(57)【要約】【課題】  高地における磁気ヘッドスライダの浮上量の低下を防ぎ、磁気ディスク装置の信頼性を向上させること。【解決手段】  空気流入端と、空気流出端と、浮上面から構成される負圧スライダにおいて、前記浮上面は複数の流入側レール面と、前記流入側レール面と同一面内にあり、かつ磁気ヘッドが設置された流出側レール面と、前記レール面から所定の深さδ1を有するステップ軸受け面と、前記ステップ軸受け面よりさらに深い深さδ2を有する負圧溝面と、前記流入側レール面上にあり、かつ所定の高さhと、スライダ長さ方向の連続性を有する段差面とから構成され、前記空気流入端と、前記段差面の間に、前記ステップ軸受け面と、前記流入側レール面を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダとした。【選択図】        図１
2005302144.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気流入端と、空気流出端と、浮上面から構成される磁気ヘッドスライダにおいて、前記浮上面は複数の流入側レール面と、前記流入側レール面と同一面内にあり、かつ磁気ヘッドが設置された流出側レール面と、前記レール面から所定の深さδ1を有するステップ軸受け面と、前記ステップ軸受け面よりさらに深い深さδ2を有する負圧溝面と、前記流入側レール面上にあり、かつ所定の高さhと、スライダ長さ方向の連続性を有する段差面とから構成され、前記空気流入端と、前記段差面の間に、前記ステップ軸受け面と、前記流入側レール面を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
空気流入端と、空気流出端と、浮上面から構成される磁気ヘッドスライダにおいて、前記浮上面は複数の流入側レール面と、前記流入側レール面と同一面内にあり、かつ磁気ヘッドが設置された流出側レール面と、前記レール面から所定の深さδ1を有するステップ軸受け面と、前記ステップ軸受け面よりさらに深い深さδ2を有する負圧溝面と、前記流入側レール面上にあり、かつ所定の高さhと、スライダ長さ方向の連続性を有する段差面とから構成され、前記空気流入端と、前記段差面の間に、前記ステップ軸受け面と、前記流入側レール面を有し、前記流入側レール面の総面積に対する前記段差面の総面積の比が、１８％以上９２％以下であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
前記請求項１乃至２記載の磁気ヘッドスライダにおいて、段差面の高さｈが、ステップ軸受け面の深さδ１より小さいことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
請求項1乃至２記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記浮上面が前記段差面を構成する材料と同一の材料で、全面が覆われていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
請求項1乃至２記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記段差面の高さｈが５０ｎｍ以下であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項６】
請求項1乃至２記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記磁気ヘッドスライダの全長Ｌと、前記段差面の高さｈの比ｈ／Ｌが、 ５．９×１０-5以下であることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項７】
請求項1乃至２記載の磁気ヘッドスライダにおいて、前記段差面が前記流入側レール面の両サイドにまで到達していることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項８】
空気流入端と、空気流出端と、浮上面とから構成される磁気ヘッドスライダにおいて、前記浮上面は複数の流入側レール面と、前記流入側レール面と同一面内にあり、かつ磁気ヘッドが設置された流出側レール面と、前記レール面から所定の深さδ１を有するステップ軸受け面と、前記ステップ軸受け面よりさらに深い深さδ２を有する負圧溝面と、前記流入側レール面上にあり、かつ所定の高さｈと、スライダ長さ方向の連続性を有する段差面とから構成され、前記空気流入端と、前記段差面の間に、前記ステップ軸受け面と、前記流入側レール面を有し、前記負圧スライダに荷重を付与する荷重点が、スライダ中心より前記空気流入端側に設置されていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項９】
請求項１乃至請求項８記載の磁気ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置。
【請求項１０】
空気流入端、空気流出端、負圧溝面と浮上面を備える磁気ヘッドスライダにおいて、
前記浮上面において、前記空気流入端側から前記磁気ヘッドスライダの長手方向に形成されたステップ軸受け面と、
前記ステップ軸受け面に形成され、前記ステップ軸受け面に対して第１の段差部を有する第１の段差面と、
前記第１の段差面に形成され、前記第１の段差面に対して第２の段差部を有する第２の段差面を備える磁気ヘッドスライダ。
【請求項１１】
磁気ディスクと、磁気ヘッドスライダを備える磁気ディスク装置において、
前記スライダの前記磁気ディスクに対向する面において形成された空気流入端、空気流出端、負圧溝面、浮上面と、
前記浮上面において、空気流入端側から前記磁気ヘッドスライダの長手方向に形成されたステップ軸受け面と、
前記ステップ軸受け面に形成され、前記ステップ軸受け面に対して第１の段差部を有する第１の段差面と、
前記第１の段差面に形成され、前記第１の段差面に対して第２の段差部を有する第２の段差面を備える磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置に係わり、特に高地における浮上量の低下を低減できる磁気ヘッドスライダの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置の高記録密度化を図るために、磁気ヘッドを備えた磁気ヘッドスライダ（以下、スライダという）と回転する磁気ディスク間の隙間として定義される浮上量を狭小化することが重要である。そのために、気圧が低下する高地においても、浮上量ができる限り低下しないようにすることが重要である。
【０００３】
高地においては、スライダの作動流体である空気の平均自由工程が長くなるため、一般的に浮上量は低下する。浮上量が低下すると、スライダが磁気ディスクと接触する可能性が高まるため、磁気ディスク装置の信頼性上好ましくない。特に高地で使用される可能性が高い携帯性の情報処理装置に内蔵される２．５型（２．５インチ）以下の磁気ディスク装置において、スライダの浮上量が高度の上昇、すなわち気圧の低下にともなって変化しないようにすることが望まれている。
【０００４】
ここで、高度の上昇にともなうスライダの浮上量の低下を低減できる従来技術として、特開２０００−５７７２４号公報（特許文献１）に記載のものがある。前記公報では、ステップ軸受け面の深さと、負圧溝面の深さの比を最適化することで、高地における浮上量の低下を大幅に低減できることが開示されている。
【０００５】
他方、後述する本発明による磁気ヘッドスライダの構造と類似の構造を有する従来技術として、特開平６−２０３５１４号公報、特開平８−１０２１６４号公報、特開平１１−２５６２９号公報、特開２００３−１５１２３３号公報、特表２００３−５１５８６９号公報、特開２００１−２５０２１５号公報および特開２０００−２６００１５号公報に記載のものがある。いずれの従来技術も空気流入側のレール面上に段差面あるいは突出パッドを設け、スライダが磁気ディスクと接触する時の粘着力および摩擦力を低減することを目的としている。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−５７７２４号公報
【０００７】
【特許文献２】特表２００３−５１５８６９号公報
【特許文献３】特開平８−１０２１６４号公報
【特許文献４】特開平１１−２５６２９号公報
【特許文献５】特開２００３−１５１２３３号公報
【特許文献６】特開平６−２０３５１４号公報
【特許文献７】特開２００１―２５０２１５号公報
【特許文献８】特開２０００−２６００１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
磁気ディスク装置の信頼性を保ちつつ記録密度の向上を図るために、第一になすべきことは、磁気ディスク全面にわたる浮上量を狭小化し、しかも高地における浮上量の低下を防ぐことである。
【０００９】
特許文献１に開示された磁気ヘッドスライダは、高地における浮上量の低下量を大幅に低減できることが開示されている。
【００１０】
しかし、近年、磁気ディスク装置の小型化がすすんだため、スライダの小型化とディスクの小径化がすすんでいる。スライダの小型化によりスライダの面積が減ることと、磁気ディスクの小型化による周速の低下があいまって、スライダが発生可能な負圧力が減るため、開示された公知技術だけで高度による浮上量の低下を防ぐことが益々困難になっている。特に全長０．８５ｍｍ、全幅０．７ｍｍのフェムトスライダと呼称される小型スライダにおいて、高度の上昇にともなう浮上量の低下を低減することが困難になっている。従来、この点についてのさらなる改善が要望されていた。
【００１１】
前記特開平６−２０３５１４号公報、特開平８−１０２１６４号公報、特開平１１−２５６２９号公報、特開２００３-１５１２３３号公報、特表２００３−５１５８６９号公報、特開２００１−２５０２１５号公報および特開２０００−２６００１５号公報には、後述する本発明と類似のスライダ構造が開示されており、スライダが磁気ディスクと接触したときの摩擦力を低減できることが示されている。
【００１２】
しかし、本発明の目的である浮上量の気圧依存性を低減する方法については何等開示されておらず、しかも、これらの特許文献に開示されたスライダの構造では、本発明の目的を達成することはできない。
【００１３】
本発明は、上記のような要望に鑑みてなされたもので、高地における磁気ヘッドスライダの浮上量を低減できる磁気ヘッドスライダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、空気流入端と、空気流出端と、浮上面から構成される負圧スライダにおいて、前記浮上面は複数の流入側レール面と、前記流入側レール面と同一面内にあり、かつ磁気ヘッドが設置された流出側レール面と、前記レール面から所定の深さδ1を有するステップ軸受け面と、前記ステップ軸受け面よりさらに深い深さδ2を有する負圧溝面と、前記流入側レール面上にあり、かつ所定の高さhと、スライダ長さ方向の連続性を有する段差面とから構成され、前記空気流入端と、前記段差面の間に、前記ステップ軸受け面と、前記流入側レール面を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【００１５】
また、空気流入端と、空気流出端と、浮上面とから構成される負圧スライダにおいて、前記浮上面は複数の流入側レール面と、前記流入側レール面と同一面内にあり、かつ磁気ヘッドが設置された流出側レール面と、前記レール面から所定の深さδ1を有するステップ軸受け面と、前記ステップ軸受け面よりさらに深い深さδ2を有する負圧溝面と、前記流入側レール面上にあり、かつ所定の高さhと、スライダ長さ方向の連続性を有する段差面とから構成され、前記空気流入端と、前記段差面の間に、前記ステップ軸受け面と、前記流入側レール面を有し、前記負圧スライダに荷重を付与する荷重点が、スライダ中心より前記空気流入端側に設置されていることを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、磁気ヘッドスライダの高地における浮上量の低下を防げるため、磁気ディスク装置の信頼性を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に本発明を実施するための最良の形態を説明する。
【実施例１】
【００１８】
本発明の実施例１に係る磁気ヘッドスライダ及びこれを用いた磁気ディスク装置について、図面を用いて以下説明する。図１は本発明による磁気ヘッドスライダの実施例１を示す３次元図、図２は図１のスライダの平面図、図３はスライダの圧力分布であり、図４はスライダがディスク上を浮上しているときの姿勢を説明する図である。
【００１９】
図示するように、実施例１の磁気ヘッドスライダは、空気流入端１、空気流出端２、浮上面３を備えて構成される。ここで浮上面３は、流入ステップ軸受け面４と、流入側レール面５、６と、磁気ヘッド８を備える流出側レール面７と、流出ステップ軸受け面９と、負圧溝１０と、流入側レール面５、６上に形成された段差面１１、１２とを備える。
【００２０】
流入側レール面５、６と流出側レール面７はほぼ同一面にあり、スライダと磁気ディスク間に流入した空気流２０により、圧力を発生し、スライダを磁気ディスク上に浮上させる、いわゆる正圧レール面として作用する。
【００２１】
流入ステップ軸受け面４と、流出ステップ軸受け面９はほぼ同一面内にあり、流入側レール面５、６や流出側レール面７からの深さは２００ｎｍ程度である。空気流入端２からスライダと磁気ディスク間に流入した空気流２０は、流入ステップ軸受け面４や流出ステップ軸受け面９を経由して、第１の段差部１３、１４、１５で昇圧され、流入側レール面５、６、流出側レール面７へ到達する。
【００２２】
流入側レール面５、６へ到達した空気流２０は、さらに第２の段差部１７、１８を経由して段差面１１、１２へ到達し、段差面１１、１２においてスライダを浮上させる大きな圧力を発生する。流入側レール面５、６と段差面１１、１２との段差１７、１８は２０ｎｍ程度である。段差面１１、１２において大きな圧力を発生させるためには、段差面１１、１２は空気流２０の流入方向、すなわちスライダの長手方向に、ある程度連続した長さを有する必要があり、このような非常に低い第２の段差部を形成することにより、大きな浮上力を得ることができる。
【００２３】
本実施例の最も大きな特徴は、流入側レール面５、６上に、連続した長さを有する段差面１１、１２を設けることにあり、こうすることで第１の段差部１３、１４で昇圧された空気流は、まず流入側レール面５、６においてスライダを浮上させる圧力３０、３１を発生し、さらに第２の段差部１７、１８で昇圧され、段差面１１、１２において大きな圧力３２、３３を発生する。一方、流出ステップ軸受け面９から流入した空気流は、第１の段差部１５で昇圧され、流出側レール面７において、圧力３４を発生する。
【００２４】
段差面１１、１２のスライダ長手方向の長さは、大きな正圧力を発生するために、少なくとも連続した５０μｍ以上、好適には１００μｍ以上の長さが必要であり、一方、その最大長さは、第２の段差部１７、１８を形成するために流入側レール面５、６の長さより短くする必要がある。なお、本実施例において、段差面１１、１２のスライダ長手方向の長さを１００μｍとする。
【００２５】
このような２段階の昇圧用の段差部を設けることで、大きな浮上力を得ることができるため、所定の浮上量を達成するために必要な流入側レール面５、６、流出側レール面７の大きさを低減することが可能となる。
【００２６】
圧力を発生する流入及び流出側レール面はいわゆる正圧レール面であり、本発明は所定の浮上量を得るために必要なレール面の面積を低減できるため、後述するように高地における浮上量の低下量を低減できる。
【００２７】
負圧溝１０と流入ステップ軸受け面からの深さ１６は、８００ｎｍ程度であり、流入側レール面５、６からの深さは１μｍ程度である。
【００２８】
本実施例の磁気ヘッドスライダは、長さ０．８５ｍｍ、幅０．７ｍｍ、厚さ０．２３ｍｍのいわゆるフェムトスライダである。一般に、スライダの面積が小さくなるほど、負圧溝１０の面積が小さくなるため、スライダが発生可能な負圧力の大きさが減り、高地における浮上量の低下が大きくなる。
【００２９】
しかも、近年、磁気ディスク装置の小型化が進み、磁気ディスクが小径化されると、周速が遅くなるため、スライダが発生できる負圧力は益々小さくなる傾向にあり、これも高地における浮上量の低下が大きくなる一因となっている。
【００３０】
本実施例では、先に説明した構成により、所定の浮上量を達成するために必要なスライダのレール面積を低減できることにより、高地における浮上量の低下を低減することに成功した。
【００３１】
従来、磁気ディスク装置の起動時の粘着力を低減するために、レール面に微小な突出パッドを形成する技術が知られている。粘着力を低減するためには、突出パッドの表面積をできる限り低減する必要があり、このような微小な突出パッドでは大きな浮上力を得ることができないため、本発明のような効果は得られない。すなわち、従来技術（例えば、特許文献２）の突出パッドは、スライダの浮上力に影響を与えないように、意図して微小化されており、大きな圧力を形成することを目的とした本願の段差面とは、全く正反対の考えに基づくものである。
【００３２】
次に、本実施例の効果を具体的に説明する。
スライダは空気流２０によってディスク２２上を浮上する際、空気流入端１側の浮上量が空気流出端２側の浮上量より高くなるような姿勢で浮上する。このため、磁気ヘッド８を備えた流出側レール面の終端の浮上量２３が最も低くなる。
【００３３】
本実施例のように、段差面１１、１２が形成されている場合は、段差面１１の終端の浮上量２４と段差面１２の終端の浮上量２５が、流出側レール面７の浮上量２３より低くなることがあると、段差面１１、１２がディスク２２と接触することになる。このようなことが生じると、スライダは大きく振動し、最悪の場合には、スライダがクラッシュする。従って、浮上量２４、２５が浮上量２３より低くなることがないように、スライダの浮上姿勢や、段差面の高さを設定する必要がある。
【００３４】
図５は、実施例１の磁気ヘッドスライダについて、高度０ｍにおける、ディスク半径方向の浮上量の分布（浮上プロファイル）と、高度３０００ｍにおける浮上プロファイルの計算結果である。少なくとも高度３０００ｍ（約０。７気圧）までは装置の稼動を保証する必要があるため、高度３０００ｍにおける浮上量の低下をできる限り防ぐ必要がある。縦軸は、高度０ｍで、かつ磁気ディスク最内周における浮上量で規格化した浮上量である。磁気ディスク装置の大きさは、２．５型（２．５インチ）で、回転数は４２００ｒｐｍである。
図５から、本実施例によるスライダは、高度３０００ｍにおける浮上量の低下を、０ｍにおける浮上量の約６〜７％に低減できることがわかる。
【００３５】
図６は、従来例１（例えば、特許文献５）のスライダの平面図である。従来例１のスライダは、本実施例のスライダと異なり、段差面２６、２７が空気流入端１から形成されているため、空気流の昇圧に寄与する第１の段差部１３、１４しかなく、本実施例のスライダと同じ浮上量を達成するためには、流入側レール面５、６と流出側レール面７を大きくする必要がある。
【００３６】
図７は、従来例２（例えば、特許文献２）のスライダの平面図である。従来例２のスライダは、装置停止時の粘着力を低減するために、流入側レール面５、６上に、複数個の微小パッド２８、２９が形成されている。本実施例のスライダと異なり、微小パッド２８、２９はスライダ長手方向に十分な長さを有していないため、空気の昇圧効果が小さく、本実施例のスライダと同じ浮上量を達成するためには、流入側レール面５、６と流出側レール面７を大きくする必要がある。
【００３７】
図６と図７で示した従来例１と従来例２のスライダの高度０ｍにおける浮上プロファイルと、高度３０００ｍにおける浮上プロファイルを図５に示す。先と同じく縦軸は、高度０ｍで、かつディスク最内周の浮上量で規格化した浮上量である。いずれの従来例でも、高度３０００ｍにおける浮上量の低下量は１７〜２０％であり、本実施例により高地における浮上量の低下が大幅に低減されたことがわかる。
【００３８】
先述したように、磁気ディスク装置の信頼性を保つために、段差面１１、１２の終端における浮上量２４、２５は、流出側レール面の終端における浮上量２３より高い必要がある。図８は、実施例１のスライダについて、第２段差部１７、１８の高さをパラメータとして、浮上量２３、２４、２５と周囲圧力の関係を計算した結果である。縦軸は各条件において浮上量２３、２４、２５のうちで、最も低いものを、大気圧における最小浮上量（この場合は必ず浮上量２３）で規格化した浮上量である。
【００３９】
第２の段差部の高さに関わらず、最小浮上量は気圧の低下、つまり高度の上昇とともに低下している。特に、段差面の高さが６０ｎｍ以上の場合、０。６気圧において、突然、最小浮上量が低下している。これは、周囲圧力が低下することで、スライダの浮上姿勢が小さくなり、最小浮上量となる位置が、流出側レール面７の終端（浮上量２３の位置）から段差面１１、１２の終端（浮上量２４、２５の位置）に移ったからである。これは磁気ディスク装置の信頼性上避けるべきであり、従って、第２の段差部の高さ１７、１８の高さは６０ｎｍより小さくするべきである。好適には、第２の段差部の高さ１７、１８の高さは５０ｎｍ以下であることが望ましい。
一方、最小浮上量が１０ｎｍ以下であるような場合は、高度３０００ｍにおける浮上量の低下を少なくとも１０％（１ｎｍ）以下とする必要があるため、第２の段差部の高さ１７、１８は少なくとも５ｎｍ以上とする必要がある。また、浮上量の測定精度は、±１ｎｍ程度であるため、浮上量の低下量をこれよりも小さくすることが必要である。
すなわち、高地における浮上低下量を低減するために、第２の段差部が必要であるが、段差部が高すぎると、そこが最小浮上量になってしまうため、第２の段差部高さの好適値は、本実施例の場合には５ｎｍから５０ｎｍである。
実施例１のスライダはフェムトスライダであるが、全長が１．２５ｍｍのピコスライダの場合、第２の段差部の高さはもっと高くても良い。浮上時の姿勢が第１実施形態のフェムトスライダと同様であれば、第２の段差部の最大高さは、７４ｎｍ以下にする必要がある。
【００４０】
より一般的には、フェムトスライダやピコスライダを含むスライダの全長をＬ、第２の段差面の高さをｈとすれば、
【００４１】
ｈ／Ｌ＜５．９×１０−5                    （式１）
とすることで、段差面の終端の浮上量２４、２５が最小浮上量となることを避けることができる。
【００４２】
実施例１の磁気ヘッドスライダに荷重２１を付与する支持点は、スライダ中心より、空気流入端１側で、かつ段差面１１、１２と対向する位置にある。こうすることにより、高地において段差面１１、１２で生じる圧力３２、３３が減少した時に、空気流入端１側の浮上量を下げる方向のモーメントＭｐが作用し、空気流出端２側の浮上量２３の低下量を小さくできる。
図９は本実施例によるスライダの加工手順の一例を示す。
まず、スライダの母材であるアルミナ・チタン・カーバイトのバー３５上に、第１のシリコン層３６と第１のダイヤモンド。ライク。カーボン層３７を形成する（１）。
シリコン層３６とダイヤモンド・ライク・カーボン層３７の厚さの総和は、最終的な第２段差の高さ１７、１８と同じ高さに形成する。このバー３５上に従来のスライダを加工する方法と同一の方法、例えばイオン・ミリング加工法を利用して、流入側レール面５、６、流出側レール面７、ステップ軸受け面４、９、負圧溝面１０等が形成される（２）。
この時点で、ダイヤモンド・ライク。カーボンで覆われているのは、流入側レール面５、６と流出側レール面７だけである。さらに、段差面１１、１２に相当する部分にマスクをし、他の部分のダイヤモンド・ライク・カーボン層３７とシリコン層３６を除去する（３）。
最後に、改めて浮上面全面を第２のシリコン層３８と、第２のダイヤモンド・ライク・カーボン層３９で被覆する（４）。
本実施例では、最初に形成したシリコン層３６とダイヤモンド。ライク。カーボン層３７の段差を利用して、段差面１１、１２を形成したが、浮上面３を形成した後に、シリコンとダイヤモンド・ライク・カーボンを堆積して段差面１１、１２を形成しても、もちろん構わない。
【実施例２】
【００４３】
図１０は、本発明の実施例２の磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
本実施例は、段差面１１、１２の終端が流入側レール面５、６の終端まで延びており、段差面の連続性が増加しているため、実施例１のスライダより大きな圧力を形成することができる。このような構成とすることで、実施例１のスライダより、さらに高地における浮上量の低下を防ぐことができ、高度３０００ｍにおいて、浮上量の低下をほぼ完全に防ぐことができた。
【実施例３】
【００４４】
図１１は、本発明の第３実施形態の磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
本実施例は、段差面１１、１２を形成する時のマスク形状を流入側レール面５、６上だけに限らず、スライダ幅方向に横断するような形状にした。こうすることで、マスクの位置合わせ精度を気にすることがなく、スライダの加工が容易になる。もちろん、本発明の効果が損なわれることも無い。
【実施例４】
【００４５】
図１２は、本発明の実施例４の磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
本実施例は、流入側レール面５、６及び段差面１１、１２の長さが他の実施例よりさらに長いため、高度による浮上量の低下を低減できることに加え、ピッチング方向の空気膜の剛性が増加するため、サスペンションのピッチ姿勢角の誤差にともなう浮上量の変化を低減することができる。
【実施例５】
【００４６】
図１３は本発明の実施例５の磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
本実施例は、流入ステップ軸受け面４上に、段差面１１、１２と同一高さの微小パッド１１ａと１２ａを形成した。これらの微小パッド１１ａ、１２ａは、スライダがディスク面と何らかの要因で接触したときに、スライダの空気流入端１とディスクが直接接触することを防ぐ効果がある。スライダの空気流入端１とディスクが直接接触すると、大きな摩擦力が生じるため、磁気ディスク装置の信頼性上好ましくない。 
図１３において示した実施例の磁気ヘッドスライダにおいて、第２の段差部１７、１８の位置をスライダの長手方向に動かすことにより、段差面１１、１２の総面積と、流入側レール面５、６の総面積の比を変えながら、高度０ｍと３０００ｍにおける浮上量の低下量を求めた結果を図１４に示す。縦軸は、高度の上昇にともなう浮上低下量と、高度０ｍにおける浮上量の比である。高度の上昇にともなう浮上低下量を、高度０ｍにおける浮上量の１０％以下にするためには、面積比を１８％以上９２％以下とする必要がある。なお、前述の面積比は、実施例５のみならず、前述のすべての実施例に適用できる。
【００４７】
図１５は本発明による前述の実施例（実施例１〜５）に開示した磁気ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置４０である。
本磁気ディスク装置は、ロード・アンロード機構を備え、装置停止中は磁気ヘッドスライダがランプ４１上に待機している。装置稼働中のみ、磁気ヘッドスライダは磁気ディスク２２上にロードされ、記録・再生を行う。
前述の実施例に開示した磁気ヘッドスライダを搭載することによって、高地における浮上低下量を低減できるので、磁気ディスク装置の信頼性を向上することができる。特に、２．５型（２．５インチ）以下の磁気ディスク装置に有効である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施例１に係る磁気ヘッドスライダを示す３次元図である。
【図２】本発明の実施例１に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図３】本発明の実施例１に係る磁気ヘッドスライダの圧力分布である。
【図４】実施例１の磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上を浮上時の姿勢を示す図である。
【図５】実施例１の磁気ヘッドスライダと従来例１と従来例２の磁気ヘッドスライダの浮上プロファイルを示す図である。
【図６】従来例１の磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図７】従来例２の磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図８】実施例１の磁気ヘッドスライダの浮上量と気圧の関係を、段差面の高さをパラメータとして示す図である。
【図９】実施例１の磁気ヘッドスライダの加工手順を示す図である。
【図１０】本発明の実施例２に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１１】本発明の実施例３に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１２】本発明の実施例４に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１３】本発明の実施例５に係る磁気ヘッドスライダを示す平面図である。
【図１４】実施例５の磁気ヘッドスライダの高度による浮上低下量と、段差面と流入側レール面の面積比の関係を示す図である。
【図１５】本発明による磁気ヘッドスライダを備えたロード・アンロード機構付き磁気ディスク装置である。
【符号の説明】
【００４９】
１  空気流入端
２  空気流出端
３  浮上面
４  流入ステップ軸受け面
５、６  流入側レール面
７  流出側レール面
８  磁気ヘッド
９  流出ステップ軸受け
１０  負圧溝
１１、１２  段差面
１３、１４、１５  第１の段差部
１７、１８  第２の段差部
２０  空気流入方向
２１  押し付け荷重
２２  磁気ディスク
２３  流出側レール面終端における浮上量
２４、２５  流入側レール面終端における浮上量
３０、３１  流入側レール面で発生する圧力
３２、３３  段差面で発生する圧力
３４  流出側レール面で発生する圧力
３５  スライダ母材
３６  第１のシリコン層
３７  第１のカーボン層
３８  第２のシリコン層
３９  第２のカーボン層
４０  本実施形態の磁気ヘッドスライダを搭載した磁気ディスク装置
４１  ランプ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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