(57)【要約】【課題】  磁気転写を受けるスレーブ媒体を初期磁化した後、転写パターンを有するマスター担体と密着させて転写用磁界を印加して磁気転写を行う磁気転写装置で、効率よく初期磁化および磁気転写が実施できるようにする。【解決手段】  スレーブ媒体２の磁性層に直流磁界を印加する初期化ユニットＢと、転写パターンを有するマスター担体３とスレーブ媒体２の磁性層とを密着させた重畳体に初期磁化の方向とは異なる方向の直流磁界を印加してスレーブ媒体２に磁化パターンを形成する転写ユニットＣを備え、初期化ユニットＢで初期磁化する１台の初期磁化マシーン２０に対して、転写ユニットＣで磁気転写する磁気転写マシーン３０を複数台有してなる。磁気転写後のスレーブ媒体２を所定枚数毎に抜き取り、転写記録された信号のサーチファイ検査を行う転写後検査ユニットＤをさらに備えるのが好ましい。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスク状非磁性支持体の少なくとも一方の面に磁性層を有するスレーブ媒体の磁性層に直流磁界を印加する初期化ユニットと、磁性材料よりなる転写パターンを表面に有するマスター担体の該表面と前記初期磁化されたスレーブ媒体の磁性層とを密着させた重畳体に前記初期磁化の直流磁界方向とは異なる方向の直流磁界を印加して該スレーブ媒体の磁性層に前記転写パターンに対応する磁化パターンを形成する転写ユニットを備えた磁気転写装置において、
前記初期化ユニットでスレーブ媒体を初期磁化する１台の初期磁化マシーンに対して、前記転写ユニットで磁気転写を行う磁気転写マシーンを複数台有することを特徴とする磁気転写装置。
【請求項２】
前記転写ユニットにより磁気転写された後のスレーブ媒体に対し、転写記録された信号のサーチファイ検査を行う転写後検査ユニットをさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の磁気転写装置。
【請求項３】
前記転写後検査ユニットでは、磁気転写後のスレーブ媒体の全てまたは所定枚数毎の１枚に対してサーチファイ検査することを特徴とする請求項２に記載の磁気転写装置。
【請求項４】
ディスク状非磁性支持体の少なくとも一方の面に磁性層を有するスレーブ媒体を搬送する搬送ユニットと、該搬送ユニットの搬送方向に沿って、順に、該スレーブ媒体の磁性層に直流磁界を印加する初期化ユニット、磁性材料よりなる転写パターンを表面に有するマスター担体の該表面と前記初期磁化されたスレーブ媒体の磁性層とを密着させた重畳体に前記初期磁化の直流磁界方向とは異なる方向の直流磁界を印加して該スレーブ媒体の磁性層に前記転写パターンに対応する磁化パターンを形成する転写ユニット、該スレーブ媒体に形成された磁化パターンのサーチファイ検査を行う転写後検査ユニットおよびスレーブ集積ユニットが設けられており、
前記初期化ユニットは少なくとも１台の初期磁化マシーンを含み、前記転写ユニットは少なくとも２台の磁気転写マシーンを含み、該初期化ユニットに含まれる初期磁化マシーンの総台数に対する該転写ユニットに含まれる磁気転写マシーンの台数の比が１より大きいことを特徴とする磁気転写装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報が担持されたマスター担体を用いてスレーブ媒体へ磁化パターンを磁気転写する磁気転写装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。
【０００３】
さらに本発明の磁気転写は、最初にワークとしてのスレーブ媒体（ハードディスク、フレキシブルディスク等）をトラック方向（または垂直方向）に直流磁化する初期磁化を施し、このスレーブ媒体の片面または両面に上記転写パターンを有するマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置または電磁石と永久磁石を組み合わせた装置による磁界印加装置を配設して、スレーブ媒体の初期直流磁化方向と略逆向きの方向に転写用磁界を印加して磁気転写を行い、転写特性を高めるものである。
【０００４】
上記のような一連の磁気転写を行う従来提案されている磁気転写装置は、連続して設置された各処理ユニットを備え、搬入部へスレーブ媒体を搬入して順に各処理工程を経て、磁気転写が行われたスレーブ媒体を搬出するように設置されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−２５０２２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の磁気転写装置では、スレーブ媒体に対して、その磁性層に直流磁界を印加して所定の一方向に磁化させる初期化ユニットおよび初期磁化されたスレーブ媒体とマスター担体（パターンドマスター）を互いに密着させた状態で上記初期磁化の方向とは異なる方向（好ましくは反対方向）に磁界を印加する転写ユニットを必須として含み、さらに必要に応じて、初期化ユニットの前後、転写ユニットの前後の内の少なくとも一つに、付加ユニット（例えば、スレーブクリーニングユニット、マスタークリーニングユニット、検査ユニットなど）を少なくとも一つを含む構成となっている。これらの各ユニットには、各々、１枚のスレーブに対して各々の作業（すなわち、初期磁化作業、磁気転写作業、等々）行うマシーンを少なくとも１台含んでいる。
【０００６】
ところで、各ユニットに含まれるマシーンが１枚のスレーブ媒体に対して行う作業を完了するのに必要とされる時間（タクトタイム）、特に初期化ユニットと転写ユニットにおけるタクトタイムを調べたところ、転写ユニットの方が長いタクトタイムを必要とすることが判明した。そのため、全体の作業工程を見た場合に、転写ユニットの直前の所で、スレーブ媒体の滞留が生じ、これが全体の作業工程の短縮化を妨げる一因となっていることが判明した。すなわち、転写ユニットの処理能力が律速となり、装置全体の能力を上げることができない問題のあることが判った。つまり、磁気転写の工程では、前述の初期化ユニットと転写ユニットとでは処理能力が異なり、磁気転写ユニットでの処理に相当の時間を要するものであって、この処理ユニットの所でスレーブ媒体が停滞したり全体の処理能力が決まることになる。
【０００７】
一方、転写ユニットでの磁気転写作業においては、マスター担体へ塵埃が付着するとスレーブ媒体への転写不良の要因となり、このマスター担体欠陥によって転写不良が発生すると、同じマスター担体を用いて磁気転写を継続するために、連続して大量に不良品を作る可能性がある。
【０００８】
本発明はこのような点に鑑みなされたもので、効率よく初期磁化および磁気転写が実施できるようにした磁気転写装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の磁気転写装置は、ディスク状非磁性支持体の少なくとも一方の面に磁性層を有するスレーブ媒体の磁性層に直流磁界を印加する初期化ユニットと、磁性材料よりなる転写パターンを表面に有するマスター担体の該表面と前記初期磁化されたスレーブ媒体の磁性層とを密着させた重畳体に前記初期磁化の直流磁界方向とは異なる方向の直流磁界を印加して該スレーブ媒体の磁性層に前記転写パターンに対応する磁化パターンを形成する転写ユニットを備えた磁気転写装置において、
前記初期化ユニットでスレーブ媒体を初期磁化する１台の初期磁化マシーンに対して、前記転写ユニットで磁気転写を行う磁気転写マシーンを複数台有することを特徴とするものである。
【００１０】
また、前記転写ユニットにより磁気転写された後のスレーブ媒体に対し、転写記録された信号のサーチファイ検査を行う転写後検査ユニットをさらに備えるのが好適である。この転写後検査ユニットでは、磁気転写後のスレーブ媒体の全てに対してサーチファイ検査を行うことが望ましいが、所定枚数毎に１枚抜き取ってサーチファイ検査する方式でもよい。
【００１１】
本発明の他の磁気転写装置は、ディスク状非磁性支持体の少なくとも一方の面に磁性層を有するスレーブ媒体を搬送する搬送ユニットと、該搬送ユニットの搬送方向に沿って、順に、該スレーブ媒体の磁性層に直流磁界を印加する初期化ユニット、磁性材料よりなる転写パターンを表面に有するマスター担体の該表面と前記初期磁化されたスレーブ媒体の磁性層とを密着させた重畳体に前記初期磁化の直流磁界方向とは異なる方向の直流磁界を印加して該スレーブ媒体の磁性層に前記転写パターンに対応する磁化パターンを形成する転写ユニット、該スレーブ媒体に形成された磁化パターンのサーチファイ検査を行う転写後検査ユニットおよびスレーブ集積ユニットが設けられており、
前記初期化ユニットは少なくとも１台の初期磁化マシーンを含み、前記転写ユニットは少なくとも２台の磁気転写マシーンを含み、該初期化ユニットに含まれる初期磁化マシーンの総台数に対する該転写ユニットに含まれる磁気転写マシーンの台数の比が１より大きいことを特徴とするものである。
【００１２】
初期化ユニット、転写ユニット、転写後検査ユニットの他に、スレーブクリーニングユニット、転写前検査ユニットなどの各ユニットを有することが好ましい。これらの各ユニットに含まれるマシーンの台数は、各々のマシーンのタクトタイムに応じて、最適な台数とすることが望ましい。例えば、転写後検査ユニットに含まれるサーチファイマシーンはタクトタイムが長いので、複数台のマシーンとすることが望ましい。
【発明の効果】
【００１３】
上記のような本発明によれば、初期化ユニットで処理されたスレーブ媒体の枚数と、転写ユニットで磁気転写されたスレーブ媒体の枚数とがほぼ等しくなるので、転写ユニット前でスレーブ媒体が滞留することがなく、生産能力が向上する。さらに、本発明の好ましい態様においては、連続して発生する不良品を確実に選別できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明の一つの実施形態に係る磁気転写装置の初期磁化処理を含む前段工程を示す機構図、図２は磁気転写装置の磁気転写処理を含む後段工程を示す機構図である。
【００１５】
この実施形態の磁気転写装置１は、基本的に磁気転写を受けるワークとしてのハードディスク、高密度フレキシブルディスク等のディスク状非磁性支持体の少なくとも一方の面に磁性層を有するスレーブ媒体２の磁性層に直流磁界を印加し予め該スレーブ媒体２を初期磁化した後、磁性材料よりなる転写パターンを表面に有するマスター担体３の該表面と前記初期磁化されたスレーブ媒体２の磁性層とを密着させた重畳体に、前記初期磁化の直流磁界方向とは異なる方向の直流磁界を印加して該スレーブ媒体２の磁性層に前記転写パターンに対応する磁化パターンを形成する磁気転写を行うものである。
【００１６】
そして、磁気転写装置１は、スレーブ媒体２を搬送する搬送ユニットＦと、搬送ユニットＦの搬送方向に沿って、順に、スレーブ媒体２の供給を行うスレーブ供給ユニットＡと、スレーブ媒体２を初期磁化する１台の初期磁化マシーン２０を有する初期化ユニットＢ（以上図１）と、磁気転写を行う２台の磁気転写マシーン３０，３０を有する転写ユニットＣと、転写後にスレーブ媒体２に形成された磁化パターンのサーチファイ検査を行うサーチファイマシーン（不図示）を複数台有する転写後検査ユニットＤと、製品としてのスレーブ媒体２を集積排出するスレーブ集積ユニットＥ（以上図２）とを備えている。以下各ユニットを説明する。
【００１７】
(１)  スレーブ供給ユニット
スレーブ供給ユニットＡは、スレーブ媒体２を搭載したカセット５が搬入される搬入ライン１１を備える。搬入されるカセット５としては、水平保持式と垂直保持式とがある。
【００１８】
水平保持式のカセット５Ａは、図３に示すように、水平に置かれた台座５１の中央から立設されたシャフト５２と、防塵用のカバー５３で構成されている。そのシャフト５２にセンタコア２ａを有する多数枚のスレーブ媒体２が水平に重畳されるように、各センタコア２ａの中央に形成された孔をシャフト５２に挿通している。シャフト５２の上端には、挿通されたスレーブ媒体２が抜け落ちないようにストッパー５４が嵌着されている。また、垂直保持式のカセット５Ｂは、図４に示すように、台座５１に立設された縦部材５１ａに横向きにシャフト５２が設置され、防塵用のカバー５３を備えて構成される。横向きシャフト５２には、図３と同様に、センタコア２ａを有する多数枚のスレーブ媒体２が、その表面が垂直となるように、各センタコア２ａの中央に形成された孔をシャフト５２に挿通して重畳され、シャフト５２の端部には抜け止め用のストッパー５４が嵌着されている。このカセット５Ｂの場合には、スレーブ媒体２の表面に塵埃が堆積する恐れが低い点で利点を有する。この図３および図４のカセット５Ａ，５Ｂはセンタコア２ａを有するスレーブ媒体２を保持するもので、スレーブ媒体２がフレキシブルディスクである場合に好適に使用される。
【００１９】
さらに、図５のカセット５Ｃは、垂直保持式であるがセンタコアのないハードディスク等の剛体のスレーブ媒体２を保持するもので、カセット本体５５と上蓋５６および下蓋５７を備えてなる。カセット本体５５は、断面がＵ字状で天井面と底面の中央部は開いており、その開口部分は上蓋５６と下蓋５７の装着で塞がれ、内部空間が密閉される構造となっている。カセット本体５５の両側壁５５ａの内面には、Ｌ字状の薄肉リブ５５ｂが両側面から対称に所定間隔で多数張り出しており、このリブ５５ｂの間にスレーブ媒体２が挿入保持される。
【００２０】
これらのカセット５（５Ａ〜５Ｃ）に収納されているスレーブ媒体２は、まずカバー５３または上蓋５６と下蓋５７を外してから、１枚ずつロボット等を使って搬送ユニットＦ上のパレット６に供給されるか、またはカセット５Ａ〜５Ｃに収納されたままで（但し、カバー５３または蓋５６，５７は外して）、搬送ユニットＦに移される。
【００２１】
なお、カセット５を搬入口から装置内に持ち込む場合には、搬入ライン１１の搬入口にブロー装置１２を設置しておいて、カセット５に付着している塵埃をブロー装置１２で除去することが好ましい。
【００２２】
(２)  初期化ユニット
初期化ユニットＢの初期磁化マシーン２０では、搬送ユニットＦよりスレーブ媒体２を受け取る回転ホルダー２１と、直流磁界を印加する磁石装置２２を備え、回転ホルダー２１にセットしたスレーブ媒体２を回転させつつ磁石装置２２によって直流磁界を印加して初期磁化する。
【００２３】
パレット６と回転ホルダー２１間のスレーブ媒体２の供給と排出は、ロボットもしくは自動移載装置等を用いて自動で行う。初期化用の磁界を印加する磁石装置２２には、電磁石または永久磁石を使用する。初期磁化処理は、スレーブ媒体２に磁石装置２２を近接させ、スレーブ媒体２を設定された一定方向へ回転させてスレーブ媒体２の全面に初期磁化を施す。これにより、スレーブ媒体２はその磁性層が全面にわたって一定方向（例えばディスク回転方向に対して順方向）に磁化される。初期化処理が終了したスレーブ媒体２は搬送ユニットＦの同一または別のパレット６へ移送する。
【００２４】
(３)  転写ユニット
転写ユニットＣにおける２台の磁気転写マシーン３０，３０は両者とも同一構成であり、搬送ユニットＦよりスレーブ媒体２を受け取り、１枚ずつ磁気転写を行う。この磁気転写マシーン３０は、内面にマスター担体３，３を保持した転写ホルダー３１、転写用磁界を印加する磁石装置３２を備える。そして、搬送ユニットＦよりスレーブ媒体２を転写ホルダー３１に供給し、マスター担体３と位置決めしてから、内部空間の吸引および／または外部からの加圧によりマスター担体３との密着を行う。転写ホルダー３１を設定の方向へ回転させ、接近移動した磁石装置３２により転写用磁界を印加してスレーブ媒体２の全面に磁気転写を行う。磁気転写後、スレーブ媒体２をマスター担体３より剥離して取り出し、磁気転写が終了したスレーブ媒体２は異なるパレット６へ移送する。転写用の磁界を印加する磁石装置３２には、電磁石または永久磁石を使用する。
【００２５】
なお、磁気転写マシーン３０で使用するマスター担体３は、予備を少なくとも１枚用意しておくことが好ましい。また、スレーブ媒体２が非磁性支持体の両面に磁性層を有するものであって、この両面の磁性層に一度で磁気転写を行う場合には、予備のマスター担体３は、表裏の磁性層のための各マスター担体３の１セットを準備しておくことが好ましい。この場合予備のマスター担体３も予備のホルダー３１にセットしておくことが好ましい。これにより、後述の転写後検査ユニットＤにおいて不良品が検出されてマスター交換の必要が生じた場合においても、速やかにマスター交換を行うことが可能となり、この交換に要する時間を短縮できる。上記の磁気転写処理には、特開２００２−１６３８２３号、特開２００３−９９９２１号の技術が使用できる。
【００２６】
一方、転写ユニットＣに対してオンラインまたはオフラインでマスター担体３のクリーニングを行うマスタークリーニング装置（不図示）が設置されている。このマスタークリーニング装置としては、例えば特開２００２−３５８６３５号、特開２００３−６８５５号に記載のものを使用することができる。
【００２７】
マスター担体３のクリーニングは、転写後検査ユニットＤで転写不良が検出されたとき、または定期的に行うものである。つまり、転写後検査ユニットＤで不良品となったスレーブ媒体２に対し磁気転写を行ったマスター担体３での生産は速やかに中止し、クリーニングもしくは交換するものである。
【００２８】
オンラインクリーニングの場合、磁気転写マシーン３０毎にクリーニング装置を有する場合と各磁気転写マシーン３０に共通で１台のクリーニング装置を有する場合とがある。また、オフラインクリーニングの場合、磁気転写マシーン３０を１台余分に有することによりライン速度を低下させることなくマスター担体３のクリーニングが行える。余分に磁気転写マシーン３０を有しない場合には、マスター担体３のみ予備のマスター担体３に交換するか、予備の転写ホルダー３１および予備のマスター担体３を事前に準備し、磁気転写マシーン３０のマスター担体３を転写ホルダー３１ごと交換することにより、交換時間を短縮できる。
【００２９】
なお、磁気転写マシーン３０は、図示のようにスレーブ媒体２の両面にマスター担体３，３を密着させて両面同時転写を行う場合と、スレーブ媒体２の片面ずつマスター担体３を密着させて磁気転写を行う片面逐次転写とがある。
【００３０】
(４)  転写後検査ユニット
転写後検査ユニットＤは、複数（例えば、２〜１０台）のサーチファイマシーン（不図示）を備え、搬送ユニットＦより磁気転写後のスレーブ媒体２を一定間隔で抜き取り、磁気転写によって記録された信号の品位を読み取ってサーチファイ検査する。その抜き取り頻度に応じて、検査時間短縮のために複数台のサーチファイマシーンが設置されている。つまり、上記検査は、磁気転写後のスレーブ媒体２の全数行ってもよいが、このサーチファイ検査には時間がかかり、他の処理工程との処理時間を合わせるためには多数の検査装置が必要となる。
【００３１】
検査は転写ユニットＣにおける磁気転写マシーン３０の１台毎に行うことが好ましく、従って、磁気転写マシーン３０の１台に対して複数台（具体的には、２台から１０台）のサーチファイマシーンが設置される。
【００３２】
また、この転写後検査ユニットＤは検査品排出部を備え、サーチファイ検査により検査した結果に応じ、良品のスレーブ媒体２は良品集積部４１に集積されて排出され、不良品のスレーブ媒体２は不良品集積部４２に集積されて排出される。
【００３３】
転写後検査ユニットＤによる検査は、定期的な抜取り検査のほかに、マスター担体３が交換された際、マスター担体３のクリーニングが実施された際、その他、スレーブ媒体２の製造ロットが変更された際に検査を行うことが望ましい。
【００３４】
サーチファイ検査の結果、不良品が検出判別された場合には、前述のように同一マスター担体３による磁気転写は中止すると共に、検査の期間中に磁気転写されたスレーブ媒体２は不良品として排除する。また、不良品が検出判別される以前に同一マスター担体３で磁気転写されたスレーブ媒体２については、さらに検査し不良品範囲を特定する。
【００３５】
(５)  製品排出ユニット
スレーブ集積ユニットＥは集積マシーンを備え、磁気転写後の抜取り検査されていないスレーブ媒体２を搬送ユニットＦより受け取り、転写ユニットＣの各磁気転写マシーン３０毎に、前記と同様のカセット５に集積し、そのカバーまたは蓋をしてから搬出する。このスレーブ集積ユニットＥは搬入されるカセット５およびそのカバーまたは蓋の塵埃除去を行うブロー装置（不図示）を備える。
【００３６】
区分したカセット５に対するスレーブ媒体２の集積は、複数ある磁気転写マシーン３０毎に行うと共に、同じ磁気転写マシーン３０でも複数組みのマスター担体３を使用している場合は、異なるマスター担体３毎に区分して集積する。さらに、スレーブ媒体２の製造ロット毎にも区分して集積する。
【００３７】
上記のように、磁気転写後のスレーブ媒体２はマスター担体３毎に区分されることに対応して、転写後のスレーブ媒体２がマスター情報を有するように設定する。その付与方法としては、次のようなものがある。マスター担体３の転写情報（転写パターン）にマスター識別情報を形成し、磁気転写によりその情報をスレーブ媒体２に磁気的に記録する。磁気転写とは別途に磁気ヘッド等で個別に磁気的に記録するか、刻印、印刷、印字等によりスレーブ媒体２に表示記録する。または、集積カセット５にマスター情報を記録するようにしてもよく、その場合にはバーコードやＩＣカードをカセット５に付与する。
【００３８】
(６)  搬送ユニット
搬送ユニットＦは、スレーブ供給ユニットＡからスレーブ媒体２を順に転写ユニットＣまで搬送する第１のコンベヤ８１と、磁気転写後のスレーブ媒体２を搬送する第２のコンベヤ８２との２系統を備えている。両コンベヤ８１，８２は、１枚ごとのスレーブ媒体２を循環するパレット６により搬送するものであり、このパレット６で搬送中のスレーブ媒体２の姿勢は縦向き（垂直搬送）である。搬送機構としては、ローラコンベア（クリーンコンベア）を使用するほか、スライドテーブル、ＡＧＶ（コンピュータ制御の無人搬送車）、ロボット等で構成してもよい。
【００３９】
第１のコンベヤ８１の途中にはパレットクリーニング装置８３が設置され、転写ユニットＣにスレーブ媒体２を供給して空になったパレット６のクリーニングを１周毎に行う。
【００４０】
なお、搬送ユニットＦに対し、カセット５ごとスレーブ媒体２を供給し搬送するようにしてもよい。その際には、各処理ユニットではカセット５ごとスレーブ媒体２を受け取り、１枚ずつ取り出して処理するのが好ましい。また、搬送中のスレーブ媒体２の姿勢は横向き（水平搬送）でもよい。
【００４１】
なお、第１のコンベヤ８１は、その途中にスレーブ媒体２をクリーニングする工程が設置された場合には、その前後で分離して、クリーニング後のスレーブ媒体２への塵埃付着の低減化を図るようにしてもよい。カセット５で搬送する場合も同様である。
【００４２】
上記実施の形態では、初期化ユニットＢの初期磁化マシーン２０が１台で、転写ユニットＣの磁気転写マシーン３０を２台設置した例を示しているが、この磁気転写マシーン３０はその構成および条件により処理能力が異なるため、初期磁化マシーン２０の１台に対して２〜８台設置するのが好適である。また、初期化ユニットＢに初期磁化マシーン２０が複数台設置される場合もあり、各初期磁化マシーン２０に対して、２〜８台の磁気転写マシーン３０を設置する。つまり、初期化ユニットＢは少なくとも１台の初期磁化マシーン２０を含み、転写ユニットＣは少なくとも２台の磁気転写マシーン３０を含み、初期化ユニットＢに含まれる初期磁化マシーン２０の総台数に対する転写ユニットＣに含まれる磁気転写マシーン３０の台数の比が１より大きくなるように設置するものである。
【００４３】
本発明による磁気転写装置１には、上記ユニットＡ〜Ｆの他に、図示してないが必要に応じて付加的なユニットを備えてもよい。このような付加的ユニットとしては、スレーブクリーニングユニット、転写前検査ユニットが含まれる。
【００４４】
スレーブクリーニングユニットは、初期化ユニットＢと転写ユニットＣの間に設置されて、初期磁化後のスレーブ媒体２の表面クリーニングを行うものである。例えば、搬送ユニットＦよりスレーブ媒体２を受け取るホルダーと、バーニッシュ等のクリーニングマシーンを備え、初期磁化後にスレーブ媒体２に付着している塵埃等を除去して転写品位を向上すると共にマスター担体３の劣化を防止して耐久性を高めることができる。
【００４５】
転写前検査ユニットは、スレーブ媒体２の表面欠陥を検査するもので、転写ユニットＣの直前に配置されるのが好ましい。例えば、搬送ユニットＦよりスレーブ媒体２を受け取るホルダーと、画像処理装置等の表面検査装置とを備え、スレーブ媒体２の表面を例えばＣＣＤで撮像しその画像に対して画像処理を施して表面欠陥を検査する。この表面検査により不良品とされたスレーブ媒体２は集積排出される。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一つの実施形態にかかる磁気転写装置の初期磁化処理を含む前段工程を示す機構図
【図２】磁気転写装置の磁気転写処理を含む後段工程を示す機構図
【図３】スレーブ媒体を収容するカセットの一つの例を示す断面図
【図４】スレーブ媒体を収容するカセットの他の例を示す断面図
【図５】スレーブ媒体を収容するカセットのさらに他の例を示す断面図
【符号の説明】
【００４７】
１    磁気転写装置
２    スレーブ媒体
３    マスター担体
５    カセット
６    パレット
20    初期磁化マシーン
30    磁気転写マシーン
Ａ    スレーブ供給ユニット
Ｂ    初期化ユニット
Ｃ    転写ユニット
Ｄ    転写後検査ユニット
Ｅ    スレーブ集積ユニット
Ｆ    搬送ユニット
【図１】
2005196837.tif 000003
【図２】
2005196837.tif 000004
【図３】
2005196837.tif 000005
【図４】
2005196837.tif 000006
【図５】
2005196837.tif 000007