(57)【要約】【課題】  スライダやサスペンションに特別な加工を要すること無く、浮上特性を決定するＡＢＳのパターンを基準として、スライダとサスペンションとの接合を行うことができる磁気ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】  サスペンションにＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法である。スライダのＡＢＳが形成された面を撮影した後、撮影された画像からＡＢＳと、このＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを識別する。そしてサスペンションの取付指針となる基準を算出し、当該基準を基にサスペンションに対するスライダの取付を行うようにしたので、ＡＢＳに発生する正圧および負圧をサスペンションを中心としてバランス良く発生させることが可能になり、浮上姿勢および電気特性の安定化を図ることが可能になる。【選択図】  図２
2005149613.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サスペンションにＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、前記スライダの前記ＡＢＳが形成された面を撮影した後、撮影された画像から前記ＡＢＳと、このＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを識別するとともに前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し、当該基準を基に前記サスペンションに対する前記スライダの取付を行うことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】
サスペンションにＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、前記スライダの前記ＡＢＳが形成された面と、前記スライダの外形とを撮影した後、撮影された画像から前記ＡＢＳと、このＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを識別するとともに前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し、当該基準と前記スライダの外形との位置関係を紐付け情報として記憶し、前記サスペンションを前記スライダに取り付ける際、前記スライダの外形を計測しこの計測値を前記紐付け情報に照合して前記基準を読み出し、この基準を基に前記サスペンションに対する前記スライダの取付を行うことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記基準は、前記掘込み領域の図心であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記撮影は、ＵＶ（Ultraviolet）光線を前記スライダに照射し当該スライダからの反射光をＵＶ光線検出カメラで撮影することでなされることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドの製造方法に係り、特にサスペンションに精度良くスライダを取り付けるのに好適な磁気ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
固定磁気記録装置（以下、ＨＤＤと称す）は、容量の増大とともに薄型化が進み、これに伴い磁気ヘッド（２０％、３０％スライダ）も小型化が進んでいる。
【０００３】
ところで従来の磁気ヘッドの製造工程では、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive ）素子が形成されたスライダとサスペンションとを接合する際、まずスライダの外形を基準として前記スライダの位置決めを行う。そして前記スライダの位置決めを行った後は、当該スライダの背面側（ＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成された面の反対側）に接着剤を塗布するとともに、ツーリングホールによって位置決めされたサスペンションの先端にスライダ側を接触させ、接着剤を介して双方を接合するようにしている。
【０００４】
ところでスライダの外形を用いずとも、前記スライダに物理的な位置決め部を形成し、この位置決め部を用いてサスペンション側との位置合わせを行うようにしたものや（例えば、特許文献１を参照）、サスペンションの先端にスライダの外形に対応する凹部を形成し、この凹部を用いてスライダの位置決めを行うものが知られている（例えば、特許文献２を参照）。
【０００５】
またスライダに貫通孔を形成し、この貫通孔を位置決め基準として組立を行うものや（例えば、特許文献３を参照）、スライダのレール加工部の内側面を基準としてサスペンションとの位置合わせを行うものが知られている（例えば、特許文献４を参照）。
【０００６】
【特許文献１】特開平４−１７１７４号公報（［請求項１］）
【０００７】
【特許文献２】特開平１０−２９３９８１号公報（［請求項１］）
【０００８】
【特許文献３】特開２０００−１２３５１５号公報（［請求項１］）
【０００９】
【特許文献４】特開平６−１５０５９７号公報（［請求項１］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし上述した従来の磁気ヘッドの製造方法では、以下に示すような問題点があった。
【００１１】
すなわち磁気ヘッドの浮上姿勢および電気特性をディスクの内外周にわたって安定させるには、スライダに形成されたＡＢＳを基準としてサスペンションを取り付けることが重要である。
【００１２】
ところでスライダにおいては、ＡＢＳは一般的にイオンミリングによって加工され、一方スライダの外形は機械加工によって行われ、ＡＢＳとスライダの外形はそれぞれ独立した工程で形成されている。
しかし従来は、上述の通りスライダの外形を基準として、当該スライダとサスペンションとの位置決めを行っていたため、サスペンションの取付位置が、ＡＢＳを基準とした位置に必ずしも一致するものではなく、またスライダのレール加工部の内側面を基準にした場合、上述の通りＡＢＳとスライダ外形の加工工程が異なるため、内側面の中心がＡＢＳの中心に一致するとは限らず、このため設計上の浮上姿勢や電気特性が得られないおそれがあった。
【００１３】
そしてスライダの小型化や、（浮上特性安定の為）ＡＢＳのパターンの複雑化が進むにつれ、スライダの外形を基準として、サスペンションを正確に取り付けることが困難になることが予想された。
【００１４】
またスライダ自体に位置決め用の貫通孔等を形成すると、ＡＢＳにおける正圧と負圧のバランスが狂い、スライダの浮上姿勢が安定しないというおそれもあった。
【００１５】
本発明は、上記従来の問題点に着目し、スライダやサスペンションに特別な加工を要すること無く、浮上特性を決定するＡＢＳのパターンを基準として、スライダとサスペンションとの接合を行うことができる磁気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、スライダにおけるＡＢＳが形成された面を撮影し、この撮影された画像からサスペンションへの取付位置（基準）を算出し、この位置情報に基づいてサスペンションへの取り付けを行うようにすれば、前記スライダは安定した浮上姿勢（および電気特性）を得ることができるという知見に基づいてなされたものである。
【００１７】
すなわち本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、サスペンションにＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、前記スライダの前記ＡＢＳが形成された面を撮影した後、撮影された画像から前記ＡＢＳと、このＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを識別するとともに前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し、当該基準を基に前記サスペンションに対する前記スライダの取付を行う手順とした。
【００１８】
さらに具体的な磁気ヘッドの製造方法は、サスペンションにＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、前記スライダの前記ＡＢＳが形成された面と、前記スライダの外形とを撮影した後、撮影された画像から前記ＡＢＳと、このＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを識別するとともに前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し、当該基準と前記スライダの外形との位置関係を紐付け情報として記憶し、前記サスペンションを前記スライダに取り付ける際、前記スライダの外形を計測しこの計測値を前記紐付け情報に照合して前記基準を読み出し、この基準を基に前記サスペンションに対する前記スライダの取付を行う手順とした。
【００１９】
そして前記基準は、前記掘込み領域の図心としてもよく、さらに前記撮影は、ＵＶ光線を前記スライダに照射し当該スライダからの反射光をＵＶ光線検出カメラで撮影することでなされることが好ましい。
【００２０】
上記構成によれば、スライダのＡＢＳ側を撮影し、その画像からＡＢＳと彫り込み領域とを識別する。一般的にＡＢＳは研磨加工がなされるため平滑面となっており、一方彫り込み領域はイオンミリングによって加工されるため粗面となっている。このため前記撮影の際、ＡＢＳと彫り込み領域との反射光量の差をもって２値化処理などをおこなえば、ＡＢＳと彫り込み領域との領域を画像によって容易に判別することができる。そして前記処理を行い異なる領域を判別した後は、前記異なる領域から基準を算出し、この基準を基にＡＢＳが形成された面の裏面側をサスペンションに取り付ければよい。
【００２１】
ところで前記基準を算出するとともに、前記スライダの外形を計測しておき、このスライダの外形と基準との相対位置を関連させた紐付け情報として記録させておけば、サスペンションにスライダを取り付ける後工程において、再度基準を計測する必要が無くなり、スライダの外形を計測しこの計測値を前記紐付け情報に照らし合わせるだけで、計測したスライダの基準を読み出すことが可能になる。そしてこの読み出された基準を基にスライダをサスペンションに取り付ければ、ＡＢＳと彫り込み領域との領域を基準とした取付を行うことができ、サスペンションがスライダに発生する正圧、負圧をバランス良く保持することができ、スライダの浮上姿勢および電気特性を安定させることが可能になる。
【００２２】
また彫り込み領域は、スライダの中央部分に位置していることが多く、この彫り込み領域の図心（重心）を基準とすれば、サスペンションの取付部分を正確に設定することが可能になる場合がある。
【００２３】
なお昨今の磁気ヘッドでは、浮上量（Flying Height）を低く抑えるために、ＡＢＳと彫り込み領域との段差が小さくなっている。このため通常の光線では、波長が長く、前記段差を確実に検出することが困難である（すなわちＡＢＳと彫り込み領域とを明確に識別できない）。そこで本発明に示すように、ＡＢＳと彫り込み領域とにＵＶ（紫外線）光線を照射し、この反射光をＵＶ光線検出カメラで捕らえれば、ＵＶ光線は通常光線に比べ波長が短いので、通常光線では困難であったＡＢＳと彫り込み領域との段差を確実に検出することができる。このためＵＶ光線の照射と、この反射光をＵＶ光線検出カメラで捕らえれば、ＡＢＳと彫り込み領域とを確実に識別することができ、基準の精度を向上させることが可能になる。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように本発明によれば、サスペンションにＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、前記スライダの前記ＡＢＳが形成された面を撮影した後、撮影された画像から前記ＡＢＳと、このＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを識別するとともに前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し、当該基準を基に前記サスペンションに対する前記スライダの取付を行うようにしたり、あるいはサスペンションにＡＢＳ（Air Bearing Surface）が形成されたスライダの取付をなす磁気ヘッドの製造方法であって、前記スライダの前記ＡＢＳが形成された面と、前記スライダの外形とを撮影した後、撮影された画像から前記ＡＢＳと、このＡＢＳ内に成形されている彫り込み領域とを識別するとともに前記サスペンションの取付指針となる基準を算出し、当該基準と前記スライダの外形との位置関係を紐付け情報として記憶し、前記サスペンションを前記スライダに取り付ける際、前記スライダの外形を計測しこの計測値を前記紐付け情報に照合して前記基準を読み出し、この基準を基に前記サスペンションに対する前記スライダの取付を行うようにしたことから、ＡＢＳに発生する正圧および負圧をサスペンションを中心としてバランス良く発生させることが可能になり、浮上姿勢を安定させるとともに良好な電気特性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に本発明に係る磁気ヘッドの製造方法に好適な具体的実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００２６】
図１は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を用いて製造された磁気ヘッドの斜視図である。同図に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を用いて製造された磁気ヘッド１０は、ＧＭＲ（Giant Magneto Resistive ）素子が組み込まれたスライダ１２と、このスライダ１２に固定されるサスペンション１４とを有している。ここで当該サスペンション１４は、前記スライダ１２に接着固定されるフレキシャ１６と、当該フレキシャ１６とスポット溶接により接続されるロードビーム１８と、前記スライダ１２に形成されたＧＭＲ素子との配線をなす図示しないＦＰＣ（Flexible Print Circuit）とで構成されている。
【００２７】
前記スライダ１２は、ＨＤＤのスピンドルモータに固定された磁気ディスク（図示せず）と対面する側にＡＢＳ２０が形成されており、このＡＢＳ２０によって高速回転する磁気ディスクとの間に正圧および負圧を発生させ、スライダ１２を前記磁気ディスクの上を任意の高さで浮上させるようにしている。
【００２８】
またスライダ１２に接着固定されるフレキシャ１６は、金属の薄板からなり、スライダ１２の上下方向、ピッチ方向、ロール方向に変形し、磁気ディスクの面ブレや、アッセンブルに伴う傾き等を吸収するようにしている。
【００２９】
そしてフレキシャ１６にスポット溶接されるロードビーム１８は、前記フレキシャ１６と同様に金属の薄板からなり、ばね付勢によって前記スライダ１２の浮上力と釣り合うだけの一定の荷重を発生させ、スライダ１２を磁気ディスクの表面に対して押圧するようにしている。なおロードビーム１８の両端部には、曲げ起こし片２２が形成され、ＨＤＤのシーク方向（すなわち磁気ディスクの面内方向）に対して、剛性を確保するようにしている。
【００３０】
ところで本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を用いて製造された磁気ヘッド１０では、ＡＢＳ２０と、このＡＢＳ２０を形成するためにイオンミリング等によって形成された彫り込み領域２４を画像処理によって判別し、この判別された彫り込み領域２４の図心Ｇ２６を基準点（基準）として算出している。そしてスライダ１２におけるフレキシャ取付面２８において、前記図心Ｇ２６に相当する位置にディスペンサ等を用い接着剤を塗布するとともに、前記図心２６を基準としてフレキシャ１６の取付を行っている。
【００３１】
このようにスライダ１２の浮上姿勢を決定するＡＢＳ２０および彫り込み領域２４とを基準にスライダ１２とフレキシャ１６（すなわちサスペンション１４側）との接合を行えば、フレキシャ１６まわりにスライダ１２の正圧および負圧がバランス良く発生し、スライダ１２の浮上姿勢を安定させるとともに良好な電気特性を得ることが可能になる。
【００３２】
このように構成された磁気ヘッド１０を製造する手順を以下に説明する。
【００３３】
図２は、本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を示す工程説明図である。
【００３４】
ところで前記スライダは、以下に示す工程に投入される前段で、イオンミリング工程によってＡＢＳ２０と彫り込み領域２４が形成され、その後スライサーによって個片にされている。
【００３５】
そして同図に示すように、個片とされたスライダ１２のＡＢＳ２０および彫り込み領域２４が形成された側に、リング状のＵＶランプ３０を接近させ、ＵＶ光線を照射する。ここで前記リング状のＵＶランプ３０の中央部分にはＵＶ光線検出カメラ３２が設けられており、スライダ１２からのＵＶ反射光を撮影可能にしている。またＵＶ光線検出カメラ３２は、画像処理手段３４と座標演算手段３６とに接続されており、前記ＵＶ光線検出カメラ３２にて撮影されたスライダ１２の画像は、画像処理手段３４によって２値化処理がなされ、ＡＢＳ２０と彫り込み領域２４とを画像上で判別できるようにしている。
【００３６】
画像処理手段による２値化処理の詳細を以下に示す。
【００３７】
図３は、スライダにおけるＡＢＳと彫り込み領域との判別手順を示す説明図であり、同図における左側は画像処理前を示し、同図における右側は画像処理後、すなわち２値化処理がなされた後を示す。
【００３８】
前述したようにＵＶ光線検出カメラ３２にて取り込まれた画像を左側に示している。ここでＡＢＳ２０は、研磨加工がなされるため平滑面となっており、一方彫り込み領域２４はイオンミリングによって加工されるため粗面となっている。このため光をＡＢＳ２０および彫り込み領域２４に照射すると、これらＡＢＳ２０および彫り込み領域２４とではその反射率が大きく異なる（すなわちＡＢＳ２０の反射率が大で、彫り込み領域２４の反射率が小）。このためＡＢＳ２０からの反射光量と、彫り込み領域２４からの反射光量との間で、スライスレベルをあらかじめ設定しておけば、ＡＢＳ２０と彫り込み領域２４をモノクロデータの０と１（すなわち白色と黒色）とに区分することができる。
【００３９】
このような思想の基で２値化処理された画像を同図右側に示す。
【００４０】
なお本実施の形態においては、スライダ１２への照射光としてＵＶ光線を用いている。このＵＶ光線は通常光と比較して波長が短いので、ＡＢＳ２０と彫り込み領域２４との段差を確実に明暗として捕らえることが可能である。このため浮上量低減に伴って、ＡＢＳ２０と彫り込み領域２４との段差が小さくなっても、前記ＵＶ光線とこのＵＶ光線を検知するＵＶ光線検出カメラ３２を用いれば、前記段差を確実に検知することができる。
【００４１】
なお本実施の形態では、ＡＢＳ２０と彫り込み領域２４の段差検出手段として、ＵＶランプ３０と、ＵＶ光線検出カメラ３２とを用いるようにしたがこの形態に限定されることもなく、例えばレーザドップラー等の原理を用いた測定方法を適用してもよい（すなわち採取されたデータから２値化処理ができればどのような方法を用いてもよい）。
【００４２】
そしてＡＢＳ２０と彫り込み領域２４との２値化処理が完了した後は、座標演算手段３６によって前記彫り込み領域２４の領域から図心Ｇ２６を算出し、これを基準点とする。
【００４３】
さらに座標演算手段３６においては、図心Ｇ２６を算出するとともに、スライダ１２の外形についての位置情報（図中、スライダ１２の四隅となるＡ〜Ｄ点を参照）を検出し、前記図心Ｇ２６とスライダ１２における外形の位置情報とを関連させ紐付け情報３８として記録しておく。
【００４４】
このように座標演算手段３６に個々のスライダ１２の紐付け情報３８を記録した後、次工程となるフレキシャへの取付工程４０にて、スライダ１２における（ＡＢＳ２０と彫り込み領域２４の背面側となる）フレキシャ取付面２８側を、リング状からなるランプ４２にて照射するとともに、スライダ１２からの反射光をリング状の前記ランプ４２の中央部に設けられた光線検出カメラ４４にて撮影する。そして前記光線検出カメラ４４にて撮影されたスライダ１２の外形画像４６から、画像処理／座標演算手段４８によってスライダ１２の外形についての位置情報（図中、スライダ１２の四隅となるＡ〜Ｄ点を参照）を検出し、これらスライダ１２の外形についての位置情報を前述した座標演算手段３６の紐付け情報３８と照合すれば、図心Ｇ２６の座標を画像処理／座標演算手段４８にて把握することができる。
【００４５】
そして画像処理／座標演算手段４８にて図心Ｇ２６の座標を把握した後は、この図心Ｇ２６の座標に図示しないディスペンサを用いてフレキシャ取付面２８に接着剤を塗布し、その後は、図心Ｇ２６を基準としてスライダ１２とフレキシャ１６との位置合わせを行い、双方の接合を行えばよい。
【００４６】
なお本実施の形態では、彫り込み領域２４の図心を基準点とした説明を行ったが、前記図心に限定されることもなく、ＡＢＳ２０の領域から基準点を算出したり、あるいはＡＢＳ２０と彫り込み領域２４との面積比等によって基準点を算出するようにしてもよく、これら算出方法は、磁気ヘッド１０の仕様や上述した製造装置の都合等により適宜設定すればよい。さらに本実施の形態では、基準を点（基準点）としているが、この形態に限定されることもなく、必要に応じて前記基準を線（基準線）としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を用いて製造された磁気ヘッドの斜視図である。
【図２】本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を示す工程説明図である。
【図３】スライダにおけるＡＢＳと彫り込み領域との判別手順を示す説明図であり、同図における左側は画像処理前を示し、同図における右側は画像処理後すなわち２値化処理がなされた後を示す。
【符号の説明】
【００４８】
１０………磁気ヘッド
１２………スライダ
１４………サスペンション
１６………フレキシャ
１８………ロードビーム
２０………ＡＢＳ
２２………曲げ起こし片
２４………彫り込み領域
２６………図心Ｇ
２８………フレキシャ取付面
３０………ＵＶランプ
３２………ＵＶ光線検出カメラ
３４………画像処理手段
３６………座標演算手段
３８………紐付け情報
４０………フレキシャへの取付工程
４２………ランプ
４４………光線検出カメラ
４６………外形画像
４８………画像処理／座標演算手段
【図１】
2005149613.tif 000003
【図２】
2005149613.tif 000004
【図３】
2005149613.tif 000005
【手続補正書】
【提出日】平成16年6月4日(2004.6.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
上記構成によれば、スライダのＡＢＳ側を撮影し、その画像からＡＢＳ側における彫り込み領域とその他の領域とを識別する。一般的にその他の領域は研磨加工がなされるため平滑面となっており、一方彫り込み領域はイオンミリングによって加工されるため粗面となっている。このため前記撮影の際、彫り込み領域とその他の領域との反射光量の差をもって２値化処理などをおこなえば、彫り込み領域とその他の領域とを画像によって容易に判別することができる。そして前記処理を行い異なる領域を判別した後は、前記異なる領域から基準を算出し、この基準を基にＡＢＳが形成された面の裏面側をサスペンションに取り付ければよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
ところで前記基準を算出するとともに、前記スライダの外形を計測しておき、このスライダの外形と基準との相対位置を関連させた紐付け情報として記録させておけば、サスペンションにスライダを取り付ける後工程において、再度基準を計測する必要が無くなり、スライダの外形を計測しこの計測値を前記紐付け情報に照らし合わせるだけで、計測したスライダの基準を読み出すことが可能になる。そしてこの読み出された基準を基にスライダをサスペンションに取り付ければ、彫り込み領域とその他の領域とを基準とした取付を行うことができ、サスペンションがスライダに発生する正圧、負圧をバランス良く保持することができ、スライダの浮上姿勢および電気特性を安定させることが可能になる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
なお昨今の磁気ヘッドでは、浮上量（Flying Height）を低く抑えるために、ＡＢＳにおける彫り込み領域とその他の領域との段差が小さくなっている。このため通常の光線では、波長が長く、前記段差を確実に検出することが困難である（すなわち彫り込み領域とその他の領域とを明確に識別できない）。そこで本発明に示すように、彫り込み領域とその他の領域とにＵＶ（紫外線）光線を照射し、この反射光をＵＶ光線検出カメラで捕らえれば、ＵＶ光線は通常光線に比べ波長が短いので、通常光線では困難であった彫り込み領域とその他の領域との段差を確実に検出することができる。このためＵＶ光線の照射と、この反射光をＵＶ光線検出カメラで捕らえれば、彫り込み領域とその他の領域とを確実に識別することができ、基準の精度を向上させることが可能になる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
前記スライダ１２は、ＨＤＤのスピンドルモータに固定された磁気ディスク（図示せず）と対面する側にＡＢＳが形成されており、このＡＢＳによって高速回転する磁気ディスクとの間に正圧および負圧を発生させ、スライダ１２を前記磁気ディスクの上を任意の高さで浮上させるようにしている。ＡＢＳは、彫り込み領域２４とその他の領域２０とを有している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
ところで本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法を用いて製造された磁気ヘッド１０では、ＡＢＳと、このＡＢＳにおいてイオンミリング等によって形成された彫り込み領域２４を画像処理によって判別し、この判別された彫り込み領域２４の図心Ｇ２６を基準点（基準）として算出している。そしてスライダ１２におけるフレキシャ取付面２８において、前記図心Ｇ２６に相当する位置にディスペンサ等を用い接着剤を塗布するとともに、前記図心２６を基準としてフレキシャ１６の取付を行っている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
このようにスライダ１２の浮上姿勢を決定するその他の領域２０および彫り込み領域２４とを基準にスライダ１２とフレキシャ１６（すなわちサスペンション１４側）との接合を行えば、フレキシャ１６まわりにスライダ１２の正圧および負圧がバランス良く発生し、スライダ１２の浮上姿勢を安定させるとともに良好な電気特性を得ることが可能になる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
ところで前記スライダは、以下に示す工程に投入される前段で、イオンミリング工程によってその他の領域２０と彫り込み領域２４が形成され、その後スライサーによって個片にされている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３５】
そして同図に示すように、個片とされたスライダ１２のその他の領域２０および彫り込み領域２４が形成された側に、リング状のＵＶランプ３０を接近させ、ＵＶ光線を照射する。ここで前記リング状のＵＶランプ３０の中央部分にはＵＶ光線検出カメラ３２が設けられており、スライダ１２からのＵＶ反射光を撮影可能にしている。またＵＶ光線検出カメラ３２は、画像処理手段３４と座標演算手段３６とに接続されており、前記ＵＶ光線検出カメラ３２にて撮影されたスライダ１２の画像は、画像処理手段３４によって２値化処理がなされ、その他の領域２０と彫り込み領域２４とを画像上で判別できるようにしている。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
図３は、スライダにおけるその他の領域と彫り込み領域との判別手順を示す説明図であり、同図における左側は画像処理前を示し、同図における右側は画像処理後、すなわち２値化処理がなされた後を示す。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
前述したようにＵＶ光線検出カメラ３２にて取り込まれた画像を左側に示している。ここでその他の領域２０は、研磨加工がなされるため平滑面となっており、一方彫り込み領域２４はイオンミリングによって加工されるため粗面となっている。このため光をその他の領域２０および彫り込み領域２４に照射すると、これらその他の領域２０および彫り込み領域２４とではその反射率が大きく異なる（すなわちその他の領域２０の反射率が大で、彫り込み領域２４の反射率が小）。このためその他の領域２０からの反射光量と、彫り込み領域２４からの反射光量との間で、スライスレベルをあらかじめ設定しておけば、その他の領域２０と彫り込み領域２４をモノクロデータの０と１（すなわち白色と黒色）とに区分することができる。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
なお本実施の形態においては、スライダ１２への照射光としてＵＶ光線を用いている。このＵＶ光線は通常光と比較して波長が短いので、その他の領域２０と彫り込み領域２４との段差を確実に明暗として捕らえることが可能である。このため浮上量低減に伴って、その他の領域２０と彫り込み領域２４との段差が小さくなっても、前記ＵＶ光線とこのＵＶ光線を検知するＵＶ光線検出カメラ３２を用いれば、前記段差を確実に検知することができる。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
なお本実施の形態では、その他の領域２０と彫り込み領域２４の段差検出手段として、ＵＶランプ３０と、ＵＶ光線検出カメラ３２とを用いるようにしたがこの形態に限定されることもなく、例えばレーザドップラー等の原理を用いた測定方法を適用してもよい（すなわち採取されたデータから２値化処理ができればどのような方法を用いてもよい）。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
そしてその他の領域２０と彫り込み領域２４との２値化処理が完了した後は、座標演算手段３６によって前記彫り込み領域２４の領域から図心Ｇ２６を算出し、これを基準点とする。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
このように座標演算手段３６に個々のスライダ１２の紐付け情報３８を記録した後、次工程となるフレキシャへの取付工程４０にて、スライダ１２における（その他の領域２０と彫り込み領域２４の背面側となる）フレキシャ取付面２８側を、リング状からなるランプ４２にて照射するとともに、スライダ１２からの反射光をリング状の前記ランプ４２の中央部に設けられた光線検出カメラ４４にて撮影する。そして前記光線検出カメラ４４にて撮影されたスライダ１２の外形画像４６から、画像処理／座標演算手段４８によってスライダ１２の外形についての位置情報（図中、スライダ１２の四隅となるＡ〜Ｄ点を参照）を検出し、これらスライダ１２の外形についての位置情報を前述した座標演算手段３６の紐付け情報３８と照合すれば、図心Ｇ２６の座標を画像処理／座標演算手段４８にて把握することができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
なお本実施の形態では、彫り込み領域２４の図心を基準点とした説明を行ったが、前記図心に限定されることもなく、その他の領域２０の領域から基準点を算出したり、あるいはその他の領域２０と彫り込み領域２４との面積比等によって基準点を算出するようにしてもよく、これら算出方法は、磁気ヘッド１０の仕様や上述した製造装置の都合等により適宜設定すればよい。さらに本実施の形態では、基準を点（基準点）としているが、この形態に限定されることもなく、必要に応じて前記基準を線（基準線）としてもよい。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
１０………磁気ヘッド
１２………スライダ
１４………サスペンション
１６………フレキシャ
１８………ロードビーム
２０………その他の領域
２２………曲げ起こし片
２４………彫り込み領域
２６………図心Ｇ
２８………フレキシャ取付面
３０………ＵＶランプ
３２………ＵＶ光線検出カメラ
３４………画像処理手段
３６………座標演算手段
３８………紐付け情報
４０………フレキシャへの取付工程
４２………ランプ
４４………光線検出カメラ
４６………外形画像
４８………画像処理／座標演算手段