(57)【要約】【課題】  吐出口にゴミが詰まるのを防止することのできる液体吐出ヘッド及びこれを備えた描画装置を提供する。【解決手段】  基板上に設けられ、液体を吐出させる吐出口６を備えたノズル３０に、基板１に穿設された供給口８から液体を供給する。そして、少なくとも吐出口６と供給口８との間に障壁９を形成すると共に、ノズル３０の内部に設けられ、供給口８と吐出口６とを連通させる連通路７のうち障壁９と吐出口６との間の連通路７に複数の障壁柱１０を設ることにより、液体のなかに含まれた吐出口６を詰まらせるような大きさのゴミ等を取り除くことができる。【選択図】      図１
2005125525.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられ、液体を吐出させる吐出口を備えたノズルと、
前記基板に穿設され、前記ノズルに液体を供給する供給口と、
前記ノズルの内部に設けられ、前記供給口と前記吐出口とを連通させる連通路と、
を備え、
少なくとも前記吐出口と前記供給口との間に障壁を形成すると共に、前記障壁と前記吐出口との間の連通路に複数の障壁柱を設けたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記供給口の吐出口側の縁部に前記障壁を形成することを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記供給口の吐出口側と反対側の縁部以外の縁部に前記障壁を形成することを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記供給口の吐出口側の縁部に形成された障壁以外の障壁に隙間を形成することを特徴とする請求項３記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記供給口の縁部に、前記供給口の吐出口側と反対側の一部に開口部を有する障壁を形成することを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記供給口の縁部に障壁を形成すると共に、前記供給口の吐出口側と反対側の縁部に複数の隙間を形成することを特徴とする請求項１記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記複数の障壁柱の間の隙間と、前記障壁と障壁柱との間の隙間のうち少なくとも障壁柱間の隙間を前記吐出口の幅より狭くしたことを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記障壁柱間の隙間を、前記吐出口に近くなるほど狭くなるようにしたことを特徴とする請求項７記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記障壁柱は同一または異直径の円柱形状を有していることを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記障壁及び障壁柱は前記ノズルを形成する材料と同一材料で、かつ同一工程で一体的に形成されることを特徴とする請求項１乃至９の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１１】
前記供給口はシリコンの異方性エッチングによって形成されることを特徴とする請求項１乃至１０の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】
基板上に設けられ、液体を吐出させる吐出口を備えたノズルと、
前記基板に穿設され、前記ノズルに液体を供給する供給口と、
前記吐出口に臨んで設けられ、前記供給口から供給された液体を前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生する吐出部材と、
を備え、
前記吐出部材を前記吐出口の幅より狭い幅の開口部を有する障壁で取り囲むようにしたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項１３】
前記障壁は、前記吐出口の幅より狭い幅を設けて配された複数の湾曲部により形成されたものであることを特徴とする請求項１２記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】
前記障壁は、前記吐出口の幅より狭い幅を設けて配された複数の板状部により形成されたものであることを特徴とする請求項１２記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】
前記障壁はフォトリソ技術により前記ノズルを形成する材料と同一材料で、かつ同一工程で形成されることを特徴とする請求項１２乃至１４の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１６】
前記供給口はシリコンの異方性エッチングによって形成されることを特徴とする請求項１２乃至１５の何れか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１７】
前記請求項１乃至１６の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及びこれを備えた描画装置に関し、特に液体を吐出するための吐出口がゴミや異物等により詰まるのを防ぐための構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、遺伝子情報の解析が進んでおり、これに伴い遺伝子解析を製薬や医療診断に用いる下地が整いつつある。ところで、遺伝子は、ＤＮＡチップを用いて解析することが出来、その方法としては、予めその機能が分かっているＤＮＡプローブをガラスチップ上に定着させたＤＮＡチップと、検体のＤＮＡとをハイブリダイゼーションさせ、発現の有無や発現量を蛍光測定でデータ化し、判定を行う方法がある。
【０００３】
なお、このようなＤＮＡチップは、例えばインクジェット方式の描画装置により、ガラスチップ上にインクを吐出することによって形成される。ここで、このようなインクジェット方式の描画装置に用いられるインク吐出方法としては、ヒータから発生する熱エネルギーによりインク（液体）の吐出を行うサーマル吐出方式と、ピエゾ素子に電圧を印可して生じる素子の変形によりインクの吐出を行うピエゾ吐出方式がある。
【０００４】
そして、これらのうちサーマル吐出方式はピエゾ吐出方式と比較して構造が簡単であり、吐出ユニットの小型化や多ノズル化に適している。ここで、ＤＮＡチップ等のプローブ・アレイ調製用の描画装置に用いられる液体吐出ヘッドは、ノズル数が多いことが望まれることから、サーマル吐出方式が適していると考えられている（特許文献１参照）。
【０００５】
ところで、異なったインクが配置されているプローブ・アレイを作製する場合、各ノズルから異なったインクを吐出するが、１枚のプローブ・アレイを調製するにあたって各ノズルからは１回しか吐出は行われず、またインクが配置される位置も決まっている。
【０００６】
つまり、プローブ・アレイ調製用の液体吐出ヘッドにおいては、インクジェット方式のプリンタによる紙面への印刷の場合と異なり、必ずしも複雑な吐出の制御は必要としない。したがって、より構造が簡便で、低コストで、かつ歩留まりの高い液体吐出ヘッドが望まれる。
【０００７】
図１３は、このような従来の液体吐出ヘッドに設けられた半導体チップの構成を示す図であり、この半導体チップ２２にはインクを吐出するための吐出口が形成されたノズル３０を有する複数のノズル部３０Ａが形成されている。なお、同図において、１はノズル３０が配された基板であるシリコン基板、２はＴａＮ、ＴａＳｉＮ、ＴａＡｌ等から成るヒータ、５は半導体チップ２２と外部との電気的接触をとるためのパッドである。
【０００８】
ここで、この半導体チップ２２の長辺方向の長さは約１２ｍｍ、短辺方向の長さは約７ｍｍであり、またこの半導体チップ２２には横方向に隣接ノズル間隔が１．２７ｍｍ（２０ｄｐｉ相当）に配列された８個のノズル部３０Ａからなるノズル群が５列、１００ｄｐｉオフセットされて配列されている。また、隣接するノズル群の間隔も１００ｄｐｉに設定されている。
【０００９】
また、インクを吐出するためのエネルギーを発生する吐出部材である８個のヒータ２は、その両端をアルミニウム等からなる第１の配線３及び第２の配線４によってそれぞれ接続されている。なお、同図において、白抜き矢印で示した方向は、液体吐出ヘッドが移動する方向であり、以後主走査方向と言う。
【００１０】
図１４及び図１５は、ノズル部の構成を示す図である。図１４及び図１５において、１２はシリコン基板上に配置され、或はシリコン基板上に形成され、ノズル３０を構成するノズル材であり、このノズル材１２により形成されたノズル３０の内部には複数の連通路７が、また上部には吐出口６が形成されている。
【００１１】
ここで、この連通路７は、シリコン基板１に穿設されると共に、シリコン基板１の裏面からシリコン基板表面にインクを供給する供給口８と連通しており、吐出口６からずれた位置に設けられた供給口８から供給されたインクは、この連通路７を通って吐出口６から吐出されるようになっている。
【００１２】
なお、ヒータ２はシリコン基板上の吐出口６に臨む位置に設けられており、インクを吐出する際は、このヒータ２に通電し、このヒータ２から発生する熱エネルギーによりインクを吐出口６から吐出させるようにしている。
【００１３】
ここで、ノズル３０の形成は、あらかじめ吐出口６及び連通路７を有したノズル材１２をシリコン基板１に貼り付けても良いが、フォトリソグラフィー技術を用い半導体プロセスの延長で形成しても良く、特に半導体チップ２２が、より大きな面積で作製される場合には、フォトリソグラフィー技術を用いた製法が好ましい。
【００１４】
また、供給口８はＴＭＡＨ溶液を用いたシリコン（Ｓｉ）の異方性エッチングにより、四角錐台の形状に形成される。なお、例えば、図１５に示すように供給口８がシリコン基板表面に対して５４．７°の角度となるように作製される場合、シリコン基板表面での供給口８の幅を１００μｍと設定すると、シリコン基板１の厚さが６２５μｍのとき、供給口８の裏面での幅は、図１６に示すように約１ｍｍとなる。
【００１５】
ところで、供給口８の役割は、基板裏面に設けられたインクタンクからヒータ２が配置されたヒータ部へインクを導くことであるが、特にプローブ・アレイ調製用ヘッドでは、インクの吐出量の総量が少ないため供給口８をインクのリザーバーとして用いることが可能となる。
【００１６】
例えば、上記のような寸法の供給口８では体積は約０．２３μｌであり、一回のインクの吐出量が２４ｐｌとすると、この供給口８は約９６００枚のプローブ・アレイを作製できる量を蓄えることができる。
【００１７】
図１７は、液体吐出ヘッドの模式図であり、同図において、２１は液体吐出ヘッドである。ここで、この液体吐出ヘッド２１において、それぞれ４０個のノズルを有している半導体チップ２２が５行５列に配置されているため、１つの液体吐出ヘッド２１は１０００個のノズルを有している。そして、インク（液体）は、不図示の液体供給ユニットから供給口８に注入された後、ノズルから吐出される。
【００１８】
なお、この液体吐出ヘッド２１は、図１８に示すように、アルミナ、樹脂等からなる窓枠状の穴２５があけられた基板２４に、半導体チップ２２を貼り付けて構成される。また、基板２４に貼り付けられるとき、各半導体チップ２２のパッド５（図１３参照）は不図示のフレキシブル配線基板により電気的にヘッド外部と接続されている。
【００１９】
図１９は、このような構成の液体吐出ヘッド２１を用いたプローブ・アレイ調製装置の構造を示す模式図であり、同図において、２６は液体吐出ヘッド２１の走査方向の移動を案内するシャフト、２７はプローブ・アレイとなるガラス基板２８が固定されるステージである。
【００２０】
そして、プローブ・アレイを調製する際には、液体吐出ヘッド２１をＸ方向に移動させると共にステージをＹ方向に移動させ、これにより液体吐出ヘッド２１はステージ２７に対して相対的に２次元状に移動することができる。
【００２１】
なお、同図では複数のプローブ・アレイとなるガラス基板を固定し、プローブを塗布する場合の構造を示したが、１枚の大きなプローブ・アレイとなるガラス基板上にプローブ・アレイを調製し、その後、該ガラス基板を切断してプローブ・アレイを得ても良い。
【００２２】
【特許文献１】特開２００２−３１８２３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
ところが、このような構成の従来の液体吐出ヘッド２１及びこれを備えた描画装置においては、多数の供給口８が大気に開放されており、この開放された状態でインク（液体）が供給されるとともにインクの吐出が行なわれる。
【００２４】
このため、供給口からノズル内にゴミや異物等（以下、ゴミ等という）が浸入しやすく、このようにゴミ等が浸入すると、インクを供給する場合や、インクを吐出させている最中にゴミ等が吐出口に詰るようになり、このようにゴミ等が詰まると、インクが吐出されなくなったり、吐出が不安定になったり、また着弾位置がずれるといった不良現象を引き起こす可能性がある。
【００２５】
そして、このようにインクの不吐出や不良吐出が発生した場合、例えば液体吐出ヘッドがプローブ・アレイを調製する描画装置に用いられた場合、プローブアレイの作成を正確に、かつ安定的に行うことができないという問題が生じる。
【００２６】
そこで、本発明は、このような現状に鑑みてなされたものであり、吐出口にゴミ等が詰まるのを防止することのできる液体吐出ヘッド及びこれを備えた描画装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
本発明は、基板上に設けられ、液体を吐出させる吐出口を備えたノズルと、前記基板に穿設され、前記ノズルに液体を供給する供給口と、前記ノズルの内部に設けられ、前記供給口と前記吐出口とを連通させる連通路と、を備え、少なくとも前記吐出口と前記供給口との間に障壁を形成すると共に、前記障壁と前記吐出口との間の連通路に複数の障壁柱を設けたことを特徴とするものである。
【００２８】
また本発明は、前記供給口の吐出口側の縁部に前記障壁を形成することを特徴とするものである。
【００２９】
また本発明は、前記供給口の吐出口側と反対側の縁部以外の縁部に前記障壁を形成することを特徴とするものである。
【００３０】
また本発明は、前記供給口の吐出口側の縁部に形成された障壁以外の障壁に隙間を形成することを特徴とするものである。
【００３１】
また本発明は、前記供給口の縁部に、前記供給口の吐出口側と反対側の一部に開口部を有する障壁を形成することを特徴とするものである。
【００３２】
また本発明は、前記供給口の縁部に障壁を形成すると共に、前記供給口の吐出口側と反対側の縁部に複数の隙間を形成することを特徴とするものである。
【００３３】
また本発明は、前記複数の障壁柱の間の隙間と、前記障壁と障壁柱との間の隙間のうち少なくとも障壁柱間の隙間を前記吐出口の幅より狭くしたことを特徴とするものである。
【００３４】
また本発明は、前記障壁柱間の隙間を、前記吐出口に近くなるほど狭くなるようにしたことを特徴とするものである。
【００３５】
また本発明は、前記障壁柱は同一または異直径の円柱形状を有していることを特徴とするものである。
【００３６】
また本発明は、前記障壁及び障壁柱は前記ノズルを形成する材料と同一材料で、かつ同一工程で一体的に形成されることを特徴とするものである。
【００３７】
また本発明は、前記供給口はシリコンの異方性エッチングによって形成されることを特徴とするものである。
【００３８】
また本発明は、基板上に設けられ、液体を吐出させる吐出口を備えたノズルと、前記基板に穿設され、前記ノズルに液体を供給する供給口と、前記吐出口に臨んで設けられ、前記供給口から供給された液体を前記吐出口から吐出するためのエネルギーを発生する吐出部材と、を備え、前記吐出部材を前記吐出口の幅より狭い幅の開口部を有する障壁で取り囲むようにしたことを特徴とするものである。
【００３９】
また本発明は、前記障壁は、前記吐出口の幅より狭い幅を設けて配された複数の湾曲部により形成されたものであることを特徴とするものである。
【００４０】
また本発明は、前記障壁は、前記吐出口の幅より狭い幅を設けて配された複数の板状部により形成されたものであることを特徴とするものである。
【００４１】
また本発明は、前記障壁はフォトリソ技術により前記ノズルを形成する材料と同一材料で、かつ同一工程で形成されることを特徴とするものである。
【００４２】
また本発明は、前記供給口はシリコンの異方性エッチングによって形成されることを特徴とするものである。
【００４３】
また本発明は、描画装置において、上記の何れかに記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００４４】
以上説明したように本発明によれば、少なくとも吐出口と供給口との間に障壁を形成すると共に、ノズルの内部に設けられ、供給口と吐出口とを連通させる連通路のうち障壁と吐出口との間の連通路に複数の障壁柱を設け、液体のなかに吐出口を詰まらせるような大きさのゴミ等が含まれていた場合でも、このゴミ等を取り除くことができるようにすることにより、吐出口にゴミが詰まるのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を用いて詳細に説明する。
【００４６】
まず、本発明の実施の形態に係る液体吐出ヘッドが用いられる描画装置の一例であるプローブ担体製造装置について図１２を用いて説明する。
【００４７】
同図において、３１はプローブ担体製造装置であり、このプローブ担体製造装置３１は、装置ベ−ス３２と、プローブ担体４２を支持するための担体支持台３３と、液体吐出装置４０と、液体吐出装置４０を支持する液体吐出装置支持台３４と、プローブ溶液供給ユニット３５とを有している。
【００４８】
ここで、担体支持台３３、液体吐出装置支持台３４及びプローブ溶液供給ユニット３５は、それぞれ装置ベ−ス３２に対して移動可能に設けられており、プローブ溶液供給ユニット３５に保持されたインク（液体）であるプローブ溶液を液体吐出装置４０へ供給し、さらに供給されたプローブ溶液をプローブ担体４２上で液体吐出装置４０から吐出することで、プローブ担体４２にプローブ溶液を付与するようになっている。
【００４９】
また、４１は液体吐出装置４０に設けられた液体吐出ヘッドであり、この液体吐出ヘッド４１は、供給口の少なくとも吐出口側の縁部に障壁を形成すると共に、障壁と吐出口との間に複数の障壁柱を設けた複数のノズル部を有している。
【００５０】
ここで、このようにノズル部において、供給口の少なくとも吐出口側の縁部に障壁を形成すると共に、障壁と吐出口との間に複数の障壁柱を設けることにより、プローブ溶液のなかに吐出口６を詰まらせるような大きさのゴミ等が含まれていた場合でも、このゴミ等を取り除くことができる。
【００５１】
そして、このような構成のノズル部を有することにより、液体吐出ヘッド４１は、非常に簡単な構成で、プローブ溶液の不吐出や不良吐出、吐出方向の乱れ等の発生を防止でき、安定的に連続してプローブ溶液の吐出を行なうことができる。更に、このように安定的に連続してプローブ溶液の吐出を行なうことにより、多数のプローブ担体４２を安定的に製造することができる。
【００５２】
次に、このような構成の本発明の第１の実施の形態に係る液体吐出ヘッド４１の実施例について説明する。
【００５３】
図１は、本実施の形態の第１の実施例に係る液体吐出ヘッド４１のノズル部の拡大模式図、図２はそのＡ−Ａ断面図である。なお、図１及び図２において、図１４及び図１５と同一符号は、同一又は相当部分を示している。
【００５４】
図１、図２において、９は供給口８と吐出口６との間である供給口８の、吐出口６に最も近い側の一辺の縁部に設けられた障壁、１０は障壁９と吐出口６の間の連通路７に複数配置された障壁柱である。ここで、この障壁９と障壁柱１０は共にノズル３０を形成しているノズル材１２と同一材料で、かつノズル３０を形成するのと同時にフォトリソ工程で形成されるため、コストＵＰ等が生じることはなく、吐出に関わる信頼性も優れている。
【００５５】
なお、本実施例において、吐出口６（の開口）の直径はφ１５μｍであり、障壁９の幅は１５μ程度である。また、障壁柱１０はφ１０μｍ程度の円柱状の構造物であり、障壁柱１０は、プローブ溶液が通過する障壁柱間の隙間の幅が吐出口６の直径（φ１５μｍ）より狭くなるよう１３μｍ程度の間隔をおいて配置されている。
【００５６】
そして、本実施例のような障壁９及び障壁柱１０を設けた場合、供給口８から供給されたプローブ溶液は、供給口８の吐出口６に最も近い一辺側に形成されている障壁９を回り込んだ後、障壁柱１０の間を通って吐出口６に供給される。
【００５７】
ここで、このようにプローブ溶液が、障壁柱１０の間を通って吐出口６に供給されるようにすることにより、溶液中に吐出口６を詰まらせてしまうような大きさのゴミ等が含まれていた場合でも、このゴミ等は吐出口６に至るまでに障壁９と障壁柱１０の間、或は障壁柱間で取り除かれる。このため、溶液中にゴミ等が含まれていたとしても吐出口６にゴミ等が詰まることがない。
【００５８】
次に、本実施の形態の第２の実施例について説明する。
【００５９】
本実施例においては、図３に示すように、障壁９を供給口８の吐出口６に最も遠い一辺の縁部を除いた他の縁部に連続して設け、この障壁９と、連通路７の側壁面７ａと、吐出口６との間の連通路７に複数の障壁柱１０を設けている。ここで、既述した第１の実施例と同様、この障壁９と障壁柱１０は共にノズル材１２と同一材料で、かつノズル３０を形成するのと同時にフォトリソ工程で形成される。なお、以下の実施例についても、障壁９と障壁柱１０の形成方法は同一である。
【００６０】
また、本実施例でも第１の実施例と同様、障壁９は幅１５μ程度の壁で、障壁柱１０はφ１０μｍ程度の円柱状の構造物であり、それぞれプローブ溶液が通過する間隔が吐出口６の直径より狭くなるよう配置されている。なお、以下の実施例についても、特に記載がない場合は、障壁９と障壁柱１０の寸法、配置は同一である。
【００６１】
ここで、本実施例のように障壁９を吐出口６に最も遠い供給口８の一辺側を除いた縁部に連続して設けることにより、供給口８から吐出口６までの連通路７が第１の実施例より長くなり、これによって連通路内に障壁柱１０を多数設けることができるようになるため、溶液中のゴミ等を取り除く性能がより向上する。
【００６２】
次に、本実施の形態の第３の実施例について説明する。
【００６３】
本実施例においては、既述した第２の実施例と同じように、障壁９（９ａ，９ｂ）を供給口８の吐出口６に最も遠い一辺の縁部を除いた他の縁部に連続して設け、この障壁９と、連通路７の側壁面７ａと、吐出口６の間の連通路７に複数の障壁柱１０を設けると共に、図４に示すように供給口８の、吐出口６に最も近い側の一辺の縁部に設けられた障壁９ａ以外の、他の障壁９ｂに複数の隙間１３を形成することにより、障壁９ｂを部分的に開口してプローブ溶液を通過させる構造としている。
【００６４】
これにより、障壁柱間にゴミ等が引っかかって取り除かれた場合の、流抵抗の増加をある程度防止でき、さらに溶液中のゴミ等の除去性能を向上させることが可能となる。
【００６５】
次に本実施の形態の第４の実施例について説明する。
【００６６】
本実施例においては、図５に示すように供給口８の縁部に、供給口８の吐出口側と反対側に開口部１３Ａを有する障壁９を設け、この障壁９と、連通路７の側壁面７ａと、吐出口６の間の連通路７に複数の障壁柱１０を設けるようにしている。
【００６７】
そして、このように構成することにより、供給口８から吐出口６までの連通路７の距離が、既述した第１〜第３の実施例よりもさらに長くなり、これによって連通路内の障壁柱１０の数を多くすることができようになるため、ゴミ除去性能をより向上することができる。
【００６８】
次に本実施の形態の第５の実施例について説明する。
【００６９】
本実施例においては、図６に示すように供給口８の縁部に障壁９を形成すると共に、供給口８の、吐出口側と反対側の縁部に形成された障壁９ｃには隙間１３が複数設けられている。
【００７０】
そして、このように構成することにより、供給口８から吐出口６までの連通路７の距離が既述した第１〜第３の実施例よりもさらに長くなり、これにより連通路内の障壁柱１０の数を多くすることができようになるため、ゴミ除去性能をより向上することができ、さらに障壁９ｃの隙間１３によってもゴミ等の除去を期待できる。
【００７１】
次に本実施の形態の第６の実施例について説明する。
【００７２】
本実施例においては、図７に示すように吐出口６に最も遠い供給口８の一辺側を除いた周囲に連続した障壁９を設けると共に障壁９と、連通路７の側壁面７ａと、吐出口６の間の連通路７に複数の障壁柱１０を設け、かつ障壁柱１０の間隔を吐出口６に近づくにつれて狭くすることにより、流抵抗が徐々に大きくなるようにしている。
【００７３】
ここで、本実施例においては、障壁柱間の間隔を吐出口６に遠いＡ領域では２０μｍ、Ａ領域の下流領域であるＢ領域では１５μｍ、吐出口６に近いＣ領域では１２μｍとした。
【００７４】
そして、このように構成することにより、Ａ領域で吐出口６よりやや大きめのゴミや異物が取り除かれ、次にＢ領域で吐出口６とほぼ同じくらいの大きさのゴミや異物が取り除かれ、最後にＣ領域で吐出口６より小さいゴミや異物がトラップされる。
【００７５】
このように、本実施例によれば供給口８から吐出口６までの連通路７の距離が長くなることにより連通路内に障壁柱１０を多数設けることができるだけではなく、ごみ等の除去性能を徐々に変化させて吐出口６に近いほど、小さなゴミ等の除去を可能にしたため、取り除かれたゴミ等によって溶液吐出のための流抵抗を著しく大きくすることなく溶液吐出が可能となる。
【００７６】
なお、本実施例ではＡ領域からＣ領域の３つの領域で障壁柱１０の間隔を変えたが、さらに多数の領域で障壁柱１０の配列密度を変えることも可能である。また、障壁柱１０の間隔を変化させるため、障壁柱１０の断面形状や寸法も同時に変化させるようにしても同様の効果を得ることができる。
【００７７】
ところで、これまでは少なくとも吐出口６と供給口６との間に障壁９を形成すると共に、障壁９と吐出口６との間の連通路７に複数の障壁柱１０を設けてゴミ等を取り除く場合について述べてきたが、本発明は、これに限らず吐出口６と供給口６との間に位置するヒータ２を取り囲むように障壁９を配するようにしてもゴミ等を取り除くことができる。
【００７８】
次に、このようなヒータ２を取り囲むように障壁を配することにより、ゴミ等を取り除くようにした本発明の第２の実施の形態に係る実施例について説明する。
【００７９】
図８は、本実施の形態に係る第１の実施例を説明する図であり、図９はそのＡ−Ａ断面図である。なお、図８及び図９において、図１及び図２と同一符号は、同一又は相当部分を示している。
【００８０】
同図において、９Ａは四角形状のヒータ２を取り囲むように設けられた障壁であり、この障壁９Ａは、複数（４つ）の板状部９Ａ１により構成されている。なお、この障壁９Ａ（板状部９Ａ１）は厚さ１５μｍ程度であり、またノズル３０（連通路７）を形成しているノズル材１２と同一の材料であり、かつノズル３０（連通路７）を形成するのと同一の製造工程で同時に形成される。
【００８１】
ところで、この板状部９Ａ１は、ヒータ２の四辺に対応するように形成されると共に、ヒータ２の隅に対応する部分からプローブ溶液（液体）が流入するように隙間Ａを設けて配置されている。
【００８２】
ここで、この隙間Ａは吐出口６（の開口）よりも狭くなっており、これにより供給口８からノズル内の連通路７及び吐出口６に送られるプローブ溶液のなかに吐出口６を詰まらせるような大きさのゴミ等が含まれていた場合、このゴミ等は板状部９Ａ１の間の隙間Ａを通り抜けることができず吐出口６を詰まらせることは無い。
【００８３】
次に本実施の形態の第２の実施例について説明する。
【００８４】
本実施例においては、障壁９Ａは、図１０に示すようにヒータ２の隅部からではなくヒータ２の各辺のほぼ中央部からプローブ溶液が供給されるよう、中央部を切り欠くことにより隙間Ｂを設けて配置されたものである。なお、第１の実施例と同様に、この障壁９Ａを構成する部材９Ａ２はノズル材１２と同一材料で、また同一の製造工程でノズル３０と同時に形成される。
【００８５】
ここで、この障壁９Ａと障壁９Ａの隙間Ｂは吐出口６よりも狭くなっている。これにより、供給口８からノズル内の連通路７及び吐出口６に送られるプローブ溶液（液体）のなかに吐出口６を詰まらせるような大きさのゴミ等が含まれていた場合、このゴミ等は障壁９の間の隙間Ｂを通り抜けることができず吐出口６を詰まらせることは無い。
【００８６】
次に本実施の形態の第３の実施例について説明する。
【００８７】
本実施例においては、障壁９Ａは、図１１に示すようにヒータ２を取り囲むように配置されると共に、複数（４つ）の湾曲部９Ａ３により構成されている。なお、この障壁９Ａ（板状部９Ａ３）は厚さ１５μｍ程度であり、またノズル３０（連通路７）を形成しているノズル材１２と同一の材料であり、かつノズル３０（連通路７）を形成するのと同一の製造工程で同時に形成される。この障壁９Ａの一部分を切り欠いて形成された隙間Ｃから吐出口６にプローブ溶液を供給できるようにしたものである。
【００８８】
ところで、この湾曲部９Ａ２は、プローブ溶液が流入するように隙間Ｃを設けて配置されている。ここで、この隙間Ｃは吐出口６（の開口）よりも狭くなっており、これにより供給口８からノズル内の連通路７及び吐出口６に送られるプローブ溶液（液体）のなかに吐出口６を詰まらせるような大きさのゴミ等が含まれていた場合、このゴミ等は板状部９Ａ２の間の隙間Ｃを通り抜けることができず吐出口６を詰まらせることは無い。
【００８９】
なお、これまでの説明においては、プローブ溶液を吐出するノズル３０を２次元的に配列したヘッド構成を例示したが、本発明は、１つの供給口から１つの吐出口に液体を供給して吐出を行なうあらゆるタイプの液体吐出ヘッドにおいても実施可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の第１実施の形態の第１の実施例に係る液体吐出ヘッドのノズル部の拡大模式図。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図。
【図３】上記実施の形態の第２の実施例に係る液体吐出ヘッドのノズル部の構成を説明する図。
【図４】上記実施の形態の第３の実施例に係る液体吐出ヘッドのノズル部の構成を説明する図。
【図５】上記実施の形態の第４の実施例に係る液体吐出ヘッドのノズル部の構成を説明する図。
【図６】上記実施の形態の第５の実施例に係る液体吐出ヘッドのノズル部の構成を説明する図。
【図７】上記実施の形態の第６の実施例に係る液体吐出ヘッドのノズル部の構成を説明する図。
【図８】本発明の第２実施の形態の第１の実施例に係る液体吐出ヘッドのノズル部の拡大模式図。
【図９】図８のＡ−Ａ断面図。
【図１０】上記実施の形態の第２の実施例に係る液体吐出ヘッドのノズル部の構成を説明する図。
【図１１】上記実施の形態の第３の実施例に係る液体吐出ヘッドのノズル部の構成を説明する図。
【図１２】上記液体吐出ヘッドが用いられる描画装置の一例であるプローブ担体製造装置の概略斜視図。
【図１３】従来の液体吐出ヘッドに設けられた半導体チップの構成を示す図。
【図１４】従来のノズル部の概略平面透視図。
【図１５】従来のノズル部の概略断面図。
【図１６】従来の半導体チップの裏面図。
【図１７】従来の液体吐出ヘッドの模式図。
【図１８】従来の液体吐出ヘッドの概略構成図。
【図１９】従来のプローブ・アレイ調製装置の構造を示す模式図。
【符号の説明】
【００９１】
２          ヒータ
６          吐出口
７          連通路
７ａ        連通路の側壁面
８          供給口
９          障壁
９Ａ        障壁
９ａ，９ｂ  障壁
１０        障壁柱
１２        ノズル材
１３        隙間
１３Ａ      開口部
２１      液体吐出ヘッド
２２      半導体チップ
３１      プローブ担体製造装置
４１      液体吐出ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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