(57)【要約】【課題】閉弁状態において確実にシールすることができるとともに、この閉弁状態を解除して、開弁作動を確実に行うことができ、シール部材の磨耗損傷も少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さい高寿命で安価な真空用ゲート弁を提供する。【解決手段】  閉弁位置において、膨張閉止駆動部材の内部へエアーを供給することによって、膨張閉止駆動部材を膨張させて、弁板を開口側へ押し付け、これにより、弁板のシール部材によって、開口を密閉閉止するように構成するとともに、膨張閉止駆動部材の内部へのエアーの供給を停止するとともに、膨張閉止解除駆動部材の内部へエアーを供給することによって、膨張閉止解除駆動部材を膨張させて、弁板を開口から離間する方向に移動させ、弁板のシール部材による開口の密閉閉止状態を解除するように構成した。【選択図】  図５
2005163899.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する二側壁を貫通する開口が形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、前記開口と略平行な方向に沿って開弁位置と閉弁位置との間を移動することにより、前記弁箱本体の開口を開閉する弁板とを備える真空用ゲート弁であって、
前記弁板に取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の膨張閉止駆動部材と、
前記弁板に取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の膨張閉止解除駆動部材と、
前記弁板に前記開口の周囲に沿って取り付けられたシール部材とを備え、
前記閉弁位置において、前記膨張閉止駆動部材の内部へエアーを供給することによって、膨張閉止駆動部材を膨張させて、前記弁板を前記開口側へ押し付け、これにより、前記弁板のシール部材によって、前記開口を密閉閉止するように構成するとともに、
前記膨張閉止駆動部材の内部へのエアーの供給を停止するとともに、前記膨張閉止解除駆動部材の内部へエアーを供給することによって、膨張閉止解除駆動部材を膨張させて、前記弁板を前記開口から離間する方向に移動させ、これにより、前記弁板のシール部材による前記開口の密閉閉止状態を解除するように構成したことを特徴とする真空用ゲート弁。
【請求項２】
前記弁板を開弁位置と閉弁位置との間を移動する駆動機構に連結された弁板本体と、
前記弁板本体の両側に、弁板本体に対して接近離間する方向に移動自在に装着された一対の第１の弁板部材と第２の弁板部材と、
前記弁板本体を貫通するようにそれぞれ、第１の弁板部材と第２の弁板部材に連結された第１の弁板解除板部材と第２の弁板解除板部材と、
前記弁板本体の両側にそれぞれ、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材に対峙するように取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の第１の膨張閉止駆動部材と第２の膨張閉止駆動部材と、
前記弁板本体の両側にそれぞれ、前記第１の弁板解除板部材と第２の弁板解除板部材に対峙するように取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の第1の膨張閉止解除駆動部材と第２の膨張閉止解除駆動部材と、
前記第１の弁板部材弁板と第２の弁板部材のそれぞれ、前記開口の周囲に沿って取り付けられた第１のシール部材と第２のシール部材とを備え、
前記閉弁位置において、前記第１の膨張閉止駆動部材と第２の膨張閉止駆動部材の内部へそれぞれエアーを供給することによって、第１の膨張閉止駆動部材と第２の膨張閉止駆動部材を膨張させて、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材を相互に離間する方向に移動させ、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材をそれぞれ前記開口側へ押し付け、これにより、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材の第１のシール部材と第２のシール部材によって、前記開口を密閉閉止するように構成するとともに、
前記第１の膨張閉止駆動部材と第２の膨張閉止駆動部材の内部へのエアーの供給を停止するとともに、前記第1の膨張閉止解除駆動部材と第２の膨張閉止解除駆動部材の内部へ
それぞれエアーを供給することによって、第1の膨張閉止解除駆動部材と第２の膨張閉止
解除駆動部材を膨張させて、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材を相互に接近する方向に移動させることにより、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材を前記開口から離間する方向に移動させ、これにより、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材の第１のシール部材と第２のシール部材による前記開口の密閉閉止状態を解除するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の真空用ゲート弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、半導体製造装置等において、真空室と外部雰囲気との間、真空室相互の間で使用される真空用ゲート弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンウェハなどの半導体製造、薄膜製造、液晶製造などにおいては、クリーンな環境下、高い真空中で、スパッタリング、プラズマエッチングなどのデバイスの成膜処理が行われている。
【０００３】
これらの製造装置において、例えば、真空室と外部雰囲気との間、真空室相互の間で、各チャンバ間を開放、閉止するために、真空用ゲート弁が使用されている。この真空用ゲート弁として、従来より各種の真空用ゲート弁が知られているが、この内の一つに、閉弁時にインフラートシールでシールを行うものがある（例えば特許文献１、２を参照）。
【０００４】
図１１に、このインフラートシールを用いた従来の真空用ゲート弁の一例を示す。この真空用ゲート弁１００は、弁箱本体１０２と、弁箱本体１０２の内部に設けられた弁板１０３とを備えている。弁箱本体１０２には、その対向する二側壁を貫通する開口１０４ａ、１０４ｂが形成されている。
【０００５】
弁板１０３の両面には、閉弁位置において弁箱本体１０２の側壁内面と当接する位置にインフラートシール１０５が取り付けられ、このインフラートシール１０５は、弁板１０３の内部に形成されたエアー通路１３３と連通している。
【０００６】
開弁状態の弁箱本体１０２を閉弁する際には、弁箱本体１０２の上部のエアーシリンダ１３１を駆動して、シリンダロッド１３２を介してその端部に取り付けられた弁板１０３を閉弁位置まで移動させる。そして、エアーシリンダ１３１からのエアーを、シリンダロッド１３２の内部を通して弁板１０３の内部に形成されたエアー通路１３３へ導入し、エアー圧によってインフラートシール１０５を膨張させて弁箱本体１０２の側壁内面へ押し付け、これによって、弁箱本体１０２の開口１０４ａ、１０４ｂの周囲の内面と弁板１０３との間をインフラートシール１０５で封止して閉弁している。
【特許文献１】特開平５−２１５２４９号公報
【特許文献２】特開２０００−１４５９８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の真空用ゲート弁１００では、インフラートシール１０５が、開口１０４ａ、１０４ｂの周囲に沿って、閉じた環状の状態に配置する必要がある。
【０００８】
このため、インフラートシール１０５のコストが高くつき、特に、高機能エラストマーで作製した場合にはコストが非常に高くなってしまう。また、インフラートシール１０５を、閉じた環状の状態に配置するためには、弁板１０３に取り付ける構造が複雑になり、インフラートシール１０５と弁板１０３の内部に設けたエアー通路１３３と連通する構造も複雑になっている。
【０００９】
また、従来の真空用ゲート弁１００では、図１１に示したように、閉弁状態において、弁箱本体１０２の駆動部の内部空間１０６、１０８と、チャンバー１１０、１１２とが、インフラートシール１０５によってシールされて、分離されているので、内部空間１０６
、１０８が大気圧の状態であり、チャンバー１１０、１１２が真空状態となっている。
【００１０】
このため、インフラートシール１０５が、内部空間１０６、１０８とチャンバー１１０、１１２との差圧によって、真空状態であるチャンバー１１０、１１２側に押圧され、変形することになり、シール性能が低下することになるとともに、シール面において変形にともなう移動による摩擦力が生じて、インフラートシール１０５は磨耗損傷して、シール性能が低下することになるとともに、パーティクルが発生し易くなり、チャンバー内を汚染する可能性が高くなる。
【００１１】
さらに、インフラートシール１０５は、内部へエアーを供給することにより膨張可能とするため、ゴムなどから構成されるが、このインフラートシール１０５のシール面が面粗度が細かいため、高温などの温度環境によっては、閉弁状態において、インフラートシール１０５が、弁箱本体１０２の側壁内面との間で固着することがある。
【００１２】
このため、弁の開弁作動を行うことができず、無理に開弁作動を行うと、インフラートシール１０５が破損損傷することになり、シール性能が低下することになるともに、パーティクルが発生し易くなり、チャンバー内を汚染する可能性が高くなる。
【００１３】
さらに、図１２に示したように、従来のいわゆる「ツーアクション式」と呼ばれる真空用ゲート弁２００があり、この場合には、弁板２０３を閉弁位置まで移動した後、駆動機構によって、弁箱本体２０２の開口２０４ａ側に、弁板２０３を移動させて、弁板２０３の開口２０４ａ側に設けたシール部材２０５によって、開口２０４ａを閉止するようになっている。
【００１４】
このような従来のいわゆる「ツーアクション式」と呼ばれる真空用ゲート弁２００では、駆動機構が複雑となり、コストが高くつくことになる。
【００１５】
本発明は、このような現状に鑑み、シール部材として通常のＯ−リング部材を弁板に用いることができ、しかも、閉弁状態において確実にシールすることができるとともに、この閉弁状態を解除して、開弁作動を確実に行うことができ、シール部材の磨耗損傷も少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さい高寿命で安価な真空用ゲート弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の真空用ゲート弁は、対向する二側壁を貫通する開口が形成された弁箱本体と、
前記弁箱本体の内部に設けられ、前記開口と略平行な方向に沿って開弁位置と閉弁位置との間を移動することにより、前記弁箱本体の開口を開閉する弁板とを備える真空用ゲート弁であって、
前記弁板に取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の膨張閉止駆動部材と、
前記弁板に取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の膨張閉止解除駆動部材と、
前記弁板に前記開口の周囲に沿って取り付けられたシール部材とを備え、
前記閉弁位置において、前記膨張閉止駆動部材の内部へエアーを供給することによって、膨張閉止駆動部材を膨張させて、前記弁板を前記開口側へ押し付け、これにより、前記弁板のシール部材によって、前記開口を密閉閉止するように構成するとともに、
前記膨張閉止駆動部材の内部へのエアーの供給を停止するとともに、前記膨張閉止解除駆動部材の内部へエアーを供給することによって、膨張閉止解除駆動部材を膨張させて、
前記弁板を前記開口から離間する方向に移動させ、これにより、前記弁板のシール部材による前記開口の密閉閉止状態を解除するように構成したことを特徴とする。
【００１７】
このように構成することによって、閉弁位置において、膨張閉止駆動部材の内部へエアーを供給することによって、膨張閉止駆動部材を膨張させるだけで、弁板が開口側へ押し付けられて、弁板のシール部材によって、開口を確実に密閉閉止することができる。
【００１８】
従って、シール部材として、通常のＯ−リング部材を弁板に用いることができ、構造が簡単であるとともに、様々な公知のシール材料を用いることができ、コストを低減することができる。
【００１９】
しかも、膨張閉止解除駆動部材の内部へエアーを供給することによって、膨張閉止解除駆動部材を膨張させるだけで、弁板が開口から離間する方向に移動して、弁板のシール部材による開口の密閉閉止状態を解除することができる。
【００２０】
従って、高温などの温度環境によって、閉弁状態において、シール部材が弁箱本体の側壁内面との間で固着したとしても、閉弁状態を解除して、開弁作動を確実に行うことができ、シール部材の磨耗損傷も少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さい高寿命な真空用ゲート弁を提供することができる。
【００２１】
また、真空側のチャンバーと、弁箱の内部空間との間の差圧が作用するのは、シール部材であって、シール部材によって真空側のチャンバーと分離されており、これらの膨張閉止駆動部材と膨張閉止解除駆動部材は、圧縮方向、すなわち、駆動方向の荷重しか加わらないので、例えば、膨張閉止駆動部材と膨張閉止解除駆動部材として、従来用いられているインフラントシールを用いることができ、しかも磨耗損傷することが少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さい高寿命な真空用ゲート弁を提供することができる。
【００２２】
また、本発明の真空用ゲート弁は、前記弁板を開弁位置と閉弁位置との間を移動する駆動機構に連結された弁板本体と、
前記弁板本体の両側に、弁板本体に対して接近離間する方向に移動自在に装着された一対の第１の弁板部材と第２の弁板部材と、
前記弁板本体を貫通するようにそれぞれ、第１の弁板部材と第２の弁板部材に連結された第１の弁板解除板部材と第２の弁板解除板部材と、
前記弁板本体の両側にそれぞれ、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材に対峙するように取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の第１の膨張閉止駆動部材と第２の膨張閉止駆動部材と、
前記弁板本体の両側にそれぞれ、前記第１の弁板解除板部材と第２の弁板解除板部材に対峙するように取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の第1の膨張閉止解除駆動部材と第２の膨張閉止解除駆動部材と、
前記第１の弁板部材弁板と第２の弁板部材のそれぞれ、前記開口の周囲に沿って取り付けられた第１のシール部材と第２のシール部材とを備え、
前記閉弁位置において、前記第１の膨張閉止駆動部材と第２の膨張閉止駆動部材の内部へそれぞれエアーを供給することによって、第１の膨張閉止駆動部材と第２の膨張閉止駆動部材を膨張させて、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材を相互に離間する方向に移動させ、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材をそれぞれ前記開口側へ押し付け、これにより、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材の第１のシール部材と第２のシール部材によって、前記開口を密閉閉止するように構成するとともに、
前記第１の膨張閉止駆動部材と第２の膨張閉止駆動部材の内部へのエアーの供給を停止するとともに、前記第1の膨張閉止解除駆動部材と第２の膨張閉止解除駆動部材の内部へ
それぞれエアーを供給することによって、第1の膨張閉止解除駆動部材と第２の膨張閉止
解除駆動部材を膨張させて、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材を相互に接近する方向に移動させることにより、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材を前記開口から離間する方向に移動させ、これにより、前記第１の弁板部材と第２の弁板部材の第１のシール部材と第２のシール部材による前記開口の密閉閉止状態を解除するように構成したことを特徴とする。
【００２３】
このように構成することによって、第１の膨張閉止駆動部材と第２の膨張閉止駆動部材を膨張させるだけで、第１の弁板部材と第２の弁板部材が、相互に離間する方向に移動して、第１の弁板部材と第２の弁板部材がそれぞれ開口側へ押し付けられ、第１の弁板部材と第２の弁板部材の第１のシール部材と第２のシール部材によって、開口を密閉閉止することができる。
【００２４】
また、第1の膨張閉止解除駆動部材と第２の膨張閉止解除駆動部材を膨張させるだけで
、第１の弁板部材と第２の弁板部材が、相互に接近する方向に移動して、第１の弁板部材と第２の弁板部材が、開口から離間する方向に移動して、第１の弁板部材と第２の弁板部材の第１のシール部材と第２のシール部材による開口の密閉閉止状態を解除することができる。
【００２５】
従って、２枚の第１の弁板部材と第２の弁板部材を有しており、これらの第１の弁板部材と第２の弁板部材に設けた第１のシール部材と第２のシール部材によって、開口を確実に密閉閉止することができ、シール性能が向上することになる。
【００２６】
また、第1の膨張閉止解除駆動部材と第２の膨張閉止解除駆動部材を膨張させるだけで
、第１の弁板部材と第２の弁板部材の第１のシール部材と第２のシール部材による開口の密閉閉止状態を解除することができ、高温などの温度環境によって、閉弁状態において、シール部材が弁箱本体の側壁内面との間で固着したとしても、閉弁状態を解除して、開弁作動を確実に行うことができ、シール部材の磨耗損傷も少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さい高寿命な真空用ゲート弁を提供することができる。
【００２７】
さらに、真空側のチャンバーと、弁箱の内部空間との間の差圧が作用するのは、第１の弁板部材と第２の弁板部材の第１のシール部材と第２のシール部材であって、第１のシール部材と第２のシール部材によって分離された状態であるので、これらの第１の膨張閉止駆動部材と第２の膨張閉止駆動部材、ならびに、第1の膨張閉止解除駆動部材と第２の膨
張閉止解除駆動部材には、圧縮方向、すなわち、駆動方向の荷重しか加わらないので、例えば、膨張閉止駆動部材と膨張閉止解除駆動部材として、従来用いられているインフラントシールを用いることができ、しかも磨耗損傷することが少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さい高寿命な真空用ゲート弁を提供することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、閉弁位置において、膨張閉止駆動部材の内部へエアーを供給することによって、膨張閉止駆動部材を膨張させるだけで、弁板が開口側へ押し付けられて、弁板のシール部材によって、開口を確実に密閉閉止することができる。
【００２９】
従って、シール部材として、通常のＯ−リング部材を弁板に用いることができ、構造が簡単であるとともに、様々な公知のシール材料を用いることができ、コストを低減することができる。
【００３０】
しかも、膨張閉止解除駆動部材の内部へエアーを供給することによって、膨張閉止解除駆動部材を膨張させるだけで、弁板が開口から離間する方向に移動して、弁板のシール部材による開口の密閉閉止状態を解除することができる。
【００３１】
従って、高温などの温度環境によって、閉弁状態において、シール部材が弁箱本体の側壁内面との間で固着したとしても、閉弁状態を解除して、開弁作動を確実に行うことができ、シール部材の磨耗損傷も少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さい高寿命な真空用ゲート弁を提供することができる。
【００３２】
また、真空側のチャンバーと、弁箱の内部空間との間の差圧が作用するのは、シール部材であって、シール部材によって真空側のチャンバーと分離されており、これらの膨張閉止駆動部材と膨張閉止解除駆動部材は、圧縮方向、すなわち、駆動方向の荷重しか加わらないので、例えば、膨張閉止駆動部材と膨張閉止解除駆動部材として、従来用いられているインフラントシールを用いることができ、しかも磨耗損傷することが少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さい高寿命な真空用ゲート弁を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。
【００３４】
図１は、本発明の真空用ゲート弁の閉弁位置にある状態の正面概略図で、図２は、弁板１４の正面および裏面概略図、図３〜図６は、本発明の真空用ゲート弁の作動状態を説明する、図１のＢ−Ｂ線での真空用ゲート弁の上面拡大断面図である。
【００３５】
図１に示したように、本発明の真空用ゲート弁１０は、弁箱本体１２と、弁箱本体１２の内部に設けられた略矩形状の弁板１４とを備えている。弁箱本体１２には、その対向する二側壁１２ａ、１２ｂを貫通する略矩形状の開口１６ａ、１６ｂが形成され、この開口１６ａ、１６ｂによって、図示しないが各チャンバー１１、１３へ連通している。
【００３６】
そして、弁板１４は、弁箱本体１２の内部を開口１６ａ、１６ｂと略平行な方向に沿って開弁位置と閉弁位置との間を移動するようになっている。なお、この実施例では、弁板１４の移動方向を水平方向としているが、この移動方向は特に限定されず、鉛直方向であってもよい。
【００３７】
また、弁箱本体１２の上部には、例えば、ピストンシリンダ機構からなる駆動機構１８が固定されており、この駆動機構１８のピストンロッド２０に、略Ｌ字形状のフランジ部材２２が固着されている。
【００３８】
一方、弁箱本体１２の上部には、水平方向にガイドレール２４が設けられており、このガイドレール２４に沿って、摺動案内部材２６、２６が摺動するようになっている。この摺動案内部材２６、２６は、ピボットピン３０、３０によって、略アーチ形状の弁板吊り下げ部材３４のリンク部材３６、３８にリンク結合されている。
【００３９】
また、弁板吊り下げ部材３４の左右両端部４０、４２は、ピボットピン４４、４６によって、弁板１４の左右の側部の略中央部分に取り付けられたリンク部材４８、５０にリンク結合されている。
【００４０】
そして、このフランジ部材２２の先端が、リンク部材３６に連結されており、駆動機構１８を作動させて、ピストンロッド２０を伸縮することにより、ガイドレール２４に沿って、摺動案内部材２６、２６が摺動することによって、弁板吊り下げ部材３４を介して、弁板１４が、左右方向に開弁位置と閉弁位置との間で移動できるようになっている。これにより、弁板１４の開弁位置と閉弁位置との間の円滑な移動が確保されるようになっている。
【００４１】
なお、この実施例では、駆動機構１８として、ピストンシリンダ機構から構成したが、電動モータ、ステッピングモータなど公知の駆動機構を採用することが可能である。
【００４２】
一方、図２（ａ）に示すように、弁板１４の一方の側１４ａには、弁箱本体１２の開口１６ａの周囲に位置するように、弁板１４の上下左右に配置した４つの膨張閉止駆動部材５６が取り付けられている。
【００４３】
また、図２（ｂ）に示したように、弁板１４の他方の側１４ｂには、弁箱本体１２の開口１６ｂの周囲に位置するように、膨張閉止解除駆動部材５８が取り付けられている。この膨張閉止解除駆動部材５８は、膨張閉止駆動部材５６と同様に、弁板１４の上下左右に配置した４つの膨張閉止解除駆動部材５８から構成されている。
【００４４】
なお、これらの膨張閉止駆動部材５６と膨張閉止解除駆動部材５８はそれぞれ、この実施例では、弁板１４の上下左右に配置した４つの膨張閉止駆動部材５６、膨張閉止解除駆動部材５８から構成したが、この数は特に限定されるものではなく、例えば、上下一対、または左右一対のみに設けることも可能である。
【００４５】
なお、これらの膨張閉止駆動部材５６と膨張閉止解除駆動部材５８とは、ほぼ同様な構成となっており、中空の長管状の本体部５６ａ、５８ａと、長管状の本体部５６ａ、５８ａから延設された基底部５６ｂ、５８ｂとから構成され、これらの基底部５６ｂ、５８ｂをそれぞれ、取り付け部材６１によって固定することによって、弁板１４に取り付けられている。
【００４６】
そして、図示しないが、エアー供給源より、これらの長管状の本体部５６ａ、５８ａ内の中空部５６ｃ、５８ｃにエアーを供給することによって、長管状の本体部５６ａ、５８ａが膨張するように構成されている。
【００４７】
なお、これらの膨張閉止駆動部材５６と膨張閉止解除駆動部材５８とは、特に限定されるものではないが、公知のインフラントシールとして用いられているものを転用することが可能である。
【００４８】
このような膨張閉止駆動部材５６と膨張閉止解除駆動部材５８は、内部へエアーを供給することにより膨張可能な材質のものから作製することが可能であり、例えば、ＥＰＤＭ、フッ素ゴム等から形成されたものが使用可能であるが、経時で放出されるガス量が少ない材質のゴムを使用することが望ましい。
【００４９】
さらに、弁板１４の他方の側１４ｂには、膨張閉止解除駆動部材５８よりも内周側に、弁箱本体１２の開口１６ｂの周囲に位置するように、図１に示したように、略矩形環状のシール部材６０が、シール溝６２に装着されている。
【００５０】
なお、シール部材６０の材質としては、フッ素系エラストマー、パーフルオロ系エラストマー、ＮＢＲ（ニトリルゴム）、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエン三次元共重合体）などがあげられるが、パーティクルの発生が少なく、耐熱性などを考慮すれば、フッ素系エラストマーが好適に使用可能である。
【００５１】
このように構成される本発明の真空用ゲート弁１０では、以下のようにして作動される。
【００５２】
すなわち、先ず、閉弁作動の際には、駆動機構１８を作動することによって、図３に示したように、弁板１４を閉弁位置まで移動させる。
【００５３】
この状態で、図４に示したように、図示しないエアー供給源より、弁板１４の一方の側１４ａに設けられた膨張閉止駆動部材５６の長管状の本体部５６ａ内の中空部５６ｃにエアーを供給することによって、長管状の本体部５６ａを膨張させる。
【００５４】
これによって、膨張した膨張閉止駆動部材５６の本体部５６ａが、これと対峙する弁箱本体１２の側壁１２ａに当接することによって、図４の矢印で示したように、弁板１４が、他方の開口１６ｂの方へ、すなわち、弁箱本体１２の他方の側壁１２ｂの方へ押されることになる。
【００５５】
これにより、弁板１４の他方の側１４ｂに設けられたシール部材６０が、他方の開口１６ｂ側の他方の側壁１２ｂへ押し付けられて、シール部材６０によって、開口１６ｂを密閉閉止するようになっている。
【００５６】
一方、開弁作動の際には、図５に示したように、膨張閉止駆動部材５６の本体部５６ａ内の中空部５６ｃへのエアーの供給を停止する。
【００５７】
そして、図示しないエアー供給源より、弁板１４の他方の側１４ｂに設けられた膨張閉止解除駆動部材５８の長管状の本体部５８ａ内の中空部５８ｃにエアーを供給することによって、長管状の本体部５８ａを膨張させる。
【００５８】
これによって、膨張閉止解除駆動部材５８の本体部５８ａが、これと対峙する弁箱本体１２の側壁１２ｂに当接することによって、図５の矢印で示したように、弁板１４が、他方の開口１６ｂから離間する方向へ、すなわち、一方の開口１６ａ側に移動される。
【００５９】
これにより、弁板１４の他方の側１４ｂに設けられたシール部材６０が、他方の開口１６ｂ側の他方の側壁１２ｂから離間することになり、弁板１４のシール部材６０による開口の密閉閉止状態が解除されるようになっている。
【００６０】
その後、図６に示したように、膨張閉止解除駆動部材５８の本体部５８ａ内の中空部５８ｃへのエアーの供給を停止する。
【００６１】
そして、駆動機構１８を作動することによって、図６の矢印で示したように、弁板１４を開弁位置まで移動させることにより開弁状態となる。このようなサイクルが繰り返されることになる。
【００６２】
なお、この実施例では、弁板１４を閉弁位置まで移動させた後に、膨張閉止駆動部材５６の本体部５６ａ内の中空部５６ｃへのエアーを供給したが、このタイミングは適宜選択可能であり、例えば、弁板１４の位置を検知する位置センサーによる検出結果に基づいて、エアー供給のタイミングを設定するようにしてもよい。
【００６３】
従って、このような構成であれば、高温などの温度環境によって、閉弁状態において、シール部材６０が弁箱本体１２の側壁１２ｂ内面との間で固着したとしても、閉弁状態を解除して、開弁作動を確実に行うことができ、シール部材６０の磨耗損傷も少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さくなる。
【００６４】
また、図４に示したように、真空側のチャンバー１１と、弁箱本体１２の内部空間１２ｃとの間の差圧が作用するのは、シール部材６０であって、シール部材６０によって真空側のチャンバー１１と分離されており、これらの膨張閉止駆動部材５６と膨張閉止解除駆動部材５８には、圧縮方向、すなわち、駆動方向の荷重しか加わらないので、例えば、膨
張閉止駆動部材５６と膨張閉止解除駆動部材５８として、従来用いられているインフラントシールを用いることができ、しかも磨耗損傷することが少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さくなる。
【００６５】
また、この実施例では、弁板１４の片側のみ、すなわち、弁箱本体１２の上部にのみ駆動機構１８を設けて、弁板１４を移動するようにしてので、従来のように、上下に設けた駆動機構により弁板１４を移動する場合には、駆動機構の駆動速度の相違によって、弁板１４の円滑な移動が阻害されていたが、この実施例の場合には、そのような駆動機構の相違による弁板１４の移動が妨げられることがなく、円滑な弁板１４の移動を達成することが可能である。
【００６６】
さらに、従来のいわゆる「ツーアクション式」と呼ばれる真空用ゲート弁では、複雑な駆動機構が必要であったが、この実施例では、駆動機構１８によって、開弁位置と閉弁位置との間の弁板１４の移動だけでよく、駆動機構が簡単であり、コストを低減することができる。
【００６７】
図７は、本発明の真空用ゲート弁の別の実施例の閉弁位置にある状態の正面概略図、図８は、図７の弁板の分解斜視図、図９は、図７のＣ−Ｃ線での弁板の断面概略図、図１０は、図７のＤ−Ｄ線での弁板の断面概略図である。
【００６８】
この実施例の真空用ゲート弁は、図１に示した真空用ゲート弁１０と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付している。
【００６９】
図７に示したように、この実施例の真空用ゲート弁１０では、弁板１４の上部を直接、摺動案内部材２６、２６に連結するようにしている。
【００７０】
さらに、図８〜図１０に示したように、弁板１４が、駆動機構１８に連結された弁板本体７２と、この弁板本体７２の両側に、弁板本体７２に対して接近離間する方向に移動自在に装着された一対の第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６とを備えている。
【００７１】
弁板本体７２には、第１の貫通開口部７８と、第２の貫通開口部８０とが設けられている。
【００７２】
また、第１の貫通開口部７８には、第１の貫通開口部７８を貫通するように、第１の弁板解除板部材８２が配置されている。
【００７３】
この第１の弁板解除板部材８２は、弁板本体７２の一方側７２ａに位置する第１の弁板解除板部材本体８２ａと、弁板本体７２の他方側７２ｂに位置する第１の弁板解除板部材補助体８２ｂと、これらを連結して、第１の貫通開口部７８内を移動自在に挿通された連結部材８２ｃとから構成されている。
【００７４】
また、弁板本体７２の一方側７２ａには、第１の弁板解除板部材８２の第１の弁板解除板部材本体８２ａに対峙するように取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の第１の膨張閉止解除駆動部材８４が、左右に一対設けられている。
【００７５】
さらに、第１の弁板解除板部材補助体８２ｂには、第２の弁板部材７６が、図示しないボルトなどの締結具によって連結されている。
【００７６】
一方、第２の貫通開口部８０にはそれぞれ、第２の貫通開口部８０を貫通するように、第２の弁板解除板部材８６が配置されている。
【００７７】
この第２の弁板解除板部材８６は、弁板本体７２の一方側７２ｂに位置する第２の弁板解除板部材本体８６ａと、弁板本体７２の他方側７２ａに位置する第２の弁板解除板部材補助体８６ｂと、これらを連結して、第２の貫通開口部８０内を移動自在に挿通された連結部材８６ｃとから構成されている。
【００７８】
また、弁板本体７２の一方側７２ｂには、第２の弁板解除板部材８６の第２の弁板解除板部材本体８６ａに対峙するように取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の第２の膨張閉止解除駆動部材８８が、左右に一対設けられている。
【００７９】
さらに、第２の弁板解除板部材補助体８６ａには、第１の弁板部材７４が、図示しないボルトなどの締結具によって連結されている。
【００８０】
また、弁板本体７２の両面には、第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６に対峙するように取り付けられ、内部へエアーを供給することにより膨張可能な長管状の第１の膨張閉止駆動部材９０と第２の膨張閉止駆動部材９２とが、それぞれ上下左右に４個ずつ設けられている。
【００８１】
なお、これらの第１の膨張閉止解除駆動部材８４、第２の膨張閉止解除駆動部材８８、第１の膨張閉止駆動部材９０、第２の膨張閉止駆動部材９２は、図１に示した膨張閉止駆動部材５６、膨張閉止解除駆動部材５８と同様な構成となっている。
【００８２】
また、第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６には、図１の実施例に示したシール部材６０と同様に、第１のシール部材６０ａと第２のシール部材６０ｂとが装着されている。
【００８３】
このように構成される真空用ゲート弁１０では、以下のようにして作動される。
【００８４】
図９および図１０に示したように、閉弁位置において、第１の膨張閉止駆動部材９０と第２の膨張閉止駆動部材９２の内部へそれぞれエアーを供給することによって、第１の膨張閉止駆動部材９０と第２の膨張閉止駆動部材９２を膨張させる。
【００８５】
これによって、第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６が、図９および図１０の矢印Ｅに示したように、相互に離間する方向に移動して、第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６が、それぞれ弁箱本体１２の開口１６ａ、１６ｂ側へ押し付けられる。
【００８６】
これにより、第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６の第１のシール部材６０ａと第２のシール部材６０ｂによって、弁箱本体１２の開口１６ａ、１６ｂが密閉閉止されるようになっている。
【００８７】
一方、開弁の際には、第１の膨張閉止駆動部材９０と第２の膨張閉止駆動部材９２の内部へのエアーの供給を停止する。
【００８８】
そして、第１の膨張閉止解除駆動部材８４と第２の膨張閉止解除駆動部材８８の内部へそれぞれエアーを供給することによって、第１の膨張閉止解除駆動部材８４と第２の膨張閉止解除駆動部材８８を膨張させる。
【００８９】
これにより、図９に示したように、第１の膨張閉止解除駆動部材８４が、第１の弁板解除板部材８２の第１の弁板解除板部材本体８２ａに当接して、第１の弁板解除板部材８２が、図９の矢印Ｆで示したように移動する。これにより、第１の弁板解除板部材補助体８
２ｂに連結された第２の弁板部材７６が、図９の矢印Ｆで示したように移動して、弁箱本体１２の開口１６ｂから離間する方向に移動される。
【００９０】
また、図１０に示したように、第２の膨張閉止解除駆動部材８８が、第２の弁板解除板部材８６の第２の弁板解除板部材本体８６ａに当接して、第２の弁板解除板部材８６が、図１０の矢印Ｇで示したように移動する。これにより、第２の弁板解除板部材補助体８６ｂに連結された第１の弁板部材７４が、図１０の矢印Ｇで示したように移動して、弁箱本体１２の開口１６ａから離間する方向に移動される。
【００９１】
このように、第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６が相互に接近する方向に移動することにより、第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６が、弁箱本体１２の開口１６ａ、１６ｂから離間する方向に移動される。
【００９２】
これにより、第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６の第１のシール部材６０ａと第２のシール部材６０ｂによる弁箱本体１２の開口１６ａ、１６ｂの密閉閉止状態が解除されるようになっている。
【００９３】
この実施例の真空用ゲート弁１０では、２枚の第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６を有しており、これらの第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６に設けた第１のシール部材６０ａと第２のシール部材６０ｂによって、開口を確実に密閉閉止することができ、シール性能が向上することになる。
【００９４】
また、真空側のチャンバー１１、１３と、弁箱本体１２の内部空間との間の差圧が作用するのは、第１の弁板部材７４と第２の弁板部材７６の第１のシール部材６０ａと第２のシール部材６０ｂであって、第１のシール部材６０ａと第２のシール部材６０ｂによって分離された状態であるので、これらの第１の膨張閉止解除駆動部材８４、第２の膨張閉止解除駆動部材８８、第１の膨張閉止駆動部材９０、第２の膨張閉止駆動部材９２には、圧縮方向、すなわち、駆動方向の荷重しか加わらないので、例えば、膨張閉止駆動部材と膨張閉止解除駆動部材として、従来用いられているインフラントシールを用いることができ、しかも磨耗損傷することが少なく、パーティクルの発生のおそれが極めて小さい。
【００９５】
なお、第１の弁板解除板部材８２、第２の弁板解除板部材８６、および第１の膨張閉止解除駆動部材８４、第２の膨張閉止解除駆動部材８８の数は、特に限定されるものではなく、弁板１４の大きさなどに応じて、適宜変更可能である。
【００９６】
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、上記実施例では、よる弁箱本体１２の開口１６ａ、１６ｂの形状は、略矩形状としたが、楕円形状、円形などその他の形状とすることも可能あるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】図１は、本発明の真空用ゲート弁の閉弁位置にある状態の正面概略図である。
【図２】図２は、弁板の正面および裏面概略図である。
【図３】図３は、本発明の真空用ゲート弁の作動状態を説明する上面拡大断面図である。
【図４】図４は、本発明の真空用ゲート弁の作動状態を説明する上面拡大断面図である。
【図５】図５は、本発明の真空用ゲート弁の作動状態を説明する上面拡大断面図である。
【図６】図６は、本発明の真空用ゲート弁の作動状態を説明する上面拡大断面図である。
【図７】図７は、本発明の真空用ゲート弁の別の実施例の閉弁位置にある状態の正面概略図である。
【図８】図８は、図７の弁板の分解斜視図である。
【図９】図９は、図８のＣ−Ｃ線での弁板の断面概略図である。
【図１０】図１０は、図８のＤ−Ｄ線での弁板の断面概略図である。
【図１１】図１１は、インフラートシールを用いた従来の真空用ゲート弁の概略図である。
【図１２】図１２は、従来のいわゆる「ツーアクション式」と呼ばれる真空用ゲート弁の概略図である。
【符号の説明】
【００９８】
１０  真空用ゲート弁
１１、１３  チャンバー
１２ａ      、１２ｂ  側壁
１２ｃ        内部空間
１２  弁箱本体
１４  弁板
１６ａ      、１６ｂ  開口
１８  駆動機構
２０  ピストンロッド
２２  フランジ部材
２４  ガイドレール
２６  摺動案内部材
３０  ピボットピン
３４  弁板吊り下げ部材
３６、３８  リンク部材
４０、４２  端部
４４、４６  ピボットピン
４８、５０  リンク部材
５６  膨張閉止駆動部材
５６ａ        本体部
５６ｂ        基底部
５６ｃ        中空部
５８  膨張閉止解除駆動部材
５８ａ        本体部
５８ｂ        基底部
５８ｃ        中空部
６０  シール部材
６０ａ        シール部材
６０ｂ        シール部材
６１  取り付け部材
６２  シール溝
７２  弁板本体
７４  第１の弁板部材
７６  第２の弁板部材
７８  第１の貫通開口部
８０  第２の貫通開口部
８２  第１の弁板解除板部材
８２ａ        弁板解除板部材本体
８２ｂ        弁板解除板部材補助体
８２ｃ        連結部材
８４  第１の膨張閉止解除駆動部材
８６  第２の弁板解除板部材
８６ａ        弁板解除板部材本体
８６ｂ        弁板解除板部材補助体
８６ｃ        連結部材
８８  第２の膨張閉止解除駆動部材
９０  第１の膨張閉止駆動部材
９２  第２の膨張閉止駆動部材
１００  真空用ゲート弁
１０２        弁箱本体
１０３        弁板
１０４ａ、１０４ｂ      開口
１０５        インフラートシール
１０６、１０８    内部空間
１１０、１１２    チャンバー
１３１        エアーシリンダ
１３２        シリンダロッド
１３３        エアー通路
２００        真空用ゲート弁
２０２        弁箱本体
２０３        弁板
２０４ａ    開口
２０５        シール部材
【図１】
2005163899.tif 000003
【図２】
2005163899.tif 000004
【図３】
2005163899.tif 000005
【図４】
2005163899.tif 000006
【図５】
2005163899.tif 000007
【図６】
2005163899.tif 000008
【図７】
2005163899.tif 000009
【図８】
2005163899.tif 000010
【図９】
2005163899.tif 000011
【図１０】
2005163899.tif 000012
【図１１】
2005163899.tif 000013
【図１２】
2005163899.tif 000014