(57)【要約】【課題】被測定物のモータの回転により生じる振動が、回転振れを検出するセンサ部などに伝播してセンサ部の計測に誤差を生じさせていた。モータの回転振れを高精度に検査する装置を提供する。【解決手段】スピンドルモータ１を回転させたとき、モータ１の振動が基台１を伝達しセンサ３が振動する。このセンサ３の振動をセンサ４で検出し、オシロスコープ等の波形表示手段を用いることで、センサ４の振動をモニタリングすることができる。さらに、センサ４から得られた振動値をもとに、センサ３の振動の影響を取り除いた回転振れ値を得る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物のモータの回転振れ量を検出する回転振れ検出方法と、前記回転振れ検出方法の出力情報が前記被測定物のモータの回転動作による振動で影響されることを補正するための補正量検出方法とを有しており、前記補正量検出方法から得られる振動情報を用いて前記回転振れ検出方法から得られる回転振れ情報を補正して被測定物のモータの回転振れ量の真値の推定値を得る回転振れ検査方法。
【請求項２】
請求項１記載の回転振れ検査方法を用いて、被測定物のモータの回転振れ量を検出する回転振れ検査装置。
【請求項３】
被測定物のモータの回転振れ量を検出する回転振れ検出部と、前記回転振れ検出部が前記被測定物のモータの回転動作により振動する振動量を検出する回転振れ検出部の振動検出部とを有しており、前記振動検出部から検出される振動情報を用いて前記回転振れ検出部から検出される回転振れ量を補正して被測定物のモータの回転振れ量の真値の推定値を得る回転振れ検査装置。
【請求項４】
請求項３記載の回転振れ検査装置において、
複数の回転振れ検出部と、複数の振動検出部とを有する回転振れ検査装置。
【請求項５】
請求項３又は請求項４のいずれかに記載の回転振れ検査装置において、
回転振れ検査装置の基台部に剛体構造物を有する回転振れ検査装置。
【請求項６】
請求項５記載の回転振れ検査装置において、
剛体構造物が、鋳物構造物、金属製の常盤、岩石製の常盤のいずれかにより構成される回転振れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータの回転振れの検査方法及びその検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、スピンドルモータの回転振れ検査は、モータハブにダミーディスクを装着し、その半径方向、軸方向などの回転振れを検出するセンサを用いて行われる。（例えば、特許文献１参照）
【特許文献１】特開昭５６−１０７１０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のモータの検査方法及びその検査装置においては、被測定物のモータの回転により生じる振動が、回転振れを検出するセンサ部などに伝播してセンサ部の計測に誤差を生じさせていた。これは誤差要因の一つであり、より高精度な測定を要する場合には、この誤差要因の抑制が望まれていた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するために、本件出願に係る第１の発明は、被測定物のモータの回転振れ量を検出する回転振れ検出方法と、前記回転振れ検出方法の出力情報が前記被測定物のモータの回転動作による振動で影響されることを補正するための補正量検出方法とを有しており、前記補正量検出方法から得られる振動情報を用いて前記回転振れ検出方法から得られる回転振れ情報を補正して被測定物のモータの回転振れ量の真値の推定値を得る回転振れ検査方法である。
【０００５】
また、第２の発明は、上記第１の発明の回転振れ検査方法を用いて、被測定物のモータの回転振れ量を検出する回転振れ検査装置である。
【０００６】
また、第３の発明は、被測定物のモータの回転振れ量を検出する回転振れ検出部と、前記回転振れ検出部が前記被測定物のモータの回転動作により振動する振動量を検出する回転振れ検出部の振動検出部とを有しており、前記振動検出部から検出される振動情報を用いて前記回転振れ検出部から検出される回転振れ量を補正して被測定物のモータの回転振れ量の真値の推定値を得る回転振れ検査装置である。
【０００７】
また、第４の発明は、上記第３の発明において、複数の回転振れ検出部と、複数の振動検出部とを有する回転振れ検査装置である。
【０００８】
また、第５の発明は、上記第３発明又は第４の発明のいずれかにおいて、回転振れ検査装置の基台部に剛体構造物を有する回転振れ検査装置である。
【０００９】
また、第６の発明は、上記第５の発明において、剛体構造物が、鋳物構造物、金属製の常盤、岩石製の常盤のいずれかにより構成される回転振れ検査装置である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の回転振れ検査方法、及び回転振れ検査装置によれば、回転振れを検出するセンサ部分の振動を検出する手段を設けるので、回転振れの測定誤差の原因となるセンサ部の振動をモニタでき、回転振れ測定値を補正することができる。また、検査装置基台を剛体構造で構成するので、回転振れを検出するセンサに伝達する振動を低減することができる。
【００１１】
したがって、回転振れ測定値からセンサ振動分を補正した高精度な回転振れ検査装置を提供することができる。回転振れ量を補正して被測定物のモータの回転振れ量の真値の推定値を得ることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下本発明の実施の形態について説明する。
【００１３】
（実施の形態１）
被測定物のモータの回転振れ量を検出する回転振れ検出方法（回転振れ検出部）として、モータの回転軸方向の振動を検出するためのセンサや、モータの回転軸に対して垂直方向の振動を検出するためのセンサなどを具備させた回転振れ検査装置において、これらセンサ群（第１のセンサ群）自体の振動を検出する振動検出方法（補正量検出方法・振動検出部）として上記センサ群とは別のセンサ群（第２のセンサ群）を配置する。これら第２のセンサ群からの出力信号（振動情報）をもとに第１のセンサ群各々からの出力信号（回転振れ情報）を適宜補正して、被測定物のモータの回転振れ量の真値の推定値を得るようにする。各々の第１のセンサに対して第２のセンサは複数個でもよく、また第２のセンサは１つのみの構成でもよい。ここで、回転振れ検査装置の基台部には、剛体構造物を採用する。剛体構造物は、設備仕様に応じて鋳物構造物、金属製の常盤、岩石製の常盤等が適宜選択する。剛体構造物は、回転振れ検査装置自体の制動・制振が得られるパッシブな制動・制振手段であるが、アクティブな制動・制振手段も採用できる。
【００１４】
（実施の形態２）
上記の実施の形態１の構成にさらに次の構成を加える。
【００１５】
被測定物のモータの電源は、モータが用いられる機器の駆動部そのまま用いる構成や、機器の駆動部を擬似的に模した回路構成物や、試験用標準駆動回路など適宜用いる。
【００１６】
回転振れ検査装置には、マンマシンインターフェース部などを備え、機器の運転や、量産ライン全体の総合的システム構成に対応させる構成である。
【００１７】
さらに、回転振れ検査装置には、コンピュータが接続される構成であり、このコンピュータには情報記憶が設けられており、被測定物のモータの試験条件・回転振れ検査装置の情報などが記憶されている。そして、センサからの出力信号は、信号変換部を経て論理信号に変換され、上記のコンピュータにて演算処理される。この演算処理により被測定物のモータの回転振れ量の真値の推定値を得るようにしている。また、コンピュータからの制御情報により、被測定物のモータの試験用標準駆動回路などが制御される構成である。
【００１８】
また、回転振れ検査装置には、被測定物のモータの回転振れ検査装置への供給部・取り出し部が設けれ構成の場合もある。これにより、機器の自動化・省力化が図られる。
【実施例１】
【００１９】
上述の実施の形態１の一具体例として実施例１について説明する。
【００２０】
図１において一、検査装置基台１にスピンドルモータ２の回転振れを検出するセンサ３、センサ３の振動を検出するセンサ４が設置されている。
【００２１】
スピンドルモータ１を回転させたとき、モータ１の振動が基台１を伝達しセンサ３が振動する。このセンサ３の振動をセンサ４で検出し、オシロスコープ等の波形表示手段を用いることで、センサ４の振動をモニタリングすることができる。さらに、センサ４から得られた振動値をもとに、（式１）を実施することでセンサ３の振動の影響を取り除いた回転振れ値を得ることができる。また、基台１は鋳物構造とすることで、モータ１からセンサ３に伝達する振動をできるだけ小さくすることができる。
【００２２】
回転振れ値＝センサ３で変位値−センサ４で得られた振動変位値・・・（式１）
【産業上の利用可能性】
【００２３】
本発明の回転振れ検査方法、及び回転振れ検査装置は、被測定物のモータ自体の回転による振動により、被測定物のモータの回転振れに誤差が生じることを抑制できるという効果を有し、機器の特性向上に有用なモータが提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施例１における検査装置図
【符号の説明】
【００２５】
１  検査装置基台
２  スピンドルモータ
３  回転振れ検出用センサ
４  振動検出用センサ
【図１】
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