(57)【要約】【課題】被検者に不快感を与えず、しかも正確に角膜厚の影響をなくし眼圧補正することができる非接触眼圧計を提供すること。【解決手段】被検眼角膜頂点に被検眼に対向した対物鏡筒の光軸に位置合わせするアライメント手段と、該光軸に沿って測定光束を投影する投影手段と、該光軸に沿ってノズルを配置し、角膜頂点に向かって空気を吹きける空気吹付け手段と、前記空気吹付け手段の空気室の空気圧を検知する検知手段と、前記空気吹付け手段の空気吹付け時の角膜反射光束を受光する受光手段と、前記受光手段の角膜所定変形の前後の波形パラメータを検出する検出手段と、前記検出手段の検知パラメータを角膜厚に変換する演算手段と、前記空気検知手段の圧力データから眼圧値に換算するとともに前記演算手段の結果から眼圧値を補正する眼圧補正手段を含んで非接触眼圧計を構成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検眼角膜頂点に被検眼に対向した対物鏡筒の光軸に位置合わせするアライメント手段と、該光軸に沿って測定光束を投影する投影手段と、該光軸に沿ってノズルを配置し、角膜頂点に向かって空気を吹きける空気吹付け手段と、前記空気吹付け手段の空気室の空気圧を検知する検知手段と、前記空気吹付け手段の空気吹付け時の角膜反射光束を受光する受光手段と、前記受光手段の角膜所定変形の前後の波形パラメータを検出する検出手段と、前記検出手段の検知パラメータを角膜厚に変換する演算手段と、前記空気検知手段の圧力データから眼圧値に換算するとともに前記演算手段の結果から眼圧値を補正する眼圧補正手段を有することを特徴とする非接触眼圧計。
【請求項２】
前記波形パラメータを検出する検出手段は、角膜変形初期のピーク波形の幅であることを特徴とする請求項１記載の非接触眼圧計。
【請求項３】
前記波形パラメータを検出する検出手段は、角膜変形初期のピーク波形の傾きであることを特徴とする請求項１記載の非接触眼圧計。
【請求項４】
被検眼角膜にリング状又は少なくとも３輝点の光学像を映し、光軸対称に配置した光束投影手段と、該投影手段の角膜反射光束全体を２次元面内に受光する２次元受光手段と、該２次元受光手段の出力から角膜曲率半径を算出する演算手段と、前記演算手段の結果から前記角膜厚のパラメータを補正する補正手段を有することを特徴とする請求項１記載の非接触眼圧計。
【請求項５】
前記アライメント手段のアライメント時の検出信号のデータを用いて前記波形パラメータを検出する検出手段の信号データを演算し、前記角膜厚に変換する演算を実行する演算手段を有することを特徴とする請求項１記載の非接触眼圧計。
【請求項６】
前記アライメント手段のアライメント時の検出信号のデータを用いて測定光源の光量を制御する制御手段と、制御された光量の角膜反射像を受光する前記受光手段とを有することを特徴とする請求項１記載の非接触眼圧計。
【請求項７】
前記眼圧補正手段の結果を補正前後の眼圧値に表示することを特徴とする請求項１記載の非接触眼圧計。
【請求項８】
前記角膜厚のパラメータを補正する補正手段の結果を角膜厚として表示することを特徴とする請求項１記載の非接触眼圧計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検眼に空気を吹付け被検眼角膜を変形させたときの光学検知により眼圧を算出する非接触角膜計に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
被検眼の眼圧を測定する手段は、角膜にプローブを直接接触させて測定するゴールドマンタイプが知られている。これは、角膜厚５２０μｍにおいて、接触面の直径φ３．０６ｍｍになるときのプローブ押し圧が、角膜の硬性と涙液の表面張力が打ち消されて正しい測定値が得られるという原理である。
【０００３】
一方、非接触眼圧計では、バーナード・グロールマンが開発した（ＵＳＰ３，５８５，８４９号）空気吹付けタイプの眼圧計が代表される。これは被検眼角膜から１１ｍｍ離れたノズルから空気を吹付け、角膜の圧平を光学的に検出し、圧平までの時間をゴールドマンタイプの眼圧計で校正し、眼圧値を算出している。圧平の大きさはゴールドマンタイプの原理を利用して正確な測定値が得られるようになっている。
【０００４】
しかしながら、角膜厚が厚５２０μｍから大きく変動すると、眼圧測定値に影響を及ぼすことも知られている。近年、ＬＡＳＩＫに代表されるように、角膜厚を意図的に薄く削って屈折矯正を行うことも盛んになってきた。このような眼科医学の状況の中、次のような技術開発も行われている。
【０００５】
特許文献１のように被検眼に空気を吹付けて眼圧を測定する装置に角膜厚を計測する機能を有し、角膜厚計測の結果を基に眼圧値を補正する装置が公開されている。又、特許文献２のように空気吹付けによって変形された角膜の復元時間を角膜の硬さと捉え、眼圧を補正する技術も公開されている。
【０００６】
【特許文献１】特表平８−５０７４６３号公報
【特許文献２】特開２０００−２１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１の技術は、角膜頂点に向かってノズル軸上の後方から光源と投光する場合、ノズルが光束を遮光し、角膜を十分に照明できないものである。たとえ斜め方向から照明光を投影しようとしても、光束を透過し易い角膜の表面や裏面の反射光を受光するには、ストロボ光等の強い照明が必要になる。これは、被検者にとって不快である。それに、空気の刺激で眼圧を測定するとなれば、被検者の苦痛は増えるばかりである。又、照明された角膜を受光するライトディテクタアレイは、０．４〜０．８ｍｍの微量の変化を検出するために高価なＣＣＤセンサーを使うが必要がある。
【０００８】
又、特許文献２の技術は、従来の非接触眼圧計の原理を利用した角膜の硬さ計測方法であるが、角膜が変形し始めるから戻るまでの時間の計測は、角膜の硬さの他に眼圧の要因や空気吹付け力が一定条件でなければ、真の硬さのを示すパラメータにならない。
【０００９】
実際、眼圧が高ければ復元時間は大きくなるし、眼圧が小さくなれば短くなる。又、被検者の空気刺激を軽減させるため、空気吹付けを眼圧に応じて変化させた場合、空気吹付け力が小さくなれば、復元時間は短くなるし、強ければ長くなる。
【００１０】
従って、従来の非接触眼圧計の小規模の改良で、被検者に不快感を与えず、しかも正確に角膜厚の影響をなくし眼圧補正する手段が必要になっている。
【００１１】
本発明は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、被検者に不快感を与えず、しかも正確に角膜厚の影響をなくし眼圧補正することができる非接触眼圧計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明は、被検眼角膜頂点に被検眼に対向した対物鏡筒の光軸に位置合わせするアライメント手段と、該光軸に沿って測定光束を投影する投影手段と、該光軸に沿ってノズルを配置し、角膜頂点に向かって空気を吹きける空気吹付け手段と、前記空気吹付け手段の空気室の空気圧を検知する検知手段と、前記空気吹付け手段の空気吹付け時の角膜反射光束を受光する受光手段と、前記受光手段の角膜所定変形の前後の波形パラメータを検出する検出手段と、前記検出手段の検知パラメータを角膜厚に変換する演算手段と、前記空気検知手段の圧力データから眼圧値に換算するとともに前記演算手段の結果から眼圧値を補正する眼圧補正手段を含んで非接触眼圧計を構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、近年、盛んになりつつある屈折矯正術後に角膜を切除した被検眼においても眼圧値を補正し正確な眼圧測定を行うことができる。本発明では、特に従来の眼圧計の原理を生かしつつ小規模な改良で角膜厚による眼圧値への影響を排除した眼圧値を得ることができ、ストロボ光等の強い刺激を被検者に与えなく、迅速に検眼が行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明を図示の実施の形態に基づいて詳細に説明する。
【００１５】
図１は本発明の非接触眼圧計の外観図である。
【００１６】
検者が操作する面には測定値や被検眼像等の表示や各種装置の設定を選択する表示装置１（液晶モニターやＣＲＴモニター）と、その表示画面を操作するためや、測定部をラフに被検眼に位置合わせするためのトラックボール２とローラー３と、プリンター印字スイッチ４や測定開始スイッチ５が配置されている。検者が操作すると本体固定側６に対して測定部７が上下左右前後方向に移動でき、被検眼に対して位置合わせして眼圧を測定することができる。検者が操作する面と反対側には、被検者の顔を乗せる顎台８が配置され、検者が操作する側の顎台上下動スイッチ９で顎台８を上下方向に移動させることができる。
【００１７】
図２に示すように、被検眼Ｅに対向して平行平面ガラス１０と対物レンズ１１の中心軸上にノズル１２が配置され、被検眼Ｅとは反対側に空気室１３、観察窓１４、ダイクロミラー１５、プリズム絞り１６、結像レンズ１７、撮像素子１８の順に配置されている。これは被検眼の観察光学系の受光用光路及びアライメント検出用光路になっている。空気室１３内の空気は、ソレノイド１９の駆動により押し上げられるピストン２０によって圧縮されパルス状の空気がノズル１２を介して被検眼Ｅに噴出するようになっている。
【００１８】
ダイクロミラー１５の反射方向には、リレーレンズ２１、ハーフミラー２２、アパーチャ２３、受光素子２４が配置され、変形検出受光用光路になっている。ここで、アパーチャ２３の位置は、所定変形時に後述する測定光源の角膜反射像が共役になる位置に配置されている。ハーフミラー２２の反射方向には、ハーフミラー２５、投影レンズ２６、測定光源２７が配置され、ハーフミラー２５の反射方向には、被検者が固視できる固視ＬＥＤ２８が配置されている。
【００１９】
測定光源２７は、眼圧測定において測定及び被検眼に対するアライメントの兼用近赤外ＬＥＤを使用しており、被検眼に投影される測定光源２７の光束は投影レンズ２５で平行光の変換され、ハーフミラー２５で折り曲げられ、リレーレンズ２１でノズル１２内に一度結像され、被検眼Ｅの角膜に照射されされるようになっている。
【００２０】
角膜での測定光源２７の反射光束はノズル１２の外側の平行平面ガラス１０と対物レンズ１１を通るようになっている。ダイクロミラー１５の反射方向には、被検眼Ｅの角膜がパルス状に発せられた空気によって視軸方向に変形する時の変形検出受光光学系が配置されている。
【００２１】
ハーフミラー２２を透過する角膜反射光束は、リレーレンズ２１によって所定変形時にアパーチャ２３とほぼ同等の大きさの角膜反射像を結像するように設計され、受光光束は受光素子２４によって光電変換され電気信号に変換される。平行平面ガラス１０の外径は、対物鏡筒２９で支えられ、その外側には被検眼を照明する照明光源３０ａ，３０ｂが配置されている。
【００２２】
又、ソレノイド１９によってピストン２０が押し上げられた時の空気室１３内の圧力をモニターするための圧力センサー３１が配置されている。
【００２３】
このような、光学構成で、被検眼に対する位置合わせは、特開平９−８４７６０号公報で開示されている通りであり、詳細説明は省略する。
【００２４】
眼圧測定の測定部７以外の本装置の構成は、直接本発明に係る部分ではないので簡単に説明する。測定部７は本体固定側６に対して、左右方向に９０ｍｍ、被検眼前後方向に４０ｍｍ、上下方向に３０ｍｍもの範囲で移動できるようになっている。測定部７の移動は、特開平８−１２６６１１号公報のように電気制御で駆動するもののように測定部を可動台に搭載し、ジョイスティックを操作して同様に移動させるタイプでも良い。
【００２５】
次に、測定部７の位置合わせを電気制御で行う場合の装置全体の電気システムについて説明する。
【００２６】
図３は本眼圧計のシステム全体の電気ブロック図である。測定スイッチ５、プリンター印字スイッチ４等が配置されたスイッチボード４０、測定部をラフに被検眼に位置合わせするためのトラックボール２、ローラー３に内蔵されたローターリーエンコーダ及び測定結果を印字するためのプリンタ４１がＭＰＵ４２のポートに接続されている。
【００２７】
ＭＰＵ４２は、システム全体を制御するためのシステムを制御するプログラムを格納するＰＲＯＭ４２ａ、各種デバイス（受光素子、撮像素子等）から得られたデータを演算する演算処理部４２ｂ、眼圧を補正するためのデータが格納されたパラメータＰＯＭ４２ｃ、データの入出力を制御するＩ／Ｏ４２ｄ等から成る。
【００２８】
撮像素子１８で撮影された被検眼前眼部像の映像信号は、Ａ／Ｄコンバーター４３によりデジタルデータに変換され、画像メモリ４４に格納される。ＭＰＵ４２は、画像メモリ４４に格納された画像を基に被検眼の角膜反射像を抽出し、アライメント検出を行う。撮像素子１８で撮影された前眼部像の映像信号は、キャラクタ発生装置４５からの信号と合成され、表示装置１上に前眼部像や測定値等が表示される。
【００２９】
又、受光素子１８で受光された信号と空気室１３で圧力センサー３１で検出された圧力信号は、増幅され、Ａ／Ｄコンバーター４６によりデジタルデータに変換され、逐次メモリ４７に格納される。ＭＰＵ４２は、Ａ／Ｄ変換されたＰＤ素子２４からの受光信号のピーク値を検出すると、Ａ／Ｄ変換された圧力センサー３１のデータを読み込んでメモリ４７に格納させる。又、受光信号と圧力信号のデータは全てメモリ４７に格納される。
【００３０】
上下モーター４８、前後モーター４９、左右モーター５０、顎台駆動用モーター５１はそれぞれモータードライバー５２，５３，５４，５５に接続され、ＭＰＵ４２からの指令により駆動される。又、ソレノイド１９は、駆動回路５６を介して接続され、ＭＰＵ４２の指令に基づき駆動制御される。測定光源２７、眼被検眼を照明する照明光源３０ａ，３０ｂは、Ｄ／Ａコンバータ５７に接続されており、ＭＰＵ４２からの指令により光量を変化させることができる。
【００３１】
撮像素子１８の検出によって角膜反射像が抽出されると、適正位置に対するズレ量が算出され、そのズレ分だけ位置合わせし直す。オートアライメント制御により、対物鏡筒２９が角膜に対して適性位置に位置合わせされると、ＭＰＵ４２は自動的に被検眼に向かってパルス状の空気が吹付けられる。
【００３２】
図４のａ）〜ｅ）は空気が角膜に当たって変形する角膜Ｅの状態と測定光源２７の光束の光線Ｌの状態を表した図と、微小時間の経過状態での受光素子２４で光電変換された電気信号の出力状態を示したグラフ図である。横軸は時間Ｔ、縦軸は出力の大きさを表す。全現象は約１５ｍｓｅｃ〜２０ｍｓｅｃの時間程度である。
【００３３】
先ず、ａ）で角膜変形する前の状態であり、ノズル１２内で結像された測定光源２７の光束は、ノズル１２の出口で外側が制限されて角膜に照射され、角膜頂点から離れた角膜表面で反射された光線は、平行平面ガラス１０内に戻らない構成になっている。
【００３４】
又、平行平面ガラス１０に戻った光束もリレーレンズ２１でアパーチャ２３内に結像できる光学配置ではないので、大部分がアパーチャ２３で遮光されてしまう。空気吹付けで角膜頂点付近から空気の圧力により角膜が変形し始めるｂ）では、その角膜頂点から離れた角膜反射光束も平行平面ガラス１０内に戻るため、受光素子２４の受光量が増加し、信号が高くなる。所定変形状態では、その受光光量が最大になり、信号はピークとなる。
【００３５】
更に、空気圧により角膜が変形するｃ）では、角膜頂点は平ら若しくは凹状に変形される。この場合、球状の角膜のノズル内から照射された光束は、角膜で反射されると、その多くはノズル内に戻るか、ノズルの端面で反射されることによって受光素子２４に受光されない分、光量は低下し、電気信号の出力も減少する。角膜の変形検出と共に空気の吹付けを停止させると、角膜は眼内圧と復元力によって元の状態に戻ろうとする。
【００３６】
ｄ）では角膜が復元される途中で再び所定変形状態になるため、受光素子２４の光量は増加し、信号が高くなる。そして、完全に復元されるｅ）では、ａ）と同様に角膜頂点から離れた反射光束とアパーチャ２３に遮光され、受光光量は低く、信号レベルも低くなる。
【００３７】
この角膜変形状態を受光信号でモニターした波形は、眼圧や空気力やアライメントや角膜厚によって変化する。眼圧の場合、初期の変形でピークとなる時間軸方向の位置Ｔｐ１は眼圧が高ければ遅れ、眼圧が低ければ早くなる。又、眼圧が高いと復元時のピーク位置Ｔｐ２とＴＰ１の間隔が短くなり、眼圧が低ければその間隔は長くなることが分かっている。
【００３８】
又、空気力に関しては眼圧との兼ね合いがあるが、同じ眼圧で空気力を変化させると、空気力が大きい場合初期変形のピークは早く発生してＴｐ１は早くなり、空気力が小さければＴｐ１は遅れる。又、Ｔｐ１とＴｐ２の間隔ΔＴ１２は空気力が大きいと長くなり、空気力が小さいと間隔ΔＴ１２は短くなることが分かっている。
【００３９】
更に、アライメントに関しては、角膜と眼圧測定部の位置関係が適正位置からずれると、例えば、上下左右方向に０．８ｍｍ程度、前後方向に２ｍｍ程度ずれると、空気力が不均一に角膜当たり、変形状態が乱れ、角膜反射光束も乱れるため、受光素子２４に受光される光量も不安定になり、電気信号は乱れてしまい測定不能となる。
【００４０】
一方、角膜厚の影響は次のようになると考えられる。
【００４１】
図５は受光素子２４の信号波形と角膜厚と信号波形の初期ピーク波形の半値幅Ｗの関係のグラフである。このグラフは、角膜類似の材料で角膜曲率半径と角膜反射率を一定にしたときの大気圧状態で、空気吹付け動作を角膜変形の所定時間でストップさせ、角膜厚を変化させたときのパラメータＷの値を多項式で近似した回帰曲線である。きれいな２次関数に近似される。従って、角膜曲率半径が一定で、角膜反射率を一定にした場合、角膜厚が一定の割合で増加すると半値幅Ｗは２次関数的に増加し、図６のように初期変形ピーク波形の半値幅Ｗを検出すれば、この回帰式の逆関数を用いて角膜厚を算出することができる。
【００４２】
こうような方法を用いた実際の眼圧補正は次のようになる。
【００４３】
撮像素子１８の映像信号から角膜反射像の位置検知をＭＰＵ４２が演算処理して行い、所定位置に入ったかどうか判断される。適正位置を判断されると、駆動回路５６を介してソレノイド１９を駆動させる。ピストン２０の移動に伴ってノズル１２から空気が噴出される。
【００４４】
上述のような角膜の変形現象が生じ、その現象状態を逐次、受光素子２４と圧力センサー３１からの電気信号からＡＤ変換されたデジタルデータでＭＰＵ４２が監視し続ける。受光素子２４のデータの最初のピークのなる前の所定レベルに達すると、ＭＰＵ４２は、駆動回路５６を介してソレノイド１９を停止する制御を行う。これは被検眼に余分な空気を与えないようにするためである。
【００４５】
しかし、慣性力でピストン２０は更に移動してから停止する。このような一連の現象で得られたデータをグラフにすると、図７のようになる。眼圧値は、最初のピーク（所定変形状態）になった時の、圧力データＰから、予め眼圧値に換算する関数をパラメータＰＯＭ４２Ｃから呼び出して算出される。それと同時に、上述したように最初の変形ピーク波形の半値幅Ｗを検出し、今度は、角膜厚を算出する関数をパラメータＰＯＭ４２Ｃから呼び出して算出する。
【００４６】
更に、算出された角膜厚から眼圧補正値の算出は、臨床実験から得られた角膜厚から眼圧補正値を得る換算式をパラメータＰＯＭ４２Ｃから呼び出して求める。算出された眼圧値、角膜厚値、眼圧補正値は、表示装置に表示したり、プリンターに印字させたりすることができる。
【００４７】
又、不図示のネットワークドライバを介して他の情報処理機器への転送も可能になっている。表示や印字に関しては、設定条件を変えて、補正した眼圧値のみであったり、補正前の眼圧値や角膜厚も併記したり選択できるようになっている。
【００４８】
上述した角膜厚による眼圧補正はシンプルな方法で説明したが、実際には、臨床実験で多くのデータを集計し検証することでより精度の高い回帰式が得られる。実際の測定では、被検眼によって角膜曲率が異なったりするが、ノズル１２内から照射される測定光束は角膜全体のうち頂点付近一部のため角膜の曲率半径の影響は少ない。しかし、より精度を高めるのであれば、角膜曲率半径条件を変えた複数の回帰式から角膜厚を算出させても良い。
【００４９】
次に、角膜曲率半径をも計測する本発明について説明する。
【００５０】
図８は被検者側から見た様子で、対物鏡筒２９周りにケラト光源を配置し、角膜に角膜曲率半径を計測する投影投影光源６０設ける。図８（ａ）のようにリング状であったり、図８（ｂ）４つの輝点６０ａ，６０ｂ，６０ｃ，６０ｄを角膜に映し込む光源であっても良い。観察光の受光側光路は、図９（図２の部分図）に示すように、角膜曲率半径を測定するときにはプリズム絞り１６を光路から排出し、ケラト絞り６１を光軸の同心上に配置する。
【００５１】
ケラト絞り６１は、作動距離方向に位置ズレしてもケラト光源像の高さが変わらない位置に配置されている。ケラト光源の波長は測定光源２７の波長と同じになっており、アライメント完了後、測定光源２７を消灯し、上述した絞りの入れ替えを行い、ケラト光源の角膜反射像を撮像素子１８で撮影されるようになっている。
【００５２】
図１０は電気ブロック図の一部を変えたものである。撮影されたケラト光源像は、アライメント輝点抽出を同じ回路を使って、リング光源であればリング像を楕円近似して角膜曲率半径を求める。４つの光源であっても、輝点の位置から楕円近似を行い角膜曲率半径を求めるようになっている。
【００５３】
角膜曲率半径の測定は、アライメント完了後眼圧の測定前でも後でもどちらでも構わない。計測された角膜曲率半径は、その値に応じた角膜厚から眼圧を補正する換算式をパラメータＲＯＭ４２ｃから呼び出して算出される。
【００５４】
以上のようにして角膜曲率半径を基に角膜厚から眼圧値を補正することでより精度の高い補正値を得ることができる。
【００５５】
更に、角膜反射率を一定にするには、変形波形のピークの半値幅で検出する他に、アライメント検知手段、本発明では測定光源２７の所定光量の照射に対する角膜反射光を撮像素子１８において測定前の適正アライメント時に検出し、個々の角膜に応じた反射率を検知し、そのレベルに応じた分だけ、変形波形データから差し引いて半値幅Ｗを求めても良い。
【００５６】
又、撮像素子１８で検出した角膜反射レベルに応じて測定光源２７の光量をフィードバック制御し、測定前の角膜反射光が被検眼が異なっても一定にする制御を行うと更に良い。
【００５７】
又、上述で説明した変形波形の半値幅は、所定変形時前後の角膜変形変化量に相当する。従って、半値幅の他に、図１１ａのようにピーク値Ｖ１に対する所定割合のレベルの時間軸ポイントＴＷ１とピーク位置Ｔｐ１の間隔ΔＷｐをパラメータに使っても良い。
【００５８】
又、図１１ｂのように、ピーク値に対する所定割合のレベルにおける波形の接線の傾きθｗで決めても良い。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明は、被検眼に空気を吹付け被検眼角膜を変形させたときの光学検知により眼圧を算出する非接触角膜計に対して適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】非接触眼圧計の外観図である。
【図２】非接触眼圧計の光学配置図である。
【図３】本発明のシステム全体の電気ブロック図である。
【図４】角膜変形状態の説明図である。
【図５】パラメータの関係式である。
【図６】角膜変形検出波形図である。
【図７】眼圧測定における波形図である。
【図８】ケラト光源配置図である。
【図９】角膜曲率半径測定時の光学配置図である。
【図１０】角膜曲率半径測定時の電気ブロック説明図である。
【図１１】波形検出の説明図である。
【符号の説明】
【００６１】
１    表示装置
６    本体固定側
７    測定部
１２  ノズル
１８  撮像素子
２４  受光素子
２７  測定光源
３１    圧力センサー
４２    ＭＰＵ
６０    ケラトリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005087549.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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