(57)【要約】【課題】パイロット弁に混入したゴミを種類別に捕獲可能であるとともにこの捕獲したゴミをパイロット弁の内部に残すこと無く取り出すことを可能とする。【解決手段】  給気圧力室（２２ａ）側の管路（３５ａ）に連通する導入孔（４２０１）を有する中空の外側ホルダー（４２）と、該外側ホルダー（４２）内に、前記外側ホルダー（４２）の内周との間にわずかに空隙を残しつつ挿装された中空の第１フィルター（４４）と、該フィルター（４４）の反外側ホルダー（４２）側端部に配設した第２フィルター（４５）と、前記外側ホルダー（４２）に連結された、ノズル背圧室（２８）側の管路（３５ｂ）に連通する導入孔（４３０１）を有するとともに、該導入孔（４３０１）に連通した絞り孔（４６０１）を有する固定絞り（４６）が内部に挿装された内側ホルダー（４３）と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ポジショナーのパイロット弁において、給気圧力室（２２ａ）とノズル背圧室（２８）を連通する管路（３５）の任意の箇所に装架される固定絞り装置（４１）であって、
給気圧力室（２２ａ）側の管路（３５ａ）に連通する導入孔（４２０１）を有する中空の外側ホルダー（４２）と、
該外側ホルダー（４２）内に、前記外側ホルダー（４２）の内周との間にわずかに空隙を残しつつ挿装された中空の第１フィルター（４４）と、
該第１フィルター（４４）の反外側ホルダー（４２）側端部に配設した第２フィルター（４５）と、
前記外側ホルダー（４２）に連結された、ノズル背圧室（２８）側の管路（３５ｂ）に連通する導入孔（４３０１）を有するとともに、前記導入孔（４３０１）に連通した絞り孔（４６０１）を有する固定絞り（４６）が内部に挿装された内側ホルダー（４３）と、を備えたことを特徴とするポジショナーのパイロット弁に用いる固定絞り装置。
【請求項２】
少なくとも前記内側ホルダー（４３）の外径寸法を、パイロット弁（２１）における前記固定絞り装置（４１）が装架される部分の内径よりもわずかに大きめの寸法に形成するとともに、先端側をわずかに中心側に傾斜させたテーパー状に形成し、これにより、パイロット弁（２１）における前記固定絞り装置（４１）が装架される部分に嵌入可能としたことを特徴とする請求項１に記載のポジショナーのパイロット弁に用いる固定絞り装置。
【請求項３】
前記第１フィルター（４４）は、前記外側ホルダー（４２）側端部に、長手方向に向いた複数本の捕獲手段（４４０１）を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のポジショナーのパイロット弁に用いる固定絞り装置。
【請求項４】
前記第１フィルター（４４）は、その内部に、放射状の捕獲手段（４４０３）を備えた略筒状の内部フィルター（４４０２）が装架されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のポジショナーのパイロット弁に用いる固定絞り装置。
【請求項５】
前記第２フィルター（４５）を、メッシュ状の金網、又は焼結合金等により形成したことを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載のポジショナーのパイロット弁に用いる固定絞り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポジショナーのパイロット弁に用いる固定絞り装置に係り、より詳しくは、パイロット弁内に混入したゴミを種類別に捕獲可能であるとともに、この捕獲したゴミをパイロット弁の内部に残すこと無く取り除くことを可能としたポジショナーのパイロット弁に用いる固定絞り装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、バルブ駆動制御、プロセスオートメーション、その他一般産業用機器の駆動制御に際してポジショナーが用いられており、このポジショナーを調整弁に取り付けることにより、弁の駆動制御を可能としている。
【０００３】
ここで、この従来から用いられているポジショナー装置について図面を参照して説明すると、図５は従来から用いられている電空式の複動型ポジショナー装置の一例の構成を示す図であり、図において２点鎖線で示した部分がポジショナー１である。また、６１は駆動部であり、この駆動部６１は、シリンダー６６を備えるとともに、シリンダー６６内にはピストン６３が移動自在に挿入され、ピストン６３には、先端部がシリンダー６６の外部に延長されたステム６４が連結され、このステム６４にバルブが連結される。
【０００４】
そして、ポジショナー１は、ピストン６３により前記シリンダー６６内に形成した一次側駆動部圧力室６２ａと二次側駆動部圧力室６２ｂ内のエアー圧力を調整することでステム６４を可動させるとともに、このステム６４の動きを制御することにより、ステム６４に連結されたバルブの駆動制御を行う作用を有し、具体的には、駆動部６１にエアーを供給するためのパイロット弁２１と、このパイロット弁２１を作動させるための入力部２と、前記ステム６４の動きを制御するための駆動制御機構５１から構成されている。
【０００５】
即ち、入力部２のコイル４に信号電流が印加されると、ヨーク５を流れる磁力によって、アーマチュア８が、支点板バネ９を中心に、フラッパー１０がノズル１１の先端部の閉塞を解除する方向、図における矢印Ａ方向に動く。そして、アーマチュア８の動きによってフラッパー１０はノズル１１の先端から引き離され、これによりノズル１１よりエアーが放出されるとともに、ノズル１１が連結された、パイロット弁２１におけるノズル背圧室２８の圧力が低下し、パイロット弁２１において、ノズル背圧室２８と供給空気圧力室２９とのエアー圧力のバランスがくずれる。
【０００６】
そしてそれにより、ノズル背圧室２８と供給空気圧力室２９とを仕切っているダイヤフラム３０がノズル背圧室２８側に移動するとともに、このダイヤフラム３０に支持されているスプール３１は給気圧力室の一方２２ａ側に移動する。
【０００７】
そうすると、スプール３１は、その移動に伴って弁体の一方２７ａを押し上げて、それにともなって、給気弁座の一方２６ａが開口になるとともにスプール３１の排気路３１０１における一方の開口（図５における上側）が閉止され、排気路３１０１の他方（図５における下側）は開口となる。そして、エアー供給管３３を介して給気圧力室の一方２２ａに供給された供給エアーは、出力圧力室の一方２３ａ、導通管の一方３４ａを通って駆動部圧力室の一方６２ａへ供給されるとともに、駆動部圧力室の他方２２ｂ内のエアーは導通管の他方３２ｂ、出力圧力室の他方２３ｂおよびスプール３１の排気路３１０１を介して、排気口３１０２より、大気に連通した大気室３２内に排出される。そしてこれにより、ステム６４を駆動部６１の外側に押し出して、即ちステム６４は矢印Ｂ方向に動き、ステム６４の先端に連結されるバルブを駆動させることができる。
【０００８】
次に、ステム６４の移動に伴って、フィードバックレバー５２，５３を介してカム５４が時計回り方向（矢印Ｃ方向）へ回転するとともに、このカム５４の回転によって、レンジ調整アーム５５は、支点を中心として反時計回り方向（矢印Ｄ方向）へ回転する。そして、レンジ調整アーム５５が反時計回り方向へ回転することによって、ゼロ調整アーム５７が、支点を中心として時計回りに回転し（矢印Ｅ方向）、これにより、フィードバックスプリング５９が上に引き上げられるとともに（矢印Ｆ方向）、フラッパーアーム１２を上に引き上げ、フィードバックスプリング５９の張力とコイル４の吸引力が平衡した時点で、フラッパー１０がノズル１１の先端部を閉塞するように近づいていく。
【０００９】
そうすると、ノズル１１より放出されるエアーが減少するとともにノズル背圧室２８の圧力が上がり、ノズル背圧室２８と供給空気圧力室２９とのエアー圧力のバランスが初期の状態に近づき、これによりノズル背圧室２８と供給空気圧力室２９とを仕切っているダイヤフラム３０が供給空気圧力室２９側に移動するとともに、このダイヤフラム３０に支持されているスプール３１が初期の位置に近づいていく。そしてそれにより、給気圧力室の一方２３ａにおいては、給気弁２７０１ａが給気弁座２６ａを閉止する方向に動き、給気圧力室の他方２２ｂ側においては、スプール３１の排気路３１０１の開口が閉止していく。
【００１０】
そしてこれにより、駆動部圧力室の一方６２ａへ供給されるエアー量が減少していくとともに、駆動部圧力室の他方６２ｂ内から排出されるエアー量も減少していきステム６４の移動が停止していく。即ち、ステム６４は、フィードバックスプリング５９の張力とコイル４の吸引力が平衡するまで動き、これにより入力信号電流に比例したステム６４の変化が得られる。
【００１１】
なお、図５に示すポジショナーは従来から用いられている一般的な構成であるために、その構成等の詳細な説明は省略する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところで、前述したように、ポジショナー１では、給気圧力室２２ａとノズル背圧室２８とを連通してノズル背圧室２８内にエアーを供給するとともに、ノズル背圧室２８内のエアーを入力部２のノズル１１より放出することでノズル背圧室２８の圧力を低下させ、これによりノズル背圧室２８と供給空気圧力室２９とのエアー圧力のバランスを変化させてスプール３１を移動させるが、このとき、ノズル背圧室２８と給気圧力室の一方２２ａとの間に固定絞り装置７１を介在させ、これによりノズル背圧室２８へ供給するエアー量を絞っている。
【００１３】
そして、従来の固定絞り装置７１では、ノズル背圧室２８に供給するエアー量を絞るための固定絞り７４と、この固定絞り７４を通過するエアーに混入するゴムを捕獲するための、金網、焼結フィルター等のフィルター７３とを有し、フィルター７３によりゴミの捕獲を行いつつ、固定絞り７４によりエアー量を絞っていた（なお、図５において７５はシール用のＯリングである。）。
【００１４】
しかしながら、従来の固定絞り装置７１では、すべてのゴミをフィルター７３で捕獲する構造としていたために、大きなゴミ、粘性のある異物、カーボン状の微細なゴミが混濁した状態となり、フィルター７３がすぐに目詰まりをしまうという問題点があった。
【００１５】
また、従来の固定絞り装置７１では、パイロット弁２１の外部側にホルダー７２が挿装されているとともに、フィルター７３、固定絞り７４を別々にパイロット弁に装架していたために、固定絞り７４、フィルター７３を取り出すことが容易で無いとともに、これらを取り外す際に、フィルターで捕獲したゴミがパイロット弁の内部に残ってしまい回収することができず、そのために、ゴミの回収を行う場合にはパイロット弁２１自体を交換しなければならなかった。
【００１６】
そしてこのとき、パイロット弁２１自体を交換して対応するために、フィルターで捕獲したゴミの種類を確認することができず、従って、有効なゴミの除去策を採ることができないとともに、その一方で、ポジショナーで制御するバルブの中には、簡単に停止することができないプラントに用いているものもあるために、ゴミの問題は重大な問題となっていた。
【００１７】
また、例えばゴミ焼却プラントでは、周辺の環境が悪くコンプレッサー内にゴミが混入していることが多く、この場合には、パイロット弁を交換した場合でもエアー供給路がかなり汚染されている場合が多いので、交換したパイロット弁の寿命は新品よりも短命になることが多いが、従来のパイロット弁ではフィルターで捕獲したゴミの種類を容易に確認することができないために、このような問題を解決することができなかった。
【００１８】
そこで、本発明は、パイロット弁に混入したゴミを種類別に捕獲可能であるとともに、この捕獲したゴミをパイロット弁の内部に残すこと無く取り出すことを可能としたポジショナーのパイロット弁に用いる固定絞り装置を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明のポジショナーのパイロット弁に用いる固定絞り装置（以下単に「固定絞り装置」という。）は、ポジショナーのパイロット弁において、給気圧力室とノズル背圧室を連通する管路の任意の箇所に装架される固定絞り装置であって、給気圧力室側の管路に連通する導入孔を有する中空の外側ホルダーと、該外側ホルダー内に、前記外側ホルダーの内周との間にわずかに空隙を残しつつ挿装された中空の第１フィルターと、該第１フィルターの反外側ホルダー側端部に配設した、メッシュ状の金網または焼結合金により形成した第２フィルターと、前記外側ホルダーに連結された、ノズル背圧室側の管路に連通する導入孔を有するとともに、該導入孔に連通した絞り孔を有する固定絞りが内部に挿装された内側ホルダーと、を備えたことを特徴としている。
【００２０】
また、本発明の固定絞り装置は、少なくとも前記内側ホルダーの外径寸法を、パイロット弁における前記固定絞り装置が装架される部分の内径よりもわずかに大きめの寸法に形成するとともに、先端側をわずかに中心側に傾斜させたテーパー状に形成し、これにより、パイロット弁における前記固定絞り装置が装架される部分に嵌入可能としたことを特徴としている。
【００２１】
更に、本発明の固定絞り装置は、前記第１フィルターにおける前記外側ホルダー側の端部に、長手方向に向いた複数本の捕獲手段を備えたことを特徴としている。
【００２２】
更にまた、本発明の固定絞り装置は、前記第１フィルターの内部に、放射状の捕獲手段を備えた略筒状の内部フィルターを挿架したことを特徴としている。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の固定絞り装置では、まず、第１フィルターの外側ホルダー側に形成した捕獲手段により大きめのゴミを捕獲し、次に、第１フィルター内部に装架した内部フィルターによりグリース状の粘性物質を捕獲し、更に、第１フィルターの反外側ホルダー側端部に配設した第２フィルターにより、カーボン状の細かいゴミを捕獲することができ、効率よくゴミを捕獲することができるので、フィルターが目詰まりを起こすまでの期間を延ばすことが可能となり、メンテナンスが容易となった。
【００２４】
また、本発明の固定絞り装置では、外側ホルダーと内側ホルダーとを連結して一体化するとともに、この一体化した中に、フィルター及び固定絞りを挿装したために、固定絞り装置を取り出すことによりフィルターで捕獲したゴミをすべて取り出すことができ、それによりゴミの種類等を把握することができ、ゴミによる事故の未然防止等が可能となった。
【００２５】
更に、本発明の固定絞り装置では、固定絞り装置を構成する外側ホルダー、第１フィルター、第２フィルター及び固定絞りは分離可能であるために、汚れ具合によってそれぞれの分割交換が可能である。
【００２６】
更にまた、本発明の固定絞り装置において、内側ホルダーの外径寸法を、パイロット弁における前記固定絞り装置が装架される部分の内径よりもわずかに大きめの寸法に形成するとともに、先端側をわずかに中心側に傾斜させたテーパー状に形成して、パイロット弁における前記固定絞り装置が装架される部分に嵌入可能にしたため、固定絞り装置をパイロット弁から取り外す際に、内側ホルダーによってポジショナー内部のゴミを掻き落としながら外部に押し出すことができ、汚染ゴミをパイロット弁の内部に残さないようにすることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本発明の本発明の固定絞り装置では、給気圧力室側の管路に連通する導入孔を有する中空の外側ホルダーの内部に、外側ホルダーの内周との間にわずかに空隙を残しつつ、中空の第１フィルターが挿装されている。
【００２８】
そして、第１フィルターは、外側ホルダー側の端部に、長手方向に向いた複数本の捕獲手段を備えているとともに、その内部に、放射状の捕獲手段を備えた略筒状の内部フィルターが装架され、反外側ホルダー側端部には、メッシュ状の金網又は焼結合金等により形成した第２フィルターが配設されている。
【００２９】
また、前記外側ホルダーには内側ホルダーが連結されており、この内側ホルダーは、ノズル背圧室側の管路に連通する導入孔を有するとともに、その内部には、導入孔に連通した絞り孔を有する固定絞りが内部に挿装されている。
【００３０】
そして、内側ホルダーの外径寸法を、パイロット弁における前記固定絞り装置が装架される部分の内径よりもわずかに大きめの寸法に形成するとともに、先端側をわずかに中心側に傾斜させたテーパー状に形成し、これにより、パイロット弁における前記固定絞り装置が装架される部分に嵌入可能としている。
【実施例１】
【００３１】
本発明の固定絞り装置の実施例について説明すると、図１は、本実施例の固定絞り装置の構造を説明するための断面図であり、また図３は本実施例の固定絞り装置の分解図であり、図１において４１が本実施例の固定絞り装置である。
【００３２】
そして、本実施例の固定絞り装置４１は、外側ホルダー４２とこの外側ホルダー４２に連結される内側ホルダー４３により筐体が形成され、パイロット弁の給気圧力室２２ａとノズル背圧室２８を連通する管路３５の任意の箇所に介在される。
【００３３】
そして、外側ホルダー４２は、中空状であるとともに内側ホルダー４３との連結側を開口としており、更に、その側壁の任意の箇所には、内部に連通した導入孔４２０１を有し、この導入孔４２０１は、給気圧力室２２ａ側に連通した管路３５ａが連通される。
【００３４】
次に、前記外側ホルダー４２の内部には第１フィルター４４が装架されており、この第１フィルターにより大きめのゴミ、及びグリース状の粘性のゴミを捕獲可能としている。
【００３５】
即ち、図３において４４が第１フィルターであり、本実施例において前記第１フィルター４４は、中空の略筒形状としており、その外径寸法は、これを前記外側ホルダー４２内に装架した際に、前記外側ホルダー４２の内周との間にわずかに空隙を残すことが可能な寸法としている。
【００３６】
また、第１フィルター４４は、図３からも明らかなように、前記外側ホルダー４２側の端部には、外側ホルダー４２側に向けて延出させた複数本の捕獲手段４４０１を備えており、反外側ホルダー４２側の端部には、メッシュ状の金網、または焼結合金等により形成した第２フィルター４５が配設されている。
【００３７】
更に、本実施例における前記第１フィルター４４は、その内部に内部フィルター４４０２が装架されている。即ち、図４は前記第１フィルター４４の底面図であり、本実施例における前記内部フィルター４４０２は、略筒状としており、放射状の捕捉手段４４０３により第１フィルター４４の内壁に連結されている。
【００３８】
次に、前記内側ホルダー４３について説明すると、本実施例において内側ホルダー４３は、前記外側ホルダー４２に連結可能なキャップ状としており、先端部には、ノズル背圧室２８に連通した管路３５ｂが連通される導入孔４３０１が形成され、この導入孔４３０１は内側ホルダー４３の内部に連通している。
【００３９】
ここで、前記内側ホルダー４３の外径寸法を、パイロット弁２１における前記固定絞り装置４１が装架される部分の内径よりもわずかに大きめの寸法に形成するとともに、先端側を、中心側に傾斜するようにわずかにテーパー状に形成し、これにより、パイロット弁２１における前記固定絞り装置４１が装架される部分に嵌入可能にするとよい。そうすると、本実施例の固定絞り装置１をパイロット弁２１から取り外す際に、内側ホルダー４３によってパイロット弁２１内部のゴミを掻き落としながら外部に押し出すことができるために、汚染ゴミをパイロット弁２１の内部に残さないようにすることが可能となる。
【００４０】
次に、前記内側ホルダー４３の内部には、前記内側ホルダー４３の導入孔４３０１と連通する絞り孔４６０１が貫通された固定絞り４６が挿装され、これにより、ノズル背圧室２８へ供給されるエアー量を絞ることを可能としている。
【００４１】
なお、本実施例において前記固定絞り４６は、全体を扁平な円柱形状とし、前記絞り孔４６０１は０．２〜０．４ｍｍ径としており、また、ジルコニアを素材としたセラミック製とし、これにより静電気を除去可能としている。また、図１において４７はシール用のＯリングである。
【００４２】
次に、このように構成される本実施例の固定絞り装置４１の作用について説明すると、図２は、本実施例の固定絞り装置４１を装備したパイロット弁２１であり、図２において、エアー供給管３３を介して給気圧力室の一方２２ａにエアーが供給されると、このエアーは、給気圧力室２２ａ側の管路３５ａを介して固定絞り装置４１に供給され、その後、ノズル背圧室２８側の管路３５ｂを通ってノズル背圧室２８内に供給される。
【００４３】
即ち、管路３５ａよりのエアーはまず、外側ホルダー４２に形成された導入孔４２０１から固定絞り装置４１内に供給された後に、図１において点線で示すように、第１フィルター４４と外側ホルダー４２の内周間の空隙を通って第１フィルター４４における外側ホルダー側端部に導入されつつ、第１フィルター４４内を通って第２フィルター４５を通過する。そして、その後、固定絞り４６の絞り孔４６０１及び内側ホルダー４３の導入孔４３０１を通過して、ノズル背圧室２８側の管路３５ｂを通ってノズル背圧室２８内に供給される。
【００４４】
そして、その過程において、エアー供給管３３から供給されたエアー内にゴミが混入していた場合、まず、大きめのゴミは、第１フィルター４４における外側ホルダー４２側の端部に形成した捕獲手段４４０１を通過する際に捕獲手段４４０１により捕獲される。
【００４５】
また、グリース状の粘性物質は、第１フィルター４４内に装架した内部フィルター４４０２を通過する際に、内部フィルター４４０２及び内部フィルター４４０２と外側ホルダー４２を連結している捕獲手段４４０３により捕獲され、更に、カーボン状の微細なゴミは、第２フィルター４５を通過する際に、メッシュ状の金網または焼結合金等により形成した第２フィルターにより捕獲される。
【００４６】
従って、本実施例の固定絞り装置４１では、第１フィルター４４における捕獲手段４４０１、内部フィルター４４０２、及び第２フィルター４５によってそれぞれ、種類の異なるゴミを捕獲可能であり、そのために、効率よくゴミを捕獲することができ、フィルターが目詰まりを遅くまでの期間を延ばすことが可能となり、ポジショナーのメンテナンスが容易となった。
【００４７】
また、本発明の固定絞り装置４１では、外側ホルダー４２とこの外側ホルダー４２に連結される内側ホルダー４３により固定絞り装置の筐体を形成するとともに、この筐体内に前記第１フィルター４４、第２フィルター４５を内蔵したために、固定絞り装置４１を取り出すことによりフィルターで捕獲したゴミをすべて取り出すことができ、それによりゴミの種類等を把握することができ、ゴミによる事故の未然防止等が可能となった。
【００４８】
更に、本発明の固定絞り装置４１では、固定絞り装置４１を構成する外側ホルダー、第１フィルター４４、第２フィルター４５及び固定絞り４６は分離可能であるために、汚れ具合によって分割交換が可能である。
【００４９】
更にまた、内側ホルダー４３の外径寸法を、パイロット弁２１における前記固定絞り装置４１が装架される部分の内径よりもわずかに大きめの寸法に形成するとともに、先端側をわずかに中心側に傾斜させたテーパー状に形成して、これによりパイロット弁２１における前記固定絞り装置が装架される部分に嵌入可能とすることにより、固定絞り装置４１をパイロット弁２１から取り外す際に、内側ホルダー４３によってポジショナー２１の内部のゴミを掻き落としながら外部に押し出すことができるために、汚染ゴミをパイロット弁２１の内部に残さないようにすることが可能である。
【００５０】
なお、図２において、パイロット弁２１の作用は前述した従来のポジショナーのパイロット弁と同様であるために、その説明は省略した。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明の固定絞り装置は、ポジショナーのパイロット弁における給気圧力室とノズル背圧室を連通する管路に介在され、ノズル背圧室に供給されるエアーに混入したゴミを種類別に除去可能としたものであり、複動型、単動型のいずれのポジショナーにも適用可能であり、更に、電空式ポジショナーのみならず、空空式ポジショナーにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の固定絞り装置の実施例を説明するための断面図である。
【図２】本発明の固定絞り装置の実施例を挿装したパイロット弁の構成を示す図である。
【図３】本発明の固定絞り装置の実施例を説明するための分解図である。
【図４】本発明の固定絞り装置の実施例における内部フィルターを説明するための図である。
【図５】従来の固定絞り装置を説明するための図である。
【符号の説明】
【００５３】
１    ポジショナー
２    入力部
４    コイル
５    ヨーク
８    アーマチュア
９    支点板バネ
１０    フラッパー
１１    ノズル
１２    フラッパーアーム
１３    ノズル背圧導入管
１４    スタビライザースプリング
１５    アーム
２１    パイロット弁
２２ａ、２２ｂ    給気圧力室
２３ａ、２３ｂ    出力圧力室
２４ａ、２４ｂ    給気口
２５ａ、２５ｂ    出力口
２６ａ、２６ｂ    給気弁座
２７ａ、２７ｂ    弁体
２７０１ａ、２７０１ｂ    給気弁
２７０２ａ、２７０２ｂ    排気弁
２８    ノズル背圧室
２９    供給空気圧力室
３０    ダイヤフラム
３１    スプール
３２    大気室
３３    エアー供給管
３４ａ、３４ｂ    導通管
３５ａ、３５ｂ    管路
４１    固定絞り装置
４２    外側ホルダー
４２０１    導入孔
４３    内側ホルダー
４３０１    導入孔
４４    第１フィルター
４４０１    捕獲手段
４４０２    内部フィルター
４４０３    捕獲手段
４５    第２フィルター
４６    固定絞り
４６０１    絞り孔
４７    Ｏリング
５１    駆動制御機構
５２、５３    フィードバックレバー
５４    カム
５５    レンジ調整アーム
５６    ベアリング軸
５７    ゼロ調整アーム
５８    ゼロ調整ネジ
５９    フィードバックスプリング
６１    駆動部
６２ａ、６２ｂ    駆動部圧力室
６３    ピストン
６４    ステム
【図１】
2005233198.tif 000003
【図２】
2005233198.tif 000004
【図３】
2005233198.tif 000005
【図４】
2005233198.tif 000006
【図５】
2005233198.tif 000007