(57)【要約】【課題】  鋼材の表面欠陥、特に鋼材の角部における表面欠陥をエッジ部の多少の変位および鋼材の変形にかかわらず精度良く検査することができる鋼材表面欠陥の検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】  鋼材Ｗ角部にスリット状光線Ｌを傾斜させて照射する照射手段１と、前記光線Ｌにより前記鋼材Ｗ角部に形成された光軌Ｍを撮像する撮像手段２と、出力手段４と、制御装置３とを備えた検査装置Ｋにより、鋼材Ｗ角部に光線Ｌを傾斜させて照射し、それを撮像手段２により撮像し、その画像から正常な角部の形状を推定し、その推定された形状と撮像画像の形状とを比較して欠陥の有無を判定するものである。【選択図】  図１
2005207858.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鋼材の表面欠陥を光学式にて検査する鋼材表面欠陥の検査方法であって、
鋼材角部にスリット状光線を傾斜させて照射する手順と、
前記光線により前記鋼材角部に形成された光軌を撮像する手順と、
前記光軌に基づいて前記角部の頂点位置を算出する手順と、
前記頂点位置に基づいて評価対象エリアを設定する手順と、
前記評価対象エリア内の光軌を抽出する手順と、
前記抽出された光軌の形状を解析して表面欠陥の有無を判定する手順
とを含んでいることを特徴とする鋼材表面欠陥の検査方法。
【請求項２】
前記解析が、前記抽出された光軌に基づいて正常な角部の形状を推定し、その推定された形状と前記抽出された光軌の形状とを比較してその差分を算出するものであることを特徴とする請求項１記載の鋼材表面欠陥の検査方法。
【請求項３】
前記解析が、前記抽出された光軌に基づいて正常な角部の形状を推定し、その推定された形状と前記抽出された光軌の形状とを比較してその差分を算出し、ついで前記差分の分散を算出するものであることを特徴とする請求項１記載の鋼材表面欠陥の検査方法。
【請求項４】
鋼材の表面欠陥を光学式にて検査する鋼材表面欠陥検査装置であって、
鋼材角部にスリット状光線を傾斜させて照射する照射手段と、前記光線により前記鋼材角部に形成された光軌を撮像する撮像手段と、出力手段と、制御装置とを備え、
前記制御装置が、頂点位置演算処理部と評価対象エリア設定処理部と欠陥有無判定処理部とを有し、
前記頂点位置演算処理部が前記撮像手段の撮像画像から頂点位置を演算し、前記評価対象エリア設定処理部が得られた頂点位置を基準に評価対象エリアを設定し、前記欠陥有無判定処理部が前記評価対象エリア内の光軌の映像に基づいて表面欠陥の有無を判定する
ことを特徴とする鋼材表面欠陥の検査装置。
【請求項５】
照射手段と撮像手段が冷却ボックスに収納されてなることを特徴とする請求項４記載の
鋼材表面欠陥の検査装置。
【請求項６】
前記冷却ボックスにパージエア噴射部が形成されてなることを特徴とする請求項５記載の鋼材表面欠陥の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、鋼材表面欠陥の検査方法および検査装置に関する。さらに詳しくは、圧延等により製造される鋼材の特にエッジ部分における表面欠陥の有無を精度良く検査することが可能な鋼材表面欠陥の検査方法および検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
難加工材は圧延ラインにおける温度管理がシビアで、過冷却により割れが発生しやすいという特性を有しているため、その圧延において発生する表面欠陥検査は、従来、オペレータによる目視検査やレーザ光等を利用した光学式検査により行われていた。
【０００３】
前記目視検査は、被検材のラインスピードが一定速度以上となると見逃しが多くなり、有効な検査が行えなくなるため、光学式検査にて精度良く欠陥を検出するための検査装置や検査方法について各種提案がなされている。
【０００４】
例えば特許文献１には、帯鋼の幅方向に光線を照射して、その反射光を撮像することによって表面傷を検出する傷検出装置の一例が提案されている。特許文献２には、ＵＯ鋼管の溶接部表面の傷を光学式に検査する方法の一例が提案されている。特許文献３には、試料のエッジを構成する２面にライン状の光源を材料長手方向に２本照射して、そのラインをＣＣＤラインセンサで撮像し、撮像されたラインの変形からエッジ部の傷の有無を検査する方法の一例が提案されている。特許文献４には、熱間鋼片について、複数の波長域の可視光を試料に照射し、それらの反射光を組み合わせて傷の有無を判定する光学的手法が示されている。
【０００５】
しかしながら、特許文献１の提案に係る傷検出装置は、帯鋼表面の傷を検出するものであるため、例えば鋼材のエッジ部にある傷を検出することはできないといった問題がある。特許文献２の提案に係る検査方法では、光線が傷部分の陰で切断された場合に正確に判定することができなくなるといった問題がある。特許文献３の提案に係る検査方法は、試料を搬送しつつ検査する場合などにエッジの位置が変化すると、２本のラインマーカがエッジ部分から外れてしまい精度良く検査ができないといった問題がある。また、特許文献４の提案に係る検査方法においても特許文献３におけると同様の問題がある。
【０００６】
このような問題に対処すべく、発明者らはさきに、レーザラインマーカを用いて光学的にコーナ割れの有無を検査する手法についての提案を行った（特願２００３−３６６３８５号参照）。この提案に係る発明は、鋼材の長手方向の前後の画像のパターンマッチングによりコーナ割れを検査するものであり、これによりコーナ割れ等の欠陥の有無を精度良く判定することを可能とするものである。しかしながら、この発明においては、図９に示すように、試材１１に例えばねじれが発生し、レーザマーカによる輝線の直線部分にひずみが生じたり（領域１０２参照）、コーナ部にゆがみが生じたり（領域１０３参照）する場合には、傷の有無に拘わらずマッチング率が低下し、それにより誤検出が増大するという問題がある。
【０００７】
また、欠陥の性状については、傷の深さとマッチング率との間の相関関係が低い場合（傷の幅が大きい場合など）があるため、確度の高い情報を得ることが困難であるといった問題もある。
【０００８】
傷形状につき、レーザ光による光切断法を用いて検出することも考えられる。しかしながら、図１０に示すように、この方法では、傷１２１の開口部が十分に広い場合（同（ａ）参照）は傷形状を正確に検出することはできるが、レーザ光が遮断されるような方向に傷が開口している場合（同（ｂ）参照）は輝線が途切れてしまい、正確な傷形状を検出することができない。
【特許文献１】特開平２−３８９５２号公報
【特許文献２】特開平８−９００６６号公報
【特許文献３】特開平１１−１０８６３９号公報
【特許文献４】特開昭５９−５２７３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はかかる従来技術の課題に鑑みなされたものであって、鋼材の表面欠陥、特に鋼材のエッジ部(角部)における表面欠陥をエッジ部の多少の変位および鋼材の変形にかかわらず精度良く検査することが可能であるとともに、欠陥の性状についての情報を得ることを可能とする鋼材表面欠陥の検査方法および検査装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の鋼材表面欠陥の検査方法は、鋼材の表面欠陥を光学式にて検査する鋼材表面欠陥の検査方法であって、鋼材角部にスリット状光線を傾斜させて照射する手順と、前記光線により前記鋼材角部に形成された光軌を撮像する手順と、前記光軌に基づいて前記角部の頂点位置を算出する手順と、前記頂点位置に基づいて評価対象エリアを設定する手順と、前記評価対象エリア内の光軌を抽出する手順と、前記抽出された光軌の形状を解析して表面欠陥の有無を判定する手順とを含んでいることを特徴とする。
【００１１】
本発明の鋼材表面欠陥の検査方法においては、前記解析が、例えば、前記抽出された光軌に基づいて正常な角部の形状を推定し、その推定された形状と前記抽出された光軌の形状とを比較してその差分を算出するものとされたり、あるいは前記抽出された光軌に基づいて正常な角部の形状を推定し、その推定された形状と前記抽出された光軌の形状とを比較してその差分を算出し、ついで前記差分の分散を算出するものとされる。
【００１２】
本発明の鋼材表面欠陥の検査装置は、鋼材の表面欠陥を光学式にて検査する鋼材表面欠陥検査装置であって、鋼材角部にスリット状光線を傾斜させて照射する照射手段と、前記光線により前記鋼材角部に形成された光軌を撮像する撮像手段と、出力手段と、制御装置とを備え、前記制御装置が、頂点位置演算処理部と評価対象エリア設定処理部と欠陥有無判定処理部とを有し、前記頂点位置演算処理部が前記撮像手段の撮像画像から頂点位置を演算し、前記評価対象エリア設定処理部が得られた頂点位置を基準に評価対象エリアを設定し、前記欠陥有無判定処理部が前記評価対象エリア内の光軌の映像に基づいて表面欠陥の有無を判定することを特徴とする。
【００１３】
本発明の鋼材表面欠陥の検査装置においては、照射手段と撮像手段が冷却ボックスに収納されてなるのが好ましい。
【００１４】
また、本発明の鋼材表面欠陥の検査装置においては、前記冷却ボックスにパージエア噴射部が形成されてなるのが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、構成の簡素化を図りながら、鋼材角部の表面欠陥を精度よく検出できる。また、照射手段と撮像手段が冷却ボックスに収納されてなる好ましい形態によれば、熱間材の角部の表面欠陥を精度よく検出できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照しながら本発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる実施形態のみに限定されるものではない。
【００１７】
実施形態１
図１に、本発明の実施形態１に係る鋼材表面欠陥の検査方法に適用される検査装置を模式的に示す。
【００１８】
鋼材表面欠陥の検査装置（以下、単に検査装置という）Ｋは、圧延ライン上で搬送装置（不図示である）により搬送されるビレット、ブルームといった鋼材Ｗ、特に熱間材について、いわゆるコーナ割れなどの表面欠陥が存在しないかを検査するものとされる。
【００１９】
検査装置Ｋは、具体的には、鋼材Ｗの検査部位、ここではエッジ部分もしくはコーナ（以下、単にコーナという）にスリット状の光線Ｌを照射するラインマーカ(照射手段)１と、例えばＣＣＤカメラからなるエリアセンサ(撮像手段)２と、制御装置３と、出力装置(出力手段)４とを主要構成要素として備えてなる。
【００２０】
ここで、ラインマーカ１とＣＣＤカメラからなるエリアセンサ２とから構成される検出部は、鋼材Ｗからの輻射熱による損傷を避けるため、空冷または水冷式の冷却ボックスＢに収納されている。また、冷却ボックスＢ底面には、図示はされていないが、ラインマーカ１に対応させて照射窓が設けられ、かつエリアセンサ２に対応させて撮影窓が設けられ、そして前面底部には鋼材Ｗ表面のスケールなどを除去するパージエアを噴出するエア噴射部Ｂａが設けられている。
【００２１】
また、鋼材Ｗは、圧延ライン上を所定速度で長手方向、すなわちコーナの延びる方向に搬送されるものとされる。
【００２２】
ラインマーカ１は、例えばレーザラインマーカから構成され、鋼材Ｗの長手方向と直交する向きのスリット状の光線Ｌを鋼材Ｗの検査部位であるコーナを跨らせて照射する。このとき、ラインマーカ１は、光線Ｌが鋼材Ｗ表面に描く輝線（以下、マークという）Ｍが、鋼材Ｗの長手方向と垂直な方向から見て、くの字形、もしくは左右が反転した逆くの字形となるように、十分な長さの光線Ｌを鋼材Ｗの表面に対してその長手方向に所定角度傾いた方向から照射するものとされる。
【００２３】
ここで、光線（レーザ）Ｌの波長は、探傷対象である鋼材Ｗの温度に合わせて設定される。例えば、鋼材Ｗの温度が１２００℃である場合、短波長の方が撮像画像のＳ／Ｎ比を確保しやすい。ここに、Ｓはラインマーカ１の輝線を示し、Ｎは鋼材Ｗの自発光を示す。このため、Ｓ／Ｎ比にはラインマーカ１から照射されるレーザの波長のみならず、その強度も影響する。したがって、その温度域では４００ｎｍ〜６００ｎｍ程度の波長で高出力のレーザを用いるのが好ましい。より具体的には、４００ｎｍの短波長であれば出力は１０ｍＷ程度とされればよく、また６００ｎｍ程度の波長であれば出力は３０ｍＷ〜４０ｍＷ程度とされればよい。そして、かかる波長および出力のレーザを用いることによって、熱間材を精度良く探傷することが可能となる。
【００２４】
エリアセンサ２は、ラインマーカ１とは別角度、例えば鋼材Ｗの長手方向と垂直な向きからマークＭを所定の時間間隔で連続的に撮像する。これにより、長手方向に送られていく鋼材Ｗのコーナが所定の測定ピッチで探傷される。例えば、エリアセンサ２のフレームレート（１秒間当たりの撮像可能画面数）が４００ｆｐｓ（フレーム毎秒）、鋼材Ｗの搬送速度が２ｍ／秒である場合、測定ピッチは５ｍｍとなる。
【００２５】
また、エリアセンサ２のレンズの前には、ラインマーカ１からの反射光のみを透過させるバンドパスフィルタが装着されるのが好ましい。
【００２６】
図２に、エリアセンサ２により撮像される領域Ｈ１を示す。同図に示すように、領域Ｈ１には、鋼材Ｗのコーナに描かれるマークＭの湾曲した部分（以下、コーナ部という）Ｍａと、その両側の平面上に描かれる所定長さの２つの直線部分Ｍｂ、Ｍｃとが含まれるものとされる。
【００２７】
制御装置３は、例えばパーソナルコンピュータから構成され、エリアセンサ２によって撮像されたマークＭの画像に基づきコーナの頂点の位置を求める頂点位置演算処理をなす頂点位置演算処理部３１と、求められた頂点の位置を基準に評価対象エリアを設定する評価対象エリア設定処理をなす評価対象エリア設定処理部３２と、評価対象エリア内のマークＭの性状から表面欠陥の有無を判定する欠陥有無判定処理をなす欠陥有無判定処理部３３と、欠陥有無判定処理部３３による判定結果に応じて圧延条件（圧延速度等）を再調整することができるように、所定の情報を出力する判定結果出力処理をなす判定結果出力処理部３４とを有するものとされる。なお、このような各処理部は、コンピュータに、対応するプログラムを格納することによって実現される。
【００２８】
頂点位置演算処理部３１の頂点位置演算処理においては、図３に示すように、前記領域Ｈ１内で、マークＭの２つの直線部分Ｍｂ、Ｍｃが存在する領域Ｈ２，Ｈ３の画像を２値化し、２値化して得られる画像に基づき例えば最小二乗法により直線部分Ｍｂ、Ｍｃに対応する直線の式を求め、その交点の座標を演算し、演算された交点の座標を頂点Ｑの位置として求めるものとされる。なお、図３（ａ）はコーナ割れがない場合に対応するものであり、同図（ｂ）はコーナ割れが存在する場合に対応するものである。
【００２９】
評価対象エリア設定処理部３２の評価対象エリア設定処理では、コーナ部Ｍａの画像を適切に抽出することができるように、頂点Ｑ近傍の所定範囲のエリア、図示例では矩形のエリアが評価対象エリアＨ４として設定される。より具体的には、頂点Ｑを基準とし鋼材Ｗのサイズから求められるコーナ視野(例えば鋼材Ｗの幅の２０％)となるようにして評価対象エリアＨ４が設定される。
【００３０】
このように、２つの直線部分Ｍｂ、Ｍｃに対応する直線の式を近似により求め、その交点（頂点）の位置を基準に評価対象エリアＨ４を設定するように処理することによって、鋼材Ｗのねじれ、反り等に起因する長手方向各位置におけるコーナ位置の変動に拘わらず、マークＭの撮像画像から適切にコーナ部Ｍａの画像を抽出することが可能となる。これにより、直線部分Ｍｂ、Ｍｃを含まないコーナ部Ｍａのみの画像データを過不足なく得て、後述するコーナ形状の推定処理にて精度良くコーナ形状を近似することができる。また、直線部分Ｍｂ、Ｍｃのひずみによる影響を排除して誤検出の増大を防止することができる。すなわち、直線部分Ｍｂ、Ｍｃの形状は、欠陥の有無を判定する基礎となるデータとして直接には用いないからである。コーナ部Ｍａのゆがみによる影響については後述する。
【００３１】
欠陥有無判定処理部３３の欠陥有無判定処理では、評価対象エリアＨ４に含まれる部分のマークＭの画像、つまりコーナ部Ｍａの画像が抽出され、その形状から表面欠陥の有無が判定される。
【００３２】
図４に示すように、具体的には、評価対象エリアＨ４の画像を２値化し、２値化して得られる画像に基づいて正常なコーナ形状を推定し、推定されたコーナ形状と実際のコーナ形状とを比較し、その差分に基づいてコーナ割れの有無を判定する。
【００３３】
より具体的には、２値化されたコーナ部Ｍａの画像に基づき、最小２乗法を用いてコーナ形状を二次式で近似して、正常なコーナ形状を推定（推定処理）し、推定されたコーナ形状Ｓ１と、コーナ部Ｍａの画像との差分ｄを座標平面の横軸（Ｘ軸）方向各位置で演算していく。
【００３４】
すなわち、図４（ａ）に示すように、正常なコーナにおいては差分ｄ（絶対値）は小さいが、割れがあるコーナにおいては、同図（ｂ）に示すように、差分ｄは大きい。したがって、差分ｄが所定値以上である場合にコーナ割れがあるものとして、欠陥の有無を判定することができる。
【００３５】
また、図４にて実線により表されたコーナ部Ｍａは、実際に鋼材Ｗのコーナに照射された光線Ｌの輝線であるから、近似により推定された正常なコーナ形状Ｓ１との差は、実際の割れ深さに相当し、その幅は、傷の幅に相当するものになる。したがって、前記したパターンマッチングによる方法ではそれらを正確に求めることができないのに対して、実施形態の検査装置Ｋではそのような傷の性状についても正確な情報を得ることができる。
【００３６】
また、近似によりコーナ形状を推定するため、コーナ部Ｍａのゆがみによる影響がそれほど重大なものとはならず、その影響による誤検出の増大を抑えることができる。なお、実用的には、試験的に探傷を実行した結果により統計的手法を用いて閾値等の設定をより適切なものとしていくことによって、誤検出を減少させていくことが可能である。
【００３７】
判定結果出力処理部３４の判定結果情報出力処理では、所定程度（頻度、個数、欠陥の大きさ）以上の表面欠陥が検出されたときに、出力装置４例えば警報装置に警報を発するよう指示する信号が出力される。
【００３８】
出力装置４は、前記警報装置の他、プリンタ、表示装置などとされる。
【００３９】
このように、実施形態１の検査装置Ｋにおいては、光学式にて鋼材Ｗ表面の欠陥の有無、特にコーナ割れの有無を検査するものとされるため、センサから材料までの距離を長く取ることができる。したがって、熱間材の検査についても適用することが可能である。
【００４０】
また、鋼材Ｗのコーナを跨らせて十分な長さの光線Ｌを照射し、その撮像画像に基づきコーナ位置（頂点Ｑの位置）を検出し、評価対象エリアＨ４を設定するため、コーナ位置が長手方向各位置において相対的に変動しても正確にコーナ部Ｍａの画像を抽出して、精度良く欠陥の有無を判定することが可能となる。また、コーナ位置検出装置としての流用も可能である。
【００４１】
また、正常なコーナ形状を関数近似により推定し、実際の画像との差分を求めて判定を行うため、基準形状の設定等の調整を要することなく、多様なコーナ形状の各種鋼材について検査を実行することが可能となる。
【００４２】
さらには、従来は情報を得ることが困難であった傷の深さ、幅等の傷性状についても相関性の高い情報を得ることができる。
【００４３】
実施形態２
実施形態２の検査装置は、実施形態１の検査装置Ｋを改変してなるものであり、その基本的構成は実施形態１と同様であるため、前記図１〜図４を流用して説明する。
【００４４】
実施形態２においては、欠陥有無判定処理部３３が、エリアセンサ２により撮像された画像毎に欠陥有無判定処理部３３により得られた差分ｄの分散ｓ２を求め、求められた分散ｓ２に基づき長手方向各位置における欠陥の有無を判定すると同時に、割れ（傷）の性状を評価するものとされる。
【００４５】
これにより、判定の基礎となる１つの画像毎のデータ量が大幅に削減されるため、処理が高速化され、鋼材Ｗの全長に亘る傷の分布を簡易的に分析することも可能となる。
【実施例１】
【００４６】
以下、実施例に基づいて、実施形態の欠陥有無判定処理を具体的に説明する。
【００４７】
図５および図６に、実施形態の検査装置Ｋにより試料について検査を実施した結果を示す。図５はコーナ割れが存在する試料についてのものであり、図６はコーナ割れが存在しない試料についてのものである。また、両図において、（ａ）は試料のコーナ部の写真図であり、（ｂ）は同試料の長手方向各位置について求められた前記分散ｓ２をグラフ化したものであり、（ｃ）は同試料の検査対象部分を平面に展開してその部分における前記差分ｄの分布を視覚的に表したものである。
【００４８】
図５に示すように、大きな差分ｄおよび分散ｓ２が顕れている各領域Ｊ１、Ｊ２、Ｊ３の対応位置には、実際の試料にもコーナ割れが存在していた。また、差分ｄおよび分散ｓ２が大きい場合は、割れのサイズも大きく、差分ｄおよび分散ｓ２と割れの性状（深さ、幅等）との間には高い相関関係のあることが確認された。
【００４９】
また、図６に示すように、コーナ割れのない試料においては、差分ｄおよび分散ｓ２はともに小さい。図示例では、分散ｓ２の平均は約４であり、前記図５の領域Ｊ１に対応する割れではその分散が約１５であることから、この欠陥についてのＳ／Ｎ比は３以上である。したがって、この程度の傷についても十分な検出能を有していることが分かる。
【００５０】
また、図７および図８に、エリアセンサ２により撮像されたコーナ部Ｍａの実際の画像を参考として示す。図７は正常なコーナのものであり、図８はコーナ割れ（欠陥）が存在する場合のものである。
【００５１】
図７に示すように、コーナが正常である場合、輝線にとぎれはないが、図８に示すように、コーナ割れが存在する場合は、輝線がとぎれることがある。このように輝線がとぎれると前記従来例では、傷の深さ等の性状についての情報を得ることができないのに対して、実施形態の検査装置では、所定程度以上の深さの割れが存在していることが分かる。したがって、この点についても前記従来例よりも優れているものといえる。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、鋼材の表面欠陥、特にそのコーナに存在する欠陥を検査する場合に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施形態１に係る鋼材表面欠陥の検査装置の模式図である。
【図２】同装置による撮像画像を示す模式図である。
【図３】同装置によるコーナ位置設定の原理を示す概念図である。
【図４】同装置によるコーナ形状推定の原理を示す概念図である。
【図５】コーナ割れのある試料についての実施例を示す図であって、同（ａ）は試料表面の写真図を示し、同（ｂ）は長手方向各位置における分散を示すグラフ図を示し、同（ｃ）は検査対象部分について差分の分布を視覚的に表した展開図を示す。
【図６】コーナ割れのない試料についての実施例を示す図であって、同（ａ）は試料表面の写真図を示し、同（ｂ）は長手方向各位置における分散を示すグラフ図を示し、同（ｃ）は検査対象部分について差分の分布を視覚的に表した展開図を示す。
【図７】同装置による実際の撮像画像を示す参考図であって、同（ａ）は欠陥のない試料の一例を示し、同（ｂ）は欠陥のない試料の他の一例を示す。
【図８】同装置による実際の撮像画像を示す参考図であって、同（ａ）は欠陥のある試料の一例を示し、同（ｂ）は欠陥のある試料の他の一例を示し、同（ｃ）は欠陥のある試料の他の一例を示す。
【図９】従来装置の問題点を示す模式図であって、同（ａ）は輝線の直線部分にひずみが生じている場合を示し、同（ｂ）は輝線のコーナ部にゆがみが生じている場合を示す。
【図１０】従来装置の問題点を示す模式図であり、同（ａ）は正常に欠陥形状が検出できる場合を示し、同（ｂ）は欠陥形状が検出できない場合を示す。
【符号の説明】
【００５４】
Ｋ      鋼材表面欠陥検査装置
Ｌ      光線
Ｍ      マーク
Ｗ      鋼材
１      ラインマーカ
２      エリアセンサ
３      制御装置
３１    頂点位置演算処理部
３２    評価対象エリア設定処理部
３３    欠陥有無判定処理部
３４    判定結果出力処理部
４      出力装置
【図１】
2005207858.tif 000003
【図２】
2005207858.tif 000004
【図３】
2005207858.tif 000005
【図４】
2005207858.tif 000006
【図５】
2005207858.tif 000007
【図６】
2005207858.tif 000008
【図７】
2005207858.tif 000009
【図８】
2005207858.tif 000010
【図９】
2005207858.tif 000011
【図１０】
2005207858.tif 000012