(57)【要約】【課題】鏡筒を取り替えたり搬送したりする際に、鏡筒を安定して鏡筒用搬送装置によって保持するとともに、その作業をより簡単に行うことができる鏡筒及び鏡筒用搬送装置並びに露光装置を提供する。【解決手段】鏡筒３７はその重心付近に外周方向へ突出するフランジ４１を有し、フランジ４１の上面には３対の搬送用アーム４２が設けられている。また、搬送用アーム４２は、フランジ４１の上面から上方へ垂直に延設された延長部４３と、その延長部４３の上端に形成される取付部４４とで構成されている。この取付部４４の高さ位置は、鏡筒３７の上端近傍の高さ位置となっており、鏡筒３７に搬送装置４０を取り付ける際に、搬送装置４０が鏡筒３７の外周周辺にまで下降することがなく、鏡筒周辺に十分なスペースがない場合でも、鏡筒の安定した搬送及びドッキング作業を可能とし、同作業をより簡単にかつ効率的に行うことができる。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に複数の光学素子を保持し、支持架台で支持されるフランジを有する鏡筒において、
前記フランジの上面に設けられ、前記鏡筒を搬送するための搬送装置が取り付け可能とされる取付部を有することを特徴とする鏡筒。
【請求項２】
前記取付部は、前記フランジの上面から前記鏡筒の外周に沿って上方へ延設された延長部を介して前記フランジの上面に取り付けられていることを特徴とする請求項１に記載の鏡筒。
【請求項３】
前記取付部の上端は、前記鏡筒の上端近傍の高さ位置にあることを特徴とする請求項２に記載の鏡筒。
【請求項４】
前記取付部と前記延長部とを含んで構成される搬送用アームは、前記フランジの上面から垂直に形成されていることを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の鏡筒。
【請求項５】
前記搬送用アームは、前記フランジの上面に等角度間隔をおいた３箇所に設けられていることを特徴とする請求項４に記載の鏡筒。
【請求項６】
前記搬送用アームは対をなしており、前記フランジの上面に等角度間隔をおいて３対設けられていることを特徴とする請求項５に記載の鏡筒。
【請求項７】
対をなす２つの前記搬送用アームは、連結部によって互いに連結されていることを特徴とする請求項６に記載の鏡筒。
【請求項８】
前記連結部は、前記搬送用アームに対する取り付け高さ位置を調整自在な取り付け位置調整機構を有することを特徴とする請求項７に記載の鏡筒。
【請求項９】
前記連結部は、対をなす前記搬送用アームに対して複数個設けられていることを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の鏡筒。
【請求項１０】
前記鏡筒は、前記光学素子の位置を調整する光学素子調整機構を備え、
前記搬送用アーム若しくは前記連結部は、前記光学素子調整機構に電力を供給する供給配線又は前記光学素子調整機構を制御するための配線が取り付けられる配線取付部を有することを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の鏡筒。
【請求項１１】
前記鏡筒を当該鏡筒の上方から保持して搬送するための鏡筒用搬送装置において、請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の鏡筒を取り付けて搬送することを特徴とする鏡筒用搬送装置。
【請求項１２】
前記鏡筒が有する前記取付部と対応する位置に前記取付部と同数の係合部を有し、当該係合部を前記取付部と係合させて前記鏡筒を保持することを特徴とする請求項１１に記載の鏡筒用搬送装置。
【請求項１３】
露光光のもとで、マスク上に形成された所定のパターンの像を基板上に露光する露光装置において、前記所定のパターンの像を請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の鏡筒における投影光学系を介して前記基板上に転写することを特徴とする露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体素子、液晶表示素子、撮像素子、薄膜磁気ヘッド等のデバイス、あるいはレチクル、フォトマスク等のマスクなどの製造プロセスにおけるリソグラフィ工程で使用される露光装置の鏡筒及び鏡筒用搬送装置に関するものである。また、本発明は、その鏡筒を備えた露光装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
露光装置では、所定のパターンが形成されたレチクル、フォトマスク等のマスクを所定の露光光で照明し、投影光学系を介して所定のパターンの像をフォトレジスト等の感光性樹脂が塗布されたウエハ、ガラスプレート等の基板上に露光するようになっている（特許文献１参照）。また、このような露光装置では、近年の回路パターンの微細化に対応すべく、露光光の短波長化が進められてきている。最近では、遠紫外光、例えばＫｒＦエキシマレーザ（λ＝２４８ｎｍ）、さらに真空紫外域のＡｒＦエキシマレーザ（λ＝１９３ｎｍ）、Ｆ２レーザ（λ＝１５７ｎｍ）等を露光光としたものが開発されている。
【０００３】
この種の露光装置における投影光学系は、互いの光軸が一致するように配列された複数のレンズ等の光学素子からなっている。そして、各光学素子が光学素子保持装置を介してほぼ水平（いわゆる横置きタイプ）に保持された状態で、鏡筒内に収容されている。一般に、この種の鏡筒は、その下部に外周方向へ突出形成されるフランジを有しており、そのフランジの下面を架台に支持された状態で露光装置として組み付けされている。
【０００４】
ところで、投影レンズや鏡筒の交換等のため、鏡筒を搬送、装置本体にドッキングする際には、以下のように行っていた。まず、搬送用工具の複数のアームを上方から鏡筒の周辺へ下降させる。そして、鏡筒のフランジの下面にアームを固定してフランジ全体をアームで抱え込むようにして、鏡筒の搬送やドッキング作業を行っていた。
【特許文献１】特開２００３−３０７６６０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来の方法では、搬送用工具のアームによってフランジを下面から抱え込んで保持しなければならなく、フランジに対する位置決め作業が容易ではなく、また、それぞれのアームのバランスが悪いと鏡筒全体を安定して保持することが困難であるといった問題があった。
【０００６】
さらに、現在は、半導体露光装置の線幅の微細化により投影レンズの高ＮＡ化、レンズの大型化が進んでおり、また、半導体露光装置の性能向上が求められることから、投影光学系鏡筒の周辺部には種々の光学素子の位置を調整するための機材や配線、ガス供給用の配管・配線が設けられ、投影光学系鏡筒の周辺のスペースが占領されている。このため、搬送用工具に使用できるスペースが少なくなっており、また、上方から鏡筒の周辺部へ下降してきたアームによって、鏡筒周辺に設置されるデリケートな機材や配線を傷つけてしまう虞も出てきた。すなわち、従来技術における、鏡筒のフランジ周辺まで搬送用工具を下降させて、フランジの下面をアームによって保持するということが非常に困難になるという問題が生じてきた。
【０００７】
本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的としては、鏡筒を取り替えたり搬送したりする際に、鏡筒を安定して鏡筒用搬送装置によって保持するとともに、その作業をより簡単に行うことができる鏡筒及び鏡筒用搬送装置並びに露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１に係る鏡筒は、内部に複数の光学素子を保持し、支持架台で支持されるフランジを有する鏡筒において、前記フランジの上面に設けられ、前記鏡筒を搬送するための搬送装置が取り付け可能とされる取付部を有することを要旨とする。
【０００９】
従って、請求項１に係る鏡筒では、取付部が鏡筒のフランジの上面に設けられているため、鏡筒を搬送するための搬送装置を取付部を介してフランジに容易に取り付けることができ、鏡筒の搬送作業をより簡単に行うことができるという効果がある。
【００１０】
請求項２に係る鏡筒は、請求項１に記載の鏡筒において、前記取付部は、前記フランジの上面から前記鏡筒の外周に沿って上方へ延設された延長部を介して前記フランジの上面に取り付けられていることを要旨とする。
【００１１】
従って、請求項２に係る鏡筒では、鏡筒を搬送するための搬送装置が取り付けられる取付部の位置を、延長部を介することによってフランジ面より高い位置とすることができ、搬送装置をフランジ近傍まで接近させる必要がなく、搬送装置の取り付けがさらに容易となるという効果がある。
【００１２】
請求項３に係る鏡筒は、請求項２に記載の鏡筒において、前記取付部の上端は、前記鏡筒の上端近傍の高さ位置にあることを要旨とする。
従って、請求項３に係る鏡筒では、取付部の位置が鏡筒の上端近傍の高さ位置とされ、搬送装置が取付部に取り付けられる際に、搬送装置が鏡筒の周辺部に下降してくることがないため、鏡筒周辺に設置されるガス供給用の配管・配線等を傷つける虞が少ない。すなわち、鏡筒周辺に十分なスペースがない場合でも、鏡筒の安定した搬送及びドッキング作業を可能とすることができるという効果がある。
【００１３】
請求項４に係る鏡筒は、請求項２又は請求項３に記載の鏡筒において、前記取付部と前記延長部とを含んで構成される搬送用アームは、前記フランジの上面から垂直に形成されていることを要旨とする。
【００１４】
従って、請求項４に係る鏡筒では、取付部と延長部とで構成される搬送用アームがフランジの上面から垂直に設けられるため、鏡筒の質量が搬送用アームの配設方向にかかり安定するとともに、アームで抱え込むような方法と比べて搬送用アームに要求される強度が低減し、構成を簡易にできるという効果がある。
【００１５】
請求項５に係る鏡筒は、請求項４に記載の鏡筒において、前記搬送用アームは、前記フランジの上面に等角度間隔をおいた３箇所に設けられていることを要旨とする。
従って、請求項５に係る鏡筒では、搬送用アームがフランジの上面に等角度間隔をおいて３箇所に設けられているため、それぞれの搬送用アームに鏡筒の質量が略均等に掛かり、かつ２点支持に比較して傾きにくく、鏡筒をさらに安定して保持することができるという効果がある。また、４点以上の支持に比べて構成が簡易にできるという効果がある。
【００１６】
請求項６に係る鏡筒は、請求項５に記載の鏡筒において、前記搬送用アームは対をなしており、前記フランジの上面に等角度間隔をおいて３対設けられていることを要旨とする。
【００１７】
従って、請求項６に係る鏡筒では、フランジに３箇所設けられる搬送用アームがそれぞれ対をなしているため、搬送用アームの耐久性を向上させることができるという効果がある。
【００１８】
請求項７に係る鏡筒は、請求項６に記載の鏡筒において、対をなす２つの前記搬送用アームは、連結部によって互いに連結されていることを要旨とする。
従って、請求項７に係る鏡筒では、対をなす搬送用アームがそれぞれ連結されているため、１対の搬送用アームの強度を向上させ、特に鏡筒の横方向の揺れに対する安定性が向上するとともに変形を防止し、安定して鏡筒を保持することができるという効果がある。
【００１９】
請求項８に係る鏡筒は、請求項７に記載の鏡筒において、前記連結部は、前記搬送用アームに対する取り付け高さ位置を調整自在な取り付け位置調整機構を有することを要旨とする。
【００２０】
従って、請求項８に係る鏡筒では、連結部を搬送用アームに対して所望の位置に取り付けることができるという効果がある。
請求項９に係る鏡筒は、請求項７又は請求項８に記載の鏡筒において、前記連結部は、対をなす前記搬送用アームに対して複数個設けられていることを要旨とする。
【００２１】
従って、請求項９に係る鏡筒では、対をなす搬送用アーム自体の耐久性及び強度の向上をさらに図ることができるとともに、より安定して鏡筒を保持することができるという効果がある。
【００２２】
請求項１０に係る鏡筒は、請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の鏡筒において、前記鏡筒は、前記光学素子の位置を調整する光学素子調整機構を備え、前記搬送用アーム若しくは前記連結部は、前記光学素子調整機構に電力を供給する供給配線又は前記光学素子調整機構を制御するための配線が取り付けられる配線取付部を有することを要旨とする。
【００２３】
従って、請求項１０に係る鏡筒では、搬送用アーム若しくは連結部が有する配線取付部に、光学素子調整機構に電力を供給する供給配線や制御用の配線等を固定することができ、鏡筒周辺が種々の配線により乱雑にならないようにし、かつ、搬送時の揺れに対して配線の破損や断線等を防ぐことができるという効果がある。
【００２４】
請求項１１に係る鏡筒用搬送装置は、前記鏡筒を当該鏡筒の上方から保持して搬送するための鏡筒用搬送装置において、請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の鏡筒を取り付けて搬送することを要旨とする。
【００２５】
従って、請求項１１に係る鏡筒用搬送装置では、鏡筒の取付部を取り付けて上方から鏡筒を保持して搬送するため、フランジを掴んだり抱え込んだりする動的な構造は不要になり、かつ鏡筒を搬送装置から脱落させたり傾けたりすることなく、搬送作業を安定した状態で、簡単に行うことができるという効果がある。
【００２６】
請求項１２に係る鏡筒用搬送装置は、請求項１１に記載の鏡筒用搬送装置において、前記鏡筒が有する前記取付部と対応する位置に前記取付部と同数の係合部を有し、当該係合部を前記取付部と係合させて前記鏡筒を保持することを要旨とする。
【００２７】
従って、請求項１２に係る鏡筒用搬送装置では、この鏡筒用搬送装置の係合部と鏡筒が有する全ての取付部とが係合するため、取付部に掛かる力がすべての取付部に分散するため、安定して鏡筒を保持することができ、鏡筒を取り替えたり搬送したりする作業がより簡単にできるという効果がある。
【００２８】
請求項１３に係る露光装置は、露光光のもとで、マスク上に形成された所定のパターンの像を基板上に露光する露光装置において、前記所定のパターンの像を請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の鏡筒における投影光学系を介して前記基板上に転写することを要旨とする。
【００２９】
従って、請求項１３に係る露光装置では、精密で質量の大きな大型の鏡筒を取り替えたり搬送したりすることが容易にできるという効果がある。
次に、前記各請求項に記載の発明にさらに含まれる技術的思想について、以下に追記する。
【００３０】
（ア）前記搬送用アームは、前記フランジの上面から垂直に延設された円筒状として形成されていることを特徴とする請求項４乃至請求項１０のいずれか１項に記載の鏡筒。
【発明の効果】
【００３１】
以上、詳述したように、本発明によれば、鏡筒を取り替えたり搬送したりする際に、鏡筒を安定して鏡筒用搬送装置によって保持するとともに、その作業をより簡単に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の鏡筒及び鏡筒用搬送装置並びに露光装置を、半導体素子製造用の露光装置及びその投影光学系を収容する鏡筒、そしてその鏡筒を搬送するための鏡筒用搬送装置に具体化した一実施形態について図１〜図６にしたがって説明する。
【００３３】
図１は、露光装置３１の概略構成を、その投影光学系３５を中心として示している。図１に示すように、この実施形態の露光装置３１は、光源３２と、照明光学系３３と、マスクとしてのレチクルＲｔを保持するレチクルステージ３４と、投影光学系３５と、基板としてのウエハＷを保持するウエハステージ３６とから構成されている。
【００３４】
光源３２は、本実施形態では、波長１５７ｎｍのＦ２レーザを発振する。その他、波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザや波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザなども使用できる。
【００３５】
照明光学系３３は、図示しないフライアイレンズやロッドレンズ等のオプティカルインテグレータ、リレーレンズ、コンデンサレンズ等の各種レンズ系及び開口絞り等を含んで構成されている。そして、光源３２から出射される露光光ＥＬが、この照明光学系３３を通過することにより、レチクルＲｔ上のパターンを均一に照明するように調整される。
【００３６】
レチクルステージ３４は、照明光学系３３の射出側、すなわち、後述する投影光学系３５の物体面側（露光光ＥＬの入射側）において、そのレチクルＲｔの載置面が投影光学系３５の光軸ＡＸ方向とほぼ直交するように配置されている。
【００３７】
投影光学系３５は、複数の光学素子、例えばレンズ等からなっている。投影光学系３５は、複数の鏡筒モジュールが積層されて構成された鏡筒３７内に収容されている。複数の鏡筒モジュールのそれぞれは、１つ又は２つ以上の光学素子を所定の光学素子保持装置を介して保持する。なお、鏡筒３７の構成については、後に図２を参照して詳述する。
【００３８】
ウエハステージ３６は、投影光学系３５の像面側（露光光ＥＬの射出側）において、ウエハＷの載置面が投影光学系３５の光軸方向と交差するように配置されている。そして、露光光ＥＬにて照明されたレチクルＲｔ上のパターンの像が、投影光学系３５を通して所定の縮小倍率に縮小された状態で、ウエハステージ３６上のウエハＷに投影転写されるようになっている。
【００３９】
図２は、図１に示す鏡筒３７及び鏡筒用搬送装置４０を示す全体斜視図であって、図３は図２における鏡筒用搬送装置４０を鏡筒３７に取り付けた態様を示す図である。
図２に示すように、鏡筒３７はその重心付近に外周方向へ突出するフランジ４１を有している。このフランジ４１の下面が複数点（本実施形態では３点）にて支持架台３８（図１参照）に支持されている。フランジ４１の上面には、対をなす搬送用アーム４２がフランジ４１の上面から鏡筒３７の外周に沿うように垂直な形態で、等角度間隔をおいて複数（本実施形態では３対）設けられている。これらの搬送用アーム４２は、フランジ４１の上面に形成されたねじ孔（図示略）に、このねじ孔と螺合するねじ（図示略）が形成された搬送用アーム４２の下端を嵌合させることにより取り付け固定されている。また、搬送用アーム４２は、フランジ４１の上面から上方へ延設され、円筒状に形成された延長部４３と、その延長部４３の上端に形成される取付部４４とで構成されている。この取付部４４は、鏡筒３７の上方から鏡筒用搬送装置（以下、単に「搬送装置」ともいう。）４０が取り付けられるように、内周にねじが形成されている。また、取付部４４の高さ位置は、鏡筒３７の上端近傍の高さ位置となっている。
【００４０】
さらに、対をなす２つの搬送用アーム４２の間には、延長部４３が延在する方向と交差する方向に延びる連結部４５が配置される。この連結部４５が、２つの搬送用アーム４２の間に複数（本実施形態では１対の搬送用アーム４２に対して３つ）設けられることによって、全体として梯子状に構成される。また、搬送用アーム４２と連結部４５とは、共に各種配線や配管が取り付けられる配線取付部に相当する。なお、詳しい作用及び効果については後に述べることとする。
【００４１】
図４は、連結部４５の平面図である。図４に示すように、連結部４５は、長手方向の両端が半円弧状の薄板状部材であって、長手方向の両端部近傍に搬送用アーム４２を貫通させるための孔４６が形成されている。搬送用アーム４２を連結する際には、連結部４５の側方からねじ４７によってねじ締めすることによって搬送用アーム４２に対して固定される。また、孔４６の径は、搬送用アーム４２の径よりも僅かに大きく形成され、連結部４５は搬送用アーム４２の延長部４３上を摺動可能とされているため、延長部４３に対して所望の高さ位置にて連結部４５を取り付けることができるようになっている。この孔４６とねじ４７とによって、連結部４５の取り付け高さ位置を調整自在とする取り付け位置調整機構４８が構成されている。また、連結部４５の中心部周辺にはねじ孔４９が複数個形成されている。このねじ孔４９は、例えば鏡筒３７周辺の種々の機材の配管・配線を保持するための保持用具を固定する際に使用することができる。
【００４２】
なお、フランジ４１の支持架台３８に対向する側にはダンパ３９（図１参照）が設けられており、支持架台３８に載置する際の衝撃を緩和することができるようになっている。このため、鏡筒３７が傾いた状態で下がってきた場合でも、鏡筒３７内部の光学素子に面変形や偏心を与えずに載置することができる。
【００４３】
鏡筒用搬送装置４０（図２参照）は、モータ等の所定の駆動源（図示略）に接続されており、平面視略三角形状の薄板状の基板５０、基板５０の３つの端部近傍から下方に延設される垂直アーム５１、それぞれの垂直アーム５１の下端に設けられる水平アーム５２を有する。垂直アーム５１と水平アーム５２とは逆Ｔ字形状となるように基板５０の下面に固定されている。また、水平アーム５２の長手方向両端部近傍には、係合部材としてのボルト５３が、水平アーム５２の上方から水平アーム５２を貫通する形態で全部で６つ設けられている。
【００４４】
さらに、ボルト５３は搬送用アーム４２の取付部４４と対応する位置に設けられており、ボルト５３の下端部５４は搬送用アーム４２の取付部４４と嵌合（係合）可能となっている。このため、鏡筒３７を搬送する際には、ボルト５３による締結によって、鏡筒３７と搬送装置４０とを一体化させることができる（図３参照）。すなわち、ボルト５３の下端部５４が、鏡筒３７と搬送装置４０とを係合させる係合部としての機能を果たしている。
【００４５】
上記詳述したように、鏡筒３７と搬送装置４０とは、例えば鏡筒３７の内部に保持された光学素子を交換する際や、投影光学系を露光装置に組み付ける際等の搬送に使用され得る。その作用を述べる。
【００４６】
まず、所定の駆動源（図示略）によって搬送装置４０を駆動させ、鏡筒３７の上方から搬送装置４０（基板５０、垂直アーム５１、水平アーム５２、ボルト５３の全てを含む。）を下降させていき、搬送装置４０側のボルト５３の位置を鏡筒３７側の取付部４４の上方に位置させる。そして、ボルト５３の下端部５４を取付部４４内に挿入し、取付部４４の内周に形成されるねじ（図示略）と螺合させることによって、搬送装置４０を鏡筒３７に取り付ける。６箇所のボルト５３の締結により、搬送装置４０と鏡筒３７とは安定して強固に固定される。
【００４７】
このようにして、鏡筒３７に搬送装置４０を取り付けた後は、所望の位置に鏡筒３７を移動・搬送する。例えば、図１に示す露光装置３１として組み付ける際には、支持架台３８上に鏡筒３７のフランジ４１の下面を静かに接触させることでドッキング作業が行われる。その後、搬送装置４０を鏡筒３７から取り外す際には、ボルト５３を緩めて取付部４４との嵌合を解き、搬送装置４０を上昇させることによって簡単に行うことができる。
【００４８】
これら一連の搬送行程において、取付部４４は鏡筒３７の上端近傍の高さ位置にあるため、鏡筒３７に搬送装置４０を取り付ける際に、搬送装置４０の垂直アーム５１や水平アーム５２等が鏡筒３７の外周周辺にまで下降することがない。鏡筒３７の外周周辺には、鏡筒３７に内蔵された投影光学系３５を構成する複数の光学素子のうち、一部の光学素子の位置調整を行うアクチュエータ（ピエゾ素子等）や、光学素子の位置をモニタするセンサからなる光学素子調整機構（図示略）等の配線が設けられている。このため、この部分に搬送装置４０の部材が下降してくると、これらの配線を切断してしまう虞もある。また、光源として紫外光を使用する場合には鏡筒３７内には、不活性ガスが供給されており、その配管部分には多大な負荷がかかっている。そのため、僅かな衝撃でもその配管が破損する虞が非常に高くなる。しかし、本実施形態では、一連の搬送行程において、搬送装置４０の一部分が鏡筒３７の外周周辺に侵入することがないため機材等を破損させる虞もなく、光学素子調整機構等の隙間をかいくぐって搬送装置４０を操作する必要もなく作業が容易である。
【００４９】
なお、このように構成された鏡筒３７を用いた図１に示す露光装置３１は、例えば次のように製造される。
すなわち、まず、照明光学系３３、投影光学系３５を構成する複数のレンズまたはミラー等の光学素子の少なくとも一部を所定の光学素子保持装置にて保持し、この照明光学系３３及び投影光学系３５を組み付ける。本実施形態の投影光学系３５の鏡筒３７はその重心付近に外周方向へ突出するフランジ４１を有しており、本実施形態の搬送装置４０で上述のように搬送し、このフランジ４１の下面が複数点（本実施形態では３点）にて支持架台３８に支持されるように所定位置に設置する。このときフランジ４１下面には、ダンパ３９が設けられているため設置時に鏡筒３７が衝撃を受けることがない。設置後には搬送装置４０を離脱させる。このようにして、露光装置３１の本体に投影光学系３５を組み込み、光学調整を行う。
【００５０】
次いで、多数の機械部品からなるウエハステージ３６（スキャンタイプの露光装置の場合は、レチクルステージ３４も含む）を露光装置３１の本体に取り付けて配線を接続する。そして、露光光の光路内にガスを供給するガス供給配管を接続した上で、鏡筒内のパージを行う。この場合、鏡筒内のＯ２、水分を徹底的に排除した上でＮ２を充填する。さらに総合調整（電気調整、動作確認など）を行う。
【００５１】
ここで、光学素子保持装置を構成する各部品や、Ｏリング等のシール部材は、超音波洗浄などにより、加工油や、金属物質などの不純物を落とし、アウトガス放出源にならないように処理を行い、組み上げられる。なお、露光装置３１の製造は、温度、湿度や気圧が制御され、かつクリーン度が調整されたクリーンルーム内で行うことが望ましい。
【００５２】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）搬送装置４０と鏡筒３７とを一体化させる連結部としての搬送用アーム４２が、予め鏡筒３７側に設けられており、さらに搬送用アーム４２は延長部４３とその上端に取付部４４を有する構成となっている。このため、鏡筒３７に搬送装置４０を取り付ける際に、搬送装置４０の垂直アーム５１や水平アーム５２等の部材を鏡筒３７の外周周辺にまで下降させる必要がなく、鏡筒周辺に十分なスペースがない場合でも、鏡筒の安定した搬送及びドッキング作業を可能とし、同作業をより簡単にかつ効率的に行うことができるという効果がある。
【００５３】
（２）鏡筒３７には取付部４４が設けられ、搬送装置４０にはこれら取付部４４に対応する形態で係合部材としてのボルト５３が設けられている。よって、鏡筒３７に搬送装置４０を取り付ける際には、ボルト５３を取付部４４の上方に位置させてから、６つのボルト５３を締め付けることにより簡単に取り付けることができる。従来のように、フランジ４１の下面を複数の搬送用アーム４２によって抱えるように取り付ける場合と比べて、フランジ４１と支持架台３８の３点支持の隙間をぬって搬送用アーム４２を挿入しフランジ４１の下面を掴んだり抱えこんだりする動的な構造は不要であり装置構成を簡単にできるとともに作業効率を向上させることができるという効果がある。また、フランジ４１の下面を掴んだり抱え込んだりする必要がないため、搬送用アーム４２はフランジ４１の上面に垂直な直線状に配置されている。そのため、鏡筒３７の質量が搬送用アーム４２の配設方向にかかり安定するとともに、屈曲したアームで抱え込むような方法と比べて、直線状に構成された搬送用アーム４２に要求される強度は低く、構成を簡易にできるという効果がある。
【００５４】
（３）搬送用アーム４２は、フランジ４１の上面に等角度間隔をおいて３箇所に設けられているため、それぞれの搬送用アーム４２に鏡筒３７の質量が略均等に掛かりバランス良く鏡筒３７を保持することができるという効果がある。
【００５５】
（４）さらに搬送用アーム４２は、それぞれが対をなして設けられているため、搬送用アーム４２の剛性及び耐久性を向上させるという効果がある。
（５）対をなす搬送用アーム４２は、互いに連結部４５によって連結されているため、１対の搬送用アームの強度を向上させるとともに変形を防止し、特に鏡筒の横方向の揺れに対する安定性が向上するという効果がある。
【００５６】
（６）さらに、連結部４５は搬送用アーム４２の間に複数個設けられているため、連結部４５や搬送用アーム４２にガス供給用配管や、光学素子の位置を調整する光学素子調整機構の配線を予め固定することもでき、鏡筒３７の周辺が種々の配線等により乱雑にならないようにすることができるという効果がある。また、搬送時に、鏡筒３７が傾いたり揺れたりした場合でも、配管や配線が安定して固定されていれば、断線の虞もより少ないという効果がある。
【００５７】
（７）連結部４５の両端部近傍には孔４６が形成されており、その孔４６に搬送用アーム４２を貫通させ、連結部４５の側方からねじ４７によって固定する構成となっている。このため、連結部４５を搬送用アーム４２に対して所望の高さ位置に調整することができるという効果がある。また、必要のない連結部４５に関しては取り除いて使用することも可能である。また、連結部４５を、鏡筒３７に沿った円弧状にすれば、鏡筒３７から突出した部分との干渉を少なくすることもできる。
【００５８】
（８）連結部４５の中心部周辺には、ねじ孔４９が複数個形成されているため、鏡筒３７周辺の光学素子調整機構の配線や、ガス供給用の配管を保持するためのレール・パイプ・バインダ等周知の配線用・配管用の保持用具を固定することができる。これらより、デリケートな配管・配線を搬送時の揺れに対して固定することができるばかりでなく、通常時でも、これらを保護しつつ整頓された機材構成とすることができるという効果がある。
【００５９】
（９）フランジ４１の内部には下部に付勢されて突出したダンパ３９（図１参照）が設けられており、鏡筒３７を例えば支持架台３８に載置する際の衝撃を緩和するとともに、設置後は内部に収容され、フランジ４１の剛性の高い部分で複数点（本実施形態では３点）で支持することができ高い精度を維持できるという効果がある。
【００６０】
なお、本実施形態は以下のように変更してもよい。
○  上記実施形態では、例えば１対の搬送用アーム４２に対して３つの連結部４５を設ける構成としたが、この構成に限定されることなく、例えば搬送用アーム４２に対して傾きをもって単数又は２つ、４つ以上の複数個設けても良い。さらに、連結部４５は、隣接する搬送用アーム４２を連結するようにリング状に構成してもよい。この場合は、より剛性を増すことができる。その他、図５に示すように、本実施形態に加えて、各連結部４５間にさらにクロス形状に連結部５５を設ける構成としても良い。連結部４５の設置形態は、ガス供給用の配管・配線等の量や位置関係によって種々設計変更により調整され、連結部４５を配管・配線が散乱しないようにするための固定用の部材として使用することが可能である。
【００６１】
○  さらに連結部を、図６に示すように上下方向に幅のある薄板状部材として構成しても良い。この場合の連結部５６は、上下左右共にある程度の幅を有する薄板状部材として構成され、溶接や接着等により搬送用アーム４２に取り付けることができる。搬送用アーム４２をより強力に連結することができ、剛性の優れた連結部とすることができる。さらに、この構成によれば、連結部５６の表面上のスペースが確保されるため、この表面上に周知の保持用具５７によって、配線５８等を容易に固定することができる。この場合、連結部５６と保持用具５７とが共に配線取付部として機能する。
【００６２】
○  上記実施形態では、等角度間隔をおいて３箇所に形成される搬送用アーム４２はそれぞれ対をなすものとしたが、これに代えて単数の搬送用アーム４２を等角度間隔をおいて３箇所に設けるものとしても良い。
【００６３】
○  さらに、３箇所に限定されることはなく、２箇所又は４箇所以上の複数箇所に設ける構成としても良い。
○  上記実施形態の搬送用アーム４２は、必ずしも垂直である必要はなく、フランジ４１の上面から傾きをもって延設されるものとしても良い。例えば、一対の搬送用アーム４２を二等辺三角形に構成したようなものでもよい。
【００６４】
○  上記実施形態の搬送用アーム４２は、フランジ４１の上面にねじの螺合により固定されるものとしたが、これに代えて、例えば溶接により固定したり、フランジ４１の成型時に一体成形により形成されるものとしても良い。一体成形の場合、より剛性に優れた構成とすることができる。
【００６５】
○  上記実施形態の搬送用アーム４２は、フランジ４１の上面に固定されるものとしたが、これに代えて、搬送用アーム４２をフランジ４１に対して取り外し自在な構成としても良い。この場合、上記実施形態と同様のねじ構成に加え、さらにねじの螺合量を調整可能とすることにより実施することができる。
【００６６】
○  上記実施形態の搬送用アーム４２は、延長部４３の上端に取付部４４を有する構成としたが、延長部４３を有さず取付部４４がフランジ４１の上面に直接形成される構成としても良い。
【００６７】
○  鏡筒のフランジの上面から上の部分を覆うパージ用のカバー５９を設ける鏡筒６０に対しても実施することができる。図７にその概略構成図を示すように、このカバー５９は、鏡筒６０のフランジ６１の上面と鏡筒６０の上部外周に固定されており、鏡筒６０の外周面から所定距離離間して設けられている。この場合、搬送用アーム６２はカバー５９の外側にあたるフランジ６１の上面から垂直に延設され、上記実施形態と同様に搬送装置と組み合わせて使用することができる。このため、搬送時の振動・揺れから保護することができるばかりか、通常時でもカバー５９を搬送用アーム６２に支持させることで安定して保持できるという効果がある。
【００６８】
○  上記実施形態では、搬送装置４０が水平アーム５２を設ける構成としたが、この水平アーム５２を鏡筒３７側に設ける構成としてもよい。この場合、図８に示すように、搬送装置６３における垂直アーム６４の下端部６５が係合部となり、この下端部６５と係合する取付部６６を水平アーム６７の中央部分に設け、下方若しくは側方からねじ締めにより固定する構成を採ることにより実施することができる。この場合、係合部および取付部６６の個数が半分で済み、搬送装置６３を鏡筒６８に取り付ける際の行程数を削減することができるという効果がある。
【００６９】
○  露光装置として、投影光学系を用いることなく、マスクと基板とを密接させてマスクのパターンを露光するコンタクト露光装置、マスクと基板とを近接させてマスクのパターンを露光するプロキシミティ露光装置の光学系にも適用することができる。また、投影光学系としては、全屈折タイプに限らず、反射屈折タイプであってもよい。
【００７０】
○  さらに、露光装置としては、焦点深度を広く確保するために液浸法を用いた露光装置であってもよい。この液浸法とは、投影光学系の下面と基板表面との間を、所定の液体（水や有機溶媒等）で満たして液浸領域を形成し、液体中での露光光の波長が空気中の１／ｎ（ｎは液体の屈折率で通常１．２〜１．６程度）になることを利用して解像度を向上すると共に、焦点深度を約ｎ倍に拡大するものである。
【００７１】
○  さらに、本発明の露光装置は、縮小露光型の露光装置に限定されるものではなく、例えば等倍露光型、拡大露光型の露光装置であってもよい。
○  さらに、本発明は、マスクと基板とが相対移動した状態でマスクのパターンを基板へ転写し、基板を順次ステップ移動させるスキャニング・ステッパに適用することができる。また、本発明は、マスクと基板とが静止した状態でマスクのパターンを基板へ転写し、基板を順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式のステッパにも適用することができる。
【００７２】
○  また、露光装置の光源としては、前記実施形態に記載のＦ２レーザ（１５７ｎｍ）の他、ＡｒＦエキシマレーザ（１９３ｎｍ）、例えばｇ線（４３６ｎｍ）、ｉ線（３６５ｎｍ）、ＫｒＦエキシマレーザ（２４８ｎｍ）、Ｋｒ２レーザ（１４６ｎｍ）、Ａｒ２レーザ（１２６ｎｍ）等を用いてもよい。また、ＤＦＢ半導体レーザまたはファイバレーザから発振される赤外域、または可視域の単一波長レーザ光を、例えばエルビウム（またはエルビウムとイッテルビウムの双方）がドープされたファイバアンプで増幅し、非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換した高調波を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の露光装置の一実施形態を示す概略構成図。
【図２】鏡筒及び鏡筒用搬送装置を示す全体斜視図。
【図３】図２における鏡筒用搬送装置を鏡筒に取り付けた態様を示す図。
【図４】連結部の平面図。
【図５】別の実施形態における連結部を示す図。
【図６】別の実施形態における連結部を示す図。
【図７】別の実施形態における鏡筒を示す概略構成図。
【図８】別の実施形態における鏡筒及び鏡筒用搬送装置を示す斜視図。
【符号の説明】
【００７４】
３１…露光装置（投影露光装置）、３５…投影光学系、３７…鏡筒、３８…架台、４０…鏡筒用搬送装置（搬送装置）、４１…フランジ、４２…搬送用アーム（配線取付部）、４３…延長部、４４…取付部、４５…連結部（配線取付部）、４６…孔（取り付け位置調整機構）、４７…ねじ（取り付け位置調整機構）、４８…取り付け位置調整機構、５４…下端部（ボルト５３の下端部、係合部）、ＡＸ…光軸、ＥＬ…露光光、Ｒｔ…マスクとしてのレチクル、Ｗ…基板としてのウエハ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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