(57)【要約】【課題】  圧力検出用のセンサ素子が導電性のダイアフラムを介して被測定圧力を受圧するようにした圧力センサにおいて、安価な構成にて回路部を外来ノイズから電気的にシールドする。【解決手段】  凹部１１ａを有するケース１０と、凹部１１ａ内に設けられ印加される圧力のレベルに応じて電気信号を出力するセンサ素子２０と、凹部１１ａ内に設けられセンサ素子２０と電気的に接続された回路部としてのターミナル１０ａおよびワイヤ４０と、凹部１１ａを覆うようにケース１０に固定された導電性のダイアフラム８１とを備える圧力センサＳ１において、センサ素子２０および回路部１０ａ、４０は、その周囲を導電性部材２００により取り囲まれることによって電気的にシールドされ、導電性部材２００の一部がダイアフラム８１により構成されている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹部（１１ａ）を有するケース（１０）と、
前記凹部（１１ａ）内に設けられ印加される圧力のレベルに応じて電気信号を出力するセンシング部（２０）と、
前記凹部（１１ａ）内に設けられ前記センシング部（２０）と電気的に接続された回路部（１０ａ、４０）と、
前記凹部（１１ａ）を覆うように前記ケース（１０）に固定された導電性のダイアフラム（８１）とを備え、
前記ダイアフラム（８１）に印加された被測定圧力が前記センシング部（２０）に受圧されるようになっている圧力センサにおいて、
前記センシング部（２０）および前記回路部（１０ａ、４０）は、その周囲を導電性部材（２００）により取り囲まれることによって電気的にシールドされており、
前記導電性部材（２００）の一部が、前記ダイアフラム（８１）により構成されていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記導電性部材（２００）のうち前記ダイアフラム（８１）以外の部材は、前記ケース（１０）に固定された金属製の板材（２１０）により構成されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記回路部（１０ａ、４０）は、一端部が前記凹部（１１ａ）内に露出するように前記ケース（１０）に設けられた配線部材（１０ａ）と、
前記センシング部（２０）と前記配線部材（１０ａ）とを電気的に接続するワイヤ（４０）とから構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記配線部材（１０ａ）の他端部は、外部配線部材と電気的に接続可能となっており、当該他端部は、前記導電性部材（２００）から突出していることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力検出用のセンシング部が導電性のダイアフラムを介して被測定圧力を受圧するようにした圧力センサに関し、たとえば、ディーゼルエンジン自動車の排気管に設けられるＤＰＦ（ディーゼル・パティキュレート・フィルタ）の圧力損失測定などに適用される。
【背景技術】
【０００２】
近年、エミッション規制が強化され、特にディーゼルエンジンでは煤煙を低減する必要が生じている。これに答える技術としてＤＰＦ（ディーゼル・パティキュレート・フィルタ）が注目を集めている。
【０００３】
これは、排気管途中に煤煙をトラップするフィルタを設け、一定量が溜まったら燃やすことで大気中に煤煙が放出されることを防ぐシステムである。フィルタとしては、一般的にセラミックが使用されるが、煤煙をきれいに燃焼させるためには煤煙のトラップされた量が重要であり、多すぎても少なすぎても異常燃焼を引き起こし、フィルタ割れなどの問題を引き起こす。
【０００４】
そのため、現在のところ、煤煙のトラップ量を検出する方法としてフィルタの圧力損失を利用するのが一般的である。圧力損失の測定方法は、フィルタの前圧（上流側圧力）のみ測定する絶対圧検出方式と、フィルタ前後の差圧（上流側圧力と下流側圧力との差圧）を測定する差圧検出方式とがある。
【０００５】
このような圧力センサとしては、従来より、たとえば、フィルタ前後の差圧を測定する方式を採用した圧力センサとして、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子がダイアフラムを介して被測定圧力を受圧するようにしたものが提案されている（特許文献１参照）。
【０００６】
図３は、この差圧検出型の圧力センサの具体的な断面構成を示す図である。
【０００７】
このものは、ケース１０の一面側と他面側とにそれぞれ互いに連通する凹部１１ａ、１１ｂを設け、両凹部１１ａ、１１ｂの連通部を遮断するように一方の凹部１１ａ内にセンサ素子２０を設けるとともに、両凹部１１ａ、１１ｂ内にオイル７０を充填し、各凹部１１ａ、１１ｂを覆うように導電性の金属ダイアフラム８１、８２で封止した構成を採用している。
【０００８】
ここで、たとえば、第１のポート部１２の圧力導入ポート１２ａが上記排気管におけるＤＰＦの上流側、第２の圧力ポート部１３の圧力導入ポート１３ａが上記排気管におけるＤＰＦの下流側にゴムホース等により接続されるものである。
【０００９】
それにより、ケース１０内においては、第１のダイアフラム８１にＤＰＦの上流側圧力（前圧）がへ導入されると同時に、第２のダイアフラム８２にＤＰＦの下流側圧力（後圧）が導入されるようになっている。
【００１０】
そして、両ダイアフラム８１、８２に印加された圧力がオイル７０を介してセンサ素子２０に受圧され、一方のダイアフラム８１が受圧する圧力と他方のダイアフラム８２が受圧する圧力との差圧をセンサ素子２０により検出するようになっている。
【００１１】
ここで、この圧力センサでは、センシング部としてのセンサ素子２０は、印加される圧力のレベルに応じて電気信号を出力するものである。
【００１２】
そして、センサ素子２０が設けられている凹部１１ａ内にて、ケース１０に設けられた配線部材１０ａとセンサ素子２０とは、ワイヤ４０を介して電気的に接続されており、センサ素子２０からの信号を出力可能としている。
【特許文献１】特開２００３−３１５１９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、上記図３に示されるような圧力センサにおいては、電磁波などの外来ノイズにより、回路部の誤作動が生じる恐れがある。ここで、外来ノイズとは、たとえば自動車に搭載された圧力センサの場合、自動車のイグニッションノイズなどである。
【００１４】
そして、このようなノイズが圧力センサに加わると、上記圧力センサにおいてセンサ素子２０と電気的に接続された回路部に流れる電流、すなわちセンサ素子２０と配線部材１０ａとを接続するワイヤ４０や当該配線部材１０ａなどに流れる電流が、増幅されるなど、ノイズによる悪影響が発生する。
【００１５】
一方、従来より、センサ装置において、一般に外来ノイズに対する耐量を上げる方法として、回路部分を導電性の物質にて囲み、電気的にシールドすることにより、外来ノイズを遮断する方法がある。
【００１６】
上記図３には、本発明者らの試作品として、そのような一般的な電気的なシールド方法を従来の圧力センサに対して採用した構成が、具体的に示されている。
【００１７】
すなわち、図３に示されるように、配線部材１０ａのうち外部との接続を行う部位を除いて、たとえば金属などからなるケースや金属の蒸着膜などからなる導電性部材５００によって、圧力センサの外周部を取り囲んでいる。
【００１８】
しかしながら、このように、圧力センサの外周部を導電性部材５００によって取り囲むことにより、回路部１０ａ、４０の電気的なシールドを行う方法では、導電性部材５００のサイズが大きく本来のセンサ機能以外の部品が大量に必要となり、コストが高くなってしまう。
【００１９】
そこで、本発明は上記問題に鑑み、圧力検出用のセンシング部が導電性のダイアフラムを介して被測定圧力を受圧するようにした圧力センサにおいて、安価な構成にて回路部を外来ノイズから電気的にシールドできるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、凹部（１１ａ）を有するケース（１０）と、凹部（１１ａ）内に設けられ印加される圧力のレベルに応じて電気信号を出力するセンシング部（２０）と、凹部（１１ａ）内に設けられセンシング部（２０）と電気的に接続された回路部（１０ａ、４０）と、凹部（１１ａ）を覆うようにケース（１０）に固定された導電性のダイアフラム（８１）とを備え、ダイアフラム（８１）に印加された被測定圧力がセンシング部（２０）に受圧されるようになっている圧力センサにおいて、センシング部（２０）および回路部（１０ａ、４０）は、その周囲を導電性部材（２００）により取り囲まれることによって電気的にシールドされており、導電性部材（２００）の一部が、ダイアフラム（８１）により構成されていることを特徴としている。
【００２１】
それによれば、センシング部（２０）および回路部（１０ａ、４０）の周囲を導電性部材（２００）により取り囲むことによって、センシング部（２０）および回路部（１０ａ、４０）は電気的にシールドされている。
【００２２】
そして、この導電性部材（２００）の一部が、導電性のダイアフラム（８１）により構成されているため、別途、センシング部（２０）および回路部（１０ａ、４０）の全体を取り囲むように導電性部材を設ける場合に比べて、安価なものにできる。
【００２３】
したがって、本発明によれば、圧力検出用のセンシング部（２０）が導電性のダイアフラム（８１）を介して被測定圧力を受圧するようにした圧力センサにおいて、安価な構成にて回路部（１０ａ、４０）を外来ノイズから電気的にシールドすることができる。
【００２４】
ここで、請求項２に記載の発明のように、請求項１に記載の圧力センサにおいては、導電性部材（２００）のうちダイアフラム（８１）以外の部材は、ケース（１０）に固定された金属製の板材（２１０）により構成されているものにできる。
【００２５】
また、請求項３に記載の発明のように、請求項１または請求項２に記載の圧力センサにおいては、回路部（１０ａ、４０）は、一端部が凹部（１１ａ）内に露出するようにケース（１０）に設けられた配線部材（１０ａ）と、センシング部（２０）と配線部材（１０ａ）とを電気的に接続するワイヤ（４０）とから構成されているものにできる。
【００２６】
さらに、請求項４に記載の発明のように、請求項３に記載の圧力センサにおいては、配線部材（１０ａ）の他端部が、外部配線部材と電気的に接続可能となっている場合、当該他端部は、導電性部材（２００）から突出するようにする。
【００２７】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、説明の簡略化を図るべく、図中、同一符号を付してある。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態に係る差圧検出型の圧力センサＳ１の概略断面構成を示す図である。
【００３０】
限定するものではないが、本実施形態は、たとえば、自動車のディーゼルエンジンの排気管に設けられたＤＰＦ（ディーゼルパティキュレートフィルタ）の圧力損失を検出するために当該排気管に取り付けられ、当該ＤＰＦ前後の排気管の差圧を検出する差圧（相対圧）検出型の圧力センサとして適用することができる。
【００３１】
［全体構成等］
図１において、ケース１０は圧力センサＳ１の本体を区画するもので、例えばＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等の樹脂材料等よりなる。
【００３２】
このケース１０は、配線部材としてのターミナル１０ａが設けられたコネクタケース部（センサ素子設置部）１１と、このコネクタケース部１１に組み付けられた第１のポート部１２および第２のポート部１３とよりなる。ケース１０におけるこれら各部１１〜１３は、樹脂成形等にて作られる。
【００３３】
ケース１０のうちコネクタケース部１１においては、一面側（図１中の上面側）に第１の凹部１１ａが形成され、当該一面と反対の面側（図１中の下面側）に第１の凹部１１ａと連通する第２の凹部１１ｂが形成されている。第１の凹部１１ａ内には、第１の凹部１１ａと第２の凹部１１ｂとの連通部を遮断するように圧力検出用のセンサ素子２０が設けられている。
【００３４】
センサ素子２０は、センシング部として構成されるものであり、印加された圧力値に応じたレベルの電気信号を発生するものである。本例のセンサ素子２０は、シリコン基板等の半導体基板に薄肉部としてのダイアフラム（図示せず）を有する半導体ダイアフラム式のセンサチップである。
【００３５】
そして、センサ素子２０には、ガラス等よりなる台座３０が接合されセンサ素子２０と一体化されている。そして、センサ素子２０は、この台座３０を介して、コネクタケース部１１の第１の凹部１１ａの底面に、図示しないシリコーン系接着剤等の接着剤により接着され、第１の凹部１１ａ内に収納固定されている。
【００３６】
ここで、台座３０には、第２の凹部１１ｂと連通する貫通孔３１が形成されている。つまり、第２の凹部１１ｂは台座３０の貫通孔３１まで通じているが、その先はセンサ素子２０により遮断されており、このセンサ素子２０を境として、第１の凹部１１ａと第２の凹部１１ｂとは遮断されている。
【００３７】
また、コネクタケース部１１に設けられた配線部材としてのターミナル１０ａは、センサ素子２０からの信号を取り出すためのものである。このターミナル１０ａは銅等の導電性金属よりなる棒状部材であり、本例ではコネクタケース部１１にインサート成形されている。
【００３８】
ターミナル１０ａの一端側はセンサ素子２０の近傍において第１の凹部１１ａに露出しており、センサ素子２０とアルミや金等のワイヤ４０により結線され電気的に接続されている。本実施形態では、これら配線部材としてのターミナル１０ａおよびワイヤ４０が、回路部１０ａ、４０として構成されている。
【００３９】
ここで、第１の凹部１１ａ内に露出しているターミナル１０ａの一端部の周囲には、ターミナル１０ａとコネクタケース部１１との隙間をシールするためのシール材５０が設けられている。このシール材５０は、樹脂等からなるものである。
【００４０】
そして、ターミナル１０ａは、センサ素子２０からケース１０におけるセンサ素子２０の搭載面すなわちコネクタケース部１１の第１の凹部１１ａの底面と平行な方向に延びるように配置されており、ワイヤ４０との接続部とは反対側の端部が、ケース１０（コネクタケース部１１）の外部に露出している。
【００４１】
そして、このターミナル１０ａの露出端部は、コネクタケース部１１とともに、図示しない外部配線部材に接続可能となっており、それによって、センサ素子２０は、ワイヤ４０、ターミナルピン１０ａを介して外部回路（車両のＥＣＵ等）に対して信号のやり取りが可能となっている。
【００４２】
このようにケース１０のうちコネクタケース部１１は、センサ素子２０が設置されたセンサ素子設置部として構成されている。また、第１のポート部１２、第２のポート部１３はそれぞれ、図１中において、２点鎖線にて示す圧力導入ポート１２ａ、１３ａが設けられている。
【００４３】
ここで、コネクタケース部１１とポート部１２、１３とは、ネジ部材としてのネジ６０およびナット６１、６２を用いて接合されている。
【００４４】
ナット６１はコネクタケース部１１にインサート成形されたもので、コネクタケース部１１と第１および第２のポート部１２、１３とをネジ６０およびナット６１によりネジ結合した後、ナット６２を用いて締結している。なお、ネジ部材６０〜６２に代えてリベットを用いても良い。
【００４５】
また、ケース１０のうちコネクタケース部１１における第１の凹部１１ａおよび第２の凹部１１ｂには、フッ素系オイルやシリコーン系オイル等からなるオイル７０が充填されている。
【００４６】
そして、ケース１０において、コネクタケース部１１と第１のポート部１２との間には第１のダイアフラム８１が固定され、コネクタケース部１１と第２のポート部１３との間には第２のダイアフラム８２が固定されている。
【００４７】
本実施形態では、第１および第２のダイアフラム８１、８２は、ＣｒやＮｉ等の耐食性や耐熱性にすぐれた金属からなるメタルダイアフラムであり、たとえば（Ｃｒ＋３．３Ｍｏ＋２０Ｎ）で表される孔食指数が５０以上であり且つＮｉを３０重量％以上含む材料からなるものにできる。
【００４８】
図１に示されるように、第１のダイアフラム８１は、第１の凹部１１ａを覆うように配置され、第１の凹部１１ａ内のオイル７０を封止している。一方、第２のダイアフラム８２は、第２の凹部１１ｂを覆うように配置され、第２の凹部１１ｂ内のオイル７０を封止している。
【００４９】
図１では示さないが、第１のダイアフラム８１、第２のダイアフラム８２はそれぞれ、第１のポート部１２、第２のポート部１３に対して、フロロシリコーン系樹脂あるいはフッ素系樹脂等の樹脂からなる接着剤を介して接着されている。なお、この接着剤は後述する図２において、符号１００を付して示してある。
【００５０】
また、コネクタケース部１１において、第１および第２のダイアフラム８１、８２が押しつけられて固定される部位には、Ｏリング９０が設けられており、第１および第２のダイアフラム８１、８２によるオイル７０の封止をより確実なものとしている。
【００５１】
また、図１に示す圧力センサＳ１では、センサ素子２０を境にして、第１のダイアフラム８１側に配置されるオイル７０の量と第２のダイアフラム８２側に配置されるオイル７０の量とが等しいものにすることが好ましい。これは、第１の凹部１１ａの容積や第２の凹部１１ｂの容積、センサ素子２０や台座３０の体積等を考慮して設計することで実現可能である。
【００５２】
また、図示しないが、たとえば、第１のポート部１２の圧力導入ポート１２ａが上記排気管におけるＤＰＦの上流側、第２の圧力ポート部１３の圧力導入ポート１３ａが上記排気管におけるＤＰＦの下流側にゴムホース等により接続されるものである。
【００５３】
それにより、ケース１０内においては、第１のダイアフラム８１にＤＰＦの上流側圧力（前圧）がへ導入されると同時に、第２のダイアフラム８２にＤＰＦの下流側圧力（後圧）が導入されるようになっている。
【００５４】
そして、第１および第２のダイアフラム８１、８２に印加された圧力がそれぞれオイル７０を介して、センシング部としてのセンサ素子２０に受圧される。そして、第１のダイアフラム８１側から受圧された圧力と第２のダイアフラム８２側から受圧された圧力との差圧をセンサ素子２０により検出するようになっている。
【００５５】
本例においては、センサ素子２０に形成されている図示しないダイアフラムの表面に第１のダイアフラム８１側からＤＰＦの上流側圧力が受圧され、裏面に第２のダイアフラム８２側からＤＰＦの下流側圧力が受圧される。
【００５６】
センサ素子２０のダイアフラムは両圧力の差圧により歪み、この歪みに基づく信号がセンサ素子２０からワイヤ４０を介してターミナル１０ａから外部に出力される。こうして、圧力検出がなされる。
【００５７】
［圧力センサの特徴的構成］
本実施形態では、このような圧力センサＳ１において、次のような独自の特徴点を持たせている。
【００５８】
すなわち、図１に示されるように、センシング部としてのセンサ素子２０および回路部１０ａ、４０としてのターミナル１０ａおよびワイヤ４０が、その周囲を導電性部材２００により取り囲まれることによって電気的にシールドされている。そして、この導電性部材２０の一部が、ダイアフラム８１、８２により構成されている。
【００５９】
なお、配線部材であるターミナル１０ａにおけるワイヤ４０との接続部とは反対側の露出端部は、外部配線部材と電気的に接続可能となっているため、この露出端部は、導電性部材２００から突出している。
【００６０】
具体的に、導電性部材２００は、図１に示されるように、ケース１０におけるコネクタケース部１１のうちターミナル１０ａの露出端部が位置する部分を除く部位の外周面を覆うように、コネクタケース部１１に設けられている。
【００６１】
ここで、導電性部材２００のうちダイアフラム８１、８２以外の部材は、ケース１０におけるコネクタケース部１１に固定された金属製の板材２１０により構成されている。この板材２１０は、たとえば銅や鉄などの薄い板材であり、箔のような薄いものも含むものである。本例ではコネクタケース部１１に対してターミナル１０ａとともにインサート成形されたものとしている。
【００６２】
つまり、この板材２１０は、コネクタケース部１１の外周面のうち両ダイアフラム８１、８２で被覆されている部位以外の領域を覆っているものである。そして、板材２１０の端部とダイアフラム８１、８２の端部とは重なり合い電気的に接続されている。また、この板材２１０は、上記したケース１０の各部を締結するネジ部材６０〜６２の部分には干渉しない形状となっている。
【００６３】
また、図１中の右側部分に示されるように、板材２１０のうちコネクタケース部１１の内部に埋設された部分は、ターミナル１０ａが貫通する穴を有している。そして、この貫通穴にターミナル１０ａが貫通することで、板材２１０とターミナル１０ａとは離間しており、ターミナル１０ａと板材２１０との間に位置する樹脂によって両者は電気的に絶縁されている。
【００６４】
また、板材２１０のうちコネクタケース部１１の内部に埋設された部分とターミナル１０ａとの電気的な絶縁を確保するためには、図示しないが、たとえば上記貫通穴に貫通コンデンサを設け、この貫通コンデンサにターミナル１０ａを貫通させ、貫通部をはんだ付けする構成としてもよい。この場合も、貫通コンデンサによって両者の電気的な絶縁が確保される。
【００６５】
なお、本例では、板材２１０は、コネクタケース部１１にインサート成形されたものとしているが、板材２１０のコネクタケース部１１への固定手段は、これに限定されるものではない。
【００６６】
たとえば、コネクタケース部１１のうち導電性部材２００で取り囲まれている部分のみを、ターミナル１０ａとともに樹脂で一体成形した後、この成形体に板材２１０を組み付ける。
【００６７】
そして、このものに対して、さらに樹脂成形を施すことで、ターミナル１０ａの上記露出端部の周囲に樹脂を形成すれば、図１に示されるような板材２１０が固定されたコネクタケース部１１ができあがる。このとき、図１中の左側の部分の板材２１０については、接着することで固定してよい。
【００６８】
［製造方法等］
次に、本圧力センサＳ１の製造方法の一例について、図２も参照して述べる。図２は、図１に示される圧力センサＳ１の分解図である。
【００６９】
ターミナル１０ａおよびナット６１がインサート成形されるとともに、上記金属製の板材２１０が固定されたコネクタケース部１１において、第１の凹部１１ａ内に露出したターミナル１０ａの一端部をシール材５０にてシールする。
【００７０】
次に、台座３０と一体化されたセンサ素子２０を、コネクタケース部１１の第１の凹部１１ａに接着固定し、センサ素子２０とターミナル１０ａとをワイヤボンディングして結線する。
【００７１】
次に、第１のポート部１２に第１のダイアフラム８１を上記接着剤１００を用いて接着するとともに、コネクタケース部１１の第１の凹部１１ａにオイル７０を注入し、コネクタケース部１１にＯリング９０をセットする。
【００７２】
そして、真空中にて、コネクタケース部１１と第１のポート部１２とを、ネジ６０とナット６１とをネジ結合しながら一体化することにより、オイル７０の封止を行う。ここで、オイル７０中に気泡が入らないようにネジ６０によりネジ締めを行っていく。
【００７３】
その後、第１のポート部１２と同様に、第２のポート部１３についても、第２のダイアフラム８２、オイル７０、Ｏリング９０を介在させながら、真空中にてコネクタケース部１１に対してナット６２を用いてネジ結合する。その後、特性調整や検査を行い、こうして、図１に示す圧力センサＳ１が完成する。
【００７４】
［効果点等］
ところで、本実施形態によれば、凹部１１ａを有するケース１０と、凹部１１ａ内に設けられ印加される圧力のレベルに応じて電気信号を出力するセンシング部としてのセンサ素子２０と、凹部１１ａ内に設けられセンサ素子２０と電気的に接続された回路部１０ａ、４０と、凹部１１ａを覆うようにケース１０に固定された導電性のダイアフラム８１とを備え、ダイアフラム８１に印加された被測定圧力がセンサ素子２０に受圧されるようになっている圧力センサにおいて、センサ素子２０および回路部１０ａ、４０は、その周囲を導電性部材２００により取り囲まれることによって電気的にシールドされており、導電性部材２００の一部が、ダイアフラム８１により構成されていることを特徴とする圧力センサＳ１が提供される。
【００７５】
なお、本実施形態では、差圧検出型の圧力センサＳ１であるため、導電性部材２００の一部が、第１のダイアフラム８１に加えて第２の凹部１０ｂ側の第２のダイアフラム８２によっても構成されている。
【００７６】
それによれば、センサ素子２０および回路部１０ａ、４０の周囲を導電性部材２００により取り囲むことによって、センサ素子２０および回路部１０ａ、４０は、適切に電気的にシールドされる。
【００７７】
そして、この導電性部材２００の一部が、導電性のダイアフラム８１、８２により構成されているため、別途、センサ素子２０および回路部１０ａ、４０の全体を取り囲むように導電性部材を設ける場合に比べて、安価なものにできる。
【００７８】
つまり、金属ダイアフラム８１、８２は、本来のセンサ用途に必要な部品であり、比較的広い面積をシールドすることが可能なため、ダイアフラム８１、８２以外の導電性部材２００すなわち板材２１０としては、ダイアフラム８１、８２でシールドされた部分以外の比較的小さい部分に設ければよい。
【００７９】
したがって、本実施形態によれば、圧力検出用のセンサ素子２０が導電性のダイアフラム８１を介して被測定圧力を受圧するようにした圧力センサにおいて、安価な構成にて回路部１０ａ、４０を外来ノイズから電気的にシールドすることができる。そして、外来ノイズ耐量を向上させた圧力センサＳ１を実現できる。
【００８０】
ここで、本実施形態の圧力センサＳ１においては、導電性部材２００のうちダイアフラム８１、８２以外の部材は、ケース１０に固定された金属製の板材２１０により構成することで、上記した効果を適切に発揮している。
【００８１】
また、本実施形態では、回路部１０ａ、４０は、一端部が凹部１１ａ内に露出するようにケース１０に設けられた配線部材としてのターミナル１０ａと、センサ素子２０とターミナル１０ａとを電気的に接続するワイヤ４０とから構成しており、さらに、ターミナル１０ａの他端部すなわち上記露出端部を、外部配線部材と電気的に接続可能なものとしている。
【００８２】
このような構成において、本実施形態では、ターミナル１０ａの露出端部を、導電性部材２００から突出させることにより、上記した電気的なシールドの実現とともに、圧力センサＳ１の外部との電気的な接続を適切に実現している。
【００８３】
（他の実施形態）
なお、上記実施形態では、導電性部材２００のうちダイアフラム８１、８２以外の部材は、ケース１０に固定された金属製の板材２１０により構成されていたが、それ以外のものであってもよい。
【００８４】
たとえば、上記板材２１０に代えて、金属の粉体塗装や蒸着法などにより成膜された金属膜や、回路基板の配線形成などに用いられるＣｕやＡｇなどの導電性の厚膜ペーストなどを採用することも可能である。
【００８５】
さらに、導電性部材２００におけるダイアフラム８１、８２およびそれ以外の部材としては、上述した金属以外にも、導電性の樹脂などの導電性材料を採用することが可能である。
【００８６】
また、上記実施形態では、回路部を、ターミナル１０ａとワイヤ４０とから構成していたが、それ以外にも、たとえば上記図１において、第１の凹部１１ａ内にセンサ素子２０と電気的に接続された回路チップを設けた場合、この回路チップももちろん回路部に含まれる。
【００８７】
また、センサ素子２０を構成するセンサチップとしては、センサ信号を処理する回路部が半導体プロセスなどにより一体に形成されたもの、いわゆる集積化センサチップを採用してもよい。この場合、センサチップに形成された回路部も、もちろん本発明でいう回路部に相当するものである。
【００８８】
また、上記実施形態では、たとえば、第１のポート部１２の圧力導入ポート１２ａが上記排気管におけるＤＰＦの上流側、第２の圧力ポート部１３の圧力導入ポート１３ａが上記排気管におけるＤＰＦの下流側にゴムホース等により接続され、第１のダイアフラム８１にＤＰＦの上流側圧力（前圧）がへ導入されると同時に、第２のダイアフラム８２にＤＰＦの下流側圧力（後圧）が導入されるようになっていた。
【００８９】
これとは反対に、上記実施形態の差圧検出型の圧力センサにおいては、第１のダイアフラム８１にＤＰＦの下流側圧力（後圧）がへ導入されると同時に、第２のダイアフラム８２にＤＰＦの上流側圧力（前圧）が導入されるようにしてもよい。
【００９０】
また、上記実施形態では、差圧検出型の圧力センサを採用したが、本発明は、絶対圧検出型の圧力センサにも適用できることはもちろんである。
【００９１】
このような絶対圧検出型の圧力センサは、たとえば、上記図１において第２の凹部や第２のダイアフラムが省略された構成のものであり、この場合、ＤＰＦの前圧（上流側圧力）のみ測定する絶対圧検出方式が採用される。
【００９２】
さらに、本発明の圧力センサは、排気管に設けられたＤＰＦの圧力損失を検出する圧力センサとして適用されることに、用途限定されないことはいうまでもない。
【００９３】
要するに、本発明は、凹部を有するケースと、凹部内に設けられたセンシング部と、凹部内に設けられた回路部と、凹部を覆うようにケースに固定された導電性のダイアフラムとを備え、ダイアフラムに印加された被測定圧力がセンシング部に受圧されるようになっている圧力センサにおいて、センシング部および回路部の周囲を、その一部がダイアフラムにより構成されている導電性部材によって取り囲んだ構成としたことを要部とするものであり、その他の部分については適宜設計変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明の実施形態に係る差圧検出型の圧力センサの概略断面構成を示す図である。
【図２】図１に示される圧力センサの分解図である。
【図３】従来の差圧検出型の圧力センサの具体的な断面構成を示す図である。
【符号の説明】
【００９５】
１０…ケース、１０ａ…配線部材としてのターミナル、１１ａ…第１の凹部、
２０…センシング部としてのセンサ素子、４０…回路部としてのワイヤ、
８１…第１のダイアフラム、２００…導電性部材、２１０…金属製の板材。
【図１】
2005257498.tif 000003
【図２】
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【図３】
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