(57)【要約】  【課題】標準プロファイルに近い性能を設計によって容易に且つ確実に実現できるカラーセンサ及びその製造方法を提供する。  【解決手段】カラーセンサ（５０、２００）において、部分的に透光性で、透過関数が空間的位置の関数として変化するプライマリフィルタ層（６１〜６３）は、プライマリフィルタ層（６１〜６３）の第１の位置においては第１の特性波長付近にある第１の波長帯域における光を透過し、プライマリフィルタが前記プライマリフィルタ層（６１〜６３）の第２の位置においては第２の特性波長付近にある第２の波長帯域における光を透過する。第１及び第２の位置におけるものと実質的に同じ波長の関数としての透過関数第１のトリムフィルタ（７０）が、第１及び第２の位置の上に設けられた材料層を有し、前記第１及び第２の特性波長の間にある第１のトリム波長の光を選択的に減衰させる。【選択図】図４
2005266811.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
部分的に透光性で、波長の関数としての透過関数を持つプライマリフィルタ層であって、前記透過関数が空間的位置の関数として変化するものであり、第１の位置においては第１の特性波長付近にある第１の波長帯域における光を透過し、第２の位置においては第２の特性波長付近にある第２の波長帯域における光を透過する前記プライマリフィルタ層と、
前記第１及び第２の位置の上に設けられた材料層を有し、前記第１及び第２の特性波長の間にある第１のトリム波長の光を選択的に減衰させる第１のトリムフィルタであって、前記第１及び第２の位置におけるものと実質的に同じ波長の関数としての透過関数を持つ第１のトリムフィルタとを具備したことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項２】
前記第１のトリムフィルタは、更に第２のトリム波長の光を選択的に減衰させるものであり、前記第１のトリム波長が前記第１及び第２の特性波長の一方よりも低く、前記第２のトリム波長がその特性波長よりも大きいことを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項３】
前記第１のトリムフィルタは、干渉フィルタを含むものであることを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項４】
前記プライマリフィルタ層は、前記第１の位置に配置された第１の着色フィルタと前記第２の位置に配置された第２の着色フィルタを含むものであることを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項５】
前記第１及び第２の着色フィルタは、前記第１のトリムフィルタ層の上に配置されたものであることを特徴とする、請求項４に記載のカラーフィルタ。
【請求項６】
第２のトリムフィルタを更に具備し、前記第２のトリムフィルタは、前記特性波長及び前記第１のトリム波長とは異なる第２の波長の光を選択的に減衰させる材料層を含むことを特徴とする、請求項１に記載のカラーフィルタ。
【請求項７】
前記着色フィルタは、前記第１及び第２のトリムフィルタの間に配置されていることを特徴とする、請求項６に記載のカラーフィルタ。
【請求項８】
カラーフィルタを製作する為の方法であって、第１のトリムフィルタ層を基板へと被着するステップと、
部分的に透光性のプライマリフィルタ層を前記第１のトリムフィルタ層へと被着するステップであって、前記プライマリフィルタ層が波長の関数としての透過関数を持ち、前記透過関数が前記プライマリフィルタ層上の空間的位置の関数として変化するものであり、前記プライマリフィルタが、第１の位置で第１の特性波長付近の第１の波長帯域にある光を透過し、第２の位置で第２の特性波長付近の第２の波長帯域にある光を透過するステップとを有し、
前記第１のトリムフィルタ層は、前記第１及び第２の位置に重なり、前記第１及び第２の特性波長間にある第１のトリム波長の光を選択的に減衰させる材料層を含み、前記第１及び第２の位置におけるものと実質的に同じ波長の関数としての透過関数を持つようにすることを特徴とする方法。
【請求項９】
前記第１のトリムフィルタ層は、更に第２のトリム波長の光も選択的に減衰させるものであり、前記第１の波長が前記特性波長の１つよりも小さく、前記第２の波長がその特性波長よりも大きいことを特徴とする、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１のトリムフィルタ層は、複数の透明層を含み、その中の隣接する層同士が異なる屈折率を持つものであることを特徴とする、請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
第２のトリムフィルタ層を前記カラーフィルタ層へと被着することにより前記カラーフィルタ層を前記第１及び第２のトリムフィルタ層で挟みこむステップを更に有し、前記第２のトリムフィルタ層が前記第１及び第２の位置へと重なり、前記第１のトリム波長、前記第１の特性波長及び前記第２の特性波長とは異なる第２のトリム波長の光を選択的に減衰させる材料層を含み、前記第２のトリムフィルタが前記第１及び第２の位置におけるものと実質的に同じ波長の関数としての透過関数を持つものであることを特徴とする、請求項８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はフィルタ上の空間的位置によって変化するカラーフィルタ通過帯域に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明は、画像記録用にフォトダイオードのカラーセンサアレイを用いたカメラを例にとると理解し易い。色の感度を得る上で、一般にフォトダイオードはそれぞれに赤色、緑色及び青色光を検出する３つのフォトダイオードクラスに分けられる。各種の色感度を持つこれらのダイオードは、アレイ中に分散配置される。例えば、ディテクタアレイには、各画素が赤色光測定用、緑色光測定用及び青色光測定用の３つのフォトダイオードを含むことを特徴とする画素アレイから成るものがある。
【０００３】
カラーセンサは一般に、特定の色通過帯域を選択する透過フィルタを同じフォトダイオードを並べたアレイ上に設けることにより作られる。即ち、カメラチップは色感度をほぼ持たないフォトディテクタのアレイ上に、空間的位置によって変化する通過帯域を持つフィルタを用いたものと見ることが出来る。フィルタは、赤色、青色及び緑色の範囲に及ぶ広いスペクトル範囲の光に感度を持つフォトダイオード上に設けられる色素フィルタから構成されることが一般的である。例えば、カラーカメラアレイは、従来のフォトリソグラフィー技術を用い、アレイ中の各ダイオード上に選択的に対象となる色素を設けることにより赤色、青色又は緑色フィルタをパターンニングして製作することが可能である。しかしながら、このプロセスには色素フィルタに用いることが出来る材料による制約がある。従って作ることが出来るカラーフィルタ・プロファイルには制約がある。例えば、これらのフィルタは赤外線（ＩＲ）光を遮断することが出来ない為、このようなカメラには更にＩＲ遮断フィルタを設けなければならず、カメラのコストが増大してしまうのである。
【０００４】
加えて、あらかじめ特定したカラープロファイルを作ることは困難である。一般に設計者は、設計者が制御し得ない透過曲線を持つ１つ以上のフィルタを使用しなければならない。例えば、色素フィルタから得られるフィルタプロファイルは、各画素について人が見て感知する色の特定に用いられる標準フィルタプロファイルと一致しない。光源の色を人が目視する為にプリンタで再生する場合のアプリケーションを想定したい。光源は非常に複雑なスペクトルを持っているが、人の目は光源を３つの色源から色を組み合わせて再生することが出来る単一色を持つものとして認識する。プリンタは、ＣＩＥ１９３１標準等の何らかの標準表色系を使って校正される。ＲＧＢ値が標準表色系におけるＲＧＢスペクトルパターンを持つ光の強度を表すものである場合、プリンタは適正な色を生成する。即ち、用紙に記録される光のスペクトルは光源のものとは異なってはいるものの、人の目は光源と同じ色が用紙に印刷されているものと認識するのである。
【０００５】
色素フィルタを用いたセンサにより測定されるＲＧＢ値は、色素フィルタの透過曲線により決まる加重波長帯域で光の強度を測ったものである。色素フィルタを使ったフォトディテクタから測定された強度をＲ’、Ｇ’、Ｂ’として説明する。一般に、このＲ’Ｇ’Ｂ’はフィルタ重み関数が異なる為に、標準向けの理想的なフィルタにより得られるＲＧＢ値とは異なる。よってこの色素ベースの値がプリンタへと送られた場合、プリンタはカラーセンサへと入力された光とは異なる色を生成することになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
干渉技術を利用すればより望ましいカラープロファイルを持つフィルタを製作することが出来るが、これらのフィルタを面積の小さなフォトダイオード上に作ることは困難である。よってこれらのフィルタは画素寸法が非常に小さくなければならないカラーカメラ等への使用には適していないのである。干渉フィルタは、異なる屈折率を持つ複数の透明誘電体薄膜を設けることにより作られる。波長とフィルタプロファイルは誘電体の厚さ及び屈折率を変えることにより設定される。これによりフィルタプロファイル・デザインには大きな柔軟性が提供される。しかしながら、この技術では高解像度カメラ用の個々の画素をパターニングすることが困難である為、ＣＣＤカメラチップには適していない。従ってカメラに干渉フィルタを用いるには、３つの別個のチップ上に３つの別個のアレイを必要とするのである。各チップは１色の光の画像を検出する。次に３つのモノクロ画像が組み合わせられ、最終的なカラー画像が作られる。各チップは一種類のフィルタしか必要としないことから、フォトダイオード・サイズの小型フィルタを個々に作るという問題は回避される。しかしながら、カメラチップを別個に３つも必要とすることからコストとカメラの光学系の複雑性が増大する。加えて、各チップが使える光の強度は３分の１に低下することから、色計測を行う為に必要な光の量が増大する。
【０００７】
そこで本発明は、標準プロファイルに近い性能を設計によって容易に且つ確実に実現できるカラーセンサ及びその製造方法を提供することをその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明はカラーフィルタとその製作方法を含む。カラーフィルタはプライマリフィルタ層と第１のトリムフィルタを含む。プライマリフィルタ層は部分的に透光性であり、波長の関数としての透過関数を持っている。透過関数はまた、プライマリフィルタ層上の空間的位置の関数としても変化する。プライマリフィルタは、プライマリフィルタ層の第１の位置においては第１の特性波長付近の第１の波長帯域にある光を透過し、そしてプライマリフィルタ層上の第２の位置においては第２の特性波長付近の第２の波長帯域にある光を透過する。第１のトリムフィルタは先に述べた第１及び第２の位置の上に設けられる材料層を含み、これは第１及び第２の特性波長の間にある第１のトリム波長の光を選択的に減衰させるものである。第１のトリムフィルタは第１及び第２の位置におけるものと実質的に同じ波長の関数としての透過関数を持っている。一実施例においては、第１のトリムフィルタは更に第２のトリム波長の光も選択的に減衰させるものでもある。この実施例においては、第１のトリム波長は第１及び第２の特性波長の一方よりも小さく、第２のトリム波長はその特性波長よりも大きい。一実施例においては、第１のトリムフィルタは干渉フィルタを含む。一実施例においては、プライマリフィルタ層は第１の位置に配された第１の着色フィルタと第２の位置に配された第２の着色フィルタを含んでいる。一実施例においては、カラーフィルタは更に第２のトリムフィルタを含んでいる。第２のトリムフィルタは、特性波長及び第１のトリム波長のそれぞれとは異なる第２の波長の光を選択的に減衰させる材料層を含んでいる。一実施例においては、着色フィルタは第１及び第２のトリムフィルタの間に配置されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に添付図面を参照して、本発明の最良の実施形態となるカラーセンサ及びその製造方法について詳細に説明する。
【００１０】
本発明はＣＩＥ１９３１標準に基づく表色系を参照することでより容易に理解することが出来る。しかしながら、以下の詳細説明からわかるように、本発明の原理は他の表色系にも適用することが可能である。ここで図１を参照するが、これは代表的な赤色素フィルタで得られる波長の関数としての色透過曲線が、ＣＩＥ１９３１赤色プロファイルのカラープロファイルとどのように異なるかを示すものである。色素プロファイルは符号１０に、ＣＩＥ１９３１標準プロファイルは符号１１に示した。図からわかるように、色素フィルタのカラープロファイルはＣＩＥ１９３１標準のものを著しく超える伸びを示している。同様に、青色及び緑色用に標準的に使用されている色素フィルタの色透過曲線も、図２及び図３に示したようにＣＩＥ１９３１標準の対応フィルタプロファイルよりも大幅に広い。図２は、代表的な緑色素フィルタで得られる波長の関数としての色透過曲線をＣＩＥ１９３１緑色プロファイルと比較したものである。色素プロファイルは符号２０に示し、ＣＩＥ１９３１標準プロファイルは符号２１に示した。図３は青色素フィルタで得られる波長の関数としての色透過曲線をＣＩＥ１９３１青色プロファイルのカラープロファイルと比較したものである。色素プロファイルは符号３０に示し、ＣＩＥ１９３１標準プロファイルは符号３１に示した。
【００１１】
本発明は、上述した色素フィルタを、これらの色素フィルタが対応する標準プロファイルを透過するように設計されたフィルタよりも大量の光を透過するスペクトル領域において、光を選択的に遮断する第２のフィルタと組み合わせることにより改良されたカラーフィルタを得ることが出来るという考えに基づいたものである。色素フィルタはフィルタ上の位置によって変化するものであるが、第２のフィルタはフィルタ全体を通じて実質的に変化しない透過関数を持っている。ここで図１に戻るが、赤色素フィルタは符号１１に示す標準プロファイルを提供するフィルタよりも、符号１２に示すスペクトル領域における光を大量に透過している。本発明は、この過剰に透過された光を除去する為の帯域遮断フィルタを用いている。赤色素フィルタの透過は
【００１２】
【数１】
2005266811.tif 000003
【００１３】
として、そして標準フィルタプロファイルの透過を
【００１４】
【数２】
2005266811.tif 000004
【００１５】
として示す。この説明の目的上、これらのフィルタの最高透過率は同じものとする。この場合、理想的な帯域遮断フィルタは、以下に挙げる透過率を持っている。
【００１６】
【数３】
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【００１７】
同様の帯域遮断フィルタを、最終的な複合フィルタが所望の標準フィルタに近いものに仕上がるように他の色素フィルタにも設けることが出来る。色素ベースのフィルタは、対応する色に対し、より理想的な標準透過曲線よりも大幅に広い透過曲線を持つ傾向がある。例えば、青色フィルタの透過曲線中で遮断すべき帯域位置を図３における符号３２及び符号３３で示した。一般に、色素フィルタ透過曲線を所望される透過曲線により近い透過曲線へと変換する為に希釈しなければならない色素フィルタ透過曲線帯域は、１帯域又は２帯域ある。
【００１８】
以下の説明を明確にする為に、上述した色素フィルタをプライマリ空間変化フィルタと呼び、帯域遮断フィルタを共通スペクトルトリムフィルタと呼ぶものとする。本発明は、これらの共通スペクトルトリムフィルタを遮断すべき帯域の各々において最低透過率を持つ単一の複合フィルタへと組み合わせることが出来るという考えを利用したものである。このようなフィルタを構築する方法を以下に詳細に説明する。この説明の便宜上、各共通スペクトルトリムフィルタは、これが遮断する帯域以外のスペクトル領域においては、基本的に理想的な１００％の透過率を持つものとして説明する。よってこのようなフィルタが複数積層された場合にも、遮断帯域と遮断帯域の間にあるスペクトル領域における透過率には基本的に変化は無い。従ってこのようなトリムフィルタのスタックを持つ単一の複合フィルタは、赤、緑及び青色素フィルタの上又は下に配置することが出来る。この結果、単一の色素フィルタよりも大幅に大きい物理寸法を持つトリムフィルタを利用することが出来、従って上述した寸法限界問題はより小さなものとなる。実際、単一の複合トリムフィルタは、何らかの形状パターニングをする場合でもわずかしか必要としない単一層としてカラーセンサアレイ全体の上又は下に配置することが出来るのである。
【００１９】
次に図４を参照するが、これは本発明の一実施例に基づくフィルタを用いたカラーセンサの断面を描いたものである。カラーセンサ５０は３つのフォトディテクタ５１〜５３を含む。各フォトディテクタは、対応する色素フィルタにより覆われている。フォトディテクタ５１〜５３に対応するフィルタは、それぞれ符号６１〜６３で示した。複合トリムフィルタ７０は、色素フィルタの透過曲線を上述した方式と同様の方式で「切り取る」為に用いられる。トリムフィルタ７０は、フォトディテクタと色素フィルタとの間に配置されることが望ましいが、色素フィルタ上にトリムフィルタを配置した実施例とすることも可能である。
【００２０】
幾つかの代表的な色素フィルタとトリムフィルタの透過曲線を図５に示した。トリムフィルタの正規化された透過曲線は符号７０に示し、赤、青、緑色素フィルタの正規化された透過曲線は、それぞれ符号７１〜７３に示した。フィルタの下にある赤色、青色及び緑色光を検出するフォトダイオードの応答曲線は、図６の符号８１〜８３にそれぞれ示した。この説明の便宜上、色素フィルタを、特定波長の光を選択的に吸収してそのフィルタ材料中の２つの原子又は分子エネルギー状態の間における遷移を誘発することにより、それを通過する光のカラースペクトルを変える何らかのフィルタと定義するものとする。従来のフォトリソグラフィー技術によりパターニングすることが出来る色素フィルタとしては、富士フィルム社製のものがある。
【００２１】
次にトリムフィルタを構成する方法を以下に詳細に説明する。推奨される帯域遮断フィルタは、厚さが均一な複数の透明層から構成された干渉フィルタであり、これらの層の隣接するもの同士は異なる屈折率を持っている。この種のフィルタは当該分野においては周知であり、本願においては、これらの詳細については説明しないものとする。説明の便宜上、このような層のスタックが、これらの層の厚さ及び屈折率により決まる波長の光を遮断するものであると述べるに留める。他の波長の光は遮断されない為、わずかに希釈されながらも層スタックを通過する。従ってこのような複数のフィルタを積層することにより、所定の波長群における各波長の光を遮断しつつも、所定波長群以外の波長の光は透過させる複合フィルタが提供されるのである。
【００２２】
ここで図７〜図９を参照するが、これらは本発明の他の実施例に基づくフィルタを用いたカラーセンサアレイ１００の様々な製造プロセス段階における断面図である。図７において、プロセスは複数のフォトダイオードをその中に設けた基板１０１から始まる。フォトダイオードセット例を符号１０２及び符号１１０に示した。フォトダイオードセットの各々は、符号１１１〜符号１１３に示した３つの別個のフォトダイオードを含んでいる。
【００２３】
図８を見ると、基板１０１は堆積チャンバ中に入れられており、複合干渉フィルタの各層が基板表面に形成されている。干渉フィルタは当該分野においては周知である為、フィルタ構成の詳細についてはここでは説明しないものとする。遮断すべき２つの帯域に対応する層は符号１２１及び１２３に示した。層の様々な組成及び厚さは、各層に用いられる先駆物質組成及び堆積時間を調節することにより制御することが出来る為、基板を堆積処理中にチャンバから取り出す必要はない。従ってこの処理は経済的でもあり、歩留まりも高い。
【００２４】
次に図９を参照するが、従来のフォトリソグラフィー技術により色素フィルタが帯域遮断フィルタ層の上に形成される。この実施例においては、赤色、青色及び緑色のスペクトル領域で透過性を持つ色素フィルタが使用されている。色素フィルタ例は符号１３１〜１３３に示した。
【００２５】
上述した本発明の実施例は原色ろ波機能を得る為の色素フィルタと、色素フィルタの透過曲線端部を調節して目的とする透過関数に近いものを得る為の干渉フィルタを用いている。しかしながら、本発明はこれらのフィルタタイプの特定の組み合わせに限られたものではない。より広義に言えば、充分にパターニングし得るものであれば、これらの色素フィルタの代わりにどのようなフィルタ材料を使用しても良い。例えば、着色したフォトレジストを用いた色素フィルタを利用することも出来る。同様に、色素フィルタの透過曲線を変えて目的とするフィルタ機能に近づける為に１つ以上の色素フィルタ上に使用する帯域遮断フィルタも、どのような形式のものであっても良い。例えば、他の色素に基づく帯域通過フィルタを、それらの色素が異なる色素を利用する領域の作用に干渉する吸収帯を持たないものであれば利用することが出来る。
【００２６】
次に図１０を参照するが、これは本発明に基づくフィルタを用いた他のカラーセンサの実施例を描いた断面図である。上述した実施例では色素フィルタが形成される前にトリムフィルタを設けるものであったが、色素フィルタ上にトリムフィルタを配置した構成の実施例も可能である。その形成に色素フィルタを損傷する恐れのある環境を要する材料からトリムフィルタが作られる場合、そしてトリムフィルタがフォトディテクタ上に形成すべきものである場合、トリムフィルタは先に設けられなければならない。しかしながら、トリムフィルタを別途形成し、色素フィルタ上にボンディングした、或いは取り付けた実施例も可能である。カラーセンサアレイ２００は、緩衝層２０４を色素フィルタ２０１〜２０３上に設け、この緩衝層へとトリムフィルタ層２１０を被着することにより、色素フィルタ上に配置されたトリムフィルタ層２１０を採用したものである。
【００２７】
加えて、トリムフィルタの一部分を色素フィルタの下に設け、第２の部分を色素フィルタの上に設けたトリムフィルタ構成も、特定の状況下にあっては有利に用いることが出来る。例えば、赤外線を除去するトリムフィルタは、様々な色素フィルタ構成において有用である。従って、このフィルタをフォトダイオード上に設けることにより、複数の異なるカラーセンサアレイを異なる色素フィルタ及び／又はトリムフィルタに基づいて構築する為の新たな出発基板とすることが出来る。このような下地フィルタは図１０の符号２１２に示した。
【００２８】
先に式１に示した理想的なトリムフィルタは推奨されるものではあるが、より理想から離れた他のトリムフィルタを利用しても相当な利益を得ることが出来る。概して本発明は、トリムフィルタと色素フィルタの組み合わせが、色素フィルタのみとした場合の透過曲線よりも目的とするフィルタ機能に近い透過曲線を提供するものであった場合に利点を提供するものであると言える。
【００２９】
上述した本発明の実施例は、ＣＩＥ１９３１標準のフィルタを使って説明したものである。しかしながら、本発明の原理は、他のフィルタ標準を利用したカラーセンサアレイの製作にも適用することが出来る。更に、カラーセンサ中の色素フィルタの数は３つとは限らない。
【００３０】
上述したように、理想的なトリムフィルタは、遮断帯域と遮断帯域の間にある波長を持つ光を吸収しない帯域遮断フィルタを利用したものである。しかしながら、これらの領域における若干の吸収は許容範囲に入るものであることに留意が必要である。トリムフィルタの遮断帯域間の透過曲線が実質的に一定である場合、吸収があったとしても対象となるカラーセンサのフォトディテクタの利得を調節することにより修正することが出来る。
【００３１】
上述した本発明の実施例は、カラーセンサアレイを使って説明した。しかしながら、本発明に基づくフィルタは、透過曲線が空間的に変化する透過フィルタを要するいずれのアプリケーションにも適用可能である。
【００３２】
上述した説明及び添付図から、本発明に様々な変更が可能であることは当業者であれば明らかである。よって本発明は、本願請求項の範囲によってのみ限定されるものである。
【００３３】
上述した実施形態に即して本発明を説明すると、本発明は、部分的に透光性で、波長の関数としての透過関数を持つプライマリフィルタ層（６１〜６３）であって、前記透過関数が前記プライマリフィルタ層（６１〜６３）の空間的位置の関数として変化するものであり、前記プライマリフィルタ層（６１〜６３）の第１の位置においては第１の特性波長付近にある第１の波長帯域における光を透過し、前記プライマリフィルタが前記プライマリフィルタ層（６１〜６３）の第２の位置においては第２の特性波長付近にある第２の波長帯域における光を透過することを特徴とする前記プライマリフィルタ層（６１〜６３）と、そして前記第１及び第２の位置の上に設けられた材料層を有し、前記第１及び第２の特性波長の間にある第１のトリム波長の光を選択的に減衰させる第１のトリムフィルタ（７０）であって、前記第１及び第２の位置におけるものと実質的に同じ波長の関数としての透過関数を持つことを特徴とする前記第１のトリムフィルタ（７０）とを具備したことを特徴とするカラーフィルタを提供する。
【００３４】
好ましくは、前記第１のトリムフィルタ（７０）は、更に第２のトリム波長の光を選択的に減衰させるものであり、前記第１のトリム波長が前記第１及び第２の特性波長の一方よりも低く、前記第２のトリム波長がその特性波長よりも大きいものとされる。
【００３５】
好ましくは、前記第１のトリムフィルタ（７０）は、干渉フィルタを含むものとされる。
【００３６】
好ましくは、前記プライマリフィルタ層（６１〜６３）は、前記第１の位置に配置された第１の着色フィルタ（６１）と前記第２の位置に配置された第２の着色フィルタ（６２）を含む。
【００３７】
好ましくは、前記第１及び第２の着色フィルタ（６１、６２）は、前記第１のトリムフィルタ層（１２１）の上に配置されたものとされる。
【００３８】
好ましくは、第２のトリムフィルタ（２１２）を更に具備し、前記第２のトリムフィルタ（２１２）が前記特性波長及び前記第１のトリム波長とは異なる第２の波長の光を選択的に減衰させる材料層を含む。
【００３９】
好ましくは、前記着色フィルタ（６１、６２、６３）は、前記第１及び第２のトリムフィルタ（２１０、２１２）の間に配置される。
【００４０】
さらに本発明は、カラーフィルタを製作する為の方法であって、第１のトリムフィルタ層（１２１）を基板（１０１）へと被着するステップと、そして部分的に透光性のプライマリフィルタ層（１３１〜１３３）を前記第１のトリムフィルタ層（１２１）へと被着するステップであって、前記プライマリフィルタ層（１３１〜１３３）が波長の関数としての透過関数を持ち、前記透過関数が前記プライマリフィルタ層（１３１〜１３３）上の空間的位置の関数として変化するものであり、前記プライマリフィルタが、前記プライマリフィルタ層（１３１〜１３３）の第１の位置においては第１の特性波長付近の第１の波長帯域にある光を透過し、前記プライマリフィルタ層（１３１〜１３３）の第２の位置においては第２の特性波長付近の第２の波長帯域にある光を透過するステップとを有し、前記第１のトリムフィルタ層（１２１）が、前記第１及び第２の位置に重なり、前記第１及び第２の特性波長間にある第１のトリム波長の光を選択的に減衰させる材料層を含み、前記第１のトリムフィルタ（７０）が前記第１及び第２の位置におけるものと実質的に同じ波長の関数としての透過関数を持っていることを特徴とする方法を提供する。
【００４１】
好ましくは、前記第１のトリムフィルタ層（１２１）が更に第２のトリム波長の光も選択的に減衰させるものであり、前記第１の波長が前記特性波長の１つよりも小さく、前記第２の波長がその特性波長よりも大きいものとされる。
【００４２】
好ましくは、前記第１のトリムフィルタ層（１２１）が複数の透明層を含み、その中の隣接する層同士が異なる屈折率を持つものとされる。
【００４３】
好ましくは、第２のトリムフィルタ層（２１２）を前記カラーフィルタ層（２０１〜２０３）へと被着することにより前記カラーフィルタ層を前記第１及び第２のトリムフィルタ層（２１０、２１２）で挟みこむステップを更に有し、前記第２のトリムフィルタ層（２１２）が前記第１及び第２の位置へと重なり、前記第１のトリム波長、前記第１の特性波長及び前記第２の特性波長とは異なる第２のトリム波長の光を選択的に減衰させる材料層を含み、前記第２のトリムフィルタが前記第１及び第２の位置におけるものと実質的に同じ波長の関数としての透過関数を持つものとされる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】代表的な赤色素フィルタで得られる波長の関数としての色透過曲線がどのようにＣＩＥ１９３１赤色プロファイルのカラープロファイルの透過曲線と異なるかを示すグラフである。
【図２】代表的な緑色素フィルタで得られる波長の関数としての色透過曲線をＣＩＥ１９３１緑色プロファイルのカラープロファイルと比較したグラフである。
【図３】代表的な青色素フィルタで得られる波長の関数としての色透過曲線をＣＩＥ１９３１青色プロファイルのカラープロファイルと比較したグラフである。
【図４】本発明の一実施例に基づくフィルタを用いたカラーセンサの断面図である。
【図５】複数の代表的な色素フィルタの透過曲線を比較したグラフである。
【図６】本発明の一実施例に基づくフィルタの下にあるフォトダイオードの応答曲線を示すグラフである。
【図７】本発明の他の実施形態に基づくフィルタを用いたカラーセンサアレイの断面図であり、製作プロセスの第１段階を示す図である。
【図８】本発明の他の実施形態に基づくフィルタを用いたカラーセンサアレイの断面図であり、製作プロセスの第２段階を示す図である。
【図９】本発明の他の実施形態に基づくフィルタを用いたカラーセンサアレイの断面図であり、製作プロセスの第３段階を示す図である。
【図１０】本発明に基づくフィルタを用いた他の実施形態となるカラーセンサを示す断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
６１〜６３、１３１〜１３３  プライマリフィルタ層
７０、２１０  第１のトリムフィルタ
１２１  第１のトリムフィルタ層
２０１〜２０３  カラーフィルタ層
２１２  第２のトリムフィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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