(57)【要約】【課題】    可変抵抗器の性能劣化を抑制することを目的とする。【解決手段】  抵抗体が設けられた抵抗体基板と、当該抵抗体の表面に設けられたフッ素オイル層と、前記抵抗体上を相対的に摺動する摺動子とを備え、前記フッ素オイルが末端に極性官能基を有し、かつ、前記抵抗体基板がアミン化合物存在下で用いられるものであることを特徴とする可変抵抗器。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
抵抗体が設けられた抵抗体基板と、当該抵抗体の表面に設けられたフッ素オイル層と、前記抵抗体上を相対的に摺動する摺動子とを備え、前記フッ素オイル層が、末端に極性官能基を有するフッ素オイルを含有し、かつ、前記抵抗体基板がアミン化合物存在下で用いられるものであることを特徴とする可変抵抗器。
【請求項２】
前記アミン化合物が、防錆剤であることを特徴とする請求項１に記載の可変抵抗器。
【請求項３】
前記フッ素オイル層の厚さが１μｍ以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の可変抵抗器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、可変抵抗器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車のポテンショメータ等に利用される摺動式の電気接点等には可変抵抗器が用いられている。従来から、自動車におけるポテンショメータ等の摺動部品においては、設置されるエンジン付近の温度が１００〜１２０℃程度に容易に上昇するので、エンジン付近は使用環境として苛酷な環境である。
可変抵抗器は、抵抗体が設けられた抵抗体基板と、前記抵抗体上を摺動する摺動子とを備えている。抵抗体は導電体を含んでおり、摺動子は抵抗体上を相対的に摺動する。この様に摺動子が抵抗体上を相対的に移動することにより、両者に接続された回路の電気抵抗値の変動から摺動子に接続された物体の位置検出を行うことができる。
なお、この様な抵抗体は通常バインダ樹脂とカーボン等の導電体とを含む材料を硬化して形成されている。バインダ樹脂としては、耐摩耗性があること、及び可変抵抗器の使用環境等の点から、耐熱性が良好なポリイミド樹脂、フェノール樹脂等が用いられる。
また、摺動子をスムーズに摺動させるため、抵抗体の、摺動子との接触面にはフッ素オイルからなるオイル層が設けられているのが通常である（例えば特許文献１等）。
【特許文献１】特開平１１−２６０６０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、本発明者の検討により、従来の可変抵抗器は使用環境等によっては抵抗体が劣化し、可変抵抗器の性能が劣化することがわかった。
【０００４】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、可変抵抗器の性能劣化を抑制することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するために、本発明の可変抵抗器は、抵抗体が設けられた抵抗体基板と、当該抵抗体の表面に設けられたフッ素オイル層と、前記抵抗体上を相対的に摺動する摺動子とを備え、前記フッ素オイル層が、末端に極性官能基を有するフッ素オイルを含有し、かつ、前記抵抗体基板がアミン化合物存在下で用いられるものであることを特徴とする。
当該構成により、可変抵抗器の性能劣化を防ぐことができる。
また、前記アミン化合物は、防錆剤として用いられることがある物質である。
本発明者の検討によれば、特にアミン化合物を含む防錆剤が存在する環境下で可変抵抗器を使用すると、その劣化が進行しやすいが、本発明を適用することにより、この様な状況下においても可変抵抗器の劣化を抑制できる。
また、前記フッ素オイル層の厚さが１μｍ以上であることが好ましい。
これにより、さらに可変抵抗器の性能劣化を防ぐことができる。
なお、以下、分子量とはゲルパーミェーションクロマトグラフィーによるポリスチレン換算の重量（質量）平均分子量を示す。
【発明の効果】
【０００６】
本発明においては、可変抵抗器の性能劣化を抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
［可変抵抗器］
可変抵抗器は、抵抗体が設けられた抵抗体基板と、当該抵抗体の表面に設けられたフッ素オイル層と、前記抵抗体上を相対的に摺動する摺動子とを備え、前記フッ素オイル層が、末端に極性官能基を有するフッ素オイルを含有するものであれば、特にその構成を限定するものではない。また、その用途も、アミン化合物存在下で用いられるものであれば、特に限定するものではない。
可変抵抗器としては、例えば上記特許文献１に記載のもの等を例示することができる。なお、ここで、相対的に摺動するとは、抵抗体基板と摺動子のどちらか一方あるいは両方が移動することを示す。
【０００８】
・抵抗体基板
抵抗体基板は、例えばフェノール積層基板、ガラス入りエポキシ基板、成形樹脂基板、あるいはセラミックス基板（好ましくはセラミックス基板）の上に、通常適当な溶剤に溶解したバインダ樹脂中にカーボンブラック等の導電体を分散するとともに、必要に応じてさらに溶剤を加えてなる抵抗体ペーストを、公知のスクリーン印刷法等により、半円弧状（馬蹄形状）や細長方形状等の所定形状に形成し、必要に応じて乾燥して溶剤を除去し、焼成することにより抵抗体を形成したものである。かかる焼成とは抵抗体のバインダ樹脂を加熱により硬化させる操作をいう。これにより、バインダ樹脂が硬化し、強固な抵抗体が形成される。
【０００９】
バインダ樹脂としては、耐熱性等の付与のためにフェノール樹脂やポリイミド樹脂等が用いられる。
また、抵抗体（抵抗体ペースト）には、耐摩耗性付与等のためにカーボンファイバ、酸化ケイ素等のフィラーを配合することが好ましい。また、抵抗体（抵抗体ペースト）には、上記材料の他、消泡剤等の添加剤を加えることもできる。
【００１０】
なお、抵抗体は、例えば馬蹄形状または細長形状に形成され、前者の場合は基板に対して摺動子が回転可能に、また後者の場合は基板に対して摺動子がスライド可能に装着されることにより、回転型あるいはスライド型の可変抵抗器が得られる。通常は、抵抗体を設ける前に、基板の上に銀等の導電ペーストをスクリーン印刷等することにより、１対の電極が設けられ、当該１対の電極をつなぐ様に、馬蹄形状または細長形状等の抵抗体が設けられる。すなわち、抵抗体の長手方向両端部に電極が設けられた構成とされる。マイグレーションや硫化の問題から、抵抗体は、電極を上から覆う様に設けることが好ましい。
【００１１】
・フッ素オイル層
フッ素オイル層は、末端に極性官能基を有するフッ素オイル（フッ素系有機化合物）を用いて形成されている。
フッ素オイル層は当該末端に極性官能基を有するフッ素オイル（以下、末端官能基型フッ素オイルと称する場合がある。）を好ましくは主成分として用いていればよい。必要に応じて他のオイルや添加剤を混合することもできるが、フッ素オイル層を構成する材料中、例えば８０重量（質量）％以上が当該末端官能基型フッ素オイルであることが好ましく、１００重量（質量）％であることが最も好ましい。
【００１２】
本発明で用いる末端官能基型フッ素オイルは、例えば従来のフッ素オイルの末端のフッ化アルキル基において、ひとつ以上のフッ素原子を極性官能基で置換したものである。末端の極性官能基は、片方の末端に１つ以上存在していれば効果が得られるが、フッ素オイルの両末端に極性官能基が存在しても同様の効果が得られる。
従来のフッ素オイルは、例えば上記特許文献１等に多数提案されている。当該特許文献１には、Ｆ-（ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2Ｏ）n-ＣＦ2-ＣＦ2-Ｆなる一般式で示されるもの、Ｆ-（ＣＦＣＦ3ＣＦ2Ｏ）n-ＣＦ2-ＣＦ2-Ｆなる一般式で表されるものが開示されている。なお、これらの一般式において、ｎは１以上の整数である。よって、当該一般式において、末端のフッ素を極性官能基で置換すれば、末端官能基型フッ素オイルが得られる。
【００１３】
極性官能基は、官能基内に２つ以上の電気陰性度の異なる原子を有し、当該電気陰性度の相違により、当該官能基を構成する分子内に極性を有するものであれば特に限定するものではないが、親水性であり、アミン化合物と親和性良好（好ましくは反応可能）なものであることが好ましく、その点からハロゲン基（フッ素、塩素、臭素等）は除かれる。
【００１４】
具体的には、例えば−ＯＨで表されるアルコール性水酸基［例えば−（ＣＨ2）yＯＨで示されるヒドロキシアルキル、-ＣＨ2（ＯＣ2Ｈ4）yＯＨで示されるヒドロキシアルキルエーテル、−ＣＨ2-ＯＣＨ2-ＣＨ（ＯＨ）-ＣＨ2ＯＨで示される多価アルコール類］、ＣＯＯＨで示されるカルボキシル基、−ＮＣＯで表されるシアネート基［例えば−ＣＯＮＨ（ＣＨ2）yＮＣＯで示されるシアネート類］、−ＣＯＯＲで示されるエステル類（Ｒはアルキル基を示す。）、ピテロニル基等を例示することができるが、中でもカルボキシル基が好ましい。なお、前記ｙは１以上の整数である。
【００１５】
末端官能基型フッ素オイルとしては、例えば下記一般式[Ｉ] で示される化合物を用いることが好ましい。
Ｒ-ＣＦ2-（ＯＣ2Ｆ4）m-（ＯＣＦ2）n-ＯＣＦ2-Ｒ  ・・・［Ｉ］
（ただし、式中Ｒは極性官能基、ｍ、ｎはそれぞれ独立に１以上の整数を示す。）
【００１６】
極性官能基として好ましいものは上述の説明と同様である。当該前記一般式[Ｉ]で示される化合物の分子量は２０００以上、１００００以下とすることが好ましい。
２０００未満では、化合物の粘性が低すぎて膜の状態を保ちにくい場合がある。１００００を超える範囲では、粘性が高くなり過ぎて摺動特性に悪影響が出易いおそれがある。
また、この範囲とすることにより、単位重量当たりのオイル中の末端の極性官能基の数が確保できるので、本発明の効果の点でも好ましい。
【００１７】
フッ素オイル層は、当該末端官能基型フッ素オイルを含む材料を、抵抗体の上に塗布することにより形成することができる。フッ素オイル層の厚さは１μｍ以上、好ましくは２μｍ以上、特に好ましくは５μｍ以上とされる。この範囲とすることにより、アミノ化合物存在下で使用する可変抵抗器にあっても、より効果的に性能劣化を防ぐことができる。性能劣化抑制の点からは上限値を規定する技術的意義は乏しいが、効果の飽和の点、オイルが流れる等のハンドリングの点、コストの点等から好ましくは５０μｍ以下とされる。
【００１８】
・摺動子
摺動子としては、長期の摺動においても抵抗体と良好な接触を保ち得る貴金属性の材料が用いられ、具体的には洋白の表面に金メッキや銀メッキを施したものや、パラジューム、銀、白金あるいはニッケル等の合金を使用することができる。特に、高温で表面酸化が懸念される場合、安定した接触状態を維持するために貴金属合金を用いることが望ましい。
【００１９】
・アミン化合物
本発明者は、上述の様な可変抵抗器の性能劣化について検討したところ、可変抵抗器の抵抗体基板がアミン化合物存在下で用いられるものである場合に、性能劣化が生じることを見出した。
アミン化合物は金属部品の防錆剤等として多用されている。ここで、防錆剤とは、金属等の錆を防ぐために用いられるもので、洗浄剤を兼ねた洗浄防錆剤及び防錆効果を有する洗浄剤も含む。可変抵抗器においては、例えば抵抗体基板と摺動子が収容される金属筐体や、シャフト等の金属部品が抵抗体基板の周囲に存在している場合が多い。従来はフロン系、アルコール系等の洗浄剤が用いられていたが、最近では耐環境性、コスト等の優位性から、洗浄と防錆を１度で行うことができるアミン化合物を用いたこれらの薬剤が用いられている。
そして、この様な金属部品にアミン化合物を含む防錆剤等が用いられていると、そこからアミン化合物が昇華（特に自動車エンジン部等の高温環境下では昇華しやすい）、あるいは移動等して、摺動子に付着し、摺動子先端に移動し、抵抗体基板に至る。そして、抵抗体表面は親水性であり、従来のフッ素オイルは疎水性であるため、抵抗体表面と従来のフッ素オイル間の親和性は高くない。そのため、親水性であるアミン化合物が抵抗体に付着するとともに拡散し、抵抗体基板（抵抗体）を広範囲にわたって劣化させているのではないかと推測される。抵抗体の劣化は接触抵抗を増加させ、可変抵抗器の不良を生じる。なお、抵抗体と接触する摺動子の表面は通常金属酸化物等からなり、親水性であるため、アミン化合物が付着しやすく、これによっても抵抗体へのアミン化合物の影響が大きくなると推測される。
【００２０】
従来、可変抵抗器は、抵抗体基板が専用の筐体内に密閉して収納された状態で自動車のエンジン部等に装置されていたが、設置スペース、部品点数削減の点から、可変抵抗器の筐体を車の他の部品と共用するタイプ等も提案されている。また、筐体におさめる場合においても強度を向上させるために筐体として金属製のものを用いる場合もある。
前者の場合も後者の場合も金属製の筐体や車の金属製の部品が抵抗体基板の周囲に存在するため、防錆剤等のアミン化合物の影響による問題が生じやすい。
【００２１】
抵抗体基板の性能劣化のメカニズムは明らかではないが、抵抗体基板の抵抗体を構成するバインダ樹脂がアミン化合物によって劣化せしめられることにより、可変抵抗器の性能劣化が生じていると推測される。
抵抗体基板の抵抗体を構成するバインダ樹脂には、従来、耐熱性等が良好であることからポリイミド樹脂、フェノール樹脂等が主に用いられている。そして、特にポリイミド樹脂、フェノール樹脂は、アミン化合物によるアルカリ性環境下においては加水分解により樹脂の分解が著しく進行する。
【００２２】
これに対して、本発明においては、抵抗体の上に形成するフッ素オイル層を、末端に極性官能基を有するフッ素オイルを用いて形成しているため、当該極性官能基の作用により、フッ素オイル層と抵抗体表面との親和性が高くなり、アミン化合物が抵抗体表面に拡散しにくいのではないかと推測される。なお、本発明で用いるフッ素オイルに該当しないものは通常疎水性であり、アミン化合物との親和性が低いため、抵抗体を保護する機能が発揮されないものと推測される。
可変抵抗器においては、摺動子の先端はフッ素オイル層を介して抵抗体と接触しているが、本発明においては、フッ素オイル層がアミン化合物との親和性が高いため、摺動子から抵抗体に至るアミン化合物は拡散せず、抵抗体表面の摺動子先端付近にとどまると予想される。そして、かかるアミン化合物に接触する狭い範囲の抵抗体の表面は、摺動子が摺動する範囲であるため、摺動子の摺動により摩耗し、取り除かれ、それ以上アミン化合物が抵抗体を劣化させることはないと推測される。
【００２３】
アミン化合物は、第１級〜第２級のアミノ基を有するものであれば、いずれも可変抵抗器の抵抗体の劣化を促進するおそれがあるため、特に限定するものではないが、具体的には、例えば金属部品の防錆剤、洗浄防錆剤等に用いられているものが挙げられる。例えばモノエタノールアミン、モノメタノールアミン、モノイソプロパノールアミン等のアルコールアミン；オクチルアミン、ラウリルアミン、ミリスチルアミン、ステアリルアミン等のアルキルアミン；等の脂肪族アミン等である。なお、防錆剤は、通常アミン化合物の他、脂肪酸やその他の添加剤等により構成されている。
【００２４】
本発明は、耐環境性、コスト等の優位性を有するアミン化合物を含む防錆剤を用いても可変抵抗器の劣化を抑制できる点でも、非常に有効である。
なお、本発明において、アミン化合物存在下とは、アミン化合物の気体、液体等の性状は問わない。また、抵抗体基板が設置される雰囲気中にアミン化合物が存在していればよく、当該雰囲気とは、抵抗体基板をおさめる筐体内等の雰囲気をいう。当該筐体等とは、例えば抵抗体基板を設置する場所の周囲の雰囲気と、その外側の雰囲気とを区切るもので、用途や可変抵抗器の形態等によって、可変抵抗器専用の筐体であってもよいし、車体等であってもよい。
また、本発明の可変抵抗器の用途は特に限定せず、例えばＥＧＲセンサ、トルクセンサ、スロットルポジションセンサ、ハイトセンサ、ブレーキセンサ等に用いられる。
【実施例】
【００２５】
［可変抵抗器］
・装置構成
図１〜図７は、本実施例に用いた可変抵抗器（センサ）の構成を示したものである。
図１はセンサの断面図、図２は図１のセンサに備えられるケーシングを開口側から見た図、図３は摺動子受けに摺動子を取付けた状態を示す側面図、図４は図２のケーシングに図３の摺動子受けおよび摺動子を組み込んだ状態を示す図、図５は摺動子受けの斜視図、図６は摺動子受けに働く力を説明するための図、図７は抵抗体基板の抵抗体が設けられている面を示した平面図である。
【００２６】
本実施例のセンサ１は、外殻を形成するケーシング１１と、このケーシング１１に対して図１の左右方向へ移動可能な軸１２と、前記ケーシング１１に内蔵された基板１３と、この基板１３上に図６に示す様に設けられた摺動子１４と、この摺動子１４を保持する摺動子受け１５と、軸１２の軸線より偏心して配置され、該摺動子受け１５に対してばね力を付与する戻しばね１６と、基板１３に接続された外部端子１７とを備えている。
【００２７】
前記ケーシング１１では、一端（図１の左端部）に設けられた軸孔１１ａに前記軸１２が挿入され、他端（図１の右端部）に設けられた開口１１ｂにカバー１８が取り付けられている。このケーシング１１は、図２に示すように、軸１２の軸線と平行な方向に延設された一対のガイド溝１９、２０を備えている。前記摺動子受け１５は、図３または図５に示すように突起体２１、２２、２３、２４を備え、これらを先のガイド溝１９、２０に沿って移動自在に挿入してケーシング１１に挿入されている。
なお、後述する様に、本実施例においては、ケース１１、軸１２、カバー１８は、ポリフェニルスルフィド製とした。しかし、現在提案されている可変抵抗器では、これらを、強度向上等の点から、アルミやステンレス等の金属から形成する場合もある。また、筐体として機能するケース１１、カバー１８を、強度向上、部品数削減、省スペース化の点から、自動車等に用いられる他の部品と共有にして、例えばステンレスやアルミ合金製としたものもある。この様な場合は、これら金属製の部材に用いられるアミン系の防錆剤が、可変抵抗器の劣化を引き起こすと考えられる。
【００２８】
このセンサにおいて、基板１３の上面に図６、図７に示すように抵抗体３１が形成され、この抵抗体３１の上にはフッ素オイル層３２が形成されている。
基板１３には、図７に示す様に、細長長方形の抵抗体３１と、これと同形状の集電体４１とが並列されて設けられている。
抵抗体３１の両端部には銀を含む材料からなる１対の電極３３、３４が設けられており、これら電極３３、３４を覆うとともに、これら電極３３、３４をつなぐ様に、抵抗体３１が設けられている。抵抗体３１の上には上述の様にフッ素オイル層３２が設けられている。
【００２９】
一方、集電体４１は銀を含む材料から形成されている。
集電体４１の上には、抵抗体３１と同様の材料からなるごく薄い保護膜４３を介して前記フッ素オイル層３２と同様のフッ素オイル層４２が設けられている。
抵抗体３１の片端からは、銀からなる配線パターン５１がのびており、その先端には接続端子５１ａが設けられている。
集電体４１の片端においても、銀からなる配線パターン５２がのびており、その先端には接続端子５２ａが設けられている。
また、抵抗体３１の他端からも、銀からなる配線パターン５３がのびており、その先端に接続端子５３ａが設けられている。
これら配線パターン５１、５２、５３の上には、それぞれ抵抗体と同様の材料からなるごく薄い保護膜５１ｂ、５２ｂ、５３ｂが設けられている。
【００３０】
かかる抵抗体基板は、以下の様にして製造する。
すなわち、まず基板１３の上に、バインダ樹脂と銀粒子を含む銀ペーストを用いて、集電体４１、配線パターン５１、５２、５３を形成し、その上にカーボンブラック、バインダ樹脂、カーボンファイバーを含む抵抗体ペーストを用いて、抵抗体３１を形成するとともに、集電体４１の上に、保護膜４３を形成する。また、保護膜５１ｂ、５２ｂ、５３ｂも同時に形成する。最後に接続端子５１ａ、５２ａ、５３ａを設ける。
【００３１】
当該センサ１にあっては、摺動子１４が抵抗体３１に対して往復摺動し、摺動時の摺動子１４の位置に応じて集電体４１と抵抗体３１に接続された回路で電気抵抗、換言すると、一対の電極３３、３４間に定電圧を印加し、集電体４１から得られる電圧値を測定することで摺動子１４が備えられた軸１２の位置が検出され、位置検出センサとして機能する。
また、このセンサ１において、戻しバネ１６が図６の左方向へ押圧する第１の力Ｆ1と、軸１２が図６の右方向へ押圧する第２の力Ｆ2とブラシ１４が図６の上方へ第３の力Ｆ3とが摺動子受け１５に対して働く結果として回動力Ｆａが作用し、摺動子受け１５は軸１２の一端１２ａを支点として図６の反時計方向に回動しようとするが、突起体２１、２２、２３、２４がガイド溝１９、２０に案内されるので、摺動子受け１５は摺動子１４の先端部をフッ素オイル層３２を介して抵抗体３１に押し付けつつ図６の左右方向に摺動することができる。
また、図７に示す様に、集電体４１の上にもフッ素オイル層４２が設けられているので、当該フッ素オイル層４２によっても集電体４１が保護される。
【００３２】
［試験方法］
・試験１：高温放置試験
オイルの種類による抵抗値の変化を測定した。すなわち図１、図４に示す様に、基板１３の下方に、基板１３や摺動子１４に触れない様に、ケース１１内の全空間２ｍｌに対して、5μｌの洗浄防錆剤Ｐを滴下した。そして、摺動子１４を動かさずに、８５℃の温度条件下に放置し、時間毎に、測定電流１ｍＡにて接触抵抗を測定した。
詳細な条件は下記の通りである。
また、結果を表１、及び図８に示した。
【００３３】
フッ素オイル層の形成：厚さ２５μｍになる様に、図７に示す様に、抵抗体３１の上全体、及び集電体４１の上全体に塗布した。
フッ素オイルの種類：比較例においては、オイルＡを用いた。オイルＡは、上記特許文献１に記載のものと同様の、末端に極性官能基のない、パーフルオロポリエーテル(分子量１００００)である（製品名  Ｚドール、アウジモント社製）。
実施例例においては、オイルＢを用いた。オイルＢは、両末端のＲがヒドロキシアルキル基である化合物（分子量２０００）を用いた（製品名  ＨＦ−３０、ダウコーニング社製）。
【００３４】
基板１３：セラミック製基板を用いた。
抵抗体ペースト：ポリイミド樹脂、カーボンブラック、カーボンファイバを溶剤を用いて調整した。
ケース１１、軸１２、カバー１８：ポリフェニルスルフィド製とした。
摺動子１４：先端をAg、Pd、Cu等からなる合金で形成し、ベースをリン青銅板としたクラッド材を用いた。
防錆剤：アミン系洗浄防錆剤であって、有機アミン(メタノールアミン、エタノールアミン、モノイソプロパノールアミン等)と脂肪酸(オクタン酸等)の混合物（製品名  デタージェント８８、（株）ネオス社製）
【００３５】
【表１】
2005150141.tif 000002
【００３６】
表１、図８に示す結果から明らかな様に、末端に極性官能基を有するフッ素オイル（オイルＢ）を用いてフッ素オイル層を形成することにより、末端に極性官能基を有しないフッ素オイル（オイルＡ）を用いた比較例と比べて、高温放置時の接触抵抗値が著しく安定であることが確認できた。
【００３７】
・試験２：作動耐久試験
フッ素オイル層の厚さによる抵抗値の変化を測定した。
すなわち、フッ素オイルとして、上記オイルＢを使用し、抵抗体３１と集電体４１の上に設けるフッ素オイル層３２、４２の厚さをそれぞれ０．５〜５０μｍの範囲で変化させた他は、試験１と同様にして、可変抵抗器をそれぞれ製造した。
ついで、防錆剤不存在下で、摺動子１４を摺動させる動作を２００万回行った後、試験１と同様にして接触抵抗を測定した。
さらに、上記試験１と同様にして防錆剤をケース１１内に滴下した後、８５℃、７２時間放置し、同様にして接触抵抗を測定した。
結果を表２、及び図９（横軸対数のグラフ）に示した。
【００３８】
【表２】
2005150141.tif 000003
【００３９】
表２、図９の結果より、フッ素オイル層３２の厚さが好ましい１μｍ以上であると、接触抵抗の増加が著しく少なくなることが確認できた。また、特に２μｍ以上では、接触抵抗の値が非常に小さい値に保たれていた。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】実施例に用いたセンサの断面図である。
【図２】図１のセンサに備えられるケーシングを開口側から見た図である。
【図３】図１のセンサの摺動子受けに摺動子を取付けた状態を示す側面図である。
【図４】図２のケーシングに図３の摺動子受けおよび摺動子を組み込んだ状態を示す図である。
【図５】図１のセンサの摺動子受けの斜視図である。
【図６】図１のセンサの摺動子受けに働く力を説明するための図である。
【図７】図１のセンサにおいて、抵抗体基板の抵抗体が設けられている面を示した平面図である。
【図８】実施例の結果を示したグラフである。
【図９】実施例の結果を示したグラフである。
【符号の説明】
【００４１】
１３・・・基板、１４・・・摺動子、３１・・・抵抗体、３２・・・フッ素オイル層
【図１】
2005150141.tif 000004
【図２】
2005150141.tif 000005
【図３】
2005150141.tif 000006
【図４】
2005150141.tif 000007
【図５】
2005150141.tif 000008
【図６】
2005150141.tif 000009
【図７】
2005150141.tif 000010
【図８】
2005150141.tif 000011
【図９】
2005150141.tif 000012