(57)【要約】【課題】  本発明の目的は、フォト工程を行わない方法で、パターニング工程を実行し、工程時間を減らしてパターン不良を最小化するようにした平板表示素子の製造方法及び装置を提供することにある。 【解決手段】  本発明の平板表示素子の製造方法及び装置は、エッチレジストとの反発力が大きい反発層が表面に形成されたソフトモールドを利用して平板表示素子の薄膜をパターニングする。 【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜上にエッチレジストを塗布する段階と、
前記エッチレジストとの対向面に薄膜パターン形成のための突出部及びホームを有する、ソフトモールドを形成する段階と、
前記ソフトモールドを前記エッチレジストに加圧して、エッチレジストパターンを前記薄膜上に形成する段階と、
前記エッチレジストパターンから前記ソフトモールドを分離する段階と、
前記エッチレジストパターンを利用して、前記薄膜をエッチングして薄膜パターンを形成する段階とを含むことを特徴とする平板表示素子の製造方法。
【請求項２】
前記ソフトモールドを形成する段階は、前記エッチレジストとの対向面上にホームと突出面とを形成する段階と、前記突出面を露光する段階と、前記露光された領域である突出面にオゾンを供給する段階と、前記オゾンが供給された前記突出面を自己組織化物質に露出させる段階とを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。 
【請求項３】
前記自己組織化物質の末端基に従って、前記突出面の表面が親水性及び疎水性のうちいずれか一つの性質を呈するようになることを特徴とする請求項２記載の方法。 
【請求項４】
前記突出面の表面が親水性である場合に、前記末端基は、 -OH、-COOH、-COHのうちの少なくとも一つであることを特徴とする請求項３記載の方法。 
【請求項５】
前記突出面の表面が疎水性である場合に、前記末端基は、-Ｃｌ、-F、-I、-CH３のうちの少なくとも一つであることを特徴とする請求項３記載の方法。 
【請求項６】
前記平板表示素子は、液晶表示素子(LCD)、電界放出表示素子(FED)、プラズマディスプレイパネル(PDP)及び電界発光素子(EL)のうちのいずれか一つであることを特徴とする請求項１記載の方法。 
【請求項７】
前記ソフトモールドを前記エッチレジストに加圧する際に前記エッチレジストをベーキングする段階を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。 
【請求項８】
前記薄膜パターンを形成した後、前記エッチレジストパターンをストリップする段階を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。 
【請求項９】
前記ソフトモールドを形成する段階は、前記ソフトモールドの表面処理を通じて前記ソフトモールドの表面上に前記エッチレジストとの反発力が大きい反発層を形成する段階を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。 
【請求項１０】
前記ソフトモールドは、 ポリジメチルシロキサン(Polydimethylsiloxane, PDMS)、ポリウレタン(Polyurethane)、架橋ノボラック樹脂(Cross-linked Novolac resin)のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１記載の方法。 
【請求項１１】
薄膜上にエッチレジストを塗布する装置と、
前記エッチレジストとの対向面に薄膜パターン形成のための突出部及びホームを有し、前記突出部の表面が表面処理された、ソフトモールドと、
前記ソフトモールドを前記エッチレジストに加圧して、エッチレジストパターンを形成し、前記エッチレジストパターンから前記ソフトモールドを分離し、前記エッチレジストパターンを利用して前記薄膜をエッチングして薄膜パターンを形成する装置とを具備することを特徴とする平板表示素子の製造装置。 
【請求項１２】
前記ソフトモールドの表面は、前記エッチレジストとの反発力が大きい反発層を具備することを特徴とする請求項１１記載の装置。 
【請求項１３】
前記ソフトモールドの反発層の厚さはおおよそ数十Å程度であることを特徴とする請求項１２記載の装置。 
【請求項１４】
前記ソフトモールドの反発層は疎水性であり、前記エッチレジストは親水性であることを特徴とする請求項１２記載の装置。 
【請求項１５】
前記ソフトモールドの反発層は、-C１、-F、-I、-CH３のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１４記載の装置。 
【請求項１６】
前記ソフトモールドの反発層は親水性であり、前記エッチレジストは疎水性であることを特徴とする請求項１２記載の装置。 
【請求項１７】
前記ソフトモールドの反発層は、-OH、-COOH、-COH(カルボキシル基）のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項１４記載の装置。 
【請求項１８】
前記エッチレジストの移動により、前記ソフトモールドのホームに前記エッチレジストが満たされることを特徴とする請求項１１記載の装置。 
【請求項１９】
前記平板表示素子は、液晶表示素子(LCD)、電界放出表示素子(FED)、プラズマディスプレイパネル(PDP)及び電界発光素子(EL)のうちのいずれか一つであることを特徴とする請求項１１記載の装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は平板（ｆｌａｔ  ｐａｎｅｌ）表示素子に関し、特にフォト工程を行わない方法で、パターニング工程を実行して工程時間を減らし、パターン不良を最小化するようにした平板表示素子の製造方法及び装置に関する。 
【背景技術】
【０００２】
最近の情報化社会において、表示素子は、視覚情報伝達媒体として、の重要度がさらに増してきている。これまで主流であった陰極線管(Cathode Ray Tube)またはブラウン管は重量及び容積が大きいという問題点がある。 
【０００３】
平板表示素子には液晶表示素子(Liquid Crystal Display : LCD)、電界放出表示素子(Field Emission Display : FED)、プラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel : PDP)及び電界発光素子(Electroluminescence : EL)などがあり、これらの大部分が実用化されて市販されている。 
【０００４】
液晶表示素子は電子製品の軽薄短小の趨勢を満足することができる上、生産性が向上しているため、多くの応用分野で急速に陰極線管に取って代わっている。 
特に、薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor : 以下、”TFT”という)を利用して液晶セルを駆動するアクティブマトリックスタイプの液晶表示素子は画質が良好で消費電力が低いという長所があり、最近の生産技術の確立と研究開発の成果により、大型化及び高解像度化が急速に進んでいる。 
【０００５】
このようなアクティブマトリックスタイプの液晶表示素子においては、図１のように液晶層１５を間に置いてカラーフィルター基板２２とTFTアレイ基板２３が合着される。図１に図示された液晶表示素子は全体有効画面の一部を示したものである。 
【０００６】
カラーフィルター基板２２においては、上部硝子基板１２の背面にカラーフィルター１３及び共通電極１４が形成される。上部硝子基板１２の前面には偏光板１１が配置される。カラーフィルター１３には赤(R)、緑(G)及び青(B)色のカラーフィルター層が配置され、特定波長帶域の光を透過させることによって、カラー表示ができるようにする。各色のカラーフィルター１３の間には図示しないブラックマトリックス(Black Matrix)が形成される。 
【０００７】
TFTアレイ基板２３においては、下部硝子基板１６の前面にデータライン１９とゲートライン１８が相互に交差して、その交差部にTFT２０が形成される。さらに下部硝子基板１６の前面においては、データライン１９とゲートライン１８の間のセル領域に画素電極２１が形成される。TFT２０はゲートライン１８からのスキャニング信号に応答してデータライン１９と画素電極２１の間のデータ送信パスを切り替えることによって画素電極２１を駆動する。TFTアレイ基板２３の背面には偏光板１７が配置される。 
【０００８】
液晶層１５は自身に印加された電界によりTFTアレイ基板２３を経由して入射される光の透過量を調節する。 
【０００９】
カラーフィルター基板２２とTFT基板２３上に配置された偏光板(１１,１７)は、ある一方向に偏光された光を透過させるようになっており、液晶１５が９０゜TN モードである時、その偏光方向は互いに直交するようになる。 
【００１０】
カラーフィルター基板２２とアレイTFT基板２３の液晶対向面には図示しない背向膜が形成される。 
【００１１】
アクティブマトリックスタイプの液晶表示素子を製造するための製造工程は基板洗浄、基板パターニング工程、背向膜形成/ラビング工程、基板合着/液晶注入工程、実裝工程、検査工程、リペア(Repair)工程などに分けられる。基板洗浄工程は、液晶表示素子の基板表面に付着した異物質を洗浄により除去する。基板パターニング工程は、カラーフィルター基板のパターニング工程と TFTアレイ基板のパターニング工程とに分けられて実施される。背向膜形成/ラビング工程はカラーフィルター基板とTFTアレイ基板のそれぞれに背向膜を塗布してその背向膜をラビング布などにラビングする。基板合着/液晶注入工程はシール材(Sealant)を利用してカラーフィルター基板とTFTアレイ基板とを合着して液晶注入口を通じて液晶とスペーサとを注入した後、その液晶注入口を封止する。実裝工程は、ゲートドライブ集積回路及びデータドライブ集積回路などの集積回路が実裝されたテープキャリアパッケージ(Tape Carrier Package : 以下、”TCP”という)を基板上のパッド部に接続させるものである。このようなドライブ集積回路は、前述のTCPを利用したテープ自動ボンディング(Tape Automated Bonding)方式以外にチップオンガラス(Chip On Glass ; 以下、”COG”という)方式などで基板上に直接実裝することもできる。検査工程は、TFTアレイ基板にデータラインとゲートラインなどの信号配線と画素電極が形成された後に実施される電気的検査と、基板合着/液晶注入工程後に実施される電気的検査及び肉眼検査とを含む。リペア工程は、検査工程によりリペアが可能であると判定された基板に対する復元を実施する。検査工程でリペアの不可能な基板は廃棄処分される。 
【００１２】
このような液晶表示素子を含んだ大部分の平板表示素子の製造方法において、基板上に積層される薄膜物質はフォトリソグラフィ(Photorithography) 工程においてパターニングされる。フォトリソグラフィ工程は一般的にフォトレジスト(Photoresist)の塗布、マスク整列、露光、現像及び洗浄を含む一連の写真工程である。ところで、このようなフォトリソグラフィ工程は、工程所要時間が長く、フォトレジスト物質とストリップ溶液の浪費が大きくなるため、露光装備などの高価な装備が必要となるという問題点がある。 
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
したがって、本発明の目的は、フォト工程を行わない方法で、パターニング工程を実行し、工程時間を減らしてパターン不良を最小化するようにした平板表示素子の製造方法及び装置を提供することにある。 
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の目的を達成するために、本発明に係る平板表示素子の製造方法は、薄膜上にエッチレジスト（エッチングレジスト、etch resist）を塗布する段階と、エッチレジストとの対向面に薄膜パターン形成のための突出部及びホームを有する、ソフトモールドを形成する段階と、ソフトモールドをエッチレジストに加圧してエッチレジストパターンを薄膜上に形成する段階と、エッチレジストパターンからソフトモールドを分離する段階と、エッチレジストパターンを利用して薄膜をエッチングして薄膜パターンを形成する段階とを含むことを特徴とする。 
【００１５】
本発明の一実施例によれば、本発明に係る平板表示素子の製造方法において、上記ソフトモールドを形成する段階は、エッチレジストとの対向面上にホームと突出面を形成する段階と、突出面を露光する段階と、露光された領域である突出面にオゾンを供給する段階と、オゾンが供給された突出面を自己組織化物質に露出させる段階とを含むことを特徴とする。 
【００１６】
また、本発明の一実施例によれば、本発明に係る平板表示素子の製造方法は上記自己組織化物質の末端基に従って突出面の表面が親水性及び疎水性の中である一性質をたたえるようになることを特徴とする。 
【００１７】
また、本発明の一実施例によれば、本発明に係る平板表示素子の製造方法は、突出面の表面が親水性である場合に、上記末端基は -OH、-COOH、-COHのうちの少なくとも一つであることを特徴とする。 
【００１８】
また、本発明の一実施例によれば、本発明に係る平板表示素子の製造方法は、突出面の表面が疎水性である場合に、上記末端基は-Ｃｌ、-F、-I、-CH３のうちの少なくとも一つであることを特徴とする。 
【００１９】
また、本発明の一実施例によれば、本発明に係る平板表示素子の製造方法において、平板表示素子は、液晶表示素子(LCD)、電界放出表示素子(FED)、プラズマディスプレイパネル(PDP)及び電界発光素子(EL)のうちのいずれか一つであることを特徴とする。 
【００２０】
また、本発明の一実施例によれば、本発明に係る平板表示素子の製造方法は、ソフトモールドをエッチレジストに加圧するうちにエッチレジストをベーキングする段階を含むことを特徴とする。 
【００２１】
また、本発明の一実施例によれば、本発明に係る平板表示素子の製造方法は、薄膜パターンを形成した後、エッチレジストパターンをストリップする段階を含むことを特徴とする。 
【００２２】
また、本発明の一実施例によれば、本発明に係る平板表示素子の製造方法は、ソフトモールドを形成する段階が、ソフトモールドの表面処理を通じてソフトモールドの表面上にエッチレジストとの反発力が大きい反発層を形成する段階を含むことを特徴とする。 
【００２３】
また、本発明の一実施例によれば、本発明に係る平板表示素子の製造方法において、ソフトモールドはポリジメチルシロキサン(Polydimethylsiloxane, PDMS)、ポリウレタン(Polyurethane)、架橋ノボラック樹脂(Cross-linked Novolac resin)のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする。 
【００２４】
本発明の平板表示素子の製造装置は、薄膜上にエッチレジストを塗布する装置と、エッチレジストとの対向面に薄膜パターン形成のための突出部及びホームを有し、突出部の表面が表面処理されたソフトモールドと、ソフトモールドをエッチレジストに加圧してエッチレジストパターンを形成し、エッチレジストパターンからソフトモールドを分離し、エッチレジストパターンを利用して薄膜をエッチングして薄膜パターンを形成する装置とを具備することを特徴とする。 
【００２５】
また、本発明の一実施例によれば、本発明の平板表示素子の製造装置は、ソフトモールドの表面がエッチレジストとの反発力が大きい反発層を具備することを特徴とする。 
【００２６】
また、本発明の一実施例によれば、本発明の平板表示素子の製造装置は、ソフトモールドの反発層の厚さがおおよそ数十Å程度であることを特徴とする。 
【００２７】
また、本発明の一実施例によれば、本発明の平板表示素子の製造装置は、ソフトモールドの反発層が疎水性であり、エッチレジストが親水性であることを特徴とする。 
【００２８】
また、本発明の一実施例によれば、本発明の平板表示素子の製造装置は、ソフトモールドの反発層が-Ｃｌ、-F、-I、-CH３(アルキル基)のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする。 
【００２９】
また、本発明の一実施例によれば、本発明の平板表示素子の製造装置は、ソフトモールドの反発層が親水性であり、エッチレジストが疎水性であることを特徴とする。 
【００３０】
また、本発明の一実施例によれば、本発明の平板表示素子の製造装置は、ソフトモールドの反発層が-OH、-COOH、-COH(カルボキシル基）のうちの少なくとも一つを含むことを特徴とする。 
【００３１】
また、本発明の一実施例によれば、本発明の平板表示素子の製造装置は、ソフトモールドのホームに、エッチレジストの移動により、エッチレジストが満たされることを特徴とする。 
【００３２】
また、本発明の一実施例によれば、本発明の平板表示素子の製造装置は、平板表示素子が、液晶表示素子(LCD)、電界放出表示素子(FED)、プラズマディスプレイパネル(PDP)及び電界発光素子(EL)のうちのいずれか一つであることを特徴とする。 
【発明の効果】
【００３３】
本発明に係る平板表示素子の製造方法及び装置によれば、ソフトモールドとエッチレジストを利用して、フォト工程を行わずに、表示素子の薄膜をパターニングすることができ、その工程時間を減らすことができ、また、ソフトモールドの表面処理を通じてソフトモールドとエッチレジストとの間の反発力を大きくすることによってパターン不良を最小化することができる。 
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、図２乃至図５を参照して本発明の望ましい実施例について説明する。
図２を参照すると、本発明の実施例に係る平板表示素子の製造方法は、薄膜３２が形成された硝子基板３１上にエッチレジスト(エッチングレジスト、etch resist)溶液３３aを塗布する工程、ソフトモールド３４を利用したエッチレジスト層３３のパターニング工程、薄膜３２のパターニングのためのエッチング工程、残留エッチレジストパターンのストリップ工程、及び検査工程を含む。
【００３５】
硝子基板３１上に形成された薄膜３２aは、平板表示素子の画素アレイに存在する金属パターン、有機物パターン及び無機物パターンに利用される基本材料であり、公知の塗布工程や蒸着工程により硝子基板３１上に形成される。 
【００３６】
エッチレジスト溶液３３aは耐熱性と耐藥品性(Chemical-resistance)を持つ材料、例えば、エチルアルコール(ethanol)溶液にノボラック樹脂(Novolac resin)がおおよそ５〜３０wt（重量）%添加された溶液が利用され得る。このようなエッチレジスト溶液３３aはノズル噴射、スピンコーティングなどの塗布工程により薄膜３２a上に塗布される。 
【００３７】
ソフトモールド３４は、弾性が大きいゴム材料、例えば、ポリジメチルシロキサン(Polydimethylsiloxane, PDMS)、ポリウレタン(Polyurethane)、架橋ノボラック樹脂(Cross-linked Novolac resin)などからなり、硝子基板３１上に残留させるパターンに対応するホーム３４aが形成される。ソフトモールド３４はエッチレジスト溶液３３a 上に整列された後、薄膜３２aとの接触が可能な程度の圧力、すなわち自身の自重程度の重さだけでエッチレジスト溶液３３aに加圧される。これと同時に、硝子基板３１はおおよそ１３０℃以下の温度で１０分〜２時間程度ベーキング(baking)される。その後、ソフトモールド３４と硝子基板３１との間の圧力により発生する毛管力(Capillary force)と、ソフトモールド３４とエッチレジスト溶液３３aとの間の反発力とにより、エッチレジスト溶液３３aが、図３のようにソフトモールド３４のホーム３４a内に移動する。その結果、ソフトモールド３４のホームパターンとは反転されたパターン形態でエッチレジストパターン３３bが薄膜３２a上に形成される。 
【００３８】
ソフトモールド３４と硝子基板３１が分離した後、湿式エッチング工程(Wet etching process)や乾式エッチング工程(Dry etching process)が実施される。この時エッチレジストパターン３３bはマスクとして作用するため、そのエッチレジストパターン３３ｂの下部に位置した薄膜３２aだけが硝子基板３１上に残り、それ以外の薄膜３２aは除去される。次いで、エッチレジストパターン(３３ｂ)はストリップ工程により除去され、薄膜パターン３２bに対する電気的、光学的検査を通じて薄膜パターン３２bのショート(short)、断線などが検査される。 
【００３９】
ソフトモールド３４は硝子基板３１と分離した後、紫外線(UV)とオゾン(O3)により洗浄され、他の薄膜３２aのパターニング工程に再投入される。 
【００４０】
ところで、エッチレジスト物質のパターニング工程において、エッチレジストパターン(３３b)と一緒に、望ましくない残膜が薄膜３２a上に残ることがある。この場合、薄膜３２aのパターン不良が起こる可能性がある。例えば、毛管力及びソフトモールド３４とエッチレジスト溶液３３aとの間の反発力が強ければ、エッチレジスト溶液３３aの移動が円滑になるので、図４Ａ及び図４Ｂのように、エッチレジストパターン３３bが望ましい形態に形成される。これとは異なり、ソフトモールド３４とエッチレジスト溶液３３aとの間の反発力が弱ければ、エッチレジスト溶液３３aの流動性が低くなるので、図４Ｃのように、エッチレジストパターン３３b以外の望ましくない残膜３３cが薄膜３２a上に残る。 
【００４１】
本発明に係る平板表示素子の製造方法は、ソフトモールド３４のエッチレジスト物質対向面を、エッチレジスト溶液３３aとの反発力が大きくなるように表面処理する。このような表面処理は、ソフトモールド３４とエッチレジスト溶液３３aとの間の反発力を大きくし、エッチレジスト溶液３３aの上にソフトモールド３４が加圧される際、エッチレジスト溶液３３aがソフトモールド３４のホーム３４aに移動することを円滑にする。 
【００４２】
図５は本発明の実施例に係るソフトモールド３４の表面処理を段階的に示している。 
図５を参照すると、フォトマスク３６は、ソフトモールド３４のエッチレジストに対向する面上に整列される。このソフトモールド３４は、前述したように、ポリジメチルシロキサン(Polydimethylsiloxane, PDMS)、ポリウレタン(Polyurethane)、架橋ノボラック樹脂(Cross-linked Novolac resin)などからなり、エッチレジスト対向面上にホーム３４aと突出面３４bとが形成される。ソフトモールド３４の突出面３４bが薄膜３２aと接触する際、ホーム３４aには、エッチレジスト溶液３３aの移動によりエッチレジスト溶液３３aが満たされる。フォトマスク３６には、ソフトモールド３４の突出面３４bだけを光に露出させる光透過部３６が形成される。フォトマスク３６が整列された状態で、ソフトモールド３４の突出面３４b上に紫外線(UV)が照射される。この時の紫外線(UV)は１８０nm〜３００nm間の波長を持つ。それにより、ソフトモールド３４の突出面３４b上でCH３基が蒸発してその表面上がシリコンオキサイド層(SiOx)に変わる。このような露光工程でオゾンを供給すると、ソフトモールド３４が極疎水性(ultra-hydrophobic)物質だとしても、突出面３４bは一時的に(おおよそ２時間程度)親水性を呈するようになる。 
【００４３】
次いで、蒸気(vapor)あるいは液体(liquid)状態の自己組織化物質(自己集合物質、Self Ａssembly Ｍaterials, SAM)を、シリコンオキサイド層に変わったソフトモールド３４の突出面３４bと反応させる。自己組織化物質は突出面３４bの表面を極疎水化または極親水(ultra-hydrophilic)化する。このような自己組織化物質の一例としては、塩化シリル蒸気(Silyl chloride vapor)があり、その構造は下の化学式１のようになる。 
［化学式１］
Cl3 SiR-X 
【００４４】
ここで、Rはアルキルグル−ムで、Xは末端基（ｔｅｒｍｉｎａｌ  ｇｒｏｕｐ）である。末端基Xに従ってソフトモールド３４の突出面３４bの表面が極疎水化されたり極親水化されたりする。例えば、末端基Xが-Cl、-F、-I、-CH３(アルキル基,Alkyl radical)などであれば、突出面(３４b)は永久的に極疎水性をたたえるようになる。対照的に、末端基Xが-OH、-COOH、-COH(カルボキシル基, Carboxyl radical)であれば突出面３４bは永久的に極親水性を呈するようになる。 
【００４５】
突出面３４b上で極疎水化または極親水化された反発層３５はエッチレジスト物質との反発力を大きくする。エッチレジスト溶液３３aが親水性であれば反発層３５は疎水性でなければならず、エッチレジスト溶液３３aが疎水性であれば反発層３５は親水性でなければならない。このような反発層３５はおおよそ数十Å程度の厚さを持つ。 
【００４６】
本発明に係る平板表示素子の製造方法及び装置は、液晶表示素子(LCD)、電界放出表示素子(FED)、プラズマディスプレイパネル(PDP)及び電界発光素子(EL)などの平板表示素子の電極層、有機物層及び無機物層などをパターニングするための工程に適用することができる。 
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】アクティブマトリックスタイプの液晶表示素子を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例に係る平板表示素子の製造方法を示す図である。
【図３】図２に図示されたソフトモールドと基板との接触の際のエッチレジスト溶液の移動を示す図である。
【図４Ａ】エッチレジストパターンの多くの類型を概略的に示す図である。
【図４Ｂ】エッチレジストパターンの多くの類型を概略的に示す図である。
【図４Ｃ】エッチレジストパターンの多くの類型を概略的に示す図である。
【図５】図２に図示されたソフトモールドの表面処理を示す図である。
【符号の説明】
【００４８】
１１、１７:偏光板
１２、１６、３１:硝子基板 
１３:カラーフィルター
１４:共通電極 
１５:液晶層
１８:ゲートライン 
１９:データライン
２０:薄膜トランジスタ 
２１:画素電極
２２:カラーフィルター基板 
３２a、３２b:薄膜
３３a、３３b:エッチレジスト 
３４:ソフトモールド
３５:反発層 
３６:フォトマスク 
【図１】
2005196168.tif 000003
【図２】
2005196168.tif 000004
【図３】
2005196168.tif 000005
【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2005196168.tif 000007
【図４Ｃ】
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【図５】
2005196168.tif 000009