(57)【要約】【課題】本発明は、寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を実現するための製造装置と製造方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】搬送ローラーを用いることなく、処理液の放出口とプリント配線板表面間の距離が一定に保持したままで処理を行う。これにより寸法精度の高い配線パターンをもったプリント配線板を効率よく製造することが可能なプリント配線板の製造装置と製造方法を提供することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板を平面状に固定可能なプリント配線板固定部と、複数の処理液放出口を有する処理液放出口固定部と、処理液放出口固定部に連結された処理液供給ホースとでユニットが構成され、前記処理液放出口固定部は、平面状に固定されるプリント配線板に対して垂直方向の所定位置に配置されていることを特徴とするプリント配線板の製造装置。
【請求項２】
処理液放出口固定部には長さの異なる処理液放出口が取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項３】
平面状に固定されるプリント配線板の端部の垂直方向に位置する処理液放出口の長さよりプリント配線板の中央部の垂直方向に位置する処理液放出口の長さが長いことを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項４】
処理液放出口固定部は回転、または揺動可能であることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項５】
複数の処理液供給ホースの端部は、処理液貯蔵槽と処理液供給用のポンプを介して配管されており、各処理液供給ホースへの流路にはそれぞれ圧力計と開閉バルブを備えていることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項６】
処理液放出口固定部には処理液放出口を取り付けるための取り付け穴が所定ピッチ間隔で複数個設けられていることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項７】
処理液供給ホースの端部は、異なる処理液が貯蔵された複数の処理液貯蔵槽と処理液供給用のポンプとバルブを介して配管されていることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項８】
複数の処理液貯蔵槽は、現像液貯蔵槽、エッチング液貯蔵槽、はく離液貯蔵槽、または水洗水貯蔵槽であることを特徴とする請求項７に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項９】
バルブは電磁バルブであって、バルブが開の後にポンプを作動し、一定時間経過後に、ポンプを停止し電磁バルブを閉にするという動作タイミングを有していることを特徴とする請求項７に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項１０】
複数の処理液供給ホースの端部は、部材により固定されており、処理液貯蔵槽に配管された供給口と脱着可能であることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項１１】
複数の処理液専用ブースを備えた処理ブースと、前記処理ブース内に請求項１０に記載のプリント配線板の製造装置の移動手段を備えていることを特徴とするプリント配線板の製造装置。
【請求項１２】
複数の処理液専用ブースは、それぞれ異なる処理液の貯蔵槽と配管された供給口を備えていることを特徴とする請求項１１に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項１３】
複数の処理液専用ブースは、現像液、エッチング液、はく離液、水洗水を処理液として構成されていることを特徴とする請求項１１に記載のプリント配線板の製造装置。
【請求項１４】
処理液放出口固定部に取り付けられた複数の処理液放出口よりプリント配線板表面へ処理液を放出することにより行う処理であって、処理液放出口固定部とプリント配線板の相対位置が一定のままで処理を開始・終了することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
【請求項１５】
プリント配線板は平面状に固定され、処理液放出口固定部はプリント配線板の垂直方向の所定距離の位置に複数配置されていることを特徴とする請求項１４に記載のプリント配線板の製造方法。
【請求項１６】
処理液放出口固定部に取り付けられた処理液放出口より放出される処理液は、プリント配線板の端部より中央部においてプリント配線板表面との距離が短い位置で放出することを特徴とする請求項１５に記載のプリント配線板の製造方法。
【請求項１７】
処理液放出口固定部に取り付けられた処理液放出口より放出される処理液は、プリント配線板の端部より中央部において高い圧力で放出することを特徴とする請求項１５に記載のプリント配線板の製造方法。
【請求項１８】
処理液放出口固定部を揺動させながら処理液放出口より処理液を放出することを特徴とする請求項１４に記載のプリント配線板の製造方法。
【請求項１９】
所定の処理液での処理を終了した後、異なる処理液を用いて処理を開始することを特徴とする請求項１４に記載のプリント配線板の製造方法。
【請求項２０】
処理液は、エッチング液であることを特徴とする請求項１４に記載のプリント配線板の製造方法。
【請求項２１】
異なる処理液は、現像液、水洗水、エッチング液、水洗水、はく離液、水洗水の順で用いることを特徴とする請求項１９に記載のプリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パソコン、移動体通信用電話機、ビデオカメラ等の各種電子機器に用いられるプリント配線板の製造装置と製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の高性能化、高密度化に伴い、電子部品は、益々小型化、高集積化、高速化の傾向にある。
【０００３】
このために、プリント配線板の形態も益々薄型、軽量化、高密度化の傾向が進み、それに伴い、配線パターン（ライン幅とスペース幅）は、年々狭くなっている。
【０００４】
以下に従来のプリント配線板のパターン形成方法について説明する。
【０００５】
高密度パターンが必要とされるプリント配線板では、一般に、不必要な部分を除去するサブトラクティブ法でパターンが形成される方法が多く採用されている。
【０００６】
まず、図１３（ａ）のパターン形成される前のプリント配線板２１は、均一の厚さの銅はく２２が表面全体を覆っている。
【０００７】
図１３（ｂ）において、プリント配線板２１の表面にドライフィルム２４をラミネートし、図１３（ｃ）に示すように、露光フィルム２５を使用してドライフィルムを露光する。
【０００８】
露光フィルム２５には、目的とする配線パターンが作画されており、光が透過する部分と遮断される部分が存在する。光が透過する部分では、露光の光が透過し、ドライフィルムに到達する。その結果、ドライフィルムが反応し構造が変化する。
【０００９】
その後は、液体の処理液を用いた処理工程になる。
【００１０】
まず、図１３（ｄ）に示すように、現像液で不要なドライフィルムを除去し、次にエッチング液でドライフィルムが無い部分の銅はくを除去する｛図１３（ｅ）｝。
【００１１】
最後に、図１３（ｆ）において、はく離液で残っているドライフィルムを除去し、以上の工程により目的とするパターンの形成を行う。
【００１２】
図１４は従来のプリント配線板の製造方法における液処理工程の概略図であり、図１５は同プリント配線板の製造装置による搬送方法を示す概略図であり、従来の液処理工程（現像〜エッチング〜はく離）の概略を示したものである。２６は搬送ローラー、２８は処理液放出口であり、２９は処理液、３０はプリント配線板進行方向を示す。
【００１３】
従来の方法では、搬送ローラー２６を回転させ、上下の搬送ローラー２６間にプリント配線板２１を移動させながら、上下の処理液放出口２８より処理液を放出させ、パターン形成を行うこととしたものである。
【００１４】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平１０−２０７０８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、上記従来のプリント配線板のパターン形成方法では、以下の課題がある。
【００１６】
図１４からわかるように、プリント配線板２１は、処理液が放出されている空間を一定速度で移動していく。このため、プリント配線板進行方向３０の先頭部分が最初に処理される。その後、徐々にプリント配線板全体に処理が広がっていくが、最初の反応が激しいため最初に処理される銅はく量が他の部分より多くなる。これが配線パターンの仕上がり精度のばらつきを増大させる原因のひとつとなる。
【００１７】
また、図１４、図１５からわかるように、プリント配線板２１を安定して搬送するためにプリント配線板の上下のＸ方向、Ｙ方向ともに多くの搬送ローラー２６が設置されている。プリント配線板が薄型、軽量化するのに比例して、搬送中のトラブルを防止するために搬送ローラーの設置個数も増加している。
【００１８】
一方、図１４からわかるように、処理液２９は、この搬送ローラー２６の外側からプリント配線板に向けて放出されている。ところが、設置された搬送ローラー２６が障害になり、処理液２９がプリント配線板２１の表面に均一に当たらない。
【００１９】
この結果、各液処理工程での反応が不均一になり、配線パターンの寸法精度に悪影響を及ぼすという問題点を有していた。この問題点は、搬送ローラー２６の設置数が増加するのに比例して大きくなる。
【００２０】
近年、基板厚さが薄くなり、より安定した搬送が要求されるため、搬送ローラーの数が増加しており、搬送ローラーの悪影響が増加している。
【００２１】
これを解決するための対策として、現在採用している手段は、処理液の放出力を増加させ、搬送ローラーの障害を少なくしている。しかし、この対策では、エネルギーの消費量が高く、また、搬送ローラーの障害を完全に無くすことは出来ない。
【００２２】
本発明は、上記従来の問題点を解決するものであり、搬送ローラーを用いることなく、プリント配線板を処理液放出口を設けたユニットに固定して設置したままで、プリント配線板の処理を開始・終了することである。
【００２３】
本発明は、寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を実現するための製造装置と製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する。
【００２５】
本発明の請求項１に記載の発明は、プリント配線板を平面状に固定可能なプリント配線板固定部と、複数の処理液放出口を有する処理液放出口固定部と、処理液放出口固定部に連結された処理液供給ホースとでユニットが構成され、前記処理液放出口固定部は、平面状に固定されるプリント配線板に対して垂直方向の所定位置に配置されていることを特徴とするプリント配線板の製造装置としたものであり、この構成により従来必要とされた搬送ローラーを用いることなく、さらに処理液の放出口とプリント配線板表面間の距離が一定に保持されるので、処理液による処理能力を均一に、また、時間差が生じることなくプリント配線板の表面に処理液を噴射することができる。この構成により、寸法精度の高い配線パターンを得ることが可能な製造装置を提供することができる。
【００２６】
本発明の請求項２に記載の発明は、処理液放出口固定部には長さの異なる処理液放出口が取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、プリント配線板の寸法、形状及び表面銅はくの厚さ等の構成内容に対応して、処理液放出口とプリント配線板の表面間距離を任意に調節することで、プリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができる。この構成により、寸法精度の高い配線パターンを得ることが可能な製造装置を提供することができる。
【００２７】
本発明の請求項３に記載の発明は、平面状に固定されるプリント配線板の端部の垂直方向に位置する処理液放出口の長さよりプリント配線板の中央部の垂直方向に位置する処理液放出口の長さが長いことを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、プリント配線板の寸法、形状及び表面銅はくの厚さ等の構成内容に対応して、処理液放出口とプリント配線板の表面間距離を任意に調節することで、特にプリント配線板中央部に滞留しやすい処理液を処理液放出口の長さを長くすることで滞留を防ぎ、これによりプリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができる。この構成により、寸法精度の高い配線パターンを得ることが可能な製造装置を提供することができる。
【００２８】
本発明の請求項４に記載の発明は、処理液放出口固定部は回転、または揺動可能であることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより処理液のプリント配線板上での滞留をなくすことで処理速度を向上させることができるという作用を有する。
【００２９】
本発明の請求項５に記載の発明は、複数の処理液供給ホースの端部は、処理液貯蔵槽と処理液供給用のポンプを介して配管されており、各処理液供給ホースへの流路にはそれぞれ圧力計と開閉バルブを備えていることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより特にプリント配線板中央部に滞留しやすい処理液を放出する圧力を高めることで滞留を防ぎ、これによりプリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができる。この構成により、寸法精度の高い配線パターンを得ることが可能な製造装置を提供することができる。
【００３０】
本発明の請求項６に記載の発明は、処理液放出口固定部には処理液放出口を取り付けるための取り付け穴が所定ピッチ間隔で複数個設けられていることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これによりプリント配線板の寸法、形状及び表面銅はくの厚さ等の構成内容に対応して、処理液放出口を取り付け位置や個数を容易に調整することが可能となりプリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができる。この構成により、寸法精度の高い配線パターンを得ることが可能な製造装置を提供することができる。
【００３１】
本発明の請求項７に記載の発明は、処理液供給ホースの端部は、異なる処理液が貯蔵された複数の処理液貯蔵槽と処理液供給用のポンプとバルブを介して配管されていることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより異なる処理液の供給を処理液供給ホースに連結された配管のバルブの開閉により容易に行うことができる。
【００３２】
本発明の請求項８に記載の発明は、複数の処理液貯蔵槽は、現像液貯蔵槽、エッチング液貯蔵槽、はく離液貯蔵槽、または水洗水貯蔵槽であることを特徴とする請求項７に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより現像液、エッチング液、水洗水、はく離液等の供給を処理液供給ホースに連結された配管のバルブの開閉により容易に行うことができ、プリント配線板の製造に必要な処理工程を実現することができる。
【００３３】
本発明の請求項９に記載の発明は、バルブは電磁バルブであって、バルブが開の後にポンプを作動し、一定時間経過後に、ポンプを停止し電磁バルブを閉にするという動作タイミングを有していることを特徴とする請求項７に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、電磁バルブを用いることで自動で開閉することもでき、ポンプの作動を電磁バルブと動作のタイミングを図ることによってプリント配線板の製造に必要な処理工程を自動化することも可能である。
【００３４】
本発明の請求項１０に記載の発明は、複数の処理液供給ホースの端部は、部材により固定されており、処理液貯蔵槽に配管された供給口と脱着可能であることを特徴とする請求項１に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより処理液供給ホースの端部が固定された部材はユニットと共に処理ブース内を移動することができ、各処理液専用ブースにおいて異なる処理液での処理が可能となる。
【００３５】
本発明の請求項１１に記載の発明は、複数の処理液専用ブースを備えた処理ブースと、前記処理ブース内に請求項１０に記載のプリント配線板の製造装置の移動手段を備えていることを特徴とするプリント配線板の製造装置としたものであり、これによりユニットを移動手段を有する処理ブース内を複数の処理液専用ブースを順次移動させながら、プリント配線板の製造に必要な処理工程を行うことが可能となる。
【００３６】
本発明の請求項１２に記載の発明は、複数の処理液専用ブースは、それぞれ異なる処理液の貯蔵槽と配管された供給口を備えていることを特徴とする請求項１１に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これによりユニットを移動手段を有する処理ブース内を複数の処理液専用ブースを順次移動させながら、所定の処理時間経過後、処理液の種類を変更し、プリント配線板の製造に必要な処理工程を行うことが可能となる。
【００３７】
本発明の請求項１３に記載の発明は、複数の処理液専用ブースは、現像液、エッチング液、はく離液、水洗水を処理液として構成されていることを特徴とする請求項１１に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これによりユニットを移動手段を有する処理ブース内を複数の処理液専用ブースを順次移動させながら、プリント配線板の製造に必要な、現像液、エッチング液、はく離液、水洗水等の処理工程を行うことが可能となる。
【００３８】
本発明の請求項１４に記載の発明は、処理液放出口固定部に取り付けられた複数の処理液放出口よりプリント配線板表面へ処理液を放出することにより行う処理であって、処理液放出口固定部とプリント配線板の相対位置が一定のままで処理を開始・終了することを特徴とするプリント配線板の製造方法としたものであり、これにより従来必要とされた基板そのものの搬送をする必要がなく、さらに処理液の放出口とプリント配線板表面間の距離が一定に保持されるので、処理液による処理能力を均一に、また、時間差が生じることなくプリント配線板の表面に処理液を噴射することができる。これにより、寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を得ることができる。
【００３９】
本発明の請求項１５に記載の発明は、プリント配線板は平面状に固定され、処理液放出口固定部はプリント配線板の垂直方向の所定距離の位置に複数配置されていることを特徴とする請求項１４に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、これによりプリント配線板の寸法、形状及び表面銅はくの厚さ等の構成内容に対応して、プリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができる。これにより、寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を得ることができる。
【００４０】
本発明の請求項１６に記載の発明は、処理液放出口固定部に取り付けられた処理液放出口より放出される処理液は、プリント配線板の端部より中央部においてプリント配線板表面との距離が短い位置で放出することを特徴とする請求項１５に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、プリント配線板の寸法、形状及び表面銅はくの厚さ等の構成内容に対応して、処理液放出口とプリント配線板の表面間距離を任意に調節することで、特にプリント配線板中央部に滞留しやすい処理液を処理液放出口の長さを長くすることで滞留を防ぎ、これによりプリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができ寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を得ることができる。
【００４１】
本発明の請求項１７に記載の発明は、処理液放出口固定部に取り付けられた処理液放出口より放出される処理液は、プリント配線板の端部より中央部において高い圧力で放出することを特徴とする請求項１５に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、これにより特にプリント配線板中央部に滞留しやすい処理液を放出する圧力を高めることで滞留を防ぎ、これによりプリント配線板全面において処理液を均一に噴射することができ、寸法精度の高い配線パターンを有するプリント配線板を得ることができる。
【００４２】
本発明の請求項１８に記載の発明は、処理液放出口固定部を揺動させながら処理液放出口より処理液を放出することを特徴とする請求項１４に記載のプリント配線板の製造装置としたものであり、これにより処理液のプリント配線板上での滞留をなくすことで処理速度を向上させることができるという作用を有する。
【００４３】
本発明の請求項１９に記載の発明は、所定の処理液での処理を終了した後、異なる処理液を用いて処理を開始することを特徴とする請求項１４に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、これにより処理液による処理能力を均一に、また、時間差が生じることなくプリント配線板の表面に処理液を噴射することができるとともに、プリント配線板の製造に必要な処理工程を実現することができる。
【００４４】
本発明の請求項２０に記載の発明は、処理液は、エッチング液であることを特徴とする請求項１４に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、特にエッチング処理において特に顕著な効果を奏するものであり、本発明によりエッチング処理のみを行い、他の処理は従来の方法を用いて充分な効果を有するものである。
【００４５】
本発明の請求項２１に記載の発明は、異なる処理液は、現像液、水洗水、エッチング液、水洗水、はく離液、水洗水の順で用いることを特徴とする請求項１９に記載のプリント配線板の製造方法としたものであり、これにより処理液による処理能力を均一に、また、時間差が生じることなくプリント配線板の表面に処理液を噴射することができるとともに、プリント配線板の製造に必要な、現像液、エッチング液、はく離液、水洗水等の処理工程を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００４６】
本発明によれば、プリント配線板と処理液間の障害物である搬送ローラーを無くすことができる。
【００４７】
また、搬送ローラーを使用せずプリント配線板と処理液放出口間の距離を一定に確保できるため、処理液を均一にし、かつ省エネを実現することができる。
【００４８】
また、搬送ローラーを使用することなく薄手のプリント配線板を安定して搬送することができ、さらに、処理液の放出口を設けたユニットの各種設置条件を変更することで、処理液をより均一にプリント配線板の表面にあてることができる。この結果、寸法精度の高い配線パターンをもったプリント配線板を効率よく製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
（実施の形態１）
以下本発明の実施の形態について、図１〜図１０を用いて説明する。
【００５０】
図１〜図１０に、本発明の実施の形態におけるプリント配線板の製造装置を示す。
【００５１】
図において、１はプリント配線板、２は処理液の放出口を有するユニット、３は処理液放出口、４は処理液放出口固定部、５はプリント配線板固定部、６、６ａ〜６ｊは処理液供給ホースであり、ユニット２内のプリント配線板固定部５によりプリント配線板１を水平面状に固定しうる構造である。
【００５２】
図においては、プリント配線板固定部５は便宜上四角のみ示しているが、基板の剛性によっては、増やすことも可能である。特にフレキ性を有する基板は、四角の他に四辺に複数設けることが望ましい。また、プリント配線板固定部５は自動チャッキング構造を採用することも可能である。
【００５３】
また、処理液放出口固定部４は水平面状に固定されたプリント配線板１の垂直方向に配置されており、処理液放出口固定部４には複数の処理液放出口３が取り付けられている。
【００５４】
また、処理液放出口固定部４は処理液供給ホース６に連結され、それを介して処理液貯蔵槽１０からポンプ９により供給された処理液Ｔは、処理液放出口固定部４に送られて処理液放出口３からプリント配線板１表面に放出され、プリント配線板１を処理することができる。
【００５５】
また、本発明の製造装置におけるプリント配線板の処理は、処理の開始から終了までプリント配線板１がユニット２内に固定された状態で行われていることから、プリント配線板１と処理液放出口３は所定距離の状態を保ったまま行われるという特徴を有するものである。特に、プリント配線板１の進行方向Ｄの前端部と後端部は、ユニット２の両端部の処理液放出口固定部４との相対位置は変化しないことが最も顕著な特徴である。
【００５６】
また、処理液放出口固定部４には処理液放出口３を取り付けるための取り付け穴（図示せず）が、所定ピッチ間隔で複数個設けられており、処理液放出口３の取り付け個数や配置を容易に設定することができる。例えば取り付け穴１０個の場合、処理液放出口３を５個とし残り５個を目止めすることができる。
【００５７】
また、処理液放出口３は長さの異なるものを採用することで、この距離を調節することもできる。
【００５８】
また、処理液放出口固定部４は回転可能な状態で固定することによって処理液放出口３から放出される処理液Ｔの角度を調節することも可能であり、あるいは揺動機構（駆動ユニット）と連動させることにより処理液放出口固定部４を揺動し、処理液Ｔのプリント配線板１上での滞留をなくすことで処理速度を向上させることもできる。
【００５９】
さらに、本発明の製造装置であるユニット２は、処理液の充満していない環境で、容易に処理液放出口３の取り付けや取り外しの作業を容易に行うことができる。
【００６０】
例えば、従来のエッチング装置における処理液放出口３の取り付けや取り外しの作業は、エッチング液の充満するエッチングブース内で行われており、作業環境や効率において著しく困難であった。
【００６１】
特にエッチング液は、通常５０℃前後に温度設定されており、作業の安全上、エッチング液の温度を室温（２５℃）まで下げて行う必要があり、そのためにエッチング装置を停止した状態で長時間待機する場合もあり、条件設定の困難さと、処理液放出口３の詰まり確認や交換等のメンテナンスにおいて、危険を回避しつつ行わねばならなかった。
【００６２】
これに対し本発明の製造装置は、ユニット２を安全な環境に移動することが容易であり、従来の上記の問題を解決することができる。
【００６３】
以上のように構成されたプリント配線板の製造装置におけるプリント配線板の製造方法について、以下に説明する。
【００６４】
まず、プリント配線板の製造方法において、製造条件の各設定の説明に対応する図面は以下の通りとする。
【００６５】
設定１：図１、図２、図３
設定２：図２、図４
設定３：図５、図６
設定４：図７、図８
設定５：図９、図１０
（なお、図２は、設定１、設定２の説明に共通して用いる。）
各設定の前提として、図１〜図１０に示したように、プリント配線板１（Ｘ方向×Ｙ方向＝５２０ｍｍ×３５０ｍｍ）は、１枚だけプリント配線板固定部５により搬送ユニット２１のＺ方向中央に固定される。
【００６６】
また、図２、図５、図７、図９においてプリント配線板固定部５は４個所あり、プリント配線板１の端部を使用して、搬送ユニット２に固定している。
【００６７】
プリント配線板１の上下に設置された処理液放出口３から処理液Ｔがプリント配線板１に放出される。処理液放出口固定部４は、設定１〜設定３および設定５（図２、図５、図９）の場合においては、Ｘ方向上下に各４本、設定４（図７）の場合においては、Ｘ方向上下に各５本設置され、それぞれの処理液放出口固定部４には、処理液放出口３がＹ方向に５個設置されている。
【００６８】
処理液放出口からプリント配線板表面までの距離Ｈ１は、設定１（図３）で一律１００ｍｍに設定され、設定２〜設定５（図４、図６、図８、図１０）では、処理液放出口からプリント配線板表面までの距離Ｈ１は、１２０ｍｍ、Ｈ２は、９０ｍｍ、Ｈ３は、６０ｍｍに設定されている。
【００６９】
すなわち、距離Ｈ１、Ｈ２、Ｈ３の関係は、平面状に固定されたプリント配線板１の端部の垂直方向に位置する処理液放出口３の長さよりプリント配線板１の中央部の垂直方向に位置する処理液放出口３の長さが長いことを示している。この長さが異なる処理液放出口３の取り付け、および設定は、前述したように容易に行うことができる。
【００７０】
また、処理液供給ホース６へは、処理目的に応じて、現像液、水洗水、エッチング液、水洗水、はく離液、水洗水が供給される。
【００７１】
現像液、エッチング液、水洗水、はく離液等の供給方法は、図１１に示すようにブース１１内のユニット２の処理液供給ホース６に連結された配管のバルブ８ａ〜８ｄの開閉により行うことができる。
【００７２】
図１１は、その一例の概略を示すものであり、エッチング液貯蔵槽１０ａに連結されたバルブ８ａを開とし、他のバルブ８ｃ〜８ｄを閉として、エッチング用のポンプ９ａを作動させることによって、エッチング液を供給することができる。
【００７３】
同様に、水洗水を供給する場合は、水洗水貯蔵槽に連結されたバルブ８ｂを開とし、他のバルブ８ａ、８ｃ、８ｄを閉として、水洗用のポンプ９ｂを作動させることによって、水洗水を供給することができる。現像液、はく離液も同様な方法で供給することができる。
【００７４】
供給された処理液は、ブース１１内の下方からポンプ９によりバルブ８を経由して各処理液の貯蔵槽に戻される。
【００７５】
さらに、前記バルブ８ａ〜８ｄは、電磁バルブを用いることで自動で開閉することもできる。電磁バルブを開にした後、ポンプを作動し、一定の処理時間経過後に、ポンプを停止し、電磁バルブを閉にするという動作タイミングを採用することによって、全工程を自動化することも可能である。
【００７６】
また、図１２に示すように、ユニット２を移動手段を有する処理ブース１１内を複数の処理液専用ブースを順次移動させながら、所定の処理時間経過後、処理液の種類を変更し、処理を行うことも可能である。
【００７７】
この場合、処理液供給ホース６の端部が固定された部材７（図２に示す）がユニット２と共に処理ブース１１内を移動・搬送される。各処理液専用ブースにおいて処理液供給ホース６の端部は、それぞれ異なる処理液の貯蔵槽に配管されている供給口に連結されて、処理液を供給することができる。
【００７８】
処理液供給ホース６端部と、各処理槽における処理液の供給口は、脱着可能な構造とし、着脱も機械構造的に自動化することも可能である。
【００７９】
この方法により、複数の搬送ユニットを使用することで、異なる処理を行うことができ生産性を高めることができる。
【００８０】
また、処理液供給ホース６より供給される処理液は、図１１のバルブ８と圧力計１２を有する配管構成を採用することによって、供給圧力を任意に制御することができる。
【００８１】
本実施の形態におけるプリント配線板の製造方法での各設定における圧力の条件は以下の通りとした。
【００８２】
設定１および設定２（図２）は、０．０５ＭＰａ（メガパスカル）の圧力とし、従来の搬送ローラーを有する製造装置と比較して約５０％の圧力値に設定した。
【００８３】
設定３（図５）は、処理液供給ホース６ｂ、６ｃ、６ｆ、６ｇは０．０７ＭＰａ、処理液供給ホース６ａ、６ｄ、６ｅ、６ｈは、０．０３ＭＰａの圧力とした。
【００８４】
設定４（図７）は、処理液供給ホース６ｃ、６ｈは０．０７ＭＰａ、処理液供給ホース６ｂ、６ｄ、６ｇ、６ｉは０．０５ＭＰａ、処理液供給ホース６ａ、６ｅ、６ｆ、６ｊは０．０３ＭＰａの圧力とした。
【００８５】
設定５（図９）は、処理液供給ホース６ｂ、６ｃ、６ｆ、６ｇは０．０７ＭＰａ、処理液供給ホース６ａ、６ｄ、６ｅ、６ｈは０．０３ＭＰａの圧力とした。
【００８６】
ちなみに、設定３〜設定５の圧力条件は、従来の搬送ローラーを有する製造装置と比較して約３０〜７０％の圧力値に設定したものである。
【００８７】
更に、設定５（図９）においては、処理液放出口固定部４は、ユニット２内部に設けた駆動ユニットによりＲで示した回転方向に左右最大で１２０℃揺動回転する構成とし、回転は、４秒で１往復する速度に設定した。
【００８８】
本発明の上記各設定において、形成された配線パターンのライン幅／スペース幅＝１００μｍ／１００μｍ、および７５μｍ／７５μｍでの仕上がり精度を、従来の搬送ローラーを有するプリント配線板の製造装置を使用した場合と比較して（表１）に示す。
【００８９】
【表１】
2005150276.tif 000003
【００９０】
以上の結果から、本発明のプリント配線板の製造装置を用いると配線パターンの仕上がり精度を著しく向上させることができる。
【００９１】
更に、本発明のプリント配線板の製造装置を用いた場合、処理液を放出するための消費電力は、従来の製造装置に比較して約５０％削減することができた。
【００９２】
本発明の構成を採用することにより、寸法精度の高い配線パターンを持つプリント配線板を効率良く、安定して製造することができる。更に、生産時の省エネが可能となった。
【００９３】
なお、本発明のプリント配線板の製造方法は、エッチング処理において特に顕著な効果を奏するものであり、本発明の製造装置を用いてエッチング処理のみを行い、他の処理は従来の製造装置を用いて行っても充分な効果を有するのはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００９４】
以上のように本発明は、プリント配線板を処理液放出口を設けたユニットに固定・設置し、ユニットごと移動する構造を有したプリント配線板の製造装置とその製造装置の特徴を生かした製造方法を提供するものである。
【００９５】
この構成により、プリント配線板と処理液間の障害物である搬送ローラーを無くすことができる。また、搬送ローラーを使用せずプリント配線板と処理液放出口間の距離を一定に確保できるため、処理液を均一にプリント配線板の表面にあてることができ、加えて省エネを実現することもできる。
【００９６】
また、本発明の製造装置は、処理液の充満していない環境で、容易に条件設定や部品の交換等のメンテナンス作業を容易に行うことができ、作業の安全を図ることもできる。
【００９７】
これらの結論として本発明は、寸法精度の高い配線パターンをもったプリント配線板を効率よく製造することが可能となるプリント配線板の製造装置と製造方法を提供しうるものであり、産業上の利用可能性は大といえる。
【図面の簡単な説明】
【００９８】
【図１】本発明の実施の形態におけるプリント配線板の製造装置の概略図
【図２】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図３】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図４】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図５】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図６】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図７】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図８】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図９】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図１０】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図１１】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図１２】同プリント配線板の製造装置の概略図
【図１３】従来のプリント配線板の製造方法を示す工程概要図
【図１４】従来のプリント配線板の製造方法における液処理工程の概略図
【図１５】従来のプリント配線板の製造装置による搬送方法を示す概略図
【符号の説明】
【００９９】
１  プリント配線板
２  ユニット
３  処理液放出口
４  処理液放出口固定部
５  プリント配線板固定部
６、６ａ〜６ｊ  処理液供給ホース
７  処理液供給ホース端部の固定部材
８、８ａ〜８ｄ  バルブ
９、９ａ〜９ｄ  ポンプ
１０ａ〜１０ｄ  処理液貯蔵槽
１１  処理ブース
１２  圧力計
【図１】
2005150276.tif 000004
【図２】
2005150276.tif 000005
【図３】
2005150276.tif 000006
【図４】
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【図５】
2005150276.tif 000008
【図６】
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【図７】
2005150276.tif 000010
【図８】
2005150276.tif 000011
【図９】
2005150276.tif 000012
【図１０】
2005150276.tif 000013
【図１１】
2005150276.tif 000014
【図１２】
2005150276.tif 000015
【図１３】
2005150276.tif 000016
【図１４】
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【図１５】
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