(57)【要約】     【課題】  ノズル内に設置されたフィルタで異物除去能力を向上できると共に、ノズルを分解することなく容易にフィルタを取り外してフィルタを洗浄できる洗浄用ノズルを提供する。    【解決手段】  この洗浄用ノズル２３では、着脱自在のフィルタ部材３を、第１の部材１の貫通部１３に挿通して第２の部材２に形成した溝部１６に嵌め込んでいる。これにより、ノズル２３を分解することなく、第１の部材１の貫通部１３と第２部材２の溝部１６に対して容易にフィルタ部材３を着脱でき、フィルタ部材３を取り外して洗浄できるので、メンテナンス作業の効率化を図れる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄液が供給される供給口と、
上記洗浄液を噴出する噴出口と、
第１の部材と、
上記第１の部材に対向すると共に上記第１の部材に固定された第２の部材と、
上記第１の部材と上記第２の部材との間に形成されると共に上記供給口と上記噴出口とに連通した内側空間部に配置され、上記第１の部材と上記第２の部材とに対して着脱自在のフィルタ部と
を備えたことを特徴とする洗浄用ノズル。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄用ノズルにおいて、
上記第１の部材と上記第２の部材とのうちの一方の部材に形成されると共に上記内側空間部から外部空間に貫通している貫通部と、
上記第１の部材と上記第２の部材とのうちの他方の部材に形成されると共に上記内側空間部から外部空間に非貫通の溝部とを備え、
上記フィルタ部は、
上記貫通部に挿入されると共に上記溝部に嵌合して位置決めされることを特徴とする洗浄用ノズル。
【請求項３】
請求項１に記載の洗浄用ノズルにおいて、
上記フィルタと上記第１、第２の部材との間に配置されたＯリングを備えたことを特徴とする洗浄用ノズル。
【請求項４】
請求項１に記載の洗浄用ノズルにおいて、
上記フィルタ部は、１枚または複数枚のフィルタ部材を有していることを特徴とする洗浄用ノズル。
【請求項５】
請求項４に記載の洗浄用ノズルにおいて、
上記フィルタ部は、上記複数枚のフィルタ部材と、上記複数枚のフィルタ部材が嵌合されて装着されるアダプタとを備えたことを特徴とする洗浄用ノズル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、一例として、半導体用基板、液晶表示パネル用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板等の基板を洗浄する際に用いられる洗浄装置が備える洗浄用ノズルに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体用基板や液晶表示パネル用ガラス基板等に対する表面洗浄処理として、基板の表面に付着したパーティクル等の汚れを除去する洗浄方法が知られている。
【０００３】
この洗浄方法では、シャワー洗浄、高圧ジェット洗浄、超音波洗浄、スクラブ洗浄等の洗浄手段が用いられる。
【０００４】
ガラス基板を洗浄する方法の一つとしての液晶表示パネル用ガラス基板の洗浄方法では、年々ガラス基板の大型化が進み、それに伴い、使用する洗浄装置および各種洗浄ツールも大型化する傾向に有る。
【０００５】
図９に、このような洗浄装置の概略構成を示す。図９に示すように、この洗浄装置は、ローダ１２６から投入されたガラス基板(被洗浄物)１３２を洗浄するための洗浄用のブラシ１２０を備えたスクラブ洗浄部１２８と、超音波洗浄部１２９と、高圧ノズル１２３を備えた高圧ジェット洗浄部１３０と、純水置換を行うアクアナイフ１２４およびエアナイフ１２５によって洗浄液を除去して基板表面を乾燥させる乾燥部１３１と、基板１３２を装置外に搬送するアンローダ部１２７を有する。
【０００６】
次に、この洗浄装置による洗浄動作を説明する。先ず、ローダ１２６より投入されたガラス基板１３２が、ブラシ１２０による洗浄を行うためにスクラブ洗浄部１２８に搬送され、上下方向に設けられた回転するブラシ１２０に洗浄液をかけながら、このブラシ１２０がガラス基板１３２に押し当てられてガラス基板１３２の表裏の洗浄が行われる。
【０００７】
次に、超音波洗浄部１２９において、ガラス基板１３２の搬送方向と直交する方向に所定間隔を在して設けられた超音波発振器１２２と洗浄液供給ノズル１２１との間の隙間にガラス基板１３２が搬送され、超音波洗浄によりパーティクル除去が行われる。
【０００８】
次に、高圧ジェット洗浄部１３０において、高圧ノズル１２３によって、数ＭＰａの高圧が印加された洗浄液をガラス基板１３２の表面に吹き付ける洗浄を行い、ガラス基板１３２の表面に浮遊しているパーティクルの除去が行われる。続いて、ガラス基板１３２は、乾燥部１３１に搬送され、先ず、アクアナイフ１２４による純水置換後、エアナイフ１２５による基板表面の乾燥が行われ、アンローダ１２７に搬出されて、一連の洗浄工程を終了する。
【０００９】
上記高圧ジェット洗浄部１３０において、洗浄用高圧ノズル１２３は数ＭＰａの高圧が印加された洗浄液をガラス基板１３２表面に吹き付けるが、この洗浄用高圧ノズル１２３へ洗浄液の供給は、高圧ポンプ(図示せず)をステンレス製の配管でもって高圧ノズル１２３へ接続することで実現される。ここで、通常は、上記高圧ポンプ側にフィルタ(図示せず)を設けて異物の除去が行われる。
【００１０】
ところで、高圧ノズル１２３のメンテナンス時に高圧ノズル１２３を洗浄装置内から取り外す際には、高圧ノズル１２３にテーパ面によるテーパ嵌合で接続されている配管部分から取り外しが行われる。その後、高圧ノズル１２３を分解し、洗浄した後、再び、高圧ノズル１２３の組立と配管部分への接続が行われる。
【００１１】
その際、上記テーパ嵌合の接続部分に通常使用されるシールテープの切れ端および高圧ノズル１２３の組立時に付着したゴミが異物となり、スリットギャップ部より大きな異物に関しては、高圧ノズル１２３の噴出口(スリットギャップ部)に挟まり、洗浄液噴射時に水膜が部分的に途切れ、水膜の均一性を損なう原因となり、ガラス基板１３２の表面において未洗浄部分が生じる。
【００１２】
一方、上記噴出口より小さい異物の場合、高圧ノズル１２３により洗浄を行う筈が、逆にパーティクルを基板全面に撒き散らし、ガラス基板１３２に付着するパーティクルを増加させる原因となる。
【００１３】
また、高圧ノズル１２３に洗浄液を供給する配管が接続されている部分においては、他の部分と比べて、高圧ノズル１２３から噴射される洗浄液の流量が多くなる。このため、水膜の中で流量の分布が生じ、ガラス基板１３２のうちで、流量の弱い部分にパーティクルが残留する原因となる。
【００１４】
以上の問題点を解決する手段の一つとして、図１０に、断面構造を簡略化して例示するように、洗浄用ノズル内にフィルタ１４３を設けることが提案されている。この一例では、洗浄用ノズルは、ノズルブロック１４０とノズルブロック１４１とノズルブロック１４２の３個のブロックを有する。なお、１４５は、高圧ポンプからの洗浄液が供給される供給口であり、１４４は噴出口である。上記３個のブロックのうちの１つのノズルブロック１４２に段差部１４６を設け、この段差部１４６にフィルタ１４３を嵌め込んで、組立が行われる。この洗浄用ノズルでは、高圧ポンプ(図示せず)の出口に設けたフィルタ(図示せず)の下流側で発生したパーティクルに関しては、上記洗浄用ノズル内に設けたフィルタ１４３で異物の除去を行うことができる。
【００１５】
ところで、図１０の構成の洗浄用ノズルでは、ノズルブロック１４２の段差部１４６にフィルタ１４３を嵌め込んで固定するので、ノズル組立時および配管部分から発生した異物(シールテープの切れ端など)に対して、フィルタ１４３で除去することが可能となっている。
【００１６】
しかし、生産などで使用頻度が高まるに従って、フィルタ１４３自体に目詰まりが生じて、高圧ノズル１２３を通過する洗浄液の流量が減り、所定の数ＭＰａの高圧が出なくなり、パーティクルを除去できなくなる原因となる。
【００１７】
一方、液晶表示パネル用ガラス基板の大型化に伴い、高圧ノズル１２３自体も寸法が２ｍ近くに達して、重量も５０ｋｇを超える重量物となって、洗浄装置から高圧ノズル１２３を取り外すのに非常な労力が要求される。
【００１８】
尚、フィルタ１４３を高圧ノズル１２３内に設置することにより、従来は洗浄装置のメンテンナンス日に合わせて定期的に実施していた高圧ノズル１２３の分解作業の回数を減少させることができる反面、フィルタ１４３自身の目詰まりにより、高圧ノズル１２３から所定の圧力で洗浄液を噴射できない場合が生じる。その際には、洗浄装置のメンテナンス日以外に洗浄装置を止めて、高圧ノズル１２３を洗浄装置より取り外して、高圧ノズル１２３を分解して、フィルタ１４３を交換、若しくは清掃するなどの対応の必要が生じる。
【特許文献１】特開２００２−１５９８８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
そこで、この発明の課題は、ノズル内に設置されたフィルタで異物除去能力を向上できると共に、ノズルを分解することなく容易にフィルタを取り外してフィルタを洗浄できる洗浄用ノズルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記課題を解決するため、この発明の洗浄用ノズルは、洗浄液が供給される供給口と、上記洗浄液を噴出する噴出口と、
第１の部材と、上記第１の部材に対向すると共に上記第１の部材に固定された第２の部材と、上記第１の部材と上記第２の部材との間に形成されると共に上記供給口と上記噴出口とに連通した内側空間部に配置され、上記第１の部材と上記第２の部材とに対して着脱自在のフィルタ部とを備えたことを特徴としている。
【００２１】
この発明の洗浄用ノズルでは、上記フィルタ部は、上記第１の部材と上記第２の部材とに対して着脱自在である。したがって、この洗浄用ノズルによれば、ノズル内に設置されたフィルタで異物除去能力を向上できると共に、ノズルを分解することなく容易にフィルタを取り外してフィルタを洗浄できる。
【００２２】
また、一実施形態の洗浄用フィルタは、上記第１の部材と上記第２の部材とのうちの一方の部材に形成されると共に上記内側空間部から外部空間に貫通している貫通部と、上記第１の部材と上記第２の部材とのうちの他方の部材に形成されると共に上記内側空間部から外部空間に非貫通の溝部とを備え、上記フィルタ部は、上記貫通部に挿入されると共に上記溝部に嵌合して位置決めされる。
【００２３】
この実施形態の洗浄用ノズルでは、上記着脱自在のフィルタが上記一方の部材の貫通部に挿通されて、他方の部材に形成した溝部に嵌め込まれる。したがって、この実施形態では、上記貫通部と溝部の存在により、フィルタ部の位置決めが容易であり、フィルタ部の着脱が容易であり、フィルタ部を確実に取り付けることができる。
【００２４】
また、一実施形態の洗浄用フィルタは、上記フィルタと上記第１、第２の部材との間に配置されたＯリングを備えた。
【００２５】
この実施形態の洗浄用ノズルでは、上記Ｏリングによって、供給口から供給されて第１の部材と第２の部材との間の内側空間部に達した洗浄液が、フィルタと第１、第２の部材との間の隙間を通り抜けることが防がれる。したがって、洗浄液中の異物を上記フィルタによって効率よく除去でき、異物除去能力を向上できる。
【００２６】
また、一実施形態の洗浄用ノズルでは、上記フィルタ部は、１枚または複数枚のフィルタ部材を有している。
【００２７】
この実施形態の洗浄用ノズルでは、上記フィルタ部が１枚のフィルタ部材を有している場合は、フィルタ部の部品点数が少なくなる。一方、上記フィルタ部が複数枚のフィルタ部材を有している場合は、洗浄用ノズルの大型化への対応が比較的容易になる。
【００２８】
また、一実施形態の洗浄用ノズルでは、上記フィルタ部が複数枚のフィルタ部材を有し、上記フィルタ部は、上記複数枚のフィルタ部材が嵌合されて装着されるアダプタを備えた。
【００２９】
この実施形態の洗浄用ノズルでは、フィルタ部が複数枚のフィルタ部材を有するので、フィルタ部が１枚のフィルタ部材からなる場合に比べて、１枚のフィルタ部材が小型化でき、フィルタ部の取り扱いが容易になる。また、例えば、フィルタ部の一部のフィルタ部材だけを取り外して洗浄することも可能となる。
【発明の効果】
【００３０】
この発明の洗浄用ノズルによれば、ノズル内に着脱自在のフィルタ部を設けることにより、メンテナンス時の配管作業で生じる配管内の異物およびノズルを分解した際に混入する可能性のある異物などによって生じる水膜の膜切れや、パーティクルの増加を防止することができる。さらに、上記フィルタ部に溜まった異物に関しても、その都度、ノズルを洗浄装置から取り外すことなく、ノズルからフィルタ部のみを取り外すことができる。したがって、ノズルのメンテナンスを容易に行うことが可能となる。
【００３１】
さらに、洗浄用ノズル内に設けたフィルタがノズルの内側空間部における流路抵抗となり、供給口から供給される洗浄液の流量の局所的な集中を緩和して、流量分布の均一化を図れる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、この発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。
【００３３】
図１に、この発明の洗浄用ノズル２３の実施形態の断面を示す。この洗浄用ノズル２３は、第１の部材１と第２の部材２とフィルタ部材３を備えている。図２の斜視図にも示すように、第１の部材１と第２の部材２は、概略台形状である。
【００３４】
上記第１の部材１の対向面１Ａと第２の部材２の対向面２Ａとは、スペーサ５を挟んで対向している。この第１の部材１に形成されたボルト穴１１とスペーサ５に挿通されたボルト８を、第２の部材２のネジ孔１２に螺合させることで、第１の部材１と第２の部材２とが締結されている。
【００３５】
第１の部材１は、内側凹部１８と、この内側凹部１８から外周面に連通する供給口としてのテーパ貫通孔１５を有する。この内側凹部１８は、第２の部材２の対向面２Ｃとで、内側空間部１９を構成している。また、上記テーパ貫通孔１５には、接続配管６の先端テーパ部６Ａが嵌合される。この接続配管６は、ステンレス製配管等で高圧ポンプ(図示せず)に接続され、この高圧ポンプから一例として数ＭＰａの高圧に加圧された洗浄液が供給される。
【００３６】
また、この第１の部材１は、テーパ状の先端部１Ｂを有し、このテーパ先端部１Ｂの対向面１Ｂ-１が、第２の部材２のテーパ状の先端部２Ｂに所定のギャップを隔てて対向して、噴出口７が構成されている。このギャップは、上記スペーサ５の厚さで規定される。
【００３７】
この噴出口７は、上記内側空間部１９に連通している。また、この第１の部材１は、カバー４を嵌めるための溝１４を有する。この溝１４は底に環状溝１４Ａを有しこの環状溝１４ＡにＯリング９が嵌合されている。このＯリング９により、溝１４に嵌めたカバー４と第１の部材１との接触面から内部空間部１９への水漏れを防止する。
【００３８】
また、この第１の部材１は、上記溝１４から上記内側空間部１９に連通する貫通孔１３Ａと、上記貫通孔１３Ａに連なると共に上記第１の部材１の側部１Ｄの内側面に形成されてこの内側面を横断して第２の部材２の対向面２Ｃに至る横断溝１３Ｂを有する。この貫通孔１３Ａと横断溝１３Ｂとが貫通部１３を構成している。一方、上記第２の部材２の対向面２Ｃには、上記横断溝１３Ｂに連なる溝部１６が形成されている。図２に示すように、上記第１の部材１のテーパ貫通孔１５と溝１４は、フィルタ部材３を挿入する側の面１Ｅに形成されている。
【００３９】
図１に示すように、上記フィルタ１３は、上記第１の部材１の溝１４から上記貫通部１３に挿入されて、第２の部材２の溝部１６に嵌合して位置決めされている。これにより、噴出口７から数ＭＰａの高圧の洗浄液を噴射する場合でも、フィルタ部材３の位置ずれが発生しないようにしている。このフィルタ部材３の外周面には周溝１７が形成され、この周溝１７にＯリング１０が嵌め込まれている。このＯリング１０によって、フィルタ部材３とカバー４との接触面およびフィルタ部材３と第２の部材２との接触面の液密性を保ち、内側空間部１９に導入された洗浄液がフィルタ部材３を通過せずに噴出口７に至ることを防止している。このフィルタ部材３のメッシュの粗さは、一例として、３μｍ未満のメッシュを用いる。この場合、液晶基板の後工程の成膜工程で問題となる欠陥サイズ３μｍ以上の異物を洗浄工程で除去する必要性を満たすことができる。
【００４０】
なお、図３に、上記第１の部材１の溝１４からカバー４を外した状態で面１Ｅを見た様子を部分的に示す。
【００４１】
上記構成の洗浄用ノズル２３によれば、上記フィルタ部をなすフィルタ部材３は、上記第１の部材１と上記第２の部材２とに対して着脱自在である。したがって、この洗浄用ノズル２３によれば、ノズル２３内に設置されたフィルタ部材３で異物除去能力を向上できると共に、ノズル２３を分解することなく容易にフィルタ部材３を取り外して洗浄できる。また、この実施形態の洗浄用ノズル２３では、上記着脱自在のフィルタ部材３を第１の部材１の貫通部１３に挿通して、第２の部材２に形成した溝部１６に嵌め込んでいる。したがって、この貫通部１３と溝部１６により、フィルタ部材３の位置決めが容易であり、フィルタ部材３の着脱が容易であり、フィルタ部材３をノズル２３に確実に取り付けることができる。
【００４２】
また、この実施形態の洗浄用ノズル２３では、上記Ｏリング１０によって、供給口であるテーパ貫通孔１５から供給されて第１の部材１と第２の部材２との間の内側空間部１９に達した洗浄液が、フィルタ部材３と第１、第２の部材１、２との間の隙間を通り抜けることが防がれる。したがって、洗浄液中の異物を上記フィルタ部材３によって効率よく除去でき、異物除去能力を向上できる。
【００４３】
次に、図４に、上記構成の洗浄用ノズル２３を備えた高圧ジェット洗浄部３０を概略的に示す。この高圧ジェット洗浄部３０は、洗浄用ノズル２３と、この洗浄用ノズル２３の固定用スタンド３３とを有し、搬送用ローラ３５で矢印Ｘの方向に搬送されるガラス基板３２にスリット形状の噴出口７から洗浄液を噴射してガラス基板３２を洗浄する。なお、上記洗浄用ノズル２３には複数の接続配管６が接続され、この複数の接続配管６は複数のステンレス製配管３４に接続されている。また、この複数のステンレス製配管３４は高圧ポンプ(図示せず)に接続されている。
【００４４】
また、図５に、上記高圧ジェット洗浄部３０を有する洗浄装置全体を概略的に示す。
【００４５】
図５に示す洗浄装置は、枚葉式の洗浄装置であり、半導体用基板や液晶表示パネル用ガラス基板等に対する表面洗浄処理などの洗浄に用いられる。上記洗浄装置は、図５に示すように、ローダ２６から投入されたガラス基板(被洗浄物)３２を洗浄するための洗浄用のブラシ２０を備えたスクラブ洗浄部２８、超音波洗浄部２９、高圧ノズルを備えた高圧ジェット洗浄部３０、純水置換を行うアクアナイフ２４およびエアナイフ２５によって洗浄液を除去して基板表面を乾燥させる乾燥部３１、基板を装置外に搬送するアンローダ部２７で構成される。
【００４６】
この洗浄装置による洗浄動作を説明する。先ず、ローダ２６より投入されたガラス基板３２がスクラブ洗浄部２８に搬送され、このスクラブ洗浄部２８において、上下に配置されて回転するブラシ２０による洗浄が行なわれる。このブラシ２０に洗浄液をかけながら、ブラシ２０を回転させつつガラス基板３２に押し当ててガラス基板３２の表裏の洗浄が行われる。
【００４７】
次に、超音波洗浄部２９では、ガラス基板３２の搬送方向と直交する方向に所定間隔を在して上下に設けられた超音波発振器２２と洗浄液供給ノズル２１との間の隙間にガラス基板３２が搬送される。この超音波発振器２２と洗浄液供給ノズル２１によってガラス基板３２が超音波洗浄されて、パーティクル除去が行われる。
【００４８】
次に、上記高圧ジェット洗浄部３０では、洗浄用ノズル２３が、数ＭＰａの高圧が印加された洗浄液をガラス基板３２の表面に吹き付ける。図４に示したように、上記洗浄用ノズル２３は、固定用スタンド３３によって、ガラス基板３２に対して所定の角度だけ傾斜させた状態で洗浄装置本体に対して固定される。
【００４９】
そして、この洗浄用ノズル２３が数ＭＰａの高圧が印加された洗浄液をガラス基板３２の表面に噴射することで、ガラス基板３２の表面に浮遊しているパーティクルの除去が行われる。続いて、ガラス基板３２は、乾燥部３１に搬送され、先ず、アクアナイフ２４による純水置換がなされた後、エアナイフ２５による基板表面の乾燥が行われ、アンローダ２７に搬出されて、一連の洗浄工程を終了する。
【００５０】
図４に例示する高圧ジェット洗浄部３０では、高圧ポンプ(図示せず)から複数本のステンレス製配管３４と複数本の接続配管６とを経由して、数ＭＰａの高圧が印加された洗浄液を洗浄用ノズル２３へ供給している。通常、高圧ポンプ側でもフィルタ(図示せず)を備えており、このフィルタでもって異物の除去が行われる。そして、このフィルタの下流で発生した異物については、上記実施形態の洗浄用ノズル２３が内蔵するフィルタ部材３によって、洗浄液中の異物を除去することができる。
【００５１】
更に、洗浄用ノズル２３では、複数本の接続配管６から内側空間部１９の異なる複数の箇所に向かって洗浄液が供給されるが、内蔵するフィルタ部材３が内側空間部１９に流れる洗浄液に対する流路抵抗となるので、内側空間部１９における流量分布の均一化を図ることができる。
【００５２】
なお、上記実施形態では、図６(Ａ)に示すように、フィルタ部を１枚のフィルタ部材３で構成したが、図６(Ｂ)に示すように、フィルタ部が２枚のフィルタ部材４１と４２を有していてもよい。さらには、図６(Ｃ)に示すように、フィルタ部が３枚のフィルタ部材４５、４６、４７を有していてもよい。図６(Ｂ)や図６(Ｃ)に示すように、フィルタ部が複数枚のフィルタ部材を備える場合は、この複数枚のフィルタ部材が嵌合されて装着されるアダプタを備えることが望ましい。一例として、図６(Ｃ)に示すように、フィルタ部が３枚のフィルタ部材４５〜４７を有する場合には、フィルタ部は、図７に示すように、上記３枚のフィルタ部材４５〜４７が嵌め込まれて装着される３つの窓５２を有するアダプタ５１を備える。このアダプタ５１は、図８に部分的に拡大して示すように、窓５２の窓枠部に溝５３が形成され、この溝５３にフィルタ部材４５をスライドさせながら嵌め込む。なお、この溝５３の外側にはシール材６２が取り付けられる。このシール材６２は、アダプタ５１を上記第１の部材１の貫通部１３に嵌め込んだときに、アダプタ５１と第１の部材１との間をシールして水漏れを防止する。
【００５３】
尚、上記洗浄用ノズル２３を備えた洗浄装置では、被洗浄物をガラス基板としたが、被洗浄物はガラス基板に限らないことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の洗浄用ノズルの実施形態の構成を示す断面図である。
【図２】上記実施形態においてフィルタ部材３とカバー４を分解した様子を示す斜視図である。
【図３】上記実施形態におけるフィルタ部材３とＯリング１０との位置関係を示す部分的な詳細図である。
【図４】上記実施形態の洗浄用ノズル２３を備えた高圧ジェット洗浄部３０の構成を示す斜視図である。
【図５】上記高圧ジェット洗浄部３０を備えた洗浄装置の構成を示す図である。
【図６】図６(Ａ)は上記洗浄用ノズル２３が有するフィルタ部材３を示す図であり、図６(Ｂ)は上記実施形態の変形例としてフィルタ部が有する２枚のフィルタ部材を示す図であり、図６(Ｃ)は上記実施形態の変形例としてフィルタ部が有する３枚のフィルタ部材を示す図である。
【図７】図６(Ｃ)の３枚のフィルタ部材をアダプタ５１に装着する様子を示す図である。
【図８】図７に示すアダプタ５１の部分的な構造図である。
【図９】従来の洗浄装置の構成を示す図である。
【図１０】上記従来の洗浄用ノズルの構造を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  第１の部材
１Ａ  対向面
１Ｂ  先端部
１Ｂ-１  対向面
１Ｄ  側部
１Ｅ  面
２  第２の部材
２Ａ  対向面
２Ｂ  先端部
２Ｃ  対向面
３、４１、４２、４５〜４７  フィルタ部材
４  カバー
５  スペーサ
６  接続配管
７  噴出口
８  ボルト
９、１０  Ｏリング
１３  貫通部
１３Ａ  貫通孔
１３Ｂ  横断溝
１４  溝
１４Ａ  環状溝
１５  テーパ貫通孔
１６  溝部
１７  周溝
１９  内側空間部
２０  ブラシ
２１  洗浄液供給ノズル
２２  超音波発振器
２３  洗浄用ノズル
２４  アクアナイフ
２５  エアナイフ
２６  ローダ
２７  アンローダ
２８  スクラブ洗浄部
２９  超音波洗浄部
３０  高圧ジェット洗浄部
３１  乾燥部
３２  ガラス基板
３３  固定用スタンド
３４  ステンレス製配管
３５  搬送コロ
５１  アダプタ
５２  窓
６２  シール材
１４０、１４１、１４２  ノズルブロック
１４３  フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005296722.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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