(57)【要約】【課題】  結露を抑えて温度管理を簡単に行うことができる放射線検出器および放射線撮像装置を提供することを目的とする。【解決手段】  フラットパネル型Ｘ線検出器（ＦＰＤ）３の発熱部のある検出面側に接して放熱ブロック２０を配設しており、その放熱ブロック２０の内部には、冷媒を通す冷媒管２１を有している。また、放熱ブロック２０を覆うブロックカバー２２と放熱ブロック２０との間に形成された通路２３に空気を送り込む送気ファン２４と、送り込まれた空気を吸気する吸気ファン２５とを配設している。かかるファン２４、２５を備えることで結露を抑えることができる。その結果、温度の上昇・下降を抑えて温度管理を簡単に行うことができる。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線を検出する面状の放射線検出器であって、放射線検出器の発熱部のある面に接して配設された冷却手段と、その冷却手段を覆う筐体部材と、冷却手段・筐体部材間で形成された通路に気体を送り込む送気手段と、その通路に送り込まれた気体を吸う吸気手段とを備えるとともに、冷却手段と筐体部材とを挟んで送気手段および吸気手段を互いに対向して配設することを特徴とする放射線検出器。
【請求項２】
請求項１に記載の放射線検出器において、前記冷却手段を複数に分割して配設するとともに、前記筐体部材を分割された冷却手段と同数に分割して配設し、分割された冷却手段と筐体部材とをそれぞれ挟んで前記送気手段および吸気手段を互いに対向して配設することを特徴とする放射線検出器。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の放射線検出器において、前記冷却手段は、放射線検出器の発熱部のある面に接して配設された放熱ブロックと、その内部に冷媒を通す冷媒管を備えることを特徴とする放射線検出器。
【請求項４】
被検体を透過した放射線を検出する面状の放射線検出器を備え、検出された放射線に基づいて画像処理を行うことで被検体の撮像を行う放射線撮像装置であって、放射線検出器は、放射線検出器の発熱部のある面に接して配設された冷却手段と、その冷却手段を覆う筐体部材と、冷却手段・筐体部材間で形成された通路に気体を送り込む送気手段と、その通路に送り込まれた気体を吸う吸気手段とを備えるとともに、冷却手段と筐体部材とを挟んで送気手段および吸気手段を互いに対向して配設することを特徴とする放射線撮像装置。
【請求項５】
請求項４に記載の放射線撮像装置において、前記冷却手段を複数に分割して配設するとともに、前記筐体部材を分割された冷却手段と同数に分割して配設し、分割された冷却手段と筐体部材とをそれぞれ挟んで前記送気手段および吸気手段を互いに対向して配設することを特徴とする放射線撮像装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の放射線撮像装置において、前記冷却手段は、放射線検出器の発熱部のある面に接して配設された放熱ブロックと、その内部に冷媒を通す冷媒管を備えることを特徴とする放射線撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、医療分野や、非破壊検査，ＲＩ（Radio isotope）検査，および光学検査などの工業分野や、原子力分野などに用いられる放射線検出器および放射線撮像装置に係り、特に、放射線検出器の温度を管理する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、放射線検出器として、例えばフラットパネル型放射線検出器（ＦＰＤ）がある。この検出器は面状に構成されており、放射線を検出する検出面から放射線を取り込んで電荷を生成して電気信号として画像処理手段に送り込まれる。具体的に説明すると、面状の感応膜が基板上に積層されて放射検出器が構成されており、その感応膜を検出面として入射した放射線を検出して、検出された放射線を電荷に変換して、２次元アレイ状に配置されたキャパシタに電荷を蓄積する。蓄積された電荷はスイッチング素子をＯＮすることで読み出されて、電気信号として画像処理手段に送り込まれる。
【０００３】
しかしながら、放射線検出器を放射線撮像装置などに用いて撮像を行う際に、撮像中に検出器の温度が上昇して、撮像の精度に狂いが生じる場合がある。撮像を精度よく行うためには厳密な温度管理を必要とする。そこで、放射線検出器が面状であることを利用して、温度の上昇を防止するためにその発熱部のある面に接して放熱ブロックなどに代表される冷却手段を配設することで、温度の上昇を防止し温度管理を簡単に行うことが考えられる。
【０００４】
しかし、実際には、放熱ブロック内部に冷媒が通ることでブロックに結露が発生する。結露が発生することで温度が逆に下がるなど温度管理が制御し難くなる。そこで、結露を抑えるために放熱ブロックを含む冷却手段に空気などに代表される気体を送り込むことが考えられる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−３２９３３８号公報（第２頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、図６に示すように冷却手段に空気を送り込んでも結露を抑えるのには効果的でない。この場合、図６に示す放熱ブロック１２０は冷却水や液体窒素などに代表される冷媒を通す冷媒管１２１を有しており、フラットパネル型放射線検出器１０３が発熱する箇所（ゲートドライバやマルチプレクサや増幅器やＡ／Ｄ変換器など）に各放熱ブロック１２０をそれぞれ配設している。マルチプレクサや増幅器やＡ／Ｄ変換器などのデータ読み出しに関する周辺回路は２つあって、図６の紙面からみて左右に各周辺回路が設けられている。一方、ゲートドライバなどのゲートの制御に関する周辺回路は１つであって、図６の紙面からみて奥側に設けられている。したがって、放熱ブロック１２０は、これらの発熱しやすい構成（発熱部）の箇所に対応させて、いわゆる『コ』の字状に形成されている。
【０００６】
かかる『コ』の字状に形成された放熱ブロック１２０に囲まれるように複数個のファン１２２を設けて放熱ブロック１２０に向けて空気を送り込んでも、発生した熱が放熱ブロック１２０の外に逃げるので送り込まれた空気で結露を完全に抑えることができない。
【０００７】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、結露を抑えて温度管理を簡単に行うことができる放射線検出器および放射線撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
【０００９】
すなわち、請求項１に記載の発明は、放射線を検出する面状の放射線検出器であって、放射線検出器の発熱部のある面に接して配設された冷却手段と、その冷却手段を覆う筐体部材と、冷却手段・筐体部材間で形成された通路に気体を送り込む送気手段と、その通路に送り込まれた気体を吸う吸気手段とを備えるとともに、冷却手段と筐体部材とを挟んで送気手段および吸気手段を互いに対向して配設することを特徴とするものである。
【００１０】
［作用・効果］請求項1に記載の発明によれば、放射線検出器の発熱部のある面に接して配設された冷却手段は、発熱部における温度上昇を抑える。一方で、筐体部材は冷却手段を覆うので、発生した熱を集約することができる。この熱を集約した状態で、送気手段は冷却手段・筐体部材間で形成された通路に気体を送り込み、吸気手段はその通路に送り込まれた気体を吸う。気体の送り込みおよび吸気により冷却手段・筐体部材間の通路に空気の流れができ、集約した熱を気体によって逃がすことができるとともに、冷却手段に発生する結露を抑えることができる。その結果、温度の上昇・下降を抑えて温度管理を簡単に行うことができる。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の放射線検出器において、前記冷却手段は、放射線検出器の発熱部のある面に接して配設された放熱ブロックと、その内部に冷媒を通す冷媒管を備えることを特徴とするものである。
【００１２】
［作用・効果］請求項３に記載の発明によれば、冷却手段は、放熱ブロックの内部に備えられた冷媒管に冷媒が通ることで発熱部における温度上昇を抑える。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、被検体を透過した放射線を検出する面状の放射線検出器を備え、検出された放射線に基づいて画像処理を行うことで被検体の撮像を行う放射線撮像装置であって、放射線検出器は、放射線検出器の発熱部のある面に接して配設された冷却手段と、その冷却手段を覆う筐体部材と、冷却手段・筐体部材間で形成された通路に気体を送り込む送気手段と、その通路に送り込まれた気体を吸う吸気手段とを備えるとともに、冷却手段と筐体部材とを挟んで送気手段および吸気手段を互いに対向して配設することを特徴とするものである。
【００１４】
［作用・効果］請求項４に記載の発明によれば、被検体を透過した放射線を放射線検出器が検出して、検出された放射線に基づいて画像処理を行うことで被検体の撮像を行う。放射線検出手段に備えられた冷却手段は、発熱部における温度上昇を抑える。一方で、筐体部材は冷却手段を覆うことで、発生した熱を集約した状態で、送気手段は冷却手段・筐体部材間で形成された通路に気体を送り込み、吸気手段はその通路に送り込まれた気体を吸う。気体の送り込みおよび吸気により冷却手段・筐体部材間の通路に空気の流れができ、集約した熱を気体によって逃がすことができるとともに、冷却手段に発生する結露を抑えることができる。その結果、温度の上昇・下降を抑えて温度管理を簡単に行うことができる。また、かかる放射線検出器を放射線撮像装置が備えているので、温度の変化による撮像の精度の狂いを抑えることができ、撮像を精度よく行うことができる。
【００１５】
また、請求項６に記載の発明は、請求項４または請求項５に記載の放射線撮像装置において、前記冷却手段は、放射線検出器の発熱部のある面に接して配設された放熱ブロックと、その内部に冷媒を通す冷媒管を備えることを特徴とするものである。
【００１６】
［作用・効果］請求項６に記載の発明によれば、冷却手段は、放熱ブロックの内部に備えられた冷媒管に冷媒が通ることで発熱部における温度上昇を抑える。
【００１７】
上述した発明（請求項１，４に記載の発明）において、冷却手段を複数に分割して配設するとともに、筐体部材を分割された冷却手段と同数に分割して配設し、分割された冷却手段と筐体部材とをそれぞれ挟んで送気手段および吸気手段を互いに対向して配設するの（請求項２，５に記載の発明）が好ましい。このように配設することで、分割した箇所で気体を円滑に通すことができ、結露をより一層抑えることができる。
【発明の効果】
【００１８】
この発明に係る放射線検出器および放射線撮像装置によれば、冷却手段は発熱部における温度上昇を抑える。一方で、筐体部材は冷却手段を覆うことで、発生した熱を集約した状態で、送気手段は冷却手段・筐体部材間で形成された通路に気体を送り込み、吸気手段はその通路に送り込まれた気体を吸う。気体の送り込みおよび吸気により冷却手段・筐体部材間の通路に空気の流れができ、集約した熱を気体によって逃がすことができるとともに、冷却手段に発生する結露を抑えることができる。その結果、温度の上昇・下降を抑えて温度管理を簡単に行うことができる。
【実施例】
【００１９】
以下、図面を参照してこの発明の実施例を説明する。
【００２０】
図１は、実施例に係るフラットパネル型Ｘ線検出器およびＸ線診断装置のブロック図であり、図２は、フラットパネル型Ｘ線検出器の概略斜視図であり、図３は、側面視したフラットパネル型Ｘ線検出器の等価回路であり、図４は、平面視したフラットパネル型Ｘ線検出器の等価回路である。本実施例では、Ｘ線検出器としてフラットパネル型Ｘ線検出器（以下、適宜「ＦＰＤ」という）を例に採るとともに、放射線撮像装置としてＸ線診断装置を例に採って説明する。
【００２１】
本実施例に係るＸ線診断装置は、図１に示すように、被検体Ｍを載置する天板１と、その被検体Ｍに向けてＸ線を照射するＸ線管２と、被検体Ｍを透過したＸ線を検出するＦＰＤ３とを備えている。ＦＰＤ３は、この発明における放射線検出器に相当する。
【００２２】
Ｘ線診断装置は、他に、天板１の昇降および水平移動を制御する天板制御部４や、ＦＰＤ３の走査を制御するＦＰＤ制御部５や、Ｘ線管２の管電圧や管電流を発生させる高電圧発生部６を有するＸ線管制御部７や、ＦＰＤ３の後述するＡ／Ｄ変換器４０（図４参照）から出力されたＸ線検出信号に基づいて種々の処理を行う画像処理部８や、これらの各構成部を統括するコントローラ９や、処理された画像などを記憶するメモリ部１０や、オペレータが入力設定を行う入力部１１や、処理された画像などを表示するモニタ１２などを備えている。
【００２３】
天板制御部４は、天板１を水平移動させて被検体Ｍを撮像位置にまで収容したり、昇降および水平移動させて被検体Ｍを所望の位置に設定したり、水平移動させながら撮像を行ったり、撮像終了後に水平移動させて撮像位置から退避させる制御などを行う。ＦＰＤ制御部５は、ＦＰＤ３を水平移動させたり、被検体Ｍの体軸の軸心周りに回転移動させることによる走査に関する制御などを行う。高電圧発生部６は、Ｘ線を照射させるための管電圧や管電流を発生してＸ線管２に与え、Ｘ線管制御部７は、Ｘ線管２を水平移動させたり、被検体Ｍの体軸の軸心周りに回転移動させるによる走査に関する制御や、Ｘ線管３側のコリメータ（図示省略）の照視野の設定の制御などを行う。なお、Ｘ線管２やＦＰＤ３の走査の際には、Ｘ線管２から照射されたＸ線をＦＰＤ３が検出できるようにＸ線管２およびＦＰＤ３が互いに対向しながらそれぞれの移動を行う。
【００２４】
コントローラ９は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）などで構成されており、メモリ部１０は、ＲＯＭ（Read-only Memory）やＲＡＭ（Random-Access Memory）などに代表される記憶媒体などで構成されている。また、入力部１１は、マウスやキーボードやジョイスティックやトラックボールやタッチパネルなどに代表されるポインティングデバイスで構成されている。Ｘ線診断装置では、被検体Ｍを透過したＸ線をＦＰＤ３が検出して、検出されたＸ線に基づいて画像処理部８で画像処理を行うことで被検体Ｍの撮像を行う。
【００２５】
図２に示すように、ＦＰＤ３の検出面側に接して放熱ブロック２０を配設しており、その放熱ブロック２０の内部には、冷却水や液体窒素などに代表される冷媒を通す冷媒管２１を有している。ＦＰＤ３の検出面側には、後述するゲートドライバ３５やマルチプレクサ３７や増幅器３８やＡ／Ｄ変換器４０を備えて配設している。これらＡ／Ｄ変換器８やゲートドライバ３５やマルチプレクサ３７や増幅器３８やＡ／Ｄ変換器４０は、その構造上、発熱しやすい。放熱ブロック２０は、これらの発熱しやすい構成（発熱部）の箇所に対応させて配設している。放熱ブロック２０および冷媒管２１は、この発明における冷却手段に相当する。
【００２６】
マルチプレクサ３７や増幅器３８やＡ／Ｄ変換器４０などのデータ読み出しに関する周辺回路は２つあって、図２の紙面からみて左右に各周辺回路が設けられている。一方、ゲートドライバ３５などのゲートの制御に関する周辺回路は１つであって、図２の紙面からみて奥側に設けられている。本実施例では、各周辺回路の箇所に対応させて、放熱ブロック２０を３つに分割して配設している。また、各放熱ブロック２０を覆う筐体状のブロックカバー２２も、分割された放熱ブロック２０と同数の３つに分割して配設している。ブロックカバー２２は、この発明における筐体部材に相当する。
【００２７】
放熱ブロック２０とブロックカバー２２との間には通路２３が形成されている。この通路２３に空気を送り込む送気ファン２４を３つ、その通路２３に送り込まれた空気を吸う吸気ファン２５を３つ備え、分割された放熱ブロック２０とブロックカバー２２とをそれぞれ挟んで送気ファン２４および吸気ファン２５を互いに対向して配設している。送気ファン２４はこの発明における送気手段に相当し、吸気ファン２５はこの発明における吸気手段に相当する。
【００２８】
本実施例では、冷媒が各放熱ブロック２０内を循環して流れる循環式を採用している。なお、冷媒管２１のみについては分割された放熱ブロック２０にまたがって設けてもよいし、各放熱ブロック２０にそれぞれ対応して３つの冷媒管２１を独立して設けてもよい。
【００２９】
ＦＰＤ３は、図３に示すように、ガラス基板３１と、ガラス基板３１上に形成された薄膜トランジスタＴＦＴとから構成されている。薄膜トランジスタＴＦＴについては、図３、図４に示すように、縦・横式２次元マトリクス状配列でスイッチング素子３２が多数個（例えば、1024個×1024個）形成されており、キャリア収集電極３３ごとにスイッチング素子３２が互いに分離形成されている。すなわち、ＦＰＤ３は、２次元アレイ放射線検出器でもある。
【００３０】
図３に示すようにキャリア収集電極３３の上にはＸ線感応型半導体３４が積層形成されており、図３、図４に示すようにキャリア収集電極３３は、スイッチング素子３２のソースＳに接続されている。ゲートドライバ３５からは複数本のゲートバスライン３６が接続されているとともに、各ゲートバスライン３６はスイッチング素子３２のゲートＧに接続されている。一方、図４に示すように、電荷信号を収集して１つに出力するマルチプレクサ３７には増幅器３８を介して複数本のデータバスライン３９が接続されているとともに、図３、図４に示すように各データバスライン３９はスイッチング素子３２のドレインＤに接続されている。マルチプレクサ３７には、電荷信号をアナログからディジタルに変換してディジタル化したＸ線検出信号を出力するＡ／Ｄ変換器４０が接続されている。なお、図４では図示の便宜上、マルチプレクサ３７や増幅器３８やＡ／Ｄ変換器４０などのデータ読み出しに関する周辺回路を１つのみ図示している。
【００３１】
図示を省略する共通電極にバイアス電圧を印加した状態で、ゲートバスライン３６の電圧を印加（または０Ｖに）することでスイッチング素子３２のゲートがＯＮされて、キャリア収集電極３３は、検出面側で入射したＸ線からＸ線感応型半導体３４を介して変換された電荷信号（キャリア）を、スイッチング素子３２のソースＳとドレインＤとを介してデータバスライン３９に読み出す。なお、スイッチング素子がＯＮされるまでは、電荷信号はキャパシタ（図示省略）で暫定的に蓄積されて記憶される。各データバスライン３９に読み出された電荷信号を増幅器３８で増幅して、マルチプレクサ３７で１つの電荷信号にまとめて出力する。出力された電荷信号をＡ／Ｄ変換器４０でディジタル化してＸ線検出信号として出力する。
【００３２】
以上のように構成されたＦＰＤ３によれば、ＦＰＤ３の発熱部（例えばゲートドライバ３５やマルチプレクサ３７や増幅器３８やＡ／Ｄ変換器４０など）が配設されている検出面に接して配設された放熱ブロック２０は、その内部に備えられた冷媒管２１に冷媒が通ることで発熱部における温度上昇を抑える。一方で、ブロックカバー２２は放熱ブロック２０を覆うので、発生した熱を集約することができる。この熱を集約した状態で、送気ファン２４は放熱ブロック２０・ブロックカバー２２間で形成された通路２３に空気を送り込み、吸気ファン２５はその通路２３に送り込まれた空気を吸う。空気の送り込みおよび吸気により放熱ブロック２０・ブロックカバー２２間の通路２３に、図２の矢印の一方向に空気の流れができ、集約した熱を空気によって逃すことができるとともに、内部に冷媒が通ることで放熱ブロック２０に発生する結露を抑えることができる。その結果、温度の上昇・下降を抑えて温度管理を簡単に行うことができる。
【００３３】
本実施例では、かかるＦＰＤ３をＸ線診断装置に備えているので、温度の変化による撮像の精度の狂いを抑えることができ、撮像を精度よく行うことができる。
【００３４】
また、本実施例では、放熱ブロック２０を複数（本実施例では３つ）に分割して配設するとともに、ブロックカバー２２を分割された放熱ブロック２０と同数に分割して配設し、分割された放熱ブロック２０と筐体部材とをそれぞれ挟んで送気ファン２４および吸気ファン２５を互いに対向して配設している。このように配設することで、分割した箇所で空気を円滑に通すことができ、結露をより一層抑えることができる。
【００３５】
この発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００３６】
（１）上述した実施例では、図１に示すようなＸ線診断装置を例に採って説明したが、この発明は、例えばＣ型アームに配設されたＸ線診断装置にも適用してもよい。また、この発明は、Ｘ線ＣＴ装置にも適用してもよい。
【００３７】
（２）上述した実施例では、フラットパネル型Ｘ線検出器（ＦＰＤ）３を例に採って説明したが、Ｘ線を検出する際に発熱するようなＸ線検出器であれば、この発明は適用することができる。
【００３８】
（３）上述した実施例では、Ｘ線を検出するＸ線検出器を例に採って説明したが、この発明は、ＥＣＴ（Emission Computed Tomography）装置のように放射性同位元素（ＲＩ）を投与された被検体から放射されるγ線を検出するγ線検出器に例示されるように、放射線を検出する面状の放射線検出器であれば特に限定されない。同様に、この発明は、上述したＥＣＴ装置に例示されるように、放射線を検出して撮像を行う装置であれば特に限定されない。
【００３９】
（４）上述した実施例では、ＦＰＤ３は、放射線（実施例ではＸ線）感応型の半導体を備え、入射した放射線を放射線感応型の半導体で直接的に電荷信号に変換する直接変換型の検出器であったが、放射線感応型の替わりに光感応型の半導体を備えるとともにシンチレータを備え、入射した放射線をシンチレータで光に変換し、変換された光を光感応型の半導体で電荷信号に変換する間接変換型の検出器であってもよい。
【００４０】
（５）上述した実施例では、分割して放熱ブロック２０を配設したが、配設の形態については図２に示す形態に限定されない。発熱部の箇所に応じて適宜変更すればよい。分割する数についても特に限定されない。また、図５に示すように分割せずに放熱ブロック２０を『コ』の字状に形成してもよい。そして、通路２３の入り口に送気ファン２４を配設するとともに、出口に吸気ファン２５を配設する。ただ、空気を円滑に通し結露をより一層抑えることを鑑みれば、上述した実施例のように分割して構成するのがより好ましい。
【００４１】
（６）上述した実施例では、検出面側に発熱部があったので、検出面側に放射ブロック２０やファン２２などを配設したが、検出面側以外の面に発熱部があった場合には、その面に放熱ブロック２０やファン２２を配設すればよい。
【００４２】
（７）上述した実施例では、冷媒管２１は、冷媒が放熱ブロック２０内を循環して流れる循環式であったが、放熱ブロック２０を一旦流れた冷媒が通らない非循環式であってもよい。
【００４３】
（８）上述した実施例では、送気ファン２４は空気を送り込んだが、例えば空気を除湿したドライエアーを送気ファン２４が送り込んだり、ヘリウム（Ｈｅ）やネオン（Ｎｅ）やアルゴン（Ａｒ）などに代表される希ガスや窒素（Ｎ）といった不活性ガスを送気ファン２４が送り込んでもよい。つまり、結露を抑える気体であれば特に限定されない。なお、ドライエアーを送り込むときには、空気を取り込む入り口を、除湿用のフィルタを介して通路２２に連接して、フィルタ付近に送気ファン２４を設けるのが好ましい。また、不活性ガスを送り込むときには、不活性ガスを供給する供給タンクを通路２２に連接するように設け、連接部に送気ファン２４を配設するのが好ましい。
【００４４】
（９）上述した実施例では、放熱ブロック２０と、その内部に冷媒を通す冷媒管２１を備えて、この発明における冷却手段を構成したが、例えばペルチェ素子などのように、通常の冷却に用いられるものであれば、特に限定されない。
【００４５】
（１０）上述した実施例では、分割された各放熱ブロック２０およびブロックカバー２２間では、図２に示すように空気の流れは常に一方向であったが、分割された一部で逆方向に流れるように送気ファンおよび吸気ファンを配設してもよい。ただ、空気を円滑に通すことを考慮すれば、一方向に統一するのがより好ましい。実施例のように、一方向に統一すれば、逆方向に空気を流すことで発生する乱流を防止することができるとともに、乱流による空気の滞りを防止することができるからである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】実施例に係るフラットパネル型Ｘ線検出器およびＸ線診断装置のブロック図である。
【図２】フラットパネル型Ｘ線検出器の概略斜視図である。
【図３】側面視したフラットパネル型Ｘ線検出器の等価回路である。
【図４】平面視したフラットパネル型Ｘ線検出器の等価回路である。
【図５】変形例に係るフラットパネル型Ｘ線検出器の概略斜視図である。
【図６】従来において、結露を抑えるファンを単に配設したフラットパネル型Ｘ線検出器の概略斜視図である。
【符号の説明】
【００４７】
３  …  フラットパネル型Ｘ線検出器（ＦＰＤ）
２０  …  放熱ブロック
２１  …  冷媒管
２２  …  ブロックカバー
２３  …  通路
２４  …  送気ファン
２５  …  吸気ファン
Ｍ  …  被検体
【図１】
2005207906.tif 000003
【図２】
2005207906.tif 000004
【図３】
2005207906.tif 000005
【図４】
2005207906.tif 000006
【図５】
2005207906.tif 000007
【図６】
2005207906.tif 000008