(57)【要約】【課題】  ヘッド本体のディスク記録面凹凸に対する追従性を向上させることができる磁気ヘッド装置及びその製造方法を得る。【解決手段】  金属材料からなり記録媒体上に延びるロードビームと、このロードビームの記録媒体側に位置する弾性変位可能な舌片を有し、該ロードビームに結合される金属材料からなるフレキシャと、舌片の記録媒体側の面に固定されたヘッド本体とを備え、ヘッド本体を固定した舌片とロードビームとのいずれか一方に平面状接触面を設け、他方にこの平面状接触面に接触してヘッド本体の変位支点を構成する半球状接触部を突出形成した磁気ヘッド装置において、半球状接触部を有する舌片又はロードビームに、該半球状接触部の頂点部を除く部分に少なくとも一部を位置させて、表裏面を貫通する貫通穴を形成した。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属材料からなり記録媒体上に延びるロードビームと、このロードビームの記録媒体側に位置する弾性変位可能な舌片を有し、該ロードビームに結合される金属材料からなるフレキシャと、前記舌片の記録媒体側の面に固定されたヘッド本体とを備え、前記ヘッド本体を固定した舌片とロードビームとのいずれか一方に平面状接触面を設け、他方にこの平面状接触面に接触してヘッド本体の変位支点を構成する半球状接触部を突出形成した磁気ヘッド装置において、
前記半球状接触部を有する舌片又はロードビームに、該半球状接触部の頂点部を除く部分に少なくとも一部を位置させて、表裏面を貫通する貫通穴を形成したことを特徴とする磁気ヘッド装置。
【請求項２】
請求項１記載の磁気ヘッド装置において、前記半球状接触部の表裏面は前記平面状接触面に接触する凸面と該凸面に沿う凹面であり、前記貫通穴は、前記半球状接触部の凹面側の頂点位置から等方的な位置に複数設けられている磁気ヘッド装置。
【請求項３】
請求項２記載の磁気ヘッド装置において、前記複数の貫通穴は、前記半球状接触部の凹面側の頂点位置に関して回転対称に配置された三つの円形穴である磁気ヘッド装置。
【請求項４】
請求項２記載の磁気ヘッド装置において、前記複数の貫通穴は、前記半球状接触部の凹面側の頂点位置に関して線対称に配置された二つの矩形穴である磁気ヘッド装置。
【請求項５】
金属材料からなり記録媒体上に延びるロードビームと、このロードビームの記録媒体側に位置する弾性変位可能な舌片を有し、該ロードビームに結合される金属材料からなるフレキシャと、前記舌片の記録媒体側の面に固定されたヘッド本体とを備え、前記ヘッド本体を固定した舌片とロードビームとのいずれか一方に平面状接触面を設け、他方にこの平面状接触面に接触してヘッド本体の変位支点を構成する半球状接触部を突出形成した磁気ヘッド装置において、
前記半球状接触部を前記ロードビーム又は前記フレキシャの舌片に突出形成する際に、この半球状接触部の頂点部を除く部分に少なくとも一部を位置させて、表裏面を貫通する貫通穴を形成することを特徴とする磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項６】
請求項５記載の磁気ヘッド装置の製造方法において、前記貫通穴が形成された半球状接触部と前記平面状接触面とを接触させた状態で前記ロードビームとフレキシャを結合した後に、前記半球状接触部の貫通穴のエッジ部における肉厚差から該半球状接触部の前記平面状接触面に接する凸面側の突出具合を推測し、前記半球状接触部の凸面側の最も突出している位置と前記ヘッド本体の中心位置とを一致させた状態で、ヘッド本体を前記フレキシャの舌片に接着固定する磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項７】
請求項５又は６記載の磁気ヘッド装置の製造方法において、前記半球状接触部は、プレス加工により突出形成されて、その表裏面が前記平面状接触面に接触する凸面と該凸面に沿う凹面になり、前記貫通穴は、前記半球状接触部の凹面側から凸面側に抜き形成される磁気ヘッド装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７記載の磁気ヘッド装置の製造方法において、前記貫通穴は、前記半球状接触部の凹面側の中心部から等方的な位置に複数形成される磁気ヘッド装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置などに装備される磁気ヘッド装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッド装置では、回転駆動されるハードディスク（記録媒体）上に延び揺動運動するロードビームに、ヘッド本体を固定した弾性変位可能な舌片を有するフレキシャを結合し、ロードビームに、フレキシャ（ヘッド本体を固定した舌片）と接触してヘッド本体の揺動支点を構成する揺動突起を設けた構造が知られている。ディスクが停止しているときは、ロードビームの弾性力によりヘッド本体の下面がディスクの記録面に接触し、ディスクが始動すると、ディスクの移動方向に沿ってヘッド本体とディスク表面の間に空気流が導かれ、ヘッド本体の下面が空気流による浮上力を受けて、ヘッド本体がディスク表面から浮上する。揺動突起は、ディスク記録面の微細な凹凸にヘッド本体（フレキシャ舌片）を追従させて変位させるための揺動支点となる。揺動突起は、フレキシャ側に設けることも可能である。このような磁気ヘッド装置では、ディスク記録面凹凸にヘッド本体の姿勢をより柔軟に追従させるため、揺動突起の頂点をヘッド本体の中心位置に接触させることが望ましい。
【０００３】
【特許文献１】特開平２−１８７７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ヘッド本体をフレキシャ舌片に固定する際には、既にロードビームとフレキシャとが結合されている状態であるため、ロードビーム（又はフレキシャ）に設けられた揺動突起の頂点を視認することができない。このため、従来では、平面状接触面に接触する凸面とこの凸面に沿う凹面からなる揺動突起を例えばプレス加工により形成し、揺動突起の凹面側の最も窪んだ位置をヘッド本体の中心に接触させていた。ところが、本発明者らが厳密に測定してみたところ、図１０に示すように、揺動突起７’の凹面７ａ’と凸面７ｂ’の断面形状は必ずしも一致しているとは限らず、凹面側頂点Ｓａの位置と凸面側頂点Ｓｂの位置にずれが生じる虞があることが判明した。よって、揺動突起７’の凹面側頂点Ｓａとヘッド本体１の中心位置１ｃを一致させてヘッド本体１をフレキシャ６に固定していると、実際の揺動突起７’の凸面側頂点Ｓｂはヘッド本体１の中心位置１ｃからずれた位置で接触してしまい、揺動突起７’によるヘッド本体１の追従性を十分に発揮させることができていなかった。
【０００５】
本発明は、以上の問題意識に基づき、ヘッド本体のディスク記録面凹凸に対する追従性を向上させることができる磁気ヘッド装置及びその製造方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、ロードビーム又はフレキシャ舌片に揺動突起を形成する際に加わる引張り応力を緩和することにより、揺動突起の凹凸面（表裏面）の頂点位置のずれを小さくできること、上記引張り応力を緩和する手段として揺動突起の凹凸面を貫通する貫通穴を設けることが最適であること、及び、この貫通穴のエッジ部の肉厚差から揺動突起の凸面側の頂点位置を推定できることを見出して完成されたものである。
【０００７】
すなわち、本発明は、金属材料からなり記録媒体上に延びるロードビームと、このロードビームの記録媒体側に位置する弾性変位可能な舌片を有し、該ロードビームに結合される金属材料からなるフレキシャと、舌片の記録媒体側の面に固定されたヘッド本体とを備え、ヘッド本体を固定した舌片とロードビームとのいずれか一方に平面状接触面を設け、他方にこの平面状接触面に接触してヘッド本体の変位支点を構成する半球状接触部を突出形成した磁気ヘッド装置において、半球状接触部を有する舌片又はロードビームに、該半球状接触部の頂点部を除く部分に少なくとも一部を位置させて、表裏面を貫通する貫通穴を形成したことを特徴としている。
【０００８】
半球状接触部の表裏面は、平面状接触面に接触する凸面と該凸面に沿う凹面とする。この半球状接触部の表裏面を貫通する貫通穴は、半球状接触部の凹面側の頂点位置から等方的な位置に複数設けられていることが好ましい。複数の貫通穴が等方的に設けられていれば、半球状接触部を形成する際に加わる引張り応力をバランスよく緩和することができ、該半球状接触部の表裏面の形状ずれが小さく抑えられる。
【０００９】
複数の貫通穴は、例えば、半球状接触部の凹面側の頂点位置に関して回転対称に配置された３つの円形穴とすることができる。このように少なくとも３つの貫通穴が設けられていれば、半球状接触部の凸面側の頂点位置のずれを二方向で推測することができ、ずれ検知精度が向上する。
【００１０】
また、複数の貫通穴は、半球状接触部の凹面側の頂点位置に関して線対称に配置された２つの矩形穴としてもよい。この態様によれば、貫通穴の形成が容易であり、半球状接触部の凸面側の頂点位置のずれを一方向に対して推定することができる。
【００１１】
また本発明は、製造方法の態様によれば、金属材料からなり記録媒体上に延びるロードビームと、このロードビームの記録媒体側に位置する弾性変位可能な舌片を有し、該ロードビームに結合される金属材料からなるフレキシャと、舌片の記録媒体側の面に固定されたヘッド本体とを備え、ヘッド本体を固定した舌片とロードビームとのいずれか一方に平面状接触面を設け、他方にこの平面状接触面に接触してヘッド本体の変位支点を構成する半球状接触部を突出形成した磁気ヘッド装置において、半球状接触部をロードビーム又はフレキシャの舌片に突出形成する際に、この半球状接触部の頂点部を除く部分に少なくとも一部を位置させて、表裏面を貫通する貫通穴を形成することを特徴としている。
【００１２】
上記製造方法では、貫通穴が形成された半球状接触部と平面状接触面とを接触させた状態でロードビームとフレキシャを結合した後に、半球状接触部の貫通穴のエッジ部における肉厚差から該半球状接触部の平面状接触面に接する凸面側の突出具合を推測し、半球状接触部の凸面側の最も突出している位置とヘッド本体の中心位置とを一致させた状態で、ヘッド本体をフレキシャの舌片に接着固定することが好ましい。
【００１３】
半球状接触部は、プレス加工により突出形成し、その表裏面を平面状接触面に接触する凸面と該凸面に沿う凹面とにすることが好ましい。この半球状接触部の表裏面を貫通する貫通穴は、同プレス加工により、半球状接触部の凹面側から凸面側に抜き形成することができる。この貫通穴は、半球状接触部の凹面側の中心部から等方的な位置に複数形成することが実際的である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、ヘッド本体のディスク記録面凹凸に対する追従性を向上させることができる磁気ヘッド装置及びその製造方法を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本実施形態の磁気ヘッド装置は、図１ないし図３に示すように、ヘッド本体１とこれを支持する支持部材２とから構成されている。ヘッド本体１は、ハードディスクなどの記録ディスク（記録媒体）Ｄ（図３）に対向するスライダ３を有し、このスライダ３のトレーリング側端面３ａに薄膜素子４が設けられている。スライダ３はセラミック材料などにより形成されている。薄膜素子４は、磁気抵抗効果を利用して記録ディスクＤからの洩れ磁界を検出し磁気信号を読み取るＭＲヘッド（読み出しヘッド）と、コイルなどがパターン形成されたインダクティブヘッド（書き込みヘッド）とを有している。
【００１６】
支持部材２は、周知のように、回転駆動される記録ディスクＤ外に揺動支点を持ち記録ディスクＤ上に延びるロードビーム５と、このロードビーム５に結合されたフレキシャ６とから構成されている。ロードビーム５とフレキシャ６はともに、板ばね材料（金属材料、一般的にステンレス）により形成される。ロードビーム５には、その長さ方向の中間位置から先部にかけての両側部に、剛性を高める折り曲げ部５ａ、５ａが形成されている。また折り曲げ部５ａ、５ａに挟まれた平坦部５ｂの先端部付近には、図示下方向（記録ディスクＤ側）に突出する半球状接触部（揺動突起）７が形成されている。この半球状接触部７は、フレキシャ６の平面状接触面６ｐに接触する凸面７ｂと該凸面７ｂに沿う凹面７ａとからなる表裏面を有している。
【００１７】
フレキシャ６は、固定部６ａと舌片６ｂと連結部６ｃとで構成されている。図１に示すように、固定部６ａには位置決め孔９が形成されており、この位置決め孔９と、ロードビーム５の平坦部５ｂに形成された位置決め孔８とが位置合せされた後、固定部６ａがロードビーム５の下面（記録ディスクＤ側の面）にスポット溶接などの手段などにより固定される。またフレキシャ６の先端部には切欠きが形成され、この切欠きにより舌片６ｂと連結部６ｃとが離隔形成されている。連結部６ｃに段差部６ｄ、６ｄが形成されることにより、舌片６ｂが固定部６ａよりも下側（記録ディスクＤ側）に位置している。舌片６ｂの上面はロードビーム５に形成された半球状接触部７に突き当てられる平面状接触面６ｐを構成し、舌片６ｂの下面に接着固定されたヘッド本体１が舌片６ｂの弾性により、半球状接触部７の最も突出する頂点（凸面側頂点Ｓｂ）を支点として姿勢を自由に変えることができる。ロードビーム５は、ヘッド本体１を記録ディスクＤに接触させる方向の弾性力を有する。
【００１８】
フレキシャ６の裏側には、図４に示すように薄膜による導電パターン１４が形成されている。この導電パターン１４は、例えばフレキシャ６上に、ポリイミド樹脂製の下地層が形成され、この下地層の上に金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）製などの回路パターンが蒸着またはスパッタ法、あるいはエッチング法などにより形成され、さらに回路パターンの上に、ポリイミド樹脂製の保護層が形成された三層構造となっている。導電パターン１４は、フレキシャ６の先端領域ではフレキシャ６の固定部６ａから舌片６ｂにかけて形成されている。また舌片６ｂに形成されている導電パターン１４の幅は、フレキシャ６の基端部方向に向けて徐々に大きくなっており、この部分がヘッド本体１との接続部１４ａとなっている。またヘッド本体１のトレーリング側端面３ａには、薄膜素子４から引き出された薄膜による電極端子部４ａが、導電パターン１４の接続部１４ａと同じ間隔で形成されている。
【００１９】
上記構成を有する本磁気ヘッド装置は、半球状接触部７を有するロードビーム５に、半球状接触部７の頂点を除く部分に少なくとも一部を位置させて該半球状接触部７の表裏面（凹面７ａ、凸面７ｂ）を貫通する複数（本実施形態では三つ）の貫通穴２０を備えている。図５に拡大して示すように、三つの貫通穴２０は、すべて円形穴であり、半球状接触部７の最も窪んでいる凹面側頂点Ｓａ（半球状接触部７の中心位置）に関して回転対称に等間隔で配置されている。別言すれば、三つの貫通穴２０は、これら貫通穴２０の各中心位置を直線で結んだときに正三角形が形成されるように配置されている。このような複数の貫通穴２０を有する半球状接触部７は、例えば図６に模式的に示すように、ポンチ１０とダイ１１を有するプレス機械により形成することができる。このプレス機械によるプレス加工においては、半球状接触部７に貫通穴２０を設けることにより、半球状接触部７に加わる引張り応力が緩和され、半球状接触部７の凹面７ａと凸面７ｂの凹凸形状のずれが小さく抑えられる。
【００２０】
上述のようにして複数の貫通穴２０を有する半球状接触部７を形成したロードビーム５は、その位置決め孔８とフレキシャ６の位置決め孔９との位置を合致させ、さらに、半球状接触部７の凸面７ｂとフレキシャ６の平面状接触面６ｐとを接触させた状態で、フレキシャ６に結合される。
【００２１】
ロードビーム５とフレキシャ６が結合している状態では、ロードビーム５の半球状接触部７の凸面７ｂを直接視認することはできないが、半球状接触部７には該凹面７ａ側から凸面７ｂ側に抜き形成された貫通穴２０が複数設けられているので、これら複数の貫通穴２０のエッジの肉厚差に基づいて、半球状接触部７の凸面７ｂの突出具合及び凸面側頂点Ｓｂのずれ具合を推測することができる。半球状接触部７の凹面７ａと凸面７ｂの凹凸形状がずれている場合には、図７に示すように、貫通穴２０のエッジの厚さが不均一となり、半球状接触部７の凸面７ｂが凹面７ａよりも大きく突出している位置で貫通穴２０のエッジが厚く（図７のハッチング部分）、また、凸面７ｂと凹面７ａのずれが大きくなるほど貫通穴２０のエッジの厚みが増大する。各貫通穴２０のエッジは、半球状接触部７の凹面７ａ側（ロードビーム５側）から視認することができる。本実施形態では、各貫通穴２０の中心を結ぶ直線上で隣り合う貫通穴２０のエッジ間の距離の２等分線をそれぞれ求め、この求めた２等分線の交点を、半球状接触部７の凸面側頂点Ｓｂとして設定する。少なくとも三つの貫通穴２０が回転対称に設けられていれば、半球状接触部７の凸面側頂点Ｓｂのずれを図示ＸＹ方向の二次元で推定することができ、推定精度も高くなる。
【００２２】
以上のように推測（設定）された半球状接触部７の凸面側頂点Ｓｂは、フレキシャ６の舌片６ｂ（平面状接触面６ｐ）を介して、ヘッド本体１の中心位置１ｃに接触する。すなわち、組立に当たっては、図８に示すように、ロードビーム５に結合されたフレキシャ６の舌片６ｂに、半球状接触部７の凸面側頂点Ｓｂとヘッド本体１の中心位置１ｃとを一致させた状態で、ヘッド本体１を接着固定する。このように半球状接触部７の凸面側頂点Ｓｂとヘッド本体１の中心位置１ｃとを一致させれば、半球状接触部７の凹面７ａと凸面７ｂの凹凸形状のずれに影響を受けなくて済む。
【００２３】
図３は、ヘッド本体１の浮上状態（記録ディスクＤの回転状態）を示している。ヘッド本体１は、そのリーディング側がトレーリング側よりも記録ディスクＤ上に高く持ち上がる傾斜した浮上姿勢となり、記録ディスクＤから距離δ３だけ浮上する。この浮上姿勢にて、薄膜素子４のＭＲヘッドにより記録ディスクＤからの磁気信号が検出され、あるいはインダクティブヘッドにより磁気信号が書き込まれる。そして、この浮上状態において、ヘッド本体１が半球状接触部７の凸面側頂点Ｓｂと平面状接触面６ｐとの接触点（部）を中心に揺動して記録ディスクＤの記録面の凹凸に追従する。本実施形態によれば、半球状接触部７の凸面側頂点Ｓｂとヘッド本体１の中心位置１ｃとが一致しているので、ヘッド本体１の記録ディスクＤの記録面凹凸に対する追従性が向上する。
【００２４】
以上の実施形態では、半球状接触部７の表裏面を貫通する貫通穴２０を円形穴により形成し、この円形穴を半球状接触部７の凹面側頂点Ｓａに関して回転対称に配置してあるが、貫通穴の形成態様は種々の変形が可能である。例えば図９に示すように、半球状接触部７及びロードビーム５の平坦部５ｂの表裏面を図示Ｙ方向に細長に貫通してなる矩形状の貫通穴２１を二つ設け、この二つの貫通穴２１を、半球状接触部７の凹面側頂点Ｓａに関して線対称に配置してもよい。この場合には、貫通穴２１の長手方向のエッジの肉厚差に基づいて、半球状接触部７の凸面側頂点Ｓｂを推測する。より具体的には、図示Ｙ方向の位置が凹面側頂点Ｓａと同一であって、図示Ｘ方向の位置が半球状接触部７に位置する貫通穴２１の長手方向のエッジ間の最短距離の中間位置となる座標位置を、半球状接触部７の凸面側頂点Ｓｂとする。この態様によれば、半球状接触部７の凸面側頂点Ｓｂの図示Ｘ方向におけるずれを推測することができ、また、形成工程も容易である。
【００２５】
以上の実施形態では、半球状接触部７をロードビーム５に形成し、フレキシャ６にこの半球状接触部７が接触（当接）する平面状接触面６ｐを設けたが、この凹凸の関係は逆にし、フレキシャ６側に半球状接触部を設け、ロードビーム５側に平面状接触面を設け、フレキシャ６側の半球状接触部に貫通穴を形成してもよい。
【００２６】
本発明の磁気ヘッド装置は、ＣＳＳ（コンタクトスタートストップ）式、ランプロード（Ramp Load）式のいずれにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明を適用する磁気ヘッド装置の分解斜視図である。
【図２】図１に示す磁気ヘッド装置の平面図である。
【図３】図１に示す磁気ヘッド装置の側面図である。
【図４】図１に示す磁気ヘッド装置のスライダに対する配線を示す斜視図である。
【図５】図１に示すロードビームの半球状接触部に形成された貫通穴の平面図である。
【図６】ロードビームに形成する半球状接触部及び貫通穴のプレス成形状態を示す模式断面図である。
【図７】図５の半球状接触部を拡大して示す平面図であり、半球接触部の凸面側頂点の位置を説明する図である。
【図８】ロードビームの半球状接触部とヘッド本体との接触状態を説明する模式断面図である。
【図９】図５とは別の態様でロードビームの半球状接触部に形成された貫通穴の平面図である。
【図１０】従来のロードビーム及びフレキシャとヘッド本体との接触状態を説明する模式断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
１     ヘッド本体
１ｃ   中心位置
２     支持部材
３     スライダ
４     薄膜素子
４ａ   電極端子部
５     ロードビーム
６     フレキシャ
６ａ   固定部
６ｂ   舌片
６ｃ   連結部
６ｄ   段差部
６ｐ   平面状接触面
７     半球状接触部
７ａ   凹面
７ｂ   凸面
８  ９ 位置決め孔
２０   貫通穴
Ｓａ   凹面側頂点
Ｓｂ   凸面側頂点
【図１】
2005285263.tif 000003
【図２】
2005285263.tif 000004
【図３】
2005285263.tif 000005
【図４】
2005285263.tif 000006
【図５】
2005285263.tif 000007
【図６】
2005285263.tif 000008
【図７】
2005285263.tif 000009
【図８】
2005285263.tif 000010
【図９】
2005285263.tif 000011
【図１０】
2005285263.tif 000012