(57)【要約】【課題】一定膜厚のＭｏ／Ｓｉ交互層を最適化処理することで、広い範囲の入射角度で反射特性を有するＸ線多層ミラーを実現する。【解決手段】基本構造である一定膜厚のＭｏ／Ｓｉ交互層の角度反射特性を拡大するための最適化処理によって、Ｍｏ／Ｓｉ交互層２０のＳｉ層１１とＭｏ層１２の膜厚分布を決定する。ＳｉとＭｏは反応しやすく、スパッタリング法等によって交互に成膜すると境界に略１ｎｍの膜厚のＭｏＳｉｘ層１３が発生し、設計通りの反射特性を得るのが難しい。そこで、Ｍｏ／Ｓｉ交互層２０のすべての層を１．５ｎｍ以上の設計膜厚とする条件で最適化処理し、境界層による影響の少ない不均一膜厚構造のＭｏ／Ｓｉ交互層２０を実現する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線に対する反射特性を有するＭｏ／Ｓｉ交互層の一定膜厚基本構造に対して、前記反射特性を拡大するための最適化処理を施した不均一膜厚構造のＭｏ／Ｓｉ交互層を有し、前記不均一膜厚構造を形成するＭｏ層およびＳｉ層のすべてが、それぞれ１．５ｎｍ以上の膜厚に設計されたことを特徴とするＸ線多層ミラー。
【請求項２】
請求項１記載のＸ線多層ミラーを有する投影光学系を備えており、前記投影光学系によって原版のパターンを基板に転写することを特徴とするＸ線露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線露光装置の投影光学系等における反射鏡として用いられるＸ線多層ミラーおよびＸ線露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
波長１３．５ｎｍ以下の軟Ｘ線を用いるＸ線露光装置においては、全反射入射角度領域外で高い反射率のミラーを得るためには、必ず多層膜構成にせねばならない。一般に広く知られているのは、全体が一定膜厚の１／４波長積層体に似た分布ブラッグ反射材で構成されるものであり、例えば、波長１３．４ｎｍのＸ線用のミラーとして、膜厚２．８ｎｍのＭｏ層と膜厚４．１ｎｍのＳｉ層からなる一定膜厚基本構造のＭｏ／Ｓｉ交互層の場合は、最大理論反射率は７０％を超える（特開２００１−５１１０６号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記の一定膜厚基本構造のＭｏ／Ｓｉ交互層では、高反射率を得るためのＸ線の入射角度の幅は約１０度ほどしかなく、その範囲を超える入射角で入射する光線に対しては急激な反射率の低下を招く。
【０００４】
特開２００１−５１１０６号公報には、Ｍｏ／Ｓｉ交互層に第３の材料としてＲｕ等を用いて各層の膜厚を数値式反復最適化処理によって変化させた、例えばＭｏ層の膜厚が１ｎｍ以下から２ｎｍ近くまで変化する不均一膜厚構造の交互多層膜が提案されている。
【０００５】
しかし、広く波長１３．５ｎｍの軟Ｘ線用のミラーに用いられる２つの材料であるＭｏとＳｉを用いたＭｏ／Ｓｉ交互層においては、ＭｏとＳｉが反応しやすく、界面においてＭｏＳｉｘの化合物となるため、最適化処理による設計膜厚が薄くなると、設計値と成膜後の反射特性が著しく異なる場合がある。
【０００６】
本発明は、上記従来の技術の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであり、広い入射角度範囲での目標反射率を確実に実現できるＸ線多層ミラーおよびＸ線露光装置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明のＸ線多層ミラーは、Ｘ線に対する反射特性を有するＭｏ／Ｓｉ交互層の一定膜厚基本構造に対して、前記反射特性を拡大するための最適化処理を施した不均一膜厚構造のＭｏ／Ｓｉ交互層を有し、前記不均一膜厚構造を形成するＭｏ層およびＳｉ層のすべてが、それぞれ１．５ｎｍ以上の膜厚に設計されたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】
Ｍｏ／Ｓｉ交互層においては、Ｍｏ層とＳｉ層の境界に形成されるＭｏＳｉｘ層が略１ｎｍの厚さであることが断面ＴＥＭ写真等によって判明した。従って、反射特性を広域化するための最適化処理によって膜厚１．５ｎｍ以下のＭｏ層を有する不均一膜厚構造のＸ線多層ミラーを設計しても、実際に成膜すると境界に発生するＭｏＳｉｘ層のために目標とする反射特性を得られない。
【０００９】
そこで、すべての層を膜厚１．５ｎｍ以上とする条件で最適化処理を行うことで、境界層による影響の少ない不均一膜厚構造のＭｏ／Ｓｉ交互層を実現する。
【００１０】
このようにして製作された広域反射特性を有するＸ線多層ミラーを用いることで、Ｘ線露光装置の光学特性を大幅に向上させることができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１２】
図１は一実施の形態によるＸ線多層ミラーの膜構成を示すもので、このミラーは、基板１０上に、それぞれ設計膜厚が１．５ｎｍ以上のＳｉ層１１とＭｏ層１２を交互に積層した不均一膜厚構造のＭｏ／Ｓｉ交互層２０を有する。すなわち、交互に積層されるＳｉ層１１、Ｍｏ層１２の膜厚は、膜厚が積層体内で一定であるＭｏ／Ｓｉ交互層の一定膜厚基本構造に対して、より広い入射角度範囲で反射特性を実現するために、すべての層の膜厚が１．５ｎｍ以上になるように配慮した最適化処理によって決定された不均一膜厚構造である。
【００１３】
Ｍｏ／Ｓｉ交互層をスパッタリング法等によって成膜すると、図１の（ｂ）に拡大して示すように、Ｓｉ層１１とＭｏ層１２の間の膜界面に厚さ約１ｎｍ程度のＭｏＳｉｘ層が生じることが断面ＴＥＭ写真等によって判明した。そこで、ＭｏＳｉｘ層が反射特性に及ぼす影響を回避するために、各層の最低膜厚を１．５ｎｍ以上とする条件で最適化処理する。これによって、成膜後の不均一膜厚構造のＭｏ／Ｓｉ交互層の反射特性が設計値と著しくずれるのを防ぐことができる。
【００１４】
図９は、全体が一定膜厚の１／４波長積層体に似た分布ブラッグ反射構造（一定膜厚基本構造）を持ち、波長１３．５ｎｍの軟Ｘ線に対する高反射率帯域が入射角０〜１５度で全体層数１２１層のＭｏ／Ｓｉ交互層からなる基本例１の角度反射特性を示し、図１０は、同様に一定膜厚のＭｏ層およびＳｉ層からなる一定膜厚基本構造のＭｏ／Ｓｉ交互層であって、高反射率帯域が入射角１８〜２３度で全体層数１２１層のＭｏ／Ｓｉ交互層を有する基本例２の角度反射特性を示す。
【００１５】
これらの基本構造に対して、設計波長１３．５ｎｍで、例えば反射率５０％以上の領域を拡大するために、公知の薄膜設計プログラムを用いた最適化処理を、各層の最低膜厚を１．５ｎｍとする条件で行う。
【００１６】
（実施例１）
図２は、図９に示す反射角度特性を有する基本例１を上記の条件で最適化処理した場合のＭｏ／Ｓｉ交互層の膜厚分布を示す。層Ｎｏ１が基板上の１層目を示し、全体が１２１層の膜構成である。Ｓｉ層、Ｍｏ層ともに膜厚は１．５ｎｍ以上に設定されている。図３は、図２の膜構成での角度反射特性である。図９に示す一定膜厚の１／４波長積層体の基本構造を有するＸ線多層ミラーと比較して、反射率５０％以上の入射角領域が５度増えて、０度から２０度までになる。
【００１７】
図４は、本実施例で用いたスパッタリング成膜装置の模式図である。この装置は、すべての制御系がコンピュータに接続されて一括制御可能であり、真空チャンバー９０１と、これを真空引きする真空ポンプ９０２と、マスク可動制御装置９０３によって移動自在である可動マスク９０４と、シャッター制御装置９０５によって制御されるシャッター９０６と、基板を保持して回転させる回転機構９０７と、Ｓｉターゲット９０８と、Ｍｏターゲット９０９と、ＤＣ電源９１０と、ＲＦ電源９１１と、コンピュータ９１２と、Ａｒ、Ｘｅガス導入制御装置９１３等を有する。この装置を用いて、上記のＭｏ／Ｓｉ交互層を以下のように成膜した。
【００１８】
ターゲット９０８、９０９は、直径４インチのＢドープした多晶質のＳｉおよび、金属Ｍｏが取り付けられており、ターゲット９０８、９０９が回転し、各材料を切り替えて、基板上に交互に成膜することができる。
【００１９】
基板は、直径５００ｍｍ、厚さ３５ｍｍの低膨張ガラスを用いており、成膜時自転している。基板とターゲット９０８、９０９の間には、シャッター９０６および、基板上の膜厚分布を制御するための可動マスク９０４がある。成膜雰囲気に導入するプロセスガスは、Ｓｉ成膜時にはＡｒガスを１０ｓｃｃｍ導入し、Ｍｏ成膜時にはＸｅガスを５０ｓｃｃｍ導入する。ターゲット９０８、９０９に投入する電力は、Ｓｉ成膜時には１３．５６ＭＨｚのＲＦ高周波１５０Ｗを導入し、Ｍｏ成膜時はＤＣ１００Ｗ導入した。Ｓｉ、Ｍｏの各層の膜厚はコンピュータ９１２により、時間制御している。図５は、コンピュータ９１２に入力された各層の成膜時間データである。
【００２０】
このように成膜されたミラーの反射特性は、設計値通りに、入射角度２０度まで反射率５０％を保つ良好なものであった。
【００２１】
図６は、実施例１のＸ線多層ミラ−を用いた反射型縮小投影露光装置の反射縮小投影光学系を示す。光源に１３．５ｎｍの軟Ｘ線を用いて、原版である反射型のマスク１１００に形成されたパターンを第１〜第６ミラ−１１０１、１１０２、１１０３、１１０４、１１０５、１１０６より構成された反射縮小投影光学系により基板であるウエハ１１０７のレジストに転写した。ミラーへの入射角度の範囲が５度以内の反射ミラー１１０１、１１０２、１１０４、１１０６は、図９に示す基本例１を用い、入射角度の範囲が５度以上の反射ミラ−１１０３および１１０５として実施例１によるＸ線多層ミラーを用いた。これによって、マスク上０．１μｍのパターンに対して寸法０．０２５μｍのレジストパターンが正確に得られた。
【００２２】
（実施例２）
図７は、図１０に示す基本例２を最低膜厚１．５ｎｍの条件で最適化処理した場合のＭｏ膜とＳｉ層の膜厚分布を示す。層Ｎｏ１が基板上の１層目を示し、全体が１２１層の膜構成である。Ｓｉ、Ｍｏともに膜厚は１．５ｎｍ以上に設定されている。図８は、本実施例の膜構成での角度反射特性である。図１０に示すものと比較して、反射率５０％以上の領域が３度以上増えており、１５度から２５度までになる。このＭｏ／Ｓｉ交互層を実施例１と同様の成膜方法で成膜し、反射特性を調べたところ、設計通りの広域反射特性を有するＸ線多層ミラーであった。
【００２３】
上記の実施例１、２において、各層の成膜方法はスパッタリングに限らず、例えば蒸着等の他の成膜方法でもよい。
【００２４】
【発明の効果】
本発明は上述のとおり構成されているので、以下に記載するような効果を奏する。
【００２５】
広い入射角度範囲にわたり、高反射のＸ線多層ミラーが作成可能となり、Ｘ線露光装置の性能向上に貢献できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一実施の形態によるＭｏ／Ｓｉ交互層を示すもので、（ａ）はその膜構成を示す図、（ｂ）は（ａ）の一部分を拡大して示す図である。
【図２】実施例１によるＭｏ／Ｓｉ交互層の膜厚分布を示す図である。
【図３】実施例１の角度反射特性を示すグラフである。
【図４】実施例１において用いた成膜装置を示す模式図である。
【図５】実施例１における膜厚制御を示すグラフである。
【図６】実施例１を用いたＸ線露光装置の光学系を説明する図である。
【図７】実施例２による膜厚分布を示す図である。
【図８】実施例２の角度反射特性を示すグラフである。
【図９】基本例１の角度反射特性を示すグラフである。
【図１０】基本例２の角度反射特性を示すグラフである。
【符号の説明】
１０    基板
１１    Ｓｉ層
１２    Ｍｏ層
１３    ＭｏＳｉｘ層
２０    Ｍｏ／Ｓｉ交互層
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2005056943.tif 000010
【図９】
2005056943.tif 000011
【図１０】
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