(57)【要約】【課題】  全体が小型化され磁性試料を異振動なく安定でスムーズに振動させ、その磁気特性を高精度で測定することが可能な磁気特性測定装置の試料加振機構を提供する。【解決手段】  電磁石３Ａ、３Ｂの巻線８Ａ、３Ｂに交流電源５から交番電力が供給されると、巻線８Ａに流れる電流による磁界と、巻線８Ｂに流れる電流による磁界とにより、永久磁石１１、１２が埋め込まれた加振片１０は、Ｅ型コア１とＥ型コア２間の対向間隙内で、Ｅ型コア１にもＥ型コア２にも吸引されずにバランスを保持して配設され、永久磁石１１、１２と、巻線８Ａ、８Ｂに流れる電流による磁界間の吸引・反発力に基づき、加振片１０は、長手方向に反動や異常音の発生なしに安定に振動し、Ｅ型コア１、２の対向間隙がより狭く設定され装置の小型化が可能になり、加振片１０に固定される磁性試料１３は、大きな加振パワーで異常音なく安定に振動され、高精度で高品質の磁気特性の測定が可能になる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中間鉄心に第１の巻線が巻装された第１のＥ型コアと、中間鉄心に前記第１の巻線とは逆方向に第２の巻線が巻装された第２のＥ型コアとが、それぞれの中間鉄心の端面を互いに近接対向させて配設されてなる電磁石と、
前記第１のＥ型コアと前記第２のＥ型コアの対向間隙内において、長手方向に移動自在に、両端部がダンパーを介して保持台に固定配設され、前記電磁石の第１の谷位置に前記長手方向に直角に磁極が配列された第１の永久磁石が、前記電磁石の第２の谷位置に前記直角方向に前記第１の永久磁石とは磁極が逆に配列された第２の永久磁石がそれぞれ埋め込まれ、一端の延長部に磁気特性測定の対象となる試料が固定される加振片と、
前記第１の巻線及び前記第２の巻線に交番電力を供給し、前記第１の巻線に流れる電流により形成される第１の磁界、及び前記第２の巻線に流れる電流により形成される第２の磁界に基づいて、前記加振片を前記長手方向に振動させる駆動手段と
を有することを特徴とする磁気特性測定装置の試料加振機構。
【請求項２】
請求項１記載の磁気特性測定装置の試料加振機構の２台が、それぞれの加振片の振動方向が互いに逆方向となるように、互いに組み付けられて構成されることを特徴とする磁気特性測定装置の試料加振機構。
【請求項３】
請求項１または請求項２記載の磁気特性測定装置の試料加振機構に対して、
加振片の試料固定位置の近傍に取り付けられる永久磁石と該永久磁石に対向配設される磁気コイルとを備え、前記加振片の振動位置を検出する位置検出手段と、
該位置検出手段からの検出信号に基づき、前記加振片の振動振幅が一定になるように、駆動手段の動作を制御する制御手段と
がさらに設けられていることを特徴とする磁気特性測定装置の試料加振機構。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３の何れかに記載の磁気特性測定装置の試料加振機構において、磁気特性測定装置が磁束計であることを特徴とする磁気特性測定装置の試料加振機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の磁気特性の測定を行なう磁気特性測定装置に用いられ、被測定試料を振動する磁気特性測定装置の試料加振機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報化社会の一翼を担うエレクトロニクス産業において、磁性材料は、記憶媒体として或いは、エネルギー変換を行なうトランスジューサの構成素子として、その使用分野が拡大している。従って、エレクトロニクス産業の現場では、磁気材料の開発や品質管理を目的として、試料の磁気特性を測定することが必要となり、磁性試料の各種の磁気特性を測定する磁気特性測定装置の需要が高まり、新しい磁気特性測定装置が日進月歩の勢いで開発されている。
ところで、磁性試料の品質を判定するために必要な基本的な磁気特性は、対象となる磁性試料のＢ−Ｈ特性であり、磁界中に置かれた磁性試料に対する磁界の強さＨと磁束密度Ｂとの特性曲線を測定して、対象となる磁性試料のＢ−Ｈ特性を把握することにある。
この場合、対象となる磁性試料の磁性Ｂ−Ｈ曲線が求められると、ヒステリシス特性を示すＢ−Ｈ曲線に基づいて、該磁性試料の保磁力Ｈｃ、残留磁束密度Ｂｒ、透磁率μ、最大磁束密度Ｂｍａｘを算出することができ、対象となる磁性試料を特定目的の磁性材料として開発し、或いは対象となる磁性試料の品質管理を行なうことが可能になる。
【０００３】
従来は、Ｂ−Ｈ特性の測定のためには、対象となる磁性試料をリング状に加工成形し、成形された磁性試料に磁化用コイルと検出用コイルを巻装し、磁化用コイルに所定強度の磁界Ｈを形成する電流を流し、検出用コイルの出力信号を積分することによって磁束密度Ｂを算出することにより、Ｂ−Ｈ特性の測定を行なっていた。
しかし、磁性試料をリング状に加工成形し、成形された磁性試料に磁化用コイルと検出用コイルを巻装してＢ−Ｈ特性の測定を行なうことは、測定前の準備工程にかなりの時間が費やされ、全体の測定に必要なコストが増大するという問題が生じる。
この問題を解決するために、試料振動型の磁束計が提案されており、この磁束計は図５及び図６に示すような構成となっていて、コア２０に巻線２１が巻装されて電磁石３が構成され、巻線２１に供給される電源２２からの電流によって、電磁石３のコア２０には磁界Ｈが形成され、この磁界Ｈは電磁石３Ａのコア２０の互いに対向する端面間の空間を貫通している。
この空間には、加振器２４によって、磁界Ｈと直角な矢印方向に振動する加振棒２３の先端に固定された磁性試料１３が配設されており、また、この空間には、図６に示すように、ピックアップコイル２５ａ、２５ｂが、コイル巻装面を磁界Ｈに直角にして配設されており、ピックアップコイル２５ａ、２５ｂでは、コイルの巻線が互いに逆方向に巻装され、ピックアップコイル２５ａ、２５ｂは、コイルの巻線によって、互いに直列に接続されている。そして、ピックアップコイル２５ａ、２５ｂの巻線の両端が、それぞれ増幅器２６ａ、２６ｂを介して検出演算回路２７の入力端子に接続されている。
【０００４】
このような構成の試料振動型の磁束計においては、比例定数をＫ、磁性試料１３の振動振幅をＩ、振動周波数をｆ、磁気モーメントをＭとすると、試料サイズが一定の場合、検出演算回路２７の出力信号ｅは次式で与えられる。
【０００５】
ｅ＝Ｋ・Ｉ・ｆ・Ｍ                        ・・・ （１）
【０００６】
ところで、磁気モーメントＭは、磁気試料１３の磁化率をχとして、Ｍ＝χ・Ｈとなり、また、透磁率をμとしてＢ＝μＨとなるので、（１）式に基づいて磁性試料１３に対して、磁界Ｈに対する出力信号ｅの測定を行なうことによってＢ−Ｈ間の特性測定が行なわれる。
この場合、図５に示すように、電磁石３Ａの巻線２１に、電源２２から超低周波の三角波交番電流Ｆｔを流し、磁界Ｈと磁束密度Ｂとの特性曲線を測定することにより、磁性試料１３の保磁力Ｈｃ、残留磁束密度Ｂｒ、透磁率μ、最大磁束密度Ｂｍａｘなどのデータを算出することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述したように、試料振動型の磁束計によると、磁性試料１３を磁界Ｈ内で磁界Ｈに直角方向に振動させることにより、測定前の磁性試料１３の成形が不要となり、少量の試料で、全体の所要時間と必要コストを削減して磁性試料１３に対する磁束測定を行なうことが可能になる。
この場合、磁束計の加振機構としては、音響機器のスピーカに使用されるコイル振動型加振器やモータとカムを使用した機械式加振器が使用されている。
コイル振動型加振器は、比較的軽量であるために、高周波数での振動が可能であるが、少量の磁性試料を対象とするためには加振部に対して小型軽量化の加工をすることが必要になる。
一方、機械式加振器は、振動力が強く大振幅の振動が可能であるが、カムの偏心を利用するために、反動による異振動が大きくなり、異振動を防止する機構の付加が要求され、装置が大型化すると共に製造コスト上での問題が発生する。
【０００８】
本発明は、前述したようなこの種の試料振動方式の磁気特性測定装置に使用される試料加振機構の現状に鑑みてなされたものであり、その目的は、加振機構全体が小型化され、対象となる磁性試料を異振動なく安定でスムーズに振動させ、磁気試料の磁気特性を高測定精度で測定することが可能な磁気特性測定装置の試料加振機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するために、請求項１記載の第１の発明は、中間鉄心に第１の巻線が巻装された第１のＥ型コアと、中間鉄心に前記第１の巻線とは逆方向に第２の巻線が巻装された第２のＥ型コアとが、それぞれの中間鉄心の端面を互いに近接対向させて配設されてなる電磁石と、前記第１のＥ型コアと前記第２のＥ型コアの対向間隙内において、長手方向に移動自在に、両端部がダンパーを介して保持台に固定配設され、前記電磁石の第１の谷位置に前記長手方向に直角に磁極が配列された第１の永久磁石が、前記電磁石の第２の谷位置に前記直角方向に前記第１の永久磁石とは磁極が逆に配列された第２の永久磁石がそれぞれ埋め込まれ、一端の延長部に磁気特性測定の対象となる試料が固定される加振片と、前記第１の巻線及び前記第２の巻線に交番電力を供給し、前記第１の巻線に流れる電流により形成される第１の磁界、及び前記第２の巻線に流れる電流により形成される第２の磁界に基づいて、前記加振片を前記長手方向に振動させる駆動手段とを有することを特徴とするものである。
【００１０】
第１の発明には、中間鉄心に第１の巻線が巻装された第１のＥ型コアと、中間鉄心に第１の巻線とは逆方向に第２の巻線が巻装された第２のＥ型コアとが、それぞれの中間鉄心の端面を互いに近接対向させて配設されてなる電磁石が設けられ、第１のＥ型コアと第２のＥ型コアの対向間隙内において、長手方向に移動自在に加振片が配設されている。
この加振片は、両端部がダンパーを介して保持台に固定配設され、電磁石の第１の谷位置には長手方向に直角に磁極が配列された第１の永久磁石が、電磁石の第２の谷位置には前記直角方向に第１の永久磁石とは磁極が逆に配列された第２の永久磁石がそれぞれ埋め込まれており、加振片の一端の延長部には、磁気特性測定の対象となる試料が固定されている。
このために、駆動手段によって、電磁石の第１の巻線及び第２の巻線に交番電力が供給されると、第１の巻線に流れる電流により形成される第１の磁界、及び第２の巻線に流れる電流により形成される第２の磁界により、加振片は、第１の磁界と第２の磁界によって、第１のＥ型コアと第２のＥ型コア間の対向間隙内で、第１のＥ型コアにも第２のＥ型コアにも吸引されずにバランスを保持して配設される。そして加振片は、バランスを保持した状態で、第１の永久磁石及び第２の永久磁石と、第１の磁界及び第２の磁界とに基づいて、長手方向に反動とこれに伴う異常音の発生なしに安定に振動し、対向間隙がより狭く設定されて装置が小型化され、加振片に取り付けられた磁気特性測定の対象となる試料は、大きな加振パワーで異常音なく安定に振動され、磁気特性の測定が感度よく高精度に行なわれる。
【００１１】
同様に前記目的を達成するために、請求項２記載の第２の発明は、請求項１記載の磁気特性測定装置の試料加振機構の２台が、それぞれの加振片の振動方向が互いに逆方向となるように、互いに組み付けられて構成されていることを特徴とするものである。
【００１２】
第２の発明は、第１の発明に係る磁気特性測定装置の試料加振機構の２台が、それぞれの加振片の振動方向が互いに逆方向となるように、互いに組み付けられて構成されているので、第１の発明での作用に加えて、それぞれの試料加振機構の加振片の長手方向の反動による異常振動が互いに吸収され、試料に対してより高精度の振動が行なわれる。
【００１３】
同様に前記目的を達成するために、請求項３記載の第３の発明は、請求項１または請求項２記載の磁気特性測定装置の試料加振機構に対して、加振片の試料固定位置の近傍に取り付けられる永久磁石と該永久磁石に対向配設される磁気コイルとを備え、前記加振片の振動位置を検出する位置検出手段と、該位置検出手段からの検出信号に基づき、前記加振片の振動振幅が一定になるように、駆動手段の動作を制御する制御手段とがさらに設けられていることを特徴とするものである。
【００１４】
第３の発明によると、第１の発明または第２の発明での作用に加えて、加振片の試料固定位置の近傍に取り付けられる永久磁石と該永久磁石に対向配設される磁気コイルとを備えた位置検出手段によって、加振片の振動位置が検出され、制御手段によって、位置検出手段からの検出信号に基づき、加振片の振動振幅が一定になるように、駆動手段の動作が制御されるので、加振片は振動振幅が常に一定になるように自動制御され、加振片に対して、さらに優れた高品質の振動が自動的に行なわれる。
【００１５】
同様に前記目的を達成するために、請求項４記載の第４の発明は、請求項１ないし請求項３の何れかに記載の磁気特性測定装置の試料加振機構において、磁気特性測定装置が磁束計であることを特徴とするものである。
【００１６】
第４の発明によると、磁気特性測定装置を磁束計として、第１の発明ないし第３の発明の何れかの発明での作用が実行される。
【発明の効果】
【００１７】
第１の発明には、中間鉄心に第１の巻線が巻装された第１のＥ型コアと、中間鉄心に第１の巻線とは逆方向に第２の巻線が巻装された第２のＥ型コアとが、それぞれの中間鉄心の端面を互いに近接対向させて配設されてなる電磁石が設けられ、第１のＥ型コアと第２のＥ型コアの対向間隙内において、長手方向に移動自在に加振片が配設されている。
この加振片は、両端部がダンパーを介して保持台に固定配設され、電磁石の第１の谷位置には長手方向に直角に磁極が配列された第１の永久磁石が、電磁石の第２の谷位置には前記直角方向に第１の永久磁石とは磁極が逆に配列された第２の永久磁石がそれぞれ埋め込まれており、加振片の一端の延長部には、磁気特性測定の対象となる試料が固定されている。
このために、第１の発明によると、駆動手段によって、電磁石の第１の巻線及び第２の巻線に交番電力が供給されると、第１の巻線に流れる電流により形成される第１の磁界、及び第２の巻線に流れる電流により形成される第２の磁界により、加振片は、第１の磁界と第２の磁界によって、第１のＥ型コアと第２のＥ型コア間の対向間隙内で、第１のＥ型コアにも第２のＥ型コアにも吸引されずにバランスを保持して配設可能になる。
そして加振片は、バランスを保持した状態で、第１の永久磁石及び第２の永久磁石と、第１の磁界及び第２の磁界とに基づいて、長手方向に反動とこれに伴う異常音の発生なしに安定に振動することが可能になり、対向間隙がより狭く設定されて装置の小型化が可能になり、加振片に取り付けられた磁気特性測定の対象となる試料を、大きな加振パワーで異常音なく安定に振動させて、磁気特性の測定を感度よく高精度に行なうことが可能になる。
【００１８】
第２の発明では、第１の発明に係る磁気特性測定装置の試料加振機構の２台が、それぞれの加振片の振動方向が互いに逆方向となるように、互いに組み付けられて構成されているので、第２の発明によると、第１の発明で得られる効果に加えて、それぞれの試料加振機構の加振片の長手方向の反動による異常振動が互いに吸収されることになり、試料に対してより高精度の振動を行なわせることが可能になる。
【００１９】
第３の発明によると、第１の発明または第２の発明で得られる効果に加えて、加振片の試料固定位置の近傍に取り付けられる永久磁石と該永久磁石に対向配設される磁気コイルとを備えた位置検出手段によって、加振片の振動位置が検出され、制御手段によって、位置検出手段からの検出信号に基づき、加振片の振動振幅が一定になるように、駆動手段の動作が制御されるので、加振片は振動振幅が常に一定になるように自動制御可能になり、加振片に対して、さらに優れた高品質の振動を自動的に行なわせることが可能になる。
【００２０】
第４の発明によると、磁気特性測定装置を磁束計として、第１の発明ないし第３の発明の何れかの発明で得られる効果が実現可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
［第１の実施の形態］
本発明の第１の実施の形態を、図１、図３及び図４を参照して説明する。
図１は本実施の形態の要部の構成を示す説明図、図３はスライド型試料加振機構の構成を示す説明図、図４はスライド型試料加振機構の構成を示す斜視説明図である。
【００２２】
本実施の形態にはスライド型試料加振機構が使用されるが、先ず、スライド式試料加振機構の原理について、図３及び図４を参照して説明する。
スライド型の試料加振機構では、図３及び図４に示すように、Ｅ型コア１の中間鉄心１ｍに巻線８が巻装され、巻線８の両端に交流電源５が接続されて電磁石３が構成されている。この電磁石３の中間鉄心１ｍの端面に近接対向して、電磁石３により形成される磁界Ｈに対向面を直角にして、磁界Ｈに直角な矢印で示す長手方向に移動自在に加振片１０が配設されている。この加振片１０にはＥ型コア１の第１の谷位置に永久磁石１１が、第２の谷位置に永久磁石１２が、磁界Ｈ方向に磁極を互いに逆方向に配列して埋め込まれており、加振片１０の両端はそれぞれダンパー７を介して保持台６に対接配置されている。
【００２３】
このような構成のスライド型試料加振機構では、交流電源５から巻線８に交流電力が供給されることにより、電磁石３により形成される磁界Ｈの方向が交番的に変化し、加振片１０の振動方向が矢印に示すように、交流電力の周波数に対応して変化する。
この時の加振片１０の振動力Ｆは、永久磁石１１、１２の磁化強度（単位体積当たりの磁気モーメント）をＭ、電磁石３の最大磁化強度をＭｍａｘ、永久磁石１１、１２と電磁石３との対向面積をＳ、永久磁石１１、１２と電磁石３との間隔をｄ、比例係数をＫ、加振片１０の振動周波数をｆとして、（２）式で与えられる。
【００２４】
Ｆ＝Ｋ（Ｓ・Ｍ・Ｍｍａｘ・ｓｉｎ２πｆｔ）／ｄ2  ・・・ （２）
【００２５】
ところで、図３に示すように電磁石３がＥ型コア１のみで構成されていると、（２）式に基づいて大きな振動力Ｆを得るために、間隔ｄを小さくすると、永久磁石１１、１２が磁気吸引力によりＥ型コア１に接触することがあり、間隔ｄを所定値以上狭めることができない。
また、加振片１０の振動力を大きくすると、ダンパー７を介して保持台６に大きな振動力が印加され、保持台６の重量をかなり大きく設定しないと、保持台６自体が振動して、異常音を発生したり、加振片１０の振動に異常振幅が発生して、誤振動が発生することになる。保持台６の重量を増加させることにより、保持台６の振動を防止することはできるが、保持台６の重量の増加は装置の大型化と移動使用の困難性とを生じ、装置の製造コストの増大にも繋がる。
【００２６】
本実施の形態は、これらの問題も考慮して構成されており、図１に示すように、Ｅ型コア１の中間鉄心１ｍに巻線８Ａが巻装された図３の場合と同一構成の電磁石３Ａと、Ｅ型コア２の中間鉄心２ｍに巻線８Ｂが巻装された電磁石３Ａと同一構成の電磁石３Ｂとが、中間鉄心１ｍ、２ｍを互いに接近対向させて配設されている。また、電磁石３Ｂの巻線８Ｂは、電磁石３Ａの巻線８Ａとは逆方向に巻装されており、巻線８Ａ、８Ｂには、共通の交流電源５から交番電力が供給されている。そして、電磁石３、３Ａ間の間隙部に、図３と同一構成の加振片１０が、長手方向に移動自在に、両端がダンパー７を介して保持台６に固定保持された状態で配設されている。
【００２７】
このような構成の本実施の形態では、電磁石３Ａの巻線８Ａ、電磁石３Ｂの巻線８Ｂに交番電力が交流電源５から供給されると、巻線８Ａに流れる電流により形成される磁界と巻線８Ｂに流れる電流により形成される磁界とにより、加振片１０は、Ｅ型コア１とＥ型コア２間の対向間隙内において、Ｅ型コア１にもＥ型コア２にも吸引されずにバランスを保持して配設される。
そして加振片１０は、このようにバランスを保持した状態で、永久磁石１１及び永久磁石１２と、巻線８Ａに流れる電流により形成される磁界及び巻線８Ｂに流れる電流により形成される磁界とに基づいて、長手方向に反動とこれに伴う異常音の発生なしに安定に振動する。このために、Ｅ型コア１、２の対向間隙がより狭く設定されて装置が小型化され、加振片１０に取り付けられた磁気特性測定の対象となる試料は、大きな加振パワーで異常音なく安定に振動され、磁気特性の測定が感度よく高精度に行なわれる。
【００２８】
このように、本実施の形態によると、Ｅ型コア１、２の対向間隙を大幅に狭めて装置全体を小型化することが可能になり、小型化された装置によって、対向間隙内で加振片１０を、Ｅ型コア１、２の何れにも接触することなく反動や異常音の発生なしに、スムーズに且つ強い加振力で振動させることが可能で、加振片１０に取り付けた磁性試料１３に対して、異常音の発生なしに感度よく高精度の磁気特性の測定を行なうことが可能になる。
【００２９】
［第２の実施の形態］
本発明の第２の実施の形態を、図２を参照して説明する。
図２は本実施の形態の要部の構成を示す説明図である。
【００３０】
本実施の形態は、図２に示すように、すでに図１を参照して説明した第１の実施の形態が２台、加振片１０の振動方向が互いに逆方向になるように隣接配設され、加振片１０の対向端部がダンパー７を介して保持台６に対接構成されている。さらに、本実施の形態では、加振片１０の延長部において、磁性試料１３の固定位置の近傍に永久磁石１４が取り付けられ、この永久磁石１４に対向して磁気コイル１５が配設され、磁気コイル１５の両端は増幅器１６の入力端子に接続され、増幅器１６の出力端子が制御回路１７に接続され、制御回路１７の出力端子が交流電源５に接続されている。
このように、本実施の形態には、反動による異常振動の吸収機能が設けられると共に、永久磁石１４と磁気コイル１５により磁性試料１３の振動位置を検出し、増幅器１６からの振幅制御信号Ｆｃに基づいて、制御回路１７からの駆動信号Ｆｄにより交流電源５を駆動し、加振片１０の振動振幅が一定になるように動作を制御する自動制御機能が設けられている。
本実施の形態の磁気特性信号検出部の構成は、すでに図５及び図６を参照して説明した磁気特性信号検出部と同一なので、重複する説明は行なわない。
【００３１】
このようにして、本実施の形態によると、それぞれの試料加振機構の加振片１０の長手方向の反動による異常振動が互いに吸収されることになり、磁性試料１３に対してより高精度の振動が行なわれる。さらに、加振片１０に連続する試料加振軸１０ｅの磁性試料１３の固定位置の近傍の永久磁石１４と、永久磁石１４に対向配設される磁気コイル１５によって、磁性試料１３の振動位置が電磁的に検出され、増幅器１６からの振幅制御信号Ｆｃによって、制御回路１７から出力される駆動信号Ｆｄに基づいて、加振片１０の振動振幅が一定になるように、交流電源５からの交番電力がそれぞれの電磁石３Ａ、３Ｂに供給され、加振片１０は振動振幅が常に一定になるように自動制御が行なわれる。
本実施の形態の磁気特性信号検出部の動作は、すでに図５及び図６を参照して説明した磁気特性信号検出部の動作と同一なので重複する説明は行なわない。
【００３２】
以上に説明したように、本実施の形態によると、すでに説明した第１の実施の形態で得られる効果に加えて、試料加振機構の２台が、それぞれの加振片１０の振動方向が互いに逆方向となるように、ダンパー７と保持台６を介して互いに対接して構成されるので、それぞれの加振片１０の長手方向の反動による異常振動は互いに吸収消滅することになり、磁性試料１３に対してより高精度の振動を行なわせ、高感度で高品質の磁性特性の測定を行なうことが可能になる。
また、本実施の形態によると、加振片１０の延長部の磁性試料１３の固定位置の近傍に取り付けられる永久磁石１４と永久磁石１４に対向配設される磁気コイル１５によって、加振片１０の振動位置が検出され、増幅器１６からの制御信号Ｆｃにより、制御回路１７から供給される駆動信号Ｆｄによって、加振片１０の振動振幅が常に一定になるように、自動制御を行なうことが可能になり、磁性試料１３に対して、さらに優れた高精度の振動を自動的に行なわせて、感度よく高品質の磁気特性の測定を行なうことが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の第１の実施の形態の要部の構成を示す説明図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態の要部の構成を示す説明図である。
【図３】スライド型試料加振機構の構成を示す説明図である。
【図４】スライド型試料加振機構の構成を示す斜視説明図である。
【図５】従来の振動試料型磁束計の構成を示す説明図である。
【図６】図５の磁気特性信号検出部の構成を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３４】
１、２  Ｅ型コア
３Ａ、３Ｂ  電磁石
５  交流電源
６  保持台
７  ダンパー
８Ａ、８Ｂ  巻線
１０  加振片
１１、１２、１４  永久磁石
１３  磁性試料
【図１】
2005337779.tif 000003
【図２】
2005337779.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2005337779.tif 000007
【図６】
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