(57)【要約】      （修正有）【課題】  マスクの表面汚染を抑制しながらマスクを収納運搬できるマスクケースを提供する。【解決手段】  フォトマスク１を載せる保持体５を内部にそれぞれ具備する、蓋及びトレイとなる第１部材６及び第２部材７からなるマスクケースであって、第１部材６及び第２部材７は、光触媒機能膜をケース内側に被覆した可視光および紫外光透過体からなることを特徴とするマスクケースである。また、保持体５、第１部材６及び第２部材７は、アウトガスの少ない物質からなるマスクケースである。更に、少なくとも保持体５がマスク基板１の角部のみと接するマスクケースである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトマスクを載せる保持体を内部にそれぞれ具備する、蓋及びトレイとなる第１部材及び第２部材からなるマスクケースであって、該第１部材及び第２部材は、光触媒機能膜をケース内側に被覆した可視光および紫外光透過体からなることを特徴とするマスクケース。
【請求項２】
前記保持体、第１部材及び第２部材は、アウトガスの少ない物質からなる請求項１記載のマスクケース。
【請求項３】
少なくとも前記保持体がマスク基板の角部のみと接することを特徴とする請求項１又は２記載のマスクケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路などの製造工程で使用されるレチクル又はフォトマスク（以下、これらを併せてマスクと呼ぶ。）を収納運搬するために用いるマスクケースに関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェハ上に集積回路パターンを描画するフォトリソグラフィ技術において、近年ＬＳＩの高集積化に伴い、より狭い線幅で微細な回路パターンを露光するための技術が要求されており、これに対応するために露光光源の短波長化が進められている。露光光源の短波長化に伴い物質による光吸収が大きくなり、粒子状物質に加えて、さらに微小な分子状物質も汚染物の対象となってきている。
【０００３】
従来のクリーンルーム用フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタなど）は粒子状汚染物質を除去するフィルタであるため、さらに微小な分子状汚染物質は除去されず、クリーンルーム内に導入されてしまう。分子状汚染物質に対しては、ケミカルフィルターなどの設置により除去する方法がとられているが、ケミカルフィルターの分子状汚染物質除去効果は数ヶ月しか持続せず、頻繁にフィルター交換を行わなくてはならない。しかも高価であるため、コスト面から考えて好ましくない。また、分子状汚染物質は外気からだけでなく、クリーンルーム内からも発生する。例としては、クリーンルーム部材（フィルタ、ゲル状密封材、建築材料など）や作業者のケア用品または装置からのアウトガスが挙げられる。
【０００４】
このような状況の中で、今後は清浄空間を局所化するというミニエンバイロメントが空間のクリーン化方法として効果的であると考えられている。局所化により、高清浄度を維持するための空気搬送動力なども削減でき、省エネルギー化にも貢献する。
【０００５】
マスクケースも局所的に清浄化すべき場所として、ミニエンバイロメントの一つであると言え、内部の清浄度を上げる様々な方法が検討されている。
【０００６】
例えば、マスクとマスクケース内を同時に洗浄し、マスクとマスクケース内の清浄度を高い状態で維持するという発明が報告されている。（例えば、特許文献１参照。）
しかし、洗浄方法としてエアーブローを用いているため粒子状汚染物質を除去できたとしても、揮発性有機化合物などの分子状汚染物質をマスクやマスクケースから除去するのは不可能である。
【０００７】
この解決方法としては、光触媒を利用して基板用収納容器にセルフクリーニング機能を付加するという方法が報告されている。光触媒機能により分子状汚染物質は分解され、歩留まりに影響を与えない物質になる。（例えば、特許文献２参照。）
しかし、容器を構成する基材が合成樹脂製であるため基材から有機化合物質のアウトガスが発生し、分子状汚染物質となる恐れがある。また、合成樹脂は紫外線を透過せず外部から紫外線を照射しても容器内部の清浄度をあげることはできないため、容器内に紫外線ランプ等の光源を設置する必要が生じる。さらに容器をコンパクトにすることが難しく、マスクケースのように収納や運搬を繰り返す容器としては不都合である。
【特許文献１】特開平１１−２１２２４９号公報
【特許文献２】特開平１１−２２７９４０号公報。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
そこで本発明は、マスクの表面汚染を抑制しながらマスクを収納運搬できるマスクケースの提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであって、フォトマスクを載せる保持体を内部にそれぞれ具備する、蓋及びトレイとなる第１部材及び第２部材からなるマスクケースであって、該第１部材及び第２部材は、光触媒機能膜をケース内側に被覆した可視光および紫外光透過体からなることを特徴とするマスクケースを提供する。
【００１０】
また、前記保持体、第１部材及び第２部材は、アウトガスの少ない物質からなる請求項１記載のマスクケースを提供する。
【００１１】
また、少なくとも前記保持体がマスク基板の角部のみと接することを特徴とする請求項１又は２記載のマスクケースを提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の第１の発明によれば、蓋及びトレイとなる第１部材及び第２部材が、光触媒機能膜をケース内側に被覆した可視光および紫外光透過体としたことにより、フォトマスクを収納した状態で可視光及び紫外光を照射でき、その光照射によって第１部材及び第２部材の内側に付着したマスクの歩留まり低下の原因となる分子状汚染物質を分解することができ、マスクの表面汚染を抑制しながらマスクを収納運搬できる。
【００１３】
さらに、本発明の第２の発明によれば、保持体、第１部材及び第２部材がアウトガスの少ない材料で構成しているため、マスクケースから分子状汚染物質が発現することを防ぐことができる。
【００１４】
さらに、本発明の第３の発明によれば、保持体がマスク基板の角部のみと接する構造としたため、マスクと保持体の接触する部分をできるだけ少なくすることができ、マスク表面の粒子状汚染物質などによる汚染を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。しかし、本発明は以下の説明に限定されるものではなく、請求の範囲を逸脱しない範囲で実施することが可能である。
【００１６】
図１は、本実施形態によるマスクケースの構造の一例を示す断面図である。可視光および紫外光透過体４を搭載した上蓋となる第１部材６及びトレイとなる第２部材７には、マスク１を載せる保持体５が形成されている。マスク１は保持体５により、そのガラス面２を上に向けて、パターンの形成されてある膜面３を下に向けた状態で固定される。保持体５により第２部材７に固定されたマスク１は、第１部材６により密閉される。
【００１７】
可視光および紫外光透過体４は少なくともマスクケース外部から光を照射した際、マスク１全体に光が照射される大きさであれば、通常１６０ｍｍ〜１８０ｍｍ角程度とすればよい。マスクケースの形状が正方形であることからマスクケース内部に効率的に光触媒機能を発現するためには、可視光および紫外光透過体４の形状も正方形であることが好ましい。
【００１８】
保持体５は第１部材６及び第２部材７の四つ角に固定されている。保持体５は、マスクの四つ角部と接触してマスクを保持するよう構成されている。好ましくは、マスク１を保持体５に置いた際、マスク１の角のみが保持体５と接するように保持体５の角は斜めにカットされている。マスクと保持体の接触する部分をできるだけ少なくすることで、マスク表面の粒子状汚染物質などによる汚染を防止できる。保持体５の大きさはマスク１が固定できれば、光を照射できる範囲を広くするためできる限り小さい方が好ましく、第１部材６及び第２部材７と接する部分、つまり図２で示すＢの部分が１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度とすればよい。
【００１９】
可視光および紫外光透過体４の材料としては、可視光（波長４００ｎｍ〜８００ｎｍ）および紫外光（波長４００ｎｍ以下）を透過し、表面に光触媒機能性を持つ物質を被覆でき、且つアウトガスの少ないものであればよい。例としては、化学的に安定であり、機械的強度が強く、紫外光も透過することができる合成石英ガラス、ソーダ石英ガラス、ホウケイ酸クラウンガラス、無アルカリガラス、アルミノ珪酸塩ガラスなどが挙げられる。可視光および紫外光を透過させる材料でなくてはならない理由は、マスクケースの外部から可視光または紫外光を照射し、可視光および紫外光透過体４の表面に被覆されている光触媒機能性物質の光触媒機能をマスクケース内部で発現させなければならないからである。
【００２０】
可視光および紫外光透過体４に被覆する光触媒機能性物質は、分子状汚染物質の分解を行うものであり、外部からの可視光または紫外光の照射により励起され、光活性を持つものであればいずれでもよい。例としては、Ｓｅ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｓｎ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｐ、Ａｓ、Ｓｂ、Ｃ、Ｃｄ、Ｓ、Ｔｅ、Ｎｉ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ａｇ、Ｍｏ、Ｓｒ、Ｗ、Ｃｒ、Ｂａ、Ｐｂのいずれか、またはこれらの化合物、または合金、または酸化物が好ましく、これらは単独、また２種類以上を複合して用いる。上記の中でも特にＴｉＯ２を主成分として含むことが好ましい。また、ＴｉＯ２はＴｉとＯ２の比の異なる化合物を複数種含むことがさらに好ましく、これによって光触媒機能性を紫外領域（波長４００ｎｍ以下）から可視光領域（波長４００ｎｍ〜８００ｎｍ）まで異なる波長領域で発現させることができる。可視光および紫外光透過体４のマスクケース内部側表面に光触媒機能性物質を膜として被覆する手段としては、真空蒸着法、スパッタリング法、電子ビーム蒸着法、焼結法、ゾルゲル法など周知の付加法を適宜に用いることができる。膜厚は、マスクケースの外部から照射した可視光または紫外光により膜の光触媒機能が発現されれば如何なる厚さでもよいが、好ましくは１０ｎｍ〜１０μｍ程度である。
【００２１】
本発明における光触媒機能を利用した分子状汚染対策について説明する。マスク表面などに付着して問題となっている物質は、分子状汚染物質の中でも表面に付着しやすい構造を持った物質である。例としてはフタル酸エステル、高級脂肪酸フェノール誘導体が挙げられ、これらの成分は共通して−ＣＯ、−ＣＯＯ結合を持っている。分子状汚染物質が存在するところに、光触媒機能性を設置すると分子状汚染物質の−ＣＯ、−ＣＯＯ結合部が光触媒に吸着し、光触媒機能により汚染物質が分解される。分解された物質はマスク表面に付着しても脱離しやすくなるため、歩留まりを低下させることはない。または、物質自体が歩留まりの低下を引き起こさないものになる。
【００２２】
第１部材６及び第２部材７はアウトガスの少ない材料からなる。例としては、Ａｌ、Ｃｕ、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｒ、ステンレス等の金属、あるいはＡｌとＳｃ、Ｎｂ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｎｄ、Ｔａ、Ｃｕ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｐｂ、Ｐｔ等の遷移元素との合金等が挙げられ、さらに、透過体４と同じ材料も用いることが可能である。保持体５は第１部材６及び第２部材７と同様の材料を用いることができる。
【実施例１】
【００２３】
以下に本発明のマスクケースの一実施例を示す。
【００２４】
保持体５および上蓋となる第１部材６、トレイとなる第２部材７がステンレスからなり、少なくとも第１部材６および第２部材７に可視光および紫外光透過体４である石英ガラスが搭載されている図１に示した構造をとるマスクケースにマスク１を収納した。保持体５は図２に示されているように第１部材６および第２部材７の四隅に設置されている。光触媒機能性物質８としてＴｉＯ２を図３に示したように可視光および紫外光透過体４のマスクケース内部側にスパッタリング法を用いて被覆してある。
【００２５】
まず、マスクケースの表側と裏側に紫外線ランプを外部から１時間照射した後、マスクケース内に収納されたままのマスクを２４時間放置した。その後、加熱脱離ガスクロマトグラフ質量分析装置でマスク表面に付着している物質を調べたところ、分子状汚染物質である揮発性有機化合物がほとんど検出されず、総揮発性有機化合物の濃度は０．１μｇ／ｍ３以下となった。
＜比較例１＞
本発明のマスクケースと同様に上蓋６とトレイ７はステンレスからなるが、ＴｉＯ２を被覆した石英ガラスを搭載しておらず光触媒機能性を持たないマスクケース内にマスク１を収納し、２４時間放置した。その後、加熱脱離ガスクロマトグラフ質量分析装置でマスク表面に付着している物質を調べたところ、ＤＯＰ（フタル酸ジオクチル）、ＤＥＰ（フタル酸ジエチル）などのフタル酸エステル類をはじめとした揮発性有機化合物が検出された。総揮発性有機化合物の濃度は１８８μｇ／ｍ３となった。
＜比較例２＞
従来用いられているマスクケースと同様に、上蓋６とトレイ７はスチレン系樹脂からなるが、ＴｉＯ２を被覆した石英ガラスを搭載しておらず光触媒機能性を持たないマスクケース内にマスク１を収納し、２４時間放置した。その後、加熱脱離ガスクロマトグラフ質量分析装置でマスク表面に付着している物質を調べたところ、ＤＯＰ（フタル酸ジオクチル）、ＤＥＰ（フタル酸ジエチル）などのフタル酸エステル類をはじめとした揮発性有機化合物が検出された。総揮発性有機化合物の濃度は３２３μｇ／ｍ３となった。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明は、集積回路などの製造工程で使用されるレチクル又はフォトマスク（以下、これらを併せてマスクと呼ぶ。）を収納運搬するために用いるマスクケースに利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明におけるマスクケースの一例を示す断面図である。
【図２】図１に示したマスクケースの第１部材６をはずしたものの上面図である。
【図３】図１のＡ部分の拡大図である。
【符号の説明】
【００２８】
１・・・マスク
２・・・ガラス面
３・・・膜面
４・・・可視光および紫外光透過体
５・・・保持体
６・・・第１部材
７・・・第２部材
８・・・光触媒機能性物質
【図１】
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【図２】
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【図３】
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