(57)【要約】【課題】生産効率が高く、低コストな優れた圧力センサを提供すること。【解決手段】圧力センサは、感圧素子２０を配置した先端面を有するコネクタハウジングと、コネクタハウジングを挿入するよう構成したセンサハウジングと、コネクタハウジングの先端面とセンサハウジングとの間に形成された圧力室と、感圧素子２０の計測信号を加工、演算して出力するための補正回路２１とを有するセンサである。補正回路２１は、無線送信された補正データを受信するデータ通信インターフェース部２１１と、補正データを格納するメモリ部２１２と、データ通信インターフェース部２１１から補正データを入力すると共に、補正データをメモリ部２１２に書き込むように構成した補正データ書き込み部２１４と、メモリ部２１２に格納した補正データに基づいて計測信号を加工、演算する信号処理部２１３とを有してなる。【選択図】図４
2005188980.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作用した圧力の大きさを計測する感圧素子と、該感圧素子の計測信号を加工、演算して出力するための補正回路とを有する圧力センサにおいて、
上記補正回路は、無線送信された補正データを受信するデータ通信インターフェース部と、
上記補正データを格納するメモリ部と、
上記データ通信インターフェース部から上記補正データを入力すると共に、該補正データを上記メモリ部に書き込む補正データ書き込み部と、
上記メモリ部に格納した上記補正データに基づいて上記計測信号を加工、演算する信号処理部とを有してなることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
請求項１において、上記感圧素子は、上記補正回路を一体的に形成してなることを特徴とする圧力センサ。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記補正データ書き込み部に対して動作電力を供給する電力供給経路の途中には、所定値以上の電力の供給により溶断するヒューズ部を配置してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項４】
請求項３において、上記補正データ書き込み部は、上記電力供給経路を介して、上記補正回路の電源端子と電気的に接続してあり、上記ヒューズ部は、上記補正回路の上記電源端子に印加すべき適正な電圧値よりも大きい電位であって、かつ、上記補正回路に印加し得る許容電圧範囲内の電位を印加することにより溶断するように構成してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項において、上記圧力センサは、感圧素子を保持するコネクタハウジングと、該コネクタハウジングを挿入するよう構成したセンサハウジングとを組み合わせてなると共に、上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの間に形成された圧力室を有してなり、上記感圧素子は、上記圧力室の内部に配置してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項６】
請求項５において、上記圧力室は、シールダイヤフラムによって密閉してあり、その内部には圧力伝達媒体を充填してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項７】
作用した圧力の大きさを計測する感圧素子と、該感圧素子を収容する圧力室とを有する圧力センサにおいて、
該圧力センサは、環状の誘導コイルと、無線送信された上記感圧素子の計測信号を受信するように構成したハウジング側通信インターフェース部とを上記圧力室とは独立して有してなり、
上記圧力室には、上記誘導コイルと磁気結合するように構成された２次側コイルと、上記感圧素子の計測信号を無線送信するように構成した圧力室側通信インターフェース部とを配置してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項８】
請求項７において、上記圧力室には、補正データを格納するメモリ部と、該メモリ部に上記補正データを書き込む補正データ書き込み部と、上記メモリ部に格納した上記補正データに基づいて上記感圧素子の計測信号を加工、演算する信号処理部とを含む補正回路を配置してあり、上記圧力室側通信インターフェース部は、無線送信された上記補正データを受信して上記補正データ書き込み部に出力するように構成してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項９】
請求項８において、上記２次側コイルから上記補正データ書き込み部に向けて動作電力を供給するための電力供給経路の途中には、所定値以上の電力の供給により溶断するヒューズ部を配設してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項１０】
請求項７〜９のいずれか１項において、上記圧力センサは、上記感圧素子を保持するコネクタハウジングと、該コネクタハウジングを挿入するよう構成したセンサハウジングとを組み合わせてなり、上記圧力室は、上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの間に形成されており、
上記コネクタハウジングは合成樹脂を成形してなり、かつ、該コネクタハウジングの内部には、上記誘導コイルと、上記ハウジング側通信インターフェース部とをインサート成形してあることを特徴とする圧力センサ。
【請求項１１】
請求項７〜１０のいずれか１項において、上記圧力室は、シールダイヤフラムによって密閉してあり、内部には圧力伝達媒体を充填してあることを特徴とする圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体や液体等の圧力を計測するための圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、圧力伝達媒体を封入した圧力室内に感圧素子を配置してなる圧力センサや、計測対象流体が流入するように構成した圧力室内に感圧素子を配置してなる圧力センサなどがある（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
しかしながら、上記従来の圧力センサにおいては、上記圧力室内に配置した上記感圧素子や、内部の電気回路等への外部からのアクセスが良好でない点が問題となっていた。すなわち、上記圧力室内に配置した上記感圧素子へのアクセスが良好でないことを原因として、上記圧力センサの生産効率を十分に向上できず、また、その生産コストの抑制を十分に図ることが容易ではなかった。
【０００４】
例えば、上記従来の問題は、上記感圧素子の計測信号を補正するための補正回路を備えた圧力センサの場合において顕著である。
上記の圧力センサでは、例えば、上記計測信号を校正するために、組み立てた後に基準となる圧力や温度等を作用させながら出力値を計測する場合がある。そして、この計測出力値に基づいて上記補正回路に設定すべき補正データを計算し、その後、該補正データを上記補正回路に設定することがある。
【０００５】
しかしながら、組み立てた後の上記圧力センサでは、上記補正回路への補正データの設定が容易でない場合がある。
そこで、例えば、電力供給や出力信号用の端子以外に、上記補正回路と電気的に接続した通信端子を別途設けた圧力センサがある。該圧力センサでは、上記補正回路への上記補正データの設定が終了した後には、例えば、上記通信端子を電気的に絶縁する等の処置を施す必要がある。
そのため、上記圧力センサでは、上記のごとく通常の使用状態においては必要性の低い上記通信端子や、該通信端子に至る電気経路等を配設する必要があり、特に、そのコスト面において不利な面を生じていた。加えて、上記補正データの設定作業が終了した後に上記通信端子を電気的に絶縁する必要があるなど、生産効率面において不利な面も生じていた。
【０００６】
さらに、上記のごとく圧力室内に感圧素子を配置した圧力センサにあっては、上記感圧素子の電源や、その計測信号の出力経路を形成するターミナルピン等を上記圧力室内に突出させて配設する場合があった。
そのため、上記ターミナルピンと、上記圧力センサの本体部分をなすハウジング部材との間のシール性を十分に確保する必要があった。従来の圧力センサでは、例えば、ターミナルピンとハウジング部材との間にシリコーン等のシール材を充填する等の処置を施していた。
すなわち、上記圧力センサにおいては、上記シール材を充填する等のシール工程が必須であり、生産効率を向上する上でのネックとなると共に、低コスト化を阻害する一要因となっていた。
【０００７】
【特許文献１】特開２００２−１３９９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、生産効率が高く、低コストな優れた圧力センサを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明は、作用した圧力の大きさを計測する感圧素子と、該感圧素子の計測信号を加工、演算して出力するための補正回路とを有する圧力センサにおいて、
上記補正回路は、無線送信された補正データを受信するデータ通信インターフェース部と、
上記補正データを格納するメモリ部と、
上記データ通信インターフェース部から上記補正データを入力すると共に、該補正データを上記メモリ部に書き込む補正データ書き込み部と、
上記メモリ部に格納した上記補正データに基づいて上記計測信号を加工、演算する信号処理部とを有してなることを特徴とする圧力センサにある（請求項１）。
【００１０】
上記第１の発明の圧力センサは、上記データ通信インターフェース部と上記メモリ部と上記補正データ書き込み部とを含む上記補正回路を有してなるものである。
そのため、上記補正回路によれば、例えば、外部に配設された送信アンテナ等から無線送信された上記補正データを、上記データ通信インターフェース部を用いて非接触で受信し、上記補正データ書き込み部を用いて上記メモリ部に格納することができる。
そして、上記信号処理部は、上記メモリ部に格納した上記補正データに基づいて上記感圧信号の計測信号を精度良く加工、演算する。
【００１１】
特に、上記圧力センサによれば、例えば、その組み立て後においても、上記メモリ部に上記補正データを極めて容易に格納できる。
そのため、上記圧力センサは、該圧力センサの組み立て条件のばらつき等によって生じる上記計測信号のばらつき（個体差）をも抑制した計測精度に非常に優れたものとなり得るのである。
【００１２】
非接触で入力した上記補正データを上記補正回路に設定し得る上記圧力センサでは、別途、上記補正データを入力するための通信端子等を配設する必要がない。それ故、上記補正データを設定した後に、上記通信端子を埋設することにより電気的な絶縁等の処置を施す必要も生じない。
【００１３】
したがって、上記第１の発明の圧力センサは、低コストであって、かつ、生産効率が高く、しかも計測精度に優れたものとなる。
【００１４】
第２の発明は、作用した圧力の大きさを計測する感圧素子と、該感圧素子を収容する圧力室とを有する圧力センサにおいて、
該圧力センサは、環状の誘導コイルと、無線送信された上記感圧素子の計測信号を受信するように構成したハウジング側通信インターフェース部とを上記圧力室とは独立して有してなり、
上記圧力室には、上記誘導コイルと磁気結合するように構成された２次側コイルと、上記感圧素子の計測信号を無線送信するように構成した圧力室側通信インターフェース部とを配置してあることを特徴とする圧力センサにある（請求項７）。
【００１５】
上記第２の発明の圧力センサでは、上記圧力室とは独立して、上記誘導コイルと上記ハウジング側通信インターフェース部とを有しており、かつ、上記圧力室には、上記２次側コイルと上記圧力室側通信インターフェース部とを配置してある。
ここで、上記誘導コイル或いは上記ハウジング側通信インターフェース部が上記圧力室から独立する位置関係とは、次のような位置関係を意味している。すなわち、上記誘導コイル及び上記ハウジング側通信インターフェース部はいずれも上記圧力室内に配置されてなく、かつ、上記誘導コイル及び上記ハウジング側通信インターフェース部の外表面が上記圧力室内に全く露出していないような位置関係を意味している。
【００１６】
上記誘導コイルと、上記２次側コイルとの組み合わせによれば、上記圧力室の外部から上記圧力室の上記感圧素子に向けて必要な動作電力を非接触で供給できる。
そして、上記ハウジング側通信インターフェース部と上記圧力室側通信インターフェース部との組み合わせによれば、上記感圧信号の計測信号を上記圧力室の外部に向けて無線送信することができる。そして、上記圧力センサは、上記ハウジング側通信インターフェース部が受信した上記計測信号を外部機器等に向けて出力できる。
【００１７】
そのため、上記圧力センサにおいては、上記圧力室の上記感圧素子に動作電力を供給するためのターミナルピンや、上記感圧素子の上記計測信号を上記圧力室から外部に向けて伝送するためのターミナルピンなどを、上記圧力室に向けて突出させて配設する必要がない。そして、上記圧力センサでは、上記ターミナルピン等の外周をシール剤等により封止する必要もない。
それ故、上記圧力センサでは、上記圧力室のシール性の維持が格段に容易になる。
したがって、上記圧力センサは、長期間の使用に渡って上記圧力室のシール性を維持でき、その優れた性能を維持できる。
【００１８】
以上のように、上記第２の発明の圧力センサは、生産効率高く製造でき、低コストであって、しかも、優れた性能を長期間に渡って維持し得る優れた品質を有するものとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
上記第１の発明においては、上記感圧素子は、上記補正回路を一体的に形成してなることが好ましい（請求項２）。
この場合には、上記感圧素子と上記補正回路とを一体的にまとまり良く、コンパクトに構成することができる。
なお、一方、上記感圧素子と上記補正回路とを別体として構成した場合には、両者を共に上記圧力室に配置することもでき、また、上記補正回路のみを上記圧力室の外に配置することもできる。
【００２０】
また、上記補正データ書き込み部に対して動作電力を供給する電力供給経路の途中には、所定値以上の電力の供給により溶断するヒューズ部を配置してあることが好ましい（請求項３）。
この場合には、上記ヒューズ部を溶断することにより、上記補正データ書き込み部の誤作動を確実性高く予防することができる。
そのため、上記メモリ部に上記補正データを格納した後に上記ヒューズ部を溶断すれば、上記補正データ書き込み部の誤作動により不用意に上記補正データが書き換えられるおそれを抑制することができる。
【００２１】
また、上記補正データ書き込み部は、上記電力供給経路を介して、上記補正回路の電源端子と電気的に接続してあり、上記ヒューズ部は、上記補正回路の上記電源端子に印加すべき適正な電圧値よりも大きい電位であって、かつ、上記補正回路に印加し得る許容電圧範囲内の電位を印加することにより溶断するように構成してあることが好ましい（請求項４）。
【００２２】
この場合には、上記補正回路の電源経路と独立して、上記電力供給経路を別途設ける必要がない。
一般的に、電子回路では、電源電位として印加すべき適正な電圧値とは別に、印加しても回路がダメージを受けない許容電圧範囲が規定される場合がある。
そこで、上記適正な電圧値よりも大きく、かつ、上記許容電圧範囲内の電位を印加することにより上記ヒューズ部を溶断できれば、上記電力供給経路と上記補正回路の電源経路とを共用することができる。
【００２３】
例えば、上記補正回路が５ボルト駆動されるような回路である場合には、７ボルト程度の電圧を印加することにより上記ヒューズ部を溶断できるように構成するのが好ましい。
５ボルトの駆動電圧で動作する上記補正回路は、一般的に、７ボルト程度の電圧を入力しても回路がダメージを負うおそれが少ないからである。
【００２４】
また、上記圧力センサは、感圧素子を保持するコネクタハウジングと、該コネクタハウジングを挿入するよう構成したセンサハウジングとを組み合わせてなると共に、上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの間に形成された圧力室を有してなり、上記感圧素子は、上記圧力室の内部に配置してあることが好ましい（請求項５）。
この場合には、上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとを組み立てた後に上記補正データを算出し、上記メモリ部に格納することができる。
そのため、上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの組み付け精度等のばらつきに起因する上記感圧素子の計測信号のばらつき（個体差）を効果的に抑制することができる。
【００２５】
また、上記圧力室は、シールダイヤフラムによって密閉してあり、その内部には圧力伝達媒体を充填してあることが好ましい（請求項６）。
この場合には、上記シールダイヤフラムによって上記感圧素子が密閉されるため、上記第１の作用効果が特に有効になる。
【００２６】
上記第２の発明においては、上記圧力室には、補正データを格納するメモリ部と、該メモリ部に上記補正データを書き込む補正データ書き込み部と、上記メモリ部に格納した上記補正データに基づいて上記感圧素子の計測信号を加工、演算する信号処理部とを含む補正回路を配置してあり、上記圧力室側通信インターフェース部は、無線送信された上記補正データを受信して上記補正データ書き込み部に出力するように構成してあることが好ましい（請求項８）。
【００２７】
この場合には、上記ハウジング側通信インターフェース部あるいは、外部に別途、設置した送信装置等から無線送信された上記補正データを、上記圧力室側通信インターフェース部を用いて受信し、その後、上記補正回路に自由に上記補正データを設定することができる。そして、上記信号処理部によれば、上記メモリ部に格納された上記補正データに基づいて上記計測信号を加工、演算する。
そのため、上記圧力室に対しては、上記補正データを上記補正回路に設定するためのターミナルピン等を突出させて配置する必要がない。それ故、上記圧力室は、そのシール性の維持が容易となり、この圧力室を備えた上記圧力センサにあっては、動作信頼性を格段に向上できるのである。
【００２８】
また、上記２次側コイルから上記補正データ書き込み部に向けて動作電力を供給するための電力供給経路の途中には、所定値以上の電力の供給により溶断するヒューズ部を配設してあることが好ましい（請求項９）。
この場合には、上記補正データを上記補正回路に設定した後、上記ヒューズ部を溶断することで、上記補正データ書き込み部の誤作動等により上記補正データが書き換えられてしまうおそれを抑制することができる。
【００２９】
また、上記圧力センサは、上記感圧素子を保持するコネクタハウジングと、該コネクタハウジングを挿入するよう構成したセンサハウジングとを組み合わせてなり、上記圧力室は、上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとの間に形成されており、
上記コネクタハウジングは合成樹脂を成形してなり、かつ、該コネクタハウジングの内部には、上記誘導コイルと、上記ハウジング側通信インターフェース部とをインサート成形してあることが好ましい（請求項１０）。
【００３０】
この場合には、上記コネクタハウジングと上記センサハウジングとを組み合わせることにより、両者の間に上記圧力室を効率良く形成することができる。
さらに、上記誘導コイルと上記ハウジング側通信インターフェース部とをインサート成形すれば、上記誘導コイル等を内部に有する上記コネクタハウジングを生産効率良く形成することができる。
【００３１】
なお、上記誘導コイルと上記ハウジング側通信インターフェース部とをインサート成形するのに代えて、上記コネクタハウジングを樹脂成形するに当たって、上記誘導コイルあるいは上記ハウジング側通信インターフェース部を収容するための凹部等を上記圧力室とは独立して形成することも良い。この場合には、樹脂成形後の上記コネクタハウジングに対して、上記誘導コイルあるいは上記ハウジング側通信インターフェース部を組み付けることができる。
【００３２】
また、上記圧力室は、シールダイヤフラムによって密閉してあり、内部には圧力伝達媒体を充填してあることが好ましい（請求項１１）。
この場合には、上記第２の発明の作用効果によって、上記シールダイヤフラムによって密閉した上記圧力室のシール性をさらに高めることができる。
【実施例】
【００３３】
（実施例１）
本例は、外部機器との無線通信が可能な補正回路を備えた圧力センサに関する例である。この内容について、図１〜図５を用いて説明する。
本例の圧力センサ１１は、作用した圧力の大きさを計測する感圧素子２０と、該感圧素子２０の計測信号を加工、演算して出力するための補正回路２１（図３参照。）とを有するものである。
上記補正回路２１は、図３及び図４に示すごとく、無線送信された補正データを受信するデータ通信インターフェース部２１１と、補正データを格納するメモリ部２１２と、データ通信インターフェース部２１１から補正データを入力すると共に、該補正データをメモリ部２１２に書き込む補正データ書き込み部２１４と、メモリ部２１２に格納した補正データに基づいて計測信号を加工、演算する信号処理部２１３とを有してなる。
以下に、この内容について詳しく説明する。
【００３４】
本例の圧力センサ１１は、図１に示すごとく、感圧素子２０を配設する先端面３３２を有するコネクタハウジング３０と、該コネクタハウジング３０を挿入するよう構成したセンサハウジング４０とを組み合わせたものである。そして、コネクタハウジング３０の先端面３３２とセンサハウジング４０との間には、圧力室４５２が形成されている。
なお、本例の圧力センサ１１では、上記圧力室４５２内にスペーサ４５５を配置してある。
【００３５】
本例のセンサハウジングは、図１に示すごとく、圧力室４５２を密閉するためのシールダイヤフラム４５を溶接してある。そして、コネクタハウジング３０は、ターミナルピン４１と感圧素子２０とを配設してなる。
そして、圧力センサ１１は、シールダイヤフラム４５に作用する圧力を、圧力室４５２内に封入した圧力伝達媒体を介して感圧素子２０に伝達するように構成してある。
【００３６】
上記センサハウジング４０は、図１に示すごとく、ステンレススチールよりなり、軸芯方向に転通する貫通孔４１０を有する略円柱外形状を呈する部材である。
このセンサハウジング４０は、同図に示すごとく、上記コネクタハウジング３０の挿入部３３５を挿入し、該挿入部３３５をかしめ固定するように構成してある。なお、センサハウジング４０における挿入部３３５を収容する内周面は、コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０との間隙をシールするためのＯリング３５２を配置するように構成してある。
【００３７】
センサハウジング４０における貫通孔４１０をなす円筒部分の外周には、図１に示すごとく、雄ねじ部４４２を形成してある。
本例の圧力センサ１１は、雄ねじ部４４２を螺入することにより、計測対象流体が流動する配管パイプ等に接続できるように構成してある。そして、この圧力センサ１１は、貫通孔４１０を経由して流入した計測対象流体が、シールダイヤフラム４５に圧力を作用するように構成してある。
【００３８】
コネクタハウジング３０は、図２に示すごとく、ＰＰＳ樹脂よりなる樹脂成形品である。このコネクタハウジング３０は、感圧素子２０と電気的に接続するための３本のターミナルピン３１をインサート成形してなる。各ターミナルピン３１の端部は、先端面３３２において感圧素子２０の外周側に突出している。また、各ターミナルピン３１の他方の端部は、筒状を呈するソケット部３００の内部に突出している。
そして、本例の圧力センサ１１（図１）は、ソケット部３００内に挿入した外部コネクタ（図示略）を介して、駆動電源を供給すると共に計測信号を外部に出力できるように構成してある。
【００３９】
コネクタハウジング３０の挿入方向の先端の先端面３３２には、図２に示すごとく、感圧素子２０を配置するための凹状の配設部３２０を設けてある。
そして、先端面３３２における配設部３２０の外周側には、さらに、先端面３３２に向けて突出するターミナルピン３１をそれぞれ配置する３箇所のピン凹部３２２を形成してある。
【００４０】
配設部３２０に配置した感圧素子２０は、同図に示すごとく、ボンディングワイヤ３１１を介して、ピン凹部３２２に収容したターミナルピン３１と電気的に接続してある。なお、ターミナルピン３１としては、電源用、グランド用及び信号出力用の３本がある。
ここで、ピン凹部３２２には、シール材を充填してなるシール層３２３を形成してある。本例のコネクタハウジング３０は、シール層３２３により、各ターミナルピン３１の外周面とピン凹部３２２の内周面との間のシール性を高く維持できるように構成してある。
【００４１】
本例の感圧素子２０は、図３に示すごとく、センサダイヤフラム及び歪みゲージを含む計測回路２２と、該計測回路２２による計測信号を加工、演算する信号処理部２１３を含む補正回路２１とをシリコン基板上に一体的に形成してなる素子である。
上記計測回路２２は、センサダイヤフラムに生じた歪みを歪みゲージで計測することにより、上記センサダイヤフラムに作用した圧力の大きさを計測するように構成してある。そして、上記補正回路２１は、計測回路２２による計測信号を加工して外部に出力するように構成してある。
なお、上記計測回路２０としては、上記の構成に限定されるものではなく、これに代えて、作用する圧力に応じて電気的な抵抗値を変化する圧力抵抗効果素子や、圧力が作用するダイヤフラムに生じた変位を静電容量の変化として検知する静電容量素子等を利用して構成することもできる。
【００４２】
上記補正回路２１は、図４に示すごとく、ループアンテナを有し、該ループアンテナを介して補正データを受信するデータ通信インターフェース部２１１と、受信した補正データを格納するメモリ部２１２と、該メモリ部２１２に補正データを書き込む補正データ書き込み部２１４と、メモリ部２１２の補正データに基づいて上記計測信号を加工、演算する信号処理部２１３とを有する回路である。
なお、同図に示すごとく、感圧素子２０は、電源端子２０１とＧＮＤ２０２との間に印加した電圧により動作するように構成してある。
【００４３】
本例の信号処理部２１３では、メモリ部２１２とのインターフェースをなす部分にメモリ部に格納した補正データを読み込むレジスタ部と、ラダー抵抗型のＤＡコンバータ部とを形成してある。
この信号処理部２１３は、レジスタ部に読み込んだデジタルデータに基づいて上記ＤＡコンバータ部を構成するラダー抵抗を適宜、切り替えて、上記デジタルデータに対応したアナログ電圧を生成するように構成してある。
そして、信号処理部２１３は、該アナログ電圧を基準電圧として、上記計測信号に対してアナログ的な信号処理を施すように構成してある。
【００４４】
なお、本例のアナログの信号処理部２１３に代えて、小規模なマイコンを含む感圧素子を構成し、このマイコンを利用して信号処理部を構成することもできる。
この場合には、マイコンに実装するソフトウェアの書き換えによって上記計測信号の信号処理方法を変更することができる。
【００４５】
以上のごとく構成した圧力センサ１について、補正回路２１に補正データを設定する調整工程について説明する。
まず、この調整工程は、生産設備としての図示しない調整装置を用いて実施する工程である。
この調整装置は、圧力を任意に調整可能な圧力タンクを有し、該圧力タンクを配置した庫内の温度を任意に調整できるよう構成した恒温槽（図示略）と、補正データを算出すると共に該補正データを無線送信するデータ送出用ＰＣ（図示略）とをＲＳ２３２Ｃ等の通信ケーブルを介して接続したものである。
【００４６】
ここで、上記圧力タンクは、圧力センサ１１の雄ねじ部４２２を螺入して連結できるように構成してある。また、上記恒温槽の庫内には、圧力センサ１１のソケット部３００に連結する外部コネクタを配置してある。そして、この外部コネクタを介して、庫内に収容した圧力センサ１１を動作させ、その出力信号を取り込むように恒温槽を構成してある。
【００４７】
また、上記データ送出用ＰＣは、通信ケーブルを介して、圧力センサ１１に作用した圧力、温度の各データと共に、圧力センサ１１による出力信号を取り込めるように構成してある。そして、データ送出用ＰＣは、取り込んだ計測データを基にして、補正回路２１に設定すべきゼロ点補正値や、補正ゲイン値等の補正データを計算するように構成してある。
さらに、データ送出用ＰＣは、恒温槽から取り出した圧力センサ１１に接続する外部コネクタを有している。そして、データ送出用ＰＣは、外部コネクタを接続した圧力センサ１１に対して、補正データを無線送信するように構成してある。
【００４８】
次に、調整工程の具体的な手順について説明する。
上記調整工程は、圧力センサ１１の組み立て工程の後、組み立てた圧力センサ１１について実施する工程である。
この工程では、まず、組み立てた圧力センサ１１を用意する。そして、上記恒温槽を用い、圧力センサ１１を上記圧力タンクに連結すると共に、圧力センサ１１のソケット部３００に上記外部コネクタを接続する。
【００４９】
その後、上記恒温槽は、予めプログラムされた手順に沿って、順次、タンク圧力及び庫内温度を変更すると共に、その都度、圧力センサ１１の出力信号を取り込んで上記データ送出用ＰＣに向けて出力する。
なお、恒温槽は、データ送出用ＰＣから入力した制御信号により動作するように構成しても良いし、恒温槽が内蔵するマイコン等の指令によって動作するように構成しても良い。
【００５０】
上記の予めプログラムされた手順を終えた後、恒温槽から圧力センサ１１を取り出す。そして、データ送出用ＰＣの外部コネクタを圧力センサ１１に接続する。
次に、データ送出用ＰＣに格納した補正データ計算プログラムと、データ通信プログラムとを順次、実行する。補正データ計算プログラムでは、恒温槽から取り込んだ計測データに基づいて、上記補正データを算出する。また、データ通信プログラムでは、算出した補正データを圧力センサ１１に向けて送信する。
【００５１】
なお、ここで、上記補正データ計算プログラムは、恒温槽の上記動作中に実行しておくことも可能である。さらに、恒温槽に向けて上記補正データを送信するように上記データ送出用ＰＣを構成することもできる。この場合には、恒温槽の庫内に収容され、そのコネクタに接続した状態の圧力センサ１１に対して、補正データをセットできる。
【００５２】
一方、圧力センサ１１は、無線送信された補正データをデータ通信インターフェース部２１１により受信する。そして、受信された補正データは、補正データ書き込み部２１４に伝送され、さらに、メモリ部２１２に書き込まれる。
このように、データ送出用ＰＣにデータ通信プログラムを実行させると、圧力センサ１１のメモリ部２１２に補正データを格納できる。そして、メモリ部２１２に適正な補正データを格納した圧力センサ１１では、設計仕様に基づいて精度良く圧力を計測し、信頼性の高い出力信号を生成できる。
【００５３】
なお、製造した圧力センサ１１の全数について上記調整工程を実施すれば、個体差のない一定した品質を有し、信頼性の高い圧力センサ１１を製造することができる。
特に、組み付け後に上記の調整工程を実施すれば、組み付けのばらつき等に起因した特性変化を吸収した精度の高い上記補正データを圧力センサ１１に設定することができる。
【００５４】
以上のごとく、本例の圧力センサ１１では、無線送信された補正データを受信して補正回路２１に設定している。
そのため、この圧力センサ１１では、補正データを入力するための通信端子等を設ける必要がない。それ故、本例の圧力センサ１１では、上記通信端子を配設するために必要なコストを省略することができる。
【００５５】
上記通信端子は、一般に、上記調整工程においてのみ必要とされ、製品出荷後には一切用いることがない端子である。そのため、従来の圧力センサの製造工程では、上記調整工程を実施した後、絶縁部材を用いて通信端子を被覆して絶縁する場合があった。
一方、本例の圧力センサ１１のように上記通信端子を省略できれば、調整工程後に通信端子を絶縁する工程を省略して、生産効率を格段に向上することができる。
【００５６】
なお、図５に示すごとく、感圧素子２０とは別に、補正回路２１を形成した補正素子２４を構成することもできる。
この場合、感圧素子２０と共に補正素子２４を圧力室４５２内に配置することもできるし、補正素子２４を圧力室４５２の外部、例えば、コネクタハウジング３０の成形樹脂内に配置することもできる。
【００５７】
（実施例２）
本例は、実施例１の圧力センサを基にして、動作信頼性をさらに高めた例である。この内容について、図６を用いて説明する。
本例の補正回路２１は、電源端子２０１から補正データ書き込み部２１４に至る電力供給経路２１８の途中に、所定の電圧値以上の電位を印加することにより溶断可能なヒューズ部２１９を配置してある。
【００５８】
本例の補正回路２１を含む感圧素子２０は、５ボルト動作の素子である。さらに、この感圧素子２０では、印加しても回路にダメージを与えない許容電圧範囲の上限が７ボルト以上に設定してある。
一方、上記電力供給経路２１９中に配設したヒューズ部２１９は、７ボルト程度の電圧を印加したときに溶断するように構成してある。
【００５９】
本例の圧力センサ１１に補正データを設定する調整工程は、実施例１と同様、データ送信用ＰＣ上で、データ通信プログラムを実行するステップを含んでいる。
但し、本例のデータ通信プログラムは、プログラム終了時に圧力センサ１１に接続した外部コネクタの電源端子におよそ７Ｖの電位を印加するように構成してある点で、実施例１のデータ通信プログラムと相違している。
【００６０】
すなわち、本例の感圧素子２０では、補正データを設定した後、上記ヒューズ部２１９を溶断することができる。
そのため、本例の圧力センサ１１では、調整工程を実施した後、補正データ書き込み部２１４への電源供給を確実性高く停止することができる。それ故、調整工程後においては、補正データ書き込み部２１４の誤作動を確実性高く予防することができる。
【００６１】
以上のように、本例の圧力センサ１１では、補正データを設定した後、補正データ書き込み部への電源供給が停止される。そのため、本例の圧力センサ１１を使用するに当たって、ノイズ等に起因した補正データ書き込み部の誤作動により補正データが書き換えられたりするおそれが非常に少ない。
【００６２】
したがって、本例の圧力センサ１１は、長期間の使用に渡って、精度の高い圧力計測を実施し得る信頼性の高いものとなる。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例１と同様である。
さらに、感圧素子２０の電源経路とは独立して、上記電力供給経路２１８を形成することも良い。この場合には、電力供給経路２１８に対してさらに高い電位を印加して、ヒューズ部２１９をさらに確実性高く溶断することができる。
【００６３】
（実施例３）
本例は、圧力室のシール性を向上した圧力センサに関する例である。この内容について、図７〜図１０を用いて説明する。
本例の圧力センサ１２は、図７に示すごとく、作用した圧力の大きさを計測する感圧素子２０と、該感圧素子２０を収容する圧力室４５２とを有するものである。
この圧力センサ１２は、その内部に、環状の誘導コイル３６と、無線送信された感圧素子２０の計測信号を受信するように構成したハウジング側通信インターフェース部３２とを有してなる。
そして、上記圧力室４５２には、誘導コイル３６と磁気結合するように構成された２次側コイル２３１と、感圧素子２０の計測信号を無線送信するように構成した圧力室側通信インターフェース部２３２とを配置してある。
以下に、この内容について詳しく説明する。
【００６４】
上記圧力センサ１２は、図７に示すごとく、感圧素子２０を配置した先端面３３２を有するコネクタハウジング３０と、該コネクタハウジング３０を挿入するよう構成したセンサハウジング４０とを組み合わせたものである。そして、上記圧力室４５２は、コネクタハウジング３０の先端面３３２とセンサハウジング４０との間に形成されている。
ここで、本例のセンサハウジング４０は、図７に示すごとく、圧力室４５２を密閉するためのシールダイヤフラム４５を溶接してある。そして、この圧力センサ１２は、シールダイヤフラム４５に作用する圧力を、圧力室４５２内に封入した圧力伝達媒体を介して感圧素子２０に伝達するように構成してある。
【００６５】
上記センサハウジング４０は、図７に示すごとく、ステンレススチールよりなり、軸芯方向に転通する貫通孔４１０を有する略円柱外形状を呈する部材である。
このセンサハウジング４０は、同図に示すごとく、上記コネクタハウジング３０の挿入部３３５を挿入し、該挿入部３３５をかしめ固定するように構成してある。なお、センサハウジング４０における挿入部３３５を収容する内周面は、コネクタハウジング３０とセンサハウジング４０との間隙をシールするためのＯリング３５２を配置するように構成してある。
【００６６】
センサハウジング４０における貫通孔４１０をなす円筒部分の外周には、図１に示すごとく、雄ねじ部４４２を形成してある。
本例の圧力センサ１２は、雄ねじ部４４２を螺入することにより、計測対象流体が流動する配管パイプ等に接続できるように構成してある。そして、この圧力センサ１１は、貫通孔４１０を経由して流入した計測対象流体の圧力がシールダイヤフラム４５に作用するように構成してある。
【００６７】
本例のコネクタハウジング３０は、図８に示すごとく、合成樹脂であるＰＰＳ樹脂を利用して形成した樹脂成形品である。
そして、該コネクタハウジング３０の内部には、感圧素子２０を取り囲むように配設された環状の誘導コイル３６と、無線送信された感圧素子２０の計測信号を受信するように構成したハウジング側通信インターフェース部３２とをインサート成形してある。
【００６８】
コネクタハウジング３０は、同図に示すごとく、挿入部３３５の先端面である先端面３３２に、感圧素子２０を配設するための凹状の配設部３２０を設けてある。
また、挿入部３３５の反対側には、外部コネクタ（図示略）と連結するための筒状を呈するソケット部３００を形成してある。該ソケット部３００の内部には、電源電圧印加用、グランド用、出力信号用のターミナルピン３１１を配置してある。
【００６９】
本例のコネクタハウジング３０は、図８に示すごとく、配設部３２０の外周を取り囲むように配置された環状の誘導コイル３６と、配設部３２０の底面に対面するように配置されたハウジング側通信インターフェース部３２のアンテナ部３２１と、誘導コイル３６あるいはアンテナ部３２１と電気的に接続されたターミナルピン３１とをインサート成形してなるものである。
なお、上記誘導コイル３６は、上記配設部３２０の底面に沿って配置することもできるほか、上記２次側コイル２３１との磁気結合を実現可能な位置であれば、どのように配置しても良い。
【００７０】
ターミナルピン３１のソケット部３００側の端部は、図８に示すごとく、上記ソケット部３００の底面から突出している。また、ソケット部３００の底部には、誘導コイル３６に電力供給する電力供給回路及びハウジング側通信インターフェース部３２を構成する通信回路を含む制御基板３４を固定してある。
各ターミナルピン３１は、上記制御基板３４と電気的に接続してあり、該制御基板３４に対しては、さらに、ソケット部３００内に収容するターミナルピン３１１を電気的に接続してある。
【００７１】
本例の感圧素子２０は、図９に示すごとく、センサダイヤフラム及び歪みゲージを含む計測回路２２と、該計測回路２２による計測信号を増幅等する信号処理部２１３と、２次側コイル２３１に発生した誘起電圧を整流する電源部２３０と、図示しないアンテナを含む圧力室側通信インターフェース部２３２とをシリコン基板上に一体的に形成してなる素子である。
本例の感圧素子２０では、２次側コイル２３１は、シリコン基板の外周部を一周するように配置してある。
【００７２】
本例の感圧素子２０は、同図に示すごとく、電源部２３０で整流した電流によって動作するように構成してある。
そして、上記計測回路２２は、センサダイヤフラムに生じた歪みを歪みゲージで計測することにより、上記センサダイヤフラムに作用した圧力の大きさを計測するように構成してある。また、圧力室側通信インターフェース部２３２は、信号処理部２１３を介して増幅等された計測回路２２の計測信号を無線送信するように構成してある。
なお、上記計測回路２０としては、上記の構成に限定されるものではなく、これに代えて、作用する圧力に応じて電気的な抵抗値を変化する圧力抵抗効果素子や、圧力が作用するダイヤフラムに生じた変位を静電容量の変化として検知する静電容量素子等を利用して構成することもできる。
【００７３】
以上のごとく構成した圧力センサ１２によれば、上記誘導コイル３６と上記２次側コイル２３１との磁気結合により、感圧素子２０に対して非接触で電力供給することができる。
さらに、圧力室側通信インターフェース部２３２を経由して無線送信された計測回路２２の計測信号は、ハウジング側通信インターフェース部３２のアンテナ部３２１を用いて受信することができる。
【００７４】
そのため、本例の圧力センサ１２では、圧力室４５２内に導電部材としてのターミナルピン３１等を突出させる必要がない。
それ故、本例の圧力センサ１２では、上記圧力室４５２のシール性を向上して動作信頼性を格段に向上することができる。そして、圧力室４５２のシール性を向上した圧力センサ１２は、長期間の使用に渡って、安定した計測性能を維持し得る優れた品質を有するものとなる。
さらに、本例の圧力センサ１２では、従来の圧力センサで必須であったターミナルピンの外周側にシール材等を充填するシール工程を省略して、格段に生産効率を高めることができる。
【００７５】
なお、本例では、上記制御基板３４は、ソケット部３００の底部に固定してある。これに代えて、圧力センサと組み合わせて使用する外部コントローラを設け、該外部コントローラ内に上記制御基板を配置すると共に、ソケット部３００にはターミナルピン３１を延設することもできる。
【００７６】
さらになお、図１０に示すごとく、上記制御基板３４だけでなく、誘導コイル３６及びハウジング側通信インターフェース部３２を、圧力センサ１３とは別体とすることも可能である。
ここで、本例のハウジング側通信インターフェース部３２に代えて、多受信チャンネルを有する通信インターフェース部を利用すれば、１基の該通信インターフェース部により複数の圧力センサ１３の出力信号を受信するようにシステム構成することもできる。例えば、時分割多重あるいは周波数分割多重による通信や、重畳伝送が可能なスプレッドスペクトラム通信等によれば、複数の圧力センサ１３の出力信号を個別に、確実性高く受信することができる。
【００７７】
さらに、圧力センサ１３の外周側に配置した誘導コイルによれば、感圧素子２０に対して、圧力センサ１３の外部から非接触で電力供給することができる。
さらになお、感圧素子２０の動作電力を電波で送信するように構成すれば、誘導コイルに代わる電力送信機を自由度高く配置することができる。
【００７８】
（実施例４）
本例は、実施例３の圧力センサを基にして、計測信号を補正するための補正データの設定を非接触で行うように構成した例である。この内容について、図１１を用いて説明する。
本例の感圧素子２０は、同図に示すごとく、センサダイヤフラム及び歪みゲージを含む計測回路２２と、該計測回路２２による計測信号を増幅等する信号処理部２１３と、２次側コイル２３１に発生した誘起電圧を整流する電源部２３０と、図示しないアンテナを含む圧力室側通信インターフェース部２３２とに加えて、さらに、信号処理部２１３の動作を制御する補正ユニット部２２１をシリコン基板上に一体的に形成してなる素子である。
なお、本例の感圧素子２０では、実施例３と同様に、シリコン基板の外周部に環状の２次側コイル２３１を配置してある。
【００７９】
補正ユニット部２２１は、補正データを格納するメモリ部（図示略）と、該メモリ部に補正データを書き込む補正データ書き込み部（図示略）とからなる。そして、本例の感圧素子２０では、補正ユニット部２２１と信号処理部２１３とにより、計測回路２２の計測信号を補正、増幅等するための補正回路２１を形成してある。
なお、補正データは、計測回路２２による計測信号のゼロ点補正値や、補正ゲイン値等である。本例では、圧力室側通信インターフェース部２３２を用いて、無線送信された補正データを受信するように構成してある。
【００８０】
本例では、信号処理部２１３における上記メモリ部とのインターフェースをなす部分にメモリ部に格納した補正データを読み込むレジスタ部と、ラダー抵抗型のＤＡコンバータ部とを形成してある。
この信号処理部２１３は、上記レジスタ部に読み込んだデジタルデータに基づいて上記ＤＡコンバータ部を形成するラダー抵抗を適宜、切り替えて、上記デジタルデータに対応したアナログ電圧を生成するように構成してある。
そして、信号処理部２１３では、該アナログ電圧を基準電圧として、上記計測信号に対してアナログ的な信号処理を施している。
【００８１】
なお、本例のアナログの信号処理部２１３に代えて、マイコンを含めて感圧素子を構成し、このマイコンを用いて信号処理部を構成することもできる。
この場合には、マイコンに実装するソフトウェアの書き換えによって上記計測信号の信号処理方法を変更することができる。
【００８２】
以上のごとく構成した感圧素子２０を有する圧力センサ１２（図７）について、補正ユニット部２２１に補正データを設定するための調整工程の内容を説明する。
まず、この調整工程は、生産設備としての図示しない調整装置を用いて実施する工程である。
この調整装置は、圧力を任意に調整可能な圧力タンクを有し、該圧力タンクを配置した庫内の温度を任意に調整できるよう構成した恒温槽（図示略）と、補正データを算出すると共に該補正データを無線送信するデータ送出用ＰＣ（図示略）とをＲＳ２３２Ｃ等の通信ケーブルを介して接続したものである。
【００８３】
ここで、上記圧力タンクは、圧力センサ１２の雄ねじ部４４２（図７）を螺入して接続できるように構成してある。また、上記恒温槽の庫内には、圧力センサ１２のソケット部３００（図７）に連結する外部コネクタを配置してある。そして、恒温槽は、外部コネクタを介して、庫内に収容した圧力センサ１２を動作させ、その出力信号を取り込めるように構成してある。
【００８４】
また、上記データ送出用ＰＣは、通信ケーブルを介して、圧力センサに作用させた圧力、温度の各データと共に、圧力センサの出力信号を取り込めるように構成してある。そして、データ送出用ＰＣは、取り込んだ計測データを基にして、補正ユニット部２２１に設定すべきゼロ点補正値や、補正ゲイン値等の補正データを計算する。
さらに、データ送出用ＰＣは、恒温槽から取り出した圧力センサ１１に接続する外部コネクタを独自に有している。そして、データ送出用ＰＣは、外部コネクタを接続した圧力センサ１２に対して、補正データを無線送信するように構成してある。
【００８５】
次に、上記調整工程の具体的な手順について説明する。
上記調整工程は、圧力センサの組み立て工程の後、組み立てた圧力センサについて実施する工程である。
この工程では、まず、組み立てた圧力センサ１２を用意する。そして、上記恒温槽を用い、圧力センサ１２を上記圧力タンクに連結すると共に、圧力センサ１２のソケット部３００に上記外部コネクタを連結する。
そしてその後、恒温槽は、予めプログラムされた手順に沿って、順次、タンク圧力及び庫内温度を変更すると共に、その都度、圧力センサの出力信号を取り込んで上記データ送出用ＰＣに向けて出力する。
【００８６】
上記の予めプログラムされた手順を終えた後、恒温槽から圧力センサを取り出す。その後、データ送出用ＰＣの外部コネクタを、圧力センサに接続する。
次に、データ送出用ＰＣに格納した補正データ計算プログラムと、データ通信プログラムとを順次、実行する。補正データ計算プログラムは、恒温槽から取り込んだ計測データに基づいて、上記補正データを算出する。また、データ通信プログラムは、算出した補正データを、圧力センサに向けて送信する。
【００８７】
なお、ここで、上記補正データ計算プログラムは、恒温槽の上記動作中に実行しておくことも可能である。さらに、恒温槽に向けて上記補正データを送信するように上記データ送出用ＰＣを構成することもできる。この場合には、恒温槽の庫内に収容され、そのコネクタに接続した状態の圧力センサ１１に対して、補正データをセットできる。
【００８８】
一方、圧力センサ１２は、無線送信された補正データを圧力室側通信インターフェース部２３２により受信する。そして、受信した補正データは、上記補正ユニット部２２１の補正データ書き込み部に伝送され、さらに、メモリ部に書き込まれる。
このように、データ送出用ＰＣにデータ通信プログラムを実行させると、補正ユニット部２２１のメモリ部に補正データを格納できる。そして、メモリ部に適正な補正データを格納した圧力センサ１２によれば、設計仕様に基づいて精度良く圧力を計測し、信頼性の高い出力信号を生成できる。
【００８９】
なお、製造した圧力センサ１２の全数について上記調整工程を実施することで、個体差のない一定した品質を有し、信頼性の高い圧力センサ１２を製造することができる。
特に、組み付け後に上記の調整工程を実施すれば、組み付けのばらつき等に起因した特性変化を吸収した精度の高い上記補正データを圧力センサ１２に設定することができる。
【００９０】
以上のごとく、本例の圧力センサ１２では、電力供給、信号出力だけでなく、補正データの設定に至るまで非接触で行うことができる。
そのため、この圧力センサ１２では、補正データを入力するための通信端子等を設ける必要がない。それ故、本例の圧力センサ１２では、上記通信端子を配設するために必要なコストを省略することができる。
【００９１】
上記通信端子は、一般に、上記調整工程においてのみ必要とされ、製品出荷後には用いることが少ない端子である。そのため、従来の圧力センサの製造工程では、上記調整工程を実施した後、絶縁部材を用いて通信端子を被覆して絶縁する場合があった。
一方、本例の圧力センサのように上記通信端子を廃止できれば、調整工程後に通信端子を絶縁する工程を省略することができ、生産効率を格段に向上することができる。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例３と同様である。
【００９２】
（実施例５）
本例は、実施例４の感圧素子を基にして、２次側コイルを別体として構成した例である。この内容について、図１２〜図１４を用いて説明する。
本例の感圧素子２０は、図１２に示すごとく、実施例４の感圧素子を基にして２次側コイルを省略し、これに代えて、後述するコイル素子２５との電気的な接続を実現するための２箇所の接合パッド部２２５を形成してある。
【００９３】
上記コイル素子２５は、図１３に示すごとく、シリコン基板上に環状の導電パターンであるコイルパターンを多重に配置してなる素子である。
このコイル素子２５は、感圧素子２０の２箇所の接合パッド部２２５（図１２）に対応する位置に、図示しないコイルパターンの両端に電気的に接続した２箇所の端子パッド部を有している。
【００９４】
そのため、図１４に示すごとく、コイル素子２５と感圧素子２０とを相互に対面させて接着したときに接合パッド部２２５と端子パッド部とが対面する。
本例では、接合パッド部２２５と端子パッド部との間に導電部材２５１を配置すると共に、コイル素子２５と感圧素子２０との間に絶縁性接着剤２５２を配設して両者を接着してある。
【００９５】
特に、同図に示すごとく、本例のコイル素子２５は、感圧素子２０の素子面領域からセンサダイヤフラム２２２を含む計測回路２２の領域を除いた大きさの素子面を呈するように構成してある。
そのため、上記コイル素子２５を対面させて接着した感圧素子２０では、図１２に示すごとく、センサダイヤフラム２２２を露出させる一方、信号処理部２１３、圧力室側通信インターフェース部２３２、電源部２３０及び補正ユニット部２２１を覆って保護することができる。
それ故、本例の圧力センサによれば、感圧素子２０の耐久性が高く、長期間に渡って優れた計測性能を維持することができる。
なお、その他の構成及び作用効果については実施例４と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】実施例１における、圧力センサの断面構造を示す断面図。
【図２】実施例１における、コネクタハウジングの断面構造を示す断面図。
【図３】実施例１における、感圧素子の回路配置構造を示す説明図。
【図４】実施例１における、感圧素子の回路構成を示すブロック図。
【図５】実施例１における、感圧素子と補正素子との接続関係を示す説明図。
【図６】実施例２における、感圧素子の回路構成を示すブロック図。
【図７】実施例３における、圧力センサの断面構造を示す断面図。
【図８】実施例３における、コネクタハウジングの断面構造を示す断面図。
【図９】実施例３における、感圧素子の回路配置構造を示す説明図。
【図１０】実施例３における、その他の圧力センサの断面構造を示す断面図。
【図１１】実施例４における、感圧素子の回路配置構造を示す説明図。
【図１２】実施例５における、感圧素子の回路配置構造を示す説明図。
【図１３】実施例５における、コイル素子を示す正面図。
【図１４】実施例５における、感圧素子とコイル素子との接合構造を示す側面図。
【符号の説明】
【００９７】
１１、１２、１３  圧力センサ
２０  感圧素子
２１  補正回路
２１１  データ通信インターフェース部
２１２  メモリ部
２１３  信号処理部
２１４  補正データ書き込み部
２１８  電力供給経路
２１９  ヒューズ部
２２  計測回路
２２１  補正ユニット部
２３０  電源部
２３１  ２次側コイル
２３２  圧力室側通信インターフェース部
２５  コイル素子
３０  コネクタハウジング
３１  ターミナルピン
３２  ハウジング側通信インターフェース部
３３２  先端面
３６  誘導コイル
４０  センサハウジング
４５２  圧力室
【図１】
2005188980.tif 000003
【図２】
2005188980.tif 000004
【図３】
2005188980.tif 000005
【図４】
2005188980.tif 000006
【図５】
2005188980.tif 000007
【図６】
2005188980.tif 000008
【図７】
2005188980.tif 000009
【図８】
2005188980.tif 000010
【図９】
2005188980.tif 000011
【図１０】
2005188980.tif 000012
【図１１】
2005188980.tif 000013
【図１２】
2005188980.tif 000014
【図１３】
2005188980.tif 000015
【図１４】
2005188980.tif 000016