(57)【要約】【課題】  エアーチャックを使用する事によるコスト増大等の不都合を防止でき、しかも精密仕上げ加工が必要となる部分に傷が残る事も防止できる構造を実現する。【解決手段】  ワーク１５に設けた貫通孔１６に、挿入部９を挿通する。そして、この挿入部９の内部に設けた流路１１内に圧縮空気を送り込む。この圧縮空気を第一噴出口１２、１２から上記ワーク１５の下面に向けて吹き付け続ける事により、この圧力流体を噴出させる間、上記ワーク１５が上記挿入部９から下方に脱落する事を阻止する。この様に構成する事で、上記課題を解決できる。【選択図】  図１
2005118966.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに設けられた貫通孔に上方から挿通自在な挿入部と、この挿入部の内部に設けられた、圧力流体を流通させる流路と、この流路を通じて供給される上記圧力流体を噴出する噴出口とを備え、この噴出口は、上記挿入部の外周面のうちで、この挿入部を上記貫通孔に挿通した状態で上記ワークの下面から下方に突出する部分に開口したものであり、上記挿入部を上記貫通孔に挿通した状態で、上記圧力流体を上記噴出口から上記ワークの下面に向けて噴出させ、このワークの下面にこの圧力流体を当て続ける事により、この圧力流体を噴出させる間、上記ワークを上記挿入部から下方に脱落する事を阻止するワークの支持装置。
【請求項２】
ワークの上面の少なくとも一部に当接する当接面に、この当接面から下方に突出する状態で挿入部を設け、上記ワークの下面に向けて噴出する圧力流体と上記当接面とで上記ワークを挟持する、請求項１に記載したワークの支持装置。
【請求項３】
挿入部の外周面のうちでこの挿入部を貫通孔に挿通した状態でこの貫通孔の内面に対向する部分に第二の噴出口を開口させ、この第二の噴出口からも圧力流体を噴出させる、請求項１〜２の何れかに記載したワークの支持装置。
【請求項４】
貫通孔を円孔とすると共に挿入部の外周面の断面形状を円形とした、請求項１〜３の何れかに記載したワークの支持装置。
【請求項５】
噴出口を挿入部の周方向等間隔複数個所に設けた、請求項４に記載したワークの支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明のワークの支持装置は、例えば精密孔加工機等の工作機械の加工台等にワーク（被加工物）を搬送する為の搬送装置を構成するもので、この搬送装置を構成するアクチュエータ等の駆動部材に上記ワークを着脱自在に支持する為に使用する。
【背景技術】
【０００２】
例えば精密孔加工機等の工作機械の加工台等に被加工物であるワークを搬送する為に、アクチュエータ等の駆動部材に上記ワークを支持しつつこのワークを所定位置に移送する搬送装置が使用されている。この様な搬送装置は、上記アクチュエータ等の駆動部材に上記ワークを、所定位置で脱着を可能に支持する必要があるが、この様にワークを支持する為に従来は、非特許文献１等に記載される様なエアーチャックを使用していた。
【０００３】
図２は、この非特許文献１に記載されたエアーチャック１を示している。このエアーチャック１は、チャックボディー２内に、圧縮空気の送り込みに伴って動作するピストンを内蔵している。そして、上記精密孔加工機等の工作機械により加工されるワーク３を把持する把持部材４、４を、上記ピストンと共に変位する複数のジョー部材５、５に固定している。又、上記チャックボディー２に設けたポート６に、図示しないチューブ等の外部配管を接続し、上記ピストンを嵌装したシリンダ内に圧縮空気を供給自在としている。
【０００４】
この様なエアーチャック１は、上記シリンダ内に存在する１対のシリンダ室のうちの何れか一方のシリンダ室内に圧縮空気を送り込むと共に、他方のシリンダ室内の空気を排出する事で、上記ピストンを軸方向に変位させ、上記各把持部材４、４を上記チャックボディー２の径方向（外方或は内方）に変位させる。図示の例の場合、上記エアーチャック１により支持する上記ワーク３を、円形の貫通孔７を有する環状部材としている。そして、この様なワーク３に上記精密孔加工機により精密孔仕上げ等の仕上げ加工を施すべく、上記エアーチャック１により上記ワーク３を支持（把持）した状態で、このワーク３を上記精密孔加工機へ移送する。
【０００５】
具体的には、上記各シリンダ室のうちの一方のシリンダ室内に圧縮空気を送り込むと共に他方のシリンダ室内の空気を排出し、上記各把持部材４、４を径方向内方に変位させる。そして、これら各把持部材４、４の外接円の外径が上記貫通孔７の内径よりも小さくなった状態で、これら各把持部材４、４を上記貫通孔７内に、図２の上方から挿通する。次いで、上記各シリンダ室のうちの他方のシリンダ室内に圧縮空気を送り込むと共に一方のシリンダ室内の空気を排出し、上記各把持部材４、４を径方向外方に変位させる。そして、上記貫通孔７の内周面にこれら各把持部材４、４の外側面を当接させ、上記ワーク３を上記エアーチャック１に支持する。
【０００６】
この様にワーク３をエアーチャック１に支持したならば、このワーク３を上記精密孔加工機のテーブルに固設した加工治具に向けて移送する。そして、このワーク３がこの加工治具の所定位置に到達したならば、上記各シリンダ室のうちの一方のシリンダ室に圧縮空気を送り込むと共に他方のシリンダ室内の空気を排出し、上記各把持部材４、４を径方向内方に変位させる。そして、これら各把持部材４、４の外接円の外径が上記貫通孔７の内径よりも小さくなった状態で、これら各把持部材４、４を上記貫通孔７内から抜いて、上記ワーク３を上記加工治具の所定位置に載置する。
【０００７】
ところで、上述の様な従来のエアーチャック１を使用する場合、このエアーチャック１自体が高価であるだけでなく、構造が複雑な分、メンテナンス等の手間やコストが嵩む事が避けられない。しかも、この様なエアーチャック１によりワーク３を支持する場合、このエアーチャック１を構成する各把持部材４、４（の外側面）を、このワーク３（の貫通孔７の内周面）に直接当接させる。この為、このワーク３の当該当接部分に微小ながら傷が付く可能性がある。この様な傷は、移送先の工作機械（精密孔加工機）或は後工程等で当該当接部分（傷が付いた部分）が加工される事により、その傷が除去されるのであれば特に問題はない。又、この様な傷が、例えば精密仕上げ加工が必要とされない部分に付くのであれば、やはり問題はない。
【０００８】
ところが、例えば上記貫通孔７の内径を精度良く仕上げる等の場合には、この精密仕上げ加工が終了した後に上記各把持部材４、４により上記貫通孔７の内周面に傷が付くと、この様な傷がこの内周面に残ってしまう可能性がある。又、上記精密仕上げ加工の前段階で上記貫通孔７の内周面にこの精密仕上げ加工の際の切削（研削）代以上の深さの傷が付いた場合にも、やはりこの様な傷が上記貫通孔７の内周面に残ってしまう可能性がある。  
【０００９】
この様な傷が上記貫通孔７の内周面に残る事を防止する為に、例えば上記ワーク３の外周面をエアーチャックを構成する把持部材により径方向外方から支持（把持）する事が考えられる。但し、この様にワーク３の外周面をエアーチャックにより支持する場合は、このエアーチャックの径方向寸法が嵩む為、好ましくない。又、上記ワーク３の外周面も精密仕上げ加工が必要な場合には、上述した貫通孔７の内周面に傷が残る場合と同様に上記ワーク３の外周面に傷が残る為、精密仕上げ加工を必要とする部分に傷が残る事を防止する事はできない。
【００１０】
【非特許文献１】ＳＭＣ株式会社のカタログ、「ロータリーアクチュエータ／エアチャック／真空用機器／駆動用制御器／Best Pneumatics ／３」、４版、２００１年
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明のワークの支持装置は、上述の様な事情に鑑みて、エアーチャックを使用する事によるコスト増大を防止でき、しかも精密仕上げ加工が必要となる部分に傷が残る事を防止できる構造を実現すべく発明したものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のワークの支持装置は、挿入部と、流路と、噴出口とを備える。
このうちの挿入部は、ワークに設けられた貫通孔に上方から挿通自在なものである。
又、上記流路は、ポンプ等により加圧された空気、油（オイル）、水等の圧力流体（気体、液体は問わない）を流通させるもので、上記挿入部の内部に設けられている。
又、上記噴出口は、上記流路を通じて供給される（送り込まれる）上記圧力流体を噴出するものである。又、この噴出口は、上記挿入部の外周面のうちで、この挿入部を上記貫通孔に挿通した状態で上記ワークの下面から下方に突出する部分に開口している。
そして、上記挿入部を上記貫通孔に挿通した状態で、上記圧力流体を上記噴出口から上記ワークの下面に向けて噴出させ、このワークの下面にこの圧力流体を当て続ける事により、この圧力流体を噴出させる間、上記ワークを上記挿入部から下方に脱落する事を阻止する。
【発明の効果】
【００１３】
上述の様に構成する本発明のワークの支持装置の場合には、ポンプ等により加圧された空気等の圧力流体（圧縮空気等）をワークの下面に下方から当てる事でこのワークを支持する為、構造が複雑なエアーチャックを使用する必要がない。この為、このエアーチャックを使用する事によるコスト増大等の不都合を防止できる。
【００１４】
尚、本発明のワークの支持装置の場合には、次の様にしてワークを挿入部に着脱自在に支持する。
先ず、このワークを支持する場合には、上記挿入部の噴出口から上記圧力流体を噴出させない状態（噴出させていても良い）で、この挿入部を上記ワークの貫通孔に挿通する。そして、この様に挿入部を貫通孔に挿通した状態で、この挿入部の内部に設けた流路に上記圧力流体を供給し（送り込み）、この圧力流体を上記ワークの下面に下方から当てる（吹き付ける）。この様に圧力流体をワークの下面に下方から当て続ける事により、上記ワークを上記挿入部に、この挿入部から下方に脱落する事を阻止した状態で支持する。そして、この様にワークを挿入部に支持した状態で、上記ワークを工作機械の加工台等の所定の場所に移送する。一方、上記ワークが上記加工台等の所定位置に到達したならば、上記圧力流体の供給を停止し( 流路に圧力流体を送り込む事を止め) 、この圧力流体が上記ワークの下面に当たらない様にする。この結果、このワークが自重により上記挿入部の周囲から下降して、上記加工台等の所定位置に載置される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明を実施する場合に好ましくは、請求項２に記載した様に、ワークの上面の少なくとも一部に当接する当接面に、この当接面から下方に突出する状態で挿入部を設け、上記ワークの下面に向けて下方から噴出する圧力流体と上記当接面とで、上記ワークを挟持する。
この様に構成すれば、上記ワークの上面が上記当接面に押し付けられる為、このワークが上下方向にがたつく事がない。又、上記ワークの上面と上記当接面との摩擦に基づいて、このワークが上記当接面の面方向（水平方向）にがたつく事も防止できる。
【００１６】
又、好ましくは、請求項３に記載した様に、上記挿入部の外周面のうちでこの挿入部を上記ワークの貫通孔に挿通した状態でこの貫通孔の内面に対向する部分に、第二の噴出口を開口させる。そして、この第二の噴出口からも、上記圧力流体を噴出させる。
この様に構成すれば、上記挿入部の外周面と上記貫通孔の内面との間に上記圧力流体の膜を介在させられる。この結果、この挿入部の外周面のうちの上記貫通孔の内面に対向する部分と、この貫通孔の内面とが、直接当接する事がなくなり、この貫通孔の内面に傷が付く事を防止できる。従って、この貫通孔の内径を精度良く、しかもこの貫通孔の内周面を円滑に仕上げるべく、この貫通孔の内周面に精密孔加工機等により精密孔仕上げ等の仕上げ加工を施す場合でも、この内周面に傷が残る事を防止して、この内周面を高精度、且つ、円滑に仕上げる事ができる。
【００１７】
又、好ましくは、請求項４に記載した様に、上記貫通孔を円孔とすると共に上記挿入部の外周面の断面形状を円形とする。
本発明を実施する場合には、上記貫通孔を円孔としなくても、この貫通孔に上記挿入部を挿通して、この挿入部に上記ワークを支持する事はできる。但し、上記貫通孔を円孔とすると共に上記挿入部の外周面の断面形状を円形とすれば、この挿入部をこの貫通孔に挿通する際に、これら挿入部と貫通孔とを整合させる為の（周方向に関する）位置決めを図る等の作業が必要なくなる。
【００１８】
又、好ましくは、請求項５に記載した様に、噴出口（必要に応じて第二の噴出口も含む）を挿入部の周方向等間隔複数個所に設ける。
この様に構成すれば、上記ワークの下面（及び貫通孔の内面）に上記圧力流体を均等に当てる事ができ、このワークをバランス良く（水平方向や上下方向に傾いたりがたついたりする事なく）支持できる。
【実施例】
【００１９】
図１は、本発明の実施例を示している。本実施例のワークの支持装置は、円柱状の本体部８と、この本体部８の下面にこの下面から下方に突出する状態で設けられた、先端が塞がれた円管状でこの本体部よりも小径の挿入部９と、この挿入部９の外周面と上記本体部８の外周面とを連続させる段差面１０と、これら本体部８及び挿入部９の内部に設けられた流路１１と、この挿入部９の外周面にそれぞれ設けられた第一、第二各噴出口１２、１３と、上記本体部８の上端部に上記流路１１の上流端に連続する状態で設けられたポート１４とを備える。
【００２０】
このうちの挿入部９は、ワーク１５に設けた断面円形の貫通孔１６に上方から挿通するものである。本例の場合、このワーク１５は、中央部に上下両面同士を連通する上記貫通孔１６を設けた、円輪状のものとしている。又、上記段差面１０は、特許請求の範囲に記載した当接面に相当するもので、後述する様に貫通孔１６に挿入部９を挿通すると共に、上記第一、第二各噴出口１２、１３から次述する圧力流体を噴出させた状態で、上記ワーク１５の上面の少なくとも一部に当接する。又、上記流路１１は、ポンプ等により加圧された空気、油（オイル）、水等の圧力流体（気体、液体は問わない）を流通させるものである。又、上記ポート１４は、図示しないチューブ等の外部配管を接続自在としており、この様な外部配管を通じて上記圧力流体（例えば圧縮空気）を、上記流路１１に供給する。
【００２１】
又、上記第一、第二各噴出口１２、１３は、上記流路１１の下流側に設けられたもので、上記流路１１を通じて供給される（送り込まれる）上記圧力流体（例えば圧縮空気）を、噴出するものである。これら第一、第二各噴出口１２、１３のうちの各第一噴出口１２、１２は、特許請求の範囲に記載した噴出口に相当するもので、上記挿入部９の外周面のうちの、この挿入部９を上記貫通孔１６に挿通した状態で、上記ワーク１５の下面から下方に突出する部分の円周方向等間隔複数個所（本例の場合２個所）に、それぞれ斜め上方に向けて開口している。又、上記第一、第二各噴出口１２、１３のうちの各第二噴出口１３、１３は、特許請求の範囲に記載した第二の噴出口に相当するもので、上記挿入部９を上記貫通孔１６に挿通した状態で、この挿入部９の外周面のうちのこの貫通孔１６の内周面に対向する部分の円周方向等間隔複数個所（本例の場合２個所）に、それぞれ水平方向に開口している。
【００２２】
上記ワーク１５を上記挿入部９に支持する場合には、上記挿入部９を上記貫通孔１６に挿入した状態で、前記ポート１４から上記流路１１内に送り込んだ上記圧力流体を、上記各第一噴出口１２、１２から上記ワーク１５の下面に向けて斜め下方から噴出させる。そして、このワーク１５の下面に上記圧力流体を当て続ける事で、この圧力流体を噴出させる間、上記ワークが上記挿入部から下方に脱落する事を阻止する。又、上記圧力流体を上記各第二噴出口１３、１３から上記貫通孔１６の内周面に向けて噴出させ、上記挿入部９の外周面と上記貫通孔１６の内周面との間に上記圧力流体の膜を介在させる。この様に挿入部９の外周面と貫通孔１６の内周面との間に圧力流体の膜を介在させる事により、この挿入部９の外周面と上記貫通孔１６の内周面とが当接するのを防止している。
【００２３】
上述の様に構成する本実施例のワークの支持装置を、搬送装置を構成するアクチュエータ等の駆動部材に組み込んで、上記ワーク１５を精密孔加工機等の工作機械の加工台等に搬送する場合には、次の様にして搬送を行なう。
先ず、上記ワーク１５を支持すべく、上記挿入部９の第一、第二各噴出口１２、１３から上記圧力流体を噴出させない状態で、この挿入部９を上記ワーク１５の貫通孔１６内に図１の上方から挿通する。この際、このワーク１５を、孔のあいた支持台上に、或はスポンジ等の軟らかい弾性材上に載置する事で、上記挿入部９の先端部を上記ワーク１５の下面よりも下方に突出させる。次いで、この様に挿入部９を貫通孔１６に挿通した状態で、前記ポート１４からこの挿入部９の内部に設けた流路１１に上記圧力流体を供給し（送り込み）、この圧力流体を上記ワーク１５の下面に吹き付ける。そして、この圧力流体をこのワーク１５の下面に吹き付け続ける事により、このワーク１５を上記挿入部９に、この挿入部９から下方に脱落する事を阻止した状態で支持する。そして、この様にワーク１５を挿入部９に支持した状態で、このワーク１５を例えば精密孔加工機のテーブルに固設した加工治具等の所定の場所に移送する。上記ワーク１５が所定位置に到達したならば、上記圧力流体の供給を停止し( 流路１１に圧力流体を送り込む事を止め) 、この圧力流体が上記ワーク１５の下面に当たらない様にする。そして、このワーク１５を、自重により下降させ（上記挿入部９を上記ワーク１５の貫通孔から図１の上方に抜き）、このワーク１５を上記所定位置に載置する。
【００２４】
上述の様に本実施の場合には、ポンプ等により加圧された空気等の圧力流体（圧縮空気等）をワーク１５の下面に下方から当て続ける事で、このワーク１５を上記挿入部９に支持する。この為、前述の図２に示した様な、構造が複雑なエアーチャック１を使用する必要がなく、この様なエアーチャック１を使用する事によるコスト増大等の不都合を防止できる。又、上記ワーク１５を上記挿入部９に支持する際に、上記ワーク１５を、このワーク１５の下面に向けて下方から噴出させる圧力流体と前記段差面１０とで挟持している。この為、上記ワーク１５の上面が上記段差面１０に押し付けられ、このワーク１５が上下方向にがたつく事がない。又、このワーク１５の上面と上記段差面１０との摩擦に基づいて、このワーク１５がこの段差面１０の面方向（水平方向）にがたつく事も防止できる。  
【００２５】
又、上記ワーク１５を上記挿入部９に支持する際に、上記各第二噴出口１３、１３からも上記圧力流体を噴出させる為、上記挿入部９の外周面と上記貫通孔１６の内周面との間に上記圧力流体の膜を常に介在させる事ができる。この為、この挿入部９の外周面と貫通孔１６の内周面とが当接する事がなくなり、この貫通孔１６の内周面に傷が付く事を防止できる。特に、この貫通孔１６の内径を精度良く、しかもこの貫通孔１６の内周面を円滑に仕上げるべく、この貫通孔１６の内周面に精密孔加工機により精密孔仕上げ等の仕上げ加工を施す場合でも、この内周面に傷が残る事を防止して、この内周面を高精度、且つ、円滑に仕上げる事ができる。
【００２６】
又、本実施例の場合、上記貫通孔１６の内周面及び上記挿入部９の外周面の断面形状をそれぞれ円形としている為、この挿入部９をこの貫通孔１６に挿通する際に、これら挿入部９と貫通孔１６とを整合させる為の（周方向に関する）位置決め作業を行なう必要がない。又、第一、第二各噴出口１２、１３を上記挿入部９の円周方向等間隔複数個所に設けている為、上記ワーク１５の下面及び貫通孔１６の内面に上記圧力流体を均等当てる事ができ、このワーク１５をバランス良く（水平方向や上下方向に傾いたりがたついたりする事なく）支持する事ができる。更に、上記挿入部９と上記ワーク１５との中心軸を一致させる事ができて、このワーク１５の位置決め精度も確保できる。
【００２７】
次に、本実施例のワークの支持装置を搬送機に組み込んで行なった実験（実証試験）に就いて説明する。この実験は、搬送機のアクチュエータ部分に、前述の図１に示したワークの支持装置を組み込み、外径２０mm、内径４mm、厚さ１０mm、重さ２２ｇの円輪状のワーク１５を、流路１１に０．４ＭＰａの圧縮空気を供給し、この圧縮空気を上記ワーク１５の下面に、水平方向に対し３０度だけ斜め下方から吹き付ける（第一噴出口１２、１２は２個所、それぞれの直径１mm）事により支持した状態で、精密孔加工機の加工治具上に搬送した。即ち、ワーク供給位置に置かれた上記ワーク１５の貫通孔１６に、本実施例のワークの支持装置を構成する挿入部９を挿通し、上記流路１１に０．４ＭＰａの圧縮空気を供給した。そして、この圧縮空気を供給し続ける事により上記ワーク１５を上記挿入部９に支持した状態で、上記搬送機のアクチュエータを作動させ、このワーク１５を上記精密孔加工機の加工治具上に移送した。そして、この加工治具上に上記ワーク１５を移し替えるべく、上記圧縮空気の供給を停止し、このワーク１５を上記挿入部９から下降させた。尚、実験では、加工治具に、上記挿入部９の先端部を進入させる為の凹孔を設け、上記ワーク１５を加工治具上に載せてクランプした後、上記圧縮空気の供給を停止した。この様にワーク１５を実際に搬送した後、このワーク１５の貫通孔１６の内周面に傷等の損傷が存在するか否かの検査を行なったが、その様な損傷を発見する事はなかった。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明の実施例を示す断面図。
【図２】従来から知られているエアーチャックの側面図。
【符号の説明】
【００２９】
１    エアーチャック
２    チャックボディー
３    ワーク
４    把持部材
５    ジョー部材
６    ポート
７    貫通孔
８    本体部
９    挿入部
１０    段差面
１１    流路
１２    第一噴出口
１３    第二噴出口
１４    ポート
１５    ワーク
１６    貫通孔
【図１】
2005118966.tif 000003
【図２】
2005118966.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成16年4月1日(2004.4.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
上記ワーク１５を上記挿入部９に支持する場合には、上記挿入部９を上記貫通孔１６に挿入した状態で、前記ポート１４から上記流路１１内に送り込んだ上記圧力流体を、上記各第一噴出口１２、１２から上記ワーク１５の下面に向けて斜め下方から噴出させる。そして、このワーク１５の下面に上記圧力流体を当て続ける事で、この圧力流体を噴出させる間、このワーク１５が上記挿入部９から下方に脱落する事を阻止する。又、上記圧力流体を上記各第二噴出口１３、１３から上記貫通孔１６の内周面に向けて噴出させ、上記挿入部９の外周面と上記貫通孔１６の内周面との間に上記圧力流体の膜を介在させる。この様に挿入部９の外周面と貫通孔１６の内周面との間に圧力流体の膜を介在させる事により、この挿入部９の外周面と上記貫通孔１６の内周面とが当接するのを防止している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
上述の様に本実施例の場合には、ポンプ等により加圧された空気等の圧力流体（圧縮空気等）をワーク１５の下面に下方から当て続ける事で、このワーク１５を上記挿入部９に支持する。この為、前述の図２に示した様な、構造が複雑なエアーチャック１を使用する必要がなく、この様なエアーチャック１を使用する事によるコスト増大等の不都合を防止できる。又、上記ワーク１５を上記挿入部９に支持する際に、上記ワーク１５を、このワーク１５の下面に向けて下方から噴出させる圧力流体と前記段差面１０とで挟持している。この為、上記ワーク１５の上面が上記段差面１０に押し付けられ、このワーク１５が上下方向にがたつく事がない。又、このワーク１５の上面と上記段差面１０との摩擦に基づいて、このワーク１５がこの段差面１０の面方向（水平方向）にがたつく事も防止できる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
又、本実施例の場合、上記貫通孔１６の内周面及び上記挿入部９の外周面の断面形状をそれぞれ円形としている為、この挿入部９をこの貫通孔１６に挿通する際に、これら挿入部９と貫通孔１６とを整合させる為の（周方向に関する）位置決め作業を行なう必要がない。又、第一、第二各噴出口１２、１３を上記挿入部９の円周方向等間隔複数個所に設けている為、上記ワーク１５の下面及び貫通孔１６の内面に上記圧力流体を均等に当てる事ができ、このワーク１５をバランス良く（水平方向や上下方向に傾いたりがたついたりする事なく）支持する事ができる。更に、上記挿入部９と上記ワーク１５との中心軸を一致させる事ができて、このワーク１５の位置決め精度も確保できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2005118966.tif 000005