(57)【要約】【課題】  ダイヤフラムポンプの一層の薄型化を図る。【解決手段】  ダイヤフラム（可変容積室）と逆止弁とを平面的に別の位置に配置した。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイヤフラムによって形成された可変容積室と、
この可変容積室と吸入ポートとの間に設けられた、該吸入ポートから可変容積室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない吸入側逆止弁と、
上記可変容積室と吐出ポートとの間に設けられた、該可変容積室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない吐出側逆止弁と、
を有するダイヤフラムポンプにおいて、
上記ダイヤフラムの存在領域から外れた平面位置に上記吸入側逆止弁と吐出側逆止弁を配置したことを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
請求項１記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記可変容積室はダイヤフラムの上下にそれぞれ設けられ、上記吸入ポートと吐出ポートは、この上下一対の可変容積室にそれぞれ連通しており、この上下の可変容積室と吸入ポートとの間にそれぞれ、該吸入ポートから一対の可変容積室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁が設けられ、該上下の可変容積室と吐出ポートとの間にそれぞれ、該一対の可変容積室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁が設けられているダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
請求項２記載のダイヤフラムポンプにおいて、第一、第二の吸入側逆止弁は平面的に見て同じ位置にあり、第一、第二の吐出側逆止弁は平面的に見て同じ位置にあるダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記ダイヤフラムは、該ダイヤフラムの上下にそれぞれ対向して可変容積室を形成する凹部を有する一対のハウジングに挟着されており、上記吸入ポートと吐出ポートは、上記ダイヤフラムの平面高さと同じ平面高さに形成されているダイヤフラムポンプ。
【請求項５】
請求項４記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記一対のハウジングにはその凹部と反対側の面に、上記凹部と連通する吸入側流路溝と吐出側流路溝を有し、この入口側流路溝と吐出側流路溝がハウジングに固定される蓋板を介して閉塞され吸入側流路と吐出側流路を構成するダイヤフラムポンプ。
【請求項６】
請求項４または５記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記吸入ポートと吐出ポートは、内面断面形状がダイヤフラムの平面方向に長い横長形状であるダイヤフラムポンプ。
【請求項７】
請求項４ないし６のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、一対の上記ハウジングの凹部は回転対称形状であり、中心部が最も深く周辺部にかけて徐々に浅くなる断面階段状をなしているダイヤフラムポンプ。
【請求項８】
ダイヤフラムによって該ダイヤフラムの上下にそれぞれ形成された一対の可変容積室と、
単一の吸入ポートと、
単一の吐出ポートと、
上記一対の可変容積室と吸入ポートとの間にそれぞれ設けられた、該吸入ポートから該一対の可変容積室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁と、
上記一対の可変容積室と吐出ポートとの間にそれぞれ設けられた、該一対の可変容積室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁と、
を有することを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記逆止弁はアンブレラであるダイヤフラムポンプ。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記ダイヤフラムは圧電振動子または電歪振動子であるダイヤフラムポンプ。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記ダイヤフラムはバイモルフ型圧電振動子であるダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラムポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムによって可変容積室を形成し、この可変容積室に連なる一対の流路に、流れ方向の異なる一対の逆止弁（可変容積室への流体流を許す吸入側逆止弁と可変容積室からの流体流を許す吐出側逆止弁）を設けている。ダイヤフラムを振動させると可変容積室の容積が変化し、容積が拡大する行程では吸入側逆止弁が開き、容積が縮小する行程では吐出側逆止弁が開く動作を繰り返すことから、ポンプ作用が得られる。ダイヤフラムは、ゴム、圧電振動子等の弾性（振動）可能な材料から構成される。
【特許文献１】特開２００１-１７３５６９号公報
【特許文献２】特開２００１-３２３８７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムを含む可変容積室を薄型にできることから、薄型のポンプとして例えば水冷ノートパソコンの冷却水循環ポンプとして用いられつつある。しかし、本発明者らによれば、従来のダイヤフラムポンプは、一層の薄型化の余地がある。
【０００４】
また、ダイヤフラムポンプは、可変容積室の容積が拡大する行程では吸入側逆止弁が開き、容積が縮小する行程では吐出側逆止弁が開く動作を繰り返すことから、吐出ポートでは脈動が避けられない。
【０００５】
本発明は、以上の問題意識に基づき、ダイヤフラムポンプの一層の薄型化を図ることを目的とする。
また本発明は、吐出ポートでの脈動の周期を半分とすることができるダイヤフラムポンプを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、従来のダイヤフラムポンプでは、ダイヤフラム上に逆止弁を重ねて配置しており、この配置が薄型化を妨げているとの着眼に基づき、ダイヤフラム（可変容積室）と逆止弁とを平面的に別の位置に配置すれば一層の薄型化が可能であるとの結論に達してなされたものである。
【０００７】
すなわち、本発明のダイヤフラムポンプは、薄型化を目的とした態様では、ダイヤフラムによって形成された可変容積室と、この可変容積室と吸入ポートとの間に設けられた、該吸入ポートから可変容積室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない吸入側逆止弁と、可変容積室と吐出ポートとの間に設けられた、該可変容積室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない吐出側逆止弁と、を有するダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムと両逆止弁とを平面的に見て異なる位置に配置した、つまり、ダイヤフラムの存在領域から外れた平面位置に吸入側逆止弁と吐出側逆止弁を配置したことを特徴としている。
【０００８】
このダイヤフラムポンプは、加えて脈動の周期を半分にするために、可変容積室をダイヤフラムの上下にそれぞれ設け、吸入ポートと吐出ポートをこの上下一対の可変容積室にそれぞれ連通させ、この上下の可変容積室と吸入ポートとの間にそれぞれ、該吸入ポートから一対の可変容積室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁を設け、該上下の可変容積室と吐出ポートとの間にそれぞれ、該一対の可変容積室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁を設ける態様が可能である。
【０００９】
第一、第二の吸入側逆止弁と、第一、第二の吐出側逆止弁はそれぞれ、平面的に見て同じ位置に配置すると小型化に有利である。
【００１０】
また、薄型化を図るために、ダイヤフラムは、該ダイヤフラムの上下にそれぞれ対向して可変容積室を形成する凹部を有する一対のハウジングに挟着支持し、この一対のハウジングにはその凹部と反対側の面に凹部と連通する吸入側流路溝と吐出側流路溝を形成し、この入口側流路溝と吐出側流路溝をハウジングに固定される蓋板を介して閉塞して吸入側流路と吐出側流路を構成することが好ましい。
【００１１】
また、吸入ポートと吐出ポートは、このダイヤフラムの平面高さと同じ平面高さに形成するのがよい。そして、吸入ポートと吐出ポートは、内面断面形状がダイヤフラムの平面方向に長い横長形状とすることで一層の薄型化が図れる。
【００１２】
一対のハウジングの凹部は回転対称形状とし、かつ中心部が最も深く周辺部にかけて徐々に浅くなる断面階段状とすることで、ポンプ効率を高めることができる。
【００１３】
本発明のダイヤフラムポンプは、脈動の周期を半分にする態様では、ダイヤフラムによって該ダイヤフラムの上下にそれぞれ形成された一対の可変容積室と、単一の吸入ポートと、単一の吐出ポートと、一対の可変容積室と吸入ポートとの間にそれぞれ設けられた、該吸入ポートから該一対の可変容積室への流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吸入側逆止弁と、一対の可変容積室と吐出ポートとの間にそれぞれ設けられた、該一対の可変容積室から吐出ポートへの流体流を許容しその逆方向の流体流を許さない第一、第二の吐出側逆止弁とを有することを特徴としている。
【００１４】
いずれの態様でも、逆止弁はアンブレラから構成することが望ましい。また、ダイヤフラムは圧電振動子または電歪振動子から構成するのが実際的である。特にバイモルフ型圧電振動子が好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ダイヤフラムと逆止弁との平面位置を異ならせたことにより、ダイヤフラムポンプの一層の薄型化を図ることができる。
また、ダイヤフラムの表裏に一対の可変容積室を構成して交互に利用することにより、吐出ポートでの脈動の周期を半分とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図１ないし図９は、本ダイヤフラムポンプの一実施形態を示している。本ダイヤフラムポンプは、アッパハウジング１０、ロアハウジング２０、圧電振動子（ダイヤフラム）３０、及び４つのアンブレラ（逆止弁）１７、１８、２７、２８を基本的な構成要素としている。圧電振動子３０を挟着するアッパハウジング１０とロアハウジング２０は全体として平板状であり、略面対称形状をしているが、ロアハウジング２０には平面円形をなす圧電振動子３０の円形収納凹部２１（図４）が形成され、アッパハウジング１０にはこの円形収納凹部２１に嵌まり込んで、該円形収納凹部２１との間に圧電振動子３０を挟着する円形凸部１１（図４）が形成されている。またロアハウジング２０には、吸入ポート３１と吐出ポート３２が形成されている。
【００１７】
アッパハウジング１０とロアハウジング２０にはそれぞれ、図４ないし図５に示すように、円形凸部１１と円形収納凹部２１と同心の回転対称凹部１２と２２が形成されている。回転対称凹部１２と２２はそれぞれ中心部が最も深く周辺部にかけて徐々に浅くなる断面階段状をなしている。回転対称凹部１２と２２の外側には、Ｏリング収納凹部１３ａと２３ａが形成されており、このＯリング収納凹部１３ａと２３ａに嵌められたＯリング１３と２３は、円形収納凹部２１に収納された圧電振動子３０の上下（表裏）に接触して、該圧電振動子３０の上下に可変容積室（ポンプ室）１４と可変容積室（ポンプ室）２４を形成する。
【００１８】
ロアハウジング２０に形成された吸入ポート３１と吐出ポート３２は、図２ないし図６に明らかなように、その中心が圧電振動子３０の平面高さと同じ平面高さに位置して互いに平行をなしている。この吸入ポート３１と吐出ポート３２の内端部は、吸入側交互室３１ａと吐出側交互室３２ａを構成する。また、圧電振動子３０の平面高さと吸入ポート３１と吐出ポート３２の中心をほぼ同一の高さとすることで吸入ポート３１あるいは吐出ポート３２を覆って接続するチューブパイプ（図示せず）の厚さを考慮し、パイプ装着の高さがハウジング高さを超えない範囲で吸入ポート３１と吐出ポート３２の高さを最大限大きくとることができる。
【００１９】
アッパハウジング１０には、回転対称凹部１２の反対側の面に、吸入ポート３１と吐出ポート３２の延長方向と平面的に同じ位置に位置させて、互いに平行に吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６が形成されている。吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６の内側端部は、平面的に見て回転対称凹部１２の最深部分に達しており、貫通穴１５ａと１６ａを介して該回転対称凹部１２（可変容積室１４）に連通している。同様に、ロアハウジング２０には、回転対称凹部２２の反対側の面に、吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６と同じ平面位置に位置させて、互いに平行に吸入側流路溝２５と吐出側流路溝２６が形成されている。吸入側流路溝２５と吐出側流路溝２６の内側端部は、平面的に見て回転対称凹部２２の最深部分に達しており貫通穴２５ａと２６ａを介して該回転対称凹部２２（可変容積室２４）に連通している。
【００２０】
吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６の外側端部はそれぞれ、吸入ポート３１の吸入側交互室３１ａと吐出ポート３２の吐出側交互室３２ａに達しており、この吸入側交互室３１ａと吐出側交互室３２ａ部分に、アンブレラ装着部（連通穴）１５ｂと１６ｂが形成されている。アンブレラ装着部１５ｂと１６ｂはそれぞれ、図３に明らかなように、中心部のアンブレラ装着穴１５ｂ１と１６ｂ１と、周辺部の連通穴１５ｂ２と１６ｂ２とを備え、アンブレラ装着穴１５ｂ１と１６ｂ１にアンブレラ１７の軸部１７ａとアンブレラ１８の軸部１８ａが嵌合係止される。このアンブレラ１７と１８は、アンブレラ装着部１５ｂと１６ｂで装着方向が反対である。すなわち、アンブレラ１７は、吸入側交互室３１ａから連通穴１５ｂ２を経て吸入側流路溝１５（可変容積室１４）へ至る流体流は傘部１７ｂが弾性変形して許し、その逆方向の流れは許さない第一の吸入側逆止弁であり、アンブレラ１８は、吐出側流路溝１６（可変容積室１４）から連通穴１６ｂ２を経て吐出側交互室３２ａへ至る流体流は傘部１８ｂが弾性変形して許し、その逆方向の流れは許さない第一の吐出側逆止弁である。
【００２１】
吸入側流路溝２５と吐出側流路溝２６の形成態様も吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６と同様である。すなわち、吸入側流路溝２５と吐出側流路溝２６の外側端部は、平面的に見て吸入側交互室３１ａと吐出側交互室３２ａに達しており、この吸入側交互室３１ａと吐出側交互室３２ａ部分に、アンブレラ装着部２５ｂと２６ｂが形成されている。アンブレラ装着部２５ｂと２６ｂはそれぞれ、中心部のアンブレラ装着穴２５ｂ１と２６ｂ１と、周辺部の連通穴２５ｂ２と２６ｂ２とを備え、アンブレラ装着穴２５ｂ１と２６ｂ１にアンブレラ２７の軸部２７ａとアンブレラ２８の軸部２８ａが嵌合係止される。このアンブレラ２７と２８は、アンブレラ装着部２５ｂと２６ｂで装着方向が反対である。アンブレラ２７は、吸入側交互室３１ａから連通穴２５ｂ２を経て吸入側流路溝２５（可変容積室２４）へ至る流体流は傘部２７ｂが弾性変形して許し、その逆方向の流れは許さない第二の吸入側逆止弁である。アンブレラ２８は、吐出側流路溝２６（可変容積室２４）から連通穴２６ｂ２を経て吐出側交互室３２ａへ至る流体流は傘部２８ｂが弾性変形して許し、その逆方向の流れは許さない第二の吐出側逆止弁である。第一、第二の吸入側逆止弁（アンブレラ）１７と２７は平面的に見て同じ位置にあり、第一、第二の吐出側逆止弁（アンブレラ）１８と２８は平面的に見て同じ位置にある。なお、アッパハウジング１０とロアハウジング２０の間には、アンブレラ装着部２５ｂと２６ｂを囲むＯリング（図示せず）が挟着されている。
【００２２】
アッパハウジング１０には吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６の形成エリアを含んで蓋板嵌込凹部１０ａが形成されており、この蓋板嵌込凹部１０ａに蓋板１９が嵌め込まれている。同様に、ロアハウジング２０には吸入側流路溝２５と吐出側流路溝２６の形成エリアを含んで蓋板嵌込凹部２０ａが形成されており、この蓋板嵌込凹部２０ａに蓋板２９が嵌め込まれている。蓋板１９（２９）の裏面には、吸入側流路溝１５（２５）と吐出側流路溝１６（２６）の対応位置に、流路溝１９ａ（２９ａ）が形成されている。この流路溝１９ａ（２９ａ）は、ダイヤフラムポンプを薄型化しつつ流路面積を確保するのに有効である。
【００２３】
嵌込凹部１０ａ（２０ａ）と蓋板１９（２９）は、該嵌込凹部１０ａ（２０ａ）に嵌め込まれた蓋板１９（２９）の表面がアッパハウジング１０の表面と面一になるように形成されており、蓋板１９（２９）は、該蓋板１９（２９）より大きい接着フィルム１９ｂ（２９ｂ）（図２ないし図４、図８に図示）でハウジング１０（２０）に液密に固定されている。接着フィルム１９ｂ（２９ｂ）は、合成樹脂材料、金属箔等から形成可能であり、高い接着性と耐水性を備えた接着剤によって接着されている。このような接着フィルム１９ｂ（２９ｂ）によると、特別なシール部材を要することなく簡単に吸入側流路溝１５（２５）部分に吸入側流路１５Ｉ（２５Ｉ）、吐出側流路溝１６（２６）部分に吐出側流路１６Ｉ（２６Ｉ）を形成することができる。
【００２４】
圧電振動子３０は、例えば中立位置から上下に均等に変位すると考えられるバイモルフ型圧電振動子を用いることができる。図９は、バイモルフ型圧電振動子３０の模式図で、中心部のシム３０１と、その上下（表裏）に積層形成した圧電体３０２とからなっている。シム３０１は、導電性の金属薄板材料、例えば厚さ０．２ｍｍ程度のステンレス薄板から構成される。圧電体３０２は、例えば厚さ０．３ｍｍ程度のＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3）から構成されるもので、その表裏方向に分極処理が施されている。この分極処理は、シム３０１の表裏に位置する一対の圧電体３０２において同方向である。つまり、図９において、一対の圧電体３０２の分極方向を矢印ａまたはｂで表すと、分極方向はシム３０１を挟んで同一方向である。
【００２５】
一対の圧電体３０２のシム３０１側の面は、該シム３０１と全面的に導通するように接着され、シム３０１側と反対の露出面には、全面的に膜状電極３０３が形成されている。この膜状電極３０３は、例えば導電ペースト（銀ペースト）を印刷（スクリーン焼成）することで形成することができる。また、膜状電極はシム側にも形成することがある。これらの膜状電極の材料や形成方法は各種周知である。
【００２６】
以上のバイモルフ型圧電振動子３０は、シム３０１を一方の共通電極とし、一対の圧電体３０２の露出面（膜状電極３０３）を他方の共通電極として、交番電界を与えると、表裏の一方が伸び他方が縮む（正逆に弾性変形する）動作が繰り返される。
【００２７】
上記構成の本ダイヤフラムポンプは次のように作動する。図示しない電源回路によりバイモルフ圧電振動子３０のシム３０１と膜状電極３０３に交番電界を与えると、該圧電振動子３０が正逆に弾性変形（振動）する。圧電振動子３０が正逆に弾性変形すると、可変容積室１４と２４のいずれか一方の容積が増大し他方の容積が減少する。可変容積室１４の容積が増大する行程は可変容積室２４の容積が減少する行程であり、可変容積室１４の容積が増大するからアンブレラ（第一の吸入側逆止弁）１７が開いて吸入ポート３１から可変容積室１４内に流体が流入し、可変容積室２４の容積が減少するから可変容積室２４内の流体がアンブレラ（第二の吐出側逆止弁）２８を開いて吐出ポート３２に流出する。逆に可変容積室１４の容積が減少する行程は可変容積室２４の容積が増大する行程であり、可変容積室２４の容積が増大するからアンブレラ（第二の吸入側逆止弁）２７が開いて吸入ポート３１から可変容積室２４内に流体が流入し、可変容積室１４の容積が減少するから可変容積室１４内の流体がアンブレラ（第一の吐出側逆止弁）１８を開いて吐出ポート３２に流出する。回転対称凹部１２と２２が階段状で中央部が最も深い構成は、圧電振動子３０の中央部と周辺部でともに十分に流体を移動させ、効率的なポンプ作用を得るために効果がある。
【００２８】
以上の構成において、アンブレラ１７、１８あるいは２７、２８と、圧電振動子３０とは平面的に見て異なる位置に配置されており、平面的にオーバラップしていない。つまり、圧電振動子３０の存在領域から外れた平面位置にアンブレラ１７、１８あるいは２７、２８が配置されている。この配置によって、ダイヤフラムポンプ全体の薄型化が可能となっている。またアンブレラ１７と２７、アンブレラ１８と２８はそれぞれ、必ずしも平面的に見て同じ位置にある必要はないが、図示実施形態のように平面的に見て同じ位置に配置することで、小型化ができる。
【００２９】
さらに吸入ポート３１と吐出ポート３２は、図２、図３、図６に明らかように、通路断面形状が圧電振動子３０の平面方向に長い横長形状とされている。このように通路断面形状を設定すると、アッパハウジング１０とロアハウジング２０の一層の小型化が図れる。
【００３０】
また、以上の実施形態によると、圧電振動子３０の正逆の変形行程のいずれにおいても吐出ポート３２から流体を取り出すことができる。従来のダイヤフラムポンプは、圧電振動子３０の正逆のいずれか一方の動きでしか流体を取り出すことができず、脈動が大きかった（取出圧力のピーク間隔が長かった）のに対し、本実施形態によれば、脈動を小さく（取出圧力のピーク間隔を短く）することができる。
また、通路断面において、上下の肉厚に比して左右の肉厚を小さくしても良い。流量を増やしつつ、厚肉の部分で剛性を担保することができる。吸入ポート３１と吐出ポート３２は、実施形態のように継目のない一体で形成することが好ましく、継目があると流体の漏れが起こる可能性があり、また、漏れを防止するため、薄肉にすることが難しい。
【００３１】
もっとも、薄型化の目的のためには、圧電振動子３０の正逆の変形行程のいずれか一方のみで吐出ポート３２から流体を取り出す構成も可能である。この構成は、図１ないし図７の構成から、アンブレラ１７と１８（及びその関連構成）、またはアンブレラ２７と２８（及びその関連構成）を除去した構成に相当する。
【００３２】
別の観点からは、以上の実施形態は、圧電振動子３０の上下にそれぞれ可変容積室１４と可変容積室２４を形成しており、吐出ポート３２から取り出される流体の脈動を小さくすることができるという利点がある。この利点は、アンブレラ１７、１８あるいは２７、２８の平面位置と、圧電振動子３０の平面位置を異ならせなくても得ることができる。すなわち、図示実施形態は薄型化を最大の目的としたものであるが、取出流体の脈動を小さくするという目的では、アンブレラ１７、１８あるいは２７、２８の平面位置と、圧電振動子３０の平面位置とはオーバラップさせてもよい。図１０（Ａ）、（Ｂ）は、このような別態様をスケルトンで描いたものであり、逆止弁１７、１８、２７、２８は平板弁として描いた。
【００３３】
以上の実施形態では、吸入ポート３１と吐出ポート３２を隣り合わせて平行に配置したが、両ポートの方向は異ならせることができる。しかし、方向を異ならせる場合にも高さ位置は同一に保持することが好ましい。
【００３４】
以上の実施形態ではダイヤフラムとして圧電振動子を用いたが、圧電振動子に代えて電歪振動子を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明によるダイヤフラムポンプの一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１のII-II線に沿う断面図である。
【図３】図２の一部拡大断面図である。
【図４】図１のIV-IV線に沿う断面図である。
【図５】図１のＶ矢視図である。
【図６】図１ないし図５のダイヤフラムポンプの要部を断面とした斜視図である。
【図７】図１ないし図５のダイヤフラムポンプの流路のみを示すスケルトン図である。
【図８】蓋板の単体形状を示す、裏面から見た斜視図である。
【図９】バイモルフ型圧電振動子の模式分解斜視図である。
【図１０】本発明によるダイヤフラムポンプの別の実施形態を示す、系統接続図である。
【符号の説明】
【００３６】
１０  アッパハウジング
２０  ロアハウジング
１０ａ  ２０ａ  蓋板嵌込凹部
１２  ２２  回転対称凹部
１３  ２３  Ｏリング
１４  ２４  可変容積室
１５  ２５  吸入側流路溝
１５Ｉ  ２５Ｉ  吸入側流路
１６  ２６  吐出側流路溝
１６Ｉ  ２６Ｉ  吐出側流路
１５ａ  １６ａ  貫通穴
１５ｂ  １６ｂ  アンブレラ装着部
１７  １８  ２７  ２８  アンブレラ
１７ａ  １８ａ  ２７ａ  ２８ａ  軸部
１７ｂ  １８ｂ  ２７ｂ  ２８ｂ  傘部
１９  ２９  蓋板
１９ａ  ２９ａ  流路溝
１９ｂ  ２９ｂ  接着フィルム
３０  圧電振動子（ダイヤフラム）
３１  吸入ポート
３２  吐出ポート
３１ａ  吸入側交互室
３２ａ  吐出側交互室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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