(57)【要約】【課題】  異物取りロールの径が変わってもＴＡＢテープに不良部分が生じない半導体装置用テープキャリアの異物除去装置を提供する。【解決手段】  異物取りロール３０Ａの粘着剤層３９Ａを剥離して取り去り、その下部に存在する新たな粘着剤層３９Ｂを出現させる。このとき、ベースガイド３６の基準面３６ａとＴＡＢテープ６までの長さが変化することとなるので、異物取りロール３０Ａと第１の押えロール３４Ａの接触点でＴＡＢテープ６が曲がる。そこで、異物取りロール３０Ａを軸支するクランク治具３５の第１〜第４の面３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ，３５ｅとベースガイド３６を組み合わせることによりベースガイド３６の基準面３６ａとＴＡＢテープ６までの長さを一定の長さとする。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のロール間に半導体装置用テープキャリアを走行させて前記半導体装置用テープキャリアの表面あるいは裏面上の異物を除去する半導体装置用テープキャリアの異物除去装置において、
前記一対のロールのうち前記半導体装置用テープキャリアの前記表面あるいは前記裏面の前記異物を除去する側に位置する前記ロールは、表面側に剥離可能な複数の粘着剤層を有する異物取りロールであり、
前記粘着剤層を剥離して前記異物取りロールの径が小さくなっても、前記一対のロール間の接触点が一定のレベルを保つように前記一対のロールの支持軸位置を調整可能な調整機構を備えたことを特徴とする半導体装置用テープキャリアの異物除去装置。
【請求項２】
前記調整機構は、前記少なくとも一方のロールの前記支持軸の周りに回転可能に設けられ、前記支持軸の中心から距離が異なる複数の面を有し、前記複数の面のうち前記支持軸位置の調整に応じて選択した面を基準面に当接することにより、前記支持軸位置が調整可能な調整部材を備えたことを特徴とする請求項１記載の半導体装置用テープキャリアの異物除去装置。
【請求項３】
前記一対のロールは、前記半導体装置用テープキャリアの前記表面に前記異物取りロールが位置する第１の一対のロールと、前記半導体装置用テープキャリアの前記裏面に前記異物取りロールが位置する第２の一対のロールを備えたこと特徴とする半導体装置用テープキャリアの異物除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープ等の長尺物に付着したゴミ、ホコリ等の異物を除去する半導体装置用テープキャリアの異物除去装置に関し、特に、異物取りロールの径が変わってもＴＡＢテープに不良部分が生じることなく、かつ生産効率も低下しない半導体装置用テープキャリアの異物除去装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＴＡＢテープは、ＴＡＢテープ搬送装置の送出側リールに巻き取られており、送出側のリールから送出され、所定の加工処理が行われた後、巻き取りリールに巻き取られる。ＴＡＢテープへの加工は、高精度の寸法精度を必要とするため、ゴミ、ホコリなどの異物がＴＡＢテープ上に存在すると、例えば、印刷されたパターンが短絡してしまうのでその印刷パターンを使用することができない。
【０００３】
そこで、異物を除去するために、シャフトの外側にロールを形成し、そのロールの外側に粘着剤層を形成した回転式粘着除塵クリーナが知られている（特許文献１参照。）。
【０００４】
上述した回転式粘着除塵クリーナに使用される粘着剤層をＴＡＢテープ搬送装置の異物取りロールに適用したものとして、次の２つがある。
【０００５】
図５は、異物取りロールを用いた第１の従来例を示す。この第１の従来例は、ＴＡＢテープ６の裏面６ａの異物を取る第１の異物取りロール６０ＡとＴＡＢテープ６の表面６ｂの異物を取る第２の異物取りロール７０Ａとを有する１組の異物取りロールと、ＴＡＢテープ６の裏面６ａから表面６ｂ側へ押圧する押えロール６１とＴＡＢテープ６の表面６ｂの異物を取る第３の異物取りロール７０Ｂとを有する他の１組の異物取りロールとを備える。
【０００６】
第１〜第３の異物取りロール６０Ａ，７０Ａ，７０Ｂは、軸受部６５に軸支されるシャフト３３と、シャフト３３の周りに形成されたロール部６３と、ロール部６３の周囲に剥離可能に取り付けられた粘着剤層６６とを備える。押えロール６１は、シャフト３３の周りに形成される。第１の異物取りロール６０Ａおよび押えロール６１は、図示しない基台に固定されたベースガイド６４を介して取り付けられる。基台から軸受部６５までの長さは、第１の異物取りロール６０Ａおよび押えロール６１について同一である。
【０００７】
この第１の従来例の動作について説明する。ＴＡＢテープ６は、第１および第２の異物取りロール６０Ａ，７０Ａの間および押えロール６１と第３の異物取りロール７０Ｂの間を図示しない駆動部により駆動されて移動走行する。第１および第２の異物取りロール６０Ａ，７０Ａは、ＴＡＢテープ６の移動走行に伴ってＴＡＢテープ６の表面を回転し、粘着剤層６６は、ＴＡＢテープ６の表面のゴミ、ホコリ等の異物を付着する。第１〜第３の異物取りロール６０Ａ，７０Ａ，７０Ｂを使用することにより、粘着剤層６６の粘着力が弱くなった場合、オペレータは、粘着剤層６６を剥がして取り除き、新たな粘着剤層６６を取り付ける。したがって、粘着剤層６６の粘着力を一定の強さに保つことができる。
【０００８】
図６は、異物取りロールを用いた第２の従来例を示す。この第２の従来例は、図５に示す押えロール６１を第１の異物取りローラ６０Ａと同様に構成された第４の異物取りロール６０Ｂに置き換えたものである。
【０００９】
この第２の従来例の動作について説明する。第１および第２の異物取りロール６０Ａ，６０Ｂ，７０Ａ，７０Ｂの粘着剤層６６の粘着力が弱くなった場合、オペレータが粘着剤層６６を剥がして取り除き、新たな粘着剤層６６を取り付ける。そのため、異物取りロール６０Ａ，６０Ｂの外径を常に一定に保つことができる。
【特許文献１】特開平８−１２６６０２号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、図５に示す第１の従来例は、隣接する第１の異物取りロール６０Ａと押えロール６１の径が異なるため、第１の異物取りロール６０Ａと第２の異物取りロール７０Ａの接触点および押えロール６１と第３の異物取りロール７０Ｂの接触点のところでＴＡＢテープ６が曲げられるので、ＴＡＢ編集装置へのライン化ができないという問題がある。また、曲げられたことにより、ＴＡＢテープ６が変形してしまい、使用できない不良部分が生じるおそれがある。
【００１１】
また、図６に示す第２の従来例は、異物取りロール６１の粘着剤層６６を剥離して取り去ると、径が一定となるように粘着剤層６６を押えロール６１に巻き付ける必要があるため、巻き付け作業が面倒であり、巻き付け時間がかかり、生産効率が下がるという問題がある。
【００１２】
従って、本発明の目的は、異物取りロールの径が変わってもＴＡＢテープに不良部分が生じることなく、かつ生産効率も低下しない半導体装置用テープキャリアの異物除去装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、上記目的を達成するため、一対のロール間に半導体装置用テープキャリアを走行させて前記半導体装置用テープキャリアの表面あるいは裏面上の異物を除去する半導体装置用テープキャリアの異物除去装置において、前記一対のロールのうち前記半導体装置用テープキャリアの前記表面あるいは前記裏面の前記異物を除去する側に位置する前記ロールは、表面側に剥離可能な複数の粘着剤層を有する異物取りロールであり、前記粘着剤層を剥離して前記異物取りロールの径が小さくなっても、前記一対のロール間の接触点が一定のレベルを保つように前記一対のロールの支持軸位置を調整可能な調整機構を備えたことを特徴とする半導体装置用テープキャリアの異物除去装置を提供する。
【００１４】
この構成によれば、粘着剤層を剥離して径が小さくなってもロールの支持軸位置を調整することにより、一対のロールの接触点が一定のレベルに保たれる。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本発明の半導体装置用テープキャリアの異物除去装置によれば、粘着剤層を剥離して径が小さくなってもロールの支持軸位置を調整することにより、一対のロールの接触点が一定のレベルに保たれるため、異物取りロールの径が変わっても半導体装置用テープキャリアに不良部分が生じることなく、かつ生産効率も低下することがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１は、本発明の実施の形態に係る半導体装置用テープキャリアの異物除去装置が適用されるＴＡＢテープ編集装置を示す。このＴＡＢテープ編集装置は、半導体装置用テープキャリアとしてのＴＡＢテープ６を送出するＴＡＢテープ送出部１と、ＴＡＢテープ６の切除・切り分け等を行う編集部２と、ＴＡＢテープ６の表面・裏面の異物を除去する異物取り部３と、ＴＡＢテープ６の良品・不良品のカウントを行う画像処理部４と、ＴＡＢテープ６を巻き取るＴＡＢテープ巻取り部５とを備える。
【００１７】
ＴＡＢテープ送出部１は、ＴＡＢテープ６を送出するＴＡＢテープ送出リール１０と、ＴＡＢテープ６同士が直接接触しないようにするためのスペーサ７を巻き取るスペーサ巻取りリール１１とを備える。
【００１８】
編集部２は、ＴＡＢテープ６の切除や切り分けを行うテープ編集部２０と、編集のための各種設定や操作を行うための編集操作ボックス２１と、編集のための各種設定や操作を画像に表示する編集指示用パーソナルコンピュータ２２と、必要に応じてリードテープ２３を送出するリードテープリール２４とを備える。
【００１９】
異物取り部３は、移動走行するＴＡＢテープ６の表面および裏面に存在するゴミ、ホコリ等の異物を除去する異物取りロール３０（３０Ａ，３０Ｂ）を備える。
【００２０】
ＴＡＢテープ巻取り部５は、編集されたＴＡＢテープ６を巻き取るＴＡＢテープ巻取りリール５０と、巻き取ったＴＡＢテープ６が直接接触しないようにするためにスペーサ７を送り出すスペーサ送出リール５１とを備える。
【００２１】
図２は、異物取り部３を示す。この異物取り部３は、ＴＡＢテープ６の裏面６ａ側の異物を除去する第１の異物取りロール３０ＡとＴＡＢテープ６の表面６ｂ側から裏面６ａ側を押圧する第１の押えロール３４Ａとからなる第１のロール対と、ＴＡＢテープ６の裏面６ａから表面６ｂ側へ押圧する第２の押えロール３４ＢとＴＡＢテープ６の裏面６ａ側の異物を除去する第２の異物取りロール３０Ｂからなる第２のロール対を備える。
【００２２】
第１の異物取りロール３０Ａは、ガイドプレート３７側に軸支されるシャフト３３と、シャフト３３の周りに形成されたロール部３４と、ロール部３４の周囲に剥離可能に取り付けられた複数の粘着剤層３９Ａ，３９Ｂ，・・・とを備え、クランク治具３５およびベースガイド３６を介して左右に設けられた一対のガイドプレート３７間に支持されている。粘着剤層３９Ａ，３９Ｂ，・・・に使用される粘着剤として、ゴム系、アクリル系、シリコン系等が挙げられる。
【００２３】
第２の異物取りロール３０Ｂは、ＴＡＢテープ６の表面側で軸支されるシャフト３３と、シャフト３３の周りに形成されたロール部３４と、ロール部３４の周囲に剥離可能に取り付けられた複数の粘着剤層３９Ａ，３９Ｂ，・・・とを備え、図示しない支持部材により第２の押えロール３４Ｂに対応した部位に支持される。
【００２４】
クランク治具３５は、図２に示すように正面から見て略矩形状を有し、中央に軸受３５ａが形成され、軸受３５ａの中心から異なる距離に第１〜第４の面を有する。第１〜第４の面３５ｂ，３５ｃ,３５ｄ，３５ｅと支持軸としてのシャフト３３の中心までの長さは、４種類あり、ベースガイド３６と組み合わされて当接されることによりベースガイド３６に対し軸受３５ａの位置（高さ）を変える。
【００２５】
図３は、ベースガイド３６に取り付けられた異物取りロール３０Ａの平面図を示す。この異物取りロール３０Ａは、シャフト３３がクランク治具３５の軸受３５ａから離脱するのを防ぐために、ストッパ３８がシャフト３３に取り付けられている。ガイドプレート３７は、シャフト３３を上下方向に案内する溝部３７ａが形成されている。
【００２６】
このＴＡＢテープ編集装置は、以下のように動作する。ＴＡＢテープ６は、図１に示すように、ＴＡＢテープ送出リール１０からスペーサ７を分離しながら引き出され、編集部２に送られる。ＴＡＢテープ６は、編集部２のテープ編集部２０の前方の編集側駆動ロール２５による駆動力とテープ編集部２０の手前に設けられた編集側ブレーキロール２６の制動力とにより所定の張力に保たれる。編集作業でリードテープ２３が必要であればリードテープリール２４からリードテープ２３がテープ編集部２０に送られる。オペレータが、編集指示用パーソナルコンピュータ２２の画面を見ながら編集操作ボックス２１に対して操作を行うことにより、テープ編集部２０は、ＴＡＢテープ６の切除、切り分け等の編集を行う。
【００２７】
このようにして編集されたＴＡＢテープ６は、異物取り部３を通過し、ＴＡＢテープ６の表面および裏面に存在するゴミ、ホコリ等の異物が除去される。このとき、ＴＡＢテープ６は、異物取りロール用駆動ロール３１による駆動力と異物取りロール用ブレーキロール３２の制動力により所定の張力に保たれる。画像処理部４は、異物が除去されたＴＡＢテープ６について、良品・不良品のカウントを行う。カウントが終了したＴＡＢテープ６は、スペーサ送出リール５１から送り出されるスペーサ７とともにＴＡＢテープ巻取りリール５０に巻き取られる。
【００２８】
次に、異物取り部３の動作について説明する。この異物取り部３において、図２に示すように、第１の異物取りロール３０Ａと第２の押えロール３４Ｂの最外周を結ぶ線の延長線は、直線である。しかし、使用によって粘着剤層３９の粘着力が弱くなったとき、オペレータは、最外層の粘着剤層３９Ａを剥離して取り去り、その下部に存在する新たな粘着剤層３９Ｂを出現させる。このとき、第１の異物取りロール３０Ａについて、ベースガイド３６の基準面３６ａからＴＡＢテープ６までの長さと、第２の押えロール３４Ｂについてのベースガイド３６の基準面３６ａからＴＡＢテープ６までの長さが異なることとなる。したがって、第１の異物取りロール３０Ａと第１の押えロール３４Ａとの接触点、あるいは第２の押えロール３４Ｂと第２の異物取りロール３０Ｂとの接触点でＴＡＢテープ６のレベルが異なることになる。
【００２９】
そこで、クランク治具３５を使用してＴＡＢテープ６のレベルを一定に保つようにする。すなわち、図４（ａ）から（ｄ）に示すように粘着剤層の剥離に応じてベースガイド３６の基準面３６ａに当接するクランク治具３５の第１〜第４の面３５ｂ〜３５ｅを段階的に変える。このとき、ロール３０Ａ，３４Ｂを持ち上げて当接する面３５ｂ〜３５ｅを変えるか、あるいは、ベースガイド３６をガイドプレート３７から外して第１〜第４の面３５ｂ〜３５ｅのいずれかと基準面３５ａとを当接する。
【００３０】
本発明の実施の形態によれば、粘着剤層３９を剥離し、除去した場合、異物取りロール３０の径が変化することがあっても、クランク治具３５の第１〜第４の面３５ｂ〜３５ｅとベースガイド３６との組み合わせにより、ベースガイド３６の基準面３６ａとＴＡＢテープ６までの長さを所定の長さに保つことができるため、ＴＡＢテープ６を直線に保つことができるので、ＴＡＢテープ６が変形することがない。また、クランク治具３５の第１〜第４の面３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ，３５ｅとベースガイド３６基準面３６ａとの組合わせは、簡単であり、短時間で行うことができるので、生産効率が下がることもない。
【００３１】
なお、クランク治具３５の面３５ｂ〜３５ｅとベースガイド３６との組み合わせは、クランク治具３５の４面を使用したが、５面以上の多角形の面、３角形の面、楕円などの湾曲面であってもよい。ＴＡＢテープ６のレベルを段階的に調整したが、無段階に調整できるようにしてもよい。また、図２において、異物取りロール３０と押えロール３４の組合わせについて説明したが、異物取りロール３０と異物取りロール３０の組合わせであってもよい。この場合は、ＴＡＢテープ６の表面および裏面を２つの異物取りロール３０で異物を除去するため、より確実に異物を除去することができる。また、異物取りロール３０をＴＡＢテープの表面側あるいは裏面側の一方側にのみ配置してもよい。また、異物取りロール３０は、ＴＡＢテープの表面側あるいは裏面側にそれぞれ３つ以上配置してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の実施の形態に係る半導体装置用テープキャリアの異物除去装置が適用されるＴＡＢテープ編集装置を示す概略図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る異物取り部を示す図である。
【図３】本発明の実施の形態に係るベースガイドに取り付けられた異物取りロールの平面図である。
【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施の形態に係る異物取りロールの径とクランク治具との関係を示す図である。
【図５】異物取りロールの第１の従来例を示す図である。
【図６】異物取りロールの第２の従来例を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  ＴＡＢテープ送出部
２  編集部
３  異物取り部
４  画像処理部
５  ＴＡＢテープ巻取り部
６  ＴＡＢテープ
６ａ  表面
６ｂ  裏面
７  スペーサ
１０  ＴＡＢテープ送出リール
１１  スペーサ巻取りリール
２０  テープ編集部
２１  編集操作ボックス
２２  編集指示用パーソナルコンピュータ
２３  リードテープ
２４  リードテープリール
２５  編集側駆動ロール
２６  編集側ブレーキロール
３０Ａ  第１の異物取りロール
３０Ｂ  第２の異物取りロール
３１  異物取りロール用駆動ロール
３２  異物取りロール用ブレーキロール
３３  シャフト
３４  ロール部
３４Ａ、３４Ｂ  押えロール
３５  クランク治具
３５ａ  軸受
３５ｂ，３５ｃ，３５ｄ，３５ｅ  第１〜第４の面
３６  ベースガイド
３６ａ  上面
３７  ガイドプレート
３８  ストッパ
３９，３９Ａ，３９Ｂ  粘着剤層
５０  ＴＡＢテープ巻取りリール
５１  スペーサ送出リール
６０Ａ  第１の異物取りロール
６０Ｂ  第２の異物取りロール
６１  押えロール
６３  ロール部
６４  ベースガイド
６５  軸受部
６６  粘着剤層
７０Ａ  第２の異物取りロール
７０Ｂ  第３の異物取りロール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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