(57)【要約】【課題】酸化物粉末を含む膜について精度よく評価することが可能な評価方法、およびそれを用いたシート製造方法、ならびにそれらの方法に適した評価装置およびシート製造装置を提供する。また、信頼性および製造歩留まりが高いセラミック電子部品を提供する。【解決手段】波長λＺの光Ｌを含む光を、所定の酸化物粉末を含有する膜１２を含むシート１０に照射してシート１０を透過した光Ｌの光量を測定するステップと、測定された光量に基づいて、膜１２中に存在する酸化物粉末の単位面積あたりの質量および粒径のいずれか一方についての情報を得るステップとを含み、波長λＺが９００ｎｍ以上の範囲の少なくとも一部である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の酸化物粉末を含有する膜を含むシートを評価するための評価方法であって、
（ｉ）波長λＺの光Ｌを含む光を前記シートに照射して前記シートを透過した前記光Ｌの光量を測定するステップと、
（ii）前記光量に基づいて、前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量および粒径のいずれか一方についての情報を得るステップとを含み、
前記波長λＺが９００ｎｍ以上の範囲の少なくとも一部である、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項２】
前記波長λＺが２５００ｎｍ以下である請求項１に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項３】
前記酸化物粉末の平均粒径が０．３μｍ〜１．０μｍの範囲にある請求項１または２に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項４】
前記波長λＺの下限値が前記酸化物粉末の平均粒径の２倍以上である請求項１〜３のいずれか１項に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項５】
前記シートがベースフィルムを含み、
前記波長λＺにおける前記ベースフィルムの透過率が８０％以上である請求項１〜４のいずれか１項に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項６】
前記膜が高分子化合物を含む請求項１〜５のいずれか１項に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項７】
前記光量に基づいて、前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量の変化を検出する請求項１〜６のいずれか１項に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項８】
前記光量に基づいて、前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量を定量する請求項１〜６のいずれか１項に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項９】
前記（ii）のステップの前に、前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量と前記光量との関係を示すデータを取得するステップを含み、前記データおよび前記（ｉ）のステップで測定した前記光量に基づいて、前記（ii）のステップにおいて、前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量を定量する請求項８に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項１０】
前記（ii）のステップの後に、前記膜の一部における前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量を他の評価方法で定量するステップを含み、
前記他の評価方法で得られた定量値を用いて前記データを修正する請求項９に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項１１】
１０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲から選ばれる所定の波長幅ごとに前記光量を測定する請求項１〜１０のいずれか１項に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項１２】
前記波長λＺの波長幅が１０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲である請求項１〜１０のいずれか１項に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項１３】
前記膜以外の部分における前記光Ｌの減衰を補正して前記情報を得る請求項１〜１２のいずれか１項に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項１４】
前記酸化物粉末が、酸化アルミニウム、ほうケイ酸塩、チタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウムおよびチタン酸バリウムから選ばれる少なくとも１つの酸化物からなる粉末である請求項１〜１３のいずれか１項に記載の、酸化物粉末含有シートの評価方法。
【請求項１５】
所定の酸化物粉末を含有する膜を含むシートを形成する工程と、
前記シートを請求項１〜１４のいずれか１項に記載の評価方法で評価することによって前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量についての情報を得て、前記情報に基づいて前記膜の厚さに関する形成条件を変更する工程とを含む、酸化物粉末含有シートの製造方法。
【請求項１６】
前記シートを連続的に形成し、移動している前記シートを評価して前記形成条件を変更する請求項１５に記載の、酸化物粉末含有シートの製造方法。
【請求項１７】
前記膜は前記酸化物粉末を含有するスラリーを用いて形成され、
前記シートを形成する前に、前記スラリーの一部を用いてサンプルシートを形成する工程と、前記サンプルシートを前記評価方法で評価することによって前記スラリー中に存在する前記酸化物粉末の粒径に関する情報を得て、前記スラリー中の前記酸化物粉末の分散条件を変更する工程とを含む請求項１５に記載の、酸化物粉末含有シートの製造方法。
【請求項１８】
所定の酸化物粉末を含有する膜を含むシートを形成する工程と、
波長λＺの光Ｌを含む光を前記シートに照射して前記シートを透過した前記光Ｌの光量を測定し、前記光量が所定値となるように前記膜の厚さに関する形成条件を変更する工程とを含み、
前記波長λＺが９００ｎｍ以上の範囲の少なくとも一部である、酸化物粉末含有シートの製造方法。
【請求項１９】
前記膜以外の部分における前記光Ｌの減衰を補正する請求項１８に記載の、酸化物粉末含有シートの製造方法。
【請求項２０】
前記シートを連続的に形成し、移動している前記シートを透過した前記光量に基づいて前記膜の厚さに関する形成条件を変更する請求項１８に記載の、酸化物粉末含有シートの製造方法。
【請求項２１】
請求項１５〜２０のいずれか１項に記載の製造方法で製造された酸化物粉末含有シートを用いて作製された電子部品。
【請求項２２】
所定の酸化物粉末を含有する膜を含むシートを評価するための評価装置であって、
波長λＺの光Ｌを含む光を前記シートに照射する光照射手段と、
前記シートを透過した前記光Ｌの光量を測定する測定手段とを備え、
前記波長λＺが９００ｎｍ以上の範囲の少なくとも一部であり、
前記光量に基づいて前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量および粒径のいずれか一方についての情報を得る、酸化物粉末含有シートの評価装置。
【請求項２３】
前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量と前記光量との関係に関するデータが格納された記憶手段と、演算手段とをさらに備え、
前記演算手段は、前記測定手段で測定された前記光量と前記データとに基づいて前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量を算出する請求項２２に記載の、酸化物粉末含有シートの評価装置。
【請求項２４】
前記演算手段は、前記測定手段で測定された前記光量と、前記データと、前記膜が存在しない場合の前記光Ｌの透過量とに基づいて前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量を算出する請求項２３に記載の、酸化物粉末含有シートの評価装置。
【請求項２５】
前記光照射手段および前記測定手段から選ばれる少なくとも１つが分光手段を含む請求項２２に記載の、酸化物粉末含有シートの評価装置。
【請求項２６】
所定の酸化物粉末を含有する膜を含むシートを形成するシート形成手段と、
波長λＺの光Ｌを含む光を前記シートに照射する光照射手段と、
前記シートを透過した前記光Ｌの光量を測定する測定手段とを備え、
前記波長λＺが９００ｎｍ以上の範囲の少なくとも一部である、酸化物粉末含有シートの製造装置。
【請求項２７】
前記シート形成手段は前記シートを連続的に形成する請求項２６に記載の、酸化物粉末含有シートの製造装置。
【請求項２８】
前記シート形成手段は、前記測定手段で測定された前記光量に基づいて前記膜の厚さを制御する膜厚制御手段を含む請求項２６または２７に記載の、酸化物粉末含有シートの製造装置。
【請求項２９】
前記膜以外の部分における前記光Ｌの減衰を補正して前記膜の厚さを制御する請求項２８に記載の、酸化物粉末含有シートの製造装置。
【請求項３０】
前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量と前記光量との関係に関するデータが格納された記憶手段と、演算手段とをさらに備え、
前記シート形成手段は前記膜の厚さを制御する膜厚制御手段を含み、
前記演算手段は、前記測定手段で測定された前記光量と前記データとに基づいて前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量を算出し、
前記膜厚制御手段は、前記演算手段で算出された前記質量に基づいて前記膜の厚さを制御する請求項２６または２７に記載の、酸化物粉末含有シートの製造装置。
【請求項３１】
前記演算手段は、前記測定手段で測定された前記光量と、前記データと、前記膜が存在しない場合の前記光Ｌの透過量とに基づいて、前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量を算出する請求項３０に記載の、酸化物粉末含有シートの製造装置。
【請求項３２】
前記光照射手段および前記測定手段から選ばれる少なくとも１つが分光手段を含む請求項２６〜３１のいずれか１項に記載の、酸化物粉末含有シートの製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、酸化物粉末含有シートの評価方法および製造方法、電子部品、ならびに酸化物粉末含有シートの評価装置および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック電子部品の製造には、セラミック粉末とバインダとを含むグリーンシートが用いられる。このようなグリーンシートの膜厚を均一にするために、光を照射してその透過光の量から膜厚を測定する方法が提案されている（たとえば特許文献１参照）。しかし、セラミック電子部品の信頼性や歩留まりを向上させるためには、膜厚の均一性よりもグリーンシートに含まれるセラミック粉末の単位面積あたりの量の均一性の方が重要な場合がある。連続的に生産されるグリーンシート中のセラミック粉末の量を均一にするためには、移動しているグリーンシート中のセラミック粉末の量を非破壊で連続的に測定してフィードバックすることが必要となる。
【０００３】
グリーンシート中の粉末の含有量を非破壊で測定する方法として、粉末によるＸ線の減衰を利用し、Ｘ線透過量からその膜の単位面積あたりの粒子の量を測定する方法（以下、Ｘ線法という場合がある）が知られている。しかし、近年ではグリーンシートの薄層化が進んでおり、薄いグリーンシートを測定する場合にはグリーンシートによるＸ線の減衰量が小さくなる。この場合、Ｘ線法では、測定環境の変動やベースフィルムの厚さの変動の影響を大きく受けるため、それらの影響による誤差が無視できなくなる。このため、Ｘ線法は、移動しているグリーンシート中の粉末の量を連続的にモニタするような定量方法には不向きであった。
【０００４】
また、グリーンシートに光を照射してその透過量から含有量を測定する方法も提案されている（たとえば特許文献２参照）。この特許文献２には、測定に用いられる光について、「光の波長的には波長３５０ｎｍから８００ｎｍの可視光とその周辺の紫外線と赤外線を使用することが好ましい。これはフィルムを形成する樹脂等の透明材質は、可視光領域とその周辺では透明であるが、それ以外の領域では不透明となり、透過光強度と粒子量の相関が無くなるからである」と記載されている。
【特許文献１】特開平５−７１９２７号公報
【特許文献２】特開２００２−１６８７８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の特許文献２に記載の従来技術では、光の波長域の選択の理由として樹脂などの影響を考慮しているが、分析の対象となる粉末と波長域との検討は十分ではなかった。たとえば、粒径が大きい粉末を含むグリーンシートや着色している粉末を含むグリーンシートを可視域を含む波長域で測定した場合には、十分な透過光量が得られない場合がある。十分な透過光量が得られないと、受光素子で検出できなかったり信号強度に対するノイズが大きくなったりして定量精度が低下する。定量精度を向上させる方法として、複数回の測定を行ってノイズの影響を減少させることも考えられるが、そのような方法では、たとえば、グリーンシートを連続的に生産しながらそれに含まれる粉末の量をモニタして製造条件にフィードバックすることはできない。
【０００６】
本発明は、このような課題に鑑み、従来の方法では精度よく評価（分析）することが難しい酸化物粉末を含む膜についても精度よく評価することが可能な評価方法、およびそれを用いた酸化物粉末含有シートの製造方法、ならびにそれらの方法に適した評価装置および製造装置を提供することを目的の１つとする。また、本発明は、信頼性および製造歩留まりが高い電子部品を提供することを目的の１つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために検討した結果、本発明者らは、特定の波長域の光を用いることによって、膜に含まれる酸化物粉末の量を精度よく定量できることを見出した。本発明は、この新たな知見に基づくものである。
【０００８】
すなわち、本発明の評価方法は、所定の酸化物粉末を含有する膜を含むシートを評価するための評価方法であって、（ｉ）波長λＺの光Ｌを含む光を前記シートに照射して前記シートを透過した前記光Ｌの光量を測定するステップと、（ii）前記光量に基づいて、前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量および粒径のいずれか一方についての情報を得るステップとを含み、前記波長λＺが９００ｎｍ以上の範囲の少なくとも一部である。
【０００９】
また、酸化物粉末含有シートを製造するための本発明の第１の製造方法は、所定の酸化物粉末を含有する膜を含むシートを形成する工程と、前記シートを上記本発明の評価方法で評価することによって前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量についての情報を得て、前記情報に基づいて前記膜の厚さに関する形成条件を変更する工程とを含む。
【００１０】
また、酸化物粉末含有シートを製造するための本発明の第２の製造方法は、所定の酸化物粉末を含有する膜を含むシートを形成する工程と、波長λＺの光Ｌを含む光を前記シートに照射して前記シートを透過した前記光Ｌの光量を測定し、前記光量が所定値となるように前記膜の厚さに関する形成条件を変更する工程とを含み、前記波長λＺが９００ｎｍ以上の範囲の少なくとも一部である。
【００１１】
また、本発明の電子部品は、上記本発明の製造方法で製造された酸化物粉末含有シートを用いて作製された電子部品である。
【００１２】
また、本発明の評価装置は、所定の酸化物粉末を含有する膜を含むシートを評価するための評価装置であって、波長λＺの光Ｌを含む光を前記シートに照射する光照射手段と、前記シートを透過した前記光Ｌの光量を測定する測定手段とを備え、前記波長λＺが９００ｎｍ以上の範囲の少なくとも一部であり、前記光量に基づいて前記膜中に存在する前記酸化物粉末の単位面積あたりの質量および粒径のいずれか一方についての情報を得る。
【００１３】
また、酸化物粉末含有シートを製造するための本発明の製造装置は、所定の酸化物粉末を含有する膜を含むシートを形成するシート形成手段と、波長λＺの光Ｌを含む光を前記シートに照射する光照射手段と、前記シートを透過した前記光Ｌの光量を測定する測定手段とを備え、前記波長λＺが９００ｎｍ以上の範囲の少なくとも一部である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、従来の方法では定量などの評価を精度よく行うことが難しい酸化物粉末を含む膜についても短時間で精度よく評価することができる。この評価方法を用いることによって、膜中に含まれる酸化物粉末の含有量を均一化した膜を含むシートを製造することができる。このような膜を用いて形成される本発明の電子部品は、製造時の歩留まりおよび信頼性が高い。また、本発明の評価装置および製造装置によれば、本発明の評価方法および製造方法を容易に実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下で説明する本発明の方法および装置は相互に関連するものであり、重複する内容については説明を省略する場合がある。また、同様の部分については同一の符号を用いて重複する説明を省略する場合がある。
【００１６】
（実施の形態１）
本実施の形態１では、本発明の評価方法および評価装置について説明する。本発明の評価方法は、所定の酸化物粉末（以下、粉末（Ａ）という場合がある）を含有する膜を含むシートを評価するための方法である。
【００１７】
この方法では、波長λＺの光Ｌを含む光（光Ｌのみからなる光であってもよい）をシートに照射してシートを透過した光Ｌの光量を測定する（ステップ（ｉ））。次に、測定された光量に基づいて、膜中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量および粒径のいずれか一方についての情報を得る（ステップ（ii））。
【００１８】
波長λＺは、９００ｎｍ以上の範囲の少なくとも一部であり、その範囲の一部の波長域であってもよく、その範囲の単一波長であってもよい。波長λＺは、２５００ｎｍ以下であることが好ましい。さらに、波長λＺは１０００ｎｍ〜１７００ｎｍの範囲（たとえば１０００ｎｍ〜１６００ｎｍの範囲）の少なくとも一部であることがより好ましい。この範囲では、たとえば粉末（Ａ）による散乱の影響を低減できるため、高精度の評価に必要な透過光量が得られるとともに、膜中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたり質量の変化に対する光Ｌの透過量の変化が大きくなる。その結果、定量精度を高めることができる。
【００１９】
本発明の評価方法は、可視域の光の吸収、反射および散乱が大きいために従来の方法では分析が難しい粉末の評価に適している。そのような粉末（Ａ）としては、たとえば、酸化アルミニウム（アルミナ）、ほうケイ酸塩、チタン酸カルシウム、チタン酸ストロンチウムおよびチタン酸バリウムから選ばれる少なくとも１つの酸化物からなる粉末が挙げられる。粉末（Ａ）は、これらの酸化物のうちの１つの酸化物からなる粉末であってもよいし、これらの酸化物の複数種の固溶体であってもよいし、微量の添加物を含んでもよい。これらの酸化物粉末は、白色などの有色の粉末であるか、不純物が混入したときに着色する場合がある。有色の粉末は可視光域での吸収や反射が大きいため、そのような酸化物粉末を、可視光およびその周辺、具体的には９００ｎｍ未満の波長域の光の減衰を用いて定量する場合には、光の減衰が大きいために定量精度が低下することがある。そのため、本発明はこれらの粉末の評価に適している。
【００２０】
粉末（Ａ）の平均粒径に特に限定はないが、粉末（Ａ）の平均粒径が０．１μｍ〜１．２μｍの範囲（より好ましくは０．３μｍ〜１．０μｍの範囲）にあることが好ましい。この範囲であれば、特に精度よく評価することが可能である。平均粒径を０．３μｍ〜１．０μｍの範囲とし、波長λＺの下限値を平均粒径の２倍以上とすることによって、評価に十分な透過光量が得られやすい。また、平均粒径がこの範囲にある場合には、波長λＺの波長域では粉末（Ａ）の量に対する透過光量の変化が大きいため、高い精度で定量を行うことができる。平均粒径がこの範囲をはずれると、定量の精度が低下する場合がある。
【００２１】
本発明の評価方法の実施の一例の斜視図を、図１に模式的に示す。シート１０は、ベースフィルム１１と、ベースフィルム１１上に形成された膜１２とを含む。膜１２は、粉末（Ａ）を含む。光Ｌを含む光は、光照射手段１３から照射される。測定手段１４は、シート１０を透過した光Ｌを受光し、その光量に関する情報を出力する。なお、図１にはベースフィルム１１側から光Ｌを照射する場合を示しているが、光Ｌは膜１２側から照射してもよい。また、光照射手段１３、測定手段１４、および後述する分光手段は、シートの上下に配置されていてもよいし、光ファイバなどを用いてシートから離れた場所に配置されていてもよい。
【００２２】
シート１０の種類や用途は限定されず、本発明の測定対象となる粉末（Ａ）を含むものであればよい。シート１０の代表的な例としては、たとえばセラミックコンデンサの材料であるグリーンシートや、セラミック多層基板のグリーンシートなどを挙げることができる。なお、図１には、シート１０がベースフィルム１１を含む場合について示しているが、シート１０は、膜１２のみからなるものであってもよいし、膜１２に加えて酸化物粉末を含まない他の膜（たとえばベースフィルム１１）を含んでいてもよい。
【００２３】
ベースフィルム１１は、形成された膜１２を保持するためのフィルムである。ベースフィルム１１を用いる場合、ベースフィルム１１は、樹脂などからなり酸化物粉末などの添加物を含まないものが好ましい。ベースフィルム１１の材料や厚さは特に限定はないが、ベースフィルム１１による光Ｌの減衰率が小さい場合には、ベースフィルム１１による誤差を低減できる。そのため、波長λＺにおけるベースフィルム１１の透過率は、８０％以上が好ましい。また、ベースフィルム１１による光Ｌの減衰率を知ることができる場合には、その影響を除去する補正を行うことによって誤差を小さくできる。たとえば、ベースフィルム１１のみが存在する場合の透過光量を予め測定し、その透過光量をステップ（ii）の演算の補正に利用することが好ましい。移動しているシート１０を連続的に測定する場合でも、ベースフィルム１１の変動分による測定値への影響は小さいので、予め透過率を測定しておくベースフィルム１１の測定箇所に特に限定はなく、ベースフィルム１１の任意の一点を測定することによって測定精度を十分に高くできる。好ましいベースフィルム１１としては、たとえば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリプロピレン（ＰＰ）からなるフィルムが挙げられる。
【００２４】
膜１２は、粉末（Ａ）に加えて、高分子化合物などの他の物質を含んでもよい。これらの物質による光Ｌの減衰率が一定かまたは小さい場合、あるいはその減衰率を知ることができる場合には、これらの物質による誤差を低減できる。膜１２は、粉末（Ａ）以外の物質として、高分子化合物に加えて、有機溶媒などの溶媒や添加剤を含んでいてもよい。代表的な高分子化合物としては、たとえば、アクリル樹脂、セルロース、ブチラール樹脂が挙げられる。このような高分子化合物は、バインダとして用いることができる。溶媒としては、たとえば、メチルエチルケトン、トルエン、フタル酸エステル、酢酸ブチル、水などが挙げられる。添加剤としては、たとえば、ステアリン酸などの分散剤などが挙げられる。
【００２５】
膜１２に含まれる、粉末（Ａ）以外の物質、たとえば、ベースフィルム、高分子化合物、有機溶媒、添加剤などは、通常、波長λＺにおいて特異な吸収がないことが好ましい。ただし、そのような特異な吸収がある場合でも、適当な波長λＺを選択することによってその影響を低減することが可能である。
【００２６】
ベースフィルム１１や膜１２の厚さ、膜１２に含まれる粉末（Ａ）の量などに特に限定はないが、十分な透過光量を得て誤差を小さくするためには、シート１０による光Ｌの減衰率［−ｌｏｇ｛（透過光量Ｉ）／（照射光量Ｉ０）｝］（以下では、「光の減衰率」という場合がある）の値が３.０以下（より好ましくは２.５以下）であることが好ましい。なお、一例では、膜１２の厚さは、２.０μｍ〜８.０μｍの範囲である。また、一例では、膜１２に含まれる粉末（Ａ）の単位面積あたりの量は、０.０８ｇ／１００ｃｍ２〜０.２７ｇ／１００ｃｍ２の範囲である。
【００２７】
本実施の形態１の評価方法では、シート１０に照射された光Ｌの透過量は、膜１２に含まれる粉末（Ａ）の含有量および粒径によって変化する。そのため、粒径がほぼ一定の粉末（Ａ）を含む膜１２を評価する場合には、光Ｌの透過量に基づいて、光Ｌが照射された部分に存在する粉末（Ａ）の量に関する情報が得られる。したがって、測定された光量に基づいて、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量の変化の検出や、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量の定量を行うことが可能となる。本発明の方法および装置では、シート１０を移動させながら連続的に定量を行うことが可能である。同様に、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の含有量がほぼ一定である場合には、光Ｌの透過量に基づいて、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の粒径の変化を検出できる。また、この場合、予め検量線を作成することによって粒径の推定が可能となる。
【００２８】
本実施の形態１の評価方法では、ステップ（ii）の前に、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量と光Ｌの透過光量との関係を示すデータ（たとえば検量線）を取得してもよい。得られたデータおよびステップ（ｉ）で測定した光Ｌの光量に基づいて、ステップ（ii）において、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を定量できる。なお、検量線を作成するためには、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を定量する必要があるが、その定量には従来から用いられている各種の方法を適用できる。たとえば、膜１２から粉末（Ａ）を取り出してその質量を測定する方法であってもよく、Ｘ線（蛍光Ｘ線を含む）の透過量を用いて粉末（Ａ）の定量を行う方法であってもよい。これらの評価方法は時間をかけて各種補正を行うことによって、比較的精度の高い定量が可能である。
【００２９】
また、本実施の形態１の評価方法は、ステップ（ii）の後に、膜１２の一部における粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を他の評価方法で定量するステップを含み、他の評価方法で得られた定量値を用いて上記データ（たとえば検量線）を修正してもよい。具体的には、上記一部において測定された光Ｌの透過光量と上記データとを用いて算出された定量値と、他の評価方法で得られた定量値とを比較して上記データを修正できる。たとえば、他の評価方法による定量結果と本発明の評価方法による定量結果とを比較し、その比から、検量線を補正してもよい。また、平均粒径が異なる粉末ごとに検量線を作成しておき、他の評価方法による定量結果と、本発明の評価方法による定量結果とを比較して、複数の検量線の中から１つの検量線を選択してもよい。これらの場合、他の評価方法としては、従来から用いられている各種の方法を適用でき、たとえば上述した方法を適用できる。検量線を補正または選択することによって、透過光量の測定のみで高い精度の定量が可能となる。
【００３０】
本実施の形態１の評価方法では、１０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲から選ばれる所定の波長幅ごとに光Ｌの透過光量を測定してもよい。この構成によれば、光Ｌの減衰率を所定の波長幅ごとに定量できるため、特定の波長域に吸収ピークを有するような物質の影響を低減することが可能であり、定量精度を向上させることができる。また、特定の波長幅で評価することによって、各波長における干渉の影響を平均化することができ、定量精度を向上できる。このような効果は、分離する波長幅を１０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲とした場合に顕著となる。この構成を実現するためには、たとえば、光照射手段１３または測定手段１４で光Ｌを分光し、一定の波長幅ごとに光Ｌの光量を測定すればよい。その場合、測定手段１４にフォトダイオードアレイなどを用いてもよい。
【００３１】
また、本実施の形態１の評価方法では、評価に用いる波長λＺの波長幅を１０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲に限定してもよい。この構成によれば、最も定量精度の高い波長を選択して評価を行うことができ、広い波長範囲を用いて評価するよりも評価に要する時間を短くできる。また、検量線の直線性が高まり、定量精度も向上する。この構成を実現するためには、特定の波長の光Ｌのみを照射する光照射手段（たとえば光フィルタまたは分光手段を含む光照射手段）を用いてもよいし、特定の波長の光Ｌのみを検出する測定手段（たとえば光フィルタまたは分光手段を含む測定手段）を用いてもよい。
【００３２】
また、本実施の形態１の評価方法では、膜１２以外の部分における光Ｌの減衰を補正して粉末（Ａ）に関する情報を取得してもよい。たとえば、演算手段は、測定手段で測定された光Ｌの光量と、記憶手段に格納されたデータと、膜１２が存在しない場合の光Ｌの透過量とに基づいて、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を算出してもよい。これによって、膜１２に含まれる粉末（Ａ）の評価をより正確に行うことができる。膜１２以外の部分とは、シート１０が膜１２のみからなる場合には雰囲気ガス（たとえば空気）であり、シート１０がベースフィルム１１を含む場合にはベースフィルム１１と雰囲気ガスである。これらの補正によれば、ベースフィルム１１の厚さのばらつきの影響や、光源から出射される光Ｌの光量のばらつきの影響を補正できる。
【００３３】
膜１２以外の部分における光Ｌの減衰を測定する方法としては、たとえば以下の方法が挙げられる。第１の方法は、膜１２以外の部分における光Ｌの減衰率を予め測定して記憶手段などに格納しておき、膜１２以外の部分による光Ｌの減衰を補正する方法である。たとえば、ベースフィルム１１の代表的なサンプルについて、光Ｌの減衰率を測定してもよい。また、膜１２を形成する前のベースフィルム１１について光Ｌの減衰率を測定してもよい。この場合、膜１２形成前の減衰率と膜１２形成後の減衰率とを、ベースフィルム１１の同じ箇所で測定して比較することによって、ベースフィルム１１の厚さの変動による減衰率の変動の影響を低減できる。
【００３４】
第２の方法では、光照射手段１３において光源から出射された光を第１の光（光Ｌ’）と第２の光（光Ｌ）とに分波する。分波には、たとえばハーフミラーを用いることができる。そして、第１の光を用いて膜１２以外の部分における透過光量を測定すると同時に、第２の光を用いて膜１２が存在する状態の透過光量を測定する。この場合、測定手段１４は、第１の光の透過光量を測定する第１の測定手段と、第２の光の透過光量を測定する第２の測定手段とを備える。この第２の方法によれば、第１の測定手段で測定された光量と第２の測定手段で測定された光量とを用いることによって膜１２以外の部分における光の減衰の影響を補正できる。また、この方法によれば、光源から出射される光量の揺らぎによる誤差を低減できる。
【００３５】
膜１２が形成されていないベースフィルム１１を透過した透過光量ＩＢを用いて補正を行う場合には、光Ｌの減衰率を以下の式（１）で表されるものとして計算すればよい。ただし、式（１）中、照射光量ＩＢ０は透過光量ＩＢを測定したときの照射光量であり、透過光量Ｉおよび照射光量Ｉ０はそれぞれ、膜１２を含むシート１０を測定したときの透過光量および照射光量である。
【００３６】
【数１】
2005321297.tif 000003
【００３７】
（数１）によって算出された減衰率を用いて定量を行う場合には、ベースフィルム１１による光の減衰の影響を除去した検量線を用いて定量を行う。
【００３８】
また、実施形態１の評価方法では、光照射手段１３において光源から出射された光を第１の光（光Ｌ’）と第２の光（光Ｌ）とに分波し、膜１２以外の部分における光Ｌ’の透過光量と、膜１２が存在する部分における光Ｌの透過光量との比を用いて、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を算出してもよい。この方法では、検量線として、２つの透過光量の比と膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量との関係に関する検量線が用いられる。
【００３９】
また、本実施の形態１の評価方法では、シート１０を停止した状態で評価を行ってもよいし、シート１０を移動させながら評価を行ってもよい。シート１０の移動には、ローラなどのシート移動手段を用いることができる。
【００４０】
次に、上記評価方法を実施できる本発明の評価装置について説明する。本発明の評価装置は、所定の酸化物粉末（粉末（Ａ））を含有する膜を含むシートを評価するための評価装置であって、波長λＺの光Ｌを含む光をシートに照射する光照射手段と、シートを透過した光Ｌの光量を測定する測定手段とを備える。この評価装置では、測定された光量に基づいて膜中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量および粒径のいずれか一方についての情報が得られる。波長λＺおよび評価されるシートなどについては上述したので、重複する説明は省略する。この評価装置は、上述した評価方法を実現するための様々な手段を含んでもよい。本発明の評価装置の一例の構成を図２に模式的に示す。
【００４１】
図２の評価装置２０は、光照射手段１３と、測定手段１４と、記憶手段２１と、演算手段２２とを含む。なお、図９の製造装置３０ａに示すように、本発明の評価装置は、ベースフィルム１１の影響を補正するための手段を備えてもよい。以下では、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を定量する場合について説明する。
【００４２】
光照射手段１３は、波長λＺの光を出射する光源を少なくとも含む。光源には、たとえば、キセノンランプやハロゲンランプといったランプや、発光ダイオードやレーザダイオードを用いることができる。
【００４３】
測定手段１４は、シート１０を透過した光Ｌの光量を測定するための受光素子を含む。この受光素子は、光Ｌの光路上に配置される。受光素子は、光Ｌの光量を測定できるものであればよく、たとえばフォトダイオードやフォトトランジスタを用いることができる。
【００４４】
なお、光Ｌを分光する場合、光照射手段１３および測定手段１４から選ばれる少なくとも１つは分光手段を含む。そのような分光手段には公知の分光手段、たとえば回折格子を適用できる。
【００４５】
記憶手段２１には、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量と光Ｌの透過光量との関係に関するデータ（検量線）が格納される。通常、記憶手段２１には、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量の設計値（目標値）も格納される。また、記憶手段２１には、光Ｌの透過光量と、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量との関係を補正するためのデータがさらに格納されてもよい。
【００４６】
演算手段２２は、測定手段１４で測定された光Ｌの透過光量と記憶手段２１に格納されたデータとに基づいて、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を算出する。記憶手段２１および演算手段２２には、たとえば、メモリ、ＣＰＵおよび入力装置を含むパーソナルコンピュータを用いることができる。
【００４７】
なお、膜１２以外の部分における光Ｌの減衰を補正する場合、演算手段２２は、測定手段１４で測定された光Ｌの透過光量と、記憶手段２１に格納されたデータ（検量線）と、膜１２が存在しない場合の光Ｌの透過光量とに基づいて、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を算出してもよい。この場合には、通常、膜１２以外の部分の影響を除去して作成した検量線が用いられる。
【００４８】
本発明の方法および装置では、可視光を用いる従来の分析方法とは異なり、蛍光灯などから発せられる可視光を遮断する必要がないという利点を有する。また、Ｘ線を用いる評価方法に比べて、短時間で且つ簡単な設定で評価を行うことができるという利点や、安全管理が容易であるという利点を有する。このため、本発明の評価装置では、光照射手段および測定手段を目視できる状態とすることも可能であり、保守や点検が容易である。
【００４９】
また、本発明の評価方法および評価装置では、９００ｎｍ以上の波長域の光を用いて粉末（Ａ）の分析を行う。このような波長域では透過光量が大きいため、可視光を用いる場合に比べて誤差を著しく低減できるとともに、分析を短時間で行うことができる。そのため、本発明の評価方法および評価装置は、連続して製造されるシートのリアルタイムの評価に適している。
【００５０】
粉末（Ａ）としてチタン酸バリウム粉末（平均粒径：０.７μｍ）を用いたグリーンシートにおける［−ｌｏｇ｛（透過光量Ｉ）／（照射光量Ｉ０）｝］の値の波長依存性を図３に示す。なお、［−ｌｏｇ｛（透過光量Ｉ）／（照射光量Ｉ０）｝］は、吸光度に対応する値である。測定されたグリーンシートは、ポリエチレンテレフタレートフィルム（ベースフィルム１１）上に、チタン酸バリウム粉末とブチラール樹脂とからなる膜を形成することによって作製した。
【００５１】
図３において、線Ａはベースフィルムと厚さ４．５μｍの膜とからなるシートの測定結果であり、線Ｂはベースフィルムと厚さ９．０μｍの膜とからなるシートの測定結果であり、線Ｃはベースフィルムのみの測定結果である。図３の線ＡおよびＢから明らかなように、４００ｎｍ以下の波長では、光がほとんど透過しない。また、８００ｎｍ以下の全領域において、透過光量は照射光量の約０．１％以下となる。ブチラール樹脂は無色透明な樹脂として知られており、光の減衰は主にチタン酸バリウムによるものと考えられる。なお、チタン酸バリウム粉末（平均粒径：０.７μｍ）に代えて、アルミナ粉末（平均粒径：０.５μｍ）、チタン酸ストロンチウム粉末（平均粒径：０.５μｍ）といった粉末を用いた場合も同様の傾向を確認できた。これに対し、アルミナ粉末（平均粒径：０.０５μｍ）、チタン酸バリウム粉末（平均粒径：０.０５μｍ）の場合は、可視光域でも評価に十分な透過光量が得られた。
【００５２】
一方、膜の厚さが２．５μｍ、５μｍまたは１０μｍであることを除いて図３の線ＡおよびＢと同じグリーンシートについて、９００ｎｍ以上の波長域での光の減衰の状態を図４に示す。図４に示すように、９００ｎｍ以上、特に１０００ｎｍ以上で光の減衰率が小さく、十分な透過光量が得られた。また、図４には示していないが、１６００ｎｍ以上の波長域においても十分な透過光量が得られた。このように、９００ｎｍ以上の波長域では透過光量が十分な量であり、高い分析精度を実現できる。
【００５３】
一方、２５００ｎｍよりも大きい波長域では、膜内に存在する有機高分子やベースフィルムによる吸収ピークが存在するため、これらの吸収ピークの影響によって定量精度が低下する場合がある。したがって、波長λＺは２５００ｎｍ以下であることが好ましい。
【００５４】
さらに、波長λＺの下限値は、粉末（Ａ）の平均粒径の２倍以上であることが好ましい。図５、図６および図７に、ポリエチレンテレフタレート製のベースフィルムと、チタン酸バリウム粉末とブチラール樹脂とからなる膜（厚さ：２.５〜８.０μｍ）とによって構成されるグリーンシートについて、光の減衰率［−ｌｏｇ｛（透過光量Ｉ）／（照射光量Ｉ０）｝］を測定した結果を示す。図５および図６は平均粒径が１μｍのチタン酸バリウム粉末を用いたときの測定結果であり、図７は平均粒径が０．５μｍのチタン酸バリウム粉末を用いたときの測定結果である。また、図５は１２００ｎｍ〜１６００ｎｍの範囲の５種類の波長の光を用いて測定した結果であり、図６は、２０００ｎｍ〜２３００ｎｍの範囲の４種類の波長の光を用いて測定した結果であり、図７は、１０００ｎｍ〜１６００ｎｍの範囲の７種類の波長の光を用いて測定した結果である。
【００５５】
図５に示すように、測定波長が平均粒径の２倍未満であると、単位面積あたりの粉末の質量と光の減衰率との関係の直線性が失われた。これは、散乱の影響が大きくなって透過光量が小さくなり、その結果、誤差が増大するためであると考えられる。一方、図６に示すように、測定波長が平均粒径の２倍以上であると、単位面積あたりの粉末の質量と光の減衰率との比例関係が高くなった。同様に、測定波長が平均粒径の２倍以上である図７のデータでは、単位面積あたりの粉末の質量と光の減衰率とが高い比例関係を示した。したがって、波長λＺの下限値を粉末（Ａ）の平均粒径の２倍以上とすることによって、特に高い分析精度を実現できる。単位面積あたりの粉末の質量と光の減衰率とが高い比例関係を示すということは、信頼性が高い検量線が簡単に得られるという点においても有利である。なお、図５〜図７の結果は、ベースフィルムによる吸収の影響を補正して得られた結果であるが、補正を行わない場合でも同様の結果が得られた。
【００５６】
平均粒径０．５μｍのチタン酸バリウム粉末を含むグリーンシート（単位面積あたりのシート質量：０．８０ｍｇ／ｃｍ２）について、本発明の方法とＸ線法とによって、単位面積あたりの粉末の質量を定量した。測定に要した時間は、本発明の方法では１秒であり、Ｘ線法では１０秒であった。Ｘ線法で測定に長時間を要した理由は、Ｘ線の計数誤差が大きく、精度を高めるために長時間測定を行って平均化することが必要なためである。それぞれの測定の誤差を検証した結果、本発明の方法の誤差は１．７％であり、Ｘ線法の誤差は５．８％であった。また、シート質量が±５％変化したときの、本発明の方法での光の減衰率［−ｌｏｇ｛（透過光量Ｉ）／（照射光量Ｉ０）｝］の変化量は、６．０×１０−２であった。これに対し、同じくシート質量が±５％変化したときの、Ｘ線法でのＸ線の減衰率［−ｌｏｇ｛（透過Ｘ線量）／ｌｏｇ（照射Ｘ線量）｝］の変化量は、９．８×１０−３であった。このように、本発明の方法によれば、短時間で精度よく粉末（Ａ）の定量を行うことができる。
【００５７】
（実施の形態２）
本実施の形態２では、酸化物粉末含有シートを製造するための２つの方法、およびその製造方法に用いることができる製造装置について説明する。
【００５８】
本実施の形態２の第１の製造方法は、所定の酸化物粉末（粉末（Ａ））を含有する膜１２を含むシート１０を形成する工程を含む。膜１２は、公知の方法、たとえばドクターブレード法や押し出し成形法で形成できる。次に、形成したシート１０を実施形態１で説明した評価方法で評価することによって、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量についての情報を得て、その情報に基づいて膜１２の厚さに関する形成条件を変更する工程を含む。取得した情報に基づいて膜１２の厚さを制御することによって、膜１２の単位面積あたりに含まれる粉末（Ａ）の量を均一にできる。
【００５９】
また、上記第１の製造方法では、シート１０を連続的に形成し、移動しているシート１０を評価して膜１２の厚さに関する形成条件を変更することが好ましい。移動しているシート１０の評価は連続的に行ってもよいし、一定時間毎に断続的に行ってもよい。これによって、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の量の変動を、常にシート１０の形成条件にフィードバックできるため、粉末（Ａ）の含有量が均一な膜１２を形成できる。
【００６０】
膜１２は、粉末（Ａ）を含有するスラリーを用いて形成される。上記第１の製造方法では、シート１０を形成する前に、スラリーの一部を用いてサンプルシートを形成する工程と、そのサンプルシートを本発明の評価方法で評価することによってスラリー中に存在する粉末（Ａ）の粒径に関する情報を得て、スラリー中の粉末（Ａ）の分散条件を変更する工程とを含んでもよい。取得した情報に基づいてスラリー中の粉末（Ａ）の分散条件（たとえば粒径分布や平均粒径）を変更することによって、分散状態が均一なスラリーを作製することができ、またそのスラリーを用いて膜１２を形成することによって膜１２の均質性を向上させることができる。
【００６１】
また、本発明の第２の製造方法は、所定の酸化物粉末（粉末（Ａ））を含有する膜１２を含むシート１０を形成する工程と、波長λＺの光Ｌを含む光をシート１０に照射してシート１０を透過した光Ｌの光量を測定し、その光量が所定値となるように膜１２の厚さに関する形成条件を変更する工程とを含み、波長λＺが９００ｎｍ以上の範囲（好ましくは２５００ｎｍ以下）の少なくとも一部である。この方法では、光量のみに基づいて膜の厚さが制御され、たとえば、光量が一定または所定値となるように膜の厚さが制御される。この方法においても、膜１２以外の部分における光Ｌの減衰を補正してもよい。また、シート１０を連続的に形成し、移動しているシート１０を透過した光量に基づいて膜の厚さに関する形成条件を変更してもよい。光量の測定は、連続的に行ってもよいし、一定時間毎に断続的に行ってもよい。
【００６２】
本実施の形態２の製造装置は、上記第１または第２の製造方法を実施するための装置である。この製造装置は、所定の酸化物粉末（粉末（Ａ））を含有する膜を含むシートを形成するシート形成手段と、波長λＺの光Ｌを含む光をシートに照射する光照射手段と、シートを透過した光Ｌの光量を測定する測定手段とを備える。この製造装置は、さらに、上述した製造方法を実施するために必要な手段を含む。
【００６３】
シート形成手段は、シートを連続的に形成することが好ましい。また、シート形成手段は、測定手段で測定された光Ｌの光量に基づいて膜の厚さを制御する膜厚制御手段を含むことが好ましい。膜厚制御手段を含むシート形成手段としては、公知の塗布装置、たとえば、後述するコータヘッドを用いることができる。粉末（Ａ）の粒径がほぼ一定である場合、光Ｌの光量が所定値となるように膜厚を制御することによって、膜中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を一定にすることができる。このとき、粉末（Ａ）を含む膜以外の部分における光Ｌの減衰を補正して膜の厚さを制御してもよい。
【００６４】
また、本実施の形態２の製造装置は実施の形態１で説明した評価装置を含むものであってもよい。この場合、本実施の形態２の製造装置は、膜中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量と光Ｌの透過光量との関係に関するデータが格納された記憶手段と、演算手段とを備えることが好ましい。また、シート形成手段は、膜の厚さを制御する膜厚制御手段を含むことが好ましい。演算手段は測定手段で測定された光Ｌの光量と上記データとに基づいて膜中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を算出する。膜厚制御手段は、演算手段で算出された質量に基づいて、形成する膜の厚さを制御する。これによって、膜中に含まれる粉末（Ａ）の単位面積あたりの量を所望の値とすることができる。なお、演算手段は、実施形態１で説明したように、膜以外の部分における光Ｌの減衰を補正して定量を行ってもよい。
【００６５】
本実施の形態２の製造方法および製造装置は、実施の形態１の評価方法で評価できるシートであればどのようなシートに適用することも可能である。以下では、代表的な例として、セラミック電子部品の材料となるグリーンシートを製造する方法、およびその製造装置の一例について説明する。
【００６６】
製造装置の一例を図８に模式的に示す。図８の製造装置３０は、送り出し部３１、コータヘッド３２、乾燥部３３、巻き取り部３４および評価装置２０を備える。送り出し部３１および巻き取り部３４は、シートを移動させる移動手段として機能する。送り出し部３１から送り出されたベースフィルム１１には、コータヘッド３２によって一定の厚さにスラリーが塗布される。
【００６７】
スラリーは、粒径分布がほぼ一定である粉末（Ａ）およびバインダなどを溶媒に分散することによって形成される。粉末（Ａ）の粒径が均一であるほど、高い定量精度を実現できる。粉末（Ａ）およびバインダの分散には、それらの性質に応じて様々な分散機が用いられる。粉末中の粒子同士が強固な凝集体を形成しない場合やスラリーの粘度が高い場合には、プラネタリーミキサを使用することが好ましい。逆に、スラリーの粘度が低く、凝集しやすい粉末を用いる場合には、ボールミル、ビーズミルまたはサンドミルを使用することが好ましい。
【００６８】
分散の促進や分散状態の維持のため、スラリーには分散剤を添加してもよい。分散剤としては、イオン性または非イオン性のどちらを用いてもよい。いずれの分散剤も、粉末を構成する粒子の表面に吸着し、溶媒側に溶媒親和性のある分子部位を曝すことによって、溶媒への分散性を向上させる。
【００６９】
コータヘッド３２には、目的に応じて様々な方式のコータヘッドを適用できる。コータヘッドの代表的な方式としては、ドクターブレード方式が挙げられる。ドクターブレード方式では、板状のブレードとベースフィルムとの間隔が高精度に管理される。ベースフィルム上に設計値よりも厚く塗布された塗膜は、ブレードによって所定の厚さの塗膜（膜１２）とされる。
【００７０】
コータヘッド３２で膜１２が形成されたシート１０は、乾燥部３３によって乾燥される。乾燥部３３における乾燥方法に限定はなく、熱風乾燥や赤外線乾燥などといった様々な方法の中から、塗膜の特性に応じて選択される。
【００７１】
乾燥が終了したシート１０は、評価装置２０によって評価される。記憶手段２１には、粉末（Ａ）の定量を行うための検量線と、粉末（Ａ）の量についての設計値を予め格納しておく。演算手段２２は、記憶手段２１に格納されたデータと測定された光量とに基づいて粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を定量する。また、演算手段２２は、設計値と定量値との差に基づいて、コータヘッド３２を制御するための制御信号を出力する。その制御信号に基づいて、コータヘッド３２が制御される。具体的には、粉末（Ａ）の定量値が設計値よりも少ない場合には、膜１２が厚くなるようにコータヘッド３２を制御する。逆に、粉末（Ａ）の定量値が設計値よりも多い場合には、膜１２が薄くなるようにコータヘッド３２を制御する。このように、評価結果に基づいて塗膜の膜厚を制御することによって、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を一定とすることができる。
【００７２】
評価が終わったシート１０は、巻き取り部３４によってベースフィルムごとロール状に巻き取られる。ロール上のシート１０は、その後、スリッターなどによって一定の幅および長さに裁断され、次の積層工程へと送られる。
【００７３】
グリーンシートの評価では、ベースフィルム１１を含むシート１０の透過光量と粉末（Ａ）の量との関係を示す検量線を作成し、これを用いて定量を行ってもよい。また、ベースフィルム１１のみが存在する状態における光Ｌの透過光量とシート１０を透過した光Ｌの透過光量との比率に基づいて定量を行ってもよい。この場合、ベースフィルム１１の種類やロットの変動によってベースフィルム１１による光の減衰量が変動しても定量値が変動しないため、ベースフィルム１１の種類やロットごとに検量線を作成しなくても定量を行うことが可能となる。また、ベースフィルム１１などの補正を行うためにベースフィルム１１のみが存在する部分の透過光量を測定する場合、その測定を行うための光照射手段および測定手段の位置は、ベースフィルム１１のみを測定できる場所であれば特に限定されない。たとえば、ベースフィルム１１のみを測定する場所はコータヘッド３２よりも前であってもよいし、後ろであってもよい。コータヘッド３２よりも後ろの部分で測定をする場合には、シート１０のうち膜１２が形成されていない端部で測定を行えばよい。
【００７４】
膜１２以外の部分による影響を補正する場合の製造装置の一例を、図９に模式的に示す。図９の製造装置３０ａは、図８の製造装置３０にさらに、ベースフィルム１１による光Ｌの減衰を測定するための光照射手段１３ａおよび測定手段１４ａを備える。測定手段１４ａで測定された結果は、演算手段２２に送られる。演算手段２２は、測定手段１４で測定された光量と、記憶手段２１に記憶されたデータと、膜１２が存在しない場合の光Ｌの透過量とに基づいて、膜１２中に存在する粉末（Ａ）の単位面積あたりの質量を定量する。
【００７５】
なお、製造装置３０は、本発明の製造装置の一例であり、本発明はこれに限定されない。たとえば、評価装置２０は、乾燥前のシート１０を測定してもよい。乾燥前の膜１２を測定する場合、膜１２に含まれる粉末（Ａ）の含有量の変化を、すぐに膜厚の制御にフィードバックできる。一方、乾燥後の膜１２を測定する場合、評価装置２０が有機溶媒によってダメージを受けることを防止できる。
【００７６】
（実施の形態３）
本実施の形態３では、本発明の電子部品について説明する。この電子部品は、実施の形態２の製造方法または製造装置で製造された酸化物粉末含有シート（通常、シート１０のうち粉末（Ａ）を含有する膜１２の部分）を用いて作製された電子部品である。実施形態３の電子部品としては、たとえば、セラミックコンデンサや積層型の電子回路モジュールが挙げられる。
【００７７】
積層型の電子回路モジュールは、典型的には、積層された複数のセラミック層と、セラミック層の層間に埋め込まれた電子部品および配線パターンとを含む。セラミック層は、グリーンシートを焼成することによって形成される。この電子回路モジュールは、たとえば、携帯端末などの通信回路に用いられる。
【００７８】
積層型のセラミックコンデンサは、典型的には、積層された複数のセラミック層からなるセラミック部と、セラミック部に埋め込まれた内部電極と、外部電極とを含む。実施形態３のセラミックコンデンサの一例を図１０に示す。図１０のセラミックコンデンサ４０は、セラミック部４１と、セラミック部４１に埋め込まれた内部電極４２ａおよび４２ｂと、内部電極４２ａおよび４２ｂにそれぞれ接続された外部電極４３ａおよび４３ｂとを含む。
【００７９】
セラミックコンデンサ４０は、一般的な方法で製造でき、たとえば以下の方法で製造される。まず、グリーンシート（膜１２）と内部電極とを交互に積層したのち、所定のサイズに切断し、さらに焼成することによってグリーンシートをセラミック部４１とする。次に、外部電極４３ａおよび４３ｂを形成する。このようにしてセラミックコンデンサ４０を製造できる。
【００８０】
本発明の電子部品は、本発明の方法または装置を用いて製造されるため、均一性のよいセラミック層を含む。たとえば、実施の形態２で説明した製造方法を用いてグリーンシート（厚さ：２．０μｍ）を作製し、それを用いて、３２１６サイズ、Ｂ特性、積層数１００層の積層型のセラミックコンデンサを１００個作製した。その結果、複数のセラミック層のうちの任意の１つの層の質量が、複数のセラミック層の質量の平均値の±５％以内である電子部品を量産することができた。また、実際の容量が設計容量から±１０％以上ずれている不良品の割合は１％であった。一方、Ｘ線法を用いて同様に積層型のセラミックコンデンサを作製したところ、複数のセラミック層のうちの任意の１つの質量が、複数のセラミック層の質量の平均値の±１０％以内とばらつきが大きくなり、また容量が不良品の割合は５％であった。このように、本発明によれば、セラミックシートの単位面積あたりに含まれる粉末の量を均一にできるため、信頼性が高い積層型セラミックコンデンサを歩留まりよく製造できる。
【産業上の利用可能性】
【００８１】
本発明は、酸化物粉末を含むシートの評価、およびそのような評価に用いられる評価装置に利用できる。また、本発明は、グリーンシートといった、酸化物粉末を含むシートの製造、およびそのような製造に用いられる製造装置に適用できる。また、本発明は、そのようなシートを用いて作製される電子部品、たとえばセラミックコンデンサや多層の電子回路モジュールに利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の評価方法の一例を模式的に示す図
【図２】本発明の評価装置の一例の構成を模式的に示す図
【図３】酸化物粉末を含むシートおよびベースフィルムについて透過光量の減衰の波長依存性の一例を示す図
【図４】酸化物粉末を含むシートおよびベースフィルムについて透過光量の減衰の波長依存性の他の一例を示す図
【図５】膜に含まれる酸化物粉末の単位面積あたりの質量と透過光量の減衰との関係の一例を示す図
【図６】膜に含まれる酸化物粉末の単位面積あたりの質量と透過光量の減衰との関係の他の一例を示す図
【図７】膜に含まれる酸化物粉末の単位面積あたりの質量と透過光量の減衰との関係の他の一例を示す図
【図８】酸化物粉末含有シートを製造するための本発明の装置について、一例の構成を模式的に示す図
【図９】酸化物粉末含有シートを製造するための本発明の装置について、他の一例の構成を模式的に示す図
【図１０】本発明の電子部品の一例を模式的に示す断面図
【符号の説明】
【００８３】
１０    シート
１１    ベースフィルム
１２    膜
１３，１３ａ    光照射手段
１４，１４ａ    測定手段
２０    評価装置
２１    記憶手段
２２    演算手段
３０，３０ａ    製造装置
３１    送り出し部
３２    コータヘッド
３３    乾燥部
３４    巻き取り部
４０    セラミックコンデンサ（電子部品）
４１    セラミック部
４２ａ，４２ｂ    内部電極
４３ａ，４３ｂ    外部電極
Ｌ    光
【図１】
2005321297.tif 000004
【図２】
2005321297.tif 000005
【図３】
2005321297.tif 000006
【図４】
2005321297.tif 000007
【図５】
2005321297.tif 000008
【図６】
2005321297.tif 000009
【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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