(57)【要約】【課題】赤外線吸収型カットフィルタを光学系に配設した場合、カラーフィルタを有する固体撮像素子に入射する光量の低下をもたらし、良好な画像が得られないという問題が生じていた。赤外線吸収型カットフィルタによる影響を軽減し、感度を大きく改善した固体撮像素子を提供するものである。【解決手段】赤外カットフィルタを通過した光を受光する、受光素子とカラーフィルタとが２次元的に配置された固体撮像素子において、該カラーフィルターを構成する複数色の着色画素のうち、その１色以上について分光透過特性を光の短波長側にシフトさせ、該赤外カットフィルタによる可視域光の減衰領域での感度を向上させた固体撮像素子。【選択図】図１
2005093659.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
赤外カットフィルタを通過した光を受光する、受光素子とカラーフィルタとが２次元的に配置された固体撮像素子において、該カラーフィルターを構成する複数色の着色画素のうち、その１色以上について分光透過特性を光の短波長側にシフトさせ、該赤外カットフィルタによる可視域光の減衰領域での感度を向上させたことを特徴とする固体撮像素子。
【請求項２】
該カラーフィルタが、赤、緑、青の原色系カラーフィルタであり、かつ赤について分光透過特性を光の短波長側にシフトさせたことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項３】
該カラーフィルタが、赤、緑、青の原色系カラーフィルタであり、かつ赤と緑の２色について分光透過特性を光の短波長側にシフトさせたことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子。
【請求項４】
該赤外カットフィルタが、赤外線吸収型赤外カットフィルタであることを特徴とする請求項１，２，３に記載の固体撮像素子。
【請求項５】
赤色カラーフィルタと前記赤色カラーフィルタ上に設けられた赤外線吸収型カットフィルタとを通過した光を受光する受光素子を有する固体撮像素子において、
前記赤色カラーフィルタの分光透過特性は、短波長側の５０％値が550nm〜560nmの範囲であることを特徴とする固体撮像素子。
【請求項６】
前記受光素子は二次元的に配されていることを特徴とする請求項５に記載の固体撮像素子。
【請求項７】
請求項５及び６に記載の固体撮像素子は、緑色及び／又は青色のカラーフィルタを有することを特徴とする固体撮像素子。
【請求項８】
前記緑色カラーフィルタの分光透過特性は、長波長側の５０％値が565nm〜575nmの範囲であることを特徴とする請求項７に記載の固体撮像素子。
【請求項９】
赤外線吸収型カットフィルタが上部に配された赤色カラーフィルタにおいて、前記赤色カラーフィルタの分光透過特性は、短波長側の５０％値が550nm〜560nmの範囲であることを特徴とする赤色カラーフィルタ。
【請求項１０】
赤外線吸収型カットフィルタが上部に配された緑色カラーフィルタにおいて、前記緑色カラーフィルタの分光透過特性は、長波長側の５０％値が565nm〜575nmの範囲であることを特徴とする緑色カラーフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、C-MOSやCCDなどの受光素子に代表される固体撮像素子に係わり、特に、カラーフィルタを有する撮像素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
C-MOSやCCDなどの受光素子に代表される固体撮像素子は、受光素子に入射した光を電気信号に変換するものであり、入射する光の強弱に応じて、変換された電気信号の量も増減する。また、固体撮像素子には色分解用フィルタを配設し、入射する光を予め色分解用フィルタ（以下カラーフィルタと記す）で色分解した上で、分解された光を受光素子に入射させることが主流となっている。
【０００３】
ここで、光に対する人間の視感度は、個人差があるものの、光の波長領域でおおよそ400nm〜700nmの範囲であり、700nmを超える近赤外領域の光は目に見えない。ところが、C-MOSやCCDなどの受光素子は、700nmを超える近赤外領域に高い感度領域を持っている。このため、該受光素子を有する固体撮像素子を組み込んだ撮像手段（例えば、デジタルカメラやデジタルビデオカメラ等の電子的撮影機器）で風景、人物などを撮影した場合、人間が目視した場合とイメージの異なる映像となってしまう。上記撮像手段で撮影した映像と人間の目視とのイメージを近づける手段として、受光素子に入射する光のうち、受光素子は感度を持つが人間の目には見えない光（特に700nmを超える赤外光）をカットすることが有効である。
【０００４】
受光素子への赤外光の入射をカットする機能（以下、赤外カット機能という）は、受光素子に光を導くレンズ光学系に盛り込むことが一般的である。赤外カット機能としては、反射型の赤外カットフィルタ、もしくは、赤外線を吸収する吸収型の赤外カットフィルタが用いられている。
【０００５】
反射型の赤外カットフィルタは、入射光のうち赤外領域の光（特に700nm〜1100nmの近赤外領域の光）を反射し、それ以下の波長の光を透過させるものである。また、吸収型の赤外カットフィルタは、フィルタ内に金属イオンや染料を有するもので、入射光のうち赤外領域の光（特に700nm〜1100nmの近赤外領域の光）を金属イオンや染料で吸収し、それ以下の波長の光を透過させるものである。
【０００６】
ここで、反射型赤外カットフィルタは、光学レンズの表面に蒸着などの真空成膜の手法で無機酸化物の多層膜を形成し、反射防止膜も兼ねさせることが多い。しかし、反射型は、斜め入射光や、光入射後の光学レンズ間および、光学レンズと受光素子との間での再反射による再入射光を十分にカットできない欠点がある。近赤外領域の光をカットできないと正確な色分解ができず、ゴースト像の発生など大きな画質低下をもたらすことになる。ゴースト像の発生を防止する工夫として、下記の特許文献１がみられる。
【０００７】
このため、反射型赤外カットフィルタを有する光学レンズと受光素子との間に赤外線吸収型カットフィルタを加えて設置する、あるいは、反射型赤外カットフィルタを設けずに吸収型赤外フィルタのみを光学レンズに設置することが多い。
【特許文献１】特開２００２−２８１５１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、赤外線吸収型カットフィルタは、図５の分光透過率のグラフに示すように、波長550nm付近の光から徐々に吸収量が多くなるものである。このため、近赤外領域の光のみならず、人間の可視域である波長550nm〜700nmの光も赤外線吸収型カットフィルタで吸収されていた。その結果、可視域における固体撮像素子の感度が低下していた。
【０００９】
ここで図４に、従来の固体撮像素子に形成するカラーフィルタのうちＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）からなる原色系の色フィルターの、各色フィルタの分光透過率を破線で示している。なお、破線４１はＲ（赤）色フィルタ、破線４３はＧ（緑）色カラーフィルタ、破線４５はＢ（青）色カラーフィルタの分光透過率を各々示している。次いで図４には、赤外線吸収型カットフィルタをカラーフィルタの前面に挿入し、赤外線吸収型カットフィルタを透過した光を上記と同じ原色系の色フィルターに入射させたときの、各色フィルタにおける分光透過率を実線にて示している。なお、実線４２はＲ（赤）色フィルタ、実線４４はＧ（緑）色カラーフィルタ、実線４６はＢ（青）色カラーフィルタの分光透過率を各々示している。
【００１０】
図４より分かるように、波長550nm〜700nmの光を吸収する赤外線吸収型カットフィルタの影響で、実線４２のＲ（赤）色フィルタ、および実線４４のＧ（緑）色カラーフィルタは波長550nm〜700nmの領域で透過率が低下している。特に、実線４２のＲ（赤）色フィルタにおいては、赤外線吸収型カットフィルタを挿入する前の分光特性（破線４１に示す分光特性）と比較すると、大きく透過率が低下していることが分かる。
【００１１】
すなわち、赤外線吸収型カットフィルタを光学系に配設した場合、カラーフィルタを有する固体撮像素子に入射する光量の低下により感度低下をもたらし、
良好な画像が得られないという問題が生じていた。
【００１２】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、赤外線吸収型カットフィルタによる影響を軽減し、感度を大きく改善した固体撮像素子を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は上述した課題を解決するためになされたもので、
請求項１においては、
赤外カットフィルタを通過した光を受光する、受光素子とカラーフィルタとが２次元的に配置された固体撮像素子において、
該カラーフィルターを構成する複数色の着色画素のうち、その１色以上について分光透過特性を光の短波長側にシフトさせ、該赤外カットフィルタによる可視域光の減衰領域での感度を向上させたことを特徴とする固体撮像素子としたものである。
【００１４】
本発明は、赤、緑、青の原色系カラーフィルタおよび  シアン、マゼンタ、イエローの補色系カラーフィルタに適用可能である。
【００１５】
しかし本発明は、特に原色系カラーフィルタの赤、あるいは赤と緑に適用することにより顕著な効果を上げることができる。
【００１６】
すなわち、請求項２においては、
カラーフィルタが、赤、緑、青の原色系カラーフィルタであり、かつ、赤について分光透過特性を光の短波長側にシフトさせたことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子としたものである。
【００１７】
次いで、請求項３においては
カラーフィルタが、赤、緑、青の原色系カラーフィルタであり、かつ、赤と緑の２色について分光透過特性を光の短波長側にシフトさせたことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像素子としたものである。
【００１８】
次いで、請求項３においては、
赤外カットフィルタが、赤外線吸収型であるかもしくは赤外線吸収型のカットフィルタを有する構成であることを特徴とする請求項１，２，３に記載の固体撮像素子としたものである。
【００１９】
また、本発明の別の固体撮像素子は、赤色カラーフィルタと前記赤色カラーフィルタ上に設けられた赤外線吸収型カットフィルタと、を通過した光を受光する受光素子を有する固体撮像素子において、前記赤色カラーフィルタの分光透過特性は、５０％値が550nm〜560nmの範囲であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、長波長側に吸収をもつ赤外カットフィルタの影響を軽減し、可視域長波長側での固体撮像素子の感度が大きく向上する。また、従来、青空のように赤の成分が少ないシーンでは赤の信号対ノイズ比が低下により青空画像に画像劣化が発生することがあったが本発明によれば実質的な赤感度が改善されるため画像劣化を防ぐことができる。
【００２１】
また、日陰のシーンの場合も天空光の影響を強く受けるために画像全体として赤の成分が少なくなり、青空画像と同様に画像劣化が発生することがあったが本発明によれば画像劣化を防ぐことができる。
【００２２】
また、製造プロセス面では本発明の実施に伴う新たな工程の追加の必要はなく、赤レジストの種類を変更するだけで固体撮像素子の感度および画質を改善することができるため製造コストは増加せず、また工程導入も容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の固体撮像素子の断面図を図１に示した。また、本発明による原色系カラーフィルタの分光特性を図２に示した。図５に代表的な赤外カットフィルタの分光特性を示した。
【００２４】
以下、本発明を実施例と共に説明する。  
【実施例１】
【００２５】
本発明による第1の実施例について詳細に説明する。
本発明による固体撮像素子は、図１に示すように、受光素子11の形成された半導体基板10上に、0.8μｍ膜厚の平坦化層13、カラーフィルタである赤14、緑15、青16をそれぞれ  1.3μｍ膜厚・画素ピッチ3.3μｍにて、さらに0.5μｍ膜厚の透明樹脂層18、該透明樹脂層18上に、高さ0.8μｍのマイクロレンズ19を積層した構成である。
【００２６】
本発明の第１の実施例による固体撮像素子のカラーフィルタの分光特性を図２に示した。図２の本発明によるカラーフィルタの分光特性において、破線は、それぞれ赤21、緑23、青25のカラーフィルタ単体の分光特性であり、実線は、赤外カットフィルタとカラーフィルタを光が透過した（赤外カットフィルタの透過率とカラーフィルタの透過率の積となる）、それぞれ赤22、緑24、青26 のカラーフィルタの分光特性である。
カラーフィルタの分光特性値は、赤外カットフィルタを挿入しない（赤外カットでの吸収を考慮しないCF単体での）ピークの透過率における波長（以下、ピーク透過率と略称）および50％の透過率における波長（以下、５０％値と略称）で代表的に表現する。
【００２７】
本発明の固体撮像素子のカラーフィルタは、公知のフォトリソグラフィーの手法で形成できる。本発明において、平坦化層13の形成された半導体基板10上に、グリーンレジストにて緑24の画素を、レッドレジストにて赤22の画素を、ブルーレジストにて青16の画素をこの順で形成した。
【００２８】
以下に用いたカラーレジストの組成を示すが、それぞれカラーレジスト中の有機顔料は、C.I.ナンバーで表記した。なお、カラーレジストは、通常、下記に示すように、単色の有機顔料と分散樹脂、およびシクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤などを分散したペーストを、複数用いて調色する。なお、ここでペーストとは、微粉砕した有機顔料と、樹脂、溶剤などのいわば、カラーレジストの前駆体と言える顔料分散体である。このあと、重合性モノマー、ポリマー、開始剤などを加え  感光性・フォトリソ適性を付与したカラーレジストとして調整するものである。
【００２９】
まず、グリ−ンレジストは、色材として、C.I.ピグメントイエロー139を12.3重量％含有するイエローペーストを4部（重量部、以下同じ）、C.I.ピグメントグリーン36を16.2重量％含有するグリーンペーストを20部、C.I.ピグメントブルー15:6を11.1重量％含有するブルーペーストを7部に、さらに、シクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤を38部、ポリマーワニス（固形比20重量％）22部、モノマー5部、開始剤2部、界面活性剤１部などを添加して、レジスト化したものを用いた。  
【００３０】
レッドレジストは、色材として、C.I.ピグメントオレンジ71を13重量％含有するオレンジペーストのを38部、C.I.ピグメントイエロー139を12.5重量％含有するイエローペーストを17部、さらに、シクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤を36部、ポリマーワニス（固形比20重量％）3部、重合性モノマー4部、開始剤1部、界面活性剤１部などを添加して、レジスト化したものを用いた。
【００３１】
ブルーレジストは、色材として、C.I.ピグメントブルー15:6を11.5重量％含有するブルーペーストを 52部、C.I.ピグメントバイオレット23を15重量％含有するバイオレットペーストを2部、さらに、シクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤を30部、ポリマーワニス（固形比20重量％）9部、重合性モノマー4部、開始剤2部などを添加して、レジスト化したものを用いた。
【００３２】
上記で得られた本実施例としてのカラーフィルタの分光特性を図２中の破線に示す（それぞれ赤21、緑23、青25がカラーフィルタ単体の分光特性）。また、実線は図5に示す分光透過率を有する赤外カットフィルタと本実施例のカラーフィルタを光が透過した（赤外カットフィルタの透過率とカラーフィルタの透過率の積となる）を図２中の実線に示す（それぞれ赤22、緑24、青26 がカラーフィルタの分光特性である）。
＜比較例１＞
比較例として  従来の固体撮像素子の構成を図３に、また、当固体撮像素子のカラーフィルタの分光特性を図４に示した。なお、比較例の構成寸法は、前記実施例とほぼ同一とした。
【００３３】
比較例の個体撮像素子のカラーフィルタは、実施例と同様、公知のフォトリソグラフィーの手法で形成した。比較例において、平坦下層33の形成された半導体基板30上に、グリーンレジストにて緑35の画素を、レッドレジストにて赤32の画素を、ブルーレジストにて青36の画素をこの順で形成した。
【００３４】
グリ−ンレジストは、色材として、C.I.ピグメントイエロー139を10.4％含有するイエローペーストを8部、C.I.ピグメントグリーン36を16.1％含有するグリーンペーストを23.5部、C.I.ピグメントブルー15:6を12.5％含有するブルーペーストを2部に、さらに、シクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤を45部、ポリマーワニス（固形比20重量％）15部、モノマー4.5部、開始剤2部などを添加して、レジスト化したものを用いた。
【００３５】
レッドレジストは、色材として、C.I.ピグメントレッド177を12％含有するレッドペーストを 4部、C.I.ピグメントレッド48:1を12重量％含有するレッドペーストを44部、C.I.ピグメントイエロー139を11.1重量％含有するイエローペーストを14部、さらに、シクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤を32部、モノマー4部、開始剤2部などを添加して、レジスト化したものを用いた。
【００３６】
ブルージストは、色材として、C.I.ピグメントブルー15:6を11.5重量％含有するブルーペーストを52部、C.I.ピグメントバイオレット23を15重量％含有するバイオレットペーストを2部、さらに、シクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤を30部、ポリマー（固形比20重量％）9部、モノマー4部、開始剤2部などを添加して、レジスト化したものを用いた。ブルーレジストは、実施例と同じ材料を用いた。
【００３７】
上記で得られた比較例としてのカラーフィルタの分光特性を図４中の破線に示す（それぞれ赤41、緑43、青45がカラーフィルタ単体の分光特性）。また、実線は、上記実施例と同様に図5に示す分光透過率を有する赤外カットフィルタと本比較例のカラーフィルタを光が透過した（赤外カットフィルタの透過率とカラーフィルタの透過率の積となる）分光特性である。
赤外カットフィルタの影響を受けて 赤42、緑44の透過率が、低下していることが示されている。特に赤42は、600nmでのピーク透過率が50.9％と大きく低下している。緑44は、赤外カットフィルタの影響の出てくる550nm以降の長波長側で  透過率が低下している。
【００３８】
【表１】
2005093659.tif 000003
【００３９】
【表２】
2005093659.tif 000004
さらには、表２に、本実施例と比較例のそれぞれの分光特性比較を５０％値で示した。表２に示すように、実施例の赤では、25nmの短波長側への５０％値シフト、緑ではおよそ20nmの短波長側への５０％値シフト（緑では両側に５０％値ある）を各々比較例のカラーフィルタに対し行なっている。
【００４０】
次いで、表３に、本発明と比較例との透過光量の比較を示した。表３より明らかなように、本発明では、赤において、  1.54倍、緑において1.10倍の透過光量/感度アッフ゜を得ることができた。
【００４１】
【表３】
2005093659.tif 000005
【実施例２】
【００４２】
本発明による第2の実施例について説明する。本発明による固体撮像素子は、図１に示すように、受光素子11の形成された半導体基板10上に、0.8μｍ膜厚の平坦化層13、カラーフィルタである赤14、緑15、青16をそれぞれ 、1.3μｍ膜厚・画素ピッチ3.3μｍにて、さらに0.5μｍ膜厚の透明樹脂層18、該透明樹脂層18上に  高さ0.8μｍのマイクロレンズ19を積層した構成である。
【００４３】
本発明の第2の実施例による固体撮像素子のカラーフィルタの分光特性を図６に示した。図６の本発明によるカラーフィルタの分光特性において、破線はそれぞれ赤61、緑63、青65のカラーフィルタ単体の分光特性であり、実線は赤外カットフィルタとカラーフィルタを光が透過した（赤外カットフィルタの透過率とカラーフィルタの透過率の積となる）、それぞれ赤62、緑64、青66 のカラーフィルタの分光特性である。
カラーフィルタの分光特性値は、通常、赤外カットフィルタを挿入しない（赤外カットでの吸収を考慮しないカラーフィルタ単体での）ピークの透過率とその波長（以下、ピーク透過率と略称）および50％の透過率（以下、５０％値と略称）で代表的に表現する。
【００４４】
本発明の固体撮像素子のカラーフィルタは、公知のフォトリソグラフィーの手法で形成できる。本発明において、平坦化層13の形成された半導体基板10上に、グリーンレジストにて緑64の画素を、レッドレジストにて赤62の画素を、ブルーレジストにて青61の画素をこの順で形成した。
【００４５】
以下に用いたカラーレジストの組成を示すが、それぞれカラーレジスト中の有機顔料は、C.I.ナンバーで表記した。なお、カラーレジストは、通常、下記に示すように、単色の有機顔料と分散樹脂およびシクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤などを分散したペーストを、複数用いて調色する。このあと、モノマー、ポリマー、開始剤などを加え感光性・フォトリソ適性を付与したカラーレジストとして調整するものである。
【００４６】
まず、グリ−ンレジストは、色材として、C.I.ピグメントイエロー139を10.4％含有するイエローペーストを8部、C.I.ピグメントグリーン36を16.1％含有するグリーンペーストを23.5部、C.I.ピグメントブルー15:6を12.5％含有するブルーペーストを2部に、さらに、シクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤を45部、ポリマーワニス（固形比20％）15部、モノマー4.5部、開始剤2部などを添加して、レジスト化したものを用いた。
【００４７】
レッドレジストは、色材として、C.I.ピグメントオレンジ71を13％含有するオレンジペーストのを 38部、C.I.ピグメントイエロー139を12.5％含有するイエローペーストを17部、さらに、シクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤を36部、ポリマーワニス（固形比20％）3部、モノマー4部、開始剤1部、界面活性剤１部などを添加して、レジスト化したものを用いた。
【００４８】
ブルージストは、色材として、C.I.ピグメントブルー15:6を11.5％含有するブルーペーストを 52部、C.I.ピグメントバイオレット23を15％含有するバイオレットペーストを2部、さらに、シクロヘキサノンやPGMAなどの有機溶剤を30部、ポリマーワニス（固形比20％）9部、モノマー4部、開始剤2部などを添加して、レジスト化したものを用いた。
【００４９】
上記で得られた本実施例2としてのカラーフィルタの分光特性を図６中の破線に示す（それぞれ赤61、緑63、青65がカラーフィルタ単体の分光特性）。また、実線は図5に示す分光透過率を有する赤外カットフィルタと本実施例のカラーフィルタを光が透過した（赤外カットフィルタの透過率とカラーフィルタの透過率の積となる）を図６中の実線に示す（それぞれ赤62、緑64、青66 がカラーフィルタの分光特性である）。
＜比較例２＞
比較例２として、従来の固体撮像素子の構成を図３に、また  当固体撮像素子のカラーフィルタの分光特性を図４に示した。なお、比較例2の構成寸法は、前記実施例２とほぼ同一とした。
【００５０】
従来例の固体撮像素子のカラーフィルタは、比較例２と同様の手法で形成したものである。  
【００５１】
上記で得られた比較例としてのカラーフィルタの分光特性を図４中の破線に示す（それぞれ赤41、緑43、青45がカラーフィルタ単体の分光特性）。また、実線は、上記実施例と同様に図5に示す分光透過率を有する赤外カットフィルタと本比較例のカラーフィルタを光が透過した（赤外カットフィルタの透過率とカラーフィルタの透過率の積となる）分光特性である。
【００５２】
赤外カットフィルタの影響を受けて 赤42、緑44の透過率が、低下していることが示されている。特に赤42は、600nmでのピーク透過率が50.9％と大きく低下している。緑44は、赤外カットフィルタの影響の出てくる550nm以降の長波長側で透過率が低下している。
【００５３】
【表４】
2005093659.tif 000006
【００５４】
【表５】
2005093659.tif 000007
さらに、表５に、本実施例と比較例とのそれぞれの分光特性比較を５０％値で示した。表５から明らかなように、実施例の赤色カラーフィルタでは、分光透過特性が短波長側へ５０％値において２５nm比較例のカラーフィルタに対してシフトされている。
次いで、以下に示す表６に、本発明と比較例との透過光量の比較を示した。表６より明らかなように、本発明では、赤において、1.54倍の透過光量／感度アップを得ることができた。
【００５５】
【表６】
2005093659.tif 000008
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明は、C-MOSやCCDなどの受光素子に代表される固体撮像素子を用いるビデオカメラ、デジタルカメラのほか、ロボット用人工眼、盲人医療用の人工網膜など人間の視覚感度に近い受光感度が要求される用途にも適応できる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の固体撮像素子の一実施例を示す部分断面図。
【図２】本発明のカラーフィルタの一実施例の分光特性を示すスペクトル図。
【図３】従来例の固体撮像素子の一例を示す部分断面図。
【図４】従来例によるカラーフィルタの分光特性を示すスペクトル図。
【図５】赤外カットフィルタの分光特性を示すスペクトル図。
【図６】本発明のカラーフィルタの他の実施例の分光特性を示すスペクトル図。
【符号の説明】
【００５８】
10、30      ・・・  半導体基板
11、31      ・・・   受光素子
14、34      ・・・   赤  （カラーフィルタ）
15、35      ・・・   緑  （カラーフィルタ）
16、36      ・・・   青  （カラーフィルタ）
19、39      ・・・   マイクロレンズ
21         ・・・    本発明の赤の分光特性
22         ・・・    赤外カットフィルタを考慮した、本発明の赤の分光特性
23         ・・・    本発明の緑の分光特性
24         ・・・    赤外カットフィルタを考慮した、本発明の緑の分光特性
25         ・・・    本発明の青の分光特性
26       ・・・    赤外カットフィルタを考慮した、本発明の青の分光特性
41         ・・・    従来例の赤の分光特性
42         ・・・    赤外カットフィルタを考慮した、従来例の赤の分光特性
43         ・・・    従来例の緑の分光特性
44         ・・・    赤外カットフィルタを考慮した、従来例の緑の分光特性
45         ・・・    従来例の青の分光特性
46         ・・・    赤外カットフィルタを考慮した、従来例の青の分光特性
61       ・・・    本発明の赤の分光特性
62         ・・・    赤外カットフィルタを考慮した、本発明の赤の分光特性
63         ・・・    本発明の緑の分光特性
64         ・・・    赤外カットフィルタを考慮した、本発明の緑の分光特性
65         ・・・    本発明の青の分光特性
66       ・・・    赤外カットフィルタを考慮した、本発明の青の分光特性
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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