(57)【要約】【課題】  ガス操作パネルの作業性を損なうことなく、ガス操作パネルに設けられた手動弁の誤操作をより確実に防止することができるガス操作パネルを提供する。【解決手段】  定常運転時に開閉操作を行う少なくとも１個のガス導入用手動弁２１と、非定常運転時に開閉操作を行う少なくとも１個のパージ用手動弁２７とを有するガス操作パネル１０において、定常運転時に開閉操作を行うガス導入用手動弁２１における弁軸の軸線方向と、非定常運転時に開閉操作を行うパージ用手動弁２７における弁軸の軸線方向とを異なる方向に向けて配設する。【選択図】  図１
2005321052.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定常運転時に開閉操作を行う少なくとも１個の手動弁と、非定常運転時に開閉操作を行う少なくとも１個の手動弁とを有するガス操作パネルにおいて、定常運転時に開閉操作を行う前記手動弁における弁軸の軸線方向と、非定常運転時に開閉操作を行う前記手動弁における弁軸の軸線方向とを異なる方向に向けて配設したことを特徴とするガス操作パネル。
【請求項２】
前記定常運転時に開閉操作を行う手動弁における弁軸の軸線方向がパネル面に対して直交する方向に設置され、前記非定常運転時に開閉操作を行う手動弁における弁軸の軸線方向がパネル面に対して平行な方向に設置されていることを特徴とする請求項１記載のガス操作パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス操作パネルに関し、詳しくは、ガス分離装置、ガス精製装置、ガス除害装置等の各種ガス使用設備にガスの流量や圧力、温度等を制御して供給するための複数の機器や弁を集積配置したガス操作パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガスを使用する様々な設備にガスを供給するための設備として、ガス管路に設けられる流量制御器や流量計、圧力制御器や圧力計、温度制御器や温度計等の各種機器、ガスの流通や遮断を制御するための複数の自動弁、手動弁を集積配置したガス操作パネルが知られている。従来のガス操作パネルは、ガスの流れや各種機器及び弁の操作性、ガス操作パネルの小型化を考慮して各種機器及び弁を配置している（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平１０−１６９８８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述のようなガス操作パネルでは、複数設けられている手動弁のなかで、ガス使用設備やガス操作パネル自体、あるいは、ガス供給側設備の保守作業時にのみ開閉操作を行う手動弁がいくつか必ず設けられている。このような手動弁は、定常運転時は常に開又は閉に固定されている必要があり、定常運転時に開閉操作を行うとガス使用設備の運転等に悪影響を及ぼしてしまう。
【０００４】
このような誤操作を回避するため、定常運転時に開閉操作を行うことが禁じられている手動弁には、弁本体や操作ハンドルに定常運転時に操作する手動弁とは異なる着色を施したり、開又は閉の札を付けたり、ブラインド栓等を設けたりするようにしている。
【０００５】
しかし、手動弁を操作するときに、着色を確認したり、札の有無を確認したり、ブラインド栓を取り外したりする必要があることから作業性を損なうことがあり、さらに、札を付ける場合では、異なる手動弁に付けないように細心の注意を払う必要があった。
【０００６】
そこで本発明は、ガス操作パネルの作業性を損なうことなく、ガス操作パネルに設けられた手動弁の誤操作をより確実に防止することができるガス操作パネルを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明のガス操作パネルは、定常運転時に開閉操作を行う少なくとも１個の手動弁と、非定常運転時に開閉操作を行う少なくとも１個の手動弁とを有するガス操作パネルにおいて、定常運転時に開閉操作を行う手動弁における弁軸の軸線方向と、非定常運転時に開閉操作を行う手動弁における弁軸の軸線方向とを異なる方向に向けて配設したことを特徴としている。
【０００８】
さらに、本発明のガス操作パネルは、前記定常運転時に開閉操作を行う手動弁における弁軸の軸線方向がパネル面に対して直交する方向に設置され、前記非定常運転時に開閉操作を行う手動弁における弁軸の軸線方向がパネル面に対して平行な方向に設置されていることを特徴とし、前記非定常運転時とは、該ガス操作パネル、あるいは、該ガス操作パネル接続されたガス使用設備又はガス供給設備の保守作業時であることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のガス操作パネルによれば、定常運転時に開閉操作を行うことが禁じられており、非定常運転時にのみ開閉操作を行う手動弁の弁軸の軸線方向が、定常運転時に開閉操作を行う手動弁の弁軸の軸線方向とは異なっているので、手動弁の開閉操作部、例えばハンドルの向きを見るだけで手動弁の機能を判別することができ、操作方向が両者で全く異なることから、非定常運転時にのみ開閉操作を行う手動弁を定常運転時に開閉操作してしまう誤操作を確実に防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図は本発明のガス操作パネルの一形態例を示すもので、図１は正面図、図２は側面図、図３は配管系統図である。
【００１１】
まず、図３に示すように、このガス操作パネル１０は、半導体製造装置等から排ガス管路１１に排出された排ガスを反応筒１２で処理するガス処理装置に付設されたものであって、排ガス管路１１を流れる排ガスに添加するガス（添加ガス）を所定圧力、所定流量に制御して供給するように形成されている。ガス操作パネル１０のガス管路１３には、ガス流れの上流側から順に、ガス導入用手動弁２１、圧力計２２、圧力制御器２３、流量制御器２４、自動弁２５、逆止弁２６が設けられている。
【００１２】
さらに、ガス導入用手動弁２１と圧力計２２との間から分岐したパージ用分岐管路１４には、パージ操作時に使用するためのパージ用手動弁２７が設けられている。また、反応筒１２の入口側管路１１ａ及び出口側管路１１ｂには、反応筒１２の前後を封止するための手動弁２８ａ，２８ｂがそれぞれ設けられている。
【００１３】
定常運転時は、全ての手動弁が閉じられている停止状態からガス処理装置の運転を開始するときは、ガス導入用手動弁２１、手動弁２８ａ，２８ｂをそれぞれ全開状態にするとともに、圧力制御器２３で添加ガスの圧力を、流量制御器２４で添加ガスの流量を、それぞれ設定値に調節し、排ガス管路１１を流れる排ガスに所定圧力、所定流量で添加ガスを添加混合する。
【００１４】
これにより、排ガス管路１１を流れる排ガスに添加ガスが添加され、両ガスが混合した状態で反応筒１２に流入し、所定の処理が行われて反応筒１２から流出する。反応筒１２での処理を停止する運転終了時には、ガス導入用手動弁２１、手動弁２８ａ，２８ｂをそれぞれ全閉状態にする。
【００１５】
したがって、定常運転時には、ガス操作パネル１０に設けられている２個の手動弁の内、ガス導入用手動弁２１のみを開閉操作するとともに、反応筒１２の前後に設けた手動弁２８ａ，２８ｂを開閉操作することになり、パージ用手動弁２７は常に全閉状態となっている。このとき、パージ用手動弁２７を開くと、添加ガスがパージ用手動弁２７から系外に流出することになり、添加ガスが排ガスに添加されなくなってしまう。なお、自動弁２５は、反応筒１２の過熱等の異常時に自動的に閉じられるもので、正常時は常に全開状態となっている。
【００１６】
一方、圧力計２２、圧力制御器２３、流量制御器２４、自動弁２５、逆止弁２６の点検や交換、反応筒１２の交換等の保守作業を行う非定常運転時には、パージ用分岐管路１４にパージガス供給源や真空ポンプ等を接続し、パージ用手動弁２７を開いてパージガスの供給や系内の真空引きを行い、保守作業開始時に系内から添加ガスをパージしたり、保守作業終了時に系内からの大気成分のパージを行ったりする。このとき、通常は、ガス導入用手動弁２１、手動弁２８ａ，２８ｂは全閉状態のままとされているが、必要に応じてこれらを開閉することにより、ガス操作パネル１０の前後の管路内をパージすることができる。
【００１７】
このように、定常運転時に開閉操作を行うガス導入用手動弁２１と、非定常運転時に開閉操作を行うパージ用手動弁２７とを有するガス操作パネル１０において、図１及び図２に示すように、ガス導入用手動弁２１は、他の弁や機器、すなわち、圧力計２２、圧力制御器２３、流量制御器２４、自動弁２５、逆止弁２６や、手動弁２８ａ，２８ｂと同じ方向に突出するように設けられており、その弁軸の軸線方向がパネル面１０ａに対して直交する方向に設置されているのに対し、パージ用手動弁２７は、パージ用分岐管路１４をパネル面１０ａに対して直交する方向に屈曲させることにより、パージ用手動弁２７の弁軸の軸線方向がパネル面１０ａに対して平行な方向を向くように設置されている。
【００１８】
したがって、本形態例では、定常運転時に開閉操作を行うガス導入用手動弁２１や手動弁２８ａ，２８ｂは、パネル面１０ａに向かって正面から開閉操作を行うように設置され、非定常運転時に開閉操作を行うパージ用手動弁２７は、下方を向いて開閉操作を行うように設置されているため、定常運転時に開閉操作を行う手動弁と非定常運転時に開閉操作を行う手動弁とを明確に判別することができ、操作方向が両者で全く異なることから、非定常運転時にのみ開閉操作を行うパージ用手動弁２７を定常運転時に開閉操作してしまう誤操作を確実に防止できる。
【００１９】
なお、定常運転時に開閉操作を行う手動弁における弁軸の軸線方向と、非定常運転時に開閉操作を行う手動弁における弁軸の軸線方向との相互の方向は任意であり、例えば、前記形態例において、パージ用分岐管路１４を下方に直線状に延ばしてパージ用手動弁２７のハンドルが左又は右を向くようにしてもよく、パージ用分岐管路１４を手前側ではなく左右方向に屈曲させてパージ用手動弁２７のハンドルが上又は下を向くようにしてもよい。さらに、一方の軸線方向に対して他方の軸線方向を上下左右のいずれかの方向に傾斜させるようにするだけでもよい。
【００２０】
また、ガス操作パネルに設置する機器及び弁は、排ガスの処理を行う反応筒のようなガス使用設備におけるガス使用条件に応じて選択されるものであって、ガス管路の設置数も１本に限らず、複数本を備えていてもよい。また、機器や弁としては、圧力、流量の他、温度、組成（濃度）といったガス供給条件に応じた各種機器や弁（自動弁、手動弁）を設置することができる。さらに、通常は不要であるが、非定常運転時に開閉操作を行う手動弁に、従来と同様に他の手動弁とは異なる着色を施したり、開又は閉の札を付けたり、ブラインド栓等を設けたりするようにして、誤操作をより確実に防止するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明のガス操作パネルの一形態例を示す正面図である。
【図２】同じく側面図である。
【図３】同じく系統図である。
【符号の説明】
【００２２】
１０…ガス操作パネル、１０ａ…パネル面、１１…排ガス管路、１１ａ…入口側管路、１１ｂ…出口側管路、１２…反応筒、１３…ガス管路、１４…パージ用分岐管路、２１…ガス導入用手動弁、２２…圧力計、２３…圧力制御器、２４…流量制御器、２５…自動弁、２６…逆止弁、２７…パージ用手動弁、２８ａ，２８ｂ…手動弁
【図１】
2005321052.tif 000003
【図２】
2005321052.tif 000004
【図３】
2005321052.tif 000005