(57)【要約】  【課題】  手動のみで、所望の位置にカセットを位置決めできる搬送台車を提供する。  【解決手段】  支持部５を重力方向に移動させる間、支持部５の重力方向下方に向かう力に対する反力をエアシリンダ４で発生し、且つ１／４０と高い減速機構９を採用しているので、カセットＣの重量が大きくても、ハンドル１２から入力される作業者の手動力は低くて済み、又ハンドル１２の１回転当たりの昇降量も増大するので、例えば力の弱い女性でも容易に且つ迅速に作業を行える。【選択図】  図２
2005347526.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車において、
車輪を有するベース部と、
前記ベース部に対して重力方向に移動可能となっており、前記カセットを支持する支持部と、
手動力を入力する操作部と、
前記操作部から入力された手動力を、前記支持部に伝達する伝達機構と、
少なくとも前記支持部を重力方向に移動させる間、前記支持部の重力方向下方に向かう力に対する反力を発生する反力部とを有することを特徴とする搬送台車。
【請求項２】
前記伝達機構は、前記支持部から前記操作部に向かう力の伝達を阻止することを特徴とする請求項１に記載の搬送台車。
【請求項３】
半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車において、
車輪を有するベース部と、
前記ベース部に対して重力方向に移動可能となっており、前記カセットを支持する支持部と、
前記支持部から伸縮自在となっており、前記支持部の重力方向位置を目標位置に合わせるための指標部とを有することを特徴とする搬送台車。
【請求項４】
前記搬送台車と、前記カセットの受け渡し部とにおける重力方向に交差する方向の位置決めを行う位置決め部材を設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の搬送台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工程に用いるマスクは、ゴミなどの異物の付着を防止するためにカセットに密封されて、マスクチェンジャ装置のマスクストッカに搬送される。マスクストッカに搬送されたカセットから、ロボットによりマスクが取り出され、露光装置に装填されるようになっている。しかるに、ある種のマスクとカセットを合わせた重量は５０ｋｇ以上となり、これを一人の作業者が手で把持して搬送することは困難である。そこで、搬送台車に、マスクを収容したカセットを搭載して搬送することが行われている。例えば特許文献１には、搬送する感光板の姿勢を変更できる搬送台車が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１４０３２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかるに、マスクストッカには、複数のカセットを収容できる収容部が設けられており、通常は収容部は上下方向に並んでいる。従って、重量が５０ｋｇ以上となるマスクを収容したカセットを搬送する場合、搬送台車から所定の高さにある収容部までカセットを持ち上げたり下ろしたりする作業が必要となるが、これも一人の作業者が行うことは困難であるが、クレーンやホイストを用いると、作業が大がかりとなり時間がかかる。これに対し、特許文献１に記載の搬送台車を流用してカセットを搬送した場合、カセットの姿勢を変更できても、高さ位置を変更することはできないという問題がある。
【０００４】
一方、搬送台車にモータなどの動力源を搭載し、カセットの昇降を行うことも考えられる。しかしながら、搬送台車は、工程の都合に応じて、半導体製造工場内をランダムに移動するものであり、従ってモータに電力を供給する電源コードを引きずりながら移動することは作業に支障を与える恐れがある。これに対し、コードレスとするためにバッテリーを搭載すると、搬送台車の重量が増大し、これを手押しする作業者の負担が大となる。更に、作業者が一人で作業を行う場合、いかなる位置にカセットを昇降させればよいかわかりにくいという問題がある。
【０００５】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、手動のみで、所望の位置にカセットを位置決めできる搬送台車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１の本発明の搬送台車は、半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車において、
車輪を有するベース部と、
前記ベース部に対して重力方向に移動可能となっており、前記カセットを支持する支持部と、
手動力を入力する操作部と、
前記操作部から入力された手動力を、前記支持部に伝達する伝達機構と、
少なくとも前記支持部を重力方向に移動させる間、前記支持部の重力方向下方に向かう力に対する反力を発生する反力部とを有することを特徴とする。
【０００７】
第２の本発明の搬送台車は、半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車において、
車輪を有するベース部と、
前記ベース部に対して重力方向に移動可能となっており、前記カセットを支持する支持部と、
前記支持部から伸縮自在となっており、前記支持部の重力方向位置を目標位置に合わせるための指標部とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
第１の本発明の搬送台車は、半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車において、車輪を有するベース部と、前記ベース部に対して重力方向に移動可能となっており、前記カセットを支持する支持部と、手動力を入力する操作部と、前記操作部から入力された手動力を、前記支持部に伝達する伝達機構と、少なくとも前記支持部を重力方向に移動させる間、前記支持部の重力方向下方に向かう力に対する反力を発生する反力部とを有するので、前記カセットの重量が大きくても、前記操作部から入力される作業者の手動力は低くて済み、例えば力の弱い女性でも容易に作業を行える。又、前記反力部として、流体圧を用いて前記反力を発生させるエアシリンダのようなものを用いれば、電力が不要であるため、前記搬送台車を簡素で低コストなものとできる。
【０００９】
前記伝達機構は、前記支持部から前記操作部に向かう力の伝達を阻止すると、前記支持部を任意の位置で静止させることができるので好ましい。
【００１０】
これに対し、第２の本発明の搬送台車は、半導体製造工程で用いるマスクを収容したカセットを搬送する搬送台車において、車輪を有するベース部と、前記ベース部に対して重力方向に移動可能となっており、前記カセットを支持する支持部と、前記支持部から伸縮自在となっており、前記支持部の重力方向位置を目標位置に合わせるための指標部とを有するので、前記指標部を用いて、前記支持部を任意の高さ位置に合わせ込むことができ、前記カセットの載せ下ろしを円滑に行うことができる。
【００１１】
前記搬送台車と、前記カセットの受け渡し部とにおける重力方向に交差する方向の位置決めを行う位置決め部材を設けると、前記支持部を前記受け渡し部に対して合わせ込むことができ、前記カセットの載せ下ろしを更に円滑に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本実施の形態にかかる搬送台車の上面図であり、図２は、図１の搬送台車をII-II線で切断して矢印方向に見た図である。尚、図２において上下が重力方向である。
【００１３】
図２において、４つの車輪１を下面に取り付けたベース部である筐体２は、図で左端に取手３を有している。筐体２内には、４つのエアシリンダ４が配置され、その伸縮ロッド４ａを筐体２の上面から突出させており、その上端は矩形板状の支持部５の下面に当接している。エアシリンダ４は、内部に蓄積した流体圧で伸縮ロッド４ａに上方に向かう力を与えるものであり、その流体圧は後述する調整弁１６を用いて調整可能となっている。
【００１４】
支持部５の下面には４本のガイド軸６が植設されており、ガイド軸６の下端は、ガイド７により案内されつつ、筐体２内に侵入している。筐体２の上面中央には、ジャッキ８が配置されており、そのねじ軸８ａの上端は、支持部５の下面に当接している。ジャッキ８の入力部８ｂは、カップリング１０を介して不図示の歯車対（１／４０程度の減速比を有する）を含む減速機構９に連結され、減速機構９は、カップリング１１を介して操作部であるハンドル１２に連結されている。尚、ジャッキ８は良く知られているように、入力部８ｂから入力された力によりねじ軸８ａを伸縮（上下）させることができるが、ねじ軸８ａに付与された力は、その歯面摩擦により入力部８ｂに伝達しない構成となっている。ジャッキ８と減速機構９とで伝達機構を構成する。
【００１５】
支持部５の上部には一対のレール５ａが図２で左右方向に延在するように設けられ、かかるレール５ａに沿って、ガイド１３ａにより案内される形でスライド台１３が移動可能に支持されている。スライド台１３上には、マスクＭを収容したカセットＣが搭載されている。カセットＣは、下面に複数の車輪Ｔを有しており、スライド台１３からマスクストッカＭＳに移動する際に、移動が容易となっている。
【００１６】
図３は、支持部５の側面を拡大して示す斜視図である。図３において、スライド台１３に対してピン１５ｐにより結合され枢動可能な一対のリンク１５，１５が配置されている。リンク１５，１５の先端には、ロッド状の指標部１４がピン１４ｐにより枢動可能に取り付けられている。従って、リンク１５，１５を図で反時計回りに回動させると、指標部１４は、支持部５とスライド台１３との間の間隙に収容される（図３（ａ）参照）。一方、リンク１５，１５を図で時計回りに回動させると、指標部１４は、支持部５とスライド台１３との間の間隙から、側方及び前方に平行移動することとなる（図３（ｂ）参照）。
【００１７】
筐体２の図１で右側面下端には、位置決め部材としての一対のテーパ面２ａ、２ａが形成されている。筐体２の図１で左側面下端には、エアシリンダ４に連結された調整弁１６が配置されている。
【００１８】
次に、本実施の形態にかかる搬送台車の動作について説明する。作業者は、取手３を把持してカセットＣを搭載した搬送台車を押しながら、所定のマスクストッカＭＳまで移動する。このとき、支持部５は最も低い位置にしておくと、重心が低くなり搬送が安定するので好ましい。又、指標部１４は、スライド台１３の下方に収容しておけば、搬送の邪魔にならないので好ましい（図３（ａ）参照）。
【００１９】
マスクストッカＭＳの下部には、搬送台車のテーパ面２ａ、２ａに対向してゴムローラＧＲ、ＧＲが配置されている。ゴムローラＧＲ、ＧＲの間隔は、テーパ面２ａ、２ａにそれぞれ当接したときに、搬送台車が搬送位置になり、かつマスクストッカＭＳの搬送場所に対してセンタリングする位置となっている。従って、作業者が、マスクストッカＭＳの搬送場所に対して若干ずれた位置に搬送台車を移動させてきた場合でも、マスクストッカＭＳに搬送台車を寄せるだけで、テーパ面２ａ、２ａにより位置決めを適切に行えるようになっている。
【００２０】
搬送台車を搬送位置に寄せた後、作業者は、マスクストッカＭＳの複数の搬送場所の内、カセットＣをは搬送したい搬送場所（ここでは棚ＭＳ１）に合わせて支持台５を上昇させる。具体的には、作業者の手によりハンドル１２を回転させることで、減速機構９を介して減速された回転力がジャッキ８に入力され、ねじ軸８を上方に伸長させる。それによりカセットＣを搭載した支持部５が上昇する。このとき、反力部であるエアシリンダ４は、支持部５から重力方向下方に向かう力（支持台５、スライド台１３，カセットＣ、マスクＭ等の重量）に釣り合う反力を発生しているので、たとえ作業者が力の弱い女性であっても、昇降が容易となる。
【００２１】
棚ＭＳ１が近づいてきたら、作業者はリンク１５，１５を回転させ、指標部１４を搬送台車の前方（図３（ｂ）参照））に突出するようにし、更に支持台５を上昇させる。棚ＭＳ１の下面に指標部５が当接すると、スライド台１３の上面と棚ＭＳ１の上面の水平方向位置が一致したことがわかる。そこで、作業者は、スライド台１３を図２で右方へ押し出して、マスクストッカＭＳの棚ＭＳ１に当接させる。それによりスライド台１３と棚ＭＳ１とのスキマがなくなるので、作業者はカセットＣを棚ＭＳ１に押し出せば、車輪Ｔの転動により、カセットＣは、スムーズに棚ＭＳ１へと移動する。尚、マスクストッカＭＳよりカセットＣを搬送台車に載せる場合には、以上と逆の手順で作業を行えばよい。
【００２２】
本実施の形態によれば、支持部５を重力方向に移動させる間、支持部５の重力方向下方に向かう力に対する反力をエアシリンダ４で発生し、且つ１／４０と高い減速機構９を採用しているので、カセットＣの重量が大きくても、ハンドル１２から入力される作業者の手動力は低くて済み、又ハンドル１２の１回転当たりの昇降量も増大するので、例えば力の弱い女性でも容易に且つ迅速に作業を行える。尚、カセットＣを搬送し終えた後の支持台５は軽くなるが、この場合、調整弁１６によりエアシリンダ４の圧力を減少させることで、伸縮ロッド４ａの突き出し量を減少させ、支持台５の下降を容易に行えるようにしている。
【００２３】
更に、本実施の形態によれば、支持部５（スライド台１３）の高さ位置を目標位置に合わせるための指標部１４を用いて、支持部５を任意の高さ位置に合わせ込むことができ、カセットＣの載せ下ろしを円滑に行うことができる。
【００２４】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されることなく、その発明の範囲内で変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、指標部１４は、平行リンクにより平行に移動する構成ではなく軸線方向に移動自在であって、それにより支持部５から伸縮自在な構成となるようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本実施の形態にかかる搬送台車の上面図である。
【図２】図１の搬送台車をII-II線で切断して矢印方向に見た図である。
【図３】支持部５の側面を拡大して示す斜視図である。
【符号の説明】
【００２６】
１ 車輪
２ 筐体
２ａ テーパ面
３ 取手
４ エアシリンダ
４ａ 伸縮ロッド
５ 支持部
５ａ レール
６ ガイド軸
７ ガイド
８ ジャッキ
８ａ 軸
８ｂ 入力部
９ 減速機構
１０ カップリング
１１ カップリング
１２ ハンドル
１３ スライド台
１４ 指標部
１５ 平行リンク
１６ 調整弁
【図１】
2005347526.tif 000003
【図２】
2005347526.tif 000004
【図３】
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