(57)【要約】【課題】  この低発塵用スライド装置は，広範囲で使用可能で全長を短くコンパクトに構成し，折返しボックスを密封構造に構成してクリーンな環境で使用可能である，【解決手段】この低発塵用スライド装置は，気密構造に構成された長尺状のスライド案内本体４，スライドテーブル３及びモータ５を有し，モータ５が折返しボックス６を介してスライド案内本体４に対して平行して配設されている。折返しボックス６は，駆動伝達装置５４を収容すると共にモータ５を外装可能に且つ気密構造に構成されている。【選択図】図１
2005321062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シール部材で気密構造に構成された長尺状のスライド案内本体，前記スライド案内本体に沿って摺動自在なスライドテーブル，及び前記スライドテーブルを駆動するモータを有するスライド装置において，
前記モータは，前記モータの駆動力を前記スライドテーブルの摺動に伝達する駆動伝達装置の一部を収容する折返しボックスを介して前記スライド案内本体に対して平行に配置され，前記折返しボックスは，前記駆動伝達装置を収容すると共に前記モータを外装可能に気密構造に構成されていることを特徴とする低発塵用スライド装置。
【請求項２】
前記シール部材は，復元力を有する柔軟な多孔質材から形成され，前記スライド案内本体は，前記スライド案内本体の前記シール部材間から外側に延びる前記スライドテーブルのフランジ部が前記シール部材に密接して前記シール部材を伸縮変形させて移動できるように前記気密構造に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の低発塵用スライド装置。
【請求項３】
前記スライド案内本体と前記折返しボックスには，前記スライド案内本体と前記折返しボックスとの空間を連通する連通孔が形成され，前記折返しボックスには，前記スライド案内本体内と前記モータ折返しボックス内との空気を吸引又は前記スライド案内本体内と前記モータ折返しボックス内とにクリーンな空気を吹き込むための通気孔を構成するねじ孔が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の低発塵用スライド装置。
【請求項４】
前記駆動伝達装置は，前記スライド案内本体内の長手方向に沿って回転自在に配設されたボールねじ軸，前記スライドテーブルを取り付けたスライダに固着され且つ前記ボールねじ軸に沿って移動自在に前記ボールねじ軸に螺着したボールねじナット，前記ボールねじ軸に固着された第１プーリ，前記モータの出力軸に固着された第２プーリ，及び前記第１プーリと前記第２プーリとの間に掛けられたベルトから成り，前記折返しボックスは前記第１プーリ，前記第２プーリ及び前記ベルトを密閉状態に囲んでいることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の低発塵用スライド装置。
【請求項５】
前記折返しボックスは，前記スライド案内本体の端面に固着すると共に前記モータを固着し，前記第１プーリ，前記第２プーリ及び前記ベルトを収容可能に凹部に形成されたボックス本体と，前記ボックス本体の開口側を密閉する薄板状の蓋とから成ることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の低発塵用スライド装置。
【請求項６】
前記折返しボックスは，前記折返しボックスの前記連通孔を前記スライド案内本体の前記連通孔に合致させた状態で，前記モータを前記スライド案内本体の両側面側及び下面側のいずれかの側に位置させて前記スライド案内本体の端面に取り付けられることを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載の低発塵用スライド装置。
【請求項７】
前記モータは，前記ベルトの張力を調整するベルトテンション調整機構を介して前記折返しボックスに固着されることを特徴とする請求項４〜６のいずれか１項に記載の低発塵用スライド装置。
【請求項８】
前記ベルトテンション調整機構は，前記モータを固着したＬ金具と該Ｌ金具のねじ孔に螺入して前記第１プーリと前記第２プーリとの間隔を調整して前記ベルトのテンションを調整することを特徴とする請求項７に記載の低発塵用スライド装置。
【請求項９】
前記スライダは，前記スライド案内本体の構成部分である軌道レールに転動体を介して摺動自在に構成され，前記軌道レールは，一対の側部と前記側部を一体構造に構成する底部とで樋形状に形成され，前記軌道レールの前記底部には，前記スライド案内本体を他部材に取り付けるための取付面が形成されていることを特徴とする請求項４〜８のいずれか１項に記載の低発塵用スライド装置。
【請求項１０】
前記スライド案内本体は，前記樋形状の前記軌道レール，前記軌道レールの前記側部にそれぞれ取り付けられたカバー，前記カバーにそれぞれ取り付けられた前記シール部材，及び前記スライド案内本体の端部に固定されたエンドプレートによって前記気密構造に構成されていることを特徴とする請求項９に記載の低発塵用スライド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は，シール部材で気密構造に構成された長尺状のスライド案内本体，前記スライド案内本体に沿って摺動自在なスライドテーブル及び前記スライドテーブルを駆動するモータを有する低発塵用スライド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来，クリーンルーム等で稼働される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，試験装置等に組み込まれるスライド装置として，シール構造を備えたものが知られている。シール構造を備えたスライド装置は，フォームラバーから成るシール体を軌道レールに設けたカバー支持部材に配設し，カバー支持部材が軌道レールの側部に取り付けられたカバー部とそれと一体のシール支持部とから構成されている。復元力を有する柔軟な多孔質部材で構成されたシール体は，シール支持部の凹部に対向状態に当接して配置されてシール支持部間の開口を密封している。スライダには，シール体間を通って延びる物体取付け用の突出部が設けられ，軌道レールに対するスライダの往復移動時に，突出部がシール体に密接してシール体を伸縮変形させて移動するものである。上記スライド装置は，スライダの移動時にカバー支持部材間の開口を良好に密封し，クリーン環境用として使用され，コンパクトな構成であり，装置そのものの耐久性を向上させ，低発塵性能を向上させたものである（例えば，特許文献１参照）。
【０００３】
また，駆動モータがハウジングと平行位置に配置されたモータ折り返し形式の低発塵直動アクチュエータが知られている。該直動アクチュエータは，それ自体の内部を減圧することにより，外部への発塵量を低減するものであり，ハウジング内部の両端のプーリを介してシールバンドに可動ループを形成し，ループの一端をキャリッジの一端に，ループの他端をキャリッジの他端に固定し，シールバンドでハウジングのスリットの開口をシールする。該直動アクチュエータは，ハウジング内の空気を吸引する空気抜き管を設け，吸引口をハウジングの軸方向の両端部近傍に設定し，キャリッジの高速度移動時のハウジング端部で空気圧力上昇による外部への発塵を抑制するものである（例えば，特許文献２参照）。
【０００４】
また，駆動源がねじ軸と平行位置に配置されたモータ折り返し形式の可動テーブルユニットが知られている。該可動テーブルユニットは，ガイドレールに支持されるテーブルを駆動源に連結されるねじ軸と，テーブルに固定のナットとから成る送りねじ機構により移動制御するものであり，テーブルユニットの支持枠を廃止してユニットの小型化を図ったものである。該可動テーブルユニットは，ガイドレールの一端に，ねじ軸を軸支する支持板を取付け，支持板にブラケットを介して駆動源を取付け，ガイドレールを取付ベースとしてテーブルユニットを被取付物に組み付けている（例えば，特許文献３参照）。
【特許文献１】特開２００３−２２２１２９号公報（第１頁，図３）
【特許文献２】特開平８−２９０３８４号公報（第１頁，図１）
【特許文献３】特開平９−１４４８３０号公報（第１頁，図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら，上記スライド装置は，モータの出力軸方向がボールねじ軸の軸線上に配置されているために，ボールねじ軸とモータとの軸方向長さの総計が軸方向長さになって長尺なものになり，軸方向長さに制限のある機器には適用できないという問題があった。そこで，スライド装置について，それ自体が有する気密構造を活かした構成で，スライド装置の軸方向長さを，如何に短く形成するかの課題があった。
【０００６】
また，上記低発塵直動アクチュエータは，ハウジングがスリットの開口を４個のプーリを配置してなる可動ループによるシールバンドで塞ぐものであり，内部の空気を複数の空気抜き管で排気しなければならないものであり，駆動モータをカバーするモータカバーにより囲わなければならないものであった。更に，上記直動アクチュエータは，ハウジングとモータカバーとの接合部には，気密構造にするパッキンが必要なものになっている。従って，上記直動アクチュエータは，装置そのものが大掛かりになり，駆動モータの配置について，使い勝手が良い位置に自由に配置することができないという問題があった。
【０００７】
また，上記可動テーブルユニットは，ブラケットと支持板との間に上カバーとサイドカバーとが取付けられ，更に，駆動源をカプラと共に覆うカバーと伝動機構を覆うカバーとが設けられ，ねじ軸にカバーの外方に突出する操作部が設けられたものになっており，気密機構に構成するという技術的思想を全く有しておらず，クリーンな環境で使用することを意図したものではない。
【０００８】
この発明の目的は，上記の課題を解決することであり，広範囲で使用可能な標準仕様であり，軌道レールとそれに対して相対摺動するスライダとを収容するスライド案内本体に平行してモータを配置して両者をモータ駆動系の駆動伝達装置を収容した折返しボックスで連結し，全長を短く形成してコンパクトに構成し，軸方向のスペースに制限がある領域にも容易に配置することができ，高精度で高寿命であると共に，スライド案内本体，モータ及び両者を駆動連結する折返しボックスを簡単に密封構造に構成してクリーンな環境に使用でき，取付け領域でスライド装置に対するモータの取付け位置を客先の使用用途に対応して容易に変更できる低発塵用スライド装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は，シール部材で気密構造に構成された長尺状のスライド案内本体，前記スライド案内本体に沿って摺動自在なスライドテーブル，及び前記スライドテーブルを駆動するモータを有するスライド装置において，
前記モータは，前記モータの駆動力を前記スライドテーブルの摺動に伝達する駆動伝達装置の一部を収容する折返しボックスを介して前記スライド案内本体に対して平行に配置され，前記折返しボックスは，前記駆動伝達装置を収容すると共に前記モータを外装可能に気密構造に構成されていることを特徴とする低発塵用スライド装置に関する。
【００１０】
前記シール部材は，復元力を有する柔軟な多孔質材から形成され，前記スライド案内本体は，前記スライド案内本体の前記シール部材間から外側に延びる前記スライドテーブルのフランジ部が前記シール部材に密接して前記シール部材を伸縮変形させて移動できるように前記気密構造に構成されている。
【００１１】
また，この低発塵用スライド装置は，前記スライド案内本体と前記折返しボックスには，前記スライド案内本体と前記折返しボックスとの空間を連通する連通孔が形成され，前記折返しボックスには，前記スライド案内本体内と前記モータ折返しボックス内との空気を吸引又は前記スライド案内本体内と前記モータ折返しボックス内とにクリーンな空気を吹き込むための通気孔を構成するねじ孔が形成されているものである。
【００１２】
前記駆動伝達装置は，前記スライド案内本体内の長手方向に沿って回転自在に配設されたボールねじ軸，前記スライドテーブルを取り付けたスライダに固着され且つ前記ボールねじ軸に沿って移動自在に前記ボールねじ軸に螺着したボールねじナット，前記ボールねじ軸に固着された第１プーリ，前記モータの出力軸に固着された第２プーリ，及び前記第１プーリと前記第２プーリとの間に掛けられたベルトから成り，また，前記折返しボックスは，前記第１プーリ，前記第２プーリ及び前記ベルトを密閉状態に囲んでいる。
【００１３】
前記折返しボックスは，前記スライド案内本体の端面に固着すると共に前記モータを固着し，前記第１プーリ，前記第２プーリ及び前記ベルトを収容可能に凹部に形成されたボックス本体と，前記ボックス本体の開口側を密閉する薄板状の蓋とから構成されている。  
【００１４】
前記折返しボックスは，前記折返しボックスの前記連通孔を前記スライド案内本体の前記連通孔に合致させた状態で，前記モータを前記スライド案内本体の両側面側及び下面側のいずれかの側に位置させて前記スライド案内本体の端面に取り付けられる。
【００１５】
前記モータは，前記ベルトの張力を調整するベルトテンション調整機構を介して前記折返しボックスに固着される。更に，前記ベルトテンション調整機構は，前記モータを固着したＬ金具と該Ｌ金具のねじ孔に螺入して前記第１プーリと前記第２プーリとの間隔を調整して前記ベルトのテンションを調整することができる。
【００１６】
前記スライダは，前記スライド案内本体の構成部分である軌道レールに転動体を介して摺動自在に構成され，前記軌道レールは，一対の側部と前記側部を一体構造に構成する底部とで樋形状に形成され，前記軌道レールの前記底部には，前記スライド案内本体を他部材に取り付けるための取付面が形成されている。
【００１７】
前記スライド案内本体は，前記樋形状の前記軌道レール，前記軌道レールの前記側部にそれぞれ取り付けられたカバー，前記カバーにそれぞれ取り付けられた前記シール部材，及び前記スライド案内本体の端部に固定されたエンドプレートによって前記気密構造に構成されている。
【発明の効果】
【００１８】
この低発塵用スライド装置は，上記のように構成されているので，モータとスライド案内本体とを連結する折返しボックスが簡単な構造でコンパクトに気密構造に構成でき，低発塵性能として清浄度クラス２（ＪＩＳ  Ｂ  ９９２０：塵のサイズに対するｍ3 あたりの塵の個数を上限濃度（個／ｍ3 ）で示すと，０．１μｍの塵が１００個，０．２μｍの塵が２４個，０．３μｍの塵が１０個，０．５μｍの塵が４個，１μｍ以上の塵が存在しないクリーン度）を実現可能なものになっており，最も発塵の多く出る場所になる折返しボックスの内部から吸引する吸引口になる通気孔を折返しボックスに設け，折返しボックスとボールねじのあるスライド案内本体との内部との間に連通孔を設け，スライド案内本体内空間とモータ折返しボックス内空間とから空気を一箇所から吸引，又はスライド案内本体内空間とモータ折返しボックス内空間とにクリーンな空気を吹き込むことができる簡単な構成であり，しかも折返しボックス内に配置された駆動伝達装置のベルトのテンション調整を折返しボックスの外側に配置したベルトテンション調整機構によって行い，折返しボックス内の気密性を確保できるように構成されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下，図面を参照して，この発明による低発塵用スライド装置の実施例を説明する。この低発塵用スライド装置は，近年，益々クリーンな環境の様々な場所で使用される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，測定・試験装置等の各種装置に使用可能であり，先に出願した特開平２００３−２２２１２９号公報に開示されたスライド装置におけるシール構造を利用することができ，特に，軸方向長さのスペースが厳しい狭い場所でも使用可能な構造に構成され，いわゆるモータ折返し仕様の構造でありながら気密構造に形成されていることを特徴とする。
【００２０】
この低発塵用スライド装置は，特に，上記のスライド装置のシール構造について軸方向の長さを低減した構造であり，更に気密構造にコンパクトに構成されていることを特徴とし，クリーン度で清浄度クラス２（ＪＩＳ  Ｂ  ９９２０）を実現し，クリーン環境で使用されて好ましいものである。この低発塵用スライド装置は，図１に示すように，スライド案内本体４とモータ５とが平行に配置された構造になっており，スライド案内本体４とモータ５とは，スライド案内本体４の端面５５に固着された折返しボックス６を介して連結されている。この低発塵用スライド装置は，概して，シール部材７で気密構造に構成された長尺状のスライド案内本体４，スライド案内本体４に沿って摺動自在なスライドテーブル３，及びスライド案内本体４を駆動する駆動源であるモータ５を有している。
【００２１】
この低発塵用スライド装置は，ベース等の他の部材に取り付けるための取付用孔３４を備えた軌道レール２と軌道レール２に対して摺動するスライダ１とを収容するスライド案内本体４を気密構造に形成し，駆動源となるモータ５を気密構造に形成し，更に，モータ５をスライド案内本体４に平行に配設して両者を連結する折返しボックス６を気密構造に形成し，全体として気密構造に構成したものである。また，折返しボックス６は，駆動伝達系を収容したものであり，モータ５の出力軸２６の駆動力をスライド案内本体４内に回転可能に支持されたボールねじ軸５３に伝達する動力伝達装置５４を収容するハウジングであり，モータ５を外装した構造に構成されている。この低発塵用スライド装置は，スライド案内本体４に対してスライドテーブル３を往復移動させるため，ボールねじ１０が用いられている。ボールねじ１０は，スライド案内本体４に回転自在に支持されたボールねじ軸５３と，ボールねじ軸５３に螺合し且つスライダ１に固定されたボールねじナット３５とから成る。折返しボックス６とモータ５との全体的形状は，駆動伝達装置５４を収容する折返しボックス６とスライド案内本体４に平行に配置されたモータ５とによってＬ形に形成されている。
【００２２】
折返しボックス６は，駆動伝達装置５４を収容するハウジングを構成すると共に，モータ５を外装して全体として気密構造に構成されている。折返しボックス６には，スライド案内本体４内の空気と折返しボックス６内の空気とを吸引するために或いはスライド案内本体４と折返しボックス６との内部にクリーンな空気を吹き込むために通気孔である通気用ねじ孔１７が形成され，通気用ねじ孔１７には吸排気用のチューブ等を取付け可能にする通気用継ぎ手１３等が取り付けられている。この低発塵用スライド装置は，最も発塵の多く出る場所に位置する折返しボックス６に通気用ねじ孔１７を設けると共に，折返しボックス６に連通孔２７，２８，３１とスライド案内本体４に連通孔３２を設け，スライド案内本体４に対する折返しボックス６の配置位置に応じて，スライド案内本体４の連通孔３２に折返しボックス６の何れかの連通孔２７，２８，３１を整合即ち合致させ，スライド案内本体４内の空間と折返しボックス６内の空間とを連通させたものである。従って，この低発塵用スライド装置は，通気用ねじ孔１７で形成される通気孔を通じて，両空間から一括して空気を吸引したり，又は両空間にクリーンな空気を吹き込むことができる簡単な構造に構成されている。
【００２３】
スライド案内本体４は，カバー８及びカバーに固定されたシール部材７を備えており，その端部にはエンドプレート１８が固着されている。シール部材７は，スライド案内本体４を気密構造に構成するものであり，復元力を有する柔軟な多孔質材から成る一対のシーリングフォーム４０から構成されている。スライド案内本体４は，樋形状の軌道レール２，軌道レール２の側部４２にそれぞれ取り付けられたカバー８，カバー８にそれぞれ取り付けられたシール部材７を構成するシーリングフォーム４０，及びスライド案内本体４の端部に固定されたエンドプレート１８によって気密構造に構成されている。軌道レール２を往復摺動するスライダ１には，他の機器，ワーク等を取り付けるための取付面１６と取付け用ねじ孔２５を備えたスライドテーブル３が取り付けられている。スライド案内本体４のシール部材７から外側に延びるスライドテーブル３のフランジ部３９は，シール部材７に密接してシール部材７を伸縮変形させて移動するように構成されている。
【００２４】
モータ５の駆動力をスライドテーブル３に伝達する駆動伝達装置５４は，スライド案内本体４内の軌道レール２に長手方向に沿って回転自在に配設されたボールねじ軸５３，ボールねじ軸５３に沿って移動自在でスライドテーブル３を固着したスライダ１に固着され且つボールねじ軸５３に螺着するボールねじナット３５，ボールねじ軸５３の端部に固着されたプーリ２１（第１プーリ），モータ５の駆動軸である出力軸２６に固着されたプーリ２０（第２プーリ），及びプーリ２０とプーリ２１との間に掛け渡されたベルト２２から構成されている。プーリ２１，プーリ２０及びベルト２２は，折返しボックス６内に配置されている。
【００２５】
折返しボックス６は，スライド案内本体４の端面５５に固定ねじ２９によって固着され，モータ５の端面５８にＬ金具１９を介してねじ等で固着されている。折返しボックス６は，２つのプーリ２０，２１及びベルト２２を内包するように凹部６２に形成されたボックス本体２４と，ボックス本体２４の開口側を密閉するための薄板状の蓋２３とから構成されている。ボックス本体２４は，基底部６０とその周囲の側壁部６１から形成されており，基底部６０には，通気用ねじ孔１７，連通孔２７，２８，３１，ボールねじ軸用孔４３，モータ５の出力軸用長孔４４，及び位置決め用ノック孔４６が形成されている。ボックス本体２４の側壁部６１には，Ｌ金具１９の調整ねじ用ねじ孔５１に螺入した調整ねじ１５の先端面が当接するように構成されている。蓋２３は，ねじを取付け孔４７に通してボックス本体２４に形成された蓋取付用ねじ穴４５に螺入してボックス本体２４に固定されている。折返しボックス６には，２つのプーリ２０，２１及びプーリ２０，２１に掛けられたベルト２２から成る駆動伝達装置５４を密閉して囲むハウジングを形成している。
【００２６】
折返しボックス６は，モータ５をスライド案内本体４の両側面側及び下面側のいずれかの側に配置して取り付け可能になっており，スライド案内本体４に対していずれの配置状態に設定されても，スライド案内本体４に形成された連通孔３２に合致する連通孔２７，２８，３１が折返しボックス６のボックス本体２４に形成されている。即ち，折返しボックス６は，スライド案内本体４に対して，図１４の（Ａ）に示されるようなモータ５の位置をスライド案内本体４の一方の側面側（例えば，左側），図１４の（Ｂ）に示されるようなスライド案内本体４の他方の側面側（例えば，右側），及び図１４の（Ｃ）に示されるようなスライド案内本体４の下面側の各位置に設定可能になっている。
【００２７】
この低発塵用スライド装置は，図５，図７〜図９に示すように，ボックス本体２４の基底部６０には，モータ５の出力軸２６が貫通する長孔４４が形成されており，空気が吸排気される複数個の連通孔２７，２８，３１が形成され，その内の一つがスライド案内本体４のエンドプレート１８に形成された連通孔３２に合致するように形成され，他はスライド案内本体４のエンドプレート１８の壁面で密封状態に配設される。図５では，折返しボックス６のボックス本体２４に形成された連通孔２７は，連通孔２８，３１に角度９０°ずれた位置に形成されている。例えば，図５に示されるように，モータ５の位置をスライド案内本体４の左側に設定された場合は，ボックス本体２４の連通孔３１がスライド案内本体４の連通孔３２に合致してスライド案内本体４の空間と折返しボックス６の空間とが連通し，また，連通孔２７，２８はスライド案内本体４のエンドプレート１８の壁面で密封される。また，スライド案内本体４の連通孔３２は，先に出願した特開平２００３−２２２１２９号公報に開示されたシール構造の通口に相当している。
【００２８】
モータ５は，ベルトテンション調整機構１４を介して折返しボックス６に固着されている。ベルトテンション調整機構１４は，折返しボックス６の外装即ち外側に配置され，モータ５と折返しボックス６との境界部の気密性を高めるように，折返しボックス６を開放することなく，即ち，ボックス本体２４から蓋２３を取り外すことなく，ベルト２２のテンションを調整可能に構成されている。ベルトテンション調整機構１４は，図１，図３，図４，図５，図１２及び図１３に示すように，モータ５を固着する調整部材であるＬ金具１９，及びベルト２２のテンションを調整する調整ねじ１５から構成されている。調整ねじ１５は，その先端面がボックス本体２４の側壁部６１に当接しており，調整ねじ１５をねじ込むことによって側壁部６１から突出させてＬ金具１９を折返しボックス６に対して摺動させ，Ｌ金具１９に固定されたモータ５の出力軸２６を移動させ，出力軸２６に取り付けられたプーリ２０を移動させ，プーリ２０とプーリ２１との間隔を変更し，それによってベルト２２のテンションが変更される。
【００２９】
また，モータ５は，図１２に示すように，Ｌ金具１９のモータ固定用ねじ孔４９に固定ねじ（図示せず）を通してＬ金具１９にねじ固定されている。モータ５を固定したＬ金具１９は，固定ねじをＬ金具１９の固定用長孔４８を通して，図９に示すボックス本体２４の基底部６０（背面側）に形成された固定用ねじ孔５６に螺入することによってボックス本体２４に固定される。Ｌ金具１９の屈曲部５９には調整ねじ用ねじ孔５１が形成され，調整ねじ１５を調整ねじ用ねじ孔５１に螺入してＬ金具１９の折返しボックス６に対する位置を設定し，ベルト２２のテンションを調整することができる。
【００３０】
スライダ１は，端面にエンドシール３６が固着され，スライド案内本体４の構成部分である軌道レール２に転動体３３を介して摺動自在に構成されており，軌道レール２は，一対の側部４２と側部４２に一体構造の底部４１とで樋形状に形成され，底部４１にはスライド案内本体４をベース等の他部材に取り付けるためのベース用取付面３０（図５）が形成されている。スライダ１には，端面にボールねじナット３５が固定されており，ボールねじナット３５はスライド案内本体４に回転可能に支持されたボールねじ軸５３に螺合している。ボールねじ軸５３が回転することによってボールねじ軸５３に沿ってボールねじナット３５が移動し，ボールねじナット３５が固定されたスライダ１が移動する。
【００３１】
スライドテーブル３は，図３及び図６に示すように，ワーク用取付面１６を有する平面に形成されたテーブル部３８，スライダ１の上面にねじ等で固着された固着部３７，及び固着部３７からスライド案内本体４の外側に延び出し且つテーブル部３８に一体に結合したフランジ部３９から構成され，全体として縦断面が工字形状に形成されている。一対のシール部材７を構成するシーリングフォーム４０は，軌道レール２の側部４２にねじ等でそれぞれ固定されたカバー８に固定されており，シーリングフォーム４０の互いに対向する面にはばね部材５２及びその対向面に固定された摺設部材が固着されている。スライドテーブル３のフランジ部３９は，対向するシール部材７のシーリングフォーム４０間を貫通しており，スライダ１の軌道レール２に対する摺動時に，シーリングフォーム４０を弾性変形させながら往復移動し，カバー８内を気密に保っている。更に，この低発塵用スライド装置は，図１，図２，図３及び図６に示すように，スライド案内本体４の側面に長手方向に沿ってセンサレール１２が取り付けられ，センサレール１２にはリミットセンサ１１，原点センサ５７，原点前センサ等の各使用条件に合わせて複数のセンサが取り付けられており，スライドテーブル３の側面にはセンサ１１，５７に対向してセンサ用ドグ９が固着された検出装置が装備されている。
【００３２】
この低発塵用スライド装置は，上記のように気密構造に構成されており，また，スライド案内本体４に対する折返しボックス６のボックス本体２４の固定は，ボールねじ軸用孔４３にボールねじ軸５３の端部を通し，ボックス本体２４に形成した位置決め孔であるノック孔４６にスライド案内本体４に設けたノックピンを嵌合して位置決めをし，折返しボックス６をスライド案内本体４の端面５５にねじ固定することができる。また，この低発塵用スライド装置は，スライド案内本体４に折返しボックス６を固定した後に，ボールねじ軸５３の端部にプーリ２１とモータ５の出力軸２６の端部にプーリ２０を嵌着し，プーリ２０とプーリ２１との間にベルト２２を掛け渡すことで組み立てられる。更に，この低発塵用スライド装置は，ベルト２２のテンションを適正に調整するために，ボックス本体２４に固定されていたＬ金具１９の固定ねじを緩め，Ｌ金具１９の側部に設けられた調整ねじ１５の先端がボックス本体２４のＬ金具１９の側部に対向する側壁部に突き当てされた状態で，調整ねじ１５でＬ金具１９を移動させることで調整できるものになっている。この低発塵用スライド装置は，具体的には，Ｌ金具１９の中央部に形成されたモータ嵌合孔５０にモータ５の出力軸２６側の端部を嵌合し，Ｌ金具１９に形成されたモータ固定用ねじ孔４９にねじを螺入してモータ５をＬ金具１９に固定し，次いで，Ｌ金具１９の折返しボックス６の位置調整の終了後に，Ｌ金具１９に形成された固定用長孔４８に固定ねじを締め付けてＬ金具１９を折返しボックス６のボックス本体２４に固定し，モータ５の折返しボックス６への調整取付が完了する。
【００３３】
この低発塵用スライド装置は，先に出願したスライド装置と同様に，スライダ１はスライド案内本体４の構成部分である軌道レール２に転動体３３を介して摺動自在になっており，軌道レール２は，一対の側部４２と側部４２に一体構造の底部４１とで樋形状に形成され，底部４１にはスライド案内本体４をベース等の他部材に取り付けるための取付面３０が形成されているので，剛性が高く，コンパクトなスライド装置になっており，折返しボックス６もスライド案内本体４にしっかりと固定できるものになっている。従って，折返しボックス６もコンパクトで簡単な構造になっている。従って，この低発塵用スライド装置は，全体のスライド装置もコンパクトで扱いやすいものになっている。この低発塵用スライド装置は，例えば，試験条件；３０００ｒｐｍ（＝１０００ｍｍ／ｓｅｃ），ストローク長さ＝４００ｍｍ，吸引量＝２０ＮＬ／ｍｉｎにおいて，平均清浄度がクラス２を可能にしていることが確認された。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
この発明による低発塵用スライド装置は，クリーンルーム，試験実験室等の領域で稼働される半導体製造装置，工作機械，各種組立装置，精密試験・測定装置，位置決めテーブル，スライドテーブル，粉塵作業環境で使用される機器等，或いはクリーン環境内での製造装置等で使用される機器等に使用され，近年に要望される低発塵性の作業環境にマッチして利用される。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】この発明による低発塵用スライド装置の実施例を示す一部断面を含む斜視図である。
【図２】図１の低発塵用スライド装置を示す一部断面を含む正面図である。
【図３】図１の低発塵用スライド装置を示す一部断面を含む平面図である。
【図４】図１の低発塵用スライド装置を示す側面図である。
【図５】図４の低発塵用スライド装置から蓋を外した状態を示す側面図である。
【図６】図３の低発塵用スライド装置を示すＡ−Ａ断面図である。
【図７】図１の低発塵用スライド装置における折返しボックスのボックス本体を示す正面図である。
【図８】図７の折返しボックスのボックス本体を示すＢ−Ｂ断面図である。
【図９】図７の折返しボックスのボックス本体を示す背面図である。
【図１０】図３の低発塵用スライド装置における折返しボックスの蓋を示す正面図である。
【図１１】図１０の折返しボックスの蓋を示す平面図である。
【図１２】図１の低発塵用スライド装置におけるベルトテンション調整機構のＬ金具を示す一部断面を含む正面図である。
【図１３】図１２のＬ金具を示す一部断面を含む平面図である。
【図１４】図１の低発塵用スライド装置においてモータの各位置に設定した場合の斜視図であり，（Ａ）は図１と同様にモータ位置がスライド案内本体の一方の側面側に設定された状態を示し，（Ｂ）はモータ位置が（Ａ）とは反対側になるスライド案内本体の他方の側面側に設定された状態を示し，（Ｃ）はモータ位置がスライド案内本体の下面側に設定された状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３６】
１      スライダ
２      軌道レール
３      スライドテーブル
４      スライド案内本体
５      モータ
６      折り返しボックス
７      シール部材
８      カバー
１０    ボールねじ
１４    ベルトテンション調整機構
１５    調整ねじ
１６    ワーク用取付面
１７    通気用ねじ孔
１８    エンドプレート
１９    Ｌ金具（調整部材）
２０    プーリ（モータ側第２プーリ）
２１    プーリ（ボールねじ側第１プーリ）
２２    ベルト
２３    蓋
２４    ボックス本体
２６    出力軸（モータの駆動軸）
２７，２８，３１  連通孔（折返しボックス）
３２    連通孔（スライド案内本体）
３０    ベース用取付面
３５    ボールねじナット
４０    シーリングフォーム（多孔質材）
４１    底部
４２    側部
４３    ボールねじ軸用孔
５１    調整ねじ用ねじ孔
５３    ボールねじ軸
５４    駆動伝達装置
５５    端面
６２    凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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