(57)【要約】【課題】搬送系を版胴移動式に相応しいものにしてそのスペース効率を向上させる。【解決手段】版胴１の軸の両端に略同径のピニオン３、３を固定し、版胴１の下には定盤４を設置し、その両側にラック６、６を平行に敷設する。版胴１の後方には、アニロックスロール７とドクターロール８を版胴１と平行に架設する。  ラック６、６の外側には、定盤４の一方の側面に対向して基板搬送用のダブルアームロボット24を配置する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
版胴を回転してステージに定着した基板の上を版胴が通過するときに版胴に装着した版に塗布した材料液を基板に転写して基板の表面に薄膜を成膜する装置において、
この装置を、
前記ステージを定置し、
その上を版胴が回転しながら移動して前記材料液を基板に転写する版胴移動式とする一方、
前記ステージの側方に基板を供給／排出する基板搬送ロボットを設けることを特徴とする薄膜印刷装置。
【請求項２】
前記基板搬送ロボットを前記ステージのいずれか一方の側方に設け、
前記基板搬送ロボットが基板の供給／排出を同時に行うダブルアームロボットであることを特徴とする請求項１記載の薄膜印刷装置。
【請求項３】
前記ステージに、
基板を上げ下げする昇降手段を備えて基板の受け取り／受け渡しを行うことを特徴とする請求項１記載の薄膜印刷装置。
【請求項４】
前記基板搬送ロボットが、
版胴が印刷の開始位置にあるときに基板を供給し、
版胴が印刷の戻り位置にあるときに基板を排出することを特徴とする請求項１記載の薄膜印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ガラス基板の表面に所定の膜厚の薄膜を印刷して成膜する薄膜印刷装置に関し、特にその搬送系に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ガラス基板は、世代毎に大型化が進み、第６世代と呼ばれる以降のガラス基板のサイズはメーカによって多少の違いはあるが1500×1800mm以上の大きさになる。
このため、ガラス基板の大型化に対応して薄膜印刷装置などの製造装置の設置スペースや作業スペースの効率を高める必要がでてきた。
尚且つ、第６世代以前のサイズの小さなガラス基板についても対応でき、同様の効果が得られる装置が求められている。
【０００３】
ところが、従来の薄膜印刷装置は、図10に示すように、走行用モータ11の回転を減速機19を介して外ピニオン20に伝達し、同軸に固定した左右の内ピニオン21、21を回転して内ピニオン21、21に噛合する下向きのラック６、６を摺動し、版胴１の前後にラック６、６と一体の定盤４を往復移動させる定盤移動式の印刷装置であった。
なお、版胴１の片側の軸端には駆動ギア22を固定し、この駆動ギア22を２つのアイドラ23、23を介して外ピニオン20に接続する。
これにより、外ピニオン20を介して走行用モータ11の回転を駆動ギア22に伝え、版胴１を定盤４の移動方向と同じ方向に回転する。
このように定盤移動式の場合、印刷時に定盤４とラック６、６が版胴１の後方に大きく突出するので、ガラス基板の大型化に伴って版胴１の前方だけでなく、後方にも大きな移動スペースを必要とするようになった。
【０００４】
この問題を解決するために、本出願人は定盤４を定置してその両側に敷設したラック６、６上を版胴１が回転しながら印刷方向と戻り方向に往復移動する版胴移動式の薄膜印刷装置を開発し、先に出願している。
これにより、印刷時に定盤４とラック６、６が版胴１の後方に大きく突出することがなくなり、その分のスペースを削減できるようになった。
【０００５】
ところが、印刷を版胴移動式にすると、図11に示すように、基板18をコロで搬送する直送搬送系の場合、基板搬送経路の基板排出側の配置構成は移動の始端ＡＡ´に停止する版胴１と、アニロックスロール７およびドクターロール８からなり、従来と変わらないが、基板搬送経路の基板供給側は版胴１が移動して終端ＢＢ´に停止するので、終端ＢＢ´に版胴１の停止スペースが必要になり、その分搬送経路が従来に比べて長くなる。
そのため、版胴移動式によって得られるスペースの削減効果が帳消しになるという問題が生じる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
解決しようとする問題点は、印刷を版胴移動式にすると、基板搬送経路の基板供給側に版胴の停止スペースが必要になり、その分搬送経路が従来に比べて長くなる点である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、版胴を回転してステージに定着した基板の上を版胴が通過するときに版胴に装着した版に塗布した材料液を基板に転写して基板の表面に薄膜を成膜する装置において、この装置を、前記ステージを定置し、その上を版胴が回転しながら移動して前記材料液を基板に転写する版胴移動式とする一方、前記ステージの側方に基板を供給／排出する基板搬送ロボットを設けることを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の薄膜印刷装置は、ステージの側方に基板搬送ロボットを設けるので、ステージの前後に停止する版胴に邪魔されずに基板を供給／排出できる利点がある。
また、直送搬送系の場合必要であったステージ前後の基板搬送経路が不要になり、その分のスペースを削減できる。
また、１台のダブルアームロボットで基板の供給／排出を行うので、搬送系の設置スペースも削減できる。
また、基板搬送ロボットをステージの前方に設置することもできるので、搬送系の自由度が増し、設置環境に応じてさまざまな対応が可能になる。
また、搬送系をステージの側方に設けるので、メンテナンススペースを３方向に取ることができ、搬送系のメンテナンスが容易になる。
また、版胴が印刷の開始位置にあるときに基板を供給し、戻り位置にあるときに排出して基板の給排出と印刷を同時に並行処理するので、タクトタイムが短縮される。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１０】
図１に、本発明を実施した薄膜印刷装置の概略図を示す。
薄膜印刷装置は、フレキソ版転写によって基板の表面に所定の膜厚の薄膜を印刷して成膜するラック＆ピニオン駆動による版胴移動式の印刷機で、走行案内にＬＭ（直動）ガイドを使用する。
図１において、版胴１の軸をサイドフレーム２の軸受に回転自由に取り付け、軸の両端に略同径のピニオン３、３を固定する。
版胴１の下には定盤４を設置し、両側にリニアガイド５，５とラック６、６を平行に敷設する。
版胴１の後方には、アニロックスロール７とドクターロール８を版胴１と平行に架設する。
ラック６、６の外側には、図２に示すように、定盤４の一方の側面に対向して基板搬送用のダブルアームロボット24を配置する。
【００１１】
サイドフレーム２は、両サイドの底部に直線軸受９、９を固着し、直線軸受９、９をリニアガイド５，５に滑動自由に咬合する。
また、図示しない押込機構を備え、ボールネジをパルスモータ制御して版胴１をアニロックスロール７に圧着する。
【００１２】
ピニオン３、３は、ラック６、６に噛合し、片側のピニオン３に常時噛合する第１伝動ギア10を介してピニオン３、３を走行用モータ11に接続する。
これにより、版胴１とピニオン３、３を回転自由にして走行用モータ11を回転すると、版胴１とピニオン３、３がラック６、６上を回転しながら移動する。
【００１３】
ラック６、６は、図３に示すように、両端部6a、6aを上下動可能に構成して図示しないラック昇降機構を備え、端部6aにある版胴１を移動させるときは、図３(a)に示すように、端部6aを上昇してラック６、６とピニオン３、３を接続し、端部6aにある版胴１をその場で回転させるときは、図３(b)に示すように、端部6aを下降してラック６、６とピニオン３、３を離間する。
定盤４は、図示しないピン昇降ユニットを備え、ダブルアームロボット24による基板の供給／排出時にピンを昇降して基板を上げ下げする。
【００１４】
アニロックスロール７は、一方の軸端に駆動用モータ12を接続し、他方の軸端に第２伝動ギア13を固定する。
ドクターロール８は、周面をアニロックスロール７に接し、第２伝動ギア13に常時噛合する第３伝動ギア14を軸端に固定して減速駆動する。
【００１５】
本発明を実施した薄膜印刷装置は以上のような構成で、図４に示すように、最初に駆動用モータ12を回転してアニロックスロール７とドクターロール８を互いに逆方向に回転し、ディスペンサ15を軸方向に移動してアニロックスロール７とドクターロール８の間に塗布液を滴下する。
このとき、アニロックスロール７に付いた余分な塗布液を掻き取り板16で掻き落とす。
塗布液は、２つのロール間で練られてアニロックスロール７の周面に液薄膜となって保持される。
【００１６】
次に、図５に示すように、ラック６、６の端部6aを下降してピニオン３、３を離間し、走行用モータ11を回転して版胴１をその場で回転させる。
そして、版胴１の回転スピードがアニロックスロール７と等速になるまで加速し、等速になったらサイドフレーム２を押し込んで版胴１をアニロックスロール７に圧着する。
このとき、圧着の始点を記憶し、版胴１が１回転して始点に復帰したら版胴１をアニロックスロール７から離間する。
これにより、版胴１に装着した版17に塗布液の薄膜が転移する。
【００１７】
次に、図６に示すように、定盤４のピン25を上昇してダブルアームロボット24から基板18を受け取り、その後、定盤４のピン25を下降して基板18を吸引定着する。
次に、図７に示すように、ラック６、６の端部6aを上昇してピニオン３、３に接続し、走行用モータ11を正転して例えば20〜30m／分の速度で版胴１を印刷方向に移動する。
これにより、塗布液の薄膜が版17から基板18に転写塗布される。
【００１８】
次に、図８に示すように、定盤４のピン25を上昇して基板18を持ち上げてダブルアームロボット24に受け渡し、その後、定盤４のピン25を下降する。
次に、図９に示すように、走行用モータ11を逆転して例えば30m／分の最高速度で版胴１を戻り方向に移動して元の印刷開始位置に戻す。
以上の処理を基板の印刷枚数が予定枚数に達するまで繰り返す。
なお、印刷パターンを変更するために版17を交換するときは、版胴１を印刷方向に移動した後、ラック６、６の端部6aを下降してピニオン３、３を離間し、版胴１をその場で回転させて版胴１から版17を取り外す。
【産業上の利用可能性】
【００１９】
ステージの側方に基板搬送ロボットを設けることによって、特に版胴移動式の薄膜印刷装置における搬送系のスペース効率を向上させる用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明を実施した薄膜印刷装置の概略図である。
【図２】本発明を実施した薄膜印刷装置の配置図である。
【図３】両端が上下動可能なラックの模式図である。
【図４】アニロックスロールに塗布液を塗布するときの模式図である。
【図５】版に塗布液の薄膜を転移するときの模式図である。
【図６】ピンを上昇して基板を受け取るときの模式図である。
【図７】版胴を印刷方向に移動するときの模式図である。
【図８】ピンを上昇して基板を持ち上げて受け渡すときの模式図である。
【図９】版胴を印刷の戻り方向に移動するときの模式図である。
【図１０】従来の薄膜印刷装置の概略図である。
【図１１】従来の直送搬送系の模式図である。
【符号の説明】
【００２１】
１            版胴
２            サイドフレーム
３            ピニオン
４            定盤
５            リニアガイド
６            ラック
７            アニロックスロール
８            ドクターロール
９            直線軸受
10            第１伝動ギア
11            走行用モータ
12            駆動用モータ
13            第２伝動ギア
14            第３伝動ギア
15            ディスペンサ
16            掻き取り板
17            版
18            基板
19            減速機
20            外ピニオン
21            内ピニオン
22            駆動ギア
23            アイドラ
24            ダブルアームロボット
25            ピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2005111683.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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