(57)【要約】【課題】装置使用時に外部からの衝撃等によるヘッドスライダのディスク表面への衝突を防止し、ヘッドスライダのエアーベアリング面（ＡＢＳ）面あるいはディスクの表面に損傷を与えないヘッドスライダの提供を目的とする。【解決手段】ヘッドスライダ３のＡＢＳ面２１が、高さ位置の異なる３つの面からなり、脆性の強い材料の部分２７において、磁気ヘッド２６のトラック幅方向における両側端部近傍に２番目に高い位置の中位面２３と同じ高さを有する動的正圧発生部２９ａ、２９ｂをそれぞれ設ける。さらに、磁気ヘッド２６が搭載されているヘッド搭載パッド部２５における最も高い位置の高位面２２と中位面２３との境界を、磁気ヘッド２６のトラック幅方向におけるヘッドスライダ３の幅の中心線３１に関して非対称に形成した構成とする。【選択図】図２
2005149702.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状の記録媒体に記録再生する信号変換素子を搭載し、高さの異なる少なくとも３つの面からなるエアーベアリング面を有し、前記信号変換素子のトラック幅方向における両側端部近傍に動的正圧発生部を設け、
前記動的正圧発生部の位置高さが、前記エアーベアリング面を構成する面のうちの最も高い位置高さにある面と最も低い位置高さにある面との間にあることを特徴とするヘッドスライダ。
【請求項２】
前記信号変換素子のトラック幅方向における前記両側端部近傍に設けた前記動的正圧発生部は、衝撃を受けたときに定常状態よりも大きい圧力を発生することを特徴とする請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項３】
前記エアーベアリング面は、空気流入側に脆性の強い材料を用い空気流出側に脆性の弱い材料を用いて構成され、かつ、前記動的正圧発生部が前記脆性の強い材料で構成された側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項４】
前記脆性の強い材料はそのビッカース硬度が２０００以上であり、前記脆性の弱い材料はそのビッカース硬度が１９００よりも小さいことを特徴とする請求項３に記載のヘッドスライダ。
【請求項５】
前記動的正圧発生部の面粗さは、前記エアーベアリング面を構成する面のうちの最も高い位置高さにある面の面粗さよりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項６】
前記動的正圧発生部の面粗さをＲａとするとき、ピークピーク値でＲａ≧３ｎｍを満たすことを特徴とする請求項５に記載のヘッドスライダ。
【請求項７】
前記エアーベアリング面を構成する面のうちの最も高い位置高さにある面に前記信号変換素子を有し、前記最も高い位置高さにある面と次に高い位置高さにある面からなるヘッド搭載パッド部を有し、かつ、前記最も高い位置高さにある面と前記次に高い位置高さにある面の境界が、前記信号変換素子のトラック幅方向における前記ヘッドスライダの幅の中心線に関して非対称な形状を有することを特徴とする請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項８】
前記ヘッド搭載パッド部における前記最も高い位置高さにある面と前記次に高い位置高さにある面のなす前記境界が前記ヘッドスライダの空気流入側端面に平行な線と互いに鈍角をなして接続する前記エアーベアリング面から見て右側にあるディスク中心側の線と前記エアーベアリング面から見て左側にあるディスク外周側の線との３本の線からなり、前記ディスク中心側の線の長さが前記ディスク外周側の線の長さよりも長いことを特徴とする請求項７に記載のヘッドスライダ。
【請求項９】
前記エアーベアリング面において、空気流入規制部および前記信号変換素子のトラック幅方向に垂直な方向の空気流出側に前記空気流入規制部に隣接した低位面を有し、前記空気流入規制部の高さが隣接した前記低位面の高さより高いことを特徴とする請求項８に記載のヘッドスライダ。
【請求項１０】
前記動的正圧発生部は、前記信号変換素子を通る中心線に対し対称な位置にあり、かつ、対称な形状を有することを特徴とする請求項１に記載のヘッドスライダ。
【請求項１１】
前記動的正圧発生部は、エアーベアリング面に平行な断面が矩形であるか、または矩形の断面から空気流入方向にＵ字型、Ｖ字型、矩形のうちのいずれかの形状の切り欠きを有していることを特徴とする請求項１０に記載のヘッドスライダ。
【請求項１２】
ディスク状の記録媒体と、
前記記録媒体に記録再生する信号変換素子と、
前記信号変換素子を搭載し、位置高さの異なる少なくとも３つの面からなるエアーベアリング面を有するヘッドスライダと、
前記ヘッドスライダに搭載された前記信号変換素子を所定のトラック位置に位置決めする揺動手段とを備え、
かつ、前記ヘッドスライダに前記信号変換素子のトラック幅方向における両側端部に動的正圧発生部を設け、
前記動的正圧発生部の位置高さが、前記ヘッドスライダの前記エアーベアリング面を構成する面のうちの少なくとも２番目以降に高い位置高さにある面と同じ位置高さであることを特徴とするディスク装置。
【請求項１３】
前記ヘッドスライダは、前記エアーベアリング面が空気流入側において脆性の強い材料で構成され、空気流出側において脆性の弱い材料で構成され、前記動的正圧発生部が前記脆性の強い材料で構成された側に設けられていることを特徴とする請求項１２に記載のディスク装置。
【請求項１４】
前記動的正圧発生部の面粗さは、前記エアーベアリング面を構成する面のうちの最も高い位置高さにある面の面粗さよりも大きいことを特徴とする請求項１２に記載のディスク装置。
【請求項１５】
前記ヘッドスライダの前記エアーベアリング面を構成する面のうちの最も高い位置高さにある面に前記信号変換素子を有し、前記最も高い位置高さにある面と次に高い位置高さにある面からなるヘッド搭載パッド部を有し、前記最も高い位置高さにある面と前記次に高い位置高さにある面の境界が、前記信号変換素子のトラック幅方向における前記ヘッドスライダの幅の中心線に関して非対称な形状を有することを特徴とする請求項１２に記載のディスク装置。
【請求項１６】
前記ヘッド搭載パッド部における前記最も高い位置高さにある面と前記次に高い位置高さにある面のなす前記境界が前記ヘッドスライダの空気流入側端面に平行な線と互いに鈍角をなして接続する前記エアーベアリング面から見て右側にあるディスク中心側の線と前記エアーベアリング面から見て左側にあるディスク外周側の線との３本の線からなり、前記ディスク中心側の線の長さが前記ディスク外周側の線の長さよりも長いことを特徴とする請求項１５に記載のディスク装置。
【請求項１７】
前記エアーベアリング面において、空気流入規制部および前記信号変換素子のトラック幅方向に垂直な方向の空気流出側に前記空気流入規制部に隣接した低位面を有し、前記空気流入規制部の高さが隣接した前記低位面の高さより高いことを特徴とする請求項１２に記載のディスク装置。
【請求項１８】
前記信号変換素子のトラック幅方向における前記両側端部近傍に設けた前記動的正圧発生部は、衝撃を受けたときに定常状態よりも大きい圧力を発生することを特徴とする請求項１２に記載のディスク装置。
【請求項１９】
前記動的正圧発生部は、前記信号変換素子を通る中心線に対し対称な位置にあり、かつ、対称な形状を有することを特徴とする請求項１２に記載のディスク装置。
【請求項２０】
前記動的正圧発生部は、エアーベアリング面に平行な断面が矩形であるか、または矩形の断面から空気流入方向にＵ字型、Ｖ字型、矩形のうちのいずれかの形状の切り欠きを有していることを特徴とする請求項１９に記載のディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスク装置に用いられる浮上型のヘッドに関し、特に低浮上で、かつ、高記録密度化に最適であるとともに、耐衝撃性が高く、信頼性に優れた浮上型ヘッドのヘッドスライダにおけるエアーベアリング面（Ａｉｒ  Ｂｅａｒｉｎｇ  Ｓｕｒｆａｃｅ、以下、ＡＢＳ面と記す）の形状およびそれを備えたディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
以下、従来のディスク装置に用いられている浮上型ヘッドのヘッドスライダにおけるＡＢＳ面の形状について、図７を用いて説明する。図７（ａ）は従来のヘッドスライダのＡＢＳ面側から見た平面図、図７（ｂ）は図７（ａ）におけるＡ−Ａ’線断面図である。
【０００３】
図７において、ディスク（図示せず）上に形成された記録媒体の表面に対向したヘッドスライダ４１のＡＢＳ面４２は、高さ（ディスク表面との距離）が異なる３つの面を有し、磁気ヘッド等の信号変換素子４３を搭載したヘッド搭載パッド部４４における信号変換素子４３の近傍の高さを有した第１の平面４５と、それよりも少し低い高さ（ディスク表面との距離が大きくなる方向）の第２の平面４６および第２の平面４６よりもさらに少し低い高さの第３の平面４７からなる。なお、ヘッドスライダ４１のＡＢＳ面４２に対向するディスクは、信号変換素子４３が搭載された側とは反対側（図７（ａ）において上側）から信号変換素子４３が搭載された側（図７（ａ）において下側）の方向に回転し、したがって、ディスクの回転によって生じる空気の流れは、矢印４８の方向となり、信号変換素子４３が搭載された側とは反対側の端部が空気流入端側となり、信号変換素子４３が搭載された側の端部が空気流出端側となる。
【０００４】
ディスクが回転すると、ディスク面近傍に空気の粘性流が発生し、この粘性流がヘッドスライダ４１のＡＢＳ面４２に作用し浮揚力を発生するため、ヘッドスライダ４１に搭載された信号変換素子４３はディスク表面から微小な隙間を有して浮上することになる。
【０００５】
また、ヘッドスライダ４１のＡＢＳ面４２において信号変換素子４３よりも空気流入側にある主要部分４９ａは比較的硬度の高い材料で、また、信号変換素子４３を含む空気流出側部分４９ｂは信号変換素子４３を覆うような形でＡｌ２Ｏ３で形成されている。
【０００６】
図７に示していないが、周知のように、信号変換素子４３が搭載されたヘッドスライダ４１がサスペンションアーム（ロードビームとも言う）の一方の端部に取り付けられ、サスペンションアームによってヘッドスライダ４１のＡＢＳ面４２がディスクの表面上に押圧されることになり、駆動モータに連結されて回転駆動されたディスクの回転により発生した空気流がその押圧力に抗してヘッドスライダ４１をディスク表面から浮上させる。他方、そのサスペンションアームを有するヘッド支持機構（図示せず）の他端に設けられたいわゆるボイスコイルモータ等の変換素子揺動手段（図示せず）によってディスク上の所定のトラック位置に駆動制御して、ディスクに情報を記録または再生するものである。
【０００７】
次に、ハードディスクドライブに用いられる磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッドが磁気ディスクと衝突あるいは摺動したときの衝撃を小さくし、磁気ディスクに損傷を与えないための空気潤滑面（ＡＢＳ面）を有する浮上型磁気ヘッドの例について説明する。
【０００８】
このような浮上型磁気ヘッドの一例として、空気潤滑面と他の面との２面によって形成された角部（稜線部）と、空気潤滑面と他の２面との３面によって形成された角部をそれぞれ異なる曲率半径を持つように形成し、さらに、２面によって形成された稜線部の曲率半径を３面によって形成された角部の曲率半径よりも小さくした空気潤滑面からなるスライダを有する磁気ヘッドとした構造を有し、スライダと磁気ディスクと接触した場合にも、空気潤滑面の磁気ディスクに対向して位置する稜線部および角部に曲面を設けることにより、接触の衝撃を抑制することができ、磁気ヘッドの信頼性を向上させるという構造のスライダが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
また、浮上型磁気ヘッドの別の例として、ヘッドスライダの基体のコーナーあるいはコーナー近傍に、表面がＲ面取りを施して滑らかな曲面に加工された緩衝パッドを少なくとも１つ形成したスライダとする構造を有し、ヘッドスライダとディスクと接触した場合にも、ディスクとヘッドスライダの先鋭な角との接触が避けられ、ディスクとヘッドスライダとの磨耗が軽減され、ディスク装置の耐衝撃性が向上し、高い信頼性が得られるという構造のスライダが提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【００１０】
また、浮上型磁気ヘッドの他の例として、ヨー角依存性を利用してディスク内外周での浮上量差を抑制するスライダについて図８を用いて説明する。図８（ａ）は別の従来のヘッドスライダのＡＢＳ面側から見た斜視図であり、図８（ｂ）は他の従来のヘッドスライダのＡＢＳ面側から見た斜視図である。
【００１１】
このようなヨー角依存性を利用してディスク内外周での浮上量差を抑制するスライダにおいては、シーク時のヨー角変動により浮上量の低下もしくは接触力の変動を抑え、ヘッドの低浮上化、もしくはヘッド−ディスク間の低荷重かつ安定な接触を実現することを目的として、図８（ａ）に示すようなディスク（図示せず）と対向する面に形成される動圧を発生させるための動圧発生部１０２ａ、１０２ｂと、ディスクと対向する面内でディスクの回転方向に関して中央部分よりも後方側に設けられる負圧を発生させるための負圧発生部１８１ａ、１８１ｂとを備えた構成や、図８（ｂ）に示すようなディスク（図示せず）と対向する面に設けられ、ディスクの回転方向に沿った長さよりも回転方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を有し、ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列される少なくとも２つの動圧発生部１０２ａ、１０２ｂを有し、ディスクの回転方向に向かって後方に位置する動圧発生部１０２ｂには、回転方向と略垂直な方向に沿った第１の段差１０７ａ、１０７ｂと、この段差の両端部から回転方向に向かって前方に延設される第２の段差１０６ａ、１０６ｂおよび第３の段差とを形成するための第１の切欠部１２６ａ、１２６ｂが設けられた構成のヘッドスライダ１０３が提案されている（例えば、特許文献３、特許文献４参照）。
【特許文献１】特開平１１−１１０９３５号公報（第３頁、第１図、第３図）
【特許文献２】特開２００１−３５１１１号公報（第４頁、第４図、第１１図）
【特許文献３】特開平１０−２８３６２２号公報（第１０−１３頁、第１７図）
【特許文献４】特開平１１−１６１４１号公報（第１５−１６頁、第２５図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記の従来のヘッドスライダでは、ヘッドスライダに搭載された信号変換素子がディスクの内周から外周にわたってシーク動作が行われるため、ディスクとヘッドスライダとの相対速度が内周と外周の半径によって差がでることになり、ディスクの半径位置によって周速が変化することによってヘッドスライダの浮上姿勢が安定しない場合があり、さらに、信号変換素子のシーク動作時には、空気流の方向に対するヘッドスライダの角度が変化することによってもヘッドスライダの浮上姿勢は変動することになって、ヘッドスライダの浮上姿勢が安定せず変動することによって、ヘッドスライダに搭載された信号変換素子とディスク表面との間隔が異常に接近することが起こり得るという課題があった。また、小型化されたディスク装置の携帯使用時に、外部からの衝撃等の何らかの外乱によってヘッドスライダの浮上姿勢が不安定となり、ヘッドスライダに搭載された信号変換素子とディスク表面との間隔が異常に接近、あるいは、ヘッドスライダとディスクが衝突して、ヘッドスライダ、信号変換素子あるいはディスクがお互いに損傷するという課題もあった。
【００１３】
またディスクと対向する面に形成されて動圧を発生させるための動圧発生部と、ディスクと対向する面内でディスクの回転方向に関して中央部分よりも後方側に設けられて負圧を発生させるための負圧発生部とを備えた構成のヘッドスライダにおいては、スライダのＡＢＳ面の空気流出側の中央部に動圧発生部となる突起状のパッドを設けており、突起状のパッドの最高面が最低浮上量となる点と一定浮上状態において、素子部に最高の圧力を発生させることができないため、外乱に対してディスクに接触しやすくなるという解決すべき課題を有している。
【００１４】
さらに、ディスクと対向する面に設けられ、ディスクの回転方向に沿った長さよりも回転方向に略垂直な方向に沿った長さの方が長い形状を有し、ディスクの回転方向に沿って深溝を挟んで配列される少なくとも２つの動圧発生部を有し、ディスクの回転方向に向かって後方に位置する動圧発生部には、回転方向と略垂直な方向に沿った第１の段差と、この段差の両端部から該回転方向に向かって前方に延設される第２の段差および第３の段差とを形成するための第１の切欠部が設けられた構成のヘッドスライダにおいては、一定浮上量で浮上しているときにサイドの部分で圧力が発生し、この部分で浮上量の安定化が図られるとも考えられるが、サイドの部分の圧力が一定浮上量で発生すると、（１）素子部での圧力発生が相対的に弱くなり、素子部がディスクと接触しやすくなる、言い換えると、素子部でのディスクのうねりに対する追従性が悪くなる、そして、（２）浮上量が変化（傾く（ロール））したときにサイドの部分がディスクに接触しやすくなるという課題があった。
【００１５】
本発明は、上記の課題を解決し、ヘッドスライダのＡＢＳ面とディスク表面との間隔が異常に接近したときには、信号変換素子の近傍において正圧を発生させる構造を持たせ、外部からの衝撃作用時にも信号変換素子の近傍で正圧を発生させ、ヘッドスライダとディスクの異常接近あるいは衝突を防止し、ヘッドスライダ、信号変換素子あるいはディスクの損傷を防止するヘッドスライダのＡＢＳ面、および、そのようなヘッドスライダを有するディスク装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記の目的を達成するために本発明のヘッドスライダは、ディスク状の記録媒体に記録再生する信号変換素子を搭載し、高さの異なる少なくとも３つの面からなるエアーベアリング面を有し、信号変換素子のトラック幅方向における両側端部近傍に動的正圧発生部を設け、動的正圧発生部の位置高さが、ＡＢＳ面を構成する面のうちの最も高い位置高さにある面と最も低い位置高さにある面との間の位置高さである構成とともに、信号変換素子のトラック幅方向における両側端部近傍に設けた動的正圧発生部が、衝撃を受けたときに定常状態よりも大きい圧力を発生する構成を有しており、さらに、エアーベアリング面は、空気流入側に脆性の強い材料を用い空気流出側に脆性の弱い材料を用いて形成され、かつ、動的正圧発生部が脆性の強い材料で形成された側に設けられている構成や、脆性の強い材料はそのビッカース硬度が２０００以上であり、脆性の弱い材料はそのビッカース硬度が１９００よりも小さい構成をも有している。また、動的正圧発生部が信号変換素子を通る中心線に対し対称な位置にあり、かつ、対称な形状を有する構成に加えて、動的正圧発生部がエアーベアリング面に平行な断面が矩形であるか、または矩形の断面から空気流入方向にＵ字型、Ｖ字型、矩形のうちのいずれかの形状の切り欠きを有した構成であってもよい。
【００１７】
これらの構成によって、記録再生時に外部からの衝撃等を受けてヘッドスライダがディスク表面側へ移動してディスク表面に接近した場合に、大きな正圧力がヘッドスライダのＡＢＳ面の両側に設けられた動的正圧発生部に発生することになり、ヘッドスライダがディスク表面に衝突することを防止し、したがって、ヘッドスライダのＡＢＳ面あるいはディスクの表面に損傷を与えることを防止することができるという作用を得ることができる。
【００１８】
また、本発明のヘッドスライダは、動的正圧発生部の面粗さが、ＡＢＳ面を構成する面のうちの最も高い位置高さにある面の面粗さよりも大きい構成、さらに、動的正圧発生部の面粗さをＲａとするとき、ピークピーク値でＲａ≧３ｎｍを満たす構成を有している。
【００１９】
これらの構成によって、外部からの衝撃等を受けてヘッドスライダがディスク表面側へ移動してディスク表面に接近したときに発生するスクイーズ効果が大きくなり、スクイーズ効果による反発力が発生して、ディスクとの衝突をより一層防止することができるという作用を得ることができる。
【００２０】
また、本発明のヘッドスライダは、ＡＢＳ面を構成する面のうちの最も高い位置高さにある面に信号変換素子を有し、最も高い位置高さにある面と次に高い位置高さにある面からなるヘッド搭載パッド部を有し、かつ、最も高い位置高さにある面と次に高い位置高さにある面の境界が、信号変換素子のトラック幅方向におけるヘッドスライダの幅の中心線に関して非対称な形状である構成、およびヘッド搭載パッド部における最も高い位置高さにある面と次に高い位置高さにある面のなす境界がヘッドスライダの空気流入側端面に平行な線と互いに鈍角をなして接続するＡＢＳ面から見て右側にあるディスク中心側の線とＡＢＳ面から見て左側にあるディスク外周側の線との３本の線からなり、ディスク中心側の線の長さがディスク外周側の線の長さよりも長い構成を有している。
【００２１】
これらの構成によって、ディスク位置による相対速度の差によって発生する空気流の圧力差の影響を低減することができ、ヘッドスライダがディスクのいかなる位置にあっても、ヘッドスライダを安定して浮上させることができるという作用を得ることができる。
【００２２】
また、本発明のヘッドスライダは、ＡＢＳ面において、空気流入規制部および信号変換素子のトラック幅方向に垂直な方向の空気流出側に空気流入規制部に隣接した低位面を有し、空気流入規制部の高さが隣接した低位面の高さより高い構成を有している。
【００２３】
この構成によって、衝撃が加わったときに、スライダがディスクに接近すると、空気流入規制部と低位面に隣接した中位面において、スクイーズ力による正圧が発生する。さらに、空気流入規制部に隣接した低位面とその低位面に隣接した中位面の境界において、空気の圧縮により高いスクイーズ力が発生し、衝撃によるスライダの浮上量変化を抑制することができるという作用を得る。
【００２４】
また、上記の目的を達成するために本発明のディスク装置は、ディスク状の記録媒体と、記録媒体に記録再生する信号変換素子と、信号変換素子を搭載し、位置高さの異なる少なくとも３つの面からなるＡＢＳ面を有するヘッドスライダと、ヘッドスライダに搭載された信号変換素子を所定のトラック位置に位置決めする揺動手段とを備え、かつ、ヘッドスライダに信号変換素子のトラック幅方向における両側端部に動的正圧発生部を設け、動的正圧発生部の位置高さが、ヘッドスライダのＡＢＳ面を構成する面のうちの少なくとも２番目以降に高い位置高さにある面と同じ位置高さである構成を有しており、また、ヘッドスライダが、ＡＢＳ面が空気流入側において脆性の強い材料で形成され、空気流出側において脆性の弱い材料で形成され、動的正圧発生部が脆性の強い材料で形成された側に設けられている構成を有している。さらに、信号変換素子のトラック幅方向における両側端部近傍に設けた動的正圧発生部が衝撃を受けたときに定常状態よりも大きい圧力を発生する構成、動的正圧発生部が信号変換素子を通る中心線に対し対称な位置にあり、かつ、対称な形状を有する構成、動的正圧発生部がエアーベアリング面に平行な断面が矩形であるか、または矩形の断面から空気流入方向にＵ字型、Ｖ字型、矩形のうちのいずれかの形状の切り欠きを有した構成であってもよい。
【００２５】
これらの構成によって、記録再生時に外部からの衝撃等を受けた場合に、大きな正圧力がヘッドスライダのＡＢＳ面の両側に設けられた動的正圧発生部に発生することになり、ヘッドスライダがディスク表面に衝突することを防止し、ヘッドスライダのＡＢＳ面あるいはディスクの表面に損傷を与えることを防止することができ、耐衝撃性が強く、信頼性の高いディスク装置を得ることができる。
【００２６】
また、本発明のディスク装置は、動的正圧発生部の面粗さは、ＡＢＳ面を構成する面のうちの最も高い位置高さにある面の面粗さよりも大きい構成を有している。
【００２７】
この構成によって、ヘッドスライダがディスク表面側へ移動してディスク表面に接近したときに発生するスクイーズ効果が大きくなるため、外部からの衝撃等を受けたときに、スクイーズ効果による反発力が発生して、ディスクとの衝突をより一層防止することができ、より強い耐衝撃性とより高い信頼性を有するディスク装置を得ることができる。
【００２８】
また、本発明のディスク装置は、ヘッドスライダのＡＢＳ面を構成する面のうちの最も高い位置高さにある面に信号変換素子を有し、最も高い位置高さにある面と次に高い位置高さにある面からなるヘッド搭載パッド部を有し、最も高い位置高さにある面と次に高い位置高さにある面の境界が、信号変換素子のトラック幅方向におけるヘッドスライダの幅の中心線に関して非対称な形状である構成、およびヘッド搭載パッド部における最も高い位置高さにある面と次に高い位置高さにある面のなす境界がヘッドスライダの空気流入側端面に平行な線と互いに鈍角をなして接続するＡＢＳ面から見て右側にあるディスク中心側の線とＡＢＳ面から見て左側にあるディスク外周側の線との３本の線からなり、ディスク中心側の線の長さがディスク外周側の線の長さよりも長い構成を有している。
【００２９】
これらの構成によって、ディスク位置による相対速度の差によって発生する空気流の圧力差の影響を低減することができ、ヘッドスライダがディスクのいかなる位置にあっても、ヘッドスライダを安定して浮上させることができ、強い耐衝撃性を有し、信頼性が高く、安定したディスク装置を得ることができる。
【００３０】
また、本発明のディスク装置は、ＡＢＳ面において、空気流入規制部および信号変換素子のトラック幅方向に垂直な方向の空気流出側に空気流入規制部に隣接した低位面を有し、空気流入規制部の高さが隣接した低位面の高さより高い構成を有している。
【００３１】
この構成によって、衝撃が加わったときに、スライダがディスクに接近すると、空気流入規制部と低位面に隣接した中位面において、スクイーズ力による正圧が発生する。さらに、空気流入規制部に隣接した低位面とその低位面に隣接した中位面の境界において、空気の圧縮により高いスクイーズ力が発生し、衝撃によるスライダの浮上量変化を抑制することができ、強い耐衝撃性を有し、信頼性が高く、安定したディスク装置を得ることができる。
【発明の効果】
【００３２】
このように、本発明のヘッドスライダおよびそれを備えたディスク装置は、ヘッドスライダのＡＢＳ面を高さ位置が異なる３つの面で構成し、信号変換素子のトラック幅方向における両側端部近傍に中位面と同じ高さを有する動的正圧発生部をそれぞれ設け、さらに、信号変換素子が搭載されているヘッド搭載パッド部における高位面の形状を、信号変換素子のトラック幅方向におけるヘッドスライダの幅の中心線に関して非対称としたＡＢＳ面の形状を有することによって、ディスク装置の使用時、特に携帯使用時に外部からの衝撃等を受けて、ヘッドスライダがディスクに近づいたときに、２つの動的正圧発生部に大きな正圧力が発生し、ヘッドスライダがディスク表面に衝突することを防止することができ、したがって、ヘッドスライダのＡＢＳ面、ヘッドスライダに搭載された信号変換素子あるいは情報が記録保持されたディスクの表面に損傷を与えることを防止することができるという効果を有している。また、ヘッドスライダがディスク上のいかなる位置にあっても、ヘッドスライダの浮上を安定させることができるとともに、このようなＡＢＳ面を有するヘッドスライダをディスク装置に搭載することによって、装置の使用時における耐衝撃性を向上させることができ、信頼性の高いディスク装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を用いて説明する。
【００３４】
（実施の形態１）
図１および図２は、本発明の実施の形態１におけるディスク装置およびそれに用いられるヘッドスライダを説明するための図である。図１（ａ）は本発明の実施の形態１におけるディスク装置の主要部の構成を説明する平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＢ−Ｂ’線断面図、図２（ａ）は本発明の実施の形態１におけるディスクに対向する側から見たヘッドスライダの平面図、図２（ｂ）は図２（ａ）におけるＣ−Ｃ’線にて切断した概略断面図である。また、図３は本発明の実施の形態１のディスクに備わる別のヘッドスライダにおいて、ヘッドスライダに対向する側から見た平面図である。なお、以下の説明においては、ディスク装置としてハードディスクドライブ等の磁気ディスク装置を例にとって説明する。
【００３５】
図１において、回動軸１を中心として回動可能に構成されたヘッド支持機構２の一端にジンバル機構（図示せず）等によって信号変換素子である磁気ヘッド（図示せず）が搭載されたヘッドスライダ３が配設され、他端には、例えばボイスコイル４等の変換素子揺動手段が取り付けられている。永久磁石５および上ヨーク６がヘッド支持機構２に設けられたボイスコイル４等の変換素子揺動手段を挟んでそれぞれ対向するように装置の基板あるいは筐体等に固定されており、揺動手段である、例えばボイスコイルモータ等を形成していることは周知の技術である。そして、ヘッド支持機構２に取り付けられたヘッドスライダ３が、表面上に記録媒体が形成され駆動モータ（図示せず）に連結されて回転するディスク７に対向するように配設されており、ディスク７の回転によってディスク７表面上の空気の粘性による空気流が生じ、ヘッドスライダ３をディスク７表面から浮上させると同時に、揺動手段である、例えばボイスコイルモータ等によってディスク７表面上をシーク動作させ、ディスク７の表面に形成された記録媒体に情報信号を記録再生する。なお、図１において磁気ディスク装置に搭載されたディスク７の上側表面に対向したヘッドスライダ３が示されているが、ディスク７の上下両側表面にそれぞれ対向した２組のヘッドスライダ３であってもよいし、また、ディスク７は１枚で示されているが、２枚または３枚以上でもよい。
【００３６】
次に、磁気ヘッドが搭載されたヘッドスライダのＡＢＳ面について説明する。例えばＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ等の比較的硬度が高く、ビッカース硬度２０００以上の脆性的に強い複合材料を用いたウエハの上に複数個の磁気ヘッドが形成され、その上を比較的脆性的に弱い、例えばＡｌ２Ｏ３等のビッカース硬度１９００以下の材料を用いた絶縁保護層で覆い、それを所定の大きさに切断した後、切断面における磁気ヘッドのヘッドギャップ側の面に所定の加工を施してＡＢＳ面を有するヘッドスライダを形成するのは周知の技術であり、ここでの詳細な説明は省略する。
【００３７】
図２において、ヘッドスライダ３のディスク（図示せず）に対向する面、すなわちＡＢＳ面２１は、高さ位置が異なる３つの面、すなわち最も高い位置にある高位面２２、２番目に高い位置にある中位面２３および最も低い位置にある低位面２４からなる。ディスクの回転によって生じる空気流は、ディスク上において接線方向に流れる。ＡＢＳ面２１の空気流方向に垂直な方向の略中央で、空気流出端側に近い部分のヘッド搭載パッド部２５は高位面２２と中位面２３からなり、その高位面２２において磁気ヘッド２６の先端部が覗いた形になっている。また、ヘッドスライダ３は空気流入側が比較的脆性の強い材料の部分２７と、空気流出側が比較的脆性の弱い材料の部分２８とで構成されており、脆性の強い材料の部分２７が脆性の弱い材料の部分２８に当接している部分で、かつ、脆性の強い材料の部分２７において、空気流の方向に垂直な方向、すなわち磁気ヘッド２６のトラック幅方向における両側端部近傍に中位面２３と同じ高さを有する動的正圧発生部２９ａ，２９ｂをそれぞれ設けている。
【００３８】
図４は、ディスクの回転によりヘッドスライダが浮上しているときの動的正圧発生部に生じる圧力分布を示す図であり、これはシミュレーションにより得たものである。図４（ａ）に示されるのは、動的正圧発生部２９ａ，２９ｂに生じる正圧力であるが、装置の使用時に装置が外部からの衝撃等を受けてヘッドスライダ３の姿勢が変動し、あるいはディスク表面側へ移動してディスク表面に接近したときには、図４（ｂ）に示すように、安定姿勢にあるときよりも大きな正圧力が動的正圧発生部２９ａ，２９ｂに発生することになり、２つの動的正圧発生部２９ａ，２９ｂをそれぞれ設けることによって、パッドの両側に正圧力が生じ、ヘッドスライダ３がディスク表面に衝突することを防止することができる。したがって、ヘッドスライダ３のＡＢＳ面２１あるいはディスクの表面に損傷を与えることを防止することができる。また、動的正圧発生部２９ａ，２９ｂを含む２番目に高い位置にある中位面２３の面粗さを、最も高い位置にある高位面２２の面粗さよりも大きく（粗く）なるよう形成することによって、外部からの衝撃等を受けてヘッドスライダ３がディスク表面側へ移動してディスク表面に接近したときに発生するスクイーズ効果は、面粗さの粗い方が大きくなり、動的正圧発生部２９ａ，２９ｂにスクイーズ効果による反発力が発生し、ディスクとの衝突を防止することができる。スクイーズ効果を高めるには、その面粗さをＲａとすると、ピークピーク（ｐ−ｐ、ｐｅａｋ−ｔｏ−ｐｅａｋ）値でＲａ≧３ｎｍとするのが望ましい。
【００３９】
なお、比較的硬度が高く、脆性的に強い複合材料としてビッカース硬度ＨＶ＝２０００のＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣからなる複合セラミックを用いたが、本発明はこの材料に限定されることはなく、ビッカース硬度ＨＶが２０００を超えるような硬度が高くて、脆性的に強い材料が好ましい。また比較的脆性的に弱い材料としては、ビッカース硬度ＨＶ＝１９００のＡｌ２Ｏ３を用いたが、本発明はこの材料に限定されることはない。
【００４０】
さらに、２つの動的正圧発生部２９ａ、２９ｂとの間の距離を広くとることにより、動的正圧発生によるロール方向の変動を最大限抑制する効果を有する。また、動的正圧発生部２９ａ、２９ｂをヘッドスライダの空気流出端側近傍に設けることにより、空気流入端側よりディスクとの隙間が狭くなるため、動的正圧発生効果が増す。
【００４１】
なお、上記説明においては、図２（ａ）に示したように、ヘッドスライダ３において、脆性の弱い材料の部分２８に当接している部分で、脆性の強い材料の部分２７の空気流の方向に垂直な方向、すなわち磁気ヘッド２６のトラック幅方向における両側端部近傍に、直方体状の中位面２３と同じ高さを有する動的正圧発生部２９ａ，２９ｂをそれぞれ設けている構成の例を示したが、動的正圧発生部２９ａ，２９ｂの形状は直方体状に限るものではなく、図３に示すように、脆性の強い材料の部分２７において、空気流の方向に垂直な方向、すなわち磁気ヘッド２６のトラック幅方向における両側端部近傍に、直方体の一部を切り欠いてＬ字型面１０１ａ、逆Ｌ字型面１０１ｂを有するような動的正圧発生部３９ａ、３９ｂ設けてもよい。この動的正圧発生部３９ａ、３９ｂも中位面２３と同じ高さを有している。それぞれＬ字型面１０１ａ、逆Ｌ字型面１０１ｂを有する動的正圧発生部３９ａ、３９ｂはＬ字型面１０１ａ、逆Ｌ字型面１０１ｂの部位に空気が流入し、動圧発生部への流入空気が圧縮される効果は図２（ａ）に示した動的正圧発生部２９ａ、２９ｂよりも大きい。
【００４２】
また、図示はしていないが、動的正圧発生部の形状は直方体状、Ｌ字型・逆Ｌ字型状の他に、ヘッドスライダ３の脆性の強い材料の部分２７の空気流の方向に垂直な方向、すなわち磁気ヘッド２６のトラック幅方向における両側端部近傍に設ける中位面２３の空気流入側に垂直な面を上から見て、凹字型、Ｖ字型、Ｕ字型等に切り欠いた形状を有する動的正圧発生部を設けても同様に、動圧発生部への流入空気が圧縮される効果が得られる。
【００４３】
次に、ヘッドスライダの動作時に衝撃が加わったときのスライダに作用する力について、図５を参照して具体的に説明する。図５（ａ）は図２（ａ）に示した本発明の実施の形態１におけるディスク装置に備わるヘッドスライダの通常動作時と衝撃が加わったときのスライダに作用する力の変化、すなわち、発生圧力の差を動的正圧発生部の位置高さに対して示すグラフであり、図５（ｂ）は図５（ａ）に示した通常動作時と衝撃が加わったときのスライダに作用する力の差の変化を動的正圧発生部の位置高さに対して示すグラフである。
【００４４】
図５（ａ）において、通常状態とは、図２に示したサスペンション重量３ｍｇのヘッドスライダ３が通常の動作状態であるディスク７の表面に対して１０ｎｍの高さで浮上している場合であり、このとき動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する力を、動的正圧発生部２９ａ、２９ｂの段差深さ（磁気ヘッドが備わるヘッド搭載パッド部２５の位置高さ（高位面２２）と動的正圧発生部２９ａ、２９ｂの位置高さ（中位面２３）との高さの差に相当する）に対してプロットしている。また衝撃作用時とは、図２に示したサスペンション重量３ｍｇのヘッドスライダ３がディスク７の表面に対して１０ｎｍの高さで浮上している場合に１０００Ｇの衝撃が作用したときであり、このとき浮上が低下した際の動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する力を、同じ段差深さに対してプロットしている。図５（ａ）に示した通常状態のヘッドスライダ３の左右の動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する力と衝撃が作用したときヘッドスライダ３の浮上が低下した際の動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する力との差の段差深さに対する関係を示すのが図５（ｂ）である。
【００４５】
そして、図５（ａ）から、段差深さを０とすると、ヘッドスライダ３が一定の浮上量で浮上している通常状態では、動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する力は、ヘッドスライダ３の浮上量が低下した衝撃作用時に動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する圧力よりも小さいことがわかる。一般的に、衝撃が作用してヘッドスライダ３の浮上量が低下したときは、ヘッドスライダ３が一定の姿勢、一定の浮上量で浮上しているときに発生する力よりも動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する力が増加する。特に、ヘッドスライダ３がその中心線３１に対して左右に動くロール動作により、左右のバランスが崩れるとヘッドスライダ３の動的正圧発生部２９ａまたは動的正圧発生部２９ｂの一方の側で発生する力が増加するので、衝撃を含めた外乱がヘッドスライダ３に作用して、ロールしたときにヘッドスライダ３のサイドの部分がディスク７に接触しやすくなるという従来のヘッドスライダの課題は解消されるとともに、ディスク７のうねりに対するヘッドスライダ３の追従性も格別に改善されることとなる。
【００４６】
一方、段差深さを深くすると、ヘッドスライダ３が一定の浮上量で浮上している通常状態のときも、衝撃が作用したときも、動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する圧力は減少する。ただし、通常状態時よりも衝撃作用時の動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する圧力が大きい関係は常に維持されている。
【００４７】
また、図５（ｂ）に示すように、通常状態で動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する圧力と、衝撃が作用したときに動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する圧力の差は、段差深さ６０ｎｍ近傍で最大となり、さらに段差深さが深くなると動的正圧発生部２９ａ、２９ｂに発生する圧力の差は減少する。
【００４８】
したがって、磁気ヘッドの位置高さ（高位面２２）と動的正圧発生部２９ａ、２９ｂの位置高さ（中位面）との高さの差に相当する段差深さが６０ｎｍ近傍で耐衝撃性が最大となり、衝撃が作用した際にヘッドスライダ（磁気ヘッド）とディスクとの接触を抑制することができる。
【００４９】
また、図３に示したＬ字型面１０１ａ、逆Ｌ字型面１０１ｂをそれぞれ有する動的正圧発生部３９ａ、３９ｂを備えたヘッドスライダ３においても、通常動作時と衝撃が加わったときにヘッドスライダ３に作用する力についても同様な関係が得られる。図６は、図３に示したヘッドスライダ３において、通常動作時と衝撃が加わったときの作用する力の差の変化を動的正圧発生部の位置高さに対して示すグラフである。ただし、この場合、図３に示したＬ字型面１０１ａ、逆Ｌ字型面１０１ｂをそれぞれ有する動的正圧発生部３９ａ、３９ｂを備えたヘッドスライダ３において、サスペンション重量３ｍｇのヘッドスライダ３がディスク７の表面に対して１０ｎｍの高さで浮上している通常の動作状態で、動的正圧発生部３９ａ、３９ｂに発生する圧力を図５（ａ）の通常状態と同一としている。図６から、図３に示したＬ字型面１０１ａ、逆Ｌ字型面１０１ｂをそれぞれ有する動的正圧発生部３９ａ、３９ｂに発生する圧力の差は、図２（ａ）に示した直方体状をした動的正圧発生部２９ａ、２９ｂの場合より大きくなる。このことは、動的正圧発生部３９ａ、３９ｂのそれぞれのＬ字型面１０１ａ、逆Ｌ字型面１０１ｂに空気が流入し、動圧正圧発生部３９ａ、３９ｂへの流入空気が圧縮される効果が大きいため、浮上量が変動した際により高い圧力が発生することによる。したがって、衝撃が作用した際にヘッドスライダ３（磁気ヘッド）とディスク７との接触を抑制する効果はより大きい。
【００５０】
また、図２、図３に示した本発明の実施の形態１におけるディスク装置に備わるヘッドスライダ３において、空気流入側端部にある中位面２３を構成する部分は空気流入規制部２３ａである。この空気流入規制部２３ａは、その高さが磁気ヘッド２６のトラック幅方向に垂直な方向の空気流出側において空気流入規制部２３ａに隣接した低位面２４ａよりも高く、ＡＢＳ面２１への空気の流入量を規制する。空気流入規制部２３ａに隣接した低位面２４ａにおいては、流入した空気が開放され、わずかな負圧が発生するが、磁気ヘッド２６のトラック幅方向に垂直な方向の空気流出側における低位面２４ａに隣接した中位面２３ｂにおいて圧縮されて正圧が発生し、釣り合っている。衝撃印加時に、ヘッドスライダ３がディスク７に接近すると、空気流入規制部２３ａと低位面２４ａに隣接した中位面２３ｂにおいて、スクイーズ力による正圧が発生する。さらに、低位面２４ａとそれに隣接した中位面２３ｂの境界において、空気の圧縮により高いスクイーズ力が発生し、衝撃によるヘッドスライダ３の浮上量変化を抑制する。なお、図２において、空気流入規制部２３ａの高さ位置が、中位面２３と同じ平面上にあるように示されているが、何らこれに限ることはなく、磁気ヘッド２６のトラック幅方向に垂直な方向の空気流出側において隣接した低位面２４ａよりも高い高さを有していればよい。
【００５１】
近年の装置の小型、軽量化に伴い携帯による装置の使用の機会が増加しており、したがって、外部からの衝撃を受ける機会も増加しており、ヘッドスライダ３のＡＢＳ面２１に２つの動的正圧発生部２９ａ、２９ｂ（または、３９ａ、３９ｂ）をそれぞれ設けることによって、装置の使用時、特に携帯使用時に非常に有効な耐衝撃性の向上を図ることができる。
【００５２】
また、ヘッドスライダ３が浮上するために受ける空気流の方向は、図１からわかるように、ディスク７上にあるヘッドスライダ３の位置によって異なり、ディスク７の記録領域の外周部にあるとき（図１中、ヘッドスライダ３’の位置）は、図２（ａ）に示される矢印Ｄｏの方向（図２（ａ）はＡＢＳ面２１から見た図であるため、図１の方向とは左右の向きがＢ−Ｂ’線に対し逆方向となる）に空気流が流れ、一方、ディスク７の記録領域の内周部にあるとき（図１中、ヘッドスライダ３”の位置）は、図２（ａ）に示される矢印Ｄｉの方向に空気流が流れることになる。さらに、ディスク７の半径方向の位置によって、ディスク７とヘッドスライダ３との相対速度は異なり、外周部の方が大きくなり、ディスク７の回転によって発生する空気流の圧力は外周部の方が大きくなる。これらの理由により、磁気ヘッド２６が搭載されているヘッド搭載パッド部２５における高位面２２と中位面２３との境界３０は、ヘッド搭載パッド部２５に搭載された磁気ヘッド２６のトラック幅方向におけるヘッドスライダ３の幅の中心線３１に関して非対称な形状、すなわち、ヘッド搭載パッド部２５における高位面２２の矢印Ｄｏの方向の投影長さＬ１の長さよりヘッド搭載パッド部２５における高位面２２の矢印Ｄｉの方向の投影長さＬ２の長さの方が長くなるように形成されている。このことは、ヘッド搭載パッド部２５における高位面２２と中位面２３のなす境界３０が、ヘッドスライダ３の空気流入側端面に平行な線と互いに鈍角をなして接続するＡＢＳ面から見て右側にあるディスク中心側の線（Ｄｉに対向）とＡＢＳ面から見て左側にあるディスク外周側の線（Ｄｏに対向）との３本の線からなり、ディスク中心側の線の長さがディスク外周側の線の長さよりも長いことを意味している。そして、ヘッド搭載パッド部２５における高位面２２の矢印Ｄｏの方向の投影長さＬ１と矢印Ｄｉの方向の投影長さＬ２を変えることによって、ヘッドスライダ３がディスク７のいかなる位置にあっても安定した浮上をすることができるようになされている。
【００５３】
また、空気流入側の中位面２３ｂから空気流出側に向けて、ヘッドスライダ３の中心線３１に沿って高位面２２を分割し、ヘッド搭載パッド部２５にまで続く中位面２３ｂを形成している。
【００５４】
中位面２３ｂは、低位面２４ｂで発生する負圧（ディスク方向にヘッドスライダをひき付ける力）をヘッドスライダ３の左右で分割し、ヘッドスライダ３の左右が上下方向に振動した際にヘッドスライダ３の左右で負圧の変化を抑制することができるようにしている。また、中位面とすることにより、この面での正圧の発生を抑制している。また、空気流入側の中位面２３ｂと高位面２２との境界において、角度を設けディスク７の内周と外周での浮上量変動を抑制している。
【００５５】
なお、上述の説明においては、磁気ディスク装置を例にとって説明したが、何らこれに限ることはなく、光磁気ディスク装置や光ディスク装置等の非接触型のディスク記録再生装置に適用してもよいのは言うまでもない。
【００５６】
以上のように本発明の実施の形態１によれば、装置の使用時、すなわち記録再生時に外部からの衝撃等を受けてヘッドスライダがディスク表面側へ移動してディスク表面に接近した場合に、大きな正圧力がヘッドスライダのＡＢＳ面の両側に設けられた動的正圧発生部に発生することになり、ヘッドスライダがディスク表面に衝突することを防止することができ、したがって、ヘッドスライダのＡＢＳ面あるいはディスクの表面に損傷を与えることを防止することができる。また、ヘッドスライダがディスクの記録領域のどの位置にあっても安定した浮上姿勢を得ることができる。さらに、衝撃等を含めた外乱によりヘッドスライダがロールしたときにも、ヘッドスライダのサイドの部分がディスクに接触しやすくなるということはなく、ディスクのうねりに対するヘッドスライダの追従性を格段に向上させることが可能になる。
【００５７】
このようなヘッドスライダをディスク装置に用いることによって、携帯使用時の外部からの衝撃に対する耐衝撃性が向上し、信頼性の高いディスク装置を実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明にかかるヘッドスライダおよびそれを用いたディスク装置は、ヘッドスライダのＡＢＳ面の高さ位置が異なる３つの面を有し、信号変換素子のトラック幅方向における両側端部近傍に中位面と同じ高さを有する動的正圧発生部をそれぞれ設け、さらに、信号変換素子が搭載されているヘッド搭載パッド部における高位面の形状を、信号変換素子のトラック幅方向におけるヘッドスライダの幅の中心線に関して非対称としたＡＢＳ面の形状を有する構成により、ディスク装置の使用時、特に携帯使用時の外部からの衝撃等を受けて、ヘッドスライダがディスクに近づいたときに、２つの動的正圧発生部に大きな正圧力が発生し、ヘッドスライダがディスク表面に衝突することを防止することができ、したがって、ヘッドスライダのＡＢＳ面、ヘッドスライダに搭載された信号変換素子あるいは情報が記録保持されたディスクの表面に損傷を与えることを防止することができるとともに、ヘッドスライダがディスク上のいかなる位置にあっても、ヘッドスライダの浮上を安定させることができる。また、このようなＡＢＳ面を有するヘッドスライダをディスク装置に搭載することによって、装置の使用時における耐衝撃性を向上させることができるので、信頼性の高いディスク装置を実現することが、磁気ヘッドや光ヘッド等の浮上型の信号変換素子を有する磁気ディスク装置、光ディスク装置および光磁気ディスク装置等のディスク装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】（ａ）は本発明の実施の形態１におけるディスク装置の主要部の構成を説明する平面図、（ｂ）は図１（ａ）におけるＢ−Ｂ’線断面図
【図２】（ａ）は本発明の実施の形態１におけるディスクに対向する側から見たヘッドスライダの平面図、（ｂ）は図２（ａ）におけるＣ−Ｃ’線にて切断にした概略断面図
【図３】本発明の実施の形態１のディスクに備わる別のヘッドスライダにおいてヘッドスライダに対向する側から見た平面図
【図４】（ａ）、（ｂ）はディスクの回転によりヘッドスライダが浮上しているときの動的正圧発生部に発生する圧力分布を示す図
【図５】（ａ）は図２（ａ）に示した本発明の実施の形態１におけるディスク装置に備わるヘッドスライダの通常動作時と衝撃が加わったときのスライダに作用する力の変化を動的正圧発生部の位置高さに対して示したグラフ（ｂ）は図５（ａ）に示した通常動作時と衝撃が加わったときのスライダに作用する力の差の変化を動的正圧発生部の位置高さに対して示したグラフ
【図６】図３に示したヘッドスライダにおいて、通常動作時と衝撃が加わったときの作用する力の差の変化を動的正圧発生部の位置高さに対して示したグラフ
【図７】（ａ）は従来のヘッドスライダのＡＢＳ面側から見た平面図（ｂ）は図７（ａ）におけるＡ−Ａ’線断面図
【図８】（ａ）は別の従来のヘッドスライダのＡＢＳ面側から見た斜視図（ｂ）は他の従来のヘッドスライダのＡＢＳ面側から見た斜視図
【符号の説明】
【００６０】
１    回転軸
２    ヘッド支持機構
３，４１    ヘッドスライダ
４    ボイスコイル
５    永久磁石
６    上ヨーク
７    ディスク
２１，４２    エアーベアリング面（ＡＢＳ面）
２２    高位面
２３，２３ｂ    中位面
２３ａ    空気流入規制部
２４，２４ａ，２４ｂ    低位面
２５，４４    ヘッド搭載パッド部
２６    磁気ヘッド
２７，２８    （材料）部分
２９ａ，２９ｂ，３９ａ，３９ｂ    動的正圧発生部
３０    境界
３１    中心線
４３    信号変換素子
４５    第１の平面
４６    第２の平面
４７    第３の平面
４８    矢印
４９ａ    主要部分
４９ｂ    空気流出側部分
１０１ａ    Ｌ字型面
１０１ｂ    逆Ｌ字型面
【図１】
2005149702.tif 000003
【図２】
2005149702.tif 000004
【図３】
2005149702.tif 000005
【図４】
2005149702.tif 000006
【図５】
2005149702.tif 000007
【図６】
2005149702.tif 000008
【図７】
2005149702.tif 000009
【図８】
2005149702.tif 000010