(57)【要約】【課題】  覗き窓を掃除することなく、長期間に渡り蒸着槽内の蒸着源又は被蒸着基板を観察することができる蒸着装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器を提供する。【解決手段】  蒸着槽１１と、蒸着槽１１内に配置された蒸着源１２を蒸着槽１１の外側から覗くときの窓となる覗き窓１３と、蒸着源１２と覗き窓１３とを結ぶ直線上に配置された防着手段をなす防着板１６と、蒸着源１２から出射された光３を覗き窓１３の方向に反射させるミラー１５とを有することを特徴とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
蒸着槽と、
前記蒸着槽内に配置された蒸着源を該蒸着槽の外側から覗くときの窓となる覗き窓と、
前記蒸着源と覗き窓とを結ぶ直線上に配置された防着手段と、
前記蒸着源から出射された光を前記覗き窓の方向に反射させる反射体とを有することを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】
前記反射体及び防着手段は、前記蒸着源から出射され該反射体で反射された光が前記覗き窓に到達するように配置されていることを特徴とする請求項１に記載の蒸着装置。
【請求項３】
前記防着手段は、覗き窓から直接に蒸着源を見ることを遮る防着板からなることを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸着装置。
【請求項４】
前記防着手段は、前記蒸着槽の側壁を貫通するように配置された筒状構造物からなるポートであり、
前記覗き窓は、前記ポートの内周又は一端に取り付けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の蒸着装置。
【請求項５】
前記ポートの側面及び前記蒸着槽の側壁の少なくとも一方の一部は、前記蒸着源と覗き窓とを結ぶ直線上に配置されていることを特徴とする請求項４に記載の蒸着装置。
【請求項６】
前記反射体は、複数設けられており、
前記蒸着源から出射された光が複数の前記反射体で順次反射して前記覗き窓に到達するように、複数の該反射体が配置されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項７】
前記反射体は、前記蒸着槽内に配置され蒸着対象とされる基板から出射された光を、前記覗き窓の方向に反射させる機能も有することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項８】
前記反射体の反射方向を変更する反射方向変更手段を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項９】
前記反射方向変更手段は、前記蒸着源から出射された光を前記覗き窓の方向に反射させように、前記反射体の向きを変える第１動作と、前記基板から出射された光を前記覗き窓の方向に反射させように、該反射体の向きを変える第２動作とを実行可能なものであることを特徴とする請求項８に記載の蒸着装置。
【請求項１０】
前記反射方向変更手段は、蒸着源から出射された光が前記反射体の反射面に入射しないように、該反射体の向きを変える第３動作を実行可能なものであることを特徴とする請求項８又は９に記載の蒸着装置。
【請求項１１】
前記反射体は、複数の反射面を有し、各反射面は、反射方向を変更可能となっており、
前記複数の反射面において、少なくとも一の反射面は、前記蒸着源から出射された光を前記覗き窓の方向に反射させる向きに設定されており、他の反射面は、該蒸着源から出射された光が直接入射しない向きに設定されていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項１２】
前記反射体の反射面を加熱する加熱手段を有することを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項１３】
前記反射体は、蒸着源から放出された所定の蒸着物質が該反射体の反射面に付着することにより、該反射面の反射率を向上可能なものからなることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の蒸着装置。
【請求項１４】
請求項１から１３のいずれか一項に記載の蒸着装置を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載の製造方法を用いて製造された電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体基板に薄膜を形成する装置としては蒸着装置があった。蒸着装置は、真空容器をなす蒸着槽内に蒸着源と基板（被蒸着基板）を配置し、蒸着源を加熱することによって蒸着物質を蒸発させ、その蒸着物質を基板上に堆積させるものである。ここで、蒸着漕内に配置された蒸着源及び被蒸着基板の状態を確認するために、蒸着漕の外側からその内部の蒸着源などを観察することが必要となる。従来、蒸着槽の内部を外部から観察するための手段としては、ガラス板を蒸着槽の側壁に取り付けた覗き窓が使用されている。そのガラス板へ蒸着物質などが付着するのを防止するために、シャッター又はシールドを備えたものもある（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平５−７０９４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記特許文献１に記載されているような従来の蒸着装置では、シールドなどを介して蒸着槽の内部を見るので、そのシールドの表面及び縁に蒸着物質が付着してしまい、比較的短時間で蒸着槽の内部が見えなくなってしまう。すなわち、従来の蒸着装置では、短時間ごとに、覗き窓のガラス板、シャッター又はシールドなどをクリーニングする必要があり、長期間にわたってメンテナンスフリーのものは無かった。また、従来の蒸着装置におけるガラス板へ蒸着物質などが付着するのを防止する構成は、複雑な構造であり、装置の製造コストを上げてしまうという問題点もあった。
【０００４】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、覗き窓を掃除することなく、長期間に渡り蒸着槽内の蒸着源又は被蒸着基板を観察することができる蒸着装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器を提供することを目的とする。
また、本発明は、簡素な構成でありながら、長期間に渡ってメンテナンスすることなく良好に蒸着槽内の蒸着源又は被蒸着基板を観察することができる蒸着装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明の蒸着装置は、蒸着槽と、前記蒸着槽内に配置された蒸着源を該蒸着槽の外側から覗くときの窓となる覗き窓と、前記蒸着源と覗き窓とを結ぶ直線上に配置された防着手段と、前記蒸着源から出射された光を前記覗き窓の方向に反射させる反射体とを有することを特徴とする。
本発明によれば、蒸着源から出射された光は反射体（ミラー）によって反射され覗き窓に到達することができる。すなわち、蒸着槽の外側から覗き窓を覗くことにより、蒸着槽内の蒸着源を観察することができる。ここで、蒸着源から出射された蒸着物質は覗き窓の方向にも出射されるが、その方向に出射された蒸着物質は防着手段によって遮られ覗き窓には到達しない。したがって、本発明の蒸着装置は、覗き窓に蒸着物質が付着することを防着手段により回避することができるので、覗き窓を掃除することなく、長期間に渡り蒸着槽内の蒸着源を観察することができる。
【０００６】
また、本発明の蒸着装置は、前記反射体及び防着手段が、前記蒸着源から出射され該反射体で反射された光が前記覗き窓に到達するように配置されていることが好ましい。
本発明によれば、蒸着源から出射された光は反射体で反射され、その反射光は防着手段で遮られることなく覗き窓に到達することができる。したがって、蒸着源から出射された蒸着物質は、反射体の反射面及び防着手段には付着するが、覗き窓に付着することはない。反射体の反射面に蒸着物質が付着しても、かかる蒸着物質は一般に非常に微細な物体として反射面に付着するので、その反射面の平滑性に影響を与えず、反射状態に実効的な影響を与えない。これらにより、本発明によれば、覗き窓を掃除することなく、長期間に渡り蒸着槽内の蒸着源を観察できる蒸着装置を提供することができる。
【０００７】
また、本発明の蒸着装置は、前記防着手段が覗き窓から直接に蒸着源を見ることを遮る防着板からなることが好ましい。
本発明によれば、防着手段が蒸着物質についての遮蔽板として機能するので、簡素な構成としながら、覗き窓を掃除することなく、長期間に渡り蒸着槽内の蒸着源を観察できる蒸着装置を提供することができる。
【０００８】
また、本発明の蒸着装置は、前記防着手段が前記蒸着槽の側壁を貫通するように配置された筒状構造物からなるポートであり、前記覗き窓は前記ポートの内周又は一端に取り付けられていることが好ましい。
本発明によれば、例えばガラス板などからなる覗き窓を筒状構造物のポートにより蒸着槽の側壁に取り付けることができ、そのポートが防着手段としても機能して覗き窓に蒸着物質が付着することを回避することができる。したがって、簡素な構成としながら、覗き窓を掃除することなく、長期間に渡り蒸着槽内の蒸着源を観察できる蒸着装置を提供することができる。
【０００９】
また、本発明の蒸着装置は、前記ポートの側面及び前記蒸着槽の側壁の少なくとも一方の一部が、前記蒸着源と覗き窓とを結ぶ直線上に配置されていることが好ましい。
本発明によれば、ポートの側面又は蒸着槽の側壁の一部が覗き窓と蒸着源との結ぶ直線上に配置され、これにより覗き窓に蒸着物質が付着すること防ぐことができる。
【００１０】
また、本発明の蒸着装置は、前記反射体が複数設けられており、前記蒸着源から出射された光が複数の前記反射体で順次反射して前記覗き窓に到達するように、複数の該反射体が配置されていることが好ましい。
本発明によれば、蒸着槽内に複数の反射体を配置して、蒸着源から出射された光が防着手段を迂回して覗き窓に到達するように、各反射体を配置することができる。このようにすると、覗き窓、防着手段、蒸着源及び被蒸着基板の配置の自由度を向上させることができる。そこで、例えば、被蒸着基板の裏側に覗き窓を配置することにより、被蒸着基板を防着手段として機能させることができ、簡素な構成としながら、覗き窓を掃除することなく、長期間に渡り蒸着槽内の蒸着源を観察できる蒸着装置を提供することができる。
【００１１】
また、本発明の蒸着装置は、前記反射体が、前記蒸着槽内に配置され蒸着対象とされる基板から出射された光を、前記覗き窓の方向に反射させる機能も有することが好ましい。
本発明によれば、覗き窓には蒸着源から出射された光と被蒸着基板から出射された光とが到達するので、覗き窓を覗くことにより一度に蒸着源及び被蒸着基板の両方を観察することができる。
【００１２】
また、本発明の蒸着装置は、前記反射体の反射方向を変更する反射方向変更手段を有することが好ましい。ここで、前記反射方向変更手段は、前記蒸着源から出射された光を前記覗き窓の方向に反射させように、前記反射体の向きを変える第１動作と、前記基板から出射された光を前記覗き窓の方向に反射させように、該反射体の向きを変える第２動作とを実行可能なものであることが好ましい。
本発明によれば、反射方向変更手段に第１動作をさせることにより覗き窓から蒸着源を観察でき、第２動作をさせることにより覗き窓から被蒸着基板を観察することができる。したがって、本発明の蒸着装置は、簡便な操作で迅速に且つ良好に蒸着源と被蒸着基板との両方を観察することができる。また、反射方向変更手段によって反射体の向きを微調整して、正確に蒸着源又は被蒸着基板を観察することもできる。
【００１３】
また、本発明の蒸着装置は、前記反射方向変更手段が、蒸着源から出射された光が前記反射体の反射面に入射しないように、該反射体の向きを変える第３動作を実行可能なものであることが好ましい。
本発明によれば、例えば蒸着源又は被蒸着基板を観察しないときは反射体の反射面を蒸着源方向とは逆方向に向かせることにより、その反射面に蒸着物質が付着する量を減らすことができる。したがって、本発明の蒸着装置によれば、より長期間に渡って蒸着槽内の蒸着源などを良好に観察することができる。
【００１４】
また、本発明の蒸着装置は、前記反射体が複数の反射面を有し、各反射面は反射方向を変更可能となっており、前記複数の反射面において、少なくとも一の反射面は、前記蒸着源から出射された光を前記覗き窓の方向に反射させる向きに設定されており、他の反射面は、該蒸着源から出射された光が直接入射しない向きに設定されていることが好ましい。
本発明によれば、例えばポリゴンミラーのように複数の反射面を有するミラーを前記反射体として用い、複数の反射面における一の反射面を用いて蒸着源から出射された光を覗き窓の方向に導くことができる。このとき、他の反射面は、蒸着源から見て一の反射面の影となり、蒸着物質が付着することを回避できる。例えば、その一の反射面に蒸着物質が付着したことなどで該反射面の反射状態が不良になったときは、ポリゴンミラーを回転させ、他の反射面（蒸着物質が付着してない面）で蒸着源から出射された光を覗き窓の方向に導くようにすることができる。したがって、本発明によれば、さらに長い期間に渡って蒸着槽内の蒸着源などを良好に観察することができる。
【００１５】
また、本発明の蒸着装置は、前記反射体の反射面を加熱する加熱手段を有することが好ましい。
本発明によれば、加熱手段により反射体の反射面を例えば２００℃から３００℃に加熱することで、その反射面に付着した蒸着物質をその面から除去することができ、反射面をクリーニングすることができる。
【００１６】
また、本発明の蒸着装置は、蒸着源から放出された所定の蒸着物質が該反射体の反射面に付着することにより、該反射面の反射率を向上可能なものからなることが好ましい。
本発明によれば、例えば蒸着源としてアルミニウムを用い、そのアルミニウムが前記反射体の反射膜に蒸着することにより、その反射体の反射状態を改善させることができる。ここで、蒸着槽内に複数の蒸着源を配置可能として、反射体の反射状態が悪くなったときに、基板に膜を形成する蒸着源から反射状態改善用の蒸着源（例えばアルミニウム）に切り替えることが好ましい。このようにすると、蒸着槽内の真空状態を一定にしたままで、反射体の反射状態を改善させることができる。
【００１７】
また、本発明の電気光学装置の製造方法は、前記蒸着装置を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする。
本発明によれば、蒸着槽内の蒸着源などを、簡便にかつ良好に確認しながら電気光学装置をなす基板に薄膜を蒸着させることができるので、高品質な電気光学装置を低コストで製造することができる。
【００１８】
また、本発明の電子機器は、前記電気光学装置を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、高品位な画像を表示できる電子機器を低コストで提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態に係る蒸着装置について、図面を参照して説明する。本実施形態の蒸着装置は、被蒸着基板に薄膜を形成するときに用いられるものであり、蒸着槽内の蒸着源などを良好に観察できる構成となっている。
【００２０】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る蒸着装置を示す模式断面図である。本実施形態の蒸着装置１０は、蒸着槽１１と、蒸着源１２と、覗き窓１３と、ポート１４と、反射体をなすミラー１５と、防着手段をなす防着板１６とを有して構成されている。蒸着槽１１の内部には、被蒸着基板１が配置されている。被蒸着基板１は、その表面に蒸着によって薄膜が形成されるものである。そして、被蒸着基板１としては、例えば、電気光学装置である有機ＥＬ装置の製造過程で用いられる基板が適用される。蒸着槽１１は、いわゆる真空容器をなしており、吸引手段（図示せず）により蒸着槽１１内の気体などを排気できる構成となっている。
【００２１】
蒸着源１２は、蒸着槽１１内の底部に置かれた蒸着ボート内に入れられている。そして蒸着源１２は、加熱されることで蒸発し、蒸着ボートから蒸着物質２となって放出される。その蒸着物質２は、被蒸着基板１の表面に蒸着し、電気光学装置などの構成要素をなす薄膜を形成する。蒸着源１２としては、例えば、有機ＥＬ装置の有機層又は金属層をなす物質を適用することができる。具体的には、被蒸着基板１に有機ＥＬ装置の正孔注入層を形成する場合、蒸着源１２としては、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）や、ポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジトリルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒドロキシキノリノール）アルミニウム等が挙げられるが、特に銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）を用いるのが好ましい。また、被蒸着基板１に有機ＥＬ装置の陰極を形成する場合、蒸着源１２としては、アルミニウム（Ａｌ）やマグネシウム（Ｍｇ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）等からなる金属が挙げられる。
【００２２】
覗き窓１３は、蒸着槽１１内に配置された蒸着源１２を蒸着槽１１の外側から覗くときの窓となるものであり、例えばガラス板からなる。そして覗き窓１３は、ポート１４を介して蒸着槽１１の側壁に取り付けられている。覗き窓１３は、透明なものであればよく、ガラス以外のもので構成してもよい。ポート１４は、筒形状の構造物からなり、蒸着槽１１の側壁を貫通するように設けられている。ポート１４の内周には覗き窓１３が取り付けられており、その内周を気体などが通ることは覗き窓１３によって遮断されている。すなわち、蒸着槽１１内の気体などは覗き窓１３又はポート１４を介して外部に流出又は流入しない構成となっている。
【００２３】
防着板１６は、蒸着源１２と覗き窓１３とを結ぶ直線上に配置されている板である。蒸着源１２からは覗き窓１３の方向にも蒸着物質２が出射されるが、その蒸着物質２は防着板１６によって遮られ覗き窓１３には到達しない。換言すれば防着板１６は、覗き窓１３から直接に蒸着源１２を見ることを遮る板をなす。ここで、蒸着源１２から出射された蒸着物質２は真っ直ぐに進み、回り込みなどは殆ど生じない。防着板１６の材質としては、任意のものを適用でき、金属、非金属、透明、不透明などあらゆるものが適用できる。ただし、蒸着源１２の近傍は高温となるので、防着板１６は熱的に安定な材料からなるものが好ましい。
【００２４】
ミラー１５は、蒸着源１２から出射された光３を覗き窓１３の方向に反射させる反射体をなすものである。ミラー１５は、表面が鏡面状に平滑に形成された反射面を有するものであればよく。ミラー１５の反射面は、光についての反射率が高いことが好ましい。蒸着源１２から出射された光３はミラー１５で反射され、その反射光４は覗き窓１３に到達する。
ここで、防着板１６は、反射光４の光路を遮らないように、ミラー１５と覗き窓１３とを結ぶ直線上以外の位置に配置されている。また、ミラー１５は、蒸着ボート内に入れられた蒸着源１２が直接見える位置であって、反射光４が防着板１６で遮られることとはならない位置に配置されている。
【００２５】
これにより、本実施形態の蒸着装置１０は、蒸着槽１１の外側から観察者などが覗き窓１３を覗くことにより、ミラー１５を介して、蒸着槽１１内の蒸着源１２を観察することができる。したがって、蒸着源１２が良好に蒸発しているか、蒸着源１２が入れられている蒸着ボートが破損していないかなどを確認することができる。そして、覗き窓１３に蒸着物質２が到達することは防着板１６によって良好に防ぐことができる。また、ミラー１５の反射面にも蒸着物質２が付着するが、かかる蒸着物質２は一般に非常に微細な物体として反射面に付着するので、その反射面の平滑性に影響を与えず、ミラー１５の反射状態に実効的な影響を与えない。したがって、本蒸着装置１０は、覗き窓１３に蒸着物質２が付着することを防着板１６により回避することができるので、覗き窓１３を掃除することなく、長期間に渡り蒸着槽１１内の蒸着源１２を良好に観察することができる。
【００２６】
（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る蒸着装置について図２を参照して説明する。図２は本発明の第２実施形態に係る蒸着装置を示す模式断面図である。図１に示す第１実施形態の蒸着装置の構成要素と同一のものには同一符号を付している。本実施形態の蒸着装置２０は、蒸着槽１１と、蒸着源１２と、覗き窓１３と、ポート２４と、反射体をなすミラー２５と、ミラー２５を回動自在に支持する支持部材２６と、支持部材２６を介してミラー２５の反射方向を変更する反射方向制御手段２７とを有して構成されている。支持部材２６と反射方向制御手段２７とは、本発明の蒸着装置における反射方向変更手段を構成している。
【００２７】
本蒸着装置２０では、ポート２４が防着手段としての機能も有する。すなわち、ポート２４は、第１実施形態の蒸着装置１０のポート２４よりも長い筒形状の構造物からなり、蒸着槽１１の側壁を貫通するように設けられている。覗き窓１３は、ポート２４の一端側の内周に取り付けられている。蒸着槽１１内の気体などは覗き窓１３又はポート２４を介して外部に流出又は流入しない構成となっている。さらに、ポート２４の側面及び蒸着槽１１の側壁の少なくとも一方の一部が、蒸着源１２と覗き窓１３とを結ぶ直線上に位置するように、ポート２４及び覗き窓１３が配置されている。この配置構成により、蒸着源１２から覗き窓１３の方向に出射された蒸着物質２は蒸着槽１１の側壁に遮られ覗き窓１３には到達しない。
【００２８】
また、支持部材２６及び反射方向制御手段２７によりミラー２５を所定の位置に向けることにより、蒸着源１２から出射された光３はミラー２５で反射され、その反射光４は覗き窓１３に到達する。ここで、ポート２４の側面が反射光４の光路を遮るのを回避すべく、ミラー２５と覗き窓１３とを結ぶ直線上にポート２４の筒形状の中心軸が位置するように、ミラー２５及びポート２４が配置されている。
【００２９】
これにより、本実施形態の蒸着装置２０では、ポート２４が覗き窓１３を支持する支持部材として機能するとともに、蒸着物質２が覗き窓１３に付着することを防ぐ防着手段としても機能する。したがって、本実施形態の蒸着装置２０は、簡素な構成としながら、覗き窓１３を掃除することなく、長期間に渡り蒸着槽１１内の蒸着源１２を観察することができる。
【００３０】
また本実施形態の蒸着装置２０における反射方向制御手段２７は、蒸着源１２から出射された光３を覗き窓１３の方向に反射させようにミラー２５の向きを変える第１動作と、被蒸着基板１から出射された光を覗き窓１３の方向に反射させようにミラー２５の向きを変える第２動作とを行うことができるものとしてもよい。このようにすると、反射方向制御手段２７の第１動作により覗き窓１３から蒸着源１２を観察できるようになり、反射方向制御手段２７の第２動作により覗き窓１３から被蒸着基板１を観察できるようになる。したがって本蒸着装置２０は、簡便な操作で迅速に且つ良好に蒸着源１２と被蒸着基板１との両方を観察することができる。また、反射方向制御手段２７によってミラー２５の向きを微調整して正確に蒸着源１２及び被蒸着基板１を観察することもできる。
【００３１】
また反射方向制御手段２７は、蒸着源１２から出射された光３がミラー２５の反射面に入射しないように、ミラー２５の向きを変える第３動作を実行できる構成としてもよい。このようにすると、例えば蒸着源１２を観察しないときはミラー２５の反射面を蒸着源１２の方向とは逆方向に向かせることにより、その反射面に蒸着物質２が付着することを回避することができる。したがって、本実施形態の蒸着装置２０によれば、より長期間に渡って蒸着槽１１内の蒸着源１２及び被蒸着基板１などを良好に観察することができる。
【００３２】
（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る蒸着装置について図３を参照して説明する。図３は本発明の第３実施形態に係る蒸着装置を示す模式断面図である。図１に示す第１実施形態の蒸着装置の構成要素と同一のものには同一符号を付している。本実施形態の蒸着装置３０は、蒸着槽１１と、蒸着源１２と、覗き窓１３と、ポート３４と、反射体をなす複数のミラー３５ａ，３５ｂとを有して構成されている。
【００３３】
ミラー３５ａは、蒸着源１２から出射された光３をミラー３５ｂの方向に反射させるように配置されている。ミラー３５ｂは、ミラー３５ａの反射光４を覗き窓１３の方向に反射させるように配置されている。ミラー３５ｂの反射光５は、ポート３４の内側を通って覗き窓１３に到達する。これらにより、蒸着槽１１の外側から観察者などが覗き窓１３を覗くことにより、ミラー３５ａ及びミラー３５ｂを介して、蒸着槽１１内の蒸着源１２を観察することができる。また、覗き窓１３は、筒形状の構造物からなるポート３４の内周に取り付けられており、ポート３４を介して蒸着槽１１に取り付けられている。ポート３４は、蒸着槽１１の側壁を貫通するように設けられている。さらに、ポート３４の側面又は被蒸着基板１の一部が蒸着源１２と覗き窓１３とを結ぶ直線上に配置されていることが好ましい。
【００３４】
本実施形態の蒸着装置３０によれば、ポート３４の側面又は被蒸着基板１の一部が防着手段として機能することができ、蒸着源１２から出射された光３が防着手段を迂回して覗き窓１３に到達することができる。したがって、覗き窓１３、防着手段、蒸着源１２及び被蒸着基板１の配置の自由度を向上させることができる。そこで、例えば、被蒸着基板１の裏側に覗き窓１３を配置することにより、被蒸着基板１を防着手段として機能させることができ、簡素な構成としながら、覗き窓１３を掃除することなく、長期間に渡り蒸着槽１１内の蒸着源１２を観察することができる。
【００３５】
また、本実施形態の蒸着装置においてミラー３５ｂ又はミラー３５ａは、蒸着対象とされる被蒸着基板１から出射された光３’を覗き窓１３の方向に反射させる機能も有してもよい。このようにすると、覗き窓１３には蒸着源１２から出射された光３と被蒸着基板１から出射された光３’とが到達するので、覗き窓１３を覗くことにより一度に蒸着源１２及び被蒸着基板１の両方を観察することができる。
【００３６】
上記第１から第３実施形態の蒸着装置１０，２０，３０において、ミラー１５，２５，３５ａ，３５ｂは、例えばポリゴンミラーのように複数の反射面を有する反射体で構成してもよい。そのポリゴンミラーの各反射面は反射方向を変更可能となっており、少なくとも一の反射面が蒸着源１２から出射された光３を覗き窓１３の方向に反射させる向きに設定されており、他の反射面は蒸着源１２から出射された光３が直接入射しない向きに設定されていることが好ましい。
【００３７】
このようにすると、例えばポリゴンミラーにおける複数の反射面における一の反射面を用いて蒸着源１２から出射された光３を覗き窓１３の方向に導くことができる。このとき、他の反射面は、蒸着源１２から見て一の反射面の影に位置することができ、蒸着物質２が付着することを回避できる。そして、例えばその一の反射面に蒸着物質２が付着したことなどでその反射面の反射状態が不良になったときは、ポリゴンミラーを回転させ、他の反射面（蒸着物質が付着してない面）で蒸着源１２から出射された光３を覗き窓１３の方向に導くようにすることができる。したがって、本実施形態によれば、さらに長い期間に渡って蒸着槽１１内の蒸着源１２などを良好に観察することができる。
【００３８】
また、上記第１から第３実施形態の蒸着装置１０，２０，３０は、ミラー１５，２５，３５ａ，３５ｂの反射面を加熱する加熱手段（図示せず）を有することとしてもよい。このようによれば、加熱手段によりミラー１５，２５，３５ａ，３５ｂの反射面を例えば２００℃から３００℃に加熱することで、その反射面に付着した蒸着物質２をその面から除去することができ、反射面をクリーニングすることができる。すなわち、ミラー１５，２５，３５ａ，３５ｂの反射状態を改善させることができる。
【００３９】
また、上記第１から第３実施形態の蒸着装置１０，２０，３０では、蒸着源１２から所定の蒸着物質２を放出させ、その蒸着物質２がミラー１５，２５，３５ａ，３５ｂの反射面に付着することにより、その反射面の反射状態（反射率など）が向上するものからなることとしてもよい。例えば、上記所定の蒸着物質２としてアルミニウムを用い、そのアルミニウムがミラー１５，２５，３５ａ，３５ｂの反射面に蒸着することにより、その反射面の反射状態を改善させることができる。ここで、蒸着槽１１内に複数種類の蒸着源１２を配置可能として、ミラー１５，２５，３５ａ，３５ｂの反射状態が悪くなったときに、被蒸着基板１に膜を形成する本来の蒸着源１２から反射状態改善用の蒸着源（例えばアルミニウム）１２に切り替えることとしてもよい。このようにすると、蒸着槽１１内の真空状態を一定に保ったままで、ミラー１５，２５，３５ａ，３５ｂの反射状態を改善させることができる。
【００４０】
（有機ＥＬ装置）
以下、本実施形態の電気光学装置の製造方法により製造された有機ＥＬ装置について図４を参照しながら説明する。図４は本実施形態の蒸着装置１０，２０，３０を用いて製造された有機ＥＬ装置の一例を示す断面図である。
図４において、有機ＥＬ装置５０は、光を透過可能な基板（光透過層）５２と、基板５２の一方の面側に設けられ一対の陰極（電極）５７及び陽極（電極）５８に挟持された有機エレクトロルミネッセンス材料からなる発光層５５と正孔輸送層５６とからなる有機ＥＬ素子（発光素子）５９と、封止基板３２０を有している。また、必要に応じて、基板５２と有機ＥＬ素子５９との間に積層されている低屈折率層及び封止層とを備えている。低屈折率層は封止層より基板５２側に設けられている。
【００４１】
ここで、図４に示す有機ＥＬ装置５０は、発光層５５からの発光を基板５２側から装置外部に取り出す形態であり、基板５２の形成材料としては、光を透過可能な透明あるいは半透明材料、例えば、透明なガラス、石英、サファイア、あるいはポリエステル、ポリアクリレート、ポリカーボネート、ポリエーテルケトンなどの透明な合成樹脂などが挙げられる。特に、基板５２の形成材料としては、安価なソーダガラスが好適に用いられる。
一方、基板と反対側から発光を取り出す形態の場合には、基板は不透明であってもよく、その場合、アルミナ等のセラミック、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などを用いることができる。
【００４２】
陽極５８は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ：Indium Tin Oxide）等からなる透明電極であって光を透過可能である。正孔輸送層５６は、例えば、トリフェニルアミン誘導体（ＴＰＤ）、ピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体等からなる。具体的には、特開昭６３−７０２５７号、同６３−１７５８６０号公報、特開平２−１３５３５９号、同２−１３５３６１号、同２−２０９９８８号、同３−３７９９２号、同３−１５２１８４号公報に記載されているもの等が例示されるが、トリフェニルジアミン誘導体が好ましく、中でも４，４’−ビス（Ｎ（３−メチルフェニル）−Ｎ−フェニルアミノ）ビフェニルが好適とされる。
【００４３】
なお、正孔輸送層に代えて正孔注入層を形成するようにしてもよく、さらに正孔注入層と正孔輸送層を両方形成するようにしてもよい。
正孔注入層を形成する場合は、上記実施形態の蒸着装置１０，２０，３０を用いて形成してもよい。これにより、蒸着装置１０，２０，３０内の蒸着源１２及び被蒸着基板１などの状態を、簡便にかつ良好に確認しながら正孔注入層を形成でき、高品質に且つ低コストで有機ＥＬ装置の正孔注入層を形成できる。
【００４４】
発光層５５も上記実施形態の蒸着装置１０，２０，３０を用いて形成してもよい。発光層５５の形成材料としては、低分子の有機発光色素や高分子発光体、すなわち各種の蛍光物質や燐光物質などの発光物質、Ａｌｑ3（アルミキレート錯体）などの有機エレクトロルミネッセンス材料が使用可能である。発光物質となる共役系高分子の中ではアリーレンビニレン又はポリフルオレン構造を含むものなどが特に好ましい。低分子発光体では、例えばナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ペリレン誘導体、ポリメチン系、キサテン系、クマリン系、シアニン系などの色素類、８−ヒドロキノリンおよびその誘導体の金属錯体、芳香族アミン、テトラフェニルシクロペンタジエン誘導体等、または特開昭５７−５１７８１、同５９−１９４３９３号公報等に記載されている公知のものが使用可能である。
【００４５】
陰極５７は、上記実施形態の蒸着装置１０，２０，３０を用いて形成することが好ましい。陰極５７はアルミニウム（Ａｌ）やマグネシウム（Ｍｇ）、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ）等からなる金属電極である。この陰極５７を形成する過程においては、ミラー１５，２５，３５ａ，３５ｂの反射面にアルミニウムなどが付着するので、その反射面の反射状況を改善させることができる。
【００４６】
なお、陰極５７と発光層５５との間に、電子輸送層や電子注入層を設けることができる。電子輸送層の形成材料としては、特に限定されることなく、オキサジアゾール誘導体、アントラキノジメタンおよびその誘導体、ベンゾキノンおよびその誘導体、ナフトキノンおよびその誘導体、アントラキノンおよびその誘導体、テトラシアノアンスラキノジメタンおよびその誘導体、フルオレノン誘導体、ジフェニルジシアノエチレンおよびその誘導体、ジフェノキノン誘導体、８−ヒドロキシキノリンおよびその誘導体の金属錯体等が例示される。具体的には、先の正孔輸送層の形成材料と同様に、特開昭６３−７０２５７号、同６３−１７５８６０号公報、特開平２−１３５３５９号、同２−１３５３６１号、同２−２０９９８８号、同３−３７９９２号、同３−１５２１８４号公報に記載されているもの等が例示され、特に２−（４−ビフェニリル）−５−（４−ｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、ベンゾキノン、アントラキノン、トリス（８−キノリノール）アルミニウムが好適とされる。
【００４７】
図示しないが、本実施形態の有機ＥＬ装置５０はアクティブマトリクス型であり、実際には複数のデータ線と複数の走査線とが格子状に基板５２に配置される。そして、データ線や走査線に区画されたマトリクス状に配置された画素毎に、従来は、スイッチングトランジスタやドライビングトランジスタ等の駆動用ＴＦＴを介して上記の有機ＥＬ素子５９が接続されている。そして、データ線や走査線を介して駆動信号が供給されると電極間に電流が流れ、有機ＥＬ素子５９の発光層５５が発光して基板５２の外面側に光が射出され、その画素が点灯する。
【００４８】
本有機ＥＬ装置では、上記実施形態の蒸着装置１０，２０，３０を用いて有機層及び金属層を形成することにより、蒸着源１２及び被蒸着基板１などの状態を、簡便にかつ良好に確認しながら有機層及び金属層を形成できるので、高品質な表示ができ、製造コストを低減することもできる。
【００４９】
（電子機器）
次に、上記実施形態の有機ＥＬ装置を備えた電子機器について説明する。
図５（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図５（ａ）において、符号１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は上記実施形態の有機ＥＬ装置からなる表示部を示している。図５（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図５（ｂ）において、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は上記実施形態の有機ＥＬ装置からなる表示部を示している。図５（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図５（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボードなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記実施形態の有機ＥＬ装置からなる表示部を示している。
【００５０】
図５に示す電子機器は、上記実施形態の蒸着装置１０，２０，３０を用いて製造されているので、高品質な画像を表示できるなど高性能化しながら、低価格化することができる。
【００５１】
なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能であり、実施形態で挙げた具体的な構成および材料などはほんの一例に過ぎず、適宜変更が可能である。本発明に係る蒸着装置は、有機ＥＬ装置などの電気光学装置の製造に限らず、各種の半導体基板などの装置の製造工程で用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１実施形態に係る蒸着装置を示す模式断面図である。
【図２】本発明の第２実施形態に係る蒸着装置を示す模式断面図である。
【図３】本発明の第３実施形態に係る蒸着装置を示す模式断面図である。
【図４】第１から第３実施形態の蒸着装置を用いて製造された有機ＥＬ装置の一例を示す断面図である。
【図５】同上の有機ＥＬ装置を備える電子機器の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…被蒸着基板、２…蒸着物質、３，３’…光、４，５…反射光、１０，２０，３０…蒸着装置、１１…蒸着槽、１２…蒸着源、１３…覗き窓、１４，２４，３４…ポート、１５，２５，３５ａ，３５ｂ…ミラー、１６…防着板、２６…支持部材、２７…反射方向制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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