(57)【要約】      （修正有）【課題】製作が容易で寿命の長い電極ホルダとガイドを支持するためのガイドとそのガイドを組み込まれたプラズマトーチとを提供する。【解決手段】電極ホルダ３０の外周面に嵌合可能なセラミックス製の筒形状のガイド本体４１と、前記ガイド本体に貫入した樹脂製の筒形状のガイドスリーブ４２と、を備え、前記ガイド本体が電極ホルダ３０の外周面に嵌合した状態において、前記ガイドスリーブが電極ホルダ３０の外周面を囲い先端部の側に開口した環状空間の外側を形成する、ものとした。【選択図】図１
2005324205.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プラズマトーチにおいてプラズマを発生する電極を先端部に保持する棒状の電極ホルダを支持するためのガイドであって、
電極ホルダの外周面に嵌合可能なセラミックス製の筒形状のガイド本体と、
前記ガイド本体に貫入した樹脂製の筒形状のガイドスリーブと、
を備え、
前記ガイド本体が電極ホルダの外周面に嵌合した状態において、前記ガイドスリーブが電極ホルダを囲い先端部の側に開口した環状空間の外側を形成する、
ことを特徴とするガイド。
【請求項２】
プラズマを発生するためのメインガスを前記環状空間に導くための貫通孔を前記ガイドスリーブに貫通して設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のガイド。
【請求項３】
前記貫通孔の中心軸が前記環状空間の中心軸に対して偏心している、
ことを特徴とする請求項２に記載のガイド。
【請求項４】
前記ガイド本体が円筒形状の内周壁と該内周壁の円周に沿って延びた第一溝とを有し、
前記ガイドスリーブが円筒形状の外周壁と該外周壁の円周に沿って延びた第二溝とを有し、
前記外周壁が前記内周壁に嵌合し、
前記第一溝と前記第二溝とが互いの開口を対面し、
前記第一溝と前記第二溝とに充填された樹脂が固化している、
ことを特徴とする請求項１に記載のガイド。
【請求項５】
前記ガイドスリーブがポリイミド樹脂製である、
ことを特徴とする請求項１に記載のガイド。
【請求項６】
プラズマジェットをノズル孔から噴射するプラズマトーチであって、
プラズマを発生する電極を先端部に保持する棒状の電極ホルダと、
前記電極ホルダの外周面に嵌合したセラミックス製の筒形状のガイド本体と該ガイド本体に貫入した樹脂製の筒形状のガイドスリーブとを有するガイドと、
前記電極ホルダと電気的に接触しない様に前記ガイド本体に嵌合し前記電極に対向してノズル孔を設けられたノズルと、
を備え、
前記ガイドスリーブが前記電極ホルダを囲い先端側に開口した環状空間の外側を形成する、
ことを特徴とするプラズマトーチ。
【請求項７】
前記ガイドがプラズマを発生するためのメインガスを前記環状空間に導くための貫通孔を前記ガイドスリーブに貫通して設けられる、
ことを特徴とする請求項６に記載のプラズマトーチ。
【請求項８】
前記貫通孔の中心軸が前記環状空間の中心軸に対して偏心している、
ことを特徴とする請求項７に記載のプラズマトーチ。
【請求項９】
前記ガイド本体が円筒形状の内周壁と該内周壁の円周に沿って延びた第一溝とを有し、
前記ガイドスリーブが円筒形状の外周壁と該外周壁の円周に沿って延びた第二溝とを有し、
前記外周壁が前記内周壁に嵌合し、
前記第一溝と前記第二溝とが互いの開口を対面し、
前記第一溝と前記第二溝とに充填された樹脂が固化している、
ことを特徴とする請求項６に記載のプラズマトーチ。
【請求項１０】
前記ガイドスリーブがポリイミド樹脂製である、
ことを特徴とする請求項６に記載のプラズマトーチ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマジェットをノズル孔から噴射するプラズマトーチとそのプラズマトーチにおいてプラズマを発生する電極を先端部に保持する棒状形状の電極ホルダを支持するためのガイドとに係る。特に、メンテナンスの容易なプラズマトーチとそのガイドとに関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマ切断に用いられるプラズマトーチにおいては、発生したプラズマアークの挙動が切断品質および電極の寿命に影響を与える。
図５は、従来のプラズマトーチの構造図である。
従来のプラズマトーチは、電極２０と電極ホルダ３０とガイド４０とノズル５０とをもっている。
電極２０は、ノズルまたは被加工物との間を電圧を印加されて、プラズマを発生する。
電極ホルダ３０は、電極を先端部に保持する棒状形状の導電性の部材である。
ガイド４０は、電極ホルダ３０の外周面に嵌合して電極ホルダ３０を支持する。ガイド４０が、電極ホルダ３０の外周面を囲い先端側に開口した環状空間の外側を形成する。ガイド４０は、プラズマを発生するためのメインガスを環状空間に導くための貫通孔４５を設けられる。一般に、貫通孔４５の中心軸が環状空間の中心軸に対して偏心している。
ノズル５０は、電極ホルダと電気的に接触しない様にガイド４０に嵌合して、電極２０に対向してノズル孔５１を設けられた部材である。
【０００３】
ガイド４０は、電極ホルダ３０とノズル５０とを電気的に絶縁する役割と、電極２０とノズル孔５１の中心軸を精度良く位置決めする役割を持っている。
【０００４】
メインガスＧ１が貫通孔４５を通って環状空間に噴射される。メインガスＧ１は、環状空間のなかで電極ホルダ３０の回りに沿って旋回ながら前方へ進み、ノズル孔５１から噴射される。
メインガスＧ１が回転しながらノズル孔から出るので、電極２０とノズル孔５１とを結ぶ線上の圧力が低くなり、電極２０から発生したプラズマジェットが安定してノズル孔５１から噴射する。
【０００５】
メインガスＧ１が、環状空間Ｈを旋回する際に、環状空間を形成するガイドの壁面に接触する。メインガスに微細粉が含まれる。また、電極から消耗した微細粉が発生する。これらの微細粉が、ガイドの壁面を擦るので、壁面が摩耗する。
壁面が磨耗すると、環状空間の形状が変化して、環状空間でのメインガスの旋回流に乱れが生じる。この様な現象が生ずると、ノズル孔から噴射するプラズマジェットが安定しなくなり、プラズマ切断の精度等に悪い影響を与える。
特に、プラズマトーチの出力が大きくなると、上記の現象が顕著になり、短時間でガイドを交換する必要がでてきた。
ガイドの寿命を延ばすためにガイドを従来より硬度の高い材料で製作することが試みられている。しかし、従来より硬度の高い材料でガイドを製作することとすると、加工方法が限定され、精度の高いガイドを製作することが容易でなくなるという不具合があった。
【０００６】
【特許文献１】特開平０７−４００５６号
【特許文献２】特開平０７−１４２１９１号
【特許文献３】特開２００３−１１２２６２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の不具合に鑑み、メンテナンスが容易なプラズマトーチとそのプラズマトーチに組み込まれるガイドとを求められていた。
【０００８】
本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、製作が容易で寿命の長い電極ホルダとガイドを支持するためのガイドとそのガイドを組み込まれたプラズマトーチとを提供しようとする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明に係るプラズマトーチにおいてプラズマを発生する電極を先端部に保持する棒状の電極ホルダを支持するためのガイドを、電極ホルダの外周面に嵌合可能なセラミックス製の筒形状のガイド本体と、前記ガイド本体に貫入した樹脂製の筒形状のガイドスリーブと、を備え、前記ガイド本体が電極ホルダの外周面に嵌合した状態において、前記ガイドスリーブが電極ホルダを囲い先端部の側に開口した環状空間の外側を形成する、ものとした。
【００１０】
上記本発明の構成により、ガイド本体が電極ホルダの外周面に嵌合可能なセラミックス製の筒形状の部材であり、ガイドスリーブが前記ガイド本体に貫入した筒形状の部材であり、前記ガイド本体が電極ホルダの外周面に嵌合した状態において、樹脂製の前記ガイドスリーブが電極ホルダを囲い先端部の側に開口した環状空間の外側を形成するので、プラズマが電極で発生し、プラズマジェット中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ガイドスリーブの磨耗がセラミックス製である場合に較べて少なく、環状空間の形状変化の程度を少なくすることができる。
【００１１】
さらに、本発明の実施形態に係るガイドは、プラズマを発生するためのメインガスを前記環状空間に導くための貫通孔を前記ガイドスリーブに貫通して設けられる。
上記本発明の構成により、プラズマを発生するためのメインガスを前記環状空間に導くための貫通孔を前記ガイドスリーブに貫通して設けるので、プラズマジェット中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ガイドスリーブの磨耗がセラミックス製である場合に較べて少なく、貫通孔の形状の変化を少なくすることができる。
【００１２】
さらに、本発明の実施形態に係るガイドは、前記貫通孔の中心軸が前記環状空間の中心軸に対して偏心している。
上記本発明の構成により、前記貫通孔の中心軸が前記環状空間の中心軸に対して偏心しているので、貫通孔から吹き出たメインガスが環状空間の中を電極ホルダの回りに沿って旋回し、プラズマジェット中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ガイドスリーブの磨耗がセラミックス製である場合に較べて少なく、メインガスの旋回する様子の変化を少なくすることができる。
【００１３】
さらに、本発明の実施形態に係るガイドは、前記ガイド本体が円筒形状の内周壁と該内周壁の円周に沿って延びた第一溝とを有し、前記ガイドスリーブが円筒形状の外周壁と該外周壁に円周に沿って延びた第二溝とを有し、前記外周壁が前記内周壁に嵌合し、前記第一溝と前記第二溝とが互いの開口を対面し、前記第一溝と前記第二溝とに充填された樹脂が固化している。
上記本発明の構成により、前記ガイド本体の外周壁が円筒形状であり、第一溝が該内周壁の円周に沿って延び、前記ガイドスリーブの外周壁が円筒形状であり、第二溝が該外周壁に円周に沿って延び、前記外周壁が前記内周壁に嵌合し、前記第一溝と前記第二溝とが互いの開口を対面し、前記第一溝と前記第二溝とに充填された樹脂が固化しているので、
ガイドスリーブとガイド本体とがしっかりと嵌合し互いに分離する恐れがない。
【００１４】
さらに、本発明の実施形態に係るガイドは、前記ガイドスリーブがポリイミド樹脂製である、
上記本発明の構成により、ガイドスリーブがポリイミド樹脂製であるので、電極ホルダで発生したプラズマ中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ポリイミド樹脂製であるガイドスリーブの磨耗の程度がセラミックス製である場合に較べて極めて少なくなる。
【００１５】
また、上記目的を達成するため、本発明に係るプラズマジェットをノズル孔から噴射するプラズマトーチを、プラズマを発生する電極を先端部に保持する棒状の電極ホルダと、前記電極ホルダの外周面に嵌合したセラミックス製の筒形状のガイド本体と前記ガイド本体に貫入した樹脂製の筒形状のガイドスリーブとを有するガイドと、電極ホルダと電気的に接触しない様に前記ガイド本体に嵌合し前記電極に対向してノズル孔を設けられたノズルと、を備え、前記ガイドスリーブが前記電極ホルダを囲い先端側に開口した環状空間の外側を形成する、ものとした。
【００１６】
上記本発明の構成により、ガイドがガイド本体とガイドスリーブとで構成し、前記ガイド本体が前記電極ホルダの外周面に嵌合したセラミックス製の筒形状の部材であり、ガイドスリーブが前記ガイド本体に貫入した樹脂製の筒形状の部材であり、前記ガイドスリーブが前記電極ホルダを囲い先端側に開口した環状空間の外側を形成するので、プラズマが電極で発生し、プラズマジェット中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ガイドスリーブの磨耗がセラミックス製である場合に較べて少なく、環状空間の形状変化の程度を少なくすることができる。
さらに、ノズルが電極ホルダと電気的に接触しない様に前記ガイド本体に嵌合し前記電極に対向してノズル孔を設けられた部材であるので、電極とノズル孔とをガイド本体により位置決めすることができる。
【００１７】
さらに、本発明の実施形態に係るプラズマトーチは、前記ガイドがプラズマを発生するためのメインガスを前記環状空間に導くための貫通孔を前記ガイドスリーブに貫通して設けられる。
上記本発明の構成により、プラズマを発生するためのメインガスを前記環状空間に導くための貫通孔を前記ガイドスリーブに貫通して設けるので、プラズマジェット中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ガイドスリーブの磨耗がセラミックス製である場合に較べて少なく、貫通孔の形状の変化を少なくすることができる。
【００１８】
さらに、本発明の実施形態に係るプラズマトーチは、前記貫通孔の中心軸が前記環状空間の中心軸に対して偏心している。
上記本発明の構成により、前記貫通孔の中心軸が前記環状空間の中心軸に対して偏心しているので、前記貫通孔から吹き出たメインガスが環状空間の中を電極ホルダの回りに沿って旋回し、プラズマジェット中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ガイドスリーブの磨耗がセラミックス製である場合に較べて少なく、メインガスの旋回する様子の変化を少なくすることができる。
【００１９】
さらに、本発明の実施形態に係るプラズマトーチは、前記ガイド本体が円筒形状の内周壁と該内周壁の円周に沿って延びた第一溝とを有し、前記ガイドスリーブが円筒形状の外周壁と該外周壁の円周に沿って延びた第二溝とを有し、前記外周壁が前記内周壁に嵌合し、前記第一溝と前記第二溝とが互いの開口を対面し、前記第一溝と前記第二溝とに充填された樹脂が固化している。
上記本発明の構成により、前記ガイド本体の内周壁が円筒形状であり、第一溝が該内周壁の円周に沿って延び、前記ガイドスリーブの外周壁が円筒形状であり、第二溝が該外周壁に円周に沿って延び、前記外周壁が前記内周壁に嵌合し、前記第一溝と前記第二溝とが互いの開口を対面し、前記第一溝と前記第二溝とに充填された樹脂が固化しているので、
ガイドスリーブとガイド本体とがしっかりと嵌合し互いに分離する恐れがない。
【００２０】
さらに、本発明の実施形態に係るプラズマトーチは、前記ガイドスリーブがポリイミド樹脂製である。
上記本発明の構成により、ガイドスリーブがポリイミド樹脂製であるので、電極ホルダで発生したプラズマ中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ポリイミド樹脂製であるガイドスリーブの磨耗の程度がセラミックス製である場合に較べて極めて少なくなる。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように本発明に係るブラズマトーチとそのガイドは、その構成により、以下の効果を有する。
電極ホルダが電極を先端部に保持する棒状形状の部材であり、ガイドがガイド本体とガイドスリーブとで構成され、前記ガイド本体が前記電極ホルダの外周面に嵌合したセラミックス製の筒形状の部材であり、ガイドスリーブが前記ガイド本体に貫入した樹脂製の筒形状の部材であり、前記ガイドスリーブが前記電極ホルダを囲い先端側に開口した環状空間の外側を形成するので、プラズマジェット中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ガイドスリーブの磨耗がセラミックス製である場合に較べて少なく、環状空間の形状変化の程度を少なくすることができる。
さらに、ノズルが電極ホルダに電気的に接触しない様に前記ガイド本体に嵌合し前記電極に対向してノズル孔を設けられた部材であるので、電極とノズル孔とをガイド本体により位置決めすることがでる。
また、プラズマを発生するためのメインガスを前記環状空間に導くための貫通孔を前記ガイドスリーブに貫通して設けるので、プラズマジェット中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ガイドスリーブの磨耗がセラミックス製である場合に較べて少なく、貫通孔の形状の変化を抑制できる。
また、前記貫通孔の中心軸が前記環状空間の中心軸に対して偏心しているので、貫通孔から吹き出たメインガスが環状空間の中を電極ホルダの回りに沿って旋回し、プラズマジェット中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ガイドスリーブの磨耗がセラミックス製である場合に較べて少なく、メインガスの旋回する様子の変化を抑制できる。
また、前記ガイド本体の内周壁が円筒形状であり、第一溝が該内周壁の円周に沿って延び、前記ガイドスリーブの外周壁が円筒形状であり、第二溝が該外周壁に円周に沿って延び、前記外周壁が前記内周壁に嵌合し、前記第一溝と前記第二溝とが互いの開口を対面し、前記第一溝と前記第二溝とに充填された樹脂が固化しているので、ガイドスリーブとガイド本体とがしっかりと嵌合し互いに分離する恐れがない。
また、ガイドスリーブがポリイミド樹脂製であるので、電極ホルダで発生したプラズマ中の微細粉が環状空間の外側を形成するガイドスリーブにぶつかった際に、ガイドスリーブの磨耗の程度がセラミックス製である場合に較べて極めて少なくなる。
従って、製作が容易で寿命の長い電極ホルダとガイドを支持するためのガイドとそのガイドを組み込まれたプラズマトーチとを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るガイドの側面断面図である。図２は、本発明の実施形態に係るガイドのＡ−Ａ断面図である。図３は、本発明の実施形態に係るプラズマトーチの側面断面図である。
【００２３】
プラズマトーチ１０は、プラズマジェットをノズル孔から噴射する装置であって、電極２０と電極ホルダ３０とガイド４０とノズル５０とシールドキャップ６０とセンターパイプ７０とプラズマトーチ本体８０とで構成れる。
【００２４】
電極２０は、ノズル５０または被加工物との間に電圧をかけてプラズマを発生するものであり、一般に電極ホルダ３０の先端部に埋め込まれている。電極２０は導電性の硬度の高い材料で製作される。たとえば、電極は、タングステン、ハーフニウム等で製作される。
【００２５】
電極ホルダ３０は、電極２０を先端部に保持する棒状の部材である。電極ホルダ３０は、導電性材料（例えば、銅）でできている。電極フォルダ３０は、先端部が閉じた中空構造をしている。中空部には冷却媒体（例えば、冷却水Ｗ）が流れる。
【００２６】
ガイド４０は、電極ホルダ３０とノズル５０とを電気的に絶縁した状態で支持する部材であり、ガイド本体４１とガイドスリーブ４２とで構成される。
ガイド本体４１は、電極ホルダの外周面に嵌合可能なセラミックス製の筒形状の部材である。
ガイドスリーブ４２は、ガイド本体４１に貫入した樹脂製の筒形状の部材である。
例えば、ガイドスリーブ４２は、ガイド本体４１の前側の端部から貫入する。
ガイドスリーブ４２は、熱可塑性でない樹脂であるのが好ましい。特にガイドスリーブ４２は、２００度Ｃ以上の耐熱性を持った樹脂（例えば、ポリイミド樹脂）製であるのが好ましい。
ガイド本体４１が電極ホルダ３０の外周面に嵌合した状態において、ガイドスリーブ４２が電極ホルダ３０を囲い先端部の側に開口した環状空間Ｈの外側を形成する。例えば、環状空間Ｈは、電極ホルダ３０の外周面とガイドスリーブ４１の内壁Ｓ３とガイドスリーブ４１の後方の壁とで囲われて形成される。
プラズマを発生するためのメインガスＧ１を環状空間Ｈに導くための貫通孔４５がガイドスリーブ４２に貫通して設けられるのが好ましい。
例えが、図２は、電極ホルダ２０の先端部の側から見て、４個の貫通孔４５が環状空間Ｈの外側の接線に沿って等間隔に設けられるのを示す。
特に、貫通孔４５が、ガイド本体４１とガイドスリーブ４２とに貫通しているのが好まし。
また、貫通孔４５の中心軸が環状空間Ｈの中心軸に対して偏心しているのが好ましい。
また、ガイドスリーブ４２が円筒形状の外周壁Ｓ２を有し、ガイド本体４１が円筒形状の内周壁Ｓ１を有し、外周壁Ｓ２が内周壁Ｓ１に嵌合し、外周壁Ｓ２と内周壁Ｓ１との隙間に充填された樹脂が固化しているのが好ましい。樹脂は、接着剤であるのが好ましい。
特に、ガイドスリーブ４２が外周壁Ｓ２に円周に沿って延びた第二溝４４を有し、ガイド本体４１が内周壁Ｓ１の円周に沿って延びた第一溝４３とを有し、外周壁Ｓ２が内周壁Ｓ１に嵌合し、第一溝４３と第二溝４４とが互いの開口を対面し、第一溝４３と第二溝４４とに充填された樹脂が固化しているのが好ましい。
【００２７】
ノズル５０は、電極ホルダ３０と電気的に接触しない様にガイド本体４１に嵌合し、電極２０に対向してノズル孔を設けられた部材である。
【００２８】
シールドキャップ６０は、ノズル孔に対応する位置にキャップ孔６１が設けられ、ノズル５０を覆う部材である。ノズル５０とシールドキャップ６０の間に所定の寸法の隙間空間が設けられる。ツイスターガスＧ２が、その隙間空間の周辺部から入り、プラズマジェットと共にキャップ孔６１から吹き出す。
【００２９】
センターパイプ７０は、電極ホルダ３０の中空空間に貫入するパイプ構造である、冷却水Ｗが、センターパイプ７０を通り電極ホルダ３０の中空空間に供給され、電極２０と電極ホルダ３０とを冷却する。
【００３０】
プラズマトーチ本体８０は、プラズマトーチの基礎構造でえあって、ガイド４０とノズル５０とシールドキャップ６０とセンターパイプ７０とを支持する。
【００３１】
次に、本発明の実施形態に係るガイドの製作方法を説明する。
図４は、本発明の実施形態に係るガイドの製作手順図である。
（Ａ）
セラミックスの素材に内周壁Ｓ１と第一溝４３とを加工する。
ガイド本体のセラミックス素材を加工の容易なものから選定する。
樹脂の素材に外周壁Ｓ２と第二溝４４とを加工する。
樹脂は、耐熱性が高く、加工性の良好なものが好ましく。例えば、ポリイド樹脂が好ましい。
（Ｂ）
接着剤を内周壁Ｓ１と第一溝４３と外周壁Ｓ２と第二溝４４とに塗り、セラミックスの素材と樹脂の素材を一体にする。
接着材が固化するのを待つ。
第一溝４３と第二溝４４とに充填した樹脂（例えば、接着剤）が固化する。
（Ｃ）
一体となったセラミックスの素材と樹脂の素材の端面、外面、内面を加工する。
貫通孔４５をガイド本体４１とガイドスリーブ４２とに貫通して加工する。
【００３２】
次に、本発明の実施形態に係るプラズマトーチの作用を説明する。
メインガスＧ１が、貫通孔４５を通って環状空間Ｈに吹き出す。メインガスＧ１は、環状空間Ｈの中で電極ホルダ３０の外周面に沿って旋回する。
電圧が電極２０とノズル５０との間に印加されると、電極２０とノズル５０との間の空間で絶縁破壊がおこり、プラズマが発生する。プラズマはメインガスＧ１の運動エネルギーによりノズル５０のノズル孔５１から吹き出す。その後、電極２０と被加工物Ｔとの間に印加された電圧により、アークジェットの発生が維持され、被加工物Ｔが加工される。
【００３３】
メインガスＧ１が環状空間Ｈの中で旋回する際に、メインガスＧ１に含まれる微細粉がガイドスリーブ４２の内壁Ｓ３に激しく衝突する。ガイドプリーブ４２の内壁Ｓ３の摩耗の程度は、従来のガイド全体がセラミックス製である場合に比べ、少ない。
これは、ガイドスリーブ４２の材質が樹脂性であるためにセラミックスに比べ弾性があり、硬度の高い微細粉がガイドスリーブ４２に当たった際に、樹脂の弾性が微細粉の運動エネルギーを吸収するためと考えられる。
ガイドスリーブ４２の摩耗が少ないために、ガイドスリーブ４２に貫通した貫通孔４５の形状の変化が少なくなる。
また、ガイドスリーブ４２の摩耗が少ないために、環状空間Ｈの形状の変化の程度がすくなくなる。
貫通孔４５の形状変化が少なく、環状空間Ｈの形状変化が少ないので、メインガスＧ１の旋回流れが安定して発生し、電極２０で発生しノズル孔５１から噴出するプラズマジェットの状態が長く安定する。
従って、ガイド４０を交換するインターバルが長くなる。
【００３４】
上述の実施形態に係るプラズマトーチとガイドとを用いれば、以下の効果を発揮する。
ガイド４０をセラミックス製のガイド本体４１と樹脂製のガイドスリーブ４２との一体構造とし、電極ホルダ３０をガイド本体４１に嵌合して位置決めし、電極ホルダ３０の外周面を囲い先端部側へ開放した環状空間Ｈをガイドスリーブ４２で形成したので、環状空間Ｈに流れるメインガスＧ１に含まれる微細粉が環状空間の外周壁にぶつかっても、ガイド全体がセラミックスであった場合に比較してガイドスリーブの摩耗の程度がすくなく、ガイドを交換するインターバルが長くなる。
特に、ガイドスリーブがポリイミド樹脂製であると、ガイドスリーブの加工性と接着性が良好であり、ガイドの製作が容易になる。また、ガイド全体の耐熱性が保持される。
また、メインガスＧ１を導く貫通孔４５をガイド本体４１とガイドスリーブ４２とに貫通して設けたので、貫通孔４５が環状空間Ｈに露出する箇所の摩耗の程度が、ガイド全体がセラミックス製である場合に比べて少なく、貫通孔４５の変形の程度が少なく、ガイドを交換するインターバルが長くなる。
また、貫通孔４５の中心軸が環状空間Ｈの中心軸に対して偏心しているので、メインガスＧ１が環状空間Ｈの中を電極ホルダ３０の外周に沿って旋回し、環状空間Ｈの形成するガイドスリーブ４２の磨耗がガイド全体がセラミックス製である場合に比べて少なく、環状空間Ｈの形状の変化の程度がすくないので、ガイドを交換するインターバルが長くなる。
また、ガイド本体４１の内周壁Ｓ１とガイドスリーブ４２の外周壁Ｓ２との夫々の対向する位置に第一溝４３と第二溝４４とを設け、ガイド本体４１とガイドスリーブ４２とを一体にする際に、樹脂を充填し固化させるので、ガイド本体４１とガイドスリーブ４２とが完全に一体化し、加工が容易になる。
【００３５】
本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
ガイド本体４１とガイドスりーブ４２とを分解不能の一体構造としたがこれに限定されず、例えば、ガイド本体４１とガイドスりーブ４２とを組立式とする。
ガイドスリーブ４２をポリイミド樹脂であるとして説明したがこれに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施形態に係るガイドの側面断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係るガイドのＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るプラズマトーチの側面断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係るガイドの製作手順図である。
【図５】従来のプラズマトーチの構造図である。
【符号の説明】
【００３７】
Ｇ１  メインガス
Ｇ２  ツイスタガス
Ｓ１  内周壁
Ｓ２  外周壁
Ｓ３  内壁
Ｗ  冷却水
Ｈ  環状空間
Ｔ  被加工物
１０  プラズマトーチ
２０  電極
３０  電極ホルダ
４０  ガイド
４１  ガイド本体
４２  ガイドスリーブ
４３  第一溝
４４  第二溝
４５  貫通孔
５０  ノズル
５１  ノズル孔
６０  シールドキャップ
６１  キャップ孔
７０  センターパイプ
８０  プラズマトーチ本体    
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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