(57)【要約】【目的】対向する電極間に放電に安定して確実に生起させ、プラズマを容易に連続的に発生することができるプラズマ発生用電極、プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置を提供する。【構成】  電極４ａ、４ｂ間でプラズマを発生させるプラズマ発生用電極４において、電極４の少なくとも一方の電極４ａに電極間方向に向いた先鋭な突起４ｇを形成し、この突起４ｇと他方の電極４ｂ間に放電を生起してプラズマを発生させるように構成した。この先鋭な突起４ｇは任意の形状に形成できる。送流器７から任意の流体を送流すれば、所望の気体プラズマや液体プラズマを生成できる。このプラズマを用いて被処理物を処理すれば、成膜装置、加工装置、粉体処理装置などのプラズマ装置を構成できる。【選択図】  図１
2005285520.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極間でプラズマを発生させるプラズマ発生用電極において、前記電極の少なくとも一方の電極に電極間方向に向いた先鋭な突起を形成し、この突起と他方の電極間に放電を生起してプラズマを発生させるように構成したことを特徴とするプラズマ発生用電極。
【請求項２】
一対以上の電極間でプラズマを発生させるプラズマ発生用電極であり、一対を構成する一方の電極又は両方の電極の対向する側に、電極間方向に向いた先鋭な突起を形成し、突起により電極間に放電を生起してプラズマを発生させるように構成したことを特徴とするプラズマ発生用電極。
【請求項３】
前記電極は長手状に形成され、その対向する長手方向側面に複数の突起が形成されている請求項１又は２に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項４】
前記電極間が先端になるにつれて次第に広がるように形成されている請求項１、２又は３に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項５】
前記電極間が根元部分から互いに狭まり、途中から先端側に向けて互いに広がるように構成されている請求項１、２又は３に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項６】
前記電極の一方の電極が筒状電極であり、他方の電極がその筒状電極の内部に中心電極として配置されている請求項１乃至５のいずれかに記載のプラズマ発生用電極。
【請求項７】
前記一対の電極を複数対用意し、これら複数対の電極を平面状に配置した請求項１乃至６のいずれかに記載のプラズマ発生用電極。
【請求項８】
前記一対の電極を複数対用意し、これら複数対の電極を立体状に配置した請求項１乃至６のいずれかに記載のプラズマ発生用電極。
【請求項９】
前記突起を有する電極は、片方の側縁又は両側縁が鋸刃状に形成されている請求項１乃至８のいずれかに記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１０】
前記鋸刃状の電極が、捩じり形状を有する請求項９に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１１】
前記突起を有する電極は、先鋭な外周縁形状の駒状体を複数個連ねて構成される請求項１乃至８のいずれかに記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１２】
前記突起を有する電極は、長手方向に間隔をおいて複数の突起が片方の側縁又は両側縁に設けられている請求項１乃至８のいずれかに記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１３】
前記突起を有する電極は、棒状に形成され、この棒状電極の外周面に長手方向に複数の突起が設けられている請求項１乃至８のいずれかに記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１４】
前記突起を有する電極は、螺旋状に巻回されており、この螺旋状電極の周面に複数の突起が設けられている請求項1乃至８のいずれかに記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１５】
前記電極間に１個以上の導電体を配設した請求項１乃至８のいずれかに記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１６】
前記電極間に１個以上の絶縁体を配設し、又は前記導電体間に絶縁体を配設した請求項１〜８又は１５に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１７】
前記筒状電極の内面側に複数の突起が形成されている請求項６，７又は８に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１８】
前記中心電極の内側に,原料流体供給管が配設されている請求項６，７，８又は１７に記載のプラズマ発生用電極。
【請求項１９】
請求項１乃至１８のいずれかに記載のプラズマ発生用電極を配置し、前記電極間に流体を送流して、プラズマを前方に押し出すように構成したことを特徴とするプラズマ発生装置。
【請求項２０】
請求項１乃至１８のいずれかに記載のプラズマ発生用電極を配置し、インバータの出力を高圧パルス発生回路に供給して高圧パルスを形成し、この高圧パルスを前記プラズマ発生用電極に印加し、前記プラズマ発生用電極からプラズマを放射することを特徴とするプラズマ発生装置。
【請求項２１】
前記高圧パルス発生回路により、個々の電極対を独立に充放電制御する請求項２０に記載のプラズマ発生装置。
【請求項２２】
請求項１９、２０又は２１に記載のプラズマ発生装置を配置し、このプラズマ発生装置から放射されるプラズマ流を反応室に導入し、このプラズマを用いて反応室内で被処理物を処理することを特徴とするプラズマ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマ発生用電極、プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置に関し、更に詳細には、対向する電極間に放電を容易に生起できるプラズマ発生用電極、プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図２５は、特開２００１−２９７８９８により開示される従来のプラズマ表面処理装置の構成図である。この従来技術のプラズマ表面処理装置１０１は、電源回路１１０、高周波トランス１１１、一対の電極１１２ａ、１１２ｂ、エアポンプ１１３を備えている。電源回路１１０は、１５〜３０ｋＨｚの高周波電圧を高周波トランス１１１の一次コイル１１１ａに印加する。
【０００３】
高周波トランス１１１の二次コイル１１１ｂには３０００〜１００００Ｖに昇圧された高周波電圧が発生し、この電圧が一対の電極１１２ａ、１１２ｂの間に印加される。この結果、一対の電極１１２ａ、１１２ｂの間にアーク放電が発生し、約２００ｍＡの放電電流が流れる。このアーク放電によって、空気が電離した状態、つまりプラズマが発生する。
【０００４】
電源回路１１０はエアポンプ１１３にも電力を供給し、エアポンプ１１３が発生する空気流が一対の電極１１２ａ、１１２ｂ間に供給される。この結果、一対の電極１１２ａ、１１２ｂの間に発生しているプラズマが、その近くに配置された処理対象物ＷＫの表面に吹き付けられる。このようにして、処理対象物ＷＫの表面がプラズマによって処理され、塗料、接着剤等に対する親和性が高められる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２９７８９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
この従来のプラズマ表面処理装置では、一対の電極１１２ａ、１１２ｂは、先端を先鋭にした棒状電極を並設した構造を有するだけであるから、棒状電極の側面間では放電が生起しにくい。また、先鋭な先端は平行に配置されているから、両先鋭端間でも放電が生起しにくい構造であった。放電が生起し難いため、プラズマを連続的に安定して発生させることが困難であり、プラズマ表面処理装置としても未完成なものである。
【０００７】
本発明は、上記した従来の問題に鑑みてなされたものであって、対向する電極間に放電を安定して確実に生起させ、プラズマを容易に連続的に発生することができるプラズマ発生用電極、プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために提案されたものであって、本発明の第１の形態は、電極間でプラズマを発生させるプラズマ発生用電極において、前記電極の少なくとも一方の電極に電極間方向に向いた先鋭な突起を形成し、この突起と他方の電極間に放電を生起してプラズマを発生させるように構成したプラズマ発生用電極である。
【０００９】
本発明の第２の形態は、一対以上の電極間でプラズマを発生させるプラズマ発生用電極であり、一対を構成する一方の電極又は両方の電極の対向する側に、電極間方向に向いた先鋭な突起を形成し、突起により電極間に放電を生起してプラズマを発生させるように構成したプラズマ発生用電極である。
【００１０】
本発明の第３の形態は、前記電極は長手状に形成され、その対向する長手方向側面に複数の突起が形成されているプラズマ発生用電極である。
【００１１】
本発明の第４の形態は、前記電極間が先端になるにつれて次第に広がるように形成されているプラズマ発生用電極である。
【００１２】
本発明の第５の形態は、前記電極間が根元部分から互いに狭まり、途中から先端側に向けて互いに広がるように構成されているプラズマ発生用電極である。
【００１３】
本発明の第６の形態は、前記電極の一方の電極が筒状電極であり、他方の電極がその筒状電極の内部に中心電極として配置されているプラズマ発生用電極である。
【００１４】
本発明の第７の形態は、前記一対の電極を複数対用意し、これら複数対の電極を平面状に配置したプラズマ発生用電極である。
【００１５】
本発明の第８の形態は、前記一対の電極を複数対用意し、これら複数対の電極を立体状に配置したプラズマ発生用電極である。
【００１６】
本発明の第９の形態は、前記突起を有する電極が、片方の側縁又は両側縁が鋸刃状に形成されているプラズマ発生用電極である。
【００１７】
本発明の第１０の形態は、前記鋸刃状の電極が、捩じり形状を有するプラズマ発生用電極である。
【００１８】
本発明の第１１の形態は、前記突起を有する電極が、先鋭な外周縁形状の駒状体を複数個連ねて構成されるプラズマ発生用電極である。
【００１９】
本発明の第１２の形態は、前記突起を有する電極が、長手方向に間隔をおいて複数の突起が片方の側縁又は両側縁に設けられているプラズマ発生用電極である。
【００２０】
本発明の第１３の形態は、前記突起を有する電極が、棒状に形成され、この棒状電極の外周面に長手方向に複数の突起が設けられているプラズマ発生用電極である。
【００２１】
本発明の第１４の形態は、前記突起を有する電極が、螺旋状に巻回されており、この螺旋状電極の周面に複数の突起が設けられているプラズマ発生用電極である。
【００２２】
本発明の第１５の形態は、第１〜第８形態において電極間に１個以上の導電体を配設したプラズマ発生用電極である。
【００２３】
本発明の第１６の形態は、第１〜第８形態において電極間に1個以上の絶縁体を配設し、又は第１５形態の導電体間に絶縁体を配設したプラズマ発生用電極である。
【００２４】
本発明の第１７の形態は、前記筒状電極の内面側に複数の突起が形成されているプラズマ発生用電極である。
【００２５】
本発明の第１８の形態は、前記中心電極の内側に原料流体供給管が配設されているプラズマ発生用電極である。
【００２６】
本発明の第１９の形態は、第１乃至第１８のいずれかの形態のプラズマ発生用電極を配置し、前記電極間に流体を送流して、プラズマを前方に押し出すように構成したプラズマ発生装置である。
【００２７】
本発明の第２０の形態は、第１乃至第１８のいずれかの形態のプラズマ発生用電極を配置し、インバータの出力を高圧パルス発生回路に供給して高圧パルスを形成し、この高圧パルスを前記プラズマ発生用電極に印加し、前記プラズマ発生用電極からプラズマを放射するプラズマ発生装置である。
【００２８】
本発明の第２１の形態は、前記高圧パルス発生回路により、個々の電極対を独立に充放電制御するプラズマ発生装置である。
【００２９】
本発明の第２２の形態は、第１９、２０又は第２１の形態のプラズマ発生装置を配置し、このプラズマ発生装置から放射されるプラズマ流を反応室に導入し、このプラズマを用いて反応室内で被処理物を処理するプラズマ処理装置である。
【発明の効果】
【００３０】
本発明の第１の形態によれば、先鋭な突起が電極間方向に向いて形成されているから、一方の電極に形成された突起から他方の電極に向けて放電が容易に生起し、この放電によりプラズマを確実に発生させることができる。また、両方の電極に電極間方向に向いた先鋭な突起が設けられていれば、これらの突起の間に放電が一層容易に生起し、より確実にプラズマを発生させることができる。突起の先端が先鋭に形成されているので、この突起の先端の先鋭部分には高電界が作用し、その結果放電が生起されやすく、プラズマ発生が容易になる。
【００３１】
本発明の第２の形態によれば、一対以上の電極が配置され、これらの電極に設けられた先鋭な突起間に放電が生起されると、電極間に強いプラズマを発生し、しかも複数対の電極から放射されるプラズマ流は、大面積化され、大面積プラズマの大量放射を実現できる。
【００３２】
本発明の第３の形態によれば、長手状に形成された電極の長手方向側面の複数の突起から複数の放電が生起され、複数突起間に大量放電が生起し、幾条にも重なった高密度プラズマを連続的に発生することができる。
【００３３】
本発明の第４の形態によれば、電極間が先端側に向けて次第に広がるように構成されているので、先端側に向けて次第に広い間隔で放電が生起される。これにより、先端側に向けて次第に広がるプラズマを幾条にも重なるように発生でき、大面積プラズマの放射を実現できる。
【００３４】
本発明の第５の形態によれば、電極間が根元部分から互いに狭まり、途中から先端側向けて互いに広がるように構成されているので、電極間の最小間隔距離の調整が容易であり、最小間隔距離を微小化することによって、放電を最適化でき、プラズマ発生の最適調整が容易になる。また、電極先端間隔を自在に拡張できるから、大面積プラズマの発生が容易になる。
【００３５】
本発明の第６の形態によれば、筒状電極の内面と内部の中心電極との間に、幾条もの放電が生起され、筒状電極の先端又は側面の開口部からプラズマジェット流を噴き出すように構成できる。また、複数の筒状電極を任意位置に配置することによって、複数のプラズマジェット流の放射が可能となる。
【００３６】
本発明の第７の形態によれば、平面状に配置された複数対の電極間のそれぞれから放電が生起され、大面積の平面状プラズマを発生させることができる。また、複数の筒状電極を平面状に配置すれば、複数のプラズマジェット流を平面状に放射できる。複数対の電極対は、直線状に列設してもよいし、開曲線状に列設してもよいし、閉曲線状に列設してもよく、配置形態は任意である。直線状や開曲線状列設では平面状プラズマが放射される。閉曲線状列設で放射方向が内方向に向く場合には閉曲線で囲われた面状プラズマが形成され、閉曲線状列設で放射方向が外方向に向く場合には閉曲線で囲われた面を除く面状プラズマが形成される。例えば、閉曲線が略円周・略楕円で放射方向が内方向の場合には、略円面プラズマ・略楕円面プラズマが形成される。
【００３７】
本発明の第８の形態によれば、立体状に配置した複数対の電極間に放電が生起されて立体的なプラズマ流を発生させることができる。例えば、複数の電極対を平面配置し、この平面配置を複数段重ねることにより、立体プラズマを形成できる。電極対の平面配置は任意に設計でき、プラズマ放射方向を一方向に揃えると、大立体プラズマ流になり、放射方向を内向き方向に揃えると、断面が略円面、略楕円面・略矩形面を積重ねた筒状の大立体プラズマを形成できる。電極対は２本の電極でもよいし、筒状電極でもよい。特に、筒状電極の場合には、プラズマジェット放射を立体的に組み立てた大立体プラズマ流を構成できる。
【００３８】
本発明の第９の形態によれば、電極の複数の突起が鋸刃状に形成されているので、この鋸刃状の突起のそれぞれから強い放電が生起されて安定確実なプラズマを発生させることができる。
【００３９】
本発明の第１０の形態によれば、鋸刃状の電極が捩じり形状になっているので、この電極の周囲各方面に放電が生起されて広い範囲でのプラズマを発生させることができる。特に、他方の電極が筒状電極である場合には、この捩じり形状の電極の鋸刃状部分が、筒状電極に向けて放射状に放電され、開口部から高強度のプラズマを発生することができる。
【００４０】
本発明の第１１の形態によれば、電極が先鋭な外縁形状の複数の駒状体の先鋭な部分の周囲から放射状に放電が生起されて放射状のプラズマを発生させることができる。特に、他方の電極が筒状電極であれば、筒状電極の内面に向けて、駒状体の周囲の先鋭な部分から、筒状電極の内面に向けて放射面状に放電されて放射面状のプラズマを発生することができる。
【００４１】
本発明の第１２の形態によれば、電極の長手方向に間隔をおいて設けられた突起から複数条の放電が生起されて、この多条放電によりプラズマを間隔を有して発生させることができる。
【００４２】
本発明の第１３の形態によれば、棒状電極の外周面にある複数の突起から外側に向けて放電が生起され、これら複数条の放電により強力なプラズマを発生させることができる。特に、他方側の電極が筒状電極である場合には、この筒状電極の内面に向け複数条の放電が生起され、筒状電極内部で高強度のプラズマを発生させ、開口部から強力なプラズマジェット流を放射できる。
【００４３】
本発明の第１４の形態によれば、螺旋状に巻回された電極の周面から周囲あらゆる方向に向けて放電が生起され、あらゆる方向に向けてプラズマを発生させることができる。特に、他方の電極が筒状電極であれば、この筒状電極の内面のあらゆる箇所に放電が生起され、筒状電極内の全方向に向けてプラズマを発生させ、開口部から強力なプラズマジェット流を放射できる。
【００４４】
本発明の第１５の形態によれば、電極間に配設された導電体は１個以上であればよく、導電体間に電極間で発生したプラズマが多分割状に発生するので、このプラズマの先端縁を概ね一直線化したプラズマにすることができる。導電体が無い場合には、電極間に形成されるプラズマ流の先端縁は略円弧状になるが、導電体が介在すると、導電体間のプラズマ流は任意の位置において均一化され、導電体の列設方向にプラズマ流の先端縁が整列される。従って、導電体を直線状に配置すると、この直線方向にプラズマ流の先端縁が略直線化される。
【００４５】
本発明の第１６の形態によれば、第１５の形態のような導電体を配設する代わりに、例えば電極間に１個以上の絶縁体の板を櫛状あるいはフィン状に配設する。電極間で発生したプラズマは、絶縁体の櫛状板によって多分割され、プラズマ先端縁が概ね一直線化できる。第１５の形態の場合、金属表面の処理に使うとき，被処理金属にも電流が流れるため、該金属表面にプラズマスポット（アークスポット）が形成される結果、該金属表面が損傷する場合がある。第１６の形態のように電極間に絶縁物を配設すると、電極間の電流路が遮断されるため、金属の処理の際にも該金属に電流が流れることがなく、つまり，該金属表面にアークスポットが形成されることがなく、該金属表面が損傷を受けないという利点がある。更にまた，第１５の形態のように電極間に１個以上の導電体を配設し、加えて絶縁体を配設するのも良い。この場合、導電体間に配置された絶縁体によって、導電体間の微細円弧状プラズマが直線状に押し潰され、より一層直線状のプラズマを得ることができる。導電体だけの場合には、導電体間においてプラズマ先端縁は微細な円弧状になるが、導電体間に絶縁体を介在させると、絶縁体により微細な円弧状プラズマがつぶされ、導電体と絶縁体間で微細な平坦プラズマになり、この平坦プラズマが横方向に連設されて、プラズマ先端縁が一層直線化される。
【００４６】
本発明の第１７の形態によれば、筒状電極の内面側の複数の突起と中心電極との間に放電が生起されて、太い棒状のプラズマを発生させ開口部の形状に応じた断面形を有するプラズマジェット流を形成できる。
【００４７】
本発明の第１８の形態によれば、中心電極の内側に原料流体供給管が配設されているので、筒状電極との開口部から放射されるプラズマジェット流の中に供給管の先端から原料流体が供給され、プラズマエネルギーにより原料流体を反応させて目的物質を生成することができる。
【００４８】
本発明の第１９の形態によれば、プラズマ発生用電極によって生起した放電中に流体が進入し、放電エネルギーによってこの流体をプラズマ化して、任意流体のプラズマを発生させることができる。同時に、このプラズマは流体により前方へ押し出されるので、前方へ流出するプラズマ流を形成できる。流体が空気なら空気プラズマとなり、他の気体ならその気体を原料としたプラズマとなり、また流体が液体ならその液体を原料としたプラズマを形成できる。この様に任意流体のプラズマを生成することができる。
【００４９】
本発明の第２０の形態によれば、インバータで交流の周波数が可変され、このインバータからの出力により高圧パルス発生回路で高圧パルスが形成される。この高圧パルスがプラズマ発生用電極に印加されて、プラズマ発生用電極からプラズマが放射される。インバータを用いるから省力化でき、高圧パルス発生回路で高圧パルスが得られるので、プラズマ発生用電極間で効率的にプラズマを発生させることができる。
【００５０】
本発明の第２１の形態によれば、高圧パルス発生回路で、個々の電極対を独立に充放電制御することができ、個々の電極対にそれぞれ高い電圧の高圧パルスを供給することができる。これにより、個々の電極対で強いプラズマを発生させることができる。
【００５１】
本発明の第２２の形態によれば、プラズマ発生装置から放射されるプラズマ流を反応室に導入しているので、このプラズマにより被処理物の表面を処理し、被処理物の表面に成膜したり、被処理物の表面を加工することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５２】
以下、本発明に係るプラズマ発生用電極、プラズマ発生装置及びプラズマ処理装置の実施の形態を、図１〜図２４に基づいて詳細に説明する。
【００５３】
図１は本発明に係るプラズマ発生装置の第１実施形態を示すブロック図である。  図１に示すように、このプラズマ発生装置１は、インバータ回路２（ＩＮＶ）と、このインバータ回路２に接続された高圧パルス発生回路３（ＨＰＧ）と、この高圧パルス発生回路３に接続されたプラズマ発生用電極４と、このプラズマ発生用電極４の各電極４ａ、４ｂ間に流体を送流させる送流器７（ＦＧ）から構成されている。更に詳述すると、電極４ａ、４ｂには、電極間方向に向いた先鋭な複数の突起４ｇ、４ｇが形成されている。また、前記送流器７はプラズマ化される流体を送流し、生成されるプラズマを前方へ押し出す作用を有する。
【００５４】
インバータ回路２で交流の周波数が可変され、このインバータからの出力により高圧パルス発生回路３で高圧パルスが形成される。この高圧パルスがプラズマ発生用電極４に印加されて、電極４ａ、４ｂの突起４ｇ、４ｇ間に放電が生起され、この放電エネルギーにより、電極４ａ、４ｂ間に送流される流体のプラズマが発生される。即ち、電極間方向に対向した突起４ｇ、４ｇの先端は先鋭化されており、この先鋭端に電気力線が集中するから、この突起４ｇ、４ｇの間に放電が容易に生起され、プラズマを誘起することになる。前記送流器７から送流される流体が空気なら空気プラズマが、窒素ガスなら窒素プラズマが生成される。また、流体はガスに限らず、液体でも良い。それらの混合流体でも良い。もちろん、流体中に固体粉末が含まれていても良い。更には、ガス流体中に液体粉末が含まれていても良い。流体が液体の場合には、電極４ｇ、４ｇは液体中に浸漬されており、液体を構成する成分が分解したプラズマが生成される。また、送流器７により流体が送流されるから、流体は電極間を前方に向かって流れ、ガスソースプラズマ（ガスを主原料としたプラズマ）、液体ソースプラズマ（液体を原料としたプラズマ），固体若しくは液体粉末を含むガスソースプラズマ、あるいは固体粉末を含む液体ソースプラズマを前方へ押し出し、連続したプラズマ流を形成する。
【００５５】
この第１実施形態のプラズマ発生装置によれば、高圧パルス発生回路３で高い電圧の高圧パルスが得られるので、プラズマ発生用電極間４で高率的にプラズマが破線のように発生される。また、インバータ回路２を用いているので電力エネルギーの省力化が行われる。送流器７の具体例として、ガスの場合にはブロワーが使用でき、液体の場合にはポンプが使用できる。また、流体の流れを層流化するために整流部材が配置され、流体が整流部材を通過すると層流に転換され、この層流を前記電極間に流通させれば均一なプラズマ流を形成できる。
【００５６】
図２はプラズマ発生装置の第２実施形態を示すブロック図である。図２に示すように、この第２実施形態のプラズマ発生装置１Ａでは、電源５とインバータ回路２とが接続され、インバータ回路２と高圧パルス発生回路３のトランス６とが接続されている。更に、高圧パルス発生回路３とプラズマ発生用電極４Ａとが接続されている。プラズマ発生用電極４Ａは、両外側の鋸刃状の電極４ｃとこれら電極４ｃの内側の他方の電極４ｄとから構成されている。電極４ｃ、４ｃは高圧電極であり、電極４ｄはアース側電極である。両外側の電極４ｃ、４ｃには、電極間方向に向いた先鋭な突起４ｇがそれぞれ複数設けられている。この実施形態では、電極対４ｃ、４ｄが２対配置され、対の数を増やすことによりプラズマの大面積化が可能になる。
【００５７】
この第２実施形態によれば、インバータ回路２からの出力が、トランス６で高圧化されて、高い電圧の高圧パルスが得られる。この高圧パルスによって、プラズマ発生用電極４Ａの両電極４ｃ、４ｄ間に連続放電を生起し、安定確実な連続プラズマが発生される。
【００５８】
図３はプラズマ発生装置の第３実施形態を示すブロック図である。図３に示すように、この第３実施形態のプラズマ発生装置１Ｂは、インバータ回路２と高圧パルス発生回路３のトランス６とが接続されている。更に、この高圧パルス発生回路３とプラズマ発生用電極４Ｂとが接続されている。プラズマ発生用電極４Ｂは両側方向にジグザグ状の突起が形成された線材４ｅ（高圧電極）からなる。電極間方向に向いた複数の先鋭な突起４ｇと内側の電極４ｆとの間に放電が生起される。この放電エネルギーにより外側の電極４ｅと内側の電極４ｆの間に複数条のプラズマが発生される。図１及び図２では、先鋭な突起は鋸刃から形成されていたが、図３のようにジグザグ突起から形成されても、電極間の放電を効率的に生起することができる。この先鋭な突起は高圧側に設けても良いし、アース側に設けても良く、また両電極に設けても良いことは云うまでも無い。
【００５９】
また、高圧パルス発生回路３とプラズマ発生用電極１Ｂとの中間に送流器７が配置されている。この送流器７から流体が両電極４ｅ、４ｆ間に送流されるようになっている。この送流器７からの流体の送流によって、この流体のプラズマを生成でき、しかも両電極４ｅ、４ｆ間のプラズマ流を前方に向けて送出することができる。
【００６０】
図４は本発明に係るプラズマ発生用電極の第１実施形態を示す概略平面図である。図４に示すように、このプラズマ発生用電極４Ａは上記第２実施形態のプラズマ発生装置１Ａで使用されているものと同様に、両外側の鋸刃状の電極４ｃとその内側の電極４ｄとで構成されている。外側の電極４ｃには電極間方向に向けて先鋭な突起４ｇが形成されている。両外側の鋸刃状の電極４ｃから内側の電極４ｄに向けて複数条のプラズマが発生される。
【００６１】
この第１実施形態によれば、先鋭な突起４ｇが電極間方向に向いて形成されているから、一方の電極４ｃに形成された突起４ｇから他方の電極４ｄに向けて放電が容易に生起し、この放電によりプラズマが確実に発生される。突起４ｇの先端が先鋭に形成されているので、この突起４ｇの先端の先鋭部分には高電界が作用し、その結果放電が生起されやすく、プラズマ発生が容易になる。
【００６２】
図５は第１実施形態のプラズマ発生用電極の電極間に複数の導電体を配設した状態の概略平面図であり、（５Ｂ）は（５Ａ）に示す導電体間のプラズマの発生状態を示す概略拡大部分平面図である。
【００６３】
（５Ａ）及び（５Ｂ）に示すように、一方の鋸刃状の電極４ｃにおける先端の突起４ｇと他方の電極４ｄとの間に、複数の導電体８が列設されている。従って、電極４ｃ、４ｄ間に配設された複数の導電体８、８間に電極４ｃ、４ｄ間で発生したプラズマが幾列も発生するので、このプラズマが直線状のプラズマとなる。
【００６４】
即ち、導電体８が無い場合には、電極４ｃ、４ｄ間に形成されるプラズマ流の先端縁は略円弧状に形成される。導電体８が介在すると、導電体８、８間に微細な円弧状プラズマが形成され、多数の微細円弧状プラズマの先端縁が略直線状に構成される。従って、プラズマ流は任意の位置において均整化され、導電体の列設方向にプラズマ流の先端縁が整列される。従って、導電体８を直線状に配置すると、この直線方向にプラズマ流の先端縁が略直線化される。プラズマ流の先端縁が直線化されると、前進するプラズマ流が前方に配置される被処理物の表面に均一に衝突し、プラズマ処理の均一化を図ることができる。
【００６５】
図６は第１実施形態のプラズマ発生用電極の複数の導電体の間に絶縁体を配設した状態の概略平面図であり、（６Ｂ）は（６Ａ）に示す導電体間のプラズマの発生状態を示す概略拡大部分平面図である。
【００６６】
（６Ａ）及び（６Ｂ）に示すように、両電極４ｃ、４ｄ間に列設された複数の導電体８の間にそれぞれ絶縁体９が配設されている。従って、導電体間の絶縁体９によって、導電体間に進入した微細プラズマ流が押しつぶされ、この押し潰された微細プラズマ流が前進すると、電極４ｃ、４ｃ間のプラズマ流の先端縁が直線化され、より一層直線状のプラズマ流が形成される。
【００６７】
即ち、導電体８だけの場合には、導電体８、８間においてプラズマ先端縁は微細な円弧状になるが、導電体８、８間に絶縁体９を介在させると、絶縁体９により微細な円弧状プラズマがつぶされ、導電体８、８の間で微細な平坦プラズマになる。この平坦プラズマが横方向に連設されて、全体のプラズマ流の先端縁が一層直線化される。もちろん、導電体８を使わず，絶縁体９だけを用いても良い。
【００６８】
図７は第２実施形態のプラズマ発生用電極の概略平面図である。図７に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｃは、両電極４ｈ、４ｈが長手状に形成され、長手方向適宜箇所に互いに向き合う先鋭な突起４ｊ、４ｊが形成されている。従って、これらの先鋭な突起４ｊ、４ｊ間に放電が生起され、プラズマが発生される。このプラズマは、先鋭な突起４ｊ、４ｊ間に発生するので、流体の送流により安定確実にプラズマを前進させることができる。
【００６９】
図８は第３実施形態のプラズマ発生用電極の概略平面図である。図８に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｄは、鋸刃状の電極４ｋ、４ｋ間が根元部分から互いに狭まり、途中から先端側に向けて互いに広がるように構成されている。従って、電極４ｋ、４ｋ間が根元部分から互いに狭まり、途中から先端側向けて互いに広がるように構成されているので、電極４ｋ、４ｋ間の最小間隔距離の調整が容易であり、最小間隔距離を微小化することによって放電性能を最適化でき、プラズマ発生の最適調整が容易になる。また、電極先端間隔を自在に拡張できるから、大面積プラズマの発生が容易になる。
【００７０】
図９は第４実施形態のプラズマ発生用電極の一方側の電極を示す部分平面図である。図９に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｅは、鋸刃状の電極４ｍが、捩じり形状に形成されている。従って、鋸刃状の電極４ｍが捩じり形状になっているので、多数の突起が周囲の全方向に配置され、この電極４ｍの周囲各方面に放電が生起されて広い範囲でプラズマが発生される。
【００７１】
図１０は第５実施形態のプラズマ発生用電極の概略平面図である。図１０に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｆは、先端側の間隔が広くなるように互いに向き合う略三角形状の電極４ｎ、４ｎが配置され、その内側の傾斜面に複数の先鋭な突起４ｐが形成されている。従って、この電極４ｎは三角形状に形成されているので、電極の作製が容易になる利点を有する。
【００７２】
図１１は第６実施形態のプラズマ発生用電極の概略平面図である。図１１に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｇは、両電極４ｑ、４ｑが先端になるにつれて互いに広がる外向き円弧状の板状体で形成され、その対向する側縁に複数の先鋭な突起４ｐが形成されている。この電極は鋸刃の概念に包含される。
【００７３】
図１２は第７実施形態のプラズマ発生用電極の概略平面図である。図１２に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｈは、両電極４ｒ、４ｒが先端方向に互いに広がる内向き円弧状の板状体で形成され、その対向する側縁に複数の先鋭な突起４ｐが形成されている。この電極も鋸刃の概念に包含される。
【００７４】
図１３はプラズマ発生装置の第４実施形態のブロック図であり、プラズマ発生用電極を複数並設している点に特徴を有する。図１３に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｉは、外側の電極４ｓ、４ｓが先端になるにつれて互いに広がる形状で鋸刃状の突起を有する線材で形成され、内側の電極４ｔが略Ｕ字形に形成されている。更に、これらの電極４ｓ、４ｓ、４ｔが平面方向に複数列配置されている。従って、平面状に配置された複数対の電極４ｓ、４ｔ間のそれぞれから放電が生起され、大面積の平面状プラズマが発生される。
【００７５】
図１４は第３実施形態のプラズマ発生用電極を複数並設した状態の概略平面図である。図１４に示すように、一対の鋸刃状の電極４ｋ、４ｋが平面方向に複数配列されている。従って、平面状に配置された一対の電極４ｋ、４ｋ間のそれぞれから放電が生起され、大面積の平面状プラズマを発生することができる。
【００７６】
図１５は第８実施形態のプラズマ発生用電極を示し、（１５Ａ）はその概略斜視図、（１５Ｂ）はその概略平面図、（１５Ｃ）はそのプラズマ流の説明図である。（１５Ａ）及び（１５Ｂ）に示すように、この第８実施形態のプラズマ発生用電極４Ｊは、一方の電極４ｕが四方に配置され、他方の電極４ｗがこの中心箇所に四方向に配置されている。一方の電極４ｕは鋸刃状の線材で形成され、他方の電極４ｗは略Ｕ字形に形成され、２つの線材からなる電極４ｗが＋状に交差して配置されている。従って、一方の電極４ｕから中心位置の他方の電極４ｗに向けて放電が生起し、４対の電極間の放電によってプラズマが発生される。このプラズマは流体の送流によって矢印方向に押し出され、（１５Ｃ）に示すように、立体円状のプラズマＰとなる。
【００７７】
図１６は第３実施形態のプラズマ発生用電極を複数立体配置した状態の概略斜視図である。図１６に示すように、このプラズマ発生電極４Ｃは、一対の鋸刃状の電極４ｋ、４ｋからなり、これらの一対の電極４ｋ、４ｋが上下２段でそれぞれ平面方向に複数配置されている。従って、各一対の電極４ｋ、４ｋ間で発生されるプラズマが前方へ押し出されると、全体形状として立体的なプラズマ流となる。この場合には、平面配置された一対の電極４ｋ、４ｋを複数段重ねることにより、断面が矩形状の大立体プラズマ流が形成される。
【００７８】
図１７は第９実施形態のプラズマ発生用電極を示し、（１７Ａ）はその概略断面図、（１７Ｂ）はその中心側の電極の１例の斜視図である。このプラズマ発生用電極４Ｋは、外側の筒状電極１４ａと中心電極１４ｂとから構成されている。中心の電極１４ｂは片方側に鋸刃状の先鋭な突起１４ｃが複数設けられている。従って、中心の鋸刃状の電極における突起の先端からそれぞれ筒状の電極に向けて放電が生起し、この放電エネルギーによりプラズマが発生し、発生したプラズマは筒状電極１４ａの先端開口部分から外部に流出することになる。
【００７９】
従って、筒状電極１４ａの内面と内部の中心電極１４ｂとの間に、幾条もの放電が生起され、筒状電極１４ａの先端からプラズマジェット流を噴き出すように機能する。また、複数の筒状電極１４ａを任意配置に構成することによって、複数のプラズマジェット流の放出が可能となる。複数の筒状電極を束状に配置すれば、束状のプラズマジェット流を生成でき、複数の筒状電極を矩形状に配置すれば、矩形状のプラズマジェット流を生成できる。
【００８０】
図１８は第９実施形態のプラズマ発生用電極の中心側に配置される電極の例を示し、（１８Ａ）はその第２例の斜視図、（１８Ｂ）はその第３例の斜視図、（１８Ｃ）はその第４例の斜視図、（１８Ｄ）はその第５例の斜視図、（１８Ｅ）はその第６例の斜視図である。
【００８１】
（１８Ａ）に示すように、第２例の電極１４ｄは、その両側に鋸刃状の先鋭な突起１４ｅがそれぞれ複数形成されている。この第２例の電極１４ｄを（１７Ａ）に示す筒状電極１４ａの中心に配置すると、この電極１４ｄの両側の突起１４ｅから筒状の電極１４ａに向かって２方向の放電が生起し、プラズマが発生される。
【００８２】
（１８Ｂ）に示す第３例の電極１４ｆは、先鋭な外周縁形状の駒状体１４ｇを複数連ねて構成されている。この第３例の電極１４ｆを筒状電極１４ａの中心に配置すると、電極１４ｆが先鋭な外縁形状の駒状体１４ｇの先鋭な部分の周囲から筒状電極１４ａの内面に向けて放射状に放電が生起されて放射面状のプラズマが発生される。
【００８３】
（１８Ｃ）に示す第４例の電極１４ｈは、複数の先鋭な突起１４ｊが長手方向に間隔をおいて片方の側縁に設けられている。（１８Ｄ）に示す第５例の電極１４ｋは、複数の先鋭な突起１４ｊが長手方向に間隔をおいて両側縁に設けられている
【００８４】
（１８Ｅ）に示す電極１４ｍは棒状に形成され、この棒状電極１４ｍの外周面に長手方向に複数の突起１４ｎが設けられている。従って、この棒状電極１４ｍを筒状電極１４ａの中心に配置すれば、棒状電極１４ｍの外周面にある複数の突起１４ｎから筒状電極１４ａの内面に向けて放電が生起され、これら複数条の放電により強力なプラズマが発生される。また、他方側の電極が筒状電極１４ａであるから、この筒状電極１４ａの内面に向けて複数条の放電が生起され、筒条電極１４ａ内部で高強度のプラズマを発生させ、開口部から強力なプラズマジェット流が放射される。
【００８５】
図１９は第１０実施形態のプラズマ発生用電極の概略断面斜視図である。図１９に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｌは、一方の電極１４ｐが筒状体の内面に複数の突起１４ｑが設けられ、その中心に棒状の電極１４ｒが配置されている。従って、筒状電極１４ｐの内面に形成された複数の突起１４ｑから棒状の電極１４ｒに向けて多数の放電が生起され、この放電エネルギーによりプラズマが発生され、筒状電極１４ｐの先端の開口部から外部に向けてプラズマ流が送出される。  
【００８６】
図２０は第１１実施形態のプラズマ発生用電極の概略断面斜視図である。図２０に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｍは、一方の電極１４ｐが筒状体の内面に複数の突起１４ｑが設けられ、その中心の棒状の電極１４ｓにも複数の突起１４ｔが設けられている。従って、筒状電極１４ｐの内面に形成された複数の突起１４ｐと棒状電極１４ｓの複数の突起１４ｔの間に放電が生起され、この放電によりプラズマが発生し、筒状の電極１４ｐの先端開口部から外部に強力なプラズマ流が放出される。
図１９の中心電極１４ｒおよび図２０の中心電極１４ｓは、筒状であっても良い。筒状の場合，そこから、被処理物（液体状、気体状，粉体状、およびそれらの混合物など）をプラズマ流中に効率的に投入して、被処理物をプラズマ処理することができる。
【００８７】
図２１は第１２実施形態のプラズマ発生用電極の概略断面斜視図である。図２１に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｎは、側面下部に開口部１４ｕを有する一方の筒状電極１４ｖの中心に、周囲凹凸突起が形成された先細り状の段付き棒状電極１４ｗが配置されている。従って、段付き棒状電極１４ｗの凸状突起部分から筒状電極１４ｖの内面に向けて多数の放電が生起し、この放電によりプラズマが発生する。このプラズマ流が筒状電極１４ｖの開口部１４ｕから放出され、強力なプラズマジェット流が外部に流出される。この例では、開口部１４ｕが円筒電極１４ｖの側面に設けられているため、円筒電極軸に対し半径方向にプラズマが放出される。これは、例えばチューブ内壁の表面処理などに利用できる。もちろん、開口部１４ｕは複数個設けられていてもかまわない。
【００８８】
図２２は第１３実施形態のプラズマ発生用電極の概略断面斜視図である。図２２に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｐは、筒状電極１４ｐの内部の中心側に、複数の突起を有する板状体からなる複数の電極１４ｘが配置されている。更に、この板状体からなる複数の電極１４ｘの内側に、原料流体供給管１５が配設されている。筒状電極１４ｐの内面と電極１４ｘの間に放電が生起され、プラズマが生成される。このプラズマは先端開口部からプラズマジェット流として外部に放出される。
【００８９】
中心電極１４ｘの内部に原料流体供給管１５が配置されているので、筒状電極１４ｐの開口部から放射されるプラズマジェット流の中に供給管１５の先端から原料流体が供給され、プラズマエネルギーにより原料流体を反応させて目的物質が生成される。
【００９０】
図２３は第１４実施形態のプラズマ発生用電極の概略断面斜視図である。図２３に示すように、このプラズマ発生用電極４Ｑは、筒状電極１４ｐ内の中心位置に原料流体供給管１５が配設され、この供給管１５を取り巻くように螺旋状電極１４ｚが巻回されている。この螺旋状電極１４ｚの周囲には複数の突起１４ｙが形成されている。
【００９１】
従って、螺旋状電極１４ｚの周面から筒状電極１４ｐの内面に向かって放射状に放電が生起され、この放射状放電によりプラズマが高密度に生成される。このプラズマは先端開口部から強力なプラズマジェット流として放出される。更に、筒状電極１４ｐの開口部から放射されるプラズマジェット流の中に供給管１５の先端から原料流体が供給され、プラズマエネルギーにより原料流体を反応させて目的物質が生成される。
【００９２】
もちろん、図２２および図２３の円筒電極１４ｐと供給管１５との間に流体を送流することができる。この流体は原料流体とは異なっても良い。前記原料流体とは、プラズマ被処理物や触媒であっても良い。例えば、金属やプラスチックの球状化を行う場合には、空気に金属やプラスチックを混合させて供給できる。つまり、気体や液体を流体とし、それ自体がプラズマ処理物であってもよく、また、被処理物である固体粉体やミスト状液体が別の流体に混ぜられて供給されても良い。また、カーボンナノチューブなどの合成の場合、原料となる炭化水素ガスやアルコール蒸気と、触媒となる金属元素を含む粉体を混合させて供給させても良い。
【００９３】
以上では、プラズマ発生用電極とプラズマ発生装置を説明した。このプラズマ発生用電極を用いてプラズマ発生装置を構成し、このプラズマ発生装置と反応室を接続してプラズマ処理装置を構成することもできる。具体的に云えば、図１〜図３のプラズマ発生装置１、１Ａ又は１Ｂを配置し、このプラズマ発生装置から放射されるプラズマ流を反応室（図示略）に導入し、反応室内でプラズマを被処理物に作用させて、被処理物を処理することができる。処理には、被処理物の表面に成膜したり、被処理物の表面を加工したり、原料である被処理物から目的粉体（目的物質）を製造する等、各種の処理が可能になる。
【００９４】
図２４は平面プラズマ又は立体プラズマからなるプラズマ領域を形成して被処理物を処理するプラズマ処理装置の一例の概略構成図である。（２４Ａ）はプラズマ処理装置の横断面図である。プラズマ処理装置２０は、反応室２０の中に４対のプラズマ発生用電極４を環状配置して構成され、電極４、４間には流体注入管２２から供給されるガスを遮断するブロック２６が配置されている。プラズマ発生用電極４を放電させた状態でガスを流体注入管２２から矢印ａ方向に注入すると、ガスはブロック２６で遮断されて左右に分流し、プラズマ発生用電極４の基部から電極間に流入する。前記放電により、注入されたガスが電極間で電離してプラズマが形成され、ガスの送流によりプラズマは前方へ押し出されてゆく。その結果、押し出されたプラズマは内部に集中し、平面状のプラズマ領域２８が形成される。このプラズマ領域２８は断面が略矩形状であるが、電極対の配置形態により、略円面状、略楕円状など任意の断面形状を形成できる。
【００９５】
（２４Ｂ）はプラズマ領域が平面状プラズマ領域からなる縦断面図である。（２４Ａ）の電極対の配置が１段の場合には、前記プラズマ領域２８は平面状プラズマ領域になる。この平面状のプラズマ領域２８に対し、上方から液体、気体、固体、粉体などの被処理物３０が投入される。被処理物３０はプラズマ領域２８でプラズマ処理され、目的物が下方に送出される。
【００９６】
（２４Ｃ）はプラズマ領域が立体状プラズマ領域からなる縦断面図である。（２４Ａ）の電極対の配置が複数段の場合には、（２４Ｂ）の平面状プラズマ領域が積層された立体状のプラズマ領域２８が形成される。この立体状のプラズマ領域２８は柱状構造を有し、上方から気体、液体、固体、粉体などの被処理物３０が投入されると、被処理物３０はプラズマ領域２８でプラズマ処理され、目的物が下方に送出される。
【００９７】
被処理物３０がガスの場合には、プラズマ領域で合成反応が生起し、粉体や合成分子からなる目的物が製造される。被処理物が液滴などのミストの場合には、焼結作用により目的粉体が製造される。被処理物３０が粒体の場合には、粒体の表面が改質されたり、粒体の表面に膜形成が生じ、目的粒体が製造される。被処理物３０が一定の大きさを有した固体物の場合には、この固体物をプラズマ領域２８の中に配置し、固体物表面にプラズマ処理が施され、表面処理された被処理物３０が製造される。
【００９８】
本発明は、上記実施形態や変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における種々変形例、設計変更などをその技術的範囲内に包含することは云うまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００９９】
本発明に係るプラズマ発生用電極、プラズマ発生装置は、会社や工場、研究所や研究室内において、気体や液体などの任意の流体から所望のプラズマを生成するために用いられる。このプラズマ発生装置から放射されるプラズマ流を反応室内に導入してプラズマ処理装置を構成することもできる。この反応室内でプラズマ流を用いて被処理物に対し所望の処理を行うことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】本発明に係るプラズマ発生装置の第１実施形態を示すブロック図である。
【図２】プラズマ発生装置の第２実施形態を示すブロック図である。
【図３】プラズマ発生装置の第３実施形態を示すブロック図である。
【図４】本発明に係るプラズマ発生用電極の第１実施形態を示す概略平面図である。
【図５】（５Ａ）は第１実施形態のプラズマ発生用電極の電極間に複数の導電体を配設した状態の概略平面図、（５Ｂ）は（５Ａ）に示す導電体間のプラズマの発生状態を示す概略拡大部分平面図である。
【図６】（６Ａ）は第１実施形態のプラズマ発生用電極における複数の導電体の間にそれぞれ絶縁体を配設した状態の概略平面図、（６Ｂ）は（６Ａ）に示す導電体間のプラズマの発生状態を示す概略拡大部分平面図である。
【図７】第２実施形態のプラズマ発生用電極の概略平面図である。
【図８】第３実施形態のプラズマ発生用電極の概略平面図である。
【図９】第４実施形態のプラズマ発生用電極の一方側の電極を示す部分平面図である。
【図１０】第５実施形態のプラズマ発生用電極の概略平面図である。
【図１１】第６実施形態のプラズマ発生用電極の概略平面図である。
【図１２】第７実施形態のプラズマ発生用電極の概略平面図である。
【図１３】プラズマ発生装置の第４実施形態のブロック図である。
【図１４】第３実施形態のプラズマ発生用電極を複数並設した状態の概略平面図である。
【図１５】第８実施形態のプラズマ発生用電極を示し、（１５Ａ）はその概略斜視図、（１５Ｂ）はその概略平面図、（１５Ｃ）はそのプラズマ流の説明図である。
【図１６】第３実施形態のプラズマ発生用電極を複数立体配置した状態の概略斜視図である。
【図１７】第９実施形態のプラズマ発生用電極を示し、（１７Ａ）はその概略断面図、（１７Ｂ）はその中心側の電極の１例の斜視図である。
【図１８】第９実施形態のプラズマ発生用電極の中心側に配置される電極の例を示し、（１８Ａ）はその第２例の斜視図、（１８Ｂ）はその第３例の斜視図、（１８Ｃ）はその第４例の斜視図、（１８Ｄ）はその第５例の斜視図、（１８Ｅ）はその第６例の斜視図である。
【図１９】第１０実施形態のプラズマ発生用電極の概略断面斜視図である。
【図２０】第１１実施形態のプラズマ発生用電極の概略断面斜視図である。
【図２１】第１２実施形態のプラズマ発生用電極の概略断面斜視図である。
【図２２】第１３実施形態のプラズマ発生用電極の概略断面斜視図である。
【図２３】第１４実施形態のプラズマ発生用電極の概略断面斜視図である。
【図２４】平面プラズマ又は立体プラズマからなるプラズマ領域を形成して被処理物を処理するプラズマ処理装置の一例の概略構成図である。
【図２５】従来のプラズマ表面処理装置のブロック図である。
【符号の説明】
【０１０１】
１      プラズマ発生装置
１Ａ    プラズマ発生装置
１Ｂ    プラズマ発生装置
２      インバータ回路
３      高圧パルス発生回路
４      プラズマ発生用電極
４Ａ    プラズマ発生用電極
４Ｂ    プラズマ発生用電極
４Ｃ    プラズマ発生用電極
４Ｄ    プラズマ発生用電極
４Ｅ    プラズマ発生用電極
４Ｆ    プラズマ発生用電極
４Ｇ    プラズマ発生用電極
４Ｈ    プラズマ発生用電極
４Ｉ    プラズマ発生用電極
４Ｊ    プラズマ発生用電極
４Ｋ    プラズマ発生用電極
４Ｌ    プラズマ発生用電極
４Ｍ    プラズマ発生用電極
４Ｎ    プラズマ発生用電極
４Ｐ    プラズマ発生用電極
４Ｑ    プラズマ発生用電極
４ａ    鋸刃状の電極
４ｂ    鋸刃状の電極
４ｃ    鋸刃状の電極
４ｄ    電極
４ｅ    電極
４ｆ    電極
４ｇ    突起
４ｈ    電極
４ｊ    突起
４ｋ    鋸刃状の電極
４ｍ    鋸刃状の電極
４ｎ    電極
４ｐ    突起
４ｑ    電極
４ｒ    電極
４ｓ    電極
４ｔ    電極
４ｕ    電極
４ｗ    電極
５      電源
６      トランス
７      送流器
８      導電体
９      絶縁体
１４ａ  電極
１４ｂ  電極
１４ｃ  突起
１４ｄ  電極
１４ｅ  突起
１４ｆ  電極
１４ｇ  駒状体
１４ｈ  電極
１４ｊ  突起
１４ｋ  電極
１４ｍ  電極
１４ｎ  突起
１４ｐ  電極
１４ｑ  突起
１４ｒ  電極
１４ｓ  電極
１４ｔ  突起
１４ｕ  開口部
１４ｖ  電極
１４ｗ  電極
１４ｘ  電極
１４ｙ  突起
１４ｚ  螺旋状電極
１５    原料流体供給管
２０    プラズマ処理装置
２１    反応室
２２    流体注入管
２６    ブロック
２８    プラズマ領域
３０    被処理物
【図１】
2005285520.tif 000003
【図２】
2005285520.tif 000004
【図３】
2005285520.tif 000005
【図４】
2005285520.tif 000006
【図５】
2005285520.tif 000007
【図６】
2005285520.tif 000008
【図７】
2005285520.tif 000009
【図８】
2005285520.tif 000010
【図９】
2005285520.tif 000011
【図１０】
2005285520.tif 000012
【図１１】
2005285520.tif 000013
【図１２】
2005285520.tif 000014
【図１３】
2005285520.tif 000015
【図１４】
2005285520.tif 000016
【図１５】
2005285520.tif 000017
【図１６】
2005285520.tif 000018
【図１７】
2005285520.tif 000019
【図１８】
2005285520.tif 000020
【図１９】
2005285520.tif 000021
【図２０】
2005285520.tif 000022
【図２１】
2005285520.tif 000023
【図２２】
2005285520.tif 000024
【図２３】
2005285520.tif 000025
【図２４】
2005285520.tif 000026
【図２５】
2005285520.tif 000027