(57)【要約】【課題】  長期経時でのフィルムロール巻き姿が良好で安定であり、蒸着磁気記録媒体のベースに適用したとき、蒸着加工工程中のロール、冷却キャンの汚れがなく、蒸着磁気記録媒体の特性も良好な積層フィルムを提供すること。【解決手段】  少なくとも２層の熱可塑性樹脂層から成る積層フィルムにおいて、一方の面を構成する熱可塑性樹脂層Ａの中心線平均表面粗さＲａAと、反対面側の熱可塑性樹脂層Ｂの中心線平均表面粗さＲａBとの比率ＲａA／ＲａBが０．２〜０．７であって、熱可塑性樹脂層Ｂが不活性粒子α、βを含有して成り、不活性粒子α、βの平均粒子径ｄα、ｄβの差（ｄβ−ｄα）が８０〜３００ｎｍ、熱可塑性樹脂層Ｂ表面の不活性粒子βに由来する突起個数Ｎβが４〜１５０個／ｍｍ2であり、熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面には１〜１０ｎｍの厚みで易滑被覆層Ｃが設けられた構成とする。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱可塑性樹脂層Ａおよび熱可塑性樹脂層Ｂを含む少なくとも２層の積層フィルムであって、一方の面を構成する熱可塑性樹脂層Ａの中心線平均表面粗さＲａAと、反対面側の熱可塑性樹脂層Ｂの中心線平均表面粗さＲａBとの比率ＲａA／ＲａBが０．２〜０．７であり、熱可塑性樹脂層Ｂが不活性粒子α、βを含有し、不活性粒子α、βの平均粒子径ｄα、ｄβの差（ｄβ−ｄα）が８０〜３００ｎｍであり、熱可塑性樹脂層Ｂ表面の不活性粒子βに由来する突起個数Ｎβが４〜１５０個／ｍｍ2であり、かつ、熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面には１〜１０ｎｍの厚みで易滑被覆層Ｃが設けられている積層フィルム。
【請求項２】
ＲａAが２．９ｎｍ以上である、請求項１に記載の積層フィルム。
【請求項３】
ＲａAが０．７〜７ｎｍ、ＲａBが２〜２０ｎｍであり、ｄαが１５０ｎｍ以上、４００ｎｍ未満、ｄβが４００ｎｍ以上、７００ｎｍ未満であり、不活性粒子αの含有量が熱可塑性樹脂層Ｂに対して０．４〜２．０重量％、不活性粒子βの含有量が熱可塑性樹脂層Ｂに対して０．０００５〜０．０１重量％である、請求項１に記載の積層フィルム。
【請求項４】
熱可塑性樹脂層Ａおよび熱可塑性樹脂層Ｂを含む少なくとも２層の積層フィルムであって、一方の面を構成する熱可塑性樹脂層Ａの中心線平均表面粗さＲａAと、反対面側の熱可塑性樹脂層Ｂの中心線平均表面粗さＲａBとの比率ＲａA／ＲａBが０．０５〜０．７であり、ＲａAが２．９ｎｍ未満であり、熱可塑性樹脂層Ｂが不活性粒子α、βを含有し、不活性粒子α、βの平均粒子径ｄα、ｄβの差（ｄβ−ｄα）が８０〜３００ｎｍであり、熱可塑性樹脂層Ｂ表面の不活性粒子βに由来する突起個数Ｎβが４〜１５０個／ｍｍ2であり、かつ、熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面には１〜１０ｎｍの厚みで易滑被覆層Ｃが設けられている積層フィルム。
【請求項５】
不活性粒子αおよびβがともに有機系粒子である、請求項１〜４のいずれかに記載の積層フィルム。
【請求項６】
熱可塑性樹脂層Ａの外側表面に粒子を含有する易滑被覆層Ｄが設けられている、請求項１〜５のいずれかに記載の積層フィルム。
【請求項７】
ポリエステルを含んでいる、請求項１〜６のいずれかに記載の積層フィルム。
【請求項８】
ポリエステルがポリエチレンテレフタレートまたはポリエチレン−２，６−ナフタレートである、請求項７記載の積層フィルム。
【請求項９】
デジタル記録方式の磁気テープ用ベースフィルムとして用いられる、請求項１〜８のいずれかに記載の積層フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種記録媒体、特に蒸着磁気記録媒体用ベースとして用いた際の磁気テープ特性や蒸着磁気記録媒体への加工適性が良好な積層フィルムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ポリエステルフィルムは、強度、耐熱性、透明性、耐薬品性などの優れた特性を有するため、多方面の用途に使用されているが、さらに機能性を付与することによって、光記録、光磁気記録、磁気記録の各種記録媒体用のベースフィルムとして広く使用されている。近年、各方式において記録密度あるいは記録容量の飛躍的向上が進んでおり、ベースフィルムへの要求特性も日増しに高まっている。
【０００３】
例えば、光記録媒体はベース上に感光層を設けたいわゆる光ディスクと呼ばれるもので、従来のＣＤ−Ｒと称されるものから、高密度、大容量記録可能で追記型のＤＶＤ−Ｒ、さらに書換型で超高密度記録可能なＤＶＲが開発、検討されている。具体的には、レーザー光の熱エネルギーを利用した相変化型では感熱色素に液晶化合物を利用したものが検討されている。あるいは、光による直接の変化を利用したフォトンモード型が検討されており、感光材料には、光そのものを吸収、スペクトル変化するフォトクロミック化合物の利用が提案されている。また、波長の異なるレーザーで書き込み、消去させるリライタブル型や、最近発売された短波長・高エネルギーの青紫色レーザーを利用した超高密度記録型も検討されている。
【０００４】
感光層と磁性層を併設した光磁気記録媒体は、ＭＲヘッドと呼ばれる磁気抵抗型ヘッドにより情報を再生する磁気記録媒体である。記録容量向上のため、磁性層の光透過性と平滑性を高める工夫が検討されている。
【０００５】
磁気記録媒体は、ベース上に金属薄膜を蒸着加工して磁性層を設けた蒸着型と塗布加工して磁性層を設けた塗布型に大別される。いずれも、磁性層のさらなる薄膜化による記録密度の向上が検討されている。
【０００６】
以上各用途のうち、ポリエステルフィルムの利用が最も進んでいる蒸着磁気記録媒体について、以下に詳述する。
【０００７】
１９９５年に実用化された民生用デジタルビデオテープは、厚さ６〜７μｍのポリエステルベースフィルム上に磁性層としてコバルト（Ｃｏ）の強磁性金属薄膜を真空蒸着により設け、その表面にダイヤモンド状カーボン膜をコーティングして成るものである。デジタルビデオ（ＤＶ）ミニカセットを使用したカメラ一体型ビデオの場合には基本仕様（ＳＤ仕様）で１時間の録画時間をもつ。
【０００８】
このデジタルビデオカセット（ＤＶＣ）は、家庭用では世界初であり、以下に示したような数多くの長所を有しているため、市場の評価が高い。
【０００９】
ａ．小型ボディながら、膨大な情報が記録できる
ｂ．信号が劣化しないから、何年たっても画質・音質が劣化しない
ｃ．雑音の妨害を受けないから高画質・高音質が楽しめる
ｄ．ダビングを繰り返しても映像が劣化しない
また１９９８年にはＳＤ仕様で１時間２０分の録画時間をもつＤＶミニカセットテープが実用化され、そのベースフィルムには厚さ４〜５μｍのポリエチレン−２，６−ナフタレートフィルムが用いられており、このテープも長時間の録画時間を持ち、市場の評価は高い。
【００１０】
例えば、民生用ＤＶＣテープでは、ベースフィルム片面側に強磁性金属薄膜を蒸着形成させるが、膜厚が１００〜３００ｎｍと薄く、ベースフィルムの表面特性が磁気テープ特性（電磁変換特性、ドロップアウト等）に大きく影響する。特に近年では、記録密度向上のため蒸着膜厚の薄膜化が進められており、従来にも増してベースフィルム表面平滑性が強く望まれている。その一方、ベースフィルムの製膜および蒸着加工時の搬送性、あるいはフィルムロール製品への巻き取り性という観点からは表面が粗い方が好ましい。
【００１１】
このような二律背反する特性を同時に満たすベースフィルムとして、下記（Ａ）〜（Ｃ）に示されるポリエステルベースフィルム等が使用されている。
【００１２】
（Ａ）粒径１０〜３００ｎｍの微細粒子を含有し、該微細粒子により高さ５〜９０ｎｍの微細表面突起が形成されたポリエステルフィルムと、該フィルムの少なくとも片面に密着された厚さ５０ｎｍ以下の有極性高分子を主体とする不連続被膜とからなり、該微細表面突起の高さが該不連続被膜の高さよりも高いポリエステルフィルム（例えば特許文献１）
（Ｂ）ポリエステルフイルムの一方の片側表面ＡのＲａ値が２〜４ｎｍ、Ｒｚ値が１０〜４０ｎｍであり、他方の片側表面ＢのＲａ値が５〜１５ｎｍ、Ｒｚ値が５０〜２５０ｎｍであり、表面Ｂの外側には塗布により形成された易滑被覆層がなく、また高さ５４０ｎｍ以上の突起個数が２〜２０個／１００ｃｍ2 であるポリエステルフィルムであって、表面Ａの外側に強磁性金属薄膜層を設けて使用されることを特徴とするフィルム（例えば特許文献２）
（Ｃ）層Ａ及び層Ｂが積層されてなり、片側表面ＡのＳＲａ値が２〜４ｎｍ、ＳＲｚ値が１０〜４０ｎｍであり、層Ｂ中には片側表面Ｂに表面突起を形成するための微細粒子が含まれ、該微細粒子の平均粒径が５０〜５００ｎｍであり、層Ｂ中の含有率が０．０１〜１．０重量％であり、表面Ｂの外側には塗布により形成された易滑被覆層が１〜１０ｎｍの厚みで設けられているポリエステルフィルムであって、表面Ａの外側に強磁性金属薄膜層を設けて使用されることを特徴とするフィルム（例えば特許文献３）
しかし近年、急速なＤＶＣ普及により市場の価格低下要求が強まっており、１回の蒸着操作でより多量のデジタルビデオテープが製造できるように、ベースフィルム長尺化や、テープ加工速度の増速化による蒸着加工効率の向上が検討されている。しかし、長尺化するにつれてフィルムロール製品の巻き形状が悪化する等、巻き取り性が低下しやすい。巻き形状が悪化すると、蒸着加工時の冷却キャンとの密着性低下、さらには冷却効率低下により磁気テープ特性が低下しやすい。その他、製膜時の検査頻度も大幅に高くなり、結果としてコスト増となってしまう。また、増速化の場合、蒸着効率を保つためには蒸着加工温度を上げる必要があるが、その分ベースフィルムが受ける熱履歴は大きくなり、ベース材料（（Ａ）〜（Ｃ）の例ではポリエステル）の熱分解物が冷却キャンや工程ロールに付着し、これが冷却効率の低下を引き起こしたり、蒸着磁性層に転写することによって磁気テープ特性が低下しやすくなる等、加工工程上の問題が起こりやすい。
【００１３】
テープ特性向上と、フィルムの製造・加工工程での滑り性向上との両立を図るべく、例えば（Ｄ）に示すようなベースフィルムが提案されている。
【００１４】
（Ｄ）少なくとも片面に、平均粒径が０．１〜２μｍ、粒子の粒径比（長径／短径）が１．０〜１．２、相対標準偏差が０．５以下である球状シリカを除く不活性球状粒子を０．００５重量％以上０．４重量％未満含有する熱可塑性ポリマーからなり、該フィルム厚みが上記平均粒径の５倍以下であるフィルムが積層されている積層フィルム（例えば特許文献４）
しかしながら（Ｄ）のようなベースフィルムでも、現在要求されている２０，０００ｍ以上の長さのフィルムロール製品を姿良く、かつ短時間にスリットして巻き取ることは困難であり、ましてや、近い将来要求され得る３０，０００ｍ以上に巻き取ることは出来ない。また、巻き取り時のロール巻き込みエアーやわずかなベースフィルム厚みムラによる影響で、スリット直後は巻き姿が良好であっても、経時で悪化しやすい。また、ベース材料の熱分解物による磁気テープ特性の低下という問題が解決されない。
【００１５】
従来のベースフィルムでは以上の諸問題を抱えることにより、市場の要求を満たすことができなかった。
【特許文献１】特公平６−５１４０１号公報
【特許文献２】特開平１０−１７２１２７号公報
【特許文献３】特開２００２−１４０８１２号公報
【特許文献４】特許第３０８８４２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明の目的は、上記のような問題点を解決し、製膜時の巻き取り性に優れ、各種記録媒体、特に蒸着磁気記録媒体用ベースとして用いた際の磁気テープ特性や蒸着磁気記録媒体への加工適性が良好な積層フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するための本発明は、熱可塑性樹脂層Ａおよび熱可塑性樹脂層Ｂを含む少なくとも２層の積層フィルムであって、一方の面を構成する熱可塑性樹脂層Ａの中心線平均表面粗さＲａAと、反対面側の熱可塑性樹脂層Ｂの中心線平均表面粗さＲａBとの比率ＲａA／ＲａBが０．２〜０．７であり、熱可塑性樹脂層Ｂが不活性粒子α、βを含有し、不活性粒子α、βの平均粒子径ｄα、ｄβの差（ｄβ−ｄα）が８０〜３００ｎｍであり、熱可塑性樹脂層Ｂ表面の不活性粒子βに由来する突起個数Ｎβが４〜１５０個／ｍｍ2であり、かつ、熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面には１〜１０ｎｍの厚みで易滑被覆層Ｃが設けられている積層フィルムを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、以下に説明するとおり、２０，０００ｍを超える長尺フィルムロール製品での巻き形状の経時安定性に優れ、磁気テープ高速加工時に冷却キャンや搬送ロールの汚れが少なく、かつ磁気テープ特性に優れた（電磁変換特性が良好で、ドロップアウトが少ない）積層フィルムを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の積層フィルムを構成する熱可塑性樹脂としては、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリビニル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂を用いることができ、好ましくはポリエステル系樹脂を主体として構成されるものである。
【００２０】
本発明において、ポリエステル系樹脂とは、ジオールとジカルボン酸とから縮重合によって得られるポリマーである。さらに、ジカルボン酸は、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸等で代表されるものであり、またジオールは、エチレングリコール、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、シクロヘキサンジメタノール等で代表されるものである。このようなポリエステルの具体例としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−ｐ−オキシベンゾエート、ポリ−１，４−シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレンジカルボキシレート（ポリエチレンナフタレート）等を使用することができる。
【００２１】
もちろん、これらのポリエステル系樹脂は、ホモポリエステルであっても、コポリエステルであってもよく、コポリエステルの共重合成分としては、例えば、ジエチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ポリアルキレングリコール等のジオール成分、アジピン酸、セバシン酸、フタル酸、イソフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、５−ナトリウムスルホイソフタル酸等のジカルボン酸成分を用いることもできる。
【００２２】
本発明に用いられるポリエステル系樹脂としては、ポリエチレンテレフタレートとポリエチレンナフタレートが強度、耐熱性、耐水性および耐薬品性等に優れているため、特に好ましく用いられる。
【００２３】
また、上記ポリエステル系樹脂の極限粘度は特に限定されないが、２５℃のオルソクロロフェノール中で測定したときに０．４〜１．２ｄｌ／ｇが好ましく、より好ましくは０．５〜１．０ｄｌ／ｇ、さらには０．５〜０．８ｄｌ／ｇの範囲内であるものが、好適に使用できる。
【００２４】
また、得られるポリエステルの色調や耐熱性を向上させる目的で、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、アルミニウム化合物、亜鉛化合物、スズ化合物等を添加してもよい。
【００２５】
さらに、本発明の目的を阻害しない範囲内で、着色防止剤、安定剤、抗酸化剤、耐光剤、耐候剤、充填剤、核剤、分散剤、カップリング剤等の添加剤を含有しても差支えない。
【００２６】
本発明の積層フィルムは、少なくとも２層の熱可塑性樹脂層から成り、一方の面を構成する熱可塑性樹脂層Ａの中心線平均表面粗さＲａAと、反対面側の熱可塑性樹脂層Ｂの中心線平均表面粗さＲａBとの比率ＲａA／ＲａBが０．２〜０．７であって、熱可塑性樹脂層Ｂが不活性粒子α、βを含有して成り、不活性粒子α、βの平均粒子径ｄα、ｄβの差（ｄβ−ｄα）が８０〜３００ｎｍ、熱可塑性樹脂層Ｂ表面の不活性粒子βに由来する突起個数Ｎβが４〜１００個／ｍｍ2であり、熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面には１〜１０ｎｍの厚みで被覆層Ｃが設けられていることを特徴としている。この場合、ＲａAが２．９ｎｍ以上であることが好ましい。
【００２７】
また、本発明の積層フィルムは、熱可塑性樹脂層Ａおよび熱可塑性樹脂層Ｂを含む少なくとも２層の積層フィルムであって、一方の面を構成する熱可塑性樹脂層Ａの中心線平均表面粗さＲａAと、反対面側の熱可塑性樹脂層Ｂの中心線平均表面粗さＲａBとの比率ＲａA／ＲａBが０．０５〜０．７であり、ＲａAが２．９ｎｍ未満であり、熱可塑性樹脂層Ｂが不活性粒子α、βを含有し、不活性粒子α、βの平均粒子径ｄα、ｄβの差（ｄβ−ｄα）が８０〜３００ｎｍであり、熱可塑性樹脂層Ｂ表面の不活性粒子βに由来する突起個数Ｎβが４〜１５０個／ｍｍ2であり、かつ、熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面には１〜１０ｎｍの厚みで易滑被覆層Ｃが設けられている積層フィルムであってもよい。
【００２８】
以下、各要件について以下に詳述する。
【００２９】
本発明の積層フィルムは、少なくとも２層以上の積層構成を有し、一方の面を構成する熱可塑性樹脂層Ａの中心線平均表面粗さＲａAと、反対面側の熱可塑性樹脂層Ｂの中心線平均表面粗さＲａBとの比率ＲａA／ＲａBが０．２〜０．７である。すなわち、一方の面を相対的に平滑な磁性層加工面とし、反対面を相対的に粗い走行面とすることは、製膜・加工時のフィルム搬送性、加工後の磁気テープ特性とテープ搬送性を両立せしめるために重要である。比率ＲａA／ＲａBが上記範囲を外れる場合にはフィルム・テープ搬送性、および磁気テープ特性が低下しやすい。また、比率ＲａA／ＲａBの好ましい範囲は０．２５〜０．６であり、さらには０．３〜０．５５がより好ましい。
【００３０】
本発明におけるＲａA、ＲａBの好ましい範囲は各々０．７〜７ｎｍ、２〜２０ｎｍであり、より好ましくは１〜５ｎｍ、３〜１５ｎｍである。なお、中心線平均表面粗さについて、後述の易滑層がフィルム表面に積層されている場合は、易滑層表面を測定した値を意味する。
【００３１】
なお、本発明においては、ＲａAとＲａA／ＲａBとについて好ましい範囲が存在し、ＲａAが２．９ｎｍ以上の場合、ＲａA／ＲａBの値は０．２〜０．７が好ましく、より好ましくは０．２５〜０．６であり、さらに好ましくは０．３〜０．５５である。また、ＲａAが２．９ｎｍ未満の場合、ＲａA／ＲａBの値は０．０５〜０．７が好ましく、より好ましくは０．０７〜０．６５であり、さらに好ましくは０．１〜０．６である。
【００３２】
なお、本発明において２層以上の積層体とする方法としては、溶融製膜中の共押出により複合化する方法、あるいはそれぞれ別々に製膜した後、ラミネートする方法のいずれでもよいが、コストなどの点で前者の方法がより好ましい。
【００３３】
Ａ層／Ｂ層の厚み比率は、Ｂ層を基準として２／１〜３０／１が好ましく、より好ましくは３／１〜２５／１である。厚み比率がこの範囲から外れた場合には、フィルム・テープ搬送性、磁気テープ特性あるいはコスト低減効果が低下しやすい。
【００３４】
本発明の積層フィルムの厚みは、特に限定されないが、通常３〜１２μｍ、より好ましくは４〜１０μｍ、さらには４〜８μｍ程度の範囲にあることが、製膜性、寸法安定性、実用面での取扱性などの点で好ましい。また、熱可塑性樹脂層Ｂの厚みの好ましい範囲は１３０〜１，４００ｎｍ、さらには１５０〜１，２００ｎｍがより好ましい。１３０ｎｍ未満の場合、特に不活性粒子βが脱落しやすくなり、脱落粒子が熱可塑性樹脂層Ａ側に転写して磁気テープ特性が低下しやすい。一方、１，４００ｎｍ以上の場合には、熱可塑性樹脂層Ｂの表面が粗くなりすぎて、磁性層を蒸着加工後にロール状で放置した際に熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面形状が磁性層面側に転写、表面うねり状となって磁気テープ特性が低下しやすい。
【００３５】
本発明の積層フィルムは、熱可塑性樹脂層Ｂが不活性粒子α、βを含有して成り、不活性粒子α、βの平均粒子径ｄα、ｄβの差（ｄβ−ｄα）が８０〜３００ｎｍ、熱可塑性樹脂層Ｂ表面の不活性粒子βに由来する突起個数Ｎβが４〜１５０個／ｍｍ2である。走行面側をこのような構成とすることにより、製膜・加工時のフィルム搬送性、加工後の磁気テープ特性・テープ搬送性を両立せしめ、なおかつフィルムロール製品の巻き形状を長期的に安定化せしめることが可能となる。（ｄβ−ｄα）が８０ｎｍ未満、Ｎβが４個／ｍｍ2未満の場合には、フィルムロール製品の巻き形状の安定性、磁気テープ特性が低下しやすい。また、複数の不活性粒子、特に不活性粒子βを使用した効果が小さくなり、結果としてコスト増となってしまう。一方、（ｄβ−ｄα）が３００ｎｍより大きく、Ｎβが１５０個／ｍｍ2より多い場合には、磁性層を蒸着加工後にロール状で放置した際に熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面形状が磁性層面側に転写、表面うねり状となって磁気テープ特性が低下しやすい。
【００３６】
上記特性の好ましい範囲を順に述べると、ｄβ−ｄαは１００〜２７０ｎｍ、さらには１２０〜２５０ｎｍが好ましく、Ｎβは６〜１２０個／ｍｍ2、さらには８〜１００個／ｍｍ2が好ましい。
【００３７】
本発明の積層フィルムは、上記の表面粗さおよび突起個数を実現するため、熱可塑性樹脂層Ｂに不活性粒子α、βを含有せしめるが、その平均粒子径、熱可塑性樹脂層Ｂに対する含有量の好ましい範囲については次の通りである。不活性粒子α：平均粒子径は１５０ｎｍ以上、４００ｎｍ未満が好ましく、より好ましくは１８０〜３８０ｎｍ、さらに好ましくは２００〜３５０ｎｍ。含有量は０．４〜２．０重量％が好ましく、より好ましくは０．４２〜１．５重量％、さらに好ましく０．４２〜１．０重量％。不活性粒子β：平均粒子径は４００ｎｍ以上、７００ｎｍ未満が好ましく、より好ましくは４２０〜６００ｎｍ、さらに好ましくは４２０〜５５０ｎｍ。含有量は０．０００５〜０．０１重量％が好ましく、さら好ましくは０．０００７〜０．００７重量％、さらに好ましくは０．０００７〜０．００５重量％。上記範囲下限未満の場合、熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面が平滑すぎてフィルム・テープ搬送性が低下し、ハンドリング性やフィルムロール製品の巻き形状の安定性が低下しやすい。一方、上記範囲上限を超える場合には、逆に粗くなりすぎて、磁性層を蒸着加工後にロール状で放置した際に熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面形状が磁性層面側に転写、表面うねり状となって磁気テープ特性が低下しやすい。
【００３８】
不活性粒子α、βとして使用される粒子の好ましい例としては、無機系ではシリカ、コロイダルシリカ、炭酸カルシウム、アルミナ、シリカ−アルミナ複合体など、有機系では、架橋ポリスチレン、ポリアクリル、架橋ジビニルベンゼン、シリコーンの単独重合体もしくは共重合体などを用いることができる。上記のうちでは、磁性層を蒸着加工後にロール状で放置した際の磁性層面側への影響の点で有機系粒子が好ましく、架橋ポリスチレン、シリコーンが特に好ましいものである。また、熱可塑性樹脂層Ｂ中には本発明の目的を阻害しない範囲内で前記不活性粒子より更に細かい別種の粒子を含有せしめてもよい。なお、不活性粒子α、βは同種、異種のいずれであってもよいが、両者とも有機系粒子である場合が特に好ましい。α、βは粒度分布がシャープであることが好ましく、粒子直径の標準偏差が０．０２μｍ以下であることが好ましい。粒子が３種類以上ある場合、平均粒径が最大であるものをβ、２番目に大きな平均粒径を有する粒子をαとする。
【００３９】
これらの粒子は、天然品、合成品いずれでも良いが、シャープな粒径の不活性粒子を得るためには合成された粒子がより好ましい。市販の不活性粒子を利用できる。炭酸カルシウムは石灰石を石灰焼成炉で無煙炭又はコークスとともに焼成して、生石灰とし、その生石灰に水を加えてできた石灰乳に、石灰石を焼成した時に発生した炭酸ガスを反応させ、均一な粒子の炭酸カルシウムを生成させる等により製造できる。燐酸カルシウムは硝酸カルシウム、燐酸２水素アンモニウム、尿素を含む酸性水溶液をアルギン酸アンモニウム、ウレアーゼを含む水溶液に添加することにより球状のゲル粒子が採取でき、それを乾燥すること等により得ることができる。シリカ、コロイダルシリカは珪酸ソーダ水溶液の酸又はアルカリ金属塩による中和、分解反応により調製できる。アルミナは水酸化アルミニウムを焼成して得ることができる。ポリスチレン粒子としては架橋性硬化型ポリスチレン粒子が好ましく、粒子を構成する主要組成がスチレンまたはその誘導体である粒子であり、スチレンのソープフリー乳化重合によりシード粒子を合成し、オリゴマ程度の分子量の膨潤助剤を用いて膨潤させ、スチレン、ジビニルベンゼンを吸収して重合させることにより球形の粒子径のシャープな架橋したポリスチレン粒子が利用できる。シリカ−アルミナ複合体はケイ酸ナトリウムとアルミン酸ナトリウムの反応により合成されたもの等を使用できる。シリコーンは金属ケイ素よりジメチルクロロシラン等のシランを作成し、この加水分解、重合によりポリシロキサンを合成することによりシリコーンが得られる。ポリアクリル、架橋ジビニルベンゼンはアクリル酸、ジビニルベンゼンのラジカルエマルジョン重合により調製できる。
【００４０】
本発明に用いる上記不活性粒子はポリエステルに公知の種々の方法によって添加、混合できる。中でもポリエステル 重合開始前から重合反応中の段階で添加するのが粒子分散性の点で特に好ましい。ポリエステル 組成物を製造する前駆段階または重縮合段階における粒子の添加は、エチレングリコールのスラリーとして添加するのが好ましい。そのスラリー濃度としては０．５〜２０重量％程度が適当である。エチレングリコール等の分散媒への分散法は例えば高速分散機、サンドミル、ロールシール等を用いてもよい。また分散時にはリン酸、亜リン酸、ヘキサメタリン酸ナトリウムなどのリン原子含有化合物、テトラエチルアンモニウムハイドロオキサイド、ヒドロキシルアミンなどの窒素原子含有化合物、アルカリ化合物、陽イオン、陰イオン、両性もしくは非イオン性などの界面活性剤あるいは水溶性高分子等の分散剤を使用するとスラリーおよびポリマー中の不活性粒子の分散性がさらに向上し、特に好ましい。
【００４１】
本発明の積層フィルムにおいては、熱可塑性樹脂層Ｂの外側表面に易滑被覆層Ｃが１〜１０ｎｍの厚みで設けられている。厚みは、好ましくは２〜８ｎｍである。易滑被覆層Ｃの厚みが１ｎｍ未満であると、強磁性金属薄膜の磁性層蒸着加工時に、ベースフィルム材料の熱分解物が析出しやすくなり、この熱分解物が冷却キャンや工程中の搬送ロールに付着し、これが冷却効率の低下を引き起こしたり、蒸着磁性層に転写することによって磁気テープ特性が低下しやすくなる。一方、厚みが１０ｎｍを超える場合、製膜・蒸着加工時に冷却キャン、搬送ロールによって易滑被覆層の削れ、剥がれが起こりやすくなり、これが磁性面側に転写して磁気テープ特性が低下しやすくなる。
【００４２】
易滑被覆層Ｃは、冷却キャン、搬送ロールとの間で易滑性であって削られにくく、かつ、フィルムからの分解物を通さない機能を有するものであり、主として、水溶性高分子及び／又は水分散性高分子から構成されていることが好ましく、特に水溶性高分子及び／又は水分散性高分子にシリコーン及びシランカップリング剤が加えられて成ることが好ましい。易滑被覆層Ｃに用いられる水溶性高分子としては、ポリビニルアルコール、トラガントゴム、アラビアゴム、カゼイン、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、カルボキシルメチルセルロース等のセルロース誘導体、ポリエステルエーテル共重合体、水溶性ポリエステル共重合体等が使用できる。また、水分散性高分子のエマルジョンとしては、ポリメタクリル酸メチルエマルジョン、ポリアクリル酸エステルエマルジョン等が使用できる。なかでも、セルロース誘導体と水溶性ポリエステル共重合体の高分子ブレンド体が特に好ましい。水溶性ポリエステル共重合体としては、ジカルボン酸成分とグリコール成分が重縮合したポリエステルであって、例えばスルホン酸基を有するジカルボン酸成分のような機能性酸成分を全カルボン酸成分の５モル％以上共重合せしめること、及び／又は、グリコール成分としてポリアルキレンエーテルグリコール成分を２〜７０重量％共重合せしめることによって水溶性を付与したものが好ましいが、これらに限定されるものではない。スルホン酸基を有するジカルボン酸としては、好ましくは５−スルホイソフタル酸、２−スルホテレフタル酸などや、それらの金属塩、ホスホニウム塩などが使用でき、５−ナトリウムスルホイソフタル酸が特に好ましい。５−ナトリウムスルホイソフタル酸を共重合せしめる際の他のジカルボン酸成分としてはイソフタル酸、テレフタル酸などが好ましく、グリコール成分としてはエチレングリコール、ジエチレングリコールなどが好ましい。セルロース誘導体はポリエステル分解物が析出することを防ぐために寄与し、水溶性ポリエステル共重合体はセルロース誘導体とポリエステルフィルム表面との接着性を増大させるために寄与する。なお、水溶性ポリエステル共重合体のガラス転移点は４０℃以上、さらには５０℃以上であることが好ましい。フィルム製膜工程、あるいは磁性層加工工程ともにフィルムは熱を受けるため、ガラス転移点が４０℃未満の樹脂を用いた場合には易滑被覆層Ｃによってフィルムが工程内の搬送ロールに貼り付きやすく、かえってシワ発生などの原因になることがある。
【００４３】
シリコーンとしては、ポリジメチルシロキサン等のシロキサン結合を分子骨格にもつ有機ケイ素化合物が共有結合で多数つながった重合体が使用できる。シリコーンにより易滑被覆層Ｃ表面の易滑性が向上し、冷却キャン、搬送ロールによる耐削れ性が確保され、同時にフィルム搬送性も向上する。またフィルムをロール状に巻き取ったときフィルム間でのブロッキングが防止される。なお、フッ素系化合物を易滑剤として用いてもよい。
【００４４】
シランカップリング剤としては、その分子中に２個以上の異なった反応基をもつ有機ケイ素単量体が用いられ、その反応基の一つはメトキシ基、エトキシ基、シラノール基などであり、もう一つの反応基はビニル基、エポキシ基、メタアクリル基、アミノ基、メルカプト基などである。反応基としては水溶性高分子の側鎖、末端基およびポリエステルと結合するものが選ばれるが、シランカップリング剤としてビニルトリクロルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタアクリロキシプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン等が適用できる。シランカップリング剤はシリコーンが易滑被覆層Ｃより遊離することを防ぐために寄与し、さらに、易滑被覆層Ｃとフィルムとの接着性を向上させるためにも寄与する。
【００４５】
易滑被覆層Ｃの削れ抑止のためには、層Ｃ中には微細粒子が実質的に存在しないことが好ましい。ただし、本発明を阻害せず、層Ｃを強化する目的で易滑被覆層Ｃの厚み以下の粒子径である微細粒子を補強材として用いることは許容される。
【００４６】
本発明の積層フィルムにおいて、不活性粒子の添加は走行面側の熱可塑性樹脂層Ｂには必須であるが、磁性層加工面側の熱可塑性樹脂層Ａ中には実質的に不活性粒子を含有していないことが好ましく、同時に熱可塑性樹脂層Ａの外側表面に微細粒子（粒子）を含有した易滑被覆層Ｄを設けることが、フィルム間でのブロッキング防止効果と磁気テープ特性とを両立できるため好ましい態様である。該粒子としては、平均粒子径３〜１００ｎｍさらには５〜７０ｎｍが好ましく、フィルム表面における存在密度としては５×１０5〜５×１０8個／ｍｍ2さらには１×１０6〜１×１０8個／ｍｍ2が好ましい。平均粒径が３ｎｍより小さい場合にはブロッキング防止効果が低下したり、あるいは微細粒子同士の凝集が生じやすくなって、粒子の脱落や必要以上の粗大突起の形成を引き起こすことがあり、２００ｎｍより大きい場合には磁気テープ特性が低下しやすい。また、存在密度については５×１０5個／ｍｍ2未満では、微細粒子同士の間隔が広くなりすぎて実質的なブロッキング防止効果が薄れやすく、一方、５×１０8個／ｍｍ2より多い場合には、凝集によって粒子の脱落や必要以上の大きさの突起形成を引き起こしやすい。また、易滑被覆層Ｄの厚みは２〜２０ｎｍ、さらには４〜１５ｎｍであることが好ましい。厚みが２ｎｍ未満であると、微細粒子が脱落しやすくなり、冷却キャンや工程中の搬送ロールに付着し、これが冷却効率の低下を引き起こしたり、蒸着磁性層に転写することによって磁気テープ特性が低下しやすくなる。また、フィルム・テープ搬送性も低下しやすい。一方、厚みが２０ｎｍを超える場合、磁性層加工面側である熱可塑性樹脂層Ａの表面粗さが大きくなり、磁気テープ特性が低下しやすくなる。
【００４７】
易滑被覆層Ｄ中に使用される微細粒子としては、ポリアクリル酸、ポリスチレン、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、シリコーン、ポリエポキシ、ポリ酢酸ビニル、ポリエチレン／プロピレン、架橋ジビニルベンゼン、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、ポリ（メタ）アクリル酸アミド、アクリル−スチレン、スチレン−ブタジエンなどの単独または共重合体、あるいはこれらの各種変成体などの有機系微細粒子、炭酸カルシウム、球形シリカ、コロイダルシリカ、アルミナ等の無機系微細粒子、あるいは上記無機系粒子を核として、有機高分子で被覆した複合微細粒子が使用できるが、これらに限定されない。有機系微細粒子としては末端基がエポキシ、アミン、カルボン酸、水酸基等で変成された自己架橋性のものも好ましい。また、微細粒子の球形比が１．０〜１．３であることが好ましい。
【００４８】
易滑被膜層Ｄ中にバインダーとして使用する樹脂としては、易滑被覆層Ｃに用いる水溶性高分子及び／又は水分散性高分子から構成されていることが好ましく、その一例としては、ポリビニルアルコール、トラガントゴム、カゼイン、ゼラチン、セルロース誘導体、水溶性ポリエステル、ポリウレタン、アクリル樹脂、アクリル−ポリエステル樹脂、イソフタル酸エステル樹脂、メタクリル酸エステル樹脂等が使用でき、好ましくはこれらいずれかを併用することが好ましい。
【００４９】
本発明における、易滑被覆層Ｃ、Ｄの形成方法は、易滑被覆層形成塗液をフィルムに塗布、乾燥して設ける方法が好ましい。易滑被覆層形成塗液の塗布方法としては、例えば、リバース（ロール）コート、グラビアコート、ナイフコート、エアーナイフコート、ロールコート、ブレードコート、ビードコート、回転スクリーンコート、スロットオリフィスコート、ロッドコート、バーコート、ダイコート、スプレーコート、カーテンコート、ダイスロットコート、チャンプレックスコート、ブラシコート、ツーコート、メータリングブレード式のサイズプレスコート、ビルブレードコート、ショートドウェルコート、ゲートロールコート、グラビアリバースコート、エクストルージョンコート、押出コートなどの方法を用いることができる。
【００５０】
また、易滑被覆層形成塗液の塗布工程としては、フィルムの製膜工程内で塗布する方法（インラインコート）、製膜後のフィルム上に塗布、乾燥する方法（オフラインコート）のいずれの方法であってもよいが、均一塗布、薄膜塗布および経済性等の点で、インラインコートがより優れた方法である。さらに、インラインコートでは、ポリエステルフィルムを例に挙げれば、ポリエステルフィルムの配向、結晶化が完了する以前に塗布を行うことが好ましく、例えば逐次二軸延伸製膜工程では、縦延伸後のフィルムに塗布し、横延伸、熱固定を経る間に、易滑層とフィルム本体との密着向上を得る方法が一般的である。また、コート前のフィルムには塗布性改良を目的として、予めその表面にコロナ放電処理、プラズマ処理などの前処理を施しておくことも可能である。
【００５１】
また、該易滑被覆層形成塗液の液媒体は水系、溶剤系あるいは両者混合系のいずれの液媒体でもよいが、インラインコート法による場合には、取扱性や防爆などの安全性の点で水系または水を主体とした両者混合系の液媒体が好ましく用いられる。また、塗液には、フィルムへの濡れ性を向上させるために界面活性剤（アニオン型、ノニオン型）を添加してもよい。
【００５２】
次に、本発明の積層フィルムの製造方法の一例を説明する。なお、積層フィルムを構成する主体である熱可塑性樹脂に、ポリエステルを使用した場合の一例により説明する。
【００５３】
含有粒子を可能な限り除いた層Ａ用の原料と、前記の不活性粒子α、βをＢ層フィルム厚さと併せて前記の規定する範囲内の所望の含有量に対応させて添加した層Ｂ用の原料とを溶融共押出しし、キャスティングドラム上で冷却固化して層Ａと層Ｂとが積層した未延伸フィルムシートとする。Ａ層／Ｂ層の厚み比率は２／１〜３０／１が好ましい。
【００５４】
このフィルムシートを、表面温度１０〜６０℃に冷却されたドラム上で静電気により密着冷却固化し、未延伸積層フィルムを作製する。該未延伸フィルムを７０〜１２０℃に加熱したロール群に導き、長手方向（縦方向、すなわちフィルムの進行方向）に２〜５倍延伸し、２０〜３０℃のロール群で冷却する。
【００５５】
続いて長手方向に延伸した積層フィルム表面にそのまま、あるいは必要に応じてコロナ放電処理を施した後、易滑被覆層形成塗液を塗布する。このときＡ層側に易滑被覆層Ｄ、Ｂ層側に易滑被覆層Ｃが設けられる様に塗布する。この易滑被覆層形成塗液を塗布された積層フィルムの両端をクリップで把持しながらテンターに導き９０〜１５０℃に加熱した雰囲気中で長手方向に垂直な方向（横方向）に２〜５倍に延伸する。
【００５６】
延伸倍率は、縦、横それぞれ２〜５倍とするが、その面積倍率（縦延伸倍率×横延伸倍率）は６〜２０倍であることが好ましい。面積倍率が６倍未満であると得られるフィルム強度が不十分となり、逆に面積倍率が２０倍を超えると延伸時に破れを生じ易くなる傾向がある。
【００５７】
このようにして得られた二軸延伸積層フィルムの結晶配向を完了させて平面性、寸法安定性を付与するために、引き続きテンター内にて１５０〜２３０℃で１〜３０秒間の熱処理を行ない、均一に徐冷後、室温まで冷却して巻き取ることにより、本発明の積層フィルムを得ることができる。なお、上記熱処理工程中では、必要に応じて横方向あるいは縦方向に１〜１２％の弛緩処理（リラックス）を施してもよい。また、二軸延伸は上述の逐次延伸の他に同時二軸延伸でもよく、同時二軸延伸の場合のインラインコートは、溶融シートをドラム上に密着冷却固化した未延伸フィルム表面に必要に応じてコロナ放電処理を施した後、易滑層形成塗液を塗布し、延伸すればよい。また二軸延伸後に縦、横いずれかの方向に再延伸してもよい。
【実施例】
【００５８】
本発明の実施例で用いた評価方法、評価基準は以下のとおりである。
【００５９】
（１）ポリマーの極限粘度
オルソクロロフェノールを溶媒として２５℃で測定した。
【００６０】
（２）熱可塑性樹脂層Ａ、Ｂ中の不活性粒子の平均粒子径
ａ．粒子粉体から求める場合
顕微鏡試験台上に不活性粒子粉体を、この粒子ができるだけ重ならないように散在せしめ、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により倍率１万〜１０万倍で観察、少なくとも１００個の粒子について面積円相当径を求め、この数平均値をもって平均粒径とした。
【００６１】
ｂ．フィルム中から求める場合
積層フィルムの小片を樹脂または氷で固定し、ミクロトームを用いてフィルム長手方向に平行に切断した超薄切片を作製した。次に、フィルム断面をＴＥＭを用いて倍率１万〜１０万倍で観察、任意に場所を変えて少なくとも１００個の粒子の透過円相当径を測定し、その平均値を算出して求めた。凝集粒子の場合は凝集体について等価円相当径の平均値から求めた。
【００６２】
（３）熱可塑性樹脂層Ｂ表面の不活性粒子βに由来する突起個数Ｎβ
積層フィルムを１０×１０ｃｍに切り出し、その熱可塑性樹脂層Ａ側を黒マジックで塗りつぶし、熱可塑性樹脂層Ｂ側を上面にして、（株）キーエンス製表面形状測定顕微鏡（測定部ＶＦ−７５１０、コントローラＶＦ−７５００）を用いて倍率１，０００倍で観察し、少なくとも１０視野での平均値から単位面積当たり（１ｍｍ2）の突起個数を求めた。
【００６３】
（４）熱可塑性樹脂層Ｂ、易滑被覆層Ｃ、Ｄの厚み
（２）ｂ．の方法で作製した積層フィルムの超薄切片を、ＴＥＭにより倍率５，０００〜１０万倍で観察し、熱可塑性樹脂層Ｂの厚みを求めた。また、倍率５万〜３０万倍で観察して、易滑層の厚みを求めた。なお、両厚みの測定は任意に場所を変えて計５箇所以上の平均値から求めた。また、易滑被覆層の厚みは、塗布液のウェット厚みに塗布液固形分濃度を掛け、塗布後の延伸倍率で除することにより求めることもできる。
【００６４】
（５）易滑被覆層Ｄ中の微細粒子の平均粒子径、存在密度
フィルムの易滑被覆層Ｄ積層面に金スパッター装置により金薄膜蒸着層を２０〜３０ｎｍ（χｎｍ）で設け、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により倍率５万〜３０万倍で観察し、少なくとも１００個の粒子について面積円相当径を求め、この数平均値より２χｎｍを減じた値をもって平均粒子径とした。また、任意に場所を変えて撮影したＳＥＭ写真から粒子の個数を数え、写真５枚での平均値から単位面積（１ｍｍ2）あたりの粒子数に換算して存在密度とした。
【００６５】
（６）フィルム表面粗さ（Ｒａ）
セイコーインスツルメンツ（株）製卓上プローブ顕微鏡“ナノピクス”（測定ヘッドＮＰＸ１００［ＮＰＸ１ＭＡＰ００１］およびコントローラＮａｎｏｐｉｃｓ１０００［ＮＰＸ１ＥＢＰ００１］）を用いて任意の場所を１０箇所を測定し、その平均値をＲａとした。なお、測定面積は、熱可塑性樹脂層Ａ（磁性層加工面）側は４０μｍ角、熱可塑性樹脂層Ｂ（走行面）側は１００μｍ角とした。その他の測定条件は次のとおりである。スキャン速度：３８０ｓｅｃ／ＦＲＡＭＥ、スキャン回数：５１２本、振幅度合い：磁性層加工面側はＬＬモード、走行面側はＨＨモード。
【００６６】
（７）フィルムロール巻き姿
製膜した積層フィルムをスリッターで製品幅にスリット後、スリット直後、３日後、７日後のロール巻き姿について下記基準で判定した。◎および○の場合を問題ないものとする。
【００６７】
凹み、ずれ、縦シワが全くない・・・◎
軽微のずれ、縦シワがある・・・○
長手方向１／４周〜半周に縦シワが発生・・・△
幅方向の凹み・ずれ、または巻き長さ方向半周以上に縦シワが発生・・・×
（８）ロール、冷却キャン汚れ
積層フィルム表面へ強磁性金属薄膜を真空蒸着する際のロール、冷却キャンの汚れ状態を下記基準で判定し、この汚れ状況から、ベースフィルムからのポリエステル低分子量物や熱分解物の析出、あるいは削れ物の多寡を判断した。◎および○の場合が工程上およびテープ特性上問題ないものである。
【００６８】
この真空蒸着工程において、積層フィルムの巻き長さ（ロール、冷却キャンの汚れ判定までに通過したフィルムの長さ）は３０，０００ｍ、フィルム走行速度は１００ｍ／分、冷却キャンの温度はマイナス２５度に設定し、コバルト−酸素薄膜を１１０ｎｍの膜厚で形成させた。
【００６９】
全く汚れなし                    ・・・◎
全面に均一に薄く汚れあり(青味)  ・・・○
全面に均一に汚れあり（白味）    ・・・△
全面あるいは部分的に粉状物が付着・・・×
（９）磁気テープ特性
市販のカメラ一体型デジタルビデオテープレコーダーのＬＰモードを用いて静かな室内で録画、再生し、ドロップアウト個数を求めることにより行った。ドロップアウト個数の測定は、後述の方法で作製したＤＶＣテープを市販のカメラ一体型デジタルビデオテープレコーダーで録画し、１分間の再生をして画面に現れたブロック状のモザイク個数を数えることによって行った。テープ製造後の初期特性と１５０回繰返し走行後のドロップアウト（ＤＯ）個数を測定した。ＤＯ個数の少ない程、テープ特性が良い。なお、ＤＯ個数の測定は温度２５℃、相対湿度６５％の条件下にて行った。
【００７０】
次に実施例に基づき、本発明を説明する。
【００７１】
（実施例１）
Ａ層を形成するため、ポリエチレンテレフタレート（以降、ＰＥＴと省略する）チップを１８０℃で３時間減圧乾燥した後、押出機Ａに供給し、常法により２８５℃で溶融してＴダイ複合口金に導入した。
【００７２】
一方、Ｂ層を形成するため、ＰＥＴをベースに、さらに不活性粒子αとして平均粒子径３００ｎｍの架橋シリコーンを０．４５重量％、不活性粒子βとして平均粒径５５０ｎｍのシリカを０．００１重量％含有させたチップ原料を１８０℃で３時間減圧乾燥した後に、押出機Ｂ側に供給し、常法により２８５℃で溶融して同様にＴダイ複合口金に導入した。
【００７３】
次いで、該口金内でＡ層／Ｂ層＝１５／１の厚み比に積層されるよう合流せしめた後、シート状に共押出して溶融積層シートとした。そして、該溶融シートを、表面温度２５℃に保たれた冷却ドラム上にＢ層が該ドラム側に来るよう静電荷法で密着冷却固化させて未延伸積層フィルムを得た。続いて、該未延伸積層フィルムを常法に従い１０５℃に加熱されたロール群を用いて縦方向（以降、ＭＤという。）に３．０倍延伸し、２５℃のロール群で冷却して一軸延伸フィルムとした。さらに続いて該一軸延伸フィルムのＢ層、Ａ層側表面に下記組成の易滑被覆層Ｃ、Ｄ形成塗液（水溶液）を各々ウェット塗布厚み２．７μｍ、５．０μｍとなるようメタリングバーを用いたバーコート方式にて塗布した。
［易滑被覆層Ｃ形成塗液］
水溶性ポリエステル                    ０．２３重量％
メチルセルロース                      ０．１７重量％
アミノエチルシランカップリング剤      ０．０２重量％
ポリジメチルシロキサン                ０．０１重量％
［易滑被覆層Ｄ形成塗液］
水溶性ポリエステル                    ０．３１重量％
メチルセルロース                      ０．１０重量％
平均粒子径１８ｎｍのコロイダルシリカ  ０．０４重量％
この易滑被覆層Ｃ、Ｄ形成塗液を塗布された一軸延伸フィルムの両端をクリップで把持しながらテンター内の予熱ゾーンに導き１０５℃で予熱・乾燥後、引き続き連続的に１１０℃の加熱ゾーンで横方向（以降、ＴＤという。）に３．８倍延伸した。さらに引き続いてテンター内の熱処理ゾーンで２１０℃の熱処理を施して結晶配向を完了させ、均一に徐冷後に巻き取り、積層フィルムの総厚み６．３μｍ、このうち熱可塑性樹脂層Ｂの厚み４００ｎｍ、易滑被覆層Ｃの厚み３ｎｍ、易滑被覆層Ｄの厚み５．９ｎｍの構成としたポリエステルフィルムを中間製品として得た。さらに、スリッターで６２０ｍｍ幅にスリットし、３０，０００ｍ長さのフィルムロール状物とした。
【００７４】
該ポリエステルフィルムのＡ層側に真空蒸着法によりコバルトを蒸着させ、膜厚１１０ｎｍの強磁性金属薄膜層を形成させた。次にスパッタリング法によりダイヤモンド状カーボン膜を１０ｎｍの厚みで形成させ、さらにフッ素系潤滑剤層を６ｎｍの厚みで設けた。続いて、Ｂ層上にカーボンブラック、ポリウレタン、シリコーンからなるバックコート層を４００ｎｍの厚さで設け、スリッターにより６．３５ｍｍの幅にスリットし、蒸着磁気記録媒体（ＤＶＣテープ）を作製した。
【００７５】
得られた積層ＰＥＴフィルムおよびＤＶＣテープの特性は表１、表２に示したとおりであって、フィルムロール巻き姿はスリット７日経過後も良好であり、また蒸着工程でのロール、冷却キャンの汚れが全くなく、１５０回走行後もＤＯ個数は０であって磁気テープ特性が良好であった。すなわち、蒸着磁気録媒体としての特性、並びに蒸着磁気記録媒体への加工性が極めて良好であった。
【００７６】
（実施例２）
熱可塑性樹脂層Ｂに含有せしめる粒子組成を、不活性粒子αとして平均粒子径２２０ｎｍの架橋シリコーンを０．５５重量％、不活性粒子βとして平均粒径４２０ｎｍのシリカを０．００１５重量％に変えたこと以外は実施例１と同様にして積層ＰＥＴフィルムを製造した。その結果、得られた積層ＰＥＴフィルムおよびＤＶＣテープは表１、表２に示したとおり各特性に優れるものであった。
【００７７】
（実施例３）
熱可塑性樹脂層Ｂに含有せしめる粒子組成を、不活性粒子αとして平均粒子径２２０ｎｍの架橋シリコーンを０．４７重量％、不活性粒子βとして平均粒径３４０ｎｍの架橋シリコーンを０．００３重量％に変え、さらにＴダイ複合口金内での積層比をＡ層／Ｂ層＝１２／１として熱可塑性樹脂層Ｂの厚みを５００ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして積層ＰＥＴフィルムを製造した。その結果、得られた積層ＰＥＴフィルムおよびＤＶＣテープは表１、表２に示したとおり各特性に優れるものであった。
【００７８】
（実施例４）
熱可塑性樹脂層Ｂに含有せしめる粒子組成を、不活性粒子αとして平均粒子径２８０ｎｍのアルミナを０．５１重量％、不活性粒子βとして平均粒径５５０ｎｍの架橋シリコーンを０．０００８重量％に変え、さらにＴダイ複合口金内での積層比をＡ層／Ｂ層＝２０／１として熱可塑性樹脂層Ｂの厚みを３００ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして積層ＰＥＴフィルムを製造した。その結果、得られた積層ＰＥＴフィルムおよびＤＶＣテープは表１、表２に示したとおり各特性に優れるものであった。
【００７９】
（実施例５）
熱可塑性樹脂層Ｂに含有せしめる粒子組成を、不活性粒子αとして平均粒子径３４０ｎｍの架橋ポリスチレンを０．４３重量％、不活性粒子βとして平均粒径４６０ｎｍの架橋ポリスチレンを０．００１重量％に変えたこと以外は実施例３と同様にして積層ＰＥＴフィルムを製造した。その結果、得られた積層ＰＥＴフィルムおよびＤＶＣテープは表１、表２に示したとおり各特性に優れていた。
【００８０】
（実施例６）
易滑被覆層Ｄ形成塗液に含有せしめる粒子として平均粒子径８ｎｍのコロイダルシリカを用い、その含有量を０．００５重量％とした以外は実施例５と同様にして積層ＰＥＴフィルムを製造した。その結果、得られた積層ＰＥＴフィルムおよびＤＶＣテープは表１、表２に示したとおり各特性に優れるものであった。
【００８１】
（実施例７）
易滑被覆層Ｄ形成塗液に含有せしめる粒子として平均粒子径１０ｎｍのコロイダルシリカを用い、その含有量を０．０２重量％とした以外は実施例６と同様にして積層ＰＥＴフィルムを製造した。その結果、得られた積層ＰＥＴフィルムおよびＤＶＣテープは表１、表２に示したとおり各特性に優れるものであった。
【００８２】
（比較例１）
熱可塑性樹脂層Ｂに含有せしめる粒子組成を、不活性粒子αとして平均粒子径３４０ｎｍの架橋ポリスチレンを０．４１重量％、不活性粒子βとして平均粒径５５０ｎｍのシリカを０．００７重量％に変えたこと以外は実施例３と同様にして積層ＰＥＴフィルムを製造した。得られた積層ＰＥＴフィルムの特性は、表１、表２に示したとおり、蒸着工程でのロール、冷却キャンの汚れはないものの、フィルムロール巻き姿は経時で悪化し７日後は不良であった。また、ＤＶＣテープの特性としては表２に示したとおり１５０回走行後のＤＯ個数が不良であった。すなわち、蒸着磁気録媒体としての特性に劣っていた。
【００８３】
（比較例２）
熱可塑性樹脂層Ｂに含有せしめる粒子組成を、不活性粒子αとして平均粒子径２２０ｎｍのシリカを０．４２重量％、不活性粒子βとして平均粒径４５０ｎｍの架橋シリコーンを０．０００３重量％に変えたこと以外は実施例３と同様にして積層ＰＥＴフィルムを製造した。得られた積層ＰＥＴフィルムの特性は、フィルムロール巻き姿が７日後不良であり、蒸着工程でのロール、冷却キャンに汚れが発生した。また、ＤＶＣテープの特性としては１５０回走行後のＤＯ個数が不良であった。すなわち、蒸着磁気記録媒体への加工性、並びに蒸着磁気録媒体としての特性に劣るものであった。
【００８４】
（比較例３）
熱可塑性樹脂層Ｂに含有せしめる粒子組成を、不活性粒子αとして平均粒子径３４０ｎｍの架橋ポリスチレンを０．６重量％、不活性粒子βとして平均粒径４００ｎｍの架橋ポリスチレンを０．００２重量％に変え、さらにＴダイ複合口金内での積層比をＡ層／Ｂ層＝６／１として熱可塑性樹脂層Ｂの厚みを９００ｎｍとしたこと以外は実施例１と同様にして積層ＰＥＴフィルムを製造した。得られた積層ＰＥＴフィルムの特性は、フィルムロール巻き姿が３日後に不良であり、ＤＶＣテープの特性も１５０回走行後のＤＯ個数が不良であり、蒸着磁気録媒体としての特性に劣るものであった。
【００８５】
（比較例４）
熱可塑性樹脂層Ｂに含有せしめる粒子組成を、不活性粒子αとして平均粒子径３００ｎｍのシリカを０．２２重量％、不活性粒子βとして平均粒径７２０ｎｍのシリカを０．００１重量％に変え、さらにＴダイ複合口金内での積層比をＡ層／Ｂ層＝３０／１として熱可塑性樹脂層Ｂの厚みを２００ｎｍとしたこと以外は、実施例１と同様にして積層ＰＥＴフィルムを製造した。得られた積層ＰＥＴフィルムの特性はフィルムロール巻き姿がスリット直後で不良であり、蒸着工程でのロール、冷却キャンの汚れが多かった。また、ＤＶＣテープの特性も１５０回走行後のＤＯ個数が不良であった。すなわち、蒸着磁気記録媒体への加工性、蒸着磁気記録媒体としての特性のいずれも劣るものであった。
【００８６】
【表１】
2005254808.tif 000002
【００８７】
【表２】
2005254808.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００８８】
本発明の積層フィルムは、特に蒸着磁気記録媒体としての特性、並びに蒸着磁気記録媒体への加工性が良好であり、該用途のベース基材として好適に使用することができるが、蒸着型だけでなく、塗布型磁気記録媒体にも利用でき、その他、光記録媒体、光磁気記録媒体などの各種記録媒体用のベース基材としても好適に利用可能である。