(57)【要約】【課題】波長に依存しない位相シフトを与えられ、かつ、理論的に理想的な光学素子の存在を仮定しない波長非依存型位相変調装置及び方法を実現する。【解決手段】回折格子３による回折光の位相差を利用した光の軸方向位相シフター（波長非依存型位相変調装置）を提案する。この軸方向位相シフターは波長に依存せずに等しい位相遅れをつくり出すことが可能である。この波長非依存性により、この軸方向位相シフターを用いることで、低コヒーレンス干渉での位相シフト計測が可能になる。実際に低コヒーレンス干渉計を作成し、位相シフターおよび位相シフトアルゴリズムを適応することで、低コヒーレンスインターフェログラムから包絡線成分の抽出を行った。【選択図】  図３
2005010312.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸上に載置される移動可能な回折素子を備え、
前記回折素子に光を通過させて生じる単一の回折光の絶対位相差又は複数の回折光の相対位相差を利用することにより、波長に依存せず前記回折素子により制御可能な位相差を持つ出力光を得ることを特徴とする波長非依存型位相変調装置。
【請求項２】
光軸上に載置される移動可能な回折素子と、
前記回折素子からの、及び、該回折素子への光をフーリエ変換するレンズと、を具備し、
前記回折素子に光を通過させて生じる単一の回折光の絶対位相差又は複数の回折光の相対位相差を利用することにより、波長に依存せず前記回折素子により制御可能な位相差を持つ出力光を得ることを特徴とする波長非依存型位相変調装置。
【請求項３】
前記出力光が時間的に分離されるように、光の時間遅延を発生させる遅延手段をさらに具備することを特徴とする請求項１又は２に記載の波長非依存型位相変調装置。
【請求項４】
前記遅延手段は、ガラス基板であることを特徴とする請求項３に記載の波長非依存型位相変調装置。
【請求項５】
前記レンズからの光を反射するミラーをさらに具備すると共に、該ミラーは、前記出力光が時間的に分離されるように光の時間遅延を発生させる遅延手段としての役割を兼ね備えることを特徴とする請求項２記載の波長非依存型位相変調装置。
【請求項６】
光を第１回目に回折させて、もとの入射光と異なった絶対位相を有する単一の回折光又は相対位相差を有する複数の回折光を生じさせ、
前記回折光を空間的に第１回目のフーリエ変換し、
前記第１回目のフーリエ変換された前記回折光を空間的に第２回目のフーリエ変換し、
前記第２回目のフーリエ変換された前記回折光を第２回目に回折させることにより、波長に依存せず制御可能な位相差を持つ出力光を得ることを特徴とする波長非依存型位相変調方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、医学、生物学、物理学、分析学、構造解析学、その他広く物体の形状を計測する分野で利用される波長非依存型位相変調装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
干渉を用いた物体の形状計測の一つである低コヒーレンス干渉法は、位相の回帰による不確定性を持たないことから様々な分野で広く用いられている。それ
らは工業計測の分野に置いては白色干渉プロファイロメトリ、生体計測の分野
では光コヒーレンストモグラフィーとして応用されている。また、これらの干
渉計によって得られる軸方向のインターフェログラム（干渉図形干渉縞）を高精度で解析する方法も様々なものが提案されている。
【０００３】
一方、横方向の干渉縞を用いて物体表面を計測する単色ラテラル干渉計においても、そのラテラルな（横方向の）干渉縞を解析する方法が数多く提案されている。中でも、位相シフト法は、高精度な縞位相の解析能力と信号・雑音比の向上能力により、もっとも広く用いられている縞計測方法の一つである。この位相シフト法とは、干渉縞の搬送波成分の位相を変化させた縞信号を複数、つまり、３信号以上取得し、それらの信号からバイアス成分、搬送波成分および包絡成分を計算、分離する方法である。ここで、位相シフト法を「縞解析方法」と呼ばずに、「縞計測方法」と呼ぶのは、それが、解析方法のみならず、「干渉縞の位相をシフト（変化、移動）させる必要がある」という計測装置に対する要求までも含んでいるからである。
【０００４】
上記のような横方向の縞解析方法の多くは、実際に低コヒーレンス干渉法におけるインターフェログラム解析にも適応が可能である。しかし、位相シフト法に関しては、問題は多少複雑になる。なぜならば、低コヒーレンス干渉法に位相シフト法を適応するには、軸方向のインターフェログラムの包絡線成分を固定したままで、その内部の搬送波成分の位相のみをシフト（変化、移動）させる必要があるからである。通常、単色ラテラル干渉計における位相シフト法で用いられる方法、即ち、干渉計の参照光の光路（参照アーム）の光路長を変化させるという方法では、搬送波成分の位相のシフトは可能なものの、同時に包絡線成分もシフトしてしまうのである。
【０００５】
これらの問題に関して、次のような解決策が提案されている。一つは「搬送波の周波数に比べて、包絡線は十分に緩やかに変化している」（ＳＶＥ；  ｓｌｏｗｌｙ  ｖａｒｙｉｎｇ  ｅｎｖｅｌｏｐｅ）という条件（以下、ＳＶＥという）を仮定することで、単色ラテラル干渉計の場合と同様に、参照光の光路（参照アーム）の光路長を変化させること（光路長シフト）により位相シフトを発生させる方法である。この方法は高速、かつ単純な光学系で位相シフトが可能であるという利点をもっており、スーパールミネッセントダイオード（ＳＬＤ）等のように時間的コヒーレンス長が比較的長い光源を用いた低コヒーレンス干渉に用いた場合は有効である。
【０００６】
また、別の方法としては、ジオメトリカル位相シフト方法と呼ばれる方法を用いて参照光と物体光の位相シフトの両方を変化させるという方法である（非特許文献１参照）。この方法は、原理的には上記のＳＶＥの仮定（ＳＶＥ近似）を用いていないため、比較的高精度な位相シフトが行える。
【０００７】
【非特許文献１】
Ｍ．  Ｒｏｙａ，  Ｐ．  Ｓｖａｈｎｂ，  Ｌ．  Ｃｈｅｒｅｌａ，  Ｃ．Ｊ．Ｒ．  Ｓｈｅｐｐａｒｄａ，ｃ，｀｀Ｇｅｏｍｅｔｒｉｃ  ｐｈａｓｅ−ｓｈｉｆｔｉｎｇ  ｆｏｒ  ｌｏｗ−ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ  ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ  ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ，’’  Ｏｐｔ．  Ｌｅａｓ．  Ｅｎｇ．  Ｖｏｌ．  ３７，  ６３１  ６４１（２００２）．
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したＳＶＥ近似のもとで参照光の光路長を変化させること（光路長シフト）により位相シフトを発生させる方法では、光源のコヒーレンス長が短くなれば、ＳＶＥ近似がなりたたなくなるという欠点がある。
【０００９】
一方、上述のジオメトリカル位相シフト方法を用いて波長によらずに光の位相をシフトさせる方法では、あらゆる波長域に渡って特性が一定である波長板の存在を前提としている。このため、計測精度を向上させるために広い波長域を持った光源を用いた場合には、そのような理想的な波長板を使用することは困難になり、その結果、計測精度を低下させてしまう。
【００１０】
本発明は、ＳＶＥを仮定しない場合でも波長に依存しない位相シフトを与えられ、かつ、理論的に理想的な波長板等の光学素子の存在を前提としない波長非依存型位相変調装置、つまり、軸方向位相シフター及びこの軸方向位相シフターを用いた波長非依存型変調方法を実現することを課題とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、光軸上に載置される移動可能な回折素子を備え、前記回折素子に光を通過させて生じる単一の回折光の絶対位相差又は複数の回折光の相対位相差を利用することにより、波長に依存せず前記回折素子により制御可能な位相差を持つ出力光を得ることを特徴とする波長非依存型位相変調装置を提供する。
【００１２】
また、本発明は、光軸上に載置される移動可能な回折素子と、前記回折素子からの、及び、該回折素子への光をフーリエ変換するレンズと、を具備し、前記回折素子に光を通過させて生じる単一の回折光の絶対位相差又は複数の回折光の相対位相差を利用することにより、波長に依存せず前記回折素子により制御可能な位相差を持つ出力光を得ることを特徴とする波長非依存型位相変調装置を提供する。
【００１３】
前記出力光が時間的に分離されるように、光の時間遅延を発生させる遅延手段をさらに具備することが好ましい。
【００１４】
前記遅延手段は、ガラス基板であることが好ましい。
【００１５】
前記レンズからの光を反射するミラーをさらに具備すると共に、該ミラーは、前記出力光が時間的に分離されるように光の時間遅延を発生させる遅延手段としての役割を兼ね備えることが好ましい。
【００１６】
また本発明は、光を第１回目に回折させて、もとの入射光と異なった絶対位相を有する単一の回折光又は相対位相差を有する複数の回折光を生じさせ、前記回折光を空間的に第１回目のフーリエ変換し、前記第１回目のフーリエ変換された前記回折光を空間的に第２回目のフーリエ変換し、前記第２回目のフーリエ変換された前記回折光を第２回目に回折させることにより、波長に依存せず制御可能な位相差を持つ出力光を得ることを特徴とする波長非依存型位相変調方法を提供する。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明に係る波長非依存型位相変調装置の実施の形態を以下の実施例に基づいて図面を参照して説明する。
（実施例１）
図１に本発明の実施例１に係る波長非依存型位相変調装置、つまり、軸方向位相シフター（以下、本明細書では、軸方向位相シフターという）の模式的な概略を示す。実施例１に係る軸方向位相シフターは、回折素子として例えば回折格子３を備える他、光線束を分離するビームスプリッタ１と、所定の光の成分をブロック（遮断する）マスク２、７と、レンズ４と、ミラー６と、を具備する。本実施例の軸方向位相シフターを構成する部品は、図１に示すように、光ｈが進行する空間軸Ｘの方向に、ビームスリッタ１、マスク２、回折格子３、レンズ４、マスク７、ミラー６の順に並設されている。回折格子３とレンズ４との間、及びレンズ４とミラー６との間はそれぞれ、レンズ４の焦点距離ｆだけ離れている。
【００１８】
回折格子３は光軸上に載置されており、例えば光軸に略垂直な方向（空間軸Ｘに略垂直な方向、矢印Ａで示される方向）にシフト（移動）可能である。なお、本実施例では、回折格子３は光軸に略垂直な方向に移動可能なこととしているが、回折格子３の移動方向は、必ずしも光軸に略垂直な方向や垂直な方向でなくてもよい。なお、本実施例では回折素子の一例として回折格子３を用いているが、ＣＧＨ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ  ｇｅｎｅｒａｔｅｄ  ｈｏｌｏｇｒａｍ、計算機ホログラム）や、特殊な回折格子と言えるダマン格子（各次数の回折光の強度が同じになるように設計された回折格子）を用いることもできる。
【００１９】
ここで、光軸は本実施例の軸方向位相シフターにおいて入射する光ｈが進行する空間軸Ｘに平行な方向の線である。レンズ４は、例えばフーリエ変換レンズであり、回折格子３からの光及び回折格子３への光をフーリエ変換する。ミラー６は、レンズ４からの光を反射する。言い換えれば、ミラー６は、レンズ４により第１回目にフーリエ変換された回折光を反射することにより、この回折光の進行方向を変える役目を有する。この回折光を再びレンズ４へと入射させて第２回目のフーリエ変換、さらには回折格子３による回折がなされるようにするためである。このように、ミラー６を備える構成とすることにより、軸方向位相シフターを構成するために必要な素子の数を少なくすることができ、軸方向位相シフター全体の小型化を図ることができると共に、安定な系とすることができる。
【００２０】
本発明の実施例１に係る軸方向位相シフターに入射した光ｈは、ビームスプリッタ１、マスク２を経て、回折格子３を通過する。光ｈが回折格子３を通過することにより、相対位相差を有する複数の回折光（＋１次光と−１次光）を生じる。本発明の実施例１に係る軸方向位相シフターでは、この複数の回折光の相対位相差を利用することで、低コヒーレンス光の位相シフトを実現するのである。
【００２１】
以下に、本実施例に係る軸方向位相シフターの原理（波長非依存型位相変調方法）及び作用をさらに詳しく説明する。今、本実施例の軸方向位相シフターに入射する光ｈの電場Ｅ０（ｘ；ω）を式（１）のように、表現する。
【００２２】
Ｅ０（ｘ；ω）＝Ｅ０Ｓ（ｘ）×Ｅ０Ｔ（ω）                                  （１）
【００２３】
ここで、ｘは、本実施例の軸方向位相シフターという光学系（装置）の横方向（図１の紙面左右方向）の空間軸Ｘの座標であり、ωは光ｈの角周波数（電場の振幅（角周波数））である。すると、回折格子３（回折格子３による位相変調をｃｏｓ（Ωｘ  ＋δ）と表せる）を１回目に通過後の電場Ｅ１（ｘ；ω）は次の式（２）のように表せる。
【００２４】
2005010312.tif 000003
【００２５】
ここで、Ω／（２π）は回折格子３の空間周波数、δは回折格子３の横方向（矢印Ａで示される方向）のシフト（移動）量を表す位相である。ここで、式（２）の第１項は、回折格子３をまっすぐに透過する０次の回折光であり、第２項、第３項はそれぞれ、回折格子３によりそれぞれ反対の方向に回折される＋１次、−１次の回折光を表している。つまり、回折格子３により光ｈを第１回目に回折させて位相差を有する±１次の回折光を生じさせる。要するに、式（２）で示されるような、相対位相差を有する複数の回折光（＋１次の回折光と−１次の回折光、又は、＋１次光と−１次光とも言う）を生じさせる。即ち、具体的には、上記相対位相差は、式（２）において、第２項で表される＋１次の回折光のｘによらない位相項δと、第３項で表される−１次の回折光のｘによらない位相項−δとの差２δを意味し、上記複数の回折光は、式（２）の第２項で表される回折光及び第３項で表される回折光の２つの回折光を意味する。これらの回折光はレンズ４によって空間的に第１回目のフーリエ変換され、ミラー６の鏡面６ａ上において以下の式（３）のような電場Ｅ２（ｘ；ω）を形作る。
【００２６】
2005010312.tif 000004
【００２７】
ここで、ｆはレンズ４の焦点距離、ｃは光速である。また、Ｅ＾０Ｓ（ｋ）、即ちＥ＾０Ｓ｛（ωｘ）／（ｆ  ｃ）−Ω）｝の形状はＥ０Ｓ（ｘ）の角周波数空間へのフーリエ変換を表している。だたし、Ｅ０Ｓ（ｘ）は、ｘについての関数である。なお、ここで、式（２）における第１項、つまり、０次の回折光はレンズ４とミラー６との間に置かれたマスク７によりブロックされるため、式（３）では消去されており、また、式（２）の第２項及び第３項にあった定数係数  １／４  も式（３）では無視されている。
【００２８】
上記電場Ｅ２（ｘ；ω）で表される光、つまり、第１回目のフーリエ変換された回折光はミラー６により反射される。
【００２９】
ミラー６で反射された光（回折光）は、この後、再びレンズ４に入射し、空間的に第２回目のフーリエ変換され、回折格子３の右側（図１の紙面における回折格子３とレンズ４との間で、かつ、回折格子３の直前）に以下の式（４）のような電場Ｅ３（ｘ；ω）を形作る。
【００３０】
2005010312.tif 000005
【００３１】
そして、この電場Ｅ３（ｘ；ω）、つまり第２回目のフーリエ変換された回折光は、再び回折格子３を通過することによって第２回目に回折される。このとき、直進する成分、つまり、ｅｘｐ（ｉａｘ）（ａは０でない定数）なる位相項を持たない成分はマスク２によってブロックされる。これにより、本実施例に係る軸方向位相シフターから出力される電場Ｅ４（ｘ；ω）は以下の式（５）のようになる。
【００３２】
Ｅ４（ｘ；ω）〜Ｅ０（−ｘ；ω）  ｅｘｐ｛ｉ２δ｝  ＋  Ｅ０（−ｘ；ω）  ｅｘｐ｛−ｉ２δ｝      （５）
【００３３】
ここで、〜は電場Ｅ４（ｘ；ω）が式（５）の右辺Ｅ０（−ｘ；ω）  ｅｘｐ｛ｉ２δ｝  ＋  Ｅ０（−ｘ；ω）  ｅｘｐ｛−ｉ２δ｝に比例することを表す。この式（５）は、本実施例に係る軸方向位相シフターからの二つの出力光（つまり、式（５）の右辺の第１項と第２項）は波長に依存しない位相差４δを持ち、さらにこの位相差４δは、δを変化させることで、つまり、回折格子３を横方向（光軸に略垂直な方向、矢印Ａで示される方向）にシフト（移動）させることで任意に制御することができることを示している。したがって、本実施例の軸方向位相シフターを用いて、複数の回折光（＋１次光と−１次光）の相対位相差を利用することにより、波長に依存せず回折格子３により制御可能な位相差４δを持つ出力光（二つの出力光）を得ることができる。
【００３４】
なお、上記実施例１では、低コヒーレンス光の位相シフトを実現するために、回折格子３を通過させて生じる複数の回折光の相対位相差（式（２）参照）を利用することにより、波長に依存せず回折素子３により制御可能な位相差（相対位相差）４δを有する出力光（２つの出力光、２つの回折光）を得た。一方、低コヒーレンス光の位相シフトを実現するため、回折格子３を通過させて絶対位相を有する単一の回折光を生じさせ、この単一の回折光の絶対位相差を利用することもできる。
【００３５】
具体的には、例えば式（２）で得られた第２項で表される＋１次の回折光又は第３項で表される−１次の回折光のうち、どちらか一方を、さらに、マスク等でブロックする。すると、得られるのは、第２項で表される＋１次の回折光（＋  １／４  Ｅ０（ｘ；ω）  ｅｘｐ｛ｉδ｝  ｅｘｐ｛ｉΩｘ｝）のみ、又は、第３項で表される−１次の回折光（＋  １／４  Ｅ０（ｘ；ω）  ｅｘｐ｛−ｉδ｝  ｅｘｐ｛−ｉΩｘ｝）のみとなる。即ち、絶対位相δを有する単一の回折光（第２項の回折光）又は、絶対位相−δを有する単一の回折光（第３項の回折光）が得られる。これらの絶対位相δ又は−δを有する単一の回折光は、変調されていない光（もとの入射光）からみればδ又は−δの位相のずれ（位相差）を持っていることになる。要するに、もとの入射光と異なった絶対位相差δ又は−δを有する単一の回折光が得られる（生じる）。したがって、このような単一の回折光の絶対位相差δ又は絶対位相差−δを利用することによっても、波長に依存せず回折格子３により制御可能な位相差を持つ出力光を得ることができる。
【００３６】
（実施例２）
図３は、本発明の実施例２に係る軸方向位相シフターの模式的な概略図である。図３は、図１に類似し、図１と同一の部分には同一の参照符号を付して、説明を省略する。実施例２が実施例１と異なる点は、実施例２の軸方向位相シフターにおいて、レンズ４とミラー６との間の光路ｈ１上に、遅延手段として例えばガラス基板５が設置されていることである。このように、ガラス基板５等の遅延手段を設置することで、この遅延手段に光を通過させることにより、光の時間遅延を発生させ、実施例１で説明した軸方向位相シフターからの二つの出力光が時間的に分離されるようになっている。
【００３７】
つまり、入射した光ｈは、ビームスプリッタ１及びマスク２を経て、回折格子３、さらにはレンズ４を通過（透過）する。このように通過してきた光の一部は光路ｈ１上に設置されているガラス基板５中を通過（透過）する一方で、光の他の一部は光路ｈ２上を進む。光路ｈ１、ｈ２を進む光はそれぞれ、ミラー６の鏡面６ａ上で反射する。その後、反射した光のうちの一部は、光路ｈ１上に設置されているガラス基板５中を再び通過（透過）する一方で、反射した光の他の一部は光路ｈ２上を進む。光路ｈ１上を進む光は、上述のようにガラス基板５中を通過（透過）するため、光路ｈ２上を進む光に比して、時間遅延が発生する。このように光の時間遅延を発生させることにより、その後、レンズ４、回折格子３、マスク２、ビームスプリッタ１を経て、出力される上記二つの出力光が、時間的に分離されるようになっている。
【００３８】
なお、実施例２では、出力光が時間的に分離されるように光の時間遅延を発生させる遅延手段としてガラス基板５を設けたが、ガラス基板５を設けずに、レンズ４からの光（回折光）を反射して進行方向を変える役割を有するミラー６に、遅延手段としての役割を兼ね備えさせてもよい。具体的には、ミラー６の一部を傾ける、又は、ミラー６を＋１次光もしくは−１次光のみが周波数に対して線形な位相遅れを受けるように設計しておくこと等により、ミラー６を遅延手段とすることができる。後者の場合、さらに具体的に言うと、＋１次光もしくは−１次光のみが周波数に対して線形な位相遅れを受けるようにミラー６の表面形状を形成する、又は、ミラー６を光の一部を反射する通常のミラーと、光の他の一部を反射する分散ミラー（チャープミラー）とから構成することにより、実現することができる。
【００３９】
（実験例）
本発明の実施例２に係る軸方向位相シフターを用いて、実際に低コヒーレンス干渉計によるインターフェログラムの位相シフト計測を行った。計測に使用された干渉計は１５０ｆｓ（フェムト秒）のパルス幅を持つチタニウム・サファイア（Ｔｉ：Ｓａｐｐｈｉｒｅ）パルスレーザーを光源として用いたマイケロソン干渉計であり、上記軸方向位相シフターからの出力光がマイケロソン干渉計の入力光として用いられている。なお、ここで、マイケロソン干渉計は、入射光の一部を透過し残りを反射するような光学素子に光が入射する干渉計で、この光学素子による反射光と透過光とは、他の反射鏡によってそれぞれ反射されて、この光学素子に戻り、ここで再結合される干渉計である。
【００４０】
実施例２の軸方向位相シフター内のガラス基板５による時間遅延をキャンセルするように、マイケロソン干渉計には不等行路差が与えられており、その結果、式（５）中のふたつの項、つまり、Ｅ０（−ｘ；ω）  ｅｘｐ｛ｉ２δ｝、及び、Ｅ０（−ｘ；ω）  ｅｘｐ｛−ｉ２δ｝のうち、一方が参照光、もう一方が物体光としてインターフェログラムが計測される。
【００４１】
本実験例においては、参照光と物体光の両方の光の位相差を、実施例２の軸方向位相シフターによってシフトさせ、異なった位相関係で１５４枚のインターフェログラムを計測し、そこに位相シフトアルゴリズム（つまり、これらのインターフェログラムより、信号のバイアス成分、搬送波成分、包絡成分を計算するアルゴリズム）を適用した。ここで、計測されたインターフェログラムの一つを図２（１）に、位相シフトによって得られたインターフェログラムの包絡線を図２（２）に示す。これより、本発明の装置及び方法により、低コヒーレンス干渉計の例であるマイケロソン干渉計により計測される低コヒーレンスインターフェログラムに対しても位相シフト法が適応可能なことが確認できる。
【００４２】
以上をまとめると、本明細書において発明者らは、回折格子による回折光の位相差を利用した光の軸方向位相シフター（つまり、回折格子を用いた波長非依存型位相変調装置）を発明した。この位相シフターは波長に依存せずに等しい位相遅れをつくり出すことが可能である。この波長非依存性により、この軸方向位相シフターを用いることで低コヒーレンス干渉に対する位相シフト計測が可能になった。また、本発明者らは、実験例で、実際に低コヒーレンス干渉計の例としてマイケロソン干渉計を作成し、本発明の軸方向位相シフターおよび位相シフトアルゴリズムを適用することで、低コヒーレンスインターフェログラムより、その包絡線を抽出することに成功した。
【００４３】
以上、本発明に係る回折格子を用いた波長非依存型位相変調装置及び方法の実施形態を実施例に基づいて説明したが、本発明は特にこのような実施例に限定されることなく、特許請求の範囲記載の技術的事項の範囲内でいろいろな実施例があることはいうまでもない。
【００４４】
【発明の効果】
以上の構成から成る本発明に係る回折格子を用いた波長非依存型位相変調装置及び方法によると、ＳＶＥを仮定しない場合でも波長に依存しない位相シフトを与えられ、かつ、理論的に理想的な波長板等の光学素子の存在を仮定しない波長非依存型位相変調装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１に係る軸方向位相シフターの概略図である。ｆはレンズの焦点距離を示す。
【図２】（１）は、一般的なマイケルソン干渉計によって得られる低コヒーレンス干渉インターフェログラムである。（２）は、軸方向位相シフター及び位相シフトアルゴリズムによって再構成されたエンベロープ成分である。
【図３】本発明の実施例２に係る軸方向位相シフターの概略図である。ｆはレンズの焦点距離を示す。
【符号の説明】
１    ビームスプリッタ
２、７    マスク
３    回折格子
４    レンズ
５    ガラス基板
６    ミラー
【図１】
2005010312.tif 000006
【図２】
2005010312.tif 000007
【図３】
2005010312.tif 000008