(57)【要約】【課題】多層記録のトラッキングを形成するためにすべての層にトラッキング用のパターンを転写しようとすると媒体の製造コストが増大する。【解決手段】媒体の一部にのみあらかじめサーバ用のパターンを形成しておき、２つの光スポットのうちひとつをサーボパターンに照射してトラッキングを行いもう一方の光スポットでサーボパターンを追記する。【効果】短時間のプリライトで媒体を出荷できるため、媒体製造コストを大幅に低減できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円盤状光記録媒体上に、第１の光スポットと第２の光スポットを照射し、前記第１の光スポットを用いてトラッキングを行いながら第２のスポットを用いてトラッキングのためのマークあるいは案内溝を形成することを特徴とする光記録媒体のトラック形成方法。
【請求項２】
前記第１の光スポットと前記第２の光スポットを同一の記録面上に照射し、前記第１のスポットと前記第２のスポットの半径方向の間隔はトラックピッチの整数倍または半整数倍とほぼ等しいことを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体のトラック形成方法。
【請求項３】
前記媒体の記録面上に、少なくとも一周以上に、トラッキングのためのマークあるいは案内溝があらかじめ形成されていることを特徴とする請求項２に記載の光記録媒体のトラック形成方法。
【請求項４】
前記媒体は複数の記録面を有し、前記第１の光スポットと前記第２の光スポットを異なる記録面上に照射することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体のトラック形成方法。
【請求項５】
前記複数の記録面のうち一層にのみトラッキングのためのマークあるいは案内溝があらかじめ形成されていることを特徴とする請求項４に記載の光記録媒体のトラック形成方法。
【請求項６】
トラッキングのためのマークあるいは案内溝を形成すると同時にアドレスデータを記録することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体のトラック形成方法。
【請求項７】
トラッキングのためのマークあるいは案内溝を形成し、かつユーザデータを記録することを特徴とする請求項１に記載の光記録媒体のトラック形成方法。
【請求項８】
前記第１の光スポットの強度は、前記第２の光スポットの強度よりも小さいことを特徴とする請求項１記載の光記録媒体のトラック形成方法。
【請求項９】
前記第１の光スポットと前記第２の光スポットは、回折格子を用いて形成されることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体のトラック形成方法。
【請求項１０】
前記第１の光スポットは第１の光源から照射され、前記第２の光スポットは第２の光源から照射されることを特徴とする請求項１記載の光記録媒体のトラック形成方法。
【請求項１１】
円盤状光情報記録媒体のトラック形成方法であって、螺旋または同心円上のトラックを一周以上あらかじめ形成しておき，残りのトラックはあらかじめ形成したトラックに追従して形成することを特徴とする情報記録媒体のトラック形成方法。
【請求項１２】
円盤状光記録媒体上に、第１の光スポットと第２の光スポットを照射し、前記第１の光スポットを用いてトラッキングを行いながら第２のスポットを用いて情報マークを形成することを特徴とする情報記録方法。
【請求項１３】
前記情報マークは、ユーザデータであることを特徴とする請求項１２記載の情報記録方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円盤状情報記録媒体に、略スパイラル状の情報トラックを形成するトラック形成方法ならびに情報記録媒体への情報の記録方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の光ディスクのトラックの形成には例えば特開昭60-50733あるいは特開昭61-13458などに提案されている。この構成の概略は、図４に示すようにレーザ光源１から出た光はビームスプリッタ２により案内溝記録光１００とヘッダ記録光２００に分離され、これらの光は信号源１５からの信号ＧおよびＨにより駆動される光偏重期４および３により信号に従って強度変調された後ビームスプリッタ５によって合成され、レンズ９および記録レンズ１０を通して円板１２上形成された感光層１３を照射し、信号を感光層に記録する。ヘッダ信号を案内溝間に形成するために案内溝記録光100はミラー8，8’により相当する角度だけヘッダ記録光により傾けてレンズ９に入射するように構成される。
【０００３】
【特許文献１】特開昭60-50733号公報
【０００４】
【特許文献２】特開昭61-13458号公報
【特許文献３】特開昭63-30874号公報  上記のトラック形成方法では、トラックピッチは円盤が一周する間にトラックピッチ分だけスピンドル１４を移動させることによって行っていたが、トラックピッチを均一にするためには,この移動量を連続的で（滑らかに）かつ非常に高精度で制御する必要があったため、高精度な送り機能を有する専用の光ディスク原盤製造装置を用いて行っていた。この装置は非常に高価であるため、上記によって形成したトラックをプラスティック基板などに射出成型法や２Ｐ法で転写をして行っている。
【０００５】
しかしながら、射出成型法を行うには少なくとも0.1ｍｍ程度以上の厚さの基板が必要であるため、射出成型法で成型した基板を重ね合わせて多層化しようとすると層間隔が非常に広くなってしまう問題があり、２Ｐ法の場合も一層ごとに転写を行う必要があるため,製造コストが高くなり、また層間の位置あわせ精度を向上させるのが難しいという問題があった。
【０００６】
一度記録溝を形成した後に再度感光剤を塗布して、最初に形成した溝部を利用してトラッキングをかけながら、さらに溝部を加工する技術も特開昭63-30874に提案されており、この方法の場合、第２回目の加工時には一度形成された溝にトラッキングすることによってカッティングを行うため精度はそれほど要求されないが、この技術は結果的に第一回目に記録した領域と同じ領域をより複雑な形状に加工するための技術であって、そもそも最初の加工（カッティング）にかかる手間とコストを低減させる技術ではない。
【０００７】
すなわち本技術も前の例と同様に形成したトラックをプラスティック基板などに射出成型法や2Ｐ法で転写をして行っているため前述の例と同様の問題は解決していない。
【０００８】
このような従来の例で形成したトラックを有する光ディスクに記録再生を行う従来の光記録システムの一例を図３を用いて説明する。
【０００９】
図３は従来の光記録再生装置のブロック図を示したものである。ヘッド１９の一部であるレーザ光源２５（ＤＶＤ−ＲＡＭでは波長約６６０ｎｍ）から出射された光はコリメータレンズ２４を通してほぼ平行な光ビーム２２へとコリメートされる。光ビーム２２は光ディスク１８上に対物レンズ２３を通して照射され、スポット２１を形成する、その後、ビームスプリッタ２８やホログラム素子２９などを通してサーボ用検出器２６や信号検出器２７へと導かれる。各検出器からの信号は加算・減算処理されトラッキング誤差信号やフォーカス誤差信号などのサーボ信号となりサーボ回路に入力される。サーボ回路は得られたトラッキング誤差信号やフォーカス誤差信号を元に、対物レンズ２３の駆動手段３１や光ヘッド２全体の位置を制御し、光スポット２１の位置を目的の記録・再生領域に位置づける。検出器２７の加算信号は信号再生ブロック４１へ入力される。入力信号は信号処理回路によってフィルタ処理，周波数等化処理後、デジタル化処理される。デジタル化処理されたデジタル信号はアドレス検出回路および復調回路によって処理される。アドレス検出回路によって検出されたアドレス信号を元にマイクロプロセッサは光スポット２１の光ディスク１９上での位置を算出し、自動位置制御手段を制御することによって光ヘッド２及び光スポット２１を目的の記録単位領域（セクタ）へと位置づける。
【００１０】
上位装置からの光記録再生装置への指示が記録の場合には、マイクロプロセッサは上位装置から記録データを受け取りメモリへ格納するとともに自動位置制御手段を制御して、光スポット２１を目的の記録領域の位置へ位置づける。マイクロプロセッサは信号再生ブロック４１からのアドレス信号によって、光スポット２１が正常に記録領域に位置づけられたことを確認した後、レーザドライバ等を制御して目的の記録領域にメモリ内のデータを記録する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
以上のように従来のカッティング方法では、大容量化のために記録層を多層化しようとしたときに製造コストが高くなり、また層間の位置あわせずれのためすなわち層間の偏心を低減するのが難しい問題があった。
【００１２】
本発明の目的は、光ディスクの記録層の層数を５層以上に増やした際にも殆どコストアップすることなく、トラッキングのための溝またはマークを形成することの可能なトラック製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明では上記の目的を達成するために以下の手段を用いた。
（１）円盤状光記録媒体上に少なくとも第１の光スポットと第２の光スポットを照射し第１の光スポットを用いてトラッキングを行いながら第２のスポットを用いてトラッキングのためのマークあるいは案内溝を形成することとした。これにより、第１のスポットに案内されて,第２のスポットで高精度なトラックを形成することが可能になるため、従来の高精度なカッティング装置が無くても狭ピッチのトラックを有する媒体を作製することができるようになる。すなわち、製造コストを低減できる。
【００１４】
これは、特に多層媒体で有効である。層間の偏心を低減できるからである。また、ここでトラック形成と記載したが、トラック形成が記録マーク形成と同じ工程である場合、例えばＲＯＭのピットや追記型記録などの場合はトラック形成が情報を記録する工程を含むことになる。
（２）前記の第１の光スポットと第２の光スポットを同一の記録面上に照射し前期第１のスポットと前期第２のスポットの半径方向の間隔はトラックピッチの整数倍または半整数倍とほぼ等しくした。これにより、連続してスパイラル上トラックを形成することが容易になる。
（３）記録面媒体上に少なくとも一周に以上にトラッキングのためのマークあるいは案内溝をあらかじめ形成した。さらに前記光記録媒体としては複数の記録面を有するものを用い、前記第１の光スポットと第２の光スポットを異なる記録面上に照射することとした。これにより、媒体を出荷前に最初の一周のみが記録された媒体を使うことが可能になるため、媒体製造コストが大幅に低減できる。
（４）また,前記複数の記録面のうち一層にのみトラッキングのためのマークあるいは案内溝があらかじめ形成する。
【００１５】
これにより多層媒体において、すべての層に案内溝をあらかじめ形成しておく必要がなくなるため,媒体製造コストの低減が図れる。
（５）トラッキングのためのマークあるいは案内溝を形成すると同時にアドレスデータあるいはユーザデータを記録することとした。
（６）円盤状光情報記録媒体のトラック形成方法であって、螺旋または同心円上のトラックを一周以上あらかじめ形成しておいて残りのトラックはあらかじめ形成したトラックに追従して形成することとした。これにより、光ディスクの製造コストを大幅に低減できる。
【００１６】
なお、上記構成は２スポットを形成するものの、従来の装置を用いて簡便にトラックを形成できる。
【発明の効果】
【００１７】
上記構成により短時間のプリライトで媒体を出荷できるため、媒体製造コストを大幅に低減できる。
【実施例１】
【００１８】
図１（左図）は始めにプリライトされたトラック１８２がディスク上に形成されている。この形成の仕方は種々あるので後の実施例で詳述する。ここでは、プリライトされたトラックがあるものとして前提で話しを進める。プリライトされたトラック１８２上には第１の光スポット２１１および第２の光スポット２１２が配置されるように、第１の光スポット２１１を用いてプリライトされたトラック１８２にトラッキングされる。第１と第２の光スポットの半径方向の距離を丁度トラックピッチこの例では約0.32ミクロンと等しくすると、第２のスポットは自動的にプリライトされたトラック１８２上に配置される。ここで、ディスクが回転することによって、光スポット２１１および２１２がディスクに対して相対的に矢印方向に移動すると第２のスポット１８２はトラックの未形成の領域にさしかかる。媒体上に記録マークが形成される強度の光パワーを媒体上に照射することにより、トラック１８１が追記される。これを繰り返すことにより、順次外周まで追記されたトラックを形成する。
【００１９】
図２は、このようにした光ディスク18の内周側領域にはトラックが形成れた領域１８１で外周側はトラックが未形成の領域１８０となっている。
【００２０】
本実施例では内周側から順次記録されることを想定しているが、外周側から記録するようにしても効果は同じである。その場合は第１の光スポットが半径方向外周側に配置されるようにする。第１の光スポットと第２光スポットの半径方向の距離はトラックピッチ0.32ミクロンに等しいが周方向の距離はそれほど重要ではない。検出機上で十分に分解されるようにするために１０ミクロン程度離すが一般的である。
【００２１】
図６は本発明に用いる光記録装置の一実施例のブロック図を示したものである。ヘッド１９の一部であるレーザ光源２５（本実施例では波長約４０５ｎｍ）から出射された光はコリメータレンズ２４を通してほぼ平行な光ビーム２２へとコリメートされる。その後ブレーズ型回折格子２９により一時回折光のビームがわずかに偏向され、その後光ビーム２２は光ディスク１８上に対物レンズ２３を通して照射され、光ディスク18上に２つのスポットが形成される。このとき第１の光スポット２１１と第２の光スポット２１２の強度の比は約1：10となるようにした。これにより、第２のスポットで記録をしているときにも第１のスポットの強度は十分に小さく、既に形成されたトラックが破壊される心配がない。このように、第２のスポットの強度を、第１のスポットの強度よりも大きくするのが好ましい。２つの光スポットからの反射光は、ビームスプリッタ２８などを通してサーボ用検出器２６や信号検出器２７へと導かれる。図では省略したがサーボ用検出器２６や信号検出器２７も実際には二組ずつそれぞれ、第１の光スポットと第２の光スポットからの反射光からの情報を検出する。
【００２２】
記録直前すなわち、図１の左図の状態ではサーボ信号は、第１の光スポットから検出した信号を用い、再生信号は第２の光スポットからの信号を用いる。これは、第２のスポットで直後に記録するデータと直前のデータとのタイミングを合わせるためである。一旦記録が始まると再生信号検出器２７を第１の光スポットのものに切り替える。これにより、直前（一周前）に形成したトラックの情報を再生して、記録が適正に行われていることまた、正しいトラックをトラッキングしていることを常に確認できるため、非常に信頼性の高い記録が可能になる。万一、ディスク上の指紋・傷などにより、直前に形成したトラックが正常に再生できない場合には、図３の記録装置は上位装置に記録エラーとして報告を行う。再生は可能だが、例えば記録パワーが不足気味であることが直後の再生により判明した場合は記録パワーを修正する。すなわち直後の光スポットを利用したリアルタイムパワー制御を行うことができる。ただし、この実施例では第１の光スポットと第２の光スポットは同一のレーザ25から出射した光を用いているため、記録中には第２の光スポットにもなんらかの変調がかかっている。このためアドレス情報はデータ信号に低周波成分として重畳しておくと検出しやすい。もちろん通常のデータとしてのアドレス信号も同時に記録しておけば信頼性が向上する。
【００２３】
サーボ検出器では第１の光スポットから得られたサーボ信号を用いる。各検出器からの信号は加算・減算処理されトラッキング誤差信号やフォーカス誤差信号などのサーボ信号となりサーボ回路に入力される。サーボ回路は得られたトラッキング誤差信号やフォーカス誤差信号を元に、対物レンズ２３の駆動手段３１や光ヘッド２全体の位置を制御し、第１の光スポット２１１の位置を目的の記録・再生領域に位置づける。検出器２７の加算信号は信号再生ブロック４１へ入力される。入力信号は信号処理回路によってフィルタ処理、周波数等化処理後、デジタル化処理される。デジタル化処理されたデジタル信号はアドレス検出回路および復調回路によって処理される。アドレス検出回路によって検出されたアドレス信号を元にマイクロプロセッサは光スポット２１の光ディスク１９上での位置を算出し、自動位置制御手段を制御することによって光ヘッド２及び光スポット２１を目的の記録単位領域（セクタ）へと位置づける。
【００２４】
上位装置からの光記録再生装置への指示が記録の場合には、マイクロプロセッサは上位装置から記録データを受け取りメモリへ格納するとともに自動位置制御手段を制御して、光スポット２１を目的の記録領域の位置へ位置づける。マイクロプロセッサは、信号再生ブロック４１からのアドレス信号によって光スポット２１が正常に記録領域に位置づけられたことを確認した後、レーザドライバ等を制御して目的の記録領域にメモリ内のデータを記録する。
【実施例２】
【００２５】
図５は本発明の別の実施例の光スポットの配置を示したものである。この例では光記録媒体は多層記録媒体となっている。この場合ディスクは（初期）サーボ面の形で多層の記録面のうちひとつの層にだけに凹凸パターンなどによるプリピットまたはプリグルーブを形成しておく。このサーボ面に第１のスポットをフォーカストラッキングし、第２のスポットを他の面にフォーカスとする。この時点ではサーボ面にトラッキングをかけておく。次に、再生時とは逆に記録した面の情報にトラッキングをする。トラック形成が記録した面の情報をもとにトラッキングを行う理由は図５、右図のようにディスク傾きなどにより、サーボ面とデータ面の情報がずれてしまう恐れがあるためである。したがって、記録中に熱などによりディスクが湾曲してずれてしまう恐れも考慮すると実施例１の方法と併用するのがよい。すなわち、サーボ面を利用して別の面に数周から数十週のトラックを形成した後、実施例１と同様の方法で同一面の隣接トラックのデータでトラッキングを行いながら追記するのがよい。
【実施例３】
【００２６】
図７は本発明で形成されるトラックの形状の例を示したものである。
図７(a)は完全にＣＤやＤＶＤ−ＲＯＭのように完全にランダム変調されたマーク列として記録を行い、ＤＰＤあるいはプッシュプル法によりトラッキングをかけるけるものである。この場合アドレスデータマーク列中のセクタＩＤなどの形で記録されるため、第１の光スポットは第２の光スポットともにトラック中心に位置している必要があり、半径方向のスポット間隔はトラックピッチの整数倍となる。
【００２７】
図７（ｂ）は半径方向にそろったサーボ領域５００が割り当てられている場合で、トラッキングはサンプルサーボを用いることができる。アドレス情報はグレーコードかあるいは、ＣＡＰＡ（Complimentary Allocated Pit Address）の形で読み取る。したがって、第１の光スポット１２１はトラックの間に配置されるスポット間隔は半整数倍となる。
【００２８】
図7（c）は連続溝トラッキングの例である。この場合、先行スポット（第２のスポット212）で連続溝510とアドレス部501を形成し、その後、後行スポット（第１のスポット211）でマーク511を形成する第１の方法と、先ず先行スポット（第２のスポット212）で連続溝510とアドレス部501を形成して「フォーマット」を行った後、改めてデータをマーク511の形で記録する第２の方法の２種類が考えられる。第１の方法の場合、両方の光スポットが独立して変調できる必要があるがフォーマットと記録が同時に行なえる。第２の方法の場合、記録は先行スポットのみで行ればよく、したがって、前述の回折格子により先行スポットと後行スポットの強度比を固定してしまう方法の両者が可能である。同一フォーマットを装置コストとアプリケーションに応じて装置製造者が自由に選択できる自由度がある。この場合、アドレス部５０１はＣＡＰＡを用いるのがもっとも簡便である。
【実施例４】
【００２９】
本実施例ではプリライトの仕方の例を説明する。第１の方法は従来例の図４と同様のいわゆるカッティングマシンと同様の構成の装置を用いて、媒体出荷前に工場などでプリフォーマットする方法である。この場合、プリフォーマットするトラックはディスク一枚あたり数トラックから数十トラックですむのでディスク一枚あたり数秒で処理でき、製造ラインに入れてもコストアップはわずかである。もうひとつの方法は、ユーザ側のドライブでプリライトする方法である。
この方法を行うためには、２つのスポットの半径方向の間隔を動的に調整できる機構（回折格子回転機構など）が必要である。先ず、第１のステップとして先行スポットのみを用いてトラッキングをかけずに一周分のトラックを形成する。第２のステップとして次に、生成された同心円トラックに第１のスポット（後行スポットで）をトラッキングをかけ、ディスク一周の回転に同期して、丁度トラックピッチ分だけ第１のスポットと第２のスポットの半径方向の間隔が広がるように制御する。このようにすることによりスパイラルトラックを一周分生成することができる。この場合、第１と第２のスポットの間隔１トラック以上あけておくのが望ましい。また、振動などにより最初の同心円状トラックの形成がうまくできない可能性もあるので、トラック形成後にトラッキン信号品質によりトラックの品質を判定するようにするのが望ましい。
【００３０】
スパイラルトラックではなく同心円トラックの場合スポット間隔調整機能無しでも複数の同心円トラック一周づつトラックジャンプしながらを生成することもできるが、トラックジャンプのオーバヘッドが入るため連続記録や高速記録には向かない。
【実施例５】
【００３１】
本実施例では、２つのビーム２つの独立したレーザ光源を利用して形成する例を示したものである。この機能を持った光ヘッドの光学系を図８に示した。
２つのビームの左右の円偏光として照射している。２つの半導体レーザ光源611及び６１２から発せられて光は直線偏光であり、回折格子６４１及び６４２は通った後、後１／２波長版６５１により、一方の光の偏光面を９０度回転させる。２つの光は偏光ビームスプリッタ（PBS）６６でほぼ１つの光束に合成される。偏光ビームスプリッタ（PBS）６６はレーザ６１２から発せられた偏光方向の光は反射し、波長版６５１によって回転させられた偏光方向の光は素通りさせる性質がある。ここで、ほぼ一つと表現したのは２つの光束の角度は微妙に異なっているためである。合成された光は１／４波長版６９によって円偏光に変換されるが、このとき光源６１１側から来た光と６１２側から来た光の偏光面は互いに直交している為、左右の異なる円偏光にそれぞれ変換される。その後、立ち上げミラー６７対物レンズ６８を得て媒体１８上に照射され、２つの円偏光スポットを形成する。この円偏光スポットは、前述の角度の微妙なずれの分だけ位置が微妙にずれている。２つの光の重なりの部分においても偏光状態が異なるため、光が干渉してスポット形状が変形する恐れはなくスポット間の距離は任意に設定可能である。光は記録媒体18で反射させられるが反射すると、鏡の効果により右回り円偏光は左回りに、左回り円偏光は右回りに互いに変換されるため、反射光は１／４波長板６９を通ると元の偏光とは直交する偏光状態となり、結果として偏光ビームスプリッタ（PBS）で元の光源とは互いに異なる方向へ戻されることとなる。戻った光は回折格子で多分割検出器６２１及び６２２に導かれ、再生信号，プッシュプル信号に加え、自動フォーカスやトラッキングのためのサーボ信号が生成される。本実施例においては、２つのスポットの位置関係を調整する際には、１／４波長板６９本来の位置から若干回転させた位置で行った。このようにすることにより、２つのビームからの戻り光が完全に分離はしないで同一のディテクタに入るようになる。したがって、ディテクタ上でビームの位置を調整することで、２ビームの位置正確に合わせることが可能となる。実際にはプッシュプル検出器上で２つのビームを交互に点滅させたときに得られるプッシュプル信号の振幅から、２つのスポットの位置ずれ量を算出することができるため、本実施例ではこのことを利用して自動調整を行った。  
【００３２】
本実施例では、光源して、波長４０５ｎｍの半導体レーザを２つ用いており、開口比（NA）0.85の対物レンズで、記録媒体上に集光して、２つの隣接する光スポット対を形成している。各スポットの直径は約４５０ｎｍである。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施例のトラックの形成原理を示す図。
【図２】本発明の一実施例の記録媒体。
【図３】従来の記録装置の例。
【図４】従来のディスク製造装置の例。
【図５】本発明の別の実施例の原理とを示す図。
【図６】本発明の実施例の装置のブロック図。
【図７】本発明の実施例のトラック形状を示す図。
【図８】本発明の実施例の光ヘッドの構成の例。
【符号の説明】
【００３４】
１…レーザ,２,５…ビームスプリッタ,３，４…変調器,６,７,８,１１…ミラー,９，１０…レンズ,１８…光ディスク、１９…光ヘッド、２１…光スポット、２２…光ビーム、２３…対物レンズ、２４…コリメタ−レンズ、２５…レーザ、２６…検出器、２７…検出器、２８…ビームスプリッタ、２９…ホログラム素子、３１…レンズアクチュエータ、４１…信号再生ブロック、５１…並列転送コントローラ。４０…断面,４１…凹凸ストライプ，５１…千鳥マーク，５２…千鳥マーク，１８０…トラック形成済み領域，１８１…トラック未形成領域、１８２…プリライトしたトラック、１８３…追記したトラック、２１１…第１のスポット（トラッキング用），２１２…第２のスポット（トラック追記用），６６０…ビームスプリッタ、６７０…立ち上げミラー，６８０…対物レンズ，６９０…１／４波長板，６１１，６１２…レーザ，６２１，６２２…分割検出器，６３１，６３２…コリメータレンズ
６４１，６４２…回折格子，６５１…１／２波長板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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