(57)【要約】【課題】流管内に設置された流量検出部の発熱体から流体への熱伝達現象に基づいて流管内を通過する流体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量計において、演算増幅器、ダイオードを付加した従来のものでは、流速の増加、減少に対する応答性を変化させるために、専用回路を付加する必要があり、そのため回路構成が増大するという問題があった。【解決手段】流量計より算出される平均流量と実際の平均流量との誤差を低減するため、電圧／電流変換部のトランジスタのコレクタラインに他端を低インピーダンスとするコンデンサを追加した。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流管内に設置された流量検出部の発熱体から流体への熱伝達現象に基づいて前記流管内を通過する流体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量計であって、
流量検出手段より出力された流量信号を演算増幅器ＯＰ１の非反転入力端子に入力し、
前記演算増幅器ＯＰ１の出力端子をＮＰＮトランジスタＴｒ１のベース端子に接続し、
前記演算増幅器ＯＰ１の反転入力端子に前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のエミッタ端子と他端を基準電位ＧＮＤに接続した固定抵抗Ｒ１に接続し、
前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のコレクタ端子を出力端子とする電流出力構成において、
コンデンサＣ１を前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のコレクタ端子と低インピーダンス端子間に接続したことを特徴とする感熱式流量計。
【請求項２】
流管内に設置された流量検出部の発熱体から流体への熱伝達現象に基づいて前記流管内を通過する流体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量計であって、
流量検出手段より出力された流量信号を演算増幅器ＯＰ１の非反転入力端子に入力し、
前記演算増幅器ＯＰ１の出力端子をＮＰＮトランジスタＴｒ１のベース端子に接続し、
前記演算増幅器ＯＰ１の反転入力端子に前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のエミッタ端子と他端を基準電位ＧＮＤに接続した固定抵抗Ｒ１に接続し、
前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のコレクタ端子と他端を基準電位Ｖｃｃに接続した固定抵抗Ｒ２に接続し、
前記固定抵抗Ｒ２のＴｒ１コレクタ端子側端子を演算増幅器ＯＰ２の非反転入力端子に入力し、
前記演算増幅器ＯＰ２の出力端子をＰＮＰトランジスタＴｒ２のベース端子に接続し、
前記演算増幅器ＯＰ２の反転入力端子に前記ＰＮＰトランジスタＴｒ２のエミッタ端子と他端を基準電位Ｖｃｃに接続した固定抵抗Ｒ３に接続し、
前記ＰＮＰトランジスタＴｒ２のコレクタ端子を出力端子とする電流出力構成において、
コンデンサＣ１を前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のコレクタ端子と低インピーダンス端子間に接続したことを特徴とする感熱式流量計。
【請求項３】
流管内に設置された流量検出部の発熱体から流体への熱伝達現象に基づいて前記流管内を通過する流体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量計であって、
流量検出手段より出力された流量信号を演算増幅器ＯＰ１の非反転入力端子に入力し、
前記演算増幅器ＯＰ１の出力端子をＮＰＮトランジスタＴｒ１のベース端子に接続し、
前記演算増幅器ＯＰ１の反転入力端子に前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のエミッタ端子と他端を基準電位ＧＮＤに接続した固定抵抗Ｒ１に接続し、
前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のコレクタ端子と他端を基準電位Ｖｃｃに接続した固定抵抗Ｒ２に接続し、
前記固定抵抗Ｒ２のＴｒ１コレクタ端子側端子を演算増幅器ＯＰ２の非反転入力端子に入力し、
前記演算増幅器ＯＰ２の出力端子をＰＮＰトランジスタＴｒ２のベース端子に接続し、
前記演算増幅器ＯＰ２の反転入力端子に前記ＰＮＰトランジスタＴｒ２のエミッタ端子と他端を基準電位Ｖｃｃに接続した固定抵抗Ｒ３に接続し、
前記ＰＮＰトランジスタＴｒ２のコレクタ端子を出力端子とする電流出力構成において、
コンデンサＣ２を前記ＰＮＰトランジスタＴｒ２のコレクタ端子と低インピーダンス端子間に接続したことを特徴とする感熱式流量計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この発明は感熱抵抗体を用いて流体の流量を検出する感熱式流量計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
感熱式流量計おいて、流量検出部の熱容量が大きいことによる影響、あるいは、流量計と燃料制御装置へのインターフェイスに設置されているＬＰＦ（Ｌｏｗ  ｐａｓｓ  Ｆｉｌｔｅｒ）の影響で、流量計の応答性が遅れる場合、図１８に示す流量計の空気流量に対する信号の非線形性と相まって、エンジンの吸気脈動が発生したとき、流量計より算出される平均流量は実際の平均流量よりも少なくなることが知られている。
このため、流量検出部より得られた信号を遅らせる場合、流速が増加する方向と流速が減少する方向の出力のうち、流速が減少する方向の出力を遅延させる遅れ手段備える技術が知られている。
【０００３】
特許文献１には、熱線流量計の空気流速が増加する方向の出力と空気流速が減少する方向の出力のうち、空気流速が減少する方向の出力を遅延させる遅れ手段の各実施例が記載されている。例えば図２０、図２１は上記特許文献１に記載されたと同様の回路図であり、コンパレーター、ダイオード、バッファアンプ等よりなる専用回路（補正回路）を別に設け、ダイオード１０１により流速の増加、減少の判別を行い、流速が減少する時の応答性を流速が増加する時の応答性よりも遅くするようにしている。
すなわち、図２０では流速が増加する時は応答性を遅延させることなく信号を伝達し、流速が減少する時はコンデンサ１０２および抵抗１０３で決まる時定数により応答性を遅延させる構成としている。
また、図２１では流速が増加する時と流速が減少する時の伝達信号経路を切り替えることにより抵抗定数１０４、１０５を切り替え、時定数を切り替えている。
【０００４】
【特許文献１】
特公昭６２−３６５２２号公報（特許公報第２頁右列第１行〜第３頁左列第９行、第５図〜第８図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
オペアンプ（演算増幅器）、ダイオードを付加した前記従来の技術では、流速の増加、減少の応答性を変化させるために専用回路を付加する事になり、回路構成が増大するという問題があった。
この発明は前記のような問題点を解消するためになされたもので、電流出力タイプの感熱式流量計において、簡単な構成で、流速が減少するときの応答性を、流速が増加するときの応答性よりも遅くして、エンジンの吸気脈動が発生したとき、流量計より算出される平均流量と実際の平均流量との誤差を低減することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、流管内に設置された流量検出部（図１２参照）の発熱体から流体への熱伝達現象に基づいて前記流管内を通過する流体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量計に適用されるものであって、図１から図３に示すように流量検出手段より出力された流量信号Ｖｉを演算増幅器ＯＰ１の非反転入力端子（＋）に入力し、前記演算増幅器ＯＰ１の出力端子をＮＰＮトランジスタＴｒ１のベース端子に接続し、前記演算増幅器ＯＰ１の反転入力端子（−）に前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のエミッタ端子と他端を基準電位ＧＮＤに接続した固定抵抗Ｒ１に接続し、前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のコレクタ端子を出力端子とする電流出力構成において、コンデンサＣ１を前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のコレクタ端子群と低インピーダンス端子間に接続する事とした。
【０００７】
また、流管内に設置された流量検出部（図１２参照）の発熱体から流体への熱伝達現象に基づいて前記流管内を通過する流体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量計に適用されるものであって、図４から図７に示すように流量検出手段より出力された流量信号Ｖｉを演算増幅器ＯＰ１の非反転入力端子（＋）に入力し、前記演算増幅器ＯＰ１の出力端子をＮＰＮトランジスタＴｒ１のベース端子に接続し、前記演算増幅器ＯＰ１の反転入力端子（−）に前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のエミッタ端子と他端を基準電位ＧＮＤに接続した固定抵抗Ｒ１に接続し、前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のコレクタ端子と他端を基準電位Ｖｃｃに接続した固定抵抗Ｒ２に接続し、前記固定抵抗Ｒ２のＴｒ１コレクタ端子側端子を演算増幅器ＯＰ２の非反転入力端子（＋）に入力し、前記演算増幅器ＯＰ２の出力端子をＰＮＰトランジスタＴｒ２のベース端子に接続し、前記演算増幅器ＯＰ２の反転入力端子（−）に前記ＰＮＰトランジスタＴｒ２のエミッタ端子と他端を基準電位Ｖｃｃに接続した固定抵抗Ｒ３に接続し、前記ＰＮＰトランジスタＴｒ２のコレクタ端子を出力端子とする電流出力構成において、コンデンサＣ１を前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のコレクタ端子群と低インピーダンス端子間に接続する事とした。
【０００８】
また、流管内に設置された流量検出部（図１２参照）の発熱体から流体への熱伝達現象に基づいて前記流管内を通過する流体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量計に適用されるものであって、図８から図１１に示すように流量検出手段より出力された流量信号Ｖｉを演算増幅器ＯＰ１の非反転入力端子（＋）に入力し、前記演算増幅器ＯＰ１の出力端子をＮＰＮトランジスタＴｒ１のベース端子に接続し、前記演算増幅器ＯＰ１の反転入力端子（−）に前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のエミッタ端子と他端を基準電位ＧＮＤに接続した固定抵抗Ｒ１に接続し、前記ＮＰＮトランジスタＴｒ１のコレクタ端子と他端を基準電位Ｖｃｃに接続した固定抵抗Ｒ２に接続し、前記固定抵抗Ｒ２のＴｒ１コレクタ端子側端子を演算増幅器ＯＰ２の非反転入力端子（＋）に入力し、前記演算増幅器ＯＰ２の出力端子をＰＮＰトランジスタＴｒ２のベース端子に接続し、前記演算増幅器ＯＰ２の反転入力端子（−）に前記ＰＮＰトランジスタＴｒ２のエミッタ端子と他端を基準電位Ｖｃｃに接続した固定抵抗Ｒ３に接続し、前記ＰＮＰトランジスタＴｒ２のコレクタ端子を出力端子とする電流出力構成において、コンデンサＣ２を前記ＰＮＰトランジスタＴｒ２のコレクタ端子群と低インピーダンス端子間に接続する事とした。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下図面に基づいて、本発明の各実施の形態を説明する。
なお、各図間において同一符号は同一あるいは相当のものを示す。
実施の形態１．
図１から３は、実施の形態１を示すものである。
図１は、実施の形態１による感熱式流量計の全体構成を示し、流管内に設置された流量検出部の発熱体から流体への熱伝達現象に基づいて前記流管内を通過する流体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量計（例えば特開２００２−３６５１１４））の回路に本発明の回路を加えたものである。
図２及び図３は、図１の変形例（要部のみ）を示す回路図である。
【００１０】
まず、感熱式流量計における従来の回路部分について説明する。
図１において、Ｒ１０は被測定流体内に設けられ、該被測定流体の流量に応じた消費電力によって発熱する発熱抵抗体、Ｒ１１は上記流量により変化する被測定流体の温度を検出する第１の温度検出用抵抗体、Ｒ１３は上記発熱抵抗体Ｒ１０の温度を検出する第２の温度検出用抵抗体である。
ここで、吸気温度検出用の第１の温度検出用抵抗体Ｒ１１と発熱抵抗体Ｒ１０の近傍に形成した発熱温度検出用の第２の温度検出用抵抗体Ｒ１３と固定抵抗（９）とでブリッジ回路を構成し、ブリッジ回路には一定電源電圧が印加され、ブリッジ回路の出力端子は差動増幅器１１ａの入力端子に接続されている。
【００１１】
また、この差動増幅器１１ａは、ブリッジ回路の出力を差動増幅するもので、その出力端子はトランジスタ（図示せず）を介して発熱抵抗Ｒ１０に接続されている。また、ブリッジ回路は、第２の温度検出用抵抗体Ｒ１３が第１の温度検出用抵抗体Ｒ１１よりも一定温度高い条件下でバランスするよう各回路定数が設定されている。したがって、前記差動増幅器１１ａの入力電圧差がほぼゼロになるように発熱抵抗体Ｒ１０に加熱電流が供給され、第２の温度検出用抵抗体Ｒ１３及び発熱抵抗体Ｒ１０は、吸気温度よりも一定温度高い温度に保持される定温度差回路となっている。なお、発熱抵抗体Ｒ１０、第１の温度検出用抵抗体Ｒ１１、及び第２の温度検出用抵抗体Ｒ１３はいずれも抵抗値が温度によって変化する。発熱抵抗体Ｒ１０と固定抵抗９ｅからなる回路構成は従来技術による流量検出装置の検出回路と同じで１４は流量検出端子ある。
【００１２】
Ｒ１４ａ，Ｒ１４ｂは分圧抵抗、１１ｂは差動増幅器であり、発熱抵抗体４Ｒ１０における電圧を分圧抵抗Ｒ１４ａ，Ｒ１４ｂにより分圧し差動増幅器１１ｂを介して前記ブリッジ回路に電源電圧を供給する構成としている。
固定抵抗９ｅにおける電位は、前記発熱抵抗体Ｒ１０の加熱電流に比例した電圧でこの電圧が流量信号１５となる。
【００１３】
次に定温度差回路の動作を説明する。
例えば、流量が増大した場合、第２の温度検出用抵抗体Ｒ１３及び発熱抵抗体Ｒ１０が冷却され、第２の温度検出用抵抗体Ｒ１３の抵抗値が僅かに下がると差動増幅器１１ａの非反転入力端子の電圧が上がるために差動増幅器１１ａの出力電圧が上昇し、上昇し、トランジスタ（図示せず）のエミッタ電流が増大し、さらに発熱抵抗体４の加熱電流が増大して発熱抵抗体Ｒ１０の温度が上昇する。
この発熱抵抗体Ｒ１０の温度変化は伝熱により第２の温度検出用抵抗体Ｒ１３へ伝達されるとともに差動増幅器１１ｂを介してブリッジ電圧も上昇する。
第２の温度検出用抵抗体Ｒ１３の温度（抵抗値）も元の温度（抵抗値）まで上昇してブリッジ回路がバランスする。
【００１４】
以上の回路動作により第２の温度検出用抵抗体Ｒ１３は第１の温度検出用抵抗体Ｒ１１よりも一定温度高い温度に常に保持され、発熱抵抗体Ｒ１０も前記第２の温度検出用抵抗体Ｒ１３とほぼ同じ温度になる。
この時、発熱抵抗体Ｒ１０における消費電力が流量の関数となるために発熱抵抗体Ｒ１０の加熱電流または当該加熱電流に比例した電圧１５を検出することで流量検出が行われる。
【００１５】
次に実施の形態１の要部を説明する。
その回路構成は、段落０００６で詳細説明済みのためここでは詳しく再掲しないが、ＯＰ１は演算増幅器、Ｒ１、Ｒ２は固定抵抗、Ｔｒ１はＮＰＮトランジスタであり、Ｖｉは流量検出手段より出力された流量信号、Ｉｏは流量計の出力電流である。流量計の出力電流Ｉｏは燃料制御装置のＲ２より供給され、固定抵抗Ｒ２の電圧降下分が流量計の出力電圧として燃料制御装置のＡ／Ｄ変換器へ入力される。
流量信号Ｖｉが増加方向となった場合、コンデンサＣ１に充電された電荷は、トランジスタＴｒ１により遅れることなく放電されるため、出力電流Ｉｏは遅れることはなく、したがって、固定抵抗Ｒ２の電圧降下、すなわち、流量計の出力電圧は遅れないが、流量信号Ｖｉが減少方向となった場合は、コンデンサＣ１は固定抵抗Ｒ１、Ｒ２を通して充電されるため、固定抵抗Ｒ２の電圧降下、すなわち、流量計の出力電圧は
τ＝（Ｒ１＋Ｒ２）×Ｃ１
の時定数を持ち、遅れる事となる。（図１３のタイムチャート参照）
【００１６】
なお、図２、図３の変形例においても同様に、流量信号Ｖｉが増加方向の場合は遅れることなく、流量信号Ｖｉが減少方向の場合は遅れる事となる。
このように、既存の電流出力回路構成にコンデンサ、または、コンデンサおよび抵抗を付加するだけで、流速が増加するときの応答性を、流速が減少するときの応答性より遅くすることができる。
【００１７】
実施の形態２．
図４から７は、実施の形態２を示し、各図は図２、図３と同様に要部のみを示す回路図である。なお、図５から７は、図４の変形例を示すものである。
次に実施の形態２の要部を説明する。
図４から図７において、
その回路構成の詳細は段落０００７で説明済みのためここでは再掲しないが、応答性変更を行うコンデンサＣ１が、演算増幅器ＯＰ２入力側に設けられたところに特徴を有し、その動作は実施の形態１と同様に、流量信号Ｖｉが増加方向の場合は固定抵抗Ｒ２の電圧降下が遅れることなく、流量信号Ｖｉが減少方向の場合は固定抵抗Ｒ２の電圧降下が遅れる事となる事より、流量計の出力電流Ｉｏは、流量信号Ｖｉが増加方向の場合は遅れることなく、流量信号Ｖｉが減少方向の場合は遅れる事となる。
【００１８】
なお、図７のようにトランジスタをダーリントンタイプにしてもよい。ダーリントン構成にすることにより、電流増幅率（ｈＦＥ）を大きくすることが出来る。ベース電流は温度特性を持つが、電流増幅率が大きければベース電流の影響を小さくすることが出来、トランジスタベース電流の温度特性の誤差を軽減することができる。
【００１９】
また、応答性が速い流量計だと、従来の遅い流量計で構築した燃料制御ロジック（ストラテジ）が使えない場合がある。そのため、流量計の応答性を遅くして、従来ロジックでも燃料制御が出来るようにするため、コンデンサＣ１とトランジスタＴｒ１のコレクタ端子間に抵抗Ｒ５、Ｒ６を挿入することで、流量信号Ｖｉが増加方向の場合も応答性を遅らせる事ができる。流量信号Ｖｉが減少方向の場合は、増加方向よりもさらに応答性が遅れることとなる。
なお、流量計の応答を遅くしても、「立ち上がりの時定数」＞「立ち下がりの時定数」の関係は維持する。
【００２０】
また、抵抗Ｒ１を調整抵抗としてもよい。Ｒ１を調整抵抗（可変抵抗）にすれば、ゲイン調整機能をもたせることが出来、全体回路図におけるゲイン・オフセット調整器を不要に出来る。
【００２１】
実施の形態２では、（実施の形態１に対して）ソース源を流量計から供給でき、流量―出力の関係が従来同様単調増加となる。また、（実施の形態３に対して）コンデンサーの容量を比較的小さく設定でき、安価に出来る。
【００２２】
実施の形態３．
図８から１１は、実施の形態３を示し、図２、図３と同様に要部のみを示す回路図である。なお、図９から１１は、図８の変形例を示すものである。
次に実施の形態２の要部を説明する。
その回路構成の詳細は、段落０００８で説明済みのためここでは再掲しないが、応答性変更を行うコンデンサＣ２が、演算増幅器ＯＰ２出力側に設けられたところに特徴を有し、その動作は実施の形態１と同様に、流量信号Ｖｉが増加方向の場合は流量計の出力電圧である抵抗Ｒ４の電圧降下は遅れることなく、流量信号Ｖｉが減少方向の場合は抵抗Ｒ４の電圧降下は遅れる事となる事となる。
【００２３】
実施の形態３では、（実施の形態１に対して）ソース源を流量計から供給でき、流量―出力の関係が従来同様単調増加となる。また、（実施の形態２に対して）ノイズ除去コンデンサの機能を備え、ノイズ耐量を向上させる事が出来る。
【００２４】
また、演算増幅器が１段構成である実施の形態１に対し、実施の形態２と３では、演算増幅器を２段構成にしているが、これにより新たに次の効果が得られる。
すなわち、１段構成だと、出力電流のソース電流をＥＣＵ側から供給するので、基準電源を大容量にする必要がありコストがかかるが、２段構成だと、ソース電流をＡＦＳ側から供給でき、基準電源は低容量で良い。
また、１段構成だと、流量―出力の関係が図１４に示すように従来と異なり単調減少となるため、ＥＣＵの制御ロジックを変更する必要があるが、２段構成だと、流量―出力の関係が図１５にしめすように従来と同じ単調増加となるため、ＥＣＵの制御ロジックを変更する必要がない。
【００２５】
実施の形態４．
図１６に本発明をソフト処理にて行ったときの実施の形態を示す。
流量計より入力された電流信号は電圧変換された後、流量計信号Ｖ（ｉ）としてコンピューターに入力される。その後、この流量計信号Ｖ（ｉ）は燃料制御装置にあらかじめ設定された電圧−流量変換マップ（図１９参照）により流量信号Ｑ（ｉ）に変換される。ここで、Ｑ（ｉ）が増加方向、すなわち、Ｑ（ｉ）≧Ｑ（ｉ−１）の場合はＱ（ｉ）のなまらせ度合い（一次遅れの時定数）を抑制するようフィルタ定数ｋを与え、フィルタリングを行う。また、逆にＱ（ｉ）が減少方向、すなわち、Ｑ（ｉ）＜Ｑ（ｉ−１）の場合はＱ（ｉ）のなまらせ度合いを促進するようフィルタ定数ｊを与え、フィルタリングを行う。
【００２６】
なお、図１７に示しているように、増加方向と減少方向のフィルタ定数を変更する対象信号を、流量計信号Ｖ（ｉ）としてもよい。
また、上記のフィルタリングは信号をなまらす、ＬＰＦ（Ｌｏｗ  ｐａｓｓ  Ｆｉｌｔｅｒ）として記載したが、信号を進めるＨＰＦ（Ｈｉｇｈ  ｐａｓｓ  Ｆｉｌｔｅｒ）として構成してもよい。
【００２７】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば簡単な構成で、流速が減少するときの応答性を、流速が増加するときの応答性より遅くすることにより、エンジンの吸気脈動が発生したとき、流量計より算出される平均流量と実際の平均流量との誤差を低減することができるため、安価な感熱式流量計を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態１における電気的結線図である。
【図２】実施の形態１を変形した電気的結線図である。
【図３】同じく実施の形態１を変形した電気的結線図である。
【図４】実施の形態２における電気的結線図である。
【図５】実施の形態２を変形した電気的結線図である。
【図６】同じく実施の形態２を変形した電気的結線図である。
【図７】同じく実施の形態２を変形した電気的結線図である。
【図８】実施の形態３における電気的結線図である。
【図９】実施の形態３を変形した電気的結線図である。
【図１０】同じく実施の形態３を変形した電気的結線図である
【図１１】同じく実施の形態３を変形した電気的結線図である。
【図１２】流量計を設置した部分の縦断面図である
【図１３】流量計のタイムチャート図である。
【図１４】１段構成の流量特性図である。
【図１５】２段構成の流量特性図である。
【図１６】実施の形態４におけるフローチャートである。
【図１７】実施の形態４におけるフローチャートである。
【図１８】電圧―流量マップとなまらせ具合を示す図である。
【図１９】流量計の空気流量に対する信号の一般的な特性図である。
【図２０】従来の構成を示す回路図である。他の従来の構成を示す回路図である。
【図２１】他の従来の構成を示す回路図である。
【符号の説明】
ＯＰ１、ＯＰ２  演算増幅器
Ｒ１〜Ｒ４      固定抵抗
Ｔｒ１          ＮＰＮトランジスタ
Ｔｒ２          ＰＮＰトランジスタ
Ｃ１、Ｃ２      コンデンサ
Ｖｃｃ          基準電圧
Ｖｉ            流量検出手段より出力された流量信号
Ｉｏ            流量計の出力電流
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2005010048.tif 000015
【図１４】
2005010048.tif 000016
【図１５】
2005010048.tif 000017
【図１６】
2005010048.tif 000018
【図１７】
2005010048.tif 000019
【図１８】
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【図１９】
2005010048.tif 000021
【図２０】
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【図２１】
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