(57)【要約】 【課題】    極めて小さい薄膜フィルタの所定角度での光学特性を測定する為に光学測定装置の所定位置、所定方向に薄膜フィルタを正しくセットする作業の困難性を解決する保持具を提供すること。【解決手段】被測定物が所定角度で当接可能な保持面と、前記保持面に当接させながら前記被測定物を保持する保持手段と、光を放射する光源と、２つの端面を有し、前記一方の端面を前記光源が放射する光が入射する位置に、他方の端面を前記保持面近傍に配置した光ファイバとを具え、前記保持面は、前記他方の端面からの射出光の射出方向に対して所定角度をなして設けられている保持具。【選択図】  図１
2005188971.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物が所定角度で当接可能な保持面と、
前記保持面に当接させながら前記被測定物を保持する保持手段と、
光を放射する光源と、
２つの端面を有し、前記一方の端面を前記光源が放射する光が入射する位置に、他方の端面を前記保持面近傍に配置した光ファイバとを具え、
前記保持面は、前記他方の端面からの射出光の射出方向に対して所定角度をなして設けられていることを特徴とする保持具。
【請求項２】
前記保持手段は、負圧を発生する負圧発生源と、
前記保持面近傍に設けられた開口部と、
前記開口部から前記負圧発生源に連通する連結管とから構成され、
前記負圧発生源によって前記連結管を介して前記開口部近傍に生ずる負圧で前記被測定物を前記保持面に押し付けることを特徴とする請求項１に記載の保持具。
【請求項３】
前記保持面と前記被測定物とが当接したときに、前記保持面と前記被測定物の被測定面とは平行であることを特徴とする請求項１〜２何れか１項に記載の保持具。
【請求項４】
請求項１〜３何れか１項に記載の保持具と、
前記保持具で被測定物を保持したままで、前記保持具が有する光ファイバから射出する射出光を入射する前記被測定物から透過する透過光を受光する為の光検出器と、
前記光検出器が前記透過光を受光できるように前記光検出器に対して前記保持部材を位置決めする為の位置決め手段とを具えることを特徴とする光学測定装置。
【請求項５】
測定光が被測定物に入射するように、請求項１〜３何れか１項に記載の保持具で前記被測定物を保持して位置決めする段階と、
測定光を入射する前記被測定物を透過する透過光を光検出器が受光できるように前記光検出器に対して前記保持部材を位置決めする段階と、
前記光検出器で前記被測定物を透過する透過光を測定する段階とを具えることを特徴とする光学測定方法。
【請求項６】
前記被測定物は、光学多層膜からなる光学フィルタであることを特徴とする請求項１〜３何れか１項に記載の保持具。
【請求項７】
前記被測定物は、光学多層膜からなる光学フィルタであることを特徴とする請求項４に記載の光学測定装置。
【請求項８】
前記被測定物は、光学多層膜からなる光学フィルタであることを特徴とする請求項５に記載の光学測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜フィルタ等の被測定物を保持する為の、光源を具えた保持具、保持具に具えられた光源の光により被測定物の光学特性を測定する為の光学測定装置、及び光学測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光通信用の薄膜フィルタの透過率等の光学特性を光学測定装置で測定する為に、運搬箱等に収納されている薄膜フィルタをピンセットで保持して光学測定装置まで移動し、図１２に示すような光学測定装置の測定場所に所定方向に載置、即ちセットしてから測定していた。
【０００３】
又、従来、発光せしめられる光ファイバーケーブルをピンセットに付設することによって、微小物体の形状、存在位置を明瞭にして把持操作を容易にするものが提案されている。（例えば特許文献１等）
【特許文献１】特開平１０−１５１５７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、光通信用の薄膜フィルタは、例えば長さ３ｍｍ、幅０．３ｍｍ、厚さ０．０３ｍｍと小さく薄い為に、光学測定装置で測定する為に光学測定装置の所定位置、所定方向に薄膜フィルタをピンセットを用いて正しくセットする作業は、困難であり、習熟の為に長期間を要した。
【０００５】
特許文献１に開示された技術は、このような作業の為に、光ファイバーケーブルで微小な薄膜フィルタの存在位置を明瞭にすることに於いては有効であるが、薄膜フィルタの光学測定装置へのセットを容易にするものではなかった。
【０００６】
本発明は、以上の課題を解決する為になされたものであり、薄膜フィルタのような小さい被測定物の光学特性を測定する為に好都合な保持具、この保持具を用いた光学測定装置、及び光学測定方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
以上の課題を解決する為に、本発明の第１の態様の保持具は、被測定物が所定角度で当接可能な保持面と、前記保持面に当接させながら前記被測定物を保持する保持手段と、光を放射する光源と、２つの端面を有し、前記一方の端面を前記光源が放射する光が入射する位置に、他方の端面を前記保持面近傍に配置した光ファイバとを具え、前記保持面は、前記他方の端面からの射出光の射出方向に対して所定角度をなして設けられているものである。
【０００８】
本発明の第２の態様の保持具は、第１の態様の保持具であって、前記保持手段は、負圧を発生する負圧発生源と、前記保持面近傍に設けられた開口部と、前記開口部から前記負圧発生源に連通する連結管とから構成され、前記負圧発生源によって前記連結管を介して前記開口部近傍に生ずる負圧で前記被測定物を前記保持面に押し付けるものである。
【０００９】
本発明の第３の態様の保持具は、第１〜第２の態様の何れかの保持具であって、前記保持面と前記被測定物とが当接したときに、前記保持面と前記被測定物の被測定面とは平行であるものである。
【００１０】
本発明の第４の態様の光学測定装置は、第１〜第３の態様の何れかの保持具と、前記保持具で被測定物を保持したままで、前記保持具が有する光ファイバから射出する射出光を入射する前記被測定物から透過する透過光を受光する為の光検出器と、前記光検出器が前記透過光を受光できるように前記光検出器に対して前記保持部材を位置決めする為の位置決め手段とを具えるものである。
【００１１】
本発明の第５の態様の光学測定方法は、測定光が被測定物に入射するように、第１〜第３の態様の何れかの保持具で前記被測定物を保持して位置決めする段階と、測定光を入射する前記被測定物を透過する透過光を光検出器が受光できるように前記光検出器に対して前記保持部材を位置決めする段階と、前記光検出器で前記被測定物を透過する透過光を測定する段階とを具えるものである。
【００１２】
本発明の第６の態様の保持具は、第１〜第３の態様の何れかの保持具であって、前記被測定物は、光学多層膜からなる光学フィルタである。
【００１３】
本発明の第７の態様の光学測定装置は、第４の態様の光学測定装置であって、前記被測定物は、光学多層膜からなる光学フィルタである。
【００１４】
本発明の第８の態様の光学測定方法は、第５の態様の光学測定方法であって、前記被測定物は、光学多層膜からなる光学フィルタである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の保持具によれば、被測定物を保持部に対して所定の方向に容易に保持し、被測定物の被測定面に所定入射角度で光を入射させることが出来る。本発明の保持具は、更に光検出器を組み合わせることによって透過率を測定する光学測定装置を容易に構築し、透過率特性を容易に測定することができる。
【００１６】
本発明の光学測定装置によれば、被測定物の所定の入射角度での光学測定を、単に被測定物を保持具に保持し、筐体に該保持具をセットするだけで、被測定物が小さくてもさほど高い熟練を用いずに、又、素早く行なうことができるので、使い易く操作性が良い。
【００１７】
本発明の光学測定法によれば、小さい被測定物であっても、単に保持具で保持して、保持具を受光器の前に置くだけで、安定して所定入射角度で被測定物の光学特性を測定することができるので、測定にさほど高い熟練が要らず、又、測定を素早く行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
［第１実施形態］
図１は、本実施形態の保持具の縦断面図を、図２は、本実施形態の保持具の被測定物５を保持した状態での縦断面図を、図３は、図２に於ける保持部１近傍のＡ部分の拡大縦断面図を、図４は、本実施形態の保持具の図３のＭ−Ｎで示す位置に於ける横断面図を、図５は、本実施形態の保持具の図３のＰ−Ｑで示す位置に於ける横断面図を示す。又、図８は、コリメーターレンズ４からの射出光の方向と保持面３とのなす角度が４５度の場合の保持部１近傍部分の拡大縦断面図を、図９は、本実施形態の保持具の保持部１近傍の変形例の縦断面図を示す。
【００１９】
図１にて、本実施形態の保持具は保持部１、光源１１、光ファイバ２、コリメーターレンズ４、連結管７、及び負圧発生源８から構成される。
【００２０】
本実施形態の保持具の負圧発生源８は、負圧を発生させ、真空ポンプや配管等から構成される。
【００２１】
本実施形態の保持具の連結管７は、中空円柱状であり、中空部分を通じて、負圧発生源８で発生した負圧を保持部１の開口６近傍にも生じさせることを可能にする。
【００２２】
連結管７は、撓みにくい非可撓性部分１３と非可撓性部分１３に連結された撓み易い可撓性部分１４とから構成される。
【００２３】
連結管７の可撓性部分１４は、負圧発生源８に連結され、その可撓性によって保持具の先端部の位置と方向を自在に変えることを可能にすることによって保持具自体の操作性を良くする。又、可撓性部分１４には光ファイバ２を差し込む為の挿入孔２０が設けられている。挿入孔２０は光ファイバ２を差し込んでから気密にする為にシール２１でシールされる。
【００２４】
図３にて、連結管７の非可撓性部分１３の保持部１側の中空部分の内面にはレンズ支持部１７と光ファイバ支持部１２が設けられる。レンズ支持部１７がコリメーターレンズ４を固定し、光ファイバ支持部１２が光ファイバ２を固定した状態で、光ファイバ２の端面１０はコリメーターレンズ４の焦点位置に位置するように調整される。
【００２５】
レンズ支持部１７は、図４に示すように連結管７の非可撓性部分１３の内面にほぼ１２０度間隔で中心部に向けて設けられた３個所の突起状部材から構成され、突起状部材の先端部には凹形状の挟み込み部１８が形成されている。レンズ支持部１７は、コリメーターレンズ４を凹形状の挟み込み部１８に挟み込むことによって固定する。コリメーターレンズ４の周りには負圧発生源８と開口６の近傍空間とを連通させる為の空隙１９が設けられる。
【００２６】
図５に示すように、光ファイバ支持部１２は、連結管７の非可撓性部分１３の内面の３個所から中心部に向けて張り出した互いに約１２０度の角度を為す３本の桟状部材とこれらの交点部分に設けられたリング状部材４２から構成され、このリング状部材４２に光ファイバ２を通し、接着剤等で接着することにより光ファイバ２を固定する。光ファイバ支持部１２と連結管７の非可撓性部分１３の内面との間には負圧発生源８と開口６の近傍空間とを連通させる為の空隙２２が設けられる。
【００２７】
尚、連結管７は可撓性部分１４を具えず、非可撓性部分１３のみで構成されていても良い。
【００２８】
図１にて、本実施形態の保持具の光源１１は光を放射する。光源１１としては保持対象の被測定物５の光学特性の測定対象の波長域光を含めば特に限定されない。例えば被測定物５が光通信用フィルタの場合には近赤外光を発光する半導体レーザを用いる。
【００２９】
本実施形態の保持具に用いられる光ファイバ２は、その一部が連結管７の中空部分に設けられ、不図示の一方の端面に光源１１からの光を入射させる。そして、光ファイバ２を伝搬した光はコリメーターレンズ４の焦点位置にある他方の端面１０から射出する。図３の拡大図にて、端面１０は光ファイバ２のコア４１の軸に垂直に、且つ保持面３に平行に調整されている。更に端面１０からの射出光の光束中心はコリメーターレンズ４の光軸と一致するように互いの方向と位置が調整されている。この端面１０からの射出光の光束中心の方向は該射出光の射出方向とされる。光ファイバ２としては例えば外径約１ｍｍφ、クラッド径約０．１３ｍｍφ、コア径約１０μｍφのものが用いられる。
【００３０】
本実施形態の保持具のコリメーターレンズ４は、光ファイバ２の端面１０から発散しながら射出する射出光をほぼ光軸方向に平行な平行光線にする。コリメータレンズ４を透過した光は開口６を通って保持面３と所定の角度をなす方向に射出する。その結果、発散しながら射出する射出光の拡がり角度を狭めることができ、所定の入射角度の測定を可能にする。コリメーターレンズ４としては焦点距離が例えば１〜２ｍｍのものが用いられ、端面１０から１〜２ｍｍの距離にコリメーターレンズ４を配置することにより光束径約０．３ｍｍφのほぼ平行光を得ることができる。
【００３１】
図３の拡大図にて、本実施形態の保持具の保持部１は概ね中空円柱状であり、連結管の非可撓性部分１３の先端部に形成された雄ネジ３８に、内面に形成された雌ネジ３９をねじ込むことによって連結管７の非可撓性部分１３に固定され、取付け取り外し可能に構成される。保持部１には保持面３と開口６が設けられる。保持部１の保持面３には被測定物５の一つの面が押し付けられて保持される。被測定物５が保持面３に押し付けられる面は被測定面９であっても他の面であっても良い。被測定物５が保持面３に押し付けられる際に被測定物５にキズが生じることを防止する為に、保持部１は樹脂、特にゴム等の柔らかい材料で作製されることが好ましい。保持面３近傍のみを柔らかい材料の膜で、他の部分は金属材料で作製しても良い。
【００３２】
図３にて、保持面３と、コリメーターレンズ４からほぼ平行に射出する射出光束の射出方向とのなす角度は９０度に調整される。一方、保持部１を変えることでこの保持面３とこの射出方向とのなす角度は変えられる。例えば図８の場合には射出光束の射出方向に対して保持面３が４５度になるように調整される。被測定物５の被測定面９が保持面３に平行に保持されるならば、この保持面３と射出方向のなす角度は被測定物５の測定対象の所定の入射角度に等しく調整される。被測定物５の被測定面９が保持面３と特定角度をなして保持されるならば、この保持面３と射出方向のなす角度は被測定面９の測定希望の入射角度を該特定角度の影響分だけ補正した角度に等しく調整される。
【００３３】
保持面３は、被測定物５の保持状態で、開口６近傍に発生した負圧によって被測定物５の被測定面９を吸いつけて当接する。このとき、保持面３と被測定面９とは同じ方向を向き、コリメーターレンズ４を射出する射出光は、被測定面９に垂直に入射する。被測定物５が平行板状である場合、被測定物５を透過する光はそのまま方向を変えないで透過する。被測定物５が平行板状ではなく、楔状、プリズム状であるときにも、被測定物５を保持する保持姿勢と被測定物５の形状は既知であるので、保持具に対する被測定物５を透過する透過光の方向は既知となる。
【００３４】
保持部１は、保持対象の被測定物５の寸法、形状、及び測定入射角度に適合するように形状が決められる。保持部１は、想定される被測定物５の寸法、形状、測定対象の入射角度の種類に応じて複数種類準備され、測定条件に応じて交換して用いられることが好ましい。
【００３５】
尚、図９を参照して、保持面３から連続するテーパ面４０を保持部１に設ければ、被測定物５を保持面３に吸いつけて保持するときに被測定物５がテーパ面４０に沿って滑ることによって被測定面９を保持部１に対して所定方向のみならず被測定物５自体を所定の位置に精度良く位置決めをすることができる。
【００３６】
本実施形態の保持具に適当な光検出器を組み合わせれば光学測定装置を構築することができる。
【００３７】
光学測定装置の構築を容易にする為に、以上のように説明した保持具に該光検出器に対する位置決め用のフランジ状の固定用部材を更に設けることは好ましい。
【００３８】
本実施形態の保持具は次のようにして使用される。
【００３９】
（１）先ず負圧発生源８を働かせ、保持具の連結管の非可撓性部分１３を手で持って、保持面３を被測定物５に近付ける。（図１）
（２）被測定物５は開口６近傍に発生する負圧によって開口６に吸引され、被測定物５の被測定面が保持面３にならって保持される。（図２）
（３）この状態で被測定物５は、保持具に保持され、保持具を移動することによって自由に持ち運びすることができる。更に、光源１１を点灯させると、被測定物５が保持具に保持された状態で、被測定面９には所定の入射角度で光を入射させることができる。（図２）
本実施形態の保持具によれば、被測定物５を単に保持面３に吸いつけるだけで、ファイバ２から射出光束の伝搬方向に対して保持面３に対して所定の方向に容易に保持し、被測定物５の被測定面９に所定の入射角度で光を入射させることが出来る。又、図９に示すような保持部１を用いれば、被測定物５を保持部１に対して所定の方向且つ所定の正確な位置に容易に保持し、被測定物５の被測定面に所定入射角度で正確な所定位置に光を入射させることができる。更に単に吸いつけることによって被測定物５を保持し、保持の際に過度な力が作用しないので、破損し易い被測定物であっても安全に保持することができる。本実施形態の保持具は、更に光検出器を組み合わせることによって光学測定装置を容易に構築し、透過率特性を容易に測定することができる。
【００４０】
［第２実施形態］
図１０、図１１は、共に本実施形態の保持具の保持部１近傍部分の拡大縦断面図を示す。図１０は被測定面９が射出光の射出方向に垂直に、図１１は被測定面９が射出光の射出方向に斜めに保持されるものを示す。
【００４１】
本実施形態の保持具は、第１実施形態の保持具とは、コリメーターレンズを除去し、図１に示す保持具の保持部１近傍のＡ部分を図１０又は図１１に示すように変更した点で異なる。Ａ部分の構成を除けば構成要素は第１実施形態のものと共通であるので、共通部分の構成要素の機能説明を省略する。
【００４２】
図１０に於いて、本実施形態の保持具の光ファイバ２の端面１０は、コア軸方向に垂直とされ、保持面３は端面１０に平行にされる。本実施形態の保持具は保持面３に被測定面９を当接させながら吸いつけて被測定面９を光ファイバ２の端面１０からの射出光の射出方向と垂直に保持する。ここで保持面３と端面１０との間隙３７は、近すぎると端面１０が接触して摩耗してしまい、反対に遠すぎると発散する射出光が被測定面９からはみ出してしまう。間隙３７は、好ましくは０．１〜１０ｍｍに調整される。
【００４３】
図１１に於いて、本実施形態の保持具の光ファイバ２の端面１０は、コア軸方向に垂直とされ、保持面３は端面１０と角度４５度をなす。本実施形態の保持具は保持面３に被測定面９を当接させながら吸いつけて被測定面９を光ファイバ２の端面１０からの射出光の射出方向と角度４５度をなすように保持する。ここで間隙３７は前段と同様な理由で好ましくは０．１〜１０ｍｍに調整される。
【００４４】
尚、図１０、図１１で示した保持具は連結管の非可撓性部分１３の内部に光ファイバ２を通しているが、光ファイバは連結管の非可撓性部分に平行に並べて配置し、端面からの射出光の射出方向と保持面とが所定角度になるように固定しても良い。
【００４５】
本実施形態の保持具は第１実施形態の保持具と同等の作用効果を奏する。以下、第１実施形態の保持具の作用効果と異なる点を述べる。本実施形態の保持具は第１実施形態の保持具とは異なりコリメーターレンズを具えないので、構造が簡素で製造コストが安いが、保持される被測定物５の被測定面９に入射する光の入射角度に光ファイバの端面から射出する射出光の発散角度分の拡がりがある。その為、入射角度特性が入射角度変化に対して緩やかに変化する被測定物の測定や入射角度にさほどの精度を要しない測定を行なうことに向いている。
【００４６】
以上、第１、第２実施形態の保持具は、特に寸法が数ｍｍ以下の光学多層膜からなる光学フィルタを保持する為に好適である。
【００４７】
以上、第１、第２実施形態の保持具は負圧の吸引力で保持面に被測定物を押し付けることによって保持するが、本発明の保持具は負圧で保持するものに限らず、挟みピンセットの一対の保持部の間に被測定物を挟み、一方側の保持部の保持面に該被測定物を押し付けて保持するものにも適用できる。この場合、光ファイバを射出する光が該被測定物に入射するように該光ファイバは一方側の保持部に固定され、光ファイバを射出する光が一方側の保持部、被測定物、及び他方側の保持部を順次透過できるように一対の保持部は該光ファイバを射出する光に対して透明な材料で構成される。又、他にも保持面を帯電させ、静電力で被測定物を保持しても良い。
【００４８】
［第３実施形態］
図６は、本実施形態の光学測定装置の縦断面図を示す。
【００４９】
図６にて、本実施形態の光学測定装置は、第１実施形態で説明した機能を有する保持具２６と、光検出器２４と、測定回路２５と、筐体２３とから構成される。
【００５０】
本実施形態の光学測定装置の筐体２３は保持具２６を固定することができ、筐体２３の中には光を検出する為の光検出器２４が載置固定されている。
【００５１】
保持具２６には、筐体２３へのセットを容易にする為にフランジ状の固定用部材２８が連結管の非可撓性部分１３によってほぼ中心を貫通されて固設される。固定用部材２８の固設位置は、保持具２６を筐体２３にセットした状態で、被測定物５を透過した透過光が光検出器２４に入射する位置に調整されている。
【００５２】
本実施形態の光学測定装置の保持具２６は、筐体２３へセットされた状態で、ファイバ２からの光が光検出器２４に入射するようにされている。尚、ファイバ２からの光は、被測定物の保持の有無によらず光検出器２４に入射するようにされている。
【００５３】
本実施形態の光学測定装置の光検出器２４は、筐体２３にセットされた保持具２６に保持された被測定物５から透過する透過光を受光し、電気信号に変換する。光検出器２４としては、近赤外光用のＣＡＮパッケージのＩｎＧａＡｓ結晶光検出器を好ましく用いることができる。光検出器２４としてはＩｎＧａＡｓ以外にシリコン等の様々な半導体光検出器のみならず光電管等も用いることができ、感度波長域が適合していれば特に限定されない。
【００５４】
本実施形態の光学測定装置の測定回路２５は、光検出器２４が出力する電気信号を処理して被測定物５の光学特性を得る。
【００５５】
本実施形態の光学測定装置によれば、単に被測定物５を保持面３に吸着して保持し、筐体２３にセットするだけで所定の入射角度で測定光を入射させ、且つ光検出器２４に向けて透過光を射出できる姿勢で保持具２６を固定することができるので、所定の入射角度での光学測定を、被測定物が小さくてもさほど熟練を用いないで、又、素早く行なうことができる。本実施形態の光学測定装置は、特に寸法が数ｍｍ以下の光学多層膜からなる光学フィルタを測定する際に好適である。
【００５６】
［第４実施形態］
図７は、本実施形態の光学測定装置の縦断面図を示す。
【００５７】
図７にて、本実施形態の光学測定装置は、第１実施形態で説明した機能を有する保持具２６と、レンズ３１と、光ファイバ３２と、光測定器３３と、筐体２３とから構成される。
【００５８】
本実施形態の光学測定装置の筐体２３は保持具２６を固定することができ、更に筐体２３の中にはレンズ３１と光ファイバ３２の一方の部分とが載置されている。
【００５９】
本実施形態の光学測定装置のレンズ３１は、被測定物５の保持、非保持の如何に係わらずコリメーターレンズ４を射出する光を光ファイバ３２の入射端面３４上に集光するように調整されている。
【００６０】
本実施形態の光学測定装置の入射端面３４はレンズ３１の集光位置に配置され、入射端面３４から入射する光を光ファイバ３２の他端まで導波する。光ファイバ３２の他端には光アダプタ３６との光接続を可能にする為にＦＣコネクタのような光コネクタ３５が設けられており、光ファイバ３２の他方の部分と一緒に筐体２３の外に伸び出している。
【００６１】
本実施形態の光学測定装置の光測定器３３にはＦＣアダプタのような光アダプタ３６が設けられ、光アダプタ３６には導波された光を入力する為に光コネクタ３５が接続されている。光測定器３３は、光アダプタ３６から入力する光を受光して光電変換し、処理することによって被測定物５の光学特性を得る。光測定器３３としては特に限定はないが、光スペクトラムアナライザを好ましく使用することができる。光スペクトラムアナライザとしては例えば  Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ  社製の  Ａｇｉｌｅｎｔ８６１４２Ｂ  を用いることができる。本機を光測定器３３として用いれば、本実施形態の光学測定装置は被測定物５の分光光学特性を測定することができる。
【００６２】
本実施形態の光学測定装置によれば、第３実施形態の光学測定装置と同様な作用効果を奏する他に、更に、被測定物５を透過した光ファイバ２からの光を効率よく集光して、光測定器３３に導くことができるので、光ファイバ２からの光量が充分でなくても、ノイズの影響が少ない正確な光学特性の測定をすることができる。
【００６３】
以上説明した第３、第４実施形態の光学測定装置は、第１実施形態で説明した機能を有する保持具を具えるが、本発明の光学測定装置は、第２実施形態で説明した機能を有する保持具を具えても良い。この場合、測定する入射角度の精度は低下するが、第１実施形態の保持具を用いる場合よりも製造コストが低くなる。
【００６４】
又、以上説明した第３、第４実施形態の光学測定装置は透過率を測定するが、本発明の光学測定装置は透過率を測定するものに限らない。図１で示すような保持具を、図２に示すように被測定物５を保持した状態でコリメーターレンズ４を射出する光が被測定面９に垂直に入射するように構成すれば、被測定面９の垂直入射の反射特性を測定することができる。この場合、被測定面９からの反射光は光ファイバ２を逆行するので、例えば、反射光路中、被測定面９と光源１１との間の適当な位置に不図示の分波部材を配置し、その分波部材で分波された反射光が入射するように不図示の光検出器を配置して反射光量を測定すれば良い。このとき、被測定物５の反射率は被測定物５からの反射光量を、被測定物５の代わりに参照反射板を保持したときの参照反射光量で除算することによって得られる。
［第５実施形態］
本実施形態は、光学測定方法に関するものである。
【００６５】
以下、本実施形態の光学測定方法を、第３及び第４実施形態の光学測定装置を用いた各々の場合について、図６及び図７を参照して説明する。（図６及び図７は、各々被測定物５を測定している状態を示す）
図６の光学測定装置の場合
（１）測定対象の被測定物に適した保持具２６を選定し、保持具２６を非可撓性部分１３を手で掴んで持つ。
【００６６】
（２）被測定物５を保持具２６で保持しないで、保持具２６を筐体２３にセットする。
【００６７】
（３）この状態で保持具２６の光源を点灯する。光源は継続して点灯していても良い。コリメーターレンズ４を射出する光を光検出器２４で受光する。
【００６８】
（４）光検出器２４から出力する電気信号２９を、測定回路２５に参照信号として記憶する。
【００６９】
（５）保持具２６を測定対象の被測定物５がある位置まで持って行き、負圧発生源を働かせ、保持面３を被測定物５に近付ける。
【００７０】
（６）被測定物５は保持面３の近傍に位置する開口６に吸引され、被測定物５の被測定面９が保持面に負圧で吸い付けられる。
【００７１】
（７）被測定物５を保持具２６で保持した状態で、保持具２６を筐体２３にセットする。
【００７２】
（８）この状態で保持具２６の不図示の光源を点灯し、被測定面９に光を所定の入射角度で入射させ、被測定物５を透過する透過光３０を光検出器２４で受光する。
【００７３】
（９）測定回路２５は、光検出器２４から出力する電気信号２９を呼び出された前記参照信号で除算することによって被測定物５の透過率特性を得る。
【００７４】
尚、図７の光学測定装置の場合は、コリメータレンズ４からの光を光ファイバ３２を経由して、光測定器３３で、分光透過率特性等の光学特性を計測する点のみ異なるだけであるので、詳細な説明は省略する。
【００７５】
本実施形態の光学測定方法によれば、小さい被測定物であっても、単に保持具で保持して、保持具を筐体にセットするだけで、被測定物の光学特性を安定して所定入射角度で測定することができるので、測定にさほど熟練が要らず、又、測定を素早く行なうことができる。本実施形態の光学測定方法は、特に寸法が数ｍｍ以下の光学多層膜からなる光学フィルタを測定する際に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】第１実施形態の保持具の縦断面図を示す。
【図２】第１実施形態の保持具の被測定物５を保持している状態の縦断面図を示す。
【図３】第１実施形態の保持具のＡ部分の被測定物５を保持している状態の拡大縦断面図を示す。
【図４】第１実施形態の保持具のＭ−Ｎ横断面図を示す。
【図５】第１実施形態の保持具のＰ−Ｑ横断面図を示す。
【図６】第３実施形態の光学測定装置の縦断面図を示す。
【図７】第４実施形態の光学測定装置の縦断面図を示す。
【図８】第１実施形態の保持具の保持部近傍の被測定物５を斜めに保持している状態の拡大縦断面図を示す。
【図９】第１実施形態の保持具の保持部近傍の変形例の被測定物５を保持している状態の拡大縦断面図を示す。
【図１０】第２実施形態の保持具のＡ部分の被測定物５を保持している状態の拡大縦断面図を示す。
【図１１】第２実施形態の保持具のＡ部分の被測定物５を斜めに保持している状態の拡大縦断面図を示す。
【図１２】従来の光学測定装置を示す。
【符号の説明】
【００７７】
１    保持部
２    光ファイバ
３    保持面
４    コリメーターレンズ
５    被測定物
６    開口
７    連結管
８    負圧発生源
９    被測定面
１０  他の端面
１１  光源
１２  光ファイバ支持部
１３  連結管の非可撓性部分
１４  連結管の可撓性部分
１５  コア
１６  クラッド
１７  レンズ支持部
１８  挟み込み部
１９  空隙
２０  挿入孔
２１  シール
２２  空隙
２３  筐体
２４  光検出器
２５  測定回路
２６  保持具
２８  固定用部材
２９  電気信号
３０  透過光
３１  レンズ
３２  光ファイバ
３３  光測定器
３４  入射端面
３５  光コネクタ
３６  光アダプタ
３７  間隙
３８  雄ネジ
３９  雌ネジ
４０  テーパ面
４１  コア
４２  リング状部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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