(57)【要約】【課題】接触抵抗のばらつきを抑制することにより精度の高いデバイステストを実行することが可能なテストシステム等を提供する。【解決手段】デバイスの外部ピンが抵抗値測定に用いられるテストピンに差し替えられてセットされる（ステップＳ１）。次に、セットしたテストピンにアダプタソケットが嵌入される（ステップＳ２）。コントロール回路は、補正用のテストプログラムにより抵抗値測定テストを開始する（ステップＳ４）。テスタは、電圧測定計により、測定した電圧レベルをコントロール回路に出力し、コントロール回路は、測定した電圧に基づいて伝送経路の抵抗値を算出する（ステップＳ５）。テストピンと外部ピン２８は、同一の形状および構造であり、ともにアダプタソケットに嵌入して電気的に連結される構造であるため、接触抵抗の値のばらつきが生じにくく接触抵抗値は同じである。【選択図】        図３
2005010069.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部との間で信号の授受を行なうための差し替え可能な少なくとも１つのピンを搭載するデバイスをテストするテストシステムであって、
第１のテスト時に、前記ピンと置換されるとともに、第１の電圧と電気的に結合されたテストピンと、
前記テストピンおよび前記ピンの一方を嵌入して、電気的に連結されるテストソケットと、
前記第１のテスト時に、前記テストピンを嵌入した前記テストソケットと電気的に結合され、第２の電圧を供給した場合における前記テストピンまでの伝送経路の抵抗値を測定する抵抗値測定部とを備え、
前記第１のテスト後の第２のテスト時に、前記ピンは、再び前記テストピンと置換されて前記デバイスに装着されるとともに、前記テストソケットは、前記ピンを嵌入され、
前記第２のテスト時に、前記第１のテスト時の前記抵抗値測定部の測定結果に基づき所望のテストを実行する際のテスト条件を補正する制御部とをさらに備える、テストシステム。
【請求項２】
外部との間で信号の授受を行なうための差し替え可能な少なくとも１つのピンを搭載するデバイスをテストするテストシステムであって、
前記テスト時に、前記ピンと置換されるとともに、第１の電圧と電気的に結合されたテストピンと、
前記テストピンおよび前記ピンの一方を嵌入して、電気的に連結されるテストソケットと、
前記テスト時に、前記テストピンを嵌入した前記テストソケットと電気的に結合され、第２の電圧を供給した場合における前記テストピンまでの伝送経路の抵抗値を測定する抵抗値測定部と、
前記抵抗値測定部が測定した抵抗値に基づいてシステムに不良があるかどうかを判定する判定部と、
前記第１の電圧と電気的に結合された前記テストピンのスペアとして設けられる少なくとも１個のスペアピンとを備え、
前記抵抗値測定部の測定結果が異常である場合において、少なくとも１回、前記テストピンは、前記少なくとも１個のスペアピンと置換されるとともに、前記テストソケットは、前記スペアピンを嵌入され、
前記判定部は、前記抵抗値測定部で再測定された抵抗値に基づいて、前記不良を判定する、テストシステム。
【請求項３】
前記判定部は、前記再測定した抵抗値の測定結果が異常である場合には、前記抵抗値測定部が不良であると判定する、請求項２記載のテストシステム。
【請求項４】
前記判定部は、前記再測定した抵抗値の測定結果が正常である場合には、前記テストピンが不良であると判定する、請求項２記載のテストシステム。
【請求項５】
外部との間で信号の授受を行なうための差し替え可能な正多角形状に配置された複数のピンを搭載するデバイスをテストするテストシステムであって、
前記複数のピンにそれぞれ対応して設けられ、第１の電圧と電気的に結合された複数のテストピンと、
テスト時に、前記複数個のピンにそれぞれ対応する前記複数のピンと置換して並列に前記デバイスに装着するピンボードと、
各前記テストピンおよび各前記ピンのうちの一方と嵌入して、電気的に連結されるテストソケットと、
前記テスト時に、前記複数のテストピンのうちの１本のテストピンを嵌入した前記テストソケットと電気的に結合され、第２の電圧を供給した場合における前記テストピンまでの伝送経路の抵抗値を測定する抵抗値測定部と、
前記抵抗値測定部が測定した抵抗値に基づいてシステムに不良があるかどうかを判定する判定部と、
前記抵抗値測定部の測定結果が異常である場合において、少なくとも１回、前記ピンボードを所定の角度回転することにより、前記１本のテストピンと隣接しているテストピンとを置換されるとともに、前記テストソケットは、前記隣接しているテストピンを嵌入して電気的に連結され、
前記判定部は、前記抵抗値測定部で再測定された抵抗値に基づいて、前記不良を判定する、テストシステム。
【請求項６】
外部との間で信号の授受を行なうための差し替え可能な複数のピンを搭載するデバイスをテストするテスト方法であって、
第１のテストにおいて、前記複数のピンにそれぞれ対応して設けられ、各々が第１の電圧と電気的に結合された複数のテストピンを前記複数のピンとそれぞれ置換するステップと、
電気的に連結される、所望のテストを実行するための少なくとも１個のテストソケットを各前記ピンの代わりに各前記テストピンに嵌入するステップと、
第２の電圧の供給を受けて、各前記テストピンまでの伝送経路の抵抗値を測定するステップと、
第２のテストにおいて、前記デバイスに装着するために再び前記複数のテストピンと前記複数のピンとをそれぞれ置換するステップと、
前記第２のテストにおいて、前記テストソケットを各前記ピンに嵌入するステップと、
前記第１のテストの各前記テストピンまでの前記伝送経路の抵抗値の測定結果に基づきテスト条件を補正するステップとを備える、テスト方法。
【請求項７】
前記伝送経路の抵抗値を測定するステップは、
測定した抵抗値を取得するステップと、
前記第１のテストを実行するテスタの識別名を取得するステップと、
日時を計測する時間計測部から前記抵抗値を測定した日付および時刻を取得するステップと、
前記テストピンの識別番号を取得するステップと、
取得した前記測定した抵抗値、前記テスタの識別名、前記測定した日付および時刻および前記テストピンの識別番号を記憶部の所定領域に記憶するステップとを含む、請求項６記載のテスト方法。
【請求項８】
デバイスをテストするテストシステムにおけるテストプログラムであって、
コンピュータに、前記テストを実施する前において、記憶部に予め記憶された、前記テストの際に用いられる測定値を取得するステップと、
前記取得した測定値が正常であるかを判定するステップと、
前記測定値が正常である場合に前記記憶部に予め記憶されている、前記測定値が書込まれた日時を取得するステップと、
現在の日時を取得するステップと、
前記測定値が書込まれた日時と、前記現在の日時とに基づいて所定期間内であるかを判定するステップと、
前記所定期間内である場合に前記記憶部に予め記憶されている、前記測定値が書込まれた際に用いられた補正用のテスタの識別名を取得するステップと、
現在実施しようとするテスタの識別名を取得するステップと、
前記補正用のテスタの識別名と、前記現在実施しようとするテスタの識別名とが一致するかを判定するステップと、
前記一致している場合に前記記憶部に予め記憶された前記測定値に基づいて前記テストを実施する際のテスト条件を補正するステップとを実行させる、テストプログラム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体デバイスの動作等をテストするテストシステムおよびテスト方法ならびにテストプログラムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般的に、テスタを使って、半導体デバイスの動作等の正しいテストを行なうためには、テスタからデバイスへの入力電圧あるいは入力電流を適正に供給し、デバイスからの出力電圧あるいは出力電流を正しく判定することが必要である。したがって、テスタは、デバイスから出力される電圧または電流の測定機能とデバイスへ入力する電圧または電流の調整機能等を備えている。しかしながら、テスタから供給される伝送経路での電圧降下などの影響のために例えば所望の電圧レベルがデバイスに供給されないという問題が生じる。
【０００３】
実際の半導体ウェハ上のデバイスをテストする際、複数の信号のうちの１つを選択したりすることが可能なデバイスインターフェイスボードや、プローブを多数備えたプローブカード等をテスタのテスタピンからデバイスまでの間に介在させた構成の場合、それらの電圧降下の影響で、テスタから与えられる電圧レベルが正しくデバイスに供給されないという問題が発生する。あるいは、デバイスからの出力電圧が上記の介在する部品等によりテスタで正しく測定できないという問題が発生する。特に、高い精度が要求されるデバイス（たとえば、微小化し低電源電圧化したデバイス）についてはこの問題が顕著となる。
【０００４】
テスタピンからデバイスまでの間のテスタ内部の伝送経路、デバイスインターフェイスボードおよびプローブカード等による電圧降下は、それらが有する内部抵抗（以下、接触抵抗とも称する）に起因する。したがって、これらの接触抵抗の値も考慮した上でテスタ内部で電圧または電流の値の調整をすることが必要である。特開２０００−２０８５６９号公報においては、デバイス動作のテストの際、定期的にテスタピンからデバイスまでの間の接触抵抗を測定して、それによる電圧降下分を計算し、その計算結果を電圧または電流値の調整に反映させる方式を開示している。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−２０８５６９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記公報に示されるデバイス動作テストにおいてはプローブ等を用いてデバイスと接触させてその接触抵抗値を求める方式が開示されているが、プローブとデバイスとの間の接触抵抗値の値は、接触する部分の接触面積に依存する。したがって、定期的に接触抵抗を測定した場合においても、接触面積のばらつきにより、接触抵抗の値についても少なからずばらつきが生じる可能性がある。したがって、接触抵抗のばらつきによりテスタ内部での電圧または電流の値の補正に誤差が生じ、精度の高いデバイステストを実行することができないという問題が考えられる。
【０００７】
本発明は、上記のような問題を解決するためのものであって、デバイスの動作テストの際に、接触抵抗のばらつきを抑制することにより精度の高いデバイステストを実行することが可能なテストシステム、テスト方法、およびテストプログラムを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
外部との間で信号の授受を行なうための差し替え可能な少なくとも１つのピンを搭載するデバイスをテストするテストシステムであって、テストピンと、テストソケットと、抵抗値測定部と、制御部とを含む。テストピンは、第１のテスト時に、ピンと置換されるとともに、第１の電圧と電気的に結合される。テストソケットは、テストピンおよびピンの一方を嵌入して、電気的に連結される。第１のテスト時に、抵抗値測定部は、テストピンを嵌入したテストソケットと電気的に結合され、第２の電圧を供給した場合におけるテストピンまでの伝送経路の抵抗値を測定する。第１のテスト後の第２のテスト時に、ピンは、再びテストピンと置換されてデバイスに装着される。テストソケットは、ピンを嵌入される。第２のテスト時に、制御部は、第１のテスト時の抵抗値測定部の測定結果に基づき所望のテストを実行する際のテスト条件を補正する。
【０００９】
また、外部との間で信号の授受を行なうための差し替え可能な少なくとも１つのピンを搭載するデバイスをテストするテストシステムであって、テストピンと、テストソケットと、抵抗値測定部と、判定部と、少なくとも１個のスペアピンとを含む。テストピンは、テスト時に、ピンと置換されるとともに、第１の電圧と電気的に結合される。テストソケットは、テストピンおよびピンの一方を嵌入して、電気的に連結される。抵抗値測定部は、テスト時に、テストピンを嵌入したテストソケットと電気的に結合され、第２の電圧を供給した場合におけるテストピンまでの伝送経路の抵抗値を測定する。判定部は、抵抗値測定部が測定した抵抗値に基づいてシステムに不良があるかどうかを判定する。少なくとも１個のスペアピンは、第１の電圧と電気的に結合されたテストピンのスペアとして設けられる。抵抗値測定部の測定結果が異常である場合において、少なくとも１回、テストピンは、少なくとも１個のスペアピンと置換される。テストソケットは、スペアピンを嵌入される。判定部は、抵抗値測定部で再測定された抵抗値に基づいて、不良を判定する。
【００１０】
また、外部との間で信号の授受を行なうための差し替え可能な正多角形状に配置された複数のピンを搭載するデバイスをテストするテストシステムであって、複数のピンにそれぞれ対応して設けられ、第１の電圧と電気的に結合された複数のテストピンと、ピンボードと、テストソケットと、抵抗値測定部と、判定部とを含む。ピンボードは、テスト時に、複数個のピンにそれぞれ対応する複数のピンと置換して並列にデバイスに装着する。テストソケットは、各テストピンおよび各ピンのうちの一方と嵌入して、電気的に連結される。抵抗値測定部は、テスト時に、複数のテストピンのうちの１本のテストピンを嵌入したテストソケットと電気的に結合され、第２の電圧を供給した場合におけるテストピンまでの伝送経路の抵抗値を測定する。判定部は、抵抗値測定部が測定した抵抗値に基づいてシステムに不良があるかどうかを判定する。抵抗値測定部の測定結果が異常である場合において、少なくとも１回、ピンボードを所定の角度回転することにより、１本のテストピンと隣接しているテストピンと置換される。テストソケットは、隣接しているテストピンを嵌入して電気的に連結される。判定部は、抵抗値測定部で再測定された抵抗値に基づいて、不良を判定する。
【００１１】
また、外部との間で信号の授受を行なうための差し替え可能な複数のピンを搭載するデバイスをテストするテスト方法であって、第１のテストにおいて、複数のピンにそれぞれ対応して設けられ、各々が第１の電圧と電気的に結合された複数のテストピンを複数のピンとそれぞれ置換するステップと、電気的に連結される、所望のテストを実行するための少なくとも１個のテストソケットを各ピンの代わりに各テストピンに嵌入するステップと、第２の電圧の供給を受けて、各テストピンまでの伝送経路の抵抗値を測定するステップと、第２のテストにおいて、デバイスに装着するために再び複数のテストピンと複数のピンとをそれぞれ置換するステップと、第２のテストにおいて、テストソケットを各ピンに嵌入するステップと、第１のテストの各テストピンまでの伝送経路の抵抗値の測定結果に基づきテスト条件を補正するステップとを含む。
【００１２】
また、デバイスをテストするテストシステムにおけるテストプログラムであって、コンピュータに、テストを実施する前において、記憶部に予め記憶された、テストの際に用いられる測定値を取得するステップと、取得した測定値が正常であるかを判定するステップと、測定値が正常である場合に記憶部に予め記憶されている、測定値が書込まれた日時を取得するステップと、現在の日時を取得するステップと、測定値が書込まれた日時と、現在の日時とに基づいて所定期間内であるかを判定するステップと、所定期間内である場合に記憶部に予め記憶されている、測定値が書込まれた際に用いられた補正用のテスタの識別名を取得するステップと、現在実施しようとするテスタの識別名を取得するステップと、補正用のテスタの識別名と、現在実施しようとするテスタの識別名とが一致するかを判定するステップと、一致している場合に記憶部に予め記憶された測定値に基づいてテストを実施する際のテスト条件を補正するステップとを実行させる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付し、その説明は繰返さない。
【００１４】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に従うテストシステム３およびデバイス３０の概略構成図である。
【００１５】
図１を参照して、本発明の実施の形態１に従うデバイス３０は、デバイス内で所望の動作を実行する内部回路３５と、デバイスの外部との信号の授受を実行するために搭載される複数の外部ピン２８とを含む。外部ピン２８は、量産可能であり、差替え可能なピンである。
【００１６】
本発明の実施の形態１に従うテストシステム３は、テストシステム３全体を制御する制御部２と、種々の動作テストを実行する複数のテスタとを含む。本例においては、一例として２つのテスタ１，１ａが示されている。
【００１７】
制御部２は、テスト条件等を与えて複数のテスタを制御するコントロール回路５と、テスト結果およびテスト条件等を記憶する記憶部１５とを含む。テスタ１，１ａは、電圧あるいは電流を測定するためのＤＣ測定部１０と、測定結果に基づいてコントロール回路５からの指示によりエラーを表示するエラー表示部２１と、日付および時刻を自動的に計測する時間計測部２０と、テスタ内部の種々の部品等に関する情報を記憶するサブ記憶部１６とを含む。また、テスタ１，１ａは、デバイス３０とテスタとを電気的に接続する配線２４と、外部ピン２８の先端を嵌入して、電気的に連結させるアダプタソケット２６と、アダプタソケット２６を配線２４と電気的に接続して、固定する治具２７とを含む。
【００１８】
図２は、本発明の実施の形態１に従う伝送経路の抵抗値の測定（以下、抵抗値測定テストとも称する）を説明する概念図である。
【００１９】
図２を参照して、本発明の実施の形態１に従う抵抗値測定テストにおいては、まずデバイス３０に搭載された外部ピン２８を接地電圧ＧＮＤと電気的に結合された状態であるテストピン２５に差替える。テストピン２５は、外部ピン２８と比較して、ピン形状および構造等は同一の構成であり、接地電圧ＧＮＤと電気的に接続されている点のみが異なる。また、治具２７により固定されたアダプタソケット２６は、嵌入されたテストピン２５と電気的に連結される。ＤＣ測定部１０は、電圧レベルを測定する電圧測定計１１と、定電流を供給する定電流源１２とを含む。
【００２０】
図２に示されるように、デバイスに搭載されたテストピンを含む伝送経路の抵抗値は、テストピン２５およびアダプタソケット２６および治具２７の接触抵抗である抵抗Ｒ１と、テスタ内部の伝送経路を含む配線の配線抵抗Ｒ２の合成抵抗に相当する。
【００２１】
本例においては、定電流源１２から供給される定電流Ｉにより接触抵抗による電圧降下はΔＶ１（＝Ｒ１×Ｉ）となり、配線２４の配線抵抗Ｒ２の電圧降下はΔＶ２（＝Ｒ２×Ｉ）となる。この電圧降下ΔＶ１＋ΔＶ２の値が電圧測定計１１で測定されるため、定電流Ｉに基づいて、伝送経路の抵抗値Ｒ（＝（ΔＶ１＋ΔＶ２）／Ｉ）を算出することができる。この伝送経路の抵抗値に基づき、種々のテスト時における電圧もしくは電流レベルを所望の適正なレベルに補正することが可能となる。
【００２２】
図３は、抵抗値測定テストを実行する場合のフローチャート図である。
図３を参照して、コントロール回路５からの指示に応答して、テストが開始される（ステップＳ０）。本例においては、テスタ１が用いられるものとする。
【００２３】
次に、デバイス３０の外部ピン２８が抵抗値測定に用いられるテストピン２５に差し替えられてセットされる（ステップＳ１）。次に、セットしたテストピン２５にアダプタソケット２６が嵌入される（ステップＳ２）。次に、コントロール回路５は、補正用のテストプログラムを記憶部１５からロードする（ステップＳ３）。これにより、抵抗値測定テストが開始される（ステップＳ４）。
【００２４】
テスタ１のＤＣ測定部１０は、上述した方式に基づいて電圧測定計１１により、測定した電圧レベルをコントロール回路５に出力し、コントロール回路５は、測定した電圧と定電流Ｉに基づいて伝送経路の抵抗値を算出する（ステップＳ５）。次に、この結果に基づいてコントロール回路５は、得られた抵抗値が異常ではないかを判定する（ステップＳ６）。
【００２５】
コントロール回路５は、ステップＳ６において、得られた抵抗値に異常がある場合にはエラー表示部２１においてエラー表示をするように指示する（ステップＳ７）。これにより、抵抗値測定テストを終了する（ステップＳ１１）。
【００２６】
また、コントロール回路５は、ステップＳ６において、得られた抵抗値に異常がない場合には、次のステップに進み、今回の測定により用いた器具等のテスト情報をサブ記憶部１６から取得する（ステップＳ９）。次に、コントロール回路５は、入手したテスト情報を記憶部１５に記憶する（ステップＳ１０）。これにより、抵抗値測定テストを終了する（ステップＳ１１）。
【００２７】
図４は、取得したテスト情報を記憶部１５に記憶するファイル構成を概略的に説明する概念図である。
【００２８】
図４を参照して、コントロール回路５は、テスト情報に含まれるサブ記憶部１６に予め記憶されたテスタ１のテスタ名、テストピン名、アダプタソケット名、治具識別番号を読出して取得する。また、ＤＣ測定部１０からの測定により得られた測定値を取得する。さらに、時間計測部２０からは抵抗値測定テスト時における日付および時刻を取得する。
【００２９】
コントロール回路５は、取得したそれらテスト情報を伝送経路抵抗値データファイルとして整理し、記憶部１５に記憶する。具体的には、一例として図４の伝送経路抵抗値データファイルにおいて、テスタ名は、「ＡＢＣＤＥＦ」として示されている。また、測定年月日は、「２００２年１０月２３日１５時３０分５９秒」の数字の項のみが示されている。また、治具識別番号として「１２２−２５１５」番の番号情報が示されている。さらに、使用したアダプタソケット名、その際に嵌入された対応するテストピン名、そして、その際の測定結果を示す測定値が対応して列記されている。具体的には、アダプタソケット名ＰＡ１の段においては、テストピン名３２４が示され、測定値１．５８として表されている。
【００３０】
また、本データファイル名としては、一例としてテスタ名と測定年月日と治具識別番号とを組合せたファイル名に設定される。具体的には、テスタ名ＡＢＣＤＥＦと、測定年月日２００２年１０月２３日１５時３０分５９秒と、治具識別番号１２２−２５１５とを組み合わせた記号列として示されている。
【００３１】
図５は、抵抗値測定テストとは別の他の測定テストを実行する際の概念図である。本例においては、一例としてデバイス３０の内部回路３５の出力電圧を測定するテストについて説明する。
【００３２】
図５を参照して、ここでは、図２で説明したテストピン２５を再び通常の外部ピン２８に差し替えてテストする。また、本例においては、デバイス３０の内部回路３５の最終段にバッファとして設けられたインバータ回路が示されている。インバータ回路は、ＰチャネルＭＯＳトランジスタＰＴ１とＮチャネルＭＯＳトランジスタＮＴ１とを含む。なお、単に以下トランジスタＰＴ１、トランジスタＮＴ１とも称する。
【００３３】
インバータ回路は、内部信号Ｓの入力に応答して動作するトランジスタＰＴ１およびＮＴ１のオン／オフ動作に基づいて電源電圧ＶＣＣおよび接地電圧ＧＮＤと出力ノードＮ０とを電気的に結合する。出力ノードＮ０は、外部ピン２８と電気的に結合される。トランジスタＰＴ１は、電源電圧ＶＣＣとノードＮ０との間に配置され、そのゲートは内部信号Ｓの入力を受ける。トランジスタＮＴ１は、ノードＮ０と接地電圧ＧＮＤとの間に配置され、そのゲートは内部信号Ｓの入力を受ける。本例においてはたとえば内部信号Ｓが「Ｌ」レベルに設定されているものとする。
【００３４】
これに応答して、トランジスタＰＴ１がオンし、電源電圧ＶＣＣがノードＮ０と電気的に結合されて、外部ピン２８、アダプタソケット２６、治具２７および配線２４を介してテストシステム３と電気的に結合される。これに伴いＤＣ測定部の１０の電圧測定計１１で内部回路３５から出力される出力電圧を測定することができる。
【００３５】
この際、伝送経路の抵抗値の影響により出力電圧を補正することが必要であるが、上記の抵抗値測定テストにより得られた抵抗値を用いてコントロール回路５は、テスト条件を補正し、適正な測定を実行することができる。特に、本実施の形態１に従う方式においては、テストピン２５および外部ピン２８は、同一の形状および構造であり、ともにアダプタソケット２６に嵌入して電気的に連結される構造であるため、接触抵抗Ｒ１の値のばらつきが生じにくく接触抵抗値は同じである。また、配線２４は同一のものであるため、本テストの際の外部ピン２８からＤＣ測定部１０までの伝送経路の抵抗値は、上記の抵抗値測定テストの場合と同一である。すなわち、本方式を採用することによって、抵抗値測定テストにより得られた伝送経路の抵抗値に基づき、精度の高いテストを実行するようにコントロール回路５はテスト条件を補正することが可能となる。
【００３６】
（実施の形態２）
本実施の形態２においては、実施の形態１で説明した抵抗値測定テスト後において、他のテストを安定的に実行するテスト方式について説明する。
【００３７】
図６は、本発明の実施の形態２に従う他のテスト実行前のフローチャート図である。
【００３８】
図６を参照して、コントロール回路５からの指示に応答して、テストが開始される（ステップＳ２０）。次に、デバイス３０に量産用の外部ピン２８がセットされる（ステップＳ２１）。次に、セットした外部ピン２８にアダプタソケット２６が嵌入される（ステップＳ２２）。次に、コントロール回路５は、記憶部１５からテストプログラムをロードする（ステップＳ２３）。これにより、所望のテストを実行する際において、以下に述べる準備動作が実行される。
【００３９】
コントロール回路５は、初回のテストであるか否かを判定する（ステップＳ２４）。コントロール回路５は、ステップＳ２４において初回テストである場合には初回の場合として次のステップＳ２５に進む。次に、記憶部１５に記憶されている伝送経路抵抗値データファイルから測定値を取得する（ステップＳ２６）。次に、コントロール回路５は、測定値が正常か否かを判定する（ステップＳ２７）。コントロール回路５は、測定値が異常である場合には、エラー表示をするように指示する（ステップＳ２８）。次に、再測定が必要であるとしてテストの実施を終了する（ステップＳ３０）。
【００４０】
一方、ステップＳ２７において、測定値が正常である場合には、次のステップＳ２９に進む。コントロール回路５は、現在の日付と時間とを時間計測部２０から取得する（ステップＳ２９）。次に、コントロール回路５は、現在の日付および時刻から補正値測定テストを実施してからの経過時間を計算する（ステップＳ３１）。次に計算したその経過時間が所定のＸＸ日以上経過しているかどうかを判定する（ステップＳ３２）。
【００４１】
経過している場合には測定値不良としてステップＳ２８において、エラー表示するように指示し、再測定必要有りとして終了する（ステップＳ３０）。一方、ステップＳ３２において、所定のＸＸ日以上経過していない場合には、次のステップＳ３３に進む。コントロール回路５は、現在テストを実施しようとしているテスタ名をサブ記憶部１６から取得する（ステップＳ３３）。次に、コントロール回路５は、記憶部１５に記憶されている伝送経路抵抗値データファイルから抵抗値測定テストを実施したテスタ名を取得する（ステップＳ３３♯）。
【００４２】
次に、コントロール回路５は、取得した現在テストを実施しようとするテスタ名と抵抗値測定テスト実施時のテスタ名とが一致するかどうかを判定する（ステップＳ３４）。一致していない場合には、測定値不良としてステップＳ２８において、エラー表示するように指示し、再測定必要有りとして終了する（ステップＳ３０）。一方、テスタ名が一致した場合には次のステップＳ３６に進む。
【００４３】
次に、コントロール回路５は、得られた測定値に基づいて補正されるデバイステストを実行する（ステップＳ３６）。次に、コントロール回路５は、テストを終了する（ステップＳ３７）。
【００４４】
一方、コントロール回路５は、ステップＳ２４において、初回テストでない場合には２回目以降の場合として次のステップに進む（ステップＳ３５）。次に、コントロール回路５は、記憶部１５に記憶された伝送経路抵抗値ファイルから測定値を取得して（ステップＳ３５＃）、得られた測定値に基づいて補正されるデバイステストを実行し（ステップＳ３６）、テストを終了する（ステップＳ３７）。
【００４５】
本実施の形態２に従うテスト方式により、測定値に基づいて補正されるデバイステストを実行する前に、当該測定値が正常であるか、あるいは古い測定値であるか、テスタが異なるために対応しない測定値か否かを判定することができる。これにより、他のデバイステストを実行する際に安定的な測定データを用いて補正することができるためテストの安定性を高めることができる。
【００４６】
（実施の形態３）
本発明の実施の形態３においては、測定値に異常があった際にテスタの不良あるいはデバイス側の外部ピン２８の不良の判定が可能なテスト方式について説明する。
【００４７】
図７は、本発明の実施の形態３に従う抵抗値測定テストのフローチャート図である。
【００４８】
図７を参照して、ステップＳ１〜Ｓ６においては、実施の形態１の図３のフローチャート図で説明したのと同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
【００４９】
ステップＳ６において、測定値に異常がある場合には、次のステップＳ１２に進む。ステップＳ１２において、テストピンが他のテストピンに変更される（ステップＳ１２）。ここで、他のテストピンとしては、不良のテストピンを救済するためのスペアのテストピンを設けて変更することも可能である。次に、再び伝送経路の抵抗値を測定する（ステップＳ１３）。次に、コントロール回路５は、測定値に異常があるかを再び判定する（ステップＳ１４）。測定値に異常がある場合には、コントロール回路５は、テスタの不良と認定する（ステップＳ１６）。これに伴い、テストを終了する（ステップＳ１１）。なお、本例においては、一回、テストピンを変更する方式について説明しているが、これに限られず複数回、テストピンを変更して、再度測定値に異常があるかを判定することも可能である。
【００５０】
一方、測定値に異常がない場合には、コントロール回路５は、以前のテストピンの不良と認定する（ステップＳ１５）。そして、次のステップＳ９に進む。
【００５１】
ステップＳ９およびＳ１０については、上述した実施の形態１の図３のフローチャート図で説明したのと同様であるのでその詳細な説明は繰り返さない。
【００５２】
本実施の形態３の方式により、一回目の測定値異常の後に再度別のテストピンを用いて伝送経路の抵抗値を測定することにより、再度測定値が異常であるならばテスタが不良であることを認定し、測定値が正常であるならば以前のテストピンが不良であることを認定することができる。したがって、実施の形態１で説明した抵抗値測定テストよりも効果的な抵抗値測定テストを実行することができる。
【００５３】
図８は、図７のステップＳ１２において、テストピンを他のテストピンに変更する場合について説明する概念図である。
【００５４】
図８（ａ）を参照して、テストピン１Ｐ〜４Ｐを正四角形のピンボード４０の対角状にそれぞれ配置することが可能なピンボードが示されている。このピンボード４０は、デバイス側に設けられた複数の外部ピンをそれぞれテストピンに並列的に差替えることが可能なボードである。
【００５５】
図８（ｂ）は、上述した抵抗値測定テストのステップＳ６において、測定値に異常がある場合、たとえばテストピン１Ｐが不良であると判定された場合を説明する概念図である。
【００５６】
図８（ｃ）および（ｄ）は、図８（ｂ）の状態において、９０度ピンボードを回転させた場合において、再度抵抗値の測定により得られた測定値を判定した場合について説明する概念図である。
【００５７】
図８（ｃ）においては、９０度回転させた場合にテストピン４ｐで抵抗値を測定した場合に、正常である場合を示している。これにより、テストピン１Ｐについて、不良であることが認定される。
【００５８】
図８（ｄ）においては、９０度回転させた場合にテストピン４ｐで抵抗値を測定した場合に、不良である場合を示している。これにより、不良なのはテストピン１Ｐではなく、テスタであることが認定される。
【００５９】
したがって、上記のように、ピンボード４０を用いることにより、簡易に不良判定を実行することができる。また、上記例においては、正四角形のピンボード４０を用いて９０度回転させることにより、不良を判定する方式について説明したが、これに限られず、正多角形のピンボードを用いて所定角度回転させることにより、同様の判定を実行することも可能である。
【００６０】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【００６１】
【発明の効果】
この発明は以上説明したように、差し替え可能なピンを搭載するデバイスをテストするテストシステムにおいて、ピンと置換されるテストピンをテストソケットに嵌入して、テストピンまでの伝送経路の抵抗値を測定する。これに伴い、ピンおよびテストピンの一方とテストソケットとの間におけるばらつきの少ない接触抵抗を測定することができ、この測定値に基づいてテスト条件を補正することより、精度の高いテストを実行することができる。
【００６２】
また、差し替え可能なピンを搭載するデバイスをテストするテストシステムにおいて、判定部で測定値に基づいて不良があるかを判定し、異常がある場合には、スペアピンで再び測定し、判定する。これに伴い、判定部での測定値の異常が、テストピンの不良であるのかテストシステムの不良であるかを判別することができ、安定的なテストを実行することができる。
【００６３】
また、差し替え可能なピンを搭載するデバイスをテストするテストシステムにおいて、判定部で測定値に基づいて不良があるかを判定し、異常がある場合には、ピンボードを所定角度回転させて、隣接するテストピンを用いて再び測定し、判定する。これに伴い、判定部での測定値の異常が、テストピンの不良であるのかテストシステムの不良であるかを判別することができ、安定的かつ簡易にテストを実行することができる。
【００６４】
また、差し替え可能なピンを搭載するデバイスをテストするテスト方法において、ピンと置換されるテストピンをテストソケットに嵌入するステップと、テストピンまでの伝送経路の抵抗値を測定するステップと、測定結果に基づきテスト条件を補正するステップとを含む。これに伴い、ピンおよびテストピンの一方とテストソケットとの間におけるばらつきの少ない接触抵抗を測定することができ、この測定値に基づいてテスト条件を補正することより、精度の高いテストを実行することができる。
【００６５】
また、デバイスをテストするテストシステムにおけるテストプログラムにおいて、コンピュータに、測定値が正常であるかを判定するステップと、測定値を書込んだ日時から所定期間内であるかを判定するステップと、テスタが一致するかを判定するステップとを実行させる。これにより、記憶部に記憶された測定値が所定の条件を満たした場合に用いられるため、信頼性のあるテストを実行することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に従うテストシステム３およびデバイス３０の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１に従う伝送経路の抵抗値の測定を説明する概念図である。
【図３】抵抗値測定テストを実行する場合のフローチャート図である。
【図４】取得したテスト情報を記憶部１５に記憶するファイル構成を概略的に説明する概念図である。
【図５】抵抗値測定テストとは別の他の測定テストを実行する際の概念図である。
【図６】本発明の実施の形態２に従う他のテスト実行前のフローチャート図である。
【図７】本発明の実施の形態３に従う抵抗値測定テストのフローチャート図である。
【図８】テストピンを他のテストピンに変更する場合について説明する概念図である。
【符号の説明】
１，１ａ  テスタ、２  制御部、３  テストシステム、５  コントロール回路、１０  ＤＣ測定部、１５  記憶部、１６  サブ記憶部、２０  時間計測部、２１  エラー表示部、２４  配線、２６  アダプタソケット、２７  治具、２８  外部ピン、３０  デバイス、３５  内部回路。
【図１】
2005010069.tif 000003
【図２】
2005010069.tif 000004
【図３】
2005010069.tif 000005
【図４】
2005010069.tif 000006
【図５】
2005010069.tif 000007
【図６】
2005010069.tif 000008
【図７】
2005010069.tif 000009
【図８】
2005010069.tif 000010