(57)【要約】【課題】装置の高信頼化を図ること。【解決手段】充電電源１０によりエネルギーが充電されるコンデンサＣ０と、閉路することでコンデンサＣ０のエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷３０に供給するスイッチ手段ＳＷとからなるパルス発生回路２０と、パルス電力を決められた周期で放電負荷３０に出力するためのトリガ信号をスイッチ手段ＳＷに供給する制御回路４０と、充電電源１０に出力電圧値を与える出力電圧指令手段４１とを備えて構成されるパルス電源において、放電負荷３０で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段５０と、スパーク検出手段５０からの出力信号を入力として、制御回路４０が供給するトリガ信号を遮断するための遮断信号を出力するマスキング手段６０とを備える。【選択図】    図１
2005057823.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することで前記コンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、
前記パルス電力を決められた周期で前記放電負荷に出力するためのトリガ信号を前記スイッチ手段に供給する制御回路と、
前記充電電源に出力電圧値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、
前記放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段と、
前記スパーク検出手段からの出力信号を入力として、前記制御回路が供給するトリガ信号を遮断するための遮断信号を出力するマスキング手段と、
を備えて成ることを特徴とするパルス電源。
【請求項２】
充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することで前記コンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、
前記パルス発生回路の出力側と前記放電負荷との間に設けられたカップリングコンデンサと、
前記カップリングコンデンサの放電負荷側に常時直流電圧を印加する直流電源と、
前記カップリングコンデンサと前記直流電源との間に設けられたサージ電圧抑制要素と、
前記パルス電力を決められた周期で出力するためのトリガ信号を前記スイッチ手段に供給する制御回路と、
前記充電電源および前記直流電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、
前記放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段と、
前記スパーク検出手段からの出力信号を入力として、前記制御回路が供給するトリガ信号を遮断するための遮断信号を出力するマスキング手段と、
を備えて成ることを特徴とするパルス電源。
【請求項３】
前記請求項１または請求項２に記載のパルス電源において、
前記マスキング手段が出力する遮断信号の継続時間を１０ｍｓ以上としたことを特徴とするパルス電源。
【請求項４】
前記請求項１または請求項２に記載のパルス電源において、
前記マスキング手段が出力する遮断信号の継続時間ｔｃを、下記の関係式を満足する値としたことを特徴とするパルス電源。
ｔｃ≧Ｌ／Ｖ
ここで、Ｌ：放電負荷を流れるガス流方向における放電負荷の長さ
Ｖ：放電負荷を流れるガス流の流速
【請求項５】
前記請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のパルス電源において、
前記マスキング手段に、前記スパーク検出手段からの出力信号が継続した場合に、前記遮断信号の継続時間を延長する手段を設けたことを特徴とするパルス電源。
【請求項６】
前記請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のパルス電源において、
前記マスキング手段に、前記スパーク検出手段からの出力信号が一定時間以上継続した場合に、前記充電電源、前記直流電源、および前記制御回路の出力を停止するための異常信号発生手段を設けたことを特徴とするパルス電源。
【請求項７】
充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することで前記コンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、
前記パルス電力を決められた周期で前記放電負荷に出力するためのトリガ信号を前記スイッチ手段に供給する制御回路と、
前記充電電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、
前記放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段を備え、
前記出力電圧指令手段に、前記スパーク検出手段からの出力信号を入力として、前記充電電源に与える出力電圧指令値を低減する電圧制御手段を備えたことを特徴とするパルス電源。
【請求項８】
充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することで前記コンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、
前記パルス発生回路の出力側と前記放電負荷との間に設けられたカップリングコンデンサと、
前記カップリングコンデンサの放電負荷側に常時直流電圧を印加する直流電源と、
前記カップリングコンデンサと前記直流電源との間に設けられたサージ電圧抑制要素と、
前記パルス電力を決められた周期で出力するためのトリガ信号を前記スイッチ手段に供給する制御回路と、
前記充電電源および前記直流電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、
前記放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段を備え、
前記出力電圧指令手段に、前記スパーク検出手段からの出力信号を入力として、前記直流電源に与える出力電圧指令値を低減する電圧制御手段を備えたことをえ特徴とするパルス電源。
【請求項９】
充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することで前記コンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、
前記パルス発生回路の出力側と前記放電負荷との間に設けられたカップリングコンデンサと、
前記カップリングコンデンサの放電負荷側に常時直流電圧を印加する直流電源と、
前記カップリングコンデンサと前記直流電源との間に設けられたサージ電圧抑制要素と、
前記パルス電力を決められた周期で出力するためのトリガ信号を前記スイッチ手段に供給する制御回路と、
前記充電電源および前記直流電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、
前記放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段を備え、
前記出力電圧指令手段に、前記スパーク検出手段からの出力信号を入力として、前記充電電源および直流電源に与える出力電圧指令値を低減する電圧制御手段を備えたことを特徴とするパルス電源。
【請求項１０】
前記請求項７乃至請求項９のいずれか１項に記載のパルス電源において、
前記電圧制御手段に、前記スパーク検出手段からの出力信号が継続した場合に、前記充電電源、前記直流電源、および前記制御回路の出力を停止するための異常信号発生手段を設けたことを特徴とするパルス電源。
【請求項１１】
充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することで前記コンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、
前記パルス電力を決められた周期で前記放電負荷に出力するためのトリガ信号を前記スイッチ手段に供給する制御回路と、
前記充電電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、
前記放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段と、
前記スパーク検出手段からの出力信号を入力として、前記充電電源および前記制御回路の出力を停止するための異常信号発生手段と、
を備えて成ることを特徴とするパルス電源。
【請求項１２】
充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することで前記コンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、
前記パルス発生回路の出力側と前記放電負荷との間に設けられたカップリングコンデンサと、
前記カップリングコンデンサの放電負荷側に常時直流電圧を印加する直流電源と、
前記カップリングコンデンサと前記直流電源との間に設けられたサージ電圧抑制要素と、
前記パルス電力を決められた周期で出力するためのトリガ信号を前記スイッチ手段に供給する制御回路と、
前記充電電源および前記直流電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、
前記放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段と、
前記スパーク検出手段からの出力信号を入力として、前記充電電源、前記直流電源、および前記制御回路の出力を停止するための異常信号発生手段と、
を備えて成ることを特徴とするパルス電源。
【請求項１３】
前記請求項１１または請求項１２に記載のパルス電源において、
前記異常信号発生手段は、前記スパーク検出手段からの出力信号の出力回数を測定し、当該出力回数を出力するカウンター回路を備え、
前記カウンター回路からの出力回数が一定値を超過した時に異常信号を出力する手段を設けたことを特徴とするパルス電源。
【請求項１４】
前記請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載のパルス電源において、
前記スパーク検出手段は、
前記パルス電源本体から前記放電負荷に流れ込む電流を検出する電流検出手段と、
前記電流検出手段からの出力値が一定値以上であることを検出する比較手段とを備えたことを特徴とするパルス電源。
【請求項１５】
前記請求項１４に記載のパルス電源において、
前記電流検出手段としては、高周波変流器、またはシャント抵抗器を用いたことを特徴とするパルス電源。
【請求項１６】
前記請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載のパルス電源において、
前記スパーク検出手段は、
前記パルス発生回路のコンデンサの電圧を検出する電圧検出手段と、
前記電圧検出手段からの逆極性の出力値が一定値以上であることを検出する比較手段とを備えたことを特徴とするパルス電源。
【請求項１７】
前記請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載のパルス電源において、
前記スパーク検出手段は、
前記放電負荷の放電光輝度を検出する光検出手段と、
前記光検出手段からの出力値が一定値以上であることを検出する比較手段とを備えたことを特徴とするパルス電源。
【請求項１８】
前記請求項１７に記載のパルス電源において、
前記光検出手段としては、フォトダイオードを用いたことを特徴とするパルス電源。
【請求項１９】
前記請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載のパルス電源において、
前記スパーク検出手段は、
前記放電負荷の放電音量を検出する音量検出手段と、
前記音量検出手段からの出力値が一定値以上であることを検出する比較手段とを備えたことを特徴とするパルス電源。
【請求項２０】
前記請求項２乃至請求項６、前記請求項８乃至請求項１０、前記請求項１２のいずれか１項に記載のパルス電源において、
前記スパーク検出手段は、
前記直流電源からの出力電圧を検出する電圧検出手段と、
前記電圧検出手段からの出力値が一定値以下であることを検出する比較手段とを備えたことを特徴とするパルス電源。
【請求項２１】
前記請求項１乃至請求項２０のいずれか１項に記載のパルス電源において、
前記スパーク検出手段からの出力信号の伝送としては、光信号により行なうことを特徴とするパルス電源。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば排ガス中の有害物質をパルスコロナ放電を用いて分解処理する排ガス処理装置や、各種加工に用いるパルスレーザ装置等、パルスパワー応用装置を駆動するためのパルス電源に係り、特に高信頼化を図るようにしたパルス電源に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、例えばＮＯｘ  、ダイオキシン類等の有害物質をパルスコロナ放電を用いて分解処理する排ガス処理装置や、物体の超精密加工に用いるエキシマレーザ装置等、放電を利用したパルスパワー応用装置に対する産業上の需要が高まってきている。
【０００３】
この種のパルスパワー応用装置を駆動するには、波高値が数１０ｋＶ〜数１００ｋＶの高電圧パルスを発生するパルス電源が必要不可欠である。
【０００４】
この種、パルス電源としては、従来、特許文献１や特許文献２が知られているが、その一例を図１５を参照して説明する。
【０００５】
図１５の回路図に示すように、充電電源１０によりエネルギーが充電されるコンデンサＣｏと、閉路することでコンデンサＣｏのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷３０に供給するスイッチ手段ＳＷとからなるパルス発生回路２０と、パルス電力を決められた周期で放電負荷３０に出力するためのトリガ信号をスイッチ手段ＳＷに供給する制御回路４０と、充電電源１０に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段４１とから構成される回路が、主流として用いられてきている。
【０００６】
以下に、かかるパルス電源の動作について説明する。
【０００７】
図１５において、充電電源１０によって、充電電源１０→コンデンサＣｏ→充電電源１０の経路で、コンデンサＣｏが充電される。スイッチＳＷを投入すると、パルス電圧が放電負荷３０に印加される。
【０００８】
このパルス電圧が放電開始電圧以上になると、放電負荷３０の絶縁が破壊されて放電が発生する。
【０００９】
この時、コンデンサＣｏ→スイッチＳＷ→放電負荷３０→コンデンサＣｏの経路で、エネルギーが放電負荷３０に供給され、このエネルギーによりパルスコロナ放電の発生やレーザガスの励起に寄与する。
【００１０】
【特許文献１】
特開平７−２３１６７８号公報
【００１１】
【特許文献２】
特開平８−１０２６４７号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような従来のパルス電源においては、放電負荷３０で異常放電（いわゆるスパーク放電）が発生した場合に、次のような問題が生じる。
【００１３】
すなわち、放電負荷３０で消費されるべきエネルギーが、反転電圧としてパルス発生回路２０に戻ってくるため、パルス発生回路２０を構成する部品の不要な発熱を生じて用品の劣化を招くばかりでなく、場合によっては破損に至らしめることもあり得る。
【００１４】
当然、異常放電が発生すると、放電に供給されるエネルギーが減少するため、パルスコロナ放電やレーザガスの励起エネルギーが減少し、装置としての出力特性が著しく低下する結果となる。
【００１５】
しかも、放電負荷３０では起こりがちであるが、１度発生すると異常放電が継続する傾向があり、この場合放電負荷３０の劣化・損傷、パルス発生回路２０の故障に進展することにもなりかねない。
【００１６】
本発明の目的は、放電負荷に異常放電（スパーク放電）が発生した際、その異常放電を検出すると共に、異常放電が継続発生しないように適切な回路を設けることにより、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、請求項１に対応する発明では、充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することでコンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、パルス電力を決められた周期で放電負荷に出力するためのトリガ信号をスイッチ手段に供給する制御回路と、充電電源に出力電圧値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段と、スパーク検出手段からの出力信号を入力として、制御回路が供給するトリガ信号を遮断するための遮断信号を出力するマスキング手段とを備えている。
【００１８】
また、請求項２に対応する発明では、充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することでコンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、パルス発生回路の出力側と放電負荷との間に設けられたカップリングコンデンサと、カップリングコンデンサの放電負荷側に常時直流電圧を印加する直流電源と、カップリングコンデンサと直流電源との間に設けられたサージ電圧抑制要素と、パルス電力を決められた周期で出力するためのトリガ信号をスイッチ手段に供給する制御回路と、充電電源および直流電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段と、スパーク検出手段からの出力信号を入力として、制御回路が供給するトリガ信号を遮断するための遮断信号を出力するマスキング手段とを備えている。
【００１９】
ここで、例えば請求項３に記載したように、上記マスキング手段が出力する遮断信号の継続時間を１０ｍｓ以上とすることが好ましい。
【００２０】
また、請求項４に記載したように、上記マスキング手段が出力する遮断信号の継続時間ｔｃを、下記の関係式を満足する値とすることが好ましい。
ｔｃ≧Ｌ／Ｖ
ここで、Ｌ：放電負荷を流れるガス流方向における放電負荷の長さ
Ｖ：放電負荷を流れるガス流の流速
さらに、請求項５に対応する発明では、上記請求項１乃至請求項４のいずれか１項に対応する発明のパルス電源において、マスキング手段に、スパーク検出手段からの出力信号が継続した場合に、遮断信号の継続時間を延長する手段を設けている。
【００２１】
さらにまた、請求項６に対応する発明では、上記請求項１乃至請求項５のいずれか１項に対応する発明のパルス電源において、マスキング手段に、スパーク検出手段からの出力信号が一定時間以上継続した場合に、充電電源、直流電源、および制御回路の出力を停止するための異常信号発生手段を設けている。
【００２２】
従って、請求項１乃至請求項６に対応する発明のパルス電源においては、放電負荷で異常放電が発生した場合に、その異常放電を検出して次周期のパルス電圧の出力を遅延させることが可能となるため、異常放電の継続発生が抑えられ、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷の異常、故障を抑制することが可能となり、装置の高信頼化を図ることができる。
【００２３】
一方、請求項７に対応する発明では、充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することでコンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、パルス電力を決められた周期で放電負荷に出力するためのトリガ信号をスイッチ手段に供給する制御回路と、充電電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段を備え、出力電圧指令手段に、スパーク検出手段からの出力信号を入力として、充電電源に与える出力電圧指令値を低減する電圧制御手段を備えている。
【００２４】
また、請求項８に対応する発明では、充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することでコンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、パルス発生回路の出力側と放電負荷との間に設けられたカップリングコンデンサと、カップリングコンデンサの放電負荷側に常時直流電圧を印加する直流電源と、カップリングコンデンサと直流電源との間に設けられたサージ電圧抑制要素と、パルス電力を決められた周期で出力するためのトリガ信号をスイッチ手段に供給する制御回路と、充電電源および直流電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段を備え、出力電圧指令手段に、スパーク検出手段からの出力信号を入力として、直流電源に与える出力電圧指令値を低減する電圧制御手段を備えている。
【００２５】
さらに、請求項９に対応する発明では、充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することでコンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、パルス発生回路の出力側と放電負荷との間に設けられたカップリングコンデンサと、カップリングコンデンサの放電負荷側に常時直流電圧を印加する直流電源と、カップリングコンデンサと直流電源との間に設けられたサージ電圧抑制要素と、パルス電力を決められた周期で出力するためのトリガ信号をスイッチ手段に供給する制御回路と、充電電源および直流電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段を備え、出力電圧指令手段に、スパーク検出手段からの出力信号を入力として、充電電源および直流電源に与える出力電圧指令値を低減する電圧制御手段を備えている。
【００２６】
さらにまた、請求項１０に対応する発明では、上記請求項７乃至請求項９のいずれか１項に対応する発明のパルス電源において、電圧制御手段に、スパーク検出手段からの出力信号が継続した場合に、充電電源、直流電源、および制御回路の出力を停止するための異常信号発生手段を設けている。
【００２７】
従って、請求項７乃至請求項１０に対応する発明のパルス電源においては、放電負荷で異常放電が発生した場合に、その異常放電を検出して充電電源あるいは直流電源の出力電圧を低減することが可能となるため、異常放電の継続発生が抑えられ、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷の異常、故障を抑制することが可能となり、装置の高信頼化を図ることができる。
【００２８】
一方、請求項１１に対応する発明では、充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することでコンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、パルス電力を決められた周期で放電負荷に出力するためのトリガ信号をスイッチ手段に供給する制御回路と、充電電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段と、スパーク検出手段からの出力信号を入力として、充電電源および制御回路の出力を停止するための異常信号発生手段とを備えている。
【００２９】
また、請求項１２に対応する発明では、充電電源によりエネルギーが充電されるコンデンサと、閉路することでコンデンサのエネルギーをパルス電力として取り出し放電負荷に供給するスイッチ手段とからなるパルス発生回路と、パルス発生回路の出力側と放電負荷との間に設けられたカップリングコンデンサと、カップリングコンデンサの放電負荷側に常時直流電圧を印加する直流電源と、カップリングコンデンサと直流電源との間に設けられたサージ電圧抑制要素と、パルス電力を決められた周期で出力するためのトリガ信号をスイッチ手段に供給する制御回路と、充電電源および直流電源に出力電圧指令値を与える出力電圧指令手段とを備えて構成されるパルス電源において、放電負荷で発生する異常放電を検出するスパーク検出手段と、スパーク検出手段からの出力信号を入力として、充電電源、直流電源、および制御回路の出力を停止するための異常信号発生手段とを備えている。
【００３０】
さらに、請求項１３に対応する発明では、上記請求項１１または請求項１２に対応する発明のパルス電源において、異常信号発生手段は、スパーク検出手段からの出力信号の出力回数を測定し、当該出力回数を出力するカウンター回路を備え、カウンター回路からの出力回数が一定値を超過した時に異常信号を出力する手段を設けている。
【００３１】
従って、請求項１１乃至請求項１３に対応する発明のパルス電源においては、放電負荷で異常放電が発生した場合に、その異常放電を検出して充電電源、直流電源および制御回路の運転を停止し、放電負荷へのパルス電力の供給を停止することが可能となるため、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷の異常、故障を抑制することが可能となり、装置の高信頼化を図ることができる。
【００３２】
一方、請求項１４に対応する発明では、上記請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に対応する発明のパルス電源において、スパーク検出手段は、パルス電源本体から放電負荷に流れ込む電流を検出する電流検出手段と、電流検出手段からの出力値が一定値以上であることを検出する比較手段とを備えている。
【００３３】
ここで、例えば請求項１５に記載したように、上記電流検出手段としては、高周波変流器またはシャント抵抗器を用いることが望ましい。
【００３４】
また、請求項１６に対応する発明では、上記請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に対応する発明のパルス電源において、スパーク検出手段は、パルス発生回路のコンデンサの電圧を検出する電圧検出手段と、電圧検出手段からの逆極性の出力値が一定値以上であることを検出する比較手段とを備えている。
【００３５】
さらに、請求項１７に対応する発明では、上記請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に対応する発明のパルス電源において、スパーク検出手段は、放電負荷の放電光輝度を検出する光検出手段と、光検出手段からの出力値が一定値以上であることを検出する比較手段とを備えている。
【００３６】
ここで、例えば請求項１８に記載したように、上記光検出手段としては、フォトダイオードを用いることが好ましい。
【００３７】
また、請求項１９に対応する発明では、上記請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に対応する発明のパルス電源において、スパーク検出手段は、放電負荷の放電音量を検出する音量検出手段と、音量検出手段からの出力値が一定値以上であることを検出する比較手段とを備えている。
【００３８】
さらに、請求項２０に対応する発明では、上記請求項２乃至請求項６、上記請求項８乃至請求項１０、上記請求項１２のいずれか１項に対応する発明のパルス電源において、スパーク検出手段は、直流電源からの出力電圧を検出する電圧検出手段と、電圧検出手段からの出力値が一定値以下であることを検出する比較手段とを備えている。
【００３９】
従って、請求項１４乃至請求項２０に対応する発明のパルス電源においては、放電負荷で発生する異常放電を正確に検出することが可能となるため、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷の異常、故障を抑制することが可能となり、装置の高信頼化を図ることができる。
【００４０】
一方、請求項２１に対応する発明では、上記請求項１乃至請求項２０のいずれか１項に対応する発明のパルス電源において、スパーク検出手段からの出力信号の伝送としては、光信号により行なうようにしている。
【００４１】
従って、請求項２１に対応する発明のパルス電源においては、スパーク検出手段から制御回路に伝播するサージおよびノイズを遮断することが可能となるため、異常放電発生時のシーケンスを正常に実施することが可能となり、結果として装置の高信頼化を図ることができる。
【００４２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００４３】
（第１の実施の形態）
図１は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回路図であり、図１５と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００４４】
すなわち、本実施の形態のパルス電源は、図１に示すように、前記図１５におけるパルス電源に、放電負荷３０に流れる電流を測定する高周波変流器５０ＣＴと、高周波変流器５０ＣＴからの測定値が基準設定器５０Ｅで設定された値以上である場合に信号を出力する比較手段５０ＣＰとからなるスパーク検出手段５０、およびスパーク検出手段５０からの出力信号をトリガとして一定時間“０”レベルの信号を出力する１ショット回路６０ＰＧと、１ショット回路６０ＰＧの信号と制御回路４０からの信号とを入力とするＡＮＤ回路６０Ａとからなるマスキング手段６０を、新たに追加した構成としている。
【００４５】
ここで、１ショット回路６０ＰＧが出力する“０”レベル信号の時間は、１０ｍｓ以上とすることが好ましい。
【００４６】
また、１ショット回路６０ＰＧが出力する“０”レベル信号の時間は、下記のような関係式を満足する値としても好ましい結果が得られる。
【００４７】
ｔｃ≧Ｌ／Ｖ
ここで、Ｌ：放電負荷３０を流れるガス流方向における放電負荷３０の長さ
Ｖ：放電負荷３０を流れるガス流の流速
次に、以上のように構成した本実施の形態のパルス電源の動作について説明する。
【００４８】
正常運転時には、高周波変流器５０ＣＴからの出力値は、基準設定器５０Ｅで設定した値よりも低いため、比較手段５０ＣＰからの出力信号が立ち上がらず、１ショット回路６０ＰＧからの出力は“１”となる。
【００４９】
従って、制御回路４０が発するトリガ信号が、そのままスイッチ手段ＳＷに伝送される。
【００５０】
一方、放電負荷３０で異常放電、すなわちスパーク放電が発生すると、通常よりも大きな電流が放電負荷３０に流れる。
【００５１】
このため、比較手段５０ＣＰからの出力信号が立ち上がり、これをトリガとして１ショット回路６０ＰＧは一定幅の“０”レベルの信号を出力する。
【００５２】
このため、制御回路４０からのトリガ信号はＡＮＤ回路６０Ａで遮断され、スイッチ手段ＳＷに伝送されなくなる。
【００５３】
これにより、パルス発生回路２０からの出力が一定時間停止し、異常放電の継続的な発生を防止することができるため、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【００５４】
（変形例）
図２は、本変形例によるパルス電源の他の構成例を示す回路図であり、図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００５５】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図２に示すように、前記図１におけるパルス発生回路２０と放電負荷３０との間に、放電負荷３０に常時直流電圧を印加するための回路、すなわちカップリングコンデンサＣｃ、サージ電圧抑制要素Ｌｓ、直流電源１１、および充電リアクトルＬｇが付加された構成のパルス電源に、前記第１の実施の形態の構成を適用した構成としている。
【００５６】
本変形例のパルス電源においても、前記第１の実施の形態のパルス電源と同様の動作および効果を得ることができる。
【００５７】
従って、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【００５８】
上述したように、本実施の形態によるパルス電源では、放電負荷３０で異常放電が発生した場合に、その異常放電を検出して次周期のパルス電圧の出力を遅延させることができるため、異常放電の継続発生が抑えられ、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷３０の異常、故障を抑制することができ、装置の高信頼化を図ることが可能となる。
【００５９】
（第２の実施の形態）
図３は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回路図であり、図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００６０】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図２に示すように、前記図１におけるマスキング手段６０の中に、１ショット回路６０ＰＧからの出力パルス数の頻度を測定するパルスカウンター６０ＰＣと、パルスカウンター６０ＰＣからの出力値によってその抵抗値を変化可能な可変抵抗器６０Ｒとを、新たに付加した構成としている。
【００６１】
次に、以上のように構成した本実施の形態のパルス電源の動作について説明する。
【００６２】
放電負荷３０で発生する異常放電の継続的な発生を防止するためには、前記第１の実施の形態のパルス電源で説明したように、放電負荷３０へのパルス電力の供給を一定時間停止することが有効であるが、この停止時間は、放電負荷３０に流れるガスの条件（ガス流速、ガス温度、ガス成分、ガス含有水分量など）によって異なる。
【００６３】
しかも、本パルス電源が適用される分野においては、このガス条件が時々刻々変化する装置が少なくないのが現状である。
【００６４】
この点、本実施の形態のパルス電源では、上記のようなガス条件の変化にも、容易に対応することができるというメリットを有している。
【００６５】
以下、かかる点に関する動作原理について説明する。
【００６６】
パルスカウンター６０ＰＣはデジタル出力を持ち、１ショット回路６０ＰＧからの出力パルス数の頻度（単位時間あたりのパルス数）によってその出力ビットが変化する機能を有している。
【００６７】
可変抵抗器６０Ｒは、パルスカウンター６０ＰＣからの出力ビットに対応して抵抗値が変わる機能を有しており、１ショット回路６０ＰＧからの出力パルス数が大きくなるほど、可変抵抗器６０Ｒの抵抗値が大きくなるように設定されている。
【００６８】
１ショット回路６０ＰＧからの“０”レベル信号のパルス幅は、この可変抵抗器６０Ｒの値と１ショット回路６０ＰＧに設けられたコンデンサの値とで決まる時定数によって決定される。
【００６９】
従って、放電負荷３０での異常放電回数の頻度が高くなるにつれて、制御回路４０からのトリガ信号の遮断時間、すなわちパルス発生回路２０からの出力が停止する時間が長くなる。
【００７０】
これにより、異常放電の継続的な発生を防止することができるため、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【００７１】
上述したように、本実施の形態によるパルス電源では、放電負荷３０で異常放電が発生した場合に、その異常放電を検出して次周期のパルス電圧の出力を遅延させることができるため、異常放電の継続発生が抑えられ、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷３０の異常、故障を抑制することができ、装置の高信頼化を図ることが可能となる。
【００７２】
（第３の実施の形態）
図４は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回路図であり、図３と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００７３】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図４に示すように、前記図３におけるパルスカウンター６０ＰＣからの出力を、制御回路４０および出力電圧指令手段４１にそれぞれ入力した構成としている。
【００７４】
次に、以上のように構成した本実施の形態のパルス電源の動作について説明する。
【００７５】
パルスカウンター６０ＰＣの機能と動作については、前記第２の実施の形態のパルス電源と同様である。
【００７６】
パルスカウンター６０ＰＣからの出力ビットをシステム停止信号として用い、制御回路４０および出力電圧指令手段４１の運転を停止し、結果としてパルス電源としての運転を停止するようにしている点が、前記第２の実施の形態のパルス電源と異なる。
【００７７】
異常放電が一定頻度以上で発生した場合、放電負荷３０で何らかの不可逆的な故障が発生したと考えられ、この状態でパルス電源を継続的に運転すると、パルス電源の故障を引き起こす結果となる。
【００７８】
この点、本実施の形態のパルス電源では、一定頻度以上の異常放電が発生された場合に、パルス電源自体の運転を停止することができる。
【００７９】
これにより、パルス電源の故障を引き起こすことがなくなるため、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【００８０】
上述したように、本実施の形態によるパルス電源では、放電負荷３０で異常放電が発生した場合に、その異常放電を検出して充電電源１０および制御回路４０の運転を停止し、放電負荷３０へのパルス電力の供給を停止することができるため、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷３０の異常、故障を抑制することができ、装置の高信頼化を図ることが可能となる。
【００８１】
（第４の実施の形態）
図５は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回路図であり、図１５と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００８２】
すなわち、本実施の形態のパルス電源は、図５に示すように、前記図１５におけるパルス電源に、放電負荷３０に流れる電流を検出する高周波変流器５０ＣＴと、高周波変流器５０ＣＴからの測定値が基準設定器５０Ｅで設定された値以上である場合に信号を出力する比較手段５０ＣＰとからなるスパーク検出手段５０、およびスパーク検出手段５０からの出力信号をトリガとしてパルス信号を出力する１ショット回路４１ＰＧと、出力電圧指令手段４１の中に、１ショット回路４１ＰＧからの出力パルス数の頻度を測定するパルスカウンター４１ＰＣと、パルスカウンター４１ＰＣからの出力に対応した指令値を充電電源１０に出力する基準電圧出力回路４１ＶＳとを、新たに付加した構成としている。
【００８３】
次に、以上のように構成した本実施の形態のパルス電源の動作について説明する。
【００８４】
スパーク検出手段５０からの出力信号が発信されるまでの過程は、前記第１の実施の形態のパルス電源と同様である。
【００８５】
スパーク検出手段５０からの出力信号をトリガとして、１ショット回路４１ＰＧはパルス信号を出力する。
【００８６】
このパルス信号の発生頻度を、パルスカウンター４１ＰＣが測定する。
【００８７】
パルスカウンター４１ＰＣは、デジタル出力を有しており、前記パルス信号の発生頻度によって、その出力ビットの信号に“１”が出力されるようになっている。
【００８８】
基準電圧出力回路４１ＶＳは、このパルスカウンター４１ＰＣからの出力ビットに対応した指令値を出力する機能を有しており、当然のことながら、異常放電の発生頻度が高まるほど、基準電圧出力回路４１ＶＳからの指令値が、充電電源１０の出力電圧が低くなる値を出力するように設定される。
【００８９】
異常放電の発生は、放電負荷３０に印加されるパルス電圧の波高値が高いほど確率が高まる。
【００９０】
従って、本実施の形態のパルス電源においては、異常放電の発生頻度が高まると、充電電源１０の出力電圧が低減され、結果として放電負荷３０に印加されるパルス電圧が低められる。
【００９１】
これにより、異常放電の発生を防止することができるため、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【００９２】
（変形例１）
図６は、本変形例によるパルス電源の他の構成例を示す回路図であり、図５と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【００９３】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図６に示すように、前記図５におけるパルス発生回路２０と放電負荷３０との間に、放電負荷３０に常時直流電圧を印加するための回路、すなわちカップリングコンデンサＣｃ、サージ電圧抑制要素Ｌｓ、直流電源１１および充電リアクトルＬｇが付加された構成のパルス電源に、前記第４の実施の形態の構成を適用した構成としている。
【００９４】
本変形例のパルス電源においても、前記第４の実施の形態のパルス電源と同様の動作および効果を得ることができる。
【００９５】
但し、本変形例のパルス電源では、直流電源１１からの出力電圧を制御する点が、図５に示す第４の実施の形態のパルス電源と異なっている。
【００９６】
すなわち、本実施の形態のパルス電源においては、放電負荷３０に常時電圧が印加されるため、異常放電の継続が顕著に現われ、場合によっては常時短絡状態に陥りかねない。
【００９７】
そこで、これを防止するためには、直流電源１１からの出力電圧を低減することが最も効果的である。
【００９８】
これにより、放電負荷３０での異常放電の発生を防止することができるため、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【００９９】
（変形例２）
図７は、本変形例によるパルス電源の他の構成例を示す回路図であり、図６と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【０１００】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図７に示すように、前記図６における異常放電発生時、直流電源１１のみならず、充電電源１０の両方の出力電圧を同時に制御するように構成した点が、図６に示した変形例１のパルス電源と異なっている。
【０１０１】
本変形例のパルス電源においては、放電負荷３０での異常放電の発生をより効果的に防止することができるため、装置のより一層の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【０１０２】
上述したように、本実施の形態によるパルス電源では、放電負荷３０で異常放電が発生した場合に、その異常放電を検出して充電電源１０あるいは直流電源１１の出力電圧を低減することができるため、異常放電の継続発生が抑えられ、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷３０の異常、故障を抑制することができ、装置の高信頼化を図ることが可能となる。
【０１０３】
（第５の実施の形態）
図８は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回路図であり、図５と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【０１０４】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図８に示すように、前記図５におけるパルスカウンター４１ＰＣからの出力を、制御回路４０および充電電源１０にそれぞれ入力した構成としている。
【０１０５】
次に、以上のように構成した本実施の形態のパルス電源の動作について説明する。
【０１０６】
パルスカウンター４１ＰＣの機能と動作については、前記第４の実施の形態のパルス電源と同様である。
【０１０７】
パルスカウンター４１ＰＣからの出力ビットをシステム停止信号として用い、制御回路４０および充電電源１０の運転を停止し、結果としてパルス電源としての運転を停止するようにしている点が、前記第４の実施の形態のパルス電源と異なる。
【０１０８】
異常放電が一定頻度以上で発生した場合、放電負荷３０で何らかの不可逆的な故障が発生したと考えられ、この状態でパルス電源を継続的に運転すると、パルス電源の故障を引き起こす結果となる。
【０１０９】
この点、本実施の形態のパルス電源では、一定頻度以上の異常放電が発生された場合に、パルス電源自体の運転を停止することができる。
【０１１０】
これにより、パルス電源の故障を引き起こすことがなくなり、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【０１１１】
上述したように、本実施の形態によるパルス電源では、放電負荷３０で異常放電が発生した場合に、その異常放電を検出して充電電源１０および制御回路４０の運転を停止し、放電負荷３０へのパルス電力の供給を停止することができるため、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷３０の異常、故障を抑制することができ、装置の高信頼化を図ることが可能となる。
【０１１２】
（第６の実施の形態）
図９は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回路図であり、図１５と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【０１１３】
すなわち、本実施の形態のパルス電源は、図９に示すように、前記図１５におけるパルス電源に、放電負荷３０に流れる電流を検出する高周波変流器５０ＣＴと、高周波変流器５０ＣＴからの測定値が基準設定器５０Ｅで設定された値以上である場合に信号を出力する比較手段５０ＣＰとからなるスパーク検出手段５０、およびスパーク検出手段５０からの出力信号をトリガとしてパルス信号を出力する１ショット回路７０ＰＧからなる異常信号発生手段７０とを、新たに付加した構成としている。
【０１１４】
次に、以上のように構成した本実施の形態のパルス電源の動作について説明する。
【０１１５】
スパーク検出手段５０からの出力信号が発信されるまでの過程は、前記第１の実施の形態のパルス電源と同様である。
【０１１６】
スパーク検出手段５０からの出力信号をトリガとして、１ショット回路７０ＰＧはパルス信号を出力する。
【０１１７】
このパルス信号は、制御回路４０および充電電源１０の異常信号となり、これを入力した制御回路４０および充電電源１０は、直ちに運転を停止する。
【０１１８】
本実施の形態のパルス電源は、放電負荷３０において、異常放電が起こり得ない装置に関して有効である。
【０１１９】
本実施の形態のパルス電源では、放電負荷３０で異常放電が発生した場合に、システムを停止することができる。
【０１２０】
これにより、放電負荷３０が異常状態で運転を継続することを防止することができるため、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【０１２１】
（変形例）
図１０は、変形例によるパルス電源の他の構成例を示す回路図であり、図９と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【０１２２】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図１０に示すように、前記図９における異常信号発生手段７０に、１ショット回路７０ＰＧからの出力パルスの頻度を測定するパルスカウンター７０ＰＣを、新たに付加した構成としている。
【０１２３】
本変形例のパルス電源においては、異常放電発生＝即停止ではなく、１ショット回路７０ＰＧからの出力パルスの頻度が一定頻度以上となった場合に停止するように、停止動作に幅を持たせることができる。
【０１２４】
従って、放電負荷３０で異常放電が発生した場合に、システムを停止することができる。
【０１２５】
これにより、放電負荷３０が異常状態で運転を継続することを防止することができるため、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【０１２６】
上述したように、本実施の形態によるパルス電源では、放電負荷３０で異常放電が発生した場合に、その異常放電を検出して充電電源１０および制御回路４０の運転を停止し、放電負荷３０へのパルス電力の供給を停止することができるため、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷３０の異常、故障を抑制することができ、装置の高信頼化を図ることが可能となる。
【０１２７】
（第７の実施の形態）
図１１は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回路図であり、図１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【０１２８】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図１１に示すように、前記図１におけるパルス電源における高周波変流器５０ＣＴを省略し、これに代えて、コンデンサＣｏの電圧を検出する電圧検出手段５０ＶＤを、異常放電検出手段として新たに備えた構成としている。
【０１２９】
次に、以上のように構成した本実施の形態のパルス電源の動作について説明する。
【０１３０】
放電負荷３０で異常放電、すなわちスパーク放電が発生すると、通常よりも大きな電流が放電負荷３０に流れることは、前記第１の実施の形態のパルス電源で説明した通りである。
【０１３１】
この時、放電負荷３０で消費されるエネルギーは激減するため、コンデンサ  Ｃｏに逆電圧として戻ってくるエネルギーが増加する。
【０１３２】
この点、本実施の形態のパルス電源では、このコンデンサＣｏに発生する逆電圧を検出することで、異常放電の発生を検知している。
【０１３３】
この異常放電の発生を検知した後の動作は、前記第１の実施の形態のパルス電源と同様である。
【０１３４】
従って、本実施の形態のパルス電源においては、前記第１の実施の形態のパルス電源と同様の効果を得ることができるため、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【０１３５】
（変形例１）
図１２は、本変形例によるパルス電源の他の構成例を示す回路図であり、図１１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【０１３６】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図１２に示すように、前記図１１における電圧検出手段５０ＶＤを省略し、これに代えて、放電負荷３０の放電光輝度を検出する光検出手段５０ＰＨを、異常放電検出手段として新たに備えた構成としている。
【０１３７】
本変形例のパルス電源では、放電負荷３０の放電光輝度を検出することで、異常放電の発生を検知している。
【０１３８】
すなわち、正常な放電に比べて、異常放電は局所的に電流が流れることから、発光量が激増する。
【０１３９】
従って、この輝度が一定値以上になることを検出することで、異常放電の発生を検知することができる。
【０１４０】
この異常放電の発生を検知した後の動作は、前記第１の実施の形態のパルス電源と同様である。
【０１４１】
（変形例２）
図１３は、本変形例によるパルス電源の他の構成例を示す回路図であり、図１１と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【０１４２】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図１３に示すように、前記図１１における電圧検出手段５０ＶＤを省略し、これに代えて、放電負荷３０の放電音量を検出する音量検出手段５０Ｓを、異常放電検出手段として新たに備えた構成としている。
【０１４３】
本変形例のパルス電源では、放電負荷３０の放電音量を検出することで、異常放電の発生を検知している。
【０１４４】
すなわち、正常な放電に比べて、異常放電発生時は放電音量が激増する。
【０１４５】
従って、この放電音量が一定値以上になることを検出することで、異常放電の発生を検知することができる。
【０１４６】
この異常放電の発生を検知した後の動作は、前記第１の実施の形態のパルス電源と同様である。
【０１４７】
上述したように、本実施の形態によるパルス電源では、放電負荷３０で発生する異常放電を正確に検出することができるため、異常放電に伴なうパルス電源本体および放電負荷３０の異常、故障を抑制することができ、装置の高信頼化を図ることが可能となる。
【０１４８】
（第８の実施の形態）
図１４は、本実施の形態によるパルス電源の構成例を示す回路図であり、図２と同一部分には同一符号を付してその説明を省略し、ここでは異なる部分についてのみ述べる。
【０１４９】
すなわち、本変形例のパルス電源は、図１４に示すように、前記図２におけるパルス電源における高周波変流器５０ＣＴを省略し、これに代えて、直流電源１１の出力電圧を検出する電圧検出手段５０ＶＤを、異常放電検出手段として新たに備えた構成としている。
【０１５０】
次に、以上のように構成した本実施の形態のパルス電源の動作について説明する。
【０１５１】
放電負荷３０で異常放電、すなわちスパーク放電が発生すると、放電負荷３０は短絡状態となるため、カップリングコンデンサＣｏのエネルギーが放電され、直流電源１１の出力電圧はゼロとなる。
【０１５２】
この点、本実施の形態のパルス電源では、この直流電源１１の出力電圧の低下を検出することで、異常放電の発生を検知している。
【０１５３】
この異常放電の発生を検知した後の動作は、前記第１の実施の形態のパルス電源と同様である。
【０１５４】
従って、本実施の形態のパルス電源においては、前記第１の実施の形態のパルス電源と同様の効果を得ることができるため、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源を得ることができる。
【０１５５】
上述したように、本実施の形態によるパルス電源では、スパーク検出手段５０から制御回路４０に伝播するサージおよびノイズを遮断することができるため、異常放電発生時のシーケンスを正常に実施することができ、結果として装置の高信頼化を図ることがかのうとなる。
【０１５６】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、放電負荷に異常放電（スパーク放電）が発生した際、その異常放電を検出すると共に、異常放電が継続発生しないように適切な回路を設けるようにしているので、装置の高信頼化を図ることが可能なパルス電源が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるパルス電源の第１の実施の形態を示す回路図。
【図２】本発明によるパルス電源の第１の実施の形態の変形例を示す回路図。
【図３】本発明によるパルス電源の第２の実施の形態を示す回路図。
【図４】本発明によるパルス電源の第３の実施の形態を示す回路図。
【図５】本発明によるパルス電源の第４の実施の形態を示す回路図。
【図６】本発明によるパルス電源の第４の実施の形態の変形例１を示す回路図。
【図７】本発明によるパルス電源の第４の実施の形態の変形例２を示す回路図。
【図８】本発明によるパルス電源の第５の実施の形態を示す回路図。
【図９】本発明によるパルス電源の第６の実施の形態を示す回路図。
【図１０】本発明によるパルス電源の第６の実施の形態の変形例を示す回路図。
【図１１】本発明によるパルス電源の第７の実施の形態を示す回路図。
【図１２】本発明によるパルス電源の第７の実施の形態の変形例１を示す回路図。
【図１３】本発明によるパルス電源の第７の実施の形態の変形例２を示す回路図。
【図１４】本発明によるパルス電源の第８の実施の形態を示す回路図。
【図１５】従来のパルス電源の構成例を示す回路図。
【符号の説明】
１０…充電電源、１１…直流電源、２０…パルス発生回路、３０…放電負荷、４０…制御回路、４１…出力電圧指令手段、４１ＰＧ…１ショット回路、４１ＰＣ…パルスカウンター、４１ＶＳ…基準電圧出力回路、５０…スパーク検出手段、５０ＣＴ…高周波変流器、５０Ｅ…基準設定器、５０ＣＰ…比較手段、５０ＶＤ…電圧検出手段、５０ＰＨ…光検出手段、５０Ｓ…音量検出手段、５０ＶＤ…電圧検出手段、６０ＰＧ…１ショット回路、６０Ａ…ＡＮＤ回路、６０…マスキング手段、６０ＰＣ…パルスカウンター、６０Ｒ…可変抵抗器、７０ＰＧ…１ショット回路、７０…異常信号発生手段、７０ＰＣ…パルスカウンター、Ｃｏ…コンデンサ、Ｃｃ…カップリングコンデンサ、ＳＷ…スイッチ手段、Ｌｓ…サージ電圧抑制要素、Ｌｇ…充電リアクトル。
【図１】
2005057823.tif 000003
【図２】
2005057823.tif 000004
【図３】
2005057823.tif 000005
【図４】
2005057823.tif 000006
【図５】
2005057823.tif 000007
【図６】
2005057823.tif 000008
【図７】
2005057823.tif 000009
【図８】
2005057823.tif 000010
【図９】
2005057823.tif 000011
【図１０】
2005057823.tif 000012
【図１１】
2005057823.tif 000013
【図１２】
2005057823.tif 000014
【図１３】
2005057823.tif 000015
【図１４】
2005057823.tif 000016
【図１５】
2005057823.tif 000017