(57)【要約】【課題】  本発明は、プラズマディスプレイパネルの背面板の放電空間のガス排気性を確実に保持し、かつ、放電時のクロストークを防止することができ、もって高輝度の画像を確実に提供することができる優れたプラズマディスプレイパネルを提供せんとするものである。【解決手段】  本発明のプラズマディスプレイパネルは、バス電極を有する前面基板と、バス電極と交差するアドレス電極を有する背面基板からなり、該背面基板が該アドレス電極と平行な縦隔壁と該アドレス電極と垂直な横隔壁を有するプラズマディスプレイパネルであって、該縦隔壁自体が段差を有し、その高低差が５〜８０μｍであることを特徴とするものである。【選択図】  図１
2005285710.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電ギャップをもって配列されたバス電極を有する前面基板と、バス電極と交差するアドレス電極を有する背面基板からなり、該背面基板が該アドレス電極と平行な縦隔壁と該アドレス電極と垂直な横隔壁を有するプラズマディスプレイパネルであって、該縦隔壁自体が段差を有し、その高低差が５〜８０μｍであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
縦隔壁の高い部分の高さが、横隔壁の高さよりも３〜２０μｍ高いことを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
縦隔壁の高い部分が、バス電極の放電ギャップに対向する請求項１または２に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
縦隔壁の高い部分の高さが、８０〜１５０μｍの範囲にあって、かつ、縦隔壁の高い部分の高さが横隔壁の高さよりも５〜１０μｍ高く、該縦隔壁の低い部分の高さよりも１５〜５０μｍ高いことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
横隔壁の頂部に蛍光体層が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルの背面板の隔壁によって形成される放電空間の改善に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
薄型・大型テレビに使用できるディスプレイとして、液晶パネルに比べて高速表示が可能なことから、プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰと称する）が注目されている。
【０００３】
ＰＤＰは、前面基板と背面基板との間に備えられた放電空間内で電極間にプラズマ放電を生じさせ、上記放電空間内に封入されているガスから発生した紫外線を放電空間内の蛍光体に当てることにより表示を行うものである。この場合、放電の広がりを一定領域に抑え、表示を規定のセル内で行わせると同時に、均一な放電空間を確保するために、およそ幅２０〜８０μｍ、高さ２０〜２００μｍの形状をもつ隔壁が設けられている。
【０００４】
近年、ＰＤＰの高性能化のために、従来のストライプ状の隔壁形状以外に、格子状、およびその他の複雑な形状が提案されている。隔壁構造が複雑化した理由の一つに、ストライプ状の隔壁構造の場合、画素間の放電の干渉が生じやすいことがあげられる。特に高精細化した場合には放電の干渉が顕著となり、前面基板の放電ギャップを狭くする必要があるが、その場合には、画素の放電空間が狭くなるために、輝度が大幅に低下するという問題が生じる。この問題を解消するために、ストライプ状の隔壁と交差するような画素を仕切る隔壁を設けることが提案されている。しかしながら、一方で、画素が完全に仕切られた場合には、パネル化の封着・排気時に排気がし難いために、後工程が複雑になったり、前面板にパターンを形成するような大幅コストアップとなるような工程が必要となる別の問題が発生する。この問題を解決するために、画素を仕切る隔壁に高低差を形成する必要がある。
【０００５】
隔壁に高低差を形成する手段として、主隔壁と、それより低い補助隔壁を、感光性材料を用いたフォトリソグラフィ法等で、第１工程として、補助隔壁の高さまでの主隔壁と補助隔壁を形成し、次に第２工程として、主隔壁の残りの高さを形成する方法が提案されている。（特許文献１参照）。
【０００６】
しかし、この方法では現像を２回以上要し工程が複雑であり、また第１工程と第２工程の極めて精密な位置あわせが必要となり、精度よく形成できないという問題がある。そこで、第１工程として、１層目の感光性ペーストの塗布膜を形成し、電極と垂直なストライプパターンを露光し、第２工程として、２層目の感光性ペーストの塗布膜を形成し、電極と平行なストライプパターンを露光する方法が提案されている。（特許文献２参照）。  この方法では、現像を１回行うだけで主隔壁と補助隔壁の高低差のある隔壁パターン形成が可能ではあるが、主隔壁に高低差を形成できないという問題があった。
【特許文献１】特開平１０−３２１１４８号公報
【特許文献２】特開２００１−２３５１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記従来技術に鑑みて、プラズマディスプレイパネルの背面板の放電空間のガス排気性を確実に保持し、かつ、放電時のクロストークを防止することができ、もって高輝度の画像を確実に提供することができる優れたプラズマディスプレイパネルを提供せんとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、かかる課題を解決するために、次のような手段を採用するものである。すなわち、本発明のプラズマディスプレイパネルは、放電ギャップをもって配列されたバス電極を有する前面基板と、バス電極と交差するアドレス電極を有する背面基板からなり、該背面基板が該アドレス電極と平行な縦隔壁と該アドレス電極と垂直な横隔壁を有するプラズマディスプレイパネルであって、該縦隔壁自体が段差を有し、その高低差が５〜８０μｍであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、高性能、高輝度のプラズマディスプレイパネルを確実に提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明は、前記課題、つまりプラズマディスプレイパネルの背面板の放電空間のガス排気性を確実に保持し、かつ、放電時のクロストークを防止することができ、もって高輝度の画像を確実に提供することができる優れたプラズマディスプレイパネルについて、鋭意検討し、該アドレス電極と平行な縦隔壁と、該アドレス電極と垂直な横隔壁からなる放電空間を仕切る隔壁の該縦隔壁自体に特定な範囲の高低差を設けて、該放電空間の横方向のガス排気性を確保してみたところ、かかる課題を一挙に解決することができることを究明したものである。
【００１１】
以下に、本発明をＰＤＰ、特にＰＤＰ用部材としての背面基板の作製手順に沿って説明する。
【００１２】
本発明に用いるガラス基板としては、ソーダガラスの他にＰＤＰ用の高歪点ガラスである旭硝子社製の“ＰＤ２００”や日本電気硝子社製の“ＰＰ８”等を用いることができる。
【００１３】
ガラス基板上に銀やアルミニウム、クロム、ニッケルなどの金属によりアドレス電極を形成する。形成方法は、これら金属粉末と有機バインダーを主成分とする金属ペーストをスクリーン印刷でパターン印刷する方法や、有機バインダーとして感光性有機成分を用いた感光性金属ペーストを塗布した後に、フォトマスクを介してパターン露光し、未硬化部分をを現像工程で溶解除去し、４００〜６００℃の温度で焼成し、金属パターンを形成する感光性ペースト法を用いることができる。また、ガラス基板上にクロム、アルミニウム、銅等の金属をスパッタリングした後に、レジストを塗布し、レジストをパターン露光・現像した後にエッチングにより、不要部分の金属を取り除くエッチング法を用いることができる。電極厚みは１〜１０μｍが好ましく、２〜５μｍがより好ましい。電極厚みが薄すぎると抵抗値が大きくなり正確な駆動の際に負担がかかり、厚すぎるとコスト的に不利な傾向にある。アドレス電極の幅は、好ましくは２０〜２００μｍである。アドレス電極の幅が細すぎると抵抗値が高くなり正確な駆動が困難となる傾向にあり、太すぎると隣合う電極間の距離が小さくなるため、ショート欠陥が生じやすい傾向にある。さらに、アドレス電極は表示セル（画素の各ＲＧＢを形成する領域）に応じたピッチで形成される。通常のＰＤＰでは１００〜５００μｍ、高精細ＰＤＰにおいては１００〜２５０μｍのピッチで形成するのが好ましい。
【００１４】
次いで誘電体層を形成する。誘電体層はガラス粉末と有機バインダーを主成分とするガラスペーストをアドレス電極のパターン上に塗布し、４００〜６００℃で焼成することにより形成できる。誘電体層の厚みは好ましくは３〜３０μｍ、より好ましくは３〜２０μｍである。誘電体層の厚みが薄すぎるとピンホールが多発する傾向にあり、厚すぎると放電電圧が高くなり、消費電力が大きくなる傾向にある。
【００１５】
次いで、かかる誘電体層上に、放電空間を仕切るための隔壁を形成する。かかる放電空間を仕切る隔壁の高さは、８０μｍ〜１５０μｍが適している。８０μｍ以上とすることで蛍光体とバス電極が近づきすぎるのを防ぎ、放電による蛍光体の劣化を防ぐことができる。また、１５０μｍ以下とすることで、バス電極での放電と蛍光体の距離を近づけ、十分な輝度を得ることができる。放電空間以外に形成された隔壁はこの範囲である必要はない。隔壁のピッチ（Ｐ）は、１００μｍ≦Ｐ≦５００μｍのものがよく用いられる。また、高精細プラズマディスプレイとしては、隔壁のピッチ（Ｐ）が、１００μｍ≦Ｐ≦３００μｍである。１００μｍ以上とすることで放電空間を広くし十分な輝度を得ることができ、５００μｍ以下とすることで画素の細かいきれいな映像表示ができる。３００μｍ以下にすることにより、ＨＤＴＶ（ハイビジョン）レベルの美しい映像を表示することができる。線幅（Ｌ）は、半値幅で１０μｍ≦Ｌ≦５０μｍであることが好ましい。１０μｍ以上とすることで強度を保ち、前面板と背面板を封着する際に破損が生じるのを防ぐことができる。また、５０μｍ以下とすることで蛍光体の形成面積を大きくとることができ高い輝度を得ることができる。
【００１６】
この様にして隔壁で仕切られた放電空間の中で、放電が起こる。前面板のバス電極の間の放電ギャップで起こった面放電によって、放電空間内に封入された希ガスが励起され、紫外線を放出する。この紫外線によって、蛍光体が励起されて、可視光を放出して、発光する。すなわち、放電ギャップが広いほど、発光面積を大きくとることができ高い輝度を得ることができる。
【００１７】
かかる隔壁の形状で、最も単純なのはデータ電極と平行のストライプ状の隔壁構造であり、製造工程も簡便である。しかしながら、ストライプ状隔壁の場合、画素間の放電の干渉が生じやすい。特に高精細化した場合には放電の干渉が顕著となり、前面板の放電ギャップを狭くする必要があるが、その場合には、輝度が大幅に低下するという問題が生じる。この問題を解消するために、ストライプ状の隔壁と交差するような画素を仕切る隔壁を設けることが提案されている。この際、画素が完全に仕切られた場合には、パネル化の封着・排気時に排気がし難く、後工程が複雑になったり、前面板にパターンを形成するような工程が必要となる別の問題が発生する。これら問題を解決するために、画素を仕切る隔壁に高低差を形成することが必要となる。本発明の隔壁は、電極と平行な縦隔壁と、垂直な横隔壁を有し、縦隔壁自体が高低差を有する。
【００１８】
このような隔壁は、無機微粒子と感光性成分を含む有機成分からなる感光性ペーストを用いたフォトリソグラフィー法を駆使して、パターンを形成し、焼成して形成することができる。以下に、感光性ペーストを用いた隔壁の形成方法について説明する。
【００１９】
まず、電極が形成された基板上もしくは誘電体層上に感光性ペーストを塗布する。塗布方法としては、スクリーン印刷法、バーコーター、ロールコーター、ダイレクトコーター、ブレードコーターなどを用いることができる。塗布厚みは、塗布回数、スクリーンのメッシュ、ペーストの粘度を選ぶことによって調整できる。精度よく、厚膜塗布が可能なダイレクトコーターを用いることが好ましい。感光性ペーストを塗布した後、通風オーブン、ホットプレート、ＩＲ炉などを用いて乾燥し、感光性ペーストの塗布膜を形成する。
【００２０】
続いて、露光、現像により、所望のパターンを形成する。まず、露光装置を用いて露光を行う。通常のフォトリソグラフィ法で行われるように、フォトマスクを用いてマスク露光する。この際使用される活性光源としては、例えば、可視光線、近紫外線、紫外線、電子線、Ｘ線、レーザ光などが使用される。これらの中で紫外線が最も好ましく、その光源として、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲンランプ、殺菌灯などが使用される。これらのなかでも超高圧水銀灯が好適である。露光条件は、塗布厚みによって異なるが、１〜１００ｍＷ／ｃｍ2 の出力の超高圧水銀灯を用いて０．１〜１０分間露光を行う。
【００２１】
この際、用いるフォトマスクパターン、フォトマスクの線幅により、形成される隔壁パターン形状、および隔壁の幅が決定する。ここで、フォトマスクの線幅とは、スリット部分、すなわち光が透過する部分の線幅を表す。例えば、ストライプ形状の隔壁を形成する場合は、アドレス電極と平行方向にストライプパターンを有するフォトマスクを用いることができる。
【００２２】
次に現像工程について説明する。露光部分と非露光部分の現像液に対する溶解度差を利用して、現像を行う。現像は、浸漬法やスプレー法、ブラシ法等で行うことができる。
【００２３】
現像液は、感光性ペースト中の溶解させたい有機成分が溶解可能である溶液を用いる。感光性ペースト中にカルボキシル基などの酸性基をもつ化合物が存在する場合、アルカリ水溶液で現像できる。アルカリ水溶液としては、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウム、炭酸ナトリウム水溶液、水酸化カルシウム水溶液などが使用できるが、有機アルカリ水溶液を用いた方が焼成時にアルカリ成分を除去しやすいので好ましい。有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いることができる。具体的には、テトラメチルアンモニウムヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒドロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンなどが挙げられる。アルカリ水溶液の濃度は、通常、０．０１〜１０重量％、より好ましくは０．１〜５重量％である。アルカリ濃度が低過ぎれば可溶部が除去されない傾向にあり、アルカリ濃度が高過ぎれば、パターン部を剥離したり、また、非可溶部を腐食させる傾向がでてくる。また、現像時の現像温度は、２０〜５０℃で行うことが工程管理上好ましい。
【００２４】
次に本発明の高低差を有する隔壁を形成する方法について説明する。まず、電極が形成された基板上もしくは誘電体層上に１層目の感光性ペーストの塗布膜を形成する。続いて電極と平行なストライプパターンを有するフォトマスクを用いて露光を行う。次に、露光された１層目の感光性ペースト塗布膜の上に、さらに感光性ペーストを塗布・乾燥し、２層目の感光性ペースト塗布膜を形成する。続いて、電極と垂直なストライプパターンと、電極と平行なストライプパターンのうち、縦隔壁の高さが高くなる部分のパターンを有するフォトマスクを用いて露光後、現像することにより、高低差を有する隔壁を形成することができる。
【００２５】
露光された部分は、感光性ペースト中に含まれる感光性有機成分、すなわち、感光性モノマー、感光性オリゴマー、および感光性ポリマーなどが光重合することにより硬化する。したがって、感光性ペースト塗布膜中の、露光部と非露光部との間に膜の特性に差が発生する。特に溶媒や液体成分による膨潤度合いに差ができる。従って、露光された塗布膜に再度感光性ペーストを塗布することにより、感光性ペーストに含まれる溶媒や液体成分が露光部分に移動し、塗布膜の露光部分が非露光部分よりも高くなる。
【００２６】
また、高低差の大きさは、２層目に塗布するペーストの種類、およびペースト塗布膜厚により、制御することが可能となる。
【００２７】
このようにして形成した隔壁パターンについて、焼成炉にて焼成を行う。焼成雰囲気や温度は、ペーストや基板の種類によって異なるが、空気中、窒素、水素などの雰囲気中で焼成する。焼成炉としては、バッチ式の焼成炉やローラーハース式の連続型焼成炉を用いることができる。焼成温度は、４００〜８００℃で行うと良い。ガラス基板上に直接隔壁を形成する場合は、４５０〜６２０℃の温度で１０〜６０分間保持して焼成を行うと良い。
【００２８】
かかる縦隔壁の特徴は、それ自体に段差が設けられていることであり、かかる段差を設けたことで、前記放電空間の横方向のガス排気性を確保すると同時に、クロストークを防止することができるように調整することができた点にある。すなわち、かかる縦隔壁自体の段差としては、高低差を５〜８０μmの範囲内とすることが必須である。５μm以上とすることで、パネル化工程での横方向のガスの排気を効率よく行うことが可能である。また、高低差を８０μm以下とすることにより、放電時の斜め方向のクロストークなどを防止することが可能となる。さらに、該縦隔壁自体の高低差を１０μm〜５０μmとすることが、クロストークの防止には好ましい。
【００２９】
また、縦隔壁の高い部分の高さとしては、横隔壁より３〜２０μｍ高いことが好ましい。横隔壁より３μｍ以上とすることで、パネル化工程での縦方向のガスの排気を効率よく行うことが可能である。また、横隔壁より２０μm以下とすることにより、放電時の縦方向のクロストークなどを防止することが可能となる。さらに好ましくは、該横隔壁より５μm〜１０μm高くするのが、排気効率向上とクロストークの防止性の上からよい。
【００３０】
さらに、縦隔壁の高い部分は前面基板のバス電極の放電ギャップに対向していることが好ましい。この場合、排気を効率よく行うことと、放電空間を仕切ることが両立できる。
【００３１】
次いで所定の隔壁間に、ＲＧＢ各色に発光する蛍光体層を形成する。蛍光体層は、蛍光体粉末、有機バインダーおよび有機溶媒を主成分とする蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させ、乾燥し、必要に応じて焼成することにより形成することができる。
【００３２】
蛍光体ペーストを所定の隔壁間に塗着させる方法としては、スクリーン印刷版を用いてパターン印刷するスクリーン印刷法、吐出ノズルの先端から蛍光体ペーストをパターン吐出するディスペンサー法、また、蛍光体ペーストの有機バインダーとして前述の感光性を有する有機成分を用いた感光性ペースト法により各色の蛍光体ペーストを所定の場所に塗着させることができる。パターン塗布、特にディスペンサー法を用いる場合、ストライプ状に塗布することが、パターンの位置あわせが容易である点から一般的に好ましく用いられている。しかしながら、蛍光体ペーストをストライプ状にパターン塗布する時、アドレス電極と垂直な横隔壁が存在する場合、横隔壁頂部に蛍光体層が形成される。この蛍光体層が放電時のクロストーク等の不具合の原因となることもあり、粘着テープ、研磨等で除去する必要がある。本発明の好ましい形態は、縦隔壁の高い部分が横隔壁よりも高いことである。従って、蛍光体層が横隔壁の頂部に形成されていても、放電時のクロストーク等の不具合の原因となりにくい。
【００３３】
蛍光体層の厚みは、１０〜５０μｍであることが好ましい。蛍光体層の厚みを、１０μｍ以上とすることで十分な輝度を得ることができる。また、５０μｍ以下とすることで放電空間を広くとり高い輝度を得ることができる。この場合の蛍光体層の厚みは、隣り合う隔壁の中間点での形成厚みとして測定する。つまり、放電空間（セル内）の底部に形成された蛍光体層の厚みとして測定する。
【００３４】
塗着させた蛍光体層を必要に応じて、４００〜５５０℃で焼成する事により、本発明のプラズマディスプレイ用部材を作製することができる。
【００３５】
このプラズマディスプレイ用部材を背面板として用いて、前面板と封着後、前背面の基板間隔に形成された空間に、ヘリウム、ネオン、キセノンなどから構成される放電ガスを封入後、駆動回路を装着してプラズマディスプレイを作製できる。前面板は、基板上に所定のパターンで透明電極、バス電極、誘電体、保護膜（ＭｇＯ）を形成した部材である。背面板上に形成されたＲＧＢ各色蛍光体層に一致する部分にカラーフィルター層を形成しても良い。また、コントラストを向上するために、ブラックストライプを形成しても良い。
【実施例】
【００３６】
以下に、本発明を実施例により具体的に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではない。なお、実施例、比較例中の濃度（％）は重量％である。
【００３７】
実施例１
４２インチサイズのＡＣ（交流）型プラズマディスプレイパネルを形成し、評価を実施した。
【００３８】
最初に、前面板を以下の工程によって作製した。まず、ガラス基板として、５９０×９６４×２．８ｍｍの４２インチサイズのＰＤ−２００（旭硝子（株）製）を使用した。この基板上に、ＩＴＯをスパッタ法で形成後、レジスト塗布し、露光・現像処理、エッチング処理によって厚み０．１μｍ、線幅２００μｍの透明電極を形成した。また、黒色銀粉末からなる感光性銀ペーストを用いてフォトリソグラフィー法により、焼成後厚み５μｍの維持電極と走査電極からなる放電ギャップ２５０μｍ、線幅１００μｍのバス電極対を作製した。
【００３９】
次に、酸化鉛を７５％含有する低融点ガラスの粉末を７０％、エチルセルロース２０％、テルピネオール１０％を混練して得られたガラスペーストをスクリーン印刷により、表示部分のバス電極が覆われるように５０μｍの厚みで塗布した後に、５７０℃１５分間の焼成を行って前面誘電体を形成した。
【００４０】
誘電体を形成した基板上に電子ビーム蒸着により保護膜として、厚み０．５μｍの酸化マグネシウム層を形成して前面板を作製した。
【００４１】
続いて背面板を以下の工程によって作製した。前面板と同じガラス基板上に、書き込み電極として、感光性銀ペーストを用いて、フォトリソグラフィー法により、ピッチ２４０μｍ、線幅１００μｍ、焼成後厚み３μｍのストライプ状電極を形成した。
【００４２】
次に、この基板に、誘電体ペーストを塗布した後、５８０℃で焼成して、厚み１０μｍの誘電体層を形成した。
【００４３】
隔壁形成用の感光性ペーストは、ガラス粉末と感光性成分を含む有機成分から構成され、ガラス粉末：Ｂｉ2Ｏ3／ＳｉＯ2／Ａｌ2Ｏ3／ＺｎＯ／Ｂ2Ｏ3＝８２／５／３／５／３／２からなる組成のガラスを粉砕した平均粒径２μｍのガラス粉末：７０％、ポリマー：”サイクロマー”Ｐ（ＡＣＡ２５０、ダイセル化学工業社製）：１０％、有機溶剤（１）：ベンジルアルコール：４％、有機溶剤（２）：ブチルカルビトールアセテート：３％、モノマー：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート：８％、光重合開始剤：ベンゾフェノン：３％、酸化防止剤：１，６−ヘキサンジオール−ビス［（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート］：１％、有機染料：ベージックブルー２６：０．０１％、チキソトロピー付与剤：Ｎ，Ｎ’−１２−ヒドロキシステアリン酸ブチレンジアミン：０．５％、界面活性剤：ポリオキシエチレンセチルエーテル：０．４９％からなるものをロールミルで混練して作製した。
【００４４】
次にこの感光性ペーストをダイコーターを用いて塗布した後、クリーンオーブンにて１００℃、４０分の乾燥を行い１００μｍ高さの第１層目の塗布膜を形成した。第１層目塗布膜に対し、図２に示したフォトマスクとのギャップを１５０μｍ取り、露光を実施した。この露光済み塗布膜上に隔壁形成用感光性ペーストをダイコーターを用いて塗布した後、クリーンオーブンにて１００℃、３０分の乾燥を行い露光済み塗布膜上に２０μｍ高さの第２層目の塗布膜を形成した。形成塗布膜に対し、図３に示したフォトマスクとのギャップを１５０μｍ取り、露光を実施した。このようにして形成した露光済み基板を０．５％のエタノールアミン水溶液で現像し、隔壁パターンを形成し、５６０℃で１５分間焼成を行った。
【００４５】
このようにして形成された隔壁間に各色蛍光体ペーストをディスペンサー法によりアドレス電極と平行なストライプ状に塗布した。その後、５００℃、３０分の焼成を行い、蛍光体層を形成した。
【００４６】
隔壁の高さは、アドレス電極と平行な縦隔壁が１００μｍと１２５μｍ、アドレス電極と垂直な横隔壁が１２０μｍ、縦隔壁の高い部分が前面板の放電ギャップに対向する部分に形成されていた。また、横隔壁の頂部に蛍光体層が３μｍの厚さで形成されており、縦隔壁の高い部分が蛍光体層を合わせた横隔壁よりも高く形成されていた。
【００４７】
得られた背面板を、前記の前面板と貼り合わせ封着した後、放電用ガスを封入し、駆動回路を接合してプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）を作製した。このパネルに電圧を印加して表示を観察した。
【００４８】
この実施例１のＰＤＰは、残存不純ガスもなく、クロストーク等の不具合も発生しない良好なＰＤＰ表示特性を示す。
【００４９】
実施例２
背面板として、隔壁の第１層目塗布膜の高さが６０μｍ、第２層目塗布膜の高さが２０μｍで図４に示したフォトマスクを用いる以外は実施例１と同様にＰＤＰを作製した。背面板の隔壁の高さは、アドレス電極と平行な縦隔壁が８０μｍと８５μｍ、アドレス電極と垂直な横隔壁が８０μｍ、縦隔壁の高い部分が前面板の放電ギャップに対向する部分に形成されていた。また、横隔壁の頂部に蛍光体層が３μｍの厚さで形成されており、縦隔壁の高い部分が蛍光体層を合わせた横隔壁よりも高く形成されていた。実施例２のＰＤＰは、残存不純ガスもなく、クロストーク等の不具合も発生しない良好なＰＤＰ表示特性を示す。
【００５０】
実施例３
背面板として、隔壁の第１層目塗布膜に対し、図５に示したフォトマスク、第２層目塗布膜に対し、図３に示したフォトマスクを用いる以外は実施例２と同様にＰＤＰを作製した。背面板の隔壁の高さは、アドレス電極と平行な縦隔壁が８０μｍと０μｍ、アドレス電極と垂直な横隔壁が８０μｍ、縦隔壁の高い部分が前面板の放電ギャップに対向する部分に形成されていた。また、横隔壁の頂部に蛍光体層が３μｍの厚さで形成されており、縦隔壁の高い部分が蛍光体層を合わせた横隔壁よりも高く形成されていた。実施例３のＰＤＰは、残存不純ガスもなく、クロストーク等の不具合も発生しない良好なＰＤＰ表示特性を示す。
【００５１】
比較例１
背面板として、隔壁の第１層目塗布膜に対し、図６に示したフォトマスク、第２層目塗布膜に対し、図２に示したフォトマスクを用いる以外は実施例１と同様にＰＤＰを作製した。背面板の隔壁の高さは、アドレス電極と平行な縦隔壁が１２０μｍ、アドレス電極と垂直な横隔壁が１００μｍに形成されていた。また、横隔壁の頂部に蛍光体層が５μｍの厚さで形成されており、縦隔壁が蛍光体層を合わせた横隔壁よりも高く形成されていた。比較例１のＰＤＰは、縦方向のクロストークが発生し、ＰＤＰ表示特性の不良なものであった。
【００５２】
比較例２
背面板として、１２０μｍ高さの塗布膜を形成し、図３に示したフォトマスクを用い、第２層目以降の塗布・露光工程を含まない方法で隔壁を形成した。背面板の隔壁の高さは、アドレス電極と平行な縦隔壁が１２０μｍ、アドレス電極と垂直な横隔壁が１２０μｍに形成されていた。この隔壁間に蛍光体層を形成した後、粘着テープにより横隔壁の頂部に形成された蛍光体層を除去する以外は実施例と同様にＰＤＰを作製した。比較例２のＰＤＰは、残存不純ガスが多く、発光効率が低く、輝度の低いものであり、ＰＤＰ表示特性の不良なものであった。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明に係るＰＤＰの背面板の形状の一例を示す斜視図である。
【図２】本発明に係るＰＤＰの背面板の縦ストライプ状のフォトマスクの一例を示す概略図である。
【図３】本発明に係るＰＤＰの背面板のボックス状のフォトマスクの一例を示す概略図である。
【図４】本発明に係るＰＤＰの背面板の格子状のフォトマスクの一例を示す概略図である。
【図５】本発明に係るＰＤＰの背面板の縦波線状のフォトマスクの一例を示す概略図である。
【図６】本発明に係るＰＤＰの背面板の横ストライプ状のフォトマスクの一例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５４】
１  ガラス基板
２  アドレス電極
３  誘電体
４  縦隔壁（低い部分）
５  縦隔壁（高い部分）
６  横隔壁
【図１】
2005285710.tif 000003
【図２】
2005285710.tif 000004
【図３】
2005285710.tif 000005
【図４】
2005285710.tif 000006
【図５】
2005285710.tif 000007
【図６】
2005285710.tif 000008