(57)【要約】      （修正有）【課題】平行平面研磨盤のラップ定盤の平面精度を向上させ、定盤修正に費やす時間を短縮する。【解決手段】上下ラップ定盤１２，１３と同一内外径の修正中定盤１６を揺動及び回転させる従来の修正方法に対し、上下ラップ定盤及び修正中定盤に電圧を印加し電流を供給することにより、電解ドレッシングを用いた研削・研磨加工方法を附加させることで、短時間での定盤修正と砥石等の加工面のドレッシングを可能とする。【選択図】図１
2005111646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平面内に組み込まれた太陽歯車と内歯歯車の間に、被加工物を保持する複数個のキャリアを等間隔に配置させて被加工物を挿入した後、上ラップ定盤を下降させて下ラップ定盤と挟み込んだ状態で、導電性ラップ剤を供給しつつキャリアの遊星運動と上下ラップ定盤の相対的な回転運動を同時に行う平行平面研磨装置において、被加工物を加工することによる上下ラップ定盤の加工面の平面精度低下を補正する修正作業で、太陽歯車より大きく内歯歯車より小径の上下面が修正作業を行うことが出来る中定盤において、修正作業時、上ラップ定盤及び下ラップ定盤の対向する面及び中定盤に通電することにより、上下ラップ定盤のそれぞれの加工面を平坦に修正すると共に電解ドレッシングにより定盤面の目つまり及び目つぶれを修正除去し、初期の状態に修正することを特徴とする定盤修正方法。
【請求項２】
前記請求項１において、上下ラップ定盤の加工面が砥石であることを特徴とする研磨装置の定盤修正方法。
【請求項３】
前記請求項１及び２において、上下ラップ定盤の材質に合わせ修正中定盤の材質を変更でき、また中定盤の揺動距離も上下ラップ定盤の変形の具合により変えることが可能とすることを特徴とする研磨装置のラップ定盤修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は金属、ガラス、水晶、シリコンその他種々の材料の表面を両面同時に研磨する平行平面研磨装置のラップ定盤修正方法及び修正装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  平面研磨盤によるワークの加工は、ラップ定盤の精度をワークに転写する技術なので、ラップ定盤を常に高精度な平面に維持する必要がある。そこでラップ定盤の精度を常に管理し必要に応じて修正キャリアと呼ばれる円輪状の３個以上の歯車をラップ定盤外周部に位置する内歯歯車及びラップ定盤内周部に位置する太陽ギアに等分に噛み合わせて、修正キャリアに自転及び公転の遊星運動を与へ、加工液にと粒を混合し撹拌分散させたラップ剤を供給しつつ、また３面相互共摺りの理論を応用し修正キャリア自体を一定時間毎に反転及び配置換の技術により、ラップ定盤及び修正キャリア面を共摺りにより平面に近づけていく。【０００３】  しかしこのラップ定盤修正方法は、内歯歯車と太陽歯車の回転比を定盤の平面を維持する適正比率に保っても、下ラップ定盤の回転数の設定変更により、と粒と加工液を混合したラップ剤に働く遠心力の変化または加工液の粘度の変化によりラップ剤の流れが変わり、ラップ定盤面にと粒濃度ムラを発生させ平面度の向上にならないばかりか多くの時間を必要とする。【０００４】  そこで、ラップ定盤の短時間修正方法として、特開平２−１３９１７１公報に示されているバイトを移動させることによる切削で定盤の加工面の平面精度の向上を計る従来からの方法もあるが、バイトを固定及び移動するボールスクリュウの両端面を支える軸受けの高さを同寸法とすることが困難なため、平面度の向上にならない。【０００５】  そこで、平面研磨盤のラップ定盤修正に従来より使われていた実公平６−５０１２６号公報による三面共摺りを応用した修正中定盤によるラップ定盤修正作業に電解ドレッシングと言われる研削法である特許第３２３３９５４号を附加し、上下ラップ定盤及び修正中定盤に電圧を印加し電性の加工液へと粒を混合したラップ剤をラップ定盤修正作業面に供給しつつ、上下ラップ定盤及び修正用中定盤を共摺りによる修正作業へ電解ドレッシングを用いた研削・研磨加工によるラップ定盤修正により、能率及び精度の向上を目指す。
【特許文献】  実公平６−５０１２６
【特許文献】  特開平２−１３９１７１
【特許文献】  特許第３２３３９５４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  近年、半導体デバイス業界においては、高集積化、低価格化が要求されている。また、ガラス、液晶パネル等においても同様な状況になっている。そのため、被加工物も、大口径化、高精度化、コスト低減等要求は厳しくなっている。それに伴い大型加工装置による対応がなされてきた。しかしながら、これ以上の大型化は、設備関係、維持関係等による面積生産性からも限界に近い。そのため、現状の装置による生産能力及び精度の向上による解決が必要となる。つまり、加工能率の向上及び高精度が可能な研磨装置の要求がされている。【０００７】  そのためには、本修正中定盤によるラップ定盤の修正によれば平行平面研磨盤のラップ定盤の平面精度を向上させ、定盤修正に費やす時間を短縮し、以前に比べはるかに高能率、高精度の研磨加工がなされているが、まだまだ要求はみたしていない。それは、上下ラップ定盤の修正に費やす時間が長く、その間ワークの研磨加工が出来ないためである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】  そこで上記課題を解決するために本発明は、上下定盤間で修正中定盤を把持し太陽歯車及び内歯歯車で修正中定盤を揺動及び回転させる従来のラップ定盤修正方法へ、上ラップ定盤より導電性の加工液を滴下しつつ上下ラップ定盤及び修正中定盤に電圧を印加し、それぞれに電流を供給し電解ドレッシングを用いた研削・研磨加工を附加することにより、上下ラップ定盤の加工面及び修正中定盤を電解ドレッシングをおこないながら上下ラップ定盤の加工面と修正中定盤修正作業面を共摺りにより平坦に研磨修正することを特徴とする電解ドレッシングを用いたラップ定盤修正方法が提供される。【０００９】  つまり、三面共摺りの原理より生まれた上下ラップ定盤と同一内外径の中定盤を揺動及び回転させる従来の修正中定盤による修正方式に対し、上下ラップ定盤及び修正中定盤に電圧を印加し電流を供給することにより、電解加工及びドレッシングを付加されることで、短時間でのラップ定盤修正と砥石等の加工面のドレッシングを可能とした複合研磨盤となる。
【発明の効果】
【００１０】  以上述べたように、本発明の修正中定盤によるラップ定盤修正方式は、上下ラップ定盤及び修正中定盤に電圧を印加し電流を供給することにより、電解加工及びドレッシングを付加されることで、短時間でのラップ定盤修正と砥石等の加工面のドレッシングを可能とする複合研磨盤となる。したがって、より高能率、高精度の効果が見込まれて、遊星歯車運動式による２、３ウェイ式または回転揺動運動式による平行平面研磨装置にも同様な効果が見込まれる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】  以下、本発明に係る平面研磨装置について図面を参照しながら説明する。
【実施例】
【００１２】  図１は、本発明の実施形態の要部を示す断面図であり、１２は上ラップ定盤、１１は修正中定盤、１３は下ラップ定盤、３０はそれぞれに電圧を印加し、電流を供給するための電源である。上ラップ定盤１２に設けられた図示されていない加工液供給系から加工液を供給しつつ、下ラップ定盤１３、上ラップ定盤１２にそれぞれ回転を与え、所定の回転をする太陽歯車１４及び内歯歯車１５に噛み合う修正中定盤１１に回転および揺動等それぞれ所定の運動を与えることにより修正面１７へ電解ドレッシングを附加し上ラップ定盤１２及び下ラップ定盤１３の加工面を平坦に研磨修正することを特徴とする研磨装置である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明による上下ラップ定盤及び修正中定盤に電圧を印加し電流を供給することにより、電解加工及びドレッシングを付加されたラップ定盤修正法を示す概略断面図。
【図２】従来の修正中定盤による方法を示す断面図である。
【図３】従来のバイト機構例による方法を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００１４】１０  ラップ盤本体
１１  修正中定盤
１２  上ラップ定盤
１３  下ラップ定盤
１４  太陽歯車
１５  内歯歯車
１６  中定盤本体
１７  修正面
１８  空間部
１９  支持部材
２０  支持部材
２１  リング
２２  支持軸
２３  案内溝
２４  円形の凹み
２５  歯車収容部
２６  偏心駆動歯車
２７  偏芯軸
２８  給電板
２９  ブラシ
３０  電源
３１  電極
３２  加工物セット
３３  摺動式切削バイト機構
【図１】
2005111646.tif 000003
【図２】
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【図３】
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