(57)【要約】【課題】  撮像素子を用いるデジタルカメラにおいて、撮像面を光軸と垂直な焦点面に対して高精度に位置決めした状態で撮像素子を組み付けることが可能なデジタルカメラとその組立方法を提供する。【解決手段】  ＣＣＤを内装したＣＣＤパッケージ１１０を基準板１００に搭載したＣＣＤブロック１０をカメラボディ内のメインフレーム８に固定支持したデジタルカメラにおいて、基準板１００に対するＣＣＤチップ１１３の撮像面の傾き角度を測定し、メインフレーム８の複数の支持ボス８２の当接面を結ぶ平面がカメラの光軸に対して撮像面の傾き角度と同じ角度だけ反対方向に傾斜するように研削している。そのため、基準板１００をメインフレーム８に対して所定の状態に組み付ければ、撮像面をカメラの光軸に対して垂直な焦点面位置に設定した状態に固定支持でき、ＣＣＤブロック１０の組付性を改善する。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラボディに固定支持されたときに基準となる基準板に対して撮像素子を内装した撮像素子パッケージを搭載した撮像素子ブロックを備え、前記撮像素子ブロックをカメラボディに固定支持したデジタルカメラにおいて、前記カメラボディは前記基準板を固定するための複数の支持台部を備え、前記支持台部は前記撮像素子パッケージ内における前記撮像素子の設置誤差を打ち消して撮像面が結像面と一致するように前記基準板との当接面が研削されていることを特徴とするデジタルカメラ。
【請求項２】
前記撮像素子パッケージは前記基準板に接着されていることを特徴とする請求項１に記載のデジタルカメラ。
【請求項３】
前記撮像面が前記基準板に対して傾斜した状態で前記撮像素子パッケージが搭載されているときに、前記複数の支持台部の各当接面を結ぶ平面が前記撮像面の傾斜角度と同じ角度だけ光軸に対して反対方向に傾斜した平面となるように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のデジタルカメラ。
【請求項４】
前記支持台部は前記カメラボディの一部を構成しているメインフレームに一体的に設けられた支持ボスであり、当該支持ボスに螺合される固定ビスによって前記基準板を前記支持ボスに固定する構成であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のデジタルカメラ。
【請求項５】
撮像素子を内装した撮像素子パッケージを基準板に搭載し、前記基準板をカメラボディに設けられた複数の支持台部の当接面に当接させた状態で固定支持したデジタルカメラにおいて、前記基準板に対する前記撮像素子パッケージの撮像面の傾き角度を測定する工程と、前記複数の支持台部の当接面を結ぶ平面がカメラの光軸に対して前記測定した傾き角度と同じ角度だけ反対方向に傾斜し、前記撮像素子の撮像面が焦点面位置となるように前記各支持台部の当接面を研削する工程とを含むことを特徴とするデジタルカメラの組立方法。
【請求項６】
前記複数の支持台部の当接面を研削する工程は、前記カメラボディに設けられたレンズマウント面を基準にして、前記撮像面の傾き角度と同じ角度だけ反対方向に傾斜するように研削することを特徴とする請求項５に記載のデジタルカメラの組立方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＣＣＤ等の撮像素子を備えるデジタルカメラに関し、特に撮像素子をカメラボディ内に内装するための撮像素子の取付構造を改善したデジタルカメラとその組立方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
デジタルカメラの撮像素子としてＣＣＤが利用されているが、通常この種のＣＣＤはＣＣＤパッケージとして提供されており、このＣＣＤパッケージをカメラボディ内に組み付ける構成が取られている。ＣＣＤパッケージはパッケージベースにＣＣＤチップが接着剤やろう材等によりマウントされるとともに、パッケージベースに設けられた外部リードにＣＣＤチップが電気接続されている。また、パッケージベースの前面には保護ガラスが取着され、ＣＣＤチップをパッケージベース内に封止している。このように構成されたＣＣＤパッケージは、デジタルカメラのカメラボディの背面側において撮像光学系による被写体の結像位置に組み付けられる。この組み付けに際しては通常ではＣＣＤの前面に配置するローパスフィルタ等と共に当該ＣＣＤパッケージを基準板に搭載してＣＣＤブロックを構成し、このＣＣＤブロックをカメラボディに組み付けることが行われている。また、この組み付けに際しては、ＣＣＤチップの受光面（撮像面）が撮影光学系で結像される被写体像の結像面、通常では撮影光学系の焦点位置において光軸に対して垂直に向けられる。
【０００３】
従来のこの種のＣＣＤブロックでは、ＣＣＤパッケージを基準板に搭載する際には、ＣＣＤパッケージのパッケージベースの背面を基準板の取付面である前面に密接状態となるように接着剤で接着する等してＣＣＤブロックを構成し、このＣＣＤブロックの基準板をカメラボディの所要位置に固定支持させることで、撮影光学系の光軸に対して基準板を垂直に取り付けることができ、ＣＣＤチップの撮像面を光軸上の焦点位置に対して垂直に設定し、かつ焦点位置を設定することが可能になる。
【０００４】
しかしながら、従来から提供されているＣＣＤパッケージは、パッケージベースにＣＣＤチップをマウントするための接着剤やろう材が均一な厚さに塗布されていないことが多く、ＣＣＤチップの撮像面がパッケージベースと平行な状態で接着されていないものが提供されている。そのため、このようなＣＣＤパッケージをＣＣＤブロックの基準板に接着したとしても、ＣＣＤチップの撮像面が基準板と平行なＣＣＤブロックを構成することができなくなり、結果として当該ＣＣＤブロックをカメラボディに組み付けたときにＣＣＤチップの撮像面を撮影光学系の光軸に対して垂直な方向に向けることができず、焦点面に対して傾いた状態になる。また、焦点位置も狂う。
【０００５】
ＣＣＤパッケージとしてＣＣＤチップの撮像面の対角寸法が１／２インチ以下のいわゆる小型ＣＣＤを用いているデジタルカメラでは、ＣＣＤチップの対角寸法に対応して撮像レンズの口径寸法は小さく、撮像面における光軸に対する撮像角度が小さいのに対し、ＣＣＤチップの撮像面の対角寸法が４／３インチ以上の大型ＣＣＤになると撮像レンズの口径寸法が大きくなり、撮像面における光軸に対する撮像角度が大きくなり、その結果として大型ＣＣＤは小型ＣＣＤに比較して焦点深度が浅くなる。そのため、ＣＣＤチップの撮像面が光軸と垂直な面に対して多少の角度だけ傾いた状態で組み付けられた場合に、光軸方向の変位量が大きくなる撮像面の周辺部においてＣＣＤによる撮像ボケが生じ易くなり、特に周辺部における光軸方向の変位量が大きい大型ＣＣＤの場合に焦点ボケが顕著なものとなる。これにより大型ＣＣＤの場合には、撮影レンズの被写界深度で撮像面位置の誤差を許容することができなくなる。
【０００６】
このように従来のＣＣＤブロックでは、基準板に対して撮像面が必ずしも平行となるように構成されていないため、ＣＣＤブロックをカメラボディに対して取り付ける際には撮像面を光軸と垂直な方向に設定するための構造が必要とされている。例えば、特許文献１では、カメラボディ側に複数のネジ孔を設けるとともに、これらのネジ孔に筒状の調整部材を螺合させ、これらの調整部材の端面にＣＣＤブロックの基準板を当接させて固定ネジにより固定する技術が提案されている。この技術では、撮像面で撮像した画像を観察しながら調整部材の回転位置を調整して調整部材の端面高さを変化させることで基準板の傾きを調整し、撮像面を光軸に対して垂直な方向に設定することが可能である。
【特許文献１】特開２００３−６９８８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
このような構造をカメラボディに設けることはカメラを構成する部品点数の増大をまねくとともに、ＣＣＤブロックをカメラに組み付ける際に撮像面が所定の面方向に向けられているか否かを観察しながら調整部材による調整を行なう作業が必要であり、組付作業が煩雑になるという改善すべき点が残されている。
【０００８】
本発明の目的は、撮像素子を用いるデジタルカメラにおいて、当該撮像素子の撮像面を光軸と垂直な焦点面に対して高精度に位置決めした状態で撮像素子を組み付けることが可能なデジタルカメラとその組立方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のデジタルカメラは、カメラボディに固定支持されたときに基準となる基準板に対して撮像素子を内装した撮像素子パッケージを搭載した撮像素子ブロックをカメラボディに固定支持したデジタルカメラにおいて、カメラボディは基準板を固定するための複数の支持台部を備えており、これらの支持台部は撮像素子の撮像面が結像面と一致するように基準板との当接面が研削されていることを特徴としている。特に、撮像面が基準板に対して傾斜した状態で撮像素子パッケージが搭載されているときには、複数の支持台部の各当接面を結ぶ平面が撮像面の傾斜角度と同じ角度だけ光軸に対して反対方向に傾斜した平面となるように構成されている。
【００１０】
本発明のデジタルカメラの組立方法は、撮像素子を内装した撮像素子パッケージを基準板に搭載し、当該基準板をカメラボディに設けられた複数の支持台部の当接面に当接させた状態で固定支持したデジタルカメラにおいて、基準板に対する撮像素子パッケージの撮像面の傾き角度を測定する工程と、複数の支持台部の当接面を結ぶ平面がカメラの光軸に対して測定した傾き角度と同じ角度だけ反対方向に傾斜し、かつ前記撮像素子の撮像面が焦点面位置となるように各支持台部の当接面を研削する工程とを含んでいる。特に、複数の支持台部の当接面を研削する工程は、カメラボディに設けられたレンズマウント面を基準にして、撮像面の傾き角度と同じ角度だけ反対方向に傾斜するように研削する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、撮像素子ブロックにおいて基準板に対する撮像面の傾き角度を測定し、カメラボディの複数の支持台部の当接面を結ぶ平面がカメラの光軸に対して撮像面の傾き角度と同じ角度だけ傾斜するように研削し、その上で基準板を支持台部に固定支持しているので、撮像素子ブロックの基準板に対する撮像素子の撮像面の傾斜角度と、カメラボディに設けられる複数の支持台部の各当接面を結ぶ平面の傾き角度とが反対方向に等しくなり、単に基準板を支持台部に対して固定するだけで、撮像面の傾きを支持台部での傾きによって相殺でき、撮像面を光軸に垂直な結像面に高精度に設定することができ、これにより撮像素子ブロックの組付けのための構造を簡略化するとともに、撮像素子ブロックの組付性を改善し、デジタルカメラの組立性を改善することが可能になる。
【実施例１】
【００１２】
次に、本発明の実施例を図面を参照して説明する。図１は本発明を適用したデジタルカメラの一部を破断した背面斜視図である。一眼レフカメラとして構成されているデジタルカメラはカメラボディ１の前面に撮影レンズ２が交換可能に装着される。また、カメラボディ１の上カバー３にはＬＣＤ表示部４、シャッタ釦５、各種スイッチ６が配設されている。また、一部を破断した背面カバー７には図には表れないＬＣＤモニタ及び各種スイッチが配設されている。前記背面カバー７の内側、すなわちカメラボディ１の内部には大型撮像素子を備える撮像素子ブロック１０が取り付けられている。ここでは撮像素子としてＣＣＤを用いているので、以降はＣＣＤブロックとして説明する。前記ＣＣＤブロック１０はカメラボディ１内に設けられた図には表れないミラーボックスの背面側の位置において前記撮影レンズ２によって撮影される被写体像が結像される焦点面に前記ＣＣＤの撮像面が配置されるように前記カメラボディ１内のメインフレーム８に組み付けられている。
【００１３】
図２は図１のデジタルカメラの要部のみを抽出した部分分解斜視図、図３は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。図２において、前記メインフレーム８の前面側にはシャッターユニット９が配設され、このシャッターユニット９を内装している図外のミラーボックスの前側位置には前記撮影レンズ２を装着するための円環状をしたレンズマウント１１が配設され、前記カメラボディ１の前面に固定支持されている。前記メインフレーム８は剛性の高い金属板を加工して形成されており、その一部には前記ミラーボックスに通じる矩形の開口窓８１が開口されており、前記撮影レンズ２で結像される被写体の光線はこの開口窓８１を通して前記ＣＣＤブロック１０の撮像面に焦点が結ばれるようになっている。そして、この開口窓８１に臨む位置において当該メインフレーム８に前記ＣＣＤブロック１０が組み付けられている。
【００１４】
前記メインフレーム８の背面には円柱状をした３つの支持ボス８２が前記開口窓８１の周囲に配置され、かしめによりメインフレーム８に一体化されている。これらの支持ボス８２はその先端面に基準板１００が当接され、前記ＣＣＤブロック１０を固定するための固定ビス８４が螺合可能とされている。前記メインフレーム８の背面には細い円柱状をした２つの位置決めピン８３が前記開口窓８１の一側の上下位置に配置され、かしめによりメインフレーム８に一体化されている。これらの位置決めピン８３は後述するようにＣＣＤブロック１０に設けられた位置決め穴１０２に嵌合して当該ＣＣＤブロック１０をメインフレーム８に対して位置決めするために利用される。
【００１５】
前記ＣＣＤブロック１０は、図４に前面方向から見た斜視図を、図５はその部分分解斜視図をそれぞれ示すように、保持枠１２０を別体として備える基準板１００にＣＣＤパッケージ１１０を接着により搭載した構成とされている。ＣＣＤパッケージ１１０はメーカにおいてパッケージ化されているものであり、図３を参照すると、セラミックスや樹脂等からなる矩形板状のパッケージベース１１１の表面に設けられたマウント凹部１１２内にＣＣＤチップ１１３が接着剤や低融点金属ろう材１１４等によってマウントされている。ここで接着剤やろう材１１４が均一な厚さに形成されていないときにはＣＣＤチップ１１３の撮像面はパッケージベース１１１の表面に対して平行にマウントされなくなることは前述の通りであり、図３ではＣＣＤチップ１１３の撮像面がパッケージベース１１１の表面に対して傾斜された状態にマウントされている場合を示している。図には表れないが、前記ＣＣＤチップ１１３の電極はパッケージベース１１１にデュアルインライン配置された複数本の外部リード１１５に内部配線手段によって電気接続されており、また当該ＣＣＤチップ１１３はパッケージベース１１１の前面に接着された保護ガラス１１６によって封止されている。
【００１６】
一方、前記基準板１００は均一な板厚の金属板を加工して形成しており、この基準板１００には、前記ＣＣＤパッケージ１１０の外部リード１１５が挿通可能な２本の挿通溝１０１が開口されており、前記ＣＣＤパッケージ１１０はこれら挿通溝１０１に外部リード１１５を挿通した状態でその背面が基準板１００の取付面である前面に接着剤１１７によって接着されている。この実施形態では、接着剤１１７に瞬間接着剤を用いているので、基準板１００にはＣＣＤパッケージ１１０の背面側の３箇所に接着剤注入口１０４を開口しており、基準板１００にＣＣＤパッケージ１１０を取り付けた状態で接着剤注入口１０４からＣＣＤパッケージ１１０の背面と基準板１００の前面との間に接着剤１１７を注入して接着を行うように構成されている。もちろん、接着剤１１７として硬化までに多少の時間がかかる接着剤を用いる場合には、ＣＣＤパッケージ１１０の背面に接着剤を塗布した後に基準板１００に接着するようにしてもよい。前記基準板１００の前記ＣＣＤパッケージ１１０が接着される以外の領域には、前記メインフレーム８に設けられた２つの位置決めピン８３に対応する位置に２つの位置決め穴１０２が、前記３つの支持ボス８２に対応する位置に３つの固定穴１０３がそれぞれ開口されている。
【００１７】
このように構成された前記基準板１００の前面に前記保持枠１２０が取着されている。この保持枠１２０は周辺部の４箇所においてビス１２２により前記基準板１００に固定されている。この保持枠１２０は弾性のある金属板を矩形の枠状に加工したものであり、その四辺の各部に一体に曲げ形成した押圧片１２１によって前記ＣＣＤパッケージ１１０の周辺部を保持している。また、この実施形態では、前記ＣＣＤパッケージ１１０の保護ガラス１１６の前面には矩形枠状の防塵パッキン１３０が配置され、この防塵パッキン１３０上に保護ガラス１１６とほぼ同じ寸法をした矩形板状のローパスフィルタ（ＬＰＦ）１４０が配設されており、前記保持枠１２０の押圧片１２１が有する弾性力によって前記ローパスフィルタ１４０を防塵パッキン１３０を介して保護ガラス１１６の前面に押圧し、かつこの弾性力によってローパスフィルタ１４０、防塵パッキン１３０を基準板１００に押圧保持している。
【００１８】
以上の構成のＣＣＤブロック１０を組み立てる方法について説明する。まず、基準板１００にＣＣＤパッケージ１１０を接着剤１１７によって接着した状態でＣＣＤチップ１１３の撮像面の傾斜角度を測定する。この測定では、図６（ａ）に示すように、基準板１００を光学測定顕微鏡２００の試料台２０１上に載置し、基準板１００を当該光学測定顕微鏡２００の観察光学系２０２の光軸に対して垂直な面上に設置する。そして、観察光学系２０２をＣＣＤチップ１１３の撮像面に焦点を合わせた状態で、試料台２０１又は観察光学系２０２を平面Ｘ，Ｙ方向に移動させ、ＣＣＤブロック１０と観察光学系２０２とを相対的に移動させる。図では観察光学系２０２を移動させた場合を示している。このとき、ＣＣＤチップ１１３の撮像面が基準板１００と平行な平面性が得られていれば、観察光学系２０２と撮像面との距離Ｌが一定であり、撮像面の全てのＸＹ移動箇所において焦点が合った状態となる。一方、撮像面の一部において焦点が合わない状態にあるときには当該部分において焦点ボケが発生するため、観察光学系２０２での焦点合わせを行い、そのときの光軸方向の距離Ｌａを測定し、これを記録する。このように撮像面の少なくとも３箇所、好ましくは４箇所以上のより多くの箇所でこの測定を行う。そして、得られた光軸方向の距離から基準板１００に対する撮像面の三次元方向の傾斜角度θａを測定することができる。
【００１９】
次いで、図６（ｂ）に示すように、メインフレーム８をその背面側を上方に向けてフライス盤３００のワーク台３０１上に載置し、当該ワーク台３０１を前工程で測定した撮像面の傾斜角度θａと同じ角度だけ三次元的に傾斜させる。そして、フライス盤３００の研削器３０２によりメインフレーム８の背面側に突出されている３つの支持ボス８２の先端面、すなわちＣＣＤブロック１０の基準板１００が当接される当接面を研削し、これら３つの支持ボス８２の当接面を結ぶ平面がフライス盤３００の水平方向に沿う平面となるように加工する。なお、この工程ではメインフレーム８がカメラボディに設けられている前記レンズマウント１１面と平行に配設されていることを前提としているが、このことが保証されていないときにはメインフレーム８を先にカメラボディ１に固定し、このカメラボディ１をレンズマウント１１を下側に向けてフライス盤３００のワーク台３０１に載置し、上側に向けられたメインフレーム８の３つの支持ボス８２の当接面を研削するようにしてもよい。このようにすれば、各支持ボス８２の先端面はレンズマウント１１面から光軸方向に所定の寸法位置での平面となるように研削が行われることになる。
【００２０】
このようにしてメインフレーム８の３つの支持ボス８２の当接面を研削した後、ＣＣＤブロック１０をメインフレーム８に固定する。この工程では、基準板１００の位置決め穴１０２をメインフレーム８の位置決めピン８３に嵌合させることでメインフレーム８上での平面方向の位置が決定される。そして、基準板１００の前面をメインフレーム８の３つの支持ボス８２の当接面に当接させた状態で固定ビス８４を各支持ボス８２に螺合させることにより基準板１００をメインフレーム８に固定し、ＣＣＤブロック１０がメインフレーム８に固定される。前述のように各支持ボス８２の当接面を結ぶ平面はレンズマウント１１面に対して傾斜しており、この傾斜角度はＣＣＤブロック１０における基準板に対する撮像面の傾斜角度と反対方向に向けて同じであるため、固定された基準板１００はメインフレーム８及びレンズマウント１１面に対して平行ではなく傾斜された状態にあるが、ＣＣＤチップの撮像面はレンズマウント１１面と平行でかつ、焦点位置がでている状態になる。
【００２１】
このように、メインフレーム８の３つの支持ボス８２の当接面を撮像面の傾斜角度に対応して反対方向に向けて研削することで、ＣＣＤブロック１０をカメラボディ１に組み付ける作業では単純に基準板１００を固定ビス８４によって支持ボス８２に螺合させる作業のみでＣＣＤチップ１１３の撮像面をレンズマウント１１面に対して平行で、かつ光軸方向にも撮影レンズ２の焦点面に対して正確に位置決めすることができるようになり、組立作業を極めて簡単なものにすることができる。
【００２２】
なお、この実施例では、ローパスフィルタ１４０をＣＣＤブロック１０内に組み込むとともにＣＣＤパッケージ１１０との間に防塵パッキン１３０を介挿しているので、ＣＣＤパッケージ１１０の保護ガラス１１６の前面、特にＣＣＤチップ１１３の撮像面の直前領域に塵埃が付着することを確実に防止することができる。因みに、ローパスフィルタをＣＣＤブロック１０に組み込んでいない場合には、ＣＣＤブロック１０は図７に示すように基準板１００の前面にＣＣＤパッケージ１１０が接着された極めて簡単な構成となる。ただし、このように構成した場合には、ＣＣＤブロック１０をメインフレーム８に組み付ける際にローパスフィルタや防塵パッキンを別体として同時に組み付けることになるが、これでは組付時にＣＣＤパッケージ１１０の保護ガラス１１６の前面に塵埃が付着するおそれがあり、組み付けを清浄な環境で行う必要があり、カメラボディに対するＣＣＤパッケージの組み付け作業が多少増えることになる。また、防塵パッキンをメインフレーム８と基準板１００との間に介挿するようにした構成では、ＣＣＤパッケージ１１０の外部リード１０５を挿通している挿通溝１０１を通して基準板１００の前面側に塵埃が侵入されて保護ガラス１１６の表面に付着するおそれがある。
【００２３】
なお、基準板１００にＣＣＤパッケージ１１０を接着するための接着剤１１７は極短時間で硬化する瞬間接着剤を使用することが好ましい。さらには、熱伝導性の高い接着例を使用すれば、ＣＣＤチップ１１３で発生した熱をパッケージベース１１１から接着剤１１７を介して基準板１００に伝熱させ、ここから放熱させることが可能となり、ＣＣＤの冷却効果を高めてＣＣＤの熱雑音を抑制する上で有効となる。熱伝導性の高い接着剤が使用することが難しい場合には、例えば図３に示すように、ＣＣＤパッケージ１１０のパッケージベース１１１の背面の一部、特にＣＣＤチップ１１３の直後となる領域に熱伝導性の高い放熱グリース１１８を塗布しておくようにしてもよい。この場合には、この放熱グリース１１８によってＣＣＤチップ１１３に発生した熱を基準板１００から放熱させることが可能になる。
【００２４】
ここで、本発明にかかる撮像素子はＣＣＤに限られるものではなく、他の固体撮像素子で撮像素子チップの平面性が必ずしも高精度に確保されていないパッケージ構造の固体撮像素子パッケージを用いて撮像素子ブロックを構成する場合には本発明を同様に適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明のデジタルカメラの一部を破断した背面方向の斜視図である。
【図２】図１のデジタルカメラの主要部の部分分解斜視図である。
【図３】図１のＡ−Ａ線に沿う拡大断面図である。
【図４】ＣＣＤブロックを前面方向から見た斜視図である。
【図５】ＣＣＤブロックの部分分解斜視図である。
【図６】撮像面の傾き角度を測定する工程と、支持ボスの当接面を研削する工程をそれぞれ説明するための模式図である。
【図７】ＣＣＤブロックの他の構成例を前面方向から見た斜視図である。
【符号の説明】
【００２６】
１  カメラボディ
２  撮影レンズ
８  メインフレーム
１０  ＣＣＤブロック
１１  レンズマウント
８２  支持ボス（支持台部）
８３  位置決めピン
８４  固定ビス
１００  基準板
１０４  接着剤注入口
１１０  ＣＣＤパッケージ
１１１  パッケージベース
１１３  ＣＣＤチップ
１１５  外部リード
１１６  保護ガラス
１１７  接着剤
１２０  保持枠
１３０  防塵パッキン
１４０  ローパスフィルタ
２００  光学測定顕微鏡
３００  フライス盤
【図１】
2005051520.tif 000003
【図２】
2005051520.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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