(57)【要約】【課題】  ごく簡易な構成で、吐出するインク（液状体）の量を従来に比して一定にすることができ、吐出むら等の不具合の生じ難い液滴吐出装置を安価に提供する。【解決手段】  本発明の液滴吐出装置は、液状体を吐出可能なヘッド１６を備えた液滴吐出装置１０であって、前記液状体を吐出するための第１パルス信号と、前記第１パルス信号が送信される直前であって、前記液状体を吐出しない程度の第２パルス信号とを前記ヘッド１６に対して送信可能な制御手段を備えたことを特徴とする。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状体を吐出可能なヘッドを備えた液滴吐出装置であって、
前記液状体を吐出するための第１パルス信号と、前記第１パルス信号が送信される直前であって、前記液状体を吐出しない程度の第２パルス信号とを前記ヘッドに対して送信可能な制御手段を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記ヘッドは、ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内の液状体を加圧することにより前記ノズル開口から液状体を吐出させる圧力発生素子とを有し、
前記第１パルス信号は、前記圧力発生素子を定常状態から前記液状体を吐出可能な状態まで連続的に収縮させる第１収縮信号と、収縮した圧力発生素子を第１収縮状態にて維持させる第１維持信号と、該圧力発生素子の第１収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に回復させる第１回復信号とを有し、
前記第２パルス信号は、回復した圧力発生素子を前記液状体が吐出しない程度に収縮させて第２収縮状態にする第２収縮信号と、収縮した圧力発生素子を該第２収縮状態にて維持させる第２維持信号と、該圧力発生素子の第２収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に再回復させる第２回復信号とを有し、
前記制御手段は、前記圧力発生素子に対して前記第１パルス信号及び前記第２パルス信号を送信可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記第２パルス信号が、前記ヘッド内の液状体を一時的に引き込むための信号であることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記第２パルス信号の波高値が、前記第１パルス信号の波高値よりも相対的に低いことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記第２パルス信号を、前記液状体を最高駆動周波数で吐出した場合にのみ送信することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液滴吐出装置を用いることを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項７】
液状体を吐出可能なヘッドを備えた液滴吐出装置を用いる液滴吐出方法であって、
前記液状体を吐出するための吐出ステップと、前記吐出ステップの直前に、前記液状体を吐出することなく前記ヘッド内の液状体を一時的に引き込む引込ステップとを有することを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の液滴吐出方法を用いたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法、電気光学装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、微小なインク滴を着弾させるインクジェット方式を応用して、微細な構造を有するデバイスを製造する方法が提案されている。このインクジェット方式を実現するインクジェット装置（液滴吐出装置）は、インクを吐出するインクジェットヘッドを備えており、該インクジェットヘッドは、外部から供給されるインクを一時的に蓄えるインク室と、インク室内のインクを加圧して所定量のインクを吐出させる駆動源となる圧電素子（例えば、ピエゾ素子）と、インク室からのインクが吐出されるノズルが穿設されたノズル面とを備えている。そして、インクジェットヘッドは、互いに等ピッチ間隔に配置されてヘッド群を構成しており、ヘッド群をスキャン方向（例えば、Ｘ方向）に沿って基板に対してスキャンさせながらインクを吐出させていくことで、基板上に例えばＲ，Ｇ，Ｂ等の各インクを着弾させている。一方、スキャン方向に対して直交する方向（例えば、Ｙ方向）における基板の位置調整は、基板を載置する載置台を移動させることにより行われる。
【０００３】
上記のようなインクジェット装置を用いたインクジェット方式においては、短時間で連続的にインクを吐出すると、インク量が所定量から低下する減少が生じる場合がある。これはインク吐出後のノズル部へのインク供給が遅れてしまい、吐出されるインク体積が小さくなるためである。このように吐出インク量が不安定となると、吐出むらが生じ、製造されるデバイス等において欠陥が生じる惧れがある。そこで、このような問題を解決するために、例えば特許文献１のような技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−２５４６１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に開示された技術では、通常駆動周波数と最高駆動周波数とで異なった波形を入力することで、インク吐出量を一定に安定させるものである。しかしながら、この場合も、最高駆動周波数動作と、通常駆動周波数動作とに処理上分ける必要があり、複雑なソフトウェア処理が必要で、コスト高となる場合がある。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ごく簡易な構成で、吐出するインク（液状体）の量を従来に比して一定にすることができ、吐出むら等の不具合の生じ難い液滴吐出装置を安価に提供することを目的としている。また、本発明は、吐出するインク（液状体）の量を従来に比して一定にすることができる液滴吐出方法を提供すること、さらには、この液滴吐出方法を用いた電気光学装置の製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液状体を吐出可能なヘッドを備えた液滴吐出装置であって、前記液状体を吐出するための第１パルス信号と、前記第１パルス信号が送信される直前であって、前記液状体を吐出しない程度の第２パルス信号とを前記ヘッドに対して送信可能な制御手段を備えたことを特徴とする。
【０００７】
このような液滴吐出装置によると、第２パルス信号を送信することでヘッド内に液状体を引き込むことが可能となり、その結果、液状体の吐出量が低下する不具合が生じ難くなるため、吐出する液状体量を従来に比して一定にすることができ、吐出むら等の不具合発生を効果的に防止ないし抑制することができるようになる。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置の具体的な構成として、前記ヘッドは、ノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内の液状体を加圧することにより前記ノズル開口から液状体を吐出させる圧力発生素子とを有し、前記第１パルス信号は、前記圧力発生素子を定常状態から前記液状体を吐出可能な状態まで連続的に収縮させる第１収縮信号と、収縮した圧力発生素子を第１収縮状態にて維持させる第１維持信号と、該圧力発生素子の第１収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に回復させる第１回復信号とを有し、前記第２パルス信号は、回復した圧力発生素子を前記液状体が吐出しない程度に収縮させて第２収縮状態にする第２収縮信号と、収縮した圧力発生素子を該第２収縮状態にて維持させる第２維持信号と、該圧力発生素子の第２収縮状態を連続的に解放することにより、該圧力発生素子を前記定常状態に再回復させる第２回復信号とを有し、前記制御手段は、前記圧力発生素子に対して前記第１パルス信号及び前記第２パルス信号を送信可能に構成されているものとすることができる。
【０００９】
ここで、圧力発生素子の状態を連続的に変化させるとは、圧力発生素子の収縮率或いは回復率（拡大率）を略一定にする、すなわち圧力発生素子の時間に対する体積変化率を略一定にすることを意味するもので、例えば圧力発生素子に付与する収縮信号或いは回復信号を一定の時間変化率で変化させるものとすればよい。また、定常状態とは、圧力発生室内の容積が定常にある状態、つまり圧力発生室内の液状体に対して概ね或いは完全に圧力が付与されていない状態を意味するものであり、特に液状体がノズル開口から吐出されない状態を意味するものである。本発明では、例えば圧力発生素子において収縮信号が略或いは完全に送出されていない状態を言うものとすることができる。さらに、収縮状態とは、圧力発生素子が収縮して、圧力発生室内の容積を膨張させた状態、つまり液状体に対して吐出前の引き込みが行われた状態を意味するものである。
【００１０】
次に、本発明の制御手段が送信する第２パルス信号の波高値は、第１パルス信号の波高値よりも相対的に低いものである。これにより第２パルス信号の送信時に液状体が吐出されることを防止できる。また、制御手段は、第２パルス信号を、液状体を最高駆動周波数で吐出した場合にのみ送信するものとすることができる。最高駆動周波数で吐出した場合には、最も短い周期で連続的に液状体が吐出されるため、ヘッド内への液状体の供給が遅れ易く、液状体の吐出量低下が最も生じ易いものとなる。そこで、本発明のように最高駆動周波数で吐出した場合のみ、第２パルス信号を供給するものとすれば、吐出量低下を好適に防ぐことが可能となる。
【００１１】
なお、制御手段は、前記第２パルス信号を、前記圧力発生室のメニスカスの振動周期Ｘよりも大きく、当該ヘッドの駆動周期Ｙの２０％となる時間（０．２Ｙ）よりも小さい時間分、前記第１パルス信号の送信時期よりも早く送信することが望ましい。メニスカスの振動周期Ｘよりも小さい時間だけ早く送信したとしても、該メニスカスを好適に引き込むことができない場合がある一方、ヘッドの駆動周期Ｙの２０％となる時間（０．２Ｙ）よりも大きい時間だけ早く送信したとしても、吐出量低下を防ぐことができない場合がある。
【００１２】
次に、上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出方法は、上記本発明の液滴吐出装置を用いることを特徴とする。具体的には、液状体を吐出可能なヘッドを備えた液滴吐出装置を用いる液滴吐出方法であって、前記液状体を吐出するための吐出ステップと、前記吐出ステップの直前に、前記液状体を吐出することなく前記ヘッド内の液状体を一時的に引き込む引込ステップとを有することを特徴とする。このような液滴吐出方法では、液状体の吐出量が低下する不具合が生じ難くなり、その結果、吐出する液状体量を従来に比して一定にすることができ、吐出むら等の不具合発生を効果的に防止ないし抑制することができるようになる。
【００１３】
また、上記課題を解決するために、本発明の電気光学装置の製造方法は、上記本発明の液滴吐出方法を用いたことを特徴とする。具体的には、所定パターンに形成された機能層を含む電気光学装置の製造方法において、該機能層のパターニングを行うに際して、上述した液滴吐出方法を用いることができる。この場合、吐出むらの少ない、信頼性に優れた機能層を形成することができ、ひいては信頼性の高い電気光学装置を提供することができるようになる。
【００１４】
電気光学装置としては、有機ＥＬ装置、液晶装置等を例示することができ、具体的には機能層として発光層、カラーフィルタ層等を上述した液滴吐出方法を用いて形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
（インクジェット装置の全体構成）
図１は、本発明の液滴吐出装置の一実施形態として、インクジェット装置の要部を示す斜視図である。このインクジェット装置１０では、キャリッジ１１がタイミングベルト１２を介してパルスモータ１３に接続され、ガイド部材１４に案内されて被滴下部材１５の幅方向に往復動するように構成されている。キャリッジ１１は被滴下部材１５と対向する面、この図に示す例では下面にインクジェット式のヘッド１６が取り付けられている。
【００１６】
ヘッド１６は、キャリッジ１１の上部に載置されているインクカートリッジ１７からインク（液状体）の補給を受けて、キャリッジ１１の移動に合わせて被滴下部材１５にインク滴を吐出する。また、インクジェット装置１０の非滴下領域には、キャッピング装置１８が配設され、該キャッピング装置１８は、滴下休止中にヘッド１６のノズル開口を封止する一方、滴下動作中に行われるフラッシング動作によるヘッド１６からのインク滴を受ける役割を担っている。さらに、キャッピング装置１８の近傍にはクリーニング装置１９が配置されており、このクリーニング装置１９では、ヘッド１６の表面をブレードなどでワイピングすることで、そこに付着したインク滴等を拭き取るように構成されている。
【００１７】
（ヘッドの構成）
図２は、ヘッド１６の構成を示す断面図である。
図２に示すように、ヘッド１６では、ノズルプレート１１０にノズル開口１１１が形成され、流路形成板１１２には、圧力発生室１１３を区画する通孔、圧力発生室１１３に両側で連通する２つのインク供給口１１４を区画する通孔または溝、さらにはこれらのインク供給口１１４にそれぞれ連通する２つの共通のインク室１１５を区画する通孔が形成されている。振動板１１６は、弾性変形可能な薄板から構成され、ピエゾ素子などの圧電振動子（圧力発生素子）ＰＺＴの先端に当接している。そして、該振動板１１６は、流路形成板１１２を挟んでノズルプレート１１０と液密に一体に固定されて流路ユニット１１８を構成している。
【００１８】
基台１１９には、圧電振動子ＰＺＴを振動可能に収容する収容室１２０と、流路ユニット１１８に開口する開口部１２１とが構成され、圧電振動子ＰＺＴの先端を開口部１２１から露出させた状態で圧電振動子ＰＺＴを固定基板１２２で固定している。また、基台１１９は、振動板１１６のアイランド部１１６ａを圧電振動子ＰＺＴに当接させた状態で、流路ユニット１１８を開口部１２１に固定してヘッド１６を纏めている。
【００１９】
このような構成により、圧電振動子ＰＺＴが収縮して圧力発生室１１３が膨張すると、共通のインク室１１５内のインクがインク供給口１１４を経由して圧力発生室１１３に流れ込む。所定時間の経過後に圧電振動子ＰＺＴが伸長して圧力発生室１１３が収縮すると、圧力発生室１１３のインクが圧縮されてノズル開口１１１からインク滴が吐出される。
【００２０】
（制御系および駆動系の構成）
図３を参照して、インクジェット装置に構成されている制御系および駆動系の構成を説明する。
図３において、インクジェット装置１０に構成されている制御手段６０は、ホストからの吐出指令信号や吐出データを受けて、駆動電圧発生回路３１およびヘッド選択回路６２を備えるヘッド駆動回路３０を制御するとともに、キャリッジ駆動回路３３なども制御して吐出動作（滴下動作）を実行させる。また、制御手段６０はタイマ手段３４の計時データにより、フラッシングを行わせたり、ヘッド１６のクリーニングを行わせる。
【００２１】
ヘッド駆動回路３０において、駆動電圧発生回路３１は、ノズル開口１１１（図２参照）からインク滴を吐出させるのに必要な電圧値の信号波形を発生させるように構成されている。また、ヘッド選択回路６２は、トランジスタＴのオン・オフを制御することにより、吐出データに対応する圧電振動子ＰＺＴに駆動電圧発生回路３１の駆動電圧を選択的に印加する。タイマ手段３４には、滴下タイマ３５、休止タイマ３６および電源オフタイマ３８が構成されている。
【００２２】
滴下タイマ３５は、滴下動作の継続時間を計時するタイマであり、滴下開始より起動してフラッシング動作によりリセットされる。休止タイマ３６は、主電源ＳＰのオフ後も計時可能なように、後述する二次電源によりバックアップを受けていて、滴下動作が停止してヘッド１６がキャッピング装置１８により封止された時点で計時を開始し、滴下が開始された時点でリセットされる。電源オフタイマ３８は、電源投入検出手段３９により、電源スイッチＳＷのオフが検出された時点から計時をスタートし、キャッピング装置１８によりヘッド１６を封止するのに要する時間の経過後に出力するとともに、リレー４０を消勢して装置への主電源ＳＰの供給を遮断する。
【００２３】
（駆動回路および駆動パルスの説明）
図４及び図５を参照して、ヘッド駆動回路３０の一例、およびそこで形成される駆動パルスを説明する。図４は、ヘッド駆動回路３０の駆動電圧発生回路などの回路図、図５はヘッド駆動回路で形成される駆動パルスの波形図である。
【００２４】
図４に示すように、ヘッド駆動回路３０の駆動電圧発生回路３１では、外部装置からのタイミング信号４９を一定幅のパルス信号に変換するワンショットマルチバイブレータ５０が構成され、このワンショットマルチバイブレータ５０は、タイミング信号４９に同期して出力端子から正信号および負信号を出力する。この一方の端子には、抵抗を介してＮＰＮ型トランジスタ５１のベースが接続され、これには抵抗を介してＰＮＰ型トランジスタ５２が接続されているので、タイミング信号が入力された時点で、第１の電源ＶＭからキャパシタ５３に対してその端子電圧が第１の電源ＶＭの電圧Ｖｃに概ね到達するまで一定電流での充電が行われる。ここで、第１の電源ＶＭは主電源ＳＰ（図３参照）から生成された電源である。このときの充電電流は、トランジスタ５４のベース−エミッタ間電圧、および抵抗５６の抵抗値で規定されるので、それによりキャパシタ５３の立ち上がり勾配が規定される。
【００２５】
また、ワンショットマルチバイブレータ５０の他方の端子にはＮＰＮ型トランジスタ５８が接続されており、タイミング信号が切り換わった時点で、ＰＮＰ型トランジスタ５２がオフになる代わりに、ＮＰＮ型トランジスタ５８がオンになる。その結果、キャパシタ５３に充電されていた電荷は、その端子電圧が略０ボルトになるまで一定電流で放電される。このときの放電電流は、トランジスタ５５のベース−エミッタ間電圧、および抵抗５７の抵抗値で規定されるので、それによりキャパシタ５３の立ち下がり勾配が規定される。したがって、キャパシタ５３の端子電圧（駆動パルスＶin）は、図５に示すように、一定の勾配で上昇する領域（立ち上がり信号）と、一定値を保持する飽和領域（維持信号）と、一定の勾配で降下する領域（立ち下がり信号）とを備えた台形波状の波形となる。
【００２６】
その結果、図４に示すキャパシタ５３の端子電圧は、台形波状の駆動パルスＶinとして、駆動電圧発生回路３１の電流増幅回路に構成されているＮＰＮ型のトランジスタＱ１およびＰＮＰ型のトランジスタＱ２のベースに出力され、この電流増幅回路おいて電流増幅されて、ヘッド選択回路６２により指定された圧電振動子ＰＺＴにトランジスタＱ１、Ｑ２の接続点Ｐ０を経由して出力される。この間、一方のトランジスタＱ１を介して圧電振動子ＰＺＴの充電が行われ、他方のトランジスタＱ２を介して圧電振動子ＰＺＴからの放電が行われる。
【００２７】
このように生成した台形波状の駆動パルス（第１パルス信号）Ｖinは、図５に示すように立ち上がり信号によりその電圧値が定常電位から最大電位まで一定の勾配で上昇した後、維持信号によりこの最大電位を所定時間だけ維持する。次に、立ち下がり信号により駆動パルスは最低電位まで一定の勾配で下降し、その後、この最低電位を所定時間維持する構成とされている。
【００２８】
したがって、図２に示すヘッド１６において、駆動パルスＶinの電圧値が定常電位から最大電位まで上昇すると圧電振動子ＰＺＴが収縮し、圧力発生室１１３の容積を膨張させて圧力発生室１１３に負圧が生じ（立ち上がり時間Ｔ１）、この状態が維持されている間に圧力発生室１１３にインクが流入し（ホールド時間Ｔ２）、しかる後に、電圧値が最低電位まで下降すると、圧電振動子ＰＺＴの収縮が解放され、圧力発生室１１３の容積を収縮する方向に形状復帰して圧力発生室１１３に正圧が発生すると、ノズル開口１１１からインク滴が吐出される（立ち下がり時間Ｔ３）。
【００２９】
ここで、駆動パルスＶinは、立ち上がりを開始してから最高電圧に達するまでの時間Ｔ１が２μ秒〜１１μ秒（例えば７μ秒）、この最高電圧を保持する時間Ｔ２が１μ秒〜７μ秒（例えば３μ秒）、立ち下がりを開始してから最低電圧に達するまでの時間Ｔ３が２μ秒〜７μ秒（例えば３．５μ秒）に設定されている。
なお、駆動パルスＶinの最高電圧は、ここでは圧電振動子ＰＺＴの収縮が許容される電圧値の９０％〜１００％（例えば３０Ｖ程度）とする一方、定常電圧は圧電振動子ＰＺＴの状態が安定化する状態の電圧値（ここでは最高電圧の３０％程度、具体的には９Ｖ程度）としている。
また、立ち下がりを開始してから最低電圧（ここでは０Ｖ〜２Ｖ）に達するまでの立ち下がり時間Ｔ３については、圧電振動子ＰＺＴの固有振動周期Ｔａと略同程度の時間（例えば３．５μ秒）に設定されている。なお、本実施形態では、立ち上がりを開始してから最高電圧に達するまでの時間Ｔ１と、この最高電圧を保持する時間Ｔ２との和が、圧力発生室１１３の固有振動周期Ｔｃよりも長い時間（ここでは１０μ秒）に設定されている。
【００３０】
次に、駆動パルスＶinについて、インク滴の吐出態様と対比して説明すると、まず、本実施形態では、駆動パルスＶinは中間保持状態を持たず、圧電振動子ＰＺＴを定常状態からインク滴吐出の前段階の収縮状態まで連続的に収縮させる収縮信号（立ち上がり信号）と、この収縮状態を維持する維持信号と、収縮状態からインク滴吐出が完了する状態までインク滴の吐出に適した変化率で圧力発生室１１３の容積を縮小させるべく、圧電振動子ＰＺＴの収縮状態を回復させる回復信号（立ち下がり信号）とを備えている。
【００３１】
ここで、収縮信号がヘッド駆動回路３０から圧電振動子ＰＺＴに送出されると、圧力発生室１１３の容積が膨張し、この膨張状態を維持する維持信号が送出されている間、インクが該圧力発生室１１３内に充填される。そして、回復信号が送出されると、圧力発生室１１３の容積が収縮（回復）し、圧力発生室１１３内に充填されていたインクが吐出される。
【００３２】
次に、このような駆動パルスＶinによってインク滴を吐出した後、時間Ｔ４（図５参照）後、圧電振動子ＰＺＴを定常状態に回復させるべく、回復信号が入力され、時間Ｔ６だけ回復信号が定常電位で維持される。
【００３３】
続いて、図５に示した駆動パルスＶinの次に印加される駆動パルスの直前に、引込パルスＶwが入力される。この場合の引込パルスＶwも台形波状となり、図５に示すように立ち上がり信号によりその電圧値が定常電位から最大電位の約２０％〜６０％まで一定の勾配で上昇した後、維持信号によりこの電位を所定時間だけ維持する。次に、立ち下がり信号により引込パルスＶwは定常電位まで一定の勾配で下降し、その後、この定常電位を維持する構成とされている。
【００３４】
ここで、この引込パルスＶwは、駆動パルスＶinによる吐出の完了後、時間Ｔ４（１μ秒〜５μ秒（例えば２μ秒））、および回復時間Ｔ５（１μ秒〜５μ秒、例えば３μ秒）、さらに維持時間Ｔ６（２０μ秒〜７０μ秒、例えば６０μ秒）が経過した後に立ち上がりを開始し、該立ち上がりから所定の電圧値に達するまでの時間Ｔ７が２μ秒〜１１μ秒（例えば７μ秒）とされている。また、この電圧値を保持する時間Ｔ８が１μ秒〜７μ秒（例えば２μ秒）、そして、該電圧値を保持してから定常電圧に達するまでの時間Ｔ９が２μ秒〜１２μ秒（例えば７μ秒）に設定されている。
【００３５】
なお、引込パルスＶwの最高到達電圧は、圧電振動子ＰＺＴの収縮が許容される最高電圧値の２０％〜６０％（例えば６０％で１８Ｖ程度）とする一方、引込パルスＶwの最低電圧は圧電振動子ＰＺＴの状態が安定化する状態（定常状態）の電圧値（ここでは９Ｖ程度）としている。引込パルスＶwの最高到達電圧を上記範囲とすることで、引込パルスＶwを付与した際にノズルからインクは吐出されないようになる。
【００３６】
このような引込パルスＶwを付与することにより、インク吐出後のヘッド１６においてメニスカスが一旦引き戻され、所定時間その引き戻し状態が維持されることとなる。その結果、インクの吐出量が低下する不具合が生じ難くなるため、吐出するインク量をより一定にすることができ、吐出むら等の不具合発生を効果的に防止ないし抑制することができるようになる。
【００３７】
なお、引込パルスＶwが入力された後、時間Ｔ９経過後、次の駆動パルスＶinが入力され、この駆動周期が繰り返される。また、時間Ｔ９（つまり引込パルスＶwが入力された後から駆動パルスＶinが入力されるまでの時間）は、圧力発生室１１３のメニスカスの振動周期Ｘよりも大きく、ヘッド１６の駆動周期Ｙの２０％となる時間（０．２Ｙ）よりも小さいものとされている。これは、時間Ｔ９がメニスカスの振動周期Ｘよりも小さい場合には、メニスカスを好適に引き込むことができない場合がある一方、ヘッドの駆動周期Ｙの２０％となる時間（０．２Ｙ）よりも大きい場合には、吐出量低下を防ぐことができない場合がある。
【００３８】
（実施例）
以下、上記インクジェット装置１０を用いた実施例について説明する。
具体的には、上記インクジェット装置１０（実施例１）について、最大分解能３μｍ、キャリッジスピード３０ｍｍ／ｓ、最高駆動周波数１０ｋＨｚに設定したものを用い、種々の吐出時間間隔（μｓｅｃ）に対する吐出量の変化を測定した。なお、用いたインクの粘度は８ｍＰａ・ｓであって、設計上の吐出量（理論値）を５ｎｇとして、該５ｎｇからの誤差について検討した。また、比較のため、図５において引込パルスＶwを入力しない、つまり駆動パルスＶinのみを入力したもの（比較例１）についても同様に、吐出時間間隔（μｓｅｃ）に対する吐出量の変化を測定した。
【００３９】
図６は比較例１の吐出量（Ｉｗ）変化を、図７は実施例１の吐出量（Ｉｗ）変化を表している。比較例１において、吐出間隔時間が２００μｓｅｃまでは、吐出されるインク量（Ｉｗ）は吐出間隔時間によらず一定であるが、該吐出間隔時間が２００μｓｅｃ未満、つまり最高駆動周波数に近づくにつれて、吐出されるインク量（Ｉｗ）が最大で１０％程度低下することが分かる。一方、実施例１では、吐出間隔時間（駆動周波数）によらず一定で、安定した吐出量を確保することができた。
【００４０】
比較例１及び実施例１では、粘度８ｍＰａ・ｓのインクを用いて検討を行ったが、これを粘度１２ｍＰａ・ｓとした比較例２及び実施例２についても検討した。比較例２の結果を図８に、実施例２の結果を図９に示す。なお、ここでは、設計上の吐出量（理論値）を１０ｎｇとして、該１０ｎｇからの誤差について検討した。
【００４１】
このように、インク粘度が異なり、吐出量が異なる場合であっても、最大駆動周波数において、実施例２のインクジェット装置ではインクの吐出量を一定に保つことができた。
【００４２】
（電気光学装置の製造方法）
次に、上記インクジェット装置１０を用いた電気光学装置の製造方法の一例について説明する。なお、以下の説明では、上述したインクジェット装置１０を用いて、電気光学装置に用いるカラーフィルタ基板を製造する方法を例に挙げて説明する。図１０は、上記インクジェット装置１０を具備した製造装置を用いて、ＲＧＢパターンを形成する工程を含めたカラーフィルタ基板の一連の製造工程を示す図である。
【００４３】
カラーフィルタ基板の製造に用いられるウェハＷは、例えば長方形型薄板形状の透明基板であり、適度の機械的強度と共に光透過性の高い性質を兼ね備えている。なお、このウェハＷには、ＲＧＢパターン形成工程の前工程において、生産性を上げる観点から、複数のカラーフィルタ領域が予めマトリックス状に形成されており、これらカラーフィルタ領域をＲＧＢパターン形成工程の後工程で切断することにより、液晶表示装置に適合するカラーフィルタ基板として用いられるようになっている。
【００４４】
ここで、図１１は、インクジェット装置１０により形成されるＲＧＢパターン例を示す図であり、（ａ）はストライプ型のパターンを示す斜視図であり、（ｂ）はモザイク型のパターンを示す部分拡大図であり、（ｃ）はデルタ型のパターンを示す部分拡大図である。図１１に示すように、各カラーフィルタ領域には、Ｒ（赤色）のインク、Ｇ（緑色）のインク、及びＢ（青色）のインクが、インクジェット装置１０のヘッド１６により所定のパターンで形成されるようになっている。この形成パターンとしては、図１１（ａ）に示すストライプ型のパターンの他に、図１１（ｂ）に示すモザイク型のパターン、又は、図１１（ｃ）に示すデルタ型のパターンなどがあるが、本発明ではその形成パターンに関し、特に限定はされない。
【００４５】
図１０に戻り、前工程であるブラックマトリックス形成工程では、図１０（ａ）に示すように、透明のウェハＷの一方の面（カラーフィルタ基板の基礎となる面）に対して、光透過性のない樹脂（好ましくは黒色）を、スピンコート等の方法により、所定の厚さ（例えば、２μｍ程度）に塗布し、その後、フォトリソグラフィー法等によりマトリックス状にブラックマトリックスＢＭを形成する。これらブラックマトリックスＢＭの格子で囲まれる最小の表示要素は、所謂フィルターエレメントＦＥといわれ、ウェハＷ面内の一方向（例えばＸ軸方向）の幅寸法が３０μｍ程度、この方向に直交する方向（例えば、Ｙ軸方向）の長さ寸法が１００μｍ程度の大きさの窓である。ウェハＷ上にブラックマトリックスＢＭを形成した後は、図示しないヒータにより熱を加えることで、ウェハＷ上の樹脂が焼成される。
【００４６】
このようにしてブラックマトリックスＢＭが形成されたウェハＷに対してＲ，Ｇ，Ｂのパターン形成が行われる。該ＲＧＢパターン形成工程では、まずウェハＷを図１に示したインクジェット装置１０の被滴下部材１５として配設し、図１０（ｂ）に示すように、フィルターエレメントＦＥの所定位置内に、赤色のインク滴ＲＤを着弾させる。この時の各インク滴ＲＤの量は、加熱工程におけるインク滴ＲＤの体積減少量を考慮した充分な量となっている。
【００４７】
このようにしてフィルターエレメントＦＥの所定位置に赤色のインク滴ＲＤが充填された後のウェハＷは、所定の温度（例えば７０℃程度）で乾燥処理される。この時、インク滴ＲＤの溶媒が蒸発すると、図１０（ｃ）に示すようにインク滴ＲＤの体積が減少するので、体積減少が激しい場合には、カラーフィルタ基板として充分なインク膜厚が得られるまで、インク滴ＲＤの着弾作業と乾燥作業とが繰り返される。この処理により、インク滴ＲＤの溶媒が蒸発して、最終的にインク滴ＲＤの固形分のみが残留して膜化する。
【００４８】
また、緑色のインク滴ＧＤ、青色のインク滴ＢＤについても同様の滴下工程及び膜化工程が行われ、ＲＧＢパターン形成工程が完了する。その後は引き続き、図１０（ｄ）以降に示す後工程が行われる。後工程の１つである図１０（ｄ）に示す保護膜形成工程では、インク滴ＲＤ，ＧＤ，ＢＤを完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間加熱を行う。乾燥が終了すると、インク膜が形成されたウェハＷの表面保護及び表面平坦化を目的として保護膜ＣＲが形成される。この保護膜ＣＲは、例えばスピンコート法、ロールコート法、又はリッピング法等の方法を用いて形成される。
【００４９】
保護膜形成工程に続く図１０（ｅ）に示した透明電極形成工程では、スパッタ法又は真空吸着法等の方法を用いて、保護膜ＣＲの全面を覆うように透明電極ＴＬが形成される。透明電極形成工程に続く図１０（ｆ）に示すパターニング工程では、透明電極ＴＬが、画素電極ＰＬとしてパターニングされる。以上説明した各工程を経て、図１０（ｆ）に示すカラーフィルタ基板ＣＦが製造される。
【００５０】
そして、このカラーフィルタ基板ＣＦと対向基板（図示省略）とを対向配置させ、その間に液晶を挟持させる工程を経て液晶表示装置（表示装置）が製造される。このようにして製造された液晶表示装置に加え、ＣＰＵ（中央処理装置）等を備えたマザーボード、キーボード、ハードディスク等の電子部品を筐体内に組み込むことで、例えば図１２に示すノート型のパーソナルコンピュータ２０（電子機器）が製造される。なお、図１２において２１は筐体、２２は液晶表示装置であり、２３はキーボードである。
【００５１】
上述の製造工程を経て形成されるカラーフィルタ基板ＣＦが装備される表示装置としては上記のノート型パソコン２０に限られず、携帯型電話機、電子手帳、ページャ、ＰＯＳ端末、ミニディスクプレーヤ、液晶プロジェクタ、ワードプロセッサ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオレコーダ、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、タッチパネルを備えた装置、時計、ゲーム機器等、様々な表示部を具備した電子機器が挙げられる。
【００５２】
また、電気光学装置として有機エレクトロルミネッセンス装置を製造する際にも上記インクジェット装置１０を用いることができる。具体的には、有機エレクトロルミネッセンス装置の画素毎に機能層（例えば有機ＥＬ発光層）を形成する際に、該機能層を画素毎にインクジェット装置１０を用いて選択吐出することができる。この場合、各画素に対して均等に機能層を吐出することができ、当該有機エレクトロルミネッセンス装置の信頼性を一層高めることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】インクジェット装置の一実施形態について要部を示す斜視図。
【図２】図１のインクジェット装置に備えられたヘッドの構成を示す断面図。
【図３】図１のインクジェット装置に備えられたヘッド駆動装置の構成を示すブロック図。
【図４】図３のヘッド駆動装置に備えられた駆動電圧発生回路等の構成を示す回路図。
【図５】図３のヘッド駆動装置にて生成される駆動パルスの構成を示す説明図。
【図６】比較例１のインクジェット装置の吐出性能について示す説明図。
【図７】実施例１のインクジェット装置の吐出性能について示す説明図。
【図８】比較例２のインクジェット装置の吐出性能について示す説明図。
【図９】実施例２のインクジェット装置の吐出性能について示す説明図。
【図１０】本実施形態のインクジェット装置を用いたカラーフィルタ基板の一製造工程を示す説明図
【図１１】本実施形態のインクジェット装置により形成されるＲＧＢパターンの一例を示す説明図。
【図１２】本実施形態のインクジェット装置を用いて製造された電気光学装置の一例を示す斜視図。
【符号の説明】
【００５４】
１０…インクジェット装置（液滴吐出装置）、１６…ヘッド、３０…ヘッド駆動回路（制御手段）、１１３…圧力発生室、ＰＺＴ…圧電振動子（圧力発生素子）、Ｖin…駆動パルス（第１パルス信号）、Ｖw…引込パルス（第２パルス信号）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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