(57)【要約】【課題】  溶湯を超急冷する工程は従来どおりでありながら別の異方性化手段を用いることで薄帯中の硬磁性相を異方性化する製造方法を提供し、かつこれにより従来より格段に磁気特性の高い異方性交換スプリング磁石材料を提供する。【解決手段】  磁石合金を超急冷法によりアモルファスの組織を有する薄帯とする工程と、前記薄帯の表面にこの薄帯とは組成が異なる皮膜を被覆する工程と、この皮膜を被覆した薄帯に熱処理を行う工程からなることを特徴とする異方性交換スプリング磁石材料の製造方法。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石合金を超急冷法によりアモルファスの組織を有する薄帯とする工程と、前記薄帯の表面にこの薄帯とは組成が異なる皮膜を被覆する工程と、この皮膜を被覆した薄帯に熱処理を行う工程からなることを特徴とする異方性交換スプリング磁石材料の製造方法。
【請求項２】
前記薄帯と組成が異なる皮膜とは、スパッタリング法、真空蒸着法、収着法により被覆された金属皮膜であることを特徴とする請求項１に記載の異方性交換スプリング磁石材料の製造方法。
【請求項３】
薄帯形状の異方性交換スプリング磁石材料であって、前記異方性交換スプリング磁石材料の表面にこの磁石材料とは組成が異なる皮膜が被覆されており、かつ薄帯内部の硬磁性相の結晶軸が配向していることを特徴とする異方性交換スプリング磁石材料。
【請求項４】
請求項３に記載の薄帯形状の異方性交換スプリング磁石材料を粉砕して得られた粉末形状の異方性交換スプリング磁石材料であって、粉末内部の硬磁性相の結晶軸が配向していることを特徴とする異方性交換スプリング磁石材料。
【請求項５】
前記異方性交換スプリング磁石材料はＲ−Ｔ−Ｂ系（ただし、ＲはＹを含めた希土類元素の１種または２種以上の元素でありNdを必ず含む、Ｔは、ＦｅまたはＦｅとＣｏ、不可避の不純物を含む）の硬磁性相、またはＲ’−Ｔ（−Ｎ）系（Ｒ’はＹを含めた希土類元素の１種または２種以上でありSmを必ず含む、ＴはＦｅまたはＦｅとＣｏ、不可避の不純物を含む）の硬磁性相を有することを特徴とする請求項３または４に記載の異方性交換スプリング磁石材料。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は広範囲な磁石応用品分野、例えば各種の回転機、静電現像方式のプリンタや複写機等に用いるマグネットロール、ボイスコイルモータやリニアモータ等に代表される各種のアクチュエータ、音響用スピーカ、ブザー、センサー、吸着又は磁界発生用磁石等に有用であり、Nd2Fe14BやSmFe7Nx等の硬磁性相、α-Fe相やFe3B相等の軟磁性相とする異方性交換スプリング磁石材料とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
エレクトロニクス機器の小型・軽量化に対応して、永久磁石材料の高性能化が進められている。希土類元素（Ｒ）、遷移金属（Ｔ）を使用したボンド磁石はフェライト焼結磁石に比べて形状自由度に富み、加工性に優れ、高い磁気特性を有することから、今後各種磁石応用品分野への採用が検討されている。従来のＲ−ＴＭ−Ｂ系またはR’-ＴＭ-Ｎ系等の超急冷薄帯は、薄帯のほぼ全体が硬磁性相であり、結晶粒の結晶格子が部分的に配向したものもあるが、磁石特性として十分な保磁力を有したものはない。現在、最高の磁石特性を有するＲ−ＴＭ−Ｂ系磁石の磁気特性を上回る可能性のある材料の一例として、交換スプリング磁石が挙げられる。交換スプリング磁石は、特許文献１等に記載されるように硬磁性相と軟磁性相の二相からなる超微細結晶組織で構成される永久磁石であり、磁化の大きい軟磁性相と保磁力の大きい硬磁性相とを組み合わせ、これらを交換相互作用により磁気的に結合させることで高いエネルギ−積を得ようというものである。一般的な製造方法として、Ｒリッチな組成の溶湯が回転冷却ロール上に噴出され、急冷凝固された薄帯となる。この薄帯が熱処理されることで薄帯の組織が硬磁性相と軟磁性相に分離され、交換スプリング型磁石の原料となる。これら薄帯は粉砕後、樹脂と混合・成形され、ボンド磁石として使用される。
【０００３】
交換スプリング磁石においては、R.Skomski and J.M.D.Coey:Phys.Rev.B,48,812 (1993)に述べられているように理論的にはBHmaxがNd2Fe14Bの理論値６４MGOeを超える可能性があるのにもかかわらず、異方性化できていないためにその潜在能力を十分に発揮できていない。例えば、特許文献２では、その異方性化の手段として、内部に永久磁石を埋め込んだ回転金属ロールを用いて溶湯を急冷凝固すること、溶湯を噴出するノズルと回転金属ロール間に磁界を印加させることが記載されており、これにより異方性化された磁石粉ができるとしている。
【特許文献１】特開２００３−２８６５４８号公報（（００２３）〜（００２６）、図１）
【特許文献２】特開２００３−２３４２０４号公報（（０００８）、図１）
【非特許文献１】R.Skomski and J.M.D.Coey:Phys.Rev.B,48,812 (1993)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献２の実施例では、その異方性化された磁石粉を用いることで、特性最大エネルギ積が３００ｋＪ／ｍ3のボンド磁石が製造できると記載されている。しかしながら、溶湯の超急冷は超短時間で行われるため、溶湯の超急冷中に磁場が印加されても磁場に対する応答ができるか不明であり、安定した特性の磁粉や高特性の磁粉が製造できるかどうかは疑問の余地がある。
よって、本発明が解決しようとする課題は、溶湯を超急冷する工程は従来どおりでありながら別の異方性化手段を用いることで薄帯中の硬磁性相を異方性化する製造方法を提供し、かつこれにより従来より格段に磁気特性の高い異方性交換スプリング磁石材料を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決した本発明の異方性交換スプリング磁石材料の製造方法は、磁石合金を超急冷法によりアモルファスの組織を有する薄帯とする工程と、前記薄帯の表面にこの薄帯と組成が異なる皮膜を被覆する工程と、この皮膜を被覆した薄帯に結晶化のための熱処理を行う工程からなることを特徴とするものである。
この製造方法を用いることで、薄帯形状の異方性交換スプリング磁石材料であって、前記異方性交換スプリング磁石材料の表面にこの磁石材料の組成とは異なる組成の皮膜が被覆されており、かつ薄帯内部の硬磁性相の結晶軸が配向していることを特徴とするものが得られる。また、この薄帯形状の異方性交換スプリング磁石材料を粉砕することで、粉末内部の硬磁性相の結晶軸が配向している粉末形状の異方性交換スプリング磁石材料が得られる。
【０００６】
薄帯の表面に被覆する皮膜としては、例えばTi,Mo.Ta,Nb,Cr,W等が適用できる。その被覆手段としては、スパッタリング法、真空蒸着法、収着法等がある。薄帯表面の皮膜の厚みは5nm〜5umが好ましく、薄帯全体を包むように存在するものである。
【０００７】
異方性交換スプリング磁石材料はＲ−Ｔ−Ｂ系（ただし、ＲはＹを含めた希土類元素の１種または２種以上の元素でありNdを必ず含む、Ｔは、ＦｅまたはＦｅとＣｏ、不可避の不純物を含む）の硬磁性相、またはＲ−Ｔ（−N）系（ただし、ＲはＹを含めた希土類元素の１種または２種以上の元素でありSmを必ず含む、ＴはＦｅまたはＦｅとＣｏ、不可避の不純物を含む）の硬磁性相を有するものが有用である。ここでＲ’−Ｔ（−N）系としたが、窒化前では窒素は含有されていない。後述するＲ含有量は窒化前の範囲を記載したものである。本発明はR2T14B系またはR’T7Nx系結晶粒の結晶軸を一方向に配向させることを可能にし、従来より磁気特性の高い異方性交換スプリング型磁石を得ることができる。
【０００８】
この異方性交換スプリング磁石材料の薄帯かまたは薄帯を粉砕して粉末にした磁粉に樹脂などを混合してコンパウンドとし、例えば磁場中で圧縮成形することで、磁気特性が従来より格段に高いボンド磁石を製造することができる。この磁石には磁石原料として異方性化された薄帯またはこの薄帯を粉砕して粉末状にした磁粉、およびバインダーが含まれ、磁石原料はボンド磁石中に分散されている。成形時に磁場を印加することにより個々の磁石原料が回転して磁化容易軸（ｃ軸）が高配向し、磁気特性の高い異方性磁石を製造することができる。磁粉は薄帯を粉砕して得られるため、磁粉には被膜が一部残存することになる。磁粉の粒径を細かくすれば、この皮膜が残っている粒子と、皮膜がない粒子が混合することもある。よってある程度の数量の粒子を観察すれば、本発明に該当するか否か判別することは可能である。耐食性を向上させるために磁粉の表面全体にさらに別の被覆・化成処理を施すこともあるが、これも本発明の範囲に該当するものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、アモルファス急冷薄帯表面をこの薄帯の組成と異なる物質で被覆し、その後熱処理により結晶化させることにより、良好な磁気特性を有する異方性R-T-B系またはR’-T（-N）系磁石用原料、及びそれを配合してなる高性能の異方性ボンド磁石を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の異方性交換スプリング磁石材料は超急冷法によって作製される。超急冷法としてＣｕやＦｅ製などの冷却ロールが用いられる。ロール周速度を早めることで冷却速度を大きくすることができる。まず、この冷却ロールを回転させ、所望の組成の磁石用合金溶湯を冷却ロール上に噴出し、アモルファス構造の薄帯を作成する。薄帯の平均厚みは10〜50μｍが好ましい。厚みが10μｍ未満では、ボンド磁石として成形した成形体の密度が低下し(BH)maxが低下する。50μmより厚い場合は、後述する熱処理の工程において薄帯内部の配向が乱れるため、(BH)max が低下する。
次にこの薄帯の表面に薄帯の組成と異なる皮膜を被覆する。この薄帯表面を覆う皮膜の厚みは5nm〜5μmが好ましい。薄帯が5nmより薄いと後述する熱処理の工程において薄帯の配向性が低下し、5μmより厚いと磁性相の体積比率が減少するため、ともに(BH)maxが低下する。皮膜としては、例えばTi,Mo.Ta,Nb,Cr等が望ましい。
皮膜にて薄帯を被覆後、熱処理により微細結晶化を行い、薄帯中に硬磁性相あるいはαＦｅ等の軟磁性相の結晶を育成させる。この薄帯中の結晶粒径は1nmから30nmとするのが好ましい。1nm以下では超常磁性のため保磁力が低下し、30nm以上では保磁力と角型性が悪化し(BH)maxが低下する。この結晶粒径を実現させるためには、急冷後の薄帯はアモルファスであること、結晶化の熱処理温度と時間を制御し、粗大結晶粒の生成を抑制することが肝要である。熱処理条件は不活性ガス中あるいは真空中にて温度が300〜800℃、好ましくは600〜700℃であり、保持時間は1〜60分程度が望ましい。
硬磁性相がR’-T-N系の場合は、熱処理後に窒化処理を施すことが必要である。窒化は窒素中、あるいはアンモニアと水素の混合ガス中で350〜500℃で熱処理することで成される。
【００１１】
以下に本発明の薄帯の組成限定理由を説明する。％と単に記しているのは質量百分率を意味する。
R-T-B系の場合は、Ｒ含有量は15〜30％が好ましく、20〜25％がより好ましい。Ｒ含有量が15％未満では室温のHcJが398kA/m（５kOe）未満になり、30％超では(BH)maxが大きく低下する。ＲはNd,Pr及び不可避的Ｒ成分からなる。Ｙ，Ｃｅ，Ｐｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ及びＬｕの群から選択される少なくとも１種が不可避的Ｒ成分に該当する。Bは0.5%〜5%が好ましい。0.5%未満ではR2T14B相ではなくRT7相またはR2T17相が生成し、HcJが著しく低下する。5%以上では磁化が小さくなり(BH)maxが低下する。
Ｔの一部をＣｏで置換することによりキュリー点、磁化及び耐酸化性が向上するので好ましい。Ｃｏ含有量は0.1〜20％とするのが好ましく、１〜10％とするのがより好ましい。Ｃｏ含有量が0.1％未満では実質的な添加効果を得られず、20％超では磁化の低下が大きくなり好ましくない。
またＴの一部をＴｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ｐｂ、Ａｕから選択される少なくも１種の元素で置換することにより磁気特性や耐食性を向上できるので好ましい。これら元素の含有量の合計は0.5〜10％が好ましい。前記含有量が0.01％未満では実質的に添加効果が得られず、10％超では磁化の低下が顕著になる。
【００１２】
R’-T(-N)系の場合は、窒化前の合金組成が、Ｒ含有量は10〜25％が好ましく、15〜20％がより好ましい。Ｒ含有量が10％未満では室温のHcJが398kA/m（５kOe）未満になり、25％超では磁化の低下により(BH)maxが低下する。ＲはＳｍ，Ｌａ及び不可避的Ｒ成分からなり、Ｌａ含有量は５％以下にするのが好ましく、3％以下にするのがより好ましい。Ｙ，Ｃｅ，Ｐｍ，Ｅｕ，Ｇｄ，Ｔｂ，Ｄｙ，Ｈｏ，Ｅｒ，Ｔｍ，Ｙｂ及びＬｕの群から選択される少なくとも１種が不可避的Ｒ成分に該当する。Ｌａ含有量が５％超では(BH)maxの低下が顕著になる。室温のHcJ≧398kA/m（5kOe）を得るために、Ｒに占めるＳｍ比率を50原子％以上にするのが好ましく、95原子％以上にするのがより好ましい。アモルファス薄帯を低周速度で得るためにBを添加することも可能であるが、添加量は0.5%未満にすることが好ましい。0.5%以上ではR’2T14B相が生成し、(BH)maxが低下する。薄帯中の窒素含有量は2.5〜4.0％が好ましい。窒素含有量が2.5％未満及び4.0％超ではHcJ及び(BH)maxが大きく低下し、有用な磁気特性を得ることが困難になる。
Ｔの一部をＣｏで置換することもできる。またＴの一部をＴｉ、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｈｆ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｔ、Ｐｂ、Ａｕから選択される少なくも１種の元素で置換するも可能である。
【００１３】
本発明の異方性磁粉には製造上混入が避けられないＡｌ，Ｓｉ，Ｆ，Ｎａ，Ｍｇ，Ｃａ及びＬｉの群から選択される少なくとも１種の不可避的不純物元素を合計で５％以下含有することが許容される。また、Ｒ−Ｔ−Ｂ系母合金、Ｒ−Ｔ（−Ｎ）系母合金は、例えば還元/拡散法、高周波溶解法、アーク溶解法など、公知の手段を用いて作製することができる。
【００１４】
本発明の異方性交換スプリング磁石材料内の軟磁性相の体積比率は、本発明の組成範囲では0.1vol%から50vol%となる。硬磁性相、及びα-Ｆｅ等の軟磁性相の同定、並びに各相の面積比率の算出は、電子顕微鏡又は光学顕微鏡等により撮影した異方性磁粉の断面組織写真、電子回折結果、並びにＸ線回折結果等を考慮して求める。例えば、対象とする異方性磁粉粒子の断面組織を撮影した透過型電子顕微鏡写真及びその断面組織の同定結果を符合させて求めることができる。
【００１５】
本発明の異方性交換スプリング磁石材料を用いた磁石は、この磁石材料を粉砕したものと樹脂等のバインダーを混合させたものを磁場中圧縮成形等によって磁石原料を配向させながら圧縮成形し、その後熱硬化処理を行い、配向方向に磁場を印加して着磁することによって得ることができる。
【００１６】
以下実施例により本発明を説明するが、本発明はそれら実施例により限定されるものではない。
（実施例１）
高周波溶解によりNd15-30FebalB1(wt%)の母合金溶湯を作製し、鋳型鋳造した。得られたインゴットをアルゴンガス雰囲気中、1050℃で5時間加熱し、次いで室温まで冷却する均質化熱処理を行った。この合金を液体急冷単ロール法にて超急冷薄帯を得た。ロールはCu製のものを用い、周速度は50m/secとした。これにより、アモルファスの薄帯が作製できた。この薄帯のロールに接触した面（ロール面）とその反対の面（自由面）の両方にスパッタリング法にてTi膜を100nmの厚みとなるように成膜した。次にこのTi膜で覆われた薄帯をArガス中６００℃で５分間、微細結晶化のための熱処理を施した。TEM観察の結果、この熱処理によって微細結晶化されたNd2Fe14B相の平均結晶粒径は10nm、α-Fe相の平均結晶粒径も同じく10nmであることが解った。次に、この薄帯を150μm以下に粉砕した磁粉を用いて圧縮成形によりボンド磁石を成形した。まず、表面処理材としてシランカップリング剤を磁粉重量に対して0.25wt%添加し、混合後乾燥させた。その後、磁粉重量に対してエポキシ樹脂を３wt%混合し、攪拌してコンパウンドとした。この後、このコンパウンドを１４０℃で一次硬化を行い、10kOeの磁場中で６ton/cm2の圧力で金型プレスを行うことによって成形体を得た。更にこの成形体を１７０℃で二次硬化処理を行い、ボンド磁石を得た。この成形体を最大印加磁場20kOeのBHトレーサーで磁場配向方向に平行な方向の磁気特性を測定した。また、磁場配向方向に垂直な方向についても測定した。その結果、磁場配向方向に平行な方向の磁気特性が高いことが確認され、異方性化された交換スプリング磁石が得られていることが解った。
【００１７】
（実施例２）
高周波溶解によりSm10-25Febal(wt%)の母合金溶湯を作製し、鋳型鋳造した。得られたインゴットをアルゴンガス雰囲気中、1100℃で10時間加熱し、次いで室温まで冷却する均質化熱処理を行った。この合金を液体急冷単ロール法にて超急冷薄帯を得た。ロールはCu製のものを用い、周速度は75m/secとした。これにより、アモルファス薄帯が作製できた。次にこの薄帯のロール面と自由面の両方にスパッタリング法にてTi膜を100nmの厚みとなるように成膜した。次にこのTi膜で覆われた薄帯をArガス中６５０℃で５分間、微細結晶化のための熱処理を施した。次に窒素ガス中450℃で１０時間窒化処理を行った。TEM観察の結果、この熱処理によって微細結晶化されたSmFe7Nx相の平均結晶粒径は15nm、α-Fe相の平均結晶粒径も同じく15nmであることが解った。次に、この薄帯を粉砕した磁粉を用いて圧縮成形によりボンド磁石を成形した。まず、表面処理材としてシランカップリング剤を磁粉重量に対して0.25wt%添加し、混合後乾燥させた。その後、磁粉重量に対してエポキシ樹脂を3wt%混合し、攪拌してコンパウンドとした。この後１４０℃で一次硬化を行い、10kOeの磁場中で６ton/cm2の圧力で金型プレスを行うことによって成形体を得た。更にこの成形体を１７０℃で二次硬化処理を行い、ボンド磁石を得た。この成形体を最大印加磁場20kOeのBHトレーサーで磁場配向方向に平行な方向の磁気特性を測定した。また、磁場配向方向に垂直な方向についても測定した。その結果、磁場配向方向に平行な方向の磁気特性が高いことが確認され、異方性化された交換スプリング磁石が得られていることが解った。
【００１８】
（比較例１、２）
実施例１の試料において、薄帯表面にTi膜を成膜しなかった場合のボンド磁石の磁気特性を測定した。磁場配向方向に平行な方向と垂直な方向の磁気特性を測定したが、どちらもほぼ同等の特性が測定され、異方性化されていないことが解った。また、実施例２の試料も同様に異方性化されていないことが解った。