(57)【要約】【課題】  光源装置および原版を具えた露光ヘッドをステップ駆動させ、移動後に密着露光を繰り返す方式のものであって、連続する処理単位領域の境界部におけるバーパターンに高い精度の連続性が得られる真空密着露光装置およびこの装置において実施される露光方法の提供。【解決手段】  露光装置は、長尺な面状の被露光対象物が吸着されて保持される保持部を有する基台と、この基台上を被露光対象物の長手方向に沿って走行駆動可能に設けられた露光ヘッドとを備えてなり、露光ヘッドに設けられた、所定の画像パターンが形成された原版を被露光対象物の表面に真空密着させて光照射することにより原版の光像を露光するものであって、露光ヘッドは、被露光対象物をその長手方向において分割した複数の処理単位領域の各々について順次に露光処理が行われるよう、リニアモータよりなる駆動手段によってステップ駆動されることを特徴とする。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺な面状の被露光対象物が吸着されて保持される保持部を有する基台と、この基台上を被露光対象物の長手方向に沿って走行駆動可能に設けられた露光ヘッドとを備えてなり、露光ヘッドに設けられた、所定の画像パターンが形成された原版を被露光対象物の表面に真空密着させて光照射することにより原版の光像を露光する真空密着露光装置であって、
露光ヘッドは、被露光対象物をその長手方向において分割した複数の処理単位領域の各々について順次に露光処理が行われるよう、リニアモータよりなる駆動手段によってステップ駆動されることを特徴とする真空密着露光装置。
【請求項２】
基台が石定盤により構成されていることを特徴とする請求項１に記載の真空密着露光装置。
【請求項３】
駆動手段は、基台上の露光ヘッドの走行路における両側に配設された、永久磁石または電磁石よりなる推進用磁気ガイドウェーと、当該走行路における少なくとも一側に配設された、永久磁石または電磁石よりなる浮揚用磁気ガイドウェーとを備えており、露光ヘッドをその走行路における少なくとも一側を浮揚させた状態で駆動させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の真空密着露光装置。
【請求項４】
露光ヘッドは、箱状の筺体を備え、この筺体内において、上部に光源装置が設けられていると共に、下部に原版を被露光対象物の表面に真空密着させる真空密着機構が設けられており、
真空密着機構は、原版を保持する枠状の片持ち型のベースフレームと、このベースフレームを上下に駆動させる昇降機構とを備え、ベースフレームには、その下面に原版の周縁を囲うよう枠状のシール部材が設けられていると共に、このシール部材によって区画されて形成される、原版と被露光対象物との間の空間を減圧する減圧機構が設けられており、  シール部材は、その断面における外周縁輪郭の形状が円形または略円形であり、内周縁輪郭の形状が楕円形または長円形のものであることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の真空密着露光装置。
【請求項５】
ベースフレームには、原版が保持された水平に延びるフレーム部分と反対側に延びる平衡用重錘が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の真空密着露光装置。
【請求項６】
露光ヘッドの基台上における位置を検知するための位置検知手段が設けられており、この位置検知手段によって検知される露光ヘッドの移動距離に基づいて、各々の処理単位領域に対する露光ヘッドの位置決めが行われることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の真空密着露光装置。
【請求項７】
長尺な面状の被露光対象物をその長手方向において互いに同一の大きさに分割した、複数の処理単位領域を設定し、
光源装置および所定の画像パターンが形成された原版を具えた露光ヘッドを、リニアモータよりなる駆動手段によってステップ駆動させ、
露光ヘッドに設けられた原版を被露光対象物の表面に真空密着させて光照射することにより原版の光像を露光する密着露光処理を、各々の処理単位領域について順次に行うことを特徴とする露光方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空密着露光装置および露光方法に関し、詳しくは、例えば、大型広告用シートおよびその他の長大な印刷物を印刷する印刷装置の位置制御を行うために用いられる位置検出素子を作製するための真空密着露光装置および露光方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、例えば長大な印刷物を印刷する印刷装置のある種のものにおいては、印刷装置の位置制御を行うために、例えば樹脂フィルムやガラス板などの面状基材に、例えば一定の大きさの幅のコードバーが等間隔毎に平行に並んで形成されてなる位置検出素子が利用されており、印刷装置に設けられた発光ダイオードと受光ダイオードとによって、基準位置からのコードバーの数をカウントすることにより印刷装置の移動距離を検出し、これにより、印刷装置の位置制御がなされる。
【０００３】
このような位置検出素子は、例えば感光性フィルムよりなる基材の表面にスリット像が形成された原版を密着させた状態において、紫外線を照射して当該原版の光像を露光する方法によって作製されており、このような露光処理が行われる露光装置としては種々のものが提案されている（例えば特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００２−０９１０１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
現在、このような位置検出素子においては、例えば全長が３ｍ以上のものが要求されており、このような長大な位置検出素子を作製する場合には、上記特許文献１に開示されているような露光装置においては感光性フィルムの全体が１回の露光処理で焼き付けられるため、最長のものでも全長１ｍの位置検出素子を作製することが限度であり、例えば３ｍのものは１ｍのものを３枚つなぎ合わせて作製していた。
しかしながら、このような作製方法では、各々の位置検出素子要素の境界部分におけるバーパターンに高い精度の連続性を得ることが困難であり、しかも、長大な位置検出素子の作製における歩留りが低く、生産効率が低い、という問題がある。
一方、画像処理技術を利用して位置検出素子を作製する方法もあるが、このような作製方法においては、バーパターンの連続性に高い精度を得ることができる反面、コストが高いものとなり、長大な位置検出素子を有利に作製することができない。
【０００５】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、光源装置および原版を具えた露光ヘッドをステップ駆動させ、移動後に密着露光を繰り返す方式の真空密着露光装置であって、連続する処理単位領域の境界部におけるバーパターンに高い精度の連続性が得られる真空密着露光装置およびこの露光装置において実施される露光方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の真空密着露光装置は、長尺な面状の被露光対象物が吸着されて保持される保持部を有する基台と、この基台上を被露光対象物の長手方向に沿って走行駆動可能に設けられた露光ヘッドとを備えてなり、露光ヘッドに設けられた、所定の画像パターンが形成された原版を被露光対象物の表面に真空密着させて光照射することにより原版の光像を露光するものであって、
露光ヘッドは、被露光対象物をその長手方向において分割した複数の処理単位領域の各々について順次に露光処理が行われるよう、リニアモータよりなる駆動手段によってステップ駆動されることを特徴とする。
【０００７】
本発明の真空密着露光装置においては、基台が石定盤により構成されていることが好ましい。
【０００８】
また、本発明の真空密着露光装置においては、駆動手段は、基台上の露光ヘッドの走行路における両側に配設された、永久磁石または電磁石よりなる推進用磁気ガイドウェーと、当該走行路における少なくとも一側に配設された、永久磁石または電磁石よりなる浮揚用磁気ガイドウェーとを備えており、露光ヘッドをその走行路における少なくとも一側を浮揚させた状態で駆動させるものにより構成することができる。
【０００９】
さらに、本発明の真空密着露光装置においては、露光ヘッドは、箱状の筺体を備え、この筺体内において、上部に光源装置が設けられていると共に、下部に原版を被露光対象物の表面に真空密着させる真空密着機構が設けられており、真空密着機構は、原版を保持する枠状の片持ち型のベースフレームと、このベースフレームを上下に駆動させる昇降機構とを備え、ベースフレームには、その下面に原版の周縁を囲うよう枠状のシール部材が設けられていると共に、このシール部材によって区画されて形成される、原版と被露光対象物との間の空間を減圧する減圧機構が設けられており、シール部材は、その断面における外周縁輪郭の形状が円形または略円形であり、内周縁輪郭の形状が楕円形または長円形のものであることが好ましい。
このような真空密着露光装置においては、ベースフレームには、原版が保持された水平に延びるフレーム部分と反対側に延びる平衡用重錘が設けられた構成とされていることが好ましい。
【００１０】
また、本発明の真空密着露光装置においては、露光ヘッドの基台上における位置を検知するための位置検知手段が設けられており、この位置検知手段によって検知される露光ヘッドの移動距離に基づいて、各々の処理単位領域に対する露光ヘッドの位置決めが行われる構成とすることができる。
【００１１】
本発明の露光方法は、長尺な面状の被露光対象物をその長手方向において互いに同一の大きさに分割した、複数の処理単位領域を設定し、
光源装置および所定の画像パターンが形成された原版を具えた露光ヘッドを、リニアモータよりなる駆動手段によってステップ駆動させ、
露光ヘッドに設けられた原版を被露光対象物の表面に真空密着させて光照射することにより原版の光像を露光する密着露光処理を、各々の処理単位領域について順次に行うことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の真空密着露光装置によれば、露光ヘッドがリニアモータよりなる駆動手段によってステップ駆動されることにより、露光ヘッドを高い位置精度で制御することが可能となるので、長大な被露光対象物をその長手方向に分割した複数の処理単位領域の各々について別個に露光処理されて得られるものでありながら、連続する処理単位領域の境界部分における画像パターンに高い連続性が得られ、しかも、露光処理が被露光対象物の長手方向における分割された複数の処理単位領域の各々について順次に行われるので、長大な被露光対象物を処理する場合において高い作業効率が得られる。
従って、例えば長大な位置検出素子を作製する場合においては、長さ寸法の大きさに対する制限が実質的になく、高い精度の連続性を有するバーパターン（スリット像）を有するものを有利に作製することができる。
【００１３】
また、基台が石定盤により構成されていることにより、石定盤それ自体の高い水平面性および高い耐変形性により、当該装置が設置される環境条件（特に温度条件）による歪み、外部の振動による悪影響を実質的に受けることがなく、被露光対象物の保持面に高い水平面性が確保されて露光ヘッドの位置決めをより高い精度で行うことができる。
【００１４】
さらに、露光ヘッドにおける原版を保持した片持ち型のベースフレームが平衡用重錘によりその重量バランスが調整された状態において上下方向に駆動される構成とされているので、当該ベースフレームの先端部のモーメントが実質的に零となり、原版をその下面に高い水平面性が確保された状態で被露光対象物の表面に密着させることができ、その結果、ベースフレームの平面内における原版と被露光対象物との位置決めを高い精度で行うことができる。
【００１５】
また、原版と被露光対象物との真空密着を達成するために用いられる土手枠が特定の断面形状を有するシール部材によって構成されていることにより、シール部材それ自体の高い柔軟性および高い変形耐久性により原版と被露光対象物との確実な真空密着状態が達成される。
【００１６】
本発明の露光方法によれば、長大な被露光対象物をその長手方向に分割した複数の処理単位領域の各々について別個に露光処理されて得られるものでありながら、連続する処理単位領域の境界部分における画像パターンに高い連続性が得られ、しかも、長大な被露光対象物を処理する場合において高い作業効率が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明について、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本発明の真空密着露光装置の一例における構成の概略を示す側面図、図２は、図１に示す真空密着露光装置の平面図、図３は露光ヘッドの一例における構成の概略を示す断面図を、それぞれ、示す。
【００１８】
この真空密着露光装置（以下、単に「露光装置」という。）は、光源装置、この光源装置から照射される光を平行光化する光学系および露光用原版を備えた露光機構を一の移動体である露光ヘッドとして構成し、この露光ヘッドをステップ駆動させて密着露光処理を繰り返し行う方式のものであって、高い水平面性を有する基台１０と、この基台１０上をその長手方向に沿って移動可能に設けられた露光ヘッド２０とを備えてなる。
【００１９】
基台１０は、例えば石定盤により構成されており、その長手方向において等間隔毎に配置された複数の支持脚部材１２によって下面より支持されている。
【００２０】
基台１０には、その上面における中央部に、長尺な被露光対象物である例えば感光性フィルムＷを吸着して保持する被露光対象物保持部を構成する吸着プレート１１が露光ヘッド２０の走行路に沿って配設されている。
【００２１】
吸着プレート１１は、上面に開口する多数の吸引孔１１Ａが実質的に均一な密度で形成されており、吸着プレート１１の肉厚中に形成された流路１１Ｂを介して装置外部に設置された適宜の吸引手段（図示せず）に接続される。
【００２２】
基台１０には、露光ヘッド２０の走行路の両側に推進用磁気ガイドウェー１３Ａ、１３Ｂが互いに平行に延びるよう配設されていると共に、走行路の少なくとも一側に浮揚用磁気ガイドウェー１４が推進用磁気ガイドウェー１３Ａ、１３Ｂと平行に延びるよう配設されている。
推進用磁気ガイドウェー１３Ａ、１３Ｂおよび浮揚用磁気ガイドウェー１４は、いずれも、永久磁石または電磁石により構成されている。
【００２３】
露光ヘッド２０は、推進用磁気ガイドウェー１３Ａ、１３Ｂおよび浮揚用磁気ガイドウェー１４の各々に対応する可動子２２、２２、２２が設けられたベースプレート２１と、このベースプレート２１上に設けられた筺体２３とを備え、この筺体２３内において、上部中央位置に光源装置３０が配置されると共に、下部に原版３８を感光性フィルムＷの表面に真空密着させるための真空密着機構３５が配置されて構成されている。
可動子２２は、例えば永久磁石または電磁石を具えており、これにより、リニアモータ方式の駆動手段が構成されている。
【００２４】
ベースプレート２１の中央部には、幅寸法が被露光対象物保持部（吸着プレート）の幅寸法より大きい開口２１Ａが厚み方向に貫通するよう形成されており、この開口２１Ａ内に、後述する真空密着機構３５を構成する原版構造体４０が位置される。
ベースプレート２１は、例えばフォトエンコーダーなどの位置検知手段（図示せず）によって検知される移動量に基づいて基台１０上における位置決め制御が行われる。
【００２５】
露光ヘッド２０を構成する光源装置３０は、例えば空冷式の紫外線水銀ランプ３２と、この紫外線水銀ランプ３２の上方位置に設けられた反射鏡３３と、この紫外線水銀ランプ３２からの紫外線を下方に向けて投射するコンデンサレンズ３４とが設けられている。
【００２６】
露光ヘッド２０を構成する真空密着機構３５は、露光ヘッド２０の走行路の一側において上下方向に延びるようベースプレート２１上に固定配置されたガイド（図示せず）に沿って上下動可能に配置された上下動ブロック３６と、この上下動ブロック３６により基端部が支持された、中央に光透過用開口を有する枠状の片持ち型のベースフレーム３７と、このベースフレーム３７の、感光性フィルムＷの保持面と平行に延びる枠状の水平フレーム部分３７Ａによって原版３８およびコンデンサレンズ３４よりの紫外線を平行光化するフレネルレンズ３９が保持されて構成された原版構造体４０と、ベースフレーム３７を上下動ブロック３６とともに昇降駆動させる昇降機構４１と、吸着プレート１１上に保持された感光性フィルムＷと原版３８との間の空間を減圧する減圧機構とにより構成されている。
【００２７】
この実施例においては、昇降機構４１は、上下動ブロック３６内に配置された駆動用モータ４２と、この駆動用モータ４２の動力をガイドに螺合されたボールネジ４３に伝達する動力伝達ベルト４４とによって構成されている。
【００２８】
原版構造体４０には、その下面に、弾性体よりなる特定のシール部材５０により構成された土手枠が原版３８の外周縁を囲うよう設けられていると共に、このシール部材５０の内方側の位置に開口する吸引口４６が形成されている。
【００２９】
シール部材５０は、例えばシリコーンゴムよりなり、図４に示されているように、その断面において、外周縁輪郭が円形または略円形であり、内周縁輪郭が長円形または楕円形である環状のものが用いられている。このような特定の断面形状を有するシール部材５０によって土手枠が構成されていることにより、当該シール部材５０それ自体の高い柔軟性および高い変形耐久性により原版３８と感光性フィルムＷとの信頼性の高い真空密着状態を確実に得ることができ、しかも、粉塵等の発生しにくい材質のものであることにより、当該粉塵等に起因するムラや露光不良が生ずることを確実に防止することができる。
【００３０】
原版構造体４０においては、原版３８とフレネルレンズ３９との間に真空室４５が形成されており、これにより、吸引機構によって原版３８と感光性フィルムＷとの間にシール部材によって区画されて形成される空間を減圧して両者を真空密着させるに際して良好な密着性を確実に得ることができる。
【００３１】
この露光装置における真空密着機構３５には、上下動ブロック３６の、ベースフレーム３７が延びる方向と反対側の位置に、重量バランス平衡用重錘であるバランサーが、その支点位置Ｃがベースプレート２１の周縁部上方に位置されるよう設けられており、これにより、ベースフレーム３７を原版３８の下面に高い水平面性が確保された状態において昇降させることができる。
【００３２】
図１乃至図３において、１５は、被露光対象物である感光性フィルムＷを吸着プレート１１上の所定の位置に配置するためのフィルム装着装置、１６は、露光装置の動作設定を行うための操作盤、１７は、光源ランプに冷却風を供給するための給気部、１８は、原版を露光ヘッドに装着するための原版装着部であって、原版を縦横方向に対して適性な姿勢に調整するためのアライメント機能を有する。
【００３３】
以下、上記構成の真空密着露光装置の動作について説明する。
フィルム装着装置１５から供給される感光性フィルムＷが吸着プレート１１上の所定位置に配置された後、吸引手段が作動されることにより感光性フィルムＷが吸着プレート１１に吸着されて保持され、この状態において、露光ヘッド２０が感光性フィルムＷをその長手方向において各々、互いに同一の大きさに分割した複数の処理単位領域（図２おいてはＳ１〜Ｓ１０の合計１０個所の処理単位領域が示されている。）における第１の処理単位領域Ｓ１についての停止位置に移動される。
具体的には、露光ヘッド２０は、浮揚用磁気ガイドウェー１４およびこれに対応する可動子２２の作用により原版構造体４０の基部側が感光性フィルムＷの上方に浮揚されると共に先端部側が可動子２２に設けられた例えばベアリングを介して接触された状態において、推進用磁気ガイドウェー１３Ａ、１３Ｂおよびこれに対応する可動子２２、２２による作用によって駆動され、露光ヘッド２０が処理単位領域の数に応じて設定された距離だけ移動したことが位置検知手段によって検出された時点で停止される。ここに、露光ヘッド２０の移動距離は、例えばレーザ光を利用してその反射光を検出することにより測定することができる。
【００３４】
そして、露光ヘッド２０が所定位置に移動された後、感光性フィルムＷにおける第１の処理単位領域Ｓ１について密着露光処理が実行される。すなわち、真空密着機構３５における昇降機構４１が作動されて原版構造体４０が下降されてシール部材５０が吸着プレート１１の表面に接触され、シール部材５０によって区画された原版３８と感光性フィルムＷとの間の空間の空気が吸引機構によって排気（真空引き）され、さらに、原版構造体４０が下降されることにより、シール部材５０が変形されて原版３８と感光性フィルムＷとが真空密着した状態とされ、この状態において、光源装置３０を構成する紫外線水銀ランプ３２が点灯されてコンデンサレンズ３４およびフレネルレンズ３９により平行光化された紫外光が感光性フィルムＷにおける第１の処理単位領域Ｓ１の全面に照射され、これにより、原版３８の光像（スリット像）が１：１の比率（等倍率）で露光される。
第１の処理単位領域Ｓ１についての密着露光処理が終了すると、紫外線水銀ランプ３２が消灯され、原版構造体４０が昇降機構４１により上昇された後、露光ヘッド２０がその原版構造体４０の基部側が感光性フィルムＷの上方に浮揚された状態において第２の処理単位領域Ｓ２についての停止位置、すなわち設定された移動量でステップ式に移動され、上記のような密着露光処理が行われる。
【００３５】
以上のような処理が、設定された処理単位領域の各々について繰り返し実行され、このようにしてスリット像が露光された感光性フィルムＷはその後現像され、以って、位置検出素子が得られる。
以上の露光装置における露光ヘッド２０の一制御例を示すと、例えば、全長４ｍの感光性フィルムＷを処理するに際しては、感光性フィルムＷを、各々、長さ４０ｃｍの全部で１０個所の処理単位領域に分割し、露光ヘッド２０の移動量（目標値）が４０ｃｍに設定される。
【００３６】
而して、上記構成の露光装置によれば、当該露光装置の構造体としての精度を高いものとすることにより、露光ヘッド２０の高い精度での位置制御を実現することができる。
すなわち、露光ヘッド２０がリニアモータよりなる駆動手段によってステップ駆動されることにより、露光ヘッド２０の停止位置を目標位置に対して±２μｍ以下の誤差範囲内で制御することができるので、連続する処理単位領域の境界部分における画像パターンに高い連続性が得られ、しかも、露光ヘッド２０を感光性フィルムＷの長手方向において分割された複数の処理単位領域の各々について密着露光処理が順次に行われるので、長大な位置検出素子を作製する場合において高い生産性が得られる。
従って、例えば長大な位置検出素子を作製する場合においては、長さ寸法の大きさに対する制限が実質的になく、高い精度の連続性を有するバーパターン（スリット像）を有するものを有利に作製することができる。
【００３７】
また、基台１０が石定盤により構成されていることにより、石定盤それ自体の高い水平面性および高い耐変形性により、当該装置が設置される環境条件（特に温度条件）による歪み、外部の振動による悪影響を実質的に受けることがなく、感光性フィルムＷの保持面に高い水平面性が確保されて露光ヘッド２０の位置決めを高い精度で確実に行うことができる。
【００３８】
さらに、露光ヘッド２０における原版３８を保持した片持ち型のベースフレーム３７が平衡用重錘であるバランサーによりその重量バランスが調整された状態において上下方向に駆動される構成とされているので、当該ベースフレーム３７の先端部のモーメントが実質的に零となって原版３８がその下面に高い水平面性が確保された状態で感光性フィルムＷの表面に密着され、これにより、ベースフレーム３７の平面内における原版３８と感光性フィルムＷとの位置決めを高い精度で行うことができる。
【００３９】
また、原版３８と感光性フィルムＷとの真空密着を達成するために用いられる土手枠が特定の断面形状を有するシール部材５０によって構成されていることにより、シール部材５０それ自体の高い柔軟性および高い変形耐久性により、原版３８と感光性フィルムＷとの確実な真空密着状態が達成される。
【００４０】
さらに、紫外線水銀ランプ３２からの紫外光がコンデンサレンズ３４およびフレネルレンズ３９により平行光化されて照射されることにより、原版３８の画像パターンの転写性能を向上させることができ、所期の画像パターンを高い精度で得ることができる。
【００４１】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、ステップ式に露光処理を行うに際して、設定される処理単位領域の数および設定された処理単位領域に応じた露光ヘッドの移動量（目標値）は、特に制限されるものではなく、目的に応じて適宜に設定することができる。
また、各々の処理単位領域の大きさは互いに異なる大きさであってもよい。
浮揚用磁気ガイドウェーが基台上における露光ヘッドの走行路の両側に配設され、露光ヘッドが両側を浮揚させた状態で駆動される構成とされていてもよい。
【００４２】
以下に、本発明の効果を確認するために行った実験例を示す。
図１乃至図３に示す構成に従って本発明に係る真空密着露光装置を製造した。この真空密着露光装置の具体的構成および動作条件は以下に示すとおりである。
【００４３】
基台は、厚さ３０ｃｍ、重量３．５トンの石定盤を用い、基台上面のその平面内における絶対水平面からの高さレベルのバラツキが１０μｍ以下となる状態に設定した。
光源ランプは、消費電力が１ｋＷである空冷式紫外線水銀ランプを用い、原版と感光性フィルムが密着された状態にあるときの、光源ランプと原版との距離が５０ｃｍとなる状態で配設した。
原版は、長さ５００ｍｍ、幅４００ｍｍ、厚み８ｍｍのガラス製のものを用いた。
土手枠は、シリコーンゴムよりなり、断面における外周縁輪郭が直径６ｍｍの円形であり、内周縁輪郭が長径が４ｍｍ、短径が１ｍｍの楕円形のものを用いた。
バランサーとしては重量３０ｇの錘を用い、原版構造体の昇降動作時において、原版の下面のその平面内における絶対水平面からの高さレベルのバラツキが５ｍｍ以下となる状態に設定した。
＜動作条件＞
露光ヘッドを４０ｃｍの移動量でステップ駆動させて、１０回の露光処理を順次に繰り返して実施した。露光条件は照射強度を２ｍＷ／ｃｍ2 、露光時間を８ｓｅｃとした。
【００４４】
以上のようにして得られた位置検出素子は、連続する処理単位領域の境界部分におけるコードバーパターンが、コードバーの幅寸法およびコードバーの間隔の大きさのいずれについても、目標寸法に対して±２μｍ以下の誤差範囲内（実際上、許容される誤差範囲±４μｍ）であって、高い連続性を有するものであることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の真空密着露光装置の一例における構成の概略を示す側面図である。
【図２】図１に示す真空密着露光装置の平面図である。
【図３】露光ヘッドの一例における構成の概略を示す断面図である。
【図４】土手枠として用いられるシール部材の構成の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１０  基台
１１  吸着プレート
１１Ａ  吸引孔
１１Ｂ  流路
１２  支持脚部材
１３Ａ、１３Ｂ  推進用磁気ガイドウェー
１４  浮揚用磁気ガイドウェー
１５  フィルム装着装置
１６  操作盤
１７  給気部
１８  原版装着部
２０  露光ヘッド
２１  ベースプレート
２１Ａ  開口
２２  可動子
２３  筺体
３０  光源装置
３２  紫外線水銀ランプ
３３  反射鏡
３４  コンデンサレンズ
３５  真空密着機構
３６  上下動ブロック
３７  ベースフレーム
３７Ａ  水平フレーム部分
３８  原版
３９  フレネルレンズ
４０  原版構造体
４１  昇降機構
４２  駆動用モータ
４３  ボールネジ
４４  動力伝達ベルト
４５  真空室
４６  吸引口
５０  シール部材
Ｗ  感光性フィルム
Ｃ  支点位置
【図１】
2005084489.tif 000003
【図２】
2005084489.tif 000004
【図３】
2005084489.tif 000005
【図４】
2005084489.tif 000006