(57)【要約】【課題】  複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナにおいて、容器の種類を判別して、それぞれの容器に対応した作業手順により、容器に収容された被処理物の受渡し作業の円滑な進行と安全の確保とを図る。【解決手段】  半導体ウエハ等の被処理物を密閉した状態で収容して工場内を搬送される前面開放型の容器であるＦＯＵＰ１と、同様の被処理物を密閉した状態で収容して工場間を搬送される前面開放型の容器であるＦＯＳＢとのロードポートとして共用され、ＦＯＵＰ１は、その蓋４が閉じられた状態でロードポートの容器載置台１１に載置され、ＦＯＳＢは、その蓋が開けられた状態で同容器載置台１１に載置される、複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナ１０において、そのポートドア１４には、これらの容器の蓋の有無を検出する蓋検出手段１９が設けられている。【選択図】      図２
2005347576.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウエハ等の被処理物を密閉した状態で収容して工場内を搬送される前面開放型の
容器であるＦＯＵＰのためのロードポートと、
半導体ウエハ等の被処理物を密閉した状態で収容して工場間を搬送される前面開放型の
容器であるＦＯＳＢためのロードポートとに共用され、
前記ＦＯＵＰは、その開口を閉じる蓋が閉じられた状態で前記ロードポートの容器載置
台に載置され、
前記ＦＯＳＢは、その開口を閉じる蓋が開けられた状態で前記ロードポートの容器載置
台に載置される、
複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナにおいて、
そのポートドアには、これらの容器の開口を閉じる蓋の有無を検出する蓋検出手段が設
けられた
ことを特徴とする複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナ。
【請求項２】
前記蓋検出手段が前記容器の開口を閉じる蓋の有りを検出した場合において、この場合
の前記容器が前記ＦＯＵＰであることの認識を確認する第１の確認手段が設けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナ。
【請求項３】
前記蓋検出手段が前記容器の開口を閉じる蓋の無しを検出した場合において、この検出
が誤検出でないことを確認する第２の確認手段が設けられていることを特徴とする請求項
１に記載の複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナ。
【請求項４】
前記蓋検出手段は、光電センサであることを特徴とする請求項１に記載の複数種類の容
器に対応可能なＦＯＵＰオープナ。
【請求項５】
前記蓋検出手段は、リミットスイッチであることを特徴とする請求項１に記載の複数種
類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の発明は、半導体ウエハ等の被処理物の搬送に使用される複数種類の容器に対応可
能なＦＯＵＰオープナに関し、特にＦＯＵＰ及びＦＯＳＢのためのロードポートとして共
用され、これらの容器のいずれに対しても誤作動がなく、被処理物の受渡し作業を円滑か
つ安全に進めることができるようにされた複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナ
に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハ等の被処理物の搬送に使用される容器には、工場内搬送用としてＦＯＵＰ
（Front Opening Unified Pod ）があり、工場間搬送用としてＦＯＳＢ（Front Opening
Shipping Box）がある。
ＦＯＵＰは、半導体ウエハ等の被処理物を専ら工場内の処理装置間で搬送するに際して
、被処理物が外部環境により汚染されるのを防ぐために、被処理物を制御された空間に収
容して搬送するのに用いられる前方開放型の容器である。ＦＯＵＰオープナは、ＦＯＵＰ
内環境と処理装置内のウェハ転送空間との間を、外部環境に被処理物を曝すことなく、連
通させ、被処理物を処理装置内に配置されたハンドリングロボット等で転送することがで
きるようにする役割を担うＦＯＵＰの開閉装置であり、通常、ロードポートと呼ばれる。
これらＦＯＵＰ及びＦＯＵＰオープナを用いて被処理物が工場内の処理装置間で搬送され
、また、処理装置内に転送されることにより、高い製品歩留りが達成される。
【０００３】
ＦＯＳＢは、半導体ウエハ等の被処理物を専ら工場間で搬送するに際して、被処理物が
外部環境により汚染されるのを防ぐために、被処理物を制御された空間若しくは半制御さ
れた空間に収容して搬送するのに用いられる前方開放型の容器である。したがって、ＦＯ
ＵＰと容器サイズ及び基本形状は略変わらないが、用途、目的が異なるために、規格上異
なる構造となっている。また、外部環境に対する要求基準も、ＦＯＵＰ程厳しくはなって
いない。
【０００４】
ＦＯＵＰとＦＯＳＢとは、前記のとおり、規格上異なる構造となっており、ラッチ構造
も全く異なるため、開口を閉じる蓋（ドア）の開閉には、各々専用機が使用されている。
ＦＯＵＰとＦＯＳＢとの両蓋の開閉を行なうことができる兼用装置も開発されつつあるが
、未だ、コストが高く、しかも、ＦＯＳＢは、メーカーにより容器形状が異なるため、特
定の容器のみにしか対応できないという問題もある。
【０００５】
このような現状にあって、ＦＯＳＢの蓋開閉は作業者が手作業で行ない、その後の工程
を自動化するため、ＦＯＵＰオープナをＦＯＳＢのためのロードポートとしても兼用して
使用する場合がある。この場合、ＦＯＵＰのためのロードポートとしてのＦＯＵＰオープ
ナは、従来どおり、そのポートドアがＦＯＵＰの蓋を外し、これを保持して下降し、次い
で、ＦＯＵＰと処理装置との間でハンドリングロボットを介して被処理物（基板）の受渡
しが行なわれる。これに対して、ＦＯＳＢのためのロードポートとしてのＦＯＵＰオープ
ナは、そのポートドアがＦＯＳＢの蓋を開閉する必要はなく、単にポートドアのみが下降
し、次いで、ＦＯＳＢと処理装置との間でハンドリングロボットを介して被処理物（基板
）の受渡しが行なわれる。
【０００６】
このように、ＦＯＵＰとＦＯＳＢとが混在して、ＦＯＵＰオープナがＦＯＵＰのための
ロードポートとしてのみならず、ＦＯＳＢのためのロードポートとしても兼用されるよう
な現場においては、一旦、ＦＯＵＰオープナの容器載置台に載置された容器が、ＦＯＵＰ
であるか、ＦＯＳＢであるかを確認した上で、次の動作に進むようにしておく必要がある
。何故ならば、蓋があるのに（つまり、ＦＯＵＰ）、最初から蓋無しと設定されてしまっ
ていれば、ハンドリングロボットは、ＦＯＵＰの蓋に衝突するために前進することになる
。また、作業者のミスにより、蓋を開放していないＦＯＳＢを蓋を開放したものと勘違い
して、これをＦＯＵＰオープナの容器載置台に載置してしまうという可能性もある。した
がって、安全面からも、容器載置台に載置されたＦＯＵＰ及びＦＯＳＢの各開口を閉じる
蓋の有無を確認しておきたいという要望がある。
【０００７】
容器の識別を、容器の底辺形状を認識することによって行なうことも考えられているが
、容器の形状は、メーカー毎に異なることもあり、信頼性に欠ける。
【特許文献１】特開２００４−８８０１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本願の発明は、従来の複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナが有する前記のよ
うな問題点を解決して、ＦＯＵＰオープナの容器載置台に載置された容器が、ＦＯＵＰで
あるか、ＦＯＳＢであるかを、ＦＯＵＰ及びＦＯＳＢの各開口を閉じる蓋（ドア）の有無
を検出することにより認識することができるようにして、それぞれの容器に対応した作業
手順により、以後のＦＯＵＰ及びＦＯＳＢのロード・アンロード、すなわち、これらの容
器に収容された被処理物の受渡し作業、の円滑な進行と安全の確保とを図ることができる
、複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記のような課題は、本願の各請求項に記載された次のような発明により解決される。
すなわち、その請求項１に記載された発明は、半導体ウエハ等の被処理物を密閉した状
態で収容して工場内を搬送される前面開放型の容器であるＦＯＵＰのためのロードポート
と、半導体ウエハ等の被処理物を密閉した状態で収容して工場間を搬送される前面開放型
の容器であるＦＯＳＢためのロードポートとに共用され、前記ＦＯＵＰは、その開口を閉
じる蓋が閉じられた状態で前記ロードポートの容器載置台に載置され、前記ＦＯＳＢは、
その開口を閉じる蓋が開けられた状態で前記ロードポートの容器載置台に載置される、複
数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナにおいて、そのポートドアには、これらの容
器の開口を閉じる蓋の有無を検出する蓋検出手段が設けられたことを特徴とする複数種類
の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナである。
【００１０】
請求項１に記載された発明は、前記のように構成されているので、ポートドアに設けら
れた容器の開口を閉じる蓋の有無を検出する蓋検出手段が、容器載置台に載置された容器
の開口を閉じる蓋を検出すれば、この容器はＦＯＵＰであることを認識でき、また、容器
載置台に載置された容器の開口を閉じる蓋を検出しなければ、この容器はＦＯＳＢである
ことを認識できる。
【００１１】
そこで、ＦＯＵＰオープナは、その容器がＦＯＵＰであると認識された場合には、その
ポートドアがＦＯＵＰの蓋（ＦＯＵＰドア）を外し、これを保持して下降し、次いで、Ｆ
ＯＵＰと処理装置との間でハンドリングロボットを介して被処理物（半導体ウエハ等）の
受渡しが行なわれるように作業を進めることができる。他方、その容器がＦＯＳＢである
と認識された場合には、そのポートドアがＦＯＳＢの蓋を開閉する必要はなく、単にポー
トドアのみが下降し、次いで、ＦＯＳＢと処理装置との間でハンドリングロボットを介し
て被処理物の受渡しが行なわれるように作業を進めることができる。このようにして、こ
れらＦＯＵＰ及びＦＯＳＢのそれぞれに対応した作業手順にしたがって、それぞれに収容
された被処理物の受渡し作業を円滑かつ安全に進めることができるようになる。
【００１２】
また、その請求項２に記載された発明は、請求項１に記載の発明において、蓋検出手段
が容器の開口を閉じる蓋の有りを検出した場合において、この場合の容器がＦＯＵＰであ
ることの認識を確認する第１の確認手段が設けられていることを特徴としている。
【００１３】
この構成により、ＦＯＳＢが誤ってその開口を閉じる蓋が閉じられた状態でロードポー
トの容器載置台に載置された場合に、蓋検出手段が蓋の有りを検出したとしても、第１の
確認手段は、この容器がＦＯＵＰでないことを確認することができるので、ＦＯＵＰに対
応した作業手順にしたがって以後の被処理物の受渡し作業を進めて行くことが回避され、
作業の安全を確保することができる。
【００１４】
また、その請求項３に記載された発明は、請求項１に記載の発明において、蓋検出手段
が容器の開口を閉じる蓋の無しを検出した場合において、この検出が誤検出でないことを
確認する第２の確認手段が設けられていることを特徴としている。
【００１５】
この構成により、例えば、ＦＯＳＢが誤ってその開口を閉じる蓋が閉じられた状態でロ
ードポートの容器載置台に載置され、しかも、その載置位置を誤った（例えば、正しい載
置位置より後方で、蓋検出手段の検出能力が及ばない位置に載置されてしまった）がため
に蓋検出手段が蓋の無しを検出した場合や、ＦＯＵＰが正しくその開口を閉じる蓋が閉じ
られた状態でロードポートの容器載置台に載置されたが、その載置位置を誤った（例えば
、正しい載置位置より後方で、蓋検出手段の検出能力が及ばない位置に載置されてしまっ
た）がために蓋検出手段が蓋の無しを検出した場合や、ＦＯＵＰが誤ってその開口を閉じ
る蓋が開けられた状態でロードポートの容器載置台に載置された場合においても、第２の
確認手段は、これらの検出が誤検出であったことを確認することができるので、この確認
に基づいて、作業手順を一時停止して、手作業若しくは半自動的な手段により、容器がＦ
ＯＳＢであるか、ＦＯＵＰであるか、これらの容器が正しい載置位置に載置されているか
どうか、ＦＯＳＢの蓋が開けられているかどうか、ＦＯＵＰの蓋が閉じられているかどう
かを確認した上で、ＦＯＳＢ及びＦＯＵＰのそれぞれに対応した正しい作業手順にしたが
って以後の被処理物の受渡し作業を進めて行くことが可能になり、作業の安全を確保する
ことができる。
【００１６】
さらに、その請求項４、５に記載された発明は、請求項１に記載の発明において、蓋検
出手段が、光電センサ若しくはリミットスイッチであることを特徴としている。
【００１７】
これにより、ロードポート（ＦＯＵＰオープナ）の容器載置台に載置された容器の開口
を閉じる蓋の有無を簡易かつ正確に検出することができる。
【発明の効果】
【００１８】
前記のとおり、本願の発明の複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナによれば、
そのポートドアに設けられた容器の開口を閉じる蓋の有無を検出する蓋検出手段が、その
容器載置台に載置された容器の開口を閉じる蓋の有無を検出することにより、その容器が
ＦＯＵＰであるか、ＦＯＳＢであるかを認識でき、また、蓋検出手段が容器の蓋の有りを
検出した場合において、この場合の容器がＦＯＵＰであることの認識を確認することがで
き、さらには、蓋検出手段が容器の蓋の無しを検出した場合において、この検出が誤検出
でないことを確認することができるので、容器（ＦＯＵＰ、ＦＯＳＢ）が容器載置台に載
置されて以降の作業手順を、それぞれの容器に対応した作業手順にしたがって進めて行く
ことができ、それぞれの容器に収容された被処理物の受渡し作業を円滑かつ安全に進める
ことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
半導体ウエハ等の被処理物を密閉した状態で収容して工場内を搬送される前面開放型の
容器であるＦＯＵＰのためのロードポートと、半導体ウエハ等の被処理物を密閉した状態
で収容して工場間を搬送される前面開放型の容器であるＦＯＳＢためのロードポートとに
共用され、ＦＯＵＰは、その開口を閉じる蓋が閉じられた状態でロードポートの容器載置
台に載置されるとともに、ＦＯＳＢは、その開口を閉じる蓋が開けられた状態でロードポ
ートの容器載置台に載置されることが前提とされている、複数種類の容器に対応可能なＦ
ＯＵＰオープナにおいて、そのポートドアに、これらの容器の開口を閉じる蓋の有無を検
出する蓋検出手段を設ける。
【００２０】
蓋検出手段が容器の開口を閉じる蓋の有りを検出した場合において、この場合の容器が
ＦＯＵＰであることの認識を確認する第１の確認手段、蓋検出手段が容器の開口を閉じる
蓋の無しを検出した場合において、この検出が誤検出でないことを確認する第２の確認手
段を設ける。蓋検出手段としては、（距離設定型）の光電センサやリミットスイッチを用
いることができる。
【実施例】
【００２１】
次に、本願の発明の一実施例について説明する。
図１は、本実施例の複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナの部分正面図、図２
は、同部分側面図、図３は、同平面図、図６は、同ＦＯＵＰオープナが行なう容器の種類
の認識作業及び容器に収容された被処理物の受渡し作業のフロー図、図８は、ＦＯＵＰの
外観図、図９は、ＦＯＳＢの外観図である。
なお、図２、図３においては、容器の１種類として、ＦＯＵＰが、ＦＯＵＰオープナの
ＦＯＵＰ載置台に載置された状態が図示されている。また、以下においては、容器の蓋を
ドアと呼ぶことが多いが、ポートドアのドアを含めて、両者は同義である。
【００２２】
図２、図３に示されるように、複数枚の半導体ウエハ２を上下方向に多段に積層して、
密閉した状態で収容した容器をなすＦＯＵＰ１が、ＦＯＵＰオープナ１０のＦＯＵＰ載置
台（ドックプレートと呼ばれる）１１上に載置されている。ＦＯＵＰオープナ１０は、処
理装置の室壁の一部を構成するポートプレート１２の処理装置とは反対側の空間内に配置
され、該ポートプレート１２に一体に取り付けられている。図２において、ポートプレー
ト１２より右側の空間が処理装置の室内Ａをなし、この室内Ａは、クリーンルームとして
構成されている。
【００２３】
ＦＯＵＰオープナ１０は、処理装置の室内Ａ側にポートドア開閉装置１３を有し、この
ポートドア開閉装置１３に備えられたポートドア１４は、ポートプレート１２に形成され
た開口１５を開閉し、その内部にＦＯＵＰ１のドア４をＦＯＵＰ本体５から着脱して保持
する機構を備えている。そして、ＦＯＵＰ１がドックプレート１１に載置された状態でポ
ートプレート１２方向に前進して、その開口側端面がポートプレート１２に近接した状態
においては、ポートドア１４のＦＯＵＰドア着脱・保持機構がＦＯＵＰドア４をＦＯＵＰ
本体５から外してこれを保持し、次いで、ポートドア開閉装置１３がポートドア１４を開
口１５から離脱させ、ポートプレート１２から後退させて、室内Ａ内の下方領域に退避さ
せる。
【００２４】
このようにして、開口１５及びＦＯＵＰ１の開口３が開けられ、ＦＯＵＰドア４は室内
Ａ内に収容されて、ＦＯＵＰ１内のウエハ２を図示されないハンドリングロボットを介し
て処理装置内に転送する準備が整えられる。そして、処理装置内において、ウエハ２に所
定の処理が施されると、処理済みのウエハ２は、先とは逆に転送されて、ＦＯＵＰ１内に
戻される。次いで、ＦＯＵＰドア４が、ポートドア開閉装置１３及びポートドア１４のＦ
ＯＵＰドア着脱・保持機構の作動により、先とは逆の順序にて、ＦＯＵＰ１の開口３に結
着されて、ＦＯＵＰ１は密閉される。
【００２５】
ポートドア開閉装置１３の駆動部は、ＦＯＵＰオープナ１０内に収容されており、ポー
トプレート１２に形成された縦長の開口（図示されず）を介してポートドア開閉装置１３
を操作し、これを進退・昇降動させる。
【００２６】
ポートドア１４が内部に備えるＦＯＵＰドア着脱・保持機構は、詳細には図示されない
が、その概略構成は、次のとおりである。
先ず、ＦＯＵＰドア着脱機構は、図１に図示されるように、ポートドア１４の図におい
て左右２個所にラッチキー出没用の開口１６ａ、１６ｂを備えていて、これらの開口１６
ａ、１６ｂから図示されないラッチキーが突出して、ＦＯＵＰドア４に形成された図示さ
れないキー孔に進入し、ＦＯＵＰドア４内に収容されたラッチ機構をラッチ解除方向に操
作して、ＦＯＵＰドア４を開口３から離脱させる。ラッチキーの逆操作により、ＦＯＵＰ
ドア４を開口３に結着させることができる。
【００２７】
次に、ＦＯＵＰドア保持機構は、図１に図示されるように、ポートドア１４の図におい
て略左上及び略右下２個所に吸着パッド１７ａ、１７ｂを備えており、これらの吸着パッ
ド１７ａ、１７ｂは、真空源に連通していて、ＦＯＵＰドア着脱機構がＦＯＵＰドア４を
開口３から離脱させると、その吸着力によりＦＯＵＰドア４を吸着して保持する。また、
吸着パッド１７ａ、１７ｂの中心部には、レジストレーションピン（以下、レジストピン
と略称する。）１８ａ、１８ｂが植設されている。これらのレジストピン１８ａ、１８ｂ
は、ポートドア１４がＦＯＵＰドア４を定位置で保持できるように位置決めを行なうため
のものであり、ＦＯＵＰドア４に規格に沿って設けられた孔４ａ、４ｂに、ＦＯＵＰ１が
前進した際に挿入される。吸着パッド１７ａ、１７ｂは、レジストピン１８ａ、１８ｂが
これらの孔４ａ、４ｂに問題なく係合できた後に、ＦＯＵＰドア４を吸着保持する。
【００２８】
以上のようなＦＯＵＰドア着脱・保持機構は、ドックプレート１１にＦＯＳＢ（図９参
照）が載置されたときには、その機能を発揮することのないものである。というのは、Ｆ
ＯＳＢは、通常、その開口を閉じる蓋（ドア）が手作業により取り外されて、蓋が開けら
れた状態でドックプレート１１に載置されるからである。ＦＯＳＢの開口を閉じる蓋は、
ＦＯＵＰ１の開口３を閉じる蓋（ＦＯＵＰドア４）よりも頑丈に作られており、ＦＯＵＰ
ドア着脱機構により着脱することはできない。
【００２９】
ポートドア１４の図１において左下方の位置には、ＦＯＵＰ１の開口３を閉じる蓋（Ｆ
ＯＵＰドア４）の有無を検出する蓋検出手段１９が設けられている。この蓋検出手段１９
は、距離設定型の光電センサにより構成されている。そして、そのビーム２０が、ポート
ドア１４の室内Ａ側と反対側の面からＦＯＵＰ１方向に放射されて、ＦＯＵＰドア４の有
りを検出する。
【００３０】
なお、ドックプレート１１にＦＯＳＢが載置されたときには、光電センサ１９のビーム
は、ポートドア１４の室内Ａ側と反対側の面からＦＯＵＰ１方向に同様に放射されるが、
今度は、逆にＦＯＳＢの蓋の無しを検出することとなる。但し、これは、ＦＯＳＢの蓋が
事前に取り外されて、ＦＯＳＢが正しくドックプレート１１に載置された通常の場合のこ
とである。蓋検出手段１９が設けられる位置は、ポートドア１４の上記の位置に限定され
ない。
【００３１】
蓋検出手段としては、光電センサ１９に代えて、図４、図５に図示されるように、リミ
ットスイッチ２０が用いられてもよい。このリミットスイッチ２０は、接触型のセンサで
あって、その先端の接触子２０ａが容器の蓋に接触して押圧されることにより、蓋の有り
を検出する。
【００３２】
以上のとおり、本実施例のＦＯＵＰオープナ１は、ＦＯＵＰ１やＦＯＳＢのような複数
種類の容器のためのロードポートとして用いられることができ、複数種類の容器への対応
が可能となっている。しかしながら、そのためには、ドックプレート１１に載置された容
器がどのような種類の容器であるかが事前に正しく認識されなければならず、この認識に
基づく各容器に対応した正しい作業手順により、容器内に収容された被処理物であるウエ
ハ２の、ハンドリングロボットを介した容器と処理装置との間での自動的な受渡し作業が
実行可能となる。
【００３３】
そこで、次に、ドックプレート１１に載置された容器がどのような種類の容器であるか
についての事前の認識作業、その認識の確認作業、その認識に基づいた容器内収容被処理
物の受渡し作業の一連のフローを、蓋検出手段として光電センサ１９が用いられる場合に
ついて、図６を参照しつつ、詳細に説明する。
【００３４】
なお、本実施例は、容器の種類として、ドックプレート１１に載置された状態で、蓋の
あるもの、蓋の無いもの、の２種類を取り上げ、蓋のあるものとしてＦＯＵＰ１を、蓋の
無いものとしてＦＯＳＢを、作業対象の容器としている。また、これら一連の作業フロー
は、ＦＯＵＰオープナ１の自動制御装置の一エリア内にプログラミングされて組み込まれ
ているものである。
【００３５】
先ず、ドックプレート１１に載置された容器がどのような種類の容器であるかについて
、光電センサ１９が、当該容器の開口を閉じる蓋（ドア）が存在しているか否か、つまり
、蓋の有無を検出する（ステップ１）。
【００３６】
ステップ１において、蓋の有りが検出されると、当該容器は、ＦＯＵＰ１であると認識
される（ステップ２）。そうすると、ドックプレート１１が、ポートプレート１２の方向
に向けて前進する（ステップ３）。
【００３７】
ドックプレート１１がポートプレート１２の方向に向けて前進して、ＦＯＵＰドア４が
ポートドア１４に対して所定の距離にまで接近すると、ポートドア１４に設けられたレジ
ストピン１８ａ、１８ｂとＦＯＵＰドア４との衝突の有無が判断される（ステップ４）。
【００３８】
容器が正しくＦＯＵＰ１であった場合には、レジストピン１８ａ、１８ｂは、ＦＯＵＰ
ドア４の孔４ａ、４ｂに没入するので、これらのピンとＦＯＵＰドア４とが衝突すること
はない。この場合には、ステップ４においてＮＯと判断されて、ステップ５に進む。ステ
ップ５においては、ポートドア１４に内蔵されたＦＯＵＰドア着脱機構が、ＦＯＵＰドア
４のラッチを解除して、ＦＯＵＰドア４を開口３から離脱させる（ステップ５）。
【００３９】
次いで、ポートドア１４に内蔵されたＦＯＵＰドア保持機構が、ＦＯＵＰドア４を保持
して、ポートドア開閉装置１３が、ポートドア１４を開口１５から離脱させ、ポートプレ
ート１２から後退させて、これを室内Ａ内の下方領域に下降、退避させる（ステップ６）。
【００４０】
このようにして、ＦＯＵＰ１は開放され、ＦＯＵＰ１内は処理装置の室内Ａと連通する
状態となったので、ＦＯＵＰ１と処理装置との間で、ＦＯＵＰ１に収容された被処理物で
あるウエハ２のハンドリングロボットを介した自動的な受渡し作業が可能になり、これら
ＦＯＵＰ１と処理装置との間でのウエハ２の出し入れが開始される（ステップ７）。
【００４１】
ステップ４において、レジストピン１８ａ、１８ｂとＦＯＵＰドア４とが衝突すると、
ＹＥＳと判断されて、ステップ８に進む。この場合には、容器は、ＦＯＵＰ１ではなく、
正しくはＦＯＳＢであった可能性がある。このＦＯＳＢが、誤ってその開口を閉じる蓋が
取り外されずに、その開口が蓋で閉じられた状態でドックプレート１１に載置されて、光
電センサ１９が、その蓋の有りを検出したものと判断される。したがって、この場合には
、ステップ２における当該容器がＦＯＵＰ１であるとの認識が誤っていたものとして、こ
の容器がＦＯＵＰ１でなく、ＦＯＳＢであることを確認することとなる。そうすると、こ
のＦＯＳＢは、その開口を閉じる蓋を有しているので、ＦＯＵＰオープナ１による以後の
自動的なウエハ２の受渡し作業の続行は困難となり、エラーとして作業は停止される（ス
テップ８）。
【００４２】
ステップ４におけるレジストピン１８ａ、１８ｂとＦＯＵＰドア４との衝突の有無の判
断作業、ステップ８における正しい容器の種類の認識作業をなす技術的手段は、第１の確
認手段を構成している。
【００４３】
ステップ１において、蓋の無しが検出されると、当該容器は、ＦＯＳＢであると認識さ
れる（ステップ９）。そうすると、ポートドア１４に内蔵されたラッチキーが９０°反転
して（ステップ１０）、ドックプレート１１が、ポートプレート１２の方向に向けて前進
する（ステップ１１）。
【００４４】
ドックプレート１１がポートドア１４の方向に向けて前進して、ＦＯＳＢのドア（蓋）
がポートドア１４に対して所定の距離にまで接近すると、ポートドア１４に内蔵されて反
転されたラッチキーとＦＯＳＢのドアとの衝突の有無が判断される（ステップ１２）。
【００４５】
容器が正しくＦＯＳＢであった場合には、ＦＯＳＢの蓋は事前に取り外されているので
、ラッチキーとＦＯＳＢの蓋とが衝突することはない。この場合には、ステップ１２にお
いてＮＯと判断されて、ステップ１３に進む。ステップ１３においては、ポートドア開閉
装置１３が、ポートドア１４を開口１５から離脱させ、ポートプレート１２から後退させ
て、これを室内Ａ内の下方領域に下降、退避させる（ステップ１３）。
【００４６】
このようにして、ＦＯＳＢ内は処理装置の室内Ａと連通する状態となったので、ＦＯＳ
Ｂと処理装置との間で、ＦＯＳＢに収容された被処理物であるウエハ２のハンドリングロ
ボットを介した自動的な受渡し作業が可能になり、これらＦＯＳＢと処理装置との間での
ウエハ２の出し入れが開始される（ステップ１４）。
【００４７】
ステップ１２において、ラッチキーとＦＯＳＢのドアとが衝突すると、ＹＥＳと判断さ
れて、ステップ１５に進む。このような場合としては、例えば、ＦＯＳＢが誤ってその開
口を閉じる蓋が閉じられた状態でドックプレート１１に載置され、しかも、その載置位置
を誤った（例えば、正しい載置位置より後方で、光電センサ１９の検出能力が及ばない位
置に載置されてしまった）がために光電センサ１９が蓋の無しを検出した可能性や、ＦＯ
ＵＰ１が正しくＦＯＵＰドア４が閉じられた状態でドックプレート１１に載置されたが、
その載置位置を誤った（例えば、正しい載置位置より後方で、光電センサ１９の検出能力
が及ばない位置に載置されてしまった）がために光電センサ１９が蓋の無しを検出した可
能性や、ＦＯＵＰ１が誤ってＦＯＵＰドア４が開けられた状態でドックプレート１１に載
置されたがために光電センサ１９が蓋の無しを検出した可能性が考えられる。
【００４８】
このような考えられ得る状態は、いずれも、正常な状態ではないので、この場合には、
ステップ１における光電センサ１９による容器の蓋無しの検出が誤っていたものとして、
その誤検出を確認することとなる。そして、ＦＯＵＰオープナ１による以後の自動的なウ
エハ２の受渡し作業の続行は困難となり、エラーとして作業は停止される（ステップ１５
）。
【００４９】
ステップ１０におけるラッチキーの反転操作、ステップ１２におけるラッチキーとＦＯ
ＳＢの蓋（ドア）との衝突の有無の判断作業、ステップ１５における正しい容器の種類の
認識作業、蓋の有無の判断作業、載置位置の正否の判断作業等をなす技術的手段は、第２
の確認手段を構成している。
【００５０】
以上のようにして、本実施例のＦＯＵＰオープナ１は、そのドックプレート１１に載置
された容器が、ＦＯＵＰ１であるか、ＦＯＳＢであるか、それらの容器がドックプレート
１１に正しい状態で載置されているかどうかを判断、確認しつつ、それぞれの容器の種類
に応じた正しい作業手順により、被処理物の自動的な受渡し作業を円滑かつ安全に進めて
行くことができる。
【００５１】
次に、ドックプレート１１に載置された容器がどのような種類の容器であるかについて
の事前の認識作業、その認識に基づいた容器内収容被処理物の受渡し作業の一連のフロー
を、蓋検出手段としてリミットスイッチ２０が用いられる場合について、図７を参照しつ
つ、詳細に説明する。
【００５２】
先ず、ドックプレート１１に載置された容器がどのような種類の容器であるかを問わず
、ドックプレート１１が、容器を載置させた状態で、ポートプレート１２の方向に向けて
前進する（ステップ１）。
【００５３】
そして、ドックプレート１１がポートプレート１２の方向に向けて前進して、容器がポ
ートドア１４に対して所定の距離にまで接近すると、ポートドア１４に設けられたレジス
トピン１８ａ、１８ｂと容器の蓋（ドア）との衝突の有無が判断される（ステップ２）。
【００５４】
容器がＦＯＵＰ１であった場合には、レジストピン１８ａ、１８ｂとＦＯＵＰドア４と
が衝突することはない。また、容器がＦＯＳＢであった場合にも、ＦＯＳＢが正しくその
開口を閉じる蓋が取り外された状態でドックプレート１１に載置されていれば、レジスト
ピン１８ａ、１８ｂとＦＯＳＢのドアとが衝突することはない。これらの場合には、ステ
ップ２においてＮＯと判断されて、ステップ３に進む。ステップ３においては、リミット
スイッチ２０が、当該容器の開口を閉じる蓋（ドア）が存在しているか否か、つまり、蓋
の有無を検出する（ステップ３）。
【００５５】
ステップ３において、蓋の有りが検出されると、当該容器は、ＦＯＵＰ１であると認識
１れる（ステップ４）。そうすると、ポートドア１４に内蔵されたＦＯＵＰドア着脱機構
が、ＦＯＵＰドア４のラッチを解除して、ＦＯＵＰドア４を開口３から離脱させる（ステ
ップ５）。
【００５６】
次いで、ポートドア１４に内蔵されたＦＯＵＰドア保持機構が、ＦＯＵＰドア４を保持
して、ポートドア開閉装置１３が、ポートドア１４を開口１５から離脱させ、ポートプレ
ート１２から後退させて、これを室内Ａ内の下方領域に下降、退避させる（ステップ６）。
【００５７】
このようにして、ＦＯＵＰ１は開放され、ＦＯＵＰ１内は処理装置の室内Ａと連通する
状態となったので、ＦＯＵＰ１と処理装置との間で、ＦＯＵＰ１に収容された被処理物で
あるウエハ２のハンドリングロボットを介した自動的な受渡し作業が可能になり、これら
ＦＯＵＰ１と処理装置との間でのウエハ２の出し入れが開始される（ステップ７）。
【００５８】
ステップ３において、蓋の無しが検出されると、当該容器は、ＦＯＳＢであると認識さ
れる（ステップ９）。そうすると、ポートドア開閉装置１３が、ポートドア１４を開口１
５から離脱させ、ポートプレート１２から後退させて、これを室内Ａ内の下方領域に下降
、退避させる（ステップ１０）。
【００５９】
このようにして、ＦＯＳＢ内は処理装置の室内Ａと連通する状態となったので、ＦＯＳ
Ｂと処理装置との間で、ＦＯＳＢに収容された被処理物であるウエハ２のハンドリングロ
ボットを介した自動的な受渡し作業が可能になり、これらＦＯＳＢと処理装置との間での
ウエハ２の出し入れが開始される（ステップ１１）。
【００６０】
ステップ２において、レジストピン１８ａ、１８ｂと容器の蓋（ドア）とが衝突すると
、ＹＥＳと判断されて、ステップ８に進む。この場合は、容器はＦＯＳＢである可能性が
高く、ＦＯＳＢが誤ってその開口を閉じる蓋が閉じられた状態でドックプレート１１に載
置されたものと判断される。そうすると、このＦＯＳＢは、その開口を閉じる蓋を有して
いるので、ＦＯＵＰオープナ１による以後の自動的なウエハ２の受渡し作業の続行は困難
となり、エラーとして作業は停止される（ステップ８）。
【００６１】
以上のとおり、蓋検出手段としてリミットスイッチ２０が用いられる場合には、容器が
ＦＯＵＰ１であることの認識（ステップ４）を確認する第１の確認手段、リミットスイッ
チ２０による容器の蓋無しの検出（ステップ３）を確認する第２の確認手段は設けられて
いないが、これらのステップに先立ってステップ２が実行されて、ここで、容器がＦＯＵ
Ｐ１である可能性、ＦＯＳＢである可能性が判断されているので、ＦＯＵＰオープナ１に
よる容器の種類の認識の確度は高く、安全サイドにある。
【００６２】
なお、本願の発明は、以上の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において
、種々の変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本願の発明の一実施例の複数種類の容器に対応可能なＦＯＵＰオープナの部分正面図である。
【図２】同部分側面図である。
【図３】同平面図である。
【図４】蓋検出手段の変形例を示す同ＦＯＵＰオープナの部分正面図であって、一部破断部分側面図を付属図として併せて示す図である。
【図５】図４において付属図として示された図の部分拡大図である。
【図６】蓋検出手段として光電センサが用いられる場合の、同ＦＯＵＰオープナが行なう容器の種類の認識作業及び容器に収容された被処理物の受渡し作業のフロー図である。
【図７】蓋検出手段としてリミットスイッチが用いられる場合の、同ＦＯＵＰオープナが行なう容器の種類の認識作業及び容器に収容された被処理物の受渡し作業のフロー図である。
【図８】ＦＯＵＰの外観図である。
【図９】ＦＯＳＢの外観図である。
【符号の説明】
【００６４】
１…ＦＯＵＰ（容器）、２…半導体ウエハ（）、３…開口、４…ＦＯＵＰドア、４ａ、
４ｂ…孔、５…ＦＯＵＰ本体、１０…ＦＯＵＰオープナ（容器開閉装置）、１１…ＦＯＵ
Ｐ載置台（ドックプレート）、１２…ポートプレート、１３…ポートドア開閉装置、１４
…ポートドア、１５…開口、１６ａ、１６ｂ…ラッチキー出没用開口、１７ａ、１７ｂ…
吸着パッド、１８ａ、１８ｂ…レジストレーションピン（レジストピン）、１９…蓋検出
手段（光電センサ）、２０…蓋検出手段（リミットスイッチ）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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