(57)【要約】【課題】複数の測定ヘッドにおいて個々の差動コイル部の固定ばらつきを低減して製品の均一化を図ること、また、測定ヘッド全体の温度特性に起因する差動トランスの出力値のドリフトを低減することのできる高精度の測定ヘッドを提供すること。【解決手段】接触子の変位量を検出する差動トランス１５の差動コイル部１６を、スリワリを有するリング２３を介して取付け孔２１Ａに割り締め固定し、狭い範囲で割り締め固定するとともに、リング２３の取付け孔２１Ａの軸方向における組込み位置を、測定ヘッド全体の温度特性に起因する差動トランス１５の出力値のドリフトを低減する位置に設定した。【選択図】          図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端に接触子を有し、支点部材を支点として回動可能に支持されたシーソー部材と、該シーソー部材を一方向に付勢する付勢部材と、前記支点部材を挟んで前記接触子と反対側に設けられ、前記シーソー部材の変位量を検出することによって前記接触子の変位量を検出する検出器と、を有する測定ヘッドにおいて、
前記検出器は、前記測定ヘッド本体に形成されたスリワリ付の取付け孔に挿入されて割り締めで固定された差動コイル部と、前記シーソー部材に取付けられて前記差動コイル部内に挿入されたコアと、で構成された差動トランスであり、
前記差動コイル部は、スリワリを有するリングを介して前記取付け孔に割り締めで固定されていることを特徴とする測定ヘッド。
【請求項２】
前記リングの前記取付け孔の軸方向における組込み位置が、前記測定ヘッド全体の温度特性に起因する前記差動トランスの出力値のドリフトを低減する位置に設定されていることを特徴とする、請求項１に記載の測定ヘッド。
【請求項３】
先端に接触子を有し、支点部材を支点として回動可能に支持されたシーソー部材と、該シーソー部材を一方向に付勢する付勢部材と、前記支点部材を挟んで前記接触子と反対側に設けられ、前記シーソー部材の変位量を検出することによって前記接触子の変位量を検出する検出器と、を有する測定ヘッドにおいて、
前記検出器は、前記測定ヘッド本体に形成されたスリワリ付の取付け孔に挿入されて割り締めで固定された差動コイル部と、前記シーソー部材に取付けられて前記差動コイル部内に挿入されたコアと、で構成された差動トランスであり、
前記取付け孔の内周面には、前記差動コイル部外周面に当接する所定の幅の部位のみを残したニゲ部が形成されていることを特徴とする測定ヘッド。
【請求項４】
前記取付け孔内周面の前記差動コイル部外周面に当接する部位の前記取付け孔の軸方向における位置が、前記測定ヘッド全体の温度特性に起因する前記差動トランスの出力値のドリフトを低減する位置に設定されていることを特徴とする、請求項３に記載の測定ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定ヘッドに関するもので、特に研削盤などに組込まれるマシンコントロールゲージや表面粗さ輪郭形状測定機等に用いられ、温度特性に起因する検出器の出力値のドリフトを軽減する測定ヘッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、研削盤などに組込まれるマシンコントロールゲージ（自動定寸装置）や表面粗さ輪郭形状測定機等には、先端に接触子を有し、支点部材を支点として回動可能に支持されたシーソー部材と、シーソー部材を一方向に付勢する付勢部材と、支点部材を挟んで接触子と反対側に設けられ、シーソー部材の変位を検出することによって接触子の変位を検出する検出器とが設けられた測定ヘッドが用いられている。
【０００３】
この検出器には、測定ヘッド本体に固定された差動コイル部と、シーソー部材に取付けられて差動コイル部内に挿入されたコアと、で構成されたＬＶＤＴ（Ｌｉｎｅａｒ  Ｖｏｌｔａｇｅ  Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｃｅｒ）と呼ばれる線形電圧差動変圧器（通称差動トランス）が用いられている。接触子の移動量はＬＶＤＴで電圧の変化として検出され、このＬＶＤＴの検出値が管制部で処理され、移動量として求められる。
【０００４】
マシンコントロールゲージでは、１本のシーソー部材で構成され、１個の接触子で１カ所の変位を測定するＬ字型の測定ヘッドや、２個のシーソー部材が一対で組込まれ、対向する２個の接触子で被測定物を挟み込み、被測定物の外径を測定する挟み型の測定ヘッド等が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−１８１５０２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
前述の特許文献１に記載された従来のマシンコントロールゲージや、表面粗さ輪郭形状測定機等に用いられる測定ヘッドでは、ＬＶＤＴの差動コイルは測定ヘッド本体に形成されたスリワリ付の取付け孔に挿入されて外周部全体にて割り締めで固定されるのが一般的であった。
【０００７】
ところが、割り締めによる固定の場合、見かけ上は広い面積で固定されているように見えるが、実際はスリワリ付の取付け孔内周面の表面粗さ、及び差動コイル部外周面の表面粗さに起因して、差動コイル部はランダムな限られた数点でしかホールドされず、実際のホールド点の位置は製品毎にバラバラである。
【０００８】
このように差動コイル部の取付けの基準が一定していないため、ＬＶＤＴのコア及び差動コイル部の熱変形による温度特性が製品毎にバラツキが大きかった。また、測定ヘッド全体の温度特性によるＬＶＤＴのゼロ点のドリフトを軽減する手段がなく、測定誤差が大きかった。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、差動トランスの差動コイル部の取り付け基準を明確にして、複数の測定ヘッドにおいて個々の差動コイル部の固定ばらつきを低減して製品の均一化を図ること、また、測定ヘッド全体の温度特性に起因する差動トランスの出力値のドリフトを低減することのできる高精度の測定ヘッドを提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、先端に接触子を有し、支点部材を支点として回動可能に支持されたシーソー部材と、該シーソー部材を一方向に付勢する付勢部材と、前記支点部材を挟んで前記接触子と反対側に設けられ、前記シーソー部材の変位量を検出することによって前記接触子の変位量を検出する検出器と、を有する測定ヘッドにおいて、前記検出器は、前記測定ヘッド本体に形成されたスリワリ付の取付け孔に挿入されて割り締めで固定された差動コイル部と、前記シーソー部材に取付けられて前記差動コイル部内に挿入されたコアと、で構成された差動トランスであり、前記差動コイル部は、スリワリを有するリングを介して前記取付け孔に割り締めで固定されていることを特徴としている。
【００１１】
請求項１の発明によれば、接触子の変位量を検出する差動トランスの差動コイル部は、スリワリを有するリングを介して取付け孔に割り締め固定されているので、狭い範囲で割り締め固定でき、取り付け基準が明確になる。このため、複数の測定ヘッドにおいて個々の測定ヘッド毎の差動コイル部の固定ばらつきが低減し、品質が安定する。また、リングの介在位置を調節することにより取付け位置を容易に調節することができる。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１の発明において、前記リングの前記取付け孔の軸方向における組込み位置が、前記測定ヘッド全体の温度特性に起因する前記差動トランスの出力値のドリフトを低減する位置に設定されていることを特徴としている。
【００１３】
請求項２の発明によれば、測定ヘッド全体の温度特性に起因する差動トランスの出力値のドリフトを容易に低減することができるとともに、複数の測定ヘッドにおいて個々の測定ヘッド毎の品質のばらつきを容易に低減することができる。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、先端に接触子を有し、支点部材を支点として回動可能に支持されたシーソー部材と、該シーソー部材を一方向に付勢する付勢部材と、前記支点部材を挟んで前記接触子と反対側に設けられ、前記シーソー部材の変位量を検出することによって前記接触子の変位量を検出する検出器と、を有する測定ヘッドにおいて、前記検出器は、前記測定ヘッド本体に形成されたスリワリ付の取付け孔に挿入されて割り締めで固定された差動コイル部と、前記シーソー部材に取付けられて前記差動コイル部内に挿入されたコアと、で構成された差動トランスであり、前記取付け孔の内周面には、前記差動コイル部外周面に当接する所定の幅の部位のみを残したニゲ部が形成されていることを特徴としている。
【００１５】
請求項３の発明によれば、接触子の変位量を検出する差動トランスの差動コイル部は、所定の幅で取付け孔の内周面に当接して割り締め固定されているので、狭い範囲で割り締め固定でき、取り付け基準が明確になる。このため、複数の測定ヘッドにおいて個々の測定ヘッド毎の差動コイル部の固定ばらつきが低減し、品質が安定する。
【００１６】
請求項４に記載の発明は、請求項３の発明において、前記取付け孔内周面の前記差動コイル部外周面に当接する部位の前記取付け孔の軸方向における位置が、前記測定ヘッド全体の温度特性に起因する前記差動トランスの出力値のドリフトを低減する位置に設定されていることを特徴としている。
【００１７】
請求項４の発明によれば、測定ヘッド全体の温度特性に起因する差動トランスの出力値のドリフトが低減するとともに、複数の測定ヘッドにおいて個々の測定ヘッド毎の品質のばらつきが低減する。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係る測定ヘッドの好ましい実施の形態について詳説する。尚、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。
【００１９】
図１は、本発明に係る測定ヘッドの構成を示す側断面図である。測定ヘッド１０は、図１に示すように、ワークＷの外径を測定する挟み型で、一対のシーソー機構を有し上下対象構造となっているので、一方のシーソー機構で説明する。
【００２０】
測定ヘッド１０は、測定ヘッド本体２１、支点部材１１、アーム１２Ａとフィンガ１３とからなるシーソー部材１２、接触子１４、検出器としてのＬＶＤＴ（差動トランス）１５、付勢部材１７、ダンパ１８、ブーツ１９、及びケース２２等から構成されている。
【００２１】
支点部材１１はホルダ２０に支持されて測定ヘッド本体２１に取付けられている。アーム１２Ａは支点部材１１に保持され、支点部材１１を中心にシーソー回動自在になっている。アーム１２Ａの一端にはフィンガ１３がネジ止めされ、フィンガ１３の先端にはワークＷに当接する接触子１４が取付けられている。一方、アーム１２Ａの他端にはＬＶＤＴ１５のコア１５Ａが取付けられている。また、ＬＶＤＴ１５の差動コイル部１６は測定ヘッド本体２１に割り締めで固定されている。
【００２２】
アーム１２Ａには接触子をワークＷに向けて押圧する付勢部材１７が設けられている。この付勢部材１７には圧縮バネが用いられているが、引張りバネやその他の弾性部材等、アーム１２Ａに回転力を発生させることのできるものなら種々の部材が適用できる。更に、アーム１２Ａにはダンパ１８が設けられ、接触子１４の飛び跳ねや振動を抑制する。
【００２３】
アーム１２Ａの先端部、フィンガ１３、及び接触子１４を除くその他の部材はケース２２で覆われている。このケース２２には開口部がありこの開口部からアーム１２Ａの先端部が飛び出している。また、この開口部にはブーツ１９が設けられ、ケース２２内部への塵埃やミストの侵入を防止している。
【００２４】
次に、このように構成された測定ヘッド１０の作用について説明する。先ず測定ヘッド１０がワークＷに対してセットされる。接触子１４は付勢部材１７によってワークＷに押圧されているので、ワークＷの寸法に応じて支点部材１１を中心に回動変位する。接触子１４が回動変位するとアーム１２Ａに取付けられたＬＶＤＴ１５のコア１５Ａも回動変位する。このコア１５Ａの変位量はＬＶＤＴ１５の差動コイル部１６で検出されて検出信号がＡ／Ｄ変換部３０で処理され、管制部４０に送られてワークＷの寸法が求められる。
【００２５】
この時アーム１２Ａにはダンパ１８が設けられているので、接触子１４の飛び跳ねや振動が防止される。また、ケース２２の開口部にはブーツ１９が取付けられているので、加工液やミスト、及びその他塵埃等がケース２２内に浸入する事がない。
【００２６】
次に各部について、より詳細に説明する。先ず測定ヘッド１０の本体構造は、各主要構成要素を全て測定ヘッド本体２１に取付け、１つのユニットにした上でケース２２に取付けてある。
【００２７】
支点部材１１は、図２（ａ）に示すような十字ばね支点が用いられている。十字ばね支点は、図２（ａ）左側の図に示すような板ばねを２枚クロスして並べる構成もあるが、本実施の形態では図２（ａ）右側の図に示すような、ワイヤカット加工による削り出しで一体化したものを用いている。この一体化した十字ばね支点は、加工費が高いが剛性があり繰返し精度も良いので、高精度の支点に適している。
【００２８】
支点部材１１は上記の外に、図２（ｂ）に示すＬ字ばね支点、図２（ｃ）に示す弾性支点、更にベアリングやピボット支点等を使用することができる。Ｌ字ばね支点は精度は十字ばねには及ばないが安価であり、一般的に広く用いられている支点である。しかし、旋回運動に伴い支点中心が移動するという欠点を有しているが、検出器にＬＶＤＴを用いている場合は問題にならないレベルである。
【００２９】
弾性支点は、高精度であるが僅かな旋回角度しかとれないので、測定範囲の狭い場合に安価に使用できる。ベアリング支点は、旋回角度に制限がないが、摩耗により精度低下が生じるので定期的に交換する必要がある。
【００３０】
フィンガ１３は、図１に示すように、ワーク形状に合わせて交換できるように、アーム１２Ａとは別体で、アーム１２Ａにネジで固定するようになっているが、アーム１２Ａと一体型であっても構わない。また、フィンガ１３の材質はステンレススチールが用いられているが、鉄に防錆メッキを施したものやセラミックス等を使用してもよい。
【００３１】
フィンガ１３の断面形状は、クーラントをかけながら加工するワークＷを測定する場合、クーラントがフィンガ１３にもかかるため、クーラントの圧力が測定に及ぼす影響を少なくするため円形の断面になっている。しかし、円形に限るものではなく、角型断面、楕円形断面等を用いてもよい。
【００３２】
接触子１４は、図１に示すように、ネジ式の接触子１４が用いられ、高さ方向の微調整ができるようになっている。尚、接触子１４を直接フィンガ１３に埋め込んで、高さ方向の調整はフィンガの取付け部で行う構造であってもよい。
【００３３】
ワークＷと接触する接触子１４の先端部分には、超鋼またはダイヤモンドが埋め込まれている。この先端部分は摩耗に強いことが必要で、超鋼、ダイヤモンド、ルビー等が一般に用いられるが、ワークＷの材質によっても使い分けられる。
【００３４】
鉄やステンレス等の硬い材質を測定する場合は価格の安い超鋼が用いられるが、回転するワークＷを測定する場合はより摩耗に強いダイヤモンドが用いられる。また、アルミ、銅、軟質ガラス等の軟らかい材質を測定する場合は、滑りの良いダイヤモンドが使用され、測定力を小さくしたり、リトラクト状態からの落下速度を遅くしたりして傷やへこみの発生が防止される。
【００３５】
接触子１４の先端形状は、通常Ｒ形状が用いられる。Ｒの大きさは種々用いられるが、特にインプロセスで加工中のワークＷを測定する場合は、切屑を噛み込まないようにＲ０．５〜Ｒ１．５ｍｍ程度のＲの小さな先端形状が用いられる。
【００３６】
また、測定面が粗い場合、細かい粗さを拾って値がばらつくことがあるので、平均化の意味でＲの大きな先端形状が用いられる。このような場合、Ｒ３〜Ｒ６ｍｍ程度が標準的に用いられる先端Ｒである。軟質ワークＷの場合も、接触時のワークＷのへこみを小さくする意味でＲ３ｍｍ以上が使用され、Ｒ３〜Ｒ６ｍｍ程度が標準的に用いられる。
【００３７】
歯車のような不連続面を測定する場合は、溝を跨ぐ大きさのＲとし、溝と平行な方向のＲはＲ１．５程度にし、全体として船形形状の接触子１４が用いられる。
【００３８】
回転する歯車の外径を測定する場合、小さな接触子１４では落ち込みと跳ね上がりの量が大きく測定値がばらつくため、谷から山にうまく乗り上がる構造にする必要がある。また、溝を跨ぐ構造にしたとしても落ち込み跳ね上がりは完全には抑えられず、回転が速くなるとがたつきが大きくなったり、跳ね上がったままでほとんど接触しない状態になる。そのためダンパ１８の効果を強くするとともに、ワークＷの周速や接触、非接触時間を規制する必要がある。測定はワークＷを一周以上回転させて最大値を記憶する方法が用いられている。
【００３９】
その他、円筒状の超鋼製接触子１４が用いられることもある。この場合、フィンガ１３の接触子挿入孔に割りを入れておき、割り締めで固定する。また、ワークＷとの接触部が摩耗したら回転させて固定しなおし、未使用面を使うことで寿命を延ばすようにしている。しかしこの円筒状の接触子１４はワークＷとの平行出しが難しいので、狭くてＲ型接触子が使えない場合のような、特殊な条件の時に用いられる。
【００４０】
図３、及び図４は、ＬＶＤＴ１５の差動コイル部１６の測定ヘッド本体２１への取付け構造と、コア１５Ａのアーム１２Ａへの取付け構造とを説明する部分拡大図で、図３は側断面図で、図４は平面図である。
【００４１】
コア１５Ａはコアホルダ１５Ｂに取付けられ、コアホルダ１５Ｂを介してアーム１２Ａのスリワリ付孔に割り締めで固定されている。コア１５Ａの材質は、磁気特性の良好なパーマロイが用いられている。
【００４２】
差動コイル部１６は、図３に示すように、樹脂製のボビン１６Ａにコイル１６Ｂが３段に巻回され、その外側にボビンケース１６Ｃが嵌め込まれ、ボビンケース１６Ｃは、ボビン１６Ａの端部に形成されたネジ部を用いてナット１６Ｄで固定されている。ボビンケース１６Ｃの材質は、外部との磁気遮蔽のためパーマロイが用いられている。コイル１６Ｂのリード線１６Ｅはボビンケース１６Ｃの切り欠き部から外部に引出されている。
【００４３】
差動コイル部１６を固定する測定ヘッド本体２１には、取付け孔２１Ａが設けられ、取付け孔２１Ａには図４に示すようなスリワリ２１Ｂが形成されている。取付け孔２１Ａ内に挿入された差動コイル部１６の外周面と取付け孔２１Ａの内周面との間にはリング２３が介在している。
【００４４】
差動コイル部１６はこのリング２３が介在した状態でネジ２４を締め込むことにより測定ヘッド本体２１に割り締めされ、リング２３の高さが低いので狭い面積で固定される。
【００４５】
図５は、リング２３を表わす斜視図である。リング２３は図５に示すように薄肉のリング状でスリワリ２３Ａが形成されており、差動コイル部１６を測定ヘッド本体２１に割り締めする時に撓みやすい形状になっている。また、リング２３の高さは差動コイル部１６のぐらつきが生じない範囲でできるだけ低い方が良く、本実施の形態では２．５ｍｍ〜３ｍｍ程度のものが用いられている。
【００４６】
測定ヘッド１０は、種々の複雑な形状を有する部材の組み合わせで構成されているため、環境温度に対して複雑な温度特性を示す。この温度特性によりＬＶＤТ１５の出力がドリフトして、検出精度を低下させる要因になっている。このため、この温度特性によるＬＶＤТ１５の出力ドリフトが最小になる位置で差動コイル部１６を固定している。即ち取付け孔２１Ａの軸方向の出力ドリフトが最小になる位置にリング２３を配置している。このリング２３の取付け位置は、測定ヘッド１０の種類毎に実験的に最良の位置を求めて設定される。
【００４７】
図６は、本発明の他の発明の実施形態を表わしたもので、差動コイル部１６をリング２３を用いずに測定ヘッド本体２１へ取付ける構造を表わしたものである。図６に示すように、測定ヘッド本体２１に設けられた取付け孔２１Ａの内周面には、差動コイル部１６外周面に当接する所定の幅の部位を挟んで上下にニゲ部２１Ｃ、２１Ｃが形成されている。差動コイル部１６は、取付け孔２１Ａの狭い幅の内周面で割り締め固定される。
【００４８】
この取付け孔２１Ａの内周面の差動コイル部１６外周面に当接する部位の幅が、２．５ｍｍ〜３ｍｍ程度になるように、ニゲ部２１Ｃ、２１Ｃが形成されている。また、この取付け孔２１Ａの内周面の差動コイル部１６外周面に当接する部位の形成位置は、測定ヘッド１０全体の温度特性に起因するＬＶＤТ１５の出力ドリフトが最小になる位置を実験的に求めている。また、微小な位置調整は差動コイル部１６及びコア１５Ａを移動させることによって行うことができる。
【００４９】
【比較例】
ＬＶＤТ１５の差動コイル部１６の取付け構造を、取付け孔２１Ａの内周面全面で割り締め固定した従来の測定ヘッドと、本発明のリング２３を介し、リング２３の位置を実験的に求めた温度特性補償効果の高い位置にして割り締め固定した測定ヘッド１０とを用いて温度特性の比較実験を行った。
【００５０】
実験は、従来の測定ヘッド及び本発明の測定ヘッド１０夫々について、実験サンプル２個づつ（ゲージ１、ゲージ２）に対して行った。先ず、周囲温度２０℃でＬＶＤТ１５の出力をゼロに設定し、周囲温度を５℃刻みで５０℃まで上昇させ、次に周囲温度を５℃刻みで２０℃まで下降させ、夫々の周囲温度でのＬＶＤТ１５の出力を記録した。
【００５１】
図７、及び図８は実験結果をグラフで表わしたものである。図７は従来の測定ヘッドの温度特性を表わし、図８は本発明の測定ヘッド１０の温度特性を表わしている。従来の測定ヘッドは、図７に示すように、ゲージ１で最大ドリフト−１．２３μｍ、ゲージ２で最大ドリフト−２．３８μｍであり、サンプル間のバラツキは最大１．１５μｍであった。
【００５２】
これに対して、本発明の測定ヘッド１０は、図８に示すように、ゲージ１で最大ドリフト＋０．０９μｍ、ゲージ２で最大ドリフト−０．５１μｍであり、サンプル間のバラツキは最大０．６μｍであった。
【００５３】
このように、本発明の測定ヘッド１０は、従来の測定ヘッドと比較して、最大ドリフトで４／１０〜４／１００の範囲で減少し、サンプル間のバラツキも１／２に減少している。
【００５４】
このように、本発明の測定ヘッドは、差動コイル部１６を狭い幅で固定するので固定の基準位置が明確になり製品間で略一定になる。このため製品間での温度特性値のバラツキが低減する。また、周囲の温度変化によるＬＶＤТ１５の出力のドリフトをコア１５Ａと差動コイル部１６のみの伸縮に起因するものとは捉えず、測定ヘッド１０全体の温度特性に起因するものとして捉え、差動コイル部１６の固定位置を実験値から最適な位置を求めて決定しているので、ドリフトを最小限に抑えることができる。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の測定ヘッドによれば、接触子の変位量を検出する差動トランスの差動コイル部は、スリワリを有するリングを介して取付け孔にて割り締め固定されているので、狭い範囲で割り締め固定でき、取り付け基準が明確になる。このため、複数の測定ヘッドにおいて個々の測定ヘッド毎の差動コイル部の固定ばらつきが低減し、製品間での温度特性値のバラツキが低減して品質が安定する。また、リングの介在位置を調節することにより取付け位置を容易に調節することができる。
【００５６】
また、リングの介在位置を調節することにより、測定ヘッド全体の温度特性に起因する差動トランスの出力値のドリフトを容易に低減することができるとともに、複数の測定ヘッドにおいて個々の測定ヘッド毎の品質のばらつきを容易に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態に係る測定ヘッドを表わす側断面図
【図２】種々の支点部材を表わす斜視図
【図３】本発明の実施の形態に係る測定ヘッドの部分拡大図
【図４】本発明の実施の形態に係る測定ヘッドの部分拡大平面図
【図５】リングを表わす斜視図
【図６】本発明の別の実施形態に係る測定ヘッドの部分拡大図
【図７】従来の測定ヘッドの温度特性を表わすグラフ
【図８】本発明の測定ヘッドの温度特性を表わすグラフ
【符号の説明】
１０…測定ヘッド、１１…支点部材、１２…シーソー部材、１２Ａ…アーム、１３…フィンガ、１４…接触子、１５…ＬＶＤТ（差動トランス）（検出器）、１５Ａ…コア、１６…差動コイル部、１７…付勢部材、２１…測定ヘッド本体、２１Ａ…取付け孔、２１Ｂ…スリワリ、２１Ｃ…ニゲ部、２３…リング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005010019.tif 000008
【図７】
2005010019.tif 000009
【図８】
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