(57)【要約】【課題】  薄板状部品を積層したキャビティプレートを複数個同時に製造する。【解決手段】  多数個の圧力室を有するペースプレート１４、圧力室の一端に接続する貫通孔を有するスペーサプレート１３、及び貫通孔を介して多数個の圧力室に連通するインク通路を有するマニホールドプレート１２の複数個をそれぞれフレーム枠１０２に連設配置したリードフレーム１００ａ〜１００ｄを、各プレートの種類ごとに製作する。その後、複数種類のリードフレームを積層して、それぞれのリードフレームの各プレートを重ねて一体化する。そして、一体化した複数のプレート、すなわちキャビティプレートをリードフレームから取り外す。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するための複数のノズル孔に連通する複数のインク室を有するキャビティプレートを、複数種類の薄板状部品を積層して構成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、
同じ種類の前記薄板状部品の複数個をフレーム枠に連設配置したリードフレームを、前記薄板状部品の種類ごとに製作し、
その複数種類のリードフレームを積層して、それぞれのリードフレームの前記各薄板状部品を重ねて一体化し、
一体化した前記複数の薄板状部品を前記リードフレームから取り外すことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記薄板状部品はフレーム枠に連設片で連結され、一体化した前記複数の薄板状部品を前記リードフレームから取り外すとき、前記連設片を切断することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記複数種類の薄板状部品には、それぞれ液体流路が所定パターンで形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記複数種類の薄板状部品は、多数個の圧力室を有するペースプレート、前記圧力室の一端に接続する貫通孔を有するスペーサプレート、及び前記貫通孔を介して前記多数個の圧力室に連通するインク通路を有するマニホールドプレートを含むことを特徴とする請求項３に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記リードフレームの各前記フレーム枠は、位置決め孔を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記各薄板状部品の片面に前記接着剤を塗布した後、前記各薄板状部品を重ねて一体化することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記フレーム枠は、前記同じ種類の薄板状部品の複数個を囲む枠状をなしていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記同じ種類の薄板状部品の複数個は、間隔をおいて配列され、前記連設片は、前記配列方向に沿う前記薄板状部品の辺と前記フレーム枠とを微小幅で連設していることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先行技術のオンディマンド型の衝撃式インクジェットプリンタヘッドにおいては、特開昭６２−１１１７５８号公報に記載されているように、積層された状態で接着剤を介して一体に保持された複数枚の動作プレートからなるキャビティプレートの背面に、ダイヤフラムプレートを接着剤を介して接合し、該ダイヤフラムプレートの片面には、前記圧力室箇所に対応させて駆動用の圧電素子等の噴射圧力発生部材を固着したインクジェットプリンタヘッドが知られている。
【０００３】
そして、前記キャビティプレートにおける各動作プレートは、複数個のノズルを備えたノズルプレートと、この各ノズルごとの圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され、且つ前記圧力室に接続するインク流路やインクチャンバ（マニホールド）を有するマニホールドプレートとから構成されており、それぞれのプレートは、厚さ２００μｍ程度もしくはそれ以下の薄い金属板である。
【０００４】
【特許文献１】特開昭６２−１１１７５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、薄板状部品を積層したキャビティプレートを複数個同時に製造する方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この技術的課題を達成するため、請求項１に記載の発明は、インクを吐出するための複数のノズル孔に連通する複数のインク室を有するキャビティプレートを、複数種類の薄板状部品を積層して構成するインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、同じ種類の前記薄板状部品の複数個をフレーム枠に連設配置したリードフレームを、前記薄板状部品の種類ごとに製作し、その複数種類のリードフレームを積層して、それぞれのリードフレームの前記各薄板状部品を重ねて一体化し、一体化した前記複数の薄板状部品を前記リードフレームから取り外す方法をとる。
【０００７】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記薄板状部品はフレーム枠に連設片で連結され、一体化した前記複数の薄板状部品を前記リードフレームから取り外すとき、前記連設片を切断する方法をとる。
【０００８】
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記複数種類の薄板状部品には、それぞれ液体流路が所定パターンで形成されている。
【０００９】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記複数種類の薄板状部品は、多数個の圧力室を有するペースプレート、前記圧力室の一端に接続する貫通孔を有するスペーサプレート、及び前記貫通孔を介して前記多数個の圧力室に連通するインク通路を有するマニホールドプレートを含む。
【００１０】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記リードフレームの各前記フレーム枠は、位置決め孔を有する。
【００１１】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記各薄板状部品の片面に前記接着剤を塗布した後、前記各薄板状部品を重ねて一体化する。
【００１２】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記フレーム枠は、前記同じ種類の薄板状部品の複数個を囲む枠状をなしている。
【００１３】
請求項８に記載の発明は、請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法において、前記同じ種類の薄板状部品の複数個は、間隔をおいて配列され、前記連設片は、前記配列方向に沿う前記薄板状部品の辺と前記フレーム枠とを微小幅で連設している。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、同じ種類の薄板状部品の複数個をフレーム枠に連設配置したリードフレームを、薄板状部品の種類ごとに製作し、その複数種類のリードフレームを積層して、それぞれのリードフレームの各薄板状部品を重ねて一体化し、一体化した複数の薄板状部品を前記リードフレームから取り外すことで、複数個のキャビティプレートを同時に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面について説明する。図１〜図９は、本発明の第１の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。
【００１６】
図１において、金属板製のキャビティプレート９に対して接合されるプレート型の圧電アクチュエータ２０の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル４０が接着剤にて重ね接合されているものであり、最下層のキャビティプレート９の下面側に開口されたノズル１５から下向きにインクが吐出するものとする。
【００１７】
前記キャビティプレート９は、図２〜図６に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート１０、二枚のマニホールドプレート１１、１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の五枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構造であり、実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート１０を除き、各プレート１２、１３、１４は、４２％ニッケル合金鋼板製で、５０μｍ〜１５０μｍ程度の厚さを有する。前記ノズルプレート１０には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のインク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１０における第１の方向（長辺方向）に沿って２列の千鳥配列状に設けられている。即ち、ノズルプレート１０の前記第１の方向に延びる２つの平行状の基準線１０ａ、１０ｂに沿って、微小ピッチＰの間隔で千鳥状配列にて多数個のノズル１５が穿設されている。前記二枚のマニホールドプレート１１、１２には、インク通路１２ａ、１２ｂが、前記ノズル１５の列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、ノズルプレート１０に対面する下側のマニホールドプレート１１におけるインク通路１２ｂは、当該マニホールドプレート１２の上側にのみ開放するように凹み形成されている（図３及び図４参照）。このインク通路１２ａ、１２ｂは、上側のマニホールドプレート１２に対する前記スペーサプレート１３の積層により密閉される構造になっている。なお、図４は、ノズルプレート１０、マニホールドプレート１１、１２、スペーサプレート１３及びベースプレート１４の各々における図３の右端部に相当する箇所の裏面（下面）を上向きにした状態の一部切欠き斜視図である。
【００１８】
また、前記ベースプレート１４には、その長辺（前記第１の方向）に沿う中心線に対して直交する第２の方向（短辺方向）に延びる細幅の圧力室１６の多数個が穿設されている。そして、前記中心線を挟んで左右両側にて平行状の長手基準線１４ａ、１４ｂを設定すると、前記中心線より左側の圧力室１６の先端流路１６ａは前記左側の長手基準線１４ａ上に位置し、逆に前記長手中心線より右側の圧力室１６の先端流路１６ａは前記右側の長手基準線１４ｂ上に位置し、且つこの左右の圧力室１６の先端流路１６ａが交互に配置されているので、左右両側の圧力室１６は一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる。
【００１９】
この各圧力室１６の先端流路１６ａは、前記ノズルプレート１０における前記千鳥状配列のノズル１５に、前記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１１、１２に同じく千鳥状配列にて穿設されているインク流路としての微小径の連通孔１７、１７、１７を介して連通している。一方、前記各圧力室１６の他端は、断面積の小さいインク流路としての細長い絞り部１６ｄを介して直径が大きい他端流路１６ｂに接続されており、他端流路１６ｂは、前記スペーサプレート１３における左右両側部位に穿設された貫通孔１８を介して、前記両マニホールドプレート１１、１２におけるインク通路１２ａ、１２ｂに連通している。なお、前記他端流路１６ｂ及び細長の絞り部１６ｄは、図３、図７及び図８に示すように、ベースプレート１４の下面側にのみ開口するように凹み形成されているものであり、前記他端流路１６ｂの直径は前記貫通孔１８の直径とほぼ等しく形成する。絞り部１６ｄは圧電アクチュエータ２０が連続して駆動されたときに、圧力室１６へインクが供給過剰になるのを防ぐため、圧力室１６よりも断面が小さくなっている。
【００２０】
さらに、各圧力室１６の長手方向に中途部には、ベースプレート１４の板厚の半分程度の連設部１６ｃを設けることにより、多数並設された圧力室１６の側壁の剛性の低下を防止する。
【００２１】
また、スペーサプレート１３の一端に穿設された供給孔１９ｂは、前記インク通路１２ａに連通すると共に、最上層のベースプレート１４の一端部に穿設された供給孔１９ａにも連通している。そして、この供給孔１９ａの上面には、その上方のインクタンクから供給されるインク中の塵除去のためのフィルタ２９が張設されている。
【００２２】
次に、キャビティプレート９を組み立てる方法について説明する。図１０に示すように、４枚のリードフレーム１００ａ〜１００ｄを積層して接着固定するものであり、各リードフレーム１００ａ〜１００ｄには、所定のパターンが形成された薄板状の部品としてのマニホールドプレート１１、１２、スペーサプレート１３、ベースプレート１４が一定間隔にて連設配置されるものとする。即ち、最下層となるリードフレーム１００ｄには、前記実施形態におけるベースプレート１４を一定間隔にて配置するように形成されている。なお、左右の細長いフレーム枠１０２、１０２の間は適宜間隔でタイバー１０４に連結されている。同様に、下から第２層のリードフレーム１００ｃにはスペーサプレート１３が前記と同じ間隔で形成されている。下から第３層のリードフレーム１００ｂには、マニホールドプレート１２が前記と同じ間隔で形成されている。また、最上層のリードフレーム１００ａには他方のマニホールドプレート１１が前記と同じ間隔で形成されている。また、前記各リードフレーム１００ａ〜１００ｄにおけるフレーム枠１０２には適宜間隔にて本発明に係る構造の位置決め孔１０５が形成されている。なお、各プレート１１、１２、１３、１４はフレーム枠１０２に対して微小幅の連設片１０６で連結されている。
【００２３】
これらのリードフレームを積層する場合、図７または図８に示すように、キャビティプレート９の使用状態（下面側にインクのノズルが開口される状態）とは上下が逆になるように、リードフレームを積層する。このときは、図４、図７及び図８に示すごとく、最下層のベースプレート１４、下から第２層のスペーサプレート１３及びマニホールドプレート１２の各々の片面に形成された接着剤用の逃がし溝３３ａ，３３ｂ，３４、３５が上向きになるように配置されるものとする。
【００２４】
また、前記逃がし溝３３ａ，３３ｂ，３４、３５及びそれに対向する各プレートの平坦面における上下の同じ位置には、該逃がし溝と連通し、且つ各プレート１３、１２、１１の板厚を貫通して互いに上下方向に連通するように空気逃がし孔３６ａ，３６ｂ，３６ｃを穿設すると共に最上層のマニホールドプレート１１または最下層のベースプレート１４に形成される空気逃がし溝３６ａ、３６ｂの少なくとも一方は、外部に開口されている。なお、好ましくは、最下層のベースプレート１４に形成される空気逃がし孔３６ｄは板厚さの半分程度で下面側には連通しない凹みとする（図７、図８（ａ）及び図８（ｂ）参照）。
【００２５】
そして、リードフレーム１００ａ〜１００ｄのプレートの積層面に予め接着剤３９を塗布する。この接着剤３９の塗布方法の一つとしては、治具の平坦面に予め接着剤３９を薄く塗布しておき、この塗布面に前記リードフレーム１００ａ〜１００ｄのプレートの積層面を合わせることにより、例えば、ベースプレート１４における逃がし溝３３ａ、３３ｂ、圧力室１６、他端流路１６ｂ、絞り部１６ｄ、空気逃がし孔３６ｄ等の凹所以外の平坦な凸面に接着剤３９を転写することができる。接着剤３９を塗布したローラ面に前記プレートの積層面を押し当てて転写するようにしても良い。
【００２６】
次いで、位置決め孔１０５にピンを差し込み、最下層のリードフレーム１００ｄと最上層のリードフレーム１００ａとに挟持力または押圧力を作用させて接着固定するものである。
【００２７】
このようにして接着剤３９を転写した複数枚のリードフレームを押圧して、各プレート１１、１２、１３、１４の広幅面を接着固定するとき、余分の接着剤３９は前記逃がし溝３３ａ、３３ｂ、３４、３５に流れ込み、次いで、さらに余分の接着剤３９は、図８（ｂ）に示すように、空気逃がし孔３６ｄ、３３ａ、３３ｂ、３３ｃを充満させる。このとき、前記隣接するプレート１１、１２、１３、１４の合わせ面（広幅面）や接着剤３９中に紛れ込んだ空気は、気泡となって前記横方向の逃がし溝３３ａ、３３ｂ、３４、３５及び縦方向の空気逃がし孔３６ｄ、３３ａ、３３ｂ、３３ｃ中の接着剤３９と共に移動して、プレートの外に排出される。その結果、前記隣接するプレート１１、１２、１３、１４の合わせ面（広幅面）に気泡を含まない層状に形成された接着剤３９によって安定した接着兼シール層を形成することができる。
【００２８】
その後、最上層のマニホールドプレート１１の上面にて前記空気逃がし孔３６３３ｃの箇所を接着剤等のシール剤３８にて封止すると、マニホールドプレート１１の上面が平滑な広幅面であり、この面でシールすることから、確実に前記シール剤３８にて塞ぐことができる。その結果、各プレート１１、１２、１３、１４におけるインク流路としての、インク通路１２ａ、１２ｂ、連通孔１７、貫通孔１８、並びに各圧力室１６や先端流路１６ａ、他端流路１６ｂ等からキャビティプレート９の外部へのインクの漏出が確実に防止できるのである。
【００２９】
なお、液状の接着剤３９がプレート（ベースプレート１４等を含む、以下同じ）の合わせ面のような狭い隙間を通る毛細管現象では、断面積の大きい箇所よりも毛細管力が大きい、断面積の小さい箇所の方に、先に接着剤３９が引き寄せられるから、インク流路としての他端流路１６ｂから圧力室１６に連通する前記絞り部１６ｄや連通孔１７、貫通孔１８の各断面積よりも逃がし溝３３ａ、３３ｂ、３４、３５の断面積を小さくなるように設定することで、プレートの合わせ面における接着剤３９が前記各インク流路よりも先に逃がし溝３３ａ、３３ｂ、３４、３５を介して外に逃がし、インク流路が接着剤３９で塞がれるのを防止できるのである。
【００３０】
図４及び図９に示すように、前記絞り部１６ｄや連通孔１７、貫通孔１８などのインク流路から離れた箇所の逃がし溝４２、４３、４４に空気逃がし孔５２、５３、５４、５５を穿設するようにしても良い。
【００３１】
なお、これら逃がし溝３６ｃ、３６ｄ、５５の開口端は、好ましくは図１１のように封止することができる。即ち、後述するよう、完成したインクジェットプリンタヘッド６を、装置本体のヘッドホルダ１またはキャリッジ等に固定する際、ノズルプレート１０が露出する窓孔４４ａを有するカバープレート４４とマニホールド１１との間にシール剤３８を挟んで、カバープレート４４でインクジェットプリンタヘッド６を覆う。これにより、カバープレート４４の窓孔４４ａの周囲とインクジェットプリンタヘッド６との間の封止と前記空気逃がし孔３６ｃ、３６ｄ、５５の開口端の封止を同時に行う。図４のマニホールドプレート１１の溝４５は、シール剤３８のための逃がし溝である。
【００３２】
以上のようにして接着固定されたリードフレーム１００ａ〜１００ｄから連設片１０６が切断されて、一体化されたキャビティプレート９が取り外される。そのキャビティプレート９では、前記前記ベースプレート１４及びスペーサプレート１３の一端部に穿設の供給孔１９ａ，１９ｂから前記インク通路１２ａ、１２ｂ内に流入したインクは、このインク通路１２ａから前記各貫通孔１８を通って前記各圧力室１６内に分配されたのち、この各圧力室１６内から前記連通孔１７、１７、１７を通って、当該圧力室１６に対応するノズル１５に至るという構成になっている。
【００３３】
一方、前記圧電アクチュエータ２０は、図５及び図６に示すように、複数枚の圧電シート２１を積層した構造で、特開平４−３４１８５３号公報に開示されたものと同様に、１枚の厚さが３０μｍ程度の各圧電シート２１のうち最下段の圧電シートとそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シートの上面（広幅面）には、前記キャビティプレート９における各圧力室１６に対応した箇所ごとに細幅の個別電極（図示せず）が、第１の方向（長辺方向）に沿って列状に形成され、各個別電極は前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。下から偶数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、複数個の圧力室１６に対して共通のコモン電極（図示せず）が形成されており、最上段のトップシート２３の上面には、その長辺の端縁部に沿って、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極３０と、前記各コモン電極に対して電気的に接続される表面電極３１とが、設けられている（図１参照）。
【００３４】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２０における下面（圧力室１６と対面する広幅面）全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート４１を予め貼着し、次いで、前記キャビティプレート９に対して、当該圧電アクチュエータ２０が、その各個別電極を前記キャビティプレート９における各圧力室１６の各々に対応させて接着・固定される（図５、図６参照）。また、この圧電アクチュエータ２０における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極３０、３１に電気的に接合される。
【００３５】
この構成において、前記圧電アクチュエータ２０における各個別電極２４のうち任意の個別電極と、コモン電極との間に電圧を印加することにより、圧電シート２１のうち前記電圧を印加した個別電極の部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各個別電極に対応する圧力室１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる（図６参照）。
【００３６】
図１２は、発明者が、上記実施形態の先に考えたキャビティプレートの製造方法を示す。図１２（ａ）に示すように、ベースプレート１０１ｄでは、ノズルプレートにおけるノズルの数に対応する数の圧力室（図示せず）が所定の間隔で形成されており、この各圧力室の他端に連通する絞り溝１０３とその端部に連通する大径のインク流路１０２とが、板厚の半分程度に凹み形成される。また、このベースプレート１０１ｃに接着固定するスペーサプレート１０１ｃでは、前記インク流路１０２に連通すると共にその隣接する層のマニホールドプレート１０１ｂ（図１２（ｂ）参照）における共通のインクチャンバ（図示せず）に連通するインク流路としての貫通孔１０４が板厚を貫通するように穿設されている。そして、前記インク流路１０２、絞り溝１０３及び貫通孔１０４の周囲には、接着するときの余分な接着剤１０５（図１２（ｂ）参照）や空気を逃がすために、逃がし溝１０６、１０７が形成され、さらに、逃がし溝１０６、１０７の端部１０６ａ、１０７ａを各プレート１０１ｃ、１０１ｄの外周面に開放するように延長していた（図１２（ａ）及び図１２（ｂ）参照）。
【００３７】
そして、プレート１０１ｂ〜１０１ｄにおける上下に積層すべき広幅面に予め接着剤を塗布し、各ノズルとインク流路が連通するように位置決めして前記複数枚のプレート１０１ｂ〜１０１ｄを所定の上下位置関係にて位置決めし、この状態で上下のプレート１０１ｂ〜１０１ｄに挟持圧力を作用させて積層固定する。
【００３８】
このように圧着したときに、前記隣接するプレート１０１ｃ、１０１ｄ等の合わせ面（広幅面）や接着剤１０５中に紛れ込んだ空気は、気泡となって前記逃がし溝１０６、１０７中の接着剤１０５に沿って移動して、端部１０６ａ、１０７ａからプレートの外に排出される。一方、前記インク流路１０２、絞り溝１０３及び貫通孔１０４内のインクが前記逃がし溝１０６、１０７中の接着剤１０５の中の気泡の連続部を伝って外に漏れ出すという問題があるから、従来は、各プレート１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄの外周端面を別途シール材にて密閉する構成を採用した。ただし、各プレートの寸法誤差、切断等の加工誤差等から各プレート１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄの外周端面はかならずしも平滑でなく、また、横方向に凹凸となる横ずれが発生するから（図１２（ｂ）参照）、前記のシール部材によるプレートの外周端面の密閉の信頼性に欠け、インクの漏れが発生し易いという問題があった。
【００３９】
本発明は、各実施形態のように、リードフレーム等の薄板状部品であって、液体流路が所定パターンで少なくとも片面に形成された薄板状部品が少なくとも一枚あるときの複数枚の薄板状部品を積層固定するインクジェットヘッドの製造に最適なものである。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】キャビティプレートの分解斜視図である。
【図３】キャビティプレートの分解部分的拡大斜視図である。
【図４】ノズル側を上にして配置したキャビティプレートの分解斜視図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ線矢視拡大断面図である。
【図６】フレキシブルフラットケーブルとキャビティプレートと圧電アクチュエータとを接着・固定した状態の拡大断面図である。
【図７】逃がし溝、空気逃がし孔等を示す要部拡大斜視図である。
【図８】（ａ）は積層に先立つ接着剤塗布状態を示す逃がし溝、空気逃がし孔等の断面図、（ｂ）は各プレートの積層接着状態を示す断面図である。
【図９】ベースプレートの他の逃がし溝、空気逃がし孔等を示す要部拡大斜視図である。
【図１０】本案のリードフレームの積層を示す斜視図である。
【図１１】インクジェットプリンタヘッド及びヘッドホルダ等を上下逆にした状態で示す部品の斜視図である。
【図１２】他の例を示し、（ａ）は接着剤の逃がし溝の状態を示す要部拡大斜視図、（ｂ）は積層接着の状態を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
９  キャビティプレート
１０  ノズルプレート
１１、１２  マニホールドプレート
１３  スペーサプレート
１４  ベースプレート
１５  ノズル
１６  圧力室
１６ｂ  他端流路
１６ｄ  絞り部
１７  連通孔
１８  貫通孔
２０  圧電アクチュエータ
１００ａ〜１００ｄ  リードフレーム
１０２  フレーム枠
１０６  連設片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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