(57)【要約】  【課題】  光記録媒体の溶融による収差の問題、およびフォトダイオードによって良好な再生信号を得られないという問題を生じることなく、高密度記録を実現できる光記録媒体および記録再生装置等を提供する。  【解決手段】  光記録媒体１０は、サファイア基板１１、ノンドープＧａＮ層１２、およびＧａＮ：Ｍｇ層１３によって構成される。記録再生装置３０では、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ３３からのレーザ光が、ダイクロイックミラー３４およびレンズ３２を介して光記録媒体１０に照射される。また、再生の場合、反射光が、レンズ３２およびダイクロイックミラー３４を介してフォトディテクタ３５で検出される。光記録媒体１０は、所定のパワーの光を受光することによってフォトルミネッセンスの変化を生じ、この変化に応じて反射光の強度も変化する。フォトディテクタ３５はこの反射光の変化を判断して光記録媒体１０の再生を行う。【選択図】  図１
2005302244.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、Ｍｇドープ窒化ガリウム層を成膜して成る光記録媒体。
【請求項２】
請求項１に記載の光記録媒体において、
前記基板と前記Ｍｇドープ窒化ガリウム層との間に中間層が設けられ、
前記中間層が、ノンドープ窒化ガリウム層であることを特徴とする光記録媒体。
【請求項３】
請求項１に記載の光記録媒体において、
前記Ｍｇドープ窒化ガリウム層は、所定のパワーの光を受けた場合に、フォトルミネッセンスが変化することを特徴とする光記録媒体。
【請求項４】
請求項３に記載の記録再生装置において、
前記フォトルミネッセンスが変化したために、その前後で、所定の励起光に対する蛍光の、所定の周波数における強度が変化することを特徴とする光記録媒体。
【請求項５】
レーザ光を射出するレーザ射出部と、
前記レーザ射出部からのレーザ光を受光し、前記レーザ光がレンズを介して光記録媒体に照射されるように前記レーザ光を反射する反射部とを有し、
前記レンズと前記光記録媒体とが近接して配置されることにより近接場光学系が形成されることを特徴とする記録再生装置。
【請求項６】
請求項５に記載の記録再生装置において、
受信した光の強度を検出する光検出部をさらに有し、
前記反射部は、前記光記録媒体に照射された前記レーザ光により励起された蛍光を透過または反射して前記光検出部に前記反射光を提供し、
前記光検出器は、前記蛍光の所定の周波数における強度に基づいて、前記光記録媒体の対応する部分の記録の有無を判定することにより、前記光記録媒体の再生を行うことを特徴とする記録再生装置。
【請求項７】
請求項６に記載の記録再生装置において、
前記光検出器は、少なくとも２つの周波数について、前記蛍光の強度を検出し、その検出結果に基づいて、前記光記録媒体の対応する部分の記録の有無を判定することにより、前記光記録媒体の再生を行うことを特徴とする記録再生装置。
【請求項８】
レーザ光を射出するレーザ射出ステップと、
前記レーザ光を受光し、前記レーザ光がレンズを介して光記録媒体に照射されるように前記レーザ光を反射する反射ステップとを有し、
前記レンズと前記光記録媒体とが近接して配置されることにより近接場光学系が形成されることを特徴とする記録再生方法。
【請求項９】
請求項８に記載の記録再生方法において、
前記光記録媒体に照射された前記レーザ光により励起された前記光記録媒体からの蛍光を透過または反射するステップと、
前記透過または反射された前記蛍光の強度を検出する光検出ステップとをさらに有し、
前記光検出ステップは、前記蛍光の所定の周波数における強度に基づいて、前記光記録媒体の対応する部分の記録の有無を判定することにより、前記光記録媒体の再生を行うことを特徴とする記録再生方法。
【請求項１０】
請求項９に記載の記録再生方法において、
前記光検出ステップは、少なくとも２つの周波数について、前記蛍光の強度を検出し、その検出結果に基づいて、前記光記録媒体の対応する部分の記録の有無を判定することにより、前記光記録媒体の再生を行うことを特徴とする記録再生方法。
【請求項１１】
レーザ光を射出するレーザ射出部と、
前記レーザ射出部からのレーザ光を受光し、前記レーザ光がレンズを介して光記録媒体に照射されるように前記レーザ光を反射する反射部と、
受信した光の強度を検出する光検出部とを有し、
前記レンズと前記光記録媒体とが近接して配置されることにより近接場光学系が形成され、
前記反射部は、前記光記録媒体に照射された前記レーザ光の蛍光を透過または反射して前記光検出部に前記蛍光を提供し、
前記光検出器は、前記蛍光の所定の周波数における強度に基づいて、前記光記録媒体の対応する部分の記録の有無を判定することにより、前記光記録媒体の再生を行うことを特徴とする再生装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の再生装置において、
前記光検出器は、少なくとも２つの周波数について、前記蛍光の強度を検出し、その検出結果に基づいて、前記光記録媒体の対応する部分の記録の有無を判定することにより、前記光記録媒体の再生を行うことを特徴とする再生装置。
【請求項１３】
レーザ光を射出するレーザ射出ステップと、
前記レーザ光を受光し、前記レーザ光がレンズを介して光記録媒体に照射されるように前記レーザ光を反射する反射ステップと、
前記光記録媒体に照射された前記レーザ光により励起された前記光記録媒体からの蛍光を透過または反射するステップと、
前記透過または反射された蛍光の強度を検出する光検出ステップとを有し、
前記レンズと前記光記録媒体とが近接して配置されることにより近接場光学系が形成され、
前記光検出ステップは、前記蛍光の所定の周波数における強度に基づいて、前記光記録媒体の対応する部分の記録の有無を判定することにより、前記光記録媒体の再生を行うことを特徴とする再生方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の再生方法において、
前記光検出ステップは、少なくとも２つの周波数について、前記蛍光の強度を検出し、その検出結果に基づいて、前記光記録媒体の対応する部分の記録の有無を判定することにより、前記光記録媒体の再生を行うことを特徴とする再生方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、高い記録密度を実現する光記録媒体および、当該光記録媒体に対しデータの記録・再生等を行う記録再生装置、記録再生方法、再生装置、および再生方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＡＶ（Audio Visual）機器が一般的に普及し、テレビジョン放送の録画データやビデオカメラで撮影したデータが、ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）等の光記録媒体に記録されることが多くなってきている。しかしながら、現在のＤＶＤの記録容量では、標準的な画質の動画データについては数時間分の記録ができるに過ぎず、こうした記録媒体の更なる高容量化が期待されている。
【０００３】
ＤＶＤのような光記録媒体の高容量化を実現するための１つの手段は、光記録において高記録密度化を達成することである。このためには、対物レンズの高ＮＡ（Numerical Aperture）化をはかり、記録再生のためのレーザ光を短波長化する必要がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
対物レンズの高ＮＡ化を進めていくと、近接場光学系（ニアフィールド）による記録再生を行うことになる。ニアフィールドは、たとえば、レーザ共振器近傍を指すが、この場合、対物レンズと記録媒体との距離が非常に小さくなるため、読み出し光の焦点（スポット）の大きさが小さくなり、少なくとも記録の際に、記録媒体の溶融が生じるようになる。
【０００５】
このような溶融は、現在の相変化型記録材料の記録において必要なものである。すなわち、このような溶融によって記録媒体表面に凹凸形状が形成され、記録が行われるのである。しかしながら、たとえば、ＮＡが２を超えるような高ＮＡの対物レンズによって形成された凹凸形状は、それ自体が収差の原因となり記録密度を十分高くすることができない。
【０００６】
一方、レーザ光の短波長化を進めていく場合、ピン・フォトダイオードやアバランシェ・フォトダイオードといった、シリコンを活性層とするフォトダイオードでは、たとえば４００ｎｍ以下の波長に関して量子効率が著しく低下し、十分な再生信号を得ることができないという問題がある。
【０００７】
したがって、この発明の目的は、上記２つの問題点を排除しつつ、光記録媒体の記録密度を高くする光記録媒体、記録再生装置、記録再生方法、再生装置、および再生方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の実施態様に係る発明は、基板上に、Ｍｇドープ窒化ガリウム層を成膜して成る光記録媒体である。
【０００９】
また、第２の実施態様に係る発明は、レーザ光を射出するレーザ射出部と、レーザ射出部からのレーザ光を受光し、レーザ光がレンズを介して光記録媒体に照射されるようにレーザ光を反射する反射部とを有し、レンズと光記録媒体とが近接して配置されることにより近接場光学系が形成されるよう構成された記録再生装置である。
【００１０】
第３の実施態様に係る発明は、レーザ光を射出するレーザ射出ステップと、レーザ光を受光し、レーザ光がレンズを介して光記録媒体に照射されるようにレーザ光を反射する反射ステップとを有し、レンズと光記録媒体とが近接して配置されることにより近接場光学系が形成されるように構成された記録再生方法である。
【００１１】
またさらに、第４の実施態様に係る発明は、レーザ光を射出するレーザ射出部と、レーザ射出部からのレーザ光を受光し、レーザ光がレンズを介して光記録媒体に照射されるようにレーザ光を反射する反射部と、受信した光の強度を検出する光検出部とを有し、レンズと光記録媒体とが近接して配置されることにより近接場光学系が形成され、反射部は、光記録媒体に照射されたレーザ光により励起された蛍光を透過して光検出部に反射光を提供し、光検出器は、反射光の所定の周波数における強度に基づいて、光記録媒体の対応する部分の記録の有無を判定することにより、光記録媒体の再生を行うように構成された再生装置である。
【００１２】
第５の実施態様に係る発明は、レーザ光を射出するレーザ射出ステップと、レーザ光を受光し、レーザ光がレンズを介して光記録媒体に照射されるようにレーザ光を反射する反射ステップと、光記録媒体に照射されたレーザ光により励起された蛍光を透過する透過ステップと、透過された反射光の強度を検出する光検出ステップとを有し、レンズと光記録媒体とが近接して配置されることにより近接場光学系が形成され、光検出ステップは、反射光の所定の周波数における強度に基づいて、光記録媒体の対応する部分の記録の有無を判定することにより、光記録媒体の再生を行うように構成された再生方法である。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によって、記録媒体の溶融による収差の問題、およびフォトダイオードによって良好な再生信号を得られないという問題を生じることなく、高密度記録を実現できる光記録媒体、記録再生装置、記録再生方法、再生装置、および再生方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
この発明では、所定の光パルス照射により、フォトルミネッセンスが消失あるいは誘起される特性を示す光記録媒体を提供する。これにより、再生光の波長よりも長波長のフォトルミネッセンスの有無を検出して記録情報を読み出すことにより、フォトダイオードによって十分なＳ／Ｎ（Signal to Noise）の再生信号を得ることができる。フォトルミネッセンスとは、物質が外部からの光によるエネルギーを受けて励起され、その後、その受け取ったエネルギーを光として放出する現象であり、励起光がその物質に入射されると、その物質に固有で、その励起光より長波長の光が放出される。
【００１５】
また、この発明では、上記のようなフォトルミネッセンスに変化を生じさせながら、記録パルスの照射を受けても溶融あるいは揮発しない記録媒体を提供する。近接場を記録再生光学系に用いると、記録パルスを照射した場合記録媒体の温度上昇は１０００Ｋ近くにも達するが、この発明の光記録媒体には、そのような温度でも収差の問題を生じるような溶融が生じることはない。
【００１６】
ここで、この発明の光記録媒体の構成を、図１を参照して説明する。図１の光記録媒体１０は、サファイア基板１１の上に、中間層としてノンドープＧａＮ層１２（すなわち、ノンドープ窒化ガリウム層）が形成され、さらに、その上にＧａＮ：Ｍｇ層１３（すなわち、Ｍｇドープ窒化ガリウム層）が形成される。この発明の本質は、光記録媒体１０の表面がＧａＮ：Ｍｇ層１３によって形成されていることである。したがって、サファイア基板１１やノンドープＧａＮ層１２は、他の適当な材料とすることもできる。
【００１７】
次に、この発明の光記録媒体の製造方法について説明する。図１に示す光記録媒体１０は、たとえば、有機金属気相成長法（ＯＭＶＰＥ：OrganoMetallic Vapor Phase Epitaxy）、またはＭＯＣＶＤ：Metal Organic Chemical Vapor Deposition）のような一般的な薄膜形成技術によって製造される。
【００１８】
図２には、ＯＭＰＶＥ装置２０の例が模式的に表されている。ＯＭＰＶＥ装置２０は、成長室２１、サセプタ２２、マスフローコントローラ２３、恒温槽２４、シリンダ２５、およびガス貯蔵室２６を含む。基板２８は、成長室２１内のサセプタ２２上に置かれる。通常、膜厚や結晶組成の均一性向上のため、成膜の際に基板２８を回転させる。基板２８の加熱方法としては、高周波による誘電加熱法が一般的である。
【００１９】
成長温度は通常、６００〜８００℃に設定される。第III族の有機金属は、シリンダ２５に充填され、恒温槽２４のなかで温度制御される。通常、有機金属は、マスフローコントローラ２３で流量制御された水素（Ｈ2）やアルゴン（Ａｒ）などのキャリアガスにより成長室２１に送られ、第Ｖ族の原料は、ガス貯蔵室２６等からマスフローコントローラ２３を介して成長室２１に提供される。
【００２０】
成長室２１内では、第III族の有機金属と第Ｖ族の原料ガスが反応を生じ、基板２８上に膜を形成する。成長室２１には、排気口２７が設けられており、他の生成ガス等が排気口２７から排気系に供給される。
【００２１】
この発明の光記録媒体１０の製造に関しては、最初に、サファイア基板１１が基板２８としてサセプタ２２上に設置され、次に、水素またはアルゴンなどのキャリアガスにより、シリンダ２５内のトリメチルガリウム（Ｇａ（ＣＨ3）3）を成長室２１に提供するとともに、アンモニア（ＮＨ3）がガス貯蔵室２６等から成長室２１に送られる。これにより、ノンドープＧａＮ層１２がサファイア基板１１上に形成される。
【００２２】
その後、さらにＭｇＨ2がドーパント原料ガスとして成長室２１に提供され、その結果、ＧａＮ：Ｍｇ層１３が、ノンドープＧａＮ層（Ｍｇドープ窒化ガリウム）１２の上に形成される。
【００２３】
上記のようなＯＭＰＶＥ装置２０により製造された光記録媒体１０のＧａＮ：Ｍｇ層１３において、通常、マグネシウムはＭｇＨ2の形で結晶格子の間に入っており、活性化されてはいない。ところが、これに高エネルギーの記録パルスを照射（約５００℃から６００℃といった高温の状態に）すると、Ｍｇ−Ｈ間の結合が切断され、マグネシウムはイオン化して結晶中に取り込まれ、Ｐ型ドーパントとして活性化する。このとき、フォトルミネッセンスが、広範な波長領域で減少するように変化する。
【００２４】
以下では、こうして製造された光記録媒体１０の記録再生装置および記録再生方法について説明する。
【００２５】
図３には、この発明の光記録媒体１０に対し記録または再生を行う記録再生装置３０の概略が示されている。記録再生装置３０は、光記録媒体１０にデータを書込みまたは読み取るためのレンズ３２を有しており、この場合は、このレンズ３２が光記録媒体１０に極めて近接して設置される近接場光学系３１を形成している。Ｎｄ：ＹＡＧレーザ３３からのレーザ光は、データの書込み、または読み取りのためにダイクロイックミラー３４を介して光記録媒体１０に照射される。ここでは、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ３３の４倍波が射出される。Ｎｄ：ＹＡＧレーザ３３の基本波は１０６４ｎｍであるので、４倍波の周波数は２６６ｎｍとなる。また、ダイクロイックミラー３４は、ある特定波長域の光を反射し、その他の光を透過するミラーである。
【００２６】
Ｎｄ：ＹＡＧレーザ３３の４倍波Ａは、ダイクロイックミラー３４で反射して、反射光Ｂとなり、レンズ３２を介して光記録媒体１０に照射される。光記録媒体１０からの蛍光Ｃは、レンズ３２、およびダイクロイックミラー３４を介して、フォトディテクタ３５で受光される。
【００２７】
ここで、レーザ射出部は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ３３に対応し、反射部はダイクロイックミラー３４に対応し、光検出部は、フォトディテクタ３５に対応する。ダイクロイックミラー３４は、光を透過する機能をも有するが、ここでは便宜的に反射部とする。
【００２８】
また、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ３３は、光記録媒体１０の記録（書込み）を行う場合は、再生（読み取り）時より大きなパワーでレーザ光を射出する。この高いパワーのレーザ光により、光記録媒体１０の表面、すなわちＭｇドープ窒化ガリウム層が変質してフォトルミネッセンスに変化を生じるのである。また、図３の例では、記録および再生が可能な記録再生装置について説明したが、光記録媒体１０の上記特性を利用して、光記録媒体１０の再生のみを行う再生装置を構成することも可能である。
【００２９】
次に、図４を参照して、光記録媒体１０の記録再生の動作について説明する。光記録媒体１０に記録を行う際には、図３に示した記録再生装置３０の光学系に離軸法、非点収差法、ナイフエッジ法などを用いてフォーカスサーボをとり、またプッシュプル法や３スポット法を用いてトラッキングサーボをとりながらパルスレーザ（記録パルス）を照射する。たとえば、図４に示す記録マーク４１のそれぞれに対応してパルスレーザ４２の照射が行われる。このときのレーザは、Ｎｄ：ＹＡＧレーザの４倍波である波長２６６ｎｍのレーザ光とし、変調は音響光学素子や電気光学素子により行う。また場合によっては熱的な符号間干渉を避けるため、一つの記録マークを記録する際に、時間軸方向に複数のパルス列を照射する。
【００３０】
再生時は、図５に示すように、図３に示す記録再生装置３０の光学系で波長２６６ｎｍのレーザ光５３を光記録媒体１０に連続照射し、図３のダイクロイックミラー３４で、たとえば波長５００ｎｍないし６００ｎｍのうちいずれかの光を検出する。この範囲の波長の光を検出するようにしたのは、たとえばシリコン系のフォトディテクタ３５では、これらの波長についての感度が比較的高いからである。フォトディテクタ３５は、ＧａＮ：Ｍｇ層からの蛍光５２を記録マーク５１に対応して検出することにより、良好なＳ／Ｎ比で信号の再生を行う。フォトディテクタ３５およびフォトディテクタ３５からの信号を受信する制御装置は、記録マーク５１に対応する部分について、光の強度が弱いことを検出し、それによって、その部分に記録がされていると判定する。
【００３１】
蛍光５２を用いて光記録媒体１０に記録されたデータの再生を行う場合、励起光パルスに対する蛍光の時間応答が重要となる。次に、記録材料のフォトルミネッセンスの時間応答（蛍光寿命）の条件について説明する。
【００３２】
光記録媒体１０の記録材料は、読み出し光（たとえば、図５のレーザ光５３）のスポット（焦点）内を通過する際に、ガウシアンパルスあるいはsinc関数で表される形のパルス照射を受けるが、便宜的に矩形パルスの再生光すなわち励起光の照射を受けると近似して説明する。
【００３３】
たとえば、図６に示すように、矩形の励起光パルス６１を照射した場合に、光記録媒体１０のＧａＮ：Ｍｇ層から受光する蛍光６２の立ち上がり時定数をτとする。τは、蛍光６２の最大光エネルギーＥとすれば、たとえば、この光エネルギーが０からＥの８０％に達するまでの時間とすることができる。
【００３４】
光記録媒体１０の上の一点が読出し励起光スポットを通過する時間τ0に比べて、時定数τが十分短いことが必要である。たとえば、図６の点線６３に示すように、時定数τがτ0より長い場合には、十分な蛍光６２（すなわち良好な検出信号）が得られる前に、光記録媒体１０は読出し励起光スポットを通過してしまう。蛍光６２の立ち上がりの時定数は、飽和レベルまで励起する場合には、フォトルミネッセンスの時間応答（いわゆる蛍光寿命）と同等である場合が多い。また、読出し励起光パルス６１の波長をλ、対物レンズの開口数をＮＡとすると、エアリー像である中心スポットのサイズは次の式１で表される。
１．２２（λ／ＮＡ）      ・・・（式１）
【００３５】
したがって、光記録媒体１０の線速度をｖとすると、十分な再生信号を得るためには、以下の式２で表される条件を満足しなければならない。
τ＜（１．２２（λ／ＮＡ））／ｖ      ・・・（式２）
【００３６】
この発明の光記録媒体１０においては、励起光パルス６１の波長が２６６ｎｍ、対物レンズの開口数（ＮＡ）が２、線速度が１ｍ／ｓｅｃであるから、スポットの通過時間は１６２ｎｓｅｃである。これに対して、光記録媒体１０のＧａＮ：Ｍｇ層からのフォトルミネッセンスの時間応答（蛍光寿命）は約１０ｎｓｅｃであるので、上記式２の条件を十分に満たしており、この材料を用いた場合には、十分な再生信号を得ることができる。
【００３７】
この発明の光記録媒体１０に光パルスを照射する前後のフォトルミネッセンスのスペクトル変化に関する実験結果を表すグラフが図７に示されている。この発明の光記録媒体１０について、たとえば、３３０ｎｍないし３５０ｎｍといった比較的短い波長の再生レーザ光を照射した場合の反射光を、２つのパターンについて表したものである。第１のパターンは、光記録媒体１０にそのまま上記再生レーザ光を照射した場合の反射光であり、曲線７１で表されている。一方、第２のパターンは、光記録媒体１０の膜面に、ＫｒＦエキシマレーザを用いて、波長２４８ｎｍ、エネルギー密度３０ｍｊ／ｃｍ２、パルス幅２０ｎｓｅｃの光パルスを１ショット照射した後に、上記再生レーザ光を照射した場合の反射光であり、曲線７２で表されている。
【００３８】
図７を見ると、約４００ｎｍないし約６５０ｎｍの波長の範囲にわたって、曲線７２の反射光の強度（蛍光強度）の方が曲線７１の強度より小さいことがわかる。また、この例では、青色波長域における強度の差のほうが、赤色波長域における強度の差より大きいという傾向にあることもわかる。
【００３９】
したがって、図３に示すフォトディテクタ３５は、３３０ｎｍないし３５０ｎｍといった比較的短い波長で微弱パワーの再生レーザ光を照射した場合であっても、約４００ｎｍないし約６５０ｎｍといった、より大きな波長において、光の強度を測定することにより、記録がされているか否か、すなわち、記録されているデータが０か１かの判定を行うことができる。曲線１と曲線２の間隔が大きい周波数帯で上記比較処理を行うことによってより良好な感度を得ることができるが、フォトディテクタ３５自体が、良好な感度を提供できる周波数帯を有しているので、両方の事情を考慮して設計をすることが好ましい。
【００４０】
また、測定した強度の値がどのような範囲にある場合に記録がされたと判定するかを、所定のしきい値を設けて判断してもよい。またさらに、曲線７１と曲線７２についての光の強度の測定を、２つ以上の波長（たとえば２箇所）において行うようにして、記録判定の精度（感度）をさらに高めるようにすることもできる。
【００４１】
また、図７の曲線７２の強度を、青色波長域から赤色波長域に順に見ていくと、約４３０ｎｍから約４６０ｎｍにかけて、１つのピークを観測することができる。曲線７１には、このような大きなピークは見られない。曲線７２の形状は、ＫｒＦエキシマレーザの出力条件等によって変化しうるが、一定の条件下で、こうしたピークの存在が確認できれば、このピークを認識することにより、記録の有無を判定するように設計することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】この発明の一実施形態に係る光記録媒体の構造を表した略線図である。
【図２】この発明の一実施形態に係る光記録媒体を製造するために使用されるＯＭＰＶＥ装置の構成例を示す略線図である。
【図３】この発明の一実施形態に係る光記録媒体の記録再生を行う記録再生装置の構成例を示す略線図である。
【図４】光記録媒体の書き込み処理の概要を説明するために用いる略線図である。
【図５】光記録媒体の読み取り処理の概要を説明するために用いる略線図である。
【図６】フォトルミネッセンスの時間応答の態様を示した略線図である。
【図７】この発明の一実施形態に係る光記録媒体の再生時における蛍光強度を、所定のパワーの光を受光したものとそうでないものとについて、波長ごとに示す略線図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０・・・光記録媒体、１１・・・サファイア基板、１２・・・ノンドープＧａＮ層、１３・・・ＧａＮ：Ｍｇ層、２０・・・ＯＭＰＶＥ装置、２１・・・成長室、２２・・・サセプタ、２３・・・マスフローコントローラ、２４・・・恒温槽、２５・・・シリンダ、２６・・・ガス貯蔵室、２７・・・排気口、３０・・・記録再生装置、３２・・・レンズ、３３・・・Ｎｄ：ＹＡＧレーザ、３４・・・ダイクロイックミラー、３５・・・フォトディテクタ
【図１】
2005302244.tif 000003
【図２】
2005302244.tif 000004
【図３】
2005302244.tif 000005
【図４】
2005302244.tif 000006
【図５】
2005302244.tif 000007
【図６】
2005302244.tif 000008
【図７】
2005302244.tif 000009