(57)【要約】【課題】  大型の電極に用いてもコストの低い板状誘電体を有するプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】  アルミナ板（第１の板状誘電体）６０とアルミナ板（第２の板状誘電体）６１とは互いに隣接した状態でアース電極２１のホット電極１１側の対向面に設けられている。アルミナ板６０、６１がアース電極２１の対向面に設けられていることによって、大型の電極に対して高コストな大型の板状誘電体を用いずに低コストな小型の板状誘電体を用いることができる。また、例えばアルミナ板６０のみが破損した場合、破損したアルミナ板６０のみを交換することで再びアース電極２１の対向面を被覆することができるので、１枚の大きなアルミナ板を用いた場合に比べ、アルミナ板にかかるコストを低くすることができる。【選択図】  図２
2005093344.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一対の電極を有し、
前記一対の電極の間から発生するプラズマを用いて被処理体にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、
前記一対の電極の少なくとも一方の電極の対向面には、互いに隣接する第１の板状誘電体及び第２の板状誘電体が設けられていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
前記第１の板状誘電体及び第２の板状誘電体は、板状体をなす本体部と、当該本体部の側面から延設されて当該本体部よりも薄くなされた継手部を備えており、
本体部の主面同士が略面一になるように、前記第１の板状誘電体の継手部と、前記第２の板状誘電体の継手部とが接続されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記第１の板状誘電体の継手部と前記第２の板状誘電体の継手部との間に沿面バリアが設けられていることを特徴とする請求項２又は３に記載のプラズマ処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマを利用して被処理体を処理するプラズマ処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のプラズマ処理装置には、互いに対向する電極の対向面に板状誘電体が設けられたものがある（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開平１１−１９１５００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１のプラズマ処理装置では、大型の電極を用いると、電極の大きさに合わせて大型の板状誘電体を用いる必要がある。しかし、大型の板状誘電体コストが高い。また、板状誘電体の一部だけが破損しても破損部分のみを交換することができず、板状誘電体全体を交換しなくてはならないので、板状誘電体にかかるコストが高くなってしまうという問題がある。
【０００４】
上記問題を解決するために、本発明は、大型の電極に用いてもコストの低い板状誘電体を有するプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のプラズマ処理装置は、互いに対向する一対の電極を有し、前記一対の電極の間から発生するプラズマを用いて被処理体にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、前記一対の電極の少なくとも一方の電極の対向面には、互いに隣接する第１の板状誘電体及び第２の板状誘電体が設けられていることを特徴としている。
【０００６】
互いに隣接する第１の板状誘電体及び第２の板状誘電体が電極の対向面に設けられていることによって、低コストな小型の板状誘電体を用いることができる。また、板状誘電体の一部だけが破損した場合、その破損部分を有する側の板状誘電体のみを交換することができるので、板状誘電体にかかるコストを低くすることができる。
【０００７】
本発明のプラズマ処理装置は、主に大気圧近傍の圧力下においてプラズマ処理を行う装置である。なお、大気圧近傍の圧力下とは、１．３３３×１０4〜１０．６６４×１０4Ｐａの圧力下を意味する。特に、プラズマ処理を行う圧力が９．３３１×１０4〜１０．３９７×１０4Ｐａの範囲内にあると、圧力調整が容易になるとともに、装置の構成が簡便にすることができる。
【０００８】
本発明のプラズマ処理装置に用いられる一対の電極を構成する材質としては、例えば、ステンレス、銅、鉄、アルミニウム、チタン、タングステン、真鍮等の金属が挙げられる。これらの金属は、単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。また、それぞれの電極に用いられる材質はそれぞれ異なっていてもよい。
また、電極の構造は、電界集中による放電の発生を避けるために、電極間距離が一定となるように配置されていることが好ましい。このような電極の構造としては、例えば平行平板型、円筒対平板型等が挙げられる。
【０００９】
第１の板状誘電体と第２の板状誘電体は、互いに隙間なく並べて設けられていることが好ましい。各板状誘電体が互いに隙間なく並べて設けられていると、電極の対向面から異常放電が発生することを防ぐことができる。
【００１０】
第１の板状誘電体と第２の板状誘電体の形状は互いに同じであることが好ましい。それぞれの板状誘電体が同じ形状であると、板状誘電体の１枚が破損した場合、交換用に様々な種類の板状誘電体を備えておく必要がなく、板状誘電体にかかるコストを低下させることができる。
【００１１】
このような板状誘電体を構成する材質としては、例えば、アルミナ、石英、テトラフルオロエチレン、ガラス等の板状の固体誘電体が挙げられる。
【００１２】
また、本発明のプラズマ処理装置は、前記第１の板状誘電体及び第２の板状誘電体が、板状体をなす本体部と、当該本体部の側面から延設されて当該本体部よりも薄くなされた継手部を備えており、本体部の主面同士が略面一になるように、前記第１の板状誘電体の継手部と、前記第２の板状誘電体の継手部とが接続されていることが好ましい。
【００１３】
板状誘電体同士を接続する継手部が本体部の側面から延設されていることによって、板状誘電体の一方の主面側から継手部の表面を介して他方の主面側までの外周距離が長くなるので、本発明のプラズマ処理装置は、電圧印加時に発生する沿面放電が板状誘電体の継手部を進展する間に沿面放電の減衰を図ることができ、ひいては沿面放電による異常放電の発生を防ぐことができる。
【００１４】
また、第１の板状誘電体の継手部と第２の板状誘電体の継手部との間に沿面バリアが設けられていることが好ましい。これらの継手部の間に沿面バリアが設けられていると、沿面放電が継手部の表面を進展することを防ぐことができるので、加工精度や取付け精度の誤差等で第１の板状誘電体の継手部と第２の板状誘電体の継手部とが完全に密着されていなくても、沿面放電による異常放電の発生を防ぐことができる。
【００１５】
このような沿面バリアを構成する材質としては、沿面放電の進展を防ぐことができる材質であれば特に限定されないが、例えば、シリコーンゴム、フッ素樹脂、ポリイミド樹脂等の樹脂組成物や、酸化アルミニウム、二酸化ジルコニウム等の金属酸化物や、石英、二酸化ケイ素等のガラス等が挙げられる。
これらの材質のうち、容易に変形することができる樹脂組成物が好ましい。このような樹脂組成物を用いると、継手部の形状に合わせて樹脂組成物を変形して継手部同士の間に樹脂組成物を容易に設けることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、電極の対向面に第１の板状誘電体と第２の板状誘電体が設けられていることによって、大型の電極に対して高コストな大型の板状誘電体を用いずに低コストな小型の板状誘電体を用いることができ、また、板状誘電体の一部だけが破損しても破損した板状誘電体のみを交換することができるので、板状誘電体にかかるコストを低下することができる。
【００１７】
板状誘電体同士を接続する継手部が本体部の側面から延設されていることによって、板状誘電体の一方の主面側から継手部の表面を介して他方の主面側までの外周距離が長くなるので、本発明のプラズマ処理装置は、電圧印加時に発生する沿面放電が板状誘電体の継手部を進展する間に沿面放電の減衰を図ることができ、ひいては沿面放電による異常放電の発生を防ぐことができる。
【００１８】
また、第１の板状誘電体の継手部と第２の板状誘電体の継手部との間に沿面バリアが設けられていると、沿面放電が継手部の表面を進展することを防ぐことができるので、加工精度や取付け精度の誤差等で第１の板状誘電体の継手部と第２の板状誘電体の継手部とが完全に密着されていなくても、沿面放電による異常放電の発生を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の第１の実施形態を図面を参照して説明する。
図１は本発明のプラズマ処理装置の斜視図である。図２は、図１のＡ−Ａ線に沿うプラズマ処理装置の断面図であり、図３は、図２のＢ−Ｂ線に沿うプラズマ処理装置の断面図である。また、図４は図２における第１の板状誘電体及び第２の板状誘電体を示す斜視図である。
【００２０】
本発明のプラズマ処理装置Ｍは、上下一対の上部ユニット１０及び下部ユニット２０を有している。
まず、下部ユニット２０について説明する。
【００２１】
下部ユニット２０は、基台３、アース電極２１、電極ホルダ２２、アルミナ板６０、６１、ダクト４０等によって構成されている。
板状の基台３の上には、絶縁性の樹脂から構成された電極ホルダ２２と、一対のレール３３、３３が固定されている。
【００２２】
電極ホルダ２２の上部ユニット側の上面（対向面）には、電極ホルダ２２の内部に向かって窪んだ深い凹部２２ｘと、凹部２２ｘ周縁に沿う浅い凹部２２ｙとが形成されており、凹部２２ｘに板状のアース電極２１が埋め込まれている。アース電極２１は接地線２ａを介して接地されている。アース電極２１の内部には冷媒路２１ａが形成されており、冷媒路２１ａに冷媒が通されることによってアース電極２１の温度が調節される。この冷媒は、冷媒管２１ｂを介して接続されたチラー２１ｃの駆動によって冷媒路２１ａに送られる。
【００２３】
アース電極２１の上部ユニット側の上面（対向面）には、互いに隣接する２枚のアルミナ板（第１の板状誘電体及び第２の板状誘電体）６０、６１が被せられており、アース電極２１の上面がアルミナ板６０、６１によって被覆されている。アルミナ板６０、６１は互いに接続されて一体化されており、一体化されたアルミナ板６０、６１の周縁がアース電極２１の周縁から突出している。また、アルミナ板６０、６１は、電極ホルダ２２の凹部２２ｙに収められており、アルミナ板６０、６１の上面が電極ホルダ２２の上面と面一になされている。
なお、アルミナ板６０、６１は本発明の特徴部分であり、後述する。
【００２４】
基台３の上面には、電極ホルダ２２側に開口した箱型のダクト４０が形成されている。このダクト４０は吸引路４ａを介して真空ポンプ４と接続されており、ダクト４０の内部の気体の吸引を行う。
【００２５】
上部ユニット１０について説明する。
上部ユニット１０は、ホット電極１１（第１電極）、電極ホルダ１２、アルミナ板１３、及び上板１４等から構成されている。
【００２６】
上板１４は電極ホルダ１２の上面に固定されており、上板１４の側部には把手１４ａが設けられている。上板１４の両端が電極ホルダ１２の両端から突出し、その突出部には側板３１、３１が設けられている。側板３１、３１はレール３３、３３の上に設けられており、側板３１、３１はレール３３、３３の上を矢印ａ又は矢印ｂの方向にスライド可能になされており、ひいては上部ユニット１０が矢印ａ又は矢印ｂの方向にスライド可能になされている。
【００２７】
電極ホルダ１２は絶縁性の樹脂から構成されており、電極ホルダ１２の下面には、電極ホルダ１２の内部に向かって窪んだ凹部１２ｘと、凹部１２ｘの周縁に沿う浅い凹部１２ｙとが形成されている。
【００２８】
凹部１２ｘには板状のホット電極１１が埋め込まれており、ホット電極１１は、給電線１ａを介して電源１と接続されて電圧印加電極となっている。また、ホット電極１１の内部には冷媒路１１ａが形成されており、冷媒路１１ａに冷媒が通されることによってホット電極１１の温度が調節される。この冷媒は、冷媒管１１ｂを介して接続されたチラー１１ｃの駆動によって冷媒路１１ａに送られる。
【００２９】
ホット電極１１の下面にはアルミナ板１３が設けられている。アルミナ板１３はホット電極１１の下面を被覆するとともに、アルミナ板１３の周縁がホット電極１１より突出している。アルミナ板１３は電極ホルダ１２の凹部１２ｙに収められており、アルミナ板１３の下面が電極ホルダ１２の下面と面一になされている。また、アルミナ板１３は、下部ユニット２０に設けられたアルミナ板６０、６１と平行になされている。
ここで、ホット電極１１とアース電極２１との間に放電空間５０が形成される。
【００３０】
また、電極ホルダ１２の上部には、処理ガス用のインレットポート１５と、カーテンガス用のインレットポート１６、１６が設けられている。
処理ガス用のインレットポート１５は、ガスチューブ５ａを介して処理ガス源５と接続されている。電極ホルダ１２の内部には、インレットポート１５からチャンバー１２ｂに延びる処理ガス路１２ａが形成されている。このチャンバー１２ｂは図１におけるＡ−Ａ方向に長く設けられており、チャンバー１２ｂの下側にはスリット状のノズル孔１２ｃが設けられており、ノズル孔１２ｃは放電空間５０を向いて電極ホルダ１２の下面に開口している。また、このノズル孔１２ｃの開口は、アルミナ板１３の周縁に設けられている。
【００３１】
電極ホルダ１２の上部には、一対のカーテンガス用のインレットポート１６、１６が設けられている。
これらのカーテンガス用のインレットポート１６、１６にはそれぞれガスチューブ６ａを介してカーテンガス源６と接続されている。なお、ガスチューブ６ａは、途中で２本に分岐して左右のインレットポート１６、１６へそれぞれ延びている。電極ホルダ１２の内部には、それぞれのインレットポート１６、１６からチャンバー１２ｅ、１２ｅに伸びるカーテンガス路１２ｄ、１２ｄが設けられている。これらのチャンバー１２ｅ、１２ｅは図１におけるＢ−Ｂ方向に長く設けられており、チャンバー１２ｅ、１２ｅの下側にはスリット状のノズル孔１２ｆ、１２ｆが設けられており、ノズル孔１２ｆ、１２ｆは放電空間５０を向いて電極ホルダ１２の下面に開口している。また、このノズル孔１２ｆ、１２ｆの開口は、アルミナ板１３の周縁に設けられている。
【００３２】
処理ガス源５には、例えばＮ2、Ｏ2、ＣＦ2等の処理ガスが充填されており、カーテンガス源６には、例えばＮ2等の不活性気体からなるカーテンガスが充填されている。なお、処理ガスとカーテンガスとが同一のガスの場合、ガス源５、６のいずれか一方を用いて共通のガス源にすることができる。
【００３３】
次に、本発明の特徴部分であるアルミナ板６０、６１を図４に基づいて説明する。
図４は図２におけるアルミナ板６０及びアルミナ板６１を示す斜視図である。
【００３４】
アース電極２１の対向面に設けられたアルミナ板６０、６１はそれぞれ板状の形状（Ｌ３１５ｍｍ×Ｗ４３０ｍｍ×ｔ１ｍｍ）をなしており、アルミナ板６０、６１は、上部ユニット１０に設けられたアルミナ板１３と平行に設けられている。
アルミナ板６０、６１とアルミナ板１３とが平行になされていることによって、電圧印加時に放電空間５０内で電荷の偏りが発生することを防ぐことができ、ひいては大気圧近傍の圧力下でも放電空間５０内における異常放電の発生を防ぐことができる。
【００３５】
アルミナ板（第１の板状誘電体）６０とアルミナ板（第２の板状誘電体）６１とは互いに隣接した状態でアース電極２１の対向面に設けられている。
ここで、２枚のアルミナ板６０、６１がアース電極２１の対向面に設けられていることによって、例えばアルミナ板６０のみが破損した場合、破損したアルミナ板６０のみを交換することで再びアース電極２１の対向面を被覆することができるので、１枚の大きなアルミナ板を用いた場合に比べ、アルミナ板にかかるコストを低くすることができる。
【００３６】
アルミナ板６０、６１は、それぞれ直方体の形状をなす本体部６０ａ、６１ａと、その本体部６０ａ、６１ａの長手方向の側面から延設された継手部６０ｂ、６１ｂから構成されている。継手部６０ｂ、６１ｂはアルミナ板６０、６１の本体部６０ａ、６１ａの主面と平行な方向に延設されており、アルミナ板６０、６１は平ほぞ構造をなした断面Ｌ字型の形状をなしている。
また、継手部６０ｂ、６１ｂは本体部６０ａ、６１ａよりも薄くなされており、継手部６０ｂ、６１ｂは本体部６０ａ、６１ａの半分の厚みになされて継手部６０ｂ、６１ｂの形状が等しくなされている。
【００３７】
アルミナ板６０の継手部６０ｂは、アルミナ板６１の継手部６１ｂを下側にして継手部６１ｂに覆い重なるように接続されており、その接続構造は継手部６０ｂと継手部６１ｂとが相欠き継ぎ構造になされている。
また、アルミナ板６０のホット電極１１側の上面（主面）とアルミナ板６１のホット電極１１側の上面（主面）とが面一になされており、継手部６０ｂと継手部６１ｂとの間には隙間が形成されていない。
【００３８】
アルミナ板６０、６１を接続する継手部６０ｂ、６１ｂが本体部６０ａ、６１ｂの側面から延設されていることによって、アルミナ板６０、６１の上面側から継手部６０ｂ、６１ｂの表面を介してアルミナ板６０、６１の下面側までの外周距離が長くなる。この外周距離が長くなることによって、電圧印加時に発生する沿面放電が継手部６０ｂ、６１ｂの間を進展してホット電極１１側の面に到達するまでの間に減衰し、沿面放電による異常放電の発生を防ぐことができる。
【００３９】
アルミナ板６０、６１は、本体部６０ａ、６１ａの側面から継手部６０ｂ、６１ｂの先端６０ｃ、６１ｃまでの距離Ｌ１、Ｌ２が等しくなされている。距離Ｌ１、Ｌ２がそれぞれ等しくなされていることによって、先端６０ｃ、６１ｃと本体部６０ａ、６１ａの側面との間に隙間が形成されないので、本体部６０ａの側面と先端６１ｃとの間で異常放電を発生する恐れがない。
【００４０】
また、本体部６０ａ、６１ａの側面から先端６０ｃ、６１ｃまでの距離Ｌ１、Ｌ２は、本体部６０ａ、６１ａの厚み（１ｍｍ）の２０倍の２０ｍｍになされている。この距離Ｌ１、Ｌ２が本体部６０ａ、６１ａの厚みの２０倍になされていることによって、アルミナ板６０、６１の上面側から継手部６０ｂ、６１ｂの表面を介してアルミナ板６０、６１の下面側までの外周距離が沿面放電の進展距離以上となり、沿面放電が継手部６０ｂ、６１ｂの間を進展してホット電極１１側の面に到達するまでの間に減衰し、沿面放電による異常放電の発生を効率的に防ぐことができる。
【００４１】
なお、アルミナ板６０、６１の継手部６０ｂ、６１ｂの製造方法としては、例えば、板状のアルミナ板の周縁を削り出す方法等が挙げられる。
【００４２】
ここで、以下の方法によって、アルミナ板６０、６１が隣接していることや、アルミナ板６０、６１が面一になされていることを確認することができる。
【００４３】
アルミナ板６０、６１が隣接していることの確認方法としては、例えば、アルミナ板６０、６１をホット電極１１側から目視を行い、アルミナ板６０とアルミナ板６１との間に間隙が形成されず、アルミナ板６０とアルミナ板６１との境界が一本の直線になされていることを確認する方法が挙げられる。
【００４４】
また、アルミナ板６０、６１が面一になされていることの確認方法としては、例えば、アルミナ板６０、６１がなす面に対して斜め方向からアルミナ板６０、６１の目視を行い、アルミナ板６０の側面又はアルミナ板６１の先端６１ｃの影が存在しないことを確認する方法等が挙げられる。
【００４５】
アルミナ板６１が破損した場合におけるアルミナ板６１の交換手順を説明する。
まず、破損していないアルミナ板６０を凹部２２ｙから取り出し、次に、破損したアルミナ板６１を凹部２２ｙから取り出す。
【００４６】
破損したアルミナ板６１に代えて、アルミナ板６１と全く同一の形状をなした新たなアルミナ板を準備する。破損したアルミナ板６１を取り出した後、新たなアルミナ板を凹部２２ｙに載せて新たなアルミナ板の周縁を凹部２２ｙの周縁に合わせる。このとき、新たなアルミナ板の継手部を下側にし、この新たなアルミナ板の継手部を凹部２２ｙの周縁と隣接しないように新たなアルミナ板を凹部２２ｙに設ける。
【００４７】
新たなアルミナ板を凹部２２ｙに設けた後、新たなアルミナ板の継手部に先程取り出したアルミナ板６０を凹部２２ｙに載せる。このとき、アルミナ板６０の継手部６０ｂを上側にし、継手部６０ｂの下側を新たなアルミナ板の継手部の上に載せるようにアルミナ板６０を設ける。
以上の手順によって破損したアルミナ板６１の交換が行われる。
【００４８】
上記のように構成されたプラズマ処理装置Ｍを用いて基材Ｗにプラズマ処理を行う手順を説明する。
まず、把手１４ａを持ちながら上部ユニット１０を矢印ａの方向にスライドさせ、下部ユニット２０の上面を露出させる。次に、下部ユニット２０のアルミナ板６０、６１の上に基材Ｗを載せ、把手１４ａを持ちながら上部ユニット１０を矢印ｂの方向にスライドさせて基材Ｗの上方に移動させる。基材Ｗは、上部ユニット１０と下部ユニット２０との間の放電空間５０に位置している。
【００４９】
上部ユニットを矢印ｂの方向にスライドさせた後、処理ガスを処理ガス源５からガスチューブ５ａを介してインレットポート１５に導入する。インレットポート１５に導入された処理ガスは、処理ガス路１２ａを介してチャンバー１２ｂで濃度が均一化されてノズル孔１２ｃから放電空間５０に向けて吹き出される。
【００５０】
処理ガスと同様に、カーテンガスをカーテンガス源６からガスチューブ６ａを介してインレットポート１６、１６に導入する。インレットポート１６、１６に導入されたカーテンガスは、カーテンガス路１２ｄ、１２ｄを介してチャンバー１２ｅ、１２ｅで濃度が均一化されてノズル孔１２ｆ、１２ｆからアルミナ板６０、６１の周縁に向けて吹出される。カーテンガスがアルミナ板６０、６１の周縁に向けて吹き出されることによって、処理ガスが放電空間５０から外部に拡散することを防ぐことができる。
【００５１】
そして、放電空間５０に処理ガスが供給された状態で、電源１のスイッチをオンにし、ホット電極１１に対してパルス電圧の印加を開始する。パルス電圧の印加によって放電空間５０に供給された処理ガスは大気圧近傍の圧力下でも均一なグロー状態のプラズマとなり、この処理ガスのプラズマによって基材Ｗの表面にプラズマ処理が行われる。
【００５２】
プラズマ処理に用いられた使用済みの処理ガス等は、真空ポンプ４の駆動によってダクト４０から吸引されて排気される。
【００５３】
基材Ｗに対するプラズマ処理が終了した後は、処理ガス及びカーテンガスの供給を停止するとともに電源１のスイッチをオフにする。そして、把手１４ａを持ちながら上部ユニット１０を矢印ａの方向にスライドさせて再び下部ユニット２０の上面を露出させて、プラズマ処理が行われた基材Ｗを取り出す。
以上の工程によって、基材Ｗに対するプラズマ処理が行われる。
【００５４】
図５に、本発明の第２の実施形態を説明する。
図５は、第１の実施例において、沿面バリアを用いたアルミナ板を適用した斜視図である。
なお、第１の実施形態において、同一の部分については同一の符号を付して説明を省略する。
【００５５】
アルミナ板６２、６３はそれぞれ同じ形状（Ｌ３１５ｍｍ×Ｗ４３０ｍｍ×ｔ１ｍｍ）の板状体をなしており、アルミナ板（第１の板状誘電体）６２とアルミナ板（第２の板状誘電体）６３とは互いに隣接している。
【００５６】
アルミナ板６２、６３は、それぞれ直方体の形状をなす本体部６２ａ、６３ａと、その本体部６２ａ、６３ａの長手方向の側面から延設された継手部６２ｂ、６３ｂから構成されている。継手部６２ｂ、６３ｂはアルミナ板６２、６３の本体部６２ａ、６３ａの主面と平行な方向に延設されており、アルミナ板６２、６３は平ほぞ構造をなした断面Ｌ字型の形状をなしている。
また、継手部６２ｂ、６３ｂは、先端６２ｃ、６３ｃ方向に向かって厚みが薄くなされている。
【００５７】
アルミナ板６２の継手部６２ｂは、アルミナ板６３の継手部６３ｂを下側にして継手部６３ｂに覆い重なるように接続されており、その接続構造は継手部６２ｂと継手部６３ｂとが相欠き継ぎ構造になされている。
また、アルミナ板６２のホット電極１１側の上面（主面）とアルミナ板６３のホット電極１１側の上面（主面）とが面一になされている。
【００５８】
なお、アルミナ板６２、６３は、本体部６２ａ、６３ａの側面から継手部６２ｂ、６３ｂの先端６２ｃ、６３ｃまでの距離Ｌ３、Ｌ４が等しくなされており、その距離Ｌ３、Ｌ４は、本体部６２ａ、６３ａの厚み（１ｍｍ）の２０倍の２０ｍｍになされている。
【００５９】
ここで、継手部６２ｂと継手部６３ｂとの間にはフィルム状のシリコーンゴム７０が設けられている。このシリコーンゴム７０は変形可能になされており、継手部６０ｂと継手部６１ｂとの間に空隙を形成せずに継手部６２ｂ、６３ｂに密着している。
【００６０】
シリコーンゴム７０が継手部６２ｂ、６３ｂに密着していることによって、継手部６２ｂ、６３ｂとの間を沿面放電が進展することを防ぐことができ、沿面放電による異常放電の発生を完全に防ぐことができる。また、シリコーンゴム７０が継手部６２ｂ、６３ｂの間に設けられることによって、継手部６２ｂ、６３ｂの加工精度や取り付け精度の誤差等で継手部６２ｂ、６３ｂ同士が完全に密着されていなくても、沿面放電による異常放電の発生を防ぐことができる。
【００６１】
図６に、本発明の第３の実施形態を説明する。
図６は、第１の実施例において、異なる形状のアルミナ板を適用した斜視図である。
なお、第１の実施形態において、同一の部分については同一の符号を付して説明を省略する。
【００６２】
アルミナ板６４、６５はそれぞれ同じ形状（Ｌ３１５ｍｍ×Ｗ４３０ｍｍ×ｔ１ｍｍ）の板状体をなしており、アルミナ板（第１の板状誘電体）６４とアルミナ板（第２の板状誘電体）６５とは互いに隣接している。
【００６３】
アルミナ板６４、６５は、それぞれ直方体の形状をなす本体部６４ａ、６５ａと、その本体部６４ａ、６５ａの長手方向の側面から延設された継手部６４ｂ、６５ｂから構成されている。継手部６４ｂ、６５ｂはアルミナ板６４、６５の本体部６４ａ、６５ａの主面と平行な方向に延設されており、継手部６４ｂ、６５ｂの断面形状は三角形をなしている。
また、継手部６４ｂ、６５ｂは、先端６４ｃ、６５ｃ方向に向かって厚みが薄くなされている。
【００６４】
アルミナ板６４の継手部６４ｂは、アルミナ板６５の継手部６５ｂを下側にして継手部６５ｂに覆い重なるように接続されており、その接続構造は羽打ち継ぎ構造になされている。ここで、継手部６４ｂ、６５ｂの形状がそれぞれ等しくなされており、継手部６４ｂと継手部６５ｂとの間には隙間が形成されていない。
また、アルミナ板６４のホット電極１１側の上面（主面）とアルミナ板６５のホット電極１１側の上面（主面）とが面一になされている。
【００６５】
アルミナ板６４の継手部６４ｂは、アルミナ板６５の継手部６５ｂを下側にして継手部６５ｂに覆い重なるようにアルミナ板６５の継手部６５ｂと接続されており、その接続構造は羽打ち継ぎ構造になされている。ここで、継手部６４ｂ、６５ｂの形状がそれぞれ等しくなされており、継手部６４ｂと継手部６５ｂとの間には隙間が形成されていない。
【００６６】
また、本体部６４ａ、６５ａの側面から継手部６４ｂ、６５ｂの先端６４ｃ、６５ｃまでの距離Ｌ５、Ｌ６は、本体部６４ａ、６５ａの厚み（１ｍｍ）の１０倍の１０ｍｍになされている。この距離が本体部６４ａ、６５ａの厚みの１０倍になされていることによって、アルミナ板６４、６５の上面側から継手部６４ｂ、６５ｂの表面を介してアルミナ板６４、６５の下面側までの外周距離が沿面放電の進展距離以上となるので、沿面放電による異常放電の発生を防ぐことができる。
【００６７】
本発明は、上記の実施形態に限定されず、種々の改変を行うことができる。
例えば、第１の板状誘電体と第２の板状誘電体におけるそれぞれの継手部の接続構造は、相欠き継ぎ構造や羽打ち継ぎ構造のみに限られず、ひぶくら継ぎ構造、本ざね継ぎ構造等でもよい。
また、下部ユニットの組み立て方法としては、予め継手部分を接続した２枚のアルミナ板を凹部２２ｙに設けてもよい。
【００６８】
本発明のプラズマ処理装置に用いる板状体誘電体の数は２枚のみに限られず、３枚以上でも構わない。３枚以上の板状誘電体を用いる場合、板状誘電体が隣接している側に継手部が設けられていればよく、１枚の板状誘電体に２以上の継手部が設けられていてもよい。
板状誘電体が破損した場合における板状誘電体の交換方法としては、上記の方法に限られず、破損した板状誘電体を先に取り外してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明のプラズマ処理装置の斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿うプラズマ処理装置の断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿うプラズマ処理装置の断面図である。
【図４】図２における第１の板状誘電体及び第２の板状誘電体を示す斜視図である。
【図５】第２の実施形態における第１の板状誘電体及び第２の板状誘電体を示す斜視図である。
【図６】第３の実施形態における第１の板状誘電体及び第２の板状誘電体を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００７０】
Ｍ  プラズマ処理装置
Ｗ  基材
１  電源
１ａ  給電線
２ａ  接地線
３  基台
４  真空ポンプ
５  処理ガス源
６  カーテンガス源
１０  上部ユニット
２０  下部ユニット
１１  ホット電極
２１  アース電極
１２、２２  電極ホルダ
５０  放電空間
１３、６０、６１、６２、６３、６４、６５  アルミナ板
６０ａ、６１ａ、６２ａ、６３ａ、６４ａ、６５ａ、  本体部
６０ｂ、６１ｂ、６２ｂ、６３ｂ、６４ｂ、６５ｂ、  継手部
６０ｃ、６１ｃ、６２ｃ、６３ｃ、６４ｃ、６５ｃ、  先端
７０  シリコーンゴム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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