(57)【要約】  【課題】  アルミニウム等の両性金属或いは両性金属を含む合金からなる配線や端子が表面に露出している液晶パネル、特に幅が非常に狭く深いギャップ部を有する液晶パネルを製造する方法であって、液晶注入の際に付着した液晶を高度に洗浄除去し、洗浄時に上記の配線や端子を腐食させない方法を提供する。  【解決の手段】  洗浄液として、アルキレングリコールアルキルエーテル及び／又はそのエステル誘導体を主成分とし、水及び水溶性不揮発性の添加剤を実質的に含有しない有機系洗浄剤を使用して、液晶を洗浄した後にイソプロピルアルコール等の前記洗浄剤を溶解し沸点が５０〜１００℃である有機溶媒からなるリンス液を用いてリンスを行い、更に該リンス液を除去する。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記工程Ａ〜Ｄを含むことを特徴とする液晶パネルの製造方法。
工程Ａ：  液晶注入口を有する液晶セル及び両性金属或いは両性金属を含む合金からなる露出した導電性部材を有する液晶パネルの当該液晶セルに前記液晶注入口から液晶を注入した後に当該液晶注入口を封止する液晶注入工程、
工程Ｂ：  アルキレングリコールアルキルエーテル及び／又はそのエステル誘導体を主成分とし、水及び水溶性不揮発性添加剤を実質的に含有しない有機系洗浄剤を用いて前記液晶注入工程で得られた液晶パネルを洗浄し、当該液晶パネルの外表面に付着した液晶を除去する洗浄工程、
工程Ｃ：  前記洗浄液を溶解する有機溶媒からなるリンス液を用いて前記洗浄工程で洗浄された液晶パネルをリンスするリンス工程、及び
工程Ｄ：  前記リンス工程で液晶パネルに付着したリンス液を除去する乾燥工程
【請求項２】
前記工程Ｄにおけるリンス液の除去を前記工程Ｃで用いたリンス液の蒸気を用いた蒸気乾燥により行なう請求項１に記載の方法。
【請求項３】
内部に液晶が封入されている液晶セル及び両性金属或いは両性金属を含む合金からなる露出した導電性部材を有する液晶パネルの外表面に付着した液晶を除去する方法において、下記工程Ｂ〜Ｄを含むことを特徴とする液晶の除去方法。
工程Ｂ：  アルキレングリコールアルキルエーテル及び／又はそのエステル誘導体を主成分とし、水及び水溶性不揮発性添加剤を実質的に含有しない有機系洗浄剤を用いて洗浄することにより液晶パネルの外表面に付着した液晶を除去する洗浄工程、
工程Ｃ：  前記洗浄液を溶解する有機溶媒からなるリンス液を用いて前記洗浄工程で洗浄された液晶パネルをリンスするリンス工程、及び
工程Ｄ：  前記リンス工程で液晶パネルに付着したリンス液を除去する乾燥工程
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶セル及び両性金属或いは両性金属を含む合金からなる露出した導電性部材を有する液晶パネルを製造する方法に関する。更に詳しくは上記液晶パネルの液晶セルに液晶を注入する際に付着する液晶を除去するための洗浄工程を含む上記液晶パネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルは、シール材を介して「電極が形成された一対の基板」を接合することによって構成されたセルの内部に液晶を封入した「液晶セル」を基本構成部材として有するものであるが、液晶パネルの構成の簡素化や所謂額縁領域の狭小化を図るために、両基板の電極域に接続される引廻し配線が一方の基板上の端子に集約された構成のもの（以下、端子等の表面に露出した導電性部材を有する液晶パネルを単に「導電性部材付き液晶パネル」ともいう。）が提案されている。該導電性部材付き液晶パネルにおいては、一方の基板上に形成された電極が例えば導電性のシール材を介して他方の基板に形成された引廻し配線と電気的に接続されるようになっている。そして、引廻し配線が形成された一方の基板の額縁領域に設けられた端子において、そこまで延長された引廻し配線と液晶駆動用のＩＣチップ等が接続するようにＩＣチップ等が実装できるようになっており、液晶パネルの構成の簡素化や額縁領域の狭小化が実現されている（特許文献１参照）。
【０００３】
一方、上記のような液晶パネルを製造する場合、液晶セル内に液晶を封入する必要があるが、この液晶の封入は液晶セルのシール材部分に形成された液晶注入口より液晶を注入した後、当該液晶注入口を封止材により封止することにより行なわれている。液晶セルへの液晶の注入は、真空雰囲気下でセル内を真空状態としてから液晶注入口を液晶材に浸し、次いでセル外の圧力を上げることにより液晶材をセル内に吸引させることにより行なわれるのが一般的であり、この際に液晶セルの外側、即ち液晶パネルの外表面に液晶が付着することが避けられない。この液晶パネルの外部に付着した液晶は絶縁不良の原因となるため、それを洗浄により除去する必要がある。
【０００４】
このような洗浄に際して金属脱脂で多用されているノルマルパラフィン等の炭化水素系洗浄剤を使用した場合は、除去対象が液晶であるという特殊性から充分な洗浄性を得ることができない。そこで、液晶用に特化した洗浄剤として、特定のジアリールアルカン類からなる洗浄剤（特許文献２参照）や、特定のアルキレングリコールアルキルエーテル或いは特定の脂肪酸塩と特定のアルキレングリコールアルキルエーテル等との組合せからなる洗浄剤（特許文献３、４、５及び６参照）が提案されている。これら洗浄剤は、そのまま或いは水と混合して使用されるが、脂肪酸塩のような水溶性不揮発性添加剤を含む場合には、これら成分が残渣として付着するのを防ぐために乾燥前に水を用いたリンス（水リンス）を行ない、これら水溶性不揮発性成分を除去する必要がある。また、水溶性不揮発成分を含まない洗浄液を用いた場合には、そのまま乾燥することもできるが、洗浄液には低濃度ではあるが液晶成分が溶解若しくは懸濁しているため、高度な液晶除去が要求される場合には水リンスを行なうのが一般的である。事実、特許文献２〜５に開示されている液晶洗浄の具体例では、何れも水リンスを行なっている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−７５８６２号公報
【特許文献２】特開平６−２２０４９２号公報
【特許文献３】特開平７−２７８５８８号公報
【特許文献４】特開平１１−１８９７８７号公報
【特許文献５】特開２００２−２４１７８９号公報
【特許文献６】特許第２９８２９７５号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、前記した導電性部材付き液晶パネルにおいては、液晶パネルの高度化に伴い、引廻し線（配線）、電極或いは端子の材質がＩＴＯ膜から両性金属であるアルミニウムの薄膜にシフトしてきている。また、電極や端子等には鉛や錫等の両性金属を含む合金からなるハンダ層が形成されている場合もある。（以下、両性金属又は両性金属を含む合金からなる露出した導電性部材を単に「両性金属部材」といい、該両性金属部材を有する液晶パネルを単に「両性金属部材付き液晶パネル」ともいう）。このアルミニウム薄膜等の両性金属部材は、水により腐食を受け易く、例えば水リンス工程において比較的高温の水を用いて超音波洗浄を行なった場合には、恐らく両性金属が水酸化物に転化して崩壊することによるとものと思われるが、両性金属部材が原形を留めないほど劣化することもあり、水リンス工程における製品歩留まりの低下が大きな問題となっている。また、液晶パネルの高度化に伴い、製品の信頼性の観点から、洗浄に際しても更に高度の液晶除去性が要求されるようになっている。特に液晶セルを構成する基板間の間隔（ギャップ）が非常に小さい場合には、シール材を介して接合された両基板間のシール部分近傍の微小な隙間（ギャップ部）に付着した液晶を除去することは困難となるが、作動の信頼性の高い液晶パネルを得るためにはこのようなギャップ部に付着した液晶をほぼ完全に除去することが要求されている。
【０００７】
このように、両性金属部材付き液晶パネルの製造においては、従来の液晶パネルを製造する際の洗浄方法をそのまま適用した場合には歩留まりが低下してしまい、効率よく目的物を製造することができないという問題があった。そこで、本発明は、両性金属部材付き液晶パネルの製造において、両性金属部材を腐食させることなく、液晶注入工程で付着した液晶を高度に除去する方法を提供し、延いては効率よく両性金属部材付き液晶パネルを製造する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者等は上記課題を解決するため、液晶洗浄性に優れ取扱いも容易なアルキレングリコールアルキルエーテル又はそのエステル誘導体を有機成分とする準水系洗浄剤に着目して、液晶の付着したアルミニウム端子付き液晶パネルを洗浄し、水リンスを行わないで乾燥処理したときの液晶除去性、乾燥性、パネル或いはアルミニウム配線や端子に及ぼす影響等について種々検討を行なった。その結果、アルミニウム配線やアルミニウム端子の腐食を防止しつつ十分な液晶除去性および乾燥性を得るためには、水溶性不揮発成分を添加せずに、しかも水の含有量を特定の範囲とした均一溶液とする必要があることをつきとめた。そこで本発明者等は、上記の条件を満足する準水系洗浄液を実用化すべく更に詳細な検討を行なったところ、該準水系洗浄液を用いた洗浄においては、恐らく水を含むために液晶を溶解する能力が低下すると思われるが、ギャップ部の幅（ｗ）が５μｍ以下で且つその深さ（ｄ）に対する幅（ｗ）の比（ｗ／ｄ）が１／２０以下であるような微少なギャップ部を有する液晶パネルに関しては、ギャップ部の液晶が完全に除去できない場合があるという問題があることが判明した。本発明者らはこの新たな問題を解決すべく更に検討を行ったところ、洗浄液から水を除き有機系洗浄剤とし、更にアルコール等のリンス液でリンスを行なった場合には上記のような微少ギャップ部の液晶をより確実に除去できることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００９】
即ち、第一の本発明は、下記工程Ａ〜Ｄを含むことを特徴とする液晶パネルの製造方法である。
【００１０】
工程Ａ：  液晶注入口を有する液晶セル及び両性金属或いは両性金属を含む合金からなる露出した導電性部材を有する液晶パネルの当該液晶セルに前記液晶注入口から液晶を注入した後に当該液晶注入口を封止する液晶注入工程、
工程Ｂ：  アルキレングリコールアルキルエーテル及び／又はそのエステル誘導体を主成分とし、水及び水溶性不揮発性添加剤を実質的に含有しない有機系洗浄剤を用いて、前記液晶注入工程で得られた液晶パネルを洗浄し、当該液晶パネルの外表面に付着した液晶を除去する洗浄工程、
工程Ｃ：  前記洗浄液を溶解する有機溶媒、好適には沸点５０〜１００℃の有機溶媒からなるリンス液で、前記洗浄工程で洗浄された液晶パネルをリンスするリンス工程、及び
工程Ｄ：  前記リンス工程で液晶パネルに付着したリンス液を除去する乾燥工程
また、他の本発明は、内部に液晶が封入されている液晶セル及び露出したアルミニウム配線又は端子を有する液晶パネルの外表面に付着した液晶を除去する方法において、上記工程Ｂ〜Ｄを含むことを特徴とする液晶の除去方法である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の液晶除去方法によれば、ギャップ幅（ｗ）が５μｍ以下で且つその深さ（ｄ）に対する幅（ｗ）の比（ｗ／ｄ）が１／２０以下であるギャップ部を有する液晶パネルについて、水リンスを行うことなく液晶注入工程で当該ギャップ間に付着した液晶をきれいに除去することができる。したがって、本発明の液晶除去方法を工程の一部として含む本発明の製造方法により両性金属部材付き液晶パネルを製造した場合には、水リンスにより両性金属部材が腐食することがないので、高歩留まりで製品を得ることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の製造方法は、液晶セル及び両性金属或いは両性金属を含む合金からなる表面に露出した導電性部材を有する液晶パネルを製造する際に特有の「水リンス工程で両性金属部材が腐食劣化する」という問題を解決するために成されたものであり、したがって、本発明の製造方法により製造される液晶パネルは両性金属部材付き液晶パネルに限定される。
【００１３】
ここで、両性金属とはＡｌ、Ｚｎ、ＰｂおよびＳｎからなる群より選ばれる少なくとも1種の金属を意味する。また、両性金属を含む合金とはこれら両性金属と他の金属との合金であれば特に限定されず、例えばこれら両性金属を含むハンダ合金などが挙げられる。また、導電性部材とは、配線、電極、端子、電極や端子表面に形成されるハンダ層等を意味する。
【００１４】
上記したような本発明の製造方法は、「水リンス工程で両性金属部材が腐食劣化する」という問題は、特にアルミニウム薄膜（厚さ０．０５〜１０μｍ）からなる両性金属部材を有する液晶パネルを製造する際に顕著であることから、本発明の製造方法はこのような液晶パネルを製造する方法として特に好適である。また、本発明の液晶の除去方法は、その洗浄効果の高さから、ギャップ幅（ｗ）が５μｍ以下で且つその深さ（ギャップ深さ：ｄ）に対する幅（ｗ）の比（ｗ／ｄ）が１／２０以下、特に基板間ギャップ５μｍ以下であるギャップ部（以下、特定ギャップ部ともいう）を有する両性金属部材付き液晶パネルの当該ギャップ部に付着した液晶を除去する方法として特に好適であり、したがって、本発明の製造方法はこのようなギャップを有する両性金属部材付き液晶パネルの製造方法として特に好適である。ここで、ギャップ部１とは、図１に示すように液晶セルを構成する２枚の基板（２ａ及び２ｂ）の内側の面を側壁とし、シール材３の露出面を底面とする溝上の隙間を意味し、ギャップ幅ｗとはギャップ部１における上記２枚の基板の内側の面間の距離を意味し、ギャップ深さｄは基板２ａまたは２ｂの端面からシール材３の露出面までの距離のうちの短い方を意味する。
【００１５】
本発明で製造される液晶パネルは、両性金属部材（両性金属又は両性金属を含む合金からなる露出した導電性部材）、好ましくはアルミニウム薄膜からなる両性金属部材を有し、且つ液晶注入口から液晶セルに液晶を注入するタイプの液晶パネルであれば特に限定されない。このようなタイプの液晶パネルとしては、例えば、特開２００３−７５８６２号公報の図２に示されるような構造の液晶パネルであって、露出する配線及び／又は端子が両性金属又は両性金属を含む合金からなるもの、或いは特開２００１−２２２０２２号公報の図１に示されるような構造の液晶セルであって露出する配線及び／又は端子が両性金属又は両性金属を含む合金からなるもの等を挙げることができる。なお、本発明においては、液晶が封入される領域（空洞部分）を「液晶セル」とし、このような液晶セルを構成の一部として含むもの（例えば液晶セル以外に配線や端子が設置された額縁領域を含むもの）を「液晶パネル」と称し、両者を区別しているが、当該技術分野においては両者を区別せずに本発明における液晶パネルに相当するものを単に液晶セルと呼ぶこともある。
【００１６】
本発明の製造方法では、先ず液晶注入口を有する液晶セル及び両性金属部材を有する液晶パネルの当該液晶セルに前記液晶注入口から液晶を注入した後に当該液晶注入口を封止する（液晶注入工程）。
【００１７】
上記液晶注入工程における液晶セル内への液晶の注入及び液晶注入口の封止は、従来の液晶パネルの製造方法と特に変わることはなく、例えば特開昭５３−１２６３４号公報に開示されているような、真空を利用した液晶注入方法、即ち、液晶パネルと液晶材料を入れた液晶槽を一緒に真空チャンバーに入れ、真空状態とすることにより液晶セル内を真空状態とした後にその液晶注入口が液晶槽中の液晶材料に浸たるように液晶槽に入れ、周囲環境を真空状態から徐々に大気圧に戻すことにより液晶を注入する方法、或いは特開２００３−２１８４２号公報に開示されているような「液晶パネルに形成された液晶注入口に当接するノズルと、前記ノズルを通じて前記液晶注入口に接続され、前記液晶パネルの液晶セル内部を減圧状態とする脱気装置と、前記ノズルを通じて前記液晶注入口に接続され、前記液晶パネルの液晶セル内部に液晶材料を供給する液晶供給装置と、前記脱気装置と前記液晶供給装置の一方を選択的に前記ノズルに接続する切換装置と、を備える液晶注入装置」を用いる方法等の公知の方法が何ら制限なく採用できる。
【００１８】
なお、注入される液晶は特に限定されずＳＴＮ液晶、ＴＮ液晶等公知のものが何ら制限なく使用できる。
【００１９】
また、液晶注入後の液晶注入口の封止方法も従来法と特に代わるところはなく、例えば、人手によりシリンジで封止剤を塗布し紫外線等の光照射により封止剤を硬化させる方法、ディスペンサにより或いはローラー転写により封止剤を塗布した後に同様にして封止剤の硬化を行なう方法等の公知の方法が何ら制限なく採用できる。なお、一般に液晶注入時に液晶パネルの外表面に液晶が付着することを完全に防ぐことはできず、また、封止剤の塗布に先立って、注入口より溢れ出た液晶あるいは液晶注入時に注入口周辺に付着した液晶を拭き取ることもあるが、このような拭き取りを行なっても液晶にパネルの外表面、特にギャップ部に付着した液晶を問題のないレベルまで除去することはできない。
【００２０】
本発明の製造方法では、前記液晶注入工程に次いで、前記液晶注入工程で得られた液晶パネルの外表面に付着した液晶を、アルキレングリコールアルキルエーテル及び／又はそのエステル誘導体を主成分とし、水及び水溶性不揮発性の添加剤を実質的に含有しない有機系洗浄剤を用いて洗浄することにより除去する（洗浄工程）。このような特殊な洗浄剤を用いて洗浄することにより、水リンスを行なわずにそのまま乾燥しても十分に液晶を除去することが可能になる。なお、ここで、水を実質的に含有しないとは、不可避的に混入する場合は除き、水を積極的に添加しないという意味であり、より具体的には水の含有量が１重量％以下、好ましくは０．１重量％以下であることを意味する。また、水溶性の不揮発性添加剤を実質的に含有しないとは、不可避的に混入する場合は除き界面活性剤や塩類等の水溶性の不揮発成分を積極的に添加しないという意味であり、より具体的には、水溶性不揮発成分の含有量がＪＩＳ−K００６７に規定される蒸発残分で０．００１g／mｌ以下、好適には０．０００５g／mｌ以下であることを意味する。また、液晶パネルの外表面とは、ギャップ部の内面（溝の側面及び底面）を含めて外部に露出した面の少なくとも一部を意味する。
【００２１】
洗浄工程で使用する洗浄剤が有機成分としてアルキレングリコールアルキルエーテル及び／又はそのエステル誘導体を含まない場合には、界面活性剤等を用いることなく高い液晶除去性を得ることが困難である。また、アルキレングリコールアルキルエーテル又はそのエステル誘導体を含む洗浄剤であっても水を含有する場合には前記したような特定ギャップ部に付着した液晶を除去することが困難となる。
【００２２】
前記洗浄工程で使用する洗浄剤はアルキレングリコールアルキルエーテル及び／又はそのエステル誘導体からなり、水及び水溶性不揮発性の添加剤を実質的に含有しない洗浄剤であれば特に限定されないが、洗浄力の観点から、アルキレングリコールアルキルエーテル及び／又はそのエステル誘導体として水に難溶解性のものを、４０重量％以上含有するのが好ましい。ここで、水に難溶解性の有機溶媒としては、２５℃における水の溶解度（２５℃におけるアルキレングリコールアルキルエーテル又はそのエステル誘導体に溶解する水の重量％）が２０重量％未満の有機溶媒が好適に使用できる。このようなアルキレングリコールアルキルエーテル及びそのエステル誘導体を具体的に例示すれば、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ブチレングリコールモノプロピルエーテル等の水に難溶性のアルキレングリコールモノアルキルエーテル又はそのエステル誘導体、又はこれらから選ばれる任意の２種以上の混合物を挙げることができる。
【００２３】
なお、本発明においてはこれら以外のアルキレングリコールアルキルエーテル及び／又はそのエステル誘導体を単独で使用することも勿論可能であり、そのような化合物としては、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等を挙げることができる。
【００２４】
また、上記洗浄剤は、アルキレングリコールアルキルエーテル及び／又はそのエステル誘導体以外の有機溶媒を含有していてもよい。本発明で使用できる有機溶媒を例示すれば、Ｎ―メチルピロリドン、Ｎ―エチルピロリドンなどのピロリドン化合物、ジメチルスルホキシド、１，３―ジメチル−２−イミダゾリジノン、γ―ブチロラクトン、またはこれら等か選ばれる任意の２種以上の混合物等を挙げることができる。これら有機溶媒の含有量は洗浄力の観点から、０〜６０重量％、特に、０〜２５重量％であるのが好ましい。
【００２５】
前記洗浄工程において、液晶パネルの外表面に付着した液晶を除去する方法は、洗浄剤として前記した様な特定の洗浄剤を用いる以外は特に限定されず、例えば洗浄剤に液晶パネルを浸漬し超音波を照射する方法、噴流等流れのある洗浄剤の中に液晶パネルを浸漬する方法、液晶パネルにスプレー等で洗浄剤を吹き付ける方法等の公知の洗浄方法が何ら制限なく採用できる。
【００２６】
本発明の製造方法では、前記洗浄工程終了後に、洗浄された液晶パネルを、前記洗浄液を溶解する有機溶媒からなるリンス液でリンスし、更に該リンス工程で液晶パネルに付着したリンス液を除去する。上記リンスを行なわずそのまま液晶パネルを乾燥した場合には、洗浄液に溶解若しくは懸濁する液晶が付着してしまう。また、リンス液として水を用いた場合には両性金属部材が腐食する場合があり、上記有機溶媒以外の有機溶媒を用いた場合にはリンス効率が低下するため大量のリンス液を必要とする。なお、ここで、洗浄液を溶解するとは、２５℃におけるリンス液１（l）に対して溶解する洗浄剤の量が１０ｇ以上であることを意味する。リンス液としては、乾燥性の観点から沸点５０〜１００℃の有機溶媒を使用するのが好適である。
【００２７】
本発明において、リンス液として好適に使用できる有機溶媒を例示すれば、メタノール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール等のアルコール類；アセトン等のケトン類；ジクロロメタン等の塩素系溶媒；１，１，１，３，３，４，４−ヘプタフルオロブタン、１，１，１，２，４，４，４−ヘプタフルオロブタン、１，１，１，２，４，４，４−ヘプタフルオロ−２−（トリフルオロメチル）ブタン、１，１，２，２，３，３，４，４−オクタフルオロペンタン、１，１，１，２，２，５，５，６，６，６−デカフルオロヘキサン、１，１，１，２，２，３，３，４，４−ノナフルオロヘキサン等のハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）、：１−クロロ−１，２，２−トリフルオロエチルメチルエーテル、１，１，１，２，３，３−ヘキサフルオロプロピルメチルエーテル、１，１−ジフルオロエチルエチルエーテル、１，１，２，２−テトラフルオロエチルエチルエーテル、１，１，１，２，３，３−ヘキサフルオロプロピルｎ−プロピルエーテル等のハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）等のフッ素系溶媒を挙げることができる。これらの中でも、液置換性、及び取扱い性が良いという理由からイソプロピルアルコール、ＨＦＣ又はＨＦＥを使用するのが好適である。特にＨＦＣ及びＨＦＥは不燃性であるため、安全性の観点からはＨＦＣ及び／又はＨＦＥを使用するのが好ましい。
【００２８】
リンス工程におけるリンス方法は特に限定されず、例えばリンス液に液晶パネルを浸漬し超音波を照射する方法、噴流等流れのあるリンス液の中に液晶パネルを浸漬する方法等の公知の方法により好適に行なうことができる。
【００２９】
また、乾燥工程においてリンス液を除去する方法は特に限定されないが、液じみを無くす等の清浄度の維持という理由から、前段のリンス工程で用いたリンス液を用いた蒸気乾燥により行なうのが好適である。このような蒸気乾燥は、図２に示すような蒸気乾燥装置を用いて好適に行うことができる。図２に示す蒸気乾燥装置５は、上部に冷却管６を有する槽からなり、その内部にはリンス液と同じ組成の沸騰液９が貯留されている。沸騰液９は図示しない外部熱源からの加熱により沸騰状態に保たれ、冷却管６より下方の槽内に蒸気層７が形成される。この蒸気層７の中に蒸気温度より低い液晶パネルを入れると、蒸気は液晶パネル表面で凝縮するが、液晶パネル温度は上昇し、最終的に液晶パネル温度と蒸気温度が等しくなった時点で液晶パネルを槽の外へ取り出すことにより乾燥が可能となる（図２に概念図添付）。
【００３０】
以下、実施例及び比較例を挙げて本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００３１】
尚、実施例及び比較例で使用する化合物の略号を以下に示す。
〔アルキレングリコールエーテル類〕
ＤＰＰ    ：ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル
ＤＰＭ    ：ジプロピレングリコールモノメチルエーテル
ＰＢ      ：プロピレングリコールモノブチルエーテル
ＤＥＤＥ  ：ジエチレングリコールジエチルエーテル
ＤＥＭＰ  ：ジエチレングリコールメチルｉｓｏ−プロピルエーテル
〔その他溶媒〕
ＮＭＰ    ：Ｎ―メチルピロリドン
ＭＭＢ    ：３−メトキシ−３−メチルブタノール
〔水溶性不揮発性添加剤〕
ＥＡＣ    ：カプリン酸モノエタノールアミン塩
ＮＳ      ：ポリオキシエチレンラウリルエーテル（ノニオン系界面活性剤）
〔リンス液〕
ＩＰＡ    ：イソプロピルアルコール
ＭｅＯＨ  ：メチルアルコール
ＨＦＥ    ：ハイドロフルオロエーテル
実施例１
液晶注入口を有する液晶セル及び露出した１００個のアルミニウム端子を有する液晶パネル（５０ｍｍ×５０ｍｍ、ギャップ幅２．５μｍ、ギャップ深さ１００μｍ、w/d＝４０）を用意し、その液晶セルに液晶注入口からＳＴＮ液晶を注入した後に当該液晶注入口を封止することにより、表面及び液晶セルを構成する２枚の対向したガラス板のギャップに余分な液晶が付着した液晶パネルを得た。
【００３２】
次いで、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル６０重量％とジプロピレングリコールモノプロピルエーテル４０重量％からなる洗浄剤１（l）を超音波洗浄槽に導入し、液温を４０℃に保った状態で得られた液晶パネルを槽内の洗浄液に浸漬し２分間超音波洗浄した。液晶パネルを洗浄剤から引き上げた後、液温３０℃のイソプロピルアルコールからなるリンス液を用いて２分間の浸漬リンスを行ない、その後、リンス液から引き上げて、蒸気槽へ移してイソプロピルアルコールを沸騰液とする蒸気乾燥により乾燥し、液晶パネルを乾燥させた。
【００３３】
乾燥後の液晶パネルについて、ギャップ部を偏光顕微鏡で観察し、残存した液晶の程度から洗浄性を評価した。また、液晶パネル全体を光学顕微鏡で観察し、液晶パネル表面に残ったしみ、および洗浄液残りの有無を評価した。また、ギャップ部等における液晶残りについては偏光顕微鏡を用いて観察、評価した。さらに金属顕微鏡で露出したアルミニウム端子を観察することにより、端子腐食の有無をしらべ、腐食したアルミニウムの数から、各洗浄方法によりアルミニウムへの影響の有無を評価した。その結果、ギャップ部に液晶はなく、液晶パネル表面にシミ、洗浄液残りは認められなかった。また、１００個のアルミニウム端子全てについて、腐食が発生した端子は認められなかった。
【００３４】
実施例２〜７
表１に示す組成の洗浄剤を用いた以外は実施例１と同様にして液晶パネルの洗浄、乾燥及び乾燥後の液晶パネルの評価を行った。結果を表１に示す。
【００３５】
実施例８〜１４
表１に示す組成の洗浄剤を用いると共に、表１に示すリンス液を用いた以外は実施例１と同様にして液晶パネルの洗浄、及び浸漬リンスを行った。その後、蒸気乾燥することなく４０℃の温風を吹き付けることにより液晶パネルを乾燥させ、乾燥後の液晶パネルの評価を行った。結果を表１に示す。
【００３６】
【表１】
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【００３７】
比較例１〜５
表１に示す組成の洗浄剤を用いる他は実施例１と同様にして液晶パネルの洗浄を行った。その後、リンスを行うことなく、４０℃の温風を１０分間吹き付け、液晶パネルの乾燥を行い、実施例１と同様にして評価を行った。その結果を表１に示す。
【００３８】
比較例６〜１３
表１に示す組成の準水系洗浄剤を用いる他は実施例１と同様にして液晶パネルを洗浄した。その後、比較例６、９、１１及び１３においては、そのまま４０℃の温風を１０分間吹き付け、液晶パネルを乾燥させた。また、比較例７、１０、及び１２においては、４０℃の純水でさらに２分間超音波洗浄した後、４０℃の温風で１０分間温風乾燥させた。乾燥後の液晶パネルについて実施例１と同様にして評価を行った。また、比較例８においては、３０℃のイソプロピルアルコールのリンス液を用いて２分間の浸漬リンスを行い、４０℃の温風を吹き付け乾燥させた。その結果を表１に示す。
【００３９】
表１に示されるように、本発明の洗浄プロセスを用いた実施例１〜１４では液晶の除去、シミの発生、乾燥性、アルミ端子の耐腐食性ともに全ての面で良好であるのに対し、リンスを行わない比較例１〜５では、洗浄液残りが発生した。また、準水系洗浄剤を用いた比較例６〜１１では、十分な液晶の除去が行えなかった。また、水溶性不揮発性添加剤を含む洗浄剤を用いた場合には、水リンスを行うと比較的良好に液晶の除去を行うことができるが、この場合にはアルミニウム端子の腐食が避けられなかった。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本図は、液晶パネルギャップ部の部分拡大図である。
【図２】本図は、代表的な蒸気乾燥装置の断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１・・・ギャップ部
２ａ、２ｂ・・・ガラス基板
３・・・シール材
４・・・液晶
ｗ・・・ギャップ幅
ｄ・・・ギャップ深さ
５・・・蒸気乾燥装置
６・・・冷却管
７・・・蒸気層
８・・・液晶パネル
９・・・沸騰液（リンス液）
【図１】
2005196039.tif 000003
【図２】
2005196039.tif 000004