(57)【要約】    【課題】  構成が簡単で、コストの低減、小型化が可能な固体レーザ装置を提供する。    【解決手段】  レーザ結晶８と波長変換素子９とを接合し、接合面に基本波に対して低反射、波長変換光に対して高反射の第１誘電体反射膜２１を形成して構成される波長変換光学部材２２を具備する。    【選択図】          図１
2005057043.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ結晶と波長変換素子とを接合し、接合面に基本波に対して低反射、波長変換光に対して高反射の第１誘電体反射膜を形成して構成される波長変換光学部材を具備することを特徴とする固体レーザ装置。
【請求項２】
前記レーザ結晶と前記波長変換素子とは光学的非接触である請求項１の固体レーザ装置。
【請求項３】
前記レーザ結晶と前記波長変換素子間に孔を有するスペーサを介すことにより隙間が形成される請求項２の固体レーザ装置。
【請求項４】
前記第１誘電体反射膜は前記レーザ結晶、前記波長変換素子の２の接合面にそれぞれ形成された誘電膜と誘電膜間に形成される隙間により構成され、前記誘電膜のいずれか一方は基本波に対して低反射、波長変換光に対して高反射であり、いずれか他方は基本波に対して低反射である請求項１の固体レーザ装置。
【請求項５】
前記波長変換光学部材は基本波に対して高反射である誘電体反射膜の間に配置され、該誘電体反射膜、前記波長変換光学部材は光共振部を構成する請求項１の固体レーザ装置。
【請求項６】
前記誘電体反射膜は前記波長変換光学部材の少なくとも一方の端面に形成された請求項５の固体レーザ装置。
【請求項７】
前記波長変換光学部材の側面に金属層が形成されている請求項１の固体レーザ装置。
【請求項８】
波長変換光学部材を具備する固体レーザ装置に於いて、レーザ結晶板の接合面に誘電膜を形成する工程と、波長変換素子板の接合面に誘電膜を形成する工程と、光路部分に孔を有するスペーサ膜を介在させて前記レーザ結晶板と前記波長変換素子板とを接合する工程とを具備し、前記誘電膜のいずれか一方は基本波に対して低反射、波長変換光に対して高反射であり、いずれか他方は基本波に対して低反射であることを特徴とする波長変換光学部材の製造方法。
【請求項９】
前記スペーサ膜は複数の孔を有し、前記レーザ結晶板と前記波長変換素子板とを接合した後、前記孔を個々に含む様に分割される工程を含む請求項８の波長変換光学部材の製造方法。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は固体レーザ装置、特に半導体レーザ装置に係り、共振器により２波長で発振し共振器内で波長変換する固体レーザ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体レーザからのレーザビームの周波数を変換するものとして内部共振型ＳＨＧ方式を用いたＬＤ励起固体レーザがある。
【０００３】
図７は、一波長発振のＬＤ励起固体レーザであるレーザ光源１を示している。
【０００４】
図７中、２は発光部、３は光共振部である。前記発光部２はＬＤ発光器４、集光レンズ５を具備し、更に前記光共振部３は誘電体反射膜７が形成されたレーザ結晶８、非線形光学媒質（ＮＬＯ）９、誘電体反射膜１１が形成された凹面鏡１２であり、前記光共振部３に於いてレーザビームをポンピングし、共振、増幅して出力している。尚、前記レーザ結晶８としては、Ｎｄ：ＹＶＯ4 、前記非線形光学媒質９としてはＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4 ：リン酸チタニルカリウム）が挙げられる。
【０００５】
更に説明すると以下の通りである。
【０００６】
レーザ発光手段は、例えば励起光として波長８０９nmの直線偏光のレーザビームを射出する為のものであり、半導体レーザである前記ＬＤ発光器４が使用されている。又、該ＬＤ発光器４が励起光を発生させる励起光発生装置としての機能を有する。尚、前記レーザ発光手段は半導体レーザに限ることなく、レーザビームを生じさせることができれば、何れのレーザ発光手段をも採用することができる。
【０００７】
前記レーザ結晶８は光の増幅を行う為のものである。該レーザ結晶８には、発振線が１０６４nmのＮｄ：ＹＶＯ4 が使用される。その他、Ｎｄ3+イオンをドープしたＹＡＧ（イットリウム  アルミニウム  ガーネット）等が採用され、ＹＡＧは、９４６nm、１０６４nm、１３１９nm等の発振線を有している。又、発振線が７００〜９００nmのＴｉ（Ｓａｐｐｈｉｒｅ）等を使用することができる。
【０００８】
前記レーザ結晶８の前記ＬＤ発光器４側には、前記誘電体反射膜７が形成されている。該誘電体反射膜７は、前記ＬＤ発光器４からのレーザビームに対して高透過であり、且つ前記レーザ結晶８の発振波（基本波）に対して高反射であると共に、波長変換光、例えば第２次高調波（ＳＨＧ：ＳＥＣＯＮＤ  ＨＡＲＭＯＮＩＣ  ＧＥＮＥＲＡＴＩＯＮ）に対しても高反射となっている。
【０００９】
前記凹面鏡１２は、前記レーザ結晶８に対向する様に構成されており、前記凹面鏡１２のレーザ結晶８側は、適宜の半径を有する凹球面鏡の形状に加工されており、前記誘電体反射膜１１が形成されている。該誘電体反射膜１１は、前記レーザ結晶８の発振波（基本波）に対して高反射であり、ＳＨＧ（ＳＥＣＯＮＤ  ＨＡＲＭＯＮＩＣ  ＧＥＮＥＲＡＴＩＯＮ）に対して高透過となっている。
【００１０】
以上の様に、前記レーザ結晶８の前記誘電体反射膜７と、前記凹面鏡１２の前記誘電体反射膜１１とを組合わせ、前記ＬＤ発光器４からのレーザビームを前記集光レンズ５を介して前記レーザ結晶８にポンピングさせると、該レーザ結晶８の前記誘電体反射膜７と、前記凹面鏡１２の前記誘電体反射膜１１との間で光が往復し、光を長時間閉込めることができるので、光を共振させて増幅させることができる。
【００１１】
前記レーザ結晶８の前記誘電体反射膜７と、前記凹面鏡１２とから構成された光共振器内に前記非線形光学媒質９が挿入されている。該非線形光学媒質９にレーザビームの様に強力なコヒーレント光が入射すると、光周波数を２倍にする第２次高調波（ＳＨＧ）が発生する。該第２次高調波（ＳＨＧ）の発生は、ＳＥＣＯＮＤ  ＨＡＲＭＯＮＩＣ  ＧＥＮＥＲＡＴＩＯＮと呼ばれている。従って、前記レーザ光源１からは、波長５３２nmのレーザビームが射出される。
【００１２】
前記したレーザ光源１は前記非線形光学媒質（以下波長変換素子）９を、前記レーザ結晶８と前記凹面鏡１２とから構成された光共振器内に挿入しているので、内部型ＳＨＧと呼ばれており、変換出力は、基本波出力の２乗に比例するので、光共振器内の大きな光強度を直接利用できるという効果がある。
【００１３】
図７で示した固体レーザ装置に於いて、前記波長変換素子９で発生した第２次高調波（以下波長変換光）は前記波長変換素子９の前記凹面鏡１２側の端面、及び前記レーザ結晶８側の端面の両方から射出される。前記凹面鏡１２側の端面から射出された波長変換光は、直接前記誘電体反射膜１１、前記凹面鏡１２を透過して射出される。又、前記レーザ結晶８側の端面から射出された波長変換光は前記レーザ結晶８を透過して前記誘電体反射膜７で反射され、前記波長変換素子９、前記誘電体反射膜１１、前記凹面鏡１２を透過して射出される。
【００１４】
前記レーザ結晶８には波長板作用があり、前記波長変換光が前記レーザ結晶８を透過することで、偏光面が回転し楕円偏光となる。従って、前記凹面鏡１２から射出される波長変換光は、楕円偏光成分を含むレーザ光線となる。
【００１５】
測量等では直線偏光のレーザ光線が求められるので、上記したレーザ光源１では射出されたレーザ光線を直線偏光に変換する偏光板等の光学素子が用いられる。この為、光学系が複雑になり、コストの上昇、或は小型化を難しくする要因となっていた。
【００１６】
【特許文献１】特開平５−２９９７５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
本発明は斯かる実情に鑑み、構成が簡単で、コストの低減、小型化が可能で、直線偏光が得られる固体レーザ装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、レーザ結晶と波長変換素子とを接合し、接合面に基本波に対して低反射、波長変換光に対して高反射の第１誘電体反射膜を形成して構成される波長変換光学部材を具備する固体レーザ装置に係り、又前記レーザ結晶と前記波長変換素子とは光学的非接触である固体レーザ装置に係り、又前記レーザ結晶と前記波長変換素子間に孔を有するスペーサを介すことにより隙間が形成される固体レーザ装置に係り、又前記第１誘電体反射膜は前記レーザ結晶、前記波長変換素子の２の接合面にそれぞれ形成された誘電膜と誘電膜間に形成される隙間により構成され、前記誘電膜のいずれか一方は基本波に対して低反射、波長変換光に対して高反射であり、いずれか他方は基本波に対して低反射である固体レーザ装置に係り、又前記波長変換光学部材は基本波に対して高反射である誘電体反射膜の間に配置され、該誘電体反射膜、前記波長変換光学部材は光共振部を構成する固体レーザ装置に係り、又前記誘電体反射膜は前記波長変換光学部材の少なくとも一方の端面に形成された固体レーザ装置に係り、更に又前記波長変換光学部材の側面に金属層が形成されている固体レーザ装置に係るものである。
【００１９】
又本発明は、波長変換光学部材を具備する固体レーザ装置に於いて、レーザ結晶板の接合面に誘電膜を形成する工程と、波長変換素子板の接合面に誘電膜を形成する工程と、光路部分に孔を有するスペーサ膜を介在させて前記レーザ結晶板と前記波長変換素子板とを接合する工程とを具備し、前記誘電膜のいずれか一方は基本波に対して低反射、波長変換光に対して高反射であり、いずれか他方は基本波に対して低反射である波長変換光学部材の製造方法に係り、更に又前記スペーサ膜は複数の孔を有し、前記レーザ結晶板と前記波長変換素子板とを接合した後、前記孔を個々に含む様に分割される工程を含む波長変換光学部材の製造方法に係るものである。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、レーザ結晶と波長変換素子とを接合し、接合面に基本波に対して低反射、波長変換光に対して高反射の第１誘電体反射膜を形成して構成される波長変換光学部材を具備するので、前記波長変換素子で波長変換された波長変換光が前記レーザ結晶を透過することなく、第１誘電体反射膜に反射され、出力光として射出されるので、出力光の偏光面が変ることがない。又、レーザ結晶と波長変換素子とが接合されるので、小型化が可能であると共に１つの光学部材としての取扱い作業性が向上する。
【００２１】
又本発明によれば、前記波長変換光学部材は基本波に対して高反射である誘電体反射膜の間に配置され、又前記誘電体反射膜は前記波長変換光学部材の少なくとも一方の端面に形成され光共振部を構成するので、個別の反射鏡が省略され、小型化が可能となると共にに共振器の構成が簡略化できる。
【００２２】
更に又本発明によれば、波長変換光学部材を具備する固体レーザ装置に於いて、レーザ結晶板の接合面に誘電膜を形成する工程と、波長変換素子板の接合面に誘電膜を形成する工程と、光路部分に孔を有するスペーサ膜を介在させて前記レーザ結晶板と前記波長変換素子板とを接合する工程とを具備し、又前記スペーサ膜は複数の孔を有し、前記レーザ結晶板と前記波長変換素子板とを接合した後、前記孔を個々に含む様に分割される工程を含むので複数の波長変換光学部材が同時に製造でき、品質も安定する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の形態を説明する。
【００２４】
図１は第１の実施の形態を示しており、図１中、図７中で示したものと同等のものには同符号を付している。
【００２５】
発光部２に対向して光共振部３が配設され、該光共振部３のレーザ光線射出側にはハーフミラー１５が配設されている。該ハーフミラー１５は射出されるレーザ光線の一部を反射するものであり、前記ハーフミラー１５に対向して受光素子１６が設けられる。該受光素子１６は前記ハーフミラー１５で反射されたレーザ光線の一部を受光し、出力光検出信号として発光部制御部１７に入力する。該発光部制御部１７は前記出力光検出信号に基づき前記発光部２から所定出力、例えば定出力の励起光が発せられる様に前記発光部２を制御する。
【００２６】
該発光部２は、ＬＤ発光器４と該ＬＤ発光器４に対向して配設された集光レンズ５を有し、前記ＬＤ発光器４は半導体レーザの発光素子４ａを有している。
【００２７】
又、前記光共振部３は対向して配置された反射鏡１８，１９を有し、該反射鏡１８，１９の間にレーザ結晶８、波長変換素子９が配設されている。前記レーザ結晶８と前記波長変換素子９とは第１誘電体反射膜２１を介して両結晶軸が所定の角度となる様に接合され、前記レーザ結晶８と前記波長変換素子９は波長変換光学部材２２を構成している。
【００２８】
前記反射鏡１８、前記反射鏡１９はそれぞれ対向する面が凹面となっており、前記反射鏡１８の凹面には第２誘電体反射膜２３が形成され、前記反射鏡１９の凹面には第３誘電体反射膜２４が形成されている。又、前記レーザ結晶８の非接合端面、前記波長変換素子９の非接合端面にはそれぞれ反射防止膜（ＡＲコート）が施されている。又、前記波長変換光学部材２２（前記レーザ結晶８、波長変換素子９）の光路と平行な４面（波長変換光学部材２２の４側面）及び光路部分を除く光路と垂直な２側面に金属メッキ等により金属層を形成する。
【００２９】
前記レーザ結晶８、前記波長変換素子９は、波長変換に伴う光吸収等により、素子温度が上昇する。而も、熱伝導が悪いことから温度分布が均一にならず、光学特性や波長変換効率の低下を招く。
【００３０】
前記金属層は放熱効果を高め、温度分布を均一に保つ為に有効である。結晶側面に熱伝導性の優れたＩｎ、Ｃｎ、Ａｕ等の金属を蒸着、メッキ、溶融等により付着させ金属層を形成すると、熱移動が促進され温度分布の均一化が図れる。更に、素子固定時に半田接合が行え、熱特性ばかりでなく作業性、信頼性を高め得ることができる。
【００３１】
前記第２誘電体反射膜２３は、励起光（例えば、８０９nm）に対して低反射（例えば反射率Ｒ＜５％）で、基本波（例えば１０６４nm）に対して高反射（例えば反射率Ｒ＞９９．８％）である特性を有している。
【００３２】
尚、前記第２誘電体反射膜２３は、励起光（例えば、８０９nm）に対して低反射（例えば反射率Ｒ＜５％）で、基本波（例えば１０６４nm）に対して無反射（例えば反射率Ｒ＜０．１％）である特性としてもよい。
【００３３】
又、前記第１誘電体反射膜２１は、基本波に対して無反射（例えばＲ＜０．１％）で、第２次高調波光（波長変換光、例えば５３２nm）に対して高反射（Ｒ＞９５％）となる特性を具備している。
【００３４】
又、前記第３誘電体反射膜２４は、基本波（例えば１０６４nm）に対して無反射（例えば反射率Ｒ＜０．１％）、波長変換光（例えば５３２nm）に対して低反射（例えば反射率Ｒ＜５％）である特性を有している。
【００３５】
尚、前記第３誘電体反射膜２４は、基本波（例えば１０６４nm）に対して高反射（例えば反射率Ｒ＞９９．５％）、波長変換光（例えば５３２nm）に対して低反射（例えば反射率Ｒ＜５％）である特性としてもよい。
【００３６】
前記発光素子４ａから発せられた励起光は、前記レーザ結晶８により基本波に変換され、前記第２誘電体反射膜２３と前記第３誘電体反射膜２４間でポンピングされ増幅される。基本波から前記波長変換素子９により波長変換光が発せられ、一部は前記波長変換素子９の反射鏡１９側の端面から直接前記反射鏡１９を通して射出され、前記波長変換素子９の反射鏡１８側から射出される波長変換光は前記第１誘電体反射膜２１で反射され、前記波長変換素子９の反射鏡１９側の端面から前記反射鏡１９を通して射出される。前記波長変換素子９で発生した波長変換光は前記レーザ結晶８を通過しないので、該レーザ結晶８による波長板作用を受けることなく、前記反射鏡１９から射出されるレーザ光線は直線偏光を維持する。
【００３７】
尚、前記レーザ結晶８、前記波長変換素子９に形成された反射防止膜は、前記レーザ結晶８、前記波長変換素子９の非接合面でのレーザ光線の反射を抑制して光の損失を低減させ、又凹面である前記第２誘電体反射膜２３、前記第３誘電体反射膜２４は基本波を前記波長変換素子９に入射するレーザ光線を集光させ、エネルギ密度を高めることで、前記波長変換素子９に於ける波長の変換効率を増大させる。
【００３８】
固体レーザ装置に於いて、高出力下で稼働されると、経時的に前記波長変換光学部材２２が劣化する虞れがあるが、上記した実施の形態では該波長変換光学部材２２は第１誘電体反射膜２１を介してレーザ結晶８と波長変換素子９を接合した構成であるので、出力が低下する等した場合、一体化された前記波長変換光学部材２２を交換することで簡単に対応ができる。又、該波長変換光学部材２２は接合面に第１誘電体反射膜２１を形成したのみの構成であるので、安価である。
【００３９】
上記第１の実施の形態の変更例を説明する。
【００４０】
前記レーザ結晶８と前記波長変換素子９との間に形成される前記第１誘電体反射膜２１が、前記レーザ結晶８と前記波長変換素子９に対してそれぞれ基本波に対して無反射で、波長変換光に対して高反射となる特性を有する様に形成することは困難で、又高価となる。従って、以下に述べる変更例では、レーザ結晶８と波長変換素子９とを物理的には接合し、且つ光学的には非接合とし、前記レーザ結晶８、前記波長変換素子９の接合面のいずれか一方に、基本波に対して無反射（Ｒ＜０．１％）、波長変換光に対して高反射（例えばＲ＞９５％）の誘電膜、いずれか他方に基本波に対して無反射（Ｒ＜０．１％）の誘電膜を形成し、２層の誘電膜と該誘電膜間に形成される隙間により前記第１誘電体反射膜２１が形成される。２つの前記誘電膜は、空気又は透明シートに対して膜特性を考慮すればよいので、容易に膜形成が可能であり、又レーザ結晶８と波長変換素子９間に光学的接触を考慮する必要がないので、組立ても容易となる。
【００４１】
前記光学的非接合を実現する方法としては、接合面の少なくともレーザ光線が通過する部分について隙間を形成する、或は接合面に光学的に影響のない透明シート、例えばガラスの透明シートを介設する等が挙げられる。
【００４２】
尚、前記隙間、シートの厚みは変換波長を考慮し、０．００２ｍｍ以上、好ましくは０．００２ｍｍ〜０．５ｍｍ程度の厚みとする。
【００４３】
図２は第２の実施の形態を示している。図２中、図１中で示したものと同一のものには同符号を付してある。尚、図中、２５，２６はレーザ結晶８の接合面、波長変換素子９の接合面に形成した誘電膜、２７は隙間、２８は隙間を形成する為のスペーサを示している。
【００４４】
該第２の実施の形態では、第１の実施の形態に於ける反射鏡１８、反射鏡１９を省略し、第２誘電体反射膜２３を前記レーザ結晶８の非接合端面に形成し、第３誘電体反射膜２４を前記波長変換素子９の非接合端面に形成している。
【００４５】
前記隙間２７を形成する前記スペーサ２８は、前記レーザ結晶８、前記波長変換素子９の少なくとも一方の接合面に形成され、前記スペーサ２８は光路部分を養生して形成したメッキ膜であり、或は前記レーザ結晶８と前記波長変換素子９とを接合する際に使用される接合金属である。接合金属によるスペーサとしては、例えば低融点金属であるインジュウムにより前記固体レーザ装置８と前記波長変換素子９が光路を除く周辺で接合する様にし、接合金属を前記スペーサ２８とする。或は、光路部分を刳抜いた金属箔、例えばアルミ箔、ステンレス箔等を前記レーザ結晶８と前記波長変換素子９間に介設する。尚、メッキ膜等膜を形成してスペーサ２８とする場合は、光路部分に剥離材を塗布し、接合面全面にメッキ膜等を施し、後で光路部分を剥離してもよい。
【００４６】
次に、第１誘電体反射膜２１、第２誘電体反射膜２３、第３誘電体反射膜２４の成膜について説明する。
【００４７】
所望の反射率を有する誘電体反射膜を形成する場合は、所望の反射率となる様、高屈折率材料、例えばＴａ2 Ｏ5 （５酸化タンタル）又はＺｒＯ2 （２酸化ジルコニア）と、低屈折率材料、例えばＳｉＯ2 （２酸化シリコン）とをλ／４の厚みで交互に数層から数十層積層する（λは対象となるレーザ光線の波長を示す）。
【００４８】
前記レーザ結晶８、前記波長変換素子９を前記第１誘電体反射膜２１を介して接合し、前記第２誘電体反射膜２３、前記第３誘電体反射膜２４を前記レーザ結晶８、前記波長変換素子９に形成することで、光共振部３のチップ化が可能となり、小型で高効率で消光比の小さな光共振部３が得られ、更に該光共振部３は偏光面に影響を及さないので、発光部２に半導体レーザを用いれば直線偏光の波長変換光が得られる。
【００４９】
図３は第３の実施の形態を示しており、図４は第４の実施の形態を示している。それぞれ、図１中で示したものと同等のものには同符号を付してある。
【００５０】
該第３の実施の形態では、第１の実施の形態中、反射鏡１８を省略し、第２誘電体反射膜２３をレーザ結晶８の非接合端面に形成したものであり、該第４の実施の形態では、第１の実施の形態中、反射鏡１９を省略し、第３誘電体反射膜２４を波長変換素子９の非接合端面に形成したものである。それぞれ第１の実施の形態と同等の作用を有するので、詳細については説明を省略する。
【００５１】
図５に於いて、前記波長変換光学部材２２の製造方法について説明する。
【００５２】
該製造方法は一連の製造工程で複数の波長変換光学部材２２を製造する場合を示している。
【００５３】
レーザ結晶８の原板であるレーザ結晶板３１に第２誘電体反射膜２３、誘電膜２５を形成し、波長変換素子９の原板である波長変換素子板３３に誘電膜２６、第３誘電体反射膜２４を形成する。
【００５４】
前記第２誘電体反射膜２３は、励起光（例えば、８０９nm）に対して低反射（例えば反射率Ｒ＜５％）で、基本波（例えば１０６４nm）に対して高反射（例えば反射率Ｒ＞９９．８％）である特性を有し、第１誘電体反射膜２１は、基本波に対して無反射（例えばＲ＜０．１％）で、第２次高調波光（波長変換光、例えば５３２nm）に対して高反射（Ｒ＞９５％）となる特性を具備し、前記第３誘電体反射膜２４は、基本波（例えば１０６４nm）に対して無反射（例えば反射率Ｒ＜０．１％）、波長変換光（例えば５３２nm）に対して低反射（例えば反射率Ｒ＜５％）である特性を有している。
【００５５】
尚、前記第２誘電体反射膜２３は、励起光（例えば、８０９nm）に対して低反射（例えば反射率Ｒ＜５％）で、基本波（例えば１０６４nm）に対して無反射（例えば反射率Ｒ＜０．１％）である特性としてもよく、前記第３誘電体反射膜２４は、基本波（例えば１０６４nm）に対して高反射（例えば反射率Ｒ＞９９．５％）、波長変換光（例えば５３２nm）に対して低反射（例えば反射率Ｒ＜５％）である特性としてもよい。
【００５６】
前記誘電膜２５と前記誘電膜２６とを対峙させた状態でスペーサ２８の原膜であるスペーサ膜３２を介在させ、前記レーザ結晶板３１と前記波長変換素子板３３とを前記レーザ結晶板３１と前記波長変換素子板３３との両結晶軸が所定の角度となる様に接合させる。
【００５７】
前記レーザ結晶板３１、前記波長変換素子板３３、前記スペーサ膜３２は波長変換光学部材２２の所要倍数の大きさを有しており、例えば図５ではマトリックス状に９個分の大きさを有している。前記スペーサ膜３２の各波長変換光学部材２２の光路に相当する部分に円径の孔２９を形成する。
【００５８】
前記スペーサ膜３２を介在させ前記レーザ結晶板３１と前記波長変換素子板３３とを接合し、その後切断線３４によってレーザ結晶板３１、波長変換素子板３３を前記孔２９毎に分割することで図２で示す様な１つの波長変換光学部材２２が得られる。前記孔２９が隙間２７を形成する。
【００５９】
図６はスペーサ膜の別の形状を示しており、スペーサ膜３５では前記孔２９が矩形形状となっている。孔２９の形状はレーザ光線の光路を遮らない形状であればよく、任意形状とすることができる。
【００６０】
前記波長変換光学部材２２の製造方法によれば、成膜等波長変換光学部材２２の製造に要する費用等が分散され、コストの低減が図れ、同一品質のものを複数製造することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す要部概略図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態を示す要部概略図である。
【図３】本発明の第３の実施の形態を示す要部概略図である。
【図４】本発明の第４の実施の形態を示す要部概略図である。
【図５】本発明の製造方法を示し、（Ａ）は工程の説明図であり、（Ｂ）は該工程に使用されるスペーサ膜の説明図である。
【図６】該製造方法に用いられる他のスペーサ膜の説明図である。
【図７】従来例の概略構成図である。
【符号の説明】
【００６２】
２              発光部
３              光共振部
４              ＬＤ発光器
８              レーザ結晶
９              波長変換素子
１８            反射鏡
１９            反射鏡
２１            第１誘電体反射膜
２２            波長変換光学部材
２３            第２誘電体反射膜
２４            第３誘電体反射膜
２５            誘電膜
２６            誘電膜
２７            隙間
２８            スペーサ
２９            孔
３２            スペーサ膜
３４            切断線
【図１】
2005057043.tif 000003
【図２】
2005057043.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【手続補正書】
【提出日】平成15年8月8日(2003.8.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
前記金属層は放熱効果を高め、温度分布を均一に保つ為に有効である。結晶側面に熱伝導性の優れたＩｎ、Ｃｕ、Ａｕ等の金属を蒸着、メッキ、溶融等により付着させ金属層を形成すると、熱移動が促進され温度分布の均一化が図れる。更に、素子固定時に半田接合が行え、熱特性ばかりでなく作業性、信頼性を高め得ることができる。