(57)【要約】【課題】  継ぎ目の無い画像を露光することのできる露光装置を提供すること。【解決手段】  図５（Ａ）に示すように２列で露光する場合には、露光用コンピュータ６８は、第１ライン露光器６４の光ビームＬの振り角と、第２ライン露光器６６の光ビームＬの振り角とを同じに設定する。このとき、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６共に、露光用コンピュータ６８から入力する画像信号は同じもので良い。また、図５（Ｂ）に示すように３列で露光する場合には、露光用コンピュータ６８は、第１ライン露光器６４のＬの振り角を、第２ライン露光器６６の光ビームＬの振り角４よりも大きくし、第１ライン露光器６４は２列分の露光を行い、第２ライン露光器６６は１列分の露光を行うようにする。【選択図】        図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状の感光材料を長手方向に搬送する搬送手段と、
前記感光材料の搬送経路の幅方向に沿って配置され、画像データに基づいて前記感光材料の幅方向にライン状に光ビームを照射するように走査露光を行う複数のライン露光器と、
前記複数のライン露光器を制御する制御装置と、
を備え、
前記感光材料の幅方向に複数個の画像を露光する際に、前記ライン露光器が整数個の画像を露光するように前記制御手段は前記ライン露光器を制御する、ことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記ライン露光器は、複数本の光ビームを照射する、ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記搬送手段は、前記感光材料をガイドするガイド面から気体を噴出して、前記感光材料を非接触でガイドする非接触感光材料ガイドを有する、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置に関し、特に、長尺状の感光材料を搬送しながらライン状に光ビームを照射して露光を行う露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
長尺状の感光材料（例えば、ＴＡＢテープ、ＣＯＦテープ等）を搬送しながらライン状に光ビームを照射して露光を行う露光装置がある。
【０００３】
露光装置は、搬送される感光材料の幅方向に光ビームをライン状に主走査し、感光材料の搬送により副走査を行っている。
【０００４】
ところで、感光材料の幅が狭い場合には、一つのライン露光器を用いているが、幅が広い感光材料を露光する場合、一つのライン露光器では走査範囲が不足する場合がある。
【０００５】
このような場合、従来では、図１０に示すように、露光器１００，１０２を感光材料１０４の幅方向（矢印Ｗ方向。なお矢印Ｓ方向は感光材料の搬送方向。）に２個並べていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、図１０（Ａ）に示すように、感光材料１０４に２列の画像Ｐを露光する場合、一方の露光器１００で１列の画像Ｐを露光し、他方の露光器１０２で他の１列の画像Ｐを露光する場合は問題ないが、図１０（Ｂ）に示すように、３列の画像Ｐを露光する場合、中央の列の画像Ｐでは、片側半分が一方の露光器１００で、もう片側半分が他方の露光器１０２で露光されることになり、画像中央部分で継ぎ目１０６（一方の露光器による画像（半分）と、他方の露光器による画像（半分）とのズレ）が出来易く、継ぎ目をなくす為のビームの制御や光学系の調整が難しかった。
【０００７】
以上のことから本発明は、感光材料に継ぎ目の無い画像を露光することのできる露光装置を提供することが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の露光装置は、長尺状の感光材料を長手方向に搬送する搬送手段と、前記感光材料の搬送経路の幅方向に沿って配置され、画像データに基づいて前記感光材料の幅方向にライン状に光ビームを照射するように走査露光を行う複数のライン露光器と、前記複数のライン露光器を制御する制御装置と、を備え、前記感光材料の幅方向に複数個の画像を露光する際に、前記ライン露光器が整数個の画像を露光するように前記制御手段は前記ライン露光器を制御する、ことを特徴としている。
【０００９】
次に、請求項１に記載の露光装置の作用を説明する。
【００１０】
請求項１に記載の露光装置では、長尺状の感光材料が搬送手段によって長手方向に搬送される。
【００１１】
ライン露光器は、画像データに基づいて感光材料の幅方向にライン状に光ビームを照射する。
【００１２】
ライン露光器により主走査が行われ、感光材料の搬送で副走査が行われ、これによって感光材料に画像を露光することができる（感光材料に潜像が形成される）。
【００１３】
ここで、感光材料に対し、幅方向に複数の画像を露光する場合、制御装置は、ライン露光器が整数個（１，２，３…ｎ個）の画像を露光するようにライン露光器を制御する。
【００１４】
したがって、一つの画像を２つ以上のライン露光器で露光することが無いので、一方のライン露光器の光ビームと他方のライン露光器の光ビームとの継ぎ目を考慮する必要がなく、継ぎ目の無い画像を容易に露光することができる。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の露光装置において、前記ライン露光器は、複数本の光ビームを照射する、ことを特徴としている。
【００１６】
次に、請求項２に記載の露光装置の作用を説明する。
【００１７】
請求項２に記載の露光装置では、複数本の光ビームを照射するので、露光時間を短縮可能となる。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の露光装置において、前記搬送手段は、前記感光材料をガイドするガイド面から気体を噴出して、前記感光材料を非接触でガイドする非接触感光材料ガイドを有する、ことを特徴としている。
【００１９】
次に、請求項３に記載の露光装置の作用を説明する。
【００２０】
請求項３に記載の露光装置では、搬送手段の非接触感光材料ガイドが、ガイド面から気体を噴出して、テープを非接触でガイドするため、感光材料の搬送時の抵抗を少なくすることが出来る。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したように、本発明の露光装置によれば、継ぎ目の無い画像を露光することができる、という優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
［第１の実施形態］
以下、図１乃至図７を参照して本発明の露光装置の適用された露光検査装置１０を説明する。
【００２３】
図１に示すように、本実施形態の露光検査１０は、大別して露光装置１１と検査装置１３とから構成されており、露光装置１１と検査装置１３とが一体化しているが、露光装置１１と検査装置１３とは別体としても良い。
（露光装置）
図２に示すように、露光装置１１は、巻き出しユニット１２を備えている。
【００２４】
巻き出しユニット１２は、多数のパッケージパターンを繰り返し露光するための未露光のテープ（ＴＡＢテープ、ＣＯＦテープ等）１６とスペーサテープ１８とを共に巻き取ってロール状に形成したロール２０を保持する巻き出し側リール軸２２、テープ１６と共に引き出されたスペーサテープ１８を巻き取って保持する巻き出し側スペーサ軸２４を備えている。
【００２５】
ロール２０の送出し側には、テープ１６の搬送方向を変更するガイド２６が配置されている。
【００２６】
ガイド２６のテープ搬送方向下流側には、テープ１６の搬送経路を形成するショートダンサー３４、第１の送りローラ３６、第１の押えローラ３８、第２の押えローラ４０、第２の送りローラ４２、ロングダンサー４４、ガイド４６、現像装置４７が順に配置されている。
【００２７】
第１の送りローラ３６と第２の送りローラ４２とは間隔をあけて水平に配置されており、第１の送りローラ３６と第２の送りローラ４２との間には、テーブル５６が配置されている。
【００２８】
図３に示すように、テーブル５６は上面がガイド面５６Ａとされ、上方に向けて凸状に湾曲している。
【００２９】
ガイド面５６Ａの頂部は、第１の送りローラ３６の上端と第２の送りローラ４２の上端とを結ぶ仮想面よりも上方に位置している。
【００３０】
テーブル５６は中空構造とされ、内部には、配管５８を介してコンプレッサー６０からの圧縮空気が供給されるようになっている。
【００３１】
テーブル５６には、内部空間とガイド面５６Ａとを連通する細孔６２がテープ搬送方向及びテープ幅方向に多数形成されており、細孔６２からはガイド面５６Ａ外側へ向けて空気が噴出し、テープ１６とガイド面５６Ａとの間に薄い空気層を形成する。
【００３２】
なお、第１の押えローラ３８、及び第２の押えローラ４０は、それぞれ自由回転する従動ローラであり、テープ１６の上面に当接してテープ１６の上方への移動を制限する。
【００３３】
テーブル５６の中央上方には、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６が配置されている。
【００３４】
図４、及び図５に示すように、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６は、光ビームをテープ１６の幅方向に主走査し、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６は、テープ幅方向に一直線状に配置されている。
【００３５】
第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６は、レーザー光源等から出射された光ビームを、ポリゴンミラー等で走査する光走査装置であり、構造としては一般的なものである。
【００３６】
なお、テープ１６が一定速度で搬送されることで副走査が行われる。
【００３７】
本実施形態では、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６は、それぞれ７０ｍｍ幅の走査範囲を有しており、テープ中央部分で走査範囲がオーバーラップしている。
【００３８】
また、テープ１６には、パーフォレーション１６Ａが形成されている。
【００３９】
図２に示すように、テープ１６は、第１の送りローラ３６と第２の送りローラ４２とに掛け渡され、第１の送りローラ３６と第２の送りローラ４２が回転することで一方向に一定の速度で送られ、テーブル５６上を通過する際にテープ上に回路パターンが露光される。
【００４０】
なお、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６は、露光用コンピュータ６８（図１参照。）によって制御されている。
【００４１】
図３に示すように、テーブル５６の上方には、ガイド面５６Ａからのテープ１６の浮上量を計測するためのレーザー距離計７６が配置されている。
【００４２】
このレーザー距離計７６は、テープ１６を露光させないように、赤外線ビームが出射される。なお、赤外線ビームの照射位置は、画像形成領域以外が好ましい。
【００４３】
図２に示すように、第１の送りローラ３６は第１のサーボモータ７２で回転され、第２の送りローラ４２は第２のサーボモータ７４で回転される。
【００４４】
第１のサーボモータ７２、第２のサーボモータ７４、及びレーザー距離計７６は、コンピュータ７８に接続されており、テープ１６の浮上量を一定とするように第１のサーボモータ７２、及び第２のサーボモータ７４を制御している（即ち、第１の送りローラ３６と第２の送りローラ４２との間のテープ１６のテンションを制御している。）。
【００４５】
現像装置４７は、画像（潜像）の形成されたテープ１６を現像液等で現像するための複数の処理槽４７Ａ、乾燥装置４７Ｂ、及びテープ１６を搬送する複数の搬送ローラ４７Ｃを備えている。
【００４６】
なお、図６に示すように、ガイド２６は、テープ１６の幅方向（図面表裏方向）に長い中空パイプ構造をしており、円弧状のガイド面２６Ａを有している。
【００４７】
内部には、配管８２を介してコンプレッサー６０（図６では図示せず。）からの圧縮空気が供給されるようになっている。
【００４８】
ガイド２６には、内部空間とガイド面２６Ａとを連通する細孔６２が多数形成されており、細孔６２からはガイド面２６Ａ外側へ向けて空気が噴出し、テープ１６とガイド面２６Ａとの間に空気層を形成する。
【００４９】
なお、ショートダンサー３４、ロングダンサー４４、及びガイド４６もガイド２６と同様の構造であり、テープ１６とガイド面との間に空気層を形成する。
（検査装置）
図７に示すように、検査装置１３には、テープ１６の搬送経路を形成するガイド１２６、ショートダンサー１３４、第１の送りローラ１３６、第１の押えローラ１３８、第２の押えローラ１４０、第２の送りローラ１４２、ロングダンサー１４４、ガイド１
４６、ガイド１４８、ガイド１５０、ガイド１５２、ショートダンサー１５４が順に配置されている。
（スキャナユニット）
第１の送りローラ１３６と第２の送りローラ１４２とは間隔をあけて水平に配置されており、第１の送りローラ１３６と第２の送りローラ１４２との間には、テーブル１５６が配置されている。
【００５０】
このテーブル１５６は、前述したテーブル５６と同様の構成であり、第１の押えローラ１３８、及び第２の押えローラ１４０も、前述した第１の押えローラ３８、及び第２の押えローラ４０と同様の構成である。
【００５１】
テーブル１５６の中央上方には、レンズ、及びＣＣＤラインセンサからなる画像読取部１６６が配置されている。
【００５２】
テープ１６は、第１の送りローラ１３６と第２の送りローラ１４２とに掛け渡され、第１の送りローラ１３６と第２の送りローラ１４２が回転することで一方向に一定の速度で送られ、テーブル１５６上を通過する際に上記画像読取部でテープ上に形成された回路パターンが撮影される。
【００５３】
ＣＣＤラインセンサからの画像情報は画像処理を行う第１のコンピュータ１６８に送られ、第１のコンピュータ１６８はＣＣＤラインセンサからの画像情報に基づいて画像処理を行ってパターンの欠陥を検出する。
【００５４】
なお、画像等は、モニタ１６９に表示される。
【００５５】
なお、テーブル１５６の上方には、ガイド面１５６Ａからのテープ１６の浮上量を計測するためのレーザー距離計（図示せず）が配置されている。
【００５６】
第１の送りローラ１３６は第１のサーボモータ１７２で回転され、第２の送りローラ１４２は第２のサーボモータ１７４で回転される。
【００５７】
第１のサーボモータ１７２、第２のサーボモータ１７４、及びレーザー距離計は、第２のコンピュータ１７８に接続されており、テープ１６の浮上量を一定とするように第１のサーボモータ１７２、及び第２のサーボモータ１７４を制御している（即ち、第１の送りローラ１３６と第２の送りローラ１４２との間のテープ１６のテンションを制御している。）。
【００５８】
ガイド１４８とガイド１５０の間には、欠陥有りと検知されたパッケージパターンの予め定めた位置にマーキングを施すマーキングユニット１８０が配置されている。
【００５９】
マーキングユニット１８０のテープ搬送方向下流側には、巻き取りユニット１４が配置されている。
【００６０】
巻き取りユニット１４は、ロール状に形成したスペーサテープ１１８を保持する巻き取り側スペーサ軸１２８と、スペーサテープ１１８と検査済みのテープ１６とを共に巻き取る巻き取り側リール軸１３０を備えている。
【００６１】
巻き取り側リール軸１３０のテープ巻取り側には、テープ１６の搬送方向を変更するガイド１３２が配置されている。
【００６２】
なお、ガイド１２６、ショートダンサー１３４、ロングダンサー１４４、ガイド１４６、ガイド１４８、ガイド１５０、ガイド１５２、ショートダンサー１５４、ガイド１３２も前述したガイド２６と同様の構造であり、テープ１６とガイド面との間に空気層を形成する。
（作用）
次に、本実施形態の露光検査装置１０の作用を説明する。
【００６３】
ロールから引き出された未露光のテープ１６は、第１の送りローラ３６と第２の送りローラ４２によりテーブル５６のガイド面５６Ａ上を、湾曲した状態で非接触で搬送される。
【００６４】
このとき、テープ１６は搬送方向に湾曲されるので、テープ１６の湾曲した頂部はテープ幅方向に一直線状（図の表裏方向）となる。
【００６５】
さらに、テープ１６は、ガイド面５６Ａからの浮上量が制御されているので、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６からの光ビームＬが適性に結像する。
【００６６】
本実施形態の露光検査装置１０では、テープ１６に対して、図５（Ａ）に示すように画像Ｐを２列で露光することができ、図５（Ｂ）に示すように画像Ｐを３列で露光することも出来る。
【００６７】
図（Ａ）に示すように２列で露光する場合には、露光用コンピュータ６８は、第１ライン露光器６４の光ビームＬの振り角と、第２ライン露光器６６の光ビームＬの振り角とを同じに設定する。このとき、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６共に、露光用コンピュータ６８から入力する画像信号は同じもので良い。
【００６８】
また、図５（Ｂ）に示すように３列で露光する場合には、露光用コンピュータ６８は、第１ライン露光器６４のＬの振り角を、第２ライン露光器６６の光ビームＬの振り角４よりも大きくし、第１ライン露光器６４は２列分の露光を行い、第２ライン露光器６６は１列分の露光を行うようにする。なお、この場合、露光用コンピュータ６８から入力する画像信号は、第１ライン露光器６４と第２ライン露光器６６とではそれぞれ異なり、第１ライン露光器６４には１走査当たり画像Ｐ二つ分の画像情報が入力することになり、第２ライン露光器６６には１走査当たり画像Ｐ一つ分の画像情報が入力することになる。
【００６９】
露光（潜像の形成された）済みのテープ１６は、現像装置４７にて現像処理、及び乾燥処理された後、検査装置１３に送られる。
【００７０】
第１のコンピュータ１６８は、ＣＣＤラインセンサからの画像情報に基づいて画像処理を行ってパターンの欠陥を検出し、欠陥が検出された場合にはマーキングユニット８０が欠陥のあるパターンに対応して予め決定した箇所にマーキングを行う。
［第２の実施形態］
以下、図面を参照して本発明の第２の実施形態に係る露光検査装置１０を説明する。なお、第１の実施形態と同一構成には同一符合を付し、その説明は省略する。
【００７１】
図８に示すように、本実施形態の露光検査装置１０では、第１の押えローラ３８、及び第２の押えローラ４０の代わりに、第１の押えガイド８４、及び第２の押えガイド８６を設けると共に、第３の押えガイド８８を設けたものである。
【００７２】
第１の押えガイド８４、第２の押えガイド８６、及び第３の押えガイド８８は、前述したガイド２６とは形状は異なるが、機能は同一であり、コンプレッサー６０（図８では図示せず。）から供給された空気を、湾曲したガイド面８４Ａ，８６Ａ、８８Ａに開口する細孔９０からテープ１６に向けて噴出し、テープ１６との間に空気層を設けて非接触でガイドする。
【００７３】
本実施形態では、第１の実施形態よりも更に搬送時の抵抗を低減することが可能となる。
［第３の実施形態］
以下、図面を参照して本発明の第３の実施形態に係る露光検査装置１０を説明する。なお、前述した実施形態と同一構成には同一符合を付し、その説明は省略する。
【００７４】
第１の実施形態では、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６からはそれぞれ１本のＬが出射されていたが、本実施形態では、図９に示すように、第１ライン露光器６４（図示しない第２ライン露光器６６も同様）からは搬送方向に離間した２本の光ビームＬが出射される。
【００７５】
一方、テーブル５６のガイド面５６Ａは頂部が平面状に形成され、テープ１６も平面上の頂部に対応すると部分的に平面状となる。
【００７６】
本実施形態では、ガイド面５６Ａにより平面状とされたテープ１６に対してそれぞれ２本の光ビームＬを照射するようになっている。
【００７７】
本実施形態では、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６がそれぞれ２本の光ビームＬを出射するので、搬送速度を上げて画像形成時間を短縮することが出来る。
【００７８】
なお、本実施形態では、第１ライン露光器６４、及び第２ライン露光器６６からは搬送方向に離間した２本の光ビームＬを出射したが、本発明はこれに限らず、それぞれ３本以上の複数本の光ビームＬを出射しても良い。これにより、画像形成時間を更に短縮することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】第１の実施形態に係る露光検査装置の概略構成を示す側面図である。
【図２】露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図３】画像読取部の搬送方向の拡大断面図である。
【図４】露光装置の正面図である。
【図５】（Ａ）は２列の露光を行う場合の説明図であり、（Ｂ）は３列の露光を行う場合の説明図である。
【図６】ガイドの拡大断面図である。
【図７】露光装置の概略構成を示す側面図である。
【図８】第２の実施形態に係る露光装置のテーブルの拡大断面図である。
【図９】第３の実施形態に係る露光装置のテーブル付近の斜視図である。
【図１０】（Ａ）は従来の２列の露光を行う場合の説明図であり、（Ｂ）は従来の３列の露光を行う場合の説明図である。
【符号の説明】
【００８０】
１０    露光検査装置
１６    テープ（感光材料）
２６    ガイド（非接触感光材料ガイド）
３４    ショートダンサー（非接触感光材料ガイド）
３６    第１の送りローラ（搬送手段）
３８    第１の押えローラ（搬送手段）
４０    第２の押えローラ（搬送手段）
４２    第２の送りローラ（搬送手段）
４４    ロングダンサー（非接触感光材料ガイド）
４６    ガイド（非接触感光材料ガイド）
５６    テーブル（ガイド）
６４    第１ライン露光器
６６    第２ライン露光器
６８    露光用コンピュータ（制御装置）
７２    第１のサーボモータ（搬送手段）
７４    第２のサーボモータ（搬送手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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