(57)【要約】    【課題】  インクジェットヘッドを用いた塗布装置において、予め吐出口列の湾曲の傾向を取得し、その取得結果を吐出動作に反映すること。    【解決手段】  インクジェットヘッドの各吐出口の中心位置情報を得る情報収集部と、情報収集部によって得られた各吐出口の位置情報に基づきインクジェットヘッドの駆動諸元を決定する制御部とを備えた塗布装置を提供する。  また、制御部により現在のインクジェットヘッド走査方向では集合体に対して吐出動作を実施出来ないと判断した場合、走査方向を、幅と奥行のうち、どちらか長い方に対して垂直とする。    【選択図】  図１
2005324115.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吐出口を有するインクジェットヘッドを塗布する色毎に備え、基板上に色毎にインクを塗布する塗布装置において、
前記各インクジェットヘッドの各吐出口の中心位置情報を得る情報収集部と、前記情報収集部によって得られた前記各吐出口の位置情報に基づき前記インクジェットヘッドの駆動諸元を決定する駆動制御部とを備え、
前記駆動制御部は、前記各吐出口の前記中心位置情報から近似直線を求め、それを前記インクジェットヘッドの吐出口列とし、また前記中心位置情報から近似曲線を求め、それを前記インクジェットヘッドの吐出口列偏差とし、これら両者間の前記吐出口での幅を吐出口補正値とし、前記吐出口補正値を前記各吐出口毎に取得することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
複数の吐出口を有するインクジェットヘッドを塗布する色毎に備え、基板上に色毎にインクを塗布する塗布装置において、
前記インクジェットヘッドの各吐出口の中心位置情報を得る情報収集部と、前記情報収集部によって得られた前記各吐出口の位置情報に基づき前記インクジェットヘッドの駆動諸元を決定する駆動制御部とを備え、
前記駆動制御部は、前記各吐出口の前記中心位置情報から近似直線を求め、それを前記インクジェットヘッドの吐出口列とし、前記近似直線と前記吐出口に対応した中心位置情報との幅を吐出口補正値とし、前記吐出口補正値を前記各吐出口毎に取得することを特徴とする塗布装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２のいずれかに記載の塗布装置において、
前記近似直線は、前記各吐出口の前記中心位置情報から、最小二乗法によって得ることを特徴とする塗布装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２のいずれかに記載の塗布装置において、
前記近似直線は、前記各吐出口のうち両端それぞれ二箇所の前記中心位置情報を結んだ直線によって得ることを特徴とする塗布装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の塗布装置において、
前記基板の表面には、その任意の位置に幅と奥行が同一ではない複数の凹部を有する集合体を有しており、
前記駆動制御部により現在の前記インクジェットヘッド走査方向では前記集合体に対して吐出動作を実施出来ないと判断した場合、前記走査方向を、前記幅と前記奥行のうち、どちらか長い方に対して垂直とすることを特徴とした塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、インクジェットヘッドを用いた塗布装置に係り、特に、インクジェットヘッドの射出特性、特にインクジェットヘッド吐出口列の湾曲に起因する着弾ばらつきを制御する機構を備えた塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の吐出口を備えたインクジェットヘッドを用いてカラーフィルタや有機ＥＬの発光層を形成することが提案されている。ところで、複数の吐出口を備えたインクジェットヘッドにおいては、吐出口列が反り（インクジェットヘッドの反り）により、正規の位置に液滴を塗布できないと言う問題が発生する。この課題を可決する方法として、特許文献１では、カラーフィルタを製造する場合に、長手方向に複数のインク吐出ノズルが並んで配置されたインクジェットヘッドの反りを矯正する反り矯正手段を用いて行っている。この特許文献1の反り矯正手段はプレートにインクジェットヘッドを取り付けるためにインクジェットヘッド側に複数の貫通穴とネジを切った穴を設けて、それぞれの穴及びネジに挿入するボルトの締め付け力を調整することで反りを矯正するものである。
【０００３】
【特許文献１】特許第３４５９８１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１記載の技術を本塗布装置で使用するインクジェットヘッドに利用すると以下の課題が生じる可能性がある。
【０００５】
すなわち、複数のボルトを用いて反りを矯正するために、調整に手間がかかる。また、上記反り矯正手段を施したインクジェットヘッドでは、塗布作業中に再び元の反り形状に復元する可能性があり、その復元量の予測は不可能である。そのため、適当な時間毎にインクジェットヘッドの状態を監視する必要がある。
【０００６】
本願発明は、反り矯正手段を用いずに精度良く塗布できる塗布装置を提供することを目的とした。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明は、インクジェットヘッドの各吐出口の中心位置情報を得る情報収集部と、情報収集部によって得られた各吐出口の位置情報に基づきインクジェットヘッドの駆動諸元を決定する駆動制御部とを備え、駆動制御部は、各吐出口の前記中心位置情報から近似直線を求め、それをインクジェットヘッドの吐出口列とし、また中心位置情報から近似曲線を求め、それをインクジェットヘッドの吐出口列偏差とし、これら両者間の吐出口での幅を吐出口補正値とし、この吐出口補正値を各吐出口毎に取得して、補正値が基準範囲内にあるか、基準範囲外の場合、基板を回転することで対応可能かを判断する判断部を設けた構成としたものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、インクジェットヘッド本体の構造的性質に起因する吐出口列の湾曲の度合いを把握し、その情報に応じて、適切な吐出位置の補正や走査方向の最適化を実施することが可能であり、結果として湾曲による着弾精度の低下を抑えることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
インクジェット方式は、単に文書の印字やカラー写真の印刷だけに止まらず、単一基板上に複数の薄膜パターンをそれぞれ異なる塗布材料で形成し、機能性デバイスを得る技術として応用され、その研究開発が盛んに行われている。その応用先として、フルカラー液晶ディスプレイに用いるＲＧＢ各色カラーフィルタや、次世代ＦＰＤ（フラットパネルディスプレー)として注目されている有機ＥＬを用いた画像表示装置（以下、有機ＥＬ表示装置と称す）の形成技術等が挙げられる。
【００１０】
上記応用先でのインクジェット方式は、極微少量液滴を射出可能なインクジェットヘッドと、画像表示デバイスの母体となる多数の液滴着弾部を有する基板を搭載固定したＸＹステージとを相対的に駆動させ、所定の液滴着弾部に所定の塗布材料を吐出する方式となるが、近年、画像表示デバイスの高解像度化に伴い、インクジェット塗布装置の信頼性（液滴着弾精度や基板位置決め精度など）も高精度のものが要求されている。
【００１１】
ここで、上記信頼性を確保するためには、インクジェットヘッドそのものの製作精度向上が課題となる。言い換えれば，インクジェットヘッド下部に直線状に配置されて成る微細な吐出口の製作精度がインクジェット塗布装置の信頼性を大きく占めることとなる。しかしながら、インクジェットヘッドの製作工程によっては、インクジェットヘッド吐出口列が湾曲し、そのために吐出口位置のばらつきが発生し、画像表示デバイスの形成が容易ではないことが判明した。下記にその理由について示す。
【００１２】
図２は湾曲したインクジェットヘッドの吐出口面を示す。多数の溝部を有し、前記溝部の隔壁部に電極が設けられている圧電性セラミック基板と、前記圧電性セラミック基板の多数の溝部をその上面から蓋をするように接合し、前記圧電性セラミック基板の一端面に同一平面となる面を有するカバープレートと、前記圧電性セラミック基板の一端面に対して接合する際、前記溝部と対応するように直線状に配置された多数の吐出口を有する吐出口プレートとからなり、前記電極に電圧を印可し、前記隔壁をせん断変形させることにより所望の液体を微細孔から吐出するインクジェットヘッドにおいて、上記接合における各面は例えばエポキシ系強力接着剤によって瞬時に接合されるが、接合し固着した後の接着剤の体積変化に起因する各部材に発生する残留応力や接着剤の膨張収縮等により、固着した後の吐出口列は直線３０とならず、程度の差は有るが、近似曲線３１の如く湾曲してしまうのである。
【００１３】
上記に鑑み、本願発明者らは所有する全数のインクジェットヘッドに対してその吐出口位置の検出を実施したが、全数のインクジェットヘッドにおいて、吐出口列が湾曲していることを確認した。
【００１４】
この状態で、吐出口から吐出される液滴が塗布対象物に着弾できるように、インクジェットヘッドを位置合わせして、各吐出口から同じタイミングで吐出動作を実施すると、各吐出口の着弾位置が、図２のＹ座標方向へずれてしまい、精度良く着弾できない。
【００１５】
また、インクジェットヘッドを傾けて使用することは、単一のインクジェットヘッドで複数種類の塗布基板を塗布可能である等汎用的な運用が行え、望ましい方式であることは周知の考え方であるが、この状態で、吐出口から吐出される液滴が塗布対象物に着弾できるように、インクジェットヘッドを位置合わせして、各吐出口から同じタイミングで吐出動作を実施すると、各吐出口の着弾位置が、図２のＹ座標方向とＸ座標方向の双方へずれてしまい、同様に、精度良く着弾できない。
【００１６】
以上により、本発明ではインクジェットヘッドを塗布装置に装着して吐出作業を実施する前に予め吐出口列の湾曲状態を確認し把握し、湾曲状態が許容範囲内か、また、基板を回転することにより対応可能か、対応できな場合交換する必要があるかを判断する判定部を設けたものである。
【００１７】
図１に本発明の一実施例の塗布装置の概略図を示す。本塗布装置は、ベースとなる架台１上に門型フレーム２が設けられている。門型フレーム２にはＺ軸ステージ３が設けてあり、これはＺ軸駆動モータ４でＺ軸方向に移動可能であり、このＺ軸ステージ３上にはインクジェットヘッド本体５をθ方向に回転可能とするゴニオステージ（図示しない）を備えたヘッドブラケット６が取り付けてある。さらに、門型ステージ２には塗布データの格納と前記塗布データに従いインクジェットヘッド本体５に吐出動作命令を発信するインクジェットヘッド制御部３８が設けてある。
【００１８】
門型フレーム２の脚部の中央、架台１の上面には、Ｘステージ９と、Ｘ軸駆動モータ１０が固定されており、このＸステージ９の上面には、Ｙステージ１１と、Ｙ軸駆動モータ１２が、それらの行程が直交するよう取付けてある。そして、Ｙステージ１１の上面にはθ回転ユニット１３が、さらにθ回転ユニット１３上には吸着テーブル１４が、それぞれ取付けられ、最終的に、吸着テーブル１４上面と架台１上面とが平行となるよう位置決めされ、取付けられている。
【００１９】
吸着テーブル１４の上面には微細な吸引穴が複数設けてある。この吸着テーブル１４上面に設けた吸引穴は図示しない真空発生装置と連通されているため、基板３２をテーブル上面に吸着保持することが可能である。また、吸着テーブル１４前側の端面にはインクジェットヘッド本体５の目詰り防止ならびに目詰り要因排除を目的としたクリーニング装置１５が取付けられている。
【００２０】
上記構成により、吸着ステージ１４上に設置された基板３２の表面とインクジェットヘッド本体５の吐出口面とが互いに平行を保ちつつ、Ｘ方向、Ｙ方向への吸着テーブル１４を駆動し、且つ、吸着プレート１４上面中心を回転軸としての回転駆動できるようにしてある。また、インクジェットヘッド本体５はＺ方向へに駆動できる。
【００２１】
なお、インクジェットヘッド本体５を駆動するＺ軸駆動モータ４の下降ストロークは、少なくともクリーニング装置１５がインクジェットヘッド本体５に対して各種クリーニング可能となる距離よりも大きく移動できるように設定してある。
【００２２】
門型フレーム２の図中右脚部には、塗布材料ボトル１６が上下に垂直移動可能なボトルホルダ１７に取付けられている。また、塗布材料ボトル１６近傍に、インクジェットヘッド５内部流路を洗浄するための洗浄用溶剤を入れた洗浄液ボトル１９が設けられている。これらは、図示しない供給手段によりインクジェットヘッド本体５へ供給、適宜、供給切替えを行うことが可能となっている。
【００２３】
塗布装置近傍にはＰＣ（制御装置と言う場合もある）１８が設けてある。ＰＣ１８では、本塗布装置に付帯する構成機器の駆動制御や状態監視等を行う。
【００２４】
図３に本発明の一実施例である、本塗布装置に適用される基板とその塗布方法について示す。なお、ここでは湾曲と傾き角θＸによりＸ方向に位置ずれした吐出口の補正方法について述べる。
【００２５】
基板３２に対して矢印３３は、インクジェットヘッドの走査方向を表し、図中の一点鎖線は、それぞれＸ座標と平行で傾き角θＸの基準となる基準線３５ａと、傾き角θＸを有する理想直線３５ｂとを示している。また他の一点鎖線は、それぞれ吐出口２２ａ、２２ｄ、２２ｇから基板３２に吐出される液滴の軌跡３６ａ、３６ｄ、３６ｇを示している。なお、説明を明確にするため、本図では湾曲の度合いを誇張し、吐出口の数を限定して（本来は１２８乃至５１２ノズル存在する）記載している。なお、傾き角θＸ、理想直線３５ｂについては後述図４によって詳細に説明する。
【００２６】
基板３２には、規定の深さを有する楕円状の液滴着弾領域すなわちバンクが設けられており、赤色（Ｒ）発光層用バンク列３４ＡＲ、緑色（Ｇ）発光層用バンク列３４ＡＧ、青色（Ｂ）発光層用バンク列３４ＡＢの順に、共通のバンク幅３８とバンク奥行３９を有し一定間隔で配置されている。本実施例では、赤色（Ｒ）発光層用バンク列３４ＡＲに対して吐出動作を実施することを前提とし、それ以外のバンクを全て点線で示してある。
【００２７】
一般に有機ＥＬ用のパネルにおいては、ＲＧＢ各色発光層用バンク列３４ＡＲ、３４ＡＧ、３４ＡＢはまとめて１画素とし、１画素当りの画素幅（Ｘ方向バンクピッチ）と画素奥行（Ｙ方向バンクピッチ）の長さが等しいものとしている。このために、バンク幅３８とバンク奥行３９には少なくとも３倍の長さ差がある。
【００２８】
さて、インクジェットヘッド吐出口列が湾曲していると精度良く液滴を着弾させることが難しいのは、先の図２の説明で述べた通りである。図３においても吐出口２２ｄの着弾位置特に図中Ｘ座標方向の位置ずれが著しいことがわかる。
【００２９】
ここで、本塗布装置に使用する基板３２の構造的特徴、すなわち１画素当りの画素幅と画素奥行の長さが等しい特徴を活かし、走査方向におけるバンク幅３８とバンク奥行３９の関係を図３下図に示す基板３２の如く入れ替える。すなわち、吸着テーブル１４をθ回転ユニット１３により９０°回転させることで、基板３２を回転させて図のように走査方向のバンクが短くなるようにする。このように、インクジェットヘッド本体５の走査方向をバンクの長手方向に対して直角にすることにより、湾曲とインクジェットヘッド本体５の傾き角θＸによるＸ座標方向への位置ずれは、バンク幅の大きさで吸収することが可能となる。
【００３０】
一方、一つのバンクに一回の液滴では足りずに複数の液滴を吐出させなければならないケースがある。この場合、図３下図の基板３２への吐出動作においては、吐出させたい液滴数だけ基板を走査方向３３と直角方向に移動しながら行わなければならず、本塗布方法では基板処理速度が遅くなる問題が発生する。なお、図３上図の基板３２では、基板の長手方向に対して平行に塗布するため、長手方向の余裕があり、その余裕を用いて液バランスの良くなるよう任意のバンク内位置に走査方向３３に移動しながら液滴を着弾可能であるので、その問題は発生しない。
【００３１】
他方、インクジェットヘッド本体５の湾曲度合いは様々あり、たとえ湾曲していたとしても、湾曲最大変位部に位置する吐出口位置が着弾誤差範囲内にあり、基板３２状態でも充分吐出動作が可能な場合がある
そのため、本実施例では、吐出口列が湾曲している場合、まずインクジェットヘッド本体５吐出口列の湾曲を認識し、その状態に応じてインクジェットヘッドの走査方向３３を決定する。
【００３２】
例えば具体的には、１３０ｄｐｉの画像表示デバイスを形成する基板に、一度の液滴吐出で１３０個の液滴を同時に、吐出口一箇所当り約４２ピコリットル吐出可能なインクジェットヘッドを適用するケースについて考察する。なお、本ケースで使用する基板へは、湾曲の無い状態でのインクジェットヘッド本体５の傾き角を３０°に形成すれば吐出タイミング次第でバンクの中心に正確に着弾可能であるものとする。ここで、吐出口の湾曲の最大変位が約２０μｍあるとすれば、その最大変位部に位置する吐出口は、すでに、液滴の吐出対象であるバンク中心よりＸ方向に２０×ｓｉｎ３０°＝１０μｍ左にずれていることになる。
【００３３】
一方、基板において、横方向に隣接するＲＧＢ三箇所分のバンクを１画素と定義し、１画素当りの幅と奥行の長さが略等しいとすれば、バンク一箇所当りの奥行３９はバンク間ピッチを考慮し約１８０μｍ、幅３８は上記１画素の三等分とし同様に約６０μｍとなる。このため、球径が約４３μｍとなる４２ピコリットルの液滴の着弾直前の状態で、すでに、液滴がバンクから１．５μｍはみ出てしまうことになる。
【００３４】
この状態においても、バンク底面の親水面が有する表面張力作用で液滴を引き込むことが可能では有るが、引き込み切れず基板の意図しない位置に残った塗布材料は基板を汚損する原因となる。さらに、液滴の飛行角度のバラツキによる着弾誤差（約±４μｍ）や塗布装置の構造に起因する機械的精度誤差等を考慮すれば、液滴の着弾位置は吐出させたいバンク外となり、混色の原因となる。そのため、基板を９０度回転して見かけ上幅が長い状態として、滴下はインクジェットヘッドを副走査方向（幅方向）に移動させながら１列分の吐出を行い。その列の吐出が終了してから主走査方向に基板を３列分移動して再び同じように吐出動作を行うものである。
【００３５】
図４は、本発明の一実施例になる、塗布装置に適用されるインクジェットヘッド吐出口列の配列状態の情報を収集する情報収集手段を示す。情報収集手段はＣＣＤカメラ５３を取り付けたカメラ駆動機構５２を、支持プレート５０に設けてあるレール上を移動させながら、ＣＣＤカメラ５３により透明の保護プレート５４を介してインクジェットヘッド本体５に設けてある吐出口２２ａを観測（撮像）して行う構成としてある。尚、観測（撮像）した情報は信号線５５により制御装置（ＰＣ１８）に送られる。
【００３６】
インクジェットヘッド本体５の各吐出口の情報収集は下記要領で実施される。まず、ＣＣＤカメラ５３をカメラ駆動機構５２によりレール５１に従い所定の基準位置へ駆動させた後、インクジェットヘッド本体５の吐出口のうち、最初に認識する吐出口（図中吐出口２２ａ）がＣＣＤカメラ５３の視野内に入るようＸステージ９、Ｙステージ１１を駆動させ、ヘッドブラケット６またはθ回転ユニット１３を調整し、ＣＣＤカメラ５３のフォーカスを合わせるためＺ軸ステージ３を上昇もしくは下降させる。
【００３７】
なお、吐出口２２ａの撮像は、インクジェットヘッド本体５の吐出口からの意図しない液滴の滴下や、装置構成部品やその周辺からもたらされる細かい粉塵等からＣＣＤカメラ５３を保護するために、透明保護プレート５４越しに実施する。
【００３８】
次に、ＣＣＤカメラ５３の視野内にある最初に認識する吐出口を撮像し、その撮像情報をＰＣ１８に送信する。ＰＣ１８では、その撮像情報から撮像した吐出口の中心を割出し、その座標情報を記録する。記録後、ＣＣＤカメラ５３によって次に認識すべき吐出口が認識可能となるまでカメラ駆動機構５２を駆動させる。以下、認識すべき吐出口が無くなるまで上記作業を繰り返す。
【００３９】
なお、本図では、吐出口列方向の移動にレール５１とカメラ駆動機構５２を使用しているが、塗布装置の吸着テーブルの端部にＣＣＤカメラを取り付け、Ｘステージ９、Ｙステージ１１を駆動させる構成とすることで、レール５１とカメラ駆動機構５２を省略しても良い。また、情報収集手段は本塗布装置の吐出動作に妨げにならない場所に設置し、情報収集手段としての機能を果たせる場所であればどこに設置しても良い。さらに情報収集装置として別途、塗布装置近傍に設置しても良い。
【００４０】
図５は、本発明の一実施例になる、塗布装置に適用されるインクジェットヘッドの吐出動作に必要な補正値の導出方法を示す。なお、ここでは湾曲と傾き角θＸによりＹ方向に位置ずれした吐出口の補正方法について述べる。
【００４１】
θＸはインクジェットヘッド本体５の傾き角、３１は湾曲の近似曲線、３３は走査方向、３５ａは図中Ｘ座標と平行で傾き角θＸの基準となる基準線、３５ｂは、傾き角θＸを与えられた傾き線であり理想直線をそれぞれ示す。なお、説明を明確にするため、図３と同様に本図では湾曲の度合いを誇張し、吐出口の数を限定して記載している。
【００４２】
まず、本塗布装置に搭載されるインクジェットヘッド本体５の基準線３５ａを求める。この基準線３５ａは、インクジェットヘッド本体５に規定の傾き角θＸを与えるための基準となる線であり、言い換えれば傾き角θＸ＝０°時の傾き線３５ｂである。本実施例では、吐出口の一方の端点と他方の端点とを結んだ直線とし、Ｘステージ９（図１参照）の行程が描く直線の傾きと同等の角度とする。ここで、取得した全ての吐出口の中心位置情報を、基準線３５ａを基準に軸補正を実施し、ＰＣ１８の記録内容を更新する。
【００４３】
続いて、湾曲に由来する各吐出口における湾曲変位ΔＨｎ（ｎは吐出口固有の番号）を求める。湾曲変位ΔＨｎは、認識した全ての吐出口の座標をＸＹ座標上にグラフ化し、そのグラフから吐出口列の理想直線３５ｂと湾曲の近似曲線３１を描き、その線群から各吐出口Ｙ座標におけるＹ成分の距離差を各吐出口毎に関連付け、ＰＣ１８に順次記録する。
【００４４】
なお、距離差を求める要素はこの限りではなく、例えばＰＣ１８に格納された各吐出口の位置情報と、湾曲の近似曲線３１もしくは理想直線３５ｂのいずれかであっても良いが、吐出口列の理想直線３５ｂと湾曲の近似曲線３１とから取得した場合、前述の図４の情報収集手段において、全吐出口の中心位置情報を取得する必要はないので作業の簡略化が可能である。この場合、両端に位置する吐出口と、湾曲の最大変位部に位置する可能性が高い吐出口（吐出口列の中心に位置することが多い）の三点だけ認識すれば良く、また、曲線の傾向に合わせて中心位置情報の取得数を可変しても良い。
【００４５】
続いて、インクジェットヘッド本体５の傾き角θＸを求める。傾き角θＸは、吐出動作を実施する基板の同色バンク間ピッチによって決まる。なお、傾き角θＸによっては一回の走査でインクジェットヘッド本体の全ての吐出口を使用するとは限らず、規定の吐出口ピッチ毎に吐出動作を実施することになる。また、その傾き角θＸはＸ方向の吐出口の位置ずれを可能な限り低減させるために鋭角であるのが望ましい。なお、傾き角θＸの原点は、端部に位置する吐出口中心点でも良いし、吐出口列の中心でも良いし、他にヘッドブラケット６やθ回転ユニット１３の回転中心等、装置構成上で形成された点でも良い。
【００４６】
ここで、吐出動作を実施する基板の走査方向について決定する。上記湾曲変位ΔＨｎの最大値のＸ変位ΔＸｎと、予め設定した基板走査方向決定のための閾値とを比較し、その閾値を越えた場合、すなわち現在の基板走査方向では吐出動作を実施させたくない場合、インクジェットヘッド本体５の走査方向をバンクの長手方向に対して直角となるようにして吐出動作を実施する。
【００４７】
続いて、傾き角θＸにおける各吐出口の吐出待ち距離Ｄｎを求める。本実施例では、基準線３５ａと理想直線３５ｂとの距離差を傾斜待ち距離Ｐｎ、湾曲変位ΔＨｎと傾き角θＸとの三角関数により求め、走査方向に対して平行な距離差を湾曲待ち距離Ｗｎとし、それらの総和を吐出待ち距離Ｄｎとする。なお、これらの単位は時間でも良い。
【００４８】
以上のように、吐出待ち距離に湾曲による成分を加算することにより、Ｙ方向の誤差を補正することが可能となる。
【００４９】
図６は、本発明の一実施形態になる、塗布装置の動作フローチャートを示す。なお、塗布装置の各部動作は、図１に基づいて説明を行う。
【００５０】
まず、インクジェットヘッド本体５に取付けられている図示しないヘッド保護装置を取り外す。なお、このヘッド保護装置は、インクジェットヘッド本体５吐出口およびその周縁部の乾燥による目詰りを防止するために用いている。そして、ＰＣ１８を起動し、適宜塗布材料ボトル１６や洗浄用溶剤ボトル１９内の残量を確認し、各構成機器の自己診断等を実施し、塗布準備を終了させる（ステップ４０１）。そして、クリーニング装置１５によってインクジェットヘッド本体５吐出口とその周縁部の清掃を実施し、目詰り要因を排除する（ステップ４０２）。
【００５１】
続いて、インクジェットヘッド本体５の湾曲度合いの認識作業を実施し（ステップ４０３）、吐出動作に必要な補正値の算出を実施し（ステップ４０９）、得られた補正値によって、インクジェットヘッド本体５をヘッドブラケット６またはθ回転ユニット１３によって傾き角θＸに設定し、走査方向を決定し、これから吐出動作を実施する基板３２に対応した塗布データを形成する。
【００５２】
そして、図示しない基板前処理部から搬送されてきた基板３２を吸着プレート上の所定の位置に搭載し、図示しない真空発生手段を駆動させ基板３２を吸着固定し（ステップ４０４）、設定した走査方向に見合う基板位置関係を保ち、そしてＺステージ３を駆動させ、インクジェットヘッド本体５吐出口面と基板３２表面とを規定の基板間距離に設定する。
【００５３】
続いて、塗布作業を開始する（ステップ４０５）。塗布作業が終了すれば、図示しない真空発生手段を駆動させ基板３２の吸着を解除し、基板後処理部へ搬送する（ステップ４０６）。
【００５４】
ここで、規定の基板処理枚数に達し（ステップ４０６）、さらにその枚数がインクジェットヘッド５のクリーニングの必要な枚数に達した（ステップ４０７）ならば、クリーニング装置１５を駆動させ、各種クリーニングを実施する。クリーニングが終了次第、再度塗布作業（前記ステップ４０４、ステップ４０５、ステップ４０６）を実施する。
【００５５】
規定の基板処理枚数に達すると、本塗布装置での塗布作業は終了となる。終了前に、クリーニング装置１５を駆動させ、各種クリーニングを実施する。最後に、図示しないヘッド保護装置をインクジェットヘッド５に装着し、作業は終了する。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の一実施形態になる、塗布装置の概略図を示している。
【図２】背景技術として、湾曲したインクジェットヘッドの吐出口面を示す。
【図３】本発明の一実施形態になる、本塗布装置に適用される基板とその塗布方法について示している。
【図４】本発明の一実施形態になる、塗布装置に適用されるインクジェットヘッド吐出口列の情報収集部を示している。
【図５】本発明の一実施形態になる、塗布装置に適用されるインクジェットヘッドの吐出動作に必要な駆動諸元の導出方法を示している。
【図６】本発明の一実施形態になる、塗布装置の動作フローチャートを示している。
【符号の説明】
【００５７】
１…袈台、２…門型ステージ、３…Ｚ軸ステージ、４…Ｚ軸駆動モータ、５…インクジェット本体、６…ゴニオステージ、９…Ｘステージ、１１…Ｙステージ、１３…回転ユニット、１４…吸着テーブル、１５…クリーニング装置、１６…発光材料ボトル、１８…制御装置、１９…洗浄液ボトル。
【図１】
2005324115.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005324115.tif 000005
【図４】
2005324115.tif 000006
【図５】
2005324115.tif 000007
【図６】
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