(57)【要約】【課題】プローブカードを構成する部材間を容易に分解、組立てすることができると共に、電極間の導通不良の発生を抑制して電気的接触の安定性が高く、高い信頼性を有することができる。【解決手段】測定対象物の電気的諸特性を測定するプローブカードに於いて、測定対象物の電極パッドと接触する複数の接触子を表面に備え、かつ、この接触子側と反対面に複数の接続ピンを備えたスペーストランスフォーマーと、測定器の電極パッドと接触する複数の第１接続用電極を備えたメイン基板と、このメイン基板とスペーストランスフォーマーとの間で接続ピンを挿通し、かつ第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを備えたサブ基板とを有し、このサブ基板をメイン基板と一体的に結合してなる構成としている。【選択図】          図１
2005010052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の電気的諸特性を測定するプローブカードに於いて、測定器に接触される第１接続用電極を有するメイン基板と、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを有し、上記メイン基板に結合されるサブ基板と、上記スルーホールに着脱可能に挿通される接続ピンを一方の主面に設け、上記接続ピンに電気的に導通し、かつ測定対象物に接触される複数の接触子を他方の主面に設けたスペーストランスフォーマーとを備えたことを特徴としたプローブカード。
【請求項２】
上記サブ基板とスペーストランスフォーマーとは着脱可能に配置されている請求項１記載のプローブカード。
【請求項３】
上記メイン基板は第１接続用電極を有する第１主面と第１接続用電極と配線にて導通する第２接続用電極を有する第２主面を備え、この第２主面と第２主面に向かい合いスルーホールを備えたサブ基板の第１主面との間に電気的に接続する導電体を設けている請求項１又は請求項２記載のプローブカード。
【請求項４】
上記メイン基板は第１接続用電極を有する第１主面にメイン基板の歪みを抑える補強板を張設する請求項１乃至請求項３記載のプローブカード。
【請求項５】
上記接続ピンと接続ピンを挿通するサブ基板のスルーホールとがスルーホール内で弾性的接触をする請求項１乃至請求項４記載のプローブカード。
【請求項６】
測定器に接触される第１接続用電極を有するメイン基板と、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを有し、上記メイン基板に結合されるサブ基板と、一方の主面に測定対象物に接触される複数の接触子を設け、接触子と電気的に導通し複数のスルーホールを有するスペーストランスフォーマーと、一方端をスペーストランスフォーマーのスルーホール内で着脱可能に装着し、他方端をサブ基板のスルーホール内で着脱可能に装着する接続ピンとを備えたことを特徴としたプローブカード。
【請求項７】
上記スペーストランスフォーマーを複数に分割してなる請求項１乃至請求項５又は請求項６記載のプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はＬＳＩチップ等の半導体デバイスの電気的諸特性を測定するプローブカードに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来プローブカードには、カンチレバー型と呼ばれる横型タイプと、垂直型と呼ばれる縦型タイプとがある。この横型タイプのプローブカードには、近年のＬＳＩチップの大規模高集積化とテスターの多重化に伴う多チップ同時測定に適していない面がある。一方、縦型タイプのプローブカードは、より多くのプローブを使用でき、プローブの配置の自由度が高いため、多チップ同時測定に適している。
【０００３】
半導体デバイスの検査には、複数のチップを同時に測定することが求められており、近年そこで使用するプローブカードの電極数が更に増加しても、より電気的接触の安定性が高く、高性能、高信頼性のプローブカードが要求されている。
【０００４】
そこで、縦型タイプのプローブカードにあっては、図１７に示すように、測定器の電極パッドと接続する面に複数の第１接続用電極４’を有する第１主面１ａ’と、第１接続用電極と配線にて導通する第２接続用電極５’を有する第２主面１ｂ’とを備えたメイン基板１’を設け、測定対象物の電極パッドと接続する複数の第５接続用電極１７’を有する第２主面２ｂ’と、第５接続用電極１７’と配線にて導通する第４接続用電極１６’を有する第１主面２ａ’とを備えたスペーストランスフォーマー２’を設け、メイン基板１’とスペーストランスフォーマー２’との間に支持基板２５を設けたもので、支持基板に跨って介在し弓形などの形状に屈曲形成された接続ピン７’を備え、接続ピン７’が一方の先端部をメイン基板１’の第２接続用電極５’と接触し、他方の先端部をスペーストランスフォーマー２’の第４接続用電極１６’と接触する構造のものが存在していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところがこの種のプローブカードでは、メイン基板１’、スペーストランスフォーマー２’、この両者の向かい合う電極間を導通する接続ピン７、並びに接続ピン７を保持する支持基板との構造上、電気的に付勢接触するポイントとして少なくともメイン基板１’の第２主面と接続ピン７の一方の先端部、及びスペーストランスフォーマー２’の第２主面と接続ピン７の他方の先端部の２箇所を持つために、全体として導通不良が発生しやすいという問題点があった。又、屈曲形成された接続ピン７が長くなり、方向、傾斜等の不ぞろいな状態で支持基板に保持されることとなるために、接続ピン７の先端位置が不正確となり導通不良が多く発生するという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、このような従来のプローブカードが有していた課題を解決したものであり、電極間の導通不良の発生を抑制して電気的接触の安定性が高く、高い信頼性を有することを目的としたプローブカードを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のプローブカードは測定対象物の電気的諸特性を測定するプローブカードに於いて、測定器に接触される第１接続用電極を有するメイン基板と、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを有し、上記メイン基板に結合されるサブ基板と、上記スルーホールに着脱可能に挿通される接続ピンを一方の主面に設け、上記接続ピンに電気的に導通し、かつ測定対象物に接触される複数の接触子を他方の主面に設けたスペーストランスフォーマーとを備えた構成としている。
【０００８】
又、サブ基板とスペーストランスフォーマーとは着脱可能に配置された構成としている。更に、メイン基板は第１接続用電極を有する第１主面と、第１接続用電極と配線にて導通する第２接続用電極を有する第２主面とを備え、この第２主面と第２主面に向かい合いスルーホールを備えたサブ基板の第１主面との間に電気的に接続する導電体を設けている構成としている。
【０００９】
更に又、メイン基板は第１接続用電極を有する第１主面にメイン基板の歪みを抑える補強板を張設する構成としている。又、接続ピンと接続ピンを挿通するサブ基板のスルーホールとがスルーホール内で弾性的接触をする構成としている。更に、測定器に接触される第１接続用電極を有するメイン基板、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを有し、上記メイン基板に結合されるサブ基板、一方の主面に測定対象物に接触される複数の接触子を設け、接触子と電気的に導通し複数のスルーホールを有するスペーストランスフォーマー、並びに、一方端をスペーストランスフォーマーのスルーホール内で着脱可能に装着し、他方端をサブ基板のスルーホール内で着脱可能に装着する接続ピンとを備えた構成としている。更に又、スペーストランスフォーマーを複数に分割してなる構成としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について図に基づき説明する。
【００１１】
図中、図１は本発明実施例を示す断面構造の概略図、図２は本発明実施例を示す断面構造の分解概略図、図３は本発明実施例を示す断面構造の一部概略図、図４は本発明実施例のメイン基板とサブ基板との結合状態を示す一部概略図、図５は本発明実施例のメイン基板とサブ基板との他の結合状態を示す一部概略図、図６は本発明実施例の接続ピンを示す拡大図、図７は本発明実施例の他の接続ピンの接続状態を示す一部概略図である。
【００１２】
図８は本発明実施例の接続ピンの結合状態を示す一部概略図、図９は本発明サブ基板の別実施例を示す概略図、図１０は本発明実施例の他の接続ピンの結合状態を示す一部概略図、図１１は本発明実施例の他の接続ピンの結合状態を示す一部概略図、図１２は本発明実施例の他の接続ピンの接続状態を示す一部概略図、図１３は本発明実施例の接続ピンの結合状態を示す一部拡大概略図、図１４は本発明実施例の接続ピンの結合状態を示す一部概略図、図１５は本発明の他の実施例を示す断面構造の概略図、図１６は本発明実施例の他の補強板を示す一部概略図、図１７は従来のプローブカードの断面構造の一部を示す概略図である。
【００１３】
プローブカードＡは図１乃至図３に示すように、テスター等の検査用測定器（図示省略）に接触される第１接続用電極４を有するメイン基板１、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホール９を有するサブ基板３、上記スルーホール９に着脱可能に挿通する接続ピン７、一方の主面２ａに接続ピン７を装備し、他方の主面２ｂにＩＣチップ等の測定対象物である半導体デバイス（図示省略）に接触される複数の接触子６を設けたスペーストランスフォーマー２、並びに、このスペーストランスフォーマー２を上記メイン基板１に着脱可能に装着する保持具１０とから構成されている。
【００１４】
メイン基板１は、図１乃至図３に示すように、検査用測定器に電気的に導通する複数の第１接続用電極４、４を第１主面１ａに装備し、又、後述のサブ基板３に対する電気的導通用としての複数の第２接続用電極５、５を第２主面１ｂに装備し、この第２接続用電極５を第１接続用電極４とメイン基板内の配線にて電気的に導通している。
【００１５】
メイン基板１は、第２主面１ｂの狭い間隔の隣り合う第２接続用電極間から、第１主面１ａの広い間隔の隣り合う第１接続用電極間へと変換して、測定器の電極間に相当する広い間隔に第１主面１ａの第１接続用電極を配置している。
【００１６】
メイン基板１は、第１主面１ａに補強板８を設けている。
この補強板８は、メイン基板１の第１主面１ａに接触する測定器の接触圧力の変化に起因した電気的接触の不安定で発生する熱をメイン基板１が吸収し、メイン基板１の熱膨張差によって、メイン基板１が彎曲状に変形して電気的導通不良を起こすという不具合を解消するために設けている。
【００１７】
この補強板８は、メイン基板１の歪みを極力抑えることができればよいので、図１６に示すように、メイン基板１の第１主面１ａ上に複数の独立した部材８ａ、８ｂを配置して、メイン基板１の端側に歪みを生じてもメイン基板１の中央側をフラットに保持するようにすればよい。又、複数の独立した部材をそれぞれ異種材料にて設け、メイン基板１の歪みをより効果的に抑えるようにしてもよい。
【００１８】
サブ基板３は、図１乃至図３に示すように、メイン基板１の第２主面１ｂと向かい合う第１主面３ａと、後述のスペーストランスフォーマー２の第１主面２ａと向かい合う第２主面３ｂとを設け、この第１主面３ａと第２主面３ｂとの間に複数のスルーホール９、９を設けている。
このスルーホール９は、第１主面３ａ、第２主面３ｂ間を導電性メッキ層を有して貫通しており、第１主面３ａに装備した第３接続用電極１５と電気的に導通している。
【００１９】
サブ基板３は、サブ基板３の第３接続用電極１５とメイン基板１の第２接続用電極５との間を半田、導電性樹脂等による導電体１３にて固定されており、この導電体部分以外のメイン基板１の第２主面１ｂと、向かい合うサブ基板３の第１主面３ａとの間に基板接着用の樹脂部材１４を装填している。これによりサブ基板３は、メイン基板１と電気的に導通しながら、一体的に結合することとなる。
【００２０】
スペーストランスフォーマー２は、図１乃至図３に示すように、サブ基板３の第２主面３ｂと向かい合う第１主面２ａと、半導体デバイスの高密度に配置された電極パッド（図示省略）に接触するための複数の接触子６、６を装備した第２主面２ｂとを設けている。
【００２１】
スペーストランスフォーマー２の第１主面２ａには複数の第４接続用電極１６、１６を装備しており、この第４接続用電極１６上に後述の接続ピン７が半田付けされている。スペーストランスフォーマー２の第２主面２ｂには複数の第５接続用電極１７、１７を装備しており、この第５接続用電極１７に接触子６が半田付けされている。
【００２２】
このスペーストランスフォーマー２の第４接続用電極１６を第５接続用電極１７とスペーストランスフォーマー２内の配線にて電気的に導通している。
【００２３】
スペーストランスフォーマー２の複数の隣り合う接触子６間は半導体デバイスの電極パッド（図示省略）の狭い間隔に対応するようにしている。
【００２４】
このスペーストランスフォーマー２は、後述の図１５に示すように、分割型として、電気的導通不良等の不良個所の即時修正と分割型を交換できるようにしても良い。
【００２５】
スペーストランスフォーマー２に装備された接続ピン７は、サブ基板３のスルーホール９内に向けて着脱自在に挿通しており、後述の図６乃至図８及び図１０、図１２乃至図１３に示すように、導電性メッキ層を有するスルーホール９，２４内と弾性的に接触を行い、電気的に導通するようにしている。又、接続ピン７の他方端は、スペーストランスフォーマー２に半田付けされずに、後述の図１１に示すように、弾性的な接触をするようにしてもよい。
【００２６】
上記サブ基板３の別実施例としては、図９に示すように、サブ基板３が第１サブ基板３１と第２サブ基板３２との二層で構成され、それぞれのサブ基板３１、３２に位置をずらして第１サブ基板用スルーホール３１９、第２サブ基板用スルーホール３２９を設け、この第１サブ基板用スルーホール３１９と第２サブ基板用スルーホール３２９とを第６接続用電極３３にて電気的に導通させた構造としてもよい。
【００２７】
第１サブ基板用スルーホール３１９は、サブ基板の第３接続用電極１５と電気的に導通しており、この第３接続用電極１５は、メイン基板１の第２接続用電極５と半田、導電性樹脂等による導電体１３にて電気的に導通し、固定されている。この第２接続用電極５は、メイン基板１内の配線にて第１接続用電極４と電気的に導通している。
【００２８】
又、スペーストランスフォーマー２の第２主面２ｂには、第５接続用電極１７を装備しており、この第５接続用電極１７に接触子６が半田付けされている。更に、第２サブ基板用スルーホール３２９内で電気的に接続した後述の接続ピン７の端子部２３がスペーストランスフォーマー２のスルーホール２４内を貫通して第５接続用電極１７に半田付けされている。このサブ基板３は、第１サブ基板３１と第２サブ基板３２との二層としているが、三層以上の複数層としてもよい。
【００２９】
このようにサブ基板３を二層以上にしてそれぞれのサブ基板内のスルーホールの位置をずらすことによって、メイン基板１の第１接続用電極４からスペーストランスフォーマー２の接触子６へ間隔変換する際に、サブ基板３内を第２ピッチ変換と第３ピッチ変換の二段階により間隔変換することができるために、メイン基板１から直接一つのスルーホールを介して間隔変換するよりも、メイン基板１における配線の集中をサブ基板に分散させることができ、メイン基板１の配線負荷を軽減することができる。
【００３０】
スペーストランスフォーマー２をメイン基板１に着脱可能に装着する保持具１０は、図１に示すように、メイン基板１に螺着するネジ１１と、スペーストランスフォーマー２の歪みを抑えるスプリング１２、１２とからなっている。このスプリング１２は、スペーストランスフォーマー２が測定対象物の電極パッド（図示省略）に接触する接触子６にかかる接触圧力の変化に起因した電気的接触の不安定で発生する熱をスペーストランスフォーマー２が吸収し、スペーストランスフォーマー２の熱膨張差によって、スペーストランスフォーマー２が彎曲状に変形して電気的に導通不良を起こすという不具合を解消するための働きをしている。
【００３１】
このようにして、スペーストランスフォーマー２側よりネジ１１のネジ頭を回してメイン基板１から取り外せば、サブ基板３を一体的に結合したメイン基板１と、スペーストランスフォーマー２とが簡単に分解することができ、スペーストランスフォーマー２の接続ピンの不良等を取り替えることもできる。又、逆にネジ１１を逆回しするだけで、スペーストランスフォーマー２とメイン基板１とを簡単に組立てることができる。
【００３２】
次に、メイン基板１とサブ基板３との結合を図４及び図５について説明する。
【００３３】
メイン基板１とサブ基板３との結合は、図４に示すように、サブ基板３の導電性メッキ層を有するスルーホール９に電気的に導通した第１主面３ａの第３接続用電極１５とメイン基板１の第２主面１ｂの第２接続用電極５との間を半田、導電性樹脂等による導電体１３にて固定し、導電体部分を除くサブ基板３とメイン基板１との間に基板接着用の樹脂部材１４を装填して、一体的になるように結合している。
【００３４】
このようにメイン基板１とサブ基板３との結合は、サブ基板３の第１主面３ａの狭い間隔の隣り合う電極間からメイン基板１の第１主面３ａの広い間隔の隣り合う電極間へと変換して配置する電気的な導通領域がメイン基板１とサブ基板３とにて固定されているために、電気的導通不良をおさえて、接触安定性を良好にし電気的に付勢接触するポイントを少なくすることができる。
【００３５】
又、図５に示すように、サブ基板３の導電性メッキ層を有するスルーホール９に電気的に導通した第１主面３ａの第３接続用電極１５と、サブ基板３のスルーホール位置より離れたメイン基板１の第２主面１ｂの第２接続用電極との間を導電体１３にて固定しても良い。
【００３６】
接続ピン７は、エッチング、プレス加工等にてＵ字型あるいはＶ字型形状に加工され、図６に示すように、サブ基板３のスルーホール９内で弾性的接触を行う接触部２０、接触部を支える支持部２１、支持部の端部に支持部のスルーホール９内への入りすぎを規制するストッパー部２２、及び、スペーストランスフォーマー２の第４接続用電極１６と半田付けされた端子部２３とからなっている。
【００３７】
この接続ピン７は、図３に示したように、サブ基板３のスルーホール９内に向けて接触部２０及び支持部２１を差し入れていくと、この接触部２０が導電性メッキ層を有するスルーホール内壁と接触して電気的に導通可能状態とすることができる。勿論、スペーストランスフォーマー２を引き下げれば、スルーホール９内より接続ピン７の接触部及び支持部を引き抜くことができる。
【００３８】
図７は、接続ピン７の接触部２０が二段に分割されて構成したものであって、前述の接触部に比べてサブ基板３のスルーホール９内の弾性的接触がより強固で、耐久性にも優れたものとすることができる。
【００３９】
更に、図８は、接続ピン７の端子部２３の固定構造であり、接続ピン７の端子部をスペーストランスフォーマー２に設けたスルーホール２４内に挿通し、スペーストランスフォーマー２の第５接続用電極１７に半田付けされており、電気的な導通性が良く、接続ピン７をより強固に固定している。
【００４０】
更に又、図１０は、接続ピン７の接触部２０が二段に分割され、その端子部２３を前記図８と同様に、スペーストランスフォーマー２に設けたスルーホール２４内に挿通し、スペーストランスフォーマー２の第５接続用電極１７に半田付けされて、電気的な導通性が良く、接続ピン７をより強固に固定している。
【００４１】
又、図１１は、接続ピン７の接触部２０以外に端子部２３をも弾性的接触するような構成とし、接続ピン７の接触部２０及び支持部２１を前記図３と同様に、サブ基板３のスルーホール９内に挿通し、スルーホール９内で接触部を弾性的接触させて、更に、端子部２３をスペーストランスフォーマー２に設けたスルーホール２４内に挿通し、このスルーホール２４内壁に端子部が弾性的接触するようにしている。これにより、スペーストランスフォーマー２と接続ピン７とが半田付けされることなく、簡単にスペーストランスフォーマー２と接続ピン７とを分離することもできる。
【００４２】
尚この場合、サブ基板３側の接続ピン７の接触部２０のバネ圧と、スペーストランスフォーマー２に設けられたスルーホール２４と接続ピン７の端子部のバネ圧に差を設けることにより、サブ基板３からスペーストランスフォーマー２を着脱する場合、接続ピン７を残す部材を選択できる。即ち、サブ基板３側のバネ圧をスペーストランスフォーマー２側のバネ圧より大きくすることでスペーストランスフォーマー２着脱時に接続ピン７は必ずサブ基板３側に残留することとなり、接続ピン７がサブ基板３とスペーストランスフォーマー２の両スルーホール９，２４から抜け落ちることがなくなる。（スペーストランスフォーマー２側を強く設定するとスペーストランスフォーマー２側に残留する。）
【００４３】
又、図１２及び図１３は接続ピン７をストレートピンとして構成したもので、サブ基板３のスルーホール９内に先細のインナーコンタクト２６を装填し、接続ピン７の先端がインナーコンタクト２６を貫通する時点で、このインナーコンタクト２６の先端部２７と弾性的接触をするようにしている。この導電性メッキ層を有するスルーホール９とインナーコンタクト２６とは電気的に導通している。この接続ピンであるストレートピンとインナーコンタクト２６との接続では電気的に導通性がよく、接続ピンであるストレートピンの出し入れをよりスムーズに行うことができる。
【００４４】
更に、図１４は図１２と同様にストレートピンの接続ピン７とインナーコンタクト２６との接続であるが、ストレートピンの固定がスペーストランスフォーマー２に設けたスルーホール２４内を挿通し、スペーストランスフォーマー２の第５接続用電極１７に半田付けされて、電気的に導通性が良く、接続ピン７をより強固に固定している。
【００４５】
図１５は本発明の別実施例であるスペーストランスフォーマー２を分割型とした構造であり、メイン基板１にサブ基板３を一体的に結合し、このサブ基板３のスルーホール９内に挿通される接続ピン７を備えたスペーストランスフォーマー２を複数に分割している。
【００４６】
このスペーストランスフォーマー２の分割により、電気的な導通不良等の不良個所の即時修正と分割型を交換できるようにすると共に、分割されたスペーストランスフォーマー２の分割型の歪みが小さくできるため、多数個の半導体デバイスの測定において、より信頼性を高めることが可能になる。
【００４７】
以上本発明の代表例と思われる実施例について説明したが、本発明は必ずしもこれらの実施例構造のみに限定されるものではなく、本発明にいう前記の構成要件を備え、かつ本発明にいう目的を達成し、以下にいう効果を有する範囲内において適宜改変して実施することができるものである。
【００４８】
【発明の効果】
以上の説明から既に明らかなように、本発明にいうところのプローブカードは、測定器に接触される第１接続用電極を有するメイン基板と、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを有し、上記メイン基板に結合されるサブ基板と、上記スルーホールに着脱可能に挿通される接続ピンを一方の主面に設け、上記接続ピンに電気的に導通し、かつ測定対象物に接触される複数の接触子を他方の主面に設けたスペーストランスフォーマーとを備えた構成としているので、狭い間隔の隣り合う電極間から比較的に広い間隔の隣り合う電極間へと変換して配置する導通領域がメイン基板とサブ基板とにて固定されるために、検査のつどメイン基板とサブ基板の電気的な導通不良を心配する必要がなくなり、サブ基板とスペーストランスフォーマーの接続ピンの接触による電気的な導通だけを考慮するだけでよく、信頼性が高く導通不良個所も簡単に見分けることができ、保守管理も容易となる。
【００４９】
又、サブ基板とスペーストランスフォーマーとは着脱可能に配置された構成としているので、スペーストランスフォーマーに装備された接続ピンの不良等を取り替えることもできる。
【００５０】
更に、メイン基板は第１接続用電極を有する第１主面と、第１接続用電極と配線にて導通する第２接続用電極を有する第２主面を備え、この第２主面と第２主面に向かい合いスルーホールを備えたサブ基板の第１主面との間に電気的に接続する導電体を設けている構成としているので、サブ基板の第１主面の狭い間隔の隣り合う電極間からメイン基板の第１主面の広い間隔の隣り合う電極間へと変換して配置する電気的な導通領域がメイン基板とサブ基板とにて固定されているために、電気的な導通不良をおさえて、接触安定性を良好にし電気的に付勢接触するポイントを少なくすることができる。
【００５１】
更に又、メイン基板は第１接続用電極を有する第１主面にメイン基板の歪みを抑える補強板を張設する構成としているため、メイン基板が彎曲状に変形して電気的な導通不良を起こし、電気的接触の不安定を解消することができる。
【００５２】
又、接続ピンと接続ピンを挿通するサブ基板のスルーホールとがスルーホール内で弾性的接触をする構成としているため、接続が強固となり、導通不良を抑制することができる。
【００５３】
更に、測定器に接触される第１接続用電極を有するメイン基板、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを有し、上記メイン基板に結合されるサブ基板、一方の主面に測定対象物に接触される複数の接触子を設け、接触子と電気的に導通し複数のスルーホールを有するスペーストランスフォーマー、並びに、一方端をスペーストランスフォーマーのスルーホール内で着脱可能に装着し、他方端をサブ基板のスルーホール内で着脱可能に装着する接続ピンとを備えた構成としているので、接続が強固となり、導通不良を抑制することができる。
【００５４】
更に又、スペーストランスフォーマーを複数に分割してなる構成としているため、スペーストランスフォーマーの部分的不良に対してスペーストランスフォーマーの全体を取り替える必要がなく、ユニット交換で完了でき、大幅な経費の削減をはかることができるというそれぞれ顕著な効果を期待することが出来るに至ったのである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明実施例を示す断面構造の概略図。
【図２】本発明実施例を示す断面構造の分解概略図。
【図３】本発明実施例を示す断面構造の一部概略図。
【図４】本発明実施例のメイン基板とサブ基板との結合状態を示す一部概略図。
【図５】本発明実施例のメイン基板とサブ基板との他の結合状態を示す一部概略図。
【図６】本発明実施例の接続ピンを示す拡大図。
【図７】本発明実施例の他の接続ピンの接続状態を示す一部概略図。
【図８】本発明実施例の接続ピンの結合状態を示す一部概略図。
【図９】本発明サブ基板の別実施例を示す概略図。
【図１０】本発明実施例の他の接続ピンの結合状態を示す一部概略図。
【図１１】本発明実施例の他の接続ピンの結合状態を示す一部概略図。
【図１２】本発明実施例の他の接続ピンの接続状態を示す一部概略図。
【図１３】本発明実施例の接続ピンの結合状態を示す一部拡大概略図。
【図１４】本発明実施例の接続ピンの結合状態を示す一部概略図。
【図１５】本発明他の実施例を示す断面構造の概略図。
【図１６】本発明実施例の他の補強板を示す一部概略図。
【図１７】従来のプローブカードの断面構造の一部を示す概略図。
【符号の説明】
Ａ  プローブカード
１、１’  メイン基板
２、２’  スペーストランスフォーマー
３  サブ基板
４、４、４’  第１接続用電極
５、５、５’  第２接続用電極
６、６  接触子
７、７  接続ピン
８  補強板
８ａ、８ｂ  補強板の独立した部材
９  スルーホール
１０  保持具
１３  導電体
１５、１５  第３接続用電極
１６、１６、１６’  第４接続用電極
１７、１７  第５接続用電極
２０  接触部
２１  支持部
２２  ストッパー部
２３  端子部
２４  スペーストランスフォーマーのスルーホール
２５  支持基板
２６  インナーコンタクト
２７  先端部
３１  第１サブ基板
３２  第２サブ基板
３３  第６接続用電極
３１９  第１サブ基板用スルーホール
３２９  第２サブ基板用スルーホール
【図１】
2005010052.tif 000003
【図２】
2005010052.tif 000004
【図３】
2005010052.tif 000005
【図４】
2005010052.tif 000006
【図５】
2005010052.tif 000007
【図６】
2005010052.tif 000008
【図７】
2005010052.tif 000009
【図８】
2005010052.tif 000010
【図９】
2005010052.tif 000011
【図１０】
2005010052.tif 000012
【図１１】
2005010052.tif 000013
【図１２】
2005010052.tif 000014
【図１３】
2005010052.tif 000015
【図１４】
2005010052.tif 000016
【図１５】
2005010052.tif 000017
【図１６】
2005010052.tif 000018
【図１７】
2005010052.tif 000019
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月1日(2003.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象物の電気的諸特性を測定するプローブカードに於いて、測定器に接触される第１接続用電極を有するメイン基板と、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを有し、上記メイン基板に結合されるサブ基板と、上記スルーホールに着脱可能に挿通される接続ピンを一方の主面に設け、上記接続ピンに電気的に導通し、かつ測定対象物に接触される複数の接触子を他方の主面に設けたスペーストランスフォーマーとを備えたことを特徴としたプローブカード。
【請求項２】
上記サブ基板とスペーストランスフォーマーとは着脱可能に配置されている請求項１記載のプローブカード。
【請求項３】
上記メイン基板は第１接続用電極を有する第１主面と第１接続用電極と配線にて導通する第２接続用電極を有する第２主面を備え、この第２主面と第２主面に向かい合いスルーホールを備えたサブ基板の第１主面との間に電気的に接続する導電体を設けている請求項１又は請求項２記載のプローブカード。
【請求項４】
上記メイン基板は第１接続用電極を有する第１主面にメイン基板の歪みを抑える補強板を張設する請求項１乃至請求項３記載のプローブカード。
【請求項５】
上記接続ピンと接続ピンを挿通するサブ基板のスルーホールとがスルーホール内で弾性的接触をする請求項１乃至請求項４記載のプローブカード。
【請求項６】
測定器に接触される第１接続用電極を有するメイン基板と、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを有し、上記メイン基板に結合されるサブ基板と、他方の主面に測定対象物に接触される複数の接触子を設け、接触子と電気的に導通し複数のスルーホールを有するスペーストランスフォーマーと、一方端をスペーストランスフォーマーのスルーホール内で着脱可能に装着し、他方端をサブ基板のスルーホール内で着脱可能に装着する接続ピンとを備えたことを特徴としたプローブカード。
【請求項７】
上記スペーストランスフォーマーを複数に分割してなる請求項１乃至請求項５又は請求項６記載のプローブカード。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところがこの種のプローブカードでは、メイン基板１’、スペーストランスフォーマー２’、この両者の向かい合う電極間を導通する接続ピン７’、並びに接続ピン７を保持する支持基板との構造上、電気的に付勢接触するポイントとして少なくともメイン基板１’の第２主面と接続ピン７’の一方の先端部、及びスペーストランスフォーマー２’の第１主面と接続ピン７’の他方の先端部の２箇所を持つために、全体として導通不良が発生しやすいという問題点があった。又、屈曲形成された接続ピン７’が長くなり、方向、傾斜等の不ぞろいな状態で支持基板に保持されることとなるために、接続ピン７’の先端位置が不正確となり導通不良が多く発生するという問題点があった。


【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
更に又、メイン基板は第１接続用電極を有する第１主面にメイン基板の歪みを抑える補強板を張設する構成としている。又、接続ピンと接続ピンを挿通するサブ基板のスルーホールとがスルーホール内で弾性的接触をする構成としている。更に、測定器に接触される第１接続用電極を有するメイン基板、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを有し、上記メイン基板に結合されるサブ基板、他方の主面に測定対象物に接触される複数の接触子を設け、接触子と電気的に導通し複数のスルーホールを有するスペーストランスフォーマー、並びに、一方端をスペーストランスフォーマーのスルーホール内で着脱可能に装着し、他方端をサブ基板のスルーホール内で着脱可能に装着する接続ピンとを備えた構成としている。更に又、スペーストランスフォーマーを複数に分割してなる構成としている。


【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
更に、測定器に接触される第１接続用電極を有するメイン基板、上記第１接続用電極と電気的に導通する複数のスルーホールを有し、上記メイン基板に結合されるサブ基板、他方の主面に測定対象物に接触される複数の接触子を設け、接触子と電気的に導通し複数のスルーホールを有するスペーストランスフォーマー、並びに、一方端をスペーストランスフォーマーのスルーホール内で着脱可能に装着し、他方端をサブ基板のスルーホール内で着脱可能に装着する接続ピンとを備えた構成としているので、接続が強固となり、導通不良を抑制することができる。


【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
2005010052.tif 000020