(57)【要約】【課題】高価な画像濃度測定装置を用いることなく、複数の発光素子を備えた露光光源の各発光素子の出力光量を精度良く補正することができる光量補正装置及び光量補正方法を提供する。また、露光光源の出力光量を精度良く補正して、感光材料を露光する際に露光ムラの発生を防止することができる露光装置を提供する。【解決手段】使用する感光材料の感度特性に応じて演算された補正データを用いて有機ＥＬ素子の各発光部の光量を補正するので、精度良く光量補正を行うことができる。また、各画素の濃度が一致するように演算された補正データを用いて各発光部の光量を補正するので、露光濃度を均一化することができ、露光ムラの発生を防止することができる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の発光素子が主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイの各発光素子の出力光量を測定する光量測定手段と、
測定した出力光量と露光する感光材料の感度特性とから計算される画像濃度に基づいて、各発光素子の前記画像濃度が略同じになるように、前記出力光量を補正するための補正量を演算する補正量演算手段と、
演算した補正量に基づいて前記出力光量を補正する光量補正手段と、
を備えた光量補正装置。
【請求項２】
前記光量測定手段は、各発光素子の配列ピッチより高い分解能で各発光素子の出力光量を測定する請求項1に記載の光量補正装置。
【請求項３】
前記光量測定手段は、主走査方向に配列された複数の発光素子を順次走査して各発光素子の出力光量を測定する請求項1又は２に記載の光量補正装置。
【請求項４】
前記光量測定手段が主走査方向に順次走査する際に、該走査に同期して複数の発光素子を順次点灯させる請求項1又は２に記載の光量補正装置。
【請求項５】
前記光量測定手段は、主走査方向に配列された複数の発光素子の全部又は一部を点灯させて、点灯させた発光素子の出力光量を同時に測定する請求項1又は２に記載の光量補正装置。
【請求項６】
前記補正量演算手段は、各発光素子の前記画像濃度が計算された最小の画像濃度と略同じになるように補正量を演算する請求項1乃至５のいずれか１項に記載の光量補正装置。
【請求項７】
複数の発光素子が主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイの各発光素子の出力光量を測定し、測定した出力光量と露光する感光材料の感度特性とから計算される画像濃度に基づいて、各発光素子の前記画像濃度が略同じになるように、前記出力光量を補正するための補正量を演算し、演算した補正量に基づいて前記出力光量を補正する光量補正方法。
【請求項８】
複数の発光素子が主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイを備えた露光装置であって、
前記発光素子アレイの各発光素子の出力光量を測定する光量測定手段と、
測定した出力光量と露光する感光材料の感度特性とから計算される画像濃度に基づいて、各発光素子の前記画像濃度が略同じになるように、前記出力光量を補正するための補正量を演算する補正量演算手段と、
演算した補正量に基づいて前記出力光量を補正する光量補正手段と、
を備えた露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光量補正装置、光量補正方法、及び露光装置に係り、複数の発光素子を備えた露光光源の出力光量を発光素子毎に補正する光量補正装置及び光量補正方法と、複数の発光素子を備えた露光光源の出力光量を発光素子毎に補正して感光材料を露光する露光装置と、に関する。
【背景技術】
【０００２】
蛍光性の有機物質を発光層に用いた有機電界発光素子は、有機ＥＬ素子と称され、他の発光素子に比べて製造が容易であり、薄型かつ軽量の発光素子が構成できる等の利点により、従来、薄型ディスプレイ用素子として研究開発が進められてきた。近年では、発光輝度、発光効率、耐久性等の点でも発光ダイオード（ＬＥＤ）に匹敵する高性能の有機ＥＬ素子が得られていることから、ハロゲン化銀感光体等の感光体を露光する露光装置への応用が検討されている。
【０００３】
有機ＥＬ素子を用いた露光装置としては、例えば、図１１に示すように、赤色（Ｒ）緑色（Ｇ）青色（Ｂ）各色に発光する発光部８０を各色毎に主走査方向に複数配列して形成された素子列をＲＧＢ３色１組として副走査方向に複数組（図１１では２組）並べたものが使用される。なお、図１１では、ＲＧＢ各色の発光部８０を区別するために符号末尾に対応する色を示すアルファベット（Ｒ／Ｇ／Ｂ）を付して示している。
【０００４】
多数の発光部を備えた有機ＥＬ素子に限らず、多数の発光素子を搭載した露光ヘッドでは、製造上の問題から各発光素子の光量がばらつき、露光ムラが発生するという問題がある。
【０００５】
この問題を解決するために、各発光素子の発光強度分布を測定し、測定した分布を基準発光強度値でスライスして各発光素子毎に発光強度幅を計算し、各発光素子の発光強度幅が各々等しくなるように駆動エネルギーの補正値を設定する発光強度補正方法が提案されている（特許文献１）。
【０００６】
また、感光材料に記録されたベタ画像（パッチ画像）の濃度分布を測定し、濃度値を一定にするような各発光素子の補正データを求め、それぞれの発光素子の出力光量を補正する技術も提案されている（特許文献２）。
【特許文献１】特開平８−１４２４０６号公報
【特許文献２】特開平１０−８１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、ハロゲン化銀感光材料のような連続階調感材では得られた画像の濃度分布が連続になるため、各発光素子の発光強度幅を等しくしても露光ムラを防止することができないという問題がある。また、ベタ画像での濃度値が一定になるように補正すれば、連続階調感材でも露光ムラを防止することができるが、微細画像の濃度分布の測定は高精度で実施しなければならず、非常に高価な測定装置が必要になりコストの高騰を招くという問題がある。
【０００８】
本発明は、上記問題を解決すべく成されたものであり、本発明の目的は、高価な画像濃度測定装置を用いることなく、複数の発光素子を備えた露光光源の各発光素子の出力光量を精度良く補正することができる光量補正装置及び光量補正方法を提供することにある。また、本発明の他の目的は、露光光源の出力光量を精度良く補正して、感光材料を露光する際に露光ムラの発生を防止することができる露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために本発明の光量補正装置は、複数の発光素子が主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイの各発光素子の出力光量を測定する光量測定手段と、測定した出力光量と露光する感光材料の感度特性とから計算される画像濃度に基づいて、各発光素子の前記画像濃度が略同じになるように、前記出力光量を補正するための補正量を演算する補正量演算手段と、演算した補正量に基づいて前記出力光量を補正する光量補正手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１０】
本発明の光量補正装置は、複数の発光素子が主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイの各発光素子の出力光量を補正するものである。光量測定手段が、発光素子アレイの各発光素子の出力光量を測定する。補正量演算手段は、光量測定手段で測定した出力光量と露光する感光材料の感度特性とから計算される画像濃度に基づいて、各発光素子の前記画像濃度が略同じになるように、出力光量を補正するための補正量を演算する。そして、光量補正手段は、演算した補正量に基づいて前記出力光量を補正する。
【００１１】
このように、本発明では、使用する感光材料の感度特性に応じて演算された補正量を用いて光量を補正するので、各発光素子の出力光量を精度良く補正することができる。また、光量測定手段で測定した出力光量と露光する感光材料の感度特性とから計算される画像濃度を使用するので、高価で大掛かりな濃度測定装置が不要である。
【００１２】
上記の光量補正装置では、光量測定手段は、各発光素子の配列ピッチより高い分解能で各発光素子の出力光量を測定することが好ましい。１画素を複数の領域に分けて光量分布を測定することができ、更に測定精度が向上する。
【００１３】
また、光量測定手段は、主走査方向に配列された複数の発光素子を順次走査して各発光素子の出力光量を測定するように構成することができる。光量測定手段が主走査方向に順次走査する際には、隣接する発光素子からの光量を低減するため、走査に同期して複数の発光素子を順次点灯させることが好ましい。
【００１４】
更に、光量測定手段は、主走査方向に配列された複数の発光素子の全部又は一部を点灯させて、点灯させた発光素子の出力光量を同時に測定するように構成することができる。複数の発光素子の出力光量を同時に測定する場合には、装置構成が簡単になる。この場合は、隣接する発光素子からの光量を低減するため、一部の発光素子を点灯させる間引き点灯を行うことが好ましい。
【００１５】
上記の光量補正装置では、補正量演算手段は、各発光素子の画像濃度が計算された最小の画像濃度と略同じになるように補正量を演算することが好ましい。
【００１６】
本発明の光量補正方法は、複数の発光素子が主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイの各発光素子の出力光量を測定し、測定した出力光量と露光する感光材料の感度特性とから計算される画像濃度に基づいて、各発光素子の前記画像濃度が略同じになるように、前記出力光量を補正するための補正量を演算し、演算した補正量に基づいて前記出力光量を補正することを特徴としている。
【００１７】
本発明の露光装置は、複数の発光素子が主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイを備えた露光装置であって、前記発光素子アレイの各発光素子の出力光量を測定する光量測定手段と、測定した出力光量と露光する感光材料の感度特性とから計算される画像濃度に基づいて、各発光素子の前記画像濃度が略同じになるように、前記出力光量を補正するための補正量を演算する補正量演算手段と、演算した補正量に基づいて前記出力光量を補正する光量補正手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１８】
本発明の露光装置は、複数の発光素子が主走査方向に沿って複数個配列された素子列が前記副走査方向に複数配列された発光素子アレイを備えている。光量測定手段が、この発光素子アレイの各発光素子の出力光量を測定し、補正量演算手段は、光量測定手段で測定した出力光量と露光する感光材料の感度特性とから計算される画像濃度に基づいて、各発光素子の前記画像濃度が略同じになるように、出力光量を補正するための補正量を演算する。そして、光量補正手段は、演算した補正量に基づいて前記出力光量を補正する。
【００１９】
上記の光量補正装置と同様に、本発明では、使用する感光材料の感度特性に応じて演算された補正量を用いて光量を補正するので、各発光素子の出力光量を精度良く補正することができる。従って、感光材料を露光する際に、露光濃度を均一化することができ、露光ムラの発生を防止することができる。また、光量測定手段で測定した出力光量と露光する感光材料の感度特性とから計算される画像濃度を使用するので、高価で大掛かりな濃度測定装置が不要である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、高価な画像濃度測定装置を用いることなく、複数の発光素子を備えた露光光源の各発光素子の出力光量を精度良く補正することができ、感光材料を露光する際に露光ムラの発生を防止することができる、という効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
［第１の実施の形態］
図１に示すように、本実施の形態に係る露光装置は、透明基板１０と、透明基板１０上に蒸着により形成された有機ＥＬ素子２０と、有機ＥＬ素子２０の発光光を集光して感光材料４０に照射するセルフォックレンズアレイ（以下、「ＳＬＡ」という）３０と、透明基板１０やＳＬＡ３０を支持する支持体５０と、を備えた露光ヘッド１００を備えている。
【００２２】
有機ＥＬ素子２０は、透明基板１０上に、透明陽極２１、発光層を含む有機化合物層２２、金属陰極２３が順次積層されて形成されている。発光層を含む有機化合物層２２の材料を適宜選択することで所望の色の発光光を得ることができ、透明基板１０上には、赤色（Ｒ）光を発光する発光部２０Ｒ、緑色（Ｇ）光を発光する発光部２０Ｇ、及び青色（Ｂ）光を発光する発光部２０Ｂが、後述する所定のパターンで形成されている。なお、有機ＥＬ素子の場合は、各発光部が本発明の「発光素子」に相当する。
【００２３】
この有機ＥＬ素子２０は、例えば、図１に示すステンレス製缶等の封止部材６０により覆われている。封止部材６０の縁部と透明基板１０とは接着されて、乾燥窒素ガスで置換された封止部材６０内に有機ＥＬ素子２０が封止されている。この有機ＥＬ素子２０の透明陽極２１と金属陰極２３との間に所定電圧が印加されると、有機化合物層２２に含まれる発光層が発光し、発光光が透明陽極２１及び透明基板１０を介して取り出される。なお、有機ＥＬ素子２０は、波長安定性に優れる特性がある。
【００２４】
透明基板１０は、発光光に対して透明な基板であり、ガラス基板、プラスチック基板等を用いることができる。また、透明基板１０には、一般的な基板特性として、耐熱性、寸法安定性、耐溶剤性、電気絶縁性、加工性、低通気性、低吸湿性等が要求される。
【００２５】
透明陽極２１は、４００ｎｍ〜７００ｎｍの可視光の波長領域において、少なくとも５０パーセント以上、好ましくは７０パーセント以上の光透過率を有するものが好ましい。透明陽極２１を構成するための材料としては、酸化錫、酸化錫インジウム（ＩＴＯ）、酸化亜鉛インジウムなどの透明電極材料として公知の化合物のほか、金や白金など仕事関数が大きい金属からなる薄膜を用いてもよい。また、ポリアニリン、ポリチオフェン、ポリピロールまたはこれらの誘導体などの有機化合物でもよい。透明導電膜については、沢田豊監修「透明導電膜の新展開」シーエムシー刊（１９９９年）に詳細に記載されており、本発明に適用することができる。また、透明陽極２１は、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などにより、透明基板１０上に形成することができる。
【００２６】
有機化合物層２２は、発光層のみからなる単層構造であってもよいし、発光層の外に、ホール注入層、ホール輸送層、電子注入層、電子輸送層等のその他の層を適宜有する積層構造であってもよい。有機化合物層２２の具体的な構成（電極を含む）としては、陽極／ホール注入層／ホール輸送層／発光層／電子輸送層／陰極、陽極／発光層／電子輸送層／陰極、陽極／ホール輸送層／発光層／電子輸送層／陰極などが挙げられる。また、発光層、ホール輸送層、ホール注入層、電子注入層を複数設けてもよい。
【００２７】
有機化合物層２２の各層は、透明電極２１側の層から低分子系の各有機材料を蒸着によって順次薄膜形成して積層させることで形成することができる。この際、蒸着マスクを用いることで、簡単にパターンニングすることができる。
【００２８】
金属陰極２３は、仕事関数の低いＬｉ、Ｋなどのアルカリ金属、Ｍｇ、Ｃａなどのアルカリ土類金属、及びこれらの金属とＡｇやＡｌなどとの合金や混合物等の金属材料から形成されるのが好ましい。陰極における保存安定性と電子注入性とを両立させるために、上記材料で形成した電極を仕事関数が大きく導電性の高いＡｇ、Ａｌ、Ａｕなどで更に被覆してもよい。なお、金属陰極２３も透明陽極２１と同様に、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法などの公知の方法で形成することができる。
【００２９】
ＳＬＡ３０は、複数のセルフォックレンズ３１で構成されている。セルフォックレンズ３１は、断面の半径方向に屈折率分布をもつ棒状の厚肉レンズである。セルフォックレンズ３１に入射された光は、光軸に対して正弦波状に蛇行しながら進行し、感光材料４０表面上で結像して露光スポット７０を結ぶように感光材料４０に向けて出力される。
【００３０】
また、露光スポットを絞り、光学的クロストークを抑制するために、このセルフォックレンズ３１の開口部は有機ＥＬ素子２０の各発光部の発光領域よりも大きく形成され、且つ隣り合うセルフォックレンズ３１同士は互いに接するように配列されてされている。なお、セルフォックレンズ３１は発光部と１対１で対応するように設けてもよいし、副走査方向に並んだ１組の発光部２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂに１つ又は２つというように、個々のセルフォックレンズ３１が複数の発光部に対応するように設けてもよい。
【００３１】
次に、有機ＥＬ素子２０の各発光部の配置について説明する。図２に示すように、透明基板１０上には、発光部２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂが形成されている。より詳しくは、複数の発光部２０Ｒが主走査方向に所定間隔ずつ隔てて配列された発光部列Ｒが、副走査方向に１列配列されている。同様に、複数の発光部２０Ｇを主走査方向に所定間隔ずつ隔てて配列した発光部列Ｇが、副走査方向に１列配列され、複数の発光部２０Ｂを主走査方向に所定間隔ずつ隔てて配列した発光部列Ｂが、副走査方向に１列配列されている。なお、各色の発光部列を複数列ずつ配列してもよい。有機ＥＬ素子はＲ色の発光強度が小さいという特性を有しているので、発光部列Ｒの列数を多くすることが好ましい。
【００３２】
次に、有機ＥＬ素子２０の駆動回路等について説明する。図３に示すように、本実施の形態に係る露光装置は、有機ＥＬ素子２０の複数の発光部の各々を独立に駆動（パッシブ駆動）する駆動回路８０、該駆動回路８０の動作を制御する制御装置８２、及び有機ＥＬ素子２０の各発光部の光量を補正するための補正データを記憶した光量補正データ記憶装置８４を備えている。有機ＥＬ素子２０の透明電極２１と金属電極２３の両電極は駆動回路８０に接続され、この駆動回路８０は制御装置８２及び光量補正データ記憶装置８４に接続されている。
【００３３】
駆動回路８０は、両電極間に電圧を印加する電源（図示せず）及びトランジスタやサイリスタで構成されたスイッチング素子（図示せず）を含んで構成されており、制御装置８２から入力された画像データに基づいて駆動信号を生成し、複数の発光部の各々を駆動している。
【００３４】
光量補正データ記憶装置８４は、後述する通り、露光ヘッド１００の露光面での光強度分布（以下「光量分布」ともいう。）を測定し、該光強度分布に基づいて補正データを生成する光量補正データ生成装置８６に接続されている。そして、光量補正データ記憶装置８４は、光量補正データ生成装置８６から入力された補正データを予め記憶しておき、画像データ入力時等の所定のタイミングで補正データを駆動回路８０に供給する。
【００３５】
光量補正データ生成装置８６は、露光装置に内蔵されていてもよく、露光装置とは別体として構成され、露光装置に接続されていてもよい。露光装置に内蔵する場合は、光量測定時には測定位置に挿入可能に且つ露光時には退避可能に取り付けられていることが好ましい。
【００３６】
以上の通り構成された露光装置では、制御装置８２から画像データが入力されると共に、光量補正データ記憶装置８４から補正データが入力される。駆動回路８０は入力された画像データに基づいて駆動信号を生成し、補正データに基づきこれを補正して、有機ＥＬ素子２０の各発光部（２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂ）の各々を駆動する。これにより、各発光部は補正された出力光量で発光し、各発光部からの発光光は、ＳＬＡ３０により集光されて、感光材料４０の同一位置が露光され、露光スポット７０が形成される。また、この露光装置が、感光材料４０に対して副走査方向に相対移動されることで、感光材料４０が走査露光される。
【００３７】
図４に示すように、光量補正データ生成装置８６は、露光ヘッド１００の光強度分布を測定するセンサ８８と、該センサ８８から入力された計測データに基づいて光量補正データを演算する演算処理部９０とで構成されている。演算処理部９０は、光量補正データ記憶装置８４に接続されている。センサ８８は、移動ステージ９１上に矢印Ａ方向（露光ヘッドの主走査方向）に沿って移動可能に保持されている。また、露光ヘッド１００は、保持部材（図示せず）によって所定位置に保持されている。そして、センサ８８は、その受光面が露光ヘッド１００の光出力面に対向すると共にＳＬＡ３０の結像面（感光材料保持位置）に位置するように配置されている。
【００３８】
センサ８８は、図５（Ａ）に示すように、フォトディテクタ９２とその受光面に取り付けられた遮光部材９４とで構成されている。フォトディテクタ９２としては、光電子倍増管等の高感度なフォトディテクタを使用することが好ましい。遮光部材９４には、露光ヘッド１００の主走査方向（図では、ＳＬＡ３０のレンズ配列方向）と直交する方向に延びたスリット９６が設けられている。このスリット９６の幅は発光部のピッチより狭くなるように構成されている。
【００３９】
各発光部は露光画素に対応して設けられているが、スリット９６の幅を発光部のピッチより狭くすることで、図６に示すように、１画素を複数の領域に分けて光強度分布を測定することができる。これにより、素子形状（発光部の形状）の相違、レンズの屈折率のばらつき、レンズの位置ずれ等が問題とならず、光強度分布を正確に測定することができる。
【００４０】
以上の通り構成された光量補正データ生成装置８６では、センサ８８が、移動ステージ９１上を矢印Ａ方向に等速で移動しながら受光面に入射した光を検出し、光電変換により受光量に応じた電気信号を生成して、計測データとして演算処理部９０に出力する。演算処理部９０は、この計測データに基づいて有機ＥＬ素子２０の各発光部の光量を補正するための補正データを演算し、演算した補正データを光量補正データ記憶装置８４に出力する。
【００４１】
以上のようにセンサ８８による走査を行う場合には、センサ８８の移動に同期して有機ＥＬ素子２０の各発光部を点灯させる同期点灯を行うことが好ましい。センサ８８がその測定範囲に到達したときだけ発光部を点灯させて測定を行うことで、隣接する発光部からの光の影響を抑制して測定精度を向上させることができる。
【００４２】
なお、受光面にスリットに代えてピンホールを設け、センサ８８を２次元方向に移動させることで、光強度の２次元分布を測定することもできる。また、センサ８８に代えて図５（Ｂ）に示すＣＣＤ９８を配置してもよい。ＣＣＤ９８は、その受光面がＳＬＡ３０の結像面に一致するように配置する。ＣＣＤ９８は矢印Ａ方向の幅より小さい距離だけ移動した後に光量を測定し、移動と測定とを繰り返しながら、露光ヘッド１００全体の光量分布を測定する。この場合、ＣＣＤ９８の移動ピッチを小さくすることが好ましい。光量分布測定範囲のオーバラップが大きくなり、同一位置の多重測定を行うことができる。これにより、ＣＣＤ９８のシェーディングむらを抑制して測定誤差を小さくすることができる。
【００４３】
次に、補正データの演算方法について説明する。 図７に、本実施の形態で使用する感光材料４０の感度特性を示す。感度特性とは、画像濃度の露光エネルギー依存性を意味する。図７に示す感光材料はハロゲン化銀カラー感光材料（以下、「カラーペーパ」ともいう。）であり、立ち上がり感度が低く、所定の露光エネルギーで飽和濃度に達する外は、画像濃度が露光エネルギーの対数ｌｏｇ（Ｅ）に対し直線的に増加するという感度特性を示す。従って、図６に示す光量分布に、図７に示す感度特性を掛け合わせることで、図８に示す濃度分布を得ることができる。
【００４４】
即ち、ｎ個の露光画素に対応してｎ個の発光部が設けられている場合、光量分布の計測値から下記式に従って演算を行い、ｎ番目の画素の濃度Ａｎを求めることができる。図８では、画素の濃度Ａｎは各ピークの面積に相当する。
【００４５】
【数１】
2005125594.tif 000002
【００４６】
式（１）中、Ｄn（ｘ）はｎ番目の画素の濃度分布、Ｅn（ｘ）はｎ番目の画素の露光量分布、Ｐn（ｘ）はｎ番目の画素の光量分布、ｔnはｎ番目の画素の露光時間である。
【００４７】
ここで、感光材料の感度特性は下記式で表される。
【００４８】
【数２】
2005125594.tif 000003
【００４９】
なお、上記式（１）では、各画素の濃度分布Ｄn（ｘ）を積分してｎ番目の画素の濃度Ａｎを求めているが、下記式に示すように、画素毎に測定ピッチΔｘと分割領域での濃度Ｄ（ｘ）の積の総和を求めてもよい。測定ピッチとは、上述のスリットスキャンの場合の測定周期（スリット幅）、又はＣＣＤの移動ピッチである。
【００５０】
【数３】
2005125594.tif 000004
【００５１】
また、下記式（２）で表す通り、画像濃度Ａ1〜Ａnの内で最小の濃度値となる画素の濃度を最小濃度Ａminとする。
【００５２】
【数４】
2005125594.tif 000005
【００５３】
例えば、ｎ個の画素の濃度を最小濃度Ａminに一致させるように、各発光部の光量を補正する場合について考える。ｎ番目の発光部の光量の補正係数をαnとすると、下記式（３）が成立する。
【００５４】
【数５】
2005125594.tif 000006
【００５５】
上記式（３）から補正係数αnを演算し、求めた補正係数αnに基づいてｎ番目の発光部の光量がαnＰnとなるように、供給する駆動電圧又は駆動電流を調整するための補正データを演算する。
【００５６】
なお、ｎ個の画素の濃度を最小濃度Ａminに一致させるように、各発光部の発光時間（露光時間）を補正してもよい。ｎ番目の発光部の露光時間の補正係数をβnとすると、下記式（４）が成立する。
【００５７】
【数６】
2005125594.tif 000007
【００５８】
上記式（４）から補正係数βnを演算し、求めた補正係数βnに基づいてｎ番目の発光部の露光時間がβnｔnとなるように、駆動パルス幅又は駆動パルス数を調整するための補正データを演算する。
【００５９】
以上説明した通り、本実施の形態の露光装置では、使用する感光材料の感度特性に応じて演算された補正データを用いて有機ＥＬ素子の各発光部の光量を補正するので、精度良く光量補正を行うことができる。また、各画素の濃度が一致するように演算された補正データを用いて各発光部の光量を補正するので、露光濃度を均一化することができ、露光ムラの発生を防止することができる。
【００６０】
特に、本実施の形態では、露光濃度を実際に測定せずに、露光ヘッドの光量分布と感光材料の感度特性とから濃度分布を推定し、推定した濃度分布に基づいて補正データを演算するので、高価で大掛かりな濃度測定装置が不要であり、装置のコストダウンとコンパクト化とを図ることができる。
【００６１】
また、本実施の形態では、露光ヘッドの光量分布を測定する際にも、センサの受光面に発光部のピッチより狭い幅のスリットを設け、１画素を複数の領域に分けて光量分布を測定しているので、精度良く光量分布を測定することができる。
【００６２】
［第２の実施の形態］
本実施の形態に係る露光装置は、光量補正データ生成装置の光強度分布をラインＣＣＤにより測定することとした以外は、第１の実施の形態に係る露光装置と同じ構成であるため、同一部分には同じ符号を付して説明を省略する。
【００６３】
図９に示すように、光量補正データ生成装置８６は、露光ヘッド１００の光強度分布を測定するラインＣＣＤ１０２と、該ラインＣＣＤ１０２から入力された計測データに基づいて光量補正データを演算する演算処理部９０とで構成されている。露光ヘッド１００は、保持部材（図示せず）によって所定位置に保持されている。ラインＣＣＤ１０２は、露光ヘッド１００の光出力面全体を測定可能な受光面を備え、その受光面が露光ヘッド１００の光出力面に対向すると共にＳＬＡ３０の結像面に位置するように配置されている。また、ラインＣＣＤ１０２には、多数の受光素子が露光ヘッド１００の主走査方向に沿って配列されており、各受光素子は発光部のピッチより狭い素子ピッチで配列されている。
【００６４】
以上の通り構成された光量補正データ生成装置８６では、ラインＣＣＤ１０２がその受光面に入射した光を検出し、計測データを演算処理部９６に出力する。演算処理部９６は、この計測データに基づいて補正データを演算し、演算した補正データを光量補正データ記憶装置８４に出力する。補正データの演算方法は、第１の実施の形態と同様である。
【００６５】
ラインＣＣＤ１０２で露光ヘッド１００の光強度分布を測定する場合には、有機ＥＬ素子２０の発光部を一括点灯すると、図１０（Ａ）に示すように、各発光部のプロファイルを分離することができず、隣接する発光部からの光が検出され、発光部毎の光量を正確に測定することができない。従って、図１０（Ｂ）及び（Ｃ）に示すように、ｍ個おき（ｍは１以上の整数）に発光部を点灯させる間引き点灯を実施することが好ましい。間引き点灯の場合は、全部の発光部の光量を測定するために、位相をずらして複数回測定を実施する。この場合、各発光部のプロファイルの裾引きが十分小さくなる範囲を最低範囲として、発光部ピッチのｍ倍までを測定範囲とすることができる。但し、測定範囲のうち発光部ピッチの範囲での計測データを対応する発光部の光量補正に使用する。
【００６６】
以上説明した通り、本実施の形態の露光装置では、高価で大掛かりな濃度測定装置等を用いることなく、使用する感光材料の感度特性に応じて演算された補正データを用いて有機ＥＬ素子の各発光部の光量を補正するので、安価で且つ精度良く光量補正を行うことができる。また、各画素の濃度が一致するように演算された補正データを用いて各発光部の光量を補正するので、露光濃度を均一化することができ、露光ムラの発生を防止することができる。
【００６７】
また、本実施の形態では、露光ヘッドの光量分布を測定する際に、露光ヘッドの光出力面全体を一度で測定可能な受光面を備えたラインＣＣＤを用いているので、ラインＣＣＤを移動させる必要がなく、装置構成が簡単になる。また、発光部のピッチより狭い素子ピッチのラインＣＣＤを用いているので、１画素を複数の領域に分けて光量分布を測定することができ、精度良く光量分布を測定することができる。
【００６８】
上記実施の形態では、多数の発光部をアレイ状に配列した有機ＥＬ素子を用いる例について説明したが、発光素子アレイはこれに限定されるものではない。例えば、無機ＥＬ素子、ＬＥＤアレイ、面発光レーザアレイ等の光量補正にも本発明を適用することができる。また、ＰＬＺＴシャッターアレイ、液晶シャッターアレイ等の空間光変調素子を利用した露光装置の画素毎の光量補正にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の実施の形態に係る露光装置の構成を示す断面図である。
【図２】有機ＥＬ素子の発光部の形成パターンを示す平面図である。
【図３】光量補正を実施するための構成を示すブロック図である。
【図４】光量補正データ生成装置の構成を示すブロック図である。
【図５】（Ａ）及び（Ｂ）は、露光ヘッドの光強度分布を測定する測定部の構成を示す斜視図である。
【図６】露光ヘッドの光強度分布（光量分布）を表すグラフである。
【図７】感光材料の感度特性を表すグラフである。
【図８】演算で求めた各画素の濃度分布を表すグラフである。
【図９】光量補正データ生成装置の他の構成を示すブロック図である。
【図１０】（Ａ）は一括点灯での光プロファイルを表す概念図であり、（Ｂ）及び（Ｃ）は間引き点灯での光プロファイルを表す概念図である。
【図１１】従来の露光装置の透明基板上に形成された有機ＥＬ素子の配列を示す概略的な正面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０ 透明基板
２０  有機ＥＬ素子
２０Ｒ、２０Ｇ、２０Ｂ 発光部
２１ 透明陽極
２２ 有機化合物層
２３ 金属陰極
３０ ＳＬＡ
３１ セルフォックレンズ
４０ 感光材料
８０  駆動回路
８２  制御装置
８４  光量補正データ記憶装置
８６  光量補正データ生成装置
８８  センサ
９０  演算処理部
９１  移動ステージ
９２  フォトディテクタ
９４  遮光部材
９６  スリット
９８  ＣＣＤ
１００  露光ヘッド
１０２  ラインＣＣＤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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