(57)【要約】【課題】従来の混合弁に比して、より簡易に一の流体及び１又は複数の他の流体の流量を制御することができる混合弁及び混合装置を提供することを目的とする。【解決手段】一の流体ｆ１が流通する主流路１３に他の流体ｆ２，ｆ３が流通する１又は複数の副流路１４（１４Ａ，１４Ｂ）がその連通開口部１８Ａ，１８Ｂを開閉する開閉弁部２０Ａ，２０Ｂを介して接続されてなる混合弁１０Ａにおいて、前記主流路及び副流路の各々に圧力センサ３１，３２，３３（３４）を配置して当該主流路及び副流路を流通する流体の圧力を検知するようにした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一の流体が流通する主流路に他の流体が流通する１又は複数の副流路がその連通開口部を開閉する開閉弁部を介して接続されてなる混合弁において、前記主流路及び副流路の各々に圧力センサを配置して当該主流路及び副流路を流通する流体の圧力を検知するようにしたことを特徴とする混合弁。
【請求項２】
前記主流路に前記一の流体のための開閉弁部を有する請求項１に記載の混合弁。
【請求項３】
前記主流路に圧力損失部を介して複数の圧力センサが直列に配置されている請求項１に記載の混合弁。
【請求項４】
前記圧力損失部がオリフィス部分である請求項３に記載の混合弁。
【請求項５】
前記開閉弁部における連通開口部の弁座が前記主流路内に臨んで配置され、前記開閉弁部の弁体による副流路の閉鎖が主流路内で行われる請求項１に記載の混合弁。
【請求項６】
前記主流路に洗浄用流体のための流路が開閉弁部を介して接続された請求項１に記載の混合弁。
【請求項７】
前記開閉弁部の弁体の開閉動を外部に表示する表示手段を備えた請求項１、２、６のいずれか１項に記載の混合弁。
【請求項８】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の混合弁と、
少なくとも前記混合弁の副流路と接続された流体供給流路に配置され、当該供給流路を流通する流体の流量又は圧力を制御する制御弁と、
前記混合弁の圧力センサからの信号を受け取り演算して所定の混合比率を維持するための信号を前記制御弁に送るコントローラ
とを有することを特徴とする混合装置。
【請求項９】
前記混合弁の主流路と接続された流体供給流路に配置され、当該供給流路を流通する流体の流量又は圧力を制御する制御弁を有する請求項８に記載の混合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一の流体が流通する主流路に他の流体が流通する１又は複数の副流路が接続されてなる混合弁と、該混合弁を用いた混合装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体や薬品の製造分野では、配管に純水を流して所定の作業場所へ供給する場合がある。その際、目的とする作業や製品に応じて、前記純水に対し必要な薬液等の他の流体を適宜切り換えて混合し供給するために、図８に示すようなマニホールドバルブ等の混合弁１１０が使用される（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
この混合弁１１０は、図８に示すように、例えば前記純水である一の流体（第一流体ｆ１）が流通する主流路１１３に、他の流体である各種薬液（第二流体ｆ２，第三流体ｆ３，第四流体ｆ４）が流通する副流路１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃが、それぞれの連通開口部１１６Ａ，１１６Ｂ，１１６Ｃを開閉する開閉弁部１２０Ａ，１２Ｂ，１２０Ｃを介して接続されてなるものである。符号１１１は本体ブロック、１１２は弁ブロックである。
【０００４】
各副流路１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃは、前記主流路１１３の下側にそれぞれ形成されていて、その上端は連通開口部１１６Ａ，１１６Ｂ，１１６Ｃとして主流路１１３に開口しており、各副流路１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃを流通する第二、第三、第四流体ｆ２，ｆ３，ｆ４を主流路１１３に対して上向きに供給するようになっている。各連通開口部１１６Ａ，１１６Ｂ，１１６Ｃは、弁ブロック１１２に設けられた対応する開閉弁部１２０Ａ、１２０Ｂ，１２０Ｃにより個別的に開閉可能とされている。
【０００５】
開閉弁部１２０Ａ、１２０Ｂ，１２０Ｃは、主流路１１３の前記連通開口部１１６Ａ，１１６Ｂ，１１６Ｃの上部に配置されていて、図示しない制御装置によるエア等の作動によってその弁体１２４が主流路１１３を横切って進退して、対応する連通開口部１１６Ａ，１１６Ｂ，１１６Ｃを主流路１１３の内側から開閉して、各副流路１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃの第二、第三、第四流体ｆ２，ｆ３，ｆ４を主流路１１３内へ供給しまたは供給を停止する。符号１２２は各開閉弁部１２０Ａ、１２０Ｂ，１２０Ｃのピストン部材、１２６はダイアフラム、Ｓは弁体１２４を常時前進方向に付勢するスプリングである。
【０００６】
従来では、このような混合弁１１０で主流路１１３及び副流路１１４Ａ，１１４Ｂ，１１４Ｃを流通する各流体の流量を制御するには、当該混合弁１１０の配管等の外部流路に別途流量センサ等の外部検知手段を接続配置して、該外部検知手段に基づいて行う必要があった。
【０００７】
しかしながら、上のような混合弁において、複数の流体の外部流路に検知手段を接続配置することは、作業上煩雑であるばかりでなく、配管あるいは配線等のレイアウトが複雑となりトラブルの原因ともなりかねない。近年では、このような混合弁における各流体の各々の流量制御をより簡易な構成で実施することが望まれている。
【特許文献１】特許第３２０７７８２号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は前記の点に鑑みなされたものであり、一の流体が流通する主流路に他の流体が流通する１又は複数の副流路が接続されてなる混合弁において、より簡易に各流体の流量を制御することが可能となる混合弁及び混合装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、請求項１の発明は、一の流体が流通する主流路に他の流体が流通する１又は複数の副流路がその連通開口部を開閉する開閉弁部を介して接続されてなる混合弁において、前記主流路及び副流路の各々に圧力センサを配置して当該主流路及び副流路を流通する流体の圧力を検知するようにしたことを特徴とする混合弁に係る。
【００１０】
請求項２の発明は、前記主流路に前記一の流体のための開閉弁部を有する請求項１に記載の混合弁に係る。
【００１１】
請求項３の発明は、前記主流路に圧力損失部を介して複数の圧力センサが直列に配置されている請求項１に記載の混合弁に係る。
【００１２】
請求項４の発明は、前記圧力損失部がオリフィス部分である請求項３に記載の混合弁に係る。
【００１３】
請求項５の発明は、前記開閉弁部における連通開口部の弁座が前記主流路内に臨んで配置され、前記開閉弁部の弁体による副流路の閉鎖が主流路内で行われる請求項１に記載の混合弁に係る。
【００１４】
請求項６の発明は、前記主流路に洗浄用流体のための流路が開閉弁部を介して接続された請求項１に記載の混合弁に係る。
【００１５】
請求項７の発明は、前記開閉弁部の弁体の開閉動を外部に表示する表示手段を備えた請求項１、２、６のいずれか１項に記載の混合弁に係る。
【００１６】
請求項８の発明は、請求項１ないし７のいずれか１項に記載の混合弁と、少なくとも前記混合弁の副流路と接続された流体供給流路に配置され、当該供給流路を流通する流体の流量又は圧力を制御する制御弁と、前記混合弁の圧力センサからの信号を受け取り演算して所定の混合比率を維持するための信号を前記制御弁に送るコントローラとを有することを特徴とする混合装置に係る。
【００１７】
また、請求項９の発明は、前記混合弁の主流路と接続された流体供給流路に配置され、当該供給流路を流通する流体の流量又は圧力を制御する制御弁を有する請求項８に記載の混合装置に係る。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１の発明に係る混合弁によれば、一の流体が流通する主流路に他の流体が流通する１又は複数の副流路がその連通開口部を開閉する開閉弁部を介して接続されてなる混合弁において、前記主流路及び副流路の各々に圧力センサを配置して当該主流路及び副流路を流通する流体の圧力を検知するようにしたものであるから、簡易に各流体の流量を検知することができる。
【００１９】
請求項２の発明によれば、請求項１において、前記主流路に前記一の流体のための開閉弁部を設けたので、混合弁内で一の流体の流通の制御を行うことができる。
【００２０】
請求項３の発明によれば、請求項１において、前記主流路に圧力損失部を介して複数の圧力センサが直列に配置されているので、主流路を流通する流体の流量を検知することができる。
【００２１】
請求項４の発明によれば、請求項３において、前記圧力損失部がオリフィス部分であるので、圧力損失部を容易に形成することができる。
【００２２】
請求項５の発明によれば、請求項１において、前記開閉弁部における連通開口部の弁座が前記主流路内に臨んで配置され、前記開閉弁部の弁体による副流路の閉鎖が主流路内で行われるので、開閉弁部の閉鎖時における流体の停滞（いわゆる液溜まり）を減少させることができ、また主流路と副流路の接続部分のクリーニングを効果的にかつ効率よく行うことが可能となる。
【００２３】
請求項６の発明によれば、請求項１において、主流路に洗浄用流体のための流路が開閉弁部を介して接続されたので、混合弁のクリーニングを簡便に行うことができる。
【００２４】
請求項７の発明によれば、請求項１、２、６のいずれかにおいて、前記開閉弁部における弁体の開閉動を外部に表示する表示手段を備えたので、前記開閉弁部の開閉動を外部から容易に確認することができる。
【００２５】
請求項８の発明に係る混合装置によれば、請求項１ないし７のいずれか１項に記載の混合弁と、少なくとも前記混合弁の副流路と接続された流体供給流路に配置され、当該供給流路を流通する流体の流量又は圧力を制御する制御弁と、前記混合弁の圧力センサからの信号を受け取り演算して所定の混合比率を維持するための信号を前記制御弁に送るコントローラとを有するので、副流路を流通する流体の流量の制御を極めて簡易な構成で行うことが可能となる。
【００２６】
また、請求項９の発明によれば、請求項８において、前記混合弁の主流路と接続された流体供給流路に配置され、当該供給流路を流通する流体の流量又は圧力を制御する制御弁を有するので、副流路を流通する流体の流量に加え、主流路を流通する流体の流量制御も極めて簡易な構成で行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下添付の図面に従ってこの発明を詳細に説明する。
図１はこの発明の混合弁の第一実施例の断面図、図２は同じく第二実施例に係る混合弁の断面図、図３は第三実施例に係る混合弁の断面図、図４は第四実施例に係る混合弁の断面図、図５は開閉弁部の開閉動を表示する表示手段を備えた混合弁の部分断面図、図６はこの発明の混合装置の第一実施例の制御回路図、図７は同じく混合装置の第二実施例の制御回路図である。
【００２８】
以下の実施例に示す混合弁は、いずれも前記したいわゆるマニホールドバルブと呼ばれるものである。図１に示す第一実施例の混合弁１０Ａは、主流路１３に対して２つの副流路１４（第一副流路１４Ａ，第二副流路１４Ｂ）がその連通開口部１８Ａ，１８Ｂを開閉する開閉弁部２０Ａ，２０Ｂを介して接続されている。そして、主流路１３及び各副流路１４Ａ，１４Ｂの各々には、圧力センサ３１，３２，３３が配置されている。図の符号１１は本体ブロック、１２は弁ブロックである。
【００２９】
主流路１３は、第一流体（ここでは純水）ｆ１が流通する流路であって、図示のように略直方体に形成された本体ブロック１１の長手方向に略水平に貫通して設けられている。主流路１３の両端は、接続開口部１３ａ（上流側），１３ｂ（下流側）として図示しない接続部材を介して外部配管あるいは流体機器に接続される。主流路１３には、この実施例では両副流路１４Ａ，１４Ｂの連通開口部１８Ａ，１８Ｂよりも下流（１３ｂ）側に、当該主流路１３内を流通する混合流体ｍの圧力を検知する圧力センサ３１が配置される。圧力センサ３１（他の圧力センサも同様）は従来公知のものを使用することができる。圧力センサ３１の検知信号は電気信号Ｅ１に変換されて後述するコントローラ７０へ伝達される。
【００３０】
副流路１４（第一副流路１４Ａ，第二副流路１４Ｂ）は、他の流体（ここでは各種薬液）である第二流体ｆ２，第三流体ｆ３を流通する流路であり、前記主流路１３の下側にそれぞれ形成されていて、第二流体ｆ２，第三流体ｆ３を連通開口部１８Ａ，１８Ｂを経て、主流路１３に対して上向きに供給するようになっている。各副流路１４Ａ，１４Ｂ内には流路径が一旦狭くなる絞り部１７Ａ，１７Ｂが形成されている。この絞り部１７Ａ，１７Ｂは、各副流路１４Ａ，１４Ｂを流通する各流体ｆ２，ｆ３の圧力損失部を形成する。なお、絞り部１７Ａ，１７Ｂの流路径は、各副流路１４Ａ，１４Ｂを流通する各流体ｆ２，ｆ３の流量に応じて適宜決定される。図の符号１５Ａ，１５Ｂは各副流路１４Ａ，１４Ｂの外部配管等との接続開口部である。
【００３１】
そして、第一副流路１４Ａには、該第一副流路１４Ａ内を流通する第二流体ｆ２の圧力を検知する圧力センサ３２が、第二副流路１４Ｂには、該第二副流路１４Ｂ内を流通する第三流体ｆ３の圧力を検知する圧力センサ３３がそれぞれ配置される。各圧力センサ３２，３３が検知した流体ｆ２，ｆ３の圧力検知信号は、それぞれ電気信号Ｅ２，Ｅ３に変換されて後述のコントローラ７０へ送信される。
【００３２】
開閉弁部２０Ａ，２０Ｂは、主流路１３の前記連通開口部１８Ａ，１８Ｂの上部に配置されていて、先にも述べたように、図示しない制御装置によるエア等の作動によってその弁体２４が主流路１３を横切って進退して、対応する連通開口部１８Ａ，１８Ｂを主流路１３の内側から開閉し、各副流路１４Ａ，１４Ｂから流入する流体ｆ２，ｆ３を主流路１３内へ供給しまたは供給を停止する。符号２１はシリンダ、２２はピストン、２６は連通開口部１８Ａ，１８Ｂに形成された弁座、２７はダイアフラム、Ｓは弁体２４を常時前方向に付勢するスプリングである。
【００３３】
この混合弁１０Ａにおいて、主流路１３の上流（１３ａ）側から流入される第一流体ｆ１は、各副流路１４Ａ，１４Ｂからそれぞれ供給される各流体ｆ２，ｆ３と混合されて、混合流体ｍとして主流路１３の下流（１３ｂ）側から流出される。
【００３４】
実施例の混合弁１０Ａでは、図示し請求項５の発明としても規定したように、開閉弁部２０Ａ，２０Ｂにおける連通開口部１８Ａ，１８Ｂの弁座２６を主流路１３内に臨んで配置し、開閉弁部２０Ａ，２０Ｂの弁体２４による前記副流路１４Ａ，１４Ｂの閉鎖が前記主流路１３内で行われるように構成されている。このように構成することによって、開閉弁部２０Ａ，２０Ｂの閉鎖時における流体の停滞（いわゆる液溜まり）を減少させることができ、また主流路１３と副流路１４Ａ，１４Ｂの接続部分のクリーニングを効果的にかつ効率よく行うことが可能となる。
【００３５】
次に、第二実施例に係る混合弁１０Ｂについて説明する。なお、以下の各実施例において、第一実施例と同一符号は同一の構成を表すものとして、その説明を省略する。図２に示す第二実施例の混合弁１０Ｂは、請求項２の発明としても規定したように、前記第一実施例の混合弁１０Ａの主流路１３に第一流体ｆ１のための開閉弁部２０Ｘを設けたものである。この混合弁１０Ｂでは、本体ブロック１１内の主流路１３の上流（１３ａ）側を図のように下側へ略Ｌ字状に屈曲し、該屈曲部１３Ｌの屈曲連通部１８Ｘの上部に開閉弁部２０Ｘが配置されている。
【００３６】
この混合弁１０Ｂにおいて、第一流体ｆ１は屈曲連通部１８Ｘを介して上向きに供給され主流路１３を下流（１３ｂ）側へ流通する。そして、必要に応じて、開閉弁部２０Ｘが作動して、第一流体ｆ１の流通が停止される。なお、開閉弁部２０Ｘの構成及び作動は、他の開閉弁部２０Ａ，２０Ｂと同様であるので、共通符号を付してその説明を省略する。
【００３７】
図３に示す第三実施例に係る混合弁１０Ｃは、請求項３の発明として規定したように、主流路１３に圧力損失部４０を介して複数の圧力センサ３１，３４を直列に配置したものである。この実施例では、主流路１３の連通開口部１８Ａ，１８Ｂよりも下流（１３ｂ）側に第１圧力センサ３１が配置されるとともに、主流路１３の上流（１３ａ）側である前記屈曲部１３Ｌに第２圧力センサ３４が配置された例が示される。第１圧力センサ３１は主流路１３の当該部分における混合流体ｍの圧力を検知し、第２圧力センサ３４は主流路１３Ｌの屈曲部１６部分における第一流体ｆ１の圧力を検知する。
【００３８】
圧力損失部４０は、主流路１３に直列に配置された複数の圧力センサ３１，３４間に設けられ、前記複数の圧力センサ３１，３４間の主流路の流路径を狭めるように構成されている。前記圧力損失部４０は、例えば、請求項４の発明として規定したように、オリフィス部分４１として形成することが、製作上簡単かつ容易である。
【００３９】
図４に示す第四実施例に係る混合弁１０Ｄは、請求項６の発明として規定したように、前記主流路１３に洗浄用流体ｇのための流路１６が開閉弁部２０Ｙを介して接続されたものである。洗浄用流体流路１６は、実施例では、主流路１３の連通開口部１８Ａ，１８Ｂより上流（１３ａ）側に、該主流路１３に対して下側に形成され、洗浄用流体ｇを連通開口部１８Ｙから上向きに供給するようになっている。符号１９は洗浄用流体ｇの外部配管との接続開口部である。なお、開閉弁部２０Ｙの構成及び作動は他の開閉弁部２０Ａ，２０Ｂと同様であるので、共通符号を付してその説明を省略する。
【００４０】
洗浄用流体ｇとしては、各種洗浄液のほか圧縮エア等の気体も使用される。洗浄用流体ｇによって洗浄を行う場合は、主流路１３及び各副流路１４Ａ，１４Ｂにおける流体ｆ１，ｆ２，ｆ３の流通を各開閉弁部２０Ｘ，２０Ａ，２０Ｂを閉じて停止し、洗浄用流体ｇの開閉弁部２０Ｙを開けてその連通開口部１８Ｙより主流路１３に対して洗浄用流体ｇを流通する。洗浄用流体ｇは通常は圧力をかけてフラッシング洗浄がなされる。
【００４１】
上で述べた混合弁１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄにおいては、図５に図示しかつ請求項７の発明として規定したように、各開閉弁部２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｘ，２０Ｙにおける弁部の開閉動を外部に表示する表示手段５０を設けることができる。外部表示手段５０としては、図５に示すように、ＬＥＤ５１等の発光手段が好ましく用いられる。弁部の開閉動の検知は、弁体２４を動かすピストン２２の動きを検出する公知のリミットスイッチ５２によるほか、光電センサや荷重センサによっても行うことができる。
【００４２】
次に、本発明の混合弁を用いた混合装置について図６及び図７に従って説明する。図６の混合装置６０Ａは、請求項８の発明として規定したように、前記した混合弁、例えば混合弁１０Ａ（１０Ｂ，１０Ｄ）と、少なくとも前記混合弁の副流路１４Ａ，１４Ｂと接続された流体供給流路８４Ａ，８４Ｂに配置され、当該供給流路を流通する流体の流量又は圧力を制御する制御弁７２，７３と、前記混合弁の圧力センサ３１，３２，３３からの信号Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を受け取り演算して所定の混合比率を維持するための信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３を前記制御弁７２，７３に送るコントローラ７０とを有する。図６の符号８３は第一流体ｆ１の供給流路、９１，９２，９３は第一、第二、第三流体ｆ１，ｆ２，ｆ３の各供給部、Ｊは混合弁と外部配管や機器との接続部を表す。
【００４３】
図６の混合装置６０Ａは、主流路１３の下流（１３ｂ）側に圧力センサ３１が設けられた前述の混合弁１０Ａ（混合弁１０Ｂ，１０Ｄも同様）を用いたものである。なお、説明を簡略にするために、開閉弁部や洗浄用流体の流路等は省略されている。この混合装置６０Ａにおいては、混合弁１０Ａの各副流路１４Ａ，１４Ｂと接続された流体供給流路８４Ａ，８４Ｂに、当該供給流路８４Ａ，８４Ｂを流通する流体ｆ２，ｆ３の流量又は圧力を制御する制御弁７２，７３が配置されている。混合弁１０Ａの各圧力センサ３１，３２，３３からの信号Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３はコントローラ７０に送られ、ここで演算され、該コントローラ７０から混合流体ｍの所定の混合比率を維持するための信号Ｓ１，Ｓ２が制御弁７２，７３に送られる。各制御弁７２，７３は、信号Ｓ１，Ｓ２に従って、当該供給流路８４Ａ，８４Ｂを流通する流体ｆ２，ｆ３の流量又は圧力を制御する。
【００４４】
混合装置６０Ａの混合弁１０Ａは、上述のように主流路１３の下流（１３ｂ）側に圧力センサ３１が設けられ、主流路１３の下流（１３ｂ）側を流通する第一、第二、第三流体ｆ１，ｆ２，ｆ３の混合流体ｍの圧力を検知する。そして、各副流路１４Ａ，１４Ｂの圧力センサ３２，３３はそれぞれ第二、第三流体ｆ２，ｆ３の圧力を検知するものであるから、この混合装置６０Ａでは、第一流体ｆ１に対する第二、第三流体ｆ２，ｆ３の流量又は圧力が制御弁７２，７３によって制御される。従って、この例では、第一流体ｆ１が主流路１３を一定量で流通する場合に有利に用いられる。
【００４５】
ここで制御弁７２，７３について説明すると、この制御弁は、圧力の変動に対してその弁体が進退し流体の流量を変動させる流量制御弁が好ましく用いられる。例えば、アドバンス電気工業株式会社の特許第２６７１１８３号や同第３２７６９３６号に開示される流量制御弁である。
【００４６】
図７の混合装置６０Ｂは、請求項９の発明に係り、上記の実施例の混合装置６０Ａにおいて、さらに主流路１３の上流（１３ａ）側に圧力センサ３４が設けられていて、主流路１３を流通する第一流体ｆ１を圧力を検知し、第一流体の供給流路８３に設けられた制御弁７１によって該供給流路８３を流通する第一流体ｆ１の流量又は圧力を制御するようになっている。
【００４７】
この混合装置６０Ｂでは、主流路１３を流通する混合流体ｍの検知信号Ｅ１及び第一流体ｆ１の圧力検知信号Ｅ４と、各副流路１４Ａ，１４Ｂを流通する第二、第三流体ｆ２，ｆ３の圧力検知信号Ｅ２，Ｅ３のそれぞれが検知されてコントローラ７０に送られる。そして、コントローラ７０から、所定の混合比率を維持するために演算された信号Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３が制御弁７１，７２，７３に伝達されて、第一、第二、第三の各供給流路８３，８４Ａ，８４Ｂを流通する第一、第二、第三の各流体ｆ１，ｆ２，ｆ３の圧力又は流量が制御される。従って、この例では、混合流体ｍの全体流量が変動する場合にも、第一、第二、第三の各流体ｆ１，ｆ２，ｆ３の混合比率の維持が可能となる。なお、制御弁７１は前記した制御弁７２，７３と同様であり、また図７において図６と共通符号は同一構成部材を表す。
【００４８】
以上、本発明の混合弁及び混合装置について説明したが、本発明は上記の各実施例に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲において適宜構成を変更することができる。例えば、開閉弁部を介して主流路に接続される複数の副流路の数は特に限定するものではなく、２以上の副流路をそれぞれ開閉弁部を介して接続する等、用途に応じて各流路を構成することができる。また、主流路に配置される圧力センサの数及び位置についても、副流路の連通開口部との関係で適宜の構成とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】この発明の混合弁の第一実施例の断面図である。
【図２】この発明の第二実施例に係る混合弁の断面図である。
【図３】この発明の第三実施例に係る混合弁の断面図である。
【図４】この発明の第四実施例に係る混合弁の断面図である。
【図５】開閉弁部の開閉動を表示する表示手段を備えた混合弁の部分断面図である。
【図６】この発明の混合装置の第一実施例の制御回路図である。
【図７】この発明の混合装置の第二実施例の制御回路図である。
【図８】従来の混合弁の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄ  混合弁  
１３    主流路
１３ａ  接続開口部（上流側）
１３ｂ  接続開口部（下流側）
１４    副流路
１４Ａ  第一副流路
１４Ｂ  第二副流路
１６    洗浄用流体流路
１７Ａ，１７Ｂ  絞り部
１８Ａ，１８Ｂ  連通開口部
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｘ，２０Ｙ  開閉弁部
２２    ピストン
２４    弁体
２６    弁座
３１，３２，３３，３４  圧力センサ
４０    圧力損失部
５０    表示手段
６０Ａ，６０Ｂ  混合装置
７０    コントローラ
７１，７２，７３  制御弁
８１，８３Ａ，８３Ｂ  流体供給流路
ｆ１    第一流体
ｆ２    第二流体
ｆ３    第三流体
ｍ      混合流体
ｇ      洗浄用流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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