(57)【要約】【課題】  金型を取外すことなく洗浄することができる金型洗浄方法と装置を提供する。【解決手段】  大気圧下でプラズマ１１を発生して噴射するプラズマ発生部とプラズマ発生部をプラズマ噴射方向に対して垂直な平面に沿って移動する移動手段とを備えた洗浄ユニット３と、洗浄ユニット３に必要な電力とガスを供給制御する制御ユニット２と、洗浄ユニット３を金型表面に対する対向位置に位置決め可能及び対向位置から離間移動可能に支持する洗浄ユニット支持手段４とを備え、洗浄ユニット３を金型表面に対する対向位置に位置決めして金型表面に向けてプラズマを噴射しつつプラズマを金型表面に沿って走査し、金型表面の所要部分を洗浄するようにした。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金型が成形機に設置されている状態で、大気圧下で金型表面に向けてプラズマ若しくはオゾンを噴射しつつプラズマ若しくはオゾンを金型表面に沿って走査し、金型表面の所要部分を洗浄することを特徴とする金型洗浄方法。
【請求項２】
対向配置した電極対の対向面にそれぞれ誘電体を配置し、電極対に高電圧を印加した状態で誘電体間のプラズマ発生空間に空気若しくは酸素ガス又は酸素ガスと窒素ガスの混合ガスを供給し、発生させた酸素プラズマ若しくはオゾンを金型表面に噴射して洗浄することを特徴とする請求項１記載の金型洗浄方法。
【請求項３】
金型を開いた状態で金型間にプラズマ若しくはオゾンを噴射する洗浄ユニットを配置し、洗浄ユニットを挟むように金型を閉じ、洗浄ユニットから金型表面にプラズマ若しくはオゾンを噴射して洗浄することを特徴とする請求項１又は２記載の金型洗浄方法。
【請求項４】
大気圧下でプラズマ若しくはオゾンを発生して噴射するプラズマ発生部とプラズマ発生部をプラズマ若しくはオゾンの噴射方向に対して垂直な平面に沿って移動する移動手段とを備えた洗浄ユニットと、洗浄ユニットに必要な電力とガスを供給制御する制御ユニットと、洗浄ユニットを金型表面に対する対向位置に位置決め可能及び対向位置から離間移動可能に支持する洗浄ユニット支持手段とを備えたことを特徴とする金型洗浄装置。
【請求項５】
洗浄ユニットにプラズマ若しくはオゾンの噴射方向に圧縮荷重が作用した時に収縮可能な緩衝部を設けるとともに所定以上の荷重が作用した時に検出する検出手段と報知手段とを設けたことを特徴とする請求項４記載の金型洗浄装置。
【請求項６】
洗浄ユニットをプラズマ若しくはオゾンの噴射方向に分割し、分割したユニット間に各分割ユニットを金型表面に向けて押し付ける押し付け手段を介装したことを特徴とする請求項４又は５記載の金型洗浄装置。
【請求項７】
洗浄ユニットの金型表面に対向する面に、金型表面の洗浄すべき所要箇所の周囲に密着する密着手段を着脱可能に装着したことを特徴とする請求項４〜６の何れかに記載の金型洗浄装置。
【請求項８】
金型表面の特定部位にのみプラズマ若しくはオゾンを集中して噴射する噴射開口を形成した密着手段を備えていることを特徴とする請求項７記載の金型洗浄装置。
【請求項９】
制御ユニットを移動可能に構成し、この制御ユニットに洗浄ユニットを任意の位置に移動及び位置決め可能に支持する洗浄ユニット支持手段を装着したことを特徴とする請求項４〜８の何れかに記載の金型洗浄装置。
【請求項１０】
請求項４〜８の何れかに記載の金型洗浄装置を備え、洗浄ユニット支持手段が成形機に搭載された支持ロボットから成ることを特徴とする成形機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形機などの金型を洗浄する金型洗浄方法と装置及び成形機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、光ディスクの製造においては、射出成形金型中にスタンパを固定した状態で、ポリカーボネート樹脂等を射出成形し、スタンパに形成された凹凸情報を転写した基板を成形する工程がある。この基板の成形工程において、多量の基板を成形すると樹脂中の成分がスタンパや金型に付着し、凹凸情報が不鮮明になったり、成形不良を生じるため、適当枚数毎若しくは適当時間毎に金型を洗浄する必要がある。
【０００３】
従来、金型を洗浄する場合は、金型を成形機から取り外し、作業者がブラシ等の清掃具を用いて有機溶剤等にてブラッシング洗浄を行っていた。
【０００４】
また、ブラシ等の清掃具や有機溶剤を用いる代わりに、スタンパを純水の入った浴槽に浸漬させ、スタンパの表面に水を接触させながら超音波振動を作用させることにより洗浄を行う方法も知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平５−１６１５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、上記従来の洗浄方法では、成形機から金型を取り外して洗浄を行うものであるため、金型を冷して取外し、次に金型を洗浄し、その後金型を取付けて加熱し、さらに試し成形を行った後でないと、成形を再開することができず、その間は成形機は稼働停止状態となるため、稼働効率が上がらないという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、金型を取外すことなく洗浄することができる金型洗浄方法と装置及び成形機を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の金型洗浄方法は、金型が成形機に設置されている状態で、大気圧下で金型表面に向けてプラズマ若しくはオゾンを噴射しつつプラズマ若しくはオゾンを金型表面に沿って走査し、金型表面の所要部分を洗浄するものである。
【０００８】
この構成によると、金型が成形機に設置されている状態でその金型表面に向けて大気圧下でプラズマ若しくはオゾンを噴射させることにより、金型表面をプラズマ若しくはオゾンにて確実に洗浄することができ、金型洗浄のために金型を取外す必要がないので、成形機の稼働率を向上することができる。
【０００９】
また、対向配置した電極対の対向面にそれぞれ誘電体を配置し、電極対に高電圧を印加した状態で誘電体間のプラズマ発生空間に空気若しくは酸素ガス又は酸素ガスと窒素ガスの混合ガスを供給し、発生させた酸素プラズマ若しくはオゾンを金型表面に噴射して洗浄すると、大気圧下において酸素プラズマ若しくはオゾンを簡便に発生させて金型表面に向けて噴射させることができ、簡単な装置構成にて効率良く洗浄を行うことができる。
【００１０】
また、金型を開いた状態で金型間にプラズマ若しくはオゾンを噴射する洗浄ユニットを配置し、洗浄ユニットを挟むように金型を閉じ、洗浄ユニットから金型表面にプラズマ若しくはオゾンを噴射して洗浄すると、金型間に洗浄ユニットを挟むことで作業効率良く、確実に洗浄を行うことができる。
【００１１】
また、本発明の金型洗浄装置は、大気圧下でプラズマ若しくはオゾンを発生して噴射するプラズマ発生部とプラズマ発生部をプラズマ若しくはオゾンの噴射方向に対して垂直な平面に沿って移動する移動手段とを備えた洗浄ユニットと、洗浄ユニットに必要な電力とガスを供給制御する制御ユニットと、洗浄ユニットを金型表面に対する対向位置に位置決め可能及び対向位置から離間移動可能に支持する洗浄ユニット支持手段とを備えたものである。
【００１２】
この構成によると、洗浄ユニット支持手段にて移動可能に支持された洗浄ユニットを金型表面に対する対向位置に位置決めし、制御ユニットから洗浄ユニットに電力とガスを供給することで、プラズマ発生部から金型表面に向けてプラズマ若しくはオゾンを噴射するとともに移動手段にて金型表面に沿って移動することで金型表面の所要部分の全面を洗浄することができ、洗浄後は洗浄ユニットを金型から離間させることにより、作業能率良く金型表面の洗浄を行うことができる。
【００１３】
また、洗浄ユニットにプラズマ若しくはオゾンの噴射方向に圧縮荷重が作用した時に収縮可能な緩衝部を設けるとともに所定以上の荷重が作用した時に検出する検出手段と報知手段とを設けると、洗浄ユニットを金型間に配置して金型を閉じて行くことで洗浄ユニットを金型表面に対向させて位置決めすることができるとともに、金型を閉じる際に洗浄ユニットに過大な荷重が作用するのを緩衝部にて確実に防止でき、かつ洗浄ユニットが金型表面に当接して圧縮荷重が作用すると検出手段にて検出して報知手段にて報知されるので、金型を閉じる動作を安全に制御することができる。
【００１４】
また、洗浄ユニットをプラズマ若しくはオゾンの噴射方向に分割し、分割したユニット間に各分割ユニットを金型表面に向けて押し付ける押し付け手段を介装すると、金型を適当に開いた状態でその間に洗浄ユニットを位置決めして押し付け手段を作動させることで洗浄ユニットの各分割ユニットを金型表面に当接させることができ、作業性良く金型表面を洗浄することができる。
【００１５】
また、洗浄ユニットの金型表面に対向する面に、金型表面の洗浄すべき所要箇所の周囲に密着する密着手段を着脱可能に装着すると、金型に応じて対応した密着手段を装着することで、洗浄ユニットを金型表面の洗浄すべき所要部分に密着させることができ、効率的に洗浄することができる。
【００１６】
また、金型表面の特定部位にのみプラズマ若しくはオゾンを集中して噴射する噴射開口を形成した密着手段を備えていると、金型に存在する微細な隙間などに付着物が付着している場合にも、その隙間部分にプラズマ若しくはオゾンを集中して噴射することができるので、確実に洗浄することができる。
【００１７】
また、制御ユニットを移動可能に構成し、この制御ユニットに洗浄ユニットを任意の位置に移動及び位置決め可能に支持する洗浄ユニット支持手段を装着すると、制御ユニットを金型の洗浄を行おうとする任意の成形機の近傍に移動させ、この制御ユニットに洗浄ユニット支持手段を介して支持されている洗浄ユニットを成形機の金型間に配置することで金型の洗浄を行うことができ、１台の金型洗浄装置にて複数の成形機の金型の洗浄を作業性良く行うことができる。
【００１８】
また、本発明の成形機は、上記金型洗浄装置を備え、その洗浄ユニット支持手段が成形機に搭載された支持ロボットから成るものであり、成形機に支持ロボットにて移動及び位置決め可能に支持された洗浄ユニットが搭載されているので、成形機の稼働状態に応じて適切な時期に自動的に金型洗浄を行うようにすることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、金型が成形機に設置されている状態でその金型表面に向けて大気圧下でプラズマ若しくはオゾンを噴射させることにより、金型表面をプラズマ若しくはオゾンにて確実に洗浄することができ、金型洗浄のために金型を取外す必要がないので、成形機の稼働率を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（第１の実施形態）
以下、本発明の第１の実施形態の金型洗浄装置について、図１〜図６を参照して説明する。
【００２１】
図１において、１は金型洗浄装置で、走行キャスタ２ａを備えて任意の位置に移動可能な制御ユニット２と、互いに対向する両側面から酸素プラズマ１１やその他のプラズマ若しくはオゾンを噴射して洗浄を行う洗浄ユニット３と、洗浄ユニット３を支持するように制御ユニット２に装着された洗浄ユニット支持手段４とを備えている。洗浄ユニット支持手段４は、洗浄ユニット３を３次元的に任意の位置に移動可能にかつ任意の停止位置で位置保持した状態で支持できるように構成されている。
【００２２】
制御ユニット２には、電力供給線５とエア又は酸素ガスや酸素ガスと不活性ガスの混合ガスなどの供給源（図示せず）に接続可能なガス供給管６と排気手段（図示せず）に接続可能な排気管７が接続され、また制御ユニット２の設置状態が検出された時に報知する報知灯８が設けられている。また、制御ユニット２と洗浄ユニット３の間は、電力供給線や各種制御信号線及びガス供給管を収納したフレキシブル接続ダクト９と、フレキシブル排気ダクト１０にて接続されている。なお、フレキシブル排気ダクト１０や排気管７を設けずに洗浄ユニット３から直接外部に排出するようにしても良い。
【００２３】
洗浄ユニット３は、図２に示すように、長方形板状でその長手方向の両端からプラズマ１１を噴出するプラズマ噴射部１２を移動手段１３にてプラズマ１１の噴出方向と直交する方向に移動可能に構成されている。プラズマ噴射部１２は、図３に示すように、中央部にガス供給通路１４が形成され、その両側にプラズマ発生部１５が配設されている。プラズマ発生部１５は、図４に示すように、一対のステンレスなどの金属板製の電極１６の少なくとも対向面に誘電体１７が設けられ、かつ対向する誘電体１７、１７間のプラズマ発生空間１８が形成されており、このプラズマ発生空間１８内にその一端に接続されたガス供給通路１４からガスを供給するとともに電極１６に高周波電源１９から高電圧を印加することによってプラズマを発生し、発生したプラズマ１１をプラズマ発生空間１８の他端から噴出するように構成されている。
【００２４】
なお、本実施形態の洗浄ユニット３では、ガス供給通路１４の両側に一対のプラズマ発生部１５を配設して両端から酸素プラズマ１１を噴出するようにしたプラズマ噴射部１２を設けた例を示したが、単一のプラズマ発生部１５を設けて一端からのみ酸素プラズマ１１を噴出するようにしても良い。
【００２５】
また、プラズマ発生部１５では、平行平板型の一対の電極１６を対向配置した例を示したが、平行平板型の電極を多段で積み重ねた構成とすることもできる。また、プラズマ発生空間１８に供給するガスとしては、空気を含めて酸素を含むガスを供給することで酸素プラズマを発生することができるが、プラズマを発生させ易くするために、ヘリウムやアルゴンのような希ガスに酸素のような反応性ガスを混合した混合ガスを供給することもできる。また、酸素濃度の高いガスを供給することで、高濃度の酸素プラズマやオゾンを発生させることもできる。本実施形態では、空気より圧力スイング式吸着法などの気体膜分離装置を使用して高濃度の酸素（約９０％）を製造してプラズマ発生空間１８に供給し、酸素プラズマ及びオゾンを発生させている。また、発生するプラズマも酸化性の酸素プラズマに限らず、洗浄対象に応じて還元性のプラズマを発生することもできる。
【００２６】
以上の構成において、成形機の金型洗浄を行う際には、まず制御ユニット２を走行移動させて金型洗浄装置１を成形機の近傍に移動し、電力供給線５、ガス供給管６、排気管７をそれぞれ電源、ガス供給源、排気手段（図示せず）に接続する。一方、成形機を操作して、図５（ａ）に示すように閉じた状態の固定金型２１と可動金型２２を図５（ｂ）に示すように開いた後、洗浄ユニット支持手段４にて移動及び停止位置で位置保持可能に支持されている洗浄ユニット３を手動操作で移動させて金型２１、２２間に配置し、次に成形機を操作して可動金型２２を徐々に閉じ、図５（ｃ）に示すように、洗浄ユニット３の酸素プラズマ１１が噴出される両側面に金型２１、２２の成形面を当接させる。なお、洗浄ユニット３の両側面に金型２１、２２の成形面が当接すると検出する検出センサ（図示せず）を洗浄ユニット３に設け、その検出センサからの検出信号に基づいて報知灯８が点灯するように構成し、その点灯によって可動金型２２の移動操作を停止するようにするのが好ましい。
【００２７】
次に、洗浄ユニット３のプラズマ噴射部１２のガス供給通路１４にガスを供給しつつ、その両側のプラズマ発生部１５の電極１６に高周波電圧を印加することで、プラズマ発生空間１８で発生した酸素プラズマ１１がプラズマ噴射部１２の両端から噴出する。また、その状態で移動手段１３が作動してプラズマ噴射部１２が移動することで、金型２１、２２の成形面の全面に対して酸素プラズマ１１が噴出され、金型２１、２２の成形面が洗浄される。
【００２８】
金型２１、２２の成形面の酸素プラズマ噴射による洗浄が終了すると、可動金型２２を開き、洗浄ユニット３を金型２１、２２間から引き出し、制御ユニット２を待機位置に移動させることで作業は完了し、成形機は直ちに再稼働することができる。
【００２９】
なお、図５では金型２１、２２が左右に開く、光ディスク、導光板、レンズ、コネクターなどを成形する横型成形機の例を示したが、半導体樹脂封止用のトランスファー成形機など、図６に示すように固定金型金型２３と可動金型２４が上下に開く縦型成形機においても、図６（ａ）〜（ｃ）に示すように、その金型２３、２４間に洗浄ユニット３を配置することで同様に成形面の洗浄を行うことができる。
【００３０】
（第２の実施形態）
次に、本発明の金型洗浄装置の第２の実施形態について、図７〜図９を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明においては、先行する実施形態と同一の構成要素については同一参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
【００３１】
本実施形態では、洗浄ユニット３に、図７に示すように、この洗浄ユニット３を金型２１、２２間に配置して金型２２を閉じる際に、洗浄ユニット３に圧縮荷重が作用すると収縮できるようにばね機構などから成る緩衝部２５を設けている。また、所定以上の荷重が作用した時に検出する検出センサ（図示せず）を設け、検出センサから検出信号が出力されると、報知灯８を点灯するように構成している。また、洗浄ユニット３の金型２１、２２に対向する面に、図８に示すように、金型２１、２２の洗浄すべき所要箇所、即ち成形面に対応してプラズマを噴射する開口を有し、その周囲が金型２１、２２の表面に密着する密着手段２６を着脱可能に装着している。
【００３２】
このように、洗浄ユニット３に緩衝部２５を設けると、図９（ａ）に示すように、金型２１、２２間に洗浄ユニット３を配置した後、図９（ｂ）に示すように、金型２１、２２を閉じる際に洗浄ユニット３に過大な荷重が作用するのを緩衝部２５が圧縮することで確実に防止でき、かつ所定以上の荷重が作用した時に検出センサ（図示せず）にて検出されて報知灯８が点灯することで、金型２２を閉じる動作を容易かつ安全に制御することができる。また、洗浄ユニット３の金型２１、２２に対向する面に、金型２１、２２の成形面の形状に応じて対応する密着手段２６を装着することで、図８に示すように、密着手段２６を金型２１、２２の表面の洗浄すべき所要部分、即ち成形面の周囲に密着させ、洗浄ユニット３から金型２１、２２の成形面に対してのみ酸素プラスマ１１を噴射することができるので、効率的に洗浄することができる。
【００３３】
（第３の実施形態）
次に、本発明の金型洗浄装置の第３の実施形態について、図１０を参照して説明する。      
【００３４】
本実施形態では、洗浄ユニット３をプラズマ噴射方向に２分割し、その分割洗浄ユニット３Ａ、３Ｂ間に各分割洗浄ユニット３Ａ、３Ｂを金型２１、２２表面に向けて押し付けるシリンダ装置などから成る押し付け手段２７を介装している。また、本実施形態では、一方の分割洗浄ユニット３Ａに緩衝部２５を設けるとともに所定以上の圧縮荷重が作用すると検出する検出センサ（図示せず）を設け、所定以上の圧縮荷重が作用したことを検出すると報知灯８を点灯するように構成されている。なお、押し付け手段２７に加圧力調整機構を備えている場合には、緩衝部２５や検出センサは必ずしも設ける必要はない。
【００３５】
本実施形態によれば、成形機を操作してその金型２１、２２を徐々に閉じることで金型２１、２２間に洗浄ユニット３を挟む代わりに、図１０（ａ）に示すように、適当に開いた金型２１、２２間に洗浄ユニット３を配置した後、図１０（ｂ）に示すように、押し付け手段２７にて洗浄ユニット３の分割洗浄ユニット３Ａ、３Ｂを金型２１、２２に押し付けることにより、洗浄ユニット３の両側面を金型２１、２２の表面に接触させることができ、成形機を操作する必要がないので作業性が向上する。
【００３６】
（第４の実施形態）
次に、本発明の金型洗浄装置の第４の実施形態について、図１１、図１２を参照して説明する。
【００３７】
本実施形態では、図１１に示すように、金型表面の特定部位にのみプラズマを集中して噴射するように局部的に噴射開口２９を形成した密着手段２８を有している。この密着手段２８を所要時に洗浄ユニット３の金型２１、２２に対向する面に着脱可能に装着するようにしている。
【００３８】
本実施形態によれば、図１２に示すように、固定金型２１に設けられたキャビリング３１やフローティングパンチ３２とそれらの配置凹部の間の微小隙間に付着した付着物３３、３４を除去する場合に、その微小隙間に対応する部位に噴射開口２９を有する密着手段２８を洗浄ユニット３の金型２１に対向する面に装着し、洗浄ユニット３を作動することによって、酸素プラズマ１１がその部位に集中して噴射されることにより、洗浄の困難なこのような付着物３３、３４でも確実に洗浄することができる。なお、図１２において、３５は可動金型２２の成形面に装着されたスタンパ、３６はキャビリング３１の作動シリンダであり、３７、３８は成形面の表面に付着した容易に洗浄できる付着物である。
【００３９】
（第５の実施形態）
次に、本発明の第５の実施形態の成形機について、図１３を参照して説明する。
【００４０】
本実施形態は、成形機に上記実施形態に示した制御ユニット２、洗浄ユニット３、及び洗浄ユニット支持手段４に代えて洗浄ユニット３を自動的に移動及び位置決めする支持ロボット４１を設置して金型洗浄装置１を成形機に装備したものである。支持ロボット４１は、固定金型２１を設置した固定架台４０に立設したロボット用架台４２に装備されている。
【００４１】
本実施形態によれば、支持ロボット４１にて洗浄ユニット３を自動的に移動及び位置決めすることができるので、成形機の金型洗浄時には、図１３（ａ）に示すように金型２１、２２を開いた後、図１３（ｂ）に示すように支持ロボット４１にて洗浄ユニット３を金型２１、２２間に移動させて金型２１に当接させて配置し、可動金型２２を閉じて洗浄ユニット３に当接させ、洗浄ユニット３を作動させることで金型２１、２２の成形面の洗浄を自動的に行うことができ、洗浄が終了すると支持ロボット４１にて洗浄ユニット３を待機位置まで移動させることで、直ちに成形機による成形動作に復帰することができる。かくして、成形機の制御部に適当なプログラムを組んでおくことにより稼働状態に応じて適切な時期に自動的に金型洗浄を行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明に係る金型洗浄装置は、金型が成形機に設置されている状態で金型表面をプラズマ若しくはオゾンにて確実に洗浄することができ、金型洗浄のために金型を取外す必要がないため成形機の稼働率を向上することができ、各種成形機の金型洗浄に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１の実施形態の金型洗浄装置の全体斜視図である。
【図２】同実施形態の洗浄ユニットの斜視図である。
【図３】同実施形態のプラズマ噴射部の斜視図である。
【図４】同実施形態のプラズマ発生部の構成を模式的に示す断面図である。
【図５】同実施形態における横型成形機の金型洗浄時の動作工程の説明図である。
【図６】同実施形態における縦型成形機の金型洗浄時の動作工程の説明図である。
【図７】本発明の第２の実施形態の金型洗浄装置における洗浄ユニットの斜視図である。
【図８】同実施形態の密着手段を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。
【図９】同実施形態における金型洗浄時の動作工程の説明図である。
【図１０】本発明の第３の実施形態の金型洗浄装置における金型洗浄時の動作工程の説明図である。
【図１１】本発明の第４の実施形態の金型洗浄装置における密着手段を示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は正面図である。
【図１２】同実施形態を適用して効果的な金型における付着物の付着状態を模式的に示した断面図である。
【図１３】本発明の第５の実施形態の金型洗浄装置を装備した成形機における金型洗浄時の動作工程の説明図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  金型洗浄装置
２  制御ユニット
３  洗浄ユニット
３Ａ、３Ｂ  分割洗浄ユニット
４  洗浄ユニット支持手段
８  報知灯（報知手段）
１１  酸素プラズマ
１３  移動手段
１５  プラズマ発生部
１６  電極
１７  誘電体
１８  プラズマ発生空間
２１、２３  固定金型
２２、２４  可動金型
２５  緩衝部
２６、２８  密着手段
２７  押し付け手段
２９  噴射開口
４１  支持ロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2005111775.tif 000011
【図１０】
2005111775.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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