(57)【要約】【課題】大型化及びエア消費量の増大化を抑制しつつ加工性を上げ、、エア軸受の剛性を高めて高回転数化、高剛性化を達成可能なエアスピンドル１を提供する。【解決手段】エアノズル５５，５６と凹溝９とを有するエアスピンドル１のスラスト軸受４２において、凹溝９を内側溝９１と外側溝９２と連結溝９３とを含むものとすると共に、ノズル開口５６ａを外側溝９２内に配置する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸の外周面を支持するラジアル軸受と、
上記回転軸に設けられたスラストカラーの両面を支持するスラスト軸受と、を備え、
上記スラスト軸受は、上記スラストカラーの両面それぞれに相対するスラスト軸受面に周方向に略等間隔を空けて形成された複数のエアノズルと、上記スラスト軸受面に凹陥しかつ該各エアノズルのノズル開口に連通する凹溝と、を有し、
上記凹溝は、径方向内側位置で周方向に延びる内側溝と、径方向外側位置で周方向に延びる外側溝と、上記内側溝及び外側溝の間位置で径方向に延びて上記内側溝と外側溝とを連結する連結溝と、を含み、
上記各ノズル開口は、上記外側溝内に配置されているエアスピンドル。
【請求項２】
請求項１に記載のエアスピンドルにおいて、
上記スラスト軸受は、上記回転軸の出力端近傍に配置されているエアスピンドル。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のエアスピンドルにおいて、
上記内側溝は、周方向に略等間隔を空けて配置された複数の弧状凹溝からなり、
上記外側溝は、周方向に略等間隔を空けて配置された複数の弧状凹溝からなるエアスピンドル。
【請求項４】
請求項１又は２に記載のエアスピンドルにおいて、
上記内側溝は、周方向に略等間隔を空けて配置された複数の弧状凹溝からなり、
上記外側溝は、１つの環状凹溝からなるエアスピンドル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアスピンドルに係り、特に、磁気ディスクや光ディスク等のディスク又はディスクヘッドの検査、サーボトラックライタ、ＤＶＤ関連機器等に好適に用いられるエアスピンドルに関する。
【背景技術】
【０００２】
ディスクやディスクヘッド用の検査装置等において、ディスクを高速回転させる回転駆動手段としてエアスピンドルが用いられている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
このエアスピンドルは、モータによって回転駆動される回転軸を静圧気体軸受（エア軸受）によって支持するものであり、上記特許文献１に開示されたエアスピンドルは、ラジアル軸受とスラスト軸受と組み合わせたエア軸受を備えている。この内、上記スラスト軸受は、回転軸に設けられたスラストカラーの下面に相対向して配置されたフランジと、該フランジの上面に開口するエアノズルと、該エアノズルのノズル開口に連通する凹溝と、を有している。この凹溝は、径方向内側に位置しかつ円弧形状の凹溝が周方向に複数並んだ内側溝と、径方向外側に位置しかつ円弧形状の凹溝が周方向に複数並んだ外側溝と、径方向に延びて各内側溝と各外側溝とを互いに連結する連結溝とからなる。そして、上記ノズル開口は、上記内側溝と外側溝との中間位置に対応する各連結溝内に配置されている。
【特許文献１】特開２００１−１４０８８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで近年、ハードディスクの容量の増大等に伴い、ディスクの使用回転数は１分間あたり数千回転のオーダーから数万回転のオーダーにまで増加してきており、今後ますますの高回転数化が予想される。そのため、ディスクの駆動やディスクおよびディスクヘッドの検査を目的としたスピンドルにも、より一層の高速回転化が求められている。
【０００５】
また、ハードディスクを複数枚積層し、トラック情報を書き込むサーボトラックライタ等では、エアスピンドルの高剛性化が求められている。
【０００６】
こうしたエアスピンドルの高速回転化、高剛性化を実現するには、エア軸受の剛性、特にモーメント剛性を高める必要がある。モーメント剛性を高める方策の１つとして、ラジアル軸受を径方向に拡大することが挙げられる。また、これとは異なる方策として、上記ラジアル軸受の軸方向長さを長くすることも考えられる。
【０００７】
ところが、これらの方策を採用した場合は回転軸が大型化し、そのことに伴い慣性モーメントの増大及び軸受損失の増大を招く。その結果、エアスピンドルの高速回転化という当初の目的を達成することができない。
【０００８】
一方、ノズル開口の位置は、ノズルの絞り効果によって高い支持剛性が得られることから、スラスト軸受におけるノズル開口を内周側と外周側との２列配置にすることによってモーメント剛性を高めることも考えられる。しかしながらこの場合は、エア消費量の増大を招きランニングコストが増大してしまうという、新たな不都合が生じることになる。また、２列配置は加工が難しく、製造コストの増大をも招く。
【０００９】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、大型化及びエア消費量の増大化を抑制しつつ加工性を上げ、エア軸受の剛性を高めて高速回転化、高剛性化を達成可能なエアスピンドルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のエアスピンドルは、回転軸の外周面を支持するラジアル軸受と、上記回転軸に設けられたスラストカラーの両面を支持するスラスト軸受と、を備える。
【００１１】
そして、上記スラスト軸受は、上記スラストカラーの両面それぞれに相対するスラスト軸受面に周方向に略等間隔を空けて形成された複数のエアノズルと、上記スラスト軸受面に凹陥しかつ該各エアノズルのノズル開口に連通する凹溝と、を有し、上記凹溝は、径方向内側位置で周方向に延びる内側溝と、径方向外側位置で周方向に延びる外側溝と、上記内側溝及び外側溝の間位置で径方向に延びて上記内側溝と外側溝とを連結する連結溝と、を含み、上記各ノズル開口は、上記外側溝内に配置されるものとする。
【００１２】
この構成では、上記スラスト軸受面には、内側溝と外側溝とが設けられ、その外側溝内に、スラストカラーに向かって加圧エアを供給するエアノズルのノズル開口が配置される。これによって、スラストカラーの径方向外方位置を高い剛性で支持することになり、モーメント剛性が高まる。この構成では、ラジアル軸受の剛性を高めるべく、回転軸を拡径化したり回転軸を長尺化したりすることがないため、エアスピンドルを小型化することができ、また、エアノズルは一列配置であるため、エア消費量を不必要に増大させることがなく、加工性も高い。その結果、ランニングコスト及び製造コストを増大させることなく、エアスピンドルの高速回転化、高剛性化が実現する。
【００１３】
ここで、上記スラスト軸受は、上記回転軸の出力端近傍に配置されているとしてもよい。
【００１４】
この構成では、スラスト軸受を、回転軸の出力端近傍に設けることによって、モーメント剛性を高める上で有利になる。
【００１５】
上記内側溝は、周方向に略等間隔を空けて配置された複数の弧状凹溝からなり、上記外側溝は、周方向に略等間隔を空けて配置された複数の弧状凹溝からなるとしてもよい。これとは異なり、上記内側溝は、周方向に略等間隔を空けて配置された複数の弧状凹溝からなり、上記外側溝は、１つの環状凹溝からなるとしてもよい。何れの構成においても同様に、モーメント剛性が高まる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のエアスピンドルによれば、スラスト軸受において、内側溝と外側溝と連結溝とを含む凹溝に連通するノズル開口を、径方向の外方位置に配置したから、エアスピンドルの大型化及びエア消費量の増大化を招くことなく、しかも加工性を低下させることなく、モーメント剛性を高めることができ、エアスピンドルを高速回転化、高剛性化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１８】
図１は、本実施形態に係るエアスピンドル１を示している。同図において、２はエアスピンドル１の駆動部であり、このエアスピンドル１は、上側に位置する円筒状の軸受２１と、中間に位置する円筒状のモータハウジング２２と、下側に位置する有底円筒状のエンコーダハウジング２３とに分割される。これら軸受２１、モータハウジング２２及びエンコーダハウジング２３は同心状にかつ気密状に接合されて一体化されている。
【００１９】
上記エアスピンドル１内には回転軸３が配置収容されている。この回転軸３は、軸受２１内にその大半部を占めるように位置する大径の支持部３１と、この支持部３１の上端近傍に同心に設けられた円板状のスラストカラー３２と、上記支持部３１の下端部に同心に連続し、モータハウジング２２内に位置する中径のモータ結合部３３と、このモータ結合部３３の下端に同心に連続し、エンコーダハウジング２３内に位置する小径のエンコーダ結合部３４とからなる。
【００２０】
上記支持部３１の上端部には、軸受２１の上端から突出する連結部材３５が回転一体に取付固定され、この連結部材３５にはエア駆動タイプのディスククランプ（図示せず）が連結固定されており、このディスククランプによりディスクを保持して回転させるようになっている。
【００２１】
上記回転軸３のエンコーダ結合部３４の下端部には硬球３６が嵌め込まれており、この硬球３６には平行板ばね３７，３７の先端部に取付固定したアースパッド３８が常時接触している。このことで、浮動状態にある回転軸３をその下端部にてアースすることにより、ディスクに発生する静電気を回転軸３を介して逃がすようにしている。
【００２２】
上記軸受２１の外周上端近傍には、拡径したフランジ部２１ａが一体形成されている。この軸受２１内には回転軸３をエアの静圧により浮動状態で回転可能にかつ軸方向に移動不能に支持するラジアル軸受部４１とスラスト軸受部４２とが設けられている。上記軸受２１内には上側及び下側の上下２つの軸受ブッシュ４３，４４が嵌挿固定されている。
【００２３】
この内、上記下側軸受ブッシュ４４は、回転軸３の支持部３１に対応するように軸受２１内に配置される円筒状のもので、その上端部には上記回転軸３のスラストカラー３２と同径の下側フランジ４４ａが一体に形成され、この下側フランジ４４ａの上面（スラスト軸受面４２ａ）は回転軸３のスラストカラー３２下面に僅かな隙間をあけて対向している。また、下側軸受ブッシュ４４の内径は回転軸３の支持部３１よりも僅かに大径に設定されており、この下側軸受ブッシュ４４の内部に回転軸３の支持部３１が回転可能に嵌挿されている。
【００２４】
上記軸受２１の内周面には、下側軸受ブッシュ４４が嵌挿された部分の上端から下端に向かって順に、環状溝からなる第１、第２、第３及び第４給気溝６１，６２，６３，６４がそれぞれ形成されている。また、軸受２１のフランジ部２１ａ外周には、加圧エア供給源に接続される給気配管（いずれも図示せず）の下流端部が接続可能なエア供給口８１が形成され、このエア供給口８１は、軸受２１の壁部内に設けた加圧エア供給通路８５を介して上記第１〜第４給気溝６１〜６４に連通されている。
【００２５】
これに対し、上記下側軸受ブッシュ４４には、上記軸受２１内周面の第１〜第４給気溝６１〜６４と対応する部分にそれぞれに、半径方向に貫通する第１〜第４エアノズル孔５１〜５４がそれぞれ複数（１つのみ図示する）周方向に等間隔をあけて形成されている。この各エアノズル孔５１〜５４における下側軸受ブッシュ４４の内周側部分は細径に絞られてノズル部とされている。
【００２６】
また、回転軸３の支持部３１外周面には、上記軸受２１内周面の第１〜第４給気溝６１〜６４にそれぞれ軸方向に対応して第１〜第４環状溝７１〜７４が形成されている。
【００２７】
そして、加圧エア供給源からの加圧エアを給気配管及びエア供給口８１を介して加圧エア供給通路８５に供給し、その加圧エア供給通路８５内の加圧エアの一部を第１〜第４給気溝６１〜６４に送って、その各給気溝６１〜６４からそれぞれ下側軸受ブッシュ４４のエアノズル孔５１〜５４を経て回転軸３の支持部３１外周の第１〜第４環状溝７１〜７４乃至その周辺部に噴出させることで、そのエア圧（静圧）により回転軸３を支持部３１の上下４箇所にて下側軸受ブッシュ４４（軸受２１）に接触しない浮動状態で回転可能に支持するようになっている。
【００２８】
上記上側軸受ブッシュ４３は、下側軸受ブッシュ４４の上側に回転軸３のスラストカラー３２を挟むように配置される略円板状のもので、その下端部に上記回転軸３のスラストカラー３２（下側軸受ブッシュ４４の下側フランジ４４ａ）と同径の上側フランジ４３ａを有し、この上側フランジ４３ａの下面（スラスト軸受面４２ａ）はスラストカラー３２上面に僅かな隙間をあけて対向している。
【００２９】
そして、上記上側フランジ４３ａ上面には上記軸受２１の壁部内の加圧エア供給通路８５に常時連通する環状溝からなる上側給気溝６８が形成され、また、上側フランジ４３ａには上記上側給気溝６８の底面から上側フランジ４３ａ下面まで上下方向に貫通する複数の上側エアノズル５５，５５，…が周方向に等間隔をあけて形成されている。
【００３０】
また、上記下側軸受ブッシュ４４の下側フランジ４４ａ下面には上記軸受２１の第１給気溝６１に連通する環状溝からなる下側給気溝６９が形成されている。また、この下側フランジ４４ａには上記下側給気溝６９の底面から下側フランジ４４ａ上面まで上下方向に貫通する複数の下側エアノズル５６，５６，…が周方向に等間隔をあけて形成されている。尚、詳しくは後述するが、これら上下の各エアノズル５５，５６は径方向及び周方向に対応して配置されていると共に、上側及び下側フランジ４３ａ，４４ａの下面及び上面には、複数の凹溝９が形成されている。
【００３１】
そして、上記エア供給口８１から加圧エア供給通路８５に供給された加圧エアの残りを上側及び下側軸受ブッシュ４３，４４の上側及び下側フランジ４３ａ，４４ａにおける上下の給気溝６８，６９に送って、その各給気溝６８，６９からそれぞれエアノズル５５，５６を経て回転軸３のスラストカラー３２の上下面に噴出させることで、そのエア圧（静圧）により回転軸３を上側及び下側軸受ブッシュ４３，４４（軸受２１）に接触しない浮動状態で上下方向（軸方向）に移動不能に支持するようになっている。
【００３２】
上記軸受２１の内周面には上記第２及び第３給気溝６２，６３間の中央部に第５給気溝６５が形成されている。また、軸受２１のフランジ部２１ａ外周における上記エア供給口８１とは周方向に異なる位置にクランプ給気口８２が形成されている。このクランプ給気口８２は、上記加圧エア供給源からの別の給気配管（この配管には加圧エアの供給又は供給停止を切り換えるための開閉切換弁が配置される）が接続可能であって、軸受２１の壁部内に設けたクランプ給気通路８６を介して上記第５給気溝６５に連通されている。下側軸受ブッシュ４４には、上記軸受２１内周面の第５給気溝６５と対応する部分に、半径方向に貫通する複数のエア孔５７，５７，…が周方向に等間隔をあけて形成されている。回転軸３の支持部３１外周面には、上記軸受２１内周面の第５給気溝６５に軸方向に対応して第５環状溝７５が形成され、また、支持部３１の中心には上端面（ディスククランプ側）から穿設した中心穴３１ａが形成され、この中心穴３１ａの中間部と上記第５環状溝７５とは回転軸３の支持部３１に周方向に配置した複数の連通路７５ａ，７５ａ，…により連通されている。そして、上記中心穴３１ａはディスククランプのクランプ機構に接続されており、加圧エア供給源からの加圧エアをクランプ給気口８２、クランプ給気通路８６、第５給気溝６５、エア孔５７及び中心穴３１ａを介してディスククランプのクランプ機構に供給することで、そのディスククランプによるディスクの例えばクランピング又はその解除を行うようになっている。
【００３３】
上記モータハウジング２２内には、回転軸３を駆動してディスククランプ及びディスクと共に所定回転数で回転させるための、コアレスモータ８９が装着されている。尚、モータハウジング２２の外周には放熱用の冷却フィン２２ｂが形成されており、この冷却フィン２２ｂによりモータハウジング２２の熱を外部に放出してモータ８９を冷却するようにしている。
【００３４】
また、上記エンコーダハウジング２３内には回転軸３の回転数等を検出するためのロータリエンコーダ９０が収容されている。
【００３５】
上記回転軸３の支持部３１外周面には、上記第２及び第５環状溝７２，７５間の部分に第６環状溝７６が、また第５及び第３環状溝７５，７３間の部分に第７環状溝７７がそれぞれ形成されている。また、軸受２１の内周面には、上記回転軸３外周面の第６及び第７環状溝７６，７７と対応する位置（第２及び第３給気溝６２，６３間の位置）にそれぞれ第１及び第２排気溝６６，６７が形成されている。さらに、下側軸受ブッシュ４４には複数の第１排気孔５８，５８，…が上記回転軸３外周面の第６環状溝７６乃至その周辺部を上記軸受２１内周面の第１排気溝６６に連通するように、また複数の第２排気孔５９，５９，…が第７環状溝７７乃至その周辺部を第２排気溝６７に連通するようにそれぞれ周方向に所定の間隔をあけて貫通形成されている。
【００３６】
上記下側軸受ブッシュ４４の上端側には上記各エアノズル５６，５６，…よりも半径方向内側に上下方向に延びる複数の第３排気孔６０（１つのみ図示する）が周方向に間隔をあけて形成され、この各第３排気孔６０の上端部は回転軸３のスラストカラー３２に対向する下側フランジ４４ａ上面に開口し、また下端部は上記第１排気孔５８に連通されている。
【００３７】
そして、上記軸受２１の壁部内には、上記加圧エア供給通路８５と異なる位置において上下方向に延びるエア排出通路８７が配設されていて、その中間部に上記第１及び第２排気溝６６，６７が接続され、エア排出通路８７の他端部（上流端部）はモータハウジング２２の上端部に開口されている。このエア排出通路８７は、その上端部（下流端部）が、軸受２１のフランジ部２１ａ外周において上記エア供給口８１及びクランプ給気口８２とは周方向に異なる位置に設けられたエア排出口８３に連通している。エア排出口８３には図外の排気配管が接続可能とされており、上記第１〜第４環状溝７１〜７４に供給された後のエアやスラストカラー３２に供給された後のエアの大部分を、エア排出通路８７を介してエアをエア排出口８３に流し、このエア排出口８３からエアスピンドル１外の排気配管に排出するようになっている。
【００３８】
また、上記軸受２１のフランジ部２１ａの外周において上記エア供給口８１、クランプ給気口８２及びエア排出口８３とは異なる位置にエア吸引口８４が形成されており、このエア吸引口８４は、上記軸受２１の壁部内に上下方向に延びて配設されたエア吸引通路８８によって、支持部３１の上端周囲部分（ディスククランプの取付部分近傍）に連通されている。そして、エア吸引口８４には図外の吸引配管が接続可能とされており、このエア吸引口８４により、スラスト軸受部４２から排出されて上記エア排出通路８７に導入されないエアを吸引してエアスピンドル１外に排出するようにしている。
【００３９】
そして、上記スラスト軸受面４２ａには、図２に示すように（尚、図２は下側フランジ４４ａの上面を示すが、上側フランジ４３ａの下面と同じ構成である）、複数の凹溝９，９，…が凹設されている。この各凹溝９は、径方向内側で弧状をなす内側溝９１と、径方向外側で弧状をなす外側溝９２と、径方向に延びて上記内側溝９１と外側溝９２とを連結する連結溝９３とを含む。複数の内側溝９１と外側溝９２とはそれぞれ周方向に等間隔を空けて配置されていると共に、互いに周方向に対応した位置に配置されており、各凹溝９は全体としてＨ形をなしている。そして、上記下側エアノズル５６のノズル開口５６ａは、各外側溝９２内の、周方向中央位置（連結溝９３との連結位置近傍）に配置されている。
【００４０】
この実施形態においては、エアスピンドル１の運転時、加圧エア供給源からの加圧エアが給気配管により軸受２１のエア供給口８１に供給され、この加圧エアの一部は加圧エア供給通路８５を経てラジアル軸受部４１に供給される。供給されたエアは、エアノズル孔５１〜５４を経て回転軸３の支持部３１外周の第１〜第４環状溝７１〜７４乃至その周辺部に噴出される。このエアの噴出に伴うエア圧（静圧）により、回転軸３が支持部３１の上下４箇所にて下側軸受ブッシュ４４（軸受２１）に接触しない浮動状態で回転可能に支持される。一方、上記エア供給口８１から加圧エア供給通路８５に供給された加圧エアの残りはスラスト軸受部４２に供給され、上側及び下側フランジ４３ａ，４４ａのエアノズル５５，５６を経て回転軸３のスラストカラー３２の上下面に噴出され、そのエア圧（静圧）により回転軸３が上側及び下側軸受ブッシュ４３，４４（軸受２１）に接触しない浮動状態で上下方向（軸方向）に移動不能に支持される。
【００４１】
そして、このように回転軸３が軸受２１に対し浮動した状態でモータ８９により回転駆動され、回転軸３と一体のディスククランプも回転し、このディスククランプに保持されたディスクの記憶領域の物理的な欠陥やソフト的な記憶性能等の良否、又はディスクヘッドが検査される。尚、上記回転の前後にディスククランプによりディスクをクランプ又はクランプ解除するときには、加圧エア供給源からの加圧エアがクランプ給気口８２からクランプ給気通路８６経てディスククランプのクランプ機構に供給されて、そのディスククランプによるディスクのチャッキング又はその解除が行われる。
【００４２】
そして、上記ラジアル軸受部４１及びスラスト軸受部４２に静圧形成のために使用された後のエアは各軸受部４１，４２から排出されるが、その大半部はエア排出通路８７に流入して軸受２１外周のエア排出口８３に流出し、このエア排出口８３からエアスピンドル１外の排気配管に排出される。エア排出通路８７に流入しないエアは、エア吸引通路８８を介してエア吸引口８４に吸引されてエアスピンドル１外の吸引配管に排出される。
【００４３】
そして、この実施形態の場合、スラスト軸受部４２におけるノズル開口５６ａが、径方向の外方位置に配置されているため、スラストカラー３２の径方向外方位置を高い剛性で支持することになり、モーメント剛性が高まる。しかも、上側及び下側フランジ４３ａ，４４ａによって、スラストカラー３２の上下両側からスラストカラー３２を挟持するように支持するため、モーメント剛性をさらに高めることができると共に、こうした構成のスラスト軸受部４２を、回転軸３の上端（出力端）近傍に配置することによって、モーメント剛性をより効果的に高めることが可能になる。こうして、回転軸３を大型化することなく、モーメント剛性を高めることができるため、エアスピンドル１の高速回転化を実現することができる。
【００４４】
しかも、スラスト軸受部４２のノズル開口は、径方向の外方位置にのみに配置して、その内方位置には配置しないため、エアノズルの数は比較的少なくエア消費量を抑制することができる。従って、ランニングコストの点で有利になる。また、加工性が上がり、低コスト化が図られる。
【００４５】
（他の実施形態）
図３に示すように、スラスト軸受部４２の凹溝９は、その外側溝９４を環状に形成してもよい。この場合でも、上記実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
【００４６】
また、エアスピンドル１の軸受２１や軸受ブッシュ４３，４４等に設けた各種の溝６１〜７７及び通路８５〜８８等の構成は、上記の実施形態の構成に限るものではなく、適宜変更することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
以上説明したように、本発明のエアスピンドルは、スラスト軸受におけるエアノズルの開口を径方向の外方位置に配置することによってモーメント剛性を高め、それによって高速回転化、高剛性化を実現することができるため、特に、磁気ディスクや光ディスク（ＣＤ及びＤＶＤを含む）等のディスク又はディスクヘッドの検査機、サーボトラックライタ、ＤＶＤ関連機器、及び、各種の加工機等に好適に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本実施形態に係るエアスピンドルの一部断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】他の実施形態に係るスラスト軸受を示す図２対応図である。
【符号の説明】
【００４９】
１    エアスピンドル
３    回転軸
３２  スラストカラー
４１    ラジアル軸受部
４２    スラスト軸受部
４２ａ    スラスト軸受面
５５    上側エアノズル
５６    下側エアノズル
５６ａ    ノズル孔
８９    モータ
９    凹溝
９１    内側溝
９２，９４    外側溝
９３    連結溝
【図１】
2005282602.tif 000003
【図２】
2005282602.tif 000004
【図３】
2005282602.tif 000005