(57)【要約】【課題】有底管状セラミック体を焼成する際、焼成治具が噛み込みやすく、クラックや、真円度不良および反りが発生しやすい。【解決手段】曲面状の底面８を有し、セラミックスからなる有底管状の成形体１ａを、その開口面２を下方に向けて焼成する方法であって、上記成形体1ａの開口面２を、少なくとも１つの外部と連通する連通孔３ａを有する支持台３上に載置し、成形体１ａの管内に、該成形体１ａと熱膨張係数が同一な支柱部４および該支柱部４の先端に成形体１ａの底面８を支持するための曲面を備えた底面支持部５とからなる焼成治具９を垂直に立設するとともに焼成温度の低温域において上記焼成治具９と成形体１ａとが離間した状態とし、高温域において成形体１ａの収縮が完了することにより、上記底面支持部５と成形体１ａの底面８とが当接する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
曲面状の底面を有し、セラミックスからなる有底管状の成形体を、その開口面を下方に向けて焼成する方法であって、上記成形体の開口面を、少なくとも１つの外部と連通する連通孔を有する支持台上に載置し、成形体の管内に、該成形体と熱膨張係数が同一な支柱部および該支柱部の先端に成形体の底面を支持するための曲面を備えた底面支持部とからなる焼成治具を垂直に立設するとともに、焼成温度の低温域において上記焼成治具と成形体とが離間した状態とし、高温域において成形体の収縮が完了することにより、上記底面支持部と成形体の底面とが当接することを特徴とする有底管状セラミック体の製造方法。
【請求項２】
上記底面支持部が曲面状の先端面と、該先端面に連続し、外周側に傾斜したテーパ部とからなることを特徴とする請求項１に記載の有底管状セラミック体の製造方法。
【請求項３】
上記焼成治具における支柱部と底面支持部とを分割構造としたことを特徴とする請求項１または２に記載の有底管状セラミック体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有底管状セラミックス体を焼成治具を用いて焼成する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より図６（ａ）の斜視図、同図（ｂ）に断面図を示すような、一端が有底で他端が開口している有底管状セラミック体１は、溶湯部品や耐熱部品の保護管等として使用されている。
【０００３】
このような有底管状セラミック体１は、長尺形状でその肉厚も薄いことから、変形し易いため、成形体を焼成する際には焼成治具を用いて焼成する方法が用いられていた。
【０００４】
例えば、図４（ａ）示すように、基台６に支持台３３を載せ、成形体１ａの開口面２を支持台３３側として、その内側に有底管状セラミック体１となる焼結体１ｂより熱膨張係数の大きな管状の芯材３４を配置し、この芯材３４を覆うように隙間をあけて成形体１ａを被せて配置して焼成する。
【０００５】
このとき焼成前に成形体１ａを配置した段階では、成形体１ａの底面側に位置する芯材３４の支持部３５は、成形体１ａに当接せず、焼成段階における成形体１ａの収縮によって図４（ｂ）に示すように芯材３４の支持部３５に当接する。成形体１ａの収縮によって焼結が進むと開口面２は支持台３３より離れて持ち上がり、高温域では芯材３４の支持部３５に焼結体１ｂが支持され、焼成が終了して低温域になる段階で熱膨張係数の大きな芯材３４が縮み、有底管状セラミック体１の焼結体１ｂとの間に隙間３７が生じ、焼結体１ｂを芯材３４より外して焼結体１ｂを得ることが提案されている（特許文献１参照）。
【０００６】
また、図５（ａ）に示すように有底管状セラミック体１の成形体１ａの開口面２を支持台３３側として、有底管状セラミック体１となる焼結体１ｂより熱膨張係数の大きなセラミック成形体からなる芯材３４を内部に配置したもの、同様に有底管状セラミック体１となる焼結体１ｂより熱膨張係数の大きな金属からなる芯材３４を内部に配置し、その焼成段階において成形体１ａが収縮し、高温域でその内面の少なくとも一部が芯材３４に内接して矯正され、その後焼成が終了して低温域になる段階で熱膨張係数の大きな芯材３４が縮み、有底管状セラミック体１となる焼結体１ｂとの間に隙間３７が生じ、焼結体１ｂを芯材３４より外して焼結体１ｂを得ることが提案されている（特許文献２、３参照）。
【０００７】
このような焼成治具を用いて焼成することで、焼成時に発生する反りや真円度不良を低減し、寸法精度に優れた有底管状セラミック体１を製造できるものである。
【特許文献１】特開２０００−８６３５１号公報
【特許文献２】特開２０００−８６３５２号公報
【特許文献３】特開２０００−８６３５５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、図４、図５に示すような焼成治具を用いた焼成方法では、高温域において成形体１ａが収縮することにより、芯材３４の支持部３５に成形体１ａが当接した際に、開口面２が支持台３３より持ち上がる構造となっているため、成形体１ａの底面に引っ張り応力が作用しクラックが発生しやすいという問題があった。
【０００９】
また、平滑な支持台３３に、成形体１ａの開口面２を配置しており、焼成段階の初期に成形助剤であるバインダーが揮発してガスとなるが、このガスが成形体１ａの内部に残ったまま高温域に達してしまうため、バインダーの脱脂不足により成形体１ａにクラックが発生しやすいという問題があった。
【００１０】
さらに、成形体１ａの収縮を芯材３４により矯正して焼成する方法では、芯材３４への噛み込みが一定にはならないため、時には強く矯正されて噛み込みが強く、隙間３７がなくなると、クラックの発生や成形体１ａから芯材３４が抜けなくなる恐れがある。
【００１１】
さらに、芯材３４がセラミック成形体からなる場合は、芯材３４の強度が低いために有底管状セラミック体１の成形体１ａの自重を抑えることができずに倒れが発生しやすく、また芯材３４をなるセラミック成形体と有底管状セラミック体１の成形体１ａが接触した場合、相互が収縮しながら焼結していくため、噛み込みが強くなり芯材３４が抜けなくなる場合が生じるという問題があった。
【００１２】
またさらに、金属からなる芯材３４を用いた場合は、上記問題の他に有底管状セラミック体１の成形体１ａと反応するという問題がある。例えば、芯材３４が白金、白金−ロジウム合金、熱基耐熱合金、ニッケル基耐熱合金、コバルト基耐熱合金からなる場合、高温で溶融しセラミックスとの反応が発生する。一般的にこれらの金属は、焼成炉中に溶出して炉を傷めることがあるため、炉中へは入れないことが知られている。
【００１３】
本発明は、上述の課題に鑑みなされたものであって、その目的は有底管状セラミック体１の製造方法において、焼成時の噛み込みやバインダーの脱脂不足によるクラックの発生を防ぎ、また倒れや反応の発生を防ぐことで、生産性や歩留まりの良い有底管状セラミック体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記問題に鑑み、本発明の有底管状セラミック体の製造方法は、曲面状の底面を有し、セラミックスからなる有底管状の成形体を、その開口面を下方に向けて焼成する方法であって、上記成形体の開口面を、少なくとも１つの外部と連通する連通孔を有する支持台上に載置し、成形体の管内に、該成形体と熱膨張係数が同一な支柱部および該支柱部の先端に成形体の底面を支持するための曲面を備えた底面支持部とからなる焼成治具を垂直に立設するとともに、焼成温度の低温域において上記焼成治具と成形体とが離間した状態とし、高温域において成形体の収縮が完了することにより、上記底面支持部と成形体の底面とが当接することを特徴とする。
【００１５】
また、上記底面支持部が曲面状の先端面と、該先端面に連続し、外周側に傾斜したテーパ部とからなることを特徴とする。
【００１６】
さらに、上記焼成治具における支柱部と底面支持部とを分割構造としたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の有底管状セラミック体の製造方法によれば、成形体の開口面を、少なくとも１つの外部と連通する連通孔を有する支持台上に載置し、成形体の管内に、該成形体と熱膨張係数が同一な支柱部および該支柱部の先端に成形体の底面を支持するための曲面を備えた底面支持部とからなる焼成治具を垂直に立設するとともに、焼成温度の低温域において上記焼成治具と成形体とが離間した状態とし、高温域において成形体の収縮が完了することにより、上記底面支持部と成形体の底面とが当接することから、焼成時のバインダーの脱脂不足を解消し、また収縮率の変動によって成形体に焼成治具が噛み込むことを防止できるため、クラックの発生を低減させ、寸法精度の高い有底管状セラミック体を得ることができる。
【００１８】
また、上記底面支持部が曲面状の先端面と、該先端面に連続し、外周側に傾斜したテーパ部とからなることから、成形体と接する底面支持部の収縮による噛み込みをさらに抑えることができるため、噛み込みによるクラックの発生をより有効に防止でき、焼成治具を容易に取り外すことができる。
【００１９】
さらに、上記焼成治具における支柱部と底面支持部とを分割構造としたことにより、有底管状セラミック体となる成形体の収縮率の変動に合わせて、高さを調節できるため、噛み込みを抑えるとともに変形を防止でき、寸法精度の高い有底管状セラミック体を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する
本発明の有底管状セラミック体１の製造方法について説明する。
【００２１】
先ず、窒化珪素、アルミナ、炭化珪素等のセラミック原料からなる粉末に、成形助剤を添加、混合して、例えば、有底管状セラミック体１の内径の形状を模した金属製の芯金を有する湿式静水圧成形用のゴム型内に充填し、これに約１００ＭＰａの成形圧力を加えて成形する。
【００２２】
得られた成形体は、図１（ａ）の断面図に示すように、外形や長さ方向を切削加工することで曲面状の底面９を有する有底管状セラミック体１の成形体１ａへと加工される。
【００２３】
ここで、有底管状セラミック体１は、例えば、外径がφ１００〜３００ｍｍ、長さが５００〜１５００ｍｍ、肉厚が１０〜２０ｍｍの焼結体１ｂからなり、耐熱用部品として使用されることが多いため、通常は窒化珪素セラミックス等の耐熱衝撃性や高強度特性を備えた材料で製造される。
【００２４】
次いで、得られた成形体1ａを焼成する。本発明の製造方法では、焼成時に図１に示すような焼成治具９を用いて焼成することを特徴とする。
【００２５】
先ず、図1（ａ）に示すように、有底管状セラミック体１となる成形体１ａを、その開口面２を下方に向けて、基台６上に載置された支持台３上に載置する。
【００２６】
この支持台３は、図２に示すように、有底管状セラミック体１と同様の材質の成形体からなり、有底管状セラミック体１の成形体１ａと同様の収縮が発生することから、焼成時の開口面２の径方向の真円度を良好に保ち、変形の少ない焼結体１ｂを得ることができる。
【００２７】
また、形状も成形体１ａと同一な形状とし、開口面２を十分安定して載置できる径、面を有するものとすることが好ましく、成形体１ａをより安定して載置するための座繰り部１０が設けることが好ましい。さらに、支持台３は、有底管状セラミック体１よりその外径が３０〜１００ｍｍ程度大きいことが好ましく、その厚みは１０〜３０ｍｍ程度であれば良い。
【００２８】
さらに、少なくとも１つの外部と連通する溝や貫通孔からなる連通孔３ａを有し、焼成段階において成形体１ａからバインダーがガスとなって出てくる際に、そのガスの排出口として作用するため、脱脂不足を解消することができ、脱脂不足によるクラックの発生を防ぐことができる。この連通孔３ａは、成形体１ａが円管状の場合、等間隔に複数形成することが好ましく、バインダーのガスを十分外部に排出し、脱脂不足によるクラックの発生をより有効に防ぐことができる。
【００２９】
なお、連通孔３ａは、孔と同様の機能を果たす溝として製作すれば良く、１ヶ所以上必要で、２ヶ〜４ヶ設けることが好ましく、その溝の幅は１０〜３０ｍｍ程度で、深さは成形体１ａを載置する座繰り部１０より、５〜１０ｍｍ程度の深さとすることが好ましい。
【００３０】
また、成形体１ａの管内に、該成形体１ａと熱膨張係数が同一な支柱部４および該支柱部４の先端に成形体１ａの底面８を支持するための曲面を備えた底面支持部５とからなる焼成治具９を垂直に立設する。
【００３１】
この焼成治具９を形成する支柱部４および底面支持部５は、有底管状セラミック体１となる焼結体１ｂと熱膨張係数が同一な材料であるセラミックス焼結体とすることで、焼成時の収縮により底面支持部５に当接した焼結体が、その後の温度が降下していく間においても当接することで支持することができ、より好ましくは、有底管状セラミック体１と同材質とする。
【００３２】
なお、熱膨張係数が同一とは、成形体１ａの熱膨張係数との差が１．５×１０−６以内程度の材質を示す、これ以上に熱膨張係数の差が大きい材質で形成した場合は、収縮が完了した後でも焼成段階の降温中における変形が生じ易く、反りなどが発生することがある。一方、熱膨張係数が小さい部材では、有底管状セラミック体１の開口面２が持ち上がり、クラックなどを発生させる可能性がある。
【００３３】
また、焼成治具９と成形体１ａは、焼成温度の低温域において離間した状態とし、高温域において成形体１ａの収縮が完了することにより、上記底面支持部５と成形体１ａの底面８とが当接するようにすることが重要である。
【００３４】
このように当接するための焼成治具９の寸法の算出方法に関しては、予め他の部材を使用した予備焼成により成形体１ａの寸法からのどのくらい収縮するかの収縮率を求め、この収縮率により目標とする焼結体の寸法を計算し、これにより求めた有底管状セラミック体１の焼結体１ｂの内径の高さと焼成治具９の高さを同じくすることで達成できる。このような焼成治具９を有底管状セラミック体１の内部に載置して焼成した場合、伝熱効率が高まるために、通常の何も載置しない予備焼成の場合よりも、わずかではあるが収縮が大きくなる傾向にある。したがって、上記で求めた通常の収縮率からその支柱部４と底面支持部５の高さを計算して製作しておけば、特に小さめに設定するなど当接する分を考慮しなくても必ず当接することができる。
【００３５】
ここで、焼成工程の温度変化および成形体１ａの収縮変化を説明する。先ず、成形体１ａの焼結温度に達するまでは温度が昇温するとともに、成形体１ａが収縮を続ける。例えば、成形体１ａが窒化珪素セラミックからなり、収縮率１８％の場合、焼結温度１７００℃に達するまで、収縮を伴いながら結晶化による緻密化が進んで窒化珪素セラミックスとなる。約１０００℃付近までは、成形助剤が揮発してガス化する脱脂工程を含み、その後１０００℃を越えてから結晶化が始まり、特に収縮が大きくなるのはこの後者の段階である。
【００３６】
そして、成形体１ａの収縮が完了し焼結体１ｂとなり、この時点で図１（ｂ）に示すように底面支持部５と成形体１ａの底面８とが図３に示す拡大断面図のように当接する。
【００３７】
なお、この状態でも支持台３より焼結体１ｂが当接されていることが重要である。次いで、温度が降温するとともに、焼結体１ｂと焼成治具９は若干収縮していき、常温となっても当接した状態で焼成を終了する。
【００３８】
このように、成形体１ａが焼成されて焼結体１ｂとなった場合の熱膨張係数を、支柱部４、底面支持部５からなる焼成治具９と合わせることで、得られた有底管状セラミック体１の長さ方向を焼結の終了段階で支持するため、強度の弱い収縮段階での接触を避けたことにより、底面８にクラックが発生することを防ぐことができる。また、強度の弱い成形体１ａが焼成の初期段階である低温域では成形体１ａに当接することがないため、接触によるクラックの発生を防ぐことができる。さらに、高温域において成形体１ａが収縮を完了する間際に、底面支持部５と成形体１ａの底面８が当接する際には、焼結もほぼ終了する段階であることから、強度も高くなっており、当接してもクラックが発生することはない。
【００３９】
また、図３に示すように底面支持部５は、底面８を支持する曲面状の先端面１２を備えていることから、底面８に集中応力が発生することを防ぐことができるため、底面８のクラックの発生を防ぐことができる。また、先端面１２により底面８の一部を支持しているため、倒れや変形を防ぐこともでき、底面支持部５との噛み込みが小さいため、焼成後の支柱部４や底面支持部５を容易に抜き取ることができる。底面支持部５の先端面１２は、成形体１ａの焼成後の底面８の内部の曲面に合わせた曲面状とすることが好ましく、これより若干小さめであってもかまわない。
【００４０】
また、上記底面支持部５は、図３に示すように、曲面状の先端面１２と、該先端面１２に連続し、外周側に傾斜したテーパ部１１とからなることが好ましい。
【００４１】
これにより、成形体１ａと当接する底面支持部５の収縮による噛み込みをさらに抑えることができ、噛み込みによるクラックの発生と有底管状セラミック体１から焼成治具９が抜けなくなることを防止できる。
【００４２】
図３に示すように底面支持部５は、成形体１ａの底面８で当接するようにその先端を成形体１ａの内径と近傍の半径をもつ曲面状としており、その曲面状の先端面１２に連続してテーパ部１１を有する。例えば、焼成後の有底管状セラミック体１の内径がφ１３５ｍｍであるため、底面支持部５の曲率半径は６７．５ｍｍとし、この曲面状の先端面１２に連続した側面側に１０°以上のテーパ部１１を設けることで、面接触することにより成形体１ａの底面８に応力によるクラックが発生することを防ぐとともに、収縮により噛み込みが生じた場合に底面支持部５を容易に抜くことができる。
【００４３】
なお、このテーパ部１１は、傾斜角度が５°〜１５°であることが好ましい。５°未満となると成形体１ａの内周面が底面支持部５より内周側へ入り込んでしまうために抜けなくなるという場合がある。また、１５°を超えると曲面状の先端面１２の面積が小さくなり、成形体１ａから焼結体１ｂに収縮する段階でこのテーパ部１１に当接した場合に、有底管状セラミック体１の底部８がきれいな曲面状とならない。
【００４４】
また、この底面支持部５が成形体１ａと反応あるいは溶着しないように、表面に窒化硼素などをコーティングすると底面支持部５の抜き取りが容易になる。
【００４５】
また、上記焼成治具９における支柱部４と底面支持部５とを分割構造とすることが好ましい。
【００４６】
これにより、成形体１ａの収縮率の変動に合わせて、高さを調節できることで噛み込みを抑えるとともに、有底管状セラミック体１の変形を防止できる。
【００４７】
また、支柱部４の外径が底面支持部５の外径より小さくすることにより、有底管状セラミック体１と支柱部４との間に十分な空間７があり噛み込むことがなくなり、また底面支持部５を支柱部４と分割構造にすることで噛み込んだとしても後で容易に取り出すことできる。これは、底面支持部５の外径寸法より内側にセラミックスが収縮することがないためである。例えば、支柱部４の外径寸法を１１０ｍｍとし、有底管状セラミック体１の焼結後の外径寸法である１３５ｍｍよりも小さくすることで成形体１が収縮後の支柱部４へ  噛み込むことを防ぐことができるため、焼成後に容易に支柱部４を抜くことが可能になる。
【００４８】
また、支柱部４も同様にその表面に窒化硼素などをコーティングすることで成形体１との反応を抑えることができる。
【００４９】
また、上記支柱部４を長さ方向に分割構造として多数の熱膨張係数の異なる材質から形成したものを予め準備することで、例えば、支柱部４をコージライト等の低熱膨張材料とアルミナを組み合わせて、その相互の長さを調整することで、窒化珪素や炭化珪素の熱膨張係数と合わせることができるため、種々の材質の成形体１ａを焼成することができる。
【００５０】
さらに、この焼成治具９を用いた焼成方法は、バインダーを１０％以上含有するような成形体１ａを焼成する際に有効に用いることができ、焼成時に収縮率が大きく、ガスを多量に発生しても、支持台３に連通孔３ａを備えているため、このガスを外部へ排出することができる。
【実施例】
【００５１】
次に本発明の実施例を示す。
【００５２】
ここで以下に示す方法で実験を行った。
【００５３】
先ず、有底管状セラミック体として、窒化珪素セラミックスにて、長さが１３３７ｍｍ、円筒部の外径が１８０ｍｍ、内径が１５７ｍｍ、開口面の外径が２０５ｍｍ、肉厚が１２ｍｍ、底面の内部の曲率半径が７８．５ｍｍの成形体を準備した。
【００５４】
予備成形により求めた収縮率は、１７．６％であったため、これから焼結体の寸法を求めると、長さが１１０２ｍｍ、円筒部の外径が１４８．３ｍｍ、内径が１２９．３ｍｍ、開口面の外径が１６８．９ｍｍ、肉厚が１０ｍｍの有底管状セラミック体となる。
【００５５】
ここで有底管状セラミック体となる焼結体の内面部の高さは、長さより肉厚を減じた寸法の１０９２ｍｍとなる。
【００５６】
比較例として試料１〜４に従来の焼成方法の成形体を評価した。比較例の試料１は、図５に示すような焼成方法で、芯材として、同材質の窒化珪素セラミックスからなる成形体で製作した。芯材の長さを１３００ｍｍとし、径は１５６．０ｍｍとして成形体の内径の１．０ｍｍ小さく、底面の内部の曲率半径が７８．０ｍｍとした。
【００５７】
また、比較例である試料２は、同様の焼成方法で、芯材を熱膨張係数の大きいアルミナセラミックスの焼結体で、比較例の試料３は、熱膨張係数の小さいコージライトセラミックスの焼結体で、比較例の試料４は、窒化珪素セラミックの焼結体で製作し、試料２〜４は、芯材の長さを１２００ｍｍとし、その外径を１２９．９ｍｍとして有底管状セラミック体の焼成後の径寸法より、０．５％大きくし、底面の内部の曲率半径が６５．０ｍｍで製作した。
【００５８】
また、各支持部にはその表面に窒化硼素をコーティングした。
【００５９】
もう１つの比較例として、試料５は、以下の図１に示すような本発明に示す試料と同様の焼成方法であるが、支持台に連通孔を設けないものとした。
【００６０】
また、本発明の実施例として試料６〜１２を図１に示すような焼成方法で焼成した。
【００６１】
先ず、成形体として窒化珪素セラミックスにて、長さが１３３７ｍｍ、円筒部の外径が１８０ｍｍ、内径が１５７ｍｍ、開口面の外径が２０５ｍｍ、肉厚が１２ｍｍの成形体を準備した。
【００６２】
そして、図１に示すように、成形体の開口面を、４個の連通孔を有する外径２５０ｍｍで厚みを２０ｍｍ、座繰り部の径が２０６ｍｍ、深さが１０ｍｍからなる支持台上に載置し、成形体の管内に表１に示す如く材質からなり、成形体の底面を支持するための表１に示すような曲率半径を有する曲面を備えた底面支持部とからなる焼成治具を垂直に立設した。
【００６３】
焼成治具の長さは有底管状セラミック体の焼結体の内面の長さ１０９２ｍｍと支持台の座繰り部の厚み１０ｍｍを加算して、１１０２ｍｍとした。
【００６４】
そして、種々の焼成方法の評価をした。有底管状セラミック体の真円度、長手方向の反り、クラックの発生有無、焼成治具の抜け具合を評価項目とし、真円度は外形の開口面付近、中央、上部の３ヶ所を４５°毎に各４ヶ所ずつ測定してその変形量を求め、また反りは、径部分を定盤に載せてゆっくりと回転させ、定盤との隙間が最も大きい部分の寸法を測定した。また、クラックは焼結体をカラーチェックして目視で確認し、焼成治具は抜けにくいものは振動を与えて実施して抜け具合を評価した。
【００６５】
総合判定としてクラックが発生し、焼成治具が抜けないものは×とし、真円度が５ｍｍ以上のもの、反りが４ｍｍ以上のものを△、真円度が５ｍｍ未満、反りが４ｍｍ未満のものを○とした。
【００６６】
評価結果を表１に示す。
【表１】
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【００６７】
表１の結果より、従来の焼成方法である試料１は、焼成による収縮段階で部分的に芯材と成形体が接触し、くっつきが発生してこの芯材を抜くことができなかった。また、試料２〜４は、試料２の熱膨張係数の大きなアルミナセラミックス以外は、芯材の抜き取りができず、また矯正により強固に噛み込み底部やその筒状の側面にもクラックが発生していた。
【００６８】
また、図１の焼成方法であるが、支持台に連通孔を設けなかった試料５は、焼成変形も大きく、また脱脂不良と思われるクラックが確認できた。
【００６９】
また、本発明の実施例である試料６〜１２は、どれも焼結体にクラックは発生せず、焼成治具も抜くことが可能であった。
【００７０】
また、試料９、１０は、底面支持部の外径の大きさを有底管状セラミック体の焼成後の寸法よりも、径で２ｍｍ小さく製作し、その曲面状の外周部に５°〜１０°のテーパを設けているもので、径の変形や反りも少なく良好な状態であった。また試料１１、１２は、底面支持部の外径の大きさを有底管状セラミック体の焼成後の寸法に合わせ、またその曲面状の外周部に１５°、２０°のテーパを備えており、１５°までは径の変形が少なかったが、２０°のものは若干径の変形が増えている。さらに試料１０〜１２は、支柱部と底面支持部を分割で製作したもので、特に試料１１が真円度、反りがともに小さく最も良好な結果であった。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の有底管状セラミック体の製造方法を示す断面図であり、（ａ）は焼成治具をセットした状態を示す断面図、（ｂ）は焼成後の断面図である。
【図２】本発明の有底管状セラミック体の製造方法に用いる支持台を示す斜視図である。
【図３】本発明の有底管状セラミック体の焼結直後の底面部の拡大断面図である。
【図４】従来の有底管状セラミック体の製造方法を示す断面図であり、（ａ）は焼成治具をセットした状態を示す断面図、（ｂ）は焼成後の断面図である。
【図５】従来の有底管状セラミック体の製造方法を示す断面図であり、（ａ）は焼成治具をセットした状態を示す断面図、（ｂ）は焼成後の断面図である。
【図６】（ａ）は有底管状セラミック体を示す斜視図であり、（ｂ）はその断面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１：有底管状セラミック体
１ａ：成形体
１ｂ：焼結体
２：開口面
３：支持台
３ａ：連通孔
４：支柱部
５：底面支持部
６：基台
７：空間
８：底面
９：焼成治具
１０：座繰り部
１１：テーパ部
１２：曲面状の先端面
３３：支持台
３４：芯材
３５：支持部
３７：隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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