(57)【要約】【課題】  広角画像と拡大画像を表示する内視鏡システムにおいて、拡大画像の視野位置の変更処理を簡略化し、迅速に行う。【解決手段】  鉗子４０の先端部４１に蛍光塗料を塗布し、位置検出マーク４２を形成する。蛍光塗料には、光源装置から供給され硬性内視鏡の先端から照射される照明光に含まれる特定波長の光により励起され、所定波長の光を発光する蛍光塗料を用いる。この所定波長付近の光のみを透過させるカラーフィルタを介在させて広角画像の画像信号を取得する。画像信号から所定波長の成分を抽出し、輝度分布を作成する。輝度分布において高輝度の領域を検出し、その領域が拡大画像の中心となるよう、拡大画像の視野位置を変更するためのシフト光学系を駆動する。【選択図】        図２
2005111110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物光学系により形成される広角画像を撮影するための第１の撮影手段と、
前記広角画像の一部の領域の拡大画像を撮影するための第２の撮影手段と、
前記第１の撮影手段により撮影された前記広角画像を表示するための広角画像表示手段と、
前記第２の撮影手段により撮影された前記拡大画像を表示するための拡大画像表示手段と、
処置具が前記拡大画像内に含まれるよう、前記拡大画像の視野を変更する追尾制御手段とを備え、
前記処置具は、前記広角画像内において所定波長の色についての輝度値が他の領域より高く撮影される高輝度部分を有し、
前記追尾制御手段は、前記広角画像において前記所定波長の色について他の領域より輝度の高い領域を前記処置具の位置として検出する位置検出手段を有し、前記位置検出手段により検出される前記処置具の位置に基づいて、前記拡大画像の視野位置を変更することを特徴とする内視鏡システム。
【請求項２】
前記高輝度部分は、撮影のために照射される照明光に含まれる特定波長の光に励起されて前記所定波長の色の光を発光する蛍光物質を設けることにより形成されることを特徴とする請求項１に記載の内視鏡システム。
【請求項３】
前記蛍光物質が発光する光の波長付近の光を透過させるフィルタと、
前記フィルタを前記対物光学系から導かれる光束の光路上に介在させ、若しくは当該光路上から退避させるフィルタ駆動手段とを備え、
前記追尾制御手段は、前記フィルタ駆動手段を制御し、前記フィルタを前記光路上に介在させ、その状態で形成された広角画像を前記第１の撮影手段で撮影することにより取得される画像信号に基づいて、前記位置検出手段の処理を実行することを特徴とする請求項２に記載の内視鏡システム。
【請求項４】
前記高輝度部分は、前記所定波長の色の塗料を塗布することにより形成されることを特徴とする請求項１に記載の内視鏡システム。
【請求項５】
前記第１の撮影手段は、カラーチップフィルタを有する固体撮像素子であり、
前記所定波長の色はこのカラーチップフィルタのうちの１色であり、
前記位置検出手段は、前記所定波長の色のカラーチップフィルタに対応する画素から得られる信号を抽出することを特徴とする請求項４に記載の内視鏡システム。
【請求項６】
前記高輝度部分は、外部からの光の照射中、その光エネルギーを蓄積し、外部からの光の照射が停止されると、蓄積した光エネルギーに基づいて発光する蓄光物質を設けることにより形成されることを特徴とする請求項１に記載の内視鏡システム。
【請求項７】
前記追尾制御手段は、撮影のための照明光の照射を停止させた状態で前記位置検出手段の処理を実行することを特徴とする請求項６に記載の内視鏡システム。
【請求項８】
前記追尾制御手段の処理の開始及び停止を指示するための操作部材を備えることを特徴とする請求項１に記載の内視鏡システム。
【請求項９】
前記処置具は前記高輝度部分を複数有し、これら複数の高輝度部分により形成される幾何学的形状が記憶手段に保持されていることを特徴とする請求項１に記載の内視鏡システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、硬性内視鏡と鉗子等の処置具を患者の体腔内に挿入し施術する内視鏡システムに関し、特に処置具の検出に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、医療現場では内視鏡（硬性鏡）と鉗子を用いた施術が行われることがある。硬性鏡と鉗子は、それぞれトラカールを介して患者の体腔内に挿入される。硬性鏡にはライトガイドが挿通されており、硬性鏡の先端部から前方に照明光が照射される。硬性鏡の先端部には対物光学系が設けられ、被観察体像が結像される。対物光学系からの光束は所定の光学素子を介して、広角画像を撮影するための広角撮影手段と拡大画像を撮影するための拡大撮影手段に分岐して導かれる。それぞれの撮影手段で撮影された広角画像と拡大画像はＴＶモニタ等の表示手段に表示される。
【０００３】
拡大画像のＴＶモニタには鉗子の先端部分が表示される。施術者は、ＴＶモニタの広角画像及び拡大画像映像を視認しながら、鉗子で病変部位の切除等の手技を行う。従って、施術の途中で鉗子の位置が変化すると、それに応じて拡大画像の視野位置を変換する処理が行われる（例えば特許文献１）。
【特許文献１】特開平０８−３３２１６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような拡大画像の視野位置の変換をするにあたって、鉗子の位置検出が行われる。鉗子の位置検出は、予め分かっている鉗子の形状・色に基づき、広角画像を構成する各画素の画像信号を分析し、鉗子に相当する形状・色を有する領域を構成する画素の並びを検出することにより行われる。従って、演算処理が極めて複雑であり、視野変換の迅速性が損なわれるという問題がある。また、画像処理のための回路規模が大きくなるという問題もある。
【０００５】
本発明は、鉗子の位置をＴＶモニタで視認しながら施術を行う内視鏡システムにおいて、鉗子の位置の変化に対して、拡大画像の視野位置の変換を簡略かつ迅速に行うことを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る内視鏡システムは、対物光学系により形成される広角画像を撮影するための第１の撮影手段と、広角画像の一部の領域の拡大画像を撮影するための第２の撮影手段と、第１の撮影手段により撮影された広角画像を表示するための広角画像表示手段と、第２の撮影手段により撮影された拡大画像を表示するための拡大画像表示手段と、処置具が拡大画像内に含まれるよう、拡大画像の視野を変更する追尾制御手段とを備え、処置具は、広角画像内において所定波長の色についての輝度値が他の領域より高く撮影される高輝度部分を有し、追尾制御手段は、広角画像において所定波長の色について他の領域より輝度の高い領域を処置具の位置として検出する位置検出手段を有し、位置検出手段により検出される処置具の位置に基づいて、拡大画像の視野位置を変更することを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、処置具に所定波長の色について相対的に輝度の高い部分を形成し、広角画像においてこの高輝度部分を検出することにより処置具の位置が特定される。すなわち、輝度情報について処理するのみで処置具の位置が検出されるため、処理が簡略化され、拡大画像の視野変更が迅速化される。また、位置検出のための回路構成を小型化することができ、経済的である。
【０００８】
高輝度部分は、例えば、撮影のために照射される照明光に含まれる特定波長の光に励起されて所定波長の色の光を発光する蛍光物質を設けることにより形成される。そして、好ましくは、内視鏡システムは、蛍光物質が発光する光の波長付近の光を透過させるフィルタと、このフィルタを対物光学系から導かれる光束の光路上に介在させ、若しくは当該光路上から退避させるフィルタ駆動手段とを備える。そして、追尾制御手段は、フィルタ駆動手段を制御し、フィルタを対物光学系からの光路上に介在させ、その状態で形成された広角画像を第１の撮影手段で撮影することにより取得される画像信号に基づいて、位置検出手段の処理を実行する。
【０００９】
高輝度部分は、例えば、所定波長の色の塗料を塗布することにより形成される。そして、好ましくは、第１の撮影手段は、カラーチップフィルタを有する固体撮像素子であり、所定波長の色はこのカラーチップフィルタのうちの１色であり、位置検出手段は、所定波長の色のカラーチップフィルタに対応する画素から得られる信号を抽出する。
【００１０】
高輝度部分は、例えば、外部からの光の照射中、その光エネルギーを蓄積し、外部からの光の照射が停止されると、蓄積した光エネルギーに基づいて発光する蓄光物質を設けることにより形成される。そして、好ましくは、追尾制御手段は、撮影のための照明光の照射を停止させた状態で位置検出手段の処理を実行する。
【００１１】
好ましくは、追尾制御手段の処理の開始及び停止を指示するための操作部材を備えてもよい。
【００１２】
処置具は上述の高輝度部分を複数有していてもよく、好ましくは、これら複数の高輝度部分により形成される幾何学的形状が記憶手段に保持されていてもよい。高輝度部分を複数設ければ、処置具の位置検出の精度をより高めることができる。
【発明の効果】
【００１３】
以上のように本発明によれば、広角画像と拡大画像をＴＶモニタ等で視認しながら鉗子を用いて施術等を行う内視鏡システムにおいて、拡大画像の視野位置変換の処理が簡略化され、迅速に行われるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係る実施形態が適用される内視鏡システムの全体を概略的に示す図である。硬性内視鏡１０は患者の腹壁に嵌め込まれたトラカール（図示せず）等を介して患者の体内に挿入される。硬性内視鏡１０の先端には対物光学系１１が配設される。対物光学系１１は、広い範囲の視野像を形成可能なレトロフォーカス型の光学系である。硬性内視鏡１０の内部には長手方向に沿ってリレー光学系１２が配設される。カラーフィルタ１３は後述するように、所定の波長付近の光のみを透過させるフィルタである。所定の駆動装置（図示せず）により、カラーフィルタ１３はリレー光学系１２から導かれる光束の光路上に介在する位置（介在位置）に位置決めされたり、あるいは光路上から退避した位置（退避位置）に位置決めされる。
【００１５】
硬性内視鏡１０は像分離装置２０に接続されている。対物光学系１１により結像された被観察体像は、リレー光学系１２を介して、若しくはリレー光学系１２及びカラーフィルタ１３を介して、像分離装置２０内の分岐光学系２１に導かれる。分岐光学系２１は、対物光学系からの光束の光路上に配設され、この光束の一部を反射し、残りを透過させる。
【００１６】
分岐光学系２１により反射された光束は、広角光学系２２を介して広角用ＣＣＤカメラ２３に導かれ、広角用ＣＣＤカメラ２３に設けられる撮像素子（図示せず）の撮像領域に入射する。
【００１７】
分岐光学系２１を透過した光束は、反射プリズム２４で反射し、拡大光学系２５に入射する。拡大光学系２５は、シフト光学系２６、フォーカシングレンズ２７、及びズーミングレンズ群２８で構成される。シフト光学系２６は例えばペシャンプリズムで構成され、反射プリズム２４からの光束の光軸ＯＡ１に対し垂直方向に移動可能に保持される。シフト光学系２６を適宜移動することにより、光軸ＯＡ１に対し、フォーカシングレンズ２７に入射する光束の光軸ＯＡ２を変位させることが可能である。
【００１８】
拡大光学系２５から出射する光束は、拡大用ＣＣＤカメラ２９に導かれ、拡大用ＣＣＤカメラ２９に設けられる撮像素子（図示せず）の撮像領域に垂直に入射する。従って、シフト光学系２６を駆動することにより広角画像内における拡大画像の位置が変更される。また、ズーミングレンズ群２８を適宜駆動することにより被観察体像が所定の拡大率で拡大される。
【００１９】
広角用ＣＣＤカメラ２３及び拡大用ＣＣＤカメラ２９はそれぞれビデオケーブルにより、外部モニタ３１、３２に接続される。これにより、外部モニタ３１には被観察体の広角画像が表示され、外部モニタ３２には広角画像の一部の領域の拡大画像が表示される。
【００２０】
光源装置５０は、被観察体に照射される照明光を供給する。光源装置から出射された光は、硬性内視鏡１０の内部を挿通するライトガイド（図示せず）により硬性内視鏡１０の先端部に導かれる。
【００２１】
鉗子４０は、硬性内視鏡１０のトラカールとは別体のトラカール（図示せず）を介して患者の体内に挿入される。施術者は、外部モニタ３１、３２を視認しながら、鉗子４０による施術を行う。
【００２２】
図２は、鉗子４０の先端部近傍を拡大して模式的に示す図である。病変部位の切除等を行う先端部４１には、蛍光塗料を塗布することにより位置検出マーク４２が形成されている。位置検出マーク４２の蛍光塗料には、光源装置５０から供給され硬性内視鏡１０の先端から照射される照明光に含まれる特定波長の光により励起され、所定波長の光を発光する蛍光塗料が用いられる。従って、照明光が照射された状態で広角用ＣＣＤカメラ２３により取得される広角画像において、位置検出マーク４２に相当する領域は他の領域よりも高輝度の画像情報を有する。尚、上述のカラーフィルタ１３には、この蛍光塗料の発する光の波長付近の光のみを透過させるフィルタが用いられる。
【００２３】
図３は、第１実施形態の内視鏡システムのブロック図である。システムコントローラ１００は、内視鏡システム全体を制御するマイクロコンピュータである。広角用ＣＣＤカメラ２３から出力される広角画像の画像信号は、広角画像処理回路１０１において所定の画像処理が施され、外部モニタ３１に出力される。また、拡大用ＣＣＤカメラ２９から出力される拡大画像の画像信号は、拡大画像処理回路１０２において所定の画像処理が施され、外部モニタ３２に出力される。
【００２４】
システムコントローラ１００には追尾制御スイッチ１０３が接続されている。追尾制御スイッチ１０３は、像分離装置２０に設けられる、拡大画像の視野位置を変更するための追尾制御ボタン（図示せず）の操作に連動してオン・オフする。また、システムコントローラ１００には拡大率指定ダイヤル１０４が接続されている。拡大率指定ダイヤル１０４の操作に応じて、拡大画像の拡大率を示す制御信号がシステムコントローラ１００に入力される。
【００２５】
追尾制御ボタンの操作に応じて追尾制御スイッチ１０３がオンすると、視野位置変更の制御信号がコントローラ１００に入力される。視野位置変更の制御信号の入力されると、カラーフィルタ１３（図１参照）を退避位置から介在位置へ駆動する制御信号がフィルタ駆動回路１０８へ出力される。この制御信号に基づいてフィルタ駆動回路１０８からフィルタ駆動装置１０９へ駆動信号が出力され、カラーフィルタ１３は介在位置へ位置決めされる。
【００２６】
また、視野位置変更の制御信号の入力されると、システムコントローラ１００の制御に基づいて、広角画像処理回路１０１で所定の画像処理が施された画像信号が追尾制御回路１０６へ入力される。すなわち、追尾制御回路１０６には、カラーフィルタ１３を透過した光束に基づいて所定の処理が施された画像信号が入力される。
【００２７】
追尾制御回路１０６では、他の領域に比べ相対的に輝度の高い画素で構成される領域（高輝度領域）が検出される。さらに、拡大画像の中心が高輝度領域となるよう拡大画像の視野位置を変更すべく、Ｘ方向駆動モータ２６１、Ｙ方向駆動モータ２６２の駆動方向及び駆動量が算出される。
【００２８】
追尾制御回路１０６からＸ方向及びＹ方向駆動モータ２６１、２６２へ駆動信号が出力されると、シフト光学系２６（図１参照）は、反射プリズム２４（図１参照）からの光束の光軸ＯＡ１に垂直な面内の直交するＸ方向及びＹ方向に沿って駆動される。一方、Ｘ方向駆動モータ２６１、Ｙ方向駆動モータ２６２が実際に駆動された駆動方向及び駆動量は、それぞれＸ方向エンコーダ２６３、Ｙ方向エンコーダ２６４により検出され、追尾制御回路１０６へ入力される。追尾制御回路１０６では、これらのエンコーダからの入力に基づいて、Ｘ方向及びＹ方向駆動モータ２６１、２６２の駆動量が算出された駆動量となるよう、各モータの駆動制御が行われる。
【００２９】
フォーカシングレンズ２７（図１参照）は、合焦モータ２７１により、光軸ＯＡ１に沿って駆動される。合焦モータ２７１が実際に駆動された駆動方向及び駆動量は、合焦エンコーダ２７２により検出され、システムコントローラ１００へ入力される。システムコントローラ１００では、この入力に基づいて合焦モータ２７１の駆動量が算出された駆動量となるよう、合焦モータ２７１の駆動制御が行われる。
【００３０】
ズーミングレンズ群２８はカム環（図示せず）に保持される。カム環はカム環駆動モータ２８１により駆動される。拡大率指定ダイヤル１０４から拡大率変更の制御信号がシステムコントローラ１００に入力されると、システムコントローラ１００はこの制御信号に基づいて、駆動信号をカム環駆動モータ２８１へ出力する。その結果、カム環が駆動され、ズーミングレンズ群２８が光軸ＯＡ１に沿って変位され、拡大率に応じた拡大画像が形成される。カム環駆動モータ２８１が実際に駆動された駆動方向及び駆動量は、カム環エンコーダ２８２により検出され、システムコントローラ１００に入力される。システムコントローラ１００では、この入力に基づいてカム環駆動モータ２８１の駆動量が算出された駆動量となるよう、カム環駆動モータ２８１の駆動制御が行われる。
【００３１】
図４は、第１実施形態の視野位置変更処理の処理手順を示すフローチャートである。追尾制御スイッチ１０３がオンになると、視野位置変更処理が開始される。まず、ステップＳ１００において、カラーフィルタ１３が上述の介在位置へ駆動される。次いで、ステップＳ１０２において、広角用ＣＣＤカメラ２３により光電変換され、広角画像処理回路１０１において所定の画像処理が施された広角画像の画像信号が、追尾制御回路１０６へ入力される。
【００３２】
ステップＳ１０４で、照明光により励起され、位置検出マーク４２の蛍光塗料が発する光の波長と同一の波長成分が画像信号から抽出される。次いでステップＳ１０６において、抽出された画像信号の輝度分布の測定処理が行われる。輝度分布の測定処理は、広角画像を構成する各走査線毎に行われる。例えば、図５に示すように、広角画像Ｍ１において、鉗子４０の位置検出マーク４２の中心が走査線ｍ上にあるとき、走査線ｍについてステップＳ１０４の処理結果は、図６に示すグラフの輝度分布となる。
【００３３】
ステップＳ１０８では、広角画像内における鉗子４０の位置検出処理が行われる。鉗子４０の位置は、位置検出マーク４２の位置に基づいて判断される。すなわち、縦方向は広角画像における走査線ｍの位置から判断され、横方向は走査線ｍにおいて輝度の最も高い位置（図６のＸｐ）から判断される。
【００３４】
次いで、ステップＳ１１０へ進み、鉗子４０の追尾制御処理が行われる。位置検出マーク４２が拡大画像の中心に位置するよう、Ｘ方向駆動モータ２６１、Ｙ方向駆動モータ２６２の駆動が制御され、拡大画像の視野位置が変更される。
【００３５】
ステップＳ１１２では、追尾制御スイッチ１０３のオン・オフがチェックされる。追尾制御スイッチ１０３がオンのままであることが確認されたら、ステップＳ１０２へ戻り、以降の処理が繰り返される。追尾制御ボタンが操作され、追尾制御スイッチ１０３がオフになったことが確認されたら、ステップＳ１１４へ進む。ステップＳ１１４でカラーフィルタ１３を退避位置へ駆動する処理が行われた後、本ルーチンは終了する。
【００３６】
尚、第１実施形態において、広角用ＣＣＤカメラ２３の撮像素子に設けられるカラーチップフィルタのうちの１色と同一の色の塗料を先端部４１に塗布して位置検出マーク４２を形成してもよい。この場合、ステップＳ１０４で、位置検出マーク４２の色のカラーチップフィルタに対応する画素からの画像信号のみを抽出する処理が行われた後、ステップＳ１０６で輝度分布の作成処理が行われる。
【００３７】
次に、本発明に係る第２実施形態が適用される内視鏡システムについて説明する。第２実施形態において、鉗子４０の位置検出マーク４２は、蓄光物質を塗布することにより形成される。蓄光物質とは、外部の光が照射されている間その光エネルギーを蓄積し、外部の光の照射が停止されると、蓄積した光エネルギーに基づいて発光する物質である。尚、第２実施形態において、第１実施形態とは異なり、カラーフィルタ１３及びその駆動部材は設けられない。
【００３８】
図７は、第２実施形態の内視鏡システムのブロック図である。追尾制御スイッチ１０３がオンすると、システムコントローラ１００は、光源装置５０を停止する制御信号を光源駆動回路１０７に出力する。追尾制御スイッチ１０３がオフすると、システムコントローラ１００は、光源装置５０を駆動する制御信号を光源駆動回路に出力する。光源駆動回路１０７は、システムコントローラ１００からの制御信号に基づいて、光源装置５０の駆動及び停止を行う。すなわち、追尾制御スイッチ１０３がオンのとき、光源装置５０からの照明光の供給は停止され、オフのとき、光源装置５０から照明光が供給される。その他の構成は第１実施形態と同様である。
【００３９】
図８は、第２実施形態の視野位置変更処理の処理手順を示すフローチャートである。
追尾制御スイッチ１０３がオンすると、視野位置変更処理が開始される。まず、ステップＳ２００において、上述の態様で照明光の供給が停止される。次いで、ステップＳ２０２において、照明光が照射されていない状態の広角画像が広角用ＣＣＤカメラ２３により光電変換され、広角画像処理回路１０１において所定の画像処理が施される。画像処理が施された画像信号は追尾制御回路１０６へ入力される。
【００４０】
ステップＳ２０４で、輝度分布の測定処理が行われる。輝度分布の測定処理は、広角画像を構成する各走査線毎に行われる。ステップＳ２００で照明光の照射が停止されている。従って、図９に示すように、広角画像Ｍ２において、鉗子４０の先端部４１に設けられた位置検出マーク４２以外の領域の輝度レベルはゼロとなり、位置検出マーク４２に相当する領域の輝度レベルは高輝度となる。従って、位置検出マーク４２の中心が走査線ｍ上にあるとき、走査線ｍについてステップＳ２０４の処理結果は、図１０に示すグラフの輝度分布となる。
【００４１】
次いでステップＳ２０６で広角画像内における鉗子４０の位置検出処理が行われ、ステップＳ２０８へ進み、鉗子４０の追尾制御処理が行われる。これらの処理は、それぞれ図４のステップＳ１０８、Ｓ１１０と同様に行われる。
【００４２】
ステップＳ２１０では、追尾制御スイッチ１０３のオン・オフがチェックされる。追尾制御スイッチ１０３がオンのままであることが確認されたら、ステップＳ２０２へ戻り、以降の処理が繰り返される。追尾制御ボタンが操作され、追尾制御スイッチ１０３がオフしたことが確認されたら、ステップＳ２１２へ進む。ステップＳ２１２で、照明光の供給が再開され、本ルーチンは終了する。
【００４３】
第１及び第２実施形態において、鉗子４０に設けられる位置検出マークは１箇所であるが、これに限るものではない。例えば、図１１に示すように、３つの位置検出マーク５１、５２、５３を設けてもよい。この場合、位置検出マーク５１、５２、５３により形成される幾何学的形状（各マーク間の寸法、及び各マークを結ぶ直線の成す角度等）を予め所定の記憶手段に保持しておく。当該幾何学的形状をこのように把握しておけば、広角画像における３つの高輝度領域が形成する幾何学的形状と比較することにより、鉗子４０の姿勢を検知することができる。また、仮に位置検出マーク以外に高輝度の領域が存在していたとしても、鉗子４０の位置を正確に検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係る第１実施形態が適用される内視鏡システムの全体図を模式的に示す図である。
【図２】鉗子の先端部の拡大図である。
【図３】第１実施形態の内視鏡システムのブロック図である。
【図４】第１実施形態における視野位置変更の処理手順を示すフローチャートである。
【図５】広角画像の一例を模式的に示す図である。
【図６】所定波長の光についての広角画像の輝度分布を示すグラフである。
【図７】本発明に係る第２実施形態が適用される内視鏡システムのブロック図である。
【図８】第２実施形態における視野位置変更の処理手順を示すフローチャートである。
【図９】広角画像の一例を模式的に示す図である。
【図１０】第２実施形態の視野位置変更処理において得られる広角画像の輝度分布を示すグラフである。
【図１１】鉗子に形成される位置検出マークの変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１０  硬性内視鏡
２０  像分離装置
２１  分岐光学系
２２  広角光学系
２３  広角用ＣＣＤカメラ
２４  反射プリズム
２５  拡大光学系
２６  シフト光学系
２７  フォーカシングレンズ
２８  ズーミングレンズ群
３１、３２  外部モニタ
４０  鉗子
４２、５１、５２、５３  位置検出マーク
【図１】
2005111110.tif 000003
【図２】
2005111110.tif 000004
【図３】
2005111110.tif 000005
【図４】
2005111110.tif 000006
【図５】
2005111110.tif 000007
【図６】
2005111110.tif 000008
【図７】
2005111110.tif 000009
【図８】
2005111110.tif 000010
【図９】
2005111110.tif 000011
【図１０】
2005111110.tif 000012
【図１１】
2005111110.tif 000013