(57)【要約】  【課題】偏心量に対する検出感度が高いレンズ有効径付近を使った被調整光学系の光軸調整を高精度かつ簡単に行なうことができ、被調整光学系を換えても製品開発のための労力、期間及びコストを抑え、作業負担を軽減できる光学ユニット光軸調整装置を提供する。  【解決手段】所定の基準軸上に配置された、第１の保持部と第２の保持部を有する保持部材１０と、これらの保持部に保持される光学素子に向けて少なくとも２つの連続パターンを照射する照明装置と、前記連続パターンの各々を撮像する撮像装置１２とを有し、さらに、撮像装置１２で撮像した結果に基づき前記連続パターンの各々の歪み量を算出すると共に前記第１又は第２の保持部に保持された光学素子の移動量を前記歪み量から算出する演算装置１４と、演算装置１４で算出された移動量に基づき前記光学素子を移動させる移動装置を有する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の基準軸上に配置された、少なくとも一つの光学素子からなる第１の光学ユニットを保持する第１の保持部と少なくとも一つの光学素子からなる第２の光学ユニットを保持する第２の保持部を有する保持部材と、これらの保持部に保持される光学素子に向けて少なくとも２つの連続パターンを照射する照明装置と、前記連続パターンの各々を撮像する撮像装置とを有するとともに、
前記撮像装置で撮像した結果に基づいて、前記連続パターンの各々の歪み量を算出すると共に、前記第１の保持部に保持された光学素子又は前記第２の保持部に保持された光学素子の移動量を前記歪み量から算出する演算装置と、
前記演算装置で算出された移動量に基づいて、前記光学素子を移動させる移動装置と、
を有することを特徴とする光学ユニット光軸調整装置。
【請求項２】
前記連続パターンの少なくとも２つが、直線状のパターンであることを特徴とする請求項１に記載の光学ユニット光軸調整装置。
【請求項３】
前記連続パターンの少なくとも２つが、互いに交差することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光学ユニット光軸調整装置。
【請求項４】
前記連続パターンの少なくとも２つが、互いに直交することを特徴とする請求項３に記載の光学ユニット光軸調整装置。
【請求項５】
前記連続パターンを生成するためのパターン生成装置を有し、該パターン生成装置が、前記連続パターンのうち少なくとも１つの連続パターンの幅を可変させる可変機構を有することを特徴とする請求項１に記載の光学ユニット光軸調整装置。
【請求項６】
前記連続パターンを生成するためのパターン生成装置を有し、該パターン生成装置が、前記連続パターンのうち少なくとも１つの連続パターンの相対位置を可変させる可変機構を有することを特徴とする請求項１に記載の光学ユニット光軸調整装置。
【請求項７】
前記可変機構が、少なくとも２枚の板状部材と該２枚の板状部材を連結する連結部材とからなり、前記２枚の板状部材のうち少なくとも一方が、前記連結部材に対して移動可能になっていることを特徴とする請求項５に記載の調整装置。
【請求項８】
前記可変機構が、少なくとも２枚の板状部材と該２枚の板状部材を連結する連結部材とからなり、前記２枚の板状部材が、前記連結部材に対して移動可能になっていることを特徴とする請求項７に記載の光学ユニット光軸調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学ユニット光軸調整装置に関するもので、カメラ用レンズや撮像ユニット等の光学ユニットの組立て時に用いられる装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学ユニットの光軸調整を行う装置としては、例えば、次の特許文献１に開示されたものが提案されている。
この装置では、中心光線と、該中心光線に平行な３本以上の輪帯光線を、光学ユニットに照射している。
【特許文献１】特許第３２０８９０２号公報
【０００３】
ここで、従来の一般的な光学ユニット光軸調整装置の一構成例を、図８及び図９を用いて説明する。
図８に示す光学ユニット光軸調整装置では、光源５０の左方にピンホール板５１が配置されている。このピンホール板５１には、φ０．６μｍ程度のピンホール加工が施されている。ピンホール板５１の左方には、ＮＤフィルタ５２及びコリメータレンズ５３が設置されている。さらに、その左方には、ミラー５４が設けられている。そして、ミラー５４の下方には、チャート５５と、対象レンズ系Ｔが設置されている。
【０００４】
図９に示すように、チャート５５の中心点Ｍ０には、ピンホール加工が施されている。また、中心点Ｍ０を中心とする輪帯上の８点（Ｍ１〜Ｍ８）にも、ピンホール加工が施されている。この８点は、等間隔で設けられている。
対象レンズ系Ｔは、図８に示すように、レンズ系５６，５９と、玉枠５７と、本体側の取付部５８と、調整治具６０を有して構成されている。ここで、玉枠５７は、レンズ系５６を固定して保持するとともに、レンズ系５９を移動可能に保持する。取付部５８は、玉枠５７を差し込むことが可能な構造を有し、玉枠５７を固定させる。調整治具６０は、本体側の玉枠５７の上部において、調整対象のレンズ系５９に接触する。
光源５０から出射した光は、ＮＤフィルタ５２を経由し、コリメータレンズ５３を介して平行光Ｒ’にされる。平行光Ｒ’は、チャート５５に入射する。チャート５５に入射した平行Ｒ’は、中心点Ｍ０に形成されたピンホールを通過する。更に、平行Ｒ’は、輪帯上に形成された８点（Ｍ１〜Ｍ８）のピンホールを通過する。よって、チャート５５からは、合計９本の光線が射出される。この９本の光線が対象レンズ系Ｔを通過して、任意の位置の像面６１に入射するようになっている。
【０００５】
更に、図８に示す光学ユニット光軸調整装置では、像面６１位置の下方に、顕微鏡レンズ６２が設置されている。そして、更に下方にはＣＣＤカメラ６３が配置されている。このＣＣＤカメラ６３は、その受像面が光軸に垂直になるようにして設置されている。ＣＣＤカメラ６３には、焦点合わせのために、光軸方向に移動可能なフォーカス軸６４が設けられている。
顕微鏡レンズ６２、ＣＣＤカメラ６３、及びフォーカス軸６４は、Ｘ−Ｙテーブルに搭載されている。このＸ−Ｙテーブルは、粗調心二軸６５によって動く。そして、粗調心二軸６５を動かすことによって、ＣＣＤカメラ６３受像面内に像をとらえることができる。
このように構成された光学ユニット光軸調整装置では、平行光Ｒ’のほとんどは、チャート５５によって遮断され、９個のピンホールを通過した光線のみが射出される。よって、９個のピンホール像のみが、ＣＣＤカメラ６３に結像される。
【０００６】
図９では、中心点Ｍ０を通過した光を、Ｒ０で示している。また、輪帯上の８点を通過した光を、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８で示している。光線Ｒ０〜Ｒ８は、レンズ系５９，５６を通過し、ＣＣＤカメラ６３に到達する。そして、光線Ｒ０は照射点Ｌ０に、光線Ｒ１〜Ｒ８は照射点Ｌ１〜Ｌ８に到達する。ここで、レンズ系５９の光軸が、レンズ系５６乃至全光学系の光軸に対して理想的に一致しているとする。この場合、照射点Ｌ１〜Ｌ８の重心位置と、照射点Ｌ０の中心位置は一致する。
一方、レンズ系５９の光軸がレンズ系５６乃至全光学系の光軸に対してずれている場合、照射点Ｌ１〜Ｌ８の重心位置と、照射点Ｌ０の中心点はずれてしまう。
【０００７】
演算処理部６６は、８個の照射点における画素すべてについて、そのＸ座標ＸＲ１〜ＸＲｍ、Ｙ座標ＹＲ１〜ＹＲｍの平均を求める。そして、輪帯の重心６８における重心座標Ｂ（ＸＧ、ＹＧ）を得る。次いで、照射点６７における中心座標Ａ（Ｘ０、Ｙ０）を得る。そして、中心座標Ａ（Ｘ０、Ｙ０）と重心座標Ｂ（ＸＧ、ＹＧ）との偏差（ＸＧ―Ｘ０、ＹＧ―Ｙ０）を、軸上コマ量（ΔＸ、ΔＹ）として検出する。次いで、検出された軸上コマ量に応じて、軸上コマ量が設定された規格内に収まるように、レンズ系５９を微動させるようになっている。レンズ系５９の微動は、微調心二軸６９を微動させることで行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述した例では、対象レンズ系Ｔは、レンズ系５６とレンズ系５９で構成されていた。ここで、レンズ系５６とレンズ系５９との間に光軸のずれがある場合とない場合とで、各光線（中心光線及ぶ輪帯光線）の軌跡を比較する。すると、対象レンズ系Ｔの光軸近くを透過する光線に比べて、対象レンズ系の有効径付近を通過する光線の方が、軌跡の変化が大きい。つまり、各光線の軌跡の変化から軸上コマ量を検出する従来の方法では、できるかぎり対象レンズ系Ｔの有効径付近を通過する光線を検出した方が、軸上コマ量の検出感度が高いということになる。
しかし、従来の光軸調整装置では、チャートに施されたピンホールの位置によっては、対象レンズ系Ｔの有効径付近を透過しない場合がある。この場合は、軸上コマ量の検出感度は低下する。そのため、被調整レンズ系の光軸調整を行うのに必要な精度は、著しく悪化してしまう。
また、被調整レンズ系の外形が異なるごとにチャートを製作するのでは、製品開発のための労力、期間及びコストの増加を招く。また、チャートを交換する作業が発生し、作業負担が増加するという問題もある。
【０００９】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、被調整光学系の光軸調整を高精度かつ簡単に行うことができる光学ユニット光軸調整装置を提供することを目的とする。また、被調整光学系を換えてもチャート交換による段取り作業が発生せず、製品開発のための労力、期間及びコストを抑え、作業負担を軽減できる光学ユニット光軸調整装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明による光学ユニット光軸調整装置は、所定の基準軸上に配置された、少なくとも一つの光学素子からなる第１の光学ユニットを保持する第１の保持部と少なくとも一つの光学素子からなる第２の光学ユニットを保持する第２の保持部を有する保持部材と、これらの保持部に保持される光学素子に向けて少なくとも２つの連続パターンを照射する照明装置と、前記連続パターンの各々を撮像する撮像装置とを有するとともに、前記撮像装置で撮像した結果に基づいて、前記連続パターンの各々の歪み量を算出すると共に、前記第１の保持部に保持された光学素子又は前記第２の保持部に保持された光学素子の移動量を前記歪み量から算出する演算装置と、前記演算装置で算出された移動量に基づいて、前記光学素子を移動させる移動装置と、を有することを特徴としている。
【００１１】
また、本発明の光学ユニット光軸調整装置においては、前記連続パターンの少なくとも２つが、直線状のパターンであるのが好ましい。
【００１２】
また、本発明の光学ユニット光軸調整装置においては、前記連続パターンの少なくとも２つが、互いに交差するのが好ましい。
【００１３】
また、本発明の光学ユニット光軸調整装置においては、前記連続パターンの少なくとも２つが、互いに直交するのが好ましい。
【００１４】
また、本発明の光学ユニット光軸調整装置においては、前記連続パターンを生成するためのパターン生成装置を有し、該パターン生成装置が、前記連続パターンのうち少なくとも１つの連続パターンの幅を可変させる可変機構を有するのが好ましい。
【００１５】
また、本発明の光学ユニット光軸調整装置においては、前記連続パターンを生成するためのパターン生成装置を有し、該パターン生成装置が、前記連続パターンのうち少なくとも１つの連続パターンの相対位置を可変させる可変機構を有するのが好ましい。
【００１６】
また、本発明の光学ユニット光軸調整装置においては、前記可変機構が、少なくとも２枚の板状部材と該２枚の板状部材を連結する連結部材とからなり、前記２枚の板状部材のうち少なくとも一方が、前記連結部材に対して移動可能になっているのが好ましい。
【００１７】
また、本発明の光学ユニット光軸調整装置においては、前記可変機構が、少なくとも２枚の板状部材と該２枚の板状部材を連結する連結部材とからなり、前記２枚の板状部材が、前記連結部材に対して移動可能になっているのが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の光学ユニット光軸調整装置によれば、偏心量に対する検出感度が高いレンズ有効径付近を使った被調整レンズの光軸調整が高精度に簡単に行うことができる。
また、被調整レンズが変わってもチャートを交換する必要がなく、段取り作業も発生しない。
このため、本発明によれば、製品開発期間やコストを抑えることができ、かつ作業者にも扱いやすい光学ユニットの光軸調整装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
実施形態の説明に先立ち、作用効果について説明する。
本実施形態の光学ユニット光軸調整装置によれば、被調整光学系の有効径長さと同じ、もしくはそれ以上の長さの連続パターンを、照射している。そのため、調整の対象となる光学ユニットの外径にかかわらず、光軸に対するずれ量（歪み量）を、常に高い精度で検出することができる。
【００２０】
そして、本実施形態の装置では、求められた歪み量に基づいて光学ユニットの移動量を算出し、光学ユニットを移動させている。そのため被調整レンズ系の光軸を、高精度に調整することができる。
【００２１】
また、本実施形態の光学ユニット光軸調整装置では、被調整レンズ系の結像倍率等を考慮し、照射する連続パターンのうち少なくとも１つの連続パターンの幅を制御している。そのため、複数の被調整レンズ系を、共通のチャートを使って調整できる。すなわち、チャートを交換する回数を極力少なくすることができる。
また、本実施形態の光学ユニット光軸調整装置では、照射する連続パターンのうち、少なくとも１つの連続パターンの相対位置を可変にしている。このようにすれば、被調整レンズ系の有効径の大きさに合わせて、連続パターンの位置調整が行うことができる。そのため、チャートを交換する必要がなくなるので好ましい。
なお、光学ユニットとは、少なくとも一つの例えばレンズなどの光学素子で構成される光学部材をいう。
【００２２】
次に、実施形態について図面を用いて説明する。
図１は、本実施形態にかかる光学ユニットの光軸調整装置を示す概略構成図、図２は連続パターン像であって、保持部材に保持される各レンズ系の光軸が一致した状態における像を示す図、図３、図４は連続パターン像であって、保持部材に保持される各レンズユニットの光軸がＹ方向にずれている状態における像を示す図、図５は、図３及び図４の２つの直線パターンの交点部分を拡大した部分拡大図である。
【００２３】
本実施形態の光学ユニットの光軸調整装置は、光源１、ピンホール板２、コリメータレンズ３、チャート４、移動手段５、保持手段６、駆動手段７、調心治具８、ＣＣＤカメラ１２を備えている。図１に示すように、光源１の下方に、ピンホール加工が施されたピンホール板２が配置されている。そして、その下方に、コリメータレンズ３が配置されている。
コリメータレンズ３の下方には、チャート４が、被調整レンズ系１５の光軸と垂直に配置されている。このチャート４には、直交する２つの直線パターンが設けられている。
被調整レンズ系１５は、レンズ系９と、レンズ系１１と、枠１０とで構成されている。レンズ系１１は、枠１０の保持部１０ｂに予め固定されている。レンズ系９と枠１０の保持部１０ａとの間には、紫外線硬化型接着剤が予め充填されている。また、レンズ系９は、枠１０の保持部１０ａの中で、移動可能な状態に保持されている。
また、枠１０は、チャート４の２つの直線パターンの交点に対して、枠１０に固定されているレンズ系１１の光軸が一致するように、保持手段６に保持されている。
【００２４】
また、被調整レンズ系１５は、枠１０を介して保持手段６上に保持されている。保持手段６上には、移動手段５が配置されている。そして、移動手段５を介して、調心治具８が設けられている。この調心治具８は、被調整レンズ系１５のレンズ系９に接触している。
調心治具８は、移動手段５と連結されている。よって、移動手段５の動きは、調心治具８を介して被調整レンズ系９に伝わることになる。すなわち、移動手段５の移動させることよって、被調整レンズ系９を移動させることができる。
移動手段５は、被調整レンズ系１５の光軸と直交するＸ−Ｙ方向に移動可能になっている。
被調整レンズ系１５の下方には、ＣＣＤカメラ１２が配置されている。また、駆動手段７は、被調整レンズ系１５の光軸方向に移動可能な可動部を備えている。この可動部は、ＣＣＤカメラ１２を保持している。よって、ＣＣＤカメラ１２は、光軸方向に移動可能になっている。
これら光源１、ピンホール板２、コリメータレンズ３、チャート４、枠１０、被調整レンズ系１５、ＣＣＤカメラ１２は所定の基準軸上に配置されている。
【００２５】
また、本実施形態の光学ユニット光軸調整装置は、表示装置１３、演算処理部１４を備えていてもよい。この演算処理部は、ＣＣＤカメラ１２、駆動手段７及び移動手段５を制御するために用いられる。
演算処理部１４は、直線パターンの歪み量の検出を行うように構成されている。この直線パターンは、被調整レンズ系１５を介して結像されたチャート４の像である。ＣＣＤカメラ１２で撮像された直線パターン像は、表示装置１３に表示されるようになっている。
【００２６】
このように構成された本実施形態の光学ユニット光軸調整装置では、光源１で発光した光は、ピンホール板２を通過して点光源となり、点光源からの光がコリメータレンズ３により平行光束となる。
コリメータレンズ３より射出された平行光束は、チャート４に入射する。ここで、チャート４には、直交する２つの直線パターンが設けられている。よって、チャート４を射出する光束は、２つの直線が直交したパターンの光束となる。この光束は、被調整レンズ系１５に照射される。
【００２７】
被調整レンズ系１５は、上述したように、調整を行う前にレンズ系９と枠１０の間に、紫外線硬化型接着剤が予め充填されている。
被調整レンズ系１５を透過した直線パターンの光束は、ＣＣＤカメラ１２の撮像面上に集光し、直線パターン像を形成する。この直線パターン像はＣＣＤカメラ１２で撮像され、表示装置１３に表示される。
作業者は、表示装置１３に表示された直線パターン像を観察しながら、直線パターン像が最大になるように、駆動手段７を動作させてＣＣＤカメラ１２の位置を調整する。
演算処理部１４は、その時の駆動手段７の座標位置を記憶することができるようになっている。また、演算処理部１４は、被調整レンズ系１５ごとに受像面内で直線パターン像が最大になる座標値を記憶する。このようにすれば、被調整レンズ系１５が換わる都度、その座標値を読み込むことで、ＣＣＤカメラ１２の位置を素早く調整することができる。
【００２８】
ＣＣＤカメラ１２で撮像された画像は、演算処理部１４に送られ、画像処理が施される。
画像処理の内容は、予め設定された所定の閾値より輝度の高い画素には「１」を与え、その他の輝度の低い画素には「０」を与えて各画素の２値化を行う。そして、２値化処理が施された直線パターン像のエッジを、Ｘ−Ｙ方向で検出する。
【００２９】
次に、２値化処理が施された直線パターン像から被調整レンズ系１５の歪み量を検出する処理手順について説明する。
図３に示すように、Ｘ方向の直線パターンの歪んだエッジの両端部Ｔ１、Ｔ２をつなぐ仮想の線Ｌ１を設定する。同様に図４に示すように、Ｘ方向の直線パターンの歪んだエッジの両端部Ｔ３、Ｔ４をつなぐ仮想の線Ｌ２を設定する。
【００３０】
次に、図５に示すように、Ｘ−Ｙ方向の直線パターンのエッジとの交点Ｐ１、Ｐ２を検出する。そして、交点Ｐ１、Ｐ２から仮想の線Ｌ１に垂線を引き、深さ１及び深さ２を算出する。同様に、Ｘ−Ｙ方向の直線パターンのエッジとの交点Ｐ３、Ｐ４を検出する。そして、交点Ｐ３、Ｐ４から仮想の線Ｌ２に垂線を引き、深さ３及び深さ４を算出する。
算出された深さ１、深さ２、深さ３、深さ４の平均化を行い、平均した値を被調整レンズ系１５の歪み量とする。
演算処理部１４は、算出された歪み量に基づき、移動手段５の移動量を算出する。演算処理部１４からの指示により移動手段５を移動させると、調心治具８を介してレンズ系９が移動する。
本実施形態では、高精度で歪み量を算出することができる。したがって、レンズ系９の位置調整（移動）は、基本的には一回で済む。なお、移動後の位置において、再度直線パターンを撮像して、歪み量を測定する。そして、歪み量が予め設定された規格内に収まっている事を確認するのが好ましい。
なお、より高い精度で、レンズ系９の位置決めを行うには、上記動作を繰り返し行うのがよい。そこで、演算処理部１４は、検出される歪み量が設定された規格内に収まるように、歪み量の算出とレンズ系９の移動を繰り返し行う処理を行っても良い。
【００３１】
規格内に収まった段階で、紫外線を照射し、充填されている紫外線硬化剤を硬化し、レンズ系９を枠１０に固定する。なお、本実施形態では、紫外線照射ユニットは図示されていない。
【００３２】
なお、本実施形態では、チャートの形状は十字形をしているが、図６に示したように四角形状でもよく直線パターンが直交していればよい。
また、本実施形態では、チャートの線幅は固定のままであるが、可変機構を付与することにより線幅を変更可能にしてもよい。
図７はチャートの線幅を帰ることができる可変機構の一構成例を示す説明図である。
図７に示す可変機構では、ベース板２０上にＸ遮断板２１が配置され、さらにその上にＹ遮断板２３が配置されている。Ｙ方向の幅は、固定ネジ２２を緩め、Ｘ遮断板２１をＹ方向に移動させることで変化させることができる。また、Ｙ方向の幅の中心位置を、調整することができる。同様に、Ｘ方向の幅は、固定ネジ２４を緩め、Ｙ遮断板２３をＸ方向に移動させることで変化させることができる。また、Ｘ方向の幅の中心位置を、調整することができる。
【００３３】
本実施形態の光学ユニット光軸調整装置によれば、被調整レンズ系の有効径付近を使った検出感度の高い調整が可能となる。また、直線パターンの線幅を可変としたことで、被調整レンズ系が換わってもチャートを交換する必要がなくなる。
なお、図６に示したような四角形状の直線パターンの場合には、直線パターンの相対位置を可変とする可変機構を備えるのがよい。そのようにすれば、被調整レンズ系の有効径の大きさに合わせて、連続パターンの位置調整が行うことができ、チャートを交換する必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の一実施形態にかかる光学ユニットの光軸調整装置を示す概略構成図である。
【図２】本実施形態の光学ユニットの光軸調整装置において保持部材に保持される各レンズ系の光軸が一致した状態を示す連続パターン像の状態説明図である。
【図３】本実施形態の光学ユニットの光軸調整装置において保持部材に保持される各レンズ系の光軸がＹ方向にずれている状態を示す連続パターン像の状態説明図である。
【図４】本実施形態の光学ユニットの光軸調整装置において保持部材に保持される各レンズ系の光軸がＹ方向にずれている状態を示す連続パターン像の状態説明図である。
【図５】図３及び図４の２つの直線パターンの交点部分を拡大した部分拡大図である。
【図６】本実施形態の光学ユニット光軸調整装置に適用可能なチャートの変形例を示す説明図である。
【図７】本実施形態の光学ユニット光軸調整装置に適用可能なチャートの線幅の可変機構の一構成例を示す説明図である。
【図８】従来の一般的な光学ユニット光軸調整装置の一例を示す概略構成図である。
【図９】図８の光学ユニット光軸調整装置におけるチャート５５からＣＣＤカメラ６３までの光線の流れ、及びレンズ系５９が光軸からずれている場合における輪帯上の照射点の重心位置と中心の照射点とのずれを示す説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１          光源
２          ピンホール板
３          コリメータレンズ
４          チャート
５          移動手段
６          保持手段
７          駆動手段
８          調心冶具
９、１１    レンズ系
１０        枠
１２        ＣＣＤカメラ
１３        表示装置
１４        演算処理部
１５        被調整レンズ系
２０        ベース板
２１        Ｘ遮蔽板
２２        Ｘ固定ネジ
２３        Ｙ遮蔽板
２４        Ｙ固定ネジ
５０        光源
５１        ピンホール板
５２        ＮＤフィルタ
５３        コリメータレンズ
５４        ミラー
５５        チャート
５６、５９  レンズ系
５８        取付部
５７        玉枠
６０        調整冶具
６１        像面
６２        顕微鏡レンズ
６３        ＣＣＤカメラ
６４        フォーカス軸
６５        粗調心二軸
６６        演算処理部
６７        中心の照射点
６８        輪帯の重心
６９        微調心二軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2005309314.tif 000006
【図５】
2005309314.tif 000007
【図６】
2005309314.tif 000008
【図７】
2005309314.tif 000009
【図８】
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【図９】
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