(57)【要約】【課題】  ガス制御ラインを形成する流体制御装置に於いて、部品点数を削減できて装置自体のより一層の小型化を図れると共に、高精度な流量制御を行えるようにする。【解決手段】  下段に配置されて流体通路１ａ，２ａ，３ａ，４ａ，５ａを夫々形成した複数のブロック継手１，２，３，４，５と、上段に配置されてブロック継手１，２，３，４，５に連通状に夫々接続された複数の流体制御機器６，７，８，９とから構成した流体制御装置に於いて、各流体制御機器９のうち、一つの流体制御機器９を、流量制御用のオリフィス１１と、オリフィス１１の上流側に設けたコントロールバルブ１２と、オリフィスとコントロールバルブ１２の間に設けられてオリフィス１１の上流側圧力を検出する上流側圧力センサー１３とを具備し、上流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロールバルブ１２の開閉によりオリフィス通過流量を制御する圧力式流量制御装置９とする。【選択図】      図１
2005149075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下段に配置されて流体通路を夫々形成した複数のブロック継手と、上段に配置されて各ブロック継手に夫々接続された複数の流体制御機器とを具備し、各ブロック継手の流体通路と各流体制御機器とで流体制御ラインを形成する流体制御装置に於いて、前記各流体制御機器のうち、一つの流体制御機器が、流量制御用のオリフィスと、オリフィスの上流側に設けたコントロールバルブと、オリフィスとコントロールバルブの間に設けられてオリフィスの上流側圧力を検出する上流側圧力センサーとを備え、上流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御するようにした圧力式流量制御装置で構成されていることを特徴とする流体制御装置。
【請求項２】
下段に配置されて流体通路を夫々形成した複数のブロック継手と、上段に配置されて各ブロック継手に夫々接続された複数の流体制御機器とを具備し、各ブロック継手の流体通路と各流体制御機器とで流体制御ラインを形成する流体制御装置に於いて、前記各流体制御機器のうち、一つの流体制御機器が、流量制御用のオリフィスと、オリフィスの上流側に設けたコントロールバルブと、オリフィスとコントロールバルブの間に設けられてオリフィスの上流側圧力を検出する上流側圧力センサーと、オリフィスの下流側に設けられてオリフィスの下流側圧力を検出する下流側圧力センサーとを備え、上流側圧力と下流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御するようにした圧力式流量制御装置で構成されていることを特徴とする流体制御装置。
【請求項３】
コントロールバルブの上流側流体通路からパージ用流体通路を分岐させ、当該パージ用流体通路にパージ用バルブを介設するようにした請求項１又は請求項２に記載の流体制御装置。
【請求項４】
圧力式流量制御装置の入口側ブロックにパージ用バルブを一体的に配設する構成としたことを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載の流体制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、主として半導体製造プラントや化学プラント等に於いて使用され、半導体製造プラント等のガス制御ラインを形成する流体制御装置の改良に係り、特に流体通路を形成した複数のブロック継手と圧力式流量制御装置や開閉バルブ等の各種流体制御機器とを集積化して成る流体制御装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体製造プラントや化学プラント等に於いては、原料となる複数のガスを所定の流量で供給し、原料ガスを反応炉の中で化学反応させて目的ガスを生成する場合が多い。このような場合に、原料ガスの供給流量が正確でないと化学反応に過不足が生じ、目的ガスの中に原料ガスが残留する事態が生じる。
【０００３】
未反応状態で残留する原料ガスは不純物ガスとなり、目的ガスの純度を低下させる。特に、未反応残留ガスが爆発性のガスである場合には、後続の製造設備に於いて爆発の危険性が付きまとい、その処理に余分な手間が掛かるという事態が生じる。
【０００４】
そこで、半導体製造プラントや化学プラント等に於いては、ガス流量を正確に供給制御することが必要となり、従来からマスフローコントローラを組み込んだ流体制御装置が多く用いられている。この流体制御装置は、マスフローコントローラや開閉バルブ、フィルター等の複数の流体制御機器を配管及び継手を介して直列状に接続することにより構成されており、各流体制御機器及び配管等でガス制御ラインが形成されている。
【０００５】
図１９及び図２０はマスフローコントローラを組み込んだ基本的な流体制御装置の正面図及びガスの流れを示す概略系統図であり、当該流体制御装置は、手動式開閉バルブ６０、フィルター６１、プレッシャーレギュレータ６２、圧力センサー６３、ブロックバルブ６４（流体通路を形成したブロック状本体６４ａに開閉バルブ６４ｂ及びパージ用バルブ６４ｃを設けたもの）、マスフローコントローラ６５及び開閉バルブ６６を配管６７及び継手６８を介して直列状に接続することにより構成されている。
【０００６】
而して、前記流体制御装置によれば、上流側（図１９の左側）の継手６８から導入されたプロセスガスが開閉バルブ６０、フィルター６１、プレッシャーレギュレータ６２、圧力センサー６３及びブロックバルブ６４を経てマスフローコントローラ６５に流入し、マスフローコントローラ６５によって流量制御された後、開閉バルブ６６を通って下流側（図１９の右側）の継手６８から排出されるようになっている。又、Ｎ2 等のパージガスは、ブロックバルブ６４（パージ用バルブ６４ｃ）からマスフローコントローラ６５及び開閉バルブ６６を経て下流側の継手６８から排出されるようになっている。
【０００７】
ところで、上述した流体制御装置に於いては、マスフローコントローラ６５や開閉バルブ６０，６６等の流体制御機器同士を配管６７及び継手６８により接続するようにしているため、（１）装置自体が大型化して広い設置スペースが必要になる、（２）流体通路空間の容積が大きくなり、ガスの置換性が悪くなると共に、ガス純度が低下する、（３）シール部が多くなってガスの外部リークの総量が増加する、（４）配管及び継手の接続（溶接を含む）や多数の接続部の漏洩検査等の作業に手数がかかる、等の不具合があった。
【０００８】
このような不具合を解消するために、マスフローコントローラ６５や開閉バルブ６０，６６等の各種流体制御機器同士を配管６７を介さずにブロック継手６９により接続するようにした流体制御装置が開発され、広く利用に供されている（例えば特許文献１、特許文献２及び特許文献３等）。この流体制御装置は、流体通路を夫々形成した複数のブロック継手６９と、各ブロック継手６９に連通状に夫々接続された複数の流体制御機器（マスフローコントローラ６５や開閉バルブ６０，６６等）とから成り、各ブロック継手６９の流体通路と各流体制御機器とで流体制御ラインを形成するようにしたものである。
【０００９】
図２１はブロック継手６９を使用して複数の流体制御機器同士を接続した流体制御装置の一例を示すものであり、ガス制御ラインが図１９及び図２０に示した流体制御装置のガス制御ラインと同一に形成されている。
即ち、前記流体制御装置は、下段に直列状に配置されて流体通路（図示省略）を夫々形成した複数のブロック継手６９と、上段に直列状に配置されて各ブロック継手６９の流体通路に連通状に夫々接続される手動式開閉バルブ６０、フィルター６１、プレッシャーレギュレータ６２、圧力センサー６３、ブロックバルブ６４（流体通路を形成したブロック状本体６４ａに開閉バルブ６４ｂ及びパージ用バルブ６４ｃを設けたもの）、マスフローコントローラ６５及び開閉バルブ６６等の各種流体制御機器とから構成されており、矩形状の基板（図示省略）上に複数のブロック継手６９を直列状に配置してボルトにより固定し、隣接するブロック継手６９に各バルブ６０，６４，６６及びマスフローコントローラ６５等を跨るようにして載せ、これらをボルト７０により各ブロック継手６９に固定することにより組み立てられている。
【００１０】
そして、このように構成された流体制御装置を基板上に並列状に配置し、適宜の流体制御装置のガス制御ライン同士を所定個所に於いて継手等の通路接続手段で接続することにより集積化ガスシステム（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｇａｓ  Ｄｅｌｉｖｅｒｙ  Ｓｙｓｔｅｍ）が構成される。
【００１１】
前記流体制御装置は、開閉バルブ６０，６６やマスフローコントローラ６５等の各種流体制御機器同士を複数のブロック継手６９を介して接続しているため、複数の流体制御機器を配管６７及び継手６８により接続するようにした流体制御装置に比較して設置スペースが少なくて済むうえ、ガスの置換性が優れていると共に、不純ガス放出量が少なくなる等の優れた利点がある。
【００１２】
然し乍ら、上述した流体制御装置（図２１に示すもの）に於いても、未だ解決すべき問題点が残されている。
即ち、前記流体制御装置に於いては、マスフローコントローラ６５の上流側の流体圧力が変動した場合にマスフローコントローラ６５の出力値が大きく変動するため、マスフローコントローラ６５の上流側にプレッシャーレギュレータ６２を設置しなければならない。そのため、ガス制御ラインにプレッシャーレギュレータ６２を組み込まなければならず、流体制御装置自体の大幅な小型化を図れないと云う問題があった。その結果、マスフローコントローラ６５を組み込んだ流体制御装置に於いては、設置スペースの大幅な減少は勿論のこと、ガスの置換性の大幅な向上及び不純ガス放出量の大幅な減少等を図れないことになる。
又、マスフローコントローラ６５には、応答速度が比較的遅くて低流量域に於ける流量精度が悪い等の欠点があるため、このマスフローコントローラ６５を組み込んだ流体制御装置では、高精度な流量制御を行えないと云う問題もある。
【特許文献１】特開平１１−１１８０５４号公報
【特許文献２】特開２００１−２５４９００号公報
【特許文献３】特開２００２−８９７９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、このような問題点に鑑みて為されたものであり、その目的は、部品点数を削減できて装置自体のより一層の小型化を図れると共に、高精度な流量制御を行えるようにした流体制御装置を提供することにある。
【００１４】
本願発明者等は、先にガスの圧力を制御することによって、高精度に流量をコントロールすることができる新しいタイプの圧力式流量制御装置を開発した。この圧力式流量制御装置は、上流側の流体の圧力が変動した場合でも出力値が変動しないと云う特性があり、然も、素早い応答性を有し、高精度な流量制御を行うことができる等の利点がある。
そこで、本願発明者等は、マスフローコントローラに替えて前記圧力式流量制御装置をガス制御ラインに組み込むことによって、装置自体の小型化等を図ることができる流量制御装置を着想した。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の請求項１の発明は、下段に配置されて流体通路を夫々形成した複数のブロック継手と、上段に配置されて各ブロック継手に夫々接続された複数の流体制御機器とを具備し、各ブロック継手の流体通路と各流体制御機器とで流体制御ラインを形成する流体制御装置に於いて、前記各流体制御機器のうち、一つの流体制御機器が、流量制御用のオリフィスと、オリフィスの上流側に設けたコントロールバルブと、オリフィスとコントロールバルブの間に設けられてオリフィスの上流側圧力を検出する上流側圧力センサーとを備え、上流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御するようにした圧力式流量制御装置で構成されていることに特徴がある。
【００１６】
又、本発明の請求項２の発明は、下段に配置されて流体通路を夫々形成した複数のブロック継手と、上段に配置されて各ブロック継手に夫々接続された複数の流体制御機器とを具備し、各ブロック継手の流体通路と各流体制御機器とで流体制御ラインを形成する流体制御装置に於いて、前記各流体制御機器のうち、一つ流体制御機器が、流量制御用のオリフィスと、オリフィスの上流側に設けたコントロールバルブと、オリフィスとコントロールバルブの間に設けられてオリフィスの上流側圧力を検出する上流側圧力センサーと、オリフィスの下流側に設けられてオリフィスの下流側圧力を検出する下流側圧力センサーとを備え、上流側圧力と下流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロールバルブの開閉によりオリフィス通過流量を制御するようにした圧力式流量制御装置で構成されていることに特徴がある。
【００１７】
更に、本発明の請求項３の発明は、請求項１又は請求項２の発明に於いて、コントロールバルブの上流側流体通路からパージ用流体通路を分岐させ、当該パージ用流体通路にパージ用バルブを介設する構成としたものである。
又、本発明の請求項４の発明は、請求項１乃至請求項３の発明に於いて、圧力式流量制御装置の入口側ブロックにパージ用バルブを一体的に配設する構成としたものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の流体制御装置は、ガス制御ラインに組み込まれる各種流体制御機器のうち、一つの流体制御機器を、上流側の流体の圧力が変動した場合でも出力値が変動せず、然も、素早い応答性を有し、高精度な流量制御を行うことができる圧力式流量制御装置としているため、流体の圧力を調整するための流体制御機器（プレッシャーレギュレータ）をガス制御ラインから省くことができ、マスフローコントローラを組み込んだ流体制御装置に比較して流体制御装置自体の大幅なコンパクト化及びコスト低減を図れると共に、流量制御を高精度で行える。
又、本発明の流体制御装置は、装置自体のコンパクト化に伴って流体通路の容積が小さくなり、ガスの置換性が大幅に向上すると共に、不純ガス放出量が極めて少なくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本発明の第１実施形態に係る流体制御装置の一例を示すものであり、当該流体制御装置は、下段に直列状に配置されて流体通路１ａ，２ａ，３ａ，４ａ，５ａを夫々形成した複数のブロック継手１，２，３，４，５と、上段に直列状に配置されて各ブロック継手１，２，３，４，５に連通状に夫々接続された複数の流体制御機器６，７，８，９とを具備し、各ブロック継手１，２，３，４，５の流体通路１ａ，２ａ，３ａ，４ａ，５ａと各流体制御機器６，７，８，９とで流体制御ラインを形成するものであり、流体制御機器９の一つが圧力式流量制御装置９により構成されている。
この実施の形態に於いては、流体制御装置は、矩形状の基板（図示省略）上に取り付けられた五つのブロック継手１，２，３，４，５と、隣接するブロック継手１，２，３，４，５に夫々取り付けられた四つの流体制御機器６，７，８，９とから構成されており、各流体制御機器６，７，８，９には、一つの手動式開閉バルブ６、二つのエアー式開閉バルブ７，８及び一つの圧力式流量制御装置９が夫々使用されている。
【００２０】
前記五つのブロック継手１，２，３，４，５は、従来公知のものと同様構造に構成されており、各ブロック継手１，２，３，４，５には、Ｌ字状１ａ，５ａ又はＶ状の流体通路２ａ，３ａ，４ａが夫々形成されている。
具体的には、五つのブロック継手１，２，３，４，５のうち、左端に配置されたブロック継手１には、左向きの入口及び上向きの出口を有するＬ字状の流体通路１ａが形成されており、流体通路１ａの入口側には入口継手１０Ａが設けられている。又、左から２番目、３番目及び４番目に配置された各ブロック継手２，３，４には、上向きの入口及び上向きの出口を有するＶ状の流体通路２ａ，３ａ，４ａが夫々形成されている。更に、右端に配置されたブロック継手５には、上向きの入口及び右向きの出口を有するＬ字状の流体通路５ａが形成されており、流体通路５ａの出口側には出口継手１０Ｂが設けられている。
そして、各ブロック継手１，２，３，４，５の所定個所には、ボルト５３が挿通される複数の縦向きの貫通穴（図示省略）及びボルト５３が螺着される複数の縦向きのネジ穴（図示省略）が夫々形成されており、各ブロック継手１，２，３，４，５は、これらを複数のネジ穴を形成した基板（図示省略）上に直列状に配置し、各ブロック継手１，２，３，４，５の貫通孔に上方からボルト５３を挿通して基板のネジ穴に螺着することにより基板に固定されている。
【００２１】
前記手動式開閉バルブ６と二つのエアー式開閉バルブ７，８は、従来公知のものと同様構造に構成されており、各開閉バルブ６，７，８には、発塵が少なくて耐食性及びガス置換性等に優れた所謂ダイレクトタッチ型のメタルダイヤフラムバルブが夫々使用されている。
具体的には、手動式開閉バルブ６は、左端に配置されたブロック継手１の流体通路１ａの出口と左から２番目に配置されたブロック継手２の流体通路２ａの入口に連通し、且つダイヤフラム（図示省略）により開閉される流体通路（図示省略）を形成したボディ６ａと、ボディ６ａに設けられてダイヤフラムを操作する手動式の操作部６ｂとから構成されており、ボディ６ａを左端のブロック継手１と左から２番目のブロック継手２に跨るように載せ、ボディ６ａに上方から挿通したボルト５３を各ブロック継手１，２のネジ孔に螺着することにより各ブロック継手１，２に連通状に接続固定されている。
又、一方のエアー式開閉バルブ７は、左から２番目に配置されたブロック継手２の流体通路２ａの出口と左から３番目に配置されたブロック継手３の流体通路３ａの入口に連通し、且つダイヤフラム（図示省略）により開閉される流体通路（図示省略）を形成したボディ７ａと、ボディ７ａに設けられてダイヤフラムを操作する駆動部７ｂ（アクチュエータ）とから構成されており、ボディ７ａを左から２番目のブロック継手２ａと左から３番目のブロック継手３に跨るように載せ、ボディ７ａに上方から挿通したボルト５３を各ブロック継手２，３のネジ孔に螺着することにより各ブロック継手２，３に連通状に接続固定されている。
更に、他方のエアー式開閉バルブ８は、左から４番目に配置されたブロック継手４の流体通路４ａの出口と右端に配置されたブロック継手５の流体通路５ａの入口に連通し、且つダイヤフラム（図示省略）により開閉される流体通路（図示省略）を形成したボディ８ａと、ボディ８ａに設けられてダイヤフラムを操作する駆動部８ｂ（アクチュエータ）とから構成されており、ボディ８ａを左から４番目のブロック継手４と右端のブロック継手５に跨るように載せ、ボディ８ａに上方から挿通したボルト５３を各ブロック継手４，５のネジ孔に螺着することにより各ブロック継手４，５に連通状に接続固定されている。
【００２２】
前記圧力式流量制御装置９は、流量制御用のオリフィス１１と、オリフィス１１の上流側に設けたコントロールバルブ１２と、オリフィス１１とコントロールバルブ１２の間に設けられてオリフィス１１の上流側圧力を検出する上流側圧力センサー１３と、コントロールバルブ１２の上流側に設けたガスケットフィルター１４と、コントロールバルブ１２を制御する制御回路１５等から構成されており、オリフィス１１の上流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロールバルブ１２の開閉によりオリフィス通過流量を制御するようにしたものである。
即ち、この圧力式流量制御装置９は、供給される流体が臨界条件にある場合（オリフィス１１から流出する流体の速度が音速である場合）を前提としたものであり、オリフィス１１の上流側圧力Ｐ1 （絶対圧力）を下流側圧力Ｐ2 （絶対圧力）の約２倍以上に保持した状態下に於いてオリフィス１１の上流側に配置したコントロールバルブ１２によりオリフィス１１の上流側圧力を調整し、これによってオリフィス１１の下流側の流量ＱｃをＱｃ＝ＫＰ1 （但しＫは定数）により演算して所定の設定値に制御することを基本原理とするものである（特開平８−３３８５４６号公報等参照）。
【００２３】
そして、圧力式流量制御装置９は、左から３番目に配置されたブロック継手３の流体通路３ａの出口に連通する導入通路１６ａを形成した入口側ブロック１６と、左から４番目に配置されたブロック継手４の流体通路４ａの入口に連通する排出通路１７ａを形成した出口側ブロック１７を夫々備えており、入口側ブロック１６を左から３番目のブロック継手３に、又、出口側ブロック１７を左から４番目のブロック継手４に夫々載せ、入口側ブロック１６及び出口側ブロック１７に上方から挿通したボルトを各ブロック継手３，４のネジ孔に螺着することにより各ブロック継手３，４に連通状に接続固定されている。
【００２４】
図２及び図３は流体制御装置の主要部である圧力式流量制御装置９を示し、当該圧力式流量制御装置９は、コントロールバルブ１２、入口側ブロック１６、出口側ブロック１７、上流側圧力センサー１３、オリフィス１１、ガスケットフィルター１４及び制御回路１５等から構成されている。
【００２５】
前記コントロールバルブ１２は、図２に示す如く、ボディ１８、ダイヤフラム１９、押えアダプター２０、割りベース２１、ベース押え２２、アクチュエータボックス２３、ダイヤフラム押え２４、皿バネ２５、ボール受け２６、ボール２７、ピエゾアクチュエータ２８（圧電素子）、ベアリング受け２９、ベアリング３０、ロックナット３１及び調整用袋ナット３２等から構成されており、ノーマルクローズ型のメタルダイヤフラムバルブとなっている。
【００２６】
具体的には、ボディ１８は、ステンレス鋼によりブロック状に形成されており、弁室１８ａ′を形成する凹部１８ａと、弁室１８ａ′に連通する入口通路１８ｂと、弁室１８ａ′内に形成された弁座１８ｃと、弁室１８ａ′に連通する出口通路１８ｄと、上流側圧力センサー１３が挿着されるセンサー挿着穴１８ｅと、ガスケットフィルター１４が挿着されるフィルター挿着孔１８ｆと、オリフィス１１が挿着されるオリフィス挿着孔１８ｇ等を備えている。
【００２７】
ダイヤフラム１９は、コバルト、ニッケルを基ベ−スにタングステン、モリブデン、チタン、クロ−ム等を加えた耐久性、耐食性、耐熱性に優れた高弾性合金（スプロン１００）製の極薄板材により中央部が上方へ膨出した逆皿形に形成されており、弁座１８ａ′と対向するように凹部１８ａ内へ配置され、凹部１８ａ内に挿入した筒状の押えアダプター２０、二つ割りの割りベース２１及び筒状のベース押え２２をボルト３３によりボディ１８側へ締め込み固定することによって、ダイヤフラム１９の外周縁部が押えアダプター２０等によりボディ１８側へ気密状に保持固定されている。
尚、ダイヤフラム１９の材質は、ステンレス鋼やインコネル、その他の合金鋼であっても良く、又、複数枚のダイヤフラム１９を積層したダイヤフラム１９であっても良い。更に、押えアダプター２０、割りベース２１及びベース押え２２は、ステンレス鋼により夫々形成されている。
【００２８】
アクチュエータボックス２３は、図２、図４及び図５に示す如く、熱膨張率の小さなインバー材により筒状に形成されており、ピエゾアクチュエータ２８を収納し且つ下端部がベース押え２２内にＯリング３４を介して上下方向へ摺動自在に挿入された筒状の大径部２３ａと、大径部２３ａの下端に一体的に設けられ、皿バネ２５及びボール受け２６等を収納する筒状の小径部２３ｂとから成る。又、小径部２３ｂの内方には、隔壁２３ｃが一体的に設けられており、隔壁２３ｃの上方空間に皿バネ２５及びボール受け２６が収納され、隔壁２３ｃの下方空間にダイヤフラム押え２４が挿入固定されている。更に、大径部２３ａと小径部２３ｂの境界部分の周壁には、後述する割りベース２１の一部分が挿入される縦長のガイド穴２３ｄが対向状に形成されている。
【００２９】
割りベース２１は、図６及び図７に示す如く、半割り状の一対の割りベース片２１′から成り、各割りベース片２１′をアクチュエータボックス２３のガイド穴２３ｄの両側から対向状に組み付け、両割りベース片２１′に筒状のベース押え２２を嵌め込むことによって、アクチュエータボックス２３に一体的に保持固定される。
各割りベース片２１′は、短い円筒部２１ａの上端にアクチュエータボックス２３のガイド穴２３ｄに挿入される嵌合部２１ｂを、又、円筒部２１ａの下端にボディ１８の凹部１８ａに挿入される鍔部２１ｃを夫々形成したものを中央部で二つ割りすることにより形成されており、嵌合部２１ｂの上面にはボール受け２６の一部分が嵌め込まれる窪み２１ｄが形成されている。
【００３０】
前記コントロールバルブ１２の組み立てに際しては、先ず、ボディ１８の凹部１８ａ内にダイヤフラム１９、押えアダプター２０、ダイヤフラム押え２４を固定したアクチュエータボックス２３、皿バネ２５、割りベース２１、ボール受け２６の順に組み付け、ベース押え２２を介してアクチュエータボックス２３をボディ１８へ挿着し、ベース押え２２をボルト３３によりボディ１８へ締め込み固定する。
次に、アクチュエータボックス２３内へボール２７、ピエゾアクチュエータ２８、ベアリング受け２９、ベアリング３０の順に挿着し、調整用袋ナット３２の締め込み量を調整することにより、ピエゾアクチュエータ２８によるダイヤフラム１９の作動ストロークを設定値に調整する。
尚、ベース押え２２の締め込み固定により、割りベース２１とアクチュエータボックス２３とボール受け２６と皿バネ２５とダイヤフラム押え２４とダイヤフラム１９等は、全て所定の位置に整然と自動的に固定されると共に、調整用袋ナット３２の締め込みによりボール２７やピエゾアクチュエータ２８、アクチュエータボックス２３等の軸芯は極めて高精度に一致されることになる。
このコントロールバルブ１２は、各部材の軸芯の一致を自動的に図ることができ、その結果、組み付け精度が大幅に向上して組み付け精度のバラツキやヒステリシス現象が減少するだけでなく、作動の安定性及び応答性の向上が可能となる。
【００３１】
而して、前記コントロールバルブ１２によれば、制御回路１５からコネクターを介して開弁信号が入力（入力電圧０〜１２０ｖ）されると、ピエゾアクチュエータ２８は設定値（０〜４５μｍの間）だけ伸長する。
これにより、約４０〜８０ｋｇの押上げ力がアクチュエータボックス２３に働き、ベース押え２２のＯリング３４により軸芯を保持された状態でアクチュエータボックス２３が皿バネ２５の弾性力に抗して上記設定値だけ上昇する。その結果、ダイヤフラム１９がその弾性力によって弁座２８ｃから離座し、開弁状態となる。
逆に、開弁信号の入力がｏｆｆになると、ピエゾアクチュエータ２８が元の長さ寸法の状態に復帰し、その結果、皿バネ２５の弾性力によりアクチュエータボックス２３の隔壁２３ｃが下方向へ押し下げられ、ダイヤフラム押え２４によりダイヤフラム１９が弁座１８ｃへ当座し、開弁状態となる。
尚、開弁ストロークが４５μｍで弁座１８ｃの口径が１ｍｍφの場合、弁の全閉から全開に至る所要時間は約３０ｍｓｅｃ以下である。
【００３２】
前記入口側ブロック１６は、図２に示す如く、ステンレス鋼によりブロック状に形成されており、左から３番目のブロック継手３の流体通路３ａ及びコントロールバルブ１２のボディ１８の入口通路１８ｂに夫々連通し、且つ下向きの入口及び右向きの出口を有する導入通路１６ａと、導入通路１６ａの入口側及び出口側に形成されたフィルター挿着孔１６ｂと、流体の漏洩を検査するためのリークポート１６ｃとを夫々備えている。
又、出口側ブロック１７は、図２に示す如く、ステンレス鋼によりブロック状に形成されており、左から４番目のブロック継手４の流体通路４ａ及びコントロールバルブ１２のボディ１８の出口通路１８ｄに夫々連通し、且つ左向きの入口及び下向きの出口を有する排出通路１７ａと、排出通路１７ａの入口側に形成されたオリフィス挿着孔１７ｂと、排出通路１７ａの出口側に形成されたフィルター挿着孔１７ｃと、流体の漏洩を検査するためのリークポート１７ｄとを夫々備えている。
そして、入口側ブロック１６及び出口側ブロック１７は、コントロールバルブ１２のボディ１８の左側面及び右側面に夫々配置され、複数本のボルトによりコントロールバルブ１２のボディ１８に固定されている。
【００３３】
前記上流側圧力センサー１３は、センサーチップ（感圧素子）を利用したダイヤフラム型の圧力センサーであり、この上流側圧力センサー１３には特開２００１−５０８３５号公報に開示されたもの同様構造のものが使用されている。
即ち、上流側圧力センサー１３は、図８に示す如く、センサーベース３５、センサーチップ３６、ダイヤフラム３７ａを備えたダイヤフラムベース３７、圧力伝達用媒体３８（シリコンオイル）、封止用ボール３９及びリードピン４０等から構成されており、流体圧がダイヤフラム３７ａ及び圧力伝達用媒体３８を介してセンサーチップ３６へ加わると、センサーチップ３６を形成する半導体圧力トランスジューサから圧力に比例した電圧信号がリードピン４０を介して外部へ出力されるようになっている。このダイヤフラム型の上流側圧力センサー１３は、管路等へ取り付けたときにデッドスペースを極めて小さくすることができ、ガスの置換性を高めることができる等の利点がある。
【００３４】
具体的には、センサーベース３５は、ステンレス鋼により外周面に鍔部３５ａを有する厚肉の円盤状に形成されており、センサーベース３５の片面側にはセンサーチップ３６を収納し、且つ圧力伝達用媒体３８を封入するための窪み部３５ｂが形成されている。又、センサーベース３５には、圧力伝達用媒体３８の注入孔（図示省略）及びリードピン４０の貫通孔が夫々形成されている。
【００３５】
ダイヤフラムベース３７は、ダイヤフラム３７ａと、ダイヤフラム３７ａの外周縁部に連設された環状の本体部３７ｂと、本体部３７ｂの外周面に連設された鍔部３７ｃとから成り、鍔部３７ｃの一方の端面（図８に示す鍔部３７ｃの上側の面）をセンサーベース３５の鍔部３５ａの片面に密着させ、両鍔部３７ｃ，３５ａを対向せしめた状態で両鍔部３７ｃ，３５ａの密着部分を全周に亘って溶接することによりセンサーベース３５に固定されている。これにより、センサーベース３５とダイヤフラムベース３７との間には、センサーチップ３６を収納し且つ圧力伝達用媒体３８を封入するための空間が形成されることになる。
又、ダイヤフラムベース３７の鍔部３７ｃの他方の端面（センサーベース３５の鍔部３５ａに密着しない方の面）には、所謂歪み逃し用の浅溝３７ｄが環状に形成されている。この浅溝３７ｄは、鍔部３７ｃの内側寄り位置に形成されており、その断面形状はＶ字形又はＵ字形に形成されている。
更に、ダイヤフラム３７ａの流体に接する面（接ガス面）には、公知の方法により所謂不働態膜の形成処理が施されており、接ガス面には厚さ約２００Åの略１００％酸化クロムから成る不働態膜又は厚さ約１０００Å〜３０００Åの弗化不働態膜若しくは厚さ約２００Åの主としてアルミニウム酸化膜とクロム酸化物の混合酸化不働態膜が形成されている。
この実施の形態に於いては、ダイヤフラムベース３７の鍔部３７ｃの外径は１４．７ｍｍに、ダイヤフラムベース３７の本体部３７ｂの外径は１２．４ｍｍに、ダイヤフラム３７ａの受圧面の直径は１１．４ｍｍに、ダイヤフラムベース３７の本体部３７ｂの厚みは１．９５ｍｍに、ダイヤフラムベース３７の鍔部３７ｃの厚みは１．１５ｍｍに、ダイヤフラム３７ａの厚みは０．０６ｍｍに、歪み逃し用の浅溝３７ｄの深さは０．２ｍｍに、不働態膜の厚さは約２００Åの酸化クロム皮膜に夫々選定されており、ダイヤフラムベース３７の材質にはＦＳ９が使用されている。
【００３６】
尚、センサーチップ３６には、従来公知の拡散形半導体圧力トランスジューサが使用されており、このセンサーチップ３６は圧力を受けると変形をするダイヤフラム構造を呈している。又、圧力伝達用媒体３８には、温度膨張係数や圧縮係数が小さく且つ化学的にも安定したシリコンオイルが使用されており、この圧力伝達用媒体３８はダイヤフラム３７ａに加わった流体圧力をセンサーチップ３６へ伝達するものである。更に、封止用ボール３９は、圧力伝達用媒体３８の注入孔を密封するためのものであり、この封止用ボール３９には軸受鋼のボールが使用されている。
【００３７】
図９は上流側圧力センサー１３のコントロールバルブ１２のボディ１８への取り付け構造を示すものであり、ボディ１８に形成したセンサー挿着孔１８ｅ内へ上流側圧力センサー１３がセンサー押えフランジ４１及びボルト４２によりガスケット４３を介して気密状に取り付け固定されている。
【００３８】
前記センサー挿着孔１８ｅは、ボディ１８の出口通路１８ｄに連通するようにボディ１８の底面側に形成されており、センサー挿着孔１８ｅの内周面はセンサー押えフランジ４１のガイド面となっている。又、センサー挿着孔１８ｅの奥部は、小径に形成されており、この小径部分にガスケット４３が挿着されるようになっている。即ち、センサー挿着孔１８ｅの小径部分の内周面にガスケット４３の外周面４３ａが、センサー挿着孔１８ｅの小径部分の水平面にガスケット４３の一方の端面４３ｂが夫々当接するようになっている。更に、センサー挿着孔１８ｅの小径部分の水平面の内側部分は、テーパ状に形成されている。
【００３９】
前記ガスケット４３は、ステンレス鋼によりリング状に形成されており、そのシート部の断面形状は矩形の四隅部を面取りした縦長の四角形に形成されている。このガスケット４３の内周面４３ｄは、ダイヤフラムベース３７の本体部３７ｂの外周面に、又、ガスケット４３の他方の端面４３ｃは、ダイヤフラムベース３７の鍔部３７ｃの片面に夫々当接するようになっている。
この実施の形態に於いては、ガスケット４３の外径は１４．６ｍｍに、ガスケット４３の内径は１２．８ｍｍに、ガスケット４３のシート部の厚さ（高さ）は１．８ｍｍに、シート部の接当面の横幅は０．４ｍｍに夫々選定されている。
【００４０】
而して、前記上流側圧力センサー１３は、図９に示す如く、コントロールバルブ１２のボディ１８に形成したセンサー挿着孔１８ｅ内へガスケット４３、上流側圧力センサー１３及びセンサー押えフランジ４１を順次挿入し、センサー押えフランジ４１をボルト４２によりボディ１８側へ締め付け、センサー押えフランジ４１の先端部でセンサーベース３５及びダイヤフラムベース３７の両鍔部３５ａ，３７ｃを押圧することにより、ガスケット４３を介してボディ１８のセンサー挿着孔１８ｅ内に気密状に取り付けられている。
この上流側圧力センサー１３の取り付け構造に於いては、ボルト４２が締め込まれると、センサー押えフランジ４１及びガスケット４３を介してセンサーベース３５及びダイヤフラムベース３７の両鍔部３５ａ，３７ｃに上・下方向の圧縮力（上・下方向の反力）がかかる。万一、ボルト４２の締め込み時に、センサーベース３５及びダイヤフラムベース３７の両鍔部３５ａ，３７ｃにかかる上・下方向の圧縮力が原因となって、ダイヤフラム３７ａに歪力が加わる場合でも、ダイヤフラムベース３７の鍔部３７ｃに設けた浅溝３７ｄによりこの部分の肉厚が薄くなっているため、歪力による変位は前記薄肉部の近傍に於いて吸収される。これにより、歪力が直接にダイヤフラム３７ａへ伝達されなくなり、ダイヤフラム３７ａに歪みが生ずるのが防止されることになる。
その結果、ボディ１８へ上流側圧力センサー１３を取り付け固定した場合に於いても、出力や温度特性がフリーの状態下に於ける出力や温度特性と殆ど差異を生ぜず、流体通路のデッドスペースの増加を招くことなしに上流側圧力センサー１３をボディ１８へ取り付けることができる。
【００４１】
前記オリフィス１１は、図２に示す如く、上流側圧力センサー１３より下流側で且つコントロールバルブ１２のボディ１８の出口通路１８ｄの出口側に設けられており、ボディ１８のオリフィス挿着孔１８ｇ及び出口側ブロック１７のオリフィス挿着孔１７ｂに円筒状のオリフィスガイド４４を介して挿着され、出口側ブロック１７をボルトを介してボディ１８側へ固定することにより、ボディ１８側に取り付け固定されている。
即ち、オリフィス１１は、図２及び図１０に示す如く、ステンレス鋼製の円筒状のオリフィスガイド４４に挿着され、ボディ１８の出口通路１８ｄに連通する円筒状のオリフィスベース４５と、オリフィスベース４５に取り付けられ、オリフィス孔４６′を形成した円板状のオリフィスプレート４６とから成る。
【００４２】
具体的には、オリフィスベース４５は、図１０に示す如く、ステンレス鋼により円筒状に形成されており、その内周面の一端部側にはオリフィスプレート４６を取り付けるためのフランジ部４５ａが形成されている。このフランジ部４５ａの外側面の内周縁部には、オリフィスプレート４６を嵌め込むための環状の窪み部４５ｂが形成されている。
【００４３】
一方、オリフィスプレート４６は、図１１に示す如く、ステンレス鋼製の極薄板材をプレス加工することにより円板状に形成されており、その中心部にはオリフィス孔４６′が形成されている。又、オリフィス孔４６′は、流体の高圧側（上流側）に位置するテーパ部４６ａと、テーパ部４６ａに連続して流体の低圧側（下流側）に位置するストレート部４６ｂとから成る。このオリフィスプレート４６は、プレス加工により形成されているため、放電加工やエッチング加工により形成したオリフィスに比較して加工精度にバラツキを生じることがなく、簡単且つ安価に製作することができるうえ、オリフィスの流量特性のバラツキもなくなる。
そして、オリフィスプレート４６は、オリフィスベース４５のフランジ部４５ａに形成した窪み部４５ｂに嵌め込まれ、オリフィスプレート４６の外周縁部をフランジ部４５ａへレーザー溶接することによりオリフィスベース４５に取り付け固定されている。
この実施の形態に於いては、オリフィスプレート４６の直径は３．５ｍｍに、オリフィスプレート４６の厚みは０．０５ｍｍに、オリフィス孔４６′のストレート部４６ｂの長さは０．０１５ｍｍに、オリフィス孔４６′のストレート部４６ｂの内径は０．０３ｍｍに、オリフィス孔４６′のテーパ部４６ａの傾斜角度は軸心に対して１７°に夫々選定されている。
【００４４】
前記ガスケットフィルター１４は、コントロールバルブ１２のボディ１８の入口通路１８ｂと入口側ブロック１６の導入通路１６ａとの突き合せ部分に配置されてシール性を確保すると共に、フィルター機能を果たすものである。
即ち、ガスケットフィルター１４は、図２及び図１２に示す如く、ステンレス鋼製の円筒状の接続ガイド４７に挿着され、ボディ１８の出口通路１８ｄに連通する環状のＳＵＳ３１６Ｌ−Ｐ（Ｗメルト）製のフィルターベース４８と、フィルターベース４８に取り付けられたろ過密度が８μｍの円板状の焼結フィルターエレメント４９とから成り、ボディ１８及び入口側ブロック１６のフィルター挿着孔１８ｆ，１６ｂに接続ガイド４７を介して挿着され、入口側ブロック１６をボルトを介してボディ１８側へ固定することにより、ボディ１８と入口側ブロック１６との間に取り付け固定されている。
【００４５】
具体的には、フィルターベース４８は、図１２に示す如く、ステンレス鋼により環状に形成されており、その一端面にはフィルターベース４８と同軸の環状の凹所が４８ａ設けられ、この凹所４８ａの底面には焼結フィルターエレメント４９を嵌め込むための環状のリップ部４８ｂが設けられている。
【００４６】
前記焼結フィルターエレメント４９は、フィルターベース４８の凹所４８ａの底面に形成したリップ部４８ｂ内に嵌め込まれ、リップ部４８ｂを内径側へ曲げてカシメることによりフィルターベース４８に取り付け固定されている。
尚、フィルターエレメントとしては、当該焼結フィルターエレメント４９に替えて図１３に示す如くステンレス鋼製の極薄円板（厚さ２０μｍ〜５０μｍ）の外周縁部を除く部分に多数の小孔４９ａ（小孔４９ａの内径はフィルターエレメント４９の厚みと同程度）をエッチングで開けることにより形成したものを使用しても良い。
又、エッチングの方法としては、フィルターエレメント４９の材質と小孔４９ａの径に応じて両面エッチング又は片面エッチングが適宜に採用される。両面エッチングの場合、各小孔４９ａの形状は、図１３（Ｂ）に示すように円板の両端面で径が最も大きく、円板の厚みの中央で径が最小とになっている。又、片面エッチングの場合、各小孔４９ａの形状は、表面で径が最も大きく、裏面で径が最小となる。
このエッチング加工により小孔４９ａを設けた構成のガスケットフィルター１４は、フィルターエレメント４９に多数の小孔４９ａを開けたものであるから、表面処理を簡単にでき、然も、水分等の不純物が付着し得る表面積が小さくなり、且つフィルター内部に微小空間が存在しないので、付着した水分が取れ易くなる。又、開口面積を求めることが容易であるので、これに基づいて簡単に圧力損失を予測することができ、更に、両端面が共に平坦であるので、シール性向上のための鏡面研磨が容易に行える。
尚、ガスケットフィルター１４には、図１２に示すガスケットフィルター１４に替えて特開２０００−１６７３１８号公報の図４、図５、図６、図８、図９に開示された構造のガスケットフィルター１４を使用するようにしても良い。又、フィルターエレメント４９にレーザー加工、機械加工、放電加工、プレス加工等により小孔４９ａを開けるようにしても良い。
【００４７】
前記制御回路１５は、コントロールバルブ１２の駆動部等を覆う保護ケース５０内に設けられており、図示しない増幅回路やＡ／Ｄ変換器等の電子回路系と、実験流量式による流量を演算する流量演算手段と、流すべき設定流量を指令する流量設定手段と、演算流量と設定流量の流量差を演算する比較手段等から構成されている。この制御回路１５は、電子回路とマイクロコンピュータと内蔵プログラムを中心に構成されているが、電子回路だけで構成しても良いし、電子回路とパーソナルコンピュータで構成しても良い。
【００４８】
尚、前記流体制御装置に於いては、図３に示すように上流側圧力センサー１３の取り付け部の近傍に温度センサー５１（サーミスタ）を配設し、これによって上流側圧力センサー１３の温度補償のための温度検出を行うようにしている。
又、この流体制御装置に於いては、各ブロック継手１，２，３，４，５と各流体制御機器６，７，８，９との突き合せ部に夫々シール部が設けられており、各シール部には通常のガスケット若しくは圧力式流量制御装置９に使用されているガスケットフィルター１４が夫々配置されている。
更に、この流体制御装置に於いては、従前の圧力式流量制御装置のようにオリフィス１１の下流側圧力が上昇してＰ2 ／Ｐ1 の値が臨界値に近づいた場合（又は臨界値以上となった場合）の警報回路やガス供給の停止回路が設けられている。
【００４９】
而して、上述した流体制御装置によれば、各ブロック継手１，２，３，４，５の流体通路１ａ，２ａ，３ａ，４ａ，５ａと各流体制御機器６，７，８，９とでガス制御ラインが形成されており、入口継手１０Ａから導入されたガスがブロック継手１、手動式開閉バルブ６、ブロック継手２、エアー式開閉バルブ７及びブロック継手３を経て圧力式流量制御装置９に流入し、圧力式流量制御装置９によって流量制御された後、ブロック継手４、エアー式開閉バルブ８及びブロック継手５を通って出口継手１０Ｂから排出されるようになっている。
この流体制御装置は、図１４に示すグラフからも明らかなように供給圧力の変動によって制御流量が影響を受けない圧力式流量制御装置９をガス制御ラインに組み込んでいるため、流体の圧力を調整するプレッシャーレギュレータをガス制御ラインから省くことができ、マスフローコントローラを組み込んだ流体制御装置に比較して流体制御装置自体のコンパクト化を図れるうえ、高精度に流量を制御することができる。
【００５０】
図１５は他の構造の圧力式流量制御装置９をガス制御ラインに組み込んだ第２実施形態に係る流体制御装置を示すものであり、この流体制御装置に組み込んだ圧力式流量制御装置９は、供給される流体が非臨界条件にある場合（オリフィス１１から流出する流体の流体速度が音速より低い場合）を前提としている。
即ち、圧力式流量制御装置９は、図１６に示す如く、オリフィス１１とコントロールバルブ１２の間にオリフィス１１の上流側圧力を検出する上流側圧力センサー１３を、又、オリフィス１１の下流側にオリフィス１１の下流側圧力を検出する下流側圧力センサー５２を夫々配設し、上流側圧力と下流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロールバルブ１２の開閉によりオリフィス通過流量を制御するようにしたものであり、出口側ブロック１７の形状が異なることと、オリフィス１１の下流側に下流側圧力センサー５２を設けたこと、オリフィス１１の下流側圧力を下流側圧力センサー５２により測定して制御回路１５に入力する電子回路系及びソフト系を付加したこと以外は、上述した図２に示す圧力式流量制御装置９と同様構造に構成されている。
この圧力式流量制御装置９を組み込んだ流体制御装置も、上述した流体制御装置と同様の作用効果を奏することができる。
【００５１】
図１７は更に他の構造の圧力式流量制御装置９をガス制御ラインに組み込んだ第３実施形態に係る流体制御装置を示すものであり、この流体制御装置に組み込んだ圧力式流量制御装置９は、前記第２実施形態の場合と同様に非臨界条件下の流体を制御対象とするものである。
即ち、圧力式流量制御装置９は、図１８に示す如く、オリフィス１１とコントロールバルブ１２の間にオリフィス１１の上流側圧力を検出する上流側圧力センサー１３を、又、オリフィス１１の下流側にオリフィス１１の下流側圧力を検出する下流側圧力センサー５２を夫々配設し、上流側圧力と下流側圧力によりオリフィス通過流量を演算しながらコントロールバルブ１２の開閉によりオリフィス通過流量を制御するようにしたものである。
【００５２】
又、当該第３実施形態に係る流量制御装置は、コントロールバルブ１２の上流側の流体通路からパージ用流体通路を分岐させ、当該パージ用流体通路にエアー作動型のパージ用バルブ５４を設けたものであり、圧力式流量制御装置とパージ用バルブとを一体型としたものである。
即ち、第３実施形態に於いては、コントロールバルブ１２の上流側の流体通路である入口側ブロック１６の導入通路１６ａからパージ用流体通路１６ｄ（Ｎ2等のパージガスを流すための通路）を分岐させると共に、入口側ブロック１６にエアー作動型のパージ用バルブ５４を設け、当該パージ用バルブ５４により前記パージ用流体通路１６ｄを開閉するようにしている。このパージ用バルブ５４には、エアーにより作動するダイレクトタッチ型のメタルダイヤフラムバルブが使用されており、パージ用バルブ５４の作動用エアーはエアー入口５４ａより供給される。
【００５３】
尚、当該第３実施形態は、入口側ブロック１６及び出口側ブロック１７の形状が異なること、オリフィス１１の下流側に下流側圧力センサー５２を設けたこと、コントロールバルブ１２の上流側にエアー作動型のパージ用バルブ５４を分岐状に設けたこと、オリフィス１１の下流側圧力を下流側圧力センサー５２により測定して制御回路１５に入力する電子回路系及びソフト系を付加したこと以外は、上述した図２に示す圧力式流量制御装置９と同様構造に構成されている。
この圧力式流量制御装置９を組み込んだ流体制御装置も、上述した流体制御装置と同様の作用効果を奏することができ、より一層の流体制御装置のコンパクト化が可能となる。
又、当該第３実施形態では、圧力式流量制御装置９を非臨界状態下の流体の流量制御を対象とするものにしているが、下流側圧力センサー５２を取り除いて臨界状態下の流体の流量制御を対象とするものにしても良いことは勿論である。
【００５４】
尚、上記第１及び第２実施形態に於いては、流体制御機器６，７，８，９に一つの手動式開閉バルブ６、二つのエアー式開閉バルブ７，８及び一つの圧力式流量制御装置９を使用し、これら各機器６，７，８，９を五つのブロック継手１，２，３，４，５で連通状に接続するようにしたが、流体制御装置に用いられる流体制御機器６，７，８，９の種類や配置関係、ブロック継手１，２，３，４，５の数や形状等は、上記実施の形態のものに限定されものではなく、圧力式流量制御装置９をガス制御ラインに組み込んでおれば、流体制御機器の種類や配置関係等は如何なるものであっても良い。例えば、流体制御機器にパージ用バルブやブロックバルブ（開閉バルブとパージ用バルブ等をブロック化したもの）、チャッキバルブ、フィルター等を使用しても良く、その組み合せも適宜に変更可能であることは勿論である。又、第３実施形態に示すようにパージ用バルブを組み込んだ圧力式流量制御装置９を流体制御装置のガス制御ラインに組み込むようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態に係る流体制御装置の正面図である。
【図２】流体制御装置のガス制御ラインに組み込む圧力式流量制御装置の縦断面図である。
【図３】同じく圧力式流量制御装置の一部破断側面図である。
【図４】コントロールバルブのアクチュエータボックスの縦断面図である。
【図５】図４のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】コントロールボックスの割りベースの平面図である。
【図７】図６のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】上流側圧力センサーの一部破断正面図である。
【図９】コントロールバルブのボディへの上流側圧力センサーの取り付け状態を示す拡大部分縦断面図である。
【図１０】オリフィスの拡大縦断面図である。
【図１１】オリフィスのオリフィスプレートを示し、（Ａ）はオリフィスプレートの拡大正面図、（Ｂ）はオリフィスプレートの拡大部分縦断面図である。
【図１２】ガスケットフィルターの拡大縦断面図である。
【図１３】ガスケットフィルターのフィルタープレートを示し、（Ａ）はフィルタープレートの拡大正面図、（Ｂ）はフィルタープレートの拡大部分縦断面図である。
【図１４】マスフローコントローラと圧力式流量制御装置の供給圧力の変動による流量特性を示すグラフである。
【図１５】本発明の第２実施形態に係る流体制御装置の正面図である。
【図１６】圧力式流量制御装置の他の例を示す縦断面図である。
【図１７】本発明の第３実施形態に係る流体制御装置の正面図である。
【図１８】圧力式流量制御装置の更に他の例を示す縦断面図である。
【図１９】配管及び継手を使用した従来の流体制御装置の正面図である。
【図２０】図１６に示す流体制御装置のガスの流れを示す概略系統図である。
【図２１】ブロック継手を使用した従来の流体制御装置の正面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１，２，３，４，５はブロック継手、１ａ，２ａ，３ａ，４ａ，５ａは流体通路、６は手動式開閉バルブ、７，８はエアー式開閉バルブ、９は圧力式流量制御装置、１１はオリフィス、１２はコントロールバルブ、１３は上流側圧力センサー、５２は下流側圧力センサー、５４はパージ用バルブ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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