(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、画像パラメータを用いて画像データを生成して検査して良否判定を行うにあたり、基板の良否判定についての解析を外部のサービスマンに委託しやすい検査方法及び装置の提供を目的とする。【解決手段】画像処理手段５は、位置情報を基に、加工処理をしようとする測定データの印刷はんだ箇所が、特定の箇所以外の他の箇所である場合は、パラメータ記憶手段９の共通の画像パラメータ値を使用し、特定の箇所である場合は、個別パラメータ記憶領域９ａの個別の画像パラメータ値を使用する構成とし、判定手段７が判定を誤った特定の箇所についてだけの解析データを解析データ出力手段５からサービスマンへ出力させ、サービスマンからの解析結果として送られてきた新たな画像パラメータ値を前記個別パラメータ記憶領域９ａに記憶させる構成とした。【選択図】      図１（Ａ）
2005207951.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め印刷はんだ基板に設けられた印刷はんだ箇所に共通の所定の画像パラメータ値をパラメータ記憶手段に記憶させる段階と、
前記印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び／又は変位量を測定手段で測定して測定データとして出力する段階と、
前記測定データを受けて前記画像パラメータ値で画像処理手段が加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する段階と、
前記画像データと予め記憶されている参照データとを判定手段が比較することによって良否判定を行う段階と、
前記良否判定が行われた後に、特定の印刷はんだ箇所の位置を指定する位置情報を受ける段階と、
前記判定手段による判定結果を解析できる情報として、前記位置情報を基に前記特定の印刷はんだ箇所の位置における測定データを基に、表示したときにマップ状に視認できる画像情報を生成するとともに、前記画像情報及び前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を含む解析データを出力する段階と  を備え、
前記解析データを受けて、前記画像情報を視覚的に解析可能に表示し、前記判定結果に誤りがあった場合に前記特定の印刷はんだ箇所における新たな個別の画像パラメータ値を生成して出力する段階を備え、更に、
前記特定の印刷はんだ箇所における前記新たな個別の画像パラメータ値を受けて、該特定の印刷はんだ箇所の位置情報に対応して個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階と、
次回以降の検査にあたって、前記画像処理手段は、前記印刷はんだ箇所の位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用する段階とを備えたことを特徴とする印刷はんだ検査サービス方法。
【請求項２】
前記解析データを生成して出力する段階は、前記位置情報を受けて、前記測定手段に対して、少なくともその位置情報における特定の印刷はんだ箇所を測定して測定データを取得させ、その測定データを基に、前記画像情報及び前記画像パラメータ値を含む解析データを生成して出力することを特徴とする請求項１記載の印刷はんだ検査サービス方法。
【請求項３】
複数の印刷はんだ箇所を有する印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び／又は変位量を測定して測定データとして出力する測定手段（２）と、前記印刷はんだ箇所に共通に設定された、前記測定データに対するしきい値を含む画像パラメータ値を記憶するパラメータ記憶手段（９）と、前記測定手段からの測定データを受けて前記画像パラメータ値で加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する画像処理手段（５）と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを比較することによって良否判定を行う判定手段（７）とを備えた印刷はんだ検査装置であって、
前記判定手段による判定結果を解析できる情報として、前記印刷はんだ基板における特定の印刷はんだ箇所の位置における測定データを基に、表示したときにマップ状に視認できる画像情報を生成するとともに、前記画像情報及び前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を含む解析データを外部へ出力する解析データ出力手段（６）と、
外部から、前記特定の印刷はんだ箇所についての個別の新たな画像パラメータ値を受けて、該印刷はんだ箇所の位置情報とともに記憶する個別パラメータ記憶手段（９ａ）とを備え、
前記画像処理手段は、前記位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された新たな画像パラメータ値を使用するパラメータ読出手段（５ａ）を備えたことを特徴とする印刷はんだ検査装置。
【請求項４】
表示手段（８）と、
操作手段（４）と、
前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図を受けて前記表示手段に表示させ、前記操作手段により前記表示手段に表示された画像上で特定の印刷はんだ箇所を指定されたときは、測定手段に対して、少なくともその特定の印刷はんだ箇所における測定を実行させ、その測定データを前記解析データ出力手段に送らせて解析データを生成させるとともに、外部から前記特定の印刷はんだ箇所における新たな個別の画像パラメータ値を受けたときは前記個別パラメータ記憶手段に記憶させるパラメータ制御手段（１０ａ）とを備えた請求項３記載の印刷はんだ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品等を表面実装するためのプリント基板上に、はんだ印刷装置等でクリーム状はんだが印刷されたときの印刷はんだ形成状態を測定し、検査を行うときの印刷はんだ検査サービス方法及びそれに用いられる印刷はんだ検査装置に関する。
【０００２】
特に、基板（以下、プリント基板を単に「基板」と言う。）に、光を照射して測定した結果として得られた、基板上の印刷はんだ箇所の変位（高さを含む）や輝度（基板から反射した光の量、受光量（光の強さ）を含む。）の測定データから、はんだ印刷されたときの印刷はんだ量を表す要素となる画像データ（高さ、面積、或いは体積等のデータ：以下、これらの一部又は全部を「画像データ」という。）に変換して、その画像データを判定の基準となる参照データ（以下、これを「レファレンス」と言う。）と比較して判定する検査装置及び方法においては、基板の印刷はんだ箇所のパターン形状、印刷はんだ状態、測定条件、雑音、上記のデータを変換する条件等及びそれらの組み合わせからして上記画像データの正確な生成は難関であり、この画像データを判断する判定手段が、良品の印刷はんだ形成状態を誤って不良品と判定した結果を出力する（以下、誤った判定結果を「虚報」と言う。）場合がある。しかし、判定手段が誤った判定しているかどうかの解析、及び誤った判定をしたときに、上記画像パラメータはどのような値にすべきかの解析は、困難なものがある。本発明は、そのような解析を外部の解析装置で印刷はんだ検査装置の操作者と異なる他の専門家（以下、「サービスマン」という。）が容易に行えるようにし、操作者はサービスマンより得られた画像パラメータ値を用いて検査することにより、虚報の発生を軽減するための技術に係る。
【背景技術】
【０００３】
従来、上記のような印刷はんだ検査装置においては、測定手段からのアナログ量である測定データを、所定のしきい値やフィルタ条件等を含む画像パラメータ値で加工処理していた。例えば、フィルタ条件等でフィルタリングして雑音を除去し、しきい値で２値データに変換するなどの処理をした上で、面積や体積等の印刷はんだ量を表す画像データを作るという加工処理をしていた（特許文献１、２、及び３を参照。画像データの生成方法については、特許文献３に詳細に説明されている。）。この加工処理は、基板単位で生成されていた。つまり、画像データ生成にあたっては、同一基板上の複数のはんだ箇所があれば、それらは基板のはんだ箇所共通のしきい値等の画像パラメータ値で処理されていた。したがって、基板のいずれか１つの印刷はんだ箇所で虚報が発生した場合に、これを修正するため画像パラメータ値を変更して、その虚報を修正したとしても、他の印刷はんだ箇所で虚報を発生する可能性が高かった。
【０００４】
一方で、印刷はんだの良否判定は、はんだ箇所単位で行われ、検査結果を管理することが行われていた（特許文献４を参照）が、判定に至る過程においては、はんだ箇所単位で管理されていなかった。
【０００５】
ここまで、印刷はんだ検査装置で、判定誤りが起きるということで説明したが、この判定に誤りがあるか、或いは基板におけるはんだ印刷が不良かを解析していずれかを判断し、判定に誤りある場合に適切な画像パラメータ値を設定するのもかなり高度の専門的経験及び知識必要であった。一般に、このような解析及び画像パラメータ値の設定の問題が起きると、専門的なサービスマンが出張して対策する事をしていた。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２２４１２号公報（段落〔００３０〕−〔００３４〕、図４）
【特許文献２】特開２００２−１７６２５４号公報（段落〔００２８〕−〔００３１〕、図４、図４）
【特許文献３】特開２００２−２２８５９７号公報（段落〔００４０〕−〔００５０〕、図２、図５）
【特許文献４】特開２０００−６５５５２号公報（〔請求項１〕、〔請求項２〕）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来技術のように、基板単位で、つまり、印刷はんだ箇所共通に、同一パラメータ値により画像データを生成する技術にあっては、一部の印刷はんだ箇所の虚報を防止するには、他のはんだ箇所についての影響を考慮する必要があり、試行錯誤がなされたうえで実施しなければならないという困難さがあった。このような虚報の発生に対する対策の一つとしては、画像データを生成するときの上記画像パラメータ値を印刷はんだ箇所単位で備え、はんだ箇所個別に対応することも考えられる。しかしながら、検査開始においては、どこで虚報が発生するか確認できないので、同じ画像パラメータ値を数多くの印刷はんだ箇所毎にもたざるをえない。メモリも大きくなる。また、数多くの印刷はんだ箇所毎に画像パラメータ値を読み出して処理する時間が遅くなる。さらに、画像パラメータ値の入力設定にも時間がかかる。
【０００８】
また、印刷はんだ箇所の解析にあたっては、サービスマンが出張する代わりに、印刷はんだ装置側からサービスマン宛に解析に必要なデータを送り、サービスマンが解析し、その結果を印刷はんだ装置に反映させることも考えられたが、測定が映像的に行われ、そのデータから画像データに変換して処理するため基板全体のデータは膨大になり容量的にＦＤ等に入りきれないことが多い、もちろん電子メールで送るのも困難であった。つまり、解析データをサービスマンに送って解析してもらうことも困難であった。対策として、操作者が、問題箇所のデータだけ送ることも考えられるが、基板全体で処理していたので、操作者側で問題箇所のデータを抽出するのが困難であった。
【０００９】
本発明は、上記従来技術の欠点を改良するものであって、通常は検査初期に設定された基板共通の画像パラメータ値を用いて画像データを生成して検査し、特定の印刷はんだ箇所についてだけ個別の画像パラメータ値を使用して画像データを生成して検査できるようにし、さらに、問題の印刷はんだ箇所の解析にあたっては、サービスマンがその箇所だけの解析データを受けて解析し、その箇所だけの適切な個別の画像パラメータ値を提供できる検査サービス方法及びそれに用いられる検査装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するための、本発明においては、各印刷はんだ箇所に共通の画像パラメータ（以下、「画像パラメータ」には、項目と値とが含まれ、特に値を強調するときは、「画像パラメータ値」という。）、並びに特定の印刷はんだ箇所の位置及びその位置における個別の画像パラメータを設定可能にし、位置情報を基に、各位置の印刷はんだ箇所の画像データは共通の画像パラメータ値を用いて、特定の位置における画像データはその個別の画像パラメータ値を用いて生成するようにしたことと、誤り判定等の解析に必要な解析データについても問題の印刷はんだ箇所のデータだけを抽出してサービスマンに送り、その印刷はんだ箇所だけの修正された新たな個別の画像パラメータ値受ける構成にしたことを特徴としている。つまりは、問題となる箇所の必要なデータだけ処理することで容易に解決できる構成とした。
【００１１】
具体的には、請求項１に記載の発明は、予め印刷はんだ基板に設けられた印刷はんだ箇所に共通の所定の画像パラメータ値をパラメータ記憶手段に記憶させる段階と、前記印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び／又は変位量を測定手段で測定して測定データとして出力する段階と、前記測定データを受けて前記画像パラメータ値で画像処理手段が加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する段階と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを判定手段が比較することによって良否判定を行う段階と、前記良否判定が行われた後に、特定の印刷はんだ箇所の位置を指定する位置情報を受ける段階と、前記判定手段による判定結果を解析できる情報として、前記位置情報を基に前記特定の印刷はんだ箇所の位置における測定データを基に、表示したときにマップ状に視認できる画像情報を生成するとともに、前記画像情報及び前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を含む解析データを出力する段階と  を備え、
前記解析データを受けて、前記画像情報を視覚的に解析可能に表示し、前記判定結果に誤りがあった場合に前記特定の印刷はんだ箇所における新たな個別の画像パラメータ値を生成して出力する段階を備え、更に
前記特定の印刷はんだ箇所における前記新たな個別の画像パラメータ値を受けて、該特定の印刷はんだ箇所の位置情報に対応して個別パラメータ記憶手段に記憶させる段階と、次回以降の検査にあたって、前記画像処理手段は、前記印刷はんだ箇所の位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された画像パラメータ値を使用する段階とを備えた。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記解析データを生成して出力する段階は、前記位置情報を受けて、前記測定手段に対して、少なくともその位置情報における特定の印刷はんだ箇所を測定して測定データを取得させ、その測定データを基に、前記画像情報及び前記画像パラメータ値を含む解析データを生成して出力する構成とした。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、複数の印刷はんだ箇所を有する印刷はんだ基板に光を照射してその位置における反射光量及び／又は変位量を測定して測定データとして出力する測定手段と、前記印刷はんだ箇所に共通に設定された、前記測定データに対するしきい値を含む画像パラメータ値を記憶するパラメータ記憶手段と、前記測定手段からの測定データを受けて前記画像パラメータ値で加工処理して、前記印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となる画像データを生成する画像処理手段と、前記画像データと予め記憶されている参照データとを比較することによって良否判定を行う判定手段とを備えた印刷はんだ検査装置であって、
前記判定手段による判定結果を解析できる情報として、前記印刷はんだ基板における特定の印刷はんだ箇所の位置における測定データを基に、表示したときにマップ状に視認できる画像情報を生成するとともに、前記画像情報及び前記特定の印刷はんだ箇所における画像パラメータ値を含む解析データを外部へ出力する解析データ出力手段と、外部から、前記特定の印刷はんだ箇所についての個別の新たな画像パラメータ値を受けて、該印刷はんだ箇所の位置情報とともに記憶する個別パラメータ記憶手段とを備え、
前記画像処理手段は、前記位置情報を基に、前記加工処理をしようとする前記測定データの印刷はんだ箇所が前記特定の印刷はんだ箇所以外の他の印刷はんだ箇所である場合は、前記パラメータ記憶手段に記憶された共通の画像パラメータ値を使用し、前記特定の印刷はんだ箇所である場合は、前記個別パラメータ記憶手段に記憶された新たな画像パラメータ値を使用するパラメータ読出手段を備えた。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、表示手段と、操作手段と、前記印刷はんだ基板における印刷はんだ箇所の配置図を受けて前記表示手段に表示させ、前記操作手段により前記表示手段に表示された画像上で特定の印刷はんだ箇所を指定されたときは、測定手段に対して、少なくともその特定の印刷はんだ箇所における測定を実行させ、その測定データを前記解析データ出力手段に送らせて解析データを生成させるとともに、外部から前記特定の印刷はんだ箇所における新たな個別の画像パラメータ値を受けたときは前記個別パラメータ記憶手段に記憶させるパラメータ制御手段とを備えた。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１及び３に記載の発明は、問題となる特定の印刷はんだ箇所だけ特定して、解析データを生成してサービスマンに送って解析できる構成とされ、さらにサービスマンから特定の印刷はんだ箇所の画像パラメータ値を受けて、画像処理手段が特定の印刷はんだ箇所についてはその個別の画像パラメータ値で、他の箇所は共通の画像パラメータ値で画像データを生成処理する構成にしたので、判定が誤った箇所の画像パラメータ値だけ対処すればよい効果があり、また、メモリ容量の負担等も膨大になることなく対処できる効果がある。また、その判定に疑問のある印刷はんだ箇所だけの解析データ及び個別パラメータ値を出力できる構成なので、解析を容易に委託できて、専門家の知識を利用できる効果がある。また、解析の結果、判定を解析した結果が虚報であったときは、その原因となった印刷はんだ箇所だけ（その周辺の箇所も含めることができる。）抽出して、個別に虚報が発生しないように個別のパラメータ値をサービスマンから受けて設定することができるので、パラメータ値の設定も容易である。
【００１６】
請求項２に記載の発明は、特定の印刷はんだ箇所だけ測定して解析データの出力ができる構成で、かつ個別の画像パラメータ値で画像データを生成して判定できる構成としたから、装置として、解析データの量を必要な部分だけ取り出せ、かつ外部のサービスマンによるサービスを受けやすい構成となった。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、操作者に対して表示手段を通して、印刷はんだ箇所の配置図、画像パラメータ項目を提供し、その表示された画面上で、操作手段で操作することで、判定手段が問題となった印刷はんだ箇所の位置だけについての解析データを出力しやすくなり、かつ外部のサービスマンによるサービスを受けやすい構成となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の形態を図１〜図５を用いて説明する。図１（Ａ）は、本発明の印刷はんだ検査装置の構成を示す機能ブロック図である。図１（Ｂ）は、印刷はんだ検査装置から解析データを受けて解析するための解析装置の機能ブロックを示す図である。図２は、印刷はんだ検査方法の全体の概略フローを示す図である。図３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、詳細フローを示す図である。図３は、本発明における動作フローを示す図である。図４は、基板の印刷はんだ箇所の例を示す配置図である。図５は、解析データ及び解析後の測定条件の修正情報或いは新たな画像パラメータの例を示す図である。
【００１９】
図１において、測定手段２は、例えばレーザ変位計であって、センサ部２ａ及び測定処理部２ｂからなる。センサ部２ａは、基板１に対して走査してＸ軸、Ｙ軸の各方向に、レーザを照射可能なレーザ光源及び基板１からの反射光を受光する受光手段からなり、特に印刷はんだされた印刷はんだ箇所の変位、つまり高さ（Ｚ軸方向）を位置と対応づけて測定する。そのときはんだ面からは、位置に対応した受光量（輝度）も得られる。レーザ変位計としての詳細の動作説明は省くが、原理としては、同一出願人が出願している特開平３−２９１５１２号公報のものがあり、その第４図及び第７図とそれらの説明のものと同様である。
【００２０】
測定処理部２ｂは、検査対象である基板１を設計したときの印刷はんだ箇所或いはレジスト箇所等の配置図を含むレイアウト情報が後記する基板情報記憶手段３に記憶されているので、それを受けてレイアウト情報にしたがってセンサ部２ａに対して走査測定を行わせ、前記センサ部２ａが印刷はんだ箇所の位置に対応して、検出した上記の変位量及び／又は受光量を測定データとして出力している。
【００２１】
基板情報記憶手段３は、検査対象の基板情報としては少なくともレイアウト情報とレファレンスを記憶している。レイアウト情報は、検査対象とする基板１の設計されたときの配置図であって、例えば図４に示すように、印刷はんだ箇所、印刷はんだののらないレジスト箇所及び位置の基準となる認識マーク（不図示）等の基板上の配置情報を記憶している。このレイアウト情報そのものを画像として（レイアウト画面として）、表示手段８に表示することができる。また、基板１を検査して良否判定を行うレファレンスをデータとして、検査対象とする基板１に対応して記憶している。これらのレファレンスは、例えば印刷はんだ箇所の高さ、面積、体積、及びはんだの欠損等の各項目をはんだ箇所毎に準備されている。言い換えるならこれらのレファレンスは、はんだ箇所の印刷はんだを量的（画像的）に認識しやすい情報であって、良否判定の基準となるデータである。
【００２２】
なお、検査対象の基板１の種類が多い場合は、それらの基板情報を基板情報記憶手段３に識別情報を付して記憶しておき、識別情報のリスト及び／又はレイアウト画面を表示手段８に表示して操作手段４で画面上でマーカ等により指定することによって選択できるようにしている。
【００２３】
画像処理手段５は、測定手段２が測定した基板１のはんだ箇所の位置とその位置における変位データ（変位量）及び輝度データ（受光量）等を受けて、後記するパラメータ記憶手段９からの画像パラメータ値を読み出してその画像パラメータ値を基に、測定データを各はんだ箇所の印刷はんだ量を表す画像データに加工処理する。画像データとしては、印刷はんだ箇所におけるはんだ量を表す要素となるデータであって、上記レファレンスと同様に、それぞれのはんだ箇所の高さ、面積、体積、及び欠損（存在すべきはんだ量が無い状態の検出）等がある。これら高さ、面積、体積等のデータは３次元画像情報或いはその要素ともなりうる情報である。なお、基板１を判定するには上記の画像の全てを必要とするとは限らないが、高さ、面積、体積の内、少なくともいずれか１つは不可欠である。判定にあたって、検査しようとする基板１の画像データとして何を判定するか、或いはどの画像データの組み合わせで判定するかは、基板１の種類、内容によって異なることがある。
【００２４】
画像処理手段５は主に、測定データに対して所定のフィルタ条件で雑音を除去するためにフィルタリングする手段、はんだブリッジやはんだパターンエッジ等の繊細パターンを識別する感度を所定のパラメータ値で調整するための手段、所定のしきい値で２値化してデジタルデータに変換して２値化する手段、及び２値化されたデータを用いて印刷はんだ箇所における高さ、面積及び／又は体積等の演算を行う演算する手段等を有している。これらの演算処理等の詳細は、同一出願人による特許文献３等に記載されている。なお、上記の所定のフィルタ条件、感度を調整するための所定のパラメータ値及び所定のしきい値は、画像パラメータ値としてパラメータ記憶手段９（詳細は後記）に記憶されているものを使用する。
【００２５】
上記データの加工処理に用いられる画像パラメータ値は、検査の初期時点においては同一の基板１における各印刷はんだ箇所に対して共通に適用されて、画像データの生成に用いられる。
【００２６】
判定手段７は、上記画像処理手段５が出力する画像データを受けて、これと上記基板情報記憶手段３からのレファレンスとを比較して各はんだ箇所の良否を判定する。
【００２７】
パラメータ記憶手段９は、上記したように画像処理手段５が測定データを画像データに加工処理するために用いる画像パラメータ値を記憶している。画像パラメータ値は、それを用いて変換して生成された画像データが比較手段７で比較されて良否判定されることから、検査にあたってはレファレンス同様に、重要なファクタである。
【００２８】
画像パラメータ値は、測定データが、例えば印刷はんだ部分であるか否か、或いはレジスト部分であるか否か等の区別（認識）をするためのしきい値、雑音から区別するためのフィルタ条件、或いは感度調整のパラメータ値を含み、例えば、次のようなものがある。いずれも表示手段８の画面（画像パラメータ設定画面モード）で、各画像パラメータの項目を表示させて、操作者が視認しながら操作手段４で画像パラメータ値を設定できる。
（１）はんだ輝度：測定データがはんだであるか否かを識別すためのしきい値。
（２）レジスト面輝度：測定データがレジスト面であるか否かを識別するためのしきい値
（３）パッド面輝度：測定データがパッド面であるか否かを識別するためのしきい値
（４）フィルタ条件（強度）：測定データに対してフィルタをかけるときの画像パラメータであって、この例では、値が小さいほど測定データに含まれる雑音成分を除去できるが、反対に微細な形状にかかるデータが失われやすい。判定手段７が本来、正常である印刷はんだ箇所をブリッジ（２カ所のはんだ付け箇所が誤って繋がってしまうこと）しているとして虚報の判定結果をだしたときは、主にこの画像パラメータ値を小さくすることが好ましい。
（５）ブリッジ感度：例えば、２つのはんだ箇所が正常につながっているものを、誤って不良のブリッジとして判定するようなことがあるので、そのブリッジの幅を調整・設定するためのパラメータ
（６）パタンエッジ感度：配線パターンをはんだ箇所と認識してしまうことがあるので、調整・設定するためのパラメータ
（７）認識マークに関するパラメータ：認識マークは、位置合わせに用いられるマークで基板１に設けられている。これは各種データの基準位置となるもので、この位置の認識がずれないように調整・設定するためのパラメータ
【００２９】
上記いずれの画像パラメータ値も、測定が光を照射してアナログ的に行われることから、この測定データを基に印刷はんだを量的に（画像データとして）明瞭に評価できるように加工処理するためのものである。
【００３０】
上記した画像パラメータ値は、基板１の検査の初期時点で基板１の全ての印刷はんだ箇所に（それ以外のレジスト面等も同じく全部に）共通に、画像データ生成に適用されるパラメータ値である。
【００３１】
しかし、本発明、基板１の印刷はんだ箇所単位で生成した（或いは共通の画像パラメータ値を修正）した個別の画像パラメータ値を印刷はんだ箇所を識別する位置情報に対応させて保有できる個別パラメータ記憶領域（手段）９ａを設けた。この個別パラメータ記憶領域（手段）９ａに記憶される印刷はんだ箇所毎の個別画像パラメータ値は、一部は、上記共通の画像パラメータ値と同様の項目、値の範囲で表示手段８の画面（個別パラメータ設定画面）で設定可能である。つまり、項目は、上記（１）〜（３）、（５）、（６）と同様に設定できる。ただし、個別画像パラメータは対象となる印刷はんだ箇所を特定するための位置情報に対応して記憶される必要がある。なお、個別画像パラメータは、共通の画像パラメータとは、異なった別の項目であってもよい。例えば、共通の画像パラメータには無いが個別画像パラメータとして加えると便利な項目に、次の（８）〜（９）ようなものもある。また、これらに限られることはない。
（８）基準高さ位置オフセット：画像処理手段５が面積を計算するときに基板から所定の高さ位置（これを「基準面」という。）にあるはんだ量の面積を計算するが、基準面高さオフセットは、その基準面を４μｍ単位で調節するパラメータである。
（９）見掛け光量調整パラメータ：例えば、はんだ面を暗い面として認識して処理する場合、はんだの中には明るい箇所を部分的に含むものがあり、そのまま測定を行うとその箇所をはんだ箇所として認識しない場合がでてくる。そこで、測定したデータをあたかも光量を下げて測定したかのように処理するパラメータである。
【００３２】
画像処理手段５は、パラメータ読出手段５ａを有し、上記のように個別画像パラメータ値が設定された後に、基板１の検査（再検査）するときに、そのパラメータ読出手段５ａにより、基板１の印刷はんだ箇所を位置順に測定データに係る画像パラメータ値を読み出して画像データを生成する。その際に、その印刷はんだ箇所位置を前記個別パラメータ記憶領域９ａに記憶されている位置情報と照会し、一致しなければ、パラメータ記憶手段９に記憶されている共通の画像パラメータ値を読み出して使用し、一致した場合は、個別パラメータ記憶領域９ａに記憶されている画像パラメータ値を読み出して使用する。個別パラメータ記憶領域９ａをパラメータ記憶手段９内に共通の画像パラメータ値の記憶領域と区別される領域にもたせたが、別な記憶手段にしてもよい。
【００３３】
このように全印刷はんだ箇所共通の画像パラメータ値と特定のはんだ箇所だけの個別の画像パラメータ値を持たせ、画像処理手段５が特定の印刷はんだ箇所はその個別の画像パラメータ値で、他の箇所は共通の画像パラメータ値で処理する構成にしたので、判定手段７が誤って判定した虚報を出力したとき、その虚報の原因となったはんだ箇所だけに、判定手段７が虚報を出力しないように調整・設定された個別の画像パラメータ値を保有し、使用できる効果がある。
【００３４】
言い換えると、共通の画像パラメータ値の設定を最初からしても良いが、はんだ箇所が非常に多いので、たいへんな作業量であり、またメモリ容量も大きいのが必要になるが、共通に画像パラメータ値を設定すれば、それらの問題は解決する。しかし、一部のはんだ箇所に対して共通の画像パラメータ値を変更すると他の虚報の原因になりかねない。本発明は、上記のようにこれらの問題を解決するものである。
【００３５】
解析データ出力手段６は、測定手段２が出力する基板１における印刷はんだ箇所の位置に対応した変位量及び受光量等の測定データを受けて、上記レイアウト情報における特定の印刷はんだ箇所の配置図のうえに、画像として表示したときにはんだの高さが等高線状に観測して解析できる解析データに変換する。上記で等高線状で観測できるようにと記載したが、等高線に限らず解析データを画像として表示手段８に表示されたときに、はんだ面の高さや輝度に応じてはんだ面が識別認識しやすい表現であれば、変位量や輝度に応じて、色の変化、濃淡、模様等のいずれで表現してもよい（以上の表現を、ここでは「マップ状」と言う。）。
【００３６】
解析データ出力手段６が、特定の個別の印刷はんだ箇所の解析データを得る方法として、後記するパラメータ制御手段１０ａの説明の中でも記載するが、次のいずれの方法であってもよい。
（ａ）レイアウト情報、既に測定した測定データ、画像処理した画像データ等から、特定の印刷はんだ箇所の位置を指定してその位置におけるデータだけ抽出する方法、又は、
（ｂ）測定手段２及び解析データ出力手段６（及び画像処理手段５，判定手段７を含めてもよい。）に対して、特定の印刷はんだ箇所の位置を指定して、その位置で再測定（再検査）を行って、解析データを得る方法。
ただ、後者のように個別箇所だけで再測定できる構成にしておけば、前者のようにデータを抽出処理する新たな手段を用意しなくとも、基板１の全体を測定・検査するのと同じ資源を利用できるので、処理が簡単で、確実である。
【００３７】
解析データの例を図５に示す。図５（Ａ）及び（Ｂ）は、いずれも特定の印刷はんだ箇所及びその周囲の画像情報であって、図５（Ａ）が変位量をマップ状に画像として表された画像情報であり、図５（Ｂ）は、受光量をマップ状に画像として表された画像情報である。図５（Ｂ）の小さい四角は、特定箇所を示すマーカであり、大きな四角い枠は、その周辺を示すマーカである。図５（Ｃ）は、図５（Ｂ）の小さな四角枠の拡大図である。白抜きの○印は、はんだ範囲を示す規格値である。これは、印刷はんだが規格範囲にあるかどうか判定しやすい。
【００３８】
解析データ出力手段６が、上記のように判定手段８が判定した結果が疑問と思われる特定の印刷はんだ箇所の解析データを生成して出力するとともに、併せて、その特定の印刷はんだ箇所についての、設計時の位置情報、測定条件、測定結果（画像処理手段５の処理結果を含み、位置、印刷はんだの高さ、印刷はんだの面積等の各データ）、測定結果に対する許容値（判定手段７における判定に用いるレファレンスを含む）、画像パラメータ値の設定値を解析データの一部として出力する。これら設定値等の情報の例として、図５（Ｄ）をし示す。図５（Ｄ）における、Ｄｅｓｉｇｎ、Ｍｅｓａｓｕｒｅ  Ｃｏｎｄｉｔｉｏｎ、Ｍｅａｓｕｒｅ、Ｓｅｔｔｉｎｇ  Ｐａｒａｍに示されるデータが該当する。なお、図５（Ｄ）におけるＳｅｔｔｉｎｇ  Ｐａｒａｍには、上記した画像パラメータ（１）〜（３）、（５）、（６）、（８）、（９）のものが含まれている。
【００３９】
上記のように測定データに基づく画像情報及び位置情報や測定結果等を含む解析データは、出力インタフェース１１を介して、サービスマンによって解析されるために外部へ出力される。出力インタフェース１１は、通信手段を有し外部のサービスマン用のコンピュータ（後述する解析装置。）に直接又はネットワークを介して出力しても、書き込み手段を有してＦＤ等の媒体に記憶させて出力してもよい。後者の場合は、操作者が媒体をサービスマンに送ることになる。
【００４０】
パラメータ制御手段１０ａは、全体の操作・表示に係る表示制御手段１０にあって、操作者と印刷はんだ検査装置の間を操作手段４及び表示手段８の操作を介して、検査対象基板の選択、共通画像パラメータ値の設定、判定手段７の判定結果の確認、虚報の解析、個別パラメータ値の設定及びその他それらに付随した操作・表示を含むインタフェースを司る。つまり、図３（Ａ）及び図３（Ｃ）に示す動作フローにおける操作者と印刷はんだ検査装置の間における制御を行う。
【００４１】
図３の動作フローの詳細は後記するので、ここでは、パラメータ制御手段１０ａが行う主な制御構成について説明する。
【００４２】
パラメータ制御手段１０ａは、基板１の検査の初期において、操作者に基板１に共通の画像パラメータ値を設定させるために、画像パラメータ項目（上記（１）〜（７）を参照。）を表示手段８に表示させて入力を案内する。次に操作者が、操作手段４により各項目について画像パラメータ値を設定して確定キーを設定したときは、その設定された値をパラメータ記憶手段９に記憶させる。パラメータ制御手段１０ａ及び表示制御手段１０は、表示に必要なフォーマット、例えば、画像パラメータの項目、入力された画像パラメータ値、及び操作案内情報等の表示フォーマットを有する。また、パラメータ記憶手段９を含む他のブロック等に対するアクセス手段を有している。
【００４３】
パラメータ制御手段１０ａは、次に測定（検査）が実行されたときは、測定操作・観測に必要な情報を測定画面に表示するとともに、測定データと、上記パラメータ記憶手段９或いは個別パラメータ記憶領域９ａに記憶されている画像パラメータ値とを基に画像処理手段５で生成された画像データ、並びに判定手段７で判定された項目及び結果を表示する。そして操作者が判定の結果が正しいかどうかを確認するために、基板情報記憶手段３からのレイアウト（配置図）及び解析データ出力手段６からの解析データを受けて、それらを表示することもできる。
【００４４】
パラメータ制御手段１０ａは、さらに操作者が、判定結果を虚報と判定したときは、操作者からの要請により、基板情報記憶手段３から基板１における印刷はんだ箇所のレイアウト情報（配置図）を受けて表示手段８に表示させ（これは上記したものと同じ）、操作者がその表示手段８の画面の配置図を視認しながら（観測しながら）、操作手段４を操作して、例えばマーカを動かしながら画像上で特定の印刷はんだ箇所の上に置いて（特定の印刷はんだ箇所の指定に該当する。そのときの操作手段４からの情報が特定の印刷はんだ箇所の位置を示す位置情報となる。）確定の操作をする。そのときの操作手段４からの位置情報における印刷はんだ箇所に対して、個別の画像パラメータ値を操作者に設定させるために、画像パラメータ項目を表示手段８に表示させる。その後に操作者が操作手段４でその個別の画像パラメータ値を入力したときは、その個別の画像パラメータ値を受けて個別パラメータ記憶領域（手段）９ａに記憶させる。上記のように虚報の発生箇所を画面上で特定できる構成としたので、操作者にとって、作業がしやすい。
【００４５】
上記では、操作者が、特定の印刷はんだ箇所における判定結果が虚報と判断したときに操作者自信が個別の画像パラメータ値を設定する場合について説明したが、虚報の判断が困難な場合、また判断したとしても、その虚報を防止するために、新しい画像パラメータ値を設定するのが困難な場合は、上記したように解析データをサービスマンに送って、解析してもらい、虚報の有無、及び虚報があった場合にそれを防止するための新たな画像パラメータ値の設定を依頼することができる。
【００４６】
サービスマンに解析データを送る場合、パラメータ制御手段１０ａは、上記虚報が発生したときと同様に、基板情報記憶手段３から印刷はんだ箇所のレイアウト情報（配置図）を受けて表示手段８に表示させる。そして操作手段４により表示手段に表示されたレイアウト画面上で特定の印刷はんだ箇所を指定されたときは、測定手段２に対して、少なくともその特定の印刷はんだ箇所における測定を実行させ、その測定データを解析データ出力手段６に送らせて画像情報を生成させるとともに、画像処理手段５に画像データを生成させ、判定手段７に判定させる。これらの再測定・検査の結果を含めて解析データとして出力インタフェース１１を介して出力させ、サービスマンの解析装置へ送らせる。したがって、操作者は、画面上で指定することにより、解析したい箇所に関する解析データを容易に取得して出力させることができる。この場合、出力インタフェース１１と解析装置をネットワークで結んで解析データを送ってもよいし、電子メールでもよい。またＦＤ等の媒体に記憶させその媒体を介して送ってもよい。というのは、上記の解析データは、虚報のおそれのある特定の印刷はんだ箇所だけのデータであるから、従来に比べデータ量が少ないので、電子メールや媒体でも送りやすい。
【００４７】
パラメータ制御手段１０ａは、入力インタフェース１２を介して、サービスマンが解析した後に、サービスマンが設定した新たな画像パラメータ値を送ってきたときは、これを受けて個別パラメータ記憶領域９ａに記憶させる。パラメータ制御手段１０ａは、個別パラメータ記憶領域９ａに該当する印刷はんだ箇所について既に過去のデータがあれば、それを更新してもよいし、別な領域に記憶させて、次の検査には、この新たな領域の画像パラメータ値を使わせるようにする。また、入力インタフェース１２は、サービスマンの解析装置（コンピュータ）から、直接或いはネットワークや電子メールを介して新たな画像パラメータ値を受け取ってもよいし、媒体からの読みとり手段を有し、ＦＤ等の媒体を介して受け取ってもよい。
【００４８】
なお、上記個別パラメータの説明に記載した上記（９）に示すようなパラメータは、画像処理手段５で実施しないで、測定手段２で実施するようにしてもよい。この場合は、画像処理手段５が扱う画像パラメータを共通の画像パラメータと個別画像パラメータとに分けたように、測定手段２が扱う条件、例えばレーザ変位計を扱う条件（例えばレーザの光量（強さ）、受光手段の受光感度、位置等）を測定パラメータとし、それを測定個所に共通の条件で測定するための共通測定パラメータと虚報がおきる特定箇所の個別測定パラメータとに分けて記憶する手段を設け（不図示）、測定処理部２ａがこの記憶手段から特定箇所だけ個別測定パラメータを読み出して測定し、他の箇所については共通測定パラメータを読み出して測定するようにしてもよい（不図示）。
【００４９】
さらには、画像処理手段５による個別画像パラメータと測定手段２による個別測定パラメータの併用であってもよい。
【００５０】
上記構成における、測定処理部２ｂ、画像処理手段５，解析データ出力手段６，判定手段７、及び表示制御手段１０（パラメータ制御手段１０ａを含む）は、ＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭ）及び上記した動作（或いは、後記する図３（Ａ）、（Ｃ）、（Ｄ）の印刷はんだ検査装置の動作）をＣＰＵに実行させるためにメモリに記憶されたプログラム等からなる。
【００５１】
図１（Ｂ）を用いて、サービスマンが用いる解析装置の例について、説明する。概して言えば、印刷はんだ検査装置から解析データを受けて、分析、シュミレーションして虚報があった箇所についての新たな個別の画像パラメータ値を生成して、印刷はんだ検査装置へ送信するものである。
【００５２】
図１（Ｂ）において、図１（Ａ）と同一符号のものは、同一機能を示す。ただし、各部の動作は、特定の印刷はんだ箇所（その周辺を含む複数箇所であってもよい。）だけで動作すればよく、基板１の全体について動作する必要はない。新たな符号のブロックについて説明する。
【００５３】
入出力インタフェース１４は、図１（Ａ）の入力インタフェース１２及び出力インタフェース１１を合わせもったものであって、入力インタフェース１２及び出力インタフェース１１と通信で、或いはＦＤで、解析データのやりとり、画像パラメータのやりとりを行うものである。
【００５４】
試験データ記憶手段１３は、入出力インタフェース１４が受けた解析データを記憶するものであって、例えば、先に説明した図５（Ａ）〜（Ｄ）に示されている各データを記憶する。その他のブロックは、図１（Ａ）と同じである。
【００５５】
このような解析装置において、サービスマンが分析するために操作し、その操作を受けた表示制御手段１０が、試験データ記憶手段１３から図５（Ａ）のマップ状に変位量を表す画像情報、図５（Ｂ）のマップ状の輝度を表す画像情報を読み出して表示する。また、図５（Ｄ）における解析データを、解析装置における画像処理手段５、パラメータ記憶手段９、判定手段７に適用して、画像パラメータ値等を可変しながら、模擬的に検査、分析できる。また測定条件等も適切かどうか模擬的に試験する。
【００５６】
このようにして、サービスマンは、解析装置を操作して、印刷はんだ検査装置における良否判定で問題になった印刷はんだ箇所である、特定の印刷はんだ箇所についての新たな個別の画像パラメータ値を出力する。図５（Ｆ）はその新たな個別の画像パラメータ値の出力例であって、解析データとして送信されてきた図５（Ｄ）のＳｅｔｔｉｎｇ  Ｐａｒａｍを更新するデータである。図５（Ｆ）の上から順に配列された画像パラメータ値は、図５（Ｄ）のＳｅｔｔｉｎｇ  Ｐａｒａｍの項の上から順に配列された画像パラメータ値に対応するものである。また、図５（Ｅ）に示すような、測定条件等に対する修正情報を出すこともしている。解析装置が出力する図５（Ｆ）の新たな個別の画像パラメータ値は、図５（Ｅ）の修正情報と共に印刷はんだ検査装置に送られて、その個別画像パラメータ領域９ａに記憶される。その特定の印刷はんだ箇所については、画像処理手段５によって個別画像パラメータ領域９ａに記憶された新たな画像パラメータ値を用いて画像処理されて、画像データが生成され、さらに判定手段７で判定されることになる。この結果、先の判定の問題がここで解決されることになる。
【００５７】
次に、図２及び図３を基に、本発明に係る部分の動作フローを説明する。図２は概要であり、図３は詳細説明用である。図３は、実行しようとする主体が操作者（或いはサービスマン）か、印刷はんだ検査装置（或いはサービスマンの解析装置）かを区別できるように２つの系列で説明している。矢印がその時系列的流れ（或いは情報の方向）を示している。また、図中のＳ番号は印刷はんだ検査装置の動作ステップの番号を示している。以下、ステップ番号（印刷はんだ検査装置、解析装置。）を中心に順に説明する。
【００５８】
本発明による検査方法は、図２に示すように大きく分けて、印刷はんだ検査装置側で行う虚報発生段階（ステップＳ１０）の処理、サービスマン側で行う虚報解析段階（ステップＳ２０）の処理、及び印刷はんだ検査装置側で行う虚報修正段階（ステップＳ３０）の処理の３段階からなる。以下、概略を説明する。
【００５９】
ステップＳ１０：印刷はんだ検査装置を用いて、印刷はんだされた基板１を測定し、画像処理し、画像処理された画像データを判定手段７で判定を行い、その判定結果が虚報かどうか、疑わしい場合に、或いは虚報であるが画像パラメータ値の設定が困難な場合、該当する印刷はんだ箇所における解析データ出力手段６が、解析データファイルを生成してサービス側へ送信する。
【００６０】
ステップＳ２０：サービスマンが、解析データファイルを解析装置（コンピュータ）を用いて虚報の有無、適切な画像パラメータ値を解析し、虚報があった場合は、虚報を防止するのに必要な、該当個所における画像パラメータ値を生成し、電子データ（或いはファイル）として印刷はんだ検査装置へ送信する。
【００６１】
ステップ３０：印刷はんだ検査装置のパラメータ制御手段１０ａが、サービスマンからの虚報があった箇所の新たな個別の画像パラメータ値を受けて、個別パラメータ記憶領域９ａにおける該当個所における個別の画像パラメータ値を更新（或いは、別に所有）する。その後の、基板の検査において、画像処理手段５は、上記該当個所における画像データの生成にあたっては、個別パラメータ記憶領域９ａにおける更新された（別所有の）画像パラメータ値を使用する。
【００６２】
次にこれらの詳細を図３を用いて説明する。図３（Ａ）、図３（Ｂ）、図３（Ｃ）及び（Ｄ）は、それぞれ図２のステップＳ１０、ステップＳ２０、ステップＳ３０の詳細フローを示す図である。
【００６３】
図３（Ａ）において、
ステップＳ１１：スタート時に、操作者が表示手段８に表示されているメニュー画面から基板リストがあるライブラリー画面を選択する。表示制御手段１０は、基板リスト及びそれに関する画像パラメータファイル（既に過去のものが入っている場合）のリストを表示する。
【００６４】
ステップＳ１２：表示をみながら検査対象の基板１の名称、画像パラメータのファイルの名称を、操作手段４で操作してマーカで指定してクリック（確定）して選択する。それに対して表示制御手段１０は、該当する画像パラメータ項目及び値（既に過去に使用したものがあれば、その共通の画像パラメータ値）を表示する。
【００６５】
ステップＳ１３：共通の画像パラメータ値を調整（値が表示されていなければ入力設定）し確定すると、調整された画像パラメータ値をパラメータ記憶手段９に記憶する。
【００６６】
ステップＳ１４：測定手段２は、測定を実行する。画像処理手段５は、測定データを共通の画像パラメータ値を基に画像データに加工処理する。判定手段７は、その画像データをレファレンスを基に判定する。この間、表示制御手段１０は、測定に必要な画面及び判定結果を表示する。
【００６７】
ステップＳ１５及びＳ１６：操作者はその判定結果を基に虚報の可能性があるかどうかを判断し、虚報の可能性がある場合は、レイアウト（配置図）を表示させる指示をださせる。操作者は、図４のように表示されたレイアウト画面（Ｓ１５）で、操作手段４によりマーカを設定することにより、該当する印刷はんだ箇所を指定する。表示制御手段１０は、解析データ出力手段６に対して当該指定された印刷はんだ箇所を指定して先に測定した測定データに基づく解析データを抽出して出力させ、それを受けて表示手段８に表示する。この場合、先に測定したデータに基づく解析データから抽出するのではなく、指定された印刷はんだ箇所だけについて、再測定して、その測定データを基に解析データを生成して出力してもよい。（Ｓ１６）。
【００６８】
ステップＳ１７：出力インタフェース１１は、解析データ出力手段６からの解析データを送信する。
【００６９】
図３（Ｂ）において、
ステップＳ２１及びＳ２２：解析データファイルを受けて、サービスマンは解析装置（コンピュータ）で立ち上げて解析データ等を表示させる。
【００７０】
ステップＳ２３：サービスマンは、解析データを基に解析し、虚報を確認し、虚報であれば、当該印刷はんだ箇所の画像パラメータ項目を表示させる。
【００７１】
ステップＳ２４及び２５：サービスマンは、操作手段により表示画面を見ながら新たな個別の画像パラメータ値を設定し、画像パラメータファイルを生成して（Ｓ２４）、印刷はんだ検査装置へ送信する（Ｓ２５）。
【００７２】
図３（Ｃ）において、
ステップＳ３１、Ｓ３２、Ｓ３３：入力インタフェース１２でパラメータファイルを受信し（Ｓ３１）、表示制御手段１０は、パラメータファイルに記憶されている画像パラメータ値をその位置情報とともに対応して個別パラメータ記憶領域９ａへ記憶する（Ｓ３２）。さらに操作者が次ぎの基板１（前の検査と同じ基板１、或いは、同種の基板）について、検査を指示したときは、検査を実行するが、そのときの画像処理手段５は、個別パラメータ記憶領域９ａを参照し、個別パラメータ記憶領域９ａ記憶されている印刷はんだ箇所については、個別パラメータ記憶領域９ａに記憶されている画像パラメータ値を使用して画像データを生成する。その詳細を、図３（Ｄ）に示す（Ｓ３３）。
【００７３】
図３（Ｄ）において、
ステップＳ３３−１〜４：操作者は、次の基板１を検査を開始する。印刷はんだ検査装置は、検査を実行する。画像処理手段５及びパラメータ読出手段５ａは、個別パラメータ記憶領域９ａにアクセスして、これから生成しようとする画像データの印刷はんだ箇所の位置情報を照会し（Ｓ３３−１）、個別パラメータ記憶領域９ａに記憶された位置以外の位置の印刷はんだ箇所であると判断したとき（Ｓ３３−２、ＮＯ）は、パラメータ記憶手段９の共通の画像パラメータ値を基に画像データを生成処理し（Ｓ３３−３）、個別パラメータ記憶領域９ａに記憶された位置における印刷はんだ箇所であると判断したとき（Ｓ３３−２、ＹＥＳ）は、個別パラメータ記憶領域９ａの個別の画像パラメータ値を基に画像データを生成処理する（Ｓ３３−４）。判定手段７は、これらの画像データをレファレンスと比較して判定する。
【００７４】
したがって、次回の検査からは、同一種類の基板１については、専門家であるサービスマンを効果的に利用して、容易に虚報の発生を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１（Ａ）】本発明の機能ブロックを説明するための図である。
【図１（Ｂ）】本発明に係り、サービスマンが用いる解析装置の機能ブロックを説明するための図である。
【図２】本発明の概略の動作フローを説明するための図である。
【図３（Ａ）】本発明に係る虚報発生段階の動作フローを説明するための図である。
【図３（Ｂ）】本発明に係る虚報解析段階の動作フローを説明するための図である。
【図３（Ｃ）】本発明に係る虚報修正段階の動作フローを説明するための図である。
【図３（Ｄ）】図３（Ｃ）におけるステップＳ３３の詳細ステップを説明するための図である。
【図４】本発明に係る表示手段８に表示される基板の配置図（レイアウト）を説明するための図である。
【図５（Ａ）】解析データとしての、変位量を示すマップ状の画像情報の例を示す図である。
【図５（Ｂ）】解析データとしての、輝度を示すマップ状の画像情報の例を示す図である。
【図５（Ｃ）】解析データとしての、特定箇所の拡大した輝度に係る画像情報の例を示す図である。
【図５（Ｄ）】解析データとしての、設計値、測定条件、測定結果、許容値、画像パラメータ等の例を示す図である。
【図５（Ｅ）】解析後の、測定条件等の修正情報の例を示す図である。
【図５（Ｆ）】解析後に、新たに生成された特定の印刷はんだ箇所の新たな画像パラメータ値の例を示す図である。
【符号の説明】
【００７６】
１  基板
２  測定手段
２ａ  センサ部
２ｂ  測定処理部
３  基板情報記憶手段
４  操作手段
５  画像処理手段
５ａ  パラメータ読出手段
６  解析データ出力手段
７  判定手段
８  表示手段
９  パラメータ記憶手段
９ａ  個別パラメータ記憶領域
１０  表示制御手段
１０ａ  パラメータ制御手段
１１  出力インタフェース
１２  入力インタフェース
１３  入出力インタフェース
１４  試験データ記憶手段
【図１（Ａ）】
2005207951.tif 000003
【図１（Ｂ）】
2005207951.tif 000004
【図２】
2005207951.tif 000005
【図３（Ａ）】
2005207951.tif 000006
【図３（Ｂ）】
2005207951.tif 000007
【図３（Ｃ）】
2005207951.tif 000008
【図３（Ｄ）】
2005207951.tif 000009
【図４】
2005207951.tif 000010
【図５（Ａ）】
2005207951.tif 000011
【図５（Ｂ）】
2005207951.tif 000012
【図５（Ｃ）】
2005207951.tif 000013
【図５（Ｄ）】
2005207951.tif 000014
【図５（Ｅ）】
2005207951.tif 000015
【図５（Ｆ）】
2005207951.tif 000016