(57)【要約】【課題】  微小な液滴成分を効率よく確実の採取することができる採取方法および採取装置を提供する。【解決手段】  本発明の液採取方法は、（ａ）繊維を束ねてなる繊維毛の先端を被採取液に接触させ、該繊維毛に該被採取液を取り込むこと、  （ｂ）前記繊維毛内に取りこまれた前記被採取液を採取すること、を含む。  本発明の液採取用具１００は、繊維を束ねてなる繊維毛１０が固定部２０を介して保持された繊維毛保持部３０を有する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）繊維を束ねてなる繊維毛の先端を被採取液に接触させ、該繊維毛内に該被採取液を取り込むこと、
（ｂ）前記被採取液が取りこまれた前記繊維毛を該被採取液が可溶な溶剤で洗浄することにより該被採取液を採取すること、を含む、液採取方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記（ａ）の前に、
前記繊維毛の先端を前記被採取液に可溶な溶剤で洗浄すること、を含む、液採取方法。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記（ｂ）の後に、
前記被採取液を含む採取液から溶剤を除去すること、を含む、液採取方法。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかにおいて、
前記繊維の径は、５μｍ以下である、液採取方法。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかにおいて、
前記繊維毛として、該繊維毛の硬度を強化させるための支持材が混入された繊維毛を用いること、を含む、液採取方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかにおいて、
前記繊維は、前記被採取液に対して耐性を有する材質である、液採取方法。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかにおいて、
前記繊維毛の先端に表面処理を施すこと、を含む、液採取方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかにおいて、
前記繊維毛の先端の形状を、前記被採取液の付着箇所の状態に応じて加工すること、を含む、液採取方法。
【請求項９】
繊維を束ねてなる繊維毛が固定部を介して保持された繊維毛保持部を有する、液採取用具。
【請求項１０】
請求項９において、
前記繊維毛保持部は、
被採取液と可溶な溶剤を保持するための溶剤保持部と、を含み、
前記固定部に固定された繊維毛の該固定部側の先端は前記溶剤保持部に浸されている、液採取用具。
【請求項１１】
請求項９または１０において、
前記繊維毛保持部には、さらに、溶剤導入部が設けられ、
前記溶剤保持部と溶剤導入部とは、溶剤導入管を介して接続されている、液採取用具。
【請求項１２】
請求項９〜１１のいずれかにおいて、
前記繊維毛は、該繊維毛の硬度を強化させるための支持材を含む、液採取用具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、分析を要する微小な液滴をより効率よく確実に採取するための液採取方法および液採取用具に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程において、真空装置での処理を終えた後の大気開放時や各種工程間の搬送や放置の間に、製品中に微小な異物が混入することがある。このように、製品中に微小な異物が混入することは、製品の不具合を起す一因となりうる。そのため、微小な異物の混入を防止することで、製品の歩留まりおよび信頼性の向上が図られている。
【０００３】
上述のような、微小な異物の混入を防止するためには、汚染物質の組成の特定ならびに発生経路の特定が必要である。そのために、微小な異物を採取した後に、顕微赤外分光光度計、ガスクロマトグラフィー質量分析等などを施し、汚染物質の組成の特定および発生経路の特定が行なわれる。汚染物質の採取方法としては、固形成分であれば、顕微鏡下で試料の持つ静電気や粘着力を利用して先端のとがった針先に付着させる方法を用いることができ、液体成分であれば、細胞操作などで用いられる、マイクロマニュピレーターにとりつけたミクロキャピラリーを顕微鏡下で操作し、吸い上げる方法などがある。
【特許文献１】特開２００１−１６５８２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年の半導体装置の微細化に伴い、工程中の清浄度および精密度が向上している。そのため、製品中に混入する可能性のある微小な異物もさらに微小化しており、従来例にかかる採取方法では、他の物質を含むことなく分析に供する必要のある微小な異物のみを採取することが困難なことがある。そのため、微小な試料を確実に採取する方法が要求されている。
【０００５】
本発明の目的は、微小な液滴成分を効率よく確実の採取することができる液採取方法および液採取用具を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液採取方法は、
（ａ）繊維を束ねてなる繊維毛の先端を被採取液に接触させ、該繊維毛内に該被採取液を取り込むこと、
（ｂ）前記被採取液が取りこまれた前記繊維毛を該被採取液が可溶な溶剤で洗浄することにより被採取液を採取すること、を含む。
【０００７】
本発明の液採取方法によれば、まず、繊維を束ねてなる繊維毛の先端を被採取液に接触させることで、毛細管現象を利用して繊維毛の中に被採取液を取り込む。その後、取りこまれた被採取液を採取することにより、被採取液を回収することができる。そのため、分析に供す必要のある液状成分の採取を容易に行なうことができる。
【０００８】
本発明の液採取方法は、さらに下記の態様を取ることができる。
【０００９】
本発明の液採取方法において、前記（ａ）の前に、
前記繊維毛の先端を前記被採取液に可溶な溶剤で洗浄すること、を含むことができる。この態様によれば、繊維毛と被採取液との親和性を向上させることができる。また、繊維毛に付着している異物等を除去することもできる。そのため、より確実に繊維毛に被採取液を取り込むことができる。その結果、分析に供する必要のある液状成分の採取効率を向上させることができる。
【００１０】
本発明の液採取方法において、前記（ｂ）の後に、
前記被採取液を含む採取液から溶剤を除去すること、を含むことができる。
【００１１】
この態様によれば、被採取液を乾燥して、固形の状態で分析する必要がある場合に有用である。
【００１２】
本発明の液採取方法において、
前記繊維の径は、５μｍ以下であることができる。この態様によれば、繊維毛の径をより微細化することができ、採取が困難なことがある微小液滴であっても、より確実に採取することができる。また、径が小さい繊維毛を用いるため強い毛細管現象が起こり、被採取液の吸収性を向上させることができる。被採取液の付着箇所の形状および液滴の形状等に影響を受けることなく、被採取液を採取できるという利点がある。
【００１３】
本発明の液採取方法において、前記繊維毛の中に、該繊維毛の硬度を強化させるための支持材を挿入すること、を含むことができる。この態様によれば、被採取液の形状および付着箇所の形状に合わせて、繊維毛中に支持材を挿入して繊維毛に硬度を強化させることができる。そのため、被採取液が微小な液滴である場合にも、確実に微小な液滴と接触させることができる。また、採取が困難となる被採取液が溝の底部に付着している場合などにも、溝の底部に繊維毛の先端を到達させることを容易にすることができる。
【００１４】
本発明の液採取方法において、前記繊維は、前記被採取液に対して耐性を有する材質であることができる。この態様によれば、繊維を束ねてなる繊維毛が被採取液と接触した際に溶解したり変質することがない。そのため、良好に被採取液を繊維毛中に取り込むことができる。
【００１５】
本発明の液採取方法において、前記繊維毛の先端に表面処理を施すこと、を含むことができる。この態様によれば、たとえば、被採取液の特性に応じて被採取液と親和性を有するように表面処理を施すことができる。そのため、被採取液の採取効率を向上させることができる。
【００１６】
本発明の液採取方法において、前記繊維毛の先端の形状を、前記被採取液が付着している箇所の状態に応じて加工すること、を含むことができる。この態様によれば、被採取液の液滴の大きさや付着箇所の形状等に合わせて、繊維毛の先端を筆状に細く絞ったり、斜めに先端をカットして、丸くカットしたり、種々の形状に成形したものを用いることが可能である。その結果、被採取液の採取効率および採取精度を向上させることができる。
【００１７】
本発明の液採取用具は、
繊維を束ねてなる繊維毛が固定部を介して保持された繊維毛保持部を有する。
【００１８】
本発明の液採取用具によれば、被採取液が取りこまれる繊維毛が繊維毛保持部に固定されている。そのため、繊維毛の先端を被採取液と接触させることを容易に行なうことができる。その結果、採取精度および採取効率の向上を図ることができる。
【００１９】
本発明の液採取用具は、さらに、下記の態様をとることができる。
【００２０】
本発明の液採取用具において、前記繊維毛保持部は、
被採取液と可溶な溶剤を保持するための溶剤保持部と、を含み、
前記固定部に固定された繊維毛の一方の先端は前記溶剤保持部に浸されていることができる。この態様によれば、繊維毛保持部には、溶剤を保持するための溶剤保持部が設けられており、固定された繊維毛の一方の先端が溶剤保持部に浸されている。そのため、溶剤保持部に保持されている溶剤を直接繊維毛に導入させることができる。その結果、繊維毛を洗浄したい場合や、繊維毛に被採取液を取り込んだ後に、繊維毛を洗浄し被採取液を採取することを容易に行なうことができる。
【００２１】
本発明の液採取用具において、前記繊維毛保持部には、さらに、溶剤導入部が設けられ、
前記溶剤保持部と溶剤導入部とは、溶剤導入管を介して接続されている、液採取用具。
【００２２】
この態様によれば、溶剤保持部には、溶剤導入管を介して溶剤導入部が接続されている。そのため、微細な繊維毛保持部であっても、溶剤の導入を確実に行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
次に、本発明の実施の形態の一例について説明する。
【００２４】
１．液採取方法
まず、液採取方法について説明する。本実施の形態にかかる液採取方法では、（ａ）複数の繊維を束ねてなる繊維毛の先端を被採取液に接触させることで、被採取液を繊維毛内に取り込む工程と、（ｂ）前記被採取液が取りこまれた前記繊維毛を該被採取液が可溶な溶剤で洗浄することにより被採取液を採取する工程とを含む。以下に、各工程について詳細を説明する。
【００２５】
工程（ａ）では、まず、繊維を束ねてなる繊維毛の先端を被採取液に接触させる。これにより、毛細管現象により被採取液が繊維毛に取りこまれることになる。
【００２６】
本実施の形態で用いることができる繊維毛は、複数の繊維を束ねて構成されているものである。このとき、繊維毛の径は、被採取液の液滴の大きさに合わせて、束ねる繊維の径と、束ねる繊維の本数を調整することで制御することができる。たとえば、微細な繊維を１０〜１００本程度用いる場合には、その繊維の径の数倍〜数十倍程度の径を有する繊維毛とすることができる。また、この繊維毛が、繊維径が５μｍ以下の繊維を束ねて構成される場合、超極細繊維毛を構成することができる。このような超極細繊維毛は、強い毛細管現象を起すことができ、吸水性を向上させることができる。そのため、微小な液滴や、深い凹部の底面などの採取が困難となる箇所に付着している液滴の採取を容易に行なうことができる。
【００２７】
繊維毛を構成する繊維の材質としては、特に制限されることなく被採取液に溶解したり腐食することのない、物理的にも化学的にも耐性を有する材質を適宜選択することができる。たとえば、ポリエステル、ナイロン（登録商標）、ビニロン、アクリル樹脂、レーヨン等の一般的な合成繊維、ポリエチレン、ポリプロピレン、フッ素系樹脂、シリコーン系樹脂等の樹脂、金属繊維、ガラス繊維および鉱物繊維などを挙げることができる。
【００２８】
また、繊維毛の被採取液と接触する箇所に対して、被採取液に特性に合わせた表面処理を施してもよい。表面処理としては、たとえば、親水処理、疎水処理、耐薬品性を有するように被覆処理などを挙げることができる。これらの各種処理は、プラズマ表面処理やシランカップリング剤を用いた公知の処理方法により行なうことができる。被採取液が水性の液滴である場合には、繊維毛の先端に親水処理を施すことで、より被採取液を吸収しやすくなり確実に採取することができる。また、被採取液に特性の異なる成分が含まれている場合には、一方の特性に適合した処理が施された繊維毛を用いることで、選択的に一方の成分を採取することができる。
【００２９】
繊維毛を構成する繊維は、様々な加工が施された繊維であることができる。たとえば、繊維の先端を種々の形状に加工して用いることができる。この場合、先端の形状を細くしたり、球形状にするなどの加工を挙げることができる。また、先端の形状のみならず断面形状についても種々の形状をとることができる。この場合、円形の他、楕円計、三角形、四角形、星形などの形状を挙げることができる。繊維軸に対して縦方向、横方向、斜め方向などの溝や切りこみを入れたり、繊維の先端に突起部を設けることにより、採取効率を向上させることができる。また、上述に例示される種々の加工を施した繊維を複数組み合わせて繊維毛を構成してもよい。
【００３０】
繊維毛の先端は、被採取液の液滴の形状、付着箇所の形状に合わせて適宜加工することができる。加工方法の例としては、たとえば、先端を細く絞り筆状にする加工、斜めにカットする加工、鋭角な先端形状を有するような加工、平らな先端形状を有するような加工および丸い先端形状を有するような加工を挙げることができる。
【００３１】
繊維毛の中に、繊維毛の硬度を強化させるため、支持材を挿入することができる。支持材としては、たとえば、繊維毛を構成する繊維よりも大きい径を有する繊維、金属ワイヤー、棒状の樹脂などを挙げることができる。支持材の材質としては、被採取液や、被採取液が付着している箇所の形状に合わせて適宜選択することができる。たとえば、深い凹部の底面に被採取液が付着している場合には、金属ワイヤーなどの支持材を用いて、繊維毛の硬度を強化させることにより、操作精度が向上し容易に被採取液と繊維毛とを接触させることができる。
【００３２】
上述したように、被採取液の性質、付着箇所の形状等に応じて、種々に加工された繊維毛を用いることで、容易でかつ効率よく被採取液を繊維毛に取り込むことができる。
【００３３】
また、工程（ａ）では、繊維毛を被採取液と接触させる前に、被採取液と可溶な溶剤で繊維毛の先端を洗浄してもよい。このように、接触前に洗浄しておくことで、被採取液との親和性を向上させることができるとともに、繊維毛に付着していた汚染物質などを除去することができ、そのため、被採取液の採取効率および採取精度を向上させることができる。
【００３４】
ついで、工程（ｂ）について説明する。工程（ｂ）では、工程（ａ）で繊維毛中に取り込んだ被採取液を採取する。この採取の方法としては、被採取液が取りこまれた繊維毛を被採取液が可溶な溶剤で洗浄する方法を挙げることができる。たとえば、所望の容器にみたされた溶剤の中に被採取液を取りこんだ繊維毛を浸すことで、被採取液を採取することができる。この採取液を回収することにより、繊維毛から被採取液を採取することができる。また、採取した液体について顕微ＩＲ測定を行ないたい場合には、繊維毛に取り込んだ被採取液を臭化カリウム（ＫＢｒ）などの光学結晶板に直接塗布するという方法で採取することもできる。
【００３５】
上述のように、洗浄して被採取液を採取した場合、洗浄液に可溶された状態で、ＮＭＲ測定などを行なうことができる。
【００３６】
また、採取液の溶剤を蒸発させることにより乾燥させて、被採取液を固形成分にした後に各種測定に供することもできる。
【００３７】
本実施の形態の液採取方法によれば、繊維を束ねてなる繊維毛を被採取液に接触させることで、毛細管現象により被採取液を繊維毛に取り込むことができる。そのため、被採取液をより確実に採取できるようになり、分析に供する必要のある液適の採取を容易に行なうことができる。特に、その径が微小である繊維を束ねてなる繊維毛の場合は、繊維毛の径は、それを構成する繊維とほぼ同一の径であるため、微小な液滴であっても確実に採取できる。また、その径が小さい繊維毛を用いることで、液滴成分以外を取り込んでしまうことを低減することができ、所望の被採取液のみを取り込むことができる。その結果、採取精度および採取効率を向上させることができ、より良好な分析を行なうことができる。
【００３８】
また、繊維毛中に支持材を挿入したり、繊維毛の先端形状を加工することにより、被採取液の液滴の大きさ、付着箇所を問わずに良好に採取することが可能となる。
【００３９】
本実施の形態の液採取方法は、半導体装置の不良の要因となる汚染物質などの分析などに有用であり、本実施の形態の液採取方法により採取した試料を分析することで、製品に混入した異物の組成やその発生経路の特定等が可能となる。そして、その結果を半導体装置の製造プロセスに反映させることで、信頼性の高い半導体装置を製造することができる。さらには、生物等の分泌物の採取および犯罪捜査においても好適に用いることができる。
【００４０】
２．液採取用具
２．１  液採取用具の構造
次に、本実施の形態の液採取用具について図１，２を参照しながら説明する。図１（Ａ）は、本実施の形態の液採取用具の構造を概略的に示す平面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＸ−Ｘ線の沿った断面図である。図２（Ａ），（Ｂ）は、図１（Ａ），（Ｂ）の繊維毛保持部３０を拡大して示す模式図であり、（Ｃ）は、繊毛保持部の先端の断面を示す模式図である。図３（Ａ），（Ｂ）は、液採取用具の使用態様を示す模式図である。
【００４１】
図１に示すように、本実施の形態にかかる液採取用具１００は、繊維束ねてなる繊維毛１０が固定部２０を介して保持された繊維毛保持部３０を有する。このように、繊維毛１０を繊維毛保持部３０に固定された状態で使用することで、操作精度を向上させることができ、確実に被採取液と繊維毛１０を接触することが可能となる。なお、本実施の形態では、手動で操作することができるように柄部３２が設けられた液採取用具１００を図示する。
【００４２】
繊維毛保持部３０の材質としては、被採取液や使用する溶剤に対して耐性があること、汚染物質を発生しないこと、使用時に容易に破損することのないよう耐久性を有すること、被採取液が微小な液滴であっても採取精度を損ねることないように所定の強度を有すること、などの要件を満たす材質であることが好ましい。繊維毛保持部３０は、上述のすべての要件を満たす必要はなく被採取液または採取箇所に応じて必要な要件を満たしていればよい。繊維毛保持部３０の材質としては、たとえば、金属としては、鉄、銅、ステンレス、アルミニウムなどを主成分とする材質を挙げることができる。また、樹脂としては、ポリエステル、ナイロン、ビニロン、ポリエチレン、ポリプロピレン、フッ素系樹脂その他エンジニアリングプラスチックなどを挙げることができる。
【００４３】
また、液採取用具１００として、図１（Ａ），（Ｂ）では、棒状であって、繊維毛保持部３０と柄部３２とからなるものを示したがこれに限定されず、繊維毛１０を固定することができる固定部２０をを有する繊維毛保持部３０を含んでいる構造をとるものであればよい。さらに、特に図示しないが、繊維毛保持部３０には、柄部３２に対して角度固定機能や、角度可変の枝部のような形状であってもよい。
【００４４】
柄部３２としては、繊維毛保持部３０と同様の材質を例示することができる。その形状についても、特に制限はされない。たとえば、手で握り使用する場合には、図１，２に示すようにそれに適した棒状の部材であることが好ましい。
【００４５】
繊維毛１０としては、上述の液採取方法の実施の形態で述べた繊維毛を用いることができる。
【００４６】
次に、図２（Ａ）〜（Ｃ）を参照しながら、固定部２０が設けられている箇所について詳細に説明する。
【００４７】
図２（Ａ），（Ｂ）に示すように、繊維毛保持部３０には、繊維毛１０を挿入するための貫通穴２２が設けられている。この貫通穴２２に繊維毛１０を導入し、繊維毛１０が固定される。繊維毛１０を固定する方法として、本実施の形態の液採取用具１００では、ねじ止めにより繊維毛１０を固定する場合について説明する。図２（Ｃ）に示すように、貫通穴２２の径を制御するために、貫通穴２２に通じるスリット状の切りこみ部２４が設けられている。この切りこみ部２４の幅を制御するために、貫通穴２２と直交する方向であって、切りこみ部２４をまたぐようにねじ穴２８が設けられ、ねじ穴２８にはねじ２６が差し込まれている。ねじ２６をきつくしめることにより、切りこみ部２４の幅は狭くなり、引いては貫通穴２２の径も制御されることになる。
【００４８】
繊維毛保持部３０には、さらに、溶剤保持部４０が設けられていることができる。繊維毛１０の一端（被採取液と接触することない端面）は、この溶剤保持部４０に満たされた溶剤に浸されるように設けられている。本実施の形態の繊維毛保持部３０では、溶剤保持部４０は、繊維毛保持部３０の一部がくりぬかれたような凹部の形状を有し、その凹部に貯められた溶剤が流出することのないよう覆い４２が設けられていることができる。また、本実施の形態の繊維毛保持部３０では、溶剤保持部４０と貫通穴２２が接続されている場合を例に示す。この場合、貫通穴２２に導入された繊維毛１０が貫通穴２２を介して溶剤保持部４０に保持された溶剤に浸されている。
【００４９】
溶剤保持部４０に溶剤を導入する際には、図３（Ａ），（Ｂ）に参照される態様をとることができる。図３（Ａ）に示したものは、覆い４２をはずした状態で、たとえば、マイクロシリンジ４８などにより溶剤を導入する場合の例である。図３（Ｂ）に示したものは、微細な穴４４を有する覆い４２溶剤保持部４０を有する場合に、穴４４に溶剤トランスファーチューブ４６を固定し、この溶剤トランスファーチューブ４６を介してマイクロシリンジ４８により溶剤を導入する場合の例である。
【００５０】
２．２  液採取用具の動作方法
以下に、本実施の形態の繊維毛保持用具１００を用いた液採取方法の一例について図４を参照しながら述べる。図４は、本実施の形態の液採取用具１００の使用形態の一つを示す図である。まず、繊維毛１０を繊維毛保持部３０に固定する。固定の際は、貫通穴２２に繊維毛１０を挿入し、繊維毛１０が動くことないようねじ２６を締める。
【００５１】
ついで、溶剤保持部３０に、マイクロシリンジ（図３（Ａ）参照）を用いて溶剤を注入する。このとき、注入される溶剤は、被採取液や被採取箇所に合わせて適宜選択される。溶剤が注入されることにより、毛細管現象と溶剤の自重で、溶剤が繊維毛１０内を通過し、繊維毛１０の先端から流出する。この操作を複数回行なうことで、繊維毛１０の先端を溶剤で洗浄することができる。
【００５２】
ついで、図４に示すように、液採取用具１００の柄部３２をを手で握り、被採取液に繊維毛１０の先端を近づける。被採取液と繊維毛１０の先端を接触させ、毛細管現象により、被採取液を繊維毛１０中に取り込む。その後、溶剤保持部４０に再び溶剤を注入することにより、毛細管現象と溶剤の自重により溶剤を管状の繊維毛１０を介して流出させる。このようにして、繊維毛１０中に取り込まれた被採取液を確実に採取することができる。採取された液をそのまま分析に供してよく、また被分析物が固形成分であることを要する分析装置の場合には、溶剤を除去して乾燥させる。
【００５３】
本実施の形態の液採取用具１００によれば、被採取液が取りこまれる繊維毛１０が繊維毛保持部３０に固定されている。そのため、操作精度を向上させることができ、繊維毛１０の先端を被採取液と接触させることを容易に行なうことができ、分析を要する液滴以外が被採取液に取りこまれるのを防止することができる。その結果、採取効率および採取精度の向上を図ることができる。
【００５４】
また、繊維毛保持部３０には、溶剤を保持するための溶剤保持部４０が設けられており、固定された繊維毛１０の一方の先端が溶剤保持部４０に浸されている。そのため、溶剤保持部４０に保持されている溶剤を直接繊維毛１０に導入させることができる。その結果、繊維毛１０を洗浄したい場合や、繊維毛１０に被採取液を取り込んだ後に、繊維毛１０を洗浄することを容易に行なうことができる。
【実施例１】
【００５５】
まず、被採取液が付着したサンプルを作成した。サンプルの作成では、まず、真空ポンプに用いられるオイルを先端の径が約０．５ｍｍの針に付着させ、この針をガラス基板に数回接触させた。これにより、ガラス基板に径が０．５ｍｍ程度の微小液滴を発生させた。次に、この微小液滴を採取するための繊維毛１０として、繊維の径が２μｍの繊維を束ねてなり、その長さが約１ｃｍの繊維毛１０を用意し、この繊維毛１０を繊維毛保持部３０に固定した。その後、柄部３２を握り、サンプルを顕微鏡で監視しながら繊維毛と微小液滴を接触させ、繊維毛１０中に微小液滴を取りこんだ。その後、微小液滴を含んだ繊維毛１０の先端を洗浄することで、顕微ＦＴ−ＩＲ分析用の赤外光透過性結晶からなる試料台の上に採取した。採取された成分を顕微ＦＴ−ＩＲ法により測定した結果、サンプルに付着させたものと同一の真空ポンプに用いるオイル成分であることがわかった。よって、本実施例によれば、繊維を束ねた繊維毛を用いることより、微小な液滴であっても確実に採取できることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】（Ａ）は、本実施の形態にかかる液採取用具を上方から見た場合の構成を示す模式図であり、（Ｂ）は、（Ａ）のＸ−Ｘ線に沿った模式な断面図。
【図２】（Ａ）は、図１（Ａ）の繊維毛保持部を拡大した図であり、（Ｂ）は、図１（Ｂ）の繊維毛保持部を拡大した図であり、（Ｃ）は、繊維毛保持部の先端の断面を示す模式図。
【図３】（Ａ），（Ｂ）は、本実施の形態にかかる液採取用具示す模式図。。
【図４】本実施の形態にかかる液採取方法の使用例を示す模式図。
【符号の説明】
【００５７】
１０  繊維毛、  ２０  固定部、  ２２  貫通穴、  ２４  切り込み部、  ２６  ねじ、  ３０  繊維毛保持部、４０  溶剤保持部、  １００  液採取用具
【図１】
2005214648.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005214648.tif 000005
【図４】
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