(57)【要約】【課題】装置を大型化することなく長手方向に長く、かつ、均一な磁場を発生させることが可能なセンサ検査用磁場発生装置を提供する。【解決手段】このセンサ検査用の磁場発生装置１は、細長状の第１空洞部１１ａを有する磁性材料からなる第１磁場発生部材１１と、第１磁場発生部材１１と所定の間隔を隔てて対向するように配置されるとともに、第１空洞部１１ａに対応する位置に細長状の第２空洞部１２ａを有する磁性材料からなる第２磁場発生部材１２と、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２に磁場を発生させるためのコイル１５とを備えている。そして、第１空洞部１１ａおよび第２空洞部１２ａは、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２が対向する方向と交差する方向（図１のＸ方向）に延びるように形成されている。【選択図】図１
2005084022.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
細長状の第１空洞部を有する磁性材料からなる第１磁場発生部材と、
前記第１磁場発生部材と所定の間隔を隔てて対向するように配置されるとともに、前記第１空洞部に対応する位置に細長状の第２空洞部を有する磁性材料からなる第２磁場発生部材と、
前記第１磁場発生部材および前記第２磁場発生部材に磁場を発生させるためのコイルとを備え、
前記細長状の第１空洞部および第２空洞部は、前記第１磁場発生部材および前記第２磁場発生部材が対向する方向と交差する方向に延びるように形成されている、センサ検査用磁場発生装置。
【請求項２】
前記第１磁場発生部材および前記第２磁場発生部材は、２．０Ａ／m以下の保磁力を有するＮｉ−Ｆｅ系合金からなる、請求項１に記載のセンサ検査用磁場発生装置。
【請求項３】
前記第１磁場発生部材および前記第２磁場発生部材の長手方向両端部に設けられ、前記第１磁場発生部材と前記第２磁場発生部材とを連結する一対の連結部材をさらに備え、
前記一対の連結部材の前記第１磁場発生部材側および前記第２磁場発生部材側に、前記コイルが連続するように巻回されている、請求項１または２に記載のセンサ検査用磁場発生装置。
【請求項４】
前記連結部材は、２．０Ａ／ｍ以下の保磁力を有するＮｉ−Ｆｅ系合金からなる、請求項３に記載のセンサ検査用磁場発生装置。
【請求項５】
前記第１空洞部および前記第２空洞部は、実質的に均一な短手方向長さを有する長方形状を有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載のセンサ検査用磁場発生装置。
【請求項６】
前記細長状の第１空洞部および第２空洞部の対向する空間に、実質的に均一な磁場が発生される、請求項１〜５のいずれか１項に記載のセンサ検査用磁場発生装置。
【請求項７】
前記第１磁場発生部材および前記第２磁場発生部材を覆うように配置された磁気シールド部材をさらに備える、請求項１〜６のいずれか１項に記載のセンサ検査用磁場発生装置。
【請求項８】
細長状の第１空洞部を有する磁性材料からなる第１磁場発生部材と、前記第１磁場発生部材と所定の間隔を隔てて対向するように配置されるとともに、前記第１空洞部に対応する位置に細長状の第２空洞部を有する磁性材料からなる第２磁場発生部材と、前記第１磁場発生部材および前記第２磁場発生部材に磁場を発生させるためのコイルとを含み、前記細長状の第１空洞部および第２空洞部は、前記第１磁場発生部材および前記第２磁場発生部材が対向する方向と交差する方向に延びるように形成されている、測定部に配置された磁場印加部と、
複数のセンサ素子を所定の間隔を隔てて載置可能なセンサ載置部材と、
前記センサ載置部材を前記測定部に搬送するための搬送部と、
前記測定部に配置され、前記複数のセンサ素子を検査するための検査プローブとを備えた、センサ検査装置。
【請求項９】
前記検査プローブは、前記センサ素子に電気的に接触する非磁性でかつ導電性を有する材料からなる、請求項８に記載のセンサ検査装置。
【請求項１０】
前記磁場印加部を覆うように配置された磁気シールド部材をさらに備える、請求項８または９に記載のセンサ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ検査用磁場発生装置およびセンサ検査装置に関し、特に、磁気センサ素子の検査に用いるセンサ検査用磁場発生装置およびセンサ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、磁気センサ素子の特性調査に用いる検査装置として、ヘルムホルツコイル（Ｈｅｌｍｈｏｌｔｚ  ｃｏｉｌ）が知られている（たとえば、非特許文献１参照）。ここで、ヘルムホルツコイルとは、２つの同等の円形コイルをその中心軸を揃えて半径分の間隔を隔てて配置したものを言う。このヘルムホルツコイルでは、２つのコイルに同量の電流を流して同じ向きの磁場を発生させると、２つのコイルの共通の中心軸線上で、均一な磁場を得ることが可能である。従来では、このようなヘルムホルツコイルによって発生した均一な磁場を用いて、磁気センサ素子および磁気センサの特性調査を行っていた。
【非特許文献１】ＡＳＴＭ  Ｄｅｓｉｇｎａｔｉｏｎ：Ａ  ６９８−７４“Ｓｔａｎｄａｒｄ  Ｔｅｓｔ  Ｍｅｔｈｏｄ  ｆｏｒ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｓｈｉｅｌｄ  Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  ｉｎ  Ａｔｔｅｎｕａｔｉｎｇ  Ａｌｔｅｒｎａｔｉｎｇ  Ｍａｇｎｅｔｉｃ  Ｆｉｅｌｄｓ”
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記したヘルムホルツコイルでは、所定の間隔を隔てて配置した２つのコイルの共通の中心軸線上に沿って均一磁場が得られるため、均一磁場を２つのコイルが対向する方向と直交する方向に発生させようとすると、ヘルムホルツコイルを構成する２つのコイルの外径を大きくする必要があるため、装置が大型化してしまうという問題点があった。
【０００４】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、装置を大型化することなく、長手方向に長く、かつ、均一な磁場を発生させることが可能なセンサ検査用磁場発生装置およびセンサ検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００５】
この発明の第１の局面によるセンサ検査用磁場発生装置は、細長状の第１空洞部を有する磁性材料からなる第１磁場発生部材と、第１磁場発生部材と所定の間隔を隔てて対向するように配置されるとともに、第１空洞部に対応する位置に細長状の第２空洞部を有する磁性材料からなる第２磁場発生部材と、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材に磁場を発生させるためのコイルとを備える。そして、細長状の第１空洞部および第２空洞部は、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材が対向する方向と交差する方向に延びるように形成されている。
【０００６】
この第１の局面によるセンサ検査用磁場発生装置では、上記のように、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材のそれぞれに設けられた細長状の第１空洞部および第２空洞部を、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材が対向する方向と交差する方向に延びるように形成することによって、その細長状の第１空洞部と第２空洞部との間の領域に、長手方向に長く、かつ、均一な磁場を発生させることができる。これにより、従来のヘルムホルツコイルと異なり、装置を大型化することなく、長手方向に長く、かつ、均一な磁場を発生させることができる。
【０００７】
上記第１の局面によるセンサ検査用磁場発生装置において、好ましくは、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材は、２．０Ａ／ｍ以下の保磁力を有するＮｉ−Ｆｅ系合金からなる。このように、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材の材料として、２．０Ａ／ｍ以下の低保磁力を有するＮｉ−Ｆｅ系合金を用いれば、強い磁場が印加された場合にも残留磁化の影響を受けにくいとともに、微小磁場でもコイルに流す電流に応じた均一磁場を発生させることができる。
【０００８】
上記第１の局面によるセンサ検査用磁場発生装置において、好ましくは、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材の長手方向両端部に設けられ、第１磁場発生部材と第２磁場発生部材とを連結する一対の連結部材をさらに備え、一対の連結部材の第１磁場発生部材側および第２磁場発生部材側に、コイルが連続するように巻回されている。このように構成すれば、コイルが巻回された連結部材によって、容易に、第１磁場発生部材の第１空洞部と第２磁場発生部材の第２空洞部との間の領域に、長手方向に長く、かつ、均一な磁場を発生させることができる。
【０００９】
この場合、連結部材は、２．０Ａ／ｍ以下の保磁力を有するＮｉ−Ｆｅ系合金からなるのが好ましい。このように、コイルが巻回される連結部材の材料として、２．０Ａ／ｍ以下の低保磁力を有するＮｉ−Ｆｅ系合金を用いれば、強い磁場が印加された場合にも残留磁化の影響を受けにくいとともに、微小磁場でもコイルに流す電流に応じた均一磁場を発生させることができる。
【００１０】
上記第１の局面によるセンサ検査用磁場発生装置において、好ましくは、第１空洞部および第２空洞部は、実質的に均一な短手方向長さを有する長方形状を有する。このように構成すれば、容易に、長方形状の第１空洞部および第２空洞部の長手方向に渡って均一な磁場を発生させることができる。
【００１１】
上記第１の局面によるセンサ検査用磁場発生装置において、細長状の第１空洞部および第２空洞部の対向する空間に、実質的に均一な磁場が発生されるのが好ましい。このように構成すれば、細長状の第１空洞部および第２空洞部に沿って長手方向に長い均一磁場を発生させることができる。
【００１２】
上記第１の局面によるセンサ検査用磁場発生装置において、好ましくは、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材を覆うように配置された磁気シールド部材をさらに備える。このように構成すれば、磁気シールド部材により、センサ検査時に地磁気の影響を抑制することができる。
【００１３】
この発明の第２の局面によるセンサ検査装置は、細長状の第１空洞部を有する磁性材料からなる第１磁場発生部材と、第１磁場発生部材と所定の間隔を隔てて対向するように配置されるとともに、第１空洞部に対応する位置に細長状の第２空洞部を有する磁性材料からなる第２磁場発生部材と、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材に磁場を発生させるためのコイルとを含み、細長状の第１空洞部および第２空洞部は、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材が対向する方向と交差する方向に延びるように形成されている、測定部に配置された磁場印加部と、複数のセンサ素子を所定の間隔を隔てて載置可能なセンサ載置部材と、センサ載置部材を測定部に搬送するための搬送部と、測定部に配置され、複数のセンサ素子を検査するための検査プローブとを備えている。
【００１４】
この第２の局面によるセンサ検査装置では、上記のように、磁場発生ユニットを構成する第１磁場発生部材および第２磁場発生部材のそれぞれに設けられた細長状の第１空洞部および第２空洞部を、第１磁場発生部材および第２磁場発生部材が対向する方向と交差する方向に延びるように形成することによって、その細長状の第１空洞部と第２空洞部との間の領域に、長手方向に長く、かつ、均一な磁場を発生させることができる。これにより、従来のヘルムホルツコイルと異なり、磁場印加部を大型化することなく、長手方向に長く、かつ、均一な磁場を発生させることができる。また、磁場印加部を大型化することなく、長手方向に長く、かつ、均一な磁場を発生させることができるので、容易に、磁場印加部を自動化ラインに組み込むことができる。これにより、検査プローブと、複数のセンサ素子を所定の間隔を隔てて載置可能なセンサ載置部材と、センサ載置部材を測定部に搬送するための搬送部とをさらに設けることによって、容易に、自動化されたセンサ検査装置を得ることができるので、検査効率を大幅に向上させることができる。
【００１５】
上記第２の局面によるセンサ検査装置において、好ましくは、検査プローブは、センサ素子に電気的に接触する非磁性でかつ導電性を有する材料からなる。このように構成すれば、検査プローブが非磁性であるので、検査プローブがセンサ素子の磁場印加による検査時に悪影響を及ぼすのを抑制することができるので、検査精度を向上させることができる。
【００１６】
上記第２の局面によるセンサ検査装置において、好ましくは、磁場発生ユニットを覆うように配置された磁気シールド部材をさらに備える。このように構成すれば、磁気シールド部材により、センサ素子の検査時に地磁気の影響を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一実施形態によるセンサ検査用の磁場発生装置を示した斜視図である。図２は、図１に示した一実施形態によるセンサ検査用の磁場発生装置のコイルの巻き方向を説明するための概略図である。図３は、図１に示した磁場発生装置の平面図であり、図４は、図３の正面図であり、図５は、図４の右側面図である。
【００１９】
図１〜図５を参照して、本実施形態によるセンサ検査用の磁場発生装置１は、長方形状（細長状）の第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２が、互いに所定の間隔を隔てて対向するように配置されている。第１磁場発生部材１１には、長方形状（細長状）の第１空洞部１１ａが設けられており、第２磁場発生部材１２には、第１空洞部１１ａに対応する位置に第１空洞部１１ａと同じ長方形状（細長状）の第２空洞部１２ａが設けられている。すなわち、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２のそれぞれに設けられた長方形状の第１空洞部１１ａおよび第２空洞部１２ａは、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２が対向する方向（図１のＹ方向）と直交する方向（図１のＸ方向）に伸びるように形成されている。
【００２０】
また、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２は、Ｎｉ−Ｆｅ系合金からなる。Ｎｉ−Ｆｅ系合金としては、約０．４ｋＡ／ｍ以上の高飽和磁束密度と、約２．０Ａ／ｍ以下の低保磁力を有するパーマロイ（たとえば、７８Ｎｉ−５Ｍｏ−４Ｃｕ−Ｆｅの組成を有する住友特殊金属社製ＰＣ−２）を用いるのが好ましい。このように、約０．４ｋＡ／ｍ以上の高飽和磁束密度の磁性材料を用いることにより、少ない材料で所定の磁場を得ることができる。また、約２．０Ａ／ｍ以下の低保磁力の磁性材料を用いることにより、強い磁場が印加された場合にも残留磁化の影響を受けにくいとともに、微小磁場でもコイルに流す電流に応じた均一磁場を発生させることができる。
【００２１】
第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２の長手方向（図１のＸ方向）の両端部には、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２を連結するための連結部材１３および１４が取り付けられている。この連結部材１３および１４も、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２と同様、約０．４ｋＡ／ｍ以上の高飽和磁束密度と、約２．０Ａ／ｍ以下の低保磁力を有するパーマロイ（たとえば、７８Ｎｉ−５Ｍｏ−４Ｃｕ−Ｆｅの組成を有する住友特殊金属社製ＰＣ−２）からなる。連結部材１３および１４には、図１および図２に示すように、磁場発生空間を挟んで対向するコイル１５同士が同じ巻き方向になるように巻かれている。このような巻き方向にコイル１５を連結部材１３および１４に対して巻くことによって、コイル１５に電流を流した場合に、第１磁場発生部材１１の第１空洞部１１ａと第２磁場発生部材１２の第２空洞部１２ａとの間の領域に、均一な磁界が発生される。なお、コイル１５としては、銅線に絶縁被覆したもの（たとえば、日立電線製  ２種ＰＥＷ）を用いる。ここで、磁場発生部材１１および１２と連結部材１３および１４は、ワイヤカットやプレスなどによって一体成形するのが好ましい。このように一体成形することにより、磁気ギャップがなくなり、磁場発生装置として好ましい。
【００２２】
本実施形態では、上記のように、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２のそれぞれに設けられた長方形状の第１空洞部１１ａおよび第２空洞部１２ａを、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２が対向する方向と直交する方向に伸びるように形成するとともに、連結部材１３および１４にコイル１５を図２に示すように巻くことによって、その長方形状の第１空洞部１１ａと第２空洞部１２ａとの間の領域に、長手方向（図１のＸ方向）に長く、かつ、均一な磁場を発生させることができる。これにより、従来のヘルムホルツコイルと異なり、磁場発生装置１を大型化することなく、長手方向（図１のＸ方向）に長く、かつ、均一な磁場を発生させることができる。
【００２３】
本願発明者らは、上記した本実施形態による効果を確認するために、以下のような比較実験を行った。すなわち、図１に示した本実施形態による磁場発生装置１と、従来のヘルムホルツコイル（比較例）とを実際に作製し、磁場分布（対向方向（図１のＹ方向）および長手方向（図１のＸ方向））の測定を行った。
【００２４】
まず、本実施形態に沿って作製した磁場発生装置１としては、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２と、連結部材１３および１４とを、パーマロイ（７８Ｎｉ−５Ｍｏ−４Ｃｕ−Ｆｅの組成を有する住友特殊金属社製ＰＣ−２）により形成するとともに、コイル１５としてポリウレタンによって絶縁された銅線を用いた。また、コイル１５を、図１に示した連結部材１３および１４の４箇所に１６ターンづつ巻き線した。本実施形態による磁場発生装置の外径寸法は、６０ｍｍ（図１のＹ方向）×１２０ｍｍ（図１のＺ方向）×２４０ｍｍ（図１のＸ方向）（ヨーク含む）であり、容積は、０．００２ｍ２であった。また、第１空洞部１１ａおよび第２空洞部１２ａのＸ方向の長さは、２２０ｍｍとした。つまり、第１空洞部１１ａおよび第２空洞部１２ａは、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２の一方の端部から１０ｍｍの位置から２３０ｍｍの位置までＸ方向に延びるように形成した。なお、第１空洞部１１ａおよび第２空洞部１２ａのＺ方向（図１参照）の長さは、２０ｍｍとした。
【００２５】
これに対して、比較例によるヘルムホルツコイルとしては、ＡＳＴＭ準拠ヘルムホルツコイル（１／４モデル）を作製した。コイルとしては、ポリウレタンによって絶縁被覆された銅線を用いた。また、コイルの巻き数は、片側６０ターンとした。この比較例によるヘルムホルツコイルの外径寸法は、φ３００ｍｍ（コイル外径）×１５０ｍｍ（２つのコイル間の間隔）であり、容積は、０．０１１ｍ２であった。
【００２６】
上記のようにして作製した本実施形態による磁場発生装置１および比較例によるヘルムホルツコイルの磁場分布を測定した結果が、図６〜図９に示されている。まず、図６には、本実施形態による磁場発生装置の第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２が対向する方向（図１のＹ方向）の磁場分布が示されている。また、図６には、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２の長手方向（図１のＸ方向）の一方端から４０ｍｍ、１２０ｍｍおよび２００ｍｍの位置での、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２が対向する方向（図１のＹ方向）の磁場分布が示されている。図６に示すように、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２が対向する方向（図１のＹ方向）では、対向方向の中央から±１０ｍｍの範囲で均一な磁場が得られることがわかる。この場合、第１磁場発生部材１１と第２磁場発生部材１２との間の間隔は、６０ｍｍであるので、第１磁場発生部材１１および第２磁場発生部材１２が対向する方向（図１のＹ方向）では、全長６０ｍｍの領域に対して、２０ｍｍの領域で均一磁場が発生されることが判明した。
【００２７】
また、図７には、本実施形態による磁場発生装置の長手方向（図１のＸ方向）の磁場分布が示されている。また、図７には、図１のＹ方向の中央位置と、中央位置から±１０ｍｍの位置との３つの位置で、Ｘ方向に沿った長手方向の位置での磁場分布が示されている。図７に示すように、本実施形態による磁場発生装置では、長手方向（図１のＸ方向）の位置である３０ｍｍから２１０ｍｍまでの１８０ｍｍの長さの領域において、均一な磁場が得られることが判明した。また、対向方向（図１のＹ方向）の中央位置のみならず中央位置から±１０ｍｍの位置においても、長手方向（図１のＸ方向）に１８０ｍｍの長さの均一な磁場領域を得ることが可能であることが判明した。したがって、本実施形態による磁場発生装置では、長手方向（図１のＸ方向）の全長２４０ｍｍに対して、１８０ｍｍの長さの長手方向の均一磁場を得ることができることがわかった。
【００２８】
これに対して、比較例によるヘルムホルツコイルでは、図８に示すように、２つのコイルが対向した共通の中心軸方向（対向方向）では、ほぼ全領域に亘って均一な磁場が得られることがわかる。具体的には、２つのコイルが対向した共通の中心軸方向（対向方向）では、装置の全長（２つのコイルの間隔）が１５０ｍｍであるのに対して、均一磁場は１５０ｍｍ得ることができた。その一方、比較例によるヘルムホルツコイルでは、図９に示すように、長手方向（２つのコイルが対向する方向に直交する方向）では、中央位置から±４０ｍｍの範囲でのみ均一な磁場が得られることがわかる。具体的には、比較例によるヘルムホルツコイルでは、長手方向では、装置の全長（装置の外径）が３００ｍｍであるのに対して、均一磁場は８０ｍｍしか得られなかった。
【００２９】
上記のように、本実施形態による磁場発生装置１と比較例によるヘルムホルツコイルの長手方向の均一磁場の発生領域とを比較すると、本実施形態では、長手方向の全長２４０ｍｍに対して１８０ｍｍ（７５％）の長手方向の均一磁場が得られるのに対して、比較例では、長手方向の３００ｍｍの全長に対して８０ｍｍ（約２７％）の長手方向の均一磁場しか得られないことが判明した。したがって、本実施形態による磁場発生装置１では、従来のヘルムホルツコイルと異なり、装置を大型化することなく、長手方向に長く、かつ、均一な磁場を発生させることができることを確認することができた。
【００３０】
図１０は、図１に示した本実施形態による磁場発生装置１を磁場印加部として用いたセンサ検査装置の全体構成を示した概略図である。図１１は、図１０に示したセンサ検査装置の測定部を示した概略図である。次に、図１０および図１１を参照して、本実施形態による磁場発生装置１を含むセンサ検査装置５０の構成について説明する。このセンサ検査装置５０は、本実施形態による磁場発生装置１からなる磁場印加部と、ラインコントロールユニット５１と、特性検査コントロールユニット５２と、磁場発生ユニット５３と、ＭＰＸ（マルチプレックス）５４と、検査ユニット５５と、搬送ライン５６と、磁気シールド部材５７と、データストレージユニット５８と、ディスプレイ５９とを含んでいる。
【００３１】
ラインコントロールユニット５１は、磁気センサ素子（フラックスゲート型磁気センサ素子）１００の検査装置を含む製造ライン全体を制御するユニットである。特性検査コントロールユニット５２は、ラインコントロールユニット５１からの検査スタンバイＯＫ信号を待って磁気センサ素子１００の測定シーケンスを実施する。また、磁場発生ユニット５３は、特性検査コントロールユニット５２からの制御信号にしたがって磁場発生装置１に一定の直流電流を印加するものである。ＭＰＸ（マルチプレックス）５４は、特性検査コントロールユニット５２からの制御信号にしたがって時分割を行う装置である。また、検査ユニット５５は、磁気センサ素子１００の信号波形を計測するパルスカウンタを含む。搬送ライン５６は、コンベアからなる。磁気シールド部材５７は、パーマロイからなり、磁場発生装置１の全体を覆うように形成されている。この磁気シールド部材５７は、地磁気の影響を抑制するために設けられている。データストレージユニット５８は、特性検査コントロールユニット５２によって得られた測定データおよび加工データを一定量保存する装置であり、たとえば、パーソナルコンピュータのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）を想定している。また、ディスプレイ５９は、測定データなどを表示するために設けられている。
【００３２】
ここで、本実施形態では、搬送ライン５６上に、検査対象である複数の磁気センサ素子１００を載置することが可能なセンサ載置部材２１がセットされている。このセンサ載置部材２１は、搬送ライン５６によって測定部に搬送される。測定部の上部には、複数の検査プローブ２２が上下方向に移動可能に設置されている。この検査プローブ２２は、磁気センサ素子１００に電気的に接触するものであり、非磁性で、かつ、導電性を有する材料（たとえば、Ｃｕ系の材料）からなる。
【００３３】
本実施形態の検査装置による検査方法としては、特性検査コントロールユニット５２が、ラインコントロールユニット５１からの検査スタンバイＯＫ信号を待って以下の測定シーケンスを実施する。具体的には、検査する磁気センサ１００を図１１に示すように、センサ載置部材２１上に所定の間隔を隔てて配置する。この場合、磁気センサ素子１００を、磁気感応軸方向と磁場印加方向とが平行になるように配置する。そして、センサ載置部材２１を搬送ライン５６上に載せて測定部に搬送する。磁場発生装置１の均一磁場発生領域内にセンサ載置部材２１が搬送された時点で、搬送ライン５６が停止される。この状態で、検査プローブ２２を下降させて、検査プローブ２２を各磁気センサ素子１００に接触させることによって、磁気センサ素子１００の特性の測定を行う。この磁気センサ素子１００の特性を測定する際には、磁場のない状態および磁場を印加した状態で磁気センサ素子１００の出力（電圧など）を計測する。なお、極性反転または磁場印加量の変化により特性の測定を行ってもよい。また、プローブは固定的に設置し、センサ載置部材が測定部に移動してから、プローブに向かってセンサ載置部材を突き上げる構成でもよい。
【００３４】
特性の測定は、１台の検査ユニット５５で行うため、ＭＰＸ（マルチプレックス）５４を用いて時分割で測定する。得られた測定データに基づいて、磁気センサ素子１００の良否判定を行う。
【００３５】
本実施形態では、上記のように、センサ検査装置５０に、装置を大型化することなく長手方向（図１のＸ方向）に長くかつ均一な磁場を発生することが可能な磁場発生装置１を用いることによって、その磁場発生装置１を自動化ラインに容易に組み込むことができる。これにより、検査効率を大幅に向上させることができる。
【００３６】
また、本実施形態では、図１１に示した検査プローブ２２を、非磁性でかつ導電性を有する材料から形成することによって、検査プローブ２２が非磁性であるので、検査プローブ２２がセンサ素子１００の検査時に悪影響を及ぼすのを抑制することができる。これにより、検査精度を向上させることができる。
【００３７】
また、本実施形態では、磁場発生装置１を取り囲むようにパーマロイからなる磁気シールド部材５７を設けることによって、磁気センサ素子１００の検査時に地磁気の影響を抑制することができる。
【００３８】
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
【００３９】
たとえば、上記実施形態では、磁場発生装置１の第１磁場発生部材１１、第２磁場発生部材１２および連結部材１３、１４を、パーマロイの一例である７８Ｎｉ−５Ｍｏ−４Ｃｕ−Ｆｅの組成を有する住友特殊金属社製ＰＣ−２によって形成した例を示したが、本発明はこれに限らず、０．４ｋＡ／ｍ以上の飽和磁束密度と２．０Ａ／ｍ以下の保磁力とを有する材料であれば、Ｎｉ−Ｆｅ系合金からなる他のパーマロイを用いてもよい。たとえば、８０Ｎｉ−Ｆｅの組成を有する住友特殊金属社製ＰＣ−１７や、８０Ｎｉ−５Ｍｏ−Ｆｅの組成を有する住友特殊金属社製ＰＣ−８０、３８Ｎｉ−８Ｃｒ−Ｆｅの組成を有する住友特殊金属社製ＰＤ−３，５などを用いることができる。
【００４０】
また、上記実施形態では、センサ検査装置により本発明のセンサの一例としてのフラックスゲート型磁気センサ素子を測定する例を示したが、本発明はこれに限らず、本発明のセンサ検査装置は、センサ素子だけでなく、センサ素子を組み込んだＩＣなどの検査にも適用可能である。また、ホール素子、ＭＲ素子やＭＩ素子などのセンサの検査にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態による磁場発生装置を示した斜視図である。
【図２】図１に示した一実施形態による磁場発生装置のコイルの巻き方向を説明するための概略図である。
【図３】図１に示した一実施形態による磁場発生装置の平面図である。
【図４】図１に示した一実施形態による磁場発生装置の正面図である。
【図５】図４に示した一実施形態による磁場発生装置の右側面図である。
【図６】本発明の一実施形態による磁場発生装置の対向方向（Ｙ方向）の磁場分布を示した図である。
【図７】本発明の一実施形態による磁場発生装置の長手方向（Ｘ方向）の磁場分布を示した図である。
【図８】比較例によるヘルムホルツコイルの中心軸方向（対向方向）の磁場分布を示した図である。
【図９】比較例によるヘルムホルツコイルの長手方向の磁場分布を示した図である。
【図１０】図１に示した磁場発生装置を用いたセンサ検査装置の全体構成を示した概略図である。
【図１１】図１０に示したセンサ検査装置の測定部を示した概略図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  磁場発生装置（センサ検査用磁場発生装置）
１１  第１磁場発生部材
１１ａ  第１空洞部
１２  第２磁場発生部材
１２ａ  第２空洞部
１３、１４  連結部材
１５  コイル
２１  センサ載置部材
２２  検査プローブ
５０  センサ検査装置
５１  ラインコントロールユニット
５２  特性検査コントロールユニット
５３  磁場発生ユニット
５４  ＭＰＸ（マルチプレックス）
５５  検査ユニット
５６  搬送ライン
５７  磁気シールド部材
５８  データストレージユニット
５９  ディスプレイ
【図１】
2005084022.tif 000003
【図２】
2005084022.tif 000004
【図３】
2005084022.tif 000005
【図４】
2005084022.tif 000006
【図５】
2005084022.tif 000007
【図６】
2005084022.tif 000008
【図７】
2005084022.tif 000009
【図８】
2005084022.tif 000010
【図９】
2005084022.tif 000011
【図１０】
2005084022.tif 000012
【図１１】
2005084022.tif 000013