(57)【要約】      （修正有）【課題】移動する基板に対して流体を噴射して処理するための流体噴射ノズルにおいて、基板に対してノズルを十分に傾けた状態で配置しなくても一定の方向に流体が噴射されるようにする流体噴射ノズルを提供する。【解決手段】流体噴射ノズルは、一定の幅を有して互いに対向する第１、第２プレート３、５を備え、前記第１、第２プレート３、５は締結手段によって締結される。前記第１、第２プレート３、５が結合された間には流体が通過できる管路７が提供され、前記第１、第２プレート３、５の先端部の長さが互いに異なるように形成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を噴射して基板を処理するための流体噴射ノズルにおいて、
第１プレートと；
前記第１プレートに組立て手段によって流体が通過できる管路が提供される状態で結合される第２プレートと；を備え、
前記第１、２プレートは、流体が噴射される先端部の長さが互いに異なるように構成されることを特徴とする流体噴射ノズル。
【請求項２】
前記第１、２プレートのうち先端部の短い部分が基板の移動方向側に配置されることを特徴とする請求項１に記載の流体噴射ノズル。
【請求項３】
流体を噴射して基板を処理するための流体噴射ノズルにおいて、
第１プレートと；
前記第１プレートに組立て手段によって流体が通過できる管路が提供される状態で結合される第２プレートと；を備え、
前記第１、２プレートの間の管路で噴射される流体が流線形に曲がって噴射される手段；
をさらに含むことを特徴とする流体噴射ノズル。
【請求項４】
前記流体が流線形に曲がって噴射される手段は、
前記第１、２プレートの先端部の長さが互いに異なるように構成されることを特徴とする請求項３に記載の流体噴射ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は流体噴射ノズルに関し、さらに詳しくは平板ディスプレイパネルなどの基板に流体を噴射して表面を処理する時に利用でき、噴射される流体が特定方向に噴射されるようにする流体噴射ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に基板表面を処理するために基板表面に流体を噴射できる噴射装置に用いられるノズルは、特許文献１に、その技術が開示されている。前記特許文献１に開示された技術は、２枚の板を対向的に配置して、両板の先端部にスリット状ノズルを形成する技術を１例とするもので、ノズル先端部の両板の長さが同一長さになっている。このような噴射装置のノズルを利用して基板を処理する場合、ノズルの先端部分が基板と一定の角度を有するように傾けた状態で配置されて、前記ノズルを通じて流体が噴射され、基板の表面処理が行われる。これは噴射装置のノズルから噴射される流体が特定の方向に噴射されるようにして基板の処理効率を高めるためのものである。
【０００３】
しかし、従来の噴射装置に用いられるノズルは、移送される基板と隣接した位置で傾斜角を小さくする場合、基板がノズルの一端に接触するおそれがあるため、十分小さい傾斜角に調節することが難しいという問題点がある。また、前記噴射装置に用いられるノズルから噴射される流体が特定方向にのみ噴射されるのではなく、望まない方向に噴射されることによって基板の処理効率が低下し、基板に噴射される流体の方向と反対側部分に前記流体の一部が噴射されながら、渦流や低い圧力などが形成されるため、基板の振動または浮揚現象が発生して不具合のある基板が製造されることもあるという問題点がある。
【特許文献１】大韓民国登録実用新案公報登録番号第２０-０３０５０５２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
したがって、本発明は前記問題点を解決するために提案されたものであって、本発明の目的は、移動する基板に対して基板に隣接した位置で噴射装置に用いられるノズルの角度を十分に傾けて設置できることは無論であり、ノズルを設置する時、器具的な構造の限界を有する場合、基板に対してノズルを十分に傾けた状態で配置しなくても一定の方向に流体が噴射できるようにする流体噴射ノズルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するために本発明は、流体を噴射して基板を処理するための流体噴射ノズルにおいて、第１プレートと；流体の通過できる管路が前記第１プレートに締結手段によって提供される状態に結合される第２プレートと；を有し、前記第１、２プレートは流体が噴射される先端部の長さが互いに異なるように構成される流体噴射ノズルを提供する。
【０００６】
このように構成される本発明は、流体噴射ノズルを基板に対して傾けて配置する。特に、前記流体噴射ノズルは第１、２プレートのうち先端部長さの小さい方が基板の移動方向側に位置するように配置する。そして、前記第１、２プレートの間に提供される管路を通じて流体を噴射すれば、先端部の長さが短い方では管路の摩擦力が最少化されて流体の噴射速度が増加し、先端部の長さが長い方では管路との摩擦力が極大化されて流体の噴射速度が短い方に比べて減って、先端部の長い方に流体が曲がる状態で噴射される。つまり、基板が移動する方向と反対方向に流体の噴射が行われながら基板を処理する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は先端部の長さが異なる流体噴射ノズルを提供して流体が一方向に曲がる状態で噴射されて流体噴射ノズルを十分に傾けた状態に配置しなくても基板の処理効率を向上できる効果がある。
【０００８】
また、本発明は先端部の長さが短い方が移動する基板に隣接した位置で傾くように配置される場合、流体噴射ノズルを基板に近接するように位置させた状態でも基板との間隔が維持されるので、基板の微細な振動などによって発生することがある不良を防止できる効果を有する。
【０００９】
また、本発明は基板の移動方向と反対側に流体噴射ノズルで噴射される流体が移動し、その反対側の基板が移動する方向には流体が伝達されることが防止できるので、流体の噴射圧力などで発生する可能性がある渦流または負圧の発生を抑制して基板の振動などが防止されて基板処理効率を向上させながらも基板の収率を高めることができる効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して本発明の好ましい実施例を詳細に説明する。
【００１１】
図１は本発明による実施例を説明するための斜視図であり、図２は図１のＡ-Ａ部を切開して示した断面図で、流体噴射装置を通じて流体を噴射できるノズル１を示している。前記ノズル１は基板Ｇの一側面において、移動する方向（実線矢印で表示）に対して傾斜角θを有する状態で配置できる。
【００１２】
前記ノズル１は一定の幅を有する第１、２プレート３、５がボルト及びナットなどの締結手段によって締結される。前記第１、２プレート３、５が結合される部分の間には流体が通過されて噴射できる管路７が提供される。そして、前記第２プレート５は先端部が第１プレート３先端部の長さに比べてＬで表示されただけ短く構成される。そして、前記ノズル１は第２プレート５が基板Ｇの移動方向側に配置されるのが好ましい。図示を省略したが、基板の方向が変わる場合には第１プレート３の先端部長さが第２プレート５の先端部長さに比べて短く構成されることもあり、また、基板Ｇに対して傾く方向が反対になることもある。
【００１３】
前記第１、２プレート３、５の間に形成される管路９は前記第１、２プレート３、５に溝を形成して構成したり、前記第１、２プレート３、５の間に別途の間隔維持部材（図示せず）などを取付けて両板間に隙間を設定して組立てたりすることもできる。構造を安定化するには、締結手段、例えば、両板を貫通するボルトにナットを嵌めて結合して構成することもでき、単純に接着剤などにより結合してもよい。なお、前記の締結手段や接着剤などを組立て手段と総称する。
【００１４】
このように構成される本発明の作用を図３を通じて詳細に説明する。
【００１５】
まず、ローラＲなどによって移送される基板Ｇの一側面にノズル１を傾斜角θ（図１に示している）を有する状態で配置するものの、先端部の長さが短い第２プレート５が基板Ｇが移送される方向（実線矢印で表示）側に位置するように配置する。このような状態で流体が管路９を通じて噴射されれば、管路の中間部分の流体速度は管路の面と隣接する部分が管路の摩擦力によって中央部より遅くなる状態になり（Ａ、矢印の長さは流体の速度を表示する）、流体が噴射される管路の先端で流体の速度は第２プレート５の先端を通過する瞬間に第１プレート５との摩擦力の解除で急激に速度が増加する（Ｂ、矢印の長さは流体の速度を表示する）。
【００１６】
このため流体断面の流速分布が傾斜し、流体自身の凝縮力と組み合わされて、噴出する流体が自律的に曲がる。したがって、第１、２プレート３、５の先端部を通過して自由になった流体は先端部の長さがさらに長い第１プレート３側方向に曲がりながら噴射が行われる。そして、ノズル１自体が基板Ｇが移動する方向と傾いた状態で配置されるので、噴射される流体は基板Ｇが移動する方向と反対方向に噴射が行われる。したがって、第２プレート５の下部側または基板Ｇが移動する部分に流体が噴射されることを防止することができる。したがって、第１プレート５が位置した部分の基板では渦流及び負圧生成が抑制されて基板Ｇの振動などが防止でき、安定的に基板Ｇが移動する。
【００１７】
このように流体が基板Ｇが移送される反対方向にのみ噴射されると、基板に対する流体の相対速度が大きくなって、洗浄作業などに応用すれば、基板Ｇの処理効率を顕著に向上させることができる。
【００１８】
また、基板Ｇに隣接した位置に前記ノズル１が傾いた状態で配置されても、基板Ｇと第２プレート５先端部とを離して配置できるので、ローラＲなどによって微細な揺動などが発生するとしても基板Ｇがノズル１と接触する可能性を減らして基板Ｇの不良発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明による実施例を説明するための斜視図である。
【図２】図１のＡ-Ａ部を切開して示した断面図である。
【図３】本発明の実施例の作用を説明するための図面である。
【符号の説明】
【００２０】
１  ノズル
３  第１プレート
５  第２プレート
７、９  管路
Ｇ  基板
Ｒ  ローラ
θ  傾斜角
【図１】
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【図２】
2005118770.tif 000004
【図３】
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