(57)【要約】【課題】  電子メールを使用した遠隔システムにおいて、本来の操作者である権限者のみが遠隔操作することができるようにして、セキュリティーを確実に確保する。【解決手段】  通信回線２１に接続された制御ユニット４と、制御ユニット４に接続されて制御される被制御ユニット１とを備える遠隔操作システムにおいて、通信回線２１を通じて受信した電子メールの発信者に応じた制御コマンドを第２の演算処理部１９で作成して発信者に送信し、該発信者からの当該制御コマンドに応じて被制御ユニット１を制御する。【選択図】図１
2005073014.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
通信回線に接続された制御ユニットと、制御ユニットに接続されて制御される被制御ユニットとを備える遠隔操作システムにおいて、通信回線を通じて受信した電子メールの発信者に応じた制御コマンドを作成して発信者に送信し、該発信者からの当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを制御又は監視することを特徴とする遠隔操作システム。
【請求項２】
通信回線に接続された制御ユニットと、制御ユニットに接続されて制御される被制御ユニットとを備える遠隔操作システムにおいて、通信回線を通じて電子メールを受信するための受信部と、受信した電子メールの発信者とその発信者に応じた実行機能とを解析するための解析部と、実行機能に対応する制御コマンドを作成する制御コマンド作成部と、当該制御コマンドを該発信者に送信するための送信部と、該発信者からの当該制御コマンドを照合するための制御コマンド照合部と、当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを制御又は監視するための制御又は監視部とを有することを特徴とする遠隔操作システム。
【請求項３】
前記解析部は、受信した電子メールの発信者を照合するためのＩＤ照合部と、該発信者に応じた実行機能を照合するための実行機能照合部とを具備することを特徴とする請求項２記載の遠隔操作システム。
【請求項４】
前記制御コマンドは、乱数に基づいて作成されることを特徴とする請求項１乃至３何れかに記載の遠隔操作システム。
【請求項５】
前記被制御ユニットは、観察対象となる試料が内部に配置される観察用ユニットであることを特徴とする請求項１乃至４何れかに記載の遠隔操作システム。
【請求項６】
前記被制御ユニットは、分析対象となる試料が内部に配置される分析用ユニットであることを特徴とする請求項１乃至４何れかに記載の遠隔操作システム。
【請求項７】
前記被制御ユニットは、検査対象となる試料が内部に配置される検査用ユニットであることを特徴とする請求項１乃至４何れかに記載の遠隔操作システム。
【請求項８】
前記被制御ユニットは、処理対象となる被処理体が内部に配置される処理用ユニットであることを特徴とする請求項１乃至４何れかに記載の遠隔操作システム。
【請求項９】
通信回線に接続された制御ユニットと、制御ユニットに接続されて制御される被制御ユニットとを遠隔操作する遠隔操作方法において、通信回線を通じて受信した電子メールの発信者に応じた制御コマンドを作成して発信者に送信し、該発信者からの当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを制御又は監視することを特徴とする遠隔操作方法。
【請求項１０】
通信回線に接続された制御ユニットと、制御ユニットに接続されて制御される被制御ユニットとを遠隔操作する遠隔操作方法において、通信回線を通じて電子メールを受信するための受信工程と、受信した電子メールの発信者とその発信者に応じた実行機能とを解析するための解析工程と、実行機能に対応する制御コマンドを作成する制御コマンド作成工程と、当該制御コマンドを該発信者に送信するための送信工程と、該発信者からの当該制御コマンドを照合するための制御コマンド照合工程と、当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを制御又は監視するための制御又は監視工程とを有することを特徴とする遠隔操作方法。
【請求項１１】
前記解析工程は、受信した電子メールの発信者を照合するためのＩＤ照合ステップと、該発信者に応じた実行機能を照合するための実行機能照合ステップとを具備することを特徴とする請求項１２記載の遠隔操作方法。
【請求項１２】
前記制御コマンドは、乱数に基づいて作成されることを特徴とする請求項９乃至１１何れかに記載の遠隔操作方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、遠隔操作システム及び遠隔操作方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡等の観察装置や、ＥＰＭＡ（電子プローブマイクロアナライザ）等の分析装置において、装置本体を制御するための制御ユニットに通信回線を接続し、通信回線を通じて装置本体を遠隔操作する遠隔操作システムが検討されている。
【０００３】
このような遠隔操作システムの一例として、特開平９−６３５２９号公報（特許文献１）
開示されたものがあり、まず、この例を参照して説明する。
【０００４】
当該特許文献１の図１には、電子顕微鏡本体（装置本体）、変換装置、アナログ・デジタル変換器、及び電子顕微鏡操作装置（制御ユニット）から構成される観察側部と、デジタル・アナログ変換器、画像表示装置、及び操作信号入力装置から構成される操作側部と、これら観察側部と操作側部とを接続する伝送路（通信回線）とからなる電子顕微鏡観察システムが示されている。ここで、操作側部は観察側部に対して遠隔地に配置され、伝送路を介して観察側部に接続される構成となっている。
【０００５】
観察側部の電子顕微鏡本体が走査型電子顕微鏡である場合には、当該電子顕微鏡本体で検出された検出信号は変換装置によりビデオ信号に変換されて記録される。変換装置によって変換されたビデオ信号は、アナログ・デジタル変換器によりデジタルデータに変換され、デジタル化された画像データとして伝送路に送出される。
【０００６】
伝送路に送出された画像データは、操作側部のデジタル・アナログ変換器に送られ、このデジタル・アナログ変換器にてビデオ信号に変換される。これにより変換されたビデオ信号は、画像表示装置に送られて試料画像として表示される。
【０００７】
これにより、遠隔地に配置された操作側部を操作する操作者は、観察側部の電子顕微鏡本体によって検出されている試料画像を観察することができるとともに、操作側部の操作信号入力装置を操作することにより、伝送路を介して指示情報を観察側部に送信することができる。従って、当該操作者は、操作側部を介して、試料画像を確認しながら直接観察側部の電子顕微鏡本体を操作することができる。
【０００８】
そして、操作者によって操作できる操作項目としては、電子顕微鏡本体の試料ステージの移動操作、及び電子顕微鏡本体の光学系における倍率変更操作や焦点合わせ操作等がある。
【０００９】
装置本体を遠隔操作する遠隔操作システムとしては、このような電子顕微鏡観察システムがあるが、最近では観察装置や分析装置の遠隔操作システムとして、電子メールを利用するものが検討されている。
【００１０】
この場合、操作者が遠隔地にある端末を用いて電子メールを観察装置もしくは分析装置に通信回線を通じて送信して当該装置を遠隔操作することとなる。具体的には、操作者が、装置側（観察／分析側部）に備えられた制御ユニットに所定の制御コマンドを電子メールによって送信し、これにより制御ユニットが当該制御コマンドに応じて装置本体を駆動制御するというものある。
【００１１】
このような、通信回線を通じて制御コマンドを電子メールによって装置側に送信し、これに応じて装置側の制御ユニットが装置本体を駆動制御するという遠隔操作システムにおいては、当該装置を操作することのできる権限を有する操作者（権限者）のみがその遠隔操作を実行できるようなセキュリティーを確保する必要がある。
【００１２】
すなわち、本来の操作者以外の者（非権限者）が制御コマンドを取得可能な状態であると、当該制御コマンドを取得した非権限者が不当に装置を遠隔操作することが考えられる。この場合、装置を本来使用できないはずの非権限者が装置を遠隔操作できることとなり、装置の稼働に支障をきたす要因となる。
【００１３】
【特許文献１】特開平９−６３５２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上述のごとく、装置を制御するための制御コマンドを電子メールによって観察装置や分析装置に送信し、これにより装置の遠隔操作を行う際には、本来の操作者以外の者である非権限者が制御コマンドを取得できないようにする必要があり、このような非権限者によって装置の制御コマンドが取得されることがないようにする点が解決しようとする課題である。
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、電子メールを利用した遠隔操作システム及び遠隔操作方法において、装置を制御するための制御コマンドが非権限者によって取得されることがない遠隔操作システム及び遠隔操作方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明における遠隔操作システムは、通信回線に接続された制御ユニットと、制御ユニットに接続されて制御される被制御ユニットとを備える遠隔操作システムであって、通信回線を通じて受信した電子メールの発信者に応じた制御コマンドを作成して発信者に送信し、該発信者からの当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを制御又は監視することを特徴とする。
また、本発明における他の遠隔操作システムは、通信回線に接続された制御ユニットと、制御ユニットに接続されて制御される被制御ユニットとを備える遠隔操作システムであって、通信回線を通じて電子メールを受信するための受信部と、受信した電子メールの発信者とその発信者に応じた実行機能とを解析するための解析部と、実行機能に対応する制御コマンドを作成する制御コマンド作成部と、当該制御コマンドを該発信者に送信するための送信部と、該発信者からの当該制御コマンドを照合するための制御コマンド照合部と、当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを制御又は監視するための制御又は監視部とを有することを特徴とする。
さらに、本発明における遠隔操作方法は、通信回線に接続された制御ユニットと、制御ユニットに接続されて制御される被制御ユニットとを遠隔操作する遠隔操作方法であって、通信回線を通じて受信した電子メールの発信者に応じた制御コマンドを作成して発信者に送信し、該発信者からの当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを制御又は監視することを特徴とする。
そして、本発明における他の遠隔操作方法は、通信回線に接続された制御ユニットと、制御ユニットに接続されて制御される被制御ユニットとを遠隔操作する遠隔操作方法であって、通信回線を通じて電子メールを受信するための受信工程と、受信した電子メールの発信者とその発信者に応じた実行機能とを解析するための解析工程と、実行機能に対応する制御コマンドを作成する制御コマンド作成工程と、当該制御コマンドを該発信者に送信するための送信工程と、該発信者からの当該制御コマンドを照合するための制御コマンド照合工程と、当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを制御又は監視するための制御又は監視工程とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
発信者に応じた制御コマンドを作成してその発信者に送信し、該発信者からの当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを制御又は監視することとなるので、本来の操作者である該発信者以外の者（非権限者）が制御コマンドを取得することができない。
【００１７】
具体的には、解析部において電子メールの発信者とその発信者に応じた実行機能とを解析して確認することとなるので、当該発信者が本来の操作者であるか否かについて確実に判断することができ、当該操作者以外の非権限者が制御コマンドを取得することができない。
【００１８】
これにより、電子メールを使用した遠隔システムにおいて、本来の操作者である権限者のみが遠隔操作することができるようになり、セキュリティーを確実に確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【００２０】
図１は、本発明における遠隔操作システムを示す概略構成図である。同図において、１は走査型電子顕微鏡本体からなる装置本体（被制御ユニット）であり、内部に観察対象である試料１２が配置される試料室１１と、この試料室１１の上部に設けられた鏡筒１０とを有する。
【００２１】
鏡筒１０には、電子銃５、集束レンズ６、走査コイル７、及び対物レンズ８が備えられている。そして、電子銃５から放出されて加速された電子ビーム１５は、集束レンズ６及び対物レンズ８により試料１２の表面に集束されるとともに、走査コイル７によって当該表面上を走査される。この結果、試料１２の表面に電子ビーム１５が照射されることとなる。
【００２２】
このようにして電子ビーム１５が照射された試料１２の表面からは、２次電子もしくは反射電子等の被検出電子が発生し、当該被検出電子は、図示しない検出器によって検出されることとなる。そして、当該検出器によって検出された被検出電子の検出結果に基いて、試料１２の観察像が作成され、当該観察像は、図示しない表示装置により表示されて観察されることとなる。
【００２３】
このように電子ビーム１５が試料１２の表面に照射されて観察が実行される際には、鏡筒１０及び試料室１１の内部は、図示しない真空ポンプによって、それぞれ所定の真空度に真空引きされた状態とされる。
【００２４】
また、試料室１１内には、試料ステージ１３と、この試料ステージ１３を移動させるための駆動機構９とが設けられており、試料１２は試料ステージ１３上に載置されている。そして、駆動機構９が試料ステージ１３を適宜水平方向、垂直方向、回転方向、及び傾斜方向に移動させることにより、試料ステージ１３とともに試料１２も同様に移動するようになっている。
【００２５】
ここで図１についてさらに説明すると、同図に示した装置本体１は、その設置場所に設置された直後の調整時での状態を示したものである。この状態において、装置本体１を構成する鏡筒１０の周囲面にはヒータ１４が巻着されて配置されている。このヒータ１４は、装置本体１の設置後での調整時に、装置本体１の鏡筒１０をベーキング（加熱）するためのものである。そして、この状態で、鏡筒１０をヒータ１４によりベーキングするとともに、鏡筒１０内を真空ポンプにより真空引きすることにより、鏡筒１０の内壁に付着した不純物が吸引されて除去される。なお、このヒータ１４は、装置本体１の当該調整が終了した後は、鏡筒１０の周囲面から取り外される。
【００２６】
上述の構成からなる装置本体１は、コンソール２に接続されている。このコンソール２は、装置本体１を構成する駆動部を駆動するための複数の駆動用電源５ａ〜９ａを備えている。そして、図示のごとく、装置本体１における電子銃５、集束レンズ６、走査コイル７、対物レンズ８、及び駆動機構９は、それぞれ駆動部５〜９として、コンソール２内の対応する駆動用電源５ａ〜９ａに個別に接続されている。
【００２７】
また、コンソール２にはヒータ駆動用電源１４ａが設けられている。そして、装置本体１の鏡筒１０の周囲面に配置されたヒータ１４は、コンソール２内のヒータ駆動用電源に接続されている。
【００２８】
さらに、コンソール２内には、各駆動用電源５ａ〜９ａを制御するための駆動制御部１６が設けられている。そして、これら駆動用電源５ａ〜９ａは駆動制御部１６に接続され、駆動制御部１６によって制御される。
【００２９】
このような構成からなるコンソール２は、コンピュータ３に接続されている。このコンピュータ３は、ＣＰＵ２６とＩＯボード１７とを備えている。コンソール２内の駆動制御部１６は、コンピュータ３内のＣＰＵ２６に接続されている。また、コンソール２内のヒータ駆動用電源１４ａは、コンピュータ３内において、ＩＯボード１７を介してＣＰＵ２６に接続されている。
【００３０】
コンピュータ３内のＣＰＵ２６は、図示のごとく、コンソール２内の駆動制御部１６に接続された第１の演算処理部１８と、ＩＯボード１７に接続された第２の演算処理部１９と、これら第１及び第２の演算処理部１８，１９にそれぞれ接続された制御部２０とを備えている。そして、このＣＰＵ２６内の制御部２０は、ＬＡＮからなる通信回線２１接続されており、この結果、コンピュータ３は当該通信回線２１につなげられている。
【００３１】
ここで、コンソール２とコンピュータ３とにより制御ユニット４が構成されており、当該制御ユニット４は、上記構成により通信回線２１と接続されている。そして、装置本体１は、この制御ユニット４に接続されており、これにより装置本体１は制御ユニット４により被制御ユニットとして制御される。
【００３２】
通信回線２１は、インターネットサーバ２２に接続されている。そして、このインターネットサーバ２２は、通信回線であるインターネット２３につなげられている。これにより、制御ユニット４は、通信回線２１及びインターネットサーバ２２を介してインターネット２３に接続可能となっている。
【００３３】
また、図１に示す無線基地局２４は、別途、このインターネット２３に接続されている。そして、この無線基地局２４は、遠隔地に置かれた携帯端末２５と無線通信により通信可能となっている。
【００３４】
上述の構成により、装置本体１及び制御ユニット４は、通信回線２１及びインターネット２３等を介して、その設置場所に対して遠隔地に置かれた携帯端末２５との電子メールの送受信ができるようになっている。
【００３５】
観察動作実行時においては、コンピュータ３におけるＣＰＵ２６内の第１の演算処理部１８は、制御部２０の制御により、観察条件に応じて所定の演算処理を実行する。そして、第１の演算制御部１８は、上述のごとく、コンソール２内の駆動制御部１６と接続されており、実行した演算処理の結果（演算処理結果）をこの駆動制御部１６に送る。
【００３６】
駆動制御部１６は、第１の演算処理部１８からの演算処理結果を受けて、当該演算処理結果に基いて各駆動用電源５ａ〜９ａを制御する。これら駆動用電源５ａ〜９ａからは、それぞれ対応する駆動部５〜９に電源を供給し、これにより、観察動作実行時での観察条件に対応してこれら駆動部５〜９が適宜駆動制御される。
【００３７】
また、本実施例での特徴となる調整動作実行時においては、遠隔地に置かれた携帯端末２５を使用した操作者からの装置制御用電子メールが、無線基地局２４、インターネット２３、インターネットサーバ２２、及び通信回線２１を経由して、制御ユニット４のコンピュータ３におけるＣＰＵ２６内の制御部２０に送られる。この場合、当該操作者は当該電子メールを送信することとなり、この操作者は、この電子メールの発信者となる。
【００３８】
このとき、当該電子メールには、携帯端末２５を使用する操作者を示す社員番号等のＩＤデータ及び装置本体１の特定の実行機能を示す機能コードが含まれている。具体的には、電子メールの件名（題目）の欄にＩＤデータが記入され、また、電子メールの内容の欄に機能コードが記入された状態で、当該電子メールが操作者により制御ユニット４宛に送信される。なお、本実施例においては、調整動作を実行する権限を有する操作者であるメンテナンス者の社員番号がＩＤデータとされ、また、調整動作としてベーキング動作の開始を示すコードが機能コードとして記入されているものとする。
【００３９】
制御ユニット４のコンピュータ３におけるＣＰＵ２６内の制御部２６に送られたこの電子メールは、ＣＰＵ２６内において制御部２６から第２の演算処理部１９へ転送される。
【００４０】
ここで、図２を参照して、コンピュータ３におけるＣＰＵ２６内の第２の演算処理部１９について説明する。同図に示すように、第２の演算処理部１９は、制御部２０と接続されたメール受信部５１を有する。
【００４１】
第２の演算処理部１９のメール受信部５１は、制御部２０から転送された電子メールがＩＤデータ及び機能コードを含んでいるか否かを確認し、それらを含んでいる場合には、当該電子メールを解析部５６に送る。
【００４２】
解析部５６は、ＩＤデータ照合部５２、ＩＤデータ登録部５３、実行機能照合部５４、及び実行機能登録部５５を備えている。そして、当該電子メールは、まず、ＩＤデータ照合部５２においてそのＩＤデータの照合が行われる（ＩＤ照合ステップ）。このとき、ＩＤデータ登録部５３には、装置本体１の遠隔操作をすることのできる権限を有する操作者（権限者）のＩＤデータが記憶されて登録されており、ＩＤデータ照合部５２は、ＩＤデータ登録部５３から登録済みのＩＤデータを読み出して、当該電子メールに含まれたＩＤデータと一致する登録済みのＩＤデータがあるか否かを判断し、当該ＩＤデータの照合を行う。本実施例においては、調整動作を実行する権限を有する操作者であるメンテナンス者のＩＤデータが予めＩＤデータ登録部５３に登録されており、また、送信された電子メールにはこのメンテナンス者の当該ＩＤデータが含まれているので、ＩＤデータ照合部５２でのＩＤデータの照合においては、電子メールに記載されたＩＤデータと登録されたＩＤデータとは一致することとなる。
【００４３】
ＩＤデータ照合部５２でのＩＤデータの照合が行われ、当該ＩＤデータが登録済みのＩＤデータと一致する場合には、実行機能照合部５４において、当該電子メールに含まれた機能コードの照合が行われる（実行機能照合ステップ）。このとき、実行機能登録部５５には、ＩＤデータ登録部５３に登録されているＩＤデータに対応する実行可能な機能を示す機能コードが記憶されて登録されている。この場合、ＩＤデータが備える機能の実行権限が、ＩＤデータのグループごとに異なるときには、ＩＤデータを階層化し、各階層ごとに異なる実行権限を有するように登録してもよい。
【００４４】
実行機能照合部５４は、実行機能登録部５５からＩＤデータに対応する実行可能な機能コードを読み出して、当該電子メールに含まれた機能コードが読み出された機能コードの中にあるか否かを判断し、当該機能コードの照合を行う。本実施例においては、ベーキング動作の開始を示す機能コードが、上記ＩＤデータに対応して予め実行機能登録部５５に登録されており、また、上記電子メールには上述のごとくベーキング動作の開始を示す機能コードが含まれているので、実行機能照合部５４での機能データの照合においては、電子メールに記載された機能データと、上記メンテナンス者のＩＤデータに対応して登録された機能データとは一致することとなる。
【００４５】
実行機能照合部５４での機能コードの照合が行われ、当該機能コードが、当該電子メールの発信者（上記操作者であるメンテナンス者）の実行権限として登録されている機能コードと一致する場合には、制御コマンド作成部５７において、当該機能を実行するための制御コマンドが作成される。この場合、制御コマンド作成部５７は、乱数発生部５８から任意の乱数を読み出し、当該乱数に基づいて制御コマンドを作成する。よって、作成されるタイミングが異なれば、同一の機能コードに対応する制御コマンドであっても、コマンド自体は異なるものとなる。
【００４６】
制御コマンド作成部５７により作成された制御コマンドは、メール送信部６１に送られるとともに、制御コマンド記憶部５９にも送られ、この制御コマンド記憶部５９において当該制御コマンドは記憶される。
【００４７】
メール送信部６１は、メール受信部５１から上記電子メールの発信アドレス及び発信者を参照し、当該発信アドレス宛に返信メールを作成する。上述の工程を経て、制御コマンド作成部５７から制御コマンドを受けた際には、対応する電子メールの発信者宛に、その内容の欄に当該制御コマンドを記入して返信メールを作成し、制御部２０を介して当該返信メールを送信する。
【００４８】
メール送信部６１により作成されて送信された上記返信メールは、通信回線２１、インターネットサーバ２２，インターネット２３、無線基地局２４を経由して上記携帯端末２５に送信される。上記のメンテナンス者である発信者は、当該返信メールが着信し、その内容欄に制御コマンドが記載されていることを確認する。その後、先に送信した上記電子メールの内容欄に記入した機能コードに対応する実行機能（本実施例では、上述のごとく、ベーキング動作の開始）を実際に実行する際に、着信している返信メールに対する返信メール（以下、再返信メールという）を、当該携帯端末２５を用いて送信する。
【００４９】
上記携帯端末２５からの当該再返信メールは、無線基地局２４、インターネット２３、インターネットサーバ２２、及び通信回線２１を経由して、上述と同様に制御ユニット４のコンピュータ３におけるＣＰＵ２６内の制御部２０に送られる。このとき、当該再返信メールには、携帯端末２５を使用する当該発信者を示すＩＤデータ及び装置本体１の上記実行機能（ベーキング動作の開始）を実行するための制御コマンドが含まれることとなる。具体的には、再返信メールの件名の欄にＩＤデータが記入されており、また、再返信メールの内容の欄に当該制御コマンドが記入されている。
【００５０】
制御ユニット４のコンピュータ３におけるＣＰＵ２６内の制御部２６に送られたこの再返信メールは、ＣＰＵ２６内において第２の演算処理部１９へ転送される。そして、第２の演算処理部１９のメール受信部５１は、制御部２０から転送された再返信メールが制御コマンドを含んでいるか否かを確認し、制御コマンドを含んでいる場合には、当該再返信メールを制御コマンド照合部６０に送る。
【００５１】
制御コマンド照合部６０は、受けた再返信メールに含まれている制御コマンドの照合を行う。このとき、制御コマンド照合部６０は、制御コマンド記憶部５６から上記の制御コマンドを読み出し、当該再返信メールに含まれている制御コマンドが、制御コマンド記憶部５６から読み出した制御コマンドと一致するか否かを判断し、これにより制御コマンドの照合を行う。本実施例においては、ベーキング動作の開始に対応する制御コマンドが当該再返信メールに含まれることとなるので、双方の制御コマンドは一致する。
【００５２】
制御コマンド照合部６０での制御コマンドの照合が行われ、再返信メールに含まれている制御コマンドが、制御コマンド記憶部５６から読み出した制御コマンドと一致する場合には、装置状態監視部６２において、装置本体１が当該制御コマンドを実行できる状態であるか否かを判断する。本実施例においては、制御コマンドに対応するベーキング動作の開始を実行できるか否かが判断されることとなり、電源１４ａから装置本体１における鏡筒１０の周囲面に配置されたヒータ１４への電力の供給状態がＩＯボード１７より読み出される。このとき、電源１４ａからの電力の供給が停止されている状態が情報としてＩＯボード１７より読み出されれば、当該制御コマンドの実行が可能となっている状態となる。
【００５３】
このように、装置状態監視部６２において、装置本体１が制御コマンドを実行できる状態であるか否かが判断され、当該制御コマンドの実行が可能となっている状態であれば、その制御コマンドを実行する。本実施例においては、ヒータ駆動制御部６３からＩＯボード１７に対して電力供給用制御信号を送出する。ＩＯボード１７は、ヒータ駆動制御部６３からの電力供給用制御信号を受けて、電源１４ａをオン（起動）するための電力供給用駆動信号を電源１４ａに送出する。
【００５４】
この結果、電源１４ａはＩＯボード１７から電力供給用駆動信号によってオン状態となり、上記ヒータ１４に電力が供給される。これにより、装置本体１の鏡筒１０が加熱されてベーキング動作が実施される。このようにベーキング動作の開始が実行されたならば、装置状態監視部６２は、ベーキング動作の実行状況を続けて監視し、所定のベーキング動作が終了した時点で、その旨をメール送信部６１に送出し、メール送信部６１はベーキング動作の終了通知を電子メールとして作成して上記発信者に対して送信する。
【００５５】
このように、本発明においては、通信回線に接続された制御ユニット４と、制御ユニット４に接続されて制御される被制御ユニットである装置本体１とを備える遠隔操作システムにおいて、通信回線を通じて受信した電子メールの発信者に応じた制御コマンドを作成して発信者に送信（返信）し、該発信者からの当該制御コマンドに応じて被制御ユニットが制御されることとなる。
【００５６】
具体的には、上記構成の遠隔操作システムにおいて、通信回線を通じて電子メールを受信するための受信部５１と、受信した電子メールの発信者とその発信者に対応した実行機能とを解析するための解析部５６と、実行機能に対応する制御コマンドを作成する制御コマンド作成部５７と、当該制御コマンドを該発信者に送信するための送信部６１と、該発信者からの当該制御コマンドを照合するための制御コマンド照合部６０と、当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを制御するための制御部６３とを有する。この場合、解析部５６内のＩＤデータ照合部５２において、発信者自体の実行権限の有無が、その電子メールに含まれたＩＤデータをＩＤデータ登録部５３に登録されたＩＤデータと照合することにより確認される。そして、解析部５６内の実行機能照合部５４において、該発信者が持つ実行機能が、その電子メールに含まれた機能コードを実行機能登録部５５に登録された機能コードと照合することにより確認される。
【００５７】
従って、解析部５６内において、発信者からの電子メールのＩＤデータとその発信者の実行権限に対応する機能コードとが確認されることとなる。そして、解析部５６によって確認された発信者のみに、該発信者の実行権限に対応する機能を実施するための制御コマンドが送信されることとなるので、本来の操作者以外の者である非権限者が制御コマンドを取得することはできない。これにより、電子メールを使用した遠隔システムにおいて、本来の操作者である権限者のみが遠隔操作することができるようになり、セキュリティーを確実に確保することができる。
【００５８】
特に、本発明においては、各々の遠隔操作ごとに制御コマンドを乱数に基づいて作成し、操作者は当該制御コマンドを用いることとなる。よって、同じ制御動作を繰り返して実行する場合であっても、毎回異なる制御コマンドさ作成されて使用されるので、セキュリティーの強度をさらに大きくすることができる。
【００５９】
なお、上記の実施例においては、ヒータ１４に接続された電源１４ａをオンすることによりベーキング動作の開始を実行する例であったが、既に電源１４ａがオンされて、ベーキング動作が実行されている状態において電源１４ａをオフするというベーキング動作の終了を実行する場合においても適用することができる。
【００６０】
すなわち、操作者からのベーキング動作の終了を示す機能コマンドを含む電子メールに応答して、制御コマンド作成部５７が対応する制御コマンドを作成し、メール送信部６１により当該操作者に対して当該制御コマンドを送信するようにすればよい。
【００６１】
また、上記の実施例は、装置本体１の調整時での例を示したものであったが、装置本体１の観察時での動作においても適用することができる。この場合、ＣＰＵ２６内の第１の演算処理部１８に、上記第２の演算処理部１９におけるヒータ駆動部６３を除いた各構成要素５１〜６２を別途設けることにより実施することができる。この際には、装置動作監視部６２は、コンソール２内の駆動制御部１６と接続される。
【００６２】
例えば、観察動作実行時において、遠隔地にいる操作者が装置本体１における電子銃５のフラッシング動作を行いたい場合には、当該操作者が携帯端末を用いてフラッシング動作の開始を示す機能コードを含む電子メールを制御ユニット４に送信し、第１の演算部１８内に設けられた制御コマンド作成部５９が対応する制御コマンドを作成し、メール送信部６１により当該操作者に対して当該制御コマンドが送信される。
【００６３】
以上は調整時もしくは観察時における装置本体の動作制御の遠隔操作を説明したものであるが、以下に調整時もしくは観察時における装置本体の動作監視の遠隔操作について説明する。
【００６４】
まず、調整時における装置本体の動作監視の遠隔操作について図１及び図２を参照して説明する。この場合も、上述と同様に、遠隔地に置かれた携帯端末２５を使用した操作者（発信者）からの装置制御用電子メールが、無線基地局２４、インターネット２３、インターネットサーバ２２、及び通信回線２１を経由して、制御ユニット４のコンピュータ３におけるＣＰＵ２６内の制御部２０に送られる。
【００６５】
このとき、当該電子メールには、上述と同様に、携帯端末２５を使用する操作者を示す社員番号等のＩＤデータ及び装置本体１の特定の実行機能を示す機能コードが含まれており、本実施例においては、調整動作を実行する権限を有する操作者であるメンテナンス者の社員番号がＩＤデータとされ、また、調整動作としてベーキング動作の監視を示すコードが機能コードとして記入されているものとする。
【００６６】
そして、上述と同様に、ＣＰＵ１９内の解析部５６によりＩＤデータの照合と機能コードの照合とが実行される。これらの照合工程を経た後、制御コマンド作成部５７がベーキング動作の監視に対応した制御コマンドを作成し、メール送信部６１により当該操作者に対して当該制御コマンドが返信メールとして送信される。操作者は、携帯端末２５を用いて当該返信メールに対する返信メール（再返信メール）を送信する。
【００６７】
制御ユニット４のコンピュータ３におけるＣＰＵ２６内の制御部２６に送られたこの再返信メールは、ＣＰＵ２６内において制御部２６から第２の演算処理部１９へ転送される。そして、第２の演算処理部１９のメール受信部５１は、制御部２０から転送された再返信メールが制御コマンドを含んでいるか否かを確認し、制御コマンドを含んでいる場合には、当該再返信メールを制御コマンド照合部６０に送る。
【００６８】
制御コマンド照合部６０は、上述と同様に、受けた再返信メールに含まれている制御コマンドの照合を行う。この照合工程の後、装置状態監視部６２において、装置本体１の監視が行われる。本実施例においては、ベーキング動作の監視であるので、ベーキング動作が実施されているか否かについての情報がＩＯボードより読み出される。この読み出された情報は、装置状態監視部６２からメール送信部６１へ送出される。メール送信部６１は、当該情報を含む電子メールを作成し、上記操作者へ送信する。
【００６９】
以上が調整時における装置本体の動作監視の遠隔操作の例であるが、観察時における装置本体の動作監視の遠隔操作についても実施することができる。この場合も、ＣＰＵ２６内の第１の演算処理部１８に、上記第２の演算処理部１９におけるヒータ駆動部６３を除いた各構成要素５１〜６２を別途設けることにより実施することができる。
【００７０】
このように、本発明においては、通信回線に接続された制御ユニット４と、制御ユニット４に接続されて制御される被制御ユニットである装置本体１とを備える遠隔操作システムにおいて、通信回線を通じて受信した電子メールの発信者に応じた制御コマンドを作成して発信者に送信（返信）し、該発信者からの当該制御コマンドに応じて被制御ユニットが監視されることとなる。
【００７１】
具体的には、上記構成の遠隔操作システムにおいて、通信回線を通じて電子メールを受信するための受信部５１と、受信した電子メールの発信者とその発信者に対応した実行機能とを解析するための解析部５６と、実行機能に対応する制御コマンドを作成する制御コマンド作成部５７と、当該制御コマンドを該発信者に送信するための送信部６１と、該発信者からの当該制御コマンドを照合するための制御コマンド照合部６０と、当該制御コマンドに応じて被制御ユニットを監視するための監視部６２とを有する。
【００７２】
よって、解析部５６内において、上記と同様に、発信者からの電子メールのＩＤデータとその発信者の実行権限に対応する機能コードとが確認されることとなる。そして、解析部５６によって確認された発信者のみに、該発信者の実行権限に対応する機能を実施するための制御コマンドが送信されることとなるので、本来の操作者以外の者である非権限者が制御コマンドを取得することはできない。これにより、電子メールを使用した遠隔システムにおいて、本来の操作者である権限者のみが遠隔操作することができるようになり、セキュリティーを確実に確保することができる。
【００７３】
なお、上記の各実施例においては、被制御ユニット（装置本体１）として、走査型電子顕微鏡本体が適用された例であったが、このような走査型電子顕微鏡等の観察用ユニットに限定されるものではない。すなわち、被制御ユニットとして、例えば、分析工程において分析対象となる試料が内部に配置される分析用ユニット（ＥＰＭＡ装置本体等）、検査工程において検査対象となる試料が内部に配置される検査用ユニット（検査装置本体等）、生産工程において処理対象となる被処理体が内部に配置される処理用ユニット（露光装置本体等）であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明における遠隔操作システムを示す概略構成図である。
【図２】ＣＰＵ内の第２の演算処理部の構成を示す概略図である。
【符号の説明】
【００７５】
１…装置本体（被制御ユニット）、２…コンソール、３…コンピュータ、４…制御ユニット、２１…通信回線、２２…インターネットサーバ、２３…インターネット、２４…無線基地局、２５…携帯端末、５１…メール受信部、５２…ＩＤデータ照合部、５４…実行機能照合部、５６…解析部、５７…制御コマンド作成部、６０…制御コマンド照合部、６１…メール送信部、６２…装置状態監視部、６３…ヒータ駆動制御部
【図１】
2005073014.tif 000003
【図２】
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