(57)【要約】【課題】  ウェハの除電を適切に行うドライエッチング装置を提供する。【解決手段】  除電を適切に行うドライエッチング装置は、下部電極１０２上に設置されたウェハ１を突き上げる突き上げピン１０７と、一端側に溝１１０ａが形成され、回動することにより他端側が突き上げピン１０７を軸方向に沿って移動させる昇降フォーク１１０と、一端がその回動フォーク１１０の溝１１０ａに隙間を空けて嵌合し、その回動フォーク１１０の溝１１０ａ周辺部を押圧することによりその回動フォーク１１０を回動させるフィッシャーアーム２０５と、回動フォーク１１０の溝１１０ａが形成された一端側を押圧することにより、その回動フォーク１１０とフィッシャーアーム２０５との隙間の分だけ回動フォーク１１０を回動させるアクチュエータ１１１とを備える。【選択図】        図２
2005217356.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマを発生させることによりウェハに対するエッチングを行うドライエッチング装置であって、
電極上に設置されたウェハを突き上げる突き上げピンと、
一端側に溝が形成され、回動することにより他端側が前記突き上げピンを軸方向に沿って移動させる回動フォークと、
一端が前記回動フォークの溝に隙間を空けて嵌合し、前記回動フォークの溝周辺部を押圧することにより前記回動フォークを回動させるアームと、
前記回動フォークの溝が形成された一端側を押圧することにより、前記回動フォークとアームとの隙間の分だけ前記回動フォークを回動させる押圧器と
を備えることを特徴とするドライエッチング装置。
【請求項２】
前記押圧器は、前記回動フォークを押圧することにより、前記ウェハを電極から除電高さまで突き上げる
ことを特徴とする請求項１記載のドライエッチング装置。
【請求項３】
前記押圧器は、前記除電高さとして略１ｍｍの高さまで前記ウェハを突き上げる
ことを特徴とする請求項２記載のドライエッチング装置。
【請求項４】
前記アームは、前記回動フォークを押圧することにより、前記ウェハを電極から搬送高さまで突き上げる
ことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のドライエッチング装置。
【請求項５】
前記アームは、前記搬送高さとして略３５ｍｍの高さまで前記ウェハを突き上げる
ことを特徴とする請求項４記載のドライエッチング装置。
【請求項６】
前記回動フォークとアームとの隙間は略１．５ｍｍである
ことを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載のドライエッチング装置。
【請求項７】
前記ドライエッチング装置は、さらに、
前記アーム及び押圧器の動きを制御する制御手段を備え、
前記制御手段は、
プラズマが発生しているときに、前記押圧器に前記回動フォークを押圧させて前記ウェハを電極から突き上げて、ウェハに蓄積された電荷を除電するとともに、前記突き上げられた状態において前記アームに回動フォークを押圧させることにより、前記ウェハを電極に置くことなくさらに突き上げる
ことを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のドライエッチング装置。
【請求項８】
プラズマを発生させることによりウェハに対するエッチングを行うドライエッチング装置が、電極上に設置されたウェハをエッチング終了後に突き上げるウェハの突き上げ方法であって、
前記ドライエッチング装置は、電極上に設置されたウェハを突き上げる突き上げピンと、一端側に溝が形成され、回動することにより他端側が前記突き上げピンを軸方向に沿って移動させる回動フォークと、一端が前記回動フォークの溝に隙間を空けて嵌合し、前記回動フォークの溝周辺部を押圧することにより前記回動フォークを回動させるアームと、前記回動フォークの溝が形成された一端側を押圧することにより、前記回動フォークとアームとの隙間の分だけ前記回動フォークを回動させる押圧器とを備え、
前記ウェハの突き上げ方法は、
ウェハに蓄積された電荷を除電するために、プラズマが発生しているときに前記押圧器が前記回動フォークを押圧して前記ウェハを電極から突き上げる第１の突き上げステップと、
前記第１の突き上げステップによりウェハが突き上げられた状態において、前記アームが前記回動フォークを押圧して前記ウェハを電極に置くことなくさらに突き上げる第２の突き上げステップと
を含むことを特徴とするウェハの突き上げ方法。
【請求項９】
前記第１の突き上げステップでは、前記ウェハを電極から除電高さだけ突き上げる
ことを特徴とする請求項８記載のウェハの突き上げ方法。
【請求項１０】
前記第１の突き上げステップでは、前記除電高さとして略１ｍｍの高さだけ前記ウェハを突き上げる
ことを特徴とする請求項９記載のウェハの突き上げ方法。
【請求項１１】
前記第２の突き上げステップでは、前記ウェハを電極から搬送高さだけ突き上げる
ことを特徴とする請求項８〜１０の何れか１項に記載のウェハの突き上げ方法。
【請求項１２】
前記第２の突き上げステップでは、前記搬送高さとして略３５ｍｍの高さだけ前記ウェハを突き上げる
ことを特徴とする請求項１１記載のウェハの突き上げ方法。
【請求項１３】
請求項８〜１０の何れか１項に記載のウェハの突き上げ方法に含まれるステップをコンピュータに実行させるプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子などを製造するために、プラズマを発生させてウェハに対するエッチングを行うドライエッチング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体素子などを製造するために、プラズマを発生させてウェハに対するエッチングを行うドライエッチング装置が提供されている（例えば、特許文献１参照。）。
このようなドライエッチング装置は、エッチング室内でプラズマを発生させてエッチングを行うエッチング部と、エッチング室の内外へのウェハの搬送を行うロードロック部とを備えている。
【０００３】
図７は、上記従来のドライエッチング装置の要部構成を示す構成図である。
上述のエッチング部８００は、エッチング室を構成する箱体８０１と、エッチング室内に配設された下部電極８０２と、立体コイル８０３と、立体コイル８０３に高周波電圧を印加する高周波電源８０４と、下部電極８０２に高周波電圧を印加する高周波電源８０５と、下部電極８０２に直流電圧を印加する直流電源８０６と、下部電極８０２上でウェハ１を昇降させるための複数の突き上げピン８０７と、複数の突き上げピン８０７の基部を支持する上下軸８０８と、その上下軸８０８を上下方向に移動させる軸移動機構とを備えている。軸移動機構は、箱体８０１の下部に突設された支柱８０９と、支柱８０９の先端を支点としてその支柱８０９に対して回動自在に取着された昇降フォーク８１０とを備えている。
【０００４】
高周波電源８０４が高周波電圧を立体コイル８０３に印加し、高周波電源８０５が高周波電圧を下部電極８０２に印加すると、エッチング室内にプラズマが発生し、そのプラズマによって下部電極８０２の上面に載置されたウェハ１に対するエッチングが行われる。そして、エッチングが終了すると、高周波電源８０４，８０５は出力を停止する。
ここで、エッチングが行われるときには、直流電源８０６は下部電極８０２に直流電圧を印加して、ウェハ１と下部電極８０２とを静電吸着させる。即ち、下部電極８０２に直流電圧が印加されると、下部電極８０２上面側に電荷が蓄積し、ウェハ１と下部電極８０２とは絶縁膜を介して互いにクーロン力により引き合う。
【０００５】
一方、上述のロードロック部９００は、ロードロック室を構成する箱体９０１と、ロードロック室内に設置され、ウェハ１を搬送するためのロードロックアーム９０２と、ロードロックアーム９０２を旋回、伸縮又は上下移動させるためのアーム移動機構９０３と、そのアーム移動機構９０３及び軸移動機構の昇降フォーク８１０を駆動するためのモータなどを具備する駆動部９０４とを備えている。
【０００６】
ここで、駆動部９０４は、先端にローラー９０５ａを具備するフィッシャーアーム９０５を備えている。フィッシャーアーム９０５の一端にあるローラー９０５ａは、軸移動機構の昇降フォーク８１０の一端に形成されている溝８１０ａに嵌め込まれている。例えば、幅１７ｍｍの溝８１０ａに直径１６ｍｍのローラー９０５ａが嵌め込まれる。そして、昇降フォーク８１０の他端は、上下軸８０８に取着された溝金具８１２に係合している。
【０００７】
つまり、上述の駆動部９０４は、アーム移動機構９０３を駆動させてロードロックアーム９０２を移動させることにより、ウェハ１をエッチング部８００の箱体８０１内に搬送したり、箱体８０１内にあるウェハ１を外に搬送したりするとともに、フィッシャーアーム９０５を回動させて支柱８０９の先端を支点に昇降フォーク８１０を回動させ、上下軸８０８を上下方向に移動させる。このような上下軸８０８の移動により、突き上げピン８０７の先端は下部電極８０２の上面から突き出たり、下部電極８０２内に収納されたりする。
【０００８】
このようなドライエッチング装置は、突き上げピン８０７の先端が下部電極８０２内に収納されるように突き上げピン８０７を下方向に移動させて、下部電極８０２上面に載置されたウェハ１に対するエッチングを行い、ウェハの搬送時には、突き上げピン８０７の先端が下部電極８０２の上面から約３５ｍｍの高さとなるように突き上げピン８０７を上方向に移動させて、ウェハ１をその高さ分だけ下部電極８０２から突き上げた状態でロードロックアーム９０２を移動させる。
【特許文献１】特開２０００−７７３８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、上記従来のドライエッチング装置では、駆動部９０４によるフィッシャーアーム９０５の回動の角度調整が困難であって、突き上げピン８０７先端の下部電極８０２上面からの高さ（突き上げ高さ）を最低の０ｍｍと最高の３５ｍｍに容易に設定することができても、その間の低い高さに設定することが難しい。その結果、ウェハ１及び下部電極８０２に対する除電を適切に行えないという問題がある。
【００１０】
即ち、エッチング処理の終了時に下部電極８０２への直流電圧の印加が停止しても、ウェハ１及び下部電極８０２に残存する電荷によってウェハ１がその下部電極８０２に静電吸着している状態に保たれている場合があり、このような場合に突き上げピン８０７の突き上げにより無理にウェハ１を下部電極８０２から引き離すと、ウェハ１を損傷させたり、突き上げられたウェハ１の位置がずれてロードロックアーム９０２による掬い取り及び搬送にエラーが生じる。そこで、ウェハ１及び下部電極８０２に残存する電荷を除電するために、下部電極８０２及び立体コイル８０３に高周波電圧を低出力で印加してプラズマを発生させ、プラズマ発生中にウェハ１を下部電極８０２の上面から約１ｍｍほど突き上げる必要がある。
【００１１】
しかし、上記従来のドライエッチング装置では、突き上げ高さを１ｍｍと３５ｍｍの二段階に設定するようなフィッシャーアーム９０５の角度調整が困難であるため、ウェハ１の除電を適切に行えないのである。
そこで、本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであって、ウェハの除電を適切に行うドライエッチング装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、本発明に係るドライエッチング装置は、プラズマを発生させることによりウェハに対するエッチングを行うドライエッチング装置であって、電極上に設置されたウェハを突き上げる突き上げピンと、一端側に溝が形成され、回動することにより他端側が前記突き上げピンを軸方向に沿って移動させる回動フォークと、一端が前記回動フォークの溝に隙間を空けて嵌合し、前記回動フォークの溝周辺部を押圧することにより前記回動フォークを回動させるアームと、前記回動フォークの溝が形成された一端側を押圧することにより、前記回動フォークとアームとの隙間の分だけ前記回動フォークを回動させる押圧器とを備えることを特徴とする。例えば、前記押圧器は、前記回動フォークを押圧することにより、前記ウェハを電極から略１ｍｍの高さまで突き上げ、前記アームは、前記回動フォークを押圧することにより、前記ウェハを電極から略３５ｍｍの高さまで突き上げる。また、例えば、前記回動フォークとアームとの隙間は略１．５ｍｍである。
【００１３】
これにより、回動フォークとアームとの隙間の分だけ押圧器が回動フォークを回動させるため、その分だけ突き上げピンを移動させてウェハを電極から低い高さで突き上げることができる。つまり、アームによる回動フォークの回動によって突き上げピンがウェハを電極から突き上げるが、このようなアームの動作による突き上げの高さを、例えば１ｍｍのように低く調整することができないような場合であっても、上述のように押圧器が隙間の分だけ回動フォークを回動させることにより、低い高さでウェハを突き上げることができる。その結果、エッチング終了後に、少しだけウェハを電極から突き上げて適切に除電を行うことができる。
【００１４】
また、前記ドライエッチング装置は、さらに、前記アーム及び押圧器の動きを制御する制御手段を備え、前記制御手段は、プラズマが発生しているときに、前記押圧器に前記回動フォークを押圧させて前記ウェハを電極から突き上げて、ウェハに蓄積された電荷を除電するとともに、前記突き上げられた状態において前記アームに回動フォークを押圧させることにより、前記ウェハを電極に置くことなくさらに突き上げることを特徴としても良い。
【００１５】
これにより、アームによるウェハの突き上げの高さを、ウェハを搬送するために必要な高さにしておけば、除電後のウェハは電極に置かれることなく搬送用の高さに突き上げられるため、搬送エラーの発生を防止することができる。つまり、プラズマの発生中にウェハを突き上げて除電を行っても、ウェハに蓄積された電荷が完全に取り除かれることがないため、そのウェハを電極に置いてしまうとウェハは電極に静電吸着し、突き上げピンにより搬送用の高さまで突き上げるときには、その静電吸着によって突き上げられたウェハに位置ずれが生じて搬送エラーが発生してしまう。しかし、上述のように除電後のウェハは電極に置かれることなく搬送用の高さに突き上げられるため、搬送エラーの発生を防止することができる。
【００１６】
なお、本発明は、上述のようなドライエッチング装置として実現することができるだけでなく、そのドライエッチング装置がウェハを突き上げるウェハの突き上げ方法や、その方法に基づくプログラムや、そのプログラムを格納する記憶媒体としても実現することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明のドライエッチング装置は、ウェハを電極から少しだけ突き上げて適切に除電を行うことができるという作用効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態におけるドライエッチング装置について図面を参照しながら説明する。
図１は、本実施の形態におけるドライエッチング装置の概略的な内部構成を示すブロック図である。
本実施の形態におけるドライエッチング装置は、ウェハ１の除電を適切に行うものであって、未処理のウェハ１が装填される未処理カセット３０１と、室内においてウェハ１に対するエッチング処理を行うエッチング部１００と、室内においてウェハ１に対してリンス処理を行うリンス部３００と、室内においてウェハ１に対してアッシング処理を行うアッシング部４００と、エッチング部１００及びリンス部３００並びにアッシング部４００のそれぞれの室内へのウェハ１の搬送を行うロードロックアーム２０２を具備するロードロック部２００と、エッチング処理及びリンス処理のなされたウェハ１が装填される処理済カセット３０２と、ロードロック部２００及び未処理カセット３０１並びに処理済カセット３０２へのウェハ１の搬送を行うハンドリングアーム３０４を具備するハンドリング部３０３と、上記各部、未処理カセット３０１、及び処理済カセット３０２を制御する制御部３０５とを備えている。
【００１９】
このようなドライエッチング装置では、まず、ハンドリング部３０３が未処理カセット３０１に装填されている１枚のウェハ１をハンドリングアーム３０４で取り出して、そのウェハ１をロードロック部２００の室内に搬送する。ロードロック部２００の室内にあるロードロックアーム２０２は、ハンドリング部３０３により搬送されたウェハ１をさらにエッチング部１００の室内へ搬送し、所定の場所にそのウェハ１を設置する。そして、エッチング部１００は、プラズマを発生させて、設置されたウェハ１に対してエッチング処理を実施する。
【００２０】
エッチング処理の終了後、ロードロック部２００のロードロックアーム２０２は、エッチング部１００の室内からエッチング処理されたウェハ１を取り出して、そのウェハ１をリンス部３００又はアッシング部４００の室内に搬送し、所定の場所に設置する。リンス部３００は、ウェハ１に対して純水や薬液によるリンス処理を行う。アッシング部４００はウェハ１に対してプラズマにてアッシング処理を行う。そして、リンス処理の終了後、ロードロック部２００のロードロックアーム２０２は、リンス部３００又はアッシング部４００からリンス処理又はアッシング処理されたウェハ１を取り出して、そのウェハ１をハンドリング部３０３のハンドリングアーム３０４に受け渡す。ハンドリングアーム３０３は、その受け渡されたウェハ１を処理済カセット３０２に装填する。
【００２１】
図２は、エッチング部１００とロードロック部２００の構成を示す構成図である。
エッチング部１００は、エッチング室を構成する箱体１０１と、エッチング室内に配設された下部電極１０２と、立体コイル１０３と、立体コイル１０３に高周波電圧を印加する高周波電源１０４と、下部電極１０２に高周波電圧を印加する高周波電源１０５と、下部電極１０２に直流電圧を印加する直流電源１０６と、下部電極１０２上でウェハ１を昇降させるための複数の突き上げピン１０７と、複数の突き上げピン１０７の基部を支持する上下軸１０８と、その上下軸１０８を上下方向に移動させる軸移動機構とを備えている。
【００２２】
本実施の形態の軸移動機構は、箱体１０１の下部に突設された支柱１０９と、支柱１０９の先端を支点としてその支柱１０９に対して回動自在に取着された昇降フォーク１１０と、伸縮することにより昇降フォーク１１０を押圧するアクチュエータ１１１とを備えている。
一方、ロードロック部２００は、ロードロック室を構成する箱体２０１と、ロードロック室内に設置されたロードロックアーム２０２と、ロードロックアーム２０２を旋回又は伸縮させるためのアーム移動機構２０３と、そのアーム移動機構２０３及び軸移動機構の昇降フォーク１１０を駆動するためのモータなどを具備する駆動部２０４とを備えている。
【００２３】
ここで、駆動部２０４は、先端にローラー２０５ａを具備するフィッシャーアーム２０５を備えている。フィッシャーアーム２０５の一端にあるローラー２０５ａは、軸移動機構の昇降フォーク１１０の一端に形成されている溝１１０ａに嵌め込まれている。そして、昇降フォーク１１０の他端は、上下軸１０８に取着された溝金具１１２に係合している。
【００２４】
図３は、昇降フォーク１１０の溝１１０ａにフィッシャーアーム２０５のローラー２０５ａが嵌め込まれている状態を説明するための説明図である。
昇降フォーク１１０の溝１１０ａの幅は、フィッシャーアーム２０５のローラー２０５ａの直径よりも十分大きく、その溝１１０ａにローラー２０５ａが嵌め込まれても溝１１０ａには幅方向に隙間ができる。例えば、幅１８ｍｍの溝１１０ａに直径１６ｍｍのローラー２０５ａが嵌め込まれる。このとき、その昇降フォーク１１０の溝１１０ａの上部周壁と、ローラー２０５ａとの間には約１．５ｍｍの隙間（上部隙間）があり、さらに、昇降フォーク１１０の溝１１０ａの下部周壁と、ローラー２０５ａとの間には約０．５ｍｍの隙間（下部隙間）があり、合計約２ｍｍの隙間がある。なお、下部隙間（０．５ｍｍ）は、昇降フォーク１１０の溝１１０ａからフィッシャーアーム２０５のローラー２０５ａをスムーズに出し入れするために利用される。
【００２５】
上述のアクチュエータ１１１は、昇降フォーク１１０の溝１１０ａが形成されている一端を、上部から下方向に向けて押圧して、昇降フォーク１１０の溝１１０ａの上部周壁と、フィッシャーアーム２０５のローラー２０５ａとの間の上部隙間の範囲内で、その一端を一定量押し下げる。
その結果、昇降フォーク１１０は、図２に示すように、支柱１０９の先端を支点に微小角度だけ回動し、上下軸１０８に取着された溝金具１１２を突き上げる。これにより、上下軸１０８及び突き上げピン１０７が上方に移動して、突き上げピン１０７の先端が下部電極１０２の上面から約１ｍｍだけ突き出る。
【００２６】
また、上述の駆動部２０４は、アーム移動機構２０３を駆動させてロードロックアーム２０２を移動させることにより、ウェハ１をエッチング部１００の箱体１０１内に搬送したり、箱体１０１内にあるウェハ１を外に搬送したりする。さらに、駆動部２０４は、フィッシャーアーム２０５を回動させることにより、昇降フォーク１１０をローラー２０５ａで押圧して支柱１０９の先端を支点に回動させ、上下軸１０８を上下方向に移動させる。これにより、駆動部２０４は、突き上げピン１０７の先端を下部電極１０２の上面から約３５ｍｍだけ突き出させたり、下部電極１０２内に収納させたりする。
【００２７】
図４は、突き上げピン１０７の先端を下部電極１０２の上面から約３５ｍｍだけ突き出させる動作を説明するための説明図である。
駆動部２０４は、フィッシャーアーム２０５を回動させて、フィッシャーアーム２０５のローラー２０５ａを昇降フォーク１１０の溝１１０ａの下側の周壁に当接させ、そのローラー２０５ａにその周壁を下方に押し下げさせる。これにより、昇降フォーク１１０は、支柱１０９の先端を支点に大きく回動して、上下軸１０８に取着された溝金具１１２を上方に突き上げ、突き上げピン１０７は下部電極１０２の上面から高さ約３５ｍｍまで突き出る。その結果、ウェハ１は下部電極１０２の上面からその高さ分だけ突き上げられる。
【００２８】
このようなドライエッチング装置について、エッチング時、除電時、除電終了後のウェハの搬送時における動作を以下に説明する。
まず、エッチングを行うときには、制御部３０５は直流電源１０６をオンにして下部電極１０２に直流電圧を印加し、ウェハ１と下部電極１０２とを静電吸着させる。即ち、下部電極１０２に直流電圧が印加されると、下部電極１０２上面側に電荷が蓄積し、ウェハ１と下部電極１０２とは絶縁膜を介して互いにクーロン力により引き合う。
【００２９】
そして、このように静電吸着した状態において、制御部３０５は高周波電源１０４をオンにして約１３．５６ＭＨｚの高周波電圧を立体コイル１０３に印加し、さらに高周波電源１０５をオンにして約１３．５６ＭＨｚの高周波電圧を下部電極１０２に印加することにより、エッチング室内にプラズマを発生させてウェハ１表面に対するエッチングを行う。そして、エッチングが終了すると、制御部３０５は高周波電源１０４，１０５をオフにするとともに、直流電源１０６もオフにする。
【００３０】
次に、ウェハ１及び下部電極１０２に残存する電荷の除電を行うときには、制御部３０５は再び高周波電源１０４，１０５をオンにして立体コイル１０３及び下部電極１０２に高周波電圧を低出力で印加してプラズマを発生させる。そのプラズマが発生している途中で、制御部３０５はアクチュエータ１１１に昇降フォーク１１０を押圧させることにより、突き上げピン１０７を下部電極１０２の上面から約１ｍｍだけ突き出させて、下部電極１０２に載置されていたウェハ１を突き上げる。（以下、このような除電のために突き上げられるウェハの高さを除電高さという。）
除電が終了すると、制御部３０５は、高周波電源１０４，１０５をオフにするとともに、駆動部２０４にフィッシャーアーム２０５を回動させて、ウェハ１を約３５ｍｍだけ突き上げる。（以下、このように突き上げられるウェハの高さを搬送高さという）
ウェハ１が搬送高さまで突き上げられると、制御部３０５は駆動部２０４にアーム移動機構２０３を駆動させてロードロックアーム２０２をエッチング室に移動させる。そして、搬送高さにあるウェハ１はロードロックアーム２０２に受け取られてロードロック室に搬送される。
【００３１】
図５は、高周波電源１０４，１０５の出力と、ウェハ１の下部電極１０２からの高さ（突き上げ高さ）との時間的な推移を説明するための説明図である。
制御部３０５は、例えば時刻ｔ１から直流電源１０６をオンにしてウェハ１を下部電極１０２に静電吸着させるとともに、高周波電源１０４，１０５の出力を上昇させることによって、プラズマを発生させてエッチングを開始する。エッチングが開始されると制御部３０５は、高周波電源１０４，１０５の出力を段階的に低下させ、時刻ｔ２に出力を停止させてエッチングを終了させる。その後、時刻ｔ３に制御部３０５は直流電源１０６をオフにする。
【００３２】
次に、制御部３０５は時刻ｔ４に、高周波電圧を高周波電源１０４，１０５から低出力で発生させ、ウェハ１及び下部電極１０２の除電を開始する。その除電中の時刻ｔ５に、制御部３０５は、アクチュエータ１１１を制御して突き上げ高さを除電高さの約１ｍｍにする。そして、時刻ｔ６に制御部３０５は高周波電源１０４，１０５をオフにする。
その後、時刻ｔ７に制御部３０５は駆動部２０４を制御してフィッシャーアーム２０５を回動させることにより、突き上げられたウェハ１を下部電極１０２に置くことなく、突き上げ高さを除電高さの約１ｍｍから搬送高さの約３５ｍｍに変化させる。そして、制御部３０５は時刻ｔ８に駆動部２０４を制御してアーム移動機構２０３を駆動させることにより、ロードロックアーム２０２にウェハ１の搬送を開始させる。
【００３３】
図６は、エッチングからウェハ１の搬送までの一連の動作を示すフロー図である。
まず、制御部３０５は、高周波電源１０４，１０５及び直流電源１０６をオンにすることによりプラズマを発生させてエッチングを行い（ステップＳ１００）、エッチング終了時にオフにした高周波電源１０４，１０５を再び低出力でオンにして除電を開始する（ステップＳ１０２）。そして制御部３０５は、駆動部２０４を制御することによりウェハ１を除電高さの１ｍｍだけ下部電極１０２から突き上げる（ステップＳ１０４）。
【００３４】
次に、制御部３０５は、高周波電源１０４，１０５をオフすることにより除電を終了させて（ステップＳ１０６）、ウェハ１を除電高さの１ｍｍから搬送高さの３５ｍｍに突き上げる（ステップＳ１０８）。そして、制御部３０５は、駆動部２０４を制御してロードロックアーム２０２を移動させ、ウェハ１をエッチング室からロードロック室に搬送する（ステップＳ１１０）。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明のドライエッチング装置は、ウェハの除電を適切に行うことができるという効果を有し、電子機器生産業などに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本実施の形態におけるドライエッチング装置の概略的な内部構成を示すブロック図である。
【図２】同上のエッチング部とロードロック部の構成を示す構成図である。
【図３】同上の昇降フォークの溝にフィッシャーアームのローラーが嵌め込まれている状態を説明するための説明図である。
【図４】同上の突き上げピンの先端を下部電極の上面から３５ｍｍだけ突き出させる動作を説明するための説明図である。
【図５】同上の高周波電源の出力と、突き上げピンの先端の下部電極１０２からの高さとの時間的な推移を説明するための説明図である。
【図６】同上のエッチングからウェハの搬送までの一連の動作を示すフロー図である。
【図７】従来のドライエッチング装置の要部構成を示す構成図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  ウェハ
１００  エッチング部
１０２  下部電極
１０３  立体コイル
１０４，１０５  高周波電源
１０６  直流電源
１０７  突き上げピン
１０８  上下軸
１１０  昇降フォーク
１１０ａ  溝
１１１  アクチュエータ
２００  ロードロック室２００
２０２  アーム
２０３  アーム移動機構
２０４  駆動部
２０５  フィッシャーアーム
２０５ａ  ローラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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