(57)【要約】【課題】  インクジェットヘッドにおいて、温度変化による反りやうねりの発生を完全に抑え、破損の発生を防止することである。【解決手段】  その前面から後面に向けてその途中まで略平行に伸びる複数の溝１４を有するヘッド本体８に、開口部２２及び底部２３が設けられた凹部２４である収容室９及びその収容室９に連通する貫通孔である流入口２０を有する天板１０をその収容室９の開口部２２を複数の溝１４に対向させて設け、天板１０と同一部材である基板１１を天板１０に対しヘッド本体８を挟んで対向させてその収容室９の開口部２２をヘッド本体８に向けて設け、複数の溝１４にそれぞれ連通する複数のノズル２を有するノズルプレート６を複数の溝１４に対向させて設けるようにした。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
その前面から後面に向けてその途中まで略平行に伸びる複数の溝を有するヘッド本体と、
開口部及び底部が設けられた凹部及びその凹部に連通する貫通孔である流入口を有し、その凹部の開口部を複数の前記溝に対向させて前記ヘッド本体に設けられた第１基板と、
前記第１基板と同一部材であって、前記第１基板に対し前記ヘッド本体を挟んで対向させてその凹部の開口部を前記ヘッド本体に向けて設けられた第２基板と、
複数の前記溝に対向させて前記ヘッド本体に設けられ、複数の前記溝にそれぞれ連通する複数のノズルを有するノズルプレートと、
を備えるインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記第１基板及び前記第２基板は、前記凹部に連通する貫通孔である流出口をそれぞれ有している、請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２記載のインクジェットヘッドと、
前記第１基板の前記流入口にインクを流入させるインク供給部と、
液体を所定温度に調整し、その調整した液体を前記第２基板の前記流入口に流入させる液体供給部と、
を備えるインクジェット記録装置。
【請求項４】
請求項２記載のインクジェットヘッドと、
前記第１基板の前記流入口にインクを流入させるインク供給部と、
液体を所定温度に調整し、その調整した液体を前記第２基板の前記流入口に流入させる液体供給部と、
を備え、
前記液体供給部は、前記第２基板の前記流出口から流出した液体を再び所定温度に調整して前記第２基板の前記流入口に流入させる、インクジェット記録装置。
【請求項５】
その前面から後面に向けてその途中まで略平行に伸びる複数の溝を有するヘッド本体に、開口部及び底部が設けられた凹部及びその凹部に連通する貫通孔である流入口を有する第１基板をその凹部の開口部を複数の溝に対向させて設け、前記第１基板と同一部材である第２基板を前記第１基板に対し前記ヘッド本体を挟んで対向させてその凹部の開口部を前記ヘッド本体に向けて設ける工程と、
複数の前記溝にそれぞれ連通する複数のノズルを有するノズルプレートを複数の前記溝に対向させて前記ヘッド本体に設ける工程と、
を備えるインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記ヘッド本体に前記第１基板及び前記第２基板を設ける工程では、前記ヘッド本体に前記第１基板及び前記第２基板を熱硬化型の接着剤でそれぞれ貼り付け、その接着剤を同時に硬化させるようにした、請求項５記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェットプリンタ等のインクジェット記録装置は、記録媒体に対して複数のノズルから選択的にインクをインク滴として吐出させるインクジェットヘッドを備えており、このインクジェットヘッドによって記録媒体に画像を記録する装置である。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドでは、記録動作や使用環境等による温度変化によって反りやうねり等が生じて、クラック等の破損が発生してしまうことがある。特に、インクジェットヘッドを製造する工程では、熱硬化型の接着剤（加熱接着）を使用することが多く、このときに加える熱によっても、反りやうねり等が生じてクラック等の破損が発生してしまうことがある。これを防止するため、特許文献１や特許文献２等の技術が提案されている。
【０００４】
特許文献１では、記録素子基板と、液室を備えた天板と、記録素子基板を支える保持基板とを同一材料で形成することによって、温度変化による反りやクラック等の発生を抑える技術が提案されている。
【０００５】
特許文献２では、圧電部材からなり表面に複数の溝を有する基板の裏面にその基板と同等の熱膨張係数を有するダミー基板を設けることによって、温度変化による反りやうねり等の発生を抑える技術が提案されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平９−５２３６５号公報
【特許文献２】特開平１０−１５７１０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１のように、記録素子基板と、液室を備えた天板と、記録素子基板を支える保持基板とを同一材料で形成するだけでは、それらの板部材の形状や大きさ等が異なっているため、温度変化による反りやクラック等の発生を完全に抑えることができないという問題がある。特に、インクジェットヘッドを製造する工程で加熱接着を行う場合には、その加熱による反りやクラック等の発生を完全に抑えることができない。
【０００８】
また、特許文献２のように、圧電部材からなる基板の裏面にその基板と同等の熱膨張係数を有するダミー基板を設けるだけでは、それらの基板の形状や大きさ等が異なっているため、温度変化による反りやうねり等の発生を完全に抑えることができないという問題がある。特に、インクジェットヘッドを製造する工程で加熱接着を行う場合には、その加熱による反りやクラック等の発生を完全に抑えることができない。
【０００９】
本発明の目的は、温度変化、特に加熱による反りやうねりの発生を完全に抑え、破損の発生を防止することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、その前面から後面に向けてその途中まで略平行に伸びる複数の溝を有するヘッド本体に、開口部及び底部が設けられた凹部及びその凹部に連通する貫通孔である流入口を有する第１基板をその凹部の開口部を複数の溝に対向させて設け、第１基板と同一部材である第２基板を第１基板に対しヘッド本体を挟んで対向させてその凹部の開口部をヘッド本体に向けて設け、複数の溝にそれぞれ連通する複数のノズルを有するノズルプレートを複数の溝に対向させて設けるようにした。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、同一部材である第１基板と第２基板とはそれぞれの開口部をヘッド本体に向けてヘッド本体を挟持するようにヘッド本体に設けられることから、それぞれが同様にヘッド本体に設けられ、温度変化、特に加熱による反りやうねりの発生の原因となる応力が相殺されるため、温度変化による反りやうねりの発生を完全に抑え、破損の発生を防止することができる。特に、ヘッド本体に第１基板と第２基板とを加熱接着する場合でも、その加熱による反りやうねりの発生を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明を実施するための最良の一形態を図面に基づいて説明する。
【００１３】
＜インクジェット記録装置＞
図１は本実施の形態のインクジェット記録装置の構成を概略的に示す模式図、図２はインクジェット記録装置が備えるインクジェットヘッドを概略的に示す分解斜視図、図３はインクジェットヘッドを概略的に示す縦断側面図である。
【００１４】
インクジェット記録装置１は、複数のノズル２から選択的にインクをインク滴として吐出させるインクジェットヘッド３、そのインクジェットヘッド３の内部にインクを供給するインク供給部４、及びインクジェットヘッド３の内部に温度制御した液体を供給する液体供給部５等を備えている。さらに、インクジェット記録装置１は、記録媒体（図示せず）を順次送り出して副走査方向に搬送する記録媒体搬送部やインクジェットヘッド３を搭載して主走査方向に往復移動するキャリッジ（いずれも図示せず）等も備えている。
【００１５】
インクジェットヘッド３は、インクを吐出させるための複数の貫通孔であるノズル２を有するノズルプレート６、インクを収容して複数のノズル２にそれぞれ連通する複数のインク室７を有するヘッド本体８、ヘッド本体８に設けられインク室７に連通する収容室９を有する第１基板である天板１０、その天板１０とヘッド本体８を挟んで対向する位置に位置付けられてヘッド本体８に設けられた第２基板である基板１１等から構成されている。この基板１１は、天板１０と同一部材である。したがって、天板１０と基板１１とは同一材料で形成されており、その形状も全く同じである。
【００１６】
ヘッド本体８は、少なくとも一方が圧電部材よりなる上層基板１２及び下層基板１３が積層されて形成されている。なお、本実施の形態では、ヘッド本体８は、板厚方向に分極した２枚の圧電部材よりなる上層基板１２及び下層基板１３を分極方向が逆向きとなるように接着して形成されている。このヘッド本体８には、上層基板１２及び下層基板１３をその積層方向にダイヤモンドホイール等により削り、上層基板１２の上面から下層基板１３の内部まで達する複数の溝１４が形成されている。これらの溝１４は、上層基板１２の上面から下層基板１３の内部まで到達するとともに、前面が開口し後部が閉鎖するように形成されている。すなわち、複数の溝１４は、ヘッド本体８にその前面から後面に向けてその途中まで略平行に伸びている。
【００１７】
複数の溝１４の内面には、無電界ニッケルメッキ法等により電極１５が形成されている。また、上層基板１２の上面には、電極１５と連続する配線パターン１６が形成されている。なお、インクとして水性インクを使用する場合には、電極１５及び配線パターン１６の一部、すなわちインクと接触する部分に絶縁膜１７が形成されている（図３参照）。ここで、インク室７は、溝１４の底壁１８、溝１４の両側に形成された側壁１９及び天板１０の一部により構成されている。
【００１８】
天板１０は、インク供給部４から供給される液体であるインクが流入する流入口２０、流入口２０に連通してインクを収容する収容室９、収容室９に連通してインクが流出する流出口２１等を有している。収容室９は、開口部２２及び底部２３を有する凹部２４である。収容室９は、複数のインク室７に連通しており、それらのインク室７にインクを供給する。このような天板１０は、収容室９の開口部２２を複数の溝１４に対向させてヘッド本体８に設けられている。このとき、天板１０は、例えば熱硬化型の接着剤（加熱接着）によりヘッド本体８に固定されている。
【００１９】
基板１１は、天板１０と同一部材であり、液体供給部５から供給される液体が流入する流入口２５、流入口２５に連通して液体を収容する収容室２６、収容室２６に連通して開口して液体が流出する流出口２７等を有している。収容室２６は、開口部２２及び底部２３を有する凹部２４である。このような基板１１は、その収容室２６の開口部２２をヘッド本体８に向けて天板１０とヘッド本体８を挟んで対向するように設けられている。このとき、基板１１は、例えば熱硬化型の接着剤（加熱接着）によりヘッド本体８に固定されている。
【００２０】
インク供給部４は、インクを収容するインクタンク２８、インクタンク２８と天板１０の流入口２０とを連通するインク供給パイプ２９、インク供給パイプ２９中に設けられ天板１０の収容室９にインクを供給するための供給力を発生させるポンプ３０、及び天板１０の流出口２１とインクタンク２８とを連通するインク流出パイプ３１等から構成されている。なお、インク供給パイプ２９、インクジェットヘッド３の収容室９及びインク流出パイプ３１等が、インクが流れるインク流路を構成している。
【００２１】
このようなインク供給部４は、ポンプ３０による供給力により、インクタンク２８から天板１０の収容室９にインク供給パイプ２９を介してインクを供給する。さらに、インク供給部４は、天板１０の流出口２１からインクを流出させてインク流出パイプ３１を介してインクタンク２８にインクを戻す。すなわち、インク供給部４は、天板１０の流出口２１から流出したインクを再び天板１０の流入口２０に流入させる。これにより、インクがインク流路内を循環するため、天板１０の収容室９の内部に存在する気泡を除去することができる。
【００２２】
液体供給部５は、液体を収容する液体タンク３２、液体タンク３２と基板１１の流入口２５とを連通する液体供給パイプ３３、液体供給パイプ３３中に設けられ基板１１の収容室２６に液体を供給するための供給力を発生させるポンプ３４、液体供給パイプ３３中に設けられ通過する液体の温度を所定温度に調整する温度調整部３５、及び基板１１の流出口２７と液体タンク３２とを連通する液体流出パイプ３６等から構成されている。なお、液体供給パイプ３３、基板１１の収容室２６及び液体流出パイプ３６等が、液体が流れる液体流路を構成している。
【００２３】
温度調整部３５は、水等の液体を所定温度に調整する装置である。ここでは、温度調整部３５は、例えばペルチェ素子等を使用して水等の液体を所定温度に冷却し、さらに、例えば発熱素子を使用して液体を所定温度に加熱する装置である。なお、液体としては、例えば水が使用されているが、これに限るものではない。
【００２４】
このような液体供給部５は、ポンプ３４による供給力により、液体タンク３２から基板１１の収容室２６に液体供給パイプ３３を介して液体を供給する。このとき、液体供給部５は、温度調整部３５により液体を所定温度に調整する。これにより、基板１１の収容室２６には、温度調整した液体が供給される。さらに、液体供給部５は、基板１１の流出口２７から液体を流出させて液体流出パイプ３６を介して液体タンク３２に液体を戻す。すなわち、液体供給部５は、基板１１の流出口２７から流出した液体を再び基板１１の流入口２５に流入させる。これにより、液体は、その温度が所定温度に調整され、液体流路内を循環するため、接触するヘッド本体８を直接的に冷却又は保温することができる。特に、インクジェットヘッド３の駆動時には、駆動により発生する熱を冷却し、インクジェットヘッド３の未使用時には、インクジェットヘッド３の内部のインクを保温する。これにより、インク粘度が安定し、インクは安定してノズル２から吐出するため、良好な印字画像を得ることができる。
【００２５】
ここで、インクとしては、例えば水性インク、油性インク、溶剤インク及びＵＶインク（紫外線硬化型インク）等の様々なインクが用いられる。ＵＶインクは、例えば、顔料、モノマー、オリゴマー、光重合開始剤、分散剤やその他の添加剤（例えば表面張力調整剤）等から構成されている。
【００２６】
なお、本実施の形態においては、インク吐出エネルギー手段として、圧電部材（例えばピエゾ素子）を利用する圧電方式のインクジェットヘッド３が用いられているが、これに限るものではなく、例えば発熱体を利用するサーマルインクジェット方式のインクジェットヘッドが用いられても良い。この場合には、発熱体はノズル２に連通する溝１４、すなわちインク室７に設けられる。特に、発熱体は溝１４の底壁１８に形成される。
【００２７】
次に、インクジェット記録装置１が備える各部の電気的接続について図４を参照して説明する。図４はインクジェット記録装置１が備える各部の電気的接続を概略的に示すブロック図である。
【００２８】
インクジェット記録装置１は、コントローラ５０を内蔵している。このコントローラ５０は、各部を集中的に制御するＣＰＵ（Central Processing Unit）５１、ＣＰＵ５１が実行する各種プログラム等を格納するＲＯＭ（Read Only Memory）５２及びＣＰＵ５１のワークエリアとして機能するＲＡＭ（Random Access Memory）５３等をバスライン５４で接続することによって構成されている。
【００２９】
ＣＰＵ５１には、インクジェットヘッド制御回路５５を介してインクジェットヘッド３が接続されており、ポンプ制御回路５６を介してポンプ３０，３４が接続されており、温度調整部制御回路５７を介して温度調整部３５が接続されている。さらに、ＣＰＵ５１には、通信インターフェース（図示せず）を介して例えばパーソナルコンピュータ等の外部装置（図示せず）が接続されており、駆動制御部（図示せず）を介して記録媒体搬送部及びキャリッジが接続されている。
【００３０】
このような構成において、インクジェット記録装置１は、通信インターフェースを介して外部装置から受信した画像データに基づいて、記録媒体搬送部によって副走査方向に記録媒体を搬送しながら、インクジェットヘッド３が搭載されたキャリッジをホームポジション（待機位置）から主走査方向に移動させ、インクジェットヘッド３を駆動制御することによって画像を記録媒体に形成する。すなわち、インクジェットヘッド３は、選択的に所望のインク室７の体積を変化させてインクに圧力を加えることで、インク室７に供給されたインクを複数のノズル２から選択的にインク滴として吐出させる。なお、インク室７には、天板１０の収容室９からインクが供給される。
【００３１】
また、インクジェット記録装置１は、所定のタイミング、例えばインクタンク２８の交換後等に、インク供給部４によりインクタンク２８からインクジェットヘッド３の天板１０の収容室９にインク供給パイプ２９を介してインクを供給し、天板１０の流出口２１からインクを流出させてインク流出パイプ３１を介してインクタンク２８にインクを戻す。このとき、インクはインク流路を循環し、天板１０の収容室９に存在する気泡をインクと共にその外部に移動させて除去する。
【００３２】
さらに、インクジェット記録装置１は、所定のタイミング、例えばインクジェットヘッド３の駆動時には、液体供給部５により基板１１の収容室２６に温度調整した液体を供給してヘッド本体８を冷却し、インクジェットヘッド３の未使用時には、液体供給部５により基板１１の収容室２６に温度調整した液体を供給してインクジェットヘッド３の内部のインクを保温する。このとき、液体は液体流路を循環する。
【００３３】
以上説明したように、本実施の形態では、同一部材である天板１０及び基板１１をそれぞれの開口部２２をヘッド本体８に向けてヘッド本体８を挟持するように設けることで、それぞれが同様にヘッド本体８に設けられ、温度変化、特に加熱による反りやうねりの発生の原因となる応力が相殺されるため、温度変化による反りやうねりの発生を完全に抑え、破損の発生を防止することができる。特に、ヘッド本体８に天板１０と基板１１とを加熱接着する場合でも、その加熱による反りやうねりの発生を防止することができる。
【００３４】
また、所定温度に調整した液体を基板１１の収容室２６に供給することで、ヘッド本体８を直接的に冷却又は保温することが可能になる。これにより、ヘッド本体８の温度上昇を抑えることができ、必要とするときにヘッド本体８の温度を上げることができる。前述したように、例えば、インクジェットヘッド３の駆動時には、駆動により発生する熱を冷却し、インクジェットヘッド３の未使用時には、インクジェットヘッド３の内部のインクを保温する。これにより、インク粘度が安定し、インクは安定してノズル２から吐出するため、良好な印字画像を得ることができる。
【００３５】
なお、本実施の形態では、第１基板である天板１０及び第２基板である基板１１は、凹部２４である収容室９，２６に連通する貫通孔である流出口２１，２７をそれぞれ有していることから、天板１０の収容室９の流出口２１からインクを流出させることができ、さらに、基板１１の収容室２６の流出口２７から水等の液体を流出させることができる。
【００３６】
また、本実施の形態では、インクジェットヘッド３と、天板１０の流入口２０にインクを流入させるインク供給部４と、液体を所定温度に調整し、その調整した液体を基板１１の流入口２５に流入させる液体供給部５と、を備えることから、所定温度に調整した液体を基板１１の収容室２６に供給することが可能になるため、ヘッド本体８を直接的に冷却又は保温することができる。
【００３７】
また、本実施の形態では、インクジェットヘッド３と、天板１０の流入口２０にインクを流入させるインク供給部４と、液体を所定温度に調整し、その調整した液体を基板１１の流入口２５に流入させる液体供給部５とを備え、液体供給部５は、基板１１の流出口２７から流出した液体を再び所定温度に調整して基板１１の流入口２５に流入させることから、基板１１の収容室２６に絶えず温度調整した液体を供給することが可能になるため、ヘッド本体８を確実に冷却又は保温することができる。さらに、繰り返し液体を使用することが可能になるため、コストを抑えることができる。
【００３８】
＜インクジェットヘッドの製造方法＞
次いで、インクジェットヘッド３の製造方法について図５を参照して説明する。図５はインクジェットヘッド３の製造工程を概略的に示す斜視図である。
【００３９】
インクジェットヘッド３の製造方法は、少なくとも一方が圧電部材よりなる上層基板１２及び下層基板１３を積層してヘッド本体８を形成する工程（積層工程：図５（ａ）参照）と、ヘッド本体８に複数の溝１４を形成する工程（溝形成工程：図５（ｂ）参照）と、複数の溝１４に電極１５を形成する工程（電極形成工程：図５（ｃ）参照）と、天板１０をその収容室９の開口部２２を複数の溝１４に対向させてヘッド本体８に設け、基板１１を天板１０とヘッド本体８を挟んで対向させてその収容室２６の開口部２２をヘッド本体８に向けて設ける工程（第１設置工程：図５（ｄ）及び図２参照）と、ノズルプレート６を複数の溝１４に対向させてヘッド本体８に設ける工程（第２設置工程：図５（ｅ）参照）とから構成されている。なお、天板１０と基板１１とは同一部材である。したがって、天板１０と基板１１とは同一材料で形成されており、その形状も全く同じである。
【００４０】
ヘッド本体８を形成する工程では、上層基板１２と下層基板１３とを接着剤により貼り合わせる。接着剤としては、例えば加熱硬化型の接着剤が用いられる。接着剤は、例えば上層基板１２にスクリーン印刷等により塗布される。なお、接着剤の塗布方法としては、スクリーン印刷の他にも、使用する接着剤に合わせてスピンコータ、スプレー塗布及び刷毛塗り等の方法を選択可能である。加熱硬化型の接着剤を用いた場合には、貼り合わされた上層基板１２及び下層基板１３をオートクレーブ装置（図示せず）に入れて加圧加熱し、接着剤を硬化させる（加熱接着）。なお、貼り合わされた上層基板１２及び下層基板１３を治具等により機械的に押さえ、その加圧状態でオーブンに入れて加熱硬化させても良い。また、ここでは、接着剤を硬化させず、後工程で接着剤を硬化させても良い。
【００４１】
複数の溝１４を形成する工程では、ヘッド本体８にその前面から後面に向けてその途中まで略平行に伸びる複数の溝１４を形成する加工を行う。この溝加工は、ＩＣウエハの切断等に用いるダイシングソーのダイヤモンドホイール等を使用して行われる。
【００４２】
電極１５を形成する工程では、複数の溝１４の内面に無電界ニッケルメッキ法等により電極１５を形成する。このとき、上層基板１２の上面に電極１５と連続する配線パターン１６も形成する。インクとして水性インクを使用する場合には、電極１５及び配線パターン１６の一部、すなわちインクと接触する部分に絶縁膜１７を形成する（図３参照）。この絶縁膜１７は、例えば電着塗料により形成される。電着塗料の溶液は溝１４の内部まで行き渡るため、絶縁膜１７は電極１５の上に均一に形成される。
【００４３】
第１設置工程では、ヘッド本体８に天板１０及び基板１１を接着剤により貼り合わせる。このとき、天板１０及び基板１１のそれぞれの開口部２２は互いに向き合っている。接着剤としては、例えば加熱硬化型の接着剤が用いられる。接着剤は、例えば天板１０及び基板１１にスクリーン印刷等により塗布される。なお、接着剤の塗布方法としては、スクリーン印刷の他にも、使用する接着剤に合わせてスプレー塗布や刷毛塗り等の方法を選択可能である。加熱硬化型の接着剤を用いた場合には、天板１０及び基板１１が貼り合わされたヘッド本体８をオートクレーブ装置（図示せず）に入れて加圧加熱し、接着剤を硬化させる（加熱接着）。すなわち、天板１０とヘッド本体８との間の接着剤及び基板１１とヘッド本体８との間の接着剤を同時に加熱硬化させるようにする。このとき、天板１０と基板１１とによって、加熱による反りやうねりの発生の原因となる応力が相殺されるため、加熱による反りやうねりの発生を完全に抑えることができる。なお、貼り合わされた上層基板１２及び下層基板１３を治具等により機械的に押さえ、その加圧状態でオーブンに入れて加熱硬化させても良い。なお、ヘッド本体８を形成する工程で、接着剤を硬化させなかった場合には、この第１設置工程で同時に接着剤を硬化させても良い。
【００４４】
第２設置工程では、ノズルプレート６を複数の溝１４に対向させてヘッド本体８に接着剤により貼り合わせる。このノズルプレート６には、複数のノズル２が複数の溝１４にそれぞれ対向させて形成されている。これらのノズル２は、複数の溝１４にそれぞれ連通する。
【００４５】
このようにして、同一部材である天板１０及び基板１１をそれぞれの開口部２２をヘッド本体８に向けてヘッド本体８を挟持するように設けることで、それぞれが同様にヘッド本体８に設けられ、温度変化、特に加熱による反りやうねりの発生の原因となる応力が相殺されるため、温度変化による反りやうねりの発生を完全に抑え、破損の発生を防止することができる。特に、ヘッド本体８に天板１０と基板１１とを加熱接着する場合でも、その加熱による反りやうねりの発生を防止することができる。
【００４６】
また、ヘッド本体８と同等の熱膨張係数を有する高価な部材を使用する必要がなくなり、樹脂等の安価な部材を用いることが可能になるため、コストを抑えることができる。さらに、天板１０と基板１１とを共通化することで、部材毎に鋳型等を形成する必要が無くなり、コストを抑えることができる。
【００４７】
なお、本実施の形態では、ヘッド本体８に第１基板である天板１０及び第２基板である基板１１を設ける工程（第１設置工程）では、ヘッド本体８に天板１０及び基板１１を熱硬化型の接着剤でそれぞれ貼り付け、その接着剤を同時に硬化させるようにしたことから、その加熱による反りやうねりの発生を確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の一形態のインクジェット記録装置の構成を概略的に示す模式図である。
【図２】インクジェット記録装置が備えるインクジェットヘッドを概略的に示す分解斜視図である。
【図３】インクジェットヘッドを概略的に示す縦断側面図である。
【図４】インクジェット記録装置が備える各部の電気的接続を概略的に示すブロック図である。
【図５】インクジェットヘッドの製造工程を概略的に示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４９】
１            インクジェット記録装置
２            ノズル
３            インクジェットヘッド
４            インク供給部
５            液体供給部
６            ノズルプレート
８            ヘッド本体
１０          第１基板（天板）
１１          第２基板（基板）
１４          溝
２０，２５    流入口
２１，２７    流出口
２２          開口部
２３          底部
２４          凹部
【図１】
2005324518.tif 000003
【図２】
2005324518.tif 000004
【図３】
2005324518.tif 000005
【図４】
2005324518.tif 000006
【図５】
2005324518.tif 000007