(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、通常は検査初期に設定された基板共通の画像パラメータを用いて画像データを生成して検査し、特定の印刷はんだ箇所についてだけ個別の画像パラメータを使用して画像データを生成して検査できる技術の提供を目的とする。【解決手段】画像処理手段５は、位置情報を基に、加工処理をしようとする測定データの印刷はんだ箇所が、特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、パラメータ記憶手段９に記憶された共通の画像パラメータを使用し、特定の印刷はんだ箇所である場合は、個別パラメータ記憶領域９ａに記憶された個別の画像パラメータを使用する構成とした。【選択図】      図１
2005207950.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の印刷はんだ箇所を有する印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び／又は変位量を測定して測定データとして出力する測定手段（２）と、前記印刷はんだ箇所に共通に設定された、前記測定データに対するしきい値を含む画像パラメータ値を記憶するパラメータ記憶手段（９）と、前記測定手段からの測定データを受けて前記画像パラメータ値で加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する画像処理手段（５）と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを比較することによって良否判定を行う判定手段（７）とを備えた印刷はんだ検査装置であって、
前記複数の印刷はんだ箇所の内、特定の印刷はんだ箇所の画像パラメータ値を該印刷はんだ箇所の位置情報とともに記憶する個別パラメータ記憶手段（９ａ）とを備え、
前記画像処理手段は、前記位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用するパラメータ読出手段（５ａ）を備えたことを特徴とする印刷はんだ検査装置。
【請求項２】
表示手段（８）と、
操作手段（４）と、
前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図を受けて前記表示手段に表示させ、前記操作手段からの指定情報を受けたときは前記表示手段に表示された画像上で指定された特定の印刷はんだ箇所を識別可能に表示するとともに、前記特定の印刷はんだ箇所に該当する画像パラメータ項目を前記表示手段へ表示させ、その後に前記操作手段から画像パラメータ値を受けたときは前記個別パラメータ記憶手段に該画像パラメータ値を記憶するパラメータ制御手段（１０ａ）とを備えた請求項１記載の印刷はんだ検査装置。
【請求項３】
前記判定手段による判定結果を操作者が解析できる情報として、前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の位置における前記測定データを、表示したときにマップ状に視認できる画像情報として生成する解析データ出力手段（６）を備え、
前記印刷箇所の配置図は、前記解析データ出力手段が出力する画像情報であることを特徴とする請求項２記載の印刷はんだ検査装置。
【請求項４】
予め同一印刷はんだ基板に設けられた複数の印刷はんだ箇所に共通の所定の画像パラメータ値をパラメータ記憶手段に記憶させる段階と、
前記印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び／又は変位量を測定手段で測定して測定データとして出力する段階と、
前記測定データを受けて前記画像パラメータ値で画像処理手段が加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する段階と、
前記画像データと予め記憶されている参照データとを判定手段が比較することによって良否判定を行う段階とを備えた印刷はんだ検査方法であって、
前記良否判定が行われた後に、特定の印刷はんだ箇所の位置を指定する位置情報を受ける段階と、
前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を受けて、該特定の印刷はんだ箇所の位置情報に対応して個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階と、
次回以降の検査にあたって、前記画像処理手段は、前記印刷はんだ箇所の位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用することを特徴とする印刷はんだ検査方法。
【請求項５】
前記特定の印刷はんだ箇所の位置を指定する位置情報を受ける段階は、表示手段に表示された前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図上で、操作手段によって印刷はんだ箇所を特定されたときの、その操作手段からの情報を前記位置情報とする段階を含み、
前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を受けて、個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階は、前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータの項目を前記表示手段へ表示させ、その後に前記操作手段からの画像パラメータ値を受けたときに個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階を含むことを特徴とする請求項４記載の印刷はんだ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品等を表面実装するためのプリント基板上に、はんだ印刷装置等でクリーム状はんだが印刷されたときの印刷はんだ形成状態を測定し、検査するはんだ検査装置及び検査方法に関する。
【０００２】
特に、基板（以下、プリント基板を単に「基板」と言う。）に、光を照射して測定した結果として得られた、基板上の印刷はんだ箇所の変位（高さを含む）や輝度（基板から反射した光の量、受光量（光の強さ）を含む。）の測定データから、はんだ印刷されたときの印刷はんだ量を表す要素となる画像データ（高さ、面積、或いは体積等のデータ：以下、これらの一部又は全部を「画像データ」という。）に変換して、その画像データを判定の基準となる参照データ（以下、これを「レファレンス」と言う。）と比較して判定する検査装置（方法）においては、基板の印刷はんだ箇所のパターン形状、印刷はんだ状態、測定条件、雑音、上記のデータを変換する条件等及びそれらの組み合わせからして上記画像データの正確な生成は難関であり、この画像データを判断する判定手段が、良品の印刷はんだ形成状態を誤って不良品と判定した結果を出力する（以下、誤った判定結果を「虚報」と言う。）場合がある。本発明は、そのような虚報の発生を軽減するための技術に係る。
【背景技術】
【０００３】
従来、上記のような印刷はんだ検査装置においては、測定手段からのアナログ量である測定データを、所定のしきい値やフィルタ条件等を含む画像パラメータ値で加工処理していた。例えば、フィルタ条件等でフィルタリングして雑音を除去し、しきい値で２値データに変換するなどの処理をした上で、面積や体積等の印刷はんだ量を表す画像データを作るという加工処理をしていた（特許文献１、２、及び３を参照。画像データの生成方法については、特許文献３に詳細に説明されている。）。この加工処理は、基板単位で生成されていた。つまり、画像データ生成にあたっては、同一基板上の複数のはんだ箇所があれば、それらは基板のはんだ箇所共通のしきい値等の画像パラメータ値で処理されていた。したがって、基板のいずれか１つの印刷はんだ箇所で虚報が発生した場合に、これを修正するため画像パラメータ値を変更して、その虚報を修正したとしても、他の印刷はんだ箇所で虚報を発生する可能性が高かった。
【０００４】
一方で、印刷はんだの良否判定は、はんだ箇所単位で行われ、検査結果を管理することが行われていた（特許文献４を参照）が、判定に至る過程においては、はんだ箇所単位で管理されていなかった。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２２４１２号公報（段落〔００３０〕−〔００３４〕、図４）
【特許文献２】特開２００２−１７６２５４号公報（段落〔００２８〕−〔００３１〕、図４、図４）
【特許文献３】特開２００２−２２８５９７号公報（段落〔００４０〕−〔００５０〕、図２、図５）
【特許文献４】特開２０００−６５５５２号公報（〔請求項１〕、〔請求項２〕）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来技術のように、基板単位で、つまり、印刷はんだ箇所共通に、同一パラメータ値により画像データを生成する技術にあっては、一部の印刷はんだ箇所の虚報を防止するには、他のはんだ箇所についての影響を考慮する必要があり、試行錯誤がなされたうえで実施しなければならないという困難さがあった。このような虚報の発生に対する対策の一つとしては、画像データを生成するときの上記画像パラメータ値を印刷はんだ箇所単位で備え、はんだ箇所個別に対応することも考えられる。しかしながら、検査開始においては、どこで虚報が発生するか確認できないので、同じ画像パラメータ値を数多くの印刷はんだ箇所毎にもたざるをえない。メモリも大きくなる。また、数多くの印刷はんだ箇所毎に画像パラメータ値を読み出して処理する時間が遅くなる。さらに、画像パラメータ値の入力設定にも時間がかかる。
【０００７】
本発明の目的は、上記従来技術の欠点を改良するものであって、通常は検査初期に設定された基板共通の画像パラメータ値を用いて画像データを生成して検査し、特定の印刷はんだ箇所についてだけ個別の画像パラメータ値を使用して画像データを生成して検査できる技術の提供を目的とする。
【０００８】
併せて、特定の印刷はんだ箇所専用の画像パラメータの設定を容易にできるようにすること、虚報かどうか判定できる解析用の解析データを出力できるようにする事を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための、本発明においては、各印刷はんだ箇所に共通の画像パラメータ（以下、「画像パラメータ」には、項目と値とが含まれ、特に値を強調するときは、「画像パラメータ値」という。）、並びに特定の印刷はんだ箇所の位置及びその位置における個別の画像パラメータを設定可能にし、位置情報を基に、各位置の印刷はんだ箇所の画像データは共通の画像パラメータを用いて、特定の位置における画像データはその個別の画像パラメータを用いて生成するようにしたことを特徴としている。
【００１０】
具体的には、請求項１記載の発明は、複数の印刷はんだ箇所を有する印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び／又は変位量を測定して測定データとして出力する測定手段と、前記印刷はんだ箇所に共通に設定された、前記測定データに対するしきい値を含む画像パラメータ値を記憶するパラメータ記憶手段と、前記測定手段からの測定データを受けて前記画像パラメータ値で加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する画像処理手段と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを比較することによって良否判定を行う判定手段とを備えた印刷はんだ検査装置にであって、
前記複数の印刷はんだ箇所の内、特定の印刷はんだ箇所の画像パラメータ値を該印刷はんだ箇所の位置情報とともに記憶する個別パラメータ記憶手段とを備え、
前記画像処理手段は、前記位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用するパラメータ読出手段を備えた。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、表示手段と、操作手段と、前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図を受けて前記表示手段に表示させ、前記操作手段からの指定情報を受けたときは前記表示手段に表示された画像上で指定された特定の印刷はんだ箇所を識別可能に表示するとともに、前記特定の印刷はんだ箇所に該当する画像パラメータ項目を前記表示手段へ表示させ、その後に前記操作手段から画像パラメータ値を受けたときは前記個別パラメータ記憶手段に該画像パラメータ値を記憶するパラメータ制御手段とを備えた。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明において前記判定手段による判定結果を操作者が解析できる情報として、前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の位置における前記測定データを、表示したときにマップ状に視認できる画像情報として生成する解析データ出力手段を備え、前記印刷箇所の配置図は、前記解析データ出力手段が出力する画像情報である構成とした。
【００１３】
請求項４記載の発明は、予め同一印刷はんだ基板に設けられた複数の印刷はんだ箇所に共通の所定の画像パラメータ値をパラメータ記憶手段に記憶させる段階と、
前記印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び／又は変位量を測定手段で測定して測定データとして出力する段階と、
前記測定データを受けて前記画像パラメータ値で画像処理手段が加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する段階と、
前記画像データと予め記憶されている参照データとを判定手段が比較することによって良否判定を行う段階とを備えた印刷はんだ検査方法であって、
前記良否判定が行われた後に、特定の印刷はんだ箇所の位置を指定する位置情報を受ける段階と、
前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を受けて、該特定の印刷はんだ箇所の位置情報に対応して個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階と、
次回以降の検査にあたって、前記画像処理手段は、前記印刷はんだ箇所の位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用する構成とした。
【００１４】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記特定の印刷はんだ箇所の位置を指定する位置情報を受ける段階は、表示手段に表示された前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図上で、操作手段によって印刷はんだ箇所を特定されたときの、その操作手段からの情報を前記位置情報とする段階を含み、
前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を受けて、個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階は、前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータの項目を前記表示手段へ表示させ、その後に前記操作手段からの画像パラメータ値を受けたときに個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階を含む構成とした。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１及び４記載の発明は、基板全体の印刷はんだ箇所に共通の画像パラメータ値と特定の印刷はんだ箇所だけの個別の画像パラメータ値とを記憶させ、画像処理手段が特定の印刷はんだ箇所についてはその個別の画像パラメータ値で、他の箇所は共通の画像パラメータ値で画像データを生成処理する構成にしたので、判定手段が誤って判定した虚報を出力したとき、その虚報の原因となった印刷はんだ箇所だけについて個別に虚報が発生しないように個別のパラメータ値を設定することで対策ができる。さらに、虚報の発生する印刷はんだ箇所についてだけ別に画像パラメータ値をもつようにしたので、パラメータの設定も複雑になることなく、かつメモリ容量の負担等も膨大になることなく対処できる効果がある。
【００１６】
請求項２及び５の発明は、操作者に対して表示手段を通して、印刷はんだ箇所の配置図、画像パラメータ項目を提供し、その表示された画面上で、操作手段で操作しながら、判定手段が虚報を出力したその虚報の原因となった印刷はんだ箇所の位置について個別のパラメータ値を、容易に設定できる効果がある。
【００１７】
請求項３記載の発明は、印刷はんだ箇所の配置上に、測定データを基に印刷はんだの高さを示す変位量及び／又は印刷はんだ箇所からの光の反射量（受光量）を含む解析データを表示手段で表示させるようにしたので、判定手段の判定結果或いは虚報発生箇所の状態を視覚的に解析しやすい効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の形態を図１〜図４を用いて説明する。図１は、本発明の構成を示す機能ブロック図である。図２は、図１の構成による本発明の動作フローを説明するための図である。図３は、本発明における動作フローを示す図である。図４は、基板の印刷箇所を示す配置図である。
【００１９】
図１において、測定手段２は、例えばレーザ変位計であって、センサ部２ａ及び測定処理部２ｂからなる。センサ部２ａは、基板１に対して走査してＸ軸、Ｙ軸の各方向にレーザを照射可能なレーザ光源と、基板１からの反射光を受光する受光手段からなり、特に印刷はんだされたはんだ箇所の変位、つまり高さ（Ｚ軸方向）を位置と対応づけて測定する。そのときはんだ面からは、位置に対応した受光量（輝度）も得られる。レーザ変位計としての詳細の動作説明は省くが、原理としては、同一出願人が出願している特開平３−２９１５１２号公報のものがあり、その第４図及び第７図とそれらの説明のものと同様である。
【００２０】
測定処理部２ｂは、検査対象である基板１を設計したときの印刷はんだ箇所或いはレジスト箇所等のレイアウト情報が後記する基板情報記憶手段３に記憶されているので、それを受けてレイアウト情報にしたがってセンサ部２ａに対して走査測定を行わせ、前記センサ部２ａが印刷はんだ箇所の位置に対応して、検出した上記の変位量及び／又は受光量を測定データとして出力している。
【００２１】
基板情報記憶手段３は、検査対象の基板情報としては少なくともレイアウト情報とレファレンスを記憶している。レイアウト情報は、検査対象とする基板１の設計されたときの配置図であって、例えば図４に示すように、印刷はんだ箇所、印刷はんだののらないレジスト箇所及び位置の基準となる認識マーク（不図示）等の基板上の配置情報を記憶している。このレイアウト情報そのものを画像として（レイアウト画面として）、表示手段８に表示することができる。また、基板１を検査して良否判定を行うレファレンスをデータとして、検査対象とする基板１に対応して記憶している。これらのレファレンスは、例えば印刷はんだ箇所の高さ、面積、体積、及びはんだの欠損等の各項目をはんだ箇所毎に準備されている。言い換えるならこれらのレファレンスは、はんだ箇所の印刷はんだを量的（画像的）に認識しやすい情報であって、良否判定の基準となるデータである。
【００２２】
なお、検査対象の基板１の種類が多い場合は、それらの基板情報を基板情報記憶手段３に識別情報を付して記憶しておき、識別情報のリスト及び／又はレイアウト画面を表示手段８に表示して操作手段４で画面上でマーカ等により指定することによって選択できるようにしている。
【００２３】
画像処理手段５は、測定手段２が測定した基板１のはんだ箇所の位置とその位置における変位データ（変位量）及び輝度データ（受光量）等を受けて、後記するパラメータ記憶手段９からの画像パラメータ値を読み出してその画像パラメータ値を基に、測定データを各はんだ箇所の印刷はんだ量を表す画像データに加工処理する。画像データとしては、印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となるデータであって、上記レファレンスと同様に、それぞれのはんだ箇所の高さ、面積、体積、及び欠損（存在すべきはんだ量が無い状態の検出）等がある。これら高さ、面積、体積等のデータは３次元画像情報或いはその要素ともなりうる情報である。なお、基板１を判定するには上記の画像の全てを必要とするとは限らないが、高さ、面積、体積の内、少なくともいずれか１つは不可欠である。判定にあたって、検査しようとする基板１の画像データとして何を判定するか、或いはどの画像データの組み合わせで判定するかは、基板１の種類、内容によって異なることがある。
【００２４】
画像処理手段５は主に、測定データに対して所定のフィルタ条件で雑音を除去するためにフィルタリングする手段、はんだブリッジやはんだパターンエッジ等の繊細パターンを識別する感度を所定のパラメータ値で調整するための手段、所定のしきい値で２値化してデジタルデータに変換して２値化する手段、及び２値化されたデータを用いて印刷はんだ箇所における高さ、面積及び／又は体積等の演算を行う演算する手段等を有している。これらの演算処理等の詳細は、同一出願人による特許文献３等に記載されている。なお、上記の所定のフィルタ条件、感度を調整するための所定のパラメータ及び所定のしきい値は、画像パラメータ値としてパラメータ記憶手段９（詳細は後記）に記憶されているものを使用する。
【００２５】
上記データの加工処理に用いられる画像パラメータ値は、検査の初期時点においては同一の基板１における各印刷はんだ箇所に対して共通に適用されて、画像データの生成に用いられる。
【００２６】
判定手段７は、上記画像処理手段５が出力する画像データを受けて、これと上記基板情報記憶手段３からのレファレンスとを比較して各はんだ箇所の良否を判定する。
【００２７】
パラメータ記憶手段９は、上記したように画像処理手段５が測定データを画像データに加工処理するため用いる画像パラメータ値を記憶している。画像パラメータ値は、それを用いて変換して生成された画像データが比較手段７で比較されて良否判定されることから、検査にあたってはレファレンス同様に、重要なファクタである。
【００２８】
画像パラメータ値は、測定データが、例えば印刷はんだ部分であるか否か、或いはレジスト部分であるか否か等の区別（認識）をするためのしきい値、雑音から区別するためのフィルタ条件、或いは感度調整のパラメータ値を含み、例えば、次のようなものがある。いずれも表示手段８の画面（画像パラメータ設定画面モード）で、各画像パラメータの項目を表示させて、操作者が視認しながら操作手段４で画像パラメータ値を設定できる。
（１）はんだ輝度：測定データがはんだであるか否かを識別すためのしきい値。
（２）レジスト面輝度：測定データがレジスト面であるか否かを識別するためのしきい値
（３）パッド面輝度：測定データがパッド面であるか否かを識別するためのしきい値
（４）フィルタ条件（強度）：測定データに対してフィルタをかけるときの画像パラメータであって、この例では、値が小さいほど測定データに含まれる雑音成分を除去できるが、反対に微細な形状にかかるデータが失われやすい。判定手段７が本来、正常であるはんだ箇所をブリッジ（２カ所のはんだ付け箇所が誤って繋がってしまうこと）しているとして虚報の判定結果をだしたときは、主にこの画像パラメータ値を小さくすることが好ましい。
（５）ブリッジ感度：例えば、２つのはんだ箇所が正常につながっているものを、誤って不良のブリッジとして判定するようなことがあるので、そのブリッジの幅を調整・設定するためのパラメータ
（６）パタンエッジ感度：配線パターンをはんだ箇所と認識してしまうことがあるので、調整・設定するためのパラメータ
（７）認識マークに関するパラメータ：認識マークは、位置合わせに用いられるマークで基板１に設けられている。これは各種データの基準位置となるもので、この位置の認識がずれないように調整・設定するためのパラメータ
【００２９】
上記いずれの画像パラメータ値も、測定が光を照射してアナログ的に行われることから、この測定データを基に印刷はんだを量的に（画像データとして）明瞭に評価できるように加工処理するためのものである。
【００３０】
上記した画像パラメータ値は、基板１の検査の初期時点で基板１の全ての印刷はんだ箇所に（それ以外のレジスト面等も同じく全部に）共通に、画像データ生成に適用されるパラメータである。
【００３１】
しかし、本発明では、基板１の印刷はんだ箇所単位で生成した（或いは共通の画像パラメータを修正）個別画像パラメータ値を印刷はんだ箇所を識別する位置情報に対応させて保有できる個別パラメータ記憶領域（手段）９ａを設けた。この個別パラメータ記憶領域（手段）９ａに記憶される印刷はんだ箇所毎の個別画像パラメータ値は、一部は、上記共通の画像パラメータ値と同様の項目、値の範囲で表示手段８の画面（個別パラメータ設定画面）で設定可能である。つまり、項目は、上記（１）〜（３）、（５）、（６）と同様に設定できる。ただし、個別画像パラメータは対象となる印刷はんだ箇所を特定するための位置情報に対応して記憶される必要がある。なお、個別画像パラメータは、共通の画像パラメータとは、異なった別の項目であってもよい。例えば、共通の画像パラメータには無いが個別画像パラメータとして加えると便利な項目に、次の（８）〜（９）ようなものもある。また、これらに限られることはない。
（８）基準高さ位置オフセット：画像処理手段５が面積を計算するときに基板から所定の高さ位置（これを「基準面」という。）にあるはんだ量の面積を計算するが、基準面高さオフセットは、その基準面を４μｍ単位で調節するパラメータである。
（９）見掛け光量調整パラメータ：例えば、はんだ面を暗い面として認識して処理する場合、はんだの中には明るい箇所を部分的に含むものがあり、そのまま測定を行うとその箇所をはんだ箇所として認識しない場合がでてくる。そこで、測定したデータをあたかも光量を下げて測定したかのように処理するパラメータである。
【００３２】
画像処理手段５は、パラメータ読出手段５ａを有し、上記のように個別画像パラメータが設定された後に、基板１の検査（再検査）するときに、そのパラメータ読出手段５ａにより、基板１の印刷はんだ箇所を位置順に測定データに係る画像パラメータ値を読み出して画像データを生成する。その際に、その印刷はんだ箇所位置を前記個別パラメータ記憶領域９ａに記憶されている位置情報を照会し、一致しなければ、パラメータ記憶手段９に記憶されている共通の画像パラメータ値を読み出して使用し、一致した場合は、個別パラメータ記憶領域９ａに記憶されている画像パラメータ値を読み出して使用する。個別パラメータ記憶領域９ａをパラメータ記憶手段９内に共通の画像パラメータ値の記憶領域と区別される領域にもたせたが、別な記憶手段にしてもよい。
【００３３】
このように全はんだ箇所共通の画像パラメータ値と特定のはんだ箇所だけの個別の画像パラメータ値を持たせ、画像処理手段５が特定のはんだ箇所はその個別の画像パラメータ値で、他の箇所は共通の画像パラメータ値で処理する構成にしたので、判定手段７が誤って判定した虚報を出力したとき、その虚報の原因となったはんだ箇所だけに、判定手段７が虚報を出力しないように調整・設定された個別の画像パラメータ値を保有し、使用できる効果がある。
【００３４】
言い換えると、共通の画像パラメータ値の設定を最初からしても良いが、はんだ箇所が非常に多いので、たいへんな作業量であり、またメモリ容量も大きいのが必要になるが、共通に画像パラメータ値を設定すれば、それらの問題は解決する。しかし、一部のはんだ箇所に対して共通の画像パラメータ値を変更すると他の虚報の原因になりかねない。本発明は、上記のようにこれらの問題を解決するものである。
【００３５】
解析データ出力手段６は、測定手段２が出力する基板１における印刷はんだ箇所の位置に対応した変位量等の測定データを受けて、上記レイアウト情報における印刷はんだ箇所の配置図のうえに、画像として表示したときにはんだの高さが等高線状に観測して解析できる解析データに変換する。解析データ出力手段６は、印刷はんだ箇所の位置に対応した受光量の測定データを受けて、上記レイアウト情報における印刷はんだ箇所の配置図のうえに、画像として表示したときに、はんだ面の輝度を等高線状に観測して解析できるデータに変換する。上記で等高線状で観測できるようにと記載したが、等高線に限らず解析データを画像として表示手段８に表示されたときに、はんだ面の高さや輝度に応じてはんだ面が識別認識しやすい表現であれば、色の変化、濃淡、模様等のいずれで表現してもよい（以上の表現を、ここでは「マップ状」と言う。）。
【００３６】
解析データ出力手段６が、出力する解析データは、主として、判定手段７の判定結果が正常かどうかの確認、或いは、判定手段７が判定を誤って虚報を出力したときの原因を解析するのに便利な情報である。判定手段７は、画像処理手段５が、測定データを加工処理して得た画像データを判定しているので、解析データとしては、いずれもできるだけ測定データそのものに近い形であって、かつ画面上で分析しやすいものが好ましい。この例では、上記（１）のフィルタを測定データにかけたうえで解析データを生成することもできるようにしている。雑音を落とす等の必要性からである。
【００３７】
解析データは、上記した基板情報記憶手段３が記憶している配置図としてのレイアウト情報の代わりに、測定データ（解析データ）を含む配置図として利用することもできる。
【００３８】
パラメータ制御手段１０ａは、全体の操作・表示に係る表示制御手段１０にあって、操作者と印刷はんだ検査装置の間を操作手段４及び表示手段８の操作を介して、検査対象基板の選択、共通画像パラメータ値の設定、判定手段７の判定結果の確認、虚報の解析、個別パラメータ値の設定及びその他それらに付随した操作・表示を含むインタフェースを司る。つまり、図２に示す動作フローにおける操作者と印刷はんだ検査装置の間における制御を行う。
【００３９】
図２の動作フローの詳細は後記するので、ここでは、パラメータ制御手段１０ａが行う主な制御構成について説明する。
【００４０】
パラメータ制御手段１０ａは、基板１の検査の初期において、操作者に基板１に共通の画像パラメータ値を設定させるために、画像パラメータ項目を表示手段８に表示させて入力を案内する。次に操作者が、操作手段４により各項目について画像パラメータ値を設定して確定キーを設定したときは、その設定された値をパラメータ記憶手段９に記憶させる。パラメータ制御手段１０ａ及び表示制御手段１０は、表示に必要なフォーマット、例えば、画像パラメータの項目、入力された画像パラメータ値、及び操作案内情報等の表示フォーマットを有する。また、パラメータ記憶手段９を含む他のブロック等に対するアクセス手段を有している。
【００４１】
パラメータ制御手段１０ａは、次に測定（検査）実行されときは、測定操作・観測に必要な情報を測定画面に表示するとともに、測定データと上記パラメータ記憶手段９或いは個別パラメータ記憶領域９ａに記憶されている画像パラメータ値を基に画像処理手段５で画像データが生成され、判定手段７で判定された項目及び結果を表示する。そし操作者が判定の結果が正しいかどうかを確認するために、基板情報記憶手段３からのレイアウト（配置図）及び解析データ出力手段６からの解析データを受けて、それらを表示する。
【００４２】
パラメータ制御手段１０ａは、さらに操作者が、判定結果を虚報と判定したときは、操作者からの要請により、基板情報記憶手段３から基板１における印刷はんだ箇所の配置図を受けて表示手段８に表示させ（これは上記したものと同じ）、操作者がその表示手段８の画面の配置図を視認しながら（観測しながら）、操作手段４を操作して、例えばマーカを動かしながら画像上で特定の印刷はんだ箇所の上に置いて（特定の印刷はんだ箇所の指定に該当する。そのときの操作手段４からの情報が特定のはんだ箇所の位置を示す位置情報となる。）確定操作する。そのときの操作手段４からの位置情報における印刷はんだ箇所に対して、個別の画像パラメータ値を操作者に設定させるために、画像パラメータ項目を表示手段８に表示させる。その後に操作者が操作手段４でその個別の画像パラメータ値を入力したときは、その個別の画像パラメータ値を受けて個別パラメータ記憶領域（手段）９ａに記憶させる。
【００４３】
上記構成における、測定処理部２ｂ、画像処理手段５，解析データ出力手段６，判定手段７、及び表示制御手段９（パラメータ制御手段１０ａを含む）は、ＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭ）及び上記した動作をＣＰＵに実行させるためにメモリに記憶されたプログラム等からなる。
【００４４】
次に、図２を基に、本発明に係る部分の動作フローを説明する。図２は、実行しようとする主体が操作者か、印刷はんだ検査装置かを区別できるように２つの系列で説明している。矢印がその時系列的流れ（或いは情報の方向）を示している。また、図中のＳ番号は印刷はんだ検査装置の動作ステップの番号を示している。以下、ステップ番号（印刷はんだ検査装置）を中心に順に説明する。
【００４５】
ステップＳ１：スタート時に、操作者が表示手段８に表示されているメニュー画面から基板リストがあるライブラリー画面を選択する。表示制御手段１０は、基板リスト及びそれに関する画像パラメータファイル（既に過去のものが入っている場合）のリストを表示する。
【００４６】
ステップＳ２：表示をみながら検査対象の基板１の名称、画像パラメータのファイルの名称を、操作手段４で操作してマーカで指定してクリック（確定）して選択する。それに対して表示制御手段１０は、該当する画像パラメータ項目及び値（既に過去に使用したものがあれば、その共通の画像パラメータ値）を表示する。
【００４７】
ステップＳ３：共通の画像パラメータ値を調整（値が表示されていなければ入力設定）し確定すると、調整された画像パラメータ値をパラメータ記憶手段９に記憶する。
【００４８】
ステップＳ４：測定手段２は、測定を実行する。画像処理手段５は、測定データを共通の画像パラメータ値を基に画像データに加工処理する。判定手段７は、その画像データとレファレンスで判定する。この間、表示制御手段１０は、測定に必要な画面及び判定結果を表示する。
【００４９】
ステップＳ５及びＳ６：操作者はその判定結果を基に虚報の可能性があるかどうかを判断し、虚報の可能性がある場合は、レイアウト（配置図）を表示させる指示をださせる。操作者は、図４のように表示されたレイアウト画面（ステップＳ５）で、操作手段４によりマーカを設定することにより、該当する印刷はんだ箇所を指定する。表示制御手段１０は、解析データ出力手段６に対して当該印刷はんだ箇所を指定して解析データを出力させ、それを受けて表示手段８に表示する（ステップＳ６）。
【００５０】
ステップＳ７：操作者は、解析データを基に虚報を確認し、虚報であれば、表示上のレイアウトで当該印刷はんだ箇所を選択する（先に選択したものと同一であれば、確定処理だけ行う。）。表示制御手段１０は、個別の画像パラメータ設定項目を表示する。
【００５１】
ステップＳ８：操作者は、操作手段４により表示画面を見ながら個別の画像パラメータ値を設定する（個別の画像パラメータ値として、共通の画像パラメータ値が表示されていた場合は、調整設定する。）。表示制御手段１０は、操作手段４で設定された画像パラメータ値をその位置情報とともに対応して個別パラメータ記憶領域９ａへ記憶する。
【００５２】
ステップＳ９：操作者は、次の基板１を検査（先の基板と同じであれば再検査）を開始する。印刷はんだ検査装置は、検査を実行するが、ステップＳ９における画像処理手段５及びパラメータ読出手段５ａが行う詳細処理を図３に示す。画像処理手段５及びパラメータ読出手段５ａは、個別パラメータ記憶領域９ａにアクセスして、これから生成しようとする画像データの印刷はんだ箇所の位置情報を照会し（Ｓ９−１）、個別パラメータ記憶領域９ａに記憶された位置以外の位置の印刷はんだ箇所であると判断したとき（Ｓ９−２、ＮＯ）は、パラメータ記憶手段９の共通の画像パラメータ値を基に画像データを生成処理し（Ｓ９−３）、個別パラメータ記憶領域９ａに記憶された位置における印刷はんだ箇所であると判断したとき（Ｓ９−２、ＹＥＳ）は、個別パラメータ記憶領域９ａの個別の画像パラメータ値を基に画像データを生成処理する（Ｓ９−４）。判定手段７は、これらの画像データをレファレンスと比較して判定する。
【００５３】
したがって、次回の検査からは、同一種類の基板１については虚報の発生を防止できる。
【００５４】
なお、上記個別パラメータの説明に記載した上記（９）に示すようなパラメータは、画像処理手段５で実施しないで、測定手段２で実施するようにしてもよい。この場合は、画像処理手段５が扱う画像パラメータを共通の画像パラメータと個別画像パラメータとに分けたように、測定手段２が扱う条件、例えばレーザ変位計を扱う条件（例えばレーザの光量（強さ）、受光手段の受光感度、位置等）を測定パラメータとし、それを測定個所に共通の条件で測定するための共通測定パラメータと虚報がおきる特定箇所の個別測定パラメータとに分けて記憶する手段を設け（不図示）、測定処理部２ａがこの記憶手段から特定箇所だけ個別測定パラメータを読み出して測定し、他の箇所については共通測定パラメータを読み出して測定するようにしてもよい（不図示）。
【００５５】
さらには、画像処理手段５による個別画像パラメータと測定手段２による個別測定パラメータの併用であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の機能ブロックを説明するための図である。
【図２】本発明の動作フローを説明するための図である。
【図３】図２におけるステップＳ９の詳細ステップを説明するための図である。
【図４】本発明に係る表示手段８に表示される基板の配置図（レイアウト）を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  基板
２  測定手段
２ａ  センサ部
２ｂ  測定処理部
３  基板情報記憶手段
４  操作手段
５  画像処理手段
５ａ  パラメータ読出手段
６  解析データ出力手段
７  判定手段
８  表示手段
９  パラメータ記憶手段
９ａ  個別パラメータ記憶領域
１０  表示制御手段
１０ａ  パラメータ制御手段
【図１】
2005207950.tif 000003
【図２】
2005207950.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005207950.tif 000006