(57)【要約】【課題】  １回の吸着動作で複数のウエハを抜き取ることができ、検査時間の短縮とともに、作業者の労力を低減させることのできる真空吸着ピンセット及び真空吸着ピンセットの使用方法を提供する。【解決手段】  真空吸着ピンセット１は、本体１３に固着された第１のヘッド支持部１５ａと、支柱１４に沿って上下にスライド可能な第２のヘッド支持部１５ｂと第３のヘッド支持部１５ｃと、第１〜第３のヘッド支持部１５ａ〜１５ｃの先端にそれぞれ固着された第１〜第３の吸着ヘッド１６ａ〜１６ｃとを有する。第１〜第３の吸着ヘッド１６ａ〜１６ｃに負圧を発生させることにより、複数のウエハ１２を吸着させることができ、これにより、一度に複数のウエハ１２を搬送することが可能になる。【選択図】    図１
2005347383.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空を利用してウエハを吸着する吸着ヘッドと、
前記吸着ヘッドを支持するヘッド支持部と
を有する真空吸着ピンセットにおいて、
前記吸着ヘッドをそれぞれ支持する複数のヘッド支持部と、
支柱と、
前記複数のヘッド支持部を、前記支柱に沿って移動可能に支持するとともに、前記支柱の軸方向に位置決めをして前記複数のヘッド支持部の間隔を変更するスライド調整手段と
を備えたことを特徴とする真空吸着ピンセット。
【請求項２】
請求項１に記載の真空吸着ピンセットにおいて、
前記ヘッド支持部を前記支柱を軸に回動可能に支持させるための回動手段が設けられたことを特徴とする真空吸着ピンセット。
【請求項３】
請求項２に記載の真空吸着ピンセットにおいて、
前記ヘッド支持部の前記支柱回りの回動可能な範囲を規制する回動規制手段を備えていることを特徴とする真空吸着ピンセット。
【請求項４】
請求項３に記載の真空吸着ピンセットにおいて、
前記回動規制手段によって規制された回動可能な範囲内で、前記複数のヘッド支持部を回動方向に位置決め可能な位置決め手段が設けられたことを特徴とする真空吸着ピンセット。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の真空吸着ピンセットにおいて、
前記複数のヘッド支持部は、前記支柱に沿って上下にスライドしない固定ヘッド支持部と、前記支柱に沿って上下にスライド可能な少なくとも１つの作動ヘッド支持部とを有することを特徴とする真空吸着ピンセット。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項に記載の真空吸着ピンセットにおいて、
前記吸着ヘッドに前記ウエハを真空吸着するために前記吸着ヘッドに負圧を発生させる真空発生装置と、
前記吸着ヘッドに前記負圧が及ぶか否かを選択する選択手段と
を備えたことを特徴とする真空吸着ピンセット。
【請求項７】
真空を利用してウエハを吸着する吸着ヘッドと、
前記吸着ヘッドをそれぞれ支持する複数のヘッド支持部と、
支柱と、
前記複数のヘッド支持部を、前記支柱に沿って移動可能に支持するとともに、前記支柱の軸方向に位置決めをして前記複数のヘッド支持部の間隔を変更するスライド調整手段と、
前記ヘッド支持部を前記支柱を軸に回動可能に支持させるための回動手段と
を備えた真空吸着ピンセットの使用方法であって、
前記ヘッド支持部の間隔を調整するために、前記ヘッド支持部を前記支柱に沿って上下にスライドさせる第１の工程と、
前記吸着ヘッドに前記ウエハを吸着する第２の工程と、
前記ウエハを吸着した状態で搬送する第３の工程と、
前記ウエハとともに前記ヘッド支持部を、前記支柱を軸に回動させる第４の工程と
を有する真空吸着ピンセットの使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空を利用して吸着し搬送するのに用いる真空吸着ピンセット及び真空吸着ピンセットの使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の真空吸着ピンセットは、真空を利用して、例えばウエハを吸着し搬送させるために広く用いられている（例えば、特許文献１）。真空吸着ピンセットは、ウエハに傷がつきにくい、ウエハに形成された回路を電気的に破壊しない、埃が発生しないなどの特徴がある。
真空吸着ピンセットの使い方は、複数のウエハが載置されたカセットから真空吸着ピンセットによってウエハを吸着して抜き取り、外観検査や評価を行っている。検査などが終了したあとは、ウエハを元の位置に戻したり、所定の場所に搬送したりする。
【０００３】
【特許文献１】実開平６−２７０８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の真空吸着ピンセットでは、１回の吸着動作で１枚のウエハしか吸着させることができなかった。よって、ウエハの外観検査や評価を行うとき、１枚毎にウエハの吸着、搬送、目視での検査、ウエハの取り外しを繰り返すなど、時間がかかるという問題があった。また、作業者の労力が費やされるという問題があった。
【０００５】
本発明は、１回の吸着動作で複数のウエハを抜き取ることができ、検査時間の短縮とともに、作業者の労力を低減させることのできる真空吸着ピンセット及び真空吸着ピンセットの使用方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記問題を解決するために、本発明に係る真空吸着ピンセットは、真空を利用してウエハを吸着する吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドを支持するヘッド支持部とを有する真空吸着ピンセットにおいて、前記吸着ヘッドをそれぞれ支持する複数のヘッド支持部と、支柱と、前記複数のヘッド支持部を、前記支柱に沿って移動可能に支持するとともに、前記支柱の軸方向に位置決めをして前記複数のヘッド支持部の間隔を変更するスライド調整手段と
を備えた。
【０００７】
この構成によれば、スライド調整手段により、複数のヘッド支持部をそれぞれスライドさせ位置を決めることにより、それぞれの間隔を調整することができる。よって、１回の吸着動作で、載置された複数のウエハを吸着して搬送することが可能になる。従って、複数のウエハを検査することができ、検査時間を短縮することができる。これにより、作業者の労力を軽減させることが可能になる。
【０００８】
上記した本発明に係る真空吸着ピンセットによれば、前記ヘッド支持部を前記支柱を軸に回動可能に支持させるための回動手段が設けられていることが望ましい。
【０００９】
この構成によれば、回動手段により、ウエハとともにヘッド支持部を回動させることが可能になるので、複数の吸着ヘッドに吸着された複数のウエハを見やすい状態にして検査をすることができる。これにより、検査する作業をやりやすくすることが可能になる。
【００１０】
上記した本発明に係る真空吸着ピンセットによれば、前記ヘッド支持部の前記支柱回りの回動可能な範囲を規制する回動規制手段を備えていることが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、回動規制手段により、ヘッド支持部が支柱を軸に１回転しないようになっているので、吸着ヘッドに接続されたエアーパイプのねじれを防止することが可能になる。よって、真空によってウエハを吸着する力を、常に一定に維持することが可能になる。
【００１２】
上記した本発明に係る真空吸着ピンセットによれば、前記回動規制手段によって規制された回動可能な範囲内で、前記複数のヘッド支持部を回動方向に位置決め可能な位置決め手段が設けられていることが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、位置決め手段により、ヘッド支持部の回動動作を規制することができるので、安定した状態でウエハを搬送および検査することが可能になる。
【００１４】
上記した本発明に係る真空吸着ピンセットによれば、前記複数のヘッド支持部は、前記支柱に沿って上下にスライドしない固定ヘッド支持部と、前記支柱に沿って上下にスライド可能な少なくとも１つの作動ヘッド支持部とを有する。
【００１５】
この構成によれば、固定ヘッド支持部と作動ヘッド支持部とを有するので、固定ヘッド支持部を基準に、作動ヘッド支持部を支柱に沿って上下にスライドすることにより、ヘッド支持部の間隔を調整することができる。よって、載置されたウエハの間隔に合わせて同時にウエハを吸着させることが可能になる。
【００１６】
上記した本発明に係る真空吸着ピンセットによれば、前記吸着ヘッドに前記ウエハを真空吸着するために前記吸着ヘッドに負圧を発生させる真空発生装置と、前記吸着ヘッドに前記負圧が及ぶか否かを選択する選択手段とを備えることが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、真空発生装置と選択手段により、ウエハを吸着させない吸着ヘッドに負圧を起こさせないようにすることが可能になる。よって、使用しない吸着ヘッドを遮断することができるので、使用する吸着ヘッドとウエハとを真空によって吸着させることが可能になる。
【００１８】
本発明に係る真空吸着ピンセットの使用方法は、真空を利用してウエハを吸着する吸着ヘッドと、前記吸着ヘッドをそれぞれ支持する複数のヘッド支持部と、支柱と、前記複数のヘッド支持部を、前記支柱に沿って移動可能に支持するとともに、前記支柱の軸方向に位置決めをして前記複数のヘッド支持部の間隔を変更するスライド調整手段と、前記ヘッド支持部を前記支柱を軸に回動可能に支持させるための回動手段とを備えた真空吸着ピンセットの使用方法であって、前記ヘッド支持部の間隔を調整するために、前記ヘッド支持部を前記支柱に沿って上下にスライドさせる第１の工程と、前記吸着ヘッドに前記ウエハを吸着する第２の工程と、前記ウエハを吸着した状態で搬送する第３の工程と、前記ウエハとともに前記ヘッド支持部を、前記支柱を軸に回動させる第４の工程とを有する。
【００１９】
この構成によれば、ヘッド支持部の間隔を調整する工程と、ウエハを吸着する工程と、ウエハを搬送する工程と、ヘッド支持部を回動させる工程とにより、載置されたウエハの間隔に合わせてヘッド支持部の間隔を調整し、１回の吸着動作で複数のウエハを吸着して搬送し、ウエハを見やすい状態にして検査をすることができる。これにより、検査時間を短縮することが可能になり、作業者の労力を軽減させることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る真空吸着ピンセットの実施形態について図面を参照しながら説明する。
【００２１】
図１は、本実施形態の真空吸着ピンセットの構成を示す概略斜視図である。同図（ａ）は、真空吸着ピンセットの使用形態を示す概略斜視図である。同図（ｂ）は、真空吸着ピンセットの吸着ヘッドを、ウエハと接する側である下面側から見た概略斜視図である。以下、本実施形態の真空吸着ピンセットの構成を、図１を参照しながら説明する。本実施形態の真空吸着ピンセット１は、カセット１１に載置されたウエハ１２を吸着して取り出すために用いられ、本体１３と、支柱１４と、３つのヘッド支持部１５ａ，１５ｂ，１５ｃと、吸着ヘッド１６とを有する。ウエハ１２の大きさ（直径）は、例えば６インチである。なお、本実施形態での「真空」とは、負圧になった状態をいう。
【００２２】
カセット１１は、ウエハ１２を載置しておくために用いられる。カセット１１には、周囲にウエハ１２を載せるための爪（図示せず）が設けられており、例えば、２５枚（図１では３枚）のウエハ１２が載置されている。カセット１１の高さは、例えば２０ｃｍである。
【００２３】
本体１３は、ウエハ１２を吸着するときやウエハ１２を搬送するとき、持ちやすいように湾曲した形状に形成されている。本体１３には、支柱１４と、固定ヘッド支持部としての第１のヘッド支持部１５ａが固着されている。本体１３側面には、真空吸着ピンセット１の電源を「ＯＮ／ＯＦＦ」するための電源スイッチ１７が設けられている。電源スイッチ１７を「ＯＮ」にすると吸着ヘッド１６が負圧状態になり、ウエハ１２を吸着することが可能になる。電源スイッチ１７を「ＯＦＦ」にすると、負圧状態を解除する。
【００２４】
本体１３の上面には、吸着ヘッド１６を真空状態にするか否かを選択する選択手段としての吸着ボタン１８が３つ設けられている。吸着ボタン１８は、１回押すと吸着ヘッド１６の吸着状態を保持し、再度、１回押すと吸着状態が解除するようになっている。
【００２５】
支柱１４は、本体１３の先端側の上面に垂直に固着されている。支柱１４には、作動ヘッド支持部としての第２のヘッド支持部１５ｂと第３のヘッド支持部１５ｃが上下にスライド可能に設けられている。よって、支柱１４は、剛性のある金属で構成されている。
【００２６】
ヘッド支持部１５は、カセット１１内に載置されたウエハ１２を吸着するときに、本体１３や支柱１４がカセット１１及びウエハ１２に接触しないように一定の長さに形成されている。
【００２７】
図１（ｂ）に示されるように、吸着ヘッド１６の下面側には、複数の丸状に開口された吸着口１９が設けられており、電源スイッチ１７が「ＯＮ」のときには、それぞれの吸着口１９から大気を吸う構造になっている。これにより、カセット１１に載置されたウエハ１２を吸着して取り出すことが可能になっている。吸着ヘッド１６の吸着面の面積は、例えば、４０ｍｍ×３０ｍｍである。吸着ヘッド１６の材質は、耐薬品性、耐熱性、強靭性に優れた、例えば、炭素繊維入り導電性ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂を使用している。
【００２８】
図２は、支柱を軸に第２のヘッド支持部と第３のヘッド支持部とを上下にスライドさせるためのスライド調整手段としてのスライド機構を示す模式図である。同図（ａ）は、支柱にヘッド支持部が固定されている状態を示す概略斜視図である。同図（ｂ），（ｃ）は、ヘッド支持部の間隔を調整する構造を側面側からみた模式断面図である。以下、ヘッド支持部１５を支柱１４に沿って上下にスライドさせるためのスライド機構を、図２を参照しながら説明する。
【００２９】
図２（ａ）に示されるように、ヘッド支持部１５は、支持パイプ２１と、回動リング２２と、固定部材２３とを有する。
支持パイプ２１は、吸着ヘッド１６（図１参照）を先端に支持するとともに基部に固定されている。また、支持パイプ２１は、一定の力を加えることによって撓むことが可能な可撓性を有している。
【００３０】
回動リング２２は、支持パイプ２１を支柱１４に沿って上下にスライドさせたり、支柱１４を軸にしてＡおよびＢ方向に回動させたりするために用いられる。
同図（ｂ）に示されるように、固定部材２３は、回動リング２２の上下方向の相対移動を規制する状態で支柱１４の上下方向にスライド可能に設けられた第１の固定部材２３ａと、第１の固定部材２３ａを支柱１４に固定するために用いられる第２の固定部材２３ｂとを有する。
【００３１】
第１の固定部材２３ａは、支持パイプ２１の回動に支障がないように、側面の一部に開口部２２ａを有する。第１の固定部材２３ａの下方には、第２の固定部材２３ｂと締結するための雄ネジが外周面に形成された第１のネジ部２４ａと、第１のネジ部２４ａの下端に固定された筒状の第１の弾性部材２５ａとを有する。第１の弾性部材２５ａは、例えば、ゴムで形成されており、その外周面が下方に向かって細くなるテーパ状に形成されている。
第２の固定部材２３ｂは、第１の固定部材２３ａに設けられた第１のネジ部２４ａの雄ネジと締結可能な第２のネジ部２４ｂの雌ネジと、第２のネジ部２４ｂの下端にこれと一体に固定されて、その内周面が上方に向かって拡径するテーパ状に形成された第２の弾性部材２５ｂとを有する。
【００３２】
第１の固定部材２３ａの第１のネジ部２４ａに、第２の固定部材２３ｂの第２のネジ部２４ｂを締結していき、第１及び第２の弾性部材２５ａ，２５ｂのそれぞれのテーパ部が接触していくことにより、同図（ｃ）に示されるように、第１の弾性部材２５ａが第２の弾性部材２５ｂにより径方向内側に押圧される。これにより、第１の弾性部材２５ａが支柱１４と密着して第１の固定部材２３ａが支柱１４に固定される。よって、第１の固定部材２３ａの上部内側に回動可能に保持された回動リング２２が支柱１４の所望の高さに固定される。
【００３３】
図３は、図２（ａ）のＤ−Ｄ断面であり、第２のヘッド支持部および第３のヘッド支持部を支柱を軸に回動させるための回動手段としての回動機構を示す模式断面図である。以下、ヘッド支持部１５を支柱１４を軸に回動させるための回動機構を、図３を参照しながら説明する。図３に示されるように、回動機構は、回動リング２２と、回動リング２２の内周面上の一部に埋没されたボール伸縮機構３３と、支柱１４の外周面上の所定の高さ範囲に、周方向の所定角度（例えば、５０°〜１５０°内の値）をなす位置に軸方向に沿って延びる第１の溝部３４と第２の溝部３５（図２（ａ）参照）とを有する。
【００３４】
回動リング２２は、支柱１４の外周面および内周面をガイドにして、Ａ方向およびＢ方向に回動することが可能になっている。回動リング２２と、支柱１４とは、回動リング２２の回動がスムーズに行われるように一定の隙間を有している。回動リング２２は、例えば、支持パイプ２１をＡ方向およびＢ方向に移動させることにより回動させている。
【００３５】
ボール伸縮機構３３は、回動リング２２の内壁に形成されたバネ溝３３ａの中に、バネ３３ｂと、ボール３３ｃとを有する。ボール３３ｃは、バネ３３ｂによって回動リング２２の中心方向に向かって付勢されており、図示しないキャップによって飛び出ないように規制されている。
【００３６】
第１の溝部３４は、カセット１１に載置されたウエハ１２を吸着するときに、ボール伸縮機構３３のボール３３ｃが嵌ることにより、ヘッド支持部１５及び回動リング２２の支柱１４に対する回転動作を規制し、図３に実線で示す第１の位置にヘッド支持部１５を固定している。また、第２の溝部３５は、支持パイプ２１をＢ方向に回動させたときに、ボール伸縮機構３３のボール３３ｃが嵌ることにより、ヘッド支持部１５及び回動リング２２の支柱１４に対する回転動作を規制し、図３に二点鎖線で示す第２の位置にヘッド支持部１５を固定している。
【００３７】
支柱１４は、第２及び第３のヘッド支持部１５ｂ，１５ｃを上方方向にスライドさせるそれぞれの範囲において、断面Ｃ字状に切り欠かれており、その周方向両端面３６，３７に、回動リング２２の支持パイプの根元に対応する部分から径方向内側の延出する支持部の周方向両端面３８，３９が当接することにより、ヘッド支持部１５は第１の位置と第２の位置にそれぞれ位置規制されるようになっている。
【００３８】
図４は、真空吸着ピンセットの内部構造を示す模式断面図である。同図（ａ）は、真空吸着ピンセットの全体を示した断面図であり、同図（ｂ）は、ヘッド支持部を下方にスライドさせてヘッド支持部の間隔を狭めたときのＥ部の状態を示した断面図である。以下、真空吸着ピンセット１の内部構造を、図４を参照しながら説明する。
【００３９】
真空吸着ピンセット１の内部には、ウエハ１２を吸着させるための真空（負圧）を発生させる真空発生装置４１と、吸着ヘッド１６の吸着口１９と真空発生装置４１を接続するエアーパイプ４２と、電源となるバッテリ４３とを有する。
【００４０】
真空発生装置４１は、３本のエアーパイプ４２ａ，４２ｂ，４２ｃに接続されており、大気を吸引する吸引口（図示せず）と、吸引した大気を排気する第１の排気口（図示せず）とを有する。第１の排気口から排気された空気は、本体１３の後部に設けられた第２の排気口４４から排気される。
【００４１】
第１のエアーパイプ４２ａは、真空発生装置４１から、本体１３と第１のヘッド支持部１５ａを通って、第１の吸着ヘッド１６ａに接続されている。第１のエアーパイプ４２ａには、第１のバルブ４５ａが介装されており、第１の吸着ボタン１８ａが押圧操作されることにより第１のバルブ４５ａ開弁と閉弁とが交互に切り替えられる。すなわち、第１の吸着ボタン１８ａを押すことによって、開通していた第１のエアーパイプ４２ａ内のエアーを遮断し、この状態を保持する。再度、第１の吸着ボタン１８ａを押すことにより、遮断されていたエアーが開通し、この状態を保持する。
【００４２】
第２のエアーパイプ４２ｂは、本体１３と支柱１４と第２のヘッド支持部１５ｂを通って、第２の吸着ヘッド１６ｂに接続されている。第２のエアーパイプ４２ｂには、第２のバルブ４５ｂが介装されており、第２の吸着ボタン１８ｂが押圧操作されることにより第２のバルブ４５ｂ開弁と閉弁とが交互に切り替えられる。第２の吸着ボタン１８ｂは、上記した第１の吸着ボタン１８ａと同様に構成され、第２のエアーパイプ４２ｂ内のエアーを遮断状態または導通状態にする。
【００４３】
第３のエアーパイプ４２ｃは、本体１３と支柱１４と第３のヘッド支持部１５ｃを通って、第３の吸着ヘッド１６ｃに接続されている。第３のエアーパイプ４２ｃには、第３のバルブ４５ｃが介装されており、第３の吸着ボタン１８ｃが押圧操作されることにより第３のバルブ４５ｃ開弁と閉弁とが交互に切り替えられる。第３の吸着ボタン１８ｃは、上記した第１、第２の吸着ボタン１８ａ，１８ｂと同様に構成され、第３のエアーパイプ４２ｃ内のエアーを遮断状態または導通状態にする。
【００４４】
同図（ｂ）は、第３のヘッド支持部１５ｃを下方にスライドさせて、第２のヘッド支持部１５ｂと第３のヘッド支持部１５ｃの間隔Ｈ１をＨ２に狭めて使用するときのエアーパイプ４２の状態を示している。第３のエアーパイプ４２ｃは、支柱１４の内壁および回動リング２２に形成されたエアーパイプガイド４６（図３参照）に沿って撓むようになっている。
【００４５】
バッテリ４３は、電源スイッチ１７と真空発生装置４１とに電気的に接続されており、真空発生装置４１を作動させるための電源として用いられる。バッテリ４３は、図示しない充電器によって電気が充電される。真空吸着ピンセット１を使用するとき、電源スイッチ１７を「ＯＮ」にすることにより、バッテリ４３と真空発生装置４１が導通し、負圧を発生させる。また、電源スイッチ１７を「ＯＦＦ」にすることにより、真空発生装置４１が停止する。
真空吸着ピンセット１を使用しないときは、真空吸着ピンセット１を充電器にセットする。これにより、真空吸着ピンセット１のバッテリ４３と充電器とが接続され、これによりバッテリ４３への充電が行われる。真空吸着ピンセット１にバッテリ４３を設けたことにより、ウエハ１２を吸着操作するとき、移動範囲に制限されずに使用することが可能になる。
【００４６】
図５は、真空吸着ピンセット１の使用方法を示す概略斜視図である。同図（ａ）は、ヘッド支持パイプをＢ方向に回動させている状態を示す概略斜視図である。同図（ｂ）は、ヘッド支持パイプをＢ方向に回動させている状態を上方側からみた概略上面図である。以下、真空吸着ピンセット１の使用方法を図５および図１〜図４を参照しながら説明する。
【００４７】
工程１では、真空吸着ピンセット１のヘッド支持部１５の間隔を、カセット１１に載置されたウエハ１２の間隔や抜き取るウエハ１２の位置に合わせて調整する。このとき、第１のヘッド支持部１５ａを基準に、第２、第３のヘッド支持部１５ｂ，１５ｃの間隔を調整する。間隔の調整方法は、上記したように、第２、第３のヘッド支持部１５ｂ，１５ｃを、支柱１４に固定したい位置で、固定部材２３を使ってそれぞれの回動リング２２を保持することによって行う。
【００４８】
工程２では、カセット１１に載置されたウエハ１２を取り出す。まず、真空吸着ピンセット１をカセット１１に近づけ、吸着ヘッド１６を、カセット１１及びウエハ１２に接触させないようにウエハ１２の間に挿入する。次に、取り出したいウエハ１２に合わせて、第１〜第３の吸着ボタン１８ａ〜１８ｃを選択して押す。これにより選択した吸着ヘッド１６を負圧の状態にする。次に、ウエハ１２に吸着ヘッド１６を密着させてウエハ１２を吸着する。次に、ウエハ１２を持ち上げると同時に手前に引き、ウエハ１２をカセット１１から取り出す。
【００４９】
工程３では、ウエハ１２の検査および評価を行う。まず、取り出した、例えば３枚のウエハ１２のうち、一番上に配置されている第３の吸着ヘッド１６ｃに吸着されたウエハ１２から検査を行っていく。このウエハ１２の検査が終了したら、第３のヘッド支持部１５ｃをＢ方向に回動させる（図５参照）。第３のヘッド支持部１５ｃは、上記したように、第２の位置（図３、二点鎖線）で、第２の溝部３５にボール伸縮機構３３のボール３３ｃが嵌ることにより、ヘッド支持部１５の回動動作が規制される。次に、第２の吸着ヘッド１６ｂに吸着されたウエハ１２の検査を開始する。検査が終了したら、上記と同様に第２のヘッド支持部１５ｂをＢ方向に回動させ、第１の吸着ヘッド１６ａに吸着されたウエハ１２の検査を行っていく。
【００５０】
工程４では、取り出した３枚のウエハ１２をカセット１１に戻す。まず、第２、第３のヘッド支持部１５ｂ，１５ｃをＡ方向に回動させて、３枚のウエハ１２を取り出したときと同じ状態に戻す。このとき、第１の溝部３４にボール伸縮機構３３のボール３３ｃが嵌ることにより、ヘッド支持部１５の回動動作が規制される。この状態で、ウエハ１２をカセット１１の中の所定位置まで挿入し、吸着ボタン１８を押す。又は、電源スイッチ１７を「ＯＦＦ」にする。これにより、ウエハ１２を吸着していた吸着ヘッド１６の真空状態が解除され、ウエハ１２はカセット１１に載置される。
【００５１】
以上詳述したように、本実施形態によれば、以下に示す効果が得られる。
（１）第１の吸着ヘッド１６ａと、支柱１４に沿って上下にスライド可能な第２、第３の吸着ヘッド１６ｂ，１６ｃを設けたことにより、一度の吸着作業で複数のウエハ１２を同時に吸着させることが可能になる。よって、一度に複数のウエハ１２を搬送することが可能になる。従って、搬送時間の短縮及び作業者の労力を軽減することができる。
【００５２】
（２）スライド調整手段としてのスライド機構を設けたことにより、第２、第３のヘッド支持部１５ｂ，１５ｃを支柱１４に沿って上下にスライドすることが可能になっている。よって、カセット１１に載置されたウエハ１２の間隔に合わせて、ヘッド支持部１５の間隔を調整することができる。これにより、カセット１１に載置されたウエハ１２の間隔に左右されることなく、複数のウエハ１２を同時に吸着して取り出すことができる。
【００５３】
（３）回動手段としての回動機構を設けたことにより、縦方向に重なって配置されたウエハ１２を回動させて、それぞれのウエハ１２を見やすくすることが可能になる。これにより、カセット１１から複数のウエハ１２を同時に取り出した場合においても、ウエハ１２の検査をしやすくすることができ検査時間を短縮することができる。
【００５４】
（４）本実施形態によれば、回動規制手段を設けたことにより、第２、第３のヘッド支持部１５ｂ，１５ｃが支柱１４を中心に１回転しないようになっているので、第２、第３の吸着ヘッド１６ｂ，１６ｃに接続された第２、第３のエアーパイプ４２ｂ，４２ｃのねじれを防止することが可能になる。よって、真空によってウエハ１２を吸着する力を、常に一定に維持することができる。
また、位置決め手段が設けられていることにより、回動可能な範囲で第２、第３のヘッド支持部１５ｂ，１５ｃの回動動作を規制することが可能になる。よって、安定した状態でウエハ１２を搬送したり、検査することができる。
【００５５】
（５）本実施形態によれば、第１〜第３の吸着ボタン１８ａ〜１８ｃを設けたことにより、使用しない吸着ヘッド１６に負圧を起こさせないようにすることが可能になる。よって、使用しない吸着ヘッド１６への負圧を遮断することが可能になり、これにより、使用する吸着ヘッド１６とウエハ１２とを真空によって吸着させることができる。
【００５６】
なお、本実施形態は上記に限定されず、以下のような形態で実施することもできる。
【００５７】
（変形例１）前記実施形態では、スライド機構は、手動で第２、第３のヘッド支持部１５ｂ，１５ｃを支柱１４に沿って上下にスライドさせていた。これを、本体１３の内部にモータと昇降機構を用いて、自動で第２、第３のヘッド支持部１５ｂ，１５ｃを上下にスライドさせるようにしてもよい。これによれば、ヘッド支持部１５の間隔の調整時間を短縮することができる。
【００５８】
（変形例２）前記実施形態では、真空吸着ピンセット１は、第１〜第３の吸着ヘッド１６ａ〜１６ｃによって、同時に３枚のウエハ１２が搬送できるようにしていた。これを、第１〜第３の吸着ヘッド１６ａ〜１６ｃに限らず、３個以上の吸着ヘッド１６を設けて、一度に複数のウエハ１２を吸着できるようにしてもよい。これによれば、３個以上のウエハ１２を一度に搬送することが可能になり、搬送時間及び検査時間を短縮することができる。
【００５９】
（変形例３）前記実施形態では、本体１３の内部に設けられた充電式のバッテリ４３を電源としていた。これを、真空吸着ピンセット１に電源コードを備えて、直接コンセントから電気を供給するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】一実施形態における、真空吸着ピンセットの構成を示す概略斜視図。（ａ）は、真空吸着ピンセットの使用形態を示す概略斜視図。（ｂ）は、真空吸着ピンセットの吸着ヘッドを、ウエハと接する側である下面側から見た概略斜視図。
【図２】真空吸着ピンセットのスライド機構を示す模式図。（ａ）は、スライド機構を示す概略斜視図。（ｂ），（ｃ）は、スライド機構の構造を示す模式断面図。
【図３】真空吸着ピンセットの回動機構を示す概略断面図。
【図４】真空吸着ピンセットの本体内部の構造を示す模式断面図。（ａ）は、真空吸着ピンセットの全体断面図。（ｂ）は、第３のヘッド支持部を下方にスライドさせたときの内部状態を示す部分断面図。
【図５】真空吸着ピンセットの使用方法を示す模式図。（ａ）は、真空吸着ピンセットの概略斜視図。（ｂ）は真空吸着ピンセットの上方からみた平面図。
【符号の説明】
【００６１】
１…真空吸着ピンセット、１１…カセット、１２…ウエハ、１３…本体、１４…支柱、１５…ヘッド支持部、１５ａ…固定ヘッド支持部としての第１のヘッド支持部、１５ｂ…作動ヘッド支持部の１つである第２のヘッド支持部、１５ｃ…作動ヘッド支持部の１つである第３のヘッド支持部、１６…吸着ヘッド、１６ａ…第１の吸着ヘッド、１６ｂ…第２の吸着ヘッド、１６ｃ…第３の吸着ヘッド、１７…電源スイッチ、１８…吸着ボタン、１８ａ…第１の吸着ボタン、１８ｂ…第２の吸着ボタン、１８ｃ…第３の吸着ボタン、１９…吸着口。
【図１】
2005347383.tif 000003
【図２】
2005347383.tif 000004
【図３】
2005347383.tif 000005
【図４】
2005347383.tif 000006
【図５】
2005347383.tif 000007