(57)【要約】 【構成】  コンベヤ６，７を備えた保管部４をクリーンルームの天井で支持し、保管部４と接続したリフタ１４，１６で床側との間で入出庫する。リフタ１４，１６は保管部４に着脱自在で、キャスター車輪２６により移動可能である。【効果】  床面積の占有を最小にして、人がアクセスできるストッカを提供できる。【選択図】    図１
2005280929.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
保管部を備えたストッカにおいて、
前記保管部を建屋の天井側に設けると共に、前記保管部と床側に設けた入出庫口との間で物品を搬送する移載装置を設けたことを特徴とする、ストッカ。
【請求項２】
前記保管部がコンベヤからなり、前記移載装置がリフタであることを特徴とする、請求項１のストッカ。
【請求項３】
前記コンベヤを周回コンベヤとすると共に、前記移載装置とコンベヤとの間で物品を一時保管するバッファを設けたことを特徴とする、請求項２のストッカ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はクリーンルームなどで物品を一時的に保管するためのストッカに関し、特に床占有面積を最小にしたストッカに関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルームでは、自動倉庫などの保管設備を設けて工程内や工程間の物品保管用バッファとすることが行われている。しかしながら自動倉庫のような大がかりな保管設備ではなく、小形で簡便なストッカをクリーンルーム内に配置し、しかも人がアクセスできるようにしたいとの要求がある。そしてこのような場合、クリーンルームの通路などが設置スペースとなるので、人との干渉を最小にする必要がある。特許文献１は天井走行車の走行レールからストッカを吊持し、天井走行車用のバッファとすることを開示しているが、人がアクセスできるストッカとすることは開示していない。
【特許文献１】特許第３０６７６８２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題はクリーンルームの床面積を僅かしか占めず、しかも人などが容易にアクセスできるストッカを提供することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、ストッカの設置を容易にすると共に、ストッカの周囲の設備の設置や撤去などを容易にすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、ストッカ内の物品をランダムに出庫できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、保管部を備えたストッカにおいて、保管部を建屋の天井側に設けると共に、保管部と床側に設けた入出庫口との間で物品を搬送する移載装置を設けたことを特徴とする。入出庫口は移載装置の一部とすることが好ましいが、これとは別体でも良い。ストッカの設置位置は例えばクリーンルームの通路内とする。入出庫口へアクセスするのは例えば人とするが、これ以外に無人搬送車や処理装置自体などもアクセスできるようにしても良い。
【０００５】
好ましくは、前記保管部がコンベヤからなり、前記移載装置がリフタである。
【０００６】
また好ましくは、コンベヤを周回コンベヤとすると共に、移載装置とコンベヤとの間で物品を一時保管するバッファを設ける。
【発明の効果】
【０００７】
この発明では、保管部から移載装置を介して床側で物品の入出庫ができるので、人などが簡単にストッカにアクセスできる。ストッカが床面を占有するのは、移載装置の断面積の程度で、床占有面積を最小にできる。また保管部の底面を床面から充分に高くできるので、半導体や液晶などの処理設備の出し入れやメンテナンスなどの妨げになりにくい。
【０００８】
保管部をコンベヤで構成すると、保管部内での物品の搬送をコンベヤで行うことができ、また移載装置をリフタとすると移載装置の構成を簡単にできる。
【０００９】
コンベヤを周回コンベヤとすると、任意の物品をランダムに出庫できるので、空の半導体キャリヤの保管などの用途のみでなく、仕掛品の入ったキャリヤの保管などに用途を拡大できる。そして移載装置と周回コンベヤとの間にバッファを設けるので、出庫のサイクルタイムを短縮できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図３に、各実施例を示す。図１，図２に最初の実施例を示すと、２はストッカで、４は保管部で、ローラコンベヤなどのコンベヤ６，７を上下一対に備えている。コンベヤ６，７は例えば搬送方向が固定でしかも同じ向きであるが、搬送方向を逆転自在にしたり、コンベヤ６とコンベヤ７とで搬送方向を逆にしたりしても良い。８はクリーンルームの天井で、天井８の任意の位置で荷重を支持できるわけではないので、天井８に荷重支持用のレール１０を設けて、吊りボルト１２などにより保管部４の重量を支持する。１４は入庫リフタ、１６は出庫リフタで、共に移載装置の例であり、入庫リフタ１４には入庫バッファ１８を設け、出庫リフタ１６には出庫バッファ１９を設け、２０はリフタ１４，１６内の昇降台である。そしてバッファ１８，１９及び昇降台２０は、ローラコンベヤなどのコンベヤ２２を備えている。
【００１２】
リフタ１４，１６はキャスター車輪２６などにより移動自在で、設置時には脚２８によりクリーンルームの床面などに固定する。またキーによる嵌合などを利用した着脱部材２４により、リフタ１４，１６を保管部４に対して着脱自在に固定し、昇降台２０とコンベヤ６，７の間で物品の受け渡しができるようにする。保管部４の底面の高さＨは、半導体や液晶などの処理設備の出し入れが可能な高さとする。そして保管部４に設けるコンベヤ６，７の段数は、その底面の下部を通って処理設備などの出し入れができるように定める。保管部４の底面の高さＨは人や無人搬送車などに対して十分に高いので、この部分では床面積を占有しないものと考えることができる。ストッカ２が床面積を占有する幅は、リフタ１４，１６とバッファ１８，１９の合計の幅であり、最小の床占有面積でストッカ２を設置することができる。実施例では図１の奥行き方向にコンベヤ６，７を各１台分ずつ設置するようにしたが、奥行き方向にコンベヤ６，７をそれぞれ平行に複数ずつ配置しても良い。
【００１３】
図２に、クリーンルーム３０内でのストッカ２の配置を示す。ＥＱ１〜ＥＱ６は半導体や液晶などの処理設備で、３２は通路で、その床面にリフタ１４，１６を設置し、保管部４は通路３２の天井の部分に取り付ける。３４は天井走行車の走行レールで、３６は天井走行車である。人や無人搬送車などは、常時は走行レール３４の下部を利用して移動すれば良く、保管部４の下側を自由に通行できるので、通路の左右を横断する際の邪魔にはならない。また処理設備ＥＱ１〜ＥＱ６の設置や撤去などの際には、例えばリフタ１４，１６を保管部４から取り外してキャスター車輪で移動させると良い。
【００１４】
ストッカ２の使用では、例えば入庫バッファ１８に人や無人搬送車などから物品２９を載置し、入庫リフタ１４を介して保管部４のコンベヤ６，７のいずれかに物品を搬入して保管する。出庫時には出庫リフタ１６により出庫バッファ１９まで物品２９を搬出し、人や無人搬送車などで搬送する。なお入庫リフタと出庫リフタとを兼用にして、１つの保管部４に対して、１つのリフタとしても良い。ストッカ２は物品２９をランダムに出庫することができないものの、天井付近の空きスペースに保管部４を設け、小さな床占有面積で設置できる。そこで半導体などの空きキャリヤを保管するのに適している。例えば複数のキャリヤ分の半導体をバッチで一括して処理するのに適した処理設備の場合、１バッチ分の空きキャリヤをストッカ２で保管し、処理が終了すると１バッチ分の空きキャリヤをストッカ２から取り出して半導体を収容すればよい。
【００１５】
図３に、保管物品をランダムに出庫できるストッカ４２を示す。なお図３のストッカ４２は特に指摘した点以外は、図１，図２のストッカと同様にすればよい。４４は周回コンベヤで、ベルトコンベヤやローラコンベヤなどを用い、上下１段としても、図１，図２のように上下２段としてもよい。実施例では周回コンベヤ４４にローラコンベヤを用い、その４隅に転換コンベヤ４６を設けて方向転換自在にする。また周回コンベヤ４４からなる保管部は図１と同様に、レール１０によりクリーンルームの天井で支持する。
【００１６】
図３の実施例では周回コンベヤ４４の入出庫能力を増すため、入庫リフタ１４と出庫リフタ１６とを各々複数設け、リフタ１４，１６と周回コンベヤ４４との間に、物品の一時保持用のバッファ４８を設けて、スカラアーム５０あるいはスライドフォークやローラコンベヤなどの移載手段を設置し、周回コンベヤ４４とリフタ１４の昇降台との間で物品を移載できるようにする。さらにリフタ１４，１６の入庫バッファや出庫バッファは、例えば鉛直方向でバッファ４８と重なる位置に設ける。このようにすると、出庫時には昇降台の到着を待たずに、周回コンベヤ４４からバッファ４８へ物品を出庫できる。また入庫時には周回コンベヤ４４の停止を待たずに、入庫リフタ１４からバッファ４８へ物品を入庫できる。そして周回コンベヤ４４上の任意の物品を出庫できるので、処理装置間や工程間での物品の一時保管を行うことができる。 
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】実施例のストッカの正面図
【図２】クリーンルーム内での図１のストッカの配置を示す平面図
【図３】第２の実施例のストッカの平面図
【符号の説明】
【００１８】
２          ストッカ
４          保管部
６，７      コンベヤ
８          クリーンルームの天井
１０        レール
１２        吊りボルト
１４        入庫リフタ
１６        出庫リフタ
１８        入庫バッファ
１９        出庫バッファ
２０        昇降台
２２        コンベヤ
２４        着脱部材
２６        キャスター車輪
２８        脚
２９        物品
３０        クリーンルーム
３２        通路
３４        走行レール
３６        天井走行車
４２        ストッカ
４４        周回コンベヤ
４６        転換コンベヤ
４８        バッファ
５０        スカラアーム    
【図１】
2005280929.tif 000003
【図２】
2005280929.tif 000004
【図３】
2005280929.tif 000005