(57)【要約】【課題】      モニタガラスを正確に交換できるようにすること。供給用カートリッジの高さを高くすることなく、モニタガラスの連続供給量を増加させること。【解決手段】モニタガラスＭＧの下面が真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置に保持されるように配置された前記ガラスホルダ１６およびモニタガラスＭＧを上方に持ち上げ可能なガラスリフト部材１７を有するモニタガラス保持装置Ｕと、モニタガラス保持装置Ｕの上方に配置された回転テーブル４に支持され且つ前記ガラスホルダ１６の上方に回転移動した状態で前記ガラスホルダ１６上にモニタガラスＭＧを供給する前記モニタガラス供給装置８と、前記回転テーブル４に支持され且つ複数のモニタガラスＭＧを重ねた状態で収容し且つ収容したモニタガラスＭＧの下方への落下を禁止するとともに下方からの挿入（排出）を許容する排出ガラス収容装置９とを備えたモニタガラス交換装置。【選択図】    図１
2005036284.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記の構成要件（Ａ01）〜（Ａ03）を備えたモニタガラス交換装置、
（Ａ01）上方から供給されたモニタガラスを保持するガラスホルダであって、前記ガラスホルダにより保持された前記モニタガラスの下面が真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置に保持されるように配置された前記ガラスホルダと、前記ガラスホルダに保持されたモニタガラスを上方に持ち上げ可能なガラスリフト部材とを有するモニタガラス保持装置、
（Ａ02）前記モニタガラス保持装置の上方に配置された回転テーブルに支持され且つ前記回転テーブルの回転時に前記ガラスホルダの上方に移動可能に支持されたモニタガラス供給装置であって、前記ガラスホルダの上方に移動した状態で前記ガラスホルダ上にモニタガラスを供給する前記モニタガラス供給装置、
（Ａ03）前記回転テーブルに支持され且つ前記回転テーブルの回転時に前記ガラスホルダの上方に移動可能に支持された排出ガラス収容装置であって、円板状の複数のモニタガラスを重ねた状態で収容可能な排出用カートリッジと、前記排出用カートリッジ内に重ねて収容されたモニタガラスの中の一番下に配置されたモニタガラスの下面を保持して前記一番下のモニタガラスの下方への通過を禁止するとともに前記排出用カートリッジの下方から排出用カートリッジ内にモニタガラスが押し込まれた際には前記モニタガラスの上方への通過を許容する下方通過禁止部材とを有する前記排出ガラス収容装置。
【請求項２】
下記の構成要件（Ａ01a），（Ａ01b）を備えたことを特徴とするモニタガラス保持装置、
（Ａ01a）上方から供給されたモニタガラスをその下面が真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置に配置されるように保持するガラスホルダ、
（Ａ01b）前記ガラスホルダに保持されたモニタガラスを上方に持ち上げる上昇位置と、前記モニタガラスが前記ガラスホルダに保持される待機位置との間で移動可能なガラスリフト部材。
【請求項３】
下記の構成要件（Ａ02a）〜（Ａ02f）を備えたことを特徴とするモニタガラス供給装置、
（Ａ02a）円板状の複数のモニタガラスを重ねた状態で収容可能な供給用カートリッジ、
（Ａ02b）前記供給用カートリッジの下端部に配置されるとともに、前記供給用カートリッジ内に重ねて収容されたモニタガラスの中の一番下に配置されたモニタガラスの下面を保持する保持位置と前記一番下のモニタガラスの下方への落下を許容する落下許容位置との間で移動可能且つ常時は前記保持位置に保持される複数の第１保持爪、
（Ａ02c）前記供給用カートリッジの下端部に配置されるとともに、前記供給用カートリッジ内に重ねて収容されたモニタガラスの中の下から２番目に配置されたモニタガラスの下面を保持する保持位置と前記下から２番目のモニタガラスの下方への落下を許容する落下許容位置との間で移動可能且つ常時は前記落下許容位置に保持される複数の第２保持爪、
（Ａ02d）前記供給用カートリッジの外側面において待機位置と作動位置との間に移動可能に支持され、常時は前記待機位置に保持され且つ前記作動位置に移動したときに前記第１保持爪を前記落下許容位置に移動させる第１作動部材、
（Ａ02e）前記供給用カートリッジの外側面において待機位置と作動位置との間に移動可能に支持され、常時は前記待機位置に保持され且つ前記作動位置に移動したときに前記第２保持爪を前記保持位置に移動させる第２作動部材、
（Ａ02f）前記第１および第２作動部材が待機位置に保持された状態において、前記第２作動部材を作動位置に移動させることにより前記第２保持爪を前記保持位置に移動させてから前記第１作動部材を前記作動位置に移動させることにより前記第１保持爪を前記落下許容位置に移動させるとともに、前記第１および第２作動部材が前記作動位置に移動した状態において、前記第１作動部材を待機位置に移動させることにより前記第１保持爪を前記保持位置に移動させてから、前記第２作動部材を待機位置に移動させることにより第２保持爪を前記落下許容位置に移動させる作動部材作動機構。
【請求項４】
下記の構成要件（Ａ03a），（Ａ03b）を備えたことを特徴とする排出ガラス収容装置、
（Ａ03a）真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置にモニタガラスの下面が保持されるように前記モニタガラスを保持するガラスホルダと、前記ガラスホルダに保持されたモニタガラスを上方に持ち上げる上昇位置および前記モニタガラスが前記ガラスホルダに保持される待機位置の間で移動可能なガラスリフト部材とを有するモニタガラス保持装置の上方で回転する回転テーブルに支持されるとともに、前記回転テーブルの回転時に、前記ガラスホルダの上方に移動し且つ円板状の複数のモニタガラスを重ねた状態で収容可能な排出用カートリッジ、
（Ａ03b）前記排出用カートリッジ内に重ねて収容されたモニタガラスの中の一番下に配置されたモニタガラスの下面を保持して前記一番下のモニタガラスの下方への通過を禁止するとともに、前記排出用カートリッジの下方から排出用カートリッジ内にモニタガラスが押し込まれた際には前記モニタガラスの上方への通過を許容する下方通過禁止部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置にモニタガラスの下面が保持されるように前記モニタガラスを保持するモニタガラス保持装置、前記モニタガラス保持装置にモニタガラスを供給するモニタガラス供給装置、前記モニタガラス保持装置から排出されたガラスを収容する排出ガラス収容装置、および、前記各装置を備えたモニタガラス交換装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
前記種類のモニタガラス交換装置としては、下記の技術（Ａ），（Ｂ）が従来公知である。
（Ａ）特開平４−４１６７１号公報記載の技術
この公報には真空槽（真空チャンバ）内に、多数枚のモニタガラスＭＧを積み重ねて保持した供給用カートリッジ３１と、多数枚のモニタガラスＭＧを積み重ねて収容可能な戻入れカートリッジ３２と、前記供給用カートリッジ３１および戻入れカートリッジ３２の下方に回転可能且つ上下動可能に配置された回転子１８とを有するモニタガラス交換装置が記載されている。前記回転子１８は、６０°回転する度に上昇または下降を行う６か所のステーションＳ１〜Ｓ６を有しており、３個の上昇ステーションＳ２，Ｓ４，Ｓ６と３個の下降ステーションＳ１，Ｓ３、Ｓ５とが設定されている。
【０００３】
前記回転子１８の円周方向に１２０°離れた位置に３個のガラス保持部２０が設けられており、前記回転子１８の１個目のガラス保持部２０が前記供給用カートリッジ３１の下方に移動した状態（上昇ステーションＳ２に移動した状態）で回転子１８を上昇させて供給用カートリッジ３１内に重ねて保持されたモニタガラスＭＧの一番下に配置されたモニタガラスＭＧを持ち上げる。その状態（上昇した状態）で回転子１８を回転させると供給用カートリッジ３１の取出孔３５からモニタガラスＭＧが取り出される。このモニタガラスＭＧの取出時に回転子１８を６０°回転させて前記１個目のガラス保持部２０およびそれに保持されたモニタガラスＭＧを加熱用回転位置（下降ステーションＳ３）に移動させる。加熱用回転位置Ｓ３において回転子１８を下降させて、１個目のモニタガラスＭＧを保持するガラス保持部２０を加熱位置に下降させる。
【０００４】
前記下降した加熱位置で１個目のガラス保持部２０およびそれに支持されたモニタガラスＭＧを加熱した後に回転子１８を６０°回転させると、１個目のガラス保持部２０が上昇位置Ｓ４に移動すると同時に２個目のガラス保持部２０が供給用カートリッジ３１の下方位置（上昇ステーションＳ２）に移動する。その状態で回転子１８を上昇させて２個目のガラス保持部２０により供給用カートリッジ３１内に重ねて保持されたモニタガラスＭＧの一番下に配置されたモニタガラスＭＧを持ち上げる。
その状態（上昇状態）で回転子１８を６０°回転させると、前記２個目のガラス保持部２０は供給用カートリッジ３１の取出孔３５から前記持ち上げたモニタガラスＭＧを取出して加熱用回転位置（下降ステーションＳ３）に移動すると同時に１個目のガラス保持部２０はモニタステーション（モニタ用回転位置、下降ステーション）に移動する。その状態で前記回転子１８を下降させて、１個目および２個目のガラス保持部２０に保持された各モニタガラスＭＧを下降させる。この下降時に、１個目のガラス保持部２０に保持されたモニタガラスＭＧはモニタ位置（成膜位置）に下降すると同時に２個目のガラス保持部２０に保持されたモニタガラスＭＧが加熱位置に下降する。
【０００５】
前記下降した成膜位置（モニタ位置）において、１個目のモニタガラスＭＧに成膜が行われる時にその成膜状態が観察される。成膜状態の観察は前記成膜位置のモニタガラスＭＧに上方から検知光を照射し、モニタガラスＭＧに形成された成膜からの反射光を計測する光学式厚膜モニタ５０（公報第６図参照）により観察する。またこのとき、同時に２個目のガラス保持部２０に保持されたモニタガラスＭＧの加熱が行われる。前記成膜が終了すると、回転子１８は下降位置において６０°回転する。前記６０°回転した時、１個目のガラス保持部２０は上昇ステーションＳ６に移動し、２個目のガラス保持部２０は上昇ステーションＳ４に移動し、３個目のガラス保持部２０は上昇ステーション（供給用カートリッジ３１の下方位置）Ｓ２に移動する。
【０００６】
その状態で回転子１８を上昇させると３個目のガラス保持部２０は供給用カートリッジ３１内に重ねて保持されたモニタガラスＭＧの一番下のモニタガラスＭＧを持ち上げる。その状態（上昇した状態）で回転子１８が６０°回転すると、３個目のガラス保持部２０は、前記持ち上げたモニタガラスＭＧを取出して加熱用回転位置（下降ステーションＳ３）に移動すると同時に２個目のガラス保持部２０はモニタステーション（モニタ用回転位置、下降ステーション）に移動する。このとき、同時に１個目のガラス保持部２０は戻入れカートリッジ３２の下端の戻入れ口３７から成膜済のモニタガラスＭＧを前記戻入れカートリッジ３２の下端内部に戻し入れる。
【０００７】
（Ｂ）図１０に示すモニタガラス交換装置
図１０はモニタガラス交換装置の従来例の概略説明図である。
図１１は前記図１０に示す従来のモニタガラス交換装置の要部詳細説明図で、図１１Ａは成膜上方位置Ａ１に移動している昇降装置にモニタガラスを搬送する供給用スライダの斜視図、図１１Ｂはモニタガラスを保持した昇降装置が成膜位置Ａ２に移動した状態を示す図である。
図１２は前記図１０に示す従来のモニタガラス交換装置の要部詳細説明図で、図１２Ａは成膜上方位置Ａ１の少し上方に移動している昇降装置に保持されているモニタガラスの下方に移動した排出用スライダの斜視図、図１２Ｂはモニタガラスを保持した昇降装置が前記図１２Ａの位置から少し下方の成膜上方位置Ａ１に移動した状態を示す図、図１２Ｃはモニタガラスを保持した排出用スライダが排出用カートリッジ下方に移動した状態で持ち上げ装置がモニタガラスを持ち上げている状態を示す図である。
【０００８】
図１０に示す従来のモニタガラス交換装置は、成膜上方位置Ａ１とその下方の成膜位置Ａ２との間でモニタガラスＭＧを搬送する昇降装置０１の両側に、モニタガラスＭＧを重ねて収容する供給用カートリッジ０２および排出カートリッジ０３が設けられている。供給用カートリッジ０２は、その下端から重力を利用して図示しない供給機構により供給用スライダ０４にモニタガラスＭＧを供給する。
図１１Ａにおいて、供給用スライダ０４は、アクチュエータ０５により移動してモニタガラスＭＧを成膜上方位置Ａ１の昇降装置０１下端の複数の爪０１ａの上方に搬送する。昇降装置０１は前記モニタガラスＭＧを成膜上方位置Ａ１からその下方の成膜位置Ａ２（図１１Ｂ参照）に搬送する。
前記成膜位置Ａ２においてモニタガラスＭＧに成膜が行われる時にその成膜状態が観察される。成膜およびその状態の観察の終了後、モニタガラスＭＧは昇降装置０１により成膜位置Ａ２から成膜上方位置Ａ１（図１２Ａ参照）に搬送される。成膜上方位置Ａ１に搬送されたモニタガラスＭＧの下方に、アクチュエータ０６により排出用スライダ０７が移動する。その状態で昇降装置０１が下方に移動すると、図１２Ｂに示すように、モニタガラスＭＧが排出用スライダ０７に保持される。
【０００９】
モニタガラスＭＧを保持した排出用スライダ０７がアクチュエータ０６により排出用カートリッジ０３下方に移動する（図１２Ｃ参照）。排出用カートリッジ０３下方に移動した排出用カートリッジ０３のモニタガラスＭＧは、図示しない昇降機構により昇降する持ち上げ部材０８により排出用カートリッジ０３内にその下端から押し込まれて排出される。
【００１０】
【特許文献１】特開平４−４１６７１号公報（公報第７頁の上段右欄下から第５行〜第８頁上段左欄第７行の記載、図１、図２、図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
（前記従来技術（Ａ），（Ｂ）の問題点）
前記従来技術では次の問題点がある。
（１）モニタガラスＭＧを交換するのに要するモニタガラスＭＧの移動距離が長く、移動中に引っ掛かったりして移動できなくなるトラブルが発生し易い。
（２）モニタガラスＭＧの交換に要する時間が長くなる。
（３）供給用カートリッジの高さにより収容可能なモニタガラスＭＧの数が制限されるので、供給可能なモニタガラス量が少ない。
【００１２】
本発明は、前述の事情に鑑み、次の記載内容（Ｏ01）〜（Ｏ04）を技術的課題とする。
（Ｏ01）モニタガラスを正確に交換できるようにすること。
（Ｏ02）モニタガラスを交換する際のモニタガラスの移動距離を短縮すること。
（Ｏ03）モニタガラスの交換に要する時間を短縮すること。
（Ｏ04）供給用カートリッジの高さを高くすることなく、モニタガラスの連続供給量を増加させること。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
次に、前記課題を解決した本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。なお、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではない。
【００１４】
（第１発明）
前記課題を解決するために、第１発明のモニタガラス交換装置（２）は、下記の構成要件Ａ01）〜（Ａ03）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01）上方から供給されたモニタガラス（ＭＧ）を保持するガラスホルダ（１６）であって、前記ガラスホルダ（１６）により保持された前記モニタガラス（ＭＧ）の下面が真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置に保持されるように配置された前記ガラスホルダ（１６）と、前記ガラスホルダ（１６）に保持されたモニタガラス（ＭＧ）を上方に持ち上げ可能なガラスリフト部材（１７）とを有するモニタガラス保持装置（Ｕ）、
（Ａ02）前記モニタガラス保持装置（Ｕ）の上方に配置された回転テーブル（４）に支持され且つ前記回転テーブル（４）の回転時に前記ガラスホルダ（１６）の上方に移動可能に支持されたモニタガラス供給装置（８）であって、前記ガラスホルダ（１６）の上方に移動した状態で前記ガラスホルダ（１６）上にモニタガラス（ＭＧ）を供給する前記モニタガラス供給装置（８）、
（Ａ03）前記回転テーブル（４）に支持され且つ前記回転テーブル（４）の回転時に前記ガラスホルダ（１６）の上方に移動可能に支持された排出ガラス収容装置（９）であって、円板状の複数のモニタガラス（ＭＧ）を重ねた状態で収容可能な排出用カートリッジ（２６）と、前記排出用カートリッジ（２６）内に重ねて収容されたモニタガラス（ＭＧ）の中の一番下に配置されたモニタガラス（ＭＧ）の下面を保持して前記一番下のモニタガラス（ＭＧ）の下方への通過を禁止するとともに前記排出用カートリッジ（２６）の下方から排出用カートリッジ（２６）内にモニタガラス（ＭＧ）が押し込まれた際には前記モニタガラス（ＭＧ）の上方への通過を許容する下方通過禁止部材（２９）とを有する前記排出ガラス収容装置（９）。
【００１５】
（第１発明の作用）
前記構成を備えた第１発明のモニタガラス交換装置（２）では、モニタガラス保持装置（Ｕ）の上方に配置された回転テーブル（４）に支持されたモニタガラス供給装置（８）は、前記回転テーブル（４）の回転時に前記ガラスホルダ（１６）の上方に移動し、前記ガラスホルダ（１６）の上方に移動した状態で前記ガラスホルダ（１６）上にモニタガラス（ＭＧ）を供給する。モニタガラス保持装置（Ｕ）のガラスホルダ（１６）は、上方から供給されたモニタガラス（ＭＧ）を保持し、且つ前記モニタガラス（ＭＧ）の下面が真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置に保持する。その状態で回転テーブル（４）を回転させてモニタガラス供給装置（８）をガラスホルダ（１６）の上方から移動させる。
【００１６】
その状態でモニタガラス（ＭＧ）に成膜が行われると、成膜状態をモニタすることができる。前記モニタガラス（ＭＧ）への成膜のモニタ作業が終了すると、前記回転テーブル（４）に支持された排出ガラス収容装置（９）は、前記回転テーブル（４）の回転時に前記ガラスホルダ（１６）の上方に移動する。前記排出ガラス収容装置（９）の排出用カートリッジ（２６）は円板状の複数のモニタガラス（ＭＧ）を重ねた状態で収容可能である。排出ガラス収容装置（９）の下方通過禁止部材（２９）は、前記排出用カートリッジ（２６）内に重ねて収容されたモニタガラス（ＭＧ）の中の一番下に配置されたモニタガラス（ＭＧ）の下面を保持して前記一番下のモニタガラス（ＭＧ）の下方への通過を禁止するとともに前記排出用カートリッジ（２６）の下方から排出用カートリッジ（２６）内にモニタガラス（ＭＧ）が押し込まれた際には前記モニタガラス（ＭＧ）の上方への通過を許容する。
【００１７】
前記ガラスホルダ（１６）の上方に排出ガラス収容装置（９）が移動した状態で、前記モニタガラス保持装置（Ｕ）のガラスリフト部材（１７）は、前記ガラスホルダ（１６）に保持されたモニタガラス（ＭＧ）を上方に持ち上げる。このとき、ガラスホルダ（１６）に保持されていたモニタガラス（ＭＧ）は排出用カートリッジ（２６）の下端から排出用カートリッジ（２６）内に排出される。
前記排出ガラス収容装置（９）をガラスホルダ（１６）の上方から移動させてから、ガラスホルダ（１６）の上方にモニタガラス供給装置（８）を移動させて、新しいモニタガラス（ＭＧ）をガラスホルダ（１６）に供給することができる。
【００１８】
（第２発明）
前記課題を解決するため、第２発明のモニタガラス保持装置（Ｕ）は、下記の構成要件（Ａ01a），（Ａ01b）を備えたことを特徴とする。
（Ａ01a）上方から供給されたモニタガラス（ＭＧ）をその下面が真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置に配置されるように保持するガラスホルダ（１６）、
（Ａ01b）前記ガラスホルダ（１６）に保持されたモニタガラス（ＭＧ）を上方に持ち上げる上昇位置と、前記モニタガラス（ＭＧ）が前記ガラスホルダ（１６）に保持される待機位置との間で移動可能なガラスリフト部材（１７）。
【００１９】
（第２発明の作用）
前記構成を備えた第２発明のモニタガラス保持装置（Ｕ）では、ガラスホルダ（１６）は、上方から供給されたモニタガラス（ＭＧ）をその下面が真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置に配置されるように保持する。前記ガラスホルダ（１６）に保持されたモニタガラス（ＭＧ）を上方に持ち上げる上昇位置と、前記モニタガラス（ＭＧ）が前記ガラスホルダ（１６）に保持される待機位置との間で移動可能なガラスリフト部材（１７）は、待機位置から上昇位置に移動したときに、ガラスホルダ（１６）に保持されたモニタガラス（ＭＧ）を上方に持ち上げる。したがって、ガラスホルダ（１６）の上方に排出ガラス収容装置（９）の排出用カートリッジ（２６）が移動した状態において、ガラスホルダ（１６）に保持されたモニタガラス（ＭＧ）を持ち上げることにより、前記排出用カートリッジ（２６）内にモニタガラス（ＭＧ）を排出することができる。
【００２０】
前記第２発明のモニタガラス保持装置（Ｕ）において、次の構成要件（Ａ01c）を備えることが可能である。
（Ａ01c）前記回転テーブル（４３）の回転時に上方からモニタガラス（ＭＧ）が供給される供給位置（Ｐ１）と、前記モニタガラス（ＭＧ）が前記成膜位置に保持される観察位置（Ｐ０）と、モニタガラス（ＭＧ）を上方に持ち上げて排出する排出位置（Ｐ２）とに回転移動するように、回転テーブル（４３）により支持された前記ガラスホルダ（１６）。
前記構成要件（Ａ01c）を備えたモニタガラス保持装置（Ｕ）では、回転テーブル（４３）により支持された前記ガラスホルダ（１６）は、供給位置（Ｐ１）に回転移動した時に上方からモニタガラス（ＭＧ）が供給され、観察位置（Ｐ０）に回転移動した時に前記モニタガラス（ＭＧ）が前記成膜位置に保持される。前記観察位置（Ｐ０）において、モニタガラス（ＭＧ）に成膜が行われ、膜厚の観察が行われる。成膜および観察済のモニタガラス（ＭＧ）はガラスホルダ（１６）が排出位置（Ｐ２）とに回転移動した時に、上方に持ち上げられて、排出される。
【００２１】
（第３発明）
前記課題を解決するため、第３発明のモニタガラス供給装置（８）は、下記の構成要件（Ａ02a）〜（Ａ02f）を備えたことを特徴とする。
（Ａ02a）円板状の複数のモニタガラス（ＭＧ）を重ねた状態で収容可能な供給用カートリッジ（２１）、
（Ａ02b）前記供給用カートリッジ（２１）の下端部に配置されるとともに、前記供給用カートリッジ（２１）内に重ねて収容されたモニタガラス（ＭＧ）の中の一番下に配置されたモニタガラス（ＭＧ）の下面を保持する保持位置と前記一番下のモニタガラス（ＭＧ）の下方への落下を許容する落下許容位置との間で移動可能且つ常時は前記保持位置に保持される複数の第１保持爪（２３）、
（Ａ02c）前記供給用カートリッジ（２１）の下端部に配置されるとともに、前記供給用カートリッジ（２１）内に重ねて収容されたモニタガラス（ＭＧ）の中の下から２番目に配置されたモニタガラス（ＭＧ）の下面を保持する保持位置と前記下から２番目のモニタガラス（ＭＧ）の下方への落下を許容する落下許容位置との間で移動可能且つ常時は前記落下許容位置に保持される複数の第２保持爪（２４）、
（Ａ02d）前記供給用カートリッジ（２１）の外側面において待機位置と作動位置との間に移動可能に支持され、常時は前記待機位置に保持され且つ前記作動位置に移動したときに前記第１保持爪（２３）を前記落下許容位置に移動させる第１作動部材（２２ｂ）、
（Ａ02e）前記供給用カートリッジ（２１）の外側面において待機位置と作動位置との間に移動可能に支持され、常時は前記待機位置に保持され且つ前記作動位置に移動したときに前記第２保持爪（２４）を前記保持位置に移動させる第２作動部材（２２ｃ）、
（Ａ02f）前記第１および第２作動部材（２２ｂ，２２ｃ）が待機位置に保持された状態において、前記第２作動部材（２２ｃ）を作動位置に移動させることにより前記第２保持爪（２４）を前記保持位置に移動させてから前記第１作動部材（２２ｂ）を前記作動位置に移動させることにより前記第１保持爪（２３）を前記落下許容位置に移動させるとともに、前記第１および第２作動部材（２２ｂ，２２ｃ）が前記作動位置に移動した状態において、前記第１作動部材（２２ｂ）を待機位置に移動させることにより前記第１保持爪（２３）を前記保持位置に移動させてから、前記第２作動部材（２２ｃ）を待機位置に移動させることにより第２保持爪（２４）を前記落下許容位置に移動させる作動部材作動機構（１１〜１５）。
【００２２】
（第３発明の作用）
前記構成を備えた第３発明のモニタガラス供給装置（８）では、供給用カートリッジ（２１）は、円板状の複数のモニタガラス（ＭＧ）を重ねた状態で収容する。
前記供給用カートリッジ（２１）の下端部に配置された複数の第１保持爪（２３）は、前記供給用カートリッジ（２１）内に重ねて収容されたモニタガラス（ＭＧ）の中の一番下に配置されたモニタガラス（ＭＧ）の下面を保持する保持位置と前記一番下のモニタガラス（ＭＧ）の下方への落下を許容する落下許容位置との間で移動可能であり、常時は前記保持位置に保持される。
前記供給用カートリッジ（２１）の下端部に配置され複数の第２保持爪（２４）は、前記供給用カートリッジ（２１）内に重ねて収容されたモニタガラス（ＭＧ）の中の下から２番目に配置されたモニタガラス（ＭＧ）の下面を保持する保持位置と前記下から２番目のモニタガラス（ＭＧ）の下方への落下を許容する落下許容位置との間で移動可能であり常時は前記落下許容位置に保持される。
前記供給用カートリッジ（２１）の外側面において待機位置と作動位置との間に移動可能に支持され、常時は前記待機位置に保持された第１作動部材（２２ｂ）は、前記作動位置に移動したときに前記第１保持爪（２３）を前記落下許容位置に移動させる。
前記供給用カートリッジ（２１）の外側面において待機位置と作動位置との間に移動可能に支持され、常時は前記待機位置に保持された第２作動部材（２２ｃ）は、前記作動位置に移動したときに前記第２保持爪（２４）を前記保持位置に移動させる。
【００２３】
前記第１および第２作動部材（２２ｂ，２２ｃ）は常時は待機位置に保持され、その状態において常時は保持位置に保持される第１保持爪（２３）は、前記供給用カートリッジ（２１）内に重ねて収容されたモニタガラス（ＭＧ）の中の一番下に配置されたモニタガラス（ＭＧ）の下面を保持する。このとき、常時は落下許容位置に保持される第２保持爪（２４）は落下許容位置に保持される。
作動部材作動機構（１１〜１５）は、前記第１および第２作動部材（２２ｂ，２２ｃ）が待機位置に保持された状態において、前記第２作動部材（２２ｃ）を作動位置に移動させることにより前記第２保持爪（２４）を前記保持位置に移動させてから前記第１作動部材（２２ｂ）を前記作動位置に移動させることにより前記第１保持爪（２３）を前記落下許容位置に移動させる。このとき、前記第２保持爪（２４）が前記保持位置に移動して、前記供給用カートリッジ（２１）内に重ねて収容されたモニタガラス（ＭＧ）の中の下から２番目に配置されたモニタガラス（ＭＧ）の下面を保持した状態で、前記第１保持爪（２３）が前記落下許容位置に移動する。このとき、供給用カートリッジ（２１）内の下から１番目に配置されたモニタガラス（ＭＧ）が下方に落下する。
【００２４】
作動部材作動機構（１１〜１５）は、前記第１および第２作動部材（２２ｂ，２２ｃ）が前記作動位置に移動した状態において、前記第１作動部材（２２ｂ）を待機位置に移動させることにより前記第１保持爪（２３）を前記保持位置に移動させてから、前記第２作動部材（２２ｃ）を待機位置に移動させることにより第２保持爪（２４）を前記落下許容位置に移動させる。このとき、前記第１保持爪（２３）が前記保持位置に移動した状態で、前記第２保持爪（２４）が前記落下許容位置に移動する。このとき、前記第２保持爪（２４）に保持されていた前記下から２番目よりも上に保持されていたモニタガラス（ＭＧ）は下方へ落下して、前記保持位置に移動していた第１保持爪（２３）に保持される。
【００２５】
（第４発明)
前記課題を解決するため、第４発明の排出ガラス収容装置（９）は、下記の構成要件（Ａ03a），（Ａ03b）を備えたことを特徴とする。
（Ａ03a）真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置にモニタガラス（ＭＧ）の下面が保持されるように前記モニタガラス（ＭＧ）を保持するガラスホルダ（１６）と、前記ガラスホルダ（１６）に保持されたモニタガラス（ＭＧ）を上方に持ち上げる上昇位置および前記モニタガラス（ＭＧ）が前記ガラスホルダ（１６）に保持される待機位置の間で移動可能なガラスリフト部材（１７）とを有するモニタガラス保持装置（Ｕ）の上方で回転する回転テーブル（４）に支持されるとともに、前記回転テーブル（４）の回転時に、前記ガラスホルダ（１６）の上方に移動し且つ円板状の複数のモニタガラス（ＭＧ）を重ねた状態で収容可能な排出用カートリッジ（２６）、
（Ａ03b）前記排出用カートリッジ（２６）内に重ねて収容されたモニタガラス（ＭＧ）の中の一番下に配置されたモニタガラス（ＭＧ）の下面を保持して前記一番下のモニタガラス（ＭＧ）の下方への通過を禁止するとともに、前記排出用カートリッジ（２６）の下方から排出用カートリッジ（２６）内にモニタガラス（ＭＧ）が押し込まれた際には前記モニタガラス（ＭＧ）の上方への通過を許容する下方通過禁止部材（２９）。
【００２６】
（第４発明の作用)
前記構成を備えた第４発明の排出ガラス収容装置（９）では、排出用カートリッジ（２６）を支持する回転テーブル（４）は、真空チャンバ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置にモニタガラス（ＭＧ）の下面が保持されるように前記モニタガラス（ＭＧ）を保持するガラスホルダ（１６）と、前記ガラスホルダ（１６）に保持されたモニタガラス（ＭＧ）を上方に持ち上げる上昇位置および前記モニタガラス（ＭＧ）が前記ガラスホルダ（１６）に保持される待機位置の間で移動可能なガラスリフト部材（１７）とを有するモニタガラス保持装置（Ｕ）の上方で回転する。
前記円板状の複数のモニタガラス（ＭＧ）を重ねた状態で収容可能な排出用カートリッジ（２６）は、前記回転テーブル（４）の回転時に、前記ガラスホルダ（１６）の上方に移動する。
下方通過禁止部材（２９）は、前記排出用カートリッジ（２６）内に重ねて収容されたモニタガラス（ＭＧ）の中の一番下に配置されたモニタガラス（ＭＧ）の下面を保持して前記一番下のモニタガラス（ＭＧ）の下方への通過を禁止するとともに、前記排出用カートリッジ（２６）の下方から排出用カートリッジ（２６）内にモニタガラス（ＭＧ）が押し込まれた際には前記モニタガラス（ＭＧ）の上方への通過を許容する。
したがって、排出用カートリッジ（２６）が前記ガラスホルダ（１６）の上方に移動した状態において、モニタガラス保持装置（Ｕ）のガラスリフト部材（１７）が前記ガラスホルダ（１６）に保持される待機位置から上昇位置に移動して、前記ガラスホルダ（１６）に保持されたモニタガラス（ＭＧ）を上方に持ち上げると、持ち上げられたモニタガラス（ＭＧ）は排出用カートリッジ（２６）に排出され収容される。
【発明の効果】
【００２７】
前述の本発明のモニタガラス交換装置、モニタガラス保持装置、モニタガラス供給装置または、排出ガラス収容装置は、下記の効果（Ｅ01）〜（Ｅ04）を奏することができる。
（Ｅ01）モニタガラスを正確に交換することができる。
（Ｅ02）モニタガラスを交換する際のモニタガラスの移動距離を短縮することができる。
（Ｅ03）モニタガラスの交換に要する時間を短縮することができる。
（Ｅ04）供給用カートリッジの高さを高くすることなく、モニタガラスの連続供給量を増加させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
次に図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではない。
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１のモニタガラス交換装置の説明図で、図１Ａは側断面図で図１ＢのＩＡ−ＩＡ線断面図、図１Ｂは平断面図で図１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図である。
図２は前記図１のモニタガラス交換装置の説明図で、図２Ａは前記図１ＢのIIＡ−IIＡ線断面図、図２Ｂは前記図１Ｂと同一の平断面図である。
図３は前記図２のモニタガラス交換装置の回転テーブルが回転してモニタガラス供給装置が観察位置に回転移動した状態の説明図で、図３Ａは側断面図て図３ＢのIIIＡ−IIIＡ線断面図、図３Ｂは平断面図である。
図１〜図４において、真空中でシリコンウエハ（図示せず）の表面に成膜するための真空成膜室Ｒを形成する成膜室上壁１の上にモニタガラス交換装置２が設置されている。真空成膜室Ｒは、シリコンウエハ（図示せず）表面に真空中で薄膜を形成するため（成膜するため）に使用される。前記モニタガラス交換装置２は、前記シリコンウエハと同一の膜を形成してその膜をモニタするために前記真空成膜室Ｒの上壁１の開口部に配置されるモニタガラスＭＧを交換する装置である。
【００２９】
モニタガラス交換装置２は、外壁３を有しており、外壁３は円板状の底壁３ａおよび頂壁３ｂと、円筒壁３ｃとを有しており、外壁３の内部は前記真空成膜室Ｒに連通して真空に保持される。外壁３の内部には回転テーブル４が配置されており、回転テーブル４の軸部分４ａは下方に突出しており、ベアリング６により回転可能に支持されている。
図２、図３において、前記頂壁３ｂの上面には回転テーブル４を駆動するためのモータＭが支持されており、モータＭの出力軸Ｍａに連結された回転軸Ａは前記頂壁３ｂを貫通してその下端は回転テーブル４に連結されている。前記頂壁３ｂを貫通する回転軸Ａは磁性流体シールＳによりシールされている。そして、モータＭが回転すると、テーブル４が回転するように構成されている。
【００３０】
図４はモニタガラス供給装置が観察位置に移動した状態の拡大説明図で、図４Ａは前記図３Ａの要部拡大図、図４Ｂは前記図４Ａの矢印IＶＢから見た図である。
図１〜図４において、回転テーブル４には、３個の観察窓７が円周方向に１２０°離れた位置に形成されており、３個の各観察窓７の両側にはモニタガラス供給装置８および排出ガラス収容装置９がそれぞれ支持されている。前記観察窓７、モニタガラス供給装置８および排出ガラス収容装置９はそれぞれ、回転テーブル４の回転時に観察位置に順次移動するように配置されている。外壁３の底壁３ａには、前記観察位置に対応して真空成膜室Ｒと連通する成膜用開口３ｄが形成されている。
前記成膜用開口３ｄの上方の頂壁３ｂには観察用透光ガラス３ｅが装着されており、その上方には光学式厚膜モニタ１０が配置されている。光学式厚膜モニタ１０は、前記観察用透光ガラス３ｅを透過する検知光を、前記成膜用開口３ｄの上側に支持したモニタガラスＭＧ（後述）に照射し、モニタガラスＭＧに形成された膜からの反射光を計測することにより成膜の膜厚をモニタする。
【００３１】
図５は本実施の形態１で使用する作動部材作動機構の斜視図である。
図４、図５において、前記外壁３の円筒壁３ｃの外側にはエアシリンダ１１が装着されており、エアシリンダ１１の伸縮可能な作動ロッド１２の前端部は前記円筒壁３ｃの内側に延びている。前記作動ロッド１２に固着した円形プレート１２ａと円筒壁３ｃの外側面との間には、円筒壁３ｃ内を気密に保持するためのベローズＢが設けられている。
前記円筒壁３ｃの内側には、Ｕ字状に配置された一対のアーム１３ａ，１３ａを有する回動部材１３が軸１３ｂ回りに回動可能に支持されている。前記回動部材１３には前記作動ロッド１２の先端が当接する被当接部１３ｃが設けられている。回動部材１３はバネＢ１（図５参照）により先端部が常時上方に傾斜した状態に保持されている。
【００３２】
図５において、前記回動部材１３の先端部分には、リング状押圧部材１４が軸１４ａ回りに回動可能に支持されており、前記回動部材１３に設けたピン１３ｄとリング状押圧部材１４に設けたピン１４ｂ，１４ｂとの間とは引張バネＢ２，Ｂ２により連結されている。前記引張バネＢ２，Ｂ２は前記リング状押圧部材１４の前記軸１４ａ回りの姿勢を中立状態に保持させる機能を有している。
前記作動ロッド１２の先端は前記回動部材１３の被当接部１３ｃに当接しており、作動ロッド１２が伸長すると前記被当接部１３ｃが押されて、回動部材１３の先端部が下方に回動し、そのときリング状押圧部材１４が下方に移動するように構成されている。
前記符号１１〜１５で示された要素により、作動部材作動機構（１１〜１５）が構成されている。作動部材作動機構（１１〜１５）については後述する。
【００３３】
図６はモニタガラス供給装置の説明図で、図６Ａは上面図、図６Ｂは供給用カートリッジ下端部の第１保持爪を示す部分の側断面図で前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線断面図、図６Ｃは前記図６Ａと同じ上面図、図６Ｄは供給用カートリッジ下端部の第２保持爪を示す部分の側断面図で前記図６ＣのＶIＤ−ＶIＤ線断面図である。
図４Ａ、図６において、前記リング状押圧部材１４の下方に配置された前記成膜用開口３ｄの上側にはモニタガラス保持装置Ｕが固定配置されている。モニタガラス保持装置Ｕはガラスホルダ１６と一対の回動爪（ガラスリフト部材）１７，１７とを有している。ガラスホルダ１６は上端が開口する円筒部１６ａと前記円筒部１６ａの下端に設けた底部１６ｂとを有し、前記底部１６ｂには貫通孔１６ｃが形成されている。
前記円筒部１６ａには中心線を挟んで対向する位置に回動爪（ガラスリフト部材）１７，１７が軸１７ａ，１７ａ回りに回動可能に支持されており、回動爪１７の上部１７ｂは上方且つ前記中心線から離れる方向に延びている。回動爪１７の下部１７ｃは下方且つ前記中心線に近づく方向に延びている。したがって、回動爪上部１７ｂを下方に押圧すると、回動爪下部１７ｃは上方に回動するように構成されている。
前記ガラスホルダ１６の底部１６ｂに円板状のモニタガラスＭＧが載置されている状態で、前記回動爪下部１７ｃが上方に回動した場合には、前記モニタガラスＭＧは上方に持ち上げられるようになっている。
前記ガラスホルダ１６および一対の回動爪（ガラスリフト部材）１７によりモニタガラス保持装置（Ｕ）が構成されている。
【００３４】
前記モニタガラス供給装置８は、円筒状の内部に円板状のモニタガラスＭＧを重ねて収容可能に構成された供給用カートリッジ２１と前記供給用カートリッジ２１の外側面に設けた一対のスライドレール２２とを有している。一対のスライドレール２２は、供給用カートリッジ２１の軸に対称な位置で上下方向に延びて配置されており、上端には外側折曲部２２ａが設けられている。
前記スライドレール２２と供給用カートリッジ２１との間には引張バネＢ３が設けられており、前記引張バネＢ３により前記スライドレール２２は常時上方に移動した状態に保持されている。
【００３５】
図４において、前記回転テーブル４が回転して、モニタガラス供給装置８が前記成膜用開口３ｄの上方位置（観察位置）に移動すると、モニタガラス供給装置８の供給用カートリッジ２１の上端は前記リング状押圧部材１４下方に配置され、下端は前記成膜用開口３ｄ上側のガラスホルダ１６の上側に配置される。
図６において、スライドレール２２の下端部には、下方に突出する第１作動部材２２ｂおよび第２作動部材２２ｃが連結されており、第１作動部材２２ｂおよび第２作動部材２２ｃはスライドレール２２と一体的に上下動する。
また、前記円筒状のモニタガラス供給装置８の下端部には中心線を挟んで対向する位置にそれぞれ、第１保持爪２３および第２保持爪２４が配置されている。前記対向する各位置に配置された第１保持爪２３および第２保持爪２４は隣接して配置されており同一軸２３ａ（図６Ｂ、図６Ｄ参照）回りに回転可能に支持されている。
【００３６】
図６Ｂ、図６Ｄにおいて、スライドレール２２，２２が上昇位置に有る場合には、第１保持爪２３，２３（図６Ｂ参照）および第２保持爪２４，２４（図６Ｄ参照）は、重力により実線で示す回転位置に保持されている。
前記図４においてエアシリンダ１１の作動ロッド１２が伸長すると前記被当接部１３ｃが押されて、回動部材１３の先端部が下方に回動してリング状押圧部材１４が下方に移動すると、前記スライドレール２２，２２の上端が下方に押圧されて下降する。
【００３７】
図６において、前記スライドレール２２，２２が下降すると、最初に第２作動部材２２ｃ，２２ｃが第２保持爪２４，２４（図６Ｄ参照）に当接して、第２保持爪２４，２４を図６Ｄの実線で示す落下許容位置から２点さ線で示す保持位置に回動させる。このとき、第２保持爪２４，２４は供給用カートリッジ２１の下端部に形成されたスリットから供給用カートリッジ２１内部に進入し、下から２番目に収容されたモニタガラスＭＧ下面に当接するように構成されている。
前記スライドレール２２，２２がさらに下降すると、今度は第１作動部材２２ｂ，２２ｂが第１保持爪２３，２３（図６Ｂ参照）に当接して、第１保持爪２３，２３を図６Ｂの実線で示す保持位置から２点さ線で示す落下許容位置に回動させる。このとき、第１保持爪２３，２３は供給用カートリッジ２１の下端部から外側に移動して供給用カートリッジ２１内部の下から１番目に収容されたモニタガラスＭＧが下方のガラスホルダ１６の底部１６ｂに落下する。
【００３８】
前記スライドレール２２，２２は前記引張バネＢ３により常時上方位置に保持されておりそのとき、前記第１および第２作動部材２２ｂ，２２ｃが待機位置に保持されている。
前記作動部材作動機構（１１〜１５）のエアシリンダ１１の作動ロッド１２が伸長すると前記被当接部１３ｃが押されて、回動部材１３の先端部が下方に回動してリング状押圧部材１４が下方に移動すると、前記引張バネＢ３，Ｂ３により常時上方位置に保持されている前記スライドレール２２，２２の上端が下方に押圧されて下降する。このスライドレール２２，２２の下降に伴い、前記第１および第２作動部材２２ｂ，２２ｂおよび２２ｃ，２２ｃが下降する。このとき、前記第２作動部材２２ｃの作動位置（下方位置）への移動により前記第２保持爪２４が前記保持位置（図６Ｄの２点鎖線参照）に移動してから前記第１作動部材２２ｂの前記作動位置（下方位置）への移動により前記第１保持爪２３が前記落下許容位置（図６Ｂの２点鎖線位置）に移動する。
前記第２保持爪２４が前記保持位置（図６Ｄの２点鎖線位置）に移動した時に第２保持爪２４により下から２番目のモニタガラスＭＧは保持される。また、前記第１保持爪２３が前記落下許容位置（図６Ｂの２点鎖線位置）に移動したときに、前記第２保持爪２４により保持されていた下から２番目より上のモニタガラスＭＧは下方に落下しないが、前記第１保持爪２３により保持されていた一番下のモニタガラスＭＧは下方に落下する。
【００３９】
また、前記第１および第２作動部材２２ｂ，２２ｃが前記作動位置（下方位置）に移動した状態において、前記エアシリンダ１１の作動ロッド１２が収縮して前記被当接部１３ｃから離れると、前記被当接部１３ｃを有する回動部材１３がバネＢ１（図５参照）により元の位置に復帰する。このとき、回動部材１３の先端部が上方に回動してリング状押圧部材１４が上方に移動する。このとき、前記引張バネＢ３，Ｂ３により、前記スライドレール２２，２２および第１および第２作動部材２２ｂ，２２ｃが上昇して、第１作動部材および第２作動部材２２ｂ，２２ｃは待機位置（上昇位置）に移動する。
このとき、前記第１および第２作動部材２２ｂ，２２ｃが待機位置に移動することにより前記第１保持爪２３が前記保持位置（図６Ｂの実線位置）に移動してから、第２保持爪２４が前記落下許容位置（図６Ｄの実線位置）に移動する。このとき、第２保持爪２４により保持されていたモニタガラスＭＧは前記保持位置（図６Ｂの実線位置）に移動している第１保持爪２３により保持されるので、下方に落下しない。
【００４０】
図７は、排出ガラス収容装置が観察位置に移動した状態の拡大説明図で、図７Ａは要部拡大側断面図、図７Ｂは前記図７Ａの矢印ＶIIＢから見た図である。
図８は排出ガラス収容装置の説明図で、図８Ａは排出ガラス収容装置の上面図、図８Ｂはガラスホルダの回動爪下部が下方に回動している状態を示す側断面図、図８Ｃはガラスホルダの回動爪下部が上方に回動している状態を示す側断面図である。
図７、図８において、前記排出ガラス収容装置９は、円筒状の内部に円板状のモニタガラスＭＧを重ねて収容可能に構成された排出用カートリッジ２６と前記排出用カートリッジ２６の外側面に設けた一対のスライドレール２７とを有している。一対のスライドレール２７は、排出用カートリッジ２６の軸に対称な位置で上下方向に延びて配置されており、上端には外側折曲部２７ａが設けられている。
前記スライドレール２７と排出用カートリッジ２６との間には引張バネ２８が設けられており、前記引張バネ２８により前記スライドレール２７は常時上方に移動した状態に保持されている。
【００４１】
前記回転テーブル４が回転して、排出ガラス収容装置９が前記成膜用開口３ｄの上方位置（観察位置）に移動すると、排出ガラス収容装置９の排出用カートリッジ２６の上端は前記リング状押圧部材１４下方に配置され、下端は前記成膜用開口３ｄ上側のガラスホルダ１６の上側に配置される。
スライドレール２７の下端部には、下方に突出する作動部材２７ｂが連結されており、作動部材２７ｂはスライドレール２７と一体的に上下動する。
また、前記円筒状の排出ガラス収容装置９の下端部の内周面には、排出用カートリッジ２６内に重ねて収容されたモニタガラスＭＧの中の一番下に配置されたモニタガラスＭＧの下面を保持して前記一番下のモニタガラスの下方への通過を禁止するとともに、前記排出ガラス収容装置９の下方から排出ガラス収容装置９内にモニタガラスＭＧが押し込まれた際には前記モニタガラスＭＧの上方への通過を許容する板バネにより構成された複数の下方通過禁止部材２９が設けられている。
【００４２】
図７、図８において、スライドレール２７，２７が上昇位置に有る場合には、ガラスホルダ１６の回動爪１７の下部１７ｃは、重力により図７、図８Ｂに示す待機位置に保持されている。
前記図７においてエアシリンダ１１の作動ロッド１２が伸長すると前記被当接部１３ｃが押されて、回動部材１３の先端部が下方に回動してリング状押圧部材１４が下方に移動すると、前記スライドレール２７，２７の上端が下方に押圧されて下降する。
【００４３】
前記スライドレール２７，２７が下降すると、作動部材２７ｂ，２７ｂが回動爪１７，１７に当接して、回動爪１７，１７を図８Ｂに示す待機位置から図８Ｃに示す上昇位置に回動させる。このとき、回動爪１７，１７はガラスホルダ１６の底部１６ｂに保持されたモニタガラスＭＧを持ち上げて、排出ガラス収容装置９の排出用カートリッジ２６の下端から内部に押し込む。このとき、排出用カートリッジ２６の下端部に設けられた下方通過禁止部材２９は弾性変形して、前記モニタガラスＭＧの上方への通過を許容する。モニタガラスＭＧが前記下方通過禁止部材２９を通過すると、弾性変形していた下方通過禁止部材２９は元の形状に復帰して、モニタガラスＭＧの上方から下方への通過を禁止する。
【００４４】
（実施の形態１の作用）
前記構成を備えた本発明の実施の形態１のモニタガラス交換装置では、ガラスホルダ（モニタガラス保持装置）１６の上方に配置された回転テーブル４に支持されたモニタガラス供給装置８は、前記回転テーブル４の回転時に前記ガラスホルダ１６の上方に移動する。モニタガラス供給装置８は、前記ガラスホルダ１６の上方に移動した状態で前記ガラスホルダ１６上にモニタガラスＭＧを落下させて供給する。ガラスホルダ１６は、上方から供給されたモニタガラスＭＧを保持し、且つ前記モニタガラスＭＧの下面が真空成膜室Ｒ内で成膜される基板と同等の成膜条件となる成膜位置に保持する。
前記モニタガラス供給装置８からガラスホルダ１６にモニタガラスＭＧを供給した後、回転テーブル４を回転させて、回転テーブル４に設けた観察窓７をガラスホルダ１６の上方位置（観察位置）に回転移動させる。
【００４５】
その状態でモニタガラスＭＧ下面に膜が形成される際、前記光学式膜厚モニタ１０から前記観察用透光ガラス３ｅを通過する検知光をモニタガラスＭＧの膜に入射させ、前記膜からの反射光を計測することにより膜厚をモニタする。前記モニタガラスＭＧへの成膜のモニタ作業が終了すると、前記回転テーブル４に支持された排出ガラス収容装置９は、前記回転テーブル４の回転時に前記ガラスホルダ１６の上方位置に移動する。
前記排出ガラス収容装置９の排出用カートリッジ２６は円板状の複数のモニタガラスＭＧを重ねた状態で収容可能である。排出ガラス収容装置９の排出用カートリッジ２６の下端部に設けた下方通過禁止部材２９は、前記排出ガラス収容装置９内に重ねて収容されたモニタガラスＭＧの中の一番下に配置されたモニタガラスＭＧの下面を保持して前記一番下のモニタガラスＭＧの下方への通過を禁止するとともに前記排出ガラス収容装置９の下方から排出ガラス収容装置９内にモニタガラスＭＧが押し込まれた際には前記モニタガラスＭＧの上方への通過を許容する。
【００４６】
したがって、前記ガラスホルダ１６の上方に排出ガラス収容装置９が移動した状態で、前記ガラスホルダ１６の回動爪（ガラスリフト部材）１７は、前記ガラスホルダ１６に保持されたモニタガラスＭＧを上方に持ち上げる。このとき、ガラスホルダ１６に保持されていたモニタガラスＭＧは排出用カートリッジ２６の下端からその内部に排出され、収容される。
次に、前記排出ガラス収容装置９を前記ガラスホルダ１６の上方から移動させて、ガラスホルダ１６の上方にモニタガラス供給装置８を移動させて、新しいモニタガラスＭＧをガラスホルダ１６に供給することができる。
【００４７】
前記実施の形態１のモニタガラス交換装置２では、回転テーブル４の回転により観察位置（成膜用開口３ｄの上方位置）にモニタガラス供給装置８が移動した状態で成膜用開口３ｄの上側に配置されたガラスホルダ１６にモニタガラスＭＧを供給し、観察窓７が移動した状態でガラスホルダ１６に保持されたモニタガラスＭＧに形成される膜厚をモニタし、排出ガラス収容装置９が移動した状態でガラスホルダ１６のモニタガラスＭＧを排出ガラス収容装置９に排出して収容させる。
【００４８】
前記モニタガラス交換装置２のモニタガラス交換作業は、図１Ｂから分かるように、回転テーブル４の回転によりモニタガラス供給装置８を観察位置に移動させ、次に観察窓７を観察位置に移動させ、次に排出ガラス収容装置９を観察位置に移動させる。すなわち回転テーブル４を回転させて、モニタガラス供給装置８、観察窓７、排出ガラス収容装置９を順次観察位置（成膜用開口３ｄの上方位置）に移動させることによりモニタガラス交換作業を行うことができる。そして、図１Ｂから分かるように、観察窓７の両側にモニタガラス供給装置８および排出ガラス収容装置９が配置されているので、回転テーブルの回転移動量を非常に少なくすることができる。このため、モニタガラスＭＧの交換作業を短時間で行うことができる。
また、回転テーブル４には３個のモニタガラス供給装置８および排出ガラス収容装置９が支持されているので、多数のモニタガラスＭＧの交換を連続して行うことができる。
【００４９】
（実施の形態２）
図９は本発明のモニタガラス交換装置の実施の形態２の説明図である。
図９の実施の形態２モニタガラスの交換装置の説明において、前記実施の形態１の構成要素に対応する構成要素には同一の符号を付して、重複する詳細な説明を省略する。
図９において、図示しない成膜室上壁に支持されたモニタガラス交換装置２は、外壁３を有している。外壁３の内部には、６個のモニタガラス供給装置８を支持する回転テーブル４１と、６個の排出ガラス収容装置９を支持する回転テーブル４２と、３個のガラスホルダ１６を支持する回転テーブル４３とが設けられている。
回転テーブル４３に支持された３個のガラスホルダ１６は、供給位置Ｐ１に移動した時にモニタガラス供給装置８からモニタガラスＭＧを供給され、観察位置Ｐ０に移動した時にモニタガラスＭＧ下面に成膜され、前記成膜の観察が行われる。成膜および成膜の観察が終了したモニタガラスＭＧは排出位置Ｐ２に移動した時に排出ガラス収容装置９に排出される。
この実施の形態２では、６個のモニタガラス供給装置８および６個の排出ガラス収容装置９を使用しているので、前記実施の形態１に比較して、さらに多数のモニタガラスＭＧの供給、排出を連続して実行することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
（変更例）
以上、本発明の実施の形態を詳述したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更実施の形態を下記に例示する。
（Ｈ01）前記実施の形態２では、６個のモニタガラス供給装置８を支持する回転テーブル４１と、６個の排出ガラス収容装置９を支持する回転テーブル４２と、３個のガラスホルダ１６を支持する回転テーブル４３とが設けられているが、６個の排出ガラス収容装置９を支持する回転テーブル４２を省略して前記回転テーブル４１に３個のモニタガラス供給装置８および３個の排出ガラス収容装置を支持することが可能である。その場合、モニタガラス供給位置Ｐ１およびモニタガラス排出位置Ｐ２は同一の位置となる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】図１は本発明の実施の形態１のモニタガラス交換装置の説明図で、図１Ａは側断面図で図１ＢのＩＡ−ＩＡ線断面図、図１Ｂは平断面図で図１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図である。
【図２】図２は前記図１のモニタガラス交換装置の説明図で、図２Ａは前記図１ＢのIIＡ−IIＡ線断面図、図２Ｂは前記図１Ｂと同一の平断面図である。
【図３】図３は前記図２のモニタガラス交換装置の回転テーブルが回転してモニタガラス供給装置が観察位置に回転移動した状態の説明図で、図３Ａは側断面図て図３ＢのIIIＡ−IIIＡ線断面図、図３Ｂは平断面図である。
【図４】図４はモニタガラス供給装置が観察位置に移動した状態の拡大説明図で、図４Ａは前記図３Ａの要部拡大図、図４Ｂは前記図４Ａの矢印IＶＢから見た図である。
【図５】図５は本実施の形態１で使用する作動部材作動機構の斜視図である。
【図６】図６はモニタガラス供給装置の説明図で、図６Ａは上面図、図６Ｂは供給用カートリッジ下端部の第１保持爪を示す部分の側断面図で前記図６ＡのＶIＢ−ＶIＢ線断面図、図６Ｃは前記図６Ａと同じ上面図、図６Ｄは供給用カートリッジ下端部の第２保持爪を示す部分の側断面図で前記図６ＣのＶIＤ−ＶIＤ線断面図である。
【図７】図７は排出ガラス収容装置が観察位置に移動した状態の拡大説明図で、図７Ａは要部拡大側断面図、図７Ｂは前記図７Ａの矢印ＶIIＢから見た図である。
【図８】図８は排出ガラス収容装置の説明図で、図８Ａは排出ガラス収容装置の上面図、図８Ｂはガラスホルダの回動爪下部が下方に回動している状態を示す側断面図、図８Ｃはガラスホルダの回動爪下部が上方に回動している状態を示す側断面図である。
【図９】図９は本発明のモニタガラス交換装置の実施の形態２の説明図である。
【図１０】図１０はモニタガラス交換装置の従来例の概略説明図である。
【図１１】図１１は前記図１０に示す従来のモニタガラス交換装置の要部詳細説明図で、図１１Ａは成膜上方位置Ａ１に移動している昇降装置にモニタガラスを搬送する供給用スライダの斜視図、図１１Ｂはモニタガラスを保持した昇降装置が成膜位置Ａ２に移動した状態を示す図である。
【図１２】図１２は前記図１０に示す従来のモニタガラス交換装置の要部詳細説明図で、図１２Ａは成膜上方位置Ａ１の少し上方に移動している昇降装置に保持されているモニタガラスの下方に移動した排出用スライダの斜視図、図１２Ｂはモニタガラスを保持した昇降装置が前記図１２Ａの位置から少し下方の成膜上方位置Ａ１に移動した状態を示す図、図１２Ｃはモニタガラスを保持した排出用スライダが排出用カートリッジ下方に移動した状態で持ち上げ装置がモニタガラスを持ち上げている状態を示す図である。
【符号の説明】
【００５２】
ＭＧ…モニタガラス、
２…モニタガラス交換装置、
４…回転テーブル、
８…モニタガラス供給装置、
９…排出ガラス収容装置、
１５…モニタガラス保持装置、
１６…ガラスホルダ、
１７…ガラスリフト部材（回動爪）、
２１…供給用カートリッジ、
２２ｂ…第１作動部材、
２２ｃ…第２作動部材、
２３…第１保持爪、
２４…第２保持爪、
２６…排出用カートリッジ、
２９…下方通過禁止部材、
（１１〜１５）…作動部材作動機構、
【図１】
2005036284.tif 000003
【図２】
2005036284.tif 000004
【図３】
2005036284.tif 000005
【図４】
2005036284.tif 000006
【図５】
2005036284.tif 000007
【図６】
2005036284.tif 000008
【図７】
2005036284.tif 000009
【図８】
2005036284.tif 000010
【図９】
2005036284.tif 000011
【図１０】
2005036284.tif 000012
【図１１】
2005036284.tif 000013
【図１２】
2005036284.tif 000014