(57)【要約】【課題】膜の均一性を確保するための有機膜形成装置及び方法の提供【解決手段】基板上に有機膜を形成する有機膜形成装置において、有機膜形成装置の噴射装置は第１乃至第ｎ列にそれぞれ形成され、以前の列に対して第１距離シフトされた位置に形成される第１乃至第ｎヘッドユニットを含み、有機膜を形成するための有機物質を基板上に噴射し、移送装置は基板を有機膜印刷方向に移送する。従って、噴射された有機物質のドロップ間の間隔を減少させることができ、基板の状態に影響されることなしに、均一な膜特性を有する有機膜を形成することができる。【選択図】図４
2005125326.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に有機膜を形成する有機膜形成装置において、
第１乃至第ｎ列にそれぞれ形成され、前記有機膜を形成するための有機物質を前記基板上に噴射する第１乃至第ｎヘッドユニットを含む噴射装置と、
前記基板を前記有機膜の印刷方向に移送する移送装置と、
を含むことを特徴とする、有機膜形成装置。
【請求項２】
前記第２乃至第ｎヘッドユニットは前段の列に配列されたヘッドユニットに対して第１距離シフトされて形成されることを特徴とする、請求項１記載の有機膜形成装置。
【請求項３】
前記第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、
前記第１乃至第ｎヘッドユニットにおける各々の前記第１距離をすべて加算した値は、前記噴射ノズル間のピッチより小さい値であることを特徴とする、請求項２記載の有機膜形成装置。
【請求項４】
前記第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ第１乃至第ｍヘッドを含むことを特徴とする、請求項１記載の有機膜形成装置。
【請求項５】
前記第１乃至第ｍヘッドのうち、奇数番目のヘッドは第２距離を隔てて第１列に一列に形成され、
前記第１乃至第ｍヘッドのうち、偶数番目のヘッドは前記第２距離を隔てて第２列に一列に形成され、
前記奇数番目のヘッドと前記偶数番目のヘッドは、両端部が互いに所定の長さオーバーラップして位置することを特徴とする、請求項４記載の有機膜形成装置。
【請求項６】
前記所定の長さは、前記第１乃至第ｍヘッドのケースの厚さに対応する長さであることを特徴とする、請求項５記載の有機膜形成装置。
【請求項７】
前記第１乃至第ｍヘッドは互いに所定の距離だけ隔てて、一列に形成される複数個の噴射ノズルをそれぞれ含むことを特徴とする、請求項４記載の有機膜形成装置。
【請求項８】
前記噴射ノズル間のピッチは約１０乃至５００μｍであることを特徴とする、請求項７記載の有機膜形成装置。
【請求項９】
前記噴射ノズル間のピッチは１４０μｍであることを特徴とする、請求項７記載の有機膜形成装置。
【請求項１０】
前記第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、
前記噴射装置の噴射ノズルの配列方向は、前記有機膜の印刷方向に対して垂直である前記基板の一辺に対し、所定角度の傾きをなすことを特徴とする、請求項１記載の有機膜形成装置。
【請求項１１】
前記所定の角度は約０°乃至８９°であることを特徴とする、請求項１０記載の有機膜形成装置。
【請求項１２】
前記移送装置は前記基板を前記有機膜の印刷方向に移送させ、
前記基板を前記有機膜の印刷方向に対して垂直である第１方向へ所定距離移送させた後、
前記基板を前記有機膜の印刷方向とは反対方向である第２方向へ移送させることを特徴とする、請求項１記載の有機膜形成装置。
【請求項１３】
前記第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、
前記所定距離は前記噴射ノズル間のピッチよりも小さいことを特徴とする、請求項１２記載の有機膜形成装置。
【請求項１４】
前記噴射装置は前記有機物質を噴射しながら前記有機膜の印刷方向に移動し、
前記有機膜の印刷方向に対して垂直である第１方向に所定距離移動した後、
前記有機物質を噴射しながら前記有機膜の印刷方向とは反対方向である第２方向に移動することを特徴とする、請求項１記載の有機膜形成装置。
【請求項１５】
前記第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、
前記所定距離は前記噴射ノズル間のピッチよりも小さいことを特徴とする、請求項１４記載の有機膜形成装置。
【請求項１６】
基板上に有機膜を形成する装置において、
第１乃至第ｎ列にそれぞれ配列され、前段の列に対して所定距離シフトした位置にそれぞれ形成される第１乃至第ｎヘッドユニットを含み、前記有機膜を形成するための有機物質を前記基板上に噴射する噴射装置と、
前記基板を前記有機膜の印刷方向に移送する移送装置と、
を含むことを特徴とする、有機膜形成装置。
【請求項１７】
基板上に有機膜を形成する装置において、
前記基板を前記有機膜の印刷方向に移送する移送装置と、
所定の距離を隔てて一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、前記噴射ノズルの配列方向は、前記有機膜の印刷方向に対して垂直である前記基板の一辺に対し所定角度の傾きをなすように形成され、前記有機膜を形成するための有機物質を前記基板上に噴射する噴射装置と、
を含むことを特徴とする、有機膜形成装置。
【請求項１８】
基板上に有機膜を形成する装置において、
前記基板を第１有機膜印刷方向に移送させ、前記基板を前記第１有機膜印刷方向に対して垂直である方向に所定距離分だけ移送させた後、前記基板を前記第１有機膜印刷方向と反対方向である第２有機膜印刷方向に移送させる移送装置と、
前記有機物質を前記基板上に噴射する噴射装置と、
を含むことを特徴とする、有機膜形成装置。
【請求項１９】
基板上に有機膜を形成する装置において、
前記基板が上部に位置するステージと、
有機物質を噴射しながら第１有機膜印刷方向に移動し、前記第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離移動した後、前記有機物質を噴射しながら前記第１有機膜印刷方向とは反対方向である第２有機膜印刷方向に移動する噴射装置を含み、
前記ステージは固定されていることを特徴とする、有機膜形成装置。
【請求項２０】
基板上に有機膜を形成する方法において、
前記基板を第１有機膜印刷方向に移動させながら、前記有機膜を形成するための有機物質を前記基板上に噴射して前記有機膜を１次印刷する段階と、
前記１次印刷の完了の後、前記有機物質の噴射を中止する段階と、
前記基板を前記第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離移動させる段階と、
前記基板を前記第１有機膜印刷方向とは反対方向である第２有機膜印刷方向に移動させながら、前記有機物質を前記基板上に噴射して前記有機膜を２次印刷する段階と、
を含むことを特徴とする、有機膜形成方法。
【請求項２１】
基板上に有機物質を噴射する噴射装置によって有機膜を形成する方法において、
前記噴射装置を第１有機膜印刷方向に移動させながら、前記有機物質を噴射して前記有機膜を１次印刷する段階と、
前記１次印刷の完了の後、前記有機物質の噴射を中止する段階と、
前記噴射装置を前記第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離移動させる段階と、
前記噴射装置を前記第１有機膜印刷方向とは反対方向である第２有機膜印刷方向に移動させながら、前記有機物質を噴射して前記有機膜を２次印刷する段階と、
を含むことを特徴とする、有機膜形成方法。
【請求項２２】
基板上に有機膜を形成する装置において、
第１乃至第ｎ列に形成され、前段の列に対して所定距離分だけシフトされた位置から所定の距離を隔てて一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、前記複数個の噴射ノズルを通じて前記有機膜を形成するための有機物質を前記基板上に噴射する噴射装置と、
前記基板を前記有機膜の印刷方向に移送させる移送装置と、
を含むことを特徴とする、有機膜形成装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機膜形成装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、開発された様々な平板表示装置のうち、液晶表示装置は他の表示装置に比べて薄くて軽く、低消費電力及び低駆動電圧の特徴を持つと同時に液晶画面の直下に陰極管を用いて画像表示が可能であるので、モバイル機器から大型ＴＶに至るまで多様な電子装置に幅広く使われている。
【０００３】
前記液晶表示装置は、各画素をスイッチングする薄膜トランジスタ及び画素電極が形成されたＴＦＴ基板と、カラーフィルター及び共通電極が形成されたカラーフィルター基板と、二つの基板の間に密封された液晶を含む液晶表示パネルと、前記液晶表示パネルに光を提供するバックライトアセンブリーとで構成される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、ＴＦＴ基板においてパターン形成するためのフォトレジスト膜、メタル層間において絶縁するための絶縁膜、カラーフィルター基板において平坦化するためのオーバーコーティング膜、有機ブラックマトリクスを形成するために有機膜が利用される。
【０００５】
前記有機膜は一般にフレキソ印刷方式の有機膜印刷方法によって形成される。具体的には、アニロックスロール及びドクター・ロールが互いに接触しながら回転し、それによってプレートシリンダに付着している樹脂板には有機膜形成物質が付着し、プレートシリンダが回転することによって基板上に有機膜形成物質が印刷されて有機膜が形成される。
【０００６】
一方、液晶表示装置の画面が大きくなるにつれて液晶表示パネルを生産するための母基板のサイズも大きくなり、一辺の長さが２メートルを超える母基板が出始めている。また、液晶表示パネルの製造業者は製造単価を低下させるために、一つの母基板に形成されるＴＦＴ基板またはカラーフィルター基板の数を増加させている。
【０００７】
前記したように、母基板に形成されるＴＦＴ基板とカラーフィルター基板の大きさや個数が増加すると、それに対応する樹脂板の大きさや個数が増加され、樹脂板の大きさと個数が増加することによって樹脂板が付着するプレートシリンダも大きくしなければならない。
【０００８】
しかし、樹脂板製造能力の限界でＴＦＴ基板またはカラーフィルター基板に対応する大きさの樹脂板を製造することができなく、母基板のサイズが対応するプレートシリンダなどの有機膜形成製造設備の製作が難しくなる問題が浮上した。
【０００９】
これを解決するために、前記の樹脂板を利用した有機膜形成方式であるフレキソ印刷方式の代わりに、有機物質を噴射する噴射方式を利用した有機膜形成装置が開発された。しかし、従来の噴射方式の有機膜形成装置によると、噴射された有機物質のドロップ間の間隔が大変に大きく、結果基板表面状態より非常に影響を受ける。
【００１０】
ここで、図１は従来技術による噴射方式によって噴射されたドロップパターンの図面である。図１に示されたように、従来の噴射方式によって噴射された有機物質のドロップ間の間隔は１３０μｍであることが分かる。また、図２は従来技術によるフレキソ印刷方式によって印刷されたドロップパターンの図面である。図２に示されたように、フレキソ印刷方式による有機物質のドロップ間の間隔は２０μｍであることが分かる。
【００１１】
このように、従来の噴射方式によって噴射された有機物質のドロップ間の間隔がフレキソ印刷方式に比べて６倍以上広い。このドロップの広がりは、基板の表面状態により非常に影響を受ける。これを解決するためには、ＵＶ洗浄時１時間以上の洗浄時間を要するため、時間がかかるという問題点となっている。
【００１２】
一方、前記の問題を解決するためにプラズマエッシングによる洗浄をする場合があるが、これによりフレキソ印刷方式を使用した場合において有機膜の均一性が顕著に落ちる問題点もある。また、噴射方式ではフレキソ印刷方式より低い粘度の有機物質を使うので、基板のエッジ部で表面積が他の部分より相対的に高くて乾燥速度が他の部分より早く、それによってエッジ部に有機物質が集まってしまう現象が発生する。従って、エッジ部で形成される有機膜の厚さが他の部分に比べて過度に高くなってしまい、ギャップ不良が発生してしまう。
【００１３】
従って、本発明は前記した従来の問題点を解決するために、膜の均一性を確保するための有機膜形成装置とその方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上述した目的を達成するために、本発明による基板上に有機膜を形成する有機膜形成装置は、第１乃至第ｎ列にそれぞれ形成され、前記有機膜を形成するための有機物質を前記基板上に噴射する第１乃至第ｎヘッドユニットを含む噴射装置と、前記基板を前記有機膜の印刷方向に移送する移送装置と、を含む。これにより、ドロップ間の間隔は顕著に減少される。従って基板の状態に影響されることなしに、ノーマル洗浄工程を実施した基板上でも有機膜の均一性を確保することができる。
【００１５】
有機形成装置は、前記第２乃至第ｎヘッドユニットは前段の列に配列されたヘッドユニットに対して第１距離シフトされて形成されており、また、前記第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、前記第１乃至第ｎヘッドユニットにおける各々の前記第１距離をすべて加算した値は、前記噴射ノズル間のピッチより小さい値であることを特徴とする。これにより、ドロップが互いに重なって印刷されるので、粘度が低い有機物質であっても乾燥速度をある程度遅延させることができ、均一なセルギャップを確保することができる。
【００１６】
また、前記第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ第１乃至第ｍヘッドを含む。そして、前記第１乃至第ｍヘッドのうち、奇数番目のヘッドは第２距離を隔てて第１列に一列に形成され、前記第１乃至第ｍヘッドのうち、偶数番目のヘッドは前記第２距離を隔てて第２列に一列に形成され、前記奇数番目のヘッドと前記偶数番目のヘッドは、両端部が互いに所定の長さオーバーラップして位置する。ここで、前記所定の長さは、前記第１乃至第ｍヘッドのケースの厚さに対応する長さである。
【００１７】
前記第１乃至第ｍヘッドは互いに所定の距離だけ隔てて一列に形成される複数個の噴射ノズルをそれぞれ含み、前記噴射ノズル間のピッチは約１０乃至５００μｍであるか、もしくは、前記噴射ノズル間のピッチは１４０μｍであることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の有機膜形成装置は、前記第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、前記噴射装置の噴射ノズルの配列方向は、前記有機膜の印刷方向に対して垂直である前記基板の一辺に対し、所定角度の傾きをなす。そして、前記所定の角度は約０°乃至８９°であることを特徴とする。これにより、ヘッドユニットの個数が少なくてもドロップ間の間隔を縮めることができる。
【００１９】
また、本発明の有機膜形成装置は、前記移送装置は前記基板を前記有機膜の印刷方向に移送させ、前記基板を前記有機膜の印刷方向に対して垂直である第１方向へ所定距離移送させた後、前記基板を前記有機膜の印刷方向とは反対方向である第２方向へ移送させることを特徴とする。そして、前記第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、前記所定距離は前記噴射ノズル間のピッチよりも小さいことを特徴とする。これにより、ヘッドユニットの個数が少なくてもドロップ間の間隔を縮めることができる。
【００２０】
また、本発明の有機形成装置は、前記噴射装置は前記有機物質を噴射しながら前記有機膜の印刷方向に移動し、前記有機膜印刷方向に対して垂直である第１方向に所定距離移動した後、前記有機物質を噴射しながら前記有機膜の印刷方向とは反対方向である第２方向に移動することを特徴とする。そして、前記第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、前記所定距離は前記噴射ノズル間のピッチよりも小さいことを特徴とする。これにより、ヘッドユニットの個数が少なくてもドロップ間の間隔を縮めることができる。ここで、噴射されたドロップ間の間隔は噴射装置が第１有機膜印刷方向に対して垂直である第１方向に移動される所定距離に依存するため、所定距離を調節することによりドロップ間の間隔を調節することができる。
【００２１】
本発明は、基板上に有機膜を形成する装置において、第１乃至第ｎ列にそれぞれ配列され、前段の列に対して所定距離シフトした位置にそれぞれ形成される第１乃至第ｎヘッドユニットを含み、前記有機膜を形成するための有機物質を前記基板上に噴射する噴射装置と、前記基板を前記有機膜の印刷方向に移送する移送装置と、を含む。これにより、有機物質のドロップが互いに重なって印刷され、ドロップ間の間隔を減少させることができる。
【００２２】
本発明は、基板上に有機膜を形成する装置において、前記基板を前記有機膜の印刷方向に移送する移送装置と、所定の距離を隔てて一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、前記噴射ノズルの配列方向は、前記有機膜の印刷方向に対して垂直である前記基板の一辺に対し所定角度の傾きをなすように形成され、前記有機膜を形成するための有機物質を前記基板上に噴射する噴射装置と、を含む。これにより、ヘッドユニットの個数が少なくても、ドロップ間の間隔を減少させることができる。
【００２３】
本発明は、基板上に有機膜を形成する装置において、前記基板を第１有機膜印刷方向に移送させ、前記基板を前記第１有機膜印刷方向に対して垂直である方向に所定距離分だけ移送させた後、前記基板を前記第１有機膜印刷方向と反対方向である第２有機膜印刷方向に移送させる移送装置と、前記有機物質を前記基板上に噴射する噴射装置と、を含む。これにより、有機物質のドロップが互いに重なって印刷され、ドロップ間の間隔を減少させることができる。
【００２４】
本発明は、基板上に有機膜を形成する装置において、前記基板が上部に位置するステージと、有機物質を噴射しながら第１有機膜印刷方向に移動し、前記第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離移動した後、前記有機物質を噴射しながら前記第１有機膜印刷方向とは反対方向である第２有機膜印刷方向に移動する噴射装置を含み、前記ステージは固定されていることを特徴とする。これにより、ヘッドユニットの個数が少なくてもドロップ間の間隔を縮めることができる。ここで、噴射されたドロップ間の間隔は噴射装置が第１有機膜印刷方向に対して垂直である第１方向に移動される所定距離に依存するため、所定距離を調節することによりドロップ間の間隔を調節することができる。
【００２５】
本発明は、基板上に有機膜を形成する方法において、前記基板を第１有機膜印刷方向に移動させながら、前記有機膜を形成するための有機物質を前記基板上に噴射して前記有機膜を１次印刷する段階と、前記１次印刷の完了の後、前記有機物質の噴射を中止する段階と、前記基板を前記第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離移動させる段階と、前記基板を前記第１有機膜印刷方向とは反対方向である第２有機膜印刷方向に移動させながら、前記有機物質を前記基板上に噴射して前記有機膜を２次印刷する段階と、を含む。
【００２６】
本発明は、基板上に有機物質を噴射する噴射装置によって有機膜を形成する方法において、前記噴射装置を第１有機膜印刷方向に移動させながら、前記有機物質を噴射して前記有機膜を１次印刷する段階と、前記１次印刷の完了の後、前記有機物質の噴射を中止する段階と、前記噴射装置を前記第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離移動させる段階と、前記噴射装置を前記第１有機膜印刷方向とは反対方向である第２有機膜印刷方向に移動させながら、前記有機物質を噴射して前記有機膜を２次印刷する段階と、を含む。
【００２７】
本発明は、基板上に有機膜を形成する装置において、第１乃至第ｎ列に形成され、前段の列に対して所定距離分だけシフトされた位置から所定の距離を隔てて一列に配列される複数個の噴射ノズルを含み、前記複数個の噴射ノズルを通じて前記有機膜を形成するための有機物質を前記基板上に噴射する噴射装置と、前記基板を前記有機膜の印刷方向に移送させる移送装置と、を含む。これにより、ドロップ間の間隔を減少させることができ、基板の表面状態に影響されることなしに、ノーマル洗浄工程を実施した基板上でも有機膜の均一性を確保することができ、さらには、ドロップが互いに重なって印刷されるので、粘度が低い有機物質であっても乾燥速度をある程度遅延させることができ、均一なセルギャップを確保することができる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明により、噴射された有機物質のドロップ間の間隔を減らすことができ、基板の状態に影響されることなしに、均一な有機膜を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
＜第１実施例＞
［構造］
以下、本発明の望ましい一実施例による有機膜形成装置及び方法を詳細に説明する。図３は本発明の第１実施例による有機膜形成装置を概略的に示す構成図で、図４は図３に示された噴射装置の詳細構成を示す構成図である。
【００３０】
図３に示されたように、本発明の第１実施例による有機膜形成装置は母基板２００と、母基板２００が上部に位置するステージ２１０と、母基板２００が位置したステージ２１０を有機膜印刷方向に移送する移送装置２２０と、前記有機膜を形成するための有機物質を内部に貯蔵する貯蔵タンク２３０と、貯蔵タンク２３０から提供される前記有機物質を母基板２００上に噴射して有機膜を形成する噴射装置２４０とを含む。前記貯蔵タンク２３０に貯蔵された有機物質は８〜１２ｃｐの粘度を有する。
【００３１】
また、図４に示されたように、噴射装置２４０は、貯蔵タンク２３０から提供される有機物質を母基板２００上のＴＦＴ基板形成領域及びカラーフィルター基板形成領域に噴射するための第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ：ｎは正の整数）を含む。この時、第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ）は第１乃至第ｎ列にそれぞれ形成される。ここで、第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ）の各々は、第１乃至第ｍヘッド（３１０−１、３１０−２、．．．、３１０−ｍ：ｍは正の整数）を含む。この時、ヘッドの個数は母基板２００の大きさに対応して決定される。一般的なヘッドの大きさは７０ｍｍであり、母基板の大きさに従ってその個数が増加し、ヘッドの大きさは１つのヘッドの大きさ７０mmの個数倍となる。
【００３２】
前記第１乃至第ｍヘッド（３１０−１、３１０−２、．．．、３１０−ｍ）のうち、奇数番目のヘッドである第１ヘッド（３１０−１）、第３ヘッド（３１０−３）、．．．、第ｍ−１ヘッド（３１０−（ｍ−１））は第１列に配列され、偶数番目のヘッドである第２ヘッド（３１０−２）、第４ヘッド（３１０−４）、．．．、第ｍヘッド（３１０−ｍ）は第１列と平行である第２列にそれぞれ配列される。また、奇数番目ヘッドの各々は、所定の隔離距離を有して一列に形成され、偶数番目ヘッドの各々は所定の隔離距離を有して形成される。そして、偶数番目ヘッド各々の両端部は、奇数番目ヘッドの各々の端部に対して所定長さ分だけオーバーラップするように形成される。例えば、第１ヘッドユニット３００−１内の第１及び第３ヘッド３１０−１、３１０−３は一定の隔離をおいて位置しており、第１列に一列に形成される。第２及び第４ヘッド３１０−２、３１０−４は一定の隔離をおいて位置しており、第２列に一列に配列されている。そして、第２ヘッド３１０−２の左側端部は第１ヘッド３１０−１の右側端部に対して所定の長さだけオーバーヘッドするように形成されており、また第２ヘッド３１０−２の右側端部は第３ヘッド３１０−３の左側端部に対して所定の長さだけオーバーヘッドするように形成されている。
【００３３】
また、第２乃至第ｎヘッドユニット（３００−２、．．．、３００−ｎ）の内部構成は第１ヘッドユニット３１０−１と等しい。また、第２ヘッドユニット３００−２の第１乃至第ｍヘッド（３２０−１、３２０−２、．．．、３２０−ｍ）と第ｎヘッドユニット３００−ｎの第１乃至第ｍヘッド（３３０−１、３３０−２、．．．、３３０−ｍ）は第１ヘッドユニット３００−１の第１乃至第ｍヘッド（３１０−１、３１０−２、．．．、３１０−ｍ）と等しい配列構造を有するように形成される。
【００３４】
次に、前記第１ヘッドユニット３００−１内の第１ヘッド３１０−１の構成を図５及び図６を参照してより詳しく説明する。図５は図４に示されたヘッドの平面図で、図６は図４に示されたヘッドの断面図である。図５に示されたように、前記第１ヘッドユニット３００−１の第１ヘッド３１０−１は有機物質が噴射される複数個の噴射ノズル４００を含む。前記複数個の噴射ノズル４００は一列に配列され、噴射ノズル４００と隣の噴射ノズルとの間のピッチは約１０〜５００μｍである。尚、図５のように、最適の噴射ノズル４００間のピッチは１４０μｍである。
【００３５】
また、図６に示すように、複数個の噴射ノズル４００の内部の周りには圧電素子５００が形成されている。前記圧電素子５００は電気が加えられることによって噴射ノズル４００の中心方向もしくは外側の方向に曲がって噴射ノズル４００の直径を広げたり狭めたりして有機物質の噴射量を調節する。
【００３６】
以上では、本発明は圧電素子に電気を加えて曲がることを利用して有機物質の量を調節する方式の場合を例にあげて説明したが、一般的なインク・ジェット方式において採用されているバブルジェット噴射方式またはサーマルジェット噴射方式を利用して有機物質の量を調節してもよい。
【００３７】
ここで、第１ヘッドユニット３００−１の第２乃至第ｍヘッド（３１０−２、．．．、３１０−ｍ）は第１ヘッド３１０−１と等しい構成を有する。また、第２乃至第ｎヘッドユニット（３００−２、．．．、３００−ｎ）内の複数のヘッドも図５及び図６のような構成を有する。
【００３８】
一方、第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ）は以前のヘッドユニットに対して所定距離分だけシフトされた位置に形成される。例えば、図５を参照すると、第２ヘッドユニット３００−２の左側端部は、第１ヘッドユニット３００−１の左側端部から第１距離ｄ１だけシフトされて位置している。従って、各ヘッドユニットのシフト距離が同じである場合、第ｎヘッドユニット３００−ｎの左側端部は第１ヘッドユニット３００−１の左側端部より第ｎ−１距離ｄｎ−１だけシフトされて位置している。
【００３９】
前記したように、第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ）が以前のヘッドユニットに対して所定距離分だけシフトされた位置に形成されるので、各ヘッド内の噴射ノズルも前記したような形状を有するように形成される。
【００４０】
即ち、図５に示すように、第２ヘッドユニット３００−２内の第１ヘッド３２０−１の噴射ノズル４１０は第１ヘッドユニット３００−１内の第１ヘッド３１０−１の噴射ノズル４００より第１距離ｄ１だけシフトされた位置に形成される。つまり、ヘッドが並ぶ方向における、噴射ノズル４１０の中心と噴射ノズル４００の中心の間の距離は第１距離ｄ１である。また、第ｎヘッドユニット３００−ｎ内の第１ヘッド３３０−１の噴射ノズル４２０は第１ヘッドユニット３００−１内の第１ヘッド３１０−１の噴射ノズル４００より第ｎ−１距離ｄｎ−１だけシフトされた位置に形成される。つまり、ヘッドが並ぶ方向における、噴射ノズル４２０の中心と噴射ノズル４００の中心の間の距離は第ｎ−１距離である。ここで、第ｎ−１距離ｄｎ−１は噴射ノズル間のピッチである１４０μｍより小さい。
【００４１】
従って、前記したような構成を有する第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ）を通じて有機物質が噴射されて母基板２００上には有機物質が印刷される。このとき、有機物質のドロップは互いに重なって印刷されるので、噴射ノズルのピッチである１４０μｍより小さなドロップ間の間隔を有する。
【００４２】
一方、前記したように、第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ）内の第１乃至第ｍヘッドが第１及び第２列に交代に配列される。これは、第１乃至第ｍヘッドを通じて噴射されて母基板２００上に印刷される有機物質のドロップ間の間隔を一定に維持するためである。
【００４３】
もし、第１乃至第ｍヘッドが一つの列に一列に配列される場合は、母基板２００に印刷されるドロップ間の間隔は、隣接するヘッドのケース厚さによって不均一になってしまう。従って、ヘッドのケースの厚さ分だけ各ヘッドの端部が互いにオーバーラップされるように配列する。
［作用］
このように構成される本発明の一実施例による有機膜形成装置の動作を説明する。貯蔵タンク２３０は有機物質を貯蔵し、貯蔵された有機物質を噴射装置２４０に提供する。この時、貯蔵タンク２３０に貯蔵されてから噴射装置２４０を通じて噴射される有機物質は、従来の樹脂板を利用した印刷方式で利用されていた有機物質に比べ、その粘度は低い。
【００４４】
【表１】
2005125326.tif 000003
表１に示されたように、本発明の有機物質は噴射ノズルを通じて噴射されなければならないが、噴射ノズルを通じて噴射可能な粘度は８〜１２ｃｐであり、このうち最適な粘度は８ｃｐである。
【００４５】
噴射装置２４０の第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ）は前記した粘度を有する有機物質を母基板２００上に噴射する。ここで、前述したように、第２乃至第ｎヘッドユニット（３００−２、．．．、３００−ｎ）は第１ヘッドユニット（３００−１）より第１乃至第ｎ−１距離（ｄ１、．．．、ｄｎ−１）分だけシフトされた位置に形成されるので、各ヘッドユニット内の噴射ノズルも前記距離分だけシフトされた位置に形成される。従って、第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ）内の噴射ノズルを通じて噴射される有機物質のドロップは重なって印刷される。
【００４６】
図７は第１乃至第ｎヘッドユニット内の噴射ノズルを通じて噴射された有機物質のドロップパターンを示す図面である。図７に示されたように、第１ヘッドユニット３００−１内の噴射ノズル４００を通じて噴射された第１ドロップ６００−ａ、６００−ｂ、第２ヘッドユニット３００−２内の噴射ノズル４１０を通じて噴射された第２ドロップ６１０−ａ、６１０−ｂ及び第ｎヘッドユニット３００−ｎ内の噴射ノズル４２０を通じて噴射された第ｎドロップ６２０−ａ、６２０−ｂは互いに重なって印刷される。
【００４７】
これを詳しく説明すると、第２ヘッドユニット３００−２内の噴射ノズル４１０から噴射された第２ドロップ６１０−ａ、６１０−ｂは第１ヘッドユニット３００−１内の噴射ノズル４００から噴射された第１ドロップ（６００−ａ、６００−ｂ）より第１距離ｄ１分だけシフトされた形状を有する。即ち、図７中のｘ軸方向において、第１ドロップ６００−ａの中心と第２ドロップ６１０−ａの中心との距離、また、第１ドロップ６００−ｂの中心と第２ドロップ６１０−ｂの中心との距離は第１距離ｄ１である。これは、ヘッドが並ぶ方向において、噴射ノズル４１０の中心と噴射ノズル４００の中心の間の距離は第ｄ１距離であるからである。また、第ｎヘッドユニット３００−ｎ内の噴射ノズル４２０から噴射された第ｎドロップ６２０−ａ、６２０−ｂは、第１ヘッドユニット３００−１内の噴射ノズル４００から噴射された第１ドロップ６００−ａ、６００−ｂより第ｎ−１距離ｄｎ−１分だけシフトされた形状を有する。即ち図７中のｘ軸方向において、第ｎドロップ６２０−ａの中心と第１ドロップ６００−ａの中心との距離、また、第ｎドロップ６２０−ｂの中心と第１ドロップ６００−ｂの中心との距離は、第ｎ−１距離である。これは、ヘッドが並ぶ方向において、噴射ノズル４２０の中心と噴射ノズル４００の中心の間の距離は第ｎ−１距離であるからである。従って、第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ）を通じて噴射された有機物質のドロップは重なって印刷されて、有機物質ドロップ間の間隔が減少される。
【００４８】
ここで、噴射ノズルのピッチが１４０μｍで、１０個のヘッドユニットが一定の距離だけシフトされた位置に形成される場合は、有機物質のドロップ間の間隔は１４μｍまで減少される。
【００４９】
前記したように、本発明の第１実施例は有機物質のドロップ間の間隔が従来に比べて顕著に減少され、既存のフレキソ印刷方式でのドロップ間の間隔と同一になるか、もしくはそれより小さくなる。
【００５０】
従って、有機物質のドロップ間の間隔が非常に小さくなることから、母基板２００の表面状態に対する敏感な影響を受けないため、ＵＶ洗浄の場合は約７０秒程度の洗浄時間を有するノーマル洗浄工程を実施しても、噴射ノズルを通じて噴射されたドロップと母基板２００表面との接触角を４°以下に確保することができる。ここで、母基板２００上に印刷された有機膜の均一性を確保するためには、噴射ノズルを通じて噴射されたドロップと母基板２００の表面との角度である接触角を４°以下に確保しなければならない。
【００５１】
また、本発明の第１乃至第ｎヘッドユニット（３００−１、３００−２、．．．、３００−ｎ）内の噴射ノズルを通じて噴射された有機物質のドロップが重なって印刷されるので、ドロップの乾燥速度を従来の印刷方式より所定時間延ばすことができ、エッジ部で乾燥速度が速すぎてエッジ部に有機物質が集まる現象を防止することができる。これにより、有機膜の厚さはエッジ部でも均一となり、ギャップ不良が発生しない。
［第２実施例］
＜構造と作用＞
次に、本発明の第２実施例について図を用いて詳細に説明する。図８は本発明の第２実施例による有機膜形成装置の構成を概略的に示す図面である。図８に示されたように、本発明の第２実施例による有機膜形成装置は、有機膜印刷方向に対して垂直である母基板２００の一辺に対し、所定の傾きθをなすように形成された噴射装置７００を含み、その他の構成は本発明の第１実施例と等しいので、これに対する詳細な説明は省略することにする。また、本発明の第１実施例と同一の構成には同一番号を付与して説明する。この時、前記所定の傾きθは約±０°〜８９°である。
【００５２】
また、噴射装置７００は複数個の噴射ノズル７１０をそれぞれ有する第１乃至第ｍヘッド（７２０−１、７２０−２、．．．．、７２０−ｍ）を含む。また、噴射装置７００は前記の第１乃至第ｍヘッド（７２０−１、７２０−２、．．．．、７２０−ｍ）をそれぞれ含み、本発明の第１実施例のように配列されて形成される複数個のヘッドユニットを含む。
【００５３】
ここで、噴射装置７００は母基板２００の一辺に対し所定の傾きθをなすように形成されるので、第１乃至第ｍヘッド（７２０−１、７２０−２、．．．．、７２０−ｍ）内の噴射ノズル７１０のピッチが本発明の第１実施例と同一であっても、ステージ２１０が有機膜の印刷方向に移送される時、噴射ノズル７１０を通じて噴射された有機物質のドロップ間の間隔は本発明の第１実施例よりさらに細くなる。具体的に、噴射装置７００の長軸方向が、有機膜印刷方向に対して垂直である母基板２００の一辺に対し、４５°の傾きをなす場合について説明する。ピッチが１４０μｍである噴射ノズル７１０を含む第１乃至第ｍヘッド（７２０−１、７２０−２、．．．．、７２０−ｍ）は、噴射装置７００に含まれるが、この噴射装置７００の長軸方向が、有機膜印刷方向に対して垂直な母基板２００の一辺に対して４５°回転された場合、噴射ノズル７１０を通じて噴射された有機物質のドロップ間の間隔は、図８中の有機膜印刷方向におけるドロップの中心間距離であるから、約９９μｍとなる。
【００５４】
従って、本発明の第２実施例による有機膜形成装置は第１実施例より少ない個数のヘッドユニットでも、噴射装置７００の長軸方向は有機膜印刷方向に対して垂直である母基板２００の１辺に対し傾きθをなすことから、第１実施例と同一にドロップ間の間隔を減少させることができる。また、本発明の第２実施例による有機膜形成装置において、噴射装置が前記の第１乃至第ｍヘッド（７２０−１、７２０−２、．．．．７２０−ｍ）を有し且つ複数個のヘッドユニットを含む場合は、本発明の第１実施例で記述した効果が追加して発揮され、噴射された有機物質のドロップ間の間隔をさらに縮めることができる。
＜第３実施例＞
［構造］
図９は本発明の第３実施例による有機膜形成装置の構成を概略的に示す斜視図で、図１０は図９の平面図である。図９及び図１０に示すように、本発明の第３実施例による有機膜形成装置は、母基板２００と、上部に前記母基板２００が位置するステージ２１０と、前記母基板２００及び前記ステージ２１０を第１有機膜印刷方向に移送させ、前記第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離だけ前記母基板及び前記ステージ２１０をシフトさせた後、第１有機膜印刷方向に対して反対方向である第２有機膜印刷方向に前記母基板及び前記ステージ２１０を移送させる移送装置と８００を含む。この時、母基板２００の上部に近接して位置する噴射装置２４０の内部構成は本発明の第１実施例と同一であるので、それに対する詳細な説明は省略し、同一の構成には同一の番号を付与して説明する。
＜作用＞
前記したように構成される本発明の第３実施例による有機膜形成装置の動作を説明する。先ず、移送装置８００は母基板２００が上部に位置しているステージ２１０を第１有機膜印刷方向に移送させる。その次に、図１０に示すように、第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離ｄだけステージ２１０をシフトさせる。
【００５５】
この時、噴射装置２４０の位置は固定された状態である。ステージ２１０が第１有機膜印刷方向に移送される間は、噴射装置２４０は貯蔵タンク２３０から提供される有機物質を母基板２００に噴射し、第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向へステージ２１０がシフトされる間は、有機物質の噴射を中止する。
【００５６】
続いて、移送装置８００は、第１有機膜印刷方向の反対方向である第２有機膜印刷方向へステージ２１０を移送させる。この時、噴射装置２４０は有機物質を母基板２００上に噴射する。
【００５７】
前記したような移送装置８００の動作によって、母基板２００に噴射された有機物質のドロップは重なって印刷される。
【００５８】
図１１は本発明の第３実施例による有機膜形成装置によって噴射されたドロップのパターンを示す図面である。図１１に示されたように、第１有機膜印刷方向に移送される時点で噴射された第１ドロップ（１０００−ａ、１０００−ｂ）に、ステージ２１０を所定距離ｄだけシフトした後第２有機薄膜印刷方向に移送される時点で噴射された第２ドロップ（１０１０−ａ、１０１０−ｂ）が重なって印刷されている。従って、噴射されたドロップ間の間隔が減少されている。この時、噴射されたドロップ間の間隔は、ステージ２１０のシフト距離ｄを調節することによって調節される。
【００５９】
本発明の第３実施例は、一つのヘッドユニットまたはｎ個より少ない個数のヘッドユニットである場合でも、図４に示された本発明の第１実施例における第１乃至第ｎヘッドユニットによる効果と同等の効果を得ることができる。つまり、第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ一列に配列された複数個の噴射ノズルを含んでおり、この噴射ノズルにより噴射されたドロップは重なって印刷され、そのドロップ間の間隔は噴射ノズル間の間隔と等しい。
【００６０】
一方、有機膜形成のための工程の進行速度を考慮して、前記した移送装置８００の動作は２回以上３回以内が望ましい。
＜形成方法＞
図１２は本発明の第３実施例による有機膜形成装置の有機膜形成方法を実施するためのフローチャートである。ここで、噴射装置２４０、複数の噴射ノズル、移送装置８００は、これらを制御するためのコンピュータ（図示せず）に接続されている。このコンピュータ（図示せず）により、有機膜形成方法のすべての工程は制御され、実施される。
【００６１】
まず、噴射装置２４０は複数の噴射ノズルを通じて有機物質を噴射し、同時に移送装置８００は第１有機膜印刷方向にステージ２１０を移送させる（Ｓ１１００）。第１有機膜印刷方向への有機膜印刷が完了すると（Ｓ１１１０）、噴射装置２４０は有機物質の噴射を中止する（Ｓ１１２０）。
【００６２】
続いて、移送装置８００は第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向にステージ２１０を所定距離ｄだけシフトさせる（Ｓ１１３０）。次に、噴射装置２４０は噴射ノズルを通じて有機物質を噴射し、これと同時に移送装置８００は第１有機膜印刷方向の反対方向である第２有機膜印刷方向にステージ２１０を移送させ（Ｓ１１４０）、第２有機膜印刷方向への有機膜印刷が完了すると（Ｓ１１５０）、有機膜印刷工程を終了する。
【００６３】
一方、噴射されたドロップ間の間隔をより減少させるために、前記の動作を２回以上繰り返すことが望ましいが、有機膜形成工程の進行速度を考慮すると、前記の動作は２回以上３回以内が望ましい。
［第４実施例］
＜構造＞
図１３は本発明の第４実施例による有機膜形成装置の構成を概略的に示す平面図である。図１３に示すように、本発明の第４実施例による有機膜形成装置は、母基板２００と、ステージ２１０と、噴射装置１２００とを含む。ここで、噴射装置１２００は、第１有機膜印刷方向、第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向及び第１有機膜印刷方向の反対方向である第２有機膜印刷方向に移動しながら、母基板２００上に有機物質を噴射する。その他の構成は本発明の第１実施例と同一であるので、これに対する詳細な説明は省略する。また、同一の構成に対しては本発明の第１実施例と同一の番号を付与して説明する。
【００６４】
前記噴射装置１２００は第１実施例のように第１乃至第ｍヘッドを有する一つのヘッドユニットのみを含むか、または第１乃至第ｎヘッドユニットを含む。
＜作用＞
前記したように構成される本発明の第４実施例による有機膜形成装置の動作を説明する。
【００６５】
噴射装置１２００は第１有機膜印刷方向に移動しながら、母基板２００上に有機物質を噴射する。１次有機膜印刷を実施した後、図１３中に点線で表示しているように第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離ｄだけ移動する。そして、噴射装置１２００は、第１有機膜印刷方向の反対方向である第２有機膜印刷方向に移動しながら、噴射ノズルを通じて母基板２００上に有機物質を噴射して２次有機膜印刷を実施する。ここで、噴射装置１２００が動作している間は、移送装置２２０は固定された状態である。
【００６６】
噴射装置１２００の動作によって母基板２００に噴射された有機物質のドロップは、図１１のように重なって印刷される。従って、噴射されたドロップ間の間隔が減少される。この時、噴射されたドロップ間の間隔は噴射装置１２００が第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に移動する所定距離ｄを調節することによって調節される。
【００６７】
本発明の第４実施例は、一つのヘッドユニットまたはｎ個より少ない個数のヘッドユニットである場合でも、図４に示された本発明の第１実施例における第１乃至第ｎヘッドユニットによる効果と同等の効果を得ることができる。つまり、第１乃至第ｎヘッドユニットはそれぞれ一列に配列された複数個の噴射ノズルを含んでおり、この噴射ノズルにより噴射されたドロップは重なって印刷され、そのドロップ間の間隔は噴射ノズル間の間隔と等しい。
＜形成方法＞
このように構成されて動作する本発明の第４実施例による有機膜形成装置の有機膜形成方法について、図１４を用いて以下に説明する。
【００６８】
図１４は本発明の第４実施例による有機膜形成方法を実施するためのフローチャートである。ここで、噴射装置１２００、複数の噴射ノズルは、これらを制御するためのコンピュータ（図示せず）に接続されている。このコンピュータ（図示せず）により、有機膜形成方法のすべての工程は制御され、実施される。
【００６９】
噴射装置１２００は、第１有機膜印刷方向に移動しながら複数の噴射ノズルを通じて母基板２００上に有機物質を噴射する（Ｓ１３００）。第１有機膜印刷方向への有機膜印刷が完了すると（Ｓ１３１０）、噴射装置１２００は有機物質の噴射を中止する（Ｓ１３２０）。
【００７０】
続いて、噴射装置１２００は、第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離ｄだけ移動する（Ｓ１３３０）。次に、噴射装置１２００は、第１有機膜印刷方向の反対方向である第２有機膜印刷方向に移動しながら噴射ノズルを通じて有機物質を噴射する（Ｓ１３４０）。第２有機膜印刷方向への有機膜印刷が完了すると（Ｓ１３５０）、有機膜印刷工程を終了する。
【００７１】
一方、噴射されたドロップ間の間隔をより減少させるために、前記の動作を２回以上繰り返すことが望ましいが、有機膜形成工程の進行速度を考慮すると、前記の動作は３回以内が望ましい。
［まとめ］
上述したように、本発明による有機膜形成装置は、第１ヘッドユニット及び第１ヘッドユニットに対して所定距離だけシフトされた位置に形成される第２乃至第ｎヘッドユニットを含む。
【００７２】
従って、本発明の実施例１では、第１乃至第ｎヘッドユニットの噴射ノズルを通じて噴射された有機物質のドロップは互いに重なって印刷され、ドロップ間の間隔を既存の樹脂板印刷方式によるドロップ間の間隔だけ縮めることができる。
【００７３】
また、本発明の実施例２では、ヘッドを含む噴射装置の長軸方向を、有機膜印刷方向に垂直な母基板の一辺に対して所定の傾きをなすように形成することにより、ヘッドユニットの数が少なくてもドロップ間の間隔を減少させることができる。
【００７４】
また、本発明の実施例３では、母基板が位置したステージを、先ずは第１印刷方向に移動させながら噴射ノズルを通じて有機物質を噴射させ、ステージを第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離移動させた後、ステージを第１印刷方向の反対方向である第２有機膜印刷方向に移動させながら噴射ノズルを通じて有機物質を噴射させる。これにより、噴射ノズルを通じて噴射されたドロップが互いに重なって印刷される。
【００７５】
また、本発明の実施例４では、噴射装置を、先ずは第１印刷方向に移動させながら噴射ノズルを通じて有機物質を噴射させ、第１有機膜印刷方向に対して垂直な方向に所定距離移動させた後、第１印刷方向の反対方向である第２有機膜印刷方向に移動させながら噴射ノズルを通じて有機物質を噴射させる。これにより、噴射装置の噴射ノズルを通じて噴射されたドロップが互いに重なって印刷される。
【００７６】
これらの方法により、ドロップ間の間隔を減少させることができ、母基板の表面状態に対する敏感な影響を受けず、ノーマル洗浄工程を実施した母基板上でも有機膜の均一性を確保することができる。
【００７７】
また、ドロップが互いに重なって印刷されるので、粘度が低い有機物質であっても乾燥速度をある程度遅延させることができ、エッジ部に有機物質が集まる現象を防止することができる。これにより、均一なセルギャップを確保することができる。
【００７８】
以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】従来技術による噴射方式によって噴射されたドロップパターンの図面
【図２】従来技術によるフレキソ印刷方式によって印刷されたドロップパターンの図面
【図３】本発明の第１実施例による有機膜形成装置の概略図
【図４】図３に示された噴射装置の詳細な構成図
【図５】図４に示されたヘッドの平面図
【図６】図４に示されたヘッドの断面図
【図７】第１乃至第ｎヘッドユニット内の噴射ノズルを通じて噴射された有機物質のドロップパターンを示す図面
【図８】本発明の第２実施例による有機膜形成装置の構成の概略図
【図９】本発明の第３実施例による有機膜形成装置の構成の概略的な斜視図
【図１０】図９の平面図
【図１１】本発明の第３実施例による有機膜形成装置によって噴射されたドロップのパターンを示す図面
【図１２】本発明の第３実施例による有機膜形成装置の有機膜形成方法を実施するためのフローチャート
【図１３】本発明の第４実施例による有機膜形成装置の構成の概略的な平面図
【図１４】本発明の第４実施例による有機膜形成方法を実施するためのフローチャート
【符号の簡単な説明】
【００８０】
２００      母基板
２１０      ステージ
２２０      移送装置
２３０      貯蔵タンク
２４０、７００、１２００      噴射装置
３００−１、．．．、３００−ｎ      第１乃至第ｎヘッドユニット
３１０−１、．．．、３１０−ｍ      第１乃至第ｍヘッド
４００、４１０、４２０      噴射ノズル
５００  圧電素子
６００  ドロップ
８００  移送装置
【図１】
2005125326.tif 000004
【図２】
2005125326.tif 000005
【図３】
2005125326.tif 000006
【図４】
2005125326.tif 000007
【図５】
2005125326.tif 000008
【図６】
2005125326.tif 000009
【図７】
2005125326.tif 000010
【図８】
2005125326.tif 000011
【図９】
2005125326.tif 000012
【図１０】
2005125326.tif 000013
【図１１】
2005125326.tif 000014
【図１２】
2005125326.tif 000015
【図１３】
2005125326.tif 000016
【図１４】
2005125326.tif 000017