(57)【要約】【課題】  温度調整用コイル付きのファンフィルタユニットであって、エネルギー効率が良く、送風ファンのメンテナンスが容易で生産ラインの変更に柔軟に対応できるものを提供する。【解決手段】温度調整セクション11とファンフィルタユニット本体２とからなり、温度調調整セクション11は、函状体12の側面に吸込口19をかつ下面に連通口28をそれぞれ開口するとともに、その吸込口19の開口面に沿って温度調整用コイル31のコイル面39A, 39B…を縦向きに配向させており、ファンフィルタユニット本体２は、上記コイル面39A, 39B…を通過した空気を上記連通口28を介して送風ファン６で吸引してフィルタ５付き吹出口４から吹き出すように構成している。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンフィルタユニット本体２の上部側に温度調整セクション11を設け、該温度調整セクションは、函状体12の下面に連通口28をかつ側面に吸込口19をそれぞれ開口するとともに、該吸込口の開口面に沿って温度調整用コイル31のコイル面39A, 39B…を縦向きに配向させて形成し、かつ上記ファンフィルタユニット本体２は、上記コイル面39A, 39B…を通過した空気を上記連通口28を介して送風ファン６で吸引してフィルタ５付き吹出口４から吹き出すように形成した、温度調整用コイル付きファンフィルタユニット。
【請求項２】
上記函状体12を直方体に形成して、該直方体下面のほぼ中心に、上記ファンフィルタユニット本体２の上面に設置した送風ファン６が位置するようにファンフィルタユニット本体２に対して上記函状体12を設置するとともに、該函状体の向かい合う２側面に、同一の大きさで平面状の相互に対向する第1のコイル面39A,39Bを形成したことを特徴とする、請求項１記載の温度調整用コイル付きファンフィルタユニット。
【請求項３】
上記２側面を除く函状体の残余の各側面に、同一の大きさで平面状の相互に対向する第２のコイル面39C,39Dを形成したことを特徴とする、請求項２記載の温度調整用コイル付きファンフィルタユニット。
【請求項４】
上記函状体12を円筒形に形成して、該円筒の中心線上に、上記ファンフィルタユニット本体２の上面に設置した送風ファン６が位置するようにファンフィルタユニット本体２に対して上記函状体12を設置するとともに、上記函状体の側面に、上方から見て円弧状のコイル面39Aを形成したことを特徴とする、請求項１記載の温度調整用コイル付きファンフィルタユニット。
【請求項５】
上記温度調整用コイル31は、そのコイル管34,35を、函状体12周面に沿って水平方向に往復しながら垂直方向へ伸びる蛇行管とし、該蛇行管を、複数の水平管路部分36…と、各水平管路部分から隣接する上位の水平管路部分へ上方逆向きに折り返す複数の戻り管路37…とで形成したことを特徴とする、請求項１乃至請求項４の何れかに記載の温度調整用コイル付きファンフィルタユニット。
【請求項６】
上記温度調整用コイル31の下方に水受皿26を配したことを特徴とする、請求項１乃至請求項５の何れかに記載の温度調整用コイル付きファンフィルタユニット。
【請求項７】
上記温度調整セクション11の函状体12は、下枠16と上枠17とを複数の縦枠18…で連結してなる角筒形の枠体13と、上記上枠17の開口部を閉塞する蓋板14とで構成され、上記下枠16と上枠17と隣接縦枠18,18とで画成する吸込口19内に、それら縦枠18,18間に温度調整用コイル31の一部である複数の水平直管36a…を横設することで、縦向きのコイル面39A, 39B…を形成し、かつ上記温度調整セクションの函状体12を上記ファンフィルタユニット本体２に対して着脱自在に設けたことを特徴とする、請求項２乃至請求項６記載の温度調整用コイル付きファンフィルタユニット。
【請求項８】
天井面に複数のファンフィルタユニットを併設し、かつこれらファンフィルタユニットのうち少なくとも一つを、上記請求項１乃至請求項７の何れかに記載された温度調整用コイル付きファンフィルタユニットとしたことを特徴とするクリーンルーム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばクリーンルームなどに使用される、温度調整用コイル付きファンフィルタユニット、及び該ユニットを使用したクリーンルームに関する。
【背景技術】
【０００２】
上述のクリーンルームでは、空気の清浄度及び高精度の温度管理を確保するため、天井にファンフィルタユニット（ＦＦＵ）を、又室内空間から天井裏への還気路内に温度調整用コイルをそれぞれ設置することが行われている（特許文献１）。
【０００３】
しかしファンフィルタユニットと温度調整器とを別に設置するのは面倒であるため、天井付きファンフィルタユニットの送風ファンのフィルタとの間に、水平コイル面を有する横置き型の温度調整用コイルを組み込んだもの、及び送風ファンの上側にほぼ横向き型温度調整用コイルを組み込んだものが提案されている（特許文献２・同３）。
【０００４】
又、クリーンルーム内の生産ラインのレイアウト変更に対応し易くするために、天井裏領域の上部に設置した温度調整用コイルと、天井面に設置したファンフィルタユニットとをフレキシブルダクトで接続したものも提案されている（特許文献４）。
【０００５】
更に省エネルギーのため、クリーンルームの室内に配置した冷却コイルである蒸発器を、又該蒸発器より高所に凝縮器をそれぞれ設置し、上記蒸発器内で蒸発した熱媒体が蒸気管を介して上記凝縮器内へ流入し、再び液化されて自重により液管を介して上記蒸発器内へ戻るように構成した自然循環システムも提案されている（特許文献５）。
【特許文献１】特開平10−267338号
【特許文献２】特開平10−89724号
【特許文献３】特開平11−337115号
【特許文献４】特開2000−18663号
【特許文献５】特開平11−63561号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献２及び３のファンフィルタユニットは横置きコイルを組み込んだから、これらユニットをクリーンルームの天井裏に隣接する際、そのユニット自体の水平面積よりもコイル面積を大とすることが困難であり、仮に小さなコイル面積を補って風速を大とすると、コイル面通過時の圧力損失が大きくなる。
【０００７】
又特許文献３のものでは、送風ファンの上方に温度調整用コイルを配置したから、送風ファンの点検及び交換の際に温度調整用コイルを取り外さなければならず、メンテナンスが面倒であり、更に特許文献２のものでは、コイルをフィルタと送風ファンとの間に挿入したから、生産ラインのレイアウトの変更により一のユニットから他のユニットへ付け替えることが面倒である。
【０００８】
他方、特許文献４のファンフィルタユニットは、温度調整用コイルとファンフィルタユニットとの間のフレキシブルダクトの付け替えで上記レイアウトの変更に対応するものだから、フレキシブルダクトの届く距離内でなければ上記変更に対応できない。
【０００９】
本発明は、ファンフィルタユニットに、コイル面を縦方向に配向させた縦型コイルを組み込むことで、上記特許文献２〜４の問題点を解消し、併せて特許文献５の自然循環システムへの適用に適した温度調整用コイル付きファンフィルタユニット及び該ユニットを使用したクリーンルームを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
第１の手段は、温度調整用コイル付きファンフィルタユニットであり、ファンフィルタユニット本体２の上部側に温度調整セクション11を設け、該温度調整セクションは、函状体12の下面に連通口28をかつ側面に吸込口19をそれぞれ開口するとともに、該吸込口の開口面に沿って温度調整用コイル31のコイル面39A, 39B…を縦向きに配向させて形成し、かつ上記ファンフィルタユニット本体２は、上記コイル面39A, 39B…を通過した空気を上
記連通口28を介して送風ファン６で吸引してフィルタ５付き吹出口４から吹き出すように形成している。
【００１１】
尚、本明細書及び特許請求の範囲において、「コイル面」とは、当該面内乃至その近傍に、温度調整用コイルを構成する複数のコイル管部分を配置させた面であって、冷却乃至加熱すべき気流がその面を通過するように配置されるものをいう。又、「コイル面を縦向きに配向させ」ることとは、コイル面を鉛直に配置することの他、該鉛直に対して鋭角的に傾斜させて配置する状態を含むものとする。
【００１２】
第２の手段は、第１の手段を有し、かつ上記函状体12を直方体に形成して、該直方体下面のほぼ中心に、上記ファンフィルタユニット本体２の上面に設置した送風ファン６が位置するようにファンフィルタユニット本体２に対して上記函状体12を設置するとともに、該函状体の向かい合う２側面に、同一の大きさで平面状の相互に対向する第1のコイル面39A,39Bを形成している。
【００１３】
ここで直方体下面の中心とは、該下面の図形中心（或いは２本の対角線の交わる点）をいう。
【００１４】
第３の手段は、第２の手段を有し、かつ上記２側面を除く函状体の残余の各側面に、同一の大きさで平面状の相互に対向する第２のコイル面39C,39Dを形成している。
【００１５】
第４の手段は、第１の手段を有し、かつ上記函状体12を円筒形に形成して、該円筒の中心線上に、上記ファンフィルタユニット本体２の上面に設置した送風ファン６が位置するようにファンフィルタユニット本体２に対して上記函状体12を設置するとともに、上記函状体の側面に、上方から見て円弧状のコイル面39Aを形成している。
【００１６】
ここで「円弧」とは、例えば半円形や“）”形の他、Ｃ字形状を含むものとし、特にＣ字形の場合には、後述の熱媒体入出口などの設置に必要な一部を除いて円周壁の全体をコイル面とすることができる。
【００１７】
第５の手段は、上記第1の手段乃至第４の手段の何れかを有し、かつ上記温度調整用コイル31は、そのコイル管34,35を、函状体12周面に沿って水平方向に往復しながら垂直方向へ伸びる蛇行管とし、該蛇行管を、複数の水平管路部分36…と、各水平管路部分から隣接する上位の水平管路部分へ上方逆向きに折り返す複数の戻り管路37…とで形成している。
【００１８】
第６の手段は、上記第１の手段乃至第５の手段の何れかを有し、かつ上記温度調整用コイル31の下方に水受皿26を配している。
【００１９】
第７の手段は、上記第２の手段乃至第６の手段の何れかを有し、かつ上記温度調整セクション11の函状体12は、下枠16と上枠17とを複数の縦枠18…で連結してなる角筒形の枠体13と、上記上枠17の開口部を閉塞する蓋板14とで構成され、上記下枠16と上枠17と隣接縦枠18,18とで画成する吸込口19内に、それら縦枠18,18間に温度調整用コイル31の一部である複数の水平直管36a…を横設することで、縦向きのコイル面39A, 39B…を形成し、かつ上記温度調整セクションの函状体12を上記ファンフィルタユニット本体２に対して着脱自在に設けている。
【００２０】
第８の手段は、クリーンルームであり、天井面に複数のファンフィルタユニットを併設し、かつこれらファンフィルタユニットのうち少なくとも一つを上記第１の手段乃至第７の手段の何れかである温度調整用コイル付きファンフィルタユニットとしたものである。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は上記構成であり、請求項１に係る発明では、温度調整用コイル3１は、コイル面39A,39B…を縦方向に配向したから、ファンフィルタユニット本体２上面の面積と無関係にコイル面の面積の設計上の自由度が大となり、処理負荷の大きさに応じて適切なコイルサイズが設定できるとともに、特に該コイル面積を大きくすることでコイル面を通過する空気の風速が小となるので、コイル面通過時の気流の圧力損失を低減し、省エネルギーを実現することができる。
【００２２】
請求項２の発明によれば、上記函状体12を直方体に形成して、該直方体下面のほぼ中心に、上記ファンフィルタユニット本体２の上面に設置した送風ファン６が位置させ、かつ函状体の向かい合う２側面に、同一の大きさで平面状の相互に対向する第1のコイル面39A
,39Bを形成したから、両コイル面を通過する気流が図１に示す如く水平軸C1に対して線対称となり、従って吹出口内の位置による吹出空気の温度分布の均一性を高め、均質な温度の送風を実現できる。
【００２３】
請求項３の発明によれば、上記２側面を除く函状体の残余の各側面に、同一の大きさで平面状の相互に対向する第２のコイル面39C,39Dを形成したから、上記軸C1と直交するC2に対しても線対称な気流が得られ、請求項２の発明よりも更に吹出空気の温度分布の均一性を高めることができるとともに、コイル面積を大として、エネルギー効率を高めることができる。
【００２４】
請求項４の発明によれば、上記函状体12を円筒形に形成して、該円筒の中心線上に、上記ファンフィルタユニット本体２の上面に設置した送風ファン６を位置させるとともに、上記函状体の側面に、上方から見て円弧状のコイル面39Aを形成したから、一つのコイル面上の各点から送風ファン６までの道程が同じとなるので、より吹出し温度のばらつきを低減できる。
【００２５】
請求項５の発明によれば、温度調整用コイル31のコイル管34,35を蛇行管とし、該蛇行管の各水平管路部分36…の間に戻り管路37を設けて高低差を付けたので、本願ファンフィルタユニットを自然循環システムに使用した場合に、上記コイル管内で気化した熱媒体のうち上記戻り管路37…内にある気体と該気体と同体積の液体とに対する重力の差が、温度調整用コイル31内熱媒体を駆動力として作用するので、熱媒体の流通を円滑化することができる。
【００２６】
請求項６の発明によれば、温度調整用コイル31のコイル面39A, 39B…を縦方向に配向したから、該コイル面を通過する気流の流れを妨げることなく該温度調整用コイル下方に水受皿26を設置することができ、特に温度調整用コイル31をドライコイルとしたときでも、不慮の事情で該コイルの表面温度が露点温度以下に下がったときに、該表面に結露した水がクリーンルーム内へ漏水して、その生産設備を損傷する事態を避けることができる。
【００２７】
更に、請求項７の発明によれば、次の効果を奏する。
○温度調整セクション11は、函状体12を構成する枠体13の縦枠18…と上下枠16、17とで画成される空間を吸込口19とし、かつ隣接する縦枠18間に温度調整用コイル31の複数水平直管36a…を横設したものであり、温度調整用コイルを支持するための必要最小限の構成として枠体13を設けた簡易な構造であるから、廉価に製造することができる。
○温度調整セクション11は、上述の如く簡易に構成したために軽量であり、又ファンフィルタユニット本体２に対して着脱自在に設けられているから、クリーンルームユニットの天井に並置した多数のファンフィルタユニット本体２のうちの一つから他の一つに容易に付け替えすることができるので、生産ラインの変更に容易に対応でき、よってクリーンルーム内の局所負荷を効率的に排除できる。
○温度調整用コイル31は、枠体13の隣接する縦枠18,18間に水平直管36a…を横設してなるから、枠体13の上枠17の開口部から蓋板14を外すことで、ファンフィルタユニット本体２の上面に設けた送風ファン６を点検し、又、必要により上記開口部を介して送風ファン６を交換することができ、従来の如く温度調整用コイルを取り外す必要がないので、メンテナンスが容易である。
○温度調整セクション11は、ファンフィルタユニット本体２と別体として設けたから、その函状体12の下面開口を既存のファンフィルタユニットの送風ファンのサイズよりも大きく形成しておくことで、該送風ファンを上面に有する既存のファンフィルタユニットに対しても取り付けることが可能となり、経済的である。
【００２８】
請求項８の発明によれば、クリーンルームの天井面に配列した複数のファンフィルタユニットのうち、精密生産機械の上方にあるものを、本願のファンフィルタユニットとし、他の位置にあるものを通常のファンフィルタユニットとすることで、クリームルームのうち特に所要場所のみをより効果的に空調管理することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
図１乃至図５は、本発明の温度調整用コイル付きファンフィルタユニット１の第1の実施形態を示している。
【００３０】
該ファンフィルタユニットは、ファンフィルタユニット本体２と、該本体上に気密に設
置した温度調整セクション11とで構成されている。
【００３１】
ファンフィルタユニット本体２は、温度調整セクションとの接合箇所を除いて従来公知の構成であって、有頂で下面に吹出口４を開口させた箱型のケーシング３と、上記吹出口４を覆うフィルタ５と、上記ケーシング３の頂面に着脱自在に付設した送風ファン６とで構成されている。該ケーシング３の上面は温度調整セクションの下部を着脱自在に取付け可能とする。その取付け方法は任意であり、例えば図示しない取付け金具などを介して取り付けるための取付け孔を穿設しても良く、又、ケーシング上面に温度調整セクション下端部嵌め込み用の嵌合凹部を凹設しても良い。又、ファンフィルタユニット本体は、後述する如く温度調整セクションと分離して通常のファンフィルタユニットとしても利用できるように構成されている。
【００３２】
温度調整セクション11は、側面に広口の吸込口19を開口する有頂筒形の函状体（或いは外壁）12を具備し、かつ該函状体に、上記吸込口19に臨むコイル面39A…を有する温度調整用コイル31を組み込んでいる。
【００３３】
上記函状体12は、その稜線部分を形成する枠体13と該枠体上面を気密に閉塞する蓋板14とからなる。図示の函状体は、下面開口の長方体としているが、該形状に代えて、横断面多角形状（好ましくは偶数角形状）の角筒状に形成してもよい。
【００３４】
図示の枠体13は、上方から見てロ型の下枠16及び上枠17と、これら下枠及び上枠の対応する角部を連結する４本の縦枠18とを一体的に連結しており、下枠16と上枠17と隣接する一対の縦枠18とで、同形かつ同寸の吸込口19…を形成し、又、上記下枠16の内縁部で連通口28を形成している。
【００３５】
各縦枠18…は、図３に示す如く２枚の縦板18a,18bを上方から見てＬ字形に気密に連結させ、かつ該Ｌ字形の隅角部20が函状体内方に向くように下枠16及び上枠17に対して配置させている。又、該隅角部20では、図４に拡大して示す通り、各縦板18a,18bの隣接端部から、各端面と平行に張出板部21、21を延設し、これら両張出板部の内外面の何れか一方（図示例では各内面）側にシール材22を介してＬ字形の連結具23を取付け、かつ該連結具と各張出板部21、21とを固定ピン24で貫通して連結させている。又、各縦板18a,18bには後述コイル管挿入用の複数の取付け孔25…を穿設している。
【００３６】
上記下枠16は、上記ファンフィルタユニット本体２の上面に気密に載置され、かつ該上面に図示しない連結金具により着脱自在に取り付けられている。又、該下枠の各上面には、後述のコイル管の下方に位置させて水受皿26が載置されている。尚、この水受皿に漏水センサ（図示せず）を設置して漏水時に利用者に対して警報が発せられるように構成しても良い。
【００３７】
上記蓋板14は、上記上枠17内方の開口部に着脱自在に嵌合させている。
【００３８】
上記温度調整用コイル31は、その構造を展開して表す図５に示す如く、熱媒体入口32から流量調整弁33を経由して連設したコイル管34を、函状体12周面に沿って往復しながら上方へ伸びる蛇行管に形成しており、該蛇行管は既述の４つの吸込口19…を横切る水平管路部分36…と、該水平管路部分の先端部から上方逆向きに折り返す戻り管路37…とを交互に繰り返して構成している。該蛇行管の先端部は熱媒体出口38に連通している。上記熱媒体入口32及び熱媒体出口38は、図示しない配管アダプタを介して既存の熱媒供給システム（好ましくは自然循環システム）の給液管と排気管（乃至排液管）とへそれぞれ連結すると良い。又、温度調整用コイル31は、ドライコイルとすることが好ましいが、必ずしもそうする必要はない。
【００３９】
又、図示例では、上記流量調整弁33の下流側の点Ｐ1においてコイル管34からコイル管35を分岐させ、該コイル管35を、図５では図示していないがコイル管34と並行して函状体12周面を水平方向に蛇行させて、熱媒体出口38近くの点P2で合流するように配管させており、コイル管35とコイル管34とは、図３に示す通り、縦板18a,18bの内外側部をそれぞれ貫通する内外２重のコイル部としている。但し、両コイル管の構成は基本的には同じであるため、以下コイル管34を例にとってその構成を説明する。
【００４０】
コイル管34の水平管路部分36は、図３に示す如く各吸込口19の側縁部に相当する縦板18a,18bの取付け孔25,25の間に両端部を嵌合させた水平直管36aと、隣接する吸込口19内
の同じ高さの水平直管相互を連結する曲がり管36bとで構成している。上記水平直管36a…は垂直で平面状のコイル面39A,39B…を形成するように縦方向に配列されている。図示例では、水平軸Ｃ1を対称軸として、１対の第1コイル面39Aと39Bとが、又、１対の第2コイル面39Cと39Dとがそれぞれ線対称に対向している。これら第１コイル面39A,39B,39C,39Dは、それぞれ送風ファン６から等距離に配置されている。そのためには、上記函状体12の平面形状を正方形状とし、かつその正方形の中心に送風ファン６が位置するように、温度調整用セクション11をファンフィルタユニット本体２に対して設置すればよい。
【００４１】
尚、上記図示例では、温度調整用コイルのコイル管34を蛇行管としているが、必ずしも該構造とする必要はなく、上記各吸込口内に複数の平行管部を並列させて縦向きのコイル面を形成することができればどのような構成でも良い。又、上記コイル管34の水平管路部分36は、複数の吸込口19…を横切って貫設されていたが、個々の吸込口19の側端部間を水平方向に往復する蛇行管としても良い。又、図示例では、上述の如く二股に分岐したコイル管34,35をそれぞれコイル部に形成していたが、その一方を省略しても良く、他方、３本以上、例えば４本のコイル管で温度調整用コイルを形成しても良い。更に、図示例では、熱媒体がコイル管34を下から上へ流れる場合を示しているが、例えば水温が露点温度より高い冷水を使用する場合には、該冷水がコイル管34を上から下へ流れるように配管しても良い。この場合には、上記コイル管34の上端部側に、流路調整弁33付きの熱媒体入口32を、又下端部側に、熱媒体出口38をそれぞれ形成するものとする。
【００４２】
更に図示例では、全てのコイル面39A…を、一対毎のコイル面として相互に対向させているが、必ずしもそうする必要はなく、例えば長方体の４側面のうち３面にコイル面を形成するとともに、他面を、送風ファン点検及び交換用の蓋板付き窓孔を開口した壁面（図示せず）としても良く、該構成とすれば温度調整セクション11を背高に形成したときに、上記窓孔を介して容易に送風ファン６の点検及び交換ができるという利点がある。この場合には、温度調整用セクション11の上部には既述上枠17及び蓋板14に代えて温度調整セクション上面を気密に閉塞する頂板を設けると良い。
【００４３】
更に又、本実施形態では、ファンフィルタユニット本体２と温度調整セクション11とを別体として設けているが、両者を一体として形成しても良い。
【００４４】
上記図示例の構成において、流量調整弁33を開とすると、図２に示す如く、冷媒が熱媒体入口32から流量調整弁33を介してコイル管34,35へ流入し、かつその管壁から熱を奪いつつ各コイル管内を蛇行して熱媒体出口38へ排出され、これにより各コイル管の表面を冷却する。尚、図２ではコイル管34内の熱媒の流れのみを矢示しているが、コイル管35内でも同様の経路で流れる。上記冷媒の温度はコイル管の表面が露点以下にならないように制御するとよいが、不慮の事態で設定温度以下に冷却されたときには、各コイル管下方においた水受皿26がコイル管34,35から滴下した水滴を収納し、ファンフィルタユニット１の下方への水漏れを防止する。
【００４５】
次に送風ファン６を駆動させると、冷却された各コイル管34,35で形成されたコイル面39A, 39B…を外部の空気が通過して冷風となり、送風ファン６へ吸引される。
【００４６】
このとき、上記温度調整セクション11は、４つのコイル面39A, 39B…から空気を吸入することが可能であり、かつこれら各コイル面の縦幅は幾らでも大きくできるので、全体としてのコイル面積を大とすることが可能であり、これにより、一定風量の空気を吸込むときの風速が小となって、コイル面を空気が通過する際の圧力損失が少なくなり、エネルギーロスが低減する。
【００４７】
又、上記各コイル面39A, 39B…は、１対毎に相互に対向させて配置しているので、吹出口の各所における吹出し空気の温度のばらつきを低減することができる。この点については図10及び図11実施例において更に述べる。
【００４８】
尚、本願ファンフィルタユニットを、気体熱媒と液体熱媒との密度の差を利用して無動力で循環させる既述自然循環システムに利用する場合には、縦方向のコイル面を有する蛇行管として形成した各コイル管34,35の管路中に、規則的に高低差を有する戻り管路37…が設けられているため、該戻り管路中の気体媒体部分に上昇力が作用するので、熱媒体の循環が円滑となる。  
【００４９】
次に運転を停止して送風ファン６などのメンテナンスをする場合には、上記蓋板14を上枠17内の開口部から外せばよく、該開口部を通して直ちに送風ファン６を点検し或いは交換することができる。又、本願ファンフィルタユニットの温度調整セクション11は軽量であるので、ファンフィルタユニット本体２から取り外して、容易に別の場所に設置されたファンフィルタユニット本体２に設置することができる。これについては、図８乃至図９実施形態において述べる。
【００５０】
以下、本発明の他の実施形態を説明するが、その構成のうち第1実施形態と同じ部分に関しては同一の符号を付すことで説明を省略する。
【００５１】
図６及び図７は、本発明の温度調整用コイル付きファンフィルタユニット１に係る第2の実施形態を示している。
【００５２】
該実施形態は、上記温度調整セクション11の函状体12を有頂円筒形状に形成したものであって、同一半径の円環状の下枠16及び上枠17を、複数の縦枠18,18（図示例では前後左右４つの縦枠）…で連結しており、これら隣接する縦枠18,18と下枠16と上枠17とで画成される空間を吹出口19に形成している。上記各縦枠18は温度調整用コイルを支持することができ、かつ吹出口以外の個所でのエア漏れを防止することができれば、いかなる構成でも良い。この図示例では上記円筒形の函状体12に対して半円筒形の２つの温度調整用コイル31,31を組み込んでいる。各温度調整用コイル31は、函状体12の後面にそれぞれ開口する熱媒体入口32及び熱媒体出口38を有する。該温度調整用コイル31のコイル管34は、熱媒体入口32から後面側縦枠18内で側方へ屈曲して、左乃至右側面の縦枠を貫通した後に、前後縦枠18,18の一方から他方へ側方縦枠を貫通しながら往復して上方へ伸びる蛇行管に形成している。該蛇行管の戻り管路37は、上記縦枠18の内部を貫通して配管させている。尚、この図示例では、各温度調整用コイル31を、上方から見てほぼ半円形としているが、必ずしも該構成とする必要はなく、例えば２つの半円筒形コイルに代えて、上面から見てC字形の一つのコイルが函状体の周面ほぼ全体を囲むように形成しても良い。又、図示例では、上記半円筒形の各温度調整用コイル31,31で形成する縦型のコイル面を、左方乃至右方の縦枠18,18で２つに分割して、コイル面39Aと39Bとが、又コイル面39Cと39Ｄとが相互に相対するように構成されている。もっとも円筒形の函状体では必ずしもそうする必要がなく、例えば同一の形状とした３つ以上の奇数個のコイル面を、上記函状体の周面にほぼ等間隔で配置しても良い。
【００５３】
尚、上記の如く温度調整用セクション11を円筒形に変更したときには、該温度調整用セクションを取り付けるためのファンフィルタユニット本体側の構造（例えば既述嵌合凹部）も対応した形状とするべきことはいうまでもない。この場合において、温度調整セクション11は、その円筒の中心軸上に送風ファン６が位置されるようにファンフィルタユニット本体２の上面に気密に設置する。
【００５４】
図８及び図９は、本発明に係る温度調整用ファンフィルタユニットを使用したクリーンルームの構成例を示している。
【００５５】
図８中、Ａは室内空間であり、該室内空間の下方には、通気孔付きの床板51で隔てて形成した床下空間Bを、又室内空間の上方には、天井板52で隔てた天井裏空間Cをそれぞれ形成している。又、床下空間Bと天井裏空間Cとは還気路Dを介して連通している。図示例では、上記天井板52に、本発明に係るファンフィルタユニット１と、該ユニットのファンフィルタユニット本体で構成する通常のファンフィルタユニット56とをそれぞれ隣接させている。この本願ファンフィルタユニット１は、図８に示す如く室内空間に設置された生産装置54の上方に設置すると良い。図９は、上記ファンフィルタユニット1,56の配置例を上方から示すものであり、天井板の左右方向のみならず、前後方向にもファンフィルタユニットを並設している（尚、同図は便宜的に各ユニット間の空間を省略して描いている）。
【００５６】
又、クリーンルーム内の生産ラインを変更するため、図８に矢示する如く上記生産装置を移動する場合には、該生産装置の上方にあったファンフィルタユニットの温度調整セクション11を、新たな生産装置の上方に存する通常のファンフィルタユニット56の上面に、取り付けることで容易に生産ラインの変更に対応した空調システムを構築することが可能である。  
【実施例】
【００５７】
図10乃至図12は、本願に係るファンフィルタユニットの一つの実施例、及び、該実施例に基づく吹出し温度の測定実験の結果を表している。
【００５８】
図10及び図11に示す如く、本実施例では、上面から見てほぼ正方形の輪郭を有する温度調整セクション11を、左右に長いファンフィルタユニット本体２の上面に取付け、かつ該本体のケーシング３下面全体にフィルタ５を付設している。送風ファン６は、電動モータと一体として着脱自在に設けたものであり、又、該モータへの電力供給線７が設けられている。尚、図10では、作図の便宜上温度調整セクションの個々のコイル管を省略して描いている。
【００５９】
この実施例に係るファンフィルタユニットの実験機の寸法は、上記フィルタ５の左右長さがＬ1＝1,469mm、幅がＤ1＝719mm、温度調整セクション11の一辺の長さがＬ2＝689mmである。又、ファンフィルタユニット本体２の上面から温度調整セクション11の上面までの高さがＨ1＝262mm、ファンフィルタユニット本体２のケーシング３の高さがＨ2＝280mm、フィルタの高さがＨ3＝87mmである。このサイズで上記フィルタの下面の左端部、中間部、右端部の前後両側の６箇所にそれぞれ温度計Ｔ1〜Ｔ6をセットし、図12に示す如く各吹出し個所での吹出し温度の経時的変化を記録した。同図から判るように実験開始後の７分〜17分の間の約10分間及び20分〜34分の約14分間、各吹出し個所での吹出し温度の測定をしたところ、温度がほぼ一定となったときで吹出し温度はおおよそ20℃〜21℃程度であって、平均誤差は±0.5℃の範囲に収まっている。この実験では、コイル面39Aと39B、及び、コイル面39Cと39Dは、相互に平行に対向しており、その結果としてファンフィルタユニット本体２の吹出口全体でほぼ均一の温度分布が得られた。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明に係る温度調整用コイル付きファンフィルタユニットの第1実施形態の正面図である。
【図２】図１に係るファンフィルタユニットの背面図である。
【図３】図１のファンフィルタユニットの平面図である。
【図４】図１のファンフィルタユニットの要部拡大図である。
【図５】図１のファンフィルタユニットの構成の展開図である。
【図６】本発明に係る温度調整用コイル付きファンフィルタユニットの第２実施形態の正面図である。
【図７】図６のファンフィルタユニットの後面図である。
【図８】図１に係るファンフィルタユニットを使用したクリーンルームの説明図である。
【図９】図８のIX−IX線方向に沿って見たファンフィルタユニットのレイアウトを示す平面図である。
【図１０】図１のファンフィルタユニットの一実施例の正面図である。
【図１１】図10のファンフィルタユニットの平面図である。
【図１２】図10ファンフィルタユニットでの吹出し温度の測定実験の結果を表すグラフである。
【符号の説明】
【００６１】
１…ファンフィルタユニット  ２…ファンフィルタユニット本体  ３…ケーシング
４…吹出口  ５…フィルタ  ６…送風ファン  ７…電力供給線
11…温度調整セクション  12…函状体  13…枠体  14…蓋板  16…下枠  
17…上枠  18…縦枠 18a,18b…縦板  19…吸込口  20…隅角部  21…張出板部  
22…シール材  23…連結具  24…固定ピン  25…取付け孔  26…水受皿  28…連通口
31…温度調整用コイル  32…熱媒体入口  33…流量調整弁  34,35…コイル管
36…水平管路部分  36a…水平直管36b…曲がり管  37…戻り管路  
38…熱媒体出口  39A,39B…第1コイル面  39C,39D…第2コイル面
Ｐ1…分岐点  Ｐ2…合流点
51…床板  52…天井板  54…生産装置  56…ファンフィルタユニット
Ａ…室内空間  Ｂ…床下空間  Ｃ…天井裏空間  Ｄ…還気路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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