(57)【要約】【課題】半導体装置等を製造する室内環境であるクリーンルーム内の床面に排気口を設け、該排気口が多数の開口部からなるグレーチングユニットにおいて、クリーンルーム室内よりグレーチングパネルを着脱することなく、クリーンルームの床下の清掃を可能とする清掃方法を提供すること。【解決手段】床全面に敷き詰め、第１パネルと第２パネルとからなり、第２パネルの直上に第１パネルを整列して配置、少なくとも一方のパネルが平面内でスライド移動するグレーチングパネル部と、建築構造の床面の支持床の４隅に固着した支持脚部から構成したグレーチングユニットであって、スライド移動により、前記開口部を遮蔽後、クリーンルームの床下に設けた所定の空間に敷設したエアーブロー吹き出し口より空気を吹き流し、バキューム排出口から空気を吸い込むことにより、クリーンルームの床下から塵を除去するクリーンルームの床下の清掃方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置等を製造する室内環境であるクリーンルーム内の床面に排気口として設置され、該排気口が多数の開口部からなるグレーチングユニットにおいて、床全面に敷き詰めた構造であるグレーチングユニットが、クリーンルームの床面のグレーチングパネル部と、建築構造の床面の支持床の４隅に固着した支持脚部から構成したことを特徴とするグレーチングユニット。
【請求項２】
前記グレーチングパネル部が、四方形状の床材であって、第１パネルと第２パネルとからなり、該第１及び第２パネルは同一の形状であって、そのパネル表面に多数で同一形状の排気用の開口部を設け、該開口部は前記第１及び第２パネルの同一の位置で、且つ同一の形状で形成され、前記第２パネルの直上に第１パネルを整列して配置形成したことを特徴とする請求項１記載のグレーチングユニット。
【請求項３】
前記第１パネルの平面部分と第２パネルの平面部分とが互いに重なり合っており、少なくとも一方のパネルが平面内で一定の方向にスライド移動することにより、第１パネルの開口部と第２パネルの開口部とが互いに重なり合う状態にしたり、又は第１パネルの開口部と第２パネルの開口部の位置をずらして、前記開口部を開放、又は遮蔽することを特徴とする請求項１、又は２記載のグレーチングユニット。
【請求項４】
前記支持脚部が、グレーチングパネルと同一の四方形状の支持床の４隅に柱形状で所定の床荷重に耐えるように固着した構造であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のグレーチングユニット。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項記載のグレーチングユニットを用いたクリーンルームの床下の清掃方法において、クリーンルームの床下に設けた所定の空間毎にクリーンルーム用掃除設備を設置し、該クリーンルーム用掃除設備の吹き出し口と対向する位置に排出口を設け、前記第２パネルをスライド移動させ、開口部を遮蔽し、一方の方向に配置した前記吹き出し口より空気を吹き流し、他方の方向に配置した前記排出口から空気を吸い込むことにより、クリーンルームの床下の所定の空間内から塵を除去することを特徴とするクリーンルームの床下の清掃方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置関連の部品や配線基板等を製造する製造装置及び処理工程を配置するクリーンルーム室内の床面に用いるグレーチングユニット及びそれを用いたクリーンルームの床下の清掃方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置関連の部品や配線基板等を製造する製造装置及び処理工程では、室内に浮遊する微細な粒子が製造中の製品に付着して、品質不良、又は品質劣化が発生する問題がある。そのため、製造装置及び処理工程は、クリーンルーム内の環境下に配置されているのが一般的である。特に微細化の進んだフォトマスクでは、清浄度の高い超清浄な環境の中で製造されている。前記クリーンルームでは、外気を取り込み、異物除去及びケミカル物質除去処理と、水分除去処理等のクリーニング処理後、湿度、温度を最適化した空気をチャンバー等の空間に押し込み、該空気をＨＥＰＡフィルタに透過させてクリーンルーム内へ一定流量を供給するシステムである。前記ＨＥＰＡフィルタは通過するエアの浮遊塵を除去するものである。更に、クリーンルームの室内には、製造装置及び薬品処理工程、又は工程内の作業員等の発塵源があり、時間の経過に比例し、浮遊塵の数の増加、ケミカル汚染、温度湿度の変化等により環境が劣化するため、一定量のエアを室外に排気する方法で清浄な環境を維持するシステムである。排気方法については、室内の床面に排気口を設け、その排気口より再び外部へ排気するものである。排気口は、多数の格子状の開口部を持つパネル部品で、一般にグレーチングユニットと呼ばれ、該グレーチングユニットを床全面に敷き詰めた排気口の床構造である。グレーチングユニットより排気されたエアは、一部再利用するため再び最初の外気取り込み部へ戻し、新たな外気と混ぜて利用するシステムである。上述のシステムにより、常時クリーンルームの室内では、所定数以下の浮遊塵に制御された、温室度を一定に制御された環境を維持管理することができる。
【０００３】
クリーンルームの構成を以下に、説明する。外気を外気取り入れ口より導入し、空調機により、外気を適正な温湿度に制御した後、クリーンルーム室内の空気を循環する循環ファンにより循環された空気と合流した後、クリーンルームの室内の天井裏のチャンバーに設けられた吹き出し口から吹き出され、該チャンバーとクリーンルーム室内空気圧力差により、クリーンルーム室内の天井部のＨＥＰＡフィルタを透過時、浮遊塵を除去されクリーンルーム室内に吹き出される。クリーンルーム室内の床には、グレーチングユニットが敷き詰められ、該グレーチングユニット上に製造装置が設置されている。また、グレーチングユニット上が作業員の通路となっている。製造中では、装置から発生する塵及び作業員からの発塵は、空気中に含まれ、浮遊塵や、落下塵となり、クリーンルーム室内や、グレーチングユニット下の建築構造の床面に集積される。浮遊塵は、排気口、すなわちグレーチングユニットから排気され建築構造の床面に沿って集められ、循環ファン、空調機を経由し、再び混合されてクリーンルーム内にもどされる。この様なクリーンルームにおいて、クリーンルームのグレーチングユニット下の建築構造の床面に集積される粒子径の大きい落下塵は、建築構造の床面上に堆積するため、定期清掃により清掃除去する必要がある。その清掃では、クリーンルーム室内よりグレーチングを１枚１枚を手で取り除き、建築構造の床面を露出させてから、落下塵の除去、床面の清掃を行っていた。
【０００４】
この際、グレーチングのパネルは材質が金属製なので重量が重いため、人手による取り除き作業は、作業者に対して大きな負担となり、作業時間が長くなる問題がある。また、作業中の不注意でパネルの落下等により作業者が怪我をする危険性もある。前記問題に対して、軽量化、落下塵の除去、床面の清掃方法等の工夫が提案されている（特許文献１参照）。
【０００５】
以下に公知文献を記す。
【特許文献１】特開平５−１８７６７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の課題は、クリーンルーム室内よりグレーチングパネルを着脱することなく、クリーンルームの床下の清掃を可能とするグレーチングユニット及びそのクリーンルームの床下の清掃方法を提供することにより、グレーチングユニット下の建築構造の床面の清掃時、作業者への作業負担の軽減と、作業時間を短縮することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１に係る発明は、半導体装置等を製造する室内環境であるクリーンルーム内の床面に排気口として設置され、該排気口が多数の開口部からなるグレーチングユニットにおいて、床全面に敷き詰めた構造であるグレーチングユニットが、クリーンルームの床面のグレーチングパネル部と、建築構造の床面の支持床の４隅に固着した支持脚部から構成したことを特徴とするグレーチングユニットである。
【０００８】
本発明の請求項２に係る発明は、前記グレーチングパネル部が、四方形状の床材であって、第１パネルと第２パネルとからなり、該第１及び第２パネルは同一の形状であって、そのパネル表面に多数で同一形状の排気用の開口部を設け、該開口部は前記第１及び第２パネルの同一の位置で、且つ同一の形状で形成され、前記第２パネルの直上に第１パネルを整列して配置形成したことを特徴とする請求項１記載のグレーチングユニットである。
【０００９】
本発明の請求項３に係る発明は、前記第１パネルの平面部分と第２パネルの平面部分とが互いに重なり合っており、少なくとも一方のパネルが平面内で一定の方向にスライド移動することにより、第１パネルの開口部と第２パネルの開口部とが互いに重なり合う状態にしたり、又は第１パネルの開口部と第２パネルの開口部の位置をずらして、前記開口部を開放、又は遮蔽することを特徴とする請求項１、又は２記載のグレーチングユニットである。
【００１０】
本発明の請求項４に係る発明は、前記支持脚部が、グレーチングパネルと同一の四方形状の支持床の４隅に柱形状で所定の床荷重に耐えるように固着した構造であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載のグレーチングユニットである。
【００１１】
次に、本発明の請求項５に係る発明は、請求項１乃至４のいずれか１項記載のグレーチングユニットを用いたクリーンルームの床下の清掃方法において、クリーンルームの床下に設けた所定の空間毎にクリーンルーム用掃除設備を設置し、該クリーンルーム用掃除設備の吹き出し口と対向する位置に排出口を設け、前記第２パネルをスライド移動させ、開口部を遮蔽し、一方の方向に配置した前記吹き出し口より空気を吹き流し、他方の方向に配置した前記排出口から空気を吸い込むことにより、クリーンルームの床下の所定の空間内から塵を除去することを特徴とするクリーンルームの床下の清掃方法である。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のグレーチングユニット及びそれを用いたクリーンルームの床下の清掃方法によれば、作業者の人手によりグレーチングパネルを着脱することなく、クリーンルームの床下の清掃が可能となり、グレーチングパネル下の清掃等を行う際の、作業者への作業負担が大幅に軽減され、怪我の防止にもなる。さらに、清掃作業時間の短縮する効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の具体的な形態を一実施形態に基づいて以下に説明する。図１は、本発明のグレーチングユニットを説明する部分拡大した側断面図である。
【００１４】
図１は、連続運転中のクリーンルームにおいて使用されるときの状態であり、常時、室内の天井部のＨＥＰＡフィルタを透過して、清浄な空気がクリーンルーム室内に吹き出され、常時、室内の床部のグレーチングパネル（９）の開口部（１１、２１）から室内の空気が排気されている。グレーチングユニット（１）は、室内の床全面に敷き詰められ、グレーチングパネル（９）で床全面が覆われている。該グレーチングパネル（９）上に各種製造設備と、製品等を搬送する搬送ラインと、作業員の作業スペースがレイアウトされている。本発明では、前記グレーチングパネルは、第１パネル（１０）と、その直下に第２パネル（２０）とを配置した２層構造のグレーチングパネル（９）である。上面の第１パネルには、開口部（１１）が形成され、同じ位置で、第２パネルにも開口部（２１）が形成され、開口部（１１、２１）が重なった状態で正常に運転されている。また、開口部の形状は同一の形状で形成されているため、クリーンルーム室内の空気が開口部を介してクリーンルーム床下の所定の空間（５０）まで排気されている。前記第１パネル（１０）は、建築構造の床面（４０）上で、所定の間隔で第１パネル用の支持脚部（３０）上で支持されている。同様に、前記第２パネルは、第２パネル用の支持脚部（３１）上で支持されている。
【００１５】
前記第１パネル（１０）は、所定の床荷重に耐えられる強度を持つ構造材料からなる床材である。使用材料としては、金属材料又はセラミック材料等から適宜選択する必要があり、特に平面的な歪みが出ない材料であり、且つ厚さ等形状の最適寸法化を工夫する必要がある。前記第２パネル（２０）は、補助パネルであり、第１パネル（１０）の直下に密着するように配置されている。第２パネル（２０）は、必要に応じて、スライド移動により所定の距離を平行移動する構造であり、その役割は、隣り合う開口部（２１）間の距離の半分程度の距離をスライド移動し、第１パネル及び第２パネルの開口部（１１、２１）を遮断することである。従って、耐荷重等の機能は不要であり、スライド移動しやすい軽量で、平面的な歪みのない材料でよい。なお、第１パネル及び第２パネルでは、クリーンルーム仕様、すなわち、発塵、発錆、発ガスのない材料が必要となる。
【００１６】
前記第１パネル用の支持脚部（３０）は、下部底面に、建築構造の床面（４０）又はグレーチングパネルと同一の形状の支持床等があり、該１個の床面（４０）の４隅において、支持脚部（３０）と床面（４０）が強固に固着されている。支持脚部（３０）の上部には、第１パネル（１０）の組み立て時、第１パネルを位置決めする位置決め部（図示せず）と、第１パネル（１０）を受ける受け部（図示せず）が形成されている。耐床加重は、第１パネル（１０）を介して、前記４隅の支持脚部（３０）で支える構造である。同様に、支持脚部（３１）の上部には、第２パネル（２０）の組み立て時、第２パネルを位置決めする位置決め部（図示せず）と、第２パネル（２０）を受ける受け部（図示せず）が形成され、更に、第２パネルをスライド移動する構造も具備している。支持脚部（３０、３１）の材料は、金属材料が主流である。材料を選別するに際しては、金属錆が発生しない、耐薬品性のある、発塵性の少ない材料から適宜選び出すことが重要である。金属材料の場合は、防錆塗料等を塗装して使用する場合があり、該塗料も十分注意する必要がある。
【００１７】
図２は、本発明のクリーンルームを説明する部分拡大した側断面図である。図２の上部は、クリーンルーム室内の空気（２）のエリアであり、床面にはグレーチングユニットがクリーンルーム内全面に敷き詰められている。グレーチングパネル部の第１及び第２パネルの開口部（１１、２１）は重なり、すなわち開口部が開放されている。また、クリーンルーム床下の所定の空間（５０）には、一方の側に掃除設備のエアーブロー吹き出し口（５１）が敷設され、他方の側には掃除設備のバキューム排出口（５２）が敷設されている
。
【００１８】
前記クリーンルーム床下の所定の空間（５０）は、クリーンルーム室内を分割する場合での最小空間エリアであり、クリーンルームの管理、又は床下の定期清掃時に用いるものである。クリーンルームが、１つの所定の空間（５０）から複数の所定の空間（５０）に管理分割されている。図２は、１つの所定の空間（５０）の場合である。
【００１９】
図３は、本発明のグレーチングパネル部を説明する部分拡大した側断面図である。図３では、第１パネルに対して第２パネルがスライド移動し、開口部（１１、２１）が遮蔽の状態であり、クリーンルーム室内の空気（２）は、クリーンルーム床下の所定の空間（５０）へ排気出来ない状態である。すなわち、グレーチングパネル部（１０、２０）を境界として、クリーンルーム室内の空気（２）と、クリーンルーム床下の所定の空間（５０）内とを遮断し、クリーンルーム床下の所定の空間（５０）内の空気が１つのエリアの空間チャンバーとなる構造である。
【００２０】
次に、図２、図３を参照して、本発明のグレーチングユニットを用いたクリーンルームの床下の清掃方法について説明する。前述した図３はクリーンルームの運転を停止した状態である。本発明の清掃方法では、まず、第２パネルをスライド移動し、開口部（１１、２１）を遮蔽状態にする。次にクリーンルームの床下に設けた所定の空間（５０）内へ、クリーンルーム用掃除設備のエアーブロー吹き出し口（５１）から加圧した空気を吹き流しながら、バキューム排出口（５２）から空気を排出し、該空気の流れにより、床下の床面に堆積した落下塵の除去をする。本発明の床面の清掃方法では、クリーンルーム床下の所定の空間（５０）内の空気が１つのエリアの空間チャンバーとなる構造であるため、清掃中での浮遊塵は、クリーンルーム室内へは影響せずに、前記エリアの空間チャンバー内をエアーブロー吹き出し口（５１）からバキューム排出口（５２）への横方向の層流となり、容易に清掃が完了する。該所定の空間（５０）の開口部（１１、２１）を元に戻し、クリーンルーム内のそのエリアで正常運転状態に復帰する。次に、別の所定の空間（５０）に移動し、前記同様の手順により清掃完了後、該エリアを正常運転状態に復帰する。全ての所定の空間（５０）が終了後、クリーンルーム室内の清浄度、温室度を測定後、その清掃作業は完了する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のグレーチングユニットを説明する部分拡大した側断面図である。
【図２】本発明のクリーンルームを説明する部分拡大した側断面図である。
【図３】本発明のグレーチングパネル部を説明する部分拡大した側断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１…グレーチングユニット
２…クリーンルーム室内の空気
９…グレーチングパネル部
１０…第１パネル
１１…（第１パネルの）開口部
２０…第２パネル
２１…（第２パネルの）開口部
２９…支持脚部
３０…（第１パネル用）支持脚部
３１…（第２パネル用）支持脚部
４０…建築構造の床面
５０…（クリーンルーム床下の）所定の空間
５１…（掃除設備の）エアーブロー吹き出し口
５２…（掃除設備の）バキューム排出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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