(57)【要約】    【課題】  優れた永久帯電防止性を備え、搬送用部品に用いた場合、揮発ガスや溶出金属による被搬送品の汚染問題が発生せず、その柔軟性により被搬送品を傷つけることのない樹脂組成物から成形された搬送用部品を提供する。    【解決手段】  （Ａ）熱可塑性ポリエステル樹脂１００重量部に対して、（Ｂ）特定のポリエーテルエステルブロック共重合体３５〜１５０重量部を配合して得られる樹脂組成物を搬送用部品とする。    【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）熱可塑性ポリエステル樹脂１００重量部に対して
（Ｂ）（イ）全酸成分を基準にしてテレフタル酸成分６０〜１００ｍｏｌ％及びイソフタル酸成分４０〜０ｍｏｌ％からなる酸成分、
（ロ）下記一般式（Ｉ）で表されるポリ（アルキレンオキシド）グリコール成分、
【化１】
2005150449.tif 000008
［但し、式中Ｘは置換基−Ｈ、−ＣＨ３、−ＣＨ２Ｃｌ、−ＣＨ２Ｂｒ、−ＣＨ２Ｉまたは−ＣＨ２ＯＣＨ３を表し、ｎ及びｍはｎ≧０、ｍ≧０且つ１２０≧（ｎ＋ｍ）≧２０を満足するものとする。ｍが２以上の場合Ｘは同じでも異なってもよい。このポリ（アルキレンオキシド）グリコール成分は該成分自体ランダム共重合体であってもよく、ブロック共重合体であってもよい。］
（ハ）全グリコール成分（但し、（ロ）成分を除く）を基準にしてテトラメチレングリコール６５〜１００ｍｏｌ％及びエチレングリコール３５〜０ｍｏｌ％からなるグリコール成分からなるポリエーテルエステルブロック共重合体であり、かつ（ロ）成分の共重合量が全グリコール成分（但し、（ロ）成分を含む）の４０〜８０重量％であるポリエーテルエステルブロック共重合体３５〜１５０重量部
を配合して得られる樹脂組成物から成形された搬送用部品。
【請求項２】
熱可塑性ポリエステル樹脂（Ａ）がポリブチレンテレフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレン−２，６−ナフタレート及びポリエチレン−２，６−ナフタレートからなる群より選ばれる１種以上のポリエステルである請求項１に記載の搬送用部品。
【請求項３】
曲げ弾性率が１０００〜１５００ＭＰａである請求項１又は２に記載の樹脂組成物から成形された搬送用部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱可塑性ポリエステル樹脂にポリエーテルエステル系の制電ポリマーを特定量配合してなる永久帯電防止性に優れる熱可塑性ポリエステル樹脂組成物から成形された搬送用部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
熱可塑性樹脂は、摩耗、剥離などによって著しく帯電し易く、成形物に種々の問題、例えば、使用時の放電による衝撃、埃の付着をもたらす。
【０００３】
熱可塑性樹脂に帯電防止性を付与する方法としてアルキルスルホン酸のホスホニウム塩（特許文献１）などの低分子型帯電防止剤を使用する方法とポリエーテルエステルアミドなどの高分子型帯電防止剤を使用する方法が知られている。低分子型帯電防止剤は、当初の効果は高いものの、拭いたり、洗浄したりすると帯電防止性がなくなるなど、環境の変化によって性能が変化する。また、高分子型帯電防止剤は、エンジニアリングプラスチックスに付与する場合、耐熱性、溶融安定性などの面で問題がある場合が多い。
【０００４】
永久帯電防止性を付与する方法としてポリエーテルエステル型の高分子型帯電防止剤を使用することはすでに知られているが（特許文献２）、結晶性のエンジニアリングプラスチックなどに添加した場合、十分な帯電防止性を付与することが難しい。また、例えばエレクトロニクス分野の搬送用部品として公知の低分子型帯電防止剤をエンジニアリングプラスチックに添加した場合、水洗工程などで制電性が変化したり、溶出金属や揮発ガスによるシリコンウェハー汚染などの問題が生じる。また、エレクトロニクス分野の搬送用部品は、シリコンウェハー保護の目的で柔軟性（例えば、曲げ弾性率で１０００〜１５００ＭＰａ程度）が求められている。
【特許文献１】特開昭６２−２３０８３５号公報
【特許文献２】特開平６−５７１５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、これらの問題を解決することを課題とするものである。
【０００６】
即ち、本発明は、優れた永久帯電防止性を備え、搬送用部品に用いた場合、揮発ガスや溶出金属による被搬送品の汚染問題が発生せず、その柔軟性により被搬送品を傷つけることのない樹脂組成物から成形された搬送用部品を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者は、鋭意検討の結果、熱可塑性ポリエステル樹脂に相溶性と機械的強度、耐熱性等に優れた特定のポリエーテルエステルブロック共重合体を適量混合すると、優れた永久帯電防止性と柔軟性が付与でき、汚染源である溶出金属や揮発ガスが非常に少ないことを見出し、本発明に到達した。
【０００８】
即ち、本発明は、
（Ａ）熱可塑性ポリエステル樹脂１００重量部に対して
（Ｂ）（イ）全酸成分を基準にしてテレフタル酸成分６０〜１００ｍｏｌ％及びイソフタル酸成分４０〜０ｍｏｌ％からなる酸成分、
（ロ）下記一般式（Ｉ）で表されるポリ（アルキレンオキシド）グリコール成分、
【０００９】
【化２】
2005150449.tif 000002
【００１０】
［但し、式中Ｘは置換基−Ｈ、−ＣＨ３、−ＣＨ２Ｃｌ、−ＣＨ２Ｂｒ、−ＣＨ２Ｉまたは−ＣＨ２ＯＣＨ３を表し、ｎ及びｍはｎ≧０、ｍ≧０且つ１２０≧（ｎ＋ｍ）≧２０を満足するものとする。ｍが２以上の場合Ｘは同じでも異なってもよい。このポリ（アルキレンオキシド）グリコール成分は該成分自体ランダム共重合体であってもよく、ブロック共重合体であってもよい。］
（ハ）全グリコール成分（但し、（ロ）成分を除く）を基準にしてテトラメチレングリコール６５〜１００ｍｏｌ％及びエチレングリコール３５〜０ｍｏｌ％からなるグリコール成分からなるポリエーテルエステルブロック共重合体であり、かつ（ロ）成分の共重合量が全グリコール成分（但し、（ロ）成分を含む）の４０〜８０重量％であるポリエーテルエステルブロック共重合体３５〜１５０重量部を配合して得られる樹脂組成物から成形された搬送用部品である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明で言う搬送用部品とは、例えば、シリコンウェハーキャリア、シリコンウェハーキャリアボックス、シリコンウェハー押え棒、ＩＣトレー、液晶基板搬送用キャリア、ＨＤＤ及びＬＣＤ関連部品搬送用冶具、ガラストレー、トップロボットフランジ、サイドグリップピット、フォークリフトスロット、コンベヤレール、カセットセンシングパッド及びホール、ウェハセンシングパス、インフォパット、ウェハ飛び出し防止突起、ボトムフォークリフトスロット傾斜などである。
【００１２】
以下、本発明を詳細に説明する。
【００１３】
［熱可塑性ポリエステル樹脂］
本発明に用いられる熱可塑性ポリエステル樹脂（Ａ）としては、テレフタル酸または２，６−ナフタレンジカルボン酸を主たる酸成分とし、エチレングリコール、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、ネオペンチルグリコール等の脂肪族ジオールを主たるジオール成分としてなる芳香族熱可塑性ポリエステルを挙げることができる。
【００１４】
主たる酸成分とは、全酸成分に対して７０ｍｏｌ％、好ましくは８０ｍｏｌ％、更に好ましくは９０ｍｏｌ％以上の酸成分をいい、主たるジオール成分とは、全ジオール成分に対して７０ｍｏｌ％、好ましくは８０ｍｏｌ％、更に好ましくは９０ｍｏｌ％以上のジオール成分をいう。
【００１５】
これらの中で結晶化速度の速いポリブチレンテレフタレート、ポリプロピレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレン−２，６−ナフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレートが好ましく、特にポリブチレンテレフタレートが好ましい。
【００１６】
芳香族熱可塑性ポリエステルとしては上述のポリエステルの一部を共重合成分で置換したものでもよく、かかる共重合成分としては、イソフタル酸、フタル酸；メチルテレフタル酸、メチルイソフタル酸等のアルキル置換フタル酸類；２，６−ナフタレンジカルボン酸、２，７−ナフタレンジカルボン酸、１，５−ナフタレンジカルボン酸等のナフタレンジカルボン酸類；４，４’−ジフェニルジカルボン酸、３，４’−ジフェニルジカルボン酸等のジフェニルジカルボン酸類、４，４’−ジフェノキシエタンジカルボン酸等のジフェノキシエタンジカルボン酸類等の芳香族ジカルボン酸、コハク酸、アジピン酸、セバチン酸、アゼライン酸、デカンジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸類などの脂肪族または脂環族ジカルボン酸；１，４−シクロヘキサンジメタノールなどの脂環族ジオール；ハイドロキノン、レゾルシン等のジヒドロキシベンゼン類；２，２’−ビス（４−ヒドロキシフェニル）−プロパン、ビス（４−ヒドロキシフェニル）−スルホン等のビスフェノール類、ビスフェノール類とエチレングリコールのごときグリコールとから得られるエーテルジオールなどの芳香族ジオール；ε−オキシカプロオン酸、ヒドロキシ安息香酸、ヒドロキシエトキシ安息香酸等のオキシカルボン酸等が挙げられる。さらに上述の芳香族ポリエステルに分岐成分として、トリメシン酸、トリメリット酸のごとき多官能のエステル形成能を有する酸またはグリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール等の多官能のエステル形成能を有するアルコールを１．０ｍｏｌ％以下、好ましくは０．５ｍｏｌ％以下、更に好ましくは０．３ｍｏｌ％以下を共重合せしめてもよい。
【００１７】
本発明で用いる熱可塑性ポリエステル樹脂の固有粘度は、好ましくは０．６〜１．２である。固有粘度が０．６より小さいと十分な特性が得られず、１．２より大きくなると溶融粘度が高く流動性が低下して成形性が損なわれるため好ましくない。ここで、固有粘度とは３５℃におけるオルトクロルフェノール中での測定値である。
【００１８】
［ポリエーテルエステルブロック共重合体］
本発明に用いられるポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）は、
（イ）全酸成分を基準にしてテレフタル酸成分６０〜１００ｍｏｌ％及びイソフタル酸成分４０〜０ｍｏｌ％からなる酸成分、（ロ）下記一般式（Ｉ）で表されるポリ（アルキレンオキシド）グリコール成分、
【００１９】
【化３】
2005150449.tif 000003
【００２０】
［但し、式中Ｘは置換基−Ｈ、−ＣＨ３、−ＣＨ２Ｃｌ、−ＣＨ２Ｂｒ、−ＣＨ２Ｉまたは−ＣＨ２ＯＣＨ３を表し、ｎ及びｍはｎ≧０、ｍ≧０且つ１２０≧（ｎ＋ｍ）≧２０を満足するものとする。ｍが２以上の場合Ｘは同じでも異なってもよい。このポリ（アルキレンオキシド）グリコール成分は該成分自体ランダム共重合体であってもよく、ブロック共重合体であってもよい。］
（ハ）全グリコール成分（但し、（ロ）成分を除く）を基準にしてテトラメチレングリコール６５〜１００ｍｏｌ％及びエチレングリコール３５〜０ｍｏｌ％からなるグリコール成分からなるポリエーテルエステルブロック共重合体であり、かつ（ロ）成分の共重合量が全グリコール成分（但し、（ロ）成分を含む）の４０〜８０重量％であるポリエーテルエステルブロック共重合体である。
【００２１】
ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）におけるテトラメチレングリコール成分は、全グリコール成分（但し、（ロ）成分を除く）を基準にして６５ｍｏｌ％以上であることが必要である。テトラメチレングリコール成分が６５ｍｏｌ％未満では成形性が悪くなる。
【００２２】
ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）には酸成分（イ）としてテレフタル酸、イソフタル酸以外のジカルボン酸、例えば、フタル酸、アジピン酸、セバシン酸、アゼライン酸、ドデカン二酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ナフタレンジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸が共重合せしめられていてもよい。
【００２３】
これらの成分が共重合される場合、共重合量は全酸成分量を基準に、好ましくは４０ｍｏｌ％未満、更に好ましくは２０ｍｏｌ％未満である。
【００２４】
ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ａ）にはグリコール成分（ハ）として、テトラメチレングリコール、エチレングリコール以外のジオール、例えば、トリメチレングリコール、１，５−ペンタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ジエチレングリコール、１，４−シクロヘキサンジオール、１，４−シクロヘキサンジメタノールが共重合せしめられてもよい。
【００２５】
これらの成分が共重合される場合、共重合量は全グリコール成分量（但し、（ロ）成分を除く）を基準に、好ましくは４０ｍｏｌ％未満、更に好ましくは２０ｍｏｌ％未満である。
【００２６】
ポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）にはポリ（アルキレンオキシド）グリコール成分（ロ）が共重合されているが、この（ロ）成分の共重合量は全グリコール成分（但し、（ロ）成分を含む）の４０〜８０重量％、好ましくは４０〜７０重量％である。４０重量％より少ないと帯電防止性の効果が小さく、８０重量％より多くなるとポリマーの融着、膠着が起こり、工程上問題が生じる。
【００２７】
【化４】
2005150449.tif 000004
【００２８】
前記式（Ｉ）において、Ｘは水素原子（−Ｈ）または置換基−ＣＨ３、−ＣＨ２Ｃｌ、−ＣＨ２Ｂｒ、−ＣＨ２Ｉもしくは−ＣＨ２ＯＣＨ３を表す。
【００２９】
このＸがこれら以外の複雑な基の場合、立体障害のために共重合ポリマーの重合度を上げるのが困難になる。ポリエチレングリコール単位の主鎖に直接ハロゲンやアルコキシ基を置換したものはポリマーの分解性が強い。Ｘは水素原子であることが好ましい。
【００３０】
前記式（Ｉ）中ｎ及びｍは、ｎ≧０、ｍ≧０且つ１２０≧（ｎ＋ｍ）≧２０を満足することを要する。（ｎ＋ｍ）の値が２０に満たない場合、ブロック共重合体のブロック性が低下し、帯電防止性が不十分となり、一方（ｎ＋ｍ）の値が１２０を越えると重合度が低下し、十分な重合度の共重合ポリマーを得ることが困難となるばかりでなく、帯電防止性が低下する。ｍが２以上である場合、上記Ｘは同じでも異なってもよい。このポリ（アルキレンオキシド）グリコール成分（ロ）は該成分自体ランダム共重合体であってもよく、ブロック共重合体であってもよい。
【００３１】
本発明に用いられるポリエーテルエステルブロック共重合体（Ｂ）の配合量は、熱可塑性ポリエステル樹脂（Ａ）１００重量部に対して３５〜１５０重量部であり、好ましくは３５〜１００重量部である。３５重量部より少ないと十分な帯電防止性を付与できない。１５０重量部より多いと帯電防止性の改良効果が飽和状態であり、さらに機械的物性の低下の面でも問題が生じる。
【００３２】
［添加剤］
本発明の樹脂組成物には、本発明の目的を損なわない範囲で、各種添加剤を添加することができる。
【００３３】
添加剤としては、例えば、モンタン酸ワックス、ポリエチレンワックス、シリコンオイルなどの離型剤、難燃剤、難燃助剤、熱安定剤、紫外線吸収剤、顔料、染料、ＫＣｌ、ＮａＣｌなどの金属塩を挙げることができる。
【００３４】
また、本発明の目的を損なわない範囲で他の熱可塑性樹脂、例えばポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、アクリル樹脂、フッ素樹脂、ポリアミド、ポリアセタール、ポリスルホン、ポリフェニレンスルフィド；熱硬化性樹脂、例えばフェノール樹脂、メラミン樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂；軟質熱可塑性樹脂、例えばエチレン／酢ビ共重合体、ポリエステルエラストマ、エポキシ変性ポリオレフィンを添加することができ、さらに他の充填剤、例えば、タルク、カオリン、ワラストナイト、クレー、シリカ、セリサイト、酸化チタン、カーボンブラック、グラファイト、金属粉末、ガラスビーズ、ガラスバルーン、ガラスフレーク、ガラスパウダー、ガラス繊維を添加することができる。
【００３５】
［樹脂組成物の製造方法］
本発明の樹脂組成物は上記（Ａ）、（Ｂ）成分を任意の配合方法により配合することにより得ることができる。
【００３６】
通常これらの配合成分はより均一に分散させることが好ましく、その全部もしくは一部を同時にあるいは均一に分散させることが好ましい。
【００３７】
本発明の樹脂組成物において、その成分の全部もしくは一部を同時にあるいは別々に例えばブレンダー、ニーダー、バンバリーミキサー、ロール、押出機等の混合機で混合し均質化させる方法を用いることができる。
【００３８】
更に、予めドライブレンドされた組成物を加熱した押出機で溶融混練して均質化した後針金状に押出し、次いで所望の長さに切断して粒状化する方法を用いることもできる。
【００３９】
［搬送用部品の製造方法］
ポリエステル樹脂を例に挙げると、三菱８０ＭＳＰ射出成形機を用いた場合、シリンダー２５０℃、金型温度６０℃、射出速度／射出圧力４０〜６０％で成形することが望ましい。このようにして得られた搬送用部品は優れた永久帯電防止性を備える。
【００４０】
本発明の樹脂組成物は、ガラストレー、シリコンウェハーキャリア及びインフォパット（シリコンウェハーキャリアの底面に付ける冶具）として特に好適に用いられる。
【００４１】
以下実施例により本発明を説明する。
【実施例】
【００４２】
実施例において使用した原料及び評価方法は以下のとおりである。配合量に関して表３の単位は重量％である。
１．原料：
各種原料は以下のものを使用した。
・ポリエーテルエステルブロック共重合体１〜４
表１に記載された組成になるようにジメチルテレフタレート、ジメチルイソフタレート、テトラメチレングリコール、エチレングリコール、及び（変性）ポリエチレングリコール、触媒としてテトラブチルチタネート（酸成分に対して０．０９０ｍｏｌ％）を反応器に仕込み、内温１９０℃でエステル化反応を行った。理論量の約８０％のメタノールが留出した後、昇温を開始し、徐々に減圧しながら重縮合反応を行った。１ｍｍＨｇ以下の真空度に到達後、２４０℃で２００分間反応を継続した。次いで酸化防止剤イルガノックス１０１０をポリエチレングリコール又は変性ポリエチレングリコールに対して５重量％添加し、反応を終了した。精製したポリマーの組成を表２に示す。実施例に使用したものは合成例１で得られた共重合体である。以下、合成例１で得られた共重合体を表中「帯電防止剤(1)」と称する。
【００４３】
【表１】
2005150449.tif 000005
【００４４】
【表２】
2005150449.tif 000006
【００４５】
・ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ(1)）
ウィンテックポリマー（株）製  ＴＲＥ−ＤＭ２（IV：0.90）
・ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ(2)）
ウィンテックポリマー（株）製  ＴＲＥ−ＤＥ２（IV：1.10）
・ポリエーテルエステル型帯電防止剤（帯電防止剤(2)）
大日本インキ（株）製  ＥＸＡ７２６
・ポリエーテルエステルアミド型帯電防止剤（帯電防止剤(3)）
三洋化成（株）製  ペレスタット６３２１
２．帯電防止性（表面抵抗率）
帯電防止性は、超絶縁計（アドバンテスト社製 R8340 ULTRHIGH RESISTANCE METER)を用いて測定した表面抵抗率（測定電圧：５００Ｖ）によって評価した。
【００４６】
表面抵抗率は試料を温度２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下で２４時間調湿した後、環境温度２３℃、相対湿度５０％下で測定した。
３．物性測定
曲げ試験は、ＩＳＯ１７８に準拠して測定した。
４．揮発ガス測定
ヘットスペースガスクロにより測定。測定値はＴＨＦ換算によるトータルガス量で示す。
ＨＳ：PERKIN ELMER社 HeadspaceSampler HS40XL
ＧＳ：HEWLET PACKARD社 HP6890
ＨＳ加熱条件：サンプル重量：３ｇ、１５０℃×１ｈｒ
５．溶出金属
温純水中に析出した金属を原子吸光光度計により測定。測定値はＮａ、Ｋ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｔｉのトータル金属量で示す。
日立（株）製Ｚ−８１００形原子吸光分光光度計
前処理：サンプル／純水＝３ｇ／３０ｃｃ、８０℃×２時間
［実施例１〜３及び比較例１〜３］
各種原料を表３に記載の量割合で予め均一にドライブレンドした後、スクリュー径４４ｍｍのベント付き２軸押出機を用いてシリンダー温度２１０〜２６０℃、スクリュー回転数１６０〜２２０ｒｐｍ、吐出量５０ｋｇ／ｈにて溶融混練し、ダイスから吐出するスレッドを冷却後、切断して成形用ペレットを得た。
【００４７】
次いでこのペレットを用いて射出圧力７５０ｋｇ／ｃｍ２、射出速度７０ｃｍ３／ｓｅｃ、冷却時間１５秒、及び全成形サイクル２５秒の条件で射出成形によりインフォパット及び円板試験片（直径１００ｍｍ厚さ３ｍｍ）を作成した。更にこのインフォパットの側面部を必要な大きさに切断して上記の評価を行った。これらの評価結果を表３に示す。
【００４８】
【表３】
2005150449.tif 000007
【００４９】
表３に示すように合成例１で作成したポリエーテルエステル型帯電防止剤(1)使用品（実施例１〜３）は他のポリエーテルエステル型帯電防止剤(2)（比較例２）や一般に多く使用されているポリエーテルエステルアミド型帯電防止剤(3)（比較例３）に比べ低ガス性、低溶出金属性に優れている。さらに、被搬送品の破壊防止のために必要な柔軟性と良好な帯電防止性を兼ね備えている。