(57)【要約】【課題】  基板の表面に形成される金属膜の形態あるいは形状を適切化することにより、当該金属膜の剥離や欠損等の不具合を有効に回避する。【解決手段】  基板１０の表面に金属膜１２を形成した光素子用窓部品１において、金属膜１２の表面に複数の凹部１３を形成すると共に、これらの凹部１３の底面１３ｘからそれぞれ表面１２ｘに至る部位を、屈曲部を有しない滑らかな連続面で形成する。好ましくは、金属膜１２の面方向における端縁部１０ｗの表面を、終端側に移行するに連れて基板１０の表面に漸次近づかせ且つその終端で基板１２の表面に至らせる。具体的には、基板１０を、外輪郭形状が正八角形またはそれよりも辺の数が多い正多角形の窓ガラス１０で構成し、窓ガラス１０の中央部に光透過用の窓部１１を設け且つその周囲の表面に金属膜１２を形成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の表面に金属膜を形成してなる薄膜形成体において、上記金属膜の表面に複数の凹部が形成されると共に、これらの凹部の底面からそれぞれ上記金属膜の表面に至る部位が、屈曲部を有しない滑らかな連続面で形成されていることを特徴とする薄膜形成体。
【請求項２】
基板の表面に金属膜を形成してなる薄膜形成体において、上記金属膜の面方向における端縁部の表面が、終端側に移行するに連れて上記基板の表面に漸次近づき且つその終端で上記基板の表面に至っていることを特徴とする薄膜形成体。
【請求項３】
上記基板は、外輪郭形状が正八角形またはそれよりも辺の数が多い正多角形の窓ガラスからなると共に、該窓ガラスの中央部に光透過用の窓部をなす金属膜の非形成部を有し且つその周囲の表面に上記金属膜が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の薄膜形成体。
【請求項４】
スパッタ法または真空蒸着法により基板の表面に金属膜を成膜する工程を含む薄膜形成体の製造方法であって、上記基板の表面にマスキング部材を着脱可能に固定すると共に、上記マスキング部材を通過して上記基板の表面に達する材料粒子の量を部分的に異ならせることにより、表面に複数の凹部を有する金属膜を上記基板の表面に形成することを特徴とする薄膜形成体の製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載の薄膜形成体の製造方法により、中央部に光透過用の窓部をなす金属膜の非形成部を有し且つその周囲に金属膜を有してなる単位薄膜形成部を、基板の表面に縦横に規則性をもって複数形成し、この基板を、４５°ずつ相違する計４方向に沿ってそれぞれ直線上に切断することにより、上記複数の単位薄膜形成部の全てを相互に分離させることを特徴とする薄膜形成体の製造方法。
【請求項６】
請求項４または５に記載の薄膜形成体の製造方法に用いられるマスキング部材であって、基板の表面に当接する複数の当接マスク部を、それらの相互間の間隙を材料粒子が直進して上記基板の表面に到達可能となるように配列すると共に、上記相互間の間隙に、隣り合う当接マスク部を連結する複数の連結マスク部を相互に離隔させて配列し、且つ上記当接マスク部を上記基板の表面に当接させた際に上記連結マスク部と上記基板の表面との間に材料粒子を回り込ませて上記基板の表面に到達させるための隙間が形成されるように構成したことを特徴とするマスキング部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄膜形成体及びその製造方法並びにその製造に用いるマスキング部材に係り、特に、薄膜形成体における基板の表面に形成される金属膜の形態の改良技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、光通信或いは光学系システム等に使用される光半導体モジュール等の光素子部品は、パッケージ等からなる包囲体の内部に、半導体レーザダイオードやフォトダイオードなどの光素子を収納してなる。この光素子は、包囲体の壁部を介して外部との間で光信号を送受信する必要があるため、その包囲体の壁部には、光透過用孔が形成されると共に、この光透過用孔は、その内側と外側との間で光信号のやり取りを可能とする窓ガラスを備えた光素子用窓部品によって覆われる。この場合、包囲体は、光素子部品の高信頼性や高耐久性を確保することを目的として、その内部空間が密封状態（例えば真空状態）とされる。
【０００３】
従って、上記の光素子用窓部品は、包囲体の壁部に形成された光透過用孔を気密状態に封止できることが要求される。このような要請に応じるべく、下記の特許文献１、２には、窓ガラス板の中央部を円形の光透過用の窓部とし且つその周囲に金属膜を形成してなる光素子用窓部品を、包囲体の壁部における光透過用孔の周縁に半田を介して接着する技術が開示されている。詳述すると、この光素子用窓部品は、窓ガラス板の表面の中央部周囲に形成した金属膜と、パッケージ等の包囲体の光透過用孔周縁における金属製の当接面とを、金属半田を使用して気密状態に接着することにより、光透過用孔を塞ぐように構成されている。
【０００４】
尚、上記の金属膜は、窓ガラス板側から順に、窓ガラス板との付着性に優れたクロム膜やチタン膜からなる第１の膜と、金属半田成分の拡散を防止するためのパラジウム膜または白金膜もしくはニッケル膜からなる第２の膜と、金属半田との接着性に優れた金膜からなる第３の膜とによって構成される。
【０００５】
この場合、上記の光素子用窓部品を製造する工程の中には、ガラスからなる基板の表面に、フォトリソグラフィ法で金属膜をパターニングする成膜工程が存在し、この成膜工程の最終処理として、エッチング液に浸すことにより金属膜の不要部分をエッチング除去することが行なわれる（例えば、下記の特許文献３参照）。
【０００６】
【特許文献１】特許第２９９３４７２号公報
【特許文献２】特開平１０−１１２５６８号公報
【特許文献３】特開２００２−１３１５１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記のようにフォトリソグラフィ法で金属膜を基板の表面にパターニングする方法によれば、成膜工程完了後の金属膜の表面は、必然的に滑らかな平面となる。このため、上記の光素子用窓部品においては、包囲体の壁部に対する接着面が、窓ガラス板上に形成されている金属膜の表面となることから、その接着面積は、金属膜の表面における平面部の面積となる。
【０００８】
従って、このような手法では、光素子用窓部品を包囲体の壁部に半田付けする際の接着面積を、金属膜の表面における平面部の面積よりも広くするための工夫が何ら施されていないことになる。このため、小型化が要請される光半導体モジュール等の光素子部品においては、窓ガラス板を小さくすることによりその配設スペースをできる限り狭くした上で、包囲体の壁部に対する窓ガラス板の接着面積を充分に広くすることが困難となる。そして、これに起因して、窓ガラス板の接着強度を適度に高めるには至らず、包囲体の内部空間の気密性が阻害される等の不具合を招く。
【０００９】
しかも、フォトリソグラフィ法の成膜工程の最終段階で、金属膜の不要部分をエッチング除去する際には、エッチング液の濃度や室温の変化に応じてエッチング速度にバラツキが生じるため、このエッチング液の濃度やエッチング時間が正確に設定されていなければ、所謂オーバーエッチングが生じる。このオーバーエッチングは、マスクの面方向中央部側に向かって進行するものであるから、金属膜の成膜面積が設定値よりも狭くなる。更に、このオーバーエッチングは、図１０に示すように、金属膜２０の窓ガラス板２１に近接する部位を過度に侵食することから、金属膜２０の面方向における端縁部２０ａは、窓ガラス板２１の表面から遠ざかるに連れて金属膜非形成部２１ａ側への張り出し寸法が大きくなるような傾斜を有することになる。加えて、金属膜２０の端縁部２０ａでは、半田との接着性の低い第１の膜２０ａａ及び第２の膜２０ａｂが露出した状態となる。これらが原因となって、金属膜が半田や窓ガラス板から剥離し易くなり、包囲体の内部空間の気密性阻害を招く等の不具合が生じる。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、基板の表面に形成される金属膜の形態あるいは形状を適切化することにより、当該金属膜の剥離や欠損等の不具合を有効に回避することを技術的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記技術的課題を解決するためになされた本発明は、基板の表面に金属膜を形成してなる薄膜形成体において、上記金属膜の表面に複数の凹部が形成されると共に、これらの凹部の底面からそれぞれ上記表面に至る部位が、屈曲部を有しない滑らかな連続面で形成されていることを特徴とするものである。この場合、基板としては、ガラス、セラミック、ガラスセラミック等からなるものを挙げることができる。
【００１２】
このような構成によれば、薄膜形成体の基板の表面に形成された金属膜の表面に複数の凹部が形成されていることから、従来のように金属膜の表面が単なる平面である場合と比較して、金属膜の表面積が広くなる。従って、薄膜形成体が例えば既述の光素子用窓部品のように、その金属膜の表面が半田による接着面となる場合においては、複数の凹部が金属膜の表面に形成されていることにより、その接着面積が効果的に広くなる。これにより、被接着面（例えば既述のパッケージ等のような包囲体の壁部の金属面）に対する薄膜形成体の接着強度を高めることができると共に、薄膜形成体を小型にしても充分な接着面積ひいては充分な接着強度を確保することができ、薄膜形成体を使用した部品（例えば光素子部品）の小型化に寄与することが可能となる。しかも、金属膜の表面部分においては、複数の凹部の各底面からそれぞれ表面に至る部位が、屈曲部を有しない滑らかな連続面で形成されているため、欠損等が生じ難くなると共に、金属膜の表面から各凹部の底面に至る全領域が金属半田等を介して被接着面に気密性を阻害されることなく良好に接着され得ることになる。
【００１３】
また、上記技術的課題を解決するためになされた本発明は、基板の表面に金属膜を形成してなる薄膜形成体において、上記金属膜の面方向における端縁部の表面が、終端側に移行するに連れて上記基板の表面に漸次近づき且つその終端で上記基板の表面に至っていることを特徴とするものである。
【００１４】
このような構成によれば、金属膜の面方向における端縁部は、基板の表面に近づくに連れて面積が漸増して張り出すことになり、従来のフォトリソグラフィ法を採用して金属膜を形成した場合のような所謂オーバーエッチングによる基板の表面近傍における不当な金属膜の侵食が生じなくなる。しかも、金属膜が、例えば、基板側から順に、基板との付着性に優れた第１の膜と、半田成分の拡散を防止するための第２の膜と、半田との付着性に優れた第３の膜とを有している場合であっても、その金属膜の端縁部では、第１の膜が第２の膜により覆われ且つ第２の膜が第３の膜により覆われることから、半田との接着性の低い第１、第２の膜が露出しなくなる。これらに伴なって、金属膜の成膜面積が設定値よりも狭くなるという不具合が回避されるばかりでなく、金属膜が半田や基板から剥離し難くなるという利点も享受できる。
【００１５】
上記の構成において、基板は、外輪郭形状が正八角形またはそれよりも辺の数が多い正多角形の窓ガラスからなると共に、該窓ガラスの中央部に光透過用の窓部をなす金属膜の非形成部を有し且つその周囲の表面に金属膜を形成することが好ましい。尚、窓ガラスは、硼珪酸ガラスもしくは無アルカリガラスでなることが好ましい。
【００１６】
このようにすれば、薄膜形成体が、既述の光素子用窓部品として有効利用される。そして、この窓ガラスの外輪郭形状が、正八角形またはそれよりも辺の数が多い正多角形とされていることから、例えば従来（上記の特許文献１、２に開示された技術）のような正六角形の窓ガラスと比較して、両者の外接円を同一径とすれば、接着面積をより広く、つまり包囲体の壁部の光透過用孔周縁に対する窓ガラスの接着面積をより広く確保できることになる。また、両者の接着面積を同一とした場合には、正六角形の窓ガラスよりも、外接円の径を小さくできることから、その配設スペースを狭小にして、包囲体の小型化ひいては光素子部品の小型化に寄与することも可能となる。しかも、正多角形であることから、丸形、或いは正多角形でない多角形と比較して、加工性が極度に悪化することもない。従って、窓ガラスの外輪郭形状としては、多角形の中でも、適度に良好な加工性を維持した上で優れた接着強度を有し或いは小型化に役立ち得る最適な多角形が選択されていることになる。尚、加工性に着目すれば、窓ガラスの外輪郭形状は、辺の数が偶数の正多角形であることが好ましく、更にこれに代えてまたはこれと共に、正八角形よりも辺の数が多く且つ正十六角形よりも辺の数が少ない正多角形であることがより好ましい。
【００１７】
上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係る方法は、スパッタ法または真空蒸着法により基板の表面に金属膜を成膜する工程を含む薄膜形成体の製造方法であって、上記基板の表面にマスキング部材を着脱可能に固定すると共に、上記マスキング部材を通過して上記基板の表面に達する材料粒子の量を部分的に異ならせることにより、表面に複数の凹部を有する金属膜を上記基板の表面に形成することを特徴とするものである。
【００１８】
このような構成によれば、従来のフォトリソグラフィ法に代えて、マスキング部材を使用したスパッタ法または真空蒸着法により基板の表面に金属膜が形成されることから、所謂オーバーエッチングにより基板の表面近傍に不当な金属膜の侵食部分が生じたり、或いは半田との接着性の低い膜が露出するという不具合が回避され、これに伴なう既述の利点を享受することが可能となる。しかも、マスキング部材を通過して基板の表面に達する材料粒子の量を部分的に異ならせることにより、換言すれば一部分に達する材料粒子の量を他の部分よりも相対的に少量とすることにより、表面に複数の凹部を有する金属膜を基板の表面に形成するようにしたから、金属膜の表面が単なる平面である場合と比較して、金属膜の表面積が広くなり、これに伴なう既述の種々の利点を享受することが可能となる。
【００１９】
上記の製造方法を採用して、中央部に光透過用の窓部をなす金属膜の非形成部を有し且つその周囲に金属膜を有してなる単位薄膜形成部を、基板の表面に縦横に規則性をもって複数形成し、この基板を、４５°ずつ相違する計４方向に沿ってそれぞれ直線上に切断することにより、上記複数の単位薄膜形成部の全てを相互に分離させることが好ましい。
【００２０】
このようにすれば、優れた形態あるいは形状を有する金属膜が基板（窓ガラス）の表面に形成された既述の正多角形を呈する光素子用窓部品を、簡易に且つ短時間で効率良く製造することが可能となる。
【００２１】
また、上記技術的課題を解決するためになされた本発明に係るマスキング部材は、上記の製造方法に用いられるものであって、基板の表面に当接する複数の当接マスク部を、それらの相互間の間隙を材料粒子が直進して上記基板の表面に到達可能となるように配列すると共に、上記相互間の間隙に、隣り合う当接マスク部を連結する複数の連結マスク部を相互に離隔させて配列し、且つ上記当接マスク部を上記基板の表面に当接させた際に上記連結マスク部と上記基板の表面との間に材料粒子を回り込ませて上記基板の表面に到達させるための隙間が形成されるように構成したことを特徴とするものである。
【００２２】
このような構成によれば、マスキング部材の複数の当接マスク部によって、材料粒子が基板の表面に達することを阻止されて、基板の表面に金属膜非形成部が形成されると共に、隣り合う当接マスク部の相互間の間隙を通じて材料粒子が基板の表面に直進して達することによって、基板の表面に金属膜が形成される。そして、この相互間の間隙には、隣り合う当接マスク部を連結する連結マスク部が形成されているが、材料粒子は、この連結マスク部の存在により直進して基板の表面に達することを阻止されるものの、基板の表面と連結マスク部との間の隙間に回り込んで基板の表面に達することができる。そして、このように隙間を回り込んで基板の表面に達する材料粒子の単位面積当たりの量は、直進して基板の表面に達する材料粒子の単位当たりの量よりも少量であるため、金属膜の表面における連結マスク部に対応する部位には凹部が形成される。この結果、基板上には、複数の凹部を有する金属膜が形成される。しかも、金属膜の端縁部には、フォトリソグラフィ法を採用した場合のようなオーバーエッチングに起因する侵食部分が形成されることがなく、また半田との接着性の低い膜が露出することもない。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように本発明に係る薄膜形成体によれば、基板の表面に形成された金属膜の表面に複数の凹部が形成されていることから、従来のように金属膜の表面が単なる平面である場合と比較して、金属膜の表面積が広くなり、これにより光素子用窓部品のようにその金属膜の表面が接着面となる場合においては、その接着面積が効果的に広くなる。従って、被接着面に対する薄膜形成体の接着強度を高めることができると共に、薄膜形成体を小型にしても充分な接着面積ひいては充分な接着強度を確保することができ、薄膜形成体を使用した部品の小型化に寄与することが可能となる。しかも、金属膜の表面部分においては、複数の凹部の各底面からそれぞれ表面に至る部位が、屈曲部を有しない滑らかな連続面で形成されているため、欠損等が生じ難くなると共に、金属膜の表面から各凹部の底面に至る全領域を金属半田等を介して被接着面に気密性を阻害されることなく良好に接着することが可能となる。
【００２４】
また、本発明に係る薄膜形成体の製造方法によれば、マスキング部材を使用したスパッタ法または真空蒸着法により基板の表面に金属膜が形成されることから、所謂オーバーエッチングにより基板の表面近傍に不当な金属膜の侵食部分が生じたり、半田との接着性の低い膜が露出されるという不具合が回避される。更に、マスキング部材を通過して基板の表面に達する材料粒子の量を部分的に異ならせることにより表面に複数の凹部を有する金属膜を基板の表面に形成するようにしたから、金属膜の表面積を広くするための手法が簡素化されると共に、その製造に使用する装置や器具の小型化並びに工程の簡略化による低コスト化を図ることが可能となる。
【００２５】
更に、本発明に係るマスキング部材によれば、隣接する当接マスク部の相互間における隙間の存在によって基板の表面に金属膜が形成され、且つ隣接する当接マスク部を連結する連結マスク部の存在によってその金属膜の表面に複数の凹部が形成されるため、マスキング部材の簡単な改良によって金属膜の表面積を有効に広くすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を添付図面を参照して説明する。
【００２７】
図１は、本発明の実施形態に係る薄膜形成体（光素子用窓部品）１が装着されてなる半導体レーザーダイオードモジュール（光素子部品）２の概略構成を示す縦断側面図である。同図に示すように、この光素子部品２は、レーザーチップ（光素子）３を収納するパッケージからなる包囲体４を備え、その内部空間は真空状態とされている。包囲体４の一壁部４ａには、円形の光透過用孔５が形成されると共に、その一壁部４ａの内面には、光透過用孔５を塞ぐ光素子用窓部品１が金属半田を用いて気密接着されている。そして、この実施形態では、レーザーチップ３から発せられた光が、包囲体４の内部空間に収納された球状レンズ６、上記の光素子用窓部品１、及び包囲体４の外部の光通路に配設された球状レンズ７を介して、フェルール８内の光ファイバ９に送られる構成とされている。
【００２８】
上記光素子用窓部品１は、図２に示すように、外輪郭形状が正八角形の板状体からなる窓ガラス１０を有し、この窓ガラス１０の中央部には、円形をなす光透過用の窓部１１が形成されると共に、この窓部１１の周囲における表面側には、複数層の金属膜１２が形成されている。そして、この金属膜１２の表面には、周方向に等間隔で且つ放射状に延びる複数本の溝状の凹部１３が形成されている。図３及び図４に示すように、これらの凹部１３の底面１３ｘは、凹部１３を横切る方向においてそれぞれ湾曲し、且つこれらの底面１３ｘから表面１２ｘにそれぞれ連なる部位１２ｙも、凹部１３を横切る方向において湾曲しており、従ってこれらの凹部１３の底面１３ｘから表面１２ｘに至る部位は、屈曲部を有することなく滑らかに連続している。この場合、窓ガラス１０の外輪郭に外接する外接円の直径をＬ1とし、円形をなす窓部１１の直径をＬ2とした場合に、この両者の比率Ｌ2／Ｌ1は、０．１〜０．９、好ましくは０．３〜０．８とされている（図２参照）。尚、この実施形態では、上記外接円の直径Ｌ1が、２．０〜３．５ｍｍ程度とされ、窓部１１の直径Ｌ2が、０．６〜２．８ｍｍ程度とされている。
【００２９】
上記光素子用窓部品１について詳述すると、図３に示すように、窓ガラス１０の表裏両面（表面のみでもよい）の全域には、反射防止膜１４が形成されている。この反射防止膜１４は、窓ガラス１０の表裏両面にそれぞれ直接成膜されたタンタル酸化物膜（Ｔａ2Ｏ5）またはニオブ酸化物膜（Ｎｂ2Ｏ5）と、このタンタル酸化物膜上またはニオブ酸化物膜上に成膜されたシリカ膜（ＳｉＯ2）とから構成されている。この場合、必要ならば、シリカ膜上に更にタンタル酸化物膜またはニオブ酸化物膜を成膜し且つその上にシリカ膜を形成するようにしてもよい。
【００３０】
また、上記の金属膜１２は、光透過性を有する円形の窓部１１の周囲において、反射防止膜１４（シリカ膜）上に形成されたクロム膜（またはチタン膜）からなる第１の膜１２ａと、この第１の膜１２ａ上に形成されたパラジウム膜（または白金膜もしくはニッケル膜）からなる第２の膜１２ｂと、この第２の膜１２ｂ上に形成された金膜からなる第３の膜１２ｃとを有している。この場合、第１の膜１２ａは、窓ガラス１０との付着性に優れると共に、第２の膜１２ｂは、半田成分の拡散防止の役目を果たし、また第３の膜１２ｃは、半田との付着性に優れている。そして、上記の反射防止膜１４は、表面が凹部を有しない平面状の膜であるのに対して、第１、第２及び第３の膜１２ａ、１２ｂ、１２ｃは、それぞれ周方向に等間隔で且つ放射状に延びる複数本の凹部を有していることから、金属膜１２の表面には、既に述べたように、複数本の凹部１３が形成されている。
【００３１】
更に、図４に示すように、金属膜１２の面方向における端縁部１２ｗの表面は、終端側に移行するに連れて窓ガラス１０の表面に漸次近づき且つその終端で窓ガラス１０の表面（反射防止膜１４）に至っている。また、金属膜１２の端縁部１２ｗにおいては、第１の膜１２ａが第２の膜１２ｂにより全域または略全域が覆われ且つ第２の膜１２ｂが第３の膜１２ｃにより全域または略全域が覆われている。したがって、半田との接着性の低い第１、第２の膜１２ａ、１２ｂは、露出していない状態または殆ど露出していない状態となっている。尚、金属膜１２の膜厚（端縁部１２ｗを除く領域の膜厚）は、反射防止膜１４が０．５μｍ程度、第１の膜１２ａが０．１μｍ程度、第２の膜１２ｂが０．７μｍ程度、第３の膜１２ｃが０．３μｍ程度とされている。
【００３２】
以上のような構成を備えた光素子用窓部品１は、図５に示すように、包囲体４の一壁部４ａの内面（金属面）における光透過用孔５の周縁部に、金属半田を用いて接着されている（金属半田については図示略）。詳述すると、窓ガラス１０の窓部１１の周囲に形成されている金属膜１２が、包囲体４の一壁部４ａの内面に、Ａｕ−Ｓｎ半田を用いて気密接着され、これにより光透過用孔５が光素子用窓部品１によって完全閉鎖された状態となっている。この場合、金属膜１２の表面には、複数本の凹部１３が形成されていることから、その表面積が単なる平面よりも広くなっている。従って、包囲体４の一壁部４ａに対する金属膜１２の接着面積、つまり金属膜１２とＡｕ−Ｓｎ半田との接着面積が広くなり、その接着強度が高められている。
【００３３】
次に、上記の光素子用窓部品１の製造方法及びこれに使用するマスキング部材について説明する。
【００３４】
図６は、マスキング部材１５の一部を示す平面図、図７は、その要部拡大図である。これらの図に示すように、マスキング部材１５は、縦方向に直線上に延びる複数本の縦枠材１５ａと、これらに直交する横方向に直線上に延びる複数本の横枠材１５ｂとが交差連結されることにより、複数箇所に正方形状枠部１５ｘが形成されている。更に、このマスキング部材１５は、縦枠材１５ａ及び横枠材１５ｂに４５°の傾斜角度をもって相反する２方向に延びる第１傾斜枠材１５ｃと第２傾斜枠材１５ｄとが交差連結され、且つこれらの傾斜枠材１５ｃ、１５ｄが上記正方形状枠部１５ｘの４角部周辺と交差連結されることにより、複数箇所に正八角形状枠部１５ｙが形成されている。そして、これらの正八角形状枠部１５ｙの内側に、それぞれ全周に所定の間隙を介在させた状態で円形の覆設体１５ｅが配設され、この覆設体１５ｅの外周部と、正八角形状枠部１５ｙの各角部との間が、相互に離隔し且つ放射状に延びる複数本の連結体１５ｆによって連結されている。
【００３５】
この場合、図８に示すように、マスキング部材１５を一枚のガラス基板１６の表面にセット（着脱自在に固定）した状態の下では、上記正八角形状枠部１５ｙを構成する枠材を含む全ての枠材１５ａ〜１５ｄと、全ての円形の覆設体１５ｅとが、ガラス基板１６の表面に当接する当接マスク部となるのに対して、全ての連結体１５ｆつまり全ての連結マスク部と、ガラス基板１６の表面との間には、隙間１７が形成される。この隙間１７は、その高さ方向寸法ｔ１が、連結体１５ｆの厚みの２倍以上とされている。詳述すると、このマスキング部材１５は、全ての枠材１５ａ〜１５ｄの表面と、全ての覆設体１５ｅの表面と、全ての連結体１５ｆの表面とが、同一平面となるように形成された上で、連結体１５ｆの厚みのみが、他の部位の共通した厚みｔ２の１／２未満（好ましくは１／３未満）となるように形成されている。尚、このマスキング部材１５は、ステンレス鋼（例えばＳＵＳ４３０）で形成され、その大きさは、縦方向が５０ｍｍ〜１５０ｍｍで且つ横方向が５０ｍｍ〜１５０ｍｍとされている。また、上記の厚みｔ２は、０．１ｍｍ〜２．０ｍｍとされている。
【００３６】
このような構成のマスキング部材１５をガラス基板１６の表面にセットして、スパッタ法または真空蒸着法により成膜を行なう場合には、材料粒子は、各枠材１５ａ〜１５ｄ、覆設体１５ｅ、及び連結体１５ｆの相互間の間隙を通過することにより、ガラス基板１６の表面（この時点では、ガラス基板１６の表裏両面に、スパッタ法または真空蒸着法により既述の反射防止膜１４が形成されている）に達する。その場合に、マスキング部材１５の正八角形状枠部１５ｙと円形の覆設体１５ｅとの間の間隙には、複数本の連結体１５ｆが配設されているため、各連結体１５ｆの両側部近傍を通過した材料粒子は、各連結体１５ｆの裏側の隙間１７に回り込んでガラス基板１６の表面に達するのに対して、各連結体１５ｆの相互間における周方向中央部の周辺を通過した材料粒子は、直進してガラス基板１６の表面に達する。
【００３７】
従って、マスキング部材１５の正八角形状枠部１５ｙと覆設体１５ｅとの間の間隙に対応するガラス基板１６の表面部分には、材料粒子が直進して到達する部位と、材料粒子が回り込んで到達する部位とが存在することになる。そして、材料粒子が回り込んで到達する部位は、直進して到達する部位に比して、材料粒子の到達量が相対的に少なくなり、これにより、ガラス基板１６の表面には、各連結体１５ｆ及びその両側部近傍に対応する部位に、既述の図２及び図３に示すような凹部１３を有する金属膜１２が形成される。また、マスキング部材１５を使用してスパッタ法または真空蒸着法により金属膜１２が形成されることから、既述の図４に示すように、金属膜１２の各端縁部１２ｗの表面は、終端側に移行するに連れて窓ガラス１０の表面に漸次近づく傾斜状を呈してる。
【００３８】
この結果、図９に示すように、ガラス基板１６には、縦横に規則的に複数の正八角形状の単位薄膜形成部１８が形成される。詳述すると、各単位薄膜形成部１８は、ガラス基板１６におけるマスキング部材１５の正八角形状枠部１５ｙの内側領域に対応する部位に、覆設体１５ｅの形状に対応する円形の窓部１１を中央部に有し且つその周囲の表面に金属膜１２（同図に狭ピッチの平行斜線を付した部位）が形成されることにより構成されている。このような単位薄膜形成部１８を複数有する一枚のガラス基板１６は、４５°ずつ相違する４方向に沿って、具体的には、複数箇所で矢印ａ方向に一挙に、複数箇所で矢印ｂ方向に一挙に、複数箇所で矢印ｃ方向に一挙に、複数箇所で矢印ｄ方向に一挙に、それぞれ切断加工される。これにより、計４回の切断加工を行なうだけで、図２及び図３に示す光素子用窓部品１が多数製作される。
【００３９】
尚、上記実施形態では、ガラスからなる基板の表面に金属膜を形成する場合に本発明を適用したが、この基板は、セラミックまたはガラスセラミックであってもよい。
【００４０】
また、上記実施形態は、半導体レーザーダイオードモジュールに装着される光素子用窓部品１に本発明を適用したが、これ以外の光半導体モジュールその他の光素子部品についても、同様に本発明を適用することが可能であるばかりでなく、例えば太陽電池パネルやデフォーカス板等の薄膜形成体についても、同様に本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施形態に係る薄膜形成体（光素子用窓部品）が装着された光素子部品を示す概略縦断面図である。
【図２】本発明の実施形態に係る薄膜形成体（光素子用窓部品）を示す平面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る薄膜形成体（光素子用窓部品）を示す縦断面図であって、図２のＡ−Ａ線にしたがって切断した断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る薄膜形成体（光素子用窓部品）を示す要部拡大縦断面図である。
【図５】本発明の実施形態に係る薄膜形成体（光素子用窓部品）が光素子部品に装着された状態を示す要部拡大概略横断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る薄膜形成体（光素子用窓部品）の製造に使用されるマスキング部材を示す要部概略平面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る薄膜形成体（光素子用窓部品）の製造に使用されるマスキング部材を示す要部拡大平面図である。
【図８】本発明の実施形態に係る薄膜形成体（光素子用窓部品）の製造途中の状態を示す要部縦断正面図であって、図６のＢ−Ｂ線にしたがって切断した断面図に対応する図である。
【図９】本発明の実施形態に係る薄膜形成体（光素子用窓部品）の製造途中の状態を示す要部概略平面図である。
【図１０】従来例を示す縦断正面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１  薄膜形成体（光素子用窓部品）
１０  基板（窓ガラス）
１１  窓部
１２  金属膜
１２ａ  第１の膜
１２ｂ  第２の膜
１２ｃ  第３の膜
１２ｗ  金属膜の面方向における端縁部
１２ｘ  金属膜の表面
１３  凹部
１３ｘ  凹部の底面
１５  マスキング部材
１５ａ  縦枠材（当接マスク部）
１５ｂ  横枠材（当接マスク部）
１５ｃ  第１傾斜枠材（当接マスク部）
１５ｄ  第２傾斜枠材（当接マスク部）
１５ｅ  円形の覆設体（当接マスク部）
１５ｆ  連結枠材（連結マスク部）
１６  基板（ガラス基板）
１７  材料粒子を回り込ませる隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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