(57)【要約】 【課題】  良好な安定吐出性を有するインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】  液状体を収容するキャビティと、このキャビティに連通するノズル１８とを有し、キャビティと反対の側のノズル開口を吐出口９として、キャビティ内に収容した液状体をノズル１８の吐出口９から吐出するインクジェットヘッドの製造方法である。ノズル１８の吐出口９側を、吐出口１８側に行くに連れて漸次拡径するテーパ部１８ａとするテーパ部形成工程と、ノズル内のテーパ部１８ａ上に、撥液膜１０ａと親液膜１０ｂとを交互に形成して積層膜１１ａを形成する工程と、テーパ部１８ａ上の積層膜１１ａを研削し、その側断面を露出させることにより、撥液膜の環状の端面と撥液膜の環状の端面とが交互に露出してなるノズル内撥液膜１１を形成する工程と、を備えている。【選択図】    図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を収容するキャビティと、このキャビティに連通するノズルとを有し、前記キャビティと反対の側のノズル開口を吐出口として、前記キャビティ内に収容した液状体を前記ノズルの吐出口から吐出するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記ノズルの吐出口側を、吐出口側に行くに連れて漸次拡径するテーパ部とするテーパ部形成工程と、
前記ノズル内のテーパ部上に、撥液膜と親液膜とを交互に形成して積層膜を形成する工程と、
前記テーパ部上の積層膜を研削し、その側断面を露出させることにより、撥液膜の環状の端面と親液膜の環状の端面とが交互に露出してなるノズル内撥液膜を形成する工程と、を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記テーパ部上の積層膜の研削を、所望するノズル径より僅かに細い外径の円柱状の棒体を前記ノズル内に挿通し、前記積層膜を研削・研磨することで行うことを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記ノズルがノズルプレートに形成されてなり、
前記の撥液膜と親液膜とを交互に形成して積層膜を形成する工程では、前記ノズルプレートの外面側にも同様の積層膜を形成するようにし、かつ、該積層膜の最外層を撥液膜とすることを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記撥液膜がシリコーン樹脂からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記撥液膜がシリコーン樹脂をプラズマ重合させて形成したプラズマ重合膜であることを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記親液膜の形成を、撥液膜にエネルギーを与えて撥液性を親液性に変化させることで行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記親液膜の形成を、撥液膜に光を照射して撥液性を親液性に変化させることで行うことを特徴とする請求項４又は５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
ノズルの内壁面の、吐出口の近傍部に、環状の撥液部と環状の親液部とが交互に分布してなるノズル内撥液膜が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記ノズルがノズルプレートに形成されてなり、
前記ノズルプレートの外面側最表面に、撥液膜が設けられていることを特徴とする請求項８記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出するインクジェット法に用いられる、インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
所定量の液状材料を所望する位置に配することのできる方法として、液滴吐出法が知られている。このような液滴吐出法の一つとして、特に微量の液状材料を吐出するのに好適なインクジェット法がある。
このインクジェット法に用いられるインクジェットヘッドは、液状体を収容するキャビティと、このキャビティに連通するノズルを形成したノズルプレートとを有したもので、前記キャビティと反対の側のノズル開口を吐出口として、前記キャビティ内に収容した液状体を前記吐出口から吐出するよう構成されたものである。
【０００３】
ところで、このようなインクジェットヘッドにあっては、特にノズルの吐出口近傍部での液状体との接触性、すなわちこの吐出口近傍部が撥液性であるか親液性であるかということが、前記液状体からなる液滴の安定吐出を行ううえで重要な因子となっている。
このような観点から、従来、ノズルプレートの前記吐出口側の面に共析メッキを施し、この吐出口側の面およびノズル内の吐出口近傍部を撥液化したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、撥液性であるか、あるいは親液性であるかということに着目した技術として、ノズルプレートの前記吐出口を形成した側の面に撥インク性皮膜（撥液膜）を形成し、吐出する液状体として、前記の撥インク性皮膜に対してその後退動的接触角が１５度以上のものを用いるといった技術が知られている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平４−２９４１４５号公報
【特許文献２】特開２０００−２９０５５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、前記の共析メッキを施した技術、および撥インク性皮膜に対しての後退動的接触角に着目した技術は、いずれもノズルプレート表面、すなわちノズルプレートの前記吐出口を形成した側の面における液状体の濡れを防止し、ここが濡れていることに起因して次に吐出される液滴が不安定に吐出されてしまうのを防止したものである。
しかしながら、液滴の安定吐出、特に吐出量の安定化という点で考えた場合、ノズルプレートのノズル吐出口を形成した側の面における液状体の濡れ性（撥液性または親液性）だけを考慮しても、安定吐出を行うには十分とはいえなかった。
【０００６】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、良好な安定吐出性を有するインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するため、本発明者等は鋭意研究を重ねた結果、以下の知見を得た。
液滴を吐出した後、次の吐出までの間において、キャビティからノズルにかけて収容される液状体は、通常ノズル内にてメニスカスを形成する。つまり、液状体はそのメニスカスの端部がノズルの内部に位置した状態に保持され、次の吐出を待つことになる。したがって、このノズルの内部でのメニスカス端部の位置が毎回同じ位置となれば、吐出量の安定化が図られ、より良好な安定吐出を行うことができるようになる。
そして、このような知見に基づき、さらに研究を重ねた結果、本発明者は本発明を完成した。
【０００８】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、液状体を収容するキャビティと、このキャビティに連通するノズルとを有し、前記キャビティと反対の側のノズル開口を吐出口として、前記キャビティ内に収容した液状体を前記ノズルの吐出口から吐出するインクジェットヘッドの製造方法であって、前記ノズルの吐出口側を、吐出口側に行くに連れて漸次拡径するテーパ部とするテーパ部形成工程と、前記ノズル内のテーパ部上に、撥液膜と親液膜とを交互に形成して積層膜を形成する工程と、前記テーパ部上の積層膜を研削し、その側断面を露出させることにより、撥液膜の環状の端面と親液膜の環状の端面とが交互に露出してなるノズル内撥液膜を形成する工程と、を備えたことを特徴としている。
【０００９】
このインクジェットヘッドの製造方法によれば、前記ノズルの吐出口側に、撥液膜の環状の端面と親液膜の環状の端面とが交互に露出してなるノズル内撥液膜を形成するので、このノズル内撥液膜は後退接触角と前進接触角との差が大となる。したがって、得られたインクジェットヘッドは、そのノズル内撥液膜によって良好な安定吐出性を発揮するようになる。すなわち、液状体のメニスカス端部が前記ノズル内撥液膜上を移動した際、このノズル内撥液膜の前記液状体に対する後退接触角と前進接触角との差が大であることから、これが小である場合に比べてメニスカス端部が該ノズル内撥液膜上の所定位置（初期位置）に留まり易くなる。したがって、メニスカス端部の位置が毎回ほぼ同じ位置となることにより、吐出量の安定化が図られる。
【００１０】
また、前記インクジェットヘッドの製造方法においては、前記テーパ部上の積層膜の研削を、所望するノズル径より僅かに細い外径の円柱状の棒体を前記ノズル内に挿通し、前記積層膜を研削・研磨することで行うのが好ましい。
このようにすれば、テーパ部上の積層膜の端部が棒体によって斜めに研削・研磨されることにより、積層膜はノズル内に撥液膜、親液膜の各端面を露出させるようになり、したがって得られるノズル内撥液膜は、環状の撥液部と環状の親液部とが交互に分布してなるものとなる。
【００１１】
また、前記インクジェットヘッドの製造方法においては、前記ノズルがノズルプレートに形成されてなり、前記の撥液膜と親液膜とを交互に形成して積層膜を形成する工程では、前記ノズルプレートの外面側にも同様の積層膜を形成するようにし、かつ、該積層膜の最外層を撥液膜とするのが好ましい。
このようにすれば、積層膜を形成すると同時に、ノズルプレートの外面に撥液膜が形成される。
【００１２】
また、前記インクジェットヘッドの製造方法においては、前記撥液膜がシリコーン樹脂からなるのが好ましく、その場合に、該撥液膜は、シリコーン樹脂をプラズマ重合させて形成したプラズマ重合膜であるのが好ましい。
このようにすれば、撥液膜の撥液性の変化を良好に行うことが可能になる。
【００１３】
また、前記インクジェットヘッドの製造方法においては、前記親液膜の形成を、撥液膜にエネルギーを与えて撥液性を親液性に変化させることで行うのが好ましい。また、特に撥液膜がシリコーン樹脂からなる場合、親液膜の形成を、撥液膜に光を照射して撥液性を親液性に変化させることで行うのが好ましい。
このようにすれば、撥液膜の撥液性を変化させ、親液性にすることが容易になる。
【００１４】
本発明のインクジェットヘッドは、ノズルの内壁面の、吐出口の近傍部に、環状の親液部と環状の撥液部とが交互に分布してなるノズル内撥液膜が形成されていることを特徴としている。
このインクジェットヘッドによれば、ノズル内撥液膜が環状の撥液部と環状の親液部とを交互に分布して形成されていることにより、このノズル内撥液膜はその後退接触角と前進接触角との差が大となり、したがってこのノズル内撥液膜によって良好な安定吐出性を発揮するようになる。
【００１５】
また、前記インクジェットヘッドにおいては、前記ノズルがノズルプレートに形成されてなり、前記ノズルプレートの外面側最表面に、撥液膜が設けられているのが好ましい。
このようにすれば、撥液膜によってノズルプレートの外面側における液状体の濡れも防止することが可能になり、したがってここが濡れていることに起因して吐出が不安定になることを防止することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明のインクジェットヘッドの製造方法、及びこの方法によって得られる本発明のインクジェットヘッドを詳しく説明する。
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明の製造方法が適用されたインクジェットヘッドの概略構成を説明するための図であり、図１（ａ）、（ｂ）において符号１はインクジェットヘッドである。このインクジェットヘッド１は、図１（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材（リザーバプレート）１４を介して接合したものである。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切部材１４によって複数のキャビティ１５…とリザーバ１６とが形成されており、これらキャビティ１５…とリザーバ１６とは流路１７を介して連通している。
【００１７】
各キャビティ１５とリザーバ１６は、その内部に液状体を満たしてこれを収容するようになっており、これらの間の流路１７はリザーバ１６からキャビティ１５に液状体を供給する供給口として機能するようになっている。また、ノズルプレート１２には、キャビティ１５から液状体を吐出するための孔状のノズル１８が縦横に整列した状態で複数形成されている。ノズル１８は、前記キャビティ１５の側がテーパ形状になっており、キャビティ１５側に行くに連れて漸次拡径したものとなっている。また、キャビティ１５と反対の側の開口は、液滴を吐出するための吐出口９となっている。ここで、ノズルプレート１２には、その吐出口９を形成した面に撥液膜１０が形成されており、この撥液膜１０は、ノズル１８の内壁面の、前記吐出口９の近傍部にまで回り込んで形成されたものとなっている。
【００１８】
一方、振動板１３には、リザーバ１６内に開口する孔１９が形成されており、この孔１９には液状体を充填したタンク（図示せず）がチューブ（図示せず）を介して接続されるようになっている。
また、振動板１３のキャビティ１５に向く面と反対の側の面上には、図１（ｂ）に示すように圧電素子（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２０は、インクジェットヘッド１において吐出手段として機能するもので、一対の電極２１、２１間に挟持され、通電により外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたものである。
【００１９】
このような構成のもとに圧電素子２０が接合された振動板１３は、圧電素子２０が撓曲すると、これと一体になって同時に外側へ撓曲し、これによりキャビティ１５の容積を増大させる。すると、キャビティ１５内とリザーバ１６内とが連通しており、リザーバ１６内に液状体が充填されている場合には、キャビティ１５内に増大した容積分に相当する液状体が、リザーバ１６から流路１７を介して流入する。
そして、このような状態から圧電素子２０への通電を解除すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に戻る。よって、キャビティ１５も元の容積に戻ることから、キャビティ１５内部の液状体の圧力が上昇し、ノズル１８の吐出口９から液状体の液滴２２が吐出される。
【００２０】
なお、インクジェットヘッド１の吐出手段としては、前記の圧電素子（ピエゾ素子）２０を用いた電気機械変換体以外でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式や、帯電制御型、加圧振動型といった連続方式、静電吸引方式、さらにはレーザなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用で液状体を吐出させる方式を採用することもできる。
【００２１】
このような構成のインクジェットヘッド１において、ノズルプレート１２には、前述したように吐出口９を形成した面からノズル１８の内壁面の吐出口９の近傍部にかけて撥液膜１０が形成されている。そして、この撥液膜１０において、図２に示すように特にノズル１８の内壁面の、吐出口９の近傍部に形成された部分は、ノズル内撥液膜１１となっており、このノズル内撥液膜１１は、吐出する液状体に対する後退接触角と前進接触角との差が大、具体的には前進接触角が５０度以上９０度以下、後退接触角が２５度未満となっており、その差が２５度以上となっている。
【００２２】
したがって、このインクジェットヘッド１は、そのノズル内撥液膜１１により、良好な安定吐出性を発揮するようになっている。すなわち、ノズル１８内において、吐出動作を終えて次の吐出に備えるべく、液状体のメニスカス端部Ｍが図２に示したように前記ノズル内撥液膜１１上を移動した際、このノズル内撥液膜１１の前記液状体に対する後退接触角と前進接触角との差が大であることから、これが小である場合に比べてメニスカス端部Ｍが該ノズル内撥液膜１１上の所定位置（初期位置）に留まり易くなる。したがって、メニスカス端部Ｍの位置が毎回ほぼ同じ位置となることにより、吐出量の安定化が図られるのである。
【００２３】
ここで、ノズル内撥液膜１１（固体試料）の、吐出する液状体（液状試料）に対する後退接触角及び前進接触角は、動的接触角と呼ばれるもので、その測定法としては、例えば（１）ウィルヘルミー法、（２）拡張収縮法、（３）転落法などが知られている。なお、以下の測定法において固体試料としては、ステンレス板に前記ノズル内撥液膜１１と同様の撥液膜を形成したものを用いるものとする。
【００２４】
（１）ウィルヘルミー法は、試料槽内の液体試料中に固体試料を沈める過程で、また沈めたものを引き上げる過程での荷重を測定し、その測定値と固体試料の表面積の値とから動的接触角を求める方法である。固体試料を沈める過程で得られる接触角が前進接触角、引き上げる過程で得られる接触角が後退接触角である。
（２）拡張収縮法は、注射針やガラス毛細管等の先端から、固体試料表面上に液体試料を一定流量で押し出すことによって液滴を形成しながら、固体試料表面と液滴の間の接触角を測定することによって前進接触角を得、逆に注射針やガラス毛細管等の先端から液滴を形成している液体試料を引き込みながら、固体試料表面と液滴の間の接触角を測定することによって後退接触角を得る方法である。
（３）転落法は、固体試料上に液滴を形成し、この固体試料を傾ける、あるいは垂直にして固体試料上の液体を転落移動させながら、固体試料と液滴の間の接触角を測定するものである。液体が移動する方向の前方における接触角が前進接触角であり、後方における接触角が後退接触角である。
【００２５】
しかしながら、前記の測定法では、いずれも測定できる試料が限られているなどの難点があることから、本実施形態では、特に前記の（２）拡張収縮法の変形である、以下の測定法を用いている。
図３（ａ）に示すように、固体試料２の表面上に形成した液滴３内に針状管体４の先端が挿入されている状態で、固体試料２を水平方向に移動させる。すると、液滴３内に針状管体４が挿入されているので、液滴３と針状管体４との界面張力により、図３（ｂ）に示すように、固体試料２の移動に伴い液滴３が針状管体４に引きずられるように変形する。
【００２６】
このように液滴３が変形した状態での固体試料２と液滴３の間の接触角の大きさは、液滴３を成す液体の表面張力、固体試料２を成す固体の表面張力、液体−固体間の界面張力、摩擦力、吸着力、固体表面粗さ等によるため、この状態での接触角を測定することにより、動的接触角を得ることができる。すなわち、固体試料２の移動方向の前方の接触角θ１より後退接触角が得られ、後方の接触角θ２より前進接触角が得られる。
【００２７】
このような測定方法は、固体試料２上の液滴内に針状管体の先端を挿入した状態で前記固体試料２を水平方向に移動させることにより、表面エネルギーや摩擦等の上記因子を調べることなく、その結果として引き起こされる動的接触角のみを測定することができるものであり、あらゆる固体試料および液体試料について動的接触角の測定を適切に行うことができる。したがって、本実施形態では、前進接触角、後退接触角の測定法として、図３に示した測定法を採用するものとする。なお、本発明は図３に示した測定法以外の測定法、例えば前記の（１）〜（３）に示した測定法を採用してもよいのはもちろんであるが、その場合、測定装置などの違い（器差）などによって測定法の間で得られる動的接触角（前進接触角、後退接触角）に差が生じることがある。そこで、図３に示した測定法以外の測定法を用いた場合には、その測定法と図３に示した測定法との間で相関をとっておき、実際に測定した数値（動的接触角）を図３に示した測定法で得られる数値（動的接触角）に換算し、用いるのが好ましい。
【００２８】
次に、図２に示したノズル内撥液膜１１の形成方法に基づき、本発明のインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドの実施形態を説明する。
本実施形態では、まず、ノズル１８を形成したノズルプレート１２を用意する。なお、用意するノズルプレート１２のノズル１８としては、図４（ａ）に示すように、特にその吐出口９側をテーパ状に形成しておき、また吐出口９と反対の側（キャビティ１５側）もテーパ状に形成しておく。
【００２９】
すなわち、吐出口９側については、吐出口９側に行くに連れて漸次拡径するテーパ部１８ａを形成しておき、また、吐出口９と反対の側（キャビティ１５側）については、キャビティ１５側に行くに連れて漸次拡径するテーパ部１８ｂを形成しておく。吐出口９側のテーパ部１８ａについては、その内面の傾斜角、すなわちノズル１８の中心軸に対する傾斜角を、例えば５度から１５度程度、好ましくは約６度に形成する。一方、キャビティ１５側の傾斜角については、特に制限されることなく任意の角度、例えば５度から１５度程度に形成する。
【００３０】
このようなテーパ部１８ａ、１８ｂの形成方法としては、例えば形成する角度に対応したテーパ面を有する棒体、すなわち円錐状の先端部を有してなる棒体を用意し、これをノズルプレート１２の一方の面側に向けて回転させることで所定深さまで研削し、かつその内面を研磨するといった方法が採用される。ここで、研磨にあたっては、例えば平均粒径が０．５μｍ程度のアルミナ微粒子を研磨剤として用い、これをノズルプレート１２と棒体との間に注入した状態で行う。なお、ノズル１８については、最終的にその吐出口９側の内径を例えば２５μｍとなるようにするべく、テーパ部１８ａについてはその最も小径の部分の内径を約２５μｍにしておく。
【００３１】
続いて、このノズルプレート１２の吐出口９を形成した面にシリコーン樹脂をプラズマ重合させ、吐出口９を形成した面にプラズマ重合膜を厚さ５０ｎｍ程度に形成する。すると、プラズマ重合膜は、特にノズル１８の吐出口９側が外側に拡径したテーパ部１８ａとなっているので、このテーパ部１８ａ上にまで容易に回り込んで形成され、図４（ｂ）に示すようにノズル１８の内壁面の、テーパ部１８ａ上にもプラズマ重合膜が形成される。なお、このノズル１８の内壁面に形成されたプラズマ重合膜の膜厚も、ノズルプレート１２の吐出口９形成面に形成されたプラズマ重合膜の膜厚と同程度の膜厚、すなわち約５０ｎｍ程度となる。
このようにしてプラズマ重合を行うと、得られたプラズマ重合膜は、−Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ−からなる主鎖を有し、かつアルキル基やアリル基等の炭素含有基を側鎖とするものとなることから、撥液性（撥水性）を有する膜、すなわち撥液膜１０ａとなる。
【００３２】
このようにしてプラズマ重合膜からなる撥液膜１０ａを吐出口９形成面、およびノズル１８内のテーパ部１８ａ上にそれぞれ形成したら、このノズルプレート１２の撥液膜１０ａ側、すなわち吐出口９側から紫外線レーザ光であるエキシマレーザ光（波長；１７４ｎｍ）を、酸素存在雰囲気下（ただし、酸素は紫外光を吸収してオゾンを発生するため、本実施形態では窒素に対してわずかに酸素を添加した雰囲気とした）でノズル１８の軸方向に沿って照射する。
【００３３】
すると、ノズル１８内ではエキシマレーザ光によってプラズマ重合膜（撥液膜１０ａ）が露光される。このようにして露光がなされると、露光部では、シリコーン樹脂からなるプラズマ重合膜中の側鎖であるアルキル基やアリル基がエキシマレーザ光によって破壊され、雰囲気中の酸素が取り込まれることなどにより、最終的には親水性（親液性）であるＳｉＯ２を形成し、図４（ｃ）に示すように親液膜１０ｂとなる。ここで、このエキシマレーザ光による露光にあたっては、プラズマ重合膜（撥液膜１０ａ）全体、すなわちその全厚に亘って露光するのではなく、膜厚の表面側半分程度を露光し、内層側は露光しないよう、照射光量と時間とを調整する。例えば、５ｍＷ／ｃｍ２の光量で３分間照射することにより、表面側半分程度を露光し、内層側は露光しないようにすることができる。
このような条件で露光を行うことにより、プラズマ重合膜は、図４（ｃ）に示したようにその内層側は露光されずに撥液膜１０ａのままで残り、表面側は親液化して親液膜１０ｂとなる。
【００３４】
さらに、このようなプラズマ重合膜の形成（成膜）工程、形成したプラズマ重合膜に対する表面側のみの露光工程を、例えば１０回順次繰り返すことにより、図５（ａ）に示すようにノズルプレート１２の吐出口９形成面とノズル１８内のテーパ部１８ａ上に、撥液膜１０ａと親液膜１０ｂとからなる、厚さ５００ｎｍ程度の積層膜１１ａを形成する。このようにして積層膜１１ａを形成すると、特にノズル１８内のテーパ部１８ａ上では、テーパ部１８ａの斜面（テーパ面）に各膜が順次積層されることにより、積層膜１１ａはテーパ部１８ａのテーパ面をそのまま移した状態でノズル１８の中心軸に対し斜めに積層されるようになる。したがって、この積層膜１１ａは、特にその内方側（吐出口９と反対の側）にてノズル１８の内径を狭めるようになる。
【００３５】
なお、このような積層膜１１ａの形成にあたっては、特にその最外層となる膜について、これを撥液膜１０ａとするのが、すなわち、プラズマ重合膜を形成した後露光を行うことなくそのままで残すのが、望ましい。このようにすれば、この撥液膜１０ａが、図２に示したノズルプレート１２の吐出口９形成面上において撥液膜１０として機能するようになり、したがって、積層膜１１ａの形成と同時に、この撥液膜１０を形成することができるようになるからである。
【００３６】
このようにして積層膜１１ａを形成したら、そのノズル１８内に吐出口９側から棒体を挿通することにより、前記積層膜１１ａの一部を研削してその側断面を露出させるとともに、露出した断面を研磨する。ノズル１８内に挿通する棒体としては、先にテーパ部１８（１８ｂ）を形成した場合とは異なり、その先端側がテーパ面を有さない円柱状のものとする。また、この棒体の外径としては、最終的に形成するノズル１８の吐出口９側の内径、すなわち所望するノズル径より僅かに細い外径のものとする。このような棒体による積層膜１１ａの一部研削、および研磨にあたっては、特にその研磨に際して、前述したアルミナ微粒子からなる研磨剤を用いて行う。
【００３７】
すると、テーパ部１８ａ上の積層膜１１ａは、前述したようにノズル１８の中心軸に対して斜めに積層されて形成されていることから、棒体がノズル１８の中心軸に沿って挿通されることにより、積層膜１１ａは図５（ｂ）に示すようにその端部側が斜めに研削・研磨される。そして、このように斜めに研削・研磨されると、積層膜１１ａはノズル１８内に撥液膜１０ａ、親液膜１０ａの各端面を露出させるようになり、これによって積層膜１１ａの各端面は、交互に分布することでノズル内撥液膜１１となる。すなわち、このような研削・研磨によって撥液膜１０ａ、親液膜１０ａの各端面は、それぞれ撥液部１００ａ、親液部１００ｂとなり、テーパ部１８ａの周面にてその周方向に沿って円環状に形成され、かつ約０．５μｍピッチで交互に形成されたものとなる。
【００３８】
このようにして円環状の撥液部１００ａと親液部１００ｂとが交互に形成されると、これら撥液部１００ａ、親液部１００ｂからなるノズル内撥液膜１１は、液状体に対する前進接触角が比較的大きく、かつ後退接触角が小さくなる。すなわち、撥液部１００ａと親液部１００ｂとが交互に存在していると、このノズル１８内を液状体が移動する際、その前進側では、主に撥液部１００ａに留まりつつこれら撥液部１００ａ間の親液部１００ｂ上を瞬時に移動することから、前進接触角が大きくなる傾向にあり、一方後退側では、親液部１００ｂに引きずられることで後退接触角が小さく傾向にあるからである。
【００３９】
したがって、このようにノズル内撥液膜１１が形成されて得られたインクジェットヘッドは、このノズル内撥液膜１１によって良好な安定吐出性を発揮するようになる。すなわち、液状体のメニスカス端部が前記ノズル内撥液膜１１上を移動した際、このノズル内撥液膜１１の前記液状体に対する後退接触角と前進接触角との差が大であることから、これが小である場合に比べてメニスカス端部が該ノズル内撥液膜１１上の所定位置（初期位置）に留まり易くなり、これによってメニスカス端部の位置が毎回ほぼ同じ位置となることにより、良好な安定吐出性を発揮し、吐出量が安定化したものとなる。
【００４０】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない限り種々の変更が可能である。例えば、前記の実施形態において、撥液膜１０ａとしてのプラズマ重合膜を形成した後、これの膜厚の半分を露光してその表層部のみを親液膜１０ｂにしたが、これに代えて、撥液膜１０ａを形成した後、これの上に再度プラズマ重合膜（撥液膜１０ａ）を形成し、続いて後に形成したプラズマ重合膜のみが露光するように条件を設定して露光を行い、撥液膜１０ａ上に親液膜１０ｂを形成するようにしてもよい。
【００４１】
また、ノズル１８内のテーパ部１８ａの角度や、積層膜１１ａにおける各膜の積層数、さらに各膜の厚さ等についても、前記実施形態に限定されることなく任意に設定することができ、これによって撥液部１００ａと親液部１００ｂとのピッチを任意に決定することができる。
【００４２】
また、ノズルプレート１２のノズル１８内にレーザ光を照射する際に、図６に示すようにレーザ光源３１とノズルプレート１２との間にレンズアレー（集光レンズ）３２を配し、このレンズアレー３２によってレーザ光をノズルプレート１２のノズル内１８に集光させるようにしてもよい。すなわち、レーザ光源３１から光学レンズ系３３を介してレンズアレー３２に平行光を入射させ、このレンズアレー３２でノズルプレート１２の各ノズル１８にそれぞれ集光させるようにしてもよい。
このようにすれば、レンズアレー３２によってレーザ光をノズル１８内に集光させることにより、露光効率を高めて例えば露光時間を短縮し、あるいは露光度を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】（ａ）、（ｂ）はインクジェットヘッドの概略構成図である。
【図２】ノズルプレートの要部拡大図である。
【図３】（ａ）、（ｂ）は動的接触角の測定法説明図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）はインクジェットヘッドの製造方法説明図である。
【図５】（ａ）、（ｂ）は図４に続く製造方法説明図である。
【図６】本発明の実施形態の変形例を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４４】
１…インクジェットヘッド、９…吐出口、１０、１０ａ…撥液膜、１０ｂ…親液膜、
１１…ノズル内撥液膜、１１ａ…積層膜、１２…ノズルプレート、１５…キャビティ、
１８…ノズル、１８ａ…テーパ部、１００ａ…撥液部、１００ｂ…親液部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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