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(57)【要約】【課題】  複数の連結金具に代えて長尺の連結部材を引戸の縦框全長に亘って装着した引戸の連送装置を提供すること。【解決手段】  側面に蟻溝が形成された縦框を有する引戸と、同蟻溝の広幅部分に縦框の端部から挿入される基板と同蟻溝の狭幅部分から突出する突片とから構成される断面形状凸字状の連結部材とから構成され、前引戸を閉鎖方向に引くことにより中間引戸、後引戸を連結部材の突片同士の当接により順次連送させることを特徴とする。【選択図】  図３
2005188269.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
側面に蟻溝が形成された縦框を有する引戸と、同蟻溝の広幅部分に縦框の端部から挿入される基板と同蟻溝の狭幅部分から突出する突片とから構成される断面形状凸字状の連結部材とから構成され、前引戸を閉鎖方向に引くことにより中間引戸、後引戸を連結部材の突片同士の当接により順次連送させることを特徴とする引戸の連送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、前引戸を閉鎖方向に引くことにより中間引戸、後引戸を連結部材同士の当接により順次連送される引戸の連送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献１】  特開２０００−２４８８４９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  従来から前引戸を閉鎖方向に引くことにより中間引戸、後引戸を連結金具同士の当接により順次連送される引戸の連送装置は特許文献１等に示されるように公知である。【０００４】  然しながら、従来の引戸の連送装置にあっては、引戸の縦框に複数の連結金具をネジ等で装着する必要があって取り付けに面倒であるだけでなく、不必要な場合には取り外しも面倒であるという問題点があった。【０００５】  本発明は、上記従来技術の問題点を解決するために、複数の連結金具に代えて長尺の連結部材を引戸の縦框全長に亘って装着した引戸の連送装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明に係る引戸の連送装置は、側面に蟻溝が形成された縦框を有する引戸と、同蟻溝の広幅部分に縦框の端部から挿入される基板と同蟻溝の狭幅部分から突出する突片とから構成される断面形状凸字状の連結部材とから構成され、前引戸を閉鎖方向に引くことにより中間引戸、後引戸を連結部材の突片同士の当接により順次連送させることを特徴とするものである。
【発明の作用】
【０００７】  本発明では、前引戸を閉鎖方向に引くことにより中間引戸、後引戸を連結部材の突片同士の当接により順次連送させる作用は従来の引戸の連送装置と全く変わることはないが、引戸の蟻溝の広幅部分に縦框の端部から連結部材の基板を挿入させるだけで簡単に装着でき、連送が不必要なときには連結部材を縦框から抜き取るだけでよいので、連結部材の着脱作業が簡単に行える。
【実施例】
【０００８】  図１は、３連引戸の場合の本発明装置の全体斜視図、図２は、同装置の引戸が開放している状態の平面図、図３は、同装置の引戸が閉鎖している状態の平面図である。【０００９】  図において、１は、本発明装置を構成する引戸であって、アルミニュウム製の型材から成る左右縦框２、２、上下横框３，３及びガラス板等の戸板４とから構成されており、縦框２の両側面には広幅部と狭幅部とから成る蟻溝２−１が形成されている。【００１０】  ５は、引戸１の縦框２の長さと略同じ長さの断面形状凸字状の連結部材であって、縦框２の蟻溝２−１の広幅部２−１ａに嵌合し得る基板５−１と、この基板５−１に狭幅部２−１ｂから突出する突片５−２が合成樹脂等により一体成形されている。【００１１】  尚、図中、６は、戸当りクッション、７は、目地パッキングである。【００１２】  次に、連結部材５を縦框２に装着する方法を説明すると、前引戸１の右縦框２、中間引戸１の左右縦框２、２、後引戸１の左縦框２のそれぞれの蟻溝２−１の広幅部に縦框２の端部から連結部材５の基板５−１を挿入することによって本発明装置が完成する。【００１３】  通常は、基板５−１を蟻溝２−１の広幅部に挿入したとき摩擦抵抗によって連結部材５は蟻溝２−１から下方へ脱落することはないが、脱落する虞があるときには連結部材５の上端部分を圧潰して蟻溝２−１の幅よりも大きくしておけば脱落は防止される。【００１４】  次に、本発明装置の具体的用法を説明する。【００１５】  上述のように、連結部材５を縦框２にそれぞれ装着した前引戸、中間引戸、後引戸を建具枠の所定個所に建て付けると、図２の引戸１、１、１が重なった引戸開放状態となる。【００１６】  図２の状態において、前引戸１を矢印方向に引いてやると、前引戸１は左方向つまり閉鎖方向に移動し、閉鎖途中において右縦框２にある連結部材５の突起片５−１が中間引戸１の左縦框２にある連結部材５の突片５−１に当接し、中間引戸１は前引戸１に連動して閉鎖方向に移動するもので、後引戸１の場合も中間引戸１に連動して移動し、以後の後引戸も順次連動して移動し、引戸全体は閉鎖状態となるが、最終の引戸１だけは移動しては都合が悪いので、連結部材５の突片５−１同士の当接だけである。
【発明の効果】
【００１７】  以上述べた如く、本発明に係る引戸の連送装置によれば、側面に蟻溝が形成された縦框を有する引戸と、同蟻溝の広幅部分に縦框の端部から挿入される基板と同蟻溝の狭幅部分から突出する突片とから構成される断面形状凸字状の連結部材とから構成され、前引戸を閉鎖方向に引くことにより中間引戸、後引戸を連結部材の突片同士の当接により順次連送させるようにしてあるので、引戸の蟻溝の広幅部分に縦框の端部から連結部材の基板を挿入させるだけで簡単に装着でき、連送が不必要なときには連結部材を縦框から抜き取るだけでよいので、連結部材の着脱作業が簡単に行えるだけでなく、引戸を閉鎖したときには連結部材の突片同士の当接によって引戸同士の隙間が遮蔽され、隙間風の進入を防止できるという従来の連送装置では奏し得なかった効果も奏し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】  ３連引戸の場合の本発明装置の全体斜視図である。
【図２】  同装置の引戸が開放している状態の平面図である。
【図３】  同装置の引戸が閉鎖している状態の平面図である。
【符号の説明】
１          引戸
２          縦框
５          連結部材
【図１】
2005188269.tif 000003
【図２】
2005188269.tif 000004
【図３】
2005188269.tif 000005
(57)【要約】【課題】本発明は、緑に覆われかつ車の衝突による衝撃を吸収する分離壁の提案にある。【解決手段】本発明は、道路との分離を図る分離壁であって、当該分離壁の内部は表面に透孔を有する容器状部材を組み立て芯とし、容器状部材の内部には土を充填し、容器状部材を互に固定し、かつ当該芯を覆うように土を被せた道路の分離壁である。【選択図】  図1
2005188206.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
道路との分離を図る分離壁であって、当該分離壁の内部は、表面に透孔を有する容器状部材を組み立て芯とし、容器状部材の内部には土を充填し、容器状部材を互に固定し、かつ当該芯を覆うように土を被せたことを特徴とする道路の分離壁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、道路との分離を図るためのガードレールあるいは中央分離帯用防護柵などの分離壁の技術に属する。
【背景技術】
【０００２】
道路間あるいは道路と道路以外の区域との分離はガードレールあるいは分離壁によってなされている。特許公開公報2003-176512に示すようなガードレールや特許公開公報2003-220658に開示されたように、車との衝撃を吸収させるため内部に発泡樹脂を充填しその表面を樹脂を含浸させた補強繊維で被覆された衝撃吸収材の提案がなされている。いずれも景観上の問題があり、特に通常のガードレールは車が衝突する時その衝撃を吸収するためには不十分であり、時として衝撃によって破損したガードレールが凶器となって車の破損あるいは乗車している人を傷つけることがある。
【０００３】
【特許文献１】特許公開2003-176512
【特許文献２】特許公開2003-220658
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、緑に覆われ、かつ車の衝突による衝撃を吸収する分離壁の提案にある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、道路間と道路と道路以外の区域を分離するための分離壁であって、当該分離壁の内部は、表面に透孔を有する容器状部材を組み立て芯とし、容器状部材の内部には土を充填し、容器状部材を互に固定し、かつ当該芯を覆うように土を被せた道路の分離壁である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、土壌を充填した表面に透孔を有する容器状部材を芯とした分離壁のため、分離壁の形状が保たれ、その土壌が表面から分離壁の芯まで一体となって繋がっているため分離壁の表面に植物が育ちやすい。
容器状部材を互に固定することにより、分離壁に車が衝突した事故の場合、耐衝撃性と衝撃吸収性も向上し人的、物的被害を軽減する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下本発明を図により詳細に説明する。
図１は、本発明である分離壁の概念図の例示である。
図１に示すように分離壁は、（１）その芯部が土壌を充填した容器状部材を縦横に組み立てたものとなっている。容器状部材の表面には透孔が設けられ各容器状部材中の土壌がいったいとなって繋がっている。（２）各容器状部材は互に固定されている。固定手段は既存の継ぎ手あるいは容器状部材の透孔を利用し、透孔を繋ぐように貫かれた棒あるいは杭でもよい。（３）芯部は土壌によって覆われている。
【０００８】
容器状部材は図２に示すような矩形形状に限らず、その側面にテーパを設け互に入れ子状に積み重ねられる形状であってもよい。
また上部に蓋ができるものであってもさしつかえがない。
表面の透孔は、１〜１０ｃｍ程度の大きさで、分離壁の表面に降った雨水が浸透し、育成する植物の根が入り込める大きさ形状があればその機能に問題はない。使用する容器状部材の製造のしやすさ、強度などを考慮し上記透孔の大きさにこだわらず本目的の雨水の浸透、植物の根の伸長を損なわない範囲でその数、大きささ、形状を決めることができる。
【０００９】
各容器状部材の固定化方法は互に接する容器状部材を連結するオスメスの継ぎ手が使用できる。継ぎ手の例を図3に示す。図では容器状部材に直接オスメスの継ぎ手を設けたものであり、相接する2側面にオス継ぎ手、他の相接する２側面にメス継ぎ手を設けている。またその上辺には一つの対角線上にオス継ぎ手他の対角線上にメス継ぎ手を設け、底面には上辺に設けた継ぎ手と対になる継ぎ手を設ければよい。また容器状部材に直接設けたものでなく独立した継ぎ手部材を使用することでもよい。何れの場合も、既存のものが使用可能である。
あるいは、棒あるいはパイプを容器状部材の透孔を貫くように配置してもよい。
【００１０】
容器状部材からなる芯部の表面は土壌で覆われ、その表面には必要に応じて草花の種を蒔きあるいは吹きつけて緑化を図ることができる。
図４に示すように分離壁を覆うように網を被せ表面の土壌が剥離しないよう抑えることも可能である。網は金網あるいは繊維による網であってもよい。
【００１１】
容器状部材の材質は射出成形可能なプラスチックあるいはステンレスがその取り扱いの容易さ、製造のしやすさからも好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明である分離壁の断面を示す概念図である。
【図２】本発明に使用する分離壁の芯となる容器状部材の例を示す概念図である。
【図３】容器状部材を互に連結するため継ぎ手を設けた容器状部材の例を示す。
【図４】表面に網を被せた分離壁の断面を示す概念図である。
【図５】従来の分離壁であるガードレールを示す概念図である。
【符号の説明】
【００１３】
１  分離壁
２  容器状部材
３  網
【図１】
2005188206.tif 000003
【図２】
2005188206.tif 000004
【図３】
2005188206.tif 000005
【図４】
2005188206.tif 000006
【図５】
2005188206.tif 000007
(57)【要約】【課題】本発明は、貯留槽底面をできる限り覆うことのない部材とその部材の組み立て方を工夫することにより槽底面での水の流れを改善した槽の提供にある。【解決手段】本第1の発明は、透孔を有する平盤部11と平盤部に垂直に設けられた筒部12からなる部材を配列することで貯留空間を区画し、当該区画をシート類で覆うことにより構成される地下式貯留槽において、当該貯留槽の底部に薄板3を敷き設し、前記部材の筒部底部を前記薄板上に接するように配列したことを特徴とする槽底の清掃を容易にした貯留槽である。また、第2の発明は、上記発明において貯留槽の底部に敷き設した薄板3上に部材筒部底部の内壁内と契合する契合部2を設けたことを特徴とする槽底の清掃を容易にした貯留槽である。【選択図】図1
2005188207.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透孔を有する平盤部と平盤部に垂直に設けられた筒部からなる部材を配列することで貯留空間を区画し、当該区画をシート類で覆うことにより構成される地下式貯留槽において、当該貯留槽の底部に薄板を敷き設し、前記部材の筒部底部を前記薄板上に接するように配列したことを特徴とする槽底の清掃を容易にした貯留槽。
【請求項２】
請求項１記載の槽底の清掃を容易にした槽において、貯留槽の底部に敷き設した薄板上に部材筒部底部の内壁内と契合する契合部を設けたことを特徴とする槽底の清掃を容易にした貯留槽。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部材を配列することで貯留空間を区画するタイプの貯留槽底に貯まった泥を容易に除去可能とする貯留槽に属する。
【背景技術】
【０００２】
地下に部材を配列して貯留空間を確保し、その周囲を適宜シート類で包み、特に雨水の流出抑制、有効利用を目的とした浸透槽、あるいは貯留槽が一般的となってきている。かかる部材が特開昭63-268823、特開平09-112792、特開平10-252108、特開平10-266313などに開示されている。
雨水の貯留槽において、槽の耐用年数を延ばすため槽内に貯まる泥分を除去したいという要望がある場合、上記開示された部材のうち平盤と平盤に設けた筒部からなる部材は、その軽量化を図るため平盤部に透孔が設けられている。かかる部材では槽底に平盤が接しあるいは槽底部全体を部材が覆い、底面での水の流通を妨げることがある。
【０００３】
【特許文献１】特開昭63-268823
【特許文献２】特開平09-112792
【特許文献３】特開平10-252108
【特許文献４】特開平10-266313
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、貯留槽底面をできる限り覆うことのない部材とその部材の組み立て方を工夫することにより槽底面での水の流れを改善した槽の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本第1の発明は、透孔を有する平盤部と平盤部に垂直に設けられた筒部からなる部材を配列することで貯留空間を区画し、当該区画をシート類で覆うことにより構成される地下式貯留槽において、当該貯留槽の底部に薄板を敷き設し、前記部材の筒部底部を前記薄板上に接するように配列した槽底の清掃を容易にした貯留槽である。
また、第2の発明は、上記発明において貯留槽の底部に敷き設した薄板上に部材筒部底部の内壁内と契合する契合部を設けた槽底の清掃を容易にした貯留槽である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、槽底面に薄板を敷き、部材の設置面積の小さい部分を槽底面の薄板上に接置させることで、部材が槽底面全体を覆うことなく、槽底部の相当部分が露出するため槽底面での水の流れが妨げられることがない。そのため槽底面にたまった泥分は洗い流される。
また、薄板上に部材の筒部内壁部と契合する契合部を設けたため、部材の筒部が固定され、部材が安定する。さらに筒部内壁部に契合するため水の流れを妨げない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下本発明を図により詳細に説明する。
図１は、本発明である槽底の清掃を容易にした貯留槽の概念図の例示である。
図１に示すように本貯留槽は、（１）部材は透孔を有する平盤部と平盤部に垂直に設けられた筒部からなる。（２）貯留槽の底部に薄板を敷き設し、前記部材の筒部底部を前記薄板上に接するように配列することで構成される。
部材は配列することで貯留空間を区画し、当該区画を遮水性のシート類で覆うことにより貯留槽となり、一般的に地下に設けられる。地表面に設けその上部に土盛りすることで全体を土で覆うことでもよい。
【０００８】
本発明の槽に使用される部材の形状を図３に示すが、平盤部と平盤部に開口する筒部からなっている。図１では筒部が円筒として表示してあるが、図３に示すようにその側面にテーパを設けて互に入れ子状に組み合わせられ貯蔵運搬の便を図る形状であってもよい。また筒部は上部からの土圧に耐えるようその底部で折り返し平盤部の最上部で閉じるようにすることもできる。また筒部が複数であってもよい。
【０００９】
貯留槽の底部は一般的にその最下部に砕石、保護シート、遮水シート、保護シートからなるが、本発明では遮水シート上に薄板を敷き、薄板上に部材の筒部底面が接するように配列される。
【００１０】
薄板はステンレススチールあるいは樹脂製のものが好ましい。薄板は部材がその上部に配列された時に変形しない程度の硬さと強度があればよい。図4に示す部材の配列と比較し、本発明の部材の配列によれば図１に示すとおり薄板の相当部分が露出されるため、薄板上の水の流れが妨げられることがないため槽の清掃が容易となる。
【００１１】
図2は本第2の発明を示す概念図である。図に示すように薄板上に契合具を設けて部材の筒部内壁面と契合させたものである。薄板上の契合具は筒部内壁に接するように突出する筒部でよい。本契合部は薄板を加工し所定の配列で設けた突部であっても、所定の突部を薄板状に接着剤等で固定してもよい。契合具は筒部の外壁とも接するように構成してもよいが、内部に収まるように構成するほうが水の流れを妨げる度合いを大きくしないためにも好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明である槽底の清掃を容易にした貯留槽を示す概念図である。
【図２】本発明である薄板上に部材筒部底部の内壁内と契合する契合部を設けた槽底の清掃を容易にした貯留槽の例を示す概念図である。
【図３】本発明に使用する部材の例を示す。
【図４】本発明に使用する部材を用いた従来の配列例を示す概念図である。
【符号の説明】
【００１３】
１  部材
１１  平盤部
１２  筒部
２  契合具
３  薄板
４  遮水シート
５  保護シート
【図１】
2005188207.tif 000003
【図２】
2005188207.tif 000004
【図３】
2005188207.tif 000005
【図４】
2005188207.tif 000006
(57)【要約】【課題】 製造コストが安価であるという利点を維持し、しかも、軸との嵌合性が改良されたプレス成形製の転がり軸受を提供する。【解決手段】  転がり軸受は、内輪1、外輪2、これらの間に配置された複数の玉3、および玉3を保持する保持器4を備えている。内輪1および外輪2は、いずれもプレス成形により形成されている。内輪1内径に、プレス打ち抜き加工により、円周方向の凹凸11が形成されている。凹凸量は、（内輪の軌道底径−内径）／２で求められる軌道底板厚の１％以上２０％以下とされている。【選択図】    図２
2005188526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内輪、外輪および転動体を有し、少なくとも内輪がプレス成形により形成されている転がり軸受において、内輪内径に、プレス打ち抜き加工により、円周方向の凹凸が形成されていることを特徴とする転がり軸受。
【請求項２】
凹凸形状が波形とされている請求項１の転がり軸受。
【請求項３】
凹凸量が軌道底板厚の１％以上２０％以下とされている請求項１または２の転がり軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、転がり軸受に関し、特に、内輪および外輪（または内輪だけ）がプレス成形により形成されている転がり軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
内輪および外輪がプレス成形により形成されている転がり軸受は、例えば、特許文献１に記載されているが、従来のものは、その内輪内径がスムーズな円筒面とされている。
【特許文献１】特開平７−２４８０１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記転がり軸受は、製造コストが安価であるという利点を有しているが、これを内輪回転で使用する場合、内輪−シャフト間のクリープを防止するために完全タイトのはめ合いにする必要があるのに対し、プレス成形により形成された内輪は、製造上、内径の公差レンジが大きいことから、完全タイトのはめ合いにならなかったり、しめしろが大きすぎて破損したりするなどの問題があった。
【０００４】
この発明の目的は、製造コストが安価であるという利点を維持し、しかも、軸との嵌合性が改良されたプレス成形製の転がり軸受を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明による転がり軸受は、内輪、外輪および転動体を有し、少なくとも内輪がプレス成形により形成されている転がり軸受において、内輪内径に、プレス打ち抜き加工により、円周方向の凹凸が形成されていることを特徴とするものである。
【０００６】
内輪の凹凸は、プレス成形時に同時に形成される。凹凸形状は、特に限定されないが、加工のしやすさから、横断面形状が波形とされるか、または、ローレット加工により形成されることが好ましい。内輪内径の中心径は、プレス成形の公差のレンジを考慮し、内輪内径が最も大きくなった場合でもシャフトと完全タイトなはめ合いとなるように設定され、内輪内径がスムーズな円筒面である従来のものと同じか若干小さくされる。
【０００７】
内輪は、モータのシャフトなどの回転軸に固定され、外輪は、モータケースなどに固定される。通常、内輪には、熱処理が施され、シャフト（回転軸）には、熱処理が施されない。
【０００８】
上記の転がり軸受において、プレス成形のしやすさと圧入のしやすさとを両立させる点から、凹凸形状が波形とされていることが好ましい。
【０００９】
また、凹凸量（内輪の中心から凸部先端面までの距離と内輪の中心から凹部底面までの距離との差）は、軌道底板厚の１％以上２０％以下とされていることが好ましい。ここで、軌道底板厚は、軌道底板厚＝（内輪の軌道底径−内径）／２で求められる。軌道底板厚が１％未満では、圧入時の応力緩和の効果が小さく、２０％を越えると、内輪の軌道面に凹凸が及ぶ危険性が出てくる。凹凸量は、軌道底板厚の１％以上１０％以下とされていることがより好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
この発明の転がり軸受によると、内輪内径に円周方向の凹凸が形成されているので、プレス成形の公差のレンジ内で内輪内径が最も大きい場合でも、内輪と軸とが完全タイトに嵌め合わされ、プレス成形の公差のレンジ内で内輪内径が最も小さい場合でも、内輪全体にかかる応力が緩和され、圧入時の内輪の損傷が防止される。また、内輪の凸部分がシャフトに噛み込むことから、クリープ防止に有利となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
【００１２】
図１および図２は、この発明の転がり軸受の１実施形態を示している。以下の説明において、左右とは、図１の左右をいうものとする。
【００１３】
転がり軸受は、内輪(1)、外輪(2)、これらの間に配置された複数の転動体である玉(3)、および玉(3)を保持する保持器(4)を備えている。
【００１４】
内輪(1)は、例えば、モータのシャフトなどの回転軸に固定され、外輪(2)は、モータケースに固定される。
【００１５】
内輪(1)および外輪(2)は、いずれもプレス成形により形成されており、内輪(1)は、玉(3)の軌道面を含む球面部(1a)と、球面部(1a)の右側に設けられた円筒部(1b)と、球面部(1a)の左側に設けられた外向きフランジ部(1c)とからなる。外輪(2)は、玉(3)の軌道面を含む球面部(2a)と、球面部(2a)の左側に設けられた円筒部(2b)と、円筒部(2b)のさらに左側に設けられた内向きフランジ部(2c)とからなる。
【００１６】
図２は、図１のＡ方向から見た矢視図であり、同図に示すように、内輪(1)内径には、プレス打ち抜き加工により、円周方向の凹凸(11)が形成されている。凹凸(11)の形状は波形とされており、この加工は、内輪(1)を上記の形状に成型するプレス加工と同時に行われている。
【００１７】
凹凸(11)の量、すなわち、内輪(1)の中心から凸部(11a)先端面までの距離と内輪(1)の中心から凹部(11b)底面までの距離との差は、（内輪の軌道底径−内径）／２で求められる軌道底板厚の１％以上２０％以下、より好ましくは、軌道底板厚の１％以上１０％以下とされている。また、凹凸(11)の量は、内輪(1)内径を基準として、その０．０２％以上でかつ４％以下とされている。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１は、この発明による転がり軸受の１実施形態を示す縦断面図である。
【図２】図２は、図１のＡ方向から見た矢視図である。
【符号の説明】
【００１９】
(1)         外輪
(2)         内輪
(3)         玉（転動体）
(11)        凹凸
(11a)       凸部
(11b)       凹部
【図１】
2005188526.tif 000003
【図２】
2005188526.tif 000004
(57)【要約】【課題】互いに接合すべき物体１、２のそれぞれの接合部位に接合片３、４を装着し、当該接合片３、４の対向面に回転方向並びに摺動方向にロックされる係合凹凸５、６を形成し、この係合凹凸５、６を密着係合して接合するようにしたことを特徴とするもので、物体の接合を簡略に行え、しかも回転やずれを防止して安定した位置に接合保持できるようにする。【効果】接合片を係合凹凸により回転方向並びに摺動方向にロックさせ、物体同士を簡略に、安定した位置に保持して接合することが出来、物体同士を安定して取り付ける目的を達成することが出来た。【選択図】図１
2005188580.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに接合すべき物体１、２のそれぞれの接合部位に接合片３、４を装着し、当該接合片３、４の対向面に回転方向並びに摺動方向にロックされる係合凹凸５、６を形成し、この係合凹凸５、６を密着係合して接合するようにしたことを特徴とする接合装置。
【請求項２】
接合片３、４の一方を磁石、他方を磁性金属で形成したことを特徴とする請求項１に記載の接合装置。
【請求項３】
係合凹凸５、６の密着面に互いに係合する微細係合繊維凹凸７、８を施したことを特徴とする請求項１に記載の接合装置。
【請求項４】
係合凹凸５、６の密着面の少なくとも一方に粘着剤９を施したことを特徴とする請求項１に記載の接合装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転、移動によるずれが生じにくい接合装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から互いにネジや釘、或いは接着で直接接合できない物体同士の簡便な接合には、例えば吸盤や磁石、いわゆるマジックファスナー（登録商標）（ベロクロテープ）等が使われる。
【０００３】
しかしながら、これらの簡便な接合手段はいずれも回転したり、重力方向へのずれが生じやすく、所定の位置に静置接合が困難であった。本発明者は、このような状況に鑑み、本発明を完成するに至ったものである。
【特許文献１】特許出願２００１−２８２３６４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、主として、直接固着接合し辛い物体同士を簡略に、且つ回転せず、また重力方向へずれにくい新規な接合装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の主たる特徴は、互いに接合すべき物体１、２のそれぞれの接合部位に接合片３、４を装着し、当該接合片３、４の対向面に回転方向並びに摺動方向にロックされる係合凹凸５、６を形成し、この係合凹凸５、６を密着係合して接合するようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明にあっては上述のように、互いに接合すべき物体１、２のそれぞれの接合部位に接合片３、４を装着し、当該接合片３、４の対向面に回転方向並びに摺動方向にロックされる係合凹凸５、６を形成し、この係合凹凸５、６を密着係合して接合するようにしたから、係合凹凸５、６の密着係合により、回転が防止でき、また重力方向へのずれ、或いは使用時の接合面と並行な方向へのずれも生じることなく、一旦接合すると、その位置に静置保持できて安定した接合状態で使用できるものである。
【０００７】
また、接合片３、４の一方を磁石、他方を磁性金属で形成した場合には、両者を密着させるだけで、別途接着剤などを用いることなく、しかも回転せず、重量方向にもずれない簡便な接合が行える。
【０００８】
また、係合凹凸５、６の密着面に互いに係合する微細係合繊維凹凸７、８を施しておけば、これも、この微細係合繊維凹凸７、８により、簡便に接合が行えるものであり、しかも、上記と同様、係合凹凸５、６の上合により、回転せず、重力方向にもずれないものである。これは、単に従来のいわゆるマジックテープと称されるものを物体１、２に直接取り付けて使用するものでは、その係合繊維凹凸ではその遊びにより、若干上下左右にぶれが生じるものであって、それには得られない効果である。
【０００９】
更に、棒状の物体１、２の端部同士を接合する場合には、接合片３、４の係合凹凸５、６を密着係合させて棒状の物体１、２の端部を付き合わせ、外周をホルダーなどでグリップすれば、物体１、２を互いに回転しないように簡単に接合できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下本発明を添付図面に基づき詳細に説明する。図１は本発明の基本的な概略を説明するもので、壁のような物体１にフックのような物体２を取り付ける場合を例である。物体１、２のそれぞれにまず接合片３、４を取り付ける。この取り付けは、接着やビス止め等任意の手段で行えば良い。しかして、接合片３、４の係合凹凸５、６を互いに密着させて係合させる。接合片３、４の最終的な固着は、接着で行っても良いし、粘着剤で接合しても良いし、ビスやねじ止めでも良い。ねじ止めする場合でもセンターの一箇所でよい。１１は一方の接合片４を物体２にビス１２で執着するための取り付け台である。
【００１１】
接合片３、４のそれぞれの接合面には、例えば図２、図３のように互いに回転せず、接合面内で平行移動も出来ないような係合凹凸５、６が施されている。図示の接合片３、４は円柱形の例を示したが、角形や楕円、星型等の断面形状その他任意の形状の柱体とすることができる。
【００１２】
この係合凹凸５、６の接合は、接着剤により行ったり、ねじ止めもできる他、一方を磁石で形成し、他方を鉄やステンレス等の磁性金属で形成して、互いに磁着するようにしても良い。
【００１３】
図４は、いわゆるマジックファスナー（登録商標）（ベロクロファスナー）のような微細なフックとループによる微細係合繊維凹凸７、８を係合凹凸５、６に施したものである。単に微細係合繊維凹凸を直接物体に取り付けて接合する場合は、接合面の遊びによる移動があるが、これを係合凹凸５、６に施しているため、係合凹凸５、６のかみ合わせにより、接合部分がずれない。
【００１４】
図５は、係合凹凸５、６の一方に粘着剤９を塗布したもので、この粘着剤９により密着した係合凹凸５、６を接合保持できる。勿論、接合片３、４の物体１、２への接合保持も粘着剤９で行っても良い。10は離型紙である。
【００１５】
図６は棒状の物体１、２の端部に接合片３、４を取り付けて接合に適用した例で、接合部分の外周をスリーブ１３やテープ等で補強することができる。
【産業上の利用可能性】
【００１６】
本発明にあっては、簡便な接合装置でありながら、回転したりずれたりする惧れを解消して安定した保持が行える接合装置を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の一実施例の分解斜視図。
【図２】同上の接合片の拡大斜視図。
【図３】同上の係合凹凸の一例を示す正面図。
【図４】同上の接合片の他の実施例の斜視図。
【図５】同上の接合片の更に他の実施例の斜視図。
【図６】同上を棒体の接合適用例の一分破断した斜視図。
【符号の説明】
【００１８】
１は物体
２は物体
３は接合片
４は接合片
５は係合凹凸
６は係合凹凸
７は微細係合繊維凹凸
８は微細係合繊維凹凸
９は粘着剤
&nbsp;
【図１】
2005188580.tif 000003
【図２】
2005188580.tif 000004
【図３】
2005188580.tif 000005
【図４】
2005188580.tif 000006
【図５】
2005188580.tif 000007
【図６】
2005188580.tif 000008
(57)【要約】【課題】  従来の肺等価材製作技術において、発泡剤としてCFC(フロン)の代替に水を用いる方法では、発泡時の安定性が大きく損なわれるため、均一な密度分布を有した、かつ光子に対する人体の肺の線減弱係数にほぼ等しくなる肺等価材を製造することは困難になる。【解決手段】  ポリオール、イソシアネート、水及び触媒からなるポリウレタン材料に対して15重量%以下のリン酸エステルを添加して、CFC(フロン)を使用しない高分子化反応による発泡過程を利用して得られた、密度0.3g/cm3以下のポリウレタン系発泡体からなる肺等価材。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポリオール、イソシアネート、水及び触媒からなるポリウレタン材料に対して15重量%以下のリン酸エステルを添加して、CFC(フロン)を使用しない高分子化反応による発泡過程を利用して得られた、密度0.3g/cm3以下のポリウレタン系発泡体からなる肺等価材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、肺等価材に関するものである。詳しくは、本発明は、電離性放射線に対する人体の肺組織を模擬する材料に関するものである。さらに詳しくは、人体の肺組織の光子線減弱係数を有する、CFC(フロン：クロロフルオロカーボン)を使用しないポリウレタン材料及びリン酸エステルからなる、新しいポリウレタン系発泡体からなる肺等価材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、実用に供されている肺等価材は、イソシアネートとポリオールからなるポリウレタン液状原料に4.5重量%のリン酸エステルを添加後、十分に攪拌し、高分子化反応やCFC(フロン)を用いた発泡過程を利用して製造されている。95.5重量%を占めるイソシアネートとポリオールの混合割合は、0.7:1.0である。リン酸エステルは、光子に対する肺等価材の線減弱係数が人体の肺の線減弱係数にほぼ等しくなるものとして、ポリウレタン主原料に添加される。
【０００３】
現在、CFC(フロン)全廃により、肺等価材の製造には、ポリウレタンの発泡剤として水を使用することになるが、水発泡では、発泡効率が悪く、均一な密度分布が実現しにくいなどの問題がある。水発泡は、ポリウレタン主原料の他、触媒や発泡剤などの副資材を含めたトータルシステムの改良が試みられている。
【０００４】
従来の肺等価材製作技術において、発泡剤としてCFC(フロン)の代替に水を用いる方法では、発泡時の安定性が大きく損なわれるため、均一な密度分布を有した、かつ光子に対する人体の肺の線減弱係数にほぼ等しくなる肺等価材を製造することは困難になる。そうした状況を踏まえ、ポリウレタン主原料の選定、触媒や発泡剤などの副資材の利用、リン酸エステルの添加量評価が必要となった。
【非特許文献１】城谷孝著、「人体組織と組織等価材の減弱係数」、日本原子力研究所、1995年3月
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、これらの問題点を解決した肺等価材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ポリウレタン系発泡体を肺等価材として製造するためには、特に、イソシアネートやポリオールからなるポリウレタン主原料、副資材及びリン酸エステルの密度や光子線減弱係数を考慮して、その混合割合を正しく評価し、均一な密度分布となる発泡体を実現することが必要になる。
【０００７】
本発明者らは、ポリウレタン液状原料、発泡剤及び触媒を混合したポリウレタン材料にリン酸エステルを添加し、ポリウレタン系発泡体として、かつ肺等価材として人体の肺組織に対する光子線減弱係数を有する材料を目指して鋭意研究し、本発明に到達したものである。
【０００８】
すなわち、本発明の肺等価材は、イソシアネート、ポリオール、発泡剤である水及び触媒からなるポリウレタン材料に対して15重量%以下のリン酸エステルを添加して、CFC(フロン)を使用しない高分子化反応による発泡過程を利用して得られた、密度0.3g/cm3以下のポリウレタン系発泡体であることを特徴とする。
なお、リン酸エステルの添加量は、0.2重量％〜１5重量％であり、好ましくは５重量％〜１２重量％であり、最も好ましくは９重量％〜１０重量％である。0.2重量％〜１5重量％以外の添加量では、人体の肺の密度及び光子に対する人体の肺の線減弱係数にほぼ等しくなる肺等価材を製造することは困難になる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によって、放射線治療分野や放射線防護分野で利用されるファントム（生物の密度と実効原子番号にできる限り近似した体積を持つ物質、放射線線源を用いた物理学又は生物学実験に用いられる）の肺等価材として、CFC(フロン)を使用しない、人体の肺組織の光子線減弱係数を有するポリウレタン系材料が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明において、イソシアネートとは、ポリオール等の活性水素化合物と容易に反応・硬化し、水と反応して炭酸ガス発生源となるものをいい、特にジフェニルメタンジイソシアネートを用いる。ポリオールとは、水酸基の活性水素をもち、イソシアネートと容易に重縮合するものをいい、特にポリプロピレン(エチレン)ポリオールを用いる。触媒とは、ポリウレタン形成の主反応である樹脂化反応と泡化反応のバランス制御するために利用したものをいい、特にトリエチルアミンを用いる。
【００１１】
肺等価材となるポリウレタン系発泡体は、肺の主要構成元素である水素、炭素、窒素及び酸素からなるポリウレタン材料に、ポリウレタン材料より高い実効原子番号をもつリン酸エステルを最適量加え、その光子線減弱係数が人体の肺の光子線減弱係数とほぼ同じになるようにしたものである。
【００１２】
又、上記のように、本発明のポリウレタン系発泡体の光子線減弱係数が人体の肺の光子線減弱係数とほぼ同じになるようになるためには、その密度が０．２０〜０．３０g/cm3である必要がある。この数値範囲以外の密度のものは人体の肺を模擬できない。
【実施例】
【００１３】
肺等価材の原料として、ジフェニルメタンジイソシアネート、ポリプロピレン(エチレン)ポリオール、窒素を含有した架橋剤としてのポリプロピレン(エチレン)ポリオール、水、トリエチルアミンからなるポリウレタン材料、及びリン酸エステルを用いた。
【００１４】
ジフェニルメタンジイソシアネート、ポリプロピレン(エチレン)ポリオール、ポリプロピレン(エチレン)ポリオール(架橋剤)、水、トリエチルアミンの処方は、ポリウレタン材料の、それぞれ48.4重量%、33.8重量%、16.9重量%、0.83重量%、0.07重量%とした。リン酸エステルは、16.6keVの光子に対する人体の肺の線減弱係数を考慮し、最適量9.25重量%とした。
【００１５】
肺等価材の原料は、プラスチック製容器に入れ、攪拌機で十分に攪拌し、肺等価材の成形金型内へ注入した。原料は、原料が固化するまで、成形金型内で安置した。原料は、固化後、肺等価材として成形金型から離型した。
【００１６】
このようにして得られた肺等価材について、体積及び重量を測定し、密度を評価するとともに16.6keVの光子を放出する93mNb点状放射線線源を用いて光子透過率を測定し、光子線減弱係数を評価した。その結果、密度は0.24g/cm3(人体の肺は、0.26 g/cm3)となり、線減弱係数は0.30cm-1(人体の肺は、0.34 cm-1)となった。
(57)【要約】【課題】  高純度の結晶性α型窒化珪素ナノベルトの製造方法を提供する。【解決手段】  一酸化ケイ素粉末をアンモニア気流中で、1350〜1450℃に、3.2〜3.7時間加熱することにより、結晶性のα型窒化珪素ナノベルトを製造する。【選択図】  図２
2005272208.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一酸化ケイ素粉末をアンモニア気流中で、1350〜1450℃に、3.2〜3.7時間加熱することを特徴とする長さ数十マイクロメートル〜数百マイクロメートル、幅800〜1200ナノメート
ル、厚さ20〜30ナノメートルを有するα型窒化珪素ナノベルトの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この出願の発明は、α型窒化珪素ナノベルトの製造方法に関するものである。さらに詳しくは、この出願の発明は、優れた機械的、化学的、電子的、熱的性質を示す先進材料として、セラミックス分野やマイクロエレクトロニクス分野への応用が期待されているα型窒化珪素ナノベルトの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
エルビウムや水素を含む非晶質の窒化珪素の薄膜は、フォトルミネッセンスなどの光学材料として、研究が盛んに行われている。一方、結晶質の窒化珪素ナノベルトの光学的性質に関して、アルミニウムをドーピングしたβ型窒化珪素単結晶に関する報告がある（たとえば、非特許文献１参照。）。
【非特許文献１】F.Munakataほか、アプライド・フィジックス・レターズ(Appl.Phys.Lett.)74巻、3498頁、1999年。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この出願の発明は、アルミニウムなどのドーピング材を含有しない高純度の結晶性のα型窒化珪素ナノベルトを、鋳型や触媒を使用することなく、製造可能とすることを解決すべき課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この出願の発明は、上記の課題を解決するものとして、一酸化ケイ素粉末をアンモニア気流中で、1350〜1450℃に、3.2〜3.7時間加熱することを特徴とする長さ数十マイクロメートル〜数百マイクロメートル、幅800〜1200ナノメートル、厚さ20〜30ナノメートルを
有するα型窒化珪素ナノベルトの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【０００５】
この出願の発明のα型窒化珪素ナノベルトによれば、エルビウムやアルミニウムなどのドーピング材を含有しない純粋な結晶性のα型窒化珪素ナノベルトの製造が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
たとえば、アルミナ製るつぼの中に一酸化ケイ素粉末を入れる。このるつぼを縦型高周波誘導加熱炉の中央部に配置する。縦型高周波誘導加熱炉は、上部と下部にガス導入口を有しており、また、下部にガス排出口を有している。このような縦型高周波誘導加熱炉を減圧にした後、下部のガス導入口からアルゴンガスなどの不活性気体を導入し、上部のガス導入口からアンモニアガスを導入する。このときのアンモニアガスの流量は300〜350sccmの範囲が好ましい。300sccm未満では一酸化ケイ素粉末との反応に十分な流量ではなく
、350sccmの流量で十分となるからである。アルゴンガスなどの不活性気体の流量は250〜400sccmの範囲が好ましい。250sccm未満ではアルミナるつぼの中の酸素量が高くなり、400sccmで酸素の除去に十分となるからである。
【０００７】
そして、るつぼの内容物を1350〜1450℃で3.2〜3.7時間加熱する。1450℃の反応温度において、幅が広く、かつ薄いα型窒化珪素ナノベルトが得られるので、これ以上の温度に上げる必要はない。1350℃未満であると、α型窒化珪素ナノベルトの収量が低下する。反応時間は3.7時間で原料がほとんど消費されてしまうので、これ以上の時間をかける必要
はない。3.2時間未満であると、幅が広く、十分長いα型窒化珪素ナノベルトは得られな
い。
【０００８】
加熱終了後、るつぼの内壁に白色の綿状の繊維状物が堆積する。この堆積物を分析すると、長さ数十マイクロメートル〜数百マイクロメートル、幅800〜1200ナノメートル、厚
さ20〜30ナノメートルで、格子定数a=7.743Å、c=5.619Åを有する六方晶系のα型窒化珪素ナノベルトであることが確認される。
【実施例】
【０００９】
次に、実施例を示し、この出願の発明のα型窒化珪素ナノベルトの製造方法についてさらに具体的に説明する。
【００１０】
和光純薬工業(株)製の一酸化ケイ素粉末(純度99.9%)3gをアルミナ製るつぼの中に入れ
、このるつぼを縦型高周波誘導加熱炉の中央部に設置した。加熱炉を5×10-1Torrの減圧
にした後、加熱炉の上部からアンモニアガスを350sccmの流量で流し、加熱炉の下部から
アルゴンガスを400sccmの流量で流しながら、るつぼを1400℃で3.5時間加熱した。加熱終了後、加熱炉を室温に冷却すると、るつぼの内壁に白色の綿状の繊維状物が約2g堆積した。
【００１１】
図１に堆積物のX線回折のパターンを示した。この図１から格子定数a=7.743Å、c=5.619Åを有する六方晶系のα型窒化珪素であることが確認される。また、図１に示したピー
クからβ型窒化珪素や他の不純物は存在しないことも確かめられる。
【００１２】
図２に堆積物の走査型電子顕微鏡像の写真を示した。長さが数十マイクロメートル〜数百マイクロメートル、幅が800〜1200ナノメートル、厚さが20〜30ナノメートルを有する
α型窒化珪素ナノベルトが得られていることが確認される。
【００１３】
図３にX線エネルギー拡散スペクトルを測定した結果を示した。珪素と窒素のピークが
現れており、化学組成は化学量論組成の窒化珪素に近似していることが分かる。なお、図３に現れている銅のピークは、試料を作製する際に用いた銅グリッドに由来するものである。
【００１４】
図４に、励起源として、波長325nmのHe-Cdレーザーを用いて、室温で測定した堆積物のフォトルミネッセンスのスペクトルを示した。400〜750nmにわたって幅の広いスペクトルを有し、575nmに最大の発光強度を示す白色の発光を示すことが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
この出願の発明により、高純度のα型窒化珪素ナノベルトが製造可能となった。したがって、フォトルミネッセンスをはじめとする光学デバイスへの応用が期待される。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】実施例で得られたα型窒化珪素ナノベルトのX線回折のパターンである。
【図２】実施例で得られたα型窒化珪素ナノベルトの走査型電子顕微鏡像の図面代用写真である。
【図３】実施例で得られたα型窒化珪素ナノベルトのX線エネルギー拡散スペクトルの図である。
【図４】実施例で得られたα型窒化珪素ナノベルトの室温におけるフォトルミネッセンススペクトルの図である。
【図１】
2005272208.tif 000003
【図２】
2005272208.tif 000004
【図３】
2005272208.tif 000005
【図４】
2005272208.tif 000006
(57)【要約】【課題】  酸化ガリウム層で被覆された窒化ガリウムナノワイヤーの製造方法を提供する。【解決手段】  直径40〜50ナノメートルの窒化ガリウムナノワイヤーを乾燥空気中で、700〜1200℃に12〜24時間加熱して、酸化ガリウム層で被覆された窒化ガリウムナノワイヤーを製造する。【選択図】  図２
2005272207.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直径40〜50ナノメートルの窒化ガリウムナノワイヤーを乾燥空気中で700〜1200℃に12〜24時間加熱することを特徴とする酸化ガリウム層で被覆された窒化ガリウムナノワイヤー
の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この出願の発明は、酸化ガリウム層で被覆された窒化ガリウムナノワイヤーの製造方法に関するものである。さらに詳しくは、この出願の発明は、高温用あるいは高電力用デバイスや青色〜紫外光発光ダイオード等への使用が検討されている酸化ガリウム層で被覆された窒化ガリウムナノワイヤーの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
バルクおよび薄膜の窒化ガリウムのパッシベーションのための表面酸化は、MOS型電界
効果型トランジスターの作製に必要な技術であり、多くの研究が行われている（たとえば、非特許文献１，２参照。）。また、窒化ガリウムナノワイヤーの電子移動度やp-n接合
に関する研究が、電子デバイスや光学デバイスへの応用を目的として行われている（たとえば、非特許文献３，４参照。）。
【非特許文献１】S.D.Wolterほか、アプライド・フィジックス・レターズ(Appl.Phys.Lett.)70巻、2156頁、1997年。
【非特許文献２】H.Kimほか、ジャーナル・オブ・バキューム・サイエンス・アンド・テクノロジーズB(J.Vac.Sci.Technol.B)19巻、579頁、2001年。
【非特許文献３】J.R.Kimほか、アプライド・フィジックス・レターズ(Appl.Phys.Lett.)80巻、3548頁、2002年。
【非特許文献４】Y.Huangほか、サイエンス(Science)294巻、1313頁、2001年。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この出願の発明は、上記の三次元のバルクや二次元の薄膜ではなく、一次元の窒化ガリウムナノワイヤーの熱酸化によるナノワイヤーの表面が酸化ガリウム層で覆われた窒化ガリウムナノワイヤーの製造方法を提供することを解決すべき課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この出願の発明は、上記の課題を解決するものとして、直径40〜50ナノメートルの窒化ガリウムナノワイヤーを乾燥空気中で700〜1200℃に12〜24時間加熱することを特徴とす
る酸化ガリウム層で被覆された窒化ガリウムナノワイヤーの製造方法を提供する。
【発明の効果】
【０００５】
この出願の発明の酸化ガリウム層で被覆された窒化ガリウムナノワイヤーの製造方法によれば、窒化ガリウムのパッシベーション膜の形成に際して、別の材料を使用することなく、表面のみを酸化させることができる。このため、微細構造のエレクトロニクスデバイス用材料として有用である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
既知の方法で製造した直径40〜50ナノメートルの窒化ガリウムナノワイヤーを乾燥空気中で、700〜1200℃に12〜24時間加熱してナノワイヤーの表面を酸化させる。
【０００７】
直径40〜50ナノメートルの窒化ガリウムナノワイヤーを用いる理由は、40ナノメートルよりも直径が小さいと、表面だけでなく内部まで酸化されたり、酸化膜が剥離するので好ましくない。直径が50ナノメートル超えると、微小サイズデバイス向きではなくなる。
【０００８】
加熱温度は700〜1200℃の範囲である。700℃未満の温度では酸化が十分に進行せず、1200℃で酸化が十分に進行するのでこれ以上の温度に上げる必要はない。
【０００９】
加熱時間は、12〜24時間の範囲である。24時間で十分に酸化され、12時間未満では酸化が不十分である。
【００１０】
上記の条件で加熱することにより、ナノワイヤーの表面におよそ厚さ10ナノメートルの酸化ガリウム層が形成される。酸化ガリウム層が形成されたことは、X線回折のパターン
を調べることにより確認することができる。
【００１１】
次に、実施例を示し、この出願の発明の酸化ガリウム層で被覆された窒化ガリウムナノワイヤーの製造方法についてさらに具体的に説明する。
【実施例】
【００１２】
まず、既知の方法（C.C.Tang, et al, Appl.Phys.Lett.77巻、1961頁、2000年に記載）により、ガリウム、二酸化ケイ素、アルミナに担持した酸化鉄の混合物をアンモニア気流中で950℃に加熱して六方晶系の窒化ガリウムナノワイヤーを製造した。
次に、この六方晶系窒化ガリウムナノワイヤーを管状炉に入れ、乾燥空気を200sccmの流
量で流しながら、850℃で24時間加熱した。
【００１３】
図１に、窒化ガリウムナノワイヤーを空気中で850℃、24時間加熱した後のX線回折のパターンを示した。この図１から単斜晶系のβ-型酸化ガリウムの層が形成されていること
が分かる。
【００１４】
図２に、窒化ガリウムナノワイヤーを空気中で850℃、24時間加熱した後の高分解能透
過型電子顕微鏡像の写真を示した。ナノワイヤー全体の直径が50ナノメートルで、酸化ガリウム層の厚さがおよそ10ナノメートルであることが分かる。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
この出願の発明により、窒化ガリウムナノワイヤーの表面にパッシベーション膜としての酸化ガリウム層を形成させることが可能となったので、MOS型電界効果型トランジスタ
ーへの応用の道が開ける。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】窒化ガリウムナノワイヤーを空気中で850℃、24時間加熱した後のX線回折のパターンである。
【図２】窒化ガリウムナノワイヤーを空気中で850℃、24時間加熱した後の高分解能電子顕微鏡像の図面代用写真である。
【図１】
2005272207.tif 000003
【図２】
2005272207.tif 000004