(57)【要約】【課題】  不良セルブロックに隣接する通常セルブロックに影響を与えずに、セルブロック単位の冗長置換が可能にする。【解決手段】  不良セルブロック１０を不良セルブロック用冗長セルブロック２０に冗長置換するとともに、不良セルブロック１０の左側に隣接する通常セルブロックについては、その通常セルブロックを半分に分割した２つの領域の内で不良セルブロック１０側の領域を分割隣接ブロック１１とし、不良セルブロック１０の右側に隣接する通常セルブロックについては、その通常セルブロックを半分に分割した２つの領域の内で不良セルブロック１０側の領域を分割隣接ブロック１２とし、不良セルブロック１０の左右に離れれて隣接するこれら２つの分割隣接ブロック１１，１２を、冗長セルアレイ２内の１つの隣接セルブロック用冗長セルブロック２１にまとめて冗長置換する。【選択図】        図２     
2005267735.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
不良セルブロックを第１の冗長セルブロックに冗長置換する半導体メモリにおいて、
不良セルブロックに隣接した通常セルブロックを冗長置換する第２の冗長セルブロックを備えた
ことを特徴とする半導体メモリ。
【請求項２】
請求項１に記載の半導体メモリにおいて、
上記不良セルブロックのアドレスを記憶する手段と、
上記不良セルブロックのアドレスと、上記不良セルブロックを選択するための入力アドレスから、上記第１の冗長セルブロックを選択するための冗長アドレスを発生する手段と、
上記不良セルブロックのアドレスと、上記隣接セルブロックを選択するための入力アドレスから、上記第２の冗長セルブロックを選択するための冗長アドレスを発生する手段と、
上記冗長アドレスに従って、上記第１の冗長セルブロックまたは上記第２の冗長セルブロックを選択する手段と
をさらに備えた
ことを特徴とする半導体メモリ。
【請求項３】
請求項１に記載の半導体メモリにおいて、
不良セルブロックの両側に隣接する２つの通常セルブロック内のそれぞれ上記不良セルブロック側の半分の領域である２つの分割隣接ブロックを、１つの上記第２の冗長セルブロック内にまとめて冗長置換する手段をさらに備えた
ことを特徴とする半導体メモリ。
【請求項４】
請求項３に記載の半導体メモリにおいて、
上記不良セルブロックのアドレスを記憶する手段と、
上記不良セルブロックのアドレスと、上記不良セルブロックを選択するための入力アドレスから、上記第１の冗長セルブロックを選択するための冗長アドレスを発生する手段と、
上記不良セルブロックのアドレスと、上記分割隣接ブロックのいずれかを選択するための入力アドレスから、上記分割隣接ブロックをそれぞれ冗長置換した上記第２の冗長セルブロック内のいずれかの分割冗長ブロックを選択するための冗長アドレスを発生する手段と、
上記冗長アドレスに従って、上記第１の冗長セルブロックまたは上記いずれかの分割冗長ブロックを選択する手段と
をさらに備えた
ことを特徴とする半導体メモリ。
【請求項５】
不良セルブロックを冗長置換する第１の冗長セルブロックと、上記不良セルブロックに隣接した通常セルブロックを冗長置換する第２の冗長セルブロックとを備えた半導体メモリのメモリセル選択方法であって、
上記不良セルブロックのアドレスと、上記隣接セルブロックを選択するための入力アドレスから、上記第２の冗長セルブロックを選択するための冗長アドレスを発生する手順と、
上記冗長アドレスに従って、上記第２の冗長セルブロックを選択する手順と
を含む
ことを特徴とする半導体メモリのメモリセル選択方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、それぞれ複数のメモリセルトランジスタ（以下、セル）および複数のビットラインを備えて構成された複数のメモリセルブロック（以下、セルブロック）の内の不良セルブロックを、複数の冗長セルを備えて構成された冗長セルブロックに冗長置換するプログラマブルＲＯＭ（以下、ＰＲＯＭ）等の半導体メモリおよびそのメモリセル選択方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図８は従来のＰＲＯＭの構成図であり、図９は図８においての従来のセルアレイ（通常セルアレイ１および冗長セルアレイ２Ａ）の回路構成図である。また、図３は図８においてのセルドレインセレクト回路３の回路構成図、図４は図８においてのカラムデコーダ回路４の回路構成図、図５は図８においての不良セルブロック用カラム冗長セレクト回路５の回路構成図、図７は図８においてのロウデコーダ回路８の回路構成図である。
【０００３】
この従来のＰＲＯＭのセルアレイ（図９参照）は、通常セルアレイ１と冗長セルアレイ２Ａによって構成されており、通常セルアレイ１は、複数の通常セルおよび複数のビットラインを備えて構成された通常セルブロック１０を含む複数の通常セルブロックによって構成されており、冗長セルアレイ２Ａは、同じく複数の冗長セルおよび複数の冗長ビットラインを備えて構成された冗長セルブロック２０からなる。また、この従来のＰＲＯＭでは、カラムアドレスは、ＡＹ０，ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３の４アドレスで構成されており、通常セルアレイ１内のそれぞれの通常セルブロックは、カラムアドレスＡＹ２，ＡＹ３によって区別される。
【０００４】
図８の従来のＰＲＯＭでは、例えば図９の通常セルブロック１０内の通常セルＭＬ２が不良セルの場合に、この不良セルブロック１０を冗長セルアレイ２Ａの冗長セルブロック２０に、以下の手順で冗長置換する。
【０００５】
図９の通常セルブロック１０が不良セルブロックの場合には、この不良セルブロック１０を選択するカラムセレクト信号Ｙ２をＨ（Highレベル）とするカラムアドレス（ＡＹ２，ＡＹ３）＝（Ｈ，Ｌ（Lowレベル））であるので（図４参照）、不良セルブロック用カラム冗長セレクト回路５（図５参照）において、ヒューズプログラム回路５０のヒューズＦ５０を切断して、冗長イネーブル信号ＦＭＡＩＮ＝Ｈに設定するとともに、ヒューズプログラム回路５１のヒューズＦ５０を切断して、上記カラムアドレスＡＹ２＝Ｈに応じたヒューズプログラムアドレスＦＹ２＝Ｈに設定し、ヒューズプログラム回路５２のヒューズＦ５０は未切断のままにして、上記カラムアドレスＡＹ３＝Ｌに応じたヒューズプログラムアドレスＦＹ３＝Ｌに設定する。
【０００６】
これにより、不良セルブロック１０は、冗長セルブロック２０に冗長置換され、不良セルブロック１０を選択するカラムアドレス（ＡＹ２，ＡＹ３）＝（Ｈ，Ｌ）が入力されたときに、不良セルブロック用カラム冗長セレクト回路５によって冗長セルブロック２０が選択され、冗長セルブロック２０内の冗長セルのデータが、冗長読み出しデータＲＤＡＴＡとして、冗長センスアンプに読み出される。
【０００７】
このような従来のＰＲＯＭにおいては、図１０に示すように、不良セルブロック１０の端に配置された不良セルＭＬ２が、そのソース側において高抵抗でＧＮＤに接地しているような場合には、この不良セルＭＬ２が低しきい値のセルであると、これに隣接するビット列の通常セルＭＬ１が選択されたときに、セルドレインセレクトラインＤＳＬ２から不良セルＭＬ２にリーク電流ｉＬが流れ、通常セルＭＲ１が低しきい値のセルである場合には、セルドレインセレクトラインＤＳＬ２から通常セルＭＲ１に流れる電流ｉＭＲ１は、本来のｉＭＣよりも減少したｉＭＣ−ｉＬとなるため、電圧および温度についての動作マージン不足、さらには劣化による不良を生じることがあった。なお、ビットラインＢＬ２も同様であり、図９において通常セルＭＲ３のソース側またはビットラインＢＬＢＬ３が高抵抗でＧＮＤに接地しているような場合においての通常セルＭＬ４についても同様である。
【０００８】
そこで、他の従来のＰＲＯＭには、不良セルならびにこの不良セルのビット列およびこれに隣接するビット列に配置されている通常セル、あるいは不良ビットラインに隣接するビット列に配置されている通常セルを冗長置換するとともに、これら冗長置換したビット列のセルを高しきい値にすることによって、上記不良セルあるいは上記不良ビットラインが、上記冗長置換したビット列にさらに隣接するビット列の通常セルに影響を与えないようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−２７３３９２号公報（図１，図３，図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記従来の技術では、セルブロック単位ではなく、ビット列単位で冗長置換がなされるため、冗長置換をプログラムする回路や冗長セルからデータを読み出すための回路の構成が複雑になるという課題があった。また、冗長置換した通常セルを高しきい値にするためのＲＯＭデータを変換する回路が別途必要となるため、半導体メモリの構成が複雑になるという課題があった。
【００１１】
本発明は、このような従来の課題を解決するためになされたものであり、不良セルブロックに隣接する通常セルブロックに影響を与えずに、セルブロック単位の冗長置換が可能な半導体メモリおよびその半導体メモリのメモリセル選択方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の半導体メモリは、
不良セルブロックを第１の冗長セルブロックに冗長置換する半導体メモリにおいて、
不良セルブロックに隣接した通常セルブロックを冗長置換する第２の冗長セルブロックを備えた
ことを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の半導体メモリのメモリセル選択方法は、
不良セルブロックを冗長置換する第１の冗長セルブロックと、上記不良セルブロックに隣接した通常セルブロックを冗長置換する第２の冗長セルブロックとを備えた半導体メモリのメモリセル選択方法であって、
上記不良セルブロックのアドレスと、上記隣接セルブロックを選択するための入力アドレスから、上記第２の冗長セルブロックを選択するための冗長アドレスを発生する手順と、
上記冗長アドレスに従って、上記第２の冗長セルブロックを選択する手順と
を含む
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、不良セルブロックを第１の冗長セルブロックに冗長置換するとともに、不良セルブロックに隣接した通常セルブロックを第２の冗長セルブロックに冗長置換することにより、不良セルブロックに隣接する通常セルブロックに影響を与えずに、セルブロック単位の冗長置換が可能となるので、簡単な構成で、電圧および温度についての動作マージンを向上させ、劣化不良を低減できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
実施の形態１
図１は本発明の実施の形態１の半導体メモリ（ＰＲＯＭ）の構成図であり、図８と同様のものには同じ符号を付してある。図１において、実施の形態１の半導体メモリは、通常セルアレイ１および冗長セルアレイ２からなるセルアレイと、セルドレインセレクト回路３と、カラムデコーダ回路４と、不良セルブロック用カラム冗長セレクト回路５と、隣接セルブロック用カラム冗長セレクト回路６と、ロウデコーダ回路８とを備えて構成されている。この実施の形態１の半導体メモリは、上記従来のＰＲＯＭ（図８参照）において、隣接セルブロック用カラム冗長セレクト回路６を設け、冗長セルアレイ２Ａを冗長セルアレイ２としたものであって、カラムアドレスは、ＡＹ０，ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３の４アドレスで構成されており、ロウアドレスは、ＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３の３アドレスで構成されている。
【００１６】
図２は図１の実施の形態１の半導体メモリにおいてのセルアレイ（通常セルアレイ１および冗長セルアレイ２）の回路構成図である。図２において、通常セルアレイ１は、ワードセレクトＷＬ１によって選択される通常メモリセルトランジスタ（通常セル）ＭＬ０，ＭＲ０，ＭＬ１，ＭＲ１，…，ＭＬ７，ＭＲ７を含む合計１６×８個のセルと、セルドレインセレクトトランジスタＭＤＳＬ０，ＭＤＳＬ１，…，ＭＤＳＬ７と、カラムスイッチトランジスタＭＢＬ０，ＭＢＬ１，…，ＭＢＬ７とによって構成されている。
【００１７】
通常セルアレイ１において、通常セルＭＬ２，ＭＲ２，ＭＬ３，ＭＲ３およびこれらと同じビット列に配置された通常セルは、１つの通常セルブロック１０を構成している。同様に、通常セルＭＬ０，ＭＲ０，ＭＬ１，ＭＲ１およびこれと同じビット列に配置された通常セルも、１つの通常セルブロックを構成しており、通常セルＭＬ４，ＭＲ４，ＭＬ５，ＭＲ５およびこれらと同じビット列に配置された通常セルも、１つの通常セルブロックを構成しており、通常セルＭＬ６，ＭＲ６，ＭＬ７，ＭＲ７およびこれらと同じビット列に配置された通常セルも、１つのセルブロックを構成している。
【００１８】
また、図２において、冗長セルアレイ２は、ワードセレクト信号ＷＬ１によって選択される冗長メモリセルトランジスタ（冗長セル）ＲＭＬ０，ＲＭＲ０，ＲＭＬ１，ＲＭＲ１，…，ＲＭＬ３，ＲＭＲ３を含む合計８×８個の冗長セルと、セルドレイン冗長セレクトトランジスタＲＭＤＳＬ０，ＲＭＤＳＬ１，ＲＭＤＳＬ２，…，ＲＭＤＳＬ４と、カラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ０，ＲＭＢＬ１，…，ＲＭＢＬ３とによって構成されている。
【００１９】
冗長セルアレイ２において、冗長セルＲＭＬ０，ＲＭＲ０，ＲＭＬ１，ＲＭＲ１およびこれらと同じ冗長ビット列に配置された冗長セルは、通常セルアレイ１の不良セルブロック（例えば、通常セルブロック１０）を置換する不良セルブロック用冗長セルブロック２０を構成している。また、冗長セルＲＭＬ２，ＲＭＲ２，ＲＭＬ３，ＲＭＲ３およびこれと同じビット列に配置された冗長セルは、上記不良セルブロックの左側に隣接する通常セルブロックを半分に分割した２つの領域の内の上記不良セルブロック側の領域である分割隣接ブロック（例えば、不良セルブロック１０の左側に隣接する分割隣接ブロック１１）と、上記不良セルブロックの右側に隣接する通常セルブロックを半分に分割した２つの領域の内の上記不良セルブロック側の領域である分割隣接ブロック（例えば、不良セルブロック１０の右側に隣接する分割隣接ブロック１２）とのいずれかを冗長置換する、またはこれら２つの分割隣接ブロックをまとめて冗長置換する１つの隣接セルブロック用冗長セルブロック２１を構成している。この実施の形態１の冗長セルアレイ２は、上記従来の冗長セルアレイ２Ａ（図８および図９参照）において、冗長セルブロック２１を設けたものである。
【００２０】
通常セルＭＬ０およびこれと同じビット列に配置された７個の通常セルは、セルドレインセレクトラインＤＳＬ０とビットラインＢＬ０の間に設けられており、通常セルＭＲ０およびこれと同じビット列に配置された７個の通常セルは、ビットラインＢＬ０とセルドレインセレクトラインＤＳＬ１の間に設けられている。同様に、通常セルＭＬ１，ＭＬ２，…，ＭＬ７およびこれと同じビット列に配置された７個の通常セルは、それぞれセルドレインセレクトラインＤＳＬ１，ＤＳＬ２，…，ＤＳＬ７とビットラインＢＬ１，ＢＬ２，…，ＢＬ７の間に設けられており、通常セルＭＲ１，ＭＲ２，…，ＭＲ７およびこれと同じビット列に配置された７個の通常セルは、ビットラインＢＬ１，ＢＬ２，…，ＢＬ７とセルドレインセレクトラインＤＳＬ２，ＤＳＬ３，…，セルドレイン冗長セレクトラインＲＤＳＬ０の間に設けられている。
【００２１】
また、冗長セルＲＭＬ０およびこれと同じビット列に配置された７個の冗長セルは、セルドレイン冗長セレクトラインＲＤＳＬ０と冗長ビットラインＲＢＬ０の間に設けられており、冗長セルＲＭＲ０およびこれと同じビット列に配置された７個の冗長セルは、冗長ビットラインＲＢＬ０とセルドレイン冗長セレクトラインＲＤＳＬ１の間に設けられている。同様に、冗長セルＲＭＬ１，ＲＭＬ２，ＲＭＬ３およびこれと同じビット列に配置された７個の冗長セルは、それぞれセルドレイン冗長セレクトラインＲＤＳＬ１，ＲＤＳＬ２，ＲＤＳＬ３と冗長ビットラインＲＢＬ１，ＲＢＬ２，ＲＢＬ３の間に設けられており、冗長セルＲＭＲ１，ＲＭＲ２，ＲＭＲ３およびこれと同じビット列に配置された７個の冗長セルは、冗長ビットラインＲＢＬ１，ＲＢＬ２，ＲＢＬ３とセルドレイン冗長セレクトラインＲＤＳＬ２，ＲＤＳＬ３，ＲＤＳＬ４の間に設けられている。
【００２２】
同じワード列に配置された通常セルＭＬ０，ＭＲ０，ＭＬ１，ＭＲ１，…，ＭＬ７，ＭＲ７および冗長セルＲＭＬ０，ＲＭＲ０，ＲＭＬ１，ＲＭＲ１，…，ＲＭＬ３，ＲＭＲ３のゲート電極には、ワードセレクト信号ＷＬ１が入力される。同様に、同じワード列に配置され、かつそれぞれが上記通常セルおよび上記冗長セルと同じビット列および同じ冗長ビット列に配置された１６個の通常セルおよび８個の冗長セルのゲート電極には、それぞれワードセレクト信号ＷＬ０，ＷＬ２，…，ＷＬ７が入力される。
【００２３】
セルドレインセレクトトランジスタＭＤＳＬ０，ＭＤＳＬ１，…，ＭＤＳＬ７は、それぞれセルドレインセレクトラインＤＳＬ０，ＤＳＬ１，…，ＤＳＬ７と電源ＣＤＶの間に設けられており、セルドレイン冗長セレクトトランジスタＲＭＤＳＬ０，ＲＭＤＳＬ１，…，ＲＭＤＳＬ４は、それぞれセルドレイン冗長セレクトラインＲＤＳＬ０，ＲＤＳＬ１，…，ＲＤＳＬ４と電源ＣＤＶの間に設けられている。
【００２４】
セルドレインセレクトトランジスタＭＤＳＬ０，ＭＤＳＬ２，ＭＤＳＬ４，ＭＤＳＬ６およびドレイン冗長セレクトトランジスタＲＭＤＳＬ０，ＲＭＤＳＬ２，ＲＭＤＳＬ４のゲート電極には、セルドレインセレクト信号ＤＳ０が入力され、セルドレインセレクトトランジスタＭＤＳＬ１，ＭＤＳＬ３，ＭＤＳＬ５，ＭＤＳＬ７およびセルドレイン冗長セレクトトランジスタＲＭＤＳＬ１，ＲＭＤＳＬ３のゲート電極には、セルドレインセレクト信号ＤＳ０が入力される。
【００２５】
カラムスイッチトランジスタＭＢＬ０，ＭＢＬ１，…，ＭＢＬ７は、それぞれビットラインＢＬ０，ＢＬ１，…，ＢＬ７と読み出しデータＤＡＴＡの出力端子（センスアンプの入力に接続された出力端子）の間に設けられており、カラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ０，ＲＭＢＬ１，…，ＲＭＢＬ３は、それぞれ冗長ビットラインＲＢＬ０，ＲＢＬ１，…，ＲＢＬ３と冗長読み出しデータＲＤＡＴＡの出力端子（冗長センスアンプの入力に接続された出力端子）の間に設けられている。
【００２６】
カラムスイッチトランジスタＭＢＬ０，ＭＢＬ１，…，ＭＢＬ７のゲート電極には、それぞれカラムセレクト信号Ｙ０，Ｙ１，…，Ｙ７が入力される。また、カラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ０のゲート電極には、カラム冗長セレクト信号ＲＹ０が入力され、カラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ１のゲート電極には、カラム冗長セレクト信号ＲＹ１が入力され、カラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ２のゲート電極には、カラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵが入力され、カラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ３のゲート電極には、カラム冗長下位セレクト信号ＲＹＤが入力される。
【００２７】
図３はセルドレインセレクト回路３の回路構成例を示す図である。図３において、セルドレインセレクト回路３は、インバータＩ３０と、バッファＢ３０とによって構成されている。インバータＩ３０およびバッファＢ３０には、カラムアドレスＡＹ０が入力され、インバータＩ３０はセルドレインセレクト信号ＤＳ０を出力する。バッファＢ３０はセルドレインセレクト信号ＤＳ１を出力する。
【００２８】
図４はカラムデコーダ回路４の回路構成例を示す図である。カラムデコーダ回路４は、それぞれ３入力のＡＮＤゲートＡ４０，Ａ４１，…，Ａ４７によって構成されている。ＡＮＤゲートＡ４０は、カラムアドレスＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３の反転信号が入力され、カラムセレクト信号Ｙ０を出力する。ＡＮＤゲートＡ４１は、カラムアドレスＡＹ１と、カラムアドレスＡＹ２，ＡＹ３の反転信号とが入力され、カラムセレクト信号Ｙ１を出力する。ＡＮＤゲートＡ４２は、カラムアドレスＡＹ２と、カラムアドレスＡＹ１，ＡＹ３の反転信号とが入力され、カラムセレクト信号Ｙ２を出力する。ＡＮＤゲートＡ４３は、カラムアドレスＡＹ１，ＡＹ２と、カラムアドレスＡＹ３の反転信号とが入力され、カラムセレクト信号Ｙ３を出力する。ＡＮＤゲートＡ４４は、カラムアドレスＡＹ３と、カラムアドレスＡＹ１，ＡＹ２の反転信号とが入力され、カラムセレクト信号Ｙ４を出力する。ＡＮＤゲートＡ４５は、カラムアドレスＡＹ１，ＡＹ３と、カラムアドレスＡＹ２の反転信号とが入力され、カラムセレクト信号Ｙ５を出力する。ＡＮＤゲートＡ４６は、カラムアドレスＡＹ２，ＡＹ３と、カラムアドレスＡＹ１の反転信号とが入力され、カラムセレクト信号Ｙ６を出力する。ＡＮＤゲートＡ４７は、カラムアドレスＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３が入力され、カラムセレクト信号Ｙ７を出力する。
【００２９】
図５は不良セルブロック用カラム冗長セレクト回路５の回路構成図である。図５において、カラム冗長セレクト回路５は、ヒューズプログラム回路５０，５１，５２と、アドレスセレクト回路５３、５４と、アドレスデコード回路５５とによって構成されている。
【００３０】
ヒューズプログラム回路５０，５１，５２は、同じ構成であり、それぞれ抵抗Ｒ５０と、ヒューズＦ５０とによって構成されている。抵抗Ｒ５０の一端は電源Ｖｃｃに接続され、ヒューズＦ５０の一端は抵抗Ｒ５０の他端に接続され、ヒューズＦ５０の他端は接地されている。そして、ヒューズプログラム回路５０の抵抗Ｒ５０とヒューズＦ５０の接続ノードからは、冗長イネーブル信号ＦＭＡＩＮが出力され、ヒューズプログラム回路５１の抵抗Ｒ５０とヒューズＦ５０の接続ノードからは、ヒューズプログラムアドレスＦＹ２が出力され、ヒューズプログラム回路５２の抵抗Ｒ５０とヒューズＦ５０の接続ノードからは、ヒューズプログラムアドレスＦＹ３が出力される。
【００３１】
アドレスセレクト回路５３，５４は、同じ構成であり、それぞれインバータＩ５０，Ｉ５１と、ＭＯＳスイッチＭ５０，Ｍ５１とによって構成されている。アドレスセレクト回路５３は、ヒューズプログラムアドレスＦＹ２に従って、カラムアドレスＡＹ２の正相または逆相（反転信号）を選択し、カラム冗長アドレスＦＡ２を出力する。また、アドレスセレクト回路５４は、ヒューズプログラムアドレスＦＹ３に従って、カラムアドレスＡＹ３の正相または逆相（反転信号）を選択し、カラム冗長アドレスＦＡ３を出力する。
【００３２】
アドレスセレクト回路５３において、ヒューズプログラムアドレスＦＹ２は、インバータＩ５０ならびにＭＯＳスイッチＭ５０のＮＭＯＳトランジスタのゲート電極およびＭＯＳスイッチＭ５１のＰＭＯＳトランジスタのゲート電極に入力され、インバータＩ５０から出力されたヒューズプログラムアドレスＦＹ２の反転信号は、ＭＯＳスイッチＭ５０のＰＭＯＳトランジスタのゲート電極およびＭＯＳスイッチＭ５１のＮＭＯＳトランジスタのゲート電極に入力される。従って、ＭＯＳスイッチＭ５０がＯＮのときには、ＭＯＳスイッチＭ５１はＯＦＦであり、ＭＯＳスイッチＭ５０がＯＦＦのときには、ＭＯＳスイッチＭ５１はＯＮである。また、カラムアドレスＡＹ２は、ＭＯＳスイッチＭ５０およびインバータＩ５１に入力され、インバータＩ５１から出力されたカラムアドレスＡＹ２の反転信号は、ＭＯＳスイッチＭ５１に入力され、ＭＯＳスイッチＭ５０の出力は、ＭＯＳスイッチＭ５１の出力と接続されている。そして、ＭＯＳスイッチＭ５０の出力とＭＯＳスイッチＭ５１の出力の接続ノードからは、カラム冗長アドレスＦＡ２が出力される。
【００３３】
同様に、アドレスセレクト回路５４において、ヒューズプログラムアドレスＦＹ３は、インバータＩ５０ならびにＭＯＳスイッチＭ５０のＮＭＯＳトランジスタのゲート電極およびＭＯＳスイッチＭ５１のＰＭＯＳトランジスタのゲート電極に入力され、インバータＩ５０から出力されたヒューズプログラムアドレスＦＹ３の反転信号は、ＭＯＳスイッチＭ５０のＰＭＯＳトランジスタのゲート電極およびＭＯＳスイッチＭ５１のＮＭＯＳトランジスタのゲート電極に入力される。従って、ＭＯＳスイッチＭ５０がＯＮのときには、ＭＯＳスイッチＭ５１はＯＦＦであり、ＭＯＳスイッチＭ５０がＯＦＦのときには、ＭＯＳスイッチＭ５１はＯＮである。また、カラムアドレスＡＹ３は、ＭＯＳスイッチＭ５０およびインバータＩ５１に入力され、インバータＩ５１から出力されたカラムアドレスＡＹ３の反転信号は、ＭＯＳスイッチＭ５１に入力され、ＭＯＳスイッチＭ５０の出力は、ＭＯＳスイッチＭ５１の出力と接続されている。そして、ＭＯＳスイッチＭ５０の出力とＭＯＳスイッチＭ５１の出力の接続ノードからは、カラム冗長アドレスＦＡ３が出力される。
【００３４】
アドレスデコード回路５５は、３入力のＡＮＤゲートＡ５０と、それぞれ２入力のＡＮＤゲートＡ５１，Ａ５２とによって構成されている。ＡＮＤゲートＡ５０には、冗長イネーブル信号ＦＭＡＩＮおよびカラム冗長アドレスＦＡ２，ＦＡ３が入力される。ＡＮＤゲートＡ５１は、カラムアドレスＡＹ１の反転信号およびＡＮＤゲートＡ５０の出力信号が入力され、カラム冗長セレクト信号ＲＹ０を出力する。また、ＡＮＤゲートＡ５２は、カラムアドレスＡＹ１およびＡＮＤゲートＡ５０の出力信号が入力され、カラム冗長セレクト信号ＲＹ１を出力する。
【００３５】
図６は隣接セルブロック用カラム冗長セレクト回路６の回構成例を不良セルブロック用カラム冗長セレクト回路６の回構成例（図５参照）とともに示す図である。図６において、カラム冗長セレクト回路６は、ヒューズプログラム回路５６，５７と、ヒューズプログラム変換回路６０，６１，６２，６３，６４，６５と、アドレスセレクト回路６６，６７，６８，６９，７０，７１と、アドレスデコード回路７２，７３と、によって構成されている。ヒューズプログラム回路５３と、ヒューズプログラム変換回路６０，６１，６２と、アドレスセレクト回路６６，６７，６８と、アドレスデコード回路７２とは、ＲＹＵ用のカラム冗長上位セレクト回路７４を構成しており、ヒューズプログラム回路５４と、ヒューズプログラム変換回路６３，６４，６５と、アドレスセレクト回路６９，７０，７１と、アドレスデコード回路７３とは、ＲＹＤ用のカラム冗長下位セレクト回路７５を構成している。
【００３６】
カラム冗長セレクト回路６は、不良セルブロックに隣接する２つの分割隣接ブロックのいずれかを冗長置換した隣接セルブロック用冗長セルブロック２１内の２つの分割冗長ブロックのいずれかを、入力されたカラムアドレスＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１に従って選択するための回路である。カラム冗長上位セレクト回路７４は、不良ブロックセルのカラムアドレスの１つ上位のカラムアドレスの分割隣接ブロックを選択するカラムアドレスが入力されたときに、この入力されたカラムアドレスと、ヒューズプログラムアドレスＦＹ３，ＦＹ２（不良ブロックセルのカラムアドレスＡＹ３，ＡＹ２）とをもとに、上記１つ上位の分割隣接ブロックを冗長置換した分割冗長ブロックを選択するための回路である。また、カラム冗長下位セレクト回路７５は、不良ブロックセルのカラムアドレスの１つ下位のカラムアドレスの分割隣接ブロックを選択するカラムアドレスＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１が入力されたときに、この入力されたカラムアドレスＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１と、ヒューズプログラムアドレスＦＹ３，ＦＹ２（不良ブロックセルのカラムアドレスＡＹ３，ＡＹ２）とをもとに、上記１つ下位の分割隣接ブロックを冗長置換した分割冗長ブロックを選択するための回路である。
【００３７】
ヒューズプログラム回路５６，５７は、カラムセレクト回路５のヒューズプログラム回路５０，５１，５２と同じ構成であり、それぞれ抵抗Ｒ５０と、ヒューズＦ５０とによって構成されている。ヒューズプログラム回路５６の抵抗Ｒ５０とヒューズＦ５０の接続ノードからは、冗長上位イネーブル信号ＦＭＡＩＮＵが出力され、ヒューズプログラム回路５７の抵抗Ｒ５０とヒューズＦ５０の接続ノードからは、冗長下位イネーブル信号ＦＭＡＩＮＤが出力される。
【００３８】
ヒューズプログラム変換回路６０，６１，６２は、同じ構成であり、それぞれ２入力のＥＸＯＲゲートＥＯ６０と、２入力のＡＮＤゲートＡ６０とによって構成されている。ヒューズプログラム変換回路６０において、ＥＸＯＲゲートＥＯ６０は、入力信号ＩＮＣ０（＝Ｈ），ＦＹ１Ｕ（＝Ｈ）をＥＸＯＲ演算して、ヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１（＝Ｌ）を出力し、ＡＮＤゲートＡ６０は、入力信号ＩＮＣ０（＝Ｈ），ＦＹ１Ｕ（＝Ｈ）をＡＮＤ演算して、信号ＩＮＣ１（＝Ｈ）を出力する。また、ヒューズプログラム変換回路６１において、ＥＸＯＲゲートＥＯ６０は、入力信号ＩＮＣ１（＝Ｈ），ＦＹ２をＥＸＯＲ演算して、ヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２を出力し、ＡＮＤゲートＡ６０は、入力信号ＩＮＣ１（＝Ｈ），ＦＹ２をＡＮＤ演算して、信号ＩＮＣ２を出力する。また、ヒューズプログラム変換回路６２において、ＥＸＯＲゲートＥＯ６０は、入力信号ＩＮＣ２，ＦＹ３をＥＸＯＲ演算して、ヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３を出力する。
【００３９】
ヒューズプログラム変換回路６３，６４，６５は、同じ構成であり、それぞれ２入力のＥＸＮＯＲゲートＥＮ６０と、２入力のＯＲゲートＯ６０とによって構成されている。ヒューズプログラム変換回路６３において、ＥＸＮＯＲゲートＥＮ６０は、入力信号ＤＥＣ０（＝Ｌ），ＦＹ１Ｄ（＝Ｌ）をＥＸＮＯＲ演算して、ヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ１（＝Ｈ）を出力し、ＯＲゲートＯ６０は、入力信号ＤＥＣ０（＝Ｌ），ＦＹ１Ｄ（＝Ｌ）をＯＲ演算して、信号ＤＥＣ１（＝Ｌ）を出力する。また、ヒューズプログラム変換回路６４において、ＥＸＮＯＲゲートＥＮ６０は、入力信号ＤＥＣ１（＝Ｌ），ＦＹ２をＥＸＮＯＲ演算して、ヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ２を出力し、ＯＲゲートＯ６０は、入力信号ＤＥＣ１（＝Ｌ），ＦＹ２をＯＲ演算して、信号ＤＥＣ２を出力する。また、ヒューズプログラム変換回路６５において、ＥＸＮＯＲゲートＥＮ６０は、入力信号ＤＥＣ２，ＦＹ３をＥＸＮＯＲ演算して、ヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３を出力する。
【００４０】
アドレスセレクト回路６６，６７，６８，６９，７０，７１は、カラム冗長セレクト回路５のアドレスセレクト回路５３，５４（図５参照）と同じ構成であり、それぞれインバータＩ５０，Ｉ５１と、ＭＯＳスイッチＭ５０，Ｍ５１とによって構成されている。
【００４１】
カラム冗長上位セレクト回路７４において、アドレスセレクト回路６６は、ヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１に従って、カラムアドレスＡＹ１の正相または逆相（反転信号）を選択し、カラム冗長上位アドレスＦＡＵ１を出力する。また、アドレスセレクト回路６７は、ヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２に従って、カラムアドレスＡＹ２の正相または逆相（反転信号）を選択し、カラム冗長上位アドレスＦＡＵ２を出力する。また、アドレスセレクト回路６８は、ヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３に従って、カラムアドレスＡＹ３の正相または逆相（反転信号）を選択し、カラム冗長上位アドレスＦＡＵ３を出力する。
【００４２】
カラム冗長下位セレクト回路７５において、アドレスセレクト回路６９は、ヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ１に従って、カラムアドレスＡＹ１の正相または逆相（反転信号）を選択し、カラム冗長下位アドレスＦＡＤ１を出力する。また、アドレスセレクト回路７０は、ヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ２に従って、カラムアドレスＡＹ２の正相または逆相（反転信号）を選択し、カラム冗長下位アドレスＦＡＤ２を出力する。また、アドレスセレクト回路７１は、ヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３に従って、カラムアドレスＡＹ３の正相または逆相（反転信号）を選択し、カラム冗長下位アドレスＦＡＤ３を出力する。
【００４３】
アドレスデコード回路７２，７３は、同じ構成であり、それぞれ４入力のＡＮＤゲートＡ６１によって構成されている。アドレスデコード回路７２のＡＮＤゲートＡ６１は、冗長上位イネーブル信号ＦＭＡＩＮＵおよびカラム冗長上位アドレスＦＡＵ１，ＦＡＵ２，ＦＡＵ３を入力として、カラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵを出力する。また、アドレスデコード回路７３のＡＮＤゲートＡ６１は、冗長下位イネーブル信号ＦＭＡＩＮＤおよびカラム冗長下位アドレスＦＡＤ１，ＦＡＤ２，ＦＡＤ３を入力として、カラム冗長下位セレクト信号ＲＹＤを出力する。
【００４４】
図７はロウデコーダ回路８の構成図である。ロウデコーダ回路８は、それぞれ３入力のＡＮＤゲートＡ８０，Ａ８１，…，Ａ８７によって構成されている。ＡＮＤゲートＡ８０は、ロウアドレスＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３の反転信号が入力され、ワードセレクト信号ＷＬ０を出力する。ＡＮＤゲートＡ８１は、ロウアドレスＡＸ１と、ロ−アドレスＡＸ２，ＡＸ３の反転信号とが入力され、ワードセレクト信号ＷＬ１を出力する。ＡＮＤゲートＡ８２は、ロウアドレスＡＸ２と、ロウアドレスＡＸ１，ＡＸ３の反転信号とが入力され、ワードセレクト信号ＷＬ２を出力する。ＡＮＤゲートＡ８３は、ロウアドレスＡＸ１，ＡＸ２と、ロウアドレスＡＸ３の反転信号の反転信号とが入力され、ワードセレクト信号ＷＬ３を出力する。ＡＮＤゲートＡ８４は、ロウアドレスＡＸ３と、ロウアドレスＡＸ１，ＡＸ２の反転信号とが入力され、ワードセレクト信号ＷＬ４を出力する。ＡＮＤゲートＡ８５は、ロウアドレスＡＸ１，ＡＸ３と、ロウアドレスＡＸ２の反転信号とが入力され、ワードセレクト信号ＷＬ５を出力する。ＡＮＤゲートＡ８６は、ロウアドレスＡＸ２，ＡＸ３と、ロウアドレスＡＸ１の反転信号とが入力され、ワードセレクト信号ＷＬ７を出力する。ＡＮＤゲートＡ８７は、ロウアドレスＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３が入力され、ワードセレクト信号ＷＬ７を出力する。
【００４５】
通常セルブロック１０の通常セルＭＬ２からデータを読み出す動作について以下に説明する。カラムアドレス（ＡＹ０，ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ，Ｌ）かつロウアドレス（ＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３）＝（Ｈ，Ｌ，Ｌ）が入力された場合は、セルドレインセレクト回路３の出力（ＤＳ０，ＤＳ１）＝（Ｈ，Ｌ）、カラムデコーダ回路４の出力（Ｙ０，Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３〜Ｙ７）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ，Ｌ）、ロウデコーダ回路８の出力（ＷＬ０，ＷＬ１，ＷＬ２〜ＷＬ７）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）となる。従って、上記入力アドレスは、通常セルＭＬ２を選択してデータを読み出すためのアドレスである。この場合には、以下の手順により、通常セルＭＬ２のデータがセンスアンプに読み出される。
【００４６】
セルドレインセレクト回路３から出力されるセルドレインセレクト信号ＤＳ０＝Ｈなので、セルドレインセレクトトランジスタＭＤＳＬ２がＯＮし、セルドレインセレクトラインＤＳＬ２に電源ＣＤＶが印加される。また、ワードセレクト信号ＷＬ１＝Ｈなので、セルＭＬ０〜ＭＲ７が配置されれたワード列が選択される。
【００４７】
そして、カラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）なので、カラムデコーダ回路４からは、カラムセレクト信号（Ｙ０，Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３〜Ｙ７）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ，Ｌ）が出力され、カラムスイッチトランジスタＭＢＬ２がＯＮする。
【００４８】
このように、通常セルＭＬ２を選択するアドレスアドレス（ＡＹ０，ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３，ＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ，Ｌ，Ｈ，Ｌ，Ｌ）が入力された場合には、ワードセレクト信号ＷＬ１＝Ｈとなり、セルドレインセレクトトランジスタＭＤＳＬ２およびカラムスイッチトランジスタＭＢＬ２がＯＮするので、通常セルＭＬ２が選択され、この通常セルＭＬ２のデータが、読み出しデータＤＡＴＡとして、通常セルアレイ１の出力端子からセンスアンプに出力される。
【００４９】
図２のセルアレイにおいて、通常セルＭＬ２が不良セルであるときには、この不良セルＭＬ２を含む不良セルブロック１０を、冗長アレイ２の冗長セルブロック２０に冗長置換するとともに、不良セルブロック１０の左端の不良セルＭＬ２の左側に隣接する通常セルブロック内の分割隣接ブロック１１を冗長セルブロック２１内の２つの分割冗長ブロックの内の分割冗長下位ブロックに冗長置換する。
【００５０】
不良セルＭＬ２を置換する冗長セルはＲＭＬ０であり、通常セルＭＲ２を置換する冗長セルはＲＭＲ０であり、通常セルＭＬ３を置換する冗長セルはＲＭＬ１であり、通常セルＭＲ３を置換する冗長セルはＲＭＲ１である。また、不良セルＭＬ２の左側に隣接する通常セルＭＲ１を置換する冗長セルはＲＭＲ３であり、通常セルＭＬ１を置換する冗長セルはＲＭＬ３である。
【００５１】
このように、不良セルブロック１０の左端に配置された通常セルＭＬ２が不良セルである場合には、不良セルブロック１０の左側に隣接する通常セルブロックは、不良セルブロック１０側の半分の領域である分割隣接ブロック１１が、冗長セルアレイ２の冗長セルブロック２１の半分の領域である分割冗長下位ブロックに冗長置換される。
【００５２】
不良セルブロック１０を冗長セルブロック２０に冗長置換するとともに、分割隣接ブロック１１を冗長セルブロック２１の分割冗長下位ブロックに冗長置換するためのプログラムの設定は、以下の手順でなされる。
【００５３】
不良セルＭＬ２のカラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）である。この場合には、カラム冗長セレクト回路５において、不良セルブロック１０の冗長置換をイネーブルにするために、ヒューズプログラム回路５０のヒューズＦ５０を切断し、カラムアドレスＡＹ２＝Ｈなので、ヒューズプログラム回路５１のヒューズＦ５０を切断し、カラムアドレスＡＹ３＝Ｌなので、ヒューズプログラム回路５２のヒューズＦ５０は未切断のままとする。これによって、ヒューズプログラム回路５０，５１，５２の出力（ＦＭＡＩＮ，ＦＹ２，ＦＹ３）＝（Ｈ，Ｈ，Ｌ）となる。
【００５４】
ヒューズプログラムアドレスＦＹ２＝Ｈなので、アドレスセレクト回路５３からは、カラム冗長アドレスＦＡ２として、カラムアドレスＡＹ２が出力され、ヒューズプログラムアドレスＦＹ３＝Ｌなので、アドレスセレクト回路５４からは、カラム冗長アドレスＦＡ３として、カラムアドレスＡＹ３の反転信号が出力される。
【００５５】
カラムアドレスＡＹ２がヒューズプログラムアドレスＦＹ２と同じＨであり、かつカラムアドレス信号ＡＹ３がヒューズプログラムアドレス信号ＦＹ３と同じＬであるとき、アドレスデコード回路５５のＡＮＤゲートＡ５０の入力（ＦＭＡＩＮ，ＦＡ２，ＦＡ３）＝（Ｈ，Ｈ，Ｈ）となり、ＡＮＤゲートＡ５０の出力はＨとなる。また、カラムアドレスＡＹ２がヒューズプログラムアドレスＦＹ２と異なるＬであるか、またはカラムアドレスＡＹ３がヒューズプログラムアドレスＦＹ３と異なるＨであるときは、ＡＮＤゲートＡ５０の３つの入力は全てＨにはならず、ＡＮＤゲートＡ５０の出力はＬとなる。
【００５６】
従って、カラム冗長セレクト回路５の出力は、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラムアドレスＦＹ３の値が一致し、かつカラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラムアドレスＦＹ２の値が一致したときに、カラムアドレスＡＹ１＝Ｌであれば、カラム冗長セレクト信号（ＲＹ０，ＲＹ１）＝（Ｈ，Ｌ）となり、カラムアドレスＡＹ１＝Ｈであれば、カラム冗長セレクト信号（ＲＹ０，ＲＹ１）＝（Ｌ，Ｈ）となる。また、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラムアドレスＦＹ３の値が一致しないか、またはカラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラムアドレスＦＹ２の値が一致しなければ、カラム冗長セレクト信号（ＲＹ０，ＲＹ１）＝（Ｌ，Ｌ）となる。
【００５７】
また、カラム冗長セレクト回路６において、不良セルブロック１０の左側に隣接する分割隣接ブロック１１の冗長置換をイネーブルにするために、ヒューズプログラム回路５７のヒューズＦ５０を切断し、ヒューズプログラム回路５６のヒューズＦ５０は未切断のままとする（不良セルブロック１０の右側に隣接する分割隣接ブロック１２は冗長置換されない）。これによって、ヒューズプログラム回路５６，５７の出力（ＦＭＡＩＮＵ，ＦＭＡＩＮＤ）＝（Ｌ，Ｈ）となる。
【００５８】
カラム冗長下位セレクト回路７５において、ヒューズプログラム変換回路６３の入力（ＤＥＣ０，ＦＹ１Ｄ）＝（Ｌ，Ｌ）なので、ヒューズプログラム変換回路６３の出力（ＦＹＤ１，ＤＥＣ１）＝（Ｈ，Ｌ）となる。また、ヒューズプログラム変換回路６４の入力（ＤＥＣ１，ＦＹ２）＝（Ｌ，Ｈ）なので、ヒューズプログラム変換回路６４の出力（ＦＹＤ２，ＤＥＣ２）＝（Ｌ，Ｈ）となる。また、ヒューズプログラム変換回路６２の入力（ＤＥＣ２，ＦＹ３）＝（Ｈ，Ｌ）なので、ヒューズプログラム変換回路６２から出力されるヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３＝Ｌとなる。このように、ヒューズプログラム変換回路６３，６４，６５の出力（ＦＹＤ１，ＦＹＤ２，ＦＹＤ３）＝（Ｈ，Ｌ，Ｌ）となる。
【００５９】
ヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ１＝Ｈなので、アドレスセレクト回路６９からは、カラム冗長下位アドレスＦＡＤ１として、カラムアドレスＡＹ１が出力され、ヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ２＝Ｌなので、アドレスセレクト回路７０からは、カラム冗長下位アドレスＦＡＤ２として、カラムアドレスＡＹ２の反転信号が出力され、ヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３＝Ｌなので、アドレスセレクト回路７１からは、カラム冗長下位アドレスＦＡＤ３として、カラムアドレスＡＹ３の反転信号が出力される。
【００６０】
カラムアドレスＡＹ１がヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ１と同じＨであり、かつカラムアドレスＡＹ２がヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ２と同じＬであり、かつカラムアドレスＡＹ３がヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３と同じＬであるとき、アドレスデコード回路７３のＡＮＤゲートＡ６１の入力（ＦＭＡＩＮＤ，ＦＡＤ１，ＦＡＤ２，ＦＡＤ３）＝（Ｈ，Ｈ，Ｈ，Ｈ）となり、このＡＮＤゲートＡ６１の出力であるカラム冗長下位セレクト信号ＲＹＤ＝Ｈとなる。また、カラムアドレスＡＹ１がヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ１と異なるＬであるか、またはカラムアドレスＡＹ２がヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ２と異なるＨであるか、またはカラムアドレスＡＹ３がヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３と異なるＨであるときは、上記ＡＮＤゲートＡ６１の４つの入力は全てＨにはならず、上記ＡＮＤゲートＡ６１の出力であるカラム冗長下位セレクト信号ＲＹＤ＝Ｌとなる。
【００６１】
従って、カラム冗長下位セレクト回路７５の出力は、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３の値が一致し、カラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ２の値が一致し、かつカラムアドレスＡＹ１とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ１の値が一致したときに、カラム冗長下位セレクト信号ＲＹＤ＝Ｈとなる。また、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３の値が一致しないか、またはカラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ２の値が一致しないか、またはカラムアドレスＡＹ１とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ１の値が一致しなければ、カラム冗長下位セレクト信号ＲＹＤ＝Ｌとなる。
【００６２】
また、カラム冗長上位セレクト回路７４において、ヒューズプログラム変換回路６０の入力（ＩＮＣ０，ＦＹ１Ｕ）＝（Ｈ，Ｈ）なので、ヒューズプログラム変換回路６１の出力（ＦＹＵ１，ＩＮＣ１）＝（Ｌ，Ｈ）となる。また、ヒューズプログラム変換回路６１の入力（ＩＮＣ１，ＦＹ２）＝（Ｈ，Ｈ）なので、ヒューズプログラム変換回路６４の出力（ＦＹＵ２，ＩＮＣ２）＝（Ｌ，Ｈ）となる。また、ヒューズプログラム変換回路６２の入力（ＩＮＣ２，ＦＹ３）＝（Ｈ，Ｌ）なので、ヒューズプログラム変換回路６２から出力されるヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３＝Ｈとなる。このように、ヒューズプログラム変換回路６１，６１，６２の出力（ＦＹＵ１，ＦＹＵ２，ＦＹＵ３）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ）となる。
【００６３】
ヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１＝Ｌなので、アドレスセレクト回路６６からは、カラム冗長上位アドレスＦＡＵ１として、カラムアドレスＡＹ１の反転信号が出力され、ヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２＝Ｌなので、アドレスセレクト回路６７からは、カラム冗長上位アドレスＦＡＵ２として、カラムアドレスＡＹ２の反転信号が出力され、ヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３＝Ｈなので、アドレスセレクト回路６８からは、カラム冗長上位アドレスＦＡＵ３として、カラムアドレスＡＹ３が出力される。
【００６４】
カラムアドレスＡＹ１がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１と同じＬであり、かつカラムアドレスＡＹ２がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２と同じＬであり、かつカラムアドレスＡＹ３がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３と同じＨであるとき、アドレスデコード回路７２のＡＮＤゲートＡ６１の入力（ＦＡＵ１，ＦＡＵ２，ＦＡＵ３）＝（Ｈ，Ｈ，Ｈ，Ｈ）となる。しかし、冗長上位イネーブル信号ＦＭＡＩＮＵ＝Ｌなので、このＡＮＤゲートＡ６１の出力であるカラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵ＝Ｌとなる。また、カラムアドレスＡＹ１がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１と異なるＨであるか、またはカラムアドレスＡＹ２がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２と異なるＨであるか、またはカラムアドレスＡＹ３がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３と異なるＬであるときも、同様に上記ＡＮＤゲートＡ６１の４つの入力は全てＨにはならず、上記ＡＮＤゲートＡ６１の出力であるカラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵ＝Ｌとなる。
【００６５】
従って、カラム冗長上位セレクト回路７４の出力は、カラムアドレスＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１がいかなる値であっても、カラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵ＝Ｌとなる。
【００６６】
［不良セルＭＬ２のデータを冗長セルＲＭＬ０から読み出す動作］
不良セルブロック１０内の不良セルＭＬ２のデータを、冗長置換された冗長セルブロック２０内の冗長セルＲＭＬ０から読み出す動作について以下に説明する。カラムアドレス（ＡＹ０，ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ，Ｌ）かつロウアドレス（ＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３）＝（Ｈ，Ｌ，Ｌ）が入力された場合は、セルドレインセレクト回路３の出力（ＤＳ０，ＤＳ１）＝（Ｈ，Ｌ）、カラムデコーダ回路４の出力（Ｙ０，Ｙ１，Ｙ２，Ｙ３〜Ｙ７）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ，Ｌ）、ロウデコーダ回路８の出力（ＷＬ０，ＷＬ１，ＷＬ２〜ＷＬ７）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）となる。従って、上記入力アドレスは、不良セルＭＬ２を選択してデータを読み出すためのアドレスである。この場合には、以下の手順により、不良セルＭＬ２を冗長置換した冗長セルＲＭＬ０のデータが冗長センスアンプに読み出される。
【００６７】
セルドレインセレクト回路３から出力されるセルドレインセレクト信号ＤＳ０＝Ｈなので、セルドレイン冗長セレクトトランジスタＲＭＤＳＬ０がＯＮし、セルドレイン冗長セレクトラインＲＤＳＬ０に電源ＣＤＶが印加される。また、ワードセレクト信号ＷＬ１＝Ｈなので、冗長セルＲＭＬ０〜ＲＭＲ３が配置されれたワード列が選択される。
【００６８】
そして、カラム冗長セレクト回路５では、カラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）であり、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラムアドレスＦＹ３の値が一致し、かつカラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラムアドレスＦＹ２の値が一致しているので、カラム冗長アドレス（ＦＡ２，ＦＡ３）＝（Ｈ，Ｈ）となり、カラム冗長セレクト信号ＲＹ０＝Ｈとなる。なお、このとき、カラム冗長セレクト信号ＲＹ１＝Ｌである。
【００６９】
また、カラム冗長上位セレクト回路７４では、カラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）であり、カラムアドレスＡＹ１とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１の値は一致しているが、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３の値が一致せず、カラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２の値も一致しないので、カラム冗長上位アドレス（ＦＡＵ３，ＦＡＵ２，ＦＡＵ１）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ）となり、カラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵ＝Ｌとなる。
【００７０】
また、カラム冗長下位セレクト回路７５では、カラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）であり、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３の値は一致しているが、カラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ２の値が一致せず、カラムアドレスＡＹ１とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ１の値も一致しないので、カラム冗長下位アドレス（ＦＡＤ３，ＦＡＤ２，ＦＡＤ１）＝（Ｈ，Ｌ，Ｌ）となり、カラム冗長下位セレクト信号ＲＹＤ＝Ｌとなる。
【００７１】
従って、カラム冗長セレクト回路５，６の出力は、（ＲＹ０，ＲＹ１，ＲＹＵ，ＲＹＤ）＝（Ｈ，Ｌ，Ｌ，Ｌ）であり、カラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ０がＯＮする。
【００７２】
このように、不良セルＭＬ２を選択するアドレスアドレス（ＡＹ０，ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３，ＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ，Ｌ，Ｈ，Ｌ，Ｌ）が入力された場合には、ワードセレクト信号ＷＬ１＝Ｈとなり、セルドレイン冗長セレクトトランジスタＲＭＤＳＬ０およびカラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ０がＯＮするので、不良セルＭＬ２を冗長置換した冗長セルＲＭＬ０が選択され、この冗長セルＲＭＬ０のデータが、冗長読み出しデータＲＤＡＴＡとして、冗長セルアレイ２の出力端子から冗長センスアンプに出力される。
【００７３】
［通常セルＭＲ１のデータを冗長セルＲＭＲ３から読み出す動作］
分割隣接ブロック１１内の通常セルＭＲ１のデータを、冗長置換された冗長セルブロック２１内の冗長セルＲＭＲ３から読み出す動作について以下に説明する。カラムアドレス（ＡＹ０，ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ，Ｌ）かつロウアドレス（ＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３）＝（Ｈ，Ｌ，Ｌ）が入力された場合は、セルドレインセレクト回路３の出力（ＤＳ０，ＤＳ１）＝（Ｈ，Ｌ）、カラムデコーダ回路４の出力（Ｙ０，Ｙ１，Ｙ２〜Ｙ７）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）、ロウデコーダ回路８の出力（ＷＬ０，ＷＬ１，ＷＬ２〜ＷＬ７）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）となる。従って、上記入力アドレスは、不良セルＭＬ２の左側に隣接するセルＭＲ１を選択してデータを読み出すためのアドレスである。この場合には、以下の手順により、通常セルＭＲ１を冗長置換した冗長セルＲＭＲ３のデータが冗長センスアンプに読み出される。
【００７４】
セルドレインセレクト回路３から出力されるセルドレインセレクト信号ＤＳ０＝Ｈなので、セルドレイン冗長セレクトトランジスタＲＭＤＳＬ４がＯＮし、セルドレイン冗長セレクトラインＲＤＳＬ４に電源ＣＤＶが印加される。また、ワードセレクト信号ＷＬ１＝Ｈなので、冗長セルＲＭＬ０〜ＲＭＲ３が配置されれたワード列が選択される。
【００７５】
そして、カラム冗長セレクト回路５では、カラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ）であり、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラムアドレスＦＹ３の値は一致しているが、カラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラムアドレスＦＹ２の値は一致してないので、カラム冗長アドレス（ＦＡ２，ＦＡ３）＝（Ｌ，Ｈ）となり、カラム冗長セレクト信号（ＲＹ０，ＲＹ１）＝（Ｌ，Ｌ）となる。
【００７６】
また、カラム冗長上位セレクト回路７４では、カラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ）であり、カラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２の値は一致しているが、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３の値が一致せず、カラムアドレスＡＹ１とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１の値も一致しないので、カラム冗長上位アドレス（ＦＡＵ３，ＦＡＵ２，ＦＡＵ１）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）となり、カラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵ＝Ｌとなる。
【００７７】
また、カラム冗長下位セレクト回路７５では、カラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ）であり、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３の値が一致しており、かつカラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ２の値が一致しており、かつカラムアドレスＡＹ１とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ１の値が一致しているので、カラム冗長下位アドレス（ＦＡＤ３，ＦＡＤ２，ＦＡＤ１）＝（Ｈ，Ｈ，Ｈ）となり、カラム冗長下位セレクト信号ＲＹＤ＝Ｈとなる。
【００７８】
従って、カラム冗長セレクト回路５，６の出力は、（ＲＹ０，ＲＹ１，ＲＹＵ，ＲＹＤ）＝（Ｌ，Ｌ，Ｌ，Ｈ）となり、カラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ３がＯＮする。
【００７９】
このように、不良セルＭＬ２の左側に隣接する通常セルＭＲ１を選択するアドレス（ＡＹ０，ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３，ＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ，Ｌ，Ｈ，Ｌ，Ｌ）が入力された場合には、ワードセレクト信号ＷＬ１＝Ｈとなり、セルドレイン冗長セレクトトランジスタＲＭＤＳＬ４およびカラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ３がＯＮするので、不良セルＭＬ２の左側に隣接する通常セルＭＲ１を冗長置換した冗長セルＲＭＲ３が選択され、この冗長セルＲＭＲ３のデータが、冗長読み出しデータＲＤＡＴＡとして、冗長セルアレイ２の出力端子から冗長センスアンプに出力される。
【００８０】
図２のセルアレイにおいて、さらに通常セルＭＲ３が不良セルであるときには、不良セルブロック１０の右端の不良セルＭＲ３の右側に隣接する通常セルブロック内の分割隣接ブロック１２を冗長セルブロック２１内の２つの分割冗長ブロックの内の分割冗長上位ブロックにさらに冗長置換する。この冗長置換により、不良セルブロック１０の左側に隣接する通常セルブロック内の分割隣接ブロック１１および不良セルブロック１０の右側に隣接する通常セルブロックの内の分割隣接ブロック１２は、冗長アレイ２の１つの冗長セルブロック２１にまとめて冗長置換される（１つの冗長セルブロック２１内の２つの分割冗長ブロックにそれぞれ冗長置換される）こととなる。
【００８１】
不良セルＭＬ２を置換する冗長セルはＲＭＬ０であり、通常セルＭＲ２を置換する冗長セルはＲＭＲ０であり、通常セルＭＬ３を置換する冗長セルはＲＭＬ１であり、不良セルＭＲ３を置換する冗長セルはＲＭＲ１である。また、不良セルＭＬ２の左側に隣接する通常セルＭＲ１を置換する冗長セルはＲＭＲ３であり、通常セルＭＬ１を置換する冗長セルはＲＭＬ３である。また、不良セルＭＲ３の右側に隣接する通常セルＭＬ４を置換する冗長セルはＲＭＬ２であり、通常セルＭＲ４を置換する冗長セルはＲＭＲ２である。
【００８２】
このように、不良セルブロック１０の左側および右側にそれぞれ隣接する２つの通常セルブロックは、それぞれの通常セルブロックの不良セルブロック１０側の半分の領域である分割隣接ブロック１１，１２が、冗長セルアレイ２の１つの冗長セルブロック２１にまとめて冗長置換される。
【００８３】
不良セルブロック１０の右側に隣接する分割隣接ブロック１２を冗長セルブロック２１にさらに冗長置換するためのプログラムの設定は、以下の手順でなされる。
【００８４】
カラム冗長セレクト回路６において、不良セルブロック１０の右側に隣接する分割隣接ブロック１２の冗長置換をイネーブルにするために、ヒューズプログラム回路５６のヒューズＦ５０をさらに切断する。これによって、ヒューズプログラム回路５６，５７の出力（ＦＭＡＩＮＵ，ＦＭＡＩＮＤ）＝（Ｈ，Ｈ）となる。
【００８５】
カラム冗長上位セレクト回路７４において、カラムアドレスＡＹ１がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１と同じＬであり、かつカラムアドレスＡＹ２がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２と同じＬであり、かつカラムアドレスＡＹ３がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３と同じＨであるとき、アドレスデコード回路７２のＡＮＤゲートＡ６１の入力（ＦＭＡＩＮＵ，ＦＡＵ１，ＦＡＵ２，ＦＡＵ３）＝（Ｈ，Ｈ，Ｈ，Ｈ）となり、このＡＮＤゲートＡ６１の出力であるカラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵ＝Ｈとなる。また、カラムアドレスＡＹ１がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１と異なるＨであるか、またはカラムアドレスＡＹ２がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２と異なるＨであるか、またはカラムアドレスＡＹ３がヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３と異なるＬであるときは、上記ＡＮＤゲートＡ６１の４つの入力は全てＨにはならず、上記ＡＮＤゲートＡ６１の出力であるカラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵ＝Ｌとなる。
【００８６】
従って、カラム冗長上位セレクト回路７４の出力は、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３の値が一致し、カラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２の値が一致し、かつカラムアドレスＡＹ１とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１の値が一致したときに、カラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵ＝Ｈとなる。また、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３の値が一致しないか、またはカラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２の値が一致しないか、またはカラムアドレスＡＹ１とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１の値が一致しなければ、カラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵ＝Ｌとなる。
【００８７】
［通常セルＭＬ４のデータを冗長セルＲＭＬ２から読み出す動作］
分割隣接ブロック１２内の通常セルＭＬ４のデータを、冗長置換された冗長セルブロック２１内の冗長セルＲＭＬ２から読み出す動作について以下に説明する。カラムアドレス（ＡＹ０，ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３）＝（Ｌ，Ｌ，Ｌ，Ｈ）かつロウアドレス（ＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３）＝（Ｈ，Ｌ，Ｌ）が入力された場合は、セルドレインセレクト回路３の出力（ＤＳ０，ＤＳ１）＝（Ｈ，Ｌ）、カラムデコーダ回路４の出力（Ｙ０〜Ｙ３，Ｙ４，Ｙ５〜Ｙ７）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）、ロウデコーダ回路８の出力（ＷＬ０，ＷＬ１，ＷＬ２〜ＷＬ７）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）となる。従って、上記入力アドレスは、不良セルＭＬ２を含むセルブロック１０の右側に隣接するセルＭＬ４を選択してデータを読み出すためのアドレスである。この場合には、以下の手順により、通常セルＭＬ４を冗長置換した冗長セルＲＭＬ２のデータが冗長センスアンプに読み出される。
【００８８】
セルドレインセレクト回路３から出力されるセルドレインセレクト信号ＤＳ０＝Ｈなので、セルドレイン冗長セレクトトランジスタＲＭＤＳＬ２がＯＮし、セルドレイン冗長セレクトラインＲＤＳＬ２に電源ＣＤＶが印加される。また、ワードセレクト信号ＷＬ１＝Ｈなので、冗長セルＲＭＬ０〜ＲＭＲ３が配置されれたワード列が選択される。
【００８９】
そして、カラム冗長セレクト回路５では、カラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｈ，Ｌ，Ｌ）であり、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラムアドレスＦＹ３の値が一致せず、カラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラムアドレスＦＹ２の値も一致してないので、カラム冗長アドレス（ＦＡ２，ＦＡ３）＝（Ｌ，Ｌ）となり、カラム冗長セレクト信号（ＲＹ０，ＲＹ１）＝（Ｌ，Ｌ）となる。
【００９０】
また、カラム冗長上位セレクト回路７４では、カラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｈ，Ｌ，Ｌ）であり、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ３の値が一致しており、かつカラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ２の値が一致しており、かつカラムアドレスＡＹ１とヒューズプログラム上位アドレスＦＹＵ１の値が一致しているので、カラム冗長上位アドレス（ＦＡＵ３，ＦＡＵ２，ＦＡＵ１）＝（Ｈ，Ｈ，Ｈ）となり、カラム冗長上位セレクト信号ＲＹＵ＝Ｈとなる。
【００９１】
また、カラム冗長下位セレクト回路７５では、カラムアドレス（ＡＹ３，ＡＹ２，ＡＹ１）＝（Ｈ，Ｌ，Ｌ）であり、カラムアドレスＡＹ２とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ２の値は一致しているが、カラムアドレスＡＹ３とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ３の値が一致せず、カラムアドレスＡＹ１とヒューズプログラム下位アドレスＦＹＤ１の値も一致しないので、カラム冗長下位アドレス（ＦＡＤ３，ＦＡＤ２，ＦＡＤ１）＝（Ｌ，Ｈ，Ｌ）となり、カラム冗長下位セレクト信号ＲＹＤ＝Ｌとなる。
【００９２】
従って、カラム冗長セレクト回路５，６の出力は、（ＲＹ０，ＲＹ１，ＲＹＵ，ＲＹＤ）＝（Ｌ，Ｌ，Ｈ，Ｌ）となり、カラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ２がＯＮする。
【００９３】
このように、不良セルＭＬ２，ＭＲ４を含むブロック１０の右側に隣接する通常セルＭＬ４を選択するアドレスアドレス（ＡＹ０，ＡＹ１，ＡＹ２，ＡＹ３，ＡＸ１，ＡＸ２，ＡＸ３）＝（Ｌ，Ｌ，Ｌ，Ｈ，Ｈ，Ｌ，Ｌ）が入力された場合には、ワードセレクト信号ＷＬ１＝Ｈとなり、セルドレイン冗長セレクトトランジスタＲＭＤＳＬ２およびカラム冗長スイッチトランジスタＲＭＢＬ２がＯＮするので、不良セルブロック１０の右側に隣接する通常セルＭＬ４を冗長置換した冗長セルＲＭＬ２が選択され、この冗長セルＲＭＬ２のデータが、冗長読み出しデータＲＤＡＴＡとして、冗長セルアレイ２の出力端子から冗長センスアンプに出力される。
【００９４】
以上のように実施の形態１によれば、不良セルブロックを不良セルブロック用冗長セルブロックに冗長置換するとともに、不良セルブロックに隣接した通常セルブロックを隣接セルブロック用冗長セルブロックに冗長置換することにより、不良セルブロックに隣接する通常セルブロックに影響を与えずに、セルブロック単位の冗長置換が可能となるので、図１０に示すような不良セルが通常セルブロックの端で発生した場合でも、簡単な構成で、電圧および温度についての動作マージンを向上させ、劣化不良を低減できる。
【００９５】
また、不良セルブロックの左側に隣接する通常セルブロック（不良セルブロックの１つ下位のカラムアドレスＡＹ２，ＡＹ３で選択される通常セルブロック）については、カラムアドレスＡＹ１によって半分に分割される２つの領域の内で上記不良セルブロック側の領域（カラムアドレスＡＹ１＝Ｈで選択される領域）を分割隣接ブロックとし、不良セルブロックの右側に隣接するセルブロック（不良セルブロックの１つ上位のカラムアドレスＡＹ２，ＡＹ３で選択されるセルブロック）については、カラムアドレスＡＹ１によって半分に分割される２つの領域の内で上記不良セルブロック側の領域（カラムアドレスＡＹ１＝Ｌで選択される領域）を分割隣接ブロックとし、不良セルブロックの左右に離れれて隣接するこれら２つの分割隣接ブロックを、冗長セルアレイ内の１つの隣接セルブロック用冗長セルブロックにまとめて冗長置換することにより、半導体メモリのチップ面積の増大が抑えることができる。
【００９６】
また、ヒューズプログラム回路に設定されたアドレスの１つ上位のアドレスに応じたカラム冗長上位アドレスを設定するカラム冗長上位セレクト回路７４、およびヒューズプログラム回路に設定されたアドレスの１つ下位のアドレスに応じたカラム冗長下位アドレスを設定するカラム冗長下位セレクト回路７５を設けることにより、簡単な構成で、分割隣接ブロックを冗長置換した分割冗長ブロックの選択ができるようになる。
【００９７】
なお、上記実施の形態１では、本発明をカラム冗長に適用した例について説明したが、本発明をロウ冗長に適用することも可能である。また、上記実施の形態１では、本発明をＰＲＯＭに適用した例について説明したが、本発明をＤＲＡＭやＳＲＡＭ等の半導体メモリに適用すること可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明の実施の形態１の半導体メモリの構成図である。
【図２】図１においてのセルアレイ（通常セルアレイおよび冗長セルアレイ）の構成図である。
【図３】図１および図８においてのセルドレインセレクト回路の構成図である。
【図４】図１および図８においてのカラムデコーダ回路の構成図である。
【図５】図１および図８においての不良セルブロック用カラム冗長セレクト回路の回路構成図である。
【図６】図１においての隣接セルブロック用カラム冗長セレクト回路の回路構成図である。
【図７】図１および図８においてのロウデコーダ回路の構成図である。
【図８】従来のＰＲＯＭの構成図である。
【図９】図８においてのセルアレイ（通常セルアレイおよび冗長セルアレイ）の構成図である。
【図１０】図８のＰＲＯＭの課題を説明する図である。
【符号の説明】
【００９９】
１  通常セルアレイ
２  冗長セルアレイ
３  セルドレインセレクト回路
４  カラムデコーダ回路
５  不良セルブロック用カラム冗長セレクト回路
６  隣接セルブロック用カラム冗長セレクト回路
８  ロウデコーダ回路
１０  セルブロック（不良セルブロック）
１１，１２  分割隣接ブロック
２０  不良セルブロック用冗長セルブロック
２１  隣接セルブロック用冗長セルブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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