(57)【要約】【課題】  スチフナを含むテストボードロッキング装置を提供する。【解決手段】  本発明は半導体チップのテストのためのテストボードロッキング装置に係わり、さらに詳細には半導体チップのＥＤＳテスト工程でスチフナ上にテストボードを容易に脱付着させることができるテストボードロッキング装置に関する。本発明のテストボードロッキング装置は所定間隔に配置された複数の固定バー３１６を含むスチフナ３１０、固定バー３１６に各々対応される第１固定ホール３２４を含み、スチフナ３１０上に結合するテストボード３２０、固定バー３１６に各々対応される第２固定ホール３３２を含み、テストボード３２０をスチフナ３１０と結合する蓋部３３０とを具備する。固定バー３１６はスチフナ３１０に位置してスチフナ３１０から突き出され、各々の固定バー３１６は一方向に回転する時、スチフナ３１０に対して上昇し、他の一方向に回転するとき、スチフナ３１０に対して下降する。 【選択図】  図３
2005347736.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体テスト装備のテストヘッドに装着されるテストボードロッキング装置において、
所定間隔に配置された複数の固定バーを含むスチフナと、
前記固定バーに対応される第１固定ホールと、を含み、前記スチフナ上に結合するテストボードと、
中央に円形の空間が形成されたドーナツ形態を有し、前記固定バーに対応される第２固定ホールを含んで前記テストボードを前記スチフナと結合させる蓋部と、を具備し、
前記固定バーは前記スチフナと結合して前記スチフナから突き出されており、各々の前記固定バーが一方向に回転すれば、前記固定バーは前記スチフナから上昇し、前記固定バーが他の方向に回転すれば、前記固定バーが前記スチフナに対して下降することを特徴とするテストボードロッキング装置。
【請求項２】
前記固定バーが螺線形態として前記スチフナと結合したことを特徴とする請求項１に記載のテストボードロッキング装置。
【請求項３】
各々の前記固定バーの下部に前記スチフナに形成された雌ねじと相応する雄ねじが形成されたことを特徴とする請求項１に記載のテストボードロッキング装置。
【請求項４】
前記固定バーが上昇、または下降することによって、多様な厚さの前記テストボードを固定することを特徴とする請求項１に記載のテストボードロッキング装置。
【請求項５】
前記蓋部は前記テストボードの表面に接近するように中心部に大きなホールを有することを特徴とする請求項１に記載のテストボードロッキング装置。
【請求項６】
前記スチフナは下端部と、
前記下端部上に固定される内部リングと、を含み、
前記固定バーは前記内部リングの上端面に位置し、前記内部リングの上端面から突き出されることを特徴とする請求項１に記載のテストボードロッキング装置。
【請求項７】
前記スチフナは前記下端部上のエッジに配設されたハンドルを二つ以上具備することを特徴とする請求項６に記載のテストボードロッキング装置。
【請求項８】
前記スチフナは前記下端部の外側面に半導体テスト装備のテストヘッド装着部に形成された案内溝に挿入される複数の突出部をさらに具備することを特徴とする請求項６に記載のテストボードロッキング装置。
【請求項９】
前記固定バーはスチフナに部分的に挿入された下部バーと、前記下部バーから延長された上部バーと、前記上端バーおよび前記下端バーを連結する連結部で構成されたことを特徴とする請求項１に記載のテストボードロッキング装置。
【請求項１０】
前記連結部は前記下部バーと前記上部バーとがヒンジに連結されるようにピンで構成されたことを特徴とする請求項９に記載のテストボードロッキング装置。
【請求項１１】
前記下端バーの一部は螺線形態を有し、スチフナに形成された螺線ホールと螺合することを特徴とする請求項９に記載のテストボードロッキング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体チップのテストのためのテストボードロッキング装置に係わり、さらに詳細には半導体チップのＥＤＳ（ＥＤＳ: Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ Ｄｉｅ Ｓｏｒｔｉｎｇ）テスト工程でスチフナ（Ｓｔｉｆｆｅｎｅｒ）上にテストボードを容易に脱着させることができるテストボードロッキング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に様々な半導体工程を通じてウェーハ上に形成された半導体チップは様々な材質と形態を有するパッケージ（Ｐａｃｋａｇｅ）に組み立てて量産される。一方、ＥＤＳ工程では半導体チップがパッケージとして組み立てられる以前にチップの各パッドに電気的信号を印加することによって、半導体チップ自体の不良の有無をテストする。これはチップ状態でのテストを通じて不良の有無をあらかじめ判別することによって、不良チップのパッケージングによる不要な費用の損失を防止し、半導体チップの量産の前に工程上の欠陷に対処するためである。このために、ＥＤＳ工程では半導体チップを実装し、実装された半導体チップの各パッドにテストのための電気的信号を印加することができる金属パターンが形成されたテストボードを利用する。このようなテストボードはスチフナ上に固定され、テスト装置のテストヘッドにある装着部に装着されてテストされる。
【０００３】
図１は半導体チップのテストに使用される従来のテストボードロッキング装置の構造を示す図である。図１に示したように、従来のテストボードロッキング装置はテスト装置のヘッダに装着される装着部１００とスチフナ１１０およびテストのための半導体チップが実装されるテストボード１２０で構成される。
【０００４】
装着部１００は三つのベアリング案内溝１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃと調節バー１０４および回転ボウル１０６を具備し、スチフナ１１０は装着部１００のベアリング案内溝１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃに各々対応されるベアリング１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃと複数個の第１固定溝１１４およびハンドル１１６を具備する。そして、テストボード１２０はスチフナ１１０の第１固定溝１１４に各々対応される第２固定溝１２４を具備する。
【０００５】
以下、これら構成要素の各々の結合関係を詳細に説明すれば、スチフナ１１０は装着部１００の回転ボウル１０６の内部に固定され、この際、スチフナ１１０のベアリング部分１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃが装着部１００に形成されたベアリング案内溝１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃに挿入され、装着部１００に付着された調節バー１０４の操作によって回転ボウル１０６が回転されてスチフナ１１０が装着部１００に固定される。そして、テストボード１１０は第２固定溝１２４がスチフナ１１０上の第１固定溝１１４に各々対応されて一致するようにスチフナ１１０上に装着され、第２固定溝１２４と第１固定溝１１４を通じてねじ１２２が締結されることによって、スチフナ１１０上に固定される。
【０００６】
一方、テストしようとする半導体チップの種類に従って各々異なる金属パターンが形成されたテストボードが使われなければならない。したがって、半導体チップが入れ替えられる場合、テストボードもともに入れ替えられなければならず、上述のようなねじを利用した従来技術を利用する場合、作業者は一々手作業によってねじを外して、再び締結する過程を繰り返さなければならない。テストボードの種類によって組み立てに使用されるねじの数が相異なっているが、おおよそ７０余個のねじが使用され、これによる工程上のロスタイムが発生して全体工程効率が低下するようになる。
【０００７】
図２は、図１のようなテストボードロッキング装置でのねじ締結と解体によるロスタイムを減らすために提案された他の従来技術の図として、特許文献１に開示されている。図２に示した従来技術では、図１のようなねじ締結方式に代えて別途の固定リング２３０を用いてテストボード２２０とスチフナ２１０とをテスト装置のテストヘッドにある装着部２００上に固定させる。この際、装着部２００は三つのベアリング案内溝２０２ａ、２０２ｂ、２０２ｃと調節バー２０６および三つの第３固定溝２０４を含む回転ボウル２０８を具備する。スチフナ２１０は装着部２００のベアリング案内溝２０２ａ、２０２ｂ、２０２ｃに各々対応されるベアリング挿入溝２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃと装着部２００の第３固定溝２０４に各々対応される第４固定溝２１４と、二つの挿入突起２１５ａ、２１５ｂと、ハンドル２１６とを具備する。テストボード２２０はスチフナ２１０の各挿入突起２１５ａ、２１５ｂに対応される第１挿入突起収容溝２２５ａ、２２５ｂを具備する。そして、固定リング２３０はスチフナ２２０の各挿入突起２１５ａ、２１５ｂに対応される第２挿入突起収容溝２３５ａ、２３５ｂと装着部２００のベアリング案内溝２０２ａ、２０２ｂ、２０２ｃに各々対応されるベアリング２３４とを具備する。
【０００８】
以下、図２で構成要素の各々の結合関係を詳細に説明すれば、スチフナ２１０は装着部２００の回転ボウル２０８の内部に位置し、この際、スチフナ２１０のベアリング挿入溝２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃと第４固定溝２１４は装着部２００の回転ボウル２０８に形成されたベアリング案内溝２０２ａ、２０２ｂ、２０２ｃと第３固定溝２０４に対応するように位置し、各固定溝２０４、２１４を通じてねじ２１７を締結することによって、スチフナ２１０は装着部２００の回転ボウル２０８に固定される。テストボード２２０は第１挿入突起収容溝２２５ａ、２２５ｂがスチフナ２１０上の挿入突起２１５ａ、２１５ｂを各々収容するようにスチフナ２１０上に位置する。この際、スチフナ２１０の挿入突起２１５ａ、２１５ｂはテストボード２２０の第１挿入突起収容溝２２５ａ、２２５ｂを通過して突き出される。そして、固定リング２３０はテストボード２２０を通過して突き出されたスチフナ２１０の挿入突起２１５ａ、２１５ｂを各々収容するように第２挿入突起収容溝２３５ａ、２３５ｂが形成され、ベアリング２３４をスチフナ２１０のベアリング挿入溝２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃと回転ボウル２０８のベアリング案内溝２０２ａ、２０２ｂ、２０２ｃを通じて装着部２００と連結するように配置する。そして、回転ボウル２０８に配設された調節バー２０６を操作してスチフナ２１０を装着部２００の回転ボウル２０８の中に固定させることによって、装着部２００上にスチフナ２１０とテストボード２２０とを密着して固定する。
【０００９】
以上、図２に示したテストボードロッキング装置は図１の従来技術に比べて工程上のロスタイムを顕著に減らすことができるという長所がある。しかし、相変らず作業者が手作業によって一部ねじを締結および解体する工程が必要であり、全体の構造が複雑であるという短所がある。
【特許文献１】大韓民国公開特許２００３−０８４１８８号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明の目的は、半導体チップのテスト装置に装着されるテストボードの解体および締結操作が容易なテストボードロッキング装置を提供することにある。
【００１１】
また、本発明の他の目的は、テストボードの種類に構わらずに、テストボードをスチフナ上に密着して固定させることができるテストボードロッキング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のテストボードロッキング装置は、所定間隔に配置された複数の固定バーを含むスチフナと、固定バーに各々対応される第１固定ホールを含んでスチフナ上に結合するテストボードと、固定バーに各々対応される第２固定ホールを含んでテストボード上に結合する蓋部とを具備する。固定バーはスチフナから突き出されてスチフナと締結されており、固定バーが一方向に回転すれば、固定バーはスチフナに対して上昇し、固定バーが他の方向に再び回転すれば、固定バーはスチフナに対して下降する。
【００１３】
本発明において、固定バーは螺線形態に締結されている。また、固定バーの下端バーはスチフナに形成された雌ねじに合う雄ねじからなる。したがって、固定バーを上下に動かすことができるので、固定バーの高さの調節を通じてさまざまな厚さを有するテストボードの確実な締結が可能である。
【００１４】
蓋部はテストボードの表面が外部に露出するように中央に大きなホールを有する。
【００１５】
スチフナは下端部と下端部に固定された内部リングで構成される。固定バーは内部リングに位置している。スチフナは任意的に少なくとも二つのハンドルを下端部のエッジに有する。
【００１６】
テストボードロッキング装置は装着部をさらに含み、スチフナは下端部の外側面に数個の突出部をさらに含み、これは装着部に形成された案内溝に挿入される。
【００１７】
各々の固定バーは、スチフナに部分的に挿入された下端バーと、下端バーに連結された上端バーと、上端バーと下端バーとを連結する連結部と、からなる。一例として、連結部は下端バーと上端バーがヒンジに連結されるようにピンを含む。下端バーは螺線形態からなり、スチフナに設けられた螺線ホールと対応する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明のテストボードロッキング装置はテストボードをスチフナ上により容易に、かつ早く装着、または解体することができる。また、本発明のテストボードロッキング装置はテストボードの種類に構わらずに、テストボードをスチフナ上に密着して固定することによって、半導体チップテストの信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図３は本発明で提案する半導体チップのテストのためのテストボードロッキング装置の実施形態を示す図である。図３に示したように、本発明のテストボードロッキング装置はテスト装備のテストヘッドに含まれた装着部３００と、スチフナ３１０と、テストボード３２０と、蓋部３３０とを具備する。
【００２０】
装着部３００はテスト装備のテストヘッドに含まれ、円形の第１下端部３０１と回転ボウル３０４、複数の調節バード３０６および三つの案内溝３０２ａ、３０２ｂ、３０２ｃを具備する。回転ボウル３０４は円形の第１下端部３０１上に組み立てられ、所定角度に回転されることができる。調節バー３０６は回転ボウル３０４の外側面に一定間隔に突き出されて形成されることによって、回転ボウル３０４の回転操作を容易にする。三つの案内溝３０２ａ、３０２ｂ、３０２ｃは回転ボウル３０４の上端に一定間隔に形成され、その各々は回転ボウル３０４の内側面に形成された所定の長さのしわと連結されている。
【００２１】
スチフナ３１０は第２下端部３１２と内部リング３１３とを具備する。第２下端部３１２は装着部３００の回転ボウル３０４の内部と同一の大きさを有し、その内部に円形の空間が形成されたドーナツ形態の構造物である。そして、第２下端部３１２上のエッジにはスチフナ３１０の移動を容易にする二つのハンドル３１４ａ、３１４ｂが互いに対称される位置に付着されており、第２下端部３１２の外側面には三つの突出部３１２ａ、３１２ｂ、３１２ｃが回転ボウル３０４の案内溝３０２ａ、３０２ｂ、３０２ｃと各々対応される位置に形成されている。一方、所定の高さと幅を有する内部リング３１３は第２下端部３１２上の中央に固定されて位置する。また、内部リング３１３の上端面には一定の間隔に配置された６個の固定バー３１６が配設されている。
【００２２】
テストボード３２０はスチフナ３１０上の内部リング３１３に持ち上げられて固定され、このためにテストボード３２０上には内部リング３１３に付着された６個の固定バー３１６に各々対応される第１固定ホール３２４が形成されている。
【００２３】
蓋部３３０はテストボード３２０と同一の形態および大きさを有し、テストボード３２０の第１固定ホール３２４に各々対応される位置に第２固定ホール３３２が形成されている。そして、蓋部３３０の中央には大きな内部ホールがあって、外部からテストボードに接近することができる。例えば、テスト装置でテストボード３２０に電気的信号を印加するためのプローブ接続が可能である。
【００２４】
以下、上述の本発明の各構成要素間の結合関係を図を参照して説明することによって、本発明の特徴をより明確にする。
【００２５】
図４は図３に示した本発明の実施形態において、スチフナ上の内部リングに形成された複数の固定バーのうちの一つの固定バーを側面から見た図である。図４に示したように、本発明の固定バー３１６は下端バー４０２と上端バー４０４で構成される。下端バー４０２は内部リング３１２（スチフナ３１０）の上端面に挿入される。一例として、スチフナ３１０に形成された雌ねじ４０７と下端バー４０２の下部４０２ａに雌ねじと相応するように形成された雄ねじが螺線形態で結合する。上端バー４０４は連結部４０３を通じて下端バー４０２と結合し、（例えばピンまたはヒンジ）下端バー４０２はスチフナ３１０から垂直に設けられる。連結部４０３は上端バー４０４が下端バー４０２に対して回転するようにヒンジ（ｈｉｎｇｅ）で構成される。そして、下端バー４０２の下部４０２ａが螺線形態になっており、固定バー３１６を回転させれば、固定バー３１６の全体が上下に移動することができる。
【００２６】
図５は図４でテストボード３２０と蓋部３３０がスチフナ３１０上に結合した後、締結状態を側面から見た図である。図５を参照すれば、テストボード３２０と蓋部３３０は各々に形成された固定ホール（第１固定ホール３２４、第２固定ホール３３２）にスチフナ３１０の固定バー３１６が順次挿入されることによって、スチフナ３１０上に結合される。そして、各固定バー３１６の上端バー４０４を所定角度曲げ、蓋部３３０を押圧することによって、テストボード３２０と蓋部３３０をスチフナ３１０上により密着させる。しかし、図５に示したように、テストボード３２０の種類によって曲った上端バー４０４ｂと蓋部３３０との間に間隔Ａが発生してテスト装置のプローブに対するテストボード３２０の接触が不安定になることがある。不安定なテストボードの接触は結果的にテスト結果の信頼性に影響を及ぼす。したがって、本発明はテストボードの種類に従って影響がないように、固定バーの高さを調整することによってテストボードをスチフナ上に密着して固定させることができる手段を提供する。
【００２７】
図６は図５のように、テストボードと蓋部がスチフナ上に締結された後、固定バーによって固定される状態を上端から見た図である。
【００２８】
本発明では、図６のように、上端バー４０４が一番目の位置４０４ｃから二番目の位置４０４ｄへ回転することによって、スチフナ３１０に対する垂直位置が変わる。本例では上端バー４０４が時計方向に回転しながら固定バー３１６のボディー（下部４０２ａ）がスチフナ３１０の螺線ホール（雌ねじ４０７）に入り、固定バー３１６の高さは低くなる。また、回転によって図７のようにテストボード３２０はスチフナ３１０に堅く固定される。このような形態はテストボード３２０の厚さに変化があっても、スチフナ３１０に対する固定バー３１６の高さが流動的なので、これに対応することができる。したがって、本発明は広い範囲の厚さを有するテストボードに適用することができる。以上、本発明によるテストボードロッキング装置の構成および動作を実施形態を通じて詳細に説明したが、これは例示的なことに過ぎず、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で多様な変化および変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】ねじを利用してテストボードをスチフナ上に固定する従来のテストボードロッキング装置の構造を示す図である。
【図２】別途の固定リングを利用してテストボードをスチフナに固定する従来のテストボードロッキング装置の構造を示す図である。
【図３】本発明で提案するテストボードロッキング装置の実施形態を示す図である。
【図４】図３に示した本発明の実施形態でスチフナ上に形成された複数の固定バーのうちの一つの固定バーを側面から見た図である。
【図５】図４でテストボードと蓋部がスチフナ上に結合した後、締結状態を側面から見た図である。
【図６】図５のように、テストボードと蓋部がスチフナ上に締結された後、固定バーによって固定された状態を上端から見た図である。
【図７】図５または図６に示した状態でテストボードと蓋部がスチフナ上に密着されて固定されたことを示す図である。
【符号の説明】
【００３０】
３００  装着部
３０１  第１下端部
３０２ａ、３０２ｂ、３０２ｃ  案内溝
３０４  回転ボウル
３０６  調節バード
３１０  スチフナ  
３１２  第２下端部
３１２ａ、３１２ｂ、３１２ｃ  突出部
３１３  内部リング
３１４ａ、３１４ｂ、３１４ｃ  ハンドル
３１６  固定バー
３２０  テストボード
３２４  第１固定ホール
３３０  蓋部
３３２  第２固定ホール
４０２  下端バー
４０２ａ  下部
４０３  連結部
４０４  上端バー
４０７  雌ねじ
【図１】
2005347736.tif 000003
【図２】
2005347736.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005347736.tif 000008
【図７】
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