(57)【要約】【課題】部品点数が少なくて済み、しかも、ハンドル操作のロックが容易な流体制御器を提供する。【解決手段】操作部材４と一体となっての回転が可能な回転可能位置と操作部材４と一体となっての回転が不可能でかつ鍵を掛けることが可能な回転不可能位置とに手動により移動させられるハンドル部材５を備えている。ケーシング３の上端部は、円筒状に形成されて、その外周に案内突起１１が設けられている。ハンドル部材５は、ケーシング３上端部に回転可能に嵌め合わせられておりかつ案内突起１１が移動可能に嵌め入れられる案内溝１４を有している円筒部１２と、円筒部１２の上側に一体に形成されかつ操作部材４に相対的に回転不可能に嵌め合わせられている係合部１３とを備えている。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体通路が形成された本体と、本体上部に設けられかつ本体内通路の開閉を行うアクチュエータ機構を内蔵するケーシングと、ケーシングの上方に突出させられており本体内通路を開閉するために手動で回転させられる操作部材とを備えている流体制御器において、
ケーシング上端部および操作部材に被せられて操作部材と一体となっての回転が可能な回転可能位置と操作部材と一体となっての回転が不可能でかつ鍵を掛けることが可能な回転不可能位置とに手動により移動させられるハンドル部材をさらに備えており、ケーシングの上端部は、円筒状に形成されて、その外周に案内突起が設けられており、操作部材の輪郭形状は、非円形で、ケーシング上端部の外周よりも突出しないように形成されており、ハンドル部材は、ケーシング上端部に回転可能に嵌め合わせられておりかつ案内突起が移動可能に嵌め入れられる案内溝を有している円筒部と、円筒部の上側に一体に形成されかつ操作部材に相対的に回転不可能に嵌め合わせられている係合部とを備えており、
案内溝は、円筒部の周壁を周方向にのびておりハンドル部材を手動により所定角度回転可能とする手動回転用案内部と、手動回転用案内部の終端部から下方にかつ周壁の下端手前までのびておりハンドル部材を回転可能位置からその上方の回転不可能位置まで移動可能とするロック位置移動用案内部とを有しており、ハンドル部材の係合部に、ハンドル部材が回転可能位置にあるときには操作部材により遮断されておりかつハンドル部材が持ち上げられることにより開放されてハンドル部材の回転不可能位置から回転可能位置への移動を阻止するストッパを挿通可能とするストッパ挿通部が形成されていることを特徴とする流体制御器の流路開閉ハンドルのロック装置。
【請求項２】
案内溝は、手動回転用案内部の始端部から周壁の下端までのびておりハンドル部材の上下移動を可能とする取付け用案内部をさらに有しており、案内溝の取付け用案内部の下端開口をケーシング上端部の案内突起に嵌め合わせてハンドル部材を下方に移動させることにより、ハンドル部材をケーシング上端部および操作部材に被せることが可能とされている請求項１の流体制御器。
【請求項３】
案内溝の取付け用案内部の上端部に、案内突起の外径よりも小さい内径を有し所定値以上の力を加えることによって案内突起を強制的に通過させることができる小径部が設けられている請求項２の流体制御器。
【請求項４】
ストッパ挿通部は、係合部を貫通する貫通孔によって形成されている請求項１から３までのいずれか１項の流体制御器。
【請求項５】
ストッパ挿通部は、それぞれ貫通孔が設けられた１対の対向壁からなり、操作部材に、回転可能位置で対向壁の貫通孔を塞ぎ、回転不可能位置でこの貫通孔を開放するとともにストッパを受け止める突出部が形成されている請求項１から３までのいずれか１項の流体制御器。
【請求項６】
ハンドル部材の円筒部の頂壁に、窓が設けられており、この窓を通して、ケーシングの上面に記載された操作状況表示文字が確認可能とされている請求項１から５までのいずれか１項の流体制御器。
【請求項７】
複数の流体制御器が並列状に配置されるとともに、これらの流体制御器のハンドル部材の係合部に設けられたストッパ挿通部に１つのワイヤロックのワイヤが通されることにより、１つのワイヤロックによって複数の流体制御器がロックされている請求項１から６までのいずれか１項の流体制御器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置などに使用される開閉弁等の流体制御器に関し、特に、流路開閉ハンドルを全開または全閉位置でロックする装置を備えている流体制御器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、流路開閉ハンドルを全開または全閉位置でロックする装置として、流体制御器本体に固定されたストッパ支持体と、ストッパ支持体に支持されて上方に位置して偏平状流路開閉ハンドルに係合してその回転を阻止する回転不可能位置と下方に位置してハンドルの回転を許容する回転可能位置とに上下移動可能なストッパを備えているものが知られている（特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１１−６５８１号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１に記載の流路開閉ハンドルのロック装置は、ストッパ支持体とストッパとが別部材であり、さらに、ストッパが２つの部材から構成されているので、部品点数が多く、しかも、流体制御器への装着に手間がかかることから、その改良が課題となっている。
【０００５】
この発明の目的は、部品点数が少なくて済み、しかも、ハンドル操作のロックが容易な流体制御器を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明による流体制御器は、流体通路が形成された本体と、本体上部に設けられかつ本体内通路の開閉を行うアクチュエータ機構を内蔵するケーシングと、ケーシングの上方に突出させられており本体内通路を開閉するために手動で回転させられる操作部材とを備えている流体制御器において、ケーシング上端部および操作部材に被せられて操作部材と一体となっての回転が可能な回転可能位置と操作部材と一体となっての回転が不可能でかつ鍵を掛けることが可能な回転不可能位置とに手動により移動させられるハンドル部材をさらに備えており、ケーシングの上端部は、円筒状に形成されて、その外周に案内突起が設けられており、操作部材の輪郭形状は、非円形で、ケーシング上端部の外周よりも突出しないように形成されており、ハンドル部材は、ケーシング上端部に回転可能に嵌め合わせられておりかつ案内突起が移動可能に嵌め入れられる案内溝を有している円筒部と、円筒部の上側に一体に形成されかつ操作部材に相対的に回転不可能に嵌め合わせられている係合部とを備えており、案内溝は、円筒部の周壁を周方向にのびておりハンドル部材を手動により所定角度回転可能とする手動回転用案内部と、手動回転用案内部の終端部から下方にかつ周壁の下端手前までのびておりハンドル部材を回転可能位置からその上方の回転不可能位置まで移動可能とするロック位置移動用案内部とを有しており、ハンドル部材の係合部に、ハンドル部材が回転可能位置にあるときには操作部材により遮断されておりかつハンドル部材が持ち上げられることにより開放されてハンドル部材の回転不可能位置から回転可能位置への移動を阻止するストッパを挿通可能とするストッパ挿通部が形成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
流体制御器のアクチュエータ機構は、例えば、手動による開閉と自動による開閉とが可能とされているものとされるが、手動による開閉だけが可能なものであってもよい。流体制御器は、通常、操作部材を９０°回転させることによって、自動開閉可能−不可能または開−閉が切り替わるものとされる。操作部材は、例えば、既存の流体制御器に取り付けられている手動ハンドルとされるが、弁棒と一体となって上下移動する操作軸の上端部に一体に形成された角柱状部であってもよい。ハンドル部材の係合部は、操作部材の非円形の輪郭形状に対応した内周形状を有するものとされる。
【０００８】
この発明の流体制御器によると、ハンドル部材が回転可能位置にある際には、案内突起が案内溝の手動回転用案内部に案内されることにより、ハンドル部材を回転させることができ、これにより、本体内通路の開閉操作を手動で行うことができ、そして、案内突起が案内溝のロック位置移動用案内部に案内されることにより、ハンドル部材を回転不可能位置に移動させることができ、これにより、ハンドル操作のロックを容易に行うことができ、ハンドル操作の誤操作が防止される。そして、ストッパ支持体および２つの部材からなるストッパが必要であったハンドル操作をロックするための構成がハンドル部材だけとなるので、部品点数を少なくすることができる。しかも、ハンドル部材は、ケーシングよりも一回り大きい円筒状となることから、本体部分よりも径が小さいことが通常であるケーシングに対して径方向に突出する部分がハンドル部材の厚みだけとなるので、流体制御器をコンパクトなものにすることができる。
【０００９】
ストッパとしては、南京錠、ワイヤロックなどが使用され、これにより、ハンドル部材のロック解除を鍵所持者に限定することができ、より確実に誤操作が防止される。
【００１０】
案内溝は、手動回転用案内部の始端部から周壁の下端までのびておりハンドル部材の上下移動を可能とする取付け用案内部をさらに有しており、案内溝の取付け用案内部の下端開口をケーシング上端部の案内突起に嵌め合わせてハンドル部材を下方に移動させることにより、ハンドル部材をケーシング上端部および操作部材に被せることが可能とされていることが好ましい。このようにすると、ロック装置がない既存の流体制御器にハンドル部材を後から取り付けることによってこの発明の流体制御器を得ることができる。
【００１１】
案内溝の取付け用案内部の上端部に、案内突起の外径よりも小さい内径を有し所定値以上の力を加えることによって案内突起を強制的に通過させることができる小径部が設けられていることが好ましい。このようにすると、既存の流体制御器にハンドル部材を後から取り付けることによってこの発明の流体制御器を得ることができるとともに、ハンドル部材が外れることを防止することができる。
【００１２】
ストッパ挿通部は、係合部を貫通する貫通孔によって形成されていることがあり、また、ストッパ挿通部は、それぞれ貫通孔が設けられた１対の対向壁からなり、操作部材に、回転可能位置で対向壁の貫通孔を塞ぎ、回転不可能位置でこの貫通孔を開放するとともにストッパを受け止める突出部が形成されていることがある。
【００１３】
ハンドル部材の円筒部の頂壁に、窓が設けられており、この窓を通して、ケーシングの上面に記載された操作状況表示文字が確認可能とされていることが好ましい。このようにすると、ハンドル部材を付加した状態でも、流体通路の操作状況が確認できるので、より確実に誤操作を防止することができる。
【００１４】
複数の流体制御器が並列状に配置されるとともに、これらの流体制御器のハンドル部材の係合部に設けられたストッパ挿通部に１つのワイヤロックのワイヤが通されることにより、１つのワイヤロックによって複数の流体制御器がロックされていることがある。このようにすると、ハンドル部材のロック解除を鍵所持者に限定するとともに、複数の流体制御器を少ないスペースに収めることができ、しかも、流体制御器１つずつに錠を掛ける場合に比べて、錠の数および錠の開閉の手間を減らすことができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、図１の上下を上下というものとする。
【００１６】
図１から図７までは、この発明の流体制御器（１）の第１実施形態を示している。
【００１７】
流体制御器（１）は、流体通路（図示略）が形成された本体（２）と、本体（２）上部に設けられかつ本体内通路の開閉を行うアクチュエータ機構（図示略）を内蔵するケーシング（３）と、ケーシング（３）の上方に突出させられており本体内通路を開閉するために手動で回転させられる操作部材（４）と、ケーシング（３）上端部および操作部材（４）に被せられて操作部材（４）と一体となっての回転が可能な回転可能位置と操作部材（４）と一体となっての回転が不可能でかつ鍵を掛けることが可能な回転不可能位置とに手動により移動させられるハンドル部材（５）とを備えている。
【００１８】
この実施形態のアクチュエータ機構は、手動による開閉と自動による開閉とが可能とされているもので、操作部材（手動ハンドル）（４）が開の状態では、ケーシング（３）に設けられた圧縮流体導入用開口（３ａ）を介して圧縮流体を導入または排出することにより本体（２）内の流体通路を自動により開閉することができる。そして、緊急時には、操作部材（４）を手動で所定角度（上から見て時計回りに９０°）回転させることにより、自動開閉が不可能となりかつ本体（２）内の流体通路が閉の状態とすることができる。ケーシング（３）の頂壁上面には、図示省略したが、”Ｅｎａｂｌｅｄ（自動開閉可能状態）”または”Ｄｉｓａｂｌｅｄ（自動開閉不可能状態）”の操作状況表示文字が記載されており、操作部材（４）のフランジ部（４ａ）に形成された窓からこの表示文字が視認可能とされている。
【００１９】
図１、図３および図５の（ａ）〜（ｃ）は、自動による開閉が可能な状態、図２、図４、図５の（ｄ）〜（ｅ）、図６および図７は、自動による開閉が不可能な状態をそれぞれ示している。また、図５の（ｅ）、図６および図７は、操作部材（４）と一体となってのハンドル部材（５）の回転が不可能なロック状態を示し、図２、図３、図４および図５の（ｃ）〜（ｄ）は、操作部材（４）と一体となってのハンドル部材（５）の回転が可能なロック解除状態を示している。
【００２０】
ケーシング（３）は、円筒状であり、操作部材（４）は、ケーシング（３）の頂壁部を貫通しかつ弁棒と一体となって上下移動する操作軸（図示略）の上端部に固定されている。ケーシング（３）の上端部外周には、短円柱状の案内突起（１１）が形成されている。操作部材（４）の輪郭形状は、非円形、（この実施形態では、断面が略菱形で頂壁を有する角筒状）で、菱形の長手方向の長さがケーシング（３）の外径と同じとされることにより、ケーシング（３）上端部の外周よりも突出しないように形成されている。ケーシング（３）の案内突起（１１）は、上から見て操作部材（４）の長手方向上に位置するように設けられている。
【００２１】
ハンドル部材（５）は、ケーシング（３）上端部に回転可能に嵌め合わせられる円筒部（１２）と、円筒部（１２）の上側に一体に形成されかつ操作部材（４）の輪郭形状に対応した内周形状を有し操作部材（４）に相対的に回転不可能に嵌め合わせられる係合部（１３）とを有している。このハンドル部材（５）は、ハンドルロック装置を有していない既存の流体制御器に後から取り付けることができる。
【００２２】
ハンドル部材（５）の円筒部（１２）の周壁には、ケーシング（３）の上端部に設けられた案内突起（１１）が移動可能に嵌め入れられる略逆Ｕ字状の案内溝（１４）が形成されている。略逆Ｕ字状の案内溝（１４）は、角度にして９０°分周方向にのびている手動回転用案内部（１５）と、手動回転用案内部（１５）の反時計側端部（終端部）から下方にのびているロック位置移動用案内部（１６）と、手動回転用案内部（１５）の時計側端部（始端部）から下方にのびている取付け用案内部（１７）とからなる。手動回転用案内部（１５）の時計側端部は、上から見て操作部材（４）の長手方向上に位置するように、したがって、ハンドル部材（５）をケーシング（３）上端部および操作部材（４）に被せる際に、ケーシング（３）の案内突起（１１）が取付け用案内部（１７）の下端真下に位置するように設けられている。ロック位置移動用案内部（１６）は、円筒部（１２）の下端までは達しないように形成されており、取付け用案内部（１７）は、円筒部（１２）の下端に達するように形成されている。また、取付け用案内部（１７）の上端部には、案内突起（１１）が通過可能ではあるが容易には通過できない小径部（１８）が設けられている。小径部（１８）は、１対の断面半円形の凸部が取付け用案内部（１７）に対向状に設けられることにより形成されている。
【００２３】
係合部（１３）は、操作部材（４）を一回り大きくした形状、すなわち、断面が略菱形で頂壁を有する角筒状とされている。係合部（１３）には、ハンドル部材（５）の回転不可能位置から回転可能位置への移動を阻止するストッパ（２１）（２２）を取付け可能なストッパ挿通部（１９）が形成されている。ストッパ挿通部（１９）は、係合部（１３）の４つの側壁のうち隣り合う２つの側壁の上端部を貫通する貫通孔によって形成されている。係合部（１３）は、ハンドル部材（５）をケーシング（３）上端部および操作部材（４）に被せた状態において、手動用操作ハンドルとして使用される。図３の（ａ）および図４の（ａ）に示すように、ハンドル部材（５）の円筒部（１２）の頂壁（１２ａ）には、窓（２０）が設けられており、この窓（２０）を通して、図３に示す自動開閉可能な状態では、”Ｅｎａｂｌｅｄ（自動開閉可能状態）”の文字が、図４に示す自動開閉不可能状態では、”Ｄｉｓａｂｌｅｄ（自動開閉不可能状態）”の文字が視認可能とされている。
【００２４】
図５の（ａ）から（ｅ）までは、ケーシング（３）の上端部に設けられた案内突起（１１）とハンドル部材（５）の略逆Ｕ字状案内溝（１４）との位置関係を示している。案内溝（１４）の取付け用案内部（１７）は、円筒部（１２）の下端に達するように形成されているので、図５（ａ）から（ｃ）までに示すように、取付け用案内部（１７）の下端開口を案内突起（１１）に嵌め合わせることにより、案内突起（１１）が上下にのびる取付け用案内部（１７）に案内されて、ハンドル部材（５）全体を下方に移動させることができる。この際、同図（ｂ）に示すように、取付け用案内部（１７）の上端部に設けられた小径部（１８）が案内突起（１１）の通過に抵抗することになるが、この抵抗力よりも大きな力が掛けられることにより、小径部（１８）が弾性変形し、図（ｃ）に示すように、ハンドル部材（５）が強制的にケーシング（３）上端部および操作部材（４）に嵌め被せられる。図（ｃ）の状態から図（ｂ）の状態に戻すためには、小径部（１８）の抵抗力よりも大きな力が必要であることから、図（ｃ）の状態からハンドル部材（５）が外れることが防止される。図（ｃ）の状態にあるハンドル部材（５）は、案内突起（１１）が周方向にのびる手動回転用案内部（１５）に案内される範囲内での回転が可能であり、ハンドル部材（５）のこの回転によって操作部材（４）が回転させられる。これにより、図（ｄ）に示す自動開閉不可能状態が得られる。図（ｄ）の状態から図（ｃ）の状態に戻すことは容易であり、これにより、自動開閉可能状態と自動開閉不可能状態との切替えを容易に行うことができる。図（ｄ）に示す状態において、ハンドル部材（５）を持ち上げると、案内突起（１１）は、上下にのびるロック位置移動用案内部（１６）に案内されて同部（１６）内を相対的に下方に移動し、ハンドル部材（５）は、図（ｅ）に示す位置、すなわち、案内突起（１１）がロック位置移動用案内部（１６）の下端に当たる位置まで移動する。この状態では、案内突起（１１）がロック位置移動用案内部（１６）の下端部に嵌まり合っていることから、ハンドル部材（５）の回転は不可能であり、ハンドル部材（５）の回転不可能位置が得られる。また、図（ｅ）から分かるように、ハンドル部材（５）の係合部（１３）に設けられたストッパ挿通部（１９）が操作部材（４）の上端面よりも上方に位置しており、このストッパ挿通部（１９）に筒状、棒状、線状などの適宜な形状のストッパを挿通することにより、ハンドル部材（５）の下方（回転可能位置）への移動を阻止することができる。
【００２５】
ストッパ挿通部（１９）に挿通されるストッパとしては、図６に示すように、市販の南京錠（２１）を用い、その足（２１ａ）をストッパ挿通部（１９）に通してこれを錠（２１）の孔に差し込むようにしてもよく、また、図７に示すように、市販のワイヤロック（２２）を用い、並列状に配された複数の流体制御器（１）のストッパ挿通部（１９）にそのワイヤ（２２）を挿通するようにしてもよい。これにより、南京錠（２１）の足（２１ａ）およびワイヤロック（２２）のワイヤは、操作部材（４）の頂面によって受け止められ、これにより、回転不可能位置が保持される。こうして、ハンドル部材（５）が回転不可能位置にある状態において、ハンドル部材（５）の下方への移動が阻止されるとともに、ハンドル部材（５）のロックを解除できる者を南京錠（２１）またはワイヤロック（２２）の鍵所持者に限定することができる。
【００２６】
なお、上記実施形態では、操作部材が角筒状とされているが、操作部材の形状が完全な円筒形でない限り、上記と同様のハンドル部材を形成することができる。また、上記実施形態では、アクチュエータ機構が手動による開閉と自動による開閉とが可能なハイブリッド弁とされているが、アクチュエータ機構は、手動による開閉を行う一般的な手動弁であってももちろんよい。
【００２７】
また、上記実施形態において、ストッパ挿通部（１９）は、係合部（１３）の４つの側壁のうち鋭角をなす２つの側壁を貫通する貫通孔によって形成されているが、貫通孔は、４つの側壁のうち鈍角をなす２つの側壁を貫通するように設けられてもよい。また、ハンドル部材の係合部の断面形状が長円形の場合には、その周壁を２カ所で貫通するようにストッパ挿通部としての貫通孔が設けられる。操作部材およびハンドル部材の断面形状は、種々変更され得るが、いずれの場合にも、ストッパ挿通部は、係合部を貫通する貫通孔によって形成することができる。ストッパ挿通部は、係合部の周壁を貫通する貫通孔に限られるものではなく、ストッパ挿通部が異なる実施形態を以下に示す。
【００２８】
図８から図１０までは、この発明の流体制御器（１）の第２実施形態を示している。以下の説明において、第１実施形態と同じ構成のものには同じ符号を付してその説明を省略する。
【００２９】
流体制御器は、流体通路（図示略）が形成された本体（２）と、本体（２）上部に設けられかつ本体内通路の開閉を行うアクチュエータ機構（図示略）を内蔵するケーシング（３）と、ケーシング（３）の上方に突出させられており本体内通路を開閉するために手動で回転させられる操作部材（４１）と、ケーシング（３）上端部および操作部材（４１）に被せられて操作部材（４１）と一体となっての回転が可能な回転可能位置と操作部材（４１）と一体となっての回転が不可能でかつ鍵を掛けることが可能な回転不可能位置とに手動により移動させられるハンドル部材（５１）とを備えている。
【００３０】
操作部材（４１）は、第１実施形態の操作部材（４）に板状の突出部（４２）が追加された形状とされている。突出部（４２）は、操作部材（４１）の４つの側壁のうち鈍角をなす２つの側壁の交差部から両側壁と同じ角度をなしてのびるように設けられており、その先端は、操作部材（４１）のフランジ部（４１ａ）の外周に位置させられている。
【００３１】
ハンドル部材（５１）は、ケーシング（３）上端部に回転可能に嵌め合わせられる円筒部（５２）と、円筒部（５２）の上側に一体に形成されかつ操作部材（４１）の輪郭形状に対応した内周形状を有し操作部材（４１）に相対的に回転不可能に嵌め合わせられる係合部（５３）と、係合部（５３）の周壁に突出状に形成されたストッパ挿通部としての貫通孔（５４ａ）付き対向壁（５４）とを有している。
【００３２】
ハンドル部材（５１）の円筒部（５２）の周壁には、第１実施形態と同じ略逆Ｕ字状の案内溝（１４）が形成されており、図５に示したように、このハンドル部材（５１）を既存の流体制御器に取り付けることができる。係合部（５３）の輪郭形状は、断面略長円形とされている。
【００３３】
ストッパ挿通部は、それぞれ貫通孔（５４ａ）が設けられた１対の対向壁（５４）からなり、対向壁（５４）の下端は、円筒部（５２）の頂壁（５２ａ）に一体化されている。対向壁（５４）間にある頂壁（５２ａ）の部分は、ハンドル部材（５１）をケーシング（３）上端部および操作部材（４１）に被せる際に操作部材（４１）の板状突出部（４２）を挿通させることができるように切り欠かれている。操作部材（４１）の板状突出部（４２）の高さは、対向壁（５４）の高さより若干低く形成されており、図９に示すように、回転可能位置では、対向壁（５４）の貫通孔（５４ａ）は、操作部材（４１）の板状突出部（４２）によってちょうど塞がれている。図９に示す状態からハンドル部材（５１）を上方に移動させると、回転不可能位置が得られ、この状態では、１対の対向壁（５４）の貫通孔（５４ａ）が開放され、図１０に示すように、これらの貫通孔（５４ａ）に市販のワイヤロック（２２）のワイヤを挿通することができる。ワイヤロック（２２）は、操作部材（４１）の板状突出部（４２）によって受け止められ、これにより、回転不可能位置が保持される。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による流体制御器の第１実施形態を示す分解斜視図である。
【図２】同斜視図である。
【図３】ハンドル部材の正面図である。
【図４】同側面図である。
【図５】ハンドル部材の移動を説明する図である。
【図６】流体制御器に鍵が掛けられた一例を示す斜視図である。
【図７】流体制御器に鍵が掛けられた他の例を示す斜視図である。
【図８】この発明による流体制御器の第１実施形態を示す分解斜視図である。
【図９】同斜視図である。
【図１０】流体制御器に鍵が掛けられた一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
（１）      流体制御器
（２）      流体制御器本体
（３）      ケーシング
（４）      操作部材（手動ハンドル）
（５）      ハンドル部材
（１１）    案内突起
（１２）    円筒部
（１３）    係合部
（１４）    案内溝
（１５）    手動回転用案内部
（１６）    ロック位置移動用案内部
（１７）    取付け用案内部
（１８）    小径部
（１９）    貫通孔（ストッパ挿通部）
（２０）    窓
（２１）    南京錠（ストッパ）
（２２）    ワイヤロック（ストッパ）
（４１）    操作部材（手動ハンドル）
（５１）    ハンドル部材
（５２）    円筒部
（５３）    係合部
（５４）    対向壁（ストッパ挿通部）
（５４ａ）    貫通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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