(57)【要約】【課題】ランニングコストが小さく、被乾燥体全面に均一に乾燥が可能で、小型化が可能な乾燥機用ユニットを提供する。【解決手段】乾燥用空気が供給される空気室５を形成する上壁板２として、空気噴出穴９，９’が所定間隔でもって多数形成されるとともに被乾燥体Ｗを浮上支持可能な支持用板材を用い、且つこの支持用板材の前記空気室５側の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材７を配置した。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
乾燥用空気が供給される空気室を形成する所定の壁面部材として、空気噴出穴が所定間隔でもって多数形成されるとともに被乾燥体を浮上支持可能な支持用板材を用い、且つこの支持用板材の前記空気室側の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材を配置したことを特徴とする乾燥機用ユニット。
【請求項２】
支持用板材の外表面に、少なくとも一端部が支持用板材の外周縁部に開口される複数の空気案内溝を形成した
ことを特徴とする請求項１記載の乾燥機用ユニット。
【請求項３】
請求項１または２記載の乾燥機用ユニットを上下１対、支持用板材が互いに対向するように水平方向または傾斜方向に配置するとともに、前記乾燥機用ユニット間に被乾燥体が浮上状態で通過可能な乾燥空間を形成し、
前記下部の乾燥機用ユニットにより浮上された被乾燥体の両側縁部にそれぞれ接触して所定方向に被乾燥体を案内する案内部材と、前記案内部材を駆動して被乾燥体を移動させる移動装置とを配置した
ことを特徴とする乾燥装置。
【請求項４】
請求項１または２記載の乾燥機用ユニットを左右一対、支持用板材が互いに対向するように鉛直方向に配置するとともに、乾燥機用ユニット間に被乾燥体が支持用板材から離間状態で通過可能な乾燥空間を形成し、
前記左右の乾燥機用ユニットにより支持用板材から離間された被乾燥体の下側縁部に案内部材を接触させて被乾燥体を所定方向に移動させる移動装置を配置した
ことを特徴とする乾燥装置。
【請求項５】
被乾燥体の移動方向に、一対の乾燥機用ユニットからなる組ユニットを複数個配置し、
前記組ユニットのうち、被乾燥体の出口に配置される組ユニットに、乾燥用空気として冷却空気を供給するとともに、残りの組ユニットに乾燥用空気として加熱空気を供給するように構成した
ことを特徴とする請求項３または４記載の乾燥装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板などの板状体や帯状体を乾燥させる乾燥機用ユニットおよび乾燥装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス基板などを乾燥する装置として、エアナイフを用いた乾燥方法が特許文献１に提案されている。これはエアナイフの直前にスリット状リンス液シャワー４を設置することで、エアナイフ乾燥時にガラス基板表面を一様に濡れて水玉を防ぐものである。
【特許文献１】特開平８−２３６４２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来の乾燥装置では、１）多量で高圧のエアが必要でランニングコストが高いこと、２）エアナイフ乾燥では、水分を乾燥させるというよりも、表面に付着した水分を吹き飛ばすところに重点があり、乾燥効率が低いこと、３）エアナイフでは、飛散させた水滴が被乾燥体に再付着するため、完全な乾燥が困難で、特に端部や縁部まで乾燥が難しいこと、４）エアが高圧で高速であるため、設置室内、すなわちクリーンルーム内の空気の流れを乱すため、大型のカバーが必要で、装置が大型化することなどの問題があった。
【０００４】
そこで、本発明はランニングコストが小さく、被乾燥体全面に均一に乾燥が可能で、小型化が可能な乾燥機用ユニットおよび乾燥装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の請求項１の乾燥機用ユニットは、乾燥用空気が供給される空気室を形成する所定の壁面部材として、空気噴出穴が所定間隔でもって多数形成されるとともに被乾燥体を浮上支持可能な支持用板材を用い、且つこの支持用板財の前記空気室側の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材を配置したものである。
【０００６】
請求項２記載の乾燥機用ユニットは、支持用板材の外表面に、少なくとも一端部が支持用板材の外周縁部に開口される複数の空気案内溝を形成したものである。
請求項３記載の乾燥装置は、請求項１または２記載の乾燥機用ユニットを上下１対、支持用板材が互いに対向するように水平方向または傾斜方向に配置するとともに、前記乾燥機用ユニット間に被乾燥体が浮上状態で通過可能な乾燥空間を形成し、前記下部の乾燥機用ユニットにより浮上された被乾燥体の両側縁部にそれぞれ接触して所定方向に被乾燥体を案内する案内部材と、前記案内部材を駆動して被乾燥体を移動させる移動装置とを配置したものである。
【０００７】
請求項４記載の乾燥装置は、請求項１または２記載の乾燥機用ユニットを左右一対、支持用板材が互いに対向するように鉛直方向に配置するとともに、乾燥機用ユニット間に被乾燥体が支持用板材から離間状態で通過可能な乾燥空間を形成し、前記左右の乾燥機用ユニットにより支持用板材から離間された被乾燥体の下側縁部に案内部材を接触させて被乾燥体を所定方向に移動させる移動装置を配置したものである。
【０００８】
請求項５記載の乾燥装置は、被乾燥体の移動方向に、一対の乾燥機用ユニットからなる組ユニットを複数個配置し、前記組ユニットのうち、被乾燥体の出口に配置される組ユニットに、乾燥用空気として冷却空気を供給するとともに、残りの組ユニットに乾燥用空気として加熱空気を供給するように構成したものである。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１記載の乾燥機用ユニットによれば、多数の空気噴出穴から乾燥用空気を噴出させて被乾燥体を浮上させるとともに、被乾燥体の水分を分離乾燥する。したがって、乾燥用空気はエアナイフのように高速・高圧でなくともよいため、ランニングコストを低減することができ、また水滴を周辺に飛散させることがほとんどなく、水滴が被乾燥体に再付着することもないため、被乾燥体全面を隅々まで均一に完全に乾燥することができる。
【００１０】
請求項２記載の乾燥機用ユニットによれば、支持用板材の外表面に空気案内溝を形成したので、被乾燥体の水分を同伴した乾燥用空気を速やかに支持用板材の外周部に案内して排出し被乾燥体の乾燥を促進させることができる。
【００１１】
請求項３記載の乾燥装置によれば、上下一対の乾燥機用ユニット間の乾燥空間に多数の空気噴出穴から乾燥用空気を噴出させて被乾燥体を浮上させるとともに移動装置により移動させ、乾燥用空気により被乾燥体の水分を分離乾燥するように構成したので、乾燥用空気はエアナイフのように高速・高圧でなくともよくランニングコストを低減することができる。また水滴が飛散することがほとんどなく、また水滴が被乾燥体に再付着することもないため、被乾燥体を隅々まで均一に乾燥することができる。さらに乾燥機用ユニットを傾斜させた場合には、分離された水滴を下方に効率良く案内して排出することができ、乾燥をスムーズに行うことができる。
【００１２】
請求項４記載の乾燥装置によれば、左右一対の乾燥機用ユニット間の乾燥空間に多数の空気噴出穴から乾燥用空気を噴出させて被乾燥体を支持用板材から離間させるとともに移動装置により移動させ、乾燥用空気により被乾燥体の水分を分離乾燥するように構成したので、乾燥用空気はエアナイフのように高速・高圧でなくともよくランニングコストを低減することができる。また水滴が飛散することがほとんどなく、また再付着することもないため、被乾燥体を隅々まで完全に乾燥することができる。さらにまた、乾燥機用ユニットを鉛直方向とすることで、被乾燥体から分離した水滴を重力により空気案内溝を介して下方に案内し、排出することができるので、乾燥を効果的に行うことができる。
【００１３】
請求項５記載の乾燥装置によれば、水切りや乾燥、冷却を行う複数の組ユニットを、洗浄された被乾燥体を効果的に乾燥することができ、出口で冷却空気により乾燥することで、次の工程に送り出して乾燥工程から連続した作業を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態に係る乾燥機用ユニットおよびこの乾燥機用ユニットを用いた乾燥装置を、図面に基づき説明する。
まず、乾燥機用ユニットについて説明するが、このユニットは、洗浄後などのガラス基板やシリコンウェハなどの板状または帯状の被乾燥体Ｗを支持する支持面（または載置面）から乾燥用空気を噴出させることにより、当該支持面上に載置された被乾燥体Ｗを空中に浮上させて乾燥させるものである。
【００１５】
図１〜図３に示すように、この乾燥機用ユニット１は、平面視が矩形状にされるとともに、上壁板（支持用板材）２、下壁板３およびこれら両壁板２，３の周縁部間に配置されたスペーサ４により、内部に所定高さの空気室５が形成された箱状体６と、上記上壁板２の空気室５側の内表面に配置された（例えば、貼着された）空気分散部材７と、上記下壁板３の中央に形成された空気供給口３ａから所定圧力でもって乾燥用空気を供給するための空気供給機（図示しないが、例えば送風機が用いられる）とから構成されている。なお、両壁板２，３およびスペーサ４は、ボルト・ナット８により一体化される。
【００１６】
そして、上記上壁板（所定の壁面部材であり、より具体的には支持用板材でもある）２としては、被浮上物を支持し得る強度を発揮し得る厚さで且つ小径［板厚の１／２程度以上の穴径で（プレス加工可能な径であればよい、プレス加工を用いることにより安価に製作し得る）、例えば、１〜１０ｍｍ程度］の空気噴出穴９が所定間隔（例えば、穴径の２〜５倍程度が好ましい）でもって正格子あるいは千鳥状に多数形成された金属板が用いられるとともに（例えば、アルミ製、ステンレス製または鋼製のパンチングメタルが用いられるが、場合によっては、ポリテトラフルオロエチレン、ポリアミド（ナイロン）などの合成樹脂を用いてもよい）、空気分散部材７としては、例えば微細な孔が無数に形成された多孔質（多孔性）の樹脂板（多孔質材料の一例で、例えばポリテトラフルオロエチレン、ポリビニルアルコールなど）が用いられる。
【００１７】
上壁板２の外表面には、空気噴出穴９，９’の他、乾燥用空気と被乾燥体Ｗから分離された水分を案内する複数の空気案内溝２０が形成されている。これら空気案内溝２０は、上壁板２に千鳥状に形成された空気噴出穴９の幅方向（図左右方向）の列について一列毎に平行に形成され、空気案内溝２０の両端部が上壁板２の左右側縁部に開口されている。
【００１８】
上記構成において、空気供給口３ａより、空気室５内に所定圧力の乾燥用空気を供給すれば、乾燥用空気は空気分散部材７内に形成された無数の孔を通過して、表面全体から均一に且つ少量ずつ噴出する。そして、空気案内溝２０以外で開口された空気噴出穴９から噴出された乾燥用空気は、被乾燥体Ｗに衝突して主に浮上力を与えるとともに、被乾燥体Ｗの裏面に付着した水分を分離乾燥させつつ外周側に分散送風される。また一部が空気案内溝２０に合流される。また、これら空気案内溝２０の底部の空気噴出穴９’から噴出された乾燥用空気は、被乾燥体Ｗに衝突して浮上力を与えるとともに、空気案内溝２０に案内されて左方または右方に送られることで、被乾燥体Ｗの裏面の水分を分離同伴して上壁板２の外方に排出し、効果的に乾燥させることができる。浮上した被乾燥体Ｗは、例えば人手、または他の移動装置にて、容易に移動させることができる。
【００１９】
なお、被乾燥体Ｗが存在しない空気噴出穴９，９’からの空気の逃げを少なくして、被乾燥体Ｗの下方に位置する空気噴出穴９，９’からも充分な空気量を噴出させるためには、多孔質材料における空気抵抗は大きい方が良いが、あまり大きくすると供給する空気圧力も高くなるため、無闇に大きくすることはできない。そこで、多孔質の樹脂板である空気分散部材７による空気抵抗ΔＰ（空気噴出穴９から噴出される空気圧力Ｐ１と、空気室５に供給される空気圧力Ｐ０との差に等しい）の上限について説明しておくと、被乾燥体Ｗの接地面圧の１０倍以下の範囲であれば、効率的にはそれ程問題は生じない。
【００２０】
上記乾燥ユニット１の構成によると、多数の空気噴出穴９，９’から乾燥用空気を噴出させて被乾燥体Ｗを上壁板２上に浮上させるとともに、被乾燥体Ｗの水分を分離乾燥する。したがって、乾燥用空気はエアナイフのように高速・高圧でなくともよいため、ランニングコストを低減することができ、また水滴が飛散することがほとんどなく、再付着することもないため、被乾燥体Ｗを隅々まで均一に乾燥することができる。
【００２１】
さらにまた、上壁板２の外表面に空気案内溝２０を形成したので、被乾燥体Ｗの水分を同伴した乾燥用空気を速やかに上壁板２の外周部に案内して排出し被乾燥体Ｗの乾燥を促進させることができる。
【００２２】
また被乾燥体Ｗが載置される上壁板２として、小径の穴が所定間隔でもって多数形成され且つ所定厚さの金属板を用いているので、被乾燥体Ｗがガラス板などのように比較的重たくまた広い面積（大面積）を有するものであっても、充分に支持することができ、したがって被乾燥体Ｗを支持する支持面（載置面）での平面度を確保することができる。また上壁板２の内表面に、多孔質材料よりなる空気分散部材７を配置したので、乾燥用空気を上壁板２全体に亘って均一に且つ少量ずつ噴出させることができ、したがってクリーンルーム内でガラス板を浮上乾燥させる際に、従来のように塵埃を巻上げる心配がなくなるとともに、被乾燥体Ｗから外れた空気噴出穴９を介して空気が逃げて浮上力および乾燥効果が不足するような心配はない。また、空気分散部材７として多孔質材料を用いたので、わざわざ微細で且つ多数の孔を形成するものに比べて、安価なものが得られる。
【００２３】
さらに空気分散部材７は、被乾燥体Ｗを直接支持することはないので、多孔質の樹脂板を用いた場合でも、その表面の平面度を精度良く維持する必要がないとともに、強度についてもそれ程要求されないため、さらに言えば、広い一枚ものではなく、狭いものを並べて用いることもできるため、安価に且つ容易に製造することができる。
【００２４】
なお、空気分散部材７として樹脂製の板材を説明したが、例えばセラミック製、ガラス製、金属製の多孔質材料を用いてもよく、その他、通気の機能が発揮し得る繊維材料（例えば布または紙など）を使用してもよい。
【００２５】
ところで、上記実施の形態においては、箱状体として、上壁体２と下壁体３との間にスペーサ４を挟むものを説明したが、例えば上壁体の周囲にスペーサに相当するフランジ部を一体的に形成（突設）したものであってもよい。
【００２６】
次に図４〜図９を参照して空気案内溝の他の形成パターンを説明する。
空気案内溝の第２パターンは、図４に示すように、上壁板２の表面に千鳥状に形成された空気噴出穴９，９’の幅方向（図左右方向）の列で前後の端部を除いて、一列毎に横断方向に形成された第１空気案内溝２１と、上壁板２の前側縁部から２列目の各空気噴出穴９”から前方に形成されて前側縁部に開口する第２空気案内溝２２とが形成されている。また図示しないが、上壁板２の後側縁部から２列目の各空気噴出穴から後方に形成されて後側縁部に開口する第２空気案内溝が形成されている。第２空気案内溝２２の底部の空気噴出穴９”から噴出された乾燥用空気は、被乾燥体Ｗに衝突して浮上力を与えるとともに、第２空気案内溝２２に案内されて前方（または後方）に送られることで、被乾燥体Ｗの裏面の水分を分離同伴して上壁板２の外方に排出し効果的に乾燥させる。
【００２７】
したがって、洗浄後で多量の水分を含む被乾燥体Ｗを、上壁板２の前部（入口）［および後部（出口）］とで水分を効果的に排出することができ、被乾燥体Ｗをさらに良好に乾燥することができる。
【００２８】
空気案内溝の第３パターンは、図５に示すように、上壁板２の表面に正格子状に形成された前後の空気噴出穴９の列の中間位置に、幅方向に沿う第３空気案内溝２３が形成され、これら第３空気案内溝２３の両端部は、上壁板２の左右側縁部にそれぞれ開口されている。
【００２９】
したがって、空気噴出穴９から噴出された乾燥用空気は、被乾燥体Ｗに衝突して主に浮上力を与えるとともに、被乾燥体Ｗの裏面に付着した水分を同伴した乾燥用空気の大部分が第３空気案内溝２３に流入されて速やかに排出される。これにより乾燥が促進される。
【００３０】
空気案内溝の第４パターンは、図６に示すように、上壁板２の表面に正格子状に形成された空気噴出穴９，９’の幅方向（図左右方向）の列で三列毎に、空気噴出穴９上を横断する幅方向の第４空気案内溝２４と、空気噴出穴９，９’の幅方向（図左右方向）の列で三列毎に、空気噴出穴９，９’間の中間位置に横断方向に形成された第５空気案内溝２５とが形成され、これら第４および第５空気案内溝２４，２５の両端部は、それぞれ上壁板２の左右側縁部にそれぞれ開口されている。
【００３１】
したがって、空気噴出穴９’から第４空気案内溝２４を介して噴出された乾燥用空気は、被乾燥体Ｗに衝突して浮上力を与えるとともに、被乾燥体Ｗの裏面に付着した水分を分離乾燥し、水分を同伴した乾燥用空気が第４空気案内溝２４に沿って上壁板５の外方に速やかに排出される。また空気噴出穴９から噴出された乾燥用空気は、被乾燥体Ｗに衝突して浮上力を与えるとともに、被乾燥体Ｗの裏面に付着した水分を分離乾燥し、水分を同伴した乾燥用空気の一部が第５空気案内溝２５に沿って上壁板５の外方に速やかに排出される。これにより乾燥が促進される。
【００３２】
空気案内溝の第５パターンは、図７に示すように、上壁板２の表面に一定ピッチで正格子位置にそれぞれ形成された空気噴出穴９の幅方向（図左右方向）の列の中間位置に、横断方向の横空気案内溝２６と、前後方向（図上下方向）の列の中間位置に縦断方向の縦空気案内溝２７とで、空気噴出穴９を囲む格子状に形成されている。そして横空気案内溝２６と縦空気案内溝２７の両端部がそれぞれ上壁板２の外周側縁部に開口されている。
【００３３】
したがって、また空気噴出穴９から噴出された乾燥用空気は、被乾燥体Ｗに衝突して浮上力を与えるとともに、被乾燥体Ｗの裏面に付着した水分を分離乾燥し、水分を同伴した乾燥用空気が横空気案内溝２６と縦空気案内溝２７に沿って上壁板５の外方に速やかに排出される。これにより乾燥が促進される。
【００３４】
空気案内溝の第６パターンは、図８に示すように、上壁板２の表面に千鳥状に形成された空気噴出穴９の斜め方向の列の中間位置に、一方の斜め方向の列と平行な傾斜空気案内溝２８が形成され、傾斜空気案内溝２８の両端部は、それぞれ上壁板２の外周側縁部に開口されている。
【００３５】
したがって、空気噴出穴９から噴出された乾燥用空気は、被乾燥体Ｗに衝突して浮上力を与えるとともに、被乾燥体Ｗの裏面に付着した水分を分離乾燥し、水分を同伴した乾燥用空気の大部分が傾斜空気案内溝２８に沿って上壁板５の外方に速やかに排出される。これにより乾燥が促進される。
【００３６】
空気案内溝の第７パターンは、図９に示すように、上壁板２の表面に千鳥状に形成された空気噴出穴９の斜め方向（図左上から右下方向）の列の一列毎の中間位置に形成された第１傾斜空気案内溝３１と、斜め方向（図右上から左下方向）の列の一列毎の中間位置に形成された第２傾斜縦空気案内溝３２とで、空気噴出穴９を囲む菱格子状に形成されている。そして第１傾斜空気案内溝３１と第２傾斜縦空気案内溝３２の両端部は、それぞれ上壁板２の外周側縁部に開口されている。
【００３７】
したがって、空気噴出穴９から噴出された乾燥用空気は、被乾燥体Ｗに衝突して浮上力を与えるとともに、被乾燥体Ｗの裏面に付着した水分を分離乾燥し、水分を同伴した乾燥用空気が第１傾斜空気案内溝３１と第２傾斜縦空気案内溝３２に沿って上壁板５の外方に速やかに排出される。これにより乾燥が促進される。
【００３８】
次に、乾燥装置の実施の形態を図１０〜図１２を参照して説明する。
図に示すように、この乾燥装置は、前記乾燥ユニット１Ａ，１Ｂを乾燥空間１１をあけて上下一対を組ユニット１０として、被乾燥体Ｗの移動方向に所定間隔をあけて複数の（図では３組）組ユニット１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを配置するとともに、下部の乾燥ユニット１Ａの乾燥用空気により浮上された被乾燥体Ｗを乾燥空間１１に沿って移動させる移動装置１２を具備したものである。
【００３９】
そして前記組ユニット１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、入口側から水切り組ユニット（水きり部）１０Ａ、乾燥組ユニット（乾燥部）１０Ｂおよび冷却組ユニット（冷却部）１０Ｃに構成され、水切り組ユニット１０Ａおよび乾燥組ユニット１０Ｂには乾燥用空気として加熱空気が空気供給口３ａから供給され、冷却組ユニット１０Ｃに乾燥用空気として冷却空気が空気供給口３ａから供給される。なお、各組ユニット１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃにおける上壁板２の外表面には、前記複数のパターンの空気案内溝２０〜２８，３１，３２から目的に適したものが選択されて形成されている。
【００４０】
また組ユニット１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、乾燥空間１１の左右側部が連結用スペーサ管１３により締結ボルト・ナット１４を介して連結され、左右側部に排気口が形成されている。
【００４１】
前記移動装置１２は、弾性支持具１２ｃにより上方に付勢されて浮上被乾燥体Ｗの左右の縁部に下方から当接する鍔付テーパローラタイプで左右一対で複数の下部ローラ（案内部材）１２ａと、下部ローラ１２ａに被乾燥体Ｗを介して上方に対抗して配置され弾性支持具１２ｄにより浮上被乾燥体Ｗの左右の縁部に上方から当接する上部ローラ１２ｂとで構成され、下部ローラ１２ａまたは上部ローラ１２ｂが回転駆動ローラに構成されている。これら回転駆動ローラはローラ内にモータを組み込んだ内部駆動型でもよいし、外部モータにより駆動軸を介してローラを回転駆動する外部駆動型でもよい。
【００４２】
上記構成において、洗浄後のたとえばガラス板からなる被乾燥体Ｗが移動装置１２により搬送されて、まず水切り組ユニット１０Ａの乾燥空間１１に移動されると、下部の乾燥ユニット１Ａの空気噴出穴９および／または９’から噴出される乾燥用空気（温風）により被乾燥体Ｗが浮上されるとともに、上下の乾燥ユニット１Ａ，１Ｂの空気噴出穴９および／または９’から噴出される乾燥用空気（加熱空気）により、被乾燥体Ｗの上下面の水滴が分離されて空気案内溝（２０〜２８，３１，３２のいずれか）から速やかに外部に排出され、効果的に水切りされる。
【００４３】
次いで、被乾燥体Ｗが乾燥ユニット１０Ｂの乾燥空間１１に移動されると、下部の乾燥ユニット１Ａの空気噴出穴９，９’，９”から噴出される乾燥用空気（加熱空気）により被乾燥体Ｗが浮上されるとともに、上下の乾燥ユニット１Ａ，１Ｂの空気噴出穴９および／または９’から噴出される乾燥用空気（温風）により、被乾燥体Ｗの上下面の水滴が分離されて空気案内溝（２０〜２８，３１，３２のいずれか）から速やかに外部に排出され、効果的に乾燥される。
【００４４】
さらに被乾燥体Ｗが冷却組ユニット１０Ｂの乾燥空間１１に搬入されると、下部の乾燥ユニット１Ａの空気噴出穴９，９’９”から噴出される乾燥用空気（加熱空気）により被乾燥体Ｗが浮上されるとともに、上下の乾燥ユニット１Ａ，１Ｂの空気噴出穴９，９’９”から噴出される乾燥用空気（冷却空気）により、被乾燥体Ｗの水分が乾燥されて空気案内溝（２０〜２８，３１，３２のいずれか）から速やかに外部に排出され、効果的に乾燥および冷却されて次の工程に排出される。
【００４５】
上記乾燥装置の実施の形態によれば、上下一対の乾燥機用ユニット１Ａ，１Ｂにより組ユニット１０Ａ〜１０Ｃを形成するとともに、乾燥空間１１に多数の空気噴出穴９，９’９”から乾燥用空気を噴出させて被乾燥体Ｗを浮上させるとともに、移動装置１２により組ユニット１０Ａ〜１０Ｃの乾燥空間１１を移動させ、乾燥用空気により被乾燥体Ｗの水分を分離乾燥するように構成したので、乾燥用空気はエアナイフのように高速・高圧でなくともよくランニングコストを低減することができる。また水滴が飛散することがほとんどなく、また再付着することもないため、被乾燥体Ｗを隅々まで完全に乾燥することができ、水滴飛散防止用のカバーも不要で全体をコンパクトに構成することができる。さらに水切り組ユニット１０Ａと乾燥組ユニット１０Ｂと冷却組ユニット１０Ｃとにより、洗浄された被乾燥体Ｗを効果的に乾燥および冷却して次の工程に送り出すことができる。
【００４６】
図１３は、上下一対の乾燥機用ユニット１Ａ，１Ｂからなる組ユニットＡ〜１０Ｃを幅方向（左右方向）に沿って上下に所定角度傾斜させたもので、被乾燥体Ｗを傾斜させることで、水滴を空気案内溝（２０〜２８，３１，３２のいずれか）に沿って効果的に下方に案内することができ、乾燥をよりスムーズに行うことができる。なお、移動装置１２の駆動ローラは、傾斜する被乾燥体Ｗの下縁部を支持可能に配置された下部ローラ１２ａにより構成される。
【００４７】
図１４は、左右一対の乾燥機用ユニット１Ａ，１Ｂからなる組ユニット１０Ｄを鉛直方向に配置したもので、乾燥空間１１に多数の空気噴出穴９，９’から乾燥用空気を噴出させて被乾燥体Ｗを上壁板３から離間させつつ移動させ、乾燥するものである。なお、移動装置１２の駆動ローラは、傾斜する被乾燥体Ｗの下縁部を支持可能に配置された鍔付きの下部ローラ１２ａにより構成される。
【００４８】
上記構成によれば、被乾燥体Ｗを鉛直方向に配置して乾燥空間１１を移動させることで、乾燥用空気はエアナイフのように高速・高圧でなくともよくランニングコストを低減することができる。また水滴が飛散することがほとんどなく、また再付着することもないため、被乾燥体Ｗを隅々まで完全に乾燥することができる。水滴を空気案内溝（２０〜２８，３１，３２のいずれか）に沿って効果的に下方に案内し排出することができ、乾燥をよりスムーズに行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施の形態に係る乾燥機用ユニットの概略構成を示す横断面図である。
【図２】同乾燥機用ユニットの概略構成を示す全体平面図である。
【図３】同乾燥機用ユニットの乾燥用空気の移動状態を説明する部分平面図である。
【図４】同乾燥機用ユニットの上壁板の表面に形成された空気案内溝の第２パターンを示す部分平面図である。
【図５】同空気案内溝の第３パターンを示す部分平面図である。
【図６】同空気案内溝の第４パターンを示す部分平面図である。
【図７】同空気案内溝の第５パターンを示す部分平面図である。
【図８】同空気案内溝の第６パターンを示す部分平面図である。
【図９】同空気案内溝の第７パターンを示す部分平面図である。
【図１０】本発明に係る乾燥装置の実施の形態を示す全体平面図である。
【図１１】同乾燥装置の斜視図である。
【図１２】同乾燥装置の組ユニットを示す横断面図である。
【図１３】乾燥装置の他の実施の形態を示す組ユニットの横断面図である。
【図１４】乾燥装置のさらに他の実施の形態を示す組ユニットの横断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
Ｗ    被乾燥体
１    乾燥機用ユニット
２    上壁板
３    下壁板
３ａ  空気供給口
４    スペーサ
５    空気室
６    箱状体
７    空気分散部材
８    ボルト・ナット
９，９’，９”  空気噴出穴
１０Ａ  水切り組ユニット
１０Ｂ  乾燥組ユニット
１０Ｃ  冷却組ユニット
１１    乾燥空間
１２    移動装置
２０    空気案内溝
２１    第１空気案内溝
２２    第２空気案内溝
２３    第３空気案内溝
２４    第４空気案内溝
２５    第５空気案内溝
２６    横気案内溝
２７    縦空気案内溝
２８    傾斜空気案内溝
３１    第１傾斜空気案内溝
３２    第２傾斜空気案内溝
【図１】
2005241153.tif 000003
【図２】
2005241153.tif 000004
【図３】
2005241153.tif 000005
【図４】
2005241153.tif 000006
【図５】
2005241153.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【手続補正書】
【提出日】平成16年3月9日(2004.3.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００２】
従来、ガラス基板などを乾燥する装置として、エアナイフを用いた乾燥方法が特許文献１に提案されている。これはエアナイフの直前にスリット状リンス液シャワー４を設置することで、エアナイフ乾燥時にガラス基板表面を一様に濡れて水玉を防ぐものである。
【特許文献１】特開平８−２３６４９８号公報