(57)【要約】【課題】  ワイピングシートに適量の洗浄液を塗布することにより、液滴吐出ヘッドのノズル面を効率よく払拭することができる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法、ワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置等を提供することを課題とする。【解決手段】  液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８に、洗浄液を均一に含浸させたワイピングシート１１２を押し付けた状態で、ワイピングシート１１２を所定の方向に送りノズル面４８に付着した機能液を払拭する液滴吐出ヘッド４１のクリーニング方法であって、ワイピングシート１１２に対し、表面湿潤状態以上飽和含浸状態以下となるように洗浄液を含浸させる。【選択図】  図９
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に、洗浄液を含浸させたワイピングシートを押し付けた状態で、前記ワイピングシートを所定の方向に送り前記ノズル面に付着した機能液を払拭する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記ワイピングシートに対し、表面湿潤状態以上飽和含浸状態以下となるように前記洗浄液を含浸させたことを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項２】
機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に、洗浄液を含浸させたワイピングシートを押し付けた状態で、前記ワイピングシートを所定の方向に送り前記ノズル面に付着した機能液を払拭する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記ワイピングシートの飽和吸水量に対して２０％以上８０％以下となるように前記洗浄液を前記ワイピングシートに含浸させたことを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項３】
前記ワイピングシートの飽和吸水量に対して３０％以上６０％以下となるように前記洗浄液を前記ワイピングシートに含浸させたことを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項４】
前記ワイピングシートとして、ポリエステル１００％のシート材およびポリプロピレン１００％のシート材のいずれかを用いたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項５】
前記シート材は、その厚みが、０．４ｍｍから０．６ｍｍであることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項６】
機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した機能液を、ワイピングシートを用いて払拭するワイピング装置であって、
前記ワイピングシートと、
前記ワイピングシートを送るシート送り手段と、
送られてゆく前記ワイピングシートを前記ノズル面に押付ける押圧手段と、
前記押圧手段に対し前記ワイピングシートの送り方向手前に位置して、前記ワイピングシートに洗浄液を塗布する洗浄液塗布手段と、を備え
前記洗浄液塗布手段は、前記ワイピングシートに対し、表面湿潤状態以上飽和含浸状態以下となるように前記洗浄液を塗布することを特徴とするワイピング装置。
【請求項７】
機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した機能液を、ワイピングシートを用いて払拭するワイピング装置であって、
前記ワイピングシートと、
前記ワイピングシートを送るシート送り手段と、
送られてゆく前記ワイピングシートを前記ノズル面に押付ける押圧手段と、
前記押圧手段に対し前記ワイピングシートの送り方向手前に位置して、前記ワイピングシートに洗浄液を塗布する洗浄液塗布手段と、を備え
前記洗浄液塗手段は、前記ワイピングシートの飽和吸水量に対し２０％以上８０％以下となるように前記洗浄液を前記ワイピングシートに塗布することを特徴とするワイピング装置。
【請求項８】
前記洗浄液塗手段は、前記ワイピングシートの飽和吸水量に対して３０％以上６０％以下となるように前記洗浄液を前記ワイピングシートに塗布することを特徴とする請求項７に記載のワイピング装置。
【請求項９】
液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドをワークに臨ませて機能液を吐出し描画を行なう描画手段とを備え、前記液滴吐出ヘッドと前記ワークとを相対的に走査しながら機能液を吐出して、前記ワーク上に成膜部を形成する液滴吐出装置において、
請求項６ないし８のいずれかに記載のワイピング装置を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記ノズル面に離接自在に構成したキャップを介して液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引装置を、更に備えたことを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記吸引装置および前記ワイピング装置を隣接させた状態で支持する移動テーブルを、更に備え、
前記移動テーブルは、前記吸引装置および前記ワイピング装置を、前記液滴吐出ヘッドに順に臨むように移動させることを特徴とする請求項１０に記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項９ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１３】
請求項９ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて製造したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１４】
請求項１２に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１３に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液をワークに吐出し成膜等を行なう液滴吐出ヘッドに関し、特に液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した機能液を払拭する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法、ワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタに用いられているインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、微小液滴を精度よく吐出して高画質の記録を行なえることから、これを応用してインク滴に感光性樹脂や発光材料などの機能液を用いることにより液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板や有機ＥＬ装置の発光画素形成の液滴吐出装置に用いられることが知られている。この液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドのノズルを適切に管理すべくワイピング装置が搭載されている。このワイピング装置は、液滴吐出ヘッドのノズル面にワイピングシートを押付ける押圧ローラと、押圧ローラを経由させてワイピングシートを送るシート送り手段と、ワイピングシートに機能液の溶媒或いは溶媒と類似の性質を有する洗浄液を塗布する洗浄液塗布手段とを備え、ワイピングシートをノズル面に押し付けた状態で、洗浄液が塗布されたワイピングシートをノズル面に平行な所定の払拭方向に移動させて、ノズル面を払拭するようにしている。
この場合、洗浄液塗布手段は、ワイピングシートの幅方向に均等に配置した複数のノズルと、ワイピングシートに塗布する洗浄液量をノズル毎に調整する流量調整バルブを有している。
【特許文献１】特開２００３−１２７４０５号公報（第３１〜３３頁、図１７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このような従来のワイピング装置では、ワイピングシートに対し洗浄液を均一に塗布することができるものの、塗布する洗浄液量が少ないと液滴吐出ヘッドのノズル面に機能液等の汚れが残ってしまう。また洗浄液量が多いとシートから液ダレを起こしたり、過剰な洗浄液がノズル内に滲入して機能液と混ざることにより描画時に吐出不良が発生する等の問題があった。
【０００４】
本発明は、ワイピングシートに適量の洗浄液を塗布することにより、液滴吐出ヘッドのノズル面を効率よく払拭することができる液滴吐出ヘッドのクリーニング方法、ワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法は、機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に、洗浄液を含浸させたワイピングシートを押し付けた状態で、ワイピングシートを所定の方向に送り、ノズル面に付着した機能液を払拭する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、ワイピングシートに対し、表面湿潤状態以上飽和含浸状態以下となるように洗浄液を含浸させたことを特徴とする。
【０００６】
上記の構成によれば、洗浄液を含浸させたワイピングシートで液滴吐出ヘッドのノズル面を払拭することにより、ワイピングシートに含まれた洗浄液が機能液を溶解すると共に、ノズル面に付着した機能液等の汚れをワイピングシートに吸着させることができる。またこの場合、ワイピングシートに対し、表面湿潤状態以上飽和含浸状態以下となるように洗浄液を含浸させることにより、洗浄液が少ないことによるノズル面への機能液残りや過剰な洗浄液がノズル面に残ることを防止することができる。このように適量な洗浄液を含浸させたワイピングシートでノズル面を効率よく払拭することができる。
【０００７】
また本発明の他の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法は、機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に、洗浄液を含浸させたワイピングシートを押し付けた状態で、ワイピングシートを所定の方向に送り、ノズル面に付着した機能液を払拭する液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、ワイピングシートの飽和吸水量に対して２０％以上８０％以下となるように洗浄液をワイピングシートに含浸させたことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、ワイピングシートに含ませる洗浄液量を、ワイピングシートの飽和吸水量に対して２０％以上８０％以下とすることにより、洗浄液の量が少なくなった場合に起こるノズル面への機能液等の汚れの残留を防止すると共に、過剰な洗浄液のノズル内への滲入やワイピングシートからの液ダレを防ぐことができる。このように適量な洗浄液をワイピングシートに含浸させることにより洗浄液の無駄を省くと共に、液滴吐出ヘッドのノズルを安定的な状態に保つことができる。
【０００９】
さらにノズル面を効率よく払拭するためには、洗浄液量がワイピングシートの飽和吸水量に対し３０％以上６０％以下とすることが好ましい。
【００１０】
本発明のワイピングシートとして、ポリエステル１００％のシート材およびポリプロピレン１００％のシート材のいずれかを用いることが好ましい。また、シート材は、その厚みが、０．４ｍｍから０．６ｍｍであることが好ましい。
【００１１】
これらのシート材は、機能液として用いられる各種の材料やその溶媒に対して耐蝕性、耐溶剤性、耐久性に優れているため、シート材の破れや磨耗を防ぐことができる。さらにこれらのシート材は、０．４ｍｍから０．６ｍｍの厚みを有したものであることが好ましい。これによればノズル面等との摩擦による発塵を押えると共に、適度の吸水性を持たせることができる。また、ワイピングシートを巻回した場合にも嵩張らずに装置に収納することができる。
【００１２】
本発明のワイピング装置は、機能液をワークに吐出する液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した機能液を、ワイピングシートを用いて払拭するワイピング装置であって、ワイピングシートと、ワイピングシートを送るシート送り手段と、送られてゆくワイピングシートをノズル面に押付ける押圧手段と、押圧手段に対しワイピングシートの送り方向手前に位置して、ワイピングシートに洗浄液を塗布する洗浄液塗布手段と、を備え、洗浄液塗布手段は、ワイピングシートに対し、表面湿潤状態以上飽和含浸状態以下となるように洗浄液を塗布することを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、ワイピングシートに対し、表面湿潤状態以上飽和含浸状態以下となるように洗浄液を塗布することにより、ノズル面に付着した機能液等の汚れを効率よく払拭することができる。また、洗浄液の過少過多によって引き起こされる液滴吐出ヘッドの吐出不良を低減することができる。そして、常に新しい洗浄液を含んだワイピングシートによってノズル面が払拭されるため、機能液を含んだ洗浄液がノズル面に再付着することを防ぐことができる。
【００１４】
また本発明の他のワイピング装置は、液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した機能液を、ワイピングシートを用いて払拭するワイピング装置であって、ワイピングシートと、ワイピングシートを送るシート送り手段と、送られてゆくワイピングシートをノズル面に押付ける押圧手段と、押圧手段に対してワイピングシートの送り方向手前に位置して、ワイピングシートに洗浄液を塗布する洗浄液塗布手段と、を備え、洗浄液塗布手段は、ワイピングシートの飽和吸水量に対して２０％以上８０％以下となるように洗浄液を塗布することを特徴とする。
【００１５】
さらにノズル面を効率よく払拭するためには、洗浄液塗布手段は、洗浄液量がワイピングシートの飽和吸水量に対し３０％以上６０％以下となるように洗浄液を塗布することが好ましい。
【００１６】
これらの構成によれば、ワイピングシートに含ませる洗浄液量が適量の範囲に管理されているため、洗浄液の無駄を省きより効率のよいノズル面の払拭ができる。そして、液滴吐出ヘッドの機能回復を確実に行なうことができる。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドをワークに臨ませて機能液を吐出し描画を行なう描画手段とを備え、液滴吐出ヘッドとワークとを相対的に走査して機能液を吐出して、ワーク上に成膜部を形成する液滴吐出装置において、上記したワイピング装置を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面を適量の洗浄液による効率的なワイピング（払拭）を行なうことができ、液滴吐出ヘッドの安定的な吐出状態を実現し、この液滴吐出ヘッドによるワークへの描画動作によって、吐出不良が発生しにくい、高い品質の成膜部を得られる液滴吐出装置を提供することができる。
【００１９】
また本発明の液滴吐出装置は、ノズル面に離接自在に構成したキャップを介して液滴吐出ヘッドから機能液を吸引する吸引装置を、更に備えることが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドへキャップが密着しノズル内の増粘した機能液を吸引するキャッピングと、その際にノズル面に残った機能液等の汚れを払拭するワイピングとを組み合わせた液滴吐出ヘッドのメンテナンス動作を同一装置内で行なうことができる。これによりさらに安定した吐出状態を維持できる液滴吐出装置を提供することができる。
【００２１】
この場合、上記吸引装置および上記ワイピング装置を隣接させた状態で支持する移動テーブルを更に備え、移動テーブルは、この吸引装置およびワイピング装置を、液滴吐出ヘッドに順に臨むように移動させることが好ましい。
【００２２】
この構成によれば、液滴吐出ヘッドを不動としたままで、この移動テーブルによって上記吸引装置および上記ワイピング装置を、液滴吐出ヘッドに順に臨ませることができる。このため、キャッピング動作に続けてワイピング動作を行なうことや、これらの動作を繰り返すことなど、液滴吐出ヘッドの機能回復を行う一連のメンテナンス動作を続けて行なうことができる。ゆえに、さらに効率的で安定的な吐出状態を維持できる液滴吐出装置を提供することができる。
【００２３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用いて製造することを特徴とする。
【００２４】
同様に本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用いて製造したことを特徴とする。
【００２５】
これらの構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面を適量の液量で効率よく払拭することができる洗浄液塗布方法を用いたクリーニング機構を備えた液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置製造することが可能となる。なお、電気光学装置としては、液晶表示装置、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）装置、電子放出装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）装置やＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。また、液晶表示装置等の透明電極（ＩＴＯ）形成の装置が考えられる。
【００２６】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２７】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットディスプレーを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明の効果】
【００２８】
本発明の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法、ワイピング装置およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面を適量の液量で効率よく払拭することができるため、液滴吐出ヘッドの機能が確実に回復されて安定的な吐出状態が維持できる液滴吐出装置を用いて信頼性の高い電気光学装置の製造が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明の一実施形態であるワイピング装置を備えた液滴吐出装置について説明する。この液滴吐出装置は、フラットディスプレーの一種である液晶表示装置や有機ＥＬ装置等の製造工程で用いられ、機能液としてカラーフィルタ材料や発光材料を使用し、液滴吐出ヘッドから基板（ワーク）に機能液を吐出し描画して所望のカラーフィルタ基板や発光層等の成膜を行なうものである。
【００３０】
図１ないし図３に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッド４１とワーク（基板）ＷとをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動走査しながら、液滴吐出ヘッド４１から選択的に機能液を吐出してワークＷ上に描画を行なう描画手段２と、描画手段２に併設され、液滴吐出ヘッド４１の機能回復を行うメンテナンス手段３と、液滴吐出ヘッド４１やメンテナンス手段３との間で機能液や洗浄液等の液体を供給し、不要な液体を回収する液体供給回収手段４と、これら各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段５と、を備えている。またこれらの各手段は、図外のホストコンピュータ等によって関連づけられ制御されるようになっている。
【００３１】
また、液滴吐出装置１は、アングル１２を方形状に組んだ架台１１と、架台１１に併設されたキャビネット状の機台１３とを備えている。架台１１上には、石定盤７１が固定されており、この石定盤７１上に描画手段２が配設されている。機台１３上面には、メンテナンス手段３が配設されると共に、液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給する機能液供給タンク１７２が支持されている。機台１３のキャビネット部は、収容室１４と収容室１５からなり、収容室１４には、液体供給回収手段４の機能液や洗浄液等を貯留するタンク類が収容されている。また収容室１５には、エアー供給手段５が収容されており、この装置外の圧縮エアーや圧縮窒素ガスの供給源と接続されている。
【００３２】
描画手段２は、液滴吐出ヘッド４１を搭載したメインキャリッジ２２と、メインキャリッジ２２をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル６１と、ワークＷを載置した吸着テーブル５４をＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル５１と、を備えており、これらは、石定盤７１上に配設されている。そして、メインキャリッジ２２の下部には、サブキャリッジ３１に複数（１２個）の液滴吐出ヘッド４１を搭載したヘッドユニット２１が取り付けられている。
【００３３】
Ｘ軸テーブル５１は、石定盤７１上のほぼ中央部付近に配設されており、吸着テーブル５４と、吸着テーブル５４を支持するθテーブル５３と、θテーブル５３をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ５２と、θテーブル５３を介して吸着テーブル５４をＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダ５２に併設したＸ軸リニアスケール（図示省略）とで構成されている。
【００３４】
Ｙ軸テーブル６１は、石定盤７１の四隅に立設されたスタンド付きのＹ軸フレーム６０にＸ軸テーブル５１を跨ぐように載置されており、メインキャリッジ２２を吊設するブリッジプレート２６と、ブリッジプレート２６を両持ちで且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸スライダ６２と、Ｙ軸スライダ６２に併設したＹ軸リニアスケール６３と、一対のＹ軸スライダ６２を案内にしてブリッジプレート２６をＹ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじ６４と、Ｙ軸ボールねじ６４を正逆回転させるＹ軸モータ(図示省略)とで構成されている。Ｙ軸モータはサーボモータで構成されており、Ｙ軸モータが正逆回転すると、Ｙ軸ボールねじ６４を介してこれに螺合しているブリッジプレート２６が一対のＹ軸スライダ６２を案内にしてＹ軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート２６の移動に伴い、メインキャリッジ２２（ヘッドユニット２１）がＹ軸方向に往復移動する。
【００３５】
液滴吐出ヘッド４１は、図４（ａ）に示すようにいわゆる２連のノズル列を有するものであり、接続針４２を有する機能液導入部４３と、機能液導入部４３に連なるヘッド基板４４と、ヘッド基板４４を介して機能液導入部４３に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４５と、で構成されている。各接続針４２は、配管アダプタ３８を介して液体供給回収手段４の機能液給液タンク１７２に接続されている（詳細は後述する）。ヘッド本体４５は、ピエゾ（圧電素子）４６およびヘッドプレート４７で構成されている。ヘッドプレート４７の表面は、平坦なノズル面４８となっており、このノズル面４８に多数の吐出ノズル４９が開口している。そして、ピエゾ４６の作用により吐出ノズル４９から液滴が吐出される。
【００３６】
この場合、ヘッドユニット２１は、図４（ｂ）と図５に示すように、複数（１２個）の液滴吐出ヘッド４１を備えており、複数の液滴吐出ヘッド４１は、サブキャリッジ３１に形成された開口に、ノズル面４８を下方に突出させて２列に配設され、下側からあてがったヘッド支持板３７によりそれぞれサブキャリッジ３１に固定されている。
【００３７】
すなわち、１２個の液滴吐出ヘッド４１は、主走査方向（Ｘ軸方向）に離間した各６個の二つのヘッド列４０Ｌ，４０Ｒに区分されると共に、ワークＷに対して所望の描画密度を確保するために角度をつけて配設されている。さらには、副走査方向（Ｙ軸方向）において各液滴吐出ヘッド４１のノズル４９が連続（一部重複する描画ラインを構成）するように、一方のヘッド列４０Ｌと他方のヘッド列４０Ｒとがずらして配設されている。
【００３８】
サブキャリッジ３１は、二つのヘッド列４０Ｌ，４０Ｒを固定するための開口が形成された本体プレート３３と、本体プレート３３の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の位置決めのための基準ピン３４と、本体プレート３３の両長辺部分に取り付けられ、メインキャリッジ２２に固定するための左右一対の支持部材３２と、を備えている。また、サブキャリッジ３１には、その一方の端部に位置して各液滴吐出ヘッド４１と機能液給液タンク１７２を配管接続するための配管ジョイント３５が設けられている。
【００３９】
メインキャリッジ２２は、前述のブリッジプレート２６に固定される外観「Ｉ」形の吊設部材２３と、吊設部材２３に取付けられたθテーブル２４と、θテーブル２４に吊設されたキャリッジ本体２５と、で構成されている。キャリッジ本体２５には、ヘッドユニット２１を遊嵌するための方形の開口を有しており、この開口に、ヘッドユニット２１が位置決め固定されるようになっている。
【００４０】
液体供給回収手段４は、機能液が貯留された加圧タンク１７１と、チューブを介して加圧タンク１７１に接続され、液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給する機能液供給タンク１７２と、キャップユニット９１（後述する）を介して液滴吐出ヘッド４１から吸引された機能液を回収する再利用タンク１７３と、フラッシングユニット１６１（後述する）から不要となった機能液を回収する廃液タンク１７４と、ワイピングユニット１１１（後述する）に洗浄液を送り込む洗浄液タンク１７５と、で構成されている。また、液体供給回収手段４は、これらのタンク類に付随するポンプやチューブを備えている。
【００４１】
機能液供給タンク１７２は、加圧タンク１７１から送り込まれた機能液を一時的に貯留し、水頭差を利用して液滴吐出ヘッド４１に機能液を供給しており、機台１３上面に立設した支持台上に載置されている。
【００４２】
ここで、描画手段２の一連の動作を簡単に説明する。まず、ワークＷに向けて機能液を吐出する描画作業前の準備として、ヘッド認識カメラ（図示省略）によるヘッドユニット２１の位置補正が行われた後、ワーク認識カメラ（図示省略）によって、吸着テーブル５４にセットされたワークＷの位置補正がなされる。次に、ワークＷをＸ軸テーブル５１により主走査（Ｘ軸）方向に往復動させると共に、複数の液滴吐出ヘッド４１を駆動させてワークＷに対する液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット２１をＹ軸テーブル６１により副走査（Ｙ軸）方向に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復移動と液滴吐出ヘッド４１の駆動が行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット２１に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット２１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット２１を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４３】
また、本発明の一実施形態の液滴吐出装置１には、後述するメンテナンス手段３の各ユニットとは別に液滴吐出ヘッド４１の機能回復手段の一つとして一対のフラッシングユニット１６１ａ，１６１ｂを備えている。一対のフラッシングユニット１６１ａ，１６１ｂは、吸着テーブル５４の主走査方向（Ｘ軸方向）両辺部に吸着テーブル５４の表面と略同一高さとなるように配設されており、描画動作の往動および復動の開始直前に液滴吐出ヘッド４１の捨て吐出を受けるようになっている。このフラッシングユニット１６１に吐出された機能液は、前述のポンプ（図示省略）によって吸引され、廃液として前述の廃液タンク１７４に回収される。
【００４４】
次に本実施形態のメンテナンス手段３について説明する。図６に示すように、メンテナンス手段３は、液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８に密着して液滴吐出ヘッド４１内の増粘した機能液を吸引して除去するキャップユニット９１と、前記吸引後液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８に付着した機能液等の汚れを拭き取るワイピングユニット１１１と、このような液滴吐出ヘッド４１のクリーニング作業後に、液滴吐出ヘッド４１から適量の機能液が吐出されているか計量するために、その吐出を受ける吐出受けユニット８１と、液滴吐出ヘッド４１のノズル４９の詰まりによるドット抜けを検査するドット抜け検査ユニット１０１と、これらの各ユニットを共通ベース１５２上に載置し、これを支持する移動テーブル１５１と、で構成されている。
【００４５】
移動テーブル１５１は、前述の機台１３上面に配設されており、メンテナンス手段３の各ユニットを載置する共通テーブルを支持するスライダと、このスライダに螺合したボールねじ１５４と、ボールねじ１５４を回転させて移動テーブル１５１を移動させるモータ１５３と、で構成されている。移動テーブル１５１は、Ｙ軸テーブル６１によってクリーニング位置に移動したヘッドユニット２１に対して、メンテナンス手段３の各ユニットを順にＸ軸方向に移動し臨ませる。
【００４６】
キャップユニット９１は、液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８に離接自在に密着する複数（１２個）のキャップ９２と、複数のキャップ９２を複数の液滴吐出ヘッド４１に対応した位置に配設したキャップベース９３と、キャップベース９３を介して複数のキャップ９２を液滴吐出ヘッド４１に対し離接させる昇降機構９４と、キャップベース９３を昇降自在に支持する一対の支持脚（図示省略）と、各キャップ９２を介して液滴吐出ヘッド４１から機能液を吸引する吸引ポンプと、で構成されている。キャップユニット９１は、装置の非稼動時等に、ノズル面４８にキャップ９２を密着させ、ノズル４９内の機能液の増粘を防ぐ保管機能と、液滴吐出ヘッド４１から増粘した機能液を吸引する吸引機能と、装置起動時やワークＷ交換時等に、液滴吐出ヘッド４１からの捨て吐出を受けるフラッシング受け機能と、を有している。これに対して、昇降機構は、保管および吸引のための密着位置と、フラッシングを受ける受け位置と、待機位置との間でキャップ９２を昇降させるようになっている。
【００４７】
吐出受けユニット８１は、キャップユニット９１のＸ軸方向に隣接して配設されており、液滴吐出ヘッド４１から吐出される機能液を受ける取り外し可能な複数（１２個）の受け皿８２と、複数の受け皿８２を複数の液滴吐出ヘッド４１に対応した位置に載置する載置台８３とで構成されている。吐出量測定の際には、各液滴吐出ヘッド４１から各受け皿８２に所定回数機能液を吐出させた後に、各受け皿８２を図外の電子天秤に移載して各受け皿８２内の液滴重量を測定する。
【００４８】
ドット抜け検査ユニット１０１は、キャップユニット９１のＹ軸方向に隣接して共通ベース１５２の描画手段２側に配設されており、ヘッドユニット２１の２つのヘッド列４０Ｌ，４０Ｒに対応して設けた一対の光学式検出器１０２Ｌ，１０２Ｒで構成されている。各検出器１０２Ｌ，１０２Ｒは、レーザーダイオード等の発光素子１０３と受光素子１０４とを対向させ、両素子１０３，１０４間の光路を吐出した液滴が遮断するか否かで、ドット抜け（吐出不良）を検出するようになっている。そして、各ヘッド列４０Ｌ，４０Ｒの液滴吐出ヘッド４１が各検出器１０２Ｌ，１０２Ｒの直上部を通るようにヘッドユニット２１をＹ軸方向に移動させつつ、各吐出ノズル４９から順に液滴を吐出させて、ドット抜けの検査を行う。
【００４９】
次にワイピングユニット１１１について説明する。図６に示すように、ワイピングユニット１１１は、キャップユニット９１に対して吐出受けユニット８１の反対側に隣接して配置されており、キャップユニット９１による液滴吐出ヘッド４１の吸引（クリーニング）等により、ノズル面４８に付着した機能液等の汚れを、ワイピングシート１１２を用いて払拭する装置である。ワイピングユニット１１１は、ワイピングシート１１２をノズル面４８に押付けてノズル面４８に平行な所定の方向に拭き取りを行なう拭き取りユニット１４１と、拭き取りユニット１４１を経由してワイピングシート１１２を送り込むシート供給ユニット１２１と、で構成されている。
【００５０】
シート供給ユニット１２１は、図７に示すように、Ｙ軸方向片側に立設したフレーム１２２に片持ち状態で着脱自在に軸支された上側の繰出しリール１２７および下側の巻取りリール１２９と、タイミングベルト１３１を介して巻取りリール１２９を巻取り回転させる巻取りモータ１３０と、を備えている。また、フレーム１２２の上側部にはサブフレーム１２３が固定されており、このサブフレーム１２３には、繰出しリール１２７の先方に位置して速度検出器（エンコーダ）１２６に連接された回転自在のグリップローラからなる速度検出ローラ１２４と、ガイドローラ１２５とが、両持ちで支持されている。さらに、繰り出しリール１２７には、回転を制動するトルクリミッタ１２８が設けられている。また、巻取りリール１２９と速度検出ローラ１２４との間にあって、ワイピングシート１１２を仰ぐ位置には、シート検出器１３４が備えられており、巻き取られるワイピングシート１１２の終端部を検出して、繰り出しリール１２７と巻取りリール１２９の交換時期を報知する。そして、これら構成部品の下側には、洗浄液を受ける洗浄液パン１３２が配設されている。
【００５１】
拭き取りユニット１４１は、図８に示すように、Ｙ軸方向両側に立設した一対のスタンド１４３，１４３間に昇降自在に支持される昇降枠１４２と、昇降枠を昇降する一対のシリンダ１４９と、昇降枠１４２に両持ちで回転自在に支持される押圧ローラ１４５と、押圧ローラ１４５にワイピングシート１１２を送り込む方向の直前に位置してワイピングシート１１２の幅方向に洗浄液を塗布する洗浄液吐出ヘッド１４７と、昇降枠１４２の開口底部に取付けられた洗浄液を受ける洗浄液パン１４４と、を備えている。洗浄液吐出ヘッド１４７には、多数の洗浄液ノズル（図示省略）が設けられており、各洗浄液ノズルの尾端部には、洗浄液チューブ（図示省略）を接続するための配管用コネクタ１４８が設けられている。各洗浄液ノズルには、洗浄液チューブを介して等量の洗浄液が供給され、洗浄液をワイピングシート１１２の幅方向に均一に滴下できるようになっている。
【００５２】
押圧ローラ１４５は、外周にゴム等の弾性体を装着した自由回転する弾性ローラで構成されている。そして、図９（ｂ）に示すように、昇降枠１４２を上昇端位置に上昇させた状態で、押圧ローラ１４５に周回するワイピングシート１１２を、ヘッドユニット２１に搭載した液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８に押し付けるように構成されている。
【００５３】
また押圧ローラ１４５は、洗浄液を含ませたワイピングシート１１２が周接するため、押圧ローラ１４５の外周を構成する部材が、洗浄液や腐食性を有する機能液を含んだ洗浄液によって劣化することがある。したがって、定期的な点検と交換を実施すると共に、使用する洗浄液や機能液によっては、押圧ローラ１４５の外周を構成する部材をより耐久性が優れたものに変えることが望ましい。尚、押圧ローラ１４５は、昇降枠１４２に回転自在に軸支された左右の軸部と、この両軸部に着脱自在に取り付けたローラ本体とから構成されており、押圧ローラ１４５の交換は、このローラ本体を交換することで為される。
【００５４】
さらには、押圧ローラ１４５に周接するワイピングシート１１２の裏面に洗浄液が浸透して濡れないように、不揮発性の材料でコーティングするなどの方法や、ワイピングシート１１２を、液体を吸収する層と吸収しない層の複層構造とすることで、予め防湿加工しておけば前述のような押圧ローラ１４５の劣化を少なくすることが可能である。そして、押圧ローラ１４５の外周を構成する部材の選択の幅が広がると共に、その保守も軽減されるだけでなく、このワイピングシート１１２の裏面側の表面状態によっては、押し圧ローラ１４５とワイピングシート１１２のスリップを防止することも可能である。
【００５５】
ここで図９（ａ）を参照して、ワイピングユニット１１１の制御について触れておく。繰り出しリール１２７から繰り出されたワイピングシート１１２は、速度検出ローラ１２４ａ，１２４ｂに挟まれガイドローラ１２５で案内されて、押圧ローラ１４５と洗浄液吐出ヘッド４１の隙間を通って押圧ローラ１４５を周回し、Ｕターンして巻取りリール１２９に巻き取られる。巻取りモータ１３０は、常に速度検出ローラ１２４に連接した速度検出器（エンコーダ）１２６よって巻き取り速度を制御される。その一方で繰り出しリール１２７に取り付けられたトルクリミッタ１２８は、巻き取り方向に対して制動的に働くように繰り出しリール１２７を制御している。ゆえに、ワイピングシート１１２は常に張った状態で送り込まれると共に、弛まないように巻き取られる。本発明の実施形態では、押圧ローラ１４５を従動ローラとしたが、これを駆動ローラとして、より確実にワイピングシート１１２を送り込むような構成にしてもよい。さらに、本発明の実施形態では、シート供給ユニット１２１と拭き取りユニット１４１とを独立した形式としたが、同一フレームに一体として組み込む構成も可能である。
【００５６】
また、液滴吐出ヘッド４１の拭き取り動作は、図１０に示されたタイミングチャートに従って行なわれる。まず、移動テーブル１５１によってＸ軸方向にワイピングユニット１１１が往動し、ヘッド列４０Ｌに近づくとｔ１のタイミングでワイピングシート１１２の送りが開始されると共に、洗浄液が吐出され湿潤したワイピングシート１１２は、拭き取りユニット１４１の昇降枠１４２が上昇してｔ２のタイミングで押圧ローラ１４５によってノズル面に当接する。そのままワイピングユニット１１１は往動を継続し、ヘッド列４０Ｌのノズル面を拭き終わるｔ３のタイミングでワイピングシート１１２の送りが停止すると共に、洗浄液の吐出も停止する。昇降枠１４２が上昇したまま次のヘッド列４０Ｒに向かい、ヘッド列４０Ｒに近づくとｔ４のタイミングで再びワイピングシート１１２の送りを開始すると共に洗浄液が吐出され、ヘッド列４０Ｒのノズル面の拭き取りを行なう。ｔ６のタイミングで拭き取り動作が終了すると昇降枠１４２が下降すると共にワイピングシート１１２の送りと洗浄液の吐出が停止する。ワイピングユニット１１１の往動は、ｔ６のタイミングを僅かに過ぎた時点で停止し、その後復動させて元の位置に復帰させる。この場合は、停止した液滴吐出ヘッド４１に対してワイピングユニット１１１を移動させて拭き取り動作させているが、ワイピングユニット１１１を固定し、液滴吐出ヘッド４１（ヘッドユニット２１）を移動させるように構成してもよい。
【００５７】
次に、図６および図１１を参照しながら洗浄液の供給系およびワイピングシートに塗布する洗浄液量について説明する。洗浄液の供給系は、洗浄液が貯留された洗浄液タンク１７５と、共通ベース１５２上に垂設された支持板に設けられた複数の流量調整バルブ１３３と、各流量調整バルブ１３３と拭き取りユニット１４１の洗浄液吐出ヘッド１４７とを接続する洗浄液チューブと、この洗浄液チューブを流量調整バルブ１３３の上流側で分岐するマニホールドと、で構成されている。各流量調整バルブ１３３は、流量調整機能付きのエアーオペレートバルブで構成されており、洗浄液吐出ヘッド１４７に設けられた多数の洗浄液ノズルのそれぞれに対し、洗浄液の供給をＯＮ−ＯＦＦ（開閉）すると共に、供給する洗浄液量を調整することができるようになっている。本実施形態のものでは、流量調整バルブ１３３により洗浄液量を予め調整しておくと共に、前述のようにワイピングユニット１１１の拭き取り動作に連動して流量調整バルブ１３３を開閉する。
【００５８】
また、洗浄液タンク１７５に貯留された洗浄液は、洗浄液の種類によって劣化を起こさないように窒素ガスで加圧され、流量調整バルブ１３３を経由して、前述の各洗浄液ノズルに供給されている。
【００５９】
次に、洗浄液について説明する。本実施形態では、以下に示すような機能液に対する洗浄液（機能液の溶媒或いはこれに良く似た性質のもの）の選択が行なわれている。
機能液；洗浄液
金属配線材料；ｎ−デカン、ｎ−テトラデカン、ｎ−ドデカンなどの脂肪族単価水素系
カラーフィルタ材料；シンナー系（エーテルアルコール類とエステル類の混合物）
ＣＦ用オーバーコート；シンナー系（エーテルアルコール類とエステル類の混合物）
有機ＥＬ発光材料；キシレン、トルエンなどの芳香族炭化水素類
ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）；純水、エタノールなどのアルコール類または、純水とエタノールなどのアルコール類の混合物
配向膜材料；ケトン類
【００６０】
ところで、本実施形態では、液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８に付着した機能液等の汚れをワイピングシート１１２に効率よく吸着させると共に、ワイピング動作後の液滴吐出ヘッド４１をより確実に機能回復させるために、ワイピングシート１１２に対して、表面湿潤状態以上飽和含浸状態以下となるように洗浄液を含浸させるようにしている。
【００６１】
具体的には、洗浄液量を決定する要素として、使用する機能液によって異なる洗浄液と用いられるワイピングシート１１２との関係に着目し、ワイピングシート１１２に対する異なる洗浄液毎の飽和吸水量をＪＩＳＬ１９０７の繊維製品の吸水性試験方法に基づいて求めた。その結果が図１２に示されている。
【００６２】
図１２からもわかるようにワイピングシート１１２が同一でも飽和吸水量は、洗浄液の種類毎に異なることがわかる。したがって、飽和吸水量以上に洗浄液をワイピングシート１１２に塗布すれば洗浄液が過剰となって液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８に残留する可能性が高まることが予測できる。さらに実際に洗浄液量を変化させてノズル面４８に対する払拭性との関係を試験し、適量の範囲を求めてゆけばよい。
【００６３】
そこで、金属配線材料を機能液とした場合の洗浄液を例に、以下の条件で試験を行なった。洗浄液としてｎ−デカンを使用し、ワイピングシート１１２として超極細原糸を用いたポリエステル１００％で厚み０．５ｍｍのものを用いた。この材料は、発塵性が低く、耐溶剤性や耐久性に優れている点で採用されている。またこの材料は、ワイピングシート１１２表面に適度な洗浄液を保持させるため０．４ｍｍから０．６ｍｍの厚みを確保している。
【００６４】
この場合、ワイピングシート１１２の飽和吸水量は、先の図１２に示す結果から０．５５ミリリットル／立方センチメートルであることがわかっている。これに基づいて洗浄液の塗布量（吸水量）を変化させて液滴吐出ヘッド４１のワイピングを行なうと共に、試験吐出を実施してその安定性を評価したところ図１３の試験結果が得られた。
【００６５】
図１３の試験結果によると、洗浄液量がワイピングシート１１２の飽和吸水量（０．５５ミリリットル／立方センチメートル＝１００％）に対して１０％の時は、ノズル面４８に機能液の残留が認められる。また８０％の時には、ノズル面４８に機能液は残留していないが、その後の試験吐出で描画された膜が薄くなる、すなわち機能液が洗浄液で希釈された傾向が現れており、洗浄液がノズル内に滲入したと考えられる。さらに洗浄液量を増やして１００％とすると明らかにノズル面４８に洗浄液が残留しているのが認められた。
【００６６】
すなわち、ワイピングシート１１２は、少なくとも液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８に付着した機能液を溶解し得る程度の洗浄液を必要すると共に、溶解した機能液や汚れを吸着して保持できる程度の吸水性をシート材に与えておくことによって、一度吸着保持した汚れが再度ノズル面４８に移らないようなワイピングシート１１２の吸水状態とする洗浄液の塗布量（吸水量）が十分であると考えられる。
【００６７】
これらの結果よりポリエステル１００％で厚み０．５ｍｍのワイピングシート１１２を用いた場合、洗浄液量は、このワイピングシート１１２の飽和吸水量に対して２０％以上８０％以下で用いられることが望ましい。特に、４０％以上６０％以下がさらに好ましい。
【００６８】
このような洗浄液量の管理方法を用いることにより、液滴吐出ヘッド４１のノズル面４８を適量の洗浄液量を含浸させたワイピングシート１１２で効率よく払拭することができる。ゆえに液滴吐出ヘッド４１は、安定的な吐出状態を維持することができ、液滴吐出ヘッド４１によって描画される機能液の成膜品質を向上することができる。尚、ワイピングシート１１２に塗布する洗浄液量を、洗浄液量としてではなく、ワイピングシート１１２の飽和吸水量に対する割合（パーセンテージ）で把握することで、他の洗浄液を用いた場合でも、ほぼ同様な結果となると考えられるが、好ましくは、用いられるワイピングシート１１２に対して、使用する洗浄液の飽和吸水量を求めておいて、この洗浄液の適量な塗布量範囲を把握しておくようにする。
【００６９】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。
【００７０】
先ず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１４は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１５は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１１）では、図１５（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７１】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１５（ｂ）に示すように、基板５０１及びブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１５（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において液滴吐出ヘッド４１により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７２】
以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置精度が向上する。
【００７３】
次に、着色層形成工程（Ｓ１３）では、図１５（ｄ）に示すように、液滴吐出ヘッド４１によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、液滴吐出ヘッド４１を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７４】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１４）に移り、図１５（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７５】
図１６は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１５に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７６】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、及び、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７７】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１６において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７８】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７９】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００８０】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、液滴吐出ヘッド４１で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を液滴吐出ヘッド４１で行うことも可能である。
【００８１】
図１７は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８２】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８３】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８４】
図１８は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８５】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８６】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１及び信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８７】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８８】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８９】
次に、図１９は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００９０】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３及び陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２及び基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９１】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａ及びドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９２】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６及び半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９及びゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９３】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９４】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９５】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３及び機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、及び、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９６】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ２、ＴｉＯ２等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９７】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９８】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、又は青色（Ｂ）の何れかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９９】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１００】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１０１】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図２０〜図２８を参照して説明する。
この表示装置６００は、図２０に示すように、バンク部形成工程（Ｓ２１）、表面処理工程（Ｓ２２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）、発光層形成工程（Ｓ２４）、及び対向電極形成工程（Ｓ２５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０２】
まず、バンク部形成工程（Ｓ２１）では、図２１に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図２２に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０３】
表面処理工程（Ｓ２２）では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａ及び画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓ及び有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、液滴吐出ヘッド４１を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０４】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図３に示した液滴吐出装置１の吸着テーブル５４に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）及び発光層形成工程（Ｓ２４）が行われる。
【０１０５】
図２３に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ２３）では、液滴吐出ヘッド４１から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２４に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１０６】
次に発光層形成工程（Ｓ２４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０７】
そして次に、図２５に示すように、各色のうちの何れか（図２５の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０８】
その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２６に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０９】
同様に、液滴吐出ヘッド４１を用い、図２７に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）及び緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１１０】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａ及び発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ２５）に移行する。
【０１１１】
対向電極形成工程（Ｓ２５）では、図２８に示すように、発光層６１７ｂ及び有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ２、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１２】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１３】
次に、図２９は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、及びこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１４】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１５】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１６】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、及びＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１７】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、及び蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１の吸着テーブル５４に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、液滴吐出ヘッド４１により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１８】
補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１９】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１及び蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を液滴吐出ヘッド４１から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１２０】
次に、図３０は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、及びこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２１】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２２】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２３】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２４】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２５】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図３１（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図３１（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２６】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２７】
【図１】実施形態の液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図２】図１の右方から見た実施形態の液滴吐出装置の側面図である。
【図３】実施形態の液滴吐出装置の一部を省略した平面図である。
【図４】（ａ）実施形態の液滴吐出ヘッドの斜視図、（ｂ）液滴吐出ヘッドの要部の断面図である。
【図５】実施形態のヘッドユニットの平面図である。
【図６】実施形態のワイピングユニットを含むメンテナンス手段の斜視図である。
【図７】実施形態のシート供給ユニットの斜視図である。
【図８】実施形態の拭き取りユニットの斜視図である。
【図９】（ａ）実施形態のシート供給ユニットおよび拭き取りユニットの模式図、（ｂ）ノズル面に対する押圧ローラおよび洗浄液吐出ヘッドの位置関係を示す図である。
【図１０】実施形態のワイピングユニットによる払拭作業を示すタイムチャートである。
【図１１】実施形態のワイピングユニットにおける洗浄液の供給系の模式図である。
【図１２】実施形態のワイピングシートに対する各洗浄液の飽和吸水量である。
【図１３】実施形態のワイピングユニットにおけるワイピング試験結果である。
【図１４】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１５】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１６】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１７】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１９】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図２０】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図２１】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２２】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図２３】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２４】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２５】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２６】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２７】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２８】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２９】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図３０】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図３１】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１２８】
１  液滴吐出装置                    ２１  ヘッドユニット
４１  液滴吐出ヘッド                  ４８  ノズル面
４９  ノズル                        １１１  ワイピングユニット
１１２  ワイピングシート              １２１  シート供給ユニット
１４１  拭き取りユニット              １４５  押圧ローラ
１４７  洗浄液吐出ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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