(57)【要約】  【課題】  ポンプの吸入側を温度制御することで、長期連続運転に耐え得る耐久性と信頼性に優れた容積移送型ポンプを提供する。  【解決手段】  ポンプ筐体１０の内部にロータ２１，２２を収納して移送可能な複数の作動室３１，３２を形成し、この作動室３１，３２の容積を吸入側で増加させるとともに吐出側で減少させてポンプ作用をなす容積移送型ポンプにおいて、ポンプの吸入口１２の温度を制御する温度制御手段４０を設けている。【選択図】  図１
2005036814.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部の室と該室に連通する吸入口および吐出口とが形成されたポンプ筐体と、
前記ポンプ筐体の内部に収納されてポンプ筐体との間に移送可能な作動室を形成し、該作動室の容積を前記吸入口に連通する移送区間で増加させるとともに前記吐出口に連通する移送区間で減少させるよう軸線回りに回転可能なロータと、を備えた容積移送型ポンプにおいて、
前記吸入口の側の温度を制御する温度制御手段を設けたことを特徴とする容積移送型ポンプ。
【請求項２】
前記温度制御手段が、前記ポンプ筐体およびロータのうちすくなくとも一方に設けられて前記吐出口の近傍から前記吸入口の近傍に熱を移動させる熱移動手段であることを特徴とする請求項１に記載の容積移送型ポンプ。
【請求項３】
前記熱移動手段が前記作動室を取り囲むポンプ筐体の周壁部内に設けられたことを特徴とする請求項２に記載の容積移送型ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容積移送型ポンプに係り、特に長期連続運転に耐え得る高度な耐久性および信頼性が要求される場合に好適な容積移送型ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、容積移送型ポンプ、特に低圧作業空間を得るための真空排気等に使用される真空ポンプとして、ルーツ型、クロー型、スクリュー型のものが知られているが、このような容積移送型ポンプには、長期連続運転に耐え得る高度な信頼性および耐久性が要求される。
【０００３】
この種の容積移送型ポンプとしては、例えば特許文献１に記載されたものがある。このポンプは、ポンプ筐体内に多条雄ねじ形のロータとこれとは逆ねじとなる多条雌ねじ形のロータとを平行に配置し、ポンプ筐体と両ロータとの間に両ロータの近接部によって仕切られた複数の螺旋状の作動室を移送可能に形成するものであり、両ロータが互いに逆向きに回転するとき、移送開始位置であるロータ軸方向一端側で吸入口に連通した容積が増大することによって吸気がなされ、吸気を完了した所定容積の作動室が順次軸方向他方側に移送される。また、移送終了位置であるロータ軸方向他端側で前記吐出口に連通した容積が減少することにより前記作動室内のガスが吐出されるようになっている。この真空ポンプは、例えば半導体製造装置において多段真空ポンプとして使用されるが、その場合、半導体製造装置内から反応性ガスを排気しながら長期の連続運転に耐える耐久性および信頼性が希求される。
【特許文献１】特開昭６１−６５０８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の容積移送型ポンプにあっては、前記作動室内の流体圧力が吐出側で上昇するため、吐出側の温度が高くなり、それに比べて吸気側の温度が上がらないため、次のような問題が生じていた。
【０００５】
半導体製造プロセスにおいて、ＣＶＤ（chemical vapor deposition：化学気相成長）等により薄膜を生成する工程では、数種のガスを処理室内に供給して化学反応により薄膜を形成する。この処理中、反応ガスを処理室内から真空ポンプによって排気すると、真空ポンプ内の低温側、すなわち吸気側に徐々に固形生成物が付着、堆積して、ポンプが連続運転に耐えられなくなる。すなわち、１年程度の長期連続運転に耐え得る高度な耐久性と信頼性が必要な真空ポンプであるにもかかわらず、数カ月毎の定期的なオーバーホールが不可欠になり、耐久性および信頼性についての近時の要求に応えることは困難であった。
【０００６】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、ポンプの吸気側の温度を制御することにより、作動室の全移送区間の温度を固形物が付着し難い温度に保つことができるようにして、長期連続運転に耐え得る耐久性と信頼性に優れた容積移送型ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的達成のため、本発明は、内部の室と該室に連通する吸入口および吐出口とが形成されたポンプ筐体と、前記ポンプ筐体の内部に収納されてポンプ筐体との間に移送可能な作動室を形成し、該作動室の容積を前記吸入口に連通する移送区間で増加させるとともに前記吐出口に連通する移送区間で減少させるよう軸線回りに回転可能なロータと、を備えた容積移送型ポンプにおいて、前記吸入口の側の温度を制御する温度制御手段を設けたものである。これにより、ポンプの吸入側において、例えば反応性ガスから固形付着物が生成され易い温度を避ける温度設定が可能になる。
【０００８】
前記温度制御手段は、吸入口の近傍を加熱するような手段であってもよいが、好ましくは、前記ポンプ筐体およびロータのうちすくなくとも一方に設けられて前記吐出口の近傍から前記吸入口の近傍に熱を移動させる熱移動手段である。かかる手段を採用すると、吐出側の作動室で断熱圧縮により発生する熱（以下、単に圧縮熱という）を利用することで外部からのエネルギー供給を不要にすることができる。
【０００９】
また、前記熱移動手段は、メンテナンスや信頼性の面から、好ましくは前記作動室を取り囲むポンプ筐体の周壁部内に設けられる。例えばヒートパイプをポンプ筐体に埋設したり、ポンプ筐体に熱伝導性に優れた流体の対流又は循環経路を設けたりして、熱移動手段を容易に構成することができ、しかも、吐出側の圧縮熱を効率良く吸気側に移動させることができる。
【００１０】
なお、前記ロータを互いに平行に近接する雄ねじ状のロータと雌ねじ状のロータとで構成して、前記作動室内の流体をロータ回転軸線方向に移送することができ、このような場合には、ロータの軸線方向に延在する熱移動手段（ヒートパイプ等）を用いることができる。あるいは、前記ロータをルーツ型ポンプ等のようにロータ回転軸線回りに作動室を移送するポンプとする場合には、ロータ軸線方向に連設される多段ポンプの形態でないときには、ロータの回転方向に延在する熱移動手段を用いることができ、そのような多段ポンプの形態であるときには、ロータの軸線方向に延在する熱移動手段を用いることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、吸入口の側に位置する作動室の温度を制御する温度制御手段を設けているので、吸入口側に適宜熱を加えることができる。その結果、ポンプの吸入側において、例えば反応性ガスから固体生成物が生じ難い温度とすることができる。
【００１２】
また、前記温度制御手段を、ポンプ筐体およびロータのうちすくなくとも一方に設けられて前記吐出口の近傍から前記吸入口の近傍に熱を移動させる熱移動手段とすれば、吐出側の圧縮熱を利用することで外部からのエネルギー供給を不要にすることができる。
【００１３】
さらに、前記作動室を取り囲むポンプ筐体の周壁部内に前記熱移動手段を設けるようにすれば、メンテナンスや信頼性の面から好ましい熱移動手段を容易に得ることができ、しかも、吐出側の圧縮熱を効率良く吸気側に移動させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の好ましい実施の形態について添付図面を参照しつつ説明する。
図１および図２は本発明に係る容積移送型ポンプの第１の実施形態を示す図である。
【００１５】
両図において、１０はポンプ筐体で、内部の室１１とこの室１１に連通する吸入口１２および吐出口１３とが形成されている。吸入口１２は例えばＣＶＤ（化学気相成長）法により薄膜を生成するためのチャンバーに接続され、このチャンバー内のガスを排気する
２１，２２はポンプ筐体１０の内部に所定のクリアランス（例えば５０μｍ程度）を保って回転可能に収納されたロータであり、ロータ２１は雌ねじ状に、ロータ２２はロータ２１とは逆ねじ方向の雄ねじ状に形成され、これらのロータ２１，２２が所定の噛合クリアランスをもって噛み合うようになっている。また、ロータ２１，２２は、ポンプ筐体１０に軸受２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂを介して互いに平行に近接するように支持され、ポンプ筐体１０との間に両ロータ２１，２２の近接部分で仕切られた複数の移送可能な螺旋状の作動室３１，３２を形成している。そして、ロータ２１，２２がその平行な回転軸線回りに回転することによって、作動室３１，３２が内部の流体とともにロータ回転軸線方向に移送されるようになっている。また、ロータ２１，２２が回転するとき、作動室３１，３２は吸入口１２に連通している吸入側の移送区間では容積を所定値まで増加させて吸気作用をなし、吸入口１２にも吐出口１３にも連通しない中間の移送区間では一定容積で移送され、吐出口１３に連通する吐出側の移送区間では容積を減少させて吐出作用をなす。
【００１６】
本実施形態のポンプは、さらに、複数の作動室３１，３２のうち吸入口１２側に位置する作動室３１，３２と吐出口１３側に位置する作動室３１，３２との間の温度差を所定範囲内に制御する温度制御手段４０が設けられている。この温度制御手段４０は、例えばロータ２１，２２の軸線方向に延在する複数のヒートパイプ４１（熱移動手段）からなり、これらヒートパイプ４１はポンプ筐体１０とロータ２１，２２とのうちすくなくとも一方、例えば作動室３１，３２を取り囲むポンプ筐体１０の周壁部１４内に設けられて、ポンプ筐体１０の吐出口１３の近傍から吸入口１２の近傍に熱を移動させるようになっている。なお、ヒートパイプ４１は減圧した内部空間に所定の液体を入れたもので、この液体が加熱されるヒートパイプ４１の一端側で蒸気となって他端側に流れ、そこで放熱し液体に戻って毛細管現象により一端側に戻るようになっている。
【００１７】
このように構成された本実施形態の容積移送型ポンプでは、ロータ２１，２２が回転し、吐出口１３側で作動室３１，３２の容積が減少するとき、作動室３１，３２内の流体の圧縮熱（断熱圧縮熱）が発生して吐出口１３の近傍が高温になる。この状態において、ヒートパイプ４１はポンプ筐体１０の吐出口１３の近傍から吸入口１２の近傍に熱を移動させるから、吐出口１３側から熱が奪われるとともに吸入口１２側に熱が加えられ、これによって吸入口１２側と吐出口１３側との温度差が縮小される。
【００１８】
また、本実施形態においては、例えば前記低圧チャンバーから作動室３１，３２内に入った反応性ガスが固形生成物を生じ難い温度（例えば吸入口１２の近傍でも２００度以上）になるように、すなわち、作動室３１，３２内で固体付着物が生成され易い温度範囲（例えば１００度以下）を避けるように、ポンプ筐体１０の吸入口１２の近傍の温度が高温（例えば１５０度以上）に制御される。したがって、ポンプ筐体１０内に固体生成物が付着、堆積して数カ月で連続運転ができなくなる、という従来の問題が解消される。
【００１９】
また、温度制御手段４０が、吐出口１３の近傍から吸入口１２の近傍に熱を移動させるヒートパイプ４１で構成されているので、吐出側の圧縮熱を利用することで外部からのエネルギー供給を不要にすることができる。
【００２０】
しかも、ヒートパイプ４１が作動室３１，３２を取り囲むポンプ筐体１０の周壁部１４内に埋設しているから、効率的な熱移動手段を簡単に構成することができる。
【００２１】
以下、他の図に基づいて異なる第２〜第４の実施形態について説明するが、上述のものと同一又はそれに相当する構成には同一符号を付し、これと相違する点を主に説明する。
【００２２】
図３は本発明に係る容積移送型ポンプの第２の実施形態を示す図である。
【００２３】
同図において、５０は所定の熱循環用の作動流体（熱伝導流体）を封入したポンプ筐体で、このポンプ筐体５０には少なくともロータ回転軸線方向の所定範囲にわたって延在する１つ又は複数の熱伝導流体室５１（熱移動手段）が設けられている。この熱伝導流体室５１内の作動流体５２は、その対流又は強制的な循環によって、吐出口１３近傍の作動室３１，３２内で断熱圧縮により生じた熱を吸入口１２の近傍に移動させることができ、これによって上述の実施形態の場合とほぼ同様な効果を得ることができる。
【００２４】
図４は本発明に係る容積移送型ポンプの第３の実施形態を示す図である。
【００２５】
同図において、６０はポンプ筐体で、このポンプ筐体６０には加熱器６１が吸入側の作動室３１を取り囲むように収納されるとともに、冷却器６２が吐出側の作動室３１を取り囲むように収納されている。加熱器６１は、例えばニクロム線ヒータやバンドヒータ等から構成されて電熱を発生するものであり、冷却器６２は例えば放熱フィン又は冷却液の循環通路から構成されている。この加熱器６１は、吐出側の温度が高くなり過ぎたときに、図示しない温度センサからの信号により、作動するようになされている。
【００２６】
このようにしても、加熱器６１および冷却器６２によって、吸入口１２側の温度と吐出口１３側の温度とをそれぞれ所定範囲内に制御することができ、上述の実施形態の場合とほぼ同様な効果を得ることができる。
【００２７】
なお、図４において冷却器６２を設けず、吸入側の加熱器６１として、ポンプ筐体６０にニクロム線ヒータやバンドヒータ等を巻き付けるようにしてもよい。
【００２８】
図５および図６は本発明に係る容積移送型ポンプの第４の実施形態を示す図であり、本発明を多段ポンプとして構成されたルーツ型ポンプに適用した場合を示している。
【００２９】
両図において、７０はポンプ筐体で、内部の室７１と、この室７１にそれぞれ連通する一端側の吸入口７２および他端側の吐出口７３とが形成されている。８１，８２は、このポンプ筐体７０の内部に互いに近接するよう平行に収納された一対のロータである。ロータ８１，８２は、多段ポンプの段数にそれぞれ対応する複数のロータ部８１ａ〜８１ｆおよび８２ａ〜８２ｆを有し、ポンプ筐体７０との間に移送可能な複数段分の作動室を形成している。以下、その各段のポンプ作動室を図６に示す作動室９１として説明すると、図６に示すように、ロータ８１，８２は、作動室９１の容積を吸入口７２側に連通する吸入側の移送区間で増加させた後、ロータ８１側の作動室９１ａとロータ８２側の作動室９１ｂとに２分割し、両作動室９１ａ，９１ｂを吐出口７３側に連通する吐出側の移送区間で再度一体の作動室９１に戻してその容積を減少させるようになっている。なお、ここで吸入口７２側とは、吸入口７２か又は吸入口７２側のポンプ段の吐出口に連通するそのポンプ段の吸入口側という意味であり、吐出口７３側とは、吐出口７３か又は吐出口７３側のポンプ段の吸入口に連通するそのポンプ段の吐出口側という意味である。ポンプ筐体７０の内部（例えば軸方向で隣り合う作動室９１間）には、前段の吐出口がロータ回転方向で１８０度離れた段後の吸入口に連通するよう連通路が形成されている。また、複数のロータ部８１ａ〜８１ｆはロータ８１，８２の一端側から他端側へと順次幅が狭くなっており、これによって格段の作動室９１の容積が吐出口７３に最も近い最終段で最も最少になるようになっている。
【００３０】
本実施形態においては、多段ポンプの構成を採っており、前段ポンプの吐出口から吐出された流体がロータ回転方向で１８０度離れた後段ポンプの吸入口に吸入されることから、ロータ回転方向では温度が比較的に均一化され、全体としてロータ軸線方向の後段側、すなわち内部の流体の圧縮度合が高くなる側ほど高温になる。すなわち、多段ポンプ全体としては吐出口７３側が高温に、吸入口７２側が低温になる。したがって、この吸入口７２側と、吐出口７３側との温度差を所定範囲内に制御する温度制御手段として、吐出口７３の近傍から吸入口７２の近傍に熱を移動させるよう、各作動室９１を取り囲むポンプ筐体７０の周壁部７５内に複数のヒートパイプ４１が平行に配置されている。
【００３１】
このように、ロータが回転軸線回りに作動室を移送するポンプの場合には、ロータ軸線方向に連設される多段ポンプの形態であるときは、ロータの軸線方向に延在する熱移動手段を用いることができるが、本発明はこれに限るものでなく、多段ポンプの形態でないときには、ロータ回転方向に離間する吐出側から吸入側に熱移動を生じさせる手段、例えばロータの回転方向に延在するよう円弧状に湾曲したヒータパイプをポンプ筐体に埋設したり、ポンプ筐体に熱伝導性に優れた流体の循環経路を設けたりすることができる。勿論、これらの組合せによって吐出側の圧縮熱を効率良く吸気側に移動させる場合も考えられる。また、温度制御手段を、ポンプ筐体でなくロータ側に埋設してもよいことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係る容積移送型ポンプの第１の実施形態を示す正面断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明に係る容積移送型ポンプの第２の実施形態を示す正面断面図である。
【図４】本発明に係る容積移送型ポンプの第３の実施形態を示す正面断面図である。
【図５】本発明に係る容積移送型ポンプの第４の実施形態を示す正面断面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１０，５０，６０，７０  ポンプ筐体
１１，７１  内部の室
１２，７２  吸入口
１３，７３  吐出口
２１，２２；８１，８２  ロータ
３１，３２；９１  作動室
４０  温度制御手段
４１  ヒートパイプ（熱移動手段）
５１  熱伝導流体室（熱移動手段）
６１  加熱器（熱移動手段）
６２  冷却器（熱移動手段）
８１，８２  ロータ
８１ａ，８１ｂ，８１ｃ，８１ｄ，８１ｅ，８１ｆ  ロータ部
９１  作動室
９１ａ，９１ｂ  作動室
【図１】
2005036814.tif 000003
【図２】
2005036814.tif 000004
【図３】
2005036814.tif 000005
【図４】
2005036814.tif 000006
【図５】
2005036814.tif 000007
【図６】
2005036814.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月29日(2004.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部の室と該室に連通する吸入口および吐出口とが形成されたポンプ筐体と、
前記ポンプ筐体の内部に収納されてポンプ筐体との間に移送可能な作動室を形成し、該作動室の容積を前記吸入口に連通する移送区間で増加させるとともに前記吐出口に連通する移送区間で減少させるよう軸線回りに回転可能なロータと、を備えた容積移送型ポンプにおいて、
前記吸入口の側の作動室を取り囲むように加熱器を設けたことを特徴とする容積移送型ポンプ。
【請求項２】
前記吐出口の側の作動室を取り囲むように冷却器を設けたことを特徴とする請求項１に記載の容積移送型ポンプ。
【請求項３】
前記加熱器は、前記作動室を取り囲む前記ポンプ筐体の周壁部内に設けられたことを特徴とする請求項１に記載の容積移送型ポンプ。
【請求項４】
前記冷却器は、前記作動室を取り囲む前記ポンプ筐体の周壁部内に設けられたことを特徴とする請求項２に記載の容積移送型ポンプ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容積移送型ポンプに係り、特に長期連続運転に耐え得る高度な耐久性および信頼性が要求される場合に好適な容積移送型ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、容積移送型ポンプ、特に低圧作業空間を得るための真空排気等に使用される真空ポンプとして、ルーツ型、クロー型、スクリュー型のものが知られているが、このような容積移送型ポンプには、長期連続運転に耐え得る高度な信頼性および耐久性が要求される。
【０００３】
この種の容積移送型ポンプとしては、例えば特許文献１に記載されたものがある。このポンプは、ポンプ筐体内に多条雄ねじ形のロータとこれとは逆ねじとなる多条雌ねじ形のロータとを平行に配置し、ポンプ筐体と両ロータとの間に両ロータの近接部によって仕切られた複数の螺旋状の作動室を移送可能に形成するものであり、両ロータが互いに逆向きに回転するとき、移送開始位置であるロータ軸方向一端側で吸入口に連通した容積が増大することによって吸気がなされ、吸気を完了した所定容積の作動室が順次軸方向他方側に移送される。また、移送終了位置であるロータ軸方向他端側で前記吐出口に連通した容積が減少することにより前記作動室内のガスが吐出されるようになっている。この真空ポンプは、例えば半導体製造装置において多段真空ポンプとして使用されるが、その場合、半導体製造装置内から反応性ガスを排気しながら長期の連続運転に耐える耐久性および信頼性が希求される。
【特許文献１】特開昭６１−６５０８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の容積移送型ポンプにあっては、前記作動室内の流体圧力が吐出側で上昇するため、吐出側の温度が高くなり、それに比べて吸気側の温度が上がらないため、次のような問題が生じていた。
【０００５】
半導体製造プロセスにおいて、ＣＶＤ（chemical vapor deposition：化学気相成長）等により薄膜を生成する工程では、数種のガスを処理室内に供給して化学反応により薄膜を形成する。この処理中、反応ガスを処理室内から真空ポンプによって排気すると、真空ポンプ内の低温側、すなわち吸気側に徐々に固形生成物が付着、堆積して、ポンプが連続運転に耐えられなくなる。すなわち、１年程度の長期連続運転に耐え得る高度な耐久性と信頼性が必要な真空ポンプであるにもかかわらず、数カ月毎の定期的なオーバーホールが不可欠になり、耐久性および信頼性についての近時の要求に応えることは困難であった。
【０００６】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、ポンプの吸気側の温度を制御することにより、作動室の全移送区間の温度を固形物が付着し難い温度に保つことができるようにして、長期連続運転に耐え得る耐久性と信頼性に優れた容積移送型ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的達成のため、本発明は、内部の室と該室に連通する吸入口および吐出口とが形成されたポンプ筐体と、前記ポンプ筐体の内部に収納されてポンプ筐体との間に移送可能な作動室を形成し、該作動室の容積を前記吸入口に連通する移送区間で増加させるとともに前記吐出口に連通する移送区間で減少させるよう軸線回りに回転可能なロータと、を備えた容積移送型ポンプにおいて、前記吸入口の側の作動室を取り囲むように加熱器を設けたものである。これにより、ポンプの吸入側において、例えば反応性ガスから固形付着物が生成され易い温度を避ける温度設定が可能になる。
【０００８】
また、本発明は、前記吐出口の側の作動室を取り囲むように冷却器を設けたものである。
【０００９】
また、前記加熱器や前記冷却器は、メンテナンスや信頼性の面から、好ましくは前記作動室を取り囲むポンプ筐体の周壁部内に設けられる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、吸入口の側に位置する作動室を取り囲むように加熱器を設けているので、吸入口側に適宜熱を加えることができる。その結果、ポンプの吸入側において、例えば反応性ガスから固体生成物が生じ難い温度とすることができる。
【００１１】
さらに、前記作動室を取り囲むポンプ筐体の周壁部内に前記加熱器や前記冷却器を設けるようにすれば、メンテナンスや信頼性の面から好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好ましい実施の形態について添付図面を参照しつつ説明する。
【００１３】
図１は本発明に係る容積移送型ポンプの一実施形態を示す図である。
【００１４】
６０はポンプ筐体で、内部の室１１とこの室１１に連通する吸入口１２および吐出口１３とが形成されている。吸入口１２は例えばＣＶＤ（化学気相成長）法により薄膜を生成するためのチャンバーに接続され、このチャンバー内のガスを排気する
【００１５】
２１，２２はポンプ筐体６０の内部に所定のクリアランス（例えば５０μｍ程度）を保って回転可能に収納されたロータであり、ロータ２１は雌ねじ状に、ロータ２２はロータ２１とは逆ねじ方向の雄ねじ状に形成され、これらのロータ２１，２２が所定の噛合クリアランスをもって噛み合うようになっている。また、ロータ２１，２２は、ポンプ筐体６０に軸受２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂを介して互いに平行に近接するように支持され、ポンプ筐体６０との間に両ロータ２１，２２の近接部分で仕切られた複数の移送可能な螺旋状の作動室３１，３２を形成している。そして、ロータ２１，２２がその平行な回転軸線回りに回転することによって、作動室３１，３２が内部の流体とともにロータ回転軸線方向に移送されるようになっている。また、ロータ２１，２２が回転するとき、作動室３１，３２は吸入口１２に連通している吸入側の移送区間では容積を所定値まで増加させて吸気作用をなし、吸入口１２にも吐出口１３にも連通しない中間の移送区間では一定容積で移送され、吐出口１３に連通する吐出側の移送区間では容積を減少させて吐出作用をなす。
【００１６】
ポンプ筐体６０には加熱器６１が吸入側の作動室３１を取り囲むように収納されるとともに、冷却器６２が吐出側の作動室３１を取り囲むように収納されている。加熱器６１は、例えばニクロム線ヒータやバンドヒータ等から構成されて電熱を発生するものであり、冷却器６２は例えば放熱フィン又は冷却液の循環通路から構成されている。この加熱器６１は、吐出側の温度が高くなり過ぎたときに、図示しない温度センサからの信号により、作動するようになされている。
【００１７】
加熱器６１、冷却器６２は、作動室３１，３２を取り囲むポンプ筐体６０の周壁部１４内に設けられている。
【００１８】
このように構成された本実施形態の容積移送型ポンプでは、ロータ２１，２２が回転し、吐出口１３側で作動室３１，３２の容積が減少するとき、作動室３１，３２内の流体の圧縮熱（断熱圧縮熱）が発生して吐出口１３の近傍が高温になる。この状態において、加熱器６１および冷却器６２によって、吸入口１２側の温度と吐出口１３側の温度とをそれぞれ所定範囲内に制御することができ、これによって吸入口１２側と吐出口１３側との温度差が縮小される。
【００１９】
また、本実施形態においては、例えば前記低圧チャンバーから作動室３１，３２内に入った反応性ガスが固形生成物を生じ難い温度（例えば吸入口１２の近傍でも２００度以上）になるように、すなわち、作動室３１，３２内で固体付着物が生成され易い温度範囲（例えば１００度以下）を避けるように、ポンプ筐体６０の吸入口１２の近傍の温度が高温（例えば１５０度以上）に制御される。したがって、ポンプ筐体６０内に固体生成物が付着、堆積して数カ月で連続運転ができなくなる、という従来の問題が解消される。
【００２０】
なお、図１において冷却器６２を設けず、吸入側の加熱器６１として、ポンプ筐体６０にニクロム線ヒータやバンドヒータ等を巻き付けるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る容積移送型ポンプの一実施形態を示す正面断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
６０  ポンプ筐体
１１  内部の室
１２  吸入口
１３  吐出口
２１，２２  ロータ
３１，３２  作動室
６１  加熱器
６２  冷却器
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
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