(57)【要約】【課題】  被着体を貼り合わせる際には、被着体にダメージを与えずに位置合わせのために剥離させることができ、適切な位置で貼り合わせた後は、強固な接着力で貼り合わせて加工の際の位置ズレを抑制または防止することができる加熱剥離型粘着シートを得る。【解決手段】  加熱剥離型粘着シートは、基材の少なくとも一方の面に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層が形成された加熱剥離型粘着シートであり、１００ｇローラー１往復でＳＵＳ板に圧着した際の剪断接着力が１５Ｎ／ｃｍ2以下であり、且つ５ｋｇローラー１往復でＳＵＳ板に圧着した際の剪断接着力が３０Ｎ／ｃｍ2以上であることを特徴とする。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基材の少なくとも一方の面に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層が形成された加熱剥離型粘着シートであって、１００ｇローラー１往復でＳＵＳ板に圧着した際の剪断接着力が１５Ｎ／ｃｍ2以下であり、且つ５ｋｇローラー１往復でＳＵＳ板に圧着した際の剪断接着力が３０Ｎ／ｃｍ2以上であることを特徴とする加熱剥離型粘着シート。
【請求項２】
加熱剥離型粘着シートを用いて被着体を加工する方法であって、請求項１記載の加熱剥離型粘着シートに被着体を仮固定した後、強固に貼り合わせて、被着体に加工処理を施すことにより被着体を加工することを特徴とする被着体の加工方法。
【請求項３】
被着体が、電子系部品類である請求項２記載の被着体の加工方法。
【請求項４】
請求項３記載の被着体の加工方法を利用して製造されたことを特徴とする電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品を加工する際に用いられる固定用としての加熱剥離型粘着シートおよび該加熱剥離型粘着シートを用いた被着体の加工方法などに関し、より詳細には、物品等の被着体に軽く接触させて貼り合わせた際には被着体にダメージを与えずに剥離させることができ、適切な位置で貼り合わせを行った後、荷重をかけると強固な接着力で貼り合わせることができ、しかも、接着目的を達成した後には、加熱により被着体を剥離させることができる加熱剥離型粘着シートおよび該加熱剥離型粘着シートを用いた被着体の加工方法などに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、支持基材の少なくとも片面に熱膨張性粘着層を設けた加熱剥離型粘着シート（例えば、特許文献１〜特許文献５参照）が広く知られている。この加熱剥離型粘着シートは、物品等の被着体の接着目的を達成した後は、加熱処理することにより熱膨張性粘着層が発泡乃至膨張し、熱膨張性粘着層の表面が凹凸状に変化し、被着体との接着面積の減少により接着力が低減し、被着体を容易に剥離乃至分離させることができるようにしたものであり、電子部品やその材料などの加工時における固定や、搬送等の物流など、他種多様な目的で用いられている。
【０００３】
【特許文献１】特公昭５０−１３８７８号公報
【特許文献２】特公昭５１−２４５３４号公報
【特許文献３】特開昭５６−６１４６８号公報
【特許文献４】特開昭５６−６１４６９号公報
【特許文献５】特開昭６０−２５２６８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の加熱剥離型粘着シートは、被着体と軽く接触しただけでも接着してしまい、そのため、位置合わせを誤った場合、再度位置合わせを行うために剥離しようとすると、被着体にダメージを与えてしまうという問題が生じていた。
【０００５】
従って、本発明の目的は、被着体を貼り合わせる際には、被着体にダメージを与えずに位置合わせのために剥離させることができ、適切な位置で貼り合わせた後は、強固な接着力で貼り合わせて、加工の際の位置ズレを抑制または防止することができる加熱剥離型粘着シート、および該加熱剥離型粘着シートを用いた被着体の加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、前記目的を達成するため鋭意検討した結果、加熱剥離型粘着シートの剪断接着力を適度な値に調整することにより、大きな荷重をかける前には、被着体と軽く接触しても簡単に剥離させることができ、大きな荷重をかけることにより、強固に接着させることができ、被着体の加工の際の位置ズレを抑制または防止することができることを見出した。本発明はこれらの知見に基づいて完成されたものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、基材の少なくとも一方の面に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層が形成された加熱剥離型粘着シートであって、１００ｇローラー１往復でＳＵＳ板に圧着した際の剪断接着力が１５Ｎ／ｃｍ2以下であり、且つ５ｋｇローラー１往復でＳＵＳ板に圧着した際の剪断接着力が３０Ｎ／ｃｍ2以上であることを特徴とする加熱剥離型粘着シートを提供する。
【０００８】
本発明は、また、加熱剥離型粘着シートを用いて被着体を加工する方法であって、前記加熱剥離型粘着シートに被着体を仮固定した後、強固に貼り合わせて、被着体に加工処理を施すことにより被着体を加工することを特徴とする被着体の加工方法を提供する。前記被着体としては、電子系部品類を好適に用いることができる。
【０００９】
本発明は、さらにまた、前記被着体の加工方法を利用して製造されたことを特徴とする電子部品を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の加熱剥離型粘着シートによれば、被着体を貼り合わせる際には、被着体にダメージを与えずに位置合わせのために剥離させることができ、適切な位置で貼り合わせた後は、強固な接着力で貼り合わせて、加工の際の位置ズレを抑制または防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、本発明の実施の形態を、必要に応じて図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、同一の部材や部分などには同一の符号を付している場合がある。
［加熱剥離型粘着シート］
本発明の加熱剥離型粘着シートは、図１や図２で示されるように、基材（支持基材）と、該基材の少なくとも一方の面に形成された熱膨張性粘着層とを有しており、１００ｇローラー１往復でＳＵＳ板（ステンレス板）に圧着した際の剪断接着力が１５Ｎ／ｃｍ2以下であり、且つ５ｋｇローラー１往復でＳＵＳ板に圧着した際の剪断接着力が３０Ｎ／ｃｍ2以上である物性を有している。図１、図２は、それぞれ、本発明の加熱剥離型粘着シートの例を部分的に示す概略断面図である。図１〜２において、１，１１は加熱剥離型粘着シート、２は基材、３は熱膨張性粘着層、４はセパレータ（剥離ライナー）、５はゴム状有機弾性層である。
【００１２】
具体的には、図１に示される加熱剥離型粘着シート１は、基材２と、該基材２の一方の面（片面）に形成されている熱膨張性粘着層３とを有し、且つ前記熱膨張性粘着層３はセパレータ４により保護された形態を有している。一方、図２に示される加熱剥離型粘着シート１１は、基材２と、該基材２の一方の面（片面）に形成されているゴム状有機弾性層５と、該ゴム状有機弾性層５上に形成されている熱膨張性粘着層３とを有し、且つ前記熱膨張性粘着層３はセパレータ４により保護された形態を有している。
【００１３】
なお、図２で示される加熱剥離型粘着シート１１はゴム状有機弾性層５を有しているが、このゴム状有機弾性層５は任意に用いることができ、例えば、熱膨張性粘着層３を熱膨張させる際の投錨力の向上やうねり構造の発現などの観点からは、用いられていることが好ましい。
【００１４】
前記加熱剥離型粘着シート（１，１１）は、１００ｇローラー１往復でＳＵＳ板に圧着した際の剪断接着力が１５Ｎ／ｃｍ2以下（好ましくは１０Ｎ／ｃｍ2以下）であり、且つ５ｋｇローラー１往復でＳＵＳ板に圧着した際の剪断接着力が３０Ｎ／ｃｍ2以上（好ましくは４０Ｎ／ｃｍ2以上）である物性を有している。従って、加熱剥離型粘着シートは、軽く接触させて貼り合わせた際には、接着力が弱く仮固定することができ、そのため、適切な位置で接着させていなかった場合、被着体にダメージを与えずに、位置合わせのために、簡単に被着体を剥離させることができる。一方、適切な位置で被着体を仮固定により貼り合わせを行った後は、大きな荷重をかけることにより、強固な接着力で被着体を貼り合わせることができ、被着体の加工の際の位置ズレを抑制または防止することができる。さらに、接着目的を達成した後は、加熱により、容易に被着体を剥離させることができる。
【００１５】
なお、剪断接着力の測定方法としては、加熱剥離型粘着シート（２０ｍｍ×２０ｍｍ）の熱膨張性粘着層上に、サンドペーパーＮｏ．３６０で表面を研磨したＳＵＳ板（ステンレス板）を、１００ｇローラーまたは５ｋｇローラーを１往復にて圧着し、島津オートグラフＡＧＳ−５０Ｄ（島津製作所社製）を用いて、温度２３℃±２℃、湿度６５±５％ＲＨの条件で、引張速度５０ｍｍ／ｍｉｎで、図３で示されるように、剪断方向に引張り、その際の接着力を測定することにより求めることができる。
【００１６】
図３は、剪断接着力を測定する方法を示す概略図である。図３において、６は加熱剥離型粘着シート、７はＳＵＳ板、８は加熱剥離型粘着シート６を引っ張る方向であり、９は
ＳＵＳ板７を引っ張る方向である。また、６ａは、加熱剥離型粘着シート６の粘着面上におけるＳＵＳ板７が貼着されている貼り合わせ部位である。図３では、加熱剥離型粘着シート６における一方の端部側の部位６ａの粘着面上に、ＳＵＳ板７の一方の端部側が貼着されている（貼り合わせ面積：２０ｍｍ×２０ｍｍ）。
【００１７】
このような加熱剥離型粘着シートとしては、基材の少なくとも片面に熱膨張性粘着層が形成されており、且つ前記物性を発揮することができる構成を有していれば特に制限されないが、例えば、（１）熱膨張性粘着層が凹凸状の表面を有する構成、（２）熱膨張性粘着層の表面に、微粒子による薄層が形成されている構成などが挙げられる。前記構成（１）における凹凸状の表面を有する熱膨張性粘着層としては、例えば、熱膨張性粘着層中に含まれる微粒子（例えば、熱膨張性微小球、充填剤など）の粒子径（平均粒子径）や、熱膨張性粘着層の厚さを調整することにより形成することができる。具体的には、熱膨張性粘着層中に含まれる微粒子（例えば、熱膨張性微小球、充填剤など）として、熱膨張性粘着層の厚さに対して、所定の凹凸状が形成されるような大きさの粒子径を有するものを用いることにより、微粒子による凹凸状を有する熱膨張性粘着層を得ることができる。
【００１８】
また、前記構成（２）における微粒子による薄層における微粒子としては、充填剤として利用可能な微粒子などを用いることができる。
【００１９】
なお、構成（１）や構成（２）における微粒子は、大きな荷重により押されると、熱膨張性粘着層中に埋没することができる。従って、適切な位置で被着体を仮固定により加熱剥離型粘着シートに貼り合わせを行った後に、大きな荷重をかけて圧着させると、熱膨張性粘着層の表面に少なくとも一部が露出している微粒子は、熱膨張性粘着層中に埋没し、被着体が加熱剥離型粘着シートに強固に接着されることになる。
【００２０】
さらに、物品（被着体）の接着目的を達成した後は、熱膨張性粘着層を加熱することにより、熱膨張性粘着層が発泡乃至膨張して、熱膨張性粘着層の表面が凹凸に変化し、これにより、被着体との接着面積が減少することにより、接着力が低減し、物品を容易に剥離乃至分離することができる。
【００２１】
［基材］
基材は、熱膨張性粘着層等の支持母体として用いることができる。基材としては、例えば、紙などの紙系基材；織布、不織布、フェルト、ネットなどの繊維系基材；金属箔、金属板などの金属系基材；プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材；ゴムシートなどのゴム系基材；発泡シートなどの発泡体や、これらの積層体（特に、プラスチック系基材と他の基材との積層体や、プラスチックフィルム（又はシート）同士の積層体など）等の適宜な薄葉体を用いることができる。基材としては、熱膨張性粘着層の加熱処理温度で溶融しない耐熱性に優れるものが、加熱後の取扱性などの点より好ましい。基材としては、プラスチックのフィルムやシートなどのプラスチック系基材を好適に用いることができる。このようなプラスチックのフィルムやシートにおける素材としては、例えば、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）等のα−オレフィンをモノマー成分とするオレフィン系樹脂；ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル；ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）；ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）；ポリアミド（ナイロン）、全芳香族ポリアミド（アラミド）等のアミド系樹脂；ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などが挙げられる。これらの素材は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００２２】
なお、基材として、プラスチック系基材が用いられている場合は、延伸処理等により伸び率などの変形性を制御していてもよい。また、基材としては、熱膨張性粘着層などに放射線硬化性の物質を使用する際は、放射線の透過を阻害しないものを使用することが好ましい。
【００２３】
基材の厚さは、強度や柔軟性、使用目的などに応じて適宜に選択でき、例えば、一般的には１０００μｍ以下（例えば、１〜１０００μｍ）、好ましくは１〜５００μｍ、さらに好ましくは３〜３００μｍ、特に５〜２５０μｍ程度であるが、これらに限定されない。なお、基材は単層の形態を有していてもよく、積層された形態を有していてもよい。
【００２４】
基材の表面は、熱膨張性粘着層等との密着性を高めるため、慣用の表面処理、例えば、コロナ処理、クロム酸処理、オゾン暴露、火炎暴露、高圧電撃暴露、イオン化放射線処理等の化学的又は物理的方法による酸化処理等が施されていてもよく、下塗り剤によるコーティング処理等が施されていてもよい。また、熱膨張性粘着層等との剥離性を付与するために、例えば、シリコーン系樹脂やフッ素系樹脂等の剥離剤などによるコーティング処理が施されていてもよい。
【００２５】
なお、基材の少なくとも一方の面（片面または両面）には、熱膨張性粘着層が設けられている。また、基材を熱膨張性粘着層の内部に埋設した形態などとすることもできる。
【００２６】
［熱膨張性粘着層］
熱膨張性粘着層は、少なくとも、粘着性を付与するための粘着剤と、熱膨張性を付与するための熱膨張性微小球（マイクロカプセル）とを含んでいる。そのため、例えば、加熱剥離型粘着シートを、被着体（例えば、半導体ウエハ等の部材又は部品など）に貼着した場合、任意なときに熱膨張性粘着層を加熱して、熱膨張性微小球を発泡及び／又は膨張処理させることにより、熱膨張性粘着層が膨張し、この膨張により、熱膨張性粘着層と、粘着性保護層との接着面積（接触面積）が減少し、熱膨張性粘着層による接着力が減少して、加熱剥離型粘着シートを容易に、貼着している被着体から剥離させることができる。このような加熱剥離型粘着シートの剥離において、熱膨張性粘着層中に含有される発泡剤として、マイクロカプセル化していない発泡剤を用いると、良好な剥離性を安定して発現させることができない。
【００２７】
熱膨張性粘着層において用いられている熱膨張性微小球としては、特に制限されず、公知の熱膨張性微小球（種々の無機系熱膨張性微小球や、有機系熱膨張性微小球など）から適宜選択することができる。熱膨張性微小球としては、混合操作が容易である観点などより、マイクロカプセル化されている発泡剤を好適に用いることができる。このような熱膨張性微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球などが挙げられる。前記殻は、熱溶融性物質や熱膨張により破壊する物質で形成される場合が多い。前記殻を形成する物質として、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホンなどが挙げられる。熱膨張性微小球は、慣用の方法、例えば、コアセルベーション法や、界面重合法などにより製造できる。なお、熱膨張性微小球には、例えば、商品名「マツモトマイクロスフェア」［松本油脂製薬（株）製］などの市販品もある。
【００２８】
加熱処理により、熱膨張性粘着層の接着力を効率よく且つ安定して低下させるため、体積膨張率が５倍以上、なかでも７倍以上、特に１０倍以上となるまで破裂しない適度な強度を有する熱膨張性微小球が好ましい。
【００２９】
また、熱膨張性微小球とともに、熱膨張性微小球以外の発泡剤を用いることもできる。このような発泡剤としては、種々の無機系発泡剤や有機系発泡剤などの各種発泡剤を適宜選択して使用することができる。無機系発泡剤の代表的な例としては、例えば、炭酸アンモニウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝酸アンモニウム、水酸化ホウ素ナトリウム、各種アジド類などが挙げられる。また、有機系発泡剤の代表的な例としては、例えば、水；トリクロロモノフルオロメタン、ジクロロモノフルオロメタンなどの塩フッ化アルカン系化合物；アゾビスイソブチロニトリル、アゾジカルボンアミド、バリウムアゾジカルボキシレートなどのアゾ系化合物；パラトルエンスルホニルヒドラジド、ジフェニルスルホン−３，３´−ジスルホニルヒドラジド、４，４´−オキシビス（ベンゼンスルホニルヒドラジド）、アリルビス（スルホニルヒドラジド）などのヒドラジン系化合物；ｐ−トルイレンスルホニルセミカルバジド、４，４´−オキシビス（ベンゼンスルホニルセミカルバジド）などのセミカルバジド系化合物；５−モルホリル−１，２，３，４−チアトリアゾールなどのトリアゾール系化合物；Ｎ，Ｎ´−ジニトロソペンタメチレンテロラミン、Ｎ，Ｎ´−ジメチル−Ｎ，Ｎ´−ジニトロソテレフタルアミドなどのＮ−ニトロソ系化合物などが挙げられる。
【００３０】
粘着剤としては、前記剪断接着力を有する熱膨張性粘着層を形成することが可能なものであれば特に制限されないが、加熱時に熱膨張性微小球の発泡及び／又は膨張を可及的に拘束しないようなものが好ましい。粘着剤としては、例えば、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤、これらの粘着剤に融点が約２００℃以下の熱溶融性樹脂を配合したクリ−プ特性改良型粘着剤などの公知の粘着剤（例えば、特開昭５６−６１４６８号公報、特開昭６１−１７４８５７号公報、特開昭６３−１７９８１号公報、特開昭５６−１３０４０号公報等参照）の中から、前記特性を有する粘着剤を適宜選択して用いることができる。また、粘着剤としては、放射線硬化型粘着剤（又はエネルギー線硬化型粘着剤）を用いることもできる。これらの粘着剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００３１】
具体的には、粘着剤としては、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤を好適に用いることができ、特にアクリル系粘着剤が好適である。ゴム系粘着剤としては、天然ゴムや各種の合成ゴム［例えば、ポリイソプレンゴム、スチレン・ブタジエンブロック共重合体（ＳＢ）ゴム、スチレン・イソプレンブロック共重合体（ＳＩ）ゴム、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＳ）ゴム、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＢＳ）ゴム、スチレン・イソプレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体（ＳＩＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・ブチレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＢＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレン・スチレンブロック共重合体（ＳＥＰＳ）ゴム、スチレン・エチレン・プロピレンブロック共重合体（ＳＥＰ）ゴム、再生ゴム、ブチルゴム、ポリイソブチレンや、これらの変性体など］をベースポリマーとしたゴム系粘着剤が挙げられる。
【００３２】
また、アクリル系粘着剤としては、（メタ）アクリル酸アルキルエステルの１種又は２種以上を単量体成分として用いたアクリル系重合体（単独重合体又は共重合体）をベースポリマーとするアクリル系粘着剤が挙げられる。前記アクリル系粘着剤における（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチル、（メタ）アクリル酸ｓ−ブチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸イソノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ウンデシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸トリデシル、（メタ）アクリル酸テトラデシル、（メタ）アクリル酸ペンタデシル、（メタ）アクリル酸ヘキサデシル、（メタ）アクリル酸ヘプタデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル、（メタ）アクリル酸ノナデシル、（メタ）アクリル酸エイコシルなどの（メタ）アクリル酸Ｃ1-20アルキルエステル［好ましくは（メタ）アクリル酸Ｃ4-18アルキル（直鎖状又は分岐鎖状のアルキル）エステル］などが挙げられる。
【００３３】
なお、前記アクリル系重合体は、凝集力、耐熱性、架橋性などの改質を目的として、必要に応じて、前記（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合可能な他の単量体成分に対応する単位を含んでいてもよい。このような単量体成分として、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、カルボキシエチルアクリレートなどのカルボキシル基含有モノマー；無水マレイン酸、無水イコタン酸などの酸無水物基含有モノマー；（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシブチルなどのヒドロキシル基含有モノマー；スチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、（メタ）アクリルアミドプロパンスルホン酸、スルホプロピル（メタ）アクリレートなどのスルホン酸基含有モノマー；２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェートなどのリン酸基含有モノマー；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールプロパン（メタ）アクリルアミドなどの（Ｎ−置換）アミド系モノマー；（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ｔ−ブチルアミノエチルなどの（メタ）アクリル酸アミノアルキル系モノマー；（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチルなどの（メタ）アクリル酸アルコキシアルキル系モノマー；Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドなどのマレイミド系モノマー；Ｎ−メチルイタコンイミド、Ｎ−エチルイタコンイミド、Ｎ−ブチルイタコンイミド、Ｎ−オクチルイタコンイミド、Ｎ−２−エチルヘキシルイタコンイミド、Ｎ−シクロヘキシルイタコンイミド、Ｎ−ラウリルイタコンイミドなどのイタコンイミド系モノマー；Ｎ−（メタ）アクリロイルオキシメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクルロイル−６−オキシヘキサメチレンスクシンイミド、Ｎ−（メタ）アクリロイル−８−オキシオクタメチレンスクシンイミドなどのスクシンイミド系モノマー；酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのビニルエステル系モノマー；Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−メチルビニルピロリドン、Ｎ−ビニルピリジン、Ｎ−ビニルピペリドン、Ｎ−ビニルピリミジン、Ｎ−ビニルピペラジン、Ｎ−ビニルピラジン、Ｎ−ビニルピロール、Ｎ−ビニルイミダゾール、Ｎ−ビニルオキサゾール、Ｎ−ビニルモルホリン、Ｎ−ビニルカプロラクタムなどの窒素原子含有環を有するモノマー；Ｎ−ビニルカルボン酸アミド類；スチレン、α−メチルスチレンなどのスチレン系モノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのシアノアクリレート系モノマー；（メタ）アクリル酸グリシジルなどのエポキシ基含有アクリル系モノマー；エチレン、プロピレン、イソプレン、ブタジエン、イソブチレンなどのオレフィン系モノマー；ビニルエーテルなどのビニルエーテル系モノマー；（メタ）アクリル酸ポリエチレングリコール、（メタ）アクリル酸ポリプロピレングリコールなどのグリコール系アクリルエステルモノマー；（メタ���アクリル酸テトラヒドロフルフリルなどの酸素原子含有複素環を有するモノマー；フッ素系（メタ）アクリレートなどのフッ素原子を含有するアクリル酸エステル系モノマー；シリコーン系（メタ）アクリレートなどのケイ素原子を含有するアクリル酸エステル系モノマー；ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、（ポリ）プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、ウレタンアクリレート、ジビニルベンゼン、ブチルジ（メタ）アクリレート、ヘキシルジ（メタ）アクリレートなどの多官能モノマー等が挙げられる。これらの単量体成分は１種又は２種以上使用できる。
【００３４】
本発明では、被着体に対する熱膨張性粘着層の加熱前の適度な接着力の制御性と、加熱による接着力の低減性とのバランスなどの観点から、粘着剤としては、常温（２３℃）から１５０℃までの温度領域における動的弾性率が５万〜１０００万ｄｙｎ／ｃｍ2（好ましくは１０万〜５００万ｄｙｎ／ｃｍ2）であるポリマーをベースポリマーとするものが好ましい。
【００３５】
粘着剤は、粘着性成分（ベースポリマー）等のポリマー成分などのほかに、粘着剤の種類等に応じて、架橋剤（例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤など）、充填剤、粘着付与剤、老化防止剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、着色剤（顔料、染料など）、可塑剤、界面活性剤などの適宜な添加剤を含んでいてもよい。
【００３６】
熱膨張性粘着層としては、例えば、粘着剤のベースポリマーに官能基が導入され、架橋剤により架橋された構造を有していると、凝集力があり、且つ熱膨張性粘着層に起因する汚染を低減することができる。そのため、被着体に低汚染性が望まれる場合などでは、粘着剤としては、架橋可能な構造を有しているポリマーをベースポリマーとするものを好適に用いることができる。なお、例えば、粘着剤のベースポリマーがアクリル系重合体である場合（すなわち、粘着剤がアクリル系粘着剤である場合）、モノマー成分として官能基含有モノマー（例えば、カルボキシル基含有モノマー、ヒドロキシル基含有モノマーなど）を用いることにより、架橋可能な構造とすることができる。
【００３７】
なお、粘着剤のベースポリマーを架橋させる際には各種架橋剤が用いられる。このような架橋剤としては、特に制限されず、粘着剤のベースポリマーの種類などに応じて適宜選択することができ、例えば、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル等のエポキシ系架橋剤；トリレンジイソシアネート、トリメチロールプロパントリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート等のイソシアネート系架橋剤；アルキルエーテル化メラミン化合物等のメラミン系架橋剤；金属塩系架橋剤；金属キレート系架橋剤；アミノ系架橋剤；過酸化物系架橋剤；シランカップリング剤等のカップリング剤系架橋剤などが挙げられる。
【００３８】
なお、低汚染性が望まれる場合などのように、添加剤の被着体への転写が問題となる用途では、粘着付与剤や可塑剤などの添加剤が配合されていない組成の粘着剤を用いることが好ましい。
【００３９】
熱膨張性粘着層は、前述のように、凹凸状の表面を有する構成を有している場合、熱膨張性粘着層の表面に凹凸形状を形成させるための微粒子（「表面凹凸形成用微粒子」と称する場合がある）を含んでいてもよい。このような表面凹凸形成用微粒子の粒径（平均粒子径）としては、特に制限されず、熱膨張性粘着層の厚さや、目的とする表面の凹凸形状の凸部の高さなどに応じて適宜選択することができる。
【００４０】
表面凹凸形成用微粒子の形状としては、特に制限されず、例えば、球状、多角形状、円柱状、板状、繊維形状、粉状、不定形状などいかなる形状のものであってもよい。表面凹凸形成用微粒子としては、微粒子状の形状を有する物質であれば特に制限されず、熱膨張性粘着層に含有可能な成分（熱膨張性微小球や充填剤など）を用いることができる。表面凹凸形成用微粒子としては、熱膨張性微小球、充填剤が好適である。表面凹凸形成用微粒子としての熱膨張性微小球は、熱膨張性粘着層に熱膨張性を付与するための熱膨張性微小球をそのまま利用することができる。また、充填剤としては、特に制限されず、無機系充填剤、有機系充填剤のいずれであってもよい。無機系充填剤としては、例えば、炭酸カルシウム、タルク、クレー、アスベスト、軽石粉、マイカ、シリカ、カーボンブラック（チャンネルブラック、ファーネストブラックなど）、カオリン、珪酸アルミニウム、ガラス繊維、ガラス粉、中空ガラスビーズなどが挙げられる。有機系充填剤としては、例えば、木粉、コルク、有機系ポリマーの微粒子などが挙げられる。表面凹凸形成用微粒子は単独で又は２種以上組み合わせて使用することができる。
【００４１】
なお、熱膨張性微小球は、通常、球状の形状を有しているが、充填剤は、種々の形状のものがある。
【００４２】
表面凹凸形成用微粒子としては、熱膨張性粘着層の粘着性などの観点より、熱膨張性微小球を好適に用いることができる。このように、本発明では、熱膨張性微小球を、熱膨張性粘着層への熱膨張性の付与と、熱膨張性粘着層の表面への凹凸形状の形成とを目的として用いることが好ましい。なお、熱膨張性微小球を、表面凹凸形成用微粒子として用いる場合、熱膨張性微小球としては、熱膨張性粘着層の厚さや、目的とする表面の凹凸形状の凸部の高さなどを考慮して、適度な大きさの粒径（平均粒子径）を有するものを用いることが重要である。具体的には、このような熱膨張性微小球の粒径（平均粒子径）としては、熱膨張性粘着層の厚みや、目的とする熱膨張性粘着層の表面の凹凸形状などに応じて、例えば、１〜１０００μｍ（好ましくは５〜２００μｍ、さらに好ましくは１０〜１００μｍ、特に２０〜５０μｍ）の範囲から選択することができる。
【００４３】
また、充填剤の粒径としては、前記熱膨張性微小球の粒径と同様の範囲から適宜選択することができる。
【００４４】
なお、表面凹凸形成用微粒子の粒径（平均粒子径）としては、熱膨張性粘着層の厚みに対して３０％以上（例えば、３０〜１００％、好ましくは５０〜９０％、さらに好ましくは６０〜９０％）の大きさであることが望ましい。
【００４５】
表面凹凸形成用微粒子の配合量としては、特に制限されず、表面凹凸形成用微粒子の粒径、熱膨張性粘着層の厚み、熱膨張性粘着層の粘着性などに応じて適宜選択することができる。例えば、表面凹凸形成用微粒子が熱膨張性微小球である場合（充填剤は用いられていない）、熱膨張性微小球の配合量は、熱膨張性粘着層の膨張倍率や接着力の低下性などに応じても適宜設定することができるが、一般には熱膨張性粘着層を形成する粘着剤のベースポリマー１００重量部に対して、例えば、１〜１００重量部（好ましくは１０〜５０重量部、さらに好ましくは２０〜５０重量部）である。一方、表面凹凸形成用微粒子が充填剤である場合（熱膨張性微小球は表面凹凸形成用微粒子としての寄与が低い）、充填剤の配合量は、熱膨張性粘着層を形成する粘着剤のベースポリマー１００重量部に対して、例えば、１〜１００重量部（好ましくは１０〜８０重量部、さらに好ましくは２０〜６０重量部）である。
【００４６】
熱膨張性粘着層は、例えば、粘着剤と、熱膨張性微小球と、必要に応じて溶媒、架橋剤や充填剤等の添加剤などとを混合して、シート状の層に形成する慣用の方法により形成することができる。具体的には、例えば、粘着剤、熱膨張性微小球、および必要に応じて溶媒、架橋剤や充填剤等の添加剤を含む混合物を、基材や、後述するゴム状有機弾性層上に塗布する方法、適当なセパレータ（剥離紙など）上に前記混合物を塗布して熱膨張性粘着層を形成し、これを基材又はゴム状有機弾性層上に転写（移着）する方法などにより、熱膨張性粘着層を形成することができる。なお、熱膨張性粘着層は単層、複層の何れであってもよい。
【００４７】
熱膨張性粘着層の厚さは、接着力の低減性や、熱膨張性微小球等の含有されている微粒子の粒径などにより適宜に選択することができ、例えば、５００μｍ以下（例えば、３〜５００μｍ）、好ましくは１００μｍ以下（例えば、５〜１００μｍ）、さらに好ましくは５０μｍ以下（例えば、１０〜５０μｍ）の範囲から選択することができる。
【００４８】
［微粒子による薄層］
本発明において、前述の構成（２）のように、熱膨張性粘着層上には、必要に応じて、微粒子の薄層（「微粒子薄層」と称する場合がある）を設けることができる。なお、該微粒子薄層は、熱膨張性粘着層が平滑な表面を有する場合に、熱膨張性粘着層上に設けられていることが好ましいが、凹凸状の表面を有する熱膨張性粘着層上にもうけられていてもよい。
【００４９】
微粒子薄層を形成する微粒子（「薄層形成用微粒子」と称する場合がある）としては、無機系微粒子、有機系微粒子のいずれであってもよい。具体的には、薄層形成用微粒子としては、充填剤等としても利用可能な微粒子を用いることができる。このような充填剤等としても利用可能な微粒子としては、前記表面凹凸形成用微粒子として例示の充填剤などが挙げられる。
【００５０】
薄層形成用微粒子の形状としては、前記表面凹凸形成用微粒子と同様に、例えば、球状、多角形状、円柱状、板状、繊維形状、粉状、不定形状などいかなる形状のものであってもよい。
【００５１】
また、薄層形成用微粒子の粒径（平均粒子径）としては、特に制限されないが、目的とする微粒子薄層の厚さなどに応じて適宜選択することができる。
【００５２】
なお、微粒子薄層は、熱膨張性粘着層の表面に、全面に設けられていてもよく、部分的に設けられていてもよい。微粒子薄層は、被着体と軽く接触させた際には、仮固定を行うことができる程度に、熱膨張性粘着層の粘着性を低減させた形態で、熱膨張性粘着層上に形成されていればよい。微粒子薄層は単層、複層の何れであってもよい。
【００５３】
微粒子薄層の形成方法としては、熱膨張性粘着層上に微粒子による薄層を少なくとも部分的に形成することができる方法であれば特に制限されず、例えば、熱膨張性粘着層上に、少なくとも部分的に微粒子を散りばめて、熱膨張性粘着層の表面に微粒子を接着させる方法などが挙げられる。
【００５４】
微粒子薄層の厚さとしては、例えば、１〜１００μｍ（好ましくは５〜８０μｍ、さらに好ましくは５〜４０μｍ）の範囲から選択することができる。
【００５５】
［セパレータ］
図１では、熱膨張性粘着層の保護材としてセパレータ（剥離ライナー）が用いられているが、セパレータは必ずしも設けられていなくてもよい。なお、基材の背面側にも粘着剤層が形成されている場合、その粘着層の保護材としても、セパレータ（剥離ライナー）が用いられていてもよい。なお、セパレータは、加熱剥離型粘着シートを被着体に貼着する際に剥がされる。このようなセパレータとしては、慣用の剥離紙などを使用できる。具体的には、セパレータとしては、例えば、シリコーン系剥離剤、長鎖アルキル系剥離剤、フッ素系剥離剤、硫化モリブデン系剥離剤等の剥離剤により表面処理されたプラスチックフィルムや紙等の剥離層を有する基材；ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体、クロロフルオロエチレン・フッ化ビニリデン共重合体等のフッ素系ポリマーからなる低接着性基材；オレフィン系樹脂（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレンなど）等の無極性ポリマーからなる低接着性基材などを用いることができる。なお、セパレータは、熱膨張性粘着層を支持するための基材として用いることも可能である。
【００５６】
なお、セパレータは公知乃至慣用の方法により形成することができる。また、セパレータの厚さ等も特に制限されない。
【００５７】
［他の層］
加熱剥離型粘着シートとしては、基材の少なくとも一方の面に、熱膨張性粘着層が形成されていればよく、例えば、（１）基材の片面に熱膨張性粘着層が形成された形態の加熱剥離型粘着シート、（２）基材の両面に熱膨張性粘着層が形成された形態の加熱剥離型粘着シート、（３）基材の一方の面に熱膨張性粘着層が形成され、且つ他方の面に非熱膨張性粘着層（熱膨張性を有していない粘着層）が形成された形態の加熱剥離型粘着シートなどが挙げられる。
【００５８】
また、加熱剥離型粘着シートは、基材と熱膨張性粘着層との間に１層又は２層以上の中間層を有していてもよい。このような中間層としては、密着力の向上を目的とした下塗り剤のコーティング層などが挙げられる。なお、剥離剤のコーティング層や下塗り剤のコーティング層以外の中間層としては、例えば、良好な変形性の付与を目的とした層、被着体（半導体ウエハなど）への接着面積の増大を目的とした層、接着力の向上を目的とした層、被着体（半導体ウエハなど）の表面形状に良好に追従させることを目的とした層、加熱による接着力低減の処理性の向上を目的とした層、加熱後の被着体（半導体ウエハなど）よりの剥離性の向上を目的とした層などが挙げられる。
【００５９】
特に、加熱剥離型粘着シートの変形性の付与や加熱後の剥離性の向上などの点より、基材と熱膨張性粘着層との間の中間層として、ゴム状有機弾性層を設けることができる。このように、ゴム状有機弾性層を設けることにより、加熱剥離型粘着シートを被着体に接着する際に、前記加熱剥離型粘着シートの表面を被着体の表面形状に良好に追従させて、接着面積を大きくすることができ、また、前記加熱剥離型粘着シートを被着体から加熱剥離する際に、熱膨張性粘着層の加熱膨張を高度に（精度よく）コントロールし、熱膨張性粘着層を厚さ方向へ優先的に且つ均一に膨張させることができる。なお、ゴム状有機弾性層は、必要に応じて設けられる層であり、必ずしも設けられていなくてもよい。
【００６０】
ゴム状有機弾性層は、熱膨張性粘着層の基材側の面に、熱膨張性粘着層に重畳させた形態で設けることが好ましい。なお、基材と熱膨張性粘着層との間の中間層以外の層としても設けることができる。ゴム状有機弾性層は、基材の片面又は両面に介在させることができる。
【００６１】
ゴム状有機弾性層は、例えば、ＡＳＴＭ  Ｄ−２２４０に基づくＤ型シュアーＤ型硬度が、５０以下（特に４０以下）の天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂により形成することが好ましい。前記合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂としては、例えば、ニトリル系、ジエン系、アクリル系などの合成ゴム；ポリオレフィン系、ポリエステル系などの熱可塑性エラストマー；エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリウレタン、ポリブタジエン、軟質ポリ塩化ビニルなどのゴム弾性を有する合成樹脂などが挙げられる。なお、ポリ塩化ビニルなどのように本質的には硬質系ポリマーであっても、可塑剤や柔軟剤等の配合剤との組み合わせによりゴム弾性が発現しうる。このような組成物も、前記ゴム状有機弾性層の構成材料として使用できる。また、熱膨張性粘着層を構成する粘着剤（例えば、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、ビニルアルキルエーテル系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリアミド系粘着剤、ウレタン系粘着剤、フッ素系粘着剤、スチレン−ジエンブロック共重合体系粘着剤、これらの粘着剤に融点が約２００℃以下の熱溶融性樹脂を配合したクリ−プ特性改良型粘着剤など）等の粘着性物質などもゴム状有機弾性層の構成材料として用いることができる。
【００６２】
ゴム状有機弾性層は、例えば、前記天然ゴム、合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂などのゴム状有機弾性層形成材を含むコーティング液を基材上に塗布する方式（コーティング法）、前記ゴム状有機弾性層形成材からなるフィルム、又は予め１層以上の熱膨張性粘着層上に前記ゴム状有機弾性層形成材からなる層を形成した積層フィルムを基材と接着する方式（ドライラミネート法）、基材の構成材料を含む樹脂組成物と前記ゴム状有機弾性層形成材を含む樹脂組成物とを共押出しする方式（共押出し法）などの形成方法により形成することができる。
【００６３】
ゴム状有機弾性層の厚さは、例えば、５〜３００μｍ（好ましくは２０〜１５０μｍ）程度である。なお、ゴム状有機弾性層の厚さが薄すぎると、加熱発泡後の３次元的構造変化を形成することができず、剥離性が悪化する場合がある。ゴム状有機弾性層は単層であってもよく、２以上の層で構成されていてもよい。
【００６４】
なお、ゴム状有機弾性層は、天然ゴムや合成ゴム又はゴム弾性を有する合成樹脂を主成分とする粘着性物質で形成されていてもよく、また、かかる成分を主体とする発泡フィルム等で形成されていてもよい。発泡は、慣用の方法、例えば、機械的な攪拌による方法、反応生成ガスを利用する方法、発泡剤を使用する方法、可溶性物質を除去する方法、スプレーによる方法、シンタクチックフォームを形成する方法、焼結法などにより行うことができる。
【００６５】
また、ゴム状有機弾性層としては、熱膨張性粘着層などに放射線硬化性の物質を使用する際は、放射線の透過を阻害しないものを使用することが好ましい。
【００６６】
本発明の加熱剥離型粘着シートは、両面が接着面となっている両面接着シートの形態を有していてもよいが、片面のみが接着面となっている接着シートの形態を有していることが好ましい。従って、加熱剥離型粘着シートは、基材の片面に、熱膨張性粘着層が形成されている形態の加熱剥離型粘着シートが好適である。
【００６７】
また、加熱剥離型粘着シートは、ロール状に巻回された形態で形成されていてもよく、シートが積層された形態で形成されていてもよい。例えば、ロール状に巻回された形態を有している場合、熱膨張性粘着層を、セパレータにより保護した状態でロール状に巻回して、すなわち、基材と、前記基材の一方の面に形成された熱膨張性粘着層と、該熱膨張性粘着層上に形成されたセパレータと、必要に応じて中間層（ゴム状有機弾性層など）とで構成された状態でロール状に巻回して、ロール状に巻回された状態又は形態の加熱剥離型粘着シート（加熱剥離型粘着テープ）として好適に作製することができる。
【００６８】
なお、ロール状に巻回された状態又は形態の加熱剥離型粘着シート（加熱剥離型粘着テープ）としては、セパレータが用いられておらず、基材の背面に剥離処理層（背面処理層）が形成された構成を有していてもよい。
【００６９】
このように、加熱剥離型粘着シートは、シート状、テープ状、ラベル状などの形態を有することができる。
【００７０】
本発明の加熱剥離型粘着シートは、上記のような利点を有するため、適宜な物品からなる被着体を永久的に接着しておく用途に用いることもできるが、被着体を所定期間接着すると共に、接着目的を達成した後には、その接着状態を解除することが要求される又は望まれる用途に好適に使用される。特に、加熱剥離型粘着シートは、仮接着（仮固定）を行うことができるとともに、強固に固定することが可能であるので、被着体を加工する際の仮固定材（なかでも電子部品の作製する際の仮固定材）や、被着体を搬送する際の保護材として最適である。
【００７１】
被着体については、特に制限されず、金属、セラミック、プラスチック、木材、紙などの任意の素材によるものであってもよい。また、被着体の加熱剥離型粘着シートの貼着面は、平面状（板状）、曲面状、繊維状などの任意の形状を有していてもよい。
【００７２】
具体的には、被着体（被加工品）としては、例えば、半導体ウエハ（シリコンウエハなど）や半導体チップなどの電子系部品類；セラミックコンデンサや発振子などの電気系物品類；液晶セルなどの表示デバイス類の他、サーマルヘッド、太陽電池、プリント基板（積層セラミックシートなど）などの種々の物品が挙げられる。被着体は単独であってもよく、又は２種以上組み合わせられていてもよい。
【００７３】
［被着体の加工方法］
本発明の被着体（被加工品）の加工方法では、加熱剥離型粘着シートに被着体を仮固定した後、強固に貼り合わせて、被着体に加工処理を施すことにより被着体を加工している。この仮固定の際に、被着体を適切な位置で接着させていなかった場合は、被着体を剥離して、再度、被着体を仮固定するために、貼り合わせることができる。この際、被着体は損傷しやすいものであっても、加熱剥離型粘着シートは前記特性を有しているので、被着体にダメージを与えずに、位置合わせのために、簡単に被着体を剥離させることが可能である。そして、適切な位置で被着体を仮固定により貼り合わせを行った後は、大きな荷重をかけて、被着体を強固に貼り合わせて、被着体に加工処理を施すことができる。
【００７４】
なお、被着体の加工処理としては、特に制限されず、加圧処理、積層処理、切断処理などが挙げられる。
【００７５】
そして、被着体に加工処理を施した後（特に、粘着目的達成後、又は接着状態を解きたいとき）には、熱膨張性粘着層中の発泡剤の発泡開始温度以上の温度に加熱することにより、粘着力を低減させて、加工処理が施された被着体を剥離乃至分離して、加工処理が施された被着体（加工品）を単離することができる。
【００７６】
なお、加工処理が施された被着体（加工品）を剥離乃至分離する際の加熱処理方法としては、例えば、ホットプレート、熱風乾燥機、近赤外線ランプ、エアードライヤーなどの適宜な加熱手段を利用して行うことができる。加熱温度は、熱膨張性粘着層中の熱膨張性微小球の熱膨張開始温度（発泡開始温度）以上であればよいが、加熱処理の条件は、被着体の表面状態や熱膨張性微小球の種類等による接着面積の減少性、基材や被着体の耐熱性、加熱方法（熱容量、加熱手段等）などにより適宜設定できる。一般的な加熱処理条件としては、温度１００〜２５０℃で、１〜９０秒間（ホットプレートなど）または５〜１５分間（熱風乾燥機など）である。なお、加熱処理は使用目的に応じて適宜な段階で行うことができる。また、加熱源としては、赤外線ランプや加熱水を用いることができる場合もある。
【００７７】
また、加工処理が施された被着体（加工品）を加熱処理により剥離乃至分離する方法としては、加熱プレス方式による方法も利用することができる。この加熱プレス方式では、加熱プレス板や、加熱プレスロールを有する加熱プレス装置を用いることができる。具体的には、加熱プレス板や加熱プレスロールで挟み込んで加熱を行い、被着体を剥離乃至分離させることができる。加熱プレス板を用いる場合、加熱プレス装置における両側の加熱プレス板を同時に加熱してもよく、片側の加熱プレス板のみを加熱してもよい。また、加熱プレスロールを用いる場合、両側の加熱プレスロールを同時に加熱してもよく、片側の加熱プレスロールのみを加熱してもよい。
【００７８】
［加工された被着体］
本発明では、加熱剥離型粘着シートに被着体（被加工品）を貼着させた後、加工処理を施すことにより各種加工品（加工された被着体）を得ることができる。例えば、被着体（被加工品）として、半導体ウエハなどの電子系部品類を用いた場合、加工品として電子部品などを得ることができる。すなわち、本発明の電子部品は、前記熱剥離型粘着シートを用いて製造されており、また、前記被着体の加工方法を利用して製造されている。
【実施例】
【００７９】
以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例により何ら限定されるものではない。
【００８０】
（実施例１）
アクリル系共重合体（アクリル酸エチル：７０重量部、アクリル酸２−エチルヘキシル：３０重量部、メタクリル酸メチル：５重量部、アクリル酸２−ヒドロキシエチル：４重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体）１００重量部に対して、イソシアネート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」日本ポリウレタン工業社製）：１．２重量部と、熱膨張性微小球として、商品名「マツモトマイクロスフェアＦ−８０ＳＤ」（松本油脂製薬株式会社製；平均粒子径：２５μｍ）：５０重量部と、溶媒としてトルエンとを含む樹脂組成物（混合物）を、乾燥後の厚さが３５μｍとなるように、基材としてのポリエステルフィルム（厚さ：５０μｍ）上に塗布し、乾燥して熱膨張性粘着層（厚さ：３５μｍ）を形成して、基材／熱膨張性粘着層の層構成を有する加熱剥離型粘着シートを得た。
【００８１】
（実施例２）
熱膨張性粘着層の厚さを２５μｍとしたこと以外は、実施例１と同様にして加熱剥離型粘着シートを得た。
【００８２】
（実施例３）
アクリル系共重合体（アクリル酸エチル：７０重量部、アクリル酸２−エチルヘキシル：３０重量部、メタクリル酸メチル：５重量部、アクリル酸２−ヒドロキシエチル：４重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体）１００重量部に対して、イソシアネート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」日本ポリウレタン工業社製）：０．８重量部と、溶媒としてトルエンとを含む樹脂組成物（混合物）を、乾燥後の厚さが２０μｍとなるように、基材としてのポリエステルフィルム（厚さ：５０μｍ）上に塗布し、乾燥してゴム状有機弾性層を形成した。
【００８３】
また、アクリル系共重合体（アクリル酸エチル：７０重量部、アクリル酸２−エチルヘキシル：３０重量部、メタクリル酸メチル：５重量部、アクリル酸２−ヒドロキシエチル：４重量部をモノマー成分とするアクリル系共重合体）１００重量部に対して、イソシアネート系架橋剤（商品名「コロネートＬ」日本ポリウレタン工業社製）：１．２重量部と、熱膨張性微小球として、商品名「マツモトマイクロスフェアＦ−８０ＳＤ」（松本油脂製薬株式会社製；平均粒子径：２５μｍ）：５０重量部と、溶媒としてトルエンとを含む樹脂組成物（混合物）を、乾燥後の厚さが２０μｍとなるように、セパレータ上に塗布し、乾燥して熱膨張性粘着層（厚さ：２０μｍ）を形成した後、該熱膨張性粘着層を前記ゴム状有機弾性層に貼り合わせて、基材／ゴム状有機弾性層／熱膨張性粘着層の層構成を有する加熱剥離型粘着シートを得た。
【００８４】
（比較例１）
熱膨張性微小球として、商品名「マツモトマイクロスフェアＦ−８０ＶＳＤ」（松本油脂製薬株式会社製；平均粒子径：１０μｍ）を１５重量部用いたこと以外は、実施例１と同様にして加熱剥離型粘着シートを得た。
【００８５】
（比較例２）
熱膨張性微小球として、商品名「マツモトマイクロスフェアＦ−８０ＶＳＤ」（松本油脂製薬株式会社製；平均粒子径：１０μｍ）を１５重量部用い、且つ熱膨張性粘着層の厚さを５０μｍとしたこと以外は、実施例１と同様にして加熱剥離型粘着シートを得た。
【００８６】
（評価）
実施例１〜３および比較例１〜２で得られた加熱剥離型粘着シートについて、以下の測定方法又は評価方法により、剪断接着力、初期タック性、被着体の位置ズレ、加熱処理後の１８０°ピール接着力を評価した。評価結果は表１に示した。
【００８７】
（剪断接着力の測定方法）
加熱剥離型粘着シート（２０ｍｍ×２０ｍｍ）の熱膨張性粘着層上に、サンドペーパーＮｏ．３６０で表面を研磨したＳＵＳ板（ステンレス板）を、１００ｇローラーまたは５ｋｇローラーを１往復にて圧着し、島津オートグラフＡＧＳ−５０Ｄ（島津製作所社製）を用いて、温度２３℃±２℃、湿度６５±５％ＲＨの条件で、引張速度５０ｍｍ／ｍｉｎで、図３で示されるように、剪断方向に引張り、その際の接着力を測定して、剪断接着力を求めた。
【００８８】
（初期タック性の評価方法）
加熱剥離型粘着シートを、被着体としての積層セラミックシート（表面の粗さＲａは約５０ｎｍ）に軽くおいた後に剥離させて、下記の基準により初期タック性を評価した。
評価基準
○：容易に剥離することができる
×：剥離時に、被着体がダメージを受けている
【００８９】
（被着体の位置ズレの評価方法）
加熱剥離型粘着シートを、被着体としての積層セラミックシート（表面の粗さＲａは約５０ｎｍ）に５ｋｇローラーを１往復にて圧着した後、被着体の位置ズレを下記の基準により評価した。
評価基準
○：位置ズレが起こっていない
×：位置ズレが起こっている
【００９０】
（加熱処理後の１８０°ピール接着力の測定方法）
加熱剥離型粘着シートを幅２０ｍｍに切断し、セパレータを剥離した後、熱膨張性粘着層上に、被着体としてのポリエチレンテレフタレート製シート（厚さ：２５μｍ）を２ｋｇローラー１往復にて貼着した後、１６０℃の熱風乾燥機中で３分間の加熱処理を行った。その後、島津オートグラフＡＧＳ−５０Ｄ（島津製作所社製）を用いて、引張速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、温度２３℃±２℃、湿度６５±５％ＲＨの条件で、ポリエチレンテレフタレート製シートを剥離させて、１８０°ピール粘着力（Ｎ／２０ｍｍ）を測定した。
【００９１】
【表１】
2005200505.tif 000002
【００９２】
表１より明らかなように、実施例１〜３に係る加熱剥離型粘着シートは、軽く接触させた際には、ダメージを与えずに簡単に被着体を剥離することができ、一方、大きな荷重をかけて接着させた際には、好適な接着力を発揮して、位置ズレを生じさせずに強固に接着させることができ、しかも、強固に接着させた後は、加熱処理により容易に剥離させることができることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明の加熱剥離型粘着シートの例を部分的に示す概略断面図である。
【図２】本発明の加熱剥離型粘着シートの例を部分的に示す概略断面図である。
【図３】剪断接着力を測定する方法を示す概略図である。
【符号の説明】
【００９４】
１，11  加熱剥離型粘着シート
２      基材
３      熱膨張性粘着層
４      セパレータ（剥離ライナー）
５      ゴム状有機弾性層
６      加熱剥離型粘着シート
6a      加熱剥離型粘着シート６の粘着面上におけるＳＵＳ板７が貼着されている貼り合わせ部位
７      ＳＵＳ板
８      加熱剥離型粘着シート６を引っ張る方向
９      ＳＵＳ板７を引っ張る方向
【図１】
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【図２】
2005200505.tif 000004
【図３】
2005200505.tif 000005