(57)【要約】【課題】  表示パネル基板を水洗した後に乾燥する工程において，湿った空気が，乾燥に使用されるエアーナイフの表面に到達することを防止する技術を提供する。【解決手段】  本発明の表示パネル処理装置は，水洗室（１）と，水洗室（１）の中に設けられ，表示パネル基板（３）を水洗する水洗装置（４）と，水洗室（１）に通じる搬送口（５）が開口された乾燥室（２）と，搬送口（５）を介して，表示パネル基板（３）を所定の搬送方向（Ａ）に向けて水洗室（１）から乾燥室（２）に搬送する搬送装置（６）と，乾燥室（２）の中に設けられ，表示パネル基板（３）を乾燥させるエアーナイフ（７）と，乾燥室（２）の中にエアーナイフ（７）に対して搬送方向（Ａ）の上流側に設けられ，且つ，乾燥エアーを搬送方向（Ａ）と反対方向の成分を有する方向（Ｃ）に向けて噴き出し，乾燥エアーを表示パネル基板（３）に吹き付けるノズル（８，８’）とを備えている。【選択図】  図１
2005150266.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水洗室と，
前記水洗室の中に設けられ，表示パネル基板を水洗する水洗装置と，
前記水洗室に通じる搬送口が開口された乾燥室と，
前記搬送口を介して，前記表示パネル基板を所定の搬送方向に向けて前記水洗室から前記乾燥室に搬送する搬送装置と，
前記乾燥室の中に設けられ，前記表示パネル基板を乾燥させるエアーナイフと，
前記乾燥室の中に前記エアーナイフに対して前記搬送方向の上流側に設けられ，且つ，乾燥エアーを前記搬送方向と反対方向の成分を有する方向に向けて噴き出し，前記乾燥エアーを前記表示パネル基板に吹き付けるノズル
とを備えた
表示パネル処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の表示パネル処理装置において，
前記水洗装置は，温水を用いて前記表示パネル基板を水洗し，
前記ノズルは，前記温水よりも温度が低い冷水と前記乾燥エアーとが混合されて生成される気液混合流体を前記表示パネル基板に吹き付ける
表示パネル処理装置。
【請求項３】
請求項１に記載の表示パネル処理装置において，
前記乾燥室を第１排気速度で排気する第１排気装置と，
前記水洗室を前記第１排気速度よりも大きい第２排気速度で排気する第２排気装置
とを備えた
表示パネル処理装置。
【請求項４】
請求項１に記載の表示パネル処理装置において，
更に，
前記乾燥室の中に，前記ノズルと前記エアーナイフとの間に設けられた仕切りを備えた
表示パネル処理装置。
【請求項５】
搬送口が設けられた水洗室と，
前記水洗室の中に設けられ，表示パネル基板を水洗する水洗装置と，
前記搬送口を介して前記水洗室に接続された乾燥室と，
前記搬送口を介して，前記表示パネル基板を前記水洗室から前記乾燥室に搬送する搬送装置と，
前記乾燥室の中に設けられ，前記表示パネル基板を乾燥させるエアーナイフと，
前記乾燥室を第１排気速度で排気する第１排気装置と，
前記水洗室を前記第１排気速度よりも大きい第２排気速度で排気する第２排気装置
とを備えた
表示パネル処理装置。
【請求項６】
プラズマディスプレイパネル基板を薬液で処理することと，
前記薬液で処理された前記プラズマディスプレイパネル基板を水洗室の中で水洗することと， 
水洗された前記プラズマディスプレイパネル基板を所定の搬送方向に向かって搬送することにより，前記プラズマディスプレイパネル基板を前記水洗室から乾燥室の中に移動させることと，
前記乾燥室に設けられたノズルから前記搬送方向と反対方向の成分を有する方向に乾燥エアーを噴き出して，前記乾燥エアーを前記プラズマディスプレイパネル基板に吹き付けることと，
前記ノズルに対して前記搬送方向に向かって下流側に設けられたエアーナイフにより，前記プラズマディスプレイパネル基板を乾燥させること
とを備えた
プラズマディスプレイパネル製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において，
前記プラズマディスプレイパネル基板は，温水を用いて水洗される
プラズマディスプレイパネル製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において，
更に，
前記温水よりも温度が低い冷水と前記乾燥エアーとを混合して気液混合流体を生成し，前記気液混合流体を前記ノズルによって前記プラズマディスプレイパネル基板に吹き付けること
を備えた
プラズマディスプレイパネル製造方法。
【請求項９】
請求項６に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において，
前記ノズルは，前記搬送方向と垂直な方向における前記プラズマディスプレイパネル基板からの距離が，前記プラズマディスプレイパネル基板から前記エアーナイフまでの距離よりも大きい位置に設けられた
プラズマディスプレイパネル製造方法。
【請求項１０】
請求項６に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法において，
前記水洗室には，前記乾燥室に通じる開口が設けられ， 
当該プラズマディスプレイパネル製造方法は，更に，
前記乾燥室を第１排気速度で排気することと，
前記水洗室を前記第１排気速度よりも大きい第２排気速度で排気すること
とを備えた
プラズマディスプレイパネル製造方法。
【請求項１１】
プラズマディスプレイパネル基板を薬液で処理することと，
前記薬液処理工程の後，前記プラズマディスプレイパネル基板を水洗室の中で水洗することと， 
水洗された前記プラズマディスプレイパネル基板を前記水洗室と乾燥室との両方に開口する搬送口を介して前記水洗室から前記乾燥室に搬送することと，
エアーナイフにより，前記プラズマディスプレイパネル基板を乾燥させることと，
前記乾燥室を第１排気速度で排気することと，
前記水洗室を前記第１排気速度よりも大きい第２排気速度で排気すること
とを備えた
プラズマディスプレイパネル製造方法。
【請求項１２】
請求項６乃至請求項１１の何れか一に記載のプラズマディスプレイパネル製造方法を用いてプラズマディスプレイパネルを製造する第１工程と，
前記プラズマディスプレイパネルを駆動する駆動回路と，前記プラズマディスプレイパネルとを一のモジュールとして製造する第２工程と，
アナログ画像信号をディジタル画像信号にフォーマット変換し，前記ディジタル画像信号を前記モジュールに供給するアナログインターフェースを，前記モジュールに電気的に接続する第３工程
とを備えた
プラズマ表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，プラズマディスプレイパネル製造方法，プラズマ表示装置製造方法，及びプラズマディスプレイパネルの製造に好適な表示パネル処理装置に関し，特に，表示パネル基板を水洗し，乾燥する工程の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル等の表示パネルの製造工程では，表示パネル基板を薬液で処理した後，その表示パネル基板を水洗し，乾燥する必要がある。
【０００３】
表示パネル基板を乾燥する技術として，エアーナイフを使用する方法が知られている。エアーナイフは，強い勢いで乾燥エアーを表示パネル基板に吹き付けて水滴を吹き飛ばし，これにより表示パネル基板を乾燥させる。
【０００４】
この基板乾燥技術の一つの課題は，エアーナイフの表面に結露によって水滴が付着することである。エアーナイフの表面に結露してできた水滴が表示パネル基板に落下すると，表示パネル基板に液じみ（ウォーターマーク）と呼ばれる不良を発生させる。このため，エアーナイフの表面への結露の発生を抑制する技術の提供が求められている。
【０００５】
特許文献１は，エアーナイフの表面への結露の発生を抑制する液晶表示装置の製造装置を開示している。公知のその製造装置は，液晶基板を水洗する洗浄装置部と，その洗浄装置部に液晶基板の搬送方向に隣接する水切り装置部と，水切り装置部に該搬送方向において隣接する乾燥装置部とを備えている。水切り装置部には，エアーナイフと，該エアーナイフに対して液晶基板の搬送方向の下流側に位置するエアーノズルとが設けられている。エアーノズルは，該エアーナイフの下流側の側面に乾燥空気を吹き付ける。乾燥空気がエアーナイフの下流側の側面に吹き付けられることにより，エアーナイフの表面への結露が抑制されている。当該エアーノズルは，垂直方向に乾燥空気を吹き付けてエアーカーテンを発生させることにより，乾燥装置部から水切り装置部に熱が伝わるのを防止する役割も有している。
【特許文献１】特開２０００−２８４２４７号公報
【０００６】
エアーナイフの表面への結露をより完全に防止するためには，結露の原因になる湿った空気（即ち，多くの蒸気を含む空気）がエアーナイフの表面に到達することを防ぐことが効果的である。湿った空気がエアーナイフの表面に到達することを防止する技術の提供が望まれる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は，表示パネル基板を水洗した後に乾燥する工程において，湿った空気が，乾燥に使用されるエアーナイフの表面に到達することを防止する技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
以下に，上記の目的を達成するための手段を説明する。その手段に含まれる技術的事項には，［特許請求の範囲］の記載と［発明を実施するための最良の形態］の記載との対応関係を明らかにするために，［発明を実施するための最良の形態］で使用される番号・符号が付加されている。但し，付加された番号・符号は，［特許請求の範囲］に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
【０００９】
本発明の表示パネル処理装置は，水洗室（１）と，水洗室（１）の中に設けられ，表示パネル基板（３）を水洗する水洗装置（４）と，水洗室（１）に通じる搬送口（５）が開口された乾燥室（２）と，搬送口（５）を介して，表示パネル基板（３）を所定の搬送方向（Ａ）に向けて水洗室（１）から乾燥室（２）に搬送する搬送装置（６）と，乾燥室（２）の中に設けられ，表示パネル基板（３）を乾燥させるエアーナイフ（７）と，乾燥室（２）の中にエアーナイフ（７）に対して搬送方向（Ａ）の上流側に設けられ，且つ，乾燥エアーを搬送方向（Ａ）と反対方向の成分を有する方向（Ｃ）に向けて噴き出し，乾燥エアーを表示パネル基板（３）に吹き付けるノズル（８，８’）とを備えている。ノズル（８，８’）が乾燥エアーを搬送方向（Ａ）と反対方向の成分を有する方向（Ｃ）に噴き出すことにより，搬送方向（Ａ）と反対方向（即ち，上流側）に向かうエアーの流れが発生する。このエアーの流れは，水洗室（１）から乾燥室（２）に漏れ出す湿った空気，及び，表示パネル基板（３）の上に水が残存することによって発生する湿った空気が，上流側から流れてエアーナイフ（７）に到達することを阻害する。これにより，本発明の表示パネル処理装置は，エアーナイフ（７）の表面における結露を有効に抑制する。当該表示パネル処理装置は，水洗装置（４）が温水を用いて表示パネル基板（３）を水洗する場合に特に有効である。
【００１０】
水洗装置（４）が温水を用いて表示パネル基板（３）を水洗する場合，ノズル（８’）は，該温水よりも温度が低い冷水と乾燥エアーとを混合して気液混合流体（８ａ’）を生成し，気液混合流体（８’）を表示パネル基板（３）に吹き付けることが好適である。冷水によって表示パネル基板（３）が冷却されることにより，湿った空気の発生が抑制され，
【００１１】
湿った空気がエアーナイフ（７）に到達することを抑制するためには，当該表示パネル処理装置は，更に，乾燥室（２）を第１排気速度で排気する第１排気装置（１２）と，水洗室（１）を前記第１排気速度よりも大きい第２排気速度で排気する第２排気装置（１１）とを備えていることが好適である。
【００１２】
当該表示パネル処理装置は，更に，乾燥室（２）の中に，ノズル（８，８’）とエアーナイフ（７）との間に設けられた仕切り（１３）を備えていることが好適である。仕切り（１３）は，エアーナイフ（７）に向かうエアーの流れの発生を阻害し，湿った空気がエアーナイフ（７）に到達することを抑制する。
【００１３】
本発明の他の観点において，本発明による表示パネル処理装置は，水洗室（１）と，水洗室（１）の中に設けられ，表示パネル基板（３）を水洗する水洗装置（４）と，水洗室（１）に通じる搬送口（５）が開口された乾燥室（２）と，搬送口（５）を介して，表示パネル基板（３）を水洗室（１）から乾燥室（２）に搬送する搬送装置（６）と，乾燥室（２）の中に設けられ，表示パネル基板（３）を乾燥させるエアーナイフ（７）と，乾燥室（２）を第１排気速度で排気する第１排気装置（１２）と，水洗室（１）を第１排気速度よりも大きい第２排気速度で排気する第２排気装置（１１）とを備えている。水洗室（１）を，乾燥室（２）が排気される第１排気速度よりも大きい第２排気速度で排気することにより，水洗室（１）から乾燥室（２）に湿った空気が漏れ出ることが抑制され，これにより，湿った空気がエアーナイフ（７）に到達することが阻害される。
【００１４】
本発明の更に他の観点において，本発明によるプラズマディスプレイパネル製造方法は，
プラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）を薬液で処理することと，
薬液で処理されたプラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）を水洗室（１）の中で水洗することと，
水洗されたプラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）を所定の搬送方向（Ａ）に向かって搬送することにより，プラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）を水洗室（１）から乾燥室（２）の中に移動させることと，
乾燥室（２）に設けられたノズル（８，８’）から搬送方向（Ａ）と反対方向の成分を有する方向に乾燥エアーを噴き出して，乾燥エアーをプラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）に吹き付けることと，
ノズル（８，８’）に対して搬送方向（Ａ）に向かって下流側に設けられたエアーナイフ（７）により，プラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）を乾燥させること
とを備えている。当該製造方法は，プラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）は，温水を用いて水洗される場合に特に有効である。
【００１５】
水洗に温水が使用される場合，当該製造方法は，更に，
温水よりも温度が低い冷水を乾燥エアーと混合して気液混合流体を生成し，気液混合流体をノズル（８，８’）によってプラズマディスプレイパネル基板（３１）に吹き付けることを備えていることが好適である。
【００１６】
ノズル（８，８’）は，搬送方向（Ａ）と垂直な方向におけるプラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）からの距離が，プラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）からエアーナイフ（７）までの距離よりも大きい位置に設けられることが好適である。
【００１７】
水洗室（１）に，乾燥室（２）に通じる開口（５）が設けられる場合，
当該プラズマディスプレイパネル製造方法は，更に，
前記乾燥室（２）を第１排気速度で排気することと，
前記水洗室（１）を第１排気速度よりも大きい第２排気速度で排気すること
とを備えていることが好適である。
【００１８】
本発明の更に他の観点において，本発明によるプラズマディスプレイパネル製造方法は，プラズマディスプレイパネル基板を薬液で処理することと，
薬液で処理されたプラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）を水洗室（１）の中で水洗することと， 
水洗されたプラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）を水洗室（１）と乾燥室（２）との両方に開口する搬送口（５）を介して水洗室（１）から乾燥室（２）に搬送することと，
エアーナイフ（７）により，プラズマディスプレイパネル基板（３１，３２）を乾燥させることと，
乾燥室（２）を第１排気速度で排気することと，
水洗室（１）を第１排気速度よりも大きい第２排気速度で排気すること
とを備えている。
【００１９】
本発明の更に他の観点において，本発明によるプラズマ表示装置は，
上記のプラズマディスプレイパネル製造方法を用いてプラズマディスプレイパネル（３０）を製造する第１工程と，
プラズマディスプレイパネルを駆動する駆動回路（８１，８２他）と，前記プラズマディスプレイパネルとを一のモジュール（５２）として製造する第２工程と，
アナログ映像信号（６２）をディジタル映像信号（６４）にフォーマット変換し，前記ディジタル画像信号をモジュール（５２）に供給するアナログインターフェース（５１）を，モジュール（５２）に電気的に接続する第３工程
とを備えている。
【発明の効果】
【００２０】
本発明により，表示パネル基板を水洗した後に乾燥する工程において，湿った空気が，乾燥に使用されるエアーナイフの表面に到達することを防止する技術が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明による表示パネル処理装置は，図１に示されているように，水洗室１と，水洗室１に隣接する乾燥室２とを備えている。水洗室１と乾燥室２とには，それぞれ，水洗室１と乾燥室２とをそれぞれに排気する排気装置１１，１２が接続されている。排気装置１１，１２と水洗室１と乾燥室２との間には，排気速度を調節するための排気バルブ１１ａ，１２ａがそれぞれに設けられている。
【００２２】
水洗室１の中には，温水を表示パネル基板３に向けて吹き付ける水洗ノズル４が設けられている。水洗室１に搬送された表示パネル基板３は，水洗ノズル４によって吹き付けられる温水によって水洗される。温水を用いて水洗が行われるため，水洗室１の中の湿度は高く，水洗室１は湿った空気の発生源になる。
【００２３】
水洗室１の側壁には，乾燥室２に通じる搬送口５が設けられ，その搬送口５を貫くように，搬送装置６が設けられている。搬送装置６は，表示パネル基板３を搬送方向Ａに向かって水洗室１から乾燥室２に搬送する。搬送の間，表示パネル基板３は，実質的に水平に保たれている。乾燥室２に搬送された直後では，表示パネル基板３の表面には温水Ｗが付着し，且つその温度が高い。このため，乾燥室２に搬送された直後では，表示パネル基板３は，湿った空気をその表面において発生させやすい状態にある。
【００２４】
乾燥室２の中には，エアーナイフ７が設けられている。エアーナイフ７は，水平面に平行に設けられたスリットから乾燥エアーを方向Ｂに向けて噴出し，乾燥エアーを表示パネル基板３に向けて吹き付ける。乾燥エアーが吹き付けられることにより，表示パネル基板３に残存する温水Ｗは吹き飛ばされ，表示パネル基板３が乾燥される。
【００２５】
乾燥室２の中には，更に，エアーシャワー８が搬送方向Ａに対してエアーナイフ７の上流側に，且つ，搬送装置６の上方に設けられている。エアーシャワー８は，乾燥エアーを搬送方向Ａの反対方向の成分を有する方向Ｃに噴出して表示パネル基板３に向けて吹き付けるノズルである。エアーシャワー８は，搬送方向Ａと反対方向にエアーの流れを発生させる。このエアーの流れは，乾燥室２に搬送された表示パネル基板３から立ち上る湿った空気，及び，水洗室１から乾燥室２に漏れ出た湿った空気が乾燥室２の内部に発生する気流９に乗ってエアーナイフ７に到達することを防止する。更に，エアーシャワー８は，乾燥エアーを表示パネル基板３に吹き付けることにより，表示パネル基板３の上に残存する温水Ｗの量を減少させる。これらの作用により，エアーシャワー８は，エアーナイフ７の表面での結露の発生を有効に抑制する。その結果，エアーシャワー８は，結露によって発生した水滴の落下に起因する表示パネル基板３へのウォーターマークの発生を有効に防止する。
【００２６】
水洗室１から乾燥室２に湿った空気が漏れ出すことを防止するためには，排気装置１１，１２は，排気装置１２が乾燥室２を排気する排気速度よりも，排気装置１１が水洗室１を排気する排気速度の方が大きくなるように運転されることが好適である。このように排気装置１１，１２を運転することにより，乾燥室２から水洗室１に向かうエアーの流れが発生し，水洗室１から乾燥室２に湿った空気が漏れ出すことが防がれる。排気装置１１，１２の排気速度の調節は，排気バルブ１１ａ及び１２ａの開度の調節によって行われることが可能である。
【００２７】
エアーナイフ７に湿った空気が到達することを一層に効果的に抑制するためには，エアーナイフ７とエアーシャワー８との間に，仕切り板１３が設けられることが好適である。仕切り板１３は，搬送方向Ａに垂直な方向に向けて設けられている。仕切り板１３は，エアーナイフ７に向かう気流の発生を阻害し，これにより，エアーナイフ７の表面での結露の発生を有効に抑制する。
【００２８】
エアーシャワー８の役割は，エアーナイフ７とは異なり，表示パネル基板３を完全に乾燥させることではないことに留意されるべきである。この役割の違いにより，エアーナイフ７が乾燥エアーを噴き出す方向Ｂとして好適な方向と，エアーシャワー８が乾燥エアーを噴き出す方向Ｃとして好適な方向とは異なる。温水Ｗを効率よく吹き飛ばすために，エアーナイフ７が乾燥エアーを噴き出す方向Ｂは，表示パネル基板３の主面となす角θ１が小さくなるように向けられることが好適である。一方，エアーナイフ７に向かう湿った空気をエアーナイフ７から遮断することを目的とするエアーシャワー８が乾燥エアーを噴き出す方向Ｃは，方向Ｃと表示パネル基板３の主面とがなす角θ２が，方向Ｂと表示パネル基板３の主面とがなす角θ１よりも大きくなるような方向に向けられることが好適である。
【００２９】
エアーナイフ７とエアーシャワー８との役割の違いは，エアーナイフ７の好適な高さ（即ち，鉛直方向における表示パネル基板３の主面からエアーナイフ７への距離）と，エアーシャワー８の好適な高さ（即ち，鉛直方向における表示パネル基板３の主面からエアーシャワー８への距離）との違いに現れ得る。乾燥エアー７ａを噴き出す方向Ｂと表示パネル基板３の主面とがなす角θ１を小さくするために，エアーナイフ７は，その高さが低い（即ち，鉛直方向における表示パネル基板３の主面からエアーナイフ７への距離が近い）ことが好適である。一方，エアーシャワー８の高さが低いことは好適でない。エアーシャワー８は，その表面における結露を防ぐために，表示パネル基板３からの距離が離されることが好適である。従って，エアーシャワー８は，エアーナイフ７よりも高い位置に設けられることが好適である。
【００３０】
本発明の実施の他の形態では，図２に示されているように，乾燥エアーを噴き出すエアーシャワー８が，乾燥エアーと冷水とを混合して気液混合流体を噴き出す噴霧ノズル８’に置換されている。気液混合流体の生成に使用される冷水の温度は，水洗室１の水洗ノズル４が噴き出す温水よりも低い。
【００３１】
図３は，実施の他の形態で使用される噴霧ノズル８’に乾燥エアーと冷水とを供給する供給系１３を示している。供給系１３は，圧縮された乾燥エアーが供給されるエアー配管１４ａと，冷水が供給される冷水配管１４ｂと，圧力調整弁１５ａ，１５ｂと，圧力計１６ａ，１６ｂと，ミックスチャンバー１７とを備えている。圧力計１６ａ，１６ｂによってそれぞれに計測されたエアー配管１４ａ及び冷水配管１４ｂの圧力に応答して，圧力調整弁１５ａ，１５ｂの開度が制御される。供給された乾燥エアーと冷水とは，ミックスチャンバー１７において混合され，気液混合流体８ａ’となって噴霧ノズル８’から噴出される。
【００３２】
図２を参照して，噴霧ノズル８’は，エアーシャワー８と同様に，気液混合流体を噴き出すことによって搬送方向Ａと反対方向にエアーの流れを発生させ，湿った空気がエアーナイフ７に到達することを防止し，更に表示パネル基板３の上に残存する温水Ｗの量を減少させる。加えて，噴霧ノズル８’は，冷水を含む気液混合流体を表示パネル３に噴霧することによって表示パネル基板３を冷却し，表示パネル基板３の表面からの蒸気の発生を抑制する。これらの作用により，噴霧ノズル８’は，エアーナイフ７の表面での結露の発生を一層に有効に抑制する。
【００３３】
図１及び図２に示された表示パネル処理装置は，プラズマディスプレイパネルの製造プロセスにおいて使用されることが好適である。プラズマディスプレイパネルの製造プロセスでは，薬液を用いて表示パネル基板を処理する薬液処理工程と，その薬液処理工程の後に，該表示パネル基板を水洗し，更に乾燥する水洗／乾燥工程とが行われる。図１及び図２の表示パネル処理装置は，この水洗／乾燥工程において使用されることが好適である。
【００３４】
図４は，図１の表示パネル処理装置を用いて製造される表示パネル基板が組み込まれて組み立てられたプラズマディスプレイパネル３０を例示している。プラズマディスプレイパネル３０は，図４の表示パネル処理装置を用いて製造されたプラズマディスプレイパネル基板である前面基板３１と背面基板３２とから形成されている。前面基板３１は，第１透明ガラス基板３３と，第１透明ガラス基板３３の背面側に接合する透明誘電体層３４と，透明誘電体層３４の背面側に接合する表面保護層３５とから形成されている。第１透明ガラス基板３３と透明誘電体層３４との間には，走査電極３６と維持電極３７とが配置されている。走査電極３６と維持電極３７は，互いに平行に配置されている。走査電極３６と維持電極３７とは，それぞれに，透明電極とバス電極とから形成されている。透明誘電体層３４は，走査電極３６と維持電極３７を被覆している。
【００３５】
背面基板３２は，第２透明ガラス基板３８と，第２透明ガラス基板３８の正面側に接合する白色誘電体層３９と，白色誘電体層３９の正面側に接合する複数の隔壁４１とから形成されている。隔壁４１は，表示セルを区画している。第２透明ガラス基板３８と白色誘電体層３９との間には，データ電極４２が配置されている。データ電極４２は，走査電極３６と維持電極３７とに直交している。白色誘電体層３９は，データ電極４２を被覆している。隔壁４１の側面と白色誘電体層３９の正面側表面には，放電ガスの放電により発生する紫外線を可視光に変換する蛍光体体層４３が形成されている。蛍光体体層４３には，セル毎に３原色Ｒ，Ｇ，Ｂに塗り分けられている。
【００３６】
前面基板３１と背面基板３２とは，前面基板３１と背面基板３２との間に隙間が与えられて互いに固着して組み立てられる。その隙間の幅は，１００μｍの程度に設計される。前面基板３１と背面基板３２の側面周辺は，封着材料で密封封止されて，その隙間は密閉空間に形成される。その密閉空間には，ヘリウム，ネオン，キセノン，又は，これらを含む混合ガスが封入される。背面基板３２には，第２透明ガラス基板３８を貫通し密閉空間で開口する通気管（図示されず）が通されている。その通気管の外側端開口は，排気・ガス充填装置（図示されず）に接続され，空気その他のガスがその開口から吸引されて排気された後にその開口から既述のガスが既述の密閉空間注入され，その開口はその注入の後に加熱手段によりチップオンされてその開口端部が閉塞され，注入された既述のガスは密閉空間に密封的に充填される。
【００３７】
このような密閉性が要求されるプラズマディスプレイパネル３０の第１透明ガラス基板３３と第２透明ガラス基板３８の側周面４４は，既述の一面Ｐ１に直交し，平面として形成される。側周面４４には，融着用材料が塗布される。
【００３８】
図４のプラズマディスプレイパネル３０は，図５に示されたプラズマ表示装置５０に組み込まれることが好適である。プラズマ表示装置５０は，アナログインターフェース５１と，プラズマディスプレイパネルモジュール５２とから形成されている。
【００３９】
アナログインターフェース５１は，クロマ・デコーダを備えるＹ／Ｃ分離回路５３と，Ａ／Ｄ変換回路５４と，画像フォーマット変換回路５５と，ＰＬＬ回路５６を備える同期信号制御回路５７と，逆γ変換回路５８と，システムコントロール回路５９と，ＰＬＥ制御回路６１とから形成されている。アナログインターフェース５１は，受信したアナログ映像信号（アナログＲＧＢ信号６２とアナログ映像信号６３）をディジタル映像信号に変換した後に，そのディジタル映像信号６４をプラズマディスプレイパネルモジュール５２に対して出力する。より詳しくは，ＴＶチューナーから発信されたアナログ映像信号６３は，Ｙ／Ｃ分離回路５３でＲＧＢの各色の輝度信号に分解された後に，Ａ／Ｄ変換回路５４でディジタル化され，逆γ変換回路５８で逆γ変換されたディジタル映像信号６４に変換される。プラズマディスプレイパネルモジュール５２の画素構成とアナログ映像信号６３の画素構成が異なる場合には，Ａ／Ｄ変換後さらに画像フォーマット変換回路５５で適正な画像フォーマットに変換された後，逆γ変換回路５８で逆γ変換されたディジタル映像信号６４に変換される。
【００４０】
同期信号制御回路５７に含まれているＰＬＬ回路５６は，アナログ映像信号６３と同時に供給される水平同期信号が基準にされて，サンプリングクロック６５とデータクロック信号６６を生成する。サンプリングクロック６５とデータクロック信号６６は，アナログインターフェース５１から出力されてプラズマディスプレイパネルモジュール５２に入力される。ＰＬＥ制御回路６１は，平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ，平均輝度レベルが所定値以上である場合には表示輝度を低下させる。システムコントロール回路５９は，各種の制御信号６７を生成する。制御信号６７は，アナログインターフェース５１から出力されてプラズマディスプレイパネルモジュール５２に入力される。
【００４１】
プラズマディスプレイパネルモジュール５２は，ディジタル信号処理・制御回路６８と，パネル部位６９と，ＤＣ／ＤＣコンバータを内蔵するモジュール内電源回路７１とから形成されている。パネル部位６９は，既述のプラズマディスプレイパネル３０を含んでいる。ディジタル信号処理・制御回路６８は，入力インターフェース信号処理回路７２と，フレームメモリ７３と，メモリ制御回路７４と，ドライバ制御回路７５とから形成されている。入力インターフェース信号処理回路７２にアナログインターフェース５１から入力されるディジタル映像信号６４の平均輝度レベルは，入力インターフェース信号処理回路７２の中の入力信号平均輝度レベル演算回路（図示されず）により計算されて，例えば５ビットのデータとしてＰＬＥ制御回路６１に出力される。平均輝度レベルに対応してＰＬＥ制御回路６１で算出されるＰＬＥ制御データ７６は，入力インターフェース信号処理回路７２中の輝度レベル制御回路（図示されず）に入力される。
【００４２】
フレームメモリ７３は，入力インターフェース信号処理回路７２に入力されたディジタルＲＧＢ制御信号を映像データとして一旦格納する。そして，メモリ制御回路７４からの制御信号により，ＰＤＰドライバが必要とする構成の映像データを所定のタイミングでパネル部位６９に出力する。メモリ制御回路７４は，フレームメモリ７３を制御する制御信号をフレームメモリ７３に出力する。ドライバ制御回路７５は，各ドライバを制御するドライバ制御信号をパネル部位６９に出力する。
【００４３】
パネル部位６９は，プラズマディスプレイパネル３０と，走査電極３６（図４参照）を駆動する走査ドライバ８１と，データ電極４２（図４参照）を駆動するデータドライバ８２とから形成されている。パネル部位６９は，更に，プラズマディスプレイパネル３０と走査ドライバ８１とデータドライバ８２とにパルス電圧を供給する高圧パルス回路８３と，高圧パルス回路８３から余剰電力を回収する電力回収回路８６を備えている。を備えている。
【００４４】
プラズマディスプレイパネル３０は，１３６５（個）×７６８（個）に配列される１３６５×７６８個の画素を有している。プラズマディスプレイパネル３０では，走査ドライバ８１が走査電極３６を制御しデータドライバ８２がデータ電極４２を制御することにより，その個数の画素のうちの所定の画素の点灯又は非点灯の制御を実行して規定の表示を実行する。
【００４５】
ロジック電源（図示されず）は，電力入力端子８４を介して，ディジタル信号処理・制御回路６８とパネル部位６９にロジック電力を供給する。モジュール内電源回路７１は，表示用電源（図示されず）から電力入力端子８５を介して直流電源を供給され，その直流電力の電圧を所定の電圧に変換して，パネル部位６９に供給している。
【００４６】
ディジタル信号処理・制御回路６８とパネル部位６９とモジュール内電源回路７１とは，１つのモジュールとして組み立てられている。プラズマディスプレイパネルモジュール５２は，このように組み立てられる１つのモジュールを形成している。アナログインターフェース５１は，プラズマディスプレイパネルモジュール５２から分離され機械的には独立して形成されている。プラズマディスプレイパネルモジュール５２は，制御信号６７とディジタル映像信号６４とサンプリングクロック６５とデータクロック信号６６とＰＬＥ制御データ７６とその他の信号を送信する電気配線により電気的にアナログインターフェース５１に接続されている。
【００４７】
アナログインターフェース５１とプラズマディスプレイパネルモジュール５２とが別個に形成された後に，アナログインターフェース５１とプラズマディスプレイパネルモジュール５２とがプラズマ表示装置の筐体の中に組み込まれて固定的に支持されてプラズマ表示装置５０が組み立てられる。このようにモジュール化されるプラズマ表示装置５０は，アナログインターフェース５１とプラズマディスプレイパネルモジュール５２をその他の機器部分とは別個に製造することができる。このため，プラズマ表示装置５０が故障した場合には，故障しているプラズマ表示装置５０のプラズマディスプレイパネルモジュール５２をそっくりそのままに新しい他のプラズマ表示装置５０と取り換えることにより，プラズマ表示装置５０の補修を簡素化して，その補修時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】図１は，本発明による表示パネル処理装置の実施の一形態を示す。
【図２】図２は，本発明による表示パネル処理装置の実施の他の形態を示す。
【図３】図３は，実施の他の形態において噴霧ノズルに乾燥エアー及び冷水を供給する供給系を示す。
【図４】図４は，本発明による表示パネル処理装置によって製造されるプラズマディスプレイパネルの例を示す。
【図５】図５は，本発明による表示パネル処理装置によって製造されるプラズマディスプレイパネルが組み込まれたプラズマ表示装置を示す。
【符号の説明】
【００４９】
１：水洗室
２：乾燥室
３：表示パネル基板
４：水洗ノズル
５：搬送口
６：搬送装置
７：エアーナイフ
８：エアーシャワー
９：気流
１１，１２：排気装置
１１ａ，１２ａ：排気バルブ
１３：仕切り板
１４ａ：エアー配管
１４ｂ：冷水配管
１５ａ，１５ｂ：圧力調整弁
１６ａ，１６ｂ：圧力計
１７：ミックスチャンバー
３０：プラズマディスプレイパネル
３１，３２：表示パネル基板
５１：アナログインターフェース
５２：プラズマディスプレイパネルモジュール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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