(57)【要約】【課題】  複数の電気光学装置の検査を連続的ないし迅速に実施する。【解決手段】  電気光学装置（１００、１０１）に光を照射する光源と、前記電気光学装置を少なくとも二つ以上保持する移動テーブル（４１）と、前記光源からの光が前記電気光学装置のいずれか一つに選択的に照射されるように移動テーブルを光源との関係において相対的に移動させる移動手段と、前記電気光学装置を透過する光を受ける受光手段と、前記電気光学装置を温度可変する温度可変手段とを備えている。【選択図】      図２
2005257480.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学装置に光を照射する発光手段と、
前記電気光学装置を少なくとも二つ以上保持する被検査体保持手段と、
前記発光手段からの光が前記電気光学装置のいずれか一つに選択的に照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動手段と、
前記電気光学装置を透過する光を受ける受光手段と、
前記電気光学装置を温度可変する温度可変手段と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項２】
前記発光手段からの光の照射及び前記受光手段による受光が、前記電気光学装置のうちの一つである第１電気光学装置について行われている間に、前記温度可変手段による温度可変が、前記電気光学装置のうちの別の一つである第２電気光学装置について行われることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項３】
前記温度可変手段は、前記発光手段により前記第１電気光学装置に照射される光と同一照度の光を前記第２電気光学装置に照射することで前記第２電気光学装置を加熱する加熱手段を含むことを特徴とする請求項２に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項４】
前記加熱手段は、前記発光手段から発せられた光を等分することで、前記同一照度の光を前記第２の電気光学装置に照射することを特徴とする請求項３に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項５】
電気光学装置に光を照射する発光手段と、
前記電気光学装置を少なくとも二つ以上保持する被検査体保持手段と、
前記発光手段からの光が前記電気光学装置のいずれか一つに選択的に照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動手段と、
前記電気光学装置を透過する光を受ける受光手段と、
前記電気光学装置を駆動する駆動手段と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項６】
前記発光手段からの光の照射及び前記受光手段による受光が、前記電気光学装置のうちの一つである第１電気光学装置について行われている間に、前記駆動手段による駆動が、前記電気光学装置のうちの別の一つである第２電気光学装置について行われることを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項７】
前記移動手段による移動は、弧を描くように行われることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項８】
前記被検査体保持手段は、一の方向から平面視して円形状を含み、
前記電気光学装置は、前記円形状の周に沿って配置されており、
前記移動手段による移動は、前記円形状の中心を回転軸とする移動であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項９】
前記電気光学装置は、前記周に沿って均等な間隔をもって配置されていることを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１０】
前記移動手段による移動は、直線的に行われることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１１】
前記被検査体保持手段は、一の方向から平面視して矩形状を含み、
前記電気光学装置は前記矩形状の一辺に沿って配置されており、
前記移動手段による移動は、前記一辺に沿った移動であることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項又は請求項１０に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１２】
前記移動手段による移動は、自動的に行われることを特徴とする請求項１から１１のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１３】
前記移動手段による移動は、水平方向に沿って行われることを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１４】
前記発光手段及び前記被検査体保持手段間並びに前記被検査体保持手段及び前記受光手段間の少なくとも一方に配置され前記光を通過させる光学要素を更に備えたことを特徴とする請求項１から１３のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１５】
被検査体保持手段に保持された少なくとも二つ以上の電気光学装置のうちの一つである第１電気光学装置に発光手段からの光を照射する照明工程と、
前記第１電気光学装置を透過した光を受光する受光工程と、
前記少なくとも二つ以上の電気光学装置のうちの別の一つである第２電気光学装置を、前記照明工程の全部又は一部と並行して温度可変する温度可変工程と、
前記第１電気光学装置に代わって前記第２電気光学装置に前記発光手段からの光が照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動工程と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項１６】
前記温度可変工程は、前記照射工程により前記第１電気光学装置に照射される光と同一照度の光を前記第２電気光学装置に照射することで前記第２電気光学装置を加熱する加熱工程を含むことを特徴とする請求項１５に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１７】
被検査体保持手段に保持された少なくとも二つ以上の電気光学装置のうちの一つである第１電気光学装置に発光手段からの光を照射する照明工程と、
前記第１電気光学装置を透過した光を受光する受光工程と、
前記少なくとも二つ以上の電気光学装置のうちの別の一つである第２電気光学装置を、前記照明工程の全部又は一部と並行して駆動する駆動工程と、
前記第１電気光学装置に代わって前記第２電気光学装置に前記発光手段からの光が照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動工程と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶装置その他の透過性を有するとともに通電によってその透過性の程度を変更させうる電気光学装置の品質検査等に用いられて好適な検査装置及び検査方法の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、基板上にマトリクス状に配列された画素部を持つ、液晶装置等の電気光学装置が知られている。この電気光学装置では、通常、投射光やバックライトの照射を受けるとともにその光を透過し又は透過後反射した上で更に透過することによって、スクリーン上や直視で所定の画像を表示することが可能となっている。ここで、様々な事情により、光透過に障害が生じる場合がある。例えば、電気光学装置がアクティブマトリクス駆動方式であるなら、画素スイッチング素子の一例たる薄膜トランジスタの不良により一定の画素部における光透過が遮られることがある。また、単に電気光学装置の表面にごみが付着したり、傷がついたりすることもある。いずれにせよ、これらの事象が発生すると、所望の光透過状態を実現することができず、画像上に“しみ”や“むら”等（前述のような原因に基づくのではないが、微妙なばらつき等を原因として僅かに観察されるようなものもある。）が生じるような状態を発生させるおそれが出てくる。
【０００３】
そこで従来から電気光学装置の製造工程における所定の段階において、その光透過性能を確認するための検査工程が組み込まれることが行われている。そして、この検査工程においては、適当な検査装置が使われることも行われている。そのような検査装置或いは方法としては、例えば、特許文献１、あるいは特許文献２等に掲げるようなものが知られている。これらに開示されている装置あるいは方法では、いずれにおいても、被検査体である液晶装置等に対して実際に所定の光源からの光を照射し、その透過の具合を確かめることによって、当該被検査体の透過性能を検査するという点において基本的な原理を同じくすると考えられる。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１６６７７９号公報
【特許文献２】特開２００１−１４７４１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来における電気光学装置の検査装置、あるいは検査方法においては、次のような問題点がある。すなわち、複数の電気光学装置を連続的ないし迅速に検査することに不便があったことである。例えば、一つの電気光学装置を検査するためには、大まかに言って、当該電気光学装置の検査装置に対するセッティング、該電気光学装置に対する通電、光照射、検査結果記録、該電気光学装置の検査装置からの取り外しといった一連の作業が必要であるが、連続して複数の電気光学装置を検査するためには、この一連の作業を繰り返し繰り返し同様に実施する必要がある。この際、電気光学装置の特性が、その温度に応じて変わるため、通電や光照射を電気光学装置の動作や温度が安定するのに十分な時間だけ行った後に、実際の検査を行うようにしている。
【０００６】
このようなことから、複数の電気光学装置を迅速に検査していくためには、上述の一連の作業を素早くやりこなすことが要求されるが、該一連の作業のうち特に、セッティング、予備温度可変、取り外しなどといった作業は必然的に一定の時間が必要であるため、それが困難なのである。なお、前記の特許文献１及び２は、この点について特に配慮がなされている訳ではない。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、複数の電気光学装置の検査を連続的ないし迅速に実施し得る電気光学装置の検査装置及び検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の電気光学装置の検査装置は、上記課題を解決するため、電気光学装置に光を照射する発光手段と、前記電気光学装置を少なくとも二つ以上保持する被検査体保持手段と、前記発光手段からの光が前記電気光学装置のいずれか一つに選択的に照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動手段と、前記電気光学装置を透過する光を受ける受光手段と、前記電気光学装置を温度可変する温度可変手段とを備えている。
【０００９】
本発明の第１の電気光学装置の検査装置によれば、その検査時には、発光手段で発生した光は、電気光学装置を透過し又は又は透過後反射した上で更に透過した後、受光手段に達する。ここに電気光学装置とは、具体的には例えば、液晶表示装置その他の透過性を有するとともに通電によってその透過性の程度を変更させうる装置が該当する。したがって、当該検査装置のオペレータは、電気光学装置を透過した光及び受光手段それ自体により構成された、あるいは当該光及び受光手段に接続された適当な画像表示手段により構成された画像を視認等することで、当該電気光学装置における光透過性能について確認することができる。なお、発光手段と電気光学装置との間、あるいは電気光学装置と受光手段との間には適当なレンズ、偏光板等々からなる種々の光学要素を備えていてもよい。
【００１０】
そして、本発明では特に、電気光学装置が被検査体保持手段に少なくとも二つ以上保持されるとともに、電気光学装置を温度可変する温度可変手段を備えている。これによると、本発明に係る検査装置を例えば以下のように運用することが可能になる。
【００１１】
すなわち、第一に、例えば被検査体保持手段が三つの電気光学装置を備え得るのであれば、そのうちの一つの電気光学装置については実際に透過性能の確認（検査）作業を実施し、もう一つの電気光学装置については検査実施前の予備的な温度可変作業を実施し、残る一つの電気光学装置については被検査体保持手段に対するセッティング作業を実施する、などということが可能になる。そして、次の段階では、被検査体保持手段を移動させることによって、温度可変を終えた電気光学装置について検査作業を実施し、セッティングを終えた電気光学装置についての温度可変作業を実施するなどということができる。
【００１２】
このように、本発明によれば、複数の電気光学装置の検査を連続的ないし迅速に実施し得る。特に、被検査体保持手段が電気光学装置を二つ以上保持し得ること、また温度可変手段が設けられていることから、必然的に一定の時間が必要となる作業を、検査作業と並行して行うことができることから、時間短縮効果はより顕著に享受され得る。
【００１３】
なお、本発明にいう「温度可変手段」とは、より具体的には例えば加熱の場合、発光手段とは別の第２の発光手段や、温風を送り出し、あるいは輻射熱を放射するヒータ等が該当し得る。前者では、電気光学装置は光照射を受けそれが熱に変換されることで昇温することになり、後者では熱そのものを受けて昇温することになる。また、冷却の場合、ペルチエ素子による冷却等が該当し得る。
本発明の第１の電気光学装置の検査装置の一態様では、前記発光手段からの光の照射及び前記受光手段による受光が、前記電気光学装置のうちの一つである第１電気光学装置について行われている間に、前記温度可変手段による温度可変が、前記電気光学装置のうちの別の一つである第２電気光学装置について行われる
この態様によれば、前記発光手段からの光の照射及び受光手段による受光、即ち検査作業と、温度可変手段による温度可変作業とを同時に実施し得るから、検査工程全体の効率化を図ることができる。なお、本態様にいう第１及び第２電気光学装置とは、被検査体保持手段に少なくとも二つ以上保持された電気光学装置のうちの二つを意味する。
【００１４】
この態様では、前記温度可変手段は、前記発光手段により前記第１電気光学装置に照射される光と同一照度の光を前記第２電気光学装置に照射することで前記第２電気光学装置を加熱する加熱手段を含んでもよい。
【００１５】
このように構成すれば、検査待ち状態にある第２電気光学装置を、加熱手段によるランプ加熱によって、検査中である第１電気光学装置と同じように暖めることが可能となる。尚、本発明に係る「同一照度の光」とは、完全に同一照度である光の他、当該検査の精度上、第２電気光学装置に対するランプ加熱の程度が第１電気光学装置に対するランプ加熱の程度と同等とみなせれば足りる、言わば、実質的に同一照度の光も含む広い概念である。
【００１６】
このように構成する場合更に、前記加熱手段は、前記発光手段から発せられた光を等分することで、前記同一照度の光を前記第２の電気光学装置に照射するように構成してもよい。
【００１７】
このように構成すれば、単一の発光手段によって、第１及び第２電気光学装置を同等にランプ加熱することが可能となる。例えば、ビームスプリッタやハーフミラー等を用いて、ランプ等の発光手段から発せられた光の５０％を分離して第１電気光学装置へ導き、残りの５０％を第２電気光学装置へ導くようにすれば、このような構成が得られる。
本発明の第２の電気光学装置の検査装置は、上記課題を解決するため、電気光学装置に光を照射する発光手段と、前記電気光学装置を少なくとも二つ以上保持する被検査体保持手段と、前記発光手段からの光が前記電気光学装置のいずれか一つに選択的に照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動手段と、前記電気光学装置を透過する光を受ける受光手段と、前記電気光学装置を駆動する駆動手段とを備えている。
【００１８】
本発明の第２の電気光学装置の検査装置によれば、その検査時には、発光手段で発生した光は、電気光学装置を透過し又は又は透過後反射した上で更に透過した後、受光手段に達する。ここに電気光学装置とは、具体的には例えば、液晶表示装置その他の透過性を有するとともに通電によってその透過性の程度を変更させうる装置が該当する。したがって、当該検査装置のオペレータは、電気光学装置を透過した光及び受光手段それ自体により構成された、あるいは当該光及び受光手段に接続された適当な画像表示手段により構成された画像を視認等することで、当該電気光学装置における光透過性能について確認することができる。なお、発光手段と電気光学装置との間、あるいは電気光学装置と受光手段との間には適当なレンズ、偏光板等々からなる種々の光学要素を備えていてもよい。
【００１９】
そして、本発明では特に、電気光学装置が被検査体保持手段に少なくとも二つ以上保持されるとともに、電気光学装置を駆動する駆動手段を備えている。これによると、本発明に係る検査装置を例えば以下のように運用することが可能になる。
【００２０】
すなわち、第一に、例えば被検査体保持手段が三つの電気光学装置を備え得るのであれば、そのうちの一つの電気光学装置については実際に透過性能の確認（検査）作業を実施し、もう一つの電気光学装置については検査実施前の予備的な駆動作業を実施し、残る一つの電気光学装置については被検査体保持手段に対するセッティング作業を実施する、などということが可能になる。このうち、電気光学装置の予備的な駆動を実施することによって、その内部を温度可変することができ、また検査時に温度依存的な過渡特性が発現するのを防止することができる。そして、次の段階では、被検査体保持手段を移動させることによって、予備的な駆動を終えた電気光学装置について検査作業を実施し、セッティングを終えた電気光学装置についての予備的な駆動作業を実施するなどということができる。
【００２１】
このように、本発明によれば、複数の電気光学装置の検査を連続的ないし迅速に実施し得る。特に、被検査体保持手段が電気光学装置を二つ以上保持し得ること、また駆動手段が設けられていることから、必然的に一定の時間が必要となる作業を、検査作業と並行して行うことができることから、時間短縮効果はより顕著に享受され得る。
本発明の第２の電気光学装置の検査装置の一態様では、前記発光手段からの光の照射及び前記受光手段による受光が前記電気光学装置のうちの一つである第１電気光学装置について行われている間に、前記駆動手段による駆動が、前記電気光学装置のうちの別の一つである第２電気光学装置について行われる。
【００２２】
この態様によれば、前記発光手段からの光の照射及び受光手段による受光、即ち検査作業と、駆動手段による駆動作業とを同時に実施し得るから、検査工程全体の効率化を図ることができる。なお、本態様にいう第１及び第２電気光学装置とは、被検査体保持手段に少なくとも二つ以上保持された電気光学装置のうちの二つを意味する。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段による移動は、弧を描くように行われる。
【００２３】
この態様によれば、被検査体保持手段の移動態様についての好適な一態様が提供される。例えば、被検査体保持手段が直線的に移動するなどという場合に比べて、移動範囲をより小さくしうる可能性があるから、装置全体の小型化などを実現することができる。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記被検査体保持手段は、一の方向から平面視して円形状を含み、前記電気光学装置は、前記円形状の周に沿って配置されており、前記移動手段による移動は、前記円形状の中心を回転軸とする移動である。
【００２４】
この態様によれば、電気光学装置の配置態様についての好適な一態様が提供される。「被検査体保持手段を一の方向から平面視する」とは、例えば、平面的に広がる、被検査体保持手段における複数の電気光学装置が配置される面を、その法線方向から平面的に見ることを意味する。言い換えれば、被検査体保持手段は、例えば、複数の電気光学装置が保持又は載置される円形状の面を有する。そして、移動手段による移動は、この円形状の中心を回転軸とする移動、即ち回転運動である。従って、例えば、複数の電気光学装置が直線上にのるような配置態様とされる場合よりも、空間的により狭い範囲で両者を配置させることができる。また、この態様では、被検査体保持手段は前述の態様のように弧を描くように移動することが好ましく、この場合には、前述した態様に係る作用効果と同じ作用効果も得ることができる。
この態様では、各電気光学装置は、前記周に沿って均等な間隔をもって配置されているように構成してもよい。
【００２５】
このような構成によれば、被検査体保持手段を均等に移動させながら、各電気光学装置の検査を実施することができる。なお、「均等」に配置されるとは、例えば、各電気光学装置が前記円形状の同一直径上にのるように配置される場合、前記円形状において弧度１２０度、９０度の間隔をもって配置される場合等を考えることができる。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段による移動は、直線的に行われる。
【００２６】
この態様によれば、被検査体保持手段の移動態様についての好適な一態様が提供される。例えば、被検査体保持手段が弧を描くように移動するなどという場合に比べて、移動機構をより単純にしうる可能性があるから、装置構成の簡易化などを実現することができる。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記被検査体保持手段は、一の方向から平面視して矩形状を含み、前記電気光学装置は前記矩形状の一辺に沿って配置されており、前記移動手段による移動は、前記一辺に沿った移動である。
【００２７】
この態様によれば、電気光学装置の配置態様についての好適な一態様が提供される。「被検査体保持手段を一の方向から平面視する」とは、例えば、平面的に広がる、被検査体保持手段における複数の電気光学装置が配置される面を、その法線方向から平面的に見ることを意味する。言い換えれば、被検査体保持手段は、例えば、複数の電気光学装置が保持又は載置される矩形状の面を有する。そして、移動手段による移動は、この矩形状の一辺に沿った移動、即ち往復運動或いは直線的な運動である。従って、例えば、電気光学装置が円周上にのるような配置態様とされる場合よりも、被検査体保持手段の構成をより簡易化することができる。また、この態様では、被検査体保持手段は前述の態様のように直線的に移動することが好ましく、この場合には、前述した態様に係る作用効果と同じ作用効果も得ることができる。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段による移動は、自動的に行われる。
【００２８】
この態様によれば、電気光学装置は自動的に移動することになるから、当該検査装置のオペレータの手を煩わせることなく、極めて容易に当該電気光学装置の検査作業を行うことができる。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段による移動は、水平方向に沿って行われる。
【００２９】
この態様によれば、被検査体保持手段が水平方向に沿って移動することから、典型的には、電気光学装置は当該被検査体手段に水平に設置される場合が考えられる。これによると、被検査体保持手段に対する電気光学装置の設置をより自然なかたちで行うことができる。また、このことは、検査対象の電気光学装置が複数存在す本発明のような場合に検査の作業性を向上させる。なぜなら、電気光学装置の検査装置に対する設置が自然なかたちで行える方が、そうでない場合よりも、より迅速・確実な作業が期待できるからである。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記発光手段及び前記被検査体保持手段間並びに前記被検査体保持手段及び前記受光手段間の少なくとも一方に配置され前記光を通過させる光学要素を更に備えている。
【００３０】
この態様によれば、例えばレンズ、偏光板等の光学要素が更に備えられていることにより、電気光学装置の検査をより正確に行うことができる。また、発光手段から受光手段に至る光路を適当に設定することができることにより、検査装置全体の小型化や被検査体保持手段の移動機構との兼ね合いをよりよく設定することもできる。
本発明の第１の電気光学装置の検査方法は、上記課題を解決するために、被検査体保持手段に保持された少なくとも二つ以上の電気光学装置のうちの一つである第１電気光学装置に発光手段からの光を照射する照明工程と、前記第１電気光学装置を透過した光を受光する受光工程と、前記少なくとも二つ以上の電気光学装置のうちの別の一つである第２電気光学装置を、前記照明工程の全部又は一部と並行して温度可変する温度可変工程と、前記第１電気光学装置に代わって前記第２電気光学装置に前記発光手段からの光が照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動工程とを備えている。
【００３１】
本発明の第1の電気光学装置の検査方法によれば、本発明の第1の電気光学装置の検査装置をより好適に運用することができる。尚、上述した本発明の第１の電気光学装置の検査装置における各種態様に対応して、本発明の第１の電気光学装置の検査方法も各種態様を採ることが可能である。
【００３２】
本発明の第２の電気光学装置の検査方法の一態様では、前記温度可変工程は、前記照射工程により前記第１電気光学装置に照射される光と同一照度の光を前記第２電気光学装置に照射することで前記第２電気光学装置を加熱する加熱工程を含む。
【００３３】
この態様によれば、検査待ち状態にある第２電気光学装置を、加熱工程によって、検査中である第１電気光学装置と同じように暖めることが可能となる。
本発明の第２の電気光学装置の検査方法は、上記課題を解決するために、被検査体保持手段に保持された少なくとも二つ以上の電気光学装置のうちの一つである第１電気光学装置に発光手段からの光を照射する照明工程と、前記第１電気光学装置を透過した光を受光する受光工程と、前記少なくとも二つ以上の電気光学装置のうちの別の一つである第２電気光学装置を、前記照明工程の全部又は一部と並行して駆動する駆動工程と、前記第１電気光学装置に代わって前記第２電気光学装置に前記発光手段からの光が照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動工程とを備える。
【００３４】
本発明の第２の電気光学装置の検査方法によれば、本発明の第２の電気光学装置の検査装置をより好適に運用することができる。尚、上述した本発明の第２の電気光学装置の検査装置における各種態様に対応して、本発明の第２の電気光学装置の検査方法も各種態様を採ることが可能である。
【００３５】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下では、本発明の実施の形態について図を参照しつつ説明する。ここに図１は、本実施形態の検査装置の概要を示す構成図である。図２は、図１の上方から臨んだ移動テーブル等の構成を示す平面図であり、図３は、そのＨ−Ｈ’断面を光源側に係る光学系と共に示した断面図である。
【００３７】
図１において、検査装置は、液晶装置等の電気光学装置１００に光を照射するための光源１１を備えている。この光源１１は、本発明にいう「発光手段」の一例であり、より具体的には例えばメタルハライドランプ等を用いることができる。レンズ１２は、光源１１から照射された光を所定の光路を進むように調整するとともに、その光を電気光学装置１００に入射させる。レンズ１３は、電気光学装置１００を透過した光を適当に集光する。反射鏡１４は、レンズ１３によって集光された光を反射させて、その光を受光装置１５に向かわせる。受光装置１５は、反射鏡１４によって反射された光を検出する。受光装置１５は、本発明に言う「受光手段」の一例であり、より具体的には例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の固体撮像素子や、あるいはスクリーン等が該当する。なお、受光装置１５としてスクリーンを利用する場合には、レンズ１３として投射レンズを用い、スクリーン上に結像させる。（図７参照）。
【００３８】
電気光学装置１００の図１中、上下両側から挟むように、偏光板２１及び２２が配置されている。偏光板２１及び２２は、それぞれレンズ１２の出射光及び電気光学装置１００の出射光を偏光する。この偏光板２１及び２２の存在により、電気光学装置１００における光透過状態の変動に応じて、受光装置１５における光の到達状態に変動を生じさせることができる。
【００３９】
なお、以下では、上述の光源１１から受光装置１５に至るまでの構成（但し、電気光学装置１００並びに偏光板２１及び２２を除く。）をまとめて光学系１０と呼ぶことがある。
【００４０】
また、検査装置は、電気光学装置１００を保持するための移動テーブル４１を備えている。移動テーブル４１は、図２に示されているように、概略円形状を有している。この円形状の図２中上下に延びる直径上には電気光学装置１００をセッティングするための図１中上下に貫通する開口部が二つ設けられている。電気光学装置１００はこの開口部内に収納されるようにして保持される。また、開口部が二つ設けられていることにより、その一方の開口部に電気光学装置１００をセッティングすることができると同時に、その他方の開口部に、電気光学装置１０１（図１では示されず図２において示されている。）をセッティングすることができるようになっている。
【００４１】
図２において、領域Ｖに位置する電気光学装置１００は、図１に示す光学系１０の中に位置する。これにより、この電気光学装置１００については実際に検査を実施することが可能になる。
【００４２】
これに加えて図２及び図３に示すように、本実施形態は、領域Ｗにおいて、図１に示した光源１１及びレンズ１２と同様な構成を備えている。即ち、領域Ｗの下方には、本発明に係る「温度可変手段」の一例としての、光源１１Ｄ、レンズ１２Ｄ及び偏光板２１Ｄが設けられている。これにより、領域Ｖに位置する電気光学装置１００についての検査が行われているときに、領域Ｗに位置する電気光学装置１０１について、光源及びレンズによる光照射を行うことができ、もって当該電気光学装置１０１を予備的に温度可変することができる。特に、このように構成すれば、電気光学装置１００に照射される光と同一照度の光を、検査待ち状態にある電気光学装置１０１に照射することで、電気光学装置１０１を、検査中である電気光学装置１００と同じように暖めることが可能となる。但し、本発明に係る「温度可変手段」は、このように光源１１、レンズ１２及び偏光板２１と同様な光源１１Ｄ、レンズ１２Ｄ及び偏光板２１Ｄからなる必要はなく、例えば、偏光板２１Ｄやレンズ１２Ｄなしで光源１１Ｄを電気光学装置１０１に対して近接配置してもよいし、より微弱な又は強力な光源を電気光学装置１０１に対して近接配置してもよい。
【００４３】
この際、図４（ａ）に変形例として例示したように、光源１１から発せられた光を、分岐するビームスプリッタ３０１及びこの分岐した光を領域Ｗに位置する電気光学装置１０１に導くミラー３０２から、本発明に係る「加熱手段」の一例を構成することも可能である。光源１１から発せられた光を等分することで、即ち光の５０％を電気光学装置１００へ導くと共に残りの５０％を電気光学装置１０１へ導くことにより、同一照度の光を、電気光学装置１００及び１０１の双方に照射することが可能となる。このように構成すれば、単一の発光手段たる光源１１によって、検査待ち状態にある電気光学装置１０１を、検査中の電気光学装置１００と同様に暖めることが可能となる。
【００４４】
或いは、図４（ｂ）に他の変形例として例示したように、本発明に係る「加熱手段」の他の一例であるヒータ４０１を用いて、領域Ｗに位置する、即ち検査待ち状態にある電気光学装置１０１を過熱することも可能である。
【００４５】
再び図１及び図２に戻って、検査装置は、電気光学装置１００に対して所定の電気信号を送るためのプローブ２０１を備えている。プローブ２０１は、電気光学装置１００に接続されたＦＰＣ基板１０５に接続され、このＦＰＣ基板１０５を介して電気光学装置１００に所定の電気信号を供給する。一方、本実施形態においては、電気光学装置１０１に対しても所定の電気信号を送るためのプローブ２０２が備えられている（図２参照）。このプローブ２０２は、電気光学装置１０１に接続されたＦＰＣ基板１０６が接続されている。これにより、領域Ｖに位置する電気光学装置１００について検査が行われているときに、領域Ｗに位置する電気光学装置１０１について、予備的な駆動を実施することができ、もって当該電気光学装置１０１の内部を温度可変することができる。
【００４６】
このような移動テーブル４１には駆動装置３３が接続されている。駆動装置３３で起こされた動力は移動テーブル４１に伝わるようになっている。電気光学装置１００及び１０１は、このような移動テーブル４１に保持されることにより、光学系１０に対して、図２に示す矢印に示す方向に沿って相対的に、且つ、弧を描くように移動可能とされる。
【００４７】
検査装置は、上述のほか、制御装置８１を備えている（図１参照）。この制御装置８１は、上述の各要素のうち幾つかから適当な信号を受けてこれを解析し、あるいは自ら制御信号を発して当該各要素の幾つかを動作させることで、検査装置全体が調和的に動作するようにこれを制御する。より具体的には、制御装置８１は、受光装置１５が固体撮像素子等である場合には、これから検出信号を受けて画像を構成する。また、本実施形態においては特に、制御装置８１は、駆動装置３３に制御信号を送信することによって、移動テーブル４１、ひいては電気光学装置１００及び１０１を、所定の量、間隔、頻度等でもって前述のように移動させ得るようになっている。
【００４８】
さらに、電気光学装置１００は、例えば一対の透明基板とこれらの間に挟持された液晶等からなる液晶表示装置である。かかる液晶表示装置は、更に具体的には、一対の透明基板の一方の上にマトリクス状に配列された画素電極及び画素スイッチング素子としての薄膜トランジスタ、その他方の上に配置された対向電極等を備える。画素電極及び薄膜トランジスタがマトリクス状に配列されることで、画素部が規定される。このような構成では、前記プローブから供給されてきた電気信号により、薄膜トランジスタのＯＮ・ＯＦＦが制御されるとともに、画素電極及び対向電極間の電位差が画素ごとに適当に設定されることで、液晶の配向状態が画素ごとに変更され、当該液晶表示装置を透過する光の有無及び程度が調整可能となる。
【００４９】
なお、上述におけるレンズ１２及び１３、反射鏡１４並びに偏光板２１及び２２等の配置態様は、一例を示しているものに過ぎず、この他種々の特徴を備えたレンズ系を構成しうることは言うまでもない。
【００５０】
以上のような構成となる検査装置では、例えば次のような検査作業が実施されることになる。以下では、これを既に参照した各図及び図５を参照して説明する。ここに図５は、図２と同趣旨の図であるが、移動テーブルが同図から回転した様子を示す図である。
【００５１】
まず、移動テーブル４１の開口部に電気光学装置１００が収納されるとともに、この電気光学装置１００にプローブ２０１が接続される。続いて、光源１１が点灯された後、プローブ２０１から、ＦＰＣ基板１０５を通じて電気光学装置１００に所定の電気信号が供給される。これにより、光源１１から発せられた光は、当該電気光学装置１００を透過し又は遮られることになる。そして、その結果は、光学系１０の最終部分である受光装置１５によって検出されることになる。このようにして、電気光学装置１００の検査を実施することができる。ちなみに、この場合、電気光学装置１００は、図２に示す領域Ｖに位置する。
【００５２】
ところで、本実施形態においては、このような電気光学装置１００の透過性能の検査と同時に、電気光学装置１０１の移動テーブル４１に対するセッティング作業が実施される。この作業は、図２及び図３に示すように、電気光学装置１００を保持する開口部と同一直径上にのるもう一つの開口部がちょうど真向かいに位置（領域Ｗ）していることから、当該電気光学装置１００の検査工程を邪魔することなく容易に行うことができる。
【００５３】
また、電気光学装置１０１のセッティングが完了した後には、領域Ｗに対応して備えられている光源１１Ｄを点灯することにより、当該電気光学装置１０１の予備的な温度可変を行うとともに、該電気光学装置１０１のＦＰＣ基板１０６にプローブ２０２を接続し通電することにより、当該電気光学装置１０１の予備的な駆動を行う。このような作業を行うことによって、電気光学装置１００の検査中において、電気光学装置１０１を検査に適するような状態にしておくことが可能となる。ちなみに、電気光学装置１００の検査前には、当該電気光学装置１００について、いま電気光学装置１０１について述べたのと同様な準備工程が行われるのが好ましい。
【００５４】
続いて、電気光学装置１００の検査が完了した後には、領域Ｖに電気光学装置１０１が位置するように、移動テーブル４１を図２に示す矢印どおりに回転させる。図５においては、その途中の段階が図示されている。後は、前述と全く同様にして、当該電気光学装置１０１についての検査が実施される。なお、この電気光学装置１０１についての検査実施時には、既に検査が完了した電気光学装置１００を移動テーブル４１から取り外すとともに、新たな電気光学装置のセッティング作業を行うとともに、これに対する予備的な温度可変工程及び駆動工程を実施することができる。
【００５５】
以上のような検査が実施されることにより、本実施形態によれば、一の電気光学装置についての検査作業と、別の電気光学装置についてのセッティング工程並びに予備的な温度可変工程及び駆動工程とを同時に実施し得るから、検査工程全体の効率化を図ることができるとともに、複数の電気光学装置の検査を連続的ないし迅速に実施し得る。
【００５６】
なお、上記実施形態では、電気光学装置に対する予備的な温度可変を実施するために、図１に示す光源１１及びレンズ１２と同様な構成を有する光源１１Ｄ及びレンズ１２Ｄによる光照射を実施することによっていたが、本発明は、かかる形態に限定されない。例えば、これに代えて又は加えて、温風を送り出すヒータや、輻射熱を放射するヒータ等を設けるのでもよい。
【００５７】
また、上記実施形態では、移動テーブル４１が制御装置８１の制御を受けて自動的に移動するようになっていたが、本発明ではこれに代えて、当該移動テーブル４１をオペレータの手によって回転させるように構成してもよい。
【００５８】
さらに、上記実施形態においては、移動テーブル４１が円形状となり、これが回転移動する態様となっていたが、本発明はこのような形態に限られない。例えば、これに代えて図６に示すような構成を採用することができる。ここに図６は、本発明に係る被検査体保持手段の別の形態を示す平面図である。
【００５９】
この図６においては、移動テーブル５１は矩形状を有しているとともに、同図に示す両矢印のように直線的に移動するようになっている。そして、この移動テーブル５１には、電気光学装置１１１及び１１２が、矩形上の一辺に沿って配置されるようになっている。電気光学装置１１１及び１１２については、それぞれプローブ２１１及び２１２が接続されている。
【００６０】
このような構成によっても、前記の実施形態と略同様な作用効果が得られるのは明白である。すなわち、図６（ａ）に示すように、電気光学装置１１１についての検査を実施している間には、電気光学装置１１２についてのセッティング作業並びに予備的な温度可変工程及び駆動工程を実施することができるし、図６（ｂ）に示すように、電気光学装置１１２についての検査を実施している間には、電気光学装置１１１についての取り外し作業に加え、新たな電気光学装置についてのセッティング作業並びに予備的な温度可変工程及び駆動工程を実施することができる。このうち取り外し作業及びセッティング作業は、図６（ａ）及び（ｂ）に示すように、当該電気光学装置１１２（又は１１１）を保持するための開口部が、電気光学装置１１１（又は１１２）を保持する開口部からみて相当程度離れた場所に位置していることから、電気光学装置１１１（又は１１２）の検査工程を邪魔することなく容易に行うことができる。
【００６１】
加えて、上記実施形態においては、受光装置１５としてＣＣＤ等の固体撮像素子が用いられることについて述べたが、受光装置１５としては単なるスクリーンを用いることができる。即ちこの場合には、図７に示すように、投射レンズ１３Ｐを用いて、スクリーン１５Ｓ上に映し出された画像をオペレータが直接視認することによって、電気光学装置の検査を実施することができる。
【００６２】
次に、図８を参照して、領域Ｗにおいて電気光学装置１０１を自動的又は半自動的に交換する交換装置について説明を加える。ここに図８（ａ）から図８（ｃ）は夫々、検査装置に設けられる交換装置の構成を図式的に示したものであり、電気光学装置１０１を搬送又は保持している状態（図８（ａ））、移動テーブル４１にセットしている最中の状態（図８（ｂ））、移動テーブル４１へのセットを完了した状態（図８（ｃ））を夫々示している。尚、前述の如く、領域Ｗにおいて電気光学装置１０１を手動にて交換することは可能である。
【００６３】
図８（ａ）から図８（ｃ）に示すように、本実施形態の検査装置に備えられる、本発明に係る「交換手段」或いは“交換機構”の一例である交換装置は、駆動装置７０１、アーム７０２及びホルダ７０３を備えて構成されている。
【００６４】
駆動装置７０１は、制御装置８１の制御下で、アーム７０２を電気的或いは機械的に駆動するアクチュエータ又はモータ等を含んで構成されている。アーム７０２は、駆動装置７０１によって、その先端に接続されたホルダ７０３を、上下左右に移動可能に構成されている。例えば、アーム７０２は、伸縮自在であったり、水平や垂直方向に揺動可能或いは回動可能とされている。ホルダ７０３は、制御装置８１の制御下で、例えば真空吸引や機械的な挟持等によって電気光学装置１０１を着脱可能或いは選択的に保持可能に構成されている。
【００６５】
このように構成された交換装置の動作について説明する。
【００６６】
先ず図８（ａ）のように、交換装置は、検査対象たる電気光学装置１０１を、ホルダ７０３で保持した状態で、アーム７０２を動かすことで、移動テーブル４１の領域Ｗへと搬送する。このような検査対象たる電気光学装置１０１は、例えば、電気光学装置を順次供給するベルト上や複数の電気光学装置を収容する収容庫から、アーム７０２により移動されたホルダ７０３によって、順次ピックアップされて、図示の状態とされる。
【００６７】
次に図８（ｂ）のように、交換装置は、電気光学装置１０１を、アーム７０２を上下に動かすことで或いは伸張させることで、移動テーブル４１における領域Ｗに設けられたセッティング用の穴へと搬送する。
【００６８】
次に図８（ｃ）のように、交換装置は、電気光学装置１０１を、ホルダ７０３からリリースすることで、移動テーブル４１における領域Ｗに設けられたセッティング用の穴へとセットする。
【００６９】
続いて、このように検査待ち状態にある電気光学装置１０１に対して、図３又は図４に示した如き、予備的な加熱が行われる。或いは、電気光学装置１０１に対して、図２、図５又は図６に示した如きプローブ２０２及びＦＰＣ基板１０６を介して電気信号を供給することで、予備的な駆動が行なわれる。これにより、検査待ち状態にある電気光学装置１０１は、領域Ｖにて検査中である電気光学装置１００と同様に暖められることになる。
【００７０】
続いて、電気光学装置１００の検査が完了すると、制御装置８１の制御下で、モータ等の駆動装置３３によって移動テーブル４１が回転される。この結果、電気光学装置１００と電気光学装置１０１との位置が逆転する。その後、領域Ｗに位置する検査済の電気光学装置１００を、図８（ｂ）と同様の要領でホルダ７０３により保持し、更に図８（ａ）と同様の要領で、アーム７０２を動かすことで、移動テーブル４１から取り外す。これと相前後して或いは並列に、領域Ｖへと移動された電気光学装置１０１に対する検査が行なわれる。この際、電気光学装置１０１は、予備的な過熱或いは駆動が行なわれているので、正確な検査を直ぐに行なうことが可能とされる。
【００７１】
次に、アーム７０２を動かすことで、検査済の電気光学装置１００を、例えば検査済用のベルト上やトレー等に移す。更に、次の検査対象たる電気光学装置をホルダ７０３によりピックアップして、以上に説明した図８（ａ）から図８（ｃ）の検査用動作が繰り返して行なわれる。このように複数の電気光学装置の検査を一連の流れによって、順次行なうことができる。特に、電気光学装置１００の検査中に、電気光学装置１０１の移動テーブルへのセッティングや予備的な加熱又は駆動が行なわれるので、総合的に見て迅速で且つ正確な一連の検査動作が可能となる。
【００７２】
尚、図２、図５又は図６に示した如きプローブ２０２とＦＰＣ基板１０６との電気的な接続については、例えばプラグとソケットとを自動的に抜き差しする要領で、自動的に行なうように構成してもよいし、手動により行ってもよい。前者であれば、全自動による交換が可能となり、後者であれば、半自動による交換が可能となる。
【００７３】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置の検査装置及び検査方法もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本実施形態の電気光学装置の検査装置の概要を示す構成図である。
【図２】図１の上方から臨んだ移動テーブル等の構成を示す平面図である。
【図３】図２のＨ−Ｈ’断面を光源側に係る光学系と共に示した断面図である。
【図４】各種変形形態における光学系や加熱手段と共に、図２のＨ−Ｈ’断面を示した断面図である。
【図５】図２から９０度回転した様子を示す平面図である。
【図６】図２及び図５とは異なる形態の移動テーブル等の構成を示す平面図である。
【図７】図１とは別形態となる電気光学装置の検査装置の概要を示す構成図である。
【図８】実施形態の検査装置に設けられる交換装置の構成を図式的に示した構成図である。
【符号の説明】
【００７５】
１１…光源、１２…レンズ、１３…レンズ、１４…反射鏡、１５…受光装置、２１及び２２…偏光板、４１、５１…移動テーブル、８１…制御装置、１００、１０１、１１１、１１２…電気光学装置、２０１、２０２、２１１、２１２…プローブ
【図１】
2005257480.tif 000003
【図２】
2005257480.tif 000004
【図３】
2005257480.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005257480.tif 000007
【図６】
2005257480.tif 000008
【図７】
2005257480.tif 000009
【図８】
2005257480.tif 000010