(57)【要約】【課題】  薬液の剥離性能を高く維持しつつ、その交換頻度を少なくすることができるようにした有機物の剥離装置及び有機物の剥離方法を提供する。【解決手段】  有機物が形成されたウエーハＷに複数種類の成分からなる剥離液を供給して当該ウエーハＷから該有機物を剥離する剥離装置１００であって、剥離液を貯める循環槽１０と、循環槽１０に貯められた剥離液をウエーハＷに供給する剥離液供給管１２と、この剥離液供給管１２によってウエーハＷに供給された剥離液を回収して循環槽１０に戻す剥離液回収管１３と、循環槽１０に貯められた剥離液の成分濃度を計測する有機成分濃度計３１と、この有機成分濃度計３１による計測の結果に基づいて、濃度が低くなった成分だけを循環槽１０に供給する成分供給装置５０等と、を備えたものである。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機物が形成された基板に複数種類の成分からなる薬液を供給して当該基板から該有機物を剥離する装置であって、
前記薬液を貯める薬液槽と、
前記薬液槽に貯められた前記薬液を前記基板に供給する薬液供給手段と、
前記薬液供給手段によって前記基板に供給された前記薬液を回収して前記薬液槽に戻す薬液回収手段と、
前記薬液槽に貯められた前記薬液の前記成分の濃度を計測する成分濃度計測手段と、
前記成分濃度計測手段による計測の結果に基づいて、濃度が低くなった成分だけを前記薬液槽に供給する成分供給手段と、を備えたことを特徴とする有機物の剥離装置。
【請求項２】
前記薬液槽に貯められた前記薬液の水分濃度を計測する水分濃度計測手段と、
前記水分濃度計測手段による計測の結果に基づいて、前記薬液槽に水分を供給する水分供給手段と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の有機物の剥離装置。
【請求項３】
前記薬液が供給された後の基板を観察して前記有機物の剥離具合を調査する剥離具合調査手段を備え、
前記成分供給手段は、
前記剥離具合調査手段による調査の結果に基づいて、前記薬液槽に前記薬液の成分を供給することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の有機物の剥離装置。
【請求項４】
前記複数種類の成分を前記有機物の剥離を律速する特定成分とその他の成分とに区別したとき、
前記成分供給手段は、
前記剥離具合調査手段による調査の結果に基づいて、前記特定成分だけを前記薬液槽に供給することを特徴とする請求項３に記載の有機物の剥離装置。
【請求項５】
前記薬液槽に貯められた前記薬液を循環させる循環ラインと、
前記薬液槽から前記循環ラインへの前記薬液の流れを、前記成分供給手段から当該循環ラインへの前記成分の流れに切り換える第１切換手段とを備え、
前記第１切換手段によって前記循環ラインに前記成分だけが流されているときに、当該成分の濃度を前記成分濃度計測手段に計測させることによって、当該成分濃度計測手段の校正を行うことを特徴とする請求項１から請求項４の何れか一項に記載の有機物の剥離装置。
【請求項６】
前記薬液槽から前記循環ラインへの前記薬液の流れを、前記水分供給手段から当該循環ラインへの前記水分の流れに切り換える第２切換手段を備え、
前記第２切換手段によって前記循環ラインに前記水分だけが流されているときに、当該水分の濃度を前記水分濃度計測手段に計測させることによって、当該水分濃度計測手段の校正を行うことを特徴とする請求項５に記載の有機物の剥離装置。
【請求項７】
請求項１から請求項６の何れか一項に記載された有機物の剥離装置を用いて、前記基板上から前記有機物を剥離することを特徴とする有機物の剥離方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機物の剥離装置及び有機物の剥離方法に関し、特に、電子デバイスの製造過程で、フォトレジストやポリマー（反応生成物）等が形成された基板上に有機剥離液を供給して、これら有機物を基板上から剥離し、取り除く技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、半導体装置等の電子デバイスの製造過程には、基板上からフォトレジストを除去したり、ドライエッチングによって意図せず生成されたポリマー等を除去したりする剥離工程が含まれている。このような剥離工程では、有機剥離液を用いた剥離処理が行われてきた。有機剥離液としては、例えばアミン系の剥離液が知られている（例えば、特許文献１及び２参照。）。
【０００３】
また、この種の有機剥離液は、その水分濃度がある濃度以下になると、その剥離性能が著しく低下してしまうことが知られている。例えば、特許文献１及び２には、有機剥離液の剥離性能の低下を抑制する（即ち、寿命を延ばす）目的で、有機剥離液の水分濃度を管理することが記載されている。そして、必要に応じて、この有機剥離液に水分や、新液を追加することが記載されている。
【特許文献１】特開平１０−３３５２１２号公報
【特許文献２】特開２０００−２５８９２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来の技術では、有機剥離液の水分濃度を所定の範囲に保持することで、その寿命を延ばすことができた。しかしながら、有機剥離液の水分濃度を管理し、必要に応じて水分を追加し続けた場合でも、有機剥離液を構成する有機系の成分は時間の経過と共に蒸発してしまう。それゆえ、有機剥離液の剥離性能は時間の経過と共に徐々に低下してしまうという問題があった。
【０００５】
このような問題に対処するため、従来の剥離装置では、有機剥離液を一定期間毎に入れ替えする必要があり、有機剥離液の購入コストを十分に低減できなかった。
本発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、薬液の剥離性能を高く維持しつつ、その交換頻度を少なくすることができるようにした有機物の剥離装置及び有機物の剥離方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
〔発明１〕  上記目的を達成するために、発明１の剥離装置は、有機物が形成された基板に複数種類の成分からなる薬液を供給して当該基板から該有機物を剥離する装置であって、前記薬液を貯める薬液槽と、前記薬液槽に貯められた前記薬液を前記基板に供給する薬液供給手段と、前記薬液供給手段によって前記基板に供給された前記薬液を回収して前記薬液槽に戻す薬液回収手段と、前記薬液槽に貯められた前記薬液の前記成分の濃度を計測する成分濃度計測手段と、前記成分濃度計測手段による計測の結果に基づいて、濃度が低くなった成分だけを前記薬液槽に供給する成分供給手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【０００７】
ここで、成分濃度計測手段とは、例えば薬液を構成する各成分の濃度をそれぞれ測定する濃度センサのことである。また、成分供給手段とは、例えば薬液を構成する各成分を成分毎に薬液槽に供給可能な装置のことである。
発明１の有機物の剥離装置によれば、薬液槽に貯められた薬液の各成分の濃度を測定し、濃度が低くなった成分だけを薬液槽に追加するので、薬液槽に貯められた薬液の各成分の濃度をそれぞれ所定の範囲に保持することができる。従って、薬液の剥離性能を高く維持することができ、薬液槽に貯められた薬液を有機物の剥離処理に繰り返し使用することができる。従来技術と比べて、薬液の交換頻度を少なくすることができる。
【０００８】
〔発明２〕  発明２の剥離装置は、上述した発明１の剥離装置において、前記薬液槽に貯められた前記薬液の水分濃度を計測する水分濃度計測手段と、前記水分濃度計測手段による計測の結果に基づいて、前記薬液槽に水分を供給する水分供給手段と、を備えたことを特徴とするものである。
【０００９】
このような構成であれば、薬液槽に貯められた薬液の水分濃度を所定の範囲に保持することができ、薬液の寿命を延ばすことができる。発明１の有機物の剥離装置に比べて、薬液の交換頻度をさらに少なくすることが可能である。
【００１０】
〔発明３〕  発明３の剥離装置は、上述した発明１又は発明２の剥離装置において、前記薬液が供給された後の基板を観察して前記有機物の剥離具合を調査する剥離具合調査手段を備え、前記成分供給手段は、前記剥離具合調査手段による調査の結果に基づいて、前記薬液槽に前記薬液の成分を供給することを特徴とするものである。
【００１１】
ここで、剥離具合調査手段としては、例えばＳＥＭ（Ｓｃａｎｎｉｎｇ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ）が挙げられる。
発明３の有機物の剥離装置によれば、剥離具合調査手段による調査の結果を成分供給手段にフィードバックして薬液の成分濃度を調整することができ、剥離液の剥離性能を高く維持することができる。
【００１２】
〔発明４〕  発明４の剥離装置は、上述した発明３の剥離装置において、前記複数種類の成分を前記有機物の剥離を律速する特定成分とその他の成分とに区別したとき、前記成分供給手段は、前記剥離具合調査手段による調査の結果に基づいて、前記特定成分だけを前記薬液槽に供給することを特徴とするものである。
【００１３】
ここで、本発明者は、例えば、ヒドロキシルアミンと、カテコールと、ジグリコールアミンとを含む有機剥離液（薬液）では、ヒドロキシルアミンが特定成分として作用し、カテコールと、ジグリコールアミンとがその他の成分として作用し、この有機剥離液に含まれるヒドロキシルアミンの濃度を調整することで、有機剥離液の剥離性能をコントロールすることができる、ということを見出した。
【００１４】
発明４の有機物の剥離装置によれば、例えば、基板から有機物が十分に除去されていないような場合に、特定成分だけを薬液槽に供給することで、薬液槽に貯められた薬液の特定成分の濃度を高めることができ、その剥離性能を高めにコントロールすることができる。
【００１５】
〔発明５〕  発明５の剥離装置は、上述した発明１から発明４の何れか一の剥離装置において、前記薬液槽に貯められた前記薬液を循環させる循環ラインと、前記薬液槽から前記循環ラインへの前記薬液の流れを、前記成分供給手段から当該循環ラインへの前記成分の流れに切り換える第１切換手段とを備え、前記第１切換手段によって前記循環ラインに前記成分だけが流されているときに、当該成分の濃度を前記成分濃度計測手段に計測させることによって、当該成分濃度計測手段の校正を行うことを特徴とするものである。
【００１６】
ここで、「前記薬液槽から前記循環ラインへの前記薬液の流れを、前記成分供給手段から当該循環ラインへの前記成分の流れに切り換える」とは、即ち、前記循環槽から前記循環ラインへの前記薬液の流れを止め、この間に、前記成分供給手段から当該循環ラインに前記成分だけを流させることである。
発明５の有機物の剥離装置によれば、成分濃度計測手段を自動校正することができ、オペレータ等の手間を省くことができる。また、このような校正を定期的に行うことで、成分濃度計測手段の計測精度を高く維持することができる。
【００１７】
〔発明６〕  発明６の剥離装置は、上述した発明５の剥離装置において、前記薬液槽から前記循環ラインへの前記薬液の流れを、前記水分供給手段から当該循環ラインへの前記水分の流れに切り換える第２切換手段を備え、前記第２切換手段によって前記循環ラインに前記水分だけが流されているときに、当該水分の濃度を前記水分濃度計測手段に計測させることによって、当該水分濃度計測手段の校正を行うことを特徴とするものである。
【００１８】
ここで、「前記薬液槽から前記循環ラインへの前記薬液の流れを、前記水分供給手段から当該循環ラインへの前記水分の流れに切り換える」とは、即ち、前記循環槽から前記循環ラインへの前記薬液の流れを止め、この間に、前記水分供給手段から当該循環ラインに前記水分だけを流させることである。
発明６の有機物の剥離装置によれば、水分濃度計測手段を自動校正することができ、オペレータ等の手間を省くことができる。また、このような校正を定期的に行うことで、水分濃度計測手段の計測精度を高く維持することができる。
【００１９】
〔発明７〕  発明７の有機物の剥離方法は、上述した発明１から発明６の何れか一の剥離装置を用いて、前記基板上から前記有機物を剥離することを特徴とするものである。このような構成であれば、発明１から発明６の何れか一の有機物の剥離装置が応用されるので、薬液の剥離性能を高く維持しつつ、その交換頻度を少なくすることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照しながら、本発明に係る有機物の剥離装置及び有機物の剥離方法について説明する。
（１）第１実施形態
図１は、本発明の第１実施形態に係る剥離装置１００の構成例を示す概念図である。この剥離装置１００は、ウエーハＷ上に形成されたレジスト膜や、このレジスト膜をマスクにドライエッチング等を行うことにより生じるポリマー（反応性生物）に有機剥離液を供給して、レジスト膜やポリマー（以下、これらをまとめて「有機物」という。）をウエーハＷ上から剥離して取り除く装置である。
【００２１】
図１に示すように、この剥離装置１００は、循環槽１０と、剥離液供給管１２と、回転ステージ２１と、剥離液回収管１３と、循環ライン１５と、有機成分濃度計３１と、水分濃度計４１と、成分供給装置５０と、純水供給装置６０と、制御部７０と、データ格納部７２等を有する。
これらの中で、剥離液供給管１２は、循環槽１０に貯められた有機剥離液（以下、単に「剥離液」という。）を回転ステージ２１側へ送るものである。この剥離液供給管１２には図示しないポンプが取り付けられている。この剥離液供給管１２に取り付けられたポンプが動作することによって、循環槽１０に貯められた剥離液は剥離液供給管１２の内側を通って回転ステージ２１側へ圧送される。
【００２２】
また、回転ステージ２１は、ウエーハＷの裏面を回転可能に支持すると共に、遠心力によって剥離液をウエーハＷの表面に満遍なく供給するものである。循環槽１０から剥離液供給管１２の内側を通って送られてきた剥離液は、この回転ステージ２１によって支持されたウエーハＷの表面上に供給される。また、ウエーハＷの表面上に剥離液が供給されると同時に、回転ステージ２１は回転シャフト２２を軸に回転するようになっている。
【００２３】
このような構成により、ウエーハＷの表面に供給された剥離液は、回転ステージ２１の回転によって生じる遠心力によって、ウエーハＷの中心部からその周縁部方向に広がる。また、この剥離液によって、有機物はウエーハＷの表面上から剥離され、取り除かれる。ここで、遠心力によってウエーハＷ表面の中心部から周縁部に広がった剥離液は、ウエーハＷの周縁部からその外側へ飛散する。この剥離装置１００では、この飛散した剥離液は、回転ステージ２１下方のカップ２３内に落ちるようになっている。
【００２４】
剥離液回収管１３は、このカップ２３内に落ちた剥離液を循環槽１０へ戻すものである。この剥離液回収管１３には図示しないポンプが取り付けられている。この剥離液回収管１３に取り付けられたポンプが動作することによって、カップ２３内に落ちた剥離液は剥離液回収管１３の内側を通って循環槽１０へ圧送される。
図１に示すように、この循環槽１０には、さらに、循環ライン１５と、成分供給装置５０と、純水供給装置６０とが接続されている。
【００２５】
これらの中で、循環ライン１５は、循環槽１０に貯められた剥離液を循環させるものである。この循環ライン１５は、配管と、この配管に取り付けられたポンプ（図示せず）等とから構成されており、配管の両端が循環槽１０に接続されている。この配管に取り付けられたポンプが動作することによって、循環槽１０に貯められた剥離液が循環ライン１５の内側を流れるようになっている。
【００２６】
また、成分供給装置５０は、剥離液を構成する各成分を成分毎に循環槽１０に供給するものである。例えば、剥離液が、成分Ａと、成分Ｂと、成分Ｃとからなる場合には、図１に示すように、この成分供給装置５０内には、成分Ａだけを入れた第１タンク５１と、成分Ｂだけを入れた第２タンク５２と、成分Ｃだけを入れた第３タンク５３とが設けられている。そして、この成分供給装置５０は、制御部７０の制御下で、成分Ａと、成分Ｂと、成分Ｃを成分毎にそれぞれ循環槽１０に供給することが可能となっている。
【００２７】
ここで、一例を挙げると、成分Ａはヒドロキシルアミン、成分Ｂはカテコール、成分Ｃはジグリコールアミンである。さらに、純水供給装置６０は、制御部７０の制御下で、循環槽１０に純水を供給するものである。
一方、有機成分濃度計３１は、循環ライン１５の内側を流れる剥離液の成分濃度を計測するものである。例えば、この有機成分濃度計３１は、剥離液を構成する成分Ａ（例えば、ヒドロキシルアミン）と、成分Ｂ（例えば、カテコール）と、成分Ｃ（例えば、ジグリコールアミン）のそれぞれの濃度を計測する機能を備えている。また、水分濃度計４１は、循環ライン１５の内側を流れる剥離液の水分濃度を計測するものである。
【００２８】
さらに、図１に示すように、制御部７０は、有機成分濃度計３１と、成分供給装置５０と、水分濃度計４１と、純水供給装置６０と、データ格納部７２等と、それぞれ有線又は無線を介して接続されている。この制御部７０は、例えばＣＰＵ（ｃｅｎｔｒａｌ  ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  ｕｎｉｔ）である。また、データ格納部７２は、例えばＲＡＭ（ｒａｎｄｏｍ  ａｃｃｅｓｓ  ｍｅｍｏｒｙ）であり、剥離装置１００の製品処理に関するプログラムや、有機成分濃度計や水分濃度計の校正処理に関するプログラム等が格納されている。
【００２９】
例えば、制御部７０は、データ格納部７２に格納されたプログラムに従って、有機成分濃度計３１に剥離液に含まれる成分Ａ〜Ｃのそれぞれの濃度を測定させる。そして、その成分濃度の測定値を有機成分濃度計３１から取得する。また、制御部７０は、データ格納部７２に格納されたプログラムに従って、水分濃度計４１に剥離液に含まれる水分の濃度を測定させる。そして、その水分濃度の測定値を水分濃度計４１から取得する。その後、制御部７０は、この取得した成分Ａ〜Ｃのそれぞれの濃度測定値と、水分濃度の測定値とに基づいて、成分供給装置５０から循環槽１０に成分Ａ〜Ｃをそれぞれ供給させたり、純水供給装置６０から循環槽１０に純水を供給させたりして、循環槽１０に貯められた剥離液を管理する。
【００３０】
図２は、剥離装置１００における剥離液の管理方法を示すフローチャートである。次に、図２のフローチャートに沿って、図１に示した剥離装置１００における剥離液の管理方法について、図２のフローチャートに沿って説明する。
まず始めに、図２のステップＳ１では、制御部７０の制御下で、有機成分濃度計３１が、循環ライン１５の内側を流れる剥離液の有機系成分の濃度をそれぞれ測定する。例えば、剥離液が成分Ａと、成分Ｂと、成分Ｃとからなる場合には、有機成分濃度計３１は、剥離液中での成分Ａ〜Ｃの濃度をそれぞれ測定する。
【００３１】
次に、図２のステップＳ２で、測定された成分Ａと、成分Ｂと、成分Ｃの濃度が、それぞれ管理値内にあるか否かを確認する。ここで、管理値とは、その下側に下限管理値（ＬＣＬ：ｌｏｗ  ｃｏｎｔｒｏｌ  ｌｉｍｉｔ）を持ち、その上側に上限管理値（ＵＣＬ：ｕｐｐｅｒ  ｃｏｎｔｒｏｌ  ｌｉｍｉｔ）を持った、一定の幅を持った数値範囲のことである。測定された値がＬＣＬ以上であり、かつＵＣＬ以下である場合に、その値は管理値内にあると言う。
【００３２】
ステップＳ２で、成分Ａ〜Ｃの濃度が管理値内にあるか否かの確認は、制御部７０が行う。このステップＳ２で、成分Ａ〜Ｃの濃度がそれぞれ管理値内にあることが確認された場合には、ステップＳ３へ進む。また、成分Ａ〜Ｃのうち、その一つでもその濃度が管理値を超えていることが確認された場合には、ステップＳ５へ進む。ステップＳ５では、成分供給装置５０が、成分Ａ〜Ｃの少なくとも一種類を循環槽１０に一定量だけ供給する。これにより、剥離液中の成分Ａ〜Ｃの濃度全てが、それぞれの管理値内に入るよう濃度の調整を行う。
【００３３】
例えば、図２のステップＳ２で、成分Ａの濃度がその管理値よりも高いことが確認された場合には、ステップＳ５では、成分供給装置５０は、制御部７０の制御下で、循環槽１０に成分Ｂと、成分Ｃとをそれぞれ一定量だけ供給する。これにより、循環槽１０に貯められた剥離液中の成分Ｂと成分Ｃの濃度はそれぞれ上昇し、成分Ａの濃度は相対的に低下する。また、ステップＳ２で、成分Ａの濃度がその管理値よりも低いことが確認された場合には、成分供給装置５０は、制御部７０の制御下で、循環槽１０に成分Ａだけを一定量だけ供給する。これにより、循環槽１０に貯められた剥離液中の成分Ａの濃度は上昇する。
【００３４】
この例では、ステップＳ５での処理について、成分Ａの場合について説明したが、成分Ｂ、成分Ｃの場合についても成分Ａの場合と同じように処理する。ステップＳ５で、成分供給装置５０から循環槽１０に成分Ａ〜Ｃの少なくとも一種類を一定量だけ供給した後で、ステップＳ１へ戻る。
一方、ステップＳ３では、制御部７０の制御下で、水分濃度計４１が、循環ライン１５の内側を流れる剥離液の水分濃度を測定する。そして、ステップＳ４で、測定された水分濃度が管理内にあるか否かを確認する。この確認は、制御部７０が行う。このステップＳ４で、剥離液の水分濃度が管理値を超えていることが確認された場合には、図２のステップＳ６へ進む。
【００３５】
ステップＳ６では、成分供給装置５０が循環槽１０に成分Ａ〜Ｃを一定量だけ供給する、又は、純水供給装置６０が循環槽１０に純水を一定量だけ供給することによって、剥離液の水分濃度を調整する。例えば、図２のステップＳ４で、剥離液の水分濃度がその管理値よりも高いことが確認された場合には、ステップＳ６では、成分供給装置５０は、制御部７０の制御下で、循環槽１０に成分Ａと、成分Ｂと、成分Ｃとをそれぞれ一定量だけ供給する。これにより、剥離液中での成分Ａ〜Ｃの濃度はそれぞれ上昇し、水分濃度は相対的に低下する。
【００３６】
また、ステップＳ４で剥離液の水分濃度がその管理値よりも低いことが確認された場合には、ステップＳ６では、純水供給装置６０は、制御部７０の制御下で、循環槽１０に純水を一定量だけ供給する。これにより、剥離液中での水分濃度は上昇する。ステップＳ６で、循環槽１０に貯められた剥離液中の水分濃度を調整した後で、図２のステップＳ３へ戻る。
【００３７】
なお、ステップＳ４で、循環ライン１５の内側を流れる剥離液の水分濃度が管理値内にあることが確認された場合には、図２に示すフローチャートを終了する。図１に示した剥離装置では、図２に示したような剥離液の管理を、一定間隔で連続して行う。
このように、本発明の第１実施形態に係る剥離装置１００によれば、循環槽１０に貯められた剥離液の各成分Ａ〜Ｃの濃度をそれぞれ測定し、濃度が低くなった成分だけを循環槽１０に追加することができるので、循環槽１０に貯められた剥離液の各成分Ａ〜Ｃの濃度をそれぞれ所定の範囲に保持することができる。従って、剥離液の剥離性能を高く維持することができ、循環槽１０に貯められた剥離液を有機物の剥離処理に繰り返し使用することができる。従来技術と比べて、剥離液の全交換のタイミングを循環槽１０の内部を洗浄するようなメンテナンス時に限定することが可能であり、剥離液の交換頻度を少なくすること可能である。
【００３８】
この実施形態では、ウエーハＷが本発明の基板に対応し、成分Ａ〜Ｃからなる剥離液が本発明の薬液に対応し、循環槽１０が本発明の薬液槽に対応している。また、剥離液供給管１２が本発明の薬液供給手段に対応し、剥離液回収管１３が本発明の薬液回収手段に対応している。さらに、有機成分濃度計３１が本発明の成分濃度計測手段に対応し、水分濃度計４１が本発明の水分濃度計測手段に対応している。また、成分供給装置５０が本発明の成分供給手段に対応し、純水供給装置６０が本発明の水分供給手段に対応している。
（２）第２実施形態
図３は、本発明の第２実施形態に係る剥離装置２００の構成例を示す概念図である。この第２実施形態に係る剥離装置２００は、図１に示した剥離装置１００にＳＥＭ８０が取り付けられたものである。従って、図３において、図１と同一の作用を有する部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００３９】
図３に示す剥離装置２００では、回転ステージ２１（図１参照）上で有機物の剥離処理を行い、その後、この有機物の剥離処理を行った後のウエーハＷをＳＥＭ８０へ搬送するようになっている。搬送の対象となるウエーハＷは、剥離処理を行った全てのウエーハでも良いし、１ロット当たり１〜数枚のウエーハでも良い。ＳＥＭ８０は、制御部７０の制御下で、ウエーハＷの表面を観察する。そして、その観察結果が制御部７０に送信される。制御部７０は、この送信されてきた観察結果に基づいて、成分供給装置５０を制御し、循環槽に必要な成分を追加するようになっている。
【００４０】
例えば、剥離液が、第１実施形態で説明した例のように、成分Ａ〜Ｃからなり、成分Ａがヒドロキシルアミン、成分Ｂがカテコール、成分Ｃがジグリコールアミンである場合を想定する。
ここで、ヒドロキシルアミンと、カテコールと、ジグリコールアミンとを含む有機剥離液（薬液）では、ヒドロキシルアミンが有機物の剥離を律速する特定成分として作用し、カテコールと、ジグリコールアミンとがその他の成分として作用する。
【００４１】
この剥離装置２００では、ＳＥＭ８０での観察で、ウエーハＷの表面に有機物が残存していたような場合（即ち、剥離不足の場合）には、制御部７０の制御下で、成分供給装置５０から循環槽１０に成分Ａ（例えば、ヒドロキシルアミン）が供給される。
これにより、循環槽１０に貯められた剥離液中の成分Ａの濃度は高くなり、剥離液の剥離性能を高めにコントロールすることができる。
【００４２】
このように、本発明の第２実施形態に係る除外装置２００によれば、ＳＥＭ８０によるウエーハＷ表面の観察の結果を、成分供給装置５０にフィードバックして剥離液の成分濃度を調整することができ、剥離液の剥離性能を高く維持することができる。この第２実施形態では、ＳＥＭ８０が本発明の剥離具合調査手段に対応している。
（３）第３実施形態
図４は、本発明の第３実施形態に係る剥離装置３００の構成例を示す概念図である。この第３実施形態に係る剥離装置３００は、図１又は図３に示した剥離装置１００，２００において、その循環ライン１５に４個の三方弁９１〜９４が取り付けられたものである。従って、図３において、図１及び図３と同一の作用を有する部分には同一符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００４３】
図３に示すように、この剥離装置３００では、循環槽１０と、水分濃度計４１のセンサ部４２との間の循環ライン１５に第１の三方弁９１が取り付けられ、このセンサ部４２を挟んで第１の三方弁９１の反対側に第２の三方弁９２が取り付けられている。また、この第２の三方弁９２と有機成分濃度計３１のセンサ部３２との間に第３の三方弁９３が取り付けられ、センサ部３２と循環槽１０との間に第４の三方弁９４が取り付けられている。
【００４４】
そして、第１の三方弁９１は純水供給装置６０に接続され、第３の三方弁９３は成分供給装置５０に接続されている。第２の三方弁９２と、第４の三方弁９４は、剥離装置３００の排液口にそれぞれ接続されている。また、これら４個の三方弁９１〜９４は、制御部７０の制御下で開閉動作するようになっている。
この剥離装置３００では、例えばそのメンテナンス時に、制御部７０の制御下で、循環槽１０から循環ライン１５への剥離液の流れが、純水供給装置６０から当該循環ライン１５への水分の流れに切り換えられる。つまり、図４の実線矢印で示すように、純水供給装置６０から第１の三方弁９１に純水が供給され、この第１の三方弁９１から第２の三方弁９２にかけて純水だけが流される。循環槽１０から循環ライン１５への剥離液の流れは、第１の三方弁９１によって止められる。このように第１の三方弁９１と第２の三方弁９２との間で循環ライン１５に純水だけが流されている状態で、水分濃度計４１の校正が行われる。
【００４５】
また、この剥離装置３００では、例えばそのメンテナンス時に、制御部７０の制御下で、循環槽１０から循環ライン１５への剥離液の流れが、成分供給装置５０から当該循環ライン１５への成分の流れに切り換えられる。つまり、図４の実線矢印で示すように、成分供給装置５０から第３の三方弁９３に剥離液が成分毎に供給され、第３の三方弁９３から第４の三方弁９４にかけて剥離液が成分毎に流される。成分以外の液体の流れは、第３の三方弁によって止められる。このように、第３の三方弁９３と第４の三方弁９４との間で循環ライン１５に各成分が個別に流されている状態で、有機成分濃度計３１の校正が行われる。
【００４６】
例えば、剥離液が成分Ａ〜Ｃからなる場合には、まず始めに、第３の三方弁９３から第４の三方弁９４にかけて成分Ａだけが流され、成分Ａに関して有機成分濃度計３１の校正が行われる。次に、第３の三方弁９３から第４の三方弁９４にかけて成分Ｂだけが流され、成分Ｂに関して有機成分濃度計３１の校正が行われる。そして、最後に、第３の三方弁９３から第４の三方弁９４にかけて成分Ｃだけが流され、成分Ｃに関して有機成分濃度計３１の校正が行われる。この有機成分濃度計３１の校正は、水分濃度計４１の校正と同時に並行して行うことが可能である。
【００４７】
このように、本発明の第３実施形態に係る剥離装置３００によれば、有機成分濃度計３１や、水分濃度計４１を自動で校正することができるので、オペレータの手間を省くことができ、便利である。
この第３実施形態では、三方弁９３，９４が本発明の第１の切換手段に対応している。また、三方弁９１，９２が本発明の第２の切換手段に対応している。
【００４８】
また、本発明の実施形態に係る有機物の剥離方法は、第１〜第３実施形態で説明した剥離装置１００，２００，３００の何れか一の回転ステージ２１上にウエーハＷを載せ、このウエーハＷの表面上に剥離液を供給して、このウエーハＷの表面上からレジスト膜や、ポリマー等の有機物を剥離して取り除くものである。このような方法であれば、剥離液の剥離性能を高く維持しつつ、その交換頻度を少なくすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】第１実施形態に係る剥離装置１００の構成例を示す概念図。
【図２】剥離装置１００における剥離液の管理方法を示すフローチャート。
【図３】第２実施形態に係る剥離装置２００の構成例を示す概念図。
【図４】第３実施形態に係る剥離装置３００の構成例を示す概念図。
【符号の説明】
【００５０】
１０  循環槽、１２  剥離液供給管、２１  回転ステージ、２３  カップ、１３  剥離液回収管、１５  循環ライン、３１  有機成分濃度計、４１  水分濃度計、５０  成分供給装置、６０  純水供給装置、７０  制御部、７２  データ格納部、１００，２００，３００  剥離装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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