(57)【要約】【課題】燃料電池からの回収水を電気脱イオン装置によって処理する燃料電池用水処理装置において、電気脱イオン装置に流入する水からフッ素を十分に除去するよう改良された燃料電池用水処理装置を提供する。【解決手段】電気脱イオン装置４の陰極室からの排水が移送管１８を介して洗気室２０に導入され、空気の洗浄が行なわれる。脱炭酸室３０で脱炭酸された後、ポンプ６２を介してフッ素除去室７０，７２，７４、金属除去室８０，８２を順次に流れ、電気脱イオン装置４に供給される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
燃料電池から回収された回収水を脱イオン処理する電気脱イオン装置を備えた燃料電池用水処理装置において、
該電気脱イオン装置の前段にフッ素吸着除去手段を備えたことを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項２】
請求項１において、該フッ素吸着除去手段の前段に脱炭酸手段を備えたことを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項３】
請求項２において、該フッ素吸着除去手段と前記電気脱イオン装置との間に金属吸着除去手段を備えたことを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項４】
請求項１において、該フッ素吸着除去手段と該電気脱イオン装置との間に脱炭酸手段を備えたことを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項５】
請求項４において、該脱炭酸手段と前記電気脱イオン装置との間に金属吸着除去手段を備えたことを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項６】
請求項４において、該フッ素吸着除去手段と前記脱炭酸手段との間に金属吸着除去手段を備えたことを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項において、該フッ素吸着除去手段はフッ素吸着樹脂、陰イオン交換樹脂又はアルミナ化合物を有することを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項８】
請求項７において、該フッ素吸着除去樹脂又は陰イオン交換樹脂は、ＴＯＣ溶出量が２００ｐｐｂ以下のものであることを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項９】
請求項８において、該フッ素吸着除去樹脂又は陰イオン交換樹脂は、６５℃以上の純水で洗浄されたものであることを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項１０】
請求項３，５又は６において、該金属吸着除去手段は金属吸着樹脂、キレート樹脂又は陽イオン交換樹脂を有することを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項１１】
請求項１０において、該金属吸着除去手段の樹脂は、ＴＯＣ溶出量が２００ｐｐｂ以下のものであることを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項１２】
請求項１１において、該樹脂は、６５℃以上の純水で洗浄されたものであることを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項１３】
請求項２ないし１２のいずれか１項において、該脱炭酸手段が気液接触式であり、その気相側への空気供給源が燃料電池発電装置内に設置された燃料電池セル空気極への送気装置であり、その送気装置出口から分取した空気、もしくは燃料電池セル空気極排気の一部又は全量を該脱炭酸手段の気相側へ供給することを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【請求項１４】
請求項２ないし１２のいずれか１項において、該脱炭酸手段が膜式であり、その気相側への空気供給源が燃料電池発電装置内に設置された燃料電池セル空気極への送気装置であり、その送気装置出口から分取した空気を該脱炭酸手段の気相側へ供給することを特徴とする燃料電池用水処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は燃料電池からの回収水を電気脱イオン装置によって処理する燃料電池用水処理装置に関するものであり、特に燃料電池が固体高分子形燃料電池である場合に好適な燃料電池用水処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
燃料電池から排出される凝縮水などの水を回収して処理し、燃料改質装置（水蒸気改質装置）の水源等として利用するために、この回収水を電気脱イオン装置で処理することが特開平９−１６１８３３号公報、特開２００１−２３２３９４号公報等に記載されている。
【０００３】
前者の特開平９−１６１８３３号公報にあっては、燃料電池はリン酸形燃料電池であり、後者の特開２００１−２３２３９４号公報にあっては、燃料電池は固体高分子形燃料電池である。
【０００４】
この固体高分子形燃料電池にあっては、固体電解質としてフッ素系陽イオン交換膜が用いられており、燃料電池排水中には微量ながらフッ素イオンが含まれる。このため、上記特開平９−１６１８３３号公報のようにリン酸形燃料電池排水を処理するタイプの水処理装置では、フッ素が除去されず、フッ素によって電気脱イオン装置内のイオン交換体が早期に劣化するおそれがある。
【０００５】
後者の特開２００１−２３２３９４号公報にあっては、固体高分子形燃料電池の凝縮水を脱炭酸処理、逆浸透膜処理（ＲＯ処理）、及び電気脱イオン処理することが記載されている。
【特許文献１】特開平９−１６１８３３号公報
【特許文献２】特開２００１−２３２３９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
Ｉ．上記特開２００１−２３２３９４号公報では、その第００２９段落の通り、電気脱イオン装置の前段に設けたＲＯ装置によって溶解イオン成分の約９０％が除去されるが、それでもなお若干のフッ素イオンがＲＯ装置を通って電気脱イオン装置に流入し、電気脱イオン装置のイオン交換体を劣化させるおそれがある。
【０００７】
本発明は、電気脱イオン装置に流入する水からフッ素を十分に除去するよう改良された燃料電池用水処理装置を提供することを目的とする。
【０００８】
II．燃料電池からの回収水は、その温度が４０〜６５℃と高いため、回収水中に溶解している不純物を吸着除去する吸着剤から有機物などが処理水中に溶出し後段の電気脱イオン装置を汚染し性能低下を引き起こすなどの問題があった。
【０００９】
本発明は、その一態様において、電気脱イオン装置に流入する水からフッ素イオン等を除去する吸着剤からの有機物等の溶出を少なくするよう改良された水処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明（請求項１）の燃料電池用水処理装置は、燃料電池から回収された回収水を脱イオン処理する電気脱イオン装置を備えた燃料電池用水処理装置において、該電気脱イオン装置の前段にフッ素吸着除去手段を備えたことを特徴とする。
【００１１】
請求項２の燃料電池用水処理装置は、請求項１において、該フッ素吸着除去手段の前段に脱炭酸手段を備えたことを特徴とする。
【００１２】
請求項３の燃料電池用水処理装置は、請求項２において、該フッ素吸着除去手段と前記電気脱イオン装置との間に金属吸着除去手段を備えたことを特徴とする。
【００１３】
請求項４の燃料電池用水処理装置は、請求項１において、該フッ素吸着除去手段と該電気脱イオン装置との間に脱炭酸手段を備えたことを特徴とする。
【００１４】
請求項５の燃料電池用水処理装置は、請求項４において、該脱炭酸手段と前記電気脱イオン装置との間に金属吸着除去手段を備えたことを特徴とする。
【００１５】
請求項６の燃料電池用水処理装置は、請求項４において、該フッ素吸着除去手段と前記脱炭酸手段との間に金属吸着除去手段を備えたことを特徴とする。
【００１６】
請求項７の燃料電池用水処理装置は、請求項１ないし６のいずれか１項において、該フッ素吸着除去手段はフッ素吸着樹脂、陰イオン交換樹脂又はアルミナ化合物を有することを特徴とする。
【００１７】
請求項８の燃料電池用水処理装置は、請求項７において、該フッ素吸着除去樹脂又は陰イオン交換樹脂は、ＴＯＣ溶出量が２００ｐｐｂ以下のものであることを特徴とする。
【００１８】
請求項９の燃料電池用水処理装置は、請求項８において、該フッ素吸着除去樹脂又は陰イオン交換樹脂は、６５℃以上の純水で洗浄されたものであることを特徴とする。
【００１９】
請求項１０の燃料電池用水処理装置は、請求項３，５又は６において、該金属吸着除去手段は金属吸着樹脂、キレート樹脂又は陽イオン交換樹脂を有することを特徴とする。
【００２０】
請求項１１の燃料電池用水処理装置は、請求項１０において、該金属吸着除去手段の樹脂は、ＴＯＣ溶出量が２００ｐｐｂ以下のものであることを特徴とする。
【００２１】
請求項１２の燃料電池用水処理装置は、請求項１１において、該樹脂は、６５℃以上の純水で洗浄されたものであることを特徴とする。
【００２２】
請求項１３の燃料電池用水処理装置は、請求項２ないし１２のいずれか１項において、該脱炭酸手段が気液接触式であり、その気相側への空気供給源が燃料電池発電装置内に設置された燃料電池セル空気極への送気装置であり、その送気装置出口から分取した空気、もしくは燃料電池セル空気極排気の一部又は全量を該脱炭酸手段の気相側へ供給することを特徴とする。
【００２３】
請求項１４の燃料電池用水処理装置は、請求項２ないし１２のいずれか１項において、該脱炭酸手段が膜式であり、その気相側への空気供給源が燃料電池発電装置内に設置された燃料電池セル空気極への送気装置であり、その送気装置出口から分取した空気を該脱炭酸手段の気相側へ供給することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の燃料電池用水処理装置にあっては、燃料電池からの水からフッ素がフッ素吸着除去装置によって高度に吸着除去されるため、電気脱イオン装置のイオン交換体がフッ素によって劣化することが防止され、長期にわたって安定して燃料電池排水の処理を行うことができる。
【００２５】
請求項２では、このフッ素吸着除去手段の前段に脱炭酸手段を設け、請求項４ではフッ素吸着除去手段と電気脱イオン装置との間に脱炭酸手段を設けている。
【００２６】
燃料電池回収水には、燃料改質器の排気ガスなど多量の炭酸ガスを含む排気から回収された水を含む場合もある。このような回収水を水処理装置で処理する場合、電気脱イオン装置に流入する前に脱炭酸手段で予め脱炭酸しておくことにより、電気脱イオン装置の負荷を減少させ、電気脱イオン装置の消費電力を低減させることができる。
【００２７】
請求項３では、このフッ素吸着除去手段と電気脱イオン装置との間に、請求項５では、脱炭酸手段と電気脱イオン装置との間に、請求項６では、フッ素吸着除去手段と脱炭酸手段との間に、それぞれ金属吸着除去手段を設けている。
【００２８】
このようにフッ素吸着除去手段よりも後段側かつ電気脱イオン装置よりも前段側に金属吸着除去手段を設けておくと、仮にフッ素吸着除去手段からセリウム、アルミニウム等の金属イオンが溶出した場合でも、電気脱イオン装置に流入する金属イオンを減少させることができる。これにより、電気脱イオン装置のイオン交換体の性能を長期にわたって高く維持することが可能となる。
【００２９】
請求項７の通り、フッ素吸着除去手段は、フッ素吸着樹脂、陰イオン交換樹脂又はアルミナ化合物（例えば酸化アルミニウム）が好適である。
【００３０】
請求項１０の通り、金属吸着除去手段は、金属吸着樹脂、キレート樹脂又は陽イオン交換樹脂が好適である。
【００３１】
請求項８，１０の通り、これらの樹脂はＴＯＣ溶出量が２００ｐｐｂ以下であることが好ましく、これにより電気脱イオン装置が樹脂によって汚染されたり、電気脱イオン装置の処理水中に樹脂成分が混入することが防止される。
【００３２】
請求項９，１２の通り、これらの樹脂を予め６５℃以上の純水で洗浄することにより、不安定な結合状態の分子や未重合の分子を予め除去し、溶出を減少させ後段の電気脱イオン装置の汚染を抑え長期間安定した性能を維持することができる。
【００３３】
請求項１３，１４の通り、脱炭酸手段としては気液接触式又は膜式の脱炭酸装置が好適である。この脱炭酸装置の気相側へは燃料電池セル空気極への送気装置を利用して空気を供給するのが好ましい。具体的には、この送気装置の出口から空気を分取し、脱炭酸手段の気相側へ供給する。なお、請求項１３の場合は、燃料電池セル空気極排気の一部又は全量を脱炭酸手段の気相側へ供給してもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
第１図は実施の形態に係る燃料電池用水処理装置のフロー図である。燃料電池の凝縮水等の回収水は、脱炭酸装置１、フッ素吸着除去装置２、金属除去装置３及び電気脱イオン装置４によって処理され、電気脱イオン装置４で生成する脱イオン水が燃料改質器等に供給される。
【００３５】
この電気脱イオン装置は、陽極と陰極との間にカチオン交換膜とアニオン交換膜とを配列して脱塩室と濃縮室とを形成し、脱塩室にイオン交換体を充填した構成のものであってもよい。この場合、陽極室と陰極室とが各々独立して設けられてもよく、これら電極室の少なくとも一方が濃縮室を兼用していてもよい。
【００３６】
この実施の形態では、脱炭酸装置１は空気曝気方式のものである。曝気用の空気は、洗気装置５中でバブリングされて浄化処理された後、脱炭酸装置１内の水中に吹き込まれる。この洗気装置５へは電気脱イオン装置４の濃縮室あるいは電極室からの排水が導入されている。この洗気装置５の排水は系外に排出される。
【００３７】
このように構成された燃料電池用水処理装置にあっては、燃料電池回収水からフッ素がフッ素吸着除去装置２によって高度に吸着除去されるため、電気脱イオン装置４のイオン交換体がフッ素によって劣化することが防止され、長期にわたって安定して燃料電池排水の処理を行い、燃料改質装置の水源等として利用することができる。
【００３８】
また、フッ素吸着除去装置２からセリウムあるいはアルミニウムイオンなどの金属イオンが溶出しても、金属除去装置３により除去されるので、電気脱イオン装置４のイオン交換体の性能を長期にわたって高く維持することが可能となる。
【００３９】
次に、上記脱炭酸装置、フッ素吸着除去装置及び金属除去装置がケーシング内に配置されてなる前処理装置と、この前処理装置に付設された電気脱イオン装置４とを備えてなる燃料電池用水処理装置について第２図〜第８図を参照して説明する。
【００４０】
第２図は、この燃料電池用水処理装置の下方から見上げた状態の斜視図、第３図はこのケーシングのフロントカバーを開けた状態の斜視図、第４図は第３図からフッ素吸着樹脂及び金属吸着樹脂を取り除いた状態の斜視図、第５図は第４図の構成を示す正面図、第６図は洗気室内のフレームの斜視図、第7図は第５図のVII−VII線断面図、第８図は脱炭酸室内の螺旋板の斜視図である。
【００４１】
この燃料電池用水処理装置は、前記の通り、前処理装置１０と電気脱イオン装置４とを一体化したものである。この前処理装置１０のケーシング１２は、浅い直方体形状のものであり、正面にフロントカバー１４が取り付けられている。
【００４２】
第４，５図の通り、電気脱イオン装置４の濃縮室あるいは電極室からの排水が移送管１８を介して洗気室２０に導入され、空気の洗浄が行なわれる。この洗気室２０の構成については後に詳述する。
【００４３】
洗気室２０で洗浄された空気は、空気導入口３１から脱炭酸室３０へ導入され、洗浄に供された水はケーシング１２の背面に設けられた流出孔（図示略）から流出し、廃棄される。
【００４４】
脱炭酸室３０内の上部には、ケーシング１２の背面又は上面の被処理水導入口（図示略）から被処理水が導入されている。脱炭酸室３０内において、空気導入口３１からの空気が螺旋板３２を周回しながら立ち登り、被処理水と接触し、脱炭酸を行う。なお、螺旋板３２の螺旋状通路３４内にはワイヤを絡ませたランダムな構造の充填物（図示略）が充填され、空気がゆっくりと且つ細かく分断されながら螺旋板に沿って上昇し、十分に脱炭酸が行われるよう構成されている。
【００４５】
脱炭酸処理された水は、この脱炭酸室３０から移流口３６（第５図）を介して中継室４０（第４，７図）に流入し、この中継室４０から移流口４２（第７図）を介して貯水室５０へ流入する。第７図の通り、この中継室４０は貯水室５０の背後側に上下方向へ延設されている。この中継室４０の上部に水の移流口４２が設けられている。
【００４６】
貯水室５０内には、水位を検知するためのフロートスイッチ５２，５４が設けられている。なお、このフロートスイッチ５２，５４のいずれもがＯＦＦの場合には、次に説明するポンプ６２が停止される。
【００４７】
貯水室５０内の水は、チューブ６０、モータ６４によって駆動されるポンプ６２及びチューブ６６を介して第１のフッ素除去室７０の下部に導入され、該室７０内を上昇する。次いで、水は、このフッ素除去室７０の上部から移流管７１を介して第２のフッ素除去室７２の上部に導入され、該室７２内を下降する。次いで、移流口７３を介して第３のフッ素除去室７４の下部に導入され、該室７４内を上昇する。
【００４８】
各フッ素除去室７０，７２，７４内にはフッ素吸着樹脂７６（第３図）が充填されており、フッ素イオンが吸着除去される。なお、フッ素吸着樹脂７６の代わりに珪酸アルミナなどのフッ素吸着能を有するアルミナ化合物を用いることもできる。
【００４９】
第３のフッ素除去室７４内の上部に達した水は、移流口７８から第１の金属除去室８０の上部に移流し、該室８０内を下降する。次いで、移流口８１から第２の金属除去室８２の下部に流入し、該室８２内を上昇する。該室８２の上部に到達した水は、移流口８４を介して電気脱イオン装置４に導入される。なお、図示はしないが、この移流口８４を覆うように精密濾過膜が配置され、樹脂の破片が電気脱イオン装置４に流入しないよう構成されている。
【００５０】
各金属除去室８０，８２には金属吸着樹脂８６が充填されており、金属イオンが吸着除去される。
【００５１】
このように、この前処理装置１０によって脱炭酸、フッ素除去及び金属除去された水が移流口８４を介して電気脱イオン装置４に導入される。
【００５２】
このケーシング１０内には、各除去室７０，７２，７４，８０，８２を区画形成するために仕切板９０，９２，９４，９６，９８が上下方向に延設されており、各室７０，７２，７４，８０，８２は上下方向に延在している。チューブ６６は仕切板９０を貫通しており、移流管７１は仕切板９２を貫通している。移流口７３，７８，８１は仕切板９４，９６，９８に設けられている。移流口８４はケーシング１２の側壁に穿設されている。
【００５３】
次に、第６図を参照して洗気室２０の構成について詳細に説明する。なお、第６図（ａ）、（ｂ）は互いに反対方向から見た斜視図である。第６図（ｂ）では、洗気室２０内に滞留している水が示されている。
【００５４】
この洗気室２０は、ケーシング１２に一体に設けられた１対の上下方向の仕切板２０ａ、２０ｂ（第５図）間に形成されている。
【００５５】
この洗気室２０内には、エアポンプ（図示略）から送気されてきた空気がエアチューブ２１を介して吹き込まれる。この洗気室２０内にはフレーム２２が設置されている。該フレーム２２は、囲枠部２３、垂下板２４、立上板２５を備え、中央室２６、水流出室２７、及び空気流出室２８が形成されている。チューブ２１の末端は該中央室２６内に差し込まれている。水は前記移送管１８を介して中央室２６に導入される。中央室２６と水流出室２７との間に、囲枠部２３の上辺から垂下する垂下板２４が設けられており、中央室２６内の水はこの垂下板２４の下端を回り込んで水流出室２７に移流し、この水流出室２７の上部から溢流口２９を介してケーシング１２外ヘ流出する。中央室２６及び水流出室２７内には、この溢流口２９の下縁レベルにまで水が溜まっており、チューブ２１の下端はこの水中に没している。
【００５６】
中央室２６と空気流出室２８とは、囲枠部２３の底辺から起立する立上板２５によって区画されている。
【００５７】
チューブ２１から水中に吹き込まれた空気は、水面から離脱した後、該立上板２５の上端を回り込んで空気流出室２８に流入し、前記空気導入口３１を介して脱炭酸室３０内に吹き込まれ、前記の通り脱炭酸に用いられる。
【００５８】
第９図、第１０図は本発明の別の実施の形態に係る燃料電池用水処理装置のフロー図である。
【００５９】
第９図では、フッ素吸着除去装置２を脱炭酸装置１の前段側に配置し、フッ素吸着除去→脱炭酸→金属除去→電気脱イオンの順に処理している。その他の構成は第１図と同一である。
【００６０】
第１０図では、第９図において、脱炭酸装置１を金属除去装置３の後段側に配置し、フッ素吸着除去→金属除去→脱炭酸→電気脱イオンの順に処理している。その他の構成は第９図と同一である。
【００６１】
このように構成された第９，１０図の燃料電池用水処理装置にあっても、燃料電池回収水からフッ素がフッ素吸着除去装置２によって高度に吸着除去されるため、電気脱イオン装置４のイオン交換体がフッ素によって劣化することが防止され、長期にわたって安定して燃料電池排水の処理を行い、燃料改質装置の水源等として利用することができる。
【００６２】
また、フッ素吸着除去装置２からセリウムあるいはアルミニウムイオンなどの金属イオンが溶出しても、金属除去装置３により除去されるので、電気脱イオン装置４のイオン交換体の性能を長期にわたって高く維持することが可能となる。
【００６３】
なお、フッ素吸着除去手段に使用されるフッ素吸着樹脂や陰イオン交換樹脂、金属吸着除去手段に使用される金属吸着樹脂、キレート樹脂、陽イオン交換樹脂はその内部に不安定な結合状態の分子や未重合の分子を持っており、温度が高くなると内部の不安定な結合状態の分子や未重合の分子は樹脂中より水中へ溶出する。
【００６４】
燃料電池回収水はその水温が６５℃程度まで上昇するため電気脱イオン装置に前置されているフッ素吸着除去手段や金属吸着除去手段からの溶出物が増加し、電気脱イオン装置のイオン交換体を汚染し性能を低下させるほか、処理水へも流出し処理水純度を低下させる。
【００６５】
充填材からの主な溶出物はＴＯＣである。従って、ＴＯＣ溶出量を充填材の清浄度の指標として使用することが可能であり、ＴＯＣ溶出量が２００ｐｐｂ以下である充填材を用いることにより、電気脱イオン装置の汚染、処理水へのＴＯＣ成分の流出を防止できる。ここでＴＯＣ溶出量は（入口ＴＯＣ濃度）−（出口ＴＯＣ濃度）で求めた値である。
【００６６】
本発明では、第１，９，１０図のフローにおいて金属除去装置３を省略してもよい。
【００６７】
本発明では、脱炭酸手段は上記のような曝気式以外の気液接触式のものを用いることもできる。例えば、塔の上部より散水し、下部から送気する脱炭酸塔を用いることができる。脱炭酸手段は、膜式のものであってもよい。
【００６８】
脱炭酸手段に使用される空気供給源として、燃料電池発電装置内に設けられ燃料電池セル空気極への送気装置を利用してもよい。このようにすれば、水処理装置内部にブロワー、ファン、コンプレッサーなどの空気供給源を設ける必要がなく、装置の小型化が可能である。また、気液接触式においては燃料電池セル内部で反応によって生じた生成水を含む排気を利用することができる。この場合、使用する排気中の生成水を気液接触により取り込むことができるため、燃料電池発電装置の回収水利用率を向上させることができる。
【００６９】
なお、上記実施の形態はいずれも本発明の一例であり、本発明は図示以外の形態をもとりうる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】実施の形態に係る燃料電池用水処理装置のフロー図である。
【図２】第１図の燃料電池用水処理装置の下方から見上げた状態の斜視図である。
【図３】第２図のケーシングのフロントカバーをあけた状態の斜視図である。
【図４】第３図からフッ素吸着樹脂及び金属吸着樹脂を取り除いた状態の斜視図である。
【図５】第４図の構成を示す正面図である。
【図６】洗気室内のフレームの斜視図である。
【図７】第５図のVII−VII線断面図である。
【図８】脱炭酸室内の螺旋板の斜視図である。
【図９】別の実施の形態に係る燃料電池用水処理装置のフロー図である。
【図１０】さらに別の実施の形態に係る燃料電池用水処理装置のフロー図である。
【符号の説明】
【００７１】
１０  前処理装置
１２  ケーシング
１８  移送管
２０  洗気室
２１  空気吹込用チューブ
２２  フレーム
３０  脱炭酸室
３２  螺旋板
５０  貯留室
６２  ポンプ
７０，７２，７４  フッ素除去室
７６  フッ素吸着樹脂
８０，８２  金属除去室
８６  金属吸着樹脂
【図１】
2005347231.tif 000003
【図２】
2005347231.tif 000004
【図３】
2005347231.tif 000005
【図４】
2005347231.tif 000006
【図５】
2005347231.tif 000007
【図６】
2005347231.tif 000008
【図７】
2005347231.tif 000009
【図８】
2005347231.tif 000010
【図９】
2005347231.tif 000011
【図１０】
2005347231.tif 000012