(57)【要約】【課題】  簡易かつ安価な構造でフラットケーブルを円滑に取り回すことができると共に、組み立て作業も容易なリニアアクチュエータを提供する。【解決手段】  ベースプレート２と、このベースプレート２上に配設された軌道レール３と、この軌道レール３に沿って往復運動可能な可動テーブル部材１１０と、この可動テーブル部材１１０に搭載される電子機器と、前記ベースプレート２に設けられたコネクタと前記可動テーブル部材１１０に搭載された電子機器とを接続すると共に、前記可動テーブル部材１１０の往復運動に応じて伸展又は屈曲する可撓性のフラットケーブル１００と、前記可動テーブル部材１１０の移動方向に沿って所定の間隔をおいて複数本が設けられると共に、屈曲した状態の前記フラットケーブル１００の内側空間に挿入され、かかるフラットケーブル１００を内側から支える支持柱１２０とを備えている。【選択図】    図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースプレートと、このベースプレート上に配設された軌道レールと、この軌道レールに沿って往復運動可能な可動テーブル部材と、この可動テーブル部材に搭載される電子機器と、前記ベースプレートに設けられたコネクタと前記可動テーブル部材に搭載された電子機器とを接続すると共に、前記可動テーブル部材の往復運動に応じて伸展又は屈曲する可撓性のフラットケーブルと、前記可動テーブル部材の移動方向に沿って所定の間隔をおいて複数本が設けられると共に、屈曲した状態の前記フラットケーブルの内側空間に挿入され、かかるフラットケーブルを内側から支える支持柱とを備えたことを特徴するリニアアクチュエータ。
【請求項２】
前記支持柱は断面円形状の絶縁性樹脂材料から形成されていることを特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエータ。
【請求項３】
前記可動テーブル部材はリニアモータによって往復運動の推進力を与えられ、前記軌道レールの長手方向に沿って多数の磁極を配列した固定子が前記ベースプレートに固定される一方、前記固定しと対向する可動子が前記可動テーブル部材に固定され、前記フラットケーブルを介して可動子に通電していることを特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエータ。
【請求項４】
前記ベースプレートには軌道レールの長手方向に沿ってリニアエンコーダのスケールが設けられる一方、前記可動テーブル部材にはリニアエンコーダの読取ヘッドが固定され、前記フラットケーブルに前記読取ヘッドの信号線が収容されていることを特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ−Ｙテーブルや物品搬送装置等のＦＡ機器において、物品、部材等を直線的に移動させる目的で使用されるリニアアクチュエータに係り、詳細には、ベースプレートと該ベースプレート上を往復運動する可動テーブル部材との間に可撓性のフラットケーブルが取り付けられたリニアアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献１】特開２００２−１３６０９７号公報等
【特許文献２】特開平８−９６２２号公報
【０００３】
この種のリニアアクチュエータとしては、物品や部材等の可動体を搬送するための推進力としてリニアモータを使用したリニアモータアクチュエータが知られている。このリニアモータアクチュエータは、通常、搬送対象である物品等の可動体を搭載する可動テーブル部材と、この可動テーブル部材をベースプレート上で案内する軌道レールと、前記可動テーブル部材に対して軌道レールに沿った往復運動の推力を与えるリニアモータと、前記ベースプレート上における可動テーブル部材の位置を検出するリニアエンコーダとから構成されており、かかるリニアエンコーダの検出値に応じて前記リニアモータを制御することで、可動テーブル部材に任意の移動量を高精度に与えることが可能となっている（特開２００２−１３６０９７号公報等）。
【０００４】
前記リニアモータとしては種々のタイプが存在するが、一般的には、Ｎ極の磁極とＳ極の磁極とが交互に並ぶ固定子としての界磁マグネットをベースプレート上に配設する一方、前記可動テーブル部材に可動子としてのコイル部材を搭載し、これら界磁マグネットとコイル部材との間に生じる吸引力及び反発力を利用することにより、ベースプレート上で可動テーブル部材に推進力を与えている。
【０００５】
このリニアモータアクチュエータの利点としては、一軸の軌道レール上に複数の可動テーブル部材を設け、これら可動テーブル部材に対して同時に別個の運動を与えられる点がある。例えば、リニアアクチュエータの代表的な他の形式としては、ＤＣサーボモータによって回転駆動されるボールねじを用いたものが知られているが、ボールねじでは複数の可動テーブル部材を設けた場合に、これら可動テーブル部材の夫々に別個独立の運動を与えることは困難である。従って、別個独立に運動する複数の可動テーブル部材を狭いスペースの中に設けたい場合には、リニアモータを駆動源として用いたリニアアクチュエータが有利である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
リニアモータアクチュエータでは可動テーブル部材に可動子としてのコイル部材を搭載し、かかるコイル部材に対して電力を供給しなくてはいけない。通常は、ベースプレート可動テーブル部材との間を、多数の信号線を含む可撓性のフラットケーブルで接続し、可動テーブル部材と共に往復運動するコイル部材に対して電力を供給している。このフラットケーブルは可動テーブル部材の往復運動に合わせて伸展又はループ状に屈曲し、可動テーブル部材の往復運動を阻害しないように構成されている。
【０００７】
しかし、可動テーブル部材の移動ストロークが長くなると、その分だけフラットケーブルも長尺化し、自重によって下方へ垂れ下がってしまう傾向にある。このため、可動テーブル部材が移動する際に、フラットケーブルを円滑に屈曲又は伸展させることができず、可動テーブル部材の移動に対して無駄な抵抗が作用し、また、フラットケーブルが無理に折れ曲がって損傷してしまう懸念があった。
【０００８】
リニアモータアクチュエータにおけるフラットケーブルの取り回しを円滑に行うための工夫としては、ループ状に撓んだフラットケーブルの内側に、可動テーブル部材の移動方向に沿って延びる低摩擦係数の板状部材を設け、下方に向けて撓むフラットケーブルをこの板状部材で支えるようにしたものが知られている  （特開平８−９６２２号公報）。
【０００９】
しかし、可動テーブル部材の移動ストロークが長くなると、前記板状部材もそれに応じて長尺化せざるを得ず、この板状部材は可動テーブル部材と干渉することがないよう、その移動方向と平行に取り付けなければならないことから、かかる取り付け作業に手間がかかるといった問題点があった。また、フラットケーブルそれ自体もある程度の腰を有しており、かかる腰の強さによって滑らかなループ状に撓んでいる。従って、自重によって下方へ垂れ下がるからといって、フラットケーブルの長手方向に沿って前記板状部材を取り付ける必要はなく、垂れ下がるフラットケーブルを点で支えれば、かかるフラットケーブルが極度に垂れ下がってしまうのを十分に防止することができるものと考えられる。
【００１０】
本発明はこのような問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、簡易かつ安価な構造でフラットケーブルを円滑に取り回すことができると共に、組み立て作業も容易なリニアアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
すなわち、本発明のリニアアクチュエータは、ベースプレートと、このベースプレート上に配設された軌道レールと、この軌道レールに沿って往復運動可能な可動テーブル部材と、この可動テーブル部材に搭載される電子機器と、前記ベースプレートに設けられたコネクタと前記可動テーブル部材に搭載された電子機器とを接続すると共に、前記可動テーブル部材の往復運動に応じて伸展又は屈曲する可撓性のフラットケーブルと、前記可動テーブル部材の移動方向に沿って所定の間隔をおいて複数本が設けられると共に、屈曲した状態の前記フラットケーブルの内側空間に挿入され、かかるフラットケーブルを内側から支える支持柱とを備えたことを特徴するものである。
【発明の効果】
【００１２】
このような本発明のリニアモータアクチュエータによれば、屈曲した状態のフラットケーブルの内側空間に挿入するようにして前記支持柱を設けることにより、自重によって下方へ垂れ下がるフラットケーブルを支持柱によって支え、可動テーブル部材の移動に応じて伸展又は屈曲するフラットケーブルを円滑に案内することが可能となる。特に、可動テーブル部材のストロークが長尺化した場合、前記支持柱はストローク長に応じて複数本を任意の箇所に設けることができ、可動テーブル部材のストローク長との関係で、フラットケーブルが撓みやすい箇所に複数本の支持柱を集中的に並べることも可能である。
【００１３】
そして、各支持柱を円柱状に形成することにより、１本の支持柱とフラットケーブルの接触面積は最低となるので、フラットケーブルが支持柱にもたれながら伸展又は屈曲を繰り返しても、フラットケーブルの移動に対して大きな摩擦力が働くことはなく、フラットケーブルを円滑に取り回すことができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、添付図面に基づいて本発明のリニアモータアクチュエータを詳細に説明する。
図１及び図２は本発明のリニアモータアクチュエータの一実施例を示す側面図及び正面断面図である。このリニアモータアクチュエータ１は、長尺なベースプレート２と、このベースプレート２上にその長手方向に沿って配設された１条の軌道レール３と、この軌道レール３に沿って直線往復運動自在なスライダ４と、このスライダ４に固定されると共に可動体の取付面を備えた案内テーブル５と、この案内テーブル５に対して推力を与えるリニアモータ６とから構成されており、案内テーブル５上に搭載した可動体をベースプレート２の長手方向に沿って往復運動させ、任意の位置に停止させることができるようになっている。
【００１５】
図３は前記リニアモータ６を示す斜視図である。このリニアモータ６は、長尺な円柱状に形成された固定子としてのマグネットロッド６ａと、このマグネットロッド６ａの周囲に僅かな隙間を介して遊嵌した可動子としてのコイル部材６ｂとから構成されている。前記マグネットロッド６ａには軸方向に沿って複数の永久磁石６０が配列されており、外周面は円滑に加工されている。図４に示すように、各永久磁石６０はＮ極及びＳ極を有しており、互いに隣接する永久磁石６０はＮ極同士またはＳ極同士が対向するように交互に向きを逆転させて配列されている。これにより、マグネットロッド６ａにはその長手方向に沿ってＮ極の磁極とＳ極の磁極が交互に並んだ駆動用の着磁部が形成され、これが界磁マグネットとなっている。
【００１６】
図１に示すように、このマグネットロッド６ａはその両端が一対のエンドプレート２０，２１に夫々固定されており、また、一対のエンドプレート２０，２１はベースプレート２の長手方向の両端部に互いに対向するように固定されている。すなわち、前記マグネットロッド６ａはベースプレート２上に両端支持梁の如く固定されている。
【００１７】
一方、コイル部材６ｂは全体が四角柱状に形成されるハウジング６１内に円筒状の励磁コイル６２を収納して構成される。前記ハウジング６１は熱伝導性に優れたアルミニウムで形成されると共に、その表面には複数の放熱フィン６３が前記マグネットロッドの長手方向と平行に立設されており、前記励磁コイル６２に通電した際に該励磁コイル６２で発生する熱を効率よくハウジング６１に伝達すると共に、周辺雰囲気中に放熱し、励磁コイル６２そのものを効果的に冷却することができるようになっている。
【００１８】
図４及び図５はこのリニアモータ６の作動原理を示す。励磁コイル６２はＵ，Ｖ及びＷ相の３つのコイルを１組とするコイル群を有している。いずれの相の励磁コイル６２もリング状であり、マグネットロッド６ａの外周面と僅かな隙間を介して対向している。また、各相の励磁コイル６２の配列ピッチは永久磁石６０の配列ピッチよりも短く設定される。マクネットロッド６ａにはＳ極の磁極からＮ極の磁極に向かって磁束６４が形成されており、コイル部材６ｂにはその磁束密度を検出する磁極センサ（図示せず）が内蔵されている。従って、この磁極センサの出力する検出信号から励磁コイルに対するマグネットロッドの各磁極（Ｎ極及びＳ極）の位置関係が把握される。励磁コイルへの通電を制御しているコントローラは前記磁極センサの検出信号を受信し、励磁コイルとマグネットロッドの各磁極との位置関係に応じた最適な電流を演算し、それを各励磁コイルに通電する。その結果、各励磁コイル６２に流れる電流と永久磁石６０によって形成される磁束６４との相互作用によって、励磁コイル６２と永久磁石６０の各磁極との間に吸引力及び反発力が発生し、コイル部材６ｂがマグネットロッド６ａの軸線方向に推進されることになる。
【００１９】
図２に示されるように、前記軌道レール３及びスライダ４は前記ベースプレート２上で案内テーブル５を自在に往復運動させる直線案内装置を構成している。前記軌道レール３は長手方向に垂直な断面が略矩形状に形成されており、ベースプレート２の全長と略同じ長さに形成されると共に、かかるベースプレート２に対しその長手方向と平行に配設されている。また、軌道レール３にはその両側面及び上面には長手方向に沿って複数条のボール転走溝が形成されている。
【００２０】
一方、この軌道レール３に沿って移動するスライダ４は、軌道レール３の上部が僅かな隙間を介して遊嵌する案内溝を有してサドル状に形成されると共に、多数のボールが循環するボール無限循環路を具備しており、前記ボールが軌道レール３のボール転走溝を転走することで軌道レール３に沿って連続的に移動することが可能となっている。このスライダ４は軌道レール３の長手方向と垂直な方向、すなわち該スライダ４の移動方向と垂直な方向に作用する荷重を負荷しており、リニアモータ６のコイル部材６ｂに対してマグネットロッド６ａの軸方向以外の荷重が作用するのを防止している。
【００２１】
尚、軌道レール３及びスライダ４の組み合わせとしては市販の直線案内装置  （例えば、ＴＨＫ株式会社製ＬＭガイド）を使用可能であり、案内テーブル５に作用する可動の大きさや方向などに応じ、市販されている種々のタイフの直線案内装置の中から任意の直線案内装置を選択することができる。
【００２２】
前記ベースプレート２には軌道レール３の底部を収容するための固定基準溝２２が長手方向に沿って形成されており、軌道レール３はその側面をこの固定基準溝２２の側面に突き当てた状態で、固定ボルト２１によってベースプレート２に固定されている。この固定基準溝２２は前記エンドプレート２０，２１によって両端支持されたマグネットロッド６ａの軸方向と平行に形成されており、これによって軌道レール３とマグネットロッド６ａの平行が確保されるようになっている。また、ベースプレート２の幅方向の一端には長手方向に沿って側壁２４が立設されており、この側壁２４の外側面にはリニアエンコーダを構成するマグネットスケール４０がスライダ３の移動方向の全域にわたって固定されている。
【００２３】
更に、前記スライダ４には案内テーブル５を支持するためのサドルプレート８が固定されている。このサドルプレート８は取り付けボルト８０によってスライダ４の上部取付面に固定されている。図２に示すように、サドルプレート８の幅方向の一端には前記リニアエンコーダの読み取りヘッド４１を固定するためのフランジ部８１が突設されており、このフランジ部８１はベースプレート２の側壁２４を乗り越えるようにして設けられている。リニアエンコーダの読み取りヘッド４１は前記フランジ部８１から吊り下げられるようにして固定されており、ベースプレート２の側壁２４に固定されたマグネットスケール４０と対向している。これにより、スライダ４が軌道レール３に沿って移動すると、リニアエンコーダの読み取りヘッド４１がマグネットスケール４０に沿って移動し、かかる読み取りヘッド４１の出力信号からベースプレート２に対するスライダ４の移動量を把握することができるようになっている。
【００２４】
前記リニアエンコーダとしては、このリニアモータアクチュエータの用途に応じた分解能のものを選択して用いることが可能であり、マグネットスケールにおける磁気の変化を検出するタイプのものや、スケール表面に形成されたパターンを光学的に読み取るタイプのもの等、任意に選択することが可能である。
【００２５】
図６は前記スライダ４に対する案内テーブル５、コイル部材６ｂの結合構造を示す側面図である。前記サドルプレート８の移動方向の前後両端には一対のサポートプレート９ａ，９ｂが立設されており、案内テーブル５はこれら２枚のサポートプレート９ａ，９ｂに固定されている。各サポートプレート９ａ，９ｂは固定ボルト９０によってサドルプレート８及び案内テーブル５に固定されており、その中心には図６に示すように、前記マグネットロッド６ａが貫通する開放孔９１が形成されている。そして、サドルプレート８と案内テーブル５の間にはサポートプレート９ａ，９ｂによって前後から挟まれた空間が存在するが、この空間が前記リニアモータ６のコイル部材６ｂの収容空間９２となっている。
【００２６】
尚、前記サドルプレート８はスライダ４と一体に形成することも可能であり、サポートプレート８をスライダ４の前後に直接立設することができるのであれば、敢えて設けるには及ばない。
【００２７】
前記コイル部材６ｂはサドルルプレート８及びサポートプレート９ａ，９ｂには直接固定されず、案内テーブル５を貫通する吊り下げボルト５０によって該案内テーブル５の下面に固定され、その状態で前記マグネットロッド６ａに遊嵌している。また、コイル部材６ｂへの通電によって発生した熱が案内テーブル５に対して流入するのを防止するため、案内テーブル５とコイル部材６ｂとの間には断熱部材５２が介装され、更に吊り下げボルト５０と案内テーブル５の間にも断熱部材５３が介装されている。
【００２８】
このようにコイル部材６ｂは案内テーブル５から吊り下げられた状態で前記収容空間９２に位置しており、サドルプレート８とサポートプレート９ａ，９８ｂに対しては非接触の状態が保たれている。すなわち、コイル部材６ｂとサドルプレート８、コイル部材６ｂとサポートプレート９ａ，９ｂとの間には空間が形成され、コイル部材６ｂへの通電によって発生した熱がスライダ４へ直接的に流入するのを防止している。
【００２９】
本発明の可動テーブル部材は前記スライダ４、案内テーブル５及びコイル部材６ｂの結合体として構成されているが、図２の正面断面図に示すように、この可動テーブル部材の移動経路の両側には一対のサイドカバー２５ａ，２５ｂが設けられる一方、案内テーブル５の上方にもトップカバー２６が設けられ、軌道レール３やマクネットロッド６ａに塵芥が付着するのを防止している。これらサイドカバー２５ａ，２５ｂ及びトップカバー２６はベースプレート２の両端に立設された一対のエンドプレート２０，２１に固定されている。
【００３０】
一方、図示外のコントロールボックスから前記コイル部材６ｂの励磁コイル６２へ給電を行うと共に、前記リニアエンコーダの読取ヘッド４１の出力信号をコントロールボックスに送信するため、前記可動テーブル部材には信号中継基板１０１が取り付けられ、フラットケーブル１００によって前記コントロールボックスと接続されている。前記サドルプレート８のフランジ部８１の上面には基板ブラケット８２が固定されており、前記信号中継基板１０１はこの基板ブラケット８２の取付ウェブ８３上に固定されている。前記フラットケーブル１００は励磁コイル６２に対して通電するための信号線と読取ヘッド４１の出力信号を送信するための信号線を配列したものであり、前記信号中継基板１０１とコイル部材６ｂの入力ポート、読取ヘッド４１の出力ポートとの間はから更に別の信号ケーブルで接続されている。
【００３１】
図２に示すように、前記サイドカバー２５ｂとベースプレート２の側壁２４との間がフラットケーブル１００の収容空間１０２となっており、ベースプレート２の側壁の下端にはフラットケーブル１００を載置するためのケーブルブラケット２７が該ベースプレート２の長手方向に沿って取り付けられている。図１に示すように、フラットケーブル１００はエンドプレート２１の下端とケーブルブラケット２７との隙間から前記収容空間１０２内に挿入されており、かかる収容空間１０２の内部でゆるやかに屈曲して方向転換した後に、前記信号中継基板１０１に取り付けられている。また、フラットケーブル１００が信号中継基板１０１との接続部で下方へ大きく屈曲するのを防止するため、基板ブラケット８２の取付ウェブ８３からはケーブル支持板８４がフラットケーブル１００の延伸方向に向けて突出している。
【００３２】
以上のように構成されたこのリニアモータアクチュエータでは、フラットケーブルを介して前記コイル部材６ｂの励磁コイル６２に対して通電することにより、かかる励磁コイル６２とマグネットロッド６ａの各磁極６０との間に吸引力及び反発力が発生し、前記コイル部材６ｂに固定された案内テーブル５がマグネットロッド６ａの軸方向へ推進される。また、コイル部材６ｂの励磁コイル６２に対する通電はリニアエンコーダの検出信号に応じて制御され、それによって案内テーブル５をベースフレート２上の所定の位置で停止させることができるようになっている。
【００３３】
図７は、スライダ４、案内テーブル５及びコイル部材が結合した可動テーブル部材１１０を運動させた際のフラットケーブル１００の伸展・屈曲の状況を示す概略側面図である。前述のように、フラットケーブル１００はエンドプレート２１側からケーブルブラケット２７の上に敷かれており、その長さはベースプレート２の全長よりも僅かに長く設定されている。従って、可動テーブル部材１１０がエンドプレート２０側の最大ストローク位置（図７Ａに示す位置）に到達した際にも、フラットケーブル１００の先端はエンドプレート２０の近傍で湾曲して折り返され、前記信号中継基板１０１に結合されている。
【００３４】
最大ストローク位置に設定されていた可動テーブル部材１１０をエンドプレート２１側のストローク端であるホームポジションに移動させると、図７Ｂに示すように、可動テーブル部材１１０はフラットケーブル１００を引っ張りながら前記ホームポジションへ向かって移動する。このとき、フラットケーブル１００の湾曲したループ部１００ａと信号中継基板１０１との間では、かかるフラットケーブル１００が浮遊スパン１００ｂを形成し、この浮遊スパン１００ｂはその長さが長くなるにつれ、自重によって下方へ撓むようになる。浮遊スパン１００ｂの長さは可動テーブル部材１１０がホームポジシションに設定された際に最大となり、何ら浮遊スパン１００ｂを下方から支えない場合は、垂れ下がった浮遊スパン１００ｂがケーブルブラケット２７上に敷設されたフラットケーブル１００と接触してしまう。このため、可動テーブル部材１１０を高速で繰り返し往復運動させると、フラットケーブル１００の摩耗が進行し、断線によってコイル部材６ｂの駆動が不能になり、あるいはリニアエンコーダの出力信号を正確に読み込むことができなくなるといった不都合がある。
【００３５】
このことから、図２に示すように、本実施例ではサイドカバー２５ｂにフラットケーブル１００の浮遊スパン１００ｂを支えるための複数の支持部材１２０を設け、これら支持部材１２０を湾曲したフラットケーブル１００の内側に挿入するようにしている。各支持部材１２０は摩擦係数の小さな合成樹脂を用いて略円柱状に形成されており、チャネル状に形成された基板ブラケット８２の内側空間を通過する高さで、サイドカバー２５ｂに対して略垂直にねじ止めされている。図７に示すように、複数の支持部材１２０は可動テーブル部材１１０の移動方向に沿って一列に配列されており、互いに隣接する支持部材１２０の間はフラットケーブル１１０が落ち込まない程度に間隔が設けられている。
【００３６】
これにより、図７Ｃに示すように、可動テーブル部材１１０が前記支持部材１２０の配設位置を通りすぎてホームポジションに設定されると、フラットケーブル１００の浮遊スパン１００ｂはこれら支持部材１２０によって下方から支えられ、かかる浮遊スパン１００ｂが自重によって下方へ垂れ下がるのを防止することができる。また、これらの支持部材１２０は略円柱状に形成されていることから、フラットケーブル１００との接触面積もきわめて少なく、これら支持部材１２０の上でフラットケーブル１００が引きずられても、かかるフラットケーブル１００の摩耗を殆ど発生させることがない。
【００３７】
前記支持部材１２０の配設本数は可動テーブル部材１１０のストローク距離、すなわちフラットケーブル１００の長さに応じて適宜選定することができる。また、その配設位置は必ずしも等間隔で設ける必要はなく、フラットケーブル１００の浮遊スパン１００ｂがもっとも下方へ撓み易い位置に集中的に設けるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明のリニアモータアクチュエータの実施例の概略を示す側面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】実施例に係るリニアモータを示す斜視図である。
【図４】実施例に係るリニアモータの動作原理を示す側面図である。
【図５】実施例に係るリニアモータの動作原理を示す正面図である。
【図６】実施例に係るリニアモータアクチュエータの可動テーブル部材の構成を示す側面拡大図である。
【図７】可動テーブル部材の設定位置に応じたフラットケーブルの伸展・屈曲状況を示す側面概略図である。
【符号の説明】
【００３９】
１…リニアモータアクチュエータ、２…ベースプレート、３…軌道レール、４…スライダ、５…案内テーブル、６…リニアモータ、６ａ…マグネットロッド、６ｂ…コイル部材、１００…フラットケーブル、１１０…可動テーブル部材、１２０…支持部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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