(57)【要約】【課題】  光量不足および光量過剰に基づく問題を回避しつつ、使用する紫外線硬化テープに必要とされる光量を自動的に算出する。【解決手段】  紫外線照射部（６１）により紫外線硬化テープ（１１または２１）に照射された紫外線の光量に応じて前記紫外線硬化テープの粘着力を粘着力計測部（７１）によって計測し、計測された前記紫外線硬化テープの粘着力から所定の粘着力に対応する紫外線の光量を算出部により算出するようにした光量算出方法およびこの方法を実施する光量算出装置が提供される。前記所定の粘着力が記憶部に予め記憶されているようにしてもよく、また前記所定の粘着力が、前記紫外線硬化テープの種類および前記紫外線硬化テープの経時時間の少なくともうちの一つに応じて予め定められるようにしてもよい。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線を照射する紫外線照射部と、
紫外線硬化テープの粘着力を計測する粘着力計測部と、
前記紫外線照射部により前記紫外線硬化テープに照射された紫外線の光量に応じて前記粘着力計測部により計測された前記紫外線硬化テープの粘着力から所定の粘着力に対応する紫外線の光量を算出する算出部とを具備する光量算出装置。
【請求項２】
さらに、前記所定の粘着力が記憶されている記憶部を具備する請求項１に記載の光量算出装置。
【請求項３】
前記所定の粘着力が、前記紫外線硬化テープの種類および前記紫外線硬化テープの経時時間のうちの少なくとも一つに応じて予め定められるようにした請求項１または請求項２に記載の光量算出装置。
【請求項４】
紫外線照射部により紫外線硬化テープに照射された紫外線の光量に応じて前記紫外線硬化テープの粘着力を粘着力計測部によって計測し、
計測された前記紫外線硬化テープの粘着力から所定の粘着力に対応する紫外線の光量を算出部により算出するようにした光量算出方法。
【請求項５】
前記所定の粘着力は記憶部に予め記憶されている請求項４に記載の光量算出方法。
【請求項６】
前記所定の粘着力が、前記紫外線硬化テープの種類および前記紫外線硬化テープの経時時間のうちの少なくとも一つに応じて予め定められるようにした請求項４または請求項５に記載の光量算出方法。
【請求項７】
さらに、前記紫外線照射部からの紫外線の光量を計測する光量計測部を具備し、該光量計測部は前記紫外線硬化テープの場所とは異なる場所に位置しており、前記光量計測部により計測された紫外線の光量を換算することにより前記紫外線硬化テープに照射される紫外線の光量を算出するようにした請求項１から３のいずれか一項に記載の光量算出装置。
【請求項８】
前記紫外線硬化テープに照射される紫外線の光量は、前記紫外線硬化テープの場所とは異なる場所において計測された紫外線の光量を換算することにより得られるようにした請求項４から６のいずれか一項に記載の光量算出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光量算出装置、特にウェーハの一方の面に貼付られた紫外線硬化テープに紫外線を照射するときに使用される光量算出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野においてはウェーハが年々大型化する傾向にあり、また、実装密度を高めるためにウェーハの薄葉化が進んでいる。ウェーハを薄葉化するために、半導体ウェーハの裏面を研削するバックグラインドを行う際には、ウェーハ表面に形成された半導体素子を保護するために表面保護テープがウェーハ表面に貼付られる。この表面保護テープはバックグラインド後に剥離されるが、剥離時における表面保護テープの粘着力が比較的大きい場合にはウェーハ自体が表面保護テープに引っ張られて損傷する可能性があると共に表面保護テープの粘着剤がウェーハ表面に部分的に残存する可能性がある。このため、近年では紫外線（以下、適宜「ＵＶ」と称する）を照射することにより粘着剤が硬化して粘着力が低下するテープ（以下、「紫外線硬化テープ」）を表面保護テープとして使用している。このような表面保護テープはバックグラインド時には紫外線が照射されていないので十分な粘着力を有しているが、バックグラインド終了後には紫外線を照射することによって粘着力を低下させる。これにより、ウェーハが破損および粘着剤が残存することなしに、表面保護テープをウェーハから容易に剥離することができる。
【０００３】
また、表面に半導体素子が形成されたウェーハは最終的にはダイシングにより賽の目状に切断される。ダイシングの際には、ウェーハはウェーハの裏面に貼付されたダイシングテープによってフレームと一体的にされる。次いで、ダイシング装置のダイシングブレードによってウェーハをダイシングテープごと切断する（フルカットの場合）。このときダイシングテープの粘着剤がブレードにからみついて目詰まりすると共に、半導体素子を破損させる問題がある。このため、同様に紫外線硬化テープをダイシングテープとして使用し、ダイシング前に紫外線を照射することによってダイシングテープを或る程度硬化させると共に粘着力を低下させることによって前述した問題を回避するようにしている。この場合には、紫外線を過剰に照射すると粘着力が大幅に低下するので、ダイシング時にダイが飛散する可能性がある。従って、ダイシングテープに照射される紫外線の光量は或る程度、限定されている（例えば、特許文献１〜特許文献３参照）。
【特許文献１】特開平１０−２７８３６号公報
【特許文献２】特開平１０−２８４５６４号公報
【特許文献３】特開平７−１８３３６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、紫外線硬化テープは当該テープの種類により粘着力がばらついているので、紫外線の適切な光量を定めるのは困難である。特に紫外線硬化テープの粘着力は製造ロットおよび経時時間に応じて異なる場合があり、このような場合には作業者の経験のみによって紫外線の光量が決定され、歩留まりに多大な影響を与える可能性があった。
【０００５】
すなわち、例えば紫外線硬化テープを表面保護テープとして使用するときに光量が不足した場合には、前述したようなウェーハの破損および粘着剤の残存の問題が生じうる。また、紫外線硬化テープをダイシングテープとして使用するときに光量が不足した場合には前述したようにダイシングテープの粘着剤がブレードに絡み付くと共に、光量が過剰である場合には粘着力が低下してダイシング時にダイが飛散する問題が生じうる。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、光量不足および光量過剰に基づく問題を回避しつつ、使用する紫外線硬化テープに必要とされる光量を自動的に算出する光量算出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前述した目的を達成するために１番目に記載の発明によれば、紫外線を照射する紫外線照射部と、紫外線硬化テープの粘着力を計測する粘着力計測部と、前記紫外線照射部により前記紫外線硬化テープに照射された紫外線の光量に応じて前記粘着力計測部により計測された前記紫外線硬化テープの粘着力から所定の粘着力に対応する紫外線の光量を算出する算出部とを具備する光量算出装置が提供される。
【０００８】
すなわち１番目の発明によって、光量と粘着力との関係に基づいて所望の粘着力に対応する光量を算出できるので、光量不足および光量過剰に基づく問題を回避しつつ、使用する紫外線硬化テープに必要とされる光量を自動的に算出することができ、生産性を高めることができる。紫外線硬化テープは例えば表面保護テープまたはダイシングテープであり、どちらの場合であっても本発明の光量算出装置を使用することができる。
【０００９】
２番目の発明によれば、１番目の発明において、さらに、前記所定の粘着力が記憶されている記憶部を具備する。
すなわち２番目の発明によって、所定の粘着力を現場で入力する必要がなくなる。記憶部は例えばＲＯＭまたはＲＡＭでありうる。
【００１０】
３番目の発明によれば、１番目または２番目の発明において、前記所定の粘着力が、前記紫外線硬化テープの種類および前記紫外線硬化テープの経時時間のうちの少なくとも一つに応じて予め定められるようにした。
すなわち３番目の発明によって、種類および経時時間の異なる広範な範囲の紫外線硬化テープを採用することができる。
【００１１】
４番目の発明によれば、紫外線照射部により紫外線硬化テープに照射された紫外線の光量に応じて前記紫外線硬化テープの粘着力を粘着力計測部によって計測し、計測された前記紫外線硬化テープの粘着力から所定の粘着力に対応する紫外線の光量を算出部により算出するようにした光量算出方法が提供される。
【００１２】
すなわち４番目の発明によって、光量と粘着力との関係に基づいて所望の粘着力に対応する光量を算出できるので、光量不足および光量過剰に基づく問題を回避しつつ、最適な光量を得ることができる。紫外線硬化テープは表面保護テープまたはダイシングテープであり、どちらの場合であっても本発明の光量算出装置を使用することができる。
【００１３】
５番目の発明によれば、４番目の発明において、前記所定の粘着力は記憶部に予め記憶されている。
すなわち５番目の発明によって、所定の粘着力を現場で入力する必要がなくなる。記憶部は例えばＲＯＭまたはＲＡＭでありうる。
【００１４】
６番目の発明によれば、４番目または５番目の発明において、前記所定の粘着力が、前記紫外線硬化テープの種類および前記紫外線硬化テープの経時時間のうちの少なくとも一つに応じて予め定められるようにした。
すなわち６番目の発明によって、種類および経時時間の異なる広範な範囲の紫外線硬化テープを採用することができる。
７番目の発明によれば、１番目から３番目のいずれかの発明において、さらに、前記紫外線照射部からの紫外線の光量を計測する光量計測部を具備し、該光量計測部は前記紫外線硬化テープの場所とは異なる場所に位置しており、前記光量計測部により計測された紫外線の光量を換算することにより前記紫外線硬化テープに照射される紫外線の光量を算出するようにした。
すなわち７番目の発明によって、紫外線硬化テープからの距離および紫外線照射部からの距離などに応じて定まる適切な換算を行うことにより、紫外線硬化テープの場所以外の場所においても、紫外線硬化テープに実際に照射された紫外線の光量を正確に算出することができる。
８番目の発明によれば、４番目から６番目のいずれかの発明において、前記紫外線硬化テープに照射される紫外線の光量は、前記紫外線硬化テープの場所とは異なる場所において計測された紫外線の光量を換算することにより得られるようにした。
すなわち８番目の発明によって、紫外線硬化テープからの距離および紫外線照射部からの距離などに応じて定まる適切な換算を行うことにより、紫外線硬化テープの場所以外の場所においても、紫外線硬化テープに実際に照射された紫外線の光量を正確に算出することができる。
【発明の効果】
【００１５】
各発明によれば、光量不足および光量過剰に基づく問題を回避しつつ、使用する紫外線硬化テープに必要とされる光量を自動的に算出することができるという共通の効果を奏しうる。
さらに、２番目および５番目の発明によれば、所定の粘着力を現場で入力する必要がなくなるという効果を奏しうる。
さらに、３番目および６番目の発明によれば、種類および経時時間の異なる広範な範囲の紫外線硬化テープを採用することができるという効果を奏しうる。
さらに、７番目および８番目の発明によれば、紫外線硬化テープの場所以外の場所においても、紫外線硬化テープに実際に照射された紫外線の光量を正確に算出することができるという効果を奏しうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図１は本発明に基づく光量算出装置を含むウェーハ処理装置の略図である。図２（ａ）は本発明に基づく光量算出装置の部分頂面図であり、図２（ｂ）は本発明に基づく光量算出装置の部分側断面図である。図１に示されるようにバックグラインダ（ＢＧ）１において裏面が研削されたウェーハがウェーハ処理装置１０に供給される。ウェーハの裏面を研削する際にはウェーハの表面を吸着するので、表面保護テープ１１がウェーハ１２の表面に予め貼付られている（図２（ｂ）を参照されたい）。
【００１７】
図１に示されるようにウェーハ処理装置１０はウェーハ１２にフレーム１５を取り付けるためのマウントユニット２０を含んでいる。表面に表面保護テープ１１が貼付られていてバックグラインダ１によって裏面研削されたウェーハ１２が図示しないローダによりマウントユニット２０内に供給される。同様に図示しない別のローダによってフレーム１５がマウントユニット２０内に供給される。マウントユニット２０においては、前述したウェーハ１２の裏面にダイシングテープ２１を貼付けた後に、このウェーハ１２にフレーム１５をマウントする（図２（ｂ）を参照されたい）。最終的にダイシングテープ２１をフレーム１５の形状に応じて切断する。バックグラインダ１において裏面研削されたウェーハ１２は厚さが薄くなってハンドリングが困難であるが、このようにウェーハ１２をフレーム１５上にマウントすることによって後工程におけるハンドリングを容易にすることができる。
【００１８】
なお、ダイシングテープ２１をウェーハ１２の裏面に貼り付ける前に、ウェーハ１２の裏面にダイアタッチフィルム・テープ（ＤＡＦテープ）を貼り付けることもできる。ＤＡＦテープはダイシング後のダイボンディング時にダイの底面における接着剤の役目を果たす。また、図２（ｂ）に示されるように、ウェーハ１２とほぼ等しい形状のダイアタッチフィルム２５（ＤＡＦ）が予め設けられたダイシングテープ２１を使用してもよい。以下、単にダイシングテープ２１と呼ぶ場合は特に断りのない限りダイアタッチフィルム２５も含んでいるものとする。
【００１９】
ウェーハ処理装置１０はウェーハ１２を反転させる反転ユニット３０も含んでいる。フレーム１５にマウントされたウェーハ１２が反転ユニット３０に移動される。反転ユニット３０においてはこのようなウェーハ１２が上下反転される。当然のことながら、ウェーハ１２を反転させることなしに、ウェーハ１２が反転ユニット３０を単に通過するようにすることもできる。
【００２０】
さらにウェーハ処理装置１０は光量算出ユニット６０も含んでいる。光量算出ユニット６０はＵＶランプ６１を備えており、紫外線をウェーハ１２の一方の面に照射する。図示されるように光量算出ユニット６０は、接触子７６（図１には示さない）を担持するプレート７２を備えた粘着力計測部７１も有している。図２（ａ）および図２（ｂ）に示されるようにプレート７２の基端にはスリーブ７７が設けられており、プレート７２の先端には下方に延びる接触子７６が担持されている。スリーブ７７は粘着力計測部７１の頂面から突出する柱状部７３に挿入されている。図示しない駆動部、例えばモータ等によってプレート７２はスリーブ７７と共に柱状部７３に沿って昇降できる。
本実施例においてはＵＶ光の測定をＵＶ光の照射位置にて行っているが、ＵＶランプ６１からのＵＶ光を光量算出ユニット６０の任意の位置で測定し、測定されたＵＶ光の光量を適宜換算することにより、ダイシングテープ２１に照射された実際の光量を得るようにしてもよい。
【００２１】
再び図１を参照すると、ウェーハ処理装置１０は表面保護テープ１１を剥離する剥離ユニット５０も含んでいる。剥離時に剥離ユニット５０においてはウェーハ１２は表面保護テープ１１が貼り付けられている表面が上方を向くように配置される。剥離ユニット５０内に予め配置された比較的幅狭の剥離用テープ５１がウェーハ１２の一方の縁部付近において表面保護テープ１１に取り付けられる。次いで、この剥離用テープ５１をウェーハ１２の反対側の縁部に向かって引っ張ることにより、表面保護テープ１１が一方の端部から徐々に剥離され、最終的には表面保護テープ１１全体がウェーハ１２から剥離されるようになる。
【００２２】
図１に示されるようにウェーハ処理装置１０の左下付近には収容部９０が配置されており、ウェーハ処理装置１０において所望の処理を受けたウェーハ１２がカセット内に収容される。この際、剥離ユニット５０からのウェーハ１２が通過ユニット５５を通過する。この通過ユニット５５においてはウェーハ１２は特別の処理を受けておらず、通過ユニット５５を省略するようにしてもよい。
【００２３】
図１において点線の矢印で示されるようにウェーハ１２をマウントユニット２０から反転ユニット３０に向かって移動させられ、剥離ユニット５０から収容部９０に向かって移動させられる。さらに、ウェーハ１２を反転ユニット３０と光量算出ユニット６０との間、および反転ユニット３０と剥離ユニット５０との間において相互に移動させられる。このようにウェーハ１２を移動させる際には移動装置、例えばロボットアーム等が使用されるが、これらは一般的な装置であるので図示および説明を省略する。
【００２４】
図３は光量算出ユニットにより実行されるプログラムのフローチャートである。図３に示されるプログラム１００のステップ１０１においては光量算出ユニット６０の粘着力計測部７１を使用して、テープの粘着力を測定する。この場合に測定されるテープは紫外線を照射することによって硬化すると共に粘着力が低下する紫外線硬化テープである。従って、紫外線硬化性であれば、ウェーハ１２の表面に貼り付けられるべき表面保護テープ１１および裏面に貼り付けられるべきダイシングテープ２１のどちらであってもよい。
【００２５】
図２（ａ）および図２（ｂ）を参照しつつ、ウェーハ１２の裏面に貼り付けられたダイシングテープ２１の粘着力を測定する粘着力計測部７１を説明する。ダイシングテープ２１貼付後においてはダイシングテープ２１はウェーハ１２の表面保護テープ１１とフレーム１５との間において環状に露出している。図示されるようにプレート７２の先端７５に設けられた接触子７６がダイシングテープ２１に接触するまで、プレート７２を柱状部７３に沿って下降させる。ダイシングテープ２１は或る値の粘着力を備えているので、接触子７６はダイシングテープ２１に粘着する。次いで、接触子７６をさらに下降させることによって所定の力を加えた後に、プレート７２を柱状部７３に沿って上昇させることにより接触子７６をダイシングテープ２１から引き剥がす。接触子７６がダイシングテープ２１から離れる直前の粘着力が粘着力計測部７１内の粘着力算出部（図示しない）によって測定される。なお、量産時などにおいては、例えば各ロットの最初のウェーハ１２およびこれに貼り付けられたテープ１１、２１をダミーサンプルとして前述したように粘着力を測定するか、または同一条件のテープが貼り付けられたウェーハをダミーサンプルとして準備し、このダミーサンプルの粘着力を測定するようにしてもよい。
【００２６】
次いで図２（ａ）および図２（ｂ）には示さないＵＶランプ６１によって紫外線を或る光量だけ照射する。次いで、粘着力計測部７１の接触子７６を再び使用して或る光量が照射されたダイシングテープ２１の粘着力を測定する。次いで或る光量の紫外線をダイシングテープ２１にさらに照射して、このときの粘着力を再び測定する。このような操作を繰り返し行うことによって、紫外線の複数の光量に対するダイシングテープ２１の粘着力の関係を得ることができる。図２（ａ）および図２（ｂ）においては表面保護テープ１１とフレーム１５との間のダイシングテープ２１の粘着力を測定しているが、反転ユニット３０によりウェーハ１２をフレーム１５と共に反転させることによりウェーハ１２裏面側のダイシングテープ２１の粘着力を測定してもよい。さらに、表面保護テープ１１の粘着力を測定する場合には表面保護テープ１１を粘着力計測部７１に接近させるか、または延伸可能なプレート７２を備えた粘着力計測部７１を使用する。表面保護テープ１１の場合にも粘着力計測部７１による粘着力の測定は前述したのとほぼ同様である。
【００２７】
図４は光量と粘着力との関係を示す図である。前述したように測定されるテープは紫外線硬化性であるために、光量が０であるＡ０においては粘着力は最も大きく、次いで、光量をＡ１、Ａ２…と増していくことにより、粘着力は次第に低下する。図４に示す光量と粘着力との関係においては光量がＡ９のときにテープの粘着力は最小となる。図４においては１回の照射作用において照射される光量は一定であるが、例えば粘着力の変化の大きい箇所においては１回の照射作用における紫外線の光量を小さくすることにより測定精度を高めるようにしてもよい。また、紫外線強度および時間を一定にすることにより或る光量の紫外線を照射してもよく、また或る光量が得られるように紫外線強度および時間を変化させてもよい。
【００２８】
次いでプログラム１００のステップ１０２において測定されたテープの種類等に応じて粘着力を定める。図５（ａ）に示すように、ダイシングテープ２１測定時に決定されるべき粘着力が複数種類のダイシングテープ２１（Ｄ1からＤn）および経時時間（Ｔ1からＴm）の関数としてマップの形で予め粘着力計測部７１の記憶部（図示しない）、例えばＲＯＭまたはＲＡＭ内に記憶されている。ここで、経時時間とはテープを冷暗所で保存する必要がある場合には冷暗所から取り出した後の時間、テープを冷暗所で保存する必要のない場合には製造後の経過時間である。マップ内におけるダイシングテープ２１の粘着力は、ダイシングテープ２１の粘着剤がダイシング装置のブレードにからみついて目詰まりすることがなく且つダイシング時に切断されたダイがダイシングテープ２１から飛散することのない程度の粘着力である。同様に図５（ｂ）に示すように、表面保護テープ１１使用時に決定されるべき粘着力が複数種類の表面保護テープ１１（Ｐ1からＰn）および経時時間（Ｔ1からＴm）の関数としてマップの形で予め粘着力計測部７１の記憶部（図示しない）内に記憶されている。マップ内における表面保護テープ１１の粘着力は、ウェーハ１２が引っ張られることなしに表面保護テープ１１を剥離できるときの粘着力の上限値である。図５（ａ）および図５（ｂ）においてはテープと経時時間との関係における粘着力を示しているが、他のパラメータ、例えばロット番号、または反対面に貼り付けられるテープの種類等との関係を示す他の複数のマップが記憶部内に同様に記憶されている。ステップ１０２においては、測定されるダイシングテープの種類とその経時時間とから所定の粘着力（Ｆ11からＦmn）を選択する。ウェーハ１２またはフレーム１５自体またはウェーハ１２をロット単位で収容するカセットは通常はＩＤ、すなわち認識マークを備えているので、テープの種類および／または経時時間等をこのようなＩＤに予め組み入れておくのが好ましい。この場合には、光量算出ユニット６０備え付けられた特定のリーダ（図示しない）によってウェーハ１２またはフレーム１５もしくはカセットのＩＤを読み取り、これにより、ＩＤに組み入れられたテープの種類等に応じて粘着力を自動的に選択できる。本発明においては、予め定められた必要な粘着力が記憶部内に記憶されているので、必要な粘着力を現場において逐一入力する必要がない。
【００２９】
次いでステップ１０３においては、ステップ１０２で得られた所定の粘着力（Ｆ11からＦmn）に対応する光量をステップ１０１で求めた光量と粘着力との関係から光量算出ユニット６０の算出部（図示しない）によって算出する。この場合、光量に対する粘着力の関数を算出し、次いで前述した所定の粘着力（Ｆ11からＦmn）に対応する光量を当該関数から算出する。なお、ステップ１０２で選択した粘着力がステップ１０１で測定された粘着力に等しい場合には、光量に対する粘着力の関数を算出することなしに、その粘着力に対応する光量を選択してもよい。
【００３０】
ステップ１０４においては、ＵＶランプ６１が照射する紫外線の光量をステップ１０３で算出または選択した光量に設定し、次いでこのルーチンを終了する。このように設定された光量において、プログラム１００の終了後に量産ロットによる製造を行う。表面保護テープ１１の場合もほぼ同様である。
【００３１】
このように本発明においては、光量と粘着力との関係に基づいて所望の粘着力に対応する光量を算出できるので、光量不足および光量過剰に基づく問題を回避しつつ、使用する紫外線硬化テープに必要とされる光量を自動的に算出することができ、結果的に、生産性を高めることができる。すなわち表面保護テープ１１に紫外線を照射することを想定している場合には、表面保護テープ１１の剥離時にウェーハ１２が引っ張られて破損する危険性を容易に回避できる。また、ダイシングテープ２１に紫外線を照射することを想定している場合には、ダイシングテープ２１の粘着剤がダイシング装置２（図１を参照されたい）のブレードにからみついて目詰まりすることがなく且つダイシング時に切断されたダイがダイシングテープ２１から飛散するのを容易に回避できる。
【００３２】
当然のことながら、本発明の光量算出装置がマウントユニット２０、反転ユニット３０または剥離ユニット５０を適宜含むようにしても良い。また、例えばプログラム１００のステップ１０１およびステップ１０２の順序を逆にすることは本発明の範囲に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に基づく光量算出装置を含むウェーハ処理装置の略図である。
【図２】（ａ）本発明に基づく光量算出装置の部分頂面図である。  （ｂ）本発明に基づく光量算出装置の部分側断面図である。
【図３】光量算出ユニットにより実行されるプログラムのフローチャートである。
【図４】光量と粘着力との関係を示す図である。
【図５】（ａ）ダイシングテープと経時時間との関係のマップである。  （ｂ）表面保護テープと経時時間との関係のマップである。
【符号の説明】
【００３４】
１０    ウェーハ処理装置
１１    表面保護テープ
１２    ウェーハ
１５    フレーム
２０    マウントユニット
２１    ダイシングテープ
２５    ダイアタッチフィルム
３０    反転ユニット
５０    剥離ユニット
６０    光量算出ユニット
６１    ＵＶランプ
７１    粘着力計測部
７２    プレート
７３    柱状部
７６    接触子
７７    スリーブ
９０    収容部
【図１】
2005051229.tif 000003
【図２】
2005051229.tif 000004
【図３】
2005051229.tif 000005
【図４】
2005051229.tif 000006
【図５】
2005051229.tif 000007