(57)【要約】【課題】  スレーブ媒体の両面にマスターを密着させて両面同時に磁気転写する際の、両側のマスターにおける転写パターンの中心位置を簡易に正確に位置合わできるようにする。【解決手段】  接離移動する片側ホルダー11と他側ホルダー12を備え、転写を受けるスレーブ媒体２の両面に情報に対応した転写パターンを有するマスター３，４を密着させる際に、片側ホルダー11と他側ホルダー12との相対的な位相が可変であり、この相対的な位相を変化させることで各ホルダーに保持した両マスター３，４上の各転写パターンの相対位置を修正する。片側ホルダー11と他側ホルダー12の回転中心がずれ、相対的な回転位相を変化させて両マスター３，４の中心位置を修正して許容範囲内に接近させる。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを備え、この片側ホルダーと他側ホルダーとの間で、転写を受けるスレーブ媒体の両面に、前記片側ホルダーに保持され転写情報に対応した転写パターンを有する一方のマスターと、前記他側ホルダーに保持され転写情報に対応した転写パターンを有する他方のマスターとを密着させる磁気転写装置の転写ホルダーにおいて、
前記片側ホルダーと他側ホルダーとの相対的な位相が可変であり、この相対的な位相を変化させることで各ホルダーに保持した両マスター上の各転写パターンの相対位置を修正することを特徴とする磁気転写装置の転写ホルダー。
【請求項２】
前記片側ホルダーと他側ホルダーの回転中心を所定量ずらし、両ホルダーの相対的な回転位相を変化させて両マスター上の各転写パターンの相対位置を修正することを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置の転写ホルダー。
【請求項３】
前記片側ホルダーと他側ホルダーの回転中心のずれ量を、前記スレーブ媒体の両面に記録される両側転写パターンに要求される同芯度と同じ値に設定したことを特徴とする請求項１または２に記載の磁気転写装置の転写ホルダー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報が担持されたマスターからスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置において、上記スレーブ媒体の両面にそれぞれマスターを密着させる転写ホルダーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスターに担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
また、スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の両面に円盤状のマスターを密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
この磁気転写を行う際の重要な課題の一つに、マスターとスレーブ媒体との位置決めを精度良く行うことがある。特に、ハードディスク、高密度フレキシブルディスク等のスレーブ媒体では、磁気転写後にドライブ装置に取り付けられたときの回転中心と転写記録された磁化パターンの中心とが精度良く一致していなければならない。
【０００５】
上記点から、マスターとスレーブ媒体を密着させる際に、画像装置で両者の位置決めを行うものが知られている。具体的には、まず密着フランジにスレーブ媒体をセットした後、その上にパターンに対応して透明部分に形成したマーカーを有するマスターを載置し、画像装置でマーカーとスレーブ媒体との位置とが一致するように観察しつつマスターの位置調整を行ってから両者を密着させるようにしている（例えば、特許文献１参照）。または、マスターをＸ−Ｙ方向に移動可能なホルダーに保持し、マスターの中心位置をＣＣＤカメラで観察して、スレーブ媒体との位置を一致させて密着させるようにしている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平１１−１７５９７３号公報
【特許文献２】特開２００１−２０９９７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、スレーブ媒体の両面に信号を転写する場合、両面それぞれに転写される信号は、数十ミクロンオーダーの高い同芯度が要求される場合が多い。これを実現させるためには、磁気転写時にスレーブ媒体の両側に位置する２枚のマスターにおける転写パターンの中心を正確に一致させる必要がある。
【０００７】
このため、マスターを保持するホルダーに位置決めピンを設置し、この位置決めピンでマスターを位置決めして保持する手段では、十分な精度を得ることは難しかったために、前記特許文献のように、位置検出器を用いてホルダーに保持されたマスターにおける転写パターンの位置ずれ量を検出し、それに基づいてマスターをホルダー上で微小移動させる装置が提案されている。しかし、マスターをホルダー上で移動させる機構は、高い精度が要求されるため、機構の加工精度、精度維持が煩雑で磁気転写装置のコストの上昇を招く問題がある。
【０００８】
また、ホルダーに対してマスターの位置をある程度調整した後、ホルダー自体を相対的に移動させて両マスターの位置を合わせる技術も考えられるが、ホルダーをＸ−Ｙ方向に微小移動させる機構は構造が複雑で高価となり、同様にコストの上昇を招く問題がある。
【０００９】
本発明はこのような点に鑑みなされたもので、スレーブ媒体の両面にマスターを密着させて両面同時に磁気転写する際の、両側のマスターにおける転写パターンの中心位置を簡易に正確に位置合わできるようにした磁気転写装置の転写ホルダーを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の磁気転写装置の転写ホルダーは、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを備え、この片側ホルダーと他側ホルダーとの間で、転写を受けるスレーブ媒体の両面に、前記片側ホルダーに保持され転写情報に対応した転写パターンを有する一方のマスターと、前記他側ホルダーに保持され転写情報に対応した転写パターンを有する他方のマスターとを密着させる磁気転写装置の転写ホルダーにおいて、
前記片側ホルダーと他側ホルダーとの相対的な位相が可変であり、この相対的な位相を変化させることで各ホルダーに保持した両マスター上の各転写パターンの相対位置を修正することを特徴とするものである。
【００１１】
前記片側ホルダーと他側ホルダーの回転中心を所定量ずらし、両ホルダーの相対的な回転位相を変化させて両マスター上の各転写パターンの相対位置を修正するのが好適である。
【００１２】
前記片側ホルダーと他側ホルダーの回転中心のずれ量を、前記スレーブ媒体の両面に記録される両側転写パターンに要求される同芯度（同軸度という場合もある）と同じ値に設定するのが好適である。
【００１３】
両側ホルダーに対して各マスターを治具ピン等の従来公知の位置決め方法で粗調整を行ってから、相対的な位相を回転させて中心位置を合わせるようにするのが好ましい。例えば、治具を使って、同芯度が５０μｍ位となるように粗調整を行ってから相対的な位相を調整して、同芯度が３０μｍとなるように合わせる。
【発明の効果】
【００１４】
上記のような本発明によれば、片側ホルダーと他側ホルダーとの間で、転写を受けるスレーブ媒体の両面に片側ホルダーおよび他側ホルダーに保持され転写情報に対応した転写パターンを有するマスターを密着させる際に、片側ホルダーと他側ホルダーとの相対的な位相が可変であり、この相対的な位相を変化させることで各ホルダーに保持した両マスター上の各転写パターンの相対位置を修正することにより、両マスターの同芯度を小さくすることができ、このマスターを両ホルダーにセットする際の位置決め精度の要求が低くなって、マスターの交換作業等が簡易に効率よく行える。
【００１５】
特に、片側ホルダーと他側ホルダーの回転中心をずらしておき、相対的な回転位相を変化させて両マスター上の各転写パターンの相対位置を修正すると、より確実に両マスターの同芯度を小さくすることができる。例えば、両ホルダーの回転中心のずれ量をｄに設定した場合、マスターのホルダー中心に対する位置決め精度がそれぞれ２ｄ以下になるように粗調整がしてあれば、両ホルダーの相対的な位相を変化させることで、両マスターの同芯度をｄ以下にすることができる。そして、両ホルダーの回転中心位置のずれ量を、記録される両側転写パターンに要求される同芯度と同じ値に設定することにより、マスターをホルダーに保持する際の必要な位置決め精度の関係が広い範囲で調整可能となり、さらにマスターのセットが容易となる。
【００１６】
特に、両側のホルダーに対してそれぞれマスターをピン等の従来の位置決め方法で粗調整を行ってから、相対的な位相を回転させて中心位置を合わせるようにすることで、容易にマスターのセットが行える。
【００１７】
つまり、両ホルダーの回転中心のずれ量の設定・調整は設置時の１回でよいが、この両ホルダーに保持するマスターは所定回数の磁気転写後または塵埃付着等の異常が発生した際には交換されるものであって、この交換時の度に両ホルダー対する各マスターの位置調整を行わなければならず、煩雑で精度を要する作業であるが、本発明によれば簡易な方法で要求される同芯度となるように合わせることができるので、調整作業の簡略化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面に示す実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーの開状態を示す概略斜視図、図２は調整過程を示す説明図である。なお、図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【００１９】
図１に示す磁気転写装置の転写ホルダー１は、接離移動可能な縦型の片側ホルダー１１と他側ホルダー１２とを備え、片側ホルダー１１の内面に一方のマスター３を保持し、他側ホルダー１２の内面に他方のマスター４を保持している。両側ホルダー１１，１２の接近により、両者間にスレーブ媒体２の両面に両側のマスター３，４を密着させる。
【００２０】
なお、図示していないが、磁気転写装置は、例えば、転写ホルダー１の片側ホルダー１１と他側ホルダー１２とで密閉された内部空間を形成し、この内部空間のエアーを真空吸引し内部を減圧状態として密着力を得る真空吸引手段と、転写ホルダー１を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置とを備える。また、スレーブ媒体２とマスター３，４との密着は、接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙密着させることの何れかを指すものとする。
【００２１】
スレーブ媒体２は円盤状で所定径の中心孔２ａが開口され、両面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。また、マスター３，４は円盤状ディスクに形成され、所定径の中心孔３ａ，４ａが開口され、この中心孔３ａ，４ａの内径は、上記スレーブ媒体２の中心孔２ａの内径と略同一に設定されている。このマスター３，４は、基板上に形成された微細凹凸パターンに軟磁性体が被覆されてなる転写パターン（不図示）を同心円状に有する。なお、以降の説明では、マスター３，４に形成されている転写パターンの中心は、マスター３，４と実質的に一致しているものとして説明する。実際にはマスターは原盤より複製されるため、転写パターンの中心とマスターの基板の外径もしくは内径とは位置ずれがあるが、マスターの形状中心と転写パターンの中心とは同義語とする。
【００２２】
前記片側ホルダー１１および他側ホルダー１２は円盤状で、マスター３，４の外径より大きい円形状の内面１１ａ，１２ａを備え、この内面１１ａ，１２ａにそれぞれマスター３，４を両ホルダー１１，１２の中心に対してマスター３，４の中心（転写パターンの中心位置）を所定の位置決め精度で保持する。また、両ホルダー１１，１２の背面にはそれぞれ支持軸１１ｂ，１２ｂを備え、独立して回転操作可能に保持されている。
【００２３】
なお、上記両ホルダー１１，１２内面へのマスター３，４の保持は、両ホルダー１１，１２の内面１１ａ，１２ａに多数のエアー吸引孔（不図示）がほぼ均等に開口され、マスター３，４を吸引保持することなどにより行われる。
【００２４】
前記片側ホルダー１１および他側ホルダー１２は一方または両方が軸方向に移動して開閉可能に設けられ、この片側ホルダー１１および他側ホルダー１２は図示しない回転機構に連係されて一体に回転駆動されるとともに、両ホルダー１１，１２間の相対的な位相が可変となっている。
【００２５】
つまり、片側ホルダー１１および他側ホルダー１２は前記支持軸１１ｂ，１２ｂを中心として独立して回転することによって、その相対的な位相が可変である。この相対的な位相を変化させることで、両側のマスター３，４の相対位置すなわち中心位置をさらに合致する方向に修正するものである。
【００２６】
上記転写ホルダー１による両側のマスター３，４の中心位置の調整過程は、図２に示すように行う。まず、上記のように片側ホルダー１１および他側ホルダー１２の内面１１ａ，１２ａにそれぞれマスター３，４を各ホルダー１１，１２の中心に対してマスター３，４の中心（転写パターンの中心位置）を所定の位置決め精度で、図２(ａ)のように保持した後、この保持したマスター３，４の中心位置を求める。例えば図示の場合は、各ホルダー１１，１２の中心位置に対して、マスター３，４の中心（転写パターンの中心）が最も偏心している矢印位置αとβを例えば画像検知装置によって求める。そして、図２(ｂ)のように両ホルダー１１，１２における上記矢印位置αとβとが同じ位相位置となるように、片側ホルダー１１および他側ホルダー１２の一方または両方を回転させて、両側のマスター３，４の中心位置のずれ量を、図２(ａ)の状態からさらに低減して必要な同芯度を得るようにしている。
【００２７】
また、片側ホルダー１１および他側ホルダー１２は、両者の回転中心Ｏ1，Ｏ2が所定量ずれているように設定されている。これにより同芯度の調整範囲が拡大できる。これを図３〜図５により説明する。
【００２８】
図３(ａ)は片側ホルダー１１の回転中心Ｏ1と他側ホルダー１２の回転中心Ｏ2との中心ずれ量をｄに設定した場合であり、このずれ量ｄは両側のマスター３，４の転写パターンにおける許容同芯度（例えば３０μｍ）と同じに設定するのが良好である。
【００２９】
そして、片側ホルダー１１の中心Ｏ1と一方マスター３の中心３ｃとのずれ量がｄ1、他側ホルダー１２と他方マスター４の中心４ｃとのずれ量がｄ2である場合に、円Ｃ1は一方マスター３の中心３ｃの軌跡であり、円Ｃ2は他方マスター４の中心４ｃの軌跡である。
【００３０】
上記のときに、それらの位相関係で、両側のマスター３，４の中心３ｃ、４ｃが最も離れるのは、ｄ＋ｄ1＋ｄ2となる。一方、両ホルダー１１，１２の回転によって回転軌跡Ｃ1，Ｃ2が交差する黒丸点Ｐに両中心３ｃ，４ｃを合わせると、両側のマスター３，４の中心３ｃ、４ｃを一致させることが可能である。しかし、その位相位置を判別するのが煩雑である場合には、両ホルダー１１，１２の中心Ｏ1，Ｏ2を結ぶ線上に、マスター３，４の中心３ｃ，４ｃが位置するように、両側ホルダー１１，１２を回転させて位相を修正すると、両側のマスター３，４の中心３ｃ、４ｃのずれ量は、ｄmin ＝ｄ−｜ｄ1−ｄ2｜に調整できる。
【００３１】
前記片側ホルダー１１と他側ホルダー１２の回転中心Ｏ1，Ｏ2のずれ量ｄは、スレーブ媒体２に記録された両面それぞれの信号での許容同芯度と同じかそれ以下に設定することが、この許容同芯度以下にマスター３，４の中心３ｃ，４ｃのずれ量ｄmin を調整できる範囲が広がる点で好ましい。例えば、スレーブ媒体２に転写記録される信号に求められる同芯度は通常３０μｍ程度であるため、片側ホルダー１１と他側ホルダー１２の回転中心Ｏ1，Ｏ2のずれ量は５μｍ〜３０μｍであることが好ましい。特に上記の観点から２０μｍ〜３０μｍの範囲が好ましい。
【００３２】
これに対して、図３(ｂ)は両側ホルダー１１，１２の回転中心Ｏを一致させて位置ずれ量を理想的に０に設定した場合である。上記と同様に、片側ホルダー１１の中心Ｏと一方マスター３の中心３ｃとのずれ量がｄ1、他側ホルダー１２の中心Ｏと他方マスター４の中心４ｃとのずれ量がｄ2であるとしたとき、両中心３ｃ，４ｃの回転軌跡Ｃ1，Ｃ2において、両ホルダー１１，１２の中心線上に、両マスター３，４の中心３ｃ，４ｃが位置するように、両側ホルダー１１，１２を回転させて位相を修正すると、両側のマスター３，４の中心３ｃ、４ｃのずれ量は、Ｄmin＝｜ｄ1−ｄ2｜に調整できる。
【００３３】
そして、上記点より、両側のマスター３，４の同芯度すなわち中心３ｃ，４ｃのずれ量ｄminまたはＤminを前述の許容同芯度ｄ（例えば３０μｍ）以下に調整することが可能な、片側ホルダー１１の中心Ｏ1と一方マスター３の中心３ｃとのずれ量ｄ1と、他側ホルダー１２と他方マスター４の中心４ｃとのずれ量ｄ2の関係は、図４のような範囲となる。
【００３４】
図４(ａ)が両ホルダー１１，１２の中心をｄだけずらしている場合で、図５(ｂ)が両ホルダー１１，１２の中心を一致させている場合で、両ホルダー１１，１２の中心をｄだけずらしていることにより調整可能範囲が広く（Ａ＞Ｂ）なって、マスター３，４の位置調整が簡易に行える。
【００３５】
つまり、図４(ａ)では、前述のように、両ホルダー１１，１２の中心がｄだけずれていることで、両側のマスター３，４の中心３ｃ、４ｃのずれ量はｄmin ＝ｄ−｜ｄ1−ｄ2｜に調整でき、｜ｄ1−ｄ2｜が２ｄの大きさのずれ範囲Ａまで、許容同芯度ｄ以下に調整可能である。一方、図４(ｂ)では、前述のように、両ホルダー１１，１２の中心が一致していることで、両側のマスター３，４の中心３ｃ、４ｃのずれ量はＤmin ＝｜ｄ1−ｄ2｜に調整でき、｜ｄ1−ｄ2｜が１ｄの大きさのずれ範囲Ｂで、許容同芯度ｄ以下に調整可能であり、許容範囲が狭くなっている。
【００３６】
前述の両ホルダー１１，１２の回転中心Ｏ1，Ｏ2を完全に一致させるか、または許容同芯度ｄに一致させることは困難であり、現実的にはその範囲における回転中心Ｏ1，Ｏ2のずれ量の大きさに応じて図４(ｂ)の範囲Ｂから図４(ａ)の範囲Ａに調整範囲が拡大する。また、実際の処理としては、両ホルダー１１，１２の回転中心Ｏ1，Ｏ2のずれ量を求め、それに対応してｄmin ＝ｄ−｜ｄ1−ｄ2｜の調整可能範囲を設定し、この両ホルダー１１，１２に保持されたマスター３，４の中心を求め、その位置を両ホルダー１１，１２の回転中心に対応する図３(ａ)の位相となるように、マスタ３，４すなわち両ホルダー１１，１２の回転位置をそれぞれ調整するものである。
【００３７】
上記片側ホルダー１１および他側ホルダー１２の位相調整は、図５に示すようなフローチャートの手順によって行う。
【００３８】
まず、各ホルダー１１，１２に保持したマスター３，４の中心のずれ量を検出する。このずれ量の検出は、各マスター３，４（転写パターン）の中心位置を求め、各ホルダー１１，１２の中心位置に対する距離および基準位相に対する角度を求めるものである。その検出は、画像処理センサーなどの検出器（不図示）を用い、マスター３，４上の転写パターンまたは基準マークを複数点測定し、その情報より中心位置を算出することで行える。
【００３９】
次に、検出した上記ずれ量より、両側のマスター３，４の中心位置の関係が、両者のずれ量が最小ｄminとなる両ホルダー１１，１２の回転角度を計算する。そして、これに基づいて両側ホルダー１１，１２を回転作動し、位相角度を合わせる。位相角度を調整した後、再度両側のマスター３，４の中心位置のずれ量を検出し、所定範囲内となるまでこれを繰り返し、両マスター３，４の中心間のずれ量が許容範囲内にあることを確認して位相調整処理を完了するものである。
【００４０】
これらのずれ検出・回転調整は、磁気転写装置内に限らず、装置より転写ホルダー１を外して外段取りで最適化を行ってもよい。またはマスター３，４の中心位置の検出のみを外段取りで行い、位相の最適化を磁気転写装置内で行うようにしてもよい。
【００４１】
前述のようなマスター３，４の位置調整において、両側ホルダー１１，１２に対するマスター３，４の初期位置決めは、マスター３，４の中心孔３ａ，４ａに位置決めピンを係合するなどの従来の位置決め方法で粗調整を行ってから、両側ホルダー１１，１２の相対的な位相を回転させて中心位置を合わせるようにするのが好ましい。
【００４２】
そして、前述のように、両ホルダー１１，１２の回転中心のずれ量をｄに設定した場合、ホルダー中心Ｏ1，Ｏ2に対するマスター３，４の位置決め精度がそれぞれ２ｄ以下になるように粗調整がしてあれば、両ホルダー１１，１２の相対的な位相を変化させることで、両マスター３，４の同芯度をｄ以下にすることができる。
【００４３】
なお、前記マスター３，４の中心位置のずれ量の測定手段としては、画像センサやレーザー変位計などの検出器を用いて直接マスター３，４の位置を測定してもよいし、磁気転写されたスレーブ媒体２に転写記録された磁気情報の位置を測定してもよい。
【００４４】
次に、図６は転写ホルダー１の他の実施形態を示し、ロック機構２０を備えている。このロック機構２０は、片側ホルダー１１上に例えば３０度刻みで設けたピン受け穴２１と、他方のホルダー１２にはこのピン受け穴２１に係合するロックピン２２とを備え、前述のように両側マスター３，４の中心位置が最適化できる位相に最も近い角度の係合位置で、両ホルダー１１，１２を接近させてロックピン２２をピン受け穴２１に係合する。
【００４５】
これにより、片側ホルダー１１と他側ホルダー１２とが一体に回転し、固定した位相がずれることがないようにする。そして、磁気転写装置内での磁気転写動作中に片側ホルダー１１と他側ホルダー１２の位相ずれが発生する原因となる不用意な回転を防止する回転ロックが行える。
【００４６】
なお、両側ホルダー１１，１２の回転中心が前述のずれ量ｄだけずれていても、このずれ量は例えば最大３０μｍ程度と微小であって、磁気転写時に両ホルダー１１，１２を接近密着させて一体に回転させる際のホルダー回転に支障をきたすことはない。
【００４７】
本実施形態によれば、片側ホルダー１１と他側ホルダー２との中心位置をずらし、両ホルダー１１，１２に保持したマスター３，４の中心位置のずれ量を、両ホルダー１１，１２を回転させて相対的な位相を変化させることで、両マスター３，４上の各転写パターンの相対位置を修正し、各ホルダー１１，１２へのマスター３，４の設置精度の要求が低くでき、交換作業が効率よく行える。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーの開状態を示す断面図
【図２】マスターの中心位置の調整過程を示す説明図
【図３】両側のホルダーの中心位置をずらした際のマスターの中心位置の調整原理を示す説明図
【図４】両側のホルダーの中心位置をずらしたときと一致させたときとの調整可能範囲を示す図
【図５】マスターの中心位置の調整手順を示すフローチャート
【図６】他の実施形態にかかる磁気転写装置の転写ホルダーの開状態を示す断面図
【符号の説明】
【００４９】
１    転写ホルダー
２    スレーブ媒体
2a    中心孔
３，４    マスター
3a，4a    中心孔
3c，4c    中心位置
11    片側ホルダー
12    他側ホルダー
11a,12a   内面
11b,12b   支持軸
20    ロック機構
Ｏ    ホルダー中心
ｄ    ずれ量
【図１】
2005166196.tif 000003
【図２】
2005166196.tif 000004
【図３】
2005166196.tif 000005
【図４】
2005166196.tif 000006
【図５】
2005166196.tif 000007
【図６】
2005166196.tif 000008