(57)【要約】【課題】シート状又は板状の基材を搬送する際に、位置精度良く搬送することができると共に、基材に過大な荷重がかかることを防ぐことができ、特に多層配線板の製造時における、配線板、プリプレグ等を積層した積層物の搬送に好適に適用することができる搬送方法を提供する。【解決手段】並列に設けられたレール１にそれぞれ取着されたクランプ部２を、レール１に沿って走行する直動ユニット３と、基材１３の端部を挟持するクランプ体８とで構成する。前記クランプ部２のうち基材１３の一側端部を挟持するものは、基材１３の搬送中においてクランプ体８が直動ユニット３に対して基材１３の搬送方向と直交する方向に遊動自在な状態で基材１３を挟持し、基材１３の他側端部を挟持するものは、基材１３の搬送中においてクランプ体８が直動ユニット３に対して基材１３の搬送方向と直交する方向へは移動しないような状態で基材１３を挟持する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列に設けられたレールにそれぞれ取着されたクランプ部にて基材の一側端部と他側端部とをそれぞれ挟持し、各クランプ部を前記各レールに沿って走行させることで基材を搬送する搬送方法であって、各クランプ部を、レールに沿って走行する直動ユニットと、基材の端部を挟持するクランプ体とで構成し、前記クランプ部のうち基材の一側端部を挟持するものは、基材の搬送中においてクランプ体が直動ユニットに対して基材の搬送方向と直交する方向に遊動自在な状態で基材を挟持し、基材の他側端部を挟持するものは、基材の搬送中においてクランプ体が直動ユニットに対して基材の搬送方向と直交する方向へは移動しないような状態で基材を挟持することを特徴とする搬送方法。
【請求項２】
上記クランプ部が、プランジャに対して突出側へ向かう圧力と収縮側へ向かう圧力とをかけると共にこの圧力差にてプランジャを基材の搬送方向と直交する方向に駆動する進退シリンダを有し、前記プランジャに連結してクランプ体が設けられたものであり、基材の搬送中においてクランプ体が直動ユニットに対して基材の搬送方向と直交する方向に遊動自在な状態で基材を挟持するに際しては、進退シリンダにてプランジャに、突出側へ向かう圧力及び収縮側へ向かう圧力として同一の圧力をかけることを特徴とする請求項１に記載の搬送方法。
【請求項３】
基材の搬送中においてクランプ体が直動ユニットに対して基材の搬送方向と直交する方向に遊動自在な状態で基材を挟持するに際して、進退シリンダにてプランジャにかける、突出側へ向かう圧力及び収縮側へ向かう圧力を、０．１５〜０．３５ＭＰａの範囲の同一の圧力とすることを特徴とする請求項２に記載の搬送方法。
【請求項４】
基材の搬送終了後、各クランプ体による基材の挟持を解除する前に、前記クランプ体のうち基材の一側端部を挟持するものに、外側方に向かう付勢力をかけることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の搬送方法。
【請求項５】
上記クランプ部が、プランジャに対して突出側へ向かう圧力と収縮側へ向かう圧力とをかけると共にこの圧力差にてプランジャを基材の搬送方向と直交する方向に駆動する進退シリンダを有し、前記プランジャに連結してクランプ体が設けられたものであり、基材の搬送終了後、各クランプ体による基材の挟持を解除する前に、前記クランプ体のうち基材の一側端部を挟持するものに、外側方に向かう付勢力をかけるに際しては、進退シリンダにてプランジャに突出側へ向かう圧力として０．１５〜０．３５ＭＰａの範囲の圧力をかけると共にこの圧力よりも０．０５〜０．２ＭＰａ大きい圧力を収縮側へ向かう圧力としてかけることを特徴とする請求項４に記載の搬送方法。
【請求項６】
クランプ体として、上下に対向する上片と下片とを有するものを用い、基材の搬送前に各クランプ体により基材を挟持するに際し、下片と上片との間に基材の端部を配置し、上片を下片に対して上下一軸方向に下降させることにより、下片と上片との間で基材の端部を挟持することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の搬送方法。
【請求項７】
並列に設けられた二本のレールと、各レールに沿って走行可能に設けられ、基材の一側端部と他側端部とをそれぞれ挟持するクランプ部とを具備し、前記各クランプ部は、各レールに対して走行可能に取着された直動ユニットと、基材の端部を挟持するクランプ体と、直動ユニットに対してクランプ体を上下方向に移動させる昇降シリンダと、直動ユニットに対してクランプ体を左右方向に移動させる進退シリンダとを備え、基材の一側端部を挟持するクランプ部の進退シリンダは基材の搬送中においてクランプ体を一側方向と他側方向とに遊動自在な状態とすると共に、基材の他側端部を挟持するクランプ部の進退シリンダは基材の搬送中においてクランプ体を一側方向と他側方向へは移動しない状態とするものであることを特徴とする搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、平板状又はシート状の基材を位置精度良く搬送し、かつ搬送時に基材に過大な引っ張り応力がかからないようにすることができ、特に銅張積層板等の多層化のために用いる配線板やプリプレグ等の積層物を位置精度を保ちながら搬送するために好適に用いられる搬送方法及び搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
多層配線板は、複数枚の配線板をプリプレグを介して重ねると共に必要に応じて更にその上下にプリプレグを介して銅箔等の金属箔を重ね、これをプレス機を用いて加熱加圧成形することによって、製造されている。
【０００３】
また、このようにして多層配線板を製造するにあたっては、配線板の一枚当たりの面積は通常はプレス機の面積の数分の一程度であるため、プリプレグを介して配線板を重ねた積層物を、一段当たり横に複数組み並べた状態でプレス機のプレス盤にセットし、この状態で加熱加圧成形を行うようにすることも検討されている。
【０００４】
上記のようにして多層配線板を製造するにあたっては、プリプレグを介して上下に重ねられる配線板同士の位置精度を向上することが重要となり、また複数の配線板を横方向に並べて成形する場合にはこの配線板同士の位置精度を向上することも重要となる。このためプリプレグと配線板との積層物の配線板間の位置関係を粗位置合わせした後、正確な位置合わせを行い、次いで配線板間を仮溶着して位置ずれを防いだ後に、必要に応じて更にその上下にプリプレグを介して銅箔等の金属箔を重ね、加熱加圧成形することが行われている。
【０００５】
上記のような工程で多層配線板を製造する場合は、プリプレグを介して配線板を上下に重ね合わせた積層物を、各種の工程に順次移送する必要があり、この搬送時にも正確な位置精度が要求される。
【０００６】
そこで、従来、本出願人により、レールに沿って走行するクランプ部によって積層物の両端をそれぞれ挟持し、この状態でクランプ部を走行させることで積層物を搬送することが提案されている。このように積層物を挟持した状態で搬送することで、積層物の位置ずれを防ぐようにしているものである（特許文献１参照）。
【０００７】
このようにクランプ部をレールに沿って走行させる場合、積層物の両側をそれぞれ挟持する各クランプ部は、並列に配設された二本のレールそれぞれに沿って走行するように形成する必要がある。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００１−１５４４７号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記の二本のレールの間隔が部分的に広くなっている箇所があると、その箇所において積層物にはクランプ部から引っ張り応力がかかり、これが位置ずれの原因となったり、或いは破損の原因となったりする場合があった。このような事態を防ぐためは、レールの間隔が全長に亘って正確に一定となるようにレールを敷設する必要があり、レールの敷設に非常な困難が伴うものであった。
【００１０】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、シート状又は板状の基材を搬送する際に、位置精度良く搬送することができると共に、基材に過大な荷重がかかることを防ぐことができ、特に多層配線板の製造時における、配線板、プリプレグ等を積層した積層物の搬送に好適に適用することができる搬送方法、及びこの搬送方法を実施するために用いられる搬送装置を提供することを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る搬送方法は、並列に設けられたレール１にそれぞれ取着されたクランプ部２にて基材１３の一側端部と他側端部とをそれぞれ挟持し、各クランプ部２を前記各レール１に沿って走行させることで基材１３を搬送する搬送方法であって、各クランプ部２を、レール１に沿って走行する直動ユニット３と、基材１３の端部を挟持するクランプ体８とで構成し、前記クランプ部２のうち基材１３の一側端部を挟持するものは、基材１３の搬送中においてクランプ体８が直動ユニット３に対して基材１３の搬送方向と直交する方向に遊動自在な状態で基材１３を挟持し、基材１３の他側端部を挟持するものは、基材１３の搬送中においてクランプ体８が直動ユニット３に対して基材１３の搬送方向と直交する方向へは移動しないような状態で基材１３を挟持することを特徴とする。これにより、特に平板状又はシート状の基材１３を搬送するに際して、基材１３の搬送中にレール１の間隔が広くなっている箇所を通過する場合でも、一方のクランプ体８が基材１３の搬送方向と直交する方向に遊動することで、基材１３にクランプ部２から過大な応力がかけられることがないようにすることができる。
【００１２】
また請求項２の発明は、上記クランプ部２が、プランジャ７に対して突出側へ向かう圧力と収縮側へ向かう圧力とをかけると共にこの圧力差にてプランジャ７を基材１３の搬送方向と直交する方向に駆動する進退シリンダ６を有し、前記プランジャ７に連結してクランプ体８が設けられたものであり、基材１３の搬送中においてクランプ体８が直動ユニット３に対して基材１３の搬送方向と直交する方向に遊動自在な状態で基材１３を挟持するに際しては、進退シリンダ６にてプランジャ７に、突出側へ向かう圧力及び収縮側へ向かう圧力として同一の圧力をかけることを特徴とする。これにより、前記クランプ体８の基材１３の搬送方向と直交する方向への遊動を維持することができる。
【００１３】
また請求項３の発明は、基材１３の搬送中においてクランプ体８が直動ユニット３に対して基材１３の搬送方向と直交する方向に遊動自在な状態で基材１３を挟持するに際して、進退シリンダ６にてプランジャ７にかける、突出側へ向かう圧力及び収縮側へ向かう圧力を、０．１５〜０．３５ＭＰａの範囲の同一の圧力とすることを特徴とする。これにより、前記クランプ体８を基材１３の搬送方向と直交する方向にスムーズに遊動させることができる。
【００１４】
また請求項４の発明は、基材１３の搬送終了後、各クランプ体８による基材１３の挟持を解除する前に、前記クランプ体８のうち基材１３の一側端部を挟持するものに、外側方に向かう付勢力をかけることを特徴とする。これにより、搬送時において基材１３にたるみが生じた場合であっても、搬送終了後にこの基材１３に付勢力をかけることで基材１３のたるみを解消することができ、またこれに伴って基材１３の搬送時の位置精度を更に向上することができるものである。
【００１５】
また請求項５の発明は、上記クランプ部２が、プランジャ７に対して突出側へ向かう圧力と収縮側へ向かう圧力とをかけると共にこの圧力差にてプランジャ７を基材１３の搬送方向と直交する方向に駆動する進退シリンダ６を有し、前記プランジャ７に連結してクランプ体８が設けられたものであり、基材１３の搬送終了後、各クランプ体８による基材１３の挟持を解除する前に、前記クランプ体８のうち基材１３の一側端部を挟持するものに、外側方に向かう付勢力をかけるに際しては、進退シリンダ６にてプランジャ７に突出側へ向かう圧力として０．１５〜０．３５ＭＰａの範囲の圧力をかけると共にこの圧力よりも０．０５〜０．２ＭＰａ大きい圧力を収縮側へ向かう圧力としてかけることを特徴とする。これにより、搬送時において基材１３にたるみが生じた場合であっても、搬送終了後にこの基材１３に適度な付勢力をかけることができる。
【００１６】
また、請求項６の発明は、クランプ体８として、上下に対向する上片１０と下片９とを有するものを用い、基材１３の搬送前に各クランプ体８により基材１３を挟持するに際し、下片９と上片１０との間に基材１３の端部を配置し、上片１０を下片９に対して上下一軸方向に下降させることにより、下片９と上片１０との間で基材１３の端部を挟持することを特徴とする。これにより、クランプ体８にて基材１３を挟持する際に、基材１３にはその直上から上片１０が下方の一軸方向に下降して当接することとなって、基材１３がクランプ体８と擦れ合うことなく挟持されることとなり、基材１３の傷付きが防止される。また、基材１３がクランプ体８にて挟持されている状態では、基材１３の厚み方向の荷重のみがクランプ体８から基材１３にかけられることになり、クランプ体８による基材１３を挟持する位置に位置ずれが生じにくくなって、基材１３の搬送を位置精度良く行うことが可能となる。
【００１７】
また請求項７に係る搬送装置は、並列に設けられた二本のレール１と、各レール１に沿って走行可能に設けられ、基材１３の一側端部と他側端部とをそれぞれ挟持するクランプ部２とを具備し、前記各クランプ部２は、各レール１に対して走行可能に取着された直動ユニット３と、基材１３の端部を挟持するクランプ体８と、直動ユニット３に対してクランプ体８を上下方向に移動させる昇降シリンダ４と、直動ユニット３に対してクランプ体８を左右方向に移動させる進退シリンダ６とを備え、基材１３の一側端部を挟持するクランプ部２の進退シリンダ６は基材１３の搬送中においてクランプ体８を一側方向と他側方向とに遊動自在な状態とすると共に、基材１３の他側端部を挟持するクランプ部２の進退シリンダ６は基材１３の搬送中においてクランプ体８を一側方向と他側方向へは移動しない状態とするものであることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図１〜５を示して説明する。
【００１９】
本発明に係る搬送装置は、図１に示すように、レール１と、レール１に対して走行可能に設けられたクランプ部２にて構成される。レール１は並列に少なくとも二本設けられる。
【００２０】
クランプ部２は、各レール１に対して走行可能に取着された直動ユニット３と、基材１３の端部を挟持するクランプ体８と、直動ユニット３に対してクランプ体８を上下方向に移動させる昇降シリンダ４と、直動ユニット３に対してクランプ体８を左右方向に移動させる進退シリンダ６とを備える。
【００２１】
上記クランプ部２のクランプ体８は、搬送対象である平板状の基材１３の端部を挟持して保持し、この状態でクランプ部２がレール１に沿って移動することで基材１３が搬送される。このとき基材１３は、隣り合って配設される二本のレール１のうち一方のレール１に設けられたクランプ部２（２ａ）にてその一側端部が挟持され、他方のレール１に設けられたクランプ部２（２ｂ）にてその他側端部が挟持されて、左右両側がそれぞれクランプ部２にて挟持された状態で搬送される。
【００２２】
図示の例では、並列に設けられた二本のレール１にそれぞれ直動ユニット３が各レール１の長手方向に沿って走行可能に取り付けられている。直動ユニット３は、レール１に沿って走行可能であれば適宜の構成のものが採用される。
【００２３】
このときレール１と直動ユニット３とは、クランプ体８を各レール１に沿って移動させるための直動案内装置を構成する。またこのとき搬送装置には、直動ユニット３をレール１に沿って走行駆動させるためのモータ等の適宜の駆動源が設けられる。
【００２４】
直動ユニット３の上部には、昇降シリンダ４が設けられる。この昇降シリンダ４は上方に突出すると共に上下方向に駆動するプランジャ５を備え、このプランジャ５の上端に、進退シリンダ６が設けられる。
【００２５】
進退シリンダ６は、内側方に向けて突出すると共に外側方及び内側方に向けて駆動するプランジャ７を備え、このプランジャ７の端部にはクランプ体８が連結して設けられる。
【００２６】
クランプ体８は、内側方に向けて突出すると共に互いに上下方向に対向する下片９と上片１０とを備えている。上片１０は上下方向に移動可能に形成され、この上片１０を上下一軸方向に駆動するクランプシリンダ１１を備えている。
【００２７】
下片９の少なくとも基材１３と接する面（上面）は、四フッ化エチレン樹脂（テフロン（Ｒ）等）等の樹脂にて形成して、基材１３を挟持する際の傷付きを防止することが好ましい。また上片１０の下面からは下方に向けて凸部が突設され、この凸部にはウレタンゴム等の軟質材からなる当接部１２が設けられており、基材１３を挟持する際は上片はこの当接部１２にて基材１３に当接することにより、基材１３の傷付きが防止される。このときクランプ体８にて基材１３の端部を挟持する際には、下片９の上面と、上片１０の当接部１２との間で挟持されることとなる。
【００２８】
上記のようにクランプ部２は、直動ユニット３、クランプ体８、昇降シリンダ４、進退シリンダ６にて構成されているが、図示の例では、各レール１にはそれぞれ二つのクランプ部２が設けられており、一つの基材１３を合計四つのクランプ部２にて、四つの各隅部付近を挟持して保持するように形成されている。後述するように更に多数のクランプ部２を設けて、更に多数のクランプ部２にて一つの基材１３を保持するようにしても良い。すなわち、二つのレール１にはそれぞれ適宜複数のクランプ部２を取り付けて、複数のクランプ部２にて一つの基材１３を挟持して保持し、この状態でクランプ部２を走行駆動させて、基材１３を搬送することができる。
【００２９】
尚、図示の例では、各レール１ごとに設けられた二つクランプ部２は、直動ユニット３を共有しており、一つの直動ユニット３の上部には、レール１の長手方向（クランプ部２の走行方向）に沿って二つの昇降シリンダ４が設けられ、更に各昇降シリンダ４に進退シリンダ６、クランプ体８が設けられている。また、更に複数のクランプ部２を設ける場合にも、各レール１ごとに設けられた複数のクランプ部２が、直動ユニット３を共有するように形成しても良い。
【００３０】
図３は、上記進退シリンダ６の構造の一例を示す。この進退シリンダ６の内部は、図示のように、プランジャ７の基端に設けられた鍔状の被圧板１４が内装されていて、この被圧板１４によって、外側方側の一次側加圧室１５と、内側方側の二次側加圧室１６とに仕切られている。各加圧室１５，１６にはオイルやガス等が供給されてその圧力が適宜制御可能に形成されており、プランジャ７は各加圧室１５，１６内で圧力制御されたオイルの油圧やガスの気圧などの差に応じて駆動するようになっている。すなわち、進退シリンダ６は、一次側加圧室１５内の圧力を、プランジャ７の被圧板１４に対して突出側へ向かう圧力としてかけ、また二次側加圧室１６内の圧力を、プランジャ７の被圧板１４に対して収縮側へ向かう圧力としてかけるものであり、そしてこの圧力差にてプランジャ８を基材１３の搬送方向と直交する方向に駆動するものである。
【００３１】
また、特に進退シリンダ６は、各加圧室１５，１６内の圧力が調整されるなどして、搬送中の基材１３に対してかけられる応力を制御する機能を有するが、詳しくは後述する。
【００３２】
上記のような搬送装置を用いて、平板状の基材１３を搬送する工程を説明する（図２及び図３参照）。
【００３３】
まず、レール１の始端側にクランプ部２を配置した状態で、この二本のレール１の始端部の間に基材１３を供給する。このときクランプ部２は、クランプ体８の下片９と上片１０との間に上記基材１３が配置され、また、クランプ体８の上片１０と下片９の先端部は、基材１３の側端部よりも外側方に配置されている。
【００３４】
この状態で、まず各クランプ部２の昇降シリンダ４を駆動して、各クランプ体８の下片９の高さ位置と、上片１０の高さ位置との間に、上記基材１３の端部の高さ位置が配置されるようにする。
【００３５】
次に、昇降シリンダ４を駆動して、各クランプ体８の下片９の上面が基材１３の端部の下面に当接するようにする。
【００３６】
この状態でクランプシリンダ１１を駆動して、上片１０を下降させ、これにより上片１０と下片９とで基材１３を挟持する。
【００３７】
このように基材１３の両端をそれぞれクランプ部２で挟持した状態で、クランプ部２をレール１に沿って走行させることにより、基材１３をレール１に沿って搬送することができる。
【００３８】
この搬送過程においては、レール１の幅に不均一があって、レール１の幅が大きくなったり、逆に小さくなったりすることがあるが、本発明では、このようにレール１の幅が変化しても、基材１３に対して過剰な引っ張り力等が作用することを防止して基材１３の破損を防ぐことができる。
【００３９】
すなわち、本発明では、搬送過程においては、基材１３の一側端部を挟持するクランプ部２（２ａ）では、図３（ａ）に示すように、クランプ体８が一側方向と他側方向とに遊動自在な状態となるようにするものであり、一方、基材１３の他側端部を挟持するクランプ部２（２ｂ）では、クランプ体８が一側方向と他側方向へは移動しないような状態となるようにする。この状態では、レール１の幅が大きくなっても、基材１３の一側端部を挟持するクランプ部２（２ａ）において進退シリンダ６のプランジャ７が突出し、これにより基材１３の両端を挟持する各クランプ体８間の距離の変化が生じなくなって、基材１３に対して過剰な引張り力がかかることを防止することができる。
【００４０】
また、レール１の幅が小さくなる場合には、基材１３の一側端部を挟持するクランプ部２（２ａ）において進退シリンダ６のプランジャ７が収縮し、これにより基材１３の両端を挟持する各クランプ体８間の距離の変化が生じなくなって、基材１３に対して過剰な引張り力がかかることを防止し、基材１３に破損が生じないようにすることができる。また、基材１３の可撓性が高い場合などには、基材１３の一側端部を挟持するクランプ部２（２ａ）において進退シリンダ６のプランジャ７が十分に縮まずに、両側のクランプ体８間の距離が狭くなることもあるが、この場合は基材１３に若干のたるみが生じるだけで、基材１３には過剰な応力がかかることはなく、やはり基材１３の破損が生じないようにすることができる。
【００４１】
上記のように基材１３の一側端部を挟持するクランプ部２（２ａ）のクランプ体８を、基材１３の搬送時において、一側方向と他側方向とへ遊動自在な状態となるようにする場合は、基材１３の一側端部を挟持するクランプ部２（２ａ）の進退シリンダ６の各加圧室１５，１６内に同一の圧力をかけるようにすることで、進退シリンダ６のプランジャ７を一側方向と他側方向とへ遊動自在な状態となるようにし、これによりクランプ体８を一側方向と他側方向とへ遊動自在な状態とすることができる。
【００４２】
このとき、各加圧室１５，１６にかける圧力は同一であれば良く、進退シリンダ６の寸法や能力等に応じて適宜設定されるものであるが、０．１５〜０．３５ＭＰａの範囲（例えば０．２ＭＰａ）であることが好ましい。
【００４３】
また、基材１３の他側端部を挟持するクランプ部２（２ｂ）のクランプ体８は、基材１３の搬送時において、一側方向にも他側方向にも移動しない状態となるようにする場合には、基材１３の他側端部を挟持するクランプ部２（２ｂ）の進退シリンダ６の一次側加圧室１５に二次側加圧室１６よりも大きな圧力をかけることで、プランジャ７を内側方向（一側方向）に向けて臨界まで突出させると共にこのプランジャ７に内側方に向かう付勢力を継続してかけ続け、これによりクランプ体８が一側方向にも他側方向にも移動しない状態となるようにすることができる。
【００４４】
このとき、各加圧室１５，１６にかける圧力は、一次側加圧室１５が二次側加圧室１６よりも高圧となるようにすれば良く、進退シリンダ６の寸法や能力等に応じて適宜設定されるものであるが、一次側加圧室１５が０．３５〜０．５ＭＰａの範囲（例えば０．５ＭＰａ）、二次側加圧室１６が０．１５〜０．３５ＭＰａの範囲となるようにすることが好ましく、またこのときプランジャ７を介してクランプ体８にかけられる内側方に向かう付勢力が、０．１〜０．５ＭＰａの範囲（例えばシリンダ径２０ｍｍの場合に３〜１５ｋｇｆ（２９．４〜１４７Ｎ））となるようにすることが好ましい。
【００４５】
次に、クランプ部２がレール１の終端まで移動して、基材１３の搬送が終了したら、クランプ部２は基材１３の挟持を解除して、基材１３を所定の位置に配置する。このとき、基材１３の挟持を解除する前に、図３（ｂ）に示すように、基材１３の一側端部を挟持するクランプ部２（２ａ）において、進退シリンダ６内の一次側加圧室１５よりも二次側加圧室１６内の圧力が高くなるようにするなどして、基材１３に外側方に向かう引っ張り力をかけることが好ましい。このようにすると、基材１３にたるみが生じている場合には、そのたるみを解消することができ、基材１３の搬送時の位置精度を向上することができる。
【００４６】
このように基材１３の搬送終了後に、クランプ部２による基材１３の挟持を解除する前に、一側端部を挟持するクランプ部２（２ａ）から基材１３に対して、外側方に向かう付勢力をかける場合には、基材１３の一側端部を挟持するクランプ部２（２ａ）の進退シリンダ６の一次側加圧室１５よりも二次側加圧室１６の方が高圧となるようにすることで、上記のような付勢力をかけることができる。基材１３にかけられる付勢力は、クランプ体８による基材１３の挟持位置に過大な荷重がかかることによりこの挟持位置に傷付きが生じたり、挟持位置がずれて位置精度が悪化したりしないように、適宜設定される。このとき進退シリンダ６の各加圧室１５，１６にかけられる圧力は、進退シリンダ６の寸法や能力等に応じて適宜設定されるものであるが、一次側加圧室１５が０．１５〜０．３５ＭＰａの範囲（例えば０．２ＭＰａ）となると共に、二次側加圧室１６が前記一次側加圧室１５よりも０．０５〜０．２ＭＰａだけ高い圧力（例えば０．３ＭＰａ）となるようにすることが好ましく、またこのときプランジャ７を介してクランプ体８にかけられる外側方に向かう付勢力が、０．０５〜０．２ＭＰａ（例えばシリンダ径２０ｍｍの場合に１．５〜６ｋｇｆ（１４．７〜５８．８Ｎ））の範囲となるようにすることが好ましい。
【００４７】
ところで、本実施形態では、上述のように、クランプシリンダ１１によりクランプ体８の上片１０を上下一軸方向に駆動可能に形成しているが、クランプ体８の上片１０をこのように形成すると、クランプ体８にて基材１３を挟持する際に、基材１３にはその直上から上片１０が下方の一軸方向に下降して当接することとなって、基材１３がクランプ体８と擦れ合うことなく挟持されることとなり、基材１３の傷付きが防止される（図４（ａ）参照）。また、基材１３がクランプ体８にて挟持されている状態では、基材１３の厚み方向の荷重のみがクランプ体８から基材１３にかけられることになり、クランプ体８による基材１３を挟持する位置に位置ずれが生じにくくなって、基材１３の搬送を位置精度良く行うことが可能となる。
【００４８】
一方、クランプ体８の上片１０を、図４（ｂ）（ｃ）に示すように、ロータリアクチュエータ１７等により水平軸を中心に回動駆動するように形成することもできる。すなわち、上片１０の基端部をロータリアクチュエータ１７に接続して基材１３の搬送方向に沿った回動軸を中心に回動駆動するように形成するものである。この場合、クランプ体８にて基材１３を挟持する際には、上片１０を回動駆動することで一動作で基材１３の挟持を行うことができる。但し、基材１３の厚みが変わると挟持の際に基材１３に対して、図４（ｃ）に矢印で示すように厚み方向の力だけでなく水平方向の力もかかって、基材１３が傷付いたり、クランプ体８による基材１３を挟持する位置に位置ずれが生じたりする場合がある。このため、基材１３の傷付きを防止したり基材１３の搬送を位置精度良く行う場合には、上記のようにクランプ体８の上片１０を上下一軸方向に駆動可能に形成することが好ましい。
【００４９】
上記のような基材１３の搬送装置及び搬送方法は、例えば多層プリント配線板の製造のために用いられる、配線板やプリプレグ等の積層物を搬送する際に好適に適用することができる。
【００５０】
すなわち、本発明では、上記のように基材１３を位置精度良く搬送することができ、また基材１３に過度な応力がかかることを防止して破損を抑制することができるものであり、このため、配線板、プリプレグ等を重ね合わせた積層物を搬送する際に、搬送時の積層物全体の位置精度を向上すると共に、積層された部材間の位置ずれも防止することができ、また積層物を構成する配線板やプリプレグ等に過度な応力による破損が発生することも防止することができるものである。
【００５１】
このような積層物としては、適宜の構成のものを用いることができる。例えば絶縁層の一面又は両面に導体配線を形成した配線板を、プリプレグを介して積層した積層物を挙げることができる。積層物は、配線板を上下二段に配置し、この配線板間にプリプレグを介在させて積層したもの、或いはこれに更にプリプレグと配線板とを積層したものなど、適宜の構成の積層物を用いることができる。
【００５２】
また、複数の配線板を平面状に配列すると共に、これと対向して他の複数の配線板を横方向に平面状に配列し、この配線板間に一枚の大面積のプリプレグを介在させて積層した積層物も用いることができる。
【００５３】
このような積層物を、本発明に係る搬送方法及び搬送装置により搬送する場合は、積層物における配線板同士の位置関係の粗位置合わせ、配線板同士の位置関係の精密な位置合わせ、配線板間のプリプレグを部分的に溶着ヘッド等で溶融硬化することによる仮溶着、これに必要に応じて更にその上下にプリプレグを介して銅箔等の金属箔を重ねた後の加熱加圧成形等のような、各種工程に積層物を搬送する際に、搬送中における積層物を構成する配線板等の位置ずれの発生を防止すると共に、この積層物の破損も防止することができ、また積層物全体の搬送位置の位置精度も向上することができるものである。
【００５４】
図５に示す例は、特に複数の配線板を平面状に配列すると共に、これと対向して他の複数の配線板を横方向に平面状に配列し、この配線板間に一枚の大面積のプリプレグを介在させて積層した積層物を搬送する際に好適に適用できる。
【００５５】
図示の例では、二つの各レール１にそれぞれ６個のクランプ部２が設けられており、合計１２個のクランプ部２が設けられている。勿論、搬送される基材１３の形態に応じてクランプ部２の個数を変更し、適宜の数のクランプ部２が設けられた搬送装置を構成することができる。
【００５６】
図示の搬送装置では、各レール１に設けられたクランプ部２は、図１に示すものと同様に直動ユニット３を共有しており、各レール１において、一つの直動ユニット３の上部には、レール１の長手方向（クランプ部２の走行方向）に沿って六個の昇降シリンダ４が設けられ、更に各昇降シリンダ４に進退シリンダ６、クランプ体８が設けられている。またこのように形成された各クランプ部２は、レール１の長手方向（クランプ部２の走行方向）に適宜の間隔で配置されているが、図示の例では、隣り合う二つのクランプ部２の間隔が、広間隔と狭間隔とが交互に現れるように配設されている。このとき、レール１の長手方向に沿って適宜の間隔をあけて隣り合う二つのクランプ部２と、この各クランプ部２と対向して配置される二つのクランプ部２との、合計四つのクランプ部２にて、一組のクランプ構造が構成されており、このクランプ構造が、レール１の長手方向に沿って三組形成されている。
【００５７】
このように構成される搬送装置は、特に複数枚の配線板を一列に平面状に配列したものと、プリプレグとを交互積層した積層物を搬送する際に、好適に用いることができる。図示の例における基材１３は、三枚の配線板を一列に平面状に配列し、これに各配線板に亘る面積を有するプリプレグを重ね、更に別の三枚の配線板を一列に平面状に配列したものを重ねたものであり、またこれに更にプリプレグと配線板とを同様に重ねたものでも良い。
【００５８】
この図示の例では、一つの基材１３において、配線板１３ａとプリプレグとを積層した構成が基材１３の搬送方向に並んで複数組（三組）形成されており、この三組の積層構造が、三組のクランプ構造によりそれぞれ挟持されて保持されている（図面上では最上面の配線板１３ａのみが示されている）。このとき各組の積層構造は、一組のクランプ構造を構成する四つのクランプ部２により、四隅付近が挟持され、これにより各積層構造ごとに、積層された部材間の位置ずれも防止することができ、また積層物を構成する配線板１３ａやプリプレグ等に過度な応力による破損が発生することも防止することができる。また、平面状に隣り合う部材（配線板１３ａ）間の位置精度も維持される。よって、基材１３を構成する各部材間の位置精度が高く保持されるものである。
【００５９】
また、この図示の例においては、図面上で破線で示すように、基材１３を、二枚の配線板１３ａを一列に平面状に配列し、これに各配線板１３ａに亘る面積を有するプリプレグを重ね、更に別の二枚の配線板１３ａを一列に平面状に配列したものを重ねたものであり、またこれに更にプリプレグと配線板１３ａとを同様に重ねたものとすることもできる（図面上では最上面の配線板１３ａのみが示されている）。この場合は、各クランプ部２のうち、レール１の長手方向の両端に配置された計４個のクランプ部２と、残りのクランプ部２のうち前記４個の各クランプ部２の一つ内側のクランプを除いた計４個のクランプ部２の、合計８個のクランプ部２により、基材１３を挟持して保持することができる。この場合、一つの基材１３において、配線板１３ａとプリプレグとを積層した構成が基材１３の搬送方向に並んで複数組（二組）形成されており、この二組の積層構造が、二組のクランプ構造によりそれぞれ挟持されて保持される。このとき各組の積層構造は、一組のクランプ構造を構成する四つのクランプ部２により、四隅付近が挟持され、これにより各積層構造ごとに、積層された部材間の位置ずれも防止することができ、また積層物を構成する配線板１３ａやプリプレグ等に過度な応力による破損が発生することも防止することができる。また、平面状に隣り合う部材（配線板１３ａ）間の位置精度も維持される。よって、基材１３を構成する各部材間の位置精度が高く保持されるものである。
【００６０】
【発明の効果】
上記のように本発明に係る搬送方法では、特に平板状又はシート状の基材を搬送するに際して、基材の搬送中にレールの間隔が広くなっている箇所を通過する場合でも、基材の一側端部を挟持するクランプ体が基材の搬送方向と直交する方向に遊動することで、基材にクランプ部から過大な応力がかけられることがないようにすることができ、レール間の間隔が全長に亘って正確に一定ではない場合でも、基材の傷付きや基材の位置精度の低下を防止することができる。このとき基材の他側端部を挟持するクランプは基材の搬送方向と直交する方向に移動しないことで、搬送時における基材の位置精度を更に向上することができる。
【００６１】
また請求項２の発明では、搬送中における、基材の一側端部を挟持するクランプ体の、基材の搬送方向と直交する方向への遊動を維持することができ、これにより確実に上記効果を奏することができる。
【００６２】
また請求項３の発明は、搬送中における、基材の一側端部を挟持するクランプ体が基材の搬送方向と直交する方向にスムーズに遊動させることができ、これにより確実に上記効果を奏することができる。
【００６３】
また請求項４の発明は、搬送時において基材にたるみが生じた場合であっても、搬送終了後にこの基材に付勢力をかけることで基材のたるみを解消することができ、またこれに伴って基材の搬送時の位置精度を更に向上することができるものである。
【００６４】
また請求項５の発明は、搬送時において基材にたるみが生じた場合であっても、搬送終了後にこの基材に適度な付勢力をかけることができ、またこのとき基材に対して過剰な付勢力をかけることを防止して、基材が付勢力によって逆に傷付いたり位置精度が低下したりすることを防止することができるものである。
【００６５】
また、請求項６の発明は、クランプ体にて基材を挟持する際に、基材にはその直上から上片が下方の一軸方向に下降して当接することとなって、基材がクランプ体と擦れ合うことなく挟持されることとなり、基材の傷付きが防止される。また、基材がクランプ体にて挟持されている状態では、基材の厚み方向の荷重のみがクランプ体から基材にかけられることになり、クランプ体による基材を挟持する位置に位置ずれが生じにくくなって、基材の搬送を位置精度良く行うことが可能となる。
【００６６】
また請求項７に係る搬送装置は、上記の方法によりシート状又は平板状の基材を搬送することができ、レール間の間隔が全長に亘って正確に一定ではない場合でも、基材の傷付きや基材の位置精度の低下を防止することができる。このとき基材の他側端部を挟持するクランプは基材の搬送方向と直交する方向に移動しないことで、搬送時における基材の位置精度を更に向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態の一例を示すものであり、（ａ）は正面図、（ｂ）は平面図である。
【図２】同上の実施の形態の動作を示すものであり、（ａ）乃至（ｄ）は一部の正面図である。
【図３】同上の実施の形態の動作を示すものであり、（ａ）及び（ｂ）は一部破断した概略の断面図である。
【図４】（ａ）は同上のクランプ体の構成を説明する一部の正面図、（ｂ）（ｃ）はクランプ体の他例を示す正面図である。
【図５】本発明の実施の形態の他例を示す平面図である。
【符号の説明】
１  レール
２  クランプ部
３  直動ユニット
４  昇降シリンダ
６  進退シリンダ
７  プランジャ
８  クランプ体
９  下片
１０  上片
１３  基材
【図１】
2005015147.tif 000003
【図２】
2005015147.tif 000004
【図３】
2005015147.tif 000005
【図４】
2005015147.tif 000006
【図５】
2005015147.tif 000007