(57)【要約】【課題】  従来の有機基板を用いたボールグリッドアレイパッケージの半導体集積回路装置では、インターポーザーである有機基板に反りが生じるため、マザーボード基板に実装した際に導通不良をおこすという課題があった。【解決手段】有機基板４を用いたボールグリッドアレイパッケージの半導体集積回路装置の反りを抑制する手段として、はんだボール５の搭載側の面に所望の膨張係数その他の物性値を備えた樹脂６をボール搭載面側の半導体集積回路１下の範囲に塗布することにより、上面すなわち、半導体集積回路１の膨張係数と下面すなわちボール搭載面に塗布した樹脂６とで、上下の膨張係数の均衡が取れるようになり、有機基板４における半導体集積回路下の変形や集中応力が緩和されるようになり、半導体集積回路装置の反りを抑制させることができる。  【選択図】  図１
2005166886.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップと、この半導体チップを搭載した有機基板とを備え、前記有機基板の前記半導体チップと反対側に前記半導体チップの膨張係数に近い膨張係数を有する樹脂を設けたことを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
有機基板をマザーボード基板に接合し、樹脂は所望の膨張係数その他の物性値を備えた熱可塑性型の樹脂であり、前記有機基板と前記マザーボード基板との間に充填している請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
樹脂は所望の膨張係数その他の物性値を備えた樹脂にフラックスを含有した請求項１記載の半導体装置。
【請求項４】
樹脂は所望の膨張係数その他の物性値を備えた樹脂であって、熱可塑性型の樹脂とフラックスを含有する樹脂の２層構造を有する請求項１記載の半導体装置。
【請求項５】
有機基板の半導体チップと反対側にはんだボールを有する請求項１から請求項４のいずれか１項記載の半導体装置。
【請求項６】
はんだボール搭載側に塗布する所望の膨張係数その他の物性値を備えた樹脂をＢステージで供給する請求項５に記載の半導体装置。
【請求項７】
半導体集積回路と、この半導体集積回路をフリップチップ方式により接続し前記半導体集積回路と反対側にはんだボールを有する有機基板と、所望の膨張係数その他の物性値を有し前記有機基板のはんだボール搭載側に付設された樹脂とを備えた半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置に関し、とくに有機基板をインターポーザーとして用いたボールグリッドアレイパッケージ等のパッケージ反りを低減させることを可能とし、さらに、マザーボード基板への二次実装信頼性や実装性をも改善させることが可能な半導体装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
まず、図３は従来の半導体集積回路装置を示す断面図であり、この図３を参照しながら説明する。１は半導体集積回路、２はＡｕバンプ、３は封止樹脂、４は有機基板、５は    はんだボールである。
【０００３】
有機基板４をインターポーザーとして用いたボールグリッドアレイパッケージは、Ｓｉからなる半導体集積回路１とインターポーザーとして用いている有機基板４との膨張係数の関係からパッケージとして組み上げた状態では、一般的に半導体集積回路１の下の部分の有機基板４が凸型に反るという現象が起こり、それに従って、有機基板４の全体が大きく凸型になる。
【０００４】
この有機基板４が凸型に反った状態で、図４のように、マザーボード基板７に実装すると、有機基板４の中心部に搭載されている、はんだボール５がマザーボード基板７に届かないという現象が発生する。この状態にてＩＲや熱風のリフロー等により、熱を与えてはんだボール５を接合させようとしても、有機基板４の中心部に搭載されている、はんだボール５がマザーボード基板７に届いていないため、接合ができず、良好な導通を得ることができない。
【０００５】
また、図５のように、このインターポーザーとして用いている有機基板４の反りを規制する一般的な手法に有機基板４の外周部にスティフナーと呼ばれる金属製の枠１２を取り付け、反りが生じるのを機械的に抑えるようにしているものもあるが、外周部の反りは抑制されても、半導体集積回路１下の部分の有機基板４の反りまで抑制させることは難しく、かつ、半導体集積回路装置自体にも残留応力を残すことがある（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−０１５６３８（特願平１１−１８６０６３号）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の有機基板を用いたボールグリッドアレイパッケージの半導体集積回路装置では、インターポーザーである有機基板に反りが生じるため、マザーボード基板に実装した際に導通不良をおこすという課題があった。また、スティフナーと呼ばれる金属製の枠を貼り付け、機械的に反りを抑制する方法においては機械的な抑制のために、有機基板を用いたボールグリッドアレイパッケージの半導体集積回路装置自身に残留応力が残ることになり、マザーボード基板に実装時や信頼性に対しても悪影響を及ぼす懸念もあった。
【０００７】
したがって、この発明の目的は、半導体チップ下の有機基板の変形および集中応力を緩和し、有機基板の反りを低減することができる半導体装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明の半導体装置は、半導体チップと、この半導体チップを搭載した有機基板とを備え、有機基板の半導体チップと反対側に半導体チップの膨張係数に近い膨張係数を有する樹脂を設けたことを特徴とするものである。
【０００９】
上記構成において、有機基板をマザーボード基板に接合し、樹脂は所望の膨張係数その他の物性値を備えた熱可塑性型の樹脂であり、有機基板とマザーボード基板との間に充填しているものである。
【００１０】
上記構成において、樹脂は所望の膨張係数その他の物性値を備えた樹脂にフラックスを含有する。
【００１１】
上記構成において、樹脂は所望の膨張係数その他の物性値を備えた樹脂であって熱可塑性型の樹脂とフラックスを含有する樹脂の２層構造とする。
【００１２】
上記構成において、半導体チップが半導体集積回路であり、フリップチップ方式により有機基板に接続され、有機基板の半導体集積回路と反対側にはんだボールを有する。
【００１３】
上記構成において、はんだボール搭載側に塗布する所望の膨張係数他の物性値を備えた樹脂をＢステージで供給するものである。
【００１４】
この発明の半導体装置は、半導体集積回路と、この半導体集積回路をフリップチップ方式により接続し半導体集積回路と反対側にはんだボールを有する有機基板と、所望の膨張係数その他の物性値を有し有機基板のはんだボール搭載側に付設された樹脂とを備えたものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の半導体装置によれば、例えばボールグリッドアレイパッケージのボール搭載面側すなわち有機基板の半導体チップと反対側に所望の膨張係数その他の物性値を備えた樹脂を半導体チップ下に塗布することにより、インターポーザーである有機基板の反りを抑制することが可能となる。
【００１６】
また、所望の膨張係数他の物性値を備えた樹脂に例えば１８０℃程度で再溶融させることができる熱可塑性型の樹脂を用いることにより、マザーボード基板へ二次実装した際に樹脂が再溶融し、アンダーフィル効果の役割を果たし、二次実装信頼性を向上させることも可能となる。
【００１７】
さらに、所望の膨張係数他の物性値を備えた樹脂に、基板の酸化膜や有機物等の除去し、はんだ濡れ性を向上させるフラックスを含有させることによって、マザーボード基板へ二次実装した時にも良好なはんだ付け性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の一実施の形態について、図１および図２を参照しながら説明する。
【００１９】
図１は有機基板をインターポーザーとして用いたボールグリッドアレイパッケージタイプの半導体集積回路装置の断面図の概略であり、図２は、その半導体集積回路装置をマザーボードに二次実装したときの断面図の概略である。
【００２０】
図１を用いて製造方法を説明する。まず、インターポーザーとなる有機基板４のはんだボール搭載面側にはんだボール５を搭載し、ＩＲや熱風によるリフローなどにより有機基板４に接合させる。次に、半導体チップ例えば半導体集積回路１を反転させて接続させるフリップチップ方式にてインターポーザーである有機基板４と接続させる。このフリップチップ方式で接合させる方法は、例えばＡｕバンプ２、はんだ、Ａｕバンプ＋導電性ペースト、Ａｕ−Ａｕによる金属接合などが可能であるが、特に接合方法は問わない。
【００２１】
次に、半導体集積回路１とインターポーザーである有機基板４との隙間に毛細管現象を用いて樹脂３を注入させる。その後、所望の膨張係数その他の物性値を備えた樹脂６をはんだボール搭載側の半導体集積回路１の下の範囲に塗布する。この時、所望膨張係数その他の物性値を備えた樹脂６はＢステージと呼ばれる半硬化の状態での供給でもかまわない。この後、樹脂を硬化させる工程にて、熱などにより、樹脂３と低線膨張係数を有する樹脂６との両方の樹脂を同時に硬化させる。
【００２２】
例えば熱膨張の所望の膨張係数その他の物性値については、一例として線膨張係数を取り上げると、樹脂６を硬化させる時にインターポーザーである有機基板４を中心に、上面には半導体集積回路１（αsi＝４ｐｐｍ）があり、下面にはＳｉに可能な限り近づけた低線膨張係数を有する樹脂６があるため、線膨張係数の均衡が取れ、半導体集積回路１下の変形や集中応力が緩和させることが可能となり、この結果、有機基板４の反りを防止することが可能となる。
【００２３】
この低線膨張係数を有する樹脂６にはシリカなどのフィラー等を入れることによって、半導体集積回路１（Ｓｉ）に可能な限り近づけた線膨張係数となるようにする。
【００２４】
また、図２に示すように所望の膨張係数その他の物性値を備える樹脂に熱可塑性のある樹脂１１を用いることにより、マザーボード基板７に二次実装する際にＩＲや熱風リフローなどの熱により、樹脂１１が再溶融し、有機基板４とマザーボード基板７との間を樹脂１１で埋めることができ、アンダーフィルの効果も得ることが可能となる。これにより、二次実装の信頼性においても向上させることが可能となる。このとき、樹脂の溶融する温度は１８０℃以下の比較的低温で再溶融する樹脂を選択する。
【００２５】
さらに、この所望の膨張係数その他の物性値を備える樹脂にフラックスの役目を果たす松やになどを含有させることにより、二次実装時にマザーボード基板の電極の酸化膜や有機物を除去することが可能となり、良好なはんだ接合も可能となる。
【００２６】
また、樹脂６は熱可塑性型の樹脂１１とフラックスを含有する樹脂の２層構造を有するものにして、はんだ付け性と二次実装信頼性を向上させるようにしてもよい。
【００２７】
上記実施の形態によれば、有機基板４を用いたボールグリッドアレイパッケージの半導体集積回路装置の反りを抑制する手段として、はんだボール搭載側の面に所望の膨張係数他の物性値を備えた樹脂６をボール搭載面側の半導体集積回路１下の範囲に塗布することにより、上面すなわち、半導体集積回路の膨張係数と下面すなわちボール搭載面に塗布した樹脂６とで、上下の膨張係数の均衡が取れるようになり、有機基板４における半導体集積回路１下の変形や集中応力が緩和されるようになり、半導体集積回路装置の反りを抑制させることができる。
【００２８】
なお、この発明において、半導体集積回路装置はんだボール５を有しないランドグリッドアレイパッケージにも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明にかかる半導体装置は、有機基板の反りを抑制できる等の効果を有し、半導体装置等に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の一実施形態の半導体集積回路装置を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態の半導体集積回路装置の二次実装状態を示す断面図である。
【図３】従来の半導体集積回路装置を示す断面図である。
【図４】従来の半導体集積回路装置の二次実装状態を示す断面図である。
【図５】従来の別の半導体集積回路装置を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３１】
１    半導体集積回路
２    Ａｕバンプ
３    封止樹脂
４    有機基板
５    はんだボール
６    所望の膨張係数他の物性値を備える樹脂
７    マザーボード基板
１１    所望の膨張係数他の物性値を備える熱可塑性樹脂
１２    スティフナー
【図１】
2005166886.tif 000003
【図２】
2005166886.tif 000004
【図３】
2005166886.tif 000005
【図４】
2005166886.tif 000006
【図５】
2005166886.tif 000007