(57)【要約】【課題】露光作業の対象物であるテープ基板を移送し、さまざまな大きさのテープ基板を露光作業前に正確な位置に配置させるようにする露光装置の移送式基板ステージを提供する。【解決手段】ベースと、前記ベースの上面に投入されるテープ基板の大きさに応じて前記テープ基板の幅方向に移動可能なように設けられて前記テープ基板の両側端部を上下方向に拘束しながらテープ基板の長さ方向に移動させる移送手段と、前記移送手段と連動するように設置されて前記テープ基板の両側面を幅方向に拘束し、テープ基板が正確な位置に移動されるようにする整列手段と、前記移送手段及び整列手段により作業位置に移送されたテープ基板が固定されるように、前記ベースの上面に設置されて前記テープ基板を吸着する真空板と、を含む露光装置の移送式基板ステージを提供する。【選択図】      図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースと；
前記ベースの上面に投入されるテープ基板の両側端部を上下方向に拘束しながら移動させる移送手段と；
前記移送手段と連動するように設けられて前記テープ基板の両側面を幅方向に拘束してテープ基板が正確な位置に移動されるようにする整列手段と；
前記ベースの上面に設置され、前記移送手段及び整列手段により作業位置に移送されたテープ基板が固定されるように前記テープ基板を吸着する真空板と；を含めてなることを特徴とする露光装置の移送式基板ステージ。
【請求項２】
前記移送手段は、前記テープ基板の大きさに応じて前記テープ基板の幅方向に移動可能なように設置されたことを特徴とする請求項１に記載の露光装置の移送式基板ステージ。
【請求項３】
前記移送手段は、前記ベースの後方側に対で配置されて前記テープ基板の両側端を拘束しながら移送させる駆動部と；
前記ベースの前方側に対で配置されて前記テープ基板の両側端にかみ合い、前記駆動部により移送されるテープ基板に従って回転される被動部と；を含めて構成されたことを特徴とする請求項２に記載の露光装置の移送式基板ステージ。
【請求項４】
前記駆動部は、前記テープ基板の上・下面にそれぞれかみ合い、前記テープ基板の移動方向に回転可能なように設置された上・下駆動ローラと；
前記上・下駆動ローラのいずれかの駆動ローラ回転軸に設置された従動プーリと；
前記従動プーリと連動するようにタイミングベルトで連結された駆動プーリと；前記駆動プーリの中心部に回転軸が挿設されて回転力を発生させるモータと；を含めて構成されたことを特徴とする請求項３に記載の露光装置の移送式基板ステージ。
【請求項５】
前記露光装置の移送式基板ステージは、対で形成される駆動プーリが前記モータの回転軸に設置され、前記タイミングベルトが前記駆動プーリの外周面に沿ってスライディング可能に設置されるように前記ベースの幅方向に長く形成されたことを特徴とする請求項４に記載の露光装置の移送式基板ステージ。
【請求項６】
前記被動部は、前記テープ基板の上・下面にそれぞれかみ合い、前記テープ基板の移送に従って回転されるように設置された上・下被動ローラから構成されたことを特徴とする請求項３に記載の露光装置の移送式基板ステージ。
【請求項７】
前記整列手段は、前記駆動ローラ及び従動プーリが設置されて相互間の距離が可変され得るように前記ベースの前方側と後方側に対で設置された移動ステージと；
前記移動ステージの一側に設置されて、供給される前記テープ基板の幅に応じて前記移動ステージどうしの間隔を調節する駆動手段と；
前記テープ基板がベースに供給されると、そのテープ基板の幅を感知して前記駆動手段に駆動信号を送信する制御部と；を含めて構成されたことを特徴とする請求項１に記載の露光装置の移送式基板ステージ。
【請求項８】
前記駆動手段は、前記ベースの一側に設置された駆動モータと、該駆動モータと連結され、中央を中心に両側が逆方向に進行するスクリューが形成された駆動軸と、該駆動軸の両側にそれぞれ結合され、前記移動ステージの一側に固定された一対の玉軸受と、から構成され、
前記モータが一方向に駆動されると前記移動ステージどうしの間隔が狭まり、前記モータが他の方向に駆動されると前記移動ステージどうしの間隔が遠ざかることを特徴とする請求項７に記載の露光装置の移送式基板ステージ。
【請求項９】
前記ベースの下面には前記ベースの幅方向に多数のレールが設置され、前記移動ステージの下端には前記レールに沿ってスライディング移動されるように前記レールに対応する多数個のレールガイドが形成されたことを特徴とする請求項７に記載の露光装置の移送式基板ステージ。
【請求項１０】
前記整列装置は、前記ベースの幅方向に移動可能なように設置されて前記テープの両側面を幅方向に拘束する多数のガイドバーと；
前記ガイドバーの先端に設置され、前記テープ基板の上面及び下面に所定間隔離れるように配置されて前記ガイドバーに拘束されたテープ基板の上下振動を遮断させるガイドプレートと；を含めて構成されたことを特徴とする請求項７に記載の露光装置の移送式基板ステージ。
【請求項１１】
前記整列装置は、前記ベースの入口側及び出口側に設置されて前記テープ基板が前記ベースの上面に水平に供給されるように前記テープ基板の下側を支えるガイドローラをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の露光装置の移送式基板ステージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、紫外線を利用してテープ基板にパターンを形成する露光装置に関し、特に、露光作業の対象物であるテープ基板を移送し、さまざまな大きさの対象物を露光作業前に正確な位置に配置させるようにする露光装置の移送式基板ステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、露光装置は、ＰＤＰ、Ｓ／Ｍ（Ｓｈａｄｏｗ  Ｍａｓｋ）、ＰＣＢ、Ｃ／Ｆ（Ｃｏｌｏｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）、ＬＣＤ、半導体などを製造する工程に使われるものであって、マスク、照明系、調整用ステージ、及び紫外線が放出される水銀ランプなどを利用してテープ基板にパターンを形成する。
図１は、一般の露光装置を示す正面図である。
【０００３】
一般に、露光装置は、図１に示すように、紫外線を放出する水銀ランプ１２及び水銀ランプ１２から放出された紫外線が一方向に進行されるようにする集光ミラー１４とを含んで、前記水銀ランプ１２から放出された紫外線がフォトマスクを通ってテープ基板４０に照射されることによってパターンを形成させる光学系１０と、前記光学系１０により照射される紫外線に前記テープ基板４０が露出されるようにテープ基板を移送し、該テープ基板４０が正確な位置に配置された状態で紫外線に露出されて高精度のパターンが形成されるようにする移送式基板ステージと、から構成される。
【０００４】
ここで、前記移送式基板ステージは、ベース１と、前記ベース１に設置されて前記テープ基板４０が前記ベースの上面に沿って移動されるようにする移送装置２０と、前記移送装置２０により移動されたテープ基板４０が、前記光学系１０から放出される紫外線に露出されて高精度のパターンが形成されるように、テープ基板４０を正確な位置に配置させる整列装置３０と、を含む。
【０００５】
前記移送装置２０は、前記テープ基板４０が巻かれた第１リール２２から供給されるテープ基板が前記ベース１の上面へ水平方向に供給されるように前記ベースの入口側と出口側に設置される一対のガイドローラ２４と、１対の前記ガイドローラ２４の間に設置されて前記テープ基板４０が紫外線に露出される部位で平行に配置されるようにテープ基板４０の上面と下面に設置された２対の支持ローラ２６と、前記ガイドローラ２４及び前記支持ローラ２６を通過したテープ基板４０が巻かれるように駆動される第２リール２８と、を含めて構成される。
【０００６】
前記整列装置３０は、２対の支持ローラ２６の間に設置され、前記テープ基板４０の下面に接触されるように上昇または下降可能に設置されることによって露光作業前に前記テープ基板４０を正確な位置に配置させて高精度のパターンが形成されるようにする整列ピン部３２と、シリンダーアーム３４の上端に設置された前記整列ピン部３２が垂直方向に移動できるようにする空圧シリンダー３６と、を含めて構成される。
【０００７】
ここで、前記空圧シリンダー３６は、シリンダーヘッドの上側と下側に圧縮された空気を供給することによって前記シリンダーアーム３４を上昇または下降させる油圧発生器３６ａが連結されてなる。
【０００８】
図２は一般の露光装置にパターンが形成されるテープ基板を示す平面図であり、図３（ａ）は従来技術に係る露光装置の整列装置を示す側面図であり、図３（ｂ）は従来技術に係る露光装置の整列装置を示す作動図であり、図４（ａ）は従来技術に係る露光装置の固定ピンを示す平面図であり、図４（ｂ）は従来技術に係る露光装置の固定ピンを示す正面図である。
【０００９】
前記テープ基板４０は、図２ないし図４（ｂ）に示すように、その両側端部に連続する孔４２が多数個形成され、前記移送装置２０により前記支持ローラ２６の間に位置すると、前記整列ピン部３２が上昇して前記孔４２に挿入されることによって正確な位置に配置される。
【００１０】
ここで、前記整列ピン部３２は、前記油圧シリンダー３６のシリンダーアーム３４の上端に固定される本体３２ａと、前記本体３２ａの上面から上側に突出された多数のピン３２ｂと、前記テープ基板４０の配置が完了されるとそのテープ基板４０を吸着させるように、前記本体３２ａの一側に形成されて真空発生器３８と連結される多数個の真空孔３２ｃと、を含めて構成される。
【００１１】
このような構成によれば、前記整列ピン部３２は前記シリンダー３６により上昇してテープ基板の孔４２に挿入されて整列作動を行い、前記真空発生器３８が駆動されて前記テープ基板４０を吸着させる。
また、前記整列ピン部３２が前記シリンダー３６により下降すると、テープ基板４０は、前記ピン３２ｂによる拘束から解除され、前記移送装置２０により移動可能になる。
【００１２】
しかし、従来の技術に係る露光装置の移送式基板ステージでは、その形状が可変不可能な前記整列ピン部３２によりテープ基板４０の整列が行われることから、新製品のモデルに交換される度に前記整列ピン部３２、前記ガイドローラ２４、および支持ローラ２６などを取り替えなければならず、新製品のモデルへの交換作業に長時間がかかり、結果として、生産能力が低下してしまう問題点があった。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、ガイドローラ、支持ローラ及び整列手段の位置が可変可能なように移送式基板ステージの構造を改善することにより、部品を交換することなくさまざまな大きさのテープ基板を移送させ、正確な位置に整列させることができるので、新製品のモデルに交換する作業にかかる時間とコストを節減できる露光装置の移送式基板ステージを提供することにその目的がある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る露光装置の移送式基板ステージは、ベースと、前記ベースの上面に投入されるテープ基板の大きさに応じて前記テープ基板の幅方向に移動可能なように設けられて前記テープ基板の両側端部を上下方向に拘束しながら移動させる移送手段と、前記移送手段と連動するように設けられて前記テープ基板の両側面を幅方向に拘束してテープ基板が正確な位置に移動されるようにする整列手段と、前記ベースの上面に設けられ、前記移送手段及び整列手段により作業位置に移送されたテープ基板が固定されるように前記テープ基板を吸着する真空板と、を含む。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る露光装置の移送式基板ステージの一実施例を、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
図５（ａ）は本発明に係る露光装置の移送式基板ステージを示す平面図であり、図５（ｂ）は本発明に係る露光装置の移送式基板ステージを示す正面図である。
【００１６】
本発明に係る露光装置の移送式基板ステージは、図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、ベース５０と、前記ベース５０の上面に沿って投入されるテープ基板９０を移動させ、特に、異なる大きさのテープ基板９０が移動される場合これを感知してテープ基板９０の幅方向に移動可能なように設けられてさまざまな大きさのテープ基板９０を移動させる移送装置６０と、前記移送装置６０と連動するように設けられて前記テープ基板９０の両側面を拘束し、そのテープ基板９０が正確な位置に移動されるようにする整列装置７０と、から構成される。
【００１７】
さらに、前記ベース５０の上面には、前記移送装置６０及び整列装置７０により前記テープ基板９０が正確な位置に供給されるときそのテープ基板９０が固定されるように、表面に形成された吸着孔８１を通じて空気を吸い込む真空板８０が設置される。
【００１８】
図６は、本発明に係る露光装置の移送装置を示す側面図である。
図６に示すように、移送装置６０は、前記ベース５０の後方側に対で配置されて、上面に沿って移動するテープ基板９０の両側端を拘束しながら移送させる駆動部６１と、前記ベース５０の前方側に対で配置されて、前記テープ基板９０の両側端にかみ合い、前記駆動部６１により移送されるテープ基板９０に従って回転される被動部６７と、を含めてなる。
【００１９】
前記駆動部６１は、前記テープ基板９０の上・下面にそれぞれかみ合った上・下駆動ローラ６２ａ、６２ｂが前記テープ基板９０の移動方向に回転可能なように設置され、前記下駆動ローラ６２ｂの回転軸に設置された従動プーリ６３と、前記従動プーリ６３と連動するようにタイミングベルト６４を介して連結された駆動プーリ６５と、前記駆動プーリ６５の中心部に回転軸６６ａが挿設されて回転力を発生させるモータ６６と、を含めて構成される。
【００２０】
ここで、前記上駆動ローラ６２ａ及び下駆動ローラ６２ｂの外周面には相互対応するギア歯が形成されているため、前記下駆動ローラ６２ｂの駆動のとき前記上駆動ローラ６２ａがかみ合いながら回転される。
また、前記駆動プーリ６５は前記モータ６６の回転軸６６ａに相対向するように対で形成されるため、それぞれの駆動プーリ６５は前記ベース５０の幅方向に長く形成されることができ、前記従動プーリ６３及び駆動ローラ６２がベース５０の前後方向に移動されても前記タイミングベルト６４が駆動プーリ６５の外周面に沿ってスライディングしながら駆動プーリ６５の回転力を従動プーリ６３に伝達することができる。
【００２１】
そして、前記被動部６７は、前記テープ基板９０の上・下面にそれぞれかみ合った上・下被動ローラ６８ａ、６８ｂが対で配置され、前記駆動部６１により移送されるテープ基板９０に従って回転される。
すなわち、前記テープ基板９０は、前記ベース５０の後方側に位置した駆動部６１にかみ合って前方から後方に移動されるものの、前記駆動部６１の前方側に位置した被動部６７が前記テープ基板９０にかみ合って前記テープ基板９０の移動とともに駆動されるので、前記駆動部６１の回転時、前記駆動部６１と被動部６７との間には常に張力が作用されて前記テープ基板９０が垂れることなく進行することができる。
【００２２】
図７は、本発明に係る露光装置の整列装置を示す側面図である。
前記整列装置７０は、前記駆動部６１により移送されるテープ基板９０が紫外線に露出される前に正確な位置に配置されるように前記駆動ローラ６２及び従動プーリ６３が設置されて相互間の距離が可変されるように前記ベース５０の上側に相対向するように配置された一対の移動ステージ７５と、前記移動ステージ７５の一側に設置されて、供給される前記テープ基板９０の幅に応じて前記移動ステージ７５どうしの間隔を調節する駆動手段と、前記テープ基板９０がベース５０に供給されるとテープ基板９０の幅を感知して前記駆動手段に駆動信号を送出する制御部（図示せず）と、から構成され、感知されたテープ基板９０の幅に応じて前記移動ステージ７５の間隔を調整する。
【００２３】
前記駆動手段は、前記ベース５０の一側に設置された整列用モータ７７と、前記整列用モータ７７と連結され、中央を中心として両側が逆方向に進行するスクリューが形成された駆動軸７８と、前記駆動軸７８の両側にそれぞれ結合され、前記移動ステージ７５の一側に固定された一対の玉軸受７９と、から構成されて、前記整列用モータ７７が一方向に駆動されると、前記移動ステージ７５どうしの間隔が狭まり、前記整列用モータ７７が他の方向に駆動されると、前記移動ステージ７５どうしの間隔が遠ざかる。
【００２４】
前記整列装置７０は、前記ベース５０の幅方向に移動可能なように設置されて前記テープ基板９０の両側面を幅方向に拘束する多数のガイドバー７１と、前記ガイドバー７１の先端に設置され、前記テープ基板９０の上面及び下面に所定間隔離れるように配置されて前記ガイドバー７１に拘束されたテープ基板９０の上下振動を遮断させるガイドプレート７２と、を含む。
【００２５】
一方、前記ベース５０の下面には前記ベース５０の幅方向に多数列のレール５２が設置され、前記移動ステージ７５の下端には前記レール５２に沿ってスライディング移動するように前記レール５２に対応する多数個のレールガイド７６が形成されて、前記整列用モータ７７の作動時、前記移動ステージ７５が前記ベース５０の上側で容易に移動可能となるようにする。
【００２６】
そして、前記整列装置７０は、前記ベース５０の入口側及び出口側に設置されて前記テープ基板９０が水平に供給されるように前記テープ基板９０の下側を支えて垂れを防止するガイドローラ７３をさらに含む。
【００２７】
このように構成された本発明に係る露光装置の移送式基板ステージの動作を説明すると、下記のようになる。
まず、電源が印加されると前記モータ６６が駆動されて前記駆動プーリ６５、従動プーリ６３及び駆動ローラ６１が連動されて一対の前記駆動ローラ６１の間にテープ基板９０が供給され、前記制御部（図示せず）により供給されるテープ基板９０の幅が感知されて前記整列用モータ７７に制御信号が送信される。
その後、前記整列用モータ７７が入力された信号に応じて駆動されると、相異なる方向のスクリューが形成された駆動軸７８が回転しながら前記玉軸受７９が移動されることによって、移動ステージ７５どうしの距離が調節される。
【００２８】
このように移動ステージ７５どうしの距離が調節されると、前記移動ステージ７５に設置されたガイドバー７１により前記テープ基板９０が正確な位置に移動され、前記テープ基板９０が正確な露光位置に進行された後、真空板８０の吸着孔８１を通じて空気が吸い込まれながら前記テープ基板９０が作業位置に固定される。
【００２９】
以上の詳細な説明では本発明に係る露光装置の移送式基板ステージを添付図面を参照して説明したが、本発明は、本明細書に開示した実施例と図面に限定されるのではなく、その技術思想の範囲内で当業者により材質を含むさまざまな変形が可能であることは言うまでもない。
【００３０】
【発明の効果】
以上のように構成される本発明に係る露光装置の移送式基板ステージは、テープ基板を移送させる駆動ローラ及びテープ基板を正確な位置に供給させるガイドバーが設置された一対の移動ステージが、ベースの前方側と後方側にその間隔が調節可能なように設置されることにより、ベースの一側から供給されるテープ基板の幅に応じて移動ステージの間隔を調節することができ、さまざまな大きさのテープ基板を移動させるとともに正確な位置に配置させることができ、結果として、製品モデルが変更される場合にも移送装置及び整列装置を交替することなく高生産性の露光作業を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】一般の露光装置の主要部を示す正面図。
【図２】一般の露光装置により作製された基板の平面図。
【図３】（ａ）従来技術に係る露光装置の整列装置を示す側面図。
（ｂ）従来技術に係る露光装置の整列装置を示す作動図。
【図４】（ａ）従来技術に係る露光装置の固定ピン部を示す平面図。
（ｂ）従来技術に係る露光装置の固定ピン部を示す正面図。
【図５】（ａ）本発明に係る露光装置の移送式基板ステージを示す平面図。
（ｂ）本発明に係る露光装置の移送式基板ステージを示す正面図。
【図６】本発明に係る露光装置の移送装置を示す側面図。
【図７】本発明に係る露光装置の整列手段を示す側面図。
【符号の説明】
５０    ベース
５２    レール
６０    移送装置
６１    駆動部
６２    駆動ローラ
６３    従動プーリ
６４    タイミングベルト
６５    駆動プーリ
６６ａ  回転軸
６６    モータ
６７    被動部
６８    被動ローラ
７０    整列装置
７１    ガイドバー
７２    ガイドプレート
７３    ガイドローラ
７５    移動ステージ
７６    レールガイド
７７    整列用モータ
７８    駆動軸
７９    玉軸受
８０    真空板
８１    吸着孔
９０    テープ基板
【図１】
2005056869.tif 000003
【図２】
2005056869.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005056869.tif 000009