(57)【要約】【課題】  蛇腹部に滞留している液体および気泡を迅速にポンプ室外へ排出可能なべローズポンプおよびそれを用いたレジスト塗布装置を提供する。【解決手段】  ポンプヘッド２に、ベローズ３で画成されたポンプ室６の内方へ延びる突出部１３を設けるとともに、突出部１３に水平開口１４を形成し、突出部１３と蛇腹部との間隙を通る蛇腹部に沿った流れにより蛇腹部に滞留している液体および気泡を引き込み、この流れによって、液体吸入時にはポンプ室６内へこれを押し下げ、また液体吐出時には水平開口１４側へ押し上げてこれを排出するようにした。【選択図】  図１
2005188377.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吸入する吸入口および前記液体を吐出する吐出口が設けられたポンプヘッドと、
前記ポンプヘッドに取り付けられた伸縮自在のベローズと、
前記吸入口および吐出口と連通するとともに、前記ベローズで画成されたポンプ室とを備え、
前記ベローズを伸縮軸方向へ駆動することにより、前記吸入口および吐出口を介して前記液体の吸入および吐出を行うベローズポンプであって、
前記ポンプヘッドに、前記ベローズのポンプ室内方へ延びる突出部が設けられ、
前記突出部に、前記ベローズを伸長駆動した際に、前記液体が前記ポンプ室内にベローズの伸縮軸方向に対して略直角である方向へ流入するとともに、前記ベローズを収縮駆動した際に、前記液体がポンプ室外にベローズの伸縮軸方向に対して略直角である方向へ流出する水平開口が形成されていることを特徴とするベローズポンプ。
【請求項２】
前記突出部の水平開口が、前記ベローズの固定端近傍に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のベローズポンプ。
【請求項３】
前記突出部が円柱状であり、前記水平開口が前記突出部の側周部に複数形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のベローズポンプ。
【請求項４】
前記突出部の先端部に、前記ベローズを伸長駆動した際に、前記液体が前記ポンプ室内にベローズの伸縮軸方向に対して略平行な方向へ流入する鉛直開口が形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のベローズポンプ。
【請求項５】
前記鉛直開口から前記突出部の内部へ形成された前記液体の流路に、前記ベローズを伸長駆動した際に、前記流路を開放して前記鉛直開口から前記ポンプ室内への前記液体の流入を許容するとともに、前記ベローズを収縮駆動した際に、前記流路を閉止して前記鉛直開口から前記ポンプ室外への前記液体の流出を防止する逆止弁を備えることを特徴とする請求項４に記載のベローズポンプ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のベローズポンプを備えることを特徴とするレジスト塗布装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体の送給に用いられるベローズポンプ、およびそれを用いたレジスト塗布装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば半導体製造工程における各種の処理時に、薬液などを送給するためにベローズポンプが使用されている（特許文献１〜３を参照）。また、液晶ディスプレイの製造時におけるリソグラフィ工程では、レジスト液をノズルから基板上に滴下して塗布する際に、レジスト液貯槽部からノズルへレジスト液を送給するためにベローズポンプが使用されている。
【０００３】
このようなベローズポンプを用いたレジスト塗布装置の一例を図１２に示す。このレジスト塗布装置はスピンコーティング法による基板への塗布に使用されるものであり、この装置が備えるベローズポンプ１０１には、内部にポンプ室１２６が形成されたハウジング１２７に、吸入口１０７と吐出口１０８が開設されている。吸入口１０７は吸入管１５０を介してレジスト液貯槽部１４７と連通され、吐出口１０８は供給管１４８を介して吐出ノズル１５１と連通されている。また、吸入口１０７にはレジスト液のポンプ室１２６への流入のみを許容する吸入側逆止弁１１１が設けられ、吐出口１０８にはレジスト液のポンプ室１２６からの流出のみを許容する吐出側逆止弁１１２が設けられている。
【０００４】
ハウジング１２７内にはベローズ１０３が設けられ、駆動部材１５２を軸方向に移動させることによって伸縮するように構成されている。このベローズ１０３を軸方向に伸長させることにより、レジスト液貯槽部１４７からのレジスト液がポンプ室１２６へ吸入される。一方、ベローズ１０３を軸方向に収縮させることにより、ポンプ室１２６が加圧されて吐出ノズル１５１からレジスト液が吐出され、基板１４９へ供給される。
【特許文献１】特開２００１−１５３０５１号公報
【特許文献２】特開２０００−４５９５２号公報
【特許文献３】特開平１１−１０７９２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
同図のような構造のベローズポンプ１０１では、吸入口１０７および吐出口１０８に連通するポンプ室１２６の開口が、ベローズ１０３の蛇腹部１５３から離間した位置に設けられている。しかし、このような構造では、駆動部材１５２によるベローズ１０３の伸縮に伴うポンプ室１２６内外へのレジスト液の流れがベローズ１０３の蛇腹部１５３まで充分に行き渡らず、この蛇腹部１５３にレジスト液および気泡が滞留し易くなる。
【０００６】
このため、長く滞留したレジスト液が酸化、ゲル化などにより劣化し、あるいはマイクロバブルを発生することがあり、劣化したレジスト液が吐出口１０８などを詰まらせたり、あるいは残留気泡が突然吐出口１０８から出ることでレジスト膜に欠陥（レジスト不良）が発生したりすることがあった。
【０００７】
本発明は上述したような従来技術における問題点を解決するために為されたものであり、その目的は、蛇腹部に滞留している液体および気泡を迅速にポンプ室外へ排出可能なべローズポンプ、およびそれを用いたレジスト塗布装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のベローズポンプは、液体を吸入する吸入口および前記液体を吐出する吐出口が設けられたポンプヘッドと、
前記ポンプヘッドに取り付けられた伸縮自在のベローズと、
前記吸入口および吐出口と連通するとともに、前記ベローズで画成されたポンプ室とを備え、
前記ベローズを伸縮軸方向へ駆動することにより、前記吸入口および吐出口を介して前記液体の吸入および吐出を行うベローズポンプであって、
前記ポンプヘッドに、前記ベローズのポンプ室内方へ延びる突出部が設けられ、
前記突出部に、前記ベローズを伸長駆動した際に、前記液体が前記ポンプ室内にベローズの伸縮軸方向に対して略直角である方向へ流入するとともに、前記ベローズを収縮駆動した際に、前記液体がポンプ室外にベローズの伸縮軸方向に対して略直角である方向へ流出する水平開口が形成されていることを特徴とする。
【０００９】
このように構成された本発明では、突出部とベローズの蛇腹部との間に、蛇腹部に沿った間隙が形成され、ポンプで送給するレジスト液などの液体は、突出部に形成された水平開口を介して流出入するとともに、液体吸入時には、この間隙を通る蛇腹部に沿った下方への流れにより、蛇腹部に滞留している液体および気泡を引き込みポンプ室内へ押し下げるように液体が吸入される。一方、液体吐出時には、この間隙を通る蛇腹部に沿った上方への流れにより、蛇腹部に滞留している液体および気泡を引き込み水平開口側へ押し上げて液体が排出される。
【００１０】
したがって、蛇腹部に滞留している液体および気泡を確実且つ迅速にポンプ室外に排出することができる。
【００１１】
突出部の水平開口は、ベローズの固定端近傍に設けられていることが好ましく、これにより突出部と蛇腹部との間隙を通って蛇腹部に滞留している液体および気泡を押し出す流れは蛇腹部の固定端側端部まで行き渡るため、蛇腹部全体に渡って、蛇腹部に滞留している液体および気泡を確実且つ迅速にポンプ室外に排出することができる。
【００１２】
また、突出部が円柱状であり、水平開口が突出部の側周部に複数形成されていることが好ましい。これにより、ベローズと円柱状の突出部との間に形成された断面略環状の間隙全体に渡り、蛇腹部に滞留している液体および気泡を押し出す充分な流れを生じ、蛇腹部に滞留している液体および気泡を確実且つ迅速にポンプ室外に排出することができる。
【００１３】
本発明のベローズポンプは、前記突出部の先端部に、前記ベローズを伸長駆動した際に、前記液体が前記ポンプ室内にベローズの伸縮軸方向に対して略平行な方向へ流入する鉛直開口が形成されていることを特徴とする。
【００１４】
このように構成された本発明では、液体吸入時において、ポンプ室内へ吸入される液体の一部は鉛直開口から流入する。この鉛直開口からの液体は、水平開口から突出部と蛇腹部との間隙を通って蛇腹部に滞留している液体および気泡を引き込んでポンプ室内へ流入した液体とは異なり、フレッシュな液体であるため、液体吐出時には滞留液体および気泡の少ないフレッシュな液体を用いて、突出部と蛇腹部との間隙を通して蛇腹部に滞留していた液体および気泡を引き込み水平開口からポンプ室外へ押し出すことができる。
【００１５】
したがって、蛇腹部に滞留していた液体および気泡を確実且つ迅速にポンプ室外に排出することができる。
【００１６】
また、本発明のベローズポンプを、いわゆるスピンレス法によるレジスト塗布装置に使用する場合には、後述するように、レジスト液吐出時にポンプ室内のレジスト液による加
圧によってフッ素樹脂のような樹脂材で形成された蛇腹部が変形することを防止するため、ベローズ外周部に、蛇腹部の外側凹部と嵌合するベローズ保護部材を設けることが好ましい。しかしながら、レジスト液吸入時においては逆に、ポンプ室内に負圧が発生し、このポンプ室内の負圧により蛇腹部の外側凸部が変形する場合があるが、このベローズ保護部材ではこの変形を防止することができない。
【００１７】
しかし、突出部の先端部に鉛直開口を設けることによってレジスト液吸入時におけるポンプ室内への液体流量を増やすことができるため、この蛇腹部の外側凸部の変形を抑制し、蛇腹部の残留変形、破損などを防止することができる。
【００１８】
本発明のベローズポンプは、前記鉛直開口から前記突出部の内部へ形成された前記液体の流路に、前記ベローズを伸長駆動した際に、前記流路を開放して前記鉛直開口から前記ポンプ室内への前記液体の流入を許容するとともに、前記ベローズを収縮駆動した際に、前記流路を閉止して前記鉛直開口から前記ポンプ室外への前記液体の流出を防止する逆止弁を備えることを特徴とする。
【００１９】
このように構成された本発明では、液体吸入時には鉛直開口からの流路が開放され、上述したように鉛直開口からフレッシュな液体が流入する一方、液体吐出時には逆止弁により鉛直開口からの流路が閉止され、鉛直開口からポンプ室外へ液体の流出が阻止される。このため、ポンプ室内の液体は全て、突出部と蛇腹部との間隙を通って蛇腹部に滞留していた液体および気泡を引き込んで水平開口からポンプ室外へ排出される。
【００２０】
したがって、液体吸入時にはフレッシュな液体をポンプ室内へ流入させるとともに、液体吐出時にはこのフレッシュな液体を用いてポンプ室内における全ての液体を水平開口からポンプ室外へ押し出すことができ、蛇腹部に滞留していた液体および気泡を確実且つ迅速にポンプ室外に排出することができる。
【００２１】
上述した本発明のベローズポンプは、レジスト塗布装置に好適に用いられる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のべローズポンプおよびそれを用いたレジスト塗布装置によれば、蛇腹部に滞留している液体および気泡を迅速にポンプ室外へ排出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照しながら本発明を詳細に説明する。図１は本発明の一実施形態におけるベローズポンプの断面図、図２は図１のベローズポンプのＡ−Ａ線での断面図、図３は図１のベローズポンプのレジスト液吸入時における状態、図４は図１のベローズポンプのレジスト液吐出時における状態を示す。
【００２４】
図１〜４に示した本実施形態のベローズポンプ１は、レジスト塗布装置に使用するものであり、特に、近年用いられているＬＣＤ基板のような比較的大型の基板の上方でレジスト液吐出ノズルを相対移動または走査させながら細線状のレジスト液を連続的に吐出させることにより、基板面へ所望の膜厚でレジスト液の塗布を行ういわゆるスピンレス法に使用するためのものであり、基板１枚分のレジスト液を収容するような大容量で且つ高耐圧のベローズポンプである。このベローズポンプ１は、通常は縦置きで使用される。
【００２５】
このベローズポンプ１は、レジスト液を吸入する吸入口７およびレジスト液を吐出する吐出口８が設けられたポンプヘッド２と、ポンプヘッド２に取り付けられた伸縮自在のベローズ３と、吸入口７および吐出口８と連通するとともに、ベローズ３で画成されたポンプ室６とを備えている。なお、１８はポンプヘッド２を支持する柱状の支持部材、１９は
固定板である。
【００２６】
ベローズ３は、固定端４において、Ｏリング１７を挟んでベローズ押さえ板１６でポンプヘッド２に取り付けられている。一方、可動端５では、ベローズアダプタ２０を介してボールネジ２１およびベアリング２２を備えるボールネジ機構が取り付けられ、これによってベローズ３を伸縮軸方向へ駆動することにより、吸入口７および吐出口８を介して液体の吸入および吐出が行われる。
【００２７】
ポンプヘッド２には、ポンプ室６の内方へ延びる円柱状の突出部１３が設けられている。この突出部１３には、ベローズ３の伸縮軸方向に対して略直角方向を向いた水平開口１４が形成されている。この水平開口１４は、円柱の根元位置における側周部に、ベローズ３の固定端４の近傍となる位置に４つ開設され、図２のＡ−Ａ断面図に示されるように円周に沿って等間隔に、各開口１４、１４・・・が四方へ向くように配置されている。
【００２８】
一方、突出部１３の先端部には、ベローズ３の伸縮軸方向に対して略平行な方向を向いた鉛直開口１５が形成されている。
【００２９】
レジスト液は、これらの水平開口１４および鉛直開口１５からポンプ室６内へ吸入され、ポンプ室６外へ吐出される。
【００３０】
スピンレス法では、孔径の非常に小さい（例えば１００μｍ程度）吐出孔を多数有するレジスト液吐出ノズルを使用するため、高い吐出圧を要する。さらに、吐出前にレジスト液の気泡を除去するためにフィルタを通過させる場合には、このフィルタによる抵抗圧が発生する。このため、レジスト液吐出時の液圧が高くなり（最大で１ＭＰａ程度）、ポンプ室６内の高圧のレジスト液が、ベローズ３の蛇腹部の外側凹部３ａを押し潰すように変形させ、これに起因して繰り返し疲労による残留変形、または破損を生じることがある。そこで本実施形態では、ベローズ３の外周に、フランジ形状のベローズ保護部材３０が取り付けられている。
【００３１】
図９（ａ）は、図１のベローズポンプのベローズ保護部材を示したものであり、図１０は、そのＡ−Ａ線による拡大断面図である。図１０に示したように、このベローズ保護部材３０は、フランジ形状の内周に沿った端部３１の断面輪郭が、ベローズ３の収縮時における外側凹部３ａの断面輪郭と略同一の形状である膨出状に形成されている。
【００３２】
すなわち、端部３１の断面輪郭を、ポンプ室６の容積が最小となるまでベローズ３を収縮した際における無加圧の状態での外側凹部３ａの断面輪郭に沿った形状としているため、ベローズ３は、レジスト液吐出時の加圧下においても、ポンプ室６側からの加圧力が外側凹部３ａの無加圧下での形状に沿った端部３１で受け止められるため、その加圧力による変形を受けない。
【００３３】
したがって、外側凹部３ａは、特に加圧時の変形に起因する吸入と吐出の繰り返し疲労による残留変形や破損を生じることがない。さらに、ベローズ３を伸縮駆動するボールねじ機構における駆動部材の移動距離と、吐出口８からのレジスト液吐出量との関係も、吐出時の加圧に対して蛇腹部の外側凸部３ｂの形状変化が少ないために直線性が良好であり、ノズル５１からレジスト液を均一な塗布量で塗布することができる。
【００３４】
ベローズ保護部材３０は、例えば、図９（ｂ）に示したようにフランジ形状を２分割した金属製のフランジ形成部材３２ａ、３２ｂと、これらを固定してフランジ形状を形成する固定部材（固定金具３３、螺子３８）とから構成することができ、これらの部材からフランジ保護部材３０を形成し、蛇腹部の外側凹部３ａへ組み付ける際には、先ず２枚のフ
ランジ形成部材３２ａ、３２ｂで外側凹部３ａを挟持し、この状態で固定金具３３を螺子孔３４が一致するように重ねて、螺子３８で紙面裏側の方向から螺合して固定させる。
【００３５】
次に、以上のように構成されたベローズポンプ１の吸入および吐出動作を説明する。レジスト液をポンプ内に吸入する際における液の流れは、図３に示したようになる。ボールねじ機構により可動端５を引張りベローズ３を伸長させることによって、レジスト液貯槽部４７からのレジスト液は吸入口７から流入する。この際、吸入側逆止弁１１は流路を開放するとともに、吐出側逆止弁１２は流路を閉止して、吸入口７からのレジスト液は水平開口１４および鉛直開口１５よりポンプ室６内へ吸入される。
【００３６】
水平開口１４から水平方向に向かって流入したレジスト液は、突出部１３の円柱側周部とベローズ３の蛇腹部との間に狭幅に形成された環状の間隙を通り下方へ流れる。上述したように、この水平開口１４は円柱の根元位置における側周部に、ベローズ３の固定端４の近傍となる位置に四方に開設されている。このため、突出部１３とベローズ３の蛇腹部との間に形成された間隙全体に渡り、ベローズ３の蛇腹部の固定端側端部から蛇腹部に沿った下方への流れが生じ、この蛇腹部に沿った流れにより、蛇腹部の内側部（内側凹部）に滞留している液体および気泡を引き込んでポンプ室６内方へ押し下げ、ポンプ室６の突出部１３よりも下方側の空間へ流入する。
【００３７】
一方、鉛直開口１５よりポンプ室６内へ流入したフレッシュなレジスト液は、そのままポンプ室６の突出部１３よりも下方側の空間に貯留される。
【００３８】
このようにしてポンプ室６内に吸入されたレジスト液を吐出ノズル４８から吐出する際における液の流れは、図４に示したようになる。すなわち、ボールねじ機構により可動端５を押してベローズ３を収縮させることにより、レジスト液は水平開口１４および鉛直開口１５からポンプ室６外へ流出する。この際、吐出側逆止弁１２は流路を開放するとともに、吸入側逆止弁１１は流路を閉止して、レジスト液は吐出口８から流出して供給管４８を通り吐出ノズル５１から吐出される。
【００３９】
ポンプ室６から水平開口１４を介して吐出される場合、ポンプ室６内のレジスト液は、突出部１３とベローズ３の蛇腹部との間に形成された環状の間隙を上方へ流れる。この際、この蛇腹部に沿った流れにより、蛇腹部の内側部に滞留している液体および気泡を引き込んで水平開口１４へ押し上げ、ポンプ室６外へ排出する。
【００４０】
一方、ポンプ室６内に吸入されたレジスト液の一部は、鉛直開口１５からもポンプ室６外へ排出される。
【００４１】
このように、本実施形態ではポンプヘッド２にポンプ室６の内方へ延びる円柱状の突出部１３を設けるとともに、その側周部の根元に複数の水平開口１４を形成しているため、突出部１３とベローズ３の蛇腹部との間に狭幅の間隙が形成され、この間隙を通る蛇腹部に沿った流れにより蛇腹部の内側部に滞留している液体および気泡が引き込まれ、吸入時にはポンプ室内方へ押し下げられ、吐出時には水平開口１４へ押し上げられて排出される。
【００４２】
したがって、蛇腹部に滞留している液体および気泡を確実且つ迅速にポンプ室外に排出することができ、滞留により劣化したレジスト液が吐出口８などを詰まらせたり、あるいは残留気泡が突然吐出口８から出ることでレジスト不良を発生させたりすることを防止できる。また、装置の使用開始時などにおいて調整運転する際に、ポンプ室内のレジスト液および気泡を迅速に排出することができるため、装置の調整時間を短くすることができる。
【００４３】
さらに、円柱状の突出部１３の先端部には鉛直開口１５が形成され、レジスト液吸入時にこの鉛直開口１５からフレッシュなレジスト液が吸入されるため、レジスト液吐出時には、滞留液体および気泡の少ないレジスト液が突出部１３と蛇腹部との間隙を通ることになり、この比較的フレッシュなレジスト液で蛇腹部に滞留していたレジスト液および気泡を引き込み水平開口１４からポンプ室外へ押し出すことができる。
【００４４】
また、上述したようにレジスト液吐出時にポンプ室６内のレジスト液による加圧によってフッ素樹脂のような樹脂材で形成された蛇腹部が変形することを防止するため、ベローズ３の外周に、蛇腹部の外側凹部３ａと嵌合するベローズ保護部材３０を設けているが、レジスト液吸入時においては逆に、ポンプ室６内には負圧が発生し、この負圧により蛇腹部の外側凸部３ｂが変形する場合があり、ベローズ保護部材３０ではこの変形を防止することができない。しかし、鉛直開口１５を設けることによってレジスト液吸入時におけるポンプ室６内への流量を増やすことができるため、この蛇腹部の外側凸部３ｂの変形を抑制し、蛇腹部の残留変形、破損などを防止することができる。
【００４５】
図５は本発明の他の実施形態におけるベローズポンプの断面図である。上述した実施形態では円柱状の突出部１３の先端部に鉛直開口１５を設けたが、本実施形態では突出部１３に水平開口１４のみを設けている。このような構成であっても、突出部１３とベローズ３の蛇腹部との間に形成された間隙を通るレジスト液の流れにより、蛇腹部の内側部に滞留している液体および気泡が引き込まれ、吸入時にはポンプ室６内方へ押し下げられ、吐出時には水平開口１４へ押し上げられ排出される。したがって、蛇腹部に滞留しているレジスト液および気泡を確実且つ迅速にポンプ室外に排出することができる。レジスト液吸入時における、ポンプ室６内の負圧による蛇腹部の変形が問題とならない場合などでは、本実施形態のベローズポンプ１を用いることも可能である。
【００４６】
図６は本発明の他の実施形態におけるベローズポンプの断面図、図７は図６のベローズポンプのレジスト液吸入時における状態、図８は図６のベローズポンプのレジスト液吐出時における状態を示す。
【００４７】
本実施形態では、鉛直開口１５から突出部１３の内部へ形成されたレジスト液の流路に、逆止弁２５が設けられている。この逆止弁２５は、ベローズ３を伸長駆動した際に流路を開放して鉛直開口１５からポンプ室６内へのレジスト液の流入を許容するとともに、ベローズ３を収縮駆動した際に流路を閉止して鉛直開口１５からポンプ室６外へのレジスト液の流出を防止する。
【００４８】
このため、レジスト液吸入時には鉛直開口１５からの流路が開放されてこの鉛直開口１５からポンプ室６内方へフレッシュな液体が流入する一方、レジスト液吐出時には逆止弁２５により鉛直開口１５からの流路が閉止され、鉛直開口１５からポンプ室６外へのレジスト液の流出が阻止される。よって、レジスト液吐出時には、鉛直開口１５からのフレッシュなレジスト液を含んでいるポンプ室６内へ吸入されたレジスト液は全て、突出部１３とベローズ３の蛇腹部との間隙を通って水平開口１４からポンプ室６外へ流出し、この際に蛇腹部に滞留していたレジスト液および気泡を引き込んで水平開口１４からポンプ室６外へ押し出す。
【００４９】
このように、吸入時にはフレッシュなレジスト液をポンプ室６内へ流入させるとともに、吐出時にはこのフレッシュなレジスト液を用いてポンプ室６内における全てのレジスト液を水平開口１４からポンプ室６外へ押し出すことができ、蛇腹部に滞留していた液体および気泡を確実且つ迅速にポンプ室外に排出することができる。
【００５０】
図１のベローズポンプを用いたスピンレス法によるレジスト塗布装置の構成の一例を図１１に示す。このレジスト塗布装置６０は、レジスト液貯槽部４７と、吐出ノズル５１と、レジスト液貯槽部４７からレジスト液を吸入して吐出ノズル５１に向けて押し出すベローズポンプ１とを備えている。
【００５１】
レジスト液貯槽部４７とベローズポンプ１とは吸入管５０で連通され、ベローズポンプ１と吐出ノズル５１とは供給管４８で連通されている。ベローズポンプ１では、ポンプ室６に吸入側逆止弁１１を介して連通する吸入口７が吸入管５０の終端に接続されるとともに、ポンプ室６に吐出側逆止弁１２を介して連通する吐出口８が供給管５１の始端に接続される。供給管４８の途中には、気泡などを除去するフィルタ６３と開閉弁６７が設けられている。
【００５２】
ベローズポンプ１は、ベローズ３を伸縮させる伸縮駆動部に、ボールネジ機構を介してベローズ３を軸方向に伸縮させる電動モータ６１を有している。電動モータ６１は、例えばパルスモータからなり、制御部６４によって電動モータ６１の回転（回転方向、回転量および回転速度など）が制御され、これによりベローズポンプ１の吸入・吐出動作が制御される。６２は、制御部６４が電動モータ６１の回転動作を確認するためのロータリエンコーダである。
【００５３】
吐出ノズル５１は、ノズル走査機構６６により基板の上方をＸＹ方向に走査されながら基板４９上へレジスト液を吐出する。また、吐出ノズル５１には、レジスト液の吐出圧力を検出するための圧力センサ６５が取り付けられ、測定された圧力に基づいて所定の制御が行われるようになっている。これらのノズル走査機構６６および圧力センサ６５と開閉弁６７は、それぞれマイクロコンピュータからなる制御部６４に接続され、この制御部６４によってノズル走査などの所定の制御が行われる。
【００５４】
以上、各実施形態のベローズポンプおよびレジスト塗布装置について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されることはなく、本発明の効果を有する範囲で種々の変形、変更が可能である。例えば、突出部における水平開口の数および開設位置、ベローズを伸縮駆動する機構などは適宜選択することができる。また、本発明のベローズポンプはレジスト塗布用以外の用途にも勿論使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】図１は本発明の一実施形態におけるベローズポンプの断面図である。
【図２】図２は図１のベローズポンプのＡ−Ａ線での断面図である。
【図３】図３は図１のベローズポンプのレジスト液吸入時における状態を示した図である。
【図４】図４は図１のベローズポンプのレジスト液吐出時における状態を示した図である。
【図５】図５は本発明の他の実施形態におけるベローズポンプの断面図である。
【図６】図６は本発明の他の実施形態におけるベローズポンプの断面図である。
【図７】図７は図６のベローズポンプのレジスト液吸入時における状態を示した図である。
【図８】図８は図６のベローズポンプのレジスト液吐出時における状態を示した図である。
【図９】図９（ａ）は図１のベローズポンプのベローズ保護部材を示した上面図であり、図９（ｂ）はこのベローズ保護部材の構成を示した図である。
【図１０】図１０は、図９のベローズ保護部材のＡ−Ａ線による拡大断面図である。
【図１１】図１１は、図１のベローズポンプを使用したレジスト塗布装置の構成の一例を説明する図である。
【図１２】図１２は、従来のベローズポンプを用いたレジスト塗布装置を説明する図である。
【符号の説明】
【００５６】
１      ベローズポンプ
２      ポンプヘッド
３      ベローズ
３ａ    外側凹部
３ｂ    外側凸部
４      固定端
５      可動端
６      ポンプ室
７      吸入口
８      吐出口
９      吸入側継手
１０    吐出側継手
１１    吸入側逆止弁
１２    吐出側逆止弁
１３    突出部
１４    水平開口
１５    鉛直開口
１６    ベローズ押さえ板
１７    Ｏリング
１８    支持部材
１９    固定板
２０    ベローズアダプタ
２１    ボールネジ
２２    ベアリング
２５    逆止弁
３０    ベローズ保護部材
３１    端部
３２ａ  フランジ形成部材
３２ｂ  フランジ形成部材
３３    固定金具
３４    螺子孔
３８    螺子
４５    ナット
４６    ナット
４７    レジスト液貯槽部
４８    供給管
４９    基板
５０    吸入管
５１    吐出ノズル
６０    レジスト塗布装置
６１    電動モータ
６２    ロータリエンコーダ
６３    フィルタ
６４    制御部
６５    圧力センサ
６６    ノズル走査機構
６７    開閉弁
【図１】
2005188377.tif 000003
【図２】
2005188377.tif 000004
【図３】
2005188377.tif 000005
【図４】
2005188377.tif 000006
【図５】
2005188377.tif 000007
【図６】
2005188377.tif 000008
【図７】
2005188377.tif 000009
【図８】
2005188377.tif 000010
【図９】
2005188377.tif 000011
【図１０】
2005188377.tif 000012
【図１１】
2005188377.tif 000013
【図１２】
2005188377.tif 000014