(57)【要約】【課題】  容易かつ迅速に非接着ＩＣタグ付シートを製造する。【解決手段】  ＵＶ剥離シート１１ａと、ダイシング済ウエハ１２とからなる剥離シート付ウエハ１１を準備する。一方非導電体シート２１と、アンテナ２４とからなるアンテナ形成済シート２５を準備し、このアンテナ形成済シート２５を剥離シート付ウエハ１１側へ供給する。剥離シート付ウエハ１１に対してアンテナ形成済シート２５と反対側から、ＵＶ照射機１９からのＵＶ光１６をマスク１５を介して照射する。ＵＶ光１６が照射されたＵＶ剥離シート１１ａの接着力が低下し、ＵＶ剥離シート１１ａからＩＣチップ２０が浮上する。ＵＶ剥離シート１１ａから浮上したＩＣチップ２０はアンテナ形成済シート２５のアンテナ２４上に接着される。【選択図】  図１
2005250654.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＵＶ剥離シート上に多数のＩＣチップからなるダイシング済ウェハが接着して配置された剥離シート付ウェハを準備する工程と、
非導電体シートと、この非導電体シート上に設けられたアンテナとからなるアンテナ形成済シートを剥離シート付ウェハ側へ供給するとともに、剥離シート付ウェハのウェハをアンテナに向い合わせる工程と、
剥離シート付ウェハのアンテナ形成済シートの反対側から、１個のＩＣチップにＵＶ光を照射する工程とを備え、
剥離シート付ウェハの各ＩＣチップをＵＶ光によりＵＶ剥離シートから剥離して浮かせ、このようにしてＵＶ剥離シートから剥離したＩＣチップをアンテナ形成済シートのアンテナ上に接続することを特徴とするＩＣタグ付シートの製造方法。
【請求項２】
剥離シート付ウェハにＵＶ光を照射する前に、アンテナ形成済シートのアンテナのうち、ＩＣチップが配置される部分に導電性接着剤を予め塗布することを特徴とする請求項１記載のＩＣタグ付シートの製造方法。
【請求項３】
ＩＣチップは平坦状電極を有し、この電極を介してアンテナに接続されることを特徴とする請求項１または２記載のＩＣタグ付シートの製造方法。
【請求項４】
ＩＣチップは先端が尖った電極を有し、この電極をアンテナに突き刺すことによりアンテナに接続されることを特徴とする請求項１または２記載のＩＣタグ付シートの製造方法。
【請求項５】
ＵＶ光を照射する工程において、ＩＣチップに対応する形状の開口を有するマスクを介してＵＶ光を照射することを特徴とする請求項１記載のＩＣタグ付シートの製造方法。
【請求項６】
ＵＶ光を照射する工程において、ＩＣチップに対応する大きさにＵＶ光を集光するレンズを介してＵＶ光を照射することを特徴とする請求項１記載のＩＣタグ付シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、外部のリーダ・ライタと非接触でデータの授受を行うことができる非接触ＩＣタグを有する非接触ＩＣタグ付シートを製造する製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より外部のリーダ・ライタと非接触でデータの授受を行う非接触ＩＣタグは、ＩＣチップとアンテナとを有しており、このような非接触ＩＣタグは基材シートに設けられ、このようにして非接触ＩＣタグ付シートが得られる。この場合、予め基材シートにアンテナを設けておき、基材シートのアンテナ上にＩＣチップを実装している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述したように、基材シートにアンテナを予め設けておき、このアンテナ上にＩＣチップを実装することにより、非接触ＩＣタグ付シートを製造している。このような場合、多数のＩＣチップからなるウェハから、直接ＩＣチップを取出して基材シートのアンテナ上に実装することができれば、非接触ＩＣタグ付シートを容易に製造することができて都合がよい。
【０００４】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ウェハからＩＣチップを取出してこのＩＣチップを直接基材シートのアンテナ上へ実装することができ、非接触ＩＣタグ付シートを容易に製造することができる製造方法および製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、ＵＶ剥離シート上に多数のＩＣチップからなるダイシング済ウェハが接着して配置された剥離シート付ウェハを準備する工程と、非導電体シートと、この非導電体シート上に設けられたアンテナとからなるアンテナ形成済シートを剥離シート付ウェハ側へ供給するとともに、剥離シート付ウェハのウェハをアンテナに向い合わせる工程と、剥離シート付ウェハのアンテナ形成済シートの反対側から、ＩＣチップに対応する形状の開口を有するマスクを介してＵＶ光を照射する工程とを備え、剥離シート付ウェハの各ＩＣチップをＵＶ光によりＵＶ剥離シートから剥離して浮かせ、このようにしてＵＶ剥離シートから剥離したＩＣチップをアンテナ形成済シートのアンテナ上に接続することを特徴とするＩＣタグ付シートの製造方法である。
【０００６】
本発明は、剥離シート付ウェハにＵＶ光を照射する前に、アンテナ形成済シートのアンテナのうち、ＩＣチップが配置される部分に導電性接着剤を予め塗布することを特徴とするＩＣタグ付シートの製造方法である。
【０００７】
本発明は、ＩＣチップは平坦状電極を有し、この電極を介してアンテナに接続されることを特徴とするＩＣタグ付シートの製造方法である。
【０００８】
本発明は、ＩＣチップは先端が尖った電極を有し、この電極をアンテナに突き刺すことによりアンテナに接続されることを特徴とするＩＣタグ付シートの製造方法である。
【０００９】
本発明は、ＵＶ光を照射する工程において、ＩＣチップに対応する形状の開口を有するマスクを介してＵＶ光を照射することを特徴とするＩＣタグ付シートの製造方法である。
【００１０】
本発明は、ＵＶ光を照射する工程において、ＩＣチップに対応する大きさにＵＶ光を集光するレンズを介してＵＶ光を照射することを特徴とするＩＣタグ付シートの製造方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、ウェハからＩＣチップを取出してこのＩＣチップを直接基材シートのアンテナ上へ実装することができ、これにより非接触ＩＣタグ付シートを容易かつ簡単に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】
図１および図２は、本発明による非接触ＩＣタグ付シートの製造方法の実施の形態を示す図である。
【００１４】
まず図２により非接触ＩＣタグ付シートについて説明する。非接触ＩＣタグ付シート１０は非導電体シート（基材シートともいう）２１と、非導電体シート２１上に予め設けられたアンテナ２４と、アンテナ２４上に導電性接着剤１８を介して接着固定されたＩＣチップ２０とを備えている。
【００１５】
このうちＩＣチップ２０はＩＣチップ本体２０ａと、ＩＣチップ本体２０ａの下面に設けられた平坦状電極２０ｂとを有し、この平坦状電極２０ｂが導電性接着剤１８を介してアンテナ２４の端子部２４ａに接続されている。
【００１６】
上記のように構成される非接触ＩＣタグ付シート１０は、後工程においてアンテナ２４単位で打抜かれ、このようにして非導電体シート２１と、非導電体シート２１上のアンテナ２４と、アンテナ２４の端子部２４ａに接着固定されたＩＣチップ２０とを有する非接触ＩＣタグが得られる。
【００１７】
次に図１により非接触ＩＣタグ付シートの製造方法について説明する。
【００１８】
まずＵＶ剥離シート１１ａ上に多数のＩＣチップ２０からなるダイシング済ウェハ１２を接着して固定することにより剥離シート付ウェハ１１を作製して準備する。
【００１９】
他方、ＰＥＴまたは紙等の材料からなる非導電体シート（基材シート）２１と、この非導電体シート２１上に配置された金属箔や導電インキからなるアンテナ２４とを有するアンテナ形成済シート２５が準備される。このアンテナ形成済シート２５のアンテナ２４は、上述のように一対の端子部２４ａを有し、このアンテナ２４の端子部２４ａにＩＣチップ２０の電極２０ｂが接続されるようになっている。またアンテナ２４の端子部２４ａと反対側の部分に、一対の追加端子部２４ｂが設けられ、この追加端子部２４ｂ同志は接続部材２４ｃにより互いに接続されている。
【００２０】
このような構成からなるアンテナ形成済シート２５は、予めアンテナ形成済シート供給装置２５ａに設置され、このアンテナ形成済シート供給装置２５ａからアンテナ形成済シート２５が剥離シート付ウエハ１１側へ供給される。
【００２１】
次にアンテナ形成済シート供給装置２５ａから供給されたアンテナ形成済シート２５のアンテナ２４のうち、ＩＣチップ２０の電極２０ｂが接続される一対の端子部２４ａに対して、接着剤塗布機３４から導電性接着剤１８が塗布される。
【００２２】
次にアンテナ形成済シート２５が剥離シート付ウエハ１１の上方に達する。このとき剥離シート付ウエハ１１のウエハ１２がアンテナ形成済シート２５のアンテナ２４側を向く。すなわち図１において、アンテナ形成済シート２５のアンテナ２４は非導電体シート２１の下面に配置され、剥離シート付ウエハ１１のウエハ１２はＵＶ剥離シート１１ａの上面に配置されている。
【００２３】
その後、アンテナ形成済シート２５が停止し、剥離シート付ウエハ１１のアンテナ形成済シート２５と反対側からＵＶ照射機１９によりＵＶ光１６が照射される。この場合、ＵＶ照射機１９と剥離シート付ウエハ１１との間に、ＩＣチップ２０に対応する形状の開口１５ａを有するマスク１５が配置され、ＵＶ照射機１９からのＵＶ光１６はこのマスク１５の開口１５ａを通って剥離シート付ウエハ１１の１個のＩＣチップ２０に対応する部分に達する。
【００２４】
なお、ＵＶ照射機１９からのＵＶ光１６をＩＣチップ２０に対応する大きさにＵＶ光を集光するレンズ（図示せず）を介して剥離シート付ウエハ１１の１個のＩＣチップに対応する部分に照射してもよい。
【００２５】
剥離シート付ウエハ１１にＵＶ光１６が達すると、ＵＶ剥離シート１１ａのうちＵＶ光１６が照射する部分の接着力が低下する。このとき、ＵＶ剥離シート１１ａ上に接着されていたダイシング済ウエハ１２のうち、ＵＶ剥離シート１１ａの接着力が低下した部分に対応する１個のＩＣチップ２０がＵＶ剥離シート１１ａから剥離して浮き上がる。次にＵＶ剥離シート１１ａから浮き上がったＩＣチップ２０は、アンテナ形成済シート２５のアンテナ２４側へ移行し、アンテナ２４の端子部２４ａに導電性接着剤１８を介して接続される。
【００２６】
その後、熱圧着機３５によりＩＣチップ２０をアンテナ形成済シート２５側へ加圧し、このようにしてＩＣチップ２０の平坦状電極２０ｂをアンテナ２４の端子部２４ａに導電性接着剤１８を介して確実に接着固定することができる。
【００２７】
このようにして、非導電体シート（基材シート）２１と、非導電体シート２１上のアンテナ２４と、基材シート２１上に導電性接着剤１８を介して接着固定されたＩＣチップ２０とからなる非接触ＩＣタグ付シート１０が得られる。
【００２８】
このようにして得られた非接着ＩＣタグ付シート１０は、巻取部３０において巻取られ
る。
【００２９】
なお、図１において、アンテナ形成済シート供給装置２５ａ、接着剤塗布機３４、マスク１５、ＵＶ照射機１８および熱圧着機３５により本発明による非接触ＩＣタグ付シートの製造装置が構成される。
【００３０】
以上のように本実施の形態によれば、ＵＶ剥離シート１１ａと、ダイシング済ウエハ１２とを有する剥離シート付ウエハ１１に対してＵＶ照射機１９からマスク１５を介してＵＶ光を照射する。このことにより、ＵＶ剥離シート１１の接着力を低下させて個々のＩＣチップ２０をＵＶ剥離シート１１から浮き上がらせることができる。このためウエハ１２からＩＣチップ２０を取出して、このＩＣチップ２０を直接アンテナ形成済シート２５のアンテナ２４上へ実装することができる。これにより、非接触ＩＣタグ付シート１０を容易に製造することができる。
【００３１】
次に図３により本発明の変形例について説明する。
【００３２】
図３に示す変形例は、ＩＣチップ２０がＩＣチップ本体２０ａと、ＩＣチップ本体２０ａに設けられ先端が尖った電極２０ｃとを有する点が異なるのみであり、他の構成は図１および図２に示す実施の形態と略同一である。
【００３３】
図３において、図１および図２に示す実施の形態と同一部分には同一符号を符して詳細な説明は省略する。
【００３４】
図３に示すようにＩＣチップ２０の電極２０ｃは先端が尖っているため、ＩＣチップ２０を熱圧着機３５により加圧した場合、電極２０ｃが導電性接着剤１８を介してアンテナ２４の端子部２４ａに突き刺さる。このことにより、電極２０ｃをアンテナ２４の端子部２４ａに堅固に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明による非接触ＩＣタグ付シートの製造方法の概略示す図。
【図２】非接触ＩＣタグ付シートを示す側面図。
【図３】本発明の変形例を示す図。
【符号の説明】
【００３６】
１０  非接触ＩＣタグ付シート
１１  剥離シート付ウエハ
１１ａ  ＵＶ剥離シート
１２  ダイシング済ウエハ
１５  マスク
１５ａ  開口
１８  導電性接着剤
１９  ＵＶ照射機
２０  ＩＣチップ
２０ａ  ＩＣチップ本体
２０ｂ  平坦状電極
２０ｃ  先が尖った電極
２１  非導電体シート
２４  アンテナ
２４ａ  端子部
２５  アンテナ形成済シート
２５ａ  アンテナ形成済シート供給装置
３０  巻取部
３４  接着剤塗布機
３５  熱圧着機
【図１】
2005250654.tif 000003
【図２】
2005250654.tif 000004
【図３】
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