(57)【要約】【課題】簡単かつ低コストな構成により、複数の配管について流体の供給状況の監視を行え、監視を行う配管数の変更に対して容易に対応できる流体供給監視装置を提供する。【解決手段】この流体供給監視装置２５は、基板処理装置１に備えられ、監視対象の流体を供給する配管９ａ〜９ｄに介挿された面積式の流量計２３ａ〜２３ｄと、流量計２３ａ〜２３ｄを撮像する撮像カメラ２５と、撮像カメラ２５の撮像画像に基づいて流体の供給状況を監視する監視部２７とを備えている。監視部２７により、予め設定された各監視タイミングにおける撮像カメラ２５の撮像画像と、その時点に対応する予め登録されたメモリ画像とが比較され、撮像画像中における各流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像の高さ位置が、対応するメモリ画像中のフロート画像の基準位置に対して所定の許容範囲内にあるか否かが判断されて各流体の供給状況（流量等）の異常の有無が判断される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体供給用の配管に接続され、その配管による流体の供給状況を検出し、その検出結果をその表示部の状態により表す少なくとも１つの流体供給検出手段と、
前記少なくとも１つの流体供給検出手段の前記表示部を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された撮像画像中の前記流体供給検出手段の前記表示部の状態を認識し、その認識結果に基づいて前記配管による前記流体の供給状況を監視する監視手段と、
を備えることを特徴とする流体供給監視装置。
【請求項２】
請求項１に記載の流体供給監視装置において、
前記流体供給検出手段は複数備えられ、
前記撮像手段は、その複数の流体供給検出手段の前記表示部を撮像することを特徴とする流体供給監視装置。
【請求項３】
請求項１に記載の流体供給監視装置において、
前記流体供給検出手段は、対応する前記配管内を流れる前記流体の流量を前記流体の供給状況として検出することを特徴とする流体供給監視装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の流体供給監視装置において、
前記監視手段は、
前記撮像画像に基づいて前記流体供給検出手段の前記表示部の状態を認識し、その認識結果と前記表示部の状態について予め設定された基準とを比較することにより、前記配管に流れる前記流体の供給状況についての異常の有無を判断することを特徴とする流体供給監視装置。
【請求項５】
請求項３に記載の流体供給監視装置において、
前記流体供給検出手段の前記表示部は、対応する前記配管内を流れる前記流体の流量に応じてその位置が変化する指標部を備え、
前記監視手段は、
前記撮像画像に基づいて前記流体供給検出手段の前記指標部の位置を認識し、その認識した位置と予め設定された基準位置とを比較することにより、前記配管に流れる前記流体の供給状況についての異常の有無を判断することを特徴とする流体供給監視装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれかに記載の流体供給監視装置において、
前記監視手段は、さらに、
前記配管による前記流体の供給状況の異常を検出したときには、異常発生を示す信号を出力することを特徴とする流体供給監視装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれかに記載の流体供給監視装置において、
前記監視手段は、半導体撮像素子により撮像を行う撮像カメラであることを特徴とする流体供給監視装置。
【請求項８】
基板処理のための流体を供給する少なくとも１つの配管を有する基板処理装置であって、
前記配管による前記流体の供給状況を監視する請求項１ないし７のいずれかに記載の流体供給監視装置を備えることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体の供給状況を監視する流体供給監視装置及びそれを用いた基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
基板処理装置では、各種処理液を供給する配管に流体の供給状況（例えば、流量又は圧力等）を検出するための流体供給検出手段を設け、その流体供給検出手段の検出結果に基づいて配管による流体の供給状況を監視するものがある。具体例としては、流体供給検出手段として、配管内の流体の流量を検出する面積式流量計を用い、その流量計のフロート位置をラインセンサにより検出し、その検出結果に基づいて流量監視を行うものがある（例えば、特許文献１）。
【０００３】
【特許文献１】特開平１０−３３２４４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記のラインセンサを用いて流体供給検出手段の検出結果を監視する技術では、複数の配管に対して監視を行う場合、各配管に設けられた流体供給検出手段ごとに高価なラインセンサを設ける必要があり、装置構成の複雑化及び高コスト化を招いている。
【０００５】
また、監視を行う配管及び流体供給検出手段の数の変更に対して、ラインセンサの設置数を変更する等のハード的構成を行う必要があり、対応が容易でない。
【０００６】
そこで、本発明の解決すべき課題は、簡単かつ低コストな構成により、複数の配管について流体の供給状況の監視を行うことができるとともに、監視を行う配管及び流体供給検出手段の数の変更に対して容易に対応できる流体供給監視装置及びそれを用いた基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するための手段は、流体供給用の配管に接続され、その配管による流体の供給状況を検出し、その検出結果をその表示部の状態により表す少なくとも１つの流体供給検出手段と、前記少なくとも１つの流体供給検出手段の前記表示部を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された撮像画像中の前記流体供給検出手段の前記表示部の状態を認識し、その認識結果に基づいて前記配管による前記流体の供給状況を監視する監視手段と、を備える。
【０００８】
また、好ましくは、前記流体供給検出手段は複数備えられ、前記撮像手段は、その複数の流体供給検出手段の前記表示部を撮像するのがよい。
【０００９】
また、好ましくは、前記流体供給検出手段は、対応する前記配管内を流れる前記流体の流量を前記流体の供給状況として検出するのがよい。
【００１０】
また、好ましくは、前記監視手段は、前記撮像画像に基づいて前記流体供給検出手段の前記表示部の状態を認識し、その認識結果と前記表示部の状態について予め設定された基準とを比較することにより、前記配管に流れる前記流体の供給状況についての異常の有無を判断するのがよい。
【００１１】
また、好ましくは、前記流体供給検出手段の前記表示部は、対応する前記配管内を流れる前記流体の流量に応じてその位置が変化する指標部を備え、前記監視手段は、前記撮像画像に基づいて前記流体供給検出手段の前記指標部の位置を認識し、その認識した位置と予め設定された基準位置とを比較することにより、前記配管に流れる前記流体の供給状況についての異常の有無を判断するのがよい。
【００１２】
また、好ましくは、前記監視手段は、さらに、前記配管による前記流体の供給状況の異常を検出したときには、異常発生を示す信号を出力するのがよい。
【００１３】
また、好ましくは、前記監視手段は、半導体撮像素子により撮像を行う撮像カメラであるのがよい。
【００１４】
また、前記課題を解決するための手段は、基板処理のための流体を供給する少なくとも１つの配管を有する基板処理装置であって、前記配管による前記流体の供給状況を監視する請求項１ないし７のいずれかに記載の流体供給監視装置を備える。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１及び８に記載の発明によれば、流体供給検出手段の表示部を撮像手段により撮像し、監視手段がその撮像画像に基づいて流体供給検出手段の表示部の状態を認識し、その認識結果に基づいて配管による流体の供給状況を監視する構成であるため、複数の配管による流体の供給状況を監視する場合にも、１つの撮像手段により複数の流体供給検出手段の表示部を撮像し、その撮像画像に基づいて監視を行うことができ、従来のように各配管に設けた流体供給検出手段ごとに高価なラインセンサを設ける必要がなく、装置構成の簡略化及び低コスト化が図れる。
【００１６】
また、監視を行う配管及び流体供給検出手段の数の変更に対して、実質的に監視手段が行う処理の内容（すなわち、ソフト的な構成）のみを変更するだけで容易に対応することができる。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、複数の配管による流体の供給状況の監視を１つの撮像手段を用いて行うことができる。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、各配管を流れる流体の流量を監視することができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、監視手段が、撮像画像に基づいて流体供給検出手段の表示部の状態を認識し、その認識結果と表示部の状態について予め設定された基準とを比較することにより、配管に流れる流体の供給状況についての異常の有無を判断するため、流体の供給状況についての異常の有無を撮像画像に基づいて容易に判断することができる。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、監視手段が、撮像画像に基づいて流体供給検出手段の指標部の状態を認識し、その認識した位置と予め設定された基準位置とを比較することにより、配管に流れる流体の供給状況についての異常の有無を判断するため、流体の供給状況についての異常の有無を撮像画像に基づいて容易に判断することができる。
【００２１】
請求項６に記載の発明によれば、配管による流体の供給状況の異常が検出された場合には、異常発生を示す信号が出力されるため、その信号に基づいて警報を発令させたり、その配管に関連する装置の運転を停止させたりすることができる。
【００２２】
請求項７に記載の発明によれば、撮像手段が半導体撮像素子により撮像を行う撮像カメラであるため、撮像手段を小型に構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、本発明の一実施形態に係る流体供給監視装置が用いられた基板処理装置の構成を概略的に示す図である。なお、図１にて後述の配管９ａ〜９ｄの印※１〜※４が付された端部は、同一の印※１〜※４が付された端部と接続されている。
【００２４】
この基板処理装置１は、図１に示すように、基板Ｗに対して少なくとも現像処理を行うもの（例えば、デベロッパ）であり、基板Ｗを収容するチャンバ３内に所定の流体をそれぞれ供給するための現像液供給部５ａ、純水供給部５ｂ、バックリンス液供給部５ｃ、及びＮ2ガス供給部５ｄが設けられている。なお、基板Ｗとしては、例えば、半導体基板、液晶表示器のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板、光ディスク用などが例示される。
【００２５】
チャンバ３内には、これらの供給部５ａ〜５ｄから供給される現像液、純水、バックリンス液（純水）及びＮ2ガスを吐出するノズル部７ａ〜７ｄが設けられている。供給部５ａ〜５ｄから供給された各種流体は、配管９ａ〜９ｄを介してノズル部７ａ〜７ｄに与えられる。各供給部５ａ〜５ｂは、図示しなし電磁弁の他に必要に応じてタンク及びポンプを備えて構成されており、制御部１１の制御により、流体の供給状態を制御している。ここで、純水供給部５ｂが供給する純水は基板Ｗの上面を洗浄するためのものであり、バックリンス液供給部５ｂが供給するバックリンス液（純水）は基板Ｗの下面を洗浄するためのものである。また、Ｎ2ガス供給部５ｄが供給するＮ2ガスは、チャンバ３内をガスパージするためのものである。
【００２６】
制御部１１は、この基板処理装置１全体の制御を統括して行っており、各供給部５ａ〜５ｄによる各種流体の供給状況の制御（例えば、オン、オフや流量の制御等）も行っている。
【００２７】
また、チャンバ３内には、搬入された基板Ｗを保持して回転させるスピンチャック等の回転保持部１３が設けられており、現像処理後の洗浄処理及び乾燥処理（振切り乾燥）の際に基板Ｗが回転駆動されるようになっている。処理液の飛散等を防止するため、チャンバ３内には基板３を外囲するようにカップ１５が設けられている。また、チャンバ３には、排液及び排気等のための排出部１７が設けられている。
【００２８】
この基板処理装置１の動作としては、基板Ｗがチャンバ３内に搬入されると、現像液供給部５ａにより現像液がノズル部７ａを介して基板Ｗ上に供給されて現像処理が行われる。現像処理が終了すると、回転保持部１３によって基板Ｗが回転されながら、純水供給部５ｂ及びバックリンス液供給部５ｃによってノズル部７ｂ，７ｃを介して基板Ｗの上面側及び下面側に向けて洗浄用の純水及びバックリンス液が供給され、これによって現像液及び溶解したレジスト成分が除去される（洗浄処理）。続いて、基板Ｗが回転されたまま、純水及びバックリンス液の供給が止められ、回転による遠心力を利用して基板Ｗ上に残留する水分が除去される（振切り乾燥）。そして、振切り乾燥後の基板Ｗがチャンバ３外に搬出される。ここで、Ｎ2ガス供給部５ｄは、少なくとも現像処理の開始時から洗浄処理の終了時にかけてパージ用のＮ2ガスをノズル部７ｄを介してチャンバ１内に供給する。
【００２９】
このような基板処理装置１には、各種流体の供給状況を監視する流体供給監視装置２１が組み込まれている。この流体供給監視装置２１は、図１に示すように、流量計（流体供給検出手段）２３ａ〜２３ｄと、流量計２３ａ〜２３ｄを撮像する撮像カメラ（撮像手段）２５と、撮像カメラ２５の撮像画像に基づいて流体の供給状況を監視する監視部（監視手段）２７とを備えている。監視部２７は、例えば制御部１１に一体に組み込まれており、制御部１１が監視部２７の機能をも担っている。
【００３０】
各流量計２３ａ〜２３ｄは、監視の必要な流体の各配管９ａ〜９ｄにそれぞれ介挿されており、各配管９ａ〜９ｄを流れる流体の単位時間当たりの流量（供給状況）を検出する。本実施形態では、現像液、純水、バックリンス液及びＮ2ガスを供給するための配管９ａ〜９ｄすべてに流量計２３ａ〜２３ｄが介挿されており、図２に示すように基板処理装置１内の一箇所（流量計設置部）に整列されて配置されている。
【００３１】
流量計２３ａ〜２３ｄとしては、例えば面積式流量計が用いられ、光透過性のテーパ管３１内に配置されたフロート（表示部及び指標部に相当）３３の高さ位置により、対応する配管９ａ〜９ｄ内を流れる流体の流量が表されるようになっている。すなわち、この流量計２３ａ〜２３ｄでは、フロート３３は、テーパ管３１内を上向きに流れる流体からその流量に応じた上向きの力を受けて管３１内を上昇するが、テーパ管３１が上側に向けて末広がりとなっているため、フロート３３がテーパ管３１内の上方に位置する程、フロート３３とテーパ管３１内周との間の隙間面積が大きくなり、フロート３３が流体から受ける上向きの力が小さくなる。また、フロート３３には重力による下向きの力も作用するため、フロート３３の高さ位置は、この重力による下向きの力と、流体から受ける上向きの力とが釣り合うような位置に決定される。よって、フロート３３は、テーパ管３１内を流れる流体の単位時間当たりの流量が増加するほどテーパ管３１内を下限位置から上方に移動するようになっている。なお、図２及び図３中の符号３５は流量調節用のバルブを示している。
【００３２】
撮像カメラ２５は、撮像を行うＣＣＤ等の半導体撮像素子を備えて構成され、図３に示すように、基板処理装置１内における４つの流量計２３ａ〜２３ｄのフロート３３が設けられた部分を一度に撮像可能な位置に設置されており、監視部２７の制御により撮像を行う。撮像した画像は監視部２７に与えられる。図４は撮像カメラ２５の撮像画像４１の一例を示しており、その撮像画像４１中には、各流量計２３ａ〜２３ｄのフロート３３のフロート画像４３が含まれている。
【００３３】
監視部２７は、画像処理により撮像カメラ２５によって撮像された撮像画像４１中の流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３の挙動を認識し、その認識結果に基づいて配管９ａ〜９ｄを流れる流体の供給状況を監視する。
【００３４】
より詳細には、監視部２７には、図５に示すように、処理工程中の各時点における各流量計２３ａ〜２３ｄのフロート３３の高さ位置に対する基準位置Ｌ１が予め登録されている。そして、処理工程中の各時点において、監視部２７は、撮像画像４１中における各流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３の高さ位置Ｌ２を画像処理により認識し、その認識した高さ位置Ｌ２とその時点において対応する基準位置Ｌ１とを比較し、認識した高さ位置Ｌ２と基準位置Ｌ１とのずれ量ｄＬが予め設定された許容範囲内にあるか否かを判断することにより、各配管９ａ〜９ｄによる流体の供給状況についての異常の有無を判断するようになっている。
【００３５】
例えば、各流量計２３ａ〜２３ｄのフロート３３の基準位置Ｌ１の登録は、処理工程中の各時点における正常運転時の撮像画像４１を監視部２７の図示しない記憶手段（メモリ、ハードディスク等）にメモリ画像として記憶させることにより行われる。この場合、処理工程中の各時点において、監視部２７は、実際に撮像して得られたその時点の撮像画像４１中における各流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３の高さ位置Ｌ２を画像処理により認識するとともに、その時点において対応するメモリ画像中のフロート画像４３ａの高さ位置である基準位置Ｌ１を認識し、両者の位置Ｌ１，Ｌ２を比較するようになっている。そして、両者の位置Ｌ１，Ｌ２の間のずれ量ｄＬが予め設定された許容範囲内にあるか否かを判断することにより、各配管９ａ〜９ｄによる流体の供給状況についての異常の有無が判断されるようになっている。このより具体的な動作等については後述する。
【００３６】
また、監視部２７は、各配管９ａ〜９ｄによる流体の供給状況の異常を検出したときには、異常発生を示す信号を出力するようになっている。制御部１１は、４つの配管９ａ〜９ｄのうちのいずれか１つの流体供給について異常が発生したことが監視部２７により検出された場合には、図示しない報知手段（ブザー、警告灯、画像表示部等）を介して警報を発令させたり、異常が発生した配管９ａ〜９ｄに関連する装置１の部分の運転、あるいは装置１全体の運転を停止させたりするようになっている。
【００３７】
図６は、図１の基板処理装置１における各種供給流体の供給状況を示すタイミングチャートである。なお、図６は基板処理装置１が１つの基板Ｗに対して処理を行う際の各種流体供給のタイミングチャートを示している。
【００３８】
図６に示すように、現像液は時刻ｔ２から時刻ｔ３までの期間で供給され、純水は時刻ｔ５から時刻ｔ６までの期間で供給され、バックリンス液は時刻ｔ４から時刻ｔ７までの期間で供給され、Ｎ2ガスは時刻ｔ１から時刻ｔ８までの期間で供給されるようになっている。これに伴って、監視部２７には、現像液、純水、バックリンス液及びＮ2ガスの各流体の供給がオン、オフされる切替タイミング（ｔ１〜ｔ８）と、各切替タイミング（ｔ１〜ｔ８）間及びその前後の各期間Ｔ１〜Ｔ９内における正常な状態の撮像カメラ２５の撮像画像（メモリ画像）とが予め登録されている。例えば、期間Ｔ１内のメモリ画像では、監視対象の４種の流体のうちいずれの流体も供給されていないため、全ての流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３ａは下限位置に位置している。期間Ｔ２内のメモリ画像では、４種の流体のうちのＮ2ガスのみが供給されているため、Ｎ2ガスに対応する流量計２３ｄのフロート画像４３ａがその適切な流量に対応した高さ位置に位置しており、他の流体に対応する流量計２３ａ〜２３ｃのフロート画像４３ａは下限位置に位置している。すなわち、各期間Ｔ１〜Ｔ９内のメモリ画像中における各流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３ａは、その期間Ｔ１〜Ｔ９内において対応する流体が供給停止状態であるときには下限位置に位置しており、対応する流体が供給中である場合にはその適切な流量に対応した高さ位置に位置しており、この各メモリ画像中における各フロート画像４３ａの高さ位置が基準位置Ｌ１となる。
【００３９】
そして、監視部２７は、監視対称の各流体の供給がオン、オフされる各切替タイミング（ｔ１〜ｔ８）ごとに（すなわち、各流体の供給がオン又はオフに切り替えられるごとに）、その時点における撮像カメラ２５の撮像画像４１と、その時点に対応する期間Ｔ１〜Ｔ９内のメモリ画像とを比較することにより各流体の供給状況についての異常の有無を監視している。なお、この監視部２７による各流体の監視は、監視対象の各流体の供給がオン、オフされる各切替タイミングのみに限らず、この基板処理装置１の処理動作開示前（あるいは、監視対象のすべての流体の供給開始前）（期間Ｔ１内）や、各期間Ｔ１〜Ｔ９内における複数のタイミングで行うようにしてもよい。
【００４０】
異常の有無の判断の具体例としては、例えば、監視対象のいずれの流体の供給も行われるべきでない期間Ｔ１内において、いずれかの流体が誤って供給され、いずれかの流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３の高さ位置Ｌ２がその時点において対応する基準位置Ｌ１（下限位置）から許容範囲を超えて上方に移動している場合には、その誤って供給されている流体の供給状況が異常と判断される一方、いずれの流体も供給されておらず、流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３も下限位置に位置している場合には、各流体の供給状況が正常と判断される。また、Ｎ2ガスの供給が行われるべき期間２内において、Ｎ2ガスの供給が適正な流量で正常に行われており、流量計２３ｄのフロート画像４３の高さ位置Ｌ２がその時点において対応する基準位置Ｌ１を基準として所定の許容範囲内に収まっている場合には、Ｎ2ガスの供給状況が正常と判断され一方、期間Ｔ２内において、Ｎ2ガスの供給が適正な流量で正常に行われておらず（例えば、供給が全く行われていない、流量の過多又は過少等）、流量計２３ｄのフロート画像４３の高さ位置Ｌ２がその時点において対応する基準位置Ｌ１から許容範囲を超えて上方又は下方に外れている場合には、Ｎ2ガスの供給状況が異常と判断される。
【００４１】
図７は、監視部２７による監視動作を示すフローチャートである。この基板処理装置１が起動されるとステップＳ１に進み、流体の供給状況について予め設定された監視タイミングが到来したか否かが判断され、監視タイミングが到来していない場合には到来するまで待機され、監視タイミングが到来した場合にはステップＳ２に進む。
【００４２】
ステップＳ２では、撮像カメラ２５の撮像画像４１の取り込みが行われる。なお、撮像カメラ２５は、この基板処理装置１が起動されているときは常に撮像を行うようにしてもよく、監視タイミングが到来したときのみ撮像を行うようにしてもよい。
【００４３】
続くステップＳ３では、その時点における撮像カメラ２５の撮像画像４１と、その時点に対応する期間Ｔ１〜Ｔ９内のメモリ画像とが比較される。具体的には、上述のように、撮像画像４１中における各流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３の高さ位置Ｌ２を画像処理により認識するとともに、対応するメモリ画像中のフロート画像４３ａの高さ位置である基準位置Ｌ１を認識し、両者の位置Ｌ１，Ｌ２が比較され、両者の位置Ｌ１，Ｌ２の間のずれ量ｄＬが導出される。
【００４４】
続くステップＳ４では、ステップＳ３で導出した各流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３のずれ量ｄＬが予め設定された許容範囲内にあるか否かを判断することにより、各配管９ａ〜９ｄによる流体の供給状況についての異常の有無が判断される。そして、いずれの流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３のずれ量ｄＬも許容範囲内にある場合には、いずれの流体の供給状況についても異常なしと判断されて、その監視タイミングにおける監視動作が終了される。一方、ステップＳ３で導出したいずれかの流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３のずれ量ｄＬが許容範囲外である場合には、流体の供給状況について異常有りと判断されて、ステップＳ５に進む。
【００４５】
ステップＳ５では、各配管９ａ〜９ｄによる流体の供給状況に異常が発生したことを示す信号が監視部２７により出力され、その信号に基づく制御部１１による異常対応処理が行われる。この異常対応処理としては、例えば、上述のように、制御部１１が図示しない報知手段（ブザー、警告灯、画像表示部等）を介して警報を発令させたり、異常が発生した配管９ａ〜９ｄに関連する装置１の部分の運転、あるいは装置１全体の運転を停止させたりするようになっている。
【００４６】
そして、基板処理装置１が起動されている間、上記のステップＳ１〜Ｓ５の処理が繰り返されることにより、監視部２７による各流体の供給状況の監視が行われるようになっている。
【００４７】
以上のように、本実施形態によれば、４つの流量計２３ａ〜２３ｄのフロート３３が設けられた部分を撮像カメラ２５により撮像し、監視部２７がその撮像画像４１に基づいて流量計２３ａ〜２３ｄのフロート３３の挙動を認識し、その認識結果に基づいて４つの配管９ａ〜９ｄによる流体の供給状況を監視する構成であるため、４つの配管９ａ〜９ｄによる流体の供給状況を１つの撮像カメラ２５による撮像画像４１に基づいて監視することができ、従来のように各配管９ａ〜９ｄに設けた流量計２３ａ〜２３ｄごとに高価なラインセンサを設ける必要がなく、基板処理装置１の構成の簡略化及び低コスト化が図れる。
【００４８】
また、監視を行う配管９ａ〜９ｄ及び流量計２３ａ〜２３ｄの数の変更に対して、実質的に監視部２７が行う処理の内容（すなわち、ソフト的な構成）のみを変更するだけで容易に対応することができる。
【００４９】
また、監視部２７により、処理工程中の予め設定された各監視タイミングにおける撮像カメラ２５の撮像画像４１と、そのタイミングに対応する期間Ｔ１〜Ｔ９内のメモリ画像とが比較され、撮像画像４１中における各流量計２３ａ〜２３ｄのフロート画像４３の高さ位置Ｌ２が、対応するメモリ画像中のフロート画像４３ａの基準位置Ｌ１に対して所定の許容範囲内にあるか否かが判断されて各流体の供給状況の異常の有無が判断されるため、流体の供給状況についての異常の有無を撮像画像４１に基づいて容易に判断することができる。
【００５０】
また、各配管９ａ〜９ｄによる流体の供給状況の異常が検出された場合には、異常発生を示す信号が監視部２７から出力されるため、その信号に基づいて警報を発令させたり、その配管に関連する装置１の運転を停止させたりすることができる。
【００５１】
また、撮像カメラ２５が半導体撮像素子により撮像を行う構成であるため、撮像カメラ２５を小型に構成することができる。
【００５２】
なお、本実施形態では、基板処理装置１に備えられる４つの配管９ａ〜９ｄを流れる現像液、純水、バックリンス液、Ｎ2ガスの４種の流体の供給状況（流量等）について監視を行うようにしたが、監視対象の配管９ａ〜９ｄは４つに限らず、例えば１つ、２つ、３つ又は５つ以上でもよい。
【００５３】
また、監視対象の流体の種類についても、現像液、純水、バックリンス液、Ｎ2ガスに限らず、他の種類の流体の供給状況を監視するようにしてもよい。
【００５４】
例えば、本実施形態に係る流体供給監視装置２１が基板Ｗへのレジスト塗布を行う基板処理装置（例えば、コータ）に適用された場合には、流体供給監視装置２１により、基板Ｗの下面を洗浄するバックリンス液、及び基板Ｗのエッジ部を洗浄するエッジ洗浄液の供給状況の監視が行われる。この場合、図８に示すように、１つの基板Ｗに対する処理工程中において、バックリンス液は時刻ｔ１１から時刻１４の期間でチャンバ内に供給され、エッジ洗浄液は時刻１２から時刻ｔ１３の期間でチャンバ内に供給される。これに伴って、監視部２７には、バックリンス液及びエッジ洗浄液の各流体の供給がオン、オフされる切替タイミング（ｔ１１〜ｔ１４）と、各切替タイミング（ｔ１１〜ｔ１４）間及びその前後の各期間Ｔ１１〜Ｔ１５内における正常な状態の撮像カメラ２５の撮像画像（メモリ画像）とが予め登録される。そして、監視部２７が、その登録内容と監視対象の各流体の流量計が撮像された撮像画像４１とに基づいて流体供給の監視を行うようになっている。
【００５５】
また、本実施形態に係る流体供給監視装置２１が基板Ｗに対するスクラブ洗浄を行う基板処理装置（例えば、スクラブ洗浄装置）に適用された場合には、流体供給監視装置２１により、基板Ｗの上面を洗浄する純水、基板Ｗの下面を洗浄するバックリンス液、基板Ｗの表面の洗浄等を行うソフトスプレー液、及びチャンバ内のパージ用のＮ2ガスの供給状況の監視が行われる。この場合、図９に示すように、１つの基板Ｗに対する処理工程中において、純水は時刻ｔ２２から時刻ｔ２６の期間でチャンバ内に供給され、バックリンス液は時刻ｔ２２から時刻ｔ２５の期間でチャンバ内に供給され、ソフトスプレー液は時刻ｔ２３から時刻ｔ２４の期間でチャンバ内に供給され、Ｎ2ガスは少なくとも時刻ｔ２１から時刻ｔ２７の期間でチャンバ内に供給される。これに伴って、監視部２７には、純水、バックリンス液、ソフトスプレー液及びＮ2ガスの各流体の供給がオン、オフされる切替タイミング（ｔ２１〜ｔ２７）と、各切替タイミング（ｔ２１〜ｔ２７）間及びその前後の各期間Ｔ２１〜Ｔ２８内における正常な状態の撮像カメラ２５の撮像画像（メモリ画像）とが予め登録される。そして、監視部２７が、その登録内容と監視対象の各流体の流量計が撮像された撮像画像４１とに基づいて流体供給の監視を行うようになっている。
【００５６】
また、本実施形態では、監視対象の各流体の流量及び供給の有無の適否を監視するようにしたが、各配管９ａ〜９ｄを供給される流体の圧力等を圧力計（流体供給検出手段）により検出し、その圧力計の表示部を撮像カメラ２５で撮像して圧力の適否等を監視するようにしてもよい。
【００５７】
また、本実施形態では、撮像方向が固定された固定式の撮像カメラ２５により流量計２３ａ〜２３ｄを撮像したが、所定の電動式駆動部により首振り駆動されて撮像方向を変更可能な首振り式の撮像カメラにより各流量計２３ａ〜２３ｄを撮像するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施形態に係る流体供給監視装置が用いられた基板処理装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】流量計設置部の正面図である。
【図３】流量計設置部及び撮像カメラの側面図である。
【図４】撮像カメラの撮像画像を示す図である。
【図５】図４の撮像画像の要部拡大図である。
【図６】図１の基板処理装置における各種供給流体の供給状況を示すタイミングチャートである。
【図７】監視部による監視動作を示すフローチャートである。
【図８】他の基板処理装置における各種供給流体の供給状況を示すタイミングチャートである。
【図９】さらに他の基板処理装置における各種供給流体の供給状況を示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００５９】
１  基板処理装置
３  チャンバ
５ａ  現像液供給部
５ｂ  純水供給部
５ｃ  バックリンス液供給部
５ｄ  Ｎ2ガス供給部
９ａ〜９ｄ  配管
１１  制御部
２１  流体供給監視装置
２３ａ〜２３ｄ  流量計
２５  撮像カメラ
２７  監視部
３１  テーパ管
３３  フロート
４１  撮像画像
４３，４３ａ  フロート画像
Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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