(57)【要約】      （修正有）【課題】  ガラス基板を収納ボックスに収納し取り出すまで常時ボックス内のパーティクルを排除して常にクリーンな状態に保つことができる空気清浄器付きガラス基板収納ボックスを提供すること。【解決手段】  蓋体Ｆ上に取り付けた空気清浄器ＣＵが、これを外部と遮蔽したケースボックス３８内の空気をフィルター２８を介してボックス本体２に流入し、ボックス本体２内を循環して再びケースボックス３８内に流出させるように構成することで、蓋体Ｆを装着した状態で空気清浄器ＣＵをいつでも作動でき、ガラス基板収納ボックス１の搬送中に生じるパーティクルを除去することができ、またケースボックス３８内の限定した空気を空気清浄器ＣＵに取り入れているので、長時間の使用においてもフィルターの損耗が低くなる。【選択図】  図３
2005324822.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有底のボックス本体と該ボックス本体に対して装脱自在の蓋体とから成り、前記ボックス本体の対向する二つの側壁に複数のガラス基板の両側端縁をそれぞれ支持する複数の支持溝が形成され、前記蓋体に取り付けた空気清浄器によりボックス本体内よりパーティクルを除去する空気清浄器付きガラス基板収納ボックスであって、前記空気清浄器は外部と遮蔽した限定した空間から取り入れた空気をフィルターを介してボックス本体に流入させ、ボックス内を循環して前記限定した空間に流出させるようにしたこと特徴とする空気清浄器付きガラス基板収納ボックス。
【請求項２】
前記蓋体のボックス本体側には除電器が取り付けられている請求項１に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックス。
【請求項３】
前記空気清浄器は限定した空間から取り入れた空気を前記一方の側壁に設けた複数の支持溝に沿って流入させ、他方の側壁に設けた複数の支持溝を通り前記限定した空間に流出させている請求項１または２に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックス。
【請求項４】
前記蓋体にはボックス本体に対する空気清浄器からの空気流入口と排気口が設けられ、前記空気流入口は一方の側壁に設けた複数の支持溝の上方近傍に、前記排気口は他方の側壁に設けた複数の支持溝の上方近傍にそれぞれ配設されている請求項１ないし３のいずれかに記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックス。
【請求項５】
前記空気流入口には一方の側壁に設けた複数の支持溝に空気流が向かう案内部材が設けられている請求項４に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックス。
【請求項６】
前記排気口には複数の支持溝の配列方向に沿って並んだ複数の一方向弁が設けられている請求項４または５に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックス。
【請求項７】
前記限定した空間は蓋体及び空気清浄器を取り囲むケースボックスで構成されている請求項１ないし６のいずれかに記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックス。
【請求項８】
前記限定した空間は前記ガラス基板収納ボックスを取り囲む搬送ボックスで構成され、ガラス基板収納ボックスは搬送ボックスに対して移動不能に固定されている請求項１ないし６のいずれかに記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックス。
【請求項９】
前記空気清浄器は制御器によりボックス本体内の湿度又は温度あるいはその両者を調整可能である請求項１ないし８にいずれかに記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有底のボックス本体と該ボックス本体に対して装脱自在の蓋体とから成り、前記ボックス本体の対向する二つの側壁に複数のガラス基板の両側端縁をそれぞれ支持する複数の支持溝が形成され、前記蓋体に取り付けた空気清浄器によりボックス本体内よりパーティクルを除去する空気清浄器付きガラス基板収納ボックスに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、素板ガラス、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示用ガラス基板、ハイブリッドＩＣセラミックス基板、ウエハなどの各種の基板、あるいはこれら基板を用いて製造した完成パネル等（以下単に「ガラス基板」という）を例えば、ガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用ボックスとして、有底のボックス本体と、このボックス本体の開口を開閉可能な蓋体とから成る収納ボックスが知られていた（特許文献１、２参照）。
【０００３】
図７は、従来知られているガラス基板を搬送するための収納ボックスの外観斜視図であり、収納ボックス０１は、有底の本体部０２と蓋体（図示せず）で構成され、本体部０２内にはガラス基板支持用の支持溝０４ａを有した側板０４が一対挿入されている。ガラス基板Ｇの両側端部は対向する側板の支持溝０４間ａ内に一枚ずつ係合支持され、上部より蓋体をガラス基板Ｇの上端縁を押さえるようにして本体部０２上にかぶせて搬送に供される。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−３０１３５４号公報（段落００２７、第５図）
【特許文献２】特開平９−５８７７０号公報（第５，６図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記特許文献に記載の従来のガラス基板収納ボックスにあっては、ボックス内に存在するパーティクルについて何等考慮が払われていないため、静電気の存在と相俟って、ガラス基板に多くのパーティクルが付着してしまい、例えば、素板ガラスを液晶表示用フラットパネルやエレクトロルミネッセンエセンス表示用パネルとして使用する際の導電膜形成に支障をきたしていた。したがって、ガラス基板収納ボックスより取り出した素板ガラスを再度洗浄してパーティクルを取り除く作業が必要であり、しかも洗浄後もパーティクルをほぼ完全に取り除くことは不可能であった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ガラス基板を収納ボックスに収納し取り出すまで常時ボックス内のパーティクルを排除して常にクリーンな状態に保つことができる空気清浄器付きガラス基板収納ボックスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスは、有底のボックス本体と該ボックス本体に対して装脱自在の蓋体とから成り、前記ボックス本体の対向する二つの側壁に複数のガラス基板の両側端縁をそれぞれ支持する複数の支持溝が形成され、前記蓋体に取り付けた空気清浄器によりボックス本体内よりパーティクルを除去する空気清浄器付きガラス基板収納ボックスであって、前記空気清浄器は外部と遮蔽した限定した空間から取り入れた空気をフィルターを介してボックス本体に流入させ、ボックス内を循環して前記限定した空間に流出させるようにしたこと特徴としている。
この特徴によれば、空気清浄器が蓋体に取り付けられているので、蓋体をボックス本体に装着した状態で空気清浄器をいつでも作動することができるので、ガラス基板収納ボックスの搬送中に生じるパーティクルも除去可能である。また限定した空間から空気を空気清浄器に取り入れているので、長時間の使用においてもフィルターの損耗が低い。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスは、請求項１に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスであって、前記蓋体のボックス本体側には除電器が取り付けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、除電器を用いることで、ガラス基板の帯電作用を抑え、パーティクルの付着を阻止できる。
【０００９】
本発明の請求項３に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスは、請求項１または２に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスであって、前記空気清浄器は限定した空間から取り入れた空気を前記一方の側壁に設けた複数の支持溝に沿って流入させ、他方の側壁に設けた複数の支持溝を通り前記限定した空間に流出させていることを特徴としている。
この特徴によれば、一方の側壁に設けた複数の支持溝に沿って空気が流入し、他方の側壁に設けた複数の支持溝を通り限定した空間に流出するので、ボックス本体全体に空気が循環すると共に、支持溝に貯まりがちなパーティクルを効率よく排出させることができる。
【００１０】
本発明の請求項４に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスは、請求項１ないし３のいずれかに記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスであって、前記蓋体にはボックス本体に対する空気清浄器からの空気流入口と排気口が設けられ、前記空気流入口は一方の側壁に設けた複数の支持溝の上方近傍に、前記排気口は他方の側壁に設けた複数の支持溝の上方近傍にそれぞれ配設されていることを特徴としている。
この特徴によれば、蓋体をボックス本体に装着するだけで、支持溝を通り、パーティクルが効率よく排出できる空気循環路を形成することができる。
【００１１】
本発明の請求項５に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスは、請求項４に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスであって、前記空気流入口には一方の側壁に設けた複数の支持溝に空気流が向かう案内部材が設けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、空気流入口と複数の支持溝との位置が多少離れていても、案内部材により支持溝に空気流を向かわせることができる。
【００１２】
本発明の請求項６に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスは、請求項４または５に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスであって、前記排気口には複数の支持溝の配列方向に沿って並んだ複数の一方向弁が設けられていることを特徴としている。
この特徴によれば、複数の一方向弁を複数の支持溝の配列方向に沿って並ばせることにより、排出側において、空気の乱れを生起することなくスムーズに空気を排出でき、空気清浄器を作動しないときは、一方向弁により外部と遮断して、パーティクルの侵入を阻止できる。
【００１３】
本発明の請求項７に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスは、請求項１ないし６のいずれかに記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスであって、前記限定した空間は蓋体及び空気清浄器を取り囲むケースボックスで構成されていることを特徴としている。
この特徴によれば、限定した空間を蓋体及び空気清浄器を取り囲むケースボックスで構成することができるので、比較的小型のケースボックスで足り、フィルターの損耗も少ない。
【００１４】
本発明の請求項８に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスは、請求項１ないし６のいずれかに記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスであって、前記限定した空間は前記ガラス基板収納ボックスを取り囲む搬送ボックスで構成され、ガラス基板収納ボックスは搬送ボックスに対して移動不能に固定されていることを特徴としている。
この特徴によれば、ガラス基板収納ボックスが搬送ボックスにより保護され、移動不能に固定されることで、車両等の運搬に便利であり、ガラス基板収納ボックスと搬送ボックスとの隙間空間に各種機器類を配設することもできる。
【００１５】
本発明の請求項９に記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスは、請求項１ないし８のいずれかに記載の空気清浄器付きガラス基板収納ボックスであって、前記空気清浄器は制御器によりボックス本体内の湿度又は温度あるいはその両者を調整可能であることを特徴としている。
この特徴によれば、ボックス本体内の湿度あるいは温度を管理することで、ガラス基板表面に水分が付着することを防ぐ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明の実施例を以下に説明する。
【実施例１】
【００１７】
本発明の実施例を図面に基づいて説明すると、先ず図1は本発明の実施例１におけるガラス基板収納ボックスであって、ケースボックスを取り外した状態を示す斜視図、図２は内部が清浄されたボックス本体内にガラス基板を装填する状態を示す斜視図、図３（ａ）はケースボックスによって取り囲まれた空気清浄器によるボックス本体内部の空気の流れを示す説明図、（ｂ）は一方向弁の拡大外観図である。
【００１８】
最初にガラス基板収納ボックスに付き説明する。先ず図1には、本発明の実施例１としての空気清浄器ＣＵを備えたガラス基板収納ボックス１が示されており、このガラス基板収納ボックス１は、複数のガラス基板を、例えばガラスメーカからデバイスメーカに移送する場合に用いられる搬送用ボックスとして使用するものであって、横長直方体で上部が開口した有底のボックス本体２と蓋体Ｆと図示されていないケースボックスから成り、ボックス本体２は、後述する底板９と４枚のボックス側板６ａ，６ｂ及び８ａ，８ｂとを組み合わせて構築されている。
【００１９】
図２に示すように、ボックス体２を構成する４枚のボックス側板６ａ，６ｂ及び８ａ，８ｂは、長寸矩形状のボックス側板６ａ，６ｂと短寸矩形状のボックス側板８ａ，８ｂとからなり、発泡スチロール樹脂（例えば発泡ポリエチレン樹脂）を両側からアルミ複合板で挟んだ断面構造となっており、アルミ複合板の最外面と最内面は導電処理のためにポリエステル樹脂系の焼き付け塗料が塗布されている。
【００２０】
一方、蓋体Ｆを構成する天板の上面には空気清浄器ＣＵが取り付けられており、天板の裏面にはガラス基板Ｇの上端面を押圧支持するために、例えば導電性を有するポリエチレン系発泡体より成る所定厚みを有する直方体に形成されたガラス基板当接パッド３５が貼着されており、この蓋体Ｆは、両ボックス側板６ａ，６ｂ上端縁の４箇所にそれぞれ配設された開閉操作可能な取付具（例えばパッチン錠等）２５によって装着されるようになっている。
【００２１】
更に、ボックス本体２内の底板９上面には、図３に示すように、硬質材として例えばポリプロピレン系発泡体より成る所定厚みを有する直方体のガラス基板支持用の底面パッド５が長手方向に所定間隔毎に並設して貼着されている。そして、この底面パッド５の上面には、ガラス基板Ｇの下端縁を支持すべく例えば１４ｍｍピッチ間隔の平行な支持溝Ｍ３を有する断面山形のリブ２４が形成されている。そして、各底面パッド５の下面には幅方向に横切る凹溝Ｈが形成されており空気清浄器ＣＵによる空気の流通路として機能している。
【００２２】
また、ボックス本体２の短寸側の対向する両側のボックス側板８ａ，８ｂの内側壁には側面パッド１４，１８が貼着されており、これらの側面パッド１４，１８は、その上面に例えば１４ｍｍピッチ間隔の平行で垂直な断面山形の誘導リブ部材２２によって複数の支持溝Ｍ１，Ｍ２が形成されており、誘導リブ部材２２は、各ベース部材の入口側端上方に上端部の板厚が薄く下方に向けて徐々に厚くなるテーパ面を有するガイド面が形成されている。尚、これら複数の支持溝Ｍ１，Ｍ２は、底面パッド５上面に形成される支持溝Ｍ３と共にガラス基板の両側端縁及び下端縁の全てが対応するように形成されている。
【００２３】
次に空気清浄器に付き図３を参照して説明する。
【００２４】
図３には空気清浄器ＣＵが示されており、この空気清浄器ＣＵは、ボックス本体２の開口を密封閉塞すべく装脱自在に取り付けられる蓋体Ｆの天板上面に取り付けられている。
【００２５】
この空気清浄器ＣＵは、例えばＫＥＹＥＮＣＥ（キーエンス）製のクリーンファンユニットＣＦ−Ｈ０４０が使用されており、図示しない送風機（例えばシロッコファン）により空気取込み口２６より取り込まれた外気を、フィルタ２８により浄化してボックス本体２の内部に送り込み、内部に存在するパーティクルと共に後述する一方向弁３０を介して外部に排出するように構成されている。
【００２６】
蓋体Ｆは、上面に空気清浄器ＣＵを載置する支持面３２が凹設されており、支持面３２の一方には浄化された空気を送り込む複数の一方向弁３０を内部に臨ませるための空気流入口となる第１開口３４ａが形成されると共に、その後方にはパーティクルを含むボックス本体２内部の空気を後述するケースボックス３８内に排出する複数の一方向弁３０を収容するための空気排出口となる第２開口３４ｂが形成されている。
【００２７】
更に、第１開口３４ａ内に配置される複数の一方向弁３０は、一方のボックス側板８ａの複数の誘導リブ部材２２間で形成される支持溝Ｍ１の配列方向に沿って整列され、第２開口３４ｂ内に配置される複数の一方向弁３０も他方のボックス側板８ｂの複数の誘導リブ部材２２間で形成される支持溝Ｍ２の配列方向に沿って整列されている。
【００２８】
第１開口３４ａ周囲は空気清浄器ＣＵの下面と支持面３２との間に介設された図示しにないパッキンを介してシールされており、第２開口３４ｂの周囲も同様に一方向弁３０を支持するベース板３１と支持面３２との間に介設されたパッキンによってシールされている。
【００２９】
尚、ここで空気流入口側ないし空気排出口側に使用される一方向弁３０は、図３（ｂ）に示されるように、入口側３０ａから流入した空気を出口側３０ｂから一方向にのみ流出する弁であって、出口側３０ｂに設けた復帰弾力を有するゴム製の開閉弁３０ｃによって出口側３０ｂからの流入を遮断されるように構成されている。
【００３０】
そして、蓋体Ｆの裏面には、第１開口３４ａの片側縁に第１開口３４ａを介して導入された浄化された空気を一方のボックス側板８ａ側上方に向けて案内する案内部材としての斜めの案内溝３６がガラス基板当接パッド３５の一端に切欠き形成されている。尚、この案内溝３６は、板材を折曲して形成してボックス側板８ａ側上方に向けて案内する案内板を斜めに取り付けることもでき、この場合、案内板の下端はボックス本体２の開口を蓋体Ｆによって閉塞した際に、装填されたガラス基板Ｇの上端縁に当接しないように構成される。
【００３１】
更に、この蓋体Ｆの裏面には、ガラス基板Ｇがボックス本体２に装填された後、ガラス基板Ｇに帯電している静電気を取り除くために、静電除去装置としてガラス基板Ｇに向かってイオンを放出可能な除電器（イオナイザー）４１が取り付けられている。この除電器の数はガラス基板の大きさに応じて複数個設ける。
【００３２】
更に、蓋体Ｆの上面には、空気清浄器ＣＵに隣接して図示しない蓄電器、充電器及び制御器（コントロールユニット）が載置されており、この制御器は空気清浄器ＣＵと共にケースボックス３８により外部から遮断されている。
【００３３】
また、ガラス基板収納ボックス1内には、図示しない温度センサないし湿度センサが配置されており、これらセンサによる検知により空気清浄器ＣＵによる送風空気の温度及び湿度を制御器で調節することでガラス基板収納ボックス1内の湿度又は温度あるいはその両者を管理することができ、例えば、ガラス基板Ｇの表面に水分が付着するのを防止できる。
【００３４】
次に、空気清浄器の作用に付き説明する。先ず、ボックス本体２の内部にガラス基板Ｇを装填する前に、図３に示すように、ボックス本体２の開口に空気清浄器ＣＵを取り付けた蓋体Ｆ及びケースボックス３８を装着した状態で空気清浄器ＣＵを作動させることでボックス本体２の内部が浄化される。
【００３５】
すなわち、空気清浄器ＣＵによって浄化された空気は第１開口３４ａから複数の一方向弁３０を介してボックス本体２の内部に導入されると、斜めの案内溝３６によって、一方のボックス側板８ａ側の複数の各支持溝Ｍ１上方に向う層流状態の空気の流れが形成される。
【００３６】
次に、複数の支持溝Ｍ１に沿って下方に流れた空気は底板９に向い、底板９上面に到達した空気は、底面パッド５上面の複数のリブ２４間で形成される支持溝Ｍ３に沿って流れると共に、底面パッド５下面の凹溝Ｈよって形成される流通路を通して他方のボックス側板８ｂ側に移動する。
【００３７】
他方のボックス側板８ｂに移動した空気は、上昇気流となってベース部材１８ａの複数の誘導リブ部材２２によって形成される支持溝Ｍ２に沿って流動する層流状態の流れが形成され、第２開口３４ｂの一方向弁３０を介して外部に排出される。
【００３８】
このように、ボックス本体２の内部に導入された浄化空気は、図３の矢印で示すような一連の流れが形成され、支持溝Ｍ１，Ｍ３，Ｍ２に沿った空気流れを積極的に作ることにより、蓄積しやすい支持溝Ｍ１，Ｍ３，Ｍ２間のパーティクルを排出すると共に、ボックス本体２の中間部の空気も流動化し、浮遊しているパーティクルが第２開口３４ｂより排出され、ボックス本体２内部のパーティクルが除去される。
【００３９】
次いで、浄化されたボックス本体２内部には、図２に示すように開口側から順次ガラス基板Ｇの両側端縁が両側面パッド１４，１８の誘導リブ部材２２上端縁に形成されたガイド面に案内されて複数の支持溝Ｍ１，Ｍ２内に装填され、その下端縁が底面パッド５上面の支持溝Ｍ３に支持される。
【００４０】
次に、複数のガラス基板Ｇを収納したガラス基板収納ボックス１を搬送する際は、再び図３（ａ）に示すように、ボックス本体２の開口を空気清浄器ＣＵを備えた蓋体Ｆで閉塞し、更に空気清浄器ＣＵの周囲をケースボックス３８によって密閉し、限定された空間を構築する。この際、ガラス基板Ｇの装填時に生じたパーティクルを除去するために、空気清浄器ＣＵを再作動させると共に、除電器４１も作動させる。
【００４１】
すなわち、ガラス基板収納ボックス１を搬送中に、必要に応じて空気清浄器ＣＵを作動させると、先に説明したように、ガラス基板Ｇ側端縁と側面パッド１４，１８の接触によって生じたパーティクルも、図３に示すように、一連の層流状態の空気流れにより、積極的に排出することができ、ガラス基板Ｇの表面に静電気等によって付着しているパーティクルも除電作用によって分離し、空気と共に外部に排出することができる。
【００４２】
このように複数のガラス基板Ｇが装填されたガラス基板収納ボックス１は、搬送中にも空気清浄器ＣＵ及び除電器４１を作動させることで、搬送中に生じるパーティクルも除去することができ、しかもケースボックス３８限定した空間から空気を空気清浄器に取り入れているので、長時間の使用においてもフィルター２８の損耗が低い。
【００４３】
そして、このガラス基板収納ボックス１は、ケースボックス３８から取り入れた空気が一方のボックス側板８ａの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ１に沿って流入し、他方のボックス側板８ｂの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ２を通りケースボックス３８に流出するので、ボックス本体２内部全体に空気が循環すると共に、支持溝Ｍ１，Ｍ２に貯まりがちなパーティクルを効率よく排出させることができる。
【００４４】
また、蓋体Ｆに設けた除電器４１からのイオンは、空気清浄器ＣＵによる対流作用でより一層広範囲に放出され、ガラス基板Ｇに帯電する静電気を確実に取り除くことができ、ガラス基板Ｇに対するパーティクルの付着を阻止できる。
【００４５】
また、蓋体Ｆには、ボックス本体２に対する空気清浄器ＣＵから空気を導入する第１開口３４ａと空気をケースボックス３８内に排出する第２開口３４ｂが設けられ、第１開口３４ａは一方のボックス側板８ａの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ１の上方近傍に、第２開口３４ｂは他方のボックス側板８ｂの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ２の上方近傍にそれぞれ配設されているので、第２の蓋体Ｆ２をボックス本体２に装着するだけで、支持溝Ｍ１，Ｍ３，Ｍ２を通り、パーティクルが効率よく排出できる空気循環路を形成することができる。
【００４６】
更に、第１開口３４ａには一方のボックス側板８ａの内壁に設けた複数の支持溝Ｍ１に空気流が向かう案内溝３６が、ガラス基板当接パッド３５の一端に切欠き形成されているので、第１開口３４ａと複数の支持溝Ｍ１との位置が多少離れていても、この案内溝３６により支持溝Ｍ１に空気流を向かわせることができる。
【００４７】
そして、複数の排出側の一方向弁３０を複数の支持溝Ｍ２の配列方向に沿って並ばせることにより、排出側において、空気の乱れを生起することなくスムーズに空気を排出でき、空気清浄器ＣＵを作動しないときは、一方向弁３０により外気と遮断して、パーティクルの侵入を阻止できる。
【００４８】
そしてまた、蓋体Ｆ上面の空気清浄器ＣＵ周囲の限定した空間が蓋体Ｆ及び空気清浄器ＣＵを取り囲むケースボックス３８で構成することができるので、比較的小型のケースボックスで足り、フィルター２８の損耗も少ない。
【実施例２】
【００４９】
次に、本発明の実施例２におけるガラス基板収納ボックスを取り囲む搬送ボックスに付き図４〜図６を参照して説明する。図４はガラス基板収納ボックスを収容した搬送ボックスの部分斜視図、図５はガラス基板収納ボックスを移動不能に保持するボックス保持枠の斜視図、図６はガラス基板収納ボックスを密閉収容した搬送ボックスの全体斜視図である。
【００５０】
図６には、搬送ボックス４０が示されており、この搬送ボックス４０は、横長直方体で上部が開口した有底の搬送ボックス本体４０ａと蓋体４０ｂとから成り、搬送ボックス本体４０ａは、図４及び図６に示されているように、底板４５と４枚のボックス側板４６ａ，４６ｂ及び４８ａ，４８ｂとを組み合わせて構築されており、底板４５と４枚のボックス側板４６ａ，４６ｂ及び４８ａ，４８ｂの周囲は、複数の枠部材５２（一部のみ図示）により支持されている。
【００５１】
そして、搬送ボックス４０の底板４５上には、外周がボックス側板４６ａ，４６ｂ及び４８ａ，４８ｂの内壁に接触するように、ガラス基板収納ボックス1及び蓄電器４２等をを移動不能に保持するために例えば発泡スチロール等で板状に成形された規制ブロック４４（図５参照）が装填されている。
【００５２】
この規制ブロック４４は、ガラス基板収納ボックス１の外周を挿嵌保持する矩形状の
第１抜き孔４４ａが形成されると共に、この第１抜き孔４４ａに隣接して蓄電器４２の外周を挿嵌保持する第２抜き孔４４ｂが形成されている。尚、この規制ブロック４４は、発泡スチロール製の板材に代えて前記各抜き孔に対応する凹溝を形成した所定厚みのプラスチック等の板材で構成することもできる。
【００５３】
次に、ガラス基板収納ボックス１を搬送ボックス４０内に収容する手順に付き説明する。
【００５４】
図４に示すように、搬送ボックス４０内に装填された規制ブロック４４の第１、第２抜き孔４４ａ，４４ｂにガラス基板収納ボックス１ないしコントロールユニット４２を装填する。
【００５５】
次いで、電源を入れて空気清浄器ＣＵを起動した状態で、図６に示すように搬送ボックス４０の搬送ボックス本体４０ａ開口部を蓋体４０ｂにより閉塞し、取付具２５により固定し搬送ボックス４０内を密閉状態とすることでガラス基板収納ボックス１の周囲に限定した空間が得られる。
【００５６】
このようにして、ガラス基板収納ボックス１は搬送ボックス４０内に密閉状態で収納された状態で、デバイスメーカに移送されるが、搬送の過程でも空気清浄器ＣＵ及び除電器は作動しており、ガラス基板収納ボックス１内部のパーティクルを取り込んだ空気は搬送ボックス４０内に排出されて、再びフィルタ２８により浄化されてガラス基板収納ボックス１の内部に送り込まれ循環移動する。
【００５７】
ガラス基板収納ボックス１内部の環境は、実施例１と同様に温度センサないし湿度センサの監視のもとで制御器（図示せず）により調節されることで、例えば、ガラス基板Ｇの表面に水分が付着するのを防止できるように管理されている。
【００５８】
従って、ガラス基板収納ボックス１が搬送ボックス４０により保護され、規制ブロック４４により移動不能に固定されることで、車両等の運搬に便利であり、ガラス基板収納ボックス１と搬送ボックス４０との隙間空間に各種機器類を配設することもできる。
【００５９】
以上、本発明の実施例を図面により説明してきたが、具体的な構成はこれら実施例に限られるものではなく、例えば、第１開口３４ａに配設された空気流入側の一方向弁３０は上流側にフィルタ２８を用いているので、必ずしも設ける必要はない。また、案内板３６の代わりに空気清浄器ＣＵの吐出ノズルの向きを変えるようにしても良い。更に、除電器４１の設置個所は、必ずしも蓋体Ｆの裏面だけに限定するものではなく、ガラス基板収納ボックス１内の任意の場所に設置することができ、その放射方式も、除電器を複数個別に設ける代わりに、複数のノズル口を有する棒状タイプの使用も可能である。
【００６０】
第２実施例で用いた規制ブロック４４に代えて他の固定手段、例えば側板にガラス基板収納ボックス１のための係止具を設けたり、突っ張り棒を配設するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施例１におけるガラス基板収納ボックスであって、ケースボックスを取り外した状態を示す斜視図である。
【図２】同じく内部が清浄されたボックス本体内にガラス基板を装填する状態を示す斜視図である。
【図３】同じく（ａ）はケースボックスによって取り囲まれた空気清浄器によるボックス本体内部の空気の流れを示す説明図、（ｂ）は一方向弁の拡大外観図である。
【図４】本発明の実施例２におけるガラス基板収納ボックスを収容した搬送ボックスの部分斜視図である。
【図５】同じくガラス基板収納ボックスを移動不能に保持するボックス保持枠の斜視図である。
【図６】同じくガラス基板収納ボックスを密閉収容した搬送ボックスの全体斜視図である。
【図７】従来のガラス基板を搬送するための収納ボックスの外観斜視図である。
【符号の説明】
【００６２】
１                      ガラス基板収納ボックス
２                      ボックス本体
５                      底面パッド
６ａ，６ｂ              ボックス側板
８ａ，８ｂ              ボックス側板
９                      底板
１４，１８              側面パッド
２２                    誘導リブ部材
２４                    リブ
２５                    取付具
２６                    空気取込み口
２８                    フィルタ
３０                    一方向弁
３０ａ                  入口側
３０ｂ                  出口側
３０ｃ                  開閉弁
３１                    ベース板
３２                    支持面
３４ａ                  第１開口
３４ｂ                  第２開口
３５                    ガラス基板当接パッド
３６                    案内溝（案内部材）
３８                    ケースボックス
４０                    搬送ボックス
４０ａ                  搬送ボックス本体
４０ｂ                  蓋体
４１                    除電器（静電除去装置）
４２                    蓄電池
４４                    規制ブロック
４４ａ                  第１抜き孔
４４ｂ                  第２抜き孔
４５                    底板
４６ａ，４６ｂ          ボックス側板
４８ａ，４８ｂ          ボックス側板
５２                    枠部材
ＣＵ                    空気清浄器
Ｆ                      蓋体
Ｇ                      ガラス基板
Ｈ                      凹溝
Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３        支持溝
【図１】
2005324822.tif 000003
【図２】
2005324822.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2005324822.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005324822.tif 000009