(57)【要約】      （修正有）【課題】手動での切削工具の交換を容易にすることができる集塵カバーおよびパターン修正装置を提供する。【解決手段】切削装置に取り付けられ、かつ切削装置に設置された切削工具５５の切削により生じる塵を除去するための集塵カバーであって、フランジ部３およびカバー部５と、フランジ部３およびカバー部５を切削装置に固定するための係止具２１ａとを備えている。フランジ部３およびカバー部５は、集塵カバー内の空気と共に塵を排出するための排気穴１７を有しており、切削工具５５を取り囲む。フランジ部３およびカバー部５は、切削工具５５に対して上下方向にスライド可能であり、かつ所定の軸を中心として偏心回転可能である。【選択図】図８
2005324290.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
切削装置に取り付けられ、かつ前記切削装置に設置された切削工具の切削により生じる塵を除去するための集塵カバーであって、
前記集塵カバー内の空気と共に前記塵を排出するための排気孔を有し、前記切削工具を取り囲む本体部と、
前記本体部を前記切削装置に固定するための係止具とを備え、
前記本体部は、前記切削工具に対して上下方向にスライド可能であり、かつ所定の軸を中心として偏心回転可能である、集塵カバー。
【請求項２】
前記本体部と結合し、前記所定の軸となるガイド軸をさらに備え、
前記切削装置に形成されたガイド孔を前記ガイド軸は貫通し、前記ガイド軸は前記ガイド孔内をスライド可能である、請求項１に記載の集塵カバー。
【請求項３】
前記ガイド軸は上端に突出部を有し、前記突出部は前記ガイド軸から横方向に突出している、請求項２に記載の集塵カバー
【請求項４】
前記ガイド軸に平行に延びる補助ガイド軸をさらに備え、
前記補助ガイド軸の長さは前記ガイド軸の長さよりも短く、前記補助ガイド軸は前記切削装置に形成された補助ガイド孔に嵌合する、請求項２または３に記載の集塵カバー。
【請求項５】
光を発光する発光部と、前記光を受光する受光部とをさらに備え、
前記発光部と前記受光部との各々は、前記本体部を前記切削装置に固定した状態で前記切削工具を挟むように対向する、請求項１〜４のいずれかに記載の集塵カバー。
【請求項６】
前記本体部は、切削整形部の周囲および前記切削工具へ送風するための送風穴をさらに有する、請求項１〜５のいずれかに記載の集塵カバー。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかの集塵カバーが取り付けられた切削装置を搭載したパターン修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集塵カバーおよびパターン修正装置に関し、より特定的には、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の背面板隔壁（リブ）の微細パターンの修正装置に用いられる集塵カバーおよびパターン修正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工作機械の集塵カバーは、これまで種々のタイプのものが提案されている。たとえば、切削工具を取り囲むように冷却集塵カバー、すなわちフードを取り付けて、この冷却集塵カバー内を冷却空気で冷却するとともに、切粉を外部に吸引排出する工作機械の冷却集塵装置が知られている。ところが、このような工作機械の冷却集塵装置は、切削工具の自動交換機能を有するマシニングセンタに適用すると、冷却集塵カバーが固定的に取り付けられているために自動工具交換装置のアームなどの動きが冷却集塵カバーによって制限され、切削工具の自動交換ができないといった不都合があった。
【０００３】
そこで、従来の集塵カバーとして、集塵カバーを２分割構成として開閉可能にしたもので、かつスピンドルに対して集塵カバーを上下方向に移動可能としたものがあった。特開平９−３０９０４１号公報（特許文献１）にはこのような従来の集塵カバーが開示されている。
【０００４】
図１２（ａ）は、従来の集塵カバーが開放された状態を示す平面図である。（ｂ）は（ａ）の正面図である。
【０００５】
図１２（ａ），（ｂ）を参照して、左右のカバー片２０９ａ，２０９ｂの各々がカバー開閉モータ２１４からの動力で動く歯車２１３によって開放される。開放された状態の左右のカバー片２０９ａ，２０９ｂは、回転主軸２０２の後部に存在している。この状態で、図示しないマシニングセンタが切削工具２０４を回転主軸２０２から取り外し、別の切削工具２０４を回転主軸２０２に装着する。マシニングセンタによる切削工具２０４の着脱動作は、主に下方向から行なわれる。冷却集塵カバー２０８は、図示しないカバー昇降エアシリンダによって所定の上昇位置まで移動されているので、冷却集塵カバー２０８がマシニングセンタの動作を妨げることはない。
【特許文献１】特開平９−３０９０４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
クリーンルーム内では設置面積や重量の制約が厳しいという理由から、マシニングセンタのクリーンルーム内への設置は困難である。このため、たとえばクリーンルーム内で使用されるＰＤＰのパターン修正装置に搭載された切削装置の切削工具は、マシニングセンタを用いずに手動で交換する必要がある。手動での切削工具の交換は、切削装置の主軸と切削工具とを２本のスパナでそれぞれ固定し、互いに逆方向にスパナを回転することによって行なわれる。このため、主に下方向から切削工具を着脱するマシニングセンタを用いる場合と比較して、主軸の周囲に大きなスペースが必要となる。このため、図１２（ａ），（ｂ）に示すような冷却集塵カバー２０８が切削装置に取り付けられていると、２つに分かれて開いた状態であっても左右のカバー片２０９ａ，２０９ｂは回転主軸２０２の後部に存在しているので、左右のカバー片２０９ａ，２０９ｂとスパナとが干渉し、冷却集塵カバー２０８が切削工具の交換の障害となる。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、手動での切削工具の交換を容易にすることができる集塵カバーおよびパターン修正装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の集塵カバーは、切削装置に取り付けられ、かつ切削装置に設置された切削工具の切削により生じる塵を除去するための集塵カバーであって、本体部と、本体部を切削装置に固定するための係止具とを備えている。本体部は、集塵カバー内の空気と共に塵を排出するための排気穴を有しており、切削工具を取り囲む。本体部は、切削工具に対して上下方向にスライド可能であり、かつ所定の軸を中心として偏心回転可能である。
【０００９】
本発明の集塵カバーによれば、切削工具の交換の際、切削工具に対して本体部を下方向にスライドさせることにより、切削工具から本体部を外すことができる。さらに、本体部を下方向にスライドさせた状態で、所定の軸を中心として偏心回転させることで、切削工具の周囲から本体部を離すことができる。したがって、切削工具の周囲に大きなスペースを作ることができるので、手動での切削工具の交換を容易にすることができる。
【００１０】
本発明の集塵カバーにおいて好ましくは、本体部と結合し、所定の軸となるガイド軸をさらに備えている。切削装置に形成されたガイド孔をガイド軸は貫通し、本体部はガイド軸に沿ってスライド可能である。
【００１１】
これにより、ガイド軸に沿って本体部を上下方向にスライドさせることができる。また、ガイド軸を中心として本体部を偏心回転させることができる。したがって、本体部が上下方向にスライドする構成と、偏心回転する構成とを容易に実現することができる。
【００１２】
本発明の集塵カバーにおいて好ましくは、ガイド軸は上端に突出部を有し、突出部はガイド軸から横方向に突出している。
【００１３】
これにより、本体部が下方向にスライドし過ぎてガイド孔からガイド軸が抜けることを防止することができる。
【００１４】
本発明の集塵カバーにおいて好ましくは、ガイド軸に対して平行に延びる補助ガイド軸をさらに備えている。補助ガイド軸の長さはガイド軸の長さよりも短く、補助ガイド軸は切削装置に形成された補助ガイド孔に嵌合する。
【００１５】
これにより、補助ガイド軸が補助ガイド孔から外れる位置まで本体部を下方向にスライドさせないと、本体部はガイド軸を中心として偏心回転しなくなる。したがって、切削工具と干渉しない位置で本体部を偏心回転することができるので、偏心回転時に切削工具と本体部とが干渉することを防止することができる。
【００１６】
本発明の集塵カバーにおいて好ましくは、光を発光する発光部と、光を受光する受光部とをさらに備えている。発光部と受光部との各々は、本体部を切削装置に固定した状態で切削工具を挟むように対向している。
【００１７】
これにより、受光部で受光した光に基づいて、切削工具の取り付けの有無および欠損を検出することができる。また、本発明の集塵カバーは２分割構成として開閉可能としたものではないので、発光部の位置と受光部の位置とがずれにくい。このため、切削工具の取り付けの有無および欠損を高精度に検出することができる。
【００１８】
本発明の集塵カバーにおいて好ましくは、切削整形部の周囲および切削工具へ送風するための送風穴を本体部はさらに有している。
【００１９】
これにより、切削工具に付着した塵を除去することができるので、切削工具の切れ味を低下させることなく切削することができる。
【００２０】
本発明のパターン修正装置は、上記の集塵カバーが取り付けられた切削装置を搭載している。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の集塵カバーによれば、切削工具の交換の際、切削工具に対して本体部を下方向にスライドさせることにより、切削工具から本体部を外すことができる。さらに、本体部を下方向にスライドさせた状態で、所定の軸を中心として偏心回転させることで、切削工具の周囲から本体部を離すことができる。したがって、切削工具の周囲に大きなスペースを作ることができるので、手動での切削工具の交換を容易にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の一実施の形態について、図に基づいて説明する。
【００２３】
図１は、本発明の一実施の形態における集塵カバーが取り付けられた切削装置を搭載したパターン修正装置の構成を示す斜視図である。
【００２４】
図１を参照して、本実施の形態のパターン修正装置１００は、たとえばＰＤＰに形成されたリブの微細パターンの修正を行なう装置であり、ＸＹテーブル１１２と、Ｚテーブル１１０と、ペースト塗布機構１０２と、ペースト焼成機構１０８と、リブ欠陥観察機構１０４と、切削装置１２０とを備えている。リブ材を含むＰＤＰの背面板素材１１４はＸＹテーブル１１２に搭載され、背面板素材１１４に平行な平面方向に移動される。また、Ｚテーブル１１０によって、ペースト塗布機構１０２と、ペースト焼成機構１０８と、リブ欠陥観察機構１０４と、切削装置１２０とが上下方向（Ｚ方向）に移動される。ペースト塗布機構１０２は、リブ修正用の補修ペーストを塗布するためのものである。ペースト焼成機構１０８は、充填したペーストを乾燥、焼成するためのものである。切削装置１２０は、はみ出したリブを機械的に切削整形するためのものである。
【００２５】
さらに、パターン修正装置１００は、リブ欠陥観察機構１０４からの画像を処理するための画像処理コントローラ１１６と、リブ欠陥観察機構１０４からの画像を映し出すためのモニタ１０６と、修正装置コントローラ１０７とをさらに備えている。
【００２６】
次に、図１〜図４を参照して、本実施の形態のパターン修正装置の動作について説明する。
【００２７】
始めに、図１および図２（ａ），（ｂ）を参照して、ＸＹテーブル１１２に載置した背面板素材１１４のリブ１２１の欠陥部を、たとえばＣＣＤカメラなどのリブ欠陥観察機構１０４を使用して検出する。欠陥が検出された場合、欠陥の種類がリブ欠損欠陥部１２１ａであるかリブ付着欠陥部１２１ｂであるかを判定する。
【００２８】
続いて、図１および図３を参照して、リブ欠損欠陥部１２１ａが検出された場合には、ペースト塗布機構１０２を使用してリブ欠損欠陥部１２１ａに補修ペースト１２４を塗布する。補修ペースト１２４としては、たとえばリブ材料成分に近いガラスペーストなどが用いられる。
【００２９】
続いて、塗布した補修ペースト１２４をペースト焼成機構１０８により乾燥して焼成する。ペースト焼成機構１０８には図示していないレーザ焼成工具が搭載されており、補修ペースト充填部にレーザ光を照射し補修ペースト１２４を焼成する。レーザとしては、使用するレーザの波長、照射時間、断続照射繰り返し回数などの適否によって、半導体レーザ、炭酸ガスレーザなどが選定される。また、補修ペースト１２４の色の違いによってレーザ光の吸収率が異なるために、色に応じてレーザの焼成条件（パワー、照射時間など）を変化させる。また、補修ペースト１２４の焼成は温風発生機でも実現できる。さらにリブを含む背面板素材１１４を別途用意された恒温槽によって焼成する方法もある。
【００３０】
続いて、図１、図３および図４を参照して、リブ欠陥観察機構１０４で観察しながら、補修ペースト１２４が固着した焼成結果に基づいて、切削装置１２０に取り付けられた切削工具５５を使用して、はみ出しペースト１２４ａを切削整形する。なお、リブ付着欠陥部１２１ｂ（図２（ｂ））が検出された場合も、上記はみ出しペースト１２４ａを切削整形する場合と同様の過程となる。以上の工程により、ＰＤＰに形成されたリブの微細パターンが修正される。
【００３１】
次に、本実施の形態の切削装置の構成について説明する。
【００３２】
図５および図６は、本発明の一実施の形態における切削装置の構成を示す図である。図５は正面図、図６は側面図である。
【００３３】
図５および図６を参照して、本実施の形態の切削装置１２０は、スピンドル５１とスピンドル保持具５３とを主に有している。スピンドル５１はスピンドル保持具５３内を貫通しており、スピンドル５１に取り付けられた切削工具５５の先端が集塵カバー１からわずかに（たとえば０．２ｍｍ〜１ｍｍ）はみ出ている。
【００３４】
切削装置１２０の下部には、集塵カバー１が取り付けられている。集塵カバー１は、切削工具５５がはみ出しペースト１２４ａなどを切削成形する際に生じる塵や、研削粉を除去するためのものである。集塵カバー１は、スピンドル保持具５３に取り付けるためのフランジ部３と、切削工具５５を取り囲むカバー部５と、ガイド軸９と、フランジ部３およびカバー部５を切削装置１２０に固定するための係止具２１ａと、光を発光する発光部１１ａと、光を受光する受光部１１ｂとを備えている。なお、フランジ部３とカバー部５とにより集塵カバーの本体部が構成されている。
【００３５】
フランジ部３の下部にはカバー部５が形成されている。ガイド軸９はフランジ部３と結合しており、フランジ部３の図５中左側から上方に延びている。ガイド軸９はスピンドル保持具５３を貫通しており、ガイド軸９の先端には突出部７が形成されている。突出部７はガイド軸９から図５横方向に突出している。
【００３６】
スピンドル保持具５３およびフランジ部３の後部（図６中左側）には係止具２１が形成されている。係止具２１は、たとえばキャッチクリップであり、フランジ部３の後部に取り付けられた係止具２１ａと、切削装置１２０の後部に取り付けられた係止具２１ｂとを有している。係止具２１ａを係止具２１ｂに掛けた状態で、係止具２１ａ内のばねにより係止具２１ａを固定する。このようにして、フランジ部３およびカバー部５が切削装置１２０に固定されている。発光部１１ａと受光部１１ｂとの各々は、カバー部５の下部に配置されている。なお、カバー部５には送風用ホース６１と排気用ホース５９とが接続されている。
【００３７】
続いて、本実施の形態の集塵カバーの構成を詳細に説明する。
【００３８】
図７は、本発明の一実施の形態における集塵カバーの構成を示す下面図である。図８は、切削装置に取り付けた状態の集塵カバーの構成を示す断面図であって、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。図９は、切削装置から取り外した状態の集塵カバーの構成を示す断面図である。
【００３９】
図７〜図９を参照して、スピンドル保持具５３に形成されたガイド孔５４内をガイド軸９が貫通している。係止具２１が外れた状態で、ガイド軸９はガイド孔５４内をスライド可能であり、また、ガイド軸９はガイド孔５４内で回転可能である。なお、突出部７とガイド軸と９は図示しないねじなどによって結合されており、突出部７を外し、ガイド軸９をガイド孔５４から抜くことにより集塵カバー１の着脱が行なわれる。
【００４０】
多角形の平面形状のフランジ部３の図８中右側には固定穴１１が形成されており、固定穴１１には補助ガイド軸６３がねじ６６によって固定されている。補助ガイド軸６３はガイド軸９に平行に延びており、ガイド軸９よりも短い。また、補助ガイド軸６３は、スピンドル保持具５３に形成された補助ガイド孔６５に嵌合している。係止具２１が外れた状態で、補助ガイド軸６３は補助ガイド孔６５内をスライド可能である。
【００４１】
集塵カバー１の内部には中空部１９が形成されている。中空部１９は円の平面形状を有しており、上部から下部へ向かってその径が連続的に小さくなっている。スピンドル５１の先端に形成された回転軸６７と、回転軸６７の先端に形成されたチャック６９と、チャック６９に固定された切削工具５５とは、中空部１９で一体となって回転する。中空部１９の最下部には開口部５ａが形成されており、開口部５ａから切削工具５５の先端が突出している。
【００４２】
また、集塵カバー１には、集塵カバー１の外側から中空部１９へ通じる排気穴１７が形成されている。排気穴１７は、中空部１９が有する円の平面形状１９ａにおける接線方向に延びており、集塵カバー１の外側でフィルタ７１を介して排気用ホース５９に接続されている。排気用ホース５９は図示しない真空ポンプに接続されている。フィルタ７１は交換可能である。
【００４３】
また、集塵カバー１には、集塵カバー１の外側から中空部１９へ通じる送風穴１５ａ，１５ｂが形成されている。送風穴１５ａは、送風穴１５ｂと集塵カバー１の外部とを連通しており、集塵カバー１の外側で送風用ホース６１に接続されている。送風用ホース６１は図示しない圧縮気体供給源に接続されている。送風穴１５ｂは、開口部５ａを取り囲むようにカバー部５に円周状に形成されている。送風穴１５ｂが形成されている円周上には複数のノズル１３が形成されている。ノズルと切削工具との位置関係を図１３（ａ）に示す。図１３（ａ）を参照して、基板７５と切削工具５５とが接触する部分が切削整形部７３となっている。複数のノズル１３の各々は、切削整形部７３の周囲に向かって開口している。これにより、圧縮気体供給源から供給された空気が送風穴１５ａ，１５ｂを通って、複数のノズル１３から切削整形部７３の周囲および切削工具５５の先端へ噴射される。ノズルから噴射された空気の流れを図１３（ｂ）に示す。
【００４４】
発光部１１ａと受光部１１ｂとの各々は、フランジ部３およびカバー部５を切削装置１２０に固定した状態で、切削工具５５を挟むように対向している。発光部１１ａおよび受光部１１ｂとしてたとえば透過型光スイッチや反射型光スイッチが用いられる。特に透過型光スイッチを用いると、切削工具５５表面で光が反射して検出感度が悪くなることが防止できるので、好ましい。
【００４５】
本実施の形態の切削装置１２０では、スピンドル５１により切削工具がたとえば１分間に数万回転という高速で回転し、ワークを加工する。集塵カバー１はワーク表面とわずかな間隔を保ちつつ加工部（切削工具５５およびその周囲のワーク表面）を覆う。中空部１９に設けられた複数のノズル１３の各々から切削整形部７３の周囲および切削工具５５の先端へ空気を噴射して、ワーク表面や切削工具５５に付着した塵や研削粉を飛ばす。中空部１９に設けた排気穴１７から、中空部１９内の空気を吸引排気する。また、排気穴１７は中空部１９が有する円の平面形状１９ａにおける接線方向に延びているので、中空部１９内に螺旋状の空気の流れを作り出すことができ、塵や研削粉を効果的に排気することができる。なお、排気穴１７から排出された塵や研削粉はフィルタ７１によって空気と分離されるので、真空ポンプなどは汚染されない。
【００４６】
続いて、本実施の形態における切削工具の交換方法について説明する。
【００４７】
図１０は、本発明の一実施の形態における切削工具を交換する際の集塵カバーの状態を模式的に示す正面図である。図１１は図１０の下面図である。
【００４８】
図１０および図１１を参照して、係止具２１を解除することにより、ガイド軸９がガイド孔５４内をスライド可能となり、補助ガイド軸６３は補助ガイド孔６５内をスライド可能となる。その結果、フランジ部３およびカバー部５が切削工具５５に対して下方向（図１０中下方向）にスライド可能となる。フランジ部３およびカバー部５が所定の位置までスライドすると、補助ガイド軸６３が補助ガイド孔６５から外れ、フランジ部３およびカバー部５がガイド軸９を中心として偏心回転可能となる。したがって、フランジ部３およびカバー部５を約１８０°回転させることにより、切削工具５５の周囲からフランジ部３およびカバー部５を離すことができ、切削工具５５の周囲に十分な空間が確保できる。
【００４９】
なお、補助ガイド軸６３が補助ガイド孔６５に嵌合した状態では、フランジ部３およびカバー部５は偏心回転できないので、フランジ部３およびカバー部５と切削工具５５とが干渉することはない。
【００５０】
図１０に示すようにフランジ部３およびカバー部５を約１８０°回転させた状態で、チャック６９のナットをスパナで緩めて切削工具５５を取り外し、スパナを用いて別の切削工具５５を正規の位置よりも少し高い位置に仮固定する。そして、パターン修正装置１００に設けた基準面上の所定の高さにスピンドル５１を移動させて、チャック６９のナットを緩め、切削工具５５の先端をこの基準面に当てる。この状態でナットを締めて切削工具５５を固定する。以上の方法により切削工具５５は交換される。また、パターン修正装置１００の位置決め座標系に対する切削工具５５の先端の位置を一定に保つことができ、背面板素材１１４のリブ１２１に対する切削工具５５の切り込み深さを制御することができる。
【００５１】
本実施の形態の集塵カバー１は、切削装置１２０に取り付けられ、かつ切削装置１２０に設置された切削工具５５の切削により生じる塵を除去するための集塵カバーであって、フランジ部３およびカバー部５と、フランジ部３およびカバー部５を切削装置１２０に固定するための係止具２１ａとを備えている。フランジ部３およびカバー部５は、集塵カバー１内の空気と共に塵を排出するための排気穴１７を有しており、切削工具５５を取り囲む。フランジ部３およびカバー部５は、切削工具５５に対して上下方向にスライド可能であり、かつ所定の軸を中心として偏心回転可能である。
【００５２】
本実施の形態の集塵カバー１によれば、切削工具５５の交換の際、切削工具５５に対してフランジ部３およびカバー部５を下方向にスライドさせることにより、切削工具５５からフランジ部３およびカバー部５を外すことができる。さらに、フランジ部３およびカバー部５を下方向にスライドさせた状態で、所定の軸を中心として偏心回転させることで、切削工具５５の周囲からフランジ部３およびカバー部５を離すことができる。したがって、切削工具５５の周囲に大きなスペースを作ることができるので、手動での切削工具５５の交換を容易にすることができる。
【００５３】
本実施の形態の集塵カバー１は、フランジ部３と結合し、所定の軸となるガイド軸９をさらに備えている。切削装置１２０に形成されたガイド孔５４をガイド軸９は貫通し、フランジ部３およびカバー部５はガイド軸９に沿ってスライド可能である。
【００５４】
これにより、ガイド軸９に沿ってフランジ部３およびカバー部５を上下方向にスライドさせることができる。また、ガイド軸９を中心としてフランジ部３およびカバー部５を偏心回転させることができる。したがって、フランジ部３およびカバー部５が上下方向にスライドする構成と、偏心回転する構成とを容易に実現することができる。
【００５５】
本実施の形態の集塵カバー１において、ガイド軸９は上端に突出部７を有し、突出部７はガイド軸９から横方向に突出している。
【００５６】
これにより、フランジ部３およびカバー部５が下方向にスライドし過ぎてガイド孔５４からガイド軸９が抜けることを防止することができる。
【００５７】
本実施の形態の集塵カバーは、ガイド軸９に対して平行に延びる補助ガイド軸６３をさらに備えている。補助ガイド軸６３の長さはガイド軸９の長さよりも短く、補助ガイド軸６３は切削装置１２０に形成された補助ガイド孔６５に嵌合する。
【００５８】
これにより、補助ガイド軸６３が補助ガイド孔６５から外れる位置までフランジ部３およびカバー部５を下方向にスライドさせないと、フランジ部３およびカバー部５がガイド軸９を中心として偏心回転しなくなる。したがって、切削工具５５と干渉しない位置でフランジ部３およびカバー部５を偏心回転することができるので、偏心回転時に切削工具５５とフランジ部３およびカバー部５とが干渉することを防止することができる。
【００５９】
本実施の形態の集塵カバー１は、光を発光する発光部１１ａと、光を受光する受光部１１ｂとをさらに備えている。発光部１１ａと受光部１１ｂとの各々は、フランジ部３およびカバー部５を切削装置１２０に固定した状態で切削工具５５を挟むように対向している。
【００６０】
これにより、受光部１１ｂで受光した光に基づいて、切削工具５５の取り付けの有無および欠損を検出することができる。また、本実施の形態の集塵カバー１は２分割構成として開閉可能としたものではないので、発光部１１ａの位置と受光部１１ｂの位置とがずれにくい。このため、切削工具５５の取り付けの有無および欠損を高精度に検出することができる。
【００６１】
本実施の形態の集塵カバー１において、フランジ部３およびカバー部５は、切削整形部７３の周囲および切削工具５５へ送風するための送風穴１５ａ，１５ｂをさらに有している。
【００６２】
これにより、切削整形部７３の周囲および切削工具５５に付着した塵を除去することができるので、切削整形部７３の清浄度を確保することができ、切削工具５５の切れ味を低下させることなく切削することができる。
【００６３】
なお、本実施の形態においては、ガイド孔５４の内部が平滑な面である場合について示したが、ガイド孔にリニアブッシュや軸受ブッシュなどを設けてもよい。これにより、ガイド軸の案内精度および耐久性が向上する。
【００６４】
また、本実施の形態では集塵カバー１と補助ガイド軸６３とが別体である場合について示したが、集塵カバー１と補助ガイド軸６３とが一体化していてもよい。本実施の形態のように集塵カバー１と補助ガイド軸６３とが別体であり、ねじ６６で互いに固定されることにより、補助ガイド軸６３の長さを微調整することができる。
【００６５】
また、本実施の形態では、集塵カバー１が後部に係止具２１ａを備えている場合について示したが、本発明の係止具は本体部を切削装置に固定するためのものであればよく、係止具の機能および位置については任意である。
【００６６】
また、本実施の形態では集塵カバー１がガイド軸９を備えている場合について示したが、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、本体部が切削工具に対して上下方向にスライド可能であり、かつ所定の軸を中心として偏心回転可能であればよい。したがって、たとえば、集塵カバーに孔が設けられており、切削装置がスライド軸を有しており、スライド軸がこの孔を貫通している構成であってもよい。
【００６７】
さらに、本実施の形態では、パターン修正装置に搭載された切削装置の集塵カバーである場合について示したが、本発明の集塵カバーは、このような場合に限定されるものではなく、切削装置に取り付けられ、かつ切削装置に設置された切削工具の切削により生じる塵を除去するための集塵カバーであればよい。
【００６８】
以上に開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての修正や変形を含むものと意図される。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の一実施の形態における集塵カバーが取り付けられた切削装置を搭載したパターン修正装置の構成を示す斜視図である。
【図２】（ａ）リブが欠けたＰＤＰの背面板素材を模式的に示す斜視図である。（ｂ）余分なリブが付着したＰＤＰの背面板素材を模式的に示す斜視図である。
【図３】リブ欠陥部に補修ペーストを塗布した状態を模式的に示す斜視図である。
【図４】はみ出しペーストを切削整形する様子を模式的に示す斜視図である。
【図５】本発明の一実施の形態における切削装置の構成を示す正面図である。
【図６】本発明の一実施の形態における切削装置の構成を示す側面図である。
【図７】本発明の一実施の形態における集塵カバーの構成を示す下面図である。
【図８】切削装置に取り付けた状態の集塵カバーの構成を示す断面図であって、図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図９】切削装置から取り外した状態の集塵カバーの構成を示す断面図である。
【図１０】本発明の一実施の形態における切削工具を交換する際の集塵カバーの状態を模式的に示す正面図である。
【図１１】本発明の一実施の形態における切削工具を交換する際の集塵カバーの状態を模式的に示す下面図である。
【図１２】（ａ）従来の集塵カバーが開放された状態を示す平面図である。（ｂ）（ａ）の正面図である。
【図１３】（ａ）ノズルと切削工具との位置関係を示す図である。（ｂ）ノズルから噴射された空気の流れを説明するための図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  集塵カバー、３  フランジ部、５  カバー部、５ａ  開口部、７  突出部、９  ガイド軸、１１  固定穴、１１ａ  発光部、１１ｂ  受光部、１３  ノズル、１５ａ，１５ｂ  送風穴、１７  排気穴、１９  中空部、１９ａ  中空部の平面形状、２１，２１ａ，２１ｂ  係止具、５１  スピンドル、５３  スピンドル保持具、５４  ガイド孔、５５，２０４  切削工具、５９  排気用ホース、６１  送風用ホース、６３  補助ガイド軸、６５  補助ガイド孔、６６  ねじ、６７  回転軸、６９  チャック、７１  フィルタ、７３  切削整形部、７５  基板、１００  パターン修正装置、１０２  ペースト塗布機構、１０４  リブ欠陥観察機構、１０６  モニタ、１０７  修正装置コントローラ、１０８  ペースト焼成機構、１１０  ＸＹテーブル、１１２  Ｚテーブル、１１４  背面板素材、１１６  画像処理コントローラ、１２０  切削装置、１２１  リブ、１２１ａ  リブ欠損欠陥部、１２１ｂ  リブ付着欠陥部、１２４  補修ペースト、１２４ａ  はみ出しペースト、２０２  回転主軸、２０８  冷却集塵カバー、２０９ａ，２０９ｂ  カバー片、２１３  歯車、２１４  カバー開閉モータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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