(57)【要約】【課題】  低磁気遮蔽環境下においても、環境磁界などの低周波磁場の影響を受けることなく高周波の磁界を正確に検出する。【解決手段】  検出磁界対象に応じた検出出力電圧（Ｖｏｕｔ）を生成する積分器（１４）の出力信号から所定の低域成分を抽出するローパスフィルタ（１）を設け、このローパスフィルタの出力信号に従って、抽出した低域成分に対応する磁界を補償コイル（３）で生成してＳＱＵＩＤ（１０）へ印加する。また、積分器の出力信号に従って、対応の大きさの磁界を変調コイル（１６）で生成してＳＱＵＩＤ（１０）へ供給する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁界を検出する磁気センサ、
前記磁気センサの出力信号に従って、前記磁気センサの検出磁界に対応する電気信号を生成して磁界検出信号として出力する検出出力生成回路、
前記磁界検出信号を受け、前記検出出力生成回路の有する周波数領域の低域の周波数領域の信号成分を通過させる低域通過フィルタ、および
前記低域通過フィルタの出力信号に従って前記低域通過フィルタの出力信号に対応する磁界を発生して前記磁気センサに印加する低周波負帰還回路を備える、磁気検出装置。
【請求項２】
前記低域通過フィルタは、計測対象の磁界の周波数領域よりも低域の周波数領域の信号を通過させる、請求項１記載の磁気検出装置。
【請求項３】
前記磁気センサは、超電導量子干渉素子を備える、請求項１記載の磁気検出装置。
【請求項４】
前記磁気検出装置は、さらに、前記検出出力生成回路の生成する磁界検出信号に対応する磁界を生成して前記磁気センサに印加する帰還磁界発生回路をさらに備え、
前記検出出力生成回路は、
前記磁気センサの出力信号を受ける増幅器と、
前記増幅器の出力信号を受けて前記磁界検出信号を生成する積分回路とを備え、
前記低周波負帰還回路は、
前記低域通過フィルタの出力信号に対応する磁界を生成して前記磁気センサに印加する補償コイルを備える、請求項１記載の磁気検出装置。
【請求項５】
前記検出出力生成回路は、
前記磁気センサの出力信号を受ける増幅器と、
前記増幅器の出力信号を受けて前記磁界検出信号を生成する積分回路とを備え、
前記低周波負帰還回路は、前記積分回路の生成する磁界検出信号と前記低域通過フィルタの出力信号とに対応する磁界を生成して前記磁気センサに印加する帰還磁界発生コイルを備える、請求項１記載の磁気検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、磁気センサを用いる磁気検出装置に関し、特に、磁気センサとして超電導量子干渉素子（ＳＱＵＩＤ）を利用する磁気検出装置に関する。より特定的には、この発明は、環境磁場などの環境磁気雑音の影響を受けることなく安定に計測対象の磁界を検出するための構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
ジョセフソン効果を利用する素子として、ＳＱＵＩＤ（超電導量子干渉素子；Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ  Ｑｕａｎｔｕｍ  Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ  Ｄｅｖｉｃｅ）が知られている。ジョセフソン効果は、薄い絶縁膜を超電導体で挟んだ場合、この超電導体において電圧差を生じさせることなく電流を流すことができる現象である。ＳＱＵＩＤは、磁気センサとして利用される場合、通常、２つのジョセフソン接合を並列に接続する構造と、１つのジョセフソン接合を用いる構造とに大別される。２つのジョセフソン接合を有するＳＱＵＩＤは、ＤＣ−ＳＱＵＩＤと呼ばれ、また、１つのジョセフソン接合を有するＳＱＵＩＤは、ＲＦ−ＳＱＵＩＤと呼ばれる。以下、ＳＱＵＩＤとして、ＤＣ−ＳＱＵＩＤを例にとって、説明する。
【０００３】
図５は、従来のＳＱＵＩＤを利用する磁気検出装置の構成を概略的に示す図であり、たとえば特許文献１（特開２０００−２９２５１１号）に示されている。
【０００４】
図５において、磁気検出装置は、ＳＱＵＩＤで構成される磁気センサ（以下、単にＳＱＵＩＤと称す）１０と、ＳＱＵＩＤ１０に一定の大きさのバイアス電流Ｉｂを供給するバイアス電流源１２と、ＳＱＵＩＤ１０の両端電圧を増幅する増幅回路１３と、増幅回路１３の出力信号を積分して検出出力電圧Ｖｏｕｔを出力する積分回路１４と、積分回路１４の検出出力電圧を電流に変換するフィードバック抵抗素子１５と、このＳＱＵＩＤ１０に結合され、抵抗素子１５を介して供給される電流に従って負帰還磁界を発生する帰還コイル（変調コイル）１６を含む。
【０００５】
ＳＱＵＩＤ１０は、リング形状を有し、このリングにおいて並列に接続される２つのジョセフソン接合１１ａおよび１１ｂを有する。
【０００６】
超伝導電流は、超伝導状態を生成するクーパ対のトンネル現象により流れる。バイアス電流源１２からのバイアス電流Ｉｂとして、ＳＱＵＩＤ１０の超電導臨界電流値Ｉｃよりも大きな電流を供給すると、ＳＱＵＩＤ１０において常電導電流が発生し、ＳＱＵＩＤ１０両端間に電圧Ｖｓが発生する。この状態において、ＳＱＵＩＤ１０に磁界φが印加されると、マイスナー効果によりＳＱＵＩＤ１０において、超電導リングに、内部への磁界の侵入を防止するように遮蔽電流が発生する。この外部からの印加磁界φの強さにより、ジョセフソン接合１１ａおよび１１ｂにおけるクーパー対の位相差Δφが変化する。この場合、遮蔽電流はＩｓは、超電導臨界電流値をＩｃとして、次式で表される。
【０００７】
Ｉｓ＝Ｉｃ・ｓｉｎΔφ
超電導体中では、磁場は量子化され、その最小単位は、量子化磁束（磁束量子）φ０と呼ばれ、位相差Δφは、次式で表わされる。
【０００８】
Δφ＝２・ｎ・π＋２・π・（φ／φ０）
したがって、遮蔽電流Ｉｓは、量子化磁束φ０（２・１０＾（−１５）Ｗｂ：符号＾は、べき乗を示す）単位で周期的に変化する。
【０００９】
すなわち、ＳＱＵＩＤ１０に、磁界φを印加した場合、遮蔽電流により超電導状態を保持することのできるバイアス電流値が変化する。このとき、バイアス電流Ｉｂが一定値であれば、ＳＱＵＩＤ１０の両端に発生する電圧Ｖｓも、量子化磁束φ０を単位として周期的に変化する。このＳＱＵＩＤ１０の両端の電圧Ｖｓと印加磁界φの関係を図６に示す。
【００１０】
図６に示すように、磁界φが変化しても、電圧Ｖｓが周期的に変化する場合、磁界の変化の絶対量を一義的に求めることができない。そこで、図示しないバイアス回路を用いて変調コイル１６に流れる電流量を調整して、動作点を設定する。この動作点の設定のためのバイアス電流を調整する方法としては、上述の特許文献１において示されている。
【００１１】
また、電圧−磁界特性において、電圧が周期的に変化するため、その直線領域が狭く、特性の線形性を十分に確保するのが困難である。そこで、増幅回路１３の出力信号を積分回路１４およびフィードバック抵抗素子１５を介して変調コイル１６にフィードバックし、この変調コイル１６により、外部印加磁界φを打消す磁界を生成して、いわゆる「零点検出法（零位法）」を用いて磁界を検出する。増幅回路１３、積分回路１４、フィードバック抵抗素子１５および変調コイル１６で構成される回路は、ＦＬＬ（フラックス（磁束）・ロックト・ループ）回路と呼ばれ、負帰還回路を構成し、ＳＱＵＩＤ１０における外部印加磁界φを打ち消すように補償磁界を生成しする。即ち、フィードバック磁界と信号磁界との和が一定となるように負帰還がかけられ、応じて、この磁気検出装置の動作点を一定に維持する。
【００１２】
変調コイル１６とＳＱＵＩＤ１０の相互インダクタンスをＭｆとすると、フィードバック抵抗素子１５の両端の電圧は、（Ｒｆ／Ｍｆ）φで表わされ、したがって、積分回路１４からの出力電圧Ｖｏｕｔは、外部からの印加磁界φに比例する。この検出電圧Ｖｏｕｔを計測することにより印加磁界φを検出することができる。
【００１３】
この磁界φを検出する計測動作時において、電圧ー磁界特性において曲線の傾き、すなわちｄＶ／ｄφが最も大きい点、たとえば図６に示す点ａを、磁気検出装置（ＦＬＬ回路）の動作点とすることにより、検出出力電圧Ｖｏｕｔを、線形領域で印加磁界φに応じて変化させて、磁界を検出することができる。量子化磁束φ０よりも小さい磁界変化を検出することができる。ＳＱＵＩＤは、低温超電導体を利用する場合には１０＾（−１４）テスラ／√Ｈｚ、高温超電導体を利用する場合には１０＾（−１３）テスラ／√Ｈｚ以下の感度を持ち、微弱な磁界を計測することができ、各種計測機器および医療機器等において用いられている。
【特許文献１】特開２０００−２９２５１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
図５に示す積分回路１４を利用することにより、増幅回路１３の出力信号の高周波成分（時間微分成分）を除去し、検出磁界に対応する安定な検出出力電圧Ｖｏｕｔを生成することができる。この磁気検出装置が完全に磁気遮蔽された環境下で動作する場合、図７に示すように、検出出力電圧に対して、直流から増幅回路１３により決定される遮断周波数ｆｃまでの領域において平坦な周波数特性を得ることができる。
【００１５】
今、測定可能な周波数領域、たとえば、直流から６００ｋＨｚ（または数ＭＨｚ）の範囲において、被測定対象磁界の周波数領域として、図７の領域Ａを考える。たとえば、測定領域Ａにおいて周波数１００ｋＨｚの磁界を測定対象磁界として計測を行なう場合を考える。
【００１６】
磁気遮蔽が不十分な場合、信号磁界に対して、領域Ｂで示される周波数領域の環境磁気雑音の成分が重畳される。このような低周波の環境磁気雑音の例としては、商用電源線の誘起磁界、地磁気、また、１／ｆゆらぎなどが考えられる。
【００１７】
低周波領域の環境磁気雑音が、信号磁界に重畳された場合、増幅回路１３および積分回路１４では除去することができないため、図８の曲線ＩＩに示されるように、この環境磁気雑音に起因するノイズ成分が出力電圧Ｖｏｕｔに重畳される。ここで、図８において、横軸に時間ｔを示し、縦軸に、出力電圧Ｖｏｕｔを示す。
【００１８】
このような環境磁場などの環境磁気雑音のゆらぎが大きい場合には、曲線ＩＩの点Ｃに示すように、計測可能電圧範囲である増幅回路１３の出力電圧の最大値（電源電圧）レベルにまで振り切れ、正確に、信号磁界に応じた出力電圧Ｖｏｕｔを生成することができず、例えば、図８において、信号磁界が曲線Ｉで示すような特性曲線の場合に対して、低周波領域の環境磁場などの環境磁気雑音の影響により、正確な測定を行なうことができなくなるという問題が生じる。
【００１９】
また、この環境磁気雑音の変化にＳＱＵＩＤ１０のスルーレートが追随できない場合、積分回路１４およびフィードバック抵抗素子１５および変調コイル１６で構成されるＦＬＬ回路を用いても、この環境磁気雑音によるノイズ成分を除去することができず、このＳＱＵＩＤ１０のスルーレートに応じた電圧レベルに従って変調コイル１６の誘起磁界が決定される。この場合、図８の点ＤおよびＥで示すように、このため、積分回路１４の出力電圧が大きく変化し（動作点が大きく変化し）、正確な計測を行なうことができなくなる。特に、動作点が大きく変化し、電圧−磁界特性曲線の傾斜が反対の領域に動作点が移動した場合には、ＦＬＬ回路における帰還の方向が逆となり、負帰還に代えて正帰還がかけられる状態が生じ、正確な磁束の計測を行なうことができなくなる。
【００２０】
上述の特許文献１においては、変調コイルに対するバイアス電流を最適化して、磁気検出装置の動作点を最適化する構成は示されているものの、これらの低周波領域の環境磁場などの環境磁気雑音が及ぼす影響については何ら考慮していない。
【００２１】
また、外来磁気雑音を除去するために、ピックアップコイルで磁界を集め、磁束トランスによりＳＱＵＩＤに磁束を伝達するグラジオメータと呼ばれる構成も用いられている。しかしながら、この場合においても、ピックアップコイルにより、低周波領域の環境磁気雑音成分がＳＱＵＩＤへ伝達されるため、同様の問題が生じる。
【００２２】
このような環境磁気雑音の影響を抑制するためには、磁気遮蔽を完全にすることが考えられる。しかしながら、この場合、測定室全体をパーマロイなどの高透磁率の材料で遮蔽するなどの処置をとることが要求され、費用が高くなり、また、磁気遮蔽の規模が大きくなるという問題があり、また、磁気検出装置の使用箇所が制限されるという問題が生じる。
【００２３】
それゆえ、この発明の目的は、低周波環境磁気雑音成分の影響を受けることなく安定に計測対象の信号磁界を検出することのできる磁気検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
この発明に係る磁気検出装置は、磁界を検出する磁気センサと、この磁気センサの出力信号に従って、磁気センサの検出磁界に対応する電気信号を生成して磁界検出信号として出力する検出出力生成回路と、この磁界検出信号を受け、検出出力生成回路の有する周波数領域の低域周波数領域の信号成分を通過させる低域通過フィルタと、この低域通過フィルタの出力信号に従って低域通過フィルタの出力信号に対応する磁界を発生して磁気センサに印加する負帰還回路を備える。
【発明の効果】
【００２５】
低域通過フィルタにより、検出出力信号から低域成分を抽出することにより、環境磁気雑音ノイズ成分に対応する信号成分を抽出することができる。この低域通過フィルタの出力信号に対応する磁界を発生して磁気センサに印加することにより、磁気センサに印加される環境磁気雑音成分を相殺することができ、正確に検出対象磁界に応じた検出出力信号を生成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
［実施の形態１］
図１は、この発明の実施の形態１に従う磁気検出装置の構成を概略的に示す図である。図１に示す磁気検出装置は、図５に示す磁気検出装置の構成に加えて、さらに、積分回路１４の出力信号を受け、所定の低域成分を通過させるローパスフィルタ（低域通過フィルタ）１と、ローパスフィルタ１の出力信号を電流に変換する補償用抵抗素子２と、ＳＱＵＩＤ１０に磁気結合され、補償用抵抗素子２を介して与えられる電流に従って磁界を誘起してＳＱＵＩＤ１０に生成した磁界を供給する補償用コイル３を含む。この図１に示す磁気検出装置の他の構成は、図５に示す磁気検出装置の構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
【００２７】
ローパスフィルタ１は、環境磁場などの低周波数ノイズ成分（以下、環境磁気雑音と称す）の周波数領域を含む所定の低周波数領域の信号を通過させる。
【００２８】
補償用コイル３が設けられていない場合、積分回路１４からの検出出力電圧Ｖｏｕｔは、高周波領域の検出対象磁界に対応する電圧成分と、環境磁気雑音に対応する電圧成分とを含む。ローパスフィルタ１により、この環境磁気雑音領域（図７の領域Ｂ）に対応する周波数領域の信号成分を抽出し、補償用抵抗素子２を介して補償用コイル３へ電流を供給する。応じて、補償用コイル３からは、環境磁気雑音を打消す磁界が生成されて、ＳＱＵＩＤ１０へ供給される。これにより、ＳＱＵＩＤ１０からは、環境磁気雑音成分が抑制された測定対象磁界に応じた電圧Ｖｓが生成され、積分回路１４からは、この測定対象磁界に応じた検出出力電圧Ｖｏｕｔを生成することができる。この補償用コイル３により環境磁気雑音が補償されている場合、ＦＬＬ回路は、環境磁気雑音に起因する低周波磁場のゆらぎ成分が抑制された測定対象磁界に応じた磁界を生成して、ＳＱＵＩＤ１０に印加する。
【００２９】
すなわち、この検出出力電圧Ｖｏｕｔに含まれる問題となる環境磁気雑音に起因する低周波成分を、ローパスフィルタ１で抽出して、補償用コイル３により環境磁気雑音補償用磁界を生成することにより、環境磁気雑音に起因する低周波磁場のゆらぎを抑制でき、正確に、測定対象磁界を検出することができる。すなわち、測定対象磁界よりも低周波数の領域の環境磁気雑音に起因するＦＬＬ回路の動作点の飛び、および計測電圧の飽和などの問題を解消することができ、磁気遮蔽が不完全であっても安定かつ正確に計測対象の磁界を測定することができる。
【００３０】
以上のように、この発明の実施の形態１に従えば、入出力信号から、環境磁気雑音に対応する低域成分をローパスフィルタにより抽出し、この抽出した低域成分に対応する補償磁界を生成して磁気センサであるＳＱＵＩＤに印加している。したがって、環境磁気雑音に起因する低周波磁場のゆらぎの影響を確実に抑制して、高周波領域の測定対象磁界を計測することができる。
【００３１】
［実施の形態２］
図２は、この発明の実施の形態２に従う磁気検出装置の構成を概略的に示す図である。この図２に示す磁気検出装置においては、図１に示す磁気検出装置の構成に加えて、さらに、ローパスフィルタ１の出力信号を増幅する増幅器４と、増幅器４の出力信号を減衰する減衰器（アッテネータ）５が設けられる。減衰器５の出力信号が、補償用抵抗素子２へ与えられる。
【００３２】
この図２に示す磁気検出装置の他の構成は、図１に示す磁気検出装置の構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
【００３３】
ローパスフィルタ１は、先の実施の形態１と同様、積分回路１４の出力電圧Ｖｏｕｔから、所定の低周波領域の環境磁気雑音に対応する信号成分を抽出する。増幅器４および減衰器５により、このローパスフィルタ１の出力信号を所定の大きさに調整し、抵抗素子２へ与えて電流を生成して、補償用コイル３へ与える。補償用コイル３とＳＱＵＩＤ１０の磁気結合係数（相互コンダクタンス）に応じて、増幅器４の増幅率および減衰器５の減衰率を調整することにより、より正確に、環境磁気雑音に起因する低周波磁場のゆらぎを抑制することができる。これにより、ローパスフィルタ１のカットオフ周波数よりも高い高周波領域における計測対象磁界を、正確に検出することができる。
【００３４】
すなわち、積分回路１４の出力信号電圧の低域成分をローパスフィルタ１で抽出したとき、環境磁気雑音の影響が大きく残っている場合には、環境磁気雑音のフィードバックが不十分であり、増幅器４の増幅率を大きくする。一方、環境磁気雑音が過剰に補償され、環境磁気雑音の影響が逆方向に生じ、逆に増加している場合には減衰器５の減衰率を大きくする。増幅回路１３および積分回路１４の動作特性に応じて、増幅器４の増幅率および減衰器５の減衰率を調整することにより、環境磁気雑音の影響を正確に抑制することができる。
【００３５】
なお、減衰器５と補償用抵抗素子２との間に位相調整回路が配置され、環境磁気雑音に対する補償磁界の位相が調整される構成が用いられてもよい。
【００３６】
以上のように、この発明の実施の形態２に従えば、ローパスフィルタにより抽出された低周波磁場成分を、さらに増幅回路および減衰器でその信号成分の振幅を調整しており、正確に、環境磁気雑音に応じた補償磁界を生成して、環境磁気雑音を抑制することができる。
【００３７】
［実施の形態３］
図３は、この発明の実施の形態３に従う磁気検出装置の全体の構成を概略的に示す図である。この図３に示す磁気検出装置は、図１に示す磁気検出装置と以下の点でその構成が異なる。すなわち、積分回路１４の出力電圧Ｖｏｕｔを受けるフィードバック抵抗素子１５の出力電流と、ローパスフィルタ１の出力信号を受ける補償用抵抗素子２の出力電流とが加算されて、変調コイル１６へ供給される。この図３に示す磁気検出装置においては、環境磁気雑音を補償するための専用の補償用コイルは設けられない。この図３に示す磁気検出装置の他の構成は、図１に示す磁気検出装置の構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
【００３８】
この図３に示す磁気検出装置においては、フィードバック抵抗素子１５からの電流と、補償用抵抗素子２からの電流とが加算されて変調コイル１６へ供給される。応じて、変調コイル１６からは、計測対象磁界に応じた磁界と、環境磁気雑音に起因する低周波磁場に応じた磁界とが生成されてＳＱＵＩＤ１０に供給される。したがって、ＳＱＵＩＤ１０においては、低周波磁場成分が正確に抑制され、ＳＱＵＩＤ１０のスルーレートが、低周波磁場変動に追随できない場合でも、何ら問題なく、その出力電圧Ｖｓは、計測対象磁界に応じた出力電圧となり、増幅回路１３および積分回路１４により、高周波領域の計測対象磁界に応じた検出出力電圧Ｖｏｕｔを生成することができる。
【００３９】
この図３に示す磁気検出装置の構成の場合、変調コイル１６を、低周波磁場の補償用コイルとしても用いており、回路構成要素数を低減でき、応じて回路規模を低減することができる。
【００４０】
また、補償用コイルおよび変調コイルそれぞれ個々に、磁気結合係数などを考慮して配置位置を調整する必要はなく、効率的に計測対象磁界成分に対応する磁界に環境磁場成分に対応する磁界を重畳することができ、応じて、環境磁気雑音に対応する低周波磁場ノイズ成分を抑制することができる。
【００４１】
［実施の形態４］
図４は、この発明の実施の形態４に従う磁気検出装置の全体の構成を概略的に示す図である。この図４に示す磁気検出装置は、図２に示す磁気検出装置と以下の点でその構成が異なる。すなわち、減衰器５の出力信号を受ける補償用抵抗素子２の出力電流が、変調コイル１６へ、フィードバック抵抗素子１５の供給電流とともに供給される。この図４に示す構成においても、専用の環境磁気雑音補償用コイル（３）は設けられない。
【００４２】
この図４に示す磁気検出装置の他の構成は、図２に示す磁気検出装置の構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
【００４３】
この図４に示す磁気検出装置の構成は、図２に示す磁気検出装置の効果に加えて、さらに、以下の効果を有する。すなわち、変調コイル１６が、環境磁気雑音を含む低周波磁場成分補償用コイルとしても用いられ、応じて、回路点数を低減でき、装置規模を低減できる。また、図３に示す実施の形態３の構成と同様、効率的に低周波磁場成分を抑制することができる。
【００４４】
以上のように、この発明の実施の形態４に従えば、低周波磁場成分に対応する補償用磁場を生成するための増幅器および減衰器を設け、さらに、計測対象磁界を検出するための変調コイルを低周波磁場補償用コイルとしても利用しており、少ない回路点数で正確に、不要な低周波磁場成分を抑制して、計測対象磁界に応じた出力電圧を生成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
この発明に従う磁気検出装置は、ＳＱＵＩＤにより磁界を計測する装置に利用することができ、生体磁場計測および非破壊検査など種々の用途に対して適用することができる。
【００４６】
なお、上述の説明においては、磁気センサとして、ＳＱＵＩＤが用いられている。このＳＱＵＩＤとしては、液体窒素温度で超電導状態となる高温超電導体を利用するものであってもよく、また、液体ヘリウム温度で超電導体状態となる低温超電導体を利用するものであってもよい。
【００４７】
また、ＳＱＵＩＤとしては、ジョセフソン接合を１つ含むＲＦ−ＳＱＵＩＤが用いられてもよい。
【００４８】
また、磁気検出装置の構成としては、計測対象磁界をピックアップコイルを用いて検出し、このピックアップコイルをＳＱＵＩＤに磁気結合することにより計測対象磁界を測定する構成が用いられてもよい。
【００４９】
また、磁気センサとして、アモルファス金属ワイヤを利用するＭＩ（磁気インピーダンス）センサなどであってもよく、また他の半導体素子を利用する磁気センサまたは磁気抵抗効果を利用する磁気センサなどであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】この発明の実施の形態１に従う磁気検出装置の全体の構成を概略的に示す図である。
【図２】この発明の実施の形態２に従う磁気検出装置の全体の構成を概略的に示す図である。
【図３】この発明の実施の形態３に従う磁気検出装置の全体の構成を概略的に示す図である。
【図４】この発明の実施の形態４に従う磁気検出装置の全体の構成を概略的に示す図である。
【図５】従来の磁気検出装置の全体の構成を概略的に示す図である。
【図６】ＳＱＵＩＤの出力電圧と印加磁界の関係を示す図である。
【図７】従来の磁気検出装置の周波数特性を示す図である。
【図８】従来の磁気検出装置の問題点を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  ローパスフィルタ、２  補償用抵抗素子、３  補償用コイル、４  増幅器、５  減衰器、１０  ＳＱＵＩＤ、１２  バイアス電流源、１３  増幅回路、１４  積分回路、１５  フィードバック抵抗素子。
【図１】
2005188947.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2005188947.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005188947.tif 000009
【図８】
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