(57)【要約】【課題】少量の洗浄薬液でリップ先端の乾燥固着異物を完全に除去することができ、且つ洗浄薬液残りに起因する縦筋ムラが発生することのない洗浄装置付塗布装置を提供すること。【解決手段】洗浄装置付塗布装置において、洗浄装置が、両側リップの先端１６外側に洗浄薬液６０、６２と不活性ガス４４を混合した２流体を噴出する２流体洗浄ノズル配列２０’の２配列が、両側リップの先端外側を挟みこむように幅方向に平行に近設されている洗浄部と、発生した洗浄ミストを強制排気する排気部２６とで構成される洗浄ヘッドと、洗浄ヘッドをスリット状ノズルの幅方向に移動させる駆動部７０を具備すること。【選択図】図３
2005324123.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヘッドを構成するスリット状ノズルの両側リップの先端を洗浄する洗浄装置を具備する洗浄装置付塗布装置において、該洗浄装置は、前記両側リップの先端外側に洗浄薬液と不活性ガスを混合した２流体を噴出する複数個の２流体洗浄ノズルを前記スリット状ノズルの幅方向に配列されてなる、２流体洗浄ノズル配列の２配列が、前記両側リップの先端外側を挟みこむようにスリット状ノズルの幅方向に平行に近設されている洗浄部と、該洗浄部の下方に発生した洗浄ミストを強制排気する排気部とで構成される洗浄ヘッドと、該洗浄ヘッドを前記スリット状ノズルの幅方向に移動させる駆動部を具備することを特徴とする洗浄装置付塗布装置。
【請求項２】
前記洗浄ヘッドが、少なくとも前記洗浄部の逆前進方向側に、前記スリット状ノズルの幅方向を短手方向とする不活性ガスを噴出するパ−ジスリットを持つ乾燥部を有することを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置付塗布装置。
【請求項３】
前記２流体洗浄ノズルには、２流体洗浄ノズルの配列位置によって複数種類の異なる洗浄薬液を供給することが可能であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洗浄装置付塗布装置。
【請求項４】
前記２流体洗浄ノズルの噴出口の形状は円形で、その直径は１ｍｍ〜２ｍｍの範囲であり、噴出角度は１０°〜１５°の範囲であることを特徴とする請求項１、請求項２、又は請求項３に記載の洗浄装置付塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ用のカラーフィルタのような、角型ガラス基板に高精度の塗布膜を形成するためのダイヘッドを構成するスリット状ノズルの両側リップの先端を洗浄する洗浄装置を具備する洗浄装置付塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶ディスプレイなどに用いられるカラーフィルタの製造方法の一つに、以下に述べる顔料分散法がある。この製造方法は、まず、ウェット洗浄したガラス基板上に、予め顔料を分散させた感光性材料を塗布する。次いで、減圧乾燥・プレベーク等を行いある程度塗布膜を乾燥させる。次いで、一定のパターンを有するフォトマスクを介して一定波長の光を照射して塗布膜に露光する。次いで、ガラス基板を現像液に浸漬させて一定のパターンを形成し、最終的にポストベーク装置にて形成したパターンを硬化させる。以上の工程を数回繰り返す事で、数色のカラーパターンを有するカラーフィルタを得る、といった製造方法である。                                                            
【０００３】
上記製造方法において、感光性材料をガラス基板上に塗布する方式として、従来は基板中央に感光性材料を一定量滴下し、その後基板を一定速度で回転させることで液を薄く均一に塗り広げる、所謂スピンコート方式が一般的であった。しかしながら、この方式は材料を多量に使用するという点や、回転時に遠心力の小さい基板中心部が厚膜化するという点で問題となっていた。そこで、それらの欠点を補い、且つ基板の大型化にも対応しやすい塗布方式として近年主流になりつつあるのが、ダイヘッドのスリット状ノズルを用いて基板全面をある程度の膜厚で塗布し、その後回転させて所望の膜厚を得るスリットダイ＆スピン方式や、ダイヘッドのスリット状ノズルを用いて基板全面に所望の膜厚を直接、薄膜に塗布するスリットダイ方式である。
【０００４】
しかしながら、上記方式において、基板上に塗布する際にスリット状ノズルのリップ先端部に感光性材料が乾燥して固着し、それが塗布と同時に剥がれ落ちて基板上に異物となって残ってしまったり、その乾燥固着した異物が原因で塗布時に縦筋状のムラが発生してしまうといったことが大きな問題となっていた。
上記問題の解決策として、長方形状の噴出口から洗浄薬液と不活性ガスを混合した２流体が扇状に噴出する洗浄ノズルを複数個配列した洗浄ヘッドを用いて、スリット状ノズルのリップの先端全幅を一度に洗浄する方法がある（例えば、特許文献１参照）。また、洗浄薬液のみの１流体を噴出する洗浄ノズルを持つ洗浄ブロックを、スリット状ノズル幅方向に移動させながら洗浄する方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００２−３５５５９６号公報
【特許文献２】特開平１１−７４１７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記２流体による洗浄方式では洗浄ヘッドがスリット状ノズル幅方向に長いため、洗浄ノズルの位置によって洗浄薬液と不活性ガスのバランスが微妙に変化してしまい、洗浄が不均一になってしまう。また、２流体の噴出口が長方形状のため洗浄打力がやや弱く、従ってスリット状ノズルのリップ先端の乾燥固着異物を完全に除去するためには洗浄薬液が大量に必要である。このために乾燥性が悪くなり、それが塗布時に洗浄薬液残りに起因する縦筋ムラを発生させる原因となる。
【０００６】
また、前記１流体による洗浄方式では、移動式であるためスリット状ノズル幅方向の洗浄の均一性は高いものの、洗浄薬液のみの１流体による洗浄のため、やはり洗浄打力が弱く、従ってスリット状ノズルのリップ先端の乾燥固着異物を完全に除去するためには洗浄薬液が大量に必要であり、上記２流体による洗浄方式と同様に乾燥性が悪くなる。
【０００７】
本発明は、かかる従来技術の問題点を解決するものであり、その課題とするところは、ダイヘッドのスリット状ノズルの両側リップ先端を洗浄する装置を具備する洗浄装置付塗布装置において、スリット状ノズルの幅方向で洗浄の均一性を高く、洗浄打力を強く洗浄を行い、従って少量の洗浄薬液でリップ先端の乾燥固着異物を完全に除去することができ、且つ乾燥性の非常に良い洗浄を行い、洗浄薬液残りに起因する縦筋ムラが発生することのない洗浄装置付塗布装置を提供することにある。
この洗浄装置付塗布装置を用いることにより、製品の歩留まり向上、及び洗浄薬液の使用量の削減を図ることが可能となり大幅なコストダウンに寄与する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、ダイヘッドを構成するスリット状ノズルの両側リップの先端を洗浄する洗浄装置を具備する洗浄装置付塗布装置において、該洗浄装置は、前記両側リップの先端外側に洗浄薬液と不活性ガスを混合した２流体を噴出する複数個の２流体洗浄ノズルを前記スリット状ノズルの幅方向に配列されてなる、２流体洗浄ノズル配列の２配列が、前記両側リップの先端外側を挟みこむようにスリット状ノズルの幅方向に平行に近設されている洗浄部と、該洗浄部の下方に発生した洗浄ミストを強制排気する排気部とで構成される洗浄ヘッドと、該洗浄ヘッドを前記スリット状ノズルの幅方向に移動させる駆動部を具備することを特徴とする洗浄装置付塗布装置である。
【０００９】
また、本発明は、上記発明による洗浄装置付塗布装置において、前記洗浄ヘッドが、少なくとも前記洗浄部の逆前進方向側に、前記スリット状ノズルの幅方向を短手方向とする不活性ガスを噴出するパ−ジスリットを持つ乾燥部を有することを特徴とする洗浄装置付塗布装置である。
【００１０】
また、本発明は、上記発明による洗浄装置付塗布装置において、前記２流体洗浄ノズルには、２流体洗浄ノズルの配列位置によって複数種類の異なる洗浄薬液を供給することが可能であることを特徴とする洗浄装置付塗布装置である。
【００１１】
また、本発明は、上記発明による洗浄装置付塗布装置において、前記２流体洗浄ノズルの噴出口の形状は円形で、その直径は１ｍｍ〜２ｍｍの範囲であり、噴出角度は１０°〜１５°の範囲であることを特徴とする洗浄装置付塗布装置である。
【発明の効果】
【００１２】
以上詳細に記述してきたように、本発明による洗浄装置付塗布装置によれば、以下のような効果を得ることができる。
すなわち、前記請求項１の発明によれば、ダイヘッドのスリット状ノズルのリップ先端を洗浄薬液と不活性ガスを混合した２流体を噴出しつつスリット状ノズル幅方向に移動させながら洗浄するため、非常に均一性が高く、更に打力の強い洗浄が可能となる。従って、少量の洗浄薬液でもスリット状ノズルのリップ先端の乾燥固着異物を完全に除去する事ができるため、洗浄薬液の使用量を削減する事ができる。
【００１３】
また、前記請求項２の発明によれば、前記洗浄ヘッドの片端若しくは両端に設けたスリットより不活性ガスを噴出しながら洗浄を行う事により、洗浄後のスリット状ノズルのリップ先端の乾燥性を格段に良くする事ができ、洗浄薬液残りに起因する塗布時の縦筋ムラ
を無くす事ができる。
【００１４】
また、前記請求項３の発明によれば、例えばスリット状ノズルを先に洗浄する配列位置にある２流体洗浄ノズルには洗浄能力の高い洗浄薬液を接続し、後から洗浄する配列位置にある２流体洗浄ノズルには乾燥性の高い洗浄薬液を接続する事によって、乾燥性の非常に良い洗浄を行う事ができ、洗浄薬液残りに起因する塗布時の縦筋ムラを無くす事ができる。
【００１５】
また、前記請求項４の発明によれば、２流体洗浄ノズルの噴出口を直径１ｍｍ〜２ｍｍの範囲の円形状で、尚且つ噴出時にその角度が１０°〜１５°の範囲に設定することで、洗浄打力が強く、且つ周囲に２流体ミストが飛散せず汚染の少ない洗浄を行う事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明の実施形態を一実施例により詳細に説明する。
図１は、本発明による洗浄装置付塗布装置の一実施例における洗浄装置と、スリット状ノズルを示した説明図である。また、図２は、洗浄装置を構成する洗浄ヘッドの説明図である。
【００１７】
図１に示すように、洗浄装置は、洗浄ヘッド（２１）と駆動部としての直動ユニット（７０）で構成され、スリット状ノズル（１）の下方に設けられている。洗浄ヘッド（２１）はモーター駆動による直動ユニット（７０）に固定されている。洗浄ヘッド（２１）は、直動ユニット（７０）の駆動により、白太矢印で示すスリット状ノズル（１）の幅方向を図１中、符号Ｉで示す位置から符号Ｊで示す位置へ移動しながら、洗浄薬液と不活性ガスを混合した２流体を噴出させスリット状ノズルの両側リップの先端を洗浄する。
【００１８】
図２に示す一実施例においては、洗浄ヘッド（２１）は、２流体洗浄ノズル配列（２０’）の２配列からなる洗浄部と、一対の乾燥部（２８）と、排気部とで構成されている。２流体洗浄ノズル配列（２０’）には３個の２流体洗浄ノズル（２０）が配列されている。
２流体洗浄ノズル（２０）の配列は、スリット状ノズルの幅方向に平行に、両側リップの先端外側に近接して、その先端外側を挟みこむように配列されている。
【００１９】
また、この一実施例で示す洗浄ヘッド（２１）の乾燥部（２８）は、台座（２９）の斜め切欠部のある側壁に内蔵されており、パ−ジスリット（２２）から不活性ガスを噴出する。
また、洗浄ヘッド（２１）は、洗浄部の下方に発生した洗浄ミストを強制排気する排気部として排気ダクト（２６）を備えている。尚、符号２７は２流体噴出口を示している。
【００２０】
図３に示すように、スリット状ノズル（１）には塗布液を貯留しておくためのマニホールド（２）が設けられており、塗布液（１３）はスリット（３）を通過して外部に吐出される。塗布液（１３）をスリット状ノズル（１）に供給するための塗布液タンク（１２）はボールバルブ（１０）を開く事で、クリーンエアー（１１）により加圧される。クリーンエアー（１１）の圧力の調整は減圧弁（９）と圧力計（８）によって行い、圧力計（８）と塗布液タンク（１２）の間には異物を捕集するためのフィルター（７）が設けられている。
【００２１】
塗布液（１３）は、エアーオペレートバルブ（５）を開く事でスリット状ノズル（１）へ供給される。塗布液タンク（１２）とエアーオペレートバルブ（５）との間には、異物を捕集するための１次フィルター（６）が、エアーオペレートバルブ（５）とスリット状
ノズル（１）の間には、２次フィルター（４）がそれぞれ設けられている。
塗布液（１３）をスリット（３）から外部に吐出する際に、リップ先端（１６）には塗布液（１３）が回り込んで付着し、これが乾燥固化して異物（１４）となる。また、この異物（１４）を洗浄除去する際に乾燥性が悪いと毛細管現象によりスリット（３）内部に洗浄薬液（１５）が進入し、これが塗布する際に塗布液に混入して縦筋ムラが発生する。
【００２２】
図４に示すように、本発明の洗浄ヘッド（２１）は、洗浄薬液供給口（２３）と２流体用不活性ガス供給口（２５）と２流体噴出口（２７）を持つ２流体洗浄ノズル（２０）を３個配列した２流体洗浄ノズル配列（２０’）を、スリット状ノズル（１）の幅方向に対向して２配列有し、また、台座（２９）の斜め切欠部のある側壁には乾燥部（２８）が内蔵され、斜め切欠部面には洗浄後のリップ先端を乾燥させるための、スリット状ノズルの幅方向を短手方向とする不活性ガスを噴出するパージスリット（２２）が設けられている。
更に下方には２流体ミストを排出するための排気ダクト（２６）を排気部として備えている。パージスリット（２２）は側壁に内蔵した乾燥部（２８）及びパージ用不活性ガス供給口（２４）に接続されている。
【００２３】
２流体洗浄ノズル（２０）への不活性ガス（４４）の供給は、ボールバルブ（４５）を開き、且つエアーオペレートバルブ（４３）を開く事によってなされる。流量の調整は流量調整バルブ（４２）によって行い、その時の流量値は流量計（４１）に表示される。
パージ用不活性ガス供給口（２４）への不活性ガス（４４）の供給は、ボールバルブ（４５）を開き且つエアーオペレートバルブ（４０）を開く事によってなされる。流量の調整は流量調整バルブ（３９）によって行い、その時の流量値は流量計（３８）に表示される。２流体洗浄ノズル（２０）及びパージスリット（２２）へ供給する不活性ガス（４４）の圧力は、減圧弁（４６）によって調整し、その時の圧力値は圧力計（４７）に表示される。エアーオペレートバルブ（４０）及び（４３）と圧力計（４７）の間には異物を捕集するためのフィルター（４８）が設けられている。
【００２４】
洗浄ヘッド（２１）の内部に溜まったミスト状排液は、強制排気装置（５０）によって排気ダクト（２６）を通って外部に排出される。排出されたミスト排液は１次排液トラップタンク（４９）にて捕集され、更に強制排気装置（５０）内部を通って、２次排液トラップタンク（５１）にて再度完全に捕集される。
図４で示すように、例えば、スリット状ノズル（１）の幅方向に３個づつ並列に対向して２流体洗浄ノズル（２０）が配列されている場合、スリット状ノズル（１）のリップ先端部を先に洗浄する配列位置にある２つの洗浄ノズルからは洗浄性の高い洗浄薬液（６２）と不活性ガス（４４）を混合した２流体を噴出し、スリット状ノズル（１）を後から洗浄する配列位置にある１つの２流体洗浄ノズルからは乾燥性の高い洗浄薬液（６０）と不活性ガス（４４）を混合した２流体を噴出するようにする。
【００２５】
洗浄性の高い洗浄薬液（６２）を２流体洗浄ノズル（２０）へ供給するための洗浄薬液タンク（６１）はボールバルブ（５３）を開き、エアーオペレートバルブ（５８）を開く事で、クリーンエアー（５２）により加圧され、エアーオペレートバルブ（３３）を開く事で２流体洗浄ノズル（２０）へ供給される。洗浄性の高い洗浄薬液（６２）の流量の調整は流量調整バルブ（３１）によって行い、その時の流量値は流量計（３０）に表示される。流量調整バルブ（３１）とエアーオペレートバルブ（３３）の間には異物を捕集するためのフィルター（３２）が設けられている。
【００２６】
乾燥性の高い洗浄薬液（６０）を２流体洗浄ノズル（２０）へ供給するための洗浄薬液タンク（５９）はボールバルブ（５３）を開き、エアーオペレートバルブ（５７）を開く事で、クリーンエアー（５２）により加圧され、エアーオペレートバルブ（３７）を開く
事で２流体洗浄ノズル（２０）へ供給される。乾燥性の高い洗浄薬液（６０）の流量の調整は流量調整バルブ（３５）によって行い、その時の流量値は流量計（３４）に表示される。流量調整バルブ（３５）とエアーオペレートバルブ（３７）の間には異物を捕集するためのフィルター（３６）が設けられている。
【００２７】
洗浄薬液タンク（５９）と洗浄薬液タンク（６１）を加圧するためのクリーンエアー（５２）の圧力は、減圧弁（５４）によって調整し、その時の圧力値は圧力計（５５）に表示される。エアーオペレートバルブ（５７）及び（５８）と圧力計（５５）の間には異物を捕集するためのフィルター（５６）が設けられている。
【実施例１】
【００２８】
以下に、本発明の洗浄装置付塗布装置を用いた塗布作業の実施例を詳細に説明する。
液晶ディスプレイ用カラーフィルタの製造工程において、感光性材料をダイヘッドのスリット状ノズルにより塗布した際に、スリット状ノズルの両側リップ先端を洗浄する場合を説明する。
塗布する感光性材料は樹脂ブラックレジストを用い、洗浄性の高い洗浄薬液としてＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリドン）を、乾燥性の高い洗浄薬液としてアセトンを使用した。また、２流体及びパージ用の不活性ガスは窒素を使用した。塗布膜を形成するガラス基板として、サイズ６８０ｍｍ×８８０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍのものを用いた。
【００２９】
２流体洗浄ノズルは表１で示す様に、様々な形状のものを取り付けて事前に評価を行った。表１中、洗浄性における○印は目視によるスリット状ノズルのリップ先端の汚染が全くない状態を示す。また、△印はリップの先端がやや汚染されている状態を示す。ミスト飛散における○印は目視による２流体ミストの周囲への飛散が全くない状態を示す。また、△印は周囲への飛散が若干ある状態を示す。
【００３０】
【表１】
2005324123.tif 000003
２流体洗浄ノズルの噴出口の形状は、図７で示す通り（ａ）円形状口（１００）、（ｂ）長方形状口（１０１）、（ｃ）円周形状口（１０２）の３形状を評価し、その結果、円形状口（１００）が尤も洗浄性が良い事がわかった。また、その直径（１０３）は１ｍｍ〜２ｍｍの間であれば洗浄性が良く、尚且つミスト飛散の全く無い洗浄ができる事がわかった。更にまた、噴出角度（１０４）は１０°〜１５°の間であれば洗浄性が良く、尚且つミスト飛散の全く無い洗浄ができる事がわかった。
上記結果を踏まえ、２流体洗浄ノズルは直径が１．５ｍｍで、噴出角度が１２°の円形状口を有するものを使用した。
【００３１】
以下に実際の動作を詳細に説明する。
図６で示すように、ローダーユニット（８０）に投入されたガラス基板（７６）は搬送ロボット（８１）によって洗浄装置付塗布装置（８２）の塗布ステージ（７３）上に載置され真空吸着される。図３、４で示すボールバルブ（１０）、（４５）、（５３）及びエアーオペレートバルブ（５７）、（５８）は予め開いておき、塗布液タンク（１２）及び洗浄薬液タンク（５９）、（６１）は常時加圧しておく。
【００３２】
スリット状ノズル（１）は、図５で示す待機位置（Ａ）にて有機溶剤（７２）の雰囲気状態にある待機ポッド（７１）の中にリップ先端を格納した状態で待機しており、ガラス基板（７６）が塗布ステージ（７３）上に載置されると、待機上位置（Ｂ）に上昇し、次いで塗布開始上位置（Ｃ）に平行移動する。次いで塗布開始位置（Ｄ）に下降し、この状態でエアーオペレートバルブ（５）を開いて塗布ビード（７４）を形成した後、樹脂ブラックレジストを吐出しながら塗布膜（７５）を形成しつつ塗布終了位置（Ｅ）に平行移動する。スリット状ノズル（１）が塗布終了位置（Ｅ）に移動すると、エアーオペレートバ
ルブ（５）を閉じ、樹脂ブラックレジストの吐出を停止する。次いで塗布終了上位置（Ｆ）に上昇し、次いで洗浄上位置（Ｇ）に平行移動し、次いで洗浄位置（Ｈ）に下降する。
【００３３】
洗浄ヘッド（２１）は、図１で示す洗浄ヘッド待機位置（Ｉ）にて待機しており、洗浄位置（Ｈ）にスリット状ノズル（１）の移動が完了すると同時に、図４で示す強制排気装置（５０）が作動して排気を開始し、次いでエアーオペレートバルブ（４０）が開いてパージ用窒素がパージスリット（２２）から噴出され、次いでエアーオペレートバルブ（４３）が開いて２流体用窒素が２流体洗浄ノズル（２０）に供給され、次いでエアーオペレートバルブ（３３）と（３７）が開いてＮＭＰとアセトンが２流体洗浄ノズル（２０）に供給され、２流体洗浄ノズル（２０）内部で混合された２流体ミストが噴出される。
【００３４】
２流体ミストが安定して噴出された時点で、図１及び図６で示す直動ユニット（７０）が駆動し、洗浄ヘッド（２１）はスリット状ノズル（１）の幅方向に沿って平行移動しながら洗浄を開始する。洗浄ヘッド（２１）が洗浄ヘッド洗浄終了位置（Ｊ）に移動すると、直動ユニット（７０）が停止し、スリット状ノズル（１）は図５で示す洗浄上位置（Ｇ）に再び上昇する。次いで待機上位置（Ｂ）に平行移動し、次いで待機位置（Ａ）に下降して、再び待機ポッド（７１）の中にリップ先端を格納した状態で待機する。
【００３５】
スリット状ノズル（１）が洗浄上位置（Ｇ）に上昇すると同時に、直動ユニット（７０）が駆動し、洗浄ヘッド（２１）は洗浄ヘッド待機位置（Ｉ）に平行移動を開始し、同時にエアーオペレートバルブ（３３）と（３７）を閉じＮＭＰとアセトンの供給を停止し、次いでエアーオペレートバルブ（４３）を閉じ２流体用窒素の供給を停止し、次いでエアーオペレートバルブ（４０）を閉じパージ用窒素の供給を停止し、その後洗浄ヘッド（２１）内部のミスト状排液が完全に外部に排出された時点で強制排気装置（５０）を停止する。洗浄ヘッド（２１）が洗浄ヘッド待機位置（Ｉ）に移動すると直動ユニット（７０）は停止する。
【００３６】
一方、図６に示すように、洗浄装置付塗布装置（８２）にて樹脂ブラックレジストを塗布したガラス基板（７６）は搬送ロボット（８３）により減圧乾燥ユニット（８４）に搬送される。減圧乾燥工程が終了するとガラス基板（７６）は搬送ロボット（８７）によりアンローダーユニット（８９）に搬出される。
【００３７】
また、スリット状ノズルによりレジストをある程度の膜厚で塗布した後、更に回転工程により所望の膜厚を得る所謂スリットダイ＆スピン方式の場合は以下の通りとなる。すなわち、洗浄装置付塗布装置（８２）にて樹脂ブラックレジストを塗布した基板（７６）は搬送ロボット（８３）により回転ユニット（８６）に搬送される。回転工程が終了すると搬送ロボット（８５）により減圧乾燥ユニット（８４）に搬送される。減圧乾燥工程が終了するとガラス基板（７６）は搬送ロボット（８７）により端面現像ユニット（８８）に搬送される。端面現像工程が終了するとガラス基板（７６）は再び搬送ロボット（８７）によりアンローダーユニット（８９）に搬出される。
【００３８】
以上の動作にて、スリットダイ方式と、スリットダイ＆スピン方式のそれぞれで基板を連続塗布し、且つ毎回洗浄を行った。その結果、目視においてスリット状ノズル洗浄後のリップ先端の乾燥性が非常に良くなり、洗浄薬液残りに起因する縦筋ムラの発生が無くなった。また、連続塗布後もリップ先端は非常に清浄に保たれており、塗布後の基板の異物検査においても乾燥固着に起因する異物は発生していなかった。更に、洗浄薬液量は従来のリップ先端全幅を一度に洗浄する方式の１／１０程度となった。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明による洗浄装置付塗布装置の一実施例における洗浄装置と、スリット状ノズルを示した説明図である。
【図２】洗浄装置を構成する洗浄ヘッドの説明図である。
【図３】本発明に係わるスリット状ノズルの側断面と、塗布液の供給系統を表した説明図である。
【図４】本発明に係わる洗浄ヘッドの斜視と、洗浄薬液及び不活性ガスの供給系統を表した説明図である。
【図５】本発明に係わる洗浄装置付塗布装置のスリット状ノズルの動作を側面で表した説明図である。
【図６】本発明に係わる洗浄装置付塗布装置を含む一連の基板処理ラインを平面で表した説明図である。
【図７】本発明に係わる２流体噴出口の形状を斜視で表した説明図であり、（Ａ）は円形状口、（Ｂ）は長方形状口、（Ｃ）は円周形状口をそれぞれ表している。
【符号の説明】
【００４０】
１・・スリット状ノズル
２・・マニホールド
３・・スリット
４・・２次フィルター
５・・エアーオペレートバルブ
６・・１次フィルター
７・・フィルター
８、４７、５５・・圧力計
９、４６、５４・・減圧弁
１０・・ボールバルブ
１１・・クリーンエアー
１２・・塗布液タンク
１３・・塗布液
１４・・異物
１５・・洗浄薬液
１６・・リブ先端
２０・・２流体洗浄ノズル
２０’・・２流体洗浄ノズル配列
２１・・洗浄ヘッド
２２・・パージスリット
２３・・洗浄薬液供給口
２４・・パージ用不活性ガス供給口
２５・・２流体用不活性ガス供給口
２６・・排気ダクト
２７・・２流体噴出口
２８・・乾燥部
２９・・台座
３０、３４、３８、４１・・流量計
３１、３５、３９、４２・・流量調整バルブ
３２、３６、４８、５６・・フィルター
３３、３７、４０、４３、５７・・エアーオペレートバルブ
４４・・不活性ガス
４５、５３・・ボールバルブ
４９・・１次排液トラップタンク
５０・・強制排気装置
５１・・２次排液トラップタンク
５２・・クリーンエアー
５９・・洗浄薬液タンク
６０・・乾燥性の高い洗浄薬液
６１・・洗浄薬液タンク
６２・・洗浄性の高い洗浄薬液
７０・・直動ユニット
７１・・待機ポッド
７２・・有機溶剤
７３・・塗布ステージ
７４・・塗布ビード
７５・・塗布膜
７６・・ガラス基板
８０・・ローダーユニット
８１、８３、８５、８７・・搬送ロボット
８２・・洗浄装置付塗布装置
８４・・減圧乾燥ユニット
８６・・回転ユニット
８８・・端面現像ユニット
８９・・アンローダーユニット
１００・・円形状口
１０１・・長方形状口
１０２・・円周形状口
１０３・・直径
１０４・・噴出角度
Ａ・・待機位置
Ｂ・・待機上位置
Ｃ・・塗布開始上位置
Ｄ・・塗布開始位置
Ｅ・・塗布終了位置
Ｆ・・塗布終了上位置
Ｇ・・洗浄上位置
Ｈ・・洗浄位置
Ｉ・・洗浄ヘッド待機位置
Ｊ・・洗浄ヘッド洗浄終了位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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