Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】【課題】  荷物を持ち上げる際、腰に負担がかかり怪我をしやすく重労働である。人体に負担をかけず、人力で荷物を一定の高さまで持ち上げることで荷役作業の省力化を可能にする。【解決手段】  台車荷台に階段状のフレームを設け、フレーム横に積載した荷物が補助スタンドと車輪の二つの支点を軸に台車ハンドルを押し下げ、車輪とハンドルで床に安定させることで階段状フレームの上に載り、腰を曲げずに持ち上げることができる。【選択図】  図１
2005047405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
荷台ハンドル側に階段状のフレームを取付け、荷台に積載した荷物を任意の位置まで移動した後、車輪を軸にハンドルを床まで押し下げ、床に機体を安定させることによりフレームに載った荷物が一定の位置まで持ち上がり、荷役作業者の負担を軽減する台車。
【請求項２】
荷物と車輪との間に回動可能な補助スタンドを設けることで、ハンドルを床まで押し下げる負担を軽減させることができる台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は荷物の持ち上げを容易にする為の台車に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
人力による荷物の持ち上げ等、荷役作業の場合、腰に負担がかかり、病気や怪我が多い。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
解決しようとする問題点は荷物を下から持ち上げることにより、人体に多大な負担がかかることである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は荷台手前に階段状のフレームを有する多目的台車で、車輪を軸にハンドルを床まで押し下げ、床に機体を安定させることで荷物が一定の高さまで持ち上げられることを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【０００５】
したがって請求項１記載の発明によれば高い位置から荷物を持ち上げることにより、人体への負担の軽減が図られ、安全な作業を行うことができる。
【０００６】
荷物と車輪との間に補助スタンドを設けることで、ハンドルを地面まで押し下げる際の負担を軽減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
荷物を所定の位置まで移動した後、人力で安全、確実に一定の高さまで持ち上げる形状を実現した。
【実施例】
【０００８】
本発明の多目的台車は図１に示されるように荷台１にハンドル２を有し、左右二つの車輪３と荷台とハンドルに固着した階段状のフレーム４を有している。更に支え６と車輪との中間位置に回動自由な補助スタンド５が取付けられている。
【０００９】
多目的台車は荷物の移動のためにハンドルを押し下げ、車輪を支点に荷物とハンドルを押し下げ、均衡をとらなければならない。したがって図２に示されるように最初にハンドルを持ち上げ、回動可能な補助スタンドを立てることで図３に示すように重い荷物を補助スタンドと車輪の二点の支点により、ハンドルを楽に押し下げることができる。
【００１０】
荷物を所定の位置まで移動した後、図４に示すように車輪を軸にハンドルをそのまま床まで押し下げ、多目的台車を車輪とハンドルで床に安定させることで荷物が階段状のフレームに載り、作業者が荷物を持ち運び易くなる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】多目的台車の構成を示した外観図である。
【図２】多目的台車の実施方法を示した説明図である。
【図３】多目的台車の実施方法を示した説明図である。
【図４】多目的台車の実施方法を示した説明図である。
【符号の説明】
【００１２】
１    荷台
２    ハンドル
３    車輪
４    フレーム
５    補助スタンド
６    支え
【図１】
2005047405.tif 000003
【図２】
2005047405.tif 000004
【図３】
2005047405.tif 000005
【図４】
2005047405.tif 000006
(57)【要約】【課題】  従来、車両の純正のシフトノブを交換できない場合には、光源付きのシフトノブとすることができないという欠点があった。【解決手段】  本発明の車両の後付け用のノブカバーは、車両のノブに被せるカバー本体と、このカバー本体に設けた外部照明用光源とよりなることを特徴とする。【選択図】  図１
2005047391.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両のノブに被せるカバー本体と、このカバー本体に設けた外部照明用光源とよりなることを特徴とする車両のノブカバー。
【請求項２】
上記光源がシガーライター用電源に接続されることを特徴とする請求項１記載の車両のノブカバー。
【請求項３】
上記光源が上記カバー本体に取り付けた電池によって点灯されることを特徴とする請求項１記載の車両のノブカバー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は車両のノブカバー、特に車両の純正シフトノブ等に被せて用いる光源内蔵のノブのカバーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、車両のシフトノブのドレスアップのために、或いは夜に車両のシフトノブの位置を分かりやすくするためや、シフトノブ回りのスイッチ類などの場所を照らし操作性をアップするためや、またはオーディオパネル全面の照明性アップの目的で、純正シフトノブと交換できるようにした光源内蔵のシフトノブは既知である。
【０００３】
また、特許文献１に示すようにシフトノブのドレスアップのために純正のシフトノブにその上からカバーを取り付けるものも知られている。
【０００４】
【特許文献１】実用新案登録第３０７６９０４号（図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
然しながら、純正のシフトノブを交換できないものでは、光源内蔵のシフトノブとすることができない。
【０００６】
本発明は上記のような欠点を除くようにしたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の車両のノブカバーは、車両のノブに被せるカバー本体と、このカバー本体に設けた外部照明用光源とよりなることを特徴とする。
【０００８】
上記光源は、シガーライター用電源に接続されることを特徴とする。
【０００９】
また、上記光源は、上記カバー本体に取り付けた電池によって点灯されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の車両のノブカバーを用いれば、純正ノブを交換できない車両であっても、光源内蔵のノブに交換したと同等の効果が得られ、また、ドレスアップ、操作性を高めることができるという大きな利益がある。
【実施例１】
【００１１】
図１〜図４において、１は純正シフトノブ、２はこのノブ１の外面に被せる本発明のシフトノブカバーのカバー本体、３は上記純正シフトノブ１のシフト移動を規制する操作ボタン、４は上記純正シフトノブ１のオーバードライブ操作ボタンを示し、本発明の車両のシフトカバーにおいては、上記カバー本体２の側面に操作ボタン４の露出用の孔５を設け、上記カバー本体２の上部正面に透明又は半透明の窓部６を設け、上記窓部６の内側に外部照明用の光源７を設け、上記カバー本体２の下部からカバー本体外部に上記光源７の配線８を引き出し、この配線８の端部をシガーライタープラグ接続部（図示せず）に接続可能とし、上記配線８には上記光源７をオン，オフせしめるためのスイッチ（図示せず）を設ける。なお、本発明の上記光源７は上記カバー本体２に取り付けた電池によって点灯しても良い。また、上記カバー本体２は左右２つ割りとし、その一方及び他方をビス９により互いに連結せしめる。
【００１２】
本発明におけるシフトノブとは車両の床面に取り付けられているフロアシフト用のもの、車両のステアリングコラム及びその周辺に取り付けられているコラムシフト用のもの、車両のダッシュボードやセンターコンソール付近に取り付けられているインパネシフト用のものとすることができる。
【００１３】
本発明の車両のシフトノブカバーは上記のような構成であるから、純正シフトノブ１を交換することなく、光源付きのシフトノブとすることができる。
【００１４】
なお、配線８の端部にシガーライタープラグ接続部を設ける代わりに、上記カバー本体２に電池を設け、この電源部に配線８をつなぐようにしてもよい。
【００１５】
また、上記光源の点灯・消灯はスイッチにより手動で行うほか、配線８を車両のライトの配線に接続せしめて、点灯・消灯がライトと連動するようにしてもよい。
【００１６】
また、本発明においてはオートマチック用のシフトノブについて説明したが、マニュアル用のシフトノブにも付けることができ、この場合、マニュアル用のシフトノブにはない孔５を省略することができる。
【００１７】
本発明は同様にしてハンドブレーキのノブ（グリップ）用としても用い得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のノブカバーを取り付けたノブの縦断側面図である。
【図２】本発明のノブカバーを取り付けたノブの正面図である。
【図３】本発明のノブカバーを取り付けたノブの左側面図である。
【図４】本発明のノブカバーを取り付けたノブの右側面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１  シフトノブ
２  カバー本体
３  操作ボタン
４  操作ボタン
５  孔
６  窓部
７  光源
８  配線
９  ビス
【図１】
2005047391.tif 000003
【図２】
2005047391.tif 000004
【図３】
2005047391.tif 000005
【図４】
2005047391.tif 000006
(57)【要約】【課題】単純な構造で車体を左右にスイングでき、車体を軽量化でき、走行車の駆動力を最大限に利用して運搬用の前二輪走行車としても利用できる。【解決手段】車体フレーム２の前端部に設けられたヘッドパイプ５に回動自在にハンドルポスト６を挿着し、且つ車体フレーム２の後端部にはサドルポスト３を立設した前二輪走行車１において、ヘッドパイプ５を前二輪７，７の車軸７ａ，７ａに対して前方に所定角度θ傾斜させて車体フレーム２の前端部に設置した前二輪走行車。【選択図】            図１
2005047388.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車体フレームの前端部に設けられたヘッドパイプに回動自在にハンドルポストを挿着し、且つ車体フレームの後端部にはサドルポストを立設した前二輪走行車において、上記ヘッドパイプを前二輪の車軸に対して前方に所定角度傾斜させて設置したことを特徴とする前二輪走行車。
【請求項２】
前二輪の上方乃至前二輪の間に荷籠、子供乗せ籠、台車、ベビーカー、車椅子、運搬車を設けた請求項１記載の前二輪走行車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、単純な構造で車体を左右にスイングできるようにした前二輪走行車に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より車体の前輪フレームの左右に前車輪を有する前二輪三輪車は公知であるが、これらの三輪車においては左右の前二輪に回転輪を有する構造であるため、自動車と同様に前二輪の内輪と外輪差を解消する方法や、回転時の遠心力を回避するための方法を必要とする。
【０００３】
一方、従来より後二輪の三輪車においては後輪フレームにスイング機構を設けた構造のものが公知であるが、これらのスイング機構を前二輪三輪車の車体フレームに設けて車体を左右にスイングでき、且つハンドルポストを回転できるような構造にするには構造が複雑となり、高価になり、しかも車体が重くなる等の欠点がある。
【０００４】
また、一般の自転車に乗ることができない人のために、車体をスイングさせない前二輪三輪車も開発されているが、これらの三輪車においてはスイングしないため当然スムーズにカーブを切ることができず、実用に適さない等の難点がある。
【特許文献１】特開2003-72643
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
解決しようとする問題点は、単純な構造で車体を左右にスイングできるような前二輪三輪車等の走行車が開発されていないことにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明は、車体フレームの前端部に設けられたヘッドパイプに回動自在にハンドルポストを挿着し、且つ車体フレームの後端部にはサドルポストを立設した前二輪走行車において、上記ヘッドパイプを前二輪の車軸に対して前方に所定角度傾斜させたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
即ち、従来の前二輪走行車においてはヘッドパイプは前二輪の車軸に対して通常70°程度後方に傾斜して（−θ）車体フレーム前端部に設けられていたが、この場合一方向にカーブを切る際に、車体を回転方向にスイングさせることができず、このため回転時の遠心力Ｆにより車体が転倒することになるが（図４参照）、この発明においてはヘッドパイプは前二輪の車軸に対して所定角度（＋θ）（例えば、70°程度）前方に傾斜して車体フレーム前端部に設けられているため、車体を一方向にカーブを切る際に、車体を回転方向にスイングし、即ちサドル４を内側に倒すことができ、このため回転時の遠心力Ｆに打ち勝って車体を転倒させずにカーブを心力を回避することができる（図３参照）。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
この発明においては単純な構造で車体を左右にスイングでき、車体を軽量化でき、走行車の駆動力を最大限に利用できるため、運搬用の前二輪走行車に最適である。
【実施例１】
【０００９】
以下、この発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明すると、１はこの発明の一実施例を示す前二輪三輪車で、２はその車体フレーム、３は車体フレーム２の後端部に立設されたサドルポスト、４はサドルポスト３上に設けられたサドル、５は車体フレーム２の前端部に設けられたヘッドパイプ、６はヘッドポスト５に回動自在に挿着されたハンドルポスト、７，７は左右の前車輪、８，８は左右の前車輪７，７の車軸７ａ，７ａを軸受する左右の前ホーク、９は左右の前ホーク８，８の連結杆で、連結杆９の中央にはヘッドパイプ５の下端部が結合される。
【００１０】
なお、ヘッドパイプ５は前車輪７，７の車軸７ａ，７ａに対して所定角度（＋θ）（この実施例では７０°）前方に傾斜させて車体フレーム２の前端部に設けられる。
【００１１】
また、前ホーク８，８の前端部には支持板10,10が設けられ、支持板10,10上には荷籠11が設置して固定される。
【００１２】
以上の構成において、前二輪三輪車１はペダル12の踏み力により駆動して走行されるが、前二輪三輪車１を一方向にカーブを切らせる際にはヘッドパイプ５が前車輪７，７の車軸７ａ，７ａに対して所定角度（＋θ）前方に傾斜させて車体フレーム２の前端部に設けられるため、ヘッドパイプ５、サドルポスト３、サドル４がカーブを切る方向に傾き、即ち車体フレーム２がカーブを切る方向にスイングして回転時の遠心力に打ち勝ってカーブを切ることができるのである。
【００１３】
また、この発明では複雑なスイング機構を必要とせず、車体の軽量化が可能となり、このためペタル12の踏み力により荷籠11に重い荷物を乗せて運搬することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
この発明は、極めて簡単な構造で車体を左右にスイングさせることができるため、前二輪三輪車に限らず、前二輪の上方乃至前二輪の間に荷籠、子供乗せ籠、台車、ベビーカー、車椅子、運搬車を設けた前二輪走行車にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】この発明の一実施例を示す側面図
【図２】同上の要部を拡大した斜視図
【図３】この発明における前二輪三輪車がカーブを切る際の原理説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は背面図
【図４】従来の前二輪三輪車がカーブを切る際の原理説明図であって、（ａ）は平面図、（ｂ）は背面図
【符号の説明】
【００１６】
１は前二輪三輪車
２は車体フレーム
３はサドルポスト
４はサドル
５はヘッドパイプ
６はハンドルポスト
７，７は左右の前車輪
７ａ，７ａは前車輪の車軸
８，８は前ホーク
９は連結杆
10,10は支持板
11は荷籠
12はペタル
【図１】
2005047388.tif 000003
【図２】
2005047388.tif 000004
【図３】
2005047388.tif 000005
【図４】
2005047388.tif 000006
(57)【要約】【課題】乗物用操舵部材の径寸法や形状を、コストや手間を要することなく、資源を無駄にすることなく、操作者の手に完全に適合させる。【解決手段】舵角変更のために操作される乗物用操舵部材１は、操作者により把持される把持部２ｂ′を有する本体２と、把持部２ｂ′の加熱手段３とを備える。把持部２ｂ′は、加熱手段３により加熱されることで変形可能に軟化され、加熱解除により変形しないように硬化される熱可塑性樹脂材製とされている。【選択図】図１
2005047336.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
舵角変更のために操作される乗物用操舵部材であって、
操作者により把持される把持部を有する本体と、
前記把持部の加熱手段とを備え、
前記把持部は、前記加熱手段により加熱されることで変形可能に軟化される熱可塑性樹脂製の可変体により構成されていることを特徴とする乗物用操舵部材。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば車両において舵角変更のために操作されるステアリングホイールのような乗物用操舵部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば車両のステアリングホイールにおける把持部は、その径寸法や形状は一定とされている。そのため、その把持部の径寸法や形状がドライバーの手の大きさ、形状、指の長さ等に適合しないために違和感を感じるような場合、適合させるにはステアリングホイール自体を交換しなければならなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、ステアリングホイールの交換はコストや手間を要すると共に資源の無駄になる。また、ドライバーの手に適合する把持部の径寸法や形状はドライバー毎に微妙に異なるため、ステアリングホイールを交換しても把持部の径寸法や形状を全てのドライバーの手に完全に適合させるのは困難である。さらに、一台の車両を複数のドライバーが共用するような場合、手の大きさ、形状、指の長さ等には個人差があるため、ステアリングホイールを全てのドライバーの手に適合させるのは困難である。このような問題は車両のステアリングホイールだけでなく、作業車両の操舵用ハンドル、二輪車のハンドル、航空機の操縦桿等の他の乗物の操舵用部材においても生じる。本発明は、上記課題を解決することのできる乗物用操舵部材を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、舵角変更のために操作される乗物用操舵部材であって、操作者により把持される把持部を有する本体と、前記把持部の加熱手段とを備え、前記把持部は、前記加熱手段により加熱されることで変形可能に軟化される熱可塑性樹脂製の可変体により構成されていることを特徴とする。
本発明によれば、加熱手段により加熱された把持部の可変体を、操作者の手の大きさ、形状、指の長さ等に適合した径寸法や形状になるように変形させ、その加熱を解除することで変形しないように硬化させることができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】
図１は、車両（乗物）の操舵装置における回転操作されるステアリングホイール（操作部材）１を示し、ステアリングホイール１の操作により車両の舵角が変更される。
【０００６】
ステアリングホイール１は、ハブ２ａと環状リム２ｂを連結部２ｃを介して連結することで本体２が構成され、ハブ２ａを介して車体により回転可能に支持されている。本実施形態のリム２ｂは、金属製の中空円環材により構成される内周部２Ａと、内周部２Ａを覆う被覆材により構成される外周部２Ｂとを有し、外周部２Ｂの左右部位がドライバー（操作者）により把持される把持部２ｂ′とされている。
【０００７】
各把持部２ｂ′の内部は中空とされ、そこに把持部２ｂ′の加熱手段としてヒータ３が内蔵されている。ヒータ３は、本実施形態ではハブ２ａに設けられたスイッチ４によりオン、オフ制御されるが、ヒータ３の制御スイッチは車両の計器パネル等に設けてもよい。本実施形態では、各把持部２ｂ′に連なる連結部２ｃの外方部分の内部にもヒータ３が配置される。
【０００８】
図２に示すように、各把持部２ｂ′は、ヒータ３により加熱されることで変形可能に軟化される熱可塑性樹脂製の可変体１０により構成されている。可変体１０は、例えば図３、図４に示すように弾性的に伸縮する可撓性シートにより形成される袋体１１内に封入される。袋体１１に封入された可変体１０を加熱することで軟化させ、しかる後に本体２のリム２ｂと連結部２ｃの外方を覆うように変形させることで把持部２ｂ′を形成する。袋体１１に面ファスナー等の複数の固定具１２を互いに係合可能に取り付け、把持部２ｂ′の本体２に対する位置ずれを防止するのが好ましい。把持部２ｂ′を構成する可変体１０の厚さは例えば５ｍｍ〜８ｍｍとされ、外径は変形することで例えば３３ｍｍ〜３５ｍｍの範囲で変化するものとされる。その熱可塑性樹脂材としては、例えばダイセル化学工業株式会社製、商標名「自由樹脂」を用いることができ、この場合６０℃以上に加熱することで把持部２ｂ′を変形可能に軟化させることができる。なお、袋体１１の外周を内周よりも熱伝導度が小さくなるように厚くしたり異なる材質とすることで、可変体１０の加熱時にドライバーに熱が伝わるのを防止してもよい。
【０００９】
リム２ｂの外周部２Ｂにおける把持部２ｂ′以外の部分は、ヒータ３の熱が伝達しても軟化することのない例えば耐熱製樹脂や皮革等により構成される。
【００１０】
上記実施形態によれば、ヒータ３により加熱された把持部２ｂ′を、ドライバーの手の大きさ、形状、指の長さ等に適合した径寸法や形状になるように変形させ、その加熱を解除することで変形しないように硬化させることができる。
【００１１】
本発明は上記実施形態に限定されない。例えば、乗物用操舵部材は車両のステアリングホイールに限定されず、作業車両の操舵用ハンドル、二輪車のハンドル、航空機の操縦桿等の他の乗物の操舵用部材であってもよい。
【００１２】
【発明の効果】
本発明によれば、乗物用操舵部材の径寸法や形状を、コストや手間を要することなく、資源を無駄にすることなく、操作者の手に完全に適合させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態の車両用ステアリングホイールの部分破断正面図
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図
【図３】本発明の実施形態の車両用ステアリングホイールの把持部の展開図
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図
【符号の説明】
１  ステアリングホイール
２  本体
２ｂ′  把持部
３  ヒータ
【図１】
2005047336.tif 000003
【図２】
2005047336.tif 000004
【図３】
2005047336.tif 000005
【図４】
2005047336.tif 000006
(57)【要約】［課題］従来の大気中で、基板にフィルムをラミネートする方法では、フィルム基板間に、空気が残留しこれが障害となっていた。又、空気残留と、ともに、基板凹凸部の空隙も製品品質上問題となっていた。これ等を解決する。［解決手段］真空を用いて、基板にフィルムをラミネートし、その後、これに高温圧空をかける。【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板にフィルムをラミネートするのに真空を用いる方法
【請求項２】
基板の表面凹凸とフィルム間の空隙を埋めるため、高温圧空を用いる方法
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
［発明の属する技術分野］
【０００１】本発明は、基板にフィルムをラミネートする。［従来の技術］
【０００２】従来、基板にフィルムをラミネートするのに大気中で行っているので、基板とフィルム間に空気が残留し、これが傷害になっていた。［発明が解決しようとする課題］
【０００３】基板とフィルム間の空気残量を零とする。
【０００４】本発明は、基板とフィルム間の空気残量を零とする。又、基板凹凸部とフィルム間の空隙を埋める。［課題を解決するための手段］
【０００５】空気残量を零とするために真空を用いる。又基板凹凸部とフィルムの空隙を埋めるため高温圧空を用いる。［発明の実施の形態］
【０００６】発明の実施の形態を実施例にもとずき図面を参照して説明する。図１は本装置の組立図である。本装置は、・吸盤を持つ蓋、・基板ホルダー、ヒートプレート、ヒートプレートを押し上げるシリンダーで構成された本体、の２体に別れている。本体に蓋をのせて、蓋しめネジで、蓋をしめることによって、×リングで、本体の内室は、外気とシールされる。操作手順は、▲１▼フィルムをヒートプレート上にのせる▲２▼基板ホルダーを内側（図１ではすでに内側）に手で押しロックする（ある位置まで押すと、ひとりでにロックされる）▲３▼基板を基板ホルダー上にのせる▲４▼蓋をのせ、蓋しめネジで蓋をしめるこの状態が図１である［発明装置の動作］
【０００７】図２〜４は本発明の動作説明図である。図２・真空ポンプで本体室内の空気を吸い始める。・ヒートプレートを加熱始める。図３・真空度と、ヒートプレートの温度とが所定の値に達したら、・エアシリンダーを動作させ、ヒートプレートを押し上げる（基板ホルダーは、ヒートプレート上昇途中で、ロックがはずれ、外側に開いて、基板を、フィルム上に落とす）・エアシリンダーは、基板とフィルムを、加熱しながら、蓋とヒートプレートにはさんで、加圧する。                        ↓・所定時間（フィルムが基板に溶着する時間）経過後・蓋吸盤に真空ポンプを接続し、基板を吸着し・室内は、真空ポンプを切り替え、大気にする。・エアシリンダー下ろし、ヒートプレートを下降させる。これで、ラミネートは完了し、基板とフィルムは、図５のようになる。図５において、基板の凹凸の空隙は、真空Θになっていて、次工程の空隙を埋めるのに有利な条件になっている（大気中でのラミネートではこの空隙は大気であるので、空隙を埋めることは出来ない）  図４・ラミネートされた基板を蓋吸盤で吸着したまま・室内にエアー加熱機で加熱された０、５ＭＰａの圧空を流す。流す時は、電磁弁を開き、絞りを通して大気に開放する（流量は絞りで調節する）・室内温度が所定温度（フィルムが溶ける温度）に達した時、電磁弁を閉じる。このことにより、０、５ＭＰａの高温圧力が、溶けたフィルムに加えられるので、フィルムが、基板の凹部にもぐり込み、ここの空隙を埋める。                            ↓・高温圧空を切り、蓋しめネジをゆるめ、蓋を開いて、真空を切り、ラミネートされた基板を取り出す。［発明の効果］
【０００８】この装置でラミネートされた基板は、全く空気残留がなく、基板凹凸部の空隙もなくなった。
【図面の簡単な説明】
【図１】この装置の組立図
【図２】この装置の動作説明図  フィルムと基板をセットし、真空上昇中、ヒートプレートの温度上昇中の図
【図３】この装置の動作説明図  ヒートプレートの温度、真空度、所定の値に達して、エアシリンダーが上昇、溶けたフィルムを、基板にヒートプレートで押し付けている図
【図４】この装置の動作説明図  ラミネートされた基板に高温圧空をかけている図
【図５】ラミネートされた直後のフィルムと基板の図
【図６】ラミネートされたフィルムと基板に高温圧空をかけた直後の図
【図１】
2005047244.tif 000002
【図２】
2005047244.tif 000003
【図３】
2005047244.tif 000004
【図４】
2005047244.tif 000005
【図５】
2005047244.tif 000006
【図６】
2005047244.tif 000007
(57)【要約】      （修正有）【課題】  回転板の目的の径寸法の回転用ペン穴にペンを入れ、回転板を回すことで円を書くことが出来る定規を提供する。【解決手段】  本円書用定規は回転板に円形を書くための無数の回転用ペン穴を有し、その穴にペン先を入れて回転板を一回転させることにより円を書く仕組である。二重、三重と同中心で等間隔に円を書く場合、定規を移動させずに回転板の回転用ペン穴を替え、回転板をペン先で回して円を書く仕組である。液体型ペンを使用する場合は、回転板の端部の厚みを少し厚くし、回転板の表面が円を書く紙面等の表面に直接に接しない、又は、固定板の内側の端部の円形側面部に段を設け回転板を乗せ、円を書く紙面等の表面に回転板がじかに接しない仕組みにした。さらに，回転板の移動を防ぐため、回転板の内側側面を少し斜めにすることもある。そして，固定板の内側側面部に凹部を設け、該凹部に回転板の端部を嵌め込む仕組から成る円書用定規である。【選択図】  図１
2005047243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定板の内側に回転する円形の回転板を有し、回転板は少なくとも１枚以上で、その回転板に大きさの異なった同心円を書くための無数の回転用ペン穴を有するもので、その回転用ペン穴の全穴の近くに径寸法数字を表す数字を有した円書用定規。
液体ペンを使用する場合に回転板と紙面等が接するのを防ぐための固定板の内側側面部に段を設けたもの。
回転板の端部を厚くした凸部を有したもの。
固定板の内側側面部に凹部を設けて，その凹部に回転板の端部を嵌め込んだ仕組の円書用定規。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は直径の異なった同心円の円書用定規で、定規を移動させずに等間隔で二重や三重と複数の円を書くことが出来る円書用定規に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  一般に円を書くには、コンパスを使用するか、径寸法の異なった複数の穴を有する定規で二重、三重と定規を移動させて円を書いていたが、二重、三重と同中心で等間隔に円を書くことに難があった。
【発明の開示】
【発明が解決しょうとする課題】
【０００３】  本発明の円書用定規を使用することで、回転板の目的の径寸法に回転用ペン穴にペンを入れて、回転板を回すことで、円を書くことが出来、定規を移動させずに回転用ペン穴を替えて回転板を回して同中心で等間隔に円を二重，三重と書くことが出来る定規を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  本発明の円書用定規は回転板に円形を書くための無数の回転用ペン穴を有し、その穴にペン先を入れて回転板を一回転させることにより円が書ける仕組である。二重、三重と同中心で等間隔に円を書く場合、定規を移動させずに回転板の、回転用ペン穴を替えて回転板をペン先で回して円を書く仕組である。
【０００５】  液体型ペンを使用する場合は，回転板の端部の厚みを少し厚くして回転板の表面が、円を書く紙面等の表面に直接に接しない仕組にしたもの。
又、固定板の内側の円形側面部に段を設けて回転板が乗る仕組で円を書く紙面等の表面に回転板が直接に接しない様にしたもの。
又，回転板が移動するのを防ぐため回転板の内側側面を少し斜めにすることもある。
又、固定板の内側側面部に凹部を設けて、その凹部に回転板の端部を嵌め込んだ仕組から成る円書用定規である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】  本発明の円書用定規を使用することで、定規を移動させずに、同中心で異なった寸法の円を二重、三重と円を紙面等に書くことが出来る構造体のものである。
【発明の効果】
【０００７】  以上の説明から本発明によれば、次の如き優れた効果がある。
本発明の円書用定規を使用することで、定規を移動させずに円を二重、三重と同中心で等間隔に書くことが出来る円書用定規である。
【実施例】
【０００８】  以上本発明に係る円書用定規の概略構造体を示す図１は正面図、図２は正面図、図３は側面図、図４は側断面図（Ａ−Ａ）、図５は側断面図（Ｂ−Ｂ）、図６は側断面図Ａ、Ｂ、図７は側断面図である。
この円書用定規７は固定板２の内側に円形の少なくとも１枚以上の回転板１、１Ａを有し、その回転板には同中心で円を二重、三重と書くための所要数の回転用ペン穴４と縦横ライン目標６と中心部の目標の中心部穴３を設けたもので、回転用ペン穴４の近くには円の直径を表す径寸法数字５を有したものである。
回転板１は１、１Ａの如く少なくとも１枚以上のものからなる。
円書用定規７を移動させずに二重、三重と同心円を正確に容易に書ける仕組の構造体の円書用定規である。【０００９】  液体型ペンを使用する場合は紙面等に液体がにじむのを防ぐため回転板１の表面と紙面等の表面が接しない様に回転板１の端部を少し厚くした凸部９の構造体のもの。
又，固定板２の内側の端部に円形側面部に段８を設けて回転板１が乗る仕組で円を書く紙面等と回転板１の表面が直接に接しない様にした構造体の円書用定規である。
又，回転板１が移動するのを防ぐため固定板２の内側側面を少し斜めにする場合がある。
又，固定板２の内側側面部に凹部１０を設け、その凹部１０に回転板１の端部を嵌め込んだ構造体の円書用定規である。
【図面の簡単な説明】
【図１】  本発明の円書用定規の一例を示す正面図である。
【図２】  本発明の円書用定規の一例を示す正面図である。
【図３】  本発明の円書用定規の一例を示す側面図である。
【図４】  本発明の円書用定規の一例を示す側断面図である。
【図５】  本発明の円書用定規の一例を示す側断面図である。
【図６】  本発明の円書用定規の一例を示す側断面図Ａ、Ｂ、である。
【図７】  本発明の円書用定規の一例を示す側断面図である。
【符号の説明】
１    回転板
１Ａ  回転板
２    固定板
３    中心部穴
４    回転用ペン穴
５    径寸法数字
６    縦横ライン目標
７    円書用定規
８    段
９    凸部
１０    凹部
【図１】
2005047243.tif 000003
【図２】
2005047243.tif 000004
【図３】
2005047243.tif 000005
【図４】
2005047243.tif 000006
【図５】
2005047243.tif 000007
【図６】
2005047243.tif 000008
【図７】
2005047243.tif 000009
(57)【要約】【課題】  大型の単結晶窒化ガリウムを得るために、その融液を徐冷して再結晶化させるのが標準的手法であるが、窒化ガリウムは高温で窒素とガリウムに分解してしまうという問題がある。又気相成長やナトリウムフラックスを用いる方法などがあるが、基板となりうるサイズならびに品質を有する単結晶窒化ガリウムの育成には至っていない。更に又、2万気圧程度の高圧窒素ガスを液体ガリウムと反応させることにより単結晶窒化ガリウムを得る方法があるが、成長速度が遅く大型単結晶育成が困難である。【解決手段】  6万気圧以上１０万気圧以下、1800℃以上2200℃未満の圧力温度条件下で結晶粒を巨大化させることにより単結晶を得る単結晶窒化ガリウムの製造方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
6万気圧以上１０万気圧以下、1800℃以上2200℃未満の圧力温度条件下で結晶粒を巨大化させることにより単結晶を得ることを特徴とする、単結晶窒化ガリウムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、青色発光デバイスの半導体素材として用いられる窒化ガリウム単結晶の製造に関するものであって、6万気圧以上、1800℃〜2200℃の圧力温度条件下で窒化ガリウム結晶粒を巨大化させることによってその単結晶を得ることを特徴とするものである。
【背景技術】
【０００２】
青色あるいはより短波長発光デバイスの開発において、良質の窒化ガリウム結晶が求められている。特に、現在の窒化ガリウム系デバイスは、サファイアなどの異種結晶基板上に成膜されているために、格子不整合や熱膨張率差に起因する多くの転位を発生してしまい、これがデバイスの高機能化の妨げとなっている。
【０００３】
そこで、ホモエピタキシャル薄膜成長を可能とする良質で大型の窒化ガリウム単結晶基板が切望されているが、これまでその要請を満たす単結晶窒化ガリウムは得られていない。
【０００４】
又、この分野の技術を網羅的にまとめて記載したものもあるが（例えば、非特許文献１）、上記要請を満足する単結晶窒化ガリウムについては開示されていない。
【非特許文献１】赤崎勇  編著、「青色発光デバイスの魅力」、株式会社工業調査会、１０７〜１８５頁、１９９７年５月１日発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
一般に、大型の単結晶を得るためには、シリコンなどで行われているように、その融液を徐冷して再結晶化させるのが標準的手法である。しかしながら、窒化ガリウムは高温で窒素とガリウムに分解してしまうという問題があり、この手法が利用できない。そのため、これまでの研究では、気相成長やナトリウムフラックスを用いる方法などで合成が試みられてきたが、基板となりうるサイズならびに品質を有する単結晶窒化ガリウムの育成には至っていない。
【０００６】
また、2万気圧程度の高圧窒素ガスを液体ガリウムと反応させることにより単結晶窒化ガリウムを得る方法が、ポーランドのグループにより発表されているが、成長速度が遅く大型単結晶育成が困難である。本発明は6万気圧以上の高圧を用い、結晶の異常粒成長反応を利用することで、効率的な単結晶窒化ガリウムの製造を可能にしたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、窒化ガリウム粉末を高温高圧発生装置を用いて6万気圧以上１０万気圧以下に加圧し、その高圧下で1800〜2200℃の高温に保持することによって、窒化ガリウムを分解させることなくその結晶粒を巨大化させ、単結晶窒化ガリウムを得るものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の方法によれば、大型で良質の単結晶窒化ガリウムを短時間で効率的に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明においては、窒化ガリウム粉末を高温高圧発生装置で加圧する。装置としては、ベルト型高圧装置、対向アンビル型高圧装置、マルチアンビル型高圧装置、キュービックアンビル型高圧装置などが用いられる。特に、本発明の実施に際して使用されるキュービックアンビル型高圧装置は、図１に示されるように、超硬合金で作製された角錐台形状のピストン（アンビルと呼ばれる）を６個組み合わせて（図１では３個のみ表示）、立体形状の圧力媒体を３次元的に加圧する装置である。試料は、圧力媒体の中に高温発生のための発熱体とともに充填されて加熱される。
【００１０】
試料に6万気圧以上の圧力をかけ、1800〜2200℃の高温に1〜72時間保持する。こうすることによって、窒化ガリウムの結晶の異常粒成長が固相反応で起き、単結晶窒化ガリウムが得られる。本発明の手法を用いるためには、6万気圧以上の高圧が必要であり、これ以下の圧力では、試料は窒素とガリウムに分解してしまう。
【００１１】
また、1800℃以下では粒成長が進行せず、2200℃以上になると窒化ガリウムが融解してしまうため、不適である。本発明の手法に必要な高温高圧条件に耐えるための試料容器として、窒化硼素、黒鉛、ダイヤモンド、あるいはモリブデン、タングステンなどの高融点材料を用いる。
【実施例】
【００１２】
平均粒径0.1μm以下、純度99.99％の窒化ガリウム粉末を錠剤状に加圧成形したものを、窒化硼素製試料容器にいれ、マルチアンビル装置の一種であるキュービックアンビル高温高圧発生装置により、室温下で６万気圧まで加圧した。この圧力を保持したまま、毎分100℃程度の昇温速度で、温度を1900℃まで上昇させたのち、この条件で48時間保持した。その後、温度を下げ圧力を常圧にもどしたところ、０．５mm程度の透明な窒化ガリウム単結晶が得られた。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
本発明により、青色発光デバイスの半導体素材として用いられる窒化ガリウム単結晶が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】キュービックアンビル型高圧装置における角錐台形状のピストンの組み合わせ構造を示す図である。
【図１】
2005047762.tif 000002
(57)【要約】【課題】  青色あるいはより短波長発光デバイス用の窒化ガリウム系デバイスは、サファイアなどの異種結晶基板上に成膜されているために、格子不整合や熱膨張率差に起因する多くの転位を発生してしまい、これがデバイスの高機能化の妨げとなっている。又、ホモエピタキシャル薄膜成長を可能とする良質で大型の窒化ガリウム単結晶基板が切望されているが、これまでその要請を満たす単結晶窒化ガリウムは得られていない。【解決手段】  6万気圧以上１０万気圧以下、2200℃以上２５００℃以下の高温高圧下で一致溶融させた窒化ガリウム融液を、高圧下で徐冷することにより単結晶を得る単結晶窒化ガリウムの製造方法。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
6万気圧以上１０万気圧以下、2200℃以上２５００℃以下の高温高圧下で一致溶融させた窒化ガリウム融液を、前記高圧下で徐冷することにより単結晶を得ることを特徴とする、単結晶窒化ガリウムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、青色発光デバイスの半導体素材として用いられる窒化ガリウム単結晶の製造に関するものであって、6万気圧以上、2200℃以上の高温高圧下で一致溶融させた窒化ガリウム融液を、高圧下で徐冷することによってその単結晶を得ることを特徴とするものである。
【背景技術】
【０００２】
青色あるいはより短波長発光デバイスの開発において、良質の窒化ガリウム結晶が求められている。特に、現在の窒化ガリウム系デバイスは、サファイアなどの異種結晶基板上に成膜されているために、格子不整合や熱膨張率差に起因する多くの転位を発生してしまい、これがデバイスの高機能化の妨げとなっている。そこで、ホモエピタキシャル薄膜成長を可能とする良質で大型の窒化ガリウム単結晶基板が切望されている。しかしながら、これまでその要請を満たす単結晶窒化ガリウムは得られていない。
【０００３】
又、この分野の技術を網羅的にまとめて記載したものも存在しているが（例えば、非特許文献１）、上記要請を満足する単結晶窒化ガリウムについては開示されていない。
【非特許文献１】赤崎勇  編著、「青色発光デバイスの魅力」、株式会社工業調査会、１０７〜１８５頁、１９９７年５月１日発行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般に、大型の単結晶を得るためには、シリコンなどで行われているように、その融液を徐冷して再結晶化させるのが標準的手法である。しかしながら、窒化ガリウムは高温で窒素とガリウムに分解してしまうという問題があり、この手法が利用できなかった。そのため、これまでの研究では、気相成長やナトリウムフラックスを用いる方法などで合成が試みられてきたが、基板となりうるサイズならびに品質を有する単結晶窒化ガリウムの育成には至っていない。
【０００５】
また、2万気圧程度の高圧窒素ガスを液体ガリウムと反応させることにより単結晶窒化ガリウムを得る方法が、ポーランドのグループにより発表されているが、成長速度が遅く大型単結晶育成が困難である。大型で良質の単結晶を得るためには融液の徐冷による単結晶育成が不可欠であり、本発明は6万気圧以上の高圧を用いることで、この手法による単結晶窒化ガリウムの製造を可能にしたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、窒化ガリウム粉末を高温高圧発生装置を用いて、6万気圧以上に加圧し、その高圧下で2200℃以上に加熱することで、窒化ガリウムを構成元素に分解させることなくそのまま融解、すなわち一致溶融させ、その融液を高圧下で徐冷することにより、単結晶窒化ガリウムを得るものである。
【０００７】
特に、本発明における単結晶窒化ガリウムの製造は、６万気圧〜１０万気圧の圧力及び２２００〜２５００℃の温度条件下において実施される。本発明においては、６万気圧以上の高圧が必要であり、且つ窒化ガリウムを融解させるために高圧下での融点、即ち２２００℃以上に加熱する必要がある。１０万気圧以上或いは２５００℃以上の高温高圧条件では、大容量の試料体積を確保することや、安定した温度発生が困難であり、本発明には適さない。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の方法によれば、大型で良質の単結晶窒化ガリウムを短時間で効率的に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明においては、窒化ガリウム粉末を高温高圧発生装置で加圧する。装置としては、ベルト型高圧装置、対向アンビル型高圧装置、マルチアンビル型高圧装置、キュービックアンビル型高圧装置などが用いられる。特に、本発明の実施に際して使用されるキュービックアンビル型高圧装置は、図１に示されるように、超硬合金で作製された角錐台形状のピストン（アンビルと呼ばれる）を６個組み合わせて（図１では３個のみを表示）、立体形状の圧力媒体を３次元的に加圧する装置である。試料は、圧力媒体の中に高温発生のための発熱体とともに充填されて加圧される。
【００１０】
試料に6万気圧以上の圧力をかけ、2200℃以上に加熱して、窒化ガリウムを一致溶融させる。窒化ガリウムが高温でその構成元素に分解しないためには、6万気圧以上の高圧が必要であり、かつ融解させるために高圧下での融点すなわち2200℃以上に加熱する必要がある。又、１０万気圧以上の高圧条件では、大容量の試料体積を確保することが困難であり、本発明には適さない。
【００１１】
このような高温高圧条件に耐えるための試料容器として、窒化硼素、黒鉛、ダイヤモンド、あるいはモリブデン、タングステンなどの高融点材料を用いる。融解した窒化ガリウムを徐冷し再結晶化させることにより、単結晶窒化ガリウムが得られる。
【実施例】
【００１２】
平均粒径0.1μm以下、純度99.99％の窒化ガリウム粉末を錠剤状に加圧成形したものを、窒化硼素製試料容器にいれ、マルチアンビル装置の一種であるキュービックアンビル高温高圧発生装置により、室温下で６万気圧まで加圧した。この圧力を保持したまま、毎分100℃程度の昇温速度で2100℃まで、さらに続けて毎分10℃で2300℃まで温度を上昇させて試料を融解させた後、毎分1℃の速度で2100℃まで温度を下降させた。さらに毎分50℃で温度を室温まで下げた後、圧力を常圧にもどしたところ、透明な窒化ガリウム単結晶が得られた。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
本発明の単結晶窒化ガリウムは、青色発光デバイスの半導体素材として使用される。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】キュービックアンビル型高圧装置における角錐台形状のピストンの組み合わせ構造を示す図である。
【図１】
2005047749.tif 000002
(57)【要約】【課題】単結晶のα型窒化珪素ナノリボンの製造方法を提供する。【解決手段】窒素気流中で、一酸化ケイ素粉末を高温に加熱することにより、単結晶のα型窒化珪素ナノリボンを製造する。【選択図】  図１
2005047729.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
窒素気流中で、一酸化ケイ素粉末を１４００〜１５００℃に、１〜２時間加熱することを特徴とする単結晶のα型窒化珪素ナノリボンの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック用強化材、マイクロエレクトロニクスなどの分野で応用が期待されている窒化珪素ナノリボンの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
窒化珪素は、窒化ガリウムや窒化アルミニウムのようなＩＩＩ族−Ｎ化合物と類似の優れた機械的および熱的性質、化学的安定性などのために有用な材料であり、構造材料やエレクトロニクス用材料の一つとしてよく知られている（たとえば、非特許文献１参照。）。この窒化珪素は、窒素雰囲気中で珪素を窒化する方法、窒素中で二酸化珪素の炭素による還元、四塩化珪素とナトリウムアジドとの反応等によって製造されている（たとえば、非特許文献２参照。）。
【０００３】
【非特許文献１】
Ｆ．Ｍｕｎａｋａｔａ，ほか、「アプライド・フィジックス・レターズ」（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．）７４巻、３４９８頁、１９９９年
【０００４】
【非特許文献２】
Ｋ．Ｔａｎｇ，ほか、「アドバンスト・マテリアルズ」（Ａｄｖ．Ｍａｔｅｒ．）１１巻、６５３頁、１９９９年
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、鋳型や触媒を使用しないで、幅５〜２０マイクロメートル、長さ数百マイクロメートル、厚さ１０〜２０ナノメートルの単結晶の二次元構造であるα型窒化珪素ナノリボンの製造方法を提供することを解決すべき課題としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
窒素気流中で、一酸化ケイ素粉末を１４００〜１５００℃に、１〜２時間、縦型高周波誘導加熱炉を用いて加熱することにより、幅５〜２０マイクロメートル、長さ数百マイクロメートル、厚さ１０〜２０ナノメートルの単結晶のα型窒化珪素ナノリボンを製造する。
【０００７】
【発明の実施の形態】
グラファイト製るつぼの中に、一酸化ケイ素粉末を入れ、これを縦型高周波誘導加熱炉中のグラファイト円筒管の中心部に取り付ける。加熱炉を減圧にした後、窒素ガスを６０〜２００ｓｃｃｍの流量で流す。一酸化ケイ素粉末を１４００〜１５００℃に１〜２時間加熱する。その後、加熱炉を室温に冷却すると、グラファイト円筒管の内壁に灰白色の生成物が堆積する。
【０００８】
上記において、窒素ガスの流量は６０〜２００ｓｃｃｍの範囲が好ましく、６０ｓｃｃｍ以下では収量が低下する。２００ｓｃｃｍ以上では、最終生成物がリボン状ではなく、粒子状等の他の形状が混在する。加熱温度は１４００〜１５００℃が好ましく、この範囲よりも温度が高いとβ型の窒化珪素に転移してしまう。１４００℃よりも低いと収率が低下する。加熱時間は１〜２時間が好ましく、２時間以上加熱しても収率の向上はない。１時間未満では収率が低下する。
【０００９】
【実施例】
次に、実施例を示して本発明について具体的に説明する。
実施例１
グラファイト製るつぼの中に、シグマ・アルドリッチ社製の一酸化ケイ素粉末（純度９９．９％）１．０ｇを入れ、このるつぼを縦型高周波誘導加熱炉の中のグラファイト製円筒管の中心部に取り付けた。縦型高周波誘導加熱炉の中をおよそ５×１０−１Ｔｏｒｒの減圧状態にした後、流量１２０ｓｃｃｍの窒素ガスを流しながら、１４５０℃において１．５時間加熱した。縦型高周波誘導加熱炉を室温まで冷却すると、グラファイト製円筒管の内壁に灰白色の生成物が堆積した。
【００１０】
図１Ａに、生成物のＸ線回折パターンを示した。この結果から、格子定数ａ＝７．７５０Å、ｃ＝５．６１９Åであり、α型窒化珪素であることが分かった。図１Ｂに、生成物を走査型電子顕微鏡で観察した像の写真を載せたが、全体の９０％以上が、幅が広く、長いリボン状形態を示し、代表的な幅と長さは、それぞれ５〜２０マイクロメートル、数百マイクロメートルである。図１Ｃに、生成物の透過型電子顕微鏡像を示したが、この像から、その厚さは１０〜２０ナノメートルであることが見積もられた。また、電子線回折の測定結果から単結晶構造であることが確認された。
【００１１】
図２に、室温におけるカソードルミネッセンスの発光スペクトルを示した。その結果、３０５ｎｍに強い発光ピークを有し、５４０ｎｍと７３５ｎｍに弱い幅の広いピークを有することが分かった。
【００１２】
【発明の効果】
窒素気流中で、一酸化ケイ素粉末を高温で加熱することにより、単結晶のα型窒化珪素ナノリボンが製造可能となったので、セラミック材料の強化材、マイクロエレクトロニクス分野などへの応用が期待される。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１Ａは、単結晶のα型窒化珪素ナノリボンのＸ線回折のパターンである。図１Ｂは、単結晶のα型窒化珪素ナノリボンの走査型電子顕微鏡像の図面代用写真である。図１Ｃは、単結晶のα型窒化珪素ナノリボンの透過型電子顕微鏡像の図面代用写真である。
【図２】室温で測定した単結晶のα型窒化珪素ナノリボンのカソードルミネッセンスの発光スペクトルの図である。
【図１】
2005047729.tif 000003
【図２】
2005047729.tif 000004