(57)【要約】【課題】  簡素な構成でありながら、第１コイル導体と第２コイル導体とのインピーダンスを容易に揃えることが可能なコイル部品を提供すること。【解決手段】  第１コイル導体５及び第２コイル導体７は、スパイラル形状を呈し、第１磁性基板と第２磁性基板との間に配置されている。第１コイル導体５及び第２コイル導体７は、第１絶縁層上において互いが所定間隔を有して沿うように配置される第１の部分５ａ，７ａと、互いが立体的に交差する第２の部分５ｂ，７ｂとを含んでいる。第１コイル導体５及び第２コイル導体７は、第１磁性基板（第２磁性基板）の主面に直交する方向から見て、その途中部分において交差している。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スパイラル状に形成された第１及び第２コイル導体が磁性体層間に配置されたコイル部品であって、
前記第１及び第２コイル導体は、同一面上において互いが所定間隔を有して沿うように配置される第１の部分と、互いが立体的に交差する第２の部分と、を含むことを特徴とするコイル部品。
【請求項２】
前記第１及び第２コイル導体の端部に電気的に接続される引き出し電極を更に有し、
前記第１及び第２コイル導体の前記第２の部分のうちの一方の第２の部分と、前記引き出し電極とが同一面上で形成されていることを特徴とする請求項１に記載のコイル部品。
【請求項３】
スパイラル状に形成された第１及び第２コイル導体が磁性体層間に配置されたコイル部品であって、
前記第１及び第２コイル導体は、前記磁性体層面に直交する方向から見て、その途中部分において交差していることを特徴とするコイル部品。
【請求項４】
前記第１及び第２コイル導体が、複数並べて配置されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のコイル部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コイル部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のコイル部品として、スパイラル状に形成された第１及び第２コイル導体が磁性体層間の同一面上に配置されたコイル部品（コモンモードチョークコイル）が知られている（例えば、特許文献１参照）。このように、第１及び第２コイル導体を同一面上に配置することで、第１コイル導体と第２コイル導体との磁気結合を大きくするとともに、低背化して耐電圧を高くすることができる。
【特許文献１】特開２００２−１１０４２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１に開示された構成では、第１及び第２コイル導体が所定間隔をおいて沿うように設けられていることから、第１コイル導体と第２コイル導体とでその線路長が大きく異なってしまい、第１コイル導体と第２コイル導体とのインピーダンスに差が生じてしまうこととなる。
【０００４】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、簡素な構成でありながら、第１コイル導体と第２コイル導体とのインピーダンスを容易に揃えることが可能なコイル部品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るコイル部品は、スパイラル状に形成された第１及び第２コイル導体が磁性体層間に配置されたコイル部品であって、第１及び第２コイル導体は、同一面上において互いが所定間隔を有して沿うように配置される第１の部分と、互いが立体的に交差する第２の部分と、を含むことを特徴としている。
【０００６】
本発明に係るコイル部品では、第１及び第２コイル導体の第２の部分において互いが立体的に交差することから、第１及び第２コイル導体のスパイラルの外側と内側の位置が交差する部分で入れ替わることとなる。このため、第１及び第２コイル導体を交差させないものに比して、第１コイル導体と第２コイル導体との線路長の差を小さくすることができる。また、交差させる位置を適宜設定することにより、第１コイル導体と第２コイル導体との線路長を等しくすることもできる。この結果、第１及び第２コイル導体の第２の部分において互いに立体的に交差させるという極めて簡易な構成でありながら、第１コイル導体と第２コイル導体とのインピーダンスを容易に揃えることができる。
【０００７】
また、第１及び第２コイル導体の一端に電気的に接続される引き出し電極を更に有し、第１及び第２コイル導体の第２の部分のうちの一方の第２の部分と、引き出し電極とが同一面上で形成されていることが好ましい。このように構成した場合、第１及び第２コイル導体の第２の部分のうちの一方の第２の部分と、引き出し電極とを同じ工程で形成することが可能となり、コイル部品の製造工程が増えるのを防ぐことができる。
【０００８】
本発明に係るコイル部品は、スパイラル状に形成された第１及び第２コイル導体が磁性体層間に配置されたコイル部品であって、第１及び第２コイル導体は、磁性体層面に直交する方向から見て、その途中部分において交差していることを特徴としている。
【０００９】
本発明に係るコイル部品では、第１及び第２コイル導体が、磁性体層面に直交する方向から見て、その途中部分において交差することから、第１及び第２コイル導体のスパイラルの外側と内側の位置が交差する途中部分で入れ替わることとなる。このため、第１及び第２コイル導体を交差させないものに比して、第１コイル導体と第２コイル導体との線路長の差を小さくすることができる。また、交差させる位置を適宜設定することにより、第１コイル導体と第２コイル導体との線路長を等しくすることもできる。この結果、第１及び第２コイル導体の途中部分を交差させるという極めて簡易な構成でありながら、第１コイル導体と第２コイル導体とのインピーダンスを容易に揃えることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、簡素な構成でありながら、第１コイル導体と第２コイル導体とのインピーダンスを容易に揃えることが可能なコイル部品を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の実施形態に係るコイル部品について図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。本実施形態においては、本発明をコモンモードチョークコイル（コモンモードチョークコイルアレイ）に適用した例を示している。
【００１２】
図１は、本実施形態に係るコモンモードチョークコイルアレイを示す斜視図である。図２及び図３は、本実施形態に係るコモンモードチョークコイルアレイを分解して示した構成図である。図４（ａ）及び（ｂ）は、第１コイル導体と第２コイル導体とが立体的に交差する位置における断面構成を説明するための図である。
【００１３】
コモンモードチョークコイルアレイＣＡは、図１に示されるように、薄膜型のコモンモードチョークコイルアレイであって、第１磁性基板ＭＢ１（磁性体層）、層構造体ＬＳ、第２磁性基板ＭＢ２（磁性体層）を備えている。第１磁性基板ＭＢ１と、層構造体ＬＳと、第２磁性基板ＭＢ２との積層体の外周面には、端子電極１が形成されている。
【００１４】
層構造体ＬＳは、図２に示されるように、複数の層が薄膜成形技術により積層形成されたものであり、第１絶縁層３、第１コイル導体５、第２コイル導体７、第２絶縁層９、第１引き出し電極１１、第２引き出し電極１３、及び、第３絶縁層１５を含んでいる。コモンモードチョークコイルアレイＣＡは、複数組（本実施形態においては、２組）の第１コイル導体５及び第２コイル導体７を並設した構成となっている。
【００１５】
第１磁性基板ＭＢ１は、焼結フェライト、複合フェライト（粉状のフェライトを含有した樹脂）等の磁性材料からなる。
【００１６】
第１絶縁層３は、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂等の電気的及び磁気的な絶縁性に優れ、加工性のよい樹脂材料からなる。この第１絶縁層３は、第１磁性基板ＭＢ１の凹凸を緩和し、第１コイル導体５及び第２コイル導体７等の導体との密着性を向上させるためのものである。第１絶縁層３の厚みは、例えば０．１〜１０μｍに設定することができる。
【００１７】
第１絶縁層３には、図３にも示されるように、第１磁性基板ＭＢ１と第２磁性基板ＭＢ２との間に閉磁路を形成するための磁性体１７を配置するための開口（切り欠きも含む）３ａと、第１コイル導体５及び第２コイル導体７の端部を露出させるための切り欠き３ｂとが設けられている。開口３ａは、第１コイル導体５及び第２コイル導体７の中央領域及び外周領域に形成される。磁性体１７は、複合フェライト等の磁性材料からなる。
【００１８】
第１絶縁層３は、以下のようにして形成される。まず、第１磁性基板ＭＢ１上に上記樹脂材料を塗布する。樹脂材料の塗布としては、スピンコート法、ディップ法、スプレー法等がある。そして、塗布した樹脂材料を露光、現像し、所定の位置に開口３ａ及び切り欠き３ｂ等を形成した状態で硬化させる。
【００１９】
第１コイル導体５及び第２コイル導体７は、スパイラル形状を呈しており、導電性を有する金属材料（例えば、Ｃｕ等）を含んでいる。第１コイル導体５及び第２コイル導体７は、図４（ａ）及び（ｂ）にも示されるように、第１絶縁層３上において互いが所定間隔（例えば、５０μｍ程度）を有して沿うように配置される第１の部分５ａ，７ａと、互いが立体的に交差する第２の部分５ｂ，７ｂとを含んでいる。第１コイル導体５の第１の部分５ａは、その途中位置において、第２コイル導体７の第２の部分７ｂが横切るように、途切れて形成されている。また、第２コイル導体７の第１の部分７ａは、その途中位置において、第１コイル導体５の第２の部分５ｂが横切るように、途切れて形成されている。第１コイル導体５及び第２コイル導体７の厚みは、例えば３〜２０μｍに設定することができる。また、第１コイル導体５及び第２コイル導体７の幅は、例えば５〜３０μｍに設定することができる。
【００２０】
第１コイル導体５の第１の部分５ａ及び第２の部分５ｂの一部と、第２コイル導体７の第１の部分７ａ及び第２の部分７ｂの一部とは、図５（ａ）〜（ｆ）に示されるようにして形成される。図５（ａ）〜（ｆ）は、本実施形態に係るコモンモードチョークコイルアレイに含まれる、第１及び第２コイル導体の第１の部分と第２の部分の一部との製造方法の一例を説明するための図である。
【００２１】
まず、図５（ａ）に示されるように、第１絶縁層３上に真空成膜法（スパッタリング等）で下地導体膜２１を形成する。このとき、下地導体膜２１は、第１絶縁層３との密着性及びめっき性を考慮すると、Ｃｒ／Ｃｕ（第１絶縁層３側がＣｒ）又はＴｉ／Ｃｕ（第１絶縁層３側がＴｉ）の多層膜構造とすることが好ましい。
【００２２】
続いて、図５（ｂ）に示されるように、下地導体膜２１上にレジスト２３を塗布する。このとき、レジスト２３は、電気めっきにより形成する導電性金属材料２５の厚みより厚く塗布することが好ましい。
【００２３】
次に、図５（ｃ）に示されるように、レジスト２３を露光、現像し、第１の部分５ａ，７ａが所定間隔を有して沿うように配置されたスパイラル形状導体パターンに相当する型をレジスト２３で成形する。つまり、スパイラル形状導体パターンに対応させて下地導体膜２１が露出することとなる。露光及び現像は、上記スパイラル形状導体パターンに対応する開口を有するホトマスクを用いたフォトリソグラフィー技術によって行う。
【００２４】
次に、図５（ｄ）に示されるように、下地導体膜２１を電極として、型内に導電性金属材料２５を電気めっきにより成長させてスパイラル形状導体パターンを形成する。導電性金属材料２５は、めっき性、コスト、導電性を考慮するとＣｕが好ましい。このとき、パターンの幅に応じて導電性金属材料２５の成長速度が変わるように電気めっき条件を設定することにより、図３に示されるような部分的に厚みの異なる導体パターンを作製することができる。
【００２５】
次に、図５（ｅ）に示されるように、レジスト２３を除去する。これにより、下地導体膜２１の上には、上記スパイラル形状導体パターンとされた導電性金属材料２５が残ることとなる。
【００２６】
次に、図５（ｆ）に示されるように、露出している下地導体膜２１を、導電性金属材料２５をマスクとして、エッチング等により除去する。これにより、第１絶縁層３上に、互いに所定間隔を有して沿うように配置された第１コイル導体５の第１の部分５ａ及び第２の部分５ｂの一部と、第２コイル導体７の第１の部分７ａ及び第２の部分７ｂの一部とが形成されることとなる。なお、導電性金属材料２５上に、耐腐食性や第２絶縁層９との密着性等を考慮し、Ｎｉめっきを施してもよい。
【００２７】
第２絶縁層９は、第１絶縁層３と同様に、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂等の電気的及び磁気的な絶縁性に優れ、加工性のよい樹脂材料からなる。第２絶縁層９の厚みは、例えば１〜２０μｍに設定することができる。
【００２８】
第２絶縁層９には、磁性体１７を配置するための開口（切り欠きも含む）９ａと、第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３の端部を露出させるための切り欠き９ｂとが設けられている。開口９ａは、開口３ａ対応し、第１コイル導体５及び第２コイル導体７の中央領域及び外周領域に形成される。
【００２９】
第１コイル導体５の第２の部分５ｂは、図４（ａ）にも示されるように、第１コイル導体５の第１の部分５ａが途切れた（第２コイル導体７の第２の部分７ｂが第１コイル導体５の第１の部分５ａを横切る）位置に対応して、第２絶縁層９上に形成されている。これにより、第２絶縁層９上に形成された第１コイル導体５の第２の部分５ｂと、第１絶縁層３上に形成された第２コイル導体７の第２の部分７ｂとが、立体的に交差することとなる。第１コイル導体５の第２の部分５ｂは、その一端が第１コイル導体５の第１の部分５ａの途切れた一方の端部に電気的に接続され、他端が第１コイル導体５の第１の部分５ａの途切れた他方の端部に電気的に接続される。
【００３０】
第２コイル導体７の第２の部分７ｂは、図４（ｂ）にも示されるように、第２コイル導体７の第１の部分７ａが途切れた（第１コイル導体５の第２の部分５ｂが第２コイル導体７の第１の部分７ａを横切る）位置に対応して、第２絶縁層９上に形成されている。これにより、第２絶縁層９上に形成された第２コイル導体７の第２の部分７ｂと、第１絶縁層３上に形成された第１コイル導体５の第２の部分５ｂとが、立体的に交差することとなる。第２コイル導体７の第２の部分７ｂは、その一端が第２コイル導体７の第１の部分７ａの途切れた一方の端部に電気的に接続され、他端が第２コイル導体７の第１の部分７ａの途切れた他方の端部に電気的に接続される。
【００３１】
第１コイル導体５の第２の部分５ｂと第２コイル導体７の第２の部分７ｂとが立体的に交差することにより、第１コイル導体５及び第２コイル導体７は、図６に示されるように、第１磁性基板ＭＢ１（第２磁性基板ＭＢ２）の主面に直交する方向から見て、その途中部分において交差することとなる。図６は、本実施形態に係るコモンモードチョークコイルアレイに含まれる、第１及び第２コイル導体の形状を説明するための模式図である。
【００３２】
第２絶縁層９には、第２絶縁層９上に形成される第１コイル導体５の第２の部分５ｂを第１コイル導体５の第１の部分５ａに接触させて電気的に接続するための開口（コンタクトホール）９ｃと、第２絶縁層９上に形成される第２コイル導体７の第２の部分７ｂを第２コイル導体７の第１の部分７ａに接触させて電気的に接続するための開口（コンタクトホール）９ｄとが形成されている。
【００３３】
第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３は、第２絶縁層９上に形成されている。その一端が第１コイル導体５及び第２コイル導体７のスパイラルの内側の端部に電気的に接続されており、他端が露出している。第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３の厚みは、例えば１〜１０μｍに設定することができる。また、第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３の幅は、例えば１〜２５μｍに設定することができる。
【００３４】
第２絶縁層９には、第２絶縁層９上に形成される第１引き出し電極１１を第１コイル導体５の第１の部分５ａに接触させて電気的に接続するための開口（コンタクトホール）９ｅと、第２絶縁層９上に形成される第２引き出し電極１３を第２コイル導体７の第１の部分７ａに接触させて電気的に接続するための開口（コンタクトホール）９ｆとが形成されている。
【００３５】
第２絶縁層９には、第１絶縁層３に形成された切り欠き３ｂに対応して、切り欠き９ｇが形成されており、この切り欠き９ｇには、第１コイル導体５及び第２コイル導体７の端部に接触して電気的に接続される電極１９が設けられる。また、第１絶縁層３には、第２絶縁層９に形成された切り欠き９ｂに対応して、切り欠き３ｃが形成されており、この切り欠き３ｃには、第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３の端部に接触して電気的に接続される電極２０が設けられる。
【００３６】
第２絶縁層９は、第１絶縁層３と同様にして、第１絶縁層３、第１コイル導体５の第１の部分５ａ及び第２コイル導体７の第１の部分７ａ上に形成される。なお、第１コイル導体５の第１の部分５ａ及び第２コイル導体７の第１の部分７ａにＮｉめっきを施している場合、コンタクトホールとして機能する開口９ｃ〜９ｆから露出するＮｉめっきをエッチング等により除去することが好ましい。
【００３７】
また、第１コイル導体５の第２の部分５ｂ、第２コイル導体７の第２の部分７ｂ、第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３は、第１コイル導体５の第１の部分５ａ及び第２コイル導体７の第１の部分７ａと同様に、第２絶縁層９上に形成される。
【００３８】
第３絶縁層１５は、第１絶縁層３及び第２絶縁層９と同様に、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂等の電気的及び磁気的な絶縁性に優れ、加工性のよい樹脂材料からなる。第３絶縁層１５の厚みは、例えば０．１〜１０μｍに設定することができる。第３絶縁層１５には、磁性体１７を配置するための開口（切り欠きも含む）１５ａが設けられている。
【００３９】
第３絶縁層１５は、第１絶縁層３及び第２絶縁層９と同様にして、第２絶縁層９、第１コイル導体５の第２の部分５ｂ、第２コイル導体７の第２の部分７ｂ、第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３の上に形成される。
【００４０】
第３絶縁層１５が形成されると、エポキシ樹脂等の樹脂材料にフェライト粉を混合して作製したペースト状の複合フェライトを第３絶縁層１５上に塗布し、硬化させる。このとき、開口１５ａ，９ａ，３ａにて構成される窪み部内にペースト状の複合フェライトを充填させる。これにより、磁性体１７が開口１５ａ，９ａ，３ａに配置されることとなる。なお、図２及び図３においては、磁性体１７を各絶縁層３，９，１５に対応させて、分割して図示している。なお、第３絶縁層１５上に塗布、硬化された複合フェライトは、表面が研磨されて、平滑化される。
【００４１】
第２磁性基板ＭＢ２は、第１磁性基板ＭＢ１と同様に、焼結フェライト、複合フェライト等の磁性材料からなる。第２磁性基板ＭＢ２は、表面が研磨された上記複合フェライト上に接着層（図示せず）を介して貼り付けられる。接着層は、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂等の接着剤により構成することができる。接着層の厚みは、例えば１〜５μｍに設定することができる。また、第２磁性基板ＭＢ２は、上記複合フェライトを厚くすることにより上記硬化された複合フェライトで代用することもできる。
【００４２】
なお、第１コイル導体５、第２コイル導体７、第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３は、それぞれが対応する端子電極１に接触して電気的に接続されている。
【００４３】
上述した構成のコモンモードチョークコイルアレイＣＡでは、第１コイル導体５と第２コイル導体７とが磁気的に結合している。第１コイル導体５及び第２コイル導体７にディファレンシャルモードの電流（逆相電流）が流れたときは、磁束が打ち消しあいインピーダンスが小さくなる。逆に、第１コイル導体５及び第２コイル導体７にコモンモードの電流（同相電流）が流れたときは、磁束が加算されインピータンスが大きくなる。
【００４４】
以上のように、本実施形態において、第１コイル導体５と第２コイル導体７とは、第２の部分５ｂ及び第２の部分７ｂにおいて互いに立体的に交差することから、第１コイル導体５及び第２コイル導体７のスパイラルの外側と内側の位置が交差する部分（第２の部分５ｂ及び第２の部分７ｂ）で入れ替わることとなる。このため、第１コイル導体５及び第２コイル導体７を交差させないものに比して、第１コイル導体５と第２コイル導体７との線路長の差を小さくすることができる。また、交差させる位置を適宜設定することにより、第１コイル導体５と第２コイル導体７との線路長を等しくすることもできる。この結果、第１コイル導体５の第２の部分５ｂ及び第２コイル導体７の第２の部分７ｂにおいて互いに立体的に交差させるという極めて簡易な構成でありながら、第１コイル導体５と第２コイル導体７とのインピーダンスを容易に揃えることができる。なお、本実施形態においては、第１コイル導体５の線路長は、２３ｍｍに設定されており、第２コイル導体７の線路長は、２３ｍｍに設定されている。
【００４５】
また、本実施形態においては、第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３を有し、第１コイル導体５の第２の部分５ｂ及び第２コイル導体７の第２の部分７ｂと、第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３とが同一面上（第２絶縁層９上）で形成されている。このように構成した場合、第１コイル導体５の第２の部分５ｂ及び第２コイル導体７の第２の部分７ｂと、第１引き出し電極１１及び第２引き出し電極１３とを同じ工程で形成することが可能となり、コモンモードチョークコイルアレイＣＡの製造工程が増えるのを防ぐことができる。
【００４６】
また、本実施形態においては、第１コイル導体５の第１の部分５ａと第２コイル導体７の第１の部分７ａとが同一面上（第１絶縁層３上）で形成されているので、第１コイル導体５と第２コイル導体７とが絶縁層を介して積層された構成のコモンモードチョークコイルアレイに比して、低背化することができる。更に、この結果、磁路長が短縮されることとなり、高周波領域においても優れたインピーダンス特性を得ることができる。
【００４７】
また、本実施形態においては、第１コイル導体５の第１の部分５ａと第２コイル導体７の第１の部分７ａとが同一面上（第１絶縁層３上）で形成されているので、第１コイル導体５と第２コイル導体７との磁気結合度を大きく維持することができる。
【００４８】
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。たとえば、第１コイル導体５と第２コイル導体７とを、２箇所において立体的に交差させているが、これに限ることなく、第１コイル導体５と第２コイル導体７とを１箇所において立体的に交差させる構成としてもよく、また、３箇所以上において立体的に交差させる構成としてもよい。また、第１コイル導体５と第２コイル導体７とを立体的に交差させる位置も、上述した実施形態における位置に限られるものでもない。
【００４９】
また、本実施形態においては、第１コイル導体５の第２の部分５ｂ及び第２コイル導体７の第２の部分７ｂを同一面上（第２絶縁層９上）に形成しているが、これに限ることなく、異なる面上に形成するようにしてもよい。
【００５０】
また、本発明は、コモンモードチョークコイルアレイＣＡに限られることなく、第１コイル導体５及び第２コイル導体７を１組有するコモンモードチョークコイル、トランス等のコイル部品にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明のコイル部品は、コモンモードチョークコイル、トランス等のコイル部品に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本実施形態に係るコモンモードチョークコイルアレイを示す斜視図である。
【図２】本実施形態に係るコモンモードチョークコイルアレイを分解して示した構成図である。
【図３】本実施形態に係るコモンモードチョークコイルアレイを分解して示した構成図である。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は、第１コイル導体と第２コイル導体とが立体的に交差する位置における断面構成を説明するための図である。
【図５】（ａ）〜（ｆ）は、本実施形態に係るコモンモードチョークコイルアレイに含まれる、第１及び第２コイル導体の第１の部分と第２の部分の一部との製造方法の一例を説明するための図である。
【図６】本実施形態に係るコモンモードチョークコイルアレイに含まれる、第１コイル導体及び第２コイル導体の形状を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００５３】
１…端子電極、３…第１絶縁層、５…第１コイル導体、５ａ…第１の部分、５ｂ…第２の部分、７…第２コイル導体、７ａ…第１の部分、７ｂ…第２の部分、９…第２絶縁層、１１…第１引き出し電極、１３…第２引き出し電極、１５…第３絶縁層、１７…磁性体、１９…電極、ＣＡ…コモンモードチョークコイルアレイ、ＬＳ…層構造体、ＭＢ１…第１磁性基板、ＭＢ２…第２磁性基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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