(57)【要約】【課題】  静電吸着装置の吸着層の経時に対する劣化への対処が取りやすく、静電吸着装置の表面を汚染する物質を容易に除去し、経年使用による吸着層のよごれや、傷を容易に修復する手段備えた静電吸着装置を提供する。【解決手段】  保持材上に形成された正負少なくとも一対の層状の電極と、該電極に電位差を与える電源と、電極を被覆する層状の誘電体である吸着層とを備え、吸着層に誘起された分極電荷による静電引力によって、吸着層表面に物体を吸着する静電吸着装置であって、吸着層はその全部またはその表層部分が層状に着脱可能である静電吸着装置。【選択図】  なし  【特許請求の範囲】
【請求項１】
保持材上に形成された正負少なくとも一対の層状の電極と、該電極に電位差を与える電源と、前記電極を被覆する層状の誘電体である吸着層とからなり、前記吸着層に誘起された分極電荷による静電引力によって、吸着層表面に物体を吸着する静電吸着装置において、前記吸着層はその全部またはその表層部分が層状に着脱可能であることを特徴とする静電吸着装置。
【請求項２】
前記着脱可能な吸着層または吸着層の表層部分は、粘着剤層を介して固定されている請求項１に記載の静電吸着装置。
【請求項３】
前記着脱可能な吸着層または吸着層の表層部分は、前記電極上の電荷、または該電極によって吸着層に誘起された分極電荷による静電引力によって固定されている請求項１に記載の静電吸着装置。
【請求項４】
前記着脱可能な吸着層はポリエステルポリエーテル系エラストマーである請求項１〜３のいずれか１項の静電吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は静電クーロン力によって対象物を吸着する、静電吸着装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
静電クーロン力によって対象物を吸着する、いわゆる静電吸着装置は、磁気吸着と異なり吸着対象を選ばないので、産業上の用途が広い。たとえば、真空蒸着装置内でシリコンウエハを保持するための静電吸着装置（特許文献１参照）、コピーマシンにおける紙めくり機構に静電吸着装置を用いたもの（特許文献２参照）、シートを張り付ける手段として静電吸着装置をもつ電子黒板（特許文献３参照）などが開示されている。
【０００３】
静電吸着は、よく知られている通り、電界中の物体に誘起される、静電誘導による逆極性電荷（導電体の場合）あるいは分極による逆極性分極電荷（絶縁体の場合）と、該電界を形成している電極上あるいは吸着層上の電荷との間のクーロン力による引力で、対象物を電極の方向へと吸着する装置である。
電界を発生させる方法としては、電極対に電位差を与える（電圧を印加する）ものや強誘電体の自発分極（電石）を利用するものがあるが、前者が一般的である。
【０００４】
静電吸着装置は対象物が導電体であるか絶縁体であるかを問わず、吸着力を働かせることができる。しかし、吸着対象物が導電体の場合、電極対が露出していると、電極対との短絡の結果、吸着電界の形成が困難になり、さらに吸着物に過大な電流が流れ吸着物を破損する恐れがあった。したがって、特許文献１に記載された静電吸着装置では、電極対の体積抵抗を１×１０９〜１０×１０１１Ω-cmとなるよう工夫し、吸着物に過大な電流が流れることを防いでいる。
電極対が露出していても、被吸着物が絶縁体の場合には吸着物による電極対の短絡という不都合は起こらないが、一般に電極対間の電位差は数１００〜数１０００Vを必要とするので、電極対の露出は感電の危険性があり、湿気や埃などによる放電が吸着動作を不完全にする可能性があるため何らかの電極対表面の被覆が必要である。
【０００５】
電極対の露出による不都合を避けるため、特許文献３、または特許文献４に記載された静電吸着装置では、電極対の表面を薄い誘電体膜で覆う吸着層を設置する構造をとっている。電極対をこのような構造に変更しても、誘電体膜の厚さだけ電極対と吸着物の距離が離れるので、吸着力がやや減少するものの、依然吸着層上には分極電荷が誘起され、吸着対象物上には前記分極電荷とは反対符号の静電誘導電荷や分極電荷を発生させることができるため、吸着動作を支障無く行うことが可能である。
このように、電極対を薄い誘電体膜よりなる吸着層で覆うことにより、電極対が露出していることによる不都合を解決し、感電の危険性もなく、導電体も絶縁体も区別無く吸着できる静電吸着装置を実現している。
【０００６】
しかし一方では、電極対を吸着層で被覆すると、吸着層表面に吸着されたイオンや発生した摩擦電荷等がそのまま留まって、吸着力を低下させる現象が発生する。吸着層表面にトラップされたイオンや電荷は電極対へ容易に放電できることが好ましい。
さらに吸着層は電極によって形成される電界中に長期に晒されるため、物性上の劣化や
塵、埃等の吸着による汚れを発生しやすい。
このように電極対を被覆する吸着層は導電体吸着時の短絡や感電の問題と、イオンや電荷の吸着層表面における滞留の問題とを同時に解決できることが好ましく、さらには長期使用に係わる耐久性や汚れ防止の問題も解決出来ることが好ましい。上記種々の問題のうち、短絡や感電の問題と、電荷の吸着層への滞留の問題とを同時に解決する手法に関しては、発明者らが既にその方法を見出し出願済であるが、耐久性や汚れ防止に係わる問題については必ずしも有効な解決策が見つかっていなかった。
【０００７】
【特許文献１】特開平５−３１５４３５号公報
【特許文献２】特開平５−２０１１７５号公報
【特許文献３】特開平５−０５６２０１号公報
【特許文献４】特開平６−２２５５５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
このように静電吸着装置は対象物が導電体であるか絶縁体であるかを問わずに吸着するために、表面に塵、埃、あるときは虫等が付着し易い。汚れは拭き取り可能であるが、連続的な電界印加によりふき取りにくくなる場合もあり、汚れを拭き取る作業自体が、不快であったり汚染物を飛散させてしまうという問題点が指摘できる。さらに従来の静電吸着装置によれば、連続通電時の特性劣化は通常は免れ得ない
すなわち本発明の目的は、静電吸着装置の吸着層の経時に対する劣化への対処が取りやすく、静電吸着装置の表面を汚染する物質を容易に除去し、経年使用による吸着層のよごれや、傷を容易に修復する手段を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
これらの上記の機能を兼ね備える必要のある吸着層は、従来、電極あるいは保持体面と一体をなすよう、接着剤等により固定されていた。しかし、本発明者らは研究を重ねた結果、吸着層が電極または保持体と強固に接着されている必要はなく、電極面と空気等の抱きこみによる浮きがないように仮止め程度の強度で一様に密着していれば、吸着層自身も静電力により電極に吸着されるので、十分に固定されうることを見出した。さらに静電吸着装置の吸着層の最上層に、静電吸着適正を有する着脱可能な層を設けることによっても前記課題を解決できる事を見出し、本発明に到達した。
すなわち本発明は、保持材上に形成された正負少なくとも一対の層状の電極と、該電極に電位差を与える電源と、前記電極を被覆する層状の誘電体である吸着層とからなり、前記吸着層に誘起された分極電荷による静電引力によって、吸着層表面に物体を吸着する静電吸着装置であって、前記吸着層はその全部またはその表層部分が層状に着脱可能であることを特徴とする静電吸着装置を提供する。
本発明で使用する吸着層はその全部または表層部分が層状に着脱可能であるため、長期使用の途中で適宜、該吸着層を交換可能であり、吸着層が塵や埃等による汚染を受けたり、長期の電界印加によって耐絶縁性等の物性が低下する前に付け替えることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の静電吸着装置においては吸着層自体を着脱可能にするか、あるいは該吸着層の表層部分を着脱可能とすることにより、経時により劣化した層が交換可能となり、静電吸着装置全体の寿命を永くすることが出来る。また、静電吸着装置表面に汚染物質が付着した場合においても、吸着層全体または吸着層の表層部分を交換することにより、汚れを取り除くことが可能となる。このような機能を付加することにより、例えば本発明の静電吸着装置を、室内の塵や埃等の汚染物や、虫等を表面に吸着させて除去する用途に用いたときでも、これら被除去物の廃棄、清掃を容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１に従来の静電吸着装置の真横から見た断面図を提示した。１、２は電極対である。電極対は複数あってもよく、その平面状の構成は吸着機能を向上させるため櫛型電極であることが好ましい。３は電極対を覆う吸着層、４は接着層、５は電極の保持材であって、電極１，２には電源６により電圧が加えられている。電極１，２間に加えられた電位差により、電極１，２間には電界が発生する。電界は電気力線７で表現されるが、電気力線の一部は吸着層３をとおりぬけ、吸着層に分極電荷を誘起し、さらに近傍の物体８に静電誘導または分極によって近接の電極電荷とは逆電荷を発生させ、クーロン力により吸着層３の表面に物体を吸着させる。以上が静電吸着装置の構造および、吸着の原理である。なお４の接着層は吸着層全体が着脱可能となるときは省略されるか、軽剥離の粘着剤層に置き換えられる。
【００１２】
上記の構成及び動作原理を有する静電吸着装置において、本発明で使用する吸着層は、その全部または表層部分が着脱可能である。またそれら着脱可能な吸着層は一方の面に粘着剤層部分を有しており、該粘着剤層部分の粘着力によって固定されていても良いし（図３、図５参照）、前記電極上の電荷または、該電極上の電荷によって吸着層上に誘起された誘電分極電荷の静電引力によって粘着剤層なしで固定されていてもよい（図２、図４参照）。
特に吸着層の表層部分を着脱可能にする場合のように、吸着層を表層部分と下層部分に分ける事が可能であるとすれば、前記吸着層の働きの中、導電体吸着時の電極の絶縁と、感電防止のための安全性の機能は下層部分により達成され、表層部分はクーロン力により引き寄せられる汚染物質からの保護の機能のみ達成すれば良い。すなわち下層部分は電極あるいは保持材表面に固定されているとしても、表層部分は、下層部分に一様に密着していれば十分であり、逆に、表層は着脱可能である事で常に新規の状態が保たれ静電吸着装置全体の寿命を長くすることが出来るため好ましい。
また、表層のみが、着脱可能なので、不快な汚染物質等が付着した場合には、容易に表層ごと汚染物質等を除去可能となり、また劣化した吸着層をもとの新しい状態に回復させることが出来る。
本発明で用いる吸着層は、被着物が導電体である場合にも電極対間を短絡させず、誘電分極による分極電荷を安定して発生する誘電体である。さらに通常前述したように電極対間の電位差は数１００〜数１０００V掛けられているため、使用される膜厚で充分な絶縁性能を有し、使用者の感電を防ぐことが好ましい。
【００１３】
本発明の吸着装置の吸着層としては、ポリエステル、ポリウレタン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ナイロン、アクリル、ポリカーボネート、ポリアセタール、フェノール、エポキシ等のプラスティック、エチレンビニルアルコール共重合体樹脂、ポリビニルアルコール等またはこれらを２種以上混合した混合プラスティックのプレートもしくはシート、またはそれら同種、もしくは異種のプレートやシートを積層した材料が用いられる。通常吸着層は電極対間のリークをなくすため１×１０１１Ωｃｍ以上の体積抵抗に設定される。体積抵抗率が１×１０１１未満であると吸着層を通しての電荷のリークが生じて、電極の電圧が上がらず吸着力が不足する傾向にあり、またリーク電流による電力消費が発生するため効率が悪くなる傾向がある。
【００１４】
一方これらの静電吸着装置においては、吸着層の摩擦等によって吸着層に付着した自由電荷が電極に放電されず、吸着層の電位の大きさを低下させて吸着力を低下させる傾向がある。自由電荷を電極対へと短時間に放電させるには１．０×１０１１〜１．０×１０１５Ωｃｍの範囲に設定することが好ましい。そのような体積抵抗範囲に設定するために、前記のプラスティック類を、各種の公知の導電性手法により改質したり導電性材料（導電性微粉、導電性可塑剤、導電性ポリマー等）の添加を行ってもよい。
【００１５】
また、吸着層の厚さは静電吸着装置の電極への印加電圧、想定している吸着力にもよるが１μｍ〜１ｍｍの間で適宜設定することができる。ただし、クーロン力による吸着力を減少させないためには１００〜２００μｍが好ましい。
【００１６】
本発明の吸着層が着脱可能な表層部分を有するときは、該吸着層の表層部分は、それ以外の下層部分の吸着層の持つ基本的特性を有している必要があり、下層部分の吸着層と同じような材質から構成される。更に、着脱可能な表層部分の吸着層にあっては、静電吸着性能を阻害しない範囲において、文章や、意匠を持たせる印刷や、各種機能（例えば防汚性のためのコート剤）を持たせる為の塗工を、周知の方法により行うことができる。
前記表層部分の吸着層は、電極上の電荷によって吸着層表面に誘起された分極電荷の静電引力によって下層部分の吸着層に固定されてもよいが、下部の吸着層へ貼付した際の初期の密着性改善、あるいは電源が切れている場合の下部層への仮止めとして、軽剥離程度の粘着力によって、付着していても良い。
【００１７】
粘着性の付与は、吸着層自体が例えばエラストマーであり、これに起因して吸着層と他の層、または吸着層同志の間で粘着力が働くようにしても良いし、吸着層と他の層、あるいは吸着層同志の接触面に粘着剤を塗工して粘着性を持たせても構わない。その時の粘着力としては、ＪＩＳ  Ｃ２１０７に規定する方法で、剥離速度、３００ｍｍ／ｍｉｎ．、１８０°剥離、ステンレス板に対し測定したときに、幅１ｃｍ当たり１．５Ｎ以下である事が好ましい。これより強い強度では、吸着層を剥がす際に取り除くことが困難になる。粘着力は、あくまで仮止めであるので、下層部から剥がすときの作業性により規定することができ、幅１ｃｍ当たり０．５Ｎ以下、例えば１ｍ幅で使用する場合には、粘着力は５０N以下であることがより好ましい。
これらの粘着剤としてはゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、シリコン系粘着剤等があるが、特に限定されるものではない。
なお、静電吸着装置の電源を入れたままで長期使用する場合には、着脱可能な表層部分の吸着層の保持、固定は専ら静電吸着装置自体の静電引力によって行われてもよい。このときは該静電吸着装置の電極に予め電圧を印加しておき、新しい表層部分の吸着層の装着を行う。
着脱可能な表層部分の吸着層の膜厚は、特に限定はないが吸着層の他の部分と同じく１μｍ〜１ｍｍの間で適宜設定することができる。クーロン力による吸着力を減少させず、また剥離のし易さを考慮すると１０〜２００μｍが好ましい。
【００１８】
本発明の静電吸着装置の電極は保持材５の上に層状に形成される。電極は、金属蒸着または金属粉やカーボン粉を含有する導電性塗料を保持材上に塗布することによって形成することができ、また保持材上に転写工程によって形成することもできる。あるいは電極用金属箔を保持材上に絶縁性接着剤で固定したり、加圧して保持材中に埋め込んで形成することもできる。本発明の静電吸着装置の層状の電極対１，２は、複数あってよく、その平面上の構成は吸着効率をあげるため例えば櫛形形状の平面状パターンを用いることができる。保持材として膜厚の薄いシート状の材料を用いるときは、電極は保持材の両面に形成することもできる。
【００１９】
保持材はその上に電極を積層状に形成するための絶縁性の支持体であって、ブロック、板、シート等、最終用途に適した形状を選択することができるが、可搬性、可撓性の点で絶縁性の保持フィルムが適用可能範囲が広く好ましい。絶縁性保持フィルムとしては通常、体積抵抗率が１０１４Ωｃｍ以上のもの用いるのが好ましく、絶縁性保持材の厚さは印加電圧に対する絶縁性から２０μｍ以上が好ましい。また絶縁性保持フィルムを吸着層と同一の材料で構成することもできる。
【００２０】
本発明の静電吸着装置においては、電極の表面は吸着層で被覆されるが、電極の絶縁をより完全にするためには絶縁性接着剤で電極と吸着層の間を充填することが好ましい。このようにすることによって、電気的絶縁と吸着層の固定とをより確実に行うことができる。なお絶縁性接着剤は体積抵抗率が１０１３Ωｃｍ以上のものを用いることが好ましい。なお吸着層全体を着脱可能とするときは、接着剤層は設けないようにするか、あるいは設けたとしても接着剤層の代わりに軽剥離を維持できる粘着剤層で電極の絶縁と吸着層の固定を行う。
【００２１】
以下実施例により、更に詳細に各構成部分について説明を行う。
【実施例】
【００２２】
以下、実施例の静電吸着装置を構成するために、材料として粘着シートを作製した。
（粘着フィルム１）
シリコン処理をした離型ＰＥＴフィルムに２液硬化型アクリル系粘着剤（ディックプラストＰＳＸ−１０２Ｄ：ＤＩＣ製）を３０μｍ（ｄｒｙ）の厚みで塗工乾燥し、これに、フィルムとして厚さ１００μｍ、体積抵抗率３．７×１０１３Ωｃｍのポリ塩化ビニル系樹脂フィルム（リケンテクノス社製）を用いて貼りあわせ、離型ＰＥＴフィルムを剥離して塩化ビニール粘着加工フィルムを作製した。
この粘着フィルムのＳＵＳ板に対する粘着力は、５．５Ｎ／10mm（ＪＩＳ  Ｃ２１０７に準拠、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ．１８０°剥離）であった。
【００２３】
（粘着フィルム２）
フィルムとして厚さ１００μｍ、体積抵抗率９．４×１０１４Ωｃｍのポリエステルポリエーテル系エラストマー（帝人化成製）を用いる以外は、粘着フィルム１と同じように加工を行い、ポリエステル粘着加工フィルムを作製した。
この粘着フィルムのＳＵＳ板に対する粘着力は、４．７Ｎ／10mm（ＪＩＳ  Ｃ２１０７に準拠、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ．１８０°剥離）であった。
【００２４】
（粘着フィルム３）
シリコン処理をした離型ＰＥＴフィルムに２液硬化型アクリル系粘着剤（ＡＳ−４０９：一方社油脂製）を１５μｍ（ｄｒｙ）の厚みで塗工乾燥し、これに、フィルムとして厚さ１００μｍ、体積抵抗率３．７×１０１３Ωｃｍのポリ塩化ビニル系樹脂フィルム（リケンテクノス社製）を用いて貼りあわせ、離型ＰＥＴを剥離して塩化ビニール粘着加工フィルムを作製した。
この粘着フィルムのＳＵＳ板に対する粘着力は、０．８Ｎ／10mm（ＪＩＳ  Ｃ２１０７に準拠、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ．１８０°剥離）であった。
【００２５】
（粘着フィルム４）
シリコン処理をした離型ＰＥＴフィルムに２液硬化型ウレタン系粘着剤（バインゾールＵ−２５０：一方社油脂製）を１５μｍ（ｄｒｙ）の厚みで塗工乾燥し、これに、フィルムとして厚さ１００μｍ、体積抵抗率３．７×１０１３Ωｃｍのポリ塩化ビニル系樹脂フィルム（リケンテクノス社製）を用いて貼りあわせ、離型ＰＥＴを剥離して塩化ビニール粘着加工フィルムを作製した。
この粘着フィルムのＳＵＳ板に対する粘着力は、０．２Ｎ／10mm（ＪＩＳ  Ｃ２１０７に準拠、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ．１８０°剥離）であった。
【００２６】
（粘着フィルム５）
フィルムとして厚さ１００μｍ、体積抵抗率９．４×１０１４Ωｃｍのポリエステルポリエーテル系エラストマー（帝人化成製）を用いる以外は、粘着フィルム４と同じように加工を行い、ポリエステル粘着加工フィルムを作製した。
この粘着フィルムのＳＵＳ板に対する粘着力は、０．２Ｎ／10mm（ＪＩＳ  Ｃ２１０７に準拠、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ．１８０°剥離）であった。
【００２７】
（実施例１）
保持材として厚さ１００μｍ、体積抵抗率１．２×１０１６Ωｃｍの２軸延伸ポリエステルフィルム（東レ製）に導電性カーボンインキ（体積抵抗率１０Ωｃｍ）でシルク印刷により、電極パターンを形成させた。パターン印刷されたポリエステルフィルムの上に、吸着層として、前記粘着フィルム１により作製した、塩化ビニール粘着加工フィルムを貼合わせた。更に、この吸着層の上面に、前記粘着フィルム３で作製した塩化ビニール粘着加工フィルムを貼合わせる事により図５の静電吸着シートを作製した。
【００２８】
（実施例２）
保持材として厚さ１００μｍ、体積抵抗率１．２×１０１６Ωｃｍの２軸延伸ポリエステルフィルム（東レ製）に導電性カーボンインキ（体積抵抗率１０Ωｃｍ）でシルク印刷により、電極パターンを形成させた。パターン印刷されたポリエステルフィルムの上に、吸着層として、前記粘着フィルム１により作製した、塩化ビニール粘着加工フィルムを貼合わせて静電吸着シートを作製した。
更に、この静電吸着シートに通電しながら、この吸着層の上面に、厚さ１００μｍ、体積抵抗率３．７×１０１３Ωｃｍのポリ塩化ビニル系樹脂フィルム（リケンテクノス社製）を貼りあわせる事により図４の静電吸着シートを作製した。
【００２９】
（実施例３）
吸着層上に貼りあわせる粘着フィルムとして、前記、粘着フィルム４で作製した塩化ビニール粘着加工フィルムを用いる以外は実施例１と同様に加工を行い図５の静電吸着シートを作製した。
【００３０】
（実施例４）
保持材として厚さ１００μｍ、体積抵抗率１．２×１０１６Ωｃｍの２軸延伸ポリエステルフィルム（東レ製）に導電性カーボンインキ（体積抵抗率１０Ωｃｍ）でシルク印刷により、電極パターンを形成させた。パターン印刷されたポリエステルフィルムの上に、吸着層として、前記粘着フィルム２により作製した、ポリエステル粘着加工フィルムを貼合わせた。更に、この吸着層の上面に、前記粘着フィルム３で作製したる塩化ビニール粘着加工フィルムを貼合わせる事により図５の静電吸着シートを作製した。
【００３１】
（実施例５）
保持材として厚さ１００μｍ、体積抵抗率１．２×１０１６Ωｃｍの２軸延伸ポリエステルフィルム（東レ製）に導電性カーボンインキ（体積抵抗率１０Ωｃｍ）でシルク印刷により、電極パターンを形成させた。パターン印刷されたポリエステルフィルムの上に、吸着層として、前記粘着フィルム２により作製した、ポリエステル粘着加工フィルムを貼合わせて静電吸着シートを作製した。
更に、この静電吸着シートに通電しながら、この吸着層の上面に、厚さ１００μｍ、体積抵抗率３．７×１０１３Ωｃｍのポリ塩化ビニル系樹脂フィルム（リケンテクノス社製）を貼りあわせる事により図４の静電吸着シートを作製した。
【００３２】
（実施例６）
吸着層上に貼りあわせるフィルムとして、厚さ１００μｍ、体積抵抗率９．４×１０１４Ωｃｍのポリエステルポリエーテル系エラストマー（帝人化成製）を用いる以外は実施例５と同様に加工を行い図４の静電吸着シートを作製した。
【００３３】
（実施例７）
保持材として厚さ１００μｍ、体積抵抗率１．２×１０１６Ωｃｍの２軸延伸ポリエステルフィルム（東レ製）に導電性カーボンインキ（体積抵抗率１０Ωｃｍ）でシルク印刷により、電極パターンを形成させた。パターン印刷されたポリエステルフィルムの上に、前記粘着フィルム５により作製した、ポリエステル粘着加工フィルムを貼合わせて図３の静電吸着シートを作製した。
【００３４】
（比較例１）
保持材として厚さ１００μｍ、体積抵抗率１．２×１０１６Ωｃｍの２軸延伸ポリエステルフィルム（東レ製）に導電性カーボンインキ（体積抵抗率１０Ωｃｍ）でシルク印刷により、電極パターンを形成させた。パターン印刷されたポリエステルフィルムの上に、吸着層として、前記粘着フィルム１により作製した、塩化ビニール粘着加工フィルムを貼合わせる事により図１の従来タイプの静電吸着シートを作製した。
【００３５】
以上作製した静電吸着シートを静電吸着装置に組み込み、以下の試験方法によって評価した。
（評価試験）
（ａ）装置の電源をＯＮにて１５００Ｖの電位を電極１，２に掛け、被着体としてアルミ板を装置の吸着面に貼り付ける。
（ｂ）この状態で４０℃−８０％の促進条件で保管し経時で観察を行う。
（ｃ）経時１ヵ月後に、下記評価項目の試験を行う。
（ｄ）（ｃ）の評価後、継続試験にあたって、実施例については除去層を取り除き、新たな除去層に取り替えて継続して試験を行う。比較例についてはそのまま継続して試験を行う。
（ｅ）経時２ヵ月後に、下記項目の評価を行う。
【００３６】
（評価項目・方法）
（１）除去層外観
実施例１−７について、被着体のアルミを取り除いた跡の除去層表面の外観（変色）の変化を観察する。以下の評価を行った。
◎    変化なし  
○    僅かに変色しているが殆ど変色なし。
△    かすかに変色  
×    はっきりと変色。
【００３７】
（２）吸着層外観
（ａ）実施例１−６について、除去層を剥離した後の被覆態表面の外観（変色）の変化を以下の基準で観察した。
◎    変化なし  
○    僅かに変色しているが殆ど変色なし。
△    かすかに変色  
×    はっきりと変色。
（ｂ）比較例については、被着体のアルミを取り除いた跡の除去層表面の外観（変色）の変化を以下の基準で観察した。
◎    変化なし  
○    僅かに変色しているが殆ど変色なし。
△    かすかに変色  
×    はっきりと変色。
【００３８】
（３）剥離性
実施例において、除去層の下面からの剥離時の抵抗を比較する。
【００３９】
（４）表面ふき取り性
吸着層表面（実施例にあたっては取り除かれる吸着層表面を意味し、比較例に当たっては吸着層表面を意味する。）の被着体の乗っていない部分については、覆われる物がないので、空気中の埃が吸着し汚染される。この汚れの付着した吸着層表面を、水で湿らせたウェスで拭取り汚れの拭い取り易さを以下の基準で比較観察した。
◎    元に戻る。
○    ほぼ元に戻る。
△    跡が少し残る。
×    黒く跡が残る。
【００４０】
（５）体積抵抗
材料の各フィルムについて体積抵抗を測定する。
【００４１】
以下実施例用、比較例用の吸着シートを作製した使用原料の種類、形状、塗膜厚等について、及び評価結果は表に示す通りである。
【００４２】
【表１】
2005245157.tif 000002
【００４３】
【表２】
2005245157.tif 000003
【００４４】
表の結果から明らかなように、実施例１〜７の除去層部分は、４０℃−８０％の経時１ヵ月後でも問題なく、下面から剥離させることが出来る。除去層を取り除いた後の、吸着層外観はＰＶＣも、ポリエステル系も変色を起こさず、初期の外観を保持している。これは４０℃−８０％の経時２ヵ月後でも同様であった。これに対して、比較例においては、１ヵ月後、ＰＶＣの外観は少し変色を起こし始めており、２ヵ月後にはピンクに着色を起こしている。このように、本発明のような吸着層の全部（実施例７）または吸着層の表層部分を着脱（実施例１〜６）可能な構成にすることにより、静電吸着シートの吸着層表面の変色を修復することが出来、静電吸着シートの寿命を延ばすことが出来る。
また、本実施例で使用したポリエステルポリエーテル系のエラストマーフィルムは、ＰＶＣのよりもさらに変色も起こしにくく、汚染性も優れており、静電吸着シートの吸着層として適している。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】従来の静電吸着装置の略図である。
【図２】全体が着脱可能な吸着層を有し、粘着剤層を有しない本発明の静電吸着装置の一例を示す略図である。
【図３】全体が着脱可能な吸着層を有し、粘着剤層を有する本発明の静電吸着装置の一例を示す略図である。
【図４】表層部分が着脱可能な吸着層を有し、粘着剤層を有しない本発明の静電吸着装置の一例を示す略図である。
【図５】表層部分が着脱可能な吸着層を有し、粘着剤層を有する本発明の静電吸着装置の一例を示す略図である。
【符号の説明】
【００４６】
１，２            電極対            
３              吸着層（下層部分）        
４              接着剤層            
５              保持材              
６              電源
７           電気力線
８           被吸着物
９              着脱可能な吸着層（表層部分）    
１０            粘着剤層            
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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