(57)【要約】【課題】      種々の編集作業、異物取り、良品および不良品の判定等の処理を一貫して行うことができる半導体装置用テープキャリアの編集装置を提供する。【解決手段】  ＴＡＢテープを送出するＴＡＢテープ送出リール１０から、ＴＡＢテープを巻き取るＴＡＢテープ巻取りリール５０までの間に、ＴＡＢテープ６の切除、切り分け等を行う編集部２と、ＴＡＢテープ６の表面および裏面の異物を除去する異物取り部３と、ＴＡＢテープ６の良品および不良品のカウントを行う画像処理部４とを設ける。【選択図】    図１
2005093959.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置用テープキャリアを送出する送出部と、
前記半導体装置用テープキャリアの切除、切り分け等の編集処理、前記半導体装置用テープキャリアの表面および裏面の異物除去、前記半導体装置用テープキャリアの長さ計測、および前記半導体装置用テープキャリアの良品および不良品のカウントのうち少なくとも２つの処理を行う処理部と、
前記半導体装置用テープキャリアを巻き取る巻取り部とを備えることを特徴とする半導体装置用テープキャリアの編集装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記編集処理と前記カウントを行うことを特徴とする請求項１記載の半導体装置用テープキャリアの編集装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記編集処理、前記異物除去、前記長さ計測および前記カウントを行うことを特徴とする請求項１記載の半導体装置用テープキャリアの編集装置。
【請求項４】
半導体装置用テープキャリアを送出し、
送出された前記半導体装置用テープキャリアの切除、切り分け等の編集処理、前記半導体装置用テープキャリアの表面および裏面の異物除去、前記半導体装置用テープキャリアの長さ計測、および前記半導体装置用テープキャリアの良品および不良品のカウントのうち少なくとも２つの処理を自動的に行い、
前記少なくとも２つの処理を行った前記半導体装置用テープキャリアを巻き取ることを特徴とする半導体装置用テープキャリアの編集方法。
【請求項５】
前記少なくとも２つの処理は、前記編集処理と前記カウントを行うことを特徴とする請求項４記載の半導体装置用テープキャリアの編集方法。
【請求項６】
前記少なくとも２つの処理は、前記編集処理、前記異物除去、前記長さ計測および前記カウントを行うことを特徴とする請求項４記載の半導体装置用テープキャリアの編集方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＡＢ（Tape  Automated  Bonding）テープ、ＢＧＡ(Ball  Grid  Array)テープ、ＣＳＰ（Chip  Size  Package）テープ、ＡＳＩＣ（Application  Specific  Integrared  Circuit）テープ等の半導体装置用テープキャリアの編集装置および編集方法に関し、特に、種々の編集作業、異物取り、良品および不良品の判定等の処理を一貫して行うことができる半導体装置用テープキャリアの編集装置および編集方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＴＡＢテープ編集装置により、ＴＡＢテープを巻き付けているリールからＴＡＢテープを送り出して不良個所を検出し、不良個所にマーキングすることが行われている（例えば特許文献１参照。）。
【０００３】
図２は、特許文献１に記載された従来のＴＡＢテープ編集装置の概念図を示す。この従来のＴＡＢテープ編集装置は、ＴＡＢテープ１０６がスペーサ１０７とともに巻き取られたＴＡＢテープ送出リール１１０と、ＴＡＢテープ１０６とスペーサ１０７とを巻き取るＴＡＢテープ巻取りリール１５０と、ＴＡＢテープの編集作業、ＴＡＢテープ上の異物取り等の各処理のうちいずれか１つの処理を行う処理部１２０と、ＴＡＢテープ１０６およびスペーサ１０７の移動走行を案内するローラ１００Ａ〜１００Ｄとを備える。
【０００４】
このＴＡＢテープ編集装置のＴＡＢテープ送出リール１１０から送出されたＴＡＢテープ１０６は、ＴＡＢテープ１０６の編集、ＴＡＢテープ１０６の異物取り、目視による製品長さのカウント、不良数のカウント等のいずれか１つの処理が処理部１２０で行われる。処理が終わったＴＡＢテープ１０６は、スペーサ１０７とともにＴＡＢテープ巻取りリール１５０に巻き取られる。巻き取られたＴＡＢテープ１０６は、次に図２に示すようなＴＡＢテープ編集装置を用いて別の処理が行われる。
【特許文献１】特開２００２−７６０６９号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、このような従来のＴＡＢテープ編集装置によれば、１つの処理が１回のＴＡＢテープの送り出し、巻取りによってなされるため、１つの処理を行う度にＴＡＢテープの送り出し、巻取りが行われるので、作業効率が悪くなり、また、ＴＡＢテープに異物が付着するおそれがある。さらに、不良数のカウントを目視により行うため、読み取り誤差がある。また、手動によりＴＡＢテープの送り出しあるいは巻取りが行われるため、張力が均一にかからないため、ＴＡＢテープが変形するおそれがある。
【０００６】
従って、本発明の目的は、種々の編集作業、異物取り、良品および不良品の判定等の処理を一貫して行うことができる半導体装置用テープキャリアの編集装置および編集方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記の目的を達成するため、半導体装置用テープキャリアを送出する送出部と、前記半導体装置用テープキャリアの切除、切り分け等の編集処理、前記半導体装置用テープキャリアの表面および裏面の異物除去、前記半導体装置用テープキャリアの長さ計測および前記半導体装置用テープキャリアの良品および不良品のカウントのうち少なくとも２つの処理を行う処理部と、前記半導体装置用テープキャリアを巻き取る巻取り部とを備えることを特徴とする半導体装置用テープキャリアの編集装置を提供する。
【０００８】
本発明は、上記の目的を達成するため、半導体装置用テープキャリアを送出し、送出された前記半導体装置用テープキャリアの切除、切り分け等の編集処理、前記半導体装置用テープキャリアの表面および裏面の異物除去、前記半導体装置用テープキャリアの長さ計測および前記半導体装置用テープキャリアの良品および不良品のカウントのうち少なくとも２つの処理を自動的に行い、前記少なくとも２つの処理を行った前記半導体装置用テープキャリアを巻き取ることを特徴とする半導体装置用テープキャリアの編集方法を提供する。
【０００９】
この構成によれば、半導体装置用テープキャリアを送出するテープキャリア送出部から半導体装置用テープキャリアを巻き取るテープキャリア巻取り部までの間で半導体装置用テープキャリアの切除、切り分け等の編集処理、半導体装置用テープキャリアの異物取りおよび半導体装置用テープキャリアの長さ計測が行われる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の半導体装置用テープキャリアの編集装置および編集方法によれば、半導体装置用テープキャリアを送出するテープキャリア送出部から半導体装置用テープキャリアを巻き取るテープキャリア巻取り部までの間で半導体装置用テープキャリアの切除、切り分け等の編集処理、半導体装置用テープキャリアの異物除去、前記半導体装置用テープキャリアの長さ計測および前記半導体装置用テープキャリアの良品および不良品のカウントが行われるため、種々の編集作業、異物取り、良品および不良品の判定等の処理を一貫して行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
図１は、本発明の実施の形態に係る半導体装置用テープキャリアの編集装置を示す。このＴＡＢテープ編集装置は、半導体装置用テープキャリアとしてのＴＡＢテープ６を送出するＴＡＢテープ送出部１と、ＴＡＢテープ６の切除、切り分け等を行う編集部２と、ＴＡＢテープ６の表面および裏面の異物を除去する異物取り部３と、ＴＡＢテープ６の良品および不良品のカウントをセンサを用いて行う画像処理部４と、ＴＡＢテープ６を巻き取るＴＡＢテープ巻取り部５とを備える。
【００１２】
ＴＡＢテープ送出部１は、ＴＡＢテープ６を送出するＴＡＢテープ送出リール１０と、ＴＡＢテープ６同士が直接接触しないようにするためのスペーサ７を巻き取るスペーサ巻取りリール１１と、ＴＡＢテープ６を送り出す搬送ロール１２を備える。
【００１３】
編集部２は、ＴＡＢテープ６の切除や切り分けを行うテープ編集部２０と、編集のための各種設定や操作を行うための編集操作ボックス２１と、編集のための各種設定や操作を画像に表示する編集指示用パーソナルコンピュータ２２と、必要に応じてリードテープ２３を送出するリードテープリール２４とを備える。
【００１４】
異物取り部３は、移動走行するＴＡＢテープ６の表面および裏面に存在するゴミ、ホコリ等の異物を除去する異物取りロール３０とＴＡＢテープ６を搬送する際に発生する静電気を除去するための、図示しない除電器とを備える。このとき、ＴＡＢテープ６は、異物取りロール用駆動ロール３１による駆動力と異物取りロール用ブレーキロール３２の制動力により所定の張力に保たれる。なお、除電器は、ＴＡＢテープ送出部１からＴＡＢテープ巻取り部５までのＴＡＢテープ６の搬送過程において各所に設置される。
【００１５】
スプロケット３３は、異物取りロール用駆動ロール３１に隣接して設けられ、スプロケットの回転に同期してパルスを発生するパルス発生部を有し、そのパルスを検出して長さを検出できるようになっている。
【００１６】
ＴＡＢテープ巻取り部５は、編集されたＴＡＢテープ６を巻き取るＴＡＢテープ巻取りリール５０と、巻き取ったＴＡＢテープ６が直接接触しないようにするためにスペーサ７を送り出すスペーサ送出リール５１と、スペーサ７に張力を与えるための低張力制御部５２および高張力制御部５３と、ＴＡＢテープ６をＴＡＢテープ巻取りリール５０に送る搬送ロール５４とを備える。このとき、スペーサ７は、高張力制御部５３および低張力制御部５２により所定の張力が付与され、スペーサ７とともにＴＡＢテープ６がＴＡＢテープ巻取りリール５０に巻き取られる。このとき、スペーサ７は、ＴＡＢテープ６を押さえ込むようにＴＡＢテープ巻取りリール５０に巻き取られるため、ＴＡＢテープが一定の巻取り姿勢で巻き取られる。
【００１７】
このＴＡＢテープ編集装置は、以下のように動作する。ＴＡＢテープ６は、図示しない駆動源に駆動信号が入力されたときに、図１に示すように、ＴＡＢテープ送出リール１０からスペーサ７を分離しながら引き出され、編集部２に送られる。ＴＡＢテープ６は、編集部２のテープ編集部２０の前方の編集側駆動ロール２５による駆動力とテープ編集部２０の手前に設けられた編集側ブレーキロール２６の制動力とにより所定の張力に保たれる。編集作業でリードテープ２３が必要であればリードテープリール２４からリードテープ２３がテープ編集部２０に送られる。オペレータが、編集指示用パーソナルコンピュータ２２の画面を見ながら編集操作ボックス２１に対して操作を行うことにより、テープ編集部２０は、ＴＡＢテープ６の切除、切り分け等の編集を行う。
【００１８】
このようにして編集されたＴＡＢテープ６は、異物取り部３を通過し、ＴＡＢテープ６の表面および裏面に存在するゴミ、ホコリ等の異物が除去される。このとき、ＴＡＢテープ６は、異物取りロール用駆動ロール３１による駆動力と異物取りロール用ブレーキロール３２の制動力により所定の張力に保たれる。
【００１９】
画像処理部４は、異物が除去されたＴＡＢテープ６について、センサを用いて良品および不良品を判定し、スプロケット３３の回転により良品および不良品のカウントを行う。カウントが終了したＴＡＢテープ６は、スペーサ送出リール５１から送り出されるスペーサ７とともにＴＡＢテープ巻取りリール５０に巻き取られる。このとき、スペーサ７は、低張力制御部５２あるいは高張力制御部５３により適度の張力が付与される。
【００２０】
本発明の実施の形態によれば、各編集操作を、１つの装置で行うこととするため、各操作を行う前にＴＡＢテープの巻取りを行う必要がないので、作業効率がよくなる。また、ＴＡＢテープに異物が付着するおそれが低下する。さらに、不良数のカウントを自動により行うので、読み取り誤差が減少する。また、自動によりＴＡＢテープの送り出しあるいは巻取りが行われるため、張力が均一にかかるのでＴＡＢテープが変形しない。
【００２１】
なお、上記の実施の形態では、半導体装置用テープキャリアとして、ＴＡＢテープの場合について説明したが、ＴＡＢテープ以外にＢＧＡテープ、ＣＳＰテープ、ＡＳＩＣテープなどの電子部品実装用フィルムキャリアテープに適用することができる。また、半導体装置用テープキャリアの編集装置による編集作業の前の工程において、ＴＡＢテープに関する情報（マッピングデータ）を収集しておき、その情報に基づいて編集を行ってもよい。また、良品および不良品のカウントは、スプロケット３３の回転により行うのではなく、パーフォーレーションを検出するセンサを用いてもよい。また、上記した全ての処理（編集処理、異物除去、長さ計測、良品および不良品のカウント）が全て必要ではなく、必要に応じていくつかの処理、例えば、異物取り部を省略してもよく、あるいは、異物取り部３と編集部２との入れ替えを行う等、処理順序を変更してもよい。また、高張力制御部または低張力制御部のうち、いずれか一方を選択してもよい。また、手動により手でブレーキを利かせながらＴＡＢテープやスペーサに張力を付与してもよい。また、良品および不良品の判定を画像処理を用いずにセンサのみを用いて行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態に係る半導体装置用テープキャリアの編集装置を示す図である。
【図２】従来の半導体装置用テープキャリアの編集装置の概念図である。
【符号の説明】
【００２３】
１  テープ送出部
２  編集部
３  異物取り部
４  画像処理部
５  ＴＡＢテープ巻取り部
６  ＴＡＢテープ
７  スペーサ
１０  ＴＡＢテープ送出リール
１１  スペーサ巻取りリール
１２  搬送ロール
２０  テープ編集部
２１  編集操作ボックス
２２  編集指示用パーソナルコンピュータ
２３  リードテープ
２４  リードテープリール
２５  編集側駆動ロール
２６  編集側ブレーキロール
３０  異物取りロール
３１  異物取りロール用駆動ロール
３２  異物取りロール用ブレーキロール
３３  スプロケット
５０  ＴＡＢテープ巻取りリール
５１  スペーサ送出リール
５２  低張力制御部
５３  高張力制御部
５４  搬送ロール
１００  テープ送出リール
１００Ａ  案内ローラ
１０６  ＴＡＢテープ
１０７  スペーサ
１１０  ＴＡＢテープ送出リール
１２０  処理部
１５０  ＴＡＢテープ巻取りリール
【図１】
2005093959.tif 000003
【図２】
2005093959.tif 000004