(57)【要約】【課題】  本発明は、Ｘ線集光光学系において、長時間の高圧Ｘ線照射に耐えうるＸ線屈折レンズを提供することを課題とする。また、Ｘ線屈折率の調整が簡便な方式を提供することを課題とする。【解決手段】  Ｂｅ材から放物面型凹面形状Ｘ線屈折レンズを製造する方法であって、Ｂｅ材を両面平面研削加工して平行度を出し；  前記両面平面研削加工した平面に対して、研削面が垂直になるように外形を円形状に研削加工し；  Ｂｅ材の円中心に両面から穴あけ加工をし、その際、得られるレンズ開口部は貫通させず、任意の底厚を残して放物面型凹面形状に研削加工して、鏡面研磨することを含む方法。並びに、Ｂｅ放物面型Ｘ線屈折レンズを円筒内に複数直列配列した、Ｂｅレンズ直列多段式積層モジュール。【選択図】  図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｂｅ材から放物面型凹面形状Ｘ線屈折レンズを製造する方法。
【請求項２】
Ｂｅ材から放物面型凹面形状Ｘ線屈折レンズを製造する方法であって、
Ｂｅ材を両面平面研削加工して平行度を出し；
前記両面平面研削加工した平面に対して、研削面が垂直になるように外形を円形状に研削加工し；
Ｂｅ材の円中心に片面のみ穴あけ加工し、その際、得られたレンズ開口部は貫通させず、放物面型凹面形状に研削加工して、鏡面研磨し；
前記穴あけ加工した面と反対側の面を任意の底厚を残して平面研削してから、鏡面研磨し；
得られたＢｅレンズ２枚を、前記レンズ開口部の反対側面を背中合わせに重ねて、リングに挿入固定することを含む方法。
【請求項３】
Ｂｅ材から放物面型凹面形状Ｘ線屈折レンズを製造する方法であって、
Ｂｅ材を両面平面研削加工して平行度を出し；
前記両面平面研削加工した平面に対して、研削面が垂直になるように外形を円形状に研削加工し；
Ｂｅ材の円中心に両面から穴あけ加工をし、その際、得られるレンズ開口部は貫通させず、任意の底厚を残して放物面型凹面形状に研削加工して、鏡面研磨することを含む方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法により製造したＢｅレンズを任意の段数に直列配列した、Ｂｅレンズ直列多段式積層モジュール。
【請求項５】
Ｂｅ材に代えて、Ｘ線に対する屈折率がＢｅ材と同等であるか又はそれ以上である材料を用いることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線集光光学系におけるＸ線屈折レンズに関するものである。より具体的には、本発明は、Ｂｅ材から放物面形状Ｘ線屈折レンズを製造するための方法と、そのＢｅレンズを任意の段数に直列配列したＢｅレンズ直列多段式積層モジュールＸ線屈折レンズとに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線屈折レンズは、効率的なＸ線ビームの集光装置である。従来、チップ状Ｘ線屈折レンズの素材としてはアクリル樹脂を使用してきた。しかしながら、アクリル樹脂製のチップ状Ｘ線屈折レンズは、耐熱強度の点で問題があり、高圧Ｘ線照射による発熱でレンズ自体が融解してしまうため長時間の使用に耐えられないという欠点があった。
【０００３】
一方、耐熱強度の観点からＸ線屈折レンズの素材として適しているＢｅは、硬くて脆いという金属特性を有しているため、Ｂｅをレンズに使用する際には精密加工が困難であり、貫通穴をあけることは可能であったが、放物面型の凹面形状に穴あけすることはできなかった。Ｂｅを用いた従来品としては、Ｂｅブロックに任意の穴径の円筒穴を複数個貫通させたタイプのレンズ（図１０）が存在するが、Ｘ線の集光方向が一方向に限られＸ線の集光効率が悪いという問題点があった。したがって、全方位にわたる集光を行うためには、放物面型の凹面形状のレンズが必要となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、本発明は、Ｘ線集光光学系において、長時間の高圧Ｘ線照射に耐えうるＸ線屈折レンズを提供することを課題とする。
また、本発明は、Ｂｅ材から放物面型の凹面形状レンズを製造する技術を開発することを課題とする。
【０００５】
更に、本発明は、Ｘ線屈折率を簡便に調整することができるＢｅレンズを使用した方式を提供することも課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは鋭意研究した結果、Ｂｅ材から放物面型の凹面形状レンズを製造する技術を開発した。
即ち、本発明は、Ｂｅ材から放物面型凹面形状Ｘ線屈折レンズを製造する方法であって、
Ｂｅ材を両面平面研削加工して平行度を出し；
前記両面平面研削加工した平面に対して、研削面が垂直になるように外形を円形状に研削加工し；
Ｂｅ材の円中心に片面のみ穴あけ加工し、その際、得られたレンズ開口部は貫通させず、放物面型凹面形状に研削加工して、鏡面研磨し；
前記穴あけ加工した面と反対側の面を任意の底厚を残して平面研削してから、鏡面研磨し；
得られたＢｅレンズ２枚を、前記レンズ開口部の反対側面を背中合わせに重ねて、リングに挿入固定する
ことを含むことを特徴とするものである。
【０００７】
また、本発明は、Ｂｅ材から放物面型凹面形状Ｘ線屈折レンズを製造する方法であって、
Ｂｅ材を両面平面研削加工して平行度を出し；
前記両面平面研削加工した平面に対して、研削面が垂直になるように外形を円形状に研削加工し；
Ｂｅ材の円中心に両面から穴あけ加工をし、その際、得られるレンズ開口部は貫通させず、任意の底厚を残して放物面型凹面形状に研削加工して、鏡面研磨する
ことを含むことを特徴とするものである。
【０００８】
更に、本発明は、Ｂｅ放物面型Ｘ線屈折レンズを円筒内に複数直列配列した、Ｂｅレンズ直列多段式積層モジュールを課題解決手段とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に従えば、Ｂｅ材を用いてＸ線屈折レンズユニットを製造することが可能となる。また、Ｂｅレンズを用いた集光光学系の実現も可能であり、かかる光学系は、従来のアクリル樹脂製レンズ系よりも高圧Ｘ線照射に対して長時間耐えることができる。更に、任意のユニット数のレンズを直列配列した積層モジュールを構成することが可能となり、レンズの数を自由に増減してＸ線屈折率を容易に調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明は、Ｂｅ材から放物面型凹面形状Ｘ線屈折レンズを製造する方法を提供する。以下、図面を参照しながら本発明を詳細に説明する。図面中、Ａは正面図であり、Ｂは側面断面図である。
【００１１】
本発明のＢｅ放物面型Ｘ線屈折レンズの製造方法の一態様においては、Ｂｅ材の片面のみに穴あけ加工を施す。この態様における手順を以下に示す。
(1)図１に示すように、Ｂｅ材を両面平面研削加工して平行度を出す。（図中の黒塗り部分は被研削部分を示す。）
(2)図２に示すように、(1)で加工した平面に対して、研削面が垂直になるように外形を円形状に研削加工する（円筒状丸め研削）。（図中の黒塗り部分は被研削部分を示す。）
(3)上記(1)〜(2)により得られる円筒形状のＢｅ材を図３に示す。
【００１２】
(4)図４に示すように、Ｂｅ材の円中心に片面のみ穴あけ加工する。但し、レンズ開口部は貫通させず、放物面型凹面形状に研削加工して、鏡面仕上げする（鏡面研磨）。
(5)図５に示すように、(4)で研削した面と反対側の面を任意の底厚を残して研削し（平面研削）、鏡面仕上げする（鏡面研磨）。（図中の黒塗り部分はＢｅレンズを示す。）
(6)図６に示すように、(5)で製造したＢｅレンズ２枚を、レンズ開口部の反対側面を背中合わせに重ねて、ＳＵＳ材リング等に焼き嵌めにて挿入固定する。これをＢｅレンズの１ユニット単位とする。ＳＵＳ材リング等で挿入固定することにより、Ｂｅの欠け、割れ、傷等を防止できる効果がある。
【００１３】
更に、本発明のＢｅ放物面型Ｘ線屈折レンズの製造方法の別の態様においては、Ｂｅ材の両面から穴あけ加工を施す。この態様における手順を以下に示す。
(1)〜(2)の工程は、上記の片面加工の場合と同じである。
【００１４】
(3)図７に示すように、Ｂｅ材の円中心に両面から穴あけ加工をする。但し、レンズ開口部は貫通させず、任意の底厚を残して放物面型凹面形状に研削し、レンズ開口部球面を鏡面仕上げする。これをＢｅレンズの１ユニット単位とする（図８参照のこと。図中の黒塗り部分はＢｅレンズを示す。）
また、本発明は、Ｂｅレンズ直列多段式積層モジュールを提供する。
【００１５】
本発明のＢｅ放物面型Ｘ線屈折レンズの製造方法のうち、これまでに説明したいずれかの態様により製造したＢｅレンズを１ユニット単位として、任意のユニット数のレンズをＳＵＳ材等の円筒内に直列配列して多段積層モジュールを構成する。この円筒は、その外径及び内径を精密に仕上げた均一な肉厚とすることが好ましい。図９に、１０ユニット構成モジュール及び５ユニット構成モジュールの概念図を示す。
【００１６】
以上、本発明の放物面型凹面形状Ｘ線屈折レンズを製造する方法をＢｅ材に関して説明してきたが、本発明はＸ線に対する屈折率がＢｅ材と同等であるか又はそれ以上である材料についても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図１は、Ｂｅ材の両面平面研削加工を説明する図である。
【図２】図２は、Ｂｅ材の円筒状丸め研削加工を説明する図である。
【図３】図３は、研削加工により得られた円筒形状のＢｅ材を示す図である。
【図４】図４は、片面穴あけ加工を説明する図である。
【図５】図５は、反対側面の平面研削を説明する図である。
【図６】図６は、Ｂｅレンズの焼き嵌めを説明する図である。
【図７】図７は、両面穴あけ加工を説明する図である。
【図８】図８は、両面穴あけ加工の断面を示す図である。
【図９】図９は、Ｂｅレンズ直列多段式積層モジュールの概念図である。
【図１０】図１０は、従来技術のＢｅ製レンズを示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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