(57)【要約】【課題】  記録性能の向上を実現するために同時駆動する記録素子の数を増やしながら、配線幅の増加を抑え成膜プロセスで作られる基板サイズの増大を抑えることができる記録ヘッド用基板、その基板を用いた記録ヘッド、及びその記録ヘッドを用いた記録装置を提供することである。【解決手段】  基板の配線を共通配線にすると共に、発熱抵抗体に印加されるエネルギーが同時駆動数の差によってインクの吐出安定範囲から逸脱しないようにするために、駆動素子のサイズを従来に対して著しく小型化することでＭＯＳ型トランジスタの動作をその非飽和領域から飽和領域に移動させて動作させる。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の記録素子と前記複数の記録素子に対応して設けられ対応した記録素子の駆動をスイッチング制御するＭＯＳトランジスタで構成された駆動素子と有する記録ヘッド用素子基板であって、
前記複数の記録素子が時分割駆動のために分割された複数のブロックに共通的に電力を供給する共通配線部と、
前記共通配線部に電力を供給する第１のパッドとを有し、
前記駆動素子は、飽和領域で駆動が成される素子であることを特徴とする記録ヘッド用素子基板。
【請求項２】
前記複数の記録素子は電気熱変換体であり、
前記電気熱変換体の一端は前記共通配線部に接続され、他端は前記ＭＯＳトランジスタのドレインに接続されていることを特徴とする請求項１に記載の記録ヘッド用素子基板。
【請求項３】
前記ＭＯＳトランジスタはドレイン−ソース電流の飽和領域で動作されることを特徴とする請求項２に記載の記録ヘッド用素子基板。
【請求項４】
前記複数の駆動素子を制御する論理回路と、
前記共通配線部に対応し、前記複数のブロックに共通化のＧＮＤ配線部と、
前記ＧＮＤ配線部を接続する第２のパッドとをさらに有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の記録ヘッド用素子基板。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の記録ヘッド用素子基板を用いた記録ヘッド。
【請求項６】
前記記録ヘッドはインクジェット記録ヘッドであることを特徴とする請求項５に記載の記録ヘッド。
【請求項７】
前記電気熱変換体は、熱エネルギーを利用してインクを吐出するために、インクに与える熱エネルギーを発生することを特徴とする請求項６に記載の記録ヘッド。
【請求項８】
請求項５乃至７のいずれかに記載の記録ヘッドを用いた記録装置。
【請求項９】
請求項５乃至７のいずれかに記載の記録ヘッドを駆動する記録ヘッドの駆動方法であって、
前記複数の記録素子を複数のブロックに分割して時分割駆動する際に、前記複数の駆動素子を定電流駆動することを特徴とする記録ヘッドの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は記録ヘッド用基板、その基板を用いた記録ヘッド、その記録ヘッドの駆動方法、及びその記録ヘッドを用いた記録装置に関し、特に、記録媒体へインクを吐出して画像等の記録を行なうインクジェット方式に従う記録ヘッドの記録ヘッド用基板、その基板を用いた記録ヘッド、その記録ヘッドの駆動方法、及びその記録ヘッドを用いた記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録方法の内、熱エネルギーを液体に作用させて、液滴吐出の原動力を得る記録方法は、熱エネルギーの作用を受けた液体が加熱されて気泡を発生し、この気泡発生に基づく作用力によって、記録ヘッド先端の吐出口から液滴が形成され、この液滴が記録媒体に付着して情報の記録が行われるという特徴を有している点において、他のインクジェット記録方法とは異なる特徴を有している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような熱エネルギーを用いた記録方法に適用されるインクジェット記録ヘッド（以下、記録ヘッド）は、一般に液体を吐出するために設けられた吐出口と、この吐出口に連通して液滴を吐出するための熱エネルギーが液体に作用する部分である熱作用部を構成の一部とする液流路とを有する液吐出部、及び熱エネルギーを発生する手段である電気熱変換体としての発熱抵抗体と、それをインクから保護する上部保護層と蓄熱するための下部層とを具備している。
【０００４】
このような記録ヘッドでは、その特徴を生かすため高密度化、高速化のため発熱抵抗体の数を多くすることが必要となっている。ところが発熱抵抗体の数が多くなると外部配線板との電気接続数が多くなる。また、高密度で発熱抵抗体を並べるとそれぞれの発熱抵抗体の電極パッドのピッチが小さくなり通常の電気接続方法（ワイヤーボンディング等）では接続不可能となる。
【０００５】
そこで、従来は、基板上に発熱抵抗体の駆動素子を作り込むことによって、この問題を解決している（例えば、特許文献２参照）。また、従来よりインク吐出口を形成したオリフィスプレートを基板上に貼り付け、形成することによって、熱作用部面から垂直に吐出するタイプの記録ヘッドも提案されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００６】
このような記録ヘッドでは、オリフィスプレート上に溜まるインクの除去性を向上し、また同じ基板上に複数のインク供給口を設け、ひとつの基板で複数の種類のインクを吐出できるよう、長溝状のインク供給口の短辺と平行な基板外周の辺に電極パッドを設けて、基板外部との接続を行っている。
【０００７】
この構成では、発熱抵抗体にいたるまでの配線抵抗が大きくなり易く、同じ配線に接続された複数の発熱抵抗体を複数同時に駆動可能な構成にすると、その配線部分での共通抵抗により同時駆動の数の違いによって電圧降下差が大きく異なり、画像データにより適正な発泡が得られない場合が発生する。
【０００８】
そのため、記録ヘッドを製品化する上で夫々が同じ抵抗をもつように複数の配線に分割し、共通配線に接続された発熱素子では同時に１つの発熱抵抗体しか駆動されないように時分割駆動をすることで同時駆動される発熱抵抗体数の変化に基づく共通配線による悪影響を低く抑える構成がとられてきた。
【０００９】
図１２は従来の複数配線によるインクジェット記録ヘッド用基板の構造を示す図である。
【００１０】
図１２において、１１００はインクジェット記録ヘッド用基板、１１０４は電極パッド、１１０８は個別配線である。
【００１１】
また、図１３は図１２の基板を構成する一部の等価回路を示す図である。
【００１２】
具体的には、図１２において円で囲まれた部分の等価回路が図１３に示す回路に相当する。
【００１３】
図１３において、１１０３は発熱抵抗体（ヒータ）、１１０７は発熱抵抗体１１０３を駆動するための駆動素子であるＭＯＳトランジスタ、１１０４ａは発熱抵抗体１１０３にエネルギーを供給するための電圧を印加するための電極パッド、１１０４ｂは発熱抵抗体１１０３にエネルギーを供給するためのＧＮＤ配線用電極パッド、１１０４ｃはＭＯＳトランジスタの最終的にはゲートに印加される電圧を決定するための電圧供給用電源入力パッド、１１０４ｄは実際は複数の電極パッド（不図示）で構成されロジック回路を駆動するための電源入力パッドであり、ＧＮＤ、画像データ入力、時分割駆動、発熱抵抗体駆動時間決定するために必要なロジック用電極パッドなどが含まれる。
【００１４】
１１１２−（１）〜（ｎ）、１１１３−（１）〜（ｎ）は（ロジック回路上で）同時に駆動される発熱抵抗体ごとに個別に配線していることにより生じている個別配線抵抗である。
【００１５】
１１０９は電極パッド１１０４ｃより入力された電圧の安定化や、必要に応じて電圧を降下させる素子である駆動素子駆動電圧変換部、１１１０はシフトレジスタ（Ｓ／Ｒ）、ラッチ回路、時分割信号決定回路、駆動時間決定信号の生成回路などのロジック回路、１１１１はロジック制御信号とＭＯＳトランジスタ１１０７の駆動電圧とを合成する合成回路である。
【００１６】
ロジック回路１１１０と合成回路１１１１とにおいて合成された画像データ、時分割信号、駆動時間決定信号等に基づいてＭＯＳトランジスタ１１０７がオンされ、発熱抵抗体１１０３に電流が流れ、そのエネルギーにより熱が発生し、発熱抵抗体１１０３に接しているインクが膜発泡をすることで得られるパワーによりインクが吐出される。
【００１７】
なお、ある時刻に注目すると、図１３において点線において囲まれた部分にある複数の発熱抵抗体の内、１つだけが駆動される。言い換えると、点線において囲まれた部分部分各々をブロックとすれば、各ブロックに属する複数の発熱素子の内、１つづつが同時駆動される。これをブロック時分割駆動という。
【００１８】
ここで、図１４〜図１５を参照して同時に駆動される発熱体駆動素子の動作点について説明する。
【００１９】
図１４は図１３に示す等価回路から、複数の発熱抵抗体の内、ブロック時分割駆動により同時駆動される１分割分のみ抽出して示した等価回路である。
【００２０】
図１４において、ＲＨは同時駆動される発熱抵抗体の中のひとつの抵抗値、ＲＬ１は図１３に示した個別配線１１１２−（ｘ）（ここで、ｘ＝１，ｎ）ひとつあたりの配線抵抗値、ＲＬ２は図１３に示した個別配線１１１３−（ｘ）（ここで、ｘ＝１，ｎ）ひとつあたりの配線抵抗値、ＲＣ１、ＲＣ２は電極パッド１１０４ａ及び１１０４ｂのように個別配線が共通化された先の電気配線テープや電気コンタクト基板上で発生する共通配線抵抗値部分である。
【００２１】
さらに、図１４において、発熱抵抗体１１０３に電源が供給され、駆動された際に生じる個別配線＋発熱抵抗体＋発熱体駆動素子（ＭＯＳトランジスタ）の間にかかる電圧をＶＨ、駆動される際に流れる電流をＩＤＳ、ＭＯＳトランジスタ１１０７のドレイン−ソース間に発生する電圧をＶＤＳとする。
【００２２】
また、ＭＯＳトランジスタ１１０７に付されたＤ，Ｇ，Ｓは夫々、ドレイン、ゲート、ソースを示す。
【００２３】
ここで、シリコン（Ｓｉ）等の基板上ではない部分で生じている抵抗値ＲＣ１，ＲＣ２は基板外部の構成であることから配線厚をが厚くする設計を行うなどの自由度がある。そして、これら抵抗値の関係はＲＣ１，ＲＣ２＜ＩDSの変動との関係を示す図である。
【００２４】
従来の発熱体駆動素子は発熱抵抗体に供給する電源電圧を共通で使用する等で能力が十分にあるＭＯＳトランジスタの非飽和領域で動作するように構成されていた。この場合、同時駆動される発熱抵抗体の差によって生じるＶＨの差は、非常に小さい抵抗値ＲＣ１，ＲＣ２とトータルの電流による差から生じる電圧差しかなく、この範囲であれば、図１５に示すように、その電流変動は安定的にインク吐出が可能な範囲に収まる。
【００２５】
しかしながら、図１５から分かるように、結果的に発熱抵抗体に流れる電流であるＩDSの動作点（□：同時駆動数が多い時、■：同時駆動数が少ない時）は、発熱抵抗体の同時駆動数によって異なる。一方、設計上、その電流の差が約５％以内となることが望まれており、インクジェット記録ヘッド用の基板の回路設計は非常に厳しい条件の中で行うことを余儀なくされている状態であった。
【特許文献１】特開昭５４−５１８３７号公報
【特許文献２】特開昭５７−７２８６７号公報
【特許文献３】特開昭５９−９５１５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
さて、近年になり、インクジェット記録装置の高速化、高画質化はますます進んでおり、その装置に搭載する記録ヘッドやその記録ヘッドに用いる回路基板はより多くの発熱抵抗体を備え、記録ヘッドは高い周波数で駆動することが求められている。
【００２７】
多くの発熱抵抗体を駆動するためには、まず、ブロック時分割駆動における時分割数を増やすことが考えられる。時分割数を増やすことにより、配線数を変えずにより多くの発熱抵抗体を駆動することが可能になる。しかし、各々の発熱抵抗体に与えることのできる駆動時間は短くなり、また、より高い周波数で駆動するためには駆動時間がさらに短くすることが要求される。
【００２８】
記録ヘッドからインク吐出を安定して行うためには、各々の発熱抵抗体に加わるエネルギーを制御する必要がある。そのため、従来より発熱抵抗体の駆動時間を変化させることで発熱抵抗体に加えるエネルギーを制御する方法が用いられている。しかし、そのような方法を用いたとしても依然として駆動時間がある程度必要であり、従来の方法では、この時間は限界まで短くなっている。
【００２９】
一方で、駆動時間を変えずに発熱抵抗体数を増やし同じ周波数で駆動を行うには、同時に駆動する発熱抵抗体の数を増やす必要がある。また、より高い周波数で駆動するためには、時分割数を減らすため、さらに同時に駆動する発熱抵抗体の数を増やす必要がある。従って、従来の配線方法で同時駆動する発熱抵抗体の数を増やすためには、個別配線の本数を増やす必要がある。
【００３０】
個別配線は接続する発熱抵抗体の基板外周の電極パッドからの距離が異なり、長さが異なっている。また、個別配線の抵抗値を一致させるため、図１２に示されているように、これら個別配線の幅は、電極パッドから１番近いところまでものが１番細く、遠くに行くにしたがって太くなる。一方、この配線の最小幅は製造上の制約があるため配線数が増えるほど太い配線が必要となる。実際のところ、同時駆動数が倍増すると配線幅は３〜４倍に増加してしまい、これは基板サイズの急激な増大を招いてしまうという問題を生じる。
【００３１】
さらに、図１４に示したような共通配線部ＲＣ１，ＲＣ２に起因する同時駆動数の差によるＶＨ電圧変動も、今後、記録ヘッドの発熱抵抗体の数が多くなり、記録の高速化がますます求められるにつれ、同時駆動数の増加が避けられなくなると、大きくなることになり、これはインク吐出の安定性や、記録ヘッドの耐久性に悪い影響を及ぼすことになる。
【００３２】
本発明は上述の問題点を解決するためになされたもので、記録性能の向上を実現するために同時駆動する記録素子の数を増やしながら、配線幅の増加を抑え成膜プロセスで作られる基板サイズの増大を抑えることができる記録ヘッド用基板、その基板を用いた記録ヘッド、及びその記録ヘッドを用いた記録装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００３３】
上記目的を達成するため本発明の記録ヘッド用基板は、以下のような構成からなる。
【００３４】
即ち、複数の記録素子と前記複数の記録素子に対応して設けられ対応した記録素子の駆動をスイッチング制御するＭＯＳトランジスタで構成された駆動素子と有する記録ヘッド用素子基板であって、前記複数の記録素子が時分割駆動のために分割された複数のブロックに共通的に電力を供給する共通配線部と、前記共通配線部に電力を供給する第１のパッドとを有し、前記駆動素子は、飽和領域で駆動が成される素子であることを特徴とする記録ヘッド用素子基板を備える。
【００３５】
ここで、前記複数の記録素子は電気熱変換体であり、前記電気熱変換体の一端は前記共通配線部に接続され、他端は前記ＭＯＳトランジスタのドレインに接続されている構成となることが望ましい。
【００３６】
また、前記ＭＯＳトランジスタはドレイン−ソース電流の飽和領域で動作されることが望ましい。
【００３７】
さらに、前記複数の駆動素子を制御する論理回路と、前記共通配線部に対応し、前記複数のブロックに共通化のＧＮＤ配線部と、前記ＧＮＤ配線部を接続する第２のパッドとを有することが望ましい。
【００３８】
さらに本発明は、上記構成の記録ヘッド用基板を記録ヘッドに組み込むことによって実現しても良い。
【００３９】
そして、その記録ヘッドは記録ヘッドはインクジェット記録ヘッドであることが望ましく、その場合、前記電気熱変換体は、熱エネルギーを利用してインクを吐出するために、インクに与える熱エネルギーを発生する。
【００４０】
またさらに本発明は、上記構成の記録ヘッドを用いた記録装置によっても実現できる。
【００４１】
またさらに、本発明は上記構成の記録ヘッドを駆動する記録ヘッドの駆動方法に適用することによって実現しても良い。
【００４２】
その方法は前記複数の記録素子を複数のブロックに分割して時分割駆動する際に、前記複数の駆動素子を定電流駆動することを特徴とする。
【発明の効果】
【００４３】
従って本発明によれば、記録ヘッドの記録素子を低電流駆動することでその記録素子への印加エネルギーが一定となるので、従来生じていた同時駆動記録素子の数の変動による記録素子への印加エネルギーのばらつきを抑えることができ、高品位な記録を達成することができるという効果がある。
【００４４】
さらに、時分割駆動のための複数のブロックに共通的に電力を供給する共通配線部を設けることで、配線幅の増加を抑え、記録ヘッドの小型化に貢献することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下添付図面を参照して本発明の好適な実施例について、さらに具体的かつ詳細に説明する。
【００４６】
なお、この明細書において、「記録」（「プリント」という場合もある）とは、文字、図形等有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広く記録媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、または媒体の加工を行う場合も表すものとする。
【００４７】
また、「記録媒体」とは、一般的な記録装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能なものも表すものとする。
【００４８】
さらに、「インク」（「液体」と言う場合もある）とは、上記「記録（プリント）」の定義と同様広く解釈されるべきもので、記録媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成または記録媒体の加工、或いはインクの処理（例えば記録媒体に付与されるインク中の色剤の凝固または不溶化）に供され得る液体を表すものとする。
【００４９】
またさらに、「ノズル」とは、特にことわらない限り吐出口ないしこれに連通する液路およびインク吐出に利用されるエネルギーを発生する素子を総括して言うものとする。
【００５０】
以下に用いる「素子基板」とは、シリコン半導体からなる単なる基体を指し示すものではなく、各素子や配線等が設けられた基体を示すものである。さらに、「素子基板上」とは、単に素子基体の上を指し示すだけでなく、素子基体の表面、表面近傍の素子基体内部側をも示すものである。
【００５１】
また、本発明でいう「作り込み」とは、別体の各素子を単に基体上に配置することを示すのではなく、各素子を半導体回路の製造工程等によって素子基体上に一体的に形成、製造することを示すものである。
【００５２】
＜インクジェット記録装置の説明（図１）＞
図１は本発明の代表的な実施例であるインクジェット記録装置１の構成の概要を示す外観斜視図である。
【００５３】
図１に示すように、インクジェット記録装置（以下、記録装置という）は、インクジェット方式に従ってインクを吐出して記録を行なう記録ヘッド３を搭載したキャリッジ２にキャリッジモータＭ１によって発生する駆動力を伝達機構４より伝え、キャリッジ２を矢印Ａ方向に往復移動させるとともに、例えば、記録紙などの記録媒体Ｐを給紙機構５を介して給紙し、記録位置まで搬送し、その記録位置において記録ヘッド３から記録媒体Ｐにインクを吐出することで記録を行なう。
【００５４】
また、記録ヘッド３の状態を良好に維持するためにキャリッジ２を回復装置１０の位置まで移動させ、間欠的に記録ヘッド３の吐出回復処理を行う。
【００５５】
記録装置１のキャリッジ２には記録ヘッド３を搭載するのみならず、記録ヘッド３に供給するインクを貯留するインクカートリッジ６を装着する。インクカートリッジ６はキャリッジ２に対して着脱自在になっている。
【００５６】
図１に示した記録装置１はカラー記録が可能であり、そのためにキャリッジ２にはマゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、イエロ（Ｙ）、ブラック（Ｋ）のインクを夫々、収容した４つのインクカートリッジを搭載している。これら４つのインクカートリッジは夫々独立に着脱可能である。
【００５７】
さて、キャリッジ２と記録ヘッド３とは、両部材の接合面が適正に接触されて所要の電気的接続を達成維持できるようになっている。記録ヘッド３は、記録信号に応じてエネルギーを印加することにより、複数の吐出口からインクを選択的に吐出して記録する。特に、この実施例の記録ヘッド３は、熱エネルギーを利用してインクを吐出するインクジェット方式を採用し、熱エネルギーを発生するために電気熱変換体を備え、その電気熱変換体に印加される電気エネルギーが熱エネルギーへと変換され、その熱エネルギーをインクに与えることにより生じる膜沸騰による気泡の成長、収縮によって生じる圧力変化を利用して、吐出口よりインクを吐出させる。この電気熱変換体は各吐出口のそれぞれに対応して設けられ、記録信号に応じて対応する電気熱変換体にパルス電圧を印加することによって対応する吐出口からインクを吐出する。
【００５８】
図１に示されているように、キャリッジ２はキャリッジモータＭ１の駆動力を伝達する伝達機構４の駆動ベルト７の一部に連結されており、ガイドシャフト１３に沿って矢印Ａ方向に摺動自在に案内支持されるようになっている。従って、キャリッジ２は、キャリッジモータＭ１の正転及び逆転によってガイドシャフト１３に沿って往復移動する。また、キャリッジ２の移動方向（矢印Ａ方向）に沿ってキャリッジ２の絶対位置を示すためのスケール８が備えられている。この実施例では、スケール８は透明なＰＥＴフィルムに必要なピッチで黒色のバーを印刷したものを用いており、その一方はシャーシ９に固着され、他方は板バネ（不図示）で支持されている。
【００５９】
また、記録装置１には、記録ヘッド３の吐出口（不図示）が形成された吐出口面に対向してプラテン（不図示）が設けられており、キャリッジモータＭ１の駆動力によって記録ヘッド３を搭載したキャリッジ２が往復移動されると同時に、記録ヘッド３に記録信号を与えてインクを吐出することによって、プラテン上に搬送された記録媒体Ｐの全幅にわたって記録が行われる。
【００６０】
さらに、図１において、１４は記録媒体Ｐを搬送するために搬送モータＭ２によって駆動される搬送ローラ、１５はバネ（不図示）により記録媒体Ｐを搬送ローラ１４に当接するピンチローラ、１６はピンチローラ１５を回転自在に支持するピンチローラホルダ、１７は搬送ローラ１４の一端に固着された搬送ローラギアである。そして、搬送ローラギア１７に中間ギア（不図示）を介して伝達された搬送モータＭ２の回転により、搬送ローラ１４が駆動される。
【００６１】
またさらに、２０は記録ヘッド３によって画像が形成された記録媒体Ｐを記録装置外ヘ排出するための排出ローラであり、搬送モータＭ２の回転が伝達されることで駆動されるようになっている。なお、排出ローラ２０は記録媒体Ｐをバネ（不図示）により圧接する拍車ローラ（不図示）により当接する。２２は拍車ローラを回転自在に支持する拍車ホルダである。
【００６２】
またさらに、記録装置１には、図１に示されているように、記録ヘッド３を搭載するキャリッジ２の記録動作のための往復運動の範囲外（記録領域外）の所望位置（例えば、ホームポジションに対応する位置）に、記録ヘッド３の吐出不良を回復するための回復装置１０が配設されている。
【００６３】
回復装置１０は、記録ヘッド３の吐出口面をキャッピングするキャッピング機構１１と記録ヘッド３の吐出口面をクリーニングするワイピング機構１２を備えており、キャッピング機構１１による吐出口面のキャッピングに連動して回復装置内の吸引手段（吸引ポンプ等）により吐出口からインクを強制的に排出させ、それによって、記録ヘッド３のインク流路内の粘度の増したインクや気泡等を除去するなどの吐出回復処理を行う。
【００６４】
また、非記録動作時等には、記録ヘッド３の吐出口面をキャッピング機構１１によるキャッピングすることによって、記録ヘッド３を保護するとともにインクの蒸発や乾燥を防止することができる。一方、ワイピング機構１２はキャッピング機構１１の近傍に配され、記録ヘッド３の吐出口面に付着したインク液滴を拭き取るようになっている。
【００６５】
これらキャッピング機構１１及びワイピング機構１２により、記録ヘッド３のインク吐出状態を正常に保つことが可能となっている。
【００６６】
＜インクジェット記録装置の制御構成（図２）＞
図２は図１に示した記録装置の制御構成を示すブロック図である。
【００６７】
図２に示すように、コントローラ６００は、ＭＰＵ６０１、後述する制御シーケンスに対応したプログラム、所要のテーブル、その他の固定データを格納したＲＯＭ６０２、キャリッジモータＭ１の制御、搬送モータＭ２の制御、及び、記録ヘッド３の制御のための制御信号を生成する特殊用途集積回路（ＡＳＩＣ）６０３、画像データの展開領域やプログラム実行のための作業用領域等を設けたＲＡＭ６０４、ＭＰＵ６０１、ＡＳＩＣ６０３、ＲＡＭ６０４を相互に接続してデータの授受を行うシステムバス６０５、以下に説明するセンサ群からのアナログ信号を入力してＡ／Ｄ変換し、デジタル信号をＭＰＵ６０１に供給するＡ／Ｄ変換器６０６などで構成される。
【００６８】
また、図２において、６１０は画像データの供給源となるコンピュータ（或いは、画像読取り用のリーダやデジタルカメラなど）でありホスト装置と総称される。ホスト装置６１０と記録装置１との間ではインタフェース（Ｉ／Ｆ）６１１を介して画像データ、コマンド、ステータス信号等を送受信する。
【００６９】
さらに、６２０はスイッチ群であり、電源スイッチ６２１、プリント開始を指令するためのプリントスイッチ６２２、及び記録ヘッド３のインク吐出性能を良好な状態に維持するための処理（回復処理）の起動を指示するための回復スイッチ６２３など、操作者による指令入力を受けるためのスイッチから構成される。６３０はホームポジションｈを検出するためのフォトカプラなどの位置センサ６３１、環境温度を検出するために記録装置の適宜の箇所に設けられた温度センサ６３２等から構成される装置状態を検出するためのセンサ群である。
【００７０】
さらに、６４０はキャリッジ２を矢印Ａ方向に往復走査させるためのキャリッジモータＭ１を駆動させるキャリッジモータドライバ、６４２は記録媒体Ｐを搬送するための搬送モータＭ２を駆動させる搬送モータドライバ、６４４は記録ヘッド３を駆動させるヘッドドライバである。
【００７１】
ＡＳＩＣ６０３は、記録ヘッド３による記録走査の際に、ＲＡＭ６０２の記憶領域に直接アクセスしながら記録ヘッドに対して記録素子（吐出ヒータ）の駆動データ（ＤＡＴＡ）を転送する。
【００７２】
図３は図２に示す構成から記録ヘッドの駆動に関する構成要素のみを抽出したブロック図である。
【００７３】
図３によれば、ＭＰＵ６０１とヘッドドライバ６４４からの制御と、電源部６５０からの電力供給によって記録ヘッド３は駆動される。記録ヘッド３にはインク液滴を吐出するためにインクに熱エネルギーを付与する発熱抵抗体（ヒータ）１１０３とドライバ（不図示）を駆動してヒータに通電するためのドライバ駆動電圧生成・制御部１２０１とヘッドドライバ６４４を介して画像出力や駆動制御信号を受信してドライバを駆動するための画像データ、駆動信号制御ロジック回路（ロジック回路）１２０２が備えられている。
【００７４】
しかしながら、記録装置本体側に注目してみると、一般的な構成をそのまま用いることができることが分かる。
【００７５】
図４は記録ヘッドとインクタンクとで構成される記録ヘッドカートリッジ１０００の概観を示す斜視図である。
【００７６】
図４から分かるように、記録ヘッドカートリッジ１０００は４つのインクタンク６と記録ヘッド３とから構成されており、互いに対して分離可能である。図４（ａ）が４つのインクタンク６と記録ヘッド３に装着した様子を示し、図４（ｂ）が記録ヘッド３から４つのインクタンク６が分離した様子を示している。
【００７７】
また、インクタンク６はイエロ（Ｙ）インク、シアン（Ｃ）インク、マゼンタ（Ｍ）インク、ブラック（Ｋ）インクを夫々収容する４つのインクタンク６Ｙ、６Ｃ、６Ｍ、６Ｋから構成されている。これらのインクタンクは中のインクがなくなると、夫々個別的に記録ヘッドから分離して交換できる。
【００７８】
記録ヘッドカートリッジ１０００は記録装置本体に設けられたキャリッジ２の位置決め手段および電気的接点によって固定支持されるとともに、キャリッジ２に対して着脱可能となっている。
【００７９】
また、記録ヘッド３は、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じさせるための熱エネルギーを生成する発熱抵抗体を用いて記録を行うバブルジェット（登録商標）方式のサイドシュータ型の記録ヘッドである。
【００８０】
図５は記録ヘッド３の詳細な構成を示す分解斜視図である。
【００８１】
図５に示すように、記録ヘッド３は複数の発熱抵抗体（ヒータ）を実装した記録素子ユニット１００２と、インク供給ユニット１００３と、４つのインクタンクを受容するタンクホルダ２０００とから構成されている。なお、記録素子ユニット１００２のインク連通口（不図示）とインク供給ユニット１００３のインク連通口２３０１とをインクがリークしないように連通させるため、それぞれの部材を圧着するようジョイントシール部材２３００を介してビス２４００で固定している。
【００８２】
図６は記録素子ユニット１００２の詳細な構成を示す分解斜視図である。
【００８３】
図６に示すように、記録素子ユニット１００２は、二つのインクジェット記録ヘッド用基板（以下、基板）１１００と、第１の支持部材であるプレート１２００と、電気配線テープ（可撓性の配線基板）１３００と、電気コンタクト基板２２００と、第２の支持部材であるプレート１４００とから構成されている。
【００８４】
また、基板１１００は、図６に示すように、プレート１２００のインク連通口１２０１のある部分に接着され固定されている。さらに、プレート１２００には開口部を有するプレート１４００が接着され固定されており、プレート１４００には電気配線テープ１３００が接着され固定されており、基板１１００に対して所定の位置関係が保持されている。
【００８５】
電気配線テープ１３００は、基板１１００にインクを吐出するための電気信号を印加するものであり、基板１１００に対応する電気配線を持ち、インクジェット記録装置本体からの電気信号を受け取る外部信号入力端子１３０１を有する電気コンタクト基板２２００と接続している。電気コンタクト基板２２００は、インク供給ユニット１１０３に、端子位置決め穴１３０９（２ヶ所）により位置決めされ、固定されている。
【００８６】
図７はインクジェット記録ヘッド用基板（以下、基板）１１００の構造を示す平面図である。
【００８７】
図７に示すように、基板１１００は、厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板の片面に、インクを吐出するための複数の発熱抵抗体１１０３が設けられ、さらに、これに対応する複数のインク流路（不図示）と複数のインク吐出口（不図示）とがフォトリソグラフィ技術により形成される。
【００８８】
さらに、プレート１２００に形成されたインク連通口１２０１に対応し、複数のインク流路にインクを供給するためのインク供給口１１０２が反対側の面（裏面）に開口するように形成されている。発熱抵抗体１１０３は、インク供給口１１０２を挟んで両側にそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列されている。その外側にこの発熱抵抗体１１０３のオン／オフを行う発熱体駆動素子（以下、駆動素子）１１０７が配列されている。発熱抵抗体１１０３に対向してインク吐出口が設けられているため、インク供給口１１０２から供給されたインクは発熱抵抗体１１０３の発熱によって発生した気泡により吐出口から吐出される。
【００８９】
基板１１００に対してインクを吐出するための電気信号を印加するために、プレート１２００に固定された基板１１００の電極パッド１１０４上のバンプ（隆起：不図示）と、電気配線テープ１３００の電極リード（不図示）とを、熱超音波圧着法等により電気接合する。なお、図７に示す基板１１００には複数の電極パッドが示されているが、これらを総称するときには、参照番号として１１０４を用い、個別的に個々の電極パッドに言及するときには参照番号１１０４の後に小文字のアルファベットを付す。
【００９０】
さて、発熱抵抗体１１０３はその一端を共通配線１１０５（発熱抵抗体にエネルギーを供給するための電源電圧を供給するための配線）に、他方を駆動素子１１０７に接続しており、駆動素子１１０７のもう一端は共通配線１１０６（発熱抵抗体にエネルギーを供給するための電圧を供給するためのＧＮＤ配線）に接続されている。図７から分かるように、共通配線１１０５と共通配線１１０６はインク供給口１１０２の片側の列を中央より分けた４つのブロックごとに分けられている。共通配線１１０１はそれぞれに電極パッド１１０４ａ，１１０４ｂに接続しており、おのおのの発熱抵抗体１１０３（電源側）と駆動素子１１０７（ＧＮＤ側）にインクを吐出するための電気信号が電極パッド１１０４ａ，ｂより印加される。
【００９１】
図８は発熱抵抗体の両端に印加される電圧とインク吐出速度との関係を示す図である。
【００９２】
この図は、発熱抵抗体１１０３の両端にかかる電圧Ｖ（エネルギーＥ）に対して、インクの吐出状態を吐出速度ｖの観点で表している。このように、インクの吐出状態は電圧（エネルギー）により変化するため、従来は、発熱抵抗体の同時駆動数によって発熱抵抗体の両端にかかる電位差が安定吐出範囲内で収まるように基板内では電極配線を同時駆動する発熱抵抗体の単位で電極パッドぎりぎりまで個別配線としていた。
【００９３】
実際に安定したインクの吐出を行える範囲は、図８に示す安定領域の範囲であり、一般的に発熱抵抗体の両端電位差で±５％の範囲である。しかし、発熱抵抗体１１０３の抵抗値のばらつきや共通配線１１０１の抵抗値のばらつき、そして、発熱抵抗体１１０３の耐久性などを考慮すると、電極パッド間の電位差で５％程度の範囲に抑えることがこれまで必要であった。
【００９４】
この実施例では、これにより、今後の高速記録・多ノズル化に伴って発熱抵抗体の同時駆動数が増大したとしても、基板の個別配線の増大による配線領域増大に起因するチップサイズの増加（最終的にはコストの増大）や、同時駆動数の変化に伴う共通配線部での電圧降下差による発熱抵抗体への印加エネルギーの変動を、従来に対して同等以下にすることができる。従来は個別配線としていた基板の配線を共通配線にすると共に、駆動素子のサイズを従来に対して小型化することでＭＯＳ型トランジスタの動作をその非飽和領域から飽和領域に移動させて動作させることで、発熱抵抗体に印加されるエネルギーが同時駆動数の差によってインクの吐出安定範囲から逸脱しないようにしている。
【００９５】
即ち、（１）発熱抵抗体に流れる電流が同時駆動の数によらず一定となるように駆動素子を小型化して飽和領域で動作するように設定し、（２）（１）により同時駆動の数によって発熱抵抗体で消費される単位時間当たりのエネルギー変動を一定とすることで、少なくとも２つ以上の同時駆動されるブロックに対する配線を共通配線とし、（３）発熱抵抗体に電力を供給する電源電圧と駆動素子用の電源電圧は同一の電圧を印加する。
【００９６】
図９は図７において線で囲まれた部分の等価回路を示す図である。
【００９７】
図９と図１３とを比較すれば分かるように、従来においては同時駆動される発熱抵抗体単位で個別に抵抗が存在していた配線抵抗１１１２−（ｘ）（ここで、ｘ＝１，ｎ）と１１１３−（ｘ）（ここで、ｘ＝１，ｎ）については、図９によれば、少なくとも同時駆動可能な複数の発熱抵抗体が共通の配線に接続されたことによりひとつの抵抗として考えることができる（実際には共通配線部の抵抗１１１２、１１１３に関し、電極パッドより遠い部分の発熱抵抗体に接続された抵抗が大きくなるがここでは簡易的に記載した）。
【００９８】
ここで、同時駆動数に変化が発生した場合の駆動素子の動作点について説明する。
【００９９】
図１０は図９に示す等価回路から、複数の発熱抵抗体の内、ブロック時分割駆動により同時駆動される１分割分のみ抽出して示した等価回路である。
【０１００】
図１０において、ＲＨは同時駆動される発熱抵抗体の中のひとつの抵抗値である。また、図１４に示した従来存在した個別配線抵抗成分のＲＬ１、ＲＬ２は共通配線化に伴い、従来存在した個別配線が共通化された先の電気配線テープ１３００や電気コンタクト基板２２００上で発生する共通配線の抵抗値部分と、基板１１００内の共通配線抵抗部分１１１２、１１１３とを一体として、図１０では共通配線抵抗部ＲＣ３（電源側）、ＲＣ４（ＧＮＤ側）として図示している。
【０１０１】
さらに、図１０では発熱抵抗体１１０３に電源が供給され、駆動された際に生じる発熱抵抗体＋駆動素子の間にかかる電圧をＶＨとした。また、発熱抵抗体が駆動される際に流れる電流をＩDS、駆動素子１１０７のドレイン−ソース間に発生する電圧をＶDSとする。そして、駆動素子であるＭＯＳトランジスタ１１０７のドレイン、ゲート、ソースを夫々、Ｄ，Ｇ，Ｓと記している。
【０１０２】
図１０に示すような回路構成をとることにより、従来個別にしていた配線を共通にすることで比較的大きな抵抗損失となっていた配線部の抵抗を最も電極パッドから離れた部分でも１／３〜１／４の抵抗値に抑えることができるようになり、配線部分の抵抗損失も大幅に削減できることになる。ただし、従来の共通配線の抵抗値であるＲＣ１、ＲＣ２に対して、ＲＣ３、ＲＣ４はかなり大きな抵抗値となってしまうため、同時駆動数の差によるＶＨの変動は従来に対して非常に大きくなり、単に個別配線を共通配線にしただけでは同時駆動数の差による発熱抵抗体への投入エネルギーのばらつきが大きく安定した記録ができない。
【０１０３】
さて、図１１はこの実施例に従う同時駆動の発熱抵抗体の数の変化とＭＯＳトランジスタのドレイン−ソース電流（ＩDS）の変動との関係を示す図である。
【０１０４】
先ほども説明したように、従来は発熱抵抗体の駆動素子が非飽和領域で動作するように駆動素子のサイズを決定していたが、この実施例では発熱抵抗体のそれぞれ直列に接続された駆動素子のサイズを積極的に小型化して駆動素子の動作を非飽和領域から飽和領域に移動させて動作点を設計する。
【０１０５】
ここで、個々で各駆動素子を飽和領域で動作させる場合の構成と、この飽和領域化を達成する場合に同時に達成できる駆動素子サイズの小型化について、図１６〜図１９を参照して説明する。
【０１０６】
図１６は、本発明の実施例に従う記録ヘッドに搭載される記録ヘッド用基板（素子基板）上でのレイアウトを示す図である。
【０１０７】
ここでは従来のサイズの素子基板も同時に記載した。
【０１０８】
図１６では、インクを供給するためのインク供給穴と抵抗体で構成される記録素子、外部から素子基板内部に信号や電力を供給するためのパッドおよび記録素子に直列に接続され各記録素子を個別に駆動制御するＭＯＳトランジスタに関する部分のみを抜粋して示している。
【０１０９】
なお、複数の抵抗体が共通の電源線に接続されている。なお、この素子基板には、発熱抵抗体、電源線、ＭＯＳトランジスタや記録データに基づいてＭＯＳトランジスタに信号を与えるロジック回路が作り込まれている。
【０１１０】
この実施例では、記録素子のサイズとして幅２４μｍ×長さ２８μｍの発熱体を形成したものを用いた。この発熱体は約４００Ωの抵抗値を有している。これに対して記録装置本体から記録ヘッドの記録素子に供給される電源電圧は２４Ｖとした。これらの他にも配線の抵抗等が存在するがＭＯＳトランジスタのオン抵抗が低い場合は約５５〜６０ｍＡの電流が記録素子に流れることになる。
【０１１１】
図１６でわかるように、この実施例においてはＭＯＳトランジスタの部分の長さを約１／４としており、このことで従来よりも小型の素子基板としている。
【０１１２】
次に、従来に対して約１／４のサイズとできた背景を図１７を用いて説明する。
【０１１３】
記録素子を駆動するＭＯＳトランジスタのサイズはゲート幅Ｗで決定されるが、図１７にはこの実施例で用いているＭＯＳトランジスタのゲート幅Ｗをパラメータとしてドレイン-ソース間電圧Ｖとヒータ駆動電流Iとの間の特性（Ｖ−Ｉ特性）を示している。
【０１１４】
従来はゲート幅Ｗ＝５６０μｍサイズで記録ヘッド用の素子基板を形成していた。ここで、図１７を見ればわかる通り、Ｗ＝５６０μｍの場合、電流が５５〜６０ｍＡの領域においてはＭＯＳトランジスタが非飽和領域で動作させることで、オン抵抗が大きく変化しないところで動作するスイッチとして用いていた。このような非飽和領域での動作の場合、電源電圧等が変化するとオン抵抗が低く一定であるため、電流値が変化すなわち記録素子に印加されるエネルギーが変動しやすく安定した記録、寿命が得られないという課題となっていた。
【０１１５】
特開２００１−２７７５１６号公報に記載の構成においては、例えば、電源電圧がばらついても記録素子両端の電圧が一定となるようにＭＯＳトランジスタを制御する構成であるため比較的一定のエネルギーが記録素子に供給される。
【０１１６】
しかしながら記録素子の抵抗材料が負の温度係数を持っている抵抗材料の場合では、記録素子両端の電圧が一定では温度上昇と共に電流が増加して結果的にエネルギーが増大する可能性があった。
【０１１７】
このような負の温度係数を持つ記録素子を用いる場合でも、記録素子に流れる電流値を一定となるようにすることで記録素子に対するエネルギー負荷を少なくでき長寿命化を得ることができる。
ここで図１７を見ると約５５〜６０ｍＡで飽和領域に入るＭＯＳトランジスタのゲート幅Ｗは約１４０μｍであることがわかる。
【０１１８】
図１８は記録素子およびＭＯＳトランジスタ周辺を示す図である。
【０１１９】
ゲート幅は短くすれば、それだけチップサイズを小型化できる。したがって本発明に従えば、ゲート幅を従来の５６０μｍから約１／４の１４０μｍに構成することで記録素子の駆動を制御するためのＭＯＳトランジスタを飽和領域で動作させることができ、記録素子に流れる電流を一定にすることができると共にドライバサイズの小型化も同時に行うことができる。
【０１２０】
図１９はＭＯＳトランジスタの一般的な特性を示す図である。
【０１２１】
図１９によれば、ゲート幅を十分小さくすることで飽和領域で動作させることができるため、この特性から分かるとおり、ゲート電圧に関係なく一定の電流を維持することが可能となる。ここで、ＩDはドレイン電流、ＷはＭＯＳ−ＦＥＴのチャネル長、ＬはＭＯＳ−ＦＥＴのチャネル幅、μnはチャネル中のキャリア移動度、ＣOXはゲート酸化膜容量、ＶGはゲート電圧、ＶTHは閾値電圧、ＶDはドレイン電圧である。
【０１２２】
こうすることで、図１１に示すように、同時駆動される発熱抵抗体の数が変動した場合、図１１に■で示したように同時駆動数が少ないの場合と、図１１に□で示したように同時駆動数が多い場合とでは、駆動素子のドレイン−ソース間電圧ＶDSの変動は大きくなるが、この変動域は駆動素子の飽和領域であるので、ＶDSの変動によらず、即ち、同時駆動数の変動によらず、一定の電流が発熱抵抗体に印加されることになる。
【０１２３】
この場合、ＩDSは一定になるので、ＩDS2×Ｒ（発熱抵抗体の抵抗値）も一定になり、一定のエネルギーが発熱抵抗体に印加される。
【０１２４】
従って以上説明した実施例に従えば、駆動素子のサイズを小さくし駆動素子を飽和領域で動作させるので、同時駆動数の増加によっても一定のエネルギーを発熱抵抗体に投入することができる。また、従来は個別配線としていたものを共通配線とすることにより、配線領域の増大が抑えられるので、チップサイズそのものが大型化することもなくなり、結果として生産コストの増大を抑えることができる。
【０１２５】
このようにして、インクの安定した吐出が可能となり、高画質、長寿命の記録ヘッドを供給することが可能となる。
【０１２６】
さらに、以上の実施例において、記録ヘッドから吐出される液滴はインクであるとして説明し、さらにインクタンクに収容される液体はインクであるとして説明したが、その収容物はインクに限定されるものではない。例えば、記録画像の定着性や耐水性を高めたり、その画像品質を高めたりするために記録媒体に対して吐出される処理液のようなものがインクタンクに収容されていても良い。
【０１２７】
以上の実施例は、特にインクジェット記録方式の中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネルギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱変換体）を備え、前記熱エネルギーによりインクの状態変化を生起させる方式を用いることにより記録の高密度化、高精細化が達成できる。
【０１２８】
その代表的な構成や原理については、例えば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能であるが、電気熱変換体に、記録情報に対応していて核沸騰を越える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（インク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。
【０１２９】
このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に記載されているようなものが適している。なお、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、さらに優れた記録を行うことができる。
【０１３０】
また、以上の実施例は記録ヘッドを走査して記録を行なうシリアルタイプの記録装置であったが、記録媒体の幅に対応した長さを有する記録ヘッドを用いたフルラインタイプの記録装置であっても良い。フルラインタイプの記録ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているような複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満たす構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとしての構成のいずれでもよい。
【０１３１】
加えて、上記の実施例で説明した記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けられたカートリッジタイプの記録ヘッドのみならず、装置本体に装着されることで、装置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッドを用いてもよい。
【０１３２】
また、以上説明した記録装置の構成に、記録ヘッドに対する回復手段、予備的な手段等を付加することは記録動作を一層安定にできるので好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニング手段、加圧あるいは吸引手段、電気熱変換体あるいはこれとは別の加熱素子あるいはこれらの組み合わせによる予備加熱手段などがある。また、記録とは別の吐出を行う予備吐出モードを備えることも安定した記録を行うために有効である。
【図面の簡単な説明】
【０１３３】
【図１】本発明の代表的な実施例であるインクジェット記録装置１の構成の概要を示す外観斜視図である。
【図２】図１に示した記録装置の制御構成を示すブロック図である。
【図３】図２に示す構成から記録ヘッドの駆動に関する構成要素のみを抽出したブロック図である。
【図４】記録ヘッドとインクタンクとで構成される記録ヘッドカートリッジ１０００の概観を示す斜視図である。
【図５】記録ヘッド３の詳細な構成を示す分解斜視図である。
【図６】記録素子ユニット１００２の詳細な構成を示す分解斜視図である。
【図７】インクジェット記録ヘッド用基板１１００の構造を示す平面図である。
【図８】発熱抵抗体の両端に印加される電圧とインク吐出速度との関係を示す図である。
【図９】図７において線で囲まれた部分の等価回路を示す図である。
【図１０】図９に示す等価回路から、複数の発熱抵抗体の内、ブロック時分割駆動により同時駆動される１分割分のみ抽出して示した等価回路である。
【図１１】同時駆動の発熱抵抗体の数の変化とＭＯＳトランジスタのドレイン−ソース電流（ＩDS）の変動との関係を示す図である。
【図１２】従来の複数配線によるインクジェット記録ヘッド用基板の構造を示す図である。
【図１３】図１２の基板を構成する一部の等価回路を示す図である。
【図１４】図１３に示す等価回路から、複数の発熱抵抗体の内、ブロック時分割駆動により同時駆動される１分割分のみ抽出して示した等価回路である。
【図１５】従来の記録ヘッドにおける同時駆動の発熱抵抗体の数の変化とＭＯＳトランジスタのドレイン−ソース電流（ＩDS）の変動との関係を示す図である。
【図１６】本発明の実施例に従う記録ヘッドに搭載される記録ヘッド用基板（素子基板）上でのレイアウトを示す図である。
【図１７】ＭＯＳトランジスタのゲート幅Ｗをパラメータとしてドレイン-ソース間電圧Ｖとヒータ駆動電流Iとの間の特性（Ｖ−Ｉ特性）を示す図である。
【図１８】記録素子およびＭＯＳトランジスタ周辺を示す図である。
【図１９】ＭＯＳトランジスタの一般的な特性を示す図である。
【符号の説明】
【０１３４】
３  記録ヘッド
６  インクタンク
６Ｋ  ブラックインクタンク
６Ｃ  シアンインクタンク
６Ｍ  マゼンタインクタンク
６Ｙ    イエロインクタンク
１０００  記録ヘッドカートリッジ
１００２  記録素子ユニット
１００３  インク供給ユニット
１１００  インクジェット記録ヘッド用基板
１１０１    共通配線
１１０２    インク供給口
１１０３    発熱抵抗体
１１０４    電極パッド
１１０５、１１０６  共通配線
１１０７    駆動素子
１１０８    個別配線
１２００、１４００  プレート
１２０１  インク連通口
１３００  電気配線テープ
１３０１  外部信号入力端子
１３０９  端子位置決め穴
２２００  電気コンタクト基板
２３００  ジョイントシール部材
２４００  ビス
【図１】
2005138428.tif 000003
【図２】
2005138428.tif 000004
【図３】
2005138428.tif 000005
【図４】
2005138428.tif 000006
【図５】
2005138428.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005138428.tif 000009
【図８】
2005138428.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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