(57)【要約】【課題】生物学的検査に使用する試料を液化炭酸ガスを使用して急速に冷凍する冷凍装置に関し、従来生じていた危険性とドライアイスの破裂による試料の飛散を無くすことを課題にしたものである。【解決手段】  その具体的な構成は、液化炭酸ガスボンベから噴出され形成された微粒子状ドライアイスが混在した炭酸ガスを側方に分散するガス分散部と、当該ガス分散部外に配置した試料保持具と、排気口を有し前記ガス分散部と前記試料保持具とを間隔を空けて覆う大きさにしてあるキャップとよりなり、前記ガス分散部により側方に分散されたドライアイスが混在した炭酸ガスを前記キャップ内の空間に充満させ、前記試料保持具の周囲を微粒子状ドライアイスが混在した炭酸ガスで包み込んだ後、前記排気口から大気中に放散させるようにしてあることを特徴とするものである。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液化炭酸ガスを使用して生物学的検査に使用する試料を急速に冷凍する冷凍装置において、液化炭酸ガスボンベから噴出され形成された微粒子状ドライアイスが混在した炭酸ガスを側方に分散するガス分散部と、当該ガス分散部外に配置した試料保持具と、排気口を有し前記ガス分散部と前記試料保持具とを間隔を空けて覆う大きさにしてあるキャップとにより構成し、前記ガス分散部により側方に分散されたドライアイスが混在した炭酸ガスを前記キャップ内の空間に充満して前記試料保持具の周囲を微粒子状ドライアイスが混在した炭酸ガスで包み込んだ後、前記排気口から大気中に放散させるようにしてあることを特徴とする液化炭酸ガスを使用する急速冷凍装置
【請求項２】
前記請求項１に記載の液化炭酸ガスを使用する急速冷凍装置であって、液化炭酸ガスボンベに接合された噴出口を有する基台と、底面が解放され、側方に分散孔を有する分散器とよりなり、前記分散器は、前記基台に載置されたとき前記噴出口を開放底面に位置させ、当該分散器の内部をガス分散部にしてあることを特徴とする液化炭酸ガスを使用する急速冷凍装置
【請求項３】
前記請求項１に記載の液化炭酸ガスを使用する急速冷凍装置であって、液化炭酸ガスボンベに接合された噴出口を有する基台と、中央に上下に貫通する案内孔を有し、その上半部から側方に向かって分散溝が形成され、上面に試料皿を受ける皿受け部が形成された分散器とよりなり、前記案内孔の下端を前記噴出口に対向させて前記基台上に前記分散器を載置することにより、前記皿受け部の下方に位置する分散溝をガス分散部とするようにしてあることを特徴とする液化炭酸ガスを使用する急速冷凍装置。
【請求項４】
前記請求項１に記載の液化炭酸ガスを使用する急速冷凍装置であって、前記請求項３に示す案内孔の大きさを試料ステージのスタンド部を保持する大きさにし、前記請求項２に記載の分散器の上面に前記請求項３に示す分散器を上下反転させて載置し得る受け台に形成し、前記請求項２において前記請求項３の分散器を試料保持具にして使用可能にして成ることを特徴とする液化炭酸ガスを使用する急速冷凍装置。
【請求項５】
前記請求項１から請求項４のいずれかに記載の急速冷凍装置であって、キャップ等の炭酸ガスを充満させる空間と外界とを区画する壁部材を断熱性部材により構成してあることを特徴とする急速冷凍装置
【請求項６】
前記請求項１から請求項４のいずれかに記載の急速冷凍装置において、ガス分散部に、キャップ内に炭酸ガスの渦流を発生させる分散案内構造を設けてあることを特徴とする急速冷凍装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、医療や研究、特に顕微鏡検査に用いる生物試料の急速冷凍に関し、より詳しくは、液化炭酸ガスを使用した試料の急速冷凍装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来、特許第２５１５５７３号、特開平５−７１８４１号の各公報に示されているように、液化窒素を用いた試料の急速冷凍装置やその方法が知られている。
液化窒素による急速冷凍は、試料の水晶発生を避ける極めて有効な方法として一般に使用されている。【０００３】  しかし、試料の大きさが限られ、試料が大きすぎると内部と表面との温度差が大きすぎ、試料が割れるという欠点が生じていた。
このため、液化窒素を一端ガス化して、温度差を出来るだけ緩和する方法が各種試みられているが、冷凍温度を上げる結果、水晶の発生を助長するような問題が発生し、貴重な試料を損傷する等の問題を生じていた。
また、液化窒素による微小試料の冷凍においても、細胞膜が完璧に保存されているので、細胞内への試薬や染料等の進入がかえって困難となり、その後の検査に支障があった。【０００４】  一方、破砕したドライアイスの中に試料を入れて冷凍する方法が知られている。
ドライアイスによる冷凍方法では、試料の大きさにかかわらず水晶発生を防止するとともに、細胞膜にその生体状態を破壊しない程度に微小な亀裂をも生じさせ、染色なども容易に行える利点がある。
しかし、当該方法では、ドライアイス中に試料を人手により持ち込み揺り動かすなどの作業が必要であり、凍傷になる危険があった。
また、ドライアイスの破砕片を細胞の表面に万遍なく接触させて冷却すること自体、極めて困難なことであり、この結果、細胞単位で冷却速度を観察した場合は、斑のある冷却となるのは避けがたかった。
冷却時の温度斑は、試料の亀裂のみならず、生態状態の変化をも招きかねないものである。
これに対し、液化炭酸ガスボンベの噴出口に試料を固定する装置を用いるものがあるが、試料の大きさが限られるほか、冷凍中に装置内に溜まったドライアイスが装置を開いた時に急速に気化して破裂し、冷凍した試料を吹き飛ばすような事故が発生していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  本発明は、このような実情に鑑み、液化炭酸ガスを使用して試料を凍結するにあたり、凍傷の危険や試料の飛散などの問題がなく行える冷凍装置を提供することを課題とした。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本第一発明は，液化炭酸ガスボンベから噴出され形成された微粒子状ドライアイスが混在した炭酸ガスを側方に分散するガス分散部と、当該ガス分散部外に配置した試料保持具と、排気口を有し前記ガス分散部と前記試料保持具とを間隔を空けて覆う大きさにしてあるキャップとよりなり、前記ガス分散部により側方に分散されたドライアイスが混在した炭酸ガスを前記キャップ内の空間に充満して前記試料保持具の周囲を微粒子状ドライアイスが混在した炭酸ガスで包み込み、その後に前記排気口から大気中に放散させるようにしてあることを特徴とする構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】  このようにすることにより、液化炭酸ガスボンベから噴出され形成された微粒子状ドライアイスが混在した炭酸ガスは、一気にキャップ内に充満されることとなる。
そして、キャップ内のガスは排気口から大気中に放散されることとなる。
この間、ドライアイスが圧縮されるような狭隘な空隙が存在しないので、微粒子状ドライアイスは大気圧下での固化状態で試料の周囲や装置内部に存在することとなり、キャップをはずし、試料を取り出すに当たっても、ドライアイスに圧力の変化を与えず、それ故、爆発的に破裂するような恐れがなくなった。
また、キャップ内に充満した微粒子状ドライアイスは試料を包み込みその気化時の吸熱により急速に冷凍されることとなるので、試料をドライアイス内で揺り動かすという危険な作業をまったく不要にした。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  本第二発明は、前記第一発明の液化炭酸ガスを使用する急速冷凍装置であって、液化炭酸ガスボンベに接合された噴出口を有する基台と、底面が解放され、側方に分散孔を有する分散器とよりなり、前記分散器は、前記基台に載置されたとき前記噴出口を開放底面に位置させ、当該分散器の内部をガス分散部にしてあることを特徴とする構成を採用した。
【発明の効果】
【０００９】  このようにすることにより、基台及び噴出口と液化炭酸ガスボンベとを接続したままでも、分散器を取り替えることができ、冷凍する試料の大きさや形状に合わせた大きさ形状の分散器を容易に取り替えて使用することが出来るようになった。
【課題を解決するための手段】
【００１０】  本第三発明は、前記第一発明の液化炭酸ガスを使用する急速冷凍装置であって、液化炭酸ガスボンベに接合された噴出口を有する基台と、中央に上下に貫通する案内孔を有し、その上半部から側方に向かって分散溝が形成され、上面に試料皿を受ける皿受け部が形成された分散器とよりなり、前記案内孔の下端を前記噴出口に対向させて前記基台上に前記分散器を載置することにより、前記皿受け部の下方に位置する分散溝をガス分散部とするようにしてあることを特徴とする構成を採用した。
【発明の効果】
【００１１】  このように構成することで、案内孔から分散溝に至る炭酸ガスの一部は、皿受け部に保持された試料皿の底面に衝突して、試料皿を直接冷却することとなる。
本来、試料皿を使用する目的は、試料をゲル状の薬剤で包埋する必要がある場合で、試料のみならず包埋薬剤をも冷却する必要があり試料単独で冷凍する場合に比べ遥かに大きな冷却エネルギーが必要である。
しかし、本第三発明のようにすることで、冷却エネルギーを有効に使用し、試料とともに包埋薬剤をも確実に急速冷凍することができた。
【課題を解決するための手段】
【００１２】  本第四発明は、前記第一発明の液化炭酸ガスを使用する急速冷凍装置であって、前記第三発明に示す案内孔の大きさを試料ステージのスタンド部を保持する大きさにし、前記第二発明にて示す分散器の上面に前記第三発明に示す分散器を上下反転させて載置し得る受け台に形成し、前記第二発明において前記第三発明の分散器を試料保持具にして使用可能にして成ることを特徴とする
【発明の効果】
【００１３】  本第二発明と本第三発明とは、試料の凍結状態が異なるものに対応したものであるが、これら双方の発明を実施する上で、部材の共通化を図ったのが本第四発明である。
すなわち、本第三発明で使用する分散器の案内孔と全体の形状を利用し、本第二発明で使用する試料保持具に転用できるようにしたもので、部材を最小にして生産性を向上したものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】  本第五発明は、キャップ等の炭酸ガスを充満させる空間と外界とを区画する壁部材を断熱性部材により構成してあることを特徴とする構成を採用した。
この構成により、液化炭酸ガスの噴射により急速に低温化した結果生じる周壁の結露を防止し、作業性を向上することができた。
【発明の効果】
【００１５】  本第六発明は、ガス分散部に、キャップ内に炭酸ガスの渦流を発生させる分散案内構造を設けてあることを特徴とする構成を採用した。
このようにすることにより、キャップ内における炭酸ガスの滞留時間を延ばし、パウダー状のドライアイスを生成するのに要する液化炭酸ガスの量を節減し、作業効率を向上することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
【実施例１】
【００１７】  本実施例は、本第一発明を示すのもので、図１、図２、図３を参照して説明する。
図１は液化炭酸ガスボンベ（図外）から基台に至るガス流路を示し、以下のように構成してある。
（１）は、液化炭酸ガスボンベ（図外）の出口に接続する機密ナットであって、一端に導管（２）の端部が接続してある。
（３）は、前記導管（２）の他端に接続したニードル弁で、ガスの流量を調整するために設定してある。
前記ニードル弁（３）は、中空ボルト（４）、Ｌの字接続管（５）、中空ボルト（６）を介して基台（１０）の噴出口（７）に接続してある。
このようにすることにより、液化炭酸ガスボンベ（図外）から噴出した液化炭酸ガスが、前記噴出口（７）に至るまでに膨張して微粒子状ドライアイスが混入した炭酸ガスを生成するようにしてある。
前記基台（１０）は、周壁（１１）を有した皿状であって、周壁の一部を切除して、ドライアイスの掃出し口（１２）を設けてある。
（２０）は分散器で、底面が解放された円筒状体であって、前記基台（１０）上に載置位置決めする円盤（２１）を下端に固定してある。
その側壁には分散孔（２２）が形成されていて、前記基台（１０）上に載置することにより、その中央に前記噴出口（７）を位置させたガス分散部（Ｂ）を構成するようにしてある。
前記分散器（２０）の上面は、試料保持具（３０）の載せ台（２３）に形成してある。
試料保持具（３０）は、中央に試料ステージ（４０）のスタンド（４１）を挿入し保持する案内孔（３１）が形成してある円筒ブロックであり、実施例２の分散器と共通の構成を有している。（詳細は、実施例２において説明する）
（５０）はキャップで、下端が解放された合成樹脂製の透明容器であって、その上部に排気口（５１）が多数形成してある。
当該キャップ（５０）は、ガス分散部（Ｂ）、試料保持具（３０）並びに試料ステージ（４０）と間隔を空けて内包する大きさにしてあり、下端は、前記円盤（２１）上に載置するようにしてある。
図３に示すように各構成部材を組み立て、前記キャップ（５０）の上面を押えながら接続してある液化炭酸ガスボンベのバルブ（図外）を解放すると、前記ガス分散部（Ｂ）から前記キャップ（５０）内に、微粒子状ドライアイスが混入した炭酸ガスを噴射充満させる。
そして、これらの大半は、前記排気口（５１）から大気中に放散されることとなる。
この間、前記試料ステージ（４０）上に置いた試料（図外）を急速に冷却するとともに、その周囲に微粒子状のドライアイスが積もり，付着して冷凍状態を長時間維持可能にする。
なお、より大きい試料を冷凍する場合は、キャップ（５０）や基台（１０）の直径を大きくすれば小さい試料の場合と同様に対応可能である。
【実施例２】
【００１８】  本実施例は、第三発明の一例を示すもので、図４、図５を参照して以下に説明する。
前記実施例１で示す保持具（３０）を分散器にしたもので、以下のように分散器（３０）を構成してある。
分散器（３０）の中央には、上下に貫通する案内孔（３１）が形成してある。上面には、試料皿（６０）を載置する皿受け部（３２）が設けてあり、この皿受け部（３２）の下方には、前記案内孔（３１）の上半部から側壁に至る分散溝（３３）が十字状に形成してある。
なお、前記基台（１０）には、前記分散器（３０）を載置するときの位置決め用凹所（１５）が設けてある。
図５に示すように、前記位置決め用凹所（１５）内に前記分散器（３０）は載置すると、前記案内孔（３１）に下端が前記噴出口（７）に対向して位置し、噴出口から前記分散溝（３３）に微粒子状ドライアイスが混入した炭酸ガスを案内し、この分散溝（３３）により側方に分散するようにして、前記皿受け部（３２）の下方を分散部（Ｂ）にしてある。
その他は、前記実施例１と同様であるが、キャップ（５０）の高さは、図５のように組み立てたとき、前記試料ステージ（４０）のスタンド上端がキャップ（５０）の内面上端に当たる大きさにしてある。
図５に示すように各構成部材を組み立て、前記キャップ（５０）の上面を押えながら接続してある液化炭酸ガスボンベのバルブ（図外）を解放すると、前記ガス分散部（Ｂ）から前記キャップ（５０）内に、微粒子状ドライアイスが混入した炭酸ガスを噴射充満させる。
前記分散部（Ｂ）に至ったガスは、前記皿受け部（３２）に置いた試料皿（６０）底面を伝って分散されるので、前記試料皿（６０）を直接冷却することができる。
そして、キャップ（５０）内のガスの大半は、前記排気口（５１）から大気中に放散されることとなる。
この間、前記試料ステージ（４０）の周囲に微粒子状のドライアイスが積もり，付着して冷凍状態を長時間維持可能にする。
【実施例３】
【００１９】  実施例３は第二発明の別の実施例を示すもので、図６を参照して説明する。
基台（１１０）は、前記中空ボルト（６）に接合された噴出口（１０７）を中央に有したものである。
前記分散器（１２０）は、前記基台（１１０）にボルト（１１２）により着脱自在に固定され、下部外周には、山ネジ（１２２）が形成してある。
また、底面を解放し、側壁に分散孔（３２２）を形成して、内部をガス分散部（Ｂ）にしてある。
上面には、試料ステージ（４０）のスタンド（４１）を差し込む試料保持具（１３０）を一体に形成してある。
キャップ（１５０）は下端部内周に前記山ネジ（１２２）に螺合するメネジ（２５２）が形成してあり、上部には多数の排気口（１５１）が設けてある。
このキャップ（１５０）は、前記分散器（１２０）、試料ステージ（４０）との間に間隔を空けて覆う大きさにしてある。
このようにして、図６のように組み立てた状態で、接続してある液化炭酸ガスボンベのバルブを解放すると、前記ガス分散部（Ｂ）から前記キャップ（１５０）内に、微粒子状ドライアイスが混入した炭酸ガスを噴射充満させる。
そして、キャップ（１５０）内のガスの大半は、前記排気口（１５１）から大気中に放散されることとなる。
この間、前記試料ステージ（４０）の周囲に微粒子状のドライアイスが積もり、付着して冷凍状態を長時間維持可能にする。
なお、キャップ（１５０）は、分散器（１２０）を介して基台（１１０）に保持してあるので、キャップ（１５０）を押える必要はない。
【実施例４】
【００２０】  実施例４は第三発明の別の実施例を示すもので、図７を参照して説明する。
分散器（２３０）の中央には、上下に貫通する案内孔（２３１）が形成してある。上面には、試料皿（６０）を載置する皿受け部（２３２）が設けてあり、この皿受け部（２３２）の下方には、前記案内孔（２３１）の上半部から側壁に至る分散溝（２３３）が十字状に形成してある。
キャップ（２５０）の上面中央には、試料ステージ（４０）のスタンド（４１）の上端を押える当て板（２５８）が一体的に設けてある。
その他の構成は前記実施例３と同様なので、図７に図６と同様な符号をつけ説明を省略する。
【実施例５】
【００２１】  実施例５は第三発明の別の実施例を示すもので、図８を参照して説明する。
分散器（３２０）は、その底面を解放し、側壁に分散孔（３２２）を形成して、内部をガス分散部（Ｂ）にしてある。
前記分散器（３２０）の上壁（３２５）の中央には、試料皿（６０）を載置する皿受け穴（３２１）が設けてある。
なお、前記上壁（３２５）は、前記分散孔（３２２）との間に間隔を有し、ガス分散部（Ｂ）の流れが、前記皿受け穴（３２１）に入れた試料皿（６０）の下部にて阻害されないようにしてある。
キャップ（２５０）の上面中央には、前記皿受け穴（３２１）に置いた試料皿（６０）に載置した試料ステージ（４０）のスタンド（４１）の上端を押える当て板（２５８）が一体的に設けてある。
その他の構成は前記実施例３と同様なので、図８に図６と同様な符号をつけ説明を省略する。
このようにしてガス分散部（Ｂ）内に入った炭酸ガスが直接試料皿の下面に接触するようにしてある。
【実施例６】
【００２２】  本実施例は、実施例１をさらに改良したもので、図９、図１０を参照して説明する。
周壁（６１１）を有する基台（６１０）は、良好な断熱性を有する合成樹脂にて構成してある。
キャップ（５０）も樹脂製であることより、液化炭酸ガスが充満される空間を囲む壁全体を断熱性の材料で構成したことになり、この結果、液化炭酸ガスを噴射したときでも、外面に結露が生じ難いようになった。
前記周壁（６１１）の内周径は、最も大きいキャップ（５０）の外周径と略等しくして、キャップ（５０）を基台（６１０）に設置する際に、水平方向の案内リブとして作用し、水平方向の位置決めが容易に行えるようにしてある。
基台（６１０）の底面には、径の小さいキャップに合うように、環状溝（６３１）（６３２）を設け、キャップの水平方向の位置決めが何れのサイズにおいても容易になるようにしてある。
なお、図中（６１２）はドライアイスの掃出し口、（６３０）は試料保持具、（３０）を設置するときの位置決め用凹所、（６０７）は液化炭酸ガスを内部に噴射させる噴出口である。
分散器（６２０）は、小判型の分散孔（６２２）を複数周囲に貫通して設けてあり、上面には前記試料保持具（３０）を載置する載せ台（６２３）が設けてあり、下部にはキャップにて前記基台（６１０）にて押さえつけるための円盤（６２１）が固定してある。
前記円盤（６２１）の外周は、前記周壁（６１１）の内周径と同様な外周径とし、前記基台（６１０）へ設置するときの水平方向の位置決めを容易に行えるようにしてある。
前記分散孔（６２２）は図１０に示すように、角度（α）をもって、その外周接線に対し平面視傾斜して貫通させてある。
このようにすることにより、この分散孔（６２２）から噴射した液化炭酸ガスがキャップ（５０）の内面に傾斜して当たり、キャップ（５０）内に炭酸ガスの渦流を形成して、キャップ（５０）内での炭酸ガスの滞留時間を長くし、パウダー状のドライアイスの生成効率を高めた。
その他の構成は、実施例１と同様なので、実施例１と同様の符号を付して説明を省略する。
【実施例７】
【００２３】  本実施例は、実施例２をさらに改良した例を示し、図１１を参照して以下に説明する。
キャップ（６５０）は、周壁の上部に多数の排気口（６５１）が貫通して設けてあり、その上壁には、押えボルト（６６１）を貫通して保持するナット部材（６６２）が固定してある。
このナット部材（６６２）は、締付けナット（６６３）により前記キャップ（６５０）の上面に固定してあり、内部に前記押えボルト（６６１）にあったネジ孔を設けたものである。
このようにして、押えボルト（６６１）を進退させることにより、試料ステージ（４０）のスタンド（４１）を押える高さを自由に変更できるようにした。
この結果、スタンド（４１）の高さ、試料保持具（３０）の高さを制限することなく、同じサイズのキャップ（６５０）を使用することができるようになった。
基台（６１０）は、前記実施例６と同様な構成を有するものであり、その環状溝（６３２）の径と同様な径で前記キャップ（６５０）の下端の径を設定し、環状溝（６３２）により、水平方向での位置決めを容易にして、基台（６１０）上に載置できるようにしてある。
その他の構成のうち、基台（６１０）については実施例６と同様であり、その他は実施例２と同様なので、図中、これらと同様な符号を付して説明を省略する。
【実施例８】
【００２４】  本実施例は、実施例２で説明した試料保持具兼用の分散器をさらに改良したものであって、図１２、図１３を参照して以下に説明する。
分散器（７３０）の中央には、上下に貫通する案内孔（７３１）が形成してある。上面には、試料皿（６０）を載置する皿受け部（７３２）が設けてあり、この皿受け部（７３２）の下方には、前記案内孔（７３１）の上半部から側壁に至る分散溝（７３３）が形成してある。
この分散溝（７３３）は、図１３に示すように、曲率半径（Ｒ）をもった円弧状に形成してある。
このようにして、分散溝（７３３）から噴射した液化炭酸ガスがキャップの内面に傾斜して当たるようにし、キャップ内に炭酸ガスの渦流を生じさせてパウダー状のドラアイスの生成効率を向上した。
【産業上の利用可能性】
【００２５】  本発明は、以上のように構成することにより、液化炭酸ガスの噴出によりドライアイスがその後の操作によっても破裂することなく生成されるようになり、安全かつ確実に試料を液化炭酸ガスにより冷凍することができるので、医療のみならず生物学的な各種試料の検査に有用である。
また、生物試料のみならず、軟質合成樹脂、繊維等の無生物試料の切削や検査において試料を冷凍する場合にも有効に用いることができる。
【図面の簡単な説明】  各図面には、表面に印影をつけて形状を明確にしてある。【図１】実施例１のボンベとの接合構造を示す一部切り欠き正面図
【図２】実施例１の一部切り欠き分解斜視図
【図３】実施例１の組み立て状態を示す一部切り欠き斜視図
【図４】実施例２の一部切り欠き分解斜視図
【図５】実施例２の組み立て状態を示す一部切り欠き斜視図
【図６】実施例３の組み立て状態を示す一部切り欠き正面図
【図７】実施例４の組み立て状態を示す一部切り欠き正面図
【図８】実施例５の組み立て状態を示す一部切り欠き正面図
【図９】実施例６の分解斜視図
【図１０】実施例６の分散器の図９におけるＡ−Ａ断面拡大斜視図
【図１１】実施例７の縦断正面図
【図１２】実施例８の分散器の斜視図
【図１３】実施例８の分散器の平面図
【符号の説明】
（１）………………………………………………………………………………機密ナット
（２）………………………………………………………………………………導管
（３）………………………………………………………………………………ニードル弁
（４）（６）………………………………………………………………………中空ボルト
（５）………………………………………………………………………………Ｌの字接続管
（７）（１０７）（６０７）……………………………………………………噴出口
（１０）（１１０）（６１０）…………………………………………………基台
（１１）（６１１）………………………………………………………………周壁
（１２）（６１２）………………………………………………………………掃出し口
（１５）（６１５）………………………………………………………………位置決め用凹所
（２０）（３０）（１２０）（２３０）（３２０）（６２０）（７３０）…分散器
（２１）（６２１）………………………………………………………………円盤
（２２）（３２２）（６２２）…………………………………………………分散孔
（２３）（６２３）………………………………………………………………載せ台
（３０）（１３０）………………………………………………………………試料保持具
（３１）（２３１）（７３１）…………………………………………………案内孔
（３２）（２３２）（７３２）…………………………………………………皿受け部
（３３）（２３３）（７３３）…………………………………………………分散溝
（４０）……………………………………………………………………………試料ステージ
（４１）……………………………………………………………………………スタンド
（５０）（１５０）（２５０）（６５０）……………………………………キャップ
（５１）（１５１）（６５１）…………………………………………………排気口
（６０）……………………………………………………………………………試料皿
（１１２）…………………………………………………………………………ボルト
（１２２）…………………………………………………………………………山ネジ
（２５２）…………………………………………………………………………メネジ
（２５８）…………………………………………………………………………当て板
（３２１）…………………………………………………………………………皿受け穴
（３２５）…………………………………………………………………………上壁
（６１６）（６１７）……………………………………………………………環状溝
（６６１）…………………………………………………………………………押えボルト
（６６２）…………………………………………………………………………ナット部材
（６６３）…………………………………………………………………………締付けナット
（Ｂ）………………………………………………………………………………ガス分散部
（Ｒ）………………………………………………………………………………曲率半径
（α）………………………………………………………………………………角度
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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