(57)【要約】【課題】  封入ガスにＮ2を添加したときにＰＤＰの駆動電圧を低下させ、発光効率の高い、寿命の長いＰＤＰを実現する。【解決手段】  第１の基板と、前記第１の基板と対向する第２の基板と、前記第１の基板の前記第２の基板に面した側に形成された第１の電極と、前記第２の基板の前記第１の基板に面した側に形成された第２の電極と、前記第１の電極を覆うように形成された第１の誘電体層と、前記第２の電極を覆うように形成された第２の誘電体層と、前記第１の誘電体層を覆うように形成された保護膜と、前記保護膜と前記第２の誘電体層の間に形成され封入ガスが封入された放電空間と、を設けたプラズマディスプレイパネルであって、前記保護膜はＺｎＯからなり、前記封入ガスはＮ2を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルを用いた。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と、
前記第１の基板と対向する第２の基板と、
前記第１の基板の前記第２の基板に面した側に形成された第１の電極と、
前記第２の基板の前記第１の基板に面した側に形成された第２の電極と、
前記第１の電極を覆うように形成された第１の誘電体層と、
前記第２の電極を覆うように形成された第２の誘電体層と、
前記第１の誘電体層を覆うように形成された保護膜と、
前記保護膜と前記第２の誘電体層の間に形成され封入ガスが封入された放電空間と、を設けたプラズマディスプレイパネルであって、
前記保護膜はＺｎＯからなり、前記封入ガスはＮ2を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記封入ガスの全圧に対するＮ2の分圧の比が２％以上であることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記保護膜のＺｎＯ結晶の六方晶系のｃ軸が基板に垂直に成長し、（０００１）面に優先配向していることを特徴とする請求項１または２記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はプラズマディスプレイパネル（Ｐｌａｓｍａ  Ｄｉｓｐｌａｙ  Ｐａｎｅｌ、以下文中ではＰＤＰと表記する）に係り、特には高効率な放電が可能なＰＤＰに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＰＤＰは、大画面化が容易なこと、表示品質がよいこと、また、液晶ディスプレイと比べた場合に視野角が広いなどの特長があり、薄型化が可能なことから例えば壁掛け型ディスプレイなどの大型表示装置として用いられるようになってきている。
【０００３】
ＰＤＰの動作原理の概要は、表示セルと呼ばれる、例えば希ガスからなる封入ガスが封入された放電空間で放電を起こすことによって希ガスの粒子を励起し、その光学的遷移によって生じる紫外線によって蛍光体を励起し、当該蛍光体からの可視光を表示発光に利用するものである。
【０００４】
図１（Ａ）は、従来の交流（ＡＣ）駆動型のＰＤＰの構造の１表示セルの断面図を模式的に示したものであり、図１（Ｂ）にはそのＡ−Ａ断面図を示す。また図２には、図１（Ａ），（Ｂ）に示した表示セルを複数個並べたＡＣ駆動型のカラーＰＤＰ１００の斜視図を示す。
【０００５】
図１（Ａ）、（Ｂ）および図２を参照するに、前記ＰＤＰ１００では、放電空間１１０を挟んで、ガラス基板からなる前面板１０１と背面板１０５が対向する形で配置されている。前記前面板１０１上の、前記背面板１０５に対向する側には表示用電極１０２が配置され、当該表示用電極１０２は、例えば酸化鉛系ガラスなどからなる誘電体層１０３に覆われ、さらに当該誘電体層１０３が、ＭｇＯからなる保護膜１０４で覆われた構造となっている。前記表示用電極１０２は、対をなす帯状の走査電極および維持電極が互いに平行に配置されることにより、構成されている。
【０００６】
一方、前記背面板１０５上の、前記前面板１０１に対向する側には前記表示用電極１０２に直交する帯状の複数のデータ電極１０６が設けられており、これら複数のデータ電極１０６は互いに平行に配置され、またそれぞれの前記データ電極１０６は誘電体層１０７によって覆われている。
【０００７】
さらに複数のデータ電極１０６を分離し、かつ放電空間１１０を形成する隔壁１０８が前記誘電体層１０７上に設けられている。また前記データ電極１０６上の前記誘電体層１０７の上から前記隔壁１０８の側面にわたって、蛍光体層１０９が形成されている。図３に示すＰＤＰ１００の場合、カラー表示を可能にするために、前記隔壁１０８を挟んで、例えば赤、緑、青の蛍光体１０９が順に配置された構造になっている。
【０００８】
前記放電空間１１０には封入ガスが封入され、前記封入ガスは、例えばＨｅ，Ｎｅ，ＫｒおよびＡｒのうち、少なくともひとつと、Ｘｅの混合ガスからなる。
【０００９】
このような構造の前記ＰＤＰ１００において、前記誘電体層１０３および１０７は、前記表示電極１０２および前記データ電極１０６に電圧を印加することで生じた電荷を蓄積するために設けられている。
【００１０】
また、前記保護膜１０４は、放電電圧を低くし、放電によって生じたイオンなどの衝突により、前記誘電体層１０３が破壊されることを防ぐために設けられている。前記保護膜１０４としては一般にＭｇＯ膜が用いられている。
【００１１】
前記ＰＤＰ１００の動作原理は以下の通りである。まず、前記表示電極１０２（走査電極および維持電極間）のリセット放電を全てのセルの前記放電空間１１０で行い、壁電荷の状態を同じにし、次に前記表示用電極１０２の走査電極の走査にあわせて前記データ電極１０６に選択的に電圧を印加して前記放電空間１１０においてアドレス放電を起こす。
【００１２】
これにより、前記表示用電極１０２上に選択的に壁電荷を形成する。そのために、次に放電維持電圧を前記表示用電極１０２に印加した際に、前記放電空間１１０での放電発生の有無を制御することができ、前記放電空間１１０での維持放電の回数により、画像表示の階調を制御して、画像を表示することができる。
【００１３】
しかし、近年の高性能化したＰＤＰにおいては更なる高輝度化や高精細化が要求されており、高輝度化や高精細化を実現するためには、ＰＤＰの発光効率を高める必要があった。
【００１４】
また、ＰＤＰは蛍光体の劣化によって寿命が決まるので、蛍光体の劣化をできるだけ低減し、ＰＤＰの寿命を長くする必要が有る。
【００１５】
このように、ＰＤＰの発光効率を高め、さらにＰＤＰの寿命を長くするための試みとして、封入ガス中の紫外線励起に用いられるガスとして、Ｘｅに換えてＮ2を用いることが提案されている。（例えば非特許文献１〜非特許文献３参照。）
【非特許文献１】ＴＶ学会技報、横澤、ED474,pp.69-74(1979)
【非特許文献２】電子情報通信学会総合大会、上田他、Ｃ−９−２
【非特許文献３】K.C.Choi et al,SID Int. Symp. Dig. Tech. Papers, pp432-435,VOL. VIII,May2002
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかし、ＰＤＰの封入ガスにＮ2を添加した場合、駆動電圧が上昇してしまう問題が生じていた。特に封入ガス中でＮ2の分圧を増加させるに従い、駆動電圧が上昇する傾向が強くなり、駆動回路の消費電力やコストが増加してしまう問題が生じ、ＰＤＰの封入ガス中にＮ2を添加することは困難となっていた。
【００１７】
そこで、本発明は上記の問題を解決することを目的としている。
【００１８】
本発明の具体的な課題は、封入ガスにＮ2を添加したときにＰＤＰの駆動電圧を低下させることを可能とし、発光効率を高めて、寿命の長いＰＤＰを実現することである。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明では上記の課題を解決するために、第１の基板と、前記第１の基板と対向する第２の基板と、前記第１の基板の前記第２の基板に面した側に形成された第１の電極と、前記第２の基板の前記第１の基板に面した側に形成された第２の電極と、前記第１の電極を覆うように形成された第１の誘電体層と、前記第２の電極を覆うように形成された第２の誘電体層と、前記第１の誘電体層を覆うように形成された保護膜と、前記保護膜と前記第２の誘電体層の間に形成され封入ガスが封入された放電空間と、を設けたプラズマディスプレイパネルであって、前記保護膜はＺｎＯからなり、前記封入ガスはＮ2を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルを用いた。
【００２０】
本発明によれば、プラズマディスプレイパネルの保護膜にＺｎＯからなる膜を用いたことで、保護膜表面から二次電子が放出されやすくなり、放電開始電圧を低くすることができる。そのためにＮ2ガスを封入ガスに添加することが可能となり、発光効率が高く、蛍光体へのダメージが少なく寿命が長いＰＤＰを実現することが可能となる。
【００２１】
また、前記封入ガスの全圧に対するＮ2の分圧の比が２％以上であるようにすると、発光効率が増大するとともに、従来の場合に比べて駆動電圧が抑制される効果が特に大きくなり、好適である。
【００２２】
また、前記保護膜のＺｎＯ結晶の六方晶系のｃ軸が基板に垂直に成長し、（０００１）面に優先配向しているようにすると、前記放電空間の放電での当該保護膜のスパッタリング耐性が向上して、好適である。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、ＰＤＰの封入ガスにＮ2を添加したときにＰＤＰの駆動電圧を低下させることを可能とし、発光効率が高く、また蛍光体へのダメージを少なくしてより寿命の長いＰＤＰを実現することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
次に、本発明の実施の形態について図面に基づき、説明する。
【実施例１】
【００２５】
次に、本発明の実施の形態に関して、図面に基づき以下に説明する。
【００２６】
図３（Ａ）は、本発明の実施例１によるＡＣ駆動型のＰＤＰの構造の１表示セルの断面図を模式的に示したものであり、図３（Ｂ）にはそのＢ−Ｂ断面図を示す。また図４には、図４（Ａ），（Ｂ）に示した表示セルを複数個並べたＡＣ駆動型のカラーＰＤＰ１０の斜視図を示す。
【００２７】
図３（Ａ）、（Ｂ）および図４を参照するに、前記ＰＤＰ１０では、放電空間２０を挟んで、ガラス基板からなる前面板１１と背面板１５が対向する形で配置されている。前記前面板１１上の、前記背面板１５に対向する側には表示用電極１２が配置され、当該表示用電極１２は、例えば酸化鉛系ガラスなどからなる誘電体層１３に覆われ、さらに当該誘電体層１３が、ＺｎＯからなる保護膜１４で覆われた構造としている。前記表示用電極１２は、対をなす帯状の走査電極および維持電極が互いに平行に配置されることにより、構成されている。
【００２８】
また、前記背面板１５上の、前記前面板１１に対向する側には前記表示用電極１２に直交する帯状の複数のデータ電極１６が設けられており、これら複数のデータ電極１６は互いに平行に配置され、またそれぞれの前記データ電極１６は誘電体層１７によって覆われている。
【００２９】
さらに複数のデータ電極１６を分離し、かつ放電空間２０を形成する隔壁１８が、前記データ電極１６と略平行に前記誘電体層１７上に設けられている。また前記データ電極１６上の前記誘電体層１７の上から前記隔壁１８の側面にわたって、蛍光体層１９が形成されている。図５に示すＰＤＰ１０の場合、カラー表示を可能にするために、前記隔壁１８を挟んで、例えば赤、緑、青の蛍光体１９が順に配置された構造になっている。
【００３０】
また、前記ＰＤＰ１０において、前記誘電体層１３および１７は、前記表示電極１２および前記データ電極１６に電圧を印加することで生じた電荷を蓄積するために設けられている。
【００３１】
なお、図４には、例として１表示セルを３つ組み合わせた形状を示しているが、表示セルの個数は任意であり、実際にはさらに多数の表示セルを組み合わせて大型表示装置であるＰＤＰを形成する。
【００３２】
前記ＰＤＰ１０の動作原理は以下の通りである。まず、前記表示電極１２（走査電極および維持電極間）のリセット放電を全てのセルの前記放電空間２０で行い、壁電荷の状態を同じにし、次に前記表示用電極１２の走査電極の走査にあわせて前記データ電極１６に選択的に電圧を印加して前記放電空間２０においてアドレス放電を起こす。
【００３３】
これにより、前記表示用電極１２上に選択的に壁電荷を形成する。そのために、次に放電維持電圧を前記表示用電極１２に印加した際に、前記放電空間２０での放電発生の有無を制御することができ、前記放電空間２０での維持放電の回数により、画像表示の階調を制御して、画像を表示することができる。
【００３４】
本実施例においては、前記放電空間１１に封入された封入ガスは、例えばＨｅ，Ｎｅ，Ａｒ，ＫｒおよびＸｅのうち、少なくともひとつと、Ｎ2の混合ガスからなる。ＰＤＰの発光効率は前記封入ガスに大きく依存し、例えば前記封入ガスのＮ2の混合比、または前記封入ガスの全圧に対するＮ2の分圧の比を増加させると発光効率が向上し、ＰＤＰの高輝度化、高精細化が可能となる。さらに蛍光体の寿命も長くなり、ＰＤＰの寿命を長くすることが可能となる。
【００３５】
このように前記封入ガスにＮ2を添加したことにより発光効率が向上し、さらに蛍光体の寿命が長くなる効果は、Ｎ2の励起波長が長いためと考えられる。例えば、従来のＰＤＰの封入ガス中に添加されているＸｅと、本実施例によるＮ2の励起波長、蛍光体励起エネルギーおよびエネルギー変換効率を比較した表を下記に示す。
【００３６】
【表１】
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上記のように、例えば従来用いられていたＸｅの場合、励起波長が１４７ｎｍと短く、エネルギーが高いために、蛍光体による紫外線から可視光へのエネルギー変換効率が低くなってしまう。そのため、蛍光体に与えるダメージも大きく、長期間にわたる使用においては焼き付などを生じる場合があった。
【００３７】
一方、本実施例による、Ｎ2を用いた場合には、励起波長が３３７ｎｍを中心とした、３４０〜４５０ｎｍに強い放射スペクトルを持つため、紫外線から可視光へのエネルギー変換効率が高く、Ｘｅを用いた場合の２．３倍となっており、効率よく可視発光を得ることができるため、発光効率を向上させることが可能となる。
【００３８】
また、放電の際に、蛍光体に与えるダメージは、蛍光体に照射される紫外線のエネルギーが低いほど小さく、そのために寿命が長くなる傾向にあり、Ｘｅを用いた場合に対して、Ｎ2を用いた場合には紫外線エネルギーは１／２．３、すなわち４３％程度であり、Ｎ2を用いた場合には、従来に比べて２倍以上の寿命を実現することが可能となる。
【００３９】
しかし、封入ガスにＮ2を添加した場合、従来は放電開始電圧が上昇し、駆動電圧が増大してしまうために、封入ガスにＮ2を用いることは非常に困難であった。そこで、本発明の発明者は、前記保護膜１４に、ＺｎＯからなる層を用いたことで、放電開始電圧を低下させて、ＰＤＰの駆動電圧を低くし、封入ガスにＮ2を用いることが可能となることを見出した。
【００４０】
本実施例では、前記前記表示用電極１２が、ＺｎＯからなる前記保護膜１４で覆われた構造となっており、前記保護膜１４が前記放電空間２０に面した構造になっている。
前記放電空間２０での放電特性、放電開始電圧などは、前記封入ガスのイオンや励起粒子が前記保護膜１４に入射する際に、前記保護膜１４の表面から放出される二次電子の出やすさに大きく依存する。
【００４１】
本実施例で用いたＺｎＯは、バンドギャップが小さいために、このような二次電子が放出されやすい特性を持っていると考えられ、そのために放電開始電圧を低くして駆動電圧を低減できる効果を奏すると考えられる。
【００４２】
また、保護膜にＺｎＯを用いて、封入ガスにＮ2を添加した場合には、ＺｎＯとＮ2の相互作用により、ＺｎＯの電子親和力が小さくなる可能性があり、放電開始電圧を低下させる要因の一つとなっている可能性があると推察される。
【００４３】
特に、前記封入ガス中のＮ2の分圧を増加させた場合に駆動電圧の増加量を抑制する効果が大きくなり、図５で後述するように、全圧に対するＮ2の分圧の比を２％以上とすることでその効果が有効となり、さらに発光効率も増大する。
【００４４】
また、前記保護膜１４は、前記放電空間２０で放電が起こる際に形成されたイオンの衝突などにより、スパッタされ、当該保護膜１４の表面がスパッタエッチングによって削られてしまう。
【００４５】
そのため、前記保護膜１４のスパッタリングによる損傷に起因する前記ＰＤＰの寿命もしくはメンテナンスサイクルを長くするため、前記保護膜１４の、ＺｎＯのスパッタリング耐性を大きくする、すなわち前記保護膜１４がスパッタエッチングされる速度を小さくすることが重要である。
【００４６】
本発明の発明者は、実験の結果、前記保護膜１４を構成するＺｎＯ膜を形成する場合に、ＺｎＯ結晶の六方晶系のｃ軸が、ＺｎＯ膜が形成される面に対して垂直に成長した配向で、ＺｎＯ膜が（０００１）面に優先配向するように形成した場合、当該ＺｎＯ膜のスパッタリング耐性が大きいことを見出した。
【００４７】
そのため、前記保護膜１４であるＺｎＯ膜のＺｎＯ結晶の六方晶系のｃ軸が、ＺｎＯ膜が形成される面に対して垂直に成長した配向で、ＺｎＯ膜が（０００１）面に優先配向するように形成することで、前記ＰＤＰ１０の前記保護膜１４がスパッタエッチングされる速度が小さくなり、前記ＰＤＰ１０の寿命を長くすることが可能となった。
【００４８】
次に、図３（Ａ），（Ｂ）および図４に示した前記ＰＤＰ１０の製造方法について説明する。ただし以下文中、先に説明した部分には同一の参照符号を用いて、詳細な説明を省略する。
【００４９】
まず、前面板１１ガラス基板からなる前記前面板１１上に、透明導電膜およびクロム（Ｃｒ）／銅（Ｃｕ）／Ｃｒ（クロム）からなる積層膜を、スパッタリング法によって成膜する。
【００５０】
次に、前記透明導電膜および積層膜を、フォトリソグラフィの手法を用いて、それぞれ前記透明導電膜を１７０μｍ、前記積層膜を５５μｍの帯状のパターンに形成し、前記表示用電極１２とする。
【００５１】
次に、前記表示用電極１２が形成された前記前面板１１上に、低融点ガラスペーストを印刷して乾燥させた後、焼成することによって、膜厚略２０μｍの前記誘電体層３を形成する。
【００５２】
次に、前記誘電体層３を被覆するように、ＲＦマグネトロンスパッタ法を用いて、ＺｎＯからなる前記保護膜１４を、厚さが０．８μｍとなるように形成する。また、前記保護膜１４を形成する方法としては、前記ＲＦマグネトロンスパッタ法の他にも、例えばＭＢＥ法（Molecular Beam Epitaxy）、ＣＶＤ法（Chemical Vapor Deposition）、ＰＬＤ法（Pulsed Laser Deposition）などの方法を用いることが可能である。
【００５３】
また、前記したように、前記保護膜１４のスパッタリング耐性を高めるために、ＺｎＯ結晶の六方晶系のｃ軸が基板に垂直に成長したｃ軸配向を優先的に成長させる。そのために、スパッタリング蒸着を、例えば、スパッタ圧力１〜１０Ｐａ、Ａｒと酸素の混合ガス中の酸素濃度１０〜５０％、基板温度１５０〜５００℃、蒸着レート１．０μｍ／ｈｒの条件で行う。
【００５４】
次に、ガラス基板からなる前記背面板１５上の所望の位置に、感光性銀ペーストをフォトリソグラフィの手法を用いて帯状パターンに形成して、銀からなる前記データ電極１６を形成し、さらに当該データ電極１６を覆うように前記誘電体層１７を形成した。
【００５５】
さらに、前記誘電体層１７上には、幅６０μｍ、高さ１３０μｍの前記隔壁８を形成し、前記蛍光体１９を前記隔壁１８および前記誘電体層１７の表面上に塗布した。前記蛍光体９として、例えば、赤色発光体（（ＹxＧｄ1-x）ＢＯ3：Ｅｕ3+）、緑色発光体（ＢａＡｌ12Ｏ19：Ｍｎ）および青色発光体（ＢａＭｇＡｌ14Ｏ23：Ｅｕ2+）を塗り分けるようにする。
【００５６】
次に、前記前面板１１と背面板１５を、前記表示用電極１２とデータ電極１６が直交するように張り合わせ、周辺部をガラスフリットを用いて封着し、前記放電空間２０を排気した後に、当該放電空間２０に、Ｎｅ―Ｘｅ混合ガスに、Ｎ2ガスを加えた封入ガスを、圧力が５ｋＰａ〜７０ｋＰａとなるように封入する。この場合、Ｎ2の分圧は、封入ガスの全圧に対して２％以上となるようにする。
【００５７】
次に、図５には、前記ＰＤＰ１０において、前記封入ガスの全圧に対するＮ2の分圧の割合を増加させた場合の、ＰＤＰの放電開始電圧を測定した結果を示す。
【００５８】
測定ではＡＣ放電させる１対の電極に０（Ｖ）とＶｓ（Ｖ）の２０ｋＨｚの矩形パルス（ｄｕｔｙ＝２０％）を交互に加え、放電が開始する電圧を測定した。測定する際は、電圧を下げて放電が停止してから２０秒後に電圧を印加して実験を行った。
【００５９】
また、比較のために、前記保護膜１４に、従来用いられていたＭｇＯからなる膜を０．８μｍ形成した場合の電圧の測定結果も併記した。この場合の封入ガスの全圧は６７ｋＰａとした。なお、ＰＤＰの駆動電圧は放電空間の放電開始電圧に強く依存し、放電開始電圧の増減の割合は、ＰＤＰの駆動電圧の増減の割合を示している。
【００６０】
図５を参照するに、本実施例における、前記保護膜１４にＺｎＯかららなる膜を用いた場合には、前記保護膜１４にＭｇＯからなる膜を用いた場合にくらべて放電開始電圧が低いことがわかる。特に、前記封入ガスの全圧に対するＮ2の分圧の比を２％以上とすることで、放電開始電圧を抑制する効果が大きくなり、Ｎ2の分圧が高くなるほど、ＺｎＯを用いた場合の放電開始電圧を低く抑える効果が大きくなり、また発光効率も増大する。このような効果を得るために、前記封入ガスの全圧は、５ｋＰａ〜７０ｋＰａの範囲とすることが好ましい。
【００６１】
また、本実施例では、前記保護膜１４にＺｎＯを用いる場合について説明したが、本発明の効果はこれに限定されるものではなく、例えば、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｌｉなどの金属を微量に含んだＺｎＯ系化合物を前記保護膜１４に用いても、本実施例に記述した場合と同様の効果を奏する。
【００６２】
さらに、本実施例においてはＡＣ駆動型のＰＤＰの例を示したが、本実施例はＡＣ駆動型に限られるものではなく、例えばＤＣ駆動型、またはＡＣ／ＤＣハイブリッド駆動型においても、陰極や陽極を被覆する保護膜としてＺｎＯを用いることにより、本実施例に記載した場合と同様の効果を得ることが可能であり、駆動電圧が低く、高効率で寿命が長いＰＤＰを実現できる。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明によれば、ＰＤＰの封入ガスにＮ2を添加したときにＰＤＰの駆動電圧を低下させることを可能とし、発光効率が高く、また紫外線による蛍光体へのダメージを少なくして、より寿命の長いＰＤＰを実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】（Ａ）は、従来のＰＤＰの構造の１表示セルの断面図を模式的に示したものであり、（Ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。
【図２】図１の表示セルを複数個並べた従来のＡＣ駆動型のカラーＰＤＰの断面斜視図である。
【図３】（Ａ）は、本発明のＰＤＰの構造の１表示セルの断面図を模式的に示したものであり、（Ｂ）はそのＢ−Ｂ断面図である。
【図４】図３の表示セルを複数個並べた本発明のＡＣ駆動型のカラーＰＤＰの断面斜視図である。
【図５】本発明の実施例に係る放電開始電圧のＮ2分圧依存性の測定結果である。
【符号の説明】
【００６５】
１０，１００  ＰＤＰ
１１，１１１  前面板
１２，１０２  表示用電極
１３，１０３  誘電体層
１４，１０４  保護膜
１６，１０６  データ電極
１７，１０７  誘電体層
１８，１０８  隔壁
１９，１０９  蛍光体
２０，１１０  放電空間
【図１】
2005149835.tif 000004
【図２】
2005149835.tif 000005
【図３】
2005149835.tif 000006
【図４】
2005149835.tif 000007
【図５】
2005149835.tif 000008