(57)【要約】【課題】従来のシリンダ装置においては、小ストローク用のシリンダ装置で、長期に亘って動作させることができるものがなく、且つ前述したように作動媒体が圧縮空気であるため、密封手段が必要であるという、共通の問題点をも有していた。   【解決手段】上下面が略平行な平板状固定ハウジングと、固定ハウジングに対して向かい合う端面間に調整可能な所定距離をおいて弾性支持された上下面が略平行な平板状可動ハウジングと、両ハウジングの向かい合う間に真空吸着手段を配置し、少なくとも一方のハウジング側に、該真空吸着手段に連通する流体通路を設けてなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下面が略平行な平板状固定ハウジングと、該固定ハウジングに対して向かい合う端面間に調整可能な所定距離をおいて弾性支持された上下面が略平行な平板状可動ハウジングと、両ハウジングの向かい合う間に真空吸着手段を配置し、少なくとも一方のハウジング側に、該真空吸着手段に連通する流体通路を設けてなるシリンダ装置。
【請求項２】
真空吸着手段が、一方のハウジング側に装着した真空吸着用パッドと、他方のハウジング側に形成したパッド吸着用平面であることを特徴とする請求項１に記載のシリンダ装置。
【請求項３】
真空吸着用パッドが可動ハウジング側に配置され、固定ハウジング側にパッド吸着用平面を有する溝を形成し、少なくとも一方のハウジング側に、該溝に連通する流体通路を形成してなることを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載のシリンダ装置。
【請求項４】
真空吸着用パッドが固定ハウジング側に配置され、可動ハウジング側にパッド吸着用平面を有する溝を形成し、少なくとも一方のハウジング側に、該溝に連通する流体通路を形成してなることを特徴とする請求項１あるいは請求項２に記載のシリンダ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリンダ装置の構造に関し、特に小ストローク用のシリンダ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来からこのようなシリンダ装置には各種のものがあり、一般的なピストン方式やダイヤフラムを用いたシリンダ装置などが知られている。前者のピストン方式のシリンダ装置の場合、ピストン及びピストンロッドという可動部材がシリンダチューブ内を摺動するもので、シール部分（パッキン）と摺動部分へのグリース等潤滑油の供給が困難であり、また構造的に小ストロークのものを製作しにくいもので、摺動部材及びその摺動部のシール部材が磨耗してしまい、そのため寿命が短いものであり、また、構造的に部品が多くなり価格的にも高くなってしまうもので、装置に組み込んで使用するには問題が多いものであった。
【０００３】
また後者の方式のシリンダ装置は、密封性が高いという長所はあるが、可動するダイヤフラム部分が長期間の作動に耐えないという問題点も有していた。また形状的にも、非円形等、用途に応じた形状が容易に採用できないという設計上の問題点もあった。またいずれも作動流体として圧縮空気を用いるため、コンプレッサあるいは、その圧縮空気配管が存在することが前提になるなど,使用条件に制限が多いものであった。
【０００４】
【特許文献１】特公昭６２-３６５号公報
【特許文献２】特開昭６２-４９６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従って、このような従来のシリンダ装置においては、小ストローク用のシリンダ装置で、長期に亘って動作させることができるものがなく、且つ前述したように作動媒体が圧縮空気であるため、密封手段が必要で且つ摺動部の磨耗が大きいという、共通の問題点をも有していた。本発明装置は、上記したような問題点を解消してより簡単な構造で、小ストローク作動と位置決めを達成するシリンダ装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、圧縮空気による作動でなく、且つ摺動部分を僅かにして、市販されているような吸着パッドを利用したより簡単な構造で小ストローク作動と位置決めを可能とするシリンダ装置を提供するもので、固定ハウジングと、固定ハウジングに対して向かい合う端面間に調整可能な所定距離をおいて弾性支持された可動ハウジングと、両ハウジングの向かい合う間に真空吸着手段を配置し、一方のハウジング側に、該真空吸着手段に連通する流体通路を設けたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明のシリンダ装置は、摺動部分が僅かであるので、長期間の作動が可能となり、また、作動に圧縮空気を用いていないので密封手段も不要であり、装置の単純化が図れるもので、そのため低価格化を図ることができるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明は、市販されているような真空吸着用パッドを固定ハウジングと可動ハウジングという２部材間へ配置して、可動ハウジングを該真空吸着パッド内の空気を真空吸着することで動作させるシリンダ装置を構成した。
【実施例１】
【０００９】
図１乃至図５から理解されるように、本発明装置は、
略平行な平面を上下に形成した固定ハウジング１０と、該固定ハウジング１０上に載置した、同様に略平行な平面を上下に形成した可動ハウジング２０と、両ハウジング１０及び２０間に配置した真空吸着手段３０と、
前記両ハウジング１０及び２０の向かい合う端面間距離を所定間隔に調整可能な制限手段４０と、前記両ハウジング１０及び２０の向かい合う端面側に張設された弾性手段
５０とから構成されている。図中６０は真空ポンプを示す。
【００１０】
更に本実施例装置について詳細を説明していく。
本実施例のシリンダ装置は、図１〜５に示すように略平行な平面を上下に形成した短冊形状の固定ハウジング１０を有しており、その上面には、図４に想像線（２点鎖線）で示すように所定深さの長溝１１が形成されており、長手方向両側には貫通したねじ穴１２が複数個（この実施例では図で左側は２箇所、右側は１箇所の計３箇所）形成してある。このねじ穴１２位置より内側（長溝１１とねじ穴１２との間）には有底の穴１３が左右夫々２箇所ずつ形成されている。更に、この固定ハウジング１０の側面の１つから中心側に向けて穴１４が穿設されており、その先端は前記長穴１１の中程まで延び、
そこから該長溝１１底へ開口して流体通路を構成している。
【００１１】
一方、固定ハウジング１０の上部に位置する可動ハウジング２０は、外観は該固定ハウジング１０と同様に略平行な平面を上下に形成した短冊状をしており、その下面中央には、該固定ハウジング１０の長溝１１より小さい外周を有する長溝２１が形成されており、長手方向両側で該可動ハウジング１０のねじ穴１２に見合う位置には貫通穴２２が複数個（この実施例では図で左側は２箇所、右側は１箇所の計３箇所）形成してある。そして更にざぐり穴２３が形成されている。この貫通穴２２位置より内側（長溝２１と貫通穴２２との間で可動ハウジング１０の有底の穴１３に見合う位置）には同様な有底の穴２４が左右夫々２箇所ずつ形成されている。
【００１２】
このようなハウジングのうち可動ハウジング２０の長穴２１には図４に実線で示したような形状の吸着パッド３１の基部３１ａが嵌め込まれ、且つ２つのねじ３２により可動ハウジング２０へ固定されている。基部３１ａに続いてスカート部３１ｂが形成されており、通常そのスカート部３１ｂ先端は固定ハウジング１０の長溝１１底面に当接している。また可動ハウジング２０の貫通穴２２と固定ハウジング１０のねじ穴には、制限手段４０であるボルト４１がねじ込まれる。このボルト４１がねじ込まれる位置で図１に示すＨ量、即ち両ハウジングの向かい合う端面間距離すなわち本シリンダ装置のストロークが決定される。更に両ハウジングの有底穴１３と２４には弾性手段５０としてコイルバネ５１が装着してあり、常時図１のように、固定ハウジング１０に対して可動ハウジング２０を上方つまり、ばね圧で押し上げている。また図面に明示されているように、ボルト４１が嵌合する可動ハウジング２０の貫通穴２２には、３個中２箇所はベアリング４２が装着してあり、作動性の向上と、組立性の向上を図っている。勿論３箇所全てにベアリング４２を装着してあっても構わない。
【００１３】
このように構成したシリンダ装置について、動作を説明する。通常作動前の段階を図１が示している。この状態で真空ポンプ６０をＯＮすると、流体通路である穴１４とその穴１４に連通している吸着パッド３１のスカート部３１ｂ内部の大気がポンプ側に吸引され、一体になっている可動ハウジング２０は下方へ移動し、その下端面が固定ハウジング１０の上端面へ当接し、その状態を保持する。図５にしめすのが、その移動した状態である。そして、今度は真空ポンプ６０をＯＦＦすれば、可動ハウジング２０はまた弾性手段５０のばね力により図１の状態に戻る。両ハウジングの上下面が平行に形成してあるので、例えば可動ハウジング２０の上面へ測定物や製品などを載置してあっても、作動により位置がずれたりすることも無く、所定量移動させることができる。
【００１４】
以上説明した実施例では、可動ハウジング側に吸着用パッドを装着した例を説明したが、それに限定されず、図６に示すように、固定ハウジング１００側に吸着用パッド３００を装着し、可動ハウジング２００側には対応する長溝２０１を設けても良い。更に真空ポンプ６００への流体通路１４０は図示したように吸着用パッド３００も含めて固定ハウジング１００側に設けても良いし、作動上問題が無ければ可動ハウジング側に設けることも出来る。その他の制限手段や弾性手段については、実施例１と同様のものを採用できる。
【００１５】
また、吸着用パッドについては、図４に示すような形状以外に、一般に多く市販されているような円形であっても問題無く、例えば図７に示すように、円形の吸着用パッド３００’を２個用いて夫々のスカート部内を真空ポンプ側へ連通するように構成することができる。勿論２個以上であっても差し支えない。また、各実施例では真空ポンプ側へ連通する流体通路を固定ハウジングあるいは可動ハウジングの一方に形成した例を図示しているが、両方のハウジングへ形成しても良く（図示は省略）、少なくとも一方に形成してあれば同様に実施できるものである。
【００１６】
更にまた、実施例装置では、ストローク制限部材としてボルトで装着しているが、シリンダストロークが一定で変化しない場合には、このボルトのねじ部形状を、例えば段付きにして、その段部分が固定ハウジング上面側へ当接するようにすることで、正確なストローク作動を提供できる。
【産業上の利用可能性】
【００１７】
本発明によるシリンダ装置は、固定ハウジングと可動ハウジングの外観形状は上下面が平行であればどのような形状でもかまわないので、わずかなストロークが必要な場合、例えば、ある位置で作業をして、少し位置をずらして取り出すとか、その作業位置からわずかに位置を変えたり、１ｍｍ或いは２ｍｍだけずらすとか、正確に小量移動させるような場合に採用できる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明による実施例１によるシリンダ装置の正面断面図を示す。
【図２】図２のＡ−Ａ断面図を示す。
【図３】図１のＢ−Ｂ断面図を示す。
【図４】実施例１による吸着用パッドの外観形状と固定ハウジングとの位置関係をあらわす斜視図を示す。
【図５】図１による実施例装置の動作後の正面断面図を示す。
【図６】実施例２によるシリンダ装置の正面断面図を示す。
【図７】実施例３によるシリンダ装置の正面断面図を示す。
【符号の説明】
【００１９】
１０  固定ハウジング   
２０  可動ハウジング
３０  真空吸着手段
３１  吸着用パッド
５０  弾性手段
４０  制限手段
５０  弾性手段
６０  真空ポンプ 
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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