(57)【要約】【課題】絶対距離を精度良く測定できる距離等測定装置を提供する。【解決手段】周波数掃引回路１２で送信信号ｅ１の周波数を変化させ、それを送受信部１３で放射して反射波を受信し、その受信信号ｅ２と等価信号ｅ０とからビート信号出力回路１４でビート信号Ｅ１を抽出し、演算制御回路２１でビート信号Ｅ１から計測距離Ｒｍを求めるため、９０°移相器２３で移相信号Ｅ２を生成し、ビート信号Ｅ１，Ｅ２のサンプリング値Ｅ１（ｉ），Ｅ２（ｉ）から回転位相の漸化式にてビート信号の位相φ（ｉ）を随時求め（位相算出手段２５）、その位相変化率を直線近似式による傾きａで算出し（位相変化率算出手段２６）、さらに回転位相関係式にて計測距離Ｒｍを算出する（距離算出手段２７）。このようにビート周波数の直接算出を行うのでなく位相変化率を算出することにより、絶対距離を精度良く測定することができる。【選択図】        図１
2005010130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
送信信号の周波数を変化させる周波数掃引回路と、前記送信信号を電波や音波などの出射可能な波に変換して外部へ送出するとともにその反射波または透過波を受信する送受信部と、その受信信号と前記送信信号または等価な信号とからビート信号を抽出するビート信号出力回路と、そのビート信号の位相を随時求める位相検出手段とその位相の変化率を周波数掃引毎に一つに纏める位相変化率算出手段とその位相変化率および前記送信信号の周波数変化率から前記波の伝搬距離などのビート周波数対応物理量を求める距離等算出手段とを具備した演算制御回路とを備えている距離等測定装置。
【請求項２】
前記位相変化率算出手段が、前記ビート信号の位相の時間変化を誤差最小で近似する直線の傾きを算出することで前記位相変化率を得るものであることを特徴とする請求項１記載の距離等測定装置。
【請求項３】
前記位相検出手段が、前記ビート信号を入力する移相器を具備していて、その出力信号と前記ビート信号とから前記ビート信号の位相を得るものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載された距離等測定装置。
【請求項４】
前記位相検出手段が、前記ビート信号を入力する移相器と、その出力信号と前記ビート信号とをサンプリングするサンプリング回路と、そのサンプリング時間における前記ビート信号の位相の進み量を算出する位相差算出手段と、その位相進み量を足し合わせて各サンプリング時における前記ビート信号の位相を算出する位相漸化手段とを具えていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載された距離等測定装置。
【請求項５】
前記位相検出手段が、前記ビート信号をサンプリングするサンプリング回路と、位相をずらす移相演算を行って前記サンプリング回路によるサンプリング値から位相の異なる疑似サンプリング値を算出する移相手段と、その疑似サンプリング値と前記サンプリング値とから前記サンプリング回路でのサンプリング時間における前記ビート信号の位相の進み量を算出する位相差算出手段と、その位相進み量を足し合わせて各サンプリング時における前記ビート信号の位相を算出する位相漸化手段とを具えていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載された距離等測定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、波を出射して、それを測定対象の経路に沿って伝搬させ、対象距離の時間的または空間的変化量を非接触測定する距離等測定装置に関する。
例えば、車両の走行時における乗り心地や交通振動に影響する舗装路面の平坦度を非接触に測定する距離測定装置に関する。
また、距離一定条件下での濃度計や流量計、その他のビート周波数対応物理量を測定する装置にも関する。
これらの装置を本明細書では距離等測定装置と呼ぶ。
【０００２】
測定のために出射しうる波は、マイクロ波やミリ波などの電波でも良く、超音波などの音波でも良く、レーザ光などの光波でも良い。
測定原理は、測定用波の周波数を掃引して送受信信号間のビート信号を得、そのビート周波数と伝搬距離等との関係式に基づいてビート周波数対応物理量を算出するものである。
ビート周波数対応物理量としては、絶対距離や、距離が固定されていれば伝搬遅延時間に対応する誘電率、比誘電率に対応している濃度、その他にも、ビート周波数と一対一の対応関係にある物理量や、ビート周波数に基づいて一意に定まる物理量が挙げられる。配管径や流体物性等を一定としたときの流速や流量などもビート周波数対応物理量と言える。
【０００３】
【従来の技術】
図１１（ａ）に概要ブロック図を示した従来の距離測定装置は（例えば特許文献１参照）、周波数掃引して得たビート信号に基づいて距離を測定するために、演算や制御を司り具体的には周波数掃引の状態を制御するための制御電圧Ｅ０を生成する演算制御回路１１と、制御電圧Ｅ０に従って送信信号ｅ１及びこれに等価な等価信号ｅ０の周波数を変化させる周波数掃引回路１２と、電気信号の送信信号ｅ１を出射可能な例えばマイクロ波に変換して外部の路面等の測定対象物９へ送出するとともにその反射波を受信して電気信号の受信信号ｅ２に変換する送受信部１３と、その受信信号ｅ２と等価信号ｅ０とからビート信号Ｅ１を抽出するビート信号出力回路１４とを備えており、さらに演算制御回路１１は、波の伝搬距離Ｒに対応する計測距離Ｒｍをビート信号Ｅ１から演算にて求め、計測距離Ｒｍをディスプレイやレコーダ等の出力部１５に送出するようになっている。
【０００４】
後に詳述するが（或いは特許文献１参照）、周波数掃引時間Ｔで周波数掃引幅Ｂの周波数掃引を直線的に行うと、マイクロ波の伝搬距離Ｒとマイクロ波の波長λとビート周波数ｆｂを用いて、ビート信号Ｅ１の位相φは、時刻ｔのとき、
【数１】
2005010130.tif 000003
となる。
ここでは、ｔの掛かっている第１項すなわち２π×ｆｂを回転位相関係式と呼び、ｔの掛かからない第２項すなわち４π×Ｒ／λを固定位相と呼ぶ。
また、光速ｃと回路内の固定遅延時間τ０も用いて、ビート周波数ｆｂは、
【数２】
2005010130.tif 000004
となる。
【０００５】
図１１（ｂ）にブロック図を示した演算制御回路１１は、計測距離Ｒｍの算出に回転位相関係式を利用するものであり、ビート周波数ｆｂをＦＦＴ（高速フーリエ変換）で求めるようになっている。具体的には、ビート信号Ｅ１を所定周期でサンプリングし、それにＦＦＴの演算を施してパワースペクトルを算出し、更にそのピーク値を与える周波数からビート周波数ｆｂを求めて、上述したビート周波数ｆｂと伝搬距離Ｒとの関係式から、計測距離Ｒｍを算出するようになっている。
【０００６】
この手法では、ビート周波数ｆｂをＦＦＴで求めるため、ビート周波数ｆｂの分解能Δｆｂは、周波数掃引時間Ｔで制限され、Δｆｂ＝１／Ｔである。この値を伝搬距離Ｒの分解能ΔＲで表すと、上述した式より、導出過程は省略するが、ΔＲ＝ｃ／（２×Ｂ）である。例えば、周波数掃引幅Ｂが１．５ＧＨｚという典型的な事例で、ΔＲは１０ｃｍとなる。これでは、それより精密な測定目的には使えない。例えば１ｍｍ〜２ｍｍ程度の分解能を必要とする路面の平坦性測定には用いることができない。
【０００７】
図１１（ｃ）にブロック図を示した演算制御回路１１は（例えば特許文献１参照）、計測距離Ｒｍの算出に固定位相の方を重用するものであり、固定位相項φ０＝４π×Ｒ／λから伝搬距離Ｒの変化量ΔＲを求めるようになっている。具体的には、ビート信号Ｅ１を所定周期でサンプリングし、それと基準の正弦波信号ｓｉｎや余弦波信号ｃｏｓとの積和を演算し、更に比を演算して固定位相φ０を算出し、上述した固定位相項φ０と伝搬距離Ｒとの関係式から、計測距離Ｒｍを算出するようになっている。
【０００８】
この手法では、１ｍｍ以下の分解能で計測することができるが、上述したような算出式では、位相φ０の値を０〜２πの範囲でしか確定できない。例えば、導出過程は省略するが、マイクロ波の周波数が１０ＧＨｚという典型的な事例で、λが３ｃｍのとき、伝搬距離Ｒの変化量ΔＲが採りうる値は、０〜１．５ｃｍである。そのような限られた範囲における相対距離変化量を検出するのである。これでは、それより測定範囲の広い測定目的には使えない。例えば１０ｃｍ以上の高低差を計測しなけばならない路面の平坦性測定には用いることができない。そのため、測定範囲を広げるべく、ビート信号Ｅ１から別途手法で波数変化量を検出し、これと相対距離変化量とを組み合わせて全計測距離Ｒｍを求めることも、行われている（特許文献１参照）。
【０００９】
【特許文献１】特開２００１−４７４１号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような波数検出と固定位相検出とを組み合わせた距離測定手法では、測定精度は高いが、固定位相検出のための演算量が多いうえ、波数検出を安定して行うのが難しい。このため、それより分解能が多少劣っていても、安直に絶対距離を得ることのできる距離測定装置の方が、利用範囲も広く、低価格化も期待できて、実用化に適しており、具現化が望まれる。かかる観点からは、回転位相関係式を利用する手法の方が、安定して絶対距離が得られるので、実用化に適している。とはいえ、ビート周波数をＦＦＴ等で直接算出する上述の手法では、精度が粗すぎて、応用が限られる。
【００１１】
そこで、それよりは高い精度・分解能で絶対距離が得られよう、回転位相関係式を利用する手法を改善することが、要請され、課題となる。また、その手法を距離算出以外に応用することも更なる課題となる。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたもので、回転位相関係式を利用するに際してビート周波数の直接算出を行うのでなく位相変化率を算出することにより絶対距離等を精度良く測定しうる距離等測定装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明では位相変化率を算出するが、この位相変化率の分解能は、直接算出のビート周波数と異なり、周波数掃引時間Ｔの支配を受けない。位相変化率とビート周波数は、比例関係にあり、一見では等価に思われるが、算出手法が異なるため、ビート周波数が周波数掃引時間Ｔの逆数で離散的にしか得られないのに対し、位相変化率にはそのような制約が無い。位相変化率は、ビート周波数を間接的に精度良く算出したものである、とも言える。本発明は、このようなビート周波数の間接的算出手法の発見を本旨とするものなので、先ず、位相変化率の算出式の導出過程を説明し、それから本発明の距離等測定装置の構成等を説明する。
【００１３】
上述した図１１（ａ）のハードウェア装備を前提として、周波数掃引にて時刻ｔで周波数ｆになる送信信号ｅ１を
【数３】
2005010130.tif 000005
とおけば、受信信号ｅ２は、
【数４】
2005010130.tif 000006
と表される。ここで、Ａは受信信号レベル、τは送信信号ｅ１が周波数掃引回路１２を出てから受信信号ｅ２がビート信号出力回路１４に入るまでの遅延時間である。送受信部１３における送受信アンテナと測定対象物９との間の伝搬距離Ｒをマイクロ波が往復する遅延時間をτ１とし、回路内の固定遅延時間をτ０とし、光速をｃとすると、遅延時間τは、
【数５】
2005010130.tif 000007
と表される。よって、（４）式は、
【数６】
2005010130.tif 000008
となる。
【００１４】
ここで、等価信号ｅ０を  ｅ０＝ｅ１  に設定すれば、ビート信号出力回路１４では、受信信号ｅ２と等価信号ｅ０とが掛け合わされるので、その積Ｅは、
【数７】
2005010130.tif 000009
となるが、そのうち低周波成分がビート信号出力回路１４によって取り出されるので、第１項は無視でき、ビート信号Ｅ１の式として、
【数８】
2005010130.tif 000010
が得られる。
【００１５】
ここで、中心周波数ｆ０を挟む周波数掃引幅Ｂの周波数掃引が周波数掃引時間Ｔで繰り返し行われていれば、送信周波数ｆは、各周波数掃引毎に、
【数９】
2005010130.tif 000011
と表すことができる。この（９）式を上記（８）式に代入して整理すれば、
【数１０】
2005010130.tif 000012
となる。ここで、
【数１１】
2005010130.tif 000013
であり、ｆｂはビート周波数、λはマイクロ波の波長である。
【００１６】
なお、（１０）式における固定位相項２π・ｆ０・τ０は、ｎを整数として、一般性を失うことなく、２ｎπとおけるので、
【数１２】
2005010130.tif 000014
と表すことができる。
この（１２）式のＥ１は、送信信号ｅ１と受信信号ｅ２とを混合して得られる低周波成分であるビート信号とみなすことができる。
ここで、具体例として、周波数掃引時間Ｔ＝５ｍｓ、周波数掃引幅Ｂ＝１．５ＧＨｚ、中心周波数ｆ０＝１０ＧＨｚとし、伝搬距離Ｒ＝２５ｃｍ、固定遅延時間τ０＝６．３３ｎｓに設定すると、ビート周波数ｆｂ及び波長λは、（１１）式より、  ｆｂ＝３ｋＨｚ，  λ＝３ｃｍ  となる。
【００１７】
また、ビート信号Ｅ１の位相を移相器等で９０°変化させて移相信号Ｅ２を生成すると、その移相信号Ｅ２は、
【数１３】
2005010130.tif 000015
となるが、信号処理の演算をコンピュータで実行し易いよう、これらの信号Ｅ１，Ｅ２を時間刻みΔｔ毎にサンプリングするものとする。そうすると、各周波数掃引においてｉ番目にサンプリングされる信号Ｅ１，Ｅ２のサンプリング値Ｅ１（ｉ），Ｅ２（ｉ）は、ｔ＝ｔｉ＝ｉ・Δｔとおいて、
【数１４】
2005010130.tif 000016
【数１５】
2005010130.tif 000017
【数１６】
2005010130.tif 000018
で表される。
【００１８】
ここで、（１４）式と（１５）式を組み合わせてベクトルＥｉで表せば
【数１７】
2005010130.tif 000019
とおける。ただし、
【数１８】
2005010130.tif 000020
である。
【００１９】
したがって、（１８）式のビート信号の位相φ（ｉ）は、ｉの増加とともに直線的に増加し、その増加の傾きａは、ビート周波数ｆｂに比例している。また、（１１）式から、ビート周波数ｆｂは、伝搬距離Ｒに比例しているので、結局、ビート信号の位相φ（ｉ）において時刻ｔｉに対する直線的変化の傾きａを求めれば、伝搬距離Ｒの計測値である計測距離Ｒｍを得ることができる。
そこで、サンプリング値Ｅ１（ｉ），Ｅ２（ｉ）から傾きａを求める実用的な手順を説明する。
【００２０】
ビート信号の位相φ（ｉ）は時刻ｔｉに対して直線的に変化するので、その傾きをａとし、オフセットをｂとすれば、位相φ（ｉ）は、
【数１９】
2005010130.tif 000021
とおける。ここで、（１８）式より
【数２０】
2005010130.tif 000022
であるから、（１１）式を用いれば、傾きａは、
【数２１】
2005010130.tif 000023
である。
【００２１】
また、（１８）式の位相φ（ｉ）に関して、（ｉ−１）番目のサンプリングとｉ番目のサンプリングとの間における位相φ（ｉ）の変化である位相進み量Δφ（ｉ）は、
【数２２】
2005010130.tif 000024
であるから、両辺のｔａｎをとると、
【数２３】
2005010130.tif 000025
である。ここで、（１７）式から、
【数２４】
2005010130.tif 000026
【数２５】
2005010130.tif 000027
であるから、これらを（２３）式に代入して整理すれば、
【数２６】
2005010130.tif 000028
が得られる。
【００２２】
よって、
【数２７】
2005010130.tif 000029
となる。したがって、（２２）式より
【数２８】
2005010130.tif 000030
において、（２７）式を用いれば
【数２９】
2005010130.tif 000031
の漸化式が得られる。
【００２３】
いま、（２８）式において、ｉ＝１，２，・・・，Ｎとおけば
【数３０】
2005010130.tif 000032
であるので、φ（ｉ）を測定値とすれば、（１９）式の右辺の直線からのずれは雑音によるものであり、誤差をεｉとして
【数３１】
2005010130.tif 000033
が発生する。
【００２４】
よって、求めたい傾きａの値は、（３１）式の誤差εｉの２乗和、すなわち、
【数３２】
2005010130.tif 000034
を最小にするａであるから、最小２乗法を適用すれば
【数３３】
2005010130.tif 000035
【数３４】
2005010130.tif 000036
から
【数３５】
2005010130.tif 000037
【数３６】
2005010130.tif 000038
が得られる。
【００２５】
したがって、（３５）式と（３６）式を解けば、傾きａは、
【数３７】
2005010130.tif 000039
で与えられる。または、
【数３８】
2005010130.tif 000040
の関係式を用いれば、（３７）式は、
【数３９】
2005010130.tif 000041
で与えられる。
【００２６】
よって、（２９）式を用いればサンプリング値Ｅ１（ｉ），Ｅ２（ｉ）からビート信号Ｅ１の位相φ（ｉ）が求められ、これを用いて（３９）式から傾きａが算出できる。したがって、この傾きａから（２１）式を用いれば
【数４０】
2005010130.tif 000042
により、測定対象物９までの伝搬距離Ｒが求められることになる。なお、この（４０）式の値は、実際の伝搬距離Ｒではなく、伝搬距離Ｒの測定値なので、本明細書では区別のため計測距離Ｒｍと呼ぶ。
【００２７】
本発明の距離等測定装置は、かかる考察に基づいて創案されたものであり、送信信号の周波数を変化させる周波数掃引回路と、前記送信信号を電波や音波などの出射可能な波に変換して外部へ送出するとともにその反射波または透過波を受信する送受信部と、その受信信号と前記送信信号または等価な信号とからビート信号を抽出するビート信号出力回路と、次の演算制御回路とを備えたものである。前記演算制御回路は、前記ビート信号の位相を随時求める位相検出手段と、その位相の変化率を周波数掃引毎に一つに纏める位相変化率算出手段と、その位相変化率および前記送信信号の周波数変化率から前記波の伝搬距離などのビート周波数対応物理量を求める距離等算出手段とを具備している。
【００２８】
また、本発明では、前記位相変化率算出手段が、前記ビート信号の位相の時間変化を誤差最小で近似する直線の傾きを算出することで前記位相変化率を得るようになっていても良い。
さらに、前記位相検出手段が、前記ビート信号を入力する移相器を具備していて、その出力信号と前記ビート信号とから前記ビート信号の位相を得るようになっていても良い。
また、前記位相検出手段が、前記ビート信号を入力する移相器と、その出力信号と前記ビート信号とをサンプリングするサンプリング回路と、そのサンプリング時間における前記ビート信号の位相の進み量を算出する位相差算出手段と、その位相進み量を足し合わせて各サンプリング時における前記ビート信号の位相を算出する位相漸化手段とを具えていても良い。
また、前記位相検出手段が、前記ビート信号をサンプリングするサンプリング回路と、位相をずらす移相演算を行って前記サンプリング回路によるサンプリング値から位相の異なる疑似サンプリング値を算出する移相手段と、その疑似サンプリング値と前記サンプリング値とから前記サンプリング回路でのサンプリング時間における前記ビート信号の位相の進み量を算出する位相差算出手段と、その位相進み量を足し合わせて各サンプリング時における前記ビート信号の位相を算出する位相漸化手段とを具えていても良い。
【００２９】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の距離等測定装置の実施形態を説明する。先ず絶対距離の測定装置への適用例を説明する。図１（ａ）は、距離測定装置の概要ブロック図、同図（ｂ）は、演算制御回路のブロック図である。また、図２（ａ）は、周波数掃引の典型例であり、同図（ｂ）は、その幾つかの変形例である。図２（ｃ）は、演算内容を示している。図３は、ビート信号の位相φ（ｉ）に係る近似直線の傾きａ１〜ａ３と伝搬距離Ｒ１〜Ｒ３との関係を例示したグラフである。
【００３０】
図１（ａ）に示した本発明の距離測定装置２０は、図１１（ａ）のハードウェアをほぼ引き継いでいる。
すなわち、周波数掃引回路１２と送受信部１３とビート信号出力回路１４と出力部１５は従来同様で足りる。
演算制御回路２１は改良されており演算制御回路１１と異なる。
【００３１】
周波数掃引回路１２は（図１（ａ）参照）、送信信号ｅ１の周波数を変化させるために、大抵、制御電圧Ｅ０に従って発振状態を変える具体的には発振周波数を変える電圧制御発振器を具えている。制御電圧Ｅ０が直線的に変化させられて、送信信号ｅ１の周波数も直線的に変化する。即ち（図２（ａ）参照）、周波数掃引時間Ｔの間に周波数掃引幅Ｂだけ周波数が変化するが、そのとき、周波数変化量が一定になっている。周波数掃引は、間欠的に繰り返しても良く（図２（ａ）参照）、連続的に繰り返しても良く（図２（ｂ）参照）、不連続な変化や急変を回避するため増加と減少を交互に行うようにしても良く、周波数掃引の各繰り返し中の先頭部分を周波数掃引幅Ｂや周波数掃引時間Ｔから除外して過渡的状態の信号を演算に使わないで捨てるようにしても良い。周波数掃引回路１２は、大抵、図１（ａ）に示したように、ビート信号出力回路１４のために、送信信号ｅ１と同じ波形か又は振幅のみ異なる等価信号ｅ０も生成するが、ビート信号出力回路１４が送信信号ｅ１をそのまま利用できる場合は（例えば特許文献１の図１１，図１２参照）、等価信号ｅ０の生成を行わない。
【００３２】
送受信部１３は（図１（ａ）参照）、電気信号の送信信号ｅ１を出射可能な波に変換して外部へ送出する送信部と、測定対象物９に当たって戻って来た反射波を拾いこれを電気信号に変換して受信信号ｅ２を生成する受信部とを具えている。送信部は送信アンテナとその駆動回路などで構成され、受信部は受信アンテナと受信アンプ等で構成されるが、両アンテナ（トランスジューサ）は別体であっても良く（例えば特許文献１の図２，図１２参照）、一体のものであっても良い（例えば特許文献１の図１０，図１１参照）。
【００３３】
ビート信号出力回路１４は（図１（ａ）参照）、受信信号ｅ２と送信信号ｅ１又は等価信号ｅ０とからビート信号Ｅ１を抽出するために、掛け算器・混合回路などのミキシング手段と、送信信号ｅ１や受信信号ｅ２さらにはその高調波からそれらよりも周波数の低いビート信号Ｅ１を分離するフィルタとを具えている。フィルタは、ローパスフィルタでも良いが、測定距離の変動範囲が予め判明している場合は、バンドパスフィルタが良い。
出力部１５は、計測距離Ｒｍを外部利用可能とするものであれば良く、ディスプレイやレコーダに限らず、応用目的に応じて種々のものが採用される。
【００３４】
演算制御回路２１は（図１（ａ）参照）、制御電圧Ｅ０を生成して周波数掃引回路１２へ送出するとともに、それに従って繰り返される周波数掃引回路１２での周波数掃引の度に、ビート信号Ｅ１を取り込んで計測距離Ｒｍを算出するものである。ここまでは演算制御回路１１と同様であるが、回路構成の一部と具体的な演算内容は以下のように改良されている。すなわち（図１（ｂ）参照）、ビート信号Ｅ１の位相φ（ｉ）を随時求める位相検出手段２２〜２５と、その位相φ（ｉ）の位相変化率２πｆｂを周波数掃引毎に一つに纏める位相変化率算出手段２６と、その位相変化率２πｆｂおよび送信信号ｅ１の掃引周波数変化率Ｂ／Ｔから波の伝搬距離Ｒに対応した計測距離Ｒｍを算出する距離算出手段２７とを具備している。
【００３５】
位相検出手段２２〜２５は（図１（ｂ）参照）、ビート信号Ｅ１を所定の時間刻みΔｔ毎にサンプリングするＡ／Ｄ変換器２２と、ビート信号Ｅ１の位相をずらして移相信号Ｅ２を生成する移相器２３と、移相信号Ｅ２を所定の時間刻みΔｔ毎にサンプリングするＡ／Ｄ変換器２４と、Ａ／Ｄ変換器２２で得たサンプリング値Ｅ１（ｉ）とＡ／Ｄ変換器２４で得たサンプリング値Ｅ２（ｉ）を逐次取り込んで回転位相の漸化式に基づく演算を行って各サンプリング時間におけるビート信号の位相φ（ｉ）を算出する位相算出手段２５とを具えている。この位相算出手段２５と位相変化率算出手段２６と距離算出手段２７はコンピュータやデジタルシグナルプロセッサ等のデジタル演算回路で具現するのが実用に適しているので、その前である信号上流に、Ａ／Ｄ変換器からなるサンプリング回路２２＋２４が置かれ、移相器２３はアナログ回路で具体化される。移相器２３は、上述の（２７）式の導出の前提に基づけば９０°移相器であるが、その式を適宜変形すれば９０°以外の移相器でも良い。
【００３６】
位相算出手段２５は（図２（ｃ）参照）、時間刻みΔｔ毎に即ち各サンプリング毎にｉ番目のサンプリングでビート信号Ｅ１の位相進み量Δφ（ｉ）を算出する位相差算出手段２５ａと、その位相進み量Δφ（ｉ）を足し合わせて各サンプリング時すなわちｉ番目におけるビート信号の位相φ（ｉ）を算出する位相漸化手段２５ｂとを具えている。具体的には、位相差算出手段２５ａは、上述した（２７）式の演算を実行し、位相漸化手段２５ｂは、上述した（２８）式の演算を実行するようになっている。
【００３７】
位相変化率算出手段２６は（図２（ｃ）参照）、ビート周波数ｆｂに対応しているが離散値に限定されない位相変化率２πｆｂを一連の位相φ（ｉ）から算出するものであるが、そのとき位相変化率２πｆｂを一つに纏めるために、ビート信号の位相φ（ｉ）の時間変化を誤差最小で近似する直線の傾きａを得る。具体的には、上述した（３９）式の演算を実行するようになっている。
距離算出手段２７は（図２（ｃ）参照）、位相変化率２πｆｂの項を傾きａで置換した上述の（４０）式の演算を実行して、計測距離Ｒｍを算出する。
【００３８】
このような距離測定装置２０を用いて測定対象物９までの伝搬距離Ｒを変えながら測定すると、例えば短い距離Ｒ１と中間の距離Ｒ２と長い距離Ｒ３を測定すると、周波数掃引がなされる度に、どの距離Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３でも位相φ（ｉ）は概ね直線的に変化するが、距離に応じて傾き具合が異なる（図３の太い実線グラフを参照）。そして、演算制御回路２１の演算によって、誤差を最小とする近似直線に係る傾きａ１，ａ２，ａ３が求められ（図３の細い二点鎖線グラフを参照）、最終的には、それぞれの距離Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３に対応した計測距離Ｒｍが得られる。
【００３９】
このように、本発明は、マイクロ波帯のＦＭ−ＣＷ信号等を周波数掃引させてビート信号を抽出することやその回転位相関係式に基づく演算を行って距離の計測値を求める点では従来の手法を踏襲していると言えるが、回転位相関係式の演算実行のためビート信号からビート周波数または対応物理量を算出する手法が従来と異なっている。すなわち、従来手法では、ビート周波数をビート信号からＦＦＴ等で直接算出しているのに対し、本発明では、ビート周波数ｆｂと数式上は等価な位相変化率２πｆｂが、位相φ（ｉ）の近似直線の傾きａで、求められる。
【００４０】
具体的には、上述の（１８）式で示したように、ビート信号の位相項φ（ｉ）が時刻ｔｉ（０≦ｔｉ≦Ｔ）に比例しており、その比例係数（時刻ｔｉに対する傾き）すなわち位相変化率２πｆｂがビート周波数ｆｂに比例していることに着目したもので、この時刻ｔｉに対する位相φ（ｉ）の傾きａを演算して、位相変化率２πｆｂを求めるようになっている。図３に示すように、ビート信号の位相φ（ｉ）を時刻ｔｉに対して描けば、グラフ位相φ（ｉ）の近似曲線の傾きａが距離Ｒの増加とともに大きくなっていく様子が分かる。
【００４１】
したがって、本発明のように、ＦＭ−ＣＷ（周波数掃引）のビート信号Ｅ１に対して例えば９０°位相差を持つ移相信号Ｅ２を作り、この２つのビート信号（上記（１２）式および（１３）式）を時刻ｔの刻みΔｔ毎にサンプリングして得たベクトル信号（上記（１７）式）から、時刻ｔｉに対する傾きａを求めることにより、ビート周波数ｆｂ相当値を算出すれば、測定対象物９までの絶対的な距離Ｒを１〜２ｍｍ以下の分解能で求めることができるのである。
【００４２】
以下、より具体的な実施例を幾つか説明するが、実施例１〜３は、距離測定装置への適用例であり、実施例４は、比誘電率計（濃度計）への適用例である。
【００４３】
【実施例１】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。図４（ａ）は、本発明の距離測定装置２０を搭載した路面プロファイラー３０の模式図であり、同図（ｂ）は、距離測定装置２０のブロック図である。また、図５（ａ）は制御電圧Ｅ０の波形例、同図（ｂ）は移相器２３の回路図、同図（ｃ）はコンピュータ２９の機能ブロック図である。
【００４４】
図４（ａ）において、路面プロファイラー３０は、移動しながら測定できるよう、８輪の支持車輪を持った３ｍの直線定規を具えたものであり、その中央に測定部３１が取り付けられている。測定部３１には、距離測定装置２０が大部分格納されているが、距離測定装置２０のうち送受信部１３の送信アンテナ１３ｂと受信アンテナ１３ｃは、測定対象物９である路面に向けて露出した状態で設けられている。そのため、送信アンテナ１３ｂからマイクロ波が放射されるると、路面９で反射して帰って来た反射波が受信アンテナ１３ｃで受信されるようになっている。
【００４５】
ここで、車輪によって路面プロファイラー３０を路面９上で移動させながら、距離測定装置２０を稼動させると、距離測定装置２０は、後述のように、広帯域に亘って周波数変調をかけた送信信号（ｅ１、ＦＭ−ＣＷ信号）を送信アンテナ１３ｂに送出し、この信号（ＦＭ−ＣＷ信号）を用いて、受信アンテナ１３ｃからの受信信号（ｅ２）からビート信号（Ｅ１）を得、その位相変化を検出することにより、路面９の平坦度、言い換えれば、路面の空間的変化を検出するものである。
【００４６】
図４（ｂ）に詳細ブロック図を示した距離測定装置２０は、周波数掃引回路１２として、制御電圧Ｅ０を制御入力に受ける電圧制御発振器１２ａと、その発振信号を分配して送信信号ｅ１と等価信号ｅ０を生成する電力分配器１２ｂとを具えている。また、送受信部１３として、送信信号ｅ１のレベル調整を行う減衰器１３ａと、その出力である電気信号をマイクロ波に変換して外部へ放射する送信アンテナ１３ｂと、それが路面９で反射して帰って来たマイクロ波を受信して電気信号に変換する受信アンテナ１３ｃと、それを増幅して受信信号ｅ２を生成する受信アンプ１３ｄとを具えている。さらに、ビート信号出力回路１４として、受信信号ｅ２と等価信号ｅ０とを混合して積信号Ｅを生成する掛算器１４ａ（ミキサ）と、積信号Ｅから低周波成分のビート信号Ｅ１を抽出するフィルタ１４ｂとを具えている。これらのうち電圧制御発振器１２ａと電力分配器１２ｂと掛算器１４ａは、既製のＦＭ−ＣＷモジュールで具現されている。
【００４７】
また、距離測定装置２０は、演算制御回路２１として、ビート信号Ｅ１から移相信号Ｅ２を生成する９０°移相器２３と、時間刻みΔｔでビート信号Ｅ１をサンプリングするＡ／Ｄ変換器２２と、それと同時刻にビート信号Ｅ２をサンプリングするＡ／Ｄ変換器２４と、位相算出手段２５と位相変化率算出手段２６と位相変化率算出手段２６のプログラムがインストールされたコンピュータ２９とを具えている。コンピュータ２９には、計測距離Ｒｍを表示可能な表示器からなる出力部１５が接続されている。図５を参照して各部を詳述すると、制御電圧Ｅ０は、図５（ａ）に示すように、２Ｖから８Ｖまで直線的に漸増するのを周波数掃引時間Ｔ毎に繰り返す。この生成は演算制御回路２１が行うので、その生成タイミングに合わせて演算制御回路２１はビート信号Ｅ１，Ｅ２のサンプリングや計測距離Ｒｍ算出の演算を行うようになっている。
【００４８】
図５（ｂ）に示した移相器２３は、抵抗値Ｒ１の３個の抵抗とコンデンサＣ１とオペアンプとを具備したものであり、アンプの正転入力と接地間にコンデンサＣ１が接続され、アンプの正転入力とビート信号Ｅ１のライン間に一個の抵抗が接続され、アンプの反転入力とビート信号Ｅ１のライン間に別の一個の抵抗が接続され、アンプの出力から反転入力への帰還ラインに残りの抵抗が接続されている。抵抗とコンデンサとの直列回路でビート信号Ｅ１の積分波形が得られ、その振幅がアンプと抵抗比等にて調整されて、ビート信号Ｅ１の位相を９０°ずらした移相信号Ｅ２が生成されるようになっている。例えば、ビート信号Ｅ１の周波数ｆｂが３ｋＨｚのとき、Ｃ１は０．０１μＦ、Ｒ１は５．３ｋΩで良い。
【００４９】
図５（ｃ）にコンピュータ２９のプログラム構成を示したが、この場合は、ビート信号Ｅ１，Ｅ２をサンプリング回路２２＋２４から時間刻みΔｔ毎にＮ回取り込むサンプリングルーチン２９ａがインストールされ、その一連のサンプリング値Ｅ１（ｉ）及びサンプリング値Ｅ２（ｉ）を全部保持しておく配列が２組みメモリに割り付けられ、サンプリング値Ｅ１（ｉ），値Ｅ２（ｉ）からビート信号の位相φ（ｉ）を算出する回転位相算出ルーチン２９ｂがインストールされ、その一連の位相φ（ｉ）を全部保持しておく配列も２つメモリに割り付けられ、位相φ（ｉ）から回転位相の近似直線の傾きａを算出して計測距離Ｒｍを算出し更にそれを出力部１５に送出して表示させる位相変化率等算出ルーチン２９ｃがインストールされている。このようなコンピュータ２９では、各周波数掃引毎に、ルーチン２９ａ，２９ｂ，２９ｃが並行処理を行い、２組の配列の一方に最新のサンプリング値が貯め込まれているとき、他方の組の配列に保持されている一回前の周波数掃引時のサンプリング値を用いて位相φ（ｉ）が算出されそれ用の配列の一方に保存される。また、一回前の周波数掃引時に算出され他方の配列に保持されている位相φ（ｉ）を用いて傾きａの算出や計測距離Ｒｍの算出が行われる。
【００５０】
以下に、上記構成による作用を説明する。まず、コンピュータ２９に接続されたＤ／Ａ変換器２８でアナログ信号に変換された制御電圧Ｅ０が電圧制御発振器１２ａに加えられると、電圧制御発振器１２ａでは、この制御電圧Ｅ０に応じて周波数変調されたＦＭ−ＣＷ信号が発生する。図５（ａ）は、この制御電圧Ｅ０の波形を表しており、例えば、周波数掃引時間Ｔを５ｍｓとして、この５ｍｓの間に制御電圧Ｅ０を２Ｖから８Ｖへ直線的に変化させると、これに応じて電圧制御発振器１２ａによって、周波数ｆが９．２５ＧＨｚから１０．７５ＧＨｚへ直線的に掃引されるＦＭ−ＣＷ信号が生成され、これが電力分配器１２ｂに送出される。制御電圧Ｅ０に対してＦＭ−ＣＷ信号の周波数はこのようになる。
【００５１】
このＦＭ−ＣＷ信号は、電力分配器１２ｂで送信信号ｅ１と等価信号ｅ０（基準信号）とに分けられ、送信信号ｅ１は、減衰器１３ａで適切な送信レベルに調整された後、送信アンテナ１３ｂでマイクロ波に変換されて送信アンテナ１３ｂから路面９に向けて放射される。路面９で反射したマイクロ波は、受信アンテナ１３ｃで受信されて電気信号に変換され、ＲＦアンプの受信アンプ１３ｄで増幅されて、受信信号ｅ２となる。受信信号ｅ２は等価信号ｅ０と共に掛算器１４ａに入力されて積信号Ｅを生じ、この積信号Ｅからフィルタ１４ｂによってビート信号Ｅ１が抽出される。例えば、上述したように、周波数掃引時間Ｔ＝５ｍｓ、周波数掃引幅Ｂ＝１．５ＧＨｚ、中心周波数ｆ０＝１０ＧＨｚとすると、伝搬距離Ｒ＝２５ｃｍのとき、ビート周波数ｆｂは上述したようにｆｂ＝３ｋＨｚとなる。この周波数を含む所定帯域のビート信号Ｅ１がフィルタ１４ｂで抽出されるのである。
【００５２】
ビート信号Ｅ１はＡ／Ｄ変換器２２でサンプリング値Ｅ１（ｉ）となってコンピュータ２９に取り込まれるとともに、移相器２３で９０°だけ位相のずれた移相信号Ｅ２にされてからＡ／Ｄ変換器２４でサンプリング値Ｅ２（ｉ）となってコンピュータ２９に取り込まれる。コンピュータ２９で、周波数掃引の度にそれぞれＮ個ずつ得られた一連のサンプリング値Ｅ１（ｉ），Ｅ２（ｉ）は、サンプリングルーチン２９ａによってメモリ上の配列に記憶され、それと並行して、一回前の周波数掃引時にサンプリングされ記憶されていた一連のサンプリング値Ｅ１（ｉ），値Ｅ２（ｉ）からは上述の（２７）式や（２８）式の演算を行う回転位相算出ルーチン２９ｂによってやはりＮ個からなる一連の位相φ（ｉ）が算出され、それと並行して、一回前の周波数掃引時に算出され記憶されていた一連の位相φ（ｉ）からは上述の（３９）式や（４０）式の演算を行う位相変化率等算出ルーチン２９ｃによって傾きａや計測距離Ｒｍが算出される。こうして、周波数掃引時間Ｔ毎に計測距離Ｒｍが得られ、出力部１５に表示される。
【００５３】
図６（ａ）は、伝搬距離Ｒを１８ｃｍから３５ｃｍまで変えながら距離測定装置２０で測定したときの計測距離Ｒｍをグラフにしたものであり、横軸に伝搬距離Ｒを採り縦軸に計測距離Ｒｍを採っている。また、図６（ｂ）は、縦軸に計測距離Ｒｍと伝搬距離Ｒとの差（Ｒｍ−Ｒ）を採って誤差をグラフ表示している。
この測定実験では、路面９としてコンクリート面を用いている。ただし、中心周波数ｆ０が１０ＧＨｚ、周波数掃引幅Ｂが１．５ＧＨｚ、周波数掃引時間Ｔが４ｍｓ、固定遅延時間τ０が６．３３ｎｓ、電圧制御発振器１２ａの出力が−２ｄＢｍ、減衰器１３ａが６０ｄＢ、受信アンプ１３ｄの利得が４０ｄＢ、バンドパスフィルタ１４ｂの中心周波数が３ｋＨｚでＱが５である。距離Ｒは、２５ｃｍを中心として１８ｃｍ〜３５ｃｍまで計測した。
その結果、ほぼ±２ｍｍ以内の精度で計測距離Ｒｍが求まっており、路面プロファイラー３０への応用としては十分に満足できる結果である。
【００５４】
【実施例２】
本発明の他の実施例を説明する。図７のフローチャートは、コンピュータ２９のプログラムの処理内容を示している。このプログラムによれば、サンプリング値Ｅ１（ｉ），値Ｅ２（ｉ）や位相φ（ｉ）は直前すなわち時間刻みΔｔ前にサンプリングされたり算出されたものが保持されていれば足りる。具体的には、先ず周波数掃引の開始タイミングでサンプリング値や積算値を一時記憶するためのメモリ領域などを初期化する（ステップＳ１）。それから、サンプリング値Ｅ１（ｉ），Ｅ２（ｉ）をサンプリングして（ステップＳ２）、これと一時記憶していたＥ１（ｉ−１），Ｅ２（ｉ−１）とから位相進み量Δφ（ｉ）を算出し、これを算出済みの位相φ（ｉ−１）に加えて位相φ（ｉ）を算出し、これを算出済みのｉ−１番目のΣφ（ｉ）に加えてｉ番目のΣφ（ｉ）を算出し、さらにｉ×φ（ｉ）を算出済みのｉ−１番目のΣ（ｉ×φ（ｉ））に加えてｉ番目のΣ（ｉ×φ（ｉ））を算出する（ステップＳ３）。
【００５５】
ｉが１から始まってＮに達するまで、これらのサンプリングと演算を繰り返し（ステップＳ２〜Ｓ３）、Ｎ回の処理を終えたら（ステップＳ４）、傾きａを算出し（ステップＳ５）、さらに計測距離Ｒｍを算出する。こうして得られた計測距離Ｒｍは出力部１５に送出して表示させる。
この場合、一連のサンプリング値Ｅ１（ｉ），Ｅ２（ｉ）や位相φ（ｉ）を総て格納しておける大きな配列は不要であるが、各サンプリング毎に及び各周波数掃引毎に所要の演算を済ませなければならない。
実用化に当たっては、コンピュータ２９の演算能力とメモリ容量とを比較考量して、上例（実施例１）か本例（実施例２）か或いは両者の折衷的な態様で具体化される。
【００５６】
【実施例３】
本発明の更に他の実施例を説明する。図８（ａ）のブロック図は、演算制御回路２１のうちの位相検出手段２２〜２５を示している。この位相検出手段２２〜２５は、上述した移相器２３に代えて移相演算プログラム２３’（移相手段）を導入したものである。移相演算プログラム２３’はサンプリング値Ｅ１（ｉ）からサンプリング値Ｅ２（ｉ）同様の疑似サンプリング値Ｅ２’（ｉ）を算出するものであるが、このプログラムがデジタル演算回路のコンピュータ２９にインストールされているので、サンプリング回路は、Ａ／Ｄ変換器２４が不要となって、Ａ／Ｄ変換器２２だけとなっている。
【００５７】
すなわち、この位相検出手段２２〜２５は、時間刻みΔｔでビート信号Ｅ１をサンプリングするＡ／Ｄ変換器２２と、そのサンプリング値Ｅ１（ｉ）から９０°位相の異なる疑似サンプリング値Ｅ２’（ｉ）を算出する移相演算プログラム２３’と、その疑似サンプリング値Ｅ２’（ｉ）とサンプリング値Ｅ１（ｉ）とからＡ／Ｄ変換器２２でのサンプリング時間ｔ（ｉ）におけるビート信号Ｅ１の位相φ（ｉ）の進み量Δφ（ｉ）を算出し更にその位相進み量Δφ（ｉ）を足し合わせて各サンプリング時ｔ（ｉ）におけるビート信号Ｅ１の位相φ（ｉ）を算出する位相算出手段２５（位相差算出手段２５ａ＋位相漸化手段２５ｂ）とを具えたものである。
【００５８】
移相演算プログラム２３’には、デジタル演算に適した高速フーリエ変換（ＦＦＴ）やＨｉｌｂｅｒｔ変換が採用される。図８（ｂ）は、高速フーリエ変換とその逆変換を用いた例であり、図８（ｃ）は、Ｈｉｌｂｅｒｔ変換を用いた例である。
先ず、図８（ｂ）のフーリエ変換利用例を説明すると、一回の周波数掃引で得られた一連のサンプリング値Ｅ１（ｉ）からフーリエ変換（ＦＦＴ）を行ってスペクトルを求め、そのスペクトルから周波数が負の部分を除いて非負の部分を抽出し、それに逆高速フーリエ変換（ＩＦＦＴ）を施して、虚数部を抽出し、さらにそれを２倍する。これにより、サンプリング値Ｅ１（ｉ）から位相の異なる疑似サンプリング値Ｅ２’（ｉ）が算出される。
【００５９】
このような演算で移相が行えることについて９０°移相の場合を例に説明する。上述の（１２）式で得られたビート信号Ｅ１をフーリエ変換すると、
【数４１】
2005010130.tif 000043
となるので、周波数が非負の部分である第１項を選んで逆フーリエ変換すれば、
【数４２】
2005010130.tif 000044
であるが、ｆ→ｆｂに近づけると、
ｓｉｎπ（ｆ−ｆｂ）Ｔ／π（ｆ−ｆｂ）Ｔ→１となるので、
【数４３】
2005010130.tif 000045
となる。このうちの虚数部であるｓｉｎの項を２／Ｔ倍すれば、上述の（１３）式すなわちビート信号Ｅ１と位相が９０°異なる移相信号Ｅ２が得られる。
移相演算プログラム２３’は、これを、デジタル演算で、具体的にはＦＦＴ及びＩＦＦＴで、実行するようにしたものである。
【００６０】
なお、移相演算がＨｉｌｂｅｒｔ変換の場合、
【数４４】
2005010130.tif 000046
と等価なデジタル演算を移相演算プログラム２３’で行う。この場合、ビート信号の周波数が広い範囲で変化しても、安定して９０°移相がなされる。
【００６１】
【実施例４】
本発明を濃度計（比誘電率計）に適用した実施例を説明する。図９のブロック図は、上述した各実施例１〜３の距離測定装置２０との相違点を明記したものである。
この濃度計４０は、送信アンテナ１３ｂと受信アンテナ１３ｃとが測定対象物９を挟んで対向するようになっている。また、距離算出手段２７に代えて濃度算出手段２７’がコンピュータ２９にインストールされている。他の点は、上例と同様である。
【００６２】
濃度算出手段２７’は、傾きａから比誘電率εｒを算出するプログラムであり、具体的には、次の（４５）式を演算するようになっている。
【数４５】
2005010130.tif 000047
ここで、周波数掃引時間Ｔ，周波数掃引幅Ｂ，固定遅延時間τ０，測定対象物の厚さｄ，光速ｃは、既知であり、傾きａは位相変化率算出手段２６にて得られているので、比誘電率εｒが求まる。比誘電率εｒは例えば汚泥濃度と比例関係にあるので、本装置を用いて試料（測定対象物９’）の比誘電率εｒを求めれば、定数倍するだけで直ちに濃度が分かる。
【００６３】
なお、上記（４５）式の導出等についても説明する。その原理は、測定対象の
2005010130.tif 000048
物質の比誘電率εｒにより光速ｃよりも遅くなること、及び比誘電率εｒが濃度等と比例関係にあることを利用している。そして、これらの物理的関係に基づき
2005010130.tif 000049
【数４６】
2005010130.tif 000050
が得られるので、この（４６）式をεｒについて解くと（４５）式が得られる。
このような比誘電率計は、液体や，汚泥濃度計，材木等の水分計，米麦等の水分計などにも使用できる。
【００６４】
【実施例５】
本発明を流量計に適用した実施例を説明する。図１０のブロック図は、上述の濃度計４０同様、各実施例１〜３の距離測定装置２０との相違点を明記したものである。
図１０（ａ）の流量計５０は、マイクロ波用のアンテナ１３ｂ，１３ｃに代えて超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’（超音波振動子，超音波センサ）が採用されている。また、距離算出手段２７や濃度算出手段２７’に代えて流量算出手段２７”がコンピュータ２９にインストールされている。他の点は、上例（実施例１〜４）と同様である。
【００６５】
送信用の超音波トランスジューサ１３ｂ’が超音波を送信しているとき、その超音波を受信用の超音波トランスジューサ１３ｃ’が受信するようになっている。このような超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’が配管９”（測定対象物）の上流側と下流側に分かれて送受信可能にセットされることを前提として流量算出手段２７”が機能するようになっている。また、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’間の距離Ｒ１や，配管９”中の流体が静止しているときの音速ｃ１が、固定値として、或いはメニュー画面等で設定変更可能なパラメータとして、コンピュータ２９に保持されるようになっている。
【００６６】
流量算出手段２７”は、位相変化率算出手段２６にて得られたビート信号Ｅ１の位相φ（ｉ）の傾きａから配管９”内の流体の流量Ｑを算出するプログラムであり、具体的には、以下の演算を行うようになっている。
先ず、周波数掃引された超音波が超音波トランスジューサ１３ｂ’から出て配管９”内を伝搬して超音波トランスジューサ１３ｃ’で受信されたときの位相φ（ｉ）の傾きａを求め、この傾きａから次式で流速Ｖを算出する。
【数４７】
2005010130.tif 000051
次に、この流速Ｖを平均流速とみなして、管内面積Ａを掛け、
【数４８】
2005010130.tif 000052
によって流量Ｑを算出するのである。
【００６７】
ここでも上式の導出について説明する。この場合、上述の（２１）式に対して
２Ｒ＝Ｒ１、ｃ＝ｃ１とおけば、
【数４９】
2005010130.tif 000053
であるから、この式をＶについて解けば、上記の（４７）式が得られる。
なお、実際の流量計では、実験等にて得た流量補正係数を掛けるといったことも行われて、最終的な流量Ｑが算出される。
【００６８】
図１０（ｂ）の流量計５０は、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’の何れか一方を減衰器１３ａの出力先に選択する切換スイッチＳＷ１と、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’の何れか他方を受信アンプ１３ｄの入力先に選択する切換スイッチＳＷ２とを具えたものである。超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’は、送信も受信も可能なものであって、スイッチＳＷ１，ＳＷ２の切換によって交互に送信駆動されるようになっている。その切換は周波数掃引の繰り返しに同期して行われる。そして、超音波トランスジューサ１３ｂ’が超音波を出しているときにはそれを超音波トランスジューサ１３ｃ’が受信し、超音波トランスジューサ１３ｃ’が超音波を出しているときにはそれを超音波トランスジューサ１３ｂ’が受信するようになっている。
【００６９】
そのような送受信方向切換を伴った測定に対応して、流量算出手段２７”は次のように改造されている。すなわち、流量算出手段２７”は、周波数掃引された超音波が超音波トランスジューサ１３ｂ’から出て、向かって来る流体を向かい風状態で伝搬し、それから超音波トランスジューサ１３ｃ’で受信されたとき、位相変化率算出手段２６から受け取った傾きａをａ１として一時記憶しておき、さらにＳＷ１，ＳＷ２が切り替わって、周波数掃引された超音波が超音波トランスジューサ１３ｃ’から出て、逃げて行く流体を追い風状態で伝搬し、それから超音波トランスジューサ１３ｂ’で受信されたとき、位相変化率算出手段２６から受け取った傾きａをａ２として、次の式で流速Ｖを算出するようになっている。
【数５０】
2005010130.tif 000054
流速Ｖが得られれば、上述したようにして流量Ｑが求まる。しかも、この式には音速ｃ１が含まれていないので、その設定が必要なくて、装置が使い易い。
【００７０】
ここでも上式の導出について説明すると、上述した（４８）式より、向かい風状態で超音波が伝搬したときの流速Ｖは、
【数５１】
2005010130.tif 000055
となり、追い風状態で超音波が伝搬したときの流速Ｖは、
【数５２】
2005010130.tif 000056
となる。これらを足して２で割って平均化すると、上式（５０）が得られる。
【００７１】
図１０（ｃ）の流量計は、真っ直ぐな配管９”での流量Ｑを測定するために、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’を、配管９”を挟んで対向するところに、設置するタイプのものである。この場合、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’は、配管９”の長手方向から角度θだけ傾けた仮想直線上に配置される。この角度θは、固定値として、或いは設定変更可能なパラメータとして、コンピュータ２９に保持され、流量算出手段２７”の演算に供される。流量算出手段２７”は、上述した流速Ｖ算出式をｃｏｓθで除して、適切な流量Ｑを得る。
【００７２】
図１０（ｄ）の流量計は、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’の設置位置がずれていることに対応して、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’が互いに正対するよう、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’を配管９”に対して傾けて取り付けたものである。
この場合、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’が正対しているので、超音波のロスが少なくて済む。
【００７３】
図１０（ｅ）の流量計は、超音波トランスジューサ１３ｂ’同様の超音波トランスジューサ１３ｂ”と、超音波トランスジューサ１３ｃ’同様の超音波トランスジューサ１３ｃ”も、用いるものである。この例では、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｃ’が上流側の対向位置に配置され、超音波トランスジューサ１３ｂ”，１３ｃ”が下流側の対向位置に配置される。切換スイッチＳＷ１は、超音波トランスジューサ１３ｂ’，１３ｂ”の何れか一方を減衰器１３ａの出力先に選択し、切換スイッチＳＷ２は、超音波トランスジューサ１３ｃ’，１３ｃ”の何れか一方を受信アンプ１３ｄの入力先に選択するようになっている。
この場合、超音波トランスジューサ１３ｂ’から出た超音波が超音波トランスジューサ１３ｃ”で受信されたときの傾きａをａ１とし、超音波トランスジューサ１３ｂ”から出た超音波が超音波トランスジューサ１３ｃ’で受信されたときの傾きａをａ２として、上述したような演算が行われ、流量Ｑが求まる。
【００７４】
図１０（ｆ）の流量計５０は、超音波トランスジューサ対の二重化に加えて、基本部分（すなわち回路１２〜１４及び回路やプログラム２２〜２６）も二重化したものである。それぞれの超音波の周波数掃引範囲は、干渉や混信を避けるため、異なる周波数帯域にされる。
この場合、一方の基本部分で算出された傾きａをａ１とし、他方の基本部分で算出された傾きａをａ２として、流量算出手段２７”による上述の演算で、流量Ｑが算出される。切換が不要なのでスイッチＳＷ１，ＳＷ２は省かれており、周波数掃引の度に流量Ｑが得られる。
【００７５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、測定用の波の周波数を掃引して送受信信号のビート信号を得、そのビート周波数と伝搬距離との関係式に基づいて絶対距離を算出するに際して、ビート周波数の直接算出に代えて位相変化率を算出するようにしたことにより、直接算出したビート周波数に付きものの分解能に関する制約事項から開放されるので、絶対距離を精度良く測定することができる。
また、位相変化率を誤差最小の近似直線の傾きにて求めることで、更に精度を良くすることができる。
さらに、移相器でビート信号の移相を行うことで、サンプリングを伴うデジタル演算が行い易くなる。
また、移相演算を行ってサンプリング値から位相の異なる疑似サンプリング値を算出するようにしたことにより、移相器の機能をデジタル演算で代行することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態を説明する図であり、（ａ）は距離測定装置の概要ブロック図、（ｂ）は演算制御回路のブロック図である。
【図２】（ａ）は周波数掃引の典型例であり、（ｂ）はその変形例である。（ｃ）は演算内容を示している。
【図３】ビート信号の位相φ（ｉ）に係る近似直線の傾きａ１〜ａ３と伝搬距離Ｒ１〜Ｒ３との関係を例示したグラフである。
【図４】本発明の実施例１について、（ａ）は、距離測定装置２０を搭載した路面プロファイラー３０の模式図、（ｂ）は距離測定装置２０のブロック図である。
【図５】（ａ）は制御電圧Ｅ０の波形例、（ｂ）は移相器２３の回路図、（ｃ）はコンピュータ２９の機能ブロック図である。
【図６】計測結果を示すグラフである。
【図７】本発明の実施例２について、コンピュータ２９による演算の内容を示すフローチャートである。
【図８】本発明の実施例３について、（ａ）が位相検出手段のブロック図、（ｂ）及び（ｃ）が何れも移相演算のブロック図である。
【図９】本発明の実施例４について濃度計のブロック図である。
【図１０】本発明の実施例５について、（ａ）〜（ｆ）何れも流量計の要部ブロック図である。
【図１１】従来の距離測定装置について、（ａ）は概要ブロック図、（ｂ）及び（ｃ）は演算制御回路のブロック図である。
【符号の説明】
９…測定対象物、
１０…距離測定装置、
１１…演算制御回路、        １２…周波数掃引回路、
１２ａ…電圧制御発振器、    １２ｂ…電力分配器、
１３…送受信部、
１３ａ…減衰器、            １３ｂ…送信アンテナ、
１３ｃ…受信アンテナ、      １３ｄ…受信アンプ、
１４…ビート信号出力回路、
１４ａ…掛算器、１４ｂ…フィルタ、１５…出力部、
２０…距離測定装置、
２１…演算制御回路、        ２２〜２５…位相検出手段、
２２＋２４…サンプリング回路、
２２…Ａ／Ｄ変換器（サンプリング回路、位相検出手段）、
２３…移相器（位相検出手段）、
２４…Ａ／Ｄ変換器（サンプリング回路、位相検出手段）、
２５…位相算出手段（位相検出手段）、
２５ａ…位相差算出手段、    ２５ｂ…位相漸化手段、
２６…位相変化率算出手段、  ２７…距離算出手段、
２８…Ｄ／Ａ変換器、        ２９…コンピュータ、
３０…路面プロファイラー、  ３１…測定部、
Ｅ０…制御電圧、Ｔ…周波数掃引時間、Ｂ…周波数掃引幅、
Ｂ／Ｔ…掃引周波数変化率、ｆ…周波数、ｆ０…中心周波数、
ｅ０…等価信号、  ｅ１…送信信号、  ｅ２…受信信号、
λ…波長、  Ｒ…伝搬距離、  Ｒｍ…計測距離、
Ｅ１…ビート信号、          Ｅ１（ｉ）…サンプリング値、
Ｅ２…移相信号、            Ｅ２（ｉ）…サンプリング値、
φ（ｉ）…位相、  Δφ（ｉ）…位相進み量、    ａ…傾き、
ｆｂ…ビート周波数、        ２πｆｂ…位相変化率
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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