(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の表面や裏面を汚さず、基板と背板とを積み重ねたまま装着可能な着脱装置、当該着脱装置を備えて構成される着脱システム、並びに、当該着脱システムを備えた成膜装置の提供。【解決手段】着脱装置は、ロボットアームの先端にハンド部５を装着した構成を有する。着脱装置のハンド部５は、上下方向に移動する基板ハンド２２ａ，２２ｂと、左右方向に移動する基板ハンド２２ｃとを有する。ハンド部５は、各基板ハンド２２ａ〜２２ｃによって基板および背板の縁面を一度に挟持すると共に、ロックハンド２３によって背板のロック部材の開閉を行う。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の装着部材に基板が取り付けられ、さらに前記基板の背面側に背板が取り付けられた状態から、基板と背板とを重ねた装着体を基板と背板とを重ねたままの状態で取り外し、さらに少なくとも基板を取り替えて基板と背板とを重ねて前記装着部材に再装着する着脱装置であって、装着体の対向する縁面の一方あるいは双方に当接して装着体を挟持する挟持手段と、前記挟持手段で装着体を挟持した状態で移動させる移動手段とを有することを特徴とする着脱装置。
【請求項２】
挟持手段は、先端部が鉤状であることを特徴とする請求項１に記載の着脱装置。
【請求項３】
挟持手段は、所定の面上を所定方向に往復動する第１の可動部材と、前記面上を第１の可動部材の移動方向に対して交差する方向に往復動する第２の可動部材とを備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の着脱装置。
【請求項４】
移動手段は、複数の腕部と、挟持手段が装着された着脱部とを有し、隣接する腕部同士あるいは腕部と着脱部とは関節部を介して回動自在に接続されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の着脱装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載の着脱装置と、装着体が装着される装着部材と、当該装着部材に対して装着体を固定状態とする固定手段とを有し、着脱装置は、固定手段を固定状態あるいは固定解除状態とする着脱手段を具備していることを特徴とする着脱システム。
【請求項６】
装着手段を立設状態で搬送する搬送手段を有することを特徴とする請求項５に記載の着脱システム。
【請求項７】
背板は、基板よりも小さいことを特徴とする請求項５または６に記載の着脱システム。
【請求項８】
装着部材は、装着体が装着される装着面を有し、当該装着面には着脱装置の挟持手段の一部を挿通可能な挿通口が設けられていることを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載の着脱システム
【請求項９】
装着部材は、基板の一部または全部を露出する露出口を有し、固定手段は、当該露出口の周囲に相当する位置にあることを特徴とする請求項５乃至８のいずれかに記載の着脱システム。
【請求項１０】
装着体を装着部材側に付勢する付勢手段を具備していることを特徴とする請求項５乃至９のいずれかに記載の着脱システム。
【請求項１１】
基板はガラス製であり、背板はカーボン製であることを特徴とする請求項５乃至１０のいずれかに記載の着脱システム。
【請求項１２】
移動手段は、装着体を背板側から支持し、当該移動手段によって支持された装着体から少なくとも背板を残して少なくとも基板を着脱可能な移載手段を有し、当該移載手段は、基板の縁面側に当接する縁面当接部と、基板の表面に当接可能な鉤部とを有する挟持部材を有し、前記背板には、移載手段に設けられた挟持部材に相当する位置に前記鉤部と背板との干渉を阻止する切り欠き部が設けられていることを特徴とする請求項５乃至１１のいずれかに記載の着脱システム。
【請求項１３】
請求項５乃至１２のいずれかに記載の着脱システムにより装着体の着脱を行うことを特徴とする成膜装置。
【請求項１４】
化学気相蒸着法により基板の表面に成膜を行うことを特徴とする請求項１３に記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板および背板を具備した装着体を搬送部材に対して着脱する着脱装置、当該着脱装置を備えて構成される着脱システム、並びに、当該着脱システムを備えた成膜装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、化学気相蒸着法（Chemical Vapor Deposition  以下、ＣＶＤ法と称す）やスパッタリング法等の手法によりガラス板等の基板の表面に成膜を施す成膜装置が太陽電池パネルの製作やフラットパネルディスプレイの製作等に採用されている。上記したＣＶＤ法やスパッタリング法等を採用した成膜装置の多くは、基板が装着された基板ホルダと称される装着部材を成膜チャンバ内に導入して成膜処理を行う。
【０００３】
近年、太陽電池パネルやフラットパネルディスプレイ等の大型化が進み、これに採用されるガラス板等の基板についても大型化する傾向にあり、人手による基板の着脱作業が困難となってきている。そこで、かかる問題を解決すべく、従来技術では下記特許文献１に示すような着脱装置が提案されている。
【０００４】
下記特許文献１に開示されている着脱装置は、ハンドリングロボットのアームの先端に設けた吸着パッドに基板を吸着させて搬送し、基板ホルダに対して基板を着脱する構成となっている。
【特許文献１】特開平２−１０１１６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記した従来技術の着脱装置は、吸着パッドを基板の表面あるいは裏面に直接吸着させるものであるため、基板に吸着パッドの吸着痕が残ったり、吸着パッド表面の汚れが付着してしまう。基板の表面や裏面に吸着痕や汚れが付着してしまうと、基板の外観を損ねるばかりか、ＣＶＤ法やスパッタリング法等による成膜状態に悪影響を与えてしまうという問題があった。
【０００６】
また、ＣＶＤ法等により成膜を行う場合、良好な成膜状態を得るために基板の背面にカーボンのような熱伝導率の高い背板を積み重ねて成膜作業を行うことが多い。この場合、上記特許文献１に開示されているような着脱装置では、基板および背板を積み重ねたままの状態で同時に基板ホルダに装着できないという問題がある。さらに具体的には、特許文献１に開示されている着脱装置では、ガラス基板の破損を考慮すると吸着力を必要以上に高くできない。さらに、上記したように背板としてカーボンのような多孔質の焼結体や不織布加工を施したものに対しては、ハンドリングロボットの吸着力を十分発揮できない。そのため、上記特許文献１に開示されているような着脱装置では、基板と背板とを同時に着脱することが極めて困難であり、ハンドリングロボットを採用しても基板および背板の着脱作業の作業効率をさほど向上できないという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、基板の表面や裏面を汚さず、基板と背板とを積み重ねたまま装着可能な着脱装置、当該着脱装置を備えて構成される着脱システム、並びに、当該着脱システムを備えた成膜装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記した問題に鑑み提供される請求項１に記載の発明は、所定の装着部材に基板が取り付けられ、さらに前記基板の背面側に背板が取り付けられた状態から、基板と背板とを重ねた装着体を基板と背板とを重ねたままの状態で取り外し、さらに少なくとも基板を取り替えて基板と背板とを重ねて前記装着部材に再装着する着脱装置であって、装着体の対向する縁面の一方あるいは双方に当接して装着体を挟持する挟持手段と、前記挟持手段で装着体を挟持した状態で移動させる移動手段とを有することを特徴とする着脱装置である。
【０００９】
本発明の着脱装置は、挟持手段を基板および背板を積み重ねた装着体の縁面に当接させて挟持し、装着部材に着脱するものである。そのため、本発明の着脱装置によれば、基板の表面や裏面を汚すことなく装着体の着脱を行える。
【００１０】
本発明の着脱装置は、挟持手段によって基板および背板を積み重ねた状態でこれらを装着部材に装着できる。即ち、本発明の着脱装置は、基板および背板の着脱を同時に行える。従って、本発明によれば、基板および背板の装着部材への着脱工程を簡略化し、作業効率を格段に向上できる。
【００１１】
また、本発明の着脱装置は、基板および背板の縁面を挟持する構成であるため、基板と背板をほぼ等しい大きさとしておくとこれらの端部を揃えた状態で装着部材に対して着脱できる。従って、本発明によれば、基板および背板を積み重ねた状態での位置決め精度を向上できる。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、挟持手段の先端部が鉤状であることを特徴とする請求項１に記載の着脱装置である。
【００１３】
かかる構成によれば、挟持手段により挟持される装着体をしっかりと挟持しつつ、装着体の面方向への位置ズレを最小限に抑制できる。従って、本発明の着脱装置によれば、基板および背板を所定の位置に精度良く装着できると共に、挟持手段から装着体が脱落することによる破損等を確実に防止できる。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、挟持手段が、所定の面上を所定方向に往復動する第１の可動部材と、前記面上を第１の可動部材の移動方向に対して交差する方向に往復動する第２の可動部材とを備えていることを特徴とする請求項１または２に記載の着脱装置である。
【００１５】
本発明の着脱装置では、装着体が所定の面上において２方向から挟持される。さらに具体的には、例えば本発明の着脱装置によって立設された状態の装着体を挟持する場合は、装着体を第１の可動部材によって上下方向に挟持すると共に、第２の可動部材によって左右方向から挟持する構成とすることが可能である。そのため、本発明の着脱装置によれば、装着体をしっかりと保持した状態で着脱作業を行える。
【００１６】
また、本発明の着脱装置は、装着体を２方向から挟持するものであるため、基板と背板の端部をきっちりと揃えた状態で装着部材に対して着脱できる。従って、本発明によれば、基板および背板の積み重ねた時の位置決め精度を向上できる。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、移動手段が、複数の腕部と、挟持手段が装着された着脱部とを有し、隣接する腕部同士あるいは腕部と着脱部とは関節部を介して回動自在に接続されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の着脱装置である。
【００１８】
かかる構成によれば、着脱部の挟持手段によって挟持された装着体を所望の位置や角度で装着部材に装着できる。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載の着脱装置と、装着体が装着される装着部材と、当該装着部材に対して装着体を固定状態とする固定手段とを有し、着脱装置は、固定手段を固定状態あるいは固定解除状態とする着脱手段を具備していることを特徴とする着脱システムである。
【００２０】
本発明の着脱システムは、上記した着脱装置を備えているため、基板の表面や裏面を汚すことなく装着体の着脱を行える。さらに、本発明の着脱システムは、上記した着脱装置によって基板および背板を積み重ねた状態で同時に装着部材に装着できる。そのため、基板および背板の装着部材への着脱工程に要する作業時間が極めて短い。
【００２１】
本発明の着脱システムは、上記した構成に加えて、装着部材に対して装着体を固定状態とする固定手段を有し、この固定手段を着脱装置の着脱手段によって固定状態あるいは固定解除状態とすることができる。そのため、本発明の着脱システムによれば、装着部材への装着体の着脱および固定作業を同時に行え、作業効率が極めて高い。
【００２２】
ここで、上記した着脱システムによって基板や背板を装着手段に装着した場合、この装着手段を水平状態として搬送すると撓みを起こし、場合によっては基板や、基板の表面に成膜された膜等が破損するおそれがある。
【００２３】
そこで、かかる問題に鑑みて提供される請求項６に記載の発明は、装着手段を立設状態で搬送する搬送手段を有することを特徴とする請求項５に記載の着脱システムである。
【００２４】
かかる構成によれば、搬送中における装着体の撓みやこれに起因する基板や背板等の破損を確実に防止できる。
【００２５】
請求項７に記載の発明は、背板が基板よりも小さいことを特徴とする請求項５または６に記載の着脱システムである。
【００２６】
かかる構成によれば、着脱装置の挟持手段により基板を確実に挟持できる。従って、本発明の着脱システムによれば、装着体の着脱作業中における基板の脱落や、これによる基板の破損を確実に防止できる。
【００２７】
請求項８に記載の発明は、装着部材が、装着体の装着される装着面を有し、当該装着面に着脱装置の挟持手段の一部を挿通可能な挿通口が設けられていることを特徴とする請求項５乃至７のいずれかに記載の着脱システムである。
【００２８】
かかる構成によれば、装着体の着脱作業時に挟持手段が装着部材と干渉せず、装着体の着脱作業を効率良く行える。
【００２９】
請求項９に記載の発明は、基板の一部または全部を露出する露出口を有し、固定手段が当該露出口の周囲に相当する位置にあることを特徴とする請求項５乃至８のいずれかに記載の着脱システムである。
【００３０】
本発明の着脱システムでは、装着部材に設けられた露出口の周囲に相当する位置に固定手段が設けられている。そのため、本発明の着脱システムによれば、装着体と装着部材の露出口との隙間の発生を防止し、装着部材の露出面側の雰囲気と装着面側の雰囲気とが露出口を介して繋がることを防止できる。
【００３１】
本発明の着脱システムによれば、装着体と装着部材の露出口との隙間を介した放電の回り込みや、ガスの流出入を確実に防止できる。従って、本発明の着脱システムによれば、例えばＣＶＤ法やスパッタリング法の様な手法による基板上に成膜作業を的確に行える。
【００３２】
請求項１０に記載の発明は、装着体を装着部材側に付勢する付勢手段を具備していることを特徴とする請求項５乃至９のいずれかに記載の着脱システムである。
【００３３】
かかる構成によれば、装着部材に対する装着体の位置ズレを確実に防止できる。
【００３４】
また、本発明の着脱システムによれば、装着部材と装着体との位置ズレを確実に防止できるため、装着部材によって隔離された領域間におけるガスの流出入や放電の回り込み等が殆ど起こらない。従って、本発明の着脱システムによれば、例えばＣＶＤ法やスパッタリング法の様な手法による基板上に成膜作業を的確に行える。
【００３５】
また、請求項５乃至１０のいずれかに記載の着脱システムは、基板がガラス製であり、背板がカーボン製である場合にも好適に使用できる。（請求項１１）
請求項１２に記載の発明は、移動手段が、装着体を背板側から支持し、当該移動手段によって支持された装着体から少なくとも背板を残して少なくとも基板を着脱可能な移載手段を有し、当該移載手段が、基板の縁面側に当接する縁面当接部と、基板の表面に当接可能な鉤部とを有する挟持部材を有し、前記背板には、移載手段に設けられた挟持部材に相当する位置に前記鉤部と背板との干渉を阻止する切り欠き部が設けられていることを特徴とする請求項５乃至１１のいずれかに記載の着脱システムである。
【００３６】
本発明の着脱システムは、移動手段と移載手段との間で、移動手段側に支持された背板上にある基板のやりとりを行う。そのため、本発明の着脱システムによれば、人手を介せず基板および背板を備えた装着体の着脱および基板の交換を行える。
【００３７】
本発明の着脱システムは、移載手段に基板の縁面側に当接する縁面当接部と、基板の表面に当接可能な鉤部とを有する挟持部材が設けられており、移動手段に支持された背板に、第２の移動手段に設けられた挟持部材の干渉を防止する切り欠き部を設けた構成となっている。そのため、上記した構成によれば、移動手段と移載手段との間における基板のやりとりをスムーズに行える。
【００３８】
請求項１３に記載の発明は、請求項５乃至１２のいずれかに記載の着脱システムにより装着体の着脱を行うことを特徴とする成膜装置である。
【００３９】
上記請求項５乃至１２に記載の着脱システムは、いずれも装着体の着脱を容易かつ精度よく行える。そのため、本発明の成膜装置は、基板および装着体の着脱作業に要する時間が短く、成膜作業の作業効率を格段に向上できる。
【００４０】
また、上記請求項１３に記載の成膜装置は、化学気相蒸着法により基板の表面に成膜を行うものに好適に使用できる。（請求項１４）
なお、上記した着脱システムおよび製膜装置は、背板が、基板よりも熱伝導率が高いことを特徴とするものであってもよい。かかる構成によれば、前記着脱システムや製膜装置において装着体に対して作用する熱を基板面全体に略均等に作用させることができる。
【００４１】
また、上記着脱システムおよび製膜装置において、装着体の線膨張係数が装着部材よりも低いことを特徴とするものであってもよい。かかる構成によれば、装着体を装着部材に装着した状態での熱膨張による装着体の反りを防止し、これによる基板・背板間の熱伝導特性や成膜特性の低下を防止できる。
【発明の効果】
【００４２】
本発明によれば、基板の表面や裏面を汚さず、基板と背板とを積み重ねたままの状態で装着部材に装着でき、基板と背板とを具備した装着体あるいは基板の着脱作業を効率よく行える着脱装置、着脱システム、並びに、成膜装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
続いて、本発明の一実施形態である着脱装置および着脱構造について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本実施形態の着脱システムを示す斜視図である。図２は、図１に示す着脱システムで採用されている着脱装置のハンド部を示す正面図である。図３（ａ）は、図２のハンド部が備える基板ハンドを示す正面図であり、同（ｂ）は、同（ａ）の断面図、同（ｃ）は、同（ａ）の斜視図である。図４（ａ），（ｂ）は、図２のハンド部が備えるロックハンドを示す斜視図である。図５（ａ）は、本実施形態の着脱システムによって着脱される基板および背板を示す斜視図であり、同（ｂ）は同（ａ）のＡ部拡大図である。図６（ａ）は図５に示す背板の正面図であり、同（ｂ）は同（ａ）の背面図である。図７は、図５，６に示す背板の縁面近傍を示す斜視図である。図８は、図５，６に示す背板のロック部材の操作の様子を示す概念図である。図９（ａ）は、基板と背板とを重ね合わせた状態における縁面近傍を示す正面図であり、同（ｂ）は同（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００４４】
図１において、Ｓは本実施形態の着脱システムであり、１は着脱システムＳに採用されている着脱装置である。着脱システムＳは、着脱装置１と、基板５０および背板５２を積み重ねた装着体６８が着脱されるホルダー７０と、基板移載装置８０とを有する。
【００４５】
着脱装置１は、産業用ロボットアーム４の先端にハンド部５が取り付けられたものである。即ち、着脱装置１は、本体部２と、本体部２から延設されたアーム部３（腕部）とを有するロボットアーム４と、アーム部３の先端に装着されたハンド部５（着脱部）とを備えた構成となっている。着脱装置１は、ガラス製の基板５０およびカーボン製の背板５２を積み重ねた装着体６８を挟持した状態で後述するホルダー７０と所定の基板着脱位置（図示せず）との間を移動させる移動動作と、装着体６８をホルダー７０に対して着脱する着脱動作とを行うものである。
【００４６】
ロボットアーム４の本体部２は、底部６と、底部６に図示しないモータ等を介して回動自在に支持された胴部７とを有する。胴部７の天面８には、アーム部３およびハンド部５を作動させる動力源や電源装置等の機器類１０が搭載されている。
【００４７】
ロボットアーム４のアーム部３は、関節部１１ａ，１１ｂを介して本体部２に屈曲自在に接続された第１腕部１２ａおよび第２腕部１２ｂと、これらに関節部１５ａ，１５ｂを介して屈曲自在に接続された第３腕部１３を備えている。また、第３腕部１３には、関節部１５ｃを介して第４腕部１４が接続されている。関節部１１ａ〜ｂ，１５ａ〜ｃには、それぞれモーター等の動力源（図示せず）が内蔵されており、これらの動力を受けて第１腕部１２ａ、第２腕部１２ｂ、第３腕部１３、並びに、第４腕部１４の屈曲状態が調整される。第４腕部１４は、空気圧や油圧等によって伸縮するシリンダーあるいはボールネジ等を利用して伸縮する機構を備えている。
【００４８】
第４腕部１４の先端側には、ハンド部５が関節部１７を介して第４腕部１４の中心軸周りに回動可能なように接続されている。ハンド部５は、ステンレス等の金属材料を用いて作製したものであり、図２において上下方向に伸びる掌片部１８，２０を、左右方向に伸びる連結部２１で連結したものであり、正面視が略「Ｈ」型の形状となっている。掌片部１８，２０には、後述するガラス製の基板５０とカーボン製の背板５２とを挟持する基板ハンド（挟持手段）２２および背板５２のロック部材５６の操作を行うロックハンド２３（着脱手段）がそれぞれ複数設けられている。
【００４９】
基板ハンド２２は、図２に示すように左右の掌片部１８，２０の長手方向両端部および長手方向の中央部に所定の姿勢で固定されている。基板ハンド２２は、図２および図３に示すように、スライドベース２７と、パット２８を積み重ねて固定すると共に、スライドベース２７の側方に爪部材３０を固定した構造を有する。
【００５０】
スライドベース２７は、ロッド２９ａおよび動力伝達機構２９ｂによって構成されるクランク機構に接続されている。スライドベース２７は、ロッド２９ａおよび動力伝達機構２９ｂの作動に伴って、掌片部１８，２０上を直線方向に摺動する。パット２８は、弾力性を有するものであり、スライドベース２７の表面側に固定されている。パット２８は、基板ハンド２２に基板５０あるいは背板５２が面接触することによる衝撃を緩和するためのものである。
【００５１】
爪部材３０は、図３のように当接部３１と、当接部３１の先端側にあって、鉤状に折れ曲がった鉤部３２（脱落防止部）とを有する。爪部材３０は、当接部３１がスライドベース２７およびパット２８の側面に当接し、その先端部分にある鉤部３２がパット２８と対向するように固定されている。さらに具体的には、爪部材３０は、図３（ｂ）のようにパット２８の表面および鉤部３２によって略「コ」字形に開口した係止開口３３を形成している。鉤部３２は、表面側に間隔ｄ分だけ突出している。間隔ｄは、基板５０および背板５２を積み重ねて構成される装着体６８の厚さＤよりも僅かに広い。
【００５２】
掌片部１８，２０に装着された基板ハンド２２のうち、掌片部１８，２０の長手方向両端側に固定された基板ハンド２２ａ，２２ｂは、いずれも係止開口３３が掌片部１８，２０の長手方向中央側に向くように固定されている。さらに詳細には、図２に示す状態において、掌片部１８，２０の上端側に固定されている基板ハンド２２ａは、係止開口３３が下方を向くように固定されており、掌片部１８，２０の下端側に固定されている基板ハンド２２ｂは、係止開口３３が上方を向くように固定されている。掌片部１８，２０の上下に固定された基板ハンド２２ａ，２２ｂによって装着体６８を挟持して上下方向への位置ズレを防止すると共に、装着体６８の面方向への位置ズレを防止できる。
【００５３】
また、掌片部１８，２０の長手方向中央部にある基板ハンド２２ｃは、いずれも係止開口３３が他方の掌片部２０，１８側を向くように固定されている。さらに具体的には、図２において掌片部１８側に固定されている基板ハンド２２ｃは、係止開口３３が掌片部２０側に向けて開口する姿勢で固定されており、掌片部２０側に固定されている基板ハンド２２ｃは、係止開口３３が掌片部１８側を向くように固定されている。そのため、ハンド部５は、基板ハンド２２ｃによって装着体６８を挟持して左右方向への位置ズレを防止すると共に、装着体６８が面方向に位置ズレを起こさないように支持している。
【００５４】
上記したように、ハンド部５は、図２に示す状態で上下方向に往復動する基板ハンド２２ａ，２２ｂと、これに直交する方向（左右方向）に往復動する基板ハンド２２ｃとを備えており、これらが同時に作動してハンド部５の中心に位置する基板５０および背板５２の縁面に当接する。そのため、ハンド部５は、基板５０および背板５２を２枚同時に把持できると共に、把持する際に基板５０および背板５２の位置ズレを補正できる。
【００５５】
ロックハンド２３は、掌片部１８，２０の長手方向両端側に設けられた上下動ロックハンド２３ａ，２３ｂと、掌片部１８，２０の長手方向中間部に設けられた左右動ロックハンド２３ｃ，２３ｄとを有する。上下動ロックハンド２３ａ，２３ｂおよび左右動ロックハンド２３ｃ，２３ｄは、いずれも同様の動作を行うものであるが、その動作方向および一部の構成が異なる。
【００５６】
さらに具体的に説明すると、上下動ロックハンド２３ａ，２３ｂは、掌片部１８，２０の同士の間の側面から張り出した位置に片持ち状に固定されている。上下動ロックハンド２３ａ，２３ｂは、図２および図４（ａ）に示すように、いずれも連結軸２１の延伸方向に伸びる２枚の保持板３５，３５と、両保持板３５，３５間を上下方向に繋ぐ２本の連結ガイド軸３６，３６と、この連結ガイド軸３６，３６に摺動自在に装着された摘体３７，３７とを有する。摘体３７，３７は、ブロック３８，３８の表面側にローラ４０，４０が回転自在に装着されて構成されている。摘体３７，３７は、連結ガイド軸３６，３６によって摺動自在に支持されており、その表面にローラ４０，４０が装着されている。摘体３７，３７は、いずれも図示しない動力源に接続されており、それぞれが連結ガイド軸３６，３６に案内され、上下方向に独立的あるいは一体的に摺動する。上下動ロックハンド２３ａ，２３ｂは、図８のようにローラ４０，４０の隙間に後述するロック部材５６の把持部６５を挟んだ状態で摘体３７，３７が連結ガイド軸３６，３６に案内されて上下動し、ロック部材５６の開閉操作を行う。
【００５７】
左右動ロックハンド２３ｃ，２３ｄは、図２および図４（ｂ）に示すように、いずれも掌片部１８，２０に固定された枠体４２および断面形状が略「Ｌ」字形のガイド部材４３によって包囲された空間内に、左右方向に延伸した２本の連結ガイド軸４１，４１が固定されており、この連結ガイド軸４１，４１に摘体４５，４５が摺動自在に装着された構成となっている。摘体４５，４５は、いずれも上記した摘体３７と同様の構成を有し、ブロック４６，４６の表面側にローラ４７，４７が回転自在に装着されている。摘体４５，４５は、いずれも図示しない動力源に接続されており、連結ガイド軸４１，４１に案内されて左右方向に独立的あるいは一体的に摺動する。左右動ロックハンド２３ｃ，２３ｄは、図８のようにローラ４７，４７の隙間に後述するロック部材５６の摘体４５，４５が把持部６５を挟んだ状態で左右方向に移動し、ロック部材５６の操作を行う。
【００５８】
基板５０は、略正方形のガラス板である。基板５０は、熱伝導率が０．７９Ｗ／ｍ・Ｋであり、線膨張係数が８．５×１０-6／Ｋである。また、基板５０の背面５１側に積み重ねられる背板５２は、基板５０と同様に略正方形の形状を有する板体である。背板５２は、基板５０よりも一回り小さい。さらに具体的には、背板５２の一辺の長さＬｈは、基板５０の一辺の長さＬｂよりも小さい。背板５２の長さＬｈは、基板５０の長さＬｂよりも０．２〜１．０ｍｍ程度小さいことが好ましく、０．４〜０．６ｍｍ程度小さいことがより一層好ましい。本実施形態では、背板５２の長さＬｈが基板５０の長さＬｂよりも０．５ｍｍ程度小さい。
【００５９】
背板５２は、基板５０の面全体に略均等に熱を伝播させるべく、基板５０よりも熱伝導率に優れていることが望ましい。本実施形態のように、基板５０がガラス製である場合は、背板５２の熱伝導率は１００〜１５０Ｗ／ｍ・Ｋ程度であることが望ましく、１２０〜１３０Ｗ／ｍ・Ｋの範囲内にあることがより一層望ましい。本実施形態において採用されている背板５２は、カーボン製であり、基板５０と同様に略正方形の形状を有する板体である。背板５２は、熱伝導率が１２８Ｗ／ｍ・Ｋであり、線膨張係数が１．０×１０-6／Ｋである。背板５２は、基板５０よりも熱伝導率が高いため、熱を基板５０の面全体に略均等に作用させることができる。
【００６０】
背板５２は、基板５０の背面に面接触する接触面５３側が平坦である。一方、背板５２の背面５５側の外周部分には、図５および図６のように複数のロック部材５６が固定されている。ロック部材５６は、図７のように背板５２の周部に縁面５７および背面５５と面一となるように埋め込まれて固定される固定板５８と、この固定板５８に対して直線方向に摺動可能に接続された摺動片６１と、この摺動片６１の一端側に固定された板バネ状の固定片６２とを具備した構成となっている。摺動片６１は長孔６３を有し、この長孔６３を介してネジ６０が固定板５８に固定されている。摺動片６１は、他端側を垂直に屈曲させて形成された把持部６５を有する。摺動片６１は、図８に示すように上記した上下動ロックハンド２３ａ，２３ｂや左右動ロックハンド２３ｃ，２３ｄによって把持部６５が押し動かされ、ネジ６０および長孔６３に案内されて直線方向に移動する。これにより、図７および図８に矢印で示すように固定片６２が背板５２の縁面５７から進退する。
【００６１】
背板５２の４辺には、切り欠き６６が設けられている。切り欠き６６は、後述する基板移載装置８０の基板ハンド２２との干渉を防止するためのものであり、図５（ｂ）のように背板５２の接触面５３側および縁面５４に向けて開口した矩形状の形状を有する。切り欠き６６は、基板ハンド２２の鉤部３２よりやや大きめとされている。切り欠き６６は、図９のように、背板５２に対して基板５０を積み重ねた時に基板５０によって覆われると、基板５０の下方に隙間を形成する。そのため、図９（ｂ）のように後述する基板移載装置８０の基板ハンド２２の鉤部３２を基板５０の背面５５側からあてがい、矢印のように移動させると、背板５２に積み重ねた基板５０を挟持でき、さらに基板移載装置８０を背板５２から離反させると基板５０を持ち上げることができる。
【００６２】
続いて、本実施形態で採用されているホルダー７０について説明する。図１０（ａ）は、ホルダー７０を示す正面図であり、同（ｂ）は同（ａ）のＡ部拡大図、同（ｃ）は同（ｂ）のＣ−Ｃ断面図である。また、図１１は、図１０（ａ）のＢ部を示す斜視図である。
【００６３】
ホルダー７０は、上記した基板５０および背板５２の積み重ねた装着体６８が装着される部材であり、ステンレス等の金属板を成型したものである。さらに具体的には、ホルダー７０は、ＳＵＳ３０４製であり、その熱伝導率は１６．３Ｗ／ｍ・Ｋであり、線膨張係数は１７．３×１０-6／Ｋである。ホルダー７０は、上記した基板５０や背板５２よりも線膨張係数が大きい。そのため、基板５０および背板５２をホルダー７０に装着した状態でこれらが熱膨張を起こしても、基板５０や背板５２が厚み方向に変形したり、この変形によって基板５０と背板５２との間に隙間が発生することを確実に防止できる。
【００６４】
ホルダー７０は、図１０のように中央部に露出口７１が形成された枠状の部材である。ホルダー７０は、図１０（ｃ）のように基板５０および背板５２からなる装着体６８が装着される装着面７２と、装着面７２から装着された基板５０が露出する露出面７３とを有する。ホルダー７０は、装着面７２側であって露出口７１を取り囲む位置に段部７５および切り欠き７６を有する。段部７５は、図１０（ｃ）に示すように基板５０を嵌め込むための溝であり、露出面７３側に基板５０の脱落を防止するためのフランジ７７を有する。
【００６５】
切り欠き７６は、露出口７１を包囲する位置にあり、ホルダー７０の厚み方向に貫通している。切り欠き７６は、上記した着脱装置１のハンド部５を対向させたときに各基板ハンド２２（２２ａ〜２２ｃ）の爪部材３０に相当する位置にある。切り欠き７６は、爪部材３０の鉤部３２を挿通可能な大きさの開口領域を有する。そのため、ハンド部５に挟持された装着体６８をホルダー７０に装着すべく装着体６８（基板５０）をホルダー７０の装着面７２に密接させても、爪部材３０は切り欠き７６内に入り、ホルダー７０と干渉しない。段部７５の周囲であって、背板５２のロック部材５６に相当する位置には、図１０および図１１のように固定片６２を挿入可能な係合具７８が設けられている。
【００６６】
係合具７８は、ホルダー７０の中央側（露出口７１側）に向けて開口している。そのため、段部７５内に基板５０が嵌るように装着体６８を装着し、背板５２に設けられたロック部材５６の把持部６５を往復動させると、バネ板状の固定片６２が撓みながら係合具７８の開口を出入りする。さらに具体的には、係合具７８に対して固定片６２を挿入すると、固定片６２が撓んで背板５２を基板５０側に押しつけ、装着体６８全体がホルダー７０側に押しつけられ密着する。
【００６７】
続いて、本実施形態で採用されている基板移載装置８０について説明する。図１２は、基板移載装置８０に採用されているハンド部の正面図である。また、図１３は、基板移載装置８０による基板の移載の様子を示す概念図である。
【００６８】
基板移載装置８０は、図１のように上記した着脱装置１と大部分が同一の構成を有し、第４腕部１４の先端に装着されているハンド部８５の構成のみが異なる。基板移載装置８０は、着脱装置１に対して基板５０を換装するものである。基板移載装置８０は、図１３（ａ）のように、基板５０および背板５２を挟持した状態にある着脱装置１のハンド部５の上方にハンド部８５を被せ、基板５０のみを挟持して取り去ったり、図１３（ｂ）のようにハンド部５上に載置されている背板５２上に基板５０を積載するためのものである。
【００６９】
ハンド部８５は、略全体がステンレス等の金属材料を用いて作製したものであり、図１２のように掌片部８１，８２を連結部８３で連結したものであり、正面視が略「Ｈ」型の形状となっている。掌片部８１，８２には、上記した背板５２を挟持する基板ハンド２２がそれぞれ複数設けられている。
【００７０】
基板ハンド２２は、上記した着脱装置１において採用されていたのと同一の構成を有するものであり、ロッド２９ａの動作に伴ってスライドベース２７およびこれに固定された爪部材３０が直線方向に往復動するものである。基板ハンド２２は、図１２に示すように着脱装置１のハンド部５上にハンド部８５を被覆させた時に、ハンド部５側に搭載されている背板５２の切り欠き６６に相当する位置にハンド部８５側の爪部材３０が来るように配置されている。
【００７１】
続いて、本実施形態の着脱システムＳの動作について詳細に説明する。着脱システムＳは、図示しない制御装置を備えており、この制御装置の制御信号を受けて各部が所定の動作を行う。着脱システムＳの制御装置は、大別して着脱装置１によるホルダー７０への装着体６８の装着作業、ホルダー７０から装着体６８を取り外す取り外し作業、並びに、着脱装置１によって保持されている基板５０の換装作業を行うものである。以下、各作業時における動作について順次説明する。
【００７２】
着脱システムＳにより装着体６８の装着作業を行う場合、着脱装置１は、後述する換装作業や人手によりハンド部５上に基板５０および背板５２からなる装着体６８を搭載する。この時、装着体６８は、背板５２がハンド部５側に向き、基板５０が露出するように搭載される。また、背板５２の背面側にあるロック部材５６の把持部６５は、図８のようにハンド部５の各部に設けられたロックハンド２３（２３ａ〜２３ｄ）のローラ４０，４０間あるいは４７，４７間に突出した状態となる。
【００７３】
上記したようにして装着体６８が搭載されると、制御装置は、ハンド部５の各動力伝達機構２９ｂを作動させ、ロッド２９ａを動作させる。これにより、ハンド部５の各基板ハンド２２（２２ａ〜２２ｃ）が摺動し、図３（ｂ）のように当接部３１が基板５０および背板５２の縁面５４，５７に当接し、基板５０および背板５２が上下左右から挟持された状態（チャック状態）となると同時に、これらの位置が揃う。
【００７４】
上記したようにして基板５０および背板５２が挟持されると、本体部２の胴部７やアーム部３が作動を開始し、ハンド部５をホルダー７０の近傍まで移動させる。その後、着脱システムＳの制御手段は、ハンド部５を装着体６８がホルダー７０に対向する姿勢とする。制御手段は、ハンド部５に挟持されている基板５０がホルダー７０の段部７５に納まり、基板ハンド２２（２２ａ〜２２ｃ）がホルダー７０側の切り欠き７６内に侵入するように位置を微調整しながらハンド部５をホルダー７０側に緩やかに移動させる。
【００７５】
ハンド部５に装着された基板５０がホルダー７０の装着面７２に面接触したことが確認されると、制御手段はハンド部５の移動を中止する。その後、制御手段は、ハンド部５の各ロックハンド２３（２３ａ〜２３ｄ）を作動させる。これにより、各ロックハンド２３に相当する位置にあるロック部材５６の把持部６５は、図８に矢印Ｌで示すようにハンド部５の各部に設けられた摘体３７，４５のローラ４０あるいは４７によって突き動かされ、固定片６２が背板５２の縁面５７から突出し、ホルダー７０側に固定された係合具７８に嵌り込む。これにより、背板５２がホルダー７０に対してロックされた状態となる。
【００７６】
ロック部材５６の固定片６２と係合具７８とが係合すると、制御手段は、各動力伝達機構２９ｂを作動させ、ロッド２９ａを伸ばす。これにより、各基板ハンド２２（２２ａ〜２２ｃ）が装着体６８の各縁面５４，５７から離れ、挟持状態が解除される。その後、制御手段は、胴部７やアーム部３を作動させてハンド部５をホルダー７０から離反させ、一連の装着作業を終了する。
【００７７】
着脱システムＳにより装着体６８の取り外し作業を行う場合、着脱装置１は、上記した装着作業と逆の手順で基板５０および背板５２をホルダー７０から取り外す。さらに具体的には、取り外し作業を行う場合、制御手段は、胴部７やアーム部３を作動させ、基板ハンド２２（２２ａ〜２２ｃ）がホルダー７０側の切り欠き７６内に侵入するように位置を微調整しながらハンド部５をホルダー７０に近づける。
【００７８】
基板ハンド２２が切り欠き７６内に侵入し、ハンド部５が背板５２に面接触したことが確認されると、制御手段は、各ロッド２９ａを動作させ、これに接続された各基板ハンド２２（２２ａ〜２２ｃ）を摺動させる。図３（ｂ）のように各基板ハンド２２の爪部材３０の当接部３１が基板５０および背板５２の縁面５４，５７に当接したことが確認されると、基板５０および背板５２が上下左右から挟持された状態となる。
【００７９】
基板５０および背板５２が各爪部材３０によって挟持されると、制御手段は、各ロックハンド２３（２３ａ〜２３ｄ）を作動させ、図８に矢印Ｕで示す方向に摘体３７，４５のローラ４０あるいは４７によりロック部材５６の把持部６５を突き動かす。これにより、各ロック部材５６の固定片６２がホルダー７０の係合部７８から脱離し、ロック状態が解除される。
【００８０】
上記したようにしてロック状態が解除されると、制御手段は、胴部７やアーム部３を作動させてハンド部５をホルダー７０から離反させると共に所定の基板保管位置まで装着体６８を移動させる。ハンド部５が基板保管位置に至ると、ハンド部５は、基板５０および背板５２の固定側の面を上方に向けた状態となり、一連の取り外し作業を完了する。
【００８１】
着脱システムＳは、基板移載装置８０により、上記した手順に則ってホルダー７０に対して着脱される装着体６８のうち、基板５０のみを換装する換装作業を行う。以下、基板移載装置８０による換装作業について順を追って説明する。
【００８２】
上記したように、所定の基板保管位置等において水平に配置されたハンド部５上に積載された装着体６８から基板５０を取り去る場合、基板移載装置８０は、図１３（ａ）のようにハンド部５上に積載された装着体６８の上方から基板移載装置８０のハンド部８５を被せ、ハンド部８５側のロッド２９ａを動作させる。これにより、ハンド部８５側の爪部材３０は、図９（ｂ）のように背板５２の切り欠き６６内に侵入し、基板５０の縁面５４に当接する。その後、基板移載装置８０は、ハンド部８５を図１３（ａ）のようにハンド部５から離れる方向に移動させる。これにより、基板移載装置８０は、着脱装置１のハンド部５上に積載された装着体６８から基板５０のみを取り去り、この基板５０を所定の基板保管場所（図示せず）に移動させる。
【００８３】
一方、所定の基板保管場所に保管されている基板５０を着脱装置１のハンド部５上にある背板５２上に積載する場合、前記保管場所においてハンド部８５の基板ハンド２２を収縮させて基板５０を挟持し、着脱装置１のハンド部５近傍まで搬送する。その後、基板移載装置８０は、ハンド部８５を基板５０がハンド部５側を向く姿勢とし、図１３（ｂ）のように着脱装置１のハンド部５上に面接触するまで近づける。この時、ハンド部８５側の基板ハンド２２の爪部材３０は、背板５２の切り欠き６６内に侵入し、ハンド部５と干渉しない。ハンド部８５に挟持された基板５０がハンド部５側に搭載されている背板５２に移載されたことが確認されると、基板移載装置８０は、図９（ｂ）に矢印Ｂで示すように爪部材３０を切り欠き６６内で鉤部３２の先端が基板５０の縁面５４よりも外側の位置まで水平移動させた後、爪部材３０を切り欠き６６から抜き去る。これにより、基板移載装置８０は、着脱装置１のハンド部５上に積載されている背板５２上への基板５０の積載作業を終了する。
【００８４】
本実施形態の着脱システムＳにおいて、着脱装置１は、基板ハンド２２によって基板５０および背板５２の縁面５４，５７に当接させて挟持し、着脱するものである。そのため、着脱装置１によれば、表面や裏面を汚すことなく基板５０の着脱が行える。
【００８５】
また、着脱装置１は、基板ハンド２２によって基板５０と背板５２とを同時に挟持し、着脱することができる。さらに、着脱手段１は、基板５０および背板５２の着脱動作と同時に、ロックハンド２３によってロック部材５６の開閉作業を行える。そのため、着脱装置１は、基板５０および背板５２の着脱作業の作業効率が高い。
【００８６】
着脱装置１は、ハンド部５に平行な面上で上下方向に往復動する基板ハンド２２ａ，２２ｂと、左右方向に往復動する基板ハンド２２ｃとによって縁面５４，５７を挟持するものである。また、基板５０と背板５２は僅かに大きさが異なるもののほぼ等しい大きさとされている。そのため、本実施形態の着脱システムＳでは、基板ハンド２２ａ〜２２ｃによって基板５０および背板５２を挟持することによりこれらの端部を揃えた状態で着脱を行える。
【００８７】
上記したように、基板ハンド２２の爪部材３０には、ハンド部５に対して平行方向に伸びる鉤部３２がある。そのため、着脱装置１は、着脱動作時に基板ハンド２２ｃとによって縁面５４，５７を挟持すると共に、基板５０の表面側に鉤部３２が僅かに回り込み把持した状態となる。従って、着脱装置１によれば、何らかの拍子にハンド部５の面方向に向かう外力が作用したとしても基板５０や背板５２が脱落しない。
【００８８】
上記した着脱システムＳにおいて採用されているホルダー７０には、着脱装置１の基板ハンド２２に相当する位置に切り欠き７６が設けられている。そのため、着脱動作を行うべく着脱装置１のハンド部５をホルダー７０に近づけても、基板ハンド２２がホルダー７０に干渉せず、着脱作業を効率よく行える。
【００８９】
着脱システムＳは、ホルダー７０と背板５２との境界部分に複数のロック部材５６を設けてロックする構成となっている。さらにロック部材５６は、板バネ状の固定片６２をホルダー７０側の係合具７８に侵入させてロック状態とするものである。背板５２および基板５０は、固定片６２の弾性力によりホルダー７０側に付勢され、しっかりと密接させた状態で固定される。そのため、着脱システムＳによって基板５０および背板５２をホルダー７０を装着すれば、例えばＣＶＤ法やスパッタリング法の様な手法による基板上に成膜作業を行ってもガスの流出入や放電の回り込み等による成膜不良が殆ど起こらない。
【００９０】
本着脱システムＳは、基板移載装置８０を備えており、人手を介せず着脱装置１のハンド部５に対して基板５０の移載を行える。そのため、本着脱システムＳによれば、基板５０の換装作業が極めてスムーズに行える。
【００９１】
また、背板５２には、基板移載装置８０のハンド部８５に設けられた基板ハンド２２の干渉を防止するための切り欠き６６がある。そのため、基板５０の取り替えを行うべく基板移載装置８０のハンド部８５を背板５２に近づけても、基板ハンド２２が背板５２に干渉しない。
【実施例】
【００９２】
上記した着脱システムは、図１４に示すＣＶＤ装置等の成膜装置に好適に使用できる。以下、上記した着脱システムをＣＶＤ装置に適用した例について図面を参照しながら詳細に説明する。図１４は、本実施例のＣＶＤ装置を示す作動原理図である。
【００９３】
図１４において、１００は本実施例のＣＶＤ装置である。ＣＶＤ装置１００は、ガラス製の基板５０に半導体層を成膜するものである。本実施形態のＣＶＤ装置１００は、大きく分けて、基板受取・払出部１０２と、成膜チャンバー１０３とを有する。
【００９４】
順次説明すると、基板受取・払出部１０２は、上記実施形態で説明した着脱システムＳを備えた構成であり、後述する基板キャリア１０５に立設状態に装着された一対の枠部材１０７の両側からホルダー７０に基板５０および背板５２を装着する部分である。なお、図１４においては、図面の簡略化のため、基板キャリア１０５の一方側に設けられている着脱システムＳを省略している。
【００９５】
基板キャリア１０５は、細長い台車に二枚の枠部材１０７を対向して立設した様な形状をしている。すなわち基板キャリア１０５は、直方体のキャリアベース１０８を有し、その両側に合計８個の車輪１１０が設けられている。またキャリアベース１０８の底面には、ラック１１１が取り付けられている。
【００９６】
キャリアベース１０８の上方には、２組の枠部材１０７が平行かつ対向した状態となるように固定されている。枠部材１０７は、上記したホルダー７０が固定されるホルダー保持枠１０９を連結板１１７を介して２枚並列に接続したものである。ホルダー保持枠１０９は、上辺１１４側が切り欠かれ、左右側辺１１２，１１３および底辺１１５によって囲まれたホルダー装着領域１１６を有する略「コ」字形の板体である。枠部材１０７は、底辺１１５の下端部をキャリアベース１０８の上方にネジ止めや溶接等により立設状態で固定されている。
【００９７】
枠部材１０７には、図１５のように、上記実施形態において説明したホルダー７０がホルダー装着領域１１６にネジ止め固定される。枠部材１０７をキャリアベース１０８に固定した基板キャリア１０５は、基板受取・払出部１０２に沿って敷設されたレール１１８に沿って基板受取・払出部１０２の側方を移動し、成膜チャンバー１０３側に移動する。
【００９８】
基板キャリア１０５は基板受取・払出部１０２に至ると停止する。着脱システムＳは、基板キャリア１０５が停止している間に、枠部材１０７に装着されたホルダー７０に対する装着体６８の着脱を行う。これにより、各基板５０の露出面は、互いに対向し、枠部材１０７の内側を向いた状態となる。枠部材１０７，１０７に基板５０および背板５２から成る装着体６８の装着が完了すると、基板キャリア１０５は、基板受取・払出部１０２の側方に敷設されたレール１１８に沿って移動し、成膜チャンバー１０３内に引き込まれる。
【００９９】
成膜チャンバー１０３は、プラズマＣＶＤ法により気体に成膜するキャビティーであり、従来公知のＣＶＤ装置の成膜チャンバーと同様の構成を有する。さらに具体的には、成膜チャンバー１０３は、内部に図示しないヒータやＲＦ電極が設けられてた構成となっている。成膜チャンバー１０３は、ＲＦ電極内に原料ガスを供給すると共に、このＲＦ電極に高周波交流を印加し、ＲＦ電極と基板キャリア１０５との間にグロー放電を発生させて原料ガスを分解し、基板キャリア１０５に立設された基板５０の表面に薄膜を形成させるものである。
【０１００】
上記したように、上記実施形態の着脱システムＳを採用したＣＶＤ装置１００は、基板５０や背板５２の着脱を人手を介することなく行える。そのため、ＣＶＤ装置１００は、基板５０への成膜作業の作業効率が高い。
【０１０１】
また、着脱システムＳは、基板５０の縁面５４を挟持して着脱するものであるため、基板５０の表面や裏面が汚れない。従って、ＣＶＤ装置１００によれば、基板５０への良好な成膜状態が得られる。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の一実施形態の着脱システムを示す斜視図である。
【図２】図１に示す着脱システムで採用されている着脱装置の要部を示す正面図である。
【図３】（ａ）は、図２の要部を示す正面図であり、同（ｂ）は、同（ａ）の断面図、同（ｃ）は、同（ａ）の斜視図である。
【図４】（ａ），（ｂ）は、図２の他の要部を示す斜視図である。
【図５】（ａ）は、図１に示す着脱システムによって着脱される基板および背板を示す斜視図であり、同（ｂ）は同（ａ）のＡ部拡大図である。
【図６】（ａ）は図５に示す背板の正面図であり、同（ｂ）は同（ａ）の背面図である。
【図７】図５，６に示す背板の要部を示す斜視図である。
【図８】図５，６に示す背板のロック部材の操作の様子を示す概念図である。
【図９】（ａ）は、基板と背板とを重ね合わせた状態の要部を示す正面図であり、同（ｂ）は同（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図１０】（ａ）は、ホルダー７０を示す正面図であり、同（ｂ）は同（ａ）のＡ部拡大図、同（ｃ）は同（ｂ）のＣ−Ｃ断面図、同（ｄ）は同（ａ）のＡ部を示す斜視図である。
【図１１】図１０（ａ）のＢ部を示す斜視図である。
【図１２】基板移載装置に採用されているハンド部の正面図である。
【図１３】基板移載装置による基板の移載の様子を示す概念図である。
【図１４】本発明の一実施例のＣＶＤ装置を示す作動原理図である。
【図１５】（ａ）は図１４のＣＶＤ装置において採用されている基板キャリアの正面図であり、同（ｂ）は同（ａ）の側面図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１  着脱装置
４  ロボットアーム
５  ハンド部
２２  基板ハンド
２３  ロックハンド
３２  鉤部
３７，４５  摘体
５０  基板
５１  背面
５２  背板
５３  接触面
５４，５７  縁面
５５  背面
５６  ロック部材
７０  ホルダー（装着部材）
７１  露出口
７２  装着面
７３  露出面
８０  基板移載装置
８５  ハンド部
１００  ＣＶＤ装置（成膜装置）
１０２  基板受取・払出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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