(57)【要約】【課題】例えばガラス玉などの球状透明体表面の欠陥を、その欠陥の形状によらず正確に検出する。【解決手段】ガラス玉表面検査装置１は、検査対象となるガラス玉３の焦点Ｆの位置から、略点光源とみなせる光源１６ａにより前記ガラス玉３に対して光を照射するための照射光源１６と、前記ガラス玉３を透過して平行光化した透過光Ｌｔを受光するカメラ１４とを備え、前記カメラ１４により受光された透過光Ｌｔの光量に基づいて前記ガラス玉３の欠陥４を検出する。【選択図】      図６
2005010012.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象となる球状透明体の焦点位置から、略点光源とみなせる光源により前記球状透明体に対して光を照射する照射手段と、
前記球状透明体を透過して平行光化した透過光を受光する受光手段とを備え、
前記受光手段により受光された透過光の光量に基づいて前記球状透明体表面の欠陥を検出する
ことを特徴とする球状透明体表面検査装置。
【請求項２】
前記照射手段は、平行光を出射する光源と、
前記光源からの平行光を前記球状透明体に導く一方で、前記球状透明体を透過してきた光を透過させるハーフミラーと、
前記ハーフミラーにより前記球状透明体に導かれ透過した透過光の焦点位置に、前記透過光の入射角に対して反射面が略垂直を成すように配置され、前記透過光を反射することで略点光源とみなせる光源を作り出すミラーとを備え、
前記受光手段は、前記ミラーによって作り出された光源からの光が前記球状透明体を透過して平行光化した透過光を受光する
ことを特徴とする請求項１に記載の球状透明体表面検査装置。
【請求項３】
前記照射手段からの光の照射位置をずらして前記球状透明体の全表面を検査すべく前記球状透明体を回転させる回転手段とを更に
具備することを特徴とする請求項１または２に記載の球状透明体表面検査装置。
【請求項４】
前記回転手段は、２つの回転体を備え、
前記２つの回転体の各々は、前記球状透明体に接触し、互いが同じあるいは異なる速度で回転する
ことを特徴とする請求項３に記載の球状透明体表面検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス玉などの球状透明体の表面に溝などの欠陥が発生しているかを検査する球状透明体表面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、図１３に示すように、炭酸飲料ビン（例えばラムネのビン）の封緘体としてガラス玉３が用いられている（例えば、特許文献１）。具体的には、この種の炭酸飲料ビンの封緘体は、外栓５と内栓６とを備えると共に、上記ガラス玉３が内栓６に抱持されており、このガラス玉３が炭酸飲料ビンの内圧により押し上げられて内栓６が封緘される構成となっている。しかしながら、例えば、溝やヒビ、凹凸などの欠陥（疵）がガラス玉３の表面に生じていると、ガラス玉３と内栓６との隙間から炭酸飲料ビン内のガスが抜けて当該炭酸飲料ビンの内圧が下がることで、ガラス玉３が下がってしまい、炭酸飲料ビンに充填された炭酸飲料が漏れ出してしまうといった問題が生じる。そこで、従来では、ガラス玉３に対して投光器にて光を照射し、ガラス玉３表面の欠陥で乱反射した光をカメラなどで検出する構成の検査装置が用いられている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−８６９６２号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラス玉３の表面の欠陥が谷部分に丸みを帯びた溝や凹であると、この欠陥部分で乱反射が生じ難く、その検出が困難であるという問題がある。さらに、欠陥の大きさが小さかったり、深度が浅いような場合であっても、乱反射の程度が小さくなり、その検出が困難であった。また、ガラス玉３への光の入射角（すなわち投光器の配置位置）、欠陥形状およびカメラの配置位置によっては、欠陥に対して光が直入射してしまい乱反射が生じ難くなったり、あるいは、欠陥で乱反射した光がカメラに入射せず、その欠陥を検出することができない場合もある。
【０００５】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、例えばガラス玉などの球状透明体表面の欠陥を、その欠陥の形状によらず正確に検出できる球状透明体表面検査装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、検査対象となる球状透明体の焦点位置から、略点光源とみなせる光源により前記球状透明体に対して光を照射する照射手段と、前記球状透明体を透過して平行光化した透過光を受光する受光手段とを備え、前記受光手段により受光された透過光の光量に基づいて前記球状透明体表面の欠陥を検出することを特徴とする球状透明体表面検査装置を提供する。
【０００７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の球状透明体表面検査装置において、前記照射手段は、平行光を出射する光源と、前記光源からの平行光を前記球状透明体に導く一方で、前記球状透明体を透過してきた光を透過させるハーフミラーと、前記ハーフミラーにより前記球状透明体に導かれ透過した透過光の焦点位置に、前記透過光の入射角に対して反射面が略垂直を成すように配置され、前記透過光を反射することで略点光源とみなせる光源を作り出すミラーとを備え、前記受光手段は、前記ミラーによって作り出された光源からの光が前記球状透明体を透過して平行光化した透過光を受光することを特徴とする。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の球状透明体表面検査装置において、前記照射手段からの光の照射位置をずらして前記球状透明体の全表面を検査すべく前記球状透明体を回転させる回転手段とを更に具備することを特徴とする。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の球状透明体表面検査装置において、前記回転手段は、２つの回転体を備え、前記２つの回転体の各々は、前記球状透明体に接触し、互いが同じあるいは異なる速度で回転することを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態では、炭酸飲料ビンの封緘体として用いられるガラス玉を球状透明体として例示し、このガラス玉の表面欠陥を検査するガラス玉表面検査装置について説明する。先ず、本発明の理解を容易とするために、このガラス玉表面検査装置の構成を説明するに先立って、ガラス玉表面の欠陥検出方法の原理を説明する。
【００１１】
図１および図２は、欠陥検出方法の原理を説明するための図である。図１に示すように、検査対象となるガラス玉３に対して平行光Ｌｐを照射した場合、この平行光Ｌｐに対してガラス玉３が球レンズとして機能し、平行光Ｌｐがガラス玉３を透過しガラス玉３の焦点Ｆで集光する。すなわち、図２に示すように、焦点Ｆの位置に略点光源とみなせる光源（以下、単に「点光源」と称する）１６ａが配置され、この点光源１６ａからガラス玉３への照射光の主軸がガラス玉３の中心軸と略同軸となるようにガラス玉３に光が照射された場合には、点光源１６ａからの光は、図１に示す光路を逆に辿り（図中矢印と逆方向）、ガラス玉３を透過した透過光Ｌｔは平行光化される。
【００１２】
従って、ガラス玉３からの透過光Ｌｔを受光可能な位置にカメラ１４を配置すると、ガラス玉３の表面に欠陥が無い場合には、平行光化された透過光Ｌｔの光束の面内で光量分布の偏りが略無いため、カメラ１４の撮像により明暗のない（すなわち、カメラ１４の受光領域内での光量分布が略一様な）像が得られることになる。
【００１３】
一方、図３に示すように、ガラス玉３の表面に欠陥４（図示例では谷状に凹んだスジ）がある場合には、ガラス玉３を透過する光が欠陥４での屈折により様々な方向へ光路変更される。これにより透過光Ｌｔの光束面内で、欠陥４の程度（形状や深さ、大きさなど）に応じて、その欠陥４に対応する箇所で光量が減少し、図４に示すように、カメラ１４の撮像により欠陥部分が暗くなった像が得られることとなる。
【００１４】
このように、本発明では、ガラス玉３を透過した透過光Ｌｔを受光し、その光量分布（より具体的には、欠陥での屈折による受光量の減少）に基づいて欠陥４の有無を検出する構成であるため、光が照射された箇所に欠陥４が在れば、その欠陥４での散乱により光量分布が必ず偏るため、反射光を検出する従来技術とは異なり欠陥形状にかかわりなく、この欠陥４を検出することができる。
【００１５】
さらに、ガラス玉３からの透過光Ｌｔを平行光化し、欠陥４が無い場合には略均一な光量分布を得る構成とすることで、欠陥４が生じていれば、その欠陥４が比較的小さいものや浅いものであっても、欠陥４で生じた多少の光量分布の偏りを精度良く検出することができる（すなわち、ＳＮ比を向上させることが可能となる）。
【００１６】
さらにまた、透過光Ｌｔが平行光であるため、ガラス玉３とカメラ１４との離間距離によらず、カメラ１４により撮像された暗部の面積は欠陥の面積と略等しくなるため、その暗部に基づいて欠陥の大きさや形状を簡単に検知することが可能となる。また、暗部の明暗の程度によって欠陥の程度（深さあるいは欠陥部分の荒さ）を推察することも可能となる。
【００１７】
次いで、上記欠陥検出方法を用いたガラス玉表面検査装置１について説明する。図５は、本実施形態にかかるガラス玉表面検査装置１の構成を概略的に示す図である。この図において、ステージ１０は、ガラス玉３が載置されるものであり、金属などから形成された板状部材である。２つのゴムタイヤ１２は、自動車模型などに用いられている小型のものであり、各々は所定間隔（検査対象となるガラス玉３の直径よりも短い距離）だけ離間して同軸線上に配置されると共に、各々の接地面がステージ１０の１辺に接するように配置されている。
【００１８】
また、ステージ１０は、ゴムタイヤ１２が配置されている側が下方となるように傾斜する姿勢で図示せぬ支持機構により支持されている。すなわち、図６に示すように、ガラス玉表面検査装置１を側面方向からみた場合、ステージ１０とゴムタイヤ１２との接触部が谷となり、ガラス玉３は、この谷部分に載置され、２つのゴムタイヤ１２に挟まれて位置決めされる。
【００１９】
ゴムタイヤ１２の接地面は、当該ゴムタイヤ１２の回転に従動してガラス玉３が回転する程度の摩擦抵抗を有し、また、２つのゴムタイヤ１２が互いに別々の駆動モータ１２８に接続されて互いに独立して回転駆動される。ゴムタイヤ１２の回転制御（すなわち、駆動モータの制御）は、コンピュータシステム１８により行われる。
【００２０】
また、図５および図６に示すように、ガラス玉表面検査装置１は、ガラス玉３の表面欠陥を検出するための光学系として、照射光源（投光器）１６、コリメート装置２０、ハーフミラー２１、ミラー２２（図６参照）およびカメラ１４を備えている。照射光源１６は例えばハロゲンランプなどの白色光源である。また、コリメート装置２０は、照射光源１６からの光を平行光にしてハーフミラー２１に向けて出射するものであり、図示せぬピンホールやコリメートレンズを備えている。
【００２１】
ハーフミラー２１は、コリメート装置２０により平行光化された照射光源１６からの光を反射してガラス玉３に導き、当該ガラス玉３の略真上（鉛直上方向）から光を照射するものであり、図示せぬミラーホルダーによりガラス玉３の略真上に保持されている。また、図６に示すように、ステージ１０には、上方から下方に向けてガラス玉３を透過した光をステージ１０の下側に導くための開口部１０ａが形成され、この開口部１０ａの略直下には、開口部１０ａを通過した光を再び鉛直上方に向けて反射するミラー２２が配置されている。このミラー２２は、ガラス玉３が球レンズとして機能する場合の焦点Ｆにミラーホルダー（不図示）により保持されている。このミラーホルダーは、ミラー２２の保持高さを任意に調整できるものであり、寸法の異なるガラス玉３を検査する場合には、このガラス玉３の焦点Ｆにミラー２２の配置位置を容易に合わせることが可能となっている。
【００２２】
この光学配置の下、照射光源１６からガラス玉３に対して照射された平行光は、ミラー２２の反射面で焦点を結ぶため、略点光源とみなせる光源がミラー２２により形成されることとなる。そして、ミラー２２の面上に形成された光源からガラス玉３に対して光が下方（鉛直下方向）から照射される。
【００２３】
ミラー２２からガラス玉３に照射された光は、このガラス玉３を透過する際に、ガラス玉３が球レンズとして機能することで平行光化され、ハーフミラー２１を透過し、この透過光Ｌｔがカメラ１４によって受光（撮像）される。カメラ１４は、光を受光する受光素子（撮像素子）が線状に配置されてなるラインセンサであり、受光量に応じた受光信号をコンピュータシステム１８に出力する。
【００２４】
ここで、ガラス玉表面検査の際には、ゴムタイヤ１２の回転に伴ってガラス玉３が回転しており、コンピュータシステム１８がカメラ１４からの受光信号を時系列につなぎ合せることで、ガラス玉３の回転方向全面の画像データが生成可能となっている。コンピュータシステム１８は、この画像データに対して画像解析を施すことによりガラス玉３の回転方向の表面状態を解析する。
【００２５】
図７は、カメラ１４から出力された受光信号を模式的に示す図である。この図に示すように、ガラス玉３の表面に欠陥４がある場合、その欠陥４によって透過光Ｌｔの光束面内で光量が減少するため、ガラス玉３の径方向において部分的に受光光量が落ち込んだ受光信号が得られる。そして、このような受光信号を時系列につなぎ合せることで、図８に示すように、ガラス玉３の回転方向全表面を示す画像が得られ、この画像において欠陥４が暗部として示されることとなる。
【００２６】
コンピュータシステム１８は、このようにして得られた画像において、暗部（すなわち欠陥４）の大きさ、あるいは、暗部の明度により示される欠陥の程度（凹凸の度合いなど）に基づいて、このガラス玉３が封緘体として使用可能か否かを判別する。具体的には、コンピュータシステム１８は、封緘体として使用可能な程度を、暗部の大きさの閾値あるいは明度の閾値として予め記憶しており、表面検査の結果得られた画像の暗部が、これらの閾値よりも大きければ、封緘体として使用するに耐えない欠陥がガラス玉３表面にあるものと判断する。
【００２７】
ところで、本実施形態のガラス玉表面検査装置１は、固定配置された１台のカメラ１４により略球状のガラス玉３を撮像するため、当該ガラス玉３を一方向に回転させただけでは、ガラス玉３の全表面（特にガラス玉３の回転極付近）を検査することができない。そこで、本実施形態では、次のようにして、ガラス玉３の全表面の検査を可能としている。すなわち、ガラス玉３の回転方向は、２つのゴムタイヤ１２の各々の回転速度に依存するため、ガラス玉３における光の照射面がガラス玉３の全表面を通過するように移動させるべく、２つのゴムタイヤ１２の回転速度を互いに異ならせることでガラス玉３の回転方向を制御して全表面検査を可能としている。
【００２８】
具体的には、図９に示すように、２つのゴムタイヤ１２の各々が等速、同一方向（図中矢印Ａで示す）に回転する場合、ガラス玉３は、図中矢印Ｂで示すように、ゴムタイヤ１２の回転方向と略同じ方向に回転する。また、図１０および図１１に示すように、ゴムタイヤ１２の一方の回転速度を他方のゴムタイヤ１２の回転速度よりも遅くした場合には、ガラス玉３は、図中矢印Ｂで示すように、回転速度の速い方のゴムタイヤ１２に引き込まれるように回転する。従って、本実施形態にあっては、ガラス玉３の表面検査において、２つのゴムタイヤ１２の各々の回転速度を制御することにより、図９乃至図１１に示すように、ゴムタイヤ１２の各々の回転速度に応じてガラス玉３の回転方向を異ならせることにより、ガラス玉３の全表面の検査を可能としているのである。
【００２９】
以上説明したように、本実施形態によれば、ステージ上１０にガラス玉３を載置し、平行光化された透過光Ｌｔを検出するだけで簡単にガラス玉３の表面欠陥を検査することができる。また、ガラス玉３を透過した透過光Ｌｔが平行光化しているため、より精度よく欠陥を検出することができる。さらに、２つのゴムタイヤ１２の各々の回転速度を制御することで、ガラス玉３の回転方向を異ならせることが可能であるため、１台のカメラ１４により、球形のガラス玉３の全表面を検査することが可能となる。これにより、ガラス玉３の回転極付近を撮像するために、カメラ１４の数を増やしたりする必要がなく、装置構成を簡易とすることができる。
【００３０】
なお、本発明にあっては、ガラス玉３を透過した透過光Ｌｔが平行光に近い程、検出精度（ＳＮ比）が向上するものの、欠陥として比較的大きなものや、凹凸の著しいものだけを検出すれば良い場合には、その欠陥により透過光Ｌｔの光路変更が比較的顕著に生じるため、透過光Ｌｔが完全な平行光である必要は無い。換言すれば、透過光Ｌｔは欠陥を検出できる精度が得られる程度に平行光化されていれば、ミラー２２がガラス玉３の焦点Ｆから多少ずれていても良く、また、コリメート装置２０の代わりに焦点距離の長い凸レンズを用いて照射光源１６からの光を簡略的に平行光化する構成であっても良い。
【００３１】
＜変形例・応用例＞
上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様にすぎず、本発明の範囲内で任意に変形・応用可能である。
【００３２】
（変形例１）
上述した実施形態では、照射光源１６として白色光源を用いる構成について例示したが、十分な光量の透過光Ｌｔを得やすくするために、ガラス玉３を透過する波長の単色光（レーザ光）を用いても良い。また、照射光源１６に白色光源を用いる場合であっても、ガラス玉３を透過する波長が既知であるならば、ハーフミラー２１に波長選択性を有した光学素子を用いて、この波長の光だけをガラス玉３に照射する構成であっても良い。
【００３３】
（変形例２）
また上述した実施形態では、ガラス玉３の焦点Ｆに配置されたミラー２２により点光源を形成する構成について例示したが、これに限らず、この焦点Ｆに光ファイバーの端面（光出射端）を配置し、ガラス玉３に光を照射する構成としても良い。この構成においては、光ファイバからの光が十分に広がるように、光ファイバの端面とガラス玉３の間にレンズを配置するか、あるいは、光ファイバの端面が丸みを帯びた形状になされることが好ましい。
【００３４】
（応用例）
上記実施形態のガラス玉表面検査装置１を応用して、多数のガラス玉３の表面欠陥を順次検査し欠陥のあるガラス玉３を振り分けるガラス玉自動振り分け装置を構成することが可能である。図１２は、本応用例にかかるガラス玉自動振り分け装置２の構成を概略的に示す図である。なお、同図において、図５および図６に示したものと同じ構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
【００３５】
この図において、ホッパー１２０は、検査対象となるガラス玉３を貯蓄すると共にホッパーコントローラ１２１の制御の下、フィーダー１２２に所定個数のガラス玉３を供給するものである。本実施形態では、ホッパー１２０には、約４０００個のガラス玉３が貯蓄される。フィーダー１２２は、フィーダーコントローラ１２３の制御の下、ホッパー１２０から供給されたガラス玉３を所定個数だけ導入レーン１２４に送り出すものである。導入レーン１２４は、先端が下方に傾く姿勢で配置され、その先端が昇降ステージ１２５に連結される。昇降ステージ１２５は、実施形態で説明したステージ１０にガラス玉３を１個ずつ供給するものであり、ステージ１０と隣接して配置され、このステージ１０よりも僅かに降下した状態でシリンダ１２６により昇降可能に支持されることで、昇降ステージ１２５とステージ１０との間に段差が形成されている。従って、導入レーン１２４に送り出されたガラス玉３は、この段差に衝突して静止する。ここで、導入レーン１２４の途中には、ガラス玉３の有無を検出する検出センサ１３８が配置されており、この検出センサ１３８によりガラス玉３が無いことが検出されると、フィーダー１２２からガラス玉３が導入レーン１２４に供給され、これにより、導入レーン１２４には、所定個数以上のガラス玉３が存在するようになっている。
【００３６】
さて、昇降ステージ１２５がシリンダ１２６により上昇させられると、この昇降ステージ１２５上の１個のガラス玉３がステージ１０に導かれる。ステージ１０の近くには、当該ステージ１０上でのガラス玉３の有無を検出する検出センサ１２７が設けられている。ガラス玉３がステージ１０に導かれ、検出センサ１２７がガラス玉３を検出すると、駆動モータ１２８がゴムタイヤ１２を回転駆動させる一方で、照明コントローラ１２９の制御の下、照射光源１６からガラス玉３へ光が照射され、また、カメラコントローラ１３０の制御の下、カメラ１４によりガラス玉３からの透過光の撮像が行われ、これにより、ガラス玉３の全表面にわたる欠陥検査が行われる。
【００３７】
またステージ１０は、シリンダ１３１に昇降可能に支持され、ガラス玉３の全表面検査が終了すると、シリンダ１３１によりステージ１０が上昇する構成となっている。ステージ１０が上昇すると、当該ステージ１０上のガラス玉３は、ゴムタイヤ１２の回転（図中、時計回り）により、当該ゴムタイヤ１２の後方（図中、右側）に配置された振分レーン１３２に導かれる。振分レーン１３２は、ガラス玉３を良品、不良品に振り分けるものである。具体的には、全表面検査の結果、ガラス玉３に欠陥があった場合には、シリンダ１３４により振分レーン１３２の出口が不良品用バケット１３６に案内され、これにより、欠陥のあるガラス玉３が不良品用バケット１３６に貯蓄される。一方ガラス玉３に欠陥が無い場合には、シリンダ１３４により、振分レーン１３２の出口が良品バケット１３７に案内され、この良品バケット１３７に欠陥の無いガラス玉３が貯蓄される。
【００３８】
ここで、本実施形態では、良品のガラス玉３を所定個数ごとに良品バケット１３７に貯蔵する構成としている。すなわち、本実施形態では、良品バケット１３７が多数（図示例では、２個）用意されており、振分レーン１３２の途中に設けられたガラス玉計数センサ１３９により、１つの良品バケット１３７へ所定個数のガラス玉３が供給された事を検知すると、良品のガラス玉３を別の良品バケット１３７へ導くべく、シリンダ１３５が振分レーン１３２の出口を切り替える構成となっている。
【００３９】
上述したホッパーコントローラ１２１、フィーダーコントローラ１２３、各シリンダ１２６、１３１、１３４、１３５、１３８、照明コントローラ１２９およびカメラコントローラ１３０の各構成要素は、制御ユニット１４０と接続され、この制御ユニット１４０に制御される。具体的には、制御ユニット１４０は、上記各構成要素と電気信号送受可能に接続されるＩ／Ｏ（Ｉｎｐｕｔ／Ｏｕｔｐｕｔ）部と、駆動モータ１２８を制御するモータコントローラと、各構成要素からの電気信号に応じて、これらの各構成要素をシーケンス制御するシーケンサとを備え、このシーケンサにより、上記のように各部が動作する。また、ガラス玉自動振り分け装置２は、ユーザインターフェースである操作盤１４１を備えている。この操作盤１４１には、電源投入ボタンや起動ボタン、停止ボタンといった各種操作子の他、ホッパー１２０に貯蓄されたガラス玉３の全部に対して検査が終了した事を報知する検査終了報知ランプや、良品バケットが満杯である事を報知するランプ、不良品バケットが満杯である事を報知するランプなどが設けられている。
【００４０】
以上の構成において、ユーザが操作盤１４１を操作して、検査指示を与えると、制御ユニット１４０が各部を制御することで、ガラス玉３の全表面検査が行われ、この検査結果に応じてガラス玉３が良品、不良品に振分選別される。すなわち、ガラス玉３の全表面検査に際し、作業者は、ホッパー１２０へのガラス玉３の充填と、各バケット１３６、１３７の回収のみを行えばよく、作業者負担が軽減されると共に、短時間で効率良くガラス玉３の全表面を検査し、良品、不良品を振り分けることが可能となる。
【００４１】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ガラス玉表面の欠陥を、その欠陥の形状によらず正確に検出できる球状透明体表面検査装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる球状透明体（ガラス玉）の表面欠陥の検出方法原理を説明するための図である。
【図２】本発明にかかる球状透明体（ガラス玉）の表面欠陥の検出方法原理を説明するための図である。
【図３】本発明にかかる球状透明体（ガラス玉）の表面欠陥の検出方法原理を説明するための図である。
【図４】本発明にかかる表面欠陥検出方法により得られる検出結果を模式的に示す図である。
【図５】実施形態にかかるガラス玉表面検査装置の基本的構成の概略を示す図である。
【図６】同ガラス玉表面検査装置の側面図である。
【図７】ガラス玉表面に欠陥がある場合の受光信号を示す図である。
【図８】同受光信号に基づいて生成された画像を示す図である。
【図９】ガラス玉の回転方向制御を説明するための図である。
【図１０】ガラス玉の回転方向制御を説明するための図である。
【図１１】ガラス玉の回転方向制御を説明するための図である。
【図１２】本発明の応用例にかかるガラス玉自動振り分け装置の構成を示す図である。
【図１３】従来の技術を説明するための図である。
【符号の説明】
１  ガラス玉表面検査装置
３  ガラス玉
４  欠陥
１０  ステージ
１０ａ  開口部
１２  ゴムタイヤ
１４  カメラ
１６  照射光源
１６ａ  点光源
１８  コンピュータシステム
２０  コリメート装置
２１  ハーフミラー
２２  ミラー
１４０  制御ユニット
【図１】
2005010012.tif 000003
【図２】
2005010012.tif 000004
【図３】
2005010012.tif 000005
【図４】
2005010012.tif 000006
【図５】
2005010012.tif 000007
【図６】
2005010012.tif 000008
【図７】
2005010012.tif 000009
【図８】
2005010012.tif 000010
【図９】
2005010012.tif 000011
【図１０】
2005010012.tif 000012
【図１１】
2005010012.tif 000013
【図１２】
2005010012.tif 000014
【図１３】
2005010012.tif 000015