(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、適量かつ適正な位置への接着剤の塗布状態を維持し、製品であるインクジェットヘッドの吐出性能の低下を防止して歩留りを向上する。【解決手段】基板２０を構成するチャンネルウエハ２００の上面に、インク室２６となる溝部２０１をダイシングにより一定間隔で形成した後、インクジェットヘッド２を備えた接着剤塗布装置６０によって接着剤を塗布する。インクジェットヘッド２のノズル面２ａをチャンネルウエハ２００の上面に対して垂直方向に所定の距離だけ離して配置し、チャンネルウエハ２００を水平面内でインクジェットヘッド２に対して相対的に移動させ、チャンネルウエハ２００における隔壁２９の上面に対向するノズル孔２ｂから接着剤が吐出されるようにインクジェットヘッド２を駆動して接着剤を吐出する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク室としての溝部が形成された基板に対して、インク室内にインクを供給するためのインク供給部を構成するカバープレート、及び、インク室から外部に吐出されるインクが通過するノズルを形成したノズルプレートを、接着剤を介して接着する接着工程を含み、
前記接着工程が、接着剤を収納したインクジェットヘッドのノズルを前記基板における前記カバープレート及び前記ノズルプレートの接着面に対向させた後、インクジェットヘッドを駆動してノズルから接着剤を吐出させる工程を含むインクジェットヘッド製造方法。
【請求項２】
前記接着剤が、紫外線硬化樹脂を含み、
前記接着工程が、インクジェットヘッドのノズルから接着剤を吐出した後に、接着剤が塗布された前記基板における前記カバープレート及び前記ノズルプレートの接着面に紫外線を照射する工程を含む請求項１に記載のインクジェットヘッド製造方法。
【請求項３】
前記接着剤が、主剤及び硬化剤からなる２液性接着剤であり、
前記接着工程が、前記基板における前記カバープレート及び前記ノズルプレートの接着面に主剤及び硬化剤をこの順に塗布する工程を含む請求項１に記載のインクジェットヘッド製造方法。
【請求項４】
前記接着工程において、前記主剤及び前記硬化剤が前記基板における前記カバープレート及び前記ノズルプレートの接着面の同一位置に吐出させる請求項３に記載のインクジェットヘッド製造方法。
【請求項５】
前記接着剤工程が、前記基板における前記カバープレート及び前記ノズルプレートの接着面に対して、第１のインクジェットヘッドから主剤を塗布する工程と、第２のインクジェットヘッドから硬化剤を塗布する工程と、を含む請求項３に記載のインクジェットヘッド製造方法。
【請求項６】
インク室となる溝部が形成された基板の表面のうち、インク室内にインクを供給するためのインク供給部を構成するカバープレート、及び、インク室から外部に吐出されるインクが通過するノズルを形成したノズルプレートが接着される接着面に、ノズルから接着剤を吐出するインクジェットヘッドを備えたインクジェットヘッド製造装置。
【請求項７】
前記インクジェットヘッドが、駆動電圧の印加によって変形を生じる圧電素子からなる基板を備えた請求項６に記載のインクジェットヘッド製造装置。
【請求項８】
前記インクジェットヘッドが、インク室内の接着剤を所定温度に加熱する加熱手段を備えた請求項６に記載のインクジェットヘッド製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インク室内のインクを加圧して記録媒体上に吐出することによって画像形成を行なうインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドを製造するためのインクジェットヘッド製造方法、及び、インクジェットヘッド製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドとして、インク室を構成する溝部を挟んで隣接する複数の隔壁の互いの対向面のそれぞれに電極を形成し、外部駆動回路からの電極に対する駆動パルスの印加により隔壁を変形させてインク室内のインクを吐出するようにしたものがある（例えば、特許文献１及び２参照。）。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドの従来の製造方法の一部を図７及び図８を用いて説明する。先ず、厚さ方向（上下方向）に分極した圧電素子からなる基板１０３の上面１０３ａにドライフィルムレジストをラミネートして硬化させた後、溝部形成工程においてダイサーのダイシングブレードを用いて上面１０３ａを前面１０３ｂ側から背面１０３ｃ側に向かってハーフダイシングし、隔壁１２７の間に挟まれたインク室としての溝部１２２を複数形成する。このとき、基板１０３の前面１０３ｂと背面１０３ｃの中間部でダイシングブレードを上昇させてインク室１２２の背面側にアール部１２２ａを形成し、さらに、背面１０３ｃまで上面１０３ａのドライフィルムレジストのみをカットして平坦部１２２ｂを形成する。
【０００４】
このダイシング処理を基板１０３の前面１０３ｂ及び背面１０３ｃに平行な方向に所定の間隙を設けて繰り返し実行し、基板１０３上にインク室アレイを形成した後に、インク室１２２の長手方向に対して基板１０３の上方からＡｌ又はＣｕ等の電極材料となる金属を斜方から蒸着またはスパッタする。この作業をインク室１２２を挟んで対向する２方向（図中矢印で示す方向）から行うことにより、インク室１２２を挟む両側の隔壁１２７の対向面に電極１０１を形成する。
【０００５】
このとき、インク室１２２内では、ドライフィルムレジスト及び隔壁１２６のシャドーイング効果により、隔壁１２７の上端から厚さ方向の約１／２までの範囲に電極１０１が形成される。また、インク室１２２のアール部１２２ａ及び平坦部１２２ｂにも同時に電極材料の斜方からの蒸着またはスパッタが行われるが、左右２方向から蒸着またはスパッタされた金属膜が平坦部１２２ｂで重なり合うようにドライフィルムレジストの厚さ及び開口幅を設定することにより、平坦部１２２ｂにおいては全面に電極（室外電極１０２）が形成され、アール部１２２ａにおいてはインク室１２２内の電極１０１と平坦部１２２ｂの室外電極１０２とを接続する状態に電極が形成される。
【０００６】
この後、接着工程において、基板１０３の上面１０３ａにインク室１２２内へインクを供給するためのインク供給部１２４を有するカバープレート１２３を接着し、かつ、基板１０３の前面１０３ｂにインク室１２２内から外部に吐出されるインクが通過するノズル１２６を有するノズルプレート１２５を接着することにより、インクジェットヘッドのアクチュエータ１００が完成する。
【０００７】
従来のインクジェットヘッドの製造方法における接着工程では、基板１０３においてカバープレート１２３が接着される上面１０３ａ、及び、ノズルプレート１２５が接着される前面１０３ｂに、蠕動ポンプ等を用いたディスペンサによって接着剤を塗布した後、基板１０３の上面１０３ａ及び前面１０３ｂのそれぞれにカバープレート１２３及びノズルプレート１２５を圧接させることにより、接着剤を介して基板１０３にカバープレート１２３及びノズルプレート１２５を接着する。
【特許文献１】特開平０８−２２２４７５号公報
【特許文献２】特開２００２−１７８５１８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来のインクジェットヘッドの製造方法では、基板においてカバープレート及びノズルプレート等が接着される部分に蠕動ポンプ等を用いたディスペンサによって接着剤を塗布していたため、塗布量及び塗布位置に十分な精度を得ることができず、インクジェットヘッドの性能の低下を招く問題があった。
【０００９】
これは、インクジェットヘッドのアクチュエータにおいて、基板に対するカバープレート及びノズルプレート等の接着に使用する接着剤の塗布量及び塗布位置がインクジェットヘッドの性能に大きな影響を与えるためである。即ち、接着剤の塗布量が不足すると接着力が不十分になり、塗布量が多すぎると剛性の低下による破損を生じやすくなる。また、接着剤の塗布位置が適正でないと、硬化した接着剤の存在によってインク室内部等のインク流路におけるインクの流通が阻害される。
【００１０】
ところが、蠕動ポンプ等を用いたディスペンサでは、接着剤の吐出量を１０ｎＬ（１０-5ｃｍ3 ）、吐出位置を２００μｍ程度でしか調整することができず、極めて少量かつ定量の接着剤を微少範囲に塗布する必要があるインクジェットヘッドの接着工程において適量の接着剤を適正な位置に塗布することが困難である。
【００１１】
この発明の目的は、インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、吐出量及び吐出位置を正確に調整可能なインクジェットヘッドを用いて接着剤を塗布することにより、適量かつ適正な位置への接着剤の塗布状態を維持することができ、製品であるインクジェットヘッドの性能の低下を防止して歩留りを向上することができるインクジェットヘッドの製造方法及び製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明は、上記の課題を解決するための手段として、以下の構成を備えている。
【００１３】
（１）インク室としての溝部が形成された基板に対して、インク室内にインクを供給するためのインク供給部を構成するカバープレート、及び、インク室から外部に吐出されるインクが通過するノズルを形成したノズルプレートを、接着剤を介して接着する接着工程を含み、
前記接着工程が、接着剤を収納したインクジェットヘッドのノズルを前記基板における前記カバープレート及び前記ノズルプレートの接着面に対向させた後、インクジェットヘッドを駆動してノズルから接着剤を吐出させる工程を含むことを特徴とする。
【００１４】
この構成においては、インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着面に、一般に、吐出量を１０ｐＬ（１０-8ｃｍ3 ）以下、吐出位置を５μｍ程度で正確に調整可能なインクジェットヘッドから接着剤が吐出される。したがって、適量の接着剤が基板の接着面の所定位置に正確に塗布される。
【００１５】
（２）前記接着剤が、紫外線硬化樹脂を含み、
前記接着工程が、インクジェットヘッドのノズルから接着剤を吐出した後に、接着剤が塗布された前記基板における前記カバープレート及び前記ノズルプレートの接着面に紫外線を照射する工程を含むことを特徴とする。
【００１６】
この構成においては、インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、吐出量及び吐出位置を正確に調整可能なインクジェットヘッドから短時間硬化、無溶剤及び１液性の基本性質を有する紫外線硬化樹脂を含む接着剤を吐出した後、紫外線を照射して基板の所定位置にカバープレート及びノズルプレートが接着される。したがって、基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着位置に塗布すべき接着剤は紫外線の照射を受けない限り未硬化状態が維持され、接着剤の取扱い及び保存が容易になる。
【００１７】
（３）前記接着剤が、主剤及び硬化剤からなる２液性接着剤であり、
前記接着工程が、前記基板における前記カバープレート及び前記ノズルプレートの接着面に主剤及び硬化剤をこの順に塗布する工程を含むことを特徴とする。
【００１８】
この構成においては、インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、吐出量及び吐出位置を正確に調整可能なインクジェットヘッドから２液性接着剤を吐出して基板の所定位置にカバープレート及びノズルプレートが接着される。したがって、基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着位置に塗布すべき接着剤は主剤と硬化剤とを混合しない限り未硬化状態が維持され、接着剤の取扱い及び保存が容易になる。
【００１９】
（４）前記接着工程において、前記主剤及び前記硬化剤が前記基板における前記カバープレート及び前記ノズルプレートの接着面の同一位置に吐出させることを特徴とする。
【００２０】
この構成においては、インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着面に塗布された主剤に重ねて硬化剤がインクジェットヘッドから吐出される。したがって、硬化剤はインクジェットヘッドからの吐出エネルギによって主剤と十分に混合され、接着剤が硬化する。
【００２１】
（５）前記接着剤工程が、前記基板における前記カバープレート及び前記ノズルプレートの接着面に対して、第１のインクジェットヘッドから主剤を塗布する工程と、第２のインクジェットヘッドから硬化剤を塗布する工程と、を含むことを特徴とする。
【００２２】
この構成においては、インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、２液性接着剤の主剤及び硬化剤のそれぞれが個別のインクジェットヘッドから基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着面に吐出される。したがって、基板の接着位置に塗布する前において主剤と硬化剤とが確実に分離され、未硬化状態が維持される。
【００２３】
（６）インク室となる溝部が形成された基板の表面のうち、インク室内にインクを供給するためのインク供給部を構成するカバープレート、及び、インク室から外部に吐出されるインクが通過するノズルを形成したノズルプレートが接着される接着面に、ノズルから接着剤を吐出するインクジェットヘッドを備えたことを特徴とする。
【００２４】
この構成においては、インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着面に、吐出量及び吐出位置を正確に調整可能なインクジェットヘッドから接着剤が吐出される。したがって、適量の接着剤が基板の接着面の所定位置に正確に塗布される。
【００２５】
（７）前記インクジェットヘッドが、駆動電圧の印加によって変形を生じる圧電素子からなる基板を備えたことを特徴とする。
【００２６】
この構成においては、インクジェットヘッドを構成する基板の変形によって接着剤が吐出される。したがって、インクジェットヘッドから吐出する際に接着剤を加熱する必要がなく、接着剤の硬化や変質を生じることがない。
【００２７】
（８）前記インクジェットヘッドが、インク室内の接着剤を所定温度に加熱する加熱手段を備えたことを特徴とする。
【００２８】
この構成においては、インクジェットヘッドから吐出される接着剤がインク室内において所定温度に加熱される。したがって、一般的に常温でインクよりも高い接着剤の粘度が低下し、接着剤の吐出性が向上する。
【発明の効果】
【００２９】
以上のようにして、この発明によれば、以下の効果を奏することができる。
【００３０】
（１）インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着面に、吐出量及び吐出位置を正確に調整可能なインクジェットヘッドから接着剤を吐出することにより、適量の接着剤を基板の接着面の所定位置に正確に塗布することができ、製品であるインクジェットヘッドの吐出性能を適正に維持して、歩留りを向上することができる。
【００３１】
（２）インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、吐出量及び吐出位置を正確に調整可能なインクジェットヘッドから短時間硬化、無溶剤及び１液性の基本性質を有する紫外線硬化樹脂である接着剤を吐出して基板の所定位置にカバープレート及びノズルプレートを接着することにより、基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着位置に塗布すべき接着剤は紫外線の照射を受けない限り未硬化状態を維持することができ、接着剤の取扱い及び保存を容易にすることができる。
【００３２】
（３）インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、吐出量及び吐出位置を正確に調整可能なインクジェットヘッドから２液性接着剤を吐出して基板の所定位置にカバープレート及びノズルプレートを接着することにより、基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着位置に塗布すべき接着剤は主剤と硬化剤とを混合しない限り未硬化状態を維持することができ、接着剤の取扱い及び保存を容易にすることができる。
【００３３】
（４）インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着面に塗布された主剤に重ねて硬化剤をインクジェットヘッドから吐出することにより、硬化剤をインクジェットヘッドからの吐出エネルギによって主剤と十分に混合することができ、接着剤を素早く硬化させることができる。
【００３４】
（５）インクジェットヘッドの製造時の接着工程において、２液性接着剤の主剤及び硬化剤のそれぞれを個別のインクジェットヘッドから基板におけるカバープレート及びノズルプレートの接着面に吐出することにより、基板の接着位置に塗布する前において主剤と硬化剤とを確実に分離し、未硬化状態を維持することができ、接着剤の取扱い及び保存を容易にすることができる。
【００３５】
（６）インクジェットヘッドを構成する基板の変形によって接着剤を吐出させることにより、インクジェットヘッドから吐出する際に接着剤を加熱する必要がなく、接着剤の硬化や変質を防止することができる。
【００３６】
（７）インクジェットヘッドから吐出される接着剤をインク室内において所定温度に加熱することにより、一般的に常温でインクよりも高い接着剤の粘度を低下させることができ、製品であるインクジェットヘッドからの吐出性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して具体的に説明する。図１（Ａ）〜（Ｃ）は、この発明の第１の実施形態に係る電極接続構造を適用したインクジェットヘッドの要部の構成を示す背面断面図、平面断面図（図１（Ａ）におけるＸ−Ｘ部断面図）及び側面断面図（図１（Ａ）におけるＹ−Ｙ部断面図）である。この実施形態に係るインクジェットヘッド１は、ＰＺＴ圧電素子からなる基板２０に複数形成された溝状のインク室２６のそれぞれの背面部にＡｇ導電性フィラーを含有する導電性樹脂１０が充填されており、インク室２６の背面側に導電性樹脂１０が露出している。
【００３８】
一対の隔壁２９の間に形成された各インク室２６は、インク吐出方向である長手方向の全長にわたって一定の断面形状を呈しており、互いに対向する隔壁２９の側面に電極２７，２８が形成されている。互いに対向する電極２７，２８は、導電性樹脂１０を介して電気的に導通した状態で駆動用ＩＣ４０のアウターリード４２に接続されている。基板２０の前面には各インク室２６に対応するノズル孔２４を形成したノズルプレート２５が貼付されており、基板２０の上面にはインク室２６の上部にインク供給部３１を形成するカバープレート３０が貼付されている。
【００３９】
このようにして、基板２０にアレイ状に形成されたインク室２６が有する電極２７，２８に導電性樹脂１０及びアウターリード４２を介して駆動用ＩＣ４０から同電位の駆動電圧を印加するとともに、隣接するインク室２６において隔壁２９を挟んで対向する電極２７，２８に逆位相の電圧を印加することにより、隔壁２９を剪断変形させてインク室２６内のインク圧力を制御し、インク室２６内のインクをノズル孔２４から前面側に吐出させる。
【００４０】
図２は、上記インクジェットヘッドの製造方法の要部を説明する図である。図１に示したインクジェットヘッド１を製造する際には、先ず、厚さ方向に分極した圧電素子からなるチャンネルウエハ２００の上面にドライフィルムレジスト７０をラミネートして硬化させる。チャンネルウエハ２００はインクジェットヘッド１において基板２０を構成する。次いで、ダイサーのダイシングブレードを用いてチャンネルウエハ２００の上面を一定ピッチでハーフダイスすることにより、図２（Ａ）に示すように、インク室２６となる複数の溝部２０１を形成する。このとき、ダイシングブレードのダイシング幅は、後に充填される導電性樹脂１０が含有する導電性フィラーの粒径よりも大きくすべきであり、直径０．１μｍ〜７０μｍの導電性フィラーを含有した導電性樹脂１０を用いる場合にはダイシング幅は７０μｍ以上とする。
【００４１】
この後、隔壁２９に対して図２（Ａ）中に矢印で示す斜め上方向からＡｌ又はＣｕ等の電極材料となる金属を蒸着またはスパッタして電極２７，２８を形成し、ドライフィルムレジスト７０をリフトオフする。
【００４２】
次に、基板２０の上面からインク室２６となる溝部の長手方向に直交する方向に、一例として０．５ｍｍ幅で液状（未硬化）の導電性樹脂１０をディスペンサー等を用いて塗布し、溝部２０１の内部及び隔壁２９の上面に付着させる。さらに、ラバースキージを用いてインク室２９の上面に付着した導電性樹脂１０を溝部内に充填しつつ除去した後、加熱等によって図２（Ｂ）に示すように導電性樹脂１０を硬化させる。
【００４３】
さらに、チャンネルウエハ２００の上面に、図３に示すように、インクジェットヘッド２を備えた接着剤塗布装置（この発明の製造装置に相当する。）６０によって接着剤を塗布する。このとき、接着剤塗布装置６０のインクジェットヘッド２のノズル面２ａをチャンネルウエハ２００の上面に対して垂直方向に所定の距離だけ離して配置し、チャンネルウエハ２００を水平面内でインクジェットヘッド２に対して相対的に移動させ、チャンネルウエハ２００における隔壁２９の上面に対向するノズル孔２ｂから接着剤が吐出されるようにインクジェットヘッド２を駆動して接着剤を吐出する。例えば、接着剤塗布装置６０は、ワークとしてのチャンネルウエハ２００を上面に固定して水平面内で直交する２方向に移動自在にされた図外のテーブルと、インクジェットヘッド２を固定してテーブルの上面に対して垂直方向に移動自在にされた図外のヘッド固定部と、を備えている。
【００４４】
チャンネルウエハ２００に形成されている全ての隔壁２９の上面に接着剤を塗布し終わると、ザグリによってインク供給部３１を形成したカバーウエハ３００をチャンネルウエハ２００の上面に圧接させることにより、カバーウエハ３００をチャンネルウエハ２００の上面に接着剤を介して接着する。このカバーウエハ３００は、インクジェットヘッド１においてカバープレート３０を構成する。この時、図２（Ｃ）に示すように、チャンネルウエハ２００において導電性樹脂１０が充填された部分が、カバーウエハ３００に形成されたインク供給部３１の中央部に対向するように位置決めする。
【００４５】
この後、図２（Ｃ）中破線で示す位置においてダイシングブレードによるダイシングを行い、個々のインクジェットヘッド１（この時点では基板２０及びカバープレート３０のみからなる。）に分割し、分割した各インクジェットヘッド１において、導電性樹脂１０が露出していない一方の切断面（前面）に、図４に示すように、上述の接着剤塗布装置６０によって接着剤を塗布する。このとき、接着剤塗布装置６０のインクジェットヘッド２のノズル面２ａをインクジェットヘッド１の前面に対して垂直方向に所定の距離だけ離して配置し、インクジェットヘッド１を水平面内でインクジェットヘッド２に対して相対的に移動させ、インクジェットヘッド１における基板２０及びカバープレート３０の前面に対向するノズル孔２ｂから接着剤が吐出されるようにインクジェットヘッド２を駆動して接着剤を吐出する。
【００４６】
インクジェットヘッド１の前面の全てに接着剤を塗布し終わると、複数のノズル２４を形成したノズルプレート２５をインクジェットヘッド１の前面に圧接させることにより、ノズルプレート２５をインクジェットヘッド１の前面に接着剤を介して接着する。この時、ノズルプレート２５のノズル２４のそれぞれが、インクジェットヘッド１における複数の隔壁２９の配列方向において２つの隔壁２９の中間に位置するように位置決めする。
【００４７】
インクジェットヘッド１の基板２０に接着剤を介してカバープレート３０及びノズルプレート２５を接着する接着工程が完了すると、インクジェットヘッド１の他方の切断面に露出している導電性樹脂１０に駆動用ＩＣ４０のアウターリード４２を電気的に接続する。
【００４８】
以上のようにして、インクジェットヘッド１の基板２０にカバープレート３０及びノズルプレート２５を接着する接着工程において、インクジェットヘッド１の基板２０の上面及び前面、並びに、カバープレート３０の前面に接着剤塗布装置６０のインクジェットヘッド２を用いて接着剤を塗布する。接着剤塗布装置６０のインクジェットヘッド２は、インクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドであり、一般に、インクの吐出量を１０ｐＬ程度で調整でき、インクの吐出位置を５μｍ程度で調整できる。
【００４９】
したがって、基板２０に対するカバープレート３０及びノズルプレート２５の接着に使用する接着剤の塗布量及び塗布位置がインクの吐出性能に大きな影響を与え、かつ、極めて少量かつ定量の接着剤を微少範囲に塗布する必要があるインクジェットヘッド１において、接着剤を適量かつ適正な位置へ塗布することができ、インクジェットヘッド１の吐出性能の低下を防止して歩留りを向上することができる。
【００５０】
なお、接着剤として、主剤と硬化剤とからなる２液性接着剤を用いることができる。この場合、図５に示すように、接着剤塗布装置６０には主剤を吐出する第１のインクジェットヘッド２Ａと硬化剤を吐出する第２のインクジェットヘッド２Ｂとを備え、第１のインクジェットヘッド２Ａからチャンネルウエハ２００（又はインクジェットヘッド１）の所定の接着部分に向けて主剤を吐出した後、第１のインクジェットヘッド２Ｂからチャンネルウエハ２００（又はインクジェットヘッド１）において主剤が塗布されている位置に向けて硬化剤を吐出する。硬化剤の吐出力によって主剤と硬化剤とが十分に混合され、所定の接着力が得られるとともに、チャンネルウエハ２００（又はインクジェットヘッド１）に塗布する前において、接着剤塗布装置６０内で接着剤が硬化することがなく、接着剤の取扱いや保存が容易になる。
【００５１】
また、接着剤として、紫外線硬化性樹脂を含む接着剤を用いることもできる。この場合、接着剤塗布装置６０には、接着剤が塗布された後のインクジェットヘッド１に紫外線を照射する紫外線照射手段を備えるとともに、カバープレート３０及びノズルプレート２５を紫外線透過性の材料によって構成する。接着剤塗布装置６０のインクジェットヘッド２から紫外線硬化性樹脂を含む接着剤をインクジェットヘッド１の基板２０及びカバープレート３０における所定の位置に吐出した後、紫外線照射手段による紫外線の照射範囲外にインクジェットヘッド２を退避させ、カバープレート３０及びノズルプレート２５を圧接させたインクジェットヘッド１の基板２０に紫外線照射手段から紫外線を照射する。紫外線の照射によって基板に対してカバープレート３０及びノズルプレート２５が瞬時に接着されるとともに、接着剤塗布装置６０内で接着剤が硬化することがなく、接着剤の取扱いや保存が容易になる。
【００５２】
さらに、接着剤塗布装置６０に含まれるインクジェットヘッド２は、インクジェットヘッド１と同様に、電極に対する駆動電圧の印加によって圧電素子に生じる変形によりインクを吐出するインクジェットヘッドを用いる。これによって、インクジェットヘッド１に対して吐出する前の接着剤がインクジェットヘッド２内で加熱されることがなく、接着剤の硬化や変質を生じることがない。
【００５３】
加えて、図６に示すように、接着剤塗布装置６０に加熱手段６１及び温度検出手段６２を備え、温度検出手段６２の検出温度がインクジェットヘッド２のインク室内に収納されている接着剤の粘度をインクの粘度程度に低下させる所定温度となるように加熱手段６１を制御手段６３によって駆動制御するようにしてもよい。これによって、インクジェットヘッド２からインクを吐出する際と同様の制御によって接着剤を吐出させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】この発明の製造方法によって製造されるインクジェットヘッドの要部の構成を示す背面断面図、平面断面図及び側面断面図である。
【図２】上記インクジェットヘッドの製造方法の要部を説明する図である。
【図３】上記インクジェットヘッドの基板にカバープレートを接着する接着工程時における接着剤を吐出させる工程を説明する斜視図である。
【図４】上記インクジェットヘッドの基板にノズルプレートを接着する接着工程時における接着剤を吐出させる工程を説明する斜視図である。
【図５】この発明の別の実施形態に係る製造方法における接着剤を吐出させる工程を説明する斜視図である。
【図６】この発明の別の実施形態に係る製造装置の構成を示す図である。
【図７】従来のインクジェットヘッドの構造の例を示す側面断面図である。
【図８】従来のインクジェットヘッドの製造方法の要部を示す斜視図である
【符号の説明】
【００５５】
１，２  インクジェットヘッド
１０    導電性樹脂
２０    基板
２４    ノズル孔
２５    ノズルプレート
２６    インク室
２７    電極
２８    電極
２９    隔壁
３０    カバープレート
３１    インク供給部
６０    接着剤塗布装置
２００  チャンネルウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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