(57)【要約】【課題】  高品位で長寿命、かつ廉価な透過型Ｘ線管を提供する。【解決手段】  陰極フィラメント７を保持する電極リード４とシール部材５及び排気管２等をロウ付け保持したステム基部１と、Ｘ線放射窓９をロウ付け保持した放射窓枠体８を、前記シール部材５の他端側５２と前記放射窓枠体８の開放端８３とを溶接接合する。【選択図】    図２
2005302368.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の貫通孔を有し絶縁材からなるステム基部と、一端側をこのステム基部に固定し他端側をステム基部上面から離隔するように延在する複数の電極リードと、この電極リードの前記他端側に固定された陰極フィラメントと、この陰極フィラメントに対向し、かつ閉止端に貫通部を備えたカップ状の放射窓枠体と、このカップ状の放射窓枠体の前記貫通部を気密封止したＸ線透過の放射窓と、前記カップ状の放射窓枠体の開放端に一端側を気密に溶接接合し他端側を前記ステム基部と気密接合した略筒状のシール部材と、一端側を前記ステム基部の底面に気密接合し他端側を前記底面から離隔する方向に延在し管内を真空排気した後気密封止してなる排気管を備えたことを特徴とする透過型Ｘ線管。
【請求項２】
前記ステム基部は閉止端を持つカップ状で、前記閉止端に前記複数の貫通孔を備えたことを特徴とする請求項１に記載の透過型Ｘ線管。
【請求項３】
前記シール部材は前記ステム基部との気密接合部と前記電極リード間にシールドを備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の透過型Ｘ線管。
【請求項４】
前記ステム基部はセラミックスからなることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の透過型Ｘ線管。
【請求項５】
前記電極リードは前記一端側を前記ステム基部の貫通孔を貫通してステム基部と固定していることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の透過型Ｘ線管。
【請求項６】
前記電極リードは材質の異なる複数の金属線の結合体からなることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の透過型Ｘ線管。
【請求項７】
前記陰極フィラメントはその脚部を前記電極リードで挟持していることを特徴とする請求項１乃至６の何れかに記載の透過型Ｘ線管。
【請求項８】
複数の貫通孔を有し絶縁材からなるステム基部と、一端側をこのステム基部に固定し他端側をステム基部上面から離隔するように延在する複数の電極リードと、この電極リードの前記他端側に固定された陰極フィラメントと、この陰極フィラメントに対向し、かつ閉止端に貫通部を備えたカップ状の放射窓枠体と、このカップ状の放射窓枠体の前記貫通部を気密封止したＸ線透過の放射窓と、前記カップ状の放射窓枠体の開放端に一端側を気密に溶接接合し他端側を前記ステム基部と気密接合した略筒状のシール部材と、一端側を前記ステム基部の底面に気密接合し他端側を前記底面から離隔する方向に延在し管内を真空排気した後気密封止してなる排気管を備えた透過型Ｘ線管の製造において、前記ステム基部と前記電極リード、前記排気管及び前記シールド部材をそれぞれ気密ロウ付けする工程と、前記電極リードの前記他端側に前記陰極フィラメントを固着する工程と、この陰極フィラメントに前記放射窓を対向させて前記放射窓枠体の前記開放端を前記シール部材の前記一端側と気密に溶接接合して封止球を形成する工程と、前記排気管を介して前記封止球内を排気した後前記排気管を封止する工程を含むことを特徴とする透過型Ｘ線管の製造方法。
【請求項９】
前記放射窓枠体と前記シール部材の溶接接合はアーク溶接によることを特徴とする前記請求項８に記載の透過型Ｘ線管の製造方法。
【請求項１０】
前記封止球内の排気は、筐体内に配置された排気系に前記排気管を係合させ、前記封止球を加熱すると共に、前記陰極フィラメントを通電して前記排気系から排気することを特徴とする前記請求項８又は９に記載の透過型Ｘ線管の製造方法。
【請求項１１】
排気された外囲容器の中に電子を放出する陰極フィラメントを備えた透過型Ｘ線管であって、
前記外囲容器は、絶縁性のステム基部と、前面にＸ線放射窓を備える枠体と、前記ステム基部と前記枠体とを繋ぐシール部材と、排気管とを含み、
前記ステム基部は、電極リードを貫通させるための貫通孔と、前記排気管につながる排気孔とを有し、
前記ステム基部を貫通した電極リードは、Ｘ線管内で前記Ｘ線放射窓に対向させて前記陰極フィラメントを保持し、Ｘ線管外で前記陰極フィラメントに電流を供給するための端子に接続し、
前記枠体と前記Ｘ線放射窓とはロウ材で固定され、前記ステム基部と前記シール部材とはロウ材で固定され、前記シール部材と前記枠体とは溶接により固定されていることを特徴とする透過型Ｘ線管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線管に係り、特に、透過型Ｘ線管及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線管は医療用レントゲン装置、工業用計測装置等のＸ線源として用いられており、これらＸ線管は回転陽極Ｘ線管、固定陽極Ｘ線管に大別され、前記透過型Ｘ線管は前記固定陽極Ｘ線管の範疇若しくは独自の分類となる。
近時、Ｘ線管は特許文献１に開示されている様に静電気除電装置のＸ線源にもその用途が拡大されつつある。
特許文献１は、帯電したフイルムや紙などを除電する静電気除電装置および静電気除電方法に関するもので、Ｘ線を被除電物に照射して被除電物の両面を同時に除電するものである。
このようにフイルム、紙等の製造や加工、粉体や液体の充填、更には半導体や表示装置等の製造、検査工程等において静電気の除電は重要な課題となっている。特許文献２には除電装置に用いる透過型Ｘ線管が記載されている。
特許文献２に記載の透過型Ｘ線管は、カソードピンが立設されたセラミック製ステム部と、下面にターゲット金属が蒸着された出射窓とをセラミック製バルブで支えて相互にロウ付けし、更に集束電極を前記セラミック製バルブの内周面に沿って配置すると共にこの集束電極の下端部をステム部とバルブで挟む構成である。
【０００３】
【特許文献１】特開平７−６８５９号公報
【特許文献２】特許平９ー１８０６６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献２に開示された透過型Ｘ線管は、集束電極の配置構造に特徴を有し耐電圧の確保も可能な優れたものである。しかしながら、特許文献２に記載のＸ線管は、セラミック製ステム部と下面にターゲット金属が蒸着された出射窓との間にセラミック製バルブを設けている。即ちセラミック部品を２箇所に使用しているため、取り扱いに注意が必要である。また、従来のＸ線管は製造コストを安くすることが困難である。ステム側と出射窓側共にロウ付け作業を行う必要があるため、製造に時間がかかる。また特許文献２の透過型Ｘ線管はステム側と出射窓側の両側で使用するロウ材を異なる特性のものとする必要があり、作業工程が複雑である。そのため量産性が難しい。更に、出射窓側とセラミック製バルブとのロウ付け工程が、タングステンコイル（陰極フィラメント）をカソードピンに取り付ける工程よりも後になる。そのため、タングステンコイル及びタングステンコイルを固定したカソードピンを高温に曝すことになり、タングステンコイルとカソードピンの固定部が加熱される。結果としてタングステンコイルとカソードピンの固定が緩むことがある。またフィラメントの特性及び寿命劣化の問題があって信頼性に欠ける恐れがある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題は、絶縁材からなり陰極フィラメントを保持するステム基部と、閉止端にＸ線放射窓を有するカップ状の放射窓枠体とを、一端側を前記ステム基部とロウ付けされた略筒状のシール部材の他端側を前記放射窓枠体の開放端側と溶接接合することで解決できる。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１に係る発明によると、ステム基部に電極リードとシール部材及び排気管等を同時にロウ付けすることが可能である。各部材をロウ付け後に、シール部材と窓枠体とを溶接により気密接合することで管球製造中に陰極フィラメントを高温に曝す工程が不要になる。また、陰極フィラメントと陰極リードとの固定部が高温にならないので、固定部が緩むことを防止できる。さらに陰極フィラメントの所望の特性及び長寿命化を確保出来、高品位で長寿命、かつ廉価な透過型Ｘ線管を実現可能とした。
【０００７】
請求項２に係る発明によると、ステム基部がカップ状を呈することからシール部材とのロウ付けが容易となると共にシール部材の高さを低く出来るので完成球の機械的強度の向上が図れる。
【０００８】
請求項３に係る発明によると、シールドによりステム基部とシール部材との接合部を電極リードから遮蔽できる。例えば、ステム基部のメタライズ層が管球動作中に蒸発しても、電極リード等の電極部分への付着を阻止でき、耐電圧特性の低下を抑制できる。
【０００９】
請求項４に係る発明によると、ステム基部の表面の絶縁性が優れる。耐電圧が向上する。銀ロウをつけるときの耐熱性が優れる。又整形も容易で、量産性にも優れている。
【００１０】
請求項５に係る発明によると、電極リードの固定が強固になり陰極フィラメントと放射窓間の間隔を高精度に保持でき、管球の特性変動を防止して焦点サイズの変動やＸ線出力の変動の少ない高品位で長寿命の透過型Ｘ線管を実現可能とした。
【００１１】
請求項６に係る発明によると、電極リードの陰極フィラメントとの固定側の材料は、ステム基部との固定を考慮することなく自由に選択でき、材料選択の自由度が大きくなると共に固定の信頼性の確保がより一層確実となって陰極フィラメントと放射窓間の間隔が所望の値に確保でき特性向上が図れる。
又、電極リードのステム基部側の材料は、陰極フィラメント固定への影響を考慮することなく、ステム基部側との固定に最適な材質を選定することが可能となり、作業性の向上が図れる
【００１２】
請求項７に係る発明によると、陰極フィラメントと電極リードとの接合するときの、陰極フィラメントの脚部の変形、電子放出部の変形、電子放出部の変位の発生を防止できる。また、陰極フィラメントと放射窓間の間隔を高精度に保持でき、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命の透過型Ｘ線管を実現できる。
【００１３】
請求項８に係る発明によると、ロウ付けと溶接接合とを有効に組み合わせることで陰極フィラメントと電極リードとの接合部を高温に曝す工程も無く、従って陰極フィラメントの所望の特性及び長寿命を確保でき、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命の透過型Ｘ線管を実現可能とした。
【００１４】
請求項９に係る発明によると、溶接作業が容易であると共に、溶接部分の変形や破断の発生が無く、気密接合の信頼性を確保できる。
【００１５】
請求項１０に係る発明によると、筐体内の加熱と排気との組み合わせで陰極フィラメント電流を小電流とすることが出来、陰極フィラメントの所望の特性及び長寿命を確保でき、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命の透過型Ｘ線管を実現可能とした。
【００１６】
請求項１１に係る発明によると、ステム基部に電極リードとシール部材及び排気管等を同時にロウ付けすることが可能である。各部材をロウ付け後に、シール部材と窓枠体とを溶接により気密接合することで管球製造中に陰極フィラメントを高温に曝す工程が不要になる。また、陰極フィラメントと陰極リードとの固定部が高温にならないので、固定部が緩むことを防止できる。さらに陰極フィラメントの所望の特性及び長寿命化を確保出来、高品位で長寿命、かつ廉価な透過型Ｘ線管を実現可能とした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の透過型Ｘ線管は排気された外囲容器の中に電子を放出する陰極フィラメントを備えている。Ｘ線管の外囲容器は、絶縁性のステム基部と、前面にＸ線を出射するための窓を持つ枠体と、ステム基部と枠体とを繋ぐシール部材と、排気管とを備える。
ステム基部は、電極リードを貫通させるための複数の貫通孔と、排気管につながる排気孔とを持つ。
ステム基部を貫通した電極リードは、Ｘ線管内でＸ線出射窓に対向させて陰極フィラメントを保持する。また電極リードは、Ｘ線管外で前記陰極フィラメントに電流を供給するための端子に接続している。
枠体とＸ線出射窓とはロウ材で固着し、ステム基部とシール部材とはロウ材で固着し、シール部材と枠体とは溶接により被溶接部材を溶かして固着している。
以下、本発明の実施の形態につき実施例を用いて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１８】
図１乃至図３は本発明の透過型Ｘ線管の実施例１を説明する図である。なお、図１（ａ）は上面図、図１（ｂ）は正面図、図１（ｃ）は下面図、図２は図１（ａ）のＩ−Ｉ線断面図、図３は図２の一部拡大図である。
【００１９】
図１乃至図３において、１はセラミックスのような絶縁体からなるカップ状のステム基部、２は排気管、３は端子、４は電極リード、５は略筒状のシール部材、６は略筒状のシールド、７は電子放出源となる陰極を備えたフィラメント（以下、陰極フィラメントという）、８はカップ状の窓枠体、９は放射窓、１２はステム基部の開放端、１３はメタライズ層、４１はリード線の一端部、４２はリード線の他の一端部、５１はシール部材の一端部、５２はシール部材の他の一端部、７１は陰極フィラメントの脚部、７２は陰極フィラメントの電子放出部、８１は窓枠体の閉止端、８２は窓枠体の閉止端に設けた貫通部、８３は窓枠体の開放端、１１１はステム基部に設けた排気孔、１１２はステム基部に設けた一方のリード孔、１１３はステム基部に設けた他の一方のリード孔、１３１はロウ材である。
ステム基部１はその閉止端面１１に排気孔１１１とリード孔１１２及び１１３からなる複数の貫通孔を備えている。
排気管２は例えば銅管から構成され、ステム基部１の閉止端面１１の底面１１４のメタライズ層１３にその一端側２１を前記排気孔１１１と略同軸で気密にロウ付けし、他端側を気密封止している。
端子３は前記ステム基部１の閉止端面１１の底面１１４のメタライズ層１３に前記リード孔１１２，１１３とそれぞれ略同軸でロウ付けしている。
電極リード４はその一端側４１を前記ステム基部１の閉止端面１１の前記リード孔１１２，１１３にそれぞれ挿通して前記端子３とロウ付けされている。
シール部材５は導電材（例えば、コバール材，Ｆｅ，Ｆｅ−Ｎｉ合金等）から構成され、その一端側５１を図３に拡大して示すように前記ステム基部１の開放端１２のメタライズ層１３に気密にロウ材１３１でロウ付けしている。セラミック製のステム基部１の端部にメタライズ層１３を形成したことで、ステム基部１とシール部材５とのロウ付けの信頼性が向上する。
シールド６はシール部材５の内側に略同軸で固定され、前記シール部材５の一端側５１と前記ステム基部１の開放端１２のメタライズ層１３とのロウ付け部分付近と前記電極リード４とを遮蔽している。
陰極フィラメント７はその両脚部７１を前記電極リード４の他端側４２とそれぞれ固定している。例えば、この固定は前記他端側４２の先端部に凹部を設け、この凹部に脚部７１を配置して、かしめにより固定してある。あるいは電極リード７と陰極フィラメントの足部を溶接で固定しても良い。
窓枠体８は導電材で形成されており、例えば銅で形成されている。この放射窓枠体８はその閉止端８１に貫通部８２を窓枠体８と略同軸で備えており、この貫通部８２を塞ぐようにＸ線透過の放射窓９を気密ロウ付けして備えている。この放射窓９は例えばベリリウム板或はベリリウム板にタングステン等を蒸着した構成等が用いられ、この放射窓９に前記陰極フィラメント７から放出された電子が高電圧、例えば９キロボルト程度の高電圧により加速されて衝突しＸ線を発生させる。一方、放射窓枠体８の開放端８３は前記シール部材５の他端側５２と気密に溶接接合している。この溶接接合は窓枠体８が熔けてシール部材５に全周にわたって固着している。この溶接接合はアーク溶接が好ましいが、それに限定されるものではない。
この溶接接合に際し、前記放射窓９と前記フィラメント７の電子放出部７２の間隔は所定の寸法に正確に設定されており、又両者はそれぞれの中心を管軸と略一致させている。
この構成で、ステム基部１、排気管２、シールド部材５、窓枠体８、放射窓９、リード孔１１２，１１３を塞ぐ電極リード４及び端子３等で気密外囲器を構成している。
【００２０】
この実施例１の構成であれば、シールド部材からステム基部に至る複数の構成部品を同時にロウ付け出来る。又放射窓と窓枠体は前記ステム基部側とは別にロウ付け形成できる。本発明の透過型Ｘ線管はロウ付け後に陰極フィラメントを電極リードに固定できる。陰極フィラメントを電極リードに固定した後、窓枠体８とシール部材５を気密に溶接できる。従って本発明は、陰極フィラメントを固定した後にロウ付け工程が無いので、陰極フィラメントを高温に曝すことも無く、陰極フィラメントの所望の特性の確保と長寿命化が可能となり、管球の特性変動を防止して焦点サイズの変動やＸ線出力の変動の少ない高品位で長寿命の透過型Ｘ線管を提供できる。
又、セラミックスからなるカップ状のステム基部と、導電材からなるシールド部材及び窓枠体を組み合わせて用いることで機械的強度に優れ、量産性が高く、しかも廉価な透過型Ｘ線管を提供できる。
更に、ステム基部とシールド部材との接合部をシールドによって電極リード等から遮蔽した。例え接合部のメタライズ層が管球動作中に蒸発しても、電極リードを含めて高電位差の電極部分への付着を阻止でき、結果として、透過型Ｘ線管の耐電圧特性が向上する。
【実施例２】
【００２１】
図４は本発明の透過型Ｘ線管の実施例２を説明するための断面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。
図４において、ステム基部１０は平板から構成されている。ステム基部１０は、その上面１０１と底面１０２にそれぞれメタライズ層１３を備えており、上面１０１にシール部材１５の導電材からなる第１の筒体１５１を気密ロウ付けしている。このシール部材１５は前述した図３のシール部材５にセラミック筒体１５２と前記第１の筒体１５１を付加した構成で、セラミック筒体１５２とシール部材５及び第１の筒体１５１とはそれぞれ気密にロウ付けされている。又、前記シール部材１５の窓枠体８側の端部５２は窓枠体８の開放端８３と気密に溶接接合している。
【００２２】
実施例２の構成であれば、ステム基部の構成が単純で量産性が高く、しかも廉価に入手出来、更にステム基部１０、第１の筒体１５１、セラミック筒体１５２及びシール部材５のロウ付けは、他の電極リード４、排気管２等のロウ付けと同時に可能であり、従って陰極フィラメントを高温に曝すことも無く、陰極フィラメントの所望の特性の確保と長寿命化が可能となり、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命の透過型Ｘ線管を提供できる。
【実施例３】
【００２３】
図５は本発明の透過型Ｘ線管の更に実施例３を説明するための断面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。
図５において、ステム基部２０は平板から構成されている。ステム基部２０は、その上面２０１側の外側面２０２及び底面２０３にメタライズ層１３を形成しており、外側面２０２にシール部材組立２５のカップ２５１を気密にロウ付けしている。このシール部材組立２５は第２のセラミック筒体２５２を挟んで両側に対称的に前記カップ２５１を配置し、それぞれ気密にロウ付けした。前記窓枠体８側に配置されたカップ２５１はその端部２５３を窓枠体８の開放端８３と気密に溶接接合している。
【００２４】
実施例３の構成であれば、ステム基部の構成が単純で量産性が高く、しかも廉価に入手出来る。ステム基部２０の外側面２０２とシール部材２５とを面接合したことで気密接合の信頼性を高めることが出来る。更にステム基部２０、２個のカップ２５１及び第２のセラミック筒体２５２のロウ付けは、他の電極リード４、排気管２等のロウ付けと同時に可能である。本発明の透過型Ｘ線管はロウ付け後に陰極フィラメントを電極リードに固定できる。陰極フィラメントを電極リードに固定した後、窓枠体８とカップ２５１を気密に溶接できる。従って、陰極フィラメントを固定した後にロウ付け工程が無いので、陰極フィラメントを高温に曝すことも無く、陰極フィラメントの所望の特性の確保と長寿命化が可能となり、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命の透過型Ｘ線管を提供できる。
【実施例４】
【００２５】
図６は本発明の透過型Ｘ線管の更に実施例４を説明するための断面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。
図６において、この実施例のシール部材３５は、前述した図５のシール部材２５に２個のシールド３５４を付加した構成である。
すなわち、シール部材３５は２個のカップ２５１と第２のセラミック筒体２５２とのそれぞれのロウ付け部分と電極リード４とを遮蔽する位置に、それぞれシールド３５４を配置した構成である。
その他の構成は実施例３と同一である。
【００２６】
実施例４の構成であれば、第２のセラミック筒体とカップとの接合部をシールド３５４によって電極リード等から遮蔽できる。例え接合部のメタライズ層が管球動作中に蒸発しても、電極リードへの付着を阻止でき、結果として、透過型Ｘ線管の耐電圧特性が向上する。
【実施例５】
【００２７】
図７は本発明の透過型Ｘ線管の実施例５を説明するための断面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。
この実施例では電極リード１４を異なる材料からなる導線を繋ぎ合わせた。
すなわち、陰極フィラメント７と接続する支持リード１４１は溶接に適した例えばモリブデン線を用い、一方ステム基部１及び端子３とロウ付けする外部リード１４２はロウ付けに適した例えばＦｅ？２９質量％Ｎｉ？１７質量％Ｃｏ合金（商品名：コバール（Ｋｏｖａｒ））製の線をそれぞれ用いた構成としている。
【００２８】
実施例５の構成であれば、電極リードと陰極フィラメントとが確実に固定でき、陰極フィラメントと放射窓間の間隔が所望の値に確保できる。
又、ステム基部と電極リードのロウ付けも陰極フィラメント固定に何等影響を与えることなく材質選定が可能であるため作業性が向上する。
【実施例６】
【００２９】
次に、本発明による透過型Ｘ線管の製造方法を実施例６として説明する。図１３は透過型Ｘ線管の製造工程の流れ図である。
【００３０】
図８は本発明の透過型Ｘ線管の製造方法の実施例を説明するためのステム基部側の組立体の構造を示す断面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。
本発明の製造方法において、マウント組立工程ではステム基部１、排気管２、端子３、電極リード４及びシールド６を有するシール部材５等の部品を図８のように組み合わせて治具にセットする。この時、各ロウ付け部にはロウ材が挿入されるが、このロウ材は例えば溶融温度７５０〜９００℃程度のものを用いことが出来る。例えば、ロウ材として、銀ロウ、銀銅ロウ等がある。又、ステム基部は底面１１４と開放端１２にそれぞれメタライズ層１３を備えており、更に電極リード４は他端側４２の先端に陰極フィラメント７の脚部７１を固定する例えば凹部４２１を形成している。
このように治具にセットされた組立体を炉内に搬入し、銀銅ロウを用いた構成では８５０℃迄加熱昇温して各部のロウ付けを一度に実行して組み立てる。
【００３１】
一方、窓枠体８側は、図９に示すように窓枠体８の閉止端８１側の貫通部８２に放射窓９を前述したと同一材料からなるロウ材を挿んで配置し、これらを治具にセットし前述と同様に加熱してロウ付けし組み立てる。
このロウ付け作業は必要であれば前述した図８のロウ付けと同一炉で同時に行うことも可能である。
又、ロウ材は原価、作業性等を考慮して前述の図８とは異なるものを用いることも可能であるが、統一することで作業管理は容易となる。
【００３２】
次に、陰極フィラメント７の取り付け固定を行う。
図１０はこの取り付け固定を説明する図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。
図１０に示すように、ロウ付け組み立てられた電極リード４の他端側４２の先端の凹部４２１に、陰極フィラメント７の脚部７１をその先端が前記凹部４２１の底面に当接する迄挿入して位置決めし、凹部４２１を外側から強圧してかしめた後、溶接固定する方法等により取り付け固定し、マウント組立１６を形成する。前記取り付け固定には色々な手法が可能である。
【００３３】
次に、陰極フィラメント７の取り付け固定の完了したマウント組立１６と、放射窓９を備えた窓枠組立とを、図１１に示すように同軸に組み立てる。線ＩＩ−ＩＩは透過型Ｘ線管の管軸である。陰極フィラメント７と放射窓９との間隔が所定の値に確保された状態で、放射窓枠体８の開放端８３とシールド部材５の他端側５２とがアーク溶接のような溶接手段で気密に溶接される。未封止の透過型Ｘ線管（以下、未封止管という）１７を形成する。
なお、図１１はマウント組立１６と窓枠組立との組立てにより形成された未封止管１７を説明する図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。
【００３４】
次に、未封止管１７の管内の排気を行う。この排気は、図１２に示す排気装置１８を使用して行う。図１２は本発明の透過型Ｘ線管の製造方法に用いる排気装置の一例の概略を示す模式正面図で、前述した図と同じ部分には同一記号を付してある。
この排気装置１８は、載置台１８１、カバー１８２、排気系１８３、加熱用ヒータ１８４及び排気筒１８５等からなり、未封止管１７の排気管２を排気系１８３にセットする。未封止管１７は複数本を同時にセットすることが作業効率上望ましい。
排気作業は、未封止管１７のそれぞれにフィラメント電流を流し、かつ加熱用ヒータ１８４で加熱しながら図示しない排気ポンプを駆動させて排気系１８３から排気筒１８５を介して矢印１９方向に排気を行う。
又、前記加熱温度は未封止管１７の構成部材等を考慮して決定すれば良く、例えば４００℃程度以上が望ましい。この加熱手段は前述の他に種々の手法が可能である。
【００３５】
排気により管内真空度が所定の例えば１３３×１０-6Ｐａに達した後、排気管２を図示しないローラで挟み、ローラを加圧回転させて排気管２を潰して気密封止する。
この気密封止後、前記気密封止部より排気系１８３側寄りの排気管２を切断し排気系１８３より管球を取り外し、図1に示すような透過型Ｘ線管を製造する。
ここで、封止管内に蒸発性ゲッタを備えた構造では、前記気密封止後ゲッタフラッシュを行うことで更に高真空とすることが出来る。
封止管内に非蒸発性ゲッタを配置した場合は、排気工程中にゲッタの活性化が可能である。よって、非蒸発性ゲッタを使用した場合は、ゲッタフラッシュ工程を省略できる。また、非蒸発ゲッタは、ゲッタ材が陰極フィラメント等への付着がないので、電子放出の低下を抑制できる。
【００３６】
この実施例６によれば、マウント組立と窓枠組立との組み立てを溶接接合により行うため、陰極フィラメントを高温に曝すこと無く組み込むことが出来、陰極フィラメントの所望の特性の確保と長寿命化が可能となり、管球の特性変動を防止して高品位で長寿命、かつ廉価な透過型Ｘ線管を提供できる。また、陰極フィラメントとリード線との固定部が高温にさらされないので、固定部の加熱による緩みを抑制できる。
又、排気工程では封止球を外部から加熱し、フィラメント電流を流しながら排気を行うため、排気効率の向上が図れると共に高真空度が得られ、高品位で長寿命、かつ廉価な透過型Ｘ線管を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の透過型Ｘ線管の一実施例を示し、図１（ａ）は上面図、図１（ｂ）は正面図、図１（ｃ）は下面図である。
【図２】図１（ａ）のI−I 線に沿った断面正面図である。
【図３】図２の一部拡大図である。
【図４】本発明の透過型Ｘ線管の他の実施例を示す図２に対応する断面図である。
【図５】本発明の透過型Ｘ線管の更に他の実施例を示す図２に対応する断面図である。
【図６】本発明の透過型Ｘ線管の更に他の実施例を示す図２に対応する断面図である。
【図７】本発明の透過型Ｘ線管の更に他の実施例を示す図２に対応する断面図である。
【図８】本発明の透過型Ｘ線管の製造方法を説明するためのステム基部側組立体の断面図である。
【図９】本発明の透過型Ｘ線管の製造方法を説明するための放射窓枠体側組立体の断面図である。
【図１０】本発明の透過型Ｘ線管の製造方法を説明するためのマウント組立体の断面図である。
【図１１】本発明の透過型Ｘ線管の製造方法を説明するための封止球の断面図である。
【図１２】本発明の透過型Ｘ線管の製造方法に用いる排気装置の一例を示す模式正面図である。
【図１３】本発明の透過型Ｘ線管の製造方法のプロセスフロー図である。
【符号の説明】
【００３８】
１、１０、２０：ステム基部、
２：排気管、
３：端子、
４、１４：電極リード、
５、１５、２５、３５：シール部材、
６：シールド、
７：陰極フィラメント、
７１：脚部、
８：放射窓枠体、
９：放射窓、
１１１、１１２、１１３：貫通孔、
１６：マウント組立、
１７：未封止管、
１８：排気装置。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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