(57)【要約】【課題】  プラズマディスプレイパネルなどの製造工程における露光工程における露光ずれを好適に検知することが可能な製造方法を提供する。【解決手段】  基板と露光マスクとの双方の位置合わせ用マーク間の距離に基づき位置ずれ量を算出し、算出された位置ずれ量が許容範囲内であるか否かを判定する第１の判定工程を備える。算出された位置ずれ量とその基準値との相対差の最小値から最大値までの範囲を算出し、算出された範囲値が許容範囲内であるか否かを判定する第２の判定工程を備える。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を備えて構成される表示パネルを製造する方法において、
複数の表示パネル用の基板に対し露光マスクを介した露光を順次行う一連の露光工程を備え、
前記一連の露光工程のうち一の基板に対する工程は、
前記一の基板と前記露光マスクとの双方に付された位置合わせ用マークの相互間の距離に基づき前記露光マスクと前記一の基板との位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出工程と、
前記位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第１の判定工程と、
前記位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量と基準値との相対差を算出する相対差算出工程と、
前記一連の露光工程において前記一の基板よりも前に露光が施された基板に対する前記相対差算出工程により算出された相対差のうちの最小値から最大値までの範囲を算出する相対差範囲算出工程と、
前記相対差範囲算出工程により算出された範囲値が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第２の判定工程と、
を備えることを特徴とする表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記第１の判定工程にて位置ずれ量が許容範囲外であると判定された場合には、該当する基板に対する露光は行わないで、異常が発生した旨を報知する報知工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記報知工程を行う場合には、該当する基板に対しては、前記相対差算出工程以降の工程を行わないことを特徴とする請求項２に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項４】
前記相対差算出工程により新たに算出された相対差と、前記一連の露光工程において前記一の基板よりも前に露光が施された基板に対する前記相対差算出工程により算出された相対差のうちの最大値と、を比較する第３の判定工程と、
前記相対差算出工程により新たに算出された相対差と、前記一連の露光工程において前記一の基板よりも前に露光が施された基板に対する前記相対差算出工程により算出された相対差のうちの最小値と、を比較する第４の判定工程と、
を更に備え、
前記第３の判定工程にて新たな相対値が最大値を上回ると判定された場合には、該最大値を新たな相対値により更新する最大値更新工程を行う一方で、
前記第４の判定工程にて新たな相対値が最小値を下回ると判定された場合には、該最小値を新たな相対値により更新する最小値更新工程を行うことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項５】
前記一の基板に対する工程において、前記最大値更新工程及び前記最小値更新工程の何れも行われなかった場合に、該一の基板に対する露光を行うことを特徴とする請求項４に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項６】
前記一の基板に対する工程において、前記最大値更新工程と前記最小値更新工程とのうちの何れか一方が行われた場合で、前記第２の判定工程にて範囲値が許容範囲内であると判定された場合には、前記一の基板に対する露光を行う一方で、許容範囲外であると判定された場合には、異常が発生した旨を報知する報知工程を行うことを特徴とする請求項４又は５に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項７】
前記相対差算出工程では、前記基準値として、前記一連の露光工程において最初に露光が施された基板に対する前記位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量を用いることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項８】
前記相対差算出工程では、前記基準値として、予め設定された期間内に行われた前記位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量の平均値又は中心値を用いることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項９】
前記第１の判定工程では、位置ずれ量と予め設定された第１の閾値との比較を行い、位置ずれ量が第１の閾値以下の場合には許容範囲内であると判定する一方で、位置ずれ量が第１の閾値を上回る場合には許容範囲外であると判定することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１０】
前記一連の露光工程における最初の基板に対する前記第１の判定工程で用いられる前記第１の閾値は、２番目以降の基板に対する前記第１の判定工程における前記第１の閾値よりも許容範囲が狭くなるような値であることを特徴とする請求項９に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１１】
前記一連の露光工程における最初の基板に対する前記第１の判定工程にて位置ずれ量が許容範囲内であると判定された場合には、該最初の基板に対する露光を行う一方で、許容範囲外であると判定された場合には、該最初の基板に対する露光は行わず、異常が発生した旨を報知する報知工程を行うことを特徴とする請求項１０に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１２】
前記第２の判定工程では、範囲値と予め設定された第２の閾値との比較を行い、範囲値が第２の閾値以下の場合には許容範囲内であると判定する一方で、範囲値が第２の閾値を上回る場合には許容範囲外であると判定することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１３】
前記表示パネルとしてプラズマディスプレイパネルを製造することを特徴とする請求項１に記載の表示パネルの製造方法。
【請求項１４】
表示パネルと、この表示パネルを駆動する駆動回路と、を備える表示装置を製造する方法において、
前記表示パネルを、請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の表示パネルの製造方法により製造することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項１５】
前記表示装置としてプラズマ表示装置を製造することを特徴とする請求項１４に記載の表示装置の製造方法。
【請求項１６】
複数の基板に対し露光マスクを介した露光を順次行う露光装置において、
前記露光マスクと基板との双方に付された位置合わせ用マークの相互間の距離に基づき該基板と前記露光マスクとの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、
前記位置ずれ量算出手段により算出された位置ずれ量が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第１の判定手段と、
前記位置ずれ量算出手段により算出された位置ずれ量と基準値との相対差を算出する相対差算出手段と、
前記一連の露光工程において前記一の基板よりも前に露光が施された基板に対する前記相対差算出手段により算出された相対差のうちの最小値から最大値までの範囲を算出する相対差範囲算出手段と、
前記相対差範囲算出手段により算出された範囲値が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第２の判定手段と、
を備えることを特徴とする露光装置。
【請求項１７】
前記第１の判定手段は、位置ずれ量と予め設定された第１の閾値との比較を行い、位置ずれ量が第１の閾値以下の場合には許容範囲内であると判定する一方で、位置ずれ量が第１の閾値を上回る場合には許容範囲外であると判定するように構成されていることを特徴とする請求項１６に記載の露光装置。
【請求項１８】
前記第１の判定手段は、前記一連の露光工程における最初の基板に対する前記第１の閾値として、２番目以降の基板に対する前記第１の閾値よりも許容範囲が狭くなるような値を用いて、前記判定を行うことを特徴とする請求項１７に記載の露光装置。
【請求項１９】
前記第２の判定手段は、範囲値と予め設定された第２の閾値との比較を行い、範囲値が第２の閾値以下の場合には許容範囲内であると判定する一方で、範囲値が第２の閾値を上回る場合には許容範囲外であると判定するように構成されていることを特徴とする請求項１６乃至１８のいずれか一項に記載の露光設備。
【請求項２０】
前記第１及び第２の判定手段のうち少なくともいずれか一方により位置ずれ量が許容範囲外であると判定された場合に異常が発生した旨を報知する報知手段を備えることを特徴とする請求項１６乃至１９のいずれか一項に記載の露光設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルの製造方法、表示装置の製造方法及び露光装置に関し、特に、例えばプラズマディスプレイパネルにおける基板のような大型ガラス基板上に微細なパターンを露光工程により重ねて形成する際の露光ずれを最小限に抑制するために好適に適用される技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、薄型で大型な表示パネルとして、多数の表示セルを有するプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略す）が注目されている。
【０００３】
ＰＤＰは、気体放電により発生した紫外線により、放電セル内面に塗布された赤、緑、青に蛍光色を発する蛍光体を励起させ、三原色発光を得ることにより、カラー表示を実現させるものである。
【０００４】
以下、図９を参照して、ＰＤＰを備えて構成されるプラズマ表示装置の概略について説明する。図９は、一般的なプラズマ表示装置の概略的な構成を示すブロック図である。
【０００５】
図９に示すプラズマ表示装置１００は、アナログインタフェース１２０と、ＰＤＰモジュール１３０とを備えて概略構成されている。
【０００６】
ＰＤＰモジュール１３０は、ＰＤＰ１５０を含んでいる。
【０００７】
アナログインタフェース１２０は、クロマ・デコーダを備えたＹ／Ｃ分離回路１２１と、Ａ／Ｄ変換回路１２２と、ＰＬＬ回路を備えた同期信号制御回路１２３と、画像フォーマット変換回路１２４と、逆γ（ガンマ）変換回路１２５と、システム・コントロール回路１２６と、ＰＬＥ制御回路１２７とを備えて構成されている。
【０００８】
アナログインタフェース１２０は、概略的には、受信したアナログ映像信号をディジタル信号に変換したのち、これをＰＤＰモジュール１３０に供給する機能を有している。
【０００９】
例えばテレビチューナーから入力されるアナログ映像信号は、Ｙ／Ｃ分離回路１２１において、Ｒ（赤），Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色の輝度信号に分解されたのち、Ａ／Ｄ変換回路１２２においてディジタル信号に変換される。
【００１０】
その後、ＰＤＰモジュール１３０の画素構成と映像信号の画素構成とが相互に異なる場合には、画像フォーマット変換回路１２４において、必要な画像フォーマットの変換処理が行われる。
【００１１】
Ａ／Ｄ変換回路１２２において、映像信号のＡ／Ｄ（アナログ／ディジタル）変換を行ったのち、逆γ変換回路１２５において、映像信号に対して逆γ変換を施して、線形特性に復元されたディジタル映像信号を生成する。このようにして生成されたディジタル映像信号は、ＲＧＢ映像信号として、ＰＤＰモジュール１３０に出力される。
【００１２】
同期信号制御回路１２３に内蔵されているＰＬＬ（位相同期ループ）回路は、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック信号およびデータクロック信号を生成して、ＰＤＰモジュール１３０に出力する。
【００１３】
アナログインタフェース１２０のＰＬＥ制御回路１２７は、ＰＤＰの輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を超える場合には、表示輝度を低下させるように制御する。
【００１４】
システム・コントロール回路１２６は、ＰＤＰモジュール１３０に対して、各種制御信号を出力する。
【００１５】
ＰＤＰモジュール１３０は、ディジタル信号処理・制御回路１３１と、パネル部１３２と、ＤＣ／ＤＣコンバータを内蔵するモジュール内電源回路１３３とから構成されている。ディジタル信号処理・制御回路１３１は、入力インタフェース信号処理回路１３４と、フレームメモリ１３５と、メモリ制御回路１３６と、ドライバ制御回路１３７とを含んでいる。
【００１６】
入力インタフェース信号処理回路１３４は、システム・コントロール回路１２６から発信される各種制御信号、逆γ変換回路１２５から発信されるＲＧＢ映像信号、同期信号制御回路１２３から発信される同期信号、ＰＬＬ回路から発信されるデータクロック信号を受信する。
【００１７】
入力インタフェース信号処理回路１３４に入力された映像信号の平均輝度レベルは、入力インタフェース信号処理回路１３４内の入力信号平均輝度レベル演算回路（図示略）によって計算されて、例えば５ビットデータとして出力される。また、ＰＬＥ制御回路１２７は、平均輝度レベルに応じてＰＬＥ制御データを設定して、入力インタフェース信号処理回路１３４内の輝度レベル制御回路（図示略）に供給する。
【００１８】
ディジタル信号処理・制御回路１３１では、入力インタフェース信号処理回路１３４において、これらの各種信号の処理を行ったのち、制御信号をパネル部１３２に送信する。これと同時に、メモリ制御回路１３６はメモリ制御信号を、ドライバ制御回路１３７はドライバ制御信号を、それぞれパネル部１３２に送信する。
【００１９】
パネル部１３２は、ＰＤＰ１５０と、ＰＤＰ１５０の走査電極を駆動する走査ドライバ１３８と、ＰＤＰ１５０のデータ電極を駆動するデータドライバ１３９と、ＰＤＰ１５０および走査ドライバ１３８にパルス電圧を供給する高圧パルス回路１４０と、高圧パルス回路１４０からの余剰電力を回収する電力回収回路１４１とを備えて構成されている。
【００２０】
ＰＤＰ１５０は、例えば１３６５個×７６８個に配列された画素を有するものとして構成されている。ＰＤＰ１５０においては、走査ドライバ１３８が走査電極を制御し、データドライバ１３９がデータ電極（アドレス電極）を制御することによって、これらの画素のうちの所定の画素の点灯または非点灯が制御されて、所望の画像表示が行われる。
【００２１】
次に、図１０を参照して、従来のＰＤＰのＡＣ面放電型のパネル構造を説明する。
【００２２】
図１０に示すように、ＰＤＰ１５０は、表示側の第１基板２１０と第１基板と対向して配置された第２基板２２０から構成される。
【００２３】
第１基板２１０は、第１ガラス基板２１１と、第１ガラス基板２１１上において相互に平行に形成された複数のライン状の面放電電極２１２と、第１ガラス基板２１１及び面放電電極２１２を覆って形成された透明誘電体層２１３と、透明誘電体層２１３上に形成されたブラックマトリクス２１４と、透明誘電体層２１３及びブラックマトリクス２１４を覆って形成された第２透明誘電体層２１５と、第２透明誘電体層２１５の表面に形成された保護層２１６と、を備えて構成されている。
【００２４】
第２基板２２０は、第２ガラス基板２２１と、第２ガラス基板２２１上において相互に所定間隔で形成された面放電電極２１２と直交する方向に延びる複数のアドレス電極２２２と、第２ガラス基板２２１及びアドレス電極２２２を覆って形成された誘電体層２２３と、誘電体層２２３上においてアドレス電極２２２の間に形成された複数のストライプ状または井桁状の隔壁２２４と、相互に隣接する隔壁２２４の間において誘電体層２２３及び隔壁２２４の側面を覆って形成された蛍光体層２２５と、を備えて構成されている。蛍光体層２２５は放電セルを形成する隔壁２２４の側面及び誘電体層２２３の表面に形成されており、赤、緑、青の各蛍光体がこの順番に塗り分けられている。第１基板２１０と第２基板２２０との間には放電ガスが封入される。
【００２５】
ＰＤＰの製造において、上記した構成の中でパターン形成を必要とする構造のほとんどがフォトリソグラフィ法で実施されている。近年、ＰＤＰは３０インチから８０インチクラスの大型化開発が進んでおり、それに伴いパターン解像度の向上や、パターン同士の位置合わせ精度の向上が要求されている。このようなフォトリソグラフィ法では、ＰＤＰ基板及び露光マスクの両者に複数の位置あわせマークを設け、対応する互いの位置を一致させることにより、適切な位置合わせが行われる。位置合わせマークの検知には、ＣＣＤカメラなどが用いられ、マーク形状を撮像し、画像処理によってその位置情報を得る。その位置情報を用いて、露光マスク及びＰＤＰ基板が一致する位置を算出し、その位置を基に制御装置から駆動機構へ指令を与えて、双方の位置を合わせる。しかしながら、実際に位置合わせを行っても、設備的な要因や製造プロセス上の要因で位置ずれが生じる結果、露光ずれ（露光により形成されるパターンのずれ）が生じる。このような露光ずれを管理することにより、露光ずれを最小限に抑制するとともに、該露光ずれに起因する不良の発生を防止することが可能である。
【００２６】
例えば、特許文献１では、半導体ウェハの露光ずれ管理システムについて、第１の期間に露光処理されたウェハの露光ずれ量の分散値と、第２の期間に処理されたウェハの露光ずれ量の分散値を比較し、許容範囲外であれば露光ずれ量が変動したことを検知し、通知するシステムが提案されている。
【特許文献１】特開２００２−３５９１７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２７】
しかしながら、分散比較には複数の測定データが必要なことから、例えば露光作業開始時から短い作業期間に対する露光ずれを検知することが難しい。
【００２８】
また、以下の理由のため、ＰＤＰ基板では露光ずれ量やそのバラツキが大きく、分散比較を行うと許容範囲内であっても異常と判定する誤検知を頻繁に招く恐れがあり、ＰＤＰ製造工程では管理が困難である。
【００２９】
露光ずれが生じる設備的な要因としては、例えば、露光設備には、ＰＤＰ用基板や露光マスクの重量に対応した大型の搬送機構が必要であることが挙げられる。
【００３０】
すなわち、露光ステージへＰＤＰ基板を設置させるための搬送ロボットや位置決め機構などは、大型であるほど搬送や位置決め動作のバラツキが大きくなりやすい。
【００３１】
また、位置合わせマークを検知するためのＣＣＤカメラ及び照明は、基板全域へ移動させる必要があるため、画像処理装置、制御装置、光源などと長いケーブル類により結線される。通常では、ケーブル類はケーブルベアの中に収納される。しかし、ケーブルベア内のケーブル類は動作毎に屈曲疲労を受けることにより劣化し、最終的には断線に至る。断線に至らなくても、ケーブル類のうち、例えばライトガイドが劣化すると、照度が低くなるため、ＣＣＤカメラから得られる画像が暗くなり、画像処理が困難になる。従って、位置合わせマークの位置を正確に認識できず、露光ずれ量とそのバラツキが大きくなりやすい。
【００３２】
露光ずれが生じる製造プロセスでの要因としては、例えば、ＰＤＰ基板の熱変形が大きいことが挙げられる。ＰＤＰ製造工程では５００℃〜６００℃の高温熱処理工程が多い。通常ＰＤＰ基板は、高歪点ガラス基板が用いられているが、熱変形量は大きく、基板が大きくなるほど、その影響は大きくなる。このような場合、露光マスク側のパターン寸法を補正することで位置合わせが行われているが、熱変形量のバラツキを補うことはできない。
【００３３】
本発明は、上記のような問題点を解決するためになされたもので、例えばＰＤＰ基板上に形成されているパターンに新たなパターンを重ねて形成するときに発生する露光ずれ並びに該露光ずれに起因する不良の発生を防止することが可能な表示パネルの製造方法、表示装置の製造方法及び露光装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００３４】
上記課題を解決するため、本発明の表示パネルの製造方法は、基板を備えて構成される表示パネルを製造する方法において、複数の表示パネル用の基板に対し露光マスクを介した露光を順次行う一連の露光工程を備え、前記一連の露光工程のうち一の基板に対する工程は、前記一の基板と前記露光マスクとの双方に付された位置合わせ用マークの相互間の距離に基づき前記露光マスクと前記一の基板との位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出工程と、前記位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第１の判定工程と、前記位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量と基準値との相対差を算出する相対差算出工程と、前記一連の露光工程において前記一の基板よりも前に露光が施された基板に対する前記相対差算出工程により算出された相対差のうちの最小値から最大値までの範囲を算出する相対差範囲算出工程と、前記相対差範囲算出工程により算出された範囲値が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第２の判定工程と、を備えることを特徴としている。
【００３５】
本発明の表示パネルの製造方法においては、前記第１の判定工程にて位置ずれ量が許容範囲外であると判定された場合には、該当する基板に対する露光は行わないで、異常が発生した旨を報知する報知工程を行うことが好ましい。
【００３６】
本発明の表示パネルの製造方法においては、前記報知工程を行う場合には、該当する基板に対しては、前記相対差算出工程以降の工程を行わないことが好ましい。
【００３７】
本発明の表示パネルの製造方法においては、前記相対差算出工程により新たに算出された相対差と、前記一連の露光工程において前記一の基板よりも前に露光が施された基板に対する前記相対差算出工程により算出された相対差のうちの最大値と、を比較する第３の判定工程と、前記相対差算出工程により新たに算出された相対差と、前記一連の露光工程において前記一の基板よりも前に露光が施された基板に対する前記相対差算出工程により算出された相対差のうちの最小値と、を比較する第４の判定工程と、を更に備え、前記第３の判定工程にて新たな相対値が最大値を上回ると判定された場合には、該最大値を新たな相対値により更新する最大値更新工程を行う一方で、前記第４の判定工程にて新たな相対値が最小値を下回ると判定された場合には、該最小値を新たな相対値により更新する最小値更新工程を行うことが好ましい。
【００３８】
本発明の表示パネルの製造方法においては、前記一の基板に対する工程において、前記最大値更新工程及び前記最小値更新工程の何れも行われなかった場合に、該一の基板に対する露光を行うことが好ましい。
【００３９】
本発明の表示パネルの製造方法においては、前記一の基板に対する工程において、前記最大値更新工程と前記最小値更新工程とのうちの何れか一方が行われた場合で、前記第２の判定工程にて範囲値が許容範囲内であると判定された場合には、前記一の基板に対する露光を行う一方で、許容範囲外であると判定された場合には、異常が発生した旨を報知する報知工程を行うことが好ましい。
【００４０】
本発明の表示パネルの製造方法においては、前記相対差算出工程では、前記基準値として、前記一連の露光工程において最初に露光が施された基板に対する前記位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量を用いることが好ましい。
【００４１】
或いは、本発明の表示パネルの製造方法においては、前記相対差算出工程では、前記基準値として、予め設定された期間内に行われた前記位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量の平均値又は中心値を用いることも好ましい。
【００４２】
本発明の表示パネルの製造方法においては、前記第１の判定工程では、位置ずれ量と予め設定された第１の閾値との比較を行い、位置ずれ量が第１の閾値以下の場合には許容範囲内であると判定する一方で、位置ずれ量が第１の閾値を上回る場合には許容範囲外であると判定することが好ましい。
【００４３】
本発明の表示パネルの製造方法においては、前記一連の露光工程における最初の基板に対する前記第１の判定工程で用いられる前記第１の閾値は、２番目以降の基板に対する前記第１の判定工程における前記第１の閾値よりも許容範囲が狭くなるような値であることが好ましい。
【００４４】
本発明の表示パネルの製造方法においては、前記一連の露光工程における最初の基板に対する前記第１の判定工程にて位置ずれ量が許容範囲内であると判定された場合には、該最初の基板に対する露光を行う一方で、許容範囲外であると判定された場合には、該最初の基板に対する露光は行わず、異常が発生した旨を報知する報知工程を行うことが好ましい。
【００４５】
本発明の表示パネルの製造方法においては、前記第２の判定工程では、範囲値と予め設定された第２の閾値との比較を行い、範囲値が第２の閾値以下の場合には許容範囲内であると判定する一方で、範囲値が第２の閾値を上回る場合には許容範囲外であると判定することが好ましい。
【００４６】
本発明の表示パネルの製造方法は、前記表示パネルとしてプラズマディスプレイパネルを製造することを好ましい一例としている。
【００４７】
本発明の表示装置の製造方法は、表示パネルと、この表示パネルを駆動する駆動回路と、を備える表示装置を製造する方法において、前記表示パネルを、本発明の表示パネルの製造方法により製造することを特徴としている。
【００４８】
本発明の表示装置の製造方法は、前記表示装置としてプラズマ表示装置を製造することを好ましい一例としている。
【００４９】
本発明の露光装置は、複数の基板に対し露光マスクを介した露光を順次行う露光装置において、前記露光マスクと基板との双方に付された位置合わせ用マークの相互間の距離に基づき該基板と前記露光マスクとの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段と、前記位置ずれ量算出手段により算出された位置ずれ量が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第１の判定手段と、前記位置ずれ量算出手段により算出された位置ずれ量と基準値との相対差を算出する相対差算出手段と、前記一連の露光工程において前記一の基板よりも前に露光が施された基板に対する前記相対差算出手段により算出された相対差のうちの最小値から最大値までの範囲を算出する相対差範囲算出手段と、前記相対差範囲算出手段により算出された範囲値が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第２の判定手段と、を備えることを特徴としている。
【００５０】
本発明の露光装置においては、前記第１の判定手段は、位置ずれ量と予め設定された第１の閾値との比較を行い、位置ずれ量が第１の閾値以下の場合には許容範囲内であると判定する一方で、位置ずれ量が第１の閾値を上回る場合には許容範囲外であると判定するように構成されていることが好ましい。
【００５１】
本発明の露光装置においては、前記第１の判定手段は、前記一連の露光工程における最初の基板に対する前記第１の閾値として、２番目以降の基板に対する前記第１の閾値よりも許容範囲が狭くなるような値を用いて、前記判定を行うことが好ましい。
【００５２】
本発明の露光装置においては、前記第２の判定手段は、範囲値と予め設定された第２の閾値との比較を行い、範囲値が第２の閾値以下の場合には許容範囲内であると判定する一方で、範囲値が第２の閾値を上回る場合には許容範囲外であると判定するように構成されていることが好ましい。
【００５３】
本発明の露光装置においては、前記第１及び第２の判定手段のうち少なくともいずれか一方により位置ずれ量が許容範囲外であると判定された場合に異常が発生した旨を報知する報知手段を備えることが好ましい。
【発明の効果】
【００５４】
本発明によれば、位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第１の判定工程を備えるのに加え、位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量と基準値との相対差を算出する相対差算出工程と、一連の露光工程において一の基板よりも前に露光が施された基板に対する相対差算出工程により算出された相対差のうちの最小値から最大値までの範囲を算出する相対差範囲算出工程と、相対差範囲算出工程により算出された範囲値が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第２の判定工程と、を備えるので、基板（例えばＰＤＰ基板）に形成されているパターンに新たなパターンを重ねて形成するときに発生する位置ずれ量の変動傾向を監視することができる。すなわち、第１の判定工程では許容範囲内であると判定された場合であっても、露光装置の位置合わせ動作異常により位置ずれ量が変動した場合には、該変動を第２の判定工程により検知することができる。よって、露光ずれ量の最小化と製品不良発生の防止が可能となる。
【００５５】
また、位置ずれ量が許容範囲内であるにも拘わらず異常と判定してしまう誤検知の頻度を、分散比較を行う場合よりも低減することができる。
【００５６】
更に、一連の露光工程における最初の基板に対する第１の判定工程で用いられる第１の閾値として、２番目以降の基板に対する第１の判定工程における第１の閾値よりも許容範囲が狭くなるような値を用いることにより、露光工程の開始後の最初の基板に対しても、好適に位置ずれを検知することが可能となるとともに、ある期間の測定データを必要とする平均値や分散値による露光ずれ判定方法よりも、早期に露光ずれを検知することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５７】
以下、図面を参照して、本発明に係る実施形態について説明する。
【００５８】
本実施形態では、本発明に係る露光設備と、本発明に係る表示パネルの製造方法の好適な一例としてのＰＤＰの製造方法と、本発明に係る表示装置の製造方法の好適な一例としてのプラズマ表示装置の製造方法と、について説明する。
【００５９】
〔第１の実施形態〕
図１は第１の実施形態に係る露光設備の構成を示す制御ブロック図である。
【００６０】
図１に示すように、第１の実施形態に係る露光設備５０は、ＰＤＰを構成するＰＤＰ基板（基板）９が上面に載置される露光ステージ１０と、露光ステージ１０の上方に配された露光マスク８と、露光マスク８を保持するマスク保持部６と、マスク保持部６及び露光ステージ１０をそれぞれ露光マスク８とＰＤＰ基板９との相互の位置合わせのために駆動する駆動機構７と、ＰＤＰ基板９上及び露光マスク８上の各々の複数箇所に付された位置合わせマーク（図示略）を撮像する撮像手段としてのＣＣＤカメラ４と、ＣＣＤカメラ４による撮像によって得られた画像情報を用いた演算を行う画像演算処理装置３と、撮像のために位置合わせマークを照明する照明部５と、この照明部５とライトガイド５ａを介して接続され該照明部５に光を供給する光源２と、異常の報知を行う報知部１１と、報知部１１、光源２、ＣＣＤカメラ４及び駆動機構７を制御する主制御装置１と、を備えて構成されている。
【００６１】
このうち主制御装置１は、画像演算処理装置３を介してＣＣＤカメラ４に撮像指令を送信し、該ＣＣＤカメラ４にＰＤＰ基板９及び露光マスク８の位置合わせマークの撮像を行わせる制御を行う。
【００６２】
ＣＣＤカメラ４は、主制御装置１からの撮像指令に従って、ＰＤＰ基板９及び露光マスク８の各々の位置合わせマークを撮像し、該撮像により得られる画像情報を画像演算処理装置３に出力する。
【００６３】
画像演算処理装置３は、ＣＣＤカメラ４からの画像情報に基づき、ＰＤＰ基板９と露光マスク８との相互の位置合わせに必要な値（位置情報）を演算し、該演算結果を主制御装置１に出力する。
【００６４】
主制御装置１は、画像演算処理装置３から入力される位置情報に基づき、駆動機構７に制御指令を送信し、該駆動機構７に露光マスク８とＰＤＰ基板９との相互の位置合わせを行わせる制御を行う。
【００６５】
駆動機構７は、主制御装置１からの制御指令に従って、マスク保持部６及び露光ステージ１０を適宜に駆動し、露光マスク８とＰＤＰ基板９とを相互に位置合わせする。
【００６６】
更に、主制御装置１は、光源２の出力を必要に応じて制御し、照明５の照度を適宜に調節するようになっている。
【００６７】
なお、主制御装置１は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭを備えて構成され、このうちＲＯＭにはＣＰＵの制御プログラムや制御データ（例えば、後述する第１及び第２の閾値を含む）などが記憶され、ＲＡＭはＣＰＵの作業領域などとして機能し、ＣＰＵはＲＯＭに記憶されたプログラムに従って各種の制御を行う。
【００６８】
次に、露光ずれを管理するために主制御装置１の制御下で実行される処理について、図２を参照して説明する。
【００６９】
図２は、複数のＰＤＰ基板に対し順次露光を施すに際し、露光ずれを管理するためになされる制御の流れを示すフローチャートである。
【００７０】
先ず、ＰＤＰ基板９と露光マスク８とをそれぞれ露光のための所定の位置へ搬送及び位置決めする。
【００７１】
その状態で、ＣＣＤカメラ４によりＰＤＰ基板９及び露光マスク８の位置合わせマークを撮像し、各位置合わせマークについて、所定の座標系における位置を算出し、各々のマークの位置情報（以下、マーク位置情報）を得る（ステップＳ１）。
【００７２】
続いて、ＰＤＰ基板９及び露光マスク８の各々のマーク位置情報に基づき、各々の対応する位置合わせ用マークの相互間の距離、すなわちＰＤＰ基板９と露光マスク８との互いの位置ずれ量（距離）を算出する。更に、その算出値に基づき、ＰＤＰ基板９と露光マスク８との互いの距離が最小になる位置を算出する。そして、その位置へＰＤＰ基板９と露光マスク８とのうち少なくともいずれか一方を移動させる。つまり、各位置合わせマーク間の距離が最小になるようにＰＤＰ基板９と露光マスク８とを相互に位置合わせする（ステップＳ２）。
【００７３】
続いて、再度、位置合わせマークの撮像とマーク位置情報の算出とを行い、ＰＤＰ基板９と露光マスク８との互いの位置ずれ量Ｘを算出し、ＲＡＭに記憶する（ステップＳ３：位置ずれ量算出工程）。
【００７４】
続いて、上記のステップＳ３にて算出された位置ずれ量Ｘと、予め設定された第１の閾値Ａと、を比較し、該位置ずれ量Ｘが許容範囲内であるか否か（位置ずれ量Ｘ≦第１の閾値Ａ？）を判定する（ステップＳ４：第１の判定工程）。
【００７５】
ステップＳ４にて位置ずれ量Ｘが許容範囲外（位置ずれ量Ｘ＞第１の閾値Ａ）であると判定された場合（ステップＳ４のＮＯ）、露光ずれが発生したことの報知動作を報知部１１に行わせる（ステップＳ１３：報知工程）。
【００７６】
ここで、報知部１１は、例えば、発音動作を行う発音部、表示動作を行う表示部、帳票出力を行う帳票出力部、光を発する警告灯のうちの少なくとも何れか１つを備えて構成され、発音動作、表示動作、帳票出力動作及び発光動作のうちの少なくともいずれか１つの動作により露光ずれが発生したことの報知を行う。
【００７７】
また、このように報知部１１により露光ずれが発生したことの報知を行う場合には、該当する基板に関しては、露光を含むその他の処理を行わずに図２の処理を終了する。
【００７８】
他方、ステップＳ４にて位置ずれ量Ｘが許容範囲内であると判定された場合（ステップＳ４のＹＥＳ）、今回の位置ずれ量Ｘと基準位置ずれ量（基準値）Ｙ（後述）との相対差ΔＺ（＝Ｘ−Ｙ）を算出し、ＲＡＭに記憶する（ステップＳ５）。
【００７９】
ここで、基準位置ずれ量Ｙは、複数のＰＤＰ基板９に対して順次行われる一連の露光工程において、最初のＰＤＰ基板９に対して行われるステップＳ３により算出された位置ずれ量Ｘである。
【００８０】
なお、ここでは、一連の露光工程における最初のＰＤＰ基板９においての位置ずれ量Ｘを基準位置ずれ量Ｙとして相対差ΔＺを算出する例を挙げているが、この例に限らず、例えば、ある適当な作業期間内（予め設定された期間内）に行われたステップＳ３により算出された位置ずれ量Ｘの各々の平均値または中心値を基準位置ずれ量Ｙとして相対差ΔＺを算出しても良い。
【００８１】
ステップＳ５に続くステップＳ６では、今回新たに算出された相対差ΔＺと、一連の露光工程の開始時から現在までの製造期間内に算出された相対差ΔＺのうちの最大値ΔＺ（ＭＡＸ）と、を比較し、今回の相対差ΔＺが前回までの相対差ΔＺの最大値ΔＺ（ＭＡＸ）を上回るか否かを判定する（ステップＳ６：第３の判定工程）。
【００８２】
ステップＳ６にて今回の相対差ΔＺが最大値ΔＺ（ＭＡＸ）を上回ると判定された場合（ステップＳ６のＹＥＳ）、それまでの最大値ΔＺ（ＭＡＸ）を今回の相対差ΔＺにより更新する（ステップＳ７：最大値更新工程）。
【００８３】
他方、ステップＳ６にて今回の相対差ΔＺが最大値ΔＺ（ＭＡＸ）を上回りはしないと判定された場合（ステップＳ６のＮＯ）、ステップＳ１１に移行する。
【００８４】
ステップＳ１１では、今回算出された相対差ΔＺと、一連の露光工程の開始時から現在までの製造期間内に算出された相対差ΔＺのうちの最小値ΔＺ（ＭＩＮ）と、を比較し、今回の相対差ΔＺが前回までの相対差ΔＺの最小値ΔＺ（ＭＩＮ）を下回るか否かを判定する（第４の判定工程）。
【００８５】
ステップＳ１１にて今回の相対差ΔＺが最小値ΔＺ（ＭＩＮ）を下回ると判定された場合（ステップＳ１１のＹＥＳ）、それまでの最小値ΔＺ（ＭＩＮ）を今回の相対差Δに更新する（ステップＳ１２：最小値更新工程）。
【００８６】
他方、ステップＳ１１にて今回の相対差ΔＺが最小値ΔＺ（ＭＩＮ）を下回りはしないと判定された場合（ステップＳ１１のＮＯ）、すなわち相対差ΔＺの最大値の更新と最小値の更新との何れも行われなかった場合、露光作業を実行する（ステップＳ１０）。
【００８７】
また、最大値ΔＺ（ＭＡＸ）又は最小値ΔＺ（ＭＩＮ）が更新された場合（ステップＳ７又はステップＳ１２を行った場合）には、最新の最大値ΔＺ（ＭＡＸ）と最小値ΔＺ（ＭＩＮ）との範囲値ΔＲ（＝Ｚ（ＭＡＸ）−ΔＺ（ＭＩＮ））を算出する（ステップＳ８：相対差範囲算出工程）。
【００８８】
続いて、算出した範囲値ΔＲと、予め設定された第２の閾値Ｂと、を比較し、該範囲値ΔＲが許容範囲内であるか否か（範囲値ΔＲ≦第２の閾値Ｂ？）を判定する（ステップＳ９：第２の判定工程）。
【００８９】
ステップＳ９にて範囲値ΔＲが許容範囲外（範囲値ΔＲ＞第２の閾値Ｂ）であると判定された場合（ステップＳ９のＮＯ）、異常が発生した旨、すなわち露光ずれ又は装置異常（露光装置５０の異常）が発生した旨を報知部１１により報知させ（ステップＳ１３：報知工程）、図２の処理を終了する。
【００９０】
他方、ステップＳ９にて範囲値ΔＲが許容範囲内であると判定された場合（ステップＳ９のＹＥＳ）、露光作業を実行する（ステップＳ１０）。
【００９１】
なお、図２の処理において、主制御装置１は、第１の判定手段、相対差算出手段、相対差範囲算出手段及び第２の判定手段として機能し、画像処理演算装置３及びＣＣＤカメラ４は、協働により位置ずれ量算出手段として機能し、主制御装置１及び報知部１１は、協働により報知手段として機能する。
【００９２】
次に、図１の露光設備５０を用いてＰＤＰ基板に対する露光を順次行うに際して露光ずれ及び装置異常を監視した具体例について、図３乃至図７を参照して説明する。
【００９３】
なお、第１の閾値Ａ及び第２の閾値Ｂは、例えば、共に３０μmに設定した。また、測定（算出）された位置ずれ量（位置ずれ量Ｘ）が露光ずれ量に等しいものとする。
【００９４】
先ず、図３はＰＤＰ基板処理数と各基板毎の露光ずれ量との推移を示すグラフである。
【００９５】
図３に示すように、全てのＰＤＰ基板に対する測定データにおいて、露光ずれ量の絶対値が第１の閾値を上回ることはなく、すべて許容範囲内に収まっている。
【００９６】
これに対して、一連の露光工程において処理順序が２番目以降のＰＤＰ基板における露光ずれ量（Ｘ）と、処理順序が最初のＰＤＰ基板における露光ずれ量（Ｙ）と、の相対的なずれ量（ΔＺ）を算出すると、図４のグラフのようになる。
【００９７】
図４に示すように、相対的ずれ量は測定データ（図３）に比べてやや大きい値になる傾向が見られる。
【００９８】
更に、図４に示す相対的ずれ量について、その最大値（ΔＺ（ＭＡＸ））及び最小値（ΔＺ（ＭＩＮ））の更新推移を示すと、図５（最大値の更新推移）及び図６（最小値の更新推移）のグラフのようになる。
【００９９】
図５及び図６に示すように、最大値の更新回数が多く、その絶対量も次第に増加していく様子が分かる。
【０１００】
更に、最大値と最小値の間の範囲値（ΔＲ）を算出すると、図７のようになる。
【０１０１】
図７に示すように、基板Ａにおいては、範囲値が第２の閾値を上回る結果となった。
【０１０２】
これは、露光ずれ量は許容範囲内（図３における基板Ａの部分を参照）であるが、露光位置を補正する露光装置５０の動作のバラツキが許容範囲外であることを示している。つまり、露光装置５０における位置補正動作が不安定であることを示すものである。本実施形態の場合、基板Ａにおいて範囲値が第２の閾値を上回ることを検知したときに報知部１１による報知を行うことにより、装置異常による不良の発生を事前に抑止させることができる。
【０１０３】
次に、本実施形態に係るＰＤＰの製造方法について説明する。
【０１０４】
本実施形態に係るＰＤＰの製造方法は、上記のようにして露光ずれを管理する他は、従来のＰＤＰの製造方法と同様である。このため、以下では、本実施形態に係るＰＤＰの製造方法について、図１０を参照して説明する。
【０１０５】
先ず、表示側の第１基板２１０を構成する。
【０１０６】
すなわち、第１ガラス基板２１１上に、相互に平行に形成された複数のライン状の面放電電極２１２と、第１ガラス基板２１１及び面放電電極２１２を覆って形成された透明誘電体層２１３と、透明誘電体層２１３に形成されたブラックマトリクス２１４と、を形成する。このうち、面放電電極２１２は金属のバス電極が積層された透明導電膜からなる。また、透明誘電体層２１３の表面には酸化マグネシウム膜が付着している。また、ブラックマトリクス２１４は格子状に形成されており、各格子が一つの画素を画定している。
【０１０７】
一方、第１基板２１０と対向して配置される第２基板２２０を構成する。
【０１０８】
すなわち、第２ガラス基板２２１上に、相互に隔置して形成された複数のアドレス電極２２２と、第２ガラス基板２２１及びアドレス電極２２２を覆って形成された誘電体層２２３と、誘電体層２２３上においてアドレス電極２２２の間に形成された複数のストライプ状または井桁状の隔壁２２４と、相互に隣接し放電セルを形成する隔壁２２４の間において誘電体層２２３の表面及び隔壁２２４の側面を覆って形成され、赤、緑及び青の各蛍光体がこの順番に塗り分けられた蛍光体層２２５と、を形成する。
【０１０９】
次に、第１基板２１０と第２基板２２０とを相互に対向させて位置合わせし、相互に溶着する。
【０１１０】
次に、第１基板２１０及び第２基板２２０の相互間の間隔に形成される放電ガス空間内を真空に排気した後に、該放電ガス空間内に放電ガスを封入する。
【０１１１】
これにて、ＰＤＰ１５０を得ることができる。
【０１１２】
このＰＤＰ１５０は、上記のように、図２の処理に従い露光ずれを管理して製造されたものであるため、露光ずれ量が最小限に抑制されているとともに、不良発生を防止することができている。
【０１１３】
次に、本実施形態に係るプラズマ表示装置の製造方法は、上記のような製造方法により製造されたＰＤＰ基板を用いて製造する点の他は、従来のプラズマ表示装置の製造方法と同様である。このため、本実施形態に係るプラズマ表示装置の製造方法について、図９を参照して説明する。
【０１１４】
先ず、上記のＰＤＰの製造方法により製造されたＰＤＰ１５０と、走査ドライバ１３８と、データドライバ１３９と、高圧パルス回路１４０と、電力回収回路１４１とを基板上に配置し、パネル部１３２を形成する。
【０１１５】
さらに、パネル部１３２とは別個にディジタル信号処理・制御回路（駆動回路）１３１を形成する。
【０１１６】
このようにして形成されたパネル部１３２及びディジタル信号処理・制御回路１３１とモジュール内電源回路１３３とを、一つのモジュールとして組み立てて、ＰＤＰモジュール１３０を形成する。
【０１１７】
さらに、ＰＤＰモジュール１３０とは別個に、アナログインタフェース１２０を形成する。
【０１１８】
このように、ＰＤＰモジュール１３０とアナログインタフェース１２０とをそれぞれ別個に形成した後、双方を電気的に接続することにより、図９に示したプラズマ表示装置１００を得ることができる。
【０１１９】
以上のような第１の実施形態によれば、位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第１の判定工程を備えるので、ＰＤＰ基板９に形成されているパターンに新たなパターンを重ねて形成するときに発生する位置ずれ量が許容範囲外となった場合にそのことを検知することができる。
【０１２０】
また、第１の判定工程を備えるのに加え、位置ずれ量算出工程により算出された位置ずれ量と基準値との相対差を算出する相対差算出工程と、一連の露光工程において一の基板よりも前に露光が施された基板に対する相対差算出工程により算出された相対差のうちの最小値から最大値までの範囲を算出する相対差範囲算出工程と、相対差範囲算出工程により算出された範囲値が許容範囲内であるか許容範囲外であるかを判定する第２の判定工程と、を備えるので、位置ずれ量の変動傾向を監視することができる。
【０１２１】
すなわち、第１の判定工程では許容範囲内であると判定された場合であっても、露光装置５０の位置合わせ動作異常により位置ずれ量が変動した場合には、該変動を第２の判定工程により検知することができる。よって、露光ずれ量の最小化と製品不良発生の防止が可能となる。
【０１２２】
〔第２の実施形態〕
次に、第２の実施形態では、一連の露光工程における最初の基板に対する処理において、第１の閾値Ａとして、２番目以降の基板に対する処理における第１の閾値Ａよりも許容範囲が狭くなるような値を用いる例について説明する。
【０１２３】
すなわち、第２の実施形態の場合、２番目以降の基板に対する処理における第１の閾値Ａを、例えば３０（μｍ）とする一方で、最初の基板に対する処理における第１の閾値Ａは、例えば５（μｍ）とするといったように、最初の基板に対する処理における第１の閾値Ａを、２番目以降の基板に対する処理における第１の閾値Ａよりも小さい値に設定する。
【０１２４】
図８は、第２の実施形態の場合に、一連の露光工程における最初の基板に対し、主制御装置１の制御下で実行される処理の流れを示すフローチャートである。
【０１２５】
以下、図８を参照して、第２の実施形態の場合において、最初の基板に対して行う処理について説明する。
【０１２６】
先ず、ＰＤＰ基板９と露光マスク８とをそれぞれ露光のための所定の位置へ搬送及び位置決めする。
【０１２７】
その状態で、ＰＤＰ基板９及び露光マスク８の位置合わせマークを撮像し、各々のマーク位置情報を得る（ステップＳ２１）。
【０１２８】
続いて、各位置合わせマーク間の距離が最小になるようにＰＤＰ基板９と露光マスク８とを相互に位置合わせする（ステップＳ２２）。
【０１２９】
続いて、位置合わせマークの撮像とマーク位置情報の算出とを行い、ＰＤＰ基板９と露光マスク８との互いの位置ずれ量Ｘを算出し、ＲＡＭに記憶する（ステップＳ２３：位置ずれ量算出工程）。
【０１３０】
なお、上記のステップＳ２３までは、上記の第１の実施形態におけるステップＳ３までの処理と同様である。
【０１３１】
続いて、上記のステップＳ２３にて算出された位置ずれ量Ｘと、予め設定された第１の閾値Ａと、を比較し、該位置ずれ量Ｘが許容範囲内であるか否か（位置ずれ量Ｘ≦第１の閾値Ａ？）を判定する（ステップＳ２４：第１の判定工程）。
【０１３２】
ここで、ステップＳ２４での判定に用いられる第１の閾値Ａ、すなわち、一連の露光工程における最初の基板に対する第１の閾値Ａは、一連の露光工程における２番目以降の基板に対する第１の閾値Ａよりも小さい値となっているので、最初の基板に対する露光ずれの判定基準を、２番目以降の基板に対してよりも厳しくすることができる。
【０１３３】
また、露光工程の開始後の最初の基板に対しては、図２のステップＳ５〜Ｓ１２までの処理を行っても意味がないが、このように最初の基板に対する露光ずれの判定基準を厳しくすることにより、最初の基板に対しても好適に露光ずれを検知することが可能となる。
【０１３４】
しかも、このように最初の基板に対する露光ずれの判定基準を厳しくすることにより、その後のステップＳ５（図２）での相対差の算出に用いられる基準値Ｙを妥当な値とすることができ、一連の露光工程におけるその後の露光ずれを最小限に抑制することが可能となる。
【０１３５】
ステップＳ２４にて位置ずれ量Ｘが許容範囲外（位置ずれ量Ｘ＞第１の閾値Ａ）であると判定された場合（ステップＳ２４のＮＯ）、露光ずれが発生したことの報知動作を報知部１１に行わせる（ステップＳ２６：報知工程）。
【０１３６】
他方、ステップＳ２４にて位置ずれ量Ｘが許容範囲内であると判定された場合（ステップＳ２４のＹＥＳ）、露光作業を実行する（ステップＳ２５）。
【０１３７】
以上のような第２の実施形態によれば、一連の露光工程における最初の基板に対する第１の判定工程で用いられる第１の閾値として、２番目以降の基板に対する第１の判定工程における第１の閾値よりも許容範囲が狭くなるような値を用いることにより、露光工程の開始後の最初の基板に対しても、好適に位置ずれを検知することが可能となるとともに、ある期間の測定データを必要とする平均値や分散値による露光ずれ判定方法よりも、早期に露光ずれを検知することが可能となる。
【０１３８】
なお、上記の各実施形態では、本発明に係る表示パネルの製造方法の好適な一例としてのＰＤＰの製造方法のみについて説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、液晶表示パネル或いはその他の表示パネルの製造方法にも好適に適用することが可能である。
【０１３９】
同様に、上記の各実施形態では、本発明に係る表示装置の製造方法の好適な一例としてのプラズマ表示装置の製造方法のみについて説明したが、本発明はこれに限らず、例えば、液晶表示装置或いはその他の表示装置の製造方法にも好適に適用することが可能である。
【０１４０】
更に、本発明に係る露光装置は、表示パネルの製造方法並びに表示装置の製造方法に限らず、例えば、半導体製造或いはその他の物の製造における露光工程にも好適に適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】本発明の実施形態に係る露光設備の構成を示す制御ブロック図である。
【図２】図１の露光設備が行う処理の流れを示すフローチャートである。
【図３】測定された位置ずれ量の一連の露光工程における推移を示す図である。
【図４】測定された位置ずれ量と最初の基板に対する処理の際の位置ずれ量との相対的なずれの一連の露光工程における推移を示す図である。
【図５】図４に示す相対的なずれの最大値の一連の露光工程における推移を示す図である。
【図６】図４に示す相対的なずれの最小値の一連の露光工程における推移を示す図である。
【図７】図６の最小値から図５の最大値までの範囲値の一連の露光工程における推移を示す図である。
【図８】第２の実施形態の場合において、図１の露光設備が最初の基板に対する処理の際に行う処理の流れを示すフローチャートである。
【図９】一般的なプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。
【図１０】一般的なカラープラズマ表示装置のＡＣ面放電型のパネル構造を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１４２】
１      主制御装置（第１の判定手段、相対差算出手段、相対差範囲算出手段、第２の判定手段、報知手段）
３      画像処理演算装置（位置ずれ量算出手段）
４      ＣＣＤカメラ（位置ずれ量算出手段）
８      露光マスク
９      ＰＤＰ基板（基板）
１１    報知部（報知手段）
５０    露光装置
１５０  ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル、表示パネル）
１３１  ディジタル信号処理・制御回路（駆動回路）
１００  プラズマ表示装置（表示装置）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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