(57)【要約】【課題】保護膜の性質を部分的に変えることができる記録媒体および記録媒体駆動装置を提供する。【解決手段】記録媒体１３では、記録層３３の表面に第１および第２保護膜３４ａ、３４ｂが積層される。第１保護膜３４ａは第２保護膜３４ｂに隣接する。第２保護膜３４ｂは、第１保護膜３４ａと異なる組成で構成される。こうした記録媒体１３では、組成の相違に基づき保護膜３４の性質は部分的に変えられる。こうした組成の相違に基づき第２保護膜３４ｂは第１保護膜３４ａよりも高い硬度を有すればよい。第２保護膜３４ｂで高い高度が設定されれば、第２保護膜３４ｂの働きで記録媒体１３の損傷は回避されることができる。記録媒体１３は物体の衝突や接触といった衝撃から保護される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録層と、記録層の表面に積層される第１保護膜と、第１保護膜に隣接しつつ記録層の表面に積層され、第１保護膜と異なる組成で構成される第２保護膜とを備えることを特徴とする記録媒体。
【請求項２】
請求項１に記載の記録媒体において、前記第２保護膜は、前記組成の相違に基づき前記第１保護膜よりも高い硬度を有することを特徴とする記録媒体。
【請求項３】
請求項２に記載の記録媒体において、前記第１保護膜の表面を覆う第１潤滑膜と、第１潤滑膜に隣接しつつ前記第２保護膜の表面を覆い、燐系添加剤を含む第２潤滑膜とをさらに備えることを特徴とする記録媒体。
【請求項４】
請求項２に記載の記録媒体において、前記第２保護膜は、データを保持するデータゾーンから外れた領域で前記記録層を覆うことを特徴とする記録媒体。
【請求項５】
記録層と、記録層の表面に積層される第１保護膜と、第１保護膜に隣接しつつ記録層の表面に積層され、第１保護膜と異なる組成から構成される第２保護膜とを備える記録媒体が組み込まれることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）といった記録媒体駆動装置に組み込まれる記録媒体に関し、特に、記録層と、記録層の表面に積層される保護膜とを備える記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＨＤＤには記録媒体すなわち磁気ディスクが組み込まれる。磁気ディスクは、記録磁性層の表面に積層される保護膜を備える。保護膜の表面には潤滑膜が積層される。保護膜には例えばダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）膜が用いられる。潤滑膜には例えばパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）膜が用いられる。
【特許文献１】特願２００２−３６３３８３
【特許文献２】特開２０００−２６８３５５号公報
【特許文献３】特開平０５−２８２６６３号公報
【特許文献４】特開２００１−２０２６１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ＤＬＣ膜の組成は磁気ディスクの全面にわたって均一に保持される。その結果、ＤＬＣ膜では全体で同一の性質が規定される。磁気ディスクの表面には例えばデータゾーンと、データゾーンに隣接する非データゾーンとが区画される。仮に、データゾーンと非データゾーンの間で性質が異なれば、様々な効果が実現されると考えられる。
【０００４】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、保護膜の性質を部分的に変えることができる記録媒体および記録媒体駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明によれば、記録層と、記録層の表面に積層される第１保護膜と、第１保護膜に隣接しつつ記録層の表面に積層され、第１保護膜と異なる組成で構成される第２保護膜とを備えることを特徴とする記録媒体が提供される。
【０００６】
こういった記録媒体では、第２保護膜は第１保護膜と異なる組成で構成される。組成の相違に基づき保護膜の性質は部分的に変えられることができる。こうした組成の相違に基づき第２保護膜は第１保護膜よりも高い硬度を有すればよい。第２保護膜で高い硬度が設定されれば、第２保護膜の働きで記録媒体の損傷は回避されることができる。記録媒体は物体の衝突や接触といった衝撃から保護される。このとき、第１保護膜は、第１含有量で窒素を含む炭素膜から構成され、第２保護膜は、第１含有量よりも小さい第２含有量で窒素を含む炭素膜から構成されればよい。
【０００７】
第２保護膜は、データを保持するデータゾーンから外れた領域で記録層を覆えばよい。こうしてデータゾーンから外れた領域では第２保護膜の働きで記録媒体の損傷は回避されることができる。記録媒体は物体の衝突や接触といった衝撃から保護される。
【０００８】
第２保護膜の厚みは第１保護膜の厚みよりも大きく設定されてもよい。こうした厚みに基づき第２保護膜では一層耐久性は高められることができる。第２保護膜の働きで記録媒体の損傷は回避されることができる。
【０００９】
以上のような記録媒体は、第１保護膜の表面を覆う第１潤滑膜と、第１潤滑膜に隣接しつつ第２保護膜の表面を覆い、燐系添加剤を含む第２潤滑膜とをさらに備えてもよい。第２潤滑膜では、燐系添加剤の添加に基づき熱に対する劣化は阻止されることができる。したがって、物体の衝突や接触に基づき第２潤滑膜で熱が発生しても、第２潤滑膜の劣化は阻止されることができる。記録媒体は物体の衝突や接触といった衝撃から保護される。
【００１０】
こうした記録媒体は、第１保護膜の表面を覆い、第１厚みを有する第１潤滑膜と、第１潤滑膜に隣接しつつ第２保護膜の表面を覆い、第１厚みよりも大きい第２厚みを有する第２潤滑膜とをさらに備えてもよい。こうした厚みに基づき第２潤滑膜では一層耐久性は高められることができる。第２潤滑膜の働きで記録媒体の損傷は回避されることができる。
【００１１】
以上のような記録媒体は記録媒体駆動装置に組み込まれればよい。記録媒体は、記録層と、記録層の表面に積層される第１保護膜と、第１保護膜に隣接しつつ記録層の表面に積層され、第１保護膜と異なる組成から構成される第２保護膜とを備えればよい。
【００１２】
こういった記録媒体駆動装置は、ヘッドスライダと、先端でヘッドスライダを支持し、支軸回りの回転に基づき記録媒体に対して相対的にヘッドスライダを変位させるヘッドアクチュエータと、第２保護膜に向き合わせられる先端からヘッドアクチュエータの先端の移動経路に沿って記録媒体の外側に向かって延びるランプ部材とを備えればよい。
【００１３】
記録媒体駆動装置は、記録媒体に情報を書き込む書き込み素子および記録媒体から情報を読み出す読み出し素子の少なくともいずれか一方が搭載されるヘッドスライダを備えればよい。ヘッドスライダは、記録媒体の静止中、第２保護膜の表面に受け止められればよい。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように本発明によれば、保護膜の性質を部分的に変えることができる記録媒体および記録媒体駆動装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
【００１６】
図１は、本発明の第１実施形態に係る記録ディスク駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は、例えば平たい直方体の内部空間を区画する箱形の筐体本体１２を備える。収容空間には、記録ディスクとしての１枚以上の磁気ディスク１３が収容される。磁気ディスク１３はスピンドルモータ１４の回転軸に装着される。スピンドルモータ１４は例えば５４００ｒｐｍや７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１３を回転させることができる。筐体本体１２には、筐体本体１２との間で収容空間を密閉する蓋体すなわちカバー（図示されず）が結合される。
【００１７】
磁気ディスク１３の表面には、最内周記録トラック１５と最外周記録トラック１６との間にデータゾーン１７が区画される。データゾーン１７には同心円状に記録トラックが描かれる。記録トラックには情報すなわちデータが保持される。最内周記録トラック１５の内側には非データゾーン１８が区画される。最外周記録トラック１６の外側には非データゾーン１９が区画される。非データゾーン１８、１９にはデータは記録されない。非データゾーン１８、１９はデータゾーン１７に隣接する。
【００１８】
収容空間にはヘッドアクチュエータ２１がさらに収容される。このヘッドアクチュエータ２１はアクチュエータブロック２２を備える。アクチュエータブロック２２は、垂直方向に延びる支軸２３に回転自在に連結される。アクチュエータブロック２２には、支軸２３から水平方向に延びる複数のアクチュエータアーム２４が区画される。こういったアクチュエータブロック２２は例えば鋳造に基づきアルミニウムから成型されればよい。
【００１９】
個々のアクチュエータアーム２４の先端には、アクチュエータアーム２４から前方に延びるヘッドサスペンション２５が取り付けられる。ヘッドサスペンション２５の先端にはいわゆるジンバルばね（図示されず）が接続される。ジンバルばねの表面に浮上ヘッドスライダ２６は固定される。こうしたジンバルばねの働きで浮上ヘッドスライダ２６はヘッドサスペンション２５に対してその姿勢を変化させることができる。
【００２０】
浮上ヘッドスライダ２６にはいわゆる磁気ヘッドすなわち電磁変換素子（図示されず）が搭載される。この電磁変換素子は、例えば、薄膜コイルパターンで生成される磁界を利用して磁気ディスク１３に情報を書き込む薄膜磁気ヘッドといった書き込み素子と、スピンバルブ膜やトンネル接合膜の抵抗変化を利用して磁気ディスク１３から情報を読み出す巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子やトンネル接合磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子といった読み出し素子とで構成されればよい。
【００２１】
浮上ヘッドスライダ２６には、磁気ディスク１３の表面に向かってヘッドサスペンション２５から押し付け力が作用する。磁気ディスク１３の回転に基づき磁気ディスク１３の表面で生成される気流の働きで浮上ヘッドスライダ２６には浮力が作用する。ヘッドサスペンション２５の押し付け力と浮力とのバランスで磁気ディスク１３の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２６は浮上し続けることができる。
【００２２】
こういった浮上ヘッドスライダ２６の浮上中にヘッドアクチュエータ２１が支軸２３回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の半径線に沿って移動することができる。すなわち、ヘッドアクチュエータ２１は磁気ディスク１３に対して相対的に浮上ヘッドスライダ２６を変位させる。その結果、浮上ヘッドスライダ２６上の電磁変換素子は最内周記録トラック１５と最外周記録トラック１６との間でデータゾーン１７を横切ることができる。こうして浮上ヘッドスライダ２６上の電磁変換素子は目標の記録トラック上に位置決めされる。ヘッドアクチュエータ２１の回転は例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）といった動力源２７の働きを通じて実現されればよい。
【００２３】
ヘッドサスペンション２５の先端には、ヘッドサスペンション２５の先端から前方に延びるロードタブ２８が固定される。ロードタブ２８はヘッドアクチュエータ２１の揺動に基づき磁気ディスク１３の半径方向に移動することができる。ロードタブ２８の移動経路上にはランプ部材２９が配置される。すなわち、ランプ部材２９は、磁気ディスク１３の非データゾーン１９に向き合わせられる先端からロードタブ２８の移動経路に沿って磁気ディスク１３の外側に向かって延びる。ランプ部材２９およびロードタブ２８は協働でいわゆるロードアンロード機構を構成する。ランプ部材２９は例えば硬質プラスチック材料から成型されればよい。
【００２４】
図２は磁気ディスク１３の断面構造を詳細に示す。この磁気ディスク１３は基体すなわち基板３１を備える。基板３１は例えばガラスから構成されればよい。ただし、基板３１にはアルミニウム基板やセラミック基板、シリコン基板、サファイア基板が用いられてもよい。
【００２５】
基板３１の表面には下地層３２が広がる。下地層３２には例えば膜厚５．０ｎｍ程度のＣｒ膜が用いられればよい。下地層３２の表面には記録磁性層３３が広がる。記録磁性層３３に磁気情報は記録される。記録磁性層３３には例えば膜厚２０．０ｎｍ程度のＣｏＣｒＰｔ膜が用いられればよい。
【００２６】
記録磁性層３３の表面には保護膜３４が広がる。保護膜３４には例えば炭素膜が用いられる。ここでは、保護膜３４には例えば膜厚５．０ｎｍ程度のダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）膜が用いられればよい。保護膜３４の表面は潤滑膜３５で被覆される。潤滑膜３５には例えば膜厚１．０ｎｍ程度のパーフルオロポリエーテル（ＰＦＰＥ）膜が用いられればよい。
【００２７】
図３に示されるように、保護膜３４は、データゾーン１７を覆う第１保護膜３４ａと、非データゾーン１９を覆う第２保護膜３４ｂとから構成される。すなわち、第２保護膜３４ｂはデータゾーン１７から外れた領域で記録磁性層３３を覆う。第１保護膜３４ａおよび第２保護膜３４ｂは相互に隣接する。
【００２８】
第１保護膜３４ａには第１含有量で窒素といった非金属元素が添加される。第１含有量は例えば４［ａｔ％］以上に設定されればよい。窒素の添加に基づき第１保護膜３４ａでは潤滑膜３５との間で密着性は高められる。第２保護膜３４ｂには、第１含有量よりも小さい第２含有量で窒素といった非金属元素が含まれる。第２含有量は例えば４［ａｔ％］未満に設定されればよい。窒素の添加に基づき第２保護膜３４ｂでは第１保護膜３４ａよりも高い硬度が設定される。こうして第１および第２保護膜３４ａ、３４ｂは異なる組成で構成される。保護膜３４の性質は部分的に変えられる。
【００２９】
いま、磁気ディスク１３が回転し始める場面を想定する。磁気ディスク１３の静止中、ヘッドアクチュエータ２１は、磁気ディスク１３の最外周記録トラック１６よりも外側に保持される。ロードタブ２８はランプ部材２９上に受け止められる。磁気ディスク１３が回転し始めると、ヘッドアクチュエータ２１が磁気ディスク１３の内側に向かって支軸２３回りで揺動する。こうした揺動に基づき、例えば図４に示されるように、ロードタブ２８は非データゾーン１９上でランプ部材２９から離脱する。浮上ヘッドスライダ２６には磁気ディスク１３の回転に基づき気流が作用する。前述のように、浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面から浮上し続ける。電磁変換素子はデータゾーン１７上で目標の記録トラックに対して位置決めされる。磁気情報の書き込みや読み出しは実施される。
【００３０】
磁気情報の書き込みや読み出しが完了すると、ヘッドアクチュエータ２１は磁気ディスク１３の外側に向かって支軸２３回りで揺動する。こうした揺動に基づき、例えば図４に示されるように、ロードタブ２８は非データゾーン１９上でランプ部材２９に乗り上げる。さらにヘッドアクチュエータ２１が揺動すると、ロードタブ２８はランプ部材２９を登っていく。ロードタブ２８が最大限に磁気ディスク１３から遠ざかると、浮上ヘッドスライダ２６は待避位置に位置決めされる。こうしてロードタブ２８はランプ部材２９に受け止められる。磁気ディスク１３の回転は停止する。ロードタブ２８はランプ部材２９上に保持されることから、無風状態にも拘わらず磁気ディスク１３に対する浮上ヘッドスライダ２６の衝突や接触は回避されることができる。
【００３１】
以上のようなＨＤＤ１１では、ロードタブ２８が非データゾーン１９上でランプ部材２９に乗り上げる際、浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面から急激に引き離される。浮上ヘッドスライダ２６では負圧に比べて正圧すなわち浮力が急速に失われる。その結果、浮上ヘッドスライダ２６は非データゾーン１９で磁気ディスク１３の表面に衝突することがある。しかしながら、非データゾーン１９は第２保護膜３４ｂで覆われる。第２保護膜３４ｂは第１保護膜３４ａよりも高い硬度を有する。こうした第２保護膜３４ｂの働きで磁気ディスク１３の損傷は回避されることができる。磁気ディスク１３は、浮上ヘッドスライダ２６の衝突や接触といった衝撃から保護される。
【００３２】
しかも、第１保護膜３４ａでは窒素の添加に基づき潤滑膜３５との間で密着性は高められる。潤滑膜３５の表面には第１保護膜３４ａ上で平滑面が確立される。データゾーン１７上では浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面に近づくことができる。
【００３３】
次に磁気ディスク１３の製造方法を簡単に説明する。まず、ディスク形の基板３１が用意される。基板３１の表面は平滑化される。下地層３２や記録磁性層３３の積層形成にあたって例えば周知のスパッタリング法が実施されればよい。基板３１はチャンバ内に配置される。チャンバ内で基板３１の表面には下地層３２や記録磁性層３３が順次積層形成される。その後、基板３１はチャンバ内から取り出される。
【００３４】
続いて、記録磁性層３３の表面には保護膜３４が積層形成される。保護膜３４の積層形成にあたって周知のスパッタリング法が実施されればよい。ここでは、第１および第２チャンバが用意される。第１チャンバには、第２チャンバよりも高い濃度でＮ２ガスが導入される。第１および第２チャンバ内にはＣターゲットが装着される。基板３１は第１チャンバ内に設置される。
【００３５】
図５に示されるように、第１チャンバ内では、Ｃターゲット（図示されず）と基板３１との間に円盤状のシールド３６が挟み込まれる。シールド３６は磁気ディスク１３のデータゾーン１７を覆う。ＣターゲットからＣ原子が放出されると、Ｃ原子は記録磁性層３３の表面に降り注ぐ。データゾーン１７上ではシールド３６に基づきＣ原子の堆積は阻止される。こうして記録磁性層３３の表面では非データゾーン１９上に炭素膜３７が形成される。例えばＮ２ガスの濃度の調整に基づき炭素膜３７には４［ａｔ％］より小さい含有量で窒素が含まれる。こうして非データゾーン１９は第２保護膜３４ｂで覆われる。基板３１は第１チャンバから取り出される。
【００３６】
続いて、基板３１は第２チャンバ内に設置される。図６に示されるように、第２チャンバ内では、Ｃターゲット（図示されず）と基板３１との間に環状のシールド３８が挟み込まれる。シールド３８は磁気ディスク１３の非データゾーン１９を覆う。ＣターゲットからＣ原子が放出されると、Ｃ原子は記録磁性層３３の表面に降り注ぐ。非データゾーン１９上ではシールド３８に基づきＣ原子の堆積は阻止される。こうして記録磁性層３３の表面ではデータゾーン１７上に炭素膜３９が形成される。例えばＮ２ガスの濃度の調整に基づき炭素膜３９には４［ａｔ％］以上の含有量で窒素が含まれる。こうしてデータゾーン１７は第１保護膜３４ａで覆われる。ここでは、第１および第２保護膜３４ａ、３４ｂの厚みは同一に設定されればよい。
【００３７】
続いて、第２チャンバから基板３１は取り出される。基板３１では、保護膜３４の表面に潤滑膜３５が塗布される。塗布にあたって例えば周知のディップ法が実施されればよい。基板３１は例えばパーフルオロポリエーテルを含む溶液に浸されればよい。こうして保護膜３４の表面は潤滑膜３５で覆われる。
【００３８】
次に、本発明者は窒素の含有量に基づく保護膜の耐久性を検証した。検証にあたって第１〜第４具体例が用意された。第１〜第４具体例では、磁気ディスクの全面にわたって保護膜および潤滑膜が積層形成された。第１具体例では保護膜に１６［ａｔ％］の窒素が添加された。第２具体例では保護膜に８［ａｔ％］の窒素が添加された。第３具体例では保護膜に４［ａｔ％］の窒素が添加された。第４具体例では保護膜に窒素は添加されなかった。第１〜第４具体例では保護膜の厚みは４．０ｎｍに設定された。
【００３９】
第１〜第４具体例に係る磁気ディスクでは、磁気ディスクの回転中、最内周記録トラックと最外周記録トラックとの中間位置にボールが押し付けられた。いわゆるボールオン評価が実施された。ボールの直径は２．０ｍｍに設定された。ボールの加重は１０［ｇ］に設定された。磁気ディスクの周速はボールの押し付け位置で０．２５［ｍ／ｓ］に設定された。磁気ディスクの表面に傷が形成されるまで磁気ディスクの回転数すなわちパス回数が計測された。
【００４０】
図７に示されるように、窒素の添加量が減少するとパス回数が増大することが確認された。特に、窒素が添加されない第４具体例では、窒素が添加された第１〜第３具体例に比べてパス回数が飛躍的に増大することが確認された。第２保護膜３４ｂに４［ａｔ％］より小さい添加量で窒素が添加されれば、磁気ディスクは十分に衝撃に耐えうることが確認された。したがって、前述の磁気ディスク１３では、第２保護膜３４ｂへ窒素の添加は省略されてもよいことが確認された。
【００４１】
図８は、本発明の第２実施形態に係るハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１ａの内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１ａでは、いわゆるコンタクトスタートストップ（ＣＳＳ）方式が採用される。ヘッドアクチュエータ２１ではロードタブ２８の形成は省略される。同様に、ＨＤＤ１１ａへのランプ部材２９の組み込みは省略される。その他、第１実施形態と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
【００４２】
図９に示されるように、磁気ディスク１３では、第２保護膜３４ｂは非データゾーン１８を覆う。第２保護膜３４ｂは第１保護膜３４ａに隣接する。前述と同様に、第１保護膜３４ｂは第１保護膜３４ａと異なる組成で構成される。第２保護膜３４ｂには、第１保護膜３４ａよりも小さい含有量［ａｔ％］で例えば窒素といった非金属元素が含まれる。ここでは、第１保護膜３４ａには例えば４［ａｔ％］以上の窒素が添加されればよい。第２保護膜３４ｂには例えば４［ａｔ％］未満の窒素が添加されればよい。
【００４３】
いま、磁気ディスク１３が回転し始める場面を想定する。磁気ディスク１３の静止中、浮上ヘッドスライダ２６は、磁気ディスク１３の最内周記録トラック１５よりも内側に保持される。浮上ヘッドスライダ２６は非データゾーン１８で磁気ディスク１３の表面に受け止められる。磁気ディスク１３が回転し始めると、浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面を摺動する。浮上ヘッドスライダ２６には磁気ディスク１３の回転に基づき気流が作用する。浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面から浮上する。ヘッドアクチュエータ２１が磁気ディスク１３の外周に向かって支軸２３回りで揺動する。浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面から浮上し続ける。電磁変換素子はデータゾーン１７上で目標の記録トラックに対して位置決めされる。磁気情報の書き込みや読み出しは実施される。
【００４４】
磁気情報の書き込みや読み出しが完了すると、ヘッドアクチュエータ２１は磁気ディスク１３の内周に向かって支軸２３回りで揺動する。こうした揺動に基づき、浮上ヘッドスライダ２６は最内周記録トラック１５を越えて非データゾーン１８上に位置決めされる。磁気ディスク１３の回転数が低下すると、浮上ヘッドスライダ２６への気流の作用は低下する。浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面に接触する。浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面を摺動する。磁気ディスク１３の回転が停止する。浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面で非データゾーン１８上に受け止められる。
【００４５】
以上のようなＨＤＤ１１ａでは、磁気ディスク１３の回転の開始時や停止時に浮上ヘッドスライダ２６は非データゾーン１８上で磁気ディスク１３の表面を摺動する。同様に、磁気ディスク１３の静止時に浮上ヘッドスライダ２６は非データゾーン１８上で磁気ディスク１３の表面に接触する。しかしながら、非データゾーン１８は第２保護膜３４ｂで覆われる。第２保護膜３４ｂは第１保護膜３４ａよりも高い硬度を有する。こうした第２保護膜３４ｂの働きで磁気ディスク１３の損傷は回避されることができる。磁気ディスク１３は、浮上ヘッドスライダ２６の衝突や接触といった衝撃から保護される。
【００４６】
以上のようなＨＤＤ１１、１１ａでは、例えば図１０に示されるように、第２保護膜３４ｂの厚みは第１保護膜３４ａの厚みより大きく設定されてもよい。厚みの差は、浮上ヘッドスライダ２６の浮上高さよりも小さく設定されればよい。こうした厚みに基づき第２保護膜３４ｂでは耐久性はさらに高められることができる。その一方で、第１保護膜３４ａの厚みは第２保護膜３４ｂに比べて小さく設定されることができる。データゾーン１７上では浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面に近づくことができる。
【００４７】
その他、例えば図１１に示されるように、潤滑膜３５は、第１保護膜３４ａの表面に積層される第１潤滑膜３５ａと、第２保護膜３４ｂの表面に積層される第２潤滑膜３５ｂとを備えてもよい。第２潤滑膜３６ｂは第１潤滑膜３５ａに隣接する。第２潤滑膜３５ｂにはパーフルオロポリエーテルに対して例えば５〜１０％程度の割合で燐系添加剤が添加される。燐系添加剤には、例えば燐を含有するフッ素化合物が用いられればよい。こうしたフッ素化合物には例えばフォスファゼン環を有するフッ素化合物が含まれる。
【００４８】
磁気ディスク１３では、浮上ヘッドスライダ２６および磁気ディスク１３の間の接触や衝突に基づき熱が発生する。こうした熱に基づき潤滑膜３５が劣化してしまうことが考えられる。潤滑膜３５の劣化に基づき保護膜３４は損傷してしまう。しかしながら、燐系添加剤の添加に基づき第２潤滑膜３５ｂの熱に対する劣化は阻止される。第２潤滑膜３５ｂの耐久性は高められる。第２潤滑膜３５ｂに基づき第２保護膜３４ｂの損傷は回避される。磁気ディスク１３は、浮上ヘッドスライダ２６の衝突や接触といった衝撃から保護される。
【００４９】
第１および第２潤滑膜３５ａ、３５ｂの形成にあたって例えば周知のディップ法が実施されればよい。まず、第１保護膜３４ａの表面は円盤状の遮蔽マスクで覆われる。遮蔽マスクと第１保護膜３４ａとの間にはパッキンが挟み込まれる。基板３１は、パーフルオロポリエーテルを含む溶液に浸される。パーフルオロポリエーテルを含む溶液には所定の割合で燐系添加剤が含まれる。こうして第２潤滑膜３５ｂは形成される。円盤状の遮蔽マスクは除去される。続いて、第２潤滑膜３５ｂの表面は環状の遮蔽マスクで覆われる。遮蔽マスクと第２潤滑膜３５ｂとの間にはパッキンが挟み込まれる。基板３１は、パーフルオロポリエーテルを含む溶液に浸される。こうして第１潤滑膜３５ａは形成される。
【００５０】
その他、例えば図１２に示されるように、第２潤滑膜３５ｂの厚みは第１潤滑膜３５ａの厚みよりも大きく設定されてもよい。厚みの差は、浮上ヘッドスライダ２６の浮上高さよりも小さく設定されればよい。こうした厚みに基づき第２潤滑膜３５ｂでは耐久性はさらに高められることができる。その一方で、第１潤滑膜３５ａの厚みは第２潤滑膜３５ｂに比べて小さく設定されることができる。データゾーン１７上では浮上ヘッドスライダ２６は磁気ディスク１３の表面に近づくことができる。
【００５１】
（付記１）  記録層と、記録層の表面に積層される第１保護膜と、第１保護膜に隣接しつつ記録層の表面に積層され、第１保護膜と異なる組成で構成される第２保護膜とを備えることを特徴とする記録媒体。
【００５２】
（付記２）  付記１に記載の記録媒体において、前記第２保護膜は、前記組成の相違に基づき前記第１保護膜よりも高い硬度を有することを特徴とする記録媒体。
【００５３】
（付記３）  付記２に記載の記録媒体において、前記第１保護膜は、第１含有量で窒素を含む炭素膜から構成され、前記第２保護膜は、第１含有量よりも小さい第２含有量で窒素を含む炭素膜から構成されることを特徴とする記録媒体。
【００５４】
（付記４）  付記２に記載の記録媒体において、前記第２保護膜は、データを保持するデータゾーンから外れた領域で前記記録層を覆うことを特徴とする記録媒体。
【００５５】
（付記５）  付記２に記載の記録媒体において、前記第２保護膜の厚みは前記第１保護膜の厚みよりも大きく設定されることを特徴とする記録媒体。
【００５６】
（付記６）  付記２に記載の記録媒体において、前記第１保護膜の表面を覆う第１潤滑膜と、第１潤滑膜に隣接しつつ前記第２保護膜の表面を覆い、燐系添加剤を含む第２潤滑膜とをさらに備えることを特徴とする記録媒体。
【００５７】
（付記７）  付記２に記載の記録媒体において、前記第１保護膜の表面を覆い、第１厚みを有する第１潤滑膜と、第１潤滑膜に隣接しつつ前記第２保護膜の表面を覆い、第１厚みよりも大きい第２厚みを有する第２潤滑膜とをさらに備えることを特徴とする記録媒体。
【００５８】
（付記８）  記録層と、記録層の表面に積層される第１保護膜と、第１保護膜に隣接しつつ記録層の表面に積層され、第１保護膜と異なる組成から構成される第２保護膜とを備える記録媒体が組み込まれることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【００５９】
（付記９）  付記８に記載の記録媒体駆動装置において、ヘッドスライダと、先端でヘッドスライダを支持し、支軸回りの回転に基づき前記記録媒体に対して相対的にヘッドスライダを変位させるヘッドアクチュエータと、前記第２保護膜に向き合わせられる先端からヘッドアクチュエータの先端の移動経路に沿って前記記録媒体の外側に向かって延びるランプ部材とを備えることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【００６０】
（付記１０）  付記８に記載の記録媒体駆動装置において、前記記録媒体に情報を書き込む書き込み素子および前記記録媒体から情報を読み出す読み出し素子の少なくともいずれか一方が搭載されるヘッドスライダを備え、前記記録媒体の静止中、ヘッドスライダは前記第２保護膜の表面に受け止められることを特徴とする記録媒体駆動装置。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態に係る記録ディスク駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を概略的に示す平面図である。
【図２】図２は、磁気ディスクの構造を詳細に示す拡大垂直断面図である。
【図３】図３は、保護膜の構造を概略的に示す拡大垂直部分断面図である。
【図４】図４は、図１の４−４線に沿ったＨＤＤの部分拡大断面図であって、ランプ部材の構造および機能を概略的に示す図である。
【図５】図５は、第２保護膜の成膜工程を概念的に示す基板の垂直部分断面図である。
【図６】図６は、第１保護膜の成膜工程を概念的に示す基板の垂直部分断面図である。
【図７】図７は、ボールオン評価に基づく検証結果を示すグラフである。
【図８】図８は、本発明の第２実施形態に係る記録ディスク駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を概略的に示す平面図である。
【図９】図９は、保護膜の構造を概略的に示す拡大垂直部分断面図である。
【図１０】図１０は、保護膜および潤滑膜の構造を概略的に示す拡大垂直部分断面図である。
【図１１】図１１は、保護膜および潤滑膜の構造を概略的に示す拡大垂直部分断面図である。
【図１２】図１２は、潤滑膜の構造を概略的に示す拡大垂直部分断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１１  記録媒体駆動装置（ハードディスク駆動装置）、１３  記録媒体（磁気ディスク）、１７  データゾーン、１８  非データゾーン、１９  非データゾーン、２１  ヘッドアクチュエータ、２３  支軸、２６  ヘッドスライダ、２９  ランプ部材、３３  記録層（記録磁性層）、３４ａ  第１保護膜、３４ｂ  第２保護膜、３５ａ  第１潤滑膜、３５ｂ  第２潤滑膜。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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