(57)【要約】【課題】効率的に接着剤や気泡を逃がすと共に、薄板状部材の剛性を確保し、反りを低減させることができる薄板状部材の積層構造を提供する。【解決手段】薄板状部材１００の接着面１０２には、接着面１０２上の余剰接着剤を逃がすための逃がし溝１０４が形成されている。短手方向の逃がし溝１０４Ａの両端のうち一方の端が薄板状部材１００の縁部１０６に達するように形成され大気連通されている。したがって、余剰接着剤や残留気泡を効率よく逃がすことができる。また、短手方向の逃がし溝１０４Ａのもう一方の端は薄板状部材１００の縁部１０８に達しないように形成されているので、薄板状部材１００の剛性が確保される。接着面１０２の裏面にも同様の逃がし溝を形成してもよい。逃がし溝１０４の溝幅よりも溝深さを大きくすると、接着強度を確保できると共に、効率的に余剰接着剤及び残留気泡を逃がすことができる。【選択図】  図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の薄板状部材を接着剤により積層接合させる積層構造において、前記薄板状部材の他の薄板状部材と接合される接合面には短手方向に少なくとも１つの溝が形成され、前記短手方向に形成された溝は、その両端のうち少なくとも一方の端が前記薄板状部材の縁部まで達しない長さを有することを特徴とする薄板積層構造。
【請求項２】
前記接合面に形成された短手方向の溝は、一端が前記薄板状部材の一方の縁部に達し、他端が前記薄板状部材の他方の縁部に達しない長さを有する片縁連通溝であることを特徴とする請求項１記載の薄板積層構造。
【請求項３】
前記接合面には前記片縁連通溝を複数有し、
前記片縁連通溝には、前記薄板状部材の一方の縁部に達する長さを有する第１の片縁連通溝と、
前記薄板状部材の他方の縁部に達する長さを有する第２の片縁連通溝と、
が含まれることを特徴とする請求項２記載の薄板積層構造。
【請求項４】
前記接合面には、前記片縁連通溝と、
両端が前記薄板状部材の縁部まで達しない長さを有する非連通溝と、
が形成されることを特徴とする請求項２記載の薄板積層構造。
【請求項５】
前記接合面には、
前記第１の片縁連通溝と、
前記第２の片縁連通溝と、
前記非連通溝と、
が形成されることを特徴とする請求項２、３又は４記載の薄板積層構造。
【請求項６】
前記薄板状部材には他の薄板状部材と接合される接合面を２面有し、前記２面の接合面には溝が設けられていることを特徴とする請求項１乃至５のうち何れか１項に記載の薄板積層構造。
【請求項７】
前記２面の接合面に設けられた前記溝は、前記接合面上の同じ位置に設けられていることを特徴とする請求項６記載の薄板積層構造。
【請求項８】
前記２面の接合面に設けられた前記溝は、前記接合面上の異なる位置に設けられていることを特徴とする請求項６記載の薄板積層構造。
【請求項９】
複数の薄板状部材を接着剤により積層接合させる積層構造において、前記薄板状部材は２面の接合面を有し、前記２面の接合面には溝が設けられていることを特徴とする薄板積層構造。
【請求項１０】
前記接合面に設けられた前記溝は幅に比べて深さが大きいことを特徴とする請求項１乃至９のうち何れか１項に記載の薄板積層構造。
【請求項１１】
前記溝は、前記薄板状部材の内部から縁部に向かって溝幅が広くなることを特徴とする請求項１乃至１０のうち何れか１項に記載の薄板積層構造。
【請求項１２】
複数の薄板状部材を接着剤により積層接合させる積層構造において、他の薄板        状部材を接合させる接合面には溝が設けられ、前記溝は幅に比べて深さが大きい        ことを特徴とする薄板積層構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は薄板積層構造に係り、特に複数の薄板状部材を接着剤により積層接合させる積層構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置（インクジェットプリンター）に搭載されている印字ヘッドでは、複数の薄板状部材（キャビティプレート）を精度よく積み重ねることにより立体的構造が形成されている。例えば、複数のノズル開口が形成されている薄板状部材やノズルごとに設けられる圧力室やインク流路に相当する開口、凹（凸）部、穴などが形成されている薄板状部材等を接着剤や接着シートを用いて積層接合させている。
【０００３】
また、これらの薄板状部材の接合に用いられる接着剤には、熱により硬化させることができる熱硬化型接着剤や紫外線を照射させると硬化させることができる紫外線硬化型接着剤が用いられる。更に、所定の剛性、強度及び接着性能が確保されるような様々な工夫がなされている。
【０００４】
一方、貼り合わせる面（接着面）には、塗布装置等を用いて薄く均一に接着剤が塗布されるが、余分な接着剤が出てしまうことがある。この余剰接着剤が該薄板状部材に形成された開口等を塞がないように、また、貼り合わせる薄板状部材の間に気泡が残らないように、接着剤や気泡の逃がし溝を設ける方法がある。その逃がし溝は、効率よく接着剤や気泡を逃がすために大気に連通させるとよい。
【０００５】
特許文献１に開示された薄板状部品の積層接着構造では、接着逃がし溝と連通する貫通穴を設け、薄板状部品の厚み方向に大気連通させ、プレート間に残留する気泡を逃がしている。
【０００６】
また、特許文献２に開示されたインクジェットプリンタヘッドでは、接着される面の何れか一方のみに逃がし溝が形成され、余剰接着剤を逃がす構造になっている。
【０００７】
更に、特許文献３に記載されたインクジェット記録ヘッド及びその製造方法では、複数の溝が飛び飛びに設けられており、この溝が形成されたプレートを貼り合わせると大気連通するつながった溝になり、この溝を利用してプレート接合部に残留する気泡を大気に逃がしている。
【特許文献１】特開２００２−９６４７８号公報
【特許文献２】特開２００２−２４０２７２号公報
【特許文献３】特開２００１−６３０５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、ラインヘッドのような長尺ヘッドの場合、短辺と平行方向に溝の両端を大気連通させるように薄板状部材端まで該溝を延ばすと、薄板状部材の剛性が落ちることがあり、また、該溝を加工する際に薄板状部材が反ってしまうことがある。更に、接着剤を硬化させる際にも薄板状部材が反ってしまうことがあり得る。薄板状部材の剛性低下や反りの発生は、ヘッドの性能を落とすことになる。
【０００９】
特許文献１に開示された薄板状部品の積層接着構造では、厚さ方向に設けられた貫通穴では、複数の薄板状部品を貼り合わせたときに、挟まれた薄板状部品に残留した気泡が逃げにくい構造となっている。更に、挟まれた薄板状部品の接着剤も逃げにくくなっている。
【００１０】
また、特許文献２に開示されたインクジェットプリンタヘッドでは、プレートの反りについて考慮されていない。
【００１１】
更に、特許文献３に記載されたインクジェット記録ヘッド及びその製造方法では、各プレートの加工精度や貼り合わせ精度が低いと、溝がつながらないことがあり得る。
【００１２】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、効率的に接着剤や気泡を逃がすと共に、薄板状部材の剛性を確保し、反りを低減させることができる薄板状部材の積層構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するために請求項１に係る発明は、複数の薄板状部材を接着剤により積層接合させる積層構造において、前記薄板状部材の他の薄板状部材と接合される接合面には短手方向に少なくとも１つの溝が形成され、前記短手方向に形成された溝は、その両端のうち少なくとも一方の端が前記薄板状部材の縁部まで達しない長さを有することを特徴としている。
【００１４】
即ち、薄板状部材の接着面には溝が設けられており、該溝の両端のうち少なくとも一方の端は薄板状部材の縁部まで達しない長さに形成されているので、該薄板状部材の剛性を確保することができる。
【００１５】
接着面は、他の薄板状部材を貼り合わせる面であり、接着剤が塗布される接着領域が設けられていてもよい。接着領域が設けられておらず、他の薄板状部材に塗布された接着剤により接合されてもよい。
【００１６】
また、３枚以上の薄板状部材を貼り合わせる場合に、中間にある薄板状部材では表裏の２面が接着面となる。
【００１７】
溝には、接着面に形成されたくぼみや凹部などがある。接着面から見た溝の形状は、略直線でもよいし、曲線が含まれていてもよい。また、溝の断面形状は、略正方形や略長方形でもよいし、他の形状でもよい。
【００１８】
請求項２に示すように、請求項１記載の発明において、前記接合面に形成された短手方向の溝は、一端が前記薄板状部材の一方の縁部に達し、他端が前記薄板状部材の他方の縁部に達しない長さを有する片縁連通溝であることを特徴としている。
【００１９】
即ち、溝の一端を薄板状部材の縁部に達するようにすることで、接合面の余剰接着剤を効率的に逃がすことができ、他端を薄板状部材の縁部に達しないようにすることで、薄板状部材の剛性を確保することができる。
【００２０】
請求項３に示すように、請求項２記載の発明において、前記接合面には前記片縁連通溝を複数有し、前記片縁連通溝には、前記薄板状部材の一方の縁部に達する長さを有する第１の片縁連通溝と、前記薄板状部材の他方の縁部に達する長さを有する第２の片縁連通溝と、が含まれることを特徴としている。
【００２１】
即ち、基板剛性を確保でき、更に、接合面の余剰接着剤を該溝に逃すことができる。
【００２２】
第１の連通溝及び第２の連通溝の配置は、これらを交互に配置してもよいし、例えば第１の連通溝と第１の連通溝の間に、第２の連通溝を複数配置してもよい。
【００２３】
また、請求項４に示すように、請求項２記載の発明において、前記接合面には、前記片縁連通溝と、両端が前記薄板状部材の縁部まで達しない長さを有する非連通溝と、が形成されることを特徴としている。
【００２４】
片縁連通溝により接合面の余剰接着剤を逃がすことができ、両端が前記薄板状部材の縁部まで達しない長さに形成されている非連通溝により該薄板状部材の剛性確保及び反り防止に寄与する。
【００２５】
また、請求項５に示すように、請求項２、３又は４記載の発明において、前記接合面には、前記第１の片縁連通溝と、前記第２の片縁連通溝と、前記非連通溝と、が形成されることを特徴としている。
【００２６】
第１の片縁連通溝と、第２の片縁連通溝と、非連通溝とを組み合わせることにより、薄板状部材の中央部にある余剰接着剤を効率よく逃がすことができる。上述した３種類の溝と連通される長手方向の溝を備えると更によい。
【００２７】
また、請求項６に示すように、請求項１乃至５のうち何れか１項に記載の発明において、前記薄板状部材には他の薄板状部材と接合される接合面を２面有し、前記２面の接合面には溝が設けられていることを特徴としている。
【００２８】
２つの接着面に形成される溝のパターンは同じパターンでもよいし、異なるパターンでもよい。
【００２９】
また、請求項７に示すように、請求項６記載の発明において、前記２面の接合面に設けられた前記溝は、前記接合面上の同じ位置に設けられていることを特徴としている。
【００３０】
即ち、上下（表裏）対象構造とすることで、積層接合後の反りを防止することができる。
【００３１】
また、請求項８に示すように、請求項６記載の発明において、前記２面の接合面に設けられた前記溝は、前記接合面上の異なる位置に設けられていることを特徴としている。
【００３２】
即ち、２つの接着面上の溝配置が同じであると薄板状部材の剛性を確保できない場合には、２つの接合面上の溝配置をずらすことで、剛性の確保に寄与する。
【００３３】
また、前記目的を達成するために、請求項９に係る発明は、複数の薄板状部材を接着剤により積層接合させる積層構造において、前記薄板状部材は２面の接合面を有し、前記２面の接合面には溝が設けられていることを特徴としている。
【００３４】
即ち、薄板状部材に２面ある接合面には、それぞれに余剰接着剤を逃がすための溝が設けられ、上下対称構造とすることで、複数の薄板状部材を接合し形成された積層構造部材の反りを防止することができる。
【００３５】
また、請求項１０に示すように、請求項１乃至９のうち何れか１項に記載の発明において、前記接合面に設けられた前記溝は幅に比べて深さが大きいことを特徴としている。
【００３６】
即ち、溝幅を大きくぜずに深さを大きくすることで、接合面の余剰接着剤が逃げ易くな
ると共に、溝幅を大きくしないことで、接着面積を確保でき接着強度を確保できる。
【００３７】
また、請求項１１に示すように、請求項１乃至１０のうち何れか１項に記載の発明において、前記溝は、前記薄板状部材の内部から縁部に向かって溝幅が広くなることを特徴としている。
【００３８】
該溝幅は連続的に広くしてもよいし、段階的に広くしてもよい。
【００３９】
また、前記目的を達成するために請求項１２に係る発明は、複数の薄板状部材を接着剤により積層接合させる積層構造において、他の薄板状部材を接合させる接合面には溝が設けられ、前記溝は幅に比べて深さが大きいことを特徴としている。
【００４０】
即ち、溝の体積（断面の断面積）が大きくなり、より多くの接着剤を逃がすことが可能になる。
【００４１】
溝幅を狭くすると、毛細管現象により該溝へ接合面上の接着剤が逃げ易くなる。
【発明の効果】
【００４２】
本発明によれば、薄板状部材の余分な接着剤や薄板状部材間の残留気泡を効率よく逃がすことができると共に、薄板状部材の反りを防止し、薄板状部材の剛性を確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００４４】
図１は、本発明を適用したインクジェット記録ヘッド（印字ヘッド）５０の構造例を示す平面透視図である。また、図２は該印字ヘッド５０のインク室ユニットの立体的構成を示す断面図（図１中２−２線に沿う断面図）である。
【００４５】
印字ヘッド５０は、その長手方向が短手方向に比べて十分に長く、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドであり、印字ヘッド５０におけるノズルピッチを高密度化するために、本例の印字ヘッド５０は、図１及び図２に示したように、インク滴が吐出するノズル５１と、各ノズル５１に対応する圧力室５２等からなる複数のインク室ユニット５３を千鳥でマトリックス状に配置させた構造を有している。
【００４６】
各ノズル５１に対応して設けられている圧力室５２は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル５１と供給口５４が設けられている。各圧力室５２は供給口５４を介して共通流路５５と連通されている。
【００４７】
圧力室５２の天面を構成している加圧板５６には個別電極５７を備えたアクチュエータ５８が接合されており、個別電極５７に駆動電圧を印加することによってアクチュエータ５８が変形してノズル５１からインクが吐出される。インクが吐出されると、共通流路５５から供給口５４を通って新しいインクが圧力室５２に供給される。
【００４８】
本発明の実施に際してノズルの配置構造は図示の例に限定されない。また、本実施形態では、ピエゾ素子（圧電素子）に代表されるアクチュエータ５８の変形によってインク滴を飛ばす方式が採用されているが、本発明の実施に際して、インクを吐出させる方式は特に限定されず、ピエゾジェット方式に代えて、ヒータなどの発熱体によってインクを加熱して気泡を発生させ、その圧力でインク滴を飛ばすサーマルジェット方式など、各種方式を適用できる。
【００４９】
図３は、図２に示したインク室５３の概略構成を分解して示した分解図 (積層構造を説明する図）である。インク室５３は、下から、ノズル５１が形成されているノズル板５１Ａ、共通流路５５及び圧力室５２からノズル５１へのインク流路５９が形成されている共通流路板５５Ａ、共通流路５５と圧力室５２を連通させる供給口５４及び、圧力室５２からノズル５１へのインク流路５９が形成されている供給口板５４Ａ、圧力室５２が形成されている圧力室板５２Ａ及び加圧板５６を積み重ねた構造になっている。
【００５０】
ここで、ノズル板５１Ａ、共通流路板５５Ａ、供給口板５４Ａ、圧力室板５２Ａ及び加圧板５６（各層を構成する板材）を総称して薄板状部材（図４の符号１００）と記載することがある。
【００５１】
このように構成されたインク室５３を有する印字ヘッド５０では、アクチュエータ５８を駆動させると加圧板５６を介して圧力室５２内のインクに圧力が加えられ、ノズル５１から下向きにインクが吐出される。
【００５２】
なお、図２及び図３には、インク室５３を１つだけ示したが、例えば、ノズル板５１Ａには１ヘッドが有するノズルの数だけノズル開口（貫通孔）が形成されている。同様に、各薄板状部材には１つのヘッドが有する圧力室５２等の液室やインク流路の数に対応した開口、凹部、溝が設けられている。また、各薄板状部材間の接合部（面と面とが貼り合わせられる部分）は、これらの開口、穴、凹部等を避けて設けられている。
【００５３】
各薄板状部材には所定の重ね合わせ精度を確保するために、位置合わせに用いるキー溝やピン、穴を備える態様が好ましい。
【００５４】
各薄板状部材の接合には熱硬化型接着剤や紫外線硬化型接着剤等が用いられる。該接着剤の硬化時の体積変化が大きいと該薄板状部材に反りが起こることがあり、該接着剤には硬化時に体積変化の少ないものを用いることが好ましい。なお、薄板状部材間だけでなく加圧板５６とアクチュエータ５８との接合にも上述した接着剤が用いられている。
【００５５】
上述したように、薄板状部材を接着剤により接合し積層させる場合に、余剰接着剤や各薄板状部材間に残留する気泡を逃がす必要がある。
【００５６】
例えば、供給口板５４Ａと共通流路板５５Ａとを接合する際に、供給口５４となる貫通穴内に余剰接着剤が入り込むと、供給口５４の開口径が小さくなったり、供給口５４を塞いでしまったりすることがあり得る。また、各薄板状部材間（例えば、圧力室板５２Ａと加圧板５６との間）の接合面に気泡が残留すると、液室やインク流路に気泡が混入し、この残留気泡によってインク室５３の気密性を確保できなくなることがある。これが圧力損失やインク漏れなどの原因となる。
【００５７】
したがって、図４及び図５に示すように、薄板状部材１００の接着面１０２には、余剰接着剤や残留気泡を逃がすために逃がし溝１０４が設けられている。
【００５８】
図４は、薄板状部材１００を接着面１０２から見た概略平面図であり、図５は図４中５−５断面に沿った断面図である。なお、図４及び図５には逃がし溝１０４以外の凹部、穴等は示されていない。
【００５９】
ここで、接着面１０２は、他の薄板状部材が接合される面であり、接着剤が塗布される接着領域を有する面を示している。なお、接着面１０２に液室やインク流路となる開口、穴、凹部などが形成されている場合には、逃がし溝１０４は各薄板状部材１００に形成されている液室や流路等を構成する開口、穴、凹部などを避けて配置される。
【００６０】
接着面（接着領域）へ接着剤を塗布させる方法には決められた領域に所定量の接着剤を所定の厚さに精度よく塗ることができるスクリーン印刷技法などが用いられる。もちろん、他の塗布方法を用いてもよい。
【００６１】
図４では、短手方向（図４の上下方向の辺）と長手方向（図４の左右方向の辺）とを持つ薄板状部材１００の接着面１０２上に、短手方向に沿った逃がし溝１０４Ａ及び長手に沿った逃がし溝１０４Ｂが形成されている。逃がし溝１０４Ａは薄板状部材１００の短辺方向に略平行であり、長手方向の一方の縁部１０６からもう一方の縁部１０８に達するように形成されている。同様に、逃がし溝１０４Ｂは長手方向に略平行であり、短手方向の一方の縁部１１０からもう一方の縁部１１２に達するように形成されている。逃がし溝１０４Ａと逃がし溝１０４Ｂとは、その交差する点において連通される。
【００６２】
このように、薄板状部材１００の両縁部に達するように逃がし溝１０４を設け、大気と連通させることで、接着面１０２上の余剰接着剤や板間の残留気泡を効率的に逃がし溝１０４へ逃がすことができる。
【００６３】
本例では、逃がし溝１０４を短手及び長手と略平行に配置したが、逃がし溝１０４は短手及び長手と平行な方向とある角度をなしていてもよい。また、逃がし溝１０４の数は、図４及び図５に限定されず、接着領域や形成方法によって、薄板状部材ごとに任意に設定できる。もちろん、逃がし溝１０４Ａ或いは逃がし溝１０４Ｂのうち何れか一方を形成し、もう一方を形成しない態様も可能である。
【００６４】
また、薄板状部材１００がだ円（長だ円）形状の場合には、略短軸方向が短手方向であり、略長軸方向が長手方向となる。更に、薄板状部材１００が異形形状である場合には、相対的に長い辺に沿った方向を長手方向とし、相対的に短い辺に沿った方向を短手方向とする。
【００６５】
図５に示すように、逃がし溝１０４Ａの断面形状は略正方形（四角形）であるが、半円形状でもよいし、他の形状でもよい。逃がし溝１０４Ａの断面形状は、その形成方法によって決まり、例えば、その作成方法に異方性エッチングを用いた場合には、図５に示すような略正方形形状（アスペクト比が１以下）になる。また、等方性エッチングを用いた場合は、略半円形状となりアスペクト比は０．５になる。。
【００６６】
ここで、アスペクト比とは逃がし溝１０４における溝幅に対する溝深さの比である。溝幅が一定でない場合には、最小溝幅に対する溝深さの比とする。
【００６７】
なお、逃がし溝１０４Ａと逃がし溝１０４Ｂとは、同一形状でもよいし、異なる形状でもよいが、同一形状であればその形成方法に同じ方法を用いることができる。
【００６８】
しかしながら、短手方向の逃がし溝１０４Ａを形成した場合に、薄板状部材１００の両縁部１０６及び１０８まで延設させ、その形状を一直線状にすると、薄板状部材１００の剛性が落ちる上に、薄板状部材１００の長手方向に反りが起こり易くなる。特に、図１に示したラインヘッドのような長尺ヘッドの場合は反りが発生し易くなる。
【００６９】
また、余分な接着剤を効率的に逃がすことができるように逃がし溝１０４の溝深さを深くすると、逃がし溝１０４をウエットエッチングで形成する場合には溝深さと共に溝幅も大きくなる。したがって、接着面積が小さくなり、接着強度が弱くヘッドの剛性が落ちる。
【００７０】
ただし、長手方向の逃がし溝１０４Ｂは、薄板状部材１００の剛性や反り（短手方向の反り）には比較的影響が少ないので、薄板状部材１００の両縁部１１０及び１１２まで延ばし、大気連通させた方が接着剤は逃がし溝１０４Ｂへ逃げ易くなる。
【００７１】
次に、上述した問題点（剛性の確保、反り）を解決するための、逃がし溝１０４の構造を示す。以下、図４及び図５と同一または類似する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７２】
図６には、短手方向の逃がし溝１０４Ａの両端部を薄板状部材の長手方向の両縁部１０６及び１０８に達していない態様（非連通溝）を示している。即ち、短手方向の逃がし溝１０４Ａは長手方向の逃がし溝１０４Ｂの間に形成され、一方、長手方向の逃がし溝１０４Ｂは薄板状部材の短手方向の縁部１１０及び１１２に達するように形成されている。
【００７３】
図６では、２本の逃がし溝１０４Ｂ間に逃がし溝１０４Ａを形成しているが、２本以上の逃がし溝１０４Ｂ間に逃がし溝１０４Ａを形成してもよい。また、逃がし溝１０４Ａは、縁部１０６及び１０８に達しないように形成されていればよく、逃がし溝１０４Ｂと交差するように（逃がし溝１０４Ｂから出るように）形成されてもよい。
【００７４】
図６に示した態様では、薄板状部材１００の中心部の余剰接着剤が逃げにくいために、図７に示すように、短手方向の逃がし溝１０４Ａの両端のうち、少なくとも一方の端は薄板状部材１００の長手方向の縁部１０６に達するように逃がし溝１０４Ａを形成し、大気と連通させる。もう一方の端は薄板状部材の長手方向の縁部まで達しないように逃がし溝１０４Ａを形成するとよい。
【００７５】
図７では、逃がし溝１０４Ａは長手方向の一方の縁部１０６に達し、もう一方の縁部１０８には達していない（片縁連通溝）。即ち、逃がし溝１０４Ａは、一方の端は薄板状部材１００の長手方向に縁部１０６において大気開放させ、もう一方の端は薄板状部材１００の長手方向の縁部１０８で大気開放されない構造を有することになる。
【００７６】
ただし、逃がし溝１０４Ａは逃がし溝１０４Ｂと連通されているので、長手方向の縁部１０８で大気開放されない逃がし溝１０４Ａの端は、逃がし溝１０４Ｂを介して間接的に大気と連通されることになる。
【００７７】
図８には、短手方向の逃がし溝１０４Ａのうち、縁部１０６に達するもの（第１の片縁連通溝）と、縁部１０８に達するもの（第２の片縁連通溝）と、を交互に配置させる態様を示している。図８に示した態様では、図７に示した態様に比べて中央部の余剰接着剤を均等に逃がすことができる。
【００７８】
図８には、短手方向の逃がし溝１０４Ａのうち、縁部１０６に達するものと、縁部１０８に達するものと、を交互に配置させたが、縁部１０６に達する逃がし溝１０４Ａと、縁部１０８に達する逃がし溝１０４と、を２本や３本おきに配置させてもよい。
【００７９】
また、図９には図６乃至図８に示した態様を組み合わせた態様を示す。短手方向の逃がし溝１０４Ａは、一方の端を薄板状部材の縁部１０６或いは１０８のうち何れか一方の縁部まで伸ばした逃がし溝１０４Ａと、両端を薄板状部材の両縁部１０６及び１０８まで伸ばさない逃がし溝１０４Ａと、を組み合わせている。
【００８０】
図９に示した態様では、一方の端を薄板状部材１００の縁部１０６に達する逃がし溝１０４Ａと、一方の端を薄板状部材１００の縁部１０８に達する逃がし溝１０４Ａと、は略同一直線状に配置され、両端を薄板状部材の両縁部１０６及び１０８に達しない逃がし溝１０４Ａは一方の端を薄板状部材１００の縁部１０６及び１０８に達する逃がし溝１０４Ａと交互に配置されている。
【００８１】
図９に示した態様では、薄板状部材の中央部の余剰接着剤は、圧力損失の大きな長手方向の逃がし溝１０４Ｂを通ることなく、圧力損失の小さい短手方向の逃がし溝１０４Ａを通ることができ、薄板状部材の中央部の余剰接着剤が逃げ易くなる。
【００８２】
図６乃至図９では、薄板状部材１００の一方の接着面１０２上に逃がし溝１０４が形成される態様を例示したが、図１０乃至図１３に、薄板状部材１００のもう一方の接着面１２０にも逃がし溝１０４が形成された態様を示す。
【００８３】
図１０は、薄板状部材の断面図（図５に相当）である。図１０に示すように、板状部材の１００の接着面１０２には短手方向の逃がし溝１０４Ａが形成され、接着面１０２の裏面であるもう一方の接着面１２０には短手方向の逃がし溝１２２Ａが形成されている。
【００８４】
このように、薄板状部材１００の両面（接着面１０２及び接着面１２０）に逃がし溝１０４Ａ及び１２２Ａを形成させると、逃がし溝の両端が薄板部材の両縁部に連通していても板状部材の長手方向の反りを減少させることができる。
【００８５】
図１１は、図１０に示した薄板状部材の接着面１０２から見た概略平面図である。図１１に示すように接着面１０２に形成され逃がし溝１０４Ａと接着面１２０に形成された逃がし溝１２２Ａとは、何れか一方の接着面から見ると重なる位置に形成されている。
【００８６】
なお、図１０及び図１１に示した態様では、薄板状部材１００の剛性が確保できない場合がある。この場合には、図１２及び図１３に示すように、接着面１０２の逃がし溝１０４Ａと接着面１２０の逃がし溝１２２Ａとは、何れか一方の接着面から見て重ならないように形成するとよい。
【００８７】
図１２及び図１３によれば、接着面１０２に形成された逃がし溝１０４Ａと接着面１２０に形成された逃がし溝１２２Ａとは、長手方向（図１２及び図１３上の左右方向）にずらした位置に形成されている。
【００８８】
接着面積を大きくするためには、逃がし溝１０４（１２２Ａ）の溝幅を小さくする必要がある。しかしながら、溝幅を小さくすると逃がし溝１０４へ逃がすことができる接着剤の量が少なくなってしまう。
【００８９】
そこで、図１４（図４の５−５断面に沿った断面図に相当）に示すように、逃がし溝１０４の幅を小さく（狭く）する一方、深さを深くすると、接着面積を大きくでき、且つ、同じ量の余剰接着剤を逃がし溝１０４に流すことができる。図１４では、短手方向の逃がし溝１０４Ａについて説明したが、もちろん、長手方向の逃がし溝１０４Ｂにも適用可能である。
【００９０】
このように逃がし溝１０４Ａを形成すると、接着強度を上げることができ、ヘッドの剛性が上がり得る。更に、逃がし溝１０４Ａの幅を狭くすると、毛細管現象によって余剰接着剤が逃げ易くなるばかりでなく、板状部材上の形成されるノズル５１の高密度な配置が可能になる。
【００９１】
図１５（図４の５−５断面に沿った断面図に相当）は、図１４において逃がし溝１０４Ａの幅を上述した態様と同じ幅にした態様である。図１５に示した態様では、図１４に示した態様に比べて余剰接着剤をより多く流すことができるため、信頼性が向上する。
【００９２】
図１４及び図１５に示した態様では、逃がし溝１０４Ａのアスペクト比（溝幅に対する溝深さの比）が１より大きくなっている。図１４に示した態様でのアスペクト比は略５であり、図１５に示した態様ではアスペクト比は略２．５である。
【００９３】
このようにアスペクト比が０．５を超える溝（凹部）は、ドライエッチング（深堀）やシリコンの異方性エッチング等により形成することが好ましい。シリコンの異方性エッチングを用いる場合には、薄板状部材１００の材質にはシリコンが用いられる。
【００９４】
図１４及び図１５に示した態様に、図１０乃至図１３に示した両接着面に逃がし溝を形成する態様を適用してもよい。ただし、図１０に示す、何れか一方の接着面から見て同じ位置に逃がし溝１０４Ａ及び逃がし溝１２２Ａを形成させると、溝深さを深くした際に、接着面１０２に形成された逃がし溝１０４Ａと接着面１２０に形成された逃がし溝１２２Ａとの薄板状部材１００の深さ方向の距離が近くなり（肉厚が薄くなり）所定の剛性を保つことができない恐れがある。
【００９５】
したがって、図１２及び図１３に示した、接着面１０２に形成された逃がし溝１０４Ａと接着面１２０に形成された逃がし溝１２２Ａとを、何れか一方の接着面から見て異なる（ずらした）位置に形成する態様を適用することが好ましい。
【００９６】
図１６及び図１７には、断面形状が略長方形以外の断面形状を有する逃がし溝１０４を示す。
【００９７】
図１６に示した逃がし溝１０４は、接着面１０２における幅に比べて、底面の幅が広くなり、逃がし溝１０４の断面形状が略三角形であり、このような形状の逃がし溝１０４を形成すると接着面積をより広く確保することができる。
【００９８】
また、図１７には断面形状が略菱形形状である態様を示している。この他にも様々な形状を適用できるが、複雑な形状にすると逃がし溝１０４の形成が困難になり得るので、逃がし溝１０４の形成方法（各薄板状部材の製造方法）に適した形状とするとよい。
【００９９】
図１８(a) 、(b) 及び図１９には、逃がし溝１０４Ａの溝幅及び溝深さが、薄板状部材の中央部に比べて縁部１０６及び１０８の方が広くなっている態様を示している。また、長手方向の逃がし溝１０４Ｂについても同様に、中央部の溝幅及び溝深さよりも薄板状部材１００の端部１１０及び１１２の溝幅及び溝深さの方が広くなっている。
【０１００】
本例では、中央部から縁部に向かって溝幅、溝深さを共に広くする態様を示したが、もちろん溝幅だけでもよいし、溝深さだけでもよい。
【０１０１】
該溝幅は中央部から端部に向かって連続的に広くしてもよいし（溝の側面が平坦形状）、図１８(b) に示すように、段階的に広くしてもよい（溝の側面に段がある形状）。図１８(b) には、逃がし溝１０４が２種類の幅を持つ（２段階に幅を変える）態様を示したが、３種類以上の幅を有していてもよい。
【０１０２】
なお、図１８(a) 、(b) は接着面１０２から見た概略平面図であり、図１９はその断面図（図１８中１９−１９に沿う断面図）である。
【０１０３】
図１８(a) 、(b) 及び図１９に示すように逃がし溝１０４を形成させると、接着面１０２（１２０）上の余剰接着剤を効率よく逃がすことができる。
【０１０４】
本実施形態では、逃がし溝１０４（１２２Ａ）を短手方向或いは長手方向と平行に形成する態様を例示したが、短手方向或いは長手方向とある角度をなすように形成されてもよい。
【０１０５】
薄板状部材１００の材質には、例えば、ステンレス等の金属、セラミック、シリコン等が用いられる。もちろん、これ以外の材質の部材を用いてもよい。加工方法、加工精度、剛性等を考慮して適した材質を用いるとよい。また、積層構造の各層ごとに異なる材質の部材を用いてもよい。
【０１０６】
上述した逃がし溝１０４は、接着される面の両方に設けられていてもよいし、何れか一方の面に設けられていてもよい。言い換えると、上下の層を形成する２枚の薄板状部材において、上側の層を形成する薄板状部材の下側面と下側の層を形成する薄板状部材の上側面とを接着する際に、上側の層を形成する薄板状部材の下側面と下側の層を形成する薄板状部材の上側面との両方に逃がし溝を設けてもよいし、何れが一方の面に逃がし溝を設けてもよい。
【０１０７】
また、上述した各態様を独立に適用してもよいし、複数の態様を組み合わせてもよい。
【０１０８】
本実施形態では、インクジェット記録装置に搭載される印字ヘッドを例に説明したが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、複数の部材（薄膜）を積層させる積層構造を有する電子部品等にも応用可能である。
【０１０９】
本印字ヘッド５０を搭載したインクジェット記録装置には、印字ヘッド５０にインクを供給するインク供給部、印字ヘッド５０からインクを吐出される記録メディアを固定しながら搬送させる（または、固定された記録メディア上を印字ヘッド５０が移動する）搬送部（移動部）、記録メディア上のインクを定着 (浸透）させる定着部、記録済みの記録メディアを装置から排出させる排出部、記録メディアに記録された画像を読み取る印字検出部、該装置の様々な制御や画像データから印字データを生成する制御部などを備える態様がある。
【０１１０】
また、本印字ヘッド５０は、水、処理液、薬品（薬液）などの液体を被吐出媒体上に吐出させる吐出ヘッドにも適用可能であり、本印字ヘッド (吐出ヘッド）は、ディスペンサーなどの液体吐出装置に搭載可能である。
【０１１１】
上記の如く構成された薄板状部材１００では、他の薄板状部材を貼り合わせる接着面１０２には余剰接着剤や薄板状部材間の残留気泡を逃がすための逃がし溝１０４が形成されている。逃がし溝１０４は、短手方向に平行な向きと長手方向に平行な向きにそれぞれ設けられ、短手方向の逃がし溝１０４Ａは一方の端が薄板状部材１００の縁部１０６或いは１０８に達するように形成し大気連通させ、もう一方の端は薄板状部材１００の縁部１０６或いは１０８に達していないように形成する。余剰接着剤を効率よく逃がし溝１０４へ逃がすことができると共に、薄板状部材１００の剛性が確保され、長手方向の反りを低減できる。短手方向の逃がし溝１０４Ａは両端とも薄板状部材１００の端部に達しないように形成されてもよい。
【０１１２】
また、薄板状部材１００の両面（接着面１０２及び接着面１２０）に逃がし溝１０４及び１２２Ａを設けると、薄板状部材１００の長手方向の反りを低減させることができる。
【０１１３】
更に、逃がし溝１０４のアスペクト比が０．５を超えるような形状とすることで、接着面積を広くとることができ、接着強度を確保することができる。また、逃がし溝１０４の体積（断面積）を大きくとることができるので余剰接着剤をより多く逃がすことが可能になる。薄板状部材１００の中央部の溝幅よりも端部の溝幅が大きくなるように逃がし溝１０４を形成すると、余剰接着剤を効率よく逃がすことができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本発明を適用した印字ヘッドの構造例を示す平面透視図
【図２】図１中２−２線に沿う断面図
【図３】図２の概略構成を分解して示した分解図
【図４】逃がし溝を説明する図
【図５】図４中５−５線に沿う断面図
【図６】本発明の実施形態に係る薄板状部材の平面図
【図７】図６に示した逃がし溝の変形例を示す図
【図８】図６に示した逃がし溝の他の変形例を示す図
【図９】図６に示した逃がし溝の更に他の変形例を示す図
【図１０】両面に逃がし溝が形成された薄板状部材の断面図
【図１１】図１０に示した薄板状部材の平面図
【図１２】図１０に示した逃がし溝の変形例を示す図
【図１３】図１２に示した薄板状部材の平面図
【図１４】アスペクト比が１を超える逃がし溝が形成された薄板状部材の断面図
【図１５】図１４に示した逃がし溝の変形例を示す図
【図１６】図１４に示した逃がし溝の他の変形例を示す図
【図１７】図１４に示した逃がし溝の更に他の変形例を示す図
【図１８】中央部よりも端部の幅が広い逃がし溝を示す図
【図１９】図１８中１９−１９線に沿う断面図
【符号の説明】
【０１１５】
１００…薄板状部材、１０２，１２０…接着面、１０４，１２２Ａ…逃がし溝、１０６，１０８，１１０，１１２…縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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