(57)【要約】【課題】外部配管を少なくでき、必要に応じて拡張が容易なガス通路を備えることによりコストパフォーマンスを高めた保管庫を提供する。【解決手段】  シリコンウエハを収納したウエハ収納ケースを複数載置可能な載置面６ｆと、載置された状態の前記ウエハ収納ケースの内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給用通路と、前記ウエハ収納ケースの内部雰囲気を排気するガス排気用通路と、を備える。前記載置面６ｆの構成部材６を支持する部材２ｘ，２ｙにはアルミニウム押出し材が使用されている。前記不活性ガス供給用通路及び／又は前記ガス排気用通路の少なくとも一部は、前記アルミニウム押出し材の押出し成形時に内部に形成された少なくとも１つの連通穴１２からなる。【選択図】図３
2005166952.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンウエハを収納したウエハ収納ケースを複数載置可能な載置面と、
載置された状態の前記ウエハ収納ケースの内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給用通路と、
前記ウエハ収納ケースの内部雰囲気を排気するガス排気用通路と、を備えた保管庫であって、
前記載置面の構成部材を支持する部材の少なくとも一部にアルミニウム押出し材が使用されており、
前記不活性ガス供給用通路及び／又は前記ガス排気用通路の少なくとも一部は、前記アルミニウム押出し材の長手方向に形成された少なくとも１つの連通穴からなることを特徴とする保管庫。
【請求項２】
前記連通穴は、前記アルミニウム押出し材の押出し成形時に同時に形成されることを特徴とする請求項１に記載の保管庫。
【請求項３】
前記連通穴は前記アルミニウム押出し材の内部に互いに独立して複数形成され、そのうちの少なくとも一つの連通穴は前記不活性ガス供給用通路の少なくとも一部をなし、残りの少なくとも一つの連通穴は前記ガス排気用通路の少なくとも一部をなすことを特徴とする請求項１又は２に記載の保管庫。
【請求項４】
前記アルミニウム押出し材は、前記連通穴の方向から別方向に伸びて当該連通穴と当該アルミニウム押出し材の外部とを連通する少なくとも１つの接続穴を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の保管庫。
【請求項５】
前記アルミニウム押出し材は他のアルミニウム押出し材と気密性のある中空の継ぎ手手段により連結されるように構成し、それぞれの前記アルミニウム押出し材の前記連通穴同士が前記継ぎ手手段を介して連通されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の保管庫。
【請求項６】
前記アルミニウム押出し材は、前記連通穴の方向から別方向に伸びて当該連通穴と当該アルミニウム押出し材の外部とを連通する少なくとも１つの接続穴を有し、
前記継ぎ手手段の一端は一方の前記アルミニウム押出し材の前記連通穴に連結され、他端は他方のアルミニウム押出し材の前記接続穴に連結されていることを特徴とする請求項５に記載の保管庫。
【請求項７】
複数の前記アルミニウム押出し材が前記継ぎ手手段によって連結されながら縦横に組まれていることを特徴とする請求項６に記載の保管庫。
【請求項８】
前記不活性ガス供給用通路及び／又は前記ガス排気用通路は開閉手段に連結されており、この開閉手段は前記ウエハ収納ケースが前記載置面に載置されるとその自重により開き、これによって前記ウエハ収納ケース内の給気及び／又は排気が行われることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の保管庫。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体部品生産工場の生産設備分野で使用される保管庫に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体プロセスにおける製造工程において、シリコンウエハ（以下、ウエハ）の保管時に、ウエハが酸化するという問題がある。具体的には、ウエハが大気に晒されるなどした場合、空気中の酸素、水分などがシリコン単結晶表面に吸着して、シリコン単結晶表面が徐々に酸化することで自然酸化膜が形成される。この自然酸化膜は時間と共に成長し、ウエハの歩留まりの低下等の問題を引き起こす。自然酸化膜の発生防止策として汎用的に用いられる手段は、ウエハの保管雰囲気を不活性ガス雰囲気とすることである。
【０００３】
特許文献１には、自然酸化膜の発生防止策として、ウエハが収納されたウエハ収納ケースがバッファカセット収納庫（バッファカセット庫）に載置されると、まず、ウエハ収納ケースからウエハカセットが引き出されて、ウエハカセット内のウエハは閉塞空間内のポートへ移載され、ウエハは閉塞空間内で高い洗浄度に維持された後に、成膜等の処理が施され、一方、空のウエハカセットは元のウエハ収納ケースに装入され、ウエハ収納ケース内部に不活性ガスが供給され、更に排気され続けることで、ウエハの処理が終わり、再びウエハがウエハカセットに移載されるまで、ウエハカセットの酸化を防止する発明が開示されている。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−１４４７６６号公報
【０００５】
特許文献２には、ウエハが収納された収納容器（ウエハ収納ケース）を保管庫にて保管する際に、収納容器に設けられた受入側コネクタと、保管庫に設けられた供給側コネクタを連結することにより、窒素ガスが収納容器内に供給され、収納容器に設けられた空気排出孔から内部空気が排出されることで、収納容器内を窒素ガス雰囲気とした後、後工程が行われるまでの間は、ウエハを窒素ガス雰囲気の状態で保管する発明が開示されている。なお、特許文献２の収納容器の空気排出孔に排気コネクタを連結して、これを真空ポンプで吸引することで排気を行う構成とすることも考えられる。
【０００６】
【特許文献２】特開平２００１−３３８９７１号公報
【０００７】
しかしながら上記特許文献２の構成では、多数のウエハ収納ケースが載置される保管庫においては前記供給側コネクタ及び排気コネクタを多数設けなければならず、また、それら多数の供給側コネクタと不活性ガス供給源（あるいは、多数の排気コネクタと排気のための真空ポンプ）を接続するガス通路の構成が、分岐の多い複雑なものとなってしまう。従って、敷設される配管の数は膨大となり、配管部材のコスト、配管敷設作業工数、配管スペースの確保など、コスト面、スペース面で負担が大きいという問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記問題を鑑みなされたものであって、その目的とするところは、外部配管を少なくでき、必要に応じて拡張が容易なガス通路を備えることによりコストパフォーマンスを高めた保管庫を提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００９】
本発明の保管庫は、シリコンウエハを収納したウエハ収納ケースを複数載置可能な載置面と、載置された状態の前記ウエハ収納ケースの内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給用通路と、前記ウエハ収納ケースの内部雰囲気を排気するガス排気用通路と、を備えた保管庫であって、前記載置面の構成部材を支持する部材の少なくとも一部にアルミニウム押出し材が使用されており、前記不活性ガス供給用通路及び／又は前記ガス排気用通路の少なくとも一部は、前記アルミニウム押出し材の長手方向に形成された少なくとも１つの連通穴からなることを特徴とする。
【００１０】
本発明によると、アルミニウム押出し材に内設された少なくとも１つの連通穴が不活性ガス供給用通路及び／又はガス排気用通路の少なくとも一部を構成するため、その分だけ外部配管を削減できる。従って、コンパクトなスペースにガス通路を収めることができ、また、ガス通路敷設のための工数やコストを削減できる。また、アルミニウムは気密性の高い金属であるため、ガス漏れの少ないガス通路を構築できる。
【００１１】
本発明においては、前記連通穴は、前記アルミニウム押出し材の押出し成形時に同時に形成されることが好ましい。
これによると、連通穴をアルミニウム押出し材に後加工で形成する必要がなくなるので、保管庫の製造コストと工数を一層削減できる。
【００１２】
本発明においては、前記連通穴は前記アルミニウム押出し材の内部に互いに独立して複数形成され、そのうちの少なくとも一つの連通穴は前記不活性ガス供給用通路の少なくとも一部をなし、残りの少なくとも一つの連通穴は前記ガス排気用通路の少なくとも一部をなすことが好ましい。
これによると、アルミニウム押出し材の内部にガス供給用通路と排気用通路の両方を構成できるため、外部配管を一層削減できる。また、複数の連通穴は互いに独立して形成されているから、アルミニウム押出し材の内部で不活性ガスと排気ガスが混合しないことが確保される。
【００１３】
本発明においては、前記アルミニウム押出し材は、前記連通穴の方向から別方向に伸びて当該連通穴と当該アルミニウム押出し材の外部とを連通する少なくとも１つの接続穴を有することが好ましい。
これによると、接続穴を介してガス通路の分岐が容易に行える。従って、多数のウエハ収納ケースに対しそれぞれ給気及び／又は排気を行うためのガス通路も、容易に構築することができる。
【００１４】
本発明においては、前記アルミニウム押出し材は他のアルミニウム押出し材と気密性のある中空の継ぎ手手段により連結されるように構成し、それぞれの前記アルミニウム押出し材の前記連通穴同士が前記継ぎ手手段を介して連通されていることが好ましい。
これによると、気密性のある中空の継ぎ手手段でアルミニウム押出し材の連通穴同士を連通させて連結できるため、アルミニウム押出し材の構築と同時にガス通路を簡単に構築できる。また、アルミニウム押出し材の連結する組み合わせや個数等を変更することで、保管庫の構成の拡張・縮小も容易に行え、それと同時にガス通路の拡張・縮小も行うことができる。
【００１５】
本発明においては、前記アルミニウム押出し材は、前記連通穴の方向から別方向に伸びて当該連通穴と当該アルミニウム押出し材の外部とを連通する少なくとも１つの接続穴を有し、前記継ぎ手手段の一端は一方のアルミニウム押出し材の前記連通穴に連結され、他端は他方のアルミニウム押出し材の前記接続穴に連結されていることが好ましい。
これによると、連通穴と接続穴とを相互に接続することで、分岐の多い複雑なガス通路を容易に構築することができる。
【００１６】
本発明においては、複数の前記アルミニウム押出し材が前記継ぎ手手段によって連結されながら縦横に組まれていることが好ましい。
これによると、縦横にアルミニウム押出し材を組むことで保管庫の骨組を容易に構築できる。また、骨組を構築するだけで、ガス通路を縦横に構築することができる。
【００１７】
本発明においては、前記不活性ガス供給用通路及び／又は前記ガス排気用通路は開閉手段に連結されており、この開閉手段は前記ウエハ収納ケースが前記載置面に載置されるとその自重により開き、これによって前記ウエハ収納ケース内の給気及び／又は排気が行われることが好ましい。
これによると、ウエハ収納ケースを載置するだけで開閉手段が開いて自動で給気及び／又は排気が行われるため、特別な構成の必要なく、給気及び／又は排気を制御することができる。また、載置されたウエハ収納ケースのみに給気及び／又は排気を行うため、不活性ガスが無駄になることを防止でき、あるいは能力の小さい排気用ポンプでも効率よく排気することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照しつつ、本発明に係る保管庫の実施形態例について説明する。
【００１９】
本発明の一実施形態に係る保管庫の構成を図１〜図４に基づいて説明する。
図１において、保管庫１００は、複数本の縦材２ｙ及び横材２ｘ（骨材）を骨組状に組み合わせて形成され、ウエハ収納ケース１を多数並べて載置可能な複数段の棚３を備えている。上記縦材２ｙ及び横材２ｘはアルミニウム押出し材で構成されており、いわゆるアルミプロファイルを構成している。４は不活性ガス供給用配管であり、５はガス排気用配管である。９はウエハ収納ケース１を棚３に移載するスタッカロボットである。これらによって保管庫１００が構成される。なお、本実施形態では不活性ガスとして窒素ガスを使用している。また、ウエハ収納ケース１は、内部に図示しないウエハを収納した直方体の密閉容器である。
【００２０】
断面図としての図２（ａ）又は図２（ｂ）に示すように、前記縦材２ｙ及び横材２ｘには、内部に少なくとも１つの連通穴１２が長手方向に渡って内設されている。なお、図２（ａ）には１つ、図２（ｂ）には２つの連通穴を形成した例が示されている。
この連通穴１２は、縦材２ｙや横材２ｘを押出し成形する際に同時に形成される。即ち、押出し成形する際に流動状のアルミニウムを通過させる型の断面穴を、図２（ａ）や図２（ｂ）のような断面、即ち前記連通穴１２の輪郭を有する断面穴とすることで、連通穴１２を最初から有する縦材２ｙ及び横材２ｘを成形している。
そして、この連通穴１２が、不活性ガス供給用通路又はガス排気用通路の一部となる。本実施形態では図２（ｂ）のように連通穴１２ａ，１２ｂが内設されているので、連通穴１２ａを不活性ガス供給用通路の一部とし、連通穴１２ｂをガス排気用通路の一部とすることができる。なお、連通穴１２ａ，１２ｂを給気用通路，排気用通路のいずれに使うかは任意であることはいうまでもない。また、縦材２ｙ及び横材２ｘの断面形状は、図２（ａ）や図２（ｂ）に示すものに限定されない。
【００２１】
保管庫１００の棚３の部分において横設される前記横材２ｘには、図３に示すように、連通穴１２ａ，１２ｂに略直角に接続する接続穴１３ａ，１３ｂが穿孔されている。この接続穴１３ａ，１３ｂはドリル加工により形成され、前記横材２ｘの外面にそれぞれ開口を形成している。そして、後述するパージユニット６に設けられた給気側接続パイプ１０ａが接続穴１３ａに接続され、排気側接続パイプ１１ａが接続穴１３ｂに接続される。
【００２２】
パージユニット６は直方体をしており、棚３におけるウエハ収納ケース１の載置箇所に一つずつ設けられている。それぞれのパージユニット６の上面には、ウエハ収納ケース１を載置可能な載置面６ｆが構成される。また、パージユニット６は給気ノズル１０ｂと排気ノズル１１ｂを備えている。パージユニット６は固定用ブラケット１９により横材２ｘに固定される。前記給気ノズル１０ｂ及び排気ノズル１１ｂは、パージユニット６の上面（前記載置面６ｆ）からわずかに突き出ている。
【００２３】
パージユニット６の側面から前記給気側接続パイプ１０ａ及び排気側接続パイプ１１ａが延びており、これら接続パイプ１０ａ，１１ａは前記横材２ｘ側の接続穴１３ａ，１３ｂにそれぞれ接続される。給気側接続パイプ１０ａは給気ノズル１０ｂに、排気側接続パイプ１１ａは排気ノズル１１ｂに、それぞれ内部管１０，１１を介して連通される。
【００２４】
図示しないが、ウエハ収納ケース１が載置される載置面６ｆの真下の位置、つまりパージユニット６の内部には、ウエハ収納ケース１の自重により開く開閉手段である供給弁と排気弁が設けられる。ウエハ収納ケース１の自重により供給弁と排気弁が開くように構成するには、例えば図示しない接触子を前記載置面６ｆから突出させるようにして上下移動自在に支持し、当該接触子を上方へバネ付勢するとともに、この接触子を供給弁及び排気弁の弁体に連動させる構成とすれば良い。
【００２５】
ウエハ収納ケース１の底面側にも、図示しない連通路開閉弁が設けられている。この連通路開閉弁は、後述するパージユニット６の載置面６ｆ上に載置されることで、前記給気ノズル１０ｂと排気ノズル１１ｂに押されて開くバネ構造となっている。なお、この連通路開閉弁は、パージユニット６に載置されない時にはバネの力により閉まっており、これによってウエハ収納ケース１の密閉が維持されることはいうまでもない。前記連通路開閉弁を通じて、パージユニット６側の給気ノズル１０ｂと排気ノズル１１ｂはウエハ収納ケース１の内部に連通する。なお、ウエハ収納ケース１の形状は直方体に限定されるものではない。また、連通路開閉弁はバネ構造に限られない。
【００２６】
図４に、前記保管庫１００における縦材２ｙと横材２ｘとの連結の様子を示す。この図に示すように、縦材２ｙと横材２ｘは継ぎ手（継ぎ手手段）１６によって連結される。この継ぎ手１６は中央部が太く両端が細い筒状に構成される。よって、継ぎ手１６の一端を縦材２ｙの前記接続穴１３に、他端を横材２ｘの前記連通穴１２に、それぞれ差し込むことで、縦材２ｙと横材２ｘとを継ぎ手１６で連結することができる。なお、この連結と同時に、縦材２ｙ側の連通穴１２と横材２ｘ側の連通穴１２は、縦材２ｙの接続穴１３、及び、前記継ぎ手１６の内部空間を介して、相互に連通される。
なお、前記継ぎ手１６は、外力により弾性変形又は塑性変形しやすいプラスチック、アルミニウム、銅等で形成され、接続穴に挿入される部分にわずかなテーパが設けられている。従って、前記継ぎ手１６の両端の細い部分は、前記連通穴１２又は接続穴１３に挿入される際に、テーパ部分が若干変形して前記連通穴１２又は接続穴１３の内周面に密着する。従って、縦材２ｙと横材２ｘの連結部分の気密性が保持され、当該連結部分からのガス漏れが回避される。
このように縦材２ｙと横材２ｘとを継ぎ手１６を用いて結合しながら組み合わせて枠組み状に適宜構築することで、図１に示すような保管庫１００の収納部分が形成される。
【００２７】
また、図３に示すように、使用されない接続穴１３はブランクストッパ１５で閉栓し、連通穴１２の端部１８は端部ストッパ１４で閉栓すると良い。ブランクストッパ１５及び端部ストッパ１４で閉栓することで、ガスの通路の気密性を高めることができる。
【００２８】
不活性ガス供給用配管４の一端は、図１に示すように最下段の前記横材２ｘに接続して、当該横材２ｘの前記連通穴１２ａ（図１では図示せず）に接続している。この最下段の横材２ｘの連通穴１２ａに供給された不活性ガスは、立設されている縦材２ｙの連通穴１２ａ等を介して、各段の横材２ｘの前記連通穴１２ａへ分配される。これにより、連通穴１２ａは、前記不活性ガス供給用配管４や前記パージユニット６における内部管１０（図３参照）とともに、不活性ガス供給用通路の一部をなす。不活性ガス供給用配管４の他端は、図示しない単一の不活性ガス供給源に接続している。
【００２９】
ガス排気用配管５の一端も、図１に示すように最下段の前記横材２ｘに接続して、当該横材２ｘの前記連通穴１２ｂ（図１では図示せず）に接続している。この最下段の横材２ｘの連通穴１２ｂは、前記縦材２ｙの連通穴１２ｂ等を介して、各段の横材２ｘの連通穴１２ｂと連通している。これにより、連通穴１２ｂは、前記ガス排気用配管５や前記パージユニット６における内部管１１（図３参照）とともに、ガス排気用通路の一部をなす。ガス排気用配管５の他端は、図示しない単一のバキューム源（例えば真空ポンプ）に接続している。
【００３０】
スタッカロボット９は、図１において図示されない入出用ポートから搬送されてきたウエハ収納ケース１を棚３の所定場所に搬送・載置する。
【００３１】
次に、前記の実施形態に係る保管庫１００の作動について図１，図３を用いて説明する。
【００３２】
図１において、ウエハを収納したウエハ収納ケース１が自動又は手動により図示しない入出用ポートに載置される。スタッカロボット９は入出用ポートのウエハ収納ケース１を棚３の所定場所に搬送し、載置する。
【００３３】
図３において、ウエハ収納ケース１がパージユニット６の載置面６ｆ上に載置される時に、前述のノズル１０ｂ，１１ｂが、ウエハ収納ケース１の底面に設けられた図示しない２つの連通路開閉弁に夫々接続されるとともに、その連通路開閉弁が開く。また、ウエハ収納ケース１の自重によって前記接触子が押し下げられるので、パージユニット６の内部の供給弁と排気弁（開閉手段）も開く。従って、棚３の外部の図示しない不活性ガス供給源から不活性ガス供給用配管４を通じて供給されて来た不活性ガス（窒素ガス）は、前記横材２ｘや縦材２ｙに内設された連通穴１２ａ、接続穴１３ａを通ってパージユニット６へ流れ、このパージユニット６の給気ノズル１０ｂを介してウエハ収納ケース１内に給気される。
【００３４】
一方、ウエハ収納ケース１の内部雰囲気は、保管庫１００の外部に設置された図示しないバキューム源により、パージユニット６の排気ノズル１１ｂを介して接続穴１３ｂ、連通穴１２ｂへ流れ、ガス排気用配管５から外部へと排出される。これにより、図示しないウエハ表面に吸着された酸素、水分や、ウエハを収納した図示しないカセット、及びカセットを収納したウエハ収納ケース１の内面・内部から放出される酸素、水分等が不活性ガスと共に排気される。
【００３５】
給気と排気はウエハ収納ケース１が前記載置面６ｆ上に載置される間中続けられ、ウエハ収納ケース１が前記スタッカロボット９により持ち上げられて載置面６ｆから離れると、パージユニット６内の供給弁及び排気弁が閉じ、給気と排気が止まる。
【００３６】
これにより、不活性ガスの供給とバキュームによる排気を常時行っても、ウエハ収納ケース１が載置されないパージユニット６では、供給弁及び排気弁は閉じたままなので給気と排気の動作は行われず、ウエハ収納ケース１が載置された場所では、密閉空間であるウエハ収納ケース１内で自動で給気と排気が行われる。即ち、簡単な構成で、それぞれのパージユニット６の給気・排気及びその停止を、ウエハ収納ケース１の載置の有無によって切り換えることができる。また、ウエハ収納ケース１が載置されないパージユニット６では給気・排気が行われないので、不活性ガスが無駄になることもなく、また、排気のためのポンプ（真空ポンプ等）に高い能力が要求されない。
なお、供給弁及び排気弁はウエハ収納ケース１の自重により開くものに限られず、ウエハ収納ケース１の有無を検出する例えば光センサの信号に基づいて開閉制御される電磁弁であっても良い。
【００３７】
本実施形態の保管庫１００は以上に説明したように、前記載置面６ｆの構成部材（パージユニット６）を支持する部材（縦材２ｙや横材２ｘ）にアルミニウム押出し材が使用されている（図３）。また、前記不活性ガス供給用通路の一部は、その縦材２ｙや横材２ｘに長手方向に形成された連通穴１２ａからなる。また、前記ガス排気用通路の一部は、その縦材２ｙや横材２ｘに長手方向に形成された連通穴１２ｂからなる。
従って、前記連通穴１２ａ，１２ｂが不活性ガス供給用通路とガス排気用通路の一部を構成するので、コンパクトなスペースにガス通路を収めることができる。また、連通穴１２ａ，１２ｂがガス通路として機能する分だけ外部配管を削減することができる。本実施形態では図１に示すように、外部配管は不活性ガス供給用配管４とガス排気用配管５だけとなっている。従って、ガス通路の敷設のための工数やコストを削減できる。また、アルミニウムは気密性の高い金属であるので、ガス漏れの少ないガス通路を構築できる。
【００３８】
また、前記連通穴１２は、前記縦材２ｙや横材２ｘの押出し成形時に同時に形成されたものである。
従って、連通穴１２を縦材２ｙや横材２ｘに後加工（例えば、ドリル加工）で形成する必要がない。従って、保管庫１００の製造コストと工数を一層削減できる。また、ドリル加工では形成するのが困難な長い連通穴１２を、押出し成形で容易に形成することができる。
【００３９】
また、図２（ｂ）や図３に示すように、前記連通穴１２ａ，１２ｂは互いに独立して二つ形成され、そのうちの一つの連通穴１２ａは不活性ガス供給用通路の一部をなす。また、残りの連通穴１２ｂはガス排気用通路の一部をなしている。
従って、アルミニウム押出し材（縦材２ｙ及び横材２ｘ）の内部にガス供給用通路とガス排気用通路の両方を構成できるため、外部配管を一層削減できる。また、複数の連通穴１２ａ，１２ｂは互いに独立しているから、縦材２ｙあるいは横材２ｘの内部で不活性ガスと排気ガスとが混合するのを防止できる。
【００４０】
また、前記縦材２ｙ（横材２ｘ）には接続穴１３が形成されている。そしてこの接続穴１３は、前記連通穴１２の方向にほぼ直角をなす方向（別方向）に伸びており、前記連通穴１２と縦材２ｙ（横材２ｘ）の外部とを連通している。
従って、接続穴１３を介してガス通路の分岐を容易に行うことができ、多数のウエハ収納ケース１に対しそれぞれ給気・排気を行うためのガス通路も、容易に構築することができる。
【００４１】
また、図４に示すように、前記縦材２ｙは、横材２ｘと、気密性のある中空の継ぎ手１６により連結される。そして、縦材２ｙ及び横材２ｘの前記連通穴１２同士が、前記継ぎ手１６を介して連通されている。
従って、縦材２ｙと横材２ｘとを連結すると同時に連通穴１２同士を連通できる。即ち、縦材２ｙと横材２ｘとを組み合わせて骨組みを構築する際、それと同時にガス通路を簡単に構築できる。また、縦材２ｙや横材２ｘの連結する組み合わせや個数等を変更することで、保管庫１００の規模（ウエハ収納ケース１の収容能力）の拡張・縮小も容易に行え、それと同時にガス通路の拡張・縮小も行うことができるので、フレキシビリティに優れている。
【００４２】
また図４に示すように、前記継ぎ手１６の一端は横材２ｘの連通穴１２に連結され、他端は縦材２ｙの接続穴１３に連結される。
従って、連通穴１２と接続穴１３とを相互に接続することで、分岐や曲がりの多い複雑なガス通路を容易に構築することができる。
【００４３】
加えて図１に示すように、本実施形態の保管庫１００では、前記縦材２ｙと横材２ｘとが、前記継ぎ手１６によって連結されながら縦横に組まれている。
従って、縦横にアルミニウム押出し材を組むことで保管庫１００の骨組みを容易に構築できる。また、骨組みを構築するだけで、それと同時にガス通路を縦横に構築することができる。
【００４４】
更に、前記不活性ガス供給用通路は前記パージユニット６の内部の供給弁（図略）に連結されており、この供給弁はウエハ収納ケース１が前記載置面６ｆに載置されるとその自重により開き、これによって前記ウエハ収納ケース１内の給気を行う。また、前記ガス排気用通路は前記パージユニット６の排気弁（図略）に連結されており、この排気弁も前記供給弁と同様にウエハ収納ケース１の自重によって開き、ウエハ収納ケース１を排気する。
従って、ウエハ収納ケース１を載置面６ｆに載置するだけで給気弁・排気弁が開くので、センサ等の特別な構成の必要なく、給気・排気及びその停止を制御することができる。また、この制御により、ウエハ収納ケース１が載置された状態のパージユニット６のみが給気・排気を行う構成となっているので、不活性ガスが無駄になることを防止でき、あるいはバキュームのための真空ポンプも能力の小さい低コストなものを採用できる。
【００４５】
以上に本発明を好適な実施の形態に基づいて説明したが、本発明はその趣旨を超えない範囲において変更が可能であり、例えば以下のように変更することができる。
【００４６】
例えば図１に示すように、スタッカロボット９を挟んで奥側に一つの棚ユニットを設置し、手前側に一つの棚ユニットを設置し（点線で図示）、これら二つの棚ユニットを組み合わせて保管庫１００を形成するものであっても良い。それぞれの棚ユニットは、複数の前記載置面６ｆを備えるものとする。この場合、それぞれの棚ユニットに対して個別の不活性ガス供給源（あるいは排気のための真空ポンプ）を接続すれば良い。あるいは何れか一方の棚ユニットにのみ不活性ガス供給源（真空ポンプ）を接続するとともに、各ユニットのガス通路同士を、図略の配管等によって連結することもできる。なお、棚ユニットが相互に近接している場合には、それぞれの棚ユニットのガス通路同士を図４に示すような継ぎ手１６で接続することもできる。
この構成は、棚ユニット単位で拡張・縮小できるため、保管庫１００の大幅な拡張あるいは縮小にも容易に対応できる利点がある。
【００４７】
ウエハ収納ケース１を載置可能な載置面６ｆは、パージユニット６の上面に形成される構成に限られない。例えば、保管庫１００の各段において前記横材２ｘに固定される棚板の上面に前記載置面を複数形成する場合が考えられる。この場合は棚板が、「載置面の構成部材」に相当する。
【００４８】
載置面６ｆの構成部材（パージユニット６）は、横材２ｘに固定用ブラケット１９を介して支持されている構成に限定されない。例えば、前記パージユニット６をボルトで前記横材２ｘに直接固定しても良い。
【００４９】
ウエハ収納ケース１は、ウエハを直接収納できる構成であっても良いし、ウエハを収納したカセットを当該カセットごと収納できる構成であっても良い。
【００５０】
保管庫１００の骨組み（縦材２ｙ及び横材２ｘ）の全てにアルミニウム押出し材を用いなくても良い。即ち、一部のみにアルミニウム押出し材を用いても良い。また、アルミニウム押出し材は直立状（縦）や水平状（横）に設置される場合に限られない。例えば、前記連通穴１２が形成されたアルミニウム押出し材を筋交いとして用いても良い。
【００５１】
縦材２ｙと縦材２ｙを前記継ぎ手１６で連結することも、横材２ｘと横材２ｘを前記継ぎ手１６で連結することもできる。この場合は、継ぎ手１６の一端を一方の押出し材の連通穴１２に、他端を他方の押出し材の連通穴１２に、それぞれ挿入すれば良い。
【００５２】
縦材２ｙや横材２ｘは、他の縦材２ｙや横材２ｘに対し前記継ぎ手１６のみによって連結固定される構成に限られない。継ぎ手１６の他にボルト等の締結手段を用いて２つの押出し部材同士を強固に締結することもできる。
【００５３】
保管庫１００を構成する全ての縦材２ｙや横材２ｘに前記接続穴１３を形成する必要はない。複数あるうちの一部の縦材２ｙや横材２ｘに接続穴１３が形成される構成であっても良い。また、接続穴１３は、前記連通穴１２に対して略直角に接続する場合に限られず、斜めに接続するように構成しても良い。要は、接続穴１３の伸びる方向と連通穴１２の長手方向とが別方向であれば良い。
【００５４】
縦材２ｙ及び横材２ｘに形成される連通穴１２の形状は、図２（ａ）や図２（ｂ）に示す丸穴状とすることに限られず、任意の断面形状として良い。また、連通穴１２を３つ以上形成することもできる。
【００５５】
連通穴１２は不活性ガス供給用通路としてのみ用い、ガス排気用通路は別途外部配管で構築しても良い。あるいは、各ウエハ収納ケース１に排気穴を設け、ウエハ収納ケース１に不活性ガスを充填する際にその不活性ガスの圧力によって排気穴から排気するように構成すれば、ガス排気用通路を省略することができる。また逆に、連通穴１２をガス排気通路としてのみ用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一実施形態の保管庫を表した全体図である。
【図２】（ａ）は、保管庫に用いられるアルミニウム押出し材の一例を表した断面図であり、（ｂ）は、別の例を表した断面図である。
【図３】保管庫の要部を表した構成図である。
【図４】アルミニウム押出し材同士の連結を表した断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１    ウエハ収納ケース
２ｘ  縦材
２ｙ  横材
３    棚
４    不活性ガス供給用配管
５    ガス排気用配管
６    パージユニット
６ｆ  載置面
９    スタッカロボット
１０ｂ  給気ノズル
１１ｂ  排気ノズル
１２    連通穴
１３    接続穴
１４    端部ストッパ
１５    ブランクストッパ
１６    継ぎ手
１９    固定用ブラケット
【図１】
2005166952.tif 000003
【図２】
2005166952.tif 000004
【図３】
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【図４】
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