(57)【要約】  【課題】アルコールやアセトン等の引火性の高い有機溶媒を容器に充填するに際して内部に機械的な摺動部を有しない定量ポンプを提供することを課題とする。  【解決手段】加圧エアを導入することによって減圧される減圧室を有するポンプ本体と、減圧室と連通するようにして配設された液体を吸引するシリンダ部と、減圧室内に配置され、減圧室内が減圧されることによって所定量の液体が吸引されたときにその浮力によって浮揚して減圧室内の空気の吸引経路を塞ぐと共にさらに加圧エアが導入されるのに伴ってさらなる減圧状態とされる減圧部を形成するフロート部と、シリンダ部及び減圧室内に吸引された所定量の液体を吐出させるための加圧エアを送り込むエア導入管と、加圧エアの圧力に抗してエア導入管への加圧エアの流入を阻止すると共に減圧部が所定の圧力以下に減圧されたときに開口して加圧エアをエア導入管に導入するダイヤフラム部と、を備えて構成される。    【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定量の液体を吸引して吐出する定量ポンプにおいて、
加圧エアを導入することによって減圧される減圧室を有するポンプ本体と、
前記減圧室と連通するようにして配設された、液体を吸引するシリンダ部と、
前記減圧室内に配置され、当該減圧室内が減圧されることによって所定量の液体が吸引されたときにその浮力によって浮揚して当該減圧室内の空気の吸引経路を塞ぐと共に、さらに加圧エアが導入されるのに伴ってさらなる減圧状態とされる減圧部を形成するフロート部と、
前記シリンダ部及び前記減圧室内に吸引された所定量の液体を吐出させるための加圧エアを送り込むエア導入管と、そして、
加圧エアの圧力に抗して前記エア導入管への加圧エアの流入を阻止すると共に、前記減圧部が所定の圧力以下に減圧されたときに開口して加圧エアを前記エア導入管に導入するダイヤフラム部と、
を備えて構成されたことを特徴とする定量ポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載の定量ポンプにおいて、
前記シリンダ部には液体を吸引する吸引口が備えられると共に、当該吸引口には逆止弁が配設されていることを特徴とする定量ポンプ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の定量ポンプにおいて、
前記フロートは略球形状を有し、前記吸引経路に形成された略円形状に開口した開口部をその曲面で密閉することにより当該減圧室内の空気の吸引経路を塞ぐように構成されていることを特徴とする定量ポンプ。
【請求項４】
請求項３に記載の定量ポンプにおいて、
前記開口部の周囲には、前記フロート部の表面と隙間なく密着するようにパッキン部材が配設されていることを特徴とする定量ポンプ。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の定量ポンプにおいて、
前記ダイヤフラム部は、少なくとも前記減圧部の内圧よりも低い圧力状態となったときに開口するように弾性体により保持されていることを特徴とする定量ポンプ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の定量ポンプにおいて、
前記ポンプ本体には、吐出口が設けられると共に、当該吐出口には所定の容器内に液体を充填するためのホースが取り付け可能とされ、これにより前記容器内に液体及び加圧エアを充填可能とされていることを特徴とする定量ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アルコールやアセトン等の引火性の高い有機溶媒等を容器に充填する定量ポンプに関し、さらに詳しくは、その内部に機械的な摺動部分を有しない定量ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、一定量の液体を正確に送り出すことができる定量ポンプが提供されている。定量ポンプは、対象となる液体の種類や性質によって、往復動式、ダイヤフラム式等の各種の形式のものが利用される。
【０００３】
ピストン式等である往復動式は、具体的にはシリンダの中を棒が往復する構造となっている。そして、往復動式のポンプは、摺動部を有し、Ｏリング等のシール部材を備えるようになっている。
【０００４】
ダイヤフラム式は、ポンプ室の一部をダイヤフラムで形成して、このダイヤフラムをモータ、油圧、空気圧等により膨らませたり、へこませたりして、ポンプ室の容積を増減させる構造となっている。そして、ポンプ室には、流体を吸い込む吸込口と、吐出させる吐出口を備えるようになっている。
【０００５】
また、これらを組み合わせたポンプも開発されている。例えば、特開２００１−１８２６６０号公報及び特開２００１−１９３６５３号公報に定量ポンプが示されている。これらの定量ポンプは、ピストン部の往復動で圧力室に吐出流体を吸引、吐出する定量ポンプ であり、ピストン部は、リテーナ部材を介して第１のピストン部材と、第２のピストン部材が結合されており、第１のピストン部材及び第２のピストン部材のリテーナ部材側に吐出ダイヤフラム及び圧力ダイヤフラム が対向配置され、互いのダイヤフラム の折り返し部分が外方に向くように配置されているものである。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１８２６６０号公報
【特許文献２】特開２００１−１９３６５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、往復動式のポンプ内部には、機械的な摺動部が存在すると通常はその部分にはグリース等の潤滑材を塗布して摩擦の低減を図りスムーズな動きを確保しなければならない。しかしながら、対象となる液体がアルコールやアセトン等の有機溶媒の場合にあっては、そのような潤滑材は有機溶媒によって溶解してしまい役に立たなくなる。従って、摺動部には多大な摩擦力が働くことになりそのような定量ポンプは全く使用に耐えないということになる。
【０００８】
また、モータや電気等によって可動させる形式のポンプでは、対象となる液体がアルコールやアセトン等の引火性の高い有機溶媒の場合にあっては、火花や加熱による引火の危険がある。
【０００９】
また、上記従来技術では、吐出する流体の容量はポンプ室の容量と同じであり、吐出した流体を納める容器に合わせることが出来ないといった問題点があった。さらに、吐出した容器内の流体を所定の圧力にすることができないという問題点があった。
【００１０】
そこで、本発明は、それらの問題点を解決し、アルコールやアセトン等の引火性の高い有機溶媒を容器に充填するに際して、内部に機械的な摺動部を有しない定量ポンプを提供することを課題とする。また、本発明は、電気やモータ等の動力を使用することなくアルコールやアセトン等の引火性の高い有機溶媒を安全に容器内に充填可能な定量ポンプを提供することを課題とする。さらに、本発明は、吐出する流体の容量をポンプ室の容量に制限しないで、吐出した流体を納める容器に合わせることが出来る定量ポンプを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するために請求項１記載の発明は、所定量の液体を吸引して吐出する定量ポンプにおいて、加圧エアを導入することによって減圧される減圧室を有するポンプ本体と、減圧室と連通するようにして配設された、液体を吸引するシリンダ部と、減圧室内に配置され、減圧室内が減圧されることによって所定量の液体が吸引されたときにその浮力によって浮揚して減圧室内の空気の吸引経路を塞ぐと共に、さらに加圧エアが導入されるのに伴ってさらなる減圧状態とされる減圧部を形成するフロート部と、シリンダ部及び減圧室内に吸引された所定量の液体を吐出させるための加圧エアを送り込むエア導入管と、そして、加圧エアの圧力に抗してエア導入管への加圧エアの流入を阻止すると共に、減圧部が所定の圧力以下に減圧されたときに開口して加圧エアをエア導入管に導入するダイヤフラム部と、を備えて構成されたことを特徴とする定量ポンプを提供する。
【００１２】
上記課題を解決するために請求項２記載の発明は、請求項１に記載の定量ポンプにおいて、シリンダ部には液体を吸引する吸引口が備えられると共に、吸引口には逆止弁が配設されていることを特徴とする。
【００１３】
上記課題を解決するために請求項３記載の発明は、請求項１又は２に記載の定量ポンプにおいて、フロートは略球形状を有し、吸引経路に形成された略円形状に開口した開口部をその曲面で密閉することにより減圧室内の空気の吸引経路を塞ぐように構成されていることを特徴とする。
【００１４】
上記課題を解決するために請求項４記載の発明は、請求項３に記載の定量ポンプにおいて、開口部の周囲には、フロート部の表面と隙間なく密着するようにパッキン部材が配設されていることを特徴とする。
【００１５】
上記課題を解決するために請求項５記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項に記載の定量ポンプにおいて、ダイヤフラム部は、少なくとも減圧部の内圧よりも低い圧力状態となったときに開口するように弾性体により保持されていることを特徴とする。
【００１６】
上記課題を解決するために請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項に記載の定量ポンプにおいて、ポンプ本体には、吐出口が設けられると共に、吐出口には所定の容器内に液体を充填するためのホースが取り付け可能とされ、これにより容器内に液体及び加圧エアを充填可能とされていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係る定量ポンプによれば、その内部に機械的な摺動部を有していないのでアルコールやアセトンといった引火性の有機溶媒であっても容易に容器に充填することができるという効果がある。
【００１８】
また、本発明に係る定量ポンプによれば、モータや電気等ではなく加圧エアによって可動させることとしたのでアルコールやアセトン等の引火性の高い有機溶媒に対する引火等の問題を起こすことなく安全に容器に充填することができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る定量ポンプについて図示された好ましい一実施形態に基づいて、更に詳しく説明する。図１は本発明に係る定量ポンプ１の一実施形態における概略断面図である。
【００２０】
定量ポンプ１は、ポンプ本体２と、シリンダ部３と、を備えて構成されている。
まず、ポンプ本体２を説明する。
【００２１】
ポンプ本体２は、ポンプ本体上部体２Ａと、ポンプ本体中部体２Ｂと、ポンプ本体下部体２Ｃと、ボルト２Ｄと、フロート部２１と、パッキン部材２２と、ダイヤフラム部２３と、弾性体２４と、減圧室２５と、エア出入通路２６と、エア通過管２７と、吐出口２８と、を備えている。
【００２２】
ポンプ本体上部体２Ａとポンプ本体中部体２Ｂとの間に、ダイヤフラム部２３と、弾性体２４と、を少なくとも納めている。また、ポンプ本体中部体２Ｂとポンプ本体下部体２Ｃとの間に、フロート部２１と、パッキン部材２２と、を少なくとも納めている。そして、ボルト２Ｄで、これらをまとめて一体としている。このように複数のパーツに分けているのは、減圧室２５や、エア出入通路２６や、エア通過管２７や、吐出口２８等の流体の通路を備えるため、すなわち加工するためである。それ故、これらを設けるのであれば、当初より一体として一つの部材から作製するようにしても良い。又は、これらを設けていれば、これら以外に複数の部材に分けて作製し、結合するようにしても良い。
【００２３】
ポンプ本体上部体２Ａと、ポンプ本体中部体２Ｂと、ポンプ本体下部体２Ｃと、ボルト２Ｄとは、いずれも鉄鋼材料から作製している。しかし、本発明は、Ａｌ合金、Ｍｇ合金等の合金や、セラミックスや、合成樹脂から作製されることを排除するものではない。しかし、本発明に係る定量ポンプは、アルコールやアセトン等の有機溶媒に対して用いることを目的としている。それ故、用いる対象である有機溶媒と不活性である材料から作製されることが必要である。
【００２４】
フロート部２１は、球体である。加えて、内部が中空になっている。そして、フロート部２１は、プラスチックス製である。しかし、本発明は、略球形状であれば良い。また、本発明は、用いる対象である有機溶媒の密度よりも小さい密度を有する材料から作製されていれば他の材料から作製されても良い。もちろん、用いる対象である有機溶媒の密度よりも大きな密度を有する材料であっても、フロート部２１全体として、当該有機溶媒に浮くことが可能であれば良い。
【００２５】
パッキン部材２２は、Ｏリングである。パッキン部材２２は、減圧室２５の開口部２５ａの周囲に備えられ、フロート部２１の表面と隙間なく密着することを目的として配設される。尚、本発明は、減圧室２５の開口部２５ａに、フロート部２１が隙間なく密着することが可能であれば、パッキン部材２２を配しないことを排除するものではない。また、本発明は、Ｏリング以外の弾性を有する部材をパッキン部材として用いることを排除するものではない。さらに、本発明は、パッキン部材２２にグリースを塗ることを排除しない。しかし、有機溶媒の汚染を考慮すると、グリースを用いないのが良い。但し、グリースを用いる場合であっても、有機溶媒と不活性であることが必要である。
【００２６】
ダイヤフラム部２３は、ダイヤフラムである。ダイヤフラム部２３は、ゴム製である。しかし、本発明は、ダイヤフラム部２３が、ゴム製以外に、弾性のある材料から作製されることを排除しない。具体的には、金属製であっても良い。
【００２７】
弾性体２４は、バネである。そして、金属製である。しかし、本発明は、バネ以外の弾性体、具体的にはゴム、であることを排除しない。また、金属製以外に、プラスチック製等の合成樹脂性であることを排除しない。
【００２８】
減圧室２５は、後述するように加圧エアＡｉｒにより減圧される空間である。また、フロート部２１が納められる空間でもある。減圧室２５は、開口部２５ａを介して、吸引経路２５ｂ等の減圧部２５ｃと、減圧管２５ｄ、２５ｅと、を含んでいる。そして、減圧部２５ｃの上部は、ダイヤフラム部２３や弾性体２４が位置する領域と連通している。また、減圧管２５ｄ、２５ｅは、シリンダ部３と繋がっている。さらに、減圧室２５は、次に示すエア出入経路２６と繋がっている。尚、エア通過管２７とも、シリンダ部３等を介して繋がっている。
【００２９】
エア出入通路２６は、加圧エアＡｉｒの通路である。エア出入通路２６は、エア注入口２６ａと、エア通過口２６ｂと、エア吐出口２６ｃと、を含んでいる。加圧エアＡｉｒは、大口径のエア注入口２６ａから入り、小口径のエア通過口２６ｂに至る。そして、エア通過口２６ｂから出てきた加圧エアＡｉｒは、エア通過口２６ｂよりも大口径のエア吐出口２６ｃから吐出する。但し、エア注入口２６ａやエア吐出口２６ｃを大口径としているのは、エア通過口２６ｂとの対比からである。
【００３０】
エア通過管２７は、加圧エアＡｉｒの通路である。エア通過管２７は、初期エア導入管２７ａと、エア導入管２７ｂ、２７ｃ、２７ｄと、を含んでいる。そして、初期エア導入管２７ａと、エア導入管２７ｂ、２７ｃ、２７ｄは繋がっている。エア通過管２７は、減圧管２５ｄと、エア注入口２６ａと、連通している。初期エア導入管２７ａと、エア導入管２７ｂとの間には、ダイヤフラム部２３が位置していて、通常状態はこの通路を塞いでいる。しかし、ダイヤフラム部２３が図中で下方に押しやられると、初期エア導入管２７ａとエア導入管２７ｂとの間の路は繋がるようになっている。
【００３１】
吐出口２８は、シリンダ部３の吸引通路３３と繋がる。そして、有機溶媒等の流体を弁２９を介して外部に吐出可能にする。尚、弁２９は、図中でポンプ本体２の外部に記したが、ポンプ本体２の内部に位置するようにしても良い。また、ホース１０１を介して外部の容器１００につながるようにすることが可能である。さらに、本発明は、弁２９を設けないことを排除しない。
【００３２】
尚、図示しないが、減圧管２５ｄとエア導入管２７ｄとの間には弁が設けられている。この弁は減圧管２５ｄからは開かないが、エア導入管２７ｄか側からは開くようになっている。一方、図示しないが、減圧管２５ｅには弁が設けられている。この弁はシリンダ部３側からは開くが、反対側からは開かないようになっている。但し、本発明は、これらの弁を設けないことを排除するものではない。
【００３３】
次に、シリンダ部３を説明する。
シリンダ部３は、吸引口３１と、吸引口３１に設けられる逆止弁３２と、吸引通路３３と、を備えている。そして、シリンダ部３は、内部が中空である。シリンダ部３は、鉄鋼材料から作製している。しかし、本発明は、Ａｌ合金、Ｍｇ合金等の合金や、セラミックスや、合成樹脂から作製されることを排除するものではない。しかし、本発明に係る定量ポンプ１は、アルコールやアセトン等の有機溶媒に対して用いることを目的としている。それ故、用いる対象である有機溶媒と不活性である材料から作製されることが必要である。
【００３４】
吸引口３１からの有機溶媒の吸引は、逆止弁３２により制御される。図中には、逆止弁３２の全てを記載していない。図中には、逆止弁の一部であるボールのみを逆止弁３２として記載している。逆止弁３２は、後述するように、シリンダ部３の内部が減圧されたときにのみ開くようになっている。
【００３５】
吸引通路３３は、吐出口２８と繋がっている管である。そして、多端は、シリンダ部３の下方にまで達している。尚、本発明は、吸引通路３３の多端が、シリンダ部３の下方に達しないことを排除するものではない。
【００３６】
尚、本定量ポンプ１は、図示しないリーク弁を設けている。そして、このリーク弁を介して、シリンダ部３内の圧力と、外部の圧力とを平衡状態にすることが可能である。また、リーク弁を介して、定量ポンプ１内に取り込んだ有機溶媒を排出することも可能である。
【００３７】
以下、本発明に係る定量ポンプ１の動作及び作用を時間の流れに従って、図２〜図５を用いて説明する。
図２は、有機溶媒５０の入ったタンク５内に本発明に係る定量ポンプ１のシリンダ部３を浸した状態の概略断面図であり、有機溶媒５０の吸引前の段階を示した図である。図３は、有機溶媒５０の吸引中の段階を示した図である。図４は、有機溶媒５０の吐出前の段階を示した図である。図５は、有機溶媒の吐出を示した図である。
【００３８】
まず、有機溶媒５０の入ったタンク５内に本発明に係る定量ポンプ１のシリンダ部３を浸す。次に、コンプレッサ等の機械を用いて、加圧エアＡｉｒのエア注入口２６ａから注入を始める。加圧エアＡｉｒは、エア注入口２６ａから入り、エア通過口２６ｂを介して、エア吐出口２６ｃから吐出し続ける（図２参照）。エア通過口２６ｂは、エア注入口２６ａよりも通路の断面積が小さいので、エア通過口２６ｂではベルヌーイの定理により圧力低下が生じる。この結果、減圧室２５が、減圧される。尚、図中で加圧エアＡｉｒを網目模様で、有機溶媒５０を点の集合で示している。
【００３９】
減圧室２５の減圧に伴い、シリンダ部３内にも圧力低下が生じる。これに連動して、逆止弁３１が開く。そして、有機溶媒５がシリンダ部３内に吸引され、減圧室２５にも有機溶媒が吸引される。有機溶媒５０で減圧室２５内が満たされていくと、フロート部２１は、有機溶媒５０に浮き始め、パッキン部材２２に押し付けられる。その結果、開口部２５ａは完全に閉じられる（図３参照）。尚、シリンダ部３内の圧力とタンク５内の圧力が一定になると、逆止弁３２は閉じる。
【００４０】
一方、エア注入口２６ａから入った加圧エアＡｉｒは、初期エア導入管２７ａを通り、ダイヤフラム部２３上まで達している。しかし、弾性体２４によりダイヤフラム部２３は上方に押されているので、加圧エアＡｉｒに押されたのみではダイヤフラム部２３は図中で下方に下がらない。すなわち、弾性体２４による力は、加圧エアＡｉｒによる力に勝っている。
【００４１】
しかし、上記したようにフロート部２１により開口部２５ａは閉じられているので、開口部２５ａから吸引経路２５ｂを含む減圧部２５ｃはさらに減圧されるようになる。この減圧は、減圧部２５ｃが小さな空間であるため容易に且つ的確に行われる。その結果、さらに減圧された減圧部２５ｃの吸引力は、初期エア導入管２７ａを通った加圧エアＡｉｒの下方への力と加わり、弾性力２４の上方への力を凌駕するようになる。すなわち、下方への力の方が、上方への力よりも強くなる。
【００４２】
ダイヤフラム部２３を保持する力は、下方への力が勝るようになるので、図示しないがダイヤフラム部２３は下方へ下がる。すなわち、ダイヤフラム部２３の中央付近が下方に撓むようになる。これにより、初期エア導入管２７ａとエア導入管２７ｂとが繋がり、エア導入管２７ｂに加圧エアＡｉｒが流れ供給されるようになる（図４参照）。
【００４３】
エア導入管２７ｂに流れた加圧エアＡｉｒは、２７ｃ、２７ｄや減圧管２５ｄを介して、シリンダ部３内に達する。これにより、有機溶媒５０は加圧エアＡｉｒにより加圧されるようになる。この状態で、容器１００を、ホース１０１を介して吐出口２８に繋ぎ、弁２９を開くと容器１００内に有機溶媒５０が充填される。さらに、継続すると、供給される加圧エアＡｉｒの圧力とほぼ同圧になるまで容器１００内に加圧エアが充填される（図５参照）。充填が完了したならば、加圧エアの供給を止める。この結果、フロート部２１が下がり、減圧室２５は、外部の圧力と同じになる。すなわち、大気圧状態になる。尚、定量ポンプ１内の有機溶媒５０を排出する場合には、図示しないリーク弁を用いると良い。
【００４４】
ところで、本発明は、先にも示したように弁２９を備えないようにすることが可能である。その場合の定量ポンプ１の動作の流れの概略を、次に示す。尚、この動作の流れは、ほぼ上記したことと同じである。
【００４５】
まず、有機溶媒５０の入ったタンク５内に本発明に係る定量ポンプ１のシリンダ部３を浸す。これに前後して吐出口２８にホース１０１を介して容器１００を繋ぐ。加圧エアＡｉｒを入れる。減圧室２５が負圧になる。シリンダ部３の下部の逆止弁３２が開き、シリンダ部３内に有機溶媒が入る。減圧室２５内に有機溶媒５０が達し、フロート部２１が押し上げられる。パッキン部材２２にフロート部２１が密着する。一方、上部側のダイヤフラム部２３は、弾性体２４で上方向に押し上げられており、加圧エアＡｉｒによる押し下げられる力に打ち勝っている。さらに、加圧エアＡｉｒが供給されると減圧部２５ｃ内の負圧が更に高まりダイヤフラム部２３を支える弾性体２４が下がる。加圧エアＡｉｒが急激に流れ内部の有機溶媒５０が容器１００内に充填される。有機溶媒５０が充填されると供給される加圧エアＡｉｒの圧力と略同圧になるまでさらに容器１００内にエアが充填される。充填が完了したらエアの供給をストップする。フロート部２１が下がり大気圧状態になる。
【００４６】
上記した本発明に係る定量ポンプ１によれば、その内部に機械的な摺動部を有していないのでアルコールやアセトンといった引火性の有機溶媒であっても容易に容器１００に充填することができるようになる。また、モータや電気等ではなく加圧エアによって可動させることとしたのでアルコールやアセトン等の引火性の高い有機溶媒に対する引火等の問題を起こすことなく安全に容器に充填することができるようになる。さらに、吐出する流体の容量をポンプ室の容量に制限しないで、吐出した流体を納める容器に合わせることができるようになる。
【００４７】
以上、本発明に係る定量ポンプの実施形態を示した。しかし、本発明は、上記した実施形態に限定しない。また、本発明に係る定量ポンプは、有機溶媒に対してのみ用いることが出来るのではなく、その他の種々の液体を扱うことに用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明に係る定量ポンプの一実施形態における概略断面図である。
【図２】有機溶媒の入ったタンク内に本発明に係る定量ポンプのシリンダ部を浸した状態の概略断面図であり、有機溶媒の吸引前の段階を示した図である。
【図３】有機溶媒の入ったタンク内に本発明に係る定量ポンプのシリンダ部を浸した状態の概略断面図であり、有機溶媒の吸引中の段階を示した図である。
【図４】有機溶媒の入ったタンク内に本発明に係る定量ポンプのシリンダ部を浸した状態の概略断面図であり、有機溶媒の吐出前の段階を示した図である。
【図５】有機溶媒の入ったタンク内に本発明に係る定量ポンプのシリンダ部を浸した状態の概略断面図であり、有機溶媒の吐出を示した図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  定量ポンプ
２  ポンプ本体
２Ａ  ポンプ本体上部体 ２Ｂ  ポンプ本体中部体
２Ｃ  ポンプ本体下部体      ２Ｄ  ボルト
２１  フロート部            ２２  パッキン部材
２３  ダイヤフラム部        ２４  弾性体
２５  減圧室                ２６  エア出入通路
２７  エア通過管            ２８  吐出口
３  シリンダ部
３１  吸引口                ３２  逆止弁
３３  吸引通路
５  タンク                    ５０  有機溶媒
１００  容器                  １０１  ホース
【図１】
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【図２】
2005188470.tif 000004
【図３】
2005188470.tif 000005
【図４】
2005188470.tif 000006
【図５】
2005188470.tif 000007