(57)【要約】【課題】露光用マスクフィルム上に異物が存在しても、露光工程における解像性を低下させることなく、信頼性に優れたプリント配線板を極めて高い工程歩留まりで提供することを目的とする。【解決手段】光拡散層２の下方に集光フィルム３とマスクパターンを有するマスクフィルム４を備えた露光用マスクフィルム１を用い、それを介して基板上に形成された感光材６に紫外光を照射して露光する。すなわち、露光用マスクフィルムへ入射する紫外光を、拡散層で拡散させ、集光フィルムを透過する際に集光させることによって、感光材の表面に達する段階で紫外光の拡散を抑制する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光拡散層の下方に集光フィルムとマスクパターンが描画されたマスクフィルムを備えた露光用マスクフィルム。
【請求項２】
光拡散層の直下に集光フィルムを備えた請求項１に記載の露光用マスクフィルム。
【請求項３】
マスクパターンが描画されたマスクフィルムの直下に集光フィルムを備えた請求項１に記載の露光用マスクフィルム。
【請求項４】
光拡散層の直下にマスクパターンが描画された集光性を有するマスクフィルムを備えた露光用マスクフィルム。
【請求項５】
光拡散層の光の拡散と集光フィルムの集光は、その度合いが等しいことを特徴とする請求項１に記載の露光用マスクフィルム。
【請求項６】
光拡散層の光の拡散と集光性を有するマスクフィルムの集光は、その度合いが等しいことを特徴とする請求項４に記載の露光用マスクフィルム。
【請求項７】
光拡散層は拡散フィルムであり、集光フィルムは拡散フィルムを反転したもので構成されることを特徴とする請求項１に記載の露光用マスクフィルム。
【請求項８】
請求項１または請求項４に記載の露光用マスクフィルムを介して基板上に形成された感光材に紫外光を照射して露光することを特徴とするプリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品などが高密度に実装される、電子機器等に使用される露光用マスクフィルムとそれを用いたプリント配線板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に細線、狭ピッチを要求されるプリント配線板の回路パターンの形成は、写真法によるプロセスで行われている。
【０００３】
従来のプリント配線板の製造方法を図９を用いて説明する。
【０００４】
図９（ａ）に示すように、銅張積層板２７上に感光材２６を形成し、図９（ｂ）に示すように露光用マスクフィルム２１を感光材２６の上に載置し、さらにその上にアクリル板２８を重ねて真空吸着させる。
【０００５】
次に紫外光Ｖを照射して露光した後、所定の現像液で未露光部分を溶解除去することによって図９（ｃ）に示すような回路パターンのエッチングレジスト２９を得る。
【０００６】
その後、露出した銅はくをエッチングし、エッチングレジスト２９を除去し、回路パターンを得る。
【０００７】
このような従来のプリント配線板の製造方法においては、紫外光Ｖによる露光の際、露光用マスクフィルム２１とアクリル板２８との間に異物３０が混入した場合、異物３０が紫外光Ｖを遮光し、必要とする回路パターンに欠陥を発生させ、工程歩留を著しく悪化させるという課題があった。
【０００８】
この問題を解決するために従来は、図１０に示すように、露光用マスクフィルム２１の上面に拡散フィルム２２を形成し、拡散フィルム２２を介し銅張積層板２７上に形成された感光材２６に紫外光を照射して露光させる工程によって、プリント配線板を製造する方法が考えられた。
【０００９】
これは、照射した紫外光が拡散フィルム２２の内部で拡散し、アクリル板２８と拡散フィルム２２との間に異物３０が存在してもその異物の直下に光が回り込むため、照射した紫外光が異物３０により遮光されることがなく、必要とするパターンのエッチングレジスト２９を得ることができるというものである。
【００１０】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平３−２５６３９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、図１０（ａ）に示すように入射する紫外光Ｖは、感光材２６に達する段階で拡散され、その結果、現像後は図１０（ｂ）に示すように、線太りが発生し、エッチングレジスト２９の解像性が低下する。
【００１２】
特に回路パターンの細線、線間の狭ピッチが要求されるプリント配線板においては、解像性の低下は大きな課題であった。
【００１３】
本発明はこの課題を解決するもので、露光用マスクフィルム上に異物が存在しても、露光工程における解像性を低下させることなく、信頼性に優れたプリント配線板を極めて高い工程歩留まりで提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するために本発明は、光拡散層の下方に集光フィルムとマスクパターンを有するマスクフィルムを備えた露光用マスクフィルム、あるいは光拡散層の直下にマスクパターンを有する集光性を有するフィルムを備えた露光用マスクフィルムを用い、それを介して基板上に形成された感光材に紫外光を照射して露光するというものである。
【００１５】
これにより、入射する紫外光は、拡散層で拡散されたのち集光フィルムを透過する際に、集光されることによって、感光材の表面に達する段階では拡散が抑制される。その結果、露光用マスクフィルム上の異物の影響を回避し、かかる露光工程における解像性を維持できるという作用を有する。
【００１６】
本発明の請求項１に記載の発明は、光拡散層の下方に集光フィルムとマスクパターンが描画されたマスクフィルムを備えた露光用マスクフィルムとしたものであり、これにより入射した紫外光を光拡散層で拡散し、露光用マスクフィルム上の異物の影響を回避することができる。さらに、光拡散層の下方に位置する集光フィルムを透過する際に、拡散した紫外光を集光することにより、露光工程における解像性を維持できるという作用を有する。
【００１７】
本発明の請求項２に記載の発明は、光拡散層の直下に集光フィルムを備えた請求項１に記載の露光用マスクフィルムとしたものであり、これにより、入射した紫外光を光拡散層で拡散したのち、拡散した紫外光を集光することができ、集光の効率を高めることができるという作用を有する。また、光拡散層の直下に集光フィルムを備える構成により、光拡散層と集光フィルムを一体化することができ、本発明の露光用マスクフィルムの作成を容易にすることができる。
【００１８】
本発明の請求項３に記載の発明は、マスクパターンが描画されたマスクフィルムの直下に集光フィルムを備えた請求項１に記載の露光用マスクフィルムとしたものであり、マスクフィルムのマスクパターンが描写された面に集光フィルムを貼り合わせることによって、マスクパターンを保護するとともに、集光フィルムを通過する際に、拡散した紫外光を集光することにより、露光工程における解像性を維持できるという作用を有する。
【００１９】
本発明の請求項４に記載の発明は、光拡散層の直下にマスクパターンが描画された集光性を有するマスクフィルムを備えた露光用マスクフィルムとしたものであり、これにより入射した紫外光を光拡散層で拡散し、露光用マスクフィルム上の異物の影響を回避することができる。また光拡散層の下方に位置する集光性を有するマスクフィルムを透過する際に、拡散した紫外光を集光することにより、露光工程における解像性を維持できるという作用を有する。
【００２０】
さらに、光拡散層の直下にマスクフィルムを備えることにより、光拡散層とマスクフィルムを一体化することができ、本発明の露光用マスクフィルムの作成を容易にすることができる。
【００２１】
本発明の請求項５に記載の発明は、光拡散層の光の拡散と集光フィルムの集光は、その度合いが等しいことを特徴とする請求項１に記載の露光用マスクフィルムとしたものであり、露光用マスクフィルムに入射した紫外光は、光拡散層で拡散し、集光フィルムを介して集光することによって、感光材に達する際に、入射した角度に等しい状態に近づけることができる。その結果、露光工程における解像性を維持できるという作用を有する。また、光拡散層と集光フィルムを同質の材料で互いに反転して用いることも可能となり、露光用マスクフィルムを容易に作成することができる。
【００２２】
本発明の請求項６に記載の発明は、光拡散層の光の拡散と集光性を有するマスクフィルムの集光は、その度合いが等しいことを特徴とする請求項４に記載の露光用マスクフィルムとしたものであり、露光用マスクフィルムに入射した紫外光は、光拡散層で拡散し集光性を有するマスクフィルムを介して集光することによって、感光材に達する際に、入射した角度に等しい状態に近づけることができる。その結果、露光工程における解像性を維持できるという作用を有する。
【００２３】
また、光拡散層とマスクフィルムを同質の材料で互いに反転して用いることも可能となり、露光用マスクフィルムを容易に作成することができる。
【００２４】
本発明の請求項７に記載の発明は、光拡散層は拡散フィルムであり、集光フィルムは拡散フィルムを反転したもので構成されることを特徴とする請求項１に記載の露光用マスクフィルムとしたものであり、これにより露光用マスクフィルムを容易に作成することができ、さらに同質の材料であることから入射した紫外光を光拡散層で拡散し、集光フィルムを介して集光された紫外光が感光材に達する角度を入射した角度に等しい状態に近づけることができ、露光工程における解像性を維持できるという作用を有する。
【００２５】
本発明の請求項８に記載の発明は、請求項１または請求項４に記載の露光用マスクフィルムを介して基板上に形成された感光材に紫外光を照射して露光することを特徴とするプリント配線板の製造方法としたものであり、これによりマスクフィルム上に異物が存在しても、露光工程における解像性を低下させることなく、信頼性に優れたプリント配線板を極めて高い工程歩留まりで提供することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の構成は、要するに露光用マスクフィルムへ入射する紫外光を、拡散層で拡散させ、集光フィルムを透過する際に集光させることによって、感光材の表面に達する段階で紫外光の拡散を抑制するというものである。
【００２７】
これにより本発明は、露光用マスクフィルム上に異物が存在しても、露光工程における解像性を低下させることなく、信頼性に優れたプリント配線板を極めて高い工程歩留まりで提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施の形態について、図１〜図８を用いて説明する。
【００２９】
（実施の形態）
図１〜図５は、本発明の実施の形態における露光用マスクフィルムの構成を示す断面図である。
【００３０】
露光用マスクフィルム１は、最上層に光拡散層２と、その下方直下の集光フィルム３と、さらにその直下にマスクパターンが描画されたマスクフィルム４が３層に積層された構成である。また光拡散層２、集光フィルム３、マスクフィルム４は感光材の硬化に適する紫外光が透過可能な材質のものである。
【００３１】
光拡散層２は、露光装置の光源から発光された紫外光を拡散する機能を有する。
【００３２】
また、光拡散層２は真球状微粒子等を集光フィルム３の表面上に塗布して形成することも可能であるが、シート状の拡散フィルムを用いることによって露光用マスクフィルム１の作成が容易となる。本実施の形態においては、光拡散層２として拡散フィルムを採用する。
【００３３】
集光フィルム３は、光拡散層２により拡散された紫外光を集光する機能を有する。
【００３４】
また、集光フィルム３は、拡散フィルムと同質の材料を用い、互いに反転して用いることも可能である。その構成の露光用マスクフィルムを図２に示す。
【００３５】
この構成の利点としては、光拡散層２の光の拡散と集光フィルム３の集光の度合いを等しくすることができる。これにより、光拡散層２で拡散した紫外光は、集光フィルム３を介することによって、感光材に達する角度を入射した角度に等しい状態に近づけることができ、解像性を向上させることができる。
【００３６】
また、図３に示すように、マスクフィルム４の直下、すなわちマスクパターン５を被覆した状態で集光フィルム３を配置した露光用マスクフィルムとすることも可能である。
【００３７】
この構成の利点としては、解像性の向上のほかにマスクパターン５を保護し、プリント配線板の回路パターンの断線等の不具合の原因となるマスクパターン５への傷の発生を防止することができる。
【００３８】
また、図４に示すように、光拡散層２の直下に集光性を有するマスクフィルム４ａを配置した露光用マスクフィルムとすることも可能である。マスクフィルム４ａはマスクパターン５が描画されているとともに、それ自体に集光性を有し、光拡散層２で拡散した紫外光は、マスクフィルム４ａを介することによって、感光材に達する角度を入射した角度に等しい状態に近づけることができ、解像性を向上させることができる。
【００３９】
さらに、光拡散層とマスクフィルムを一体化して露光用マスクフィルムのベース材とし、それにマスクパターン５を描画することによって、露光用マスクフィルムの作成を容易にすることができる。
【００４０】
また、図５に示すように、光拡散層とマスクフィルムを同質の材料で互いに反転して用いることも可能である。この構成においては、光拡散層２の光の拡散とマスクフィルム４ａの集光の度合いが等しくなることから、露光用マスクフィルムに入射した紫外光は、感光材に達する際に、入射した角度に等しい状態に近づけることができ、解像性を向上させることができる。また、図４の事例と同様に露光用マスクフィルムの作成を容易にすることができる。
【００４１】
次に、本発明の露光用マスクフィルムを用いたプリント配線板の製造方法について説明する。
【００４２】
図６は、本発明の実施の形態における露光用マスクフィルムを用いたプリント配線板の製造方法を示す断面図である。
【００４３】
図６（ａ）に示すように、感光材６が形成された銅張積層板７上に、露光用マスクフィルム１を位置決めして、その上にアクリル板８を載置し真空吸着により感光材６と露光用マスクフィルム１を密着する。
【００４４】
次に、図６（ｂ）に示すように、露光光源（図示せず）より発光した紫外光をアクリル板８、露光用マスクフィルム１を介して感光材６を感光する。なお、照射する露光量は、感光材６の適正露光量と露光用マスクフィルムの透過率を考慮して設定する。
【００４５】
その後、未露光部分を現像液で除去し、図６（ｃ）に示すような線太りのないエッチングレジスト９を形成する。
【００４６】
次に、露光用マスクフィルム上に異物が存在する場合のメカニズムについて説明する。
【００４７】
図７は、図１で示した露光用マスクフィルムを用いたプリント配線板の製造方法を示す断面図である。
【００４８】
図７の矢印は、紫外光の入射経路を示すものである。入射した紫外光Ｖは、光拡散層２で拡散することによって、露光用マスクフィルム１上の異物１０の影響を回避し、集光フィルム３を透過する際に、拡散した紫外光を集光し、感光材６へ入射する状態を示すものである。
【００４９】
図８は、図４で示した露光用マスクフィルムを用いたプリント配線板の製造方法を示す断面図である。
【００５０】
図中の矢印で示すように、入射した紫外光Ｖは、光拡散層２で拡散することによって、露光用マスクフィルム１上の異物１０の影響を回避し、マスクフィルム４ａを透過する際に、拡散した紫外光を集光し、感光材６へ入射する状態を示すものである。
【００５１】
図７および図８は、露光用マスクフィルム１に入射した紫外光Ｖは、光拡散層２で拡散し、集光フィルム３またはマスクフィルム４ａを介して集光することによって、感光材６に達する際に、入射した角度に等しい状態に近づけることを示している。
【００５２】
以上のことから、本発明の露光用マスクフィルムを用いたプリント配線板の製造方法は、異物１０の影響を回避かつ露光工程における解像性を維持できるという顕著な作用効果を有するものである。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
以上述べたように、本発明の構成によれば露光用マスクフィルム上に異物が存在しても、露光工程における解像性を低下させることなく、信頼性に優れたプリント配線板を極めて高い工程歩留まりで提供できるものであり、産業上の利用可能性は大といえる。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施の形態における露光用マスクフィルムを示す断面図
【図２】同実施の形態における露光用マスクフィルムを示す断面図
【図３】同実施の形態における露光用マスクフィルムを示す断面図
【図４】同実施の形態における露光用マスクフィルムを示す断面図
【図５】同実施の形態における露光用マスクフィルムを示す断面図
【図６】同実施の形態におけるプリント配線板の製造方法を示す断面図
【図７】同実施の形態におけるプリント配線板の製造方法を示す断面図
【図８】同実施の形態におけるプリント配線板の製造方法を示す断面図
【図９】従来のプリント配線板の製造方法を示す断面図
【図１０】従来のプリント配線板の製造方法を示す断面図
【符号の説明】
【００５５】
１  露光用マスクフィルム
２  光拡散層
３  集光フィルム
４，４ａ  マスクフィルム
５  マスクパターン
６  感光材
７  銅張積層板
８  アクリル板
９  エッチングレジスト
１０  異物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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