(57)【要約】【課題】  給電線部分の位置変更量を小さくして省スペース化の図りやすい搬送装置を提供する。【解決手段】  案内レール２における一部の昇降レール部分２ａを、その昇降レール部分２ａに物品搬送車３を停止させた状態で、隣接する案内レール２に連なる上昇位置とその上昇位置より下方の下降位置とに昇降移動させる昇降移動手段３２と、給電線１５における昇降レール部分２ａに対応する給電線部分１５ａを、集電部１６に給電可能な給電位置と昇降レール部分２ａの昇降並びにこの昇降レール部分２ａに停止する物品搬送車３の昇降を許容すべく横側方に退避する退避位置とに位置変更させる位置変更手段４１とを設ける。【選択図】        図６
2005280946.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井側に設置されている案内レールに案内されて設定移動経路に沿って走行し、且つ、前記案内レールの長手方向に沿う状態に設けられた給電線にて駆動用電力が給電される集電部を備えた物品搬送車と、
前記案内レールにおける一部の昇降レール部分を、その昇降レール部分に前記物品搬送車を停止させた状態で、隣接する前記案内レールに連なる上昇位置とその上昇位置より下方の下降位置とに昇降移動させる昇降移動手段とが設けられている搬送装置であって、
前記給電線における前記昇降レール部分に対応する給電線部分を、前記集電部に給電可能な給電位置と前記昇降レール部分の昇降並びにこの昇降レール部分に停止する前記物品搬送車の昇降を許容すべく横側方に退避する退避位置とに位置変更させる位置変更手段が設けられている搬送装置。
【請求項２】
前記昇降移動手段及び前記位置変更手段が天井側に設けられている請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
前記昇降移動手段及び前記位置変更手段が、遠隔操作用の操作手段の指令により作動するように構成されている請求項２記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、天井側に設置されている案内レールに案内されて設定移動経路に沿って走行し、且つ、前記案内レールの長手方向に沿う状態に設けられた給電線にて駆動用電力が給電される集電部を備えた物品搬送車と、前記案内レールにおける一部の昇降レール部分を、その昇降レール部分に前記物品搬送車を停止させた状態で、隣接する前記案内レールに連なる上昇位置とその上昇位置より下方の下降位置とに昇降移動させる昇降移動手段とが設けられている搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
かかる搬送装置は、物品搬送車に対してメンテナンス作業を行うために、昇降レール部分に物品搬送車を停止させた状態で昇降移動手段にて昇降レール部分を下降位置に下降させて、その昇降レール部分から物品搬送車を降ろし、また、降ろされた物品搬送車が案内レールに案内されて設定移動経路に沿って走行できるように、物品搬送車を下降位置に位置する昇降レール部分に物品搬送車を載せた後、その昇降レール部分を上昇位置に上昇させるように構成されているものである。
このような搬送装置は、従来では、昇降レール部分を昇降させる際に、昇降レール部分やその昇降レール部分に停止させた物品搬送車と昇降レール部分に対応する給電線部分とが干渉しないように、給電線部分を昇降レール部分に支持させて昇降レール部分と給電線部分とが一体的に昇降するように構成し、給電線には、給電線部分の昇降を許容すべく給電線部分と昇降レール部分に隣接する案内レールに対応する給電線本線との間に、ケーブルベアにて支持される融通部分を設けて構成されているものがあった（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２８９４１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記従来の構成では、床面近くで昇降レール部分に対して物品搬送車を乗降させるために昇降レール部分を天井近くの上昇位置と床面近くの下方位置とに亘って昇降可能に構成すると給電線に必要な融通部分が長くなり、また、給電線部分を昇降レール部分と一体的に昇降させるために、融通部分は昇降レール部分を上昇位置に上昇させた通常の使用状態では長い融通部分がＵ字状に垂れ下がる状態となるので、その大きく垂れ下がる融通部分を配設するために大きな占有スペースが必要であった。
【０００５】
本発明は、上記実状に鑑みて為されたものであって、その目的は、給電線の垂れ下がりを無くして省スペース化の図りやすい搬送装置を提供する点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願発明の搬送装置は、天井側に設置されている案内レールに案内されて設定移動経路に沿って走行し、且つ、前記案内レールの長手方向に沿う状態に設けられた給電線にて駆動用電力が給電される集電部を備えた物品搬送車と、前記案内レールにおける一部の昇降レール部分を、その昇降レール部分に前記物品搬送車を停止させた状態で、隣接する前記案内レールに連なる上昇位置とその上昇位置より下方の下降位置とに昇降移動させる昇降移動手段とが設けられている搬送装置であって、
第１特徴構成は、前記給電線における前記昇降レール部分に対応する給電線部分を、前記集電部に給電可能な給電位置と前記昇降レール部分の昇降並びにこの昇降レール部分に停止する前記物品搬送車の昇降を許容すべく横側方に退避する退避位置とに位置変更させる位置変更手段が設けられている点を特徴とする。
【０００７】
すなわち、給電線における昇降レール部分に対応する給電線部分を給電位置から横側方の退避位置に位置変更させることにより、昇降移動手段により昇降移動される昇降レール部分並びにこの昇降レール部分に停止する物品搬送車の昇降移動経路から退避させることができ、昇降レール部分や物品搬送車の昇降を許容することができる。
つまり、給電線部分の供給位置から退避位置への位置変更は、昇降レール部分並びにこの昇降レール部分に停止する物品搬送車の昇降移動経路から外れるように横側方に退避させる程度の変更でよいので、給電線部分と隣接する案内レールに対応する給電線本線との間に設ける融通部分を短くすることができ、また、給電線部分を横側方に退避させるものであるから、給電線部分と給電線本線との間に設ける融通部分を垂れ下がらないように配設できる。よって、給電線部分と給電線本線との間に設ける融通部分の長さを短く且つ垂れ下がらないようにすることができるので、給電線の垂れ下がりを無くして省スペース化の図りやすい搬送装置を提供することができるに至った。
【０００８】
第２特徴構成は、前記昇降移動手段及び前記位置変更手段が天井側に設けられている点を特徴とする。
すなわち、昇降移動手段及び位置変更手段を天井側に設けることにより、昇降移動手段及び位置変更手段の下方空間を有効利用できる。
【０００９】
第３特徴構成は、前記昇降移動手段及び前記位置変更手段が、遠隔操作用の操作手段の指令により作動するように構成されている点を特徴とする。
すなわち、第２特徴構成において、天井側に設けられた昇降移動手段及び位置変更手段を、操作手段にて床面側から遠隔操作することができるようになり、昇降移動手段や位置変更手段の指令を容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、搬送装置は、案内レール２が複数の物品処理部１を経由するように環状の設定移動経路を組み合わせるように設けられ、その走行レール２に案内されて設定移動経路に沿って走行する物品搬送車３が設けられている。
そして、物品搬送車３が、図外の物品搬入箇所から物品処理部１、物品処理部１から他の物品処理部１、及び、物品処理部１から図外の物品搬出箇所に半導体基板を収納した物品としての容器４を搬送するように構成され、物品処理部１において、半導体基板の製造途中での半製品などに対して所定の処理を行うように構成されている。
ちなみに、図１は、物品搬送車３の設定移動経路の概略を示す平面図であり、図２は、案内レール２および物品搬送車３を示す斜視図である。
【００１１】
図３、図４に示すように、案内レール２は、ブラケット８により天井部に固定取付けする状態で配備される左右一対のレールにて構成されており天井側に設置されて、案内レール２には、その案内レール２の長手方向に沿う状態に左右一対の給電線１５が設けられており、物品搬送車３には、給電線１５にて駆動用電力が給電される集電部１６が備えられている。
【００１２】
前記物品搬送車３は、案内レール２を走行する走行部５と、その走行部５に吊り下げ支持されて、容器４を吊り下げ状態で把持する昇降駆動自在な把持部６とを備えて構成されている。
そして、物品搬送車３は、物品処理部１に対応する目標停止位置に停止した状態において、ワイヤ７を巻き取りまたは巻き出すことにより把持部６を昇降させて、容器４を把持した把持部６を上昇させて物品処理部１の載置台１ａから容器４を引き上げたり、容器４を把持した把持部６を下降させて物品処理部１の載置台１ａに容器４を載置させるように構成されている。
ちなみに、図３は、物品搬送車３の縦断側面図であり、図４は、物品搬送車３の縦断正面図である。
【００１３】
前記走行部５には、回転自在な左右一対の従動輪及び左右一対の駆動モータ１７にて駆動される左右一対の駆動輪で構成されて案内レール２の走行面１２上を転動する走行車輪１１と、案内レール２の対向する案内面１４に側方から接当する案内輪１３とが設けられている。従って、後方側の左右一対の走行車輪１１が駆動モータ１７にて駆動され、且つ、案内輪１３が案内面１４に接当案内されることにより、物品搬送車３が案内レール２に案内されて設定移動経路に沿って走行するように構成されている。
【００１４】
また、図３および図４に示すように、前記把持部６は、走行部５に連結扞９により連結された枠体１８と、枠体１８に吊り下げ支持された昇降操作部１９とで構成されている。この昇降操作部１９は、容器４のフランジ４ａを把持する作用状態及び把持を解除する解除状態に切り換え自在な把持作用部２０を備えた昇降体２１と、その昇降体２１を上下方向に昇降操作自在に支持している昇降操作機構２２とで構成されている。
【００１５】
そして、昇降操作機構２２は、ドラム駆動用モータＭ１によって上下方向の軸芯周りで回転する回転ドラム２３により、４本の前記ワイヤ７を同時に巻き取りおよび巻き出しを行えるようにして、回転ドラム２３を正逆転させることで、この４本のワイヤ７にて吊り下げ支持された昇降体２１が略水平姿勢を維持しながら昇降操作されるように構成されている。
前記把持作用部２０は、容器２のフランジ４ａを把持する一対の把持具２４が設けられ、これら一対の把持具２４が把持動作用モータＭ２によりリンク機構２５を介して互いに近づく方向に揺動してフランジ４ａを把持する把持姿勢と、一対の把持具２４が互いに離れる方向に揺動して把持を解除する解除姿勢とに切り換え自在に構成されている。
そして、この把持作用部２０は、縦軸芯周りで回転自在に昇降体２１に取り付けられ、旋回用モータＭ３により縦軸芯周りで旋回操作可能に構成されている。
【００１６】
前記枠体１８の上面には、左右一対の前記給電線１５にて走行駆動モータ１７やドラム駆動用モータＭ１、把持動作用モータＭ２等の駆動用電力が給電される集電部１６が備えられている。この集電部１６は、ピックアップコイルにて構成され且つ正面視でエ字状に形成されている。
そして、交流電流の通電により給電線１５に磁界を発生させ、この磁界により物品搬送車３側での必要電力を集電部１６に発生させて、無接触状態で給電を行うように構成されている。
【００１７】
図１に示すように、物品処理部１を経由する環状の設定移動経路から分岐させた分岐経路に物品搬送車入出箇所３１が定められている。この物品搬送車入出箇所３１には、案内レール２における一部の昇降レール部分２ａを、その昇降レール部分２ａに物品搬送車３を停止させた状態で、隣接する案内レールとしてのレール本線２ｂに連なる上昇位置とその上昇位置より下方で床面近くの下降位置とに昇降移動させる昇降移動手段３２と、給電線１５における昇降レール部分２ａに対応する給電線部分１５ａを、集電部１６に給電可能な給電位置と昇降レール部分２ａの昇降並びにこの昇降レール部分２ａに停止する物品搬送車３の昇降を許容すべく横側方に退避する退避位置とに位置変更させる位置変更手段４１とが設けられている。
【００１８】
図６、図７に示すように、前記昇降移動手段３２は、天井に固定状態に設けられた支持部材３３の板状部３３ａに支持されており、昇降用モータ３４と、昇降用モータ３４にて回転駆動されてベルト３６を繰り出し並びに巻き取り可能な駆動プーリ３５と、ベルト３６の中間部を支持する遊転プーリ３７と、ベルト３６にテンションを付与するテンションプーリ３８とで構成されている。
そして、昇降移動手段３２は、繰り出されたベルト３６の端部にて前記昇降レール部分２ａを連結支持して、昇降用モータ３４にて駆動プーリ３５が正逆回転されてベルト３６の繰り出しや巻き取りが行われることにより、ベルト３６の端部に連結支持された昇降レール部分２ａが水平姿勢を維持しながら、図１０（イ）に示すような、昇降レール部分２ａがレール本線２ｂと連なる上昇位置と、図１０（ロ）に示すような、上昇位置より下方で床面近くの下降位置とに昇降移動するように構成されている。
【００１９】
図８に示すように、前記位置変更手段４１は、設定移動経路に対してそれと交差する横幅方向の一方側に設けられており、支持部材３３のスライド支持部３３ｂに横幅方向にスライド移動自在に支持されたスライド板４３と、支持部材３３のラック部３３ｃのラックに噛合するピニオンギヤ４５と、そのピニオンギヤ４５を回転駆動させるスライド用モータ４６とで構成されており、一対の給電線部分１５ａは横幅方向の位置変更手段４１が設けられた一方側に纏められてその両方がスライド板４３に支持されている。
従って、位置変更手段４１は、スライド用モータ４６にてピニオンギヤ４５が正逆回転されてスライド板４３が横幅方向にスライド移動することにより、図８（イ）に示すような、集電部１６に給電可能な給電位置と、図８（ロ）に示すような、昇降レール部分２ａの昇降並びにこの昇降レール部分２ａに停止する物品搬送車３の昇降を許容すべく横側方に退避する退避位置とに位置変更するように構成されている。
【００２０】
つまり、レール本線２ｂにおいては、図４に示すように、左右一対の給電線１５を一対のレールに振り分けてその給電線１５が設定移動経路の両方側に位置するように設けられているが、昇降レール部分２ａでは、図６に示すように、左右一対の給電線１５を設定移動経路の一方側に纏めて設けられている。これにより、レール本線２ｂに案内されて走行する際には、物品搬送車３は一対の給電線１５の両方にて集電部１６の左右両側から駆動用電力が供給されるのに対して、レール本線２ｂに案内されて走行する際には、物品搬送車３は一対の給電線１５における設定移動経路側に位置する一方にて集電部１６の左右片側から駆動用電力が供給される。
従って、レール本線２ｂでは、一対の給電線１５を設定移動経路の両側に振り分けて設けることにより物品搬送車３に対して一対の給電線１５にて十分な駆動用電力を供給して迅速に容器４を搬送することができ、また、昇降レール部分２ａでは、一対の給電線１５を設定移動経路の一方側に纏めて設けることにより、一対の給電線の位置変更を設定移動経路の一方側において一体的に行うことができるので位置変更手段の構成を簡素化することができる。尚、物品搬送車入出箇所３１においては、物品搬送車３は高速走行する必要がないので一方の給電線による給電で十分である。
【００２１】
給電線１５の引き回しについて説明する。図８に示すように、給電線１５は案内レール２に沿って一対設けられており、昇降レール部分２ａに対応する一対の給電線部分１５ａは設定移動経路の一方側に纏めて設けられており、レール本線２ｂに対応する一対の給電線本線１５ｂは設定移動経路の両方側に振り分けて設けられている。そして、一対の給電線本線１５ｂにおける設定移動経路の給電線部分１５ａが設けられていない他方側に配設された給電線本線１５ｂは、レール本線２ｂの上方を越えて給電線部分１５ａが設けられている一方側に延設されている。
給電線部分１５ａと給電線本線１５ｂとは位置変更自在な融通部１５ｃを介して接続されており、給電線部分１５ａが給電位置と退避位置とに位置変更可能なように構成されている。尚、給電線１５における融通部１５ｃは、他の機器との干渉を防止するためにケーブルベア内に収納されている。
【００２２】
そして、図１１に示すように、搬送装置には案内レール部分２ａの昇降移動操作並びに給電線部分１５ａの位置変更操作を無線信号にて指令する遠隔操作用の無線式操作装置（操作手段に相当）４８が設けられており、この無線式操作装置４８にて、給電線部分１５ａを供給位置から退避位置に位置変更させた後に昇降レール部分２ａを上昇位置から下降位置に下降移動させる下降指令や、昇降レール部分２ａを下降位置から上昇位置に上昇移動させた後に給電線部分１５ａを退避位置から供給位置に位置変更させる上昇指令が人為操作にて指令可能に構成されている。そして、下降指令や上昇指令を受信機４９にて受信し、制御装置Ｈに入力され、この入力情報に基づいて昇降用モータ３４やスライド用モータ４６を作動させるように構成されている。
【００２３】
従って、図９（イ）に示すような給電線部分１５ａが給電位置に位置し且つ昇降レール部分２ａが上昇位置に位置する状態において、無線式操作装置４８にて下降指令を指令すると、昇降レール部分２ａ並びにこの昇降レール部分２ａに停止する物品搬送車３の昇降を許容すべく図９（ロ）に示すように位置変更手段４１にて給電線部分１５ａを退避位置に位置変更させ、その後、図９（ハ）に示すような昇降移動手段３２にて昇降レール部分２ａを下降位置まで下降させる。
このように昇降レール部分２ａを下降させる際に、その昇降レール部分２ａに物品搬送車３を停止させておくと、その昇降レール部分２ａとともに物品搬送車３も下降し、下降位置に下降した昇降レール部分２ａから物品搬送車３を降ろしてメンテナンス作業を行う。
【００２４】
また、図９（ハ）に示しめすような給電線部分１５ａが退避位置に位置し且つ昇降レール部分２ａが下降位置に位置する状態において、無線式操作装置４８にて上昇指令を指令すると、図９（ロ）に示すように昇降移動手段３２にて昇降レール部分２ａを上昇位置まで上昇させた後、給電線部分１５ａにて物品搬送部３の集電部１６に駆動用電力が供給される状態とすべく図９（イ）に示すように位置変更手段４１にて給電線部分１５ａを給電位置に位置変更させる。
このように昇降レール部分２ａを上昇させる際に、メンテナンス作業を終えた物品搬送車３を下降位置の昇降レール部分２ａに差し込んでおくことにより、物品搬送車３を設定移動経路に沿って走行するように配備させることができる。
【００２５】
〔別実施の形態〕
（１）  上記実施の形態では、昇降移動手段３２を天井側に設けたが、図１２に示すように、昇降移動手段における昇降用モータ３４や駆動プーリ３５を床面上或いは床面近くに設けてもよい。
【００２６】
（２）  上記実施の形態では、操作手段を無線式に構成したが、操作手段と制御装置とをケーブルで接続した有線式に構成してもよく、天井近くの昇降移動手段３２や位置変更手段４１に近接する位置に操作手段を設けてもよい。
【００２７】
（３）  上記実施の形態では、一対の給電線部分１５ａを設定移動経路の一方側に纏めて配設したが、給電線本線１５ｂと同様に設定移動経路の両側に振り分けて配設してもよく、一対の給電線本線１５ｂを給電線部分２ａのように設定移動経路の一方側に纏めて配設してもよい。また、集電部を正面視での形状をエ字状としたがＥ字状としてもよい。
【００２８】
（４）  上記実施の形態において、走行経路から分岐させて物品搬送車入出箇所３１を設けた分岐経路を走行経路と同様に環状に構成し、昇降レール部分２ａの両側にレール本線２ｂが隣接するように構成してもよく、また、物品搬送車入出箇所３１を走行経路に設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】物品搬送車の走行経路を示す概略図
【図２】物品搬送車及び物品処理部を示す斜視図
【図３】物品搬送車の縦断側面図
【図４】物品搬送車における縦断正面図
【図５】レール昇降装置の側面図
【図６】レール昇降装置の正面図
【図７】レール昇降装置の平面図
【図８】レール昇降装置の位置変更手段を示す図
【図９】レール昇降装置の正面作用図
【図１０】レール昇降装置の側面作用図
【図１１】搬送装置の制御ブロック図
【図１２】別実施の形態におけるレール昇降装置を示す図
【符号の説明】
【００３０】
２    案内レール
２ａ  昇降レール部分
３    物品搬送車
１５    給電線
１５ａ  給電線部分
１６    集電部
３２    昇降移動手段
４１    位置変更手段
４８    操作手段
【図１】
2005280946.tif 000003
【図２】
2005280946.tif 000004
【図３】
2005280946.tif 000005
【図４】
2005280946.tif 000006
【図５】
2005280946.tif 000007
【図６】
2005280946.tif 000008
【図７】
2005280946.tif 000009
【図８】
2005280946.tif 000010
【図９】
2005280946.tif 000011
【図１０】
2005280946.tif 000012
【図１１】
2005280946.tif 000013
【図１２】
2005280946.tif 000014