(57)【要約】【課題】  ダイヤフラムの寿命と摺動部材の摺動面の密着性を向上させたメカニカルシールを得る。【解決手段】  ダイヤフラム４８を、内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂの２層構造とし、内側ダイヤフラム４８Ａをフッ素樹脂で形成して、外側ダイヤフラム４８Ｂを耐食性ゴムで形成し、内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂをそれぞれフリーの状態にしている。これにより、外側ダイヤフラム４８Ｂを形成する耐食性ゴムの弾性力を十分に活かし、固定側摺動部材５０を回転側摺動部材５６側へ押圧する押圧力を向上させ、固定側摺動部材５０と回転側摺動部材５６の摺動面の密着性を向上させることができる。また、エッチング処理槽１０の内側に位置する内側ダイヤフラム４８Ａをフッ素樹脂で形成することで、ダイヤフラム４８の腐食を防止し、寿命を延ばすことができる。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成された円盤状のゴムシートと、
前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成され、前記ゴムシートに重ね合わされる円盤状の耐食性シートと、
前記ゴムシートと前記耐食性シートの外周縁部及び内周縁部を接着する接着剤と、
を有することを特徴とするダイヤフラム。
【請求項２】
前記ゴムシートと前記耐食性シートの非接着部に中空部が設けられたことを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラム。
【請求項３】
前記耐食性シートがポリテトラフルオロエチレンであることを特徴とする請求項１又は２に記載のダイヤフラム。
【請求項４】
薬液が貯留された処理槽の軸孔を貫通する回転軸に装着されて、前記回転軸と共に回転する回転側摺動部材と、
前記回転側摺動部材に面接触するように配置された固定側摺動部材と、
円盤状に形成され、内周縁部が前記固定側摺動部材に固定されて、外周縁部が前記処理槽に固定され、前記軸孔をシールすると共に、前記処理槽に貯留された薬液の液圧によって前記固定側摺動部材を前記回転側摺動部材側へ押圧するダイアフラムと、
を備え、
前記ダイヤフラムが、
前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成された円盤状のゴムシートと、
前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成され、前記ゴムシートに重ね合わされる円盤状の耐食性シートと、
前記ゴムシートと前記耐食性シートの外周縁部及び内周縁部を接着する接着剤と、
で構成されたことを特徴とするメカニカルシール。
【請求項５】
前記回転軸と前記処理槽の側壁とが水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態であることを特徴とする請求項４に記載のメカニカルシール。
【請求項６】
前記回転軸の外周面が平滑であることを特徴とする請求項４又は５に記載のメカニカルシール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薬液が貯留された処理槽内に配設された回転軸に用いられるダイヤフラム及びダイヤフラムを用いたメカニカルシールに関する。
【背景技術】
【０００２】
印刷版用金属板、例えば、アルミニウムの薄板（以下「ウェブ」という）は、表面が粗面化処理され、塗布工程、乾燥工程等の処理工程を経た後、感光性平版印刷版となる。
【０００３】
ところで、処理工程の中には、処理槽内において処理液を噴霧状態でウェブにスプレーするものがあり、処理槽内には、ウェブを搬送する搬送ロールが配置され、搬送ロールの軸部は処理槽の側壁を貫通する軸孔から外側に突出し軸支されている。
【０００４】
例えば、図５に示すように、処理槽１１２の軸孔１００にダイヤフラム１０２が固定されており、このダイヤフラム１０２には固定側摺動部材１０４が設けられている。一方、軸部１０６には、この固定側摺動部材１０４に対面して回転側摺動部材１０８が取付けられている。
【０００５】
この回転側摺動部材１０８には、ダイヤフラム１０２によって処理槽１１２の外側へ面圧を受けた固定側摺動部材１０４が水密状態で面接触しており、回転側摺動部材１０８は固定側摺動部材１０４に対して摺動回転する。
【０００６】
このようなメカニカルシール１１０では、処理槽１１２に処理液が貯留されているときには、摩耗等の問題は発生しないが、噴霧状態やドライ状態の処理槽の場合、回転側摺動部材１０８と固定側摺動部材１０４の材質が、いずれも炭化珪素（ＳＩＣ）であると、摩擦によって密着（リッキング）してしまい、メカニカルシール１１０の寿命が短くなる。
【０００７】
このため、特許文献１では、回転側摺動部材１０８及び固定側摺動部材１０４において、互いに異なる材質を組み合せることで、処理槽１１２内が噴霧状態やドライ状態のような使用環境状態であっても、回転側摺動部材１０８及び固定側摺動部材１０４の摩耗が少なく、メカニカルシール１１０の寿命が延びるようにしている。
【０００８】
しかしながら、特許文献１によって、メカニカルシール１１０の寿命を延長させることはできるが、回転側摺動部材１０８及び固定側摺動部材１０４の摺動面の密着性の向上という観点では、言及されていない。
【０００９】
例えば、酸、アルカリの薬液のメカニカルシールに用いるダイヤフラムでは、ダイヤフラムの材質として耐食性の高いゴム（バイトンゴム、ＥＰＤＭ等）を使用するが、テフロン（登録商標）等のフッ素樹脂と比較すると耐食性が低く、ダイヤフラムの寿命が大幅に短くなってしまう。
【００１０】
しかし、テフロン（登録商標）の場合、ゴムに対して弾性力、反発力、搬送ロールと処理槽の芯ズレや偏芯に対する許容量が著しく小さいため、その結果、回転側摺動部材１０８及び固定側摺動部材１０４の摺動面の密着性が低下し、液洩れの原因となってしまう。
【００１１】
また、テフロン（登録商標）の耐食性とゴムの弾性力を併せ持つ性質のダイヤフラムとしてテフロン（登録商標）コーティングをした耐食性ゴムがあるが、コーティングの場合、テフロン（登録商標）の層が薄いため、目に見えない傷やピンホールによって、薬液が内部に浸透し、ゴムが腐食される恐れがある。
【００１２】
一方、コーティングよりもテフロン（登録商標）を厚くする方法として、テフロン（登録商標）シートとゴムを全面接着させたものがあるが、テフロン（登録商標）の硬さに加え、ダイヤフラムの厚みが増すことにより、ゴムの弾性力（反発力）が相殺され、回転側摺動部材１０８及び固定側摺動部材１０４の摺動面の密着性が低下してしまう。
【特許文献１】特開２０００−２５０９３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記事実を考慮して、ダイヤフラムの寿命と摺動部材の摺動面の密着性を向上させたメカニカルシールを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１に記載の発明は、ダイヤフラムにおいて、回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成された円盤状のゴムシートと、前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成され、前記ゴムシートに重ね合わされる円盤状の耐食性シートと、前記ゴムシートと前記耐食性シートの外周縁部を接着する接着剤と、を有することを特徴としている。
【００１５】
請求項１に記載の発明では、円盤状のゴムシートに、円盤状の耐食性シートを重ね合わせ、ゴムシートと耐食性シートの外周縁部及び内周縁部を接着剤で接着している。つまり、外周縁部及び内周縁部以外では、ゴムシートと耐食性シートは互いに接着されていないため、フリーの状態である。
【００１６】
このため、ゴムシートと耐食性シートとは、それぞれ独立した状態で移動することが可能となり、ゴムシートの弾性力を十分に活かすことができる。また、ゴムシートに耐食性シートを重ね合わせることで、ダイヤフラムの耐食性を向上させ、寿命を長くすることができる。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のダイヤフラムにおいて、前記ゴムシートと前記耐食性シートの非接着部に中空部が設けられたことを特徴としている。
【００１８】
請求項２に記載の発明では、ゴムシートと耐食性シートの非接着部に中空部を設けることで、ゴムシート又は耐食性シートの移動時に、他方を追従させることなく、独立した状態で移動させることができる。
【００１９】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のダイヤフラムにおいて、前記耐食性シートがポリテトラフルオロエチレンであることを特徴としている。
【００２０】
請求項３に記載の発明では、耐食性シートをポリテトラフルオロエチレンで形成している。ポリテトラフルオロエチレンは、例えば、テフロン（登録商標）が挙げられ、薬液に対する耐食性が高いため、薬液に浸漬した状態で使用しても腐食し難い。但し、ゴムシートの弾性力を活かすには、テフロン（登録商標）の肉厚は薄い方が良い。
【００２１】
請求項４に記載の発明は、メカニカルシールにおいて、薬液が貯留された処理槽の軸孔を貫通する回転軸に装着されて、前記回転軸と共に回転する回転側摺動部材と、前記回転側摺動部材に面接触するように配置された固定側摺動部材と、円盤状に形成され、内周縁部が前記固定側摺動部材に固定されて、外周縁部が前記処理槽に固定され、前記軸孔をシールすると共に、前記処理槽に貯留された薬液の液圧によって前記固定側摺動部材を前記回転側摺動部材側へ押圧するダイアフラムと、を備え、前記ダイヤフラムが、前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成された円盤状のゴムシートと、前記回転軸が貫通する貫通孔が中央に形成され、前記ゴムシートに重ね合わされる円盤状の耐食性シートと、前記ゴムシートと前記耐食性シートの外周縁部及び内周縁部を接着する接着剤と、で構成されたことを特徴としている。
【００２２】
請求項４に記載の発明では、薬液が貯留された処理槽に形成された軸孔を貫通する回転軸には回転側摺動部材が装着されており、回転軸と共に回転する。この回転側摺動部材に面接触するようにして固定側摺動部材が配置されている。この固定側摺動部材には円盤状に形成されたダイヤフラムの内周縁部が固定されており、ダイヤフラムの外周縁部は処理槽に固定され、軸孔をシールすると共に、処理槽に貯留された薬液の液圧によって固定側摺動部材を回転側摺動部材側へ押圧している。
【００２３】
このダイヤフラムを、円盤状のゴムシートと円盤状の耐食性シートを重ね合わせ、ゴムシート及び耐食性シートの外周縁部及び内周縁部のみを互いに接着して、外周縁部及び内周縁部以外ではゴムシートと耐食性シートとをフリーの状態とすることで、ゴムシートの弾性力を十分に活かし、固定側摺動部材を回転側摺動部材側へ押圧する押圧力を向上させることができる。
【００２４】
これにより、固定側摺動部材と回転側摺動部材の摺動面の密着性を向上させることができ、また、ゴムシートの弾性力を活かし、回転軸の芯ズレ及び偏芯による回転側摺動部材の位置ズレに対する追従性を向上させることができる。さらに、耐食性シートを用いることで、ダイヤフラムの腐食を防止し、ダイヤフラムの寿命を延ばすことができる。
【００２５】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のメカニカルシールにおいて、前記回転軸と前記処理槽の側壁とが水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態であることを特徴としている。
【００２６】
請求項５に記載の発明では、回転軸と処理槽の側壁とが水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態となるようにすることで、ダイヤフラムの周方向で、固定側摺動部材から回転側摺動部材側への押圧力にバラツキが生じないようにして、シール性を確保することができる。
【００２７】
請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載のメカニカルシールにおいて、前記回転軸の外周面が平滑であることを特徴としている。
【００２８】
請求項６に記載の発明では、回転軸の外周面を平滑とすることで、回転側摺動部材を装着させた状態で、回転軸から液洩れしないようにしている。
【発明の効果】
【００２９】
本発明は上記構成としたので、請求項１に記載の発明では、ゴムシートと耐食性シートとは、それぞれ独立した状態で移動することが可能となり、ゴムシートの弾性力を十分に活かすことができる。また、ゴムシートに耐食性シートを重ね合わせることで、ダイヤフラムの耐食性を向上させ、寿命を長くすることができる。
【００３０】
請求項２に記載の発明では、ゴムシートと耐食性シートの非接着部に中空部を設けることで、ゴムシート又は耐食性シートの移動時に、他方を追従させることなく、独立した状態で移動させることができる。
【００３１】
請求項３に記載の発明では、薬液に対する耐食性が高いため、薬液に浸漬した状態で使用しても腐食し難い。
【００３２】
請求項４に記載の発明では、ゴムシートの弾性力を十分に活かし、固定側摺動部材を回転側摺動部材側へ押圧する押圧力を向上させることができる。これにより、固定側摺動部材と回転側摺動部材の摺動面の密着性を向上させることができ、また、ゴムシートの弾性力を活かし、回転軸の芯ズレ及び偏芯による回転側摺動部材の位置ズレに対する追従性を向上させることができる。さらに、耐食性シートを用いることで、ダイヤフラムの腐食を防止し、ダイヤフラムの寿命を延ばすことができる。
【００３３】
請求項５に記載の発明では、回転軸と処理槽の側壁とが水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態となるようにすることで、ダイヤフラムの周方向で、固定側摺動部材から回転側摺動部材側への押圧力にバラツキが生じないようにして、シール性を確保することができる。
【００３４】
請求項６に記載の発明では、回転軸の外周面を平滑とすることで、回転側摺動部材を装着させた状態で、回転軸から液洩れしないようにしている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、図１に示す化学的エッチング処理工程を例に採って、本発明の実施の形態に係るメカニカルシールについて説明する。
【００３６】
化学的エッチング処理工程では、エッチング処理槽１０内に設けられた搬送ロール１２によって、エッチング処理槽１０内をウェブＷが搬送される。エッチング処理槽１０では、送液ポンプ１４によって導入管１６を通して、調液タンク１８に貯留された水酸化ナトリウムを主とするエッチング液がスプレー２０に送り込まれ、このスプレー２０によってウェブＷの幅方向に渡って均一にエッチング液がスプレーされる。そして、ウェブＷがエッチング処理槽１０を出るときは、ニップロール２２でウェブＷの表面を拭って、エッチング液の持ち出しを防ぐ。
【００３７】
なお、ウェブＷは、通常、軽量で表面処理性、加工性、耐蝕性に優れたアルミニウム板が使用される。アルミニウム板としては、ＪＩＳ１０５０材、ＪＩＳ１１００材、Ａｌ−Ｍｎ系合金、Ａｌ−Ｍｎ−Ｍｇ系合金等が使用される。
【００３８】
図２及び図３に示すように、搬送ロール１２の軸部２４は、エッチング処理槽１０の側壁１０Ａに形成された軸孔２６を貫通して外側へ突出しており、エッチング処理槽１０の側壁１０Ａの外側に配設された架台３６に保持されベアリングが内蔵された軸受け３８によって回転可能に軸支されている。
【００３９】
また、搬送ロール１２の軸部２４は、カップリング３４を介して、架台３６の横に配設された架台２８の上にセットされたモータ３０の駆動軸３２に連結されており、モータ３０の駆動力が搬送ロール１２に付与される。
【００４０】
一方、軸孔２６の周縁部には、エッチング処理槽１０の側壁１０Ａに対してフランジ４０が直交して設けられており、軸孔２６の周縁部の下側では、処理槽１０の側壁１０Ａから外側へ突出するフランジ４０の一端側の突出量が大きくなって、フランジ４０の一端部に立設する立壁４１と共に受け皿４２を構成し、エッチング処理槽１０から漏れたエッチング液を受けるようになっている。この受け皿４２の底面には、排水パイプ４４が接続されており、受け皿４２に落ちたエッチング液が排水される。
【００４１】
また、フランジ４０の他端側には、円盤状の固定部材４６が固定されている。この固定部材４６には、円盤状のダイヤフラム４８の外周縁部が、複数のボルト４９を介して固定されており、図示しないシール部材を介して、エッチング処理槽１０との間で水密状態となっている。
【００４２】
ここで、ダイヤフラム４８はエッチング処理槽１０の側壁１０Ａの外側へ向って湾曲しており、エッチング処理槽１０の側壁１０Ａの外側へ向う面圧が発生する構成となっている。
【００４３】
ダイヤフラム４８の内周縁部には、テフロン（登録商標）或いはグラス入りテフロン（登録商標）で形成された円盤状の固定側摺動部材５０が、複数のボルト５２を介して固定されており、図示しないシール部材を介して、ダイヤフラム４８との間で水密状態となっている。この固定側摺動部材５０は、ダイヤフラム４８によってエッチング処理槽１０の外側へ面圧を受けることとなる。
【００４４】
一方、搬送ロール１２の軸部２４は、外周面が平滑となっており、軸部２４には円盤状の固定金具５４が外嵌されている。エッチング処理槽１０側に位置する固定金具５４の端面には、固定側摺動部材５０と対面して、固定側摺動部材５０と外径寸法及び内径寸法が略同一の回転側摺動部材５６が、複数のボルト５８を介して固定されており、図示しないシール部材を介して、固定金具５４との間で水密状態となっている。この回転側摺動部材５６は、ダイヤフラム４８によってエッチング処理槽１０の外側へ面圧を受けた固定側摺動部材５０との間で水密状態を維持したまま面接触している。
【００４５】
このように、ダイヤフラム４８によって、エッチング処理槽１０の側壁１０Ａに形成された軸孔２６がシールされると共に、搬送ロール１２の軸部２４が回転可能となる。このとき、搬送ロール１２の軸部２４とエッチング処理槽１０の側壁１０Ａは、水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態となるように配設されている。
【００４６】
ところで、図３に示すように、ダイヤフラム４８は、エッチング処理槽１０の内側に位置する内側ダイヤフラム４８Ａと、エッチング処理槽１０の外側に位置する外側ダイヤフラム４８Ｂと、の２層構造となっており、内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂの外径寸法及び内径寸法が略同一となっている。
【００４７】
内側ダイヤフラム４８Ａは、グラス入りのテフロン（登録商標）等のフッ素樹脂で形成されており（なお、必ずしもグラスを混練りさせる必要はない）、肉厚は０．１〜３ｍｍである。一方、外側ダイヤフラム４８Ｂは、バイトンゴム、ＥＰＤＭ、ネオプレンゴム等の耐食性ゴムで形成されており、肉厚は２〜１０ｍｍである。
【００４８】
内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂとが重ね合わされ、外周縁部及び内周縁部が接着剤６０によって接着されている。また、外周縁部及び内周縁部以外では、内側ダイヤフラム４８Ａ及び外側ダイヤフラム４８Ｂは非接着部となっており、中空部４８Ｃが設けられている。
【００４９】
次に、本発明の実施の形態に係るメカニカルシールの作用について説明する。
【００５０】
図３に示すように、ダイヤフラム４８を、エッチング処理槽１０の内側に位置する内側ダイヤフラム４８Ａと、エッチング処理槽１０の外側に位置する外側ダイヤフラム４８Ｂと、の２層構造とし、内側ダイヤフラム４８Ａをグラス入りのテフロン（登録商標）で形成し、外側ダイヤフラム４８Ｂをバイトンゴム等の耐食性ゴムで形成している。また、内側ダイヤフラム４８Ａ及び外側ダイヤフラム４８Ｂの間には、中空部４８Ｃを設けている。
【００５１】
内側ダイヤフラム４８Ａはエッチング処理槽１０の内側に位置するため、この内側ダイヤフラム４８Ａをグラス入りのテフロン（登録商標）で形成することで、ダイヤフラム４８の耐食性を向上させ、寿命を長くすることができる。
【００５２】
一方、外側ダイヤフラム４８Ｂをバイトンゴム等のゴムで形成し、さらに、内側ダイヤフラム４８Ａ及び外側ダイヤフラム４８Ｂの間に中空部４８Ｃを設けることで、内側ダイヤフラム４８Ａ又は外側ダイヤフラム４８Ｂの移動時に、他方を追従させることなく、それぞれ独立した状態で移動することができる。
【００５３】
このため、バイトンゴム（外側ダイヤフラム４８Ｂ）の弾性力を十分に活かし、固定側摺動部材５０を回転側摺動部材５６側へ押圧する押圧力を向上させることができる。但し、バイトンゴム（外側ダイヤフラム４８Ｂ）の弾性力を活かすには、テフロン（登録商標）の肉厚は薄い方が良いため、肉厚０．１〜３ｍｍが好ましい。
【００５４】
このように、バイトンゴム（外側ダイヤフラム４８Ｂ）の弾性力を十分に活かすことで、固定側摺動部材５０と回転側摺動部材５６の摺動面の密着性の向上だけでなく、搬送ロール１２の軸部２４の芯ズレ及び偏芯による回転側摺動部材５６の位置ズレに対する追従性も向上させることができる。
【００５５】
つまり、内側ダイヤフラム４８Ａと、外側ダイヤフラム４８Ｂを重ね合わせ、内側ダイヤフラム４８Ａ及び外側ダイヤフラム４８Ｂの間に中空部４８Ｃを設けることで、テフロン（登録商標）の耐食性とゴムの弾性力を併せ持つダイヤフラム４８を得ることができ、ダイヤフラム４８の腐食を防止し、ダイヤフラム４８の寿命を延ばすと共に、固定側摺動部材５０と回転側摺動部材５６の摺動面の密着性を向上させることができる。
【００５６】
また、搬送ロール１２の軸部２４をダイヤフラム４８を介して回転可能に軸支させた状態で、搬送ロール１２の軸部２４とエッチング処理槽１０の側壁１０Ａを、水平方向及び垂直方向でそれぞれ直交した状態となるようにすることで、ダイヤフラム４８の周方向で、固定側摺動部材５０から回転側摺動部材５６側への押圧力にバラツキが生じないようにして、シール性を確保することができる。
【００５７】
さらに、搬送ロール１２の軸部２４の外周面を平滑にすることで、回転側摺動部材５６を装着させた状態で、軸部２４から液洩れしないようにしている。
【００５８】
なお、ここでは、内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂの外径寸法及び内径寸法を略同一としたが、ダイヤフラム４８を２層構造とし、内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂが互いにフリーの状態となれば良いため、これに限るものではない。
【００５９】
例えば、図４に示すように、ダイヤフラム６４を構成する外側ダイヤフラム６４Ｂの外径寸法を、内側ダイヤフラム６４Ａの外径寸法よりも小さくし、外側ダイヤフラム６４Ｂの内径寸法を、内側ダイヤフラム６４Ａの内径寸法よりも大きくする。そして、外側ダイヤフラム６４Ｂの外周縁部及び内周縁部のみを固定部材４６、固定側摺動部材５０にそれぞれ固定し、内側ダイヤフラム６４Ａの外周縁部及び内周縁部を外側ダイヤフラム６４Ｂの外周縁側及び内周縁側に接着する。この場合、外側ダイヤフラム６４Ｂはエッチング処理槽１０のエッチング液に接触しないため（図３参照）、外側ダイヤフラム６４Ｂを耐食性を有しないゴムで成形しても良い。
【００６０】
また、本形態では、エッチング処理槽１０に用いられるメカニカルシール６２を構成するダイヤフラム４８について説明したが、エッチング処理槽１０に限るものではない。このため、例えば、耐食性シートとして、内側ダイヤフラム４８Ａをグラス入りのテフロン（登録商標）で形成させたが、処理槽内に貯留される薬液によって、内側ダイヤフラム４８Ａを塩化ビニルやポリプロピレンで形成させる場合もある。
【００６１】
また、ここでは、ダイヤフラム４８を内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂの２層構造としたが、外側ダイヤフラム４８Ｂの弾性力を有効に活用することができれば良いため、これに限るものではない。例えば、内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂの中空部４８Ｃにスポンジ等の干渉部材を設けても良い。
【００６２】
さらに、ここでは、内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂとの間に、中空部４８Ｃを設けたが、外周縁部及び内周縁部以外で内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂの間が非接着であれば良いため、内側ダイヤフラム４８Ａと外側ダイヤフラム４８Ｂとの間に必ずしも中空部４８Ｃを設ける必要はなく、内側ダイヤフラム４８Ａ及び外側ダイヤフラム４８Ｂが接触した状態であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本形態に係るメカニカルシールが適用された化学的エッチング処理装置を示す概略図である。
【図２】本形態に係るメカニカルシールを示す概略断面図である。
【図３】本形態に係るメカニカルシールを構成するダイヤフラムを示す概略断面図である。
【図４】本形態に係るメカニカルシールを構成するダイヤフラムの変形例を示す概略断面図である。
【図５】従来のメカニカルシールを示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００６４】
４８    ダイヤフラム
４８Ｂ  外側ダイヤフラム（ゴムシート）
４８Ｃ  中空部
４８Ａ  内側ダイヤフラム（耐食性シート）
５０    固定側摺動部材
５６    回転側摺動部材
６０    接着剤
６２    メカニカルシール
６４    ダイヤフラム
６４Ｂ  外側ダイヤフラム（ゴムシート）
６４Ａ  内側ダイヤフラム（耐食性シート）
【図１】
2005214223.tif 000003
【図２】
2005214223.tif 000004
【図３】
2005214223.tif 000005
【図４】
2005214223.tif 000006
【図５】
2005214223.tif 000007