(57)【要約】【課題】本発明は、光ファイバアレイの調心に係る作業が大幅に低減でき、容易に製造でき、かつ光ファイバアレイが精度良く調心された半導体レーザモジュールを提供する。【解決手段】本発明の半導体レーザモジュール１は、発光部２１が所定の間隔を置いて並列に配設されたＬＤアレイ２と、光ファイバ８の先端部が発光部２１の間隔と等しい間隔を配して置かれ、かつ各光ファイバ８の長手方向が発光部２１からの出射光の光軸に一致するように配置された光ファイバアレイ３と、均一の厚さを有する板材からなり、窓部４１が形成されたもので、その一表面４２が発光部２１からの出射光の光軸と直交するように配置されたガイド板４を具備し、ガイド板４の窓部４１を介して各発光部２１からの出射光が光ファイバ８に入射されるようにした構成とする。【選択図】  図１
2005010374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザダイオードアレイと、該レーザダイオードアレイの発光部に面して配置された光ファイバアレイと、これらレーザダイオードアレイと光ファイバアレイとの間に配置されたガイド板を具備し、
前記レーザダイオードアレイは、１以上のレーザダイオードが搭載され、これらレーザダイオードの発光部が露出され、かつ所定の間隔を置いて並列に配設されたものであり、
前記光ファイバアレイは、１以上の光ファイバが固定され、これら光ファイバの先端部が前記レーザダイオードの発光部の間隔と等しい間隔を配して置かれ、かつ各光ファイバの長手方向が前記レーザダイオードの発光部からの出射光の光軸に一致するように配置されたものであり、
前記ガイド板は、均一の厚さを有する板材からなり、窓部が形成されたもので、その一表面が前記レーザダイオードの発光部からの出射光の光軸と直交するように配置されており、
前記ガイド板の窓部を介してレーザダイオードアレイの各発光部からの出射光が光ファイバアレイの各光ファイバの先端部に入射されるようにしたことを特徴とする半導体レーザモジュール。
【請求項２】
サブマウント上に実装されたレーザダイオードアレイと、該レーザダイオードアレイの発光部に面して配置された光ファイバアレイを具備し、
前記レーザダイオードアレイは、１以上のレーザダイオードが搭載され、これらレーザダイオードの発光部が露出され、かつ所定の間隔を置いて並列に配設されたものであり、
前記光ファイバアレイは、１以上の光ファイバが固定され、これら光ファイバの先端部が前記レーザダイオードの発光部の間隔と等しい間隔を配して置かれ、かつ各光ファイバの長手方向が前記レーザダイオードの発光部からの出射光の光軸に一致するように配置されたものであり、
前記サブマウントの一端面が前記レーザダイオードの発光部からの出射光の光軸と直交するように形成されており、
レーザダイオードアレイの各発光部からの出射光が光ファイバアレイの各光ファイバの先端部に入射されるようにしたことを特徴とする半導体レーザモジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザモジュールに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に半導体レーザモジュールは、レーザダイオード（Ｌａｓｅｒ  Ｄｉｏｄｅ、以下ＬＤとも言う。）と、ＬＤから出力された光を結合させる光ファイバとを少なくとも備えたモジュールである。この半導体レーザモジュールは、ＬＤから出力された光が光ファイバに入力される際に最大となるように、ＬＤと光ファイバとが厳密に位置決め（調心）された状態で固定されて構成されている。
産業用に利用されている高出力の半導体レーザモジュールには、多数のＬＤが並列に配列されたＬＤアレイが備えられており、このＬＤアレイは１５〜６０程度の発光部（以下、エミッタとも言う。）が横一列に並んだ構成をしている。このような構成の半導体レーザモジュールは、全てのエミッタからの出射光を集光した場合、連続発振で２０〜４０Ｗの高出力が実現できる。このＬＤアレイから出力された光を１本の光ファイバへ入力するためには、各エミッタからの出射光を集光する機構が必要となる。
これを実現するための一手段として、光ファイバの入力端側が各エミッタに対向して調心された状態で固定され、この光ファイバの出力端側が１つにまとめられた構成の半導体レーザモジュールが提案されている（特許文献１参照。）。光ファイバの出力端側よりエミッタからの出射光が集光された状態で出射され、１本の大口径ファイバやバンドルファイバに結合させることができる。
【０００３】
特許文献１にて提案された半導体レーザモジュールの場合、光ファイバを精度良く調心して固定するためには、調心器を用いて各光ファイバを１本ずつ調心して固定する必要がある（特許文献２参照。）。
また、複数の光ファイバを、予めアレイ基板の位置決め溝に収容、固定して光ファイバアレイとすることにより、ＬＤアレイと複数の光ファイバとの調心を一括して行うことができる構成とすることもできる。しかし、光ファイバアレイを用いた構成の光ファイバモジュールにおいても、光ファイバアレイを精密ステージに把持し、この精密ステージを用いて、各エミッタから出力された光が光ファイバに最大の光強度で入力されるように、光ファイバアレイを調心して固定する必要がある。
【０００４】
【特許文献１】
米国特許第４８１８０６２号明細書
【特許文献２】
特開２００２−３４１１９６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献２や光ファイバアレイを用いた構成のように、光ファイバ又は光ファイバアレイの調心を行う場合、エミッタから出力された光が光ファイバに最大の光強度で入力されるように、光ファイバ又は光ファイバアレイのＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の位置調整と各軸回りの角度調整（θＸ，θＹ，θＺ）の６軸の調整を行う必要がある。
通常、ＬＤアレイのエミッタから光を出力し、光ファイバへ結合する出射光の光強度を測定しながら、光ファイバ又は光ファイバアレイの６軸の調整を並行して行う。この光ファイバ又は光ファイバアレイの６軸の調整に係る作業は、熟練を要し、時間のかかる作業であり、更に位置決め用調心器として、６軸の精密調整が可能な大型で高価な精密ステージを用いなければならない。
【０００６】
本発明は、上記した事情に鑑みなされたものである。すなわち光ファイバアレイの調心に係る作業が大幅に低減でき、簡便に光ファイバアレイが調心できて容易に製造でき、かつ光ファイバアレイが精度良く調心され、優れた結合効率でレーザダイオードアレイからの出射光が光ファイバに結合でき、低損失でレーザダイオードアレイからの出射光を光ファイバから出射できる半導体レーザモジュールを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
かかる課題を解決するため、請求項１にかかる発明は、レーザダイオードアレイと、該レーザダイオードアレイの発光部に面して配置された光ファイバアレイと、これらレーザダイオードアレイと光ファイバアレイとの間に配置されたガイド板を具備し、前記レーザダイオードアレイは、１以上のレーザダイオードが搭載され、これらレーザダイオードの発光部が露出され、かつ所定の間隔を置いて並列に配設されたものであり、前記光ファイバアレイは、１以上の光ファイバが固定され、これら光ファイバの先端部が前記レーザダイオードの発光部の間隔と等しい間隔を配して置かれ、かつ各光ファイバの長手方向が前記レーザダイオードの発光部からの出射光の光軸に一致するように配置されたものであり、前記ガイド板は、均一の厚さを有する板材からなり、窓部が形成されたもので、その一表面が前記レーザダイオードの発光部からの出射光の光軸と直交するように配置されており、前記ガイド板の窓部を介してレーザダイオードアレイの各発光部からの出射光が光ファイバアレイの各光ファイバの先端部に入射されるようにしたことを特徴とする半導体レーザモジュールである。
請求項２にかかる発明は、サブマウント上に実装されたレーザダイオードアレイと、該レーザダイオードアレイの発光部に面して配置された光ファイバアレイを具備し、前記レーザダイオードアレイは、１以上のレーザダイオードが搭載され、これらレーザダイオードの発光部が露出され、かつ所定の間隔を置いて並列に配設されたものであり、前記光ファイバアレイは、１以上の光ファイバが固定され、これら光ファイバの先端部が前記レーザダイオードの発光部の間隔と等しい間隔を配して置かれ、かつ各光ファイバの長手方向が前記レーザダイオードの発光部からの出射光の光軸に一致するように配置されたものであり、前記サブマウントの一端面が前記レーザダイオードの発光部からの出射光の光軸と直交するように形成されており、レーザダイオードアレイの各発光部からの出射光が光ファイバアレイの各光ファイバの先端部に入射されるようにしたことを特徴とする半導体レーザモジュール。
【０００８】
【発明の実施の形態】
［第１の実施形態］
以下に本発明の実施の形態について、図を参照して説明する。
図１は、本実施形態の半導体レーザモジュール１の一例を示す概略斜視図である。また、図２は、図１に示された半導体レーザモジュール１の上面図である。この半導体レーザモジュール１は、レーザダイオードアレイ（以下、ＬＤアレイとも言う。）２と、このＬＤアレイ２の発光部（以下、エミッタとも言う。）２１に面して配置された光ファイバアレイ３と、これらＬＤアレイ２と光ファイバアレイ３との間に配置されたガイド板４から構成されている。ＬＤアレイ２，光ファイバアレイ３，ガイド板４は、各種構成部材が収納又は取り付けられる基板５上に固定されている。
【０００９】
ＬＤアレイ２は、１以上のレーザダイオード（以下、ＬＤとも言う。）が搭載され、これらＬＤのエミッタ２１が露出され、かつ所定の間隔を置いて並列に配設されたものである。ＬＤアレイ２としては、例えば図１及び図２に示されたように、直方体等の矩形状であり、その端面（以下、発光面とも言う。）２２にエミッタ２１が横一列に等間隔に並べて設けられた端面発光型のもの等が挙げられる。
前記ＬＤアレイ２は、基板５上に設けられたサブマウント５１上に実装されている。
【００１０】
ガイド板４は、均一の厚さを有する板材からなり、窓部４１が形成されたもので、その一表面（光ファイバアレイ３と接する面）４２がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸と直交するように基板５上に立設されている。窓部４１は、ＬＤアレイ２の発光面２２に対向する部分に形成されている。
ガイド板４としては、例えば図１及び図２に示されたように、１対の板材から構成され、個々のガイド板４の間のＬＤアレイ２の発光面２２に対向する部分に窓部４１が設けられたもの等が挙げられる。
【００１１】
光ファイバアレイ３は、アレイ基板７と、このアレイ基板７上に固定された１以上の光ファイバ８から構成されている。アレイ基板７としては、例えば石英ガラスやステンレス鋼等から構成された矩形状の平板が挙げられる。
光ファイバ８は、その先端部（以下、先端面とも言う。）８１が前記ＬＤアレイ２のエミッタ２１間隔と等しい間隔を配してアレイ基板７上に固定されている。光ファイバ８を所定の位置に位置決めした状態で固定する方法としては、例えば予めアレイ基板７上にＶ溝等の位置決め溝を所定の位置に設けておき、この位置決め溝に光ファイバ８を収容、固定する方法等が適用できる。
更に、光ファイバアレイ３は、各光ファイバ８の長手方向が前記ＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸に一致するように調心された状態で配置されている。
以上により、前記ガイド板４の窓部４１を介してＬＤアレイ２の各エミッタ２１からの出射光６が光ファイバアレイ３の各光ファイバ８の先端部８１に入射されるようになっている。
【００１２】
前記光ファイバアレイ３を、各光ファイバ８の長手方向がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸に一致するように調心する方法について、図１及び図２に示された半導体レーザモジュール１の一例をもとにして、以下に詳細に説明する。
ここで、図中、ＬＤアレイ２のエミッタ２１に向かって左右方向をＸ軸方向とし、上下方向、すなわち垂線方向をＹ軸方向とし、ＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸方向、すなわちＸ軸とＹ軸とに直交する方向をＺ軸方向と定める。
【００１３】
図１及び図２に示された光ファイバアレイ３は、アレイ基板７として、矩形状の平板の端面（以下、入力端とも言う。）７１に突部７２が設けられたものが用いられ、アレイ基板７の突部７２に光ファイバ８の先端部８１が配置されている。
アレイ基板７の突部７２は、ガイド板４の窓部４１よりも小さく、突部７２をガイド板４の窓部４１に挿入できるようになっている。
【００１４】
図３は、半導体レーザモジュール１の上面図のうち、要部の拡大図である。また、図４は、半導体レーザモジュール１の要部の側面図である。
光ファイバ８は、その先端部８１がＬＤアレイ２のエミッタ２１間隔と等しい間隔を配してアレイ基板７上に固定されているため、光ファイバアレイ３の調心を行うことによって、各光ファイバ８の長手方向がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸に一致するように一括して光ファイバ８の調心ができる。
光ファイバアレイ３の調心には、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向の位置調整と各軸回りの角度調整（θＸ，θＹ，θＺ）の６軸の調整を行う必要がある。
【００１５】
まず、６軸のうち、Ｘ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整を以下のようにして行う。
前述したようにガイド板４は均一の厚さを有する板材からなり、その光ファイバアレイ２と接する面４２がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸と直交するように立設されている。
このため、ガイド板４の窓部４１にアレイ基板７の突部７２を挿入し、突部７２の両側に位置する入力端７１がガイド板４に接するように光ファイバアレイ３を配置することによって、アレイ基板７の突部７２に固定された光ファイバ８の先端面８１を、ＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸と直交するように位置させることができ、光ファイバアレイ３のＸ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整を行うことができる。
【００１６】
また、アレイ基板７の突部７２をガイド板４の窓部４１に挿入し、突部７２の両側に位置する入力端７１がガイド板４に接する状態のとき、ＬＤアレイ２のエミッタ２１と、突部７２に固定された光ファイバ８の先端面８１との距離が所望の値となるように、予めガイド板４とＬＤアレイ２との距離、ガイド板４の厚さ、アレイ基板７の突部７２の突出長さ等を調整することによって、前記したように窓部４１にアレイ基板７の突部７２を挿入し、突部７２の両側に位置する入力端７１がガイド板４に接するように光ファイバアレイ３を配置した際、光ファイバアレイ３のＺ軸方向の位置調整が行える。
【００１７】
次に、以下に示されたように光ファイバアレイ３のＸ軸方向とＹ軸方向の位置調整と、Ｚ軸回りの角度（θＺ）の調整を行い、各光ファイバ８の長手方向が前記ＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸に一致し、ＬＤアレイ２のエミッタ４２からの出射光６が光ファイバ８に最大の光強度で結合されるように調心する。
Ｘ軸方向とＹ軸方向の位置調整とＺ軸回りの角度（θＺ）調整が可能な精密ステージを用い、この精密ステージに取り付けられた調整用治具で光ファイバアレイ３を把持した状態でＬＤアレイ２を発光させ、光ファイバアレイ３の光ファイバ８に入力される光の光強度が最大となるように光ファイバアレイ３の位置を、精密ステージを用いて調整する。
【００１８】
そして、ＬＤアレイ２と光ファイバアレイ３とが調心された状態を維持したまま、光ファイバアレイ３を基板５の上面に固定する。光ファイバアレイ３を基板５に固定する方法としては、例えば半田、接着剤等を用いて固定する方法や、レーザ溶接により固定する方法等が適用できる。
【００１９】
本実施形態では、ガイド板４は均一の厚さを有する板材からなり、そのＬＤアレイ２に向かい合う面がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸と直交するように立設されているため、ガイド板４の窓部４１にアレイ基板７の突部７２を挿入し、突部７２の両側に位置する入力端７１がガイド板４に接するように光ファイバアレイ３を配置することによって、光ファイバアレイ３のＸ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整を行うことができる。
また、アレイ基板７の突部７２をガイド板４の窓部４１に挿入し、突部７２の両側に位置する入力端７１がガイド板４に接する状態のとき、ＬＤアレイ２のエミッタ２１と、突部７２に固定された光ファイバ８の先端面８１との距離が所望の値となるように、予めガイド板４とＬＤアレイ２との距離、ガイド板４の厚さ、アレイ基板７の突部７２の突出長さ等が調整しておくことによって、光ファイバアレイ３のＺ軸方向の位置調整を行うことができる。
【００２０】
以上のように、Ｚ軸方向の位置調整とＸ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整に係る作業は、ガイド板４の窓部４１にアレイ基板７の突部７２を挿入し、突部７２の両側に位置する入力端７１がガイド板４に接するように光ファイバアレイ３を配置するだけでよく、簡便に行うことができる。
【００２１】
光ファイバアレイ３のＸ軸方向とＹ軸方向の位置調整とＺ軸回りの角度（θＺ）調整は、精密ステージに取り付けられた調整用治具で光ファイバアレイ３を把持した状態でＬＤアレイ２を発光させ、ＬＤアレイ２の各エミッタ２１からの出射光６が光ファイバ８に最大の光強度で結合されるように精密ステージを用いて光ファイバアレイ３の位置を調整することができる。この場合、３軸について調整するだけでよく、従来のように光ファイバアレイ３のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の位置調整と各軸回りの角度調整（θＸ，θＹ，θＺ）の６軸を並行して調整する場合に比べて、調心に係る作業を大幅に低減でき、熟練を必要とせず簡便に行うことができ、かつ６軸調整用の大型で高価な位置決め用調心器を用いる必要がない。
【００２２】
また、光ファイバ８は、ＬＤアレイ２のエミッタ２１の間隔と同一の間隔で横一列に並べられてアレイ基板７の上面に固定されており、光ファイバアレイ３の調心を行うことによって、ＬＤアレイ２の各エミッタ２１と光ファイバアレイ３の光ファイバ８とが対向した位置にくるように一括して光ファイバ８の調心ができる。
【００２３】
更に、光ファイバアレイ３のＺ軸方向の位置調整精度と、Ｘ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度精度は、基板５に設けられたガイド板４と、光ファイバアレイ３のアレイ基板７の加工精度によって決定される。ガイド板４やアレイ基板７は、公知のプレス成形や研削加工により高い加工精度で簡便に製造できるものであり、前記光ファイバアレイ３のθＸ，θＹ，Ｚ軸方向において優れた調心精度が実現できる。
このため、光ファイバアレイ８が精度良く調心され、優れた結合効率でＬＤアレイ２からの出射光６が光ファイバ８に結合でき、低損失でＬＤアレイ２からの出射光６を光ファイバ８から出射できる半導体レーザモジュール１が実現できる。
【００２４】
また、光ファイバアレイ３として、矩形状の平板の入力端７１に突部７２が設けられたアレイ基板７を有し、このアレイ基板７の突部７２に光ファイバ８の先端部８１が配置されたものを用いた場合、ガイド板４の窓部４１にアレイ基板７の突部７２が挿入された状態で、各光ファイバ８の長手方向がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸に一致するように光ファイバアレイ３を配置することができる。この場合、ＬＤアレイ２のエミッタ２１と光ファイバ８の先端部８１とが近接した状態とすることができ、出射光６の伝搬損失を低減できる。
【００２５】
なお、本発明の技術範囲は、上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、基板５に設けられたガイド板４の窓部４１にアレイ基板７の突部７２を挿入した際、各光ファイバ８の長手方向が前記ＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸に一致するように、予め窓部４１の位置を定め、かつ窓部４１とアレイ基板７の突部７２とを同一の大きさとしておいても構わない。
この場合、窓部４１にアレイ基板７の突部７２を係合することによって、光ファイバアレイ３のＺ軸方向の位置調整と、Ｘ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整だけでなく、Ｘ，Ｙ軸方向の位置調整とＺ軸回りの角度（θＺ）の角度調整もでき、光ファイバアレイ３の調心に係る作業を大幅に低減できる。
【００２６】
また、アレイ基板７は、入力端７１に突部７２が設けられておらず、直方体等の矩形状の平板であっても構わない。この場合、アレイ基板７として、その入力端７１の横幅がガイド板４の窓部４１の横幅よりも広いものを用い、アレイ基板７の入力端７１の一部がガイド板４に接した状態とすることによって、本実施形態と同様に光ファイバアレイ３のＺ軸方向の位置調整と、Ｘ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整を行うことができる。
【００２７】
また、アレイ基板７の入力端７１は、ガイド板４から離れた位置にあり、かつガイド板４と平行に配置されていても構わない。これにより光ファイバアレイ３は、Ｘ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整が行われるため、光ファイバアレイ３の調心に係る作業を低減できる。
【００２８】
また、ガイド板は、サブマウント５１の端面に設けられたものでも構わない。図５は、第１の実施形態の半導体レーザモジュールの他の一例を示す概略斜視図である。また、図６は、図５に示された半導体レーザモジュール１０１の上面図であり、図７は、図５に示された半導体レーザモジュール１０１の要部の側面図である。
【００２９】
ガイド板１０４は、その一表面（光ファイバアレイ３と接する面）１４２がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸と直交するように、サブマウント５１の端面に接した状態で立設されている。そして窓部１４１が、ＬＤアレイ２の発光面２２に対向する部分に形成されている。
なお、ガイド板１０４はサブマウント５１と一体成形により形成されたものでも構わない。
【００３０】
光ファイバアレイ１０３において、光ファイバ８の先端面８１は、アレイ基板１０７の入力端１７１よりも内方に所望の距離離れて位置する状態で固定されている。
このため、光ファイバアレイ１０３とガイド板の一表面１４２とが接した状態で、各光ファイバ８の長手方向がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸に一致するように光ファイバアレイ１０３を配置した際、光ファイバ８の先端面８１がＬＤアレイ２のエミッタ２１から所定の距離離れて位置するようになっている。
前記光ファイバアレイ１０３は、ガイド板１０４に接着、固定され、各光ファイバ８の長手方向がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸に一致するように調心された状態で配置されている。
【００３１】
アレイ基板１０７の入力端１７１が、ガイド板１０４に接するか又はガイド板１０４と平行となるように、光ファイバアレイ１０３を配置することによって、アレイ基板１０７に固定された光ファイバ８の先端面８１を、ＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸と直交するように位置させることができる。このため、光ファイバアレイ１０３のＸ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整を簡便に行うことができ、調心に係る作業を大幅に低減できる。
【００３２】
［第２の実施形態］
本実施形態が、第１の実施形態と異なる点は、サブマウント２５１の一端面（ＬＤアレイ２の発光面２２と同じ側の端面）２５１ａがＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸と直交するように形成されており、この一端面２５１ａが、第１の実施形態の半導体レーザモジュールの他の一例のガイド板１０４と同様の機能を果たす点である。
図８は、第２の実施形態の半導体レーザモジュールの一例を示す概略斜視図である。また、図９は、図８に示された半導体レーザモジュール２０１の上面図であり、図１０は、図８に示された半導体レーザモジュール２０１の要部の側面図である。
【００３３】
光ファイバアレイ２０３において、Ｖ溝等の位置決め溝から構成され、光ファイバ８を固定する固定部２７３は、アレイ基板２０７の入力端２７１よりも内方に設けられている。前記固定部２７３に光ファイバ８が固定されており、光ファイバ８の先端面８１は、アレイ基板２０７の入力端２７１よりも内方に所望の距離離れて位置する状態で固定されている。
このため、光ファイバアレイ２０３とサブマウント２５１の一端面２５１ａとが接した状態で、各光ファイバ８の長手方向がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸に一致するように光ファイバアレイ２０３を配置した際、光ファイバ８の先端面８１や固定部２７３がＬＤアレイ２のエミッタ２１と接触せず、かつ光ファイバ８の先端面８１がＬＤアレイ２のエミッタ２１から所定の距離離れて位置するようになっている。
【００３４】
前記光ファイバアレイ２０３は、サブマウント２５１の一端面２５１ａに接着、固定され、各光ファイバ８の長手方向がＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸に一致するように調心された状態で配置されている。
アレイ基板２０７の入力端２７１が、サブマウント２５１の一端面２５１ａに接するか又は一端面２５１ａと平行となるように光ファイバアレイ２０３を配置することによって、アレイ基板２０７に固定された光ファイバ８の先端面８１を、ＬＤアレイ２のエミッタ２１からの出射光６の光軸と直交するように位置させることができる。このため、光ファイバアレイ２０３のＸ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整を簡便に行うことができ、調心に係る作業を大幅に低減できる。
【００３５】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように、請求項１に記載の発明によると、ガイド板は均一の厚さを有する板材からなり、その一表面がＬＤアレイのエミッタからの出射光の光軸と直交するように立設されているため、ガイド板の窓部にアレイ基板の突部を挿入して突部の両側に位置する入力端がガイド板に接するように光ファイバアレイを配置するか、若しくはアレイ基板の入力端がガイド板に接するか又はガイド板と平行となるように光ファイバアレイを配置することによって、光ファイバアレイのＸ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整を行うことができる。
また、アレイ基板の突部をガイド板の窓部に挿入し、突部の両側に位置する入力端がガイド板に接する状態のとき、ＬＤアレイのエミッタと、突部に固定された光ファイバの端面との距離が所望の値となるように、予めガイド板とＬＤアレイとの距離、ガイド板の厚さ、アレイ基板の突部の突出長さ等が調整しておくことによって、光ファイバアレイのＺ軸方向の位置調整を行うことができる。
以上により、光ファイバアレイの調心に係る作業を大幅に低減でき、簡便に調心できる。このため、従来のように光ファイバアレイのＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の位置調整と各軸回りの角度調整（θＸ，θＹ，θＺ）の６軸を並行して調整する場合に比べて、熟練を必要とせず簡便に行うことができ、かつ６軸調整用の大型で高価な位置決め用調心器を用いる必要がなく、半導体レーザモジュールを製造することができる。
【００３６】
更に、光ファイバアレイのＺ軸方向の位置精度と、Ｘ軸回りの角度とＹ軸回りの角度の角度精度は、ガイド板と、光ファイバアレイのアレイ基板の加工精度によって決定される。ガイド板やアレイ基板は、公知のプレス成形や研削加工により高い加工精度で簡便に製造できるものであり、前記光ファイバアレイのＺ軸方向の位置と、Ｘ軸回りの角度，Ｙ軸回りの角度において優れた調心精度が実現できる。
このため、光ファイバアレイが精度良く調心され、優れた結合効率でレーザダイオードアレイからの出射光が光ファイバに結合でき、低損失でレーザダイオードアレイからの出射光を光ファイバから出射できる半導体レーザモジュールが実現できる。
【００３７】
また、請求項２に記載の発明によると、サブマウントの一端面が、レーザダイオードの発光部からの出射光の光軸と直交するように形成されているため、アレイ基板の入力端がガイド板に接するか又はガイド板と平行となるように光ファイバアレイを配置することによって、光ファイバアレイのＸ軸回りの角度（θＸ）とＹ軸回りの角度（θＹ）の角度調整を行うことができ、光ファイバアレイの調心に係る作業を大幅に低減でき、簡便に調心できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施形態の半導体レーザモジュールの一例を示す概略斜視図である。
【図２】図１に示された半導体レーザモジュールの上面図である。
【図３】図２に示された半導体レーザモジュールの上面図のうち、要部の拡大図である。
【図４】第１の実施形態の半導体レーザモジュールの要部の側面図である。
【図５】第１の実施形態の半導体レーザモジュールの他の一例を示す概略斜視図である。
【図６】図５に示された半導体レーザモジュールの上面図である。
【図７】図５に示された半導体レーザモジュールの要部の側面図である。
【図８】第２の実施形態の半導体レーザモジュールの一例を示す概略斜視図である。
【図９】図８に示された半導体レーザモジュールの上面図である。
【図１０】図８に示された半導体レーザモジュールの要部の側面図である。
【符号の説明】
１，１０１，２０１‥‥半導体レーザモジュール、２‥‥レーザダイオードアレイ（ＬＤアレイ）、３，１０３，２０３‥‥光ファイバアレイ、４，１０４‥‥ガイド板、６‥‥出射光、８‥‥光ファイバ、２１‥‥ＬＤアレイの発光部（エミッタ）、４１，１４１‥‥ガイド板の窓部、４２，１４２‥‥ガイド板の一表面（光ファイバアレイと接する面）、５１，２５１‥‥サブマウント、２５１ａ‥‥サブマウントの一端面、８１‥‥光ファイバの先端部（先端面）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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