(57)【要約】【課題】ノズル部材をベース部に対して水平面内で回転させることによって圧力気体の噴射方向を調整することができる浮上搬送装置を提供する。【解決手段】供給部から搬送部２０のベース部２１に供給された圧力気体がこのベース部２１との連通状態を維持したままベース部２１に水平面内で回転可能に保持されたノズル部材２２を経由してノズル部材２２に形成されたノズル２２ｄから噴射され、このノズル２２ｄから噴射された圧力気体により板状の被搬送体が浮上されつつ所定方向に搬送される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数配置されたノズル部材に形成されたノズルの各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送する浮上搬送装置において、
前記ノズル部材を水平面内で回転可能な円柱体から構成したことを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
圧力気体を供給する供給部と、該供給部に連通されたベース部と、該ベース部との連通状態を維持したまま前記ベース部に水平面内で回転可能に保持されたノズル部材と、前記ノズル部材に垂直若しくは傾斜状態で形成されて各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送するノズルとを備えていることを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項３】
前記ノズル部材は、外周から圧力気体を取り込むと共に軸線上を経由して前記ノズルに供給することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
前記ノズル部材は、外周に形成された環状の圧力気体供給路と、一端が前記圧力気体供給路に連通し且つ他端が軸線方向に向かって延びる連通路と、該連通路と連通した状態で軸線上に形成された軸上通路とを備え、
前記ノズルは、前記軸上通路の上端から前記ノズル部材の上端面に向かって垂直若しくは傾斜状態で貫通していることを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載の浮上搬送装置。
【請求項５】
前記供給部は、圧力気体供給源と、該圧力気体供給源に接続され且つ前記搬送部を側壁に複数固定した供給管とを備えていることを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項６】
前記各ベース部に制御弁が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項７】
前記ノズル部材は、駆動源を介して回転制御されることを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れか一つに記載の浮上搬送装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項６の何れか一つに記載の浮上搬送装置を複数配列したことを特徴とする浮上搬送システム。
【請求項９】
請求項８に記載の浮上搬送システムを用い、前記ノズル部材を水平面内で回転させて前記ノズルから噴射される圧力気体の噴射方向を調整したうえで前記ノズルから噴射される圧力気体で板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送することを特徴とする浮上搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状の被搬送体に対して圧力気体を噴射することによって被搬送体を浮上した状態にし、この状態で被搬送体を移動・停止・静止・方向転換させる浮上搬送装置、この浮上搬送装置を用いた浮上搬送ユニット、及び浮上搬送ユニットを用いた浮上搬送方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
【特許文献１】特開２０００−７２２５０号公報
【０００３】
従来から、成形・加工工程における液晶ディスプレイ等に用いられるガラス板や半導体装置が形成されるウエハ等の板状の被搬送体を気流の噴射によって行う浮上搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
このような浮上搬送装置は、図１１（Ａ）に示すように、移送用ユニット１と制御用ユニット２とを組み合わせて浮上搬送ユニット３を構成している。
【０００５】
移送用ユニット１は、矩形板状の被搬送体４の底面側に配置された複数のノズル５から圧力気体を吹き付けて浮上させつつ所定の移動方向に移動させる。
【０００６】
制御用ユニット２は、被搬送体４を浮上させた状態で被搬送体４を停止させると共に、所定方向（直進を含む）に方向転換させる。そして、その搬送過程において、被搬送体４に対する各種の処理を処理ユニットで行っている。
【０００７】
尚、移送用ユニット１と制御用ユニット２とは、被搬送体４の停止・方向転換機能を除いて実質的に同一であるが、図１１（Ｂ）に示すように、複数の噴射部６を縦横に配置している。この噴射部６は、各移送用ユニット１及び制御用ユニット２を構成する保持板７に噴射部６が多数保持されている。
【０００８】
保持板７の裏面には配管８（若しくは中空の筐体）が配設されており、この配管８内に圧力気体が供給される。
【０００９】
噴射部６は、図１０に示すように、保持板７に形成された保持穴７ａに保持された円柱体であり、その一部には保持穴７ａに形成された凹部７ｂと係合することにより噴射部６を相対回転不能に位置決めする凸部６ａが形成されている。また、噴射部６には、保持板７の裏面に位置する密閉室に開口する連通路６ｂと、この連通路６ｂの上端から上端面に向かって傾斜状態で貫通するノズル５とを備えている。
【００１０】
これにより、密閉室内に供給された圧力気体が連通路６ｂを経由してノズル５から噴射される。
【００１１】
尚、ノズル５の傾斜角度は、垂直を含め、被搬送体４の搬送方向等によって決定されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、上記の如く構成された浮上搬送装置にあっては、噴射部６が保持板７に相対回転不能に保持されているため、被搬送体の大きさや重量等に起因する微妙な搬送方向のずれ等を調整することができないといった問題が生じていた。
【００１３】
本発明は、上記問題を解決するため、ノズルから噴射される気流の噴射方向の調整をすることができる浮上搬送装置、この浮上搬送装置を用いた浮上搬送ユニット、及び浮上搬送ユニットを用いた浮上搬送方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
その目的を達成するため、請求項１に記載の浮上搬送装置は、複数配置されたノズル部材に形成されたノズルの各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送する浮上搬送装置において、前記ノズル部材を水平面内で回転可能な円柱体から構成したことを要旨とする。
【００１５】
請求項２に記載の浮上搬送装置は、圧力気体を供給する供給部と、該供給部に連通されたベース部と、該ベース部との連通状態を維持したまま前記ベース部に水平面内で回転可能に保持されたノズル部材と、前記ノズル部材に垂直若しくは傾斜状態で形成されて各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送するノズルとを備えていることを要旨とする。
【００１６】
請求項３に記載の浮上搬送装置は、前記ノズル部材は、外周から圧力気体を取り込むと共に軸線上を経由して前記ノズルに供給することを要旨とする。
【００１７】
請求項４に記載の浮上搬送装置は、前記ノズル部材は、外周に形成された環状の圧力気体供給路と、一端が前記圧力気体供給路に連通し且つ他端が軸線方向に向かって延びる連通路と、該連通路と連通した状態で軸線上に形成された軸上通路とを備え、前記ノズルは、前記軸上通路の上端から前記ノズル部材の上端面に向かって垂直若しくは傾斜状態で貫通していることを要旨とする。
【００１８】
請求項５に記載の浮上搬送装置は、前記供給部は、圧力気体供給源と、該圧力気体供給源に接続され且つ前記搬送部を側壁に複数固定した供給管とを備えていることを要旨とする。
【００１９】
請求項６に記載の浮上搬送装置は、前記各ベース部に制御弁が設けられていることを要旨とする。
【００２０】
請求項７に記載の浮上搬送装置は、前記ノズル部材は、駆動源を介して回転制御されることを要旨とする。
【００２１】
請求項８に記載の浮上搬送システムは、請求項１乃至請求項６の何れか一つに記載の浮上搬送装置を複数配列したことを要旨とする。
【００２２】
請求項９に記載の浮上搬送方法は、請求項８に記載の浮上搬送システムを用い、前記ノズル部材を水平面内で回転させて前記ノズルから噴射される圧力気体の噴射方向を調整したうえで前記ノズルから噴射される圧力気体で板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送することを要旨とする。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の浮上搬送装置によれば、複数配置されると共に水平面内で回転可能な円柱体から構成されたノズル部材に形成されたノズルの各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体が浮上されつつ所定方向に搬送されることにより、ノズル部材を水平面内で回転させることによりノズルの先端から噴射される圧力気体の噴射方向を調整することができる。
【００２４】
請求項２に記載の浮上搬送装置によれば、供給部から圧力気体が供給され、この供給部にベース部が連通され、ベース部との連通状態を維持したままノズル部材がベース部に水平面内で回転可能に保持され、各先端から噴射された圧力気体によって板状の被搬送体を浮上させつつ所定方向に搬送するノズルがノズル部材に垂直若しくは傾斜状態で形成されていることにより、ノズル部材を水平面内で回転させることによりノズルの先端から噴射される圧力気体の噴射方向を調整することができる。
【００２５】
請求項３に記載の浮上搬送装置によれば、ノズル部材がその外周から圧力気体を取り込むと共に軸線上を経由してノズルに圧力気体を供給することにより、圧力気体を効率よく取り込むことができる。
【００２６】
請求項４に記載の浮上搬送装置によれば、ノズル部材の外周に環状の圧力気体供給路が形成され、一端が圧力気体供給路に連通し且つ他端が軸線方向に向かって延びる連通路がノズル部材に形成され、連通路と連通した状態で軸上通路がノズル部材の軸線上に形成されると共に、この軸上通路の上端からノズル部材の上端面に向かって垂直若しくは傾斜状態でノズルが貫通していることにより、ノズル部材を水平面内で回転させても、ノズル以外の圧力気体の通路を容易に確保することができるうえ、その調整をノズルのみを考慮して行うことができる。
【００２７】
請求項５に記載の浮上搬送装置によれば、供給部が圧力気体供給源とこの圧力気体供給源に接続されると共に搬送部を側壁に複数固定した供給管とを備えていることにより、供給部を無理なく配置し得て、しかも装置全体の小型化に貢献することができる。
【００２８】
請求項６に記載の浮上搬送装置によれば、各ベース部に制御弁が設けられていることにより、ノズルの先端から噴射される圧力気体の噴射量を個別に制御することができる。
【００２９】
請求項７に記載の浮上搬送装置によれば、ノズル部材が駆動源を介して回転制御されることにより、ノズル部材の水平面内での回転量を厳密に制御管理することができるうえ、移送用ユニットと制御用ユニットとを兼用するといった状況に応じた噴射方向の制御も可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
次に、本発明の浮上搬送装置及び浮上搬送方法を図面に基づいて説明する。
【００３１】
図１は本発明の浮上搬送装置の要部の斜視図、図２（Ａ）は本発明の浮上搬送装置のベース部の平面図、図２（Ｂ）は本発明の浮上搬送装置のベース部の側面図、図３（Ａ）は本発明の浮上搬送装置のノズル部材の側面図、図３（Ｂ）は本発明の浮上搬送装置のノズル部材の断面図、図３（Ｃ）は本発明の浮上搬送装置のノズル部材の平面図、図４は制御弁の斜視図、図５は供給管保持ブラケットの斜視図、図６は本発明の浮上搬送装置の要部の底面図、図７は本発明の浮上搬送装置の要部の断面図、図８は本発明の浮上搬送装置の変形例を示す要部の断面図、図９は浮上搬送装置を縦横に配置した移送用ユニット若しくは制御用ユニットの平面図である。
【００３２】
図９において、本発明の浮上搬送装置１０は、上述した移送用ユニット１若しくは制御用ユニット２の内部に縦列若しくは横列に複数配置されている。尚、移送用ユニット１若しくは制御用ユニット２は、上述したように複数隣接して配置することにより所定の搬送方向が構築されるが、その配置例は自由である。
【００３３】
浮上搬送装置１０は、コンプレッサー等の圧力気体供給源（図示せず）に配管１１ａを介して接続されたコントロールバルブ１１と、このコントロールバルブ１１が一端に固定された供給管１２と、供給管１２の側壁に複数固定された搬送部２０とを備えている。
【００３４】
コントロールバルブ１１は、図６及び図７に示すように、配管１２への圧力気体の流量を制御するもので（例えば、Parker Hannifin CorporationのPNEUTRONICS）、保持板７と上下で対向する基板９にビス１３を介して固定された断面Ｌ字形状の長尺なフレーム１４の一端寄りに配置されて、供給管１２の一端に固定されている。
【００３５】
供給管１２は、フレーム１４にネジ１５を介して固定される供給管保持ブラケット１６により空中に保持されている。この供給管保持ブラケット１６は、図５に示すように、保持部１６ａを形成するように断面コ字形状とされた金属フレームに切り起こし等によって固定用の舌片１６ｂを形成すると共に、舌片１６ｂにネジ１５が挿入されるネジ挿入穴１６ｃを形成したものである。
【００３６】
搬送部２０は、基板９とフレーム１４とで挟持されると共にボルト１７によって基板９に固定されたベース部２１と、各ベース部２１に水平面内で回転可能に保持されたノズル部材２２と、各ベース部２１に固定された電磁弁（制御弁）２３と、供給管１２の外壁とベース部材２１の外壁との間に介装された環状パッキン２４とを備えている。
【００３７】
ベース部２１は、図２に示すように、略クランク形状の連通路２１ａと、シャフト保持穴２１ｂと、このシャフト保持穴２１ｂに連通する供給穴２１ｃと、常開ポート挿入穴２１ｄとが形成されている。また、連通路２１ａの傾斜部分の延長上にある穴２１ｅは形成時にできたもので常時はパッキン２５により閉成されている。さらに、連通路２１ａの上流端には供給管１２に固定されて環状パッキン２４を貫通した状態でボルト状のポート部材１８の先端が臨んでいる。このポート部材１８の軸線には、供給管１２と連通路２１ａとを連通する貫通穴（図示せず）が形成されている。さらに、ベース部材２１には、ボルト１７のネジ部と螺合する雌ネジ穴２１ｆが形成されている。
【００３８】
ノズル部材２２は、図３に示すように、その外周全体が環状に凹陥されてシャフト保持穴２１ｂの内壁と協働して環状の供給路２６（図７にのみ図示）を形成する環状凹部２２ａと、環状凹部２２ａの内壁面間に軸線を経由して貫通する連通穴２２ｂと、ノズル部材２２の軸線上に形成されて連通穴２２ｂと連通する軸穴２２ｃと、軸穴２２ｃの上端部と連通してノズル部材２２の上端面に開口するノズル２２ｄとを備えている。このノズル２２ｄは、必要に応じて（設置場所に応じて）ノズル部材２２に垂直若しくは傾斜状態で形成されている。尚、ノズル部材２２は、鋳型若しくは射出成形等によって形成された後、環状凹部２２ａの内壁面間を貫通するように連通穴２２ｂを形成すると共に、ノズル部材２２の下端面から軸線上に軸穴２２ｃを形成した後、ノズル２２ｄを穿孔している。これにより、軸穴２２ｃの連通穴２２ｂよりも下方はパッキン２７により密閉されている。さらに、ノズル部材２２の下端面には、ノズル部材２２を水平面内で手動若しくは自動で回転させる際の工具先端が挿入されるスリット２２ｅが形成されている。このため、ノズル部材２２の上端及び下端は、保持板７の上面並びに基板９の底面と面一となるように各板７，９に臨んでいる。
【００３９】
電磁弁２３は、図４に示すように、連通路２１ａの他端に接続されたコモンポート２３ａと、供給穴２１ｃに接続される常閉ポート２３ｂと、常開ポート挿入穴２１ｄに接続される常開ポート２３ｃとを備えている。
【００４０】
ところで、ノズル部材２２は、図８に示すように、環状凹部２２ａを廃止して連通路２２ｂを形成し、その連通路２２ｂに連通する環状凹部２１ｇをベース部材２１のシャフト保持穴２１ｂの内壁面に開放するように形成し、連通路２２ｂと直結していない部位でのノズル部材２２の外周と環状凹部２１ｇとの協働で供給路２６を形成しても良い。
【００４１】
上記の構成において、コンプレッサー等のコントロールバルブ１１が駆動すると、その圧力気体が供給管１２並びにポート部材１８を介してベース部材２１へと供給され、連通路２１ａ、コモンポート２３ａ、電磁弁２３、常閉ポート２３ｂ、供給穴２１ｃ、供給路２６（環状凹部２２ａ）、連通穴２２ｂ、軸穴２２ｃをこの順に介してノズル２２ｄから噴射される。
【００４２】
この際、ノズル部材２２は、ベース部２１に対して水平面内で回転可能となっていることから、ノズル２２ｄから噴射される圧力気体の噴射方向を調整することができる。
【００４３】
また、供給穴２１ｃから供給される圧力気体は、環状凹部２２ａによってノズル部材２２の水平面内での回転位置に拘わらず供給することができる。
【００４４】
これにより、手動若しくは自動により調整工具の先端をスリット２２ｅに挿入し、ノズル部材２２を水平面内で回転させるだけで容易に調整が可能となる。
【００４５】
さらに、電磁弁２３をベース部２２に個々に設けたことから、その圧力気体の供給量やタイミングを独立して制御することができる。
【００４６】
尚、各移送用ユニット１並びに制御用ユニット２の縁部にガイド壁を設けて被搬送体の不測な脱落を防止しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の浮上搬送装置の要部の斜視図である。
【図２】（Ａ）は本発明の浮上搬送装置のベース部の平面図、（Ｂ）は本発明の浮上搬送装置のベース部の側面図である。
【図３】（Ａ）は本発明の浮上搬送装置のノズル部材の側面図、（Ｂ）は本発明の浮上搬送装置のノズル部材の断面図、（Ｃ）は本発明の浮上搬送装置のノズル部材の平面図である。
【図４】コモンライン方式の制御弁の斜視図である。
【図５】供給管保持ブラケットの斜視図である。
【図６】本発明の浮上搬送装置の要部の底面図である。
【図７】本発明の浮上搬送装置の要部の断面図である。
【図８】本発明の浮上搬送装置の変形例を示す要部の断面図である。
【図９】浮上搬送装置を縦横に配置した移送用ユニット若しくは制御用ユニットの平面図要部の斜視図である。
【図１０】（Ａ）は従来の浮上搬送装置の要部の断面図、（Ｂ）は従来の浮上搬送装置の要部に平面図である。
【図１１】（Ａ）は従来の浮上搬送装置のユニット配置例の説明図、（Ｂ）は従来の浮上搬送装置の要部の断面図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０…浮上搬送装置
１２…供給管
２０…搬送部
２１…ベース部
２２…ノズル部材
２２ｄ…ノズル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005154057.tif 000009
【図８】
2005154057.tif 000010
【図９】
2005154057.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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