(57)【要約】  【課題】  振動体を支持する支持機構であって、該振動体の重量に耐え、設置場所に伝播する振動を減衰することができ、さらには、常に前記振動体を元の位置に戻すように動作する振動体の支持機構を提供する。  【解決手段】  振動体Ｖを保持する基盤部材１１と、設置場所ＰＬに固定されるベース部材１２と、基盤部材１１とベース部材１２との間に設けられる支持部材１３とを有しており、支持部材１３は対向する一対の曲面状の凹部１３４、１３５を有する支持部１３１、１３２とその間に配置される振り子１３３とが複数個備えられている振動体の支持機構１。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動体を支持する振動体の支持機構において、
前記振動体を保持する基盤部材と、
前記振動体を設置する設置場所に固定されるベース部材と、
前記基盤部材と前記ベース部材との間に設けられる支持部材とを有しており、
前記支持部材は対向する一対の曲面状の凹部を有する支持部とその間に配置される振り子とが１又は複数個備えられていることを特徴とする振動体の支持機構。
【請求項２】
前記一対の支持部は前記基盤部材及び前記ベース部材と一体的に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の振動体の支持機構。
【請求項３】
前記一対の支持部は少なくとも凹部の形状が同一であることを特徴とする請求項１に記載の振動体の支持機構。
【請求項４】
前記支持部の凹部の曲面は支持部の長手方向に延びる凹溝であることを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載の振動体の支持機構。
【請求項５】
前記支持部の凹部の曲面は曲線の軸回転体であることを特徴とする請求項１、請求項２又は請求項３に記載の振動体の支持機構。
【請求項６】
前記振り子は防振部材と
前記防振部材を挟んで固定する一対の摺動部材とを有しており、
前記摺動部材の防振部材と反対側は曲面で構成されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の振動体の支持機構。
【請求項７】
前記振り子の一対の摺動部材は２個の同一の部材からなることを特徴とする請求項６に記載の振動体の支持機構。
【請求項８】
前記振動体はスターリング冷凍機であり該スターリング冷凍機を冷却庫に設置するときに用いられることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれかに記載の振動体の支持機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動体を支持する支持機構に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
振動体を設置場所に設置するとき、該振動体の振動が設置場所に伝播するのを低減するために、防振能力を有する支持機構を介して前記設置場所に設置する。前記防振能力を有する支持機構として積層型の防振ゴムがよく用いられている。前記積層型防振ゴムは、例えばゴム製の円柱と金属製の円盤とを複数積層し、両端部に金属板が取り付けられているものを挙げることができる。
【０００３】
前記積層型防振ゴムの金属板の一方は前記設置場所に接触するように固定され、該積層型防振ゴムの上部に前記振動体を載置し他方の金属板と該振動体を固定する。このようにして、前記積層型防振ゴムを用いて前記振動体を前記設置場所に設置する。
【０００４】
前記積層型防振ゴムは積層方向（縦方向）の強度は高く、積層方向と直交する方向（横方向）のばね定数は小さい。前記積層型防振ゴムの縦方向の強度が高いので重量のある振動体を支持することができるとともに、横方向のばね定数が小さいので横方向の防振能力が高い。
【特許文献１】特開平９−３０３４５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記積層型防振ゴムは横方向の振動を減衰することができるが、横方向のばね定数が小さいので前記振動体と前記設置場所の相対位置が大きくずれると、該振動体が元の位置に戻るのに時間がかかり、最悪の場合元の位置に復帰することができない。
【０００６】
また、設置場所が傾いている場合、前記積層型防振ゴムはゴム層が前記振動体の重量によって該設置場所の傾き下方に変形した状態で停止してしまい、防振能力が極端に低下するか、防振能力がなくなってしまう。
【０００７】
そこで本発明は、振動体を支持する支持機構であって、該振動体の重量に耐え、設置場所に伝播する振動を減衰することができ、さらには、常に前記振動体を元の位置に自動的に戻る振動体の支持機構を提供することを目的とする。
【０００８】
また本発明は、振動体を支持する支持機構であって、前記振動体を所定角度傾いた設置場所に振動体を設置する場合であっても、該振動体の振動を減衰することができ、傾き角度がなくなった場合には、安定位置に自動的に戻る振動体の支持機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を達成するために本発明は、振動体を支持する振動体の支持機構において、前記振動体を保持する基盤部材と、前記振動体を設置する設置場所に固定されるベース部材と、前記基盤部材と前記ベース部材との間に設けられる支持部材とを有しており、前記支持部材は対向する一対の曲面状の凹部を有する支持部とその間に配置される振り子とを１又は複数個有していることを特徴とする。
【００１０】
この構成によると、支持機構は支持部の凹部に振り子を挟んで移動することで、横方向の移動時の運動エネルギを円滑に位置エネルギに変換することができるので、振動を減衰することができる。これにより、前記振動体の振動が該振動体の設置場所へ伝播するのを低減することができる。
【００１１】
上記構成において、一対の支持部は前記基盤部材及び前記ベース部材と一体的に形成されていてもよい。
【００１２】
この構成によると、前記一対の支持部のうち上側の支持部は前記基盤部材と、下側の支持部は前記ベース部材と一体的に形成されるので部品の数を減らすことができる。
【００１３】
上記構成において、一対の支持部は少なくとも凹部の形状が同一であるものを例示できる。また、凹部の形状のみでなく、上側の支持部及び下側の支持部が実質上同一形状の胸像体であってもよい。このことにより、構成部材の製造工程を減らすことが可能でありそれだけ、低コストで短期間に製造することが可能である。
【００１４】
上記構成において、支持部の凹部の曲面は支持部の長手方向に延びる凹溝であるものを例示できる。
【００１５】
この構成によると、振動の振れ方向と直交する方向に支持部の長手方向を配置することで、該直交する方向に安定して支持することができる。また、支持部の個数を減らすことができるので、上側の支持部と下側の支持部の同期がとりやすい。
【００１６】
上記構成において、支持部の凹部の曲面は曲線の軸回転体であるものを例示できる。
【００１７】
この構成によると、前記振り子は前記凹部の軸よりあらゆる方向に移動が可能であるため、複数の振動方向を有する振動体や、振動方向が変化する振動体等の複雑な振動パターンの振動体の支持機構として利用することが可能である。
【００１８】
上記構成において、振り子は防振部材と前記防振部材を挟んで固定する一対の摺動部材とを有しており、前記摺動部材の防振部材と反対側は曲面で構成されているものであってもよい。
【００１９】
この構成によると、前記防振部材が変形することで振動を吸収することができるので、支持機構の振動を減衰する能力を高めることが可能である。
【００２０】
上記構成において振り子の一対の摺動部材は２個の同一の部材からなるものであってもよい。このように構成することで、製造工程を減らすことができ、低コストで短期間に製造することが可能である。
【００２１】
前記振動体としてスターリング冷凍機を例示することができる。スターリング冷凍機を用いたスターリング冷却庫の該スターリング冷凍機を設置する設置場所（例えば機械室の床面）に設置するときに、上記の支持機構を用いることで、スターリング冷凍機の振動の前記スターリング冷却庫への伝播を防止し、騒音や疲労破壊を低減することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によると、振動体を支持する支持機構であって、該振動体の重量に耐え、設置場所に伝播する振動を減衰することができ、さらには、常に前記振動体を元の位置に戻すように動作する振動体の支持機構を提供することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に本発明の実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。図１に本発明にかかる振動体の支持機構にて振動体を安定状態で支持したときの断面図を示す。図１に示す支持機構１は振動体Ｖを保持する基盤部材１１と、振動体Ｖの設置場所ＰＬに固定されるベース部材１２と、基盤部材１１とベース部材１２の間に配置される支持部材１３とを有している。
【００２４】
支持部材１３は基盤部材１１の下面に備えられる上側支持部１３１と、ベース部材１２の上面に備えられる下側支持部１３２と、上側支持部１３１と下側支持部１３２との間に両支持部１３１、１３２と互いに接触する振り子１３３とを有している。上側支持部１３１と下側支持部１３２はそれには限定されないがここではそれぞれ基盤部材１１及びベース部材１２と一体的に形成され、同一の形状を有している。上側支持１３１及び下側支持部１３２のそれぞれ対向する面は曲面状の凹部１３４、１３５で形成されている。図１を見ればわかるように上側支持部１３１及び下側支持部１３２の凹部１３４、１３５は両端部に行くに従って大きく傾く形状を有している。図２に図１に示す振動体の支持機構の支持部の分解斜視図を示す。図２に示すように支持部１３の上側支持部１３１及び下側支持部１３２の凹部１３４、１３５は振動体Ｖの振動方向に直交する向きに延びる曲面状の凹溝である。
【００２５】
振り子１３３は防振部材１３６と防振部材１３６を挟んで配置される摺動部材１３７とを備えている。防振部材１３６は変形することで振動を減衰するものであり、それには限定されないが、ここではばね定数（弾性係数）の小さな円板状の弾性材（例えば防振ゴム等）である。防振部材１３６と摺動部材１３７は互いに固定されている。摺動部材１３７は上側支持部１３１と接触する上側摺動部材１３７１と下側支持部１３２と接触する下側摺動部材１３７２とを有している。
【００２６】
図１に示しているように支持部材１３は基盤部材１１とベース部材１２の間に振動の振れ方向に２個取り付けられているが、これに限定されるものではなく、支持部材１３の配置及び個数は振動体Ｖ及び基盤部材１１が安定するようになされるものを広く採用することができる。
【００２７】
図３（Ａ）〜（Ｄ）に振動体が振動するときの支持機構による支持状態の断面図を示す。図３（Ａ）は振動体Ｖが振動しておらず、基盤部材１１に固定された振動体Ｖがベース部材１２上に支持部材１３を介して支持されている状態である。図３（Ａ）に示しているように、上側支持部１３１と下側支持部１３２は同軸上に上下に並んで静止している。このとき、振り子１３７の摺動部材１３７１、１３７２は上側支持部１３１の凹部１３３の中央及び下側支持部１３２の凹部１３４の中央で接触している。振り子１３３は一対の摺動部材１３７が防振部材１３７３を挟んで上下に正立して静止している。
【００２８】
振動体Ｖが振動すると、該振動によって振動体Ｖ及び基盤部材１１が振動の振れ方向（図中左方向）に移動する。このとき、支持部材１３の上側支持部１３１は基盤部材１１の移動とともに移動する（図３（Ａ）参照）。上側支持部材１３１は凹部１３４が振り子１３３の摺動部材１３７１と接触した状態で移動する。また、振り子１３３も凹部１３１に押されて左方向に移動する。振り子１３３は下側支持部１３２の凹部１３５によっても押される。これにより、振り子１３３は摺動部材１３７の曲面の先端部が上側支持部１３１及び下側支持部１３２の凹部の曲面と接するように（ここでは時計回り）回転する。このとき、振り子１３３は下側支持部１３２の凹部１３５に沿って上昇し、上側支持部１３１は凹部１３４が振り子１３３の摺動部材１３７１と摺動しつつ移動することで上昇する（図３（Ｂ）参照）。
【００２９】
振動体Ｖ及び基盤部材１１の移動時の運動エネルギが位置エネルギへと変換されることで振動体Ｖ及び基盤部材１１の移動は停止する（図３（Ｃ）参照）。その後、上側支持部１３１は凹部１３４で振り子１３３の摺動部材１３７１と接触しながら下降する。これによって、凹部１３４の曲面は右方向に付勢され、上側支持部１３１は右方向に移動する。振り子１３３もわずかに上昇した位置で止まっていたので、下降に伴って、下側支持部１３２の凹部１３５に押されて右方向に移動する（図３（Ｄ）参照）。そして、上側支持部１３１及び振り子１３３は元の位置に戻る。
【００３０】
また、振り子１３３の上側の摺動部材１３７１が上側支持部１３１の凹部１３４にて押されると、上側の摺動部材１３７１より伝達したエネルギは防振部材１３６が変形することで減衰され下側の摺動部材１３７２に伝達される。これにより、振動体Ｖ及び基盤部材１１の振動のエネルギは減衰されてベース部材１２に伝播される。
【００３１】
以上に示したように、上側支持部１３１が移動するとき、凹部１３４を振り子１３３の上側摺動部材１３７１と接触した状態で移動する。凹部１３４は曲面状に形成されているものであり、凹部１３４の曲面が上側摺動部材１３７１に接触して移動し、移動方向が横方向から上方向に円滑に切り替わる。また、振り子１３３は横方向に移動するとき下側支持部１３２の凹部１３５の曲面と摺動しつつ円滑に移動する。振り子１３３の防振部材１３６にて減衰されたエネルギをさらに曲面に沿って円滑に上昇することで位置エネルギに変換することができる。このことにより、振動体Ｖ及び基盤部材１１の振動がベース部材１２に伝播するのを低減することができる。
【００３２】
図１、２に示す支持機構１において上側支持部１３１の凹部１３４及び下側支持部１３２の凹部１３５の曲面は放物線を描く断面形状を有しているが、それに限定されるものではなく、円弧、懸垂線等、振り子１３３が円滑に摺動することができる曲線の断面形状を有する曲面を広く採用することができる。また、振り子１３３の上側摺動部材１３７１及び下側摺動部材１３７２の曲面も同様に振り子１３３が円滑に摺動することができる曲面を広く採用することができる。
【００３３】
図４（Ａ）、（Ｂ）に本発明にかかる振動体の支持機構を利用して振動体を支持した状態の他の例の断面図を示す。図４に示すように振動体Ｖの設置場所ＰＬは角度θだけ傾いた場所であり、振動体Ｖ及び振動体Ｖが固定された基盤部材１１も傾いて設置される。上側支持部１３１は重力により設置場所ＰＬにそって下方向に移動する。このとき、振り子１３３の上側摺動部材１３７１は上側支持部１３１の曲面状凹部１３４から重力による力が付勢されており、振り子１３３は斜面下方向に移動する。振り子１３３が下向きに移動すると、下側摺動部材１３７２は下側支持部１３２の凹部１３５の曲面より反対向きの力が付勢される。振り子１３３の上側摺動部材１３７１に上側支持部１３１より付勢される力と、下側摺動部材３７２に下側支持部１３２から付勢される力が釣り合うことで、振動体Ｖ及び振動体Ｖが固定された基盤部材１１が静止する。
【００３４】
図４に示すように停止した（釣り合っている）状態で振り子１３３が下側支持部１３２の端部より内側にある場合、上述の方法と同じ方法で振動体Ｖの振動がベース部材１２へ伝播するのを防止することができる。
【００３５】
また、傾きθが０、すなわち、傾きがなくなったときは振り子１３３が下側支持部１３２の凹部１３５の曲面を摺動するとともに、上側支持部１３１の凹部１３４が振り子１３３の上側摺動部材１３７１と接触しつつ移動するので、図１に示すような安定位置に自動的にもどる。これにより、例えば、瞬間的に設置場所ＰＬが傾いてその後元に戻るといった動作を行った場合でも、支持部材１にて支持されている振動体Ｖ及び基盤部材１１が設置場所ＰＬより大きく外れることがなく、また、図１に示す静止位置に戻ることができる。
【００３６】
さらに、図４（Ｂ）に示すように、設置場所ＰＬが角度θだけ両側に回動して振動する場合、振り子１３３が上側支持部１３１及び下側支持部１３２の両端部よりはみ出さない範囲の角度であれば、支持機構１を用いることで支持することができる。
【００３７】
図５に本発明にかかる支持機構の利用例であるスターリング冷却庫の断面図を示す。図５に示すスターリング冷却庫Ａは、本体２とスターリング冷凍機３と、冷却側自然循環回路４と、放熱側自然循環回路５とを有している。
【００３８】
本体２は断熱材にて形成された壁に囲まれ、物品を冷却する冷却室２１を有しており、冷却室２１の上部にスターリング冷凍機３を設置するための機械室２２を有している。冷却室２１の上面は機械室２２の床面２２１を兼ねている。スターリング冷凍機３は冷熱を発生する低温部３１と温熱を発生する高温部３２とを有している。
【００３９】
冷却側自然循環回路４は凝縮器４１と蒸発器４２と冷媒配管４３とを有している。凝縮器４１はスターリング冷凍機３の低温部３１に接触配置されている。蒸発器４２は冷却室２１の内部に配置されている。蒸発器４２は凝縮器４１の下方に配置されており、蒸発器４２及び凝縮器４１を冷媒配管４３で接続し、二次冷媒を封入することでループ型のサーモサイホンが形成されている。
【００４０】
二次冷媒は凝縮器４１にて低温部３１の冷熱により冷却されて液化し冷媒配管４３を流下して蒸発器４２に流入する。蒸発器４２に流入した二次冷媒は冷却室２１の空気の熱を吸収し蒸発して冷媒配管４３を流動して凝縮器４１に流入する。冷却側自然循環回路４は高温の蒸気が上昇する現象、二次冷媒の相変化による圧力差及び液状の二次冷媒が流下するときの圧力差を利用して二次冷媒を循環するものである。
【００４１】
放熱側自然循環回路５は冷却側自然循環回路４と同様に凝縮器５１と、蒸発器５２と、冷媒配管５３とを有している。蒸発器５２はスターリング冷凍機３の高温部３２に接触配置されている。凝縮器５１は蒸発器５２の上部に配置されている。蒸発器５２及び凝縮器５１を冷媒配管５３にて接続し、冷媒を封入することで自然循環回路が形成されている。冷媒は蒸発器５２にて高温部３２の熱を吸収し蒸発する。蒸発した冷媒は冷媒配管５３を流動して凝縮器５１に流入する。冷媒は凝縮器５１で凝縮器５１の外部の空気に温熱を放出し冷却されて液化する。液化した冷媒は冷媒配管５３を流下し蒸発器５２に流入する。
【００４２】
スターリング冷凍機３は図示を省略したディスプレーサとパワーピストンが往復動することで内部に封入された作動流体を圧縮、膨張させて冷熱を発生させるものである。スターリング冷凍機３はこの構造を有していることで少なからず振動が発生する。この振動が本体２に伝播すると、騒音が発生したり、振動による疲労破壊が発生したりする。
【００４３】
このような振動による不具合の発生を避けるために、振動体であるスターリング冷凍機３を設置場所ＰＬ（床面２２１）に取り付けるときに本発明にかかる支持機構１を用いている。支持機構１はスターリング冷凍機３が固定される基盤部材１１と、床面２２１に固定されるベース部材１２と、基盤部材１１とベース部材１２の間に配置される支持部材１３とを有している。上述のように支持機構１は上側支持部１３１と下側支持部１３２が振り子１３３を挟んでずれることで振動のエネルギを減衰している。これにより、スターリング冷凍機３にて発生した振動はベース部材１２及びベース部材１２が固定されている床面２２１に伝播するのを低減することができ、それだけ、騒音や疲労破壊等の不具合の発生を防止することができる。
【００４４】
図６（Ａ）に本発明にかかる支持機構のさらに他の例の断面図を、図６（Ｂ）に支持機構の支持部材の分解斜視図を示す。図６（Ａ）に示す支持機構６の支持部材６３は上側支持部６３１と、下側支持部６３２と、振り子６３３を備えている。上側支持部６３は振動体Ｖが固定される基盤部材６１に一体的に形成されている。また、下側支持部６３２は振動体Ｖを設置する設置場所ＰＬに固定されるベース部材６２に一体的に形成されている。
【００４５】
図６（Ｂ）に示すように上側支持部６３１は円柱状に形成されており、上面にはすり鉢状曲面を有する凹部６３４が形成され、凹部６３４が下向きになるように配置されている。下側支持部６３２は上側支持部６３１と同一の形状を有しており、すり鉢状曲面を有する凹部６３５が形成されている。上側支持部６３１と下側支持部６３２とは凹部６３４、６３５が対向するように設置される。
【００４６】
振り子６３３は防振部材６３６と、摺動部材６３７とを有している。摺動部材６３７は上側支持部６３１の凹部６３４と接触配置される上側摺動部材６３７１と、下側支持部６３２の凹部６３５と接触配置される下側摺動部材６３７２とを備えている。上側摺動部材６３７１と下側摺動部材６３７２とは凹部６３４、６３５に接触する部分が曲面状の軸回転体で形成されている。防振部材６３６はそれには限定されないが円盤状の弾性部材である。
【００４７】
振動体Ｖが振動していない状態（停止状態）では、振り子６３３は上側支持部６３１と下側支持部６３２の凹部６３４、６３５にて形成される空間に正立して配置される。このとき、振り子６３３の上側摺動部材６３７１は凹部６３４の中央部と、下側摺動部材６３７２は凹部６３５の中央部とそれぞれ接触している。振り子６３３が凹部６３４、６３５と接触することで上側支持部６３１が下側支持部６３２の真上に位置するように支持している。
【００４８】
支持機構１は上側支持部６３１と下側支持部６３２の凹部６３４、６３５はすり鉢状に形成されているので、振り子６３３の移動方向は図２に示す支持機構１のように限定されず、あらゆる方向に移動することができる。このことにより、支持機構６は振動体Ｖが振動方向異なる２以上の方向に振動する等のような複雑な振動をする場合にも用いることができる。また、図示は省略しているが、ベース部材１２上に基盤部材１１を安定して支持するために支持機構６は４個配置するものを例示できる。また、それに限定されるものではなく、安定支持できるものを広く採用することができる。
【００４９】
本実施例において上側支持部６３１及び下側支持部６３２として円柱形状を有するものを例に説明したが、それに限定されるものではなく、上面又は下面にすり鉢状曲面を有する直方体、六角柱等の柱状部材を広く採用することができる。
【００５０】
また支持機構６の上側支持部の凹部６３４及び下側支持部の凹部６３５の形状は放物線の回転体形状であるが、それに限定されるものではなく。截頭球形等、振り子６３３の円滑な移動を妨げないものを広く採用することができる。
【００５１】
上記各実施例において、支持部１（６）の上側支持部１３１（６３１）は基盤部材１１（６１）と、下側支持部１３２（６３２）はベース部材１２（６２）とそれぞれ一体的に形成されているものを例示しているが、それに限定されるものではなく、上側支持部１３１（６３１）又は下側支持部１３２（６３２）のうち少なくとも一方は着脱可能に形成されており、溶接、接着、ボルト留め、圧入等の固定手段を用いて固定するものであってもよい。この場合、上側支持部１３１（６３１）と下側支持部１３２（６３２）の位置合わせを容易に行うことができる。
【００５２】
さらに上述の各実施例において、支持機構は、上側支持部と下側支持部とが同一形状を有するものを例示してきたが、異なる大きさ、異なる形状を有するものであってもよい。また、凹部のみ異なる形状を有しているものであってもよい。振り子の上側摺動部材と下側摺動部材も同一形状であってもよく、異なる大きさ、異なる形状を有していてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明にかかる振動体の支持機構にて振動体を安定状態で支持したときの断面図である。
【図２】図１に示す振動体の支持機構の支持部の分解斜視図である。
【図３】図（Ａ）〜（Ｄ）に振動体が振動するときの図１に示す振動体の支持機構による支持状態の断面図である。
【図４】図（Ａ）、（Ｂ）は本発明にかかる振動体の支持機構を利用して振動体を支持した状態の他の例の断面図である。
【図５】本発明にかかる支持機構の利用例であるスターリング冷却庫の断面図である。
【図６】図（Ａ）は本発明にかかる振動体の支持機構のさらに他の例の断面図であり、図（Ｂ）は図（Ａ）に示す振動体の支持機構の分解斜視図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  支持機構
１１  基盤部材
１２  ベース部材
１３  支持部材
１３１  上側支持部
１３２  下側支持部
１３３  振り子
１３４  凹部
１３５  凹部
１３６  防振部材
１３７  摺動部材
１３７１  上側摺動部材
１３７２  下側摺動部材
２  本体
２１  冷却室
２２  機械室
２２１  床面
３  スターリング冷凍機
３１  低温部
３２  高温部
４  二次冷媒循環回路
４１  凝縮器
４２  蒸発器
４３  冷媒配管
５  放熱側自然循環回路
５１  凝縮器
５２  蒸発器
５３  冷媒配管
６  支持機構
６１  基盤部材
６２  ベース部材
６３  支持部材
６３１  上側支持部
６３２  下側支持部
６３３  振り子
６３４  凹部
６３５  凹部
６３６  防振部材
６３７  摺動部材
６３７１  上側摺動部材
６３７２  下側摺動部材
Ａ  スターリング冷却庫
Ｖ  振動体
ＰＬ  設置場所
【図１】
2005282788.tif 000003
【図２】
2005282788.tif 000004
【図３】
2005282788.tif 000005
【図４】
2005282788.tif 000006
【図５】
2005282788.tif 000007
【図６】
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