(57)【要約】【課題】  安定してＡＢＳ面の修正加工が可能な磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正方法、その方法により修正されたＡＢＳ面を持つ磁気ヘッド、及び磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正装置を提供する。【解決手段】  磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面の上の三次元的な位置を測定して得られたデータと最終修正形状の三次元的な位置との差を算出し、その差に応じた大きさのエネルギをポイントに付与することにより前記ＡＢＳ面を加工する。【選択図】      図２５
2005166262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面の上の三次元的な位置を測定する第１のステップと、
測定して得られたデータと最終修正形状の三次元的な位置との差を算出する第２のステップと、
前記差に応じた大きさのエネルギをポイントに付与することにより前記ＡＢＳ面を加工する第３のステップと、
を備えることを特徴とする磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正方法。
【請求項２】
磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面の上の三次元的な位置を測定するＡＢＳ面測定部と、
測定して得られたデータと最終修正形状の三次元的な位置との差分を算出する加工条件算出部と、
前記差分に応じた大きさのエネルギを前記ＡＢＳ面の対応するポイントに付与することにより前記ＡＢＳ面を加工する加工機と、
を備えることを特徴とする磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドの先端部に設けられたスライダのＡＢＳ（Air Bearing
Surface)面形状修正方法及び磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１はＡＢＳ面を持つ磁気ヘッドのスライダの一例を模式的に示す斜視図である。図において、１は磁気ディスクに対向する磁気ヘッドのスライダであり、スライダ１の上に浮上量を一定に保つための浮上面レール２、３、及び４が設けられている。記録又は再生時には、浮上面レール２〜４は磁気ディスク（図１には図示せず）の表面に対向する。
【０００３】
浮上面レール２、３、及び４が存在することにより、磁気ディスクとスライダの表面との間の距離、即ちスライダの浮上量が一定に保たれる。その理由は、浮上面レールの存在している場所でのギャップ間の圧力と浮上面レールが存在していない場所でのギャップ間の圧力とに差が生じる結果、ギャップ間の圧力のバランスがとれるからである。
【０００４】
浮上面レールの表面、又は浮上面レールが存在しないスライダでは磁気ディスク表面と対向するスライダ表面をＡＢＳ面と称する。ＡＢＳ面は磁気ディスクに吸着されないように、且つスライダの浮上特性を安定化するために、特殊形状のＡＢＳ面でない限り、一般的には平坦面でなければならない。特に磁気ヘッドの微細化に伴って磁気ディスクとＡＢＳ面との間の浮上量が減少している状況下では、ＡＢＳ面の平坦化が益々要請されている。
【０００５】
しかしながら、ＡＢＳ面は様々な理由によって歪むことがある。ＡＢＳ面の歪みの状態は、図１に模式的に示すように、磁気ディスクの回転方向に平行な方向の歪みであるクラウンと、磁気ディスクの回転方向に直交する方向の歪みであるキャンバと、磁気ディスクの回転方向に対してねじれた方向の歪みであるツイストとに分類される。このうち、特にツイストの歪みは規格から外れがちである。
【０００６】
ＡＢＳ面の平坦化のためには、レーザ、ダイヤモンドポイント又はイオンミル等のエネルギをＡＢＳ面あるいは裏面に照射してＡＢＳ面形状を修正する。即ち、これらのエネルギをＡＢＳ面に照射することにより、ＡＢＳ面における応力に変化が生じてＡＢＳ面の歪みを修正することができる。この場合、照射エネルギの大きさ等の加工条件によって修正量が異なる。
【０００７】
ＡＢＳ面の加工条件の決定の仕方としては、光干渉法などによるＡＢＳ面形状測定用の専用器により得られたクラウンやキャンバの数値とディスプレイに表示された形状から、目視により加工条件を決定するという方法が考えられる。
従来のＡＢＳ面の加工条件決定方法としては、特開平６−８４３１２号公報に開示のものが知られている。
【０００８】
図２は特開平６−８４３１２号公報に開示されたクラウン形状のＡＢＳ面を持つ従来のスライダと磁気ディスクとを示す側面図である。図において、２１は磁気ヘッドのスライダ、２２は磁気ヘッドのアーム、２３は磁気ディスクである。図示のように、スライダ２１は磁気ディスク２３の回転方向に平行な方向に歪んでいるクラウン形状をしている。そして、このクラウン形状の稜線が磁気ディスク２３に線接触するようになっている。
【０００９】
図２に示した従来のスライダにおいては、ＡＢＳ面はクラウン形状であることが望まれており、そのクラウン形状の修正が主たる目的であった。そのために、スライダの長手方向の中心ライン位置をＨｅ−Ｎｅレーザ等によりライン走査し、その反射光の広がり角によりクラウン量を推測し、その結果から加工条件を決定するという方法が採られていた。そして、クラウン量を制御するために、基本的にスライダの中心線位置を基準として複数の直線ラインを加工したり、広い面積を加工する。
【００１０】
しかしながら、上記公報には、どのようなパターンを加工するかは明確に表現されておらず、具体例としてクラウン方向の修正にはクラウンと直角方向に複数本の直線加工を、キャンバ方向の修正にはキャンバと直角方向に複数本の直線を適宜加工するという開示で終わっている。
また、特に所望する形状に修正するための制御方法は、明確に開示されていない。
【００１１】
図３は吸着防止のために磁気ディスクと対向する面に足を設けたスティクションフリーのスライダと磁気ディスクを示す側面図である。図において、３１はスライダ、３２はアーム、３３及び３４は吸着防止用の足、３５及び３６は浮上面レール、３７はスライダ３１に設けられているリード／ライト素子、３８は磁気ディスクである。この場合は、浮上面レール３５及び３６の表面がＡＢＳ面である。
【００１２】
このような、吸着防止のための足を設けたスライダでは、ＡＢＳ面は上記公報に開示のようなクラウン形状にするのではなくて平坦な形状であることが要求される。
本発明はこのような平坦な形状のＡＢＳ面を得ることが背景となっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
図３に示したようなスライダのＡＢＳ面形状は、スライダ加工工程中の研磨又はラップによる残留応力により、機械的な変形を受ける。また、ドライエッチ加工やイオンミル加工により形成される浮上面レール３５及び３６の形状の組合せにより、ＡＢＳ面はいわゆるクラウン、キャンバ、ツイスト、と定義しているような単純な形状ではなく、より複雑な形状となる傾向がある。したがって、より高精度にＡＢＳ面形状の修正を行うためには面全体の形状を評価する必要があるが、上記公報に開示の方法ではスライダの中心線の位置を認識するだけでＡＢＳ面形状全体を評価することは不十分であった。
【００１４】
また、測定結果から目視による条件決定では直観的な谷位置又は稜線位置の決定しか出来ず、自動的に且つ正確に加工位置を決定することは困難であった。
さらに、加工条件や材料特性などの要因が常に一定であれば一定の加工条件を設定して加工すれば常に安定した修正が行えるため一回の修正加工で充分な修正が出来るが、実際にはスライダの表面状態、材料の組成、加工機の不安定要因により常に安定した修正加工は困難であった。
【００１５】
本発明の目的は、上記従来技術における問題に鑑み、磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面の上の三次元的な位置を測定してＡＢＳ面全体の形状を評価するという構想に基づき、スライダの表面状態、材料の組成、加工機の性質が変化しても安定して精密にＡＢＳ面の修正加工が可能な磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正方法及び磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の目的を達成するために、本発明の一態様により提供されるものは、ＡＢＳ面の上の三次元的な位置を測定して得られたデータと最終修正形状の三次元的な位置との差を算出し、その差に応じた大きさのエネルギをポイントに付与することにより前記ＡＢＳ面を加工する磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正方法及びその方法を実施するための装置である。
【発明の効果】
【００１７】
ＡＢＳ面上の三次元的な位置を測定するので、ＡＢＳ面全体の形状の評価が可能になる。
また、三次元的な測定は目視によらないので、自動的に且つ正確に加工位置を決定することが可能である。
さらに、上記の方法によれば、ＡＢＳ面の状態、磁気ヘッドのスライダの材料組成、及び加工機の性質によらないで、常に安定にＡＢＳ面の精密な修正が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施例を図面により詳述する。
図４は本発明の一実施例による磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正方法を説明するフローチャートである。図４において、ステップＳ４１で、磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面の上の三次元的な位置を測定する。この測定は、例えば、光干渉計を用いて行ったり、レーザ光の反射光を利用して行ったりする。
【００１９】
ステップＳ４２では、ステップＳ４１で測定して得られたデータから、測定ポイント全体を補間した補間面を生成する。この補間面の一例としては、測定点の黒丸を出来るかぎり多く含む二次以上の曲面があり、その曲面により測定ポイント全体を二次以上の曲面でスムースに補間する。ステップＳ４１及びＳ４２によるこの測定と補間面の生成を図５及び図６によりさらに説明する。
【００２０】
図５の（ａ）は浮上面レール形成前のＡＢＳ面の三次元的な位置の測定値を示す図であり、図５の（ｂ）はその測定値から得られた補間面を示す図である。
図５の（ａ）における黒丸が測定値を表している。図に示すように、浮上面レール面形成前の浮上面がＡＢＳ面である場合に、そのＡＢＳ面形状を光干渉計を用いて図示のように三次元的に測定してポイントデータを得てもよいが、ＡＢＳ面をレーザ光の反射光を利用して三次元的に測定して線データ（図示せず）を得てもよい。
【００２１】
図５の（ｂ）はこれらのポイントデータ又は線データから得られた補間面５２を示している。この補間面の一例としては、測定点の黒丸を出来るかぎり多く含む二次以上の曲面があり、その曲面により測定ポイント全体をスムースに補間する。
【００２２】
図６の（ａ）は、スライダ５１の上に浮上面レール６１及び６２を形成後の浮上面レール６１及び６２の表面をＡＢＳ面としてそのＡＢＳ面の三次元的な位置の測定値を模式的に表した図である。図に示すように、ＡＢＳ面である浮上面レール６１及び６２の面形状を光干渉計を用いて測定して三次元的なポイントデータを得てもよいが、ＡＢＳ面である浮上面レール６１及び６２の面形状をレーザ光の反射光を利用して三次元的に線データ（図示せず）として測定してもよい。
【００２３】
図６の（ｂ）は浮上面レール６１及び６２が存在する場合の補間面６３を示している。この補間面の一例としては図５の（ｂ）と同様に、測定点の黒丸を出来るかぎり多く含む二次以上の曲面があり、その曲面により測定ポイント全体をスムースに補間する。
【００２４】
即ち、図５及び図６において、測定して得られたポイントデータ又は線データから、スライダの全面をカバーし測定ポイント全体をスムースに補間した二次以上の補間面を生成する。
【００２５】
また、補間面を得る他の方法として、スライダのＡＢＳ面の歪みの形状がクラウンか、キャンバか、ツイストかに応じて、最適な曲面を作成してもよい。
図７は補間面を生成する他の方法の一例を説明する図である。
例えば、図７に示すように、スライダ５１のＡＢＳ面の歪みが磁気ディスクの回転方向に平行な方向の歪みであるクラウンであれば、スライダ５１の長手方向に対しては一次近似を行い、スライダ５１の短手方向に対しては二次近似した曲面を生成する。
【００２６】
図８は補間面を生成する更に他の方法の一例を説明する図である。
スライダ５１のＡＢＳ面の歪みが、ディスクの回転方向に直交する方向の歪みであるキャンバであれば、補間面の生成において、図８に示すように、スライダ５１の短手方向に対しては一次近似を行い、スライダ５１の長手方向に対しては二次近似した曲面を生成する。
【００２７】
図９は補間面を生成する更に他の方法の一例を説明する図である。
例えば、スライダ５１のＡＢＳ面の歪みが、磁気ディスクの回転方向に対してねじれた方向の歪みであるツイストであれば、補間面の生成において、図９に示すように、スライダ５１の対角線方向に対しては一次近似を行い、対角線と直角方向に対しては二次近似をした曲面を生成することが好ましい。
【００２８】
図７〜９に示した３種類の曲面補間方法を適宜組合せて、ＡＢＳ面形状を近似することが好ましい。
最終的に出来上がって欲しいＡＢＳ面形状である最終修正形状が平坦面ではない場合もあり得る。この場合は、図４のステップＳ４３にて、図１０に示すように、測定面の形状（測定形状）と最終修正形状との差を取って、その差分を新たな補間面とする。図１０では測定面の形状が波形で最終修正形状がクラウン形状の場合を示している。この場合には、ステップＳ４２で得られた補間面は、最終修正形状との差を正しく表していないが、図示のように、補間面と最終修正形状との差を新たな補間面とすることにより、所望の形状のＡＢＳ面となるように加工することが容易になる。最終修正形状が平坦面である場合は、ステップＳ４３は省略してもよい。また、ステップＳ４３はステップＳ４２にて、上記一次近似と二次近似を行う前に実行してもよい。
【００２９】
図１１は図４のステップＳ４４を説明するための図である。
図４のステップＳ４４にて、図１１に示すように、生成された補間面の一次近似した方向をＸ軸方向とする三次元座標系を設定し、その座標系のＺ軸と平行な法線ベクトルを有するポイントを連接し、キャラクタラインとして設定する。このキャラクタラインがレーザ等のエネルギを照射する加工中心ラインとなる（以下、照射エネルギはレーザで代表する）。
【００３０】
図１２はキャラクタラインの高さ方向の位置が周囲より低い場合の加工中心ラインの説明図である。
図１２の（ａ）に示すように、中央部で凹む補間面が得られた場合には、図１２の（ｂ）に示すように、このキャラクタライン１２０は谷線となり、この場合は、スライダ５１の裏面の点線１２１が加工中心ラインとなる。点線１２１はキャラクタライン１２０をスライダ５１の裏面に投影して得られる線である。
【００３１】
図１３はキャラクタラインの高さ方向の位置が周囲より高い場合の加工中心ラインの説明図である。
図１３に示すように、キャラクタライン１３０の高さ方向の位置が周囲より高い場合には、このキャラクタラインが加工の中心ラインとなる。即ち、図１３に示すように中央部で膨らむ補間面が得られた場合には、キャラクタライン１３０は図１３に示すように稜線となり、この場合は、スライダ５１の表面の線１３１が加工中心ラインとなる。
【００３２】
稜線位置及び谷線位置を検出するための補間面は前述のように三次元ポイントデータから三次以上の次数で近似した補間面でも、三次元線データから三次以上の次数で近似した補間面でもよい。
次に図４のステップＳ４５にて、加工の中心ラインに対して、補間曲面の形状に応じて予め得られているデータ及び関係式から第１回目の修正条件である加工条件を決定する。この処理を図１４から図１６により説明する。
【００３３】
図１４は加工ラインの間隔及び加工ライン数の決定方法を説明するフローチャートである。図において、ステップＳ１４１でスライダ５１のＡＢＳ面形状、即ち補間面を前述の方法により決定する。ステップＳ１４２にて加工条件データベースを参照する。
図１５は加工条件データベースの内容の一例を示す表図である。この表図では、ライン照射によりレーザ加工を行う場合における加工条件と変形量（補間曲面と最終修正形状との差）との予め得られた関係が示されている。ライン照射の場合には、図示のように照射エネルギと、走査速度と、走査線の線幅が加工条件となる。この例では、走査速度と線幅は、変形量の大きさによらずに一定であるので、変形量に応じて照射エネルギを変化させることになる。変形量と照射エネルギはほぼ比例している。
【００３４】
図１６は加工条件データベースの内容の他の一例を示す表図である。この表図では、ポイント照射によりレーザ加工を行う場合における加工条件と変形量との予め得られた関係が示されている。ポイント照射の場合には、図示のように照射エネルギと、照射スポット径とが加工条件となり、変形量としては、最大変位と、影響範囲エリア径とがある。この例では、照射スポット径は変形量の大きさによらずに一定であるので、変形量に応じて照射エネルギを変化させることになる。この場合も変形量と照射エネルギはほぼ比例している。
【００３５】
図１４のステップＳ１４３では、ライン照射を行うかポイント照射を行うかに応じてこれらのデータベースを参照して加工条件を決定する。
このようにして決定された加工条件で、レーザを加工中心ラインに照射することにより、ＡＢＳ面は修正されるが、ＡＢＳ面の変形が緩やかな場合には、加工中心ラインを中心として加工中心ラインに平行な複数の加工ラインに照射エネルギを分割して照射すれば、ＡＢＳ面をより滑らかに修正することができる。例えば、図１６において変形量３０ｎｍの場合の照射エネルギは２Ｗであるが、この変形が緩やかであれば、照射エネルギを例えば５分割して０．４Ｗの照射エネルギで５本の加工ラインに照射する。
【００３６】
図１７の（ａ）及び（ｂ）は加工中心ラインを中心として加工中心ラインに平行な７本の加工ラインを照射する場合の加工の前後の例を示している。加工ライン数は、ＡＢＳ面の変形の度合いの大きさによる。変形の度合いが急峻であれば、加工ライン数は少なくし、変形の度合いが緩やかであれば加工ライン数を多くする。図１７の（ａ）に示すスライダ５１のＡＢＳ面は、複数の加工ラインにレーザのエネルギを照射することにより図１７の（ｂ）のように変形される。
【００３７】
図１８の（ａ）及び（ｂ）は本発明の更に他の実施例により加工中心ライン及びこれに平行な複数の加工ライン上のポイントにエネルギを照射する場合の加工の前後の例を示している。このように加工ライン上のポイントにエネルギを照射しても、図１８の（ａ）に示すＡＢＳ面を図１８の（ｂ）に示すＡＢＳ面のように変形することができる。ポイントにエネルギを照射すると照射された部分の材料が溶融し、その結果ＡＢＳ面上の応力に変化が生じてＡＢＳ面を変形させることができる。
【００３８】
前述の実施例では補間面を生成したが、本発明の他の実施例によれば、補間面を生成しないで、最終修正形状の３次元的な位置と測定点の三次元的な位置との差が大きい場所には大きなエネルギを付与し、最終修正形状の３次元的な位置と測定点の３次元的な位置との差が小さい場所には小さなエネルギを付与するようにしてもよい。図１９はこのように、スライダ５１のＡＢＳ面の最終修正形状と測定点の三次元的な位置との差に応じたエネルギをその差に対応するポイントに付与した例を示す図である。
【００３９】
図２０は、図１７に示したように複数のライン上をライン状にエネルギを照射する場合と、図１８に示したように複数のライン上のポイントにエネルギを照射する場合と、図１９に示したように差に応じて適宜ポイントにエネルギを付与する場合とを適宜組み合わせてＡＢＳ面を修正する本発明の更に他の実施例を示す図である。
【００４０】
図２１は、より精密なＡＢＳ面形状修正を行うための複数回の加工による修正プロセスの原理を示すグラフ図である。図２１において、横軸は加工条件を決定するための加工量（加工エネルギ量）を表し、縦軸は修正量を表す。初期状態における修正量と加工量とは初期関係式Ｙ＝Ａｐ＋Ｂとして予め得られており、その関係はデータベースに保有されている。ここでＹは修正量、ｐは加工量、Ａは係数、Ｂは定数である。その関係式は図２１に実線の直線で表されており、その直線から修正量に対応するエネルギ量を決定する。更に詳細には、一回目の加工では最終目標修正量Ｙｎより少ない一回目の目標修正量Ｙ１に対応する一回目加工量ｐ１で加工を行う。ここで、最終目標修正量Ｙｎとは、図１１に示すように、加工中心ラインの３次元的な位置と補間面の最大及び最小の高さのいずれかとの差ｄのことである。一回目の加工終了後、前述の方法で再度ＡＢＳ面形状を測定し、評価して、一回目の実修正量Ｙ２を得る。そして、この実修正量Ｙ２と一回目の加工量ｐ１とを満たす新たな関係式（変更関係式）Ｙ＝Ａ’ｐ＋Ｂを得る。ここでＡ’は変更後の係数である。この新たな関係式は図２１に点線の直線で表されている。この点線の直線で表される関係式を用いて二回目の目標修正量（図２１の例では最終修正量）が得られる係数変更後の加工量（図２１の例では係数変更後最終加工量ｐｘ）を求める。そして、二回目の加工量ｐｘと一回目の加工量ｐ１との差を二回目の加工設定量とする。
【００４１】
図２１においては、二回の加工を行う例を示したが、同様の処理を三回以上繰り返すことにより、一層微細にＡＢＳ面を修正することが可能になる。
また、スライダやローバ内のスライダ部の修正に際しては、その直前に行った修正加工で使用した係数を関係式の係数として一回目の修正を行うとよい。
図２２及び図２３は図２１に示した複数回の加工処理を説明するフローチャートである。図２２において、ステップＳ２２１では、図４のステップＳ４５で決定された修正条件（即ち、加工条件）にしたがってＡＢＳ面の１回目の加工を行う。初期関係式から、一回目の目標修正量Ｙ１に対応する一回目加工量ｐ１と、最終目標修正量Ｙｎに対応する初期最終予定加工量ｐｎが得られる。
【００４２】
次にステップＳ２２２で、図４のステップＳ４１と同様にしてＡＢＳ面を再度測定する。次いで、ステップＳ２２３では、図４のステップＳ４３と同様にして実修正量Ｙ２を確認する。
ステップＳ２２４では、この実修正量Ｙ２と一回目の加工量ｐ１とから、図２２に点線で示す変更関係式Ｙ＝Ａ’ｐ＋Ｂを得る。ステップＳ２２５では、この変更関係式から、最終目標修正量Ｙｎに対応する係数変更後最終加工量ｐｘが得られる。
【００４３】
次いで図２３のステップＳ２３１で、係数変更後採取加工量ｐｘと一回目加工量ｐ１との差である二回目の加工設定量を算出する。
そして、ステップＳ２３２で、二回目修正条件を設定し、ステップＳ２３３で二回目の加工を行い、ステップＳ２３４で修正状態を確認し、修正状態が満足できるものであれば次のワーク加工に移行する。
【００４４】
ここでは、２回の修正加工で目的のＡＢＳ面形状に修正することを示しているが、修正回数は何回でもよい。一般的に記述すると、ｎを３以上の整数とするとき、変更された係数を有する関係式を用いて、（ｎ−１）回目の形状との差であるｎ回目の目標修正量が得られる加工条件を算出し、（ｎ−１）回目の条件とｎ回目の条件との差をｎ回目の加工条件とする。
【００４５】
又一回毎の修正量も最終目標修正量以内であればどのような量でもよい。例えば、最終目標修正量が大きな値に場合には、初期の修正量は大きく、最終段階に近づくにしたがって修正量を小さくするといった方法もある。
本発明によれば、上記した方法により得られる磁気ヘッドも提供される。
さらに、本発明によれば、上記した方法を実施するＡＢＳ面形状修正装置も提供される。
【００４６】
図２４は本発明の一実施例によるＡＢＳ面形状修正装置の概略ブロック図である。図において、ＡＢＳ面形状修正装置は、磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面の上の位置を測定するＡＢＳ面測定部２４１と、測定して得られたデータから、測定ポイント全体を補間した補間面を生成する補間面生成部２４２と、補間面に基づいて前記磁気ヘッドの加工中心位置を算出する加工条件算出部２４３と、加工中心位置に平行な複数のライン部を加工する加工機２４４とを備える。
【００４７】
このＡＢＳ面形状修正装置の動作は前述の方法により行われるので、ここでは説明を省略する。
図２５は本発明の他の実施例によるＡＢＳ面形状修正装置の概略ブロック図である。図において、このＡＢＳ面形状修正装置は、磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面の上の三次元的な位置を測定するＡＢＳ面測定部２５１と、測定して得られたデータと最終修正形状の三次元的な位置との差分を算出する加工条件算出部２５２と、その差分に応じた大きさのエネルギをＡＢＳ面の対応するポイントに付与することによりＡＢＳ面を加工する加工機２５３とを備える。
【００４８】
図２６は本発明の実施例により量産ラインに適合可能なＡＢＳ面形状修正装置の概略を示す模式図である。図において、２６１は回転板、２６２はＡＢＳ面の修正をすべきスライダ又はローバをこの装置に搭載し、又はこの装置から取り出すためのロード／アンロードステーション、２６３は初期形状を評価するために測定ステーション、２６４は第一回目の加工を行うための加工ステーション、２６５は途中の修正状況を確認するための測定ステーション、２６６は第二回目の加工を行うための加工ステーション、２６７は最終確認を行うための測定ステーションである。
【００４９】
回転板２６１はスライダ又はローバのＡＢＳ面形状の修正加工処理のスピードに同期して回転する。この構成により、複数のスライダ又はローバが連続的にロード／アンロードステーション２６２に搭載でき、且つ処理の終わったスライダ又はローバが連続的にロード／アンロードステーション２６２から取り出される。
【００５０】
測定ステーション２６３は、図２４に示したＡＢＳ面測定部２４１、補間面生成部２４２、及び加工条件算出部２４３を備えており、前述した方法により初期形状を評価する。
加工ステーション２６４は、図２４に示した加工機２４４を備えており、ＡＢＳ面の初期形状に応じてＡＢＳ面に対して第一回目の加工を行う。
【００５１】
測定ステーション２６５では、やはり図２４に示したＡＢＳ面測定部２４１、補間面生成部２４２、及び加工条件算出部２４３を備えており、前述した方法により途中修正状況を確認する。
加工ステーション２５６は、やはり図２４に示した加工機２４４を備えており、ＡＢＳ面の途中修正状６に応じてＡＢＳ面に対して第二回目の加工を行う。
【００５２】
測定ステーション２６７は、やはり図２４に示したＡＢＳ面測定部２４１、補間面生成部２４２、及び加工条件算出部２４３を備えており、前述した方法により最終確認をする。
各測定ステーション及び加工ステーションは、図２４のＡＢＳ面測定部２４１、補間面生成部２４２、及び加工条件算出部２４３に代えて、図２５のＡＢＳ面測定部２５２及び加工条件算出部２５２を備えてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ＡＢＳ面全体の形状特性から加工中心位置を決定するので、スライダの表面状態、材料の組成、加工機の性質が変化しても安定して高精度にＡＢＳ面の修正加工が可能な磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正方法、その方法により修正されたＡＢＳ面を持つ磁気ヘッド、及び磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正装置が提供される。
また、一次と二次の補間面にてスライダ全体の形状を補間しているので、従来からのＡＢＳ面の評価方法であるクラウン／キャンバ／ツイストの値と同等の数値評価が可能になる。
さらに、加工毎に加工特性を表現する関係式の係数を実際の加工結果に合わせて変更しているので、加工ルールの時間経過による加工特性の変化や被加工材料の特性変化などに対して適宜最適な条件を設定出来る。このため、高精度のＡＢＳ面修正が可能になる。
さらに、回転式のテーブル構造を使用すれば、容易に量産ラインに適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】ＡＢＳ面を持つ磁気ヘッドのスライダの一例を模式的に示す斜視図である。
【図２】クラウン形状のＡＢＳ面を持つ従来のスライダと磁気ディスクとを示す側面図である。
【図３】吸着防止のために磁気ディスクと対向する面に足を設けたスティクションフリーのスライダと磁気ディスクを示す側面図である。
【図４】本発明の一実施例による磁気ヘッドのスライダのＡＢＳ面形状修正方法を説明するフローチャートである。
【図５】浮上面レールの形成前のスライダのＡＢＳ面の三次元的な位置の測定値とその測定値から得られた補間面を模式的に示す図である。
【図６】浮上面レールの形成後のスライダのＡＢＳ面の三次元的な位置の測定値とその測定値から得られた補間面を模式的に示す図である。
【図７】ＡＢＳ面がクラウン形状の場合の一次近似と二次近似を説明する図である。
【図８】ＡＢＳ面がキャンバ形状の場合の一次近似と二次近似を説明する図である。
【図９】ＡＢＳ面がツイスト形状の場合の一次近似と二次近似を説明する図である。
【図１０】本発明の他の実施例により測定形状と最終修正形状との差を補間面とすることを説明する図である。
【図１１】本発明の実施例によりキャラクタラインの求め方を説明する図である。
【図１２】キャラクタラインの高さ方向の位置が周囲より低い場合の加工中心ラインの説明図である。
【図１３】キャラクタラインが稜線となり、スライダの表面が加工中心ラインとなることを説明する図である。
【図１４】本発明の実施例により加工条件を決定する処理を説明するフローチャートである。
【図１５】図１５におけるデータベースの内容の一例を示す図である。
【図１６】図１５におけるデータベースの内容の他の一例を示す図である。
【図１７】本発明の実施例により複数の加工ラインをライン状に加工する例を説明する図である。
【図１８】本発明の実施例により複数の加工ラインのポイントにエネルギを照射する例を説明する図である。
【図１９】本発明の実施例によりスライダのＡＢＳ面の最終修正形状と測定点の三次元的な位置との差に応じて適宜ポイントにエネルギを付与した例を示す図である。
【図２０】本発明の実施例によりライン状の加工と、ポイント状の加工と、適宜ポイントにエネルギを付与する加工とを混在させた例を説明する図である。
【図２１】本発明の実施例により、より精密なＡＢＳ面形状修正を行うための複数回の加工による修正プロセスの原理を示すグラフ図である。
【図２２】図２１に示した複数回の加工処理の一部を説明するフローチャートである。
【図２３】図２１に示した複数回の加工処理の他の一部を説明するフローチャートである。
【図２４】本発明の実施例によるＡＢＳ面形状修正装置の概略ブロック図である。
【図２５】本発明の他の実施例によるＡＢＳ面形状修正装置の概略ブロック図である。
【図２６】本発明の実施例により量産ラインに適合可能なＡＢＳ面形状修正装置の概略を示す模式図である。
【符号の説明】
【００５５】
５１    スライダ
６１，６２    浮上面レール
６３    補間面
１３０，１４０    キャラクタライン
１２１，１３１    加工ライン
２４１    ＡＢＳ面測定部
２４２    補間面生成部
２４３    加工条件算出部
２４４    加工機
【図１】
2005166262.tif 000003
【図２】
2005166262.tif 000004
【図３】
2005166262.tif 000005
【図４】
2005166262.tif 000006
【図５】
2005166262.tif 000007
【図６】
2005166262.tif 000008
【図７】
2005166262.tif 000009
【図８】
2005166262.tif 000010
【図９】
2005166262.tif 000011
【図１０】
2005166262.tif 000012
【図１１】
2005166262.tif 000013
【図１２】
2005166262.tif 000014
【図１３】
2005166262.tif 000015
【図１４】
2005166262.tif 000016
【図１５】
2005166262.tif 000017
【図１６】
2005166262.tif 000018
【図１７】
2005166262.tif 000019
【図１８】
2005166262.tif 000020
【図１９】
2005166262.tif 000021
【図２０】
2005166262.tif 000022
【図２１】
2005166262.tif 000023
【図２２】
2005166262.tif 000024
【図２３】
2005166262.tif 000025
【図２４】
2005166262.tif 000026
【図２５】
2005166262.tif 000027
【図２６】
2005166262.tif 000028