(57)【要約】【課題】  所望の温度の熱媒体を瞬時に得ることが可能な加熱装置を提供すること。【解決手段】  搬送されてくる複数の被加熱体を所定の温度に加熱することによって一体固着させる加熱装置１において、被加熱体を加熱する加熱室７と、この加熱室７へ所定の温度より高い温度の熱媒体を供給する第１の熱媒体供給手段３と、前記加熱室７へ第１の熱媒体供給手段３から供給される熱媒体より低い温度の熱媒体を供給する第２の熱媒体供給手段５と、第１及び第２の熱媒体供給手段３，５からそれぞれ供給される熱媒体の供給比率を制御する制御手段９とを具えたことを特徴とする。【選択図】        図１
2005207702.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送されてくる複数の被加熱体を所定の温度に加熱することによって一体固着させる加熱装置において、被加熱体を加熱する加熱室と、この加熱室へ所定の温度より高い温度の熱媒体を供給する第１の熱媒体供給手段と、前記加熱室へ第１の熱媒体供給手段から供給される熱媒体より低い温度の熱媒体を供給する第２の熱媒体供給手段と、第１及び第２の熱媒体供給手段からそれぞれ供給される熱媒体の供給比率を制御する制御手段とを具えたことを特徴とする加熱装置。
【請求項２】
制御手段は、第１の熱媒体供給手段から供給される熱媒体と第２の熱媒体供給手段から供給される熱媒体の供給比率が反比例となるように制御する制御バルブである請求項１記載の加熱装置。
【請求項３】
第１の熱媒体供給手段に加熱室と連通する第１の供給路が設けられ、第２の熱媒体供給手段に加熱室と連通する第２の供給路が設けられ、第１の供給路の加熱室側出口に略半円形の第１の供給口が形成され、第２の供給路の加熱室側出口に第１の供給口と対称形となった略半円形の第２の供給口が形成され、これら供給口は加熱室にそれぞれの弦が対向するように隣接して設けられており、また制御バルブは、第１の供給口及び／又は第２の供給口を開閉するように回転可能に設けられた半円形板状の第１のスリット板である請求項２記載の加熱装置。
【請求項４】
第１の供給路の加熱室側出口における第１の供給口と対向した位置に第１の排出口が設けられ、第２の供給路の加熱室側出口における第２の供給口と対向した位置に第２の排出口が設けられ、第１の排出口及び／又は第２の排出口を開閉するように半円形板状の第２のスリット板が第１のスリット板と同軸に、連動して回転可能に設けられている請求項３に記載の加熱装置。
【請求項５】
第１の熱媒体供給手段に加熱室と連通する第１の供給路が設けられ、第２の熱媒体供給手段に加熱室と連通する第２の供給路が設けられ、第１の供給路の加熱室側出口に第１の供給口が形成され、第２の供給路の加熱室側出口に第２の供給口が形成されており、また制御バルブは、第１の供給口及び第２の供給口を個別に開閉するように設けられた第１のスリット板及び第２のスリット板である請求項２記載の加熱装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プリント基板や電子部品等の被加熱体を所望の温度に加熱する加熱装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばプリント基板や電子部品等の被加熱体のはんだ付けにおいては、電子部品及びプリント基板への熱衝撃や熱容量の違い等を緩和するために、予め設定された温度プロファイルにしたがって、予熱工程から本加熱工程への加熱が行われる。この加熱装置として、ヒータによる加熱と冷却用ファンの駆動による冷却を併用して制御対象である被加熱体の温度を予め設定された温度となるように制御するものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−８２７２３号公報（第３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の発明は、ヒータの通電率を制御することで制御対象の温度を制御するものであるが、ヒータの熱容量が大きいために、温度制御の応答性が悪く、例えば急速加熱等の場合に予め定められた温度プロファイルに対して時間的な応答遅れを生じてしまう場合があるという問題点があった。
【０００５】
この発明はこのような問題点に鑑みなされたものであり、所望の温度の熱媒体を瞬時に得ることが可能な加熱装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、搬送されてくる複数の被加熱体を所定の温度に加熱することによって一体固着させる加熱装置において、被加熱体を加熱する加熱室と、この加熱室へ所定の温度より高い温度の熱媒体を供給する第１の熱媒体供給手段と、前記加熱室へ第１の熱媒体供給手段から供給される熱媒体より低い温度の熱媒体を供給する第２の熱媒体供給手段と、第１及び第２の熱媒体供給手段からそれぞれ供給される熱媒体の供給比率を制御する制御手段とを具えたことを特徴とする加熱装置である。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の加熱装置において、制御手段は、第１の熱媒体供給手段から供給される熱媒体と第２の熱媒体供給手段から供給される熱媒体の供給比率が反比例となるように制御する制御バルブである。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項２記載の加熱装置において、第１の熱媒体供給手段に加熱室と連通する第１の供給路が設けられ、第２の熱媒体供給手段に加熱室と連通する第２の供給路が設けられ、第１の供給路の加熱室側出口に略半円形の第１の供給口が形成され、第２の供給路の加熱室側出口に第１の供給口と対称形となった略半円形の第２の供給口が形成され、これら供給口は加熱室にそれぞれの弦が対向するように隣接して設けられており、また制御バルブは、第１の供給口及び／又は第２の供給口を開閉するように回転可能に設けられた半円形板状の第１のスリット板である。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の加熱装置において、第１の供給路の加熱室側出口における第１の供給口と対向した位置に第１の排出口が設けられ、第２の供給路の加熱室側出口における第２の供給口と対向した位置に第２の排出口が設けられ、第１の排出口及び／又は第２の排出口を開閉するように半円形板状の第２のスリット板が第１のスリット板と同軸に、連動して回転可能に設けられている。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項２記載の加熱装置において、第１の熱媒体供給手段に加熱室と連通する第１の供給路が設けられ、第２の熱媒体供給手段に加熱室と連通する第２の供給路が設けられ、第１の供給路の加熱室側出口に第１の供給口が形成され、第２の供給路の加熱室側出口に第２の供給口が形成されており、また制御バルブは、第１の供給口及び第２の供給口を個別に開閉するように設けられた第１のスリット板及び第２のスリット板である。
【発明の効果】
【００１１】
この発明は、第１の熱媒体供給手段から供給される予め加熱された高温の熱媒体と第２の熱媒体供給手段から供給される低温の熱媒体との供給比率が反比例の関係となるように制御して、加熱室において攪拌混合するので、瞬時に加熱室の温度を所定温度とすることができる。
【００１２】
また、第１の供給口及び第２の供給口と同形且つ同配置の第１の排出口及び第２の排出口が設けられており、第１の排出口及び第２の排出口は、第１のスリット板と連動する第２のスリット板により開閉されるので、第１の供給路及び第２の供給路に熱媒体が滞留することなく、第１の熱媒体供給手段及び第２の熱媒体供給手段の内圧及び熱媒体の温度変化を抑制することができる。
【００１３】
さらに、この発明の加熱装置は単純な構造であるために、ベルト炉等の従来の加熱炉に比較して小型とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
この発明の一実施の形態について適宜図面を参照して説明する。
【００１５】
（実施の形態１）
図１は、実施の形態１の加熱装置を示す平面図、図２は図１の要部縦断正面図、図３は図１の要部拡大平面図、図４は、第１のスリット及び第２のスリット付近の要部拡大斜視図、図５は温度プロファイルを例示するグラフである。
【００１６】
図１〜図４において、１は加熱装置である。加熱装置１は、加熱され所定温度とされた熱媒体としての空気を熱風として供給する第１の熱媒体供給手段としての熱風供給部３と、室温に保たれた冷風を供給する第２の熱媒体供給手段としての冷風供給部５と、熱風供給部３と冷風供給部５とにまたがるように配置され、熱風供給部３から供給された熱風と冷風供給部５から供給された冷風とを混合して所望の温度の空気を得る加熱室７と、加熱室７における熱風と冷風の供給比率を制御する制御手段としての制御バルブとを具えている。制御バルブは実施の形態１では第１のスリット板９からなっている。
【００１７】
熱風供給部３は、その一端部に設けられ、空気を一定の速度で供給するファン１１ａと、このファン１１ａに接続されて加熱室７と連通し、ファン１１ａから供給される空気を加熱室７に導く第１の供給路としての熱風供給路１３と、熱風供給路１３の通気経路中に設けられ、ファン１１ａから供給される空気を加熱して所定の温度の熱風とするヒータ１５とを備えている。熱風供給部３の他端部の上面、つまり、熱風供給路１３の加熱室７側の端部の上面には、熱風の加熱室７側出口である第１の供給口としての熱風供給口１７が形成されている。熱風供給口１７は略半円形であり、その弦が熱風供給路１３の長手方向と平行で、且つ、その弧が加熱装置１の外側を向いて配置されている。また、熱風供給路１３の下面において熱風供給口１７に対向した位置には、熱風の排気室５３側出口である第１の排出口としての熱風排出口１９が形成されている。熱風排出口１９は、熱風供給口１７と同形で、且つ、同配置とされている。
【００１８】
冷風供給部５は、その一端部に設けられ、室温の空気を一定の速度で供給するファン１１ｂと、このファン１１ｂに接続されて加熱室７と連通し、ファン１１ｂから供給される空気を加熱室７に導く第２の供給路としての冷風供給路２１とを備えている。冷風供給部５の他端部の上面、つまり、冷風供給路２１の加熱室７側の端部の上面には、冷風の加熱室７側出口である第２の供給口としての冷風供給口２３が形成されている。冷風供給口２３は略半円形であり、その弦が冷風供給路２１の長手方向と平行で、且つ、その弧が加熱装置１の外側を向いて配置されている。また、冷風供給路２１の下面において冷風供給口２３に対向した位置には、冷風の排気室５３側出口である第２の排出口としての冷風排出口２５が形成されている。冷風排出口２５は、冷風供給口２３と同形で、且つ、同配置とされている。ここで、ファン１１ｂとしては、ファン１１ａと同出力のものが用いられている。また、冷風供給路２１としては、熱風供給路１３と断面形状が等しいものが用いられている。また、冷風供給口２３（冷風排出口２５）は、熱風供給口１７（熱風排出口１９）と対称形とされている。
【００１９】
尚、冷風供給部５においては、冷風の積極的な温度制御を行わず、室温の冷風を加熱室７に供給するように構成しているが、冷却器や加熱器等を組み合わせた温度調節器を冷風供給路２１に設け、積極的に冷風の温度制御を行ってもよい。
【００２０】
熱風供給部３と冷風供給部５とは、加熱室７の下部において、熱風供給口１７が円２７の一方の半円となり、冷風供給口２３が円２７の他方の半円となるように互いに接合されている。すなわち、熱風供給路１３の長手方向の側面と冷風供給路２１の長手方向の側面とは、加熱室７の下部において互いに接合されており、熱風供給口１７と冷風供給口２３とは、それぞれの弦が対向するように隣接し、それぞれの弧が加熱装置１の外側を向くように、対称に配置されて１つの円２７を形成している。同様に、熱風排出口１９と冷風排出口２５も排気室５３の上面において、１つの円３１を形成するように、対称に配置されている。
【００２１】
加熱室７は、円２７より若干大きな直径を有する略円筒状であり、円２７を囲むように、その上部に配置され、上端は開口されている。加熱室７は、円筒形のカバー３３により外方と画成されており、加熱室７の上部空間であり、被加熱体が搬送されてくる室３５と、加熱室７の下部空間であり、熱風供給口１７から供給される熱風及び冷風供給口２３から供給される冷風を混合して所定温度の空気を得る室３７とを備える。カバー３３は、下部に配置された内筒３９と、この内筒３９に外嵌され、内筒３９に沿って上下にスライド移動可能な外筒４１とからなる。カバー３３において外筒４１の上端部の周面が、加熱室７の内側に向かって斜め下方に屈曲されており、室３７から室３５に向けて上方に送風される所定温度の空気を再度室３５内部側に戻して流通させるための風向制御板４３が設けられている。また、室３７と室３５との間には、室３７から送風される所定温度の空気を整流するための整流板４５が設けられている。室３７には、熱風供給口１７から供給される熱風及び冷風供給口２３から供給される冷風を瞬時に混合するために、円２７と同軸の回転軸４７を有する攪拌翼４９が設けられている。回転軸４７は、後述する第１のスリット板９の回転軸５１と同軸に設けられ、その内側の軸となっており、熱風供給部３と冷風供給部５及び排気室５３を貫通して下方に設けられた駆動モータ５５に接続されている。室３５の周辺部には、図示しない搬送手段が設けられており、この搬送手段により複数の被加熱体としてのはんだを塗布されたプリント基板や電子部品等が室３５に搬送され、室３５の雰囲気温度が所定温度とされることで、はんだ付けが自動的に行われる。また、室３５には、内部の雰囲気温度を測定するために図示しない温度センサが設けられている。
【００２２】
加熱室７の底面には熱風供給口１７及び／又は冷風供給口２３を開閉する第１のスリット板９が設けられている。この第１のスリット板９は、熱風供給口１７又は冷風供給口２３と略同形の半円形板状である。すなわち、第１のスリット板９は、円２７よりも若干大きな直径を有し、熱風供給口１７又は冷風供給口２３のどちらか一方のみを完全に遮蔽することが可能な形状（半円形）とされている。第１のスリット板９は、円２７と同軸の回転軸５１を中心として加熱室７の底面内で回転可能に設けられている。この回転軸５１は、攪拌翼４９の回転軸４７と同軸であり、その外側の軸となっており、熱風供給部３と冷風供給部５及び排気室５３を貫通して下方に設けられたステッピングモータ５７にギア５９を介して接続されている。したがって、ステッピングモータ５７が駆動されると、第１のスリット板９はギア５９を介して加熱室７の底面内で所定角度回転される。これにより、熱風供給口１７の開口面積は０〜１００％の間で連続的に変化し、同時に冷風供給口２３の開口面積は１００〜０％の間で変化する。つまり、熱風供給口１７の開口面積がＸ％のときに冷風供給口２３の開口面積は略（１００−Ｘ）％となり、熱風の加熱室７への供給比率と冷風の加熱室７への供給比率とは、反比例の関係で連続的に変化されることとなる。
【００２３】
排気室５３は、加熱室７に供給されなかった不用の熱風及び／又は冷風を系外に排気するためのものであり、熱風供給路１３及び冷風供給路２１を挟んで加熱室７の反対側において、熱風排出口１９と冷風排出口２５で形成される円３１の下部に、熱風供給部３と冷風供給部５とにまたがるように配置されている。排気室５３の上面（熱風供給路１３及び冷風供給路２１の下面）には、熱風排出口１９及び／又は冷風排出口２５を開閉する第２のスリット板６１が設けられている。図４に示すように第２のスリット板６１は、第１のスリット板９と同形状であり、回転軸５１に第１のスリット板９と同軸に１８０°位相をずらして取り付けられており、第１のスリット板９に連動して排気室５３の上面で回転可能である。第２のスリット板６１は第１のスリット板９と１８０°位相がずれているので、第１のスリット板９が回転して熱風供給口１７（冷風供給口２３）の開口面積がＹ％となったときに熱風排出口１９（冷風排出口２５）の開口面積は（１００−Ｙ）％となる。つまり、熱風供給口１７（冷風供給口２３）と熱風排出口１９（冷風排出口２５）の開口面積の和は常に１００％となる。これにより、ファン１１ａ（ファン１１ｂ）から供給される熱風（冷風）は、熱風供給口１７（冷風供給口２３）と熱風排出口１９（冷風排出口２５）の開口面積の比率に応じて熱風供給口１７（冷風供給口２３）と熱風排出口１９（冷風排出口２５）とに分配されるので、熱風（冷風）が熱風供給路１３（冷風供給路２１）に滞留することがない。
【００２４】
前記においては、不用な熱風及び冷風を排気するための排気室５３を設けているが、排気室５３を設けずに熱風排出口１９及び冷風排出口２５から直接排気を行ってもよい。また、熱風排出口１９及び冷風排出口２５も必須ではなく、熱風供給口１７と冷風供給口２３のみが設けられていてもよい。
【００２５】
また、加熱装置１には、図示しないコントローラが設けられている。このコントローラはステッピングモータ５７と接続されている。コントローラには、所望の温度プロファイルを入力するための図示しない温度プロファイル入力装置が接続されている。温度プロファイルは、図５に例示するような温度−時間曲線として与えられ、この曲線に沿って加熱室７の温度が時間とともに制御される。コントローラには、加熱室７の温度と熱風供給口１７及び冷風供給口２３の開口面積（第１のスリット板９の回転角度）との関係が記憶された予め実験等で定められた図示しないテーブルが備えられている。そして、コントローラは、前記テーブルを参照しながらステッピングモータ５７を駆動して第１のスリット板９を回転し、熱風供給口１７及び冷風供給口２３の開口面積を制御することで、加熱室７の雰囲気温度を、入力された温度プロファイルに沿って制御するように構成されている。
【００２６】
加熱装置１の動作について説明する。まず、温度プロファイル入力装置から所望の温度プロファイルを入力する。続いて、前記搬送手段が、プリント基板等の被加熱体を外筒４１が内筒３９に沿って下に降ろされた状態の室３５に搬送して、室３５中の所定の位置にもたらす。続いて、外筒４１を内筒３９に沿って上方にスライド移動させ、被加熱体の周囲をカバー３３で覆う。尚、被加熱体を搬送する工程及び外筒４１を上下動させる工程は、手動で行ってもよいし、必要な装置を加熱装置１に追加することで自動的に行ってもよい。続いて、前記コントローラが、加熱室７の雰囲気温度を、入力された温度プロファイルに沿って制御する。
【００２７】
すなわち、第１のスリット板９は、加熱室７の温度制御を行わない状態においては、コントローラにより熱風供給口１７を完全に閉じる位置（冷風供給口２３を完全に開いた位置）に配置されており、熱風供給部３から供給される熱風は、全開状態の熱風排出口１９より全て系外に排出され、室温に保たれた冷風のみが冷風供給口２３から加熱室７へと供給されている。加熱室７の温度制御が開始されると、コントローラは、前記テーブルを参照して温度プロファイルの設定温度に基づいてステッピングモータ５７を駆動して、第１のスリット板９を所定角度回転させる。これにより、熱風供給口１７及び冷風供給口２３の開口面積が所定値に制御される。より具体的には、コントローラは、熱風供給口１７を所定の開口面積Ａ％とし、これに伴い冷風供給口２３の開口面積は（１００−Ａ）％とされる。
【００２８】
ところで、熱風供給部３においては、ヒータ１５で所定温度に加熱された一定の供給速度の熱風が熱風供給路１３を通じて加熱室７方向に常に供給されており、冷風供給部５においては、室温に保たれた一定の供給速度の冷風が冷風供給路２１を通じて加熱室７方向に常に供給されている。よって、熱風供給口１７及び冷風供給口２３の開口面積が所定値に制御されることで、これらの熱風及び冷風は、それぞれ熱風供給口１７と冷風供給口２３の開口面積の比率に応じた供給比率で室３７へと供給される。つまり、熱風供給口１７から室３７へと供給される熱風と冷風供給口２３から室３７へと供給される冷風との供給比率は、反比例となるように制御されている。室３７に供給された熱風と冷風とは、駆動モータ５５により回転される攪拌翼４９により瞬時に混合されて、熱風温度と冷風温度の間の温度プロファイルで定められた温度の空気とされ、整流板４５を介して整流された上で、室３５へと供給される。室３５へ供給された空気は、室３５の雰囲気温度を温度プロファイルで定めた温度とする。また、室３５の側面付近を上方に流通する空気は、カバー３３の上端部の周面に設けられた風向制御板４３と衝突することで、風向を変えられ再び室３５内部側に流れる。
【００２９】
また、第１のスリット板９により熱風供給口１７の開口面積がＡ％とされているときの熱風排出口１９の開口面積は、熱風排出口１９を開閉する第２のスリット板６１が第１のスリット板９と同軸で１８０°位相がずれて配置されているので、（１００−Ａ）％に制御されることとなる。よって、熱風供給口１７と熱風排出口１９との開口面積の和は常に１００％となるので、熱風供給部３から供給される熱風は、熱風供給口１７から加熱室７に供給されるか、熱風排出口１９から排気室５３を介して系外に排出されるかのどちらかの流通経路を経ることにより、全て系外に排出され、熱風供給路１３に滞留することがない。同様に、第１のスリット板９により冷風供給口２３の開口面積が（１００−Ａ）％とされているときの冷風排出口２５の開口面積は、Ａ％に制御されることとなる。よって、冷風供給部５から供給される冷風は、冷風供給口２３から加熱室７に供給されるか、冷風排出口２５から排気室５３を介して系外に排出されるかのどちらかの流通経路を経ることにより、全て系外に排出され、冷風供給路２１に滞留することがない。
【００３０】
コントローラは、前記のように熱風供給口１７（熱風排出口１９）と冷風供給口２３（冷風排出口２５）の開口面積を制御することで、加熱室７の雰囲気温度を入力された温度プロファイルに従って制御する。
【００３１】
実施の形態１においては、予め実験等により定められたテーブルに従い、熱風供給口１７及び冷風供給口２３の開口面積を制御しているが、室３５に設けた温度センサからの出力に基づき、コントローラがＰＩＤ制御を用いて熱風供給口１７及び冷風供給口２３の開口面積を制御してもよい。
【００３２】
また、熱媒体として空気を用いた場合を例示しているが、熱媒体としては、空気以外の各種気体や水等の液体を用いることも可能である。
【００３３】
このように加熱装置１は、所定温度に保たれた熱風と室温に保たれた冷風との供給比率を第１のスリット板９で制御した上で室３７に供給し、室３７において、攪拌翼４９により混合して室３５に供給するので、室３５を瞬時に所望の温度雰囲気とすることができる。
【００３４】
また、第１のスリット板９が、熱風と冷風の室３７への供給比率が反比例となるように熱風供給口１７と冷風供給口２３の開口面積を制御することにより、簡易に所望の混合比率を達成し、室３５を瞬時に所望の温度雰囲気とすることができる。
【００３５】
また、略半円形の形状であり、１つの円２７を形成するように配置された熱風供給口１７と冷風供給口２３とを、この円２７と同軸の回転軸５１を有する半円形板状の第１のスリット板９で所定の開口面積に制御するので、構造を単純とすることができ、信頼性の高い装置を得ることができる。
【００３６】
熱風供給口１７及び冷風供給口２３と同形、且つ同配置の熱風排出口１９及び冷風排出口２５を有し、これらの熱風排出口１９及び冷風排出口２５を第１のスリット板９と同形同軸で位相が１８０°ずれた第２のスリット板６１で開閉し、加熱室７に供給されなかった熱風及び冷風を系外に排出するので、熱風供給路１３及び冷風供給路２１中に、熱風及び冷風が滞留することがない。これにより、熱風供給部３及び冷風供給部５の内圧の変化及び供給される空気の温度変化を抑制することができる。
【００３７】
加熱装置１は、単純な構造であるため、従来の加熱炉に比べて小型化が可能であり、卓上に載置できる大きさとすることができる。
【００３８】
（実施の形態２）
図６は、実施の形態２の加熱装置を示す要部拡大平面図である。図６において、実施の形態１と同様の部材には同符号を付し、その説明を省略する。
【００３９】
実施の形態２の加熱装置１は、熱風供給口６７及び冷風供給口６９を個別にスリット板６３，６５により開閉する点が実施の形態１と異なっている。すなわち、加熱装置１において、熱風供給口６７は、熱風供給路１３の加熱室７側の端部の上面に設けられた円形の開口となっている。同様に、冷風供給口６９も、冷風供給路２１の加熱室７側の端部の上面に設けられた円形の開口となっている。そして、熱風供給口６７を独立して開閉するスリット板６３と冷風供給口６９を独立して開閉するスリット板６５とが設けられている。これらのスリット板６３，６５は、図示しない開閉駆動装置と接続されている。開閉駆動装置は、前記コントローラにより制御され、スリット板６３，６５を開閉することにより、熱風供給口６７と冷風供給口６９とを所定の開口面積とする。また、図示しないが、熱風供給路１３の熱風供給口６７に対向した位置には、熱風供給口６７と同形の熱風排出口が設けられており、同様に、冷風供給路２１の冷風供給口６９に対向した位置には、冷風供給口６９と同形の冷風排出口が設けられている。そして、熱風排出口及び冷風排出口にも、それぞれ、スリット板が設けられており、これらのスリット板は前記コントローラで制御される開閉駆動装置により開閉されるように構成されている。
【００４０】
実施の形態２の加熱装置１において、加熱室７の温度制御が開始されると、コントローラは前記テーブルに基づき前記開閉駆動装置を制御して、スリット板６３，６５を、熱風供給口６７及び冷風供給口６９が所定の開口面積となるように開閉する。これにより、熱風供給口６７及び冷風供給口６９から熱風と冷風とが室３７に所定の供給比率で供給され、攪拌翼４９で混合されて瞬時に所望の温度の空気とされた上で室３５へと供給される。熱風供給口６７及び冷風供給口６９が所定の開口面積に開閉されると同時に、コントローラは、熱風排出口及び冷風排出口に設けられたスリット板を開閉して、熱風排出口及び冷風排出口を、熱風供給路１３及び冷風供給路２１に熱風及び冷風が滞留しないような開口面積に制御する。すなわち、コントローラは、熱風供給口６７の開口面積がＢ％のときに、熱風排出口の面積が（１００−Ｂ）％となるように、同様に、冷風供給口６９の開口面積がＣ％のときに、熱風排出口の面積が（１００−Ｃ）％となるように、それぞれ、熱風排出口及び冷風排出口の開口面積を制御する。
【００４１】
このように実施の形態２の加熱装置１は、実施の形態１と同様の効果を奏するとともに、熱風供給口６７（熱風排出口）及び冷風供給口６９（冷風排出口）の開口面積を個別にスリット板６３，６５で制御するので、実施の形態１の加熱装置１よりも急激に加熱室７の温度を変化させることが可能となり、温度プロファイルへの追従性が高まる。
【実施例】
【００４２】
（実施例１）
実施の形態１の加熱装置１を用いて、加熱室７の温度制御性を確認する実験を行った。
熱容量が４００〜１０００ｗのヒータを用いて、熱風供給部３から供給される熱風の温度を４００℃として、熱風の風量を０．０８ｍ3／min、熱風供給路１３中の静圧を３５Ｐａとした。一方、冷風供給部５から供給される冷風の温度を２０℃、冷風の風量を０．０８ｍ3／min、熱風供給路１３中の静圧を３５Ｐａとした。この実験条件において、加熱室７の目標温度を１６０℃として加熱装置１の温度制御性を確認したところ、熱風供給口１７と冷風供給口２３の開口面積比率は、５６％（熱風供給口１７）：４４％（冷風供給口２３）前後となり、目標温度に対して±０．５℃の制御が可能であった。
【００４３】
また、同様の実験条件で加熱室７の目標温度を２５０℃としたところ、熱風供給口１７と冷風供給口２３の開口面積比率は、８５％（熱風供給口１７）：１５％（冷風供給口２３）前後となり、目標温度に対して±０．５℃の制御が可能であった。
【００４４】
（実施例２）
実施の形態１の加熱装置１を用いて、加熱室７を１０℃／sec程度の昇温速度で１６０℃から２５０℃まで昇温する温度プロファイルを設定し、この温度プロファイルへの追従性を確認する実験を行った。実験条件は実施例１と同様である。この結果、温度プロファイルに対する加熱室７の温度の追従性は良好であり、応答遅れ等は見られなかった。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】実施の形態１の加熱装置を示す平面図である。
【図２】同上の要部縦断正面図である。
【図３】同上の要部拡大平面図である。
【図４】第１のスリット及び第２のスリット付近の要部拡大斜視図である。
【図５】温度プロファイルを例示するグラフである。
【図６】実施の形態２の加熱装置を示す要部拡大平面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  加熱装置                              ３  熱風供給部
５  冷風供給部                            ７  加熱室
９  第１のスリット板                      １１ａ，１１ｂ  ファン
１３  熱風供給路                          １５  ヒータ
１７，６７  熱風供給口                    １９  熱風排出口
２１  冷風供給路                          ２３，６９  冷風供給口
２５  冷風排出口                          ２７，３１  円
３３  カバー                              ３５  室
３７  室                                  ３９  内筒
４１  外筒                                ４３  風向制御板
４５  整流板                              ４７，５１  回転軸
４９  攪拌翼                              ５３  排気室
５５  駆動モータ                          ５７  ステッピングモータ
５９  ギア                                ６１  第２のスリット板
６３，６５  スリット板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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