(57)【要約】【課題】大型化に対応できるポジショニングステージを提供する。【解決手段】ポジショニングステージ１０を、基台１２と、Ｙ軸方向位置決め手段１４と、Ｘ軸方向位置決め手段１６とから構成した。Ｙ軸方向位置決め手段１４を、対象物をＹ軸方向へ移動させて位置決めする手段である。Ｙ軸方向位置決め手段１４は、第１のテーブル２４（１）と、第１の連結節２６（１）と、第１のクラッチ２８（１）と、第１の強制移動手段３０（１）とを備えている。ＸＹ軸方向位置決め手段１６は、第２のテーブル２４（２）と、第２の連結節２６（２）と、第２のクラッチ２８（２）と、第２の強制移動手段３０（２）とを備えている。【選択図】  図１
2005010120.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に第１のレールを有する基台と、
前記第１のレールに沿ってスライド可能であり、上面に前記第１のレールと直角方向の第２のレールを有する第１のテーブルと、
前記基台に対して、前記第１のレールの方向に前記第１のテーブルと共に自由移動可能な第１の連結節と、
前記第１の連結節を前記基台に固定し又は前記基台から解除する第１のクラッチと、
前記第１のテーブルを前記第１の連結節に対して、前記第１のレールの方向に移動させる第１の強制移動手段と、
前記第２のレールに沿ってスライド可能な第２のテーブルと、
前記第１のレールに対して、前記第２のレールの方向に前記第２のテーブルと共に自由移動可能な第２の連結節と、
前記第２の連結節を前記第１のテーブルに固定し又は前記第１のテーブルから解除する第２のクラッチと、
前記第２のテーブルを前記第２の連結節に対して、前記第２のレールの方向に移動させる第２の強制移動手段と、
を含むポジショニングステージ。
【請求項２】
前記第１のクラッチが前記第１の連結節を前記基台に固定した時に、前記第１のテーブルは前記第１の強制移動手段によって前記基台に対して前記第１のレールの方向に移動させられ、前記第２のクラッチが前記第２の連結節を前記第１のテーブルに固定した時に、前記第２のテーブルは前記第２の強制移動手段によって前記第１のテーブルに対して前記第２のレールの方向に移動させられる請求項１に記載するポジショニングステージ。
【請求項３】
前記第１のクラッチが前記第１の連結節を前記基台から解除した時に、前記第１のテーブルは前記基台に対して自由摺動可能となり、前記第２のクラッチが前記第２の連結節を前記第１のテーブルから解除した時に、前記第２のテーブルは前記第１のテーブルに対して自由摺動可能となる請求項１又は請求項２に記載するポジショニングステージ。
【請求項４】
前記基台が、上面に前記第１のレールと平行なプレートを備え、前記第１のクラッチが該プレートを把持する第１のクランプ機構を備え、前記第１のテーブルが、上面に前記第２のレールと平行なプレートを備え、前記第２のクラッチが該プレートを把持する第２のクランプ機構を備えた請求項１乃至請求項３のいずれかに記載するポジショニングステージ。
【請求項５】
前記第１の連結節が雌螺子を備え、前記第１の強制移動手段が該雌螺子に螺入された雄螺子を備え、前記第２の連結節が雌螺子を備え、前記第２の強制移動手段が該雌螺子に螺入された雄螺子を備えた請求項１乃至請求項４のいずれかに記載するポジショニングステージ。
【請求項６】
前記第１のクラッチが第１のクラッチ駆動手段を備え、基台、第１のテーブル又は第２のテーブルの外周面に、該第１のクラッチ駆動手段を駆動させる第１のスイッチを備え、前記第２のクラッチが第２のクラッチ駆動手段を備え、基台、第１のテーブル又は第２のテーブルの外周面に、該第２のクラッチ駆動手段を駆動させる第２のスイッチを備えた請求項１乃至請求項５のいずれかに記載するポジショニングステージ。
【請求項７】
前記第１のテーブルを前記第１のレールに沿ってスライドさせる駆動手段を備え、前記第２のテーブルを前記第２のレールに沿ってスライドさせる駆動手段を備えた請求項１乃至請求項６のいずれかに記載するポジショニングステージ。
【請求項８】
前記第１の連結節及び前記第１のクラッチが前記第１のテーブル内に設けられ、前記第２の連結節及び前記第２のクラッチが前記第２のテーブル内に設けられた請求項１乃至請求項６のいずれかに記載するポジショニングステージ。
【請求項９】
上面にレールを有する基台と、
前記レールに沿ってスライド可能なテーブルと、
前記基台に対して、前記レールの方向に前記テーブルと共に自由移動可能な連結節と、
前記連結節を前記基台に固定し又は前記基台から解除するクラッチと、
前記テーブルを前記連結節に対して、前記レールの方向に移動させる強制移動手段と、
を含むポジショニングステージ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、観察、検査、測定、又は生産のために使用されるポジショニングステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来から、電子機器の製造等のために対象物の位置決めを行うポジショニングステージが使用されている。このポジショニングステージに関する発明として、螺子機構によりテーブルをＸ軸及びＹ軸方向に移動させることができるＸＹテーブル装置が案出されている（例えば、特許文献１参照。）。また、このＸＹテーブル装置は、位置決めする対象物を取り付ける微動部材を流体によって支持しながら微動させることにより、対象物の位置を微調節できる。しかし、大型の対象物に使用する大型のＸＹテーブル装置は、大規模な流体制御装置を備える必要がある。また、流体を制御することは容易ではない。また、ポジショニングステージに関する他の発明として、観察標本を位置決めする顕微鏡ステージが案出されている（例えば、特許文献２参照。）。この顕微鏡ステージは、電動モード又は手動モードで対象物を移動させるたことができる。しかし、この顕微鏡ステージは、微細な対象物用であるため、その構造のままで大型化することは容易ではない。
【０００３】
【特許文献１】
特開昭６０−３９０４４号公報
【特許文献２】
特開平１１−９５１２３号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明者は、このような課題の原因を究明してこのような課題を解決するべく、鋭意研究を重ねた結果、本発明に至った。
【０００５】
すなわち、本発明の目的は、大型化に対応できるポジショニングステージを提供することである。すなわち、本発明の目的は、大型化しても軽量に構成できるとともに、容易かつ正確に位置決めできるポジショニングステージを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明のポジショニングステージは、上面に第１のレールを有する基台と、前記第１のレールに沿ってスライド可能であり、上面に前記第１のレールと直角方向の第２のレールを有する第１のテーブルと、前記基台に対して、前記第１のレールの方向に前記第１のテーブルと共に自由移動可能な第１の連結節（カプラー、ｃｏｕｐｌｅｒ  ）と、前記第１の連結節を前記基台に固定し又は前記基台から解除する第１のクラッチと、前記第１のテーブルを前記第１の連結節に対して、前記第１のレールの方向に移動させる第１の強制移動手段と、前記第２のレールに沿ってスライド可能な第２のテーブルと、前記第１のレールに対して、前記第２のレールの方向に前記第２のテーブルと共に自由移動可能な第２の連結節と、前記第２の連結節を前記第１のテーブルに固定し又は前記第１のテーブルから解除する第２のクラッチと、前記第２のテーブルを前記第２の連結節に対して、前記第２のレールの方向に移動させる第２の強制移動手段と、を含むことを特徴とする。本明細書において、「方向」は、＋の向きのベクトル及び−の向きのベクトルの両方を含む概念である。
【０００７】
本発明のポジショニングステージは、上面にレールを有する基台と、前記レールに沿ってスライド可能なテーブルと、前記基台に対して、前記レールの方向に前記テーブルと共に自由移動可能な連結節と、前記連結節を前記基台に固定し又は前記基台から解除するクラッチと、前記テーブルを前記連結節に対して、前記レールの方向に移動させる強制移動手段と、を含むことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明に係るポジショニングステージの実施の形態について、図面に基づいて詳しく説明する。
【０００９】
図１乃至図４において、符号１０は、本発明のポジショニングステージである。ポジショニングステージ１０は、対象物を２次元方向（ＸＹ方向）で位置決めする装置である。ポジショニングステージ１０は、基台１２と、Ｙ軸方向位置決め手段１４と、Ｘ軸方向位置決め手段１６とから構成される。
【００１０】
基台１２は、上面１８に、Ｙ軸に平行な２本の第１のレール２０（１）を備えている。また、基台１２は、上面１８に、第１のレール２０（１）と平行なプレート２２（１）を備えている。
【００１１】
Ｙ軸方向位置決め手段１４は、対象物をＹ軸方向へ移動させて位置決めする手段である。Ｙ軸方向位置決め手段１４は、第１のテーブル２４（１）と、第１の連結節２６（１）と、第１のクラッチ２８（１）と、第１の強制移動手段３０（１）とを備えている。第１の連結節２６（１）及び第１のクラッチ２８（１）は第１のテーブル２４（１）内に備えられるため、作業者が、これらの機構に指等を挟まれることがない。このように構成することにより、ポジショニングステージ１０の安全性が高くなる。また、美観が向上されている。
【００１２】
第１のテーブル２４（１）は、図２に示すように、その下面の溝３２（１）が、第１のレール２０（１）へスライド可能に係合されるため、第１のレール２０（１）に沿ってスライド可能である。また、第１のテーブル２４（１）は、その上面３４（１）に、第１のレール２０（１）と直角方向の第２のレール２０（２）を備える。また、第１のテーブル２４は、その上面３４（１）に、第１のレール２０と平行なプレート２２（２）を備える。
【００１３】
第１の連結節２６（１）は、第１のテーブル２４（１）内に備えられ、第１の強制移動手段３０（１）を介して第１のテーブル２４（１）に連結されている。また、第１の連結節２６（１）は第１のクラッチ２８（１）を介してプレート２２（１）に連結可能である。これにより、第１の連結節２６（１）は、プレート２２（１）を介して、第１のテーブル２４（１）と基台１２とを連結し得る。第１の連結節２６（１）は、第１のクラッチ２８（１）が解除されることにより、基台１２に対して、第１のレール２０（１）の方向に第１のテーブル２４（１）と共に自由移動可能となる。
【００１４】
第１のクラッチ２８（１）は、第１のテーブル２４（１）内に備えられ、第１のクランプ機構とクラッチ駆動手段とから構成されるが、その構成は第２のクラッチ２８（２）と同じである。このため、その詳細説明は、第２のクラッチ２８（２）を説明することにより省略する。
【００１５】
第１の強制移動手段３０（１）は、第１の連結節２６（１）の雌螺子４２（１）に螺入され、第１のテーブル２４（１）に回動可能且つ直進不可能に連結された雄螺子４４（１）と、この雄螺子４４（１）を手動で回動させるための摘子４６（１）とから構成されている。第１の強制移動手段３０（１）は、摘子４６（１）を回動させることにより、第１のテーブル２４（１）を第１の連結節２６（１）に対して、第１のレール２０（１）の方向に移動させることができる。第１の強制移動手段３０（１）は、螺子機構によって第１のテーブル２４（１）を移動させることができるため、第１のテーブル２４（１）を微動させることができる。
【００１６】
Ｘ軸方向位置決め手段１６は、対象物をＸ軸方向へ移動させて位置決めする手段である。Ｘ軸方向位置決め手段１６は、第２のテーブル２４（２）と、第２の連結節２６（２）と、第２のクラッチ２８（２）と、第２の強制移動手段３０（２）とを備えている。第２の連結節２６（２）及び第２のクラッチ２８（２）は第２のテーブル２４（２）内に備えられるため、作業者が、これらの機構に指等を挟まれることがない。このように構成することにより、ポジショニングステージ１０の安全性が高くなる。また、美観が向上されている。さらに、Ｘ軸方向位置決め手段１６は、第２の連結節２６（２）及び第２のクラッチ２８（２）がテーブル２４（２）内にコンパクトに収納されているため、ゴミの発生を防止することが容易な構造である。
【００１７】
第２のテーブル２４（２）は、その下面の図示しない溝が、第２のレール２０（２）へスライド可能に係合されるため、第２のレール２０（２）に沿ってスライド可能である。また、第２のテーブル２４（２）の上面３４（２）は、対象物を取り付けるために、フラット面である。
【００１８】
第２の連結節２６（２）は、図３に示すように、第２のテーブル２４（２）内に備えられ、第２の強制移動手段３０（２）を介して第２のテーブル２４（２）に連結されている。また、第２の連結節２６（２）は第２のクラッチ２８（２）を介してプレート２２（２）に連結可能である。これにより、第２の連結節２６（２）は、プレート２２（２）を介して、第２のテーブル２４（２）と第１のテーブル２４（１）とを連結し得る。第２の連結節２６（２）は、第２のクラッチ２８（２）が解除されることにより、第１のテーブル２４（１）に対して、第２のレール２０（２）の方向に第２のテーブル２４（２）と共に自由移動可能となる。
【００１９】
第２のクラッチ２８（２）は、図３及び図４に示すように、第２のテーブル２４（２）内に備えられ、第２のクランプ機構４８（２）とクラッチ駆動手段５０（２）とから構成される。第２のクランプ機構４８（２）は、ピン５２（２）のまわりに回動してプレート２２（２）に接触又は離隔する一対の押圧部材５４（２）から構成される。クラッチ駆動手段５０（２）は、押圧部材５４（２）に固定された突起部材５６（２）を押圧して押圧部材５４（２）を回動させるピストン５８（２）と、ピストン５８（２）を往復運動させるエアシリンダー６０（２）とから構成される。一対の押圧部材５４（２）はプレート２２（２）に対して線対称であるため、一対の押圧部材５４（２）がプレート２２（２）を挟持した時に第２のクラッチ２８（２）が第２のレール２０（２）に対して直角方向にずれることはない。
【００２０】
第２の強制移動手段３０（２）は、図３に示すように、第２の連結節２６（２）の雌螺子４２（２）に螺入され、第２のテーブル２４（２）に回動可能且つ直進不可能に連結された雄螺子４４（２）と、この雄螺子４４（２）を手動で回動させるための摘子４６（２）とから構成されている。第２の強制移動手段３０（２）は、摘子４６（２）を回動させることにより、第２のテーブル２４（２）を第２の連結節２６（２）に対して、第２のレール２０（２）の方向に移動させることができる。
【００２１】
また、ポジショニングステージ１０は、第２のテーブル２４（２）の外周面に、エアシリンダ６０（２）を駆動させる第２のスイッチ６２（２）を備えている。なお、エアシリンダ６０（１）を駆動させる第１のスイッチの位置は、ポジショニングステージ１０の外周面であれば特に限定されない。また、第２のテーブル２４（２）の外周面に、手で把持して第２のテーブル２４（２）等を移動させるためのハンドル６４が備えられている。第２のスイッチ６２（２）は、ハンドルを握って第２のスイッチ６２（２）を親指で押す作業者が右利きであっても左利きであっても対応できるように、ハンドル６４に対して左右両方に設けられている。
【００２２】
以上のような構成のポジショニングステージ１０を使用して対象物の位置決めを行う作業者は、最初に対象物を第２のテーブル２４（２）の上に取り付ける。次に、クラッチ２８（１）及び（２）を解除することにより、第１のテーブル２４（１）がＹ軸方向に、第２のテーブル２４（２）がＸ軸方向に、夫々自由移動可能な状態とする。この状態で、作業者はハンドル６４を把持して、第１のテーブル２４（１）をＹ軸方向に、第２のテーブル２４（２）をＸ軸方向に、夫々移動させることにより、対象物を目的位置の近辺まで移動させる。対象物の目的位置の近辺までの移動は、自由移動可能な状態で手動にて行うためモーター機構によって行うよりも容易である。また、スイッチを押す等の作業が不要であるため、対象物の目的位置の近辺までの移動が迅速に行われる。
【００２３】
次に、第１のスイッチによりクラッチ２８（１）を作動させて連結節２６（１）をプレート２２（１）を介して基台２に固定する。また、第２のスイッチ６２（２）により、クラッチ２８（２）を作動させて連結節２６（２）をプレート２２（２）を介して第１のテーブル２４（１）に固定する。これら第１のスイッチ及び第２のスイッチ６２（２）により、自由移動モードから微動モードへのモード変換が瞬時に行われる。このような状態で、摘子４６（１）を回動させることにより、第１のテーブル２４（１）をＹ軸方向に連結節２６（１）に対して移動させる。連結節２６（１）が基板１２に固定されているため、摘子４６（１）を回動させることにより、第１のテーブル２４（１）は基台１２に対してＹ軸方向に移動する。
【００２４】
同様に、摘子４６（２）を回動させることにより、第二のテーブル２４（２）は第１のテーブル２４（１）に対してＸ軸方向に移動する。この作用を、図５に従って、以下に詳述する。クラッチ２８（２）の押圧部材５４（２）がプレート２２（２）を挟持することにより、連結節２６（２）は第１のテーブル２４（１）に固定されている。一方、雄螺子４４（２）は雌螺子４２（２）に螺入されているため、摘子４６（２）を回動させて雄螺子４４（２）を回動させることにより、雄螺子４４（２）は連結節２６（２）に対してＸ軸方向にΔＸ１だけ移動する。よって、雄螺子４４（２）は第１のテーブル２４（１）に対してΔＸ１だけ移動する。ここで、雄螺子４４（２）は第２のテーブル２４（２）に回動可能且つ直進不可能に連結されているため、第２のテーブル２４（２）は雄螺子４４（２）とともに第１のテーブル２４（１）に対してΔＸ１だけ移動する。このようにして、摘子４６（１）及び（２）を回動させて、第２のテーブル２４（２）上の対象物をＸＹ方向に微動させることにより、その対象物の正確な位置決めを行うことができる。位置決め精度は、約１．０μ乃至０．１μである。自由移動モードにおいて対象物を略目的位置まで移動できるため、摘子４６（１）及び（２）による対象物の微動範囲は約−１０乃至＋１０ｍｍで良い。
【００２５】
以上のように、クラッチ２８（１）及び（２）を解除して第２のテーブル２４（２）上の対象物を手動で移動させた後、クラッチ２８（１）及び（２）を機能させて摘子４６（１）及び（２）を微動させて対象物の位置決めを行える。このため、精度良く且つ時間的に効率良く対象物の位置決めを行うことができる。
【００２６】
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、その他の形態でも実施し得るものである。
【００２７】
例えば、ポジショニングステージ１０において、自由移動モードにおける基台１２に対する第１の連結節２６（１）の移動距離ΔＹ１を測定するラインセンサーと、微動モードにおける第１の連結節２６（１）に対する第１のテーブル２４（１）の移動距離ΔＹ２を測定するラインセンサーと、自由移動モードにおける第１のテーブル２４（１）に対する第２の連結節２６（２）の移動距離ΔＸ１を測定するラインセンサーと、微動モードにおける第２の連結節２６（２）に対する第２のテーブル２４（２）の移動距離ΔＸ２を測定するラインセンサーとを備えても良い。図６において、原点に位置するテーブル２４（１）及び２４（２）は実線で示され、自由移動モードによって原点から移動後のテーブル２４（１）及び２４（２）は破線で示され、微動モードによって移動後のテーブル２４（１）及び２４（２）は２点鎖線で示されている。位置決め後の座標（Ｘ，Ｙ）は（ΔＸ１＋ΔＸ２，ΔＹ１＋ΔＹ２）で表される。
【００２８】
また、ポジショニングステージ１０は、自由モードにおいて第１の連接節２６（１）を基台１２に対して高速移動させるＹ軸高速移動用サーボモータ７０（１）と、微動モードにおいて第１のテーブル２４（１）を第１の連結節２６（１）に対して移動させるＹ軸微動用サーボモータ７２（１）と、自由モードにおいて第２の連接節２６（２）を第１のテーブル２４（１）に対して高速移動させるＸ軸高速移動用サーボモータ７０（２）と、微動モードにおいて第２のテーブル２４（２）を第２の連結節２６（２）に対して移動させるＸ軸微動用サーボモータ７２（２）とを備えても良い。この場合、図７に示す制御システムが備えられる。制御手段７６は、Ｙ軸高速移動用サーボモータ７０（１）を駆動させる時にはＹ軸用クラッチ駆動手段７４（１）によって第１のクラッチ２８（１）を解除し、Ｙ軸微動用サーボモータ７２（１）を駆動させる時にはＹ軸用クラッチ駆動手段７４（１）によって第１のクラッチ２８（１）を作動させる。同様に、制御手段７６は、Ｘ軸高速移動用サーボモータ７０（２）を駆動させる時にはＸ軸用クラッチ駆動手段７４（２）によって第２のクラッチ２８（２）を解除し、Ｘ軸微動用サーボモータ７２（２）を駆動させる時にはＸ軸用クラッチ駆動手段７４（２）によって第２のクラッチ２８（２）を作動させる。
【００２９】
また、ポジショニングステージ１０は、図８に示すように、第１のテーブル２４（１）に施される主尺７８と第２のテーブル２４（２）に施される副尺８０とから構成されるバーニア８２を備えても良い。この場合、作業者は、バーニア８２により、第１のテーブル２４（１）に対する第２のテーブル２４（２）の位置を正確に把握できる。なお、ポジショニングステージ１０は、基台１２に対する第１のテーブル２４（１）の位置を把握できるバーニア８２と同様のバーニアを備えても良い。
【００３０】
また、ポジショニングステージ１０の第１のレール及び第２のレールは、レール２０（１）及び２０（２）のような上へ突出した形状でなく、溝形状であっても良い。例えば、図９に示す、第１のレール８４（１）であっても良い。この場合、第１のテーブル２４（１）の下面に、第１のレール８４（１）に摺動可能に係合される突起部８６（１）が備えられる。
【００３１】
また、ポジショニングステージ１０のクラッチは、図１０に示すように、電磁石８８（２）によって押圧部材５４（２）を回動させるクラッチ９０（２）であっても良い。この場合、図示しないスイッチにより電磁石８８（２）に磁力を発生させた時に、押圧部材５４（２）はプレート２２（２）から離隔し、磁力を解除した時に、図示しない付勢手段によって押圧部材５４（２）はプレート２２（２）を挟持する。
【００３２】
また、ポジショニングステージ１０のクラッチは、図１１に示すように、押圧部材５４（２）の先端付近に突起部９０（２）を備えたクラッチ９２（２）であっても良い。この場合、プレート２２（２）は突起部９０（２）が係合される多数の凹部９４（２）を備える。クラッチ９２（２）は、突起部９０（２）を凹部９４（２）に係合することにより、プレート２２（２）に固定される。なお、クラッチ９２（２）は、突起部９０（２）を凹部９４（２）に係合した時、凹部ピッチｍ以下の距離だけＸ軸方向にずれるが、微動モードで微調節するため問題はない。
【００３３】
また、ポジショニングステージ１０のＸ軸方向位置決め手段は、図１２に示すＸ軸方向位置決め手段１０６であっても良い。このＸ軸方向位置決め手段１０６は、第２のテーブル２４（２）と、第２の連結節１０８（２）と、第２のクラッチ１１０（２）と、第２の強制移動手段１１２（２）とを備えている。連結節１０８（２）は、プレート２２（２）に対して平行方向に、横振れなく且つ円滑に移動できるように、リニアガイド１１４（２）を備えている。第２のクラッチ１１０（２）は、図示しないバネの付勢力により２個の押圧部材１１１（２）がプレート２２（２）を挟持するため、２個の押圧部材１１１（２）がプレート２２（２）を挟持した時に衝撃が生じない。なお、２個の押圧部材１１１（２）の挟持力は、テーブル２４（２）上で電子部品にプロービングの針を当てる等の作業を行える程度であれば足りる。また、第２の強制移動手段１１２（２）は、雄螺子１１８（２）の回転数を摘子１１６（２）の回転数よりも少なくするボール摩擦減速機１２０（２）を備えている。例えば、ボール摩擦減速機１２０（２）の減速比が１／２０であり、雄螺子１１８（２）のリードＬ＝２［ｍｍ］ならば、摘子１１６（２）を１回転させた時のＸ軸方向の移動距離は２・（１／２０）＝０．１［ｍｍ／１回転］である。ここで、摘子１１６（２）の直径Ｄが６３．６［ｍｍ］とすると外周の長さは、πＤ＝約２００［ｍｍ］となり、手動で摘子１１６（２）の外周をＲ＝１［ｍｍ］回転させた時のＸ軸方向の移動距離は、０．１×（Ｒ／πＤ）＝０．１×（１／π・６３．６）＝０．０００５［ｍｍ］である。よって、Ｌ＝２〜５［ｍｍ］とすると、Ｘ軸方向の移動距離は、０．０５Ｌ・Ｒ／πＤ＝０．０００５〜０．００１２５［ｍｍ］となる。すなわち、摘子１１６（２）の外径を手動で１［ｍｍ］回転させた時、Ｘ軸方向に０．０００５〜０．００１２５［ｍｍ］進むため、手動により０．５μ〜数μの精度で正確な位置決めが可能である。
【００３４】
また、本発明のポジショニングステージは、図１３に示すポジショニングステージ９６であっても良い。このポジショニングステージ９６は、Ｘ軸方向位置決め手段１６のみを備え、Ｘ軸方向にのみ位置決めできる。
【００３５】
また、本発明のポジショニングステージは、図１４に示すポジショニングステージ９８であっても良い。このポジショニングステージ９８は、ポジショニングステージ１０を回動可能な円盤１００上に固定して構成されている。この場合、基台１２自体の方向を変えることができる。
【００３６】
また、本発明のポジショニングステージは、図１５に示すポジショニングステージ１２０であっても良い。このポジショニングステージ１２０は、上面に円形のレール１２２を有する基台１２４と、レール１２２に沿ってスライド可能なテーブル１２６と、基台１２４に対してレール１２２の方向にテーブル１２６と共に自由移動可能な連結節１２８と、連結節１２８を基台１２４に固定し又は基台１２４から解除するクラッチ１３０と、テーブル１２６を連結節１２８に対して、レール１２２の方向に移動させる強制移動手段１３２とを備えている。このポジショニングステージ１２０は、手動によって及び強制移動手段１３２によってテーブル１２６を円方向に移動させて位置決めを行うことができる。
【００３７】
その他、本発明の技術的範囲には、その趣旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種々なる改良，修正，変形を加えた態様も含まれる。また、同一の作用又は効果が生じる範囲内で、いずれかの発明特定事項を他の技術に置換した形態で実施しても良い。
【００３８】
【発明の効果】
本発明のポジショニングステージは、クラッチによって連結節を基台又は第１のテーブルに固定するとともに、テーブルを連結節に対して移動させることにより、テーブルの位置の微調節を行う構成である。これにより、微調節機構は、極力小さく構成されるため、本発明のポジショニングステージは、大型化したとしても、軽量でコンパクトに構成される。すなわち、本発明のポジショニングステージは、対象物の位置の微調節を容易に行えるとともに、大型化に対応できる。例えば、約１ｍ四方の大きさのポジショニングステージが、軽量且つコンパクトに構成される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のポジショニングステージを示す平面図である。
【図２】図１のポジショニングステージの正面図である。
【図３】図１のポジショニングステージの拡大平面断面図である。
【図４】図１のポジショニングステージのクラッチの拡大図であり、同図（ａ）はクラッチを作動させた状態を示す拡大平面図であり、同図（ｂ）はクラッチを解除させた状態を示す拡大平面図であり、同図（ｃ）はクラッチを作動させた状態を示す拡大側面図である。
【図５】図１のポジショニングステージの作用を説明するための拡大平面図である。
【図６】本発明のポジショニングステージの他の実施形態を説明するための平面図である。
【図７】本発明のポジショニングステージの更に他の実施形態を説明するためのシステム構成図である。
【図８】本発明のポジショニングステージの更に他の実施形態を説明するための正面図である。
【図９】本発明のポジショニングステージの更に他の実施形態を説明するための正面図である。
【図１０】本発明のポジショニングステージのクラッチの他の実施形態を示す拡大図であり、同図（ａ）はクラッチを作動させた状態を示す拡大平面図であり、同図（ｂ）はクラッチを解除させた状態を示す拡大平面図である。
【図１１】本発明のポジショニングステージのクラッチの更に他の実施形態を示す拡大平面図である。
【図１２】図１のポジショニングステージの更に他の実施形態を示す拡大平面断面図である。
【図１３】本発明のポジショニングステージの更に他の実施形態を示す平面図である。
【図１４】本発明のポジショニングステージの更に他の実施形態を示す平面図である。
【図１５】本発明のポジショニングステージの更に他の実施形態を示す平面図である。
【符号の説明】
１０、９６、９８、１２０：ポジショニングステージ
１２、１２４：基台
１４：Ｙ軸方向位置決め手段
１６、１０６：Ｘ軸方向位置決め手段
１８：上面
２０（１）：第１のレール
２０（２）、１２２（２）：第２のレール
２２（１）、２２（２）：プレート
２４（１）：第１のテーブル
２４（２）、１２６（２）：第２のテーブル
２６（１）：第１の連結節
２６（２）、１０８（２）、１２８（２）：第２の連結節
２８（１）：第１のクラッチ
２８（２）、１１０（２）、１３０（２）：第２のクラッチ
３０（１）：第１の強制移動手段
３０（２）、１１２（２）、１３２（２）：第２の強制移動手段
４２（１）、４２（２）：雌螺子
４４（１）、４４（２）、１１８（２）：雄螺子
６２（２）：第２のスイッチ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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