(57)【要約】【課題】初期的に高次の球面収差を発生させることでレンズ作用等の発生を抑制し、電気的に簡単に偏向角を可変することができ、さらに光利用効率の高い光偏向素子を提供すること。【解決手段】一方の透明電極に、ストライプ状に同間隔で配した複数個の個別電極と、複数個の個別電極を繋ぐ高抵抗配線とを有し、複数個の個別電極の両端に位置する個別電極に異なる電圧を印加した際に、複数個の個別電極に傾斜電位を発生する光偏向素子において、複数個の個別電極は、少なくとも１つの個別電極を有する３つ以上の群により構成され、この複数の群に内包する個別電極間を繋ぐ高抵抗配線の抵抗値は、それぞれ同一の抵抗値であり、全ての群に内包する高抵抗配線の抵抗値を同一とした場合の傾斜抵抗勾配Ａに対し、隣接する複数個の群の抵抗傾斜勾配を順にＢ、Ｃ、Ｄとした時に、Ａ＜Ｂ、Ａ＞Ｃ、Ａ＜Ｄ、またはＡ＞Ｂ、Ａ＜Ｃ、Ａ＜Ｃの関係を満たす構成とした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈折率異方性媒質を挟む上下の透明基板の少なくとも一方の透明電極に、ストライプ状に同間隔で配した複数個の個別電極と、前記複数個の個別電極を繋ぐ高抵抗配線とを有し、前記複数個の個別電極の両端に位置する個別電極に異なる電圧を印加した際に、前記複数個の個別電極に傾斜電位を発生させることができるようにした光偏向素子において、
前記複数個の個別電極は、少なくとも１つの個別電極を有する３つ以上の群により構成され、
前記複数個の群に内包する個別電極間を繋ぐ高抵抗配線は、それぞれ同一の抵抗値で形成され、
全ての前記群に内包する前記高抵抗配線の抵抗値を同一とした場合の傾斜抵抗勾配Ａに対し、隣接する前記複数個の群の抵抗傾斜勾配を順にＢ、Ｃ、Ｄとした時に、Ａ＜Ｂ、Ａ＞Ｃ、Ａ＜Ｄ、またはＡ＞Ｂ、Ａ＜Ｃ、Ａ＜Ｃの関係を満たすようにしたことを特徴とする光偏向素子。
【請求項２】
前記屈折率異方性媒質は、液晶であることを特徴とする請求項１に記載の光偏向素子。
【請求項３】
前記液晶は、ホモジニアス型液晶またはホメオトロピック型液晶であることを特徴とする請求項２に記載の光偏向素子。
【請求項４】
全ての前記個別電極は、基本格子形状が同じであることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の光偏向素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光ビーム、特にレーザービームの光路を偏向する光偏向素子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光ビームを偏向する方法として、液晶を用いて光を偏向させる技術が適用され始めている。この液晶を用いた光偏向素子は、液晶を高抵抗の全面透明電極で挟持して構成されており、その全面透明電極両端に電位差を与えることで、連続勾配の電位分布を液晶分子に与えて、プリズム効果により光ビームを偏向させることができるようになっている。
【０００３】
また、上述したと同じ機能を有する光偏向素子として、下記の構成が開示されている。その光偏光素子は、連続勾配の電位分布を液晶分子に与えるために各個別電極を同間隔に配置するとともに、各個別電極間を一定の抵抗の配線で接続している。この方法によって、上述したと同様に、ほぼ線形なプリズム効果を得ることができる（例えば、特許文献１参照）。以下、従来技術で提案されている光偏向素子について更に詳細に記述する。
【０００４】
図７は、従来技術で提案されている光偏向素子の構成を示した図である。
この光偏光素子は、例えば、強誘電性結晶や、電気光学セラミックスや、液晶素子等の屈折率異方性媒質１０４が一対の透明基板１０３上に形成された透明電極１０２と対向透明電極１０５を介して挟まれた構成を採用している。この屈折率異方性媒質１０４は、電界により方位が変化することで入射光に対する実効屈折率が変化するように作用する。また、透明電極１０２のパターンは、２次元のストライプ状の格子形状に配列された複数個の個別電極１０２ａ〜１０２ｅを有し、各個別電極１０２を高抵抗配線１０１ａ〜１０１ｄで繋いだ構成とし、対向透明電極１０２は全面ベタ電極としている。なお、この対向透明電極１０５を透明電極１０２の様に複数個の個別電極１０２ａ〜１０２ｄの様に配列した形態としても構わない。
【０００５】
上述した個別電極１０２と高抵抗配線１０１との関係を更に詳細に説明をする。図８は、従来技術の光偏向素子の個別電極と各個別電極間を接続する高抵抗配線を示した図である。また、図９は、この光偏向素子に電位差Vを与えたときの屈折率分布または位相差量分布を示した図であり、本図面における縦軸Ｙは位相差量または屈折率を示し、横軸Ｘは個別電極１０２ａ〜１０２ｅの電極位置を示している。
従来の光偏光素子を構成する透明電極は、格子形状を構成する長方形状の複数個の個別電極１０２ａ〜１０２ｅをストライプ状に配した群によって構成され、その隣り合う各個別電極１０２ａ〜１０２ｅが高抵抗配線１０１ａ〜１０１ｄで接続されている。なお、この高抵抗配線１０１ａ〜１０１ｄの抵抗値は、同値である。
【０００６】
そして、群の両端に位置する個別電極１０２ａ、１０２ｄから引き出された一対の外部引き出し電極線２０３のａ，ｂ間に電位差V（ｂの電位がａより大とする）を与えると、図９に示される空間的な連続的な電位分布形状を持つ電界が屈折率異方性媒質１０４に与えられる。このとき対向透明電極１０５は、基準電位（一般に接地電位）となっている。ここで屈折率異方性媒質１０４が電界に対してほぼ線形に応答すると仮定すれば、発生する空間的な屈折率分布は図９と同型とすることができる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−２３３０９４号公報（第３−４頁、第１−３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、この従来の光偏向素子は、液晶が厳密に線形に応答しないことや、電圧が厳密に線形に印加されていないことや、液晶セル自体の持つ収差などによって、偏向した光ビームに低次の球面収差が発生してしまうという問題を有する。この低次の球面収差がレンズ作用等を持つことによって、ビームウエストの変動が起こってしまうのである。
【０００９】
図１０は、図９で示した屈折率分布の破線部から下の領域を表したものであり、図９と同様に縦軸Ｙは位相差量または屈折率を示し、横軸Ｘは電極位置を示している。
この実線で示した電極位置に対する位相差量または屈折率が、ビームウエストの変動により、低次の球面収差４０１aあるいは４０１ｂに変動してしまう。この様に低次の球面収差４０１aあるいは４０１ｂは、レンズ作用等を持って光偏向に影響を及ぼすため、光偏向素子をオートフォーカスのない光学系に利用する場合において、光軸調整等ができなくなってしまう。以下、１次の球面収差が発生した際の偏向特性について記述する。
【００１０】
図１１は、図１０で示した１次の球面収差が発生した際のレンズ作用を示した図であり、図９、図１０と同様に、縦軸Ｙは位相差量または屈折率を示し、横軸Ｘは電極位置を示している。なお本図面は、１次の球面収差４０１aあるいは４０１ｂが発生した場合における入射光に対する出射光への影響について、それぞれ図示したものである。
本図面から明らかな様に、球面収差の発生が起こらない場合は、破線で示した線形な傾斜によって入射光は５０２aの方向に偏向する。この際には、ビームが集光または発散するような現象は起こらない。しかしながら、１次の球面収差４０１aが発生した場合は、入射光が偏向する際に、１次の球面収差４０１aが凸レンズの作用を持つために、符号５０２ｃで示す方向にビームが集光してしまう。また、１次の球面収差４０１ｂが発生した場合は、入射光が偏向する際に、１次の球面収差４０１ｂが凹レンズの作用を持つために、符号５０２ｂで示す方向にビームが発散してしまう。
【００１１】
図１２は、図１０で示した１次の球面収差が発生した際の偏向特性を示した図である。本図面は、１次の球面収差４０１aあるいは４０１ｂが発生した場合における入射光に対する出射光の偏向特性について、それぞれ図示したものである。
本図面から明らかな様に、球面収差４０１aあるいは４０１ｂの発生が起こらない場合は、破線で示した線形な傾斜によって入射光は６０２aで示す方向の出射光として、角度θだけ偏向される。しかしながら、１次の球面収差４０１aが発生した場合は、符号６０２ｃで示す方向の出射光となり、角度θよりも小さな角度で偏向される。また、１次の球面収差符号４０１ｂが発生した場合は、符号６０２ｂで示す方向の出射光となり、角度θよりも大きな角度で偏向される。
【００１２】
この様に、従来技術による光偏向素子の構成では、前述した問題である1次（低次）の球面収差によって、図１１と図１２で述べた現象が起こるため、オートフォーカスのない光学系における光軸調整等ができなくなるという問題が発生するのである。
【００１３】
そこで、本発明の目的は上記課題を解決し、複数個の個別電極を繋ぐ高抵抗配線の構成を工夫することで、初期的に高次の球面収差を発生させてレンズ作用等の発生を抑制し、電気的に簡単に偏向角を可変することができ、さらに光利用効率の高い光偏向素子を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、上記目的を達成するために、基本的には、下記に記載されたような技術を採用するものである。
【００１５】
すなわち、本発明において上記課題を解決するための第１の手段は、屈折率異方性媒質
を挟む上下の透明基板の少なくとも一方の透明電極に、ストライプ状に同間隔で配した複数個の個別電極と、複数個の個別電極を繋ぐ高抵抗配線とを有し、複数個の個別電極の両端に位置する個別電極に異なる電圧を印加した際に、複数個の個別電極に傾斜電位を発生させることができるようにした光偏向素子において、複数個の個別電極は、少なくとも１つの個別電極を有する３つ以上の群により構成され、この複数の群に内包する個別電極間を繋ぐ高抵抗配線の抵抗値は、それぞれ同一の抵抗値であり、全ての群に内包する高抵抗配線の抵抗値を同一とした場合の傾斜抵抗勾配Ａに対し、隣接する複数個の群の抵抗傾斜勾配を順にＢ、Ｃ、Ｄとした時に、Ａ＜Ｂ、Ａ＞Ｃ、Ａ＜Ｄ、またはＡ＞Ｂ、Ａ＜Ｃ、Ａ＜Ｃの関係を満たすようにしたことを特徴としたことである。
【００１６】
また、第２の手段は、屈折率異方性媒質が、液晶であることを特徴としたことである。第３の手段は、液晶が、ホモジニアス型液晶またはホメオトロピック型液晶であることを特徴としたことである。第４の手段は、全ての個別電極が、基本格子形状が同じであることを特徴としたことである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明による光偏向素子を用いれば、簡単な構造で、光利用効率がほぼ１００％として容易に偏向角を制御でき、しかも低次の球面収差が発生した際に及ぼすレンズ効果を抑制することが可能である光偏向素子が実現可能となる。また、本発明による光偏向素子の透明電極は、高抵抗材料に制限されないので、高い光透過特性を容易に得ることができる。
【００１８】
また、本発明の光偏向素子を、レーザープリンターや光ピックアップの光軸調整に、レーザースキャナやオートフォーカスのない光学系等への応用が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
まず、本発明における光偏向素子について説明する。
本発明にける光偏向素子の構成は、屈折率異方性媒質を挟む上下の透明基板の少なくとも一方の透明電極に、ストライプ状に同間隔で配した複数個の個別電極と、複数個の個別電極を繋ぐ高抵抗配線とを有し、複数個の個別電極の両端に位置する個別電極に異なる電圧を印加した際に、複数個の個別電極に傾斜電位を発生させることができるようにした光偏向素子において、複数個の個別電極は、少なくとも１つの個別電極を有する３つ以上の群により構成され、この複数の群に内包する個別電極間を繋ぐ高抵抗配線の抵抗値は、それぞれ同一の抵抗値であり、全ての群に内包する高抵抗配線の抵抗値を同一とした場合の傾斜抵抗勾配Ａに対し、隣接する複数個の群の抵抗傾斜勾配を順にＢ、Ｃ、Ｄとした時に、Ａ＜Ｂ、Ａ＞Ｃ、Ａ＜Ｄ、またはＡ＞Ｂ、Ａ＜Ｃ、Ａ＜Ｃの関係を満たすようにしたことを特徴とした構成を採用したものである。
【００２０】
図１は、本発明の実施形態の一例を示した図である。
本発明の光偏向素子は、屈折率異方性媒質７０４が一対の透明基板７０３上に形成された透明電極７０２と対向透明電極７０５を介して挟まれている。この屈折率異方性媒質７０４は、電界により方位が変化することで入射光に対する実効屈折率が変化することができるようになっている。また、透明電極７０２のパターンは、２次元のストライプ状の格子形状に配列された個別電極７０２ａ〜７０２ｅと、各個別電極７０２ａ〜７０２ｅを繋ぐ高抵抗配線７０１ａ〜７０１ｄとを有し、もう一方の対向透明電極７０５は、全面ベタ電極としている。なお、この対向透明電極７０５は、背景技術で示したと同様に、透明電極７０２と同様にストライプ状の格子形状としても構わない。
【００２１】
図２に、本発明の光偏向素子が、屈折率異方性媒質７０４としてホモジェニアス型（平行配向型）液晶を用いた実施形態を示す。
ここで示す屈折率異方性媒質７０４であるホモジェニアス型液晶は、棒状の液晶分子８
０５が透明基板７０３に対して平行に並んだものであり、この屈折率異方性媒質７０４に電界を掛けることで、棒状分子の長軸方向が電界の方向に傾き、入射直線偏光に対する実効屈折率を変化させる。なお、この屈折率異方性媒質７０４に液晶分子の長軸が透明基板に垂直に並んだホメオトロピック液晶を用いてもよい。このときは、液晶分子の短軸方向が電界の方向に傾き入射直線偏光に対する実効屈折率が変化するのみが異なり、他の構成は同じである。
【００２２】
次に、本発明の光偏光素子を構成する格子状に配列された個別電極と、その各個別電極を繋ぐ高抵抗配線の形態について説明をする。図３は、本発明における透明電極と高抵抗配線の構成を示した図である。
図３に示すように、本発明の光偏光素子を構成する透明電極７０２側の電極パターンの形状は、格子形状を構成する長方形状の複数の個別電極７０２ａ〜７０２ｄをストライプ状に配し、その隣り合う個別電極７０２が高抵抗配線７０１ａ〜７０１ｄで接続されている。また、本発明の光偏光素子は、少なくとも１つの個別電極と高抵抗配線によって区分けされる群９１０ａ〜９１０ｃを有する。この少なくとも１つの個別電極を有する群９１０ａ〜９１０ｃにおいて、内包する個別電極間を繋ぐ高抵抗配線の抵抗値は、同一の抵抗としている。図３では、高抵抗配線７０１ｃと高抵抗配線７０１ｄが同値の抵抗値を有しており、これら高抵抗配線７０１ｃ，ｄは、７０１a，ｂよりも抵抗値が大きいものとしている。さらに、高抵抗配線７０１ａの抵抗値は、高抵抗配線７０１ｂの抵抗値よりも大きいものとした。
【００２３】
なお、この個別電極は、ＩＴＯ、ＺｎＯ等の透明電極で形成されており、高抵抗配線７０１ａ〜ｄは、線幅を細くする、渦巻状にして配線長を長くする、個別電極９０２とは異なる高抵抗材料で形成する等の手段により形成することができる。
【００２４】
このとき群９１０ａ〜ｃの両端に位置する個別電極７０２ａ〜ｅから引き出された一対の外部引き出し電極線９０３のａ、ｂ間に電位差V（ｂの電位がaより大とする）を与えると、図４に示す様に、空間的な非連続的な電位分布形状を持つ電界が屈折率異方性媒質７０４に与えられる。このとき対向透明電極７０５は、基準電位（一般に接地電位）となっている。
【００２５】
ここで、本発明の光偏光素子を構成する高抵抗配線７０１ａ〜ｄによって規定される各群９１０ａ〜ｃの抵抗勾配について説明をする。図４は、本発明の光偏向素子に電位差Vを与えたときの屈折率分布あるいは位相差量分布を示した図であり、縦軸Ｙは位相差量または屈折率を示し、横軸Ｘは個別電極７０２ａ〜ｄの電極位置を示している。
本発明の光偏光素子は、全ての群９１０ａ〜ｃに内包する高抵抗配線７０１ａ〜ｄの抵抗値を同一とした場合の傾斜抵抗勾配をＡ、隣接する複数個の群９１０ａ〜ｃの抵抗傾斜勾配を順にＢ、Ｃ、Ｄとした場合に、Ａ＜Ｂ、Ａ＞Ｃ、Ａ＜Ｄの関係を満たす構成としている。また、抵抗傾斜勾配Ｂは、群９１０ａで示された少なくとも１つの個別電極７０２ａ，ｂを有する領域の位相差量または屈折率を示しており、抵抗傾斜勾配Ｃ、Ｄはそれぞれ群９１０ｂと群９１０ｃの領域の位相差量または屈折率を示している。
ここで屈折率異方性媒質７０４が電界に対してほぼ線形に応答すると仮定すれば、発生する空間的な屈折率分布は図４の実線で示したと同型となる。
【００２６】
上記したように、３つ以上の群ではなく、１つの群（従来の構成に相当する）と、２つの群により光偏光素子を構成した場合について考察をする。図５に従来技術における傾斜抵抗勾配の例と傾斜抵抗勾配が２つの場合を示す。本図面の縦軸Ｙは位相差量または屈折率を示し、横軸Ｘは個別電極７０２ａ〜ｄの電極位置を示している。
本図面における図５（ａ）は、従来技術による連続的な勾配電位分布による傾斜パターンが１つの場合であり、先に述べた通り、低次（1次）の球面収差を持つ分布となる。図
５（ｂ）の勾配電位分布については、発生する球面収差が凸だった場合と凹だった場合に、それぞれ収差を抑制する場合と増大させてしまう場合があるため、構成としては不適切となる。以上の２点より、初期的に高次の球面収差を発生させるための非連続的な勾配電位分布は、少なくとも１つの個別電極を有する３つ以上の群による傾斜抵抗勾配を組み合わせて構成する必要があることが判る。
【００２７】
ここで、光偏光素子を構成する上での留意点として、前述した群における傾斜抵抗勾配Ｂ，Ｃ，Ｄにおいて２つの傾斜抵抗勾配のパターンが同じになっても構わないが、隣り合う傾斜パターンが異なるように組み合わせなければならない。つまりＢ＝Ｄとなる構成では問題ないが、Ｂ＝ＣあるいはC＝Dとなった場合は、ＢとC合わせて１つの群あるいはCとD合わせて１つの群と見なせてしまい、先に述べた１２０１ｂで示した構成と一致してしまうためである。
【００２８】
また、傾斜抵抗勾配を少ない（３つ）構成にした場合は、低次の球面収差を抑制しきれない場合や増幅してしまう場合あるため、レンズ作用等を抑制することが難しくなる。逆に傾斜抵抗勾配が多い場合は、先に述べた図３において、ａ、ｂに電位差Vを与える場合、ａの電位がｂより大とする場合とｂの電位がａより大とする場合とそれぞれ２通りあり、ａ、ｂのどちらの電位が高くても対応できる。しかし、先に説明をした隣接する複数個の群を極端に多く設けると、初期的に高次の球面収差を発生させて、低次の球面収差の発生を抑制することは可能だが、得られた高次の球面収差が巨視的にみて低次の球面収差とみなすことができてしまう。そのため、レンズ作用等を抑制することが難しくなる。また、傾斜抵抗勾配のパターンの組み合わせが周期的に配置されていた場合は、回折現象が発生してしまい、光利用効率の低下とノイズ光等が生じてしまうという問題がある。よって、仕様用途に応じて、群の数を設定することが肝要である。
【００２９】
以上の説明で明らかなように、初期的に高次の球面収差を発生させて、低次の球面収差の発生を抑制するためには、前述した群を３つ以上にする必要があり、構成に電位差を与えた際に得られる非線形な傾斜は、周期性を持たず、巨視的にみて線形となる傾斜パターンの組み合わせが必要となることは明白である。
【００３０】
次に本発明の光偏光素子によって得られる偏向特性について説明する。図６は図４で示した屈折率分布の破線部から下の領域（実線で示した領域）と、偏光特性を表したものであり、縦軸Ｙは位相差量または屈折率を示し、横軸Ｘは電極位置を示している。
本発明の光偏光素子は、屈折率異方性媒質７０４が線形に応答した場合は、実線で示された非連続的な傾斜を得ることになる。この実線で示されたそれぞれ傾きの異なる傾斜が、巨視的に見て点線で示された１つの傾斜とみなすことができるとき、この屈折率異方性媒質７０４は、プリズムとして作用する。図６の点線で示したプリズム形状による両端の位相差量（屈折率×長さ）の差、すなわち位相差Ａ１１０１aと位相差Ｂ１１０１ｂの位相差量をＬ、幅Wの垂直入射光を平面波とすると、その波面は、下記に示す（１）式で示される角度θだけ傾く。すなわち角度θだけ光路は偏向されることになる。
【００３１】
【数１】
2005257822.tif 000003
【００３２】
ここで位相差Ａ１１０１aより位相差Ｂ１１０１ｂの方が長いとし、外部引き出し電極間ａ、ｂに与える電位差を変調すれば、位相差量Ｌも変調され、結果的に偏向角θだけ変調されることとなる。また、本来個別電極７０２ａ〜ｅの隙間部分は電界が掛からないので、厳密に言うと屈折率異方性媒質７０４は、連続したプリズムにはならないが、各個別
電極７０２ａ〜ｅの隙間の間隔が屈折率異方性媒質７０４の厚みより小さければ、横電界効果で電位分布はほぼ連続して繋げることができる。
【００３３】
以上の説明の如く、本発明で提案する光偏向素子の構成のように３つ以上の群９１０ａ〜ｃ（図３参照）で構成した場合は、非連続的な勾配電位分布を与えるため、初期的に高次の球面収差を発生させることができるようになる。この高次の球面収差が、低次の球面収差の発生を抑制するため、低次の球面収差が発生した場合のレンズ作用等の現象を抑制することができるようになる。
【００３４】
したがって、本発明における光偏向素子は、オートフォーカスのない光学系においての光軸調整に利用可能となる。ただし、非連続な勾配電位分布を与えるにあたって、少なくとも１つの個別電極を有する３つ以上の群９１０ａ〜ｃで傾斜抵抗勾配を与える必要があるが、プリズム効果を持たせるために、その傾斜抵抗勾配のパターンを組み合わせた際は、巨視的にみて線形とみなすことができるように各個別電極７０２とそれを繋ぐ高抵抗配線７０１を設計することが肝要である。
【００３５】
この様に、本発明による光偏向素子を用いれば、簡単な構造で、光利用効率の高い電気的に偏向角を制御できる光偏向素子を実現可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の光偏向素子の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の光偏光素子に屈折率異方性媒質としてホモジェニアス型（平行配向型）液晶を用いた場合の作用を説明するための図面である。
【図３】本発明の光偏向素子を構成する透明電極形状と高抵抗配線を示す平面図である。
【図４】本発明の光偏向素子の屈折率異方性媒質に発生する位相差量分布または屈折率分布と電極位置との関係を示す図である。
【図５】光偏光素子により形成される抵抗傾斜勾配の例を示した図である。
【図６】本発明の光偏向素子の位相差量分布または屈折率分布により作用する光偏向方向を説明するための図面である。
【図７】従来の光偏向素子の構成を示す断面図である。
【図８】従来の光偏向素子を構成する透明電極形状と高抵抗配線を示す図面である。
【図９】従来の光偏向素子の屈折率異方性媒質に発生する位相差量分布または屈折率分布と電極位置との関係を示す図である。
【図１０】従来の光偏向素子により発生する球面収差の作用を説明するための図面である。
【図１１】従来の光偏向素子の位相差量分布または屈折率分布により作用する光偏向方向を説明するための図面である。
【図１２】従来の光偏向素子の位相差量分布または屈折率分布により作用する光偏向方向を説明するための図面である。
【符号の説明】
【００３７】
７０１  高抵抗配線
７０２  透明電極
７０５  対向透明電極
７０３  透明基板
７０４  屈折率異方性媒質
９０３  引き出し電極線
９１０  群
１１０１  位相差
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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