(57)【要約】【課題】スライダ、ヘッドアセンブリ、およびディスク装置において、スライダ浮上量の変動を低減すること。【解決手段】ほぼ矩形状で、該矩形の長手方向の一方端が空気流入端で他方端が空気排出端であるディスク対向面を有するスライダであって、ディスク対向面の空気流入端近傍に設けられた第１の正圧発生部と、ディスク対向面の第１の正圧発生部より空気排出端側に、長手方向と直角のディスク対向面幅方向に離間して設けられた１対の第２の正圧発生部と、ディスク対向面の第１の正圧発生部より空気排出端側に設けられた負圧発生部と、ディスク対向面の負圧発生部より空気排出端側に設けられ、長手方向と同一の方向の最大寸法がディスク対向面の長手方向寸法の２５％以下であり、長手方向と直角の方向の最大寸法がディスク対向面の幅方向寸法の４５％以上である第３の正圧発生部とを具備する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ほぼ矩形状で、該矩形の長手方向の一方端が空気流入端で他方端が空気排出端であるディスク対向面を有するスライダであって、
前記ディスク対向面の前記空気流入端近傍に設けられた第１の正圧発生部と、
前記ディスク対向面の前記第１の正圧発生部より前記空気排出端側に、前記長手方向と直角の前記ディスク対向面幅方向に離間して設けられた１対の第２の正圧発生部と、
前記ディスク対向面の前記第１の正圧発生部より前記空気排出端側に設けられた負圧発生部と、
前記ディスク対向面の前記負圧発生部より前記空気排出端側に設けられ、前記長手方向と同一の方向の最大寸法が前記ディスク対向面の長手方向寸法の２５％以下であり、前記長手方向と直角の方向の最大寸法が前記ディスク対向面の幅方向寸法の４５％以上である第３の正圧発生部と
を具備することを特徴とするスライダ。
【請求項２】
前記ディスク対向面における前記１対の第２の正圧発生部の前記空気流出端側の端部から前記空気流出端までの寸法が、前記ディスク対向面の長手方向寸法の２０％以上であることを特徴とする請求項１記載のスライダ。
【請求項３】
請求項１記載のスライダと、
前記スライダの前記空気排出端に設けられたヘッド素子と、
前記スライダの前記ディスク対向面とは反対の面側に設けられたサスペンション部材と、
前記サスペンション部材の前記スライダが位置する側とは反対の側に設けられたアーム部材と
を具備することを特徴とするヘッドアセンブリ。
【請求項４】
請求項２記載のヘッドアセンブリと、
前記ヘッドアセンブリが有する前記スライダの前記ディスク対向面に対向して位置するディスクと、
前記ディスクを回転させるスピンドルモータと、
前記スライダを前記ディスクの半径方向に移動すべく前記ヘッドアセンブリの前記アーム部材を旋回させるボイスコイルモータと
を具備することを特徴とするディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スライダ、ヘッドアセンブリ、およびディスク装置に係り、特に、浮上安定性向上に好適なスライダ、このようなスライダを有するヘッドアセンブリ、およびこのようなヘッドアセンブリを有するディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
スライダは、回転する磁気ディスクなどのメディア上に空気潤滑を利用して安定的にヘッド素子を浮上させるための部材である。スライダの一般的構成は、例えば下記特許文献１、特許文献２に開示されている。スライダのディスク対向面には、その空気流入端側、空気排出端側、および幅方向に離間して一対、の計４箇所に凸面状の正圧発生部がある。また、ディスク対向面のほぼ中央に凹面の負圧発生部がある。さらに、スライダのディスク対向面にはその長手方向にクラウンと呼ばれる丸みがあり、長手方向と直角の方向にキャンバと呼ばれる丸みがある。
【特許文献１】特開２００３−３０８６７１号公報
【特許文献２】国際公開第９９／４８０９８号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、ディスク装置の小型化に伴いスライダも小型化が進んでいる。スライダのサイズについては、ＩＤＥＭＡ（international disc drive equipment and material association）により標準化され、大きい方からミニスライダ、マイクロスライダ、ナノスライダ、ピコスライダ、フェムトスライダと命名されている。このうちディスク対向面の大きさが８５０μｍ×７００μｍ程度のフェムトスライダでは、ロール方向の空気膜剛性を高めるのが特に難しい。これにより、サスペンションによる、ロール方向の定常的な姿勢（roll static attitude：ＲＳＡ）のばらつきやロール方向の荷重点ずれに伴う浮上量の変動が問題となり得る。
【０００４】
本発明は、上記の事情を考慮してなされたもので、スライダ、ヘッドアセンブリ、およびディスク装置において、スライダ浮上量の変動を低減することが可能なスライダ、ヘッドアセンブリ、ディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するため、本発明に係るスライダは、ほぼ矩形状で、該矩形の長手方向の一方端が空気流入端で他方端が空気排出端であるディスク対向面を有するスライダであって、前記ディスク対向面の前記空気流入端近傍に設けられた第１の正圧発生部と、前記ディスク対向面の前記第１の正圧発生部より前記空気排出端側に、前記長手方向と直角の前記ディスク対向面幅方向に離間して設けられた１対の第２の正圧発生部と、前記ディスク対向面の前記第１の正圧発生部より前記空気排出端側に設けられた負圧発生部と、前記ディスク対向面の前記負圧発生部より前記空気排出端側に設けられ、前記長手方向と同一の方向の最大寸法が前記ディスク対向面の長手方向寸法の２５％以下であり、前記長手方向と直角の方向の最大寸法が前記ディスク対向面の幅方向寸法の４５％以上である第３の正圧発生部とを具備することを特徴とする。
【０００６】
すなわち、最も空気排出端に近く設けられる第３の正圧発生部のサイズを、ディスク対向面の大きさに対して所定に限られた範囲とする。これにより、浮上時に発生する力のクラウン依存性を低減し、かつロール方向の空気膜剛性の強化を図る。この結果、スライダ浮上量の変動を低減することが可能となる。
【０００７】
本発明に係るヘッドアセンブリは、上記のようなスライダを組み込み有するアセンブリである。また、本発明に係るディスク装置は、このようなヘッドアセンブリを組み込んだ装置である。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、スライダ、ヘッドアセンブリ、およびディスク装置において、スライダ浮上量の変動を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の実施態様として、前記ディスク対向面における前記１対の第２の正圧発生部の前記空気流出端側の端部から前記空気流出端までの寸法は、前記ディスク対向面の長手方向寸法の２０％以上である、とすることができる。このような制限を設けることにより、メディアに対する間隔が最も狭くなる可能性のある第２の正圧発生部を実質的にメディアからより遠ざけ、メディアに対する衝突を効果的に防止することができる。
【００１０】
以下では本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は、本発明を磁気ディスク装置に適用した一実施形態の構成を示す斜視図である。図１に示すように、この磁気ディスク装置は、主要な構成として、ベース１、基板ユニット２、磁気ディスク３、ディスククランパ４、ボイスコイルモータ５、トップヨーク６、ピボット７、スライダ８、サスペンション（サスペンション部材）９、アーム１０を有する。これらの構成間の関係自体は磁気ディスク装置として周知であるが、一応それぞれの機能を説明する。
【００１１】
ベース１は、磁気ディスク装置の内部構成物を収容するための下部外装容器部材であり、図示しないトップカバー（上部外装容器部材）とともにディスクエンクロージャ（容器）を構成する。ベース１内部には、図示するように機械的および電気的な内部構成物が組み付けられる。基板ユニット２は、電気的な処理を行う電気／電子回路部品の実装基板である。電気的な処理には、磁気ディスク３に書き込みまたは磁気ディスク３から読み出す信号の処理、ボイスコイルモータ５やスピンドルモータ（ディスククランパ４の下部に位置。図示せず）の制御処理などが含まれる。
【００１２】
磁気ディスク３は、情報を磁気パターンとして記録保持する円盤状のメディアであり、通常ハードディスクとも呼ばれる。スライダ８の先端に設けられたヘッド素子によりその読み出しまたは新たな情報の書き込みがなされる。また、磁気ディスク３は、ディスククランパ４によって回転自在に固定支持されており、スピンドルモータにより所定の回転速度で回転される。
【００１３】
ボイスコイルモータ５は、トップヨーク６およびボトムヨーク（トップヨーク６の下部に位置。図示せず）を含んだ構成を有し、これらにより、ピボット７を中心にアーム１０を旋回させる。これによりスライダ８先端のヘッド素子を磁気ディスク３上の任意の半径位置に移動させる。トップヨーク６およびボトムヨークはボイルコイルモータ５としての界磁発生部材である。ピボット７は、アーム１０、その先端側に設けられたサスペンション９、さらにその先端側に設けられたヘッド素子を有するスライダ８を一体的に旋回移動させるべく、アーム１０の一端を回転自在に支持するものである。
【００１４】
スライダ８は、回転する磁気ディスク３上に空気潤滑を利用して安定的にヘッド素子を浮上・位置させるための部材であり、その先端（ピボット７側と反対）側にヘッド素子を有している。サスペンション９は、スライダ８をその上部側から支持し、かつアーム１０の先端から片持ちされて弾性変形することによりスライダ８側端部で下側への押圧力を発生する。この下側への押圧力は、空気潤滑でスライダ８に発生する浮上力と対抗する。アーム１０は、ピボット７にその一端が回転自在に支持され、他端にはサスペンション８の一端が取り付けられる。
【００１５】
図２は、図１中に示すスライダ８付近を拡大して示す側面図である。図２において、図１に示した構成要素と同一のものには同一符号を付してある。その部分の説明は省略する。図２に示すように、スライダ８およびサスペンション９が磁気ディスク３上に位置するときには、磁気ディスク３の回転によりその表面近傍に回転方向と同一方向の空気流２１が生じる。これにより、スライダ８には浮上する方向に力が発生する。浮上する力とサスペンション９の弾性変形による下側への押圧力Ｆとは対抗する。このバランスによりスライダ８の先端に取り付けられたヘッド素子１１は、磁気ディスク３上で適当な浮上位置にされる。このときスライダ８の浮上姿勢は、一般にピッチ角およびロール角を有するものとされる。なお、符号１２は、サスペンション９に対するスライダ８の取り付けを仲介するジンバルばねである。また、スライダ８の図で左側が空気流入端であり右側が空気排出端である。
【００１６】
図３は、図２中に示すスライダ８のみ（これはすなわち本発明の一実施形態に係るスライダ）の構成を拡大して示す斜視図（図３（ａ））および平面図（図３（ｂ））である。図３において、上面として示されている面が磁気ディスク３との対向面であり、その長手方向（寸法Ｌの方向）が磁気ディスク３が相対的に進行する方向にほぼ一致している。図３（ｂ）で図左側が空気流入端であり、図右側が空気排出端である。
【００１７】
図３に示すように、スライダ８は、空気流入端近傍に凸面状の第１の正圧発生部８１を、この第１の正圧発生部８１より空気排出端側に凸面状の１対の第２の正圧発生部８２、８３を、最も空気排出端側に凸面状の第３の正圧発生部８４を、それぞれ有している。第２の正圧発生部８２、８３は、スライダ８の幅方向（寸法Ｗの方向）に離間している。また、第１の正圧発生部８１の空気流入端側には第１の段差部８１ａが、第２の正圧発生部８２、８３の空気流入端側には１対の第２の段差部８２ａ、８３ａが、第３の正圧発生部８４の空気流入端側には第３の段差部８４ａが、それぞれ設けられている。これらの段差部８１ａ、８２ａ、８３ａ、８４ａは正圧発生部８１、８２、８３、８４の高さより多少後退した高さになっている。その後退量は、例えば０．１μｍである。
【００１８】
また、第１の正圧発生部８１より空気流入端側の、スライダ８の磁気ディスク対向面ほぼ中央には凹面の負圧発生部８５が設けられている。負圧発生部８５は、段差部８１ａ、８２ａ、８３ａ、８４ａより一段と低い高さにされており、例えば、正圧発生部８１、８２、８３、８４の高さからの後退量は例えば１μｍである。
【００１９】
このようなスライダ８は、例えばその材料としてアルティックなどのセラミックスを使用し、その表面を物理的エッチングによって加工することにより得ることができる。このスライダ８の長手方向長さＬは例えば８５０μｍ、長手方向と直角の方向の幅は例えば７００μｍである。大きさ的にいわゆるフェムトスライダに分類される。また、このスライダ８では、第３の正圧発生部８４のＬ方向の最大長さＬ３、およびＷ方向の最大長さＷ３が所定の制限の下に設定されている。この点については以降で図５を参照してさらに述べる。また、スライダ８の磁気ディスク対向面における第２の正圧発生部８２、８３の空気流出端側の端部から空気流出端までの寸法をＸsideとする。寸法Ｘsideについては、図１３を参照してのちにさらに説明する。
【００２０】
図４は、スライダ８のクラウンを説明するための側面図である。図４において、図３で説明した部位には同一符号を付してある。図３では説明を省略したが、このスライダ８には、その磁気ディスクとの対向面に寸法Ｌ方向に円弧による丸みを設けている。丸みによる、対向面のふくらみ量をクラウンの程度を表わす指標とする。この指標がゼロであるとき丸みがなく大きいほどきつい丸みということになる。
【００２１】
このスライダ８では、ふくらみ量すなわちクラウンを名目として７ｎｍないし１０ｎｍにしている。このようなふくらみにより、第２の正圧発生部８２、８３と磁気ディスク３との間隔をより短くし第２の正圧発生部８２、８３による空気膜剛性を高める効果がある。クラウンは、実際の使用時には、スライダ８に対する温度変化などの種々の変形要因により名目量から変化（減少）することが知られている。なお、スライダ一般では、その磁気ディスクとの対向面に寸法Ｗ方向にも丸みを設けることができる。この丸みをキャンバという。キャンバをこのスライダ８に設けるようにしてもよい。
【００２２】
図５は、図３に示したスライダ８の諸元の一部を示す表であり、その一部についてはすでに述べた。第３の（＝空気排出端側の）正圧発生部８４については、そのサイズが上記のように所定の制限の下で設定されており、Ｌ方向最大長さＬ３が１６５μｍ、Ｗ方向最大長さＷ３が３４０μｍである。これは、Ｌ／Ｌ３として１９．３％、Ｗ／Ｗ３として４８．６％である。
【００２３】
図６は、図３に示したスライダ８による特性の改善を基準例からの改善率として示す図である。基準例は、図３に示したスライダ８と同じ対向面サイズで、第３の正圧発生部８４のみＬ３＝２１５μｍに変更（増加）し、Ｗ３＝３２０μｍに変更（減少）したスライダである。これは、Ｌ／Ｌ３として２５．３％、Ｗ／Ｗ３として４５．７％である。図６は、基準例のスライダと図３に示したスライダ８の両者について、数値解析を用いてクラウン依存性とロール剛性とを計算し、基準例から改善度をパーセンテージで求めたものである。ここでのクラウン依存性とは、クラウンが１０ｎｍから０ｎｍに変化したときのスライダに発生する力の変動率である。ロール剛性とは、スライダのロール方向（スライダのＬ方向軸を中心とする回り方向）の空気膜剛性のことである。なお、この解析において、スライダ８の浮上姿勢は、空気流出端の最低浮上高が１０ｎｍ、ピッチ角が２００μｒａｄ、ロール角が０μｒａｄとしている。
【００２４】
図６に示すように、図３に示したスライダ８では、基準例に比較してクラウン依存性、ロール剛性ともに３割弱の改善度が得られている。このような改善により、スライダ浮上量の変動を低減することが可能である。これは、クラウンの製造ばらつき、温度などによる変形などに対してスライダに発生する力の変動が小さいこと、さらに、ロール方向の空気膜剛性が向上することでロールしにくくなるからである。
【００２５】
以下では、第３の（＝空気排出端側の）正圧発生部８４について、そのサイズをＬ／Ｌ３＝１９．３％、Ｗ／Ｗ３＝４８．６％、のように設定した理由を説明する。図７は、空気排出端側の正圧発生部の縦横最大寸法を検討するため想定したサンプル構成を示す図である。図７に示す各サンプルについて、次段落から説明するように、数値解析を行い種々のパラメータを評価した。サンプルａからサンプルｅは、それぞれ、図示するように第３の正圧発生部８４と第３の段差部８４ａのみを有するものとして、それらのアスペクト比（縦横比）のみ変化させている。平面的な形状も矩形として単純化しかつ正圧発生部８４と段差部８４ａとは同面積である。段差部８４ａの正圧発生部８４からの深さ（後退量）は０．１μｍ、段差部８４ａの空気流入端側の深さは正圧発生部８４から１μｍである。またクラウンのふくらみ量は１０ｎｍである。
【００２６】
図８は、図７に示したサンプルそれぞれについて、磁気ディスク上に浮上するときに発生する力を解析で求めた結果を示す図である。図８は、同じ正圧発生部８４の面積でもそれがスライダ８の幅方向に広い方が、この力の発生上有利であることを示している。フェムトスライダのような対向面の面積が小さいスライダでは、そもそも発生力は小さくなる傾向があるので、最も空気排出端側の正圧発生部８４の形状を幅方向で大きく長さ方向で小さく設定することは重要である。
【００２７】
図９は、図７に示したサンプルそれぞれにおけるクラウン減少時の発生力変動率を解析で求めた結果を示す図である。ここでは、クラウンのふくらみ量が１０ｎｍから０ｎｍに減少したと仮定している。図８に示す結果から、最も空気排出端側の正圧発生部８４の形状を幅方向で大きく長さ方向で小さく設定する場合の、クラウン減少時の発生力変動率は他の場合より相対的に小さいことがわかる。この点で図８における結果を害するものではない。
【００２８】
図１０は、図９に示した結果に対して、さらに段差部８４ａの面積比を変えたときのクラウン減少時の発生力変動率を解析で求めた結果を示す図である。四角のプロット点は段差部８４ａの面積を０．５倍に、三角のプロット点は同じく０．２５倍に、それぞれ変更した場合の結果を示す（なお丸のプロット点は図９と同じである。）。図１０の結果からは、段差部８４ａの面積を変更しても全体的な傾向としてほぼ変わらないということがわかる。換言すると、クラウン減少時の発生力変動率は、正圧発生部８４の形状および面積に主として依存しているが示されている。
【００２９】
図１１は、図７に示したサンプルそれぞれのロール方向の空気膜剛性を解析で求めた結果を示す図である。図１１に示す結果から、ロール方向の空気膜剛性は、やはり、最も空気排出端側の正圧発生部８４の形状を幅方向で大きく長さ方向で小さく設定する場合に大きくなることが示される。この点で図８、図９における結果を害するものではない。
【００３０】
図１２は、空気排出側の正圧発生部と同じ面積を有する、サイド配置された正圧発生部図を備えたスライダの構成を比較して示す平面図である。図１２（ａ）は図７のサンプルａと同じものである。図１２（ｂ）に示す構成（サイド配置された正圧発生部８４Ａ、８４Ｂおよび段差部８４ａＡ、８４ａＢを有する構成）のスライダについて図１１で示した解析と同じ解析を行った結果、図１１中の「サイド配置の場合」に示すような空気膜剛性値が得られた。この「サイド配置の場合」の空気膜剛性値より、サンプルａの空気膜剛性値は約６割も高いことがわかる。このことは、フェムトスライダでは、ロール剛性が、幅方向中心に位置する正圧発生部８４によって得られる傾向がより強いことを示している。換言すると、正圧発生部８４を適切に設定することはロール剛性を向上するための有力な手段である。
【００３１】
図８から図１１に示した結果を総合すると、最も空気排出端側の正圧発生部８４の形状を幅方向で大きく長さ方向で小さく設定することは、これらすべてのパラメータ評価で好ましい結果をもたらす。実際上の設計では、サンプルｃからサンプルａよりの傾向をもって正圧発生部８４の形状を選択し得ると考えられる。図３に示したスライダ８はこれに基づくものである。なお、第１、第２、第３の正圧発生部８１、８２、８３、８４の具体的な幾何学的形状は、図３に示すものに限らず、スライダ性能として悪影響がないものであれば採用できる。
【００３２】
次に、第２の正圧発生部８２、８３の配置について好ましい態様を説明する。一般的にスライダはディスク面に対してピッチ角よびロール角を有して浮上している。そのため、第２の正圧発生部８２、８３をあまりスライダ８の空気排出端側へ配置してしまうと、第２の正圧発生部８２、８３の空気排出端側の端部と磁気ディスク面との間隔が狭まり、より過度の場合は第２の正圧発生部８２、８３の空気排出端側端部の方が、第３の正圧発生部８４の最低浮上位置よりも低くなる可能性もある。すなわち、第２の正圧発生部８２、８３は、スライダ８の幅方向の両端に配置されるためロール角によりディスク面により近づく。
【００３３】
このように第２の正圧発生部８２、８３の空気排出端側端部がディスク面に近い場合、突発的なスライダ８の浮上量変化または姿勢変化が生じた場合に第２の正圧発生部８２、８３がディスク面に衝突し、装置信頼性の低下を引き起こす可能性がある。よって、第２の正圧発生部８２、８３の配置（すなわちスライダ８における第２の正圧発生部８２、８３の空気流出端側の端部から空気流出端までの寸法）に制限を加えることは、スライダ８の浮上安定性をより確保する上で考慮しておいた方がよい。
【００３４】
図１３は、図３に示したスライダ８における第２の正圧発生部８２、８３の最小浮上高Ｈsideを、スライダ８における第２の正圧発生部８２、８３の空気流出端側の端部から空気流出端までの寸法Ｘsideとの関係として計算で求めた結果を示す図である。図１３（ａ）はグラフで、図１３（ｂ）は表でそれぞれ示している。なお、第３の正圧発生部８４の最小浮上高Ｈmin＝１．００Ｅ−２［μｍ］、ピッチ角Ｐ＝１．００Ｅ−４［ｒａｄ］、クラウンのふくらみ量Ｃｒ＝１．００Ｅ−２［μｍ］、スライダ８長手方向の全長Ｌ＝８５０［μｍ］である。
【００３５】
第２の正圧発生部８２、８３の最小浮上高Ｈside［μｍ］は、上記のＨmin［μｍ］、Ｐ［ｒａｄ］、Ｃｒ［μｍ］、Ｌ［μｍ］との関係として、幾何学的解析から次式で定義できる。
Ｈside（Ｘside, Ｐ, Ｃｒ）
＝４・Ｃｒ・Ｘside２／Ｌ２＋（Ｐ−４・Ｃｒ／Ｌ）・Ｘside＋Ｈmin
【００３６】
よって、第２の正圧発生部８２、８３の最小浮上高Ｈsideを第３の正圧発生部８４の最小浮上高Ｈminより高くするためには、上式からわかるように、第２項の中の（Ｐ−４・Ｃｒ／Ｌ）を０よりも大きくし、かつ第１項から、Ｘsideもある程度大きくすることが目安になる。さらに、スライダの一般的な浮上姿勢を考えるとそれにはロール角も付与されるので、第２の正圧発生部８２、８３の最小浮上高Ｈsideは、第３の正圧発生部８４の最小浮上高Ｈminより余裕をもって高くなっている必要がある。
【００３７】
図１３に示す結果から、第２の正圧発生部８２、８３の最小浮上高Ｈsideがスライダ８の長手方向長さＬの２０％以上である場合には、上記の余裕は１．０６Ｅ−２［μｍ］（１．０６×１０−２［μｍ］）以上となり、これは第３の正圧発生部８４の最小浮上高Ｈminとして設定した１．００Ｅ−２［μｍ］と同程度以上である。この程度の余裕があればスライダ８にロール角が与えられた場合にも、第２の正圧発生部８２、８３がディスク面に衝突する可能性は効果的に抑制できるものと考えられる。なお、図３に示したスライダ８では、第２の正圧発生部８２、８３の空気流出端側の端部から空気流出端までの寸法Ｘside＝２３５μｍ（スライダ８の長手方向長さＬの２７．６％）である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明を磁気ディスク装置に適用した一実施形態の構成を示す斜視図。
【図２】図１中に示すスライダ８付近を拡大して示す側面図。
【図３】図２中に示すスライダ８のみ（すなわち本発明の一実施形態に係るスライダ）の構成を拡大して示す斜視図および平面図。
【図４】スライダのクラウンを説明するための側面図。
【図５】図３に示したスライダ８の諸元の一部を示す表。
【図６】図３に示したスライダ８による特性の改善を基準例からの改善率として示す図。
【図７】空気排出端側の正圧発生部の縦横最大寸法を検討するため想定したサンプル構成を示す図。
【図８】図７に示したサンプルそれぞれに発生する力を解析で求めた結果を示す図。
【図９】図７に示したサンプルそれぞれにおけるクラウン減少時の発生力変動率を解析で求めた結果を示す図。
【図１０】図９に示した結果に対して、さらに段差部の面積比を変えたときのクラウン減少時の発生力変動率を解析で求めた結果を示す図。
【図１１】図７に示したサンプルそれぞれのロール方向の空気膜剛性を解析で求めた結果を示す図。
【図１２】空気排出側の正圧発生部と同じ面積を有する、サイド配置された正圧発生部図を備えたスライダの構成を比較して示す平面図。
【図１３】図３に示したスライダ８における第２の正圧発生部の最小浮上高を、スライダ８における第２の正圧発生部の空気流出端側の端部から空気流出端までの寸法との関係として計算で求めた結果を示す図。
【符号の説明】
【００３９】
１…ベース、２…基板ユニット、３…磁気ディスク、４…ディスククランパ、５…ボイスコイルモータ、６…トップヨーク、７…ピボット、８…スライダ、９…サスペンション、１０…アーム、１１…ヘッド素子、１２…ジンバルばね、２１…空気流、８１…第１の正圧発生部、８１ａ…第１の段差部、８２，８３…第２の正圧発生部、８２ａ，８３ａ…第２の段差部、８４…第３の正圧発生部、８４Ａ，８４Ｂ…サイド配置された正圧発生部、８４ａＡ，８４ａＢ…サイド配置された段差部、８４ａ…第３の段差部、８５…負圧発生部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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