(57)【要約】    【課題】  内部電極を有する圧電共振ユニットの上下に第１，第２のケース材が積層されている圧電共振部品において、外部電極表面にめっき膜を形成した後の特性測定不能といった不良品率の発生を効果的に抑制でき、かつ耐環境特性に優れた圧電部品を提供する。    【解決手段】  少なくとも１つの内部電極１１を有する圧電体５を用いた圧電共振ユニットの上下に第１，第２のケース材３，４が積層されている積層体１４の外表面に外部電極１５〜１７が形成されており、外部電極１５〜１７の外表面にめっき膜が形成される圧電部品１であって、内部電極１１が積層体１４の外側面に引き出されている引出部分が外部に露出しないように、外部電極１６が内部電極引出部分を覆うように設けられた電極層１６ｂを有する、圧電部品１。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの内部電極を有する焼結体を用いて構成された少なくとも１つの圧電共振ユニットと、前記少なくとも１つの圧電共振ユニットを挟持するように設けられた第１，第２のケース材とを備える積層体を用いて構成されており、前記内部電極が前記積層体の外側面に引き出されており、外側面に設けられた外部電極と接続されており、該外部電極表面にめっき膜が形成されている圧電部品において、
前記内部電極が前記積層体の外側面に引き出されている部分が外部に露出しないように、前記外部電極が、該内部電極引出部分を覆うように設けられた電極層を有することを特徴とする、圧電部品。
【請求項２】
前記外部電極が、薄膜形成法により形成された薄膜電極層と、薄膜電極層上に形成されており、かつ前記めっき膜の下地となる導電性樹脂ペーストによって構成された厚膜電極層とを有し、薄膜電極層及び厚膜電極層の少なくとも一方が、前記内部電極の引出部分を外部に露出させないように該引出部分を被覆している、請求項１に記載の圧電部品。
【請求項３】
前記導電性樹脂ペーストからなる厚膜電極層が前記内部電極の引出部分を外部に露出させないように該引出部分を被覆している、請求項１に記載の圧電部品。
【請求項４】
前記薄膜電極層が前記内部電極の引出部分を外部に露出させないように該引出部分を被覆している、請求項１に記載の圧電部品。
【請求項５】
前記少なくとも１つの圧電共振ユニットが、焼成済みの圧電セラミック板により構成されており、前記第１，第２のケース材が、前記少なくとも１枚の圧電セラミック板が積層されている部分の両側に接着により積層されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の圧電部品。
【請求項６】
前記少なくとも１つの圧電共振ユニットにおいて圧電フィルタが構成されている、請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧電部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電共振子や圧電フィルタなどの圧電部品に関し、より詳細には、少なくとも１つの内部電極を有する少なくとも１つの圧電体層の両側に第１，第２のケース材が積層された積層体を用いて構成された圧電部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、圧電共振ユニットの両主面に第１，第２のケース材を積層してなる積層体を用いた圧電共振部品が種々提案されている。
【０００３】
例えば、図６において、下記の特許文献１には、これらの構成部材を積層してなる圧電共振部品が開示されている。圧電共振部品１０１では、板状の圧電共振ユニット１０２の上下に接着剤層１０３，１０４を介して第１，第２のケース材１０５，１０６が積層されている。このようにして構成された積層体の外表面に、圧電共振ユニット１０２の電極に接続される外部電極が形成される。圧電共振ユニット１０２では、圧電板１０７の上面に、励振電極１０８ａ，１０８ｂが所定の間隔を隔てて形成されている。励振電極１０８ａが、引き出し電極１０９に連ねられている。引き出し電極１０９は、圧電板１０７の外周縁に引き出されている。また、励振電極１０８ｂは、第１の容量電極１１０に接続されている。第１の容量電極１１０には、励振電極１１１ｂが接続されている。励振電極１１１ｂは、励振電極１１１ａと所定のギャップを隔てて形成されている。励振電極１１１ａが、引き出し電極１１２に連ねられている。
【０００４】
圧電板１０７の下面においては、励振電極１０８ａ，１０８ｂと対向するように励振電極１０８ｃが形成されている。同様に、励振電極１１１ａ，１１１ｂと対向するように励振電極１１１ｃが形成されている。そして、励振電極１０８ｃと、励振電極１１１ｃとに、第２の容量電極１１３が接続されている。第２の容量電極１１３は、第１の容量電極１１０と圧電板１０７を介して対向されている。第２の容量電極１１３は、圧電板１０７の外周側縁に至るように構成されている。
【０００５】
従って、上記積層体の外表面には、引き出し電極１０９、引き出し電極１１２及び第２の容量電極１１３に接続される３個の外部電極が形成される。
【０００６】
他方、このような圧電共振部品の変形として、圧電共振ユニットが少なくとも１層の内部電極を有するように構成されている圧電共振部品も知られている。
【０００７】
例えば、下記の特許文献２には、図７に斜視図で示す圧電フィルタが開示されている。圧電フィルタ１２１では、圧電板１２２の上面において、第１のエネルギー閉じ込め型の共振部を構成するために、励振電極１２３ａ，１２３ｂが形成されており、励振電極１２３ａ，１２３ｂと対向するように、圧電板１２２の下面には、励振電極１２３ｃ，１２３ｄが形成されている。同様に、第２の共振部を構成するために、励振電極１２４ａ，１２４ｂが圧電板１２２の上面に、励振電極１２４ｃ，１２４ｄが圧電板１２２の下面に形成されている。
【０００８】
そして、励振電極１２３ａ及び励振電極１２４ｂが、圧電板１２２の外周縁に至る引き出し電極１２５，１２６に接続されている。他方、圧電板１２２の上面には、第１の容量電極としてのアース電極１２７が形成されている。そして、圧電板１２２の下面には、アース電極１２７と対向するように、容量電極１２８が形成されている。さらに、圧電板１２２内には、アース電極１２７に接続されるように、内部アース電極１２９，１３０が形成されている。内部アース電極１２９，１３０は、圧電板１２２の側面１２２ａに引き出されており、この引き出されている部分において、側面１２２ａに設けられた導電膜１３１に接続されている。他方、導電膜１３１は、上記アース電極１２７に連ねられている。
【０００９】
図６に示した積層型圧電共振部品の場合と同様に、圧電フィルタ１２１の上下に接着剤層を介して第１，第２のケース材を積層することにより、積層型圧電共振部品を得ることができる。この場合、３個の外部電極が、上述した引き出し電極１２５，１２６及びアース電極１２７に電気的に接続されることになる。
【特許文献１】特開平８−３３５８４４号公報
【特許文献２】特開平８−３２４０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
特許文献２に記載の圧電フィルタ１２１のように、内部電極を有する圧電板を用いた圧電共振ユニットは、通常、内部電極材料と圧電セラミックスとを一体焼成する一体焼成技術により構成されている。
【００１１】
そして、このような圧電共振ユニットの上下に第１，第２のケース材を積層し、積層体を得た後、積層体の外表面に外部電極を形成することにより、積層型の圧電共振部品が構成されている。
【００１２】
上記積層型圧電共振部品では、外部と電気的に接続するための複数の外部電極が積層体の少なくとも側面を覆うように形成される。すなわち、上記内部電極や引き出し電極が、積層体の外側面に引き出されているため、側面において外部電極とこれらの内部電極や引き出し電極とが電気的に接続される。
【００１３】
また、上記外部電極の形成に際しては、様々な方法が用いられている。すなわち、蒸着もしくはスパッタリングなどの薄膜形成法、あるいは導電性接着剤や導電ペーストの硬化による厚膜電極などが用いられている。もっとも、外部電極の電気的接続の信頼性を高めるために、外部電極表面には、さらに湿式めっき法によりめっき膜を形成することが多かった。
【００１４】
ところが、内部電極を有する圧電共振ユニットの上下に第１，第２のケース材が積層されている積層型の圧電共振部品において、外部電極表面にめっき膜を形成した場合、所望とする特性が得られないことがあった。すなわち、図８に示すように、少なくとも１つの内部電極１３１を有する圧電共振ユニット１３２の上下に第１，第２のケース材１３３，１３４が積層されている積層体１３５を用いた圧電共振部品１３０では、外部電極１３６〜１３８を形成した後に、めっき膜を形成すると、めっき後にフィルタ特性の機能が得られず、フィルタ特性を測定することができないことがあった。
【００１５】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、少なくとも１つの内部電極を有する少なくとも１つの圧電共振ユニットの上下に第１，第２のケース材が積層されている積層体を用いた圧電共振部品において、外部電極表面にめっき膜を形成した場合であっても、特性の劣化が生じ難く、かつ耐湿性に優れた圧電共振部品を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、少なくとも１つの内部電極を有する焼結体を用いて構成された少なくとも１つの圧電共振ユニットと、前記少なくとも１つの圧電共振ユニットを挟持するように設けられた第１，第２のケース材とを備える積層体を用いて構成されており、前記内部電極が前記積層体の外側面に引き出されており、外側面に設けられた外部電極と接続されており、該外部電極表面にめっき膜が形成されている圧電部品において、前記内部電極が前記積層体の外側面に引き出されている部分が外部に露出しないように、前記外部電極が、該内部電極引出部分を覆うように設けられた電極層を有することを特徴とする。
【００１７】
本発明に係る圧電部品のある特定の局面では、前記外部電極が、薄膜形成法により形成された薄膜電極層と、薄膜電極層上に形成されており、かつ前記めっき膜の下地となる導電性樹脂ペーストによって構成された厚膜電極層とを有し、薄膜電極層及び厚膜電極層の少なくとも一方が、前記内部電極の引出部分を外部に露出させないように該引出部分を被覆している。
【００１８】
本発明に係る圧電部品のさらに他の特定の局面では、前記導電性樹脂ペーストからなる厚膜電極層が前記内部電極の引出部分を外部に露出させないように該引出部分を被覆している、。
【００１９】
本発明に係る圧電部品のさらに別の特定の局面では、前記薄膜電極層が前記内部電極の引出部分を外部に露出させないように該引出部分を被覆している。
【００２０】
本発明に係る圧電部品のさらに別の特定の局面では、前記少なくとも１つの圧電共振ユニットが、焼成済みの圧電セラミック板により構成されており、前記第１，第２のケース材が、前記少なくとも１枚の圧電セラミック板が積層されている部分の両側に接着により積層されている。
【００２１】
本発明に係る圧電部品のさらに限定的な局面では、前記少なくとも１つの圧電共振ユニットにおいて圧電フィルタが構成されている。
【発明の効果】
【００２２】
本発明に係る圧電部品では、少なくとも１つの内部電極を有する焼結体用いた少なくとも１つの圧電共振ユニットを挟持するように第１，第２のケース材が積層されている積層体において、内部電極が積層体の外側面に引き出されている部分が外部に露出しないように、該内部電極引出部分を覆うように設けられた電極層を有するように外部電極が構成されている。従って、外部電極表面にめっき層を形成した際に、めっき液が内部電極引出部分と圧電体との界面から内部に浸入し難いため、めっき膜形成後の圧電部品の特性測定不能といった不良品の発生を効果的に抑制することができる。また、圧電部品の耐湿性などの耐環境特性も高められる。
【００２３】
上記外部電極が、薄膜電極層と、薄膜電極層上に形成された厚膜電極層とを有し、薄膜電極層及び厚膜電極層の少なくとも一方が、内部電極の引出部分を外部に露出させないように、該引出部分を被覆している場合には、薄膜電極層及び厚膜電極層の少なくとも一方を上記のように構成するだけで、容易に本発明の圧電部品を構成することができる。
【００２４】
厚膜電極層が、内部電極の引出部分を外部に露出させないように該引出部分を被覆している場合には、薄膜電極層を形成した後に、内部電極引出部分を外部に露出させないように、厚膜電極層を形成することにより、内部電極引出部分を確実に被覆することができる。
【００２５】
また、薄膜電極層が内部電極の引出部分を外部に露出させないように該引出部分を被覆している構成においては、薄膜形成法による電極層の形成に際しての電極形成領域を拡げるだけで、内部電極引出部分を外部に露出させないように薄膜電極層により容易に被覆することができる。
【００２６】
圧電共振ユニットの両側に、第１，第２のケース材が接着剤により接着されて積層されている構成においては、本発明に従って接着剤による積層型の圧電部品であって、本発明に従って不良品率が低く、かつ耐環境特性に優れた圧電部品を提供することができる。
【００２７】
上記圧電共振ユニットにおいて、圧電フィルタが構成されている場合には、本発明に従って、不良品率が低く、耐環境特性に優れた圧電フィルタ内蔵圧電部品を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の具体的な実施形態を説明することにより本発明を明らかにする。
【００２９】
図１は、本発明の一実施形態に係る圧電共振部品の斜視図であり、図２はその分解斜視図である。
【００３０】
図１及び図２に示すように、圧電共振部品１は、圧電共振ユニット２を挟持するように、圧電共振ユニットの上下に第１，第２のケース材３，４を積層した構造を有する。
【００３１】
圧電共振ユニット２は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスやチタン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックスからなる圧電板５を有する。圧電板５は矩形板状の形状を有する。圧電板５は、厚み方向に分極処理されている。
【００３２】
図３に平面図で示すように、圧電板５の上面５ａ上には、第１，第２の励振電極６ａ，６ｂが所定のギャップを隔てて形成されている。圧電板５の下面５ｂには、図３に破線で示す励振電極６ｃ，６ｄが形成されている。励振電極６ｃ，６ｄは、励振電極６ａ，６ｂと圧電板５を介して対向するように配置されている。また、図４は、圧電板５の上面５ａと下面５ｂとの間の中間高さ位置の平面断面図である。図４から明らかなように、上記励振電極６ａ，６ｂと、励振電極６ｃ，６ｄとが対向されている領域には、アース電位に接続される内部電極７が形成されている。励振電極６ａ〜６ｄと内部電極７とにより、第１のエネルギー閉じ込め型の厚み縦振動モードを利用した圧電フィルタ部が構成されている。
【００３３】
圧電板５には、圧電板５の第１の圧電フィルタ部が設けられている領域とは長さ方向反対側に、同様にして構成された第２の圧電フィルタ部が設けられている。第２の圧電フィルタ部は、励振電極８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄを有し、かつアース電極としての内部電極９を有する。
【００３４】
図３に示されているように、励振電極６ｂと励振電極８ａとが、圧電板５の上面５ａの中央に設けられた第１の容量電極１０に電気的に接続されている。第１の容量電極１０と圧電体層を介して対向するように、内部電極７，９に接続された内部電極としての内部アース電極１１が設けられている。
【００３５】
容量電極１０と内部アース電極１１とにより、中継容量が構成されている。
【００３６】
圧電共振ユニット２では、励振電極６ａが、引き出し電極１２に接続されており、引き出し電極１２は、圧電板５の一方の側面５ｃに至るように形成されている。同様に、励振電極８ｂが引き出し電極１３に接続されており、引き出し電極１３は、圧電板５の他方の側面５ｄに至るように形成されている。
【００３７】
また、内部アース電極１１は、圧電板５の側面５ｃ，５ｄに至るように形成されている。
【００３８】
上記圧電板５は、圧電セラミックスと内部電極７，９及び内部アース電極１１とをセラミックス一体焼成技術により焼成することにより構成されている。
【００３９】
上記各励振電極６ａ〜６ｄ、励振電極８ａ〜８ｄ、容量電極１０、内部電極７，９及び内部アース電極１１は、Ｃｕ、Ａｇ、Ａｇ−Ｐｄ合金などの適宜の導電性材料により構成され得る。
【００４０】
図２に示すように、上記圧電共振ユニットの上面に、図示しない接着剤を介して第１のケース材３が積層されている。また、圧電共振ユニット５の下面側には、図示しない接着剤を介してケース材４が積層されている。第２のケース材４の上面には、凹部４ａ，４ｂが形成されている。凹部４ａ，４ｂは、圧電共振ユニット５のエネルギー閉じ込め型の圧電フィルタ部の振動を妨げないための空隙を形成するために設けられている。図２では示されていないが、第１のケース材３の下面にも、同様に凹部が設けられている。
【００４１】
なお、第１，第２のケース材３，４の凹部を設ける代わりに、接着剤層を矩形枠状に塗布し、接着剤層で囲まれた矩形の平面形状を有する空隙を形成してもよい。
【００４２】
第１，第２のケース材３，４は、アルミナなどの絶縁性セラミックスなどの適宜の絶縁性材料により構成され得る。
【００４３】
なお、本実施形態では、圧電共振ユニット５の上下に第１，第２のケース材３，４が接着剤を介して貼り合わされていたが、本発明においては、圧電共振ユニット及び第１，第２のケース材の全てがセラミックス一体焼成技術により構成されてもよい。
【００４４】
図１に示すように、上記のようにして得られた積層体１４の外表面に、第１〜第３の外部電極１５〜１７が形成される。外部電極１５〜１７は、それぞれ、積層体１４の上面から両側面を経て下面に至るように形成されている。すなわち、積層体１４を巻回するように外部電極１５〜１７が形成されている。
【００４５】
外部電極１５，１７は、前述した引き出し電極１２，１３に電気的に接続される。また、外部電極１６は、内部アース電極１１に接続されるように構成されている。
【００４６】
上記外部電極１５〜１７は、Ａｇ、ＮｉＣｒ、ＮｉＣｕ、Ｃｕなどの適宜の材料をスパッタリングすることにより形成された薄膜電極層を有する。薄膜電極層は、通常、数μｍ程度の厚みを有する。
【００４７】
そして、図１に示すように、外部電極１６は、薄膜電極層１６ａだけでなく、積層体１４の側面に設けられた厚膜電極層１６ｂを有する。厚膜電極層１６ｂは、導電性樹脂ペーストを塗布し、硬化することにより構成されている。
【００４８】
図１から明らかなように、本実施形態では、薄膜電極層１６ａの幅方向寸法は、内部電極としての内部アース電極１１の引出部分の該幅方向寸法に沿う寸法よりも小さくされている。なお、薄膜電極層１６ａの幅方向寸法とは、薄膜電極層１６ａが積層体１４の側面において上下方向に延びている部分における横方向の寸法をいうものとする。
【００４９】
言い換えれば、内部アース電極１１の引き出し電極部分、すなわち積層体１４の側面に引き出されている部分の全てが、薄膜電極層１６ａにより覆われておらず、外部に露出している部分が存在する。厚膜電極層１６ｂは、このような内部アース電極１１の引き出し電極部分を確実に外部に露出しないように被覆している。
【００５０】
本実施形態の圧電部品１は、厚膜電極層１６ｂにより、内部電極としてのアース電極１１の引出部分が確実に外部に露出しないように被覆されていることに特徴を有する。
【００５１】
圧電部品１では、上記薄膜電極からなる外部電極１５，１７並びに薄膜電極層１６ａ及び厚膜電極層１６ｂからなる外部電極１６を形成した後に、湿式めっき法により、外部電極表面にめっき膜が形成される。
【００５２】
湿式めっき法によりめっき膜を形成したとしても、内部アース電極１１と圧電体との界面にめっき液は浸入し難い。従って、めっき膜形成後の特性の劣化が生じ難く、圧電部品の特性を確実に測定することができる。また、内部アース電極１１の引出部分が厚膜電極層１６ｂにより確実に被覆されているため、めっき膜形成後においても、内部アース電極１１の引出部分が外部に露出しないため、耐湿性等が効果的に高められる。
【００５３】
すなわち、前述した発明の課題の項に示したように、従来、この種の圧電部品では、めっき膜形成後に特性を測定することとができなかったり、耐湿性が低下するという問題があった。本願発明者らは、この問題を種々検討したところ、特に、内部電極が外側面に引き出されている圧電共振ユニットを用いた圧電部品においてこのような問題が生じていることに鑑み、焼成時に圧電材料と内部電極を構成する電極材料の収縮率の差などにより、内部電極と圧電体との接合力が弱くなり、この界面にめっき液が浸入し、特性が不良となっているのではないかと考えた。そして、このような観点から、本実施形態では、内部電極としての内部アース電極１１の引出部分が、厚膜電極層１６ｂにより確実に外部に露出しないように被覆され、しかる後、めっき膜が形成されている。
【００５４】
本願発明者の実験によれば、このような厚膜電極層１６ｂを有する、圧電部品１を多数作製したところ、めっき膜形成後の特性測定不能例は皆無であった。これに対して、上記厚膜電極層１６ｂを形成しなかった相当の構造では、めっき膜形成後の特性測定不能率が１００％近くにも達していた。
【００５５】
従って、本実施形態によれば、上記厚膜電極層１６ｂの形成により、めっき液の浸入による問題点を克服し、圧電部品１の良品率を大幅に高め得ることがわかる。
【００５６】
なお、図１に示した実施形態では、圧電共振ユニットにおいて、１つの内部電極としてアース電極１１が積層体の外側面に引き出されていたが、図５に示すように、本発明においては、複数の内部電極１１Ａ〜１１Ｃが積層体側面に引き出されていてもよい。
【００５７】
また、図５に示す変形例の圧電部品３１では、第２の外部電極３６は、この複数の内部電極１１Ａ〜１１Ｃの引出部分に接続されるように形成されている。そして、第２の外部電極３６は、スパッタリングにより形成された薄膜電極により構成されている。もっとも、この薄膜電極の前述した幅方向寸法は、内部電極１１Ａ〜１１Ｃが引き出されている部分を外部に露出しないように被覆するように大きくされている。すなわち、本発明においては、外部電極を構成する薄膜電極層の形成に際し、該薄膜電極層の面積を拡げることにより、該薄膜電極層により、内部電極の引出部分を外部に露出しないように被覆してもよい。
【００５８】
また、図１に示した圧電部品１及び図５に示した圧電部品３１から明らかなように、めっき膜形成前に内部電極引出部分を確実に導電膜により覆えばよい。従って、図５に示した変形例のように薄膜電極層のみにより外部電極を形成してもよく、また図５に示した変形例においても薄膜電極からなる外部電極上に、めっき膜を形成するに先立ち、さらに厚膜電極層を積層してもよい。
【００５９】
また、本発明においては、外部電極は、薄膜電極のみから構成されてもよく、厚膜電極のみから構成されてもよく、これらの積層体であってもよい。
【００６０】
そして、薄膜電極を形成する方法としては、スパッタリングの他、蒸着などの他の方法を用いてもよい。また、厚膜電極層の形成方法についても、導電性接着剤の塗布・硬化だけでなく、導電性ペーストの塗布・硬化などの他の方法を用いてもよい。
【００６１】
また、上記実施形態では、第１，第２のエネルギー閉じ込め型の圧電フィルタ部と中継容量とが構成された容量内蔵型の圧電フィルタが構成されていたが、本発明においては、圧電共振ユニットは、容量内蔵型圧電発振子などであってもよく、圧電共振ユニットの電子部品としての機能については特に限定されるものではない。さらに、複数の圧電共振ユニットが積層されていてもよい。
【００６２】
上記積層体の外側面に引出される部分を有する内部電極についても、静電容量を取出すための電極に限定されず、圧電振動部を構成するための励振電極に接続された引き出し電極であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の一実施形態に係る圧電部品を示す斜視図。
【図２】図１に示した実施形態の圧電部品の厚膜電極層１６ｂ形成前の分解斜視図。
【図３】図１に示した実施形態で用いられている圧電共振ユニットの平面図。
【図４】図１に示した圧電部品に用いられいてる圧電共振ユニットの圧電板の中間高さ位置に形成された内部電極の形状を説明するための平面断面図。
【図５】図１に示した実施形態の変形例に係る圧電共振部品の外観を示す斜視図。
【図６】従来の圧電共振部品の一例を説明するための分解斜視図。
【図７】従来の圧電共振部品に用いられいてる圧電共振ユニットの一例を示す斜視図。
【図８】従来の圧電共振部品の問題点を説明するための斜視図。
【符号の説明】
【００６４】
１…圧電部品
２…圧電共振ユニット
３，４…第１，第２のケース材
５…圧電板
５ａ…上面
５ｂ…下面
５ｃ，５ｄ…側面
６ａ〜６ｄ…励振電極
７…内部電極
８ａ〜８ｄ…励振電極
９…内部電極
１０…容量電極
１１…内部電極アース電極
１１Ａ〜１１Ｃ…内部電極
１２…引き出し電極
１３…引き出し電極
１４…積層体
１５〜１７…外部電極
１６ａ…薄膜電極層
１６ｂ…厚膜電極層
３１…圧電共振部品
３６…外部電極
【図１】
2005080201.tif 000003
【図２】
2005080201.tif 000004
【図３】
2005080201.tif 000005
【図４】
2005080201.tif 000006
【図５】
2005080201.tif 000007
【図６】
2005080201.tif 000008
【図７】
2005080201.tif 000009
【図８】
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