(57)【要約】【課題】前後する被処理物を所定の間隔で処理する制御をおこなうことを目的とする。  また、複数の工程からなる処理ラインの品質管理を適正におこなうことを目的とする。また、本発明は、必要に応じてバッチ処理する制御をおこなうことを目的とする。【解決手段】ロット１，２の処理状況を管理する管理部１４２と、上記ロット１に対するロット２の処理間隔を示す処理間隔情報を入力する入力部１４１と、上記管理部１４２により管理されたロット１，２の処理状況と上記入力部１４１により入力された処理間隔情報とに基づいて、ロット１，２の処理間隔を制御する制御部１４３とを備えたことを特徴とする。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１と第２の被処理物の処理状況を管理する管理部と、
上記第１の被処理物に対する第２の被処理物の処理間隔を示す処理間隔情報を入力する入力部と、
上記管理部により管理された第１と第２の被処理物の処理状況と上記入力部により入力された処理間隔情報とに基づいて、第１と第２の被処理物の処理間隔を制御する制御部と
を備えたことを特徴とする制御装置。
【請求項２】
上記制御装置は、複数の処理工程で上記第１と第２の被処理物が処理される処理ラインにおける第１と第２の被処理物の処理間隔を制御する制御装置であり、
上記管理部は、上記第１と第２の被処理物の処理状況として、上記第１と第２の被処理物が、それぞれ上記複数の処理工程のいずれの処理工程で処理されているかを示す位置情報を管理し、
上記入力部は、上記処理間隔情報として、上記第１の被処理物が処理される処理工程と第２の被処理物が処理される処理工程との間の処理工程数を入力し、
上記制御部は、上記管理部により管理された第１と第２の被処理物の位置情報と上記入力部により入力された処理工程数とに基づいて、上記複数の処理工程のいずれかの処理工程で処理される上記第１と第２の被処理物が、上記入力部により入力された処理工程数を維持するように第１と第２の被処理物の処理間隔を制御することを特徴とする請求項１記載の制御装置。
【請求項３】
上記制御装置は、複数の処理工程で上記第１と第２の被処理物が処理される処理ラインにおける第１と第２の被処理物の処理間隔を制御する制御装置であり、
上記管理部は、上記第１と第２の被処理物の処理状況として、上記第１と第２の被処理物が、それぞれ処理されている上記複数の処理工程のいずれかの処理工程での処理開始時刻を管理し、
上記入力部は、上記処理間隔情報として、上記第１の被処理物が上記複数の処理工程の所定の処理工程で処理される処理開始時刻と第２の被処理物が上記所定の処理工程で処理される処理開始時刻との間の時刻差を入力し、
上記制御部は、上記管理部により管理された第１と第２の被処理物の処理開始時刻と上記入力部により入力された時刻差とに基づいて、上記第１と第２の被処理物が、上記入力部により入力された時刻差を維持するように上記第１と第２の被処理物の処理間隔を制御することを特徴とする請求項１記載の制御装置。
【請求項４】
第１と第２の被処理物に対し、所定の処理を行なう複数の処理装置と、
上記複数の処理装置のいずれかに上記第１と第２の被処理物を搬送する搬送系と、
上記複数の処理装置のいずれかで処理される上記第１と第２の被処理物の処理間隔が所定の処理間隔を維持するように上記複数の処理装置と搬送系とを制御する制御装置と
を備えたことを特徴とする処理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、制御装置或いは処理システムに関する。特に、本発明は半導体生産ラインにおける進捗管理システム（ＭＥＳ）の進捗制御機能に関するものでライン定期品質管理ロットや実験ロットを効果的に流動させるものである。
【背景技術】
【０００２】
一般的な市販の進捗管理システムではロットの優先度、納期、粗利、処理条件等を用いた処理順番決定方法において進捗制御を行っている。また外付けのスケジューラー等を用いて、処理順を決定している場合も有るが、スケジューラーでの進捗制御も上記同様の方法で行っている。
【０００３】
また、工場仕掛ロットの納期を厳守するためにロット毎に工程間に通過時間を設定し、その設定されているロットを優先的に処理する技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、自動搬送で結ばれた自動化工場において、処理装置から次装置や保管庫への搬送時間や待機時間を設定し、無駄な搬送を軽減する技術が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００５】
また、自動搬送を有する自動化工場において、無駄な待ち時間を少なくすることを目的に、複数種類の装置のそれぞれへのロットの供給と回収を少ない待ち時間で均等に行なう技術が開示されている（例えば、特許文献３参照）。
【０００６】
また、プロセス上、ロット停滞時間に制約時間がある場合に、現在時刻から制約設定のある最初の工程の処理終了時刻を差し引き、許容時間と比較し、許容時間内であれば、着工可とし、許容時間外であれば、着工不可の指示を出す技術が開示されている（例えば、特許文献４参照）。
【特許文献１】特開２００１−３０６１２９号公報
【特許文献２】特開２００１−１６６８１２号公報
【特許文献３】特開２０００−２９９２６４号公報
【特許文献４】特開平５−７３５７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来技術において、優先度の高いロットは確実に早く処理される様に決定されるが、定期的に投入されるラインの品質管理ロット（例えば１ロット／週、等）はある一定間隔で処理されるのが望ましく、時として長期の装置トラブル等で品質管理ロットが同一工程に仕掛かり、その後同一進捗で処理され、ラインの定期品質管理の役目を果せないといった問題があった。
【０００８】
また、実験ロットとリファレンスロットを同時に進捗させる機能が無い為に、効果的な実験結果が導き出されないといった問題があった。
【０００９】
本発明は、前後する被処理物を所定の間隔で処理する制御をおこなうことを目的とする。
【００１０】
また、本発明は、複数の工程からなる処理ラインの品質管理を適正におこなうことを目的とする。
【００１１】
また、本発明は、必要に応じてバッチ処理する制御をおこなうことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明に係る制御装置は、第１と第２の被処理物の処理状況を管理する管理部と、
上記第１の被処理物に対する第２の被処理物の処理間隔を示す処理間隔情報を入力する入力部と、
上記管理部により管理された第１と第２の被処理物の処理状況と上記入力部により入力された処理間隔情報とに基づいて、第１と第２の被処理物の処理間隔を制御する制御部と
を備えたことを特徴とする。
【００１３】
上記制御装置は、複数の処理工程で上記第１と第２の被処理物が処理される処理ラインにおける第１と第２の被処理物の処理間隔を制御する制御装置であり、
上記管理部は、上記第１と第２の被処理物の処理状況として、上記第１と第２の被処理物が、それぞれ上記複数の処理工程のいずれの処理工程で処理されているかを示す位置情報を管理し、
上記入力部は、上記処理間隔情報として、上記第１の被処理物が処理される処理工程と第２の被処理物が処理される処理工程との間の処理工程数を入力し、
上記制御部は、上記管理部により管理された第１と第２の被処理物の位置情報と上記入力部により入力された処理工程数とに基づいて、上記複数の処理工程のいずれかの処理工程で処理される上記第１と第２の被処理物が、上記入力部により入力された処理工程数を維持するように第１と第２の被処理物の処理間隔を制御することを特徴とする。
【００１４】
上記制御装置は、複数の処理工程で上記第１と第２の被処理物が処理される処理ラインにおける第１と第２の被処理物の処理間隔を制御する制御装置であり、
上記管理部は、上記第１と第２の被処理物の処理状況として、上記第１と第２の被処理物が、それぞれ処理されている上記複数の処理工程のいずれかの処理工程での処理開始時刻を管理し、
上記入力部は、上記処理間隔情報として、上記第１の被処理物が上記複数の処理工程の所定の処理工程で処理される処理開始時刻と第２の被処理物が上記所定の処理工程で処理される処理開始時刻との間の時刻差を入力し、
上記制御部は、上記管理部により管理された第１と第２の被処理物の処理開始時刻と上記入力部により入力された時刻差とに基づいて、上記第１と第２の被処理物が、上記入力部により入力された時刻差を維持するように上記第１と第２の被処理物の処理間隔を制御することを特徴とする。
【００１５】
この発明に係る処理システムは、第１と第２の被処理物に対し、所定の処理を行なう複数の処理装置と、
上記複数の処理装置のいずれかに上記第１と第２の被処理物を搬送する搬送系と、
上記複数の処理装置のいずれかで処理される上記第１と第２の被処理物の処理間隔が所定の処理間隔を維持するように上記複数の処理装置と搬送系とを制御する制御装置と
を備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明により、被処理物の処理が分散され（途中で一団となって進捗しない）、処理工程の評価が可能となる。
【００１７】
また、定期的に被処理物の処理を上記装置を用いておこなうことで、定期的な工程評価が可能となる。
【００１８】
また、設定によりバッチ搬送も可能とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
実施の形態１．
本実施の形態では、例えば、定期的にインプットされるロットとしての工場の品質管理ロット等において、ロット間の距離を時間や工程数で指示し、ロット間の追い越しや近づき過ぎを制御する。例えば、１週間に一度インプットするロットがあり、このロットを、工場の品質を管理するためのロットとする。例えば、先週インプットしたロットＡと今週インプットしたロットＢはある程度の距離を持って進捗することに意味がある。装置トラブル等により、ロットＢがロットＡに追いつき、その後、一緒に進捗することになったり追い越してしまったりした進捗では、１週間、間を空けてインプットした意味がなくなってしまうからである。
【００２０】
図１は、実施の形態１における生産ラインシステムの構成を示す図である。
【００２１】
図１において、生産ラインシステム２００（処理システムの一例である）は、複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５、搬送系５０、進捗管理システム１００（制御装置の一例である）を備えている。進捗管理システム１００は、マスター管理装置１２０、履歴管理装置１３０、進捗管理装置１４０を有している。進捗管理装置１４０は、入力部１４１、管理部１４２、制御部１４３を有している。複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５と搬送系５０と進捗管理システム１００との間は、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）６を介して接続されている。
【００２２】
図２は、実施の形態１における進捗管理システムの構成を示す図である。
【００２３】
図２に示すように、進捗管理システム１００内部においても、マスター管理装置１２０、履歴管理装置１３０、進捗管理装置１４０は、ＬＡＮ６を介して接続されている。
【００２４】
また、マスター管理装置１２０、履歴管理装置１３０、進捗管理装置１４０は、図示していないが、プログラムを実行するＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）を備えている。ＣＰＵは、バスを介してＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）（記憶装置の一例である）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）（記憶装置の一例である）、通信ボード、ＣＲＴ表示装置、Ｋ／Ｂ、マウス、ＦＤＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ  Ｄｒｉｖｅ）、磁気ディスク装置（記憶装置の一例である）、ＣＤＤ、プリンタ装置、スキャナ装置等と接続されている。通信ボードは、ＬＡＮ６に接続されている。ここで、通信ボードは、ＬＡＮ６に限らず、さらに、インターネット、或いはＩＳＤＮ等のＷＡＮ（ワイドエリアネットワーク）に接続されていても構わない。磁気ディスク装置には、オペレーティングシステム（ＯＳ）、ウィンドウシステム、プログラム群、ファイル群が記憶されている。プログラム群は、ＣＰＵ、ＯＳ、ウィンドウシステムにより実行される。
【００２５】
上記入力部１４１、管理部１４２、制御部１４３は、一部或いはすべてコンピュータで動作可能なプログラムにより構成しても構わない。或いは、ＲＯＭに記憶されたファームウェアで実現されていても構わない。或いは、ソフトウェア或いは、ハードウェア或いは、ソフトウェアとハードウェアとファームウェアとの組み合わせで実施されても構わない。
【００２６】
プログラムにより構成する場合、上記プログラム群には、実施の形態の説明において「〜部」として説明したものにより実行されるプログラムが記憶される。これらのプログラムは、例えば、Ｃ言語により作成することができる。或いは、ＨＴＭＬやＳＧＭＬやＸＭＬを用いても構わない。或いは、ＪＡＶＡ（登録商標）を用いて画面表示を行っても構わない。
【００２７】
また、上記プログラムは、また、磁気ディスク装置、ＦＤ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｄｉｓｋ）、光ディスク、ＣＤ（コンパクトディスク）、ＭＤ（ミニディスク）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｋ）等のその他の記録媒体による記録装置を用いて記憶されても構わない。
【００２８】
複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５は、複数のロット（ここでは、ロット１とロット２（被処理物の一例である））に対し、所定の処理を行なう。図１では、例えば、装置１１が、工程Ａの処理を、装置１２が、工程Ｂの処理を、装置１３が、工程Ｃの処理を、装置１４が、工程Ｄの処理を、装置１５が、工程Ｅの処理を行なう。
【００２９】
搬送系５０は、上記複数の処理装置のいずれかに複数のロットの各ロットを搬送する。
【００３０】
進捗管理システム１００は、上記複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５のいずれかで処理されるロット１とロット２の処理間隔が所定の処理間隔を維持するように上記複数の処理装置１１，１２，１３，１４，１５と搬送系５０とを制御する。
【００３１】
マスター管理装置１２０は、ロットの工程フロー等を管理する。
【００３２】
履歴管理装置１３０は、ロットや装置の履歴を管理する。
【００３３】
進捗管理装置１４０は、制御装置の一例として、複数の処理工程で上記ロット１，２が処理される処理ラインにおけるロット１，２の処理間隔を制御する。処理間隔を制御することで、進捗管理装置１４０は、ロット１，２の進捗を制御する。
【００３４】
図３は、実施の形態１における生産ラインシステムの工程フローを示す図である。
【００３５】
Ｓ（ステップ）３０１において、管理工程として、管理部１４２は、マスター管理装置１２０或いは履歴管理装置１３０から各ロット１，２の処理状況を入力し、入力された処理状況を管理する。上記管理部１４２は、上記ロット１，２の処理状況として、上記ロット１，２が、それぞれ上記複数の処理工程のいずれの処理工程で処理されているかを示す位置情報を管理する。
【００３６】
Ｓ３０２において、入力工程として、入力部１４１は、上記ロット１に対するロット２の処理間隔を示す処理間隔情報を入力する。上記入力部１４１は、上記処理間隔情報として、上記ロット１が処理される処理工程とロット２が処理される処理工程との間の処理工程数を入力する。図３では、ロット１とロット２間に２工程の遅延工程数が入力されている。
【００３７】
Ｓ３０３において、制御工程として、制御部１４３は、上記管理部１４２により管理されたロット１，２の処理状況と上記入力部１４１により入力された処理間隔情報とに基づいて、ロット１，２の処理間隔を制御する。上記制御部１４３は、上記管理部１４２により管理されたロット１，２の位置情報と上記入力部１４１により入力された処理工程数とに基づいて、上記複数の処理工程のいずれかの処理工程で処理される上記ロット１，２が、上記入力部１４１により入力された処理工程数を維持するようにロット１，２の処理間隔を制御する。言い換えれば、図１、２に示すような進捗管理システムを有するラインで、図３に示すような工程フローにおいて、ロット１とロット２間に２工程の遅延工程数が設定されている場合、ロット２はロット１の進捗が進まない限り、工程Ｂの処理開始が行えないように制御されている。
【００３８】
以上のように、進捗制御システムとしての進捗管理システム１００は、ロット間に工程的な距離（工程数）を設定し、先行ロットの進捗に合わせて後方ロットの進捗制御を行う、言い換えれば、半導体生産ラインのロット進捗制御において、ロット間の工程的な距離の関連付けを行う事により、定期的に処理するライン品質管理用ロットや、実験ロットを効果的に進捗させることができる。
【００３９】
実施の形態２．
図４は、実施の形態２における生産ラインシステムの工程フローを示す図である。
【００４０】
実施の形態２における各構成は、図１，２と同様である。
【００４１】
管理部１４２は、マスター管理装置１２０或いは履歴管理装置１３０から各ロット１，２の処理状況を入力し、入力された処理状況を管理する。管理部１４２は、ロット１とロット２の処理状況として、上記ロット１とロット２が、それぞれ処理されている上記複数の処理工程のいずれかの処理工程での処理開始時刻を管理する。
【００４２】
上記入力部１４１は、上記処理間隔情報として、ロット１が上記複数の処理工程の所定の処理工程で処理される処理開始時刻とロット２が上記所定の処理工程で処理される処理開始時刻との間の時刻差を入力する。図４では、時刻差として、７２時間の遅延時間が入力されている。
【００４３】
上記制御部１４３は、上記管理部１４２により管理されたロット１とロット２の処理開始時刻と上記入力部１４１により入力された時刻差とに基づいて、上記ロット１とロット２が、上記入力部１４１により入力された時刻差を維持するように上記ロット１とロット２の処理間隔を制御する。図４では遅延時間（７２時間）が指示、設定されている場合なので、ロット１の工程Ｂの処理履歴２００２年１月３日、０：００なのでロット２は２００２年１月６日、０：００まで処理開始が行えないように制御される。
【００４４】
以上のように、進捗制御システムとしての進捗管理システム１００は、ロット間に時間的な距離（日時等）を設定し、先行ロットの進捗に合わせて後方ロットの進捗制御を行う、言い換えれば、半導体生産ラインのロット進捗制御において、ロット間の時間的な距離の関連付けを行う事により、定期的に処理するライン品質管理用ロットや、実験ロットを効果的に進捗させる。
【００４５】
実施の形態３．
上記実施の形態１，２では、ロット１とロット２の処理の間に、時間的な距離や工程数的な距離を設定することにより、ロット２は、ロット１の進捗に依存し、進捗するようにした。一方、条件振り等を行なった工程以降の複数のロットは、条件振りの結果を正しく出すために、上記とは逆に、一緒に進捗させたい場合もある。実施の形態３では、かかる場合に、時間的／工程数的な距離を０指定することにより、離れずに進捗させる仕組みも達成することができることを説明する。また、当然ながら、時間制限のある工程等も考慮する必要があれば、考慮させることもできる。
【００４６】
図５は、実施の形態３おける生産ラインシステムの工程フローを示す図である。
【００４７】
実施の形態３における各構成は、図１，２と同様である。
【００４８】
図５では、入力部１４１に遅延工程数や遅延時間を０と入力した場合に、制御部１４３でロット１とロット２、或いはロット３とロット４を同時進捗指示の意味をもたせた場合の制御を示す。ロット１とロット２、或いはロット３とロット４は同時に処理開始終了が行われるように制御されている。
【００４９】
またロット１との間に遅延時間や遅延工程数が指定してある場合はロット１の進捗に合わせて処理開始可能となる。
【００５０】
以上のように、進捗制御システムとしての進捗管理システム１００は、ロット間に工程的もしくは時間的な距離（日時等）を０と設定する事により、複数のロットが同一進捗になるように進捗制御を行うこと、例えば、実験ロットとしてのロット３とリファレンスロットとしてのロット４とのバッチ搬送が可能となり、より効果的な実験が可能となる。
【００５１】
従来、ロット進捗をフォローする為には、ロット間の関連性を人手により管理する必要が有り、その進捗指示には多大な工数が発生していた。しかしながら、進捗管理システム１００において、ロット間、例えばロット１とロット２の間に、遅延工程数もしくは遅延時間を設定し、搬送指示や処理開始指示時に対象となる先行ロットの仕掛かり工程もしくは処理履歴を参照し、処理開始の可否をシステムで判定し一定のロット間隔を保つ事が可能となる。
【００５２】
また、特定の指定工程数や時間（例えば、０）により、同一進捗を意味付けする事により複数ロットを同時に進捗させる事も可能となる。
【００５３】
以上のように、上記実施の形態によれば、定期ライン品質管理ロットの処理が分散され、（途中で一団となって進捗しない）定期的なラインの評価が可能となる。また実験ロットのリファレンスロットとのバッチ搬送が可能となり、より効果的な実験が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】実施の形態１における生産ラインシステムの構成を示す図である。
【図２】実施の形態１における進捗管理システムの構成を示す図である。
【図３】実施の形態１における生産ラインシステムの工程フローを示す図である。
【図４】実施の形態２における生産ラインシステムの工程フローを示す図である。
【図５】実施の形態３おける生産ラインシステムの工程フローを示す図である。
【符号の説明】
【００５５】
１，２  ロット、６  ＬＡＮ、１１，１２，１３，１４，１５  処理装置、５０  搬送系、１００  進捗管理システム、１２０  マスター管理装置、１３０  履歴管理装置、１４０  進捗管理装置、１４１  入力部、１４２  管理部、１４３  制御部、２００  生産ラインシステム。
【図１】
2005182112.tif 000003
【図２】
2005182112.tif 000004
【図３】
2005182112.tif 000005
【図４】
2005182112.tif 000006
【図５】
2005182112.tif 000007