(57)【要約】【課題】         本発明の目的は、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った水晶振動子の製造方法を提供することである。【解決手段】         上記の目的を達成するために、本発明は水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った水晶振動子の製造方法において、振動面、及びアライメントマークのパターンニングの工程と、外形加工エッチング、及び振動面形成の工程と、保護膜剥離の工程を有することを特徴とし、またアライメントマークは少なくとも二つ以上の線分が交差した紋様が、ひとつのウェハー上に少なくとも二つ以上あることを特徴とし、またアライメントマークを成す線分の一辺の幅が１００μｍから２００μｍであることを特徴として目的を達成する。【選択図】  図１
2005051666.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った水晶振動子の製造方法において、
振動面、及びアライメントマークのパターンニングの工程と、
外形加工エッチング、及び振動面形成の工程と、
保護膜剥離の工程を有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。
【請求項２】
アライメントマークは少なくとも二つ以上の線分が交差した紋様が、ひとつのウェハー上に少なくとも二つ以上あることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子の製造方法。
【請求項３】
アライメントマークを成す線分の一辺の幅が１００μｍから２００μｍであることを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は水晶デバイスに属し、主として通信分野の伝送系装置に使用される水晶発振器に用いられる水晶振動子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体と成った形状をした振動子においては、不要なスプリアス振動の発生の回避の為に電極面の大きさに対して振動面の大きさを出来得る限り大きくとる形状とすることが一般的であった。
【０００３】
一方、最近の傾向では通信分野の伝送系装置等を中核として、その搭載部品についての非常に急激な市場からの小型化や低背化、更に加えて軽量化や低価格化の要求がある。
【０００４】
【特許文献１】特開平１０−４１２１０号公報
【０００５】
なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、前述の振動子の振動部の厚さは、例えば主振動周波数１５０MHｚの場合ではその振動部分の厚みが１０μｍ程度といった薄板であり、その為に振動子の振動部の周囲部分の僅かな機械的な歪みの影響も受けやすく、その機械的な歪みは振動部の薄板の厚みを変化させて、その結果、主振動以外の多数の不要なスプリアス振動の発生を招く結果となる。
【０００７】
上述した様なことを鑑みて、この様な形状をした水晶振動子はエッチング加工によって形成され、前記の水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とから成る形状をしている水晶振動子が図５に示されるように多数個一枚のウェハー上にパターンニングされていることが一般的である。
【０００８】
この様に一枚のウェハー上に多数個の水晶振動子がパターンニングされている個々の水晶振動子をそれぞれダイシングするには、図３に示されるように、多数個の振動子がパターンニングされたウェハーを複数枚フラットリングに張られたUVテープ上に貼り付け、ダイシング装置上に載置されたフラットリング上の前記のウェハーをダイシングする際に、ダイシングを行う夫々のウェハー毎に手動でアライメント（位置合わせ）の調整を行うのが一般的であった。
【０００９】
しかしながら、水晶からなる上述の一枚のウェハーは小さいためにフラットリングに張られたUVテープ上に複数枚貼ることが出来るが、夫々のウェハーをダイシングする際、夫々のウェハー毎に手動でアライメントの調整を行うのは、手間が掛かりダイシング工程の効率が悪くなるという問題があった。
【００１０】
本発明は、以上のような技術的背景のもとでなされたものであり、従がってその目的は、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った水晶振動子の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記の目的を達成するために、本発明は、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った水晶振動子の製造方法において、振動面、及びアライメントマークのパターンニングの工程と、外形加工エッチング、及び振動面形成の工程と、保護膜剥離の工程を有することを特徴とする。
【００１２】
また、アライメントマークは少なくとも二つ以上の線分が交差した紋様が、ひとつのウェハー上に少なくとも二つ以上あることを特徴とする。
【００１３】
また、アライメントマークを成す線分の一辺の幅が１００μｍから２００μｍであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の水晶振動子の製造方法によれば、夫々のウェハー毎に手動でアライメントの調整を行うことなく、従来に比べて工程の数を増加することなくダイシングの工程の効率を著しく高めることが出来、また製品歩留まりをも向上することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。
なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
図１は本発明の水晶振動子の製造方法のフローチャートである。図１の水晶振動子の製造方法のフローチャートのなかで、S１０３の工程において薄板状の振動部１の振動面４と、アライメントマーク（位置合わせ印）５を同時に一枚のウェハー６上にパターンニングする。
【００１６】
図２は本発明の一枚のウェハー６上に多数個の水晶振動子３と複数のアライメントマーク５が形成された様子を示す概略の上面模式図である。この図２にはアライメントマーク５がパターンニングされたウェハー６の一部の拡大図も示されている。図２にあるように、一枚のウェハー上のいずれかの隅に少なくとも二つ以上のアライメントマーク５を、ウェハー上の多数の振動子の振動面のパターンニングと同時にパターンニングする。
【００１７】
図３は本発明の一枚のウェハー６上に多数個の水晶振動子３と複数のアライメントマーク５が形成され、そのような三枚のウェハー６がフラットリング７に張られたUVテープ８上に貼り付けられた様子を示す概略の上面模式図である。一般に水晶から成るウェハー６は小さいために複数枚のウェハー６をフラットリング７に張られたUVテープ８上に貼り付けることが出来るが、そのために夫々のウェハー６上に少なくとも二つ以上のアライメントマーク５を形成すれば、ウェハー６毎の手間の掛かる手動による位置合わせの工程を省いて、一度の位置合わせを行うだけでUVテープ８上に貼り付けられた複数枚のウェハー６のアライメントを調整して効率よくダイシング工程を行うことが出来る。
【００１８】
図４は本発明の水晶振動子の製造方法において用いられるアライメントマーク５（位置合わせ印）の一例を示す概略の上面模式図である。本例では２本の線分が互いに直行した十字の紋様と成っているが、ひとつのアライメントマーク５（位置合わせ印）の近傍に、近似した紋様がなければ複数の線分が交差した形状でも、円形のような形状でも構わない。ひとつのアライメントマーク５の在るウェハー６の隅の、ほかの隅部分ではなく、μｍオーダーで非常に隣接して同じアライメントマーク５があるとダイシング装置の誤認識を招く結果となる。また、アライメントマーク５はウェハー６の厚板の補強部２と厚みを異なりダイシング装置の認識で陰影がとれていることが必要である。
【００１９】
なお、図中には示していないが、ウェハー６上にアライメントマーク５を形成する工程は、図１に示されるフローチャートのほかに、図１のS１０８の下電極蒸着時に主電極と同時に蒸着により形成する方法がある。
【００２０】
図５は従来の一枚のウェハー６上に多数個の水晶振動子３が形成された様子を示した概略の上面模式図である。別のダイシングの工程をふんで夫々の水晶振動子は個々にダイシングされる。
【００２１】
図６は従来の水晶振動子の製造方法のフローチャートである。なお、本発明はATカット厚みすべり振動子の例を挙げたが、輪郭水晶振動子の外形加工においても使用することが出来ることは言うまでも無い。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の水晶振動子の製造方法のフローチャートである。図１のS103の工程において、薄板の振動面とアライメントマークを同時にひとつの工程でウェハー上にパターンニングする。
【図２】本発明の一枚のウェハー上に多数個の水晶振動子と複数のアライメントマークが形成された様子を示す概略の上面模式図である。この図２にはアライメントマークがパターンニングされたウェハーの一部の拡大図も示されている。
【図３】本発明の一枚のウェハー上に多数個の水晶振動子と複数のアライメントマークが形成され、その三枚のウェハーがフラットリングに張られたUVテープ上に貼り付けられた様子を示す概略の上面模式図である。
【図４】本発明の水晶振動子の製造方法により一枚のウェハー上に少なくとも二つ以上パターンニングされるアライメントマークの一例を示す概略の上面模式図である。
【図５】従来の一枚のウェハー上に多数個の水晶振動子が形成された様子を示した概略の上面模式図である。別のダイシングの工程をふんで夫々の水晶振動子は個々にダイシングされる。
【図６】従来の水晶振動子の製造方法のフローチャートである。
【符号の説明】
【００２３】
１  薄板の振動部
２  厚板の補強部
３  水晶振動子
４  振動面
５  アライメントマーク
６  ウェハー
７  フラットリング
８  UVテープ
【図１】
2005051666.tif 000003
【図２】
2005051666.tif 000004
【図３】
2005051666.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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