(57)【要約】【課題】  予め所定の液滴径に生成された複数の液滴を所定の位置に配置した後、一括して基板上に転写することで、ムラの発生を抑制する表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】  液滴生成工程においては、マイクロチャンネルを利用して分散層である発光層材料７を連続層に注入することで所望の液滴径を有する液滴４を生成し、液滴誘導工程においては、液滴４を吸着可能なドット電極２４が所定の位置に複数設けられた対向基板２に、液滴生成工程で生成された液滴４を所望のドット電極２４に吸着させ、液滴転写工程においては、対向基板２が吸着している複数の液滴４を、基板３上の所定の位置へ一括して転写する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロチャンネルを利用して分散層である塗布材を連続層に注入することで所望の液滴径を有する前記塗布材の液滴を生成する液滴生成工程と、
前記液滴を吸着可能な電極が所定の位置に複数設けられた対向基板に、前記液滴生成工程で生成された前記液滴を所望の前記電極に吸着させる液滴誘導工程と、
前記対向基板が吸着している複数の前記液滴を、基板上の所定の位置へ一括して転写する液滴転写工程と、
を有することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記液滴誘導工程では、前記液滴生成工程で生成された前記液滴を１滴ずつ、前記対向基板に設けられた搬送用電極をオン・オフさせることによって所定に位置に誘導し吸着させることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記液滴誘導工程では、前記液滴生成工程で生成された複数の前記液滴を備蓄槽に蓄え、当該備蓄槽内の複数の前記液滴を一括して前記対向基板に吸着させることを特徴とする請求項１に記載の表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記対向基板上の前記液滴が吸着されている位置を撮像手段で撮像し、その画像から所定の液滴径を有していない液滴または吸着抜けを検出し、当該所定の液滴径を有していない液滴を除去装置で取り除き、除去したその位置または吸着抜けのあった位置に追加装置で予め用意された所定の液滴径を有する前記液滴を供給し、供給された当該液滴を前記対抗基板に吸着させる液滴検査調整工程を有することを特徴とする請求項１乃至請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記液滴生成工程において生成され前記連続層によって搬送されている前記液滴を前記撮像手段で撮像し、その画像から所定の液滴径を有していない液滴を検出して前記除去装置で取り除く液滴検査工程を有することを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、予め所定の液滴径に生成された複数の液滴を所定の位置に配置した後、一括して基板上に転写することで、ムラの発生を抑制する表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＰＣや携帯電話などの発達に伴い薄型表示装置への需要が増加している。現在主流となっている液晶ディスプレイに変わる次世代表示装置の有力候補として、有機ＥＬ（electroluminescence）ディスプレイが注目されている。両者を比較すると、有機ＥＬディスプレイには、素子自体が発光するのでバックライトが不要であり、また、基本的には１枚のガラスから構成されるので薄型、軽量化が可能であり、陽極−陰極間のキャリアの移動によって発光する素子のため、液晶ディスプレイの懸案課題である視野角と応答速度に関する特性が優れているという利点がある。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイの発光層材料は、低分子型と高分子型に大別され、それぞれ発光層形成技術が異なる。低分子型では、発光層はマスク蒸着技術により形成され、数十ミクロンの薄い金属製のマスクを使わなければならず、精度の良い大きなマスクを作ることは難しいので大型化には向いていない。
【０００４】
一方、高分子型では、発光高分子を有機溶媒に溶解させ、これをインクジェット方式で基板上の所定の画素に塗布することによって発光層が形成される（例えば、特許文献１）。インクジェットヘッドと基板との相対位置を大きく変えられる機構は容易に実現できるので、高分子型材料をインクジェットで塗布する方法は大型化に向いている。
【０００５】
また、低分子型は蒸着を利用するため無駄にする材料が多い。一方、インクジェット方式は、図１６に示すように、インクジェットヘッド１０３の各ノズル１０４から発光層材料を必要量だけ基板１０１上の所定の場所に塗布して画素１０２を形成するので、非常に材料の利用効率が高い。
【０００６】
このように、大型化と材料利用効率に優れている事から、大型の有機ＥＬディスプレイの製造方法としては、インクジェット方式が有力視されている。
【０００７】
ところで、パネル発光時の輝度ムラを低減するために、従来の有機ＥＬディスプレイの製造工程では、インクジェットによって発光層材料を基板１０１上の画素１０２へ塗布する前に、ノズル１０４毎の液滴量を、そのばらつきを２％以内に抑えるよう微調整している。
【０００８】
しかし、インクジェットヘッド１０３や送液用配管への外乱振動、ノズル１０４へのエア混入が主原因で、塗布中に液適量がばらついたり、不吐出が発生したりして、図１７（ａ）に示すような、筋ムラ或いは行抜け（以降、「塗布ムラ」と総称する）がしばしば発生していた。
【０００９】
また、従来のインクジェット方式では、基板１０１周辺部の発光層材料の方が、中心部の発光層材料に比べて乾燥が速い。そのため、乾燥後における周辺部と中心部との発光膜の形状に差異が生じ、図１７（ｂ）に示すように、基板１０１上の場所に依存した輝度ムラ（乾燥ムラ）が発生してしまう。
【００１０】
また、１枚の大きな基板１０１から複数のパネルを製造する場合、個々のパネルにおいてその周辺部と中心部との発光膜の形状に差異が生じるだけでなく、図１７（ｃ）に示すように、中心部に位置するパネルと周辺部に位置するパネルとでも発光膜の形状に差異が生じてしまい、基板１０１端乾燥ムラとパネル端乾燥ムラとから成る複合ムラが発生してしまう。
【００１１】
このような不良は、組立て後に有機ＥＬディスプレイを発光させるまで明らかにならない。また、基板１０１が大型化してくると、それに応じて塗布範囲が広くなるので、不良の発生頻度も高くなり、大量の不良パネルを作ってしまう危険性がある。
【特許文献１】特開２００３−９０９０９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
解決しようとする問題点は、従来のインクジェット方式によるムラの発生であり、本発明は、予め所定の液滴径を有する塗布材の液滴を生成し、生成された複数の液滴を所定の位置に配置した後、一括して基板上に転写することで、ムラの発生を抑制する有機ＥＬディスプレイの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイの製造方法は、マイクロチャンネルを利用して分散層である塗布材を連続層に注入することで所望の液滴径を有する前記塗布材の液滴を生成する液滴生成工程と、前記液滴を吸着可能な電極が所定の位置に複数設けられた対向基板に、前記液滴生成工程で生成された前記液滴を所望の前記電極に吸着させる液滴誘導工程と、前記対向基板が吸着している複数の前記液滴を、基板上の所定の位置へ一括して転写する液滴転写工程とを有することを特徴とする。
【００１４】
また、請求項２に記載の有機ＥＬディスプレイの製造方法は、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、前記液滴誘導工程では、前記液滴生成工程で生成された前記液滴を１滴ずつ、前記対向基板に設けられた搬送用電極をオン・オフさせることによって所定に位置に誘導し吸着させることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項３に記載の有機ＥＬディスプレイの製造方法は、請求項１に記載の有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、前記液滴誘導工程では、前記液滴生成工程で生成された複数の前記液滴を備蓄槽に蓄え、当該備蓄槽内の複数の前記液滴を一括して前記対向基板に吸着させることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項４に記載の有機ＥＬディスプレイの製造方法は、請求項１乃至請求項３に記載の有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、前記対向基板上の前記液滴が吸着されている位置を撮像手段で撮像し、その画像から所定の液滴径を有していない液滴または吸着抜けを検出し、当該所定の液滴径を有していない液滴を除去装置で取り除き、除去したその位置または吸着抜けのあった位置に追加装置で予め用意された所定の液滴径を有する前記液滴を供給し、供給された当該液滴を前記対抗基板に吸着させる液滴検査調整工程を有することを特徴とする。
【００１７】
また、請求項５に記載の有機ＥＬディスプレイの製造方法は、請求項１乃至請求項４に記載の有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、前記液滴生成工程において生成され前記連続層によって搬送されている前記液滴を前記撮像手段で撮像し、その画像から所定の液滴径を有していない液滴を検出して前記除去装置で取り除く液滴検査工程を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、不良パネルの発生が減少し、歩留まりが向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の実施形態について、図１〜図１５を用いて説明する。
【００２０】
＜第１の実施形態＞
まず、第１の実施形態について、図１〜図１２を用いて説明する。第１の実施形態の有機ＥＬディスプレイ製造システム１ａでは、所定の大きさに生成された液滴４を個々に対向基板２ａ上の所定に位置に誘導し、液滴４が所定の位置に配置された対向基板２ａを基板３上に移動、液滴４を転写してパネルを製造する。
【００２１】
第１の実施形態では、図１に示すように、その製造工程は、液滴生成工程、液滴誘導工程、液滴検査・調整工程、および液滴転写工程の４つに大別される。以下、それぞれの工程について説明する。
【００２２】
≪液滴生成工程≫
図２を用いて液滴生成工程について説明する。図２は、本実施形態におけるマイクロチャンネルの概略の構成を示しており、液滴生成工程では、このマイクロチャンネルを用いて液滴４を生成する。本実施形態では、分散層として発光層材料、連続層として水（純水）を使用している。
【００２３】
発光層材料７は、基板３に転写される高分子インクを有機溶剤に溶解することで生成される。この発光層材料７は、水と親和性が低く混ざり合うことはない。この発光層材料７を供給管６から、一定の流速で水が流れている細管５に注入すると、図２に示すように、流れつつ水中で球状の液滴４が生成される。このように生成された液滴４は水によって水槽１１ａへと搬送される。
【００２４】
このマイクロチャンネルの分岐形状、連続層の流速等、諸条件を調整することで任意の大きさの液滴４を生成することができる。従来のインクジェット方式における１ノズル毎の液滴径のばらつきは約３％あるが、このマイクロチャンネル方式で液滴径が数十〜百数十μｍの液滴４を生成する場合、条件を最適化すると、生成される液滴径のばらつきを１％以下と極めて小さくすることができる。
【００２５】
なお、本実施形態においては、連続層として水を利用したが、発光層材料７と混合しない液体であれば代替可能である。
【００２６】
≪液滴誘導工程≫
液滴誘導工程では、生成された液滴４を対向基板２ａ上の所定の位置に誘導する。
【００２７】
図３に対向基板２ａの構造を示す。対向基板２ａは、図３に示すように、ガラス基板２１をベースとして、Ｘ軸方向搬送用電極２２、Ｙ軸方向搬送用電極２３、ドット電極２４の３層の電極と、各電極間にテフロン（登録商標）シート等の絶縁層２５（最上位層の絶縁層２５は便宜的に透過図としている）を挟んで積層された構造となっている。また、基板３周辺部の乾燥ムラを低減するために、基板３に対向基板２ａを接近させた際に、周辺部と発光エリア中央部とでの溶剤雰囲気の差が均一化されるに十分な空間を構成可能な広さを有する周辺部を対向基板２ａに設ける（詳細については後述）。
【００２８】
また、図４に示すように、Ｘ軸方向搬送用電極２２とＹ軸方向搬送用電極２３の電極１本１本はそれぞれ並行に配置され、格子状の電極を形成する。
【００２９】
また、Ｘ軸方向搬送用電極２２、Ｙ軸方向搬送用電極２３、ドット電極２４は対向基板駆動装置９によってそのＯＮ／ＯＦＦが制御され、Ｘ軸方向搬送用電極２２とＹ軸方向搬送用電極２３においては電極１本１本、ドット電極２４においてはドット毎にＯＮ／ＯＦＦが対向基板駆動装置９によって制御される。なお、ドット電極２４が搬送時に発生する静電力は、Ｘ軸方向搬送用電極２２とＹ軸方向搬送用電極２３が発生する静電力よりも大きいこととする。そうすることにより、一旦ドット電極２４に液滴４が吸着されると、別の液滴４を移動させるためにＸ軸方向搬送用電極２２とＹ軸方向搬送用電極２３の電圧を変化させても、これに影響されることなく、ドット電極２４に吸着されたままになる。
【００３０】
次に、図５を用いて、液滴４の誘導について説明する。図５は図３の対向基板２ａを簡略化したものである。第１の実施形態では、下記の誘導方式で、液滴生成工程で生成された液滴４を対向基板２ａ上の所定の位置に誘導する。
【００３１】
今、電極２６Ａに液滴４が吸着しているとする。図６に示すステップ１〜６の順で、所定の時間内に各電極２６Ａ〜Ｆの印加電圧を切り換える。液滴４は電極２６Ａに吸着されることによって帯電しており、印加電圧を切り換えることによって各電極２６に発生する静電力によって電極２６Ａに吸着されていた液滴４は隣の電極２６Ｂへ移動する。
【００３２】
対向基板２ａ上に液滴４を格子状に誘導する例を、図７を用いて説明する。なお、各電極のＯＮ／ＯＦＦの制御については、制御装置８からの指示に従って、対向基板駆動装置９が、生成された液滴４が水槽１１ａへ流入するタイミングと各電極のＯＮ／ＯＦＦを切り換えるタイミングとの同期を計りつつ、その制御を行う。
【００３３】
細管５から供給された液滴４は、１行１列目の位置するドット電極２４がＯＮになることによってその電極位置に吸着される。１行１列目の電極に吸着された液滴４は、ドット電極２４がＯＦＦになり、Ｙ軸方向搬送用電極２３に図６に示す周期で電圧が印加されることによって、２行１列目の電極に移動され、２行１列目のドット電極２４がＯＮになることによってその位置に吸着される。このようにして、順次細管５から供給される液滴４を１列目のドット電極２４に吸着させる（図７（ａ）の状態）。
【００３４】
１列中の所定のドット電極２４に液滴４が吸着されると、次に、その１列目の液滴４全てを２列目に移動させる。１列目の液滴４全ては、その液滴４を吸着する全てのドット電極２４がＯＦＦになり、Ｘ軸方向搬送用電極２２に図６に示す周期で電圧が印加されることによって、２列目に移動され、２列目のドット電極２４全てがＯＮになることによってその位置に吸着される（図７（ｂ）の状態）。
【００３５】
その後、１列目に再び液滴４を吸着させ（図７（ｃ）の状態）、１列目に液滴４が揃ったら、順次、列方向に液滴４を移動させる（図７（ｄ）の状態）。この制御を繰り返すことによって、基板３上の所定の位置に液滴４が誘導され、吸着される。
【００３６】
このようにして、液滴４を吸着した対向基板２ａは、移動装置１０によって液滴検査・調整工程へ搬送される。
【００３７】
≪液滴検査・調整工程≫
液滴検査・調整工程では、対向基板２ａのドット電極２４に吸着している液滴４のうち、許容範囲を逸脱して大きさのそろっていないものを検出して、その液滴４の除去、追加が行なわれる。
【００３８】
撮像装置１２ａは、微小体をマクロ撮影可能なカメラであり、制御装置８から指示された位置を撮影し、その画像データを出力する。また、撮像装置１２ａは、対向基板２ａ上を撮影するため、任意のＸ−Ｙ方向に移動可能な移動装置１０を備える。
【００３９】
液滴除去装置１３ａは、負圧源１４を有する吸引装置であって、負圧源１４が発する負圧によって制御装置８から指示された位置に存在する液滴４を吸い取る。また、液滴除去装置１３ａは、対向基板２ａ上の任意の位置の液滴４を吸い取るため、任意のＸ−Ｙ方向に移動可能な移動装置（図示しない）を備える。
【００４０】
液滴追加装置１５は、正圧源１６を有する吐出装置であって、その内部に所定の液滴径を有する液滴４が蓄えられており、正圧源１６が発する正圧によって制御装置８から指示された位置に液滴４を吐出する。また、液滴追加装置１５は、対向基板２ａ上の任意の位置に液滴４を吐出するため、任意のＸ−Ｙ方向に移動可能な移動装置（図示しない）を備える。
【００４１】
液滴誘導工程にて、対向基板２ａ上の所定の位置に液滴４が誘導された後、撮像装置１２ａで対向基板２ａ上の液滴４を撮影する。制御装置８から撮像装置１２ａに対して撮影する液滴４の位置（撮影位置）と共に撮影開始が指示されると、撮像装置１２ａは、指示された撮影位置の画像データを順次制御装置８へ出力する。
【００４２】
制御装置８は、その画像データを解析し、所定の許容範囲を逸脱した液滴径を有する液滴４の位置、および液滴抜けが発生した位置を算出する。なお、画像データの解析については従来からある手法なので、その詳細な説明は省略する。
【００４３】
本実施形態において生成される液滴４の大きさは３０〜４０μｍであるが、この所定の大きさより許容範囲を逸脱した大きな液滴４、または小さな液滴４は、除去し、その位置に液滴４を追加しなければならない。制御装置８が液滴除去装置１３ａに対して除去しなければならない液滴４の位置（除去位置）と共に除去開始を指示すると、液滴除去装置１３ａは、その除去位置に移動し、所定の大きさより大きな液滴４、または小さな液滴４を吸い取る。この時、対向基板駆動装置９が除去位置のドット電極２４をＯＦＦにすることで、低負圧で液滴４を吸い取ることができる。
【００４４】
液滴４を吸い取った後は、吸い取った液滴４があった位置と液滴抜けが発生した位置とに新たに液滴４を追加しなければならない。制御装置８が液滴追加装置１５に対して追加しなければならない液滴４の位置（追加位置）と共に追加開始を指示すると液滴追加装置１５は、その追加位置に移動し、液滴４を吐出する。この時、対向基板２ａのドット電極２４に液滴４が吸着するよう、対向基板駆動装置９が追加位置のドット電極２４をＯＮにするのは言うまでもない。
【００４５】
このようにして、液滴４の大きさや配置の不具合が調整された後、対向基板２ａは液滴転写工程に移送される。
【００４６】
なお、この液滴検査・調整工程で多数の不具合が検出された場合、液滴除去装置１３ａで液滴４を取り除いた後、液滴誘導工程に戻って、追加位置に液滴４を誘導するようにしても良い。
【００４７】
≪液滴転写工程≫
液滴転写工程では、対向基板２ａのドット電極２４に吸着している液滴４が基板３上に転写され、その転写された液滴４の乾燥が行なわれる。図８は、対向基板２ａを液滴転写工程へ搬送された際の概略構成を示す図である。なお、図８では、基板昇降装置１７は省略されている。
【００４８】
液滴４が転写される基板３は、図８に示すように、画素毎にその仕切りとなるバンク３１が設けられている。このバンク３１の高さは、液滴径に対して十分小さな高さ（例えば、３μｍ程度）であることが望ましい。また、図９に示すように、基板３周辺部の乾燥ムラを低減するために、基板３に対向基板２ａを接近させた際に、周辺部と発光エリア中央部とでの溶剤雰囲気の差が均一化されるに十分な空間を構成可能な広さを有する周辺部を基板３に設ける。なお、この周辺部の広さは、溶剤の種類、発光エリアの広さ等によっても異なる。
【００４９】
対向基板２ａの各電極が配置されているエリアと、基板３の発光エリアの広さが一致している必要は無いが、対向基板２ａのドット電極２４の配置間隔は基板３のバンク３１の間隔に等しいか、または基板３のバンク３１の間隔は、ドット電極２４の配置間隔の整数倍でなければならない。
【００５０】
また、液滴４の転写を容易にするために、バンク３１にフッ素系プラズマ処理等の撥インク処理を施しても良い。さらに、液滴４が転写されるバンク３１内側に親インク処理を施しても良い。
【００５１】
液滴検査・調整工程で液滴４の大きさや配置の不具合が調整された後、対向基板２ａは移動手段によって基板３直上へ搬送される。
【００５２】
また、液滴４が転写される基板３は、基板３を保持するステージに乗せられ基板昇降装置１７によって水槽１１ａ中の所定の位置に設置されている。ステージは後述する乾燥装置１８の機能を兼ね備えていても良い。
【００５３】
制御装置８から対向基板駆動装置９に対して液滴４の転写開始が指示されると、対向基板駆動装置９は、移動装置１０に対して対向基板２ａの下降を指示し、移動装置１０は対向基板２ａの下降移動を開始し、液滴４が基板３に接触する間隔まで対向基板２ａを下降させる。基板３に液滴４を接触させることによって、発光層材料７は基板３に転写される。
【００５４】
この時、液滴４が基板３に接触する直前に、対向基板駆動装置９は、対向基板２ａのドット電極２４をＯＦＦにして、液滴４が基板３側へ転写され易いようにしても良い。また、同時に制御装置８が基板３の各画素を発光させるために基板３内に製作されている電極をＯＮにすることで、液滴４を基板３へ転写させるようにしても良い。
【００５５】
また、基板３の下に絶縁層２５（図示しない）を挟んで、液滴４を転写するための専用の電極（図示しない）を配置し、液滴４が基板３に接触する直前に、対向基板駆動装置９が対向基板２ａのドット電極２４をＯＦＦにし、制御装置８がこの専用の電極をＯＮにすることで液滴４を転写させても良い。なお、この絶縁層２５を含む専用の電極は、必ずしも基板３に一体化される必要はなく、ステージ上に配置されても良い。
【００５６】
液滴４を転写後、対向基板２ａと基板３との間に充満している水や溶剤を除去し、発光層材料７を乾燥させる。
【００５７】
液滴４が対向基板２ａから基板３へ転写された後、制御装置８からの基板昇降装置１７と移動装置１０に対して発光層材料７の乾燥開始が指示されると、基板昇降装置１７と移動装置１０によって、対向基板２ａと基板３は、その間隔を数ｍｍ程度に保ったまま水の外へと搬送される。
【００５８】
発光層材料７の溶剤が低沸点溶剤であれば、溶剤は雰囲気中へ揮発するが、発光層材料７の溶剤が200℃を越える高沸点溶剤であれば、室温では十分に揮発しにくいので、吸引装置（図示しない）で強制的に水や溶剤を取り除いても良い。また、図１０に示すように、ステージ内に分割された熱源である乾燥装置１８を設置し、制御装置８によって熱源の温度を個別に調整することによって、乾燥ムラの発生を抑えつつ発光層材料７を加熱して乾燥させる。
【００５９】
また、液滴生成工程にて、溶剤濃度の異なる複数種の液滴４を生成し、液滴誘導工程にて、例えば、図１１中αの位置に、早く揮発するよう溶剤濃度の低い液滴４を配置することで、乾燥ムラの発生を抑えつつ発光層材料７を乾燥させることも可能である。
【００６０】
また、複数のパネルを１枚の基板３から製造する場合、溶剤のみの液滴４を生成するマイクロチャンネルを用意し、液滴誘導工程にて、例えば、図１２中βの位置（パネル間）に配置することで、周辺部の溶剤濃度が低下することによる乾燥ムラの発生を抑えつつ発光層材料７を乾燥させることも可能である。
【００６１】
＜第２の実施形態＞
次に、第２の実施形態について、図１３〜図１５を用いて説明する。第２の実施形態の有機ＥＬディスプレイ製造システム１ｂでは、所定の大きさに生成された液滴４を一旦液滴リザーバ１９に蓄え、蓄えられた液滴４を対向基板２ｂに一括して吸着させ、液滴４が所定の位置に配置された対向基板２ｂを基板３上に移動、液滴４を転写してパネルを製造する。
【００６２】
第２の実施形態では、図１３に示すように、その製造工程は、液滴生成工程、液滴検査工程、液滴誘導工程、および液滴転写工程の４つに大別される。以下、それぞれの工程について説明する。
【００６３】
≪液滴生成工程≫
液滴生成工程は第１の実施形態と同じなので、その詳細な説明は省略する。
【００６４】
≪液滴検査工程≫
液滴検査工程では、液滴生成工程で生成された液滴４のうち、大きさのそろっていないものを検出して、その液滴４の除去が行なわれる。
【００６５】
撮像装置１２ｂは、微小体をマクロ撮影可能なカメラであり、細管５を流れる液滴４を撮影し、その画像データを出力する。また、液滴除去装置１３ｂは、負圧源１４を有する吸引装置であって、負圧源１４が発する負圧によって制御装置８から指示された細管５中の特定の液滴４を吸い取る。
【００６６】
制御装置８から撮像装置１２ｂに対して液滴生成のタイミング、連続層の流速にあわせて液滴４の撮影開始が指示されると、撮像装置１２ｂは、細管５中を流れる液滴４を撮影し、その画像データを順次制御装置８へ出力する。
【００６７】
制御装置８は、その画像データを解析し、所定の許容範囲を逸脱した液滴径を有する液滴４を検出する。なお、画像データの解析については従来からある手法なので、その詳細な説明は省略する。
【００６８】
所定の許容範囲を逸脱した液滴径を有する液滴４を検出すると、制御装置８は、液滴除去装置１３ｂに対して流速と撮影したタイミングにあわせて除去しなければならない液滴４の除去タイミングを指示し、液滴除去装置１３ｂは、指示された除去タイミングで負圧を発生し、細管５中を流れる液滴４を吸い取る。
【００６９】
なお、適正な液滴径を有する液滴４は、そのまま細管５中を流れて後述する液滴リザーバ１９に一時的に蓄えられる。
【００７０】
≪液滴誘導工程≫
液滴誘導工程では、生成された液滴４を一括して対向基板２ｂ上の所定の位置に誘導する。
【００７１】
第２の実施形態における対向基板２ｂは、ガラス基板２１をベースとして、ドット電極２４とテフロン（登録商標）シート等の絶縁層２５が積層された構造となっていれば良く、Ｘ軸方向搬送用電極２２およびＹ軸方向搬送用電極２３は無くても良い。
【００７２】
また、水槽１１ｂの底部には細管５から流れてくる液滴４を吸着するための吸着用電極を備えた液滴リザーバ１９が設けられている。
【００７３】
図１４に、液滴リザーバ１９内で細管５から供給された液滴４が規則的に配列された様子を示す。連続層の対流によって流れてくる液滴４を吸着用電極で吸着しても良いし、第１の実施形態の液滴誘導工程で示した電極のＯＮ／ＯＦＦによる誘導方法と同様の方式で、液滴４を吸着しても良い。これによって、液滴４が対流によって上下動等することを防止することができる。
【００７４】
また、液滴リザーバ１９内で、液滴４同士が吸着したり、接触すると混合したりする場合は、液滴生成工程において、液滴４の表面に分散剤をコーティングして液滴４をカプセル化しても良い。
【００７５】
次に、図１５を用いて、液滴４の誘導について説明する。図１５は液滴リザーバ１９と対向基板２ｂを簡略化したものである。今、図１５（ａ）に示すように、液滴リザーバ１９内に液滴４が十分に蓄えられているとする。
【００７６】
制御装置８からの指示に従って、対向基板駆動装置９は、移動装置１０に対して対向基板２ｂの下降移動を指示すると、移動装置１０は、生成された液滴４が蓄えられた液滴リザーバ１９に向けて対向基板２ｂの下降移動を開始し、液滴４が基板３に接触する直前の適切な間隔まで対向基板２ｂを下降させる（図１５（ｂ）から（ｃ）へ）。
【００７７】
次に、対向基板駆動装置９は、対向基板２ｂのドット電極２４を全てＯＮにし、液滴リザーバ１９に蓄えられている液滴４を吸着させ、移動装置１０に対して対向基板２ｂの上昇移動を指示すると、移動装置１０は、液滴４が吸着された対向基板２ｂの下降移動を行う（図１５（ｄ））。
【００７８】
このようにして、液滴４を吸着した対向基板２ｂは、移動装置１０によって液滴転写工程へ搬送される。
【００７９】
≪液滴転写工程≫
液滴転写工程は第１の実施形態と同じなので、その詳細な説明は省略するが、第２の実施形態では、水中ではなく雰囲気中で行われる。そのため、液滴４の転写時には、液滴４が対向基板２ｂ上で乾燥しないように雰囲気の影響を受けないようにすることが好ましい。
【００８０】
以上、発光層材料７に関して実施形態を説明したが、正孔輸送層材料に関しても同様の原理で、各工程での処理を行うことができる。
【００８１】
なお、第１の実施形態では、液滴誘導工程の後に液滴検査・調整工程が行われているが、第２の実施形態と同様に、液滴生成工程の後に液滴検査工程が行われても良いし、第２の実施形態においても第１の実施形態と同様に、液滴転写工程の後に液滴検査・調整工程が行われても良い。
【００８２】
また、第１の実施形態においても、第２の実施形態と同様に雰囲気中で液滴転写工程が行われても良いし、第２の実施形態においても第1の実施形態と同様に、水中で液滴転写工程が行われても良い。
【００８３】
尚、有機ＥＬディスプレイに限らず、塗布ムラが問題となる表示装置の製造においても有用である。
【００８４】
従って本発明によれば、大きさの揃った液滴を対向基板上の所定の位置に誘導し、その液滴を基板に転写することによって、塗布ムラの発生が抑制され、不良パネルの発生が減少し、歩留まりが向上する。
【００８５】
また、発光層材料の液滴を吸着している対向基板とバンクを有する基板との間の溶剤雰囲気が均一化され、基板周辺部やパネル周辺部で発生していた乾燥ムラが抑制され、不良パネルの発生が減少することで歩留まりも向上する。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】第１の実施形態における有機ＥＬディスプレイ製造システムの概略の構成を示す図である。
【図２】液滴生成工程におけるマイクロチャンネルの概略の構成と、液滴生成の様子を示す図である。
【図３】対向基板の構成を示す図である。
【図４】対向基板のＸ軸方向搬送用電極とＹ軸方向搬送用電極の配置を示す図である。
【図５】対向基板の電極を模式的に表した図である。
【図６】液滴誘導工程における液滴の搬送の様子を示す図である。
【図７】液滴を搬送する際の電圧パターンを示す図である。
【図８】対向基板を液滴転写工程へ搬送された際の概略構成を示す図である。
【図９】液滴転写工程における対向基板と基盤の概略図である。
【図１０】液滴転写工程における対向基板と基盤の概略図である。
【図１１】液滴転写工程における対向基板と基盤の概略図である。
【図１２】液滴転写工程における対向基板と基盤の概略図である。
【図１３】第２の実施形態における有機ＥＬディスプレイ製造システムの概略の構成を示す図である。
【図１４】液滴リザーバ内で細管から供給された液滴が規則的に配列された様子を示す図である。
【図１５】液滴リザーバと対向基板を簡略化し、液滴吸着の手順を示す図である。
【図１６】従来のインクジェット方式による塗布を示す図である。
【図１７】筋ムラ、輝度ムラを示す図である。
【符号の説明】
【００８７】
１ａ，ｂ…有機ＥＬディスプレイ製造システム、２ａ，ｂ…対向基板、３…基板、４…液滴、５…細管、６…供給管、７…発光層材料、８…制御装置、９…対向基板駆動装置、１０…移動装置、１１ａ，ｂ…水槽、１２ａ，ｂ…撮像装置、１３ａ，ｂ…液滴除去装置、１４…負圧源、１５…液滴追加装置、１６…正圧源、１７…基板昇降装置、１８…乾燥装置、１９…液滴リザーバ、２１…ガラス基板、２２…Ｘ軸方向搬送用電極２２、２３…Ｙ軸方向搬送用電極、２４…ドット電極、２５…絶縁層、２６…電極、３１…バンク、１０１…基板、１０２…画素、１０３…インクジェットヘッド、１０４…ノズル、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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