(57)【要約】【課題】  高圧系の回路において、経時短絡故障となる可能性の高い回路を判別する。【解決手段】  高圧系の配線と配線との間に、ショート不良を検出する専用配線を設ける。電源と電流計とを直列につなぎ、その一端を高圧系の配線に、他端を専用配線に接続する。電源をオンにしたとき電流計で検出される電流が規定値以上であれば、経時ショート不良となる可能性が高い回路であると判定する。【選択図】図７
2005347523.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１配線と、
前記第１配線に平行に延設された第２配線と、
前記第１配線と前記第２配線との間に延設され、直列に接続された電源と電流計とが接続される第１検出用配線
とを具備し、
前記第１配線は、前記直列に接続された電源と電流計とが接続される端子を有し、
前記第２配線は、前記直列に接続された電源と電流計とが接続される端子を有する
ショート検出用回路。
【請求項２】
請求項１に記載されたショート検出用回路であって、
更に、前記第１配線の法線方向から見て前記第１検出用配線との間に隙間を有し、前記第１検出用配線の延長線上に延設され、直列に接続された電源と電流計とが接続される第２検出用配線
を具備する
ショート検出用回路。
【請求項３】
請求項１又は２のうちのいずれか１項に記載されたショート検出用回路であって、
前記第１配線と前記第１検出用配線との距離と、前記第１検出用配線と前記第２配線との距離は等しい
ショート検出用回路。
【請求項４】
請求項１に記載されたショート検出用回路であって、
更に、前記第１検出用配線と前記第２配線との間に延設され、直列に接続された電源と電流計とが接続される第３検出用配線
を具備する
ショート検出用回路。
【請求項５】
請求項４に記載されたショート検出用回路であって、
更に、前記第１配線の法線方向から見て前記第１検出用配線との間に隙間を有し、前記第１検出用配線の延長線上に延設され、直列に接続された電源と電流計とが接続される第２検出用配線
を具備する
ショート検出用回路。
【請求項６】
請求項４又は５のうちのいずれか１項に記載されたショート検出用回路であって、
更に、前記第１配線の法線方向から見て前記第３検出用配線との間に隙間を有し、前記第３検出用配線の延長線上に延設され、直列に接続された電源と電流計とが接続される第４検出用配線
を具備する
ショート検出用回路。
【請求項７】
請求項５又は６に記載されたショート検出用回路であって、
前記第１配線と前記第１検出用配線の距離と、前記第３検出用配線と前記第２配線との距離とは等しい
ショート検出用回路。
【請求項８】
請求項１から７のうちのいずれか１項に記載されたショート検出用回路であって、
前記第１配線と前記第２配線とは、通常使用されるときよりも高い電圧が印加されると、接続されている素子が破壊又は劣化する可能性が高い高圧系配線である
ショート検出用回路。
【請求項９】
第１配線と第２配線との間に第１検出用配線を延設するステップと、
前記第１配線と前記第１検出用配線との間に、直列に接続された電源と電流計とを接続するステップと、
前記電源によって電流が流されたときに前記電流計の示す値が所定値以上のとき前記第１配線と前記第２配線がショートする可能性が高いと判定するステップ
とを具備する
ショート検出方法。
【請求項１０】
第１配線と第２配線との間に第１検出用配線を延設するステップと、
前記第１配線と前記第１検出用配線との間に、直列に接続された電源と電流計とを接続する第１接続ステップと、
前記第２配線と前記第１検出用配線との間に、直列に接続された電源と電流計とを接続する第２接続ステップと、
前記第１接続ステップと前記第２接続ステップとの両方において、前記電源によって電流が流されたときに前記電流計の示す値が所定値以下のときに前記第１配線と前記第２配線とがショートする可能性が低いと判定するステップ
とを具備する
ショート検出方法。
【請求項１１】
第１配線と第２配線との間に第１検出用配線を延設するステップと、
第１検出用配線と第２配線との間に第２検出用配線を延設するステップと、
前記第１検出用配線と前記第２検出用配線との間に、直列に接続された電源と電流計とを接続する第１接続ステップと、
前記第１接続ステップにより接続された前記電源によって電流が流されたときに前記電流計の示す値が所定値以下のときに前記第１配線と前記第２配線とがショートする可能性が低いと判定するステップ
とを具備する
ショート検出方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載されたショート検出方法であって、
前記第１接続ステップにより接続された前記電源によって電流が流されたときに前記電流計の示す値が所定値以上のときに、前記第１検出用配線と前記第２配線との間に、直列に接続された電源と電流計とを接続する第２接続ステップと、
前記第１接続ステップにより接続された前記電源によって電流が流されたときに前記電流計の示す値が所定値以上のときに、前記第２検出用配線と前記第１配線との間に、直列に接続された電源と電流計とを接続する第３接続ステップと、
前記第１接続ステップと前記第２接続ステップとの両方において、前記電源によって電流が流されたときに前記電流計の示す値が所定値以下のときに前記第１配線と前記第２配線とがショートする可能性が低いと判定するステップと、
前記第１接続ステップと前記第２接続ステップとのいずれか一方において、前記電源によって電流が流されたときに前記電流計の示す値が所定値以上のときに前記第１配線と前記第２配線とがショートする可能性が高いと判定するステップ
とを具備する
ショート判定方法。
【請求項１３】
第１配線と第２配線との間に第１検出用配線を延設するステップと、
第１検出用配線と第２配線との間に第２検出用配線を延設するステップと、
前記第１検出用配線と前記第２配線との間に、直列に接続された電源と電流計とを接続する第２接続ステップと、
前記第２検出用配線と前記第１配線との間に、直列に接続された電源と電流計とを接続する第３接続ステップと、
前記第１接続ステップと前記第２接続ステップとの両方において、前記電源によって電流が流されたときに前記電流計の示す値が所定値以下のときに前記第１配線と前記第２配線とがショートする可能性が低いと判定するステップと、
前記第１接続ステップと前記第２接続ステップとのいずれか一方において、前記電源によって電流が流されたときに前記電流計の示す値が所定値以上のときに前記第１配線と前記第２配線とがショートする可能性が高いと判定するステップ
とを具備する
ショート判定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子の配線間のショートを検出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体素子の回路などの配線において、配線と他の配線との両方に導電性の異物が接触することによりショートが発生し、回路が不良となることがある。特に、製品が出荷される前には不良とは判定されないが、出荷後の動作状況などにより不良となることがある。
【０００３】
図１を参照すると、被検品の平面図が示されている。図１においては、異なる電位に設定されることのある高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとの間に導電性異物１０１がある。この場合は、高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとは導電性異物１０１を介してショートしているため、通常の試験で不良と判定することができる。
【０００４】
図２を参照すると、導電性異物１０２と高圧系配線Ａとがわずかに離れているため、高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとはショートしておらず、通常の試験では不良と判定されない。しかし、試験後のストレス等により、導電性異物１０２が高圧系配線Ａに接触し、高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとがショートする可能性がある。こうした現象を以後、経時ショート不良と呼ぶ。
【０００５】
低圧回路の場合は、経時ショート不良を検出する方法として、配線間に過電圧を印加する方法が用いられている。高圧回路の場合、低圧回路と同様に過電圧を印加することで経時ショート不良を検出しようとすると、通常の検査よりも高い電圧を印加する必要が生じ、素子を破壊、劣化させてしまう危険性がある。
【０００６】
従来技術として、シリコン基板上に、少なくとも２個の抵抗値が既知の抵抗体と、前記抵抗体間を電気的且つ直列に接続する配線と、前記配線と同材料を用い前記配線に対して所定の隙間を有しつつ前記配線に隣接して形成された隣接配線と、前記抵抗体に夫々電気的に接続される２個の端子を備えたことを特徴とする配線テストパターンが知られている（特許文献１参照）。
【０００７】
互いに並行する配線層群と、前記配線層群が正常か否かをテストするテスト手段とを具備し、前記テスト手段は、前記配線層群のうちｎ番目（ｎは０を含む２の倍数）の配線層に第１の電位を印加する第１の電位印加手段と、前記配線層群のうちｎ＋１番目の配線層に少なくとも前記第１の電位と異なる第２の電位を印加する第２の電位印加手段とを有し、前記ｎ番目の配線層に前記第１の電位および前記ｎ＋１番目の配線層に前記第２の電位を同時に印加し、かつこの状態を所定時間保持するように構成されていることを特徴とする半導体装置が知られている（特許文献２参照）。
【０００８】
評価対象回路に対応した構成でこれと同一基板上に設けられ、電気的に絶縁された第１の配線および第２の配線とからなる検査装置であって、同じ評価対象回路に対する検査回路形成領域を複数に分割し、分割された領域ごとに絶縁不良検査を可能としたことを特徴とする配線不良検査回路が知られている（特許文献３参照）。
【０００９】
【特許文献１】特開２００４−１４６９４号公報
【特許文献２】特開平６−２９３６４号公報
【特許文献３】特開平１１−２３６６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
高圧回路において、配線間に電気的なストレスを与えて配線間の異物を検出するためには、通常その回路が使用されるときよりも大きな電位差を与える必要がある。しかし、高圧系の回路では素子の耐圧に余裕が少ないため、この試験方法を用いることができない。そのため、配線間の導電性異物による経時ショート不良に至る可能性のある被検品を不良品と判定することができず、不良品が流出してしまうという問題点があった。
【００１１】
本発明の目的は、高圧回路において、経時ショート不良となる可能性が高い回路を知ることが可能なショート検出用回路およびショート検出方法を提供することである。
【００１２】
本発明の他の目的は、高圧回路において経時ショート不良となる可能性が高い回路を、素子に無理な負荷をかけずに検出することが可能なショート検出用回路およびショート検出方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
以下に、［発明を実施するための最良の形態］で使用される番号を括弧付きで用いて、課題を解決するための手段を説明する。これらの番号は、［特許請求の範囲］の記載と［発明を実施するための最良の形態］との対応関係を明らかにするために付加されたものである。それらの番号は、［特許請求の範囲］に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いられるべきでない。
【００１４】
本発明によるショート検出用回路は、第１配線（Ａ）と、第１配線（Ａ）に平行に延設された第２配線（Ｂ）と、第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）との間に延設され、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とが接続される第１検出用配線（００１）とを備えている。第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）とは、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とが接続される端子を有する。
【００１５】
本発明によるショート検出用回路は、第１配線（Ａ）の法線方向から見て第１検出用配線（００１）との間に隙間を有し、第１検出用配線（００１）の延長線上に延設され、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とが接続される第２検出用配線（００５）を備えている。
【００１６】
本発明によるショート検出用回路において、第１配線（Ａ）と第１検出用配線（００１）との距離と、第１検出用配線（００１）と第２配線（Ｂ）との距離は等しい。
【００１７】
本発明によるショート検出用回路は、第１検出用配線（００２）と第２配線（Ｂ）との間に延設され、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とが接続される第３検出用配線（００３）を備えている。
【００１８】
本発明によるショート検出用回路は、第１配線（Ａ）の法線方向から見て第１検出用配線（００６）との間に隙間を有し、第１検出用配線（００６）の延長線上に延設され、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とが接続される第２検出用配線（００８）を備えている。
【００１９】
本発明によるショート検出用回路は、第１配線（Ａ）の法線方向から見て第３検出用配線（００７）との間に隙間を有し、第３検出用配線の延長線上に延設され、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とが接続される第４検出用配線（００８）を備えている。
【００２０】
本発明によるショート検出用回路において、第１配線（Ａ）と第１検出用配線（００６）の距離と、第３検出用配線（００７）と第２配線（Ｂ）との距離とは等しい。
【００２１】
本発明によるショート検出用回路において、第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）とは、通常使用されるときよりも高い電圧が印加されると、接続されている素子が破壊又は劣化する可能性が高い高圧系配線である。
【００２２】
本発明によるショート検出方法は、第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）との間に第１検出用配線（００１）を延設するステップと、第１配線（Ａ）と第１検出用配線（００１）との間に、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とを接続するステップと、電源（１０）によって電流が流されたときに電流計（２０）の示す値が所定値以上のとき第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）がショートする可能性が高いと判定するステップとを備えている。
【００２３】
本発明によるショート検出方法は、第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）との間に第１検出用配線（００１）を延設するステップと、第１配線（Ａ）と第１検出用配線（００１）との間に、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とを接続する第１接続ステップと、第２配線（Ｂ）と第１検出用配線（００１）との間に、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とを接続する第２接続ステップと、第１接続ステップと第２接続ステップとの両方において、電源（１０）によって電流が流されたときに電流計（２０）の示す値が所定値以下のときに第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）とがショートする可能性が低いと判定するステップとを備えている。
【００２４】
本発明によるショート検出方法は、第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）との間に第１検出用配線（００２）を延設するステップと、第１検出用配線（００２）と第２配線（Ｂ）との間に第２検出用配線（００３）を延設するステップと、第１検出用配線（００２）と第２検出用配線（００３）との間に、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とを接続する第１接続ステップと、第１接続ステップにより接続された電源（１０）によって電流が流されたときに電流計（２０）の示す値が所定値以下のときに第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）とがショートする可能性が低いと判定するステップとを備えている。
【００２５】
本発明によるショート検出方法は、第１接続ステップにより接続された電源（１０）によって電流が流されたときに電流計（２０）の示す値が所定値以上のときに、第１検出用配線（００２）と第２配線（Ｂ）との間に、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とを接続する第２接続ステップと、第１接続ステップにより接続された電源（１０）によって電流が流されたときに電流計（２０）の示す値が所定値以上のときに、第２検出用配線（００３）と第１配線（Ａ）との間に、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とを接続する第３接続ステップと、第１接続ステップと第２接続ステップとの両方において、電源（１０）によって電流が流されたときに電流計（２０）の示す値が所定値以下のときに第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）とがショートする可能性が低いと判定するステップと、第１接続ステップと第２接続ステップとのいずれか一方において、電源（１０）によって電流が流されたときに電流計（２０）の示す値が所定値以上のときに第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）とがショートする可能性が高いと判定するステップとを備えている。
【００２６】
本発明によるショート判定方法は、第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）との間に第１検出用配線（００２）を延設するステップと、第１検出用配線（００２）と第２配線（Ｂ）との間に第２検出用配線（００３）を延設するステップと、第１検出用配線（００２）と第２配線（Ｂ）との間に、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とを接続する第２接続ステップと、第２検出用配線（００３）と第１配線（Ａ）との間に、直列に接続された電源（１０）と電流計（２０）とを接続する第３接続ステップと、第１接続ステップと第２接続ステップとの両方において、電源（１０）によって電流が流されたときに電流計（２０）の示す値が所定値以下のときに第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）とがショートする可能性が低いと判定するステップと、第１接続ステップと第２接続ステップとのいずれか一方において、電源（１０）によって電流が流されたときに電流計（２０）の示す値が所定値以上のときに第１配線（Ａ）と第２配線（Ｂ）とがショートする可能性が高いと判定するステップとを備えている。
【発明の効果】
【００２７】
本発明によれば、高圧回路において、経時ショート不良となる箇所を知ることが可能なショート検出用回路およびショート検出方法が提供される。
【００２８】
更に本発明によれば、高圧回路において経時ショート不良となる可能性が高い回路を、素子に無理な負荷をかけずに検出することが可能なショート検出用回路およびショート検出方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照しながら本発明を実施するため最良の形態におけるショート検出用回路及びショート検出方法について詳細に説明する。
【００３０】
（実施の第１形態）
図３を参照すると、実施の第１形態におけるショート検出用回路が示されている。高圧系配線Ａと、それに平行に延設されている高圧系配線Ｂとは、異なる電位で使用されることがある。高圧系配線とは、通常使用時に数十ボルト以上の電圧が印加される配線のことを指す。
【００３１】
高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとの間には、検出専用配線００１が延設されている。検出専用配線００１は、高圧系配線Ａ及び高圧系配線Ｂの製造工程と並行した製造工程により製造される。検出専用配線００１は、高圧系配線Ａ及び高圧系配線Ｂと電位が独立に取れるように配置されている。
【００３２】
図４を参照すると、図３に示されるショート検出用回路を用いた試験方法の１つである試験１−１の等価回路図が示されている。試験１−１においては、高圧系配線Ａと検出専用配線００１との間に電源と電流計とが直列に接続され、電源が電流を発生するときに流れる電流が電流計で検出される。
【００３３】
図５を参照すると、図３に示されるショート検出用回路を用いた試験方法の他の１つである試験１−２の等価回路図が示されている。試験１−２においては、高圧系配線Ｂと検出専用配線００１との間に電源と電流計とが直列に接続され、電源が電流を発生するときに流れる電流が電流計で検出される。
【００３４】
試験１−１、及び試験１−２において、電源により印加される電圧は、経時ショート不良が検出できれば、通常使用時以下の値でよい。電流計は、このプロセスにおけるこの試験電圧での通常リーク電流より大きい値に設定された設定値より大きいことを検出することができるものであればよい。
【００３５】
図６を参照すると、本実施の形態における経時ショート不良試験のフローチャートが示されている。図２のように導電性異物１０２が存在する場合を例として、経時ショート不良試験のフローを説明する。
【００３６】
まず、図７に示されるように被検品に試験１−１を実施し、電流計によって検出される電流値が所定の規定値よりも大きければ被検品は不良品と判定される。図７の場合は、試験１−１においては不良品と判定されない。
【００３７】
試験１−１で検出される電流値が規定値以下の場合は、図８に示されるように試験１−２を実施し、そのとき検出される電流値が規定値よりも大きければ被検品を不良品と判定する。図８の場合は、被検品のなかに存在する導電性異物１０２が高圧系配線Ｂと検出専用配線００１の両者に接触していることから、経時ショート不良を起こす可能性があるものとして不良品と判定される。試験１−１と試験１−２の両方の試験において検出される電流値が規定値以下の場合は、その回路は経時ショート不良を起こす可能性が少ない良品と判定される。
【００３８】
（実施の第２形態）
図９を参照すると、実施の第２形態における回路が示されている。図９には、高圧系配線Ａと、それに平行に延設される高圧系配線Ｂとが示されている。高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとは異なる電位で使用されることがある。高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとの間には、検出専用配線００２が延設されている。検出専用配線００２と高圧系配線Ｂとの間には、検出専用回線００３が延設されている。高圧系配線Ａと検出専用配線００２との距離は、検出専用回線００３と高圧系配線Ｂとの距離に等しい。検出専用配線００２と検出専用配線００３とは、高圧系配線Ａ及び高圧系配線Ｂの製造工程と並行した製造工程により製造される。検出専用配線００２と検出専用回線００３とは、高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとに対して独立に電位を取ることができるように配置されている。検出専用配線００２と検出専用回線００３との電位も独立に取ることができる。
【００３９】
図１０を参照すると、図９に示されるショート検出用回路を用いた試験方法の１つである試験２−１の等価回路図が示されている。高圧系配線Ａと検出専用回線００３との間に電源と電流計とが直列に接続されている。
【００４０】
図１１を参照すると、図９に示されるショート検出用回路を用いた他の試験方法の１つである試験２−２の等価回路図が示されている。検出専用回線００２と高圧系配線Ｂとの間に電源と電流計とが直列に接続されている。
【００４１】
図１２を参照すると、図９に示されるショート検出用回路を用いた他の試験方法の１つである試験２−３の等価回路図が示されている。検出専用回線００２と検出専用回線００３との間に電源と電流計とが直列に接続されている。
【００４２】
試験２−１、試験２−２、及び試験２−３において、電源により印加される電圧は、経時ショート不良が検出できれば、通常使用時以下の値でよい。電流計は、このプロセスにおけるこの試験電圧での通常リーク電流より大きい値に設定された設定値より大きいことを検出することができるものであればよい。
【００４３】
図１３を参照すると、実施の第２形態における経時ショート不良試験の第１のフローが描かれている。はじめに試験２−１が実施され、この試験で観測される電流値が規定値より大きい場合、被検品は経時ショート不良が発生する可能性の高い不良品と判定される。電流値が規定値以下の場合は、次に試験２−２が実施される。試験２−２で観測される電流値が規定値より大きい場合、被検品は不良品と判定される。試験２−１と試験２−２の両方で観測される電流値が規定値よりも小さい場合は、被検品は経時ショート不良を起こす可能性が小さい良品と判定される。
【００４４】
図１４を参照すると、実施の第２形態における経時ショート不良試験の第２のフローが描かれている。はじめに試験２−３が実施され、観測された電流値が規定値以下であれば被検品は良品であると判定される。試験２−３で観測された電流値が規定値よりも大きいときは、試験２−１が実施される。試験２−１で観測された電流値が規定値よりも大きければ、被検品は不良品と判定される。試験２−１で観測された電流値が規定値以下であれば、試験２−２が実施される。試験２−２で観測された電流値が規定値よりも大きければ、被検品は不良品と判定される。試験２−２で観測された電流値が規定値以下であれば、被検品は良品と判定される。
【００４５】
導電性異物の発生確率が低いことが分かっている場合には、良品判定が試験２−３のステップのみで行えるので、一般的に図１４を参照して説明された試験フローの方が試験時間が短い。試験２−３で不良発生率が高い（例：５０％以上）場合には、逆に、不良品判定が２ステップで行える図１３を参照して説明された試験フローの方が試験時間が短い。
【００４６】
実施の第２形態におけるショート検出用回路及びショート検出方法は、実施の第１形態に比べて次のような特徴を有する。図１５を参照して、大きい導電性異物１０２と、それに比べて小さい導電性異物１０３が高圧系配線Ｂに接していたとする。導電性異物１０３は小さいため、経時ショート不良を起こす可能性が小さいとして、導電性異物１０３のみが存在する場合は被検品を良品と判定したい。しかし、実施の第１形態においては、どちらか一方の導電性異物が存在する場合は、いずれも不良品として判定されるため、良品率が必要以上に下がり、製品の製造コストが増加する。
【００４７】
実施の第２形態においては、導電性異物１０３は、図１６に示されるように試験２−１においても、図１７に示されるように試験２−２においても、図２０に示される試験２−３においても、観測される電流値は規定値以下となり、良品と判定される。他方、導電性異物１０２に対しては、図１９に示される試験２−２または図２１に示される試験２−３で不良品と判定される。導電性異物１０２が高圧系配線Ａに接触し高圧系配線Ｂの近くまで存在している場合は、試験２−１または試験２−３で不良品と判定される。そのため、実施の第２形態における試験は、経時ショート不良を起こす可能性の大きい導電性異物が存在する被検体のみを不良品として判定できる。
【００４８】
図２２を参照すると、実施の第１形態と同じく高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとの間に検出専用配線００１が延設されている。高圧系配線Ａと検出専用配線００１とは導電性異物１０５により導通しており、検出専用配線００１と高圧系配線Ｂとは導電性異物１０４により導通している。すなわち、検出専用配線００１が設けられていることにより、本来はショートしていない高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとが、比較的小さい導電性異物１０４、１０５によりショートしている。このようなショートの発生を減らすためには、図２３に示されるように、検出専用配線００１を、検出専用配線００４と検出専用配線００５とに分割することが有効である。
【００４９】
図２４を参照して、実施の第２形態と同じく高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとの間に２本の検出専用配線００２、００３が延設されている場合にも、比較的小さい導電性異物１０６、１０７、１０８により高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとがショートする可能性がある。このようなショートの発生を減らすためには、図２５に示されるように、検出用配線を分割し、検出用配線００２を検出用配線００６、００８に、検出用配線００３を検出用配線００７、００９にすることが有効である。
【００５０】
本発明によるショート検出用回路及びショート検出方法により、従来は低圧系の回路で過電圧により経時ショート不良の検出が行われていたが、高圧系の回路において、通常の検査時と同等の電圧印加で経時ショート不良の検出が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】図１は、通常の検査でショート不良と判定される導電性異物を示す。
【図２】図２は、通常の検査ではショート不良と判定されないが、経時ショート不良となる可能性がある導電性異物を示す。
【図３】図３は、高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとの間に検出専用配線を設けた回路を示す。
【図４】図４は、試験１−１を示す。
【図５】図５は、試験１−２を示す。
【図６】図６は、実施の第１形態における試験のフローチャートである。
【図７】図７は、試験１−１の適用例である。
【図８】図８は、試験１−２の適用例である。
【図９】図９は、高圧系配線Ａと高圧系配線Ｂとの間に２本の検出専用配線を設けた回路を示す。
【図１０】図１０は、試験２−１を示す。
【図１１】図１１は、試験２−２を示す。
【図１２】図１２は、試験２−３を示す。
【図１３】図１３は、実施の第２形態における試験のフローチャートである。
【図１４】図１４は、実施の第２形態における試験のフローチャートである。
【図１５】図１５は、経時ショート不良となる可能性が高い導電性異物と、経時ショート不良となる可能性はないが試験１−２で不良判定となる導電性異物を示す。
【図１６】図１６は、試験２−１の適用例である。
【図１７】図１７は、試験２−２の適用例である。
【図１８】図１８は、試験２−１の適用例である。
【図１９】図１９は、試験２−２の適用例である。
【図２０】図２０は、試験２−３の適用例である。
【図２１】図２１は、試験２−３の適用例である。
【図２２】図２２は、検出専用配線と２つの導電性異物とによりショート不良となる場合を示す。
【図２３】図２３は、ショート不良を回避するために検出用配線を分割した様子を示す。
【図２４】図２４は、検出専用配線と３つの導電性異物とによりショート不良となる場合を示す。
【図２５】図２５は、ショート不良を回避するために検出用配線を分割した様子を示す。
【符号の説明】
【００５２】
００１〜００９…検出専用配線
１０…電源
２０…電流計
１０１〜１０８…導電性異物
【図１】
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【図２】
2005347523.tif 000004
【図３】
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【図４】
2005347523.tif 000006
【図５】
2005347523.tif 000007
【図６】
2005347523.tif 000008
【図７】
2005347523.tif 000009
【図８】
2005347523.tif 000010
【図９】
2005347523.tif 000011
【図１０】
2005347523.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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