(57)【要約】【課題】  安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供する。【解決手段】  基台（３）に、第１の腕要素（１０）が、第１の回転中心線を中心として回転可能に支持されている。第２の腕要素（２０）が、第１の腕要素に支持されている。第２の腕要素は、第１の回転中心線と平行な第２の回転中心線（１５）を中心として、第１の腕要素に対して回転可能である。駆動軸（２）が、基台に、第１の回転中心線を中心として回転可能に支持されている。２本のリンク（１２Ａ、１２Ｂ）の各々の一端が、第１の回転中心線から外れた位置において駆動軸に取り付けられ、他端が第２の回転中心線から外れた位置において第２の腕要素に取り付けられている。２本のリンクは、駆動軸を第１の回転中心線を中心として第１の角度だけ回転させたとき、第２の腕要素が第２の回転中心線を中心として第１の角度だけ回転するように回転力を伝達する。【選択図】  図１
2005238381.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の回転中心線が画定された基台に、該第１の回転中心線を中心として回転可能に支持された第１の腕要素と、
前記第１の回転中心線から離れた位置において前記第１の腕要素に支持され、前記第１の回転中心線と平行な第２の回転中心線を中心として、該第１の腕要素に対して回転可能な第２の腕要素と、
前記基台に、前記第１の回転中心線を中心として回転可能に支持された駆動軸と、
一端が、前記第１の回転中心線から外れた位置において前記駆動軸に取り付けられ、他端が前記第２の回転中心線から外れた位置において前記第２の腕要素に取り付けられた少なくとも２本のリンクであって、該駆動軸を該第１の回転中心線を中心として第１の角度だけ回転させたとき、該第２の腕要素が該第２の回転中心線を中心として該第１の角度だけ回転するように回転力を伝達するリンクと
を有する伸縮アーム。
【請求項２】
前記２本のリンクが、前記第１の回転中心線の方向に関して相互に異なる位置に配置されている請求項１に記載の伸縮アーム。
【請求項３】
さらに、
前記第２の回転中心線から離れた位置において前記第２の腕要素に回転可能に支持され、前記第２の回転中心線と平行な第３の回転中心線を中心として、該第２の腕要素に対して回転可能であり、該第２の回転中心線から該第３の回転中心線までの距離が、前記第１の回転中心線から該第２の回転中心線までの距離と等しい保持部材を有する請求項１または２に記載の伸縮アーム。
【請求項４】
さらに、
前記第２の腕要素に固定され、前記第１の腕要素に、前記第２の回転中心線を中心として回転可能に支持され、該第２の回転中心線に沿った空洞が設けられている第１の支軸と、
前記第１の腕要素に固定され、前記第１の支軸内の空洞に挿入された第２の支軸と、
前記第２の支軸の回転力を前記保持部材に伝達する回転力伝達機構と
を有し、
前記リンクが、前記駆動軸と、前記第１の支軸とを連結している請求項３に記載の伸縮アーム。
【請求項５】
前記回転力伝達機構が、前記第２の支軸の回転角度と前記保持部材の回転角度との比が２：１になるように回転力を伝達する請求項４に記載の伸縮アーム。
【請求項６】
さらに、
前記第１の腕要素に固定され、前記第２の回転中心線に沿った空洞が設けられている第３の支軸と、
前記第２の腕要素に固定され、前記第３の支軸内の空洞に挿入された第４の支軸と、
前記第３の支軸の回転力を前記保持部材に伝達する回転力伝達機構と
を有し、
前記リンクが、前記駆動軸と、前記第４の支軸とを連結している請求項３に記載の伸縮アーム。
【請求項７】
前記回転力伝達機構が、前記第３の支軸の回転角度と前記保持部材の回転角度との比が２：１になるように回転力を伝達する請求項６に記載の伸縮アーム。
【請求項８】
さらに、前記第１の腕要素に固定され、前記第１の回転中心線に沿った空洞が設けられており、前記基台に回転可能に支持された第５の支軸を有し、
前記駆動軸が、前記第５の支軸内の空洞に挿入されている請求項１〜７のいずれかに記載の伸縮アーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、伸縮アームに関し、特に少なくとも２本の腕が関節で連結された伸縮アームに関する。
【背景技術】
【０００２】
図６に、下記特許文献１に開示された伸縮アームの概略平面図を示す。第１の腕要素１００の一方の端部（基部）が、基台に回転可能に取り付けられている。第１の腕要素１００の基部に、プーリ１０１が回転可能に配置されている。
【０００３】
第２の腕要素１１０の一方の端部（基部）に固定された回転軸１１１が、第１の腕要素１００の他方の端部（先端）に、回転可能に取り付けられている。第２の腕要素１１０の他方の端部（先端）に、ウエハ保持台１１３に固定された回転軸１１２が、回転可能に取り付けられている。
【０００４】
プーリ１０１と回転軸１１１との間に、ベルト１０３が架け渡されている。プーリ１０１の直径と回転軸１１１の直径とは等しい。第１の腕要素１００の先端に、回転軸１１１と同軸状に支軸１０２が取り付けられている。支軸１０２と回転軸１１２との間に、ベルト１１４が架け渡されている。回転軸１１２の直径は、支軸１０２の直径の２倍である。このため、支軸１０２が回転したとき、回転軸１１２はその１／２倍の角度だけ回転する。ウエハ保持台１１３の上面にウエハ１２０が保持される。
【０００５】
例えば、第１の腕要素１００を時計回りに角度θだけ回転させると同時に、プーリ１０１を反時計回りにθだけ回転させる。このとき、プーリ１０１は、第１の腕要素１００に対して反時計回りに２θだけ回転することになる。プーリ１０１の回転力が回転軸１１１に伝達され、第２の腕要素１１０が反時計周りに角度θだけ回転する（第１の腕要素１００に対しては、反時計回りに２θだけ回転する）。このため、第１の腕要素１００の基部と第２の腕要素１１０の先端とを結ぶ仮想直線の向きは変化せず、両者の間隔（長さ）のみが変動する。
【０００６】
第２の腕要素１１０が第１の腕要素１００に対して反時計回りに角度２θだけ回転し、回転軸１１２は支軸１０２の回転角度の１／２だけ回転するため、回転軸１１２は、時計回りに角度θだけ自転する。これに伴い、ウエハ保持台１１３は、回転軸１１２を中心として時計回りに角度θだけ回転する。このため、ウエハ保持台１１３は、第１の腕要素１００の回転中心（プーリ１０１の中心）と、第２の腕要素１１０の先端（回転軸１１２の中心）とを結ぶ仮想直線に平行な方向に並進移動する。このように、ウエハ保持台１１３の向きを変えることなく、伸縮アームを伸縮させることができる。第１の腕要素１００とプーリ１０１とを同一方向に同一角度だけ回転させると、伸縮アームはその形態を保ったまま回転する。
【０００７】
プーリ１０１と第１の腕要素１００とを、同一方向に同一角度だけ回転させると、伸縮アームは、その形状を保ったまま回転する。
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１２４３００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
プーリ１０１の回転により、第２の腕要素１１０及びウエハ保持台１１３が移動するため、第１の腕要素１００内に配置されたベルト１０３には、第２の腕要素１１０内に配置されたベルト１１４に比べて大きな負荷が加わる。この負荷のために、ベルト１０３の伸び縮みや、プーリの空回り等が生じると、伸縮アームを所望の形態に変化させることができなくなる。プーリの空回りを防止するために、プーリの外周面とベルトの内周面に凹凸を付すると、摩擦によるごみが発生しやすくなる。
【００１０】
本発明の目的は、安定した動作を行うことが可能な伸縮アームを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の一観点によると、第１の回転中心線（１）が画定された基台に、該第１の回転中心線を中心として回転可能に支持された第１の腕要素（１０）と、前記第１の回転中心線から離れた位置において前記第１の腕要素に支持され、前記第１の回転中心線と平行な第２の回転中心線（１５）を中心として、該第１の腕要素に対して回転可能な第２の腕要素（２０）と、前記基台に、前記第１の回転中心線を中心として回転可能に支持された駆動軸（２）と、一端が、前記第１の回転中心線から外れた位置において前記駆動軸に取り付けられ、他端が前記第２の回転中心線から外れた位置において前記第２の腕要素に取り付けられた少なくとも２本のリンクであって、該駆動軸を該第１の回転中心線を中心として第１の角度だけ回転させたとき、該第２の腕要素が該第２の回転中心線を中心として該第１の角度だけ回転するように回転力を伝達するリンク（１２Ａ、１２Ｂ）とを有する伸縮アームが提供される。
【発明の効果】
【００１２】
駆動軸の回転力が、２本のリンクにより第２の腕要素に伝達される。このため、ベルトで回転力を伝達する場合に比べて、おきな負荷に耐え、安定した動作を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１に、第１の実施例による伸縮アームの概略平面図を示す。第１の実施例による伸縮アームは、第１の腕要素１０、第２の腕要素２０、及びウエハ保持台３０を含んで構成されている。第１の腕要素１０は、その基部に画定されている第１の回転中心線１を中心として回転（旋回）可能である。第２の腕要素２０の基部が、第１の腕要素１０の先端に取り付けられており、第１の腕要素１０の先端に画定された第２の回転中心線１５を中心として回転（旋回）可能に支持されている。ウエハ保持台３０は、第２の腕要素２０の先端に取り付けられており、第２の腕要素２０の先端に画定された第３の回転中心線２５を中心として回転（旋回）可能である。ウエハ保持台３０の保持面にウエハ５０が保持される。
【００１４】
第１の回転中心線１、第２の回転中心線１５、及び第３の回転中心線２５は、相互に平行である。第１の回転中心線１から第２の回転中心線１５までの距離（第１の腕要素１０の長さ）は、第２の回転中心線１５から第３の回転中心線２５までの距離（第２の腕要素２０の長さ）と等しい。
【００１５】
第１の腕要素１０の基部に駆動軸２が配置されている。駆動軸２は、モータからの回転力を受け、回転中心線１を中心として回転（自転）する。第２の腕要素２０の基部に支軸２０Ｂが固定されている。
【００１６】
リンク１２Ａの一端が、第１の回転中心線１から外れた位置ＰＡにおいて駆動軸２に回転自在に取り付けられ、他端が第２の回転中心線１５から外れた位置において支軸２０Ｂに回転自在に取り付けられている。同様に、もう１本のリンク１２Ｂの一端が、第１の回転中心線１から外れた位置ＰＢにおいて駆動軸２に回転自在に取り付けられ、他端が第２の回転中心線１５から外れた位置において支軸２０Ｂに回転自在に取り付けられている。リンク１２Ａ及び１２Ｂは、平行四辺形の相互に対向する一対の辺を構成する。リンク１２Ａの駆動軸２への取付位置ＰＡと第１の回転中心線１とを結ぶ直線と、リンク１２Ｂの駆動軸２への取付位置ＰＢと第１の回転中心線１とを結ぶ直線とは、相互に直交する。
【００１７】
なお、第１の回転中心線１から取付位置ＰＡまでの距離と、第１の回転中心線１からもう一方のリンクの取付位置ＰＢまでの距離とは、必ずしも等しくする必要はない。また、取付位置ＰＡと第１の回転中心線１とを結ぶ直線と、取付位置ＰＢと第１の回転中心線１とを結ぶ直線とは、必ずしも直交させる必要はない。
【００１８】
駆動軸２を第１の回転中心線１を中心として第１の角度だけ回転させたとき、この回転力がリンク１２Ａ及び１２Ｂによって支軸２０Ｂに伝達され、支軸２０Ｂ及び第２の腕要素２０が、第２の回転中心線を中心として第１の角度だけ回転する。
【００１９】
図２に、第１の実施例による伸縮アームの断面図を示す。第１の腕要素１０及び第２の腕要素２０は中空の部材で形成されている。第１の腕要素１０の基部に、中空の支軸１０Ｂが固定されている。支軸１０Ｂ内の空洞が第１の腕要素１０内の空洞に連通している。支軸１０Ｂは、その外周面と基台３との間に配置された転がり軸受ＲＢ１により、第１の回転中心線１を中心として回転可能に基台３に支持されている。駆動軸２が、支軸１０Ｂ内の空洞に挿入され、第１の腕要素１０内の空洞まで導入されている。中空の支軸１０Ｂの内周面と駆動軸２の外周面との間に配置された転がり軸受ＲＢ２により、駆動軸２が支軸１０Ｂに対して回転可能に支持されている。回転駆動機構５が、支軸１０Ｂ及び駆動軸２を回転させる。
【００２０】
リンク１２Ａ及び１２Ｂが、それぞれ取付位置ＰＡ及びＰＢにおいて、駆動軸２の端面に、第１の回転中心線１と平行な軸を中心として回転自在に取り付けられている。
【００２１】
第１の腕要素１０の先端に、内部の空洞と外部とを連通させる開口１３が形成されている。第２の腕要素２０の基部に固定された中空の支軸２０Ｂが、開口１３を通って第１の腕要素１０の内部まで導入されている。支軸２０Ｂは、その外周面と開口１３の内周面との間に配置された転がり軸受ＲＢ３により、第２の回転中心線１５を中心として、第１の腕要素１０に対して回転可能に支持されている。
【００２２】
リンク１２Ａ及び１２Ｂの端部が、第２の回転中心線１５から外れた位置において、支軸２０Ｂの端面に、第２の回転中心線１５に平行な軸を中心として回転自在に取り付けられている。リンク１２Ａ及び１２Ｂは、第１の回転中心線１の延在する方向に関して異なる位置（異なる高さ）に配置されている。このため、第１の回転中心線１に平行な視線で見たとき、２本のリンク１２Ａと１２Ｂとが相互に重なるような姿勢をとることができる。
【００２３】
第１の腕要素１０の内面に固定された支軸１０Ｃが、支軸２０Ｂ内の空洞に挿入され、第２の腕要素２０内に導入されている。支軸１０Ｃは、第１の腕要素１０の内面から突き出した支え棒１０Ｄにより第１の腕要素１０に固定されている。また、中空の支軸２０Ｂの内周面と支軸１０Ｃの外周面との間に配置された転がり軸受ＲＢ４により、第２の回転中心線１５を中心とした半径方向の位置が拘束されている。
【００２４】
支え棒１０Ｄは、支軸２０Ｂが、ある角度の範囲内で回転したときに、リンク１２Ａ及び１２Ｂの移動を妨げない位置に配置されている。
【００２５】
第２の腕要素２０の先端に、内部の空洞と外部とを連通させる開口２４が形成されている。ウエハ保持台３０に固定された支軸３１が、開口２４を通って第２の腕要素２０の内部まで導入されている。第２の腕要素２０の先端部の、開口２４に対向する内壁に、円形の凸部２３が形成されている。支軸３１は、凸部２３の外周面と支軸３１との間に配置された転がり軸受ＲＢ５、及び開口２４の内周面と支軸３１との間に配置された転がり軸受ＲＢ６とにより、第３の回転中心線２５を中心として回転可能に支持されている。
【００２６】
支軸１０Ｃのうち第２の腕要素２０内に導入されている部分と、支軸３１とにベルト２２が架け渡されている。
【００２７】
図３を参照して、リンク１２Ａ、１２Ｂ、支軸１０Ｃ、支え棒１０Ｄとの位置関係について説明する。
【００２８】
図３は、図２に示した第１の腕要素１０と第２の腕要素２０との関節部分の底面図を示す。リンク１２Ａと支軸２０Ｂとの連結点をＱＡ、リンク１２Ｂと支軸２０Ｂとの連結点をＱＢとする。第２の回転中心線１５と連結点ＱＡとを結ぶ直線と、第２の回転中心線１５と連結点ＱＢとを結ぶ直線とは相互に直交する。図３において、支え棒１０Ｄが支軸１０Ｃから左方に延びている。
【００２９】
図２に示したように、リンク１２Ａは、支軸１０Ｃの下端よりも下方に配置されているため、支軸１０Ｃに妨げられることなく移動することができる。ところが、リンク１２Ｂは、支軸１０Ｃの下端よりも上方に配置されているため、支軸１０Ｃを横切って移動することができない。また、支え棒１０Ｄが、リンク１２Ａと支軸２０Ｂの端面との間に配置されているため、リンク１２Ａの端部と支軸２０Ｂの端面とを連結する接続部材（リンク１２Ａの連結点ＱＡ）は、支え棒１０Ｄを横切って移動することができない。これに対し、リンク１２Ｂと支軸２０Ｂの端面との間には支え棒１０Ｄが配置されていないため、リンク１２Ｂの連結点ＱＢは、支え棒１０Ｄに妨げられることなく移動することができる。
【００３０】
図３において、リンク１２Ｂが支軸１０Ｃの右側の脇を通過して第１の腕部材１０の基部に向かう位置に、リンク１２Ｂの連結点ＱＢがある状態を始点とする。このとき、他方のリンク１２Ａは、支軸１０Ｃを挟んでリンク１２Ｂの反対側に位置する。支軸２０Ｂが時計回りに回転すると、リンク１２Ａが支軸１０Ｃの手前（図２において下方）を通過し、その後、リンク１２Ａと１２Ｂとが重なる。さらに回転を続けると、リンク１２Ｂの連結点ＱＢが支え棒１０Ｄの奥（図２において上方）を通過する。リンク１２Ａの連結点ＱＡが他方のリンク１２Ｂに接触する位置（図３において記号ＱＡ’、ＱＢ’、１２Ａ’、１２Ｂ’の位置）まで回転することができる。
【００３１】
リンク１２Ａの連結点ＱＡの可動範囲ＭＡ及びリンク１２Ｂの連結点ＱＢの可動範囲ＭＢは、支軸１０Ｃやリンク１２Ａ、１２Ｂの太さを無視すると、３６０°−４５°＝３１５°になる。実際には、支軸１０Ｃやリンク１２Ａ、１２Ｂがある太さを持っているため、可動範囲ＭＡ及びＭＢは、３１５°よりもやや狭くなる。支え棒１０Ｄは、リンク１２Ａの連結点ＱＡの可動範囲ＭＡ以外の位置に配置される。このように支え棒１０Ｄを配置することにより、支軸２０Ｂの回転可能角度を最大限まで大きくすることができる。
【００３２】
図１〜図３に示した第１の実施例では、図６に示した従来の伸縮アームの第１の腕要素１００内のベルトの代わりに、２本のリンク１２Ａ及び１２Ｂが用いられている。図１に示した第１の実施例による伸縮アームの駆動軸２及び支軸２０Ｂが、それぞれ図６に示した従来の伸縮アームのプーリ１０１及びプーリ１１１に対応する。第１の実施例においても、従来の場合と同様に、駆動軸２をある角度だけ回転させると、支軸２０Ｂが同一方向に同一角度だけ回転する。
【００３３】
また、図１に示した第１の実施例による伸縮アームの支軸１０Ｃ、支軸３１、及びベルト２２が、それぞれ図６に示した従来の伸縮アームのプーリ１０２、プーリ１１２、及びベルト１１４に対応する。
【００３４】
第１の実施例による伸縮アームの伸縮動作及び回転動作の原理は、従来の伸縮アームの動作原理と同様である。すなわち、第１の腕要素１０（支軸１０Ｂ）をθだけ回転させ、駆動軸２を反対回りにθだけ回転させると、伸縮アームは、伸縮動作を行う。第１の腕要素１０と駆動軸２とを、同一方向に同一角度だけ回転させると、伸縮アームはその形状を保ったまま、第１の回転中心線１を中心として回転する。一般に、伸縮アームの回転動作と伸縮動作を同時に行う場合には、これらの回転動作を合成させればよい。伸縮アームを回転させるべき角度をα、伸縮量に対応する角度をθとすると、第１の腕要素１０をα＋θだけ回転させ、駆動軸２をα−θだけ回転させればよい。
【００３５】
第１の実施例では、ベルトの代わりに２本のリンクが用いられているため、大きな負荷に耐えることができる。リンクが１本の場合には、リンクが一方の回転中心線と交わる状態の近傍で、回転動作が不安定になる。第１の実施例では、２本のリンクが用いられているため、このような不安定さを回避することができる。２本のリンクの姿勢に依存しないで動作を安定させるために、一方のリンクの連結点と回転中心線とを結ぶ直線と、他方のリンクの連結点と回転中心線とを結ぶ直線とのなす角度を１０°〜１７０°とすることが好ましく、第１の実施例のように９０°とすることが最も好ましい。
【００３６】
次に、図４及び図５を参照して、第２の実施例による伸縮アームについて説明する。以下、第１の実施例による伸縮アームとの相違点について説明する。
【００３７】
図４に、第２の実施例による伸縮アームの平面図を示す。第１の実施例による伸縮アームの駆動軸２は、円形の端面を有し、その端面にリンク１２Ａ及び１２Ｂが取り付けられていた。第２の実施例では、駆動軸２の、第１の腕要素１０の内部側の端部に、径方向に突き出した２本の腕２Ａ及び２Ｂが取り付けられている。この２本の腕２Ａ及び２Ｂの先端に、それぞれリンク１２Ａ及び１２Ｂが取り付けられている。
【００３８】
第１の腕要素１０と第２の腕要素２０との間接部分においては、第２の腕要素２０に固定された支軸１０Ｅの、第１の腕要素１０の内部側の端部に、径方向に延在し、相互に直交する２本の腕２０Ｄ及び２０Ｅが取り付けられている。この２本の腕２０Ｄ及び２０Ｅの先端に、それぞれリンク１２Ａ及び１２Ｂが取り付けられている。
【００３９】
図５に、第１の腕要素１０と第２の腕要素２０との関節部分の断面図を示す。第２の腕要素２０の基部に、その内部の空洞と外部とを連通させる開口２６が形成されている。第１の腕要素１０の先端に固定された中空の支軸１０Ｅが第２の回転中心線１５に沿って延び、開口２６を通って第２の腕要素２０内まで導入されている。支軸１０Ｅの、第２の腕要素２０内の部分に、ベルト２２が架けられている。図４に示したように、支軸１０Ｅと支軸３１とは、支軸１０Ｅの回転角度と支軸３１の回転角度との比が２：１になるように構成されている。
【００４０】
第２の腕要素２０の基部の内壁に固定された支軸２０Ｃが、第２の回転中心線１５に沿って延在し、支軸１０Ｅの内部の空洞に挿入され、第１の腕要素１０内の空間まで導入されている。支軸２０Ｃは、その外周面と支軸１０Ｅの内周面との間に配置された転がり軸受ＲＢ７及びＲＢ８により、第２の回転中心線１５を中心として回転可能に支持されている。
【００４１】
支軸２０Ｃの、第１の腕要素１０の内部側の先端に、第２の回転中心線１５の径方向に延び、相互に直交する２本の腕２０Ｄ及び２０Ｅが固定されている。なお、一方の腕２０Ｄは図５の断面には現われていない。腕２０Ｄ及び２０Ｅの先端に、それぞれリンク１２Ａ及び１２Ｂが取り付けられている。図４に示したように、リンク１２Ａ及び１２Ｂは、第１の実施例の場合と同様に、平行四辺形の相互に対向する一対の辺を画定する。駆動軸２の回転によって腕２Ａ及び２Ｂが第１の回転中心線１を中心として回転すると、腕２０Ｄ及び２０Ｅが第２の回転中心線１５を中心として回転する。この回転により、図５に示した支軸２０Ｃ及び第２の腕要素２０が第２の回転中心線１５を中心として回転する。
【００４２】
第２の実施例の場合には、図５に示したように、図２に示した第１の実施例の場合の支え棒１０Ｄに相当する部材が必要ない。また、２本のリンク１２Ａ及び１２Ｂが、共に支軸２０Ｃの先端よりも下方に配置されている。このため、リンク１２Ａと腕２０Ｅとを接続する接続部材の移動を妨げるのは、他方のリンク１２Ｂのみである。このため、第１の実施例の場合に比べて、支軸２０Ｃの可動範囲をより広くすることができる。
【００４３】
以上実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、半導体プロセスに用いられる種々の装置、例えばイオン注入装置、スパッタリング装置、プラズマ励起型化学気相成長装置等のウエハ搬送用に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】第１の実施例による伸縮アームの平面図である。
【図２】第１の実施例による伸縮アームの断面図である。
【図３】第１の実施例による伸縮アームの関節部分の底面図である。
【図４】第２の実施例による伸縮アームの平面図である。
【図５】第２の実施例による伸縮アームの関節部分の断面図である。
【図６】従来の伸縮アームの平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  第１の回転中心線
２  駆動軸
２Ａ、２Ｂ、２０Ｄ、２０Ｅ  腕
３  基台
５  回転駆動機構
１０  第１の腕要素
１０Ｂ、１０Ｃ、１０Ｅ、２０Ｂ、２０Ｃ、３１  支軸
１０Ｄ  支え棒
１２Ａ、１２Ｂ  リンク
１３、２４  開口
１５  第２の回転中心線
２０  第２の腕要素
２２  ベルト
２５  第３の回転中心線
３０  ウエハ保持台
５０  ウエハ
【図１】
2005238381.tif 000003
【図２】
2005238381.tif 000004
【図３】
2005238381.tif 000005
【図４】
2005238381.tif 000006
【図５】
2005238381.tif 000007
【図６】
2005238381.tif 000008