(57)【要約】【課題】版胴を移動させることによって発生する塗布液の乾燥や酸化反応などの問題に対処する。【解決手段】本体28に供給管29を連結してガスを導入し、ヒンジ30を介してスイング可能に吹出部31を取り付ける。吹出部31は、可撓性材料で形成した連通管32を介して本体28に接続し、前面と底面に多数のガスの吹出口33を設ける。ガスの吹出口33は、開口端面に調節板34を取り付け、調節板34をそれぞれ上下、左右にスライドして風量と風向を変化させる。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
版胴を回転してステージに定着した基板の上を版胴が通過するときに版胴に装着した版に塗布した材料液を基板に転写して基板の表面に薄膜を成膜する装置において、
この装置を、
前記ステージを定置し、
その上を版胴が回転しながら移動して前記材料液を基板に転写する版胴移動式とする一方、
この装置に、
前記版胴の上方を覆うカバーを設け、
このカバーの下にガスの流通機構を備えることを特徴とする薄膜印刷装置。
【請求項２】
前記カバーに、
前記材料液を版に塗布するロールと版胴の間を開閉するシャッタを設けることを特徴とする請求項１記載の薄膜印刷装置。
【請求項３】
前記カバーを、
着脱自在に版胴に取り付けることを特徴とする請求項１記載の薄膜印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被印刷基板の表面に所定の膜厚の薄膜を印刷して成膜する薄膜印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ガラス基板は、世代毎に大型化が進み、第６世代と呼ばれる以降のガラス基板のサイズはメーカによって多少の違いはあるが1500×1800mm以上の大きさになる。
このため、ガラス基板の大型化に対応して薄膜印刷装置などの製造装置の設置スペースや作業スペースの効率を高める必要がでてきた。
尚且つ、第６世代以前のサイズの小さなガラス基板についても対応でき、同様の効果が得られる装置が求められている。
【０００３】
ところが、従来の薄膜印刷装置は、図12に示すように、走行用モータ11の回転を減速機19を介して外ピニオン20に伝達し、同軸に固定した左右の内ピニオン21、21を回転して内ピニオン21、21に噛合する下向きのラック６、６を摺動し、版胴１の前後にラック６、６と一体の定盤４を往復移動させる定盤移動式の印刷装置であった。
このため、印刷時に定盤４とラック６、６が版胴１の後方に大きく突出するので、ガラス基板の大型化に伴って版胴１の前方だけでなく、後方にも大きな移動スペースを必要とするようになった。
【０００４】
また、版胴１の片側の軸端に駆動ギア22を固定し、この駆動ギア22を２つのアイドラ23、23を介して外ピニオン20に接続していた。
これにより、外ピニオン20を介して走行用モータ11の回転を駆動ギア22に伝え、版胴１を定盤４の移動方向と同じ方向に回転していた。
このため、駆動ギア22と外ピニオン20の中間に２つのアイドラ23、23が介在するので３段階のバックラッシュ（歯車の歯面と歯面の間の遊び）が発生し、版胴１の回転速度や定盤４の移動速度を高精度に制御するのが困難であった。
【０００５】
これらの問題を解決するために、本出願人は定盤４を定置してその両側に敷設したラック６、６上を版胴１が回転しながら印刷方向と戻り方向に往復移動する版胴移動式の薄膜印刷装置を開発し、先に出願している。
これにより、従来問題であった定盤４とラック６、６の版胴１の後方への突出をなくし、版胴１の駆動ギア22と外ピニオン20を接続する２つのアイドラ23、23を省略することができる。
ところが、版胴移動式の場合、版胴が回転しながら移動するので、版胴が風圧を受けて従来の方式に比べ塗布液の乾燥が早まる。
そのため、配向膜溶剤などの比較的乾燥度の高い印刷溶剤や、酸化反応の早い溶剤、乾燥速度によって著しく成膜性能に変化を来たす溶剤などを用いる場合にその影響が無視できなくなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
解決しようとする問題点は、印刷を版胴移動式にすると、版胴が風圧を受けて従来の方式に比べ塗布液の乾燥が早まる点である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、版胴を回転してステージに定着した基板の上を版胴が通過するときに版胴に装着した版に塗布した材料液を基板に転写して基板の表面に薄膜を成膜する装置において、
この装置を、前記ステージを定置し、その上を版胴が回転しながら移動して前記材料液を基板に転写する版胴移動式とする一方、この装置に、前記版胴の上方を覆うカバーを設け、このカバーの下にガスの流通機構を備えることを最も主要な特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の薄膜印刷装置は、カバーの下にガスの流通機構を備えてカバーの内側にN2ガスや加湿空気を流通させるので、特に乾燥や酸化によって成膜性能に与える影響が大きい溶剤を用いる場合に有効である。
また、材料液の塗布時だけシャッタを開け、特にカバーが必要な版胴の移動時はシャッタを閉めるので、カバーの効果が大幅に向上する。
また、カバーを簡単に取り外すことができるので、版胴の版を交換するときも邪魔にならない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。
【００１０】
図１に、本発明を実施した薄膜印刷装置の概略図を示す。
薄膜印刷装置は、フレキソ版転写によって基板の表面に所定の膜厚の薄膜を印刷して成膜するラック＆ピニオン駆動による版胴移動式の印刷機で、走行案内にＬＭ（直動）ガイドを使用する。
図１において、版胴１の軸をサイドフレーム２の軸受に回転自由に取り付け、軸の両端に略同径のピニオン３、３を固定する。
版胴１の下には定盤４を設置し、両側にリニアガイド５，５とラック６、６を平行に敷設する。
版胴１の後方には、アニロックスロール７とドクターロール８を版胴１と平行に架設する。
版胴１には、塩化ビニルなどの材料で形成したカバー24を着脱自在に被せ、幅方向の両端をサイドフレーム２の側壁に係止して底面を除く外周をカバー24で覆い包む。
【００１１】
カバー24は、図２に示すように、シャッタ25を設けてアニロックスロール７との対向面を開閉自在に構成する。
シャッタ25は、両端を直動ガイド26に案内し、図示しない開閉機構（空・油圧機構あるいは電動機構）で上下に開閉する。
【００１２】
カバー24の下には、図３に示すガスの流通器27を取り付け、カバー24の内側にN2ガス、加湿空気、希釈溶剤含有空気などを流通させる。
ガスの流通器27は、本体28に供給管29を連結してガスを導入し、ヒンジ30を介してスイング可能に吹出部31を取り付ける。
吹出部31は、図４の断面図に示すように、可撓性材料で形成した連通管32を介して本体28に接続し、前面と底面に多数のガスの吹出口33を設ける。
ガスの吹出口33は、開口端面に調節板34を取り付け、調節板34をそれぞれ上下、左右にスライドして風量と風向を変化させる。
調節板34は、形状を変えることによって流れ方向を種々セレクト可能にしている。
【００１３】
サイドフレーム２は、両サイドの底部に直線軸受９、９を固着し、直線軸受９、９をリニアガイド５，５に滑動自由に咬合する。
また、図示しない押込機構を備え、ボールネジをモータ制御して版胴１をアニロックスロール７に圧着する。
【００１４】
ピニオン３、３は、ラック６、６に噛合し、片側のピニオン３に常時噛合する第１伝動ギア10を介してピニオン３、３を走行用モータ11に接続する。
これにより、版胴１とピニオン３、３を回転自由にして走行用モータ11を回転すると、版胴１とピニオン３、３がラック６、６上を回転しながら移動する。
【００１５】
ラック６、６は、図５に示すように、両端部6a、6aを上下動可能に構成して図示しないラック昇降機構を備え、端部6aにある版胴１を移動させるときは、図５(a)に示すように、端部6aを上昇してラック６、６とピニオン３、３を接続し、端部6aにある版胴１をその場で回転させるときは、図５(b)に示すように、端部6aを下降してラック６、６とピニオン３、３を離間する。
定盤４は、図示しないテーブル昇降機構を備え、版胴１を印刷方向へ移動するときは定盤４を上昇し、版胴１を戻り方向へ移動するときは定盤４を下降する。
【００１６】
アニロックスロール７は、一方の軸端に駆動用モータ12を接続し、他方の軸端に第２伝動ギア13を固定する。
ドクターロール８は、周面をアニロックスロール７に接し、第２伝動ギア13に常時噛合する第３伝動ギア14を軸端に固定して減速駆動する。
【００１７】
本発明を実施した薄膜印刷装置は以上のような構成で、最初に供給管29の弁を開いてカバー24の下にあるガスの流通器27にガスを導入し、カバー24の内側にガスを流通させる。このとき、吹出部31をスイングさせてガスの吹き出し位置を調節し、調節板34をスライドして上下、左右の風量と風向を調節する。
次に、図６に示すように、駆動用モータ12を回転してアニロックスロール７とドクターロール８を互いに逆方向に回転し、ディスペンサ15を軸方向に移動してアニロックスロール７とドクターロール８の間に塗布液を滴下する。
このとき、アニロックスロール７に付いた余分な塗布液を掻き取り板16で掻き落とす。
塗布液は、２つのロール間で練られてアニロックスロール７の周面に液薄膜となって保持される。
【００１８】
次に、図７に示すように、開閉機構を作動して版胴１に被せたカバー24のシャッタ25を開け、同時にラック６、６の端部6aを下降してピニオン３、３を離間し、走行用モータ11を回転して版胴１をその場で回転させる。
そして、版胴１の回転スピードがアニロックスロール７と等速になるまで加速し、等速になったらサイドフレーム２を押し込んで版胴１をアニロックスロール７に圧着する。
このとき、圧着の始点を記憶し、版胴１が１回転して始点に復帰したら版胴１をアニロックスロール７から離間する。
これにより、版胴１に装着した版17に塗布液の薄膜が転移する。
【００１９】
次に、図８に示すように、開閉機構を作動してシャッタ25を閉じ、図示しないロボットにより定盤４に基板18を載置して吸引定着し、定盤４を上昇して塗布液の膜厚が所定の膜厚になるように分解能0.01mm精度で基板18の板厚に応じて定盤４の高さを調節する。
また、図９に示すように、ラック６、６の端部6aを上昇してピニオン３、３に接続し、走行用モータ11を正転して例えば20〜30m／分の速度で版胴１を印刷方向に移動する。
これにより、塗布液の薄膜が版17から基板18に転写塗布される。
【００２０】
次に、図10に示すように、２度刷りを防ぐため、基板18が版胴１の版17に接しないように定盤４を下降する。
そして、図11に示すように、走行用モータ11を逆転して例えば30m／分の最高速度で版胴１を戻り方向に移動して元の印刷開始位置に戻す。
以上の処理を基板の印刷枚数が予定枚数に達するまで繰り返す。
なお、印刷パターンを変更するために版17を交換するときは、版胴１を印刷方向に移動した後、人手でカバー24を取り除き、ラック６、６の端部6aを下降してピニオン３、３を離間し、版胴１をその場で回転させて版胴１から版17を取り外す。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
カバーの下にガスの流通機構を備えてカバーの内側にN2ガスや加湿空気を流通させることによって、特に乾燥や酸化によって成膜性能に与える影響が大きい溶剤を用いる用途に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明を実施した薄膜印刷装置の概略図である。
【図２】カバーとシャッタの概略図である。
【図３】ガスの流通器の斜視図である。
【図４】図３の断面図である。
【図５】両端が上下動可能なラックの模式図である。
【図６】アニロックスロールに塗布液を塗布するときの模式図である。
【図７】版に塗布液の薄膜を転移するときの模式図である。
【図８】基板の板厚に応じて定盤の高さを調節するときの模式図である。
【図９】版胴を印刷方向に移動するときの模式図である。
【図１０】基板が版に接しないように定盤を下降するときの模式図である。
【図１１】版胴を印刷の戻り方向に移動するときの模式図である。
【図１２】従来の薄膜印刷装置の概略図である。
【符号の説明】
【００２３】
１            版胴
２            サイドフレーム
３            ピニオン
４            定盤
５            リニアガイド
６            ラック
７            アニロックスロール
８            ドクターロール
９            直線軸受
10            第１伝動ギア
11            走行用モータ
12            駆動用モータ
13            第２伝動ギア
14            第３伝動ギア
15            ディスペンサ
16            掻き取り板
17            版
18            基板
19            減速機
20            外ピニオン
21            内ピニオン
22            駆動ギア
23            アイドラ
24            カバー
25            シャッタ
26            直動ガイド
27            流通器
28            本体
29            供給管
30            ヒンジ
31            吹出部
32            連通管
33            吹出口
34            調節板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005111684.tif 000009
【図８】
2005111684.tif 000010
【図９】
2005111684.tif 000011
【図１０】
2005111684.tif 000012
【図１１】
2005111684.tif 000013
【図１２】
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