(57)【要約】【課題】１枚の基板についての検査装置による自動検査と作業者による再検査とを並行して行うことによって検査作業を短時間化し、基板の製造効率を向上する。【解決手段】ＣＰＵ３１は、フラグＦｉがセットされて自動検査において不良と判断したｉ番目の画像データを画像メモリ３４から読み出してティスプレイ２１に表示し（ｓ１１，ｓ１２）、リモコンボックス３からの作業者の再検査結果の入力を待機する（ｓ１３，ｓ１４）。ＣＰＵ３１は、リモコンボックス３においてＯＫボタン３３が操作されるとフラグＦｉをリセットする（ｓ１５）。ＣＰＵ３１は、上記ｓ１〜ｓ９の処理とｓ１１〜ｓ１５の処理とをマルチタスク処理によって並行して実行する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の複数の検査位置の画像を順次撮像し、撮像した画像と予め記憶された基準画像との比較に基づいて各検査位置における部品実装品質の適否を自動検査し、その検査結果を記憶手段に記憶する検査装置において、
前記複数の検査位置の何れかにおいて部品実装品質が不良であると判断した時に、その検査位置の画像を表示手段に表示し、作業者の目視による再検査の結果の入力を受け付け、入力された再検査の結果を記憶手段に上書きするとともに、この間に次の検査位置における部品実装品質の適否の判定を継続することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記再検査の結果の入力操作を受け付ける入力手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記表示手段の表示画面を複数の表示領域に分割し、各表示領域に部品実装品質が不良であると判断した複数の検査位置のそれぞれを表示することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上における部品とはんだとの接合部の状態から部品実装品質の適否を自動検査する検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
検査装置として、基板上における部品とはんだの接合部を順に撮像し、撮像した画像を基準画像と比較して部品が適正に実装されているか否かを自動検査するものがある（例えば、特許文献１参照。）。このような検査装置は、検査対象の１枚の基板における複数の検査位置の教示入力を受け付け、教示された複数の検査位置における部品実装品質の適否を順次検査する。
【０００３】
ところが、画像に基づくはんだの接合状態の適否の判定は容易でなく、不良個所の見落としを防止するために検査装置が適正と判定する基準画像からの誤差範囲は比較的狭く設定される。このため、検査装置が不良と判定した場合であっても、実際には部品実装品質に問題のない場合が少なくない。
【０００４】
そこで、従来の検査装置を用いた検査方法では、各基板における複数の検査位置についての検査結果を検査装置に記憶させ、１枚の基板に対する検査が完了すると、その結果を検査装置から出力させる。この出力結果において検査装置が不良と判定した検査位置を作業者が目視によって再検査し、検査装置の判定結果を確認するようにしている。
【特許文献１】特開２０００−００４０７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、１枚の基板における複数の検査位置の全てに対する検査装置の自動検査が完了した後に、その基板における不良個所に対する作業者の再検査を行うこととすると、検査装置による自動検査に要する時間と作業者による再検査に要する時間とを加算した時間が各基板の検査時間となる。このため、検査作業が長時間化し、基板の製造効率が低下する問題があった。
【０００６】
この発明の目的は、自動検査によって不良個所と判定された時にその検査位置についての作業者の目視による再検査を直ちに行うことができるようにし、１枚の基板についての自動検査と作業者による再検査とを並行して行うことによって検査作業を短時間化し、基板の製造効率を向上することができる検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明の検査装置は、上記の課題を解決するための手段として、
基板上の複数の検査位置の画像を順次撮像し、撮像した画像と予め記憶された基準画像との比較に基づいて各検査位置における部品実装品質の適否を自動検査し、その検査結果を記憶手段に記憶する検査装置において、
前記複数の検査位置の何れかにおいて部品実装品質が不良であると判断した時に、その検査位置の画像を表示手段に表示し、作業者の目視による再検査の結果の入力を受け付け、入力された再検査の結果を記憶手段に上書きするとともに、この間に次の検査位置における部品実装品質の適否の判定を継続することを特徴とする。
【０００８】
この構成においては、単一の基板における複数の検査位置の部品実装品質について、検査装置による自動検査と、この自動検査で不良と判断された検査位置に対する作業者の目視による再検査と、が並行して行われる。したがって、１枚の基板に対する検査装置による自動検査と作業者の目視による再検査との両方が、略検査装置による自動検査に要する時間のみで完了する。
【０００９】
また、前記再検査の結果の入力操作を受け付ける入力手段を備えたことを特徴とする。
【００１０】
この構成においては、作業者が入力手段の操作によって再検査の結果を入力する。したがって、作業者は、再検査の結果を専用の入力手段を介して正確に入力できるようになる。
【００１１】
さらに、前記表示手段の表示画面を複数の表示領域に分割し、各表示領域に部品実装品質が不良であると判断した複数の検査位置のそれぞれを表示することを特徴とする。
【００１２】
この構成においては、複数の表示領域のそれぞれに異なる検査位置の画像が表示される。したがって、１枚の基板における検査位置が多数設定されており、自動検査によって複数の検査位置が不良であると判断された場合に、作業者は表示画面を切り換える操作を行うことなく複数の検査位置を再検査できる。
【発明の効果】
【００１３】
この発明の検査装置によれば、単一の基板における複数の検査位置の部品実装品質について、検査装置による自動検査と、この自動検査で不良と判断された検査位置に対する作業者の目視による再検査と、を並行して行うことにより、１枚の基板に対する検査装置による自動検査と作業者の目視による再検査との両方を、略検査装置による自動検査に要する時間のみで完了させることができる。これによって、検査作業を短時間化し、基板の製造効率を向上することができる。
【００１４】
また、作業者が入力手段の操作によって再検査の結果を入力できるようにすることにより、再検査の結果を専用の入力手段を介して正確に入力することができる。
【００１５】
さらに、複数の表示領域のそれぞれに異なる検査位置の画像を表示することにより、１枚の基板における検査位置が多数設定されており、自動検査によって複数の検査位置が不良であると判断された場合にも、表示画面を切り換える操作を行うことなく複数の検査位置を再検査でき、作業者の作業性を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、本発明の実施形態の一例である検査装置の構成を示す図である。図２は、同検査装置の要部の構成を示す図である。図３は同検査装置に備えられるリモコンボックスの外観図である。検査装置１０は、本体１、制御装置２及びリモコンボックス３からなる。本体１は、前面に開放した中空筐体内に、ターンテーブル１１、光源１２、撮像部１３を備えている。
【００１７】
ターンテーブル１１は、上面において互いに接近及び離間する方向に水平移動するレール１１ａ，１１ｂを備えている。レール１１ａ，１１ｂは、検査対象の基板２０をセンタ基準で挟持する。ターンテーブル１１は、本体１内で水平回転し、基板２０における検査位置であるはんだ接合部を撮像部１３の光路方向に向ける。
【００１８】
光源１２は、ターンテーブル１１上の基板上面に照明光を照射する。撮像部１３は、図２に示すように、能動ミラー１３ａ、能動対物レンズ１３ｂ、リレーレンズ１３ｃ、ズームレンズ１３ｄ及びＣＣＤ（Charge Coupled Devices）１３ｅを備えている。撮像部１３は、ターンテーブル１１上の基板２０における検査対象領域に向けて能動ミラー１３ａを２軸回転させ、能動対物レンズ１３ｂを光路方向に移動させて焦点を合せ、ズームレンズ１３ｄによって撮像サイズを調整し、ＣＣＤ１３ｅの受光面に光源１２の照明光の検査位置における反射光を結像させ、ＣＣＤ１３ｅによって検査位置の画像を読み取る。
【００１９】
本体１の前面の下部には、本体１に対して電源を投入及び切断するための電源スイッチ１４ａ、動作状態を表示する表示灯１４ｂ〜１４ｄ等が設けられている。
【００２０】
制御装置２は、ディスプレイ２１、キーボード２２及びマウス２３を備えたパーソナルコンピュータによって構成されている。ディスプレイ２１はこの発明の表示手段であり、制御装置２は、本体１に接続されており、本体１との間でデータの入出力を行う。制御装置２は、キーボード２２及びマウス２３の操作による教示データの入力を受け付ける。教示データは、基板上における検査位置等を特定するためのデータである。
【００２１】
リモコンボックス３は、制御装置２に接続されている。リモコンボックス３は、この発明の入力手段であり、図３に示すように、検査開始、検査中止、ＯＫ、ＮＧ、画像順送り、画像逆送り及び非常停止の各ボタン３１〜３７を備え、ボタン３１〜３７のうち、操作されたボタンを特定する信号を制御装置２に出力する。
【００２２】
検査開始ボタン３１は、本体１による自動検査の開始の指示を受け付ける。検査中止ボタン３２は、本体１による自動検査の終了の指示を受け付ける。ＯＫボタン３３は、作業者の目視による再検査の結果、検査位置の状態が適正である旨の入力を受け付ける。ＮＧボタン３４は、作業者の目視による再検査の結果、検査位置の状態が不良である旨の入力を受け付ける。画像順送りボタン３５は、ディスプレイ２１に表示すべき検査位置の画像を次画像に切り換える旨の指示を受け付ける。画像逆送りボタン３６は、ディスプレイ２１に表示すべき検査位置の画像を前画像に切り換える旨の指示を受け付ける。非常停止ボタン３７は、緊急時における検査動作の中断の指示を受け付ける。
【００２３】
図４は、上記検査装置の制御装置のブロック図である。検査装置１０の制御装置２は、ＲＯＭ３２及びＲＡＭ３３を備えたＣＰＵ３１に、画像メモリ３４、Ａ／Ｄ変換器３５、モータドライバ３６及びインタフェース３７〜４０を接続して構成されている。ＣＰＵ３１は、ＲＯＭ３２に予め書き込まれたプログラムに従って各接続機器を統括して制御し、この間に入出力されるデータをこの発明の記憶手段であるＲＡＭ３３に一時格納する。
【００２４】
Ａ／Ｄ変換器３５には、撮像部１３のＣＣＤ１３ｅが接続されている。Ａ／Ｄ変換器３５は、ＣＣＤ１３ｅの出力信号をディジタルデータに変換し、検査位置の撮像データとしてＣＰＵ３１に入力する。ＣＰＵ３１は、入力された撮像データを画像メモリ３４に格納する。
【００２５】
モータドライバ３６には、本体１においてターンテーブル１１を回転させるターンテーブル用モータ４１、撮像部１３において能動ミラー１３ａを回転させるミラーモータ４２，４３、撮像部１３において能動レンズ１３ｂを移動させるレンズモータ４４等が接続されている。ＣＰＵ３１は、モータドライバ３６に対してモータ４１〜４４の駆動データを出力する。モータドライバ３６は、ＣＰＵ３１から入力された駆動データに基づいてモータ４１〜４４を駆動する。
【００２６】
インタフェース３７〜４０のそれぞれには、リモコンボックス３、キーボード２２、マウス２３及びディスプレイ２１が接続されている。ＣＰＵ３１には、インタフェース３７〜３９を介してリモコンボックス３、キーボード２２及びマウス２３の操作データが入力される。ＣＰＵ３１は、キーボード２２及びマウス２３を介して入力された教示データをＲＡＭ３３の所定のメモリエリアに格納し、検査動作時にＲＡＭ３３に格納されている教示データに基づいてモータドライバ３６に駆動データを出力する。また、ＣＰＵ３１は、インタフェース４０を介してディスプレイ２１に表示データを出力する。
【００２７】
図５は、上記検査装置の制御装置の処理手順を示すフローチャートである。制御装置２のＣＰＵ３１は、リモコンボックス３の開始ボタン３１の操作を待機しており（ｓ１）、開始ボタン３１が操作されるとカウンタｉの内容を１にする（ｓ２）。カウンタｉは、ＲＡＭ３３の所定のメモリエリアに割り当てられており、基板２０における検査位置を特定する。ＣＰＵ３１は、カウンタｉの内容によって特定される検査位置の画像をＣＣＤ１３ｅを介して撮像し（ｓ３）、撮像した画像データを画像メモリ３４に格納する（ｓ４）。
【００２８】
ＣＰＵ３１は、画像メモリ３４に格納したｉ番目の検査位置の画像を予め格納されている基準画像と比較して適否判定を行う（ｓ５）。ＣＰＵ３１は、画像が適正であると判定した場合には、カウンタｉの計数値をインクリメントする（ｓ６→ｓ８）。ＣＰＵ３１は、画像が不良であると判定した場合には、ｉ番目のフラグＦｉをセットしてカウンタｉの計数値をインクリメントする（ｓ６→ｓ７→ｓ８）。フラグＦｉは、各検査位置のそれぞれに対応してＲＡＭ３３の所定のメモリエリアに割り当てられており、ｉ番目の検査位置の適否を記憶する。ＣＰＵ３１は、予め教示された複数の検査位置の全数Ｉについて、ｓ３〜ｓ８の処理を繰り返し実行する（ｓ９→ｓ３）。
【００２９】
一方で、ＣＰＵ３１は、フラグＦｉがセットされるのを待機しており（ｓ１１）、フラグＦｉがセットされると画像メモリからｉ番目の画像データを読み出してティスプレイ２１に表示する（ｓ１２）。この後、ＣＰＵ３１は、リモコンボックス３からの作業者の再検査結果の入力を待機する（ｓ１３，ｓ１４）。ＣＰＵ３１は、リモコンボックス３においてＯＫボタン３３が操作されるとフラグＦｉをリセットし（ｓ１５）、リモコンボックス３においてＮＧボタン３４が操作されるとそのまま、ｓ１１に戻る。
【００３０】
ＣＰＵ３１は、上記ｓ１〜ｓ９の処理とｓ１１〜ｓ１５の処理とをマルチタスク処理によって並行して行う。
【００３１】
この結果、１枚の基板２０についての検査作業を終了した際にフラグＦｉが１つでもセットされていれば不良品と判断し、フラグＦｉのいずれもセットされていなければ良品と判断される。
【００３２】
以上の処理により、検査装置による１枚の基板２０に対する自動検査中に作業者による再検査を同時に行うことができ、本体１から基板２０を取り出す際にはその基板２０に対する自動検査及び再検査が全て完了している状態になり、基板２０上における部品実装品質の検査作業に要する時間が短縮される。
【００３３】
なお、全ての検査位置に対する自動検査及び再検査が終了した際に、検査結果をディスプレイ２１に表示することもできる。この場合、自動検査の結果がＯＫの場合、再検査でＯＫに切り換えられた場合、及び、再検査でもＮＧとされた場合のそれぞれを表示色の変更等によって峻別して表示することができる。
【００３４】
また、全ての検査位置に対する自動検査及び再検査が終了した際に、不良品の場合と良品の場合とで異なる音を発生し、検査の完了及び結果を作業者が容易に認識できるようにしてもよい。
【００３５】
さらに、少なくとも検査対象の１枚の基板についての不良検査位置の画像を蓄積して画像メモリ３４に格納し、自動検査により不良と判断された複数の検査位置の画像のいずれかを、逆送りボタン３５及び順送りボタン３６の操作によって選択的にディスプレイ２１に表示させることもできる。
【００３６】
加えて、図１に示すように、ディスプレイ２１の表示画面を例えば４分割等の複数の表示領域に分割し、各表示領域において１つの検査位置の画像を表示することもできる。この場合に、作業者のリモコンボックス３等の操作によって作業者が所望する単一の検査位置の画像をディスプレイ２１の表示画面の全面に表示する状態に切り換えるようにしてもよい。
【００３７】
また、検査装置１０による自動検査で不良と判断された検査位置が作業者による再検査で適正とされた場合、この結果を基準画像に反映させることにより、作業者の目視による検査の結果により近い自動検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施形態の一例である検査装置の構成を示す図である。
【図２】上記検査装置の本体に備えられる撮像部の構成を示す図である。
【図３】上記検査装置に備えられるリモコンボックスの外観図である。
【図４】上記検査装置の制御装置のブロック図である。
【図５】上記検査装置の制御装置の処理手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３９】
１  本体
２  制御装置
３  リモコンボックス
１０  検査装置
１３  撮像部
２０  基板
２１  ディスプレイ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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