(57)【要約】【課題】  被検査体を再検査することなくその表面状態の確認を行い、さらに許容範囲を示した検査基準との比較判定を容易に実現させることを課題とする。【解決手段】  被検査体の外観検査に基づく検査結果記録ファイル８ａと判定の許容範囲を示した検査判定基準ファイル８ｂとが格納された蓄積部８と、前記被検査体の外観と同一の縦横比率で表示されるよう制御され、また、前記外観検査の結果が前記許容範囲に入っているか否かの判定がされる制御部７と、前記制御された結果を表示させる表示装置４と、印字させる印字装置５とで構成した。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査体の外観検査に基づく欠陥位置座標データと、少なくとも欠陥の種類、大きさ、又は個数からなる欠陥種別データとを有した１つ以上の検査結果データが記録された検査結果記録ファイルが格納された蓄積部と、
前記検査結果記録ファイルから択一的に前記検査結果データが読み出され、読み出された前記検査結果データに含まれる前記欠陥位置座標データと前記欠陥種別データとに基づき、前記被検査体の外観と同一の縦横比率で外観検査結果を表示するよう制御させる制御部と、
前記制御に基づき前記外観検査結果を表示する表示装置と、
前記外観検査結果を印字する印字装置と、
を具備することを特徴とした物体検査結果表示装置。
【請求項２】
前記蓄積部には、前記１つ以上の検査結果データそれぞれに対応した、許容欠陥位置範囲データ及び許容欠陥個数データからなる１つ以上の比較データが記録された検査判定基準ファイルが１つ以上さらに格納され、
前記制御部は、利用者によって任意に選択された１つの前記検査判定基準ファイルから前記択一的に読み出された検査結果データに対応した前記比較データを読み出し、前記欠陥位置座標データ及び前記欠陥種別データが、前記許容欠陥位置範囲データ及び許容欠陥個数データに対して許容範囲内にあるか否かを比較判定し、この比較判定した結果を前記表示装置に表示及び、又は前記印字装置に印字するよう制御することを特徴とした、請求項１に記載の物体検査表示装置。
【請求項３】
第１の機能プログラムと、第２の機能プログラムと、第３の機能プログラムから構成された物体検査結果表示用コンピュータプログラムであって、
前記第１の機能プログラムは、被検査体の外観検査に基づく欠陥位置座標データと、欠陥の種類、大きさ、又は個数からなる欠陥種別データとを有した１つ以上の検査結果データが記録された検査結果記録ファイルから択一的に前記検査結果データを抽出するステップと、
この抽出された検査結果データから、前記欠陥位置座標データと前記欠陥種別データとに基づき、表示装置の画面上に前記被検査体の外観と同一の縦横比率で表示ウィンドウを設定して欠陥位置を特定するよう計算するステップと、
前記計算された結果に基づき、前記設定された表示ウィンドウ上の特定された位置に、欠陥を示す印、前記欠陥の種類、大きさ、又は個数を表示させるステップと、
利用者の指示によって、前記表示ウィンドウの情報を印字装置に印字させるステップとを有し、
前記第２の機能プログラムは、前記１つ以上の検査結果データが記録された検査結果記録ファイルから所定のグループに分類された１つ以上の前記検査結果データを抽出するステップと、
前記抽出された１つ以上の検査結果データについて、所定の項目について集計するステップと、
前記集計されたデータについて、所定の形式に整列させて前記表示装置に表示させるステップと、
利用者の指示によって、前記表示させたデータを前記印字装置に印字させるステップとを有し、
前記第３の機能プログラムは、前記１つ以上の検査結果データが記録された検査結果記録ファイルから択一的に前記検査結果データを抽出するステップと、
前記１つ以上の検査結果データそれぞれに対応した、許容欠陥位置範囲データ及び許容欠陥個数データからなる１つ以上の比較データが記録された検査判定基準ファイルから前記択一的に抽出された検査結果データに対応した前記比較データを抽出するステップと、
前記欠陥位置座標データ及び前記欠陥種別データが、前記許容欠陥位置範囲データ及び許容欠陥個数データに対して許容範囲内にあるか否かを比較判定するステップと、
前記比較判定した結果を前記表示装置に表示させるステップと、
利用者の指示によって、前記表示させたデータを前記印字装置に印字させるステップと、
を有する物体検査結果表示用コンピュータプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子ファイル化された被検査体外観上の欠陥や特徴等に関する検査結果を検索して表示するための物体検査結果表示装置、及び物体検査結果表示用コンピュータプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
欠陥や外観等を検査される物体は、液晶素子、液晶ディスプレイ、光学部品、ガラス、シリコンウェハ等の電子部品、若しくは車体、船体等のボディ、又は建築物の壁面等、実に多種多様である。このような被検査対象物についての従来の検査方法は、被検査体上の欠陥や外観の特徴等を目視で行い、作業者が検査結果記入用紙等に被検査体の欠陥の位置や種別、形状、個数、特徴等を観察した結果として記入するものが一般的であった。
【０００３】
しかしながら、上記の観察結果を用紙に記入するような方法では、紙面に描かれた欠陥等の位置が概略位置であるため、再検査を行う際に実際の位置を正確に同定することができない問題があった。さらに、検査した後にその検査結果に基づいて等級分けを行う場合、欠陥位置、個数、分布等を等級分けの規格とするが、この区分け作業が非常に煩雑になっていた。また、作業者が観察しながら記録を行う際に、作業者の視線を被検査体と記入用紙間との間を往復させるため、記録の正確性や作業効率が低下するという問題もあった。
【０００４】
そこで、上記の問題を解決する手段として、特許文献１（特開２００３−２４０７２４公報）や特許文献２（特開２００３−２７０１５９公報）に記載されているような、物体検査装置及び物体検査用コンピュータプログラムを用いて検査結果データを電子ファイル化する手段が提案されている。
【特許文献１】特開２００３−２４０７２４公報
【特許文献２】特開２００３−２７０１５９公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した手段によるだけでは、検査結果データは検査時の被検査体上に投影された検査用映像で確認されるのみで、測定終了後に検査結果を容易に確認する手段がなかった。また、大量の検査結果データを記録用紙で見る場合、その作業は煩雑であった。さらに、大量に存在する検査結果データの中から特定の属性に関係するデータのみを抽出したり、欠陥種別ごとの欠陥個数の累計を集計するためには多くの時間がかかるだけでなく、正確を期すことが困難であった。加えて、検査を終了した被検査体について前回と異なる検査基準で再評価を行いたい場合、再度物理的な検査を行って検査結果データを再構築しなければならないという問題もあった。
【０００６】
そこで、本発明は上記従来例の問題点に鑑み、物体検査装置で生成された電子ファイルから所望の検査結果データを簡単に抽出して表示させ、又は印字させることができ、また、予め定めた検査基準とのデータ比較によって物理的な再検査を行うことなく再評価を行うことができる物体検査結果表示装置を提供することを課題とする。
【０００７】
また、前記課題を実現する手順と共に、電子ファイルから所定のデータを検索して集計する手順と、その結果を表示したり印字する手順を有した物体検査表示用コンピュータプログラムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述した課題を解決するために以下の（１），（２）及び（３）の手段より構成したものである。
（１）被検査体の外観検査に基づく欠陥位置座標データと、少なくとも欠陥の種類、大きさ、又は個数からなる欠陥種別データとを有した１つ以上の検査結果データが記録された検査結果記録ファイルが格納された蓄積部と、前記検査結果記録ファイルから択一的に前記検査結果データが読み出され、読み出された前記検査結果データに含まれる前記欠陥位置座標データと前記欠陥種別データとに基づき、前記被検査体の外観と同一の縦横比率で外観検査結果を表示するよう制御させる制御部と、前記制御に基づき前記外観検査結果を表示する表示装置と、前記外観検査結果を印字する印字装置とを具備することを特徴とした物体検査結果表示装置。
【０００９】
（２）前記蓄積部には、前記１つ以上の検査結果データそれぞれに対応した、許容欠陥位置範囲データ及び許容欠陥個数データからなる１つ以上の比較データが記録された検査判定基準ファイルが１つ以上さらに格納され、前記制御部は、利用者によって任意に選択された１つの前記検査判定基準ファイルから前記択一的に読み出された検査結果データに対応した前記比較データを読み出し、前記欠陥位置座標データ及び前記欠陥種別データが、前記許容欠陥位置範囲データ及び許容欠陥個数データに対して許容範囲内にあるか否かを比較判定し、この比較判定した結果を前記表示装置に表示及び、又は前記印字装置に印字するよう制御することを特徴とした、請求項１に記載の物体検査表示装置。
【００１０】
（３）第１の機能プログラムと、第２の機能プログラムと、第３の機能プログラムから構成された物体検査結果表示用コンピュータプログラムであって、前記第１の機能プログラムは、被検査体の外観検査に基づく欠陥位置座標データと、欠陥の種類、大きさ、又は個数からなる欠陥種別データとを有した１つ以上の検査結果データが記録された検査結果記録ファイルから択一的に前記検査結果データを抽出するステップと、この抽出された検査結果データから、前記欠陥位置座標データと前記欠陥種別データとに基づき、表示装置の画面上に前記被検査体の外観と同一の縦横比率で表示ウィンドウを設定して欠陥位置を特定するよう計算するステップと、前記計算された結果に基づき、前記設定された表示ウィンドウ上の特定された位置に、欠陥を示す印、前記欠陥の種類、大きさ、又は個数を表示させるステップと、利用者の指示によって、前記表示ウィンドウの情報を印字装置に印字させるステップとを有し、前記第２の機能プログラムは、前記１つ以上の検査結果データが記録された検査結果記録ファイルから所定のグループに分類された１つ以上の前記検査結果データを抽出するステップと、前記抽出された１つ以上の検査結果データについて、所定の項目について集計するステップと、前記集計されたデータについて、所定の形式に整列させて前記表示装置に表示させるステップと、利用者の指示によって、前記表示させたデータを前記印字装置に印字させるステップとを有し、前記第３の機能プログラムは、前記１つ以上の検査結果データが記録された検査結果記録ファイルから択一的に前記検査結果データを抽出するステップと、前記１つ以上の検査結果データそれぞれに対応した、許容欠陥位置範囲データ及び許容欠陥個数データからなる１つ以上の比較データが記録された検査判定基準ファイルから前記択一的に抽出された検査結果データに対応した前記比較データを抽出するステップと、前記欠陥位置座標データ及び前記欠陥種別データが、前記許容欠陥位置範囲データ及び許容欠陥個数データに対して許容範囲内にあるか否かを比較判定するステップと、前記比較判定した結果を前記表示装置に表示させるステップと、利用者の指示によって、前記表示させたデータを前記印字装置に印字させるステップとを有する物体検査結果表示用コンピュータプログラム。
【発明の効果】
【００１１】
以上説明したように、請求項１又は請求項３記載の発明によれば、電子ファイル化された検査結果データから被検査体の外観上の状態を表示上に再現できるので、従来のように被検査体そのものを用いて確認することなく、容易簡便に検査結果の確認を行うことができるという効果がある。
【００１２】
また本発明は、物体検査装置とは別の装置によって実現することができるため、従来のように検査結果を投影する環境でない場所で確認することができ、これにより、表示確認場所を限定されないという格別な効果を得ることができる。
【００１３】
さらに、本発明は従来の物体検査装置と一体に実現させることも可能であり、それにより、物体検査後すぐに検査結果を確認することができ、現場作業の効率化を格段に高める効果がある。
【００１４】
また、請求項２記載の発明によれば、選択した検査結果と検査基準との比較をして合否判定を行うと共に、結果をマッピング表示できるため、従来のように記録用紙を検索する等の煩雑な作業が不要となり、作業効率を飛躍的に進歩させる効果がある。
【００１５】
さらに、検査基準を変更して再度判定評価することも容易であるため、従来のように再度物体検査を行う必要がなくなり、測定の負担を軽減できる効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を実施するための最良の形態につき、実施例について図面を参照して詳しく説明する。
【実施例１】
【００１７】
図１は、本発明の実施例１に係る物体検査結果表示装置の構成を示すブロック図である。図１において、物体検査結果表示装置は、パーソナルコンピュータに代表されるコンピュータ１と、利用者がコンピュータ１に値を入力し、又は指示を与えたりするためのキーボード２及びマウス３と、コンピュータ１から出力された表示情報を表示するための表示装置４と、前記表示情報を紙等に印字するための印字装置５とから構成されている。
さらに、コンピュータ１は、後述する物体検査結果表示用コンピュータプログラム６（以下、コンピュータプログラム６と略記する。）によって制御されるＣＰＵ７ａを有した制御部７と、後述する検査結果記録ファイル８ａ、及び検査判定基準ファイル８ｂ、並びにコンピュータプログラム６が格納された蓄積部８（コンピュータプログラム６は図示しない。）と、蓄積部８に格納された前記ファイルデータ又はコンピュータプログラム６に係るデータがロードされ、又はコンピュータプログラム６で処理されるデータが一時記憶されるメモリ部９とから構成される。
【００１８】
これにおいて、検査結果記録ファイル８ａは、例えば前述した特許文献１（特開２００３−２４０７２４公報）又は特許文献２（特開２００３−２７０１５９公報）に記載されているような物体検査装置で作成された、物体検査の検査結果データが記録された電子ファイルであり、その内容は被検査体番号、ロット番号、欠陥位置座標、欠陥の種類、欠陥の大きさ、欠陥の個数、良否判定結果等の情報が、テキストデータ又はコードデータとして記録されている。
また、検査判定基準ファイル８ｂは、前記物体検査装置を用いて物体検査を行った際に使用された、検査の良否判定基準値が記録された電子ファイルであり、このファイルには少なくとも、許容される欠陥位置の範囲を示す許容欠陥位置範囲、及び許容される欠陥箇所の個数を示す許容欠陥個数が記録されたものである。
さらに、コンピュータプログラム６は、第１の機能プログラム、第２の機能プログラム、及び第３の機能プログラムの３つの機能プログラムから構成されており、これらは蓄積部８からメモリ部９にロードされてＣＰＵ７ａ等を制御する。なお、これら３つの機能プログラムの処理については後述する。
【００１９】
なお、図１の構成において、検査結果記録ファイル８ａ又は検査判定基準ファイル８ｂは、前述したように蓄積部８に格納されているばかりでなく、例えばコンピュータ１が図示しない双方向通信可能なネットワークを介して独立して存在する別コンピュータ等の記録装置に格納されていてもよい。この場合、前記独立した記憶装置に格納された検査結果記録ファイル８ａ又は検査判定基準ファイル８ｂは、コンピュータ１が有するコンピュータプログラム６の制御により、前記独立した記録装置からコンピュータ１の蓄積部８又はメモリ部９にダウンロードされて処理される。
【００２０】
以上の構成により、本実施例１に係る物体検査結果表示装置は、コンピュータプログラム６によって制御されたコンピュータ１により、検査結果記録ファイル８ａと検査判定基準ファイル８ｂとに基づいて物体検査結果データが処理され、その結果が表示又は印字されるものである。
【００２１】
次に、コンピュータプログラム６の制御により表示装置４に表示される画面の例について図２を用いて説明する。図２は、表示装置４の画面に表示されるコンピュータプログラム６のメイン画面である。前記第１の機能プログラム、前記第２の機能プログラム、及び前記第３の機能プログラムは、前記メイン画面においてオペレータによって操作される。
【００２２】
図２において、２０１は表示装置４に表示される全体画面、２０２は被検査体の状態がマッピング表示されるよう設定された表示ウィンドウ、２０３は表示ウィンドウ２０２に表示された前記被検査体の欠陥情報、２０４は１つ以上の検査結果データの中から１つを選択するために前記被検査体番号を入力するための被検査体番号入力枠、２０５は被検査体番号入力枠２０４に既に表示されている前記被検査体番号を、マウス３のクリック操作により一定方向に変更させるための増加ボタン、２０６は前記一定方向とは逆方向に前記被検査体番号を変更させるための減少ボタン、２０７は検査判定基準ファイル８ｂのファイル名が表示される結果判定基準ファイル表示枠、２０８は前記選択された検査結果データと検査判定基準ファイル８ｂのデータとについて比較されて判定された結果が表示される判定結果表示枠、２０９は全体画面２０１のデータ、又は形成された印字データが印字装置５に送出されて印字されるよう指示するための印字指示ボタン、２１０は被検査体番号入力枠２０４に入力された前記被検査体番号、又は後述するロット番号入力枠２１１に入力されたロット番号が確定されるよう指示するための確定指示ボタン、２１１は検査結果記録ファイル８ａ中の１つ以上の検査結果を所定のグループに分類させるために予め割り付けられた番号、文字、又は記号からなるロット番号を入力するためのロット番号入力枠、２１２はロット番号入力枠２１１に表示されたロット番号をマウス３のクリック操作により一定方向に変更させるための増加ボタン、２１３は前記一定方向とは逆方向に前記ロット番号を変更させるための減少ボタン、２１４はコンピュータプログラム６を終了させるよう指示するための終了指示ボタンである。
【００２３】
なお、図２においては、オペレータがキーボード２を用いて値を入力すべき入力枠や、マウス３を用いてクリックすべきボタンを影付きの枠で表現し、単なる表示枠と区別したが、この入力枠やボタンの表現は説明に係る便宜的なものであり、実際はエンボス表現された表示枠やボタンであってもよい。
【００２４】
次に、物体検査結果表示装置、及び物体検査結果表示装置用コンピュータプログラムの動作について図を用いて詳細に説明する。
まず、検査結果のマッピング表示を行う第１の機能プログラムの処理について、図２に示す画面表示例と図３に示すフローチャートとを用いて説明する。まずオペレータは、検査結果記録ファイル８ａの中から表示させるべき検査結果に係る被検査体番号を被検査体番号入力枠２０４にキーボード２を使用して入力し、又は過去に入力して履歴としてコンピュータプログラム６に記憶されている前記被検査体番号をマウス３で増加ボタン２０５又は減少ボタン２０６をクリックしながら、順次被検査体番号入力枠２０４に表示させる。続いて、この表示させた被検査体番号を確定させるために確定指示ボタン２１０をマウス３でクリックし確定入力させる（ステップ３０１）。
【００２５】
次に、この確定入力された被検査体番号に基づき、検査結果記録ファイル８ａに記録されている１つ以上の被検査体番号の中から前記確定入力された被検査体番号が検索され、この検索された被検査体番号に関連する検査結果データが読み出される（ステップＳ３０２）。これにおいて、検査結果記録ファイル８ａに１つ以上存在する検査結果データについては、予めそれぞれにユニークな被検査体番号が付与されており、択一的に選択されるためのキーデータになっている必要がある。
【００２６】
次に、前記読み出された検査結果データの中から欠陥位置座標及び欠陥種別が抽出される（ステップＳ３０３）。これにおいて、欠陥位置座標は、例えば被検査体に存在する欠陥や特徴の位置を示す２次元座標値、及び表示の縦横比率からなるデータであり、欠陥種別は、例えば黒点、黒線、黒むら、白点、白線、白むら等の欠陥や特徴の種類を数字や文字に置き換えて表現させたものである。
【００２７】
次に、前記抽出された欠陥位置座標と欠陥種別とに基づき、表示ウィンドウ２０２内に特定される欠陥の位置を決定するための位置算出処理が実行される（ステップＳ３０４）。これにおいて、オペレータが見やすくする等の目的で全体画面２０１の大きさを変更した場合、それに伴って表示ウィンドウ２０２の大きさも変わってしまうが、表示ウィンドウ２０２の大きさは変更されても、その縦横比率は実際の前記被検査体の外観に係る縦横比率と同じになるように、前記表示の縦横比率に基づき前記位置算出処理が実行される。
【００２８】
次に、前記位置算出処理の結果に基づき、欠陥位置を示す印、欠陥種別、欠陥の個数、及び欠陥の大きさを示す情報が、表示ウィンドウ２０２に特定された位置表示される（ステップＳ３０５）。これにおいて、図２の表示例では、前記被検査体番号はＳＣ１２３４であり、欠陥情報２０３は欠陥種別が黒点で、（個数，大きさ）＝（１，２）であることを示している。
【００２９】
表示された全体画面２０１を印字装置５に印字させる場合は（ステップＳ３０６）、オペレータがマウス３を用いて印刷指示ボタン２０９をクリックすることにより、全体画面２０１の画面情報が印字装置５に送出されて印字される（ステップＳ３０７）。これにおいて、印字させる内容は全体画面２０１ではなく、表示ウィンドウ２０２及び前記被検査体番号といった必要な情報のみであってもよい。
【００３０】
次に、物体検査結果の集計を行う第２の機能プログラムの処理について、図２に示す画面表示例、図４に示すフローチャート、及び図５に示す表示フォームの例を用いて説明する。ここでは、一例としてロット番号による分類で集計する場合について説明する。まずオペレータは、検査結果を集計すべきロット番号をロット番号入力枠２１１にキーボード２を使用して入力し、又は過去に入力して履歴としてコンピュータプログラム６に記憶されている前記ロット番号をマウス３で増加ボタン２１２又は減少ボタン２１３をクリックしながら、順次ロット番号入力枠２１１に表示させて前記ロット番号を表示させる。次に、この表示されたロット番号を確定させるために確定指示ボタン２１０をクリックして確定入力させる（ステップＳ４０１）。
【００３１】
次に、この確定入力されたロット番号に基づき、検査結果記録ファイル８ａに記録されている１つ以上のロット番号の中から前記確定入力されたロット番号が検索され、このロット番号に関連する検査結果データが抽出されて、被検査体番号、判定結果、及び欠陥種別を項目として欠陥個数の集計が行われる（ステップＳ４０２）。
【００３２】
次に、前記集計されたデータは図５に示すような表示フォームに従って前記被検査体番号毎に整列され（ステップＳ４０３）、その結果が表示装置４の表示画面に表示される（ステップＳ４０４）。これにおいて、図５に示した物体検査結果表示の表示フォームは、ロット番号がＳＣであり、欠陥の種類別に欠陥の個数を集計した場合の表示例を示している。なお、前記表示フォームについての集計項目又は項目の配置は、コンピュータプログラム６によって設定を変更してもよいものである。
【００３３】
また、前記表示された表示フォームを印字装置５に印字させる場合は（ステップＳ４０５）、オペレータがマウス３を用いて印刷指示ボタン２０９をクリックすることにより、前記表示フォームの情報が印字装置５に送出されて印字される（ステップＳ４０６）。
【００３４】
次に、物体検査結果の再判定を行う第３の機能プログラムの処理について、図２に示す画面表示例と図６に示すフローチャートとを用いて説明する。まずオペレータは、再判定させるべき検査結果に係る被検査体番号を被検査体番号入力枠２０４にキーボード２を使用して入力し、又は過去に入力して履歴としてコンピュータプログラム６に記憶されている前記被検査体番号をマウス３で増加ボタン２０５又は減少ボタン２０６をクリックしながら、順次被検査体番号入力枠２０４に表示させて前記被検査体番号を表示させる。次に、この表示された被検査体番号を確定させるために確定指示ボタン２１０をクリックして確定入力させる（ステップＳ６０１）。
【００３５】
次に、この確定入力された被検査体番号に基づき、検査結果記録ファイル８ａに記録されている１つ以上の被検査体番号の中から前記確定入力された被検査体番号が検索され、この検索された被検査体番号に関連する検査結果データが読み出される（ステップＳ６０２）。次に、この読み出された検査結果データから、欠陥位置座標及び欠陥種別が抽出される（ステップＳ６０３）。
【００３６】
次に、この抽出された欠陥位置座標及び欠陥種別と、結果判定基準ファイル表示枠２０７に表示された検査判定基準ファイル８ｂ内の許容欠陥位置範囲及び許容欠陥個数とに基づき、データの比較判定が行われる（ステップＳ６０４）。これにおいて本実施例では、結果判定基準ファイル表示枠２０７に表示される検査判定基準ファイル８ｂは、前記確定入力された被検査体番号に関連付けられた、被検査体を検査した際に使用された検査判定基準ファイルとするが、こればかりでなく、別判定基準で規定された別検査判定基準ファイルを複数準備しておき、例えば、図示しない増加ボタン及び減少ボタンを表示画面に配置して任意選択できるようにしてもよい。
【００３７】
次に、前記比較判定結果は判定結果表示枠２０８に表示される（ステップＳ６０５）。これにおいて、図２に示した画面例では、被検査体番号がＳＣ１２３４、結果判定基準ファイルがＣＰ５６７８であり、前記データの比較において比較する前記欠陥位置座標及び欠陥の個数が、比較される前記許容欠陥位置範囲及び許容欠陥個数の許容範囲内に入っていたため、判定結果がＯＫであったということを示している。
【００３８】
なお、以上の結果について印字を行う際は（ステップＳ６０６）、オペレータがマウス３を用いて印刷指示ボタン２０９をクリックすることにより、全体画面２０１の画面情報が印字装置５に送出されて印字される（ステップＳ６０７）。これにおいて、印字させる内容は全体画面２０１ではなく、前記被検査体番号、前記欠陥位置座標、前記欠陥種別、前記許容欠陥位置範囲、前記許容欠陥個数、又は前記判定結果といった必要な情報のみであってもよい。
【００３９】
以上詳述したように、実施例１に係る物体検査結果表示装置、及び物体検査結果表示用プログラムによれば、実物の被検査体を用意することなくいつでも検査結果の確認を容易に行うことができるようになった。また、検査基準別又は用途別に検査結果判定基準ファイルを変更するだけで、従来のように物体検査装置で再検査する必要がなく、容易簡便に再評価判定を行うことができるようになった。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
以上より、本発明に係る物体検査結果表示装置、及び物体検査結果表示用コンピュータプログラムは、液晶素子、液晶ディスプレイ、光学部品、ガラス、シリコンウェハ等の電子部品、若しくは車体、船体等のボディ、又は建築物の壁面等の欠陥、外観、特徴等の検査といった多種多様な産業分野への利用ばかりでなく、考古学、地質学といった学術分野においても、検査体表面上の状態を仮想的に電子データとして再現させる用途に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施例１に係る物体検査結果表示装置の全体構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施例１に係る物体検査結果表示装置の表示装置４への表示画面（メイン画面）の例を示した図である。
【図３】本発明の実施例１に係る物体検査結果表示用コンピュータプログラムについて、第１の機能プログラムの動作フローを示すフローチャート図である。
【図４】本発明の実施例１に係る物体検査結果表示用コンピュータプログラムについて、第２の機能プログラムの動作フローを示すフローチャート図である。
【図５】本発明の実施例１に係る物体検査結果表示装置における、物体検査結果表示の表示フォームの例を示した表である。
【図６】本発明の実施例１に係る物体検査結果表示用コンピュータプログラムについて、第３の機能プログラムの動作フローを示すフローチャート図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  コンピュータ
２  キーボード
３  マウス
４  表示装置
５  印字装置
６  物体検査結果表示用コンピュータプログラム
７  制御部
７ａ  ＣＰＵ
８  蓄積部
８ａ  検査結果記録ファイル
８ｂ  検査判定基準ファイル
【図１】
2005134282.tif 000003
【図２】
2005134282.tif 000004
【図３】
2005134282.tif 000005
【図４】
2005134282.tif 000006
【図５】
2005134282.tif 000007
【図６】
2005134282.tif 000008