(57)【要約】【課題】真空チャンバ内に使用のリニアモータは、電機子がキャンケースに密封して使用されるが、ケースの密封に溶接やロー付けしたものでは、ピンホールが出来易く熟練を要し、アウトガスの発生問題もあって信頼性が低かった。【解決手段】中空孔を有せしめて集中巻きした扁平なコイルを重ね巻き配置により移動方向に相順に配列し、一対のマニホルド間の扁平状冷却配管を配列コイルの中空孔に挿通してモールドしたコアレスコイルを収納するキャンケースを、オーステナイト系で極非磁性のステンレス鋼を用い、細くて深い溝状の四角穴を板状体のむくの素材に対する側端からのエンドミル工具による溝形成加工と、之に続くドリル工具による形成溝底から所定穴深さ迄の穴掘りの穴列設加工と、穴の寸法、形状に相補の工具電極を用いる形彫り放電加工により刳り抜き加工して一体物に製作し、開口をシール部材を介して締付け密閉する蓋体とにより構成する。【選択図】  図２８
2005051906.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
単線を中空孔を有せしめて所定数集中巻きして成る略扁平な多相のコイルを、重ね巻き配置によりモータの移動方向に相順に配列するように構成されるコアレスコイルであって、
移動方向に所定の間隔を置いて相対向する一対の柱状マニホルド間に、冷媒の通路を複数個長さ方向と、直角な板面方向に平行に内設した板状の扁平状冷却配管を連結して成り、前記配列されたコイルの中空孔に前記扁平状冷却配管を挿通させて相互に密着させ、樹脂モールド又は接着剤により一体化して板状に形成して成るコアレスコイルと、
前記移動方向に沿って永久磁石片を順次に異極に列設して前記コアレスコイルを相対移動可能に挿設する磁気ギャップを形成するように相対向して配設される少なくとも一対のサイドヨークとから成り、コアレスコイルとサイドヨークとが相対的に移動するコアレス交流多相リニアモータにおいて、
前記サイドヨークの磁気ギャップ中に挿入されるコアレスコイル部分が全体的に挿設可能な容器であって、前記磁気ギャップに相対移動可能に挿設可能な極非磁性であるオーステナイト系のステンレス鋼の板状乃至柱状材に対する側端からの刳り抜き加工により形成した、前記側端側のみが開口し、該開口部廻りにフランジ状の拡大密閉接合部を有する前記挿設可能な容器と、該容器の前記開口を廻りの前記接合部においてシール部材を介して閉塞密閉する蓋体とを有することを特徴とするコアレス交流リニアモータ。
【請求項２】
前記の刳り抜き加工が、エンドミル工具による加工可能深さ位置までの深さで、移動方向に伸びる細溝形成加工と、該加工形成された細溝底に対するドリル工具によるほぼ所定容器穴深さ迄の穴掘りを移動方向に所定の間隔で行う穴列設加工の機械加工と、刳り抜き容器穴形状及び寸法に見合う板状電極材を工具電極とする放電形彫り加工により所定の表面粗さの寸法、形状に仕上げられて成るものであることを特徴とする請求項１に記載のコアレス交流リニアモータ。
【請求項３】
前記一対のマニホルド間の扁平状冷却配管が、極非磁性であるオーステナイト系のステンレス鋼から成る筒状の冷却管の所定複数本を相互に非接触で平行に配設して成るものであることを特徴とする請求項１又は２に記載のコアレス交流リニアモータ。
【請求項４】
前記シール部材が前記開口廻りを囲む真空Ｏリングであることを特徴とする請求項１、２又は３に記載のコアレス交流リニアモータ。
【請求項５】
前記コアレスコイルを挿設し、前記蓋体を取り付けて密閉した状態の容器が、溶接又はロー付けによる密閉接合部を有しないコアレスコイル体であることを特徴とする請求項１、２、３又は４に記載のコアレス交流リニアモータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、クリーンルームや真空環境などでの半導体製造装置などの高精度、高頻度、微細送り駆動に好適に用いられようにしたコアレス交流リニアモータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、真空チャンバ内の真空環境下で、軸移動の送り及び位置決めを行なう装置の構造としては、先ず、最も簡単には、駆動装置をチャンバの外に設置し、チャンバ室内の被駆動部分とチャンバ室外の駆動装置の軸移動部分とをアームで連結し、該アームの途中に大気と遮断する伸縮可能な素材で出来たベローズ等を設ける構成が有る。しかし、前記ベローズ等の剛性が邪魔をしたりするだけでなく、前記アームの撓み等の問題もあって精密な位置決め送りが難しく、床面積が大きくなる等の問題が有った。
【０００３】
次に、駆動装置を真空チャンバ内に設置することが考えられるが、前記駆動装置として、回転形のモータとボールねじ及び案内と位置検出用エンコーダを組み合わせたものが、前記真空チャンバ内で仮に使用できたとしても、バックラッシュやロストモーションなどのため、コイルと磁石をヨーク鉄芯に配置したリニアモータ及び直線案内と位置検出装置との組み合わせから成る駆動装置に比較して、位置決め精度や応答速度、及び移動速度などの点で劣るため、採用されることはない。
【０００４】
ところで、前述のようなリニアモータ使用の駆動装置を真空チャンバ内に設置して位置決め駆動すると、精度の高い駆動や動きの早い駆動が出来て、初期の目的は達するものの、経時的に、しばしば、リニアコイル側からのアウトガス発生の問題が生じ、真空環境を汚染し、性能がバラツクなどの問題があった。
具体的には、例えば、電子顕微鏡などでは、アウトガスの成分が試料表面に焼き付いたり、レンズ表面に付着して観察出来なくなるとか、また液晶のラインなどでは、アウトガスの成分が、コンタミとなって製品に焼き付いてしまう事などである。
【０００５】
ところで、本発明者等は、先に特願２００２−３２０６７５号として「コアレス交流リニアモータ」の提案を行なって居り、之が好適に有用なものであるところから、適用の拡大が望まれているものである。
前述のコアレス交流リニアモータの基本的な構成は、
単線を中空孔を有せしめて所定の数集中巻きして成る略扁平な多相のコイルを、重ね巻き配置によりモータの移動方向に相順に配列するように構成されるコアレスコイルであって、
移動方向に所定の間隔を置いて相対向する一対の柱状マニホルド間に、冷媒の通路を複数個長さ方向と、直角な板面方向に平行に内設した板状の扁平状冷却配管を連結して成り、前記配列されたコイルの中空孔に前記扁平状冷却配管を挿通させて相互に密着させ、樹脂モールド又は接着剤により一体化して板状に形成して成るコアレスコイルと、
前記移動方向に沿って永久磁石片を順次に異極に列設して前記コアレスコイルを相対移動可能に挿設する磁気ギャップを形成するように相対向して配設される少なくとも一対のサイドヨークとから成り、コアレスコイルとサイドヨークとが相対的に移動すると言ったものである。
【０００６】
前述真空チャンバ内に設置使用されるリニアモータのコイル及びその機器部分は、出来るだけガス放出が少なく、即ち、前記コイル部のモールド樹脂やケーブル、エナメル等の各素材から、また、材料表面に吸着された物質の離脱や材料内部に吸蔵されるガスの拡散によって生じないように、リニアコイル及びその機器部分を真空域から隔離するよう、所謂キャンによる膜隔壁により密封するか、筐体又はケーシング状キャンに収納して密封するようにして、使用素材に対する制限を緩和するようにしている。（特許文献１，特許文献２参照）
【特許文献１】実開平０６−４１３８１号公報
【特許文献２】実開平０６−７０４８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記キャンの素材としては、通常、耐熱、耐蝕性で非磁性の、そして渦電流が大きくならないように電気抵抗値が大きい、即ち、極非磁性であるオーステナイト系の例えば、ＳＵＳ３０３やＳＵＳ３０４等のステンレス鋼が用いられ、該キャンの密封継ぎ目は、ロー付け等のものも有るが、その多くは生産性上の観点から、溶接により製作されている。しかし、この溶接による接合密封では、上述したステンレス鋼の場合に限らず、例えば、Ａｌ合金材使用の場合にも、溶接部に小さなピンホールが出来易いと言う問題があった。
【０００８】
例えば、キャンとして上述のようなステンレス鋼を用いた場合、例えば、所謂Ｔｉｇ溶接（アルゴンまたはヘリウム、あるいはその混合ガスなどの不活性ガス雰囲気中で、タングステン電極と母材との間にアークを発生させ、母材を溶融）で行なわれるが、溶接部分に小さなピンホールが出来易く、リニアモータのコイル等１次側部材を収納するキャンでは、挿入開口は大きく、溶接ルートが可成り長大なものとなるから、溶接作業には熟練を要するものであった。
【０００９】
そして、上記の出来たピンホールが、貫通孔の場合には、気密が保てず、キャンケーシング内部からエア漏れを生じるから、補修またはやり直しが必要なことが生じていた。また前記ピンホールが貫通孔でない止まり孔の場合は、勿論ケーシング内部からのエア漏れは出ないが、それでもピンホール内に残った空気や溶接ガスの脱気に時間が掛かり、容易に取り切れないことから問題が生じることが有った。
【００１０】
従って本発明は、前述のような構成を有するコアレス交流リニアモータを真空環境で使用することができるように、コアレスコイルの１次側を密閉して収納するキャンケーシングを溶接やロー付けによる密閉部のない新規にして有用な密閉構造とすること、そして、前記１次側部材の使用素材に対する制限を緩和して、高精度で高応答の、また高速度で高頻度の高真空中に於ける位置決め駆動を実現するコアレス交流リニアモータの提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述の本発明の目的は、（１）単線を中空孔を有せしめて所定数集中巻きして成る略扁平な多相のコイルを、重ね巻き配置によりモータの移動方向に相順に配列するように構成されるコアレスコイルであって、
移動方向に所定の間隔を置いて相対向する一対の柱状マニホルド間に、冷媒の通路を複数個長さ方向と、直角な板面方向に平行に内設した板状の扁平状冷却配管を連結して成り、前記配列されたコイルの中空孔に前記扁平状冷却配管を挿通させて相互に密着させ、樹脂モールド又は接着剤により一体化して板状に形成して成るコアレスコイルと、
前記移動方向に沿って永久磁石片を順次に異極に列設して前記コアレスコイルを相対移動可能に挿設する磁気ギャップを形成するように相対向して配設される少なくとも一対のサイドヨークとから成り、コアレスコイルとサイドヨークとが相対的に移動するコアレス交流多相リニアモータにおいて、
前記サイドヨークの磁気ギャップ中に挿入されるコアレスコイル部分が全体的に挿設可能な容器であって、前記磁気ギャップに相対移動可能に挿設可能な極非磁性であるオーステナイト系のステンレス鋼の板状乃至柱状材に対する側端からの刳り抜き加工により形成した、前記側端側のみが開口し、該開口部廻りにフランジ状の拡大密閉接合部を有する前記挿設可能な容器と、該容器の前記開口を廻りの前記接合部においてシール部材を介して閉塞密閉する蓋体とを有するコアレス交流リニアモータとすることにより達成される。
【００１２】
また、前述の本発明の目的は、（２）前記の刳り抜き加工が、エンドミル工具による加工可能深さ位置までの深さで、移動方向に伸びる細溝形成加工と、該加工形成された細溝底に対するドリル工具によるほぼ所定容器穴深さ迄の穴掘りを移動方向に所定の間隔で行う穴列設加工の機械加工と、刳り抜き容器穴形状及び寸法に見合う板状電極材を工具電極とする放電形彫り加工により所定の表面粗さの寸法、形状に仕上げられて成る前記（１）に記載のコアレス交流リニアモータとすることにより達成される。
【００１３】
また、前述の本発明の目的は、（３）前記一対のマニホルド間の扁平状冷却配管が、極非磁性であるオーステナイト系のステンレス鋼から成る筒状の冷却管の所定複数本を相互に非接触で平行に配設して成る前記（１）または（２）記載のコアレス交流リニアモータとすることにより達成される。
【００１４】
また、前述の本発明の目的は、（４）前記シール部材が前記開口廻りを囲む真空Ｏリングである前記（１）、（２）または（３）に記載のコアレス交流リニアモータとすることにより達成される。
【００１５】
また、前述の本発明の目的は、（５）前記コアレスコイルを挿設し、前記蓋体を取り付けて密閉した状態の容器が、溶接又はロー付けによる密閉接合部を有しないコアレスコイル体である前記（１）、（２）、（３）または（４）に記載のコアレス交流リニアモータとすることにより達成される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、高真空に対する密閉キャン容器に溶接やロー付け処理部が無く、コアレスコイルを挿入する開口のある容器は、むくの素材に対する刳り抜き加工により製作され、前記開口の密封閉塞は、前記開口廻りにフランジ状に形成した拡大密閉接合部に対する蓋体のＯリング介在ボルト締め付け接合により行なわれるものであるから、溶接やロー付けに起因するアウトガスの生成や気密性に対する問題が無く信頼性が高く，歩止まりが高い。
【００１７】
また、キャン容器によって密閉された内部のコアレスコイルに対する電流導入端子は周知のシール手段により容易に密閉の目的を達することができ、またコイルに対する冷却手段としての冷媒流通管路の気密接続や気密設置構成も周知技術により容易に目的を達成し得るものであり、コアレスコイルに密着する扁平状冷却配管の設置により効率良く冷却できるので、モータとしての作動性能を高く保ち、熱による変形損傷なく使用することが出来る。
【００１８】
また、前記扁平状冷却配管及び該配管を取り付け保持して所望に配置する一対のマニホルドの構成素材としては所定以上の熱伝導度を有する非磁性材であることが必要で、ＡｌまたはＡｌ合金、及びＣｕまたはＣｕ合金等が好適に使用されるが、本発明では、極非磁性であるオーステナイト系のステンレス鋼とすることにより、冷却配管構造物がコアレスコイルの機械的強度、剛性を格段に向上させるから好ましいものであり、前記ステンレス鋼とすることにより電気抵抗が大きいから、うず電流を小さく押さえて粘性抵抗を小さくでき、さらに実施例のように扁平状冷却配管を前記ステンレス鋼から成る筒状の冷却管の所定複数本を相互に平行で非接触に配設したものとすることにより、前記うず電流の発生、作用をさらに一段と低下させることが出来るので好ましいものである。
【００１９】
前述キャン容器の形状、寸法は、コアレスコイルを挿設する開口が、例えば、８．５ｍｍ×２８０ｍｍで、深さが７０ｍｍと言う細くて深い溝状の四角穴であるから、これをむくの板状乃至柱状のステンレス鋼に対する刳り抜き加工で、生産性のある状態での加工形成を、所定の寸法形状に削り落とし成形後、前記細くて深い四角穴を穴開口から穴深さ方向の加工として、ドリル工具による穴底近くまでの穴列設の穴掘り加工と、エンドミル工具による可能な深さ迄の溝形成加工と言うように可能な範囲の加工を機械加工によって行なった後、刳り抜き容器穴形状及び寸法に見合う板状電極材を工具電極とする放電形彫り加工により、好ましくは荒加工と仕上げ加工の如く複数段の加工により、所定の寸法、形状および表面粗さに仕上げるようにするものであるから、各種加工手段の特色を活かした状態で効率良く、四角穴を形成して一体物のキャン容器を製作することが出来る。
【００２０】
そして、本発明は、上述のように製作されたキャン容器の開口から、一対の筒または柱状マニホルドに両端を連結固定した扁平状冷却配管に、重ね巻き配置により移動方向に相順に配列したコアレスコイルの中空孔を挿通状態で、樹脂モールド又は接着剤により一体の板状体化した構成物を必要なベーキング処理の後挿入してボルト等の機械的手段や接着剤等により固定するものであるが、本発明によれば、キャン容器の穴内面は、前述のように放電加工により仕上げられた梨地状の凹凸に富んだ放電加工面であるから、樹脂モールド又は接着剤により形成されたコアレスコイル構成体との接触摩擦が大きく、従って、ガタの無い安定した固定状態を容易に得ることが出来ると言う利点がある。
【００２１】
そして、本発明によれば、１次側電機子のコアレスコイルの密閉は殆ど完全で安定したものとなるから、コアレスコイル側の構成素材として、特にガスの吸蔵や発生が少ない真空用素材ばかりを選ぶ必要がなく、素材の選択自由度が高いから、コアレスコイルとして所期の機能を発揮する素材及び構成として設計の自由度が増大する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１乃至図７は、本発明の真空環境用コアレスコイル交流リニアモータの一実施例の構成の概略を説明するために、各部の部分や断面等を示した概略図である。
図１乃至図３は、２次側サイドヨークの正面図、平面図、及び切断面図で、移動方向に長尺に延びる一対のサイドヨーク１、２に、移動方向に沿って永久磁石片１−１、１−２、・・・１−ｉ、・・・１−ｎ、２−１、２−２、・・・２−ｉ、・・・２−ｎを夫々順次に異極に所定のピッチで列設させたものを、後述真空キャンに包まれて板状に形成されたコアレスコイルを相対移動可能に挿設する所定間隔を有する磁気ギャップ３を形成するように対向並設し、このサイドヨーク１、２の移動方向と直角方向の少なくとも一方の端縁間をセンタヨーク４で結合して成るものである。
【００２３】
図４乃至図７は、コアレスコイルを含む１次側電機子が、キャン容器に包まれて密閉された構成の一実施例と、該一実施例のコアレスコイルと前述サイドヨークを含む２次側界磁磁石との配置構成を示している。
【００２４】
コアレスコイル５は、図６に示すように、単線を中空孔５Ａを有せしめて所定数集中巻きにして略扁平ドーナツ板状に形成したコイル５によってＵ、Ｖ、Ｗ各相のコイルを構成し、該コイル５から成る多相のコイルを重ね巻き配置によりモータの移動方向にＵ、Ｖ、Ｗの相順に順次に配列した集合体を板状体とするもので、図示では可視状態に示してあるが、実際には、エポキシ樹脂などのモールド樹脂や接着剤６により、前記中空孔５Ａに挿設した多孔の扁平状冷却配管７とその両端に設けた冷却液給配流通のマニホルド８、９と共に一体にモールドされ、上端部にフランジ状の拡大密閉接合部１０Ａを有し、該上端側が開口する狭い深溝で、移動方向に長く伸びる比較的簿い肉厚のキャン容器１０中に挿入されて、モールド樹脂の追加充填などにより一体化されているものである。
【００２５】
前述のコイル５の冷却構造物である一対のマニホルド８、９及び通常多孔の扁平状冷却配管７は、コアレスモータであるために非磁性体であることが必要で、ＡｌまたはＡｌ合金、あるいはＣｕまたはＣｕ合金製のものを使用し得るが、うず電流による粘性抵抗を低くしたい場合及び発熱を低く押さえたい場合には、勿論非磁性かつ良熱伝導体で、電気抵抗がＡｌ合金より大きい合金を、そしてコアレスコイル５の機械的強度及び剛性が、前述の本発明の構成に依れば、マニホルド８、９と扁平状冷却配管７に依存しているから、Ａｌ合金やＣｕ合金より機械的強度の大きく、好ましくは冷媒に対し耐食性のある、また熱に対して強い耐熱性のある極非磁性のオーステナイト系のステンレス鋼製として、ＳＵＳ３００番台（Ｃｒ−Ｎｉ系）のものや、ＳＵＳ２００番台（Ｃｒ−Ｎｉ−Ｍｎ系）のものも使用可能である。
【００２６】
例えば、前記キャン容器１０や後述する密閉用蓋体１１は、主に切削及び研削、研磨により成形加工が行なわれるので、ＳＵＳ３０４のように切削熱により部分的にマルテンサイト系の弱磁性に変化することがないＳＵＳ３０３等の快削ステンレス鋼を使用するのが好ましく、また、マニホルド８、９は後述する本発明の好ましい実施の形態においては、前記扁平状冷却配管７がロー付けにより取り付けられるので、かかる場合には溶接熱やロー付け熱などによりマルテンサイト系の弱磁性に変化することが少ない、例えば、オーステナイト系であるＳＵＳ３１６系のステンレス鋼を用いるとロー付けが良好に行われるので好ましいものである。なお、チタンまたはチタン合金は非磁性体であるため扁平状冷却配管７及びマニホルド８、９等の製作可能な素材であるが、極めて高価となるため現実的でない。
【００２７】
１１は、前記キャン容器１０の上方開口廻りのフランジ状の拡大密閉接合部１０Ａの上面接合面と全周で接合し、その間にシール部材、例えば、円または長楕円状のＯリング（例えば、Ｖ２２５）１２を介設させて多数のボルトで締め付けることにより気密に密閉する、好ましくは、前記冷却配管７やマニホルド８、９と同一または同種の素材、従ってオーステナイト系で極非磁性のステンレス鋼から成る蓋体で、図示実施例の場合両マニホルド８、９の上端に形成された冷媒流通開口が、蓋体１１に形成された給排口とＯリング（例えば、ｐ７）を介して気密に嵌合する。例えば、前記蓋体１１の下面のＯリング溝の挿入されたＯリングが、キャン容器１０にボルト固定されたマニホルド８、９の上端面に押し付けられ、該Ｏリングが押し潰すことにより気密にシールされる。
【００２８】
１１Ａは、蓋体１１の内面側中央部領域、前記キャン容器１０のフランジ状拡大密閉接合部１０Ａと接合のために相対向しないコアレスコイル１５の挿設部上方領域に形成された凹部で、後に説明するように、コアレスコイル５のワイヤハーネスを蓋体１１外部に引き出すための端子台を含むワイヤハーネスの収容部で、密閉後必要に応じ、穴１１Ｅからモールド樹脂が充填される。なお、前記両マニホルド８，９は、上端が蓋体１１の前方及び後方端近くの外周肉厚部下面に吊持保持される構成であっても良い。
【００２９】
図８乃至図１２は、前記キャン容器１０の詳細図で、図８は上方から見た平面図、図９は図８のＤ−Ｄ線に沿う切断側面図、図１０は下方から見た平面図、図１１は容器１０を図９のＥ−Ｅ線で切断した切断正面、また図１２は容器１０を図９のＦ−Ｆ線で切断した切断正面図である。図において、１０Ｂは容器開口、１０Ｃは前記開口１０Ｂの周りを取り囲むように密閉接合部１０Ａの接合面に形成され、矢符に沿うように磨かれた前記Ｖ２２５Ｏリング受け座、また１０Ｄは容器１０の冷却配管7を含むコアレスコイル５を挿設する細溝状の容器部と、フランジ状拡大密閉接合部１０Ａ間の繋がり部（開口１０Ｂ部廻り）を補強する肉厚部である。
【００３０】
図１３乃至図１８は。前記蓋体１１の詳細図で、図１３は上方からの平面図、図１４は一部切欠き側面図、図１５は下方（裏面）から見た平面図、図１６は蓋体１１を図１３のＰ−Ｐ線で切断した切断正面図、図１７は同じくＧ−Ｇ線切断正面図、また図１８は同じくＨ−Ｈ線切断正面図である。図において、１１Ｂは、後述する蓋体１１上に取り付けられる電流導入端子１３真下のワイヤハーネスリードの導入及び導出口、１１Ｃは前述キャン容器１０側のＯリング受け座１０Ｃに対応するＯリング受け座、また１１Ｅは、冷却配管７付コアレスコイル５を挿設したキャン容器１０をＯリング１２を介設させ、蓋体１１を被せてボルト締めし、密閉した後、必要に応じ容器内の空所にモールド樹脂を注入するための樹脂充填口であるが、該開口１１Ｅは、製作後における気密テストで、例えば、Ｈｅリークテストをする際に、真空引きする穴としても使用するものである。
【００３１】
前記の図１６及び図１７は、蓋体１１の前述マニホルド８、９に対応する部分の切断面図で、冷媒の導入路９Ａ、及び排出路８Ａが、蓋体１１の外周密閉接合部の板厚内に形成されていることを示しており、更に、導入路９Ａより導入された冷媒は蓋体１１の側部内に長さ方向に刳り抜き形成された管路９Ｂを経て後方側のマニホルド９に達し、扁平状冷却配管７を流通してコアレスコイル５体内の発生熱を回収し、前方のマニホルド８を介し排出路８Ａから外部プラグへと導かれるように導管路が形成され、発生熱を効率よく回収及び排出されるように配慮されている。なお、前記導入路９Ａ及び排出路８Ａの各開口には、冷却媒体の給排管を連結するための適宜のメクラプラグ１８（図４、図６、図２８）が設けられること勿論である。
【００３２】
図１９乃至図２２は、前記一対のマニホルド８、９と扁平状冷却配管７との組み合わせからなるコイル５冷却部材の好ましい実施例の詳細図で、図１９は上方から見た平面図、図２０は側面図、図２１は図２０のＪ方向の正面図、また図２２は、図２０のＫ−Ｋ線に沿う切断拡大正面図である。図に於いて、一対のマニホルド８、９と扁平状冷却配管７は、最良の実施の態様としては、ＡｌやＣｕ合金、或いはＴi合金ではなく、オーステナイト系の極非磁性のステンレス鋼から構成されたものであって、さらに扁平状冷却配管７が、うず電流の発生及び流れを抑制するために、素材として電気抵抗の大きいステンレス鋼を選定した上に、図２０と図２２から判るように、前記の扁平状冷却配管７が、細径の冷却管７Ａ−１、７Ａ−２、・・・７Ａ−ｉ、・・・７Ａ−ｎの所望複数本を相互に微小間隔ｄを置いて非接触で平行に一列または複数列等で所望扁平状に形成したもので、隣り合う冷却管７Ａにわたってうず電流が流れるのを防止しており、かつ、ステンレス鋼であるから強度的には充分なものがあり、コアレスコイル５を薄く構成できると共に、重量を大きくし過ぎないと言う利点もある。なお、前記冷却管７Ａ−１、７Ａ−２、・・・のマニホルド８，９への取り付けは、銀ロー等のロー付けやＴｉｇ溶接によってなされる。また、図２１に示すように、マニホルド８、９の頂部に移動方向と直角方向に伸びる鍔部８Ａ、９Ａにより、該各マニホルド８、９をキャン容器１０の前方及び後方端部において、密閉接合部１０Ａにねじ止めする外、前述の蓋体１１の前方及び後方端の下面部と之に対向するキャン容器１０のマニホルド受け座１０Ｅ（図９、図１１、及び図１２）間で、前記各マニホルド８、９の鍔部８Ａ、９Ａを挟み固定する構成であっても良い。
【００３３】
図２３乃至図２７は、前記蓋体１１のワイヤハーネスリードの導入及び導出口１１Ｂの外部に設けられる電流導入部の詳細図で、図２３と図２４図はリード線誘導路１４Ａを有するブロック１４の正面図とＬ−Ｌ線に沿う切断面図、図２５は前記ブロック１４の前面に、例えば、Ｖ２４Ｏリング等を介し気密に取り付けられる電流導入端子１５の正面図で、図２６は図２５のＭ−Ｍ線に沿う切断面を下方から見た平面図、また図２７は図２５のＮ−Ｎ線に沿う切断面図である。
【００３４】
図に於いて、ブロック１４は、リード線誘導路１４Ａをワイヤハーネス導出入口１１Ｂに、例えば、Ｖ２４Ｏリング等により気密につながるように蓋体１１外表面に取り付けられており、該ブロック１４の前面には電流導入端子１５が、真空フランジ１６に、銀ロー付けにより取り付けられている。前記電流導入端子１５は、勿論Ｕ、Ｖ、Ｗ、及びＥの各相の端子が設けられているものである。
【００３５】
図２８は、前述各詳細図により示して説明した部材他を用いて製作した本発明コアレス交流リニアモータの前述図６と同様なコアレスコイルの組立図である。
【００３６】
所で、前述のコアレスコイルの各相Ｕ、Ｖ、及びＷの各1個のコイルは、例えばφ０．４４ｍｍのエナメル焼付け銅線を前記中空孔５Ａに相当する断面１７×５０ｍｍの仮巻枠に、幅４ターン（約２ｍｍ幅）で、１９層（全７６ターン）にわたって集中巻きしたものを、前記仮巻枠から抜き取るなどして製作され、図示実施例の場合各相９個で、計２７個用意される。
【００３７】
他方、扁平状冷却配管７は、外径φ４．０ｍｍ、肉厚０．５ｍｍ、長さ２５０ｍｍのステンレス鋼管を図２２のように半楕円状に短径側外径約３ｍｍに押し潰したものを、前記間隔ｄ≒０．５ｍｍで平行に並べて（幅約３５ｍｍ）、マニホルド８、９に両端をロー付け固定（８、９間内内寸法長さ約２４４ｍｍ）する。
【００３８】
前記コイルの中空孔５Ａを冷却配管７に挿通し、図示のように各相のコイルを重ね巻き配置によりモータの移動方向に相順に配列し、そして、必要に応じ各コイルの移動方向の両端側の重ね巻き部分を、押し曲げにより平坦化を行い、エポキシ樹脂モールドにより約８．０ｍｍ厚に仕上げられる。
【００３９】
上述のモールドコアレスコイルの寸法、形状から、キャン容器１０の開口１０Ｂの溝幅は約８．５ｍｍ、キャン容器１０の両側壁は強度を考慮すると約２．０ｍｍ厚が必要で、前後端壁厚はそれ以上が必要と考えられる。そうするとキャン容器部分の外径寸法は大凡８０×２９５×１２．５ｍｍ、内径寸法は大凡７０×２８０×８．５ｍｍと言うことになる。
【００４０】
しかるに、この開口約８．５ｍｍと言う溝幅で、深さが約７０ｍｍと開口比で約９倍弱と深く、長さが約２８０ｍｍと長大な細深溝を高精度に加工時間短くて効率的に加工し得ると言う加工方法は、単一の加工方法としては存在しない。加工可の可能性としては加工形成する穴に相補の形状電極を工具電極として使用する形彫放電加工方法の利用が考えられるが、全部の加工を放電加工で行なうとすると、可成り長大の加工時間を要し、生産性が悪く、高価となって、本発明へ適用することは出来ないものと思われる。
【００４１】
そこで、本発明は、前述した素材特性のステンレス鋼、例えば、ＳＵＳ３０３の柱状材または適宜の板状材から、切断、外形削り加工により図８乃至図１２に示したキャン容器１０の開口１０Ｂ上方側にフランジ状の拡大密閉結合部１０Ａに一体に繋がる外形材を削り出す。そして必要に応じ、拡大接合部１０Ａの大略の加工、例えば、結合面の加工成形、Ｏリング受け座１０Ｃの大凡の加工形成、及び容器１０の前後端部におけるマニホルド頂部の受け座１０Ｅの大凡の加工成形をする。
【００４２】
次に、キャン容器部１０部に対応する細幅の柱状部１０Ｆに対する加工を、ＮＣフライス盤又はマニシングセンタを用いエンドミル工具による刳り抜き溝加工により、両側壁として夫々約２ｍｍの肉厚壁が形成されるように、約８．５ｍｍの溝幅の細溝穴加工を拡大結合部の側から、長さ方向の全長にわたって加工成形する。しかし、この加工では、加工溝幅の大きさとエンドミル工具の軸長との関係から深さ方向に対して約３０〜４０ｍｍ程度迄しか掘り下げられない。
【００４３】
そこで、次に、工具を、例えば、穴径約φ７．５ｍｍで、深さ約７０ｍｍの丸穴を明け得るドリルに交換し、前工程で加工した溝底から、さらに約４０〜３０ｍｍ深さの、ほぼ所定容器穴深さ迄の穴掘り加工を、長さ方向に約８ｍｍの間隔で、穴列設（約３５個）の穴加工をする。
【００４４】
そこで、次に、前工程のドリルでの穴列設加工により、加工取り代が減少したエンドミル加工溝底からの残り約４０〜３０ｍｍの深さ（上縁から約３０〜４０ｍｍの位置から所定溝穴深さ約７０ｍｍの）位置まで、例えば、荒加工と仕上げ加工の如く、複数の加工工程で、掘り下げの放電加工と、エンドミル加工の側壁部分等を含む容器穴の寸法及び表面仕上げの放電加工とを、前記エンドミル加工穴に嵌合する銅又はグラファイト等の電極材を用いて製作した工具電極により、必要に応じ、工具電極交換を行いながら放電加工をして、所定の穴寸法及び表面粗さ精度に仕上げ、キャン容器の細深溝の穴がむくの素材から溶接部などの無い一体物の刳り抜き加工で製作されるのである。
【００４５】
上記の型工具電極による放電加工は、加工穴が深いため、所望の近接加工期間の後、工具電極を被加工体から相対的に穴深さ加工位置に応ずる所望長さ離隔（ジャンプ）させた後、近接移動により加工位置に復帰させるジャンプ作動を併用する加工を採用するものであり、さらには前記工具電極の主軸を加工のサーボ制御送りと共に前述ジャンプ運動を行なわせる主軸駆動にリニアモータを用いた形彫り放電加工機を使用するのが望ましい。
【００４６】
このようにして製作されたキャン容器１０に依れば、樹脂モールドにより、マニホルド８、９及び扁平状冷却配管７と多相のコイルの複数組とを一体の板状体に成形したコアレスコイル５を開口１０Ｂから嵌挿設置し、そして容器内壁に接着剤等により固定することが出来るが、前記内壁面は放電加工により仕上られた変化に富んだ梨地状等の凹凸面（例えば面粗さ３２μＲｍａｘ）であるから、コアレスコイル構成体との接触摩擦が大きく、安定した固設状態を保たせることが出来るものである。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明のコアレス交流リニアモータは、真空環境で送り駆動される半導体製造装置などの送り駆動源などとして有効に使用される。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明のコアレス交流リニアモータに用いる２次側ヨーク鉄芯を移動方向に平行に見た正面図。
【図２】同じく、移動方向を左右として上方から見た平面図。
【図３】同じく、図２のＡ−Ａ線に沿う切断側面図。
【図４】本発明のコアレス交流リニアモータに用いる1次側コイルの収納容器の蓋体を上方から見た平面図。
【図５】本発明のコアレス交流リニアモータの実施例で、一部に断面を含む正面図。
【図６】図３の切断側面図に、本発明実施例の１次側コアレスコイルの図５のＢ−Ｂ線に沿う切断側面を樹脂モールドを省略した状態で示した断面側面図。
【図７】図６のＣ−Ｃ線に沿う切断平面図。
【００４９】
【図８】本発明のコアレス交流リニアモータに用いるキャン容器を上方から見た平面図。
【図９】同じく、図８のＤ−Ｄ線に沿う切断側面図。
【図１０】同じく、下方から見た平面図。
【図１１】同じく、図９のＥ−Ｅ線に沿う切断正面図。
【図１２】同じく、図９のＦ−Ｆ線に沿う切断正面図。
【００５０】
【図１３】本発明のコアレス交流リニアモータに用いるキャン容器に対する蓋体を上方から見た平面図。
【図１４】同じく、側方から見た一部切り欠き側面図。
【図１５】同じく、下方（裏）から見た平面図。
【図１６】同じく、図１３のＰ−Ｐ線に沿う切断正面図。
【図１７】同じく、図１３のＧ−Ｇ線に沿う切断正面図。
【図１８】同じく、図１３のＨ−Ｈ線に沿う切断正面図。
【００５１】
【図１９】本発明のコアレス交流リニアモータに用いるコイル冷却用の実施例扁平状冷却配管を上方から見た平面図。
【図２０】同じく、側方から見た側面図。
【図２１】同じく、図２０のＪ方向の図。
【図２２】同じく、図２０のＫ−Ｋ線に沿う切断拡大正面図。
【００５２】
【図２３】蓋体の電流導入部に設けたブロックの正面図。
【図２４】同じく、図２３のＬ−Ｌ線に沿う切断側面図。
【図２５】同じく、図２３のブロック正面に取り付けられる電流導入端子の正面図。
【図２６】同じく、図２５のＭ−Ｍ線に沿う切断平面図。
【図２７】同じく、図２５のＮ−Ｎ線に沿う切断側面図。
【図２８】本発明コアレス交流モータの図６と同様なコアレスコイルの組立図。
【符号の説明】
【００５３】
１、２    サイドヨーク
１−１、１−２、・・・１−ｉ、・・・１−ｎ    永久磁石片
２−１、２−２、・・・２−ｉ、・・・２−ｎ    永久磁石片
３    磁気ギャップ
４    センタヨーク
５    コアレスコイル
５Ａ    中空孔
６    モールド樹脂
７    扁平状冷却配管
７−１、７−２、・・・７−ｉ、・・・７−ｎ    冷却管
８、９    マニホルド
１０    キャン容器
１０Ａ    フランジ状拡大密閉接合部
１０Ｂ    開口
１１    蓋体
１１Ａ    凹部
１２    Ｏリング
１３    端子台
１４    ブロック
１５    電流導入端子
１６    真空フランジ
１７    冷却液給排用真空対応チューブ継手
１８    メクラプラグ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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