難が生じるからである。
【００１８】
樹脂２としては、例えばＰＰＳやＰＰからなる熱可塑性樹脂、粉末のフェノール樹脂やエポキシ系樹脂からなる硬化性樹脂、ＥＰＤＭやクロロプレン等からなる合成ゴムが選択的に用いられる。これらの中でも、水との接触角調整の容易化、耐水性、寸法安定性、機械的強度に優れる粉末のフェノール樹脂が好適であり、より好ましくは硬化反応が緩やかな粉末のフェノール・ホルムアルデヒド系樹脂が良い。
【００１９】
樹脂２に使用されるフェノール樹脂は、メチロール基が１分子中に１０個以下、望ましくは５個以下が良い。これは、メチロール基が１分子中に１０個を越える場合には、硬化時に発生する水により、燃料電池用セパレータ中の空隙、フクレ等が発生しやすく、機械的特性や寸法精度に悪影響を及ぼすからである。
【００２０】
樹脂２の粒子は、分散させる関係上、細かいほうが好ましい。具体的には、平均粒径１〜３５μｍ、好ましくは３〜２０μｍの範囲にあるのが良い。また、樹脂２の平均分子量は、３，０００〜２０，０００、好ましくは４，０００〜１５，０００、より好ましくは５，０００〜１０，０００の範囲が良い。これは、樹脂２の平均分子量が３，０００未満の場合には、導電フィラー３の高充填化が困難になり、溶融温度の低下に伴い導電フィラー３の表面被覆が大きくなり、しかも、燃料電池用セパレータの電気的特性が低下するからである。
【００２１】
多数の導電フィラー３は、例えば黒鉛、金属繊維、カーボン繊維等からなり、その大部分が相互に点接触して厚さ方向に導電路を形成する。これらの中でも、水との接触角を容易に調整したり、相互に接触して抵抗値を低下させたり、機械的強度の低下を防止する観点から鱗片状の黒鉛を使用することが好ましい（図２、図３参照）。これは、例えば球状の黒鉛を使用すれば、黒鉛同士を接触させるために配合量を増やさなければならず、成形品である燃料電池用セパレータの物性が低下するからである。
【００２２】
導電フィラー３は、図３に示すように、ＸＹＺ表示法により表示可能な鱗片状に形成され、ＸＹのアスペクト比が好ましくは２〜１００、さらに好ましくは１０〜５０の範囲に設定されており、ＸＹにより表示されるＸＹ面４が凹凸部１２の配列方向と略直交する方向に指向する。アスペクト比が係る範囲なのは、アスペクト比が２未満の場合には、十分な配向効果を得にくいからである。逆に、アスペクト比が１００を越える場合には、樹脂２との十分な配合を得にくいからである。
【００２３】
導電フィラー３である鱗片状の黒鉛の大きさは、平均粒径５〜１５０μｍ、好ましくは１０〜１００μｍの範囲が良い。これは、平均粒径５μｍ未満の場合、樹脂２との配合時に舞い上がり、作業環境が悪化したり、電気的特性が低下するという理由に基づく。逆に、平均粒径１５０μｍを越える場合、燃料電池用セパレータの機械的特性が低下するという理由に基づく。
【００２４】
鱗片状の黒鉛の嵩密度については、特に限定されるものではないが、０．１〜１．０ｇ／ｃｍ3の範囲が好適である。これは、黒鉛の嵩密度が小さすぎる場合、燃料電池用セパレータのシール特性が低下するからである。逆に、黒鉛の嵩密度が大きすぎる場合、燃料電池用セパレータの機械的強度や導電性が低下するからである。
【００２５】
板体１０は、図１に示すように、その露出面である表裏両面に、ガスや冷却水の流路である複数の凹凸部１２がそれぞれ配列され、１．９ｇ／ｃｍ3以上の密度（比重）に設定されるとともに、表裏両面の水との接触角が８０°〜１２０°の範囲に調整されており、複数枚が電解質膜、燃料極、空気極等を介し重ねて積層されることにより燃料電池を形成する。
【００２６】
板体１０は、図１に示すように、その大部分を占有するリブ領域１１と、このリブ領域１１を囲んで作業時の把持部となる平坦領域１５とを備えた平面略長方形又は正方形に成形される。リブ領域１１の両面には、図１の奥方向に伸びる複数の凹凸部１２がそれぞれ交互に配列され、この複数の凹凸部１２がリブ領域１１の表面と裏面とに同一ピッチ又は異なるピッチで並設される。凹凸部１２の凹部１３は、水素ガス、酸素ガス、冷却水を流通させる流通孔（図示せず）が穿孔され、隣接する一対の凸部１４に区画されて溝を形成する。
【００２７】
平坦領域１５は、基本的にはガスや水が漏れないよう平坦に形成され、凹部１３の流通孔と連通する複数の連通孔１６が厚さ方向に穿孔されており、各連通孔１６が他の板体１０の連通孔１６に連通して長孔を形成するとともに、この長孔が水素ガス、酸素ガス、冷却水を流通させる。平坦領域１５の両側部や四隅部には、取り付け固定用の貫通孔（図示せず）が適宜穿孔され、この貫通孔に図示しないボルトが挿入される。
【００２８】
板体１０、換言すれば、燃料電池用セパレータの密度は、１．９ｇ／ｃｍ3以上、好ましくは１．９５ｇ／ｃｍ3以上に設定される。これは、密度が１．９ｇ／ｃｍ3以上であれば、十分なガス不透過性や撥水効果を得ることができるからである。
【００２９】
さらに、板体１０の水との接触角が８０°〜１２０°の範囲なのは、水との接触角が８０°未満の場合には、凹部１３に水や水滴が介在し易く、安定した流路の確保が困難になるおそれがあるからである。逆に、水との接触角が１２０°未満の場合には、コストアップを招いたり、製造が困難になるおそれがあるという理由に基づく。
【００３０】
上記において、燃料電池用セパレータを製造する場合には、先ず、少なくとも樹脂２と多数の導電フィラー３とを混練することなく混合して成形材料１を調製し、この成形材料１を予備成形用の所定の型に充填して中間体であるブロックを圧縮成形する。この際、フェノール樹脂からなる樹脂２が流動して導電フィラー３間の空隙を埋め、鱗片状の黒鉛からなる大部分の導電フィラー３が圧縮成形時の圧縮に伴い、圧縮方向と直交する方向、すなわち圧縮面と略平行に配向される。こうしてブロックを成形したら、他のブロックと積み重ねて加圧一体化し、ブロック体を形成する。
【００３１】
次いで、未硬化のブロック体をその導電フィラー３の配向方向と直交する方向にワイヤーソー等で切り出し、板体１０を形成する。板体１０を形成したら、板体１０を本成形用の金型にセットして加熱プレス成形し、板体１０の表裏両面に凹凸部１２を配列して燃料電池用セパレータを製造することができる。
【００３２】
上記構成によれば、大部分の導電フィラー３のＸＹ面４を凹凸部１２の配列方向（面方向）と略直交する方向に自然に向けるのではなく、意識的・強制的に配向して樹脂中における導電フィラー３の厚さ方向の接触回数を減少させるので、黒鉛の充填量を増加したり、黒鉛を大きくしたり、黒鉛のアスペクト比を変更せずとも、厚さ方向の導電性や体積抵抗率を高めたり、低くすることができる。したがって、厚さ方向の導電性や体積抵抗率を所定の範囲に調整することが容易になる。
【００３３】
また、厚さ方向における導電性の向上や体積抵抗率の低下が容易に実現できるので、これを前提に樹脂２と多数の導電フィラー３の配合を実用性を損なわないよう適宜変更すれば、導電性確保の他、曲げ強度や割れる際の歪み量の維持向上を図ることができる。すなわち、導電性と強度とを両立させることが可能になる。
【００３４】
なお、燃料電池用セパレータの製造は、上記製造方法に何ら限定されるものではない。例えば、中間体を圧縮成形ではなく、押出成形等するようにしても良い。この場合には、少なくとも樹脂２と多数の導電フィラー３とから成形材料１を調製し、この成形材料１をスクリュー押出機やプランジャー押出機等の押出機に投入して中間体であるブロックを押出成形する。この際、鱗片状の黒鉛からなる大部分の導電フィラー３が押出方向に配向される。こうしてブロックを成形したら、他のブロックと積み重ねて加圧一体化し、ブロック体を形成する。
【００３５】
次いで、未硬化のブロック体をその導電フィラー３の配向方向と直交する方向にワイヤーソー等で切り出し、板体１０を形成する。板体１０を形成したら、板体１０を本成形用の金型にセットして加熱プレス成形し、板体１０の表裏両面に凹凸部１２を配列して燃料電池用セパレータを安価、かつ大量に製造することもできる。
【００３６】
また、上記製造方法以外にも、例えば成形材料１を広く大きな金型に充填するとともに、前後又は左右方向から加圧して中間体である板体１０を形成し、この板体１０を本成形用の金型にセットして加熱プレス成形し、板体１０の表裏両面に凹凸部１２を配列して燃料電池用セパレータを安価に製造することもできる。この場合、ブロックやブロック体の製造、切断作業を省略することができるので、製造の簡素化や迅速化が大いに期待できる。
【００３７】
また、上記実施形態では多数の導電フィラー３のうち、大部分の導電フィラー３のＸＹ面４を凹凸部１２の配列方向と略直交する方向に配向したが、一部の導電フィラー３のＸＹ面４を凹凸部１２の配列方向と略直交する方向に配向し、残部の導電フィラー３のＸＹ面４を凹凸部１２の配列方向に配向することもできる。例えば図４に示すように、凹凸部１２の凸部１４を形成する導電フィラー３のＸＹ面４のみを凹凸部１２の配列方向と略直交する方向に配向することもできる。
【実施例】
【００３８】
以下、本発明に係る燃料電池用セパレータ及びその製造方法の実施例を比較例と共に説明する。
実施例１
先ず、黒鉛粒子５０に対して粉状のフェノール樹脂１０の質量比である成形材料を調製した。黒鉛粒子は、平均粒径が５０μｍ、アスペクト比が２０〜３０である。また、フェノール樹脂は、特公昭６２−３０２１１号公報に記載されたフェノール・ホルムアルデヒド粉末からなり、平均粒径が３０μｍ、溶融温度が１００℃で１６０００Ｐａ・ｓ、１２０℃で２０００Ｐａ・ｓである。
【００３９】
次いで、調整した成形材料９００ｇを型に充填し、１２０℃、１００ｋｇ／ｃｍ2の条件下で中間体であるブロックを圧縮成形した。型は、１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×５０ｍｍの大きさとした。成形の際、フェノール樹脂が流動して黒鉛粒子間の空隙を埋め、黒鉛粒子が圧縮成形時の圧縮に伴い、圧縮面と平行に配向された。こうしてブロックを成形したら、他の４個のブロックと積み重ねて加圧一体化し、１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×１００ｍｍのブロック体を形成した。
【００４０】
次いで、未硬化のブロック体をその導電フィラーの配向方向と直交する方向にワイヤーソーでスライスし、厚さ２．１ｍｍの板体を形成した。板体を形成したら、板体を本成形用の金型にセットして１９０℃、１５０ｋｇ／ｃｍ2の条件下において７分間加熱プレス成形し、板体の表裏両面に凹凸部を配列して燃料電池用セパレータを製造した。
【００４１】
実施例２
先ず、実施例１と同様の成形材料をスクリュー押出機に充填し、１２０℃の条件下で中間体であるブロックを押出成形した。ブロックは、幅１５０ｍｍ×厚さ２０ｍｍの大きさとした。成形の際、フェノール樹脂が流動して黒鉛粒子間の空隙を埋め、黒鉛粒子が成形方向に配向された。ブロックを成形したら、他の４個のブロックと積み重ねて加圧一体化し、１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×１００ｍｍのブロック体を形成し、以後、実施例１と同様にして燃料電池用セパレータを製造した。
【００４２】
実施例３
実施例１と同様の成形材料を１５０ｍｍ×３００ｍｍ×２．２ｍｍのキャビティを有する金型に９０ｇ充填し、１２０℃まで加温して２．２ｍｍの側から１００ｋｇ／ｃｍ2の条件で加圧するとともに、加圧方向と直交する二方向から加圧して板体を予備成形し、この板体を本成形してその表裏両面に凹凸部を配列し、燃料電池用セパレータを製造した。
【００４３】
比較例
実施例１と同様の成形材料９０ｇを１５０ｍｍ×１５０ｍｍ×１２ｍｍの型に充填し、１２０℃、１００ｋｇ／ｃｍ2の条件下で加圧して厚さ２．１ｍｍの中間体を形成した。以後、実施例１と同様にして燃料電池用セパレータを製造した。
【００４４】
燃料電池用セパレータの評価
実施例、比較例で燃料電池用セパレータをそれぞれ製造したら、各燃料電池用セパレータの面方向の導電性を、ＪＩＳ−Ｋ７１９４に準拠したプローブ付きの抵抗率計〔株式会社ダイアインスルメンツ製ロレスタＧＰ、ＭＣＰ−Ｔ６００型，プローブは直列４探針（ＡＳＰ）〕により測定し、表１にまとめた。
【００４５】
厚さ方向の導電性については、金メッキした銅版間に試料を挟み、１０ｋｇ／ｃｍ2の条件で加圧して測定した。この際、金メッキした銅版と試料の接触抵抗、及び測定器に対する引き出し線の抵抗をキャンセルするため、試料２枚の測定値から試料１枚の測定値を差し引き、導電性を評価した。
なお、黒鉛粒子とフェノール樹脂の比率を９：１、１４：１とした場合についても、同様の工程で試料を作製して評価した。
【００４６】
【表１】
2005216679.tif 000003
【００４７】
実施例１、２、３の燃料電池用セパレータについては、比較例と異なり、厚さ方向の導電性や体積抵抗率を所定の範囲内に調整することができ、導電性と強度とを両立させることができた。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る燃料電池用セパレータの実施形態を示す説明図である。
【図２】本発明に係る燃料電池用セパレータの実施形態における大部分の導電フィラーを凹凸部の配列方向と略直交する方向に配向した状態を模式的に示す断面説明図である。
【図３】本発明に係る燃料電池用セパレータの実施形態における導電フィラーを模式的に示す斜視図である。
【図４】本発明に係る燃料電池用セパレータの他の実施形態における一部の導電フィラーを凹凸部の配列方向と略直交する方向に配向した状態を部分的、模式的に示す断面説明図である。
【符号の説明】
【００４９】
１          成形材料
２          樹脂
３          導電フィラー
４          ＸＹ面
１０        板体（中間体）
１２        凹凸部
１３        凹部
１４        凸部
【図１】
2005216679.tif 000004
【図２】
2005216679.tif 000005
【図３】
2005216679.tif 000006
【図４】
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