(57)【要約】【課題】  被塗工材に均一の厚みで、安定した材料液を塗工でき、塗工速度の向上を可能とする、薄膜形成装置用の材料液の塗工ヘッダと、それを備えた薄膜形成装置および反転印刷装置を提供する。【解決手段】  塗工ヘッダを、液状の材料液を被塗工材の塗工面に塗布し塗工面に薄膜を形成する薄膜形成装置用の塗工ヘッダであって、材料液を被塗工材に供給する塗工ヘッダ先端のリップ部におけるリップ下流側面が塗工ヘッダ中心線に対して０°ないし２０°の範囲で塗工面側に傾斜して加工されてなるように構成し、またはさらに、下方に向き水平方向に対して２０°ないし６５°の塗工面角度をつけた被塗工材の塗工面に、リップ部を上向きに近接配置されてなるように構成したので、材料液固着が発生しない条件となり、被塗工材に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液ａを塗工でき、リングパターン等の問題を回避し、塗工精度、塗工速度向上が可能となる。【選択図】            図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状の材料液を被塗工材の塗工面に塗布し、同塗工面に薄膜を形成する薄膜形成装置用の塗工ヘッダであって、前記材料液を前記被塗工材に供給する前記塗工ヘッダ先端のリップ部におけるリップ下流側面が同塗工ヘッダ中心線に対して０°ないし２０°の範囲で前記塗工面側に傾斜して加工されてなることを特徴とする塗工ヘッダ。
【請求項２】
請求項１に記載の塗工ヘッダにおいて、下方に向き水平方向に対して２０°ないし６５°の塗工面角度をつけた前記被塗工材の塗工面に、前記リップ部を上向きに近接配置されてなることを特徴とする塗工ヘッダ。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の塗工ヘッダにおいて、同塗工ヘッダはその中心方向を、前記リップ部が近接配置された箇所の前記塗工面に垂直に向け配置されてなることを特徴とする塗工ヘッダ。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の塗工ヘッダにおいて、前記液状の材料液が揮発性の材料液であることを特徴とする塗工ヘッダ。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の塗工ヘッダにおいて、前記被塗工材は平板状被塗工材であり、前記リップ部が近接配置される前記塗工面は同平板状被塗工材の下面であることを特徴とする塗工ヘッダ。
【請求項６】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の塗工ヘッダにおいて、前記被塗工材はシリンダ状被塗工材であり、前記リップ部が近接配置される塗工面は同シリンダ状被塗工材の下側周面であることを特徴とする塗工ヘッダ。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の塗工ヘッダを備えてなることを特徴とする薄膜形成装置。
【請求項８】
請求項１ないし請求項４、または請求項６のいずれかに記載の塗工ヘッダを備えてなることを特徴とする反転印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、相対的に移動する被塗工材の塗工面に対し液状の材料液を供給することにより移動方向に沿って被塗工材に材料液を塗工する薄膜形成装置の塗工ヘッダ、およびそれを備えた薄膜形成装置と反転印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近、液晶表示装置等が広く普及するようになり、この液晶表示装置のガラス板やそのガラス基板に貼られる保護板等の基材に材料液を塗工して、極薄い薄膜を形成する必要が出てきた。そのような場合に用いられる薄膜形成装置の一般的な例の概要構成図を図１２に示し説明する。
【０００３】
図１２において、１００は薄膜形成装置であり、塗工ヘッダ１０１と、塗工ヘッダ１０１に材料液（塗工液）ａを供給する図示しない材料液供給装置と、塗工ヘッダ移動装置１０２と、各種基板等の基材（被薄膜形成材）１１０とが所定位置にセットされる台枠１０３を有している。また。その上方に位置して、塗工ヘッダ１０１から供給された材料液ａを基材１１０に転写する薄膜塗工ローラ（被塗工材であるシリンダ状部材）１０４と、薄膜塗工ローラ１０４を移動するための図示しないローラ移動装置と、薄膜塗工ローラ１０４を回転するための図示しないローラ回転駆動装置とを備えて構成されている。
【０００４】
薄膜形成装置１００における塗工工程を図１２により説明すると、図１２（ａ）に示すように、薄膜塗工ローラ１０４を、先ずローラ移動装置により塗工ヘッダ１０１の上方に移動させる。このとき、薄膜塗工ローラ１０４は回転停止状態とされ、塗工ヘッダ１０１は薄膜塗工ローラ１０４と接触しない下降位置とされている。
【０００５】
次いで、（ｂ）に示すように、塗工ヘッダ移動装置１０２を作動させて塗工ヘッダ１０１を薄膜塗工ローラ１０４と接触する上昇位置にとするとともに、ローラ回転駆動装置を作動させて薄膜塗工ローラ１０４を回転させる。これにより、薄膜塗工ローラ１０４の周面１０４ａに材料液ａが塗工される。
【０００６】
薄膜塗工ローラ１０４の周面１０４ａの全周に亘って材料液が塗工されると、塗工ヘッダ移動装置１０２の作動により、（ｃ）に示すように、塗工ヘッダ１０１が薄膜塗工ローラ１０４と接触しない下降位置とされ、また、ローラ回転駆動装置を停止して薄膜塗工ローラ１０４の回転を停止させ、薄膜塗工ローラ１０４の塗工工程が完了する。
【０００７】
そして、ローラ移動装置の作動により薄膜塗工ローラ１０４を基材１１０へと移動させるとともにローラ回転駆動装置を作動させて薄膜塗工ローラ１０４を回転させる。薄膜塗工ローラ１０４の高さ位置は、その最下の周面位置が基材１１０の上面と一致するように設定されており、（ｄ）に示すように、薄膜塗工ローラ１０４を基材１１０上で移動させることにより、薄膜塗工ローラ１０４の周面１０４ａ上の材料液が基材１１０上に転写されることになる。
【０００８】
上記のような薄膜塗工装置１００に用いられ、ガラス基板等の基材（被薄膜形成材）１１０に極薄い薄膜を形成するための塗工ヘッダとしては、従来、（１）表面張力利用型や、（２）毛細菅現象利用型（例えば、特開２００１−６２３７０公報：特許文献１）が提案されている。
【０００９】
（１）表面張力利用型：  図１３は従来の表面張力利用型の塗工ヘッダを用いた薄膜形成装置の一例の構成及び作動を説明するための模式的な要部側断面図である。
【００１０】
この薄膜形成装置２００では、図１３（ａ）に示すように、薄膜を形成する材料液（塗工液）ａをポンプＰにより液供給管２０２を介して塗工ヘッダとしての円柱体２０１の空洞（内部）２０１ａへ供給する。この円柱体２０１の上部には、２０μｍ程度の径の孔が多数形成されたポーラス部（塗工部）２０３が、周方向に１０ｍｍ程度の幅をもって形成されており、このポーラス部２０３においては、円柱体２０１の外周面と内周面とが連通した状態となっている。したがって、ポンプＰにより上記の内部２０１ａへと供給された材料液ａは、ポーラス部２０３において外周面へ供給されるようになるが、この外周面へ供給された材料液ａの内、過剰に供給された材料液ａは、円柱体２０１の姿勢がポーラス部２０３を鉛直上方に向けた姿勢に設定されているため、ポーラス部２０３を出た後、下方に落下するようになる。
【００１１】
この結果、ポーラス部２０３にはその外周面に一定高さ（例えば４００μｍ程度）の材料液ａの隆起が得られるようになる。そして、図１３（ｂ）に示すように、基材（被薄膜形成材）２１０を、ポーラス部２０３における材料液ａの隆起に接触させつつ移動させることで、基材２１０に材料液ａの液溜まり（液ビード：液膜）２０４が形成される。
【００１２】
なお、円柱体２０１の外周面から落下した材料液ａは、円柱体２０１の下方に配置された液タンク２０５により回収され、液回収管２０６を介してポンプＰに吸引され、再び円柱体２０１へと供給されることとなる。
【００１３】
（２）毛細管現象利用型（キャピラリーコータ型）：  図１４は従来の毛細管現象利用型の塗工ヘッダを用いた薄膜形成装置の一例の構成及び作動を説明するための模式的な要部側断面図である。
【００１４】
この薄膜形成装置３００では、非塗工作業時には、塗工ヘッダ３０１を材料液層３０２に沈めておき、塗工作業時には、塗工ヘッダ３０１の先端を、上記材料液層３０２から基材（被薄膜形成材）３１０に向けて突出させるようになっている。塗工ヘッダ３０１には基材３１０の移動方向に対し略直角方向に配向して開口するスリット３０３が形成されており、上記材料液層３０２を形成する材料液ａが、毛細現象によりこのスリット３０３内を伝って塗工ヘッダ３０１の先端で隆起して液ビード（液溜まり）３０４を形成する。この液ビード３０４は材料液ａの表面張力によりその隆起高さひいてはその量がほぼ一定に保たれる。
【００１５】
そして、塗工ヘッダ３０１の先端に液溜まり３０４が形成された状態で、塗工ヘッダ３０１に対し所定の隙間（ギャップ）をあけつつ且つ基材３１０を液溜まり３０４に接触させて基材３１０を移動させることで、基材３１０に材料液ａが塗工される。
【００１６】
このような塗工作業時は、基材３１０に塗工される分、液溜まり３０４が減少することとなるが、この減少した分だけ材料液ａが、毛細管現象により自然と一定に液溜まり３０４に供給されるしくみとなっている。
【００１７】
塗工作業は、図１４において（ａ）〜（ｆ）の順に行われ、先ず、塗工開始前においては、（ａ）に示すように、塗工ヘッダ３０１は液タンク３０５内に沈められており、この液タンク３０５の上部は蓋３０６に蓋われている。
【００１８】
次いで、（ｂ）に示すように、蓋３０６がスライドして液タンク３０５が開放され、塗工ヘッダ３０１が液タンク３０５から基材３１０側へ突出した状態とされる。この時、液タンク３０５内の材料液ａが、毛細管現象により、塗工ヘッダ３０１に形成されたスリット３０３を上昇して塗工ヘッダ３０１の先端で隆起して液溜まり３０４を形成する。
【００１９】
そして、このような塗工ヘッダ３０１の状態において、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）に示すように、基材３１０を塗工ヘッダ３０１の先端の液溜まり３０４に接触させながら、基材３０１のセットされるステージ３０７と一体に図中左側へとスライドさせて行き、この過程で、基材３１０に塗工薄膜３０８が次第に形成されていく。（ｆ）に示すように、基材３１０が液溜まり３０４を通過して塗工が完了すると、塗工ヘッダ３０１は液タンク３０５内の材料液層３０２に沈められた後、蓋３０６がスライドして液タンク３０５を蓋い、塗工作業が完了する。
【００２０】
しかしながら、上述した２つのタイプの従来の薄膜形成装置用の塗工ヘッダには依然以下のような問題があった。
【００２１】
（１）表面張力利用型
図１５は上述した図１３に示すような従来の表面張力利用型の塗工ヘッダとしての円柱体２０１の問題の説明図であって、（ａ）は基材２１０と円柱体２０１のポーラス部（塗工部）２０３との最接近部（以下、ニップ部という）の模式的な側面視による断面図であり、（ｂ）は（ａ）の模式的なＡ−Ａ矢視断面図である。
【００２２】
図１５（ａ）中の破線２０７は、基材２１０とポーラス部２０３とのニップ部周辺で材料液膜２０８、２０９が受ける圧力の圧力分布線を示し、図１５（ａ）中で上にあるほど高い圧力を示している。基材２１０とポーラス部２０３との隙間が狭いほど材料液ａが受ける圧力は高くなることから、ニップ部において材料液ａが絞られる（これを液絞りという）ため材料液ａの圧力は急上昇する一方、ニップ部下流側では基材２１０とポーラス部２０３との隙間が急に広がるため、材料液の圧力は負圧となる（圧力分布線２０７における符号２０７ａで示す部分を参照）。
【００２３】
この負圧の発生のため、ニップ部下流側で液膜分裂の際、すなわちポーラス部の材料液膜２０８の一部が基材２１０へ材料液膜２０９として移動する際、上記負圧の作用により材料液膜２０８、２０９のメニスカスが基材２１０とポーラス部２０３との隙間に引き込まれるような現象が発生し、図１５（ｂ）に示すように、材料液膜２０８、２０９に規則的なリングパターンと呼ばれる円柱体２０１円周方向に延びる筋状のムラ（円柱体２０１軸方向に数ｍｍ程度のピッチで繰り返される液厚の凹凸）が発生しやすい。図１５（ｂ）中の符号２１１はリングパターンを形成し基材２１０に正常に塗工されない余剰液（余剰な材料液）である。リングパターンの凹凸のピッチや高さは、材料液ａの表面張力や粘度及びニップ部下流側で発生する負圧２０７ａの程度により異なったものとなる。
【００２４】
このようなリングパターンが発生すると、基材２１０が印刷版である場合には、この印刷版を使用して印刷された印刷物にリングパターンに応じた濃淡ムラが生じ、不良印刷物となる。また、その問題のほかに、表面張力利用型の塗工ヘッダの一般的傾向として、塗工速度はある程度高速化できるが、薄膜形成の精度を十分に上げられない、という問題もあった。
【００２５】
（２）毛細管現象利用型（キャピラリーコータ型）
図１６は上述した図１４に示すような従来の毛細管現象利用型の塗工ヘッダ３０１の問題の説明図であって、（ａ）は基材３１０と塗工ヘッダ３０１との最接近部（以下、ニップ部という）の模式的な側面視による断面図であり、（ｂ）は（ａ）の模式的なＢ−Ｂ矢視断面図である。
【００２６】
毛細管現象利用型の塗工ヘッダ３０１も、上記の表面張力利用型の塗工ヘッダとしての円柱体２０１と同様の課題を有する。つまり、塗工ヘッダ３０１の基材３１０移動方向下流側では、それまで塗工ヘッダ３０１の上面により規定されていた空間が急激に広がるので、負圧部３０９が発生し、材料液ａの液溜まり３０４の一部が基材３１０上の塗工薄膜３０８へと移動する液膜分裂の際、材料液ａのメニスカスが塗工ヘッダ３０１側に引き込まれてしまう。この結果、（ｂ）に示すような基材３１０移動方向に対して直角方向において数ｍｍピッチで凹凸が繰り返されるリングパターンが発生しやすくなるのである。（ｂ）中の符号３１１はリングパターンを形成し基材３１０に正常に塗工されない余剰液（余剰な材料液）である。
【００２７】
また、この毛細管現象利用型の塗工ヘッダ３０１では、スリット３０３の幅（スリット開口幅）と塗工ヘッダ３０１の先端から基材３１０の表面までの距離との関係を制御できれば、均一な薄膜の形成（リングパターンの発生を抑制すること）は可能であるが、上記スリット開口幅を装置幅方向［図１５（ａ）において紙面に垂直な方向］に亘って均一に加工するのが難しく、塗工ヘッダ３０１と基材３１０との距離に応じてスリット開口幅を適切に調整するのは現実的には難しいという問題があった。また、その問題のほかに、毛細管現象利用型の塗工ヘッダの一般的傾向として、薄膜形成の精度を上げることができ美麗な塗膜が得やすいが、塗工速度が低いという問題があり、材料液ａの供給を単に毛細管現象によらずポンプ等圧送手段を用いることである程度速度向上ができるが薄膜精度との関係から限界がある。
【００２８】
以上、従来の（１）表面張力利用型、及び（２）毛細管現象利用型の塗工ヘッダにつき、平板状の基材（被薄膜形成材）に直接薄膜を形成する場合を説明したが、シリンダ状の基材（被薄膜形成材）２１０、３１０に薄膜を塗工する場合や、図１２で説明したような、被塗工材としての薄膜塗工ローラに一旦塗工した上で薄膜塗工ローラから基材（被薄膜形成材）２１０、３１０に転写するときの薄膜塗工ローラへの塗工の場合は、被塗工材（基材または薄膜塗工ローラ等）がシリンダ状物であり、そのシリンダ状物をその軸芯線を中心に回転させつつ、円柱体２０１又は塗工ヘッダ３０１により塗工を行うことにより、シリンダ状物の周面に連続的に薄膜を形成するが、同様に上記のリングパターンや薄膜精度、塗工速度の問題を有するものであった。
【００２９】
【特許文献１】特開２００１−６２３７０公報（第２頁、図５、６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３０】
以上のように、（１）表面張力利用型及び（２）毛細管現象利用型の何れの塗工ヘッダ２０１、３０１においても、塗工薄膜の厚みが塗工方向に対する幅方向において不均一になりやすく、リングパターンに応じた濃淡ムラが生じ、不良印刷物（損紙）となる問題があった。
【００３１】
なお、上記問題点の説明においても、被塗工材として平板状の基材（被薄膜形成材）２１０、３１０に塗工膜を形成する例を説明したが、リングパターンは被塗工材（基材または薄膜塗工ローラ等）がシリンダ状物の場合にも発生し、シリンダ状の基材（被薄膜形成材）に薄膜を塗工する場合であっても同様であり、また、図１２で説明したと同様に、薄膜塗工ローラに一旦塗工した上で薄膜塗工ローラから基材（被薄膜形成材）２１０、３１０に転写する場合の、薄膜塗工ローラへの塗工の場合も同様のリングパターンが生じ、その結果、基材（被薄膜形成材）２１０、３１０上のリングパターンの問題を発生する。
【００３２】
本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、被塗工材（基材または薄膜塗工ローラ等）に均一の厚みで、安定した材料液を塗工でき、塗工速度の向上を可能とする、薄膜形成装置用の材料液の塗工ヘッダと、それを用いた薄膜形成装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００３３】
本発明は、上記の課題を解決するためになされ、下記の（１）から（８）の手段を提供するものであり、以下、特許請求の範囲に記載の順に説明する。
【００３４】
（１）その第１の手段として、液状の材料液を被塗工材の塗工面に塗布し、同塗工面に薄膜を形成する薄膜形成装置用の塗工ヘッダであって、前記材料液を前記被塗工材に供給する前記塗工ヘッダ先端のリップ部におけるリップ下流側面が同塗工ヘッダ中心線に対して０°ないし２０°の範囲で前記塗工面側に傾斜して加工されてなることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。
【００３５】
（２）第２の手段としては、第１の手段の塗工ヘッダにおいて、下方に向き水平方向に対して２０°ないし６５°の塗工面角度をつけた前記被塗工材の塗工面に、前記リップ部を上向きに近接配置されてなることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。
【００３６】
（３）また、第３の手段として、第１の手段または第２の手段の塗工ヘッダにおいて、同塗工ヘッダはその中心方向を、前記リップ部が近接配置された箇所の前記塗工面に垂直に向け配置されてなることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。
【００３７】
（４）第４の手段として、第１の手段ないし第３の手段のいずれかの塗工ヘッダにおいて、前記液状の材料液が揮発性の材料液であることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。
【００３８】
（５）第５の手段として、第１の手段ないし第４の手段のいずれかの塗工ヘッダにおいて、前記被塗工材は平板状被塗工材であり、前記リップ部が近接配置される前記塗工面は同平板状被塗工材の下面であることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。
【００３９】
（６）第６の手段として、第１の手段ないし第４の手段のいずれかの塗工ヘッダにおいて、前記被塗工材はシリンダ状被塗工材であり、前記リップ部が近接配置される塗工面は同シリンダ状被塗工材の下側周面であることを特徴とする塗工ヘッダを提供する。
【００４０】
（７）第７の手段として、第１の手段ないし第６の手段のいずれかの塗工ヘッダを備えてなることを特徴とする薄膜形成装置を提供する。
【００４１】
（８）第８の手段として、第１の手段ないし第４の手段、または第６の手段のいずれかの塗工ヘッダを備えてなることを特徴とする反転印刷装置を提供する。
【発明の効果】
【００４２】
（１）特許請求の範囲に記載の請求項１の発明によれば、リップ下流側面がシャープエッジまたはそれに近い形状のため、リップ上流側面への液拡張濡れが抑制され、材料液固着が発生しない条件となり、被塗工材に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液を塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工速度向上が可能となる。
【００４３】
（２）請求項２の発明によれば、請求項１の発明の作用効果に加え、鉛直方向液引出し力が大きくなり液ビードが安定、塗工開始前の液だれが防止されて膜厚誤差の増大が防止されるので、さらに、材料液固着が発生しない条件となり、被塗工材に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液ａを塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工速度向上が可能となる。
【００４４】
（３）請求項３の発明によれば、通常の塗工面と垂直な配置方向に取付けた塗工ヘッダにおいて請求項１または請求項２の発明の作用効果をさらに奏することができる。
【００４５】
（４）請求項４の発明によれば、特に、材料液の固着が生じやすかった揮発性の材料液を塗工する場合において、請求項１ないし請求項３のいずれかの発明の作用効果を顕著に奏することができる。
【００４６】
（５）請求項５の発明によれば、請求項１ないし請求項４のいずれかの発明の作用効果を、平板状被塗工材の下面を塗工面として奏することができる。
【００４７】
（６）請求項６の発明によれば、請求項１ないし請求項４のいずれかの発明の作用効果を、シリンダ状被塗工材の下側周面を塗工面として奏することができる。
【００４８】
（７）請求項７の発明によれば、薄膜形成装置において、請求項１ないし請求項６のいずれかの発明の作用効果を奏し、基材または薄膜塗工ローラ等の被塗工材に、均一の厚みで、安定した液ビード形状で、材料液を塗工でき、リングパターンの問題を回避し、塗工精度、塗工速度向上が可能な薄膜形成装置となる。
【００４９】
（８）請求項８の発明によれば、反転印刷装置において、請求項１ないし請求項４、または請求項６のいずれかの発明の作用効果を奏し、塗布胴等の被塗工材に、均一の厚みで、安定した液ビード形状で材料液を塗布でき、リングパターン等の問題を回避し、塗工精度、塗工速度向上が可能な反転印刷装置となる
【発明を実施するための最良の形態】
【００５０】
本発明を実施するための最良の形態として、以下に実施例１から実施例３を説明する。
【実施例１】
【００５１】
本発明の実施例１に係る塗工ヘッダを図１に基づき説明する。図１（ａ）はシリンダ状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図であり、（ｂ）は本実施例の塗工ヘッダの拡大断面図である。本実施例の塗工ヘッダは、図１２に示すと同様の薄膜形成装置に用いられる塗工ヘッダであり、薄膜形成装置全体は図１２を参照することとし、改めて図示することは省略する。なお、本実施例において、薄膜形成装置１００は図１２に図示のものに限定されることなく、種々の態様のものであってよい。
【００５２】
図１において、１は本実施例の塗工ヘッダであり、１０は塗工ヘッダ１により材料液（塗工液）ａの薄膜を塗工されるシリンダ状被塗工材である。材料液ａは揮発性の材料液も含むものとする。シリンダ状被塗工材１０は、例えば、各種基板等の基材（被薄膜形成材）であり、または、材料液ａを基材に転写する薄膜塗工ローラ等であって、シリンダ状に形成され、その軸芯線Ｏ回りに図中矢印方向に回転しつつ、その周面１０ａ（塗工面）に近接する塗工ヘッダ１によって塗工され、周面１０ａ上に材料液ａの液ビード４が形成される。
【００５３】
塗工ヘッダ１は、図１４で説明したと同様に毛細管現象利用型の塗工ヘッダであり、その内部に設けられスリット１３を有し、スリット１３は塗工ヘッダ１の先端部（以下、「リップ部」という）１ａに開口を有し、毛細管現象を利用して材料液ａをシリンダ状被塗工材１０の周面１０ａに供給する。なお、毛細管現象による以上に塗工速度を増大させる必要のある場合は材料液ａをポンプ等により加圧して供給することがある。
【００５４】
塗工ヘッダ１のリップ部１ａが位置するシリンダ状被塗工材１０の下側の周面１０ａの点の、シリンダ状被塗工材１０の下側の周面１０ａの真下の位置からの角度、すなわちシリンダ状被塗工材１０の軸芯Ｏと塗工ヘッダ１とを結ぶ線と鉛直方向Ｙとのなす角度をθとすると、塗工ヘッダ１のリップ部１ａに相対し、塗工されるシリンダ状被塗工材１０の周面１０ａ（塗工面）の傾斜角度、すなわち接線方向の角度は、水平方向Ｘに対してθとなる（以下、「塗工面角度θ」という）。
【００５５】
本実施例において、塗工ヘッダ１のリップ部１ａ（以下、単に「塗工ヘッダ１」とも記載する）は、シリンダ状被塗工材１０の下側の周面１０ａの真下の位置から鉛直方向Ｙに対してθ回った点の周面１０ａに位置しており、θは、θ１＝２５°からθ２＝６５°の範囲、θ＝２５〜６５°に設定される。すなわち塗工面角度θ＝２５〜６５°に設定される。
【００５６】
なお、通常、塗工ヘッダ１は、塗工ヘッダ中心線Ｃを略シリンダ状被塗工材１０の軸芯線Ｏに向けて、リップ部１ａが近接配置された箇所の周面１０ａ（塗工面）の方向、すなわち同箇所の接線方向と略垂直に配向されるから、塗工ヘッダ中心線Ｃの鉛直方向Ｙに対する角度もθ＝２５〜６５°の範囲になる。
【００５７】
塗工ヘッダ１の断面形状は図１（ｂ）に示すように、シリンダ状被塗工材１０の回転方向における上流側のリップ上流側面１１と、下流側のリップ下流側面１２の間に、塗工ヘッダ中心線Ｃに沿ってスリット１３が形成されている。スリット１３はリップ部１ａにおいて、周面１０ａに面してシリンダ状被塗工材１０の軸方向に延在する開口を有し、そこから周面１０ａへの材料液ａの供給を行う。
【００５８】
スリット１３の開口幅ｄは例えば０．５〜０．８ｍｍであり、スリット１３を挟むリップ上流側面１１側とリップ下流側面１２側の先端部材厚さはそれぞれ５ｍｍ程度である。リップ下流側面１２は塗工ヘッダ中心線Ｃに対し、角度αの周面１０ａ（塗工面）側に傾斜した面をなすように加工されており、α＝０〜２０°の範囲、さらに好ましくはα＝５〜２０°の範囲としてある。
【実施例２】
【００５９】
本発明の実施例２に係る塗工ヘッダを図２（ａ）に基づき説明する。図２（ａ）は平板状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図である。本実施例の塗工ヘッダも、実施例１と同じく、図１２に示すと同様の薄膜形成装置に用いられる塗工ヘッダ１であり、平板状被塗工材に対するものである以外は、塗工ヘッダ１の構造も薄膜形成装置全体も実施例１で記載したと同様であり、繰り返しの記載は省略する。
【００６０】
図２（ａ）において、２０は塗工ヘッダ１により材料液ａの薄膜を塗工される平板状被塗工材である。材料液ａは揮発性の材料液もである含むものとする。平板状被塗工材２０は、例えば、各種基板等の平板状の基材（被薄膜形成材）であり、水平軸Ｘに沿って配置され、水平軸Ｘ方向に移動されつつ、その下面（塗工面）に略垂直上向きに近接する塗工ヘッダ１によって塗工され、面上に材料液ａの液ビード４が形成される。従って、平板状被塗工材２０の水平方向Ｘに対する塗工面角度θ＝０°である。
【００６１】
なお、通常、塗工ヘッダ１は、塗工ヘッダ中心線Ｃを平板状被塗工材２０の下面（塗工面）に略垂直に配向されるから、塗工ヘッダ中心線Ｃの鉛直方向Ｙに対する角度もθ＝０°になる。
【００６２】
塗工ヘッダ１は、実施例１と同様のものであり、内部に設けられ毛細管現象を利用して材料液ａを供給するスリット１３を有し、塗工ヘッダ中心線Ｃを平板状被塗工材２０に略垂直に向けてリップ部１ａを近接させて設置されている。塗工ヘッダ１の断面形状は図１（ｂ）に示すものと同じであり、リップ下流側面１２は塗工ヘッダ中心線Ｃに対し塗工面側に傾斜する、角度αの傾斜面をなし、α＝０〜２０°、さらに好ましくはα＝５〜２０°としてある。
【実施例３】
【００６３】
本発明の実施例３に係る塗工ヘッダを図２（ｂ）に基づき説明する。図２（ｂ）は平板状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図である。本実施例の塗工ヘッダも、実施例１、実施例２と同じく、図１２に示すと同様の薄膜形成装置に用いられる塗工ヘッダであり、平板状被塗工材に対するものである以外は、塗工ヘッダの構造も薄膜形成装置全体も実施例１で説明したと同様であり、繰り返しの記載は省略する。本実施例が実施例２と異なるのは、平板状被塗工材２０が水平方向Ｘに対して傾斜して配置されるものである点であり、それ以外は引例１と同様である。
【００６４】
図２（ｂ）において、２０は塗工ヘッダ１により材料液ａの薄膜を塗工される平板状被塗工材である。平板状被塗工材２０は、例えば、各種基板等の平板状の基材（被薄膜形成材）であり、水平軸Ｘに対してθ傾斜して設置され、その角度θの方向に移動しつつ、その下面（塗工面）に垂直向きに近接する塗工ヘッダ１によって塗工され、面上に材料液ａの液ビード４が形成される。材料液ａは揮発性の材料液もである含むものとする。したがって、平板状被塗工材２０の塗工面角度はθである。
【００６５】
本実施例において、塗工面角度θは、θ＝２５〜６５°の範囲になるように設置してある。なお、通常、塗工ヘッダ１は、塗工ヘッダ中心線Ｃを平板状被塗工材２０の下面（塗工面）と略垂直に配向されるから、塗工ヘッダ中心線Ｃの鉛直方向Ｙに対する角度もθ＝２５〜６５°の範囲になる。
【００６６】
塗工ヘッダ１は、実施例１と同様のものであり、内部に設けられ毛細管現象を利用して材料液ａを供給するスリット１３を有し、塗工ヘッダ中心線Ｃを平板状被塗工材２０に略垂直に向けてリップ部１ａを近接させて設置されている。塗工ヘッダ１の断面形状は図１（ｂ）に示すものと同じであり、リップ下流側面１２は塗工ヘッダ中心線Ｃに対し塗工面側に傾斜する、角度αの傾斜面をなし、α＝０〜２０°、さらに機械工作上、好ましくはα＝５〜２０°としてある。
【００６７】
上記の各実施例に係る塗工ヘッダ１の形状と、配置の特徴についてまとめて以下説明する。
【００６８】
（１）塗工ヘッダのリップ部形状（先端形状）について：
本発明者の研究により、塗工ヘッダ１のリップ部１ａの形状が、材料液（塗工液）ａの塗工状態の安定化に影響することが判明し、研究・試験の結果、リップ部形状の最適化につき下記のことを見出した。
【００６９】
塗工ヘッダ１の中心線Ｃをシリンダ状被塗工材１０の周面１０ａに対して略垂直に向けリップ部１ａを近接させ、シリンダ状被塗工材１０をその軸芯Ｏ回りに回転させつつ材料液ａを周面１０ａ上に塗工したもので、基本的な試験条件は次の通りである。
・材料液（揮発性インキ）：粘度≦４ｍＰａ・ｓ
・被塗工材：シリコンブランケット
・塗工速度：０．０３ｍ／ｓ、０．０５ｍ／ｓ
・塗工被膜厚さ：１０〜２０μｍ
・ヘッダ、リップ部の材料：ＳＣＭ材
図３は、リップ部１ａのリップ下流側面１２が周面１０ａ（塗工面）側に傾斜し、塗工ヘッダ１中心線Ｃとなす角度（リップ下流側面角度）αを変えて塗工した試験結果の例であり、塗工状態図である。
【００７０】
（リップ下流側面角度α＝０度の場合）  図３（ａ）に示すように、リップ下流側面１２が塗工ヘッダ１中心線Ｃに対して０°で、リップ端面に対して直角でシャープエッジとなるため、リップ上流側面１１への液拡張濡れが抑制される。またリップ部１ａ下流側のビード位置が安定する。そのため安定した液ビード４が得られている。
【００７１】
（リップ下流側面角度α＝１２度の場合）  図３（ｂ）に示すように、この場合もリップ下流側面１２が塗工ヘッダ１中心線Ｃに対して１２度と、シャープエッジに近い形状のため、リップ上流側面１１への液拡張濡れが抑制されており、良好で安定した液ビードが得られている。
【００７２】
（リップ下流側面角度α＝３０度の場合）  図３（ｃ）に示すように、リップ下流側面１２を塗工ヘッダ１中心線Ｃに対し３０度と大きく、リップ下流側面角度αが大きくなると、液がリップ下流側面１２に材料液ａが付着しやすくなる。この付着した材料液ａは揮発性インキのため、すぐ硬化してリップ部１ａに固着する。この固着した材料液ａに、新たに塗工した材料液ａが付着し、図示のようにリップ部１ａ下流側のビード位置５が乱れてくる。その結果として塗工された液ビード４は不均一で安定性のない液ビードとなる。
【００７３】
以上の試験結果をまとめたグラフを図４に示す。横軸はリップ下流側面角度αを示し、左縦軸は「（イ）材料液固着防止効果」（液ビード安定性）、右縦軸は「（ロ）リップ先端形状加工性の難易度」を示す。リップ先端形状の機械加工性の難易度は、リップ部１ａの先端は非常に小さく、また硬い材料を使用するが、実際の装置に利用するためには塗工方向に対し幅方向に精度良く、均一に加工する必要があり、実際にはこの加工が困難な事から考慮したものである。
【００７４】
図４に示すように、（イ）材料液固着防止効果（液ビード安定性）は、リップ下流側面角度αが０°で、リップ下流側面１２がシャープエッジ（直角）になるほど良いビードが得られが、リップ下流側面角度αが３０°の場合は、材料液ａの固着が発生し、適していない。またリップ部１ａの機械加工の難易度は、シャープエッジになるほど困難になり、リップ下流側面角度αが大きくなるほど容易になる。
【００７５】
そこで、実際に機械加工でき、また良好な液ビードが得られる適正領域としては、リップ下流側面角度α＝０〜２０度、機械加工上から、より望ましくはα＝５〜２０度の範囲である。その場合、塗工する材料液ａが揮発性インキ液の場合でもインキ液がリップ先端に固着しないので、良好で安定した塗工が可能となる。
【００７６】
（２）塗工ヘッダの配置について：
本発明者の研究により、塗工ヘッダ１により塗工される被塗工材の傾斜角度、すなわち塗工面角度θが、材料液（塗工液）ａの厚み等、塗工状態の安定化に影響することが判明し、研究・試験の結果、塗工面角度θの最適化につき（また、塗工ヘッダ１は通常、塗工面に略垂直に配置されるから、塗工ヘッダ１の配置の最適化につき）、下記のことを見出した。
【００７７】
図５に基づき、塗工ヘッダ１の最適配置を決定するための試験を説明する。図５は、塗工面角度θ最適化のための試験におけるシリンダ状被塗工材１０に対する塗工ヘッダの配置図であり、シリンダ状被塗工材１０の周面１０ａに対して塗工ヘッダ１の中心線Ｃを垂直に向け、すなわちシリンダ状被塗工材１０の軸芯Ｏに向けて、リップ部１ａを近接させ、リンダ状被塗工材１０を回転させつつ、材料液ａを周面１０ａ上に塗工したもので、基本的な試験条件は次の通りである。
・材料液（揮発性インキ）：粘度≦４ｍＰａ・ｓ
・被塗工材：シリコンブランケット
・塗工速度：０．０３ｍ／ｓ、０．０５ｍ／ｓ
・塗工被膜厚さ：１０〜２０μｍ
・ヘッダ、リップ部の材料：ＳＣＭ材
塗工ヘッダ１は、シリンダ状被塗工材１０の真下の位置で上向き配置の場合、すなわち、シリンダ状被塗工材１０の塗工面角度θ＝０°、鉛直方向Ｙに対する塗工ヘッダ１の方向Ｃの角度θ＝０°の位置から、シリンダ状被塗工材１０の真横の位置で水平向き配置の場合、すなわち、塗工面角度θ＝９０°、周面１０ａ上の塗工ヘッダ１の位置の鉛直方向Ｙに対する角度θ＝９０°の位置まで、塗工ヘッダ１の位置を変えて、シリンダ状被塗工材１０に塗工される材料液ａの液ビードの塗工状況を試験した。
【００７８】
塗工ヘッダ１から供給された材料液ａがシリンダ状被塗工材１０の周面１０ａ（塗工面）に塗工される時、材料液ａには、重量Ｇで落下する力と、シリンダ状被塗工材１０の移動により材料液ａの粘度に基づく塗工面に沿う方向（接線方向）の液引出し力ｆ（以下、「塗工面方向液引出し力ｆ」という）が作用する。
【００７９】
この試験は、上記の重量Ｇと、塗工面方向液引出し力ｆの鉛直方向成分Ｆ（以下、「鉛直方向液引出し力Ｆ」という）との関係が、被塗工材に塗工される液ビードの安定性を左右すると着目したものである。
【００８０】
図５に示すように、Ｆ＝ｆ・ｓｉｎθであるから、θ＝０°でＦ＝ｆ・ｓｉｎ０°＝０、θ＝９０°でＦ＝ｆ・ｓｉｎ９０°＝ｆとなり、塗工状況の試験結果の代表例を、下記のように図６〜図８に示す。
【００８１】
（塗工ヘッダ１をシリンダ状被塗工材１０の軸芯真下に上向きに配置した場合）  図６（及び図５）に示すように、塗工ヘッダ１に相対する周面１０ａの接線方向の水平方向Ｘに対する角度が塗工面角度θであり、塗工ヘッダ１の周面１０ａ上の位置の鉛直方向Ｙに対する角度もθ＝０°である。従って、塗工ヘッダ１をシリンダ状被塗工材１０に対し真下から塗工する場合は、鉛直方向液引出し力Ｆ＝ｓｉｎ０°＝０  であり、一方、重量Ｇは大きく作用し（Ｆ≪Ｇ）、しかも材料液供給速度が減少する方向に作用するので、シリンダ状被塗工材１０に塗工された液ビード４は、幅方向にも、進行方向にも均一性がなく、図示のように凹凸状液ビード４ａとなりやすい。
【００８２】
（塗工ヘッダ１をシリンダ状被塗工材１０の周面上、真下の位置から鉛直方向Ｙに対してθ回った位置に配置した場合）  図７（及び図５）に示すように、塗工ヘッダ１に相対する周面１０ａの接線方向の水平方向Ｘに対する角度が塗工面角度θであり、塗工ヘッダ１の周面１０ａ上の位置の鉛直方向Ｙに対する角度はθである。
【００８３】
塗工面角度θ＝２０°〜６５°の場合は重力Ｇと塗工面方向液引出し力ｆの鉛直方向成分が発生し、鉛直方向液引出し力Ｆ＝ｆｓｉｎθ  が重量Ｇとほぼ同等かやや大の力（Ｆ≧Ｇ）としやすいので、液だれも発生せず、均一なビードが塗布できる。
【００８４】
（塗工ヘッダ１をシリンダ状被塗工材１０の真横に近い、真下から７５°の位置に配置した場合）  図８（及び図５）に示すように、塗工ヘッダ１に相対する周面１０ａの接線方向の水平方向Ｘに対する角度が塗工面角度θ＝７５°であり、塗工ヘッダ１の周面１０ａ上の位置の鉛直方向Ｙに対する角度もθ＝７５°である。この場合は、鉛直方向液引出し力Ｆ＝ｆｓｉｎ７５°は、塗工面角度θ＝２０°〜６５°の場合よりもさらに大きくなり、Ｆ＞Ｇとなりやすいので、液ビード４の形成はさらに安定する。
【００８５】
すなわち、上記のように水平位置に近づき、塗工ヘッダ１の取り付け位置の塗工面角度θ、すなわち周面１０ａ上の角度θが大きくなり９０°に近づき、塗工面角度θが９０°に近づくほど、鉛直方向液引出し力Ｆが大きくなり、液ビード４が安定する。
【００８６】
しかし、実際の運用においては、塗工面角度θが大きくなるにつれ、塗工ヘッダ１の中心線方向Ｃが鉛直方向Ｙ上向きから水平方向Ｘへと傾くため、塗工開始前に液だれ４ｂが発生し、リップ部１ａ（塗工ヘッダ１の先端部）の裏側に回り込み、上流側のビード位置（液溜まり）が乱れる。そのため液ビード４も不均一な塗工状態となってくる。そのため、塗工面角度θが４５°を越えると膜厚誤差が増大する。
【００８７】
ちなみに、塗工ヘッダ１をシリンダ状被塗工材１０に対して下向きに配置すると、重量Ｇが大きく作用し、しかも材料液供給速度が増大する方向に作用するので、液だれが発生し易く、安定した塗工が困難となり、通常用いられない。
【００８８】
図９は、以上の試験結果をまとめたグラフであり、図９において、横軸は水平面方向Ｘに対する「塗工面角度θ」〔シリンダ状被塗工材１０の場合は、塗工ヘッダ１の位置の鉛直方向に対する周面１０ａ上の角度であり、塗工ヘッダ中心線Ｃを塗工面方向（周面１０ａ接線方向）に対して垂直に配置した場合は、鉛直方向Ｙに対する塗工ヘッダの角度〕、縦軸（ハ）は塗工した液ビードのビード液膜の安定性を示し、縦軸（ニ）は液ビードの膜厚誤差を示す。
【００８９】
また、図９に示す結果の評価を、〔表１〕にまとめて示す。
【００９０】
【表１】
2005296797.tif 000003
この結果より、比較的良好な液ビード４が得られる塗工面角度θは、θ＝２５〜６５°の領域、また望ましくは、θ＝４０〜５０度の領域であることが判明した。すなわち、塗工ヘッダ１をシリンダ状被塗工材１０の真下からθ＝２５〜６５°、望ましくは、θ＝４０〜５０°回った位置に取付け、鉛直方向液引出し力Ｆを重量Ｇ以上（Ｆ≧Ｇ）とし、上流側のビード位置を固定した方が良い。
【００９１】
（３）以上の試験結果に示されることから、上記実施例は以下の作用効果を奏すると言える。
【００９２】
（シリンダ状被塗工材１０の場合：実施例１）  上記したように、リップ下流側面１２をリップ下流側面角度α＝０〜２０°、さらに好ましくはα＝５〜２０°の範囲となるように加工したリップ部１ａを設けた塗工ヘッダ１とする。また、塗工ヘッダ１の取付位置は、塗工面角度θ＝２５〜６５°となるように、塗工ヘッダ１の位置をシリンダ状被塗工材１０に対し真下からの周面１０ａ上の角度θ＝２５〜６５°の領域で設置し、鉛直方向液引出し力Ｆを重力Ｇ以上（Ｆ≧Ｇ）とし、上流側のビード位置を固定した方が良い。
【００９３】
これにより実施例１においては、材料液固着が発生しない条件となり、シリンダ状被塗工材１０に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液ａを塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工速度向上が可能となる。特に、材料液ａの固着が生じやすかった揮発性インキを材料液ａとして塗工する場合、その作用効果が顕著である。
【００９４】
（平板状被塗工材２０の場合：実施例２、実施例３）  平板状被塗工材２０は、ハンドリングの都合上、水平に配置し、水平方向に移動させつつ塗工する場合が多いが、その場合、実施例１のように平板状被塗工材２０下面（塗工面）に対して垂直で上向きに塗工ヘッダ１を配置し、リップ下流側面角度α＝０〜２０°、さらに好ましくはα＝５〜２０°の範囲となるように加工したリップ部１ａを設けた塗工ヘッダ１とする。これにより実施例２においては、材料液固着が発生しない条件となり、揮発性インキを材料液ａとした場合でも、平板状被塗工材２０に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液ａを塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工速度向上が可能となる。
【００９５】
平板状被塗工材２０の下面（塗工面）と同下面に対する塗工ヘッダ１との関係は、シリンダ状被塗工材１０における周面１０ａ（塗工面）と同周面１ａに対する塗工ヘッダ１との関係と同様である。そこで実施例３のように、実施例２と同様にリップ下流側面角度α＝０〜２０°、さら機械加工上に好ましくはα＝５〜２０°の範囲となるように加工したリップ部１ａを設けた塗工ヘッダ１を用い、さらに、平板状被塗工材２０を水平方向Ｘに対してθ傾斜して設置し塗工面角度θとし、その塗工面角度θの方向に移動させつつ、平板状被塗工材２０の下面に近接する塗工ヘッダ１によって塗工する場合は、塗工面角度θ＝２０〜６５°に設定すると、実施例１と同様に材料液固着が発生しない条件となり、被塗工材に均一の厚みで、安定したビード形状で材料液ａを塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工速度向上が可能となる。特に、材料液ａの固着が生じやすかった揮発性インキを材料液ａとして塗工する場合、その作用効果が顕著である。
【００９６】
なお、その場合、平板状被塗工材２０の下面に対し塗工ヘッダ１の中心軸方向Ｃを垂直に配向させて設置すれば、鉛直方向Ｙに対して塗工ヘッダ中心線Ｃのなす角度もθである。
【００９７】
従って、上記実施例１から実施例３のいずれかの塗工ヘッダを備えた薄膜形成装置は、基材または薄膜塗工ローラ等の被塗工材に、均一の厚みで、安定した液ビード形状で、材料液を塗工でき、リングパターンの問題を回避し塗工精度、塗工速度向上が可能な薄膜形成装置となる。
【００９８】
なお、本実施例の薄膜形成装置は、図１２に図示の薄膜形成装置１００に限られず、図１２を参照して説明すれば、図示とは逆に、薄膜塗工ローラ１０４を位置固定とし、基材１１０を移動させるものでもよく、また、基材１１０を塗工ヘッダ１０１と接触するような高さ位置に設定するとともに、その高さ位置において基材１１０を図中で左右に移動させる移動装置を設け、薄膜塗工ローラ１０４無しで塗工ヘッダ１０１から基材１１０へ直接塗工を行うものでもよく、基材１１０が平板状のものでなくシリンダ状のものの場合は、塗工ヘッダ１０１と接触した状態で回転させる回転駆動装置を設けたものでもよい。
【００９９】
また、薄膜形成装置１００は、塗工ヘッダ１０１が１基のものではなく、材料液の色等の種類によって塗工ヘッダ１０１を複数基備え、合わせて薄膜塗工ローラ１０４も複数基備えたものでもよい。
【０１００】
以上述べたように、各実施例の塗工ヘッダ１は、一般的に薄膜形成装置用の塗工ヘッダとして用いられるものであるが、特に薄膜形成装置の一つとしての反転印刷装置において、その塗工ヘッダとして、有効に実施し得るものとなる。
【０１０１】
一般的にカラーフィルタ等を形成する方法としては、印刷法、フォトリソ法等の方法が知られているが、印刷法においては反転印刷装置を用いることが有効であり、以下、一般的な反転印刷装置と、反転印刷装置による印刷法で薄膜（カラーフィルタ等）を形成する原理について図１０、図１１により説明する。図１０は一般的な反転印刷装置の概要構成図、図１１（ａ）〜（ｃ）は一般的な反転印刷装置の動作と原理の説明図である。
【０１０２】
図１０に示すように反転印刷装置５０の固定フレーム５１には、シリコンシート５２を表面に貼り付けた塗布胴５３、塗布胴５３表面に接して材料液として樹脂（インキ）ａ′を塗布（塗工）する塗布装置５４を１ユニットとし、各色分、すなわち、ブラックマトリクス、レッド、グリーン、ブルーの４ユニット（ブラックマトリクス用ユニットＵ１、レッド用ユニットＵ２、グリーン用ユニットＵ３、ブルー用ユニットＵ４）分と基板シート５５を設置する印刷定盤５６が設けてある。また、固定フレーム５１上には移動する可動フレーム５７があり、可動フレーム５７にはシリコンブランケット５８が巻き付けてあるブランケット胴５９、同ブランケット胴５９と接して、凸版６０を表面に取り付けた回転する版胴６１を１ユニットとし、固定フレーム５１の塗布胴５３に対応して設けてある。
【０１０３】
図１１は、図１０に示す反転印刷装置５０の動作及び原理を示す図である。塗布装置５４により塗布胴５３上に貼り付けてあるシリコンシート５２上に着色された樹脂（インキ）ａ′を塗布し、この樹脂ａ′をブランケット胴５９、上のシリコンブランケット５８に転写する（ａ）。次に版胴６１上に樹脂版を露光、現像し、所定の形状に凸部を形成した凸版６０を取り付け、凸版６０を押圧しブランケット５８上の塗布面から凸部分の樹脂ａ′を除去する（ｂ）。ブランケット５８面上の残りの樹脂ａ′を可動フレームの移動により印刷定盤上の基板シート５５上に転写する（ｃ）。この原理によって、ブラックマトリクス、レッド、グリーン、ブルーにつき可動フレームが往復することにより基板シート５５にブラックマトリクスとレッド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）、ブルー（Ｂ）の画素のカラーフィルタ層を形成することができる。
【０１０４】
以上のような反転印刷装置５０において、塗布胴５３は、上記実施例における「シリンダ状被塗工材１０」に相当するので、塗布装置５４に、上記実施例の「塗工ヘッダ１」を適用することで、上述の実施例１の塗工ヘッダ１の作用効果を反転印刷装置５０において奏することができる。（なお、図１０、図１１は一般的な反転印刷装置を示すものであるので、図中の塗布装置５４は、本発明の実施例の塗工ヘッダ１を明示するものではない。）
すなわち、上記実施例１の塗工ヘッダ１を備えた反転印刷装置５０は、被塗工材となる塗布胴５３に、均一の厚みで、安定した液ビード形状で、材料液としての樹脂（インキ）ａ′を塗布（塗工）でき、リングパターン等の問題を回避し、塗工精度、塗工速度向上が可能な反転印刷装置となる
以上、本発明を図示の実施例について説明したが、本発明は上記の実施例に限定されず、本発明の範囲内でその具体的構造に種々の変更を加えてよいことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】本発明の実施例１に係る塗工ヘッダの説明図であり、（ａ）はシリンダ状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図、（ｂ）は本実施例の塗工ヘッダの拡大断面図である。
【図２】（ａ）は、本発明の実施例２に係る塗工ヘッダの説明図であり、平板状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図、（ｂ）は、本発明の実施例３に係る塗工ヘッダの説明図であり、平板状被塗工材に対する本実施例の塗工ヘッダの配置図である。
【図３】リップ下流側面角度αを変えて塗工した試験結果の例を示す塗工状態図である。
【図４】リップ下流側面角度αと、（イ）材料液固着防止効果および（ロ）リップ先端形状加工性の難易度との関係の試験結果を表すグラフである。
【図５】塗工面角度θ最適化のための試験におけるシリンダ状被塗工材に対する塗工ヘッダの配置図である。
【図６】塗工ヘッダをシリンダ状被塗工材の軸芯真下に上向きに配置した場合の、塗工状況の説明図である。
【図７】塗工ヘッダをシリンダ状被塗工材の軸芯真下の位置から鉛直方向Ｙに対してθ回った位置に配置した場合の、塗工状況の説明図である。
【図８】塗工ヘッダをシリンダ状被塗工材の真横に近い、軸芯真下から７５°の位置に配置した場合の、塗工状況の説明図である。
【図９】水平面方向Ｘに対する塗工面角度θと、（ハ）塗工した液ビードのビード液膜の安定性および（ニ）液ビードの膜厚誤差との関係の試験結果を表すグラフである。
【図１０】一般的な反転印刷装置の概要構成図である。
【図１１】（ａ）から（ｃ）は、一般的な反転印刷装置の動作と原理の説明図である。
【図１２】薄膜形成装置の一般的な例の概要構成図である。
【図１３】従来の表面張力利用型の塗工ヘッダを用いた薄膜形成装置の一例の模式的な要部側断面図である。
【図１４】従来の毛細管現象利用型の塗工ヘッダを用いた薄膜形成装置の一例の模式的な要部側断面図である。
【図１５】従来の表面張力利用型の塗工ヘッダ（円柱体）の問題の説明図であり、（ａ）は基材と円柱体とのニップ部の模式的な側面視による断面図であり、（ｂ）は（ａ）の模式的なＡ−Ａ矢視断面図である。
【図１６】従来の毛細管現象利用型の塗工ヘッダの問題の説明図であって、（ａ）は基材と塗工ヘッダとのニップ部の模式的な側面視による断面図であり、（ｂ）は（ａ）の模式的なＢ−Ｂ矢視断面図である。
【符号の説明】
【０１０６】
１                  塗工ヘッダ
１ａ                ニップ部
４                  液ビード
４ａ                凹凸状液ビード
４ｂ                液だれ
１０                シリンダ状被塗工材
１０ａ              周面
１１                リップ上流側面
１２                リップ下流側面
１３                スリット
２０                平板状被塗工材
５０                反転印刷装置
５１                固定フレーム
５３                塗布胴
５４                塗布装置
５５                基板シート
５７                可動フレーム
５９                ブランケット胴
６１                版胴
１００              薄膜形成装置
１０１              塗工ヘッダ
１０２              塗工ヘッダ移動装置
１０４              薄膜塗工ローラ
１０４ａ            周面
θ                  塗工面角度
Ｇ                  重量
Ｆ                  鉛直方向液引出し力
ｆ                  塗工面方向液引出し力
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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