(57)【要約】【課題】  マーク読取のための往路移動、並びに画像記録のための復路移動が最も最短となるような配置構成とすることで、画像記録のための作業効率を向上する。【解決手段】  往路でカメラユニット３２を用い、復路で露光ヘッドユニット２８を用いるということから、露光ステージ１６が必要なユニットに最先に到達するように配置するという一般的な概念ではなく、カメラユニット３２が定盤１８の幅方向へ移行させるための機構が定盤１８の長手方向を占有する場合、この移動機構と反対側を露光ヘッドユニット２８に対面させ、露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２とが最も接近する配置することにより、露光ステージ１６の移動距離を短くすることができ、ひいては処理効率の向上を図ることができる。【選択図】        図１０
2005111752.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ビームを形成し当該光ビームを画像記録媒体の記録面へ結像させるための光学系を備えた複数の記録素子アッセンブリがｘ方向に沿って配列されてユニット化された記録ヘッドと、前記画像記録媒体と、を前記ｘ方向とは直交するｙ方向に相対移動させることで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録装置であって、
前記画像記録媒体を平面状に位置決めするための記録ステージと、
前記記録ステージを支持すると共に、当該記録ステージを前記ｙ方向へ往復移動させる記録ステージ移動手段と、
前記記録ステージに対してｙ方向の空間を占有するように前記ｘ方向へ移動可能とする移動機構部が設けられ、かつこの移動機構部が前記記録ヘッドに隣接配置され、当該前記画像記録媒体上に設けられ記録ステージと画像記録媒体との相対位置を認識するためのマークを読み取るマーク読取手段とを有し、
前記記録ステージ移動手段による記録ステージの往路移動中に前記マーク読取手段による前記マークの読み取りを実行し、復路移動中に前記記録ヘッドによる画像記録を実行することを特徴とする画像記録装置。
【請求項２】
前記記録ステージ移動手段が、前記記録ステージを支持する互いに平行な一対の摺動レールを備えた定盤と、この定盤と記録ステージとの間に設けられ磁界によって記録ステージを非接触で推進力を付与するリニアモータ部と、で構成されていることを特徴とする請求項１記載の画像記録装置。
【請求項３】
前記前記マーク読取手段が、前記記録ヘッドに対して、前記記録ステージの往路移動方向に奥側に隣接配置されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の画像記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ビームを形成し当該光ビームを画像記録媒体の記録面へ結像させるための光学系を備えた複数の記録素子アッセンブリがｘ方向に沿って配列されてユニット化された記録ヘッドと、前記画像記録媒体と、を前記ｘ方向とは直交するｙ方向に相対移動させることで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子（記録素子）が利用され、画像データに応じて変調された光ビームを照射する記録ヘッドを用いて記録媒体へ画像を記録する（例えば、感光材料への画像露光）画像記録装置が種々提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、ＤＭＤは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーが、シリコン等の半導体基板上にＬ行×Ｍ列の２次元状に配列されたミラーデバイスであり、単一の光源をこのＤＭＤに照射することで、ＤＭＤの分解能に応じた複数の光を独立して変調制御することができる。
【０００４】
一般に、ＤＭＤ等の記録素子は、各行の並び方向と各列の並び方向とが直交するように格子状（マトリクス状）に配列されていが、この記録素子を、走査方向に対して傾斜させて配置することで、走査時に走査線の間隔が密になり、解像度を上げることができる。
【０００５】
ところで、上記ような複数の光ビームを同時に走査するための走査光学系の形態としては、定盤上を摺動可能な記録ステージを設け、記録媒体を前記記録ステージ上に平面的に位置決めして、前記記録ヘッドから照射される光ビームの発光点の配列方向（ｘ方向）に対して直交する方向（ｙ方向）にの記録ステージを移動（走査）しながら、固定配置された記録ヘッドからの光ビームを照射する構造が好ましい。この場合、解像度を高くしようとすればするほど、光ビームの走査位置の精度を上げなければならず、記録ステージの移動直進性はもちろん、記録ステージへの記録媒体の位置決めが重要となる。このため、記録ヘッドによる画像記録とは別に、記録媒体に設けた位置決め用のマークを読み取るためのマーク読取手段（例えば、カメラユニット）を配設し、カメラユニットによって読み取ったマークに基づいて、電気的に画像記録位置を補正することが必要となる。
【０００６】
手順としては、記録ステージの定盤上での往路移動中にマークを読み取り、復路移動中に画像記録を実行することになる。
【特許文献１】米国特許第００５１３２７２３号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、前記マークを読み取るためのカメラユニットを前記記録ヘッドに対して、ｙ方向に隣接して配置する必要がある。カメラユニットには、このｙ方向を占有するように、ｘ方向への移動機構部が設けられており（例えば、サイズの異なる記録媒体のマークのｘ方向の位置調整を行う必要がある。）、この移動機構部があることで、記録ステージの往復移動量が増加している。
【０００８】
この場合、往路移動中にマークを読み取るために、当該往路移動方向手前側にカメラユニットを配し、復路移動中に画像記録を行うために、当該復路移動方向手前側（往路移動方向の奥側）に記録ヘッドを配するのが一般的であるが、この配置構成では、往復移動量が多く、画像記録処理のための効率が悪い。
【０００９】
本発明は上記事実を考慮し、マーク読取のための往路移動、並びに画像記録のための復路移動が最も最短となるような配置構成とすることで、画像記録のための作業効率を向上することができる画像記録装置を得ることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、光ビームを形成し当該光ビームを画像記録媒体の記録面へ結像させるための光学系を備えた複数の記録素子アッセンブリがｘ方向に沿って配列されてユニット化された記録ヘッドと、前記画像記録媒体と、を前記ｘ方向とは直交するｙ方向に相対移動させることで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録装置であって、前記画像記録媒体を平面状に位置決めするための記録ステージと、前記記録ステージを支持すると共に、当該記録ステージを前記ｙ方向へ往復移動させる記録ステージ移動手段と、前記記録ステージに対してｙ方向の空間を占有するように前記ｘ方向へ移動可能とする移動機構部が設けられ、かつこの移動機構部が前記記録ヘッドに隣接配置され、当該前記画像記録媒体上に設けられ記録ステージと画像記録媒体との相対位置を認識するためのマークを読み取るマーク読取手段とを有し、前記記録ステージ移動手段による記録ステージの往路移動中に前記マーク読取手段による前記マークの読み取りを実行し、復路移動中に前記記録ヘッドによる画像記録を実行することを特徴としている。
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、記録ステージ移動手段によって記録ステージをｙ方向の往路移動を実行する。この往路移動中に、マーク読取手段を制御して、画像記録媒体上に設けられたマークを読み取る。このマークによって、画像記録媒体の記録ステージに対する相対位置を認識し、記録ヘッドによる画像記録開始時期等の電気的補正値を得る。
【００１２】
往路移動が終了した記録ステージは、記録ステージ移動手段によりｙ方向の復路移動を実行する．この復路移動中に、記録ヘッドを用いて画像記録媒体上に画像記録するように制御する。このとき、前記得られた補正値に基づいて画像記録開始時期等が制御されるため、画像記録媒体上には適正な位置に画像が記録される。
【００１３】
ここで、上記ｙ方向の往復移動は、その移動距離が短ければ短いほど、画像記録開始から終了までの時間を短縮することができる。
【００１４】
ところが、マーク読取手段には、前記ｙ方向の空間を占有するように前記ｘ方向へ移動可能とする移動機構部が設けられている。これは、例えば、マークの位置が適用される画像記録媒体のサイズによって異なる場合があり、このサイズに応じてｘ方向へ移動させなければならないためである。
【００１５】
この移動機構部がｙ方向を占有することで、その分ｙ方向の往復移動量が増加する。そこで、この移動機構部を記録ヘッドに対して前記ｙ方向に沿って隣接配置することで、記録ヘッドによる光ビームの光軸と、マーク読取手段によるマーク読取のための光軸とを最も接近させることができ、前記ｙ方向の往復移動量を最短とすることができる。
【００１６】
このように、本来、重要視することがなかった、記録ヘッドとマーク読取手段との位置関係をその全体の外観構成を考慮して配置することで、画像記録処理のための作業効率を向上することができる。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載の発明において、前記記録ステージ移動手段が、前記記録ステージを支持する互いに平行な一対の摺動レールを備えた定盤と、この定盤と記録ステージとの間に設けられ磁界によって記録ステージを非接触で推進力を付与するリニアモータ部と、で構成されていることを特徴としている。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、一般的に記録ステージを直線移動（ここでのｙ方向の往復移動）させるためには、ボールねじ機構等、機械的な動作駆動系を用いるのが一般的であるが、このような機械的な動作駆動系では、定盤或いは摺動レール等を精度よく製造しても、機差等により必然的に速度むらが発生する。そこで、非接触で記録ステージを移動させることが可能なリニアモータ部によって記録ステージへ駆動力（推進力）を付与した。これにより、移動時の摩擦抵抗等がほとんどなく、機差による速度むらも大幅に軽減することができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明は、前記請求項１又は請求項２に記載の発明において、前記前記マーク読取手段が、前記記録ヘッドに対して、前記記録ステージの往路移動方向に奥側に隣接配置されていることを特徴としている。
【００２０】
請求項３に記載の発明によれば、マーク読取手段の移動機構部は、マーク読取手段をｘ方向へ移動させるためのものであるため、このｘ方向移動の精度を上げるためには、強固な梁部材が必要となる。このような梁部材がほぼ必然的に必要であるため、ｙ方向の空間を占有する大きさが非常に多くなる。そこで、移動機構部（並びにこれを支持する梁部材）が最も定盤の奥側となるように、前記マーク読取手段を、前記記録ヘッドに対して、前記記録ステージの往路移動方向に奥側に隣接配置する。この結果、この移動機構部（並びにこれを支持する梁部材）は、記録ステージの必要最小限往復移動しなければならない範囲外とすることができ、最も移動距離を短くすることができる。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明した如く本発明では、マーク読取のための往路移動、並びに画像記録のための復路移動が最も最短となるような配置構成とすることで、画像記録のための作業効率を向上することができるという優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１乃至図３には、本実施の形態に係るフラッドベッドタイプの画像記録装置１０が示されている。
【００２３】
画像記録装置１０は、棒状の角パイプを枠状に組み付けて構成された矩形状の枠体１２に各部が収容されて構成されている。なお、枠体１２には、図示しないパネルが張り付けられることで、内外を遮断している。
【００２４】
枠体１２は、背高の筐体部１２Ａと、この筐体部１２Ａの一側面から突出するように設けられたステージ部１２Ｂと、で構成されている。
【００２５】
ステージ部１２Ｂは、その上面が筐体部１２Ａよりも低位とされ、作業者がこのステージ部１２Ｂの前に立ったときに、ほぼ腰高の位置となっている。
【００２６】
ステージ部１２Ｂの上面には、開閉蓋１４が設けられている。開閉蓋１４の筐体部１２Ａ側の一辺には、図示しない蝶番が取付けられており、この一辺を中心として、開閉動作が可能となっている。
【００２７】
開閉蓋１４を開放した状態のステージ部１２Ｂの上面には、露光ステージ１６（図４参照）が露出可能となっている。
【００２８】
露光ステージ１６の下面には、断面略コ字型の脚部１６Ａ（図４参照）が取り付けられており、この脚部１６Ａは、このステージ部１２Ｂから前記筐体部１２Ａまで延設された定盤１８に対して、当該露光ステージ１６を摺動可能に支持すると共に、互いに平行、かつ定盤１８の長手方向に沿って配設された一対の摺動レール２０を介して支持されている。
【００２９】
露光ステージ１６は、前記摺動レール２０に支持されることで、ほとんど摩擦抵抗なく（ベアリング等を介している場合は、そのベアリングの転がり抵抗のみで）ｙ方向へ摺動可能となっている。
【００３０】
この定盤１８の長手方向一端部は、前記ステージ部１２Ｂまで至っており、この位置に露光ステージ１６が位置している状態で、作業者は露光ステージ１６上に感光材料２２を載置、或いは取り出すことができる。
【００３１】
定盤１８は、筐体部１２Ａを構成する角パイプに対して強固に固定された架台２４に支持されており、露光ステージ１６の移動軌跡の基準となっている。
【００３２】
前記定盤１８の長手方向に沿って配設された一対の摺動レール２０の間には、リニアモータ部２６が配設されている。
【００３３】
リニアモータ部２６は、周知の如く、ステッピングモータの駆動力を応用した直線型の駆動源であり、定盤１８の長手方向に沿って設けられた棒状のコイル部２６Ａと、露光ステージ１６の下面側に設けられ前記コイル部２６Ａとは所定の間隔を持って配置されたステータ部（磁石部）２６Ｂ（図２参照）とで、構成されている。
【００３４】
すなわち、露光ステージ１６は、コイル部２６Ａへの通電によって発生する磁界により駆動力を得て、前記摺動レール２０に沿って定盤１８上を、その長手方向（ｙ方向）に移動する構成である。
【００３５】
前述したように、原理はステッピングモータと同様であるため、本実施の形態に係る露光ステージ１６は、定速性、位置決め精度、並びに始動、停止時のトルク変動等、電気的な制御により精度の高い駆動制御が可能となっている。
【００３６】
露光ステージ１６には、前述の如く、感光材料２２が敷設されるようになっている。露光ステージ１６には、前記感光材料２２の載置面に複数の溝（図示省略）が設けられており、感光材料２２が所定位置に位置決めされた状態で、バキュームポンプ等によって溝内を負圧とすることで、感光材料２２を密着させることができる。
【００３７】
露光ステージ１６における定盤１８上での移動軌跡のほぼ中間位置には、露光ヘッドユニット２８（図５参照）が配設されている。
【００３８】
露光ヘッドユニット２８は、前記定盤１８の幅方向両端部の外側にそれぞれ立設された一対の支柱３０に掛け渡されるように破折されている。すなわち、露光ヘッドユニット２８と定盤１８との間を前記露光ステージ１６が通過するゲートが形成される構成である。
【００３９】
露光ヘッドユニット２８は、複数のヘッドアッセンブリ２８Ａが前記定盤１８の幅方向に沿って配列されて構成されており、前記露光ステージ１６を定速度で移動させながら、所定のタイミングでそれぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａから照射される複数の光ビーム（詳細後述）を前記露光ステージ１６上の感光材料２２へ照射することで、感光材料１６を露光することができるようになっている。
【００４０】
図６（Ｂ）に示される如く、露光ヘッドユニット２８を構成するヘッドアッセンブリ２８Ａは、ｍ行ｎ列（例えば、２行５列）の略マトリックス状に配列されており、これら複数のヘッドアッセンブリ２８Ａが前記露光ステージ１６の移動方向（以下走査方向という）と直交する方向に配列される。本実施の形態では、感光材料２２の幅との関係で、２行で合計１０個のヘッドアッセンブリ２８Ａとした。
【００４１】
ここで、１つのヘッドアッセンブリ２８Ａによる露光エリア２８Ｂは、走査方向を短辺とする矩形状で、且つ、走査方向に対して所定の傾斜角で傾斜しており、露光ステージ１６Ａの移動に伴い、感光材料２２にはヘッドアッセンブリ２８Ａ毎に帯状の露光済み領域が形成される（図６（Ａ）参照）。
【００４２】
図１に示される如く、前記筐体部１２Ａ内には、前記定盤１８上の露光ステージ１６の移動を妨げない別の場所に光源ユニット３０が配設されている。この光源ユニット３０には複数のレーザー（半導体レーザー）を収容しており、このレーザーから出射する光を光ファイバー（図示省略）を介して、それぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａへ案内している。
【００４３】
それぞれのヘッドアッセンブリ２８Ａは、前記光ファイバーによって案内され、入射された光ビームを空間光変調素子である図示しないデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）によって、ドット単位で制御し、感光材料２２に対してドットパターンを露光する。本実施の形態では、前記複数のドットパターンを用いて１画素の濃度を表現するようになっている。
【００４４】
図７に示される如く、前述した帯状の露光済み領域２８Ｂ（１つのヘッドアッセンブリ２８Ａ）は、二次元配列（例えば４×５）された２０個のドットによって形成される。
【００４５】
また、前記二次元配列のドットパターンは、走査方向に対して傾斜されていることで、走査方向に並ぶ各ドットが、走査方向と交差する方向に並ぶドット間を通過するようになっており、実質的なドット間ピッチを狭めることができ、高解像度化を図ることができる。なお、上記のようにヘッドアッセンブリ２８Ａの傾斜は、装置の標準解像度の設定によっては、同一走査線上に複数のドットパターンが重複する場合がある。このような場合には、何れか一方のドットパターン（図７では、斜線としたドットパターン）に対応するＤＭＤを常にオフ状態し、不使用のドットパターンを設ければよい。
【００４６】
ここで、ステージ部１２Ｂにおいて、前記露光ステージ１６上に位置決めされた感光材料２２への露光処理は、前記露光ステージ１６に感光材料２２を載置し、定盤１８上の摺動レール２０に沿って奥側へ移動するとき（往路）ではなく、一旦、定盤１８の奥側端部へ到達して、前記ステージ部１２Ｂへ戻るとき（復路）に実行される。
【００４７】
すなわち、往路走行は、露光ステージ１６上の感光材料２２の位置情報を得るための移動であり、この位置情報を得るためのユニットとして、定盤１８上には、アライメントユニット３２（図８参照）が配設されている。
【００４８】
アライメントユニット３２は、前記露光ヘッドユニット２８よりも往路方向奥側に配設されており、筐体部１２Ａの一部を構成する一対の梁部３４（図８参照）に固定されている。
【００４９】
アライメントユニット３２は、前記一対の梁部３４に固定されるベース部３６と、このベース部３６に対して定盤１８の幅方向へ移動可能な複数（本実施の形態では、４台）のカメラ部３８と、で構成されている。
【００５０】
カメラ部３８は、それぞれ独立して前記ベース部３６に沿って配設された互いに平行な一対のレール部４０にカメラベース４２を介してｘ方向に摺動可能に取付けられている。
【００５１】
カメラ部３８は、カメラ本体３８Ａの下面にレンズ部３８Ｂが設けられ、当該レンズ部３８Ｂの突出先端部には、リング状のストロボ光源３８Ｃが取付けられている。
【００５２】
このストロボ光源３８Ｃからの光が、前記露光ステージ１６上の感光材料２２へ照射され、その反射光を前記レンズ部３８Ｂを介してカメラ本体３８Ａに入力させることで、感光材料２２上のマークＭ（図９参照）を撮影することができる。
【００５３】
前記カメラベース４２は、それぞれ、ボールねじ機構部４４の駆動によって、定盤１８の幅方向（ｘ方向）へ移動可能となっており、前記露光ステージ１６の移動と、このボールねじ機構部４４の駆動力による定盤１８の幅方向への移動とによって、感光材料２２の所望の位置にレンズ部３８Ａの光軸を配置することが可能となっている。すなわち、露光ステージ１６と、感光材料２２とは、作業者が感光材料２２を載置することで、その相対位置関係が決まるため、若干のずれが生じることがある。
【００５４】
そこで、感光材料２２に設けられたマークＭ（図９参照）をカメラ本体３８Ａによって撮影する。この撮影によって前記ずれが認識され、露光ステージ１６と既知の相対関係となっている前記露光ヘッドユニット２８による露光タイミングに補正をかけ、感光材料２２と画像との相対位置を所望の位置としている。
（露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２との相対位置関係）
ところで、本実施の形態では、このカメラユニット３２と露光ヘッドユニット２８との相対位置は、当該カメラユニット３２の外観構造と、露光ヘッドユニット２８の外観構造に基づいて、露光ステージ１６が最も短距離の往復移動ですむような配置としている。
【００５５】
図１０（Ａ）は、本実施の形態の露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２との配置関係を示す概略図である。
【００５６】
ステージ部１２Ｂに位置する露光ステージ１６が定盤１８に沿って往路移動（図１０（Ａ）の右方向）するとき、まず、露光ヘッドユニット２８の下を通過して、カメラユニット３２へと至り、カメラユニット３２へ到達する。このカメラユニット３２を露光ステージ１６の全面が通過までの距離が寸法Ｌ１となる。
【００５７】
一方、図１０（Ｂ）は、往路でカメラユニット３２による撮影、復路で露光ヘッドユニット１６による露光が行われる系において、最も実施される配置関係を示す概略図である。
【００５８】
図１０（Ａ）と同様に、ステージ部１２Ｂに位置する露光ステージ１６が定盤１８に沿って往路移動（図１０（Ｂ）の右方向）するとき、まず、カメラユニット３２の下を通過する。これにより、カメラユニット３２による撮影が可能となる。
【００５９】
しかし、復路で露光ヘッドユニット２８による露光を実施するためには、露光ステージ１６の全面が露光ヘッドユニット２８を通過するまで往路を継続しなければならず、結果として露光ステージ１６の移動距離は、寸法Ｌ２となる。
【００６０】
ここで、寸法Ｌ１と寸法Ｌ２との関係は、明らかにＬ１＜Ｌ２であり、本実施の形態にように、往路で実施するカメラユニット３２を往路移動方向奥側とすることで、露光ステージ１６の移動量を軽減することが可能となっている。
（塵埃排除構造）
図１に示される如く、定盤１８における前記露光ヘッドユニット２８を含む奥側は、筐体部１２Ａ内の空間に対してさらに隔離するように、チャンバ４６が設けられている。
【００６１】
すなわち、チャンバ４６内には、露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２が配設され、定盤１８がこのチャンバ４６内から前記ステージ部１２Ｂへ連続されており、露光ステージ２８のみが、チャンバ４６内外を行き来（往路移動及び復路移動）する構造となっている。
【００６２】
チャンバ４６の天井部には、送風ダクト４８の一端が取付けられている。この送風ダクト４８の他端部は、送風機５０のエア排出口に取付けられており、送風機５０が作動すると、エアが送風ダクト４８を介して前記チャンバ４６内へ送り込まれる構成である。
【００６３】
ここで、チャンバ４６にエアが送り込まれると、チャンバ４６内は正圧となり、唯一の逃げ場、すなわち、露光ステージ１６の移動空間を通って、ステージ部１２Ｂへと流動する。この流動により、最も塵埃を回避するべき、露光ヘッドユニット２８周辺の塵埃を排出することができ、かつ開閉蓋１４の開放時であっても、圧力差によって新たな塵埃の侵入を防止することが可能となっている。
【００６４】
また、本実施の形態では、前記露光ヘッドユニット２８における露光ステージ１６の往路移動方向手前側、すなわちステージ部１２Ｂに近い側には、定盤１８の幅方向に亘り、除電装置（イオナイザ）５２が配設されている。
【００６５】
除電装置５２は、中空パイプ状の吹出部５２Ａと、この吹出部５２Ａへイオン化されたエアを供給するイオン発生部５２Ｂと、で構成されており、定盤１８に向けて、イオン化されたエアを吹き出す構造となっている。
【００６６】
より具体的には、イオン発生部５２Ｂでは、アース電極と放電電極との間でコロナ放電が発生することでイオンが生成され、このイオンを送風源によって吹出部５２Ａへ案内し、静電気によって耐電している塵埃と異極のイオンによる中和し除電を行う。
【００６７】
これにより、感光材料２２が載置された露光ステージ１６が定盤１８上を移動するとき、感光材料２２の表面を除電し、静電気によって付着している塵埃を除去すると共に、エアブローで露光ステージ１６の上方空間に浮遊する塵埃を除去することが可能となる。
（マーク検出制御）
上記構成の画像記録装置１０におけるアライメントの際に実行される、感光材料２２と、露光ヘッドユニット２８の相対位置関係を把握するための、感光材料２２に付与されたマーク検出制御について説明する。
【００６８】
図１１には、カメラユニット３２におけるマーク検出のための制御系の機能ブロック図が示されている。
【００６９】
コントローラ部５４のカメラ動作制御部５６では、露光ステージ動作制御信号が入力されると、カメラ部３８に対して起動信号を送出する。この起動信号によりカメラ部３８では、撮影が開始される。すなわち、露光ステージ１６の動作タイミングと、カメラ部３８による撮影タイミングとは同期がとられている。
【００７０】
また、上記露光ステージ動作制御信号と共に、サイズデータが幅方向位置設定部５８に入力され、この幅方向位置設定部５８により、ボールねじ機構部４４の動作が制御され、カメラ部３８の定盤１８に対する幅方向位置が調整される。
【００７１】
前記カメラ部３８の撮影動作中において、露光ステージ１６は、定盤１８上の往路を定速度移動する。このため、露光ステージ１６上に載置されている感光材料２２に付与されたマークＭ（図９参照）がカメラ部３８によって撮影される。
【００７２】
撮影されたデータは、撮影データ解析部６０へ送出され、撮影データの解析が行わる。基本的には、撮影された画像データはアナログデータ（光電変換直後は、光量が電圧に変換される）であるため、このアナログデータをデジタル画像データに変換し、当該デジタル画像データが位置データと共に数値（濃度値）管理される。
【００７３】
撮影データ解析部６０で解析されたデジタル画像データは、マーク抽出部６２へ送出され、マークを抽出し、マーク照合部６４へ送出する。一方、前記デジタル画像データに対応付けられた位置データは、露光位置補正係数演算部６６へ送出される。
【００７４】
前記マーク照合部６４では、抽出したマークの画像データと、予めマークデータメモリ６８に記憶されたマークデータとを照合し、一致／不一致を示す信号を前記露光位置補正係数演算部６６へ送出する。
【００７５】
露光位置補正係数演算部６６では、照合の結果、一致していると判別されたマークデータに対応する位置データと、本来の（設計上の）マークの位置データとの誤差を認識し、露光位置（露光ステージ１６の移動方向における露光開始位置並びに、露光ステージ１６の幅方向におけるドットのシフト位置）の補正係数を演算し、露光制御系へ送出する。
【００７６】
ここで、本実施の形態におけるマーク検出の特徴は、露光ステージ１６を定速度で移動しながらマークを検出することにある。図９に示される如く、本来、感光材料２２に付与されたマークＭが円形とした場合（図９（Ａ）参照）。これを露光ステージ１６を移動しながら撮影すると、撮影画像は撮影時のシャッタースピード等にもよるが、長円形マークＭＬ（図９（Ｂ）参照）となる。このため従来は、マークＭを撮影（検出）する場合、露光ステージ１６を一旦停止させていた。
【００７７】
しかし、この露光ステージ１６の一旦停止は、作業効率の低下を招き、高速処理に支障をきたす原因となる。
【００７８】
そこで、本実施の形態では、マークデータメモリ６８（図１１参照）に記憶するマークデータを、カメラ部３８の撮影環境（シャッタースピード、露光ステージ１６の移動速度等）を加味した画像ＭＬ’（図９（Ｃ）に示す長円形）とした。すなわち、本来のマーク形状ではなく、前記撮影環境下での実際に撮影した画像に対応したマークデータを記憶することで、照合の適正化を図っている。
【００７９】
以下に本実施の形態の作用を説明する。
（画像記録の流れ）
感光材料２２を表面に吸着した露光ステージ１６は、リニアモータ部２６の駆動力により、定盤１８の摺動レール２０に沿ってステージ部１２Ｂから筐体部１２Ａの奥側へ一定速度で移動される（往路移動）。ここで露光ステージ１６がカメラユニット３２を通過する際に、カメラ部３８により感光材料２２に予め付与されたマークＭを検出する。このマークＭは、予め記憶されたマークと照合され、その位置関係に基づいて露光ヘッドユニット２８による露光開始時期等が補正される。
【００８０】
図１２には、上記露光開始時期補正ルーチンを示すフローチャートが示されている。
【００８１】
ステップ１００では、露光開始指示があったか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１０２へ移行してカメラ部３８を起動させるように指示する。なお、ステップ１００で否定判定の場合は、このルーチンは終了する。
【００８２】
ステップ１０２でカメラ部３８の起動を指示すると、次いでステップ１０４へ移行して感光材料２２のサイズデータが入力されたか否かが判断される。このステップ１０４で肯定判定されると、ステップ１０６へ移行して入力したサイズデータに基づいてカメラ部３８の定盤１８に対する幅方向位置を調整する（ボールねじ機構部４４の駆動制御）。
【００８３】
ステップ１０８では、調整が完了したか否かが判断され、肯定判定されると、ステップ１１０へ移行して露光ステージ１６の往路移動を開始する。この露光ステージ１６の移動は定速度搬送である。
【００８４】
露光ステージ１６が往路移動中、ステップ１１２では、この露光ステージ１６の位置を確認し（リニアモータ部２６の駆動パルスで判別可能）、ステップ１１４において撮影タイミングか否かが判断される。すなわち、露光ステージ１６の移動方向先端がカメラユニット３８の真下を通過する直前の位置か否かを判断し、肯定判定されると、ステップ１１６へ移行して撮影を開始する。
【００８５】
次のステップ１１８では、露光ステージ１６の位置を確認し、ステップ１２０において撮影終了タイミングか否かが判断される。すなわち、露光ステージ１６の移動方向後端がカメラユニット３８の真下を通過し終えたか否かを判断し、肯定判定されると、ステップ１２２へ移行して撮影を終了する。
【００８６】
次のステップ１２４では、撮影したデータを解析し、次いでステップ１２６へ移行してマークＭに相当する画像データを抽出する。
【００８７】
次いで、ステップ１２８では、マークデータメモリ６８（図１１参照）から基準データを読出し、ステップ１３０において、撮影し、かつ抽出したマーク画像データと基準データとを照合する。
【００８８】
次のステップ１３２では、照合結果に基づいて露光位置補正係数を演算し、ステップ１３４へ移行して露光制御系へ演算した補正係数データを送出し、このルーチンは終了する。
【００８９】
ところで、このカメラユニット３２による感光材料２２のマークＭの撮影並びに露光開始時期補正は、前記往路移動中に露光ステージ１６が停止することなく実行される。
【００９０】
一般に、移動方向の位置決めのみであれば（すなわち一次元）、移動中の検出であっても検出誤差を生じることはほとんどないが、感光材料の平面的な位置決め（すなわち二次元）の場合、少なくとも移動方向とこの移動方向と直交する方向の十字マーク（所謂トンボマーク）が必要である。さらに、精度向上のためには、所定の面積をもつ画像をマークＭとして用いることが好ましく、最適な形状が円形である。本実施の形態では、この円形画像をマークＭ（図９（Ａ）参照）として適用している。
【００９１】
この場合、露光ステージ１６の移動中に撮影を行うと、カメラ部３２のシャッタースピードや露光ステージ１６の移動速度等の環境条件により、撮影された画像が円形とならず長円マークＭＬ（図９（Ｂ）参照）となる場合がある。
【００９２】
そこで、本実施の形態では、マークデータメモリ６８内に記憶する基準となるマーク画像を前記環境条件に基づいて設定された長円形画像ＭＬ’として記憶しておく（図９（Ｃ）参照）。これにより、実際に撮影し長円形状となったマークＭＬとの照合が可能となり、感光材料２２の位置決めを精度よく行うことができる。
【００９３】
露光ステージ１６が往路端まで至ると、折り返してステージ部１２Ｂ方向へ定速度で戻ってくる（復路移動）。この復路移動中に露光ヘッドユニット２８を通過することになる。
【００９４】
露光ヘッドユニット２８では、前記補正された露光開始時期に基づいて、ＤＭＤにレーザ光が照射され、ＤＭＤのマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光が光学系を介して感光材料２２へと案内され、この感光材料２２上に結像される。
【００９５】
上記のように、本実施の形態の画像記録装置１０は、露光ステージ１６の往復移動によって、感光材料２２と露光ヘッドユニット１６との相対位置に基づいて、露光開始時期を設定し（往路移動）、露光ヘッドユニット１６による露光処理が実行される（復路移動）構成となっているが、このとき、往路移動に必要なユニットに先に到達する配置とするのが一般的である（図１０（Ｂ）参照）。
【００９６】
しかし、本実施の形態では、露光ステージ１６の往路移動方向の手前側に露光ヘッドユニット２８を配し、その往路移動方向奥側にカメラユニット３２を配している（図１０（Ａ）参照）。
【００９７】
これは、カメラユニット３２が、定盤１８の幅方向に移動させるための機構を具備しており、定盤１８の長手方向を占有する寸法が大きく、仮に図１０（Ｂ）のように露光ステージ１６の往路移動方向手前側に配置すると、このカメラユニット３２の定盤１８の長手方向の占有寸法分、露光ヘッドユニット２８が後退された位置となる。
【００９８】
この結果、露光ステージ１６の往路移動方向後端が、奥側の露光ヘッドユニット２８の真下を通過し終えるまでに必要は距離が寸法Ｌ２となる。
【００９９】
一方、本実施の形態の配置である図１０（Ａ）の場合、露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２とを比較的接近させた状態で配置することが可能となる。このため、露光ステージ１６の往路移動方向後端分が、奥側のカメラユニット３２の真下を通過し終えるまでに必要な距離は寸法Ｌ１となる。
【０１００】
すなわち、往路でカメラユニット３２を用い、復路で露光ヘッドユニット２８を用いるということから、露光ステージ１６が必要なユニットに最先に到達するように配置するという一般的な概念ではなく、上記のように、カメラユニット３２が定盤１８の幅方向へ移行させるための機構が定盤１８の長手方向を占有する場合、この移動機構と反対側を露光ヘッドユニット２８に対面させ、露光ヘッドユニット２８とカメラユニット３２とが最も接近する配置することにより、露光ステージ１６の移動距離を短くすることができ、ひいては処理効率の向上を図ることができる。
【０１０１】
次に、前記露光ヘッドユニット２８及びカメラユニット３２が配設された領域は、チャンバ４６によって他の筐体１２Ａ内の空間とは完全に隔離している。また、このチャンバ４６の天井部には、送風ダクト４８の一端が取付けられている。送風機５０の作動によって、当該送風機５０のエア排出口からのエアがチャンバ４６内へ送り込まれる。
【０１０２】
エアの送り込みより、チャンバ４６内は正圧となり、エアは、唯一の逃げ場であるステージ部１２Ｂへと流動する。
【０１０３】
この流動により、最も塵埃を回避するべき、露光ヘッドユニット２８及びカメラユニット３２周辺の塵埃をステージ部１２Ｂから排出することができる。
【０１０４】
また、感光材料２２の露光ステージ１６上への着脱の際、ステージ部１２Ｂの開閉蓋１４を開放する。このとき、この開放状態のステージ部１２Ｂから塵埃が侵入することがあったが、本実施の形態では、チャンバ４６内部を正圧としているため、圧力差によって新たな塵埃が侵入することはなく、露光ヘッドユニット２８及びカメラユニット３２の周囲の環境悪化を防止することできる。
【０１０５】
一方、感光材料２２はそのベースの材質により静電気を帯び、電荷が帯電することで、塵埃を引き寄せることがある。静電気によってひきよせられて付着している塵埃は、前記エアの流動のみでは払拭しきれない場合がある。そこで、露光ヘッドユニット２８における露光ステージ１６の往路移動方向手前側に、定盤１８の幅方向に亘って、除電装置（イオナイザ）５２を配設した。
【０１０６】
これにより、定盤１８上を摺動する露光ステージ１６に位置決めされた感光材料２２は、必ずこの除電装置５２に対向し、吹出部５２Ａからイオン化されたエアが吹き付けられる。
【０１０７】
すなわち、イオン発生部５２Ｂでアース電極と放電電極との間でコロナ放電を発生させて、静電気によって帯電している塵埃と異極のイオンを生成し、このイオンを送風源によって吹出部５２Ａから吹き出しているため、中和によって除電がなされる。
【０１０８】
これにより、感光材料２２が載置された露光ステージ１６が定盤１８上を移動するとき、感光材料２２の表面を除電し、静電気によって付着している塵埃を除去すると共に、エアブローで露光ステージ１６の上方空間に浮遊する塵埃を除去することができる。
【０１０９】
なお、本実施の形態では、空間変調素子としてＤＭＤを用い、点灯時間を一定にしてオン／オフすることでドットパターンを生成するようにしたが、オン時間比（デューティ）制御によるパルス幅変調を行ってもよい。また、１回の点灯時間を極めて短時間として、点灯回数によってドットパターンを生成してもよい。
【０１１０】
さらに、本実施の形態では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた記録素子ユニット１６６について説明したがこのような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Special Light Modulator）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Grating Light Valve（ＧＬＶ）を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。
【０１１１】
また、上記の実施の形態における光源としては、合波レーザ光源を複数備えたファイバアレイ光源、１個の発光点を有する単一の半導体レーザから入射されたレーザ光を出射する１本の光ファイバを備えたファイバ光源をアレイ化したファイバアレイ光源、複数の発光点が二次元状に配列された光源（たとえば、ＬＤアレイ、有機ＥＬアレイ等）、等が適用可能である。
【０１１２】
また、上記の画像記録装置１０には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ）、固体レーザが使用される。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】本実施の形態の画像記録装置の概略を示す斜視図である。
【図２】本実施の形態の画像記録装置の概略略を示す側面図である。
【図３】本実施の形態の画像記録装置の概略を示す平面図である。
【図４】露光ステージの斜視図である。
【図５】露光ヘッドユニットの斜視図である。
【図６】（Ａ）露光ヘッドユニットによる露光領域を示す平面図、（Ｂ）はヘッドアッセンブリの配列パターンを示す平面図である。拡大倍率時のドットパターンの平面図である。
【図７】単一のヘッドアッセンブリにおけるドットパターンの配列状態を示す平面図である。
【図８】カメラユニットの斜視図である。
【図９】感光材料の上のマークと、基準となるメモリ上のマークとの照合の手順を示す説明図である。
【図１０】露光ヘッドユニットとカメラユニットとの位置関係を示し、（Ａ）が本実施の形態の位置関係の側面図、（Ｂ）が一般形態（従来）の位置関係の側面図である。
【図１１】カメラユニットにおけるマーク検出のための制御系の機能ブロック図である。
【図１２】露光開始時期補正ルーチンを示す制御フローチャートである。
【符号の説明】
【０１１４】
１０    画像記録装置
１２    枠体
１２Ａ    筐体部
１２Ｂ    ステージ部
１４    開閉蓋
１６    露光ステージ（記録ステージ）
１６Ａ    脚部
１８    定盤
２０    摺動レール
２２    感光材料
２４    架台
２６    リニアモータ部（記録ステージ移動手段）
２６Ａ    コイル部
２６Ｂ    ステータ部
２８    露光ヘッドユニット（記録ヘッド）
３０    支柱
２８Ａ    ヘッドアッセンブリ
２８Ｂ    露光エリア
３０    光源ユニット
３２    アライメントユニット（マーク読取手段）
３４    梁部
３６    ベース部
３８    カメラ部
４０    レール部
４２    カメラベース
３８Ａ    カメラ本体
３８Ｂ    レンズ部
３８Ｃ    ストロボ光源
４２    カメラベース
４４    ボールねじ機構部
４６    チャンバ
４８    送風ダクト
５０    送風機
５２    除電装置（イオナイザ）
５２Ａ    吹出部
５２Ｂ    イオン発生部
５４    コントローラ部
５６    カメラ動作制御部
５８    幅方向位置設定部
６０    撮影データ解析部
６２    マーク抽出部
６４    マーク照合部
６６    露光位置補正係数演算部
６８    マークデータメモリ
Ｍ    マーク
【図１】
2005111752.tif 000003
【図２】
2005111752.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005111752.tif 000008
【図７】
2005111752.tif 000009
【図８】
2005111752.tif 000010
【図９】
2005111752.tif 000011
【図１０】
2005111752.tif 000012
【図１１】
2005111752.tif 000013
【図１２】
2005111752.tif 000014