(57)【要約】【課題】搬送される帯状材の両面側からエッチング液を噴霧しても、帯状材に発生するばたつき現象を防止し、且つ帯状材のエッチング液が噴霧される噴霧面を損傷することなくエッチングを施すことのできるエッチング装置を提供する。【解決手段】両面が金属で形成された帯状材１０を長手方向に搬送して、帯状材１０の両面側の各々に設けられたエッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ｂからエッチング液を噴霧し、帯状材１０の各面にエッチングを施すエッチング装置において、該帯状材１０の両面側の各面に、帯状材１０に向けてエッチング液を噴霧する複数個のエッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ｂが、帯状材１０の搬送方向に配設され、エッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ｂの各々に対して帯状体１０を挟んで対向する位置に、エッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ｂからエッチング液が噴霧される帯状材１０の各噴霧面に対応する反対側面に向けて空気を噴射する空気噴射ノズル２４，２４・・が配設されていることを特徴とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
両面が金属で形成された帯状材を長手方向に搬送して、前記帯状材の両面側の各々に設けられたエッチング液噴霧ノズルからエッチング液を噴霧し、前記帯状材の各面にエッチングを施すエッチング装置において、
該帯状材の両面側の各面に、前記帯状材に向けてエッチング液を噴霧する複数個のエッチング液噴霧ノズルが、前記帯状材の搬送方向に配設され、
前記エッチング液噴霧ノズルの各々に対して前記帯状体を挟んで対向する位置に、前記エッチング液噴霧ノズルからエッチング液が噴霧される帯状材の各噴霧面に対応する反対側面に向けて気体を噴射する気体噴射ノズルが配設されていることを特徴とするエッチング装置。
【請求項２】
帯状材の長手方向に配設された複数個のエッチング液噴霧ノズルが、前記帯状材を挟んで交互に配設されている請求項１記載のエッチング装置。
【請求項３】
気体噴射ノズルが、空気を噴射する空気噴射ノズルである請求項１又は請求項２記載のエッチング装置。
【請求項４】
エッチング液噴霧ノズルが、帯状材の幅方向に遥動するエッチング液噴霧ノズルであって、前記帯状材の幅方向に複数個の気体噴射ノズルが固定されて配設されている請求項１〜３のいずれか一項記載のエッチング装置。
【請求項５】
両面が金属で形成された帯状材を長手方向に搬送して、前記帯状材の両面側の各々に設けられたエッチング液噴霧ノズルからエッチング液を噴霧し、前記帯状材の各面にエッチングを施す際に、
該帯状材の両面側に、前記帯状材の搬送方向に配設した複数個のエッチング液噴霧ノズルの各々から、前記帯状材の各噴霧面に向けてエッチング液を噴霧すると共に、
前記エッチング液噴霧ノズルの各々に対して前記帯状体を挟んで対向する位置に配設した気体噴射ノズルから、前記エッチング液噴霧ノズルの帯状材の各噴霧面に対応する反対側面に向けて気体を噴射することを特徴とするエッチング方法。
【請求項６】
帯状材の長手方向に配設した複数個のエッチング液噴霧ノズルを、前記帯状材を挟んで交互に配設した請求項５記載のエッチング方法。
【請求項７】
気体噴射ノズルとして、空気を噴射する空気噴射ノズルを用いる請求項５又は請求項６記載のエッチング方法。
【請求項８】
エッチング液噴霧ノズルとして、帯状材の幅方向に遥動するエッチング液噴霧ノズルを用い、前記帯状材の幅方向に固定して配設した複数個の気体噴射ノズルから気体を噴射する請求項５〜７のいずれか一項記載のエッチング方法。                                                                 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はエッチング装置及びエッチング方法に関し、更に詳細には両面が金属で形成された帯状材を長手方向に搬送して、前記帯状材の両面側の各々に設けられたエッチング液噴霧ノズルからエッチング液を噴霧し、前記帯状材の各面にエッチングを施すエッチング装置及びエッチング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置を製造する際に、帯状の樹脂フィルムの両面に銅箔等の金属箔が形成された帯状材を用い、その両面側の金属箔にレジストパターンを形成した後、この帯状材の両面側にエッチング液を吹き付けて、両面側の金属箔の各々に所定形状のパターンを形成することが行なわれている。
かかる帯状材に連続してエッチングを施すエッチング装置として、下記特許文献１には、図２に示すエッチング装置が提案されている。図２において、図２（ａ）はエッチング装置の概要側面図であり、図２（ｂ）はエッチング装置の概要平面図である。
図２に示すエッチング装置は、帯状材１０に清浄化等を施す前処理部Ａ、帯状材１０の両面にエッチングを施すエッチング部Ｂ及びエッチングされた帯状材１０に水洗を施す後処理部Ｃとから構成される。かかる前処理部Ａ、エッチング部Ｂ及び後処理部Ｃの各々には、図２（ａ）に示す一対の上下無端ベルト（１２ａ，１３ａ）、（１４ａ，１５ａ）、（１６ａ，１７ａ）が、図２（ｂ）に示すように左右方向にも配設された搬送手段が設けられている。この搬送手段を構成する一対の上下無端ベルトによって側端部を把持された帯状材１０は、矢印Ｘ方向に搬送されて、前処理部Ａ、エッチング部Ｂ及び後処理部Ｃの各々で連続して所定の処理を受ける。
【０００３】
図２に示すエッチング装置のエッチング部Ｂには、帯状材１０の一面側に配設されたエッチング液噴霧ノズル１０８ａ，１０８ａ・・と、帯状材１０の他面側に配設されたエッチング液噴霧ノズル１０８ｂ，１０８ｂ・・との各々は、互いに帯状材１０を挟んで対向するように配設されている。
しかし、図２に示すエッチング装置のエッチング部Ｂでは、図３に示す如く、帯状材１０の両面にエッチング液噴霧ノズル（１０８ａ，１０８ａ・・）及びエッチング液噴霧ノズル（１０８ｂ，１０８ｂ・・）からエッチング液を噴霧してエッチングを施す際に、帯状材１０が波打つばたつき現象が発生し易い。かかるばたつき現象がエッチングを施す帯状材１０に発生すると、帯状材１０に噴霧されたエッチング液の排出される程度が相異し、エッチング液が溜り易い箇所では、エッチング液が排出され易い箇所に比較してエッチングが進行する。このため、帯状材１０の長軸方向及び／又は短軸方向にエッチング程度差が形成され、最終製品のバラツキ発生の要因となることがある。
【０００４】
かかる帯状材１０のばたつき現象を防止すべく、帯状材１０のエッチングの際に、帯状材１０の張力を高めることも考えられるが、帯状材１０が幅広となる程、その張力を高めることには限界が存在する。
これに対し、下記特許文献２には、図４に示す様に、帯状材１０を挟んで配設されたエッチング液噴霧ノズル１０８ａ，１０８ｂがエッチング液を噴霧する帯状材１０の各噴霧面に対して反対面側に、受板１１０を配設することが提案されている。
【特許文献１】特開平７−１０３０９号公報（特許請求の範囲、図１、図２）
【特許文献２】特開２０００−６８４３３号公報（特許請求の範囲、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
図４に示すエッチング装置によれば、帯状材１０の両面の各々にエッチング液噴霧ノズル１０８ａ及びエッチング液噴霧ノズル１０８ｂからエッチング液を噴霧してエッチングを施す際に、エッチング液噴霧ノズル１０８ａ又はエッチング液噴霧ノズル１０８ｂからの噴霧圧を受けた帯状材１０の部分は、受板１１０によって支承されているため、帯状材１０のばたつき現象を防止できる。
しかし、受板１１０によって支承された帯状材１０の部分は、受板１１０と接触しており、受板１１０との接触面に形成されたパターンが受板１１０との接触によって損傷することがある。特に、帯状材１０の受板１１０との接触面に形成されたパターンが微細パターンであれば、受板１１０との軽い接触でも、微細パターンが損傷され易い。
そこで、本発明の課題は、搬送される帯状材の両面側からエッチング液を噴霧しても、帯状材に発生するばたつき現象を防止し、且つ帯状材のエッチング液が噴霧される噴霧面を損傷することなくエッチングを施すことのできるエッチング装置及びエッチング方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は前記課題を解決すべく検討した結果、エッチング液噴霧ノズルからエッチング液を噴霧する帯状材の噴霧面に対して反対面側に、空気を噴射する空気噴射ノズルを設け、エッチング液噴霧ノズルからの帯状材へのエッチング液の噴霧圧に対抗できるように、空気噴射ノズルから空気を帯状材に噴射することによって、帯状材のばたつき現象及び帯状材のエッチング面の損傷を防止できることを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、両面が金属で形成された帯状材を長手方向に搬送して、前記帯状材の両面側の各々に設けられたエッチング液噴霧ノズルからエッチング液を噴霧し、前記帯状材の各面にエッチングを施すエッチング装置において、該帯状材の両面側の各面に、前記帯状材に向けてエッチング液を噴霧する複数個のエッチング液噴霧ノズルが、前記帯状材の搬送方向に配設され、前記エッチング液噴霧ノズルの各々に対して前記帯状体を挟んで対向する位置に、前記エッチング液噴霧ノズルからエッチング液が噴霧される帯状材の各噴霧面に対応する反対側面に向けて気体を噴射する気体噴射ノズルが配設されていることを特徴とするエッチング装置にある。
【０００７】
また、本発明は、両面が金属で形成された帯状材を長手方向に搬送して、前記帯状材の両面側の各々に設けられたエッチング液噴霧ノズルからエッチング液を噴霧し、前記帯状材の各面にエッチングを施す際に、該帯状材の両面側に、前記帯状材の搬送方向に配設した複数個のエッチング液噴霧ノズルの各々から、前記帯状材の各噴霧面に向けてエッチング液を噴霧すると共に、前記エッチング液噴霧ノズルの各々に対して前記帯状体を挟んで対向する位置に配設した気体噴射ノズルから、前記エッチング液噴霧ノズルの帯状材の各噴霧面に対応する反対側面に向けて気体を噴射することを特徴とするエッチング方法にある。
【０００８】
かかる本発明において、帯状材の長手方向に配設した複数個のエッチング液噴霧ノズルを、前記帯状材を挟んで交互に配設することによって、帯状材の両面に均一なエッチングを施すことができる。
また、気体噴射ノズルとして、空気を噴射する空気噴射ノズルを好適に用いることができる。
更に、エッチング液噴霧ノズルとして、帯状材の幅方向に遥動するエッチング液噴霧ノズルを用い、前記帯状材の幅方向に固定して配設した複数個の気体噴射ノズルから気体を噴射することによって、幅広の帯状材でも均一にエッチングを施すことができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、帯状材の両面に、その帯状材の搬送方向に順次配設された複数個のエッチング液噴霧ノズルの各々から、帯状材の噴霧面にエッチング液を噴霧すると共に、このエッチング液噴霧ノズルの各々に対し、帯状材を挟んで対向して配設された気体噴射ノズルからエッチング液の帯状材の噴霧面に対応する反対面側に気体を噴射する。
このため、エッチング液の噴霧圧を受けた帯状材の部分では、エッチング液の噴霧を受けた帯状材の噴霧面に対応する反対側に気体噴射ノズルから噴射された気体の圧力によって支承される。
従って、エッチング液の噴霧圧を受けた帯状材の部分の撓みを防止でき、帯状材のばたつき現象を防止できる。
更に、エッチング液の噴霧圧を受けた帯状材の部分は、気体噴射ノズルから噴射された気体の圧力によって支承されており、板体で支承する場合の如く、板体と接触する帯状材の接触面を損傷することもない。
この様に、搬送される帯状材の両面側からエッチング液を噴霧しても、帯状材に発生するばたつき現象を防止し、且つ帯状材のエッチング液が噴霧される噴霧面を損傷することなくエッチングを施すことのできる結果、本発明によれば、幅広の帯状材であっても、その両面に均一なエッチングを施すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明で用いるエッチング装置としては、図２に示すエッチング装置を用いることができ、このエッチング装置について重複する説明は省略する。
本発明で用いるエッチング装置でも、帯状材としては、帯状の樹脂フィルムの両面に銅箔等の金属箔が形成された帯状材であって、その両面側の金属箔にレジストパターンが形成されている帯状材１０を用いる。
かかる帯状材１０の両面側にエッチングを施すエッチング装置では、図１に示す様に、帯状材１０の一面側に、その搬送方向Ｘに順次配設されたエッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ａ・・と、帯状材１０の他面側に、その搬送方向Ｘに順次配設されたエッチング液噴霧ノズル１８ｂ，１８ｂ・・との各々が、交互に配設されている。
このエッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ａ・・及びエッチング液噴霧ノズル１８ｂ，１８ｂ・・の各々は、幅広の帯状材１０の全面にエッチング液を噴霧できるように、帯状材１０の幅方向にも複数個のエッチング噴霧ノズルが配設されており、帯状材１０の幅方向に遥動可能に設けられている。かかるエッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ａ・・及びエッチング液噴霧ノズル１８ｂ，１８ｂ・・は、帯状材１０に対して垂直方向からエッチング液を噴霧できる位置とすることが好ましい。
また、エッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ａ・・及びエッチング液噴霧ノズル１８ｂ，１８ｂ・・は、エッチング液による帯状材１０への噴霧面が、隣接するエッチング液噴霧ノズルの噴霧面の一部と重複してもよい。
尚、エッチング液としては、塩化第２銅溶液又は塩化第２鉄溶液を好適に用いることができる。
【００１１】
このエッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ａ・・及びエッチング液噴霧ノズル１８ｂ，１８ｂ・・の各々に対し、帯状材１０を挟んで対向する位置に、気体を噴射する複数個の気体噴射ノズルとして、空気を噴射する複数個の空気噴射ノズル２４，２４・・が、帯状材１０の幅方向に配設されている。
この空気噴射ノズル２４，２４・・は、帯状材１０の幅方向に固設された矩形チューブ２０に形成されている。
空気噴射ノズル２４，２４・・からは、矩形チューブ２０内の圧縮空気が、エッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ａ・・及びエッチング液噴霧ノズル１８ｂ，１８ｂ・・の各々の帯状材１０に対するエッチング液の噴霧面に対応する反対面側に噴射される。
【００１２】
空気噴射ノズル２４，２４・・から噴射された空気流は、エッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ａ・・及びエッチング液噴霧ノズル１８ｂ，１８ｂ・・の各々からエッチング液の噴霧圧を受ける帯状材１０の噴霧面に対応する反対側面を支承し、帯状材１０に発生するばたつき現象を防止する。
しかも、帯状材１０のエッチング液の噴霧圧を受ける部分を、空気噴射ノズル２４，２４・・から噴射された空気流によって支承するため、帯状材１０の反対側面を板体に当接して支承する場合の如く、帯状材１０の反対側面が損傷を受けることもない。
また、エッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ａ・・及びエッチング液噴霧ノズル１８ｂ，１８ｂ・・の各エッチング液噴霧ノズル間に空気噴射ノズル２４，２４・・が設けられているため、噴霧されたエッチング液を帯状材１０の面から速やかに払い落とすことができ、被エッチング面にエッチング液が残らず、帯状材１０の両面に均一エッチングを施すことができる。
【００１３】
図１に示す空気噴射ノズル２４，２４・・は、帯状材１０の幅方向に固設けられた矩形チューブ２０に形成されているが、エッチング液噴霧ノズル１８ａ，１８ａ・・及びエッチング液噴霧ノズル１８ｂ，１８ｂ・・の遥動に連動して遥動してもよい。
また、噴射する気体としては、空気が最も安価で安全であるが、帯状材１０を形成する素材との関係で、帯状材１０の酸化防止等を図るべく、窒素等の最適な気体を用いることができる。
更に、図１に示す帯状材１０としては、帯状の樹脂フィルムの両面に銅箔等の金属箔が形成された帯状材であって、その両面側の金属箔にレジストパターンが形成されている帯状材を用いているが、例えばリードフレーム用基材として用いられる、銅等の金属から成る金属薄板であって、その両面側にレジストパターンが形成されている帯状材を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明に係るエッチング装置を説明するための概略図である。
【図２】従来のエッチング装置の一例を説明するための概略図である。
【図３】図２に示すエッチング装置において発生するばたつき現象を説明する説明図である。
【図４】改良されたエッチング装置を説明するための概略図である。
【符号の説明】
【００１５】
１０  帯状材
２０  矩形チューブ
１８ａ，１８ｂ  エッチング液噴射ノズル
２４  空気噴射ノズル
Ｘ  搬送方向                                               
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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