(57)【要約】  【課題】カセット内に不正な姿勢で基板が収容されているときに、このことを検出することにより、搬送不良等を未然に防止する。  【解決手段】カセット載置台１に載置されたカセットＣに対して、センサ支持アーム１３が相対的に上下動する。センサ支持アーム１３には、ウエハ中心線に対して対称な位置に、第１および第２ウエハセンサ１１，１２が取り付けられている。昇降機構２０によってセンサ支持アーム１３を上下動させるとき、カセットＣ内にウエハＷが水平な正規姿勢で保持されていれば、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号は一致する。もしも、カセットＣ内にウエハＷが斜めに収容されていると、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号が不一致になる。【選択図】        図３
2005285799.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数枚の基板を間隔を開けた積層状態でほぼ平行に支持するための複数段の棚を左右の対向位置にそれぞれ有し、互いに対向する複数対の棚にそれぞれ対応した複数の基板収容位置にそれぞれ基板を収容することができ、各段の棚の対向方向に直交するとともに各基板収容位置に正規姿勢で収容された基板にほぼ平行な基板取り出し方向に開口した基板取り出し用開口を有するカセットが載置されるカセット載置部と、
このカセット載置部に載置されたカセット内の前記複数の基板収容位置を、当該カセット内における基板の積層方向に沿って走査し、各基板収容位置における基板の有無を検出して、基板の有無を表す出力信号を出力する第１の基板センサと、
前記カセット載置部に載置されたカセット内の前記複数の基板収容位置を、当該カセット内における基板の積層方向に沿って走査し、各基板収容位置における基板の有無を、前記棚の対向方向に関して前記第１の基板センサとは異なる位置で検出し、基板の有無を表す出力信号を出力する第２の基板センサと、
前記カセット載置部に載置されたカセット内の前記複数の基板収容位置における基板の有無を表す基板有無情報を記憶するための記憶手段と、
前記第１の基板センサおよび第２の基板センサの出力信号が一致した基板収容位置に対応付けて当該一致している出力信号に対応する基板有無情報を前記記憶手段に書き込む一方、前記第１の基板センサおよび第２の基板センサの出力信号が不一致となる基板収容位置があれば、基板の収容状態が不正であることを表すエラー信号を発生する制御手段とを含むことを特徴とするカセット内基板位置検出装置。
【請求項２】
複数枚の基板を間隔を開けた積層状態でほぼ平行に支持するための複数段の棚を左右の対向位置にそれぞれ有し、互いに対向する複数対の棚にそれぞれ対応した複数の基板収容位置にそれぞれ基板を収容することができ、各段の棚の対向方向に直交するとともに各基板収容位置に正規姿勢で収容された基板にほぼ平行な基板取り出し方向に開口した基板取り出し用開口を有するカセットが載置されるカセット載置部と、
このカセット載置部に載置されたカセット内の基板の積層方向に沿って、前記カセット載置部に対して相対的に移動可能なセンサ支持アームと、
このセンサ支持アームに支持され、前記カセット載置部に載置されたカセット内の各基板収容位置における基板の有無を検出し、基板の有無を表す出力信号を出力する第１の基板センサと、
前記センサ支持アームに支持され、前記カセット載置部に載置されたカセット内の各基板収容位置における基板の有無を、前記基板の積層方向に関しては前記第１の基板センサと同位置で、前記棚の対向方向に関しては前記第１の基板センサとは異なる位置で検出し、基板の有無を表す出力信号を出力する第２の基板センサと、
前記センサ支持アームを、前記カセット載置部に載置されたカセット内の基板の積層方向に沿って、前記カセット載置部に対して相対的に移動させる相対移動機構と、
この相対移動機構による前記センサ支持アームの相対移動に伴って前記第１の基板センサおよび前記第２の基板センサが前記カセット載置部に載置されたカセット内の前記複数の基板収容位置を走査するときに、前記第１の基板センサおよび前記第２の基板センサによる前記カセット内の基板の積層方向に関する基板検出位置を検出するセンサ位置検出手段と、
前記カセット載置部に載置されたカセット内の前記複数の基板収容位置における基板の有無を表す基板有無情報を記憶するための記憶手段と、
前記センサ位置検出手段が、前記第１および第２の基板センサの基板検出位置がいずれかの基板収容位置に該当することを表す信号を出力しているときに、前記第１および第２の基板センサの出力信号が一致していれば、当該一致している出力信号に対応する基板有無情報を当該基板収容位置に対応付けて前記記憶手段に書き込む一方、前記第１および第２の基板センサの出力信号が不一致であれば、基板の収容状態が不正であることを表すエラー信号を発生する制御手段とを含むことを特徴とするカセット内基板位置検出装置。
【請求項３】
前記第１および第２の基板センサは、それらの基板検出位置が、前記基板収容位置の中心を通り前記基板取り出し方向に平行な基板中心線に対して互いに反対側に位置するように設けられていることを特徴とする請求項１または２記載のカセット内基板位置検出装置。
【請求項４】
前記カセットは、前記基板取り出し用開口である第１開口と、この第１開口とは反対側に開口した第２開口とを有しており、
前記第１および第２の基板センサは、それぞれ、前記カセット載置部に載置されたカセットの前記第１開口側および第２開口側のいずれかに配置された投光素子と、それらの他方側に配置された受光素子との対からなる透過型センサであり、
前記投光素子から受光素子に至る光路である検出ラインが、前記カセット載置部に載置されたカセットの各基板収容位置に正規姿勢で保持された基板を斜めに通過するように、前記投光素子および受光素子が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のカセット内基板検出装置。
【請求項５】
前記請求項１ないし４のいずれかに記載のカセット内基板検出装置と、
前記カセット載置部に載置されたカセット内の基板収容位置にアクセスして、前記基板取り出し方向に沿って基板を取り出す基板取り出し機構と、
前記記憶手段に記憶された基板有無情報に基づいて前記基板取り出し機構を制御する基板取り出し制御手段とを含むことを特徴とする基板搬出装置。
【請求項６】
基板に対して処理を行う基板処理部と、
請求項５記載の基板搬出装置と、
この基板搬出装置から基板を受け取って、前記基板処理部に搬入する基板搬送機構とを含むことを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、複数枚の基板を積層状態で保持するカセット内の基板の位置を検出するカセット内基板位置検出装置、ならびにこれを用いた基板搬出装置および基板処理装置に関する。基板処理装置による処理の対象となる基板には、たとえば、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板などが含まれる。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や液晶表示装置などの製造工程では、半導体ウエハ等の基板に対して処理液や処理ガスを用いた様々な処理が施される。基板を１枚ずつ処理する枚葉型の基板処理装置は、基板処理部と、この基板処理部との間で未処理基板および処理済み基板の授受を行うインデクサ部とを備えている。基板処理部は、複数の基板処理ユニットと、この基板処理ユニットに対して基板を搬入／搬出する主搬送ロボットとを有している。インデクサ部は、複数枚の基板を積層状態で収容することができるカセットが載置されるカセット載置部と、カセット載置部に載置されたカセットから未処理の基板を取り出して主搬送ロボットに受け渡すとともに、主搬送ロボットから処理済みの基板を受け取ってカセット載置部に載置されたカセットへと収容するインデクサロボットとを備えている。
【０００３】
カセットは、左右に相対向する複数段の棚を備えており、それぞれ互いに対向する複数対の棚によって規定される複数の基板収容位置にそれぞれ基板を収容することができるようになっている。そして、カセットの前面（インデクサロボット側）には、各段の棚の対向方向と直交するとともに、基板収容位置に正しく収容された基板と平行な基板取り出し方向に開口した基板取り出し開口が形成されており、カセットの後面には、別の開口が形成されている。インデクサロボットは、基板取り出し開口を介して、前記基板取り出し方向に沿って、カセット内の基板を取り出す。
【０００４】
カセット内の複数の基板収容位置のすべてに基板が収容されるとは限らないから、カセット載置部に未処理の基板を収容したカセットが載置された後には、基板処理が開始される前に、このカセット内のいずれの位置に基板が収容されているかを特定するためのカセット内基板検出処理が実行される。
カセット載置部には、カセット内の基板の積層方向である上下方向に移動可能なセンサ支持アームが設けられている。このセンサ支持アームには、カセットの前後に対応する位置にそれぞれ配置された投光素子および受光素子の対からなる透過型センサが取り付けられている。投光素子および受光素子の間の光路である検出ラインは、カセットの前面の前記基板取り出し開口から、当該カセットの後面の開口を通り、かつ、基板収容位置に正しく収容された基板を斜めに横切るようになっている。
【０００５】
したがって、センサ支持アームを上下動させることによって、透過型センサによって複数の基板収容位置を走査すれば、各基板収容位置における基板の有無を検出することができる。より具体的には、透過型センサの基板検出位置が各基板収容位置に対応しているときに、透過型センサの検出ラインが遮光されていれば当該基板収容位置に基板が収容されていると判断でき、透過型センサの検出ラインが遮光されていなければ当該基板収容位置には基板が収容されていないと判断できる。このようにして、複数の基板収容位置における基板の有無の情報が生成され、この情報が記憶装置に記憶される（いわゆるマッピング処理）。
【０００６】
インデクサロボットは、前記記憶装置に記憶された基板有無の情報に基づいて、基板有りの状態の基板収容位置にのみアクセスして、カセットからの基板搬出を実行する。
【特許文献１】特開平１１−２５１４１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところが、前述のようなカセット内基板検出処理は、カセット内において基板収容位置に基板が正規姿勢で保持されていることを前提としており、左右の段違いの棚に基板が保持されている場合のように、不正な姿勢で基板が収容されている状況では問題がある。すなわち、不正な姿勢で基板が収容されている場合であっても、当該基板の近傍の基板収容位置に基板が収容されていることを表す基板有無情報が記憶装置に記憶されるおそれがある。
【０００８】
カセット内に不正な姿勢で基板が収容されていると、インデクサロボットのハンドがカセット内にアクセスするときに基板と衝突して基板を破損させたり、そのハンドが破損したりするおそれがある。また、インデクサロボットが首尾良くカセットから基板を搬出できたとしても、そのハンド上の適正位置で基板を保持することができないから、搬送不良が生じるおそれがある。すなわち、インデクサロボットが主搬送ロボットに基板を受け渡す前に基板を落下させてしまったり、インデクサロボットから主搬送ロボットに基板を受け渡す際に、基板が落下したり、主搬送ロボットのハンドが基板に衝突して基板を破損したり、またそのハンドが破損したりするおそれがある。さらには、インデクサロボットから主搬送ロボットへの基板の受け渡しができた場合でも、主搬送ロボットのハンド上の適正位置に基板を保持することができなければ、主搬送ロボットによる基板搬送の過程で基板が落下したりするおそれがある。
【０００９】
そこで、この発明の目的は、カセット内に不正な姿勢で基板が収容されているときに、このことを検出することができるカセット内基板位置検出装置、ならびにこれを用いた基板搬出装置および基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するための請求項１記載の発明は、複数枚の基板（Ｗ）を間隔を開けた積層状態でほぼ平行に支持するための複数段の棚（ＳＬ，ＳＲ）を左右の対向位置にそれぞれ有し、互いに対向する複数対の棚にそれぞれ対応した複数の基板収容位置（ＣＰ１〜ＣＰ２６）にそれぞれ基板を収容することができ、各段の棚の対向方向に直交するとともに各基板収容位置に正規姿勢で収容された基板にほぼ平行な基板取り出し方向（Ｒ）に開口した基板取り出し用開口（ＣＦ）を有するカセット（Ｃ）が載置されるカセット載置部（１）と、このカセット載置部に載置されたカセット内の前記複数の基板収容位置を、当該カセット内における基板の積層方向に沿って走査し、各基板収容位置における基板の有無を検出して、基板の有無を表す出力信号を出力する第１の基板センサ（１１）と、前記カセット載置部に載置されたカセット内の前記複数の基板収容位置を、当該カセット内における基板の積層方向に沿って走査し、各基板収容位置における基板の有無を、前記棚の対向方向に関して前記第１の基板センサとは異なる位置で検出し、基板の有無を表す出力信号を出力する第２の基板センサ（１２）と、前記カセット載置部に載置されたカセット内の前記複数の基板収容位置における基板の有無を表す基板有無情報を記憶するための記憶手段（４３）と、前記第１の基板センサおよび第２の基板センサの出力信号が一致した基板収容位置に対応付けて当該一致している出力信号に対応する基板有無情報を前記記憶手段に書き込む一方、前記第１の基板センサおよび第２の基板センサの出力信号が不一致となる基板収容位置があれば、基板の収容状態が不正であることを表すエラー信号を発生する制御手段（４０，４１，４２，４４）とを含むことを特徴とするカセット内基板位置検出装置である。なお、括弧内の英数字は後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じ。
【００１１】
この構成によれば、第１の基板センサと第２の基板センサとは、カセットの左右の棚の対向方向に関して異なる位置で基板の有無を検出する。したがって、相対向する一対の棚の間の基板収容位置に基板が正しく収容されていれば、当該基板収容位置に関して、第１および第２の基板センサはいずれも「基板有り」を表す信号を出力する。また、当該基板収容位置に基板が収容されていなければ、第１および第２の基板センサは、当該基板収容位置については、いずれも「基板無し」を表す信号を出力する。
【００１２】
もしも、カセット内の基板が左右段違いの棚に収容されている場合には、当該基板の近傍の基板収容位置において、第１および第２の基板センサは、一方が「基板有り」の信号を出力し、他方が「基板無し」の信号を出力する状態となり、２つの基板センサの出力信号が不一致となる。
そこで、この発明では、第１および第２の基板センサの出力信号が一致する場合には、当該一致する出力信号に対応した基板有無情報を記憶装置に書き込み（いわゆるマッピング処理）、その一方で、第１および第２の基板センサの出力信号が不一致の場合には、基板が不正な姿勢で収容されていることを表すエラー信号を生成するようにしている。
【００１３】
このようにして、カセット内の各基板収容位置における基板有無の情報を記憶装置に正確に記憶させることができ、かつ、不正な収容状態の基板があれば、このことを検出できる。これにより、基板の搬送不良等を効果的に抑制または防止できる。
請求項２記載の発明は、複数枚の基板（Ｗ）を間隔を開けた積層状態でほぼ平行に支持するための複数段の棚（ＳＬ，ＳＲ）を左右の対向位置にそれぞれ有し、互いに対向する複数対の棚にそれぞれ対応した複数の基板収容位置（ＣＰ１〜ＣＰ２６）にそれぞれ基板を収容することができ、各段の棚の対向方向に直交するとともに各基板収容位置に正規姿勢で収容された基板にほぼ平行な基板取り出し方向（Ｒ）に開口した基板取り出し用開口（ＣＦ）を有するカセットＣが載置されるカセット載置部（１）と、このカセット載置部に載置されたカセット内の基板の積層方向に沿って、前記カセット載置部に対して相対的に移動可能なセンサ支持アーム（１３）と、このセンサ支持アームに支持され、前記カセット載置部に載置されたカセット内の各基板収容位置における基板の有無を検出し、基板の有無を表す出力信号を出力する第１の基板センサ（１１）と、前記センサ支持アームに支持され、前記カセット載置部に載置されたカセット内の各基板収容位置における基板の有無を、前記基板の積層方向に関しては前記第１の基板センサと同位置で、前記棚の対向方向に関しては前記第１の基板センサとは異なる位置で検出し、基板の有無を表す出力信号を出力する第２の基板センサ（１２）と、前記センサ支持アームを、前記カセット載置部に載置されたカセット内の基板の積層方向に沿って、前記カセット載置部に対して相対的に移動させる相対移動機構（２０）と、この相対移動機構による前記センサ支持アームの相対移動に伴って前記第１の基板センサおよび前記第２の基板センサが前記カセット載置部に載置されたカセット内の前記複数の基板収容位置を走査するときに、前記第１の基板センサおよび前記第２の基板センサによる前記カセット内の基板の積層方向に関する基板検出位置を検出するセンサ位置検出手段（３０）と、前記カセット載置部に載置されたカセット内の前記複数の基板収容位置における基板の有無を表す基板有無情報を記憶するための記憶手段（４３）と、前記センサ位置検出手段が、前記第１および第２の基板センサの基板検出位置がいずれかの基板収容位置に該当することを表す信号を出力しているときに、前記第１および第２の基板センサの出力信号が一致していれば、当該一致している出力信号に対応する基板有無情報を当該基板収容位置に対応付けて前記記憶手段に書き込む一方、前記第１および第２の基板センサの出力信号が不一致であれば、基板の収容状態が不正であることを表すエラー信号を発生する制御手段（４０，４１，４２，４４）とを含むことを特徴とするカセット内基板位置検出装置である。
【００１４】
この発明では、カセット載置部に対して相対的に移動可能なセンサ支持アームに第１および第２の基板センサを共通に支持した簡単な構成によって、請求項１の発明と同様な効果を達成できる。
第１および第２の基板センサは、それらの基板検出位置が、基板の積層方向に関しては同位置で、カセットの左右の棚の対向方向に関しては異なる位置となるように、センサ支持アームに支持されている。したがって、基板積層方向に関する第１および第２の基板センサの基板検出位置がいずれかの基板収容位置に対応しているときに、第１および第２の基板センサの出力信号が、「基板有り」で一致していれば当該基板収容位置に基板が収容されていることになり、「基板無し」で一致していれば当該基板収容位置には基板が収容されていないことになり、それらが不一致であれば、当該基板収容位置の近傍に不正な姿勢で基板が収容されていることになる。
【００１５】
請求項３記載の発明は、前記第１および第２の基板センサは、それらの基板検出位置が、前記基板収容位置の中心を通り前記基板取り出し方向に平行な基板中心線（１７Ｘ）に対して互いに反対側に位置するように設けられていることを特徴とする請求項１または２記載のカセット内基板位置検出装置である。
この構成によれば、第１および第２の基板センサの基板検出位置が、基板中心線に対して違いに反対側に位置しているため、左右の段違いの棚に基板が保持されているときに、このことを確実に検出することができる。
【００１６】
第１および第２の基板センサの基板検出位置は、基板中心線に対して対称な位置に配置されていることがより好ましい。
第１および第２の基板センサの基板検出位置は、基板が不正な姿勢でカセットに収容されているときに、いずれかの基板収容位置において両基板センサの出力信号が不一致となるように、左右の棚の対向方向に関して十分な距離を開けて配置することが好ましい。より具体的には、基板が左右の棚に１段だけずれて収容されている状態において、当該棚の近傍の基板収容位置において、第１および第２の基板センサの出力信号が不一致となるように、それらの基板検出位置が定められることが好ましい。
【００１７】
請求項４記載の発明は、前記カセットは、前記基板取り出し用開口である第１開口（ＣＦ）と、この第１開口とは反対側に開口した第２開口（ＣＲ）とを有しており、前記第１および第２の基板センサは、それぞれ、前記カセット載置部に載置されたカセットの前記第１開口側および第２開口側のいずれかに配置された投光素子（１１Ａ，１２Ａ）と、それらの他方側に配置された受光素子（１１Ｂ，１２Ｂ）との対からなる透過型センサであり、前記投光素子から受光素子に至る光路である検出ライン（１１Ｌ，１２Ｌ）が、前記カセット載置部に載置されたカセットの各基板収容位置に正規姿勢で保持された基板を斜めに通過するように、前記投光素子および受光素子が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のカセット内基板検出装置である。
【００１８】
この構成によれば、カセットに形成された一対の開口を利用した透過型センサによって、カセット内の基板位置を検出でき、かつ、不正な収容状態の基板を検出できる。
請求項５記載の発明は、前記請求項１ないし４のいずれかに記載のカセット内基板検出装置と、前記カセット載置部に載置されたカセット内の基板収容位置にアクセスして、前記基板取り出し方向に沿って基板を取り出す基板取り出し機構（３）と、前記記憶手段に記憶された基板有無情報に基づいて前記基板取り出し機構を制御する基板取り出し制御手段（４６）とを含むことを特徴とする基板搬出装置である。
【００１９】
この構成によれば、記憶装置に記憶された正確な基板有無情報に基づいて基板取り出し機構が制御されるので、基板の取り出しを正確に行える。また、カセット内に不正な姿勢で収容された基板がある場合には、エラー信号が生成されるので、基板取り出し機構による基板取り出し動作を中止させることができる。これにより、搬送不良を防止できる。
前記基板取り出し機構は、カセット載置部に載置されたカセットから基板を取り出す機能とともに、当該カセット載置部に載置されたカセットに対して基板を収容する機能を併せて有する基板取り出し／搬入機構（いわゆるインデクサロボット）であってもよい。
【００２０】
請求項６記載の発明は、基板に対して処理を行う基板処理部（６，７）と、請求項５記載の基板搬出装置と、この基板搬出装置から基板を受け取って、前記基板処理部に搬入する基板搬送機構（ＭＴＲ）とを含むことを特徴とする基板処理装置である。
この構成によれば、記憶装置に記憶された正確な基板有無情報に基づいて基板が取り出され、この基板が基板取り出し機構から基板搬送機構へと受け渡されるので、搬送不良を防止しつつ、基板に対する処理を行うことができる。カセット内に不正な姿勢で収容された基板がある場合には、エラー信号が生成されるので、基板取り出し機構による基板取り出し動作を中止させることにより、この基板取り出し機構から基板搬送機構へと基板が受け渡されることがなく、搬送不良を未然に防止することができる。
【００２１】
なお、前記基板取り出し機構がカセット載置部に載置されたカセットに基板を収容する機能を併せて有する基板取り出し／搬入機構である場合には、前記基板搬送機構は、基板取り出し／搬入機構から基板を受け取って処理部に搬入するとともに、処理済みの基板を処理部から受け取って基板取り出し／搬入機構に受け渡す機能を併せて有するものであってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図１は、この発明の一実施形態に係るカセット内基板検出装置が備えられた基板処理装置のレイアウトを簡略化して示す平面図である。この基板処理装置は、円形の基板であるウエハＷをカセットＣから１枚ずつ取り出し、このウエハＷに対して処理液等による処理を施すための装置である。
【００２３】
この基板処理装置は、インデクサ部ＩＮＤと、このインデクサ部ＩＮＤに隣接して設けられた処理部Ｐとを有している。インデクサ部ＩＮＤは、複数枚のウエハＷを積層状態で収容可能なカセットＣを載置するためのカセット載置台１を有している。カセット載置台１は、複数個（たとえば４個）のカセットＣを一直線上に並べて載置できるようになっている。カセット載置台１には、カセットＣの各載置位置に関連して、カセットＣ内のウエハＷの有無を検知するためのウエハ検出機構２が設けられている。
【００２４】
インデクサ部ＩＮＤにはさらに、カセット載置台１に載置されているカセットＣから未処理のウエハＷを１枚ずつ取り出したり、処理済みのウエハＷを１枚ずつ収容したりするためのインデクサロボット３を有している。インデクサロボット３は、カセット載置台１におけるカセットＣの配列方向に沿う直線搬送路４に沿って走行することができるように構成されており、カセット載置台１上の任意のカセットＣの前で停止し、当該カセットに対してハンド５を進退させてアクセスすることができるようになっている。そして、ハンド５を昇降させることによって、カセットＣとの間でウエハＷの受け渡しを行うことができるようになっている。
【００２５】
処理部Ｐは、インデクサ部ＩＮＤの直線搬送路４の中間付近に設定された所定の受け渡し位置においてインデクサロボット３との間でウエハＷの受け渡しを行う主搬送ロボットＭＴＲと、この主搬送ロボットＭＴＲによるアクセスが可能な位置に配置された複数（この実施形態では２個）の処理ユニット６，７とを備えている。処理ユニット６，７は、たとえば、ウエハＷに対して処理液（薬液または純水）による処理（エッチング処理や洗浄処理）を施すものであってもよい。
【００２６】
主搬送ロボットＭＴＲは、先端に設けたハンド８Ｈ，９Ｈをそれぞれ進退させる進退アーム８，９と、これらの進退アーム８，９を保持した回転ベース１０とを備えている。回転ベース１０は、回転駆動機構（図示せず）によって鉛直軸線周りに回転駆動されるようになっているとともに、昇降駆動機構（図示せず）によって上下動されるようになっている。また、回転ベース１０には、進退アーム８，９を駆動するための進退駆動機構（図示せず）が内蔵されている。このような構成により、主搬送ロボットＭＴＲは、ハンド８Ｈ，９Ｈを任意の方向に向けて進退させ、かつ、昇降させることができ、前記受け渡し位置においてインデクサロボット３との間でウエハＷを受け渡しし、さらに、処理ユニット６，７との間でウエハＷの受け渡しを行うことができる。
【００２７】
カセット載置台１に載置されたカセットＣに収容された未処理のウエハＷは、インデクサロボット３によって一枚ずつ取り出され、このインデクサロボット３から主搬送ロボットＭＴＲに受け渡される。主搬送ロボットＭＴＲは、ハンド８Ｈ，９Ｈの一方で未処理のウエハＷを受け取って処理ユニット６，７のいずれかへと搬送する。より具体的には、主搬送ロボットＭＴＲは、処理ユニット６，７から処理済みのウエハＷをハンド８Ｈ，９Ｈの他方で搬出し、引き続き、前記一方のハンド８Ｈ，９Ｈに保持している未処理のウエハＷを当該処理ユニット６，７に搬入する。さらに、主搬送ロボットＭＴＲは、搬出した処理済みのウエハＷを、前記受け渡し位置においてインデクサロボット３に受け渡す。インデクサロボット３は、受け取った処理済みのウエハＷを、カセット載置台１に載置されたカセットＣのいずれかに収容する。
【００２８】
図２は、カセット載置台１の平面図であり、図３は、図２の切断面線III−III における簡略化した断面図である。カセット載置台１に載置されるカセットＣは、複数枚（たとえば２６枚）のウエハＷを上下方向に積層した状態で水平に保持することができるように構成されている。具体的には、カセットＣの左右の内壁面には、上下方向に等間隔で複数段（たとえば２６段）の収容棚ＳＬ（下方からＳＬ１〜ＳＬ２６）およびＳＲ（下からＳＲ１〜ＳＲ２６）が上下に積層されてそれぞれ形成されており、互いに対向する各対の収容棚ＳＬ，ＳＲによって形成されるウエハ収容位置に各１枚のウエハＷを収容することができるようになっている。カセット載置台１上では、位置決めガイド５１，５２，５３，５４によって、カセットＣの左右方向および前後方向の位置決めが行われ、これにより、所定位置にカセットＣが配置できるようになっている。
【００２９】
カセットＣには、カセット載置台１に載置された状態でインデクサロボット３に対向するウエハ取り出し方向Ｒ側（図２における右側）の面（前面）に、ウエハＷを出し入れするための開口ＣＦ（基板取り出し用開口）が形成されている。また、カセットＣには、開口ＣＦと反対側（図２における左側）の面（後面）にも開口ＣＲが形成されている。ウエハ取り出し方向Ｒは、カセットＣに設けられた各段の収容棚ＳＬ，ＳＲの対向方向（左右方向）に直交するとともに、各ウエハ収容位置に正規姿勢（同じ高さで相対向する左右の収容棚ＳＬ，ＳＲに収容されたときのウエハＷの姿勢。水平姿勢）で収容されたウエハＷにほぼ平行な方向である。
【００３０】
カセットＣの載置位置に関連して設けられたウエハ検出機構２は、第１および第２ウエハセンサ１１，１２と、これらの第１および第２ウエハセンサ１１，１２を共通に支持して上下動可能なセンサ支持アーム１３とを有している。センサ支持アーム１３は、平面視においてほぼコ字形状に形成されており、所定位置に載置されたカセットＣの側方においてウエハ取り出し方向Ｒに沿う長尺形状の基部１４と、この基部１４の両端にそれぞれ片持ち支持された状態で、カセットＣ内のウエハＷにほぼ平行な方向に沿ってカセットＣの前面および後面へとそれぞれ張り出したビーム状の一対のセンサ保持部１５，１６とを有している。センサ保持部１５，１６は、平面視において、カセットＣ内のウエハ収容位置の中心を通り、ウエハ取り出し方向Ｒに平行なウエハ中心線１７Ｘを超える位置まで延びている。
【００３１】
第１ウエハセンサ１１は、一対のセンサ保持部１５，１６のいずれか一方に保持された投光素子１１Ａと、それらのうちの他方に保持された受光素子１１ＢとをカセットＣを挟んで対向配置した透過型のセンサであり、投光素子１１Ａから受光素子１１Ｂに至る検出ライン１１ＬをウエハＷが遮るか否かによって、ウエハＷの有無を検出するものである。同様に、第２ウエハセンサ１２は、一対のセンサ保持部１５，１６のいずれか一方に保持された投光素子１２Ａと、それらのうちの他方に保持された受光素子１２Ｂとを対向配置した透過型のセンサであり、投光素子１２Ａから受光素子１２Ｂに至る検出ライン１２ＬをウエハＷが遮るか否かによってウエハＷの有無を検出するものである。
【００３２】
第１ウエハセンサ１１の投光素子１１Ａおよび受光素子１１Ｂは、センサ保持部１５，１６において、ウエハ中心線１７Ｘよりも先端側（基部１４から遠い側）の位置に取り付けられている。これに対して、第２ウエハセンサ１２の投光素子１２Ａおよび１２Ｂは、センサ保持部１５，１６において、ウエハ中心線１７Ｘよりも基部１４寄りの位置に取り付けられている。この実施形態では、第１ウエハセンサ１１の検出ライン１１Ｌおよび第２ウエハセンサ１２の検出ライン１１Ｌ，１２Ｌは、平面視において、ウエハ取り出し方向Ｒに平行（すなわち、ウエハ中心線１７Ｘに平行）とされており、いずれもカセットＣの前後面の開口ＣＦ，ＣＲを通っている。そして、検出ライン１１Ｌ，１２Ｌが、平面視において、ウエハ中心線１７Ｘに対して互いに対称な位置となるように、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の投光素子１１Ａ，１２Ａおよび受光素子１１Ｂ，１２Ｂが、センサ保持部１５，１６に取り付けられている。
【００３３】
また、図２のIV−IV線断面図である図４に示すように、投光素子１１Ａ，１２Ａと受光素子１１Ｂ，１２Ｂとは、若干高さを異ならせてセンサ保持部１５，１６に取り付けられている。これにより、センサ支持アーム１３を上下方向に移動させると、投光素子１１Ａ，１２Ａから受光素子１１Ｂ，１２Ｂに向かう光路（検出ライン１１Ｌ，１２Ｌ）が、カセットＣの各収容棚ＳＬ，ＳＲに保持されたウエハＷを斜めに横切ることになる。
【００３４】
第１および第２ウエハセンサ１１，１２は、それらの検出ライン１１Ｌ，１２Ｌが、同じ高さとなるようにセンサ支持アーム１３に取り付けられている。したがって、第１および第２ウエハセンサ１１，１２によるウエハ検出位置は、カセットＣ内の左右の収容棚ＳＬ，ＳＲの対向方向に関しては、ウエハ中心線１７Ｘに関して線対称となるようにずらされているが、カセットＣ内のウエハＷの積層方向に関しては同じ位置となっている。
【００３５】
カセット載置台１の下方には、図３に示すように、センサ支持アーム１３をカセットＣ内の収容棚ＳＬの積層方向に沿って昇降させるための昇降機構２０が備えられている。昇降機構２０は、ロッドレスシリンダ２１と、ロッドレスシリンダ２１の移動ヘッド２２とセンサ支持アーム１３とを連結する連結部材２３とを含む。
ロッドレスシリンダ２１は、上下方向に延びたシリンダチューブ２４内に、電磁弁（図示せず）を介して、エア供給源（図示せず）からエアを送り込み、そのエア圧でシリンダチューブ２４内のピストンを移動させると、このピストンの移動に追従して、移動ヘッド２２がシリンダチューブ２４と平行に設けられた直線ガイド２５，２６に沿って摺動するものである。むろん、ロッドレスシリンダ２１に代えて、上下方向に進退するロッドを有するシリンダが適用されても構わない。
【００３６】
連結部材２３は、上下方向に沿って移動可能に設けられており、カセット載置台１に形成された貫通孔１ａに挿通されている。連結部材２３は、その下端がロッドレスシリンダ２１の移動ヘッド２２にブラケット２７を介して結合されており、上端がセンサ支持アーム１３に取り付けられている。
この構成により、シリンダチューブ２４内のエア圧を変化させて移動ヘッド２２を上下に摺動させると、移動ヘッド２２の移動に伴って、連結部材２３が上下方向に延びたガイドレール２８に沿って上下に移動する。その結果、連結部材２３に取り付けられたセンサ支持アーム１３が、カセット載置台１の上方で上下に移動する。
【００３７】
ロッドレスシリンダ２１の側方には、第１ウエハセンサ１１および第２ウエハセンサ１２によるウエハ検出位置（検出高さ。検出ライン１１Ｌ，１２Ｌの高さ）を検出するためのリニアエンコーダ３０が設けられている。リニアエンコーダ３０は、カセットＣ内の収容棚ＳＬ，ＳＲの間隔（すなわち、カセットＣ内におけるウエハ収容位置の間隔）と同じ間隔で上下に配列された複数のスリット３１が形成されたスケール３２（スリット板）と、このスケール３２を挟んで対向した発光素子−受光素子対からなるフォトセンサ３３とを含む。
【００３８】
スケール３２は、ロッドレスシリンダ２１と平行に設けられており、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の検出ライン１１Ｌ，１２Ｌが、カセットＣ内の最上段の収容棚ＳＬ２６，ＳＲ２６に収容されたウエハＷに対向したときに、フォトセンサ３３がスケール３２に形成された最上位置のスリット３１に対向するように位置調整されている。
フォトセンサ３３は、取付部材３４によってロッドレスシリンダ２１の移動ヘッド２２に取り付けられている。これにより、移動ヘッド２２を上下動させると、センサ支持アーム１３およびフォトセンサ３３が連動して上下動する。
【００３９】
カセットＣ内の各収容棚ＳＬ，ＳＲにおけるウエハＷの有無を検出する際には、たとえば、ロッドレスシリンダ２１の移動ヘッド２２が、最上部に変位された状態から下方へ向けて移動される。この移動ヘッド２２の下方移動の過程で、フォトセンサ３３がスケール３２のスリット３１に対向すると、フォトセンサ３３からパルスが出力される。スケール３２のスリット３１は、カセットＣ内のウエハＷの間隔（収容棚の間隔）と同じ間隔で形成されており、また、スケール３２の取付位置は前記のように調整されているから、フォトセンサ３３がスケール３２のスリット３１に対向した状態では、第１および第２ウエハセンサ１１，１２がカセットＣ内のいずれかの収容棚ＳＬ，ＳＲに対向している。したがって、フォトセンサ３３からパルスが出力される度に第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力を調べることにより、カセットＣ内の各収容棚ＳＬ，ＳＲにおけるウエハＷの有無を検知することができる。また、フォトセンサ３３から出力されるパルスを計数することによって、第１および第２ウエハセンサ１１，１２による検出位置（検出高さ）を検出することができる。
【００４０】
図５は、カセットＣ内におけるウエハＷの様々な収容状態を示す図解図である。この図５には、カセットＣの前面側から見たときのウエハＷの姿勢が示されており、上下に隣接する２段または３段の収容棚の組み合わせにおける様々なウエハ収容パターンが表されている。ただし、左右対称の収容パターンについては図示を省いてある。
１段目および２段目の収容棚ＳＬ１，ＳＲ１；ＳＬ２，ＳＲ２には、左右の相対向する収容棚（同じ高さの収容棚）にウエハＷ１，Ｗ２が収容されており、これらのウエハＷ１，Ｗ２は正規姿勢でカセットＣに収容されている。これが、第１の収容パターンである。
【００４１】
３段目の左右の収容棚ＳＬ３，ＳＲ３には、ウエハは収容されておらず、その上の段の左右の収容棚ＳＬ４，ＳＲ４には、ウエハＷ４が正規姿勢で収容されている。これが第２の収容パターンである。
ウエハＷ５は、左側では下から５段目の収容棚ＳＬ５に収容されているが、右側では下から６段目の収容棚ＳＲ６に収容されていて、右上がりに傾斜した不正な姿勢でカセットＣに収容されている。右側の５段目の収容棚ＳＲ５には、ウエハは収容されていない。その上のウエハＷ６は、左右の６段目の収容棚ＳＬ６，ＳＲ６に収容されていて、正規姿勢でカセットＣに収容されている。これが第３の収容パターンである。
【００４２】
ウエハＷ７は、左右の各７段目の収容棚ＳＬ７，ＳＲ７に収容されていて、正規姿勢でカセットＣに収容されている。その上の左右の収容棚ＳＬ８，ＳＲ８に対応したウエハ収容位置にはウエハは収容されていない。これが第４の収容パターンである。
ウエハＷ９は、左側では下から９段目の収容棚ＳＬ９に収容されているが、右側では下から１０番目の収容棚ＳＲ１０に収容されている。すなわち、右上がりに傾斜した不正な姿勢でカセットＣに収容されている。左側の１０段目の収容棚ＳＬ１０および右側の９段目の収容棚ＳＲ９にはウエハは収容されていない。これが、第５の収容パターンである。
【００４３】
ウエハＷ１１は、左右の１１段目の収容棚ＳＬ１１，ＳＲ１１に正規姿勢で収容されている。その上のウエハＷ１２は、左側では下から１２段目の収容棚ＳＬ１２に収容されているが、右側では下から１３段目の収容棚ＳＲ１３に収容されていて、右上がりに傾斜した不正な収容状態となっている。左側の１３段目の収容棚ＳＬ１３および右側の１２段目の収容棚ＳＲ１２には、ウエハは収容されていない。これが第６の収容パターンである。
【００４４】
１４段目の左右の収容棚ＳＬ１４，ＳＲ１４のウエハ収容位置にはウエハは収容されておらず、その上に、ウエハＷ１５が、左側では下から１５段目の収容棚ＳＬ１５に収容され、右側では下から１６段目の収容棚ＳＲ１６に収容されていて、右上がりに傾斜した不正な収容状態となっている。左側の１６段目の収容棚ＳＬ６および右側の１５段目の収容棚ＳＲ１５にはウエハは収容されていない。これが、第７の収容パターンである。
【００４５】
ウエハＷ１７は、左側では１７段目の収容棚ＳＬ１７に収容されているが右側では１８段目の収容棚ＳＲ１８に収容されている。その上のウエハＷ１８は、左側では１８段目の収容棚ＳＬ１８に収容されているが右側では１９段目の収容棚ＳＲ１９に収容されている。つまり、ウエハＷ１７，Ｗ１８は、いずれも右上がりの傾斜姿勢となっている。左側の１９段目の収容棚ＳＬ１９および右側の１７段目の収容棚ＳＲ１７には、ウエハは収容されていない。これが、第８の収容パターンである。
【００４６】
ウエハＷ２０は、左側では下から２０段目の収容棚ＳＬ２０に収容されているが、右側では下から２１段目の収容棚ＳＲ２１に収容されている。その上のウエハＷ２２は、左側では下から２２段目の収容棚ＳＬ２２に収容されているが、右側では下から２１段目の収容棚ＳＲ２１に収容されている。つまり、右下がりの傾斜姿勢となっている。左側の２１段目の収容棚ＳＬ２１、ならびに右側の２０段目および２２段目の収容棚ＳＲ２０，ＳＲ２２には、ウエハは収容されていない。これが、第９の収容パターンである。
【００４７】
図６は、図５に示された収容状態のときの第１および第２ウエハセンサ１１，１２の検出状態を示す図解図である。各段の収容棚ＳＬ，ＳＲにおけるウエハ収容位置ＣＰ１〜ＣＰ２６にウエハＷが正規姿勢で収容されているときに、このウエハＷの前後方向に関する中心線１７Ｙ（図２参照）を第１および第２ウエハセンサ１１，１２の検出ライン１１Ｌ，１２Ｌが通過するタイミングで、フォトセンサ３３（図３参照）が、検出パルスを出力する。つまり、ウエハ収容位置ＣＰ１〜ＣＰ２６は、フォトセンサ３３が検出パルスを出力する位置である。
【００４８】
図６には、第１ウエハセンサ１１の検出ライン１１Ｌが遮光される高さ範囲Ａ１，Ａ２，Ａ４〜Ａ７，Ａ９，Ａ１１，Ａ１２，Ａ１５，Ａ１７，Ａ１８，Ａ２０，Ａ２２（第１ウエハセンサ１１がウエハＷ１，Ｗ２，Ｗ４〜Ｗ７，Ｗ９，Ｗ１１，Ｗ１２，Ｗ１５，Ｗ１７，Ｗ１８，Ｗ２０，Ｗ２２をそれぞれ検出する高さ範囲）と、第２ウエハセンサ１２の検出ライン１２Ｌが遮光される高さ範囲Ｂ１，Ｂ２，Ｂ４〜Ｂ７，Ｂ９，Ｂ１１，Ｂ１２，Ｂ１５，Ｂ１７，Ｂ１８，Ｂ２０，Ｂ２２（第２ウエハセンサ１２がウエハＷ１，Ｗ２，Ｗ４〜Ｗ７，Ｗ９，Ｗ１１，Ｗ１２，Ｗ１５，Ｗ１７，Ｗ１８，Ｗ２０，Ｗ２２をそれぞれ検出する高さ範囲）とが表されている。
【００４９】
下から１段目および２段目のウエハ収容位置ＣＰ１，ＣＰ２には、ウエハＷ１，Ｗ２がそれぞれ正規姿勢で収容されており、このとき、ウエハ収容位置ＣＰ１，ＣＰ２に遮光高さ範囲Ａ１，Ａ２およびＢ１，Ｂ２がそれぞれ重なるから、第１および第２ウエハセンサ１１，１２は、いずれも「ウエハ有り」を表す信号を出力する。ウエハ収容位置ＣＰ４，ＣＰ６，ＣＰ７，ＣＰ１１でも同様の状況となる。
【００５０】
ウエハ収容位置ＣＰ３には、ウエハは収容されておらず、このウエハ収容位置ＣＰ３において、検出ライン１１Ｌ，１２Ｌはいずれも遮光されないので、第１および第２ウエハセンサ１１，１２は、いずれも「ウエハ無し」を表す信号を出力する。ウエハ収容位置ＣＰ８，ＣＰ１４，ＣＰ２３〜ＣＰ２６でも同様の状況となる。
ウエハ収容位置ＣＰ５では、ウエハＷ５が右上がりの傾斜状態で収容されている。このウエハ収容位置ＣＰ５には、第１ウエハセンサ１１の遮光高さ範囲Ａ５は重なるが、第２ウエハセンサ１２のいずれの遮光高さ範囲も重ならない。そのため、ウエハ収容位置ＣＰ５では、第１ウエハセンサ１１の出力信号は「ウエハ有り」を示すが、第２ウエハセンサ１２の出力信号は「ウエハ無し」を示すことになり、両者の出力信号は不一致となる。ウエハ収容位置ＣＰ９，ＣＰ１２，ＣＰ１５，ＣＰ１７，ＣＰ２０，ＣＰ２２でも同様の状況となる。
【００５１】
ウエハ収容位置ＣＰ１０には、第２ウエハセンサ１２の遮光高さ範囲Ｂ９が重なるが、第１ウエハセンサ１１の遮光高さ範囲はいずれも重ならない。そのため、ウエハ収容位置ＣＰ１０では、第１ウエハセンサ１１の出力信号は「ウエハ無し」を示す一方、第２ウエハセンサ１２の出力信号は「ウエハ有り」を示し、両者の出力信号は不一致となる。ウエハ収容位置ＣＰ１３，ＣＰ１６，ＣＰ１９，ＣＰ２１でも同様の状況となる。
【００５２】
このように、ウエハ収容位置ＣＰ１〜ＣＰ１７，ＣＰ１９〜ＣＰ２６においては、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号は、ウエハＷが正規姿勢で収容されているときには「ウエハ有り」を表す信号で一致し、ウエハが収容されていないときには「ウエハ無し」を表す信号で一致する。そして、ウエハＷが不正な姿勢で収容されているときには、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号は不一致となる。
【００５３】
一方、ウエハ収容位置ＣＰ１８では、その近傍で上下に隣接する２枚のウエハＷ１７，Ｗ１８がいずれも右上がりの傾斜姿勢で収容されているため、第１ウエハセンサ１１の遮光高さ範囲Ａ１８および第２ウエハセンサ１２の遮光高さ範囲Ｂ１７がウエハ収容位置ＣＰ１８に重なる。したがって、ウエハ収容位置ＣＰ１８において、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号はいずれも「ウエハ有り」を示すことになる。しかし、このような収容パターンのときには、その上下のウエハ収容位置ＣＰ１７，ＣＰ１９において、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号が不一致となるので、結局、ウエハの不正な収容状態を検出することができる。
【００５４】
図７は、カセットＣ内のウエハＷの検出およびインデクサロボット３の駆動制御に関連する電気的構成を示すブロック図である。インデクサ部ＩＮＤの制御装置４０は、マイクロコンピュータなどを含んでおり、この制御装置４０には、カセット載置台１の複数のカセット載置位置に備えられたウエハ検出機構２（図７では１つのカセット載置位置に関するもののみを示す。）の第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号ならびにフォトセンサ３３の出力パルスが入力されている。
【００５５】
制御装置４０は、フォトセンサ３３の出力パルスを計数することによって第１および第２ウエハセンサ１１，１２の検出対象となるウエハ収容位置情報を生成するカウンタ４１と、フォトセンサ３３がパルスを出力したタイミングで第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号の一致／不一致を判定し、一致する場合には当該一致する出力信号を出力し、不一致の場合にはエラー信号を出力する判定処理部４２と、カセットＣ内の各ウエハ収容位置におけるウエハの有無を表す情報を記憶するメモリ４３と、判定処理部４２から第１および第２ウエハセンサ１１，１２の一致する出力信号が与えられたときに、それをカウンタ４１が生成するウエハ収容位置情報と対応付けてメモリ４３に格納する書き込み制御部４４とを備えている。
【００５６】
さらに、制御装置４０は、判定処理部４２がエラー信号を生成したときに、液晶表示装置などからなる表示部５０にエラーメッセージを表示する表示制御部４５と、メモリ４３に記憶されたウエハ収容位置情報に基づいてインデクサロボット３を制御するインデクサロボット制御部４６とを備えている。また、制御装置４０は、ロッドレスシリンダ２１を制御して第１および第２ウエハセンサ１１，１２ならびにフォトセンサ３３を上下動させるためのセンサ移動制御部４７を備えている。このセンサ移動制御部４７は、移動ヘッド２２が初期位置（たとえば、その可動範囲の上端位置または下端位置）に達したときに、カウンタ４１の計数値をリセットする。
【００５７】
図８は、図７の制御装置４０による処理内容（いわゆるマッピング処理）を説明するためのフローチャートである。まず、センサ移動制御部４７によってロッドレスシリンダ２１が制御され、移動ヘッド２２をその初期位置に移動させることによって、第１および第２ウエハセンサ１１，１２ならびにフォトセンサ３３が初期位置へと導かれ、また、カウンタ４１の計数値が零にリセットされる（ステップＳ１）。このとき、フォトセンサ３３は、スケール３２のたとえば上端のスリット３１よりも上方に位置している（移動ヘッド２２の初期位置が上端位置の場合）。
【００５８】
この状態から、センサ移動制御部４７は、移動ヘッド２２をその初期位置から反対方向（初期位置が上端位置の場合には下方）に向かって移動させていく（ステップＳ２）。この過程で、フォトセンサ３３はスケール３２に沿って移動し、スリット３１の位置でパルスを出力する。このフォトセンサ３３の出力パルスが判定処理部４２によって監視される（ステップＳ３）。
【００５９】
フォトセンサ３３がパルスを出力すると（ステップＳ３のＹＥＳ）、カウンタ４１の計数値が＋１だけ増加させられ（ステップＳ４）、さらに、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号が取り込まれる（ステップＳ５）。
この取り込まれた信号に基づき、判定処理部４２は、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号が一致するか不一致かを判定する（ステップＳ６）。第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号が「ウエハ有り」で一致するときには（ステップＳ６のＹＥＳ）、カウンタ４１の出力によって表されるウエハ収容位置情報に対応付けて、「ウエハ有り」を表すデータが書き込み制御部４４によってメモリ４３に書き込まれる（ステップＳ７）。同様に、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号が「ウエハ無し」で一致するときには、（ステップＳ６のＹＥＳ）、カウンタ４１の出力によって表されるウエハ収容位置情報に対応付けて、「ウエハ無し」を表すデータが書き込み制御部４４によってメモリ４３に書き込まれる（ステップＳ７）。
【００６０】
次いで、すべてのウエハ収容位置について処理を完了したかどうか（たとえば、ウエハ収容位置が２６段であるときには、カウンタ４１の計数値が２６に達したかどうか）が判断される（ステップＳ８）。未処理のウエハ収容位置があるときには（ステップＳ８のＮＯ）、ステップＳ３からの処理が繰り返し行われる。すべてのウエハ収容位置についての処理が完了すると（ステップＳ８のＹＥＳ）、センサ移動制御部４７は、センサ支持アーム１３を所定の待機位置（たとえば、下端位置）に導いた後に、ロッドレスシリンダ２１の駆動を停止し、センサ支持アーム１３の上下動を停止させる（ステップＳ９）。
【００６１】
一方、ステップＳ６において、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号が不一致であると判断されると、判定処理部４２はエラー信号を出力する（ステップＳ１０）。このエラー信号を受けて、表示制御部４５はエラー処理（ステップＳ１１）を実行する。このエラー処理は、作業者に対してカセットＣ内のウエハの収容状態が不正であることを報知するための処理であり、たとえば、表示部５０にエラーメッセージを表示する処理や、報知音を発生する処理や、信号表示灯などで異常報知を行う処理などである。
【００６２】
その後は、センサ移動制御部４７は、センサ支持アーム１３を前記待機位置に導いた後に、ロッドレスシリンダ２１の駆動を停止させる（ステップＳ９）。
このようにして、メモリ４３には、カセット載置台１に載置されたカセットＣの各ウエハ収容位置に関して、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の一致した出力信号がウエハ有無を表すデータとしてメモリ４３に書き込まれる。その一方で、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力が不一致のときには、エラー信号が生成されて、所定のエラー処理が実行されることになる。これを受けて、作業者は、カセットＣ内のウエハ収容状態を確認し、必要に応じて、ウエハＷを収容し直す処理を行うことになる。
【００６３】
判定処理部４２がエラー信号を生成したときには、インデクサロボット制御部４６は、インデクサロボット３を停止状態に保持し、カセットＣからウエハＷを取り出すための処理を行わない。
判定処理部４２がエラー信号を生成することなく、カセットＣ内のすべてのウエハ収容位置におけるウエハ有無情報がメモリ４３に格納された状態においてのみ、インデクサロボット制御部４６は、インデクサロボット３を作動させる。
【００６４】
以上のように、この実施形態によれば、カセットＣ内の左右のウエハ収容棚ＳＬ，ＳＲの対向方向にずれて配置された検出ライン１１Ｌ，１２Ｌを有する第１および第２ウエハセンサ１１，１２をカセットＣ内におけるウエハ積層方向に沿って走査させることによって、各ウエハ収容位置におけるウエハの有無を検出できるとともに、ウエハの不正な収容状態をも検出することができる。これにより、インデクサロボット３が不正な収容状態のウエハＷにアクセスすることを防止できるから、搬送不良を未然に防止することができる。
【００６５】
具体的には、インデクサロボット３のハンド５によってカセットＣ内のウエハＷを破損してしまったり、ハンド５が破損したり、インデクサロボット３による搬送中にウエハＷを落下させてしまったりすることを防止できる。また、ウエハＷが適正位置からずれてハンド５に保持されている場合に、このハンド５から主搬送ロボットＭＴＲへのウエハＷの受け渡しの際に、ウエハＷが破損したり、主搬送ロボットＭＴＲのハンド８Ｈ，９Ｈが破損したりすることを防止できる。さらに、主搬送ロボットＭＴＲのハンド８Ｈ，９Ｈ上に適正位置からずれてウエハＷが保持されることも防止できるから、主搬送ロボットＭＴＲから処理ユニット６，７へのウエハＷの受け渡しが不良になることもない。
【００６６】
この発明の一実施形態の説明は以上のとおりであるが、この発明は、他の形態で実施することもできる。たとえば、前記の実施形態では、第１および第２ウエハセンサ１１，１２がセンサ支持アーム１３に共通に支持されているが、第１および第２ウエハセンサ１１，１２を個別の支持アームによって支持し、それらによるウエハ収容位置の走査を個別に行うようにしてもよい。この場合でも、個々のウエハ収容位置における第１および第２ウエハセンサ１１，１２の出力信号の一致／不一致を調べることによって、前述の実施形態の場合と同様の処理が可能である。
【００６７】
また、第１および第２ウエハセンサ１１，１２を上下動させる代わりに、カセット載置台１を上下動させる構成によっても、第１および第２ウエハセンサ１１，１２によってカセットＣ内の複数のウエハ収容位置を走査できる。
また、前記の実施形態では、第１および第２ウエハセンサ１１，１２の検出ライン１１Ｌ，１２Ｌは、平面視において、ウエハ取り出し方向Ｒに沿うウエハ中心線１７Ｘに平行に設定されているが、これらは、ウエハ中心線１７Ｘに対して傾斜していてもよい。また、検出ライン１１Ｌ，１２Ｌは、ウエハ中心線１７Ｘに対して対称な位置に配置されているが、これらは対称位置に配置される必要はなく、また、必ずしもウエハ中心線１７Ｘに対して反対側に配置される必要もない。すなわち、ウエハの不正な収容状態を検出することができる限りにおいて、ウエハ中心線１７Ｘに対して同側に検出ライン１１Ｌ，１２Ｌが位置していてもよい。
【００６８】
さらに、前記の実施形態では、ほぼ円形の基板であるウエハＷに対する処理を施す装置について説明したが、この発明は、液晶表示装置用ガラス基板などのような角形（矩形）の基板を処理する装置に対しても、同様に適用することが可能である。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】この発明の一実施形態に係るカセット内基板検出装置が備えられた基板処理装置のレイアウトを簡略化して示す平面図である。
【図２】カセット載置台の平面図である。
【図３】図２の切断面線III−IIIにおける簡略化した断面図である。
【図４】図２の切断面線IV−IVにおける断面図であり、ウエハセンサの投光素子および受光素子の配置を示す。
【図５】カセット内におけるウエハの様々な収容状態を示す図解図である。
【図６】図５に示された収容状態のときの第１および第２ウエハセンサの検出状態を示す図解図である。
【図７】カセット内のウエハの検出およびインデクサロボットの駆動制御に関連する電気的構成を示すブロック図である。
【図８】図７の制御装置による処理内容を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００７０】
１    カセット載置台
２    ウエハ検出機構
３    インデクサロボット
４    直線搬送路
５    ハンド
６，７  処理ユニット
８，９    進退アーム
８Ｈ，９Ｈ  ハンド
１０    回転ベース
１１    第１ウエハセンサ
１１Ａ    投光素子
１１Ｂ    受光素子
１１Ｌ    検出ライン
１２    第２ウエハセンサ
１２Ａ    投光素子
１２Ｂ    受光素子
１２Ｌ    検出ライン
１３    センサ支持アーム
１４    基部
１５，１６    センサ保持部
１７Ｘ    ウエハ中心線
２０    昇降機構
２１    ロッドレスシリンダ
２２    移動ヘッド
２３    連結部材
２４    シリンダチューブ
２５，２６    直線ガイド
２７    ブラケット
２８    ガイドレール
３０    リニアエンコーダ
３１    スリット
３２    スケール
３３    フォトセンサ
３４    取付部材
４０    制御装置
４１    カウンタ
４２    判定処理部
４３    メモリ
４４    書き込み制御部
４５    表示制御部
４６    インデクサロボット制御部
４７    センサ移動制御部
５０    表示部
５１〜５４    位置決めガイド
Ａ１，Ａ２，Ａ４〜Ａ７，Ａ９，Ａ１１，Ａ１２，Ａ１５，Ａ１７，Ａ１８，Ａ２０，Ａ２２    遮光高さ範囲
Ｂ１，Ｂ２，Ｂ４〜Ｂ７，Ｂ９，Ｂ１１，Ｂ１２，Ｂ１５，Ｂ１７，Ｂ１８，Ｂ２０，Ｂ２２        遮光高さ範囲
Ｗ，Ｗ１，Ｗ２，Ｗ４〜Ｗ７，Ｗ９，Ｗ１１，Ｗ１２，Ｗ１５，Ｗ１７，Ｗ１８，Ｗ２０，Ｗ２２    ウエハ
Ｃ    カセット
ＣＦ    前面の開口（ウエハ取り出し開口）
ＣＲ    後面の開口
ＣＰ１〜ＣＰ２６    ウエハ収容位置
ＩＮＤ    インデクサ部
ＭＴＲ    主搬送ロボット
Ｐ    処理部
ＳＬ，ＳＬ１〜ＳＬ２６    ウエハ収容棚（左側）
ＳＲ，ＳＲ１〜ＳＲ２６    ウエハ収容棚（右側）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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