(57)【要約】【課題】  本発明は、フラッシュ蒸発装置を基礎として生産性および粒径制御性の高い金属超微粒子の製造を可能とする金属超微粒子製造装置を提供することを目的とするものである。【解決手段】  チャンバー１内に設置され、金属粉末を蒸発させるためのヒーター２と、ヒーター２の上面が開放される様にヒーターの周囲に配置された断熱材４と、ヒーター２直上に垂設され、キャリアガスと共に金属粉末を散布するフィーダーパイプ５と、フィーダーパイプ５に金属粉末を供給する金属粉末フィーダー６と、チャンバー１内を減圧状態とする真空ポンプ８とから成る。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバー内に設置されたヒーターと、
該ヒーターの少なくとも上面が開放される様に前記ヒーターの周囲に配置された断熱材と、
前記ヒーターの上方に垂設され、キャリアガスと共に金属粉末を散布するフィーダーパイプと、
該フィーダーパイプに金属粉末を供給する金属粉末フィーダーと、
前記チャンバー内を減圧状態とする真空ポンプを備える
ことを特徴とする金属超微粒子製造装置。
【請求項２】
前記キャリアガスが酸素ガスと不活性ガスの混合ガスまたは酸化性ガスと不活性ガスの混合ガスである
ことを特徴とする請求項１記載の金属超微粒子製造装置。
【請求項３】
前記キャリアガスが不活性ガスである
ことを特徴とする請求項１記載の金属超微粒子製造装置。
【請求項４】
前記フィーダーパイプ内に螺旋状に屈曲形成された金属線からなる分散器が内包された
ことを特徴とする請求項１、２または３記載の金属超微粒子製造装置。
【請求項５】
前記チャンバーが水冷式ジャケット構造である
ことを特徴とする請求項１、２、３または４記載の金属超微粒子製造装置。
【請求項６】
前記チャンバーがヒーター上面よりも上部で分割され、上部チャンバーを上昇させたときに上部チャンバーの下端開口部を閉塞するシャッター機構を備える
ことを特徴とする請求項１、２、３、４または５記載の金属超微粒子製造装置
【請求項７】
前記ヒーターが黒鉛、ＳｉＣコーティングされた黒鉛、ＳｉＣ、２珪化モリブデンまたはクロム酸ランタンにより形成される
ことを特徴とする請求項１、２、３、４、５または６記載の金属超微粒子製造装置。
【請求項８】
前記真空ポンプがドライポンプである
ことを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６または７記載の金属超微粒子製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属超微粒子製造装置に関する。詳しくはフラッシュ蒸発法を基礎にして生産性の高い金属超微粒子製造を可能にした金属超微粒子製造装置に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス製品の微細化の進展に伴いそれらを構成する部品にも微細化が求められている。例えば、積層セラミックコンデンサーでは電極の厚さがミクロンオーダーに近づいている。このため電極の材料であるＮｉ粉末はナノメーターサイズのものが要求されるようになってきた。また、電子部品を搭載するプリント基板も電子部品の微細化に合わせて、より微細な配線パターンを形成する方法として、例えばインクジェットプリンターの原理により、銅の数十ナノメーターの超微粒子のパターンを樹脂基板上に形成し、超微粒子の融点降下現象を利用して樹脂の耐熱温度内で焼成して配線パターンを形成する方法が検討されている。
【０００３】
また、プラズマディスプレイ、ＦＥＤパネルなど新たに需要が伸びたエレクトロニクス製品についても、その性能を確保してローコスト化するために従来の材料に無い特性を求められている。例えばプラズマディスプレイパネル、ＦＥＤパネルなどでは電極パターン、配線パターンを厚膜ペーストにより形成するが、これに金属超微粒子を適用することによって焼成温度の低下や配線抵抗の低減を期待できる。これらはガラスパネルの耐熱性の軽減や省エネ、電極ドライブ回路の簡易化によるパネルのローコスト化に寄与する。
【０００４】
このように今後種々の金属超微粒子の需要が増加する傾向にあり、金属超微粒子の生産が求められているのが現状である。
ところで、金属超微粒子の主な製造方法として下記の製造方法が掲げられる。
【０００５】
高周波誘導プラズマプロセス法
Ａｒガスに高周波電流を重畳してプラズマを発生させ、この雰囲気中に金属粉を供給し、蒸発・凝縮により金属超微粒子を生成する方法である（例えば、非特許文献１参照。）。なお、このときプラズマは高周波誘導電流により加熱されて、５０００Ｋ〜１５００Ｋに達する。
高周波誘導プラズマプロセス法は電極を使用しないため、電極の消耗による汚染を心配する必要が無く、また、大きな面積のプラズマ流を得ることができ材料の投入量を大きくできるという効果がある反面、大電力の高周波発振器が必要であること、熱損失が大きく大量の電力を必要とすることで、設備投資、ランニングコストが大きくなるという問題がある。
【０００６】
水素・アークプラズマプロセス法
水素とＡｒガスの大気圧混合雰囲気中で金属を直流アーク放電により加熱蒸発させ、その蒸気を凝縮させて超微粒子を生成させる方法であり、水冷銅坩堝を用いるものと、アーク柱に粉末状の原料を供給する場合がある（例えば、非特許文献２参照。）。
水素・アークプラズマプロセス法は高周波電源に比較して直流電源は安価なため設備投資は低くなるが、熱効率が悪く、微粒子生成量の割には投入電力が大きい。
【０００７】
液相法
金属塩溶液に沈殿剤を加えたり、還元反応によって金属微粒子を沈殿させたりする方法である（例えば、非特許文献３参照。）。
この液相法では、金属粒径を小さくしようとした場合には極めて希薄な溶液から粒子を析出させる必要があり、また、溶液との分離、洗浄のためにも大量の溶液を扱う必要があり、これらを処理する規模の大きいプラントが必要になると考えられる。なお、種々の金属粉末が生成しようとした場合それぞれの金属について異なったプロセス、プラントが必要になり設備投資が過大となることが予想される。
【０００８】
フラッシュ蒸発法
高温に加熱したヒーター表面上に金属粉を供給し、蒸発・冷却させることで金属超微粒子を生成させる方法であり、この方法を利用した薄膜成長装置として図４に示すものがある。この装置は真空ポンプ１０１によって真空状態とされる真空チャンバー１０２内にＡｒガスなどの不活性ガスが注入され、その雰囲気中で高温に加熱したヒーター１０３表面上にシューター１０４により発光母材となるＺｎＳ粉末とＭｎ粉末を混合したものを蒸発材料として投入、この蒸発材料をヒーター１０３の高温により蒸発させて超微粒子の生成し、基板１０５面に発光薄膜を形成させるものである。（例えば、非特許文献４参照。）
【０００９】
【非特許文献１】化学総説Ｎｏ．４８，１９８５  超微粒子―化学と応用：Ｐ３３：学会出版センター版
【００１０】
【非特許文献２】水素プラズマによる各種金属超微粒子の生産性：Ｐ２７６：熱プラズマ材料プロセッシングの基礎と応用：信山社サイテック版
【００１１】
【非特許文献３】微粒子工学体系第一巻基本技術：Ｐ６５７〜Ｐ６６２：フジ・テクノシステム版
【００１２】
【非特許文献４】塚田  桂  超微粒子の発光素子への応用  Ｐ５７〜６０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ここで、前記詳述した高周波誘導プラズマ法、水素・アークプラズマ法、液相法およびフラッシュ蒸発法を生産性、設備投資額、ランニングコスト、粒径制御性および多用途への適応性の観点によりそれぞれ評価した結果を下記表１に示す。
【００１４】
【表１】
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【００１５】
前記表１より高周波誘導プラズマ法、水素・アークプラズマ法および液相法では少なくとも設備投資またはランニングコストが大きくなり、特に高周波誘導プラズマ法および液相法では大きな設置スペースが必要となり実用化に至っていないのが現状である。
【００１６】
また、フラッシュ蒸発法では高周波誘導プラズマ法、水素・アークプラズマ法および液相法に比べて設備投資額およびランニングコスト並びに装置スペースが小となり実用的である反面、生産性が低いという問題がある。この生産性が低くなるという原因には次のことが考えられる。
【００１７】
即ち、フラッシュ蒸発法を実施するために使用されている装置（以下、フラッシュ蒸発装置と言う）は、真空蒸着機を流用したものであるため、ヒーターの材質として蒸着機用のタングステンボードを使用していた。ここで、時間当たりの生産量は蒸発面（ヒーター）の面積に比例するが、タングステンボートの大きさは規格化されていて、大型化した場合には、高温での機械的強度を確保するため、肉厚になり、高価となり、抵抗値の低下による電源とのマッチングが取りにくくなるなどの問題がある。
また、タングステンヒーターの場合、原料金属粉が接触すると、ほとんどの場合、合金を作って融点が下がり高温部で溶断してしまう。このため、原料粉末の供給速度を一定量以下に制御しなければならず、自動化や機械化を困難にする問題がある。
【００１８】
また、ヒーターに蒸着機用のタングステンボードを使用しているため、ヒーターが小型であり、熱損失も小さかった。ここで、蒸発面積を大きくしようとして、ヒーター面積を拡大した場合、ヒーター面積に比例して熱損失も大きくなる。なお、チャンバー内に漏れた不要な熱損失は生成した微粒子の冷却を妨げ、微粒子の接合や成長を促し、数十ナノメートルオーダーの粒径の微粒子の製造を困難にする。
【００１９】
更に、従来のフラッシュ蒸発装置では、原料粉末はチャンバー内のフィーダーから供給されるが、ヒーターの斜め上方から重力により、ヒーター上に落下させていた。チャンバー内のフィーダーは原料粉末のホッパーとホッパーから落下した原料粉末をヒーター直上まで導く樋状のガイドを介在させていた。ホッパーにはチャンバー外部から振動を加える部材がチャンバー壁を貫通している。このような構成では、融点の低い金属を原料粉末とした場合に、ガイド上で原料粉末が融着したり、造粒して大きな塊として落下して蒸発が安定に行われないという問題があった。また、一部チャンバー内に滞留した金属微粒子の混じった雰囲気中での凝縮のため、凝縮時の条件が安定せずに粒径のバラツキが大きくなるという問題があった。
【００２０】
また、従来のフラッシュ蒸発装置では、前述したようにヒーターも小型で消費電力も小さかったため、チャンバーは石英ガラスなどで製作されていた。微粒子生産性を上げようとしてヒーターを大型化するとチャンバー温度が上昇することになる。このため装置の操作が困難になり連続稼動ができないという問題があった。
【００２１】
また、従来のフラッシュ蒸発装置では、製造できる金属微粒子の直径は、チャンバー内部の圧力によってある程度制御することができる。一般的には圧力が低いほど、粒径が小さくなる。チャンバー内を真空に近い減圧状態に維持するためオイルロータリーポンプが使用されている。この種の真空ポンプは偏芯したローターをケーシング中で回転させるか、ベーンをケーシング中で回転させるかしてポンプ動作を行うものであるが、チャンバー中で発生した金属微粒子がキャリアガスと一緒にポンプ中に入り込むとポンプ中でローター、ベーンやケーシングの摺動面のシールをしているオイルの劣化やポンプ中で凝集して粗大化してローラーやベーンの摺動面を傷つけたりしてポンプ性能を著しく低下させる。このため、ポンプの吸入口にフィルターを取り付けるがこれにより差圧が発生してチャンバー内の圧力が上昇する。したがって数Ｔｏｒｒの条件で金属微粒子の製造を行おうとした場合には、使用するポンプやチャンバーの大きさに比して非常に大型で高価なフィルターを使用することになる。これは装置コストや装置設置面積の著しい増加を招き、生産する微粒子の価格を招くという問題がある。
【００２２】
本発明は、以上の点に鑑みて創案されたものであって、フラッシュ蒸発装置を基礎として生産性および粒径制御性の高い金属超微粒子の製造を可能とする金属超微粒子製造装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記の目的を達成するために、本発明に係る金属超微粒子製造装置は、チャンバー内に設置されたヒーターと、該ヒーターの少なくとも上面が開放される様に前記ヒーターの周囲に配置された断熱材と、前記ヒーターの上方に垂設され、キャリアガスと共に金属粉末を散布するフィーダーパイプと、該フィーダーパイプに金属粉末を供給する金属粉末フィーダーと、前記チャンバー内を減圧状態とする真空ポンプを備える。
【００２４】
ここで、フィーダーパイプをヒーターの上方に垂設することにより、フィーダーパイプから落下した金属粉末がキャリアガスに乗って垂直に落下し、他の部材とほとんど接触することなく、かつ金属粉末同士の接触もほとんど無い状態でヒーター直上において蒸発する。この蒸発は金属粉末が溶解した液滴表面で生じるため、粉体が細かく分散しているほど実質的に蒸発面積が大きくなり、蒸発速度も大きくなる。
また、キャリアガスと金属粉体はヒーター上部までフィーダーパイプで導かれているため、ヒーター上で発生した金属蒸気は、直ちにフィーダーパイプで導入されたクリーンなキャリアガスと出会って冷却され凝縮して金属微粒子を形成し、限定された領域で安定した微粒子の生成を行うことができる。
【００２５】
また、キャリアガスとして酸素ガスと不活性ガスを混合したガスをキャリアガスとして用いることによりヒーター上で発生した金属蒸気を冷却凝縮すると同時に金属微粒子表面を酸化することができる。表面を酸化することにより、酸化されやすい金属、たとえばＴｉ，Ａｌ，Ｓｉ，Ｃｕ，Ｆｅなどの超微粒子を安全に取り扱い可能にしたり、超微粒子の分散性を向上したりすることができる。
【００２６】
また、金属の種類によっては、キャリアガスとして酸化性ガス（例えば、二酸化炭素、水蒸気等）と不活性ガスを混合したガスをキャリアガスとして用いることにより上記と同様にヒーター上で発生した金属蒸気を冷却凝縮すると同時に金属微粒子表面を酸化することができる。具体的には、Ｔｉ、Ａｌ、Ｓｉ等の金属は酸化性ガスと不活性ガスの混合ガスによっても金属微粒子表面を酸化することができる。
なお、酸化性ガスと不活性ガスの混合ガスを用いた場合には、黒鉛製のヒーターの長寿命化を図ることができる。
【００２７】
また、キャリアガスとしてＡｒガス等の不活性ガスを用いることにより金属超微粒子表面の酸化を防ぎ、触媒のように金属表面の活性を生かす用途や、圧膜配線用ペーストのように酸化膜を嫌う用途に対して、より適したものとなる。
【００２８】
また、フィーダーパイプ内に螺旋状に屈曲形成された金属線よりなる分散器を内包することでキャリアガスに乗ってフィーダーパイプ内に落下される金属粉末は、分散器によって強制的に分散させることができる。
【００２９】
また、チャンバーを水冷式ジャケット構造とすることにより装置外部の温度上昇を抑えて連続稼動を可能とする。更にチャンバー内面の温度を１００度以下に保てるため、チャンバー内面に堆積した微粒子同士の接合を抑制することができる。
【００３０】
また、ヒーターの材料に黒鉛を使用することによって、ヒーター設計の自由度を上げることができる。更に原料金属粉が接触しても溶断することもなく、ほとんどの金属と反応しない。タングステンに比較して固有抵抗が高く（２，０００℃付近で１０〜１５倍）ヒーター電源とのマッチングも容易である。また、黒鉛の表面をＳｉＣによりコーティングすることで酸化性雰囲気にも耐えることができる。また、ＳｉＣ、２珪化モリブデンあるいはクロム酸ランタンをヒーター材料とすることにより１，７００℃以上の耐熱温度と耐酸化性を持ったヒーターを製作することができる。
【００３１】
また、ドライポンプは、ケーシングとローターの間に数10μｍの隙間を持って回転するため、微小な微粒子が噛み込むことも無く、キャリアガスと一緒に排出される。更に、シールをオイルに依存していることもないため、金属微粒子によるオイルの劣化の問題もない。このためドライポンプ吸入口側にドライポンプを保護するためのフィルターを設ける必要がない。また、ドライポンプはある程度の背圧に耐えることができるため、ドライポンプ排気側に金属超微粒子捕集用フィルターを備える構成が可能となる。これにより、大気圧付近で、大きな差圧でフィルターが働くため、ポンプ入力側に設ける場合に比較してきわめて小さなフィルターを使用することが可能となる。チャンバー内に捕集しきれなかった超微粒子を完全に捕集する場合、または、毒性や危険性のある金属種を環境に放出したくない場合に有効である。
【発明の効果】
【００３２】
以上述べて来た如く本発明によれば、分散器が内包されるフィーダーパイプにより金属粉末を分散させながらヒーターの直上へ落下させることにより金属粉末同士の接触もほとんど無い状態でヒーター直上において蒸発し、冷却され凝縮して金属微粒子を形成し、限定された領域で安定した生産性の高い超微粒子の生成を行うことが可能となる。
【００３３】
また、限定された領域内で高温に加熱したヒーター表面直上で金属粉末を蒸発し、冷却・凝縮することで金属微粒子の生成を行う機構であるために、装置を構成する個々の部品の単価が小さく、設備投資額が小となる。更にヒーターの回りを断熱できるので消費電力を抑えることができ、坩堝を使用しないために低消費電力であることと合わせてランニングコストを抑えることが可能となる。
【００３４】
また、チャンバーを水冷式ジャケット構造とすることにより装置外部の温度上昇を抑えると共に、チャンバー内面の温度を１００度以下に保持することができることにより装置の小型化が可能となる。
【００３５】
また、ドライポンプを活用することによりフィルターをポンプ吸入口側に使用する必要が無く、差圧が発生しないので金属微粒子の製造に必要な数Ｔｏｒｒの圧力を安定的に維持できることになり粒径制御性の高い金属微粒子の生成が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、本発明の実施の形態を図面を参酌しながら説明し、本発明の理解に供する。
図１に本発明を適用した金属超微粒子製造装置の一例を説明するための概略構成図を示す。
【００３７】
ここで示す金属超微粒子製造装置は、その外周が水冷ジャケット構造とされるチャンバー１と、このチャンバー１内の中央付近に設置される高温ヒーター２、高温ヒーター２に接続されるヒーター電源３と、高温ヒーター２の周囲に配置される断熱材４と、高温ヒーター２の直上に鉛直上に配置されるフィーダーパイプ５と、フィーダーパイプ５に金属粉末を供給する金属粉末フィーダー６と、チャンバー１内を減圧する真空ポンプ８から構成される。
【００３８】
そこでチャンバー１は円筒形状の外周壁が２重構造とされ、その空間部内に水が注入される水冷ジャケット構造とされるものである。また、チャンバー１内の中央付近に設置される高温ヒーター２は黒鉛により形成される、あるいは黒鉛の表面をＳｉＣコーティングの表面処理により形成する、又はＳｉＣ、２珪化モリブデン、クロム酸ランタン等の１５００℃以上の耐熱温度と耐酸化性を持った材料により製作するものである。
【００３９】
また、高温ヒーター２の上面以外の周囲に配置される断熱材４は、炭素繊維、アルミナ、マグネシア、ジルコニア、石英ガラス等の耐熱性と耐酸化性を持ったセラミックス材料で囲むことにより、高温ヒーターの消耗を軽減することが可能となる。
【００４０】
フィーダーパイプ５は図２に示すように、その内部に金属線を螺旋円錐状に屈曲形成させた分散器９を２個対峙状に連結することにより、フィーダーパイプ５内を金属粉末がキャリアガスに乗って落下される際に、凝集された金属粉末が分散器９によって強制的に分散されながら高温ヒーター上に均一な状態で落下する。例えばヒーター面積が１０平方センチメートルを超えるような場合、また、銀のようにホッパー中で凝集しやすい粉末などでは、ホッパーから落下した状態で凝集していたものをフィーダーパイプ５中で分散することもできる。
【００４１】
また、金属粉末フィーダー６は図３に示すように、チャンバー１上部に注入口１０を介して連通状に取り付けられ、この注入口１０の下部にフィーダーパイプ５および上部にロート形状のシュート部１１が装着されるものである。そしてシュート部１１上にホッパー１２が架設され、更に加振器１３によってホッパー１２に振動を加える機構とし、ホッパー１２上部にはキャリアガス噴出管１３を配置することにより、ホッパー１２内に充填された金属粉末はホッパー１２に加えられる振動とキャリアガス噴出管１４により噴出されるキャリアガスによってホッパー１２からフィーダーパイプ５中へ落下するものである。
【００４２】
また、高温ヒーター２には直流のヒーター電源３が接続され、このヒーター電源３には温度調整器１５が接続されている。そして放射温度計１６による高温ヒーターの温度測定に基づいて温度調整器１５によってヒーター電源３の電流制御を行い高温ヒーターの温度調整を行う構成とするものである。
【００４３】
また、真空ポンプ８にはドライポンプを使用する。シールをオイルに依存することなくケーシングとローターの間に数１０μｍの隙間を持って回転するため、微小な超微粒子が噛み込むことも無く、キャリアガスと一緒に排出される。
【００４４】
なお、分散器は必ずしも金属線が螺旋円錐形状に屈曲形成される必要性は無く、フィーダーパイプ内をキャリアガスに乗って落下する金属粉末が均一の分散される機構のものであればいかなる形状のものであっても構わない。
【００４５】
本発明の金属超微粒子製造装置では、例えば銀など凝集しやすい金属粉末による超微粒子を製造する場合には、キャリアガスとして不活性ガスと酸素ガスの混合ガスを使用することで金属超微粒子表面に酸化膜を形成して超微粒子の分散性を高めることが可能となる。
なお、上記した様に、金属の種類によっては、例えばＴｉ、Ａｌ、Ｓｉ等については、酸化性ガスと不活性ガスの混合ガスを使用して金属超微粒子表面に酸化膜を形成しても良く、酸化性ガスと不活性ガスとの混合ガスを使用する場合には、黒鉛製のヒーターの寿命が長くなるという効果を期待することができる。
【００４６】
また、表面酸化を嫌う用途の金属超微粒子を製造する場合には、キャリアガスとしてＡｒガスなどの不活性ガスを使用することで酸化反応を生起せずに超微粒子の製造を可能とする。
【００４７】
このようして真空中に置かれた高温ヒーター２直上に金属粉末を分散された状態で均一に散布されることにより、２０００℃前後の高温ヒーター２により瞬時に蒸発し、その後、冷却されて再凝縮されることにより超微粒子を生成し、チャンバー内表面に堆積して捕集されることとなる。
【００４８】
そこで本発明では、例えば酸化されやすい金属、Ｔｉ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃｕ、Ｆｅなどの超微粒子を製造する場合の一例として（図示せず。）、チャンバー内面に堆積した超微粒子を大気に触れさせないで回収するためチャンバーをヒーターの上部で分割すると共に、分割面にシャッターを挿入する機構を設ける。
【００４９】
このシャッターは、超微粒子の製造工程が終わったあと、チャンバー内に不活性ガスを充填して大気圧に戻し、引き続き不活性ガスを流してチャンバー内を大気圧より高く保ちながら、チャンバーを僅かに上昇させる。このとき、隙間からシャッターを挿入してチャンバーを分割し、このシャッターと上部チャンバーは一体となって所定の位置まで上昇して略９０度回転する。
【００５０】
ここで、グローブボックスをシャッター保持枠に結合してグローブボックス中を不活性ガスで置換してからシャッターを開ける。このグローブボックス中にはあらかじめ超微粒子を収納する容器を収納しておくことで、超微粒子の回収から容器詰めまで不活性ガス中での処理が可能となる。
【００５１】
このように本発明では、大気圧に戻してからシャターを使用するので、シャッターとチャンバー開口部との間に隙間があっても、チャンバー内に不活性ガスを供給し続けることで上部チャンバー内を常に大気圧より高く保つことができ、超微粒子の酸化を防ぐことが可能となる。
【００５２】
また、グローブボックスでなくとも、ポリエチレンの袋にポリエチレンの手袋を付けただけの簡易型のシール袋でも使用できる。このシール袋の手袋と反対側の開口部をシャッター保持枠にかぶせてバンドなどで固定し、不活性ガスで袋を満たしてからシャッターを開けて、袋についた手袋であらかじめ袋に挿入しておいた回収用のブラシおよび密閉容器などを使用して超微粒子の回収を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明を適用した金属超微粒子製造装置の一例を説明するための概略構成図である。
【図２】本発明を適用した金属超微粒子製造装置の分散器の一例を示す説明図である。
【図３】本発明を適用した金属超微粒子製造装置の金属粉末フィーダーの一例を示す説明図である。
【図４】従来のフラッシュ蒸発法を利用した薄膜成長装置の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５４】
１      チャンバー
２      高温ヒーター
３      ヒーター電源
４      断熱材
５      フィーダーパイプ
６      金属粉末フィーダー
８      真空ポンプ
９      分散器
１０    注入口
１１    シュート部
１２    ホッパー
１３    加振器
１４    噴出管
１５    温度調整器
１６    放射温度計
【図１】
2005163124.tif 000004
【図２】
2005163124.tif 000005
【図３】
2005163124.tif 000006
【図４】
2005163124.tif 000007