(57)【要約】【課題】スキージのエッジの平滑性を保証すること。【解決手段】スキージに加工されるワーク６を固定する保持機構１０−１と、保持機構１０−１に対して相対的に往復的に移動する移動機構２０−２と、移動機構２０−２に保持される回転砥石１７とから構成されている。研磨後のワーク６は第１表面と第１表面に交叉する第２表面２１とを有している。第２表面２１は、公知のスキージの研磨平面に相当している。回転砥石１７は、ワーク６を研磨して印刷インクをスクリーンに刷り込むためのエッジ面をワーク６に形成する。このように加工されるスキージは、印刷用スクリーンに対して近接する際に、そのエッジ面上で流動するペーストがスクリーンに対して転写される。ばりのような転写時の円滑な流動性を阻害する阻害原因の発生が有効に抑制され、スキージのエッジの平滑性が保証される。【選択図】          図１
2005118964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スキージに加工されるワークを固定する保持機構と、
前記保持機構に対して相対的に往復的に移動する移動機構と、
前記移動機構に保持される回転砥石とを構成し、
研磨中の前記ワークは第１表面と前記第１表面に交叉する第２表面とを有し、
前記回転砥石は、前記ワークを研磨して印刷インクをスクリーンに刷り込むためのエッジ面を前記ワークに形成し、前記第１表面は前記エッジ面である
スキージの研磨装置。
【請求項２】
前記移動機構は第１移動機構といわれ、前記回転砥石は第１回転砥石といわれ、
前記保持機構に対して相対的に往復的に移動する第２移動機構と、
前記第２移動機構に保持される第２回転砥石とを更に構成し、
前記第２回転砥石は、前記ワークを研磨して前記第２表面を形成する
請求項１のスキージの研磨装置。
【請求項３】
前記第１移動機構と前記第２移動機構は共通の移動体を形成し、
前記第１回転砥石と前記第２回転砥石は前記共通の移動体に支持される
請求項２のスキージの研磨装置。
【請求項４】
前記第２表面は前記第２回転砥石の回転周面により研磨され、前記第１表面は前記第１回転砥石の軸直角面により研磨される
請求項２のスキージの研磨装置。
【請求項５】
前記ワークは、
前記第２表面に概ね直交する第１側面と、
前記第２側面に概ね直交して前記第１側面に概ね平行に対向する第２側面とを有し、
前記第１表面は前記第１側面に斜めに交叉し前記第２側面に交叉せず、
前記第２側面の側で前記ワークを支持する押圧器を更に構成する
請求項２のスキージの研磨装置。
【請求項６】
前記第１側面の側で前記ワークを支持する他の押圧器を更に構成する
請求項５のスキージの研磨装置。
【請求項７】
前記押圧器と前記他の押圧器は１直線上に配置されている
請求項６のスキージの研磨装置。
【請求項８】
前記第１回転砥石は、前記第２表面に当接した後に段階的に前記ワークに切り込む
請求項１〜７から選択される１請求項のスキージの研磨装置。
【請求項９】
前記ワークは弾性的に変形する材料で製作されている
請求項１〜８から選択される１請求項のスキージの研磨装置。
【請求項１０】
前記材料は繊維質である
請求項９のスキージの研磨装置。
【請求項１１】
スキージに加工されるワークを回転砥石に対して相対的移動可能に固定するステップと、
前記ワークに対して前記回転砥石を規定方向に接近させるステップと、
前記回転砥石により前記ワークを研磨して前記ワークにエッジ面を形成するステップ
とを構成するスキージの研磨方法。
【請求項１２】
前記ワークは、
基準面と、
前記基準面の一方の端部で交叉する第１側面と、
前記基準面の他方の端部で交叉する第２側面と、
前記基準面と前記第１側面とに交叉する前記エッジ面とを有し、
前記エッジ面を形成する前記ステップは、前記第２側面の側で前記ワークを支持するステップを形成する
請求項１１のスキージの研磨方法。
【請求項１３】
前記回転砥石は第１回転砥石といわれ、前記規定方向は第１規定方向といわれ、前記エッジ面は第１面といわれ、
前記ワークに対して第２回転砥石を第２規定方向に接近させて前記第１面に交叉する第２面を前記ワークに第１回目に形成するステップと、
前記ワークを前記第２規定方向に移動させて前記ワークに前記第２回転砥石を更に深く切り込ませて前記ワークに第２回目に前記第２面を形成するステップ
とを更に構成する請求項１１スキージの研磨方法。
【請求項１４】
前記ワークを前記第２規定方向に移動させて前記ワークに前記第２回転砥石を更に深く切り込ませて前記ワークに第３回目に前記第２面を形成するステップを更に構成し、
前記第２回転砥石の前記ワークに対する前記第２回目の切り込み量がΔＨ１で表され、前記第２回転砥石の前記ワークに対する前記第３回目の切り込み量がΔＨ２表され、ΔＨ１＝ΔＨ２である
請求項１３のスキージの研磨方法。
【請求項１５】
前記ワークを前記第２規定方向に移動させて前記ワークに前記第２回転砥石を更に深く切り込ませて前記ワークに第３回目に前記第２面を形成するステップを更に構成し、
前記第２回転砥石の前記ワークに対する前記第２回目の切り込み量がΔＨ１で表され、前記第２回転砥石の前記ワークに対する前記第３回目の切り込み量がΔＨ２表され、ΔＨ２＜ΔＨ１である
請求項１３のスキージの研磨方法。
【請求項１６】
前記ワークは、
前記基準面と、
前記基準面の一方の端部で交叉する第１側面と、
前記基準面の他方の端部で交叉する第２側面と、
前記基準面と前記第１側面とに交叉する前記エッジ面とを有し、
前記ワークにエッジ面を形成する前記ステップは、前記第２側面の側で前記ワークを支持するステップを形成する
請求項１３〜１５から選択される１請求項のスキージの研磨方法。
【請求項１７】
前記第２回目に前記第２面を形成するステップは、前記第２側面の側で前記ワークを支持するステップ形成する
請求項１６のスキージの研磨方法。
【請求項１８】
印刷用スクリーンにスキージを接近させるステップを構成し、
前記ステップは、
前記スクリーンに近接する前記スキージの先頭部分の第１近接面を前記スクリーンに対して斜めに近接させるステップと、
前記スクリーンに近接する前記スキージの先頭部分の第２近接面を前記スクリーンに対して斜めに近接させるステップとを形成し、
印刷用インクを前記第１近接面と前記第２近接面に流動させて前記印刷用インクを前記スクリーンに転写させるステップを更に構成する
スキージを用いるプラズマディスプレイ用印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スキージの研磨装置、スキージの研磨方法、及び、スキージを用いる印刷方法に関し、特に、プラズマディスプレイの表示面に印刷するために用いられるスキージの研磨装置、スキージの研磨方法、及び、スキージを用いるプラズマディスプレイ用印刷方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイの表示面には、多様な印刷処理が施される。そのような印刷技術として、スクリーン印刷が知られている。スクリーン印刷には、印刷用スキージが用いられる。スクリーン印刷は、メッシュ状のスクリーンにペースト状の印刷インキをスキージを用いて刷り込むことにより、表示面に印刷を行う技術である。
【０００３】
そのようなスキージはゴムのように柔軟に変形する弾性材料（例示：ポリウレタン樹脂）で製作されている。スキージのエッジ部分は、スクリーンに対してインクを刷り込む機能を有している。このような作用を持つスキージのエッジ部分は、その刷り込みの際に摩擦で磨耗することが知られている。磨耗するスキージのエッジ部分は、適正使用回数に対応して、研磨装置で修復される。平面研磨後のスキージには、その研磨面に特にエッジ部分に、傷、ばり、欠けが生じる。このような損傷は、印刷すじ、印刷むらが印刷時に発生する原因になっている。
【０００４】
公知のスキージ研磨装置は、図６に示されるように、修復対象のスキージ１０１を把持するスキージホルダー１０２と研磨用の砥石１０３を備えている。砥石１０３は、研磨時に研磨量に対応してスキージ１０１に切り込んだ状態で、スキージ１０１の長手方向に移動する。スキージ１０１が砥石１０３の切り込みにより砥石１０３から受ける押圧力は、弾性的変形性のスキージ１０１を変形させる。このような弾性的変形により、最終仕上げ研磨面が不適正に斜めに向き、又は、研磨されない部分が生じて、研磨面が均一に仕上げられない。
【０００５】
このような仕上げむらの発生を防止するための技術は、後掲特許文献１に示されるように知られている。この公知技術は、スキージ１０１を両側面から押さえて研磨時の押圧力に対向して不適正な変形を抑止している。その抑止のためのガイド装置は、図６に示されるような押圧ガイド１０４を備えている。押圧ガイド１０４は、砥石１０３から受ける押圧力によりスキージ１０１が変形し、又は、スキージ１０１に対して与える押圧力の反作用を受ける砥石１０３とスキージ１０１との間に発生する相対的蛇行を抑止している。公知のスキージ研磨装置として、研磨面の位置を検出する機能を持つ技術は、後掲特許文献２で知られている。
【０００６】
スキージの研磨面は印刷方向に一定の角度を保持していて、スキージの研磨面が印刷時にスクリーンに対して垂直に接することはない。印刷時に使用されるスキージの面が主としてスキージのエッジ近傍であることは、印刷むらの発生を回避するために重要な知識である。弾性材料で製作されているスキージのエッジ近傍には、研磨を受けた後にひげ状のばりが生成される。このようなばりの生成は、金属加工、樹脂成形の分野でよく知られ、そのばり取りの技術が多様に知られている。弾性材料で製作されているスキージのばり取りは、困難である。
【０００７】
スキージホルダ１０２とスキージ１０１の形状は、それぞれに多様であり、その寸法はまちまちである。公知の研磨装置は、そのような多様性に対処するために、機械動作部分の移動位置調整のような研磨工程開始前の段取り調整工程が複雑化している。
【０００８】
スキージのエッジの平滑性を保証することが求められる。次に、精度を保持しながら、多様な研磨対象に対する簡素な対応性が求められる。更には、工程の複雑化を招かないことが重要である。
【０００９】
【特許文献１】特開昭６１−０４７６３７号
【特許文献２】特開２０００−９６２５０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の課題は、スキージのエッジの平滑性を保証するスキージの研磨装置、スキージの研磨方法、及び、スキージを用いるプラズマディスプレイ用印刷方法を提供することにある。
本発明の他の課題は、精度を保持しながら、多様な研磨対象に対する簡素な対応性があるスキージの研磨装置、スキージの研磨方法、及び、スキージを用いるプラズマディスプレイ用印刷方法を提供することにある。
本発明の更に他の課題は、工程の複雑化を招かないスキージの研磨装置、スキージの研磨方法、及び、スキージを用いるプラズマディスプレイ用印刷方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によるスキージの研磨装置は、スキージに加工されるワーク（６：加工中のスキージ）を固定する保持機構（１０−１）と、保持機構（１０−１）に対して相対的に往復的に移動する移動機構（２０−２）と、移動機構（２０−２）に保持される回転砥石（１７）とから構成されている。研磨後のワーク（６）は第１表面と第１表面に交叉する第２表面（２１）とを有している。第２表面（２１）は、公知のスキージの研磨平面に相当している。回転砥石（１７）は、ワーク（６）を研磨して印刷インクをスクリーンに刷り込むためのエッジ面をワーク（６）に形成する。ここで、第１表面はエッジ面として定義される。
【００１２】
このように加工されるスキージは、印刷用スクリーンに対して近接する際に、そのエッジ面上で流動するペーストがスクリーンに対して転写される。スクリーン面に対して傾斜する面を流動してペーストがスクリーンに転写される点は、公知の技術の転写に同じであるが、本発明の転写方法では、その傾斜面にばりのような転写時の円滑な流動性を阻害する阻害原因が発生することが有効に抑制され、スキージのエッジの平滑性が保証される。
【００１３】
既述の移動機構は第１移動機構（２０−２）といわれ、既述の回転砥石は第１回転砥石（１７）といわれる。保持機構（１０−１）に対して相対的に往復的に移動する第２移動機構（２０−１）と、第２移動機構（２０−１）に保持される第２回転砥石（１６）とが追加される。第２回転砥石（１６）は、ワーク（６）を研磨して第２表面（２１）を形成する。第１移動機構（２０−２）と第２移動機構は共通の移動体（１３）を形成する。第１回転砥石と第２回転砥石は共通の移動体に支持される。第１回転砥石（１７）と第２回転砥石（１６）の原点復帰位置と動作位置とは互いに逆になるから、両砥石を単一の移動体により移動させることは移動装置系を簡素化することができる。
【００１４】
第２表面（２１）は第２回転砥石（１６）の回転周面により研磨される。第１表面を第１回転砥石（１７）の軸直角面で研磨することは、第１回転砥石（１７）を小型化することができる点で有利である。
【００１５】
ワーク（６）は、加工途中と加工完了後に、第２表面に概ね直交する第１側面と、第１表面に概ね直交して第１側面に概ね平行に対向する第２側面（２５）とを有している。第１表面は第１側面に斜めに交叉し第２側面（２５）に交叉せず、第２側面（２５）の側でワークを支持する押圧器（１１）が更に追加される。第１表面に接する第１回転砥石（１７）は、第２側面（２５）に向かう成分を持つ押圧力を研磨中にワーク（６）に与える。押圧器（１１）は、その成分の方向に対向する側からワーク（６）を押圧し、変形しやすいワークの変形を防止し、且つ、ワークの長手方向に相対的に移動するワーク（６）と第１回転砥石（１７）の相対的蛇行を有効に防止する。第１側面の側でワーク（６）を支持する他の押圧器（１１）の追加はそのような変形又は蛇行を更に有効に防止することができる。このような２つの押圧器は１直線上に配置されていることが、効果的である。
【００１６】
第１回転砥石（１７）は、第２表面（２１）に当接した後に段階的にワーク（６）に切り込むことが特に望ましい。一度の深い切り込みはワークの変形を促進するが、段階的な切り込みは研磨力を段階的に分散させて、ワークの変形を効果的に抑制する。
【００１７】
本発明は、ワークが弾性的に変形する材料で製作されているのでその効果が顕著に大きい。材料が繊維質であるのでばりの発生が容易であり、このような場合に、本発明の効果は更に顕著である。
【００１８】
本発明によるスキージの研磨方法は、スキージに加工されるワーク（６）を回転砥石（１７）に対して相対的移動可能に固定するステップと、ワーク（６）に対して回転砥石（１７）を規定方向に接近させるステップと、回転砥石（１７）によりワーク（６）を第１回目に研磨してワーク（６）にエッジ面を形成するステップとから構成されている。
【００１９】
ワーク（６）は、基準面（２１）と、基準面（２１）の一方の端部で交叉する第１側面と、基準面（２１）の他方の端部で交叉する第２側面（２５）と、基準面（２１）と第１側面とに交叉するエッジ面とを有している。ワーク（６）にエッジ面を形成するステップは、第２側面（２５）の側でワーク（６）を支持するステップを含んでいる。エッジ面は第１面といわれる。ワーク（６）に対して第２回転砥石（１６）を第２規定方向に接近させて第１面に交叉する第２面をワーク（６）に第１回目に形成するステップと、ワーク（６）を第２規定方向に移動させてワーク（６）に第２回転砥石（１６）を更に深く切り込ませてワーク（６）に第２回目に第２面を形成するステップとが追加される。ワーク（６）を第２規定方向に移動させてワーク（６）に第２回転砥石（１６）を更に深く切り込ませてワーク（６）に第３回目に第２面を形成するステップが更に追加されることは顕著に効果的である。第２回転砥石（１６）のワーク（６）に対する第２回目の切り込み量がΔＨ１で表され、第２回転砥石のワークに対する第３回目の切り込み量がΔＨｄ２表される。ΔＨ１＝ΔＨ２であることは一般的であるが、ΔＨ２＜ΔＨ１の制御は、ワーク（６）の変形を研磨工程の終期で抑制し、研磨面の面精度をより良好にし、且つ、１回の研磨量の低減により、ばりの発生をより有効に抑制することができる。研磨中のワークの側面支持は有効である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によるスキージの研磨装置、スキージの研磨方法、及び、スキージを用いるプラズマディスプレイ用印刷方法は、スキージのエッジの平滑性を保証することができる。精度を保持しながら、多様な研磨対象に対する簡素な対応性がある。工程の複雑化を招かない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明によるスキージの研磨装置の具体化は、図に対応して、以下に詳細に記述される。スキージ研磨装置は、ワーク保持部１０と工具保持部２０とから構成されている。ワーク保持部１０は、ワークとしてスキージを保持する。工具保持部２０は、工具として砥石を保持する。ワーク保持部１０は、第１ワーク保持部１０−１と第２ワーク保持部１０−２とから形成されている。工具保持部２０は、第１工具保持部２０−１と第２工具保持部２０−２とから形成されている。
【００２２】
第１ワーク保持部１０−１は、クランプ機構１とスキージ固定位置決め機構２とから形成されている。スキージ固定位置決め機構２は、ベース３とベース３に固着されている固定部分の本体４と可動部分５とから形成されている。ベース３と本体４と可動部分５とは、工作機械に慣用される金属で作製されている。スキージ６は、スキージ固定位置決め機構２に固定的に保持されスキージ固定位置決め機構２を記述する３次元直交座標系ＸＹＺで位置決めされて固定される。クランプ機構１は、１対の挟持爪で形成されるクランプ部分７と、クランプ部分７を開閉自在に駆動する駆動機構８とから形成されている。本体４と可動部分５は、クランプ部分７の対向挟持面に挟まれて相対的に対向する対向方向に互いに押し付けられる。スキージ６の一端部分（下半部分）は、本体４と可動部分５の挟持面とで形成される凹面に入り込み、本体４と可動部分５とで挟み込まれてスキージ固定位置決め機構２に固定的に保持される。スキージ固定位置決め機構２に保持されるスキージ６は、直交座標系ＸＹＺの上で位置決めされる。
【００２３】
第２ワーク保持部１０−２は、スキージ６の他端部分（上半部分）に押圧力を作用させる押圧機構９−１と、押圧機構９−１を直交２軸方向（又は３軸方向）に往復運動させる押圧機構駆動機構９−２とから構成されている。押圧機構９−１は、スキージ６に適正押圧力で押し付けられＸ軸方向とＺ軸方向に進退動する押圧器１１を備えている。押圧器１１が更にＹ軸方向に可動的であることは好ましい。
【００２４】
第１工具保持部２０−１は、直交座標系ＸＹＺで固定されるベース１２に対して直交３軸方向に進退運動する直交３軸砥石駆動機構１３を備えている。直交３軸砥石駆動機構１３には、第１砥石回転機構１４と第２砥石回転機１５とが備えつけられている。第１回転砥石１６は、第１砥石回転機構１４に結合し第１砥石回転機構１４により回転的に駆動される。第２回転砥石１７は、第２砥石回転機構１５に結合し第２砥石回転機構１５により回転的に駆動される。第１回転砥石１６の回転周面は、第１研磨面１８を形成している。第１回転砥石１６の軸直角回転面は、第２研磨面１９を形成している。第１回転砥石１６の回転軸心線は、Ｘ軸とＹ軸に斜交し、その斜交角として４５゜が適正に例示される。
【００２５】
第１回転砥石１６は、スキージ６の１側面２１を平面的に研磨する。その１側面２１は、スクリーンに対してペーストを塗りつけるエッジに交叉する面に一致している。第２研磨面１９は、スキージ６の１側面２１に対応するエッジ２２を形成してそのエッジを研磨する。
【００２６】
制御器２３は、押圧器１１と第１回転砥石１６と第２回転砥石１７のそれぞれの移動量とそれぞれの移動位置を制御し、且つ、押圧器１１と第１回転砥石１６と第２回転砥石１７のそれぞれの機械的原点位置に対応するプログラマブル原点位置を３次元直交座標系に設定している。
【００２７】
図２は、第１工具保持部２０−１の第１回転砥石１６によりスキージ６の１側面２１を研磨する研磨方法の具体化を示している。第１砥石回転機構１４の昇降量（Ｚ軸方向移動量）は、直交３軸砥石駆動機構１３を昇降させるサーボモータ（図示されず）に入力されるパルス数に対応している。スキージ固定位置決め機構２に固定される３次元直交座標系で、第１回転砥石１６の高さ位置（Ｚ軸方向座標）の基準であるＺ軸方向基準位置（Ｚ軸方向機械原点）のＺ軸座標は、Ｈｏで表される。今の場合に記述の便宜のために、Ｈｏは円筒面である第１研磨面１８の最下端位置（その円筒面と回転軸心線を含む鉛直面との交叉線の高さ位置）として表される。その最下端位置は、Ｚ軸方向基準位置に初期的に一致している。第１回転砥石１６の回転軸心線に対してＺ軸方向に位置決めされてクランプ機構１に固定されている位置検出センサ２４（図１参照）は、スキージ６の１側面２１の高さ位置を検出する。位置検出センサ２４として、近接センサが好適に用いられる。近接センサ２４が検出する高さ位置は、第１研磨面１８の下端に一致していることが以下の記述で仮定される。その検出位置は、第１砥石回転機構１４の出力軸の回転軸心線に対して定められ得る。第１回転砥石１６の第１研磨面１８がＺ軸方向基準位置Ｈｏからスキージ６の１側面２１まで下降する下降量は、Ｈｄで表される。位置検出センサ２４が１側面２１の高さ位置を検出するときに、制御器２３はその下降量Ｈｄを記憶する。下降量Ｈｄで下降する第１研磨面１８の最下端位置のＺ軸方向座標位置Ｈは、下記式で表される。
Ｈ＝Ｈｏ＋Ｈｄ・・・（１）
Ｚ軸上で、正方向は下方向に定義されている。
【００２８】
第１回転砥石１６の下降中には、第１回転砥石１６は非回転状態に保持されることが望ましい。式（１）で表される高さ位置の第１回転砥石１６に回転駆動力が与えられる。その高さが保持されて、第１回転砥石１６は、直交３軸砥石駆動機構１３と第１砥石回転機構１４とに同体にＹ軸方向に往復的に（相対的に）運動する。第１回転砥石１６のこのような往復運動により、スキージ６の１側面２１は、第１研磨面１８の断面形状線の線形移動により形成される面、特に、平面に研磨されて形成される。第１回転砥石１６の１回の往復運動に時間的に対応して、第１回転砥石１６は直交３軸砥石駆動機構１３と第１砥石回転機構１４とに同体に更にＺ軸方向に下降する。その１回の下降量は、ΔＨｄで表される。第１回転砥石１６のｎ回の往復運動による全下降量は、ΔＨｄ（ｎ−１）で表される。ｎ回の研磨により下降するスキージ６の１側面２１の高さ位置は、下記式：
Ｈ＝Ｈｏ＋｛Ｈｄ＋（ｎ−１）ΔＨｄ｝・・・（２）
で表される。初期的高さ位置の検出の後の第１回目研磨が、その初期位置からΔＨｄの下降の後に行われる場合には、式（２）の（ｎ−１）は、ｎに置換される。１回ごとにΔＨｄを変更することは自由であり、特に、ｎがより大きくなればΔＨｄをより小さくすることが研磨面の精度の向上の点で好ましい。研磨工程の終了の後に、第１回転砥石１６は｛Ｈｄ＋（ｎ−１）ΔＨｄ｝だけＺ軸方向に上昇し、更にＸ軸方向に移動して原点位置に復帰する。
【００２９】
図２は、第２工具保持部２０−２の第２回転砥石１７によりスキージ６のエッジ２２を研磨する研磨方法の具体化を更に示している。第１回転砥石１６が原点位置に復帰して退避した後に、後退位置にある押圧器１１が前進する。動作位置（前進位置）の押圧器１１の参照番号は１１−Ｉで示され、原点位置（退避位置又は後退位置）の押圧器１１の参照番号は１１−ＩＩで示されている。押圧器１１−ＩＩの側面と本体４の側面で形成される対向面間のＸ軸方向距離はＤで表され、本体４のＸ軸方向厚みはＴで表される。本体４の厚みＴは、本体４の側面とスキージ６の基準側面２５との間のＸ軸方向距離に一致している。距離Ｄと厚みＴは、設計により決定される定数値であり、プログラムの中に記述されている。押圧器１１は、押圧機構９−１を構成するパルスモータ（サーボモータ）２６の本体に固定されているナットに噛み合ってＸ軸方向に直線的に運動するスクリュー軸２７の先頭端に固着されている。押圧器１１の前進後退距離は、パルスモータ２６に供給する回転駆動力パルスの数に対応している。
【００３０】
原点位置の押圧器１１−ＩＩの基準高さ位置として設定されているその上面位置の高さ位置は、センサ基準位置に対して正方向に（下降方向に正に）Ｌ１で定められている。式（２）の高さ位置Ｈと押圧器１１−ＩＩの上面位置との間の落差Ｌ（研磨終了後の落差）は、次式で表される。
Ｌ＝Ｌ１−（Ｈ−Ｈｏ）
＝Ｌ１−｛Ｈｄ＋（ｎ−１）ΔＨｄ｝・・・（３）
実際には、押圧器１１−Ｉの上端面は研磨完了後の１側面２１より低い位置にあることが望ましく、その適正量がＡ（＞０）で表されて、次式が適正である。
Ｌ＝Ｌ１−｛Ｈｄ＋（ｎ−１）ΔＨｄ＋Ａ｝・・・（４）
【００３１】
図３は、第２工具保持部２０−２によるエッジ研削研磨の具体化を示している。図３の第１砥石回転機構１４と第１回転砥石１６は、既述の原点位置（復帰位置）にある。原点位置の第２回転砥石１７は、参照番号１７−Ｉで示されている。位置検出センサ２４が検出信号を出力する位置でスキージ６のエッジ２２−Ｉに当接する第２回転砥石１７は、参照番号１７−ＩＩで示されている。研磨終了後のスキージ６に当接する位置のスキージ６のエッジ２２−ＩＩに当接する第２回転砥石１７は、参照番号１７−ＩＩＩで示されている。第２回転砥石１７−Ｉと第２回転砥石１７−ＩＩの間の平行移動距離は、Ｘで示されている。第２回転砥石１７−ＩＩと第２回転砥石１７−ＩＩＩの間の平行移動距離は、ΔＸで示されている。第２回転砥石１７の第２研磨面１９の鉛直面（ＹＺ平面）に対する角度は、θで表される。ΔＸは、下記式で表される。
ΔＸ＝ｔａｎθ・（ｎ−１）・ΔＨｄ・・・（５）
式（６）の右辺の変数はその全てが設計定数であり、左辺のΔＸの値は決定される。
【００３２】
第１回転砥石１６による研磨が終了して第１回転砥石１６が原点位置に復帰して退避すれば、第２回転砥石１７による研磨の開始に時間的に先立って、押圧器１１が原点位置から動作位置に移動して、押圧器１１−Ｉはスキージ６の基準側面２５に近接して実質的に当接する。スキージ６は、弾性的であり柔軟に変形することができ、押圧器１１−Ｉの停止位置が理想的位置から僅かにずれることにより押圧器１１に発生する歪み応力は、スキージ６に悪影響を与えない。押圧器１１の移動と概ね同時的に第２回転砥石１７が進み距離（Ｘ＋ΔＸ）でＸ軸方向に移動して、研磨完了後のスキージ６のエッジ２２−ＩＩに当接している。第２回転砥石１７とエッジ２２−ＩＩとの当接は、既述の理由によりスキージ６に悪影響を与えない。第２回転砥石１７は第２回転砥石１７−ＩＩの位置では既に回転を開始している。スキージ６のエッジは、第２回転砥石１７により研削され研磨されて、第２研磨面１９に対応する面特には平面（斜平面）に形成される。
【００３３】
複数回の試験的研磨工程が実行される。その試験工程で研磨されるスキージ６の寸法と研磨精度が確認され、既述の定数の変更が行われて収斂的にその定数が最適値化される。最適値化された定数が、制御器２３のプログラムに登録的に設定される。そのような定数は、スキージ６の形状、寸法の変更に対応して変更され得る。
【００３４】
押圧器１１は、エッジ研磨の際に用いられるだけでなく、平面研磨の際にも有効に用いられ得る。押圧器１１が平面研磨の際に用いられる場合には、図４に示されるように、１つの第２ワーク保持部１０−２の他にもう１つの第２ワーク保持部１０−２が用いられることが精度向上のために有効である。スキージ６を両側から１直線上に配置される両側の押圧器１１で挟み込むことにより、スキージ６の曲がりの発生を有効に回避することができる。２つの第２ワーク保持部１０−２の使用は、第１回転砥石１６の回転力を受けるスキージ６の曲がりを防止することできる点で平面研磨の際に有効であり、第２回転砥石１７の回転力を受けるスキージ６の曲がりを防止することできる点でエッジ研磨の際に有効である。
【００３５】
図５は、式（４）で、
Ａ＝０・・・（６）
である場合を示している。この場合には、第１回転砥石１６の平面研磨の完了時点で、押圧器１１−Ｉの上端面が第１回転砥石１６の下端に一致している場合を示している。押圧器１１−Ｉの上端面が第１回転砥石１６の下端に実際に一致すれば、押圧器１１が第１回転砥石１６により研磨される恐れがある。式（４）でＡは零より僅かに大きいことが理想的である。
０＜Ａ＜ｄ・・・（７）
ここで、ｄは極めて小さい値（例示：０．０１ｍｍ）である。ｄを小さく設定することにより、第１回転砥石１６により研磨を受けるスキージ６を可能な限り最上位の位置を両側から押圧器１１で挟み込むことができ、スキージ６の曲がり又は反りを最小限に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】図１は、本発明によるスキージの研磨装置の具体化を示す断面図である。
【図２】図２は、平面研磨の具体化を示す断面図である。
【図３】図３は、エッジ研磨の具体化を示す断面図である。
【図４】図４は、本発明によるスキージの研磨装置の他の具体化を示す断面図である。
【図５】図５は、平面研磨の他の具体化を示す断面図である。
【図６】図６は、公知装置を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
符号は、原則的に解決手段で記載される技術的事項に対応している。
６…ワーク
１０−１…保持機構
１１…押圧器
１６…第２回転砥石
１７…回転砥石
２０−１…第２移動機構
２０−２…移動機構（第１移動機構）
２１…第２表面（基準面）
２５…第２側面
【図１】
2005118964.tif 000003
【図２】
2005118964.tif 000004
【図３】
2005118964.tif 000005
【図４】
2005118964.tif 000006
【図５】
2005118964.tif 000007
【図６】
2005118964.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成15年10月21日(2003.10.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
【特許文献１】特開昭６１−０４７６３７号
【特許文献２】特開２００２−０９６２５０号