(57)【要約】【課題】  簡単な構成により、容易に指向性を制御して高画質の超音波画像を得ることができると共に、微小化して構成し得るようにした、超音波振動子及びその製造方法を提供する。【解決手段】  カテーテル２０の先端面に対して、同軸に装着される円筒状の液晶ポリマーから成るベース部１１と、ベース部１１の環状の先端面上に並んで配置された複数個の曲率を有する取付部１１ａと、各取付部１１ａの表面に配置した第一の電極１３と、各取付部の表面にて第一の電極の上に配置した１−３コンポジット構造の圧電セラミックスアレイをポリマーに埋め込んだ構成の超音波素子１２と、各超音波素子の上に配置した第二電極１４とを含むように、カテーテル用超音波振動子１０を構成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部と、該ベース部の表面に配置された複数個の曲率を有する取付部と、上記各取付部毎にその表面に取り付けた第一電極と、上記各取付部の表面に対応した上記第一の電極の上に配置された超音波素子と、これらの超音波素子の上に取り付けた共通電極としての第二電極と、を備えた超音波振動子。
【請求項２】
前記ベース部が円筒状に形成されており、前記各取付部が該ベース部の環状の先端面上に並んで配置されている、請求項１に記載の超音波振動子。
【請求項３】
前記ベース部が円柱状或いは角柱状に形成されており、前記各取付部が該ベース部の円状或いは矩形状の先端面上に並んで配置されている、請求項１に記載の超音波振動子。
【請求項４】
前記各取付部が該ベース部の側面上に並んで配置されている、請求項１に記載の超音波振動子。
【請求項５】
前記第一電極と前記第二電極との間で前記超音波素子以外の領域に、絶縁層を配置した、請求項１〜４の何れかに記載の超音波振動子。
【請求項６】
前記ベース部をポリマーで形成した、請求項１〜５の何れかに記載の超音波振動子。
【請求項７】
前記ベース部を液晶ポリマーで形成した、請求項６に記載の超音波振動子。
【請求項８】
前記超音波素子が、圧電セラミックスアレイをポリマーに埋め込むことにより構成されている、請求項１〜７の何れかに記載の超音波振動子。
【請求項９】
前記超音波素子が、１−３コンポジット構造の圧電セラミックスアレイから構成されている、請求項７に記載の超音波振動子。
【請求項１０】
前記超音波素子が、直径数十μｍの圧電セラミックスを含んでいる、請求項８又は９に記載の超音波振動子。
【請求項１１】
前記各取付部の表面が凸状に形成されている、請求項１〜１０の何れかに記載の超音波振動子。
【請求項１２】
前記各取付部の表面が凹状に形成されている、請求項１〜１０の何れかに記載の超音波振動子。
【請求項１３】
前記取付部が非球面形状に形成されている、請求項１〜１０の何れかに記載の超音波振動子。
【請求項１４】
カテーテルの先端に、前記請求項１〜１３の何れかに記載の超音波振動子を取り付けた超音波式内視鏡。
【請求項１５】
環状の先端面に沿って複数個の曲率を有する取付部を備えた円筒状のベース部の先端面に対して、第一電極を形成する第一の段階と、
上記ベース部の先端面に備えられた各取付部の表面に対して、平坦に形成された１−３コンポジット構造の圧電セラミックスアレイから成る超音波素子を押し型により押し付けて密着させる第二の段階と、
上記各取付部の表面に密着された各超音波素子の表面に第二電極を形成する第三の段階と、
を含んでいることを特徴とする、超音波振動子の製造方法。
【請求項１６】
前記第二の段階の後、ベース部の先端面の各取付部を除いた領域の表面に対して、絶縁層を形成する段階を含んでいることを特徴とする、請求項１５に記載の超音波振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロマシン分野に利用し、複雑な機械や配管に入り込んで検査やメンテナンスなどを行い、さらにカテーテルとして人体の血管や器官などに入り込んで診断又は治療などに利用し得る能動導管に利用することができる超音波振動子とその製造方法に係り、例えば、カテーテルの先端に取り付けられ、血管内の超音波画像を得るための超音波プローブとして使用される超音波振動子及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば動脈硬化病変の診断や、血管内狭窄部拡張後のステント留置の経過観察のために、外径２ｍｍ程度の血管内超音波内視鏡が広く利用されている。このような血管内超音波内視鏡はその殆どが海外製品であり、非常に高価であった。
【０００３】
ここで、このような血管内超音波内視鏡は、例えばメカニカルスキャン方式や電子スキャン方式のものが知られている。メカニカルスキャン方式のものは、発振子と受信子を兼用する一個の超音波素子を回転させるように構成されている。しかしながら、このようなメカニカルスキャン方式のものは、音響レンズを使用して超音波を集束させる必要があって構造が複雑となることから、部品コスト及び組立コストが高くなってしまう。
【０００４】
また、電子スキャン方式のものは、例えば３２個または６４個の振動子アレイを使用して個々の振動子を電気的に切り換えて、見かけ上走査範囲を回転させるように構成されている。しかしながら、このような電子スキャン方式のものは、適宜の指向性を備えた最適なビームを生成するための制御系に負担が大きく、高価になってしまう。
【０００５】
これに対して、例えば特許文献１や非特許文献１及び２に示すような構成の超音波内視鏡も知られている。
特許文献１による超音波振動子は、可撓性のポリマーシート上に複数個の直線状の超音波トランスデューサを平行に並べることにより変形可能に構成されており、このポリマーシートを円筒状に丸めることにより超音波内視鏡が構成され得るようになっている。このような構成によれば、この円筒状の超音波内視鏡を血管内に挿入することによって血管内腔から周囲を観察することが可能になる。
【０００６】
また、非特許文献１による超音波内視鏡は、超音波振動子を凸面形状に形成することによって超音波振動子の指向性を低減するように構成されている。この構成によれば、超音波振動子の凸面から超音波が拡散して放射されることにより、超音波振動子の指向性が拡ることになる。
【０００７】
さらに、非特許文献２による超音波振動子は、可撓性のあるポリマー製の圧電超音波センサーを凹状に形成することにより、指向性を備えるように構成されている。
【特許文献１】米国特許第６２３８３４７号明細書
【非特許文献１】南部雅幸、他３名、「凸形表面送波子を用いたリングアレイプローブ」，電気学会論文誌Ｅ，１２１巻３号，２００１年刊、１０７〜１１２頁
【非特許文献２】Aaron Fleischman他５名「Miniature high frequency focused ultrasonic transducers for minimally invasive imaging procedures 」Sensors and Actuaters Ａ：Physical，１０３巻，２００３年刊、７６乃至８２頁
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述した各特許文献及び非特許文献による超音波振動子または超音波内視鏡においては、下記のような問題があった。即ち、特許文献１においては、超音波内視鏡がポリマーシートを丸めることにより構成されていることから、各超音波振動子による超音波の指向性を制御することは困難である。また、振動子が小さくなるほど指向性が低くなってしまうという問題がある。
【０００９】
また、非特許文献１においては、凸面形状は、ＰＺＴ振動子の表面を凸形に形成することにより得られるが、このようなＰＺＴ振動子の加工は困難であり、微小化するほど必要とされる曲率半径は小さくなり、微小化には限界がある。
【００１０】
最後に、非特許文献２においては、凹型形状は、高分子圧電膜材料であるＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）の表面を凹型に形成することにより得られ、比較的高い指向性を得ることが可能であるが、円状の超音波素子をアレイ状に並べている。しかし、この振動子はフレキシブルなＰＶＤＦシートを吸引することによって得られるが、ＰＶＤＦよりも発振強度の大きいＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）またはＰＺＴの複合圧電振動子にＰＶＤＦシートと同様に吸引による取付け適用することは、ＰＺＴが硬いことから難しい。
【００１１】
このようにして、従来の超音波振動子を利用した超音波内視鏡は、指向性を制御し、直径２ｍｍ以下に微小化して構成することは困難であった。
【００１２】
本発明は、以上の点に鑑み、簡単な構成により、容易に指向性を制御して高画質の超音波画像を得ることができると共に、微小化して構成し得るようにした超音波振動子及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明の超音波振動子は、ベース部と、ベース部の表面に配置された複数個の曲率を有する取付部と、上記各取付部毎にその表面に取り付けた第一電極と、上記各取付部の表面に対応した上記第一の電極の上に配置された超音波素子と、これらの超音波素子の上に取り付けた共通電極としての第二電極と、を備えている。
なお、前記ベース部が円筒状に形成されている場合には、前記各取付部がベース部の環状の先端面上に並んで配置され、前記ベース部が円柱状或いは角柱状に形成されている場合には、前記各取付部がベース部の円状或いは矩形状の先端面上に並んで配置される。また、前記ベース部が円筒状，円柱状，角柱状の何れかの形に形成されている場合には、前記各取付部がベース部の側面上に並んで配置されてもよい。
【００１４】
さらに、本発明の超音波振動子は、前記第一電極と前記第二電極との間で前記超音波素子以外の領域に、絶縁層を配置していることを特徴としている。
【００１５】
さらに、本発明の超音波振動子は、例えば、前記ベース部をポリマー又は液晶ポリマーで形成していることを特徴としている。
【００１６】
さらに、本発明の超音波振動子においては、前記超音波素子が、圧電セラミックスアレイをポリマーに埋め込むことにより構成されている。さらに、好ましくは、前記超音波素子は、１−３コンポジット構造の圧電セラミックスアレイから構成される。
【００１７】
さらに、本発明の超音波振動子においては、前記超音波素子が、直径数十μｍの圧電セラミックスを含んでいる。また、前記各取付部の表面は、例えば、凸状又は凹状に形成されている。
【００１８】
このように構成された超音波振動子をカテーテルの先端に取り付けて、超音波式内視鏡として使用することができる。
【００１９】
さらに、本発明の超音波振動子の製造方法は、環状の先端面に沿って複数個の曲率を有する取付部を備えた円筒状のベース部の先端面に対して、第一電極を形成する第一の段階と、上記ベース部の先端面に備えられた各取付部の表面に対して、平坦に形成された１−３コンポジット構造の圧電セラミックスアレイから成る超音波素子を押し型により押し付けて密着させる第二の段階と、上記各取付部の表面に密着された各超音波素子の表面に第二電極を形成する第三の段階と、を含んでいることを特徴としている。
【００２０】
さらに、本発明の超音波振動子の製造方法は、前記第二の段階の後、ベース部の先端面の各取付部を除いた領域の表面に対して、超音波素子とほぼ同じ高さの絶縁層を形成する段階を含んでいる。
【００２１】
さらに、本発明の超音波振動子の製造方法は、前記絶縁層がエポキシ樹脂から構成されていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２２】
上記構成によれば、取付部を備えたベース部は、例えば微細加工による精密型を使用することにより、微細に形成され得ると共に、超音波素子が曲率を有する取付部の表面に対して第一電極の上から押し付けられることにより、その可撓性に基づいて取付部の表面形状に従って変形し、その表面に密着して配置され得る。このようにして、個々の取付部の表面に配置される超音波素子は、それぞれ取付部の表面形状に従って、所定の曲率を備えることになる。
【００２３】
従って、ベース部の各取付部が例えば液晶ポリマー等のポリマーによって微細成形にて高精度に形成されることにより各超音波素子も同様に高精度で形成されるので、超音波素子から出射される超音波の指向性が各取付部の表面形状に基づいて高精度に制御される。そして、ベース部が微細加工により成形されることによって、超音波振動子全体が容易に微小化され、外径数ｍｍ以下に構成される。
【００２４】
ここで、ベース部の先端面が凸状に形成されている場合には、各取付部に密着した超音波素子がそれぞれ凸状に配置されることになり、各超音波素子の表面から出射する超音波の指向性が低くなるので、広い角度範囲に亘って超音波を照射することができる。これに対して、ベース部の先端面が凹状に形成されている場合には、各取付部に密着した超音波素子がそれぞれ凹状に配置されることになり、各超音波素子の表面から出射する超音波の指向性が高くなって、狭い角度範囲に絞り込んで超音波を照射することができる。
【００２５】
このようにして、本発明によれば、カテーテル用超音波振動子をカテーテルの先端に装着して、超音波内視鏡を構成した場合に、外径数ｍｍ以下の超音波内視鏡を構成することが可能になると共に、上述したようにベース部の各取付部の表面形状に基づいて、超音波振動子から出射する超音波の指向性を制御することができるので、戻って来る超音波を受信することにより、高画質の超音波画像を取得することができる。
【００２６】
従って、種々の曲率半径を有する取付部を備えたベース部を使用して超音波振動子を構成することにより、取付部の曲率半径に依存した指向性を有する複数種類の超音波振動子を構成することができる。これにより、最適な指向性を有する超音波振動子を使用して超音波内視鏡を構成することによって、簡単な構成により低コストで、例えば血管内狭窄部に関して高画質の超音波画像を取得することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面に示した実施形態に基づいて、この発明を詳細に説明する。
図１〜図４は、本発明によるカテーテル用の超音波振動子の一実施形態を示している。図１において、超音波振動子１０は、鎖線で示されたカテーテル２０の先端に装着されるものであって、円筒状のベース部１１と、ベース部１１の環状の先端面にて円周方向に沿って備えられた複数の取付部１１ａに対して取り付けられた超音波素子１２と、から構成されている。
【００２８】
上記ベース部１１は、図２に示すように、例えば液晶ポリマー等のポリマーから構成され、例えば精密立形加工装置を使用することにより微細加工により形成されている。そして、上記ベース部１１は、カテーテル２０の外径とほぼ同じ外径、例えば３．０ｍｍを有し、またカテーテル２０の内径とほぼ同じ内径、例えば１．５ｍｍを有している。
【００２９】
さらに、上記ベース部１１は、その環状の先端面にそって、複数個、図示の場合８個の取付部１１ａを一体に備えている。各取付部１１ａは、図３に示すように、それぞれベース部１１の先端面から高さＨ（例えば０．２ｍｍ）だけ立ち上がった後、曲率半径Ｒ（例えば０．６６ｍｍ）を備えるように半球状に形成されている。また、図３に示す構成例では、ベース部１１の先端面から膨出している取付部１１ａは、ベース部１１の先端面に環状に８個形成されているが、取付部１１ａの数は８個に限定されるものではない。
【００３０】
上記超音波素子１２は、各取付部１１ａにそれぞれ一つずつ設けられるものであり、平面状に構成されていて、図３に示すように、上記各取付部１１ａの凸状の表面に対して押し型を使用して密着され、例えば導電性接着剤等により固定される。これにより、超音波素子１２は、当該取付部１１ａの表面形状と実質的に同じ曲率半径を備えるようになっている。
【００３１】
そして、上記超音波素子１２は、図４に示すように、所謂１−３コンポジット構造であって、例えば縦２５μｍ×横２５μｍの面を有する角柱に形成されたＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）から成る圧電セラミックスアレイ１２ａを可撓性を有するポリマー１２ｂに埋め込むことにより構成されている。なお、１−３コンポジット構造とは、本発明において言えば、ＰＺＴとポリマーとの配置関係であり、具体的に言えば、角柱に形成されたＰＺＴの上面と底面とを除く全側面をポリマーが覆うように、ＰＺＴまわりにポリマーが配置されている構造を言う。因みに、直方体のＰＺＴの全周、全ての面（六面）をポリマーが覆うような配置構造を０−３コンポジット構造と言う。
【００３２】
さらに、上記超音波素子１２に対して配線を行なうために、図３にて各超音波素子１２の下面及び上面に第一電極１３及び第二電極１４が設けられている。
第一電極１３は、例えばＮｉ／Ｃｕ等から構成されており、ベース部１１の先端面にて、各取付部１１ａを含む表面全体に例えば無電解めっき等により形成されると共に、各取付部１１ａ毎に分割されるように、例えばレーザ加工により切断線１３ａに沿って切断されている。また、第二電極１４は、例えばＣｒ／Ａｕ等から構成され、各超音波素子１２の上から、ベース部１１の表面全体に例えば無電解めっき等により形成されている。なお、第二電極１４は、接地（アース）の共通電極であるので、第一電極と異なり、各取付部１１ａ毎に分割されてはいない。
【００３３】
ベース部１１の先端面は、超音波素子１２がそれぞれ取り付けられる取付部１１ａ以外の領域にて、第一電極１３上に絶縁層１５が形成されている。この絶縁層１５は、例えばエポキシ樹脂により構成されており、第一電極１３と第二電極１４を互いに電気的に絶縁するようになっている。
【００３４】
ここで、上記超音波素子１２は、例えば図５に示すようにして、所謂Ｄｉｃｅ  ａｎｄ  Ｆｉｌｌ法により作製される。即ち、図５において、まず工程Ａにて、例えば厚さ１５０μｍのＰＺＴ板３０を熱剥離シート３１上に載置し、続いて工程Ｂにて、ダイサー（図示せず）を使用して、幅７０μｍの位置で幅３５μｍの縦方向に延びる平行な溝３２を加工した後、工程Ｃにて上記溝３２内にエポキシ樹脂３３を充填する。
その後、工程Ｄにて、同様にして横方向に延びる溝３４を加工し、ポリマーとしてのエポキシ樹脂３３を充填する。
【００３５】
次に、工程Ｅにて、ＰＺＴ板３０上にはみだしているエポキシ樹脂３３を研磨等により除去して、工程Ｆに示すようにＰＺＴ板３０の上面を露出させる。
続いて、工程Ｇにて、例えばＯ2 反応性イオンエッチング法により、エポキシ樹脂３３を例えば２０μｍ程度エッチングにより除去する。なお、図５中に示す工程Ｅ〜Ｇの図は、ＰＺＴ板３０を側面視した概略拡大図である。
最後に、工程Ｈにて、例えばレーザ加工により、直径８００μｍ〜９５０μｍ程度の円形に切断加工する。
このようにして、各取付部１１ａの表面形状に対応した寸法の平坦な円板状の超音波素子３５が完成することになる。そして、この平坦な円板状の超音波素子３５は、ＰＺＴ板３０によるＰＺＴ圧電セラミックスの微小な柱の配列が可撓性を備えたポリマーであるエポキシ樹脂３３中に埋め込まれた、所謂１−３コンポジット構造となる。
【００３６】
本発明実施形態によるカテーテル用の超音波振動子１０は以上のように構成されており、図６に示すようにして組立てが行なわれる。
即ち、図６において、まず工程Ａにて、凸状の取付部１１ａを備えたベース部１１を液晶ポリマーにより微細加工し、続いて工程Ｂにて、ベース部１１の各取付部１１ａを含む表面全体に、第一電極１３となるべき電極層４０を、例えば無電解メッキ等により形成すると共に、各取付部１１ａ毎に電極層４０をレーザ加工により切断加工する。その後、工程Ｃにて、電極層４０の上から、各取付部１１ａの表面領域に対して導電性接着剤４１を塗布する。
【００３７】
他方、工程Ｄにて、ベース部１１の取付部１１ａを含む先端面に対応して形成された押し型４２に関して、その取付部１１ａに対応する凹部４２ａ上に前述した平坦な円板状の超音波素子３５を載置する。ここで、凹部４２ａは、取付部１１ａの表面形状に対応して半球面状に形成されており、その開口端部に段４２ｂを有している。この段４２ｂに超音波素子３５を載置する。
そして、工程Ｅにて、工程Ｃで導電性接着剤４１を塗布したベース部１１を上下逆転して、取付部１１ａを下向きにした状態で押し型４２に対向させて、各取付部１１ａを超音波素子３５を介して対応する凹部４２ａ内に押し込む。これにより、平坦な円板状の超音波素子３５は、それぞれ凹部４２ａ内にてベース部１１の対応する取付部１１ａにより押圧され、そのポリマーの可撓性に基づいて、取付部１１ａの表面形状に従って変形すると共に、前記導電性接着剤４１の接着力により取付部１１ａの表面に沿って密着する。
【００３８】
その後、工程Ｆにて、押し型４２からベース部１１を外すと、ベース部１１の各取付部１１ａの表面には、それぞれ超音波素子３５が押し型４２によって変形して密着され、導電性接着剤４１の接着力により固定保持され、超音波素子１２が取り付けられることになる。続いて、工程Ｇにて、ベース部１１の取付部１１ａを除いた領域にエポキシ樹脂４３が塗布され、硬化することにより絶縁層１５が形成される。
最後に工程Ｈにて、ベース部１１の取付部１１ａそして超音波素子１２を含む表面全体に亘って第二電極１４が形成される。このようにして超音波振動子１０が完成する。
【００３９】
このようにして組み立てられた超音波振動子１０によれば、ベース部１１の後端面が、例えばカテーテルの先端面に取り付けられることにより、超音波内視鏡が構成される。そして、超音波内視鏡が、例えば血管内に挿入されることによって、その先端に取り付けられた超音波振動子１０では、第一電極１３と第二電極１４の間に選択的に電圧の印加が行なわれることにより、選択された超音波素子１２のみが駆動されて、当該超音波素子１２から超音波が出射される。そして、血管内の狭窄部等による反射エコーが再び超音波素子１２に当たることにより超音波素子１２により受信され、外部に接続された検出装置等により受信信号が処理されて超音波画像が取得されることになる。
【００４０】
この場合、各超音波素子１２は、ベース部１１の対応する取付部１１ａの凸状の形状に基づいて凸状に配置されていることから、より広い角度範囲で超音波を出射することになり、低指向性を備えることになる。例えば、図７（Ａ）に示す従来の平坦な超音波素子による音場シミュレーションと比較して、上述した本発明の実施形態に係る凸状の超音波素子１２による音場シミュレーションは、図７（Ｂ）に示すように、広い角度範囲で拡って超音波が出射することが確認された。
【００４１】
そして、指向性については、超音波源として、ニードル形ＰＶＤＦ超音波センサー（駆動周波数１５ＭＨｚ）を使用して評価実験を行なった結果、図８（Ａ）に示す従来の平坦な超音波素子による相対強度０．５以上となる角度範囲が１３度であるのに対して、上述した本発明の実施形態に係る凸状の超音波素子１２による指向性は、図８（Ｂ）に示すように、同様に相対強度０．５以上となる角度範囲が２３度と、低指向性を有することが確認された。
【００４２】
このようにして、本発明の実施形態によれば、ベース部１１の取付部１１ａを、例えばμｍレベルの微細加工技術を応用して微細加工することによって、サブｍｍサイズの微細な曲面の取付部１１ａを備えたベース部１１を高精度で微小に成形することができる。そして、このような高精度の取付部１１ａの表面に対して平坦に形成されると共に、ポリマーにより可撓性を備える１−３コンポジット構造の超音波素子１２を、押し型４２を使用して密着させることにより、高精度の曲率半径を有する超音波素子１２を配置することが可能である。
【００４３】
従って、ベース部１１の取付部１１ａを高精度に加工することにより超音波素子１２を高精度の曲率半径で整形することが可能となり、これにより超音波素子１２の超音波の指向性を制御することが可能になると共に、ベース部１１自体の微小化によって超音波振動子１０自体を微小に構成することが可能になる。従って、例えば血管内狭窄部の観察等のために、カテーテルの先端に装着して超音波内視鏡を構成するために適した超音波素子を構成することができる。
【００４４】
上述した実施形態においては、ベース部１１の各取付部１１ａが凸状に形成されていることで、各超音波素子１２が対応する取付部１１ａの表面形状に従って凸状に形成され、広い角度範囲の指向性を備えるようになっているが、これに限らず、ベース部１１の成形型を製造する際に適宜の曲率半径を付与することによって、ベース部１１の各取付部１１ａは平坦にもまた凹状にも形成することができる。特に、図９に示すように、取付部１１ａが凹状に形成される場合には、各超音波素子１２も、取付部１１ａの表面形状に従って凹状に形成されることになり、比較的狭い指向性を備えることになる。従って、凹状の超音波素子１２を使用することによって、血管内狭窄部等のより正確な超音波画像を取得することが可能になる。
このように、取付部１１ａは、ベース部１１の先端面に対して突出したり、凹んだりした任意の形状に形作ることができが、その取付部１１の表面形状は、非球面形状に形成されてもよいことは勿論である。
【００４５】
また、上記の説明では、ベース部１１が円筒状に形成される場合を例示したが、図１０（Ａ）に示すようにベース部１１を円柱状に形成したり、図１０（Ｂ）に示すようにベース部１１を直方体，立方体などの角柱状に形成してもよい。また、取付部１１ａの配置は、上記説明ではベース部１１の先端面であったが、その位置に限らず、例えば、図１０（Ｃ）に示すように、ベース部１１の側面に取付部１１ａを配置してもよい。なお、図１０（Ａ）〜（Ｃ）に示すベース部１１においても、取付部１１が突出して或いは凹んで形成されてもよいこことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明によるカテーテル用超音波振動子の一実施形態の構成を示す概略斜視図である。
【図２】図１の超音波振動子におけるベース部の構成を示す概略斜視図である。
【図３】図１の超音波振動子における超音波素子付近の構成を示す部分概略断面図である。
【図４】図１の超音波振動子で使用される超音波素子の取付前の状態を示す拡大斜視図である。
【図５】図４の超音波素子の製造工程の一例を順次に示す工程図である。
【図６】図１の超音波振動子の組立工程を順次に示す工程図である。
【図７】（Ａ）は従来の超音波振動子を、（Ｂ）は図１の超音波振動子の音場シミュレーションを示す図である。
【図８】（Ａ）は従来の超音波振動子を、（Ｂ）は図１の超音波振動子の指向性を示すグラフである。
【図９】本発明の実施形態に係る超音波振動子における超音波素子付近の他の構成例を示す部分概略断面図である。
【図１０】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施形態に係るベース部の他の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０    カテーテル用の超音波振動子
１１    ベース部
１１ａ  取付部
１２，３５    超音波素子
１２ａ  圧電セラミックスアレイ
１２ｂ  ポリマー
１３    第一電極
１３ａ  切断線
１４    第二電極
１５    絶縁層
２０    カテーテル
３０    ＰＺＴ板
３１    熱剥離シート
３２，３４    溝
３３    エポキシ樹脂（ポリマー）
３４    平坦な円板状の超音波素子
４０    電極層
４１    導電性接着剤
４２    押し型
４２ａ  凹部
４３    エポキシ樹脂
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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