(57)【要約】  【課題】低コストで小型の可変光学ローパスフィルタを提供する。  【解決手段】平行平板６の四辺を支持枠１０によって密閉性を保つように保持し、撮像素子３および平行平板６で挟まれる空間の密閉性を保つように支持枠１０を柔軟性のある柔軟支持部材１２によって支持する。小型のアクチュエータ２１、２２で平行平板６（支持枠１０）を振動させる。アクチュエータ２１、２２は、平行平板６（支持枠１０）を含む面と撮像素子３を実装する基板１１を含む面との間に配設する。平行平板６は、複屈折性を有さない光学ガラスで構成する。  【選択図】図２
2005266676.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部材と、
前記光学部材および前記光学部材を透過した光束による光学像を撮像する撮像素子間に形成される空間の密閉性を保持するとともに、前記光学部材および前記撮像素子の相対角度を変更自在に支持する柔軟支持部材と、
前記相対角度を変えるために前記光学部材を駆動するアクチュエータとを備えることを特徴とする可変光学ローパスフィルタ。
【請求項２】
請求項１に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、
前記アクチュエータは、前記撮像素子が実装されている実装部材上に配設されることを特徴とする可変光学ローパスフィルタ。
【請求項３】
請求項２に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、
前記アクチュエータは、前記実装部材を含む面と前記光学部材を含む面との間に配設されることを特徴とする可変光学ローパスフィルタ。
【請求項４】
請求項２または３に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、
前記光学部材は枠部材によって密閉性を有するように保持されており、
前記アクチュエータは、前記実装部材および前記枠部材の間隔を変えることによって前記相対角度を変えることを特徴とする可変光学ローパスフィルタ。
【請求項５】
請求項１に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、
前記アクチュエータは、前記撮像素子のパッケージと一体化形成されることを特徴とする可変光学ローパスフィルタ。
【請求項６】
請求項５に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、
前記アクチュエータは、前記パッケージの底面を含む面と前記光学部材を含む面との間に配設されることを特徴とする可変光学ローパスフィルタ。
【請求項７】
請求項５または６に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、
前記光学部材は枠部材によって密閉性を有するように保持されており、
前記アクチュエータは、前記パッケージおよび前記枠部材の間隔を変えることによって前記相対角度を変えることを特徴とする可変光学ローパスフィルタ。
【請求項８】
請求項５〜７のいずれか一項に記載の可変光学ローパスフィルタと、
前記撮像素子とを備え、前記可変光学ローパスフィルタおよび前記撮像素子が一体化されていることを特徴とする撮像ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像素子とともに用いられる光学ローパスフィルタ、および光学ローパスフィルタを備える撮像ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
撮像素子を用いて光学像を撮像する場合に、光学像に含まれる所定周波数以上の周波数成分を除去する光学ローパスフィルタが用いられている。光学ローパスフィルタのカットオフ周波数は、撮像素子の画素ピッチに応じて決定される。画素ピッチは、撮像素子を構成する画素のサイズによって決定されるが、画像の解像度によっても変化する。たとえば、撮像素子の全画素を用いて高解像度画像を得る場合には画素ピッチが細かくなり、撮像素子の画素間引きを行って低解像度画像を得る場合には画素ピッチが見かけ上粗くなる。このように、画像の解像度を変更した場合は変更後の画素ピッチに応じて光学ローパスフィルタのカットオフ周波数を変更する必要がある。特許文献１および特許文献２には、それぞれ光学ローパスフィルタのカットオフ周波数を可変にする技術が開示されている。特許文献１に記載の技術は、撮像光学系から撮像素子の入射面に至る光路上にフィルタ部材を挿入し、フィルタ部材をその回転軸を中心に回動させることによってフィルタ部材によるカットオフ周波数を変化させるものである。特許文献２に記載の技術は、撮像素子チップそのものにアクチュエータを連結し、露光中に撮像素子微振動させることで像位置をずらし、ローパスフィルタ効果を得るものである。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−６９３３９号公報
【特許文献２】特開平６−１８９３１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の技術は、フィルタ部材の回動のために大きな空間が必要となり、装置が大型化してしまう。また、撮像素子およびフィルタ間が密閉されていないためにゴミ等が付着するおそれがある。特許文献２の技術では、撮像素子チップと同一空間内に多数の駆動部品が配置される。多くの部品を完全に無塵状態とすることは困難なため、部品を動かすと部品に付着していたゴミが撮像素子チップ内のパッケージ内に浮遊する可能性がある。また、駆動による部品の摩耗によってゴミ等が発生するおそれがある。さらにまた、撮像素子チップそのものを動かすと、撮像素子チップのボンディングワイヤに負担がかかってしまう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の発明による可変光学ローパスフィルタは、光学部材と、光学部材および光学部材を透過した光束による光学像を撮像する撮像素子間に形成される空間の密閉性を保持するとともに、光学部材および撮像素子の相対角度を変更自在に支持する柔軟支持部材と、相対角度を変えるために光学部材を駆動するアクチュエータとを備えることを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、撮像素子が実装されている実装部材上に配設するようにアクチュエータを構成したものである。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、実装部材を含む面と光学部材を含む面との間に配設するようにアクチュエータを構成したものである。
請求項４に記載の発明は、請求項２または３に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、光学部材は枠部材によって密閉性を有するように保持されており、実装部材および枠部材の間隔を変えることによって相対角度を変えるようにアクチュエータを構成したものである。
請求項５に記載の発明は、請求項１に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、撮像素子のパッケージと一体化形成するようにアクチュエータを構成したものである。
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、パッケージの底面を含む面と光学部材を含む面との間に配設するようにアクチュエータを構成したものである。
請求項７に記載の発明は、請求項５または６に記載の可変光学ローパスフィルタにおいて、光学部材は枠部材によって密閉性を有するように保持されており、パッケージおよび枠部材の間隔を変えることによって相対角度を変えるようにアクチュエータを構成したものである。
請求項８に記載の発明による撮像ユニットは、請求項５〜７のいずれか一項に記載の可変光学ローパスフィルタと、撮像素子とを備え、可変光学ローパスフィルタおよび撮像素子が一体化されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、撮像素子に対するゴミ等の侵入や発生を防止し、撮像素子に駆動による負担をかけない小型の可変光学ローパスフィルタ、および可変光学ローパスフィルタを有する撮像ユニットを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
（第一の実施形態）
図１は、本発明の第一の実施形態による可変光学ローパスフィルタを備える撮像装置の要部構成を説明する図である。図１において撮像装置は、アクチュエータ２と、撮像素子３と、アクチュエータドライバ４と、制御回路５と、平行平板６と、画像処理回路７と、メモリ８と、設定操作部材９とを有する。
【０００８】
制御回路５は、撮像装置内の各ブロックから出力される信号を入力して所定の演算を行い、演算結果に基づく制御信号を各ブロックへ出力する。
【０００９】
撮像素子３は、ＣＣＤイメージセンサなどによって構成される。撮像素子３は、対物レンズ１を透過した被写体光束による像を撮像し、撮像信号を画像処理回路７へ出力する。画像処理回路７はＡ／Ｄ変換回路を含み、アナログ撮像信号をディジタル信号に変換する。
【００１０】
画像処理回路７は、ディジタル変換後の画像データにホワイトバランス調整などの画像処理を行う他、画像処理後の画像データを所定の形式で圧縮する圧縮処理などを行う。メモリ８は、撮像装置に対して着脱可能なメモリカードなどによって構成される。メモリ８には、画像処理後の画像データが記録される。
【００１１】
設定操作部材９は、レリーズボタン（不図示）の操作に連動するレリーズスイッチ、画像モード切り換えスイッチ（不図示）などを含み、各スイッチに対応する操作信号を制御回路５へ送出する。ここで「画像モード」は、撮像素子３に備えられる画素を有効に使用する高精細モードと、所定の比率で画素間引きを行う画素間引きモードとを含む。高精細モードでは、たとえば、６００万ピクセルの画像が得られ、画素間引きモードでは１５０万ピクセルの画像が得られる。
【００１２】
平行平板６は、複屈折性を有さない光学ガラスで構成され、対物レンズ１から撮像素子３の撮像面に至る光路上に配設される。平行平板６は、アクチュエータ２を駆動することによって撮像素子３の撮像面に対する傾角を調節可能に構成されている。アクチュエータ２は、積層型圧電素子などによって構成され、アクチュエータドライバ４から供給される駆動信号に応じて伸縮する。アクチュエータ２が伸縮を繰り返す場合、平行平板６は振動する。
【００１３】
アクチュエータドライバ４は、制御回路５から送信される平行平板６の制御情報に応じてアクチュエータ２の駆動信号を生成し、この駆動信号をアクチュエータ２へ出力する。平行平板６の制御情報には、平行平板６を振動させる場合の振動方向、振幅、および周波数を示すデータが含まれる。
【００１４】
本発明は、上記撮像装置のアクチュエータ２、平行平板６および撮像素子３によって構成される可変光学ローパスフィルタに特徴を有する。
【００１５】
図２は、可変光学ローパスフィルタの詳細を説明する図である。図２において、撮像素子３が基板１１上に実装されている。平行平板６は、撮像素子３の撮像面３１の平面形状に応じた形状（たとえば、長方形）を有し、平行平板６の四辺が支持枠１０によって密閉性を保つように保持されている。支持枠１０は、柔軟支持部材１２によって支持される。柔軟支持部材１２は、たとえば、黒色のシリコンゴムなどで構成される。この柔軟指示部材１２は、平行平板６を透過する被写体光束を妨げないように、平行平板６の周囲で支持枠１０に接着されるとともに、撮像素子３の撮像面３１に入射される被写体光束を妨げないように、撮像面３１の周囲で撮像素子３に接着されている。これにより、平行平板６（支持枠１０）、柔軟支持部材１２および撮像素子３で囲まれる空間は密閉性が保たれ、空間外からのゴミや水蒸気などが侵入することがない。
【００１６】
アクチュエータ２１および２２は、それぞれ一方が基板１１に固着され、他方が支持枠１０に固着されている。アクチュエータ２１および２２がアクチュエータドライバ４（図１）からの駆動信号に応じて変位すると支持枠１０が傾き、撮像面３１に対する平行平板６の傾角が変化する。なお、アクチュエータ２（図１）は平行平板６の四辺に対応して４カ所に配設されるが、このうち２つのアクチュエータ２１、２２を図２に図示し、他の２つについては図示を省略している。
【００１７】
図２において、アクチュエータ２１および２２は、対物レンズ１の光軸の方向において、平行平板６（支持枠１０）を含む面と撮像素子３を実装する基板１１を含む面との間に実装される。したがって、可変光学ローパスフィルタを構成する部材の中で平行平板６（支持枠１０）より対物レンズ１側に配設される部材はなく、平行平板６の前面（対物レンズ１側）に近接してフォーカルプレーンシャッタ（不図示）を配設することが可能である。
【００１８】
図３は、図２の可変光学ローパスフィルタによる光学的動作を説明する図であり、図３(a)は光学ローパスフィルタ動作をしていない状態を示す。図３(a)において、被写体１３からの被写体光が対物レンズ１によって集光され、平行平板６を透過する。この場合の平行平板６は、撮像素子３の撮像面と平行になるようにアクチュエータ２の変位が調節されている。平行平板６を透過した光束は、撮像素子３の撮像面に被写体像１４ａを結ぶ。
【００１９】
図３(b)は、第１のローパスフィルタ動作状態を例示する図である。アクチュエータ２が駆動されると、平行平板６が撮像素子３の撮像面に対して傾く。平行平板６が傾くと、平行平板６を構成する材料の屈折率、平行平板６の厚さ、および平行平板６の傾角に応じて撮像素子３の撮像面上に結像される被写体像が移動する。平行平板６が図３(a)および図３(b)の状態を交互に繰り返すようにアクチュエータ２を駆動して平行平板６（支持枠１０）を振動させると、撮像素子３の撮像面に結ばれる像は被写体像１４ｂのように振動する。
【００２０】
図３(b)は、被写体像が画面の水平方向に振動する（像ズレを生じる）ように平行平板６を駆動した例である。撮像素子３における電荷蓄積時間（すなわち、露光時間）中に少なくとも１周期分の振動を平行平板６（支持枠１０）に加えると、発生した像ズレによって画面の水平方向に対する光学ローパスフィルタ効果が生じる。このフィルタ効果により、いわゆる色モアレや輝度モアレを抑制できる。なお、平行平板６（支持枠１０）に加える振動の振幅は、設定されている画像モードに応じて制御回路５が決定する。すなわち、間引き処理の有無や間引きの度合いに応じて必要な像ズレ量を演算し、この像ズレ量を発生させるために必要な振幅を決定する。画素間引きモードの場合は画素ピッチが粗くなるので、高精細モードの場合に比べて平行平板６（支持枠１０）に加える振動の振幅を大きくする。振動の振幅を増加させることにより、カットオフ周波数を低下させた場合に相当する光学ローパスフィルタ効果が得られる。像ズレ量と振幅との関係を示すデータは、あらかじめ制御回路５内に記憶されている。
【００２１】
図３(c)は、第２のローパスフィルタ動作状態を例示する図であり、被写体像が画面の水平方向および垂直方向のそれぞれに振動する（像ズレを生じる）ように平行平板６を駆動した例である。撮像素子３における電荷蓄積時間（すなわち、露光時間）中に水平／垂直それぞれ少なくとも１周期分の振動を平行平板６（支持枠１０）に加えると、発生した像ズレによって画面の水平方向および垂直方向のそれぞれに対して光学ローパスフィルタ効果が生じる。
【００２２】
上述した平行平板６（支持枠１０）に加える振動の方向は、撮像素子３における画素並びの方向に対応して決定する。つまり、画素並び方向が水平方向および垂直方向であれば、光学ローパスフィルタ効果を得るための像ズレ方向も水平方向および垂直方向とする。
【００２３】
以上説明した第一の実施形態についてまとめる。
（１）平行平板６の四辺を支持枠１０によって密閉性を保つように保持し、撮像素子３および平行平板６で挟まれる空間の密閉性を保つように支持枠１０を柔軟性のある柔軟支持部材１２によって支持した。密閉性を得ることにより、空間外からのゴミや水蒸気などが撮像素子３の撮像面側に侵入することがない。
【００２４】
（２）柔軟支持部材１２によって支持枠１０を支持したことにより、平行平板６（支持枠１０）を振動させるアクチュエータ２を小型にすることができる。もし、支持枠１０が柔軟支持部材１２で支持されていなければ、アクチュエータ２は支持枠１０を支持する機能および振動を発生する機能の双方を担う必要が生じ、大型で強度が高いアクチュエータ２が必要となってしまう。これに対して本実施形態では、少なくとも振動発生機能を有するアクチュエータであれば十分なので、小型のアクチュエータ２を用いることができる。
【００２５】
（３）上記（２）によって小型化されたアクチュエータ２（２１、２２）を平行平板６（支持枠１０）を含む面と撮像素子３を実装する基板１１を含む面との間に設けたので、可変光学ローパスフィルタを構成する部材の中で、平行平板６（支持枠１０）より対物レンズ１側に突出して配設される部材がない。このため、平行平板６の前面（対物レンズ１側）に近接してフォーカルプレーンシャッタ（不図示）やフォーカシング機構（不図示）などを配設することができ、撮像装置を小型／軽量にすることが可能になる。また、清掃などのメンテナンス作業も容易に行うことができる。
【００２６】
（４）一般的な光学ガラスによる平行平板６を用いて光学部材を構成したので、複屈折素材を用いて光学部材を構成する場合に比べて低コストにすることが可能である。また、一般的な光学ガラスによる平行平板６は、反射防止コーティングを施した場合の反射防止効果が複屈折素材の場合より優れているので、平行平板６自身がゴーストやフレアの発生要因となることが少ない。さらにまた、平行平板６は光弾性部材や液体プリズムを使う場合に比べて素材（光学ガラス）そのものの経年劣化（たとえば、分光透過率の変化、濁り等）が生じにくい上に、素材の周囲温度の変化による影響も受けにくい。
【００２７】
（５）平行平板６を振動させるので、平行平板６自身にゴミなどの異物が付着しにくくなる。
【００２８】
上述した説明では、光学ローパスフィルタ効果を得るための像ずらし方向を撮像素子３における画素の配列方向に一致させたが、本発明によるローパスフィルタによる像のずらし方向は、画素の配列方向と必ずしも一致していなくても構わない。
【００２９】
上記の説明では、アクチュエータ２として積層型圧電素子を用いる例を説明したが、積層型圧電素子の代わりに、作動（変位）量増加機構が付加された単層圧電素子や、モノモルフ／バイモルフ型圧電素子を用いてもよい。
【００３０】
圧電素子の代わりにボイスコイルモータでアクチュエータを構成してもよい。図４は、ボイスコイルモータを用いる場合の可変光学ローパスフィルタの構成例を説明する図である。図４において、図２と同一の構成要素には図２と同一の符号を記して説明を省略する。図２と異なる点は、支持枠１０ａの一部がボイスコイルモータを構成する点である。ボイスコイルモータは、図２におけるアクチュエータ２１および２２に代えて設けられている。
【００３１】
支持枠１０ａの一部にコイル２'が巻かれ、コイル２'がマグネット２"による磁界中に配設されている。マグネット２"は基板１１上に固着される。アクチュエータドライバによってコイル２'に電流が流れされると、ボイスコイルモータが支持枠１０ａを図４において上下方向に駆動する。図４は、左側のコイル２'に対して下方へ向く力が作用し、右側のコイル２'に対して上方へ向く力が作用した状態を示す。
【００３２】
図４のように、ボイスコイルモータによってアクチュエータを構成する場合にも、ボイスコイルモータを平行平板６（支持枠１０）を含む面と撮像素子３を実装する基板１１を含む面との間に配設できるので、撮像装置を小型にすることが可能である。さらに、支持枠１０ａの一部でボイスコイルモータを構成することで、部品点数の削減による低コスト化や小型／軽量化の効果も得られる。
【００３３】
（第二の実施形態）
図５は、本発明の第二の実施形態による可変光学ローパスフィルタの構成例を説明する図である。図５において、撮像素子パッケージ１７は、撮像素子基板１６上に撮像素子チップ１５を接着し、撮像素子チップ１５と撮像素子基板上１６上に形成されている配線パターンとをボンディングするとともに、これらをパッケージ化したものである。
【００３４】
可変光学ローパスフィルタは、上記撮像素子パッケージ１７と一体化される。すなわち、支持枠１０ｂによって平行平板６の四辺（方形の場合）を密閉性を保つように保持し、平行平板６（支持枠１０ｂ）および撮像素子チップ１５で挟まれる空間の密閉性を保つように、支持枠１０ｂを柔軟性のある柔軟支持部材１２ａによって支持する。この場合の柔軟支持部材１２ａは、接着後も柔軟性が保持される接着剤などで構成する。つまり、支持枠１０ｂ（平行平板６）は、接着によって撮像素子パッケージ１７と一体化される。このように一体化された平行平板６（支持枠１０ｂ）つき撮像素子パッケージ１７が基板１１上に実装されることにより、撮像素子チップ１５の配線が撮像素子端子１８を介して基板１１上の配線パターンと接続される。
【００３５】
アクチュエータ２ａは、撮像素子パッケージ１７上に実装されることによって撮像素子パッケージ１７と一体化される。アクチュエータ２ａが撮像素子パッケージ１７に実装されると、アクチュエータ２ａがアクチュエータ端子１９を介して基板１１上の配線パターンと接続される。この配線を通してアクチュエータ２ａを駆動する信号がアクチュエータドライバ４（不図示）から供給される。アクチュエータ２ａは積層型圧電素子などで構成され、撮像素子チップ１５の撮像面に対する平行平板６（支持枠１０ｂ）の傾角を調節する。
【００３６】
以上説明したように第二の実施形態によれば、以下の作用効果が得られる。
（１）平行平板６（支持枠１０ｂ）、アクチュエータ２ａおよび撮像素子パッケージ１７を一体化するようにした。撮像素子パッケージ１７を基板１１へ実装する前に平行平板６（支持枠１０ｂ）およびアクチュエータ２ａを撮像素子パッケージ１７と一体化すれば、撮像素子パッケージ１７を基板１１上に実装した後から平行平板６（支持枠１０ｂ）やアクチュエータ２ａを撮像素子上に組み上げる場合に比べて、コスト低減が図れる上に作業性も向上する。また、一体化構造とすることにより、小型／軽量化の効果も得られる。
【００３７】
（２）柔軟支持部材１２ａよって支持枠１０ｂを支持したことにより、第一の実施形態と同様に、平行平板６（支持枠１０ｂ）を振動させるアクチュエータ２ａを小型にできる。
【００３８】
（３）平行平板６（支持枠１０ｂ）を含む面と撮像素子パッケージ１７の底面を含む面との間に小型のアクチュエータ２ａを配設したので、第一の実施形態と同様に、可変光学ローパスフィルタを構成する部材を対物レンズ側に配設する必要がない。この結果、平行平板６の前面（対物レンズ１側）に近接してフォーカルプレーンシャッタ（不図示）やフォーカシング機構（不図示）などを配設することができ、撮像装置を小型にすることが可能になる。
【００３９】
以上の説明では、光学部材として複屈折性を有さない一般的な光学ガラスによる平行平板６を用いる例を説明したが、平行平板６の代わりに複屈折性を有する光学素子を用いるようにしてもよい。この場合には、光学部材を振動させなくても所定周波数の光学ローパスフィルタ効果が得られるため、カットオフ周波数を変化させなくてよい場合にはアクチュエータを駆動せず、カットオフ周波数を低下させる場合にのみアクチュエータを駆動すればよい。これにより、消費電力を軽減することができる。
【００４０】
可変光学ローパスフィルタフィルタは、上述した色モアレや輝度モアレを抑える目的の他に、撮像素子による撮像画像を構成する画素数を見かけ上増加させることなどを目的にする「画素ずらし」にも適用できる。この場合には、撮像素子における電荷蓄積時間中に平行平板６を振動させるのではなく、撮像素子の電荷蓄積前に平行平板６を所定の傾角にセットした上で撮像素子の電荷蓄積を開始させる。そして、少なくとも撮像素子における電荷蓄積時間中は平行平板６の傾角を保持する。平行平板６の傾角を変えて撮像した複数の撮像画像を合成することにより、撮像素子に形成されている画素ピッチより細かい解像度の画像が得られる。なお、平行平板６の傾角は、撮像素子の画素ピッチに応じた像ズレ量を発生させるように制御回路５によって決定される。
【００４１】
なお、本実施形態においては、平行平板の両端に配置されるアクチュエータを駆動する例について説明したが、平行平板の一端を固定して平行平板の他端に配置したアクチュエータを駆動する、所謂片持ち支持に対しても同様に適用することができる。
【００４２】
以上の説明では、可変光学ローパスフィルタをカメラなどの撮像素子と組み合わせて用いる例を説明した。カメラ以外に、投射型プロジェクタ装置に備えられるライトバルブと組み合わせて使用してもよい。
【００４３】
特許請求の範囲における各構成要素と、発明を実施するための最良の形態における各構成要素との対応について説明する。光学部材は、たとえば、平行平板６によって構成される。実装部材は、たとえば、基板１１によって構成される。枠部材は、たとえば、支持枠１０（１０ａ、１０ｂ）が対応する。なお、本発明の特徴的な機能を損なわない限り、各構成要素は上記構成に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第一の実施形態による撮像装置の要部構成を説明する図である。
【図２】可変光学ローパスフィルタの詳細を説明する図である。
【図３】(a)ローパスフィルタ動作をしていない状態を示す図である。(b)第１のローパスフィルタ動作状態を例示する図である。(c)第２のローパスフィルタ動作状態を例示する図である。
【図４】ボイスコイルモータを用いた可変光学ローパスフィルタを説明する図である。
【図５】第二の実施形態による可変光学ローパスフィルタの詳細を説明する図である。
【符号の説明】
【００４５】
１…対物レンズ
２、２ａ、２１、２２…アクチュエータ
３…撮像素子
４…アクチュエータドライバ
５…制御回路
６…平行平板
７…画像処理回路
９…設定操作部材
１０、１０ａ、１０ｂ…支持枠
１１…基板
１２、１２ａ…柔軟支持部材
１５…撮像素子チップ
１６…撮像素子基板
１７…パッケージ
【図１】
2005266676.tif 000003
【図２】
2005266676.tif 000004
【図３】
2005266676.tif 000005
【図４】
2005266676.tif 000006
【図５】
2005266676.tif 000007