(57)【要約】【課題】折り曲げやすさを維持しつつ、また、フレキシブル配線板の寸法をできるだけ広げることなく、フレキシブル配線板のカバーフィルムと金属層の境界部の曲げやねじりに対する強度を更に向上させる。【解決手段】フレキシブル配線板１２の金属層１２ｂの形状をカバーフィルム１２ａから露出する境界部Ｂ１，Ｂ２近傍のみ幅を広く又は厚くするとともに、その幅又は厚さを変化させた部分の長さＨ２を、外側の列から内側の列に向かうに従って徐々に長くする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルムと、ベースフィルムの前後端を電気接続し左右方向に複数配列される金属層と、金属層の前後端側を露出させ中央部分を覆うカバーフィルムとを備え、金属層の前後方向が弧を描くように折り曲げて使用されるフレキシブル配線板において、
上記金属層は、カバーフィルムから露出する境界部近傍において幅が広く形成されるとともに、その広く形成された部分の前後方向における長さは、フレキシブル配線板の中央部分では長く、フレキシブル配線板の左右両端側に向かって徐々に短く形成されているか、又は、逆に、中央部分では短く、左右両端側に向かって徐々に長く形成されていることを特徴とするフレキシブル配線板。
【請求項２】
ベースフィルムと、ベースフィルムの前後端を電気接続し左右方向に複数配列される金属層と、金属層の前後端側を露出させ中央部分を覆うカバーフィルムとを備え、金属層の前後方向が弧を描くように折り曲げて使用されるフレキシブル配線板において、
上記金属層は、カバーフィルムから露出する境界部近傍において厚く形成されるとともに、その厚く形成された部分の前後方向における長さは、フレキシブル配線板の中央部分では長く、フレキシブル配線板の左右両端側に向かって徐々に短く形成されているか、又は、逆に、中央部分では短く、左右両端側に向かって徐々に長く形成されていることを特徴とするフレキシブル配線板。
【請求項３】
前記フレキシブル配線板の中央部分では長く、フレキシブル配線板の左右両端側に向かって徐々に短く形成され形成されているか、又は、逆に、中央部分では短く、左右両端側に向かって徐々に長く形成されている箇所は、フレキシブル配線板の中央部を境に左右対称に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載のフレキシブル配線板。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置などに実装されるフレキシブル配線板に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、液晶表示装置の製造においては、いわゆるセル工程に続くモジュール化工程において、液晶表示パネルに対してこれを駆動するための半導体素子が実装されるとともに、この半導体素子に伝送信号又は電源を供給する配線基板が配設される。半導体素子の実装方式には、種々のものがあり、例えば、配線パターンが形成されたフィルム状の配線基板に半導体素子（ＩＣチップやＬＳＩチップ）を実装するＴＣＰ（tape carrier package）実装や、ガラス基板上の電極端子に直接半導体素子に接続するＣＯＧ（chip on glass）実装がある。ＴＣＰ（tape carrier package）実装構造には、ベース基材を折り曲げる折り曲げ構造と、ベース基材を折り曲げない開き構造があるが、いずれもＴＡＢ（Tape Automated Bonding）によって実装される。
【０００３】
ＣＯＧ実装では、液晶表示パネルＬＣＤの対向する基板の一方の基板が他方の基板よりも大きく、この対向する上方側の基板（他方の基板）と下方側の基板（一方の基板）を重ね合わせると、一部張り出した下方側の基板の外周部に半導体素子の実装領域が形成され、この実装領域に、ペースト状若しくはフィルム状の接着剤を介して半導体素子が実装される。配線基板は、プラスチック製のフレキシブル配線板（flexible printed circuit）が用いられ、半導体素子に伝送信号又は電源を供給するパターン配線が形成されているが、ＣＯＧ実装等では、液晶を狭持する一対の基板のうち、一方の基板の外周端縁に直接配設する。配線基板は、液晶表示装置の小型化・薄型化の実装スペースの縮小化に伴い、可撓性基板が用いられることが多くなっている。
【０００４】
半導体素子も配線基板も、各々ペースト状若しくはフィルム状の接着剤を介して一方の基板に実装される。ペースト状若しくはフィルム状の接着剤は、ＣＯＧ構造における高密度実装の観点から異方性導電膜（Anisotropic Conductive Film：ACF）が多く使用されている。異方性導電膜は、絶縁性を有する接着剤中に導電性粒子が分散され厚み方向（接続方向）に導電性を有し、面方向（横方向）に絶縁性を有するもので、半導体素子や配線基板の端子（接続端子、導電端子、端子パターンとも呼ばれる）のファインピッチ化の要請に対応させるために好適なものである。
【０００５】
図７乃至図１１は、従来の液晶表示装置におけるＣＯＧ実装方式の例を示す。まず、図７に示す例は、信号電極１０４と走査電極１０５とがマトリックス状に形成された液晶表示パネル１０９と、信号電極１０４を駆動する信号電極駆動ＩＣ１０６と、走査電極１０５を駆動する走査電極駆動ＩＣ１０７と、信号電極駆動ＩＣ１０６と走査電極駆動ＩＣ１０７に電源と信号を伝達するフレキシブル配線板１０８とがガラス基板１０１上にそれぞれ設置され構成されている。信号電極駆動ＩＣ１０６と走査電極駆動ＩＣ１０７およびフレキシブル配線板１０８は、ガラス基板１０１の周縁部に配置されており、フレキシブル配線板１０８と、各信号電極駆動用ＩＣ１０６または走査電極駆動用ＩＣ１０７とは、信号配線群１０２および電源配線１０３で接続されている。各信号電極駆動用ＩＣ１０６と走査電極駆動用ＩＣ１０７に電源や信号を供給する駆動回路を配置したプリント配線基板１１０は、フレキシブル配線板１０８の片方にＡＣＦ等を使用して接続されている。信号電極駆動用ＩＣ１０６に供給された信号は、信号電極駆動用ＩＣ１０６の内部で信号処理され信号電極１０４を駆動し、走査電極駆動用ＩＣ１０７に供給された信号は、走査電極駆動用ＩＣ１０７の内部で信号処理され走査電極１０５を駆動し、これにより液晶表示装置の液晶表示パネル１０９の表示領域上に文字または画像などが表示される。
【０００６】
フレキシブル配線板１０８は、図８（ａ）に示すように、金属層１０８ｂを被覆するカバーフィルム１０８ａと、金属層１０８ｂと、ベースフィルム１０８ｃとで多層に形成されており、図８（ｂ）に示すように、金属層１０８ｂは信号伝達に必要な本数が所定の均一な間隔と幅で形成されている。すなわち、端子である金属層１０８ｂの配列方向（左右方向）の寸法は同一とされている。
【０００７】
このような液晶表示装置を組み立てる場合には、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、狭額縁にするためにプリント配線基板１１０はガラス基板１０１の裏側に位置するように配置される。すなわち、フレキシブル配線板１０８は、ガラス基板１０１とプリント配線板１１０とを抱え込んだ格好で、断面が半径ｒの曲線を描くように曲げられる（図９（ａ））。プリント配線基板１１０等を格納するスペースが十分にある場合には曲げの半径ｒを大きくすることができるが、狭額縁にするために格納スペースを狭くする場合は、小さな半径ｒで曲げられる場合もある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の液晶表示装置では、フレキシブル配線板１０８を折り曲げる際、特にカバーフィルム１０８ａとベースフィルム１０８ｃの配列方向（左右方向）の寸法が同一の場合には、カバーフィルム１０８ａと金属層１０８ｂの境界部Ｂ１，Ｂ２に折り曲げやねじりの応力が集中し易い。そのため、カバーフィルム１０８ａおよびベースフィルム１０８ｃが破れ、最終的に金属層１０８ｂも疲労を起こして切断されてしまうという問題点を有していた。特に、プリント配線基板１１０等を格納するスペースを狭くするために小さな半径ｒで曲げられる場合には、その傾向が顕著であった。
【０００９】
この問題を解決する方法としては、例えば図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、上記フレキシブル配線板１０８の金属層１０８ｂの形状を、境界部Ｂ１，Ｂ２近傍のみ幅を広くすることで、フレキシブル配線板１０８のカバーフィルム１０８ａと金属層１０８ｂの境界部Ｂ１，Ｂ２の折り曲げやねじりに対する強度を上げる方法がある。また、他の方法としては、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、上記フレキシブル配線板１０８の金属層１０８ｂの形状を、境界部Ｂ１，Ｂ２近傍のみ厚みを厚くしたもので、これにより、フレキシブル配線板１０８のカバーフィルム１０８ａと金属層１０８ｂの境界部Ｂ１，Ｂ２の折り曲げやねじりに対する強度を上げるとともに、フレキシブル配線板１０８の幅（或いは、端子ピッチ間隔）を広げることを抑制してきた。
【００１０】
しかしながら、図１０および図１１に示すような方法では、金属層１０８ｂの形状を境界部Ｂ１，Ｂ２から一定幅だけ変更させているにすぎないため、従来は境界部Ｂ１，Ｂ２に集中していた応力が、金属層１０８ｂの形状変化の境界部Ｃ（境界部Ｂ１，Ｂ２の内側）に集中していた。これは、金属層１０８ｂの幅が変化する部分では、金属が応力に反発する力（金属の弾性定数によるもの）に差が生じ、これにより、金属層１０８ｂに折り曲げ応力がかけられたときに、金属層１０８ｂ全体における反発力の分布に歪が生じるためである。従来は、各配列の境界部Ｃがフレキシブル配線板１０８の左右方向に一直線上に並んでいるため、応力が同一直線上に集中しやすく、さらに負荷のかかる場合には、境界部Ｃにて切断されてしまうという問題が生じている。また、フレキシブル配線板１０８の全体の強度向上を図るために、材料の強度を向上させると、フレキシブル配線板１０８の剛性が増し、結果的に曲げ半径ｒを小さくとれない結果となるばかりか（特にガラス基板１０１およびプリント配線基板１１０を抱え込む格好で折り曲げる場合）、材料も多く使用する結果となる問題を有する。そして、ファインピッチ化の要請から、ガラス基板１０１及びプリント配線基板１１０とフレキシブル配線板１０８の接続スペースを拡大させない、つまりフレキシブル配線板１０８の寸法を広げることなく、これらの問題を解決させなければならない。
【００１１】
そこで本発明の目的は、折り曲げやすさを維持しつつ、また、フレキシブル配線板の寸法をできるだけ広げることなく、フレキシブル配線板のカバーフィルムと金属層の境界部の曲げやねじりに対する強度を更に向上させるフレキシブル配線板を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項１記載のフレキシブル配線板は、ベースフィルムと、ベースフィルムの前後端を電気接続し左右方向に複数配列される金属層と、金属層の前後端側を露出させ中央部分を覆うカバーフィルムとを備え、金属層の前後方向が弧を描くように折り曲げて使用されるフレキシブル配線板において、上記金属層は、カバーフィルムから露出する境界部近傍において幅が広く形成されるとともに、その広く形成された部分の前後方向における長さは、フレキシブル配線板の中央部分では長く、フレキシブル配線板の左右両端側に向かって徐々に短く形成されているか、又は、逆に、中央部分では短く、左右両端側に向かって徐々に長く形成されていることを特徴とする。
【００１３】
フレキシブル配線板をカバーフィルムと金属層との境界部から折り曲げるに際しては、折り曲げ応力やねじり応力がフレキシブル配線板に加わる。本発明によれば、金属層の幅を上記構成とすることにより、従来のような、その折り曲げ応力やねじり応力が加わる部分が同一直線上にないため、これらの応力の集中を緩和することとなる。したがって、本発明によれば、フレキシブル配線板の折り曲げやねじりに対する強度を向上させることが可能になる。
【００１４】
本発明の請求項２記載のフレキシブル配線板は、ベースフィルムと、ベースフィルムの前後端を電気接続し左右方向に複数配列される金属層と、金属層の前後端側を露出させ中央部分を覆うカバーフィルムとを備え、金属層の前後方向が弧を描くように折り曲げて使用されるフレキシブル配線板において、上記金属層は、カバーフィルムから露出する境界部近傍において厚く形成されるとともに、その厚く形成された部分の前後方向における長さは、フレキシブル配線板の中央部分では長く、フレキシブル配線板の左右両端側に向かって徐々に短く形成されているか、又は、逆に、中央部分では短く、左右両端側に向かって徐々に長く形成されていることを特徴とする。
【００１５】
フレキシブル配線板をカバーフィルムと金属層との境界部から折り曲げるに際しては、折り曲げ応力やねじり応力がフレキシブル配線板に加わる。本発明によれば、金属層の厚さを上記構成とすることにより、従来のように、その折り曲げ応力やねじり応力が加わる部分が同一直線上にないため、これらの応力の集中を緩和することとなる。そして、本発明によれば、金属層の幅を広くする必要がないので、フレキシブル配線板の幅を変化させることなく、導電端子のファインピッチ化の要請にも資することとなる。
【００１６】
本発明の請求項３記載のフレキシブル配線板は、請求項１又は請求項２記載の発明を前提として、前記フレキシブル配線板の中央部分では長く、フレキシブル配線板の左右両端側に向かって徐々に短く形成されているか、又は、逆に、中央部分では短く、左右両端側に向かって徐々に長く形成されている箇所は、フレキシブル配線板の中央部を境に左右対称に形成されていることを特徴とする。
【００１７】
フレキシブル配線板を折り曲げて使用するとき、折り曲げ応力やねじり応力が偏って加わると、ガラス基板やプリント基板との接着力に偏りが生じることとなる。本発明によれば、前記フレキシブル配線板の中央部分では長くフレキシブル配線板の左右両端側に向かって徐々に短く形成されるか、又は、逆に、中央部分では短く、左右両端側に向かって徐々に長く形成されている箇所は、フレキシブル配線板の中央部を境に左右対称に形成されているため、折り曲げ応力やねじり応力が左右均等に分散される。したがって、フレキシブル配線板を折り曲げて使用してもその形態を安定的に保つことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の表示装置を具体的な実施の形態に基づいて説明する。
【００１９】
（第１の実施の形態）
フレキシブル配線板１２は、半導体素子ＩＣに伝送信号又は電源を供給するもので、図１（ａ）に示すように、ベースフィルム１２ｃと、ベースフィルム１２ｃ上に被覆される導電端子としての金属層１２ｂと、金属層１２ｂを被覆するカバーフィルム１２ａとからなる多層に形成されている。カバーフィルム１２ａおよびベースフィルム１２ｃは、例えば、ポリイミド等の樹脂でフィルム状に形成されている。本実施の形態のフレキシブル配線板１２は、金属層１２ｂの前後両端部分を残してカバーフィルム１２ａで被覆されているが、図１（ｂ）に示すように、カバーフィルム１２ａと金属層１２ｂの境界部Ｂ１，Ｂ２付近において左右方向の幅Ｈ１を広くするとともに、幅Ｈ１を広くした部分のカバーフィルム１２ａで覆われた前後方向の幅Ｈ２が、外側から内側の列に向かうにつれ徐々に範囲を伸ばし、幅Ｈ１を広くした部分がフレキシブル配線板１２において左右対称となるように形成されている。すなわち、カバーフィルム１２ａで覆われた部分で幅Ｈ１が変化する部分Ｃが、フレキシブル配線板１２の左右方向の中心（幅Ｈ２が最も長い箇所）においてフレキシブル配線板１２の中央に向かって接近するように左右対称に流線型を描くよう形成される。
【００２０】
本実施の形態のフレキシブル配線板１２は、図３に示すように、アクティブマトリクス型の液晶表示装置Ｌに実装されるものである。上下一対のガラス基板１ａ，１ｂは、下方のガラス基板（ＡＭ基板）１ａと上方のガラス基板１ｂがほぼ並行に配され、このガラス基板１ａとガラス基板１ｂとの間に液晶が封入されている。ガラス基板１ａは、ガラス基板１ｂよりも大きく形成され、このため両基板１ａ，１ｂを重ね合わせると、ガラス基板１ａの外周縁部にて一部張り出した部分に信号電極駆動ＩＣ６や走査電極駆動ＩＣ７の実装領域１ｃが形成される。信号電極駆動ＩＣ６や走査電極駆動ＩＣ７には、金（Ａｕ）や銀（Ａｇ）などを材質とする複数の電極突起（バンプ）が形成され、ガラス基板１ａの電極と接続される。
【００２１】
実装領域１ｃの外周には、上記フレキシブル配線板１２がＡＣＦ等を使用して連結接続され、フレキシブル配線板１２の液晶表示パネル９側とは反対側には、プリント配線基板１０が連結接続される。つまり、信号電極駆動ＩＣ６と走査電極駆動ＩＣ７とフレキシブル配線板１２の一辺は、ガラス基板１ａの周縁部に配置されており、信号電極駆動ＩＣ６と走査電極駆動ＩＣ７に電源や信号を供給する駆動回路を配置したプリント配線基板１０はフレキシブル配線板１２のもう一辺にＡＣＦ等を使用して接続されている。
【００２２】
これらを液晶表示装置として組み立てる時は、図４（ａ）に示すように、フレキシブル配線板１２は、ガラス基板１ａとプリント配線基板１０を包み込む格好で約１８０度Ｕ字状に折り曲げられ、端子部として金属層１２ｂがカバーフィルム１２ａの両端から露出している部分をそれぞれガラス基板１ａとプリント配線基板１０にＡＣＦ等を用いて接着される。すなわち、フレキシブル配線板１２は、金属層１２ｂ及びカバーフィルム１２ａを内側にして、その中央付近の断面形状が半径ｒの半円を描くように折り曲げられて使用される。従来のように、金属層１２ｂの幅Ｈ１が変化する部分Ｃにかかる折り曲げ応力が左右方向の同一直線上に集中すると、樹脂でフィルム状に形成されたフレキシブル配線板１２は切断されやすくなる。しかし、本実施の形態のフレキシブル配線板１２は、カバーフィルム１２ａで覆われた部分で幅Ｈ１が変化する部分Ｃの位置が、外側から内側の列に向かうにつれ徐々に変化しているため、この幅Ｈ１が変化する部分Ｃにかかる応力の集中を防止している。
【００２３】
また、金属層１２ｂの幅Ｈ１が広くなると、その分だけ剛性が増すことになるため、金属層１２ｂの幅Ｈ１が広くなった部分の前後方向の幅Ｈ２が長い部分は、フレキシブル配線板１２の折り曲げに対して反発する力が一般的には強いと考えられる。そのため、フレキシブル配線板１２の両脇（外側の端子配列）において幅Ｈ２を長くし、内側の列に向かうにつれ徐々に短くする形状とすると、フレキシブル配線板１２の両脇が最も反発力が大きくなり、ガラス基板１ａやプリント基板１０との接着においてフレキシブル配線板１２の両脇が剥がれ易くなることが考えられる。これに対して、本実施の形態の金属層１２ｂの形状は、最も反発力が大きい部分がフレキシブル配線板１２の中央であるため、フレキシブル配線板１２の両脇から剥がれることはない。ただし、この構成とは逆に、フレキシブル配線板１２の両脇（外側の端子配列）において幅Ｈ２を長くし、内側の列に向かうにつれ徐々に短くする形状とすることは、実施に応じて可能である（第２の実施の形態についても同様）。
【００２４】
また、金属層１２ｂの幅Ｈ１が広くなった部分がフレキシブル配線板１２において左右非対称であると、折り曲げに対して反発する力が左右非対称となり、フレキシブル配線板１２の折り曲げ実装作業性に欠けることになるが、本実施の形態における金属層１２ｂの形状は、フレキシブル配線板１２において左右対称であるため、そのような不都合は生じない。
【００２５】
（第２の実施の形態）
本実施の形態では、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、金属層１２ｂの幅Ｈ１ではなく厚みＨ３を増した部分の範囲を広げることでも同様の効果が得られる。第１の実施の形態では、境界部Ｂ１とＢ２の近傍において、金属層１２ｂの幅Ｈ１を広くした部分の範囲を内側の列に向かって徐々に広げた内容となっているが、本実施の形態の金属層１２ｂは、カバーフィルム１２ａの境界部Ｂ１，Ｂ２付近において厚みＨ３を厚く形成するとともに、その厚みＨ３を厚く形成した部分のカバーフィルム１２ａで覆われた前後方向の長さＨ４が外側から内側の列に向かうにつれ徐々に範囲を伸ばし、厚みＨ３を厚くした部分がフレキシブル配線板１２において左右対称となるように形成されている。本実施の形態の利点は、第１の実施の形態のように、金属層１２ｂの幅Ｈ１を広くする必要がないので、フレキシブル配線板１２の幅を広くせず、導電端子のファインピッチ化の要請にも資することとなる。
【００２６】
以上、上記各実施の形態では、フレキシブル配線板１２を断面Ｕ字状に折り曲げ実装されているが、図５に示すようにフレキシブル配線板１２を断面Ｌ字状に折り曲げる場合であっても、同様の効果を有する。また、本実施の形態ではフレキシブル配線板１２の両端ともＡＣＦ等で実装する構造について説明したが、図６に示すように一方を実装部とし、他方をコネクタ１３等に接続するフレキシブル配線板１２であっても同様の効果を有する。また、本実施の形態では金属層１２ｂの幅Ｈ１を広くする部分もしくは厚みＨ３を厚くする部分を一本の配列につき２箇所設けているが、フレキシブル配線板１２の折り曲げ位置によっては１箇所としてもよい。
【００２７】
また、アクティブマトリックス型液晶表示パネルの実装を例に説明したが、本発明は単純マトリックス型液晶表示パネルや、その他のマトリックス型表示パネルを用いた液晶表示装置の実装の場合にも適用可能である。また、フレキシブル配線板がＴＣＰフィルムによる実装の場合でも適用可能である。
【００２８】
【発明の効果】
本発明のフレキシブル配線基板によれば、金属層の形状を部分的に広くもしくは厚くする部分を流線型状にすることにより、カバーフィルムと金属層の境界部に曲げやねじりの応力が集中することを緩和することができ、フレキシブル配線板の曲げやねじりに対する強度を維持することが可能になる。 また、フレキシブル配線板の金属層を部分的に厚くする場合は、フレキシブル配線板の幅方向の寸法を広げずに強度向上を図ることが可能になる。
【００２９】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態のフレキシブル配線板の側面図および上面図
【図２】本発明の第２の実施の形態のフレキシブル配線板の側面図および上面図
【図３】本発明の実施の形態の液晶表示装置の構成展開図
【図４】上記第１の実施の形態の液晶表示装置の組立図
【図５】フレキシブル配線板の折り曲げ方の他の例を説明する側面図
【図６】上記フレキシブル配線板をコネクタに接続する例を説明する側面図
【図７】従来の液晶表示装置の構成展開図
【図８】従来のフレキシブル配線板の側面図および上面図
【図９】従来の液晶表示装置の側面図および組立図
【図１０】従来のフレキシブル配線板の他の例を示す側面図および上面図
【図１１】従来の液晶表示装置の側面図および組立図
【符号の説明】
１ａ、１ｂ・・・ガラス基板
１ｃ      ・・・実装領域
２        ・・・信号配線群
３        ・・・電源配線
４        ・・・信号電極
５        ・・・走査電極
６        ・・・信号電極駆動ＩＣ
７        ・・・走査電極駆動ＩＣ
９        ・・・液晶表示パネル
１０      ・・・プリント配線基板
１２      ・・・フレキシブル配線板
１２ａ    ・・・カバーフィルム
１２ｂ    ・・・金属層
１２ｃ    ・・・ベースフィルム
１３      ・・・コネクタ
Ｂ１，Ｂ２・・・境界部
Ｃ        ・・・形状変化の境界部
Ｈ１      ・・・金属層の幅
Ｈ２      ・・・金属層の広く形成された部分のカバーフィルム内の長さ
Ｈ３      ・・・金属層の厚み
Ｈ４      ・・・金属層の厚く形成された部分のカバーフィルム内の長さ
１０１    ・・・ガラス基板
１０２    ・・・信号配線群
１０３    ・・・電源配線
１０４    ・・・信号電極
１０５    ・・・走査電極
１０６    ・・・信号電極駆動ＩＣ
１０７    ・・・走査電極駆動ＩＣ
１０９    ・・・液晶表示パネル
１１０    ・・・プリント配線基板
Ｌ        ・・・液晶表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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