(57)【要約】【課題】  マイクロカプセル（電気泳動体）を単層でしかも緻密な配列にコーティングすることができ、さらには、マイクロカプセルの一部を除去する工程を不要にするべく、マイクロカプセルを所望のパターンにコーティングできるようにした、電気泳動装置の製造方法を提供する。【解決手段】  一対の基板間に電気泳動体を備えた電気泳動装置の製造方法である。電気泳動体（マイクロカプセル４０）を液体上に浮かべ、一対の基板のうちの一方の基板（第２基板１２）に電場を印加して、電気泳動体（マイクロカプセル４０）を基板の一方の面に密着させる工程を有する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板間に電気泳動体を備えた電気泳動装置の製造方法において、
前記電気泳動体を液体上に浮かべ、前記一対の基板のうちの一方の基板に電場を印加して、前記電気泳動体を前記基板の一方の面に密着させる工程を有することを特徴とする電気泳動装置の製造方法。
【請求項２】
前記一方の基板を、前記液体の液面に対して前記一方の面が交差するように前記液体中に浸漬しておき、その状態から引き上げつつ、前記一方の面を前記電気泳動体と接触させることで、前記の液体上に浮かべられた電気泳動体を、その配列順に前記基板の一方の面に密着させることを特徴とする請求項１記載の電気泳動装置の製造方法。
【請求項３】
前記一方の基板を、前記一方の面が前記液体の液面に対して対向し、かつ該液面とほぼ平行となるように保持し、その状態で液体上に浮かべられた電気泳動体に対してその上から前記一方の面を接触させることにより、該基板の一方の面に電気泳動体を密着させることを特徴とする請求項１記載の電気泳動装置の製造方法。
【請求項４】
前記一方の基板の前記一方の面に、予め親液パターンと撥液パターンとを形成しておき、前記電気泳動体を、前記親液パターン上に選択的に密着させることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気泳動装置の製造方法。
【請求項５】
前記一方の基板の前記一方の面に予めマスクを設けておく工程と、
前記マスクを、前記電気泳動体を密着させる領域に対応する部分と密着させない領域に対応する部分とに分離する工程と、
前記の分離したマスクを介して前記電気泳動体を前記基板の一方の面に密着させる工程と、
前記電気泳動体を前記基板の一方の面に密着させる工程の後、前記のマスクのうち、前記電気泳動体を密着させない領域に対応する部分を前記一方の基板から除去する工程と、を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気泳動装置の製造方法。
【請求項６】
前記一方の基板の前記一方の面に、予め前記電気泳動体を密着させる領域に対応したパターンの電極部を形成しておき、
その後、前記一方の基板に電場を印加する際、前記電極部に電場を印加することで、前記電気泳動体を前記電極部上に選択的に密着させることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気泳動装置の製造方法。
【請求項７】
前記一対の基板は共に複数個取りの基板であって、他方の基板に画素領域が島状に形成されている場合に、
前記一方の基板の一方の面に前記電気泳動体を密着させる領域を、前記他方の基板の画素領域に対応した島状とすることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の電気泳動装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の基板間に電気泳動体を備えた電気泳動装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電気泳動装置として、一対の基板間に、液相分散媒と電気泳動粒子とを含む電気泳動分散液を収容した構成のものが知られている。このような電気泳動装置にあっては、電気泳動分散液に電圧を印加することにより、電気泳動粒子の分布状態を変化させることができることから、このような性質を利用することで、電気泳動表示装置への適用が図られている。
また、このような電気泳動装置では、電気泳動分散液をマイクロカプセルに封入し、該マイクロカプセルを一対の基板間に収容するようにした、マイクロカプセル型の電気泳動装置が知られている。
【０００３】
このようなマイクロカプセル型電気泳動装置の製造方法としては、通常、一方の基板の内面にマイクロカプセルを塗工し、その後、この基板と他方の基板とを貼り合わせるといった手法が採られている。基板の内面にマイクロカプセルを塗工する方法としては、予め調製した水性結合剤中のマイクロカプセルのスラリーを、単層となるように基板にコーティングすることで行う（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
すなわち、このコーティングプロセスは、例えば基板を直線上またはロール上に移動させ、この基板に対して、ヘッドからマイクロカプセルのスラリーを塗布することで、基板上にマイクロカプセルをコーティングするようにしている。なお、ヘッド内でのマイクロカプセルの通路となる部分のギャップを、予めマイクロカプセルの外径に対応するよう厳密に制御しておき、これによってこのギャップをマイクロカプセルが単層でしか通過できないようにしている。このようにギャップを制御していることにより、基板上にマイクロカプセルを単層でコーティングするようにしている。
【特許文献１】特表２００２−５２６８１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記の方法では、たしかにマイクロカプセルを単層にコーティングできるものの、ギャップの制御が難しく、マイクロカプセルの外径が変わった場合にはギャップも変えなければならないなど、改善すべき課題が多くあった。また、得られる電気泳動表示装置の表示特性を高めるためには、マイクロカプセルを緻密に配列させる必要があるが、前記の方法では、必ずしも緻密な配列を実現できるものではなく、したがって、単層でしかも緻密な配列のコーティングを実現できる手法の提供が望まれている。
【０００６】
また、電気泳動表示装置として、比較的小さい表示エリアのものを製造する場合、通常は単一の装置を一個ずつ形成するのでなく、多数個取りの大型基板間に電気泳動素子部や配線等を形成しておき、その後、ダイシング等によって単一の装置に分割し、各個の電気泳動表示装置を形成する。
その際、通常は図８（ａ）に示すように一方の基板１上に共通電極（図示せず）を形成し、その上にマイクロカプセルをコーティングしてマイクロカプセル層２を形成しておく。また、図８（ｂ）に示すように他方の基板６上に駆動回路（図示せず）や画素電極（図示せず）を有した画素領域７を形成し、さらには前記共通電極への接続配線部８などを形成しておく。そして、これら基板１、６同士を貼り合わせ、封止することにより、電気泳動表示装置としている。なお、図８（ｂ）中の破線は、基板を貼り合わせた後の、ダイシングのラインを示しており、この破線で囲まれた部分が、単一の電気泳動表示装置を形成するものとなる。
【０００７】
ところが、特にこのような多数個取り基板での製造方法においては、以下に述べる解決すべき課題がある。
一方の基板１にマイクロカプセルをコーティングする際、前述したコーティングプロセス、すなわちギャップを制御したヘッドからマイクロカプセルのスラリーを吐出し塗布する方法では、図８（ａ）に示したように基板１に対してそのほぼ全面にコーティングするか、あるいは図８（ａ）中二点鎖線で示すように、基板１の移動方向に沿って延びる帯状のパターンにしかコーティングすることができない。
【０００８】
しかしながら、このようにしてコーティングした基板１をそのまま他方の基板６に貼り合わせると、例えば全面にマイクロカプセル層２を形成した場合では、図８（ｂ）に示した他方の基板６において、画素領域７上にマイクロカプセル層２が載るだけでなく、接続配線部８上やさらにはこれら画素領域７、接続配線部８以外の場所にもマイクロカプセル層２が載ってしまう。
ところが、接続配線部８は一方の基板１の共通電極に導通させる必要あるため、これの上にマイクロカプセル層２が載っていては導通が良好にとれなくなってしまうため、この部分のマイクロカプセル層２を例えば溶剤でふき取るなどして除去しなくてはならない。また、画素領域７、接続配線部８以外の場所についても、ここは封止部として樹脂等の封止材が配置される場所となることから、やはり良好な封止性を確保するためには、この部分のマイクロカプセル層２を除去しなくてはならない。
【０００９】
また、マイクロカプセル層２を帯状のパターンに形成した場合、例えば図８（ｂ）中二点鎖線で示す位置にマイクロカプセル層２が載るように、他方の基板６上に一方の基板１を貼り合わせたとしても、接続配線部８上にはマイクロカプセル層２が載らないものの、画素領域７、接続配線部８以外の場所についてその一部の上にマイクロカプセル層２が載ってしまい、したがってこの部分のマイクロカプセルを除去する必要がある。
しかしながら、このように一旦形成したマイクロカプセル層２から部分的にマイクロカプセルを除去するのは、生産性を著しく損なうだけでなく、必要な部分のマイクロカプセルも同時に除去してしまい、表示特性を損なってしまうおそれがある。
【００１０】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、例えばマイクロカプセルからなる電気泳動体を単層でしかも緻密な配列にコーティングすることができ、さらには、マイクロカプセル（電気泳動体）の一部を除去する工程を不要にするべく、マイクロカプセル（電気泳動体）を所望のパターンにコーティングできるようにした、電気泳動装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前記目的を達成するため本発明の電気泳動装置の製造方法は、一対の基板間に電気泳動体を備えた電気泳動装置の製造方法において、前記電気泳動体を液体上に浮かべ、前記一対の基板のうちの一方の基板に電場を印加して、前記電気泳動体を前記基板の一方の面に密着させる工程を有することを特徴としている。
この電気泳動装置の製造方法によれば、電気泳動体が正又は負に帯電した帯電粒子などによって構成されるため、基板に電場を印加することで、電気泳動体を前記基板の一方の面に良好に密着させることが可能になる。また、電気泳動体を液体上に浮かべることで、これら電気泳動体をほぼ単層で緻密に配列させることができ、したがってその状態で電気泳動体を電気的に密着させることで、マイクロカプセルを単層でしかも緻密な配列にコーティングすることが可能になる。
【００１２】
また、前記電気泳動装置の製造方法においては、前記一方の基板を、前記液体の液面に対して前記一方の面が交差するように前記液体中に浸漬しておき、その状態から引き上げつつ、前記一方の面を前記電気泳動体と接触させることで、前記の液体上に浮かべられた電気泳動体を、その配列順に前記基板の一方の面に密着させるのが好ましい。
このようにすれば、液体上に浮かべられた電気泳動体を、その配列順に密着させるので、例えば前記電気泳動体を液体上に緻密な配列で浮かべておくことにより、電気泳動体を、より緻密な配列で基板の一方の面に密着させることが可能になる。
【００１３】
また、前記電気泳動装置の製造方法においては、前記一方の基板を、前記一方の面が前記液体の液面に対して対向し、かつ該液面とほぼ平行となるように保持し、その状態で液体上に浮かべられた電気泳動体に対してその上から前記一方の面を接触させることにより、該基板の一方の面に電気泳動体を密着させるのが好ましい。
このようにすれば、液体上に浮かべられた電気泳動体に対して、基板の一方の面を接触させることでこの一方の面に必要な電気泳動体をほぼ同時に密着させることが可能になり、したがって処理の迅速化が可能になる。また、例えば前記電気泳動体を液体上に緻密な配列で浮かべておくことにより、電気泳動体を、より緻密な配列で基板の一方の面に密着させることが可能になる。
【００１４】
また、前記電気泳動装置の製造方法においては、前記一方の基板の前記一方の面に、予め親液パターンと撥液パターンとを形成しておき、前記電気泳動体を、前記親液パターン上に選択的に密着させるのが好ましい。
電気泳動体として、例えば液相分散媒と帯電粒子からなる電気泳動粒子とを含む電気泳動分散液を封入したマイクロカプセルを用いた場合、このマイクロカプセルは一般に親液性になる。したがって、このようなマイクロカプセルを基板の一方の面に接触させると、これらマイクロカプセルは親液パターン上には良好に密着するものの、撥液パターン上にはあまり密着しない。その結果、電気泳動体は親液パターン上に選択的に密着するようになる。したがって、親液パターンを例えば所望の島状に形成しておくことにより、マイクロカプセルを所望のパターンにコーティングすることが可能になる。
【００１５】
また、前記電気泳動装置の製造方法においては、前記一方の基板の前記一方の面に予めマスクを設けておく工程と、前記マスクを、前記電気泳動体を密着させる領域に対応する部分と密着させない領域に対応する部分とに分離する工程と、前記の分離したマスクを介して前記電気泳動体を前記基板の一方の面に密着させる工程と、前記電気泳動体を前記基板の一方の面に密着させる工程の後、前記のマスクのうち、前記電気泳動体を密着させない領域に対応する部分を前記一方の基板から除去する工程と、を備えているのが好ましい。
このようにすれば、マスク上に電気泳動体を密着させた後、前記電気泳動体を密着させない領域に対応する部分のマスクを前記一方の基板から除去するので、結果として電気泳動体を密着させる領域に対応する部分のみに電気泳動体が密着した状態で残る。したがって、電気泳動体を密着させる領域に対応する部分を例えば所望の島状に形成しておくことにより、マイクロカプセルを所望のパターンにコーティングすることが可能になる。
【００１６】
また、前記電気泳動装置の製造方法においては、前記一方の基板の前記一方の面に、予め前記電気泳動体を密着させる領域に対応したパターンの電極部を形成しておき、その後、前記一方の基板に電場を印加する際、前記電極部に電場を印加することで、前記電気泳動体を前記電極部上に選択的に密着させるのが好ましい。
このようにすれば、一方の基板に電場を印加する際、前記電極部に電場を印加することで、前記電気泳動体を前記電極部上に選択的に密着させるようにするので、電極部のパターンを、例えば所望の島状に形成しておくことにより、マイクロカプセルを所望のパターンにコーティングすることが可能になる。
【００１７】
また、前記電気泳動装置の製造方法においては、前記一対の基板は共に複数個取りの基板であって、他方の基板に画素領域が島状に形成されている場合に、前記一方の基板の一方の面に前記電気泳動体を密着させる領域を、前記他方の基板の画素領域に対応した島状とするのが好ましい。
このようにすれば、一旦形成した電気泳動体層から部分的に電気泳動体を除去する必要がなく、したがって生産性を向上することができるとともに、必要な部分の電気泳動体が除去されてしまうことによる表示特性の低下も防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明を詳しく説明する。
まず、本発明の電気泳動装置の製造方法の説明に先立ち、この製造方法が適用されるものとして、電気泳動表示装置の一例について図１（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。
図１（ａ）〜（ｃ）において符号２０は電気泳動表示装置である。この電気泳動表示装置２０は、一対の基板１１、１２間に、液相分散媒と電気泳動粒子とを含む電気泳動分散液が収容されてなるもので、該電気泳動分散液に電圧を印加することにより、電気泳動粒子の分布状態が変化することを利用したものである。また、本例では、このような電気泳動表示装置として、特に電気泳動分散液をマイクロカプセルに封入し、該マイクロカプセルを一対の基板間に収容してなる電気泳動表示装置（マイクロカプセル型電気泳動表示装置）を用いている。したがって、本発明における電気泳動体は、本実施形態ではマイクロカプセルによって構成されている。
【００１９】
図１（ａ）は、マイクロカプセル型の電気泳動表示装置の模式図であって、その要部の断面を示すものである。この電気泳動表示装置２０は、第１基板１１に形成された電極２３と、第２基板１２に形成された透明電極２４とを有してなる。これら電極２３と透明電極２４との間には、前記したように本発明における電気泳動体となるマイクロカプセル４０と、必要に応じてバインダ４１とが収容されている。
【００２０】
第２基板１２は、たとえば透明ガラスや透明フィルムなどの光透過性板もよって形成されたもので、その内面、すなわち第１基板１１との対向面には、前述したように透明電極２４が形成されている。透明電極２４は、たとえば酸化インジウム・スズ（ＩＴＯ）膜などによって形成されたもので、後述する画素領域に対応した共通電極となっている。このように、第２基板１２及び透明電極２４の両方を透明な材料で形成することにより、第２基板１２側が電気泳動装置２０の視認側となる。
【００２１】
一方、第１基板１１は、必ずしも透明である必要はなく、たとえばガラス基板やフィルム基板によって形成されている。また、第１基板１１の第２基板１２との対向面には、電極２３が形成される。電極２３も、必ずしも透明電極である必要はないが、本実施形態では前述した透明電極２４と同様に、ＩＴＯ膜によって形成されている。また、電極２３は、所望の画像パターンを表示すべく、多数の画素に対応して分割された画素電極となっていてもよい。
【００２２】
マイクロカプセル４０には、液相分散媒２６と、この液相分散媒２６中に分散された電気泳動粒子２５とを含む電気泳動分散液３０が封入されており、例えばこの一つのマイクロカプセル４０によって単一の電気泳動素子を形成することができる。
ここで、液相分散媒２６としては、水、メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、オクタノール、メチルセルソルブ等のアルコール系溶媒、酢酸エチル、酢酸ブチル等の各種エステル類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、ぺンタン、ヘキサン、オクタン等の脂肪族炭化水素、シクロへキサン、メチルシクロへキサン等の脂環式炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキシルベンゼン、ヘブチルベンゼン、オクチルベンゼン、ノニルベンゼン、デシルベンゼン、ウンデシルベンゼン、ドデシルベンゼン、トリデシルベンゼン、テトラデシルベンゼン等の長鎖アルキル基を有するベンゼン類等の芳香族炭化水素、塩化メチレン、クロロホルム、四塩化炭素、１，２−ジクロロエタン等のハロゲン化炭化水素、カルボン酸塩又はその他の種々の油類等の単独又はこれらの混合物に界面活性剤等を配合したものを用いることができる。
【００２３】
また、電気泳動粒子２５としては、前記の液相分散媒２６中で電位差による電気泳動によって移動する性質を有した、有機あるいは無機の粒子（高分子あるいはコロイド）が用いられる。たとえば、アニリンブラック、カーボンブラック等の黒色顔料、二酸化チタン、亜鉛華、三酸化アンチモン等の白色顔料、モノアゾ、ジイスアゾン、ポリアゾ等のアゾ系顔料、イソインドリノン、黄鉛、黄色酸化鉄、カドミウムイエロー、チタンイエロー、アンチモン等の黄色顔料、モノアゾ、ジスアゾ、ポリアゾ等のアゾ系顔料、キナクリドンレッド、クロムバーミリオン等の赤色顔料、フタロシアニンブルー、インダスレンブルー、アントラキノン系染料、紺青、群青、コバルトブルー等の青色顔料、フタロシアニングリーン等の緑色顔料等の１種又は２種以上を用いることができる。
【００２４】
また、これらの顔料には、必要に応じ、電解質、界面活性剤、金属石鹸、樹脂、ゴム、油、ワニス、コンパウンド等の粒子からなる荷電制御剤、チタン系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤、シラン系カップリング剤等の分散剤、潤滑剤、安定化剤等を添加することができる。
このような構成からなる電気泳動粒子２５は、予め正または負に帯電させられており、また、液相分散媒２６と電気泳動粒子２５とは、互いに異なる着色がなされている。なお、マイクロカプセル４０中に封入する電気泳動粒子２５としては、例えば色の異なる二種類のものを用い、これらの二種類のものについて、一方を正に、他方を負に帯電させるようにしてもよい。
【００２５】
マイクロカプセル４０のカプセル壁膜を構成する材料としては、アラビアゴム・ゼラチンの複合膜、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、尿素樹脂、などを用いることができる。また、マイクロカプセル４０の作製方法としては、界面重合法、ｉｎ−ｓｉｔｕ重合法、相分離法、界面沈殿法、スプレードライング法、等の公知のマイクロカプセル化手法を採用することができる。このようにして形成されるマイクロカプセル４０は、特に内部に液相分散媒２６を充填する必要上、通常はそのカプセル膜壁部分が親液性となる。
また、マイクロカプセル４０は、その大きさがほぼ均一であるのが、優れた表示機能を発揮させるうえで好ましい。大きさを均一に揃えるためには、たとえば濾過法や比重差分級法等を用いることで、行うことができる。マイクロカプセルの大きさとしては、通常３０〜１００μｍ程度とされる。
【００２６】
また、このような電気泳動表示装置２０には、互いに逆方向の電圧を印加するための電圧源２９ａ及び２９ｂが、切換スイッチ２８を介して接続されている。つまり、電極２３は電圧源２９ａ及び２９ｂの一端に接続され、透明電極２４は切換スイッチ２８を介して電圧源２９ａ及び２９ｂの他端に接続されている。
【００２７】
このような接続をしておけば、切換スイッチ２８の切換えにより、電極２３、２４間に印加する電圧の方向を変えることができる。そして、印加する電圧の方向を変えることにより、電気泳動粒子２５を所望の電極側に集めて所望の表示を行うことができる。すなわち、電気泳動粒子２５が例えば正に帯電している場合、図１（ｂ）に示すように、電圧源２９ａによる電圧を印加することによって観測者に近い透明電極２４側に電気泳動粒子２５を集めることができる。この状態において、観測者は電気泳動粒子２５の色を見ることになる。一方、図１（ｃ）に示すように、電圧源２９ｂによる電圧を印加することによって観測者から遠い電極２３側に電気泳動粒子２５を集めることができる。この状態において、観測者は液相分散媒２６の色を見ることになる。電気泳動粒子２５が負に帯電している場合には、粒子の動く方向は前記の説明と逆になる。
【００２８】
このように、図１（ａ）に示した構成を採用すれば、電圧を印加する方向に対応する２種類の色を表示することができるので、同図に示す構成を例えば１画素に適用し、これをマトリクス状に配置することにより、所望の表示を可能とする電気泳動表示装置２０とすることができる。
【００２９】
次に、このような電気泳動表示装置２０の製造方法として、特に基板へのマイクロカプセル４０の塗工工程（コーティング工程）について説明する。
本発明では、特に第２基板１２の、透明電極２４上に多数のマイクロカプセル４０を単層でしかも緻密な配列にコーティングするべく、マイクロカプセル４０（電気泳動体）を液体上に浮かべ、第２基板１２に電場を印加して、マイクロカプセル４０を第２基板１２の一方の面に密着させる塗工工程（コーティング工程）を有している。
【００３０】
この塗工工程として具体的には、ラングミュアー法（Ｌａｎｇｍｕｉｒ法）を応用した手法を採用することができる。
まず、前記塗工工程の第１の実施形態として、図２に示すような水槽３０（Ｌａｎｇｍｕｉｒ水槽等）を用いた、垂直引き上げ法を応用した手法を説明する。
水槽３０は、水を満たしたもので、この液面には多数のマイクロカプセル４０が浮かべられている。マイクロカプセル４０を浮かべた水槽３０の一方の側には、浮かべられたマイクロカプセル４０を一方の側から他方の側に押し出すための棒状あるいは板状等のスキージ３１が配設されている。このスキージ３１には、滑車３２及び錘３３からなる移動装置３４にひも３５を介して接続されており、これによってスキージ３１は、前述したようにマイクロカプセル４０を押し出すよう、一方の側から他方の側に向けて移動させられるようになっている。
【００３１】
このような構成からなる水槽３０の、前記スキージ３１と反対の側に第２基板１２を配置する。この第２基板１２としては、本実施形態では、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）製のフィルムを用い、これの一方の面に、透明電極２４として透明導電膜をそのほぼ全面に形成したものを用いる。
そして、この第２基板１２を、図２に示すようにその透明電極２４側を一方の側、すなわちスキージ３１側に向けて、水槽３０内に浸漬する。その際、透明電極２４側の面が、水槽３０内の水の液面（水面）に対してほぼ直交するようにこの液面に交差させた状態で浸漬する。
【００３２】
そして、このような状態のもとで、第２基板１２の前記透明電極２４を電源３６に接続し、この電源３６及び電極３７によって第２基板１２に電場を印加する。その際、マイクロカプセル４０内の電気泳動粒子２５が帯電している型とは反対の型の電場を印加する。
そして、このようにして第２基板１２に電場を印加しつつ、水槽３０内に浸漬した状態からこの第２基板２５を徐々に引き上げる。また、スキージ３１についても、移動装置３４の錘３３を調節することで、これを一定の速さで他方の側、すなわち第２基板１２側に移動させる。
【００３３】
すると、マイクロカプセル４０は、破壊されることなく、図３に示すようにその配列順に第２基板１２に接触する。そして、電気泳粒子２５が第２基板１２の透明電極２４に電気的に引き寄せられることにより、マイクロカプセル４０はこの透明電極２４上に密着し、これに伴われて引き上げられる。このとき、マイクロカプセル４０は水面上に浮かべられており、しかもスキージ３１によって第２基板１２側に連続的に押し出されているので、これらマイクロカプセル４０は、ほぼ単層でしかも緻密に配列した状態で、第２基板１２の透明電極２４上に密着するようになる。
【００３４】
なお、このようにして第２基板１２の透明電極２４上にマイクロカプセル４０を層状に密着させたら、乾燥処理を行うことによって第２基板１２やマイクロカプセル４０に付着している水分を除去する。すると、この乾燥過程において、部分的に重なったような状態にあるマイクロカプセル４０も、第２基板１２上にてきれいな単層に整列する。
また、このようにして第２基板１２にマイクロカプセル４０を層状に密着させたら、別に用意した第１基板１１に貼り合わせ、封止することにより、図１（ａ）〜（ｃ）に示したような電気光学表示装置を得る。
【００３５】
本実施形態の塗工工程によれば、水面上に浮かべたマイクロカプセル４０を、その配列順に密着させるので、特に移動装置３４によってマイクロカプセル４０を水面上に緻密な配列で浮かべておくことにより、マイクロカプセル４０を、単層でしかも石垣のように緻密な配列で密着させ、コーティングすることができる。よって、得られる電気泳動表示装置の表示特性を高めることができる。
【００３６】
次に、本発明の塗工工程（コーティング工程）の第２の実施形態を、図４（ａ）〜（ｃ）を参照して説明する。図４（ａ）〜（ｃ）において符号５０は水槽であり、この第２の実施形態においても、第１の実施形態と同様、図４（ａ）に示すように水槽５０内に満たした水（純水）の液面（水面）上に、多数のマイクロカプセル４０を浮かべておく。なお、この水槽５０では、例えば複数のスキージ５１を用いてマイクロカプセル４０を寄せ集め、これらをほぼ単層となる状態で緻密に配列させておく。
【００３７】
そして、第１の実施形態と同じ構成の第２基板１２を用意し、これを、透明電極２４が水面上のマイクロカプセル４０に対向し、かつ水面と平行となるようにして、水槽５０の上方に保持する。なお、この状態において、第２基板１２を、第１の実施形態と同様にその前記透明電極２４を電源５２に接続しておく。
【００３８】
続いて、図４（ｂ）に示すように、前記第２基板１２を下降し、その透明電極２４を水面上のマイクロカプセル４０に接触させるとともに、前記の電源５２及び電極５３により、第２基板１２に電場を印加する。その際、マイクロカプセル４０内の電気泳動粒子２５が帯電している型とは反対の型の電場を印加するのは、第１の実施形態と同様である。
このようにして第２基板１２をマイクロカプセル４０に接触させると、マイクロカプセル４０は破壊されることなく、水面上にて配列した状態のままで、第２基板１２に電気的に密着する。
その後、図４（ｃ）に示すように、第２基板１２を引き上げる。すると、マイクロカプセル４０は、破壊されることなく、ほぼ単層でしかも緻密に配列した状態で、第２基板１２の透明電極２４上に密着する。
【００３９】
なお、このようにして第２基板１２の透明電極２４上にマイクロカプセル４０を層状に密着させたら、第１の実施形態と同様に乾燥処理を行い、第２基板１２やマイクロカプセル４０に付着している水分を除去する。その後、この第２基板１２を別に用意した第１基板１１に貼り合わせ、封止することにより、図１（ａ）〜（ｃ）に示したような電気光学表示装置を得る。
【００４０】
本実施形態の塗工工程によれば、水面上に浮かべられたマイクロカプセル４０に対して、第２基板１２の透明電極２４側を接触させることでこの透明電極２４に必要なマイクロカプセル４０をほぼ同時に密着させることができ、したがって処理の迅速化を図ることができる。また、スキージ５１等によってマイクロカプセル４０を水面上に緻密な配列で浮かべておくことにより、マイクロカプセル４０を、単層でしかも石垣のように緻密な配列で密着させ、コーティングすることができる。よって、得られる電気泳動表示装置の表示特性を高めることができる。
【００４１】
なお、この第２の実施形態、さらには第１の実施形態にあっては、特に水槽５０（３０）中の水として純水などを用いることにより、単に前記の塗工工程を採用するだけで、マイクロカプセル４０を水洗・洗浄し、マイクロカプセル４０に付着したイオンの低減化を図ることができる。
【００４２】
次に、前記第１の実施形態、第２の実施形態に示す塗工工程に関連する工程として、マイクロカプセルを所望のパターンにコーティングできるようにした、パターニング処理に係る工程を説明する。なお、ここで説明するパターニング処理は、特に、図８に示したような多数個取りの大型基板間に電気泳動素子部や配線等を形成しておき、その後、ダイシング等によって単一の装置に分割し、各個の電気泳動表示装置を形成する場合に好適な手法となる。
【００４３】
まず、このパターニング処理の第１の実施形態を、図５を参照して説明する。図５は、図８（ａ）に示した多数個取り基板（一方の基板１）の一部を示す図である。図５中符号６０は、組立後、ダイシングされて単一化されたときの第２基板となるものであり、符号６１はダイシングラインである。
このような基板１として、前記第１、第２の実施形態で述べたように、ＰＥＴフィルムの一方の面に、透明電極２４（図５中には示さず）として透明導電膜をそのほぼ全面に形成したものを用意する。
【００４４】
そして、この透明電極２４（透明導電膜）上に、親液パターン６２と撥液パターン６３とを形成しておく。ここで、親液パターン６２については、図８（ｂ）に示した多数個取り基板（他方の基板６）の、個々の画素領域７に対応した形状に形成し、撥液パターン６３については、親液パターン６２を除く領域に形成する。
【００４５】
親液パターン６２の形成方法については、特に限定されることなく、前記基板１に形成可能であれば、周知の親液膜の形成方法を用いることができる。例えば、ポリエチレン膜などの炭化水素系重合膜によって形成することができる。また、Ｏ２プラズマ処理によって親液化を行ってもよい。
撥液パターン６３の形成方法についても、特に限定されることなく、前記基板１に形成可能であれば、周知の親液膜の形成方法を用いることができる。具体的には、フルオロアルキルシランを用いた自己組織化膜を形成することで、撥液パターン６３を形成することができる。また、例えば大気雰囲気中でテトラフルオロメタンを処理ガスとするプラズマ処理法（ＣＦ４プラズマ処理法）を採用することができる。
【００４６】
このようにして、予め親液パターン６２、撥液パターン６３を形成した第２基板６０を用い、以下、前記塗工工程の第１の実施形態、あるいは第２の実施形態で述べたマイクロカプセル４０のコーティングを行うことにより、マイクロカプセル４０を親液パターン６２上に選択的に密着させ、コーティングする。
すなわち、このようにして塗工（コーティング）を行うと、前述したようにマイクロカプセル４０はそのカプセル膜壁部分が親液性となっているので、親液パターン６２上に選択的に密着し、撥液パターン６３上には付着しずらくなる。したがって、塗工工程後、必要に応じて水洗処理やエアーを吹き付けるなどの簡易な処理により、撥液パターン６３上に付着したマイクロカプセル４０を確実に除去することができる。
【００４７】
よって、このようなパターニング処理にあっては、マイクロカプセル４０を親液パターン６２上に、単層でしかも緻密な配列で選択的に密着させることができる。したがって、特に親液パターン６２を所望の島状パターン、すなわち図８（ｂ）に示した多数個取り基板（他方の基板６）の画素領域７に対応した形状（島状）に形成しておくことにより、得られた多数個取り基板（一方の基板１）を他方の基板６に貼り合わせた際、形成したマイクロカプセル４０からなる層（図示せず）を、画素領域７上にのみ載るようにし、画素領域７以外の箇所には載らないようにすることができる。このため、従来のごとく不要なマイクロカプセル４０を溶剤等を用いてふき取るといった工程を不要にし、このふき取り工程によって表示特性が損なわれるのを防止することができる。
【００４８】
図６は、マイクロカプセル４０を所望のパターンにコーティングできるようにした、パターニング処理の第２の実施形態を説明するための図であり、図６は、図５と同様に、図８（ａ）に示した多数個取り基板（一方の基板１）の一部を示す図である。
本実施形態においても、このような基板１として、前記第１、第２の実施形態で述べたように、ＰＥＴフィルムの一方の面に、透明電極２４（図６中には示さず）として透明導電膜をそのほぼ全面に形成したものを用意する。
【００４９】
そして、この基板１の透明電極２４上に、マスク７０として樹脂や金属箔等からなる薄いフィルムを貼着する。また、このマスク７０を、マイクロカプセル４０を密着させる領域に対応する部分のマスク７０ａと、密着させない領域に対応する部分のマスク７０ｂとに分離する。すなわち、図８（ｂ）中の画素領域７に対応する部分をマスク７０ａとし、これ以外の箇所に対応する部分をマスク７０ｂとする。なお、このマスク７０をマスク７０ａとマスク７０ｂに分離する工程は、マスク７０を基板１上に貼着した後でもよく、また貼着する前でもよい。また、分離処理については、例えばカッターにより切断分離するといった手法が採用される。
【００５０】
このようにして、マスク７０ａとマスク７０ｂとに分離されたマスク７０を貼着した第２基板６０を用意したら、以下、前記塗工工程の第１の実施形態、あるいは第２の実施形態で述べたマイクロカプセル４０のコーティングを行うことにより、マイクロカプセル４０を透明電極２４上のマスク７０上に密着させ、コーティングする。
そして、乾燥処理を行った後、画素領域７以外の箇所に対応する部分のマスク７０ｂを、基板１から剥離して除去することにより、マイクロカプセル４０を所望の箇所に選択的残す。すなわち、マイクロカプセル４０を所望の箇所に選択的に密着させ、コーティングすることができる。
【００５１】
よって、このようなパターニング処理にあっては、マイクロカプセル４０を所望箇所のみに、単層でしかも緻密な配列で選択的に密着させることができる。したがって、特にマスク７０ａを所望の島状パターン、すなわち図８（ｂ）に示した多数個取り基板（他方の基板６）の画素領域７に対応した形状（島状）に形成しておくことにより、得られた多数個取り基板（一方の基板１）を他方の基板６に貼り合わせた際、形成したマイクロカプセル４０からなる層（図示せず）を、画素領域７上にのみ載るようにし、画素領域７以外の箇所には載らないようにすることができる。このため、従来のごとく不要なマイクロカプセル４０を溶剤等を用いてふき取るといった工程を不要にし、このふき取り工程によって表示特性が損なわれるのを防止することができる。
【００５２】
図７は、マイクロカプセル４０を所望のパターンにコーティングできるようにした、パターニング処理の第３の実施形態を説明するための図であり、図７は、図５と同様に、図８（ａ）に示した多数個取り基板（一方の基板１）の一部を示す図である。
本実施形態においては、このような基板１として、フレキシブル回路基板（ＦＰＣ）を用意する。ただし、その一方の面に形成する透明電極８０（電極部）については、予めマイクロカプセル４０を密着させる領域（画素領域７）に対応したパターン８０ａと、これ以外の導電パターン８０ｂ（例えば接続配線部８）とをそれぞれ独立した島状に形成しておく。
【００５３】
このような基板１を用意したら、以下、前記塗工工程の第１の実施形態、あるいは第２の実施形態で述べたマイクロカプセル４０のコーティングを行う。このとき、基板１に電場を印加する際、特に透明電極８０における、マイクロカプセル４０を密着させる領域に対応したパターン８０ａのみに、電場を選択的に印加する。これにより、マイクロカプセル４０を透明電極８０上に選択的に密着させ、コーティングすることができる。
【００５４】
よって、このようなパターニング処理にあっては、マイクロカプセル４０を所望箇所のみに、単層でしかも緻密な配列で選択的に密着させることができる。したがって、特に透明電極８０を所望の島状パターン８０ａ、すなわち図８（ｂ）に示した多数個取り基板（他方の基板６）の画素領域７に対応した形状（島状）に形成し、このパターン８０ａに電場を選択的に印加し、マイクロカプセル４０を塗工（コーティング）することにより、得られた多数個取り基板（一方の基板１）を他方の基板６に貼り合わせた際、形成したマイクロカプセル４０からなる層（図示せず）を、画素領域７上にのみ載るようにし、画素領域７以外の箇所には載らないようにすることができる。このため、従来のごとく不要なマイクロカプセル４０を溶剤等を用いてふき取るといった工程を不要にし、このふき取り工程によって表示特性が損なわれるのを防止することができる。
【００５５】
以上述べたように、本発明の電気泳動装置の製造方法は、電気泳動体（マイクロカプセル）を単層でしかも緻密な配列にコーティングすることができる。さらには、特に複数個取りの基板からなる電気泳動装置の製造方法に適用した場合に、電気泳動体を所望のパターンにコーティングすることにより、電気泳動体の一部を除去する工程を不要にし、このような工程に起因して表示特性が損なわれるのを防止することができる。
【００５６】
なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の要旨を逸脱しない限り種々の変更が可能である。例えば、図２に示した移動装置３４や図４に示したスキージ５１などについては、基板の形状等に対応して適宜なものを使用することができる。
また、水槽３０を満たす液体についても、マイクロカプセル４０に対して悪影響を与えることなくこれを良好に浮かべることができるものであれば、水以外のものを用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】（ａ）〜（ｃ）は電気泳動表示装置の模式図である。
【図２】本発明に係る塗工工程の第１の実施形態の説明図である。
【図３】本発明に係る塗工工程の第１の実施形態の要部拡大説明図である。
【図４】（ａ）〜（ｃ）は本発明に係る塗工工程の第１の実施形態の説明図である。
【図５】本発明に係るパターニング処理の第１の実施形態の説明図である。
【図６】本発明に係るパターニング処理の第２の実施形態の説明図である。
【図７】本発明に係るパターニング処理の第３の実施形態の説明図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は多数個取りの基板の構成を説明するための平面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１１…第１基板、１２、６０…第２基板、２０…電気泳動表示装置、２４…透明電極、
３０、５０…水槽、４０…マイクロカプセル（電気泳動体）、６２…親液パターン、
６３…撥液パターン、７０、７０ａ、７０ｂ…マスク、８０…透明電極、
８０ａ、８０ｂ…パターン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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