(57)【要約】    【課題】  ピール剛性及びシーク方向剛性の低下を可及的に防止しつつ、ピッチ剛性及びロール剛性の低下を図り得る磁気ヘッドサスペンションを提供する。    【解決手段】  磁気ヘッドスライダを支持するフレクシャ部と、前記フレクシャ部に接合されたロードビーム部と、先端領域が前記ロードビーム部に接合され、前記磁気ヘッドスライダを記憶媒体の記憶面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部の基端領域に接合された基部とを備える。前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部に接合される接合領域と、前記接合領域から幅方向略中央部に間隙が存するように先端側へ延びる一対のアームと、前記間隙に位置するように、前記一対のアームの先端部に連接される磁気ヘッド搭載領域とを有する。前記一対のアームは、それぞれ、少なくとも一部においてＵ字状部位を有する。【選択図】    図１
2005115973.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドスライダを支持するフレクシャ部と、
前記フレクシャ部に接合されたロードビーム部と、
先端領域が前記ロードビーム部に接合され、前記磁気ヘッドスライダを記憶媒体の記憶面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、
前記荷重曲げ部の基端領域に接合された基部とを備え、
前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部に接合される接合領域と、
前記接合領域から幅方向略中央部に間隙が存するように先端側へ延びる一対のアームと、
前記間隙に位置するように、前記一対のアームの先端部に連接される磁気ヘッド搭載領域とを有し、
前記一対のアームは、それぞれ、少なくとも一部においてＵ字状部位を有していることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記Ｕ字状部位は、基端部が前記接合領域につながる第１片と、該第１片と略平行に延び、先端部が前記磁気ヘッド搭載領域につながる第２片と、該第１片の先端部及び第２片の基端部を連結する連結部とを有していることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記一対のアームは、前記Ｕ字状部位の基端側に連接される連結片を有しており、
前記連結片は、基端側から先端側へ行くに従って、該磁気ヘッドサスペンションの中央長手軸を基準にして幅方向外方に位置するように、傾斜されていることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記第１片及び第２片は、磁気ヘッドサスペンションの幅方向に延びていることを特徴とする請求項２又は３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記第１片及び第２片は、磁気ヘッドサスペンションの長手方向に延びていることを特徴とする請求項２又は３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記第２片は、先端部が前記磁気ヘッド搭載領域の先端縁部に連接されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記第２片は、先端部が前記磁気ヘッド搭載領域の基端縁部に連接されていることを特徴とする請求項２から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記フレクシャ部及び前記ロードビーム部は単一部材によって一体形成されていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項９】
前記フレクシャ部及び前記ロードビーム部は、それぞれ、別体部材によって形成されており、
前記ロードビーム部には、前記フレクシャの磁気ヘッド搭載領域に対応した位置に、ディンプルが設けられていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１０】
前記一対のアームは、それぞれ、前記接合領域に連接された幅広の基端部と、前記基端部から先端側へ延びた先端部であって、該基端部よりも幅狭の先端部とを有しており、
前記Ｕ字状部位は前記先端部に設けられていることを特徴とする請求項１から９の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１１】
前記基端部は、基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされたテーパ状部位を有しており、
該テーパ状部位の先端部が前記Ｕ字状部位に連接されていることを特徴とする請求項１０に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする為の磁気ヘッドを支持するサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドサスペンションは、搭載する磁気ヘッドを、ハードディスク装置等の記憶媒体における目的トラック上へ移動させると共に、該目的トラック上において浮上状態で支持し得るように構成されている。
斯かる磁気ヘッドサスペンションには、磁気ヘッドが搭載される磁気ヘッド搭載領域のピッチ剛性，ロール剛性，ピール剛性及びシーク方向剛性をバランス良く設定することが要求される。
【０００３】
前記ロール剛性とは、記憶媒体の記憶面と直交する直交軸（ディンプルを有する磁気ヘッドサスペンションにおいては、ディンプル位置）を支点とした前記磁気ヘッド搭載領域の長手軸（前記直交軸と交差する磁気ヘッドサスペンションの中心長手軸）回りの剛性である。
前記ピッチ剛性とは、前記直交軸を支点とした前記磁気ヘッド搭載領域の短手軸（前記直交軸及び前記長手軸の双方と直交する短手軸）回りの剛性である。
斯かるピッチ剛性及びロール剛性は可及的に低下させることが望まれ、これにより、磁気ヘッドの前記記憶面からの浮上量のばらつきを抑えることができる。
【０００４】
又、前記ピール剛性とは、前記フレクシャ搭載領域の前記直交軸方向に沿った剛性であり、大きくすることが望まれている。
例えば、ロード／アンロード（Ｕ／ＵＬ）構造を有する磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記ピール剛性が小さいと、ロード状態からアンロード状態への移行時に磁気ヘッド搭載領域に不当な力が掛かる恐れがある。
【０００５】
即ち、アンロード状態への移行の際には、まず、ロードビーム部材に設けられたリフトタブがランプへ乗り上げられる。これにより、該ロードビーム部材のみが記憶媒体の記憶面から離間され始める。従って、フレクシャ部材における磁気ヘッド搭載領域の裏面（磁気ヘッドが搭載される面とは反対側の面）と当接するようにロードビーム部材に設けられたディンプルは、該磁気ヘッド搭載領域から離間される。
この状態で、ロードビーム部材の記憶面からの離間量が所定量に達すると、フレクシャ部材に設けられたフック（リミッタ）がロードビーム部材と係合し、該フックを介してフレクシャ部材には、前記記憶面から離間する方向への力が加わる。
そして、斯かる離間方向への力が前記記憶媒体の回転に伴う負圧による引張力に打ち勝つと、磁気ヘッド搭載領域が前記記憶媒体の記憶面から引き剥がされる。
このようにして、前記記憶媒体の記憶面から引き剥がされた磁気ヘッド搭載領域は、前記ロードビーム部材のディンプルと衝突し、この際、前記磁気ヘッドに不当な力が掛かる。
従って、前記ピール剛性については、可能な限り大きくすることが望ましい。
【０００６】
さらに、前記シーク方向剛性とは、記憶媒体の回転中心軸を基準にした磁気ヘッド搭載領域の半径方向剛性のことである。
磁気ヘッド搭載領域に搭載される磁気ヘッドを、目的のトラック上に高速移動させる為には、該シーク方向剛性をある程度高める必要がある。
【０００７】
このように、磁気ヘッドサスペンションには、ピッチ剛性及びロール剛性を弱め、ピール剛性及びシーク方向剛性を高めることが要求されるが、これらの種々の剛性をバランス良く設定し得るものは未だ提案されていない。
【０００８】
例えば、ピッチ剛性及びロール剛性を弱める為に、フレクシャ搭載領域を一対のアームによって支持するように構成した磁気ヘッドサスペンションが提案されている（特許文献１参照）。
該従来の磁気ヘッドサスペンションは、前記一対のアームの長手方向長さを長くすることによりピッチ剛性及びロール剛性を弱めることが可能であるが、これに伴い、ピール剛性及びシーク方向剛性も弱まってしまうという問題がある。
【特許文献１】特開昭５５−２２２９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、ピール剛性及びシーク方向剛性の低下を可及的に防止しつつ、ピッチ剛性及びロール剛性の低下を図り得る磁気ヘッドサスペンションの提供を、一の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、前記目的を達成するために、磁気ヘッドスライダを支持するフレクシャ部と、前記フレクシャ部に接合されたロードビーム部と、先端領域が前記ロードビーム部に接合され、前記磁気ヘッドスライダを記憶媒体の記憶面へ向けて押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部の基端領域に接合された基部とを備えた磁気ヘッドサスペンションを提供する。
前記フレクシャ部は、前記ロードビーム部に接合される接合領域と、前記接合領域から幅方向略中央部に間隙が存するように先端側へ延びる一対のアームと、前記間隙に位置するように、前記一対のアームの先端部に連接される磁気ヘッド搭載領域とを有する。
前記一対のアームは、それぞれ、少なくとも一部においてＵ字状部位を有する。
【００１１】
好ましくは、前記一対のアームは、それぞれ、前記接合領域に連接された幅広の基端部と、前記基端部から先端側へ延びた先端部であって、該基端部よりも幅狭の先端部とを有しており、前記Ｕ字状部位は前記先端部に設けられる。
【００１２】
一態様においては、前記フレクシャ部及び前記ロードビーム部は単一部材によって一体形成される。
他態様においては、前記フレクシャ部及び前記ロードビーム部は、それぞれ、別体部材によって形成され、前記ロードビーム部には、前記フレクシャの磁気ヘッド搭載領域に対応した位置に、ディンプルが設けられる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、磁気ヘッド搭載領域を支持する一対のアームに、それぞれ、Ｕ字状部位を設けたので、ピール剛性及びシーク方向剛性の悪化（低下）を可及的に防止しつつ、ピッチ剛性及びロール剛性を向上（低下）させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１及び図２は、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１を、ハードディスク等の記憶媒体の記憶面とは反対側から視た上面斜視図及び上面図である。
【００１５】
図１及び図２に示すように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１は、磁気ヘッドスライダ１００を支持するフレクシャ部１０と、該前記フレクシャ部１０に接合されたロードビーム部２０と、先端領域が前記ロードビーム部２０に接合され、磁気ヘッドスライダ１００を前記記憶面に押し付ける荷重を発生させる荷重曲げ部３０と、前記荷重曲げ部３０の基端領域に接合された基部４０とを備えている。
【００１６】
前記フレクシャ部１０は、例えば、厚さ１０μｍ〜２５μｍのステンレス板材から形成される。
該フレクシャ部１０は、基端側が前記ロードビーム部２０によって片持ち支持されている。
【００１７】
図３に、該フレクシャ部１０の一部を前記記憶面とは反対側から視た部分拡大上面図を示す。
図３に示すように、該フレクシャ部１０は、前記ロードビーム部２０に接合される接合領域１１と、前記接合領域から幅方向略中央部に間隙が存するように先端側へ延びる一対のアーム１２と、前記間隙に位置するように、前記一対のアーム１２の先端部に連接される磁気ヘッド搭載領域１３とを有している。
なお、前記一対のアーム２２の詳細構造については後述する。
【００１８】
前記ロードビーム部２０は、例えば、厚さ３０μｍ〜１５０μｍのステンレス板材から形成される。
該ロードビーム部２０は、前記荷重曲げ部３０によって発生される磁気ヘッド押し付け荷重を前記フレクシャ部１０に伝達すると共に、磁気ヘッドスライダ１００をシーク方向へ移動させ、目的のトラックに位置決めさせるものである。
【００１９】
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部２０及び前記フレクシャ部１０はそれぞれ異なる部材によって形成されている。
このように、ロードビーム部２０及びフレクシャ部１０が異なる部材で形成されている場合、該ロードビーム部２０には、前記フレクシャ部１０の磁気ヘッド搭載領域１３の上面（磁気ディスクが搭載される搭載面とは反対側の面）と当接するディンプル２１が設けられる。
斯かるディンプル２１を設けることにより、前記磁気ヘッド搭載領域１３のピッチ剛性及びロール剛性を向上（低下）させることができる。従って、該磁気ヘッド搭載領域１３に搭載される磁気ヘッドスライダ１００の記録面に対する追従性を向上させることができる。
なお、図中、符号２５は前記ロードビーム部２０の先端部に設けられたリフトタブであり、磁気ヘッドサスペンション１をロード状態からアンロード状態へ移行する際にランプ（図示せず）に乗り上げるようになっている。
【００２０】
前記荷重曲げ部３０は、磁気ディスク等の記憶媒体の回転に伴って磁気ヘッドスライダ１００と記憶面との間に生じる空気膜の圧力に抗して、前記磁気ヘッドスライダ１００を記憶面へ向けて押し付け、磁気ヘッドスライダ１００の一定の浮上量を確保する為の前記磁気ヘッド押し付け荷重を発生させる板ばねとして機能する。
本実施の形態においては、該荷重曲げ部３０は、前記フレクシャ部１０と一体的に形成されている。
【００２１】
前記基部４０は、互いに接合された前記フレクシャ部１０，ロードビーム部２０及び荷重曲げ部３０からなるアッセンブリを支持すると共に、該アッセンブリに対してアクチュエータからの駆動力を伝達し得るように構成されている。
本実施の形態においては、該基部４０は、Ｅブロックにかしめにより取り付けられるマウント４１とされている。該マウント４１は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．３ｍｍのステンレス板材によって形成される。
なお、前記基部４０は、前記マウント４１に代えて、ボイスコイルモータのベアリングに取り付けられるアームとすることも可能である。
【００２２】
ここで、前記フレクシャ部１０における一対のアーム１２について詳述する。
図３に示すように、前記一対のアーム１２は、それぞれ、少なくとも一部において略１８０゜方向転換されるＵ字状部位１５を有している。
該Ｕ字状部位１５は、互いに略平行に延びる第１片１５ａ及び第２片１５ｂと、該第１片１５ａ及び第２片１５ｂの対応する一端部同士を連結する連結部１５ｃとを有している。
【００２３】
本実施の形態においては、前記一対のアーム１２は、それぞれ、前記接合領域１１に連接された幅広の第１基端部１２ａと、該第１基端部１２ａから先端側へ延びた第２基端部１２ｂであって、前記第１基端部１２ａよりも幅狭の第２基端部１２ｂと、該第２基端部１２ｂから先端側へ延びた先端部１２ｃであって、該第２基端部１２ｂよりも幅狭の先端部１２ｃとを有している。そして、前記Ｕ字状部位１５は、前記先端部１２ｃに設けられている。
【００２４】
ここで、斯かるＵ字状部位１５を備えたフレクシャ部１０における磁気ヘッド搭載領域１３のピッチ剛性，ロール剛性，ピール剛性及びシーク方向剛性について、下記条件下（以下、実施例という）の有限要素法解析に基づき説明する。
【００２５】
・実施例の解析条件
フレクシャ部１０の材料  ＳＵＳ３０４（ヤング率19700kgf/mm2、密度8.03×10-6kgf/mm2）
フレクシャ部１０の板厚ｔ＝０．０２ｍｍ
フレクシャ部１０の支持点１０ａ（ロードビーム部２０によって支持される点）を基準とした基端部１２ａの長手方向長さＬａ＝０．６９ｍｍ
基端部の幅Ｗａ＝０．３９ｍｍ
第２基端部の長手方向長さＬｂ＝０．１５ｍｍ
第２基端部の幅Ｗｂ＝０．２０ｍｍ
先端部の幅Ｗｃ＝０．０８ｍｍ
ディンプル２１の位置（磁気ヘッドサスペンション１の中心長手軸Ｃ）と先端部１２ｃの幅方向内縁部との距離Ｄａ＝０．４３ｍｍ
Ｕ字状部位１５を形成する第１片１５ａ及び第２片１５ｂの間隔幅Ｄｂ＝０．０８ｍｍ
Ｕ字状部位１５の突出距離（磁気ヘッドサスペンションの中心長手軸Ｃを基準としたＵ字状部位１５のサスペンション短手方向内縁部及びサスペンション短手方向外縁部間の距離Ｄｃ＝０．４２ｍｍ
【００２６】
斯かる条件に基づき、先端部１２ｃの長手方向長さＬｃ（アームの長手方向長さＬ）に対するピッチ剛性，ロール剛性，ピール剛性及びシーク方向剛性の変化割合を求めた。
該解析結果を図４に示す。
【００２７】
比較対象として、図５に示す従来のワトラス構造型磁気ヘッドサスペンションについても同様の解析を行った（以下、比較例という）。
なお、該比較例においては、Ｕ字状部位を有しない点を除き、他の条件は同一とした。  該比較例の解析結果も図４に併せて示す。
【００２８】
図４から明らかなように、実施例は、比較例に比して、ピール剛性及びシーク方向剛性の悪化（低下）を抑えつつ、ピッチ剛性及びロール剛性を格段に向上（低下）させることができる。
詳しく説明すると、実施例は、比較例に比して、ピッチ剛性及びロール剛性を格段に低下させることができる。
即ち、実施例においては、アーム１２の長手方向長さＬを長くすることなく、ピッチ剛性及びロール剛性を低下させることができる。
特に、ピッチ剛性に関しては、アーム１２の長手方向長さＬを短くするに従って、低下している。
【００２９】
これに対し、比較例は、ピッチ剛性及びロール剛性が大きな値をとっており、実施例と同様のピッチ剛性及びロール剛性を得る為には、アームの長手方向長さＬを極端に長くする必要がある。
しかしながら、アームの長手方向長さＬを長くすれば、ピール剛性及びシーク方向剛性が悪化（低下）する。
【００３０】
例えば、ロール剛性を０．５５μＮ・ｍ／deg 以下にする場合を考えると、実施例ではアーム１２の長手方向長さＬを１．６５ｍｍにすればよいの対し、比較例においてはアームの長手方向長さＬを１．８８ｍｍ以上にする必要がある。
このロール剛性同一条件下で、ピール剛性及びシーク方向剛性を比較すると、比較例では、約３７Ｎ／ｍ（ピール剛性）及び約２７００Ｎ／ｍ（シーク方向剛性）となるに対し、実施例では、約５４Ｎ／ｍ（ピール剛性）及び約３２００Ｎ／ｍ（シーク方向剛性）という高い値を得ることができる。
【００３１】
前記実施例及び比較例の対比から明らかなように、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１においては、前記フレクシャ部１０における一対のアーム１２にＵ字状部位１５を設けたので、磁気ヘッド搭載領域１３のピール剛性及びシーク方向剛性の悪化を可及的に防止しつつ、該磁気ヘッド搭載領域１３のピッチ剛性及びロール剛性を向上させることができる。
【００３２】
ここで、該磁気ヘッドサスペンション１における配線構造について説明する。
該磁気ヘッドサスペンション１は、種々の配線構造を備えることができるが、好ましくは、絶縁層，導体層及び保護層を有する一体型配線構造５０を備えることができる。
図６(a)〜(e)に、前記フレクシャ部１０を記録面から視た下面図を示す。
図６に示すように、前記一体型配線構造５０は種々の配置をとり得る。
【００３３】
なお、本実施の形態においては、前記一対のアーム１２におけるＵ字状部位１５の第１片１５ａ及び第２片１５ｂが磁気ヘッドサスペンション１の幅方向に延びるように構成したが、当然ながら、本発明は斯かる形態に限定されるものではない。
即ち、前記第１片１５ａ及び第２片１５ｂが略平行に延び、且つ、該第１片１５ａ及び第２片１５ｂの対応一端部同士が連結部１５ｃによって連結されている限り、図７に示すように、前記Ｕ字状部位１５は種々の形状をとり得る。
【００３４】
特に、図７(g)に示す形態においては、前記一対のアーム１２に、それぞれ、前記Ｕ字状部位１５の基端側端部（第１片１５ａの基端部）に連接される連結片１６を設け、且つ、該連結片１６を、基端側から先端側へ行くに従って、該磁気ヘッドサスペンションの中央長手軸を基準にして幅方向外方に位置するように、傾斜させている。
斯かる連結片１６を備えることにより、ピッチ剛性，ロール剛性及びピール剛性を悪化させずに、シーク剛性をより向上させることができる。
【００３５】
又、図７(h)に示すように、前記Ｕ字状部位１５の第１片１５ａ及び第２片１５ｂを磁気ヘッドサスペンションの長手方向に沿うように構成し、且つ、該第２片１５ｂの先端部を前記磁気ヘッド搭載領域１３の先端縁部に連接させれば、ピッチ剛性及びロール剛性を同程度に維持しつつ、フレクシャ部１０の幅を可及的に狭めることができる。
斯かる構成によれば、記憶媒体の記憶面の径方向最外端トラック及び径方向最内端トラックに無理なくアクセスすることができる。
【００３６】
さらに、図７(f)に示すように、前記基端部１２ａ，１２ｂに基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされたテーパ状部位１２ｂ’を設け、該テーパ状部位１２ｂ’の先端部を前記Ｕ字状部位１５に連接させることができる。
斯かる構成を備えることにより、ピール剛性及びシーク方向剛性を向上させることができる。
【００３７】
又、図７(d)及び(e)に示すように、前記一対のアーム１２の先端部を、フレクシャ部１０のロードビーム部２０による支持点（即ち、フレクシャ部１０の片持ち支持点）と、前記磁気ヘッド搭載領域のうち磁気ヘッドスライダの重心に相当する位置との間において、該磁気ヘッド搭載領域１３に連結させれば、ロード状態からアンロード状態への移行時において、磁気ヘッド搭載領域１３を含むフレクシャ部１０の先端部位を無理なく撓ませることができる。
即ち、フレクシャ部１０及びロードビーム部２０が別部材によって形成されており、且つ、該ロードビーム部２０の先端にリフトタブが備えられた磁気ヘッドサスペンションにおいては、ロード状態からアンロード状態への移行時に前記リフトタブがランプと係合することで、磁気ヘッドスライダが記録面上の所定浮上量位置から上方へ引き剥がされる。
詳しくは、前記リフトタブがランプへ乗り上げられると、まず、該ロードビーム部のみが記憶媒体の記憶面から離間され始める。この際、磁気ヘッド搭載領域１３を含むフレクシャ部１０の先端部位は、ロードビーム部２０による支持点（例えば、溶接点）を支点として該ロードビーム部２０に対して撓むことになる。
この点に関し、前記一対のアームを、磁気ヘッドスライダの重心より基端側において前記磁気ヘッドスライダ搭載領域１３に連結させれば、該磁気ヘッド搭載領域１３をスムースに動作させることができる。
【００３８】
又、本実施の形態においては、フレクシャ部１０及びロードビーム部２０を別部材としたが、図８に示すように、該フレクシャ部１０及びロードビーム部２０を単一部材によって一体形成することも可能である。
なお、斯かるフレクシャ部１０及びロードビーム部２０が単一部材によって一体形成される場合には、前記ディンプルは備えられない。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図１は、本発明の好ましい実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面斜視図である。
【図２】図２は、図１に示す磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図３】図３は、図１及び図２に示す磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の部分拡大上面図である。
【図４】図４(a)は、図１〜図３に示す磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の磁気ヘッド搭載領域のピッチ剛性を示すグラフであり、従来技術におけるピッチ剛性を併せて示している。  図４(b)は、図１〜図３に示す磁気ヘッドサスペンションにおける磁気ヘッド搭載領域のロール剛性を示すグラフであり、従来技術におけるロール剛性を併せて示している。  図４(c)は、図１〜図３に示す磁気ヘッドサスペンションにおける磁気ヘッド搭載領域のピール剛性を示すグラフであり、従来技術におけるピール剛性を併せて示している。  図４(d)は、図１〜図３に示す磁気ヘッドサスペンションにおける磁気ヘッド搭載領域のシーク方向剛性を示すグラフであり、従来技術におけるシーク方向剛性を併せて示している。
【図５】図５は、従来技術に係る磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の部分上面図である。
【図６】図６(a)〜(e)は、図１〜図３に示す磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の部分下面図であり、該磁気ヘッドサスペンションに備えられ得る配線構造体を示している。
【図７】図７(a)〜(h)は、図１〜図３に示す磁気ヘッドサスペンションにおけるフレクシャ部の変形例の上面図である。
【図８】図８は、本発明の他の実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１                  磁気ヘッドサスペンション
１０                フレクシャ部
１１                ロードビーム部との接合領域
１２                一対のアーム
１２ａ，ｂ          基端部
１２ｂ’            テーパ状部位
１２ｃ              先端部
１３                磁気ヘッド搭載領域
１５                Ｕ字状部位
１６                連結片
２０                ロードビーム部
２１                ディンプル
３０                荷重曲げ部
４０                基部
１００              磁気ヘッドスライダ
【図１】
2005115973.tif 000003
【図２】
2005115973.tif 000004
【図３】
2005115973.tif 000005
【図４】
2005115973.tif 000006
【図５】
2005115973.tif 000007
【図６】
2005115973.tif 000008
【図７】
2005115973.tif 000009
【図８】
2005115973.tif 000010