(57)【要約】【課題】  始動開始から窒素製品を送り出すまでの間の時間を短縮することができる空気分離装置を提供する。【解決手段】  大気から原料空気を取り込み、取り込んだ原料空気を酸素と窒素とに分離し、分離された窒素を液化する窒素冷却・液化ライン３２を有する窒素液化機構３に、循環圧縮機３１ｃと第１循環熱交換器３１ａと第２循環熱交換器３１ｂと膨張タービン３１ｄとから構成され、寒冷を発生して前記窒素冷却・液化ライン３２を流れる窒素を冷却する窒素循環冷却系統３１が設けられてなる空気分離装置において、前記窒素液化機構３の窒素冷却・液化ライン３２を、前記窒素循環冷却系統３１と別系統にする。【選択図】        図４
2005207626.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大気から原料空気を取り込み、取り込んだ原料空気を酸素と窒素に分離し、分離された窒素を液化する窒素冷却・液化ラインを有する窒素液化機構に、少なくとも循環圧縮機と循環熱交換器とから構成され、寒冷を発生して前記窒素冷却・液化ラインを流れる窒素を冷却する窒素循環冷却系統が設けられてなる空気分離装置において、前記窒素液化機構の窒素冷却・液化ラインを、前記窒素循環冷却系統と別系統にしたことを特徴とする空気分離装置。
【請求項２】
前記窒素循環冷却系統に、液化天然ガスの冷熱を回収する液化天然ガス冷熱回収ラインを付加したことを特徴とする請求項１に記載の空気分離装置。
【請求項３】
前記窒素冷却・液化ラインの圧力を検出する第１圧力検出センサを設け、前記液化天然ガス冷熱回収ラインの圧力を検出する第２圧力検出センサを設けると共に、前記第１圧力検出センサから入力される検出値が前記第２圧力検出センサから入力される検出値よりも高くなるように、前記窒素冷却・液化ラインに介装されてなる窒素圧縮機を制御するコントローラを設けたことを特徴とする請求項２に記載の空気分離装置。
【請求項４】
大気から原料空気を取り込み、取り込んだ原料空気を酸素と窒素に分離し、分離された窒素を液化する窒素冷却・液化ラインを有する窒素液化機構に、少なくとも循環圧縮機と循環熱交換器とから構成されると共に、液化天然ガスの冷熱を回収する液化天然ガス冷熱回収ラインを備え、寒冷を発生して前記窒素冷却・液化ラインを流れる窒素を冷却する窒素循環冷却系統が設けられてなる空気分離装置の運転方法において、前記窒素冷却・液化ラインの圧力が、前記液化天然ガス冷熱回収ラインの圧力よりも高圧になるように、前記窒素冷却・液化ラインに介装されてなる窒素圧縮機を制御することを特徴とする空気分離装置の運転方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、空気分離装置およびその運転方法に係り、より詳しくは、高純度の液体窒素を短時間のうちに得ることができ、しかも液化天然ガス（以下、ＬＮＧという。）の液体窒素への混入の虞をなくすることを可能ならしめるようにした空気分離装置およびその運転方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知のとおり、空気分離装置は空気中の窒素と酸素とを分離して取出すものであり、圧縮・冷却・膨張サイクルからなる寒冷熱発生装置を備えている。このような寒冷熱発生装置に加えて、または代えてＬＮＧの冷熱を利用することによって、空気の分離、および液体製品（液体酸素、液体窒素、液体アルゴン等）の製造に必要な圧縮動力を大幅に低減させるようにした空気分離装置が知られている。このような空気分離装置としては、例えば、その系統図の図６に示すような構成になるものが公知である。以下、この従来例に係る空気分離装置の概要を、図６を参照しながら説明する。
【０００３】
図に示す符号５０は、従来例に係る空気分離装置である。この従来例に係る空気分離装置５０の場合には、図示しない吸着塔等により前処理（水分や炭酸ガス等を除去する。）された原料ガスは、主熱交換器５１を通じて精留塔高圧塔（以下、高圧精留塔という。）５２Ｈ内に導入される。そして、この高圧精留塔５２Ｈ内の底部から精留塔低圧塔（以下、低圧精留塔という。）５２Ｌの中腹部に酸素リッチの液体空気が送られると共に、高圧精留塔５２Ｈの上段から低圧精留塔５２Ｌの塔頂に液体窒素が送られる。低圧精留塔５２Ｌの塔底液は、弁５３を通じて製品酸素として図示しない液体酸素タンク内に取出されることとなる。
【０００４】
一方、前記低圧精留塔５２Ｌの塔頂ガス（窒素ガス）は、前記主熱交換器５１で前記前処理済の原料ガスと熱交換した後、窒素予冷器５４、窒素冷却器５５、複数段の循環圧縮機５６、および窒素凝縮器５７を順に通って凝縮し、液窒分離器５８で気液分離される。
液窒分離器５８の気相成分は、前記窒素凝縮器５７および窒素冷却器５５を通じて循環圧縮機５６に戻される一方、液相成分は空気分離装置５０に液体窒素として還元される。
より具体的には、当該液体窒素の一部は弁６０を通じて前記高圧精留塔５２Ｈ内に還元され、残りは弁５９を通じて図示しない液体窒素タンク内に取出される。
【０００５】
前記窒素予冷器５４、窒素冷却器５５、および窒素凝縮器５７は熱交換器であって、これらの熱交換器を通じて、図示しないＬＮＧ貯槽から抽出されるＬＮＧと窒素ガスとの熱交換が行われる。そして、この熱交換によってＬＮＧの蒸発昇温と窒素ガスの冷却凝縮とが同時に行われる（特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００２−２９５７９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来例に係る空気分離装置の場合には、図６から良く理解されるように、窒素冷却・液化ラインと窒素循環冷却系統とが連通しており、自由に分流し、かつ合流し得るように構成されている。また、循環圧縮機５６で圧縮した窒素を液化して製品窒素として取り出す一方、液体窒素として高圧精留塔５２Ｈに戻すように構成されている。従って、起動時に精留塔系統が正常に機能するようになっても、循環圧縮機を含むため窒素冷却・液化ラインと窒素循環冷却系統の窒素の純度が全て定格製品窒素純度に回復するまで長時間を要し、起動開始から、例えば２，３日もの間、製品窒素を送り出すことができないという問題があった。
【０００７】
また、ＬＮＧの冷熱を利用して循環圧縮機の吸込温度を低減させることにより、循環圧縮機の動力を低減させるプロセスは実用化されているものの、フロン、代替フロン等の中間冷媒を用いて循環圧縮機の各段の吸込温度を低減させるため熱損失が大きく、ＬＮＧの冷熱を有効に利用することができなかった。さらに、ＬＮＧの冷熱を回収する循環熱交換器（窒素予冷器５４、窒素冷却器５５、窒素凝縮器５７）が漏れた場合、ＬＮＧが酸素リッチな精留塔内に持ち込まれるという問題があった。
【０００８】
従って、本発明の目的は、起動開始から製品窒素を送り出すまでの間の時間を短縮することができ、さらにＬＮＧの精留塔内への混入の虞をなくすることを可能ならしめるようにした空気分離装置およびその運転方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、従って本発明の請求項１に係る空気分離装置が採用した手段は、大気から原料空気を取り込み、取り込んだ原料空気を酸素と窒素に分離し、分離された窒素を液化する窒素冷却・液化ラインを有する窒素液化機構に、少なくとも循環圧縮機と循環熱交換器とから構成され、寒冷を発生して前記窒素冷却・液化ラインを流れる窒素を冷却する窒素循環冷却系統が設けられてなる空気分離装置において、前記窒素液化機構の窒素冷却・液化ラインを、前記窒素循環冷却系統と別系統にしたことを特徴とするものである。
【００１０】
本発明の請求項２に係る空気分離装置が採用した手段は、請求項１に記載の空気分離装置において、前記窒素循環冷却系統に、ＬＮＧの冷熱を回収するＬＮＧ冷熱回収ラインを付加したことを特徴とするものである。
【００１１】
本発明の請求項３に係る空気分離装置が採用した手段は、請求項２に記載の空気分離装置において、前記窒素冷却・液化ラインの圧力を検出する第１圧力検出センサを設け、前記ＬＮＧ冷熱回収ラインの圧力を検出する第２圧力検出センサを設けると共に、前記第１圧力検出センサから入力される検出値が前記第２圧力検出センサから入力される検出値よりも高くなるように、前記窒素冷却・液化ラインに介装されてなる窒素圧縮機を制御するコントローラを設けたことを特徴とするものである。
【００１２】
本発明の請求項４に係る空気分離装置の運転方法が採用した手段は、大気から原料空気を取り込み、取り込んだ原料空気を酸素と窒素に分離し、分離された窒素を液化する窒素冷却・液化ラインを有する窒素液化機構に、少なくとも循環圧縮機と循環熱交換器とから構成されると共に、液化天然ガスの冷熱を回収する液化天然ガス冷熱回収ラインを備え、寒冷を発生して前記窒素冷却・液化ラインを流れる窒素を冷却する窒素循環冷却系統が設けられてなる空気分離装置の運転方法において、前記窒素冷却・液化ラインの圧力が、前記液化天然ガス冷熱回収ラインの圧力よりも高圧になるように、前記窒素冷却・液化ラインに介装されてなる窒素圧縮機を制御することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の請求項１に係る空気分離装置では、窒素液化機構の窒素冷却・液化ラインが窒素循環冷却系統と別系統になっており、窒素循環冷却系統の窒素純度の回復を待つ必要がない。従って、本発明の請求項１に係る空気分離装置によれば、精留塔の窒素純度が回復した時点で製品窒素を送り出すことができるから、起動開始から製品を送り出すまでの間の時間を短縮することができる。
【００１４】
本発明の請求項２に係る空気分離装置では、窒素循環冷却系統に、ＬＮＧの冷熱を回収する冷熱回収ラインが付加されている。従って、本発明の請求項２に係る空気分離装置によれば、中間媒体を介することなくＬＮＧの冷熱を直接窒素で回収することができるため、ＬＮＧの冷熱を有効に活用することができる。
【００１５】
本発明の請求項３に係る空気分離装置、または請求項４に係る空気分離装置の運転方法では、窒素冷却・液化ラインの圧力は、ＬＮＧ冷熱回収ラインの圧力よりも高圧になるように、窒素冷却・液化ラインに介装されてなる窒素圧縮機が制御される。従って、本発明の請求項３に係る空気分離装置、または請求項４に係る空気分離装置の運転方法によれば、ＬＮＧの冷熱を回収する循環熱交換器が漏れても、ＬＮＧが窒素冷却・液化ラインに流入することがないから、ＬＮＧが精留塔内に持ち込まれるような虞がない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の形態１に係る空気分離装置を、添付図面を順次参照しながら説明する。
図１は本発明の形態１、または２に係る空気分離装置の模式的系統図、図２は本発明の形態１に係る空気分離装置の原料空気処理部の構成説明図、図３は本発明の形態１に係る空気分離装置のコールドボックスと液体窒素過冷却部のコールドボックスとの構成説明図、図４は本発明の形態１に係る空気分離装置の窒素液化機構の構成説明図である。
【００１７】
本発明の形態１に係る空気分離装置は、図１に示すように、主として後述する４つの主要部から構成されている。第１の主要部は、大気から原料空気を取り込んで所定圧力まで圧縮すると共に、圧縮空気を浄化する原料空気処理部１である。第２の主要部は、主熱交換器と、精留塔と、過冷却器等を収容したコールドボックス２である。また、第３の主要部は、前記コールドボックス２から排出された窒素ガスを圧縮すると共に、圧縮された窒素ガスを、少なくとも循環圧縮機と循環熱交換器とを備えた窒素循環冷却系統で冷却して液体窒素を製造する窒素液化機構３である。そして、第４の主要部は、前記窒素液化機構３で製造された液体窒素と低温の窒素ガスとを分離すると共に、液体窒素を過冷却して液体の製品窒素とする液体窒素過冷却ボックス４である。
【００１８】
以下、本発明の形態１に係る空気分離装置を構成する上記各主要部の構成を、添付図面を順次参照しながら説明する。なお、図１に示す符号３３はＬＮＧ冷熱回収ラインで、このＬＮＧ冷熱回収ライン３３は本発明の形態２に係る空気分離装置に設けられるものであって、本発明の形態１に係る空気分離装置には設けられていない。
【００１９】
前記原料空気処理部１は、図２に示すように構成されている。即ち、吸込フィルタ１１を介して大気から空気圧縮機１２に吸込まれた原料空気は、この空気圧縮機１２で所定圧力、例えば０．６ＭＰａまで圧縮される。この空気圧縮機１２から吐出された原料空気は冷却媒体と熱交換するクーラ１３により冷却された後にＭＳ吸着器１４に導入され、水分や炭酸ガス等が除去される。ＭＳ吸着器１４は２個並列配設されており、通常、原料空気は何れか一方のＭＳ吸着器１４に導入され、他方の使用に供されないＭＳ吸着器１４の図示しない吸着剤は、再生電気ヒータ１５を通って加熱された窒素ガスによって吸着機能が再生された後、切り替え使用のために待機するように構成されている。
【００２０】
つまり、交互に使用することによって、ＭＳ吸着器１４の再生のために空気分離装置の運転を停止することのないように配慮されている。ＭＳ吸着器１４により水分や炭酸ガス等が除去された原料空気は、図２に示す流路Ａを介してコールドボックス２に送られるように構成されている。なお、前記再生電気ヒータ１５は、後述するコールドボックス２に収納されている低圧精留塔２３から、図２に示す流路Ｂを介して供給される窒素ガスを加熱し、この加熱した窒素ガスをＭＳ吸着器１４に供給することにより吸着剤を再生させるものである。そして、ＭＳ吸着器１４の吸着剤を再生した後の窒素ガスはサイレンサ１６から大気中に放出される。
【００２１】
前記コールドボックス２内には、図３の左側に示すような複数種の機器類が収容されている。これら機器類は、主熱交換器２１、上部の低圧精留塔２３、下部の高圧精留塔２４、および過冷却器２５である。即ち、前記原料空気処理部１で処理され、流路Ａを介して主熱交換器２１に送られた原料空気は、この主熱交換器２１で冷却される。そして、原料空気は、低圧精留塔２３の頂部から過冷却器２５を介して取出された高純度窒素ガス、低圧精留塔２３の上部付近から過冷却器２５を介して取出された低純度窒素ガス（前記ＭＳ吸着器１４に供給される。）と熱交換することにより冷却される。
【００２２】
前記主熱交換器２１を通過した冷却空気は、高圧精留塔２４の底部に供給される。この高圧精留塔２４に供給された冷却空気は、塔内を上昇する間に次第に窒素リッチになり、高圧精留塔２４の頂部では高純度窒素となる。高純度窒素はガス状で抜き出され、主凝縮器２７に導かれ、冷却、凝縮されて液体窒素となる。凝縮された液体窒素の一部は、高圧精留塔２４の上部より抜出され、前記過冷却器２５を通って過冷却され、減圧された後に低圧精留塔２３の頂部に供給される。残りの液体窒素は塔内を流下する間に次第に酸素リッチになり、高圧精留塔２４の底部に液体空気２６として溜まる。液体空気２６は、高圧精留塔２４から引出された後に、過冷却器２５で過冷却されて低圧精留塔２３の中部に導入される。
【００２３】
前記低圧精留塔２３の中部に導入された酸素リッチな液体空気２６は塔内を流下しながら次第に酸素が凝縮され、底部において高純度酸素となる。そして、この低圧精留塔２３の底部に溜まった液体酸素は、液体酸素製品として系外に取出されるようになっている。
一方、低圧精留塔２３の頂部から過冷却器２５を介して取出された高純度窒素ガス、および低圧精留塔２３の上部から過冷却器２５を介して取出された低純度窒素ガスは主熱交換器２１において原料空気と熱交換した後に、図３に示す流路ＣおよびＢを介して送出される。
【００２４】
前記窒素液化機構３は、図４に示すように構成されている。即ち、窒素冷却・液化ライン３２は、窒素循環冷却系統３１とは独立し、前記流路Ｃから送られてきた窒素を圧縮する窒素圧縮機３２ａを備えている。前記窒素循環冷却系統３１は循環圧縮機３１ｃで圧縮された冷媒を冷却する第１循環熱交換器３１ａと、この第１循環熱交換器３１ａで熱交換した冷媒を膨張させる膨張タービン３１ｄと、この膨張タービン３１ｄで断熱膨張された冷媒の冷熱を利用する第２循環熱交換器３１ｂとを備えている。なお、この第２循環熱交換器３１ｂを出た冷媒は、前記第１循環熱交換器３１ａで圧縮された冷媒を冷却する第１循環熱交換器３１ａを経て前記循環圧縮機３１ｃの吸込口に戻って循環するように構成されている。また、前記窒素冷却・液化ライン３２は前記第１循環熱交換器３１ａ、第２循環熱交換器３１ｂを通るように構成されている。つまり、窒素圧縮機３２ａで圧縮された窒素は第１循環熱交換器３１ａと第２循環熱交換器３１ｂとで断熱膨張されて低温になった冷媒との熱交換によって冷却されて液体窒素となり、流路Ｄを介して液体窒素過冷却ボックス４に送り込まれるように構成されている。
【００２５】
前記液体窒素過冷却ボックス４の内部には、図３の右側に示すように、主として気液分離器４１と液体窒素過冷却器４２が収容されている。即ち、流路Ｄを介して前記窒素液化機構３から供給される液体窒素は、気液分離器４１で低温の窒素ガス４６と液体窒素４７とに分離される。気液分離器４１で分離された窒素ガス４６は高圧精留塔２４の頂部の窒素に合流される。一方、液体窒素４７は液体窒素過冷却器４２で過冷却されて液体の製品窒素として系外に取出される。そして、前記液体窒素４７の一部は気液分離器４１の流出口付近で分岐して高圧精留塔２４の頂部に送出される。
【００２６】
また、その下流側において液体窒素流路４３が分岐しており、液体窒素流路４３を介して液体窒素の一部が液体の製品窒素の過冷却に使用されるようになっている。さらに、前記液体窒素流路４３には、液体の製品窒素となる液体窒素の温度を検出する液体窒素温度検出センサ４５の検出温度に基づいて開度が制御される流量制御弁４４が介装されると共に、前記液体窒素過冷却器４２を介して液体の製品窒素となる液体窒素を過冷却するように構成されている。これにより、所定温度範囲内に過冷却された製品窒素が製造される。
【００２７】
上記構成になる形態１に係る空気分離装置の作用態様を説明する。即ち、本発明の形態１に係る空気分離装置では、上記のとおり、窒素液化機構３の窒素冷却・液化ライン３２が窒素循環冷却系統３１と独立した別系統になっているため、窒素循環冷却系統３１の窒素純度の回復を待つ必要がない。従って、本発明の形態１に係る空気分離装置によれば、精留塔の窒素純度が回復した時点で製品窒素を送り出すことができるから、空気分離装置の起動開始から製品窒素を送り出すまでの間の時間を、従来例に係る空気分離装置よりも遥かに短縮することができる。
【００２８】
次に、本発明の空気分離方法を実施する本発明の形態２に係る空気分離装置を、その空気分離装置の窒素液化機構の構成説明図の図５を参照しながら説明する。なお、本発明の形態２に係る空気分離装置が上記形態１に係る空気分離装置と相違するところは、ＬＮＧ冷熱回収ラインが設けられている点と、窒素冷却・液化ラインを流れる窒素の圧力を、ＬＮＧ冷熱回収ラインを流れるＬＮＧの圧力よりも高圧になるように制御するコントローラが設けられている点にある。よって、上記形態１に係る空気分離装置の窒素液化機構と同一のもの、ならびに同一機能を有するものに同一符号を付して、その相違する点について説明する。
【００２９】
本発明の形態２に係る空気分離装置の窒素液化機構３には、図５に示すように、ＬＮＧの冷熱を回収するためのＬＮＧ冷熱回収ライン３３が付加されている。このＬＮＧ冷熱回収ライン３３はＬＮＧ利用熱交換器３３ａと、ＬＮＧ加温器３３ｂとを備えている。より詳しくは、前記第２循環熱交換器３１ｂ、第１循環熱交換器３１ａで冷熱が回収された後、前記ＬＮＧ利用熱交換器３３ａで冷熱が回収されると共に、前記ＬＮＧ加温器３３ｂで加温されてＮＧとなり、ＮＧ製品として図示しない供給先側に供給されるように構成されている。一方、窒素冷却・液化ライン３２は第１循環熱交換器３１ａにより熱交換される前にＬＮＧ利用熱交換器３３ａで熱交換されるようになっている。つまり、この窒素冷却・液化ライン３２を流れる窒素はＬＮＧとの熱交換によって冷却された後に、第１循環熱交換器３１ａと、第２循環熱交換器３１ｂとによって冷却されるように構成されている。
ところで、本発明の形態２に係る空気分離装置のＬＮＧ冷熱回収ライン３３には、上記のとおり、ＬＮＧ利用熱交換器３３ａとＬＮＧ加温器３３ｂとが設けられているが、ＬＮＧ利用熱交換器３３ａが設けられない場合もあり、またＬＮＧ加温器３３ｂが設けられない場合もある。
【００３０】
また、前記窒素冷却・液化ライン３２の窒素圧縮機３２ａの下流側に、窒素圧力を検出する第１圧力検出センサＰ1が設けられると共に、前記ＬＮＧ冷熱回収ライン３３の第２循環熱交換器３１ｂの上流側にＬＮＧの圧力を検出する第２圧力検出センサＰ2が設けられている。そして、これら第１圧力検出センサＰ1および第２圧力検出センサＰ2からの圧力検出信号は、窒素圧力がＬＮＧ圧力よりも高圧になるように窒素圧縮機３２ａを制御するコントローラ３４に入力されるように構成されている。なお、窒素圧力は、ＬＮＧ圧力よりも高圧になるように制御すればよい。
【００３１】
以下、本発明の形態２に係る空気分離装置の作用態様を説明する。即ち、本発明の形態２に係る空気分離装置では、窒素循環冷却系統３１に、ＬＮＧの冷熱を回収するＬＮＧ冷熱回収ライン３３が付加されており、ＬＮＧの冷熱は中間媒体を介することなく、ＬＮＧ利用熱交換器３３ａ、第１循環熱交換器３１ａ、および第２循環熱交換器３１ｂによって直接窒素で回収することができる。従って、従来例に係る空気分離装置よりも、ＬＮＧの冷熱を有効に活用することができる。また、ＬＮＧの冷熱の回収により窒素圧縮機の駆動エネルギーを削減することができるので、本発明の形態１に係る空気分離装置よりも、製品窒素を安価に製造することができる。なお、本発明の別形態、例えばＬＮＧ冷熱回収ライン３３のみを設置し、循環圧縮機３１ｃおよび膨張タービン３１ｄからなる窒素循環冷却系統３１を設置しない場合もある。
【００３２】
さらに、本発明の形態２に係る空気分離装置では、窒素冷却・液化ライン３２を流れる窒素の圧力は、ＬＮＧ冷熱回収ライン３３を流れるＬＮＧの圧力よりも高圧になるように、窒素圧縮機３２ａが制御される。従って、本発明の形態２に係る空気分離装置によれば、ＬＮＧの冷熱を回収する熱交換器が漏れても、ＬＮＧが窒素冷却・液化ライン３２に流入することがないから、ＬＮＧが酸素リッチな精留塔内に持ち込まれるような虞がないという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の形態１または２に係る空気分離装置の模式的系統図である。
【図２】本発明の形態１に係る空気分離装置の原料空気処理部の構成説明図である。
【図３】本発明の形態１に係る空気分離装置のコールドボックスと液体窒素過冷却部のコールドボックスとの構成説明図である。
【図４】本発明の形態１に係る空気分離装置の窒素液化機構の構成説明図である。
【図５】本発明の形態２に係る空気分離装置の窒素液化機構の構成説明図である。
【図６】従来例に係る空気分離装置の系統図である。
【符号の説明】
【００３４】
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ…流路
１…原料空気処理部，１１…吸込フィルタ，１２…空気圧縮機，１３…クーラ、１４…ＭＳ吸着器，１５…再生電気ヒータ，１６…サイレンサ
２…コールドボックス，２１…主熱交換器，２３…低圧精留塔，２４…高圧精留塔，２５…過冷却器，２６…酸素リッチな液体空気，２７…主凝縮器
３…窒素液化機構，３１…窒素循環冷却系統，３１ａ…第１循環熱交換器，３１ｂ…第２循環熱交換器，３１ｃ…循環圧縮機，３１ｄ…膨張タービン
３２…窒素冷却・液化ライン，３２ａ…窒素圧縮機
３３…ＬＮＧ冷熱回収ライン，３３ａ…ＬＮＧ利用熱交換器，３３ｂ…ＬＮＧ加温器
３４…コントローラ
４…液体窒素過冷却ボックス，４１…気液分離器，４２…液体窒素過冷却器，４３…液体窒素流路，４４…流量制御弁，４５…液体窒素温度検出センサ、４６…低温の窒素ガス，４７…液体窒素
Ｐ1…第１圧力検出センサ
Ｐ2…第２圧力検出センサ
【図１】
2005207626.tif 000003
【図２】
2005207626.tif 000004
【図３】
2005207626.tif 000005
【図４】
2005207626.tif 000006
【図５】
2005207626.tif 000007
【図６】
2005207626.tif 000008