(57)【要約】  【課題】  入出力される高周波信号の透過特性およびアイソレーション特性が安定なサーキュレータを提供すること。  【解決手段】  高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体１，２間に、平行平板導体１，２の内面に互いに対向させて２枚のフェライト板６，７が配置され、これら２枚のフェライト板６，７に対して放射状に高周波信号を入出力する３本の誘電体線路３，４，５が配置されているとともに、平板導体１の内面とフェライト板７および誘電体線路３，４，５との間に金属シート８を介在させており、この金属シート８にフェライト板７または誘電体線路３，４，５の一方が他方よりも深くめり込んでいるサーキュレータである。入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性を安定させることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間に、該平行平板導体の内面に互いに対向させて２枚のフェライト板が配置され、該２枚のフェライト板に対して放射状に前記高周波信号を入出力する３本以上の誘電体線路が配置されているとともに、前記平行平板導体の少なくとも一方の内面と前記フェライト板および前記誘電体線路との間に金属シートを介在させており、該金属シートに前記フェライト板または前記誘電体線路の一方が他方よりも深くめり込んでいることを特徴とするサーキュレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非放射性誘電体線路型のミリ波集積回路やミリ波レーダモジュール等に用いられるサーキュレータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、特にミリ波帯の高周波信号を伝送する高周波用伝送線路として、非放射性誘電体線路（NonRadiative Dielectric Waveguide、以下、ＮＲＤガイドともいう。）が知られている。
【０００３】
この非放射性誘電体線路の基本的構成は、図３に部分破断斜視図で示すように、所定の間隔ａをもって平行に配置された平行平板導体11，12間に、断面が矩形状の誘電体線路13を、間隔ａを高周波信号の波長λに対してａ≦λ／２として配置したものである。これにより、外部から誘電体線路13へのノイズの侵入をなくし、かつ外部への高周波信号の放射をなくして、誘電体線路13中により高周波信号をほとんど損失なく伝搬させることができる。なお、波長λは使用周波数における空気中（自由空間）での高周波信号の波長である。
【０００４】
このような非放射性誘電体線路を用いて構成される非放射性誘電体線路型のサーキュレータの例としては、従来より様々なものが提案されている。例えば、特許文献１乃至特許文献４には、図４の（ａ）に平面図で、また（ｂ）にその要部のＢ−Ｂ’線断面図で示すように、平行平板導体11，12間にフェライト板17，18とその周囲に放射状に誘電体線路14，15，16とを配置し、これら誘電体線路14，15，16の端部にそれぞれ段付き部14ａ，15ａ，16ａを設け、この段付き部14ａ，15ａ，16ａの上下にそれぞれフェライト板17，18をはめ込んだ例が開示されている。なお、図４（ａ）において、平行平板導体11，12は図示していない。
【０００５】
また、特許文献５には、誘電体線路14，15，16とフェライト板17，18とが当接する部分以外の部分でフェライト板17，18を支持する形状の支持部材をフェライト板17，18間に設けた例（図示せず）が開示されている。
【０００６】
このような非放射性誘電体線路型のサーキュレータは、誘電体線路14，15，16とフェライト板17，18との接続部のうち一つの接続部から入力された高周波信号を、フェライト板17，18の面内で時計回りまたは反時計回りに隣接する他の接続部より出力するものである。
【特許文献１】特開平９−186507号公報
【特許文献２】特開2001−203510号公報
【特許文献３】特開2001−267812号公報
【特許文献４】特開2003−69309号公報
【特許文献５】特開2000−286610号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、非放射性誘電体線路型のサーキュレータは誘電体線路およびフェライト板の両方が平行平板導体に電気的に良好に密着している必要があるのに対して、特許文献１乃至特許文献５に開示されているような従来のサーキュレータでは、誘電体線路14，15，16の平行平板導体11，12に平行な面の間隔と、フェライト板17，18の平行平板導体11，12に平行な外側の面の間隔とが製造における寸法公差により異なるために、誘電体線路14，15，16またはフェライト板17，18のいずれか一方を平行平板導体11，12に密着させた際に、他方が平行平板導体11，12に密着しないことがあった。そのため、高周波信号の入出力の透過損失が大きくなったり、入出力間のアイソレーションが小さくなったりして、サーキュレータの特性が不安定になるという問題点があった。
【０００８】
本発明は上記のような従来の技術における問題点を解決すべく案出されたものであり、その目的は、非放射性誘電体線路型のサーキュレータにおいて、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性が安定なサーキュレータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のサーキュレータは、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間に、この平行平板導体の内面に互いに対向させて２枚のフェライト板が配置され、この２枚のフェライト板に対して放射状に前記高周波信号を入出力する３本以上の誘電体線路が配置されているとともに、前記平行平板導体の少なくとも一方の内面と前記フェライト板および前記誘電体線路との間に金属シートを介在させており、この金属シートに前記フェライト板または前記誘電体線路の一方が他方よりも深くめり込んでいることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のサーキュレータによれば、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体間に、この平行平板導体の内面に互いに対向させて２枚のフェライト板が配置され、この２枚のフェライト板に対して放射状に前記高周波信号を入出力する３本以上の誘電体線路が配置されているとともに、前記平行平板導体の少なくとも一方の内面と前記フェライト板および前記誘電体線路との間に金属シートを介在させており、この金属シートに前記フェライト板または前記誘電体線路の一方が他方よりも深くめり込んでいることから、誘電体線路とフェライト板との間に、金属シートの厚さよりも小さい大きさの段差があっても、あるいは、誘電体線路のそれぞれの間で高さのばらつきがあっても、それらの段差あるいは高さのばらつきは金属シートへめり込んでいることによって十分に吸収されて誘電体線路およびフェライト板の両方が金属シートに電気的に均一に密着することとなる。そのため、このような金属シートは、金属シートに誘電体線路がめり込んでいるところでは高周波信号の所望の伝送モード以外の別のモードへの結合を抑制するように働き、金属シートにフェライト板がめり込んでいるところではフェライト板の周囲の磁場の状態を一定にするように働くので、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性を安定させることができるサーキュレータとなる。
【００１１】
また、本発明のサーキュレータによれば、誘電体線路およびフェライト板の側面の一部分にまで、これらがめり込んでいる金属シートがまわり込んで密着するため、平行平板導体と誘電体線路およびフェライト板との当接面に水平な方向に力が加わってもそれらの固定位置が変わらないようにしっかりと誘電体線路およびフェライト板を保持できるので、機械的な振動等が加わっても、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性を安定させることができるサーキュレータとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明のサーキュレータについて、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１３】
図１は、本発明のサーキュレータの実施の形態の一例を示す模式的な図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はその要部のＡ−Ａ’線断面図である。また、図２は、本発明のサーキュレータの実施の形態の他の例を示す、図１（ｂ）と同様の要部の断面図である。図１および図２において、１，２は平行平板導体（１および２のそれぞれは平板導体）、３，４，５は誘電体線路、６，７はフェライト板、８は金属シート、９，10は接着材層、３ａ，４ａ，５ａはそれぞれ誘電体線路３，４，５の先端に設けられたフェライト板６，７を支持する支持部である（ただし、４ａおよび５ａは３ａと同様の構成であり、図１（ｂ）および図２においては図示していない。）。なお、図１（ａ）においては、平行平板導体１，２および金属シート８は図示していない。
【００１４】
図１に示す本発明のサーキュレータの実施の形態の一例は、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体１，２間に、平行平板導体１，２の内面に互いに対向させて２枚のフェライト板６，７が配置され、これら２枚のフェライト板６，７に対させて放射状に、高周波信号を入出力する３本の誘電体線路３，４，５が配置されているとともに、平行平板導体１，２の平板導体１の内面とフェライト板７および誘電体線路３，４，５との間に金属シート８を介在させており、この金属シート８にフェライト板７または誘電体線路３，４，５の一方が他方よりも、この例ではフェライト板７が誘電体線路３，４，５よりも深くめり込んでいる構成である。
【００１５】
この構成において、誘電体線路３，４，５はフェライト板６，７を中心に隣り合うもの同士のなす角度が等しくなるように放射状に配置されている。誘電体線路３，４，５のそれぞれの端部には、それら端部の一部分が突出した、上側に配置されたフェライト板７を支持する支持部３ａ，４ａ，５ａが設けられている。また、金属シート８は良導体である金属から成るものであり、誘電体線路３，４，５の上面および上側のフェライト板７の両方がめり込んで密着している。このような誘電体線路３，４，５のそれぞれの端部に設けられた支持部３ａ，４ａ，５ａは、これらによってフェライト板７を金属シート８に押圧するように働き、平板導体１，２の間に、誘電体線路３，４，５および誘電体線路３，４，５の支持部３ａ，４ａ，５ａにはめ込まれたフェライト板６，７が挟まれて押圧されることにより、誘電体線路３，４，５の上面および上側のフェライト板７の両方に金属シート８がめり込んで密着される。一方、下側に配置されたフェライト板６は平板導体１に密着される。
【００１６】
なお、誘電体線路３，４，５はフェライト板６，７に対して放射状に配置されておればよく、必ずしもフェライト板６，７を中心に隣り合うもの同士のなす角度が等しくなっていなくても構わない。また、誘電体線路３，４，５以上の数の誘電板線路をフェライト板６，７に対して放射状に配置しても構わない。
【００１７】
このような構成において、金属シート８は、金属シート８に誘電体線路３，４，５がめり込んでいるところでは、高周波信号の所望の伝送モード以外の別のモードへの結合を抑制するように働き、金属シート８にフェライト板７がめり込んでいるところでは、フェライト板７の周囲の磁場の状態を一定にするように働く。このような金属シート８の働きによって、平行平板導体１，２間に閉じ込められる電磁界を確実に良好な状態で安定させることができる。
【００１８】
また、図１に示す本発明のサーキュレータの例では、好ましい構成として、平板導体１と誘電体線路３，４，５の下面および下側のフェライト板６との間には接着材層９を介在させており、また、平板導体２と金属シート８との間には接着材層10を介在させている。この接着材層10が平板導体２と金属シート８との間にあることによって、誘電体線路３，４，５およびフェライト板７を金属シート８により深くめり込ませることができ、誘電体線路３，４，５の上面とフェライト板７の上面との間により大きな段差があっても、確実に、誘電体線路３，４，５およびフェライト板７を金属シート８にめり込ませて密着させることができる。また、平板導体１と誘電体線路３，４，５の下面および下側のフェライト板６との間に接着材層９を介在させると、平板導体１と誘電体線路３，４，５またはフェライト板６との当接面に水平な方向に誘電体線路３，４，５またはフェライト板６に力が加わっても、誘電体線路３，４，５またはフェライト板６の固定位置にずれを生じないようにすることができる。
【００１９】
図１に示す例の本発明のサーキュレータによれば、以上のような構成によって、誘電体線路３，４，５の上面とフェライト板７の上面との間に金属シート８の厚さよりも小さい大きさの段差Ｄがあっても、あるいは、誘電体線路３，４，５のそれぞれの間で高さのばらつきがあっても、誘電体線路３，４，５およびフェライト板７の両方が金属シート８に対して、高い方がより深くめり込んで全体として均一に密着するため、このような金属シート８は、金属シート８に誘電体線路３，４，５がめり込んでいるところでは高周波信号の所望の伝送モード以外の別のモードへの結合を抑制するように働き、金属シート８にフェライト板７がめり込んでいるところではフェライト板７の周囲の磁場の状態を一定にするように働くので、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性を安定させることができるものとなる。
【００２０】
また、誘電体線路３，４，５およびフェライト板７が金属シート８にめり込んでいるところではそれらの側面の一部分にまで金属シート８がまわり込んで密着するため、平板導体２と誘電体線路３，４，５およびフェライト板７との当接面に水平な方向に力が加わっても固定位置にずれが生じないように、しっかりと誘電体線路３，４，５およびフェライト板７を保持できるので、機械的な振動等が加わっても、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性を安定させることができるものとなる。
【００２１】
次に、図２に示す本発明のサーキュレータの実施の形態の他の例は、平面図で見ると図１（ａ）に示した例と同様の構成であるが、高周波信号の波長の２分の１以下の間隔で配置した平行平板導体１，２間に、平行平板導体１，２の内面に互いに対向させて配置された２枚のフェライト板６，７と、これら２枚のフェライト板６，７に対して放射状に、高周波信号を入出力する３本の誘電体線路３，４，５（４，５は図２においては図示していない）が配置され、平行平板導体１，２の両方の内面とフェライト板６，７および誘電体線路３，４，５との間にそれぞれ金属シート８を介在させており、この金属シート８にフェライト板６，７または誘電体線路３，４，５の一方が他方よりも深くめり込んでいる構成である。
【００２２】
この構成においても、誘電体線路３，４，５はフェライト板６，７を中心に隣り合うもの同士のなす角度が等しくなるように放射状に配置されており、誘電体線路３，４，５のそれぞれの端部には、それら端部の一部分を突出させて、それらにより上下のフェライト板６，７を支持する支持部３ａ，４ａ，５ａが設けられている。また、金属シート８は良導体である金属から成るものであり、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７の両方がめり込んで密着している。誘電体線路３，４，５のそれぞれの端部に設けられた支持部３ａ，４ａ，５ａはフェライト板６，７を金属シート８に押圧するように働き、平板導体１，２の間に誘電体線路３，４，５およびそれらの端部の支持部３ａ，４ａ，５ａにはめ込まれたフェライト板６，７が挟まれて押圧されることにより、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７の両方が上下の金属シート８にめり込んで密着される。
【００２３】
このような構成において、上下の金属シート８は、金属シート８に誘電体線路３，４，５がめり込んでいるところでは高周波信号の所望の伝送モード以外の別のモードへの結合を抑制するように働き、金属シート８にフェライト板６，７がめり込んでいるところでは、フェライト板６，７の周囲の磁場の状態を一定にするように働く。このような金属シート８の働きによって、平行平板導体１，２間に閉じ込められる電磁界を確実に良好な状態で安定させることができる。
【００２４】
また、図２に示す本発明のサーキュレータの例では、好ましい構成として、平行平板導体１，２の内面と金属シート８との間には、それぞれ接着材層10を介在させている。
【００２５】
図２に示す例の本発明のサーキュレータは、図１に示す例のサーキュレータと同様に、誘電体線路３，４，５とフェライト板６，７との間にそれぞれ金属シート８の厚さより小さい大きさの段差Ｄ１，Ｄ２があっても、あるいは、誘電体線路３，４，５のそれぞれの間で高さのばらつきがあっても、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７の両方が金属シート８に対して、高い方がより深くめり込んで全体として均一に密着するため、このような金属シート８は、金属シート８に誘電体線路３，４，５がめり込んでいるところでは高周波信号の所望の伝送モード以外の別のモードへの結合を抑制するように働き、金属シート８にフェライト板６，７がめり込んでいるところではフェライト板６，７の周囲の磁場の状態を一定にするように働くので、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性を安定させることができるものとなる。
【００２６】
また、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７が金属シート８にめり込んでいるところではそれらの側面の一部分にまで金属シート８がまわり込んで密着するため、平板導体１，２と誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７との当接面に水平な方向に力が加わっても固定位置にずれが生じないように、しっかりと誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７を保持できるので、機械的な振動等が加わっても、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性を安定させることができるものとなる。
【００２７】
なお、図２に示す例のサーキュレータは、図１に示す例のサーキュレータとは、誘電体線路３，４，５の下面および下側のフェライト板６の下面と下側の平板導体１との間にも金属シート８を介在させている点で異なり、この場合には、平板導体１の内面の平坦性が良好に確保されていなくても、誘電体線路３，４，５の下面および下側のフェライト板６の下面にも、良導体である金属シート８を介して平板導体１を電気的に密着させることができる。
【００２８】
また、図１に示す例のサーキュレータと図２に示す例のサーキュレータとでは、下側の平板導体１と誘電体線路３，４，５または下側のフェライト板６との当接面に水平な方向の力が誘電体線路３，４，５またはフェライト板６に加わったときの保持力が異なり、図１に示す例では、下側の平板導体１の上面に配置した接着材層９と誘電体線路３，４，５およびフェライト板６との界面で誘電体線路３，４，５およびフェライト板６を支える構造となっているのに比べて、図２に示す例では、下側の平板導体１に接着材層９で貼り付けられた金属シート８と誘電体線路３，４，５およびフェライト板６との当接面に加えて、金属シート８がまわり込んだ誘電体線路３，４，５およびフェライト板６の側面の一部分でも誘電体線路３，４，５もしくはフェライト板６を支える構造となっていることから、図１に示す例のサーキュレータよりも、図２に示す例のサーキュレータの方が、平板導体１と誘電体線路３，４，５またはフェライト板６との当接面に水平な方向の力が誘電体線路３，４，５またはフェライト板６に加わったときの保持力を強くすることができる。
【００２９】
本発明において、金属シート８は、例えば薄板状に成型された金属製のシートや薄く圧延された金属箔あるいは金属テープを用いればよく、金属シート８の材料には、銅，アルミニウム（Ａｌ），鉄（Ｆｅ），銀（Ａｇ），金（Ａｕ），白金（Ｐｔ），ＳＵＳ（ステンレススチール），真鍮（Ｃｕ−Ｚｎ合金）等を用いればよい。中でも、アルミニウム（Ａｌ），金（Ａｕ），白金（Ｐｔ），真鍮（Ｃｕ−Ｚｎ合金）は、程良い柔らかさがあって誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７をめり込ませやすいため好適である。これらを用いれば、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７を金属シート８に確実にめり込ませて密着させることができる。また、金属シート８の厚さは、例えば、ミリ波信号に対しては80μｍ程度が好適である。金属シート８が厚すぎる場合には、金属シート８が変形しにくくなり、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７をめり込ませて均一な密着状態を得にくくなる傾向があり、金属シート８が薄すぎる場合には、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７のめり込む深さが不十分となる不都合がある。
【００３０】
なお、金属シート８の厚さは、必ずしも全面にわたって一様な厚みのものを用いる必要はなく、例えば誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７がめり込む深さにそれぞれ対応させて、予め厚みに分布を持たせたものを用いてもよい。
【００３１】
また、金属シート８には、予め平板導体１または２側の面に、接着材層10としての粘着質の層を形成しておいてもよい。このようにすれば、平板導体１または平板導体２の特定の領域のみに金属シート８を貼り付けたい場合に、予め接着材層10が形成された金属シート８を所望のパターン形状に加工すれば、金属シート８および接着材層10を一度に加工できるので都合がよい。また、金属シート８は複数枚を重ねて用いても構わない。
【００３２】
また、接着材層10の材質には、アクリル系樹脂であって粘着質のもの（市販のアルミテープに塗布されているようなもののうち、例えば、アクリル系重合体成分の平均分子量，ガラス転移温度，カルボキシル基の含有量および水酸基の含有量等を最適化することにより耐熱性が改良されたもので構わない。）、またはアクリル系樹脂，エポキシ系樹脂もしくはシリコン系樹脂の接着材を用いればよい。また、接着材層10の厚さは、例えば、ミリ波信号に対しては50μｍ程度が好適である。接着材層10が厚すぎる場合には、金属シート８の表面が波打ってしまい、非放射性誘電体線路構造の上下の非対称性を生じることとなって高周波信号が所望の伝送モード以外のモードに結合しやすくなる傾向があり、接着材層10が薄すぎる場合には、誘電体線路３，４，５およびフェライト板６，７のめり込む深さが大きくなる効果が十分に得られなくなる傾向がある。
【００３３】
また、平板導体１と誘電体線路３，４，５との間に介在させる接着材層９の材質には、アクリル系樹脂，エポキシ系樹脂もしくはシリコン系樹脂の接着材を用いればよい。また、この接着材層９には、樹脂製の接着材に代えて半田や金属ろう材を用いても構わない。
【００３４】
また、金属シート８は、接着材層10を介さずに直接、平板導体１または平板導体２に、圧着や融着等で貼り付けてもよい。この場合には、接着材層10を用いたときよりも、非放射性誘電体線路構造の上下の対称性が良好になり、高周波信号が所望の伝送モード以外のモードに結合しにくくなる。
【００３５】
また、誘電体線路３，４，５の材質には、四フッ化エチレン，ポリスチレン等の樹脂、または低比誘電率のコーディエライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ２Ｏ３・５ＳｉＯ２）セラミックス，アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）セラミックス，ガラスセラミックス等のセラミックスが好ましく、これらはミリ波帯域において低損失である。また、誘電体線路３，４，５の断面形状は基本的には矩形状であるが、矩形の角部をまるめた形状であってもよく、高周波信号の伝送に使用される種々の断面形状のものを使用することができる。
【００３６】
また、誘電体線路３，４，５の端部に設けられる支持部３ａ，４ａ，５ａは誘電体線路３，４，５と別体であっても構わない。その場合には、支持部３ａ，４ａ，５ａは誘電体線路３，４，５と別の材質であっても構わない。また、誘電体線路３，４，５の端部に支持部３ａ，４ａ，５ａを設ける替わりに、上下のフェライト板６，７の間に支持体を設けても構わない。
【００３７】
また、フェライト板６，７の材質には、フェライトの中でも、例えばミリ波信号に対しては、亜鉛・ニッケル・鉄酸化物（ＺｎａＮｉｂＦｅｃＯｘ）が好適である。
【００３８】
また、フェライト板６，７の形状は、通常は円板状とされるが、その他、平面形状が正多角形状であってもよい。その場合は、接続される誘電体線路の本数をｎ本（ｎは３以上の整数）とすると、その平面形状は正ｍ角形（ｍは３以上のｎより大きい整数）とするのがよい。
【００３９】
また、平行平板導体（平板導体）１，２の材質には、高い電気伝導度および良好な加工性等の点で、Ｃｕ，Ａｌ，Ｆｅ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，ＳＵＳ（ステンレススチール），真鍮（Ｃｕ−Ｚｎ合金）等の導体板が好適である。あるいは、セラミックス，樹脂等から成る絶縁板の表面にこれらの導体層を形成したものでもよい。
【００４０】
かくして、本発明によれば、入出力される高周波信号の透過特性および入出力間のアイソレーション特性が安定なサーキュレータを提供することができるものとなる。
【００４１】
なお、本発明は以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更を行なうことは何等差し支えない。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明のサーキュレータの実施の形態の一例を示す模式的な図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はその要部のＡ−Ａ’線断面図である。
【図２】本発明のサーキュレータの実施の形態の他の例を示す図１（ｂ）と同様の要部の断面図である。
【図３】非放射性誘電体線路の基本的構成を示す部分破断斜視図である。
【図４】従来のサーキュレータの例を示す模式的な図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）はその要部のＢ−Ｂ’線断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１，２：平行平板導体（平板導体）
３，４，５：誘電体線路
６，７：フェライト板
８：金属シート
９，10：接着材層
【図１】
2005217671.tif 000003
【図２】
2005217671.tif 000004
【図３】
2005217671.tif 000005
【図４】
2005217671.tif 000006