(57)【要約】【課題】  更なる高速化、微細化を実現するため配線材料にＣｕを用いると同時に、外部端子の材料にＣｕを採用しても、Ｃｕパッドと金属細線を安定的に接合する。【解決手段】  半導体素子にＣｕパッド２からなる外部端子を形成する工程と、半導体素子をインターポーザに搭載する工程と、Ｃｕパッド２と金属細線を接合する工程と、Ｃｕパッド２とインターポーザの端子を金属細線により接続する工程と、半導体素子と金属細線を封止樹脂で覆う工程とを含む半導体装置の製造方法であって、外部端子を形成する工程でＣｕパッド２を絶縁膜３で覆い、Ｃｕパッド２と金属細線を接合する工程で絶縁膜３を一部分除去した後、Ｃｕパッド２に金属細線を接合する。絶縁膜３がＣｕパッド２の酸化防止膜の働きをし、Ｃｕパッド２表面の活性が維持され、絶縁膜３を破壊し除去することによりＣｕパッド２と金属細線を接合できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体素子にＣｕパッドからなる外部端子を形成する工程と、前記半導体素子をインターポーザに搭載する工程と、前記Ｃｕパッドと金属細線を接合する工程と、前記Ｃｕパッドと前記インターポーザの端子を前記金属細線により接続する工程と、前記半導体素子と前記金属細線を封止樹脂で覆う工程とを含む半導体装置の製造方法であって、前記外部端子を形成する工程で前記Ｃｕパッドを絶縁膜で覆い、前記Ｃｕパッドと前記金属細線を接合する工程で前記絶縁膜を一部分除去した後、前記Ｃｕパッドに前記金属細線を接合することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項２】
前記外部端子を形成する工程は、半導体素子の層間絶縁膜に外部端子溝を形成する工程と、前記外部端子溝にＣｕ膜を埋め込む工程と、前記Ｃｕ膜を平坦化しＣｕパッドを形成する工程と、前記Ｃｕパッド上を含む前記半導体素子上に絶縁膜を成膜する工程とからなる請求項１記載の半導体装置の製造方法。
【請求項３】
前記Ｃｕパッド上の前記絶縁膜のみドライエッチングにより薄膜化し、プローブ針を薄膜化した前記絶縁膜に当てることにより前記Ｃｕパッドを覆っている前記絶縁膜を一部分除去する請求項１または２記載の半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記金属細線を接合する際に用いるキャピラリーを、金属細線を有していない状態で前記Ｃｕパッド上の絶縁膜に当てると同時に超音波振動を印加することで前記Ｃｕパッドを覆っている絶縁膜を一部分除去する請求項１または２記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記Ｃｕパッド上の前記絶縁膜のみドライエッチングにより薄膜化した後、前記絶縁膜を一部分除去する請求項４記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
ドライエッチングにより前記Ｃｕパッド上の前記絶縁膜表面に凸部を形成する請求項１，２，３，４または５記載の半導体装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、絶縁膜に覆われたＣｕパッドに金属細線を接合した構造とそれを実現する製造方法に特徴を有する半導体装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子へ微細化、高速化の要求が高まることに対応し、半導体素子の配線材料として０.１３μｍプロセスからＡｌと比較し低抵抗であり配線遅延も少なく、更に耐エレクトロマイグレーションが向上できるＣｕが採用された。しかしながら、Ｃｕは容易に酸化し、非常に硬い酸化銅を生成する。その結果、ボンディング工程でＣｕパッドにＡｕボールを押し潰しても酸化銅は破壊されずＣｕパッドとＡｕボールは接合できない。そして不着および接合強度不足による封止工程でのワイヤはずれが発生する。
【０００３】
そこで従来は、Ｃｕパッドに酸化防止膜を成膜し、安定したボンディングを行うことができる技術がある。例えば特許文献１がある。まず、Ｃｕパッド上面に酸化防止膜を形成した後、そのままボンディング工程に供給する。ボンディング工程で、酸化防止膜を成膜しているＣｕパッド上面にＡｕボールをキャピラリーで運び、その後圧接及び超音波振動を印加する。そしてＣｕパッド上面に成膜された酸化防止膜をＡｕボールに付着させる。次に酸化防止膜を付着させたＡｕボールを外部端子以外の任意領域にボンディングし酸化防止膜が付着したＡｕボールを捨てる。次にキャピラリー先端に新しくＡｕボールを形成する。最後に酸化防止膜が除去されたＣｕパッドに、新しく形成したＡｕボールを荷重と超音波振動を印加することで接合する。
【０００４】
また別の方法としては、Ｃｕパッドの上面にＡｕとの接合性に優れた金属膜層を形成する技術がある。例えば特許文献２である。具体的には清浄化したＣｕパッドの上面に拡散バリア層を形成し、その上にＡｕ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ａｇなどの金属層をめっき法により形成する。その後、ボンディング工程に供給し、安定したボンディングを行うことができる。
【特許文献１】特開２００１−４４２３６号公報
【特許文献２】特開２００１−２６７３５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の技術では下記のような課題がある。
【０００６】
Ｃｕパッド上に酸化防止膜を成膜しボンディングする手法では、先ず酸化防止膜をＡｕボールに付着させるために一回目のボンディングを行い、更に酸化防止膜を付着させたＡｕボールを捨てるために、外部端子以外の任意の領域に２回目のボンディングを行う。そして最後に新たなＡｕボールを形成した後、酸化防止膜を除去したＣｕパッドに３回目のボンディングを行う。そのため１つの外部端子に３回のボンディング動作を行うことは工程時間の長時間化となり、近年は半導体素子に搭載する外部端子は多くなる傾向にあるため、ボンディング工程の長時間化は製品スループットに大きな影響を及ぼすといった課題がある。また、半導体素子に搭載されている外部端子が多くなれば、酸化防止膜を付着させたＡｕボールを捨てるためのボンディングする場所の確保が困難になる。また製品領域内に酸化防止膜を付着させたＡｕボールを捨てることは、捨てたＡｕボールの接合が十分でない場合、封止樹脂に流され外部端子間で留まるとリークの原因になり品質信頼性を大きく劣化させることになる。
【０００７】
また、Ｃｕパッド上に拡散バリア層を形成し、その上に金属層をめっきする方法では、拡散バリア層を形成する工程と金属層をめっきする工程が追加され、工程数が増える課題がある。またＣｕパッドと拡散バリア層の密着性もしくは拡散バリア層と金属層との密着性の何れかが劣化するとボンディング後に層間剥離が発生するため工程での拡散バリア層及び金属膜層の膜厚とともに重要管理項目を増やすことになり、量産化を困難にする。
【０００８】
したがって、この発明の目的は、更なる高速化、微細化を実現するため配線材料にＣｕを用いると同時に、外部端子の材料にＣｕを採用しても、Ｃｕパッドと金属細線を安定的に接合することができる半導体装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するためにこの発明の請求項１記載の半導体装置の製造方法は、半導体素子にＣｕパッドからなる外部端子を形成する工程と、前記半導体素子をインターポーザに搭載する工程と、前記Ｃｕパッドと金属細線を接合する工程と、前記Ｃｕパッドと前記インターポーザの端子を前記金属細線により接続する工程と、前記半導体素子と前記金属細線を封止樹脂で覆う工程とを含む半導体装置の製造方法であって、前記外部端子を形成する工程で前記Ｃｕパッドを絶縁膜で覆い、前記Ｃｕパッドと前記金属細線を接合する工程で前記絶縁膜を一部分除去した後、前記Ｃｕパッドに前記金属細線を接合する。
【００１０】
請求項２記載の半導体装置の製造方法は、請求項１記載の半導体装置の製造方法において、前記外部端子を形成する工程は、半導体素子の層間絶縁膜に外部端子溝を形成する工程と、前記外部端子溝にＣｕ膜を埋め込む工程と、前記Ｃｕ膜を平坦化しＣｕパッドを形成する工程と、前記Ｃｕパッド上を含む前記半導体素子上に絶縁膜を成膜する工程とからなる。
【００１１】
請求項３記載の半導体装置の製造方法は、請求項１または２記載の半導体装置の製造方法において、前記Ｃｕパッド上の前記絶縁膜のみドライエッチングにより薄膜化し、プローブ針を薄膜化した前記絶縁膜に当てることにより前記Ｃｕパッドを覆っている前記絶縁膜を一部分除去する。
【００１２】
請求項４記載の半導体装置の製造方法は、請求項１または２記載の半導体装置の製造方法において、前記金属細線を接合する際に用いるキャピラリーを、金属細線を有していない状態で前記Ｃｕパッド上の絶縁膜に当てると同時に超音波振動を印加することで前記Ｃｕパッドを覆っている絶縁膜を一部分除去する。
【００１３】
請求項５記載の半導体装置の製造方法は、請求項４記載の半導体装置の製造方法において、前記Ｃｕパッド上の前記絶縁膜のみドライエッチングにより薄膜化した後、前記絶縁膜の一部分を除去する。
【００１４】
請求項６記載の半導体装置の製造方法は、請求項１，２，３，４または５記載の半導体装置の製造方法において、ドライエッチングにより前記Ｃｕパッド上の前記絶縁膜表面に凸部を形成する。
【発明の効果】
【００１５】
この発明の請求項１記載の半導体装置の製造方法によれば、外部端子を形成する工程でＣｕパッドを絶縁膜で覆い、Ｃｕパッドと金属細線を接合する工程で絶縁膜を一部分除去した後、Ｃｕパッドに金属細線を接合するので、絶縁膜がＣｕパッドの酸化防止膜の働きをし、Ｃｕパッド表面の活性が維持され、絶縁膜を破壊し除去することによりＣｕパッドと金属細線を接合できる。Ｃｕパッド上の絶縁膜を一部除去する目的は、絶縁膜と金属細線は接合できないので、金属細線とＣｕパッドの接合領域を広げるためボンディングと同時に絶縁膜を除去しやすくすることである。つまり、ボンディング時に印加する荷重及び超音波振動が金属細線を通ってＣｕパッド上の絶縁膜を一部分除去した部分に伝わり、そこを起点としクラックが進展する。更に超音波振動を印加し続けることでクラックの入った絶縁膜は接合領域から吐き出され、Ｃｕパッドと金属細線の接合する領域が広がり安定したボンディングが可能となる。また、Ｃｕパッドの形成後、絶縁膜を成膜することは、従来から半導体素子の保護膜として成膜しているため工程数を増やすことなく、また既存の拡散設備を採用することができる。
【００１６】
請求項２では、外部端子を形成する工程は、半導体素子の層間絶縁膜に外部端子溝を形成する工程と、外部端子溝にＣｕ膜を埋め込む工程と、Ｃｕ膜を平坦化しＣｕパッドを形成する工程と、Ｃｕパッド上を含む半導体素子上に絶縁膜を成膜する工程とからなるので、Ｃｕで形成したＣｕパッドと、Ｃｕパッド上を含む半導体素子全域に成膜された絶縁膜から構成された外部端子と金属細線を接合させることができる。この場合、絶縁膜が大気や水分をＣｕパッド表面に到達することを防ぎ、Ｃｕパッド表面で水分や酸素により酸化銅を生成することを抑制する効果がある。つまりＣｕパッド表面の活性を維持できる。
【００１７】
請求項３では、Ｃｕパッド上の絶縁膜のみドライエッチングにより薄膜化し、プローブ針を薄膜化した絶縁膜に当てることによりＣｕパッドを覆っている絶縁膜を一部分除去するので、Ｃｕパッド上に成膜される絶縁膜を破壊する起点をつくるため絶縁膜の一部分を除去することを既存のプローブ針を用いて実現できる。この際、Ｃｕパッド上のみ加工する工程でドライエッチングを用いてＣｕパッド上の領域に存在する絶縁膜のみ薄膜化することにより絶縁膜の強度を低下させ、絶縁膜の一部分除去が容易になる。
【００１８】
請求項４では、金属細線を接合する際に用いるキャピラリーを、金属細線を有していない状態でＣｕパッド上の絶縁膜に当てると同時に超音波振動を印加することでＣｕパッドを覆っている絶縁膜を一部分除去するので、Ｃｕパッド上に成膜される絶縁膜を破壊する起点をつくるため絶縁膜の一部分を除去することを既存のキャピラリーを用いて実現できる。このため、キャピラリーを用いるボンディング工程での実現が可能となり、絶縁膜にダメージを入れ一部分の除去を行った後、直ぐにボンディングを行うことが可能となり、絶縁膜を除去した箇所のＣｕパッド表面における酸化膜の生成を最小限に抑えることができる。
【００１９】
請求項５では、請求項４記載の半導体装置の製造方法において、Ｃｕパッド上の絶縁膜のみドライエッチングにより薄膜化した後、絶縁膜の一部分を除去することが好ましい。すなわち、Ｃｕパッド上のみ加工する工程でドライエッチングを用いてＣｕパッド上の領域に存在する絶縁膜のみ薄膜化することにより絶縁膜の強度を低下させ、絶縁膜の一部分除去が容易になる。
【００２０】
請求項６では、請求項１，２，３，４または５記載の半導体装置の製造方法において、ドライエッチングによりＣｕパッド上の絶縁膜表面に凸部を形成することが好ましい。すなわち、Ｃｕパッド上の絶縁膜表面に凸部を設けることで、Ｃｕパッドを覆っている絶縁膜を一部分除去する際には、凸部が折れることにより絶縁膜が壊れ、絶縁膜の一部分の除去が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
この発明の第１の実施の形態の半導体装置の製造方法を図１〜図３に基づいて説明する。図１（ａ）は本発明の第１の実施形態の半導体装置のボンディング前における外部端子断面図、（ｂ）はその平面図、（ｃ）はそのボンディング後の外部端子断面図を示す。
【００２２】
図１において、１は層間絶縁膜、２はＣｕパッド、３はＣｕパッド上を含む半導体素子上に成膜する絶縁膜、４はＣｕパッド上の絶縁膜を薄膜化した凹部、５はＡｕボール、１０はＡｕワイヤ（金属細線）を示す。図１に示すように、半導体素子は、Ｃｕパッド２上の薄膜化された絶縁膜３がＡｕボール５直下の部分のみ除去され、その絶縁膜３が除去された部分のＣｕパッド２とＡｕボール５が接合される。Ｃｕパッド形成後、直ちに真空中にてＣｕパッド２上に絶縁膜３を成膜することによりＣｕパッド２表面の酸化膜生成を防止する。そのためボンディング時にＣｕパッド２上の絶縁膜３を取り除き、新生面として露出したＣｕパッド２表面で荷重及び超音波振動を印加しながらＡｕボール５を押し潰すことによりＣｕパッド２とＡｕボール５の接合が可能となる。
【００２３】
次に、半導体装置の製造方法について説明する。上記のように半導体素子にＣｕパッド２を絶縁膜３で覆った外部端子を形成する工程と、半導体素子をインターポーザ（図示せず）に搭載する工程と、Ｃｕパッド２と金属細線１０の一端にあるＡｕボール５を接合する工程と、Ｃｕパッド２とインターポーザの端子を金属細線１０により接続する工程と、半導体素子と金属細線１０を封止樹脂（図示せず）で覆う工程とを含む。また、Ｃｕパッド２と金属細線１０を接合する工程で絶縁膜３を一部分除去した後、Ｃｕパッド２に金属細線１０を接合する。
【００２４】
図２および図３はその半導体装置の製造方法の主要な工程を示す断面図である。図２および図３において、６は外部端子溝、７はＣｕ膜、８はプローブ針、９はキャピラリーを示す。図２（ａ）に示すとおり層間絶縁膜１を化学気相堆積法（以下ＣＶＤと略す）を用いて成膜する。次に図２（ｂ）のとおり、層間絶縁膜１にドライエッチングで外部端子溝６を形成する。そして図２（ｃ）でめっき法を用いて外部端子溝６にＣｕ膜７を埋め込む。次に図２（ｄ）のとおり化学的機械研磨（以下ＣＭＰと略す）を用いてＣｕ膜７を平坦化し、Ｃｕパッド２を形成し、図２（ｅ）でＣｕパッド２上を含む半導体素子上にＣＶＤを用いて絶縁膜３を成膜する。次に図２（ｆ）で、Ｃｕパッド２上の絶縁膜３のみドライエッチングで薄膜化し凹部４を形成する。
【００２５】
図３（ａ）でＣｕパッド２上の薄膜化した絶縁膜３にプローブ針８を当て、一部分の絶縁膜３を除去し、直ちに図３（ｂ）に示すとおり絶縁膜３を一部分除去した部分で荷重と超音波振動を印加しながらＡｕボール５を押し潰し、Ａｕボール５とＣｕパッド２の接合を行う。Ｃｕパッド２上の絶縁膜３を薄膜化し、更にプローブ針８を当て絶縁膜３を一部分除去することにより、ボンディング時にＣｕを露出させるための絶縁膜除去を容易にする。そしてボンディングの際Ａｕボール５に荷重及び超音波振動を印加することで絶縁膜３の一部分除去した箇所を起点としクラックが進展し、更にＡｕボール５に超音波振動を印加し続けることで、Ａｕボール５の直下で、クラックの入った絶縁膜３はＡｕボール５直下から外へ吐き出され、Ｃｕパッド２が露出する。最後に露出したＣｕパッド２とＡｕボール５の接合が実現する。
【００２６】
絶縁膜３の膜種は、従来から半導体素子の保護膜として用いているＳｉＮ膜を用い、Ｃｕパッド２上の薄膜化したＳｉＮ膜の膜厚は半導体素子に対して耐湿性が確保できる最薄の膜厚とする。
【００２７】
図４は本発明の第２の実施形態の半導体装置の製造方法の主要な工程を示す断面図である。図４に示すとおり、第１の実施形態において絶縁膜３の一部分除去する方法として、金属細線１０を接合する際に用いるキャピラリー９を、金属細線１０を有していない状態で用いることができる。すなわち、Ａｕワイヤ１０を通していないキャピラリー９をＣｕパッド２上の絶縁膜３に当て、更に荷重及び超音波振動を印加することで絶縁膜３のダメージと一部分の除去を実現することができる。キャピラリー９を用いる場合は、プローブ針８を用いる場合とは異なり、キャピラリー９を用いたボンディング工程での実現が可能であるため、絶縁膜３にダメージを入れ一部分の除去を行った後、直ぐにボンディングを行うことが可能となり、絶縁膜３を除去した箇所のＣｕパッド２表面における酸化膜の生成を最小限に抑えることができる。
【００２８】
図５（ａ）は本発明の第３の実施形態の半導体装置のボンディング前における外部端子断面図、（ｂ）はその平面図である。図５に示すとおり、第１および第２の実施形態において、ドライエッチングを用いてＣｕパッド２上の絶縁膜３の表面に凸部１１を設け、絶縁膜３の除去を更に容易にする。ボンディング時に荷重及び超音波振動を印加したＡｕボール５が絶縁膜３の凸部１１を折り、そこからＣｕパッド２が露出し、Ａｕボール５とＣｕパッド２の接合が実現する。絶縁膜３表面に設ける凸部１１はアスペクト比が大きいほど、Ａｕボール５が当ると折れやすくなり、その結果として絶縁膜３の凸部１１が折れた箇所が多くなり、ボンディングの際に絶縁膜３を除去することが更に容易になる。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明にかかる半導体装置の製造方法は、配線材料にＣｕを用いた半導体素子に搭載したＣｕパッドに安定したボンディングを行うことができることから、高速化、高機能化が現在最も求められる情報通信機器に搭載する半導体素子として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】（ａ）は本発明の第１の実施形態の半導体装置のボンディング前における外部端子断面図、（ｂ）はその平面図、（ｃ）はそのボンディング後の外部端子断面図を示す。
【図２】本発明の第１の実施形態の半導体装置の製造方法の主要な工程を示す断面図である。
【図３】図２の次の工程の断面図である。
【図４】本発明の第２の実施形態の半導体装置の製造方法の主要な工程を示す断面図である。
【図５】（ａ）は本発明の第３の実施形態の半導体装置のボンディング前における外部端子断面図、（ｂ）はその平面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１  層間絶縁膜
２  Ｃｕパッド
３  絶縁膜
４  絶縁膜の凹部
５  Ａｕボール
６  外部端子溝
７  Ｃｕ膜
８  プローブ針
９  キャピラリー
１０  Ａｕワイヤ
１１  絶縁膜の凸部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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