(57)【要約】 【課題】  耐久性を向上させることができる圧電アクチュエータおよびこれを備えた装置を提供すること。【解決手段】  補強板５１の両面に圧電素子５２を貼設して圧電アクチュエータ５を構成する。補強板５１とは別体で、補強板５１より高硬度の材料で構成された当接部材５４を設け、この当接部材５４を移動体に当接させる。圧電素子５２に電圧を印加して圧電アクチュエータ５を振動させると、当接部材５４が移動体を繰り返し押圧して移動させる。補強板５１と当接部材５４とが別体で構成され、当接部材５４が補強板５１よりも高硬度となっているので、圧電素子５２の振動が補強板５１に良好に伝達できるとともに、当接部材５４の摩耗が防止でき、圧電アクチュエータ５の耐久性を向上させることができる。【選択図】 図３
2005073341.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子と、この圧電素子に固定された振動部材とを備え、前記圧電素子の振動によって移動体を移動させる圧電アクチュエータであって、
前記振動部材には、前記移動体に当接される別体の当接部材が設けられ、
この当接部材の少なくとも前記移動体に当接する当接面は、前記振動部材より高硬度に構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記当接部材は、前記圧電素子から突出して設けられ、
前記当接部材の一部は、前記圧電素子および／または前記振動部材の面のうち、前記当接部材の突出方向にほぼ平行な面に固定されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電素子、前記振動部材、および前記当接部材の少なくとも一つには、前記当接部材を前記圧電素子に対して位置決めする位置決め手段が設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記当接部材の前記移動体への当接面の厚み寸法は、前記振動部材の厚み寸法よりも大きく形成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記当接部材の厚み寸法が均一であることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記当接部材は、セラミックス、超硬合金、窒化処理が施された鋼材、または浸炭処理が施された鋼材で構成されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記当接部材と前記振動部材とは、接着、ろう付、およびかしめのいずれか一つまたはこれらの組み合わせによって互いに固定されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項８】
請求項２から請求項７のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記圧電素子および前記振動部材は板状に形成され、
前記圧電素子は、前記振動部材の両面に固定され、
前記振動部材の厚み寸法は、前記当接部材の前記圧電素子間に配置される部分の厚み寸法より大きいことを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項９】
請求項１から請求項８のいずれかに記載の圧電アクチュエータにおいて、
前記当接部材と前記移動体との間にはトラクションオイルが介在されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれかに記載の圧電アクチュエータを備えたことを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子を繰り返し変位させることによって振動させ、この振動により移動体を移動させる圧電アクチュエータおよびこの圧電アクチュエータを備えた装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より圧電素子に繰り返し電圧を印加することによって圧電素子を振動させ、この振動によって移動体を移動させる、いわゆる圧電アクチュエータが開発されている。このような圧電アクチュエータとしては、圧電素子側面に突起が設けられているものがある（例えば特許文献１）。この圧電アクチュエータでは、板状の圧電素子側面に突起が接着されており、この突起を移動体に接触させて、移動体と突起との摩擦力によって移動体を移動させる。このような構成によれば、移動体に対しては突起が接触するため圧電素子の摩耗が防止され、長期間の使用によっても圧電素子の形状変化を防止でき、安定した振動を得ることができる。
【０００３】
しかしながら、その一方で、圧電素子はセラミックスなどの脆性材料で構成されているため、耐衝撃性に劣るという欠点がある。そこで、昨今では圧電素子の脆性を補強するために、圧電素子に振動板を固定したものが提案されている（例えば特許文献２）。この圧電アクチュエータでは、板状の圧電素子にリン青銅などで構成された振動板が固定されている。振動板には、圧電素子の平面方向に突出する突起が一体的に形成されており、この突起を移動体に当接することで、移動体と突起との摩擦力によって移動体を移動させる。このような構成によれば、振動板が圧電素子の脆性を補強しながら圧電素子の振動を突起に伝達するので、突起が良好に振動して移動体を移動させる。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−１８４３８２号公報  （第５，６頁）
【特許文献２】特開２０００−１８８８８２号公報  （第６頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながらこのような圧電アクチュエータでは、圧電素子の振動を阻害せず突起に良好に振動を伝達させるため、振動板がリン青銅などの比較的軟らかい材料で構成されている。このため、振動板に一体的に形成された突起が移動体との摩擦によって摩耗してしまい、圧電アクチュエータの耐久性を向上させることができない。
【０００６】
本発明の目的は、耐久性を向上させることができる圧電アクチュエータおよびこれを備えた装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の圧電アクチュエータは、圧電素子と、この圧電素子に固定された振動部材とを備え、圧電素子の振動によって移動体を移動させる圧電アクチュエータであって、振動部材には、移動体に当接される別体の当接部材が設けられ、この当接部材の少なくとも移動体に当接する当接面は、振動部材より高硬度に構成されていることを特徴とする。
この発明によれば、圧電素子に振動部材が固定されているので、圧電素子の脆性が補強され、耐衝撃性が向上する。また、振動部材と当接部材とが別体に設けられているので、振動部材と当接部材とを別々の材料で構成することが可能となる。この時、当接部材の少なくとも移動体への当接面は、振動部材より高硬度に構成されているので、当接部材の当接面の強度を良好に確保しながら、振動部材として圧電素子の振動を阻害しない材料を選択することが可能となる。したがって、振動部材が圧電素子の補強をしながら圧電素子の振動を良好に当接部材に伝達し、かつ当接部材は移動体との当接面での摩耗が防止されるので、圧電アクチュエータの耐久性が向上する。
【０００８】
本発明では、当接部材は、圧電素子から突出して設けられ、当接部材の一部は、圧電素子および／または振動部材の面のうち、当接部材の突出方向にほぼ平行な面に固定されていることが望ましい。
この発明によれば、当接部材が圧電素子から突出して設けられているので、圧電アクチュエータが移動体に対して角度を有して配置されるような場合でも、圧電素子が移動体に接触することなく、当接部材が移動体に当接される。したがって、圧電アクチュエータの配置の自由度が高くなる。
また、当接部材の一部が突出方向にほぼ平行な圧電素子面および／または振動部材面に固定されているので、当接部材の圧電素子および／または振動部材への固定面積が広くなる。したがって当接部材に必要な固定力が確保され、これによっても圧電アクチュエータの耐久性が向上する。
ここで、突出方向にほぼ平行な面とは、突出方向と圧電素子および／または振動部材の面方向とがなす角度が、０°程度のことをいい、例えば突出方向に対して±３０°以内の角度を有する面をいい、より望ましくは±１５°以内、さらに望ましくは±１０°以内の角度を有する面をいう。したがって、例えば圧電素子がブロック状の直方体に形成されて当接部材が任意の一面から直角に突出している場合では、突出方向とは当該任意の一面に対して直交する方向であり、突出方向にほぼ平行な圧電素子の面とは、当該任意の一面に隣接する面をいう。
【０００９】
本発明では、圧電素子、振動部材、および当接部材の少なくとも一つには、当接部材を圧電素子に対して位置決めする位置決め手段が設けられていることが望ましい。
この発明によれば、位置決め手段が設けられているので、当接部材が圧電素子に対して確実に位置決めされ、繰り返し移動体に当接されても当接部材の位置がずれるなどの不具合発生が防止される。また、位置決め手段によって当接部材の圧電素子に対する位置決めが簡単に行われるので、圧電アクチュエータの組立性が向上し、当接部材の組み付け位置のばらつきが抑制されて品質が安定する。
【００１０】
本発明では、当接部材の移動体への当接面の厚み寸法は、振動部材の厚み寸法よりも大きく形成されていることが望ましい。
この発明によれば、当接部材の当接面の厚み寸法が、振動部材の厚み寸法よりも大きく形成されているので、圧電素子の振動を阻害しない振動部材の適切な厚みを確保しながら、かつ当接面の厚みを大きくすることが可能となる。これにより、当接部材の移動体への当接面積が増加し、移動体の駆動が安定するとともに、当接部材の摩耗が減少して圧電アクチュエータの耐久性が向上する。
ここで、当接部材および振動部材の厚み寸法とは、振動部材において圧電素子に固定された面に直交する方向の寸法を意味する。
【００１１】
本発明では、当接部材の厚み寸法が均一であることが望ましい。
この発明によれば、当接部材の厚み寸法が均一であるので、当接部材の形状が簡単となり、したがって当接部材の製造が簡単になる。また、当接部材の形状を加工するには、均一厚みの材料から単純に切り出したり、同一形状の棒状部材を所望の厚みに切断すればよいので材料の入手が簡単となり、製造コストが低減する。
【００１２】
本発明では、当接部材は、セラミックス、超硬合金、窒化処理が施された鋼材、または浸炭処理が施された鋼材で構成されていることが望ましい。
この発明によれば、当接部材の材料が適切に設定されているので、移動体への当接面の摩耗が良好に防止され、圧電アクチュエータの耐久性が向上する。ここで、これらの材料はヤング率が比較的大きいため、通常振動部材として使用すると圧電素子の振動を良好に伝達できない材料である。したがって、これらの材料の選定は、当接部材および振動部材が別体に設けられていることにより可能となるものである。
【００１３】
本発明では、当接部材と振動部材とは、接着、ろう付、およびかしめのいずれか一つまたはこれらの組み合わせによって互いに固定されていることが望ましい。
この発明によれば、当接部材と振動部材とが適切な方法によって互いに固定されているので、当接部材および振動部材が確実に接合され、振動部材の振動が良好に当接部材に伝達される。また、これにより例えば移動体の移動に必要な駆動力が大きく、当接部材の移動体に対する摩擦力が大きい場合でも、当接部材が確実に振動部材に固定されているので、当接部材が損傷することなく移動体に接触し、振動部材の振動を良好に移動体に伝達して移動体を移動させる。
【００１４】
本発明では、圧電素子および振動部材は板状に形成され、圧電素子は、振動部材の両面に固定され、振動部材の厚み寸法は、当接部材の前記圧電素子間に配置される部分の厚み寸法より大きいことが望ましい。
この発明によれば、圧電素子および振動部材が板状に形成されているので、圧電素子および振動部材が平面方向に振動する。したがって、当接部材が圧電素子の平面方向に振動することにより、移動体を当該平面方向に移動させることが可能となる。
【００１５】
また、圧電素子が振動部材の両面に固定されているので、両面の圧電素子を同時に振動させれば圧電素子の振動挙動が振動部材を挟んで対称となり、圧電アクチュエータ全体が圧電素子の平面方向に平行な平面内で振動軌跡を描く。したがって、当接部材が圧電素子の平面方向に平行な平面内で振動し、当該方向に対する駆動力伝達効率が良好となる。
さらに、板状の振動部材の両面に圧電素子が配置されているので、当接部材も両面の圧電素子に挟持されるように配置される。この時、振動部材の厚み寸法は、圧電素子間に配置された当接部材の厚み寸法より大きいので、圧電素子が当接部材に阻害されることなく振動部材に良好に接続される。したがって、圧電素子の振動が良好に振動部材に伝達されて当接部材が良好に振動し、移動体の駆動効率が良好となる。
【００１６】
本発明では、当接部材と移動体との間にはトラクションオイルが介在されていることが望ましい。
この発明によれば、当接部材と移動体との間にトラクションオイルが介在されているので、当接部材と移動体とがこのオイルにおいて接触し、互いの接触面積が低減する。したがって、当接部材の摩擦力が低減され、摩耗がより一層防止されるので圧電アクチュエータの耐久性がより一層向上する。
ここで、トラクションオイルとは、トラクション係数を高めた潤滑剤である。圧力−粘度係数が高く、圧力が作用すると硬化し、圧力が解除されると軟化する性質を有している。
【００１７】
本発明の装置は、前述の圧電アクチュエータを備えたことを特徴とする。
この発明によれば、装置が前述の圧電アクチュエータを備えているので、前述と同様の効果を奏することができ、圧電アクチュエータおよび装置の耐久性が向上する。このような装置は、例えば液体吐出装置や、駆動装置、玩具、時計など様々なものに適用でき、特に小型化を要する装置として適用するのに好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。なお、後述する第二実施形態以降で、以下に説明する第一実施形態での構成部品と同じ部品および同様な機能を有する部品には同一符号を付し、説明を簡単にあるいは省略する。
【００１９】
〔第一実施形態〕
図１には、第一実施形態にかかる液体吐出装置（装置）１１の平面図が、また図２には液体吐出装置１１の側断面図が示されている。
これらの図１および図２において、液体吐出装置１１は、内部に液体が流通するチューブ３１と、このチューブ３１を押圧するボール３２と、このボール３２をチューブ３１上で転動させるロータ４（移動体）と、ロータ４を回転駆動する圧電アクチュエータ５と、ボール３２の転動軌跡を規定するリテーナ３３とを備えている。また、これらの構成部品、つまりチューブ３１の一部、ボール３２、ロータ４、圧電アクチュエータ５、およびリテーナ３３は、ケース部材２に収納されている。
【００２０】
ケース部材２は、チューブ３１が配置される基部２１と、基部２１の開口部分を覆う蓋部材２２（図２）とを備えている。基部２１および蓋部材２２には、外周近傍の複数箇所（本実施形態では四箇所）にそれぞれ孔２１３および２２１が形成されている。これらの孔２１３，２２１にはピン２３が貫通され、これにより蓋部材２２が基部２１に取り付けられている。ここで、四つのピン２３は蓋部材２２の孔２２１に嵌合されており、また、これらのピン２３は、基部２１の孔２１３のうち対角線上の二つの孔２１３に嵌合されている。したがって基部２１および蓋部材２２は、これら二つのピン２３によって対角線上の二箇所で互いの接触面の面内方向での位置が規定され、これらの相対的な位置のずれが防止されている。また、基部２１において蓋部材２２に対向する面には、ピン２３と嵌合される二つの孔２１３近傍の端部に切欠２１６が形成されている。この切欠２１６により、基部２１および蓋部材２２が接触した時に両者の間に隙間が形成されている。
【００２１】
基部２１において蓋部材２２に対向する面の略中央には、チューブ３１が配置されるチューブガイド溝２１１が形成されている。このチューブガイド溝２１１は、円弧状部分と、この円弧状部分の両端から基部２１の端部に向かって互いに平行に形成された二つの直線部分とを備えている。直線部分の途中には、基部２１の断面方向に孔２１１Ｂが形成され、この孔２１１Ｂの側面から基部２１の裏面に沿って溝２１１Ａが基部２１の端部まで形成されている。
チューブ３１は、ケース部材２の外部から溝２１１Ａに沿って配置され、孔２１１Ｂからケース部材２内部に入る。そしてチューブ３１は、チューブガイド溝２１１に沿って配置され、もう一方の孔２１１Ｂおよび溝２１１Ａを通って再び外部へ配置されている。二つの溝２１１Ａには、チューブ３１がチューブガイド溝２１１に沿ってたるみなくセットされるように、ストッパ２１２がそれぞれ取り付けられている。これらのストッパ２１２はチューブ３１が適切な張力でチューブガイド溝２１１に配置されるようにその張力を調整可能となっている。なお、チューブ３１の材料は、シリコーンゴム、ポリウレタン、その他の弾性材料を採用できる。
ボール３２は、複数（本実施形態では二つ）設けられ、チューブガイド溝２１１の円弧状部分に沿って等間隔、つまり本実施形態では１８０°間隔でチューブ３１のチューブガイド溝２１１に当接される側とは反対側に配置されている。
【００２２】
ロータ４は、ポリカーボネートやその他任意の材料で構成されて環状に形成され、外周には例えばアルミナなどの高硬度の材料で構成されたリング４Ａが圧入されている。リング４Ａ外周には断面円弧凹状の凹部４３が形成されている。ロータ４の内周側にはデルリンやポリテトラフルオロエチレン（Poly Tetra Fluoro Ethylene, PTFE）などの低摩擦係数の材料で構成された環状のブッシュ４１が圧入されている。ブッシュ４１は、蓋部材２２に固定されたロータ軸２５と、ロータ軸２５に螺合されるロータ押さえ部材２５１とによってロータ軸２５に回転可能に支持されている。
また、ロータ軸２５の内周には、断面略三角形状のツメ部２５２が形成されている。このツメ部２５２には、基部２１に形成された孔２１５およびロータ押さえ部材２５１を貫通した四つ割ピン２４が先端のつめ部分において係合されている。この四つ割ピン２４によって、基部２１および蓋部材２２は、近接した状態で位置決めされている。
ロータ４のボール３２に対向する面には押圧ゴム４２が設けられ、ボール３２に当接されている。ここで、ロータ４とチューブガイド溝２１１との距離は、ボール３２の直径とチューブ３１の直径との和より小さく設定されている。これによって、ボール３２はロータ４の押圧ゴム４２でチューブ３１側に押し付けられ、チューブ３１がチューブガイド溝２１１の形状に沿って押しつぶされるようになっている。
【００２３】
図３には、圧電アクチュエータ５の分解斜視図が示されている。この図３において、圧電アクチュエータ５は、略矩形平板状に形成された補強板（振動部材）５１と、この補強板５１の表裏両面に固定された略矩形平板状の圧電素子５２と、圧電素子５２から突出して設けられ、ロータ４に当接される当接部材５４と、圧電素子５２を振動可能に支持する支持板５３とを備えている。また、圧電アクチュエータ５は、圧電素子５２に所定周波数の電圧を印加する印加装置（図示せず）を備えている。
補強板５１は、ビッカース硬度５００ＨＶ、ヤング率２１０ＧＰａのＳＵＳ３０１ＥＨで構成され、厚み約０．１ｍｍ（公差±０．０１ｍｍ）の板状に形成されている。補強板５１の短辺において幅方向端部には、補強板５１の長手方向に突出する略矩形状の凸部５１１が一体的に形成されている。補強板５１において、凸部５１１とは対角線上反対側には、略半円形の凹部５１２が形成されている。また、補強板５１の長さ方向略中央には、補強板５１から突出する腕部５１Ａ，５１Ｂが一体的に形成されている。
【００２４】
圧電素子５２は、補強板５１の両面の略矩形状部分に設けられている。圧電素子５２の材料は、特に限定されず、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（登録商標））、水晶、ニオブ酸リチウム等の各種のものを用いることができる。また、圧電素子５２の両面には、ニッケルおよび金などがめっき、スパッタ、蒸着等の方法によって形成されて電極が形成されている。これら両面の電極のうち、補強板５１に対向する面の電極は、圧電素子５２全面にわたって形成され、補強板５１に接着などされることによって補強板５１と導通している。また、圧電素子５２表面の電極は、対角線上両端に略Ｌ字形の溝が設けられることによって、当該部分で電気的に絶縁され、中央に略Ｚ字形の電極（駆動電極）５２０が形成されている。この駆動電極５２０および補強板５１は、図示しないリード線などにより前述の印加装置に接続されている。
【００２５】
ここで、圧電素子５２の寸法や、厚さ、電極の分割形態などは、圧電素子５２に繰り返し電圧が印加された時に、圧電素子５２が長手方向に伸縮する、いわゆる縦振動と、圧電素子５２の平面中心に対して点対称に、面内で縦振動に直交する方向に屈曲する、いわゆる屈曲振動とが同時に現れるように適宜設定される。この時、縦振動の共振周波数と、屈曲振動の共振周波数とは互いに近接するように設定されていることが望ましく、縦振動の共振周波数に対する屈曲振動の共振周波数の比は、１．００より大きく、１．０３以下であることが望ましい。また、圧電素子５２の長辺と短辺との長さ比は、長辺を１とすると短辺が０．２７４以上であることが望ましい。
【００２６】
なお、圧電素子５２の短辺が０．２７４よりも小さい場合には、縦振動の共振周波数が屈曲振動の共振周波数よりも大きくなり、良好な楕円軌道を描くことができない。この時、縦振動の共振周波数に対する屈曲振動の共振周波数の比は１．００以下である。また、縦振動の共振周波数に対する屈曲振動の共振周波数の比が１．０３より大きい場合には、縦振動の共振点と屈曲振動の共振点が離れてしまい、両振動の振幅を同時に良好にすることができない。
圧電素子５２に印加される電圧の周波数は、縦振動の共振周波数と屈曲振動の共振周波数との間、より好ましくは反共振周波数と屈曲振動の共振周波数との間で両方の振動が良好に現れる周波数を適宜選択する。なお、圧電アクチュエータ５に印加される電圧の波形は特に限定されず、例えばサイン波、矩形波、台形波などを採用できる。
【００２７】
当接部材５４は、ビッカース硬度１６００ＨＶ、ヤング率３５０〜３８０ＧＰａのアルミナで構成され、ロータに当接される当接部５４１と、補強板５１および圧電素子５２に固定される固定部５４２とを備えている。
当接部５４１は、半径０．５ｍｍの半円柱形に形成され、補強板５１の厚み寸法より厚い０．３ｍｍの厚みで形成されている。固定部５４２は、補強板５１の凹部５１２に係合されるように半径０．５ｍｍの半円柱形に形成されており、０．０９ｍｍ（公差＋０，−０．０１ｍｍ）の厚みで形成されている。つまり、固定部５４２は、寸法公差を考慮した上で、補強板５１の厚み以下となるように設定されている。
【００２８】
図４には、圧電アクチュエータ５の一部側断面図が示されている。この図４にも示されるように、固定部５４２は、二つの圧電素子５２の間に介装され、補強板５１の凹部５１２に案内されることにより圧電素子５２の平面方向に対して位置決めされている。つまり、本実施形態においては、凹部５１２が、当接部材５４を圧電素子５２に対して位置決めする位置決め手段となっている。圧電素子５２、補強板５１、および当接部材５４は互いに常温硬化型エポキシ系樹脂などで接着固定されている。
当接部５４１は、厚み方向（補強板５１および圧電素子５２の厚み方向に平行な方向）に対してロータ４側に凸となる略円弧状に湾曲しており、この湾曲面がリング４Ａの凹部４３に当接される当接面５４３となっている。このように、当接面５４３が断面略円弧凸状に、かつ凹部４３が前述のように断面略円弧凹状に形成されることにより、いずれか一方がロータ４の回転軸方向にずれた場合にも、両者の係合が外れるのが防止されている。
【００２９】
支持板５３は、補強板５１の腕部５１Ａ，５１Ｂを三箇所のねじ５３１，５３２，５３３でねじ止めしている。この支持板５３は蓋部材２２に固定具５３４で回転可能に支持されており、これにより圧電アクチュエータ５は蓋部材２２に固定されている。また、腕部５１Ａと支持板５３との間には略Ｕ字形の弾性部５３５が介装されている。この弾性部５３５は一端がねじ５３２，５３３および固定具５３４に固定され、また他端が係止部材５３６によって蓋部材２２に係止されている。この弾性部５３５は、固定具５３４を中心に圧電アクチュエータ５を付勢しており、これによって圧電アクチュエータ５の当接部材５４はリング４Ａの凹部４３に適切な付勢力で押し付けられている。
なお、図１においては、圧電アクチュエータ５は蓋部材２２に支持されているが、説明の簡略化のため、蓋部材２２の図示を省略し、圧電アクチュエータ５および支持板５３のみを図示してある。
【００３０】
リテーナ３３は、ロータ４と基部２１との間に設けられ、リング状に形成されている。リテーナ３３の内周側は基部２１に環状に設けられた突起２６に当接されることで平面方向のずれが防止されている。リテーナ３３には周囲に沿って複数箇所（本実施形態では六箇所）のボール保持部３３１が等間隔に形成されている。これらのボール保持部３３１のうち、対向する二つにボール３２が配置されている。また、リテーナ３３の外周には、凸部３３２が形成されており、リテーナ３３の側面にはこの凸部３３２の通過を検出する回転検出手段３３３が設けられている。
【００３１】
このような液体吐出装置１１は、次のように動作する。
まず、図示しない印加装置によって駆動電極５２０と補強板５１との間に電圧を印加すると、駆動電極５２０が形成された部分の圧電素子５２が長手方向に伸縮する、いわゆる縦振動を励振する。この時、駆動電極５２０は、略Ｚ字形に形成されているため、圧電素子５２が長手方向に沿った中心線に対して非対称に伸縮する。これにより、圧電素子５２は、圧電素子５２の平面中心に対して点対称に、面内で縦振動と直交する方向に屈曲する屈曲振動も励振することとなる。これらの縦振動および屈曲振動によって、圧電アクチュエータ５の当接部材５４は略楕円軌道を描く。この楕円軌道の一部で当接部材５４の当接面５４３がリング４Ａの凹部４３を押すことにより、ロータ４が図１の矢印Ｒ方向に回転する。この動作を適当な振動数で繰り返すことにより、ロータ４を所望の回転数で回転させる。
【００３２】
ロータ４が回転すると、押圧ゴム４２に押圧されているボール３２は摩擦によってチューブ３１を押しつぶしながら転動する。これによって、チューブ３１内の二つのボール３２に挟まれた液体が移動し、チューブ３１から液体が吐出される。これを所定の回転数で繰り返すことによってチューブ３１内の液体を連続で吐出させる。
ボール３２は、その転動にともなってボール保持部３３１を押し、これによってリテーナ３３が回転する。この際、回転検出手段３３３はリテーナ３３の凸部３３２の通過を検知し、ボール３２の回転速度（回転数）を検知する。
液体吐出装置１１を使用しない時には、チューブ３１の圧閉を解除する。この場合には、四つ割ピン２４の先端を互いにすぼめてツメ部２５２との係合を外せば、蓋部材２２がロータ４および圧電アクチュエータ５とともに基部２１から離間する。これにより、ボール３２のチューブ３１に対する押圧力が解除され、チューブ３１の圧閉が解除される。この時、切欠２１６に爪やドライバなどをあてて蓋部材２２と基部２１とを離間させると簡単に離間させることができる。
【００３３】
このような液体吐出装置１１によれば、次のような効果が得られる。
(１) 補強板５１と当接部材５４とが別体で設けられているので、それぞれ機能に適した材料を別々に選定することができる。つまり、補強板５１は、ＳＵＳ３０１ＥＨで構成されているのに対し当接部材５４は、補強板５１より高硬度なアルミナで構成されている。これにより、補強板５１は圧電素子５２の脆性を補いながら圧電素子５２の振動を阻害せず、当接部材５４はロータ４の凹部４３に対して良好な耐摩耗性を確保できる。したがって、補強板５１が圧電素子５２の振動を当接部材５４に良好に伝達できるとともに、圧電アクチュエータ５の耐衝撃性を向上させることができる。また当接部材５４の摩耗を防止できるので圧電アクチュエータ５の耐久性を向上させることができる。
【００３４】
(２) 圧電素子５２および補強板５１が板状に形成され、圧電素子５２が補強板５１の両面に設けられているので、圧電素子５２が補強板５１両側で同様に振動する。したがって、圧電アクチュエータ５全体が補強板５１の面内に平行な方向に振動する。この時、圧電アクチュエータ５をロータ４の回転平面に平行な方向に配置しているので、当接部材５４がロータ４を回転平面に平行な方向に押圧でき、ロータ４を良好な駆動効率で駆動することができる。
【００３５】
(３) 当接部材５４の固定部５４２が、二つの圧電素子５２間に配置されて接着されているので、固定部５４２を圧電素子５２平面に固定できる。したがって従来の圧電素子の側面に突起を接着した場合とは異なり、固定部５４２の圧電素子５２への固定面積を大きく取ることができる。したがって当接部材５４の保持力を向上させることができ、当接部材５４を安定して固定できる。
(４) また、固定部５４２の厚み寸法は、公差を考慮した上で補強板５１の厚み寸法より小さくなるように設定されているので、補強板５１の両面に圧電素子５２を貼設する場合に、圧電素子５２が固定部５４２によって補強板５１から浮くことなく、補強板５１の貼設面全面に良好に密着できる。したがって、圧電素子５２から補強板５１へ振動を良好に伝達でき、ロータ４を効率よく駆動できる。
【００３６】
(５) 補強板５１が凹部５１２による当接部材５４の位置決め手段を備えているので、当接部材５４を圧電素子５２および補強板５１に対して確実に位置決めできる。この時、凹部５１２が略半円凹状に形成されているので、当接部材５４において圧電素子５２の幅方向に対しても当接部材５４を位置決めできる。また、当接部材５４を当該幅方向に対して位置規制することにより当該方向に対しての保持力を高めることができる。
さらに、当接部材５４を凹部５１２に当接して配置するだけで簡単に位置決めできるので、圧電アクチュエータ５の組立性を向上させることができる。
【００３７】
(６) 当接部５４１の厚み寸法が、補強板５１の厚み寸法よりも大きく形成されているので、当接面５４３のロータ４に対する当接面積を大きく取ることができる。したがって当接面５４３における摩擦力が低下して、圧電アクチュエータ５の耐久性をより一層向上させることができる。
(７) 当接部材５４がアルミナで構成されているので、適切な硬度を確保でき、当接面５４３の耐摩耗性を向上させることができ、圧電アクチュエータ５の耐久性を向上させることができる。
また、当接部材５４と補強板５１とが接着により互いに固定されているので、当接部材５４の補強板５１に対する適切な固定力を確保できる。
【００３８】
〔第二実施形態〕
次に、本発明の第二実施形態について説明する。
図５には、第二実施形態にかかる駆動装置１２の平面図が示されている。この図５において駆動装置（装置）１２は、圧電素子５２を備えた圧電アクチュエータ５と、圧電アクチュエータ５の振動で回転する回転体（移動体）１００と、圧電アクチュエータ５の回転体１００に対する当接力を調整する当接力調整手段６とを備えている。圧電アクチュエータ５および当接力調整手段６は円盤状の固定体７に固定されており、この固定体７の外周には環状の回転体１００が、周方向に等間隔で配置された複数のボール７１を介して回転可能に設けられている。
【００３９】
図６には、圧電アクチュエータ５の斜視図が示されている。この図６も示されるように、圧電アクチュエータ５は、略矩形平板状に形成された補強板（振動部材）５１と、この補強板５１の表裏両面に設けられた平板状の圧電素子５２とを備えている。
補強板５１は、第一実施形態と同様のＳＵＳ３０１ＥＨで構成されているが、第一実施形態と異なり凸部５１１は形成されていない。補強板５１の短辺の幅方向略中央には、凹部５１２が形成されている。
当接部材５４は、ビッカース硬度１５００ＨＶ、ヤング率７００ＧＰａの超硬Ｈ１（ＷＣ粒子径１μｍ、Ｃｏ含有量１０％の超硬合金）で構成されており、厚み０．０９ｍｍ（公差＋０，−０．０１ｍｍ）、で直径１．０ｍｍの円盤状に形成されている。当接部材５４は、例えば直径１．０ｍｍの棒材を適切な厚み（約０．０９ｍｍ）で切断して厚み方向に研磨することにより、切断により生じたばりを取り除くとともに、回転体１００に対する当接面５４３が厚み方向に対して回転体１００に向かって円弧凸状となるように形成する。
【００４０】
図７には、圧電アクチュエータ５の一部側断面図が示されている。この図７にも示されるように、当接部材５４の一部は、第一実施形態と同様に二つの圧電素子５２の間に介装されて接着によって保持されている。このとき、当接部材５４の略半円形部分は、凹部５１２内に配置されることにより、圧電素子５２に対して位置決めされて固定された固定部５４２となっている。また、固定部５４２とは反対側の略半円形部分は、圧電素子５２から突出する当接部５４１となっている。
当接部５４１は回転体１００の内周に、当接面５４３において当接され、圧電アクチュエータ５の長手方向は、内周の接線方向にほぼ直角に（つまり回転体１００の径方向に沿うように）配置されている。また、補強板５１の長手方向略中央には、幅方向両側に腕部５１Ａが一体的に形成されている。腕部５１Ａは、補強板５１からほぼ直角に突出しており、これらの端部にはそれぞれ孔５１３が穿設されている。
【００４１】
圧電素子５２表面の電極は、溝によって互いに電気的に絶縁されて、長手方向に沿った中心線を軸として線対称に複数形成されている。つまり、圧電素子５２の幅方向をほぼ三等分するように二本の溝５５Ａが形成され、これらの溝５５Ａで分割された三つの電極のうち両側の電極ではさらに長手方向をほぼ二等分するように溝５５Ｂが形成されている。これらの溝５５Ａ，５５Ｂにより、圧電素子５２の表面には中央に電極５２Ａが形成され、またこの電極５２Ａの両側には対角線上両端をそれぞれ対とする電極５２Ｂ，５２Ｃが形成される。これらの電極５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃおよび補強板５１は、それぞれリード線などによって固定体７に形成された孔（図示せず）を通って固定体７の反対側において印加装置に接続されている。なお、これらの電極５２Ａ，５２Ｂ，５２Ｃは、補強板５１を挟んで設けられた表裏両方の圧電素子５２に同様に設けられており、例えば電極５２Ａの裏面側には電極５２Ａが形成されている。
【００４２】
当接力調整手段６は、圧電アクチュエータ５を支持する支持部材５６と、この支持部材５６に一端が固定されたばね５７と、ばね５７の付勢力を調整する偏心ピン５８とを備えている。
支持部材５６は、硬質プラスチック、その他の材料で構成され、図６にも示されるように、圧電アクチュエータ５が固定される一対の固定部５６１と、これらの固定部５６１の間に一体的に形成され、固定体７にスライド可能に支持されるスライド部５６２とを備えている。固定部５６１には、腕部の孔５１３に対応する位置にねじ部５６３が形成されている。このねじ部５６３に孔５１３を貫通してねじ５６４が螺合されることにより圧電アクチュエータ５が固定部５６１に固定されている。
図８には、図５のVIII-VIII断面図が示されている。この図８にも示されるように、スライド部５６２は、固定体７に凹状に形成されたスライド溝７２に配置されており、幅方向略中央には、支持部材５６が回転体１００に対して近接離間する方向に平行となるように長孔５６５が複数箇所（本実施形態では二箇所）形成されている。これらの長孔５６５には、ねじが７２１が貫通して固定体７に螺合されている。これにより、支持部材５６は長孔５６５の長手方向、つまり回転体１００に対して近接離間方向にスライド可能となっている。
【００４３】
図９には、図５のIX−IX断面図が示されている。この図９にも示されるように、支持部材５６両側の固定部５６１において、圧電アクチュエータ５の当接部材５４から遠い側の端部側面には、ばね５７の一端が取り付けられている。ばね５７は、その伸縮方向が圧電アクチュエータ５の近接離間反方向に平行となるように配置され、他端には円柱状の当接ピン５７１が挿入されている。この当接ピン５７１は、固定体７の平面方向に平行に摺動可能に支持されており、その先端が偏心ピン５８の側面に当接されている。偏心ピン５８は、固定体７に螺合されることで、回動可能に支持されている。このように、ばね５７の一端が支持部材５６に当接され、ばね５７の他端の当接ピン５７１が偏心ピン５８の側面に当接されることにより、ばね５７は支持部材５６を回転体１００に近接する方向に付勢している。したがって、圧電アクチュエータ５の当接部材５４は適当な当接力で回転体１００に押し付けられている。
【００４４】
回転体１００はマルテンサイト系ステンレス鋼ＳＵＳ４４０Ｃで構成されており、内周部分に断面円弧凹状の凹部（被当接部）１０１が形成されている。この凹部１０１には、圧電アクチュエータ５の当接部材５４が当接されている。凹部１０１と当接部材５４の当接面５４３との間には、トラクションオイルが介在されている。ここで、トラクションオイルとは、トラクション係数を高めた潤滑剤である。圧力−粘度係数が高く、圧力が作用すると硬化し、圧力が解除されると軟化する性質を有している。トラクションオイルとしては、サントトラック（ＳＡＮＴＯＴＲＡＣ）＃１００（日本鉱業石油（株）製）や、ＩＴＦ３２（出光興産（株）製）等を採用できる。
回転体１００内周に沿って等間隔に配置された複数のボール７１は、回転体１００の内周に形成された溝１０２と、固定体７の外周に形成された傾斜部分と、固定体７に固定された環状の押さえ板７１１の傾斜部分とで挟まれることによって溝１０２に収まっている。また、固定体７と押さえ板７１１との間には環状のボール保持部７１２が介装されている。このボール保持部７１２は、外周にボール７１と同数の略半円形の切欠部分が形成され、この切欠部分にボール７１がそれぞれ配置されることで、固定体７の外周で所定間隔を保っている。
【００４５】
このような駆動装置１２は、次のように動作する。
圧電アクチュエータ５の圧電素子５２に印加装置により交流電圧を印加して圧電アクチュエータ５を振動させる。この時、電極５２Ａおよび電極５２Ｃのみに選択的に電圧を印加することにより、圧電アクチュエータ５は第一実施形態と同様に縦振動と屈曲振動を組み合わせた楕円軌道を描いて振動する。当接部材５４は、楕円軌道の一部で回転体１００の凹部１０１に押し付けられて、回転体１００との摩擦力によって回転体１００を円周方向に間欠回転させる。これを所定の周波数で繰り返し行うことにより、回転体１００は一方向に所定の回転速度で回転する。
回転体１００の回転速度を変更する場合には、当接力調整手段６を操作する。つまり、例えば回転体１００の回転速度を遅くする場合は、偏心ピン５８を操作してばね５７が長くなる方向へ回動させる。これによって、ばね５７の支持部材５６への付勢力が緩和され、圧電アクチュエータ５の当接部材５４における回転体１００への当接力が弱くなる。したがって、当接部材５４が楕円軌道上で回転体１００と接触して摩擦力で回転体１００を駆動できる範囲が狭くなり、伝達される回転トルクが弱くなるので、その結果回転体１００の回転速度が遅くなる。
【００４６】
反対に、回転体１００の回転速度を速くする場合には、偏心ピン５８を回動させてばね５７を縮める方向に調整する。すると、当接部材５４の回転体１００に対する当接力が強くなり、伝達される回転トルクが強くなるので、回転体１００の回転速度が速くなる。
また、回転体１００を反対方向に回転させる場合には、圧電素子５２に印加する電圧の電極を長手方向に沿った中心線を軸として線対称に切り替える。つまり、圧電素子５２の電極５２Ａおよび電極５２Ｂに所定周波数の電圧を印加すれば、当接部材５４は反対方向の楕円軌道を描いて振動する。これにより、回転体１００を反対方向に駆動する。
【００４７】
したがって、このような第二実施形態によれば、第一実施形態の(１)から(５)の効果と同様の効果が得られる他、次のような効果が得られる。
【００４８】
(８) 当接部材５４が均一の厚み寸法の単純な円盤状に形成されているので、例えば丸棒を所定の厚みに切断するなどして安価かつ簡単に製造できる。したがって駆動装置１２の製造コストを低減できる。
(９) 当接部材５４と凹部１０１との間にトラクションオイルが介在されているので、両者が直接接触する接触面積を低減できる。したがって、当接部材５４および凹部１０１の摩耗をより一層良好に防止でき、圧電アクチュエータ５の耐久性をより一層向上させることができる。
(10) 当接部材５４が超硬合金で構成されているので、適切な硬度を確保でき、当接部材５４の耐摩耗性を向上させることができ、したがって圧電アクチュエータ５の耐久性を向上させることができる。
また、当接部材５４と補強板５１とが接着により互いに固定されているので、第一実施形態と同様に、当接部材５４の補強板５１に対する適切な固定力を確保できる。
【００４９】
なお、本発明は前述の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、振動部材の材料は、ＳＵＳ３０１ＥＨに限らず、他のステンレス鋼や、アルミニウム、アモルファス、ゴムメタルなど、低ヤング率で振動しやすく、圧電素子５２の振動を阻害しない材料で構成されていればよい。また、当接部材の材料も、アルミナや超硬合金に限らず、窒化ケイ素、ジルコニア、炭化ケイ素などのセラミックスや、窒化処理、浸炭処理、浸炭窒化の処理などが施された鋼材でもよい。要するに、当接部材の材料は、少なくとも移動体への当接面が振動部材よりも高硬度となるように選定されていればよい。
【００５０】
当接部材の形状および圧電アクチュエータへの固定構造は、前述の各実施形態に限定されず、例えば図１０から図１６に示されるような構造であってもよい。
図１０および図１１では、補強板５１の凹部５１２は、略Ｖ字形に形成されている。当接部材５４は、製造上の公差を考慮に入れた上で、その厚み寸法が補強板５１の厚み寸法以下となるように設定されており、基端側が凹部５１２に対応して略Ｖ字形に形成されている。当接部材５４の先端側は略矩形に形成され、平面視（圧電素子５２の平面方向に直交する方向から見た状態、つまり図１０の状態）および側面視（圧電素子５２の平面方向から見た状態、つまり図１１の状態）において角が円弧状に形成されている。このような構造によれば、凹部５１２によって当接部材５４を平面方向に位置決めでき、当該方向のずれを防止できる。また、当接部材５４の略Ｖ字形部分が圧電素子５２に挟持されているので、当接部材５４を確実に保持できる。
【００５１】
図１２および図１３では、当接部材５４は補強板５１の厚み寸法よりも大きい直径の略球状に形成されている。補強板５１の凹部５１２は、この当接部材の形状に対応するように、平面視（図１２の状態）において略半円形に形成され、また側面視（図１３の状態）においても当接部材５４の表面形状に沿うように略円弧凹状に形成されている。圧電素子５２の互いに対向する面には、短辺の略中央に凹部５２１が形成され、対向する凹部５２１の距離が当接部材５４の厚み寸法にほぼ等しくなるように設定されている。当接部材５４は、補強板５１の凹部５１２および圧電素子５２の凹部５２１によって保持されており、したがって、凹部５１２，５２１が当接部材５４を圧電素子５２に対して位置決めする位置決め手段となっている。このような構造によれば、凹部５１２，５２１によって当接部材５４を確実に保持できる。
【００５２】
図１４および図１５では、補強板５１の凹部５１２は略矩形状に形成されており、端部に互いに近接する方向に突出した突出部５１２Ａが形成されている。一方、当接部材５４は、第一実施形態と同様に当接部５４１および固定部５４２を備え、当接部５４１は固定部５４２よりも厚肉に形成されている。当接部５４１は、略直方体に形成されている。また、固定部５４２の基端側、つまり当接部５４１と隣接する側には平面方向両側に突出部５１２Ａが係合される係合部５４１Ａが形成されている。当接部材５４は、固定部５４２が凹部５１２内に配置され突出部５１２Ａが係合部５４１Ａに係合されることにより、互いに固定されている。このような構造によれば、突出部５１２Ａが係合部５４１Ａに係合されることにより当接部材５４が補強板５１に保持されているので、当接部材５４が圧電素子５２の長手方向に抜け落ちるなどの不具合を確実に防止できる。
なお、対向する突出部５１２Ａの距離は、係合部５４１Ａの幅寸法よりも小さく形成されていてもよい。この場合には、突出部５１２Ａが係合部５４１Ａに食い込むように係合され、当接部材５４および補強板５１がかしめによって固定されるので、両者の固定力を向上させることができる。
【００５３】
図１６では、当接部材５４は略矩形板状に形成されている。補強板５１には、略台形の凹部５１２が形成されている。補強板５１端部における凹部５１２の幅方向の寸法は、当接部材５４の幅方向の寸法よりも大きく（図１６の二点鎖線で示される形状に）設定されている。当接部材５４を凹部５１２内に配置した後、当接部材５４両側の補強板５１を互いに近接する方向にかしめることにより、当接部材５４は、補強板５１の凹部５１２によって固定される。このような構造によれば、補強板５１がかしめによって当接部材５４を保持しているので、確実に当接部材５４を保持できる。
このように、当接部材５４および補強板５１の固定は、前述の実施形態における接着や、前述のかしめの他、ろう付けなどによって行ってもよい。
【００５４】
圧電素子は、振動部材の両面に設けられているものに限らず、例えば図１７および図１８に示されるように補強板５１の片面のみに設けられていてもよい。これらの図１７および図１８において、当接部材５４は当接部５４１および固定部５４２を備え、当接部５４１は、厚み方向において圧電素子５２が配置される側のみに突出して形成されている。このような当接部材５４は、補強板５１の凹部５１２によって位置決めされながら、圧電素子５２に片面のみに接着などされて固定される。このような構造においても、当接部材５４の固定部５４２が圧電素子５２の平面に固定されるので、固定面積を大きく取ることができ、当接部材５４を確実に保持できる。
前述の図１０から図１８において、当接部材は、圧電素子および振動部材の短辺略中央に設けられているものに限らず、例えば第一実施形態のように、短辺幅方向端部に設けられていてもよい。あるいは当接部材は、圧電素子および振動部材の長辺に設けられていてもよい。また、圧電素子および振動部材の形状は、略矩形状のものや板状のものに限らず、用途や使用条件によって任意に設定できる。
【００５５】
当接部材は圧電素子の板状平面に固定されているものに限らず、例えば図１９から図２２に示されるように、圧電素子および／または振動部材の側面に固定されているものでもよい。
図１９および図２０では、当接部材５４は、略半円形状の当接部５４１と略矩形状の固定部５４２とを備えた略Ｌ字形に形成され、補強板５１とほぼ同じ厚みの板状部材で構成されている。この当接部材５４は、当接部５４１の当接面５４３とは反対側の面が補強板５１の短辺側面に固定され、固定部５４２側面が振動板５１の長辺側面に固定されることにより、当接部５４１が圧電素子５２の幅方向端部で長手方向に突出するように配置される。当接部材５４のこのような固定構造によれば、固定部５４２が補強板５１の側面で所定面積を有して固定されているので、必要な固定力を確保できる。また、当接部材５４が略Ｌ字形に形成されて補強板５１側面に固定されているので、補強板５１に当接部材５４の位置決めのための凹部などを形成する必要がなく、補強板５１の形状を簡単にできる。
【００５６】
図２１および図２２では、当接部材５４は、圧電素子５２の全幅にわたって形成された当接部５４１と、当接部５４１の幅方向両側に形成された固定部５４２とを備えた略Ｃ字形に形成されている。当接部材５４は補強板５１および二枚の圧電素子５２を合わせた厚み寸法とほぼ等しい厚み寸法で形成されており、当接部５４１の当接面５４３とは反対側の面は圧電素子５２および補強板５１の短辺側面に固定され、固定部５４２の側面は圧電素子５２および補強板５１の長辺側面に固定されている。このような構造においても、固定部５４２が圧電素子５２および補強板５１の長辺側面に固定されているので、当該方向に関しての固定部５４２の寸法を調整することにより、圧電素子５２および補強板５１への固定面積を調整でき、必要な固定力を確保できる。
【００５７】
あるいは、当接部材は、図２３および図２４に示されるように圧電素子５２の外側の面に固定されるものであってもよい。
図２３および図２４では、当接部材５４は、圧電素子５２の幅方向略中央に配置され、補強板５１および二枚の圧電素子５２の厚み寸法を合わせた厚み寸法の当接部５４１と、当接部５４１の厚み方向両端に形成された固定部５４２とを備えた略Ｃ字形に形成されている。当接部５４１の当接面５４３とは反対側の面は、圧電素子５２および補強板５１の短辺側面に固定され、固定部５４２は圧電素子５２の平面のうち、補強板５１が設けられている側とは反対側の面に固定されている。このような構造により、固定部５４２の形状や寸法を調整することにより当接部材５４に必要な固定力を確保することができる。
要するに、当接部材の一部は、圧電素子および／または振動部材からの突出方向に対してほぼ平行な面に固定されていれば、当該面方向の寸法を増やすことによって固定面積を増やすことができので、当接部材の圧電素子および／または振動部材への固定力を向上させることができる。
【００５８】
本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明の圧電アクチュエータは、液体吐出装置や駆動装置の他、時計や玩具など様々な装置に適用でき、特に小型化、薄型化の必要がある装置に適用するのに好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の第一実施形態にかかる液体吐出装置を示す平面図。
【図２】液体吐出装置を示す側断面図。
【図３】圧電アクチュエータを示す分解斜視図。
【図４】圧電アクチュエータの一部を示す側断面図。
【図５】本発明の第二実施形態にかかる駆動装置を示す平面図。
【図６】第二実施形態にかかる圧電アクチュエータを示す分解斜視図。
【図７】圧電アクチュエータの一部を示す側断面図。
【図８】図５のVIII-VIII断面図。
【図９】図５のIX-IX断面図。
【図１０】本発明の圧電アクチュエータの変形例を示す平面図。
【図１１】図１０の側断面図。
【図１２】本発明の圧電アクチュエータの変形例を示す平面図。
【図１３】図１２の側断面図。
【図１４】本発明の圧電アクチュエータの変形例を示す平面図。
【図１５】図１４の側断面図。
【図１６】本発明の圧電アクチュエータの変形例を示す平面図。
【図１７】本発明の圧電アクチュエータの変形例を示す平面図。
【図１８】図１７の側断面図。
【図１９】本発明の圧電アクチュエータの変形例を示す平面図。
【図２０】図１９の側面図。
【図２１】本発明の圧電アクチュエータの変形例を示す平面図。
【図２２】図２１の側断面図。
【図２３】本発明の圧電アクチュエータの変形例を示す平面図。
【図２４】図２３の側断面図。
【符号の説明】
【００６１】
４…ロータ（移動体）、５…圧電アクチュエータ、１１…液体吐出装置（装置）、１２…駆動装置（装置）、５１…補強板（振動部材）、５２…圧電素子、５４…当接部材、１００…回転体（移動体）、５１２…凹部（位置決め手段）、５２１…凹部（位置決め手段）、５４１…当接部、５４２…固定部、５４３…当接面。
【図１】
2005073341.tif 000003
【図２】
2005073341.tif 000004
【図３】
2005073341.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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