(57)【要約】【課題】都市ガスが未開栓の状況でも簡便な手法によって都市ガス検知機能の動作点検を行うことができるガス警報器を提供する。【解決手段】酸化錫からなる膜状ガス感応層２６を持ち、該膜状ガス感応層の温度を低温と高温とに周期的に切替設定するとともに、該膜状ガス感応層の電気抵抗値を検出し、その値によって警報発生を判断するガス警報器において、高温に保持されたときの膜状ガス感応層の電気抵抗値を検出することで都市ガスの検知を行う通常検知モードと、警報機能の動作点検を行う点検モードとを有し、該点検モードは、高温に保持されたときの膜状ガス感応層の電気抵抗値を検出するものであり、点検モードにおける高温切替後の電気抵抗値の検出時期を、通常検知モードにおける高温切替後の電気抵抗値の検出時期よりも短く設定する。【選択図】    図３
2005207896.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸化物半導体材料からなる膜状ガス感応層を持つガスセンサ部と、
前記膜状ガス感応層の温度を、第１温度とそれよりも高温の第２温度との少なくとも２つの異なる温度に周期的に切替設定する温度制御手段と、
前記膜状ガス感応層の電気抵抗値を検出する抵抗検出手段と、
該抵抗検出手段により検出した電気抵抗値によって警報発生を判断する判定手段と、を備えるガス警報器において、
前記温度制御手段によって前記第２温度に保持されたときの前記膜状ガス感応層の電気抵抗値を前記抵抗検出手段により検出することで炭化水素ガスの検知を行う通常検知モードと、警報機能の動作点検を行う点検モードとを有し、
該点検モードは、前記第２温度に保持されたときの前記膜状ガス感応層の電気抵抗値を検出するものであり、該点検モードにおける前記第２温度切替後の電気抵抗値の検出時期が、前記通常検知モードにおける前記第２温度切替後の電気抵抗値の検出時期よりも短く設定されたことを特徴とするガス警報器。
【請求項２】
前記ガスセンサ部は、薄膜状の支持膜の外周部または両端部をＳｉ基板により支持し、外周部または両端部が厚く中央部が薄く形成されたダイヤフラム様の支持基板上にヒータを形成し、該ヒータ上に電気絶縁層を介して前記膜状ガス感応層を形成してなるガスセンサ素子を備えたものである請求項１記載のガス警報器。
【請求項３】
前記点検モードにおける電気抵抗値の検出時期が、前記第２温度切替後５〜１５０ｍｓｅｃの範囲内で設定されたことを特徴とする請求項１又は2記載のガス警報器。
【請求項４】
前記膜状ガス感応層は、その内部もしくは表面にＰｔ及び／又はＰｄが添加されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガス警報器
【請求項５】
前記点検モードにおいて一酸化炭素ガスを検知することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のガス警報器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体の電気抵抗値の変化によってガスを検知するガス警報器に関連し、簡易な方法で点検を行うための点検モードを設けたガス警報器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般住宅等において、都市ガスの成分であるメタンなどの漏れを検出して警報を発するガス警報器が広く利用されている。このようなガス警報器は、通常設置する際に検知対象ガスをかけることで警報器の動作の点検を行う。例えば、都市ガス警報機能の動作点検は、ガスコンロなどで採取される都市ガスをスポイト形状の容器に採取し、これをガス警報器にかけることで行われている。しかし、ガス警報器を設置する住居の中には都市ガスの開栓がされていない場合もあり、このため作業員はライターを携帯しており、ガス警報器の動作点検の際には、ライターを着火させないときに発生する揮発ガス（ブタン）をスポイト形状の採取器により採取し、都市ガスの代用として用いている。
【０００３】
従来のガス警報器において、都市ガスとりわけメタンを検知するガスセンサ部では、アルコールなどのガスに対する誤報を抑制するため、活性炭フィルタ層を備えているが、この層はライターガス（ブタン）感度を抑制する作用を持つ。そのため、活性炭フィルタ層を介さずにライターガスがガスセンサ素子に到達するよう、点検孔という孔が設けられている。
【０００４】
図６は、かかる従来のガスセンサ部の構造を示したものであり、上面に開口部１０１を持つケース１０２内には、開口部１０１を覆うように活性炭フィルタ部１０３が設けられるとともに、その下方にガスセンサ素子１０４が配されており、更に、ケース１０２の壁面には、活性炭フィルタ部１０３を経ないでガスセンサ素子１０４にライターガスが到達できるように点検孔１０５が設けられている。
【０００５】
このようなガスセンサ部構造に使用されている従来のガスセンサ素子は、サイズが大きく被毒耐性があるため、上記のような点検孔を設けていても、センサ性能に対する影響は小さく、問題なく使用できた。
【０００６】
しかしながら、最近、ガス警報器の省電力化を目的としてセンサ部分を省電力化するため、ガス感応部として酸化錫薄膜を用い、ガスセンサ素子を微小化する開発が進められている。例えば、下記特許文献１，２には、省電力化を目的としたガスセンサ素子として、薄膜状の支持膜の外周または両端部をＳｉ基板により支持し、外周部または両端部が厚く、中央部が薄く形成されたダイヤフラム様の支持基板上に薄膜のヒータを形成し、この薄膜のヒータを電気絶縁層で覆い、その上に酸化物半導体からなる膜状ガス感応層を形成した後、その最表面に貴金属の触媒を担持した触媒フィルタ層を設けた小型のセンサ構造が提案されている。
【０００７】
しかしながら、一般的にガスセンサ素子はサイズが小さくなると、環境からの被毒物質の影響を受けやすくなる。そのため、このような微細なセンサ構造では、点検孔のような活性炭フィルタを経ないでガスセンサ素子に到達する経路があることは問題であり、経時的な安定性を維持することが困難となる。従って、微細なガスセンサ素子を使用するものにおいては、点検孔のようなものは設けることはできず、従来よりもフィルタの機能を強化する方策が採られる。この強化法としては、活性炭等のフィルタ材料の増量や、上記ケースに設けられた開口部分をより小さくするといった方策が試みられる。
【特許文献１】特開２００３−２６２５９８号公報
【特許文献２】特開２００３−２６２５９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記したようなフィルタ機能の強化は、フィルタに対する吸着性の低いメタンの検知性能には大きな変化がないのに対し、より吸着性の強いガスであるブタンガスに対する感度は低下させることになる。これは、上述の都市ガス検知機能の動作点検をライターガスで代用して実施する際には障害となる。
【０００９】
本発明は、上述の状況に鑑みてなされたものであり、都市ガスが未開栓の状況でも簡便な手法によって都市ガス検知機能の動作点検を行うことができるガス警報器を提供することを目的とする。特に、高度なフィルタ機能をもったガスセンサ部を搭載したものにおいても、警報機能の動作点検を簡便に行うことができるガス警報器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者らは、酸化錫薄膜を用いた微細なガスセンサ素子につき、ヒータによって膜状ガス感応層温度を高温と低温とに周期的に切替設定する場合における膜状ガス感応層の電気抵抗値の熱応答特性を鋭意解析した結果、検知対象ガスを検知するために設定した温度における電気抵抗値の動きの中に、検知対象ガスを検知する時間とは別の時間において、ガス警報器の設置現場で容易に入手できるガス種に感度をもつ点があることを見いだし、本発明を完成するに至った。
【００１１】
すなわち、本発明に係るガス警報器は、酸化物半導体材料からなる膜状ガス感応層を持つガスセンサ部と、前記膜状ガス感応層の温度を、第１温度とそれよりも高温の第２温度との少なくとも２つの異なる温度に周期的に切替設定する温度制御手段と、前記膜状ガス感応層の電気抵抗値を検出する抵抗検出手段と、該抵抗検出手段により検出した電気抵抗値によって警報発生を判断する判定手段と、を備えるガス警報器において、前記温度制御手段によって前記第２温度に保持されたときの前記膜状ガス感応層の電気抵抗値を前記抵抗検出手段により検出することで炭化水素ガスの検知を行う通常検知モードと、警報機能の動作点検を行う点検モードとを有し、該点検モードは、前記第２温度に保持されたときの前記膜状ガス感応層の電気抵抗値を検出するものであり、該点検モードにおける前記第２温度切替後の電気抵抗値の検出時期が、前記通常検知モードにおける前記第２温度切替後の電気抵抗値の検出時期よりも短く設定されたことを特徴とするものである。
【００１２】
本発明のガス警報器によれば、メタン、エタン、プロパン等のような炭化水素ガスの検知をおこなう通常検知モードの他に、これとは異なる点検モードを備えており、この点検モードでは、上記膜状ガス感応層を通常検知モードでの検知用温度（上記第２温度）と同じ温度に設定されているときに、通常検知モードにおける抵抗検出時間（温度切替から電気抵抗値を検出するまでの時間）より短く設定された時間における電気抵抗値を検出し、その値でもって上記判定手段により判断して警報動作をさせるようにしている。このようにすることで、都市ガス等の炭化水素ガス検知用の警報器でありながら、炭化水素ガス以外のガス種であって現場で容易に採取可能なガス、たとえば一酸化炭素ガスによって警報機能の点検を行うことが可能となる。
【００１３】
本発明のガス警報器において、前記ガスセンサ部は、薄膜状の支持膜の外周部または両端部をＳｉ基板により支持し、外周部または両端部が厚く中央部が薄く形成されたダイヤフラム様の支持基板上にヒータを形成し、該ヒータ上に電気絶縁層を介して前記膜状ガス感応層を形成してなるガスセンサ素子を備えたものであってもよい。このような構造とすることで、膜状ガス感応層の熱的安定化時間が極めて短くなり、上記第２温度切替後の電気抵抗値の変化において、ガス種間の差を明確に捕らえることができる時間の選択の幅が広がることとなる。すなわち、点検モードにおける上記第２温度切替後の電気抵抗値検出時期の選択幅がより大きくなる点で好ましい形態とすることができる。
【００１４】
本発明のガス警報器においては、前記点検モードにおける電気抵抗値の検出時期を、前記第２温度切替後５〜１５０ｍｓｅｃの範囲内で設定してもよい。こうすることで、携帯用ライターの内炎などに含まれるため現場でも入手可能な一酸化炭素や水素のようなガスに対する感度を、特に高めることができるため、好ましい。
【００１５】
本発明のガス警報器において、前記膜状ガス感応層は、その内部もしくは表面にＰｔ及び／又はＰｄが添加されてもよい。すなわち、膜状ガス感応層の内部にＰｔやＰｄを含有させてもよく、あるいはまた、膜状ガス感応層の表面にＰｔやＰｄを含有する被覆層を設けてもよい。このようにすることで、通常検知モードにおいて都市ガスやそれ以外の可燃性ガス全般に、経時的に安定であり、且つ高感度の特性を有するものとなる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、炭化水素ガス検知用の警報器でありながら、炭化水素ガス以外のガス種であって現場で容易に採取可能なガス、たとえば一酸化炭素ガスによって警報機能の点検を行うことが可能となる。そのため、都市ガスが未開栓の状況でも簡便な手法によって警報機能の動作点検を行うことができる。また、一酸化炭素ガスや水素は活性炭フィルタを透過することができるので、高度のフィルタ機能を持つガスセンサ部の場合でも、上記動作点検を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態に係るガス警報器に搭載するガスセンサ素子１０の構造を示したものである。このガスセンサ素子１０は、薄膜状の支持層（支持膜）１２の外周部または両端部をＳｉ基板１４により支持し、外周部または両端部が厚く中央部が薄く形成されたダイヤフラム様の支持基板１６上に薄膜状のヒータ層１８を形成し、このヒータ層１８を電気絶縁層２０で覆い、その上に接合層２２を介して膜状ガス感応層用の電極（感応層電極）２４を形成し、更に少なくとも酸化錫（ＳｎＯ２）を含有する膜状体からなる膜状ガス感応層２６を形成した後、その最表面に膜状ガス感応層２６を完全に被覆するように形成した貴金属触媒（ＰｔやＰｄ等）を担持した選択燃焼層（触媒フィルタ層）２８を有してなるものである。
【００１９】
なお、本発明において上記したような点検モードを実現するためには、このようなガスセンサ素子構造に限定されるものではない。しかし、このような構成とすることで、温度制御手段であるヒータ層１８による通電電圧の変化に対し、膜状ガス感応層２６の温度を極めて速やかに応答させることができ、電力消費の面で極めて実用上有利となる。
【００２０】
図２は、上記したガスセンサ素子１０を搭載したガスセンサ部３０の一例を示したものである。このガスセンサ部３０は、上面に開口部３２を持つ円筒形もしくは矩形のケース３４と、該ケース３４内の底部に収容されたガスセンサ素子１０と、ケース３４内における開口部３２の下面を覆うように充填された活性炭フィルタ部３６とを備えてなる。上記開口部３２から入ったガスは、活性炭フィルタ部３６を通過してからガスセンサ素子１０に到達するようになっており、図６に示した点検孔１０５のような活性炭フィルタ部３６を経ないでガスセンサ素子１０に至るような経路は意図的には設けられていない。このような経路が生じている場合は、ガスセンサ素子に対して長期的な被毒による経時変化が生じてしまい、実用上不利になるためである。但し、本発明では、活性炭フィルタ部を経ないでガスセンサ素子に至る経路がないものに限定するものではない。
【００２１】
上記ケース３４の下面からは、電気配線基板への接続端子となる複数のピン３８が突設されており、上記ヒータ層１８および感応層電極２４に接続された不図示の配線がこれらのピン３８にそれぞれ接続されて、ヒータ層１８への電圧印加を可能にするとともに、膜状ガス感応層２６の電気抵抗値を検出できるように構成されている。
【００２２】
図５は、上記したガスセンサ部３０を搭載した実施形態に係るガス警報器５０の断面図である。このガス警報器５０は、前面に開口部５２とともに点検ガス注入孔５４を持つ矩形のハウジング５６と、該ハウジング５６内に設けられた制御部５８を備える電気配線基板６０と、該電気配線基板６０に搭載されてその回路に組み込まれたガスセンサ部３０とを備えてなる。そして、制御部５８により、上記したヒータ層１８への電圧印加を制御すると共に、膜状ガス感応層２６の電気抵抗値の検出及びその時期を制御し、また、その検出した電気抵抗値に基づいて警報を出すか否かの判断を行うようになされている。警報としては、ＬＥＤ等の警告灯の点灯や、ブザーなどの警告音の発報などがあり、通常はこれらを併用するため、本ガス警報器５０には警告灯及びスピーカ（不図示）も装備されている。更には、図示しないが電池などの電源部も設けられる。
【００２３】
本実施形態のガス警報器５０は、都市ガスの検知を行う通常検知モードと、ガスセンサ部３０を始めとする警報機能の動作点検を行うための点検モードとを備えるが、以下これについて詳細に説明する。
【００２４】
図３は、上記ガスセンサ素子１０に設けたヒータ層１８への電圧印加のパターンと、通常検知モード及び点検モードの抵抗検出時期（タイミング）について示したものである。図示するようにヒータ層１８にパルス的な電圧を印加しており、これにより、膜状ガス感応層２６の温度が低温域（第１温度）と高温域（第２温度）とを周期的に繰り返すように切替設定されるようになっている。高温域では都市ガスを検知し、低温域では都市ガス以外のガスを検知する目的あるいは省電力化の目的で設定されている。高温域での温度は、例えば４２０〜５３０℃の範囲となるよう、電圧設定される。また、低温域は、例えば室温から１５０℃で設定可能であり、図では室温となるよう電圧印加を行っていない。
【００２５】
このガス警報器５０では、低温域から検知用温度である高温域に切り替えた後、所定の時間が経過したときの電気抵抗値により、ガスの濃度を判定したり警報発生を行うようにしており、図３に示すように、通常検知モードでは、ヒータ層１８への通電ＯＮから２００ｍｓｅｃ経過時点で膜状ガス感応層２６の電気抵抗値を測定し、測定と同時にヒータ層１８への通電をＯＦＦするように制御している。また、点検モードでは、２００ｍｓｅｃよりも短い所定のタイミングで膜状ガス感応層２６の電気抵抗値を測定するように制御している。
【００２６】
このような制御により都市ガスの通常検知と警報機能の動作点検とが可能になる原理について説明する。図４は、上記ガスセンサ素子１０における膜状ガス感応層２６の電気抵抗値について、図３の電圧パターンで温度変化をさせたときの各種ガス中での応答性を示している。その際、ヒータ層１８への印加電圧は２．８Ｖとし、膜状ガス感応層２６が４５０℃となるように設定した。この構造のガスセンサ素子１０では、膜状ガス感応層２６の熱的安定化時間は極めて短く、５ｍｓｅｃ程度で設定温度である４５０℃になる。そのため、図４に示されているヒータ電圧印加後２００ｍｓｅｃ以内の電気抵抗値の変化の挙動は、膜状ガス感応層２６表面の吸着種の時間的変化に起因するものである。
【００２７】
図４に示されるように、都市ガスの成分であるメタン（ＣＨ４）中の電気抵抗値は３０ｍｓｅｃまで低下した後に安定化するのに対し、一酸化炭素では３０ｍｓｅｃ付近まで低下した後に上昇に転ずることが分かる。この結果から、このガスセンサ素子１０では、通常検知モードと点検モードを以下のように設定すればよいことになる。
【００２８】
すなわち、通常検知モードでは、メタンを選択的に検知し、雑ガスとなるＣＯやＨ２に対して感度を抑制するため、電気抵抗値を検出する時期（ヒータ層１８への通電ＯＮからの経過時間）としては、雑ガスの抵抗値がある程度上昇した時点以降、具体的には１５０ｍｓｅｃ以降の任意の時間から選択することが好ましく、たとえば２００ｍｓｅｃのポイントを設定する。
【００２９】
一方、点検モードの時間設定においては、５ｍｓｅｃ未満では、メタン警報レベルの下限として設定されるメタン５００ｐｐｍ中の電気抵抗値（約４．６ｋΩ）を下回るレベルには至ってないことから、点検モードにおいて十分なガス感度を持たせることが困難となる。また、１５０ｍｓｅｃを越えると、ＣＯ中の電気抵抗値がメタン警報レベルの下限と考えられるメタン５００ｐｐｍ中のレベル（約４．６ｋΩ）を越えて上昇するため、１５０ｍｓｅｃ以降では十分なガス感度を持たせることが困難となる。以上のことから点検モードにおいては、５ｍｓｅｃ〜１５０ｍｓｅｃの範囲から選択されるある点で電気抵抗値を検出し判断することが望ましい。以上のように、点検モードにおいて用いる電気抵抗値の検出時期の時間的選択の幅については、膜状ガス感応層２６の熱的な安定化時間が短いほど、より短い時間から選択することが可能となるため、この点でも上記の図１のガスセンサ素子構造が好適である。
【００３０】
点検モードと通常検知モードとの切換方法については、特に限定されず、例えば、電源を投入して所定時間経過するまでは点検モードとし、所定時間経過後に自動的に通常検知モードへ移行するように構成してもよい。また、ガス警報器の外部に設けたスイッチなどにより手動で点検モードと検知モードとを切り換え可能なように構成してもよい。
【００３１】
上記のような構成とすることで、通常検知モードにおいては、一酸化炭素ガスなどではメタン用の警報レベルには到達しないが、点検モードにおいては、一酸化炭素ガスによってメタン用の警報レベルに到達させることが可能となる。ここで、一酸化炭素ガスは、ライターの内炎ガスとして、ガス警報器の設置現場でも容易に採取することができる。そのため、上記のような構成とすることで、通常検知モードにおけるガス検知に悪影響を与えることなく、簡便な手法によって警報機能の動作点検を行うことができる。
【実施例】
【００３２】
以下に実施例について説明するが、本発明はかかる実施例に限定されるものでない。
【００３３】
図１に示す構成のガスセンサ素子を以下の手順によって作製した。
【００３４】
まず、Ｓｉ基板の両面に熱酸化によりＳｉＯ２膜が形成された一方の表面に、Ｓｉ３Ｎ４とＳｉＯ２膜を順次プラズマＣＶＤ法によって形成して、ダイアフラム構造の支持層１２となる膜を形成した。次に、この上に、ＮｉＣｒもしくはＰｔＷからなるヒータ層１８を形成した。さらにＳｉＯ２絶縁膜２０をスパッタ法により形成した後、感応層電極２４としてＰｔ/Ｔａの２層膜を膜状ガス感応層の電極として成膜した。ここでＴａ膜はＳｉＯ２とＰｔ膜間の接合層２２としての役割をもつ。さらに、この上部に膜状ガス感応層２６としてスパッタ法によってＳｎＯ２膜を０．１〜１０μmの厚さにて形成した。次に、アルミナ粒子にＰｄ触媒を、０．１〜７．５重量％担持させた粉末をバインダとともにペーストとし、スクリーン印刷により膜状ガス感応層（ＳｎＯ２）２６の表面に塗布後、焼成し約３０μｍ厚の選択燃焼層（触媒フィルタ層）２８を形成した。最後にＳｉ基板の裏面からドライエッチング法によりＳｉを４００μｍ径の大きさにて完全に除去し、図１のようなＳｉ基板１４と支持層１２とからなるダイヤフラム構造の支持基板１６とした。
【００３５】
得られたガスセンサ素子１０を図２に示すケース３４内に収容して、開口部３２の下方に活性炭フィルタ部３６を設けることでガスセンサ部３０を構成した。そして、このガスセンサ部３０を図５に示すハウジング５６内に組み込んでガス警報器５０を作製した。
【００３６】
ガス警報器５０の制御方法については、以下の通りとした。すなわち、ヒータ層１８への印加電圧は、図３に示すように、メタン用の検知としてガスセンサ部が４５０℃で２００ｍｓｅｃ間保持される以外は通電電圧を０Ｖとし、４５０℃としては２．８Ｖを２００ｍｓｅｃ間パルス通電し、この通電が３０秒おきに繰り返されるような制御とした。そして、通常検知モードでは４５０℃に維持された最後の点付近、即ち２００ｍｓｅｃ経過時点の電気抵抗値を検出し、この値の大小で警報判定するように設定した。なお、ここでは、点検モードでのヒータの通電及び電気抵抗値の検出の周期と、通常検知モードでのヒータの通電及び電気抵抗値の検出の周期をともに３０秒としているが、この周期は異なっていてもよい。例えば、点検モードでのヒータの通電及び電気抵抗値の検出の周期が、通常検知モードでのヒータの通電及び電気抵抗値の検出の周期よりも短くすることで、点検作業時間の短縮を図ることも可能である。
【００３７】
その際、予め、メタン１０００ｐｐｍとメタン３０００ｐｐｍの通常検知モードにおける電気抵抗値（図４参照）をそれぞれ、１段目、２段目の警報レベルとして設定し、１段目の警報レベル（３．０ｋΩ）を越えて変化した場合、すなわち１段目警報レベルの値（３．０ｋΩ）を下回った場合は、警告灯であるＬＥＤの点灯で表示し、さらに２段目の警報レベル（１．６ｋΩ）を越えて変化した場合、すなわち２段目警報レベルの値（１．６ｋΩ）を下回った場合は、ＬＥＤの点灯に加えてブザー音を発報するような構成とした。
【００３８】
また、点検モードとしては、４５０℃に維持されてから４０ｍｓｅｃが経過した時点での電気抵抗値を検出し、この値が前述の１段目警報レベル、２段目警報レベルを越えたかどうかで警報を発するように構成した。
【００３９】
なお、点検モードにおける警報の判定値や警報の種類は、通常検知モードの警報判定値と警報の種類に合わせる必要はない。たとえば、点検モードで１段目警報レベルを越えて変化した場合には、通常検知モードの２段目警報レベルを越えたときに発せられる警報と同等の警報を発してもよい。
【００４０】
また、通常検知モードと点検モードとの切り替えは、試験の利便性のため外部のスイッチにより切り替え可能なようにして構成した。
【００４１】
以下、上述のような構成で作製したガス警報器の検証方法及び結果について説明する。
【００４２】
上記ガス警報器５０の点検ガス注入孔５４から、スポイト形状のガスかけ装置によりガスかけを行った。ガスかけを行ったガス種は、１０００ｐｐｍメタンａｉｒ稀釈ガス、１００%メタンガス、５００ｐｐｍ一酸化炭素ａｉｒ稀釈ガス、ライター内炎ガス（一酸化炭素を含有するガス）とした。
【００４３】
それぞれ、通常検知モードとした場合、点検モードとした場合についての警報の種類を確認した。結果を下記表１に示す。
【表１】
2005207896.tif 000003
【００４４】
表１から分かるように、通常検知モードでは、１００％メタンガスに対しては１段目と２段目の警報を発し、１０００ｐｐｍメタンａｉｒ稀釈ガスでは１段目の警報を発したのに対し、５００ｐｐｍＣＯ／ａｉｒ稀釈ガスやライター内炎ガスについてはいずれも無警報であった。
【００４５】
一方、点検モードでは、１００％メタンガスと１０００ｐｐｍメタンａｉｒ稀釈ガスについては、通常検知モードと同様の警報が発せられたのに対し、５００ｐｐｍＣＯ／ａｉｒ稀釈ガスについては１段目の警報が発せられ、またライター内炎ガスについては１段目と２段目の警報が発せられた。
【００４６】
以上のように、本発明の点検モードを採用することにより、ガスの開栓がされていない場所においても、ライター内炎ガスによって、都市ガス検知用のガスセンサ部の動作点検を実現できるようになった。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態に係るガス警報器で使用したガスセンサ素子の構造を示す断面図である。
【図２】同ガスセンサ素子を搭載したガスセンサ部の内部構造を示す断面図である。
【図３】同ガスセンサ部のヒータ層への電圧印加のパターンと、通常検知モード及び点検モードの抵抗検出時期を示すグラフである。
【図４】同ガスセンサ部における膜状ガス感応層の電気抵抗値につき、温度変化をさせたときの各種ガス中での応答性を示すグラフである。
【図５】上記ガスセンサ部を搭載したガス警報器の内部構造を示す断面図である。
【図６】従来のガスセンサ部の内部構造を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０……ガスセンサ素子
１２……支持層（支持膜）
１４……Ｓｉ基板
１６……支持基板
１８……ヒータ層
２０……電気絶縁層
２６……膜状ガス感応層
３０……ガスセンサ部
５０……ガス警報器
【図１】
2005207896.tif 000004
【図２】
2005207896.tif 000005
【図３】
2005207896.tif 000006
【図４】
2005207896.tif 000007
【図５】
2005207896.tif 000008
【図６】
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