(57)【要約】【課題】シリンドリカルレンズとビームローテータとの間の焦点距離の調整を容易に行うことができるシリンドリカルレンズアレイモジュールを提供する。【解決手段】シリンドリカルレンズアレイモジュール１は、半導体レーザ装置２から出射された光のＹ方向に広がる成分をコリメートする第一コリメートレンズ３およびその光を回転させるビームローテータ４を備える。第一コリメートレンズ３は光を透過させる曲面部３１を備えるとともに、曲面部３１を挟む位置にフランジ３２，３３がそれぞれ設けられている。また、ビームローテータ４には、入出射面４１，４２の前後にフランジ４４，４５が設けられている。これらのフランジ３２，３３，４４，４５を密接させて、第一コリメートレンズ３とビームローテータ４が取り付けられる。【選択図】  図１
2005010300.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
配列された複数の光出射部を備える光源から出射された光を透過させる曲面部が形成されたシリンドリカルレンズと、前記シリンドリカルレンズにおける前記曲面部を透過した光を、その光軸を中心として回転させる回転作用部を備える光路変換素子と、を備え、前記シリンドリカルレンズが前記光源と前記光路変換素子との間に配置されたシリンドリカルレンズアレイモジュールであって、
前記シリンドリカルレンズにおける曲面部を挟む位置に光路変換素子取付部が設けられ、前記光路変換素子取付部における前記光路変換素子側の面に平坦部が形成されているとともに、
前記光路変換素子における前記回転作用部を挟む位置にレンズ取付部が設けられ、前記レンズ取付部における前記シリンドリカルレンズ側の面に平坦部が形成されており、
前記変換素子取付部における平坦部と、前記レンズ取付部における平坦部とが密接させられて、前記シリンドリカルレンズと前記光路変換素子とが固定されていることを特徴とするシリンドリカルレンズアレイモジュール。
【請求項２】
前記変換素子取付部が、前記光路変換素子側に突出するレンズフランジである請求項１に記載のシリンドリカルレンズアレイモジュール。
【請求項３】
前記レンズフランジにおける前記光路変換素子側に突出する部分が、前記曲面部よりも前記光路変換素子側に突出する請求項２に記載のシリンドリカルレンズアレイモジュール。
【請求項４】
前記レンズフランジが、前記曲面部を挟む両方の位置に設けられた第１レンズフランジおよび第２レンズフランジを備え、
前記第１レンズフランジおよび前記第２レンズフランジにおける光路変換素子取付部に形成された平坦部が、面一に形成されている請求項３に記載のシリンドリカルレンズアレイモジュール。
【請求項５】
前記レンズ取付部が、前記シリンドリカルレンズ側に突出するフランジである請求項１〜請求項４のうちのいずれか１項に記載のシリンドリカルレンズアレイモジュール。
【請求項６】
前記光路変換素子は、前記シリンドリカルレンズに対応した長尺状をなしており、
前記光路変換素子の長手方向両端部の高さ位置が、前記シリンドリカルレンズの長手方向両端部の高さ位置に合わせて調整されている請求項１〜請求項５のうちのいずれか１項に記載のシリンドリカルレンズアレイモジュール。
【請求項７】
前記シリンドリカルレンズにおける前記光源側に、前記光源取付部が設けられ、
前記光源取付部に平坦部が形成されており、
前記光源取付部に前記光源が取り付けられている請求項１〜請求項６のうちのいずれか１項に記載のシリンドリカルレンズアレイモジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザアレイに用いるシリンドリカルレンズアレイモジュールに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体レーザを加工機等に応用する際、光学素子、たとえばシリンドリカルレンズ（棒状凸レンズ）を用いてレーザビームを整形、集光することがある。特に、高出力を得るために複数の半導体レーザ出射部からのエネルギーをまとめて整形、集光して高出力を得る技術に対する需要は増えている。このようなレンズアレイとして、たとえば特開２０００−１３７１３９号公報に開示されているものがある。このレンズアレイは、光束を放射する光源と、光源から放射された光束を透過させる円筒レンズと、この円筒レンズを透過した光束を９０度回転させる光学的光束変換器とを備えている。この光学的光束変換器で回転させられた光束をフォーカシング素子でフォーカシングして、光伝送ファイバの端部に入射させるというものである。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−１３７１３９号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記レンズアレイを用いる際、円筒レンズ（シリンドリカルレンズ）と光学的光束変換器（ビームローテータ）との間で焦点距離を調整する必要がある。この焦点距離の調整は、レンズアレイを組み立てる際に、スペーサ、サイドタブ、鏡筒といった他の装置を用いて行っていたため、非常に手間がかかる。特に、この種の装置では、焦点距離の調整に対して、非常に高い精度が要求されるので、焦点距離の調整は非常に手間がかかるという問題があった。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、シリンドリカルレンズとビームローテータとの間の焦点距離の調整を容易に行うことができるシリンドリカルレンズアレイモジュールを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決した本発明に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールは、配列された複数の光出射部を備える光源から出射された光を透過させる曲面部が形成されたシリンドリカルレンズと、シリンドリカルレンズにおける曲面部を透過した光を、その光軸を中心として回転させる回転作用部を備える光路変換素子と、を備え、シリンドリカルレンズが光源と光路変換素子との間に配置されたシリンドリカルレンズアレイモジュールであって、シリンドリカルレンズにおける曲面部を挟む位置に光路変換素子取付部が設けられ、光路変換素子取付部における光路変換素子側の面に平坦部が形成されているとともに、光路変換素子における回転作用部を挟む位置にレンズ取付部が設けられ、レンズ取付部におけるシリンドリカルレンズ側の面に平坦部が形成されており、変換素子取付部における平坦部と、レンズ取付部における平坦部とが密接させられて、シリンドリカルレンズと光路変換素子とが固定されているものである。
【０００７】
本発明に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールでは、シリンドリカルレンズにおける曲面部を挟む位置に光路変換素子取付部が設けら、光路変換素子における回転作用部を挟む位置にレンズ取付部が設けられている。これらの光路変換素子取付部およびレンズ取付部には、それぞれ平坦部が形成され、その平坦部同士が密接して固定されている。このため、光路変換素子取付部およびレンズ取付部を所望の大きさとしておくことにより、単に光路変換素子取付部とレンズ取付部とを固定するのみで、シリンドリカルレンズと光路変換素子との間の焦点距離が調整された状態となる。このように、両者の焦点距離の調整を容易に行うことができる。
【０００８】
ここで、変換素子取付部が、光路変換素子側に突出するレンズフランジであるのが好適である。
【０００９】
シリンドリカルレンズにおける変換素子取付部が光路変換素子側に突出するレンズフランジであることにより、シリンドリカルレンズと光路変換素子との固定をさらに容易に行うことができる。
【００１０】
また、レンズフランジにおける光路変換素子側に突出する部分が、曲面部よりも光路変換素子側に突出する態様とするのが好適である。
【００１１】
このように、レンズフランジにおける光路変換素子側に突出する部分がシリンドリカルレンズにおける曲面部よりも光路変換素子側に突出していることにより、さらにシリンドリカルレンズと光路変換素子との固定を容易に行うことができる。
【００１２】
さらに、レンズフランジが、曲面部を挟む両方の位置に設けられた第１レンズフランジおよび第２レンズフランジを備え、第１レンズフランジおよび第２レンズフランジにおける光路変換素子取付部に形成された平坦部が、面一に形成されている態様とするのが好適である。
【００１３】
このように、曲面部を挟む両方の位置に設けられた第１レンズフランジおよび第２レンズフランジに形成された平坦部が面一である。このため、光路変換素子取付部とレンズ取付部とを固定するのみで、シリンドリカルレンズの長手方向に沿った軸まわりに傾いてしまうことによるシリンドリカルレンズのあおりを防止することができる。
【００１４】
また、レンズ取付部が、シリンドリカルレンズ側に突出するフランジであるのが好適である。
【００１５】
このように、光路変換素子におけるレンズ取付部がシリンドリカルレンズ側に突出するフランジであることにより、シリンドリカルレンズと光路変換素子との固定をさらに容易に行うことができる。
【００１６】
さらに、光路変換素子は、シリンドリカルレンズに対応した長尺状をなしており、光路変換素子の長手方向両端部の高さ位置が、シリンドリカルレンズの長手方向両端部の高さ位置に合わせて調整されているのが好適である。
【００１７】
このように、光路変換素子が長尺状をなし、光路変換素子の長手方向両端部の高さ位置が、シリンドリカルレンズの長手方向両端部の高さ位置に合わせて調整されている。このため、両者の位置を合わせて固定するのみで、シリンドリカルレンズと光路変換素子とを、それぞれの長手方向が平行となるように合わせて固定させることができる。
【００１８】
他方、シリンドリカルレンズにおける光源側に、光源取付部が設けられ、光源取付部に平坦部が形成されており、光源取付部に光源が取り付けられている態様とするのが好適である。
【００１９】
このように、シリンドリカルレンズにおける光源側に光源取付部が設けられており、光源取付部に平坦部が形成されている。このため、光源取付部を所望の大きさとしておくことにより、光源取付部に光源を取り付けるだけで、シリンドリカルレンズと光源との焦点距離を合わせることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、同一の機能を有する部材についてはできる限り同一の番号を付し、重複する説明は省略する。また、各図面は説明の理解を容易にするため、誇張ないし省略している部分があり、その寸法比は必ずしも実際のそれとは一致しない。
【００２１】
図１は、本発明の第１の実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールの全体斜視図、図２（ａ）はその要部側面図、（ｂ）はその要部背面図であり、図３は、第一コリメートレンズを示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面図、図４、ビームローテータを示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。図１および図２に示すように、本実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュール１は、本発明の光源となる半導体レーザ装置２を備えている。半導体レーザ装置２の一面側には、本発明のシリンドリカルレンズである第一コリメートレンズ３が取り付けられており、第一コリメートレンズ３における半導体レーザ装置２が取り付けられている側の反対側には、本発明の光路変換素子であるビームローテータ４がたとえば接着剤で接着されて取り付けられている。また、第一コリメートレンズ３およびビームローテータ４を挟んだ半導体レーザ装置２の反対側には、第二コリメートレンズ５が配設され、さらにその先には第一集光レンズ６が配設されている。そして、さらにその先に、第二集光レンズ７が配設されている。これらの第二コリメートレンズ５、第一集光レンズ６、および第二集光レンズ７は、いずれもシリンドリカルレンズから構成され、それぞれ台座８の上に載置されている。
【００２２】
半導体レーザ装置２は、筐体２１を備えており、筐体２１内に、その長手方向（図１に示すＸ方向）に沿って多数のレーザ出射点（発光素子）を一直線上に配列させた半導体レーザアレイ２２を有している。半導体レーザアレイ２２は、ＦａＡａなどからなる化合物によって形成され、各レーザ出射点から第一コリメートレンズ３に向けてそれぞれレーザ光を出射している。
【００２３】
第一コリメートレンズ３は、図３に示すように、棒状凸レンズ状をなしており、半導体レーザ装置２から出射される光が透過する曲面部３１を備えている。曲面部３１は、ビームローテータ側に突出するビームローテータ側突出部３１Ａおよび半導体レーザ装置２側に突出する光源側突出部３１Ｂを備えている。この曲面部３１は、曲面部３１を透過する光の図１に示すＹ方向（発光素子の配列に対して直交する方向、すなわち発光素子を形成する半導体材料の積層方向）の成分をコリメートするように、その曲率を調整されている。曲面部３１を挟む上下の位置には、それぞれ半導体レーザ装置２側およびビームローテータ４側にそれぞれ突出するレンズフランジである上フランジ３２および下フランジ３３が形成されている。上フランジ３２および下フランジ３３は、いずれも曲面部３１と一体成形されている。これらのフランジ３２，３３が本発明の光路変換素子取付部となる。
【００２４】
また、上フランジ３２におけるビームローテータ側突出部３２Ａおよび下フランジ３３におけるビームローテータ側突出部３３Ａのそれぞれにおけるビームローテータ４に対向する面は平坦部とされており、これらの平坦部は面一に形成されている。さらに、これらのビームローテータ側突出部３２Ａ，３３Ａは、曲面部３１におけるビームローテータ側突出部３１Ａよりもビームローテータ４側に突出している。さらに、上フランジ３２における光源側突出部３２Ｂおよび下フランジ３３における光源側突出部３３Ｂのそれぞれにおける半導体レーザ装置２に対向する面は平坦部とされており、これらの平坦部も面一に形成されている。これらの光源側突出部３２Ｂ，３３Ｂは、曲面部３１における光源側突出部３１Ｂよりも光源側に突出している。
【００２５】
この第一コリメートレンズ３は、たとえば図５に示す製造装置を用いて製造することができる。図５に示すように、製造装置５０は、加熱装置となる電気炉５１および電気炉５１に接続され、電気炉５１の温度を調節する温度調節装置５２を備えている。また、電気炉５１の下方位置には、線径測定装置５３が設けられており、さらにその下方には引っ張りローラ５４およびカッター装置５５が設けられている。この製造装置５０における電気炉５１に対して、その上方からレンズ用母材５６が送り込まれる。レンズ用母材５６は、たとえばガラス材料からなる長尺材であり、その断面形状は、第一コリメートレンズ３の断面形状を一回り大きくした形状をなしている。
【００２６】
電気炉５１に送り込まれたレンズ用母材５６は、電気炉５１の熱で加熱溶融され、所望の外径となるように線引き処理がなされる。電気炉５１はレンズ母材５６を囲むように環状に形成され、レンズ用母材５６に対して周囲から等しく加熱、溶融させる。レンズ用母材５６を線引きする際には、温度調節装置５２によって電気炉５１の温度が適宜調整される。また、加熱されたレンズ用母材５６を引き伸ばすのには、電気炉５１の上方に配設された図示しない送り込みローラおよび引っ張りローラ５４が用いられる。上下のフランジ３２，３３となる矩形状の部分を有する四角柱形状のレンズ用母材５６を線引きする場合、線引き処理された側面部を送り込みローラおよび引っ張りローラ５４により挟持するようにすると、線引き処理中のレンズ用母材５６のよじれ発生を防止することができる。
【００２７】
レンズ用母材５６は、線引き処理された結果、その外径が所望の幅になったと判断された場合、引っ張りローラ５４下部に設置されているカッター装置５５により切断される。この判断は、引っ張りローラ５４の手前の設置された線径測定装置５３により行われる。線径測定装置５３はレーザ光を発光するレーザ部と、レンズ用母材５６を透過したレーザ光を受光する受光部と、受光部により受光された光量などからレンズ用母材５６の外径を算出する解析部とから構成される。カッター装置５５により切断されて形成された光学レンズは長さにして５ｍｍ〜２０００ｍｍの棒状のもので、光学レンズとして使用されるサイズであってもよいし、また所望の長さに切断、切削加工される前の段階のサイズであってもよい。長すぎると折れ易く短すぎると切断、切削加工に不便である。
【００２８】
ビームローテータ４は、図１に示すように、第一コリメートレンズ３に対応する奥行き方向（Ｘ方向）に沿った細長い長尺状をなしている。また、図４にも示すように、ビームローテータ４は、本発明の回転作用部である互いに対向する入射面４１と出射面４２とを備えている。入射面４１および出射面４２には、それぞれ複数の円柱面が形成されている。これらの円柱面の数は、半導体レーザ装置２に設けられた発光素子の数と同じであり、それぞれの発光素子に対応して形成されている。さらに、入射面４１および出射面４２における円柱面の高さ方向は、ビームローテータ４の上面４３に対してα＝４５度の角度を向いている。そして、透過する光を、その光軸を中心として９０度回転させる。
【００２９】
さらに、ビームローテータ４の長手方向両端部には、本発明のレンズ取付部であるフランジ４４，４５が設けられている。前フランジ４４は、第一コリメートレンズ側突出部４４Ａと第二コリメートレンズ側突出部４５Ｂを備えており、後フランジ４５も同様に第一コリメートレンズ側突出部４５Ａと第二コリメートレンズ側突出部４４Ｂを備えている。また、前後フランジ４４，４５における第一コリメートレンズ側突出部４４Ａ，４５Ａは、入射面４１における円柱面よりも第一コリメートレンズ３側に突出している。同様に、前後フランジ４４，４５における第二コリメートレンズ側突出部４４Ｂ，４５Ｂは、出射面４２における円柱面よりも第二コリメートレンズ５側に突出している。さらに、前後フランジ４４，４５における第一コリメートレンズ側突出部４４Ａ，４５Ａの第一コリメートレンズ３側の面は平坦部とされている。ビームローテータ４のフランジ４４，４５の高さ位置は、第一コリメートレンズ３の端部の高さ位置に合わせて調整されており、両者の高さ位置は一致している。
【００３０】
また、第二コリメートレンズ５の中央部には、曲面部が形成されている。この曲面部は、透過する光のＸ方向に広がる成分をコリメートするように、その曲率を調整されている。さらに、第一集光レンズ６および第二集光レンズ７にも、それぞれ中央部に曲面部が形成されている。そして、それぞれの曲面部は、コリメートされたＸ方向の成分およびＹ方向の成分を、それぞれ集光するように調整されている。
【００３１】
さらに、本実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュール１では、図２に示すように、第一コリメートレンズ３における上フランジ３２の光源側突出部３２Ｂおよび下フランジ３３の光源側突出部３３Ｂは、それぞれ接着剤Ｇ１，Ｇ２によって半導体レーザ装置２の筐体２１に接着されて固定されている。なお、接着剤については、実際の厚みより厚く描いている。また、上フランジ３２のビームローテータ側突出部３２Ａおよび下フランジ３３のビームローテータ側突出部３３Ａは、それぞれ接着剤Ｇ３，Ｇ４によって、ビームローテータ４における前フランジ４４に接着されて固定されている。
【００３２】
以上の構成を有する本実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュール１においては、半導体レーザ装置２における半導体レーザアレイ２２の発光素子から出射された光が第一コリメートレンズ３における作用部を透過する。第一コリメートレンズ３を透過する光は、その発光素子から出射する光のうちＹ方向（発光素子の配列に対して直交する方向、すなわち発光素子を形成する半導体材料の積層方向）に広がる成分を曲面部３１によってコリメートされてビームローテータ４へと到達する。ビームローテータ４では、ビームローテータ４の入射時にＸ方向（発光素子の配列方向）に広がる成分をビームローテータ４の出射後にＹ方向に広がる成分とし、ビームローテータ４の入射時にＹ方向でコリメートされた成分がビームローテータ４の出射後にＸ方向でコリメートされた成分となるように、ビームローテータ４の入射時の光を出射時に９０度回転させる。
【００３３】
ビームローテータ４を出射しＹ方向に広がる成分は、第二コリメートレンズ５によってコリメートされる。したがって、第二コリメートレンズ５を出射した光は、Ｘ方向、Ｙ方向成分ともにコリメートされている。その後、第一集光レンズ６によってＸ方向成分が集光され、第二集光レンズ７によってＹ方向成分が集光される。両集光レンズ６，７で集光された光は、たとえば図示しない光ファイバに供給される。
【００３４】
ビームローテータ４によるビームの回転は高い精度で行うことが要求されるので、第一コリメートレンズ３とビームローテータ４との焦点距離の調整は、正確に行う必要がある。そこで、従来は、サイドタブ、鏡筒などの他の装置を用いていたため、その製造に非常に手間がかかった。この点、本実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュール１では、第一コリメートレンズ３の上下位置にフランジ３２，３３を設け、ビームローテータ４の両端部にそれぞれフランジ４４，４５を設けている。そして、これらのフランジにはそれぞれ平坦部が形成されており、これらの平坦部を密接させた状態で第一コリメートレンズ３およびビームローテータ４を固定している。また、第一コリメートレンズ３の上下フランジ３２，３３およびビームローテータ４の前後フランジ４４，４５を所望の寸法に正確に形成されている。このため、第一コリメートレンズ３における上下フランジ３２，３３と、ビームローテータ４における前後フランジ４４，４５を単に固定するのみで、第一コリメートレンズ３とビームローテータ４の焦点距離を調整した状態とすることができる。したがって、サイドタブや鏡筒などの他の装置を用いた焦点合わせの作業が不要となるので、非常に迅速にシリンドリカルレンズアレイモジュール１を製造することができる。
【００３５】
さらに、第一コリメートレンズ３におけるビームローテータ取付部は、フランジ３２，３３によって形成されている。また、ビームローテータ４における第一コリメートレンズ取付部はフランジ４４，４５によって形成されている。このため、第一コリメートレンズ３にビームローテータ４を取り付ける際には、その突出した部分同士を固定すればよいので、第一コリメートレンズ３にビームローテータ４を容易に取り付けることができる。
【００３６】
また、第一コリメートレンズ３におけるフランジ３２，３３は、半導体レーザ装置２側に突出する光源取付部となる光源側突出部３２Ｂ，３３Ｂが形成されており、これらの光源側突出部３２Ｂ，３３Ｂに半導体レーザ装置２が取り付けられている。したがって、光源側突出部３２Ｂ，３３Ｂを所望の大きさに調整しておくことにより、半導体レーザ装置２と第一コリメートレンズ３との焦点距離をも容易に調整することができる。さらに第一コリメートレンズ３におけるフランジ３２，３３には、ビームローテータ側に突出するビームローテータ側突出部３２Ａ，３３Ａおよび半導体レーザ装置２側に突出する光源側突出部３２Ｂ，３３Ｂが形成される。このため、第一コリメートレンズ３のフランジ３２，３３を対称形状に形成することができる。フランジ３２，３３を対称形状に形成することにより、第一コリメートレンズ３を線引きして製造する際、その形状を安定したものとすることができる。第一コリメートレンズ３と半導体レーザ装置２との間には、ある程度の焦点距離の調整は必要であるが、厳格なほどの精度調整までは要求されない。したがって、これらの取り付けには、溶接、直付け、接着剤を用いた固定など、適宜の方法を利用することができる。
【００３７】
ところで、この種のシリンドリカルレンズアレイモジュールでは、第一コリメートレンズとビームローテータとの長手方向が平行でないと、半導体レーザ装置２から出射され、第一コリメートレンズ３を通過した光を、ビームローテータによって正確な角度で回転させることができなくなってしまう。この点について、図６を参照して説明すると、図６（ａ）に示すように、フランジが設けられていない第一コリメートレンズ３０を用いた場合、第一コリメートレンズ３０とビームローテータ４とを取り付けたとしても、その長手方向が平行となっているか否かを容易に判断することができない。第一コリメートレンズ３０とビームローテータ４とが平行でなく矢印Ｓ方向に揺れてしまった場合、半導体レーザ装置２に並設された発光素子から出射された光が第一コリメートレンズ３０を通過した後、ビームローテータ４で正確に９０度回転させることができなくなってしまう。
【００３８】
これに対して、本実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュール１では、第一コリメートレンズ３の端部の高さ位置は、ビームローテータ４のフランジ４４，４５の高さ位置と一致している。このため、両者の高さ位置を合わせて固定するのみで、第一コリメートレンズ３の長手方向とビームローテータ４の長手方向とが平行となるようにすることができる。したがって、第一コリメートレンズ３から出射する光を確実に９０度回転させることができるように、第一コリメートレンズ３とビームローテータ４とを取り付けることができる。
【００３９】
また、第一コリメートレンズが、ビームローテータに対して、第一コリメートレンズの長手方向に沿った軸まわりに傾いてしまうと、第一コリメートレンズを通過した光が所望の方向を向かなくなってしまう。このため、ビームローテータに入射する光が所望の方向から入らないことになるので、確実な回転をさせることができなくなってしまう。この点について、図７を参照して説明すると、図７（ａ）に示すフランジが設けられていない第一コリメートレンズ３０を用いたとすると、第一コリメートレンズ３０とビームローテータ４を単に取り付けたのみでは、第一コリメートレンズの矢印Ｌ方向のあおりを防止することができない。したがって、一旦第一コリメートレンズ３０とビームローテータ４を取り付ける際に、第一コリメートレンズ３０の角度の微調整を行う必要がある。
【００４０】
これに対して、本実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールでは、図７（ｂ）に示すように、第一コリメートレンズ３にフランジが設けられている。しかも、このフランジ３２，３３におけるビームローテータ側突出部は、面一に形成されている。このため、フランジ３２，３３を単にビームローテータ４に取り付けることにより、第一コリメートレンズ３におけるその長手方向に沿った軸まわりのあおりを容易に防止することができる。
【００４１】
また、本実施形態に変形例として、図８に示すように、半導体レーザ装置２５を用いる態様とすることもできる。図８（ａ）に示すように、この態様の半導体レーザ装置２５は、筐体２１を備えており、この筐体２１の上面に半導体レーザモジュール２２が設けられているものである。
【００４２】
この態様に係るシリンドリカルレンズモジュールアレイでは、第一コリメートレンズ３における下フランジ３３の光源側突出部３３Ｂが接着剤Ｇ５によって、半導体レーザ装置２５の筐体２１に接着されて固定されている。また、第一コリメートレンズ３におけるフランジ３２，３３のビームローテータ側突出部３２Ａ，３３Ａが、それぞれ接着剤Ｇ６，Ｇ７によってビームローテータ４に接着されて固定されている。このような態様で、第一コリメートレンズ３を半導体レーザ装置２５に固定する態様とすることもできる。
【００４３】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。図９は、本実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールの全体斜視図、図１０（ａ）はその要部側面図、（ｂ）はその要部背面図である。本実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールは上記第１の実施形態と比較して、第一コリメートレンズ３およびビームローテータ４の取り付け状態が異なっている。
【００４４】
図９および図１０に示すように、本実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールでは、第一コリメートレンズ３およびビームローテータ４は、ベース部材１０の上に載置されている。ベース部材１０上に載置された第一コリメートレンズ３およびビームローテータ４は、それらの下面がいずれも接着剤Ｇ９によってベース部材１０に接着されて固定されている。また、第一コリメートレンズ３におけるフランジの平坦部とビームローテータ４におけるフランジの平坦部とが密接しているのは、上記第１の実施形態と同様である。
【００４５】
以上の構成を有する本実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールでは、ベース部材１０の上に第一コリメートレンズ３およびビームローテータ４が設けられている。このように、ベース部材１０上に第一コリメートレンズ３とビームローテータ４とを載置して固定することにより、第一コリメートレンズ３とビームローテータ４との間に接着剤を介在させたりすることなく、両者を固定することができる。したがって、その分高い精度で両者の焦点距離を調整することができる。
【００４６】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。たとえば、上記実施形態では第一コリメートレンズの曲面部３１の上下にフランジを設けたが、その一方にのみフランジを設ける態様とすることができる。また、上記実施形態では、第一コリメートレンズ３の曲面部３１は、ビームローテータ４方向および半導体レーザ装置２方向の両方に突出する構造としているが、その一方のみに突出し、他方は平坦状とした態様とすることもできる。さらに、上記実施形態では第一コリメートレンズ３におけるビームローテータ取付部は、曲面部３１よりもビームローテータ４側に突出するフランジ３２，３３であるが、曲面部３１よりも引っ込んだ態様の取付部とすることもできる。
【００４７】
【発明の効果】
以上の説明のとおり、本発明によれば、シリンドリカルレンズとビームローテータとの間の焦点距離の調整を容易に行うことができるシリンドリカルレンズアレイモジュールを提供することすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールの全体斜視図である。
【図２】（ａ）は第１の実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールの要部側面図、（ｂ）はその要部背面図である。
【図３】第一コリメートレンズを示す図であり（ａ）は斜視図、（ｂ）は正面図である。
【図４】ビームローテータを示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図５】第一コリメートレンズの製造装置の斜視図である。
【図６】（ａ）は、フランジが設けられていない第一コリメートレンズがビームローテータに取り付けられた状態の側面図、（ｂ）は、フランジが設けられた第一コリメートレンズがビームローテータに取り付けられた状態の側面図である。
【図７】（ａ）は、フランジが設けられていない第一コリメートレンズがビームローテータに取り付けられた状態の正面図、（ｂ）は、フランジが設けられた第一コリメートレンズがビームローテータに取り付けられた状態の正面図である。
【図８】（ａ）は、第１の実施形態の変形例に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールの要部側面図、（ｂ）はその要部背面図である。
【図９】第２の実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールの全体斜視図である。
【図１０】（ａ）は第１の実施形態に係るシリンドリカルレンズアレイモジュールの要部側面図、（ｂ）はその要部背面図である。
【符号の説明】
１…シリンドリカルレンズアレイモジュール、２…半導体レーザ装置、３…第一コリメートレンズ、４…ビームローテータ、５…第二コリメートレンズ、６…第一集光レンズ、７…第二集光レンズ、８…台座、１０…ベース部材、２１…筐体、２２…光出射部配置孔、３０…第一コリメートレンズ３１…曲面部、３１Ａ…ビームローテータ側突出部、３１Ｂ…光源側突出部、３２…上フランジ、３３…下フランジ、３２Ａ，３３Ａ…ビームローテータ側突出部、３２Ｂ，３３Ｂ…光源側突出部、４１…入射面、４２…出射面、４３…上面、４４…前フランジ、４５…後フランジ、４４Ａ，４５Ａ…第一コリメートレンズ側突出部、４４Ｂ，４５Ｂ…第二コリメートレンズ側突出部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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