(57)【要約】【課題】  複数の光軸を有して一回のウエハ位置決めに対して複数の固体撮像素子の検査を可能なウエハ検査装置において、検査するウエハの変更に伴って固体撮像素子の整列間隔が変化しても、従来よりも検査作業を省力化するようなウエハ検査装置を提供する。【解決手段】  表面に多数の固体撮像素子２が所定間隔で整列して形成されたウエハ１に検査光を照射して固体撮像素子２の検査を行うウエハ検査装置Ｕにおいて、検査光を出射するための光ファイバ１４が複数に分割されており、分割された光ファイバ１４の各光出射部をウエハ１表面に対向保持可能な保持部材Ｌ，Ｒと、これら保持部材Ｌ，Ｒを整列して保持するとともにウエハ１の表面に対して平行に移動させて保持部材Ｌ，Ｒの整列間隔を調整する間隔調整機構５０（９０）とを備える。また、光ファイバ１４が３分割以上される場合においては、保持部材Ｌ，Ｒ間の整列間隔を等間隔に保持したまま調整可能とする機構ＭＣ（ＰＭ）が間隔調整機構５０（９０）に備えられる。【選択図】  図１
2005347376.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に多数の被検対象が所定間隔で整列して形成されたウエハに検査光を照射し、前記被検対象の検査を行うウエハ検査装置において、
前記検査光を出射する複数の光照射器と、
前記複数の光照射器の光出射部をそれぞれ前記ウエハの表面に対向させて保持する複数の保持部材と、
前記複数の保持部材を整列して保持するとともに前記ウエハの表面に平行に移動させて前記複数の保持部材の整列間隔を調整する間隔調整機構とを備えて構成されるウエハ検査装置。
【請求項２】
前記間隔調整機構は３個以上の前記保持部材を等間隔で整列して保持し、前記保持部材間の整列間隔を等間隔に維持したまま調整可能であることを特徴とする請求項１に記載のウエハ検査装置。
【請求項３】
前記間隔調整機構は３個以上の前記保持部材を等間隔で整列して保持し、中央に位置する前記保持部材を固定した状態で左右の前記保持部材をそれぞれ反対方向に近接離反させるように移動させて整列間隔を調整するようになっており、
中央の前記保持部材Ｃに対して、残りの前記保持部材が左方向に順にＬ1，Ｌ2，…，Ｌm（ｍは正の整数）と並び、右方向に順にＲ1，Ｒ2，…，Ｒn（ｎは正の整数）と並んで保持され、左方向に並んだ前記保持部材Ｌ1，Ｌ2，…，Ｌmの移動量および右方向に並んだ前記保持部材Ｒ1，Ｒ2，…，Ｒnの移動量の比が、
Ｌ1：Ｌ2：…：Ｌm＝１：２：…：ｍ
Ｒ1：Ｒ2：…：Ｒn＝１：２：…：ｎ
となり、且つ
Ｌ1＝Ｒ1
であるように前記間隔調整機構が構成されることを特徴とする請求項２に記載のウエハ検査装置。
【請求項４】
前記間隔調整機構は４個以上の前記保持部材を等間隔で整列して保持し、前記保持部材が中央から左方向に順にＬ1，Ｌ2，…，Ｌm（ｍは正の整数）と並び、右方向に順にＲ1，Ｒ2，…，Ｒn（ｎは正の整数）と並んで保持され、左方向に並んだ前記保持部材Ｌ1，Ｌ2，…，Ｌmの移動量および右方向に並んだ前記保持部材Ｒ1，Ｒ2，…，Ｒnの移動量の比が、
Ｌ1：Ｌ2：…：Ｌm＝１：３：…：（２ｍ−１）
Ｒ1：Ｒ2：…：Ｒn＝１：３：…：（２ｎ−１）
となり、且つ
Ｌ1＝Ｒ1
であるように前記間隔調整機構が構成されることを特徴とする請求項２に記載のウエハ検査装置。
【請求項５】
前記間隔調整機構が、回転運動を直線運動に変換する複数の運動変換機構を有して構成され、前記複数の運動変換機構における運動変換比が、前記移動量の比に対応して設定されていることを特徴とする請求項３または４に記載のウエハ検査装置。
【請求項６】
前記保持部材にそれぞれ、前記光照射器の前記光出射部からの光が照射される検査対象の信号出力端子部と当接して出力信号を取り出す検査プローブが設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のウエハ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハ表面に所定間隔で整列して形成される固体撮像素子等に光を照射して検査を行うウエハ検査装置に関し、さらに詳しく言えば、検査光の出射部が複数設けられるウエハ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記固体撮像素子、例えばＣＣＤ（charge coupled device；電荷結合素子）は、シリコンウエハ表面にＣＶＤ、フォトリソグラフィー加工等により半導体集積回路を積層形成して作られ、一般的に１個のウエハ表面に多数のＣＣＤがマトリックス状に整列した状態で形成される。このＣＣＤは、ウエハ表面に整列形成された状態で性能検査が行われ、この検査で基準を満たした各ＣＣＤが個々に切り離されて種々の撮像機器に利用される。
【０００３】
このような性能検査を行うための装置は、一般に検査光の出射部である光照射器（例えば、光ファイバやレンズを内蔵する光学鏡筒）を備える光照射装置、信号取出装置（プローバ）、信号検査装置（テスター）およびウエハ搬送装置から構成されており、プローバは、ウエハ上の固体撮像素子の出力端子に接触して電気的に接続されるプローブピンを有して構成される。そして、ウエハを搬送装置のステージ上に載せ、検査対象となる固体撮像素子（以下、被検対象とも称する）をプローブピンの位置に移動させて被検対象の出力端子に接続し、この状態で被検対象の表面に光照射器によって照度均一性の高い検査光を照射し、プローブピンを介して被検査素子の出力端子からの電気出力を取り込んでテスターに送り、送られた出力信号に基づいて性能検査が行われる。
【０００４】
ところで、複数の光照射器を設け、各々の光照射器から出射される検査光をウエハに形成される被検対象の各々に照射して、複数の固体撮像素子を同時に検査可能な検査装置が、例えば特許文献１に開示されている。特許文献１に開示の検査装置を構成する光照射装置は、検査光の光源と、光源から出射される検査光の照度を調整する照度調整装置と、検査光の照度を均一にする光均一装置と、均一化された検査光が入射されて固体撮像素子に検査光を出射する光ファイバ（光照射器）とから構成されており、この光ファイバを２以上に分割することにより分割数に応じた固体撮像素子を同時に検査可能な構成としている。
【０００５】
これら複数に分割された光ファイバの各々から出射される検査光を被検対象の各々に正確に対応させて照射させる必要があり、マトリクス状に整列された被検対象の整列間隔に対応するように、複数の光照射器を規定の間隔で配置する必要がある。このため、特許文献１に開示されるような従来の検査装置では、複数の孔を規定の間隔（被検対象の間隔に対応した間隔）に穿設した固定用金具が設けられており、この固定用金具の孔に光ファイバの光出射端部を嵌合固定させ、光出射端部から出射される検査光の光軸位置を規定間隔に維持している。
【特許文献１】特開２０００−２１４０７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、固体撮像素子の構成およびサイズは様々であり、ウエハ上にマトリクス状に整列して形成される固体撮像素子の種類に応じて整列間隔が相違する。このため、ある種の固体撮像素子が整列形成されたウエハの検査を行うときと、別の種類の固体撮像素子が整列形成されたウエハの検査を行うときとで、ウエハ検査装置に置ける光ファイバ（光照射器）の光出射部の配設間隔を固体撮像素子（被検対象）の配設間隔に対応して変更する必要がある。上述した従来のウエハ検査装置では、各光ファイバの光出射端部が嵌合固定される複数の孔が形成された固定用金具を用いているため、被検対象の配列間隔が異なるウエハを検査するときには、各ウエハに対応した複数の固定用金具をウエハ毎に対応させて交換して使用していた。この場合には、ウエハの種類に対応するだけの複数の固定用金具を用意し、ウエハの種類が異なるたびに固定用金具を交換する必要があるため、検査工数が増加し、検査手順が複雑化するおそれがあった。
【０００７】
本発明はこのような問題に鑑みたもので、ウエハ検査装置に搬送されるウエハ表面の被検対象の整列間隔が変更される場合における検査作業において、作業を省力化可能なウエハ検査装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記問題を解決するために、本発明のウエハ検査装置は、表面に多数の被検対象が所定間隔で整列して形成されたウエハに検査光を照射し、被検対象の検査を行うウエハ検査装置において、検査光を出射する複数の光照射器と、複数の光照射器の各光出射部をウエハの表面に対向させて保持する複数の保持部材と、これら複数の保持部材を整列して保持するとともにウエハの表面に平行に移動させて複数の保持部材の整列間隔を調整する間隔調整機構とを備えて構成される。
【０００９】
上記構成のウエハ検査装置において、間隔調整機構は、３個以上の保持部材を等間隔で整列して保持し、保持部材間の整列間隔を等間隔に維持したまま調整可能に構成するのが好ましい。
【００１０】
さらに、上記ウエハ検査装置において、間隔調整機構は、３個以上の保持部材を等間隔で整列して保持し、中央に位置する保持部材を固定した状態で左右の保持部材をそれぞれ反対方向に近接離反させるように移動させて整列間隔を調整するようになっており、中央の保持部材Ｃに対して、残りの保持部材が左方向に順にＬ1，Ｌ2，…，Ｌm（ｍは正の整数）と並び、右方向に順にＲ1，Ｒ2，…，Ｒn（ｎは正の整数）と並んで保持され、左方向に並んだ左保持部材Ｌ1，Ｌ2，…，Ｌmの移動量および右方向に並んだ右保持部材Ｒ1，Ｒ2，…，Ｒnの移動量の比が、
Ｌ1：Ｌ2：…：Ｌm＝１：２：…：ｍ
Ｒ1：Ｒ2：…：Ｒn＝１：２：…：ｎ
となり、且つ
Ｌ1＝Ｒ1
となるように構成するのが好ましい。
【００１１】
また、上記ウエハ検査装置において、間隔調整機構は、４個以上の保持部材を等間隔で整列して保持し、保持部材が中央から左方向に順にＬ1，Ｌ2，…，Ｌm（ｍは正の整数）と並び、右方向に順にＲ1，Ｒ2，…，Ｒn（ｎは正の整数）と並んで保持され、左方向に並んだ左保持部材Ｌ1，Ｌ2，…，Ｌmの移動量および右方向に並んだ右保持部材Ｒ1，Ｒ2，…，Ｒnの移動量の比が、
Ｌ1：Ｌ2：…：Ｌm＝１：３：…：（２ｍ−１）
Ｒ1：Ｒ2：…：Ｒn＝１：３：…：（２ｎ−１）
となり、且つ
Ｌ1＝Ｒ1
となるように構成してもよい。
【００１２】
このウエハ検査装置において、間隔調整機構は、回転運動を直線運動に変換する複数の運動変換機構を有して構成され、これら複数の運動変換機構における運動変換比が、上記移動量の比に対応して設定するのが好ましい。
【００１３】
なお、上述したウエハ検査装置において、保持部材にそれぞれ、光照射器の光出射部からの光が照射される検査対象の信号出力端子部と当接して出力信号を取出す検査プローブが設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のウエハ検査装置によれば、簡単な作動操作によってあるいは自動的に光照射器の配設間隔を調整変更可能な構成としているため、被検対象の整列間隔が変更されて光軸の間隔を変更する必要のある際に、従来のような煩雑な手順を要せず、検査作業の大幅な省力化が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００１６】
まず、本発明に係るウエハ検査装置により検査される被検対象としてＣＣＤを形成したウエハについて説明する。本実施の形態に係るウエハ１は、図３に示すように、円板状のシリコン単結晶基板３に撮像素子の一例として多数のＣＣＤ２を縦横マトリクス状に複数整列して形成したものであり、各ＣＣＤ２はウエハ１上の位置に対応する識別番号I，II，III，…，nにより識別して表示している。
【００１７】
図２に、本発明の第１実施形態に係るウエハ検査装置Ｕの概略構成を示している。このウエハ検査装置Ｕは、ウエハ１の表面に整列形成されたＣＣＤ２に検査光を照射してその出力を検査する。このウエハ検査装置Ｕは、光照射装置１０、テスター（信号検査装置）３０、図示しないプローバ（信号取出し装置）および図示しないウエハ搬送装置等から構成されている。プローバは、ウエハ１の表面に形成された４つのＣＣＤ２の出力端子にそれぞれ独立して且つ同時に接触可能なプローブピン２１を有している。光照射装置１０は、搬送保持装置によってプローブピン２１と接触する位置に搬送されて保持されたウエハ１の表面におけるプローブピン２１が接触している４つのＣＣＤ２にそれぞれ検査光を照射する。テスター３０は、各プローブピン２１からの電気出力を入力し、検査を行う。
【００１８】
光照射装置１０は、光源１１と、この光源１１から射出される光を照度調整する照度調整装置１２と、照度調整装置１２を通って照度調整がなされた検査光の照度むらを調整して光束内における照度を均一にする光均一装置１３とを有する。照度調整装置１２は検査光の明るさを調整するもので、ＮＤフィルター、ドットフィルター等を有して構成される。光均一装置１３には、フライアイレンズ、ロッドレンズ、マイクロアレイレンズ等が使用される。
【００１９】
このようにして均一化された検査光は光ファイバ１４の入口端１４ａに入射される。光ファイバ１４は先端側が４叉に分岐しており、光均一装置１３から出射された照度的に均一な検査光は光ファイバ１４内において４分割され、４叉に分岐した各光ファイバ１４の出口端１４ｂからそれぞれ射出される。これら光ファイバ１４の４つの出口側端部がそれぞれ保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2に形成された嵌合孔Ｈ内に嵌入されて取り付けられている。これら保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2には各出口端１４ｂに対向してＦ値調整装置１５，１５，…が配設されており、各検査光が所定のＦ値となるように調整される。なお以降の説明において、中央より左方に配設される保持部材を左保持部材と称して符号Ｌを用い、中央より右方に配設される保持部材を右保持部材と称して符号Ｒを用いる。また、中央に近設される保持部材から順に中央から離隔するに従って、第１保持部材、第２保持部材と称して対応する数字をＬ，Ｒのサフィックスに用いて符号に反映させる。例えば、外側左方に配設される保持部材は、「第２左保持部材Ｌ2」のようにして以降の説明を行う。
【００２０】
これら保持部材Ｌ，Ｒの下方に対向してウエハ搬送装置により搬送位置決めされたウエハ１が保持されており、上記のように光源１１からの光を調整して作られた検査光が、図２中に一点鎖線で示す光軸Ａを中心としてウエハ１の表面に形成されたＣＣＤ２のうちの光ファイバ１４の出口端１４ｂの真下に位置する４つのＣＣＤ２，２，…に照射される。
【００２１】
このようにして検査光をＣＣＤ２に照射する際にウエハ搬送装置は検査しようとするＣＣＤ２がそれぞれの検査光の光軸Ａの位置に対応して位置するようにウエハ１を位置決め保持し、この状態でプローバのプローブピン２１が対応するＣＣＤ２の出力端子に接触して電気的に接続される。なお、プローブピン２１の上方は開口しており，ＣＣＤ２の受光部はプローブピン２１の上方の開口を通して光照射装置１０から検査光の照射を受けるようになっている。
【００２２】
（第１実施形態）
上述のように、検査光を出射する光ファイバ１４は保持部材Ｌ，Ｒに固定されるが、保持部材Ｌ，Ｒは、図１および図４〜図６に示す間隔調整機構５０内に配設される。間隔調整機構５０は、保持部材Ｌ，Ｒと、回転運動を直線運動に変換する一対の運動変換機構ＭＣ（ＭＣ1，ＭＣ2）と、保持部材Ｌ，Ｒを図１の紙面左右方向に直動案内するためのスライドレール５２およびガイドブロック５３とをベース５１上に設けて構成されている。以降の第１実施形態に係る説明においては、左右方向は図１の紙面左右方向と同一とし、上下方向は図４の紙面上下方向と同一として説明する。
【００２３】
図示のように、ベース５１の上には一対のスライドレール５２，５２が平行に且つ左右水平方向に延びて固定されている。これらスライドレール５２，５２にはそれぞれ４つのガイドブロック５３がスライド自在に取り付けられ、各ガイドブロック５３がスライドレール５２の上を左右方向に摺動可能である。
【００２４】
合計４個の保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2がこれらこの２本のスライドレール５２，５２と直交する方向に延びて横方向に並ぶとともに、前後端がそれぞれガイドブロック５３，５３に固定されている。これにより、左右方向に並設される保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2が、スライドレール５２上をガイドブロック５３がスライド移動するのに応じて、左右方向に直動可能である。
【００２５】
光ファイバ１４を嵌着固定するために保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2に形成された嵌合孔Ｈは、上述のように保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2がガイドブロック５３に固定された状態で、両スライドレール５２，５２間の略央に走る左右方向軸Ｘ上に各嵌合孔Ｈの中心が位置し、且つ嵌合孔Ｈの中心間距離が等間隔（例えば、3〜10mm程度）となるようにして構成している（図１参照）。さらに、ベース５１には、嵌合孔Ｈ直下に相当する位置で左右方向に延びる長孔４０が形成されており、各嵌合孔Ｈに嵌着固定された光ファイバ１４から照射される検査光は、この長孔４０を通過して保持部材Ｌ，Ｒの下方で搬送位置決めされたウエハ１の表面に形成されるＣＣＤ２に照射される。
【００２６】
第１運動変換機構ＭＣ1は、歯車Ｇ1と、歯車Ｇ1に止ねじ６１により結合されて歯車Ｇ1と一体に回転可能に構成されるとともに右ねじ部６２ａと左ねじ部６２ｂとを有した第１ボールねじシャフト６２と、第１ボールねじシャフト６２の右ねじ部６２ａおよび左ねじ部６２ｂに螺合する第１右雌ねじブロックＮＬ1および第１左雌ねじブロックＮＲ1とを有して構成される。第１ボールネジシャフト６２はベース５１に対して左右のベアリング６３ａ，６３ｂにより回転自在に支持されている。第１右雌ねじブロックＮＬ1は第１左保持部材Ｌ１の端部に結合され、第１左雌ねじブロックＮＲ1は第１右保持部材Ｒ１の端部に結合されている。
【００２７】
第２運動変換機構ＭＣ2は、歯車Ｇ2と、歯車Ｇ2に止ねじ６６により結合されて歯車Ｇ2と一体に回転可能に構成されるとともに左ねじ部６７ａと右ねじ部６７ｂとを有した第２ボールねじシャフト６７と、第２ボールねじシャフト６７の左ねじ部６７ａおよび右ねじ部６７ｂに螺合する第２左雌ねじブロックＮＬ2および第２右雌ねじブロックＮＲ2とを有して構成される。第２ボールネジシャフト６７は上記第１ボールねじシャフト６２と平行に延びて配設されており、ベース５１に対して左右のベアリング６８ａ，６８ｂにより回転自在に支持されている。第２左雌ねじブロックＮＬ2は第２左保持部材Ｌ２の端部に結合され、第２右雌ねじブロックＮＲ2は第２右保持部材Ｒ２の端部に結合されている。
【００２８】
第１運動変換機構ＭＣ1の第１歯車Ｇ1と第２運動変換機構ＭＣ2の第２歯車Ｇ2とが噛合し、いずれか一方が回転駆動されると他方が歯車の歯数比に対応して回転される。第１歯車Ｇ1と第２歯車Ｇ2は歯数比が１：３である。なお、第１ボールねじシャフト６２の右ねじ部６２ａおよび左ねじ部６２ｂ、第２ボールねじシャフト６７の左ねじ部６７ａおよび右ねじ部６７ｂは全て同一ピッチである。
【００２９】
また、第１ボールねじシャフト６２の端部は、第１歯車Ｇ1の外方に突出しており、この外方突出端部につまみ６０が取り付けられている。検査作業者がこのつまみ６０を回して第１ボールねじシャフト６２の回転操作を行うことが可能である。例えば、作業者がつまみ６０を時計回りに回転させると、第１ボールねじシャフト６２および第１歯車Ｇ1は時計回りに回転し、第１歯車Ｇ1に噛合する第２歯車Ｇ2および第２ボールねじシャフト６７は反時計回りに回転する。このとき、第１運動変換機構ＭＣ1においては、第１右雌ねじブロックＮＬ1は左動され、第１左雌ねじブロックＮＲ1は右動される。一方、第２運動変換機構ＭＣ2においては、第２左雌ねじブロックＮＬ2は左動され、第２右雌ねじブロックＮＲ2は右動される。
【００３０】
このとき、第１ボールねじシャフト６２の右ねじ部６２ａおよび左ねじ部６２ｂ、第２ボールねじシャフト６７の左ねじ部６７ａおよび右ねじ部６７ｂは全て同一ピッチであるので、第１運動変換機構ＭＣ1における第１右雌ねじブロックＮＬ1の左動量と第１左雌ねじブロックＮＲ1の右動量とは等しく、第２運動変換機構ＭＣ2における第２左雌ねじブロックＮＬ2の左動量と第２右雌ねじブロックＮＲ2の右動量とが等しくなる。一方、第１歯車Ｇ1と第２歯車Ｇ2は歯数比が１：３であるので、第１運動変換機構ＭＣ1における第１右雌ねじブロックＮＬ1の左動量および第１左雌ねじブロックＮＲ1の右動量に対して、第２運動変換機構ＭＣ2における第２左雌ねじブロックＮＬ2の左動量および第２右雌ねじブロックＮＲ2の右動量が３倍となる。
【００３１】
この結果、第１右雌ねじブロックＮＬ1の左動量をｄとした場合、第１右雌ねじブロックＮＬ1と第１左雌ねじブロックＮＲ1との間隔が２ｄとなり、第１右雌ねじブロックＮＬ1と第２左雌ねじブロックＮＬ2との間隔も２ｄとなり、第１左雌ねじブロックＮＲ1と第２右雌ねじブロックＮＲ2との間隔も２ｄとなる。すなわち、四つのブロックＮＬ1，ＮＬ2，ＮＲ1，ＮＲ2は等間隔を維持したまま移動される。
【００３２】
このようにして、各運動変換機構ＭＣ1，ＭＣ2の雌ねじブロックＮＬ1，ＮＬ2，ＮＲ1，ＮＲ2が左および右動されると、これらブロックＮＬ1，ＮＬ2，ＮＲ1，ＮＲ2に結合された保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2がスライドレール５２およびガイドブロック５３にガイドされて等間隔を維持したまま一緒に左および右動される。
【００３３】
以上のように構成されるウエハ検査装置ＵによりＣＣＤ２を検査する操作及び作動を説明する。まず、作業者が図示しない作動装置を操作して、ウエハ搬送装置を作動させ、ウエハ収容部からウエハ１を取り出して、光照射装置１０の下方の所定位置に搬送させる。このとき、例えば、図３に示す識別番号I，III，V，VIIのＣＣＤ２が光照射装置１０の４つの保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2と対向する検査位置に位置決めされる。なお、このとき、４つの保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2の配列間隔（これらに形成された嵌合孔Ｈの間隔）が識別番号I，III，V，VIIのＣＣＤ２と等しくなるように、間隔調整機構５０を構成するつまみ６０を回転操作して予め調整設定されている。
【００３４】
このようにウエハ１の水平位置が位置決めされると、ウエハ搬送装置によりウエハを垂直上方に移動させて識別番号I，III，V，VIIのＣＣＤ２をそれぞれプローブピン２１に接触させる。次に、光照射装置１０が作動し、識別番号I，III，V，VIIのＣＣＤ２の上面に４つの光ファイバの出口端１４ｂから検査光が照射される。この検査光を受けたときの各ＣＣＤ２の出力信号がプローブピン２１を介してテスター３０に取り出されて性能検査が行われる。
【００３５】
以上のようにしてＣＣＤの性能検査を行うときに、識別番号I，III，V，VIIのＣＣＤ２を光照射装置１０の４つの保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2と対向する検査位置に正確に位置決めする必要がある。ところが、ウエハ上に形成されるＣＣＤの種類が相違するとウエハ上にマトリクス状に形成されるＣＣＤの配列ピッチが相違するため、４つの保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2の整列間隔を検査対象となるウエハ上に形成されたＣＣＤの配列間隔と等しくなるように可変設定しなければならない。
【００３６】
この保持部材の配列間隔の調整は間隔調整機構５０を構成するつまみ６０を回転操作して行う。上述のように、つまみ６０の回転操作に応じて四つのブロックＮＬ1，ＮＬ2，ＮＲ1，ＮＲ2は等間隔を維持したまま移動するので、つまみ６０の回転操作のみで４つの保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2の整列間隔を検査対象となるウエハ上に形成されたＣＣＤの配列間隔と等しくなるように簡単に調整できる（図６参照）。
【００３７】
上記の通り、本発明に係るウエハ検査装置によれば、検査対象のＣＣＤ２の整列間隔が異なるウエハについて検査するときには、つまみ６０を回動操作することによって検査光の光軸位置の間隔を規定の間隔に容易に伸縮可能であるため、従来のように光ファイバ１４の固定用金具を交換する等の複雑な作業手順を要せず、検査手順を大幅に省力化することができる。
【００３８】
（第２実施形態）
上記第１実施形態では、光ファイバ１４を４分割して保持部材Ｌ，Ｒを４個設ける構成としたが、光ファイバ１４を他の数に分割して、この分割数に応じた保持部材Ｌ，Ｒを備える構成としてもよい。図７には光ファイバを８分割にして、保持部材Ｌ，Ｒをそれぞれ４個ずつ合計８個設ける構成の間隔調整機構１５０を示している。
【００３９】
間隔調整機構１５０は、左右４個ずつの保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3，Ｌ4，Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4と、回転運動を直線運動に変換する４つの運動変換機構ＭＣ1，ＭＣ2，ＭＣ3，ＭＣ4と、保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3，Ｌ4，Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4を左右方向に直動案内するための一対のスライドレール１５２，１５２および８個のガイドブロック１５３（スライドレール上をスライド移動する合計８個のブロックであるが図７には表されていない）とをベース１５１上に設けて構成されている。
【００４０】
図示のように、ベース１５１の上には一対のスライドレール１５２，１５２が平行に且つ左右水平方向に延びて固定されており、各スライドレール１５２には４個のガイドブロック１５３がスライド自在に取り付けられ、各ガイドブロック１５３がスライドレール１５２の上を左右方向に摺動可能である。合計８個の保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3，Ｌ4，Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4がこれらこの２本のスライドレール１５２，１５２と直交する方向に延びて横方向に並ぶとともに、前後端がそれぞれガイドブロック１５３，１５３に固定されている。これにより、左右方向に並設される保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3，Ｌ4，Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4が、スライドレール１５２上をガイドブロック１５３がスライド移動するのに応じて、左右方向に直動可能である。
【００４１】
保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3，Ｌ4，Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4に形成された嵌合孔Ｈは、両スライドレール１５２，１５２間の略央に走る左右方向軸Ｘ上に各嵌合孔Ｈの中心が位置し、且つ嵌合孔Ｈの中心間距離が等間隔となるようにして構成している。ベース１５１には、嵌合孔Ｈ直下に相当する位置で左右方向に延びる長孔１４０が形成されており、各嵌合孔Ｈに嵌着固定された光ファイバ１４から照射される検査光は、この長孔１４０を通過してウエハ１の表面に形成されるＣＣＤ２に照射される。
【００４２】
第１運動変換機構ＭＣ1は、第１歯車Ｇ1と、第１歯車Ｇ1に結合されて第１歯車Ｇ1と一体に回転可能に構成されるとともに右ねじ部１６１ａと左ねじ部１６１ｂとを有した第１ボールねじシャフト１６１と、第１ボールねじシャフト１６１の右ねじ部１６１ａおよび左ねじ部１６１ｂに螺合する第１右雌ねじブロックＮＬ1および第１左雌ねじブロックＮＲ1とを有して構成される。第１ボールネジシャフト１６１はベース１５１に対して左右のベアリングＢ1，Ｂ2により回転自在に支持されている。第１右雌ねじブロックＮＬ1は第１左保持部材Ｌ1の端部に結合され、第１左雌ねじブロックＮＲ1は第１右保持部材Ｒ1の端部に結合されている。以下、第２〜第４運動変換機構ＭＣ2，ＭＣ3，ＭＣ4についても同様に構成されているが、第２および第４運動変換機構ＭＣ2，ＭＣ4のねじ部のねじ方向は第１および第３運動変換機構構ＭＣ1，ＭＣ3と逆である。なお、第４運動変換機構ＭＣ4の第４ボールねじシャフト１６４の端部につまみ１６０が取り付けられている。
【００４３】
この間隔調整機構１５０においては、第１〜第４ボールねじシャフト１６１〜１６４に取り付けられる第１〜第４歯車Ｇ1〜Ｇ4の歯数は同一歯数で図示のように噛合している。このため、つまみ１６０を回転させると第１〜第４ボールねじシャフト１６１〜１６４は同一回転速度で回転する。しかしながら、第１〜第４ボールねじシャフト１６１〜１６４に形成されているねじのピッチが、１：３：５：７となるように形成されている。このため、つまみ１６０を回転させると、第１保持部材Ｌ1，Ｒ1に対して、第２保持部材Ｌ2，Ｒ2が３倍の速度で、第３保持部材Ｌ3，Ｒ3が５倍の速度で第４保持部材Ｌ4，Ｒ4が７倍の速度で移動し、各保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｌ3，Ｌ4，Ｒ1，Ｒ2，Ｒ3，Ｒ4が等間隔を維持して移動される。
【００４４】
（第３実施形態）
以上、光ファイバを４分割もしくは８分割した構成を説明したが、例えば、光ファイバを２ｎ個に分割した場合は（ｎ：ｎ≧３の整数）、保持部材Ｌ，Ｒを２ｎ個設けてそれぞれスライドレールの直動案内を受けるように並設する。このとき、左保持部材Ｌが中央から順に第１左保持部材Ｌ1、第２左保持部材Ｌ2、…、第ｎ左保持部材Ｌnとなり、右保持部材Ｒが中央から順に第１右保持部材Ｒ1、第２右保持部材Ｒ2、…、第ｎ右保持部材Ｒnとなるように、左右にｎ個づつ配設する。また、運動変換機構ＭＣをｎ個設け、第１乃至第ｎ運動変換機構ＭＣ1，ＭＣ2，…，ＭＣnを構成する第１乃至第ｎ歯車Ｇ1，Ｇ2，…，Ｇnの回転数比を、１：３：…：（２ｎ−１）の比となるような歯数比で噛合させるとともに、第１ボールねじシャフトＳ1につまみを一体形成する。なお、第１乃至第ｎボールねじシャフトＳ1，Ｓ2，…，Ｓnに形成される右および左ねじは同一ピッチに構成される。
【００４５】
このように構成することによって、つまみの回転により、左保持部材Ｌ1，Ｌ2，…，Ｌnが１：３：…：（２ｎ−１）の直動距離の比で直動し、右保持部材Ｒ1，Ｒ2，…，Ｒnが反対方向に１：３：…：（２ｎ−１）の直動距離の比で直動して互いに近接離反するように移動する。このとき、第ｍボールねじＳmにおける左ねじ部と右ねじ部のピッチは同長に構成されているため、第ｍ左保持部材Ｌmと第ｍ右保持部材Ｒmの直動距離は等距離となる（ｍ：１≦ｍ≦ｎの整数）。よって、全保持部材Ｌ，Ｒが同一間隔を保ったまま移動し、これらの各嵌合孔Ｈに嵌着固定される光ファイバから照射される検査光の光軸Ａの間隔を等間隔に保って移動する。
【００４６】
なお、第１実施形態と第２実施形態との相違から分かるように、ボールねじＳのピッチを全て等しくして歯車の歯数比を１：３：…：（２ｎ−１）とする代わりに、歯車の歯数比を等しくしてねじのピッチを１：３：…：（２ｎ−１）としても良い。すなわち、第１歯車Ｇ1の回転速度と第１ボールねじＳ1のピッチの積と、第２歯車Ｇ2の回転速度と第２ボールねじＳ2のピッチの積と、…以下同様にして第ｎ歯車Ｇnの回転速度と第ｎボールねじＳnのピッチの積との比が１：３：…：（２ｎ−１）となるように構成しても同様の効果を得ることが可能である。
【００４７】
また、第１乃至第ｎ運動変換機構の連結は、必ずしも運動変換機構を構成する歯車のみの噛合によるものに限らず、例えばアイドラギアを介設する等により、いずれか１つの運動変換機構に一体形成されるつまみによって行われる単一の回転運動が運動変換機構の全てに伝達されるように構成されていればよい。
【００４８】
また、上記実施形態において、保持部材が全て左右方向に可動に構成されていたが、この構成に限らずとも同様の効果を得ることができる。例えば、光ファイバを（２ｋ＋１）個に分割した場合（ｋ：自然数）、中央に配設される保持部材（以下、中央保持部材とも称する）Ｃを固定に構成するとともに、中央保持部材Ｃより左方に配設される左保持部材Ｌをｋ個、中央保持部材Ｃより右方に配設される右保持部材Ｒをｋ個それぞれスライドレール上に直動可能に並設する構成でも良い。この場合には、運動変換機構ＭＣをｋ個設け、第１〜第ｋ運動変換機構ＭＣ1，ＭＣ2，…，ＭＣkを構成する第１〜第ｋ歯車Ｇ1，Ｇ2，…，Ｇkの回転速度と、各歯車に軸止される第１〜第ｋボールねじＳ1，Ｓ2，…，Ｓkのピッチとの積の比が、１：２：…：ｋとなるように各運動変換機構を構成し、例えば第１ボールねじＳ1につまみを一体形成する。
【００４９】
このように構成された間隔調整機構５０のつまみを回転することにより、左保持部材Ｌ1，Ｌ2，…，Ｌkが１：２：…：ｋの直動距離の比で直動し、右保持部材Ｒ1，Ｒ2，…，Ｒｋが反対方向に１：２：…：ｋの直動距離の比で直動し、左保持部材Ｌおよび右保持部材Ｒが全て等間隔を維持したまま、固定保持されて不動の中央保持部材Ｃから近接もしくは離反する方向に移動する。よって、保持部材Ｌ，Ｃ，Ｒに嵌着固定される光ファイバから照射される検査光の光軸Ａの間隔を等間隔に保持したまま移動させることが可能で、この間隔調整を簡単に行える。
【００５０】
また、上述変更例の光ファイバの分割数は必ずしも奇数に限らず、偶数に分割しても容易に適用可能である。光ファイバを２ｋ個に分割した場合においては、２ｋ個の保持部材のうち、例えば、１個を中央保持部材Ｃとして不動に構成し、中央保持部材Ｃよりも左方に配設される左保持部材Ｌをｋ個、右保持部材Ｒを（ｋ−１）個として並設するとともに、第ｋ運動変換機構ＭＣkを構成する第ｋボールねじＳkに、第ｋ左保持部材Ｌkと締着固定される第ｋ左雌ねじブロックＮＬkのみを螺合させる構成とする。これにより、光ファイバを２ｋ個に分割した際においても上記変更例を容易に適用して、同様の効果を得ることが可能である。
【００５１】
なお、光ファイバを２個に分割した際においては、間隔調整機構に必要な運動変換機構ＭＣを１つのみとしても効果を得ることができるため、互いの運動変換機構に回転運動を伝達するために配設されていた歯車Ｇをこの１つの運動変換機構に具備させる必要はない。即ち、２個の保持部材が運動変換機構に与えられる単一の回転運動に応じて近接離反するように構成されていればよく、左ねじ部と右ねじ部を有するボールねじＳ1に螺合する雌ねじブロックＮＬ1，ＮＲ1に保持部材Ｌ1，Ｒ1を締着固定することによって両保持部材Ｌ1，Ｒ1を可動にし、ボールねじの回動に応じて保持部材Ｌ1，Ｒ1を近接離反させる構成としてもよい。また、左ねじ部および右ねじ部のいずれか一方のみを有して構成されるボールねじに雌ねじブロックを螺合させて一方の保持部材を可動とし、他方の保持部材を不動とし、ボールねじの回動に応じて可動の保持部材を不動の保持部材と近接離反させる構成としてもよい。
【００５２】
また、運動変換機構を作動させる手段としてつまみを一体形成して作業者による回転操作を可能に構成したが、必ずしもこの構成に限られず、運動変換手段のいずれか１つに回転運動を与える構成であればよい。例えば、モータをいずれかのボールねじと一体形成して、モータを作業者が作動させてモータの回転駆動力を運動変換機構の全てに伝達させる構成をとってもよい。
【００５３】
（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係るウエハ検査装置について図８〜図１２を参照して説明する。このウエハ検査装置Ｕの基本構成は、図２，図３に示すように、前述の第１実施形態と同一であるため、同一部分には同一符号を付して重複説明を省略する。また、第１実施形態の説明の際と同様に、光ファイバ１４を４分割した構成について説明する。なお、以降の実施形態に係る説明に記載の前後左右方向は、図８の紙面上下左右方向と同一である。同じく上下方向は、図９の紙面上下方向と同一である。
【００５４】
本発明に係るウエハ検査装置Ｕの第２実施形態における間隔調整機構９０は、平断面図を図８に、図８中の矢印X−X方向に見た断面図を図１０に示すように、４つに分割された光ファイバの出口端１４ｂを嵌合受容する嵌合孔Ｈがそれぞれ穿設された保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2と、複数のカム溝ＤＬ，ＤＲを有して成る平面カム機構ＰＣと、各保持部材Ｌ，Ｒを図８の紙面左右方向に直動案内するためのスライドレール９２とを有し、基体となるベース９１上に配設して構成される。
【００５５】
４個の保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2は、第１実施形態と同様にして、間隔調整機構９０の基体をなすベース９１上に左右水平方向に延びる２本のスライドレール９２、及びこのスライドレール９２にスライド自在に取り付けられるガイドブロック９３により行われる左右方向への直動案内を受けるように、各保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2がガイドブロック９３に締着固定されて左右方向への直動が可能となって並設されている。また、この並設状態において、保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2に穿設される各嵌合孔Ｈの中心が左右水平方向に延びる軸Ｘ上に存するとともに、嵌合孔Ｈの中心間距離が等間隔に並設されている（図８参照）。さらに第１実施形態と同様に、ベース９１には、嵌合孔Ｈ直下に相当する位置で、左右方向に延びる長孔が設けられており、各嵌合孔Ｈに嵌着固定される光ファイバの出口端１４ｂから照射される検査光を、この長孔を通過させることにより、下方に搬送位置決めされたウエハ１表面に形成されるＣＣＤ２に照射可能に形成されている。
【００５６】
また、第１左保持部材Ｌ1と第１右保持部材Ｒ1との間、および第２左保持部材Ｌ2と第２右保持部材Ｒ2との間に、ばね９４，９４がそれぞれ跨設される。このばね９４，９４によって左保持部材Ｌ1，Ｌ2は右方に、右保持部材Ｒ1，Ｒ2は左方に付勢される。なお、このように保持部材Ｌ，Ｒ間に跨設される部材は必ずしもばねに限らず、上述のように保持部材Ｌ，Ｒが中央方向に付勢されるように構成可能な弾性部材であればどのようなものでもよい。
【００５７】
平面カム機構ＰＣは、前後方向に直動可能に構成されるカムプレートＣＰと、カムプレートＣＰに穿設される複数のカム溝ＤＬ，ＤＲと、これらカム溝ＤＬ，ＤＲにそれぞれ嵌合するローラピンＲＬ，ＲＲ（カムフォロア）とを有して構成される。カム溝ＤＬ，ＤＲおよびローラピンＲＬ，ＲＲは、光ファイバ１４の分割数と同数設けられ、即ち、本実施形態においては４つ設けられる。なお、カム溝ＤＬ，ＤＲにおいて、中央より左方に位置するカム溝を左カム溝と称して符号ＤＬを用い、中央より右方に位置するカム溝を右カム溝と称して符号ＤＲを用いる。また、中央に近設されるカム溝から順に中央から離隔するに従って、第１カム溝、第２カム溝と称して対応する数字をＤＬ，ＤＲのサフィックスに用いて符号に反映させる。例えば外側左方に位置するカム溝は、「第２左カム溝ＤＬ2」のようにして以降の説明を行う。カム溝ＤＬ，ＤＲに嵌合するローラピンＲＬ，ＲＲについても同様にして符号およびサフィックスを適用し、例えば内側右方に位置するローラピンは「第１右ローラピンＲＲ1」，外側左方に位置するローラピンは「第２左ローラピンＲＬ2」のようにして以降の説明を行う。
【００５８】
ベース９１の左右側縁にはそれぞれ前後方向に延びる第２スライドレール９５，９５が締着固定されており、この第２スライドレール９５，９５に第２ガイドブロック９６が嵌着して前後方向に摺動可能に構成される。この第２スライドレール９５，９５の上部を横断するようにしてカムプレートＣＰが設けられており、カムプレートＣＰの下面両側縁において左右２つの第２ガイドブロック９６に締着固定される。これにより、カムプレートＣＰは、第２スライドレール９５および第２ガイドブロック９６の案内を受けて前後方向に直動可能に構成される。
【００５９】
また、ベース９１の後方端部には右ねじに切られた雌ねじブロック９７が固設されており、この雌ねじブロック９７に雄ねじ９８が螺合している。これにより、雄ねじ９８は、螺合する雌ねじブロック９７が固設されていることから、回動作動を受けて前後方向に直動可能に構成されている。また、雄ねじ９８の一端部には、回動操作自在に構成されたつまみ９９が一体形成されており、雄ねじ９８を回動自在（前後方向直動自在）に構成している。雄ねじ９８の他端部はカムプレートＣＰと当接するように構成される。
【００６０】
図９に平面図を示すように、４つのカム溝ＤＬ1，ＤＬ2，ＤＲ1，ＤＲ2は、任意に設けられる左右方向軸Ｘと各カム溝の軸ＷＬ1，ＷＬ2，ＷＲ1，ＷＲ2とでできる各交点の間隔が等間隔となるように、カムプレートＣＰに設けられる。また、４つの嵌合溝は、前後方向軸Ｙについて線対称に形成されており、軸Ｙに対して左方に位置する左カム溝ＤＬ1，ＤＬ2は右上がりに軸ＷＬ1，ＷＬ2が延び、軸Ｙに対して右方に位置する右カム溝ＤＲ1，ＤＲ2は右下がりに軸ＷＲ1，ＷＲ2が延びるようにして設けられる。即ち、第１カム溝の軸ＷＬ1，ＷＲ1と前後方向軸Ｙとで形成される角θ1の正接と、第２カム溝の軸ＷＬ2，ＷＲ2と前後方向軸Ｙとで形成される角θ2の正接との比が１：３となるようにしてカムプレートＣＰにカム溝ＤＬ，ＤＲが設けられている（tanθ1：tanθ2＝１：３）。なお、これ以降の説明において、カム溝ＤＬ，ＤＲの軸ＷＬ，ＷＲと前後方向軸Ｙとで形成される角θを傾斜角θと称する。また、本実施形態のように前後方向軸Ｙに対して線対称にカム溝を設ける場合において、第１カム溝の軸ＷＬ1，ＷＲ1と前後方向軸Ｙとで形成される角を「第１傾斜角θ1」、第２カム溝の軸ＷＬ2，ＷＲ2と前後方向軸Ｙとで形成される角を「第２傾斜角θ2」と称して説明を行う。
【００６１】
また、第１左カム溝ＤＬ1には第１左ローラピンＲＬ1が、第１右カム溝ＤＲ1には第１右ローラピンＲＲ1が、第２左カム溝ＤＬ2には第２左ローラピンＲＬ2が、第２右カム溝ＤＲ2には第２右ローラピンＲＲ2がそれぞれ嵌合して、カムプレートＣＰの前後方向の直動に応じて、各ローラピンＲＬ，ＲＲがそれぞれ嵌合するカム溝ＤＬ，ＤＲの案内を受けるように構成されている。
【００６２】
また、各保持部材Ｌ，Ｒの上面端部にローラピンＲＬ，ＲＲをそれぞれ取り付けられる。これにより、各保持部材Ｌ，Ｒはスライドレール９２およびガイドブロック９３で行われる案内を受けるとともに、カム溝ＤＬ，ＤＲおよびローラピンＲＬ，ＲＲで行われる案内を受ける。なお、第１左保持部材Ｌ1には第１左ローラピンＲＬ1を、第１右保持部材Ｒ1には第１右ローラピンＲＲ1を、第２左保持部材Ｌ2には第２左ローラピンＲＬ2を、第２右保持部材Ｒ2には第２右ローラピンＲＲ2をそれぞれ取り付けるように構成する。
【００６３】
以上のように構成される間隔調整機構９０において、検査作業者がつまみ９９を時計回りに回転操作すると、つまみ９９に一体形成されている雄ねじ９８が時計回りに回転するとともに固設される雌ねじブロック９７の螺合を受けて前方へ直動する。雄ねじ９８の前方直動に応じて雄ねじ９８と当接するカムプレートＣＰが、第２スライドレール９５および第２ガイドブロック９６の直動案内を受け、前方へ直動する。カムプレートＣＰの前方直動によって、各保持部材Ｌ，Ｒに突設されるローラピンＲＬ，ＲＲがそれぞれ嵌合するカム溝ＤＬ，ＤＲの案内を受けてカム溝内を摺動することに伴い、各保持部材Ｌ，Ｒがスライドレール９２およびガイドブロック９３の案内を受け、左保持部材Ｌ1，Ｌ2が左方に、右保持部材Ｒ1，Ｒ2が右方にそれぞれ直動する。また、この各保持部材Ｌ，Ｒの直動に伴い、第１左保持部材Ｌ1と第１右保持部材Ｒ1との間、および第２左保持部材Ｌ2と第２右保持部材Ｒ2との間に跨設されるばね９４，９４は、付勢力に抗して伸長する。
【００６４】
ここで、保持部材Ｌ，Ｒの左右方向への直動距離は、カムプレートＣＰの直動に応じて行われるローラピンＲＬ，ＲＲの摺動距離の左右方向成分に等しい。即ち、保持部材Ｌ，Ｒの左右方向への直動距離は、カムプレートＣＰの直動距離に、各保持部材Ｌ，Ｒに突設されるローラピンＲＬ，ＲＲが嵌合するカム溝ＤＬ，ＤＲの傾斜角θの正接を乗じた値に等しくなる。ここで、カムプレートＣＰの直動距離をdとすると、内側に位置する第１カム溝ＤＬ1，ＤＲ1に連設される第１保持部材Ｌ1，Ｒ1の移動距離はdtanθ1となり、外側に位置する第２カム溝ＤＬ2，ＤＲ2に連設される第２保持部材Ｌ2，Ｒ2の移動距離はdtanθ2となるため、第１保持部材Ｌ1，Ｒ1の直動距離と第２保持部材Ｌ2，Ｒ2の直動距離の比は、１：３となる。よって、嵌合孔Ｈの中心間距離は、図１１に直動範囲の限界まで保持部材Ｌ1，Ｌ2，Ｒ1，Ｒ2を直動させたときの間隔調整機構９０の平断面図を示すように、等間隔を保持したままで伸長される。即ち、つまみ９９を時計回りに回転操作することにより、保持部材Ｌ，Ｒに穿設された各嵌合孔Ｈに嵌着固定される光ファイバの出口端１４ｂから照射される検査光の光軸Ａの間隔を等間隔に保持したまま伸長させることができる。
【００６５】
また、図１１に示すように伸長された嵌合孔Ｈの中心間距離を、図８に示すように縮小させるには、つまみ９９を反時計回りに回転操作して雄ねじ９８が後方に直動させる。雄ねじ９８が後方に直動することにより、雄ねじ９８とカムプレートＣＰとの当接状態が解除されるが、保持部材Ｌ，Ｒの配設間隔が拡幅したことによって伸長動されたばね９４，９４が縮小方向に付勢するため、左保持部材Ｌ1，Ｌ2が右方に、右保持部材Ｒ1，Ｒ2が左方に直動する。これに伴い、各ローラピンＲＬ，ＲＲがカム溝ＤＬ，ＤＲ内を摺動して前方へ移動し、カムプレートＣＰが後方へ直動して雄ねじ９８とカムプレートＣＰとの当接状態が保持される。
【００６６】
カムプレートＣＰの後方直動に伴う保持部材Ｌ，Ｒの左右方向への直動距離は、上述の中心間距離を伸長させる作動と同様にして、内側に配設される第１保持部材Ｌ1，Ｒ1と外側に配設される第２保持部材Ｌ2，Ｒ2とにおける直動距離の比が１：３となる。よって、嵌合孔Ｈの中心間距離が等間隔に保持されたままで縮小される。即ち、つまみ９９を反時計回りに回転操作することにより、嵌合孔Ｈに嵌着固定される光ファイバの出口他端１４ｂから照射される検査光の光軸Ａの間隔を、等間隔に保持したままで縮小させることができる。
【００６７】
上記の構成のウエハ検査装置Ｕによれば、検査対象のＣＣＤ２の整列間隔が変更されても、つまみ９９を回動操作することによって検査光の光軸Ａの間隔を規定の間隔に容易に伸縮可能であるため、従来のように光ファイバ１４を固定するための固定用金具の交換する等の複雑な作業手順を要せず、検査作業を大幅に省力化することができる。
【００６８】
また、この実施形態においても、光ファイバ１４を他の数に分割して、この分割数に応じた保持部材Ｌ，Ｒを備える構成としてもよい。例えば、例えば、光ファイバを２ｎ個に分割する場合は（ｎ：ｎ≧３の整数）、それぞれローラピンが突設された保持部材Ｌ，Ｒを２ｎ個設けてスライドレールの左右方向の直動案内を受けるように並設する。また、平面カム機構ＰＣを構成するカム溝ＤＬ，ＤＲは、前後方向軸Ｙに対して線対称となるとともに、カム溝の軸ＷＬ，ＷＲと任意に設けた左右方向軸Ｘとの各交点の間隔が等間隔となるようにカムプレートに２ｎ個設けられ、左カム溝ＤＬが中央から順に第１左カム溝ＤＬ1、第２左カム溝ＤＬ2、…第ｎ左カム溝ＤＬnとなり、右カム溝ＤＲが中央から順に第１右カム溝ＤＲ1、第２右カム溝ＤＲ2、…第ｎ右カム溝ＤＲnとなって左右にｎ個づつ設けられる。即ち、第１乃至第ｎ傾斜角θ1，θ2，…，θnのそれぞれの正接の比が１：３：…：（２ｎ−１）となるように、第１乃至第ｎ左カム溝ＤＬ1，ＤＬ2，…，ＤＬnおよび第１乃至第ｎ右カム溝ＤＲ1，ＤＲ2，…，ＤＲnがカムプレートに設けられる。このようにして設けられた各カム溝ＤＬ，ＤＲに、各保持部材Ｌ，Ｒに突設されたローラピンＲＬ，ＲＲを嵌合させて保持部材Ｌ，Ｒを平面カム機構ＰＣに固定する。これにより、左保持部材Ｌがｎ個、右保持部材Ｒがｎ個設けられる構成となる。また、カムプレートは、上記第２実施形態と同様にして、つまみが一体形成されて右ねじの切られた雄ねじの一側端と当接されるとともに、カムプレートと雄ねじとの当接状態を付勢保持するための弾性部材（例えば、ばね）を、例えば、第１左保持部材Ｌ1と第１右保持部材Ｒ1との間、および第ｎ左保持部材Ｌnと第ｎ右保持部材Ｒnとの間に跨設する。
【００６９】
このように構成することによって、つまみを時計回りに回転操作してカム板を前方直動させると、左保持部材Ｌ1，Ｌ2，…，Ｌnが左方に１：３：…：（２ｎ−１）の直動距離の比で直動して互いに離反し、右保持部材Ｒ1，Ｒ2，…，Ｒnが右方に１：３：…：（２ｎ−１）の直動距離の比で直動して互いに離反する。また、各カム溝ＤＬ，ＤＲが線対称で設けられるため第ｍ左保持部材Ｌmの直動距離と第ｍ右保持部材Ｒmの直動距離は等距離となる（ｍ：１≦ｍ≦ｎの整数）。よって、各保持部材Ｌ，Ｒに嵌着固定される光ファイバから照射される検査光の光軸Ａの間隔を等間隔に保持し且つ伸長することが可能となる。同様にしてつまみを反時計回りに回転することにより雄ねじを後方直動させると、弾性部材の縮小方向への付勢に伴ってカムプレートが後方直動し、左保持部材Ｌが右方に、右保持部材Ｒが左方にそれぞれ近接するよう直動し、光ファイバの出口端１４ｂから照射される検査光の光軸Ａの間隔を等間隔に保持し且つ縮小することが可能となる。
【００７０】
また、光ファイバを（２ｎ−１）個に分割した場合においては、保持部材Ｌ，Ｒを（２ｎ−１）個設けるとともに、例えば、カムプレートに左カム溝ＤＬをｎ個、右カム溝ＤＲを（ｎ−１）個設けて平面カム機構ＰＣを構成する。これにより、光ファイバを（２ｎ−１）個に分割した際においても容易に上述した実施形態を適用して同様の効果を得ることが可能となる。
【００７１】
また、上記実施形態において、保持部材が全て左右方向に可動に構成されていたが、この構成に限らずとも同様の効果を得ることができる。例えば、光ファイバを（２ｋ＋１）個に分割した場合（ｋ：自然数）、中央に配設される保持部材（以下、中央保持部材とも称する）Ｃを不動に構成するとともに、中央保持部材Ｃより左方に配設される左保持部材Ｌをｋ個、中央保持部材Ｃより右方に配設される右保持部材Ｒをｋ個としてそれぞれ左右方向に延びるスライドレール上に直動可能に並設し、ローラピンＲＬ，ＲＣ，ＲＲをそれぞれ突設する。また、平面カム機構ＰＣを構成する（２ｋ＋１）個のカム溝のうち、中央のカム溝（以下、中央カム溝とも称する）ＤＣを、この溝ＤＣの軸ＷＣと前後方向軸Ｙとが平行となるように設けて中央カム溝ＤＣの傾斜角θcを０度とする。また、中央カム溝ＤＣの左方に位置する左カム溝ＤＬをｋ個、中央カム溝ＤＣの右方に位置する右カム溝ＤＲをｋ個設ける。ここで、各カム溝ＤＬ，ＤＣ，ＤＲは、中央カム溝ＤＣの軸ＷＣに対して左カム溝ＤＬと右カム溝ＤＲとが線対称に設けられるとともに、各カム溝の軸ＷＬ，ＷＣ，ＷＲと任意に設けた前後方向軸Ｘとの各交点の間隔が等間隔となるようにしてカムプレートに設けられる。即ち、第１乃至第ｋ傾斜角θ1，θ2，…，θkのそれぞれの正接の比が１：２：…：ｋとなるようにして、カムプレートに第１乃至第ｋ左カム溝ＤＬ1，ＤＬ2，…，ＤＬkおよび第１乃至第ｋ右カム溝ＤＲ1，ＤＲ2，…，ＤＲkが設けられる。ここで、カム溝ＤＬ，ＤＣ，ＤＲにローラピンＲＬ，ＲＣ，ＲＲを嵌合させて保持部材Ｌ，Ｃ，Ｒを平面カム機構ＰＣに固定する。
【００７２】
また、可動の左保持部材Ｌおよび右保持部材Ｒが不動の中央保持部材Ｃ方向に付勢保持されるように、第１左保持部材Ｌ1と第１右保持部材Ｒ1との間、および第ｋ左保持部材Ｌkと第ｋ右保持部材Ｒkとの間に弾性部材（例えば、ばね）を跨設する。また、カムプレートには、つまみが一体形成されて右ねじに切られた雄ねじが当接される。
【００７３】
このように構成された間隔調整機構９０のつまみを時計回りに回転することにより、雄ねじを前方直動させて各ローラピンＲＬ，ＲＣ，ＲＲをそれぞれ嵌合するカム溝内ＤＬ，ＤＣ，ＤＲを摺動させる。これに伴って、左保持部材Ｌ1，Ｌ2，…Ｌkが左方に１：２：…：ｋの直動距離の比で直動し、右保持部材Ｒ1，Ｒ2，…Ｒkが右方に１：２：…：ｋの直動距離の比で直動して不動の中央保持部材Ｃから離反する。よって、各保持部材Ｌ，Ｃ，Ｒに嵌着固定される光ファイバから照射される検査光の光軸Ａの間隔を等間隔に保持し且つ伸長することが可能となる。同様にしてつまみを反時計回りに回転することにより、弾性部材の縮小付勢を受けて左保持部材Ｌが右方に、右保持部材Ｒが左方にそれぞれ中央保持部材Ｃに近接するように直動し、光ファイバの出口端１４ｂから照射される検査光の光軸Ａの間隔を等間隔に保持し且つ縮小することが可能となる。
【００７４】
また、上述変更例の光ファイバの分割数は必ずしも奇数に限らず、偶数に分割しても容易に適用することが可能である。例えば、光ファイバを２ｋ個に分割した場合においては、２ｋ個の保持部材のうち、１個を中央保持部材Ｃとして不動に構成し、例えば、中央保持部材Ｃよりも左方に配設される左保持部材Ｌをｋ個、右保持部材Ｒを（ｋ−１）個とし、カムプレートに左カム溝ＤＬをｋ個、右カム溝ＤＲを（ｋ−１）個設ける。これにより、光ファイバを２ｋ個に分割した際においても上述変更例を容易に適用して同様の効果を得ることが可能である。
【００７５】
なお、光ファイバを２個に分割した際においては、２個の保持部材の間隔を可変とする構成のみで効果を得ることができるため、２つ設けられるカム溝の軸が平行とならないようにカムプレートに設けられていればよい。
【００７６】
また、これまでカムプレートの直動方向である前後方向軸Ｙに線対称に左右にカム溝ＤＬ，ＤＲを設けるようにして平面カム機構を構成してきたが、必ずしもこの構成に限るものではなく、各カム溝の軸と任意に設けられる左右方向軸Ｘとの各交点の間隔が等間隔となるようにしてカム溝が設けられる構成であればよい。即ち、例えば、図１２に示すようにカム溝を４つ設ける場合においては、外側左方に設けられるカム溝ＤＬ2の軸ＷＬ2と前後方向軸Ｙとで形成される角をα、内側左方に設けられるカム溝ＤＬ1の軸ＷＬ1と前後方向軸Ｙとで形成される角をβ、内側右方に設けられるカム溝ＤＲ1の軸ＷＲ1と前後方向軸Ｙとで形成される角をγ、外側左方に位置するカム溝ＤＲ2の軸ＷＲ2と前後方向軸Ｙとで形成される角をδとすると、各カム溝の軸ＷＬ2，ＷＬ1，ＷＲ1，ＷＲ2が前後方向軸Ｙの１点で交わるとともに、tanα−tanβ＝tanβ＋tanγ＝tanδ−tanγ  を満たす傾斜角となればよい。例えば、図１２に示すカム溝においては、tanα：tanβ：tanγ：tanδ＝７：２：３：８でカムプレートＣＰに設けられて上記の式を満たしており、これらのカム溝に保持部材に突設されたローラピンを嵌合させてカムプレートを前後方向に直動することにより、保持部材に穿設される嵌合孔の中心間距離を等間隔に保持し且つ伸縮することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の第１実施形態における間隔調整機構の平断面図である。
【図２】本発明におけるウエハ検査装置の構成を示す概略図である。
【図３】本発明におけるウエハ検査装置の被検対象である固体撮像素子の概略図である。
【図４】本発明の第１実施形態における間隔調整機構を、図１中のIV−IV矢視方向に見た断面図である。
【図５】本発明の第１実施形態における間隔調整機構を、図１中のV矢視方向に見た側面図である。
【図６】本発明の第１実施形態における間隔調整機構の保持部材の配設間隔を伸長させたときを示す平断面図である。
【図７】本発明の第２実施形態における間隔調整機構の平断面図である。
【図８】本発明の第４実施形態における間隔調整機構の平断面図である。
【図９】本発明の第４実施形態における間隔調整機構のカムプレートおよびカム溝の平面図である。
【図１０】本発明の第４実施形態における間隔調整機構を、図８中のX−X矢視方向に見た断面図である。
【図１１】本発明の第４実施形態における間隔調整機構の保持部材の配設間隔を伸長させたときを示す平断面図である。
【図１２】本発明の第４実施形態における間隔調整機構のカム溝の傾斜角の変更例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００７８】
２  固体撮像素子
１０  光照射装置
１４  光ファイバ
２１  プロ−ブピン
３０  テスター
５０  間隔調整機構
５２  スライドレール
５３  ガイドブロック
９０  間隔調整機構
９２  スライドレール
９３  ガイドブロック
９５  第２スライドレール
９６  第２ガイドブロック
Ｕ  ウエハ検査装置
Ｌ  左保持部材
Ｒ  右保持部材
Ｃ  中央保持部材
Ｈ  嵌合孔
ＭＣ  運動変換機構
Ｇ  歯車
ＮＬ，ＮＲ  雌ねじブロック
ＰＣ  平面カム機構
ＣＰ  カムプレート
ＤＬ，ＤＲ，ＤＣ  カム溝
【図１】
2005347376.tif 000003
【図２】
2005347376.tif 000004
【図３】
2005347376.tif 000005
【図４】
2005347376.tif 000006
【図５】
2005347376.tif 000007
【図６】
2005347376.tif 000008
【図７】
2005347376.tif 000009
【図８】
2005347376.tif 000010
【図９】
2005347376.tif 000011
【図１０】
2005347376.tif 000012
【図１１】
2005347376.tif 000013
【図１２】
2005347376.tif 000014