(57)【要約】【課題】ポンプ室側から水素を含む流体がモータ室内に進入することを抑止することにより、モータ室内で水が生成されるという事態を回避でき、流体圧縮機能が劣化することを防止できる流体圧縮機を提供する。【解決手段】水素圧縮機１０は、モータハウジング１１とポンプハウジング１２との間に連結ハウジング１３を構成するギアハウジング１４及び軸受ブロック１５を介在させて一体組み付けされている。ギアハウジング１４と軸受ブロック１５との間にはギア室２０が囲み形成されており、ギアハウジング１４の最上位置には連絡通路５０を介してギア室２０内外を連通する流体排出口２１が形成されている。従って、たとえポンプ室１８側からギア室２０内へ水素オフガスＨが進入したとしても、当該水素オフガスＨは、前記連絡通路５０を介して流体排出口２１から外部に排出されるため、モータ室１６内に進入することはない。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータが収納されたモータ室を内部に有するモータハウジングと、前記モータの回転駆動に基づき回転するロータが収納されたポンプ室を内部に有するポンプハウジングとを、流体の滞留を可能とする隔室を内部に有する連結ハウジングを介在させて一体組み付けし、前記連結ハウジングには、前記隔室内に前記ポンプ室側から進入した気体状流体を当該隔室内から外部へ排出可能とする流体排出口を形成した流体圧縮機。
【請求項２】
前記流体排出口には、気体状流体を透過可能とし、液体状流体を透過不能とする透過部材が設けられている請求項１に記載の流体圧縮機。
【請求項３】
前記ロータは、前記モータの回転駆動に基づいて各々回転する複数のロータからなり、前記隔室は、各ロータ間の動力伝達を行うためのギアを収納するギア室とされている請求項１又は請求項２に記載の流体圧縮機。
【請求項４】
前記モータハウジングと前記連結ハウジングとの接合面には、気密保持部材が介在されている請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載の流体圧縮機。
【請求項５】
前記連結ハウジングは、前記モータハウジングと前記ポンプハウジングとの間に接合配置されて前記隔室を囲み形成する複数の連結部材から構成され、当該各連結部材の接合面には気密保持部材が介在されている請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載の流体圧縮機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ室内に送り込んだ流体をロータの回転に基づき圧縮して吐出口からポンプ室外へ吐出する流体圧縮機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、水素ガスと酸化剤ガスを反応ガスとして発電する燃料電池システムでは、燃料電池システムの燃費向上を図るために、燃料電池から排出される水素ガス（所謂水素オフガス）を循環させて再び燃料電池へ供給するようにしている。そして、その際に水素オフガスを強制的に循環させるための手段としては、例えば特許文献１等に記載されるような流体圧縮機が使用されている。即ち、特許文献１の燃料電池システムでは、燃料電池から排出された水素オフガスを、気液分離を行う凝縮器を介して流体圧縮機に取り込み、当該圧縮機のポンプ室で圧縮した後、水素タンクから新たに供給される新鮮な水素ガスに混合して再び燃料電池のアノード側へ供給するようにしている。また、燃料電池のカソード側へは酸化剤ガスとなる周辺空気が別の流体圧縮機を介して供給されるようになっている。
【０００３】
近時、このような機能を持つ流体圧縮機として、例えば特許文献２に記載されるような、空気（酸化剤ガス）を燃料電池に供給する空気圧縮機が提案されている。この空気圧縮機は、モータが収納されたモータ室を内部に有するモータハウジングと、前記モータの回転駆動に基づき回転するロータが収納されたポンプ室を内部に有するポンプハウジングとがギア室を内部に有するギアハウジングを介在させて一体組み付けされた構造をしている。モータ室とギア室との間はモータの回転軸が貫通するモータハウジングの底壁（隔壁）により隔てられており、その底壁における前記回転軸が貫通する部位にはシール材が介在されている。また、ギア室とポンプ室との間は前記回転軸が貫通するギアハウジングの底壁（隔壁）により隔てられており、その底壁における前記回転軸が貫通する部位にはシール材が介在されている。
【０００４】
ところで、前述したように、燃料電池システムでは、このような空気を圧縮供給する流体圧縮機（空気圧縮機）とは別に、燃料電池に水素ガス（水素オフガス）を圧縮供給するための流体圧縮機（水素圧縮機）も設けられる。そして、その場合、当該流体圧縮機は、特許文献２に記載の流体圧縮機（空気圧縮機）と対比した場合、圧縮供給する流体が空気ではなく水素オフガスであるという点で相違するだけで、流体圧縮機としての構造は略同一とされる。
【特許文献１】特開２００３−１５１５９２号公報（請求項１、図１）
【特許文献２】特開２００２−５４５８７号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献２に記載の流体圧縮機で水素オフガスを圧縮供給する場合には次のような問題があった。即ち、前記水素オフガスは、金属及びゴム等を透過するという性質を有しているため、前記ポンプ室とギア室とを隔てるギアハウジングの底壁（隔壁）を透過してギア室内に進入することがあった。また、前記ギアハウジングにおける底壁のモータの回転軸が貫通する部位にはゴム等で形成されたシール材が介在されており、このシール材を水素オフガスが透過することもあった。また、前記回転軸が回転するには僅かながらも隙間が存在するため、その僅かな隙間を介してポンプ室側からギア室側へ水素オフガスが進入することがあった。
【０００６】
そのため、ギア室内では、ポンプ室側から進入した水素オフガスの濃度が次第に高まることになるが、当該水素オフガスは、空気と比較して拡散速度が非常に速いことから、さらにギア室外へ放散しようとする。その結果、前記水素オフガスが、ギア室とモータ室とを隔てるモータハウジングの底壁（隔壁）を透過して、又はギアハウジングの底壁におけるモータの回転軸が貫通する部位に存在する僅かな隙間を介して、ギア室側からモータ室内に進入することがあった。通常、前記モータ室内には組み付け時に空気が封じ込められることから、そのモータ室内の空気中に含まれる酸素とモータ室内に進入した水素オフガスの水素とが反応し、モータ室内において水が生成されるという事態を招いていた。従って、そのように水が生成された場合には、モータ室内の部材（例えばモータ等）の腐食を招いてしまい、その結果、流体圧縮機としての性能が劣化してしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ポンプ室側から水素を含む流体がモータ室内に進入することを抑止することにより、モータ室内で水が生成されるという事態を回避でき、流体圧縮機能が劣化することを防止できる流体圧縮機を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、モータが収納されたモータ室を内部に有するモータハウジングと、前記モータの回転駆動に基づき回転するロータが収納されたポンプ室を内部に有するポンプハウジングとを、流体の滞留を可能とする隔室を内部に有する連結ハウジングを介在させて一体組み付けし、前記連結ハウジングには、前記隔室内に前記ポンプ室側から進入した気体状流体を当該隔室内から外部へ排出可能とする流体排出口を形成したことを要旨とする。従って、請求項１に記載の発明では、ポンプ室内で水素を含む流体を圧縮している場合において、当該水素を含む流体がポンプ室側から隔室内に進入したとしても、その水素を含む流体、即ち、気体状流体は、流体排出口から外部に排出されることになり、前記ポンプ室側からモータ室内への進入を抑止される。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の流体圧縮機において、前記流体排出口には、気体状流体を透過可能とし、液体状流体を透過不能とする透過部材が設けられていることを要旨とする。従って、請求項２に記載の発明では、前記流体排出口から気体状流体の外部への排出が良好に行われる一方、当該流体排出口を介して外部から水が隔室内に進入することが確実に防止される。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の流体圧縮機において、前記ロータは、前記モータの回転駆動に基づいて各々回転する複数のロータからなり、前記隔室は、各ロータ間の動力伝達を行うためのギアを収納したギア室とされていることを要旨とする。従って、請求項３に記載の発明では、前記隔室をギア室として利用できるため、例えばポンプハウジングの軸方向に別途ギア室を設ける必要がなく、流体圧縮機の小型化にも寄与できる。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載の流体圧縮機において、前記モータハウジングと前記連結ハウジングとの接合面には、気密保持部材が介在されていることを要旨とする。従って、請求項４に記載の発明では、前記モータ室内へ前記モータハウジングと前記連結ハウジングとの接合面を介して外部から水分が進入することも防止される。
【００１２】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載の流体圧縮機において、前記連結ハウジングは、前記モータハウジングと前記ポンプハウジングとの間に接合配置されて前記隔室を囲み形成する複数の連結部材から構成され、当該各連結部材の接合面には気密保持部材が介在されていることを要旨とする。従って、請求項５に記載の発明では、前記各連結部材の接合面から隔室内へ水分等が進入することも防止される。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、ポンプ室側から水素を含む流体がモータ室内に進入することを抑止することにより、モータ室内で水が生成されるという事態を回避でき、流体圧縮機能が劣化することを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１に示すように、本実施形態の水素圧縮機１０は、ルート式の圧縮機であって、モータハウジング１１とポンプハウジング１２及び当該両ハウジング１１，１２間に介装される連結ハウジング１３を備えてなり、当該連結ハウジング１３はギアハウジング（連結部材）１４と軸受ブロック（連結部材）１５とから構成されている。前記モータハウジング１１は、一端側（図１では左端側）が閉塞し、他端側（図１では右端側）が開口した有底略筒状をなしている。モータハウジング１１の他端側には、前記ギアハウジング１４がモータハウジング１１の開口を閉塞するように印籠結合されており、当該モータハウジング１１の内面とギアハウジング１４の外面（図１では左側面）とによりモータ室１６が囲み形成されている。また、前記ポンプハウジング１２は、一端側（図１では左端側）が開口した有底略楕円筒状をなしており、ポンプハウジング１２の内面とその開口を閉塞するようにボルト１７により締付け結合された軸受ブロック１５の内面（図１では右側面）とによりポンプ室１８が囲み形成されている。なお、ポンプハウジング１２の他端側（図１では右端側）には、ポンプハウジング１２よりも小サイズの有底略楕円筒状をなすカバー１９がボルト１７により接合固定されている。
【００１５】
また、前記ギアハウジング１４は、軸受ブロック１５と対向する側が開口した有底略筒状をなしており、その開口を閉塞するように前記軸受ブロック１５がボルト等（図示略）を介して接合固定されている。そして、そのように接合固定されたギアハウジング１４の内面と軸受ブロック１５の外面とにより隔室としてのギア室２０が囲み形成されている。また、図２に示すように、ギアハウジング１４には、その最上位置に流体排出口２１が形成されており、当該流体排出口２１は、流体排出口２１よりも小径の連絡通路５０を介してギア室２０内外を連通するようになっている。また、前記流体排出口２１には、気体状流体を透過可能とし、液体状流体を透過不能とする透過部材としてのフィルタ２１ａが、フィルタ止め具６０によって移動不能な態様にて取着されている。
【００１６】
前記フィルタ２１ａは、水やオイル等のように表面張力の大きな液体状流体の透過を防ぐ一方で、水蒸気や水素ガス等の気体状流体については透過を許容する微細な空孔が連続形成された多孔質構造の素材にて構成されており、本実施形態ではゴアテックス（ジャパンゴアテックス株式会社製）が利用されている。なお、前記モータハウジング１１とギアハウジング１４との接合面、前記ギアハウジング１４と軸受ブロック１５との接合面、前記ポンプハウジング１２と軸受ブロック１５との接合面、及び前記カバー１９とポンプハウジング１２との接合面には、外部に対して気密を保持するためのＯリング２２が気密保持部材として夫々介在されている。そのため、前記Ｏリング２２の気密保持機能により、前記モータ室１６内は密閉された状態とされる。
【００１７】
前記モータハウジング１１の底部２３には、モータハウジング１１の軸心と同軸上で且つモータ室１６内に臨む位置にベアリング２４が設けられ、該ベアリング２４に対して駆動軸（回転軸）２５の一端（図１では左端）が回動可能に軸支されている。この駆動軸２５の他端側は、前記ギアハウジング１４に形成された貫通孔１４ａと軸受ブロック１５に形成された貫通孔１５ａを貫通して前記ポンプハウジング１２の底部２６に形成された貫通孔２６ａ内まで延設されている。そして、この駆動軸２５は、その他端部が前記ポンプハウジング１２の底部２６に設けられたベアリング２７に回動可能に軸支されると共に、その中間部分が前記軸受ブロック１５に設けられたベアリング２８に回動可能に挿通支持されている。また、モータ室１６内において、前記駆動軸２５にはモータ回転子２９が取付固定されると共に、モータ固定子３０が前記モータ回転子２９の外周側に位置するようにモータハウジング１１に取付固定され、前記モータ回転子２９とモータ固定子３０とにより電動モータ３１が構成されている。
【００１８】
一方、前記ポンプ室１８内には、前記駆動軸２５と平行をなす従動軸３２がポンプハウジング１２の底部２６に設けられたベアリング３３と軸受ブロック１５に設けられたベアリング３４とに両端側をそれぞれ回動可能に支持された状態で配設されている。そして、ポンプ室１８内において、前記駆動軸２５及び従動軸３２には双葉状をなす駆動ロータ３５、従動ロータ３６がそれぞれ取付固定されている。なお、従動軸３２の一端側は、軸受ブロック１５を貫通して、前記ギア室２０内まで延設されている。
【００１９】
また、前記ギア室２０内では、駆動軸２５に固定された駆動ギア３７と従動軸３２の一端部に固定された従動ギア３８とが噛合連結されている。このため、前記電動モータ３１の回転駆動は、前記両ギア３７，３８を介して前記従動ロータ３６（従動軸３２）に伝達されるようになっている。また、ギア室２０内には、両ギア３７，３８が噛合した状態でそれぞれ回動しやすいように所定量の潤滑オイル（液体状流体）Ｌが貯留されている。さらに、図２及び図３に示すように、ギア室２０内において前記連絡通路５０の直下位置には、例えば前記両ギア３７，３８の回転駆動に伴い飛散した潤滑オイルＬが連絡通路５０内へ入り込まないようにするための邪魔板７０が突設されている。そのため、前記流体排出口２１に連なる連絡通路５０は飛散した潤滑オイルＬによって閉塞されることはない。なお、ギアハウジング１４内には、駆動軸２５とギアハウジング１４との間隙をシールするシールリング３９が介在されている。
【００２０】
また、前記軸受ブロック１５内においてベアリング２８の駆動ロータ３５側には、駆動軸２５と軸受ブロック１５との間隙をシールするシールリング３９が介在されている。同様に、前記軸受ブロック１５内においてベアリング３４の従動ロータ３６側には、従動軸３２と軸受ブロック１５との間隙をシールするシールリング３９が介在されている。また、本実施形態では、前記ポンプハウジング１２の底部２６内においてベアリング２７の駆動ロータ３５側にもまた、駆動軸２５とポンプハウジング１２との間隙をシールするシールリング３９が介在されている。同様に、前記ポンプハウジング１２の底部２６内においてベアリング３３の従動ロータ３６側には、従動軸３２とポンプハウジング１２との間隙をシールするシールリング３９が介在されている。
【００２１】
また、水素圧縮機１０は駆動軸２５及び従動軸３２の両軸線を含む仮想面が水平となるように設置される。前記ポンプハウジング１２の天井部には、図示しない燃料電池から排出された水素オフガス（気体状流体）Ｈをポンプ室１８内へ取り込むための吸入口（図示略）が設けられている。また、ポンプ室１８の底部には、各ロータ３５，３６の回転駆動によりポンプ室１８内で圧縮された水素オフガスＨをポンプ室１８から吐出するための吐出口４０が設けられている。このため、前記吸入口から取り込まれた水素オフガスＨは、前記吐出口４０から吐出され、再び燃料電池に供給されることになる。このように、水素圧縮機１０においては、ポンプ室１８内へ水素オフガスＨを取り込んで圧縮し、その圧縮した水素オフガスＨを吐出するという圧縮供給運動が繰り返し行われる。
【００２２】
そこで次に、上記のように構成された本実施形態の水素圧縮機（流体圧縮機）１０の作用に関し、ポンプ室１８側からギア室２０内へ水素オフガスＨが進入した場合の作用を中心に以下説明する。
【００２３】
さて、水素圧縮機１０が前述したように水素オフガスＨの圧縮供給運動を繰り返し行っている場合において、前記吸入口から取り込まれた水素オフガスＨの一部が、図３に示すように、前記軸受ブロック１５の貫通孔１５ａを介してポンプ室１８側からギア室２０内へ進入してしまうことがあり得る。即ち、軸受ブロック１５の貫通孔１５ａにはシールリング３９が介在されているものの、駆動軸２５（及び従動軸３２）の回転を許容するだけの僅かな隙間がシールリング３９と駆動軸２５（及び従動軸３２）の周面との間には存在する。また、水素ガス（水素オフガスＨ）は、金属及びゴム材を透過する性質を持っているため、金属材料（例えばアルミニウム合金）からなる軸受ブロック１５やシールリング３９を透過してポンプ室１８側からギア室２０内に進入することもあり得る。そして、このギア室２０内に進入した水素オフガスＨは、水素の拡散速度が空気の拡散速度と比較して非常に速いという性質を有していることから、ギア室２０外へ放散しようとする。
【００２４】
しかし、本実施形態の場合、前記ギアハウジング１４には前記流体排出口２１が形成されているため、ギア室２０内に滞留する水素オフガス（気体）Ｈは、この流体排出口２１を介してギア室２０外へ排出されることになる。従って、前記水素オフガスＨは、前記ポンプ室１８（ギア室２０）側からモータ室１６に進入することはないので、当該モータ室１６内では、空気（酸化剤ガス）と水素オフガスＨとの反応に基づき水が生成されることはない。従って、モータ室１６内の部材（電動モータ３１等）の腐食が回避され、水素圧縮機１０の性能が劣化することも防止される。
【００２５】
因みに、流体排出口２１には、前記水素オフガスＨ等の気体状流体の透過は許容する一方で、潤滑オイルＬや水等の液体状流体の透過は不能とするフィルタ２１ａが配設されている。そのため、ギア室２０内の潤滑オイルＬがこの流体排出口２１を介してギア室２０外へ流出することはなく、また、この流体排出口２１を介してギア室２０内へ外部から水が進入（又は浸入）することもない。また、前記モータハウジング１１とギアハウジング１４との接合面には、Ｏリング２２が介在されているため、当該接触面を介して外部から水分がモータ室１６内へ進入することが防止される。さらに、ギアハウジング１４と軸受ブロック１５との接合面にも、Ｏリング２２が介在されているため、当該接触面を介して外部から水分がギア室２０（及びモータ室１６）内へ進入することも防止される。
【００２６】
従って、本実施形態では、以下に示す効果を得ることができる。
（１）水素圧縮機１０が圧縮供給運動を繰り返し行う際に、たとえポンプ室１８内の水素オフガスＨが軸受ブロック１５の貫通孔１５ａを介して、又は軸受ブロック１５を透過してギア室（隔室）２０内に進入したとしても、ギア室２０内に滞留する水素オフガスＨは、ギアハウジング１４に形成された流体排出口２１から外部へ排出される。従って、モータ室１６内への水素オフガスＨの進入に基づく水の生成反応が防止される結果、モータ室１６内の部材（例えば電動モータ３１等）が水分により腐食することを良好に回避することができ、水素圧縮機１０の性能が劣化することを良好に防止できる。
【００２７】
（２）また、前記流体排出口２１には気体状流体を透過可能とする一方で液体状流体を透過不能とするフィルタ２１ａが配設されているため、前記流体排出口２１を介してギア室２０内から潤滑オイルＬが流出したり、ギア室２０内へ外部から水が進入したりすることを防止できる。従って、長期にわたって、水素圧縮機１０の性能を良好に維持できる。
【００２８】
（３）ポンプ室１８とモータ室１６との間に形成された隔室は、各ロータ３５，３６間の動力伝達を行うための各ギア３７，３８を収納するギア室２０とされているため、例えばポンプハウジング１２の他端側等にギア室２０を別途形成する必要はなく、水素圧縮機１０の小型化に寄与できる。
【００２９】
（４）モータハウジング１１とギアハウジング１４との接合面には気密保持部材としてのＯリング２２が介在されている。従って、モータ室１６内へ前記接合面を介して外部から水分が進入することを良好に防止できる。
【００３０】
（５）ギアハウジング１４と軸受ブロック１５との接合面には気密保持部材としてのＯリング２２が介在されている。従って、ギア室２０内へ前記接合面を介して外部から水分が進入することを良好に防止できる。
【００３１】
（６）また、ギアハウジング１４内において駆動軸２５の貫通部位である貫通孔１４ａ内には、シールリング３９が介在されているため、たとえギア室２０内で水が生成されたとしても、当該生成水が前記貫通孔１４ａを介してモータ室１６内に進入することを抑止できる。また、ギア室２０内で生成された水は、水素圧縮機１０の駆動に基づく発熱により気化し、当該気化した水（水蒸気）はフィルタ２１ａを透過して流体排出口２１から排出されることになる。
【００３２】
（７）ギア室２０内において、流体排出口２１に連なる連絡通路５０の直下位置には、例えば両ギア３７，３８の回転駆動に伴い飛散した潤滑オイルＬが連絡通路５０内に入り込むのを邪魔するための邪魔板７０が設けられている。従って、潤滑オイルＬによって連絡通路５０（流体排出口２１）が閉塞されることを防止でき、流体排出口２１は、水素オフガスＨをギア室２０から外部へ排出するという本来の機能を充分に発揮できる。
【００３３】
なお、本実施形態は以下のような別の実施形態（別例）に変更してもよい。
○前記実施形態では、連結ハウジング１３が２つの連結部材（ギアハウジング１４と軸受ブロック１５）からなり、両連結部材が接合配置されて隔室としてのギア室２０を囲み形成するようにしたが、連結ハウジングを任意数（例えば３つ）の連結部材から構成することにより、例えば２つの隔室を形成するようにしてもよい。
【００３４】
○前記実施形態では、モータハウジング１１とギアハウジング１４との接合面等の各接合面に介在される気密保持部材としてはＯリング２２を採用したが、それらの接合面から水分が進入することを防止できる気密保持部材ならばＯリング２２以外の気密保持部材も採用可能である。
【００３５】
○前記実施形態では、モータ室１６とポンプ室１８との間に形成された隔室がギア室２０としても機能する構成とされているが、ギア室２０を例えばポンプハウジング１２の他端側（図１において右端側）においてカバー１９が接合固定された部位に別途形成してもよい。
【００３６】
○前記実施形態では、流体排出口２１に気体状流体を透過可能とする一方で液体状流体を透過不能とするフィルタ２１ａが設けられているが、このフィルタ２１ａを設けなくてもよい。この場合、流体排出口２１は、水素圧縮機１０を設置する際に、上側となるように形成するとよい。
【００３７】
○前記実施形態では、連結ハウジング１３は、２つの連結部材（ギアハウジング１４と軸受ブロック１５）から構成されているが、内部に隔室を形成した軸受ブロック１５のみから構成してもよい。この場合、ギア室２０は、ポンプハウジング１２の他端側（図１において右端側）においてカバー１９が接合固定された部位に別途形成するとよい。
【００３８】
○前記実施形態では、燃料電池システムにおいて水素ガス（水素オフガスＨ）を循環させる水素圧縮機１０に具体化したが、水素を含む流体を圧縮供給する流体圧縮機ならば、燃料電池システムに使用される流体圧縮機以外の流体圧縮機（水素圧縮機１０）に具体化してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本実施形態に係る水素圧縮機の概略平断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線矢視断面図。
【図３】ポンプ室側からギア室内に進入した水素オフガスがギア室外へ排出される態様を説明する図１のＢ−Ｂ線矢視一部断面図。
【符号の説明】
【００４０】
１０…水素圧縮機（流体圧縮機）、１１…モータハウジング、１２…ポンプハウジング、１３…連結ハウジング、１４…ギアハウジング（連結部材）、１５…軸受ブロック（連結部材）、１６…モータ室、１８…ポンプ室、２０…ギア室（隔室）、２１…流体排出口、２１ａ…フィルタ（透過部材）、２２…Ｏリング（気密保持手段）、３１…電動モータ（モータ）、３５…駆動ロータ（ロータ）、３６…従動ロータ（ロータ）、３７…駆動ギア（ギア）、３８…従動ギア（ギア）、Ｈ…水素オフガス（気体状流体）、Ｌ…潤滑オイル（液体状流体）。
【図１】
2005188326.tif 000003
【図２】
2005188326.tif 000004
【図３】
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