(57)【要約】【課題】ワークｗやアクチュエータ１の取付や位置決めに関して、高強度や高精度を確保し維持することができるアクチュエータを提供する。【解決手段】直線状に往復動作するリニアガイド２等の軌道部と、軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータ１において、軌道部に取り付けられるテーブル９を有し、テーブル９にワークｗを固定するためのボルト３２を、テーブル９に設けた孔部３０を挿通して軌道部に直接連結する。また、直線状に往復動作するリニアガイド２等の軌道部と、軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータ１において、軌道部を取り付けるボディ４を有し、当該アクチュエータ１を装置２２等の取付部材に固定するためのボルトを、ボディ４に設けた孔部を挿通して軌道部に直接連結する。【選択図】図１３
2005282744.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部に取り付けられるテーブルを有し、前記テーブルに積載物を固定するためのボルト等の固定部材は、前記テーブルに設けた孔部を挿通して前記軌道部に連結されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部を取り付けるボディを有し、当該アクチュエータを取付部材に固定するためのボルト等の固定部材は、前記軌道部に設けた孔部より挿入され、前記孔部に対応して前記ボディに設けた孔部を挿通して前記取付部材に連結されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部を取り付けるボディを有し、当該アクチュエータを取付部材に固定するためのボルト等の固定部材は、前記ボディに設けた孔部を挿通して前記軌道部に連結されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部に取り付けられるテーブルを有し、前記テーブルへの積載物の位置決めあるいは保持手段の部材は、前記テーブルに設けた孔部を挿通して前記軌道部に設けた係合孔に挿入されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部を取り付けるボディを有し、当該アクチュエータを取付部材に固定するときの位置決めあるいは保持手段の部材は、前記ボディに設けた孔部を挿通して前記軌道部に設けた係合孔に挿入されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部を取り付けるボディ、前記軌道部に取り付けられるテーブル、および前記軌道部またはテーブルの移動量を調整する手段を有し、前記手段を当該アクチュエータに連結または位置決めするための部材は、前記ボディまたはテーブルに設けた孔部を挿通して前記軌道部に連結または挿入されることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部を取り付けるボディを有し、前記軌道部には、前記ボディから露出して、当該アクチュエータを固定する取付部材に当接する部位が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部に取り付けられるテーブルを有し、前記軌道部には、前記テーブルから露出して、前記テーブルに積載される積載物が当接する部位が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
請求項１ないし８の何れかに記載したアクチュエータにおいて、軌道部に外部ダストが侵入するのを抑えるダストシールが設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１ないし９の何れかに記載したアクチュエータにおいて、駆動部は、流体圧により作動するピストン式シリンダ、マグネット式ロッドレスシリンダもしくはバンド式ロッドレスシリンダ、または電動アクチュエータの何れかであることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体圧アクチュエータまたは電動アクチュエータ等のアクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、直線動作する軌道部とこの軌道部を駆動させる駆動部とを組み合わせてなるアクチュエータが知られており、多くの場合、前者の軌道部にはリニアガイドが用いられ、後者の駆動部としては、ピストンとロッドの構造を持つ一般的なエアシリンダタイプ、マグネット式やバンド式のロッドレスシリンダタイプまたは電動アクチュエータ等が用いられている。
【０００３】
この種のアクチュエータの従来例を図３１ないし図３６に示す（特許文献１参照）。この従来例に係るアクチュエータ１は、軌道部がリニアガイド２、駆動部がエアシリンダ３にて構成される流体圧アクチュエータであって、以下のように構成されている。
【０００４】
すなわち先ず、図３２に示すように、ボディ４の内部にシリンダ室５が設けられ、図３３に示すように、シリンダ室５の中心軸線と略平行に軌道部であるリニアガイド２のガイドレール６がボディ４上に配置されて、固定部材であるボルト９５（図３６）でボディ４に連結されている。ガイドレール６に対して軸線方向に直線的に往復動可能なリニアガイド２のガイドブロック７が組み付けられ、このガイドブロック７上にテーブル９が固定部材であるボルト９６（図３４）で連結されている。ボディ４のシリンダ室５の内部には、ピストン１１とこのピストン１１に連結されたロッド１２が設けられており、ロッド１２の先端部１２ａはボディ４の外部へ突出して、テーブル９の端面と略直角に配置された先端プレート１４に連結されている。ボディ４のポート１３からシリンダ室５に圧縮空気を給排すると、ピストン１１が往復動し、これに伴ってテーブル９およびガイドブロック７がガイドレール６上を直線的に往復動する。
【０００５】
このアクチュエータ１を装置等の取付部材（以下、装置とも称する）２２に取り付けるときには、図３６に示すように、ボディ４の貫通穴に固定部材であるボルト９７を挿入し、このボルト９７を装置２２にねじ込んで固定する。また、ワーク等の積載物（以下、ワークとも称する）ｗをテーブル９上に取り付けるときには、図３５に示すように、テーブル９のネジ穴に固定部材であるボルト９８をねじ込んで固定する。
【０００６】
ところで一般に、ボディ４およびテーブル９はそれぞれ、アルミ等の強度および剛性の低い素材にて成形されていることが多い。その理由として、例えばアルミは型を利用する押出し成形により複雑な形状でも簡単かつ安価に作り出せ、シリンダ室等の貫通穴も押出し時に形成できるので加工工数が削減でき、アルミなので軽量で加工もし易いことが挙げられる。また一般に、リニアガイド２を構成するガイドレール６およびガイドブロック７はそれぞれ、熱処理された鉄やステンレス鋼で成形されているので、強度的に非常に強く、外部から大きな力が作用しても変形、摩耗、破損等が起こりにくい。また、ガイドレール６上をガイドブロック７をガタ等無くスムーズに精度良く移動させるため両者の間には寸法精度の高いボールやローラ等の転動体８を組み込む必要があることから、各部品は研磨等により精密に加工されているので、組み上がり寸法等についても大変精度の良いものとなっている。
【０００７】
図３７は、リニアガイド２が単体で使用されるときの一般的な組付状態を示している。ガイドレール６は装置２２にボルト９９で直接固定され、ガイドブロック７にはワークｗがボルト１００で直接固定されている。これがリニアガイド２の持つ高剛性、高強度、高精度等の基本性能を最も十分に活用することができる組付状態である。よって従来例のようにアクチュエータ１にリニアガイド２が採用されるということは、図３７で示す状態と同じ状態、すなわちリニアガイド２の持つ高剛性、高強度、高精度等の基本性能を損なうことなくリニアガイド２を十分に利用できる状態であることをユーザーは期待している。つまり、重たいワークｗをアクチュエータ１に積載したり、アクチュエータ１に大きな力のモーメントが作用したりする状態で、故障、動作不良、精度劣化等を生じることなく長期間使用できることを期待している。
【０００８】
しかしながら、上記従来技術には、以下の問題がある。
【０００９】
すなわち、アクチュエータ１のテーブル９上に取り付けたワークｗの重さによる力や外部からの力によるモーメント等は、リニアガイド２以外にボディ４およびテーブル９と、リニアガイド２とボディ４またはテーブル９との連結固定部にも作用するため、これらの連結固定部の強度が重要となる。
【００１０】
この点に関して、図３７のリニアガイド２の単体使用状態では、前述のような力やモーメントが作用する連結固定部は、
（１）ワークｗをガイドブロック７に固定するボルト１００がねじ込まれるガイドブロック７のネジ穴、
（２）ガイドレール６を装置２２に固定するボルト９９の頭部座面が当接するガイドレール６の被当接面
の２箇所だけであり、これらのネジ穴や被当接面は何れも熱処理された鉄やステンレス鋼で成形されたリニアガイド２そのものなので、強度的に非常に強い。
【００１１】
これに対して、図３１ないし図３６の従来例によると、前述のような力やモーメントが作用する連結部は、
（１）ワークｗをテーブル９に固定するボルト９８がねじ込まれるテーブルのネジ穴（図３５）、
（２）テーブル９をガイドブロック７に連結するボルト９６の頭部座面が当接するテーブル９の被当接面（図３４）、
（３）このボルト９６がねじ込まれるガイドブロック７のネジ穴（図３４）、
（４）ガイドレール６をボディ４に連結するボルト９５の頭部座面が当接するガイドレール６の被当接面（図３６）、
（５）このボルト９５がねじ込まれるボディ４のネジ穴（図３６）、
（６）ボディ４を装置２２に固定するボルト９７の頭部座面が当接するボディ４の被当接面（図３６）
の合計６箇所と多くなっている。このうち、（３）と（４）は、これらのネジ穴や被当接面が熱処理された鉄やステンレス鋼で成形されたリニアガイド２そのものなので、図３７の場合と同様に強度的に問題はないが、それ以外の（１）（２）（５）および（６）の４箇所については、母材がアルミ材であるので強度的に弱く、これらに大きな力やモーメントが作用すると、被当接面においては変形が発生し、ネジ穴においては変形、摩耗、破断等が発生してしまう。
【００１２】
また、ワークｗは、その位置調整や段替え等のために何回も脱着することがあり、その都度ボルト９８を緩めたり締めたりすると、アルミにて成形されたテーブル９のネジ穴はすぐに摩耗や疲労破壊を起こしてしまう。
【００１３】
つぎに、テーブル９に対するワークｗの位置決めや、装置２２に対するアクチュエータ１の位置決めのために位置決めピン等が使用されることが多い。この場合、図３４に示すように、テーブル９の上面やボディ４の底面に設けた位置決め用の穴１０１に位置決めピン（図示せず）が挿入されることにより位置決めが行なわれる。位置決め精度を出すために穴１０１と位置決めピンの隙間は数ミクロンになるような精密な寸法で加工されている。位置決めピンは精密な寸法を加工で出し易いことと、強度とを考慮して熱処理された鉄やステンレス鋼が一般的に使用されている。
【００１４】
しかしながら、前述のようにワークｗやアクチュエータ１を何回もテーブル４や装置２２に対して脱着させると、前述のように強度的に強く摩耗しにくい材質よりなる位置決めピンがアルミ等の強度的に弱く摩耗し易い材質よりなるテーブル９やボディ４の位置決め穴１０１を何回も摺動することになるため、テーブル９やボディ４の位置決め穴１０１に摩耗や変形が発生し、位置決めピンとの隙間が大きくなり、正確な位置決めができなくなる。
【００１５】
さらに、図３４では、テーブル９とボディ４の位置決め穴１０１は互いに同一軸線上に描かれているが、実際にはテーブル９、ガイドブロック７、ガイドレール６、ボディ４と組み合わせ部材の点数が多いために、それぞれの部品の加工精度のバラツキや組立状態のバラツキによる累積誤差が大きくなり、ズレが発生する。さらに、このズレは製品ごとにも個体差としてばらつくため、アクチュエータ１を別の個体と交換すると、位置ズレが一層大きくなる。
【００１６】
以上のように、従来は、剛性、強度、精度的に優れたリニアガイド２を採用しているにもかかわらず、テーブル９やボディ４等のリニアガイド２以外の部品を組み合わせるため、連結部が増えて強度的に弱くなっている。また、リニアガイド２と組み合わされるテーブル９やボディ４等にはアルミ等の強度的に弱い素材を使用することが多いため、変形、摩耗、破損等が発生し易くなってしまっている。これらの強度不足を補うためには必要以上に大きなリニアガイド２を組み込んだアクチュエータ１を採用する必要が生じ、装置のコンパクト化、軽量化、コストダウンの弊害となる。さらに従来例によると、組み合わせ部品が多いため、ワークｗやアクチュエータ１の位置決め部の耐摩耗性や強度が低く、位置決め精度も良くない。
【００１７】
また、上記アクチュエータ１には、耐ダスト性についても改良の余地がある。
【００１８】
すなわち、この種のアクチュエータ１は、製品組立装置に用いられることが多く、製品組立装置では、組み立てられる部品として小さな部品やネジ類等が多く使用されることから、これらが、装置の稼動中のトラブルによってアクチュエータ１上に落下することがある。テーブル９およびボディ４間の隙間ｃ（図３３参照）はなるべく小さく抑えたいが、部品の公差等を考慮すると、隙間ｃの大きさは１〜２ｍｍ程度になる。したがって、上記のように小部品やネジ等がアクチュエータ１上に落下すると、これらが隙間ｃからリニアガイド２の周辺に入り込んだり、隙間ｃに挟まったりすることがある。小部品やネジ等がリニアガイド２の周辺に入り込むと、テーブル９が作動する毎にテーブル９やリニアガイド２が傷付けられて、結果、これらが破損することになる。また、小部品やネジ等が隙間ｃに挟まると、噛み込んでテーブル９が動かなくなる等のトラブルの原因になる。
【００１９】
また、アクチュエータ１が劣悪環境下で使用されると、粉塵や微細な粉末等がガイドレール６に付着することがある。ガイドブロック７にはガイドレール６に付着した粉塵等の異物を除去するシールが取り付けられているが、粉塵等が多い環境では除去しきれない場合もある。また、多量の粉塵等が堆積して前述の隙間ｃを埋めるようなことになると、これを原因としてアクチュエータ１に作動不良が発生することもある。
【００２０】
【特許文献１】実開平６−４３３０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
本発明は以上の点に鑑みて、ワークやアクチュエータの取付けや位置決めに関して、高強度や高精度を確保し維持することができるアクチュエータを提供することを目的とする。またこれに加えて、優れた耐ダスト性を発揮することができるアクチュエータを提供することを目的とする。上記したようにダストには、小部品やネジ類、粉塵等が含まれる。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記目的を達成するため、本発明の請求項１によるアクチュエータは、直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部に取り付けられるテーブルを有し、前記テーブルに積載物を固定するためのボルト等の固定部材は、前記テーブルに設けた孔部を挿通して前記軌道部に連結されることを特徴とするものである。
【００２３】
また、本発明の請求項２によるアクチュエータは、直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部を取り付けるボディを有し、当該アクチュエータを取付部材に固定するためのボルト等の固定部材は、前記軌道部に設けた孔部より挿入され、前記孔部に対応して前記ボディに設けた孔部を挿通して前記取付部材に連結されることを特徴とするものである。
【００２４】
また、本発明の請求項３によるアクチュエータは、直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部を取り付けるボディを有し、当該アクチュエータを取付部材に固定するためのボルト等の固定部材は、前記ボディに設けた孔部を挿通して前記軌道部に連結されることを特徴とするものである。
【００２５】
また、本発明の請求項４によるアクチュエータは、直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、記軌道部に取り付けられるテーブルを有し、前記テーブルへの積載物の位置決めあるいは保持手段の部材は、前記テーブルに設けた孔部を挿通して前記軌道部に設けた係合孔に挿入されることを特徴とするものである。
【００２６】
また、本発明の請求項５によるアクチュエータは、直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部を取り付けるボディを有し、当該アクチュエータを取付部材に固定するときの位置決めあるいは保持手段の部材は、前記ボディに設けた孔部を挿通して前記軌道部に設けた係合孔に挿入されることを特徴とするものである。
【００２７】
また、本発明の請求項６によるアクチュエータは、直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部を取り付けるボディ、前記軌道部に取り付けられるテーブル、および前記軌道部またはテーブルの移動量を調整する手段を有し、前記手段を当該アクチュエータに連結または位置決めするための部材は、前記ボディまたはテーブルに設けた孔部を挿通して前記軌道部に連結または挿入されることを特徴とするものである。
【００２８】
また、本発明の請求項７によるアクチュエータは、直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部を取り付けるボディを有し、前記軌道部には、前記ボディから露出して、当該アクチュエータを固定する取付部材に当接する部位が設けられていることを特徴とするものである。
【００２９】
また、本発明の請求項８によるアクチュエータは、直線状に往復動作する軌道部と、前記軌道部を駆動させる駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部に取り付けられるテーブルを有し、前記軌道部には、前記テーブルから露出して、前記テーブルに積載される積載物が当接する部位が設けられていることを特徴とするものである。
【００３０】
また、本発明の請求項９によるアクチュエータは、上記した請求項１ないし８の何れかに記載したアクチュエータにおいて、軌道部に外部ダストが侵入するのを抑えるダストシールが設けられていることを特徴とするものである。
【００３１】
更にまた、本発明の請求項１０によるアクチュエータは、上記した請求項１ないし９の何れかに記載したアクチュエータにおいて、駆動部は、流体圧により作動するピストン式シリンダ、マグネット式ロッドレスシリンダもしくはバンド式ロッドレスシリンダ、または電動アクチュエータの何れかであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００３２】
本発明は、以下の効果を奏する。
【００３３】
すなわち、上記構成を備えた本発明の各請求項によるアクチュエータにおいては、テーブルやボディ等を挟み込んでリニアガイド等の軌道部とワークあるいは軌道部と装置とが直接固定または位置決めされるので、軌道部とテーブルおよびボディの連結部の強度を補強し、テーブルやボディの素材の強度に関係なく、強度的に強く、精度の良い取付けが可能となる。また、このことによりリニアガイド等の軌道部の持つ剛性、強度、精度を損なうことなく軌道部を利用することができ、耐久性が良く、コンパクトなアクチュエータを提供することができる。さらに、適切なサイズの軌道部を使用したアクチュエータを選定できるのでコストダウンにも貢献する。また、ダストシールを有する場合には、アクチュエータの耐ダスト性（小部品やネジ類等の侵入・噛み込み防止、粉塵等の付着・堆積防止等）を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
尚、本件出願には、以下の実施形態が含まれる。
【００３５】
（１）直線状の軌道部と、前記軌道部と略平行に配置され、前記軌道部に直線運動を伝達する駆動部とを有するアクチュエータにおいて、前記軌道部にテーブルが設けられ、前記テーブルへ積載物を固定する固定部材は前記テーブルに設けられた孔部を挿通して前記軌道部材に螺入できることを特徴とするアクチュエータ。
（２）直線状の軌道部と、前記軌道部と略平行に配置され、前記軌道部に直線運動を伝達する駆動部とを有するアクチュエータにおいて、ボディあるいはそれに準じる部材に軌道部が設けられ、前記軌道部の孔部より挿入した固定部材は、前記孔部と略同位置に前記ボディあるいはそれに準じる部材に設けられた孔部を挿通して前記アクチュエータ以外の部材に挿入あるいは螺入できることを特徴とするアクチュエータ。
（３）直線状の軌道部と、前記軌道部と略平行に配置され、前記軌道部に直線運動を伝達する駆動部とを有するアクチュエータにおいて、ボディあるいはそれに準じる部材を他部材に取り付けるとき、取付用の固定部材が前記ボディあるいはそれに準じる部材に設けられた孔部を挿通して、前記ボディあるいはそれに準じる部材に設けられた軌道部に挿入あるいは螺入できることを特徴とするアクチュエータ。
【００３６】
（４）直線状の軌道部と、前記軌道部と略平行に配置され、前記軌道部に直線運動を伝達する駆動部とを有するアクチュエータにおいて、テーブルへの積載物の位置決めあるいは保持手段の部材が、前記テーブルに設けられた孔部を挿通して軌道部に設けられた係合孔に挿入できることを特徴とするアクチュエータ。
（５）直線状の軌道部と、前記軌道部と略平行に配置され、前記軌道部に直線運動を伝達する駆動部とを有するアクチュエータにおいて、ボディあるいはそれに準じる部材を他部材に取り付ける時の位置決めあるいは保持手段の部材が、前記ボディあるいはそれに準じる部材に設けられた孔部を挿通して軌道部に設けられた係合孔に挿入できることを特徴とするアクチュエータ。
（６）直線状の軌道部と、前記軌道部と略平行に配置され、前記軌道部に直線運動を伝達する駆動部とを有するアクチュエータにおいて、テーブルあるいは軌道部材の移動量を調整する手段において、前記手段をアクチュエータに連結、あるいは位置決め用の部材が、ボディおよびテーブルあるいはそれらに準ずる部材の孔部を挿通して軌道部へ挿入あるいは螺入できることを特徴とするアクチュエータ。
（７）直線状の軌道部と、前記軌道部と略平行に配置され、前記軌道部に直線運動を伝達する駆動部とを有するアクチュエータにおいて、テーブルあるいはボディより露出させた軌道部に積載物や装置等を当接できることを特徴とするアクチュエータ。
（８）上記（１）ないし（７）の何れかに記載のアクチュエータにおいて、外部ダストがテーブルおよびボディ間の隙間から侵入するのを抑えるダストシールが設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
（９）上記（１）ないし（８）の何れかに記載のアクチュエータにおいて、駆動部は圧力流体によりピストンが変位する流体圧シリンダおよびバンド式ロッドレスシリンダ、マグネットにより外部移動体が変位するマグネット式ロッドレスシリンダ、電動アクチュエータの何れかからなることを特徴とするアクチュエータ。
【実施例】
【００３７】
つぎに本発明の実施例を図面にしたがって説明する。
【００３８】
実施例１・・・
図１ないし図１３は、本発明の実施例１に係るアクチュエータ１を示している。当該実施例に係るアクチュエータ１は、軌道部をリニアガイド２、駆動部をエアシリンダ３とする流体圧アクチュエータであって、以下のように構成されている。
【００３９】
すなわち先ず、図８に示すように、ボディ４の内部にシリンダ室５が形成されており、図９に示すように、シリンダ室５の中心軸線と略平行にリニアガイド２が配置されている。ボディ４にはシリンダ室５が複数形成されていても良い。リニアガイド２を搭載したボディ４は図示したように一体成形ではなく、シリンダ構成部とリニアガイド搭載部とが分割または分離されていても良く、さらにボディ４以外のアクチュエータ構成部材（広義のボディに含まれる）にリニアガイド２が配置されていても良い。
【００４０】
リニアガイド２は、ガイドレール６と、このガイドレール６に対して軸線方向に直線的に往復動可能に組み合わされたガイドブロック７とを有しており、このガイドレール６およびガイドブロック７間にボールまたはローラ等よりなる転動体８が多数転動自在に組み付けられている。図では、転動体８は無限軌道式のボールベアリングである。ガイドレール６およびガイドブロック７はそれぞれ、強度、剛性、耐摩耗性、加工精度等を確保するため、熱処理された鉄やステンレス鋼等の硬質材にて成形されている。ガイドブロック７にはテーブル９が固定部材であるボルト１０にて着脱自在に連結されている。このテーブル９およびボディ４はそれぞれ軟質材にて成形されており、一般的には安価で加工性が良く、複雑な断面形状を作り易いことから、型を利用したアルミ押出し材が多用される。
【００４１】
図８に示すように、ボディ４内部のシリンダ室５には、ピストン１１とこれに連結したロッド１２が設けられており、ボディ４に設けたポート１３（図５）からシリンダ室５へ圧縮空気等の流体を給排すると、ピストン１１がシリンダ室５内にて軸線方向に直線的に往復動する。ロッド１１の先端部１１ａはボディ４の外部に突出して、テーブル９と略直角に連結した先端プレート１４に連結されており、よってピストン１１が往復動すると、ロッド１２および先端プレート１４を介して、テーブル９とこれを連結したガイドブロック７とがガイドレール６上を軸線方向に直線的に往復動する。尚、先端プレート１４はテーブル９と一体的に成形されていても良い。
【００４２】
図７に示すように、ガイドレール６には、このガイドレール６をボディ４に連結するための固定部材であるボルト１５の頭部を挿入する孔部としての穴ぐり１６と、ボルト１５のネジ部を挿通する貫通穴１７とが複数設けられており、この穴ぐり１６および貫通穴１７に挿入したボルト１５がそれぞれボディ４に螺入されて、着脱自在に連結されている。尚、図とは反対に、ボディ４の底面側からボルト１５をガイドレール６にねじ込んでガイドレール６をボディ４に連結するようにしても良い。また、ボディ４にＴスロット溝を設けて、ボルトとナットにてガイドレール６をボディ４に固定するようにしても良い。また、ボルト１５以外の方法、例えば圧入、カシメ、溶接または接着等によりガイドレール６をボディ４に固定するようにしても良い。また、ガイドレール６およびボディ４間に位置決めまたは連結固定用の部材、例えばキーやピン等を設けても良い。また、ガイドレール６とボディ４に互いに対応する凹凸形状を設けて、この凹凸を嵌め込む構造としても良い。
【００４３】
ガイドレール６には、ボディ４との連結用の穴ぐり１６および貫通穴１７以外にも、孔部としての穴ぐり１８および貫通穴１９が複数設けられており、この穴ぐり１８および貫通穴１９と略同位置にボディ４にも貫通穴２０が設けられており、図１２に示すように、穴ぐり１８および貫通穴１９に挿入したボルト２１を装置２２に直接ねじ込むあるいは挿入することによりアクチュエータ１を装置２２に固定するように構成されている。この構成によると、ボディ４を挟んでボルト２１にてガイドレール６が装置２２に直接固定されるので、ガイドレール６を装置２２に直接取り付けた上記図３７と略同じ取付状態となり、さらにボルト２１の頭部座面が当接する相手部材は従来例のような強度的に弱いアルミ材ではなく、熱処理された鉄あるいはステンレス鋼にて成形された強度的に強いガイドレール６であるので、従来例の場合よりも高い強度の連結固定部を構成することができる。
【００４４】
尚、ガイドレール６をボディ４に連結するボルト１５、およびボディ４を挟んでガイドレール６を装置２２に直接固定するボルト２１はそれぞれ、図７に示すように、テーブル８に設けた開口孔２３より挿入される。テーブル８の開口孔２３とガイドレール６の穴ぐり１６，１８の位置が合わない箇所は、テーブル９を軸方向に移動させて位置を合わせることにより開口孔２３よりボルト１５，２１を挿入する。また、テーブル９に開口孔２３がなくても、テーブル９を軸方向に移動させてガイドレール６の穴ぐり１６，１８を露出させることによりボルト１５，２１を挿入するようにしても良い。尚、ガイドレール６上のガイドブロック７が摺動しない範囲においては、ボルト１５，２１を挿入するための穴ぐり１６，１８が無かったり浅かったりしてボルト１５，２１の頭部がガイドレール６上に突出していても良い。また、ガイドレール６上のガイドブロック７が摺動する範囲において、ボルト１５，２１の頭部はガイドレール６上に突出していても、ガイドブロック７およびガイドレール６間に隙間を設けるか、ガイドブロック７に逃げを設けるかすれば干渉を防止できるので、ガイドブロック７を往復動させることができる。また、ガイドレール６に設けるボルト１５，２１を挿入する部分は前述のような穴ぐり１６，１８でなくても、ボルト１５，２１の頭部が入る凹状の溝がガイドレール６の軸線方向に設けられていても良い。
【００４５】
装置２２への固定構造の他の例を示す図１４の例では、ガイドレール６にネジ穴２４が複数設けられ、ボディ４にネジ穴２４と略同位置に貫通穴２５が設けられ、装置２２側よりボルト２６を貫通穴２５を通してネジ穴２４にねじ込むことにより、アクチュエータ１を装置２２に固定するように構成されている。もちろん、ガイドレール６のネジ穴２４は貫通していなくても良い。この場合も、ボディ４を挟んでアクチュエータ１を装置２２に固定するボルト２６が、熱処理された鉄やステンレス鋼等にて成形された強度的に強いガイドレール６に直接ねじ込まれるので、高い強度の連結固定部を構成することができる。
【００４６】
また、図１５の例では、上記図１２に示したガイドレール６の一部の貫通穴１９にネジ加工が施されているので、一つのアクチュエータ１で図１２のパターンと図１４のパターンの２とおりの固定方法を行なうことが可能とされている。また、同じアクチュエータ１に、ボルトを挿入する穴とボルトをねじ込むネジ穴を双方設けるようにしても良い。尚、ガイドレール６をボディ４に固定するボルト１５の穴ぐり１６および貫通穴１７と、アクチュエータ１を装置２２に固定するボルト２１の穴ぐり１８および貫通穴１９とネジ穴２０とは同じ軸線上に配置されていなくても良く、また複数列設けられても良い。また、上記したようにボディ４を挟んでボルト２１がガイドレール６を装置２２に固定するので、ボディ４とガイドレール６は前述のようにボルト１５等で連結されていなくても良い。また、上記従来例に係る図３６に示したようなボディ４を装置２２に連結する固定部材であるボルト９７等を挿入する穴ぐりと貫通穴あるいはネジ穴と、上記実施例１に係るガイドレール６を介して装置２２に連結する方法とを併用して固定するようにしても良い。
【００４７】
また、図９に示したように、テーブル９はボルト１０によりガイドブロック７に連結されているが、図とは反対にガイドブロック７側からボルト１０をテーブル９にねじ込んで連結するようにしても良い。また、ボルト１０以外の方法、例えば圧入、カシメ、溶接または接着等によりガイドブロック７にテーブル９を固定するようにしても良い。ガイドブロック７およびテーブル９間には位置決めまたは連結固定用の部材、例えばキーやピン等を設けても良い。また、ガイドブロック７とテーブル９に互いに対応する凹凸形状を設けて、この凹凸を嵌め込む構造としても良い。
【００４８】
つぎに、図１０に示すように、ガイドブロック７には、テーブル９を連結するためのボルト１０をねじ込むネジ穴２９（図９）以外にもネジ穴３０が設けられており、このネジ穴３０と略同位置にテーブル９にはネジ穴３０よりも径の大きい貫通穴３１が設けられており、図１３に示すように、テーブル９に取り付けるワークｗを固定するためのボルト３２はこの貫通穴３１を通ってガイドブロック７のネジ穴３０にねじ込まれる。このようにワークｗを固定するためのボルト３２が、アルミ等の強度的に弱い素材でできたテーブル９ではなく、熱処理された鉄やステンレス鋼にて成形された強度的に強いガイドブロック７のネジ穴３０に直接ねじ込まれることになるので、ガイドブロック７上にワークｗを直接取り付けた上記図３７と略同じ状態となり、よって従来例の場合よりも高い強度の連結固定部を構成することができる。この連結固定部は、ワークｗとテーブル９とガイドブロック７とが一体物に近い状態となっているので、ワークｗの質量や外部からの大きな力によるモーメントに対しても十分に強いものである。また、ワークｗの着脱のために何回もボルト３２をねじ込んだり緩めたりしても、熱処理された鉄やステンレス鋼にて成形されたガイドブロック７のネジ穴３０は、ネジ摩耗や疲労破壊等に対して強いものである。尚、図１に示すように、テーブルの上面にもネジ穴３３を設けて、ガイドブロック７のネジ穴３０と併用してワークｗを固定するようにしても良い。
【００４９】
つぎに、アクチュエータ１にワークｗを取り付けるときやアクチュエータ１を装置２２に取り付けるときには、ワークｗや装置２２側に位置決めピンを設置して、この位置決めピンをアクチュエータ１側の位置決め穴に挿入することが行なわれる。これにより、取付時の位置決め調整の手間を少なくして精度良く取付けしたり、ワークｗやアクチュエータ１の取付け取外し時の位置再現性を得ることができる。一般的に位置決めピンは２個一組で用いられ、位置決めピンが挿入される係合孔としての位置決め穴の片方は丸穴で、もう片方の穴は長穴になっている。片方が長穴なのは、組み込まれた２個の位置決めピン間の軸方向距離のバラツキを吸収するためである。もちろん位置決めピンが１個のみで、丸穴あるいは長穴どちらか一方のみで使用することもある。
【００５０】
実施例１では、図７に示すように、ガイドブロック７に位置決め用の丸穴３４および長穴３５が設けられている。この丸穴３４および長穴３５と略同位置のテーブル９には、丸穴３４および長穴３５よりも大きな貫通穴３６が設けられている。図１２に示すように、テーブル９上面に取り付けるワークｗに組み込まれた位置決めピン３７は貫通穴３６を通って丸穴３４または長穴３５に挿入される。
【００５１】
また、同じく図７に示すように、ガイドレール６にも位置決め用の丸穴３８および長穴３９が設けられており、この丸穴３８および長穴３９と略同位置のボディ４には丸穴３８および長穴３９よりも大きな貫通穴４０が設けられている。図１２示すように、アクチュエータ１を取り付ける装置２２に組み込まれた位置決めピン４１は貫通穴４０を通って丸穴３８または長穴３９に挿入される。
【００５２】
精度の良い位置決めを可能にするには、位置決め穴３４，３５，３８，３９と位置決めピン３７，４１の隙間をできるだけ小さくする必要があるため、位置決め穴や位置決めピンは寸法精度の良い加工が施される。さらに、位置決めピンは精度の良い加工がし易く、位置決め穴への挿入時の摩耗や位置決めピンのワークｗや装置２２への圧入時の力による変形対策等を考慮して、熱処理された鉄やステンレス鋼等硬い材質が多く用いられる。よって、従来例においては強度的に弱く摩耗し易いアルミ等の材質にて成形されたテーブル９やボディ４に位置決め穴が設けられていたのに対し、当該実施例では、強度的にも強く摩耗もしにくい熱処理された鉄やステンレス鋼にて成形されたガイドブロック７やガイドレール６の位置決め穴３４，３５，３８，３９に位置決めピン３７，４１が挿入されるので、ワークｗやアクチュエータ１を何回着脱しても位置決め穴３４，３５，３８，３９の摩耗は殆んど無い。したがって精度の劣化が少なく、長期間に亙って高精度を維持することができる。また、強度的に強い素材のガイドブロック７やガイドレール６の位置決め穴３４，３５，３８，３９に位置決めピン３７，４１が挿入されるので、外部から大きな力が作用したりしてもボルト以外に位置決めピンでも強度を補助することができる。
【００５３】
さらに、本実施例の位置決め構造については、以下のような効果もある。
すなわち、上記従来例に係る図３４において、テーブル９に設けた位置決め穴とボディ４に設けた位置決め穴とは同一軸線上に描かれているが、実際には、テーブル９、ガイドブロック７、ガイドレール６およびボディ４それぞれの部品の加工精度のバラツキや組立時のバラツキによる累積誤差により、ズレが生じている。このズレは製品単体としても発生しているが、製品ごとにも個体差として発生する。しかしながら、前述のように精密に加工されたガイドブロック７とガイドレール６は精度良く組み上がっているので、ガイドブロック７に設けた位置決め穴とガイドレール６に設けた位置決め穴の相対的なズレは小さい。また、テーブル９とボディ４が関与しないので、部品点数が半分になり、累積誤差によるズレも小さくできる。
【００５４】
尚、ガイドブロック７とガイドレール６それぞれにおいて、丸穴３４，３８および長穴３５，３９は少なくともどちらか一方のみでも良く、また丸穴３４，３８および長穴３５，３９は互いに同数あるいはそれぞれ異なった数で複数設けられていても良い。また、テーブル９やボディ４に設ける貫通穴３６，４０は丸穴３４，３８や長穴３５，３９と同形状でなくても良く、貫通穴３６，４０の中心と丸穴３４，３８または長穴３５，３９の中心が一致していなくても良い。さらに、テーブル９やボディ４にも位置決め用の丸穴４２および長穴４３の加工を施して、ガイドブロック７やガイドレール６に設けた丸穴３４，３８および長穴３５，３９と併用してワークｗやアクチュエータ１の位置決め等を行なうようにしても良い。また、ガイドブロック７およびガイドレール６に圧入等により位置決めピンを組み込んで、ワークｗや装置２２側に設けた位置決め用の丸穴や長穴に位置決めピンを挿入して位置決めを行なうようにしても良い。ピン以外の位置決め部材、例えばキーを利用する場合には、当該実施例と同様の構成でガイドブロック７およびガイドレール６に設けたキー溝にキーを挿入する。
【００５５】
また、当該実施例においては、図１６に拡大して示すように、テーブル９とボディ４の隙間から外部のダストが機内のリニアガイド２の方へ侵入しないようにダストシール５１が設けられている。このダストシール５１は、テーブル９の側面に支持部材５２を介してボルト５４にて取り付けられたシール部材５３を有しており、このシール部材５３のシールリップ端５３ａがボディ４に摺動自在に当接している。このダストシール５１は、図１の平面図に示すように、テーブル９の両側面にそれぞれ設けられており、かつテーブル９の全長に亙って設けられている。
【００５６】
実施例２・・・
図１７ないし図１９は、本発明の実施例２に係るアクチュエータ１を示している。当該実施例に係るアクチュエータ１は上記実施例１と同様に、軌道部をリニアガイド２、駆動部をエアシリンダ３とする流体圧アクチュエータであって、以下の点で上記実施例１と相違している。
【００５７】
すなわち、この種のアクチュエータには、テーブルの移動量を調整するためにストロークアジャスタ機構が設けられることが多く、この場合、ストロークアジャスト、アジャスタネジおよびストッパブロック等の機構部材はそれぞれ、耐衝撃性や耐摩耗性を考慮して鉄やステンレス鋼等が使用されることが多く、熱処理が施される場合も多い。例えば、アジャスタネジがストッパブロックに当接した瞬間に発生する衝撃力が大きな力としてストロークアジャスタやストッパブロック、およびこれらをアクチュエータに連結しているボルト等の固定部材およびボルトをねじ込んでいる部材のネジ穴に作用することになる。前述のようにストロークアジャストやアジャスタネジ、ストッパブロックには強度対策を施しているにもかかわらず、ストロークアジャストやストッパブロックを連結するボルトは強度的に弱いアルミ等でできているテーブルやボディのネジ穴にねじ込まれているので、前述の大きな力が作用するとテーブルやボディのネジ穴に変形や破損が発生する場合がある。
【００５８】
そこで、実施例２では、図１９に示すように、テーブル９の側面にストッパブロック６１を連結する固定部材であるボルト６２をねじ込むためのネジ穴６３がガイドブロック７に設けられており、テーブル９にはネジ穴６３と略同位置に貫通穴６４が設けられており、ボルト６２はこの貫通穴６４を通ってガイドブロック７のネジ穴６３に直接ねじ込まれるように構成されている。同様に、ボディ４の側面にストロークアジャスト６５を連結する固定部材であるボルト６６をねじ込むネジ穴６７がガイドレール６に設けられており、ボディ４にはネジ穴６７と略同位置に貫通穴６８が設けられており、ボルト６６はこの貫通穴６８を通ってガイドレール６のネジ穴６７に直接ねじ込まれるように構成されている。したがって、ストロークアジャスト６５のアジャスタネジ６９にストッパブロック６１が当接した瞬間に発生する大きな衝撃力が作用してもボルト６２，６６がねじ込まれているリニアガイド２のネジ穴６３，６７の母材が強度の高い熱処理された鉄やステンレス鋼であるので、変形や破損等に対して強い特性を発揮することができる。
【００５９】
さらに、図２０および図２１の別の例では、テーブル９およびボディ４の側面にそれぞれ切欠部７１，７２が設けられて、ガイドブロック７またはガイドレール６の側面に対してストッパブロック６１またはストロークアジャスト６５の片面の一部または全部が直接当接する状態でボルト６２，６６により連結されるように構成されているので、さらに強度的に強くなっている。
【００６０】
ストッパブロック６１とガイドブロック７の間およびストロークアジャスト６５とガイドレール６の間にはそれぞれ、位置決めや強度補強用としての部材、例えばピンやキー等が前述のボルト６２，６６と同様の構成で設けられていても良い。また、ストッパブロック６１とガイドブロック７に互いに対応する凹凸形状を設けて、この凹凸を嵌め込む構造としても良く、ストロークアジャスト６５とガイドレール６に互いに対応する凹凸形状を設けて、この凹凸を嵌め込む構造としても良い。
【００６１】
尚、この実施例２に係るアクチュエータ１にも、上記実施例１と同様にダストシール５１が設けられている。
【００６２】
実施例３・・・
図２２ないし図２５は、本発明の実施例３に係るアクチュエータ１を示している。当該実施例に係るアクチュエータ１は上記実施例１と同様に、軌道部をリニアガイド２、駆動部をエアシリンダ３とする流体圧アクチュエータであって、以下の点で上記実施例１と相違している。
【００６３】
すなわち、この実施例３では上記実施例１とは反対に、ボディ４にガイドブロック７が取り付けられ、テーブル９にガイドレール６が取り付けられている。
【００６４】
ガイドブロック７は、ボディ４の底面側より固定部材であるボルト７５（図２４）にてボディ４に連結されている。もちろん反対に、ガイドブロック７側からボディ４にボルト７５をねじ込んで連結するようにしても良い。また、ボルト７５以外の方法、例えば圧入、カシメ、溶接、接着等によりガイドブロック７をボディ４に連結するようにしても良い。また、ガイドブロック７とボディ４との間には位置決めや連結固定用の部材、例えばキーやピン等を用いても良い。
【００６５】
図２３に示すように、ガイドブロック７には、実施例１と同様に、当該アクチュエータ１を装置に固定するためのボルト（図示せず）の頭部を挿入する穴ぐり７６と、このボルトのネジ部を挿通する貫通穴７７とが設けられており、この穴ぐり７６および貫通穴７７と略同位置にボディ４にも貫通穴７８が設けられており、この穴ぐり７６および貫通穴７７，７８に挿入するボルトが装置に螺入または挿入されて、着脱自在に固定される。ガイドブロック７とボディ４を連結するボルト７５およびボディ４を挟んでガイドブロック７を装置に固定するボルトはそれぞれ、テーブル９およびガイドレール６に設けた開口孔７９より挿入される。テーブル９およびガイドレール６の開口孔７９とガイドブロック７の穴ぐり７６の位置がずれている場合は、テーブル９およびガイドレール６を軸方向に移動させて開口孔７９と穴ぐり７６の位置を合わせることにより開口孔７９よりボルト７５を挿入する。また、実施例１の図１４と同様に、ガイドブロック７にネジ穴を設け、このネジ穴と略同位置にボディ４に貫通穴を設け、装置側よりボルトを貫通穴を通してネジ穴にねじ込むことによりアクチュエータ１を装置に固定するようにしても良い。もちろん、実施例１の図１５と同様に、これら２つを組み合わせた構造としても良い。
【００６６】
また、ガイドブロック７には、実施例１と同様に、当該アクチュエータ１を装置に取り付けるときに位置決めピンが係合する丸穴８０および長穴８１が設けられており、ボディ４にはこの丸穴８０および長穴８１と略同位置に貫通穴８２が設けられており、ボディ４の貫通穴８２を通して丸穴８０および長穴８１に位置決めピンを挿入する。ボディ４に加工したネジや位置決め穴と前述のガイドブロック７のネジおよび位置決め穴８０，８１とを併用して固定や位置決めを行なうようにしても良い。
【００６７】
また、図２３に示すように、ガイドレール６はテーブル９側からガイドレール６にボルト８３がねじ込まれて連結されている。もちろん反対に、ガイドレール６側からテーブル９にボルト８３をねじ込んで連結するようにしても良い。また、ボルト８３以外の方法、例えば、圧入、カシメ、溶接、接着等によりガイドレール６をテーブル９に連結するようにしても良い。ガイドレール６とテーブル９との間には位置決めや連結固定用の部材として例えばキーやピン等が用いられても良い。
【００６８】
図２５に示すように、ガイドレール６には、実施例１と同様に、ワークをテーブル９に固定するためのボルトをねじ込むネジ穴８４が設けられており、このネジ穴８４と略同位置にテーブル９に貫通穴８５が設けられており、ボルトをテーブル９の貫通穴８５を通してガイドレール６のネジ穴８４にねじ込むことによりワークをテーブル９上に固定する。
【００６９】
また、図２３に示すように、ガイドレール６には、実施例１と同様に、テーブル９上にワーク（図示せず）を取り付けるときに位置決めピン（図示せず）を係合する丸穴８６および長穴８７が設けられており、テーブル９には丸穴８６および長穴８７と略同位置に貫通穴８８が設けられており、位置決めピンをテーブル９の貫通穴８８を通して丸穴８６および長穴８７に挿入する。また、テーブル９の平面上に設けたネジ穴や位置決め穴４２，４３と、ガイドレール６に設けたネジ穴８４や位置決め穴８６，８７とを併用して固定や位置決めを行なうようにしても良い。
【００７０】
また、図示はしないが、実施例２と同様に、ストロークアジャスタ機構のストッパブロックがガイドレールに、ストロークアジャストがガイドブロックに取り付けられる構造とされても良い。
【００７１】
尚、この実施例３に係るアクチュエータ１にも、上記実施例１と同様にダストシール５１が設けられている。
【００７２】
実施例４・・・
図２６および図２７は、本発明の実施例４に係るアクチュエータ１を示している。当該実施例に係るアクチュエータ１は上記実施例１と同様に、軌道部をリニアガイド２、駆動部をエアシリンダ３とする流体圧アクチュエータであって、以下の点で上記実施例１と相違している。
【００７３】
すなわち、アクチュエータ２２にワークｗを取り付けるときの位置決めや、アクチュエータ１を装置２２に取り付けるときの位置決めには、上記実施例１等で説明した位置決め穴としての丸穴および長穴に位置決めピンを挿入する手段のほかに、ガイドブロック７やガイドレール６にワークｗや装置２２を直接押し当てて位置決めすることが考えられる。これは、実施例１でも述べたように、リニアガイド２は研磨加工等により精密に加工され精度良く組み立てられていることから、ガイドブロック７やガイドレール６は寸法精度が高く、製品間のバラツキも小さく、位置精度も正確に出ているからである。また、位置決め部にはワークｗの質量や外部からの力が作用することも多くあり、この場合、従来例のような強度的に弱く変形し易いアルミ材にて成形されたテーブル９やボディ３にワークｗや装置２２を押し当てて位置決めすると、変形や破損等が発生し易く、ワークｗやアクチュエータ１に位置ズレが発生することが懸念される。
【００７４】
そこで、当該実施例では、図２７に示すように、テーブル９の側面に切欠部９０を設けて、この切欠部９０より露出したガイドブロック７の側面の一部または全部にワークｗの一部（突起部）を当接させることにより、ワークｗをアクチュエータ１に対して位置決めする。ガイドブロック７の側面はテーブル９の切欠部９０よりも突出していても良く、引込んでいても良く、同一面であっても良い。また、図示したようにテーブル９側面の切欠部９０は一部ではなく全面が段差面の位置になっていても良い。
【００７５】
また、同様に、ボディ４の側面に切欠部９１を設けて、この切欠部９１より露出したガイドレール６の側面の一部または全部に装置２２の一部（突起部）を当接させることにより、アクチュエータ１を装置２２に対して位置決めする。ガイドレール６の側面はボディ４の切欠部９１よりも突出していても良く、引込んでいても良く、同一面であっても良い。また、図示したようにボディ４側面の切欠部９１は一部ではなく全面が段差面の位置になっていても良い。
【００７６】
上記構成によれば、強度、剛性、精度に優れたリニアガイド２の構成部材にワークｗや装置２２を押し当てて位置決めするので、前述のような力が長期間に亙って作用し続けても変形、磨耗、破損等がなく、しかも精度の良い位置決めを行なうことが可能となる。尚、この実施例４に上記実施例２，３の内容を盛り込むようにしても良い。
【００７７】
尚、この実施例４に係るアクチュエータ１にも、上記実施例１と同様にダストシール５１が設けられている。
【００７８】
実施例５・・・
図２８は、本発明の実施例５に係るアクチュエータ１を示している。当該実施例に係るアクチュエータ１は上記実施例１と同様に、軌道部をリニアガイド２、駆動部をエアシリンダ３とする流体圧アクチュエータであって、以下の点で上記実施例１と相違している。
【００７９】
すなわち、この図２８のアクチュエータは、テーブル９の平面の一部が開口している構造で、この開口部９３にガイドブロック７の一部が露出している。ガイドブロック７の露出面９４には、実施例１と同様に、ワークを固定するためのボルトをねじ込むネジ穴３０や、ワークを位置決めするための丸穴および長穴等よりなる位置決め穴（図示せず）が設けられている。ワークはテーブル９の平面に接するように取り付けても良いし、ガイドブロック７の露出面９４に接するように取り付けても良い。
【００８０】
また、図２９の例では、ガイドブロック７の露出面９４がテーブル９の平面よりも上方に突出するように形成されており、この突出したガイドブロック７の露出面９４に、ワークを固定するためのボルトをねじ込むネジ穴３０や、ワークを位置決めするための丸穴および長穴等よりなる位置決め穴（図示せず）が設けられている。
【００８１】
また、図３０の例では、ガイドブロック７の露出面９４が、ネジ穴３０周辺部位に限ってテーブル９の平面よりも上方に突出するように形成されている。
【００８２】
図２８ないし図３０に共通して、ガイドブロック７の露出面９４はテーブル９の平面よりも引込んでいても良く、突出していても良く、また同一面の位置であっても良い。また、ガイドブロック７とテーブル９の連結は、実施例１に記述しているように、ガイドブロック７側からボルト等でテーブル９に連結されていても良い。尚、この実施例５に上記実施例２，３，４の内容を盛り込むようにしても良い。
【００８３】
尚、この実施例５に係るアクチュエータ１にも、上記実施例１と同様にダストシール５１が設けられている。
【００８４】
上記各実施例に共通して、更に以下の説明が付加される。
（１）テーブル９、ボディ４の素材は、アルミ以外の真鍮、鉄、ステンレス等の金属材料やセラミック、樹脂等の金属以外の材料であっても良い。
（２）ガイドブロック７側、ガイドレール６側のどちらか一方のみに実施例１〜５の事項が実施されても良い。
（３）ガイドレール６上には複数個のガイドブロック７があっても良く、また、ガイドレール６は複数個あっても良い。
（４）ガイドブロック７やガイドレール６は一体形になっているが、分割タイプであっても良い。
（５）ガイドレール６およびガイドブロック７はボディ４に取り付けられているが、アクチュエータ１を形成している他の部材に取り付けられていても良い。
（６）軌道部のリニアガイド２は、ボールが循環するタイプ以外に、ローラ等が循環するタイプでも良く、また、ボールやローラ等が循環しない有限直線運動タイプでも良く、すべり軸受等であっても良い。
（７）リニアガイド２の材質は、ステンレス、鉄以外のアルミ、真鍮等の金属でも良く、樹脂やセラミック等の金属以外の材質であっても良く、異種金属の組み合わせや金属と金属以外の素材を組み合わせたものであっても良い。
（８）駆動部は、実施例以外に、マグネット式やバンド式のロッドレスシリンダ、電動アクチュエータ等の直動機能を有するアクチュエータでも良い。同種のアクチュエータが副数組み込まれても良く、また異種のアクチュエータが組み込まれても良い。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の実施例１に係るアクチュエータの平面図
【図２】同アクチュエータの正面図
【図３】同アクチュエータの底面図
【図４】同アクチュエータの背面図
【図５】同アクチュエータの右側面図
【図６】同アクチュエータの左側面図
【図７】図１におけるＡ−Ａ線断面図
【図８】図１におけるＢ−Ｂ線断面図
【図９】図１におけるＣ−Ｃ線拡大断面図
【図１０】図１におけるＤ−Ｄ線拡大断面図
【図１１】同アクチュエータのテーブルにワークを取り付けた状態の平面図
【図１２】図１１におけるＥ−Ｅ線断面図であってテーブルにワークを取り付けかつアクチュエータを装置に取り付けた状態の断面図
【図１３】図１１におけるＦ−Ｆ線拡大断面図であってテーブルにワークを取り付けかつアクチュエータを装置に取り付けた状態の断面図
【図１４】同アクチュエータの構造変更例を示す断面図
【図１５】同アクチュエータの他の構造変更例を示す断面図
【図１６】図９におけるＸ部拡大図であってダストシールの説明図
【図１７】本発明の実施例２に係るアクチュエータの平面図
【図１８】同アクチュエータの正面図
【図１９】図１７におけるＧ−Ｇ線拡大断面図
【図２０】同アクチュエータの構造変更例を示す平面図
【図２１】図２０におけるＨ−Ｈ線拡大断面図
【図２２】本発明の実施例３に係るアクチュエータの平面図
【図２３】図２２におけるＪ−Ｊ線断面図
【図２４】同アクチュエータの底面図
【図２５】図２２におけるＪ−Ｊ線拡大断面図
【図２６】本発明の実施例４に係るアクチュエータの平面図
【図２７】図２６におけるＬ−Ｌ線拡大断面図
【図２８】本発明の実施例５に係るアクチュエータの断面図
【図２９】同アクチュエータの構造変更例を示す断面図
【図３０】同アクチュエータの他の構造変更例を示す断面図
【図３１】従来例に係るアクチュエータの平面図
【図３２】図３１におけるＭ−Ｍ線断面図
【図３３】同アクチュエータの右側面図
【図３４】図３１におけるＮ−Ｎ線拡大断面図
【図３５】同アクチュエータへのワークの取付構造を示す断面図
【図３６】同アクチュエータの装置への取付構造を示す断面図
【図３７】リニアガイド単体使用状態を示す断面図
【符号の説明】
【００８６】
１  アクチュエータ
２  リニアガイド（軌道部）
３  エアシリンダ（駆動部）
４  ボディ
５  シリンダ室
６  ガイドレール
７  ガイドブロック
８  転動体
９  テーブル
１０，１５，２１，２６，３２，５４，６２，６６，７５，８３  ボルト（固定部材）
１１  ピストン
１２  ロッド
１３  ポート
１４  先端プレート
１６，１８，７６  穴ぐり
１７，１９，２０，２５，３１，３６，４０，６４，６８，７７，７８，８２，８５，８８  貫通穴（孔部）
２２  装置（取付部材）
２３，７９  開口孔
２４，２９，３０，６３，６７，８４  ネジ穴（孔部）
３４，３８，８０，８６  丸穴（位置決め穴、係合孔）
３５，３９，８１，８７  長穴（位置決め穴、係合孔）
３７，４１  位置決めピン
５１  ダストシール
５２  支持部材
５３  シール部材
６１  ストッパブロック
６５  ストロークアジャスト
６９  アジャスタネジ
７１，７２，９０，９１  切欠部
９３  開口部
９４  露出面
ｗ  ワーク（積載物）
【図１】
2005282744.tif 000003
【図２】
2005282744.tif 000004
【図３】
2005282744.tif 000005
【図４】
2005282744.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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