(57)【要約】【課題】  高感度であり、重合物を着色したり重合物及び装置等を汚染したりするおそれのない、光重合開始剤を提供すること。【解決手段】    下記一般式（Ｉ）で表される二量体オキシムエステル化合物。【化１】2005097141.tif 000022【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記一般式（Ｉ）で表される二量体オキシムエステル化合物。
【化１】
2005097141.tif 000021
【請求項２】
Ｘ1及び／又はＸ1’が塩素原子であることを特徴とする請求項１に記載の二量体オキシムエステル化合物。
【請求項３】
ｍ及び／又はｎが１であることを特徴とする請求項１又は２に記載の二量体オキシムエステル化合物。
【請求項４】
Ｒ1及び／又はＲ1’がアルキル基であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の二量体オキシムエステル化合物。
【請求項５】
Ｒ2及び／又はＲ2’がアルキル基であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の二量体オキシムエステル化合物。
【請求項６】
Ｒ3及び／又はＲ3’がアルキル基であることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の二量体オキシムエステル化合物。
【請求項７】
Ｒ4がアルキレン基であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の二量体オキシムエステル化合物。
【請求項８】
Ｒ4がアリーレン基であることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の二量体オキシムエステル化合物。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の二量体オキシムエステル化合物を有効成分とする光重合開始剤。
【請求項１０】
エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に、請求項９に記載の光重合開始剤を含有させてなる感光性組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性組成物に用いられる光重合開始剤として有用な新規な二量体オキシムエステル化合物、該化合物を有効成分とする光重合開始剤、及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に該光重合開始剤を含有させてなる感光性組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
感光性組成物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に光重合開始剤を加えたものであり、この感光性組成物に４０５ｎｍや３６５ｎｍの光を照射することによって重合硬化させることができるので、光硬化性インキ、感光性印刷版、各種フォトレジスト等に用いられている。短波長の光源に感度を持つ感光性組成物は微細な印刷が可能であるため、特に３６５ｎｍの光源に優れた感度を有する光重合開始剤が望まれている。
【０００３】
この感光性組成物に用いられる光重合開始剤として、下記特許文献１には、オキシムエステル誘導体を用いることが提案されている。また、下記特許文献２〜４にもオキシムエステル化合物が記載されている。しかし、これらの公知のオキシムエステル化合物は、光重合開始剤として用いた場合に、露光時の光により発生する分解物がマスクに付着し、その結果、焼付け時のパターン形状不良を引き起こし、収率の低下を招いていた。そのため、得られる重合物を着色したり、光重合開始剤の分解物が揮散して重合物や装置等を汚染したりしない光重合開始剤が望まれていた。
【０００４】
また、下記特許文献５〜７には、より高い反応性を有するＯ−アシルオキシム光開始剤が提案されている。しかし、これらのＯ−アシルオキシム光開始剤も、感度の観点で未だ満足のいくものではなく、より感度に優れるものが望まれている。
【０００５】
【特許文献１】米国特許第３５５８３０９号明細書
【特許文献２】米国特許第４２５５５１３号明細書
【特許文献３】米国特許第４５９０１４５号明細書
【特許文献４】米国特許第４２０２６９７号明細書
【特許文献５】特開２０００−８００６８号公報
【特許文献６】特開２００１−２３３８４２号公報
【特許文献７】国際公開第０２／１００９０３号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
解決しようとする問題点は、上述したように、得られる重合物を着色したり重合物や装置等を汚染したりすることがなく且つ感度に優れた光重合開始剤がこれまでなかったということである。
【０００７】
本発明の目的は、高感度であり、重合物を着色したり重合物及び装置等を汚染したりするおそれのない、光重合開始剤を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、下記一般式（Ｉ）で表される二量体オキシムエステル化合物及び該化合物を有効成分とする光重合開始剤を提供することにより、上記目的を達成したものである。
【０００９】
【化１】
2005097141.tif 000002
【発明の効果】
【００１０】
本発明の二量体オキシムエステル化合物は、感光性に優れ、経時による感光層表面への析出がないため、経時安定性に優れており、さらに分解物によるマスク付着物がなく焼付け時のパターン形状不良を起こさないため、光重合開始剤として有用なものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の二量体オキシムエステル化合物及び該化合物を有効成分とする光重合開始剤について詳細に説明する。
【００１２】
上記一般式（Ｉ）中、Ｘ1及びＸ1’で表されるハロゲン原子としては、フッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられ、Ｘ1及びＸ1’で表されるアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、第二ブチル、第三ブチル、アミル、イソアミル、第三アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、２−エチルヘキシル、第三オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ビニル、アリル、ブテニル、エチニル、プロピニル、メトキシエチル、エトキシエチル、プロピロキシエチル、メトキシエトキシエチル、エトキシエトキシエチル、プロピロキシエトキシエチル、メトキシプロピル、モノフルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロエチル、パーフルオロエチル、２−（ベンゾオキサゾール−２’−イル）エテニル等が挙げられる。
【００１３】
Ｒ及びＲ’で表されるアルキル基としては、例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、第二ブチル、第三ブチル、アミル、イソアミル、第三アミル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、イソオクチル、２−エチルヘキシル、第三オクチル、ノニル、イソノニル、デシル、イソデシル、ビニル、アリル、ブテニル、エチニル、プロピニル、メトキシエチル、エトキシエチル、プロピロキシエチル、メトキシエトキシエチル、エトキシエトキシエチル、プロピロキシエトキシエチル、メトキシプロピル、モノフルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロエチル、パーフルオロエチル、２−（ベンゾオキサゾール−２’−イル）エテニル等が挙げられ、Ｒ及びＲ’で表されるアリール基としては、例えば、フェニル、トリル、キシリル、エチルフェニル、クロロフェニル、ナフチル、アンスリル、フェナンスレニル等が挙げられ、Ｒ及びＲ’で表されるアラルキル基としては、例えば、ベンジル、クロロベンジル、α−メチルベンジル、α、α−ジメチルベンジル、フェニルエチル、フェニルエテニル等が挙げられ、Ｒ及びＲ’で表される複素環基としては、例えば、ピリジル、ピリミジル、フリル、チオフェニル等が挙げられ、また、Ｒ及びＲ’が一緒になって形成する環としては、例えば、ピペリジン環、モルホリン環等が挙げられる。
【００１４】
また、Ｒ4で表されるジオール残基又はジチオール残基は、特に制限を受けるものではなく、ジオール化合物又はジチオール化合物から導入し得る基であるが、該ジオール化合物としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，２−プロパンジオール、１，３−プロパンジオール、２−メチル−１，３−プロパンジオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール、１，４−ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、３−メチル−２，４−ペンタンジオール、２，４−ペンタンジオール、１，５−ペンタンジオール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、２−メチル−２，４−ペンタンジオール、２，４−ジエチル−１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、１，７−ヘプタンジオール、３，５−ヘプタンジオール、１，８−オクタンジオール、２−メチル−１，８−オクタンジオール、１，９−ノナンジオール、１，１０−デカンジオール、チオジエチレングリコール等の脂肪族ジオール化合物、シクロヘキサンジメタノール、シクロヘキサンジオール、水添ビスフェノールＡ等の脂環式ジオール化合物、ｐ−キシレン−α，α’−ジオール等の芳香族環式ジオール化合物が挙げられ、該ジチオール化合物としては、エチレンジチオール、１，２−プロパンジチオール、１，３−プロパンジチオール、２−メチル−１，３−プロパンジチオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジチオール、１，４−ブタンジチオール、３−メチル−２，４−ペンタンジチオール、２，４−ペンタンジチオール、１，５−ペンタンジチオール、３−メチル−１，５−ペンタンジチオール、２−メチル−２，４−ペンタンジチオール、２，４−ジエチル−１，５−ペンタンジチオール、１，６−ヘキサンジチオール、１，７−ヘプタンジチオール、３，５−ヘプタンジチオール、１，８−オクタンジチオール、２−メチル−１，８−オクタンジチオール、１，９−ノナンジチオール、１，１０−デカンジチオール等の脂肪族ジチオール、シクロヘキサンジメチレンチオール、シクロヘキサンジチオール等の脂環式ジチオール化合物、ｐ−キシレン−α，α’−ジチオール等の芳香族環式ジチオールが挙げられる。
【００１５】
本発明の二量体オキシムエステル化合物の中でも、上記一般式（Ｉ）において、Ｘ1及び／又はＸ1’、特にＸ1及びＸ1’が塩素原子であるもの；ｍ及び／又はｎ、特にｍ及びｎが１であるもの；Ｒ1及び／又はＲ1’、特にＲ1及びＲ1’がアルキル基、特にメチル基であるもの；Ｒ2及び／又はＲ2’、特にＲ2及びＲ2’がアルキル基、特にメチル基であるもの；Ｒ3及び／又はＲ3’、特にＲ3及びＲ3’がアルキル基、特にエチル基であるもの；Ｒ4がアルキレン基又はアリーレン基、特にブチレン基又はペンチレン基であるものが好ましい。
【００１６】
従って、上記一般式（Ｉ）で表される本発明の二量体オキシムエステル化合物の好ましい具体例としては、以下の化合物Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４の化合物が挙げられる。ただし、本発明は以下の化合物により何ら制限を受けるものではない。
【００１７】
【化２】
2005097141.tif 000003
【００１８】
【化３】
2005097141.tif 000004
【００１９】
【化４】
2005097141.tif 000005
【００２０】
【化５】
2005097141.tif 000006
【００２１】
上記一般式（Ｉ）で表される本発明の二量体オキシムエステル化合物は、例えば、下記〔化６〕の反応式で示される方法によって製造することができる。まず、Ｘ2がハロゲン原子であるカルバゾール化合物１とカルボン酸クロライド２とを塩化亜鉛の存在下に反応させてアシル化合物３を得る。次いで、アシル化合物３とジチオール化合物あるいはジオール化合物４とをナトリウムメトキシド及びジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）の存在下に反応させて二量体５を得る。次いで、二量体５と塩酸ヒドロキシルアミンとをＤＭＦの存在下に反応させて二量体オキシム化合物６を得る。次いで、二量体オキシム化合物６と酸無水物７あるいは酸クロライド７’とを反応させて上記一般式（Ｉ）で表される本発明の二量体オキシムエステル化合物を得る。
【００２２】
【化６】
2005097141.tif 000007
【００２３】
本発明の二量体オキシムエステル化合物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物の光重合開始剤として有用である。
【００２４】
次に、本発明の感光性組成物について説明する。
本発明の感光性組成物は、エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物に、本発明の二量体オキシムエステル化合物を有効成分とする光重合開始剤を含有させてなるものである。
【００２５】
エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物としては、従来、感光性組成物に用いられているものを用いることができる。即ち、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物としては、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、クロロスチレン等のスチレン系化合物；メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、第二ブチル（メタ）アクリレート、第三ブチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフリル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、ポリ（エトキシ）エチル（メタ）アクリレート、プロピルオキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシエトキシエチル（メタ）アクリレート、ポリ（プロピルオキシ）プロピル（メタ）アクリレート、ビニル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、トリス（２−アクリロイルエチル）イソシアヌラート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート等の多価アルコールをα，β−不飽和カルボン酸でエステル化して得られる化合物；アクリロニトリル、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−置換（メタ）アクリレート；酢酸ビニル、イソブチルビニルエーテル、Ｎ−ビニルピロリドン、ビニルクロリド、ビニリデンクロリド、ジビニルベンゼン、ジビニルスクシナート、ジアリルフタラート、トリアリルホスファート、トリアリルイソシアヌラート等が挙げられる。これらの中でも、スチレン、メチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートに対し、本発明の二量体オキシムエステル化合物を有効成分とする光重合開始剤は好適である。
【００２６】
また、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物とともに、熱可塑性有機重合体を用いることによって、硬化物の特性を改善することもできる。該熱可塑性有機重合体としては、例えば、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、メチルメタクリレート−エチルアクリレート共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸、スチレン−（メタ）アクリル酸共重合体、（メタ）アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体、ポリビニルブチラール、セルロースエステル、ポリアクリルアミド、飽和ポリエステル等が挙げられ、これらの中でも、ポリスチレン、（メタ）アクリル酸−メチルメタクリレート共重合体が好ましい。
【００２７】
また、本発明の感光性組成物には、光重合開始剤として、本発明の二量体オキシムエステル化合物の他に、必要に応じて、その他の光重合開始剤を併用することも可能であり、その他の光重合開始剤を併用することによって著しい相乗効果を奏する場合もある。
【００２８】
本発明の二量体オキシムエステル化合物と併用できる光重合開始剤としては、従来既知の化合物を用いることが可能であり、例えば、ベンゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、１−ヒドロキシ−１−ベンゾイルシクロヘキサン、ベンジルジメチルケタール、１−ベンジル−１−ジメチルアミノ−１−（４'−モルホリノベンゾイル）プロパン、２−モルホリル−２−（４'−メチルメルカプト）ベンゾイルプロパン、チオキサントン、１−クロル−４−プロポキシチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、エチルアントラキノン、４−ベンゾイル−４'−メチルジフェニルスルフィド、ベンゾインブチルエーテル、２−ヒドロキシ−２−ベンゾイルプロパン、２−ヒドロキシ−２−（４'−イソプロピル）ベンゾイルプロパン、４−ブチルベンゾイルトリクロロメタン、４−フェノキシベンゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メチル、１，７−ビス（９'−アクリジニル）ヘプタン、９−ｎ−ブチル−３，６−ビス（２'−モルホリノイソブチロイル）カルバゾール、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−ナフチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【００２９】
また、本発明の感光性組成物には、必要に応じて、ｐ−アニソール、ハイドロキノン、ピロカテコール、第三ブチルカテコール、フェノチアジン等の熱重合抑制剤；可塑剤；接着促進剤；充填剤等の慣用の添加剤を加えることができる。
【００３０】
本発明の感光性組成物は、通常、必要に応じて前記の各成分（本発明のオキシムエステル化合物及びエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物）を溶解又は分散し得る溶媒、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、クロロホルム、塩化メチレン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メタノール、エタノール、イソプロパノールを加えた溶液状組成物として用いられる。
【００３１】
本発明の感光性組成物は、ロールコーター、カーテンコーター、各種の印刷、浸漬等の公知の手段で、金属、紙、プラスチック等の支持基体上に適用される。また、一旦フィルム等の支持基体上に施した後、他の支持基体上に転写することもでき、その適用方法に制限はない。
【００３２】
本発明の感光性組成物は、光硬化性塗料、光硬化性インキ、光硬化性接着剤、印刷版、印刷配線板用フォトレジスト等の各種の用途に使用することができ、その用途に特に制限
はない。
【００３３】
また、本発明の二量体オキシムエステル化合物を含有する感光性組成物を硬化させる際に用いられる活性光の光源としては、波長３００〜４５０ｎｍの光を発光するものを用いることができ、例えば、超高圧水銀、水銀蒸気アーク、カーボンアーク、キセノンアーク等を用いることができる。
【００３４】
尚、本発明の感光性組成物において、光重合開始剤の添加量は特に限定されるものではないが、本発明の二量体オキシムエステル化合物は、エチレン性不飽和結合を有する上記重合性化合物１００質量部に対して、好ましくは１〜５０質量部、より好ましくは５〜３０質量部である。
【実施例】
【００３５】
以下、実施例等を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００３６】
〔実施例１〕化合物Ｎｏ．１の製造
＜ステップ１＞ベンゾイル体の製造
下記ベンゾイル体を、以下のようにして製造した。
【００３７】
【化７】
2005097141.tif 000008
【００３８】
２，４−ジクロロベンゾイルクロライド２０．９ｇ（０．１モル）、Ｎ−エチルカルバゾール３０ｇ（０．１５モル）、塩化アルミニウム１３．３ｇ（０．１モル）及びクロロホルム１５０ｇを仕込み、−４０℃にて１時間攪拌した。その後、酢酸エチル２００ｇ及び水２００ｇを加えて油層を抽出し、水洗を行なった。さらに、溶媒を留去後、カラムクロマトグラフィーにより精製を行い、アモルファス状物（収量８．７ｇ、収率２４％、純度９０％）を得た。
【００３９】
得られたアモルファス状物の1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフトは次の通りであり、該アモルファス状物は目的物であるベンゾイル体であることを確認した。
８．５２（ｓ：１Ｈ）、８．１０（ｄ：１Ｈ）、８．００（ｄ：１Ｈ）、７．５３（ｓ：１Ｈ）、７．５１（ｔ：１Ｈ）、７．４５（ｄ：２Ｈ）、７．４１（ｄ：２Ｈ）、７．２８（ｔ：１Ｈ）、４．４１（ｃ：３Ｈ）、１．４７（ｔ：３Ｈ）
【００４０】
＜ステップ２＞アシル体の製造
下記アシル体を、以下のようにして製造した。
【００４１】
【化８】
2005097141.tif 000009
【００４２】
ステップ１で得られたベンゾイル体３６．５ｇ（０．１０モル）、塩化亜鉛２７．２ｇ（０．２モル）及びクロロホルム１００ｇを仕込み、８０℃まで昇温した後、無水酢酸２０．４ｇ（０．２モル）を１時間かけて滴下し、さらに２時間攪拌した。その後、酢酸エチル２００ｇと塩酸水を加えて塩化亜鉛を分解し、水洗を行なった。さらに溶媒を留去して酢酸エチル５００ｇから再結晶を行い、白色結晶（収量９．０ｇ、収率２２％、純度９１％）を得た。
【００４３】
得られた白色結晶は、融点１７２℃で、1Ｈ−ＮＭＲのケミカルシフトが次の通りであり、目的物であるアシル体であることを確認した。
８．７１（ｓ：１Ｈ）、８．５０（ｓ：１Ｈ）、８．１７（ｄ：１Ｈ）、８．０９（ｄ：１Ｈ）、７．５６（ｓ：１Ｈ）、７．５１（ｄ：１Ｈ）、７．４９（ｄ：１Ｈ）、７．４１（ｄ：２Ｈ）、４．４３（ｃ：３Ｈ）、２．７３（ｓ：３Ｈ）、（１．５０ｔ：３Ｈ）
【００４４】
＜ステップ３＞二量体１の製造
下記二量体１を、以下のようにして製造した。
【００４５】
【化９】
2005097141.tif 000010
【００４６】
ステップ２で得られたアシル体９．０３ｇ（０．０２２モル）及びジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）２０ｇを仕込み、さらに１，５−ペンタンジチオール１．３９ｇ（０．０１モル）を仕込み、５０℃まで昇温した。ナトリウムメトキシド４．２４ｇ（０．０２２モル）を徐々に滴下し、６０℃で１時間保持し、続いて６０℃で１時間攪拌した。その後、酢酸エチル２０ｇを加え、油層を水２０ｇにて２回洗浄すると結晶が析出したため、これをろ別し、淡黄色結晶を得た。ろ液を水、続いて飽和食塩水で洗浄し、硫酸ナトリウムで乾燥後、溶媒を留去してさらに淡黄色結晶を得た。得られた淡黄色結晶（二量体１）は、あわせて収量５．４７ｇ、収率６３％、純度８５％であった。
【００４７】
＜ステップ４＞二量体オキシム１の製造
下記二量体オキシム１を、以下のようにして製造した。
【００４８】
【化１０】
2005097141.tif 000011
【００４９】
ステップ３で得られた二量体１の４．４２ｇ（０．００５モル）、ヒドロキシルアミン塩酸塩１．０４ｇ（０．０１５モル）及びＤＭＦ９ｇを仕込み、６０℃で２時間攪拌した。反応液をメタノール：水＝５：１（体積比）５０ｍｌに滴下した。固体をろ別し、メタノール、水で洗浄後、乾燥して淡黄色結晶として二量体オキシム１（収量４．００ｇ、収率８１％、純度８１％）を得た。
【００５０】
＜ステップ５＞化合物Ｎｏ．１の製造
ステップ４で得られた二量体オキシム１の３．６６ｇ（０．００４モル）及びクロロホルム１５ｇを仕込み、６０℃まで昇温した。無水酢酸１．２３ｇ（０．０１２モル）を滴下し、６５℃で３０分攪拌した。クロロホルム５０ｍｌを加え、反応液をメタノール１００ｍｌに滴下すると結晶が析出した。結晶をろ別して、淡黄色結晶（収量０．６３ｇ、収率１８％、純度９２％）を得た。該淡黄色結晶について分析を行なったところ、該淡黄色結晶は目的物である化合物Ｎｏ．１であることが確認された。分析結果を以下に示す。
【００５１】
（分析結果）
（１）融点：１６０．６℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．５１（ｄ：２Ｈ）、８．４４（ｄ：２Ｈ）、８．０８（ｄｄ：２Ｈ）、７．９７（ｄｄ：２Ｈ）、７．４６（ｄ：２Ｈ）、７．４４（ｄ：２Ｈ）、７．４１（ｄ：２Ｈ）、７．３８（ｄ：２Ｈ）、７．３１（ｄｄ：２Ｈ）、４．４１（ｑ：４Ｈ）、３．４９（ｂｒ：２Ｈ）、３．０７（ｔ：４Ｈ）、２．５１（ｓ：６Ｈ）、２．２９（ｓ：６Ｈ）、１．８４‐１．７８（ｍ：４Ｈ）、１．４７（ｔ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９３２、１７６６、１６５１、１６２７、１５９２、１４８９、１３３７、１２９７、１２７４、１２４７、１１２８、９３４、８９６、８１５、７５９、７２０
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
λｍａｘ＝２６１、３００、３４１ｎｍ
【００５２】
〔実施例２〕化合物Ｎｏ．２の製造
＜ステップ１＞二量体２の製造
下記二量体２を、以下のようにして製造した。
【００５３】
【化１１】
2005097141.tif 000012
【００５４】
実施例１のステップ２で製造したアシル体２．２６ｇ（０．００６モル）及びＤＭＦ５ｇを仕込み、１，４−ブタンジチオール０．３２ｇ（０．００３モル）を加え、５０℃まで昇温した。ナトリウムメトキシド０．３０ｇ（０．００６モル）を加え、５０℃で４時間攪拌すると結晶が徐々に析出した。結晶をろ別し、ＤＭＦ、メタノールで洗浄し、薄赤色結晶として二量体２（収量１．８５ｇ、収率８０％、純度９４％）を得た。
【００５５】
＜ステップ２＞二量体オキシム２の製造
下記二量体オキシム２を、以下のようにして製造した。
【化１２】
2005097141.tif 000013
【００５６】
ステップ１で得られた二量体２の３．４８ｇ（０．００４モル）、塩酸ヒドロキシルアミン０．８３ｇ（０．０１２モル）及びＤＭＦ８ｇを仕込み、６０℃で3時間攪拌した。メタノール８ｍｌ及び水４ｍｌを加えて結晶をろ別し、淡黄色結晶として二量体オキシム２（収量２．５４ｇ、収率５８％、純度７４％）を得た。
【００５７】
＜ステップ３＞化合物Ｎｏ．２の製造
ステップ２で得られた二量体オキシム２の２．２５ｇ（０．００３モル）及びクロロホルム１０ｇを仕込み、６０℃まで昇温した。さらに無水酢酸０．６１ｇ（０．００３モル）を滴下し、６５℃で３０分攪拌した。メタノール１００ｍｌに反応液を加えると結晶が析出したので、これをろ別し、淡黄色粗結晶（収量１．９１ｇ、粗収率１００％、純度８５％）を得た。得られた粗結晶をクロロホルム１０ｍｌに溶解し、６０℃まで加熱してメタノール１５ｍｌを滴下した。固体をろ別し、白色結晶（収量１．１３ｇ、収率５９％、純度９５％）を得た。得られた白色結晶について分析を行なったところ、該白色結晶は目的物である化合物Ｎｏ．２であると確認された。分析結果を以下に示す。
【００５８】
（分析結果）
（１）融点：１４９．７℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．５１（ｄ：２Ｈ）、８．４６（ｄ：２Ｈ）、８．０９（ｄｄ：２Ｈ）、７．９７（ｄｄ：２Ｈ）、７．４７（ｄ：２Ｈ）、７．４４（ｄ：２Ｈ）、７．４２（ｄ：２Ｈ）、７．３８（ｄ：２Ｈ）、７．３１（ｄｄ：２Ｈ）、４．４１（ｑ：４Ｈ）、３．１２‐３．０８（ｍ：４Ｈ）、２．５１（ｓ：６Ｈ）、２．２８（ｓ：６Ｈ）、１．９７‐１．９４（ｍ：４Ｈ）、１．４７（ｔ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９３１、１７６０、１６５６、１６２２、１５８５、１４８４、１４３２、１３６８、１３４９、１３３４、１３０８、１２７５、１２４８、１１３１、１１０５、９３６、８９６、８２４、８１３
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
λｍａｘ＝２６１、２９９、３４１ｎｍ
【００５９】
〔実施例３〕化合物Ｎｏ．3の製造
＜ステップ１＞二量体３の製造
下記二量体３を、以下のようにして製造した。
【００６０】
【化１３】
2005097141.tif 000014
【００６１】
実施例１のステップ２で製造したアシル体１０．２ｇ（０．０２５モル）、ｐ−キシレン−α，α’−ジチオール２．０３ｇ（０．０１１モル）及びＤＭＦ２０ｇを仕込み、５０℃まで昇温した後、ナトリウムメトキシド１．３４ｇ（０．０２５モル）を１時間かけて少量ずつ加えた。塩化メチレン２０ｇ及び水２０ｇを加えて抽出を行い、油層を水洗後、硫酸マグネシウムで乾燥し、溶媒を留去してテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）／ジエチルエーテル混合溶媒から再結晶を行い、肌色結晶として二量体３（収量１１．７９ｇ、収率５２％、純度９５％）を得た。
【００６２】
＜ステップ２＞二量体オキシム３の製造
下記二量体オキシム３を、以下のようにして製造した。
【００６３】
【化１４】
2005097141.tif 000015
【００６４】
ステップ１で得られた二量体３の４．５９ｇ（０．００５モル）及びＤＭＦ１０ｇを仕込み、６５℃まで昇温した。さらに塩酸ヒドロキシルアミン１．０４ｇ（０．０１５モル）を滴下し、６５℃で３時間攪拌した。室温まで冷却し、酢酸エチル２０ｇ及び水２０ｇを加えて抽出し、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液、飽和食塩水で洗浄し、硫酸ナトリウムで乾燥後、溶媒を留去して淡黄色固体として二量体オキシム３（収量５．００ｇ、収率７０％、純度５８％）を得た。
【００６５】
＜ステップ３＞化合物Ｎｏ．３の製造
ステップ２で得られた二量体オキシム３の１．５９ｇ（０．００２モル）及びクロロホルム５ｇを仕込み、５５℃まで昇温した。無水酢酸０．４１ｇ（０．００４モル）を滴下し５５℃で３０分攪拌した。その後、反応液をメタノール１００ｍｌに滴下した。固体をろ別し、黄色結晶（収量１．３６ｇ、収率７８％、純度６４％）を得た。得られた黄色結晶について分析を行なったところ、該黄色結晶は目的物である化合物Ｎｏ．３であることが確認された。分析結果を以下に示す。
【００６６】
（分析結果）
（１）融点：１５０．０℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．４９（ｄ：２Ｈ）、８．４５（ｄ：２Ｈ）、８．０６（ｄｄ：２Ｈ）、７．９７（ｄｄ：２Ｈ）、７．４６（ｄ：２Ｈ）、７．４４（ｄ：２Ｈ）、７．４１‐７．３９（ｍ：４Ｈ）、７．３４（ｄ：４Ｈ）、７．２８（ｄｄ：２Ｈ）、４．４１（ｑ：４Ｈ）、４．２４（ｓ：４Ｈ）、２．５２（ｓ：６Ｈ）、２．２９（ｓ：６Ｈ）、１．４７（ｔ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９７５、１７６１、１６４９、１５８９、１４８８、１４２８、１３７２、１２３７、１２９６、１２０４、１１２８、１０４７、９８３、９３４、９０１、８５９、８１８、７６０、７１８、６６９、６２８
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
λｍａｘ＝２６１、３００、３４４ｎｍ
【００６７】
〔実施例４〕二量体オキシムエステル化合物の混合物の製造
＜ステップ１＞二量体４の製造
下記二量体４を、以下のようにして製造した。
【００６８】
【化１５】
2005097141.tif 000016
【００６９】
水素化ナトリウム０．３０ｇ（０．００６モル）に１，３‐ ジメチル‐２‐イミダゾリジノン（ＤＭＩ）１ｇを混合し、これにジエチレングリコール０．２９ｇ（０．００３モル）を徐々に滴下して、水素ガスの発生がおさまるまで攪拌した。続いて、実施例１のステップ２で製造したアシル体３．０８ｇ（０．００８モル）及びＤＭＩ ４ｇを仕込み、これに、先に調製した水素化ナトリウム、ＤＭＩ及びジエチレングリコールを混合したものを１時間かけて徐々に滴下した。１００℃で３時間反応を行い、ジクロロメタン２０ｇ及び水２０ｇを加えて抽出を行った。油層を硫酸マグネシウムで乾燥し、溶媒を留去して、クロロホルム／メタノール混合溶媒を用いて再沈殿を行い、淡黄色結晶として二量体４（収量１．７３ｇ、収率２８％、純度３４％）を得た。
【００７０】
＜ステップ２＞二量体オキシム４の製造
下記二量体オキシム４を、以下のようにして製造した。
【００７１】
【化１６】
2005097141.tif 000017
【００７２】
ステップ１で得られた二量体４の１．７１ｇ（０．００２モル）、塩酸ヒドロキシルアミン０．４２ｇ（０．００６モル）及びＤＭＦ４ｇを仕込み、６０℃で３時間攪拌した。反応液をメタノール：水＝４：１（体積比）５０ｍｌに滴下した。固体をろ別し、淡黄色結晶として二量体オキシム４（収量２．５０ｇ、収率２９％、純度３８％）を得た。
【００７３】
＜ステップ３＞二量体オキシムエステル化合物の混合物の製造
下記二量体オキシムエステル化合物の混合物を、以下のようにして製造した。
【００７４】
【化１７】
2005097141.tif 000018
【００７５】
ステップ２で得られた二量体オキシム４の０．１５ｇ（０．０００２モル）及びクロロホルム１ｇを仕込み、５５℃まで昇温した。続いて無水酢酸０．０４２ｇ（０．０００４モル）を滴下し、５５℃で１時間攪拌した。反応液をメタノール１０ｍｌに滴下した。固体をろ別し、黄色結晶（収量０．０６５ｇ、収率３６％、純度８８％）を得た。得られた黄色結晶について分析を行なったところ、該黄色結晶は目的物である二量体オキシムエステル化合物の混合物であることが確認され、得られた二量体オキシムエステル化合物の混合物のうち、ｏ‐ｏ体は１６％、ｏ‐ｐ体は４８％、ｐ‐ｐ体は３６％であった。分析結果を以下に示す。なお、融点、1Ｈ−ＮＭＲ測定、ＩＲ測定については混合物についての分析結果であり、ＵＶスペクトル測定については、三次元ＨＰＬＣ分析において検出器をＵＶとし、ｏ‐ｏ体、ｏ‐ｐ体、ｐ‐ｐ体それぞれの保持時間において検出した分析結果である。
【００７６】
（分析結果）
（１）融点：１６０．７℃
（２）1Ｈ−ＮＭＲ測定：
８．５３ー８．４２（ｍ：４Ｈ）、８．１２ー７．８９（ｍ：４Ｈ）、７．４７ー６．６０（ｍ：１０Ｈ）、４．４４ー４．３１（ｍ：４Ｈ）、４．１６ー３．０４（２Ｈ，２Ｈ，ｔ，ｔ）[４．１６（ｔ：２Ｈ）、３．６８（ｔ：２Ｈ）、３．６５（ｔ：２Ｈ）、３．５５（ｔ：２Ｈ）、３．４５（ｔ：２Ｈ）、３．０４（ｔ：２Ｈ）]、２．５０ー２．４８（ｍ：６Ｈ）、２．２９ー２．２６（ｍ：６Ｈ）、１．５０ー１．３７（ｍ：６Ｈ）
（３）ＩＲ測定：（ｃｍ‐1）
２９３２、１７６２、１６５４、１６２７、１５９１、１４８６、１３６６、１３３６、１２９８、１２７３、１２４６、１１２９、１０９２、１０４２、９３４、８１２、７６９、７６２、７２７
（４）ＵＶスペクトル測定（アセトニトリル：水＝９：１）
ｏ‐ｏ体：λｍａｘ＝２７１、２９９、３４１ｎｍ
ｏ‐ｐ体：λｍａｘ＝２６５、２９７、３４１ｎｍ
ｐ‐ｐ体：λｍａｘ＝２６３、２９６、３３９ｎｍ
【００７７】
〔実施例５〕感光性組成物の製造
アクリル系共重合体１００ｇに対し、トリメチロールプロパンアクリレート０．４ｇ、実施例１で得られた化合物Ｎｏ．１の０．０２ｇ及び２，２−ビス（２−クロロフェニル）−４，５，４'，５'−テトラフェニル−１−２'−ビイミダゾール０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
尚、上記アクリル系共重合体は、メタクリル酸２０質量部、ヒドロキシエチルメタクリレート１５質量部、メチルメタクリレート１０質量部及びブチルメタクリレート５５質量部をエチルセロソルブ３００質量部に溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５質量部を加えて７０℃で５時間反応させることにより得られたものである。
【００７８】
次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させた後、上記感光性組成物をスピンコート（１０００ｒ．ｐ．ｍ、４０秒間）し乾燥させた。７０℃で２０分間プリベークを行った後、画素サイズ３０μｍ×１００μｍのマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光した。次に、２．５質量％炭酸ナトリウム溶液で現像後、良く水洗し、さらに水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定着させた。尚、露光量は８０ｍＪ／ｃｍ2であった。
【００７９】
光重合開始剤として本発明の二量体オキシムエステル化合物を含有する上記感光性組成物は、感度に優れ、重合物の着色や重合物及び装置の汚染がなく、得られたパターンは鮮明であった。また、上記感光性組成物をスピンコートした後１０日以上放置しても、光重合開始剤の析出はなかった。
【００８０】
〔実施例６〕感光性組成物の製造
スチレン−アクリル系感光性共重合体１００ｇに対し、トリメチロールプロパンアクリレート０．４ｇ及び実施例１で得られた化合物Ｎｏ．１の０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
尚、上記スチレン−アクリル系感光性共重合体は、スチレン２６．３質量部、２−ヒドロキシメタクリレート４３．８質量部、メタクリル酸３５質量部及びメタクリル酸エチル７０質量部をエチルセロソルブ１７５質量部に溶解し、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５質量部を加え９０℃で５時間反応させ、次いで、イソシアネートエチルメタクリレート２３．５質量部及びオクチル酸錫０．１１質量部をエチルセロソルブ２０質量部で溶解したものを約１０分かけて滴下し、滴下後２時間反応させることにより得られたものである。
【００８１】
次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させた後、上記感光性組成物をスピンコート（１０００ｒ．ｐ．ｍ、４０秒間）し乾燥させた。７０℃で２０分間プリベークを行った後、画素サイズ３０μｍ×１００μｍのマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光した。次に、２．５質量％炭酸ナトリウム溶液で現像後、良く水洗し、さらに水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定着させた。尚、露光量は８０ｍＪ／ｃｍ2であった。
【００８２】
光重合開始剤として本発明の二量体オキシムエステル化合物を含有する上記感光性組成物は、感度に優れ、重合物の着色や重合物及び装置の汚染がなく、得られたパターンは鮮明であった。また、上記感光性組成物をスピンコートした後１０日以上放置しても、光重合開始剤の析出はなかった。
【００８３】
〔比較例１〕感光性組成物の製造
実施例５で用いたアクリル系共重合体１００ｇに対して、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート０．４ｇ及び比較化合物１（下記〔化１８〕）１０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
【００８４】
【化１８】
2005097141.tif 000019
【００８５】
次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させた後、上記感光性組成物をスピンコート（１３００ｒ．ｐ．ｍ、５０秒間）し乾燥させた。７０℃で２０分間プリベークを行った後、ポリビニルアルコール５質量％溶液をコートして酸素遮断膜とした。７０℃２０分間の乾燥後、所定のマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光後、２．５質量％炭酸ナトリウム溶液で現像して良く水洗した。水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定着させた。尚、露光量は、８０ｍＪ／ｃｍ2であった。得られたパターンは、実施例５で得られたパターンに較べて不鮮明であった。
【００８６】
〔比較例２〕感光性組成物の製造
アクリル系共重合体の代わりに実施例６で用いたスチレン−アクリル系感光性共重合体を用いた以外は、比較例１と同一の条件で、感光性組成物を得、該感光性組成物を用いてパターンを作成した。
【００８７】
上記感光性組成物は、比較例１の感光性組成物と同様の特性を有しており、実施例６の感光性組成物に較べて感度が劣っていた。また、この感光性組成物をスピンコートした後に５日以上放置すると、光重合開始剤の析出が起こった。
【００８８】
〔比較例３〕感光性組成物の製造
実施例５で用いたアクリル系共重合体１００ｇに対して、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート０．４ｇ及び比較化合物２（下記〔化１９〕）１０．０２ｇを加えて良く攪拌し、感光性組成物を得た。
【００８９】
【化１９】
2005097141.tif 000020
【００９０】
次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させた後、上記感光性組成物をスピンコート（１３００ｒ．ｐ．ｍ、５０秒間）し乾燥させた。７０℃で２０分間プリベークを行った後、ポリビニルアルコール５質量％溶液をコートして酸素遮断膜とした。７０℃２０分間の乾燥後、所定のマスクを用い、光源として超高圧水銀ランプを用いて露光後、２．５質量％炭酸ナトリウム溶液で現像して良く水洗した。水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定着させた。尚、露光量は、８０ｍＪ／ｃｍ2であった。得られたパターンは、実施例５で得られたパターンに較べて不鮮明であった。
【００９１】
〔比較例４〕感光性組成物の製造
アクリル系共重合体の代わりに、実施例６で用いたスチレン−アクリル系感光性共重合体を用いた以外は、比較例３と同一の条件で、感光性組成物を得、該感光性組成物を用いてパターンを作成した。
【００９２】
上記感光性組成物は比較例３の感光性組成物と同様の特性を有しており、実施例６の感光性組成物に較べて感度が劣っていた。また、上記感光性組成物をスピンコートした後に５日以上放置すると、光重合開始剤の析出が起こった。