(57)【要約】【課題】ノズル間のクロストークを防止するとともに、圧電体の加圧能力を向上させてノズルの高密度化、高粘度吐出を可能にし、更に、製造にも適した液滴吐出ヘッド及びこれを用いたインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】各圧力室５２に対応させて振動板５７上の加圧部分にそれぞれ積層型圧電体５８を接合固定し、積層型圧電体５８の伸縮変位で圧力室５２を加圧してノズル５１からインクを吐出させる。積層型圧電体５８の振動板接合面と反対側の端部は拘束されない自由端又は重り部材を付加した端の構造とし、フレキシブル基板５９を介して個別電極を一括で外部に配線する。また、振動板５７側から見た圧力室５２の平面形状について該圧力室５２内の壁間距離（見通し距離）の最小値／最大値で規定される比の値を圧力室のアスペクト比とするとき、０．４５≦アスペクト比≦０．８９を満たす圧力室形状とする。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルに対応して設けられ、各ノズルから吐出させる液体が充填される複数の圧力室と、
前記圧力室の一壁面を構成している振動板と、
前記振動板上における前記複数の圧力室に対応した各位置にそれぞれ独立して接合固定された複数の積層型圧電体と、を備え、
前記積層型圧電体の前記振動板との接合面と反対側の端部を当該積層型圧電体による前記振動板への加圧方向に変位可能な非拘束端の状態とし、前記積層型圧電体の伸縮変位により前記振動板を介して前記圧力室内の液を加圧して前記ノズルから液滴を吐出させるように構成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
液滴を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルに対応して設けられ、各ノズルから吐出させる液体が充填される複数の圧力室と、
前記圧力室の一壁面を構成している振動板と、
前記振動板上における前記複数の圧力室に対応した各位置にそれぞれ独立して接合固定された複数の積層型圧電体と、を備え、
前記積層型圧電体の前記振動板との接合面と反対側の端部に、該端部の前記振動板への加圧方向の変位を阻害する重り部材を設け、前記積層型圧電体の伸縮変位により前記振動板を介して前記圧力室内の液を加圧して前記ノズルから液滴を吐出させるように構成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記振動板側から見た前記圧力室の平面形状について該圧力室内の壁間距離の最小値／最大値で規定される比の値を圧力室のアスペクト比とするとき、前記圧力室は次式、
０．４５≦アスペクト比≦０．８９
を満たすことを特徴する請求項１又は２記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
液滴を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルに対応して設けられ、各ノズルから吐出させる液体が充填される複数の圧力室と、
前記圧力室の一壁面を構成している振動板と、
前記振動板上における前記複数の圧力室に対応した各位置にそれぞれ独立して接合固定された複数の積層型圧電体と、を備え、
前記振動板側から見た前記圧力室の平面形状について該圧力室内の壁間距離の最小値／最大値で規定される圧力室のアスペクト比が次式、
０．４５≦アスペクト比≦０．８９
を満たし、前記積層型圧電体の伸縮変位により前記振動板を介して前記圧力室内の液を加圧して前記ノズルから液滴を吐出させるように構成したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至４の何れか１項記載の液滴吐出ヘッドをインクジェット記録ヘッドとして用い、該インクジェット記録ヘッドに対して記録媒体を相対移動させながら、前記ノズルからインク滴を吐出することにより前記記録媒体上に画像を記録することを特徴とするインクジェット記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置に係り、特に積層型圧電体を用いて圧力室を加圧することでノズルから液滴を吐出させる圧電駆動型の液滴吐出ヘッドの構造及びこれを用いたインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
積層型のピエゾ圧電素子を利用してインクを吐出させるインクジェットヘッドについては、特許文献１において開示されている。この種のピエゾ駆動型インクジェットヘッドの駆動特性を表す代表的な指標は、圧電体による圧力室の排除体積と発生圧力である。発生圧力が高いほど制御性が高まり、高粘度液の吐出が可能になり、或いは、ヘッドの小型化が可能となる。
【０００３】
すなわち、排除体積向上の原資を高粘度液の吐出に振り向ける態様、また、排除体積を得るために必要な面積が小さくなることを利用して、その原資をヘッド小型化に振り向けて、より高密度で小型のヘッドを実現する態様が可能である。
【０００４】
記録媒体の紙幅に対応する長さのノズル列を有するフルライン型ヘッドを用いて高速・高画質の両立を目指す場合、視認ムラを低減し、にじみ等の打滴干渉を防止するためには、高粘度の微細な液滴を、例えば、紙面上で2400dpi 程度に敷き詰めることが可能でなければならない。
【０００５】
仮に、従来のピエゾ駆動型のインクジェットヘッドでこれを実現しようとした場合、１色当たり２５mm程度の搬送方向長さが必要であり、６色では１５０mmと計算される。
【０００６】
ところが、インクジェットシステムにおいては、キャッピングやワイピング等のメンテナンス系の設置が必要であること及び安定に機能させること、用紙搬送精度等を考慮すると、ヘッドの搬送方向長さを従来並みの１インチ幅程度に納めることが要求される。
【０００７】
機能性インクを使用してにじみ防止を狙うために、例えば、ヘッドの流路構成を変えずに、一般的なインクの１０倍の高粘度液を吐出させる場合には、流路抵抗は略１０倍となるので、単純計算で色数×１０倍の面積密度を実現する必要があるが、従来のピエゾ駆動型インクジェットヘッドの設計範囲でこれを達成することはできない。
【０００８】
従来のピエゾ駆動型インクジェットヘッド技術を分類すると、以下の３種類を挙げることができる。第１は、ユニモルフアクチュエータを印刷技術で分散配置したものである（特許文献２）。第２は、積層型圧電体を支持体上に設け、自由端側を用いて圧力室を加圧するものである（特許文献１）。第３は、積層型圧電体を機械的には分離せず、圧力室に対応した電極パターン配線で駆動を分離する方式（電極分離方式）である（特許文献３、４）。
【特許文献１】特許第３１８２８３１号公報
【特許文献２】特許第３３０２５１５号公報
【特許文献３】特開２００２−１６６５４３号公報
【特許文献４】特開２００１−２４６７４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記第１の分類に係る技術は、印刷技術を用いて安価にヘッドを実現できるが、薄い圧電体を高精度に実現すること及び大面積化が困難であり、実用上２cm程度以下に制約される。したがって、フルライン型のヘッドを作成するためには、短いヘッドユニットを複数個繋ぎ合わせる必要があり、この繋ぎ方式以外の手法で単一体のラインヘッドを実現することは困難である。
【００１０】
上記第２の分類に係る技術は、比較的大きな積層型圧電体の片側を共通の固定端としつつ、他端を切り分ける製法上、ノズル列方向の密度は切り分け刃の加工律速となる。したがって、高密度にノズルを配列する場合は、個々の圧電体を切り分け方向に対して垂直な奥行き方向に長い長方形にして、圧電体による排除体積を稼ぐ必要がある。この方式では実用上の密度限界が200 dpi 程度であり、長方形形状の縦横比は１：１０程度となる。
【００１１】
上記第３の分類に係る技術は、積層型圧電体の製造適性は増すが、隣接アクチュエータ同士が機械的に繋がっているので、クロストーク（隣接するノズル同士の相互干渉）が多いとともに、拘束が強く、大きな変位を得るためには積層数を増やさなければならず、ヘッドサイズの大型化につながる。
【００１２】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ノズル間のクロストークを防止するとともに、圧電体の加圧能力を向上させてノズルの高密度化、高粘度吐出を可能にし、更に、製造にも適した液滴吐出ヘッド及びこれを用いたインクジェット記録装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するために、請求項１記載の発明に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられ、各ノズルから吐出させる液体が充填される複数の圧力室と、前記圧力室の一壁面を構成している振動板と、前記振動板上における前記複数の圧力室に対応した各位置にそれぞれ独立して接合固定された複数の積層型圧電体と、を備え、前記積層型圧電体の前記振動板との接合面と反対側の端部を当該積層型圧電体による前記振動板への加圧方向に変位可能な非拘束端の状態とし、前記積層型圧電体の伸縮変位により前記振動板を介して前記圧力室内の液を加圧して前記ノズルから液滴を吐出させるように構成したことを特徴とする。
【００１４】
複数層の圧電体を積層構造で接合して成る積層型圧電体は、単層の圧電体と比較してより大きな排除体積を得ることができるため、かかる積層型圧電体を各圧力室に対応させて個別に配置する構成によって、ノズルの高密度化や高粘度液の吐出が可能となる。また、本発明において積層型圧電体は、圧力室ごとに個別に独立して配置され、隣接する圧力室の積層型圧電体同士は互いに分離されている（独立している）ので吐出駆動時のクロストークが防止される。
【００１５】
更に、本発明によれば、振動板に接合固定される積層型圧電体の振動板側と反対側の一端を拘束しない非拘束端（自由端）としているため、製造時における積層型圧電体の取り付けの自由度が増す。これにより、高度な張力調整等が不要になり、製造が容易で、低コスト化を実現することができる。
【００１６】
請求項２記載の発明に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられ、各ノズルから吐出させる液体が充填される複数の圧力室と、前記圧力室の一壁面を構成している振動板と、前記振動板上における前記複数の圧力室に対応した各位置にそれぞれ独立して接合固定された複数の積層型圧電体と、を備え、前記積層型圧電体の前記振動板との接合面と反対側の端部に、該端部の前記振動板への加圧方向の変位を阻害する重り部材を設け、前記積層型圧電体の伸縮変位により前記振動板を介して前記圧力室内の液を加圧して前記ノズルから液滴を吐出させるように構成したこ
とを特徴とする。
【００１７】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の発明と同様に、ノズルの高密度化、高粘度液の吐出、クロストーク防止及び製造適性の向上等を実現できるとともに、更に、各積層型圧電体の端部に設けた重り部材によって荷重が付加され、積層型圧電体の伸縮変位を接合面側に多く振り向けることができ、より大きな排除体積を得ることができる。これにより、ノズルの一層の高密度化や高粘度液の吐出が可能となる。
【００１８】
請求項３記載の発明は請求項１又は２記載の液滴吐出ヘッドに係り、前記振動板側から見た前記圧力室の平面形状について該圧力室内の壁間距離の最小値／最大値で規定される比の値を圧力室のアスペクト比とするとき、前記圧力室は次式、０．４５≦アスペクト比≦０．８９を満たすことを特徴する。
【００１９】
圧力室内の壁間距離（見通し距離）の最小値と最大値の比（最小値／最大値）で定義される圧力室のアスペクト比が０．４５≦アスペクト比≦０．８９の条件を満たす場合、積層型圧電体の大きな変位量に当該形状による振動板の変位のしやすさが相乗され、加圧力に対する振動板の変位量を比較的大きくすることができる。つまり、単位占有面積あたりの圧力室の体積変化量（排除体積）を大きくできる。したがって、本発明によれば、従来にない高粘度液吐出能力、或いはヘッドの小型化を実現できる。
【００２０】
請求項４記載の発明に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられ、各ノズルから吐出させる液体が充填される複数の圧力室と、前記圧力室の一壁面を構成している振動板と、前記振動板上における前記複数の圧力室に対応した各位置にそれぞれ独立して接合固定された複数の積層型圧電体と、を備え、前記振動板側から見た前記圧力室の平面形状について該圧力室内の壁間距離の最小値／最大値で規定される圧力室のアスペクト比が次式、０．４５≦アスペクト比≦０．８９を満たし、前記積層型圧電体の伸縮変位により前記振動板を介して前記圧力室内の液を加圧して前記ノズルから液滴を吐出させるように構成したことを特徴とする。
【００２１】
請求項４記載の発明によれば、積層型圧電体の分離配置構造によってノズル間のクロストークを防止しつつ、積層型圧電体で圧力室を変形させる能力を向上させたので、ノズル高密度化や高粘度液吐出が可能になる。
【００２２】
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４の何れか１項記載の液滴吐出ヘッドをインクジェット記録ヘッドとして用い、該インクジェット記録ヘッドに対して記録媒体を相対移動させながら、前記ノズルからインク滴を吐出することにより前記記録媒体上に画像を記録することを特徴とするインクジェット記録装置を提供する。
【００２３】
なお、本発明の実施に際して、記録ヘッドの形態は特に限定されず、記録媒体の送り方向と略直交する方向に記録ヘッドが往復動作しながら印字を行うシャトル方式の記録ヘッドであってもよいし、インクを吐出する複数のノズルが記録媒体の送り方向と略直交する方向に前記記録媒体の全幅に対応する長さにわたって配列されたノズル列を有するフルライン型の記録ヘッドであってもよい。
【００２４】
「フルライン型の記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）」は、通常、記録媒体の相対的な送り方向と直交する方向に沿って配置されるが、送り方向と直交する方向に対して、ある所定の角度を持たせた斜め方向に沿って記録ヘッドを配置する態様もあり得る。また、記録ヘッドにおけるノズルの配列形態は、１列のライン状配列に限定されず、複数列からなるマトリックス配列でもよい。更には、記録媒体の全幅に対応する長さに満たないノズル列を有する短尺記録ヘッドユニットを複数個組み合わせることによって、これらユニット全体として記録媒体の全幅に対応するノズル列を構成する形態もあり得る。
【００２５】
「記録媒体」は、記録ヘッドの作用によって画像の記録を受ける媒体（印字媒体、被画像形成媒体、被記録媒体、受像媒体など呼ばれ得るもの）であり、連続用紙、カット紙、シール用紙、ＯＨＰシート等の樹脂シート、フイルム、布、インクジェット記録装置によって配線パターン等が形成されるプリント基板、その他材質や形状を問わず、様々な媒体を含む。なお、本明細書において「印字」という用語は、文字を含む広い意味での画像を形成する概念を表すものとする。
【００２６】
記録媒体と記録ヘッドを相対的に移動させる移動手段（搬送手段）は、停止した（固定された）記録ヘッドに対して記録媒体を搬送する態様、停止した記録媒体に対して記録ヘッドを移動させる態様、或いは、記録ヘッドと記録媒体の両方を移動させる態様の何れをも含む。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、ノズルに連通する圧力室ごとに積層型圧電体を振動板上に個別に独立して配置し、振動板の接合面と反対側の一端を非拘束端又は重り部材を付加した端の構造としたので、ノズル間のクロストークを防止できるとともに、ノズルの高密度化や高粘度液吐出が可能となり、かつ、製造も容易になる。
【００２８】
また、本発明の他の態様によれば、ノズルに連通する圧力室についてその平面形状のアスペクト比が０．４５以上かつ０．８９以下の条件を満たすような形状とし、各圧力室に個別の積層型圧電体を設けたので、積層型圧電体の大きな駆動力と当該形状による振動板の変位のしやすさの相乗効果によって従来にない高粘度液吐出能力、或いはヘッドの小型化を実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。
【００３０】
〔インクジェット記録装置の全体構成〕
図１は本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の全体構成図である。同図に示したように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色ごとに設けられた複数の印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙを有する印字部１２と、各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、記録済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６と、を備えている。
【００３１】
図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００３２】
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコード或いは無線タグなどの情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【００３３】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻きクセが残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻きクセ方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【００３４】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター（第１のカッター）２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置される。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００３５】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラ３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が水平面（フラット面）をなすように構成されている。
【００３６】
ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引穴（不図示）が形成されている。図１に示したとおり、ローラ３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバ３４が設けられており、この吸着チャンバ３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。
【００３７】
ベルト３３が巻かれているローラ３１、３２の少なくとも一方にモータ（図１中不図示，図７中符号８８として記載）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１上の時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は図１の左から右へと搬送される。
【００３８】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、或いはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラ線速度を変えると清掃効果が大きい。
【００３９】
なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラ・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラ・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面をローラが接触するので画像が滲み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面を接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【００４０】
吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹き付け、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００４１】
印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙送り方向と直交方向に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている（図２参照）。詳細な構造例は後述するが（図３乃至図５）、各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙは、図２に示したように、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００４２】
記録紙１６の送り方向（以下、紙搬送方向という。）に沿って上流側から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応した印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙが配置されており、記録紙１６を搬送しつつ各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００４３】
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドが各インク色ごとに設けられてなる印字部１２によれば、副走査方向について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち１回の副走査で）、記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが主走査方向に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００４４】
本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。
【００４５】
図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンク（インクタンク）を有し、各インクタンクは不図示の管路を介して各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【００４６】
印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサを含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。印字検出部２４は、少なくとも各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサ又はエリアセンサで構成される。
【００４７】
印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹き付ける方式が好ましい。
【００４８】
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【００４９】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００５０】
こうして生成されたプリント物は排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り替える不図示の選別手段が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に
形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成される。
【００５１】
また、図１には示さないが、本画像の排出部２６Ａには、オーダ別に画像を集積するソーターが設けられる。
【００５２】
次に、印字ヘッドの構造について説明する。インク色ごとに設けられている各印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって印字ヘッドを示すものとする。
【００５３】
図３(a) は印字ヘッド５０の構造例を示す平面透視図であり、図３(b) はその一部の拡大図である。また、図３(c) は印字ヘッド５０の他の構造例を示す平面透視図、図４はインク室ユニットの立体的構成を示す断面図（図３(a) 中の４−４線に沿う断面図）である。
【００５４】
記録紙面上に印字されるドットピッチを高密度化するためには、印字ヘッド５０におけるノズルピッチを高密度化する必要がある。本例の印字ヘッド５０は、図３(a) 〜(c) 及び図４に示したように、インク滴が吐出するノズル５１と、各ノズル５１に対応する圧力室５２等からなる複数のインク室ユニット５３を千鳥でマトリックス状（２次元的）に配置させた構造を有し、これにより見かけ上のノズルピッチの高密度化を達成している。
【００５５】
すなわち、本実施形態における印字ヘッド５０は、図３(a) ，(b) に示すように、インクを吐出する複数のノズル５１が印字媒体送り方向と略直交する方向に印字媒体の全幅に対応する長さにわたって配列された１列以上のノズル列を有するフルラインヘッドである。  
【００５６】
ただし、本発明の実施に際してノズルの配置構造は図示の例に限定されない。また、図３(c) に示すように、複数のノズル５１が２次元に配列された短尺のヘッドユニット５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせることで記録紙１６の全幅に対応する長さのノズル列を有するフルラインヘッドを構成してもよい。
【００５７】
図３(a) 〜(c) に示したように、各ノズル５１に対応して設けられている圧力室５２は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル５１と供給口５４が設けられている。
【００５８】
また、図４に示したように、各圧力室５２は供給口５４を介して共通流路５５と連通されている。共通流路５５はインク供給源たるインクタンク（図４中不図示、図６中符号６０として記載）と連通しており、インクタンク６０から供給されるインクは共通流路５５を介して各圧力室５２に分配供給される。なお、インクタンク６０とは別に、印字ヘッド５０の近傍又は印字ヘッド５０と一体にサブタンク（不図示）等を設けてもよい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。
【００５９】
図４に示すように、ノズル５１はノズル流路５６を介して圧力室５２と連通されている。圧力室５２の天面を構成している振動板５７の上には各圧力室５２に対応する位置に積層型圧電体５８が個々に分割された独立構造として接合されている。積層型圧電体５８は、圧電体の薄板と内部電極とが交互に重ねられた構造を有している。本例の振動板５７は積層型圧電体５８のコモン電極を兼ねている。
【００６０】
また、積層型圧電体５８の自由端側の端部（図４において上端）にはフレキシブル基板５９が接続されている。フレキシブル基板５９には、積層型圧電体５８の個別電極に対応する配線パターンが形成されており、該フレキシブル基板５９を介して個々の積層型圧電体５８に駆動電圧が印加される。積層型圧電体５８に駆動電圧が印加されることにより、積層型圧電体５８が積層方向に伸縮変形し、その変位に伴って圧力室５２内のインクが加圧され、ノズル５１からインクが吐出される。インクが吐出されると、共通流路５５から供給口５４を通って新しいインクが圧力室５２に供給される。
【００６１】
なお、フレキシブル基板５９は柔軟性のある樹脂素材からなり、複数の積層型圧電体５８に架け渡されて接続されているものの、個々の積層型圧電体５８の上端部を拘束していない。したがって、各積層型圧電体５８の上端部（振動板５７の接合面と反対側の端部）は振動板５７の加圧方向について変位可能な自由端の状態になっている。
【００６２】
上記した構造を有する多数のインク室ユニット５３を図５に示す如く、主走査方向に沿う行方向及び主走査方向に対して直交しない一定の角度θを有する斜めの列方向とに沿って一定の配列パターンで格子状に配列させた構造によって本例の印字ヘッド５０が実現されている。
【００６３】
図５に示したとおり、主走査方向に対してある角度θの方向に沿ってインク室ユニット５３を一定のピッチｄで複数配列する構造により、主走査方向に並ぶように投影されたノズルのピッチＰはｄ× cosθとなる。
【００６４】
すなわち、主走査方向については、各ノズル５１が一定のピッチＰで直線状に配列されたものと等価的に取り扱うことができる。このような構成により、主走査方向に並ぶように投影されるノズル列が１インチ当たり2400個（2400ノズル／インチ）におよぶ高密度のノズル構成を実現することが可能になる。
【００６５】
なお、用紙（記録紙１６）の全幅に対応したノズル列を有するフルラインヘッドでノズルを駆動する時には、（１）全ノズルを同時に駆動する、（２）ノズルを片方から他方に向かって順次駆動する、（３）ノズルをブロックに分割してブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動する等が行われ、用紙の幅方向（用紙の搬送方向と直交する方向）に１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）を印字するようなノズルの駆動を主走査と定義する。
【００６６】
特に、図５に示すようなマトリクス状に配置されたノズル５１を駆動する場合は、上記（３）のような主走査が好ましい。すなわち、ノズル５１-11 、５１-12 、５１-13 、５１-14 、５１-15 、５１-16 を１つのブロックとし（他にはノズル５１-21 、…、５１-26 を１つのブロック、ノズル５１-31 、…、５１-36 を１つのブロック、…として）、記録紙１６の搬送速度に応じてノズル５１-11 、５１-12 、…、５１-16 を順次駆動することで記録紙１６の幅方向に１ラインを印字する。
【００６７】
一方、上述したフルラインヘッドと用紙とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字を繰り返し行うことを副走査と定義する。
【００６８】
図６はインクジェット記録装置１０におけるインク供給系の構成を示した概要図である。インクタンク６０はインクを供給するための基タンクであり、図１で説明したインク貯蔵／装填部１４に設置される。インクタンク６０の形態には、インク残量が少なくなった場合に、不図示の補充口からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を変える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じた吐出制御を行うことが好ましい。なお、図６のインクタンク６０は、先に記載した図１のインク貯蔵／装填部１４と等価のものである。
【００６９】
図６に示したように、インクタンク６０と印字ヘッド５０を繋ぐ管路の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ６２が設けられている。フィルタ・メッシュサイズは、ノズル径と同等若しくはノズル径以下（一般的には、２０μｍ程度）とすることが好ましい。
【００７０】
なお、図６には示さないが、印字ヘッド５０の近傍又は印字ヘッド５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。
【００７１】
また、インクジェット記録装置１０には、ノズル５１の乾燥防止又はノズル近傍のインク粘度上昇を防止するための手段としてのキャップ６４と、ノズル面の清掃手段としてのクリーニングブレード６６とが設けられている。
【００７２】
これらキャップ６４及びクリーニングブレード６６を含むメンテナンスユニットは、不図示の移動機構によって印字ヘッド５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置から印字ヘッド５０下方のメンテナンス位置に移動される。
【００７３】
キャップ６４は、図示せぬ昇降機構によって印字ヘッド５０に対して相対的に昇降変位される。電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ６４を所定の上昇位置まで上昇させ、印字ヘッド５０に密着させることにより、ノズル面をキャップ６４で覆う。
【００７４】
クリーニングブレード６６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示せぬブレード移動機構により印字ヘッド５０のインク吐出面（ノズル板表面）に摺動可能である。ノズル板にインク液滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード６６をノズル板に摺動させることでノズル板表面を拭き取り、ノズル板表面を清浄する。
【００７５】
印字中又は待機中において、特定のノズルの使用頻度が低くなり、ノズル近傍のインク粘度が上昇した場合、その劣化インクを排出すべくキャップ６４に向かって予備吐出が行われる。
【００７６】
また、印字ヘッド５０内のインク（圧力室内）に気泡が混入した場合、印字ヘッド５０にキャップ６４を当て、吸引ポンプ６７で圧力室内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク６８へ送液する。この吸引動作は、初期のインクのヘッドへの装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも粘度上昇（固化）した劣化インクの吸い出しが行われる。
【００７７】
すなわち、印字ヘッド５０は、ある時間以上吐出しない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してノズル近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用のアクチュエータ（積層型圧電体５８）が動作してもノズル５１からインクが吐出しなくなる。したがって、この様な状態になる手前で（アクチュエータの動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で）、インク受けに向かってアクチュエータを動作させ、粘度が上昇したノズル近傍のインクを吐出させる「予備吐出」が行われる。また、ノズル面の清掃手段として設けられているクリーニングブレード６６等のワイパーによってノズル板表面の汚れを清掃した後に、このワイパー摺擦動作によってノズル５１内に異物が混入するのを防止するためにも予備吐出が行われる。なお、予備吐出は、「空吐出」、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。
【００７８】
また、ノズル５１や圧力室５２に気泡が混入したり、ノズル５１内のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、上記予備吐出ではインクを吐出できなくなるため、以下に述べる吸引動作を行う。
【００７９】
すなわち、ノズル５１や圧力室５２のインク内に気泡が混入した場合、或いはノズル５１内のインク粘度があるレベル以上に上昇した場合には、アクチュエータを動作させてもノズル５１からインクを吐出できなくなる。このような場合、印字ヘッド５０のノズル面に、圧力室５２内のインクをポンプ等で吸い込む吸引手段を当接させて、気泡が混入したインク又は増粘インクを吸引する動作が行われる。
【００８０】
ただし、上記の吸引動作は、圧力室５２内のインク全体に対して行われるためインク消費量が大きい。したがって、粘度上昇が少ない場合はなるべく予備吐出を行うことが好ましい。
【００８１】
なお、図６で説明したキャップ６４は、吸引手段として機能するとともに、予備吐出のインク受けとしても機能し得る。
【００８２】
〔制御系の説明〕
次に、インクジェット記録装置１０の制御系について説明する。
【００８３】
図７はインクジェット記録装置１０のシステム構成を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置１０は、通信インターフェース７０、システムコントローラ７２、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８、プリント制御部８０、画像バッファメモリ８２、ヘッドドライバ８４等を備えている。
【００８４】
通信インターフェース７０は、ホストコンピュータ８６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース７０にはＵＳＢ、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（不図示）を搭載してもよい。ホストコンピュータ８６から送出された画像データは通信インターフェース７０を介してインクジェット記録装置１０に取り込まれ、一旦画像メモリ７４に記憶される。画像メモリ７４は、通信インターフェース７０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ７２を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ７４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。
【００８５】
システムコントローラ７２は、通信インターフェース７０、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ８６との間の通信制御、画像メモリ７４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ８８やヒータ８９を制御する制御信号を生成する。
【００８６】
モータドライバ７６は、システムコントローラ７２からの指示に従ってモータ８８を駆動するドライバ（駆動回路）である。ヒータドライバ７８は、システムコントローラ７２からの指示に従って後乾燥部４２その他各部のヒータ８９を駆動するドライバである。
【００８７】
プリント制御部８０は、システムコントローラ７２の制御に従い、画像メモリ７４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号（印字データ）をヘッドドライバ８４に供給する制御部である。プリント制御部８０において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいてヘッドドライバ８４を介して印字ヘッド５０のインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。
【００８８】
プリント制御部８０には画像バッファメモリ８２が備えられており、プリント制御部８０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ８２に一時的に格納される。なお、図７において画像バッファメモリ８２はプリント制御部８０に付随する態様で示されているが、画像メモリ７４と兼用することも可能である。また、プリント制御部８０とシステムコントローラ７２とを統合して一つのプロセッサで構成する態様も可能である。
【００８９】
ヘッドドライバ８４はプリント制御部８０から与えられる印字データに基づいて各色の印字ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙの積層型圧電体５８を駆動する。ヘッドドライバ８４にはヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。
【００９０】
印字検出部２４は、図１で説明したように、ラインセンサを含むブロックであり、記録紙１６に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況（吐出の有無、打滴のばらつきなど）を検出し、その検出結果をプリント制御部８０に提供する。
【００９１】
プリント制御部８０は、必要に応じて印字検出部２４から得られる情報に基づいて印字ヘッド５０に対する各種補正を行う。
【００９２】
〔ヘッドの製造方法〕
ここで、印字ヘッド５０の製造方法について説明する。
【００９３】
近年の表面実装技術は、回路基板上にサブミリサイズの素子を１０μｍ程度の高精度に配置し、接着する技術である。この種の実装装置を用いることにより、サブミリ角の積層型ピエゾ圧電素子をインクジェットヘッドの個々の圧力室の位置に高精度に配置することは十分可能である。
【００９４】
本例の印字ヘッド５０の作製に際しては、積層型圧電体５８又は更にその一端（振動板接合面と反対側の端）に重り部材（図８において符号９２として記載）を付けた物を上記の実装装置を用いて振動板５７の加圧部分に位置決めし、個々に仮止めして、その後一括でＵＶ接着又は加熱接着する。
【００９５】
図８のように、積層型圧電体５８の振動板５７との接合面と反対側の非拘束端側に重り部材９２を設けることにより、積層型圧電体５８の伸縮変位が圧力室５２側（図８の下方）に効率よく伝達される。なお、図８において、符号９４は圧力室５２の側壁面を構成する圧力室プレート、符号９５は圧力室５２の下面を構成するとともに、ノズル流路５６を形成する流路プレートである。
【００９６】
また、図８及び図９に示したように、振動板５７の圧電体接合面側に突起９７を設けておき、この突起９７による振動板５７の凹凸形状を利用して積層型圧電体５８を粗く配置しても、その配置のばらつきによらず圧力室５２の加圧状態が略一定に揃う態様も好ましい。
【００９７】
積層型圧電体５８からの電極の取り出し方は、図４でも説明したとおり、個別電極については積層型圧電体５８の自由端側に引き出し、フレキシブル基板５９等を介して一括で外部に配線する。
【００９８】
また、共通電極（コモン電極）については、接着剤を介して金属製の振動板５７に電気接続する。なお、接着剤による導通は、表面粗さの効果で導通させてもよいし、導電性接着剤を使用してもよい。
【００９９】
本例の印字ヘッド５０では、約１０層程度の積層数からなる積層型圧電体５８を用いるため、圧電体は伸縮モード（ｄ33方向の変位を利用するモード) で動作させる。なお、圧電体の積層方向については、図９で示したように、振動板５７の接合面に対して縦方向（法線方向）に圧電体を重ねた構造であってもよいし、図１０に示す積層型圧電体５８’の如く、振動板５７の接合面に対して横方向（法線に直交する方向）に圧電体を重ねた構造であってもよい。この場合、圧電体はｄ31方向の変位を利用するモードで使用される。
【０１００】
〔圧力室の形状と積層型圧電体の相乗効果〕
図３(a) 〜(c) で説明したとおり、本実施形態に係る印字ヘッド５０の圧力室５２は、アクチュエータ側から見た（透視した）ときの平面形状が略正方形状となっている。
【０１０１】
正方形に代表されるように、縦横比が約１となる形状の圧力室５２は、積層型圧電体５８の大きな駆動力に振動板５７の変位のしやすさが相乗され、発生圧力の一層の向上が実現される。これにより、従来にない高粘度液吐出が可能となり、或いは、ヘッドの小型化が可能になる。
【０１０２】
ここで、振動板５７の変位のしやすさと圧力室５２の形状の関係について説明する。
【０１０３】
四角形に限らず、様々な形状の圧力室についても同様に適用するために、圧力室の平面形状について、次のようにアスペクト比を定義する。
【０１０４】
すなわち、圧力室のアスペクト比を、圧力室内の面内の壁間距離（見通し距離）の最小値／最大値の比で規定する。
【０１０５】
図１１(a) に示したように、圧力室１００の平面形状が正方形の場合は、壁間距離の最小値は内接円１０２の直径と一致し、壁間距離の最大値は外接円１０４の直径と一致する。したがって、この圧力室１００のアスペクト比は１／√２≒0 .707である。
【０１０６】
また、図１１(b) に示したように、圧力室１１０の平面形状が長方形であり、縦横の辺がａ：ｂ（ａ≧ｂ）の場合、そのアスペクト比はｂ／√（ａ2 ＋ｂ2 ) となる。
【０１０７】
４辺を拘束された等面積の圧力室（ａ×ｂ＝一定）で比率ａ：ｂ＝１：ｋとしたとき、その圧力室の振動板に等圧加重を仮定すると、振動板の最大変位量（相対値）は、図１２に示す表のごとくなる。ピエゾ圧電体を用いて加振した場合も、図１２の表とほぼ同じ特性と考えることができる。
【０１０８】
図１３(a) 〜図１３（c)は、等面積の振動板に均一の圧力をかけた場合の振動板の変位特性を示すグラフである。図１３(a) は圧力室の縦寸法ａと変位の関係を示しおり、横軸は縦寸法ａ、縦軸は規格化された変位量を示す。図１３(b) は横軸を比率ｋ（＝ｂ／ａ）としたものであり、比率ｋと変位の関係を示している。図１３(c) は横軸にアスペクト比ｂ／√（ａ2 ＋ｂ2 ) をとったものであり、アスペクト比と変位の関係を示している。
【０１０９】
また、図１４は比率ｋとアスペクト比の対応関係を示したデータ表である。
【０１１０】
図１３(b) に示したように、ｋ＝１のときに変位は最大となる。この最大変位に対して、図１３(b) のグラフの振幅が４割減の範囲（最大値に対して−４０％以内の範囲）となる０．５≦ｋ≦２、より好ましくは振幅が２割減の範囲（最大値に対して−２０％以内の範囲）となる２／３≦ｋ≦１．５が効率のよい圧力室形状である。
【０１１１】
圧力室の形状は、長方形に限定されるものではないので、菱形や六角形その他の多角形を含む任意の形状にも適用可能なように、上記したアスペクト比で規定すると、０．４５≦アスペクト比≦０．８９、より好ましくは０．５５≦アスペクト比≦０．８３となる（図１３（c)、図１４参照）。
【０１１２】
上記実施形態では、記録媒体の全幅に対応する長さのノズル列を有するページワイドのフルライン型ヘッドを用いたインクジェット記録装置を説明したが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、短尺の記録ヘッドを往復移動させながら画像記録を行うシャトルヘッドを用いるインクジェット記録装置についても本発明を適用可能である。
【０１１３】
また、上述の説明では、画像形成装置の一例としてインクジェット記録装置を例示したが、本発明の適用範囲はこれに限定されない。例えば、印画紙に非接触で現像液を塗布する写真画像形成装置についても本発明を適用できる。すなわち、インクに限らず、処理液や機能液その他の液体を媒体に塗布する液滴吐出工程が含まれる他の画像形成装置について本発明を広く適用できる。インクジェット方式以外では、光学式の写真プリント作製装置、ラインヘッドを有する熱転写記録装置、ＬＥＤ電子写真プリンタ、ＬＥＤライン露光ヘッドを有する銀塩写真方式プリンタなど各種方式の画像形成装置について本発明を適用することが可能である。
【０１１４】
また、本発明の適用範囲は画像形成装置に限定されず、液滴吐出ヘッドを用いて処理液その他の液体を媒体に塗布する塗布装置など各種の液体吐出装置について適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の全体構成図
【図２】図１に示したインクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図
【図３（ａ）】印字ヘッドの構造例を示す平面透視図
【図３（ｂ）】図３(a) の要部拡大図
【図３（ｃ）】印字ヘッドの他の構造例を示す平面透視図
【図４】図３(a) 中の４−４線に沿う断面図
【図５】図３(a) に示した印字ヘッドのノズル配列を示す拡大図
【図６】本実施形態に係るインクジェット記録装置におけるインク供給系の構成を示した概要図
【図７】本例のインクジェット記録装置１０のシステム構成を示す要部ブロック図
【図８】積層型圧電体の片側端部に重り部材を設けた例を示す断面図
【図９】振動板の圧電体接合面に突起を設けた例を示す断面図
【図１０】積層型圧電体の積層方向の例を示した断面図
【図１１】圧力室のアスペクト比を説明するために用いた図
【図１２】圧力室の形状と振動板の変位量の関係を示した図表
【図１３（ａ）】圧力室の形状（縦寸法ａ）と振動板の変位量の関係を示したグラフ
【図１３（ｂ）】圧力室の形状（縦横比率ｋ）と振動板の変位量の関係を示したグラフ
【図１３（ｃ）】圧力室の形状（アスペクト比）と振動板の変位量の関係を示したグラフ
【図１４】圧力室の形状（縦横比率ｋ）とアスペクト比の対応関係を示した図表
【符号の説明】
【０１１６】
１０…インクジェット記録装置、１２…印字部、１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙ…印字ヘッド、１４…インク貯蔵／装填部、１６…記録紙、５０…印字ヘッド、５１…ノズル、５２…圧力室、５４…供給口、５６…ノズル流路、５７…振動板、５８…積層型圧電体、５９…フレキシブル基板、９２…重り部材、９７…突起
【図１】
2005125773.tif 000003
【図２】
2005125773.tif 000004
【図３（ａ）】
2005125773.tif 000005
【図３（ｂ）】
2005125773.tif 000006
【図３（ｃ）】
2005125773.tif 000007
【図４】
2005125773.tif 000008
【図５】
2005125773.tif 000009
【図６】
2005125773.tif 000010
【図７】
2005125773.tif 000011
【図８】
2005125773.tif 000012
【図９】
2005125773.tif 000013
【図１０】
2005125773.tif 000014
【図１１】
2005125773.tif 000015
【図１２】
2005125773.tif 000016
【図１３（ａ）】
2005125773.tif 000017
【図１３（ｂ）】
2005125773.tif 000018
【図１３（ｃ）】
2005125773.tif 000019
【図１４】
2005125773.tif 000020