(57)【要約】【目的】カーボン系材料含有樹脂コンポジット材の内部におけるカーボンの含有分布を測定する非破壊検査法の提供を目的とするものである。【構成】本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は、カーボン系材料含有樹脂コンポジット材にレーザー光を照射し、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光の強度を計測することにより、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材の内部におけるカーボンの含有分布を測定することを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カーボン系材料含有樹脂コンポジット材にレーザー光を照射し、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光の強度を計測することにより、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材の内部におけるカーボンの含有分布を測定することを特徴とするカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法。
【請求項２】
上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材にレーザー光を照射し、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光を分光計測器により蛍光強度を測定することを特徴とする請求項１に記載のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法。
【請求項３】
上記カーボン系材料含有樹脂コンポジット材に照射される該レーザー光は、レーザー光反射スキャナミラーで反射された該レーザー光を凹レンズで拡大して照射されるものであり、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光は波長選択フイルタを用いて特定波長の蛍光のみとし、該特定波長の蛍光をＣＣＤカメラで読み取り、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材内部におけるカーボンの含有分布を測定することを特徴とする請求項１に記載のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法。
【請求項４】
上記のレーザー光はＮｄ：ＹＡＧレーザー光の第３高調波（波長３５５ｎｍ）、または第４高調波（波長２６６ｎｍ）であることを特徴とする請求項１、２もしくは３に記載のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法。
【請求項５】
上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成するカーボン系材料は、アスペクト比５以上、径が０．４ｎｍ以上のカーボンナノチューブ、気相法炭素繊維、平均粒径０．５ｎｍ以上のフラーレン、もしくはカーボンブラックを一種以上含むものであることを特徴とする請求項１、２、３もしくは４に記載のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法。
【請求項６】
上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する母材である樹脂は光硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項１、２、３もしくは４に記載のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、カーボン系材料を分析検査するものとしてはRaman分光法、X線回析法等があるが、それらはカーボンそのものの特性調査などで用いられている（特開２００１−３２９０７２号公報、特開２００３−１４７６４４号公報、及び特開２００３−２１３１３７号公報）。
また、カーボン系材料含有樹脂コンポジット材中のカーボンの分散状態を分析するものとしては電子顕微鏡により行われた例がある。これは、カーボン系材料含有樹脂コンポジット材内部のカーボン系材料の分散状態を観察するためにその断面を観察している。（特開２００３−１２９３９号公報）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３２９０７２号公報（１８欄３６行〜２０蘭１３行目、２０蘭１４行〜３２行目）
【特許文献２】特開２００３−１４７６４４号公報（５欄５行〜３９行目  及び図８、９および１０  ）
【特許文献３】特開２００３−２１３１３７号公報（３蘭３０行〜３７行目）
【特許文献４】特開２００３−１２９３９号公報（３欄４８行〜４欄１０行  及び図１、２および３  ）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記の従来の電子顕微鏡によるカーボン系含有樹脂コンポジト材の樹脂中でのカーボン系材料の分析はカーボン系材料の分散状態を観察したもので分布状態を観察したものとは異なり、更に破壊検査で非破壊検査ができないという問題点を有する。
更に、従来の電子顕微鏡ではカーボン系含有樹脂コンポジト材に含有されているカーボン系樹脂は極微細な形体をしており、色調も黒一色であるため、カーボン系材料の分布を検査することは非常に困難であるという問題点を有する。
【０００５】
そこで、本発明は、カーボン系材料含有樹脂コンポジット材の内部におけるカーボンの含有分布を測定する非破壊検査法の提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は、カーボン系材料含有樹脂コンポジット材にレーザー光を照射し、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光（の強度）を計測することにより、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材の内部におけるカーボンの含有分布を測定することを特徴とする。
【０００７】
上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は、カーボン系材料含有樹脂コンポジット材にレーザー光を照射し、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光（の強度）を計測することにより、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材の内部におけるカーボンの含有分布を測定する非破壊検査法の提供を可能にした。
【０００８】
更に、本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は、請求項１において上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材にレーザー光を照射し、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光を分光計測器で測定することを特徴とする。
【０００９】
上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は、上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材にレーザー光を照射し、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光を分光計測器で測定することにより、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材の内部におけるカーボンの含有分布をより精度良く測定できる非破壊検査法の提供を可能にした。
【００１０】
更に、本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は、請求項１において上記カーボン系材料含有樹脂コンポジット材に照射される該レーザー光は、レーザー光反射スキャナミラーで反射された該レーザー光を凹レンズで拡大して照射されるものであり、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光は波長選択フィルターを用いて特定波長の蛍光のみとし、該特定波長の蛍光をＣＣＤカメラで読み取り、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材内部におけるカーボンの含有分布を測定することを特徴とする。
【００１１】
上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法はカーボン系材料含有樹脂コンポジット材に照射される該レーザー光は、レーザー光反射スキャナミラーで反射された該レーザー光を凹レンズで拡大して照射されるものであり、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光は波長選択フィルターを用いて特定波長の蛍光のみとし、該特定波長の蛍光をＣＣＤカメラで読み取り、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材内部におけるカーボンの含有分布を測定することにより、該レーザー光が凹レンズで拡大して照射された部分の該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材内部におけるカーボンの含有分布を画像で提供することが可能となり、迅速且つ高精度で測定できる非破壊検査法の提供を可能にした。
【００１２】
更に、本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は、請求項１、２もしくは３において上記のレーザー光はＮｄ：ＹＡＧレーザー光の第３高調波（波長３５５ｎｍ）、または第４高調波（波長２６６ｎｍ）であることを特徴とする。
【００１３】
上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は上記のレーザー光はＮｄ：ＹＡＧレーザー光の第３高調波（波長３５５ｎｍ）、または第４高調波（波長２６６ｎｍ）を用いたので、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材から生じる該レーザー光により誘起された蛍光は強度の強い蛍光が得られ、該カーボン系材料含有樹脂コンポジット材の内部におけるカーボンの含有分布をより精度良く測定できる非破壊検査法の提供を可能にした。
【００１４】
更に、本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は、請求項１、２、３もしくは４において上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成するカーボン系材料は、アスペクト比５以上、径が０．４ｎｍ以上のカーボンナノチューブ、気相法炭素繊維、平均粒径０．５ｎｍ以上のフラーレン、もしくはカーボンブラックを一種以上含むものであることを特徴とする。
【００１５】
上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は、上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成するカーボン系材料がアスペクト比５以上、径が０．４ｎｍ以上のカーボンナノチューブ、気相法炭素繊維、平均粒径０．５ｎｍ以上のフラーレン、もしくはカーボンブラックを一種以上含むカーボン系材料含有樹脂コンポジット材の内部におけるカーボンの含有分布を測定する非破壊検査法の提供を可能にした。
【００１６】
更に、本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は、請求項１、２、３もしくは４において上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する母材である樹脂は光硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂であることを特徴とする。
【００１７】
上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン分布の非破壊検査法は上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する母材である樹脂は光硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材の内部におけるカーボンの含有分布を測定する非破壊検査法の提供を可能にした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１９】
図１は、本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材５のレーザー誘起蛍光法によるカーボン分布非破壊検査法で用いた蛍光スペクトル特性計測装置２０の模式図を示すものである。
【００２０】
図１において、レーザー発振器１から励起光（レーザー光）７が発振される。該レーザー発振器１から発振される該励起光（レーザー光）７はＮｄ：ＹＡＧレーザーの第３高調波（３５５ｎｍ）またはＮｄ：ＹＡＧレーザーの第４高調波（２６６ｎｍ）が望ましい。
【００２１】
該レーザー発振器１から発振された該励起光（レーザー光）７はレーザー光径変更用ピンホールボード４を介してレーザー径を２ｍｍに変更した後、レーザースキャナミラー３で屈折させ、試料台６に載置された試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５に照射される。上記のレーザー径は２ｍｍに限定されるものではなく、適宜選択できるものである。
【００２２】
該試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５に照射される励起光（レーザー光）８の照射位置は分光計測及びレーザースキャナミラー制御用演算処理装置１３によりレーザースキャナミラー３を制御することにより適宜の場所に照射することができる。
【００２３】
該励起光（レーザー光）７が照射された該試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５からは該励起光（レーザー光）７により誘起された蛍光１１と反射された励起光（レーザー光）７からなる２成分の光９が出てくる。
【００２４】
該２成分の光９のうち該反射された励起光（レーザー光）７はレーザー光除去フィルター１０を介して除去し、該蛍光１１のみを分光計測器１２に入射させる。入射された該蛍光１１は分光計測器１２により該蛍光１１の各波長での蛍光スペクトルの強度が測定される。測定されたデータは分光計測及びレーザースキャナミラー制御用演算処理装置１３に入力され、演算処理される。
【００２５】
上記の図１で示す蛍光スペクトル計測装置２０を用いて、カーボン系材料が気相法炭素繊維であり、樹脂が光硬化性樹脂であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材５の蛍光スペクトルの特性（蛍光強度と蛍光波長の関係）を測定した。
【００２６】
試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５は気相法炭素繊維含有量が０ｗｔ％、０．１ｗｔ％、０．３ｗｔ％の３種類を用意した。
試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５の大きさは１０ｍｍ×３０ｍｍ、レーザー光径２ｍｍ、測定点は５列×１５箇所行った。
【００２７】
図３、４及び５はそれぞれ試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５の気相法炭素繊維含有量が０ｗｔ％、０．１ｗｔ％、０．３ｗｔ％の場合の、蛍光スペクトルの特性（蛍光強度と蛍光波長の関係）の測定結果である。ただし、測定点は１列×１５箇所の結果である。
【００２８】
図６は試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５を構成する樹脂が光硬化性樹脂であり、カーボン系材料５である気相法炭素繊維が０ｗｔ％、０．１ｗｔ％、０．３ｗｔ％場合のそれぞれについて、蛍光ピーク波長（４３５ｎｍ）における蛍光と測定点の関係を示したものである。測定点は５列×１５箇所の結果である。
【００２９】
図７は試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５を構成する樹脂が光硬化性樹脂であり、カーボン系材料が気相法炭素繊維であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材５について、蛍光ピーク波長（４３５ｎｍ）における蛍光と気相法炭素繊維含有量との関係を示したものである。測定点は５列×１５箇所の結果である。
【００３０】
図８はカーボン系材料含有樹脂コンポジット材５を構成する樹脂が熱可塑性樹脂（ＰＣ）であり、カーボン系材料が気相法炭素繊維であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材５について、上記の蛍光スペクトル特性計測装置２０により測定した蛍光ピーク波長（３１０ｎｍ）における蛍光と気相法炭素繊維含有量との関係を示したものである。
【００３１】
図９はカーボン系材料含有樹脂コンポジット材５を構成する樹脂が熱硬化性樹脂（フェノール樹脂）であり、カーボン系材料が気相法炭素繊維であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材５の気相法炭素繊維含有量とレーザー誘起蛍光法により測定した蛍光強度の関係を示したものである。
【００３２】
上記の図３、４、５、７、８及び９からは次のことが解かる。
Ａ．気相法炭素繊維含有量が０ｗｔ％、０．１ｗｔ％、０．３ｗｔ％とも固有の蛍光ピーク波長を有する。すなわち、気相法炭素繊維含有量が０ｗｔ％の場合（図３）では波長がおよそ４３５ｎｍのときピーク値（蛍光強度：約８００）を示し、気相法炭素繊維含有量が０．１ｗｔ％の場合（図４）では波長がおよそ４３５ｎｍのときピーク値（蛍光強度：約４００）を示し、気相法炭素繊維含有量が０．３ｗｔ％の場合（図５）では波長がおよそ３６５ｎｍのときピーク値（蛍光強度：約１００）を示している。図３、４及び５参照のこと。
Ｂ．カーボン系材料含有樹脂コンポジット材５のカーボン系材料である気相法炭素繊維含有量が増加すると蛍光強度が減少する。この現象はカーボン系材料が２０ｗｔ％以下の場合において顕著である。図７、８及び９参照のこと。
Ｃ．カーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する樹脂が光硬化性樹脂であり、カーボン系材料である気相法炭素繊維が０ｗｔ％、０．１ｗｔ％、０．３ｗｔ％であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のそれぞれについて、レーザー誘起蛍光法により測定した蛍光ピーク波長（４３５ｎｍ）における蛍光と測定点の関係を示した図６の結果からは、測定点（５列１５箇所）での蛍光強度のバラツキ値とカーボン系材料である気相法炭素繊維含有量の違いによる蛍光強度の値を比較すると明らかに気相法炭素繊維含有量の違いの方が蛍光強度の差が大きい。
【００３３】
上記の結果から、例えば、図３、４、５、７、８及び９の結果をデータべース化することでカーボン系材料含有樹脂コンポジット材５の気相法炭素繊維含有量の定量検査が可能となる。
更に、レーザー誘起蛍光法はカーボン系材料含有樹脂コンポジット材にレーザー光を照射することにより、内部のカーボン系材料の含有量を知ることができるため、非破壊検査で内部のカーボン系材料の含有量を検査が可能となり、大気中で測定時間も瞬時にできる。
【実施例２】
【００３４】
図２は本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材５のレーザー誘起蛍光法によるカーボン分布非破壊検査法で用いた蛍光画像計測装置２１の模式図を示すものである。
【００３５】
図２の蛍光スペクトル画像計測装置２１は図１の蛍光特性計測装置２０と異なる点は次のようである。
Ａ．レーザー光径変更用ピンホールボード４がなく、該レーザー発振器１から発振される該励起光（レーザー光）７はレーザースキャナミラー３で屈折させ、凹レンズ１４により拡大されたレーザー光１５が試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５に照射される。
Ｂ．該励起光（レーザー光）１５により誘起された蛍光１１と反射された励起光（レーザー光）７からなる２成分の光９を波長選択フィルター１６を通すことにより、該蛍光１１のうち最大蛍光強度を有する波長の蛍光（選択された波長の蛍光）１７のみをＣＣＤカメラ１８に入射させる。
Ｃ．ＣＣＤカメラ１８では、選択された蛍光１７を画像として読み取り、その画像データがＣＣＤカメラ用画像解析及びスキャナミラー制御用演算処理装置１９にインプットされ、選択された蛍光１７の画像が作成される。
【００３６】
すなわち、図２の蛍光画像計測装置２１は、凹レンズ１４により拡大されたレーザー光１５が照射された部分の試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５から生じる蛍光強度を画像として読み取ることができるというものである。
【００３７】
上記の図２の蛍光画像計測装置２１を用いて、試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）５から生じる蛍光強度１７を画像として読み取った画像を図１０に示す。１０（ａ）は気相法炭素繊維含有量が０ｗｔ％の場合、図１０（ｂ）は気相法炭素繊維含有量が０．１ｗｔ％の場合のＣＣＤ画像を示したものである。
図１０（ａ）と同図（ｂ）とを比較すると、濃淡があり、上記のＣＣＤ画像から蛍光強度が強いと白くなり、蛍光強度が弱いと黒く表れる。
【００３８】
上記の結果から、試料の大きな面積における内部のカーボン系材料の含有量を画像として読み取ることができるため、非常に簡便に大きな面積でのカーボン系材料の含有量を知ることが可能となる。
【００３９】
上記の実施例１、２において、上記のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成するカーボン系材料は気相法炭素繊維を用いたものであるが、気相法炭素繊維以外にアスペクト比５以上、径が０．４ｎｍ以上のカーボンナノチューブ、平均粒径０．５ｎｍ以上のフラーレン、もしくはカーボンブラックを一種以上含むカーボン系材料含有樹脂コンポジット材に適用できるものである。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明は前述の実施の形態に限定されるものではなく、樹脂と強化材とからなるコンポジット材の内部の強化材含有量を知ることができ、応用用途は広い。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のレーザー誘起蛍光法によるカーボン分布非破壊検査法で用いた蛍光スペクトル特性計測装置の模式図を示すものである。
【図２】本発明のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のレーザー誘起蛍光法によるカーボン分布非破壊検査法で用いた蛍光画像計測装置の模式図を示すものである。
【図３】カーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する樹脂が光硬化性樹脂であり、カーボン系材料である気相法炭素繊維が０ｗｔ％であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材の蛍光スペクトルの特性（蛍光強度と波長の関係）をレーザー誘起蛍光法により測定した結果を示したものである。
【図４】カーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する樹脂が光硬化性樹脂であり、カーボン系材料である気相法炭素繊維が０．１ｗｔ％であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材の蛍光スペクトルの特性（蛍光強度と波長の関係）をレーザー誘起蛍光法により測定した結果を示したものである。
【図５】カーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する樹脂が光硬化性樹脂であり、カーボン系材料である気相法炭素繊維が０．３ｗｔ％であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材の蛍光スペクトルの特性（蛍光強度と波長の関係）をレーザー誘起蛍光法により測定した結果を示したものである。
【図６】カーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する樹脂が光硬化性樹脂であり、カーボン系材料である気相法炭素繊維が０ｗｔ％、０．１ｗｔ％、０．３ｗｔ％であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のそれぞれについて、レーザー誘起蛍光法により測定した蛍光ピーク波長における強度と測定点の関係を示したものである。
【図７】カーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する樹脂が光硬化性樹脂であり、カーボン系材料である気相法炭素繊維であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材について、蛍光強度と気相法炭素繊維含有量の関係をレーザー誘起蛍光法により測定した結果を示したものである。
【図８】カーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する樹脂が熱可塑性樹脂（ＰＣ）であり、カーボン系材料が気相法炭素繊維であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材について、蛍光強度と気相法炭素繊維含有量の関係をレーザー誘起蛍光法により測定した結果を示したものである。
【図９】カーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する樹脂が熱硬化性樹脂（フエノール樹脂）であり、カーボン系材料が気相法炭素繊維であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材の気相法炭素繊維含有量と蛍光強度の関係をレーザー誘起蛍光法により測定した結果を示したものである。
【図１０】カーボン系材料含有樹脂コンポジット材を構成する樹脂が光硬化性樹脂であり、カーボン系材料が気相法炭素繊維であるカーボン系材料含有樹脂コンポジット材のカーボン系材料含有樹脂コンポジット材について、レーザー誘起蛍光法で測定した最大蛍光強度をＣＣＤカメラで測定したものであり、図１（ａ）は気相法炭素繊維含有量が０ｗｔ％の場合、図１（ｂ）は気相法炭素繊維含有量が０．１ｗｔ％の場合のＣＣＤ画像を示したものである。
【符号の説明】
【００４２】
１  レーザー発振器
２  レーザー電源
３  レーザー光反射スキャナミラー
４  レーザー光径変更用ピンホールボード
５  試料（カーボン系材料含有樹脂コンポジット材）
６  試料台
７  励起光（レーザー光）
８  レーザー径変更後のレーザー光
９  試料から出る蛍光と試料で反射されたレーザー光
１０  レーザー（誘起）光除去フィルター
１１  試料から出る蛍光
１２  分光計測器
１３  分光解析及びスキャナミラー制御用演算処理装置
１４  凹レンズ
１５  凹レンズにより拡大されたレーザー光
１６  波長選択フィルター
１７  選択された試料からの蛍光
１８  ＣＣＤカメラ
１９  ＣＣＤカメラ用画像解析及びスキャナミラー制御用演算処理装置
２０  蛍光スペクトル特性計測装置
２１  蛍光画像計測装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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