(57)【要約】【課題】  固体粒子を固相として用いず、平板上だけでなく、マイクロ流路内であっても生化学物質を所望の位置に容易に固定することがでるリアクターの製造方法、およびこの製造方法によって得られるリアクター、分析装置および固定方法を提供する。【解決手段】  光吸収層Ｍを積層した基板ｗ１上の所定の位置に光を照射して当該位置の光吸収層Ｍを除去する。その後、生化学物質Ｔ１の溶液を導入することにより、光吸収層Ｍが除去された位置の基板ｗ１に生化学物質Ｔ１を位置選択的に吸着させる。次に、他の所定の位置に光を照射して当該位置の光吸収層Ｍを除去する。生化学物質Ｔ２の溶液を導入することにより、光吸収層Ｍが除去された位置の基板ｗ１に生化学物質Ｔ２を位置選択的に吸着させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
生化学物質を吸着可能な固相と、該固相の所定の位置に前記生化学物質が吸着固定されたリアクターの製造方法であって、
該固相に光により除去可能な光吸収層を積層する第１工程と、
前記所定の位置に光を照射して当該位置の光吸収層を除去する第２工程と、
前記光吸収層が除去された位置の固相に前記生化学物質を吸着させる第３工程と、
を有することを特徴とするリアクターの製造方法。
【請求項２】
前記第２工程より前に、前記固相を内面側とする流路を形成する工程を有する請求項１に記載のリアクターの製造方法。
【請求項３】
前記第２工程と第３工程とを、さらに１回以上繰り返すことにより、複数種類の生化学物質を、各々異なる所定の位置に固定する請求項１または請求項２に記載のリアクターの製造方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３の何れかに記載された製造方法により製造されたことを特徴とするリアクター。
【請求項５】
リアクターと、該リアクターにおける反応を検出する検出器とを備える分析装置であって、前記リアクターが請求項４に記載のリアクターであることを特徴とする分析装置。
【請求項６】
生化学物質を吸着可能な固相の所定の位置に、該生化学物質を吸着固定する方法であって、
該固相上に光により除去可能な光吸収層を積層する第１工程と、
前記所定の位置に光を照射して当該位置の光吸収層を除去する第２工程と、
前記光吸収層が除去された位置の固相に前記生化学物質を吸着させる第３工程と、
を有することを特徴とする生化学物質の固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、生化学物質を固定化したリアクターとその製造方法、およびこのリアクターを用いた分析装置、並びに固定方法に関する。特に、マイクロ流路内壁を固相とした場合にも、生化学物質を固相の所定の場所に固定することができる固定方法とリアクターの製造方法、およびこの製造方法によって得られるリアクターおよび分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、分析化学の分野では、マイクロ化技術（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ、以下本明細書では、ＭＥＭＳと記載する。）の研究が急速に進歩しており、分析計のマイクロ化（μ−ＴＡＳ；Ｍｉｃｒｏ  Ｔｏｔａｌ  Ａｎａｌｙｔｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍ，あるいはＬａｂ  ｏｎ  ａ  ｃｈｉｐなどと呼ばれている。）の動きがタンパク質、遺伝子、生化学などの分析分野に波及し、研究が進められている。
【０００３】
免疫反応、酵素反応等を行うバイオＭＥＭＳ分析装置として、例えば、固体微粒子を反応固相としてマイクロチップを用いて分析する試みが報告されている（例えば、非特許文献１参照。）。この方法によると、反応固相としてビーズのような固体粒子を導入することにより、抗体を固定する表面積を大きくし、より高感度の分析が可能となっている。
また、毛細管流路に、流路内壁に対する化学反応性部位を有する活性物質の溶液を導入し、化学反応により内壁に活性物質を固定化する方法が報告されている（例えば、非特許文献２参照。）。
さらに、平板状の樹脂表面に、紫外線リソグラフィーにより光架橋剤を反応させた後、さらに酵素と反応させることによって酵素を所定の位置に固定化する方法が提案されている（非特許文献３参照。）。
【非特許文献１】「ＢｉｏＭＥＭＳを利用した煙道中のダイオキシン測定システムの開発、成果報告書(初年度)」、新エネルギー・産業技術総合開発機構、平成１４年３月
【非特許文献２】Ｊ．Ｐ．カトラー、Ｓ．Ｃ．ヤコブソン、Ｎ．マツバラ、Ｊ．Ｍ．ラムジー（Ｊ．Ｐ．Ｋｕｔｌｅｒ，Ｓ．Ｃ．Ｊａｃｏｂｓｏｎ，Ｎ．Ｍａｔｓｕｂａｒａ，Ｊ．Ｍ．Ｒａｍｓｅｙ），アナリティカル・ケミストリー（Ａｎａｌ−Ｃｈｅｍ），１９９８年，第７０巻，３２９１頁．
【非特許文献３】ジャーナル・オブ・アメリカン・ケミカル・ソサエティ（Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｍｅｒｉｃａｎ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｓｏｃｉｅｔｙ），（米国），１９９３年，第１１５巻，８１４頁．
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、非特許文献１の固体粒子を用いるバイオＭＥＭＳ分析装置では、固体粒子を分析装置内に滞留させるための精密な微細構造を作製しなければならず、固体粒子の粒径管理も必要であり、生産コストが高くなる問題があった。また、固体粒子の挿入、排出に時間を要するため、迅速な測定を行うことが困難であった。
また、非特許文献２の場合は、固体粒子を用いないものの、流路内壁全体が化学修飾を受けるため、所望の位置のみに活性物質を固定化できない問題があった。
【０００５】
また、非特許文献３の方法では、オープン状態の平板上でなければ固定化ができない。そのため、マイクロ流路を形成しようとすると、酵素の固定化後にオープン状態の平板上に蓋を固着する必要がある。ところが、実用的な固着手段は、プラズマ照射による接合、熱接合等いずれも、酵素等の生化学物質を失活させてしまうものであった。
したがって、非特許文献３の方法によればオープン状態の平板上の所望の位置に対して生化学物質を固定化することは可能であるものの、マイクロ流路内の所望の位置に生化学物質を固定化することは困難であった。
【０００６】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、固体粒子を固相として用いず、平板上だけでなく、マイクロ流路内であっても生化学物質を所望の位置に容易に固定することができるリアクターの製造方法、およびこの製造方法によって得られるリアクターおよび分析装置、並びに固定方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、以下の態様を含む。
［１］生化学物質を吸着可能な固相と、該固相の所定の位置に前記生化学物質が吸着固定されたリアクターの製造方法であって、該固相に光により除去可能な光吸収層を積層する第１工程と、前記所定の位置に光を照射して当該位置の光吸収層を除去する第２工程と、前記光吸収層が除去された位置の固相に前記生化学物質を吸着させる第３工程と、を有することを特徴とするリアクターの製造方法。
【０００８】
［２］前記第２工程より前に、前記固相を内面側とする流路を形成する工程を有する［１］に記載のリアクターの製造方法。
［３］前記第２工程と第３工程とを、さらに１回以上繰り返すことにより、複数種類の生化学物質を、各々異なる所定の位置に固定する［１］又は［２］に記載のリアクターの製造方法。
［４］［１］〜［３］の何れかに記載された製造方法により製造されたことを特徴とするリアクター。
［５］リアクターと、該リアクターにおける反応を検出する検出器とを備える分析装置であって、前記リアクターが［４］に記載されたリアクターであることを特徴とする分析装置。
【０００９】
［６］生化学物質を吸着可能な固相の所定の位置に、該生化学物質を吸着固定する方法であって、該固相上に光により除去可能な光吸収層を積層する第１工程と、前記所定の位置に光を照射して当該位置の光吸収層を除去する第２工程と、前記光吸収層が除去された位置の固相に前記生化学物質を吸着させる第３工程と、を有することを特徴とする生化学物質の固定方法。
【発明の効果】
【００１０】
［１］の態様の発明によれば、光を照射した位置において固相を露出させることができるので、所望の位置のみに生化学物質を固定化することができる。
［２］の態様の発明によれば、流路を形成した後に、流路内の任意の位置に生化学物質を固定することができる。この場合、生化学物質を固定した後にプラズマ照射等の接合処理を行うことを要しないので、生化学物質を変成、失活等させることがない。そのため、マイクロ流路内であっても生化学物質を所望の位置に容易に固定することができる
［３］の態様の発明によれば、複数種類の生化学物質を、各々任意の位置に固定化することができる。そのため、複合的な反応システムを形成することができ、反応の集積化が実現できる。
【００１１】
［４］の態様の発明によれば、所望の位置に生化学物質を固定化されたリアクターとすることができる。
［５］の態様の発明によれば、所望の位置に生化学物質が固定化されたリアクターを用いるので、多様な分析を迅速かつ簡便に行えると共に、小型化も容易な分析装置とすることができる。また、流路内をマイクロレベルとすることも可能であり、その場合はごく小さい面積も比表面積としては大きくなる。したがって、ごく少量の生化学物質の固定により分析が可能となるので、特に高価な生化学物質を使用する分析に適している。
［６］の態様の発明によれば、所望の位置に生化学物質を固定化することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
［リアクター］
本発明の１実施形態に係るリアクターについて図１を用いて説明する。ただし、本発明は以下に説明する実施形態に限定されるものではない。なお、以下の各図面においては、説明の便宜上各部分の寸法比は、実際のものと一致しないものとなっている。
【００１３】
図１に示すように、本実施形態のリアクターは、基板ｗ１と基板ｗ２とが張り合わされて構成されている。そして、これら両基板の間には、入口ｆ１と出口ｆ２とを有する流路ｆが形成されている。
基板ｗ１の流路ｆ側には光吸収層Ｍが設けられているが、その一部は除去されている。そして、その除去された部分に、生化学物質Ｔ１、Ｔ２が各々吸着固定されている。
【００１４】
基板ｗ１は、その流路ｆ側の面が本発明における固相として機能するものである。したがって、少なくとも流路ｆ側の面が、固定すべき生化学物質を吸着可能であることが必要である。
また、後述の製造方法において使用する光に対して、透明であることが好ましい。不透明な場合には、光吸収層Ｍと共に光によって除去されてしまわないように、照射光から保護することが必要となるからである。
また、リアクターとして使用することから、耐薬品性を有することが好ましく、基板ｗ２との接合が容易な材質であることが好ましい。
基板ｗ１の材質としては、石英等のガラス、ポリジメチルシロキサン樹脂（以下、「ＰＤＭＳ」という。）、ポリフッ化エチレン系樹脂、ポリエステル樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリスチレン樹脂、金属等が挙げられる。
この内、ガラス、ＰＤＭＳ、ポリエステル樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂は、透明性、成形性、接合性が高いことから好ましい。
【００１５】
基板ｗ２は、後述の製造方法において光の入射側に位置する。そのため、使用する光に対して透過性であることが必要であり、透明であることが好ましい。透過性がない場合には、後述の製造方法において、光による光吸収層の除去ができないからである。
また、リアクターとして使用することから、耐薬品性を有することが好ましく、基板ｗ１との接合や、流路ｆの形成が容易な材質であることが好ましい。
基板ｗ２の材質としては、石英等のガラス、ＰＤＭＳ、ポリエステル樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリフッ化エチレン系樹脂等が挙げられる。
この内、ガラス、ＰＤＭＳ、ポリエステル樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂は、透明性、成形性、接合性が高いことから好ましい。
基板ｗ１がガラスあるいはＰＤＭＳであり、基板ｗ２がＰＤＭＳである場合が特に好ましい。
【００１６】
光吸収層Ｍは、後述の製造方法において使用する光に吸収性を持ち、この光によって除去可能な材質からなることが必要である。
また、光吸収層Ｍは、固定すべき生化学物質に対して吸着性が低いことが好ましい。なお、ある程度吸着性があっても、後述の製造方法において説明するように、ブロッキング剤を用いることにより生化学物質の固定化を防止できる。
光吸収性の材質としては金属が挙げられるが、広範囲の波長の光を効率よく吸収することから、クロムが好ましい。また、金は、チオールを持つ分子を作用させることによりタンパク質が吸着されにくくなるので、ブロッキング剤を必要とせず好適である。
光吸収層Ｍの厚さに特に限定はないが、１０〜１００ｎｍとすることが好ましい。１０ｎｍ以上とすることによって照射された光を充分に吸収して加熱されるので、アブレーション（加熱による噴出）が生じやすくなり、除去が容易となる。また、１００ｎｍ以下とすることにより、除去に必要な光量が過大とならない。
【００１７】
生化学物質Ｔ１、Ｔ２としては、タンパク質、ＤＮＡ、糖タンパク、糖脂質、細胞、ウイルス、細菌等が挙げられる。
生化学物質Ｔ１、Ｔ２は基板ｗ１に吸着固定されている。この吸着は、物理吸着でも化学吸着でも良いが、製造が容易であることから物理吸着であることが好ましい。
【００１８】
次に、本発明の１実施形態に係るリアクターの製造方法について、図２から図１３を用いて説明する。
図２に示すように、まず基板ｗ１を用意する。そして、図３に示すように、この基板ｗ１の流路ｆに対応する位置のほぼ全面に蒸着等により光吸収層Ｍを積層する。光吸収層Ｍは、流路ｆに対応する位置より多少広めに積層しても差し支えないが、流路ｆに対応する位置とほぼ完全に一致して積層することが好ましい。基板ｗ２との接合を容易にするためである。
【００１９】
次に、図４に示すように、予め流路ｆとなる凹部を形成した基板ｗ２を用意し、この凹部を形成した側を内面として基板ｗ１と張り合わせる。基板ｗ２に予め流路ｆとなる凹部を形成する方法に限定はないが、たとえば、凸型鋳型を用いて形成することができる。また、基板ｗ１と基板ｗ２との接合方法にも特に限定はなく、各々の基板の材質に応じて、プラズマ照射による接合、陽極接合、熱接合等の公知の接合手段を適宜採用すればよい。
この段階で、基板ｗ１の流路ｆ側は、光吸収層Ｍで覆われた状態となる。
【００２０】
次に、図５に示すように、流路ｆの内面に、ブロッキング剤Ｂをコーティングする。ブロッキング剤Ｂは、生化学物質Ｔ１、Ｔ２が基板ｗ２や光吸収層Ｍ上に非特異的に吸着することを抑制するためのものである。基板ｗ２や光吸収層Ｍが生化学物質Ｔ１、Ｔ２に対して吸着性を有さないものであれば、ブロッキング剤Ｂの使用は不要である。
ブロッキング剤Ｂとしては、たとえば牛血清アルブミン（ＢＳＡ）、無脂ドライミルク、カゼイン、γグロブリン等が挙げられる。
ブロッキング剤Ｂをコーティングするためには、入口ｆ１から流路ｆ内にブロッキング剤の溶液を導入し、所定時間滞留させた後に出口ｆ２から排出、洗浄すればよい。
【００２１】
次に、図６に示すように、生化学物質Ｔ１を固定すべき場所（所定の場所）に光を照射する。これにより、照射位置の光吸収層Ｍが当該光を吸収し、アブレーションにより除去される。この際、当該除去される光吸収層Ｍ上のブロッキング剤Ｂも同時に除去される。その結果図７に示すように、照射位置において基板ｗ１が露出する。
この照射する光の波長に特に限定はなく、たとえば、２００〜１５００ｎｍの光が使用できる。波長が短い光ほど、照射場所を絞りやすいので好ましい。また、指向性が鋭い細い平行なビームが得られることから、レーザー光であることが好ましい。
【００２２】
次に、図８に示すように、入口ｆ１から流路ｆ内に生化学物質Ｔ１の溶液を導入し、所定時間滞留させた後に出口ｆ２から排出する。滞留時間は、生化学物質Ｔ１の基板ｗ１への吸着性や、導入する溶液の濃度等を考慮して適宜決定すればよい。これにより、図９に示すように、光の照射により露出した基板ｗ１上に、生化学物質Ｔ１が吸着される。
なお、生化学物質Ｔ１の溶液を排出後、洗浄液を導入して洗浄を行うことが好ましい。その際、ブロッキング剤Ｂが光吸収層Ｍや基板ｗ２上から取り除かれてしまうようであれば、再度ブロッキング剤Ｂをコーティングすることが好ましい。
【００２３】
次に、図１０に示すように、生化学物質Ｔ２を固定すべき場所（所定の場所）に光を照射する。これにより、照射位置の光吸収層Ｍが当該光を吸収し、アブレーション（加熱による噴出）により除去される。この際、当該除去される光吸収層Ｍ上のブロッキング剤Ｂも同時に除去される。その結果図１１に示すように、照射位置において基板ｗ１が露出する。
この照射する光としては、生化学物質Ｔ１を固定すべき場所に照射した光と同じ光が使用できる。
【００２４】
次に、図１２に示すように、入口ｆ１から流路ｆ内に生化学物質Ｔ１の溶液を導入し、所定時間滞留させた後に出口ｆ２から排出する。滞留時間は、生化学物質Ｔ２の基板ｗ１への吸着性や、導入する溶液の濃度等を考慮して適宜決定すればよい。これにより、図１３に示すように、光の照射により露出した基板ｗ１上に、生化学物質Ｔ２が吸着される。
そして、生化学物質Ｔ１の溶液を排出後、洗浄液を導入して充分に洗浄することによってブロッキング剤Ｂを除去し、図１のリアクターを得ることができる。
【００２５】
なお、本実施形態では、２種類の生化学物質を固定したリアクターとしたが、固定するリアクターの種名は１種類でも、３種類以上であってもよい。３種類以上の場合には、図６から図９に至る工程を繰り返すことにより、当該リアクターを製造することができる。
また、各々の生化学物質は、各々複数の箇所に固定化してもよい。１カ所あたりの固定量や固定面積にも特に限定はない。
【００２６】
また、本実施形態では、基板ｗ２側に流路ｆとする凹部を形成したが、流路ｆを構成する凹部は、基板ｗ１と基板ｗ２とのいずれの側に作ってもよい。流路ｆの断面形状や面積、長さにも限定はない。流路ｆの配置も直線に限られず、曲線状の流路や分岐した流路等、種々変更可能である。
また、本実施形態では、光吸収層Ｍを流路形成前に基板ｗ１に積層したが、流路を形成した後に、メッキ等により積層してもよい。この場合、基板ｗ２上にも光吸収層Ｍが積層されるので、基板ｗ２も基板ｗ１と同様に、その流路ｆ側の面が本発明における固相として機能することができる。但し、その場合、基板ｗ２上の光吸収層Ｍに光を照射する際に、その光が基板ｗ１側に及ばないよう、流路内に色水を充填しておく等の工夫が必要である。
【００２７】
［分析装置］
本発明の分析装置は、本発明のリアクターと、このリアクターにおける反応を検出する検出器とを備えるものである。検出器としては、蛍光検出器、吸光光度検出器等の光学的検出器、ｐＨ電極、Ｈ２Ｏ２電極、導電率電極等の電気化学的検出器、その他公知の各種検出器を適宜使用できる。
【００２８】
リアクターにおける反応は、たとえば以下のように行われる。
（反応例１）
リアクターに第１抗体を固定し、抗原抗体反応を利用して、抗原、第２抗体を順次結合させる。その後、第２抗体に蛍光体を付加する。蛍光体の蛍光を検出することにより、第１抗体の濃度、抗原の濃度、第２抗体の濃度の何れかを分析することが可能である。
【００２９】
（反応例２）
リアクターの上流側にグルコースオキシダーゼを、下流側にホースラディッシュペルオキシダーゼを固定化する。ここに、アンプレックスレッドを添加したグルコース溶液を流すと、まず、グルコースオキシダーゼによりグルコースが分解し過酸化水素が発生する。次に、ホースラディッシュペルオキシダーゼにより、この過酸化水素とアンプレックスレッドからレゾルフィンが生成する。レゾルフィンの蛍光を検出することにより、グルコース濃度を分析することが可能である。
【実施例】
【００３０】
以下本発明の実施例を説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されるものではない。
(流路の形成）
まず、縦６０ｍｍ、横３０ｍｍ、厚さ１ｍｍのガラステンプレートを用意した。この基板の略中央部に、幅１ｍｍ、長さ３ｃｍ、厚さ約３０ｎｍのクロム薄膜を蒸着した。
一方、縦６０ｍｍ、横３０ｍｍ、厚さ３ｍｍのＰＤＭＳ板に、予め、凸型鋳型を用いて、流路となる幅１ｍｍ、長さ３ｃｍ、深さ６０μｍの凹部および、その両端においてφ１．６ｍｍで反対面に貫通する孔２個を形成したものを用意した。
その後、ガラステンプレートのクロム薄膜側とＰＤＭＳ板の凹部側を内面として両者を接合した。接合は、プラズマ照射後両者を貼り合わせて、さらに加熱することにより行った。
【００３１】
（タンパク質１の固定化）
上記で形成した流路内に、牛血清アルブミン（ＢＳＡ）の５％水溶液を導入し、１時間滞留させた後、トリス塩酸バッファーを１ｍＬ流して洗浄した。
次に、トリス塩酸バッファーを流路内に満たした状態で、タンパク質１を固定すべき場所（固定位置１）に、パルス発振ＹＡＧレーザー（５３２ｎｍ）を数回照射し、照射位置のクロム薄膜とＢＳＡとを除去した。
次に、流路内に、蛍光化したタンパク質１（アビジンアレクサフルオロ４８８）の                ０．００５％トリス塩酸バッファー溶液を導入し、１時間滞留させた後、トリス塩酸バッファーを１ｍＬ流して洗浄した。  
固定位置１に励起光（４８０ｎｍ）を照射したところ、アレクサフルオロ４８８の５３０ｎｍの蛍光が検出され、タンパク質１が固定化されていることが確認された。なお、他の部分にレーザーを照射してもごく弱い蛍光しか検出されず、タンパク質１が位置選択的に固定化できたことが確認された。
【００３２】
（タンパク質２の固定化）
タンパク質１を固定化した後の流路内に、牛血清アルブミン（ＢＳＡ）の５％水溶液を再度導入し、１時間滞留させた後、トリス塩酸バッファーを１ｍＬ流して洗浄した。
次に、トリス塩酸バッファーを流路内に満たした状態で、タンパク質２を固定すべき場所に、パルス発振ＹＡＧレーザー（５３２ｎｍ）を数回照射し、照射位置のクロム薄膜とＢＳＡとを除去した。
次に、流路内に、蛍光化したタンパク質２（ホースラディッシュペルオキシダーゼ）の０．１％トリス塩酸バッファー溶液を導入し、３０分間滞留させた後、トリス塩酸バッファーを１ｍＬ流して洗浄した。
次に、流路内にアンプレックスレッドと過酸化水素を含む緩衝溶液を導入し、ホースラディッシュペルオキシダーゼの作用によりレゾルフィンを生成させた。
固定位置２に励起光（５５０ｎｍ）を照射したところ、レゾルフィンの５８０ｎｍの蛍光が検出され、タンパク質２が固定化されていることが確認された。なお、他の部分にレーザーを照射しても、固定位置１を除きごく弱い蛍光しか検出されず、タンパク質２が位置選択的に固定化できたことが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施形態に係るリアクターの断面図である。
【図２】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図３】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図４】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図５】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図６】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図７】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図８】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図９】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図１０】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図１１】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図１２】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【図１３】本発明のリアクターの製造工程における断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
ｗ１・・・・基板、ｗ２・・・・基板、Ｍ・・・・光吸収層、Ｂ・・・・ブロッキング剤、Ｔ１・・・・生化学物質、Ｔ２・・・・生化学物質、ｆ・・・・流路
【図１】
2005257603.tif 000003
【図２】
2005257603.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005257603.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
2005257603.tif 000012
【図１１】
2005257603.tif 000013
【図１２】
2005257603.tif 000014
【図１３】
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