(57)【要約】【課題】簡単かつ安価な構成で、液滴の吐出量を安定させることが可能な液滴吐出装置、電気光学装置、および電子機器を提供することを目的とする。【解決手段】開口部から塗布液を吐出する吐出ヘッドと、当該吐出ヘッドを移動可能に支持するキャリッジとを備えた液滴吐出装置において、前記吐出ヘッド４３を前記キャリッジに固定し、かつ、カートリッジヒータ４６が配設されているヘッド固定治具４４を備えたことにより、塗布液の加熱してその粘度を下げる。【選択図】        図３−３
2005118750.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部から塗布液を吐出する吐出ヘッドと、当該吐出ヘッドを移動可能に支持するキャリッジとを備えた液滴吐出装置において、
前記吐出ヘッドを前記キャリッジに固定し、かつ、発熱体が配設されているヘッド固定治具を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記ヘッド固定治具には、前記吐出ヘッドを挟む位置に一対の前記発熱体が配設されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記ヘッド固定治具には、温度検出手段が配設されており、
前記吐出ヘッドから吐出される塗布液の温度が目標温度となるように、前記温度検出手段の検出結果に基づいて、前記一対の発熱体を制御する温度制御手段を備えたことを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記塗布液の目標温度は、その粘度が略１０ｃｐｓ〜略１５ｃｐｓになるように設定されることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか１つに記載の液滴吐出装置を使用して製造されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
請求項５に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、電気光学装置、および電子機器に関し、詳細には、塗布液の温度制御が可能な液滴吐出装置、電気光学装置、および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液滴吐出装置は、各種電子機器の成膜に利用されている。液滴吐出装置は、吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この吐出ヘッドには、規則的に複数のノズルが形成されている。液滴吐出装置では、これらのノズルから吐出材料（インク）の液滴を吐出することにより、何等かの製品の構成要素となる基板上に吐出材料からなるパターンの描画を行う。
【０００３】
液滴吐出装置では、吐出ヘッドから所定量のインクを基板に対して吐出して供給するが、インクを吐出する手段としては、インクタンクを構成する壁面に複数のノズル開口を形成するとともに、各ノズル開口と対向するように伸縮方向を一致させて圧電素子を配設したものが多く用いられている。この種の圧電素子としては、電極と圧電材料とを交互にサンドイッチ上に積層したものが提案されており、吐出ヘッドのキャビティ（インク溜まり）内にインクが圧電素子の変形により生じた圧力波によって吐出される構成となっている。
【０００４】
この種の吐出ヘッドでは、吐出可能なインク粘度に限界があるため、高粘度のインクを吐出することは困難である。そのため、従来、インクを加熱してその粘度を低下させて吐出量の制御を行っている。例えば、供給口を介して圧力室と連通するインクタンクにヒータ（発熱体）を設ける技術（特許文献１）や、吐出ヘッドの内部にヒータを設ける技術（特許文献２）が提案されており、これらの技術を用いて高粘度のインクを吐出可能な粘度まで低粘度化することで、従来では成膜が困難であった工業製品を扱えるようになってきている。
【０００５】
【特許文献１】特開平５−１８１５６２号公報
【特許文献２】特開平９−１６４７０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、インクタンクにヒータを設ける構成では、インクタンクで加熱されたインクが、インク搬送路を通り吐出ヘッドのキャビティに至る間に冷えてしまうため、インクの低粘度状態を維持できないという問題がある。また、吐出ヘッドの製造は高度な精密加工技術が要求されるため、吐出ヘッドの内部にヒータを設ける構成では、その吐出ヘッドの製造が困難でかつ製造コストが大幅にアップしてしまうという問題がある。
【０００７】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡単かつ安価な構成で、液滴の吐出量を安定させることが可能な液滴吐出装置、電気光学装置、および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、開口部から塗布液を吐出する吐出ヘッドと、当該吐出ヘッドを移動可能に支持するキャリッジとを備えた液滴吐出装置において、前記吐出ヘッドを前記キャリッジに固定し、かつ、発熱体が配設されているヘッド固定治具を備えたことを特徴とする。これにより、吐出ヘッドをキャリッジに固定するヘッド固定治具に発熱体を配設しているので、ヘッド固定治具で吐出ヘッド内の塗布液を加温することができ、吐出ヘッド内に発熱体を設ける必要がなく、吐出ヘッドを簡単な構成として製造コストを下げることができると共に、吐出ヘッド内の塗布液を効率的に加熱してその粘度を下げて塗布量を一定に制御することが可能となる。この結果、簡単かつ安価な構成で、塗布液の吐出量を安定させることが可能な液滴吐出装置を提供することができる。
【０００９】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記ヘッド固定治具には、前記吐出ヘッドを挟む位置に一対の前記発熱体が配設されていることが望ましい。これにより、吐出ヘッドを均一に加熱することができる。
【００１０】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記ヘッド固定治具には、温度検出手段が配設されており、前記吐出ヘッドから吐出される塗布液の温度が目標温度となるように、前記温度検出手段の検出結果に基づいて、前記一対の発熱体を制御する温度制御手段を備えたことが望ましい。これにより、塗布液が目標温度になるように温度制御することができる。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記塗布液の目標温度は、その粘度が略１０ｃｐｓ〜略１５ｃｐｓになるように設定されることが望ましい。これにより、塗布液の粘度を理想的にすることができ、吐出ヘッドの高周波駆動や間欠時間の短縮等が可能となる。
【００１２】
また、本発明の好ましい態様によれば、電気光学装置は、本発明の液滴吐出装置を使用して製造されることが望ましい。これにより、高精度かつ低製造コストで製造された電気光学装置を提供することができる。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様によれば、電子機器は、本発明の電気光学装置を搭載することが望ましい。これにより、高精度かつ低製造コストで製造された電気光学装置を搭載した電子機器を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるものまたは実質的に同一のものが含まれる。なお、以下の実施例においては、電気光学装置として、液晶表示装置および有機ＥＬ表示装置を例示して説明するが、本発明の電気光学装置はこれに限られるものではない。
【実施例】
【００１５】
［液滴吐出装置］
図１は、本発明に係る液滴吐出装置１の全体構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１は、図１に示すように、基板１０の表面に塗布液１１を吐出する吐出ヘッドユニット１２を有する液滴吐出手段１３と、吐出ヘッドユニット１２と基板１０との位置を相対的に移動させる移動手段１４と、液滴吐出手段１３および移動手段１４を制御する制御手段１５とを具備している。
【００１６】
移動手段１４は、ステージ１６上に載置された基板１０の上方に、吐出ヘッドユニット１２の吐出ヘッドを下方側に向けて支持すると共に移動自在のステージ１８によりＸ軸方向に移動自在のヘッド支持部（キャリッジ）１７と、上方の吐出ヘッドユニット１２に対して基板ステージ１６と共に基板をＹ軸方向に移動させるステージ駆動部１９とから構成されている。
【００１７】
ヘッド支持部１７は、吐出ヘッドユニット１２を基板１０に対してその鉛直軸方向（Ｚ軸）に任意の移動速度で移動可能且つ位置決め可能な例えばリニアモータ等の機構と、鉛直軸を中心に吐出ヘッドユニット１２を回転させることによって下方の基板１０に対して任意な角度に設定可能なステッピングモータ等の機構とを備えたものである。
【００１８】
ステージ駆動部１９は、鉛直軸を中心に基板ステージ１６を回転させて上方の吐出ヘッド４３に対して任意な角度に設定可能なθ軸ステージ２０と、基板ステージ１６とを吐出ヘッド４３に対して水平方向（Ｙ方向）に移動させ且つ位置決めするステージ２１とを備えている。なお、θ軸ステージ２０は、ステッピングモータ等から構成され、ステージ２１はリニアモータ等から構成されている。
【００１９】
液滴吐出手段１３は、吐出ヘッドユニット１２とこれにチューブ２２を介して接続されたタンク２３とを備えている。タンク２３は塗布液１１を貯留し、チューブ２２を介してこの塗布液１１を吐出ヘッドユニット１２に供給するものとなっている。塗布液１１としては、有機ＥＬ材料が用いられることができる。このような構成によって液滴吐出手段１３は、タンク２３に貯留された塗布液１１を吐出ヘッドから吐出し、これを基板１０上に塗布するようにしている。吐出ヘッドは、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮し、その圧力で液滴（液状材料）を吐出させるものであり、長手方向に沿って一列又は複数列に配列された複数のノズル(ノズル孔)を有している。
【００２０】
図２は、塗布液１１の一例であるＰＥＤＴ／ＰＳＳ（Polyethylenedioxy-thiophene Polystyrene-sulfonate）インクの粘度−温度特性を示す図である。このＰＥＤＴ／ＰＳＳは、例えば、有機ＥＬ表示装置の正孔／輸送層や有機ＴＦＴ表示装置の有機ＴＦＴ層の成膜等に使用することができる。同図において、横軸は温度、縦軸は粘度を示している。同図に示すように、ＰＥＤＴ／ＰＳＳインクは、温度上昇とともに粘度低下が見られる。本実施例では、この性質を利用し、吐出ヘッド４３を加温してインクの粘度を低下させて印字を行う。より具体的には、インクの理想粘度は略１０ｃｐｓ〜略１５ｃｐｓであるので、ＰＥＤＴ／ＰＳＳインクの場合は、略４０〜略５０度になるように吐出ヘッドユニット１２を加温する。
【００２１】
図３は、吐出ヘッドユニット１２の構成を説明するための図であり、図３−１は、吐出ヘッドユニット１２の概略の平面図、図３−２は図３−１のＡ−Ａ断面図、図３−３は図３−２のＢ−Ｂ断面図を示している。なお、図３−１、図３−２では、吐出ヘッドおよび塗布液導入部の詳細な構造の図示は省略し概略の断面構造を示しており、吐出ヘッドの詳細な断面構造は図４で説明する。吐出ヘッドユニット１２は、図３に示すように、２連の接続針４１ａを有する塗布液導入部４１と、塗布液導入部４１に連なるヘッド基板４２と、塗布液導入部４１の下方に連なり、内部に塗布液１１で満たされるヘッド内流路が形成された吐出ヘッド４３と、吐出ヘッド４３のノズル形成面を下面に突出させて、吐出ヘッド４３を支持体（キャリッジ）１７に固定するヘッド固定治具４４と、２連の接続針４１ａの貫通口が形成されており、塗布液導入部４１を覆いその下側がヘッド固定治具４４に固定されるフード４５とを備えている。
【００２２】
ヘッド基板４２には、一対のカートリッジヒータ（発熱体）４６の温度制御を行う温度制御手段５０が搭載されている。ヘッド固定治具４４には、吐出ヘッド４３を挟む両側に一対のヒータ装着溝４４ａが長手方向に平行に形成されており、この一対のヒータ装着溝４４ａには、一対の四角棒状のカートリッジヒータ４６が装着されている。また、ヘッド固定治具４４には、一対のヒータ装着溝４４ａと平行でかつその一方のヒータ装着溝４４ａの内側にセンサ装着溝４４ｂが形成されており、このセンサ装着溝４４ｂには、熱電対やサーミスタ等からなる円棒状の温度センサ（温度検出手段）４７が装着されている。このように、ヘッド固定治具４４に一対のカートリッジヒータ４６と温度センサ４７を設けて、吐出ヘッド４３内の塗布液１１を外部から加熱している。これにより、吐出ヘッド４３内にヒータやセンサを設ける構成に比して、吐出ヘッド４３の製造が簡単となり、低コストかつ簡単な構成で吐出ヘッド４３内の塗布液１１を加熱することができる。
【００２３】
図４は、吐出ヘッド４３の構成を説明するための図であり、図４−１は、吐出ヘッド４３の分解斜視図、図４−２は、吐出ヘッド４３の断面図である。図４−１、図４−２に示すように、吐出ヘッド４３は、例えばステンレス製のノズルプレート３１と振動版３２とを備え、仕切り部材（リザーバプレート）３３を介して両者を接合したものである。ノズルプレート３３と振動板３２との間には、仕切り部材によって複数の空間３４と液溜まり３５とが形成されている。各空間３４と液溜まり３５の内部は塗布液１１(図示せず)で満たされており、各空間３４と液溜まり３５とは供給口３６を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート３１には、各空間３４から塗布液１１を噴射するための微小孔のノズル３７が長手方向に沿って一列または複数列形成されている。一方、振動板３２には、液溜まり３５に塗布液１１を供給するための孔３７ａが形成されている。
【００２４】
振動板３２の空間に対向する面と反対側の面上には、図４−１、図４−２に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）３８が接合されている。この圧電素子３８は、図４−２に示すように一対の電極３９，３９の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するように撓曲するようになっている。そして、このような構成のもとに圧電素子３８が接合されている振動板３２は、圧電素子３８と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間３４の内部容積が増大するようになっている。したがって、空間３４内に増大した容積分に相当する液状材料が液溜まり３５から供給口３６を介して流入する。また、このような状態から圧電素子３８への通電を解除すると、圧電素子３８と振動板３２とは共に元の形状に戻る。したがって、空間３４も元の容積に戻ることから、空間内部の塗布液１１の圧力が上昇し、ノズル３７から基板１０に向けて液状材料の噴霧状液滴が吐出される。
【００２５】
なお、吐出ヘッド４３の方式としては、上述したような圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、超音波モータ，リニアモータ等により、振動を付与し、またはタンク内に圧力を印加することにより、上記ノズル３７から塗布液１１を射出させるようにしてもよい。
【００２６】
上記制御手段１５は、装置全体の制御を行うマイクロプロセッサ等のＣＰＵや、各種信号の入出力機能を有するコンピュータ等によって構成されたものであり、図１に示したように、液滴吐出手段１３および移動手段１４にそれぞれ電気的に接続されたことにより、液滴吐出手段１３による吐出動作、および移動手段１４による移動動作を制御するものとなっている。そして、このような構成により、塗布液１１の吐出条件を調整し、形成する薄膜の塗布量を制御するようにしている。
【００２７】
すなわち、制御手段１５は、上記塗布量を制御する機能として、基板１０に対する液状吐出液の吐出間隔を調整する制御機能と、１ドットあたりの液状吐出液の吐出量を調整する制御機能と、ノズルの配列方向と移動機構による移動方向との角度（θ）を調整する制御機能と、基板１０上を複数の領域に分けて各領域に吐出条件を設置する制御機能とを備えている。
【００２８】
さらに、制御手段１５は、上記吐出間隔を調整する制御機構として、基板１０と吐出ヘッド４３との相対的な移動の速度を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、移動手段１４における吐出の時間間隔を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、複数のノズル３７のうち同時に塗布液１１を吐出させるノズル３７を任意に設定して吐出間隔を調整する制御機能とを備えている。なお、上記構成に代えて、吐出ヘッド４３にＸ軸、Ｙ軸に移動する手段を持たせてもよいし、ステージ１６，２０又は２１にＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に移動する手段を持たせてもよい。
【００２９】
図５は、液滴吐出装置１の制御系を簡易的に示す図である。吐出ヘッド４３には、インクタンク２３に貯溜された塗布液１１がチューブ２２内のインク経路を介して供給される。制御手段１５は、吐出ヘッド４３に設けられた圧電素子３８に対して、所定量の塗布液１１を吐出するための駆動電圧をノズル３７毎にそれぞれ印加する。他方、ヘッド固定治具４４に設けられた温度センサ４７は、温度検出結果を温度制御手段５０に出力するように構成されている。温度制御手段５０は、温度センサ４７の温度検出結果に基づいて、ヘッド固定治具４４に設けられた一対のヒータ４６を、各々独立してＯＮ／ＯＦＦ制御や電流制御を行って、塗布液１１の目標温度に対応した温度センサ４７の出力目標値となるように制御する。
【００３０】
温度センサ４７の出力の目標値は、ヘッド固定治具４４と吐出ヘッド４３内の塗布液１１との温度差を考慮して、塗布液１１の目標温度よりも高めに設定する。塗布液１１の目標温度は、塗布液１１の粘度が略１０ｃｐｓ〜略１５ｃｐｓになるように設定する。例えば、塗布液１１を４０度としたい場合には、温度センサの出力の目標値を６０度とする。具体的には、ヘッド固定治具４４に設けられた温度センサ４７の検出温度と、吐出ヘッド４３から吐出される塗布液１１の温度との相関関係のデータを温度制御手段５０に予め記憶しておき、温度制御手段５０は、塗布液１１の目標温度に対して、温度センサ４７の出力の目標値を設定する。また、温度制御手段５０は、複数のインクの目標温度に対する温度センサ４７の出力目標値を記憶しておき、不図示の操作部でインクの種類を入力し、入力されたインクの種類に応じて、温度センサ４７の出力目標値を設定することにしても良い。
【００３１】
以上説明したように、本実施例によれば、吐出ヘッド４３を支持体（キャリッジ）１７に固定するヘッド固定治具４４に発熱体であるカートリッジヒータ４６を配設しているので、ヘッド固定治具４４で吐出ヘッド４３内の塗布液１１を加温することができ、吐出ヘッド４３内に発熱体を設ける必要がなく、吐出ヘッド４３を簡単な構成として製造コストを下げることができると共に、吐出ヘッド４３内の塗布液１１を効率的に加熱してその粘度を下げて塗布量を一定に制御することが可能となる。付言すると、塗布液１１を略一定の温度条件に保持して、塗布液１１を一定の粘度にすることができ、１ドット当たりの液滴の重量、対象物に着弾した機能性液体の曲率などを高い精度で管理できる。また、塗布液１１の粘度を低下させているので、ノズル３７の目詰まりを解消できると共に、高周波駆動を行うことができ、印字時間を短縮することが可能となる。
【００３２】
また、ヘッド固定治具４４には、吐出ヘッド４３を挟む位置に一対のカートリッジヒータ４６を配設しているので、吐出ヘッド４３を均一に加熱することができる。また、ヘッド固定治具４４には、温度センサ４６を配設し、温度制御手段５０は、吐出ヘッド４３から吐出される塗布液１１の温度が目標温度となるように、温度センサ４６の検出結果に基づいて、一対のカートリッジヒータ４６を制御することとしたので、塗布液１１が目標温度（目標粘度）になるように温度制御することができる。
【００３３】
また、塗布液１１の目標温度を、その塗布液１１の粘度が略１０ｃｐｓ〜略１５ｃｐｓになるように設定することとしたので、塗布液の粘度を理想的にすることができる。なお、インクタンク２３およびチューブ２２のインク供給路に、それぞれ温度センサおよびヒータを設けて、インクタンク２３およびインク供給路の塗布液１１の温度制御を行うことにしても良い。
【００３４】
［電気光学装置への適用例］
上記の液滴吐出装置１を液晶表示装置の製造に適用した場合について説明する。図６は、液晶表示装置１００の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置１００は、ガラス基板を主体として対向面に透明導電膜（ＩＴＯ膜）１０３および配向膜１０４を形成した上基板１０１および下基板１０２と、この上下両基板１０１、１０２間に介設した多数のスペーサ１０５と、上下両基板１０１、１０２間を封止するシール材１０６と、上下両基板１０１、１０２間に充填した液晶１０７とで構成されると共に、上基板１０１の背面に位相基板１０８および偏光板１０９を積層し、且つ下基板１０２の背面に偏光板１０９およびバックライト１１０を積層して構成されている。
【００３５】
通常の製造工程では、それぞれ透明導電膜１０３のパターニングおよび配向膜１０４の塗布を行って上基板１０１および下基板１０２を別々に作製した後、下基板１０２にスペーサ１０５およびシール材１０６を作り込み、この状態で上基板１０１を貼り合わせる。次いで、シール材１０６の注入口から液晶１０７を注入し、注入口を閉止する。その後、位相基板１０８、両偏光板１０９およびバックライト１１０を積層する。
【００３６】
本実施例の液滴吐出装置１は、例えば、スペーサ１０５の形成や、液晶１０７の注入に利用することができる。具体的には、塗布液１１として、セルギャップを構成するスペーサ材料（例えば、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂）や液晶を導入し、これらを所定の位置に均一に吐出（塗布）させていく。先ずシール材１０６を環状に印刷した下基板１０２を基板ステージ１６にセットし、この下基板１０２上にスペーサ材料を粗い間隔で吐出し、紫外線照射してスペーサ材料を凝固させる。次に、下基板１０２のシール材１０６の内側に、液晶１０７を所定量だけ均一に吐出して注入する。その後、別途準備した上基板１０１と、液晶を所定量塗布した下基板１０２を真空中に導入して貼り合わせる。
【００３７】
このように、上基板１０１と下基板１０２とを貼り合わせる前に、液晶１０７をセルの中に均一に塗布（充填）するようにしているため、液晶１０７がセルの隅など細部に行き渡らない等の不具合を解消することができる。
【００３８】
なお、機能液（シール材用材料）として紫外線硬化樹脂或いは熱硬化樹脂を用いることで、上記のシール材１０６の印刷をこの液滴吐出装置１で行うことも可能である。同様に、機能液（配向膜材料）としてポリイミド樹脂を導入することで、配向膜１０４を液滴吐出装置１で作成することも可能である。
【００３９】
以上のように、液滴吐出装置１を用いて液晶表示装置１００を製造する場合、上記した液滴吐出装置１では、塗布液１１を一定の温度に加熱して、その粘度を一定の低粘度とすることにより、塗布量を一定に制御できるので、高精度に液晶表示装置１００を製造することができる。
【００４０】
ところで、このように構成された液滴吐出装置１は、上記の液晶表示装置１００の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。
【００４１】
有機ＥＬ装置の製造に、上記した液滴吐出装置１を応用した例を簡単に説明する。図７は、有機ＥＬ装置２００の断面構造を表している。有機ＥＬ装置２００は、図７に示すように、基板２０２、回路素子部２０３、画素電極２０４、バンク部２０５、発光素子２０６、陰極２０７（対向電極）、および封止用基板２０８から構成された有機ＥＬ素子２０１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部２０３は基板２０２上に形成され、複数の画素電極２０４が回路素子部２０３上に整列している。そして、各画素電極２０４間にはバンク部２０５が格子状に形成されており、バンク部２０５により生じた凹部開口２０９に、発光素子２０６が形成されている。陰極２０７は、バンク部２０５および発光素子２０６の上部全面に形成され、陰極２０７の上には、封止用基板２０８が積層されている。
【００４２】
有機ＥＬ装置２００の製造工程では、予め回路素子部２０３上および画素電極２０４が形成されている基板２０２上の所定の位置にバンク部２０５が形成された後、発光素子２０６を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子２０６および陰極２０７（対向電極）を形成される。そして、封止用基板２０８を陰極２０７上に積層して封止して、有機ＥＬ素子２０１を得た後、この有機ＥＬ素子２０１の陰極２０７をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部２０３の配線を接続することにより、有機ＥＬ装置２００が製造される。
【００４３】
液滴吐出装置１は、発光素子２０４の形成に用いられる。具体的には、吐出ヘッド４３に発光素子材料（塗布液１１）を導入し、バンク部２０５が形成された基板２０２の画素電極２０４の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子２０６を形成する。なお、上記した画素電極２０４や陰極２０７の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、液滴吐出装置１を利用して作成することも可能である。
【００４４】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられ、上記液晶表示装置や有機ＥＬエレクトロルミネッセンス装置の他、有機ＴＦＴ装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電子放出表示装置（Field Emission DisplayおよびSurface-Conduction Electoron-Emitter Display等）、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置、エレクトロミック調光ガラス装置、電子ペーパー装置等に広く適用することができる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、液滴の塗布量の一定制御、液滴の高周波駆動、間欠時間の短縮等ができるので、製造コストの削減と高精度の成膜を行うことが可能となる。
【００４５】
［電子機器への適用例］
次に、本発明に係る電気光学装置を適用可能な電子機器の具体例について図８を参照して説明する。図８−１は、本発明に係る電気光学装置を可搬型のパーソナルコンピュータ（いわゆるノート型パソコン）３００の表示部に適用した例を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ３００は、キーボード３０１を備えた本体部３０２と、本発明に係る電気光学装置を適用した表示部３０３とを備えている。図８−２は、本発明に係る電気光学装置を携帯電話機４００の表示部に適用した例を示す斜視図である。同図に示すように、携帯電話機４００は、複数の操作ボタン４０１のほか、受話口４０２、送話口３０３とともに、本発明に係る電気光学装置を適用した表示部４０４を備えている。
【００４６】
本発明に係る電気光学装置は、上述した携帯電話機やノートパソコン以外にも、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、およびＰＯＳ端末機などの電子機器に広く適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明に係る液滴吐出装置は、工業上の各種分野の成膜に広く利用することができる。また、本発明に係る電気光学装置は、有機ＥＬエレクトロルミネッセンス、液晶表示装置、有機ＴＦＴ装置、プラズマディスプレイ装置、電気泳動表示装置、電子放出表示装置（Field Emission DisplayおよびSurface-Conduction Electoron-Emitter Display等）、ＬＥＤ（ライトエミッティングダイオード）表示装置、エレクトロミック調光ガラス装置、および電子ペーパー装置の電気光学装置に広く利用可能である。また、本発明に係る電子機器は、携帯電話機、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、およびＰＯＳ端末機などの電子機器に広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】実施例に係る液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図。
【図２】塗布液の一例であるＰＥＤＴ／ＰＳＳインクの粘度−温度特性を示す図。
【図３−１】実施例に係る吐出ヘッドユニットの平面図。
【図３−２】実施例に係る吐出ヘッドユニットのＡ−Ａ断面図。
【図３−３】実施例に係る吐出ヘッドユニットのＢ−Ｂ断面図。
【図４−１】実施例に係る吐出ヘッド分解斜視図。
【図４−２】実施例に係る吐出ヘッドの断面図。
【図５】実施例に係る液滴吐出装置の制御系を簡易的に示す図。
【図６】実施例に係る液晶表示装置の断面構造を示す図。
【図７】実施例に係る有機ＥＬ表示装置の断面構造を示す図。
【図８−１】実施例に係る電気光学装置を備えたパソコンの斜視図。
【図８−２】実施例に係る電気光学装置を備えた携帯電話機の斜視図。
【符号の説明】
【００４９】
１０  インクジェット装置、１１  塗布液、１２  吐出ヘッドユニット、１３  液滴吐出手段、１４  移動手段、１５  制御手段、１６  基板ステージ、１７  ヘッド支持部  １８  ステージ、１９  ステージ駆動部、２０  θ軸ステージ、２１  ステージ、２２  チューブ、２３  タンク、３１  ノズルプレート、３２  振動版、３３  仕切り部材（リザーバプレート）、３４  空間、３５  液溜まり、３６  供給口、３７  ノズル、３７ａ  ノズル孔、３８  圧電素子（ピエゾ素子）、３９  電極、４１  塗布液導入部、４２  ヘッド基板、４３  吐出ヘッド、４４  ヘッド固定治具、４５  フード、４６  カートリッジヒータ（発熱体）、４７  温度センサ、１００  液晶表示装置、１０１  上基板、１０２  下基板、１０３  透明導電膜（ＩＴＯ膜）、１０４  配向膜、１０５  スペーサ、１０６  シール材、１０７  液晶、１０８  位相基板、１０９  偏光板、１１０  バックライト、２００  有機ＥＬ装置、２０１  有機ＥＬ素子、２０２  基板、２０３  回路素子部、２０４  画素電極、２０５  バンク部、２０６  発光素子、２０７  陰極（対向電極）、２０８  封止用基板、２０９  凹部開口、３００  パーソナルコンピュータ、３０１  キーボード、３０２  本体部、３０３  表示部、４００  携帯電話機、４０１  操作ボタン、４０２  受話口、４０３  送話口、４０４  表示部
【図１】
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【図２】
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【図３−１】
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【図３−２】
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【図３−３】
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【図４−１】
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【図４−２】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８−１】
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【図８−２】
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