(57)【要約】【課題】  表示パネルの排気管の融着封止後の排気管へのアニール処理を不要にして、チップオフ工程の所要時間を短縮することができ、しかも、アニール処理のためのバーナー移動機構の省略によってバーナー支持手段の構成を単純化，小型化することができる表示パネルの製造方法及び装置を提供する。【解決手段】  表示パネル１を構成する背面基板５上の排気管７上に火炎を当てて排気管７を融着封止する融着封止工程では、排気管７上の封止予定位置Ｐ１に所定の火力の火炎の主炎２５を当てると同時に、封止予定位置Ｐ１から所定距離ｒ離れた位置を補助加熱して排気管７の表面の温度勾配を緩やかにする。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定間隙を維持して対向する２枚の基板の周囲を封着して形成した表示パネルの前記基板に内部空間と連通する排気管を形成する排気管形成工程と、
前記排気管を通じて前記表示パネルの内部空間を排気する排気工程と、
前記排気管の長手方向に略直交する同一周囲部に火炎を当て、前記排気管を溶融させて封止する溶融封止工程と、を含む表示パネルの製造方法であって、
前記溶融封止工程は、前記排気管上の封止予定位置に前記火炎の主炎を当てると同時に、前記封止予定位置から所定距離離れた位置を補助加熱して前記排気管の表面の温度勾配を緩やかにすることを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記補助加熱が前記主炎よりも火力が弱い補助炎で行われることにより、前記排気管の表面の温度勾配を緩やかにすることを特徴とする請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記補助加熱が前記主炎より弱く加熱する電熱線で行われることにより、前記排気管の表面の温度勾配を緩やかにすることを特徴とする請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記排気管の表面の温度勾配を、アニール処理が実施された場合と略等価の温度勾配とすることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記表示パネルがプラズマディスプレイパネルであり、前記排気工程と前記溶融封止工程の間に、前記表示パネルの内部空間に放電ガスを導入するガス導入工程を実施することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の表示パネルの製造方法。
【請求項６】
所定間隙を維持して対向する２枚の基板の周囲を封着して形成した表示パネルの前記基板に設けられ、前記表示パネルの内部空間と連通する排気管の封止予定位置に火炎を当てて、該排気管を溶融封止する表示パネルの製造装置であって、
前記排気管に火炎を当てるバーナーは、
前記排気管上の封止予定位置に所定の火力の主炎を当てる主炎噴射孔と、
前記封止予定位置から所定距離離れた位置を主炎より弱く加熱する補助加熱手段と、
を備えることを特徴とする表示パネルの製造装置。
【請求項７】
前記補助加熱手段は、前記主炎よりの火力の弱い補助炎を当てる補助炎噴射孔からなることを特徴とする請求項６に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項８】
前記補助炎噴射孔を軸方向に離間させて多段に設けることを特徴とする請求項７に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項９】
前記補助加熱手段は、前記主炎より弱く加熱する電熱線からなることを特徴とする請求項６に記載の表示パネルの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの製造方法及び製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル等の表示パネル１は、図１に示すように、前面基板３及び背面基板５の２枚のガラス基板３，５を約０．２ｍｍ程度の間隙を維持して対向配置して、これらの２枚のガラス基板３，５の周囲を封着した後、一方のガラス基板（通常は、背面基板５）に形成されたガラス製の排気管７から２枚のガラス基板３，５間の空間を真空排気し、更に、前記排気管７から２枚の基板間の空間に放電ガス（発光ガス）を導入し、その後、図２（ｂ）に示すように、排気管７の背面基板５から適宜距離だけ離れた封止予定位置Ｐ１にガスバーナー９により火炎１１を当てて排気管７を封止予定位置Ｐ１で溶融封止することで、２枚のガラス基板３，５間に放電ガスを封入した状態に製造される。
【０００３】
なお、補足説明すると、排気管７が形成された背面基板５には、図１及び図２（ｂ）に示すように、排気管７を２枚のガラス基板３，５間の空間に連通させる排気孔５ａが貫通形成されている。
また、図１に示すように、排気管７の先端には排気ヘッド１３が連結され、この排気ヘッド１３には、切換え弁１５を介して、排気系の設備１７と放電ガス導入系の設備１９とが接続されている。
切換え弁１５による接続切換によって排気管７に排気系の設備１７が接続された状態にすると、２枚のガラス基板３，５間の空間を真空排気する処理が可能になり、また、排気管７に放電ガス導入系の設備１９が接続された状態に切り換えると、２枚のガラス基板３，５間の空間に放電ガスを導入する処理が可能になる。
【０００４】
ガスバーナー９は、図２（ｃ）に示すように、排気管７の封止予定位置Ｐ１の周囲を囲う略環状のバーナー本体９ａに複数個の火炎噴射口を装備したもので、これらの複数個の火炎噴射口から噴射した火炎１１を、排気管７の封止予定位置Ｐ１を横断する同一周囲部上に当てることで、排気管７を封止予定位置Ｐ１で溶融封止すると共に、融着した部分の溶断によって封止予定位置Ｐ１より先端側の部分を切り離す封じ切り（チップオフ）を実現する（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１５６１６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、従来のガスバーナー９による融着封止処理では、封止予定位置Ｐ１の狭い範囲に高温の火炎１１を当てるため、図２（ａ）に示すように、溶断時の排気管７の封止予定位置Ｐ１の前後には、急峻な温度勾配が形成され、排気管７の溶断後、直ぐに火炎１１の放射を止めてそのまま冷却させると、排気管７に大きな残留応力が残り、残留応力が排気管７にクラックを発生させる原因となってしまう。
【０００７】
そこで、通常は、排気管７の溶断後にアニール処理を実施している。このアニール処理は、溶断後にガスバーナー９の火力を徐々に弱めたり、或いはガスバーナー９を排気管７の軸方向にゆっくりと移動させて、排気管７上の広い範囲にガラス軟化点以下の加熱を加えることで、排気管７上に発生している急峻な温度勾配を消滅させて、冷却後の残留応力を軽減させる。
即ち、従来のプラズマディスプレイパネルの製造工程では、排気管７の溶断後にはアニール処理が不可欠で、このアニール処理を追加実施するために、排気管７のチップオフ工程の所要時間が長くなって、生産性を向上させることが難しいという問題が発生した。
【０００８】
また、ガスバーナー９を支持するバーナー支持手段には、アニール処理の実施のために、ガスバーナー９を排気管７の軸方向に移動させるバーナー移動機構の組み込みが必要になり、バーナー移動機構の組み込みのために、設備が大型化したり、設備費が増大するという問題があった。
【０００９】
本発明が解決しようとする課題としては、上述した従来技術において生じる、排気管の融着封止後に排気管にアニール処理を追加実施することが原因でチップオフ工程の所要時間が長くなって、生産性向上のネックになるという問題、アニール処理を実現するためにバーナー支持手段にバーナー移動機構が必要となって、設備の大型化や設備費の増大を招くという問題がそれぞれ一例として挙げられる。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の表示パネルの製造方法は、所定間隙を維持して対向する２枚の基板の周囲を封着して形成した表示パネルの前記基板に内部空間と連通する排気管を形成する排気管形成工程と、前記排気管を通じて前記表示パネルの内部空間を排気する排気工程と、前記排気管の長手方向に略直交する同一周囲部に火炎を当て、前記排気管を溶融させて封止する溶融封止工程と、を含む表示パネルの製造方法であって、前記溶融封止工程は、前記排気管上の封止予定位置に前記火炎の主炎を当てると同時に、前記封止予定位置から所定距離離れた位置を補助加熱して前記排気管の表面の温度勾配を緩やかにすることを特徴とする。
【００１１】
請求項６に記載の表示パネルの製造装置は、所定間隙を維持して対向する２枚の基板の周囲を封着して形成した表示パネルの前記基板に設けられ、前記表示パネルの内部空間と連通する排気管の封止予定位置に火炎を当てて、該排気管を溶融封止する表示パネルの製造装置であって、前記排気管に火炎を当てるバーナーは、前記排気管上の封止予定位置に所定の火力の主炎を当てる主炎噴射孔と、前記封止予定位置から所定距離離れた位置を主炎より弱く加熱する補助加熱手段と、を備えることを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明に係る表示パネルの製造方法及び製造装置の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図３は、本発明に係る表示パネルの製造装置の実施の形態における排気管の融着封止処理の説明図で、（ａ）は排気管の融着封止時における封止予定位置周辺の温度勾配の説明図、（ｂ）はガスバーナーの火炎と排気管との位置関係を示す断面図である。
【００１３】
本実施の形態の表示パネルの製造装置２１は、プラズマディスプレイパネル等の表示パネル１を構成する背面基板５に装備された排気管７上に火炎を当てて、背面基板５から所定距離Ｌだけ離れた封止予定位置Ｐ１で排気管７を溶融封止する。
【００１４】
表示パネル１は、前面基板３及び背面基板５の２枚のガラス基板３，５を約０．２ｍｍ程度の間隙を維持して対向配置して、これらの２枚のガラス基板３，５の周囲を封着する封着工程を実施した後、背面基板５に形成されたガラス製の排気管７から２枚のガラス基板３，５の内部空間を真空排気する排気工程を実施し、更に、その後、排気管７から２枚の基板の内部空間に放電ガス（発光ガス）を導入するガス導入工程を済ませた後に、上記製造装置２１による融着封止処理を受ける。
【００１５】
排気管７が形成された背面基板５には、排気管７を２枚のガラス基板３，５の内部空間に連通させる排気孔５ａが貫通形成されている。また、排気管７の先端には排気ヘッド１３が連結され、この排気ヘッド１３には、図１に示したように切換え弁１５を介して、排気系の設備１７と放電ガス導入系の設備１９とが接続される。
切換え弁１５による接続切換によって排気管７に排気系の設備１７が接続された状態にすると、２枚のガラス基板３，５間の空間を真空排気する処理が可能になり、また、排気管７に放電ガス導入系の設備１９が接続された状態に切り換えると、２枚のガラス基板３，５の内部空間に放電ガスを導入する処理が可能になる。
【００１６】
本実施の形態の表示パネルの製造装置２１による融着封止処理は、排気管７を封止予定位置Ｐ１で溶断して、排気管７の封止予定位置Ｐ１より先端側の部分を切り離した封じ切り（チップオフ）を実現し、その前に実施された放電ガス導入工程で表示パネル１内に導入された放電ガスを表示パネル１内に封入した状態を得る。
【００１７】
本実施の形態の表示パネルの製造装置２１の場合、排気管７に火炎を当てるガスバーナー２３には、図４及び図５に示すように、排気管７上の封止予定位置Ｐ１に所定の火力の主炎２５を当てる主炎噴射孔２６と、前記封止予定位置Ｐ１から排気管７の軸方向に所定距離ｒだけずれた軸方向前後二位置に主炎２５よりも火力の弱い補助炎２９を当てる補助炎噴射孔３０とを備えている。
【００１８】
ガスバーナー２３は、排気管７の周囲を囲う半円弧状の二つのバーナー本体２３ａ，２３ｂから構成されている。それぞれのバーナー本体２３ａ，２３ｂは一端側をヒンジ結合することによって、図４に破線で示すように、開閉可能になっている。
【００１９】
主炎噴射孔２６及び補助炎噴射孔３０は、図５に示すように、それぞれのバーナー本体２３ａ，２３ｂの内周面に、周方向に一定間隔で並ぶように、それぞれ適宜数が装備されている。
【００２０】
また、本実施の形態の場合、補助炎噴射孔３０は、図５に示すように、主炎噴射孔２６が装備される同一周囲Ｋに対して対称に装備されている。また、主炎噴射孔２６及び補助炎噴射孔３０は、周方向には、互いに位相をずらした配置となっている。
【００２１】
次に、上記の表示パネルの製造装置２１を使用した表示パネル１の製造方法について説明する。
表示パネル１は、予め、排気管７に連通した表示パネル１内の空間を排気管７を介して吸引排気する排気工程と、この排気工程の後で表示パネル１内の空間に放電ガスを導入するガス導入工程とを済ませておく。
【００２２】
ガス導入工程を済ませた表示パネル１は、図３（ｂ）に示すように、排気管７の封止予定位置Ｐ１の外周にガスバーナー２３をセットした状態にして、融着封止処理を開始する。
融着封止処理時には、排気管７上の封止予定位置Ｐ１に所定の火力の主炎２５を当てると同時に、封止予定位置Ｐ１よりも基板側及びその反対側に距離ｒだけずれた二位置に主炎２５よりも火力の弱い補助炎２９を当てて行う。
【００２３】
このような表示パネルの製造方法では、排気管７の封止予定位置Ｐ１は火力の強い主炎２５が当てられるため、速やかに溶融封止することができ、また、封止予定位置Ｐ１の周辺は、火力の弱い補助炎２９が当てられることで、図３（ａ）に示すように、温度勾配が緩和され、融着封止と同時に、アニール処理が実施された場合と等価の温度勾配を得ることができる。
【００２４】
そのため、排気管７を封止予定位置Ｐ１で溶断した後、特にアニール処理を追加しなくても、冷却後の残留応力をクラック等の欠陥が発生しない程度に軽減することができ、排気管７の融着封止後のアニール処理の追加実施を廃止することで、チップオフ工程の所要時間を短縮して、表示パネル１の生産性向上を図ることができる。
【００２５】
また、排気管７に火炎を当てるガスバーナー２３に、排気管７上の封止予定位置Ｐ１に主炎２５を当てる主炎噴射孔２６と、封止予定位置Ｐ１よりも所定距離離れた位置に補助炎２９を当てる補助炎噴射孔３０とを装備構成とすることで、ガスバーナー２３を排気管７の軸方向に移動させずとも、温度勾配が緩やかな広域加熱が可能になり、アニール処理を実現するためにバーナー支持手段にバーナー移動機構を組み込む必要がなくなり、バーナー移動機構の省略によってバーナー支持手段の構成の単純化及び小型化が可能になって、設備の小型化や設備費の低減を図ることが可能になる。
【００２６】
図８〜図１０は、本発明の実施の形態に係る表示パネルの製造装置におけるガスバーナーの変形例を示したものである。
ここに示したガスバーナー３３は、排気管７の封止予定位置Ｐ１の周囲を囲う半円弧状のバーナー本体３３ａ，３３ｂの内周面に、図１０に示すように、排気管７上の封止予定位置Ｐ１に所定の火力の主炎２５を当てる主炎噴射孔２６と、封止予定位置Ｐ１から排気管７の軸方向に所定距離ｒ１だけ離れた軸方向前後二位置に主炎２５よりも火力の弱い第１補助炎３５を当てる第１補助炎噴射孔３６と、第１補助炎噴射孔３６から軸方向に軸方向に所定距離ｒ２だけ離れた軸方向前後二位置に第１補助炎３５よりも火力の弱い第２補助炎３８を当てる第２補助炎噴射孔３９とを装備したものである。
【００２７】
このように、排気管７に補助炎を当てる補助炎噴射孔を軸方向に離間させて多段に設ける構成とすることによって、排気管７に封止予定位置Ｐ１の周辺の温度勾配を更に緩やかにすることができ、排気管７の溶断後の冷却時に、特別にアニール処理を実施しなくても、排気管７上への残留応力の発生を低減することができて、クラック等の発生を防止することができる。
【００２８】
なお、主炎噴射孔２６，第１補助炎噴射孔３６，第２補助炎噴射孔３９の各噴射孔を、図１０に示したように周方向の位相を揃えた配置とする場合には、例えば、それぞれの噴射孔の軸方向の離間距離を縮めることで、図１１に示すように、それぞれの噴射孔から噴射された火炎から軸方向の広範囲に広がる大きな一続きの炎４１を作るようにしても良い。
【００２９】
また、上記変形例では、何れも、主炎２５が当たる封止予定位置Ｐ１に対して、その軸方向両側に、補助炎２９を当てて、排気管７上の温度勾配を封止予定位置Ｐ１に対して対称形状にした。しかし、排気管７の封止予定位置Ｐ１よりも先端側の部分は、溶断後に廃棄してしまうため、補助炎を噴射する補助炎噴射孔の装備は、封止予定位置Ｐ１に対して背面基板５側となる一方の側だけに制限することも考えられる。
【００３０】
また、封止予定位置Ｐ１と背面基板５とが接近する場合には、火炎による加熱の影響で背面基板５が必要以上に昇温しないように、バーナーと背面基板５との間に断熱材を介在させた構成とするとよい。
これによって、バーナーからの加熱によって背面基板５に割れが発生することを防止することができる。
【００３１】
次に、本発明に係る表示パネルの製造方法及び製造装置の他の実施の形態について説明する。
図１２は、本発明の他の実施の形態における排気管の融着封止処理の説明図で、（ａ）は排気管の融着封止時における封止予定位置周辺の温度勾配の説明図、（ｂ）はガスバーナーの火炎と排気管との位置関係を示す断面図である。
【００３２】
本発明の他の実施の形態に係る表示パネルの製造装置５１は、図１２に示すように、背面基板５から所定距離Ｌだけ離れた排気管７上の封止予定位置Ｐ１に所定の火力の主炎５５を当てるガスバーナー５３と、封止予定位置Ｐ１から排気管７の上方向の所定位置に電熱線５２を備えている。
【００３３】
ガスバーナー５３は、排気管７の周囲を囲う半円弧状の二つのバーナー本体５３ａ，５３ｂから構成されている。それぞれのバーナー本体５３ａ，５３ｂは一端側をヒンジ結合することによって、図１３に破線で示すように、開閉可能になっている。
【００３４】
また、本実施の形態の場合、電熱線５２は、図１３に示すように、主炎噴射孔５６が装備される円周５６ａから背面基板５側に所定距離離れた位置に円筒状に装備されている。
【００３５】
次に、上記の表示パネルの製造装置５１を使用した表示パネル１の製造方法について説明する。
表示パネル１は、予め、排気管７に連通した表示パネル１内の空間を排気管７を介して吸引排気する排気工程と、この排気工程の後で表示パネル１内の空間に放電ガスを導入するガス導入工程とを済ませておく。
【００３６】
ガス導入工程を済ませた表示パネル１は、図１２（ｂ）に示すように、排気管７の封止予定位置Ｐ１の外周にガスバーナー５３をセットした状態にして、融着封止処理を開始する。
融着封止処理時には、排気管７上の封止予定位置Ｐ１に所定の火力の主炎５５を当てると同時に、封止予定位置Ｐ１よりも背面基板５側に所定距離離れた位置に設けられた電熱線５２を通電して、主炎５５よりも弱く加熱する。
【００３７】
このように本実施の形態では、排気管７の封止予定位置Ｐ１は主炎５５が当てられるため、速やかに溶融封止することができ、また、封止予定位置Ｐ１から背面基板５側に所定距離離れた箇所が電熱線５２により熱せられることで、図３（ａ）に示すように、温度勾配が緩和され、融着封止と同時に、アニール処理が実施された場合と等価の温度勾配を得ることができる。
即ち、ガスバーナー５３の主炎５５で溶断すると同時に、電熱線５２で熱することにより、排気管７沿いの温度勾配を緩和し、残留応力を緩和するので、単純な装置動作・シーケンスで排気管クラックを防止することができる。
これにより、溶断とアニールの同時作業による時間短縮と、アニール作業の為のバーナー移動機構・シーケンスの削除という大きな利点を得ることができる。
【００３８】
図１４は、本発明に係る他の実施の形態の変形例を示す説明図である。
図１２に示した例では、ガスバーナー５３の主炎噴射孔５６が装備される円周５６ａと電熱線５２をほぼ同一円周上に配置したが、図１４に示すように、ガスバーナー６３の主炎噴射孔６６が装備される円周６６ａと電熱線６２との間に段差６４を設けてもよい。この段差６４により、主炎６５の熱が直接背面基板５側に向かうのを抑止し、熱による表示パネル１の割れ等を防止することができる。
【００３９】
さらに、表示パネル１に熱が伝わりにくくするために、電熱線５２，６２と背面基板５との間に断熱部材（図示せず）を挿入してもよい。
あるいは、電熱線５２，６２と背面基板５との間に空気流ができる構成（図示せず）としてもよい。この空気流によって、熱を発散させるとともに、空気断熱層が形成されることにより、より一層の表示パネル１の割れ防止効果が生まれる。
また、ガスバーナー５３，６３と電熱線５２，６２とは、必ずしも一体に構成されていなくてもよく、分離・独立した別体で構成してもよい。
【００４０】
なお、上述の実施の形態及び他の実施の形態においては、排気ヘッド１３の上側に表示パネル１がある例を挙げて説明したが、表示パネル１と排気ヘッド１３の位置関係は、上下逆であってもよい。
【００４１】
以上、詳述したように、本実施の形態に係る表示パネルの製造方法は、所定間隙を維持して対向する２枚の基板の周囲を形成した表示パネル１の基板の表面から突出し、かつ、表示パネル１の内部空間と連通する排気管７を形成する排気管形成工程と、排気管７を通じて表示パネル１の内部空間を排気する排気工程と、排気管７の長手方向に略直交する同一周囲部に火炎を当て、排気管７を溶融させて封止する溶融封止工程と、を含む表示パネル１の製造方法であり、溶融封止工程は、排気管７の封止予定位置Ｐ１に火炎の主炎を当てると同時に、封止予定位置Ｐ１から所定距離ｒ離れた位置を補助加熱して排気管７の表面の温度勾配を緩やかにする。
これにより、排気管７の封止予定位置Ｐ１は火力の強い主炎が当てられるため、速やかに溶融封止することができ、また、封止予定位置Ｐ１の周辺は補助加熱により温度勾配が緩和され、融着封止と同時にアニール処理が実施された場合と等価の温度勾配を得ることができる。
そのため、排気管を封止予定位置Ｐ１で溶断した後、特にアニール処理を追加しなくても、冷却後の残留応力をクラック等の欠陥が発生しない程度に軽減することができ、排気管の融着封止後のアニール処理の追加実施を廃止することで、チップオフ工程の所要時間を短縮して、表示パネルの生産性向上を図ることができる。
【００４２】
また、本実施の形態に係る表示パネルの製造装置におけるガスバーナー２３は、排気管７上の封止予定位置Ｐ１に主炎を当てる主炎噴射孔２６と、封止予定位置Ｐ１よりも基板側にずれた位置を主炎より弱く加熱する補助加熱手段を装備することで、バーナーを排気管の軸方向に移動させずとも、温度勾配が緩やかな広域加熱が可能になり、アニール処理を実現するためにバーナー支持手段にバーナー移動機構を組み込む必要がなくなり、バーナー移動機構の省略によってバーナー支持手段の構成の単純化及び小型化が可能になって、設備の小型化や設備費の低減を図ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】従来の表示パネルの製造装置の概略構成の説明図である。
【図２】従来の表示パネルの製造装置における排気管の融着封止処理の説明図で、（ａ）は排気管の融着封止時における封止予定位置周辺の温度勾配の説明図、（ｂ）はガスバーナーの火炎と排気管との位置関係を示す断面図、（ｃ）は（ｂ）におけるＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】本発明に係る実施の形態の表示パネルの製造装置における排気管の融着封止処理の説明図で、（ａ）は排気管の融着封止時における封止予定位置周辺の温度勾配の説明図、（ｂ）はガスバーナーの火炎と排気管との位置関係を示す断面図である。
【図４】図３（ｂ）におけるＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
【図５】図４に示したガスバーナーにおける補助炎噴射孔及び主炎噴射孔の配置を示すバーナー内周面の展開図である。
【図６】図４のＣ−Ｃ線に沿う断面図である。
【図７】図４のＤ−Ｄ線に沿う断面図である。
【図８】本発明に係る実施の形態の表示パネルの製造装置に使用されるガスバーナーの変形例の縦断面図である。
【図９】図８のＥ−Ｅ線に沿う断面図である。
【図１０】図９に示したガスバーナーにおける補助炎噴射孔及び主炎噴射孔の配置を示すバーナー内周面の展開図である。
【図１１】本発明に係る実施の形態の表示パネルの製造装置に使用されるガスバーナーの変形例を、それぞれの噴射孔の軸方向の離間距離を縮めた場合を示す縦断面図である。
【図１２】本発明に係る他の実施の形態の表示パネルの製造装置における排気管の融着封止処理の説明図で、（ａ）は排気管の融着封止時における封止予定位置周辺の温度勾配の説明図、（ｂ）はガスバーナーの主炎及び電熱線と排気管との位置関係を示す断面図である。
【図１３】図１２（ｂ）におけるＦ−Ｆ線に沿う断面図である。
【図１４】本発明に係る他の実施の形態の変形例を示す説明図で、（ａ）は排気管の融着封止時における封止予定位置周辺の温度勾配の説明図、（ｂ）はガスバーナーの主炎及び電熱線と排気管との位置関係を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  表示パネル（プラズマディスプレイパネル）
３  前面基板（ガラス基板）
５  背面基板（ガラス基板）
７  排気管
２１，５１，６１  表示パネルの製造装置
２３，３３，５３，６３  ガスバーナー
２３ａ，２３ｂ  バーナー本体
２５，５５，６５  主炎
２６  主炎噴射孔
２９  補助炎
３０  補助炎噴射孔
３５  第１補助炎
３６  第１補助炎噴射孔
３８  第２補助炎
３９  第２補助炎噴射孔
５２，６２  電熱線
Ｐ１  封止予定位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005285734.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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