(57)【要約】【課題】寸法精度が良く、安定して生産することができる液体噴射記録ヘッド及びその製造方法を提供すること。【解決手段】インク吐出圧力発生素子と、少なくとも液路となる部分を占有する固体層とが設けられた基体上に、光酸発生触媒により硬化されるノズル形成材料を被覆し、ノズル形成部材に吐出口を形成し、固体層を除去することによりノズルを形成する工程を包含する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記固体層に紫外線吸収剤を含有させる。【選択図】図５
2005125577.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク吐出圧力発生素子と、少なくとも液路となる部分を占有する固体層とが設けられた基体上に、光酸発生触媒により硬化されるノズル形成材料を被覆し、ノズル形成部材に吐出口を形成し、前記固体層を除去することによりノズルを形成する工程を包含する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、
前記固体層に紫外線吸収剤が含まれることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記被覆する硬化性ノズル形成材料は、エポキン樹脂のカチオン重合化物であって、固体層に含まれる紫外線吸収剤は塩基性でないことを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
紫外線吸収剤の添加量が固体層の他の固形分に対して０．０１〜１０重量％であることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載の製造方法により製造されることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射（以下、「インクジェット」と言う）記録方式に用いる記録液（インク）小滴を発生するための液体噴射記録ヘッドとその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のインクジェット記録方式に適用されるインクジェット記録ヘッドは、一般に微細なインク吐出口（オリフィス）、液流路及びこの液流路の一部に設けられる液体吐出エネルギー発生部を複数備えている。そして、このようなインクジェット記録ヘッドで高品位の画像を得るためには、前記吐出口から吐出されるインク小滴がそれぞれの吐出口より常に同じ体積、吐出速度で吐出されることが望ましい。
【０００３】
これを達成するために、例えば特許文献１〜３においては、インク吐出圧力発生素子（電気熱変換素子）に記録情報に対応して駆動信号を印加し、電気熱変換素子にインクの核沸騰を超える急激な温度上昇を与える熱エネルギーを発生させ、インク内に気泡を形成させ、この気泡の圧力によりインク液滴を吐出させる方法が開示されている。
【０００４】
このような方法を実現するためのインクジェット記録ヘッドとしては、電気熱変換素子とオリフィスとの距離（以下、「ＯＨ距離」と称する）は、正確、且つ、再現性良く設定できることが必要である。
【０００５】
従来、この種のインクジェット記録ヘッドの製造方法としては、例えば特許文献４，５に記載されている方法、即ち、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上にインク流路及びオリフィス部から成るノズルを感光性樹脂材料を使用してパターン形成し、この上にガラス板等の蓋を接合する方法や、例えば特許文献６に記載されている方法、即ち、溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成し、このパターンをエポキシ樹脂等で被覆して前記樹脂を硬化し、基板を切断後に前記溶解可能な樹脂パターンを溶出除去する方法等がある。
【０００６】
しかしながら、上記方法は、何れも気泡の成長方向と吐出方向とが異なる（ほぼ垂直）タイプ（エッジシュータ）のインクジェット記録ヘッドの製造方法である。そして、このタイプのヘッドにおいては、基板を切断することによりインク吐出圧力発生素子とオリフィスとの距離が設定されるため、インク吐出圧力発生素子とオリフィスとの距離の制御においては、切断精度が極めて重要な要因となる。しかしながら、切断はダイシングソー等の機械的手段にて行うことが一般的であり、高い精度を実現することは困難である。
【０００７】
又、気泡の成長方向と吐出方向とがほぼ同じタイプ（サイドシュータ）のインクジェット記録ヘッドの製造方法としては、例えば特許文献７に記載されている方法、即ち、基板とオリフィスプレートとなるドライフィルムとを、パターニングされた別のドライフィルムを介して接合し、フォトリングラフィーによってオリフィスを形成する方法や、例えば特許文献８に記載されている方法、即ち、インク吐出圧力発生素子が形成された基板と電鋳加工により製造されるオリフィスプレートとをパターニングされたドライフィルムを介して接合する方法等がある。
【０００８】
しかしながら、これらの方法では、何れもオリフィスプレートを薄く（例えば２０μｍ以下）、且つ、均一に作製することは困難であり、たとえ作製できたとしても、インク吐出圧力発生素子が形成された基板との接合工程は、オリフィスプレートの脆弱性により極めて困難となる。そこで、以下に説明する製造方法が、本出願人により提案されている（特許文献９参照）。
【０００９】
即ち、図１〜図６に示すように、インク吐出圧発生素子とオリフィス間の距離を極めて高い精度で短く且つ再現性良く設定可能で、高品位記録を可能にするため、インク吐出圧力発生素子が形成された基板上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工程と、常温にて固体状のエポキシ樹脂を含む被覆樹脂を溶媒に溶解して、これを溶解可能な樹脂層上にソルベントコートすることによって、溶解可能な樹脂層上にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成する工程と、インク吐出圧力発生素子上方の被覆樹脂層にインク吐出口を形成する工程と、溶解可能な樹脂層を溶出する工程とを有することを特徴とするものである。
【００１０】
しかし、紫外線を被覆樹脂層に照射し、パターン形成を行う際、吐出口部分は照射されない領域であるにも拘らず、流路パターンとの境に僅かなスカム（現像残渣）が発生することが確認されている。
【００１１】
このスカムは、被覆樹脂層を紫外線により照射したとき、インク流路パターン層と被覆樹脂層の界面で光の反射が生じ、本来の未露光部分に光が回り込み被覆樹脂層が僅かに硬化したためと考えられている。
【００１２】
このインク吐出口とインク流路の境界部に形成されるひさし状のスカムは、極微小のため問題ないと判断されていた。しかし、近年のプリンタにおいては、益々高画質化、高精細化の傾向にあり、インク吐出量は少なくなるため、吐出口寸法は益々微細化していくので、これらのスカムの大きさが従来と同じ大きさであっても、相対的に吐出特性取り分けインク液滴方向に与える影響が大きくなり、問題視されるようになってきた。そのため、これらのスカムを無くす、若しくは、より小さくする必要が生じた。
【００１３】
この問題を解決する方法として、本出願人により特許文献１０により、インク流路となる部分を占有する固体層に塩基性物質を添加する製造方法が開示されている。この方法によれば、固体層とノズル形成材料から成る相溶層に固体層に含まれている塩基性物質が混ざり込み、酸発生触媒による硬化反応が阻害されるのでノズル形成材料を除去する際に相溶層が除去され、スカムの発生が無くなる。
【００１４】
しかし、ノズル形成材料の硬化反応を阻害させる物質を扱うので、生産現場では管理を注意して行なわないと硬化が進まない、若しくはは進みにくいというトラブルの発生する可能性がある。硬化反応の進み方が変われば、吐出特性に大きな影響を与える吐出口の寸法精度が悪くなる。又、ノズル形成材料が長期の使用により基板から剥離し、インク吐出性能の劣化という問題も生じてくる。
【００１５】
又、本出願人による特許文献１１には、ノズル形成材料中に、紫外線を吸収又は散乱させる成分を含有させることで、ノズル材料をパターン露光する際、照射エネルギーの入射方向に対して液吐出口断面積が徐々に大となるような潜像を形成し、インク吐出エネルギー発生部に向かって断面積が大きい吐出口を形成することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法が記載されている。
【００１６】
上記製造方法では、ノズル形成材料と固体層の界面反射した紫外線はノズル形成材料中で減衰するので、スカムの発生が無くなる若しくは非常に小さいものとなる。
【００１７】
しかし、この発明の目的は、インク滴の吐出周波数を上げるために、インク吐出口断面積が徐々に大となるテーパー形状にすることにある。そのため、実施の形態では光を散乱させる無機の顔料粒子を使用している。添加されたものは不均一系であり、添加量も１０〜３５％と多い。
【００１８】
上記発明においては、吐出口断面が徐々に大となるテーパー形状となっているため、形状の管理が難しく、安定して生産することが難しい。又、微小インクの吐出の際は、ノズル密度が高くなるので、スソ広がりの形状はノズル密度が上げられず不利である。
【００１９】
【特許文献１】特開平４−１０９４０号公報
【特許文献２】特開平４−１０９４１号公報
【特許文献３】特開平４−１０９４２号公報
【特許文献４】特開昭５７−２０８２５５号公報
【特許文献５】特開昭５７−２０８２５６号公報
【特許文献６】特開昭６１−１５４９４７号公報
【特許文献７】特開昭５８−８６５８号公報
【特許文献８】特開昭６２−２６４９７５号公報
【特許文献９】特開平６−２８６１４９号
【特許文献１０】特開２００１−１７９９９０号公報
【特許文献１１】特開２００１−１７９９７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２０】
本発明は以上のような従来技術の問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、インク流路に問題となるスカムができない、若しくは問題とならない程度に小さいので、インク吐出特性が安定し、且つ、信頼性の高い液体噴射記録ヘッドを簡単な手法で製造することができる製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、下記の各項（１）〜（４）の何れかに示す液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供することにより、前記目的を達成しようとするものである。
（１）インク吐出圧力発生素子と、少なくとも液路となる部分を占有する固体層とが設けられた基体上に、光酸発生触媒により硬化されるノズル形成材料を被覆し、ノズル形成部材に吐出口を形成し、前記固体層を除去することによりノズルを形成する工程を包含する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、
前記固体層に、紫外線吸収剤が含まれることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
（２）被覆する硬化性ノズル形成材料は、エポキン樹脂のカチオン重合化物であって、固体層に含まれる紫外線吸収剤は塩基性でないことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
（３）紫外線吸収剤の添加量が固体層の他の固形分に対して０．０１〜１０重量％であることを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
（４）上記の何れかに記載の製造方法により製造されることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、吐出圧発生素子と、少なくとも流路となる部分を専有する固体層と、設けられた基板上に光酸発生触媒により硬化されるノズル形成部材を被覆し、露光現像により吐出口を形成し、固体層を除去することによりインク流路を形成する工程を包含する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、溶解可能な樹脂層に紫外線吸収剤を添加することでインク流路の一部に発生するスカムを極小さいレベル、若しくは全く無いレベルまで抑えることができる。そのため、微小インク滴を吐出する液体噴射記録ヘッドにおいても吐出の乱れが問題となることがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、図面を参照しつつ本発明に係る実施の態様を詳細に説明する。
【００２４】
本実施の形態では、図１〜図７に示す手順に従ってインクジェット記録ヘッドを作製した。尚、図１〜図６には、前記従来例として特開平６−２８６１４９号公報に示された基本的な製法の一部をも重複的に含めて説明している。
【００２５】
前記従来例においては、例えば図１にその模式的斜視図を示すような、ガラス、セラミックス、プラスチック或は金属等から成る基板１が用いられる。
【００２６】
このような基板１は、液流路構成部材の一部として機能し、又、後述のインク流路及びインク吐出口（オリフィス）を形成する材料層の支持体として機能し得るものであれば、その形状、材質等に特に限定されることなく使用できる。上記基板１上には、電気熱変換素子或は圧電素子等のインク吐出エネルギー発生素子２が所望の個数配置される。このようなインク吐出エネルギー発生素子２によって、インクとしてのインク小滴を吐出させるための吐出エネルギーがインクに与えられ、記録が行われる。
【００２７】
因に、例えば、上記インク吐出エネルギー発生素子２として電気熱変換素子が用いられるときには、この素子が近傍のインクを加熱することにより、インクに状態変化を生じせしめて吐出エネルギーを発生する。又、例えば、圧電素子が用いられるときは、この素子の機械的振動によって、吐出エネルギーが発生される。
【００２８】
尚、これらの素子２には、これら素子を動作させるための不図示の制御信号入力用電極が接続されている。又、一般的には、これら吐出エネルギー発生素子２の耐用性の向上を目的として、保護層等の各種機能層が設けられるが、勿論、このような機能層を設けることは一向に差し支えない。
【００２９】
図１において、インク供給のための開口部３を基板１上に予め設けておき、基板１の後方よりインクを供給する形態を例示した。この開口部３の形成においては、基板１に穴を形成できる手段であれば、何れの方法も使用できる。例えば、ドリル等の機械的手段にて形成しても良く、レーザ等の光エネルギーを使用しても差支えない。又、基板１にレジストパターン等を形成して化学的にエッチングしても差支えない。勿論、インク供給口３を基板１に形成せず、樹脂パターンに形成し、基板１に対してインク吐出口８と同じ面に設けても良い。
【００３０】
次いで、図２（図１のＡ−Ａ’断面図）の「溶解可能な流路パターン形成図」に示すように、上記インク吐出エネルギー発生素子２を含む基板１上に、溶解可能な樹脂にてインク流路パターン４（固体層）を形成する。最も一般的な手段としては、感光性材料にて形成する手段が挙げられるが、スクリーン印刷法等の手段にても形成は可能である。感光性材料を使用する場合においては、インク流路パターンが溶解可能であるため、ポジ型レジストか、或は溶解性変化型のネガ型レジストの使用が可能である。
【００３１】
ここで、本発明では、ノズル流路パターン（固体層）に紫外線吸収剤を添加する。これは、後の工程で固体層上に被覆樹脂層の樹脂溶液を塗布する際、極僅か２層の間で互いに溶け合った層（相溶層）が形成されるが、この層に紫外線吸収剤も含有させることにより、被覆樹脂層に紫外線のパターン照射により吐出口を形成する際、インク流路パターン層と被覆樹脂層の界面で発生する光の反射を減衰させ、スカムを抑えようとするものである。
【００３２】
ここで、添加できる紫外線吸収剤の例としては以下のものが挙げられる。
【００３３】
２，４−ジ−ヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−ドデシルオキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ベンジルオキシベンゾフェノン、２，２’−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、フェニルサリシレート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル−３’，５’−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンゾエート等である。これ以外のものであっても、本発明の主旨を逸脱しないものであれば使用することができる。
【００３４】
紫外線吸収剤の添加量としては、０．０１部〜１０％が好ましい。より好ましくは０．０３％〜５％である。これ以上添加量が少ないと、紫外線吸収剤の添加効果が得られない。又、添加量がこれより多いとスカムの問題はなくなるが、基板に到達する紫外線が減衰し過ぎて型材の露光時間が長くなり、生産性が悪くなる。又、パターン側面形状も設計で意図したものと変わってくるので問題である。
【００３５】
このインク流路パターンである固体層の形成の方法として、基板１上にインク供給口３を設けた基板１を使用する場合には、この感光性材料を適当な溶剤に溶解し、ＰＥＴ（ポリエチレンテレクタラート）等のフィルム上に塗布、乾燥してドライフイルムを作製し、ラミネートによって形成することが好ましい。上述のドライフィルムとしては、ポリメチルイソプロピルトン、ポリビニルケトン等のビニルケトン系光崩壊性高分子化合物を好適に用いることができる。その理由は、これら化合物は、光照射前は高分子化合物としての特性（被膜性）を維持しており、インク供給口３上にも容易にラミネート可能であるためである。
【００３６】
又、インク供給口３に、後工程で除去可能な充填物を配置し通常のスピンコート法、ロールコート法等で被膜を形成しても差支えない。
【００３７】
このように、溶解可能な固体層で形成したインク流路パターン４上に、図３の「被覆樹脂層形成図」に示すように、更にノズル形成材料である被覆樹脂層５を通常のスピンコート法、ロールコート法等で形成する。
【００３８】
ここで、この樹脂層５を形成する工程において、溶解可能な樹脂パターンを極力変形させない等の特性が必要となる。即ち、被覆樹脂層５を溶剤に溶解し、これをスピンコート、ロールコート等で溶解可能な樹脂パターン４上に形成する場合、溶解可能な樹脂パターン４を極力溶解しないように溶剤を選択する必要がある。本発明の場合、溶解可能な樹脂パターン中に紫外線吸収剤を含有させ、被覆樹脂層との間に形成される相溶層部に紫外線吸収剤を含有させるものであるから、被覆樹脂層の形成時に溶解可能な樹脂パターンが全く溶けない場合は、本発明は無効となるが、実際は相溶層が皆無と言うことはなく、極薄い層で形成されており、その程度であっても本発明の効果は充分得られる。
【００３９】
次に、被覆樹脂層５について説明する。
【００４０】
被覆樹脂層５としては、インク吐出口３をフォトリソグラフィーで容易且つ精度良く形成できることから、感光性のものが好ましい。このような感光性被覆樹脂層５は、構造材料としての高い機械的強度、基板１との密着性、耐インク性と、同時にインク吐出口の微細なパターンをパターニングするための解像性が要求される。ここでは、鋭意検討の結果、エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物が構造材料として優れた強度、密着性、耐インク性を有し、且つ、前記エポキシ樹脂が常温にて固体状であれば、優れたパターニング特性を有することを見出した。
【００４１】
エポキシ樹脂のカチオン重合硬化物は、通常の酸無水物若しくはアミンによる硬化物に比較して、高い架橋密度（高Ｔｇ）を有するため、構造材として優れた特性を示す。又、常温にて固体状のエポキシ樹脂を用いることで、光照射によりカチオン重合開始材より発生した重合開始種のエポキシ樹脂中への拡散が抑制され、優れたパターニング精度、形状を得ることができる。
【００４２】
しかし、紫外線を被覆樹脂層に照射し、パターン形成を行う際、吐出口部分は照射されない領域であるにも拘らず、ノズル流路パターンとの境に僅かなスカム（現像残渣）が発生することが確認されている。このスカムは、被覆樹脂層を紫外線により照射したとき、インク流路パターン層と被覆樹脂層の界面で光の反射が生じ、本来の未露光部分に光が回り込み、被覆樹脂層が僅かに硬化したためと考えられている。このインク吐出口とインク流路の境界部に形成されるひさし状のスカムは、極微小のため問題ないと判断されていた。
【００４３】
しかし、近年のプリンタにおいては、益々高画質化、高精細化の傾向にあり、インク吐出量は少なくなるため、吐出口寸法は益々微細化していくので、これらのスカムの大きさが従来と同じ大きさであっても、相対的に吐出特性、取り分けインク液滴方向に与える影響が大きくなり、問題視されるようになってきた。
【００４４】
固体状のエポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡとエピクロヒドリンとの反応物のうち分子量がおよそ９００以上のもの、含ブロモスフェノールＡとエピクロヒドリンとの反応物、フェノールノボラック或はクレゾールノボラックとエピクロヒドリンとの反応物、例えば特開昭６０−１６１９７３号公報、特開昭６３−２２１１２１号公報、特開昭６４−９２１６号公報、特開平２−１４０２１９号公報等に記載のオキシシクロヘキサン骨格を有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。
【００４５】
又、上述のエポキシ化合物においては、好ましくはエポキシ当量が２０００以下、更に好ましくはエポキシ当量が１０００以下の化合物が好適に用いられる。これは、エポキシ当量が２０００を超えると、硬化反応の際に架橋密度が低下し、硬化物のＴｇ若しくは熱変形温度が低下したり、密着性、耐インク性に問題が生じる場合があるからである。
【００４６】
上記エポキシ樹脂を硬化させるための光カチオン重合開始剤としては、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルホニウム塩［Ｊ．ＰＯＬＹＭＥＲ  ＳＣＩ：Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ  Ｎｏ．５６  ３８３−３９５（１９７６）参照］や、旭電化工業株式会社より上市されている商品各ＳＰ−１５０、ＳＰ−１７０、ＳＰ−１７２等が挙げられる。
【００４７】
又、上述の光カチオン重合開始剤は、還元剤を併用し加熱することによって、カチオン重合を促進（単独の光カチオン重合に比較して架橋密度が向上する）させることができる。但し、光カチオン重合開始剤と還元剤を併用する場合、常温では反応せず一定温度以上（好ましくは６０℃以上）で反応する所謂レドックス型の開始剤系になるように、還元剤を選択する必要がある。
【００４８】
このような還元剤としては、銅化合物、特に反応性とエポキシ樹脂への溶解性を考慮して銅トリフラート（トリフルオロメタンスルフォン酸銅（ＩＩ））が最適である。又、アスコルビン酸等の還元剤も有用である。
【００４９】
又、ノズル数の増加（高速印刷性）、非中性インクの使用（着色剤の耐水性の改良）等、より高い架橋密度（高Ｔｇ）が必要な場合は、上述の還元剤を、後述のように前記被覆樹脂層の現像工程後に溶液の形で用いて被覆樹脂層を浸積及び加熱する後工程によって、架橋密度を上げることができる。
【００５０】
更に、上記組成物に対し、必要に応じて以下の添加剤を加えることが可能である。例えば、エポキシ樹脂の弾性率を下げる目的で可撓性付与剤を添加したり、或は基板１との更なる密着力を得るために、シランカップリング剤を添加すること等が挙げられる。
【００５１】
次いで、上記化合物から成る感光性被覆樹脂層５に対して、図４の「インク吐出口のパターン露光図」に示すように、マスク６を介してパターン露光を行う。感光性被覆樹脂層５は、ネガ型であり、インク吐出口を形成する部分をマスクで遮蔽する（勿論、電気的な接続を行う部分も遮蔽する。図示せず）。
【００５２】
パターン露光は、使用する光カチオン重合開始剤の感光領域に合わせて紫外線、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光、電子線、Ｘ線等から適宜選択することができる。
【００５３】
ここで、これまでの工程は、全て従来のフォトリソグラフィー技術を用いて位置合わせが可能であり、オリフィスプレートを別途作製し、基板と張り合せる方法に比べて、格段に精度を向上することができる。こうしてパターン露光された感光性被覆樹脂層５は、必要に応じて反応を促進するために、加熱処理を行っても良い。ここで、前述のように、感光性被覆樹脂層５は、常温で固体状のエポキシ樹脂で構成されているため、パターン露光で生ずるカチオン重合開始種の拡散は制約を受け、優れたパターニング精度、形状を実現することができる。
【００５４】
次いで、パターン露光された感光性被覆樹脂層５は、適当な溶剤を用いて現像され、図５の「パターニングされた被覆樹脂層現像図」に示すように、インク吐出口８を形成する。ここで、未露光の感光性被覆樹脂層の現像時に同時にインク流路を形成する溶解可能な樹脂パターン４を現像することも可能である。
【００５５】
但し、一般的に、基板１上には複数の同一又は異なる形態の記録ヘッドが配置され、切断工程を経てインクジェット記録ヘッドとして使用されるため、切断時のごみ対策として、図５に示すように、感光性被覆樹脂層５のみを選択的に現像することにより、インク流路を形成する樹脂パターン４を残し（液室内に樹脂パターン４が残存するため切断時に発生するごみが入り込まない）、切断工程後に樹脂パターン４を現像することも可能である（図６流路パターン溶出図）。又、この際、感光性被覆樹脂層５を現像するときに発生するスカム（現像残渣）は、溶解可能な樹脂層４と共に溶出されるため、殆どノズル内には残渣が残らない。
【００５６】
このようにして形成したインク流路及びインク吐出口を形成した基板１に対して、インク供給のための部材７及びインク吐出圧力発生素子２を駆動するための電気的接合（図示せず）を行って、インクジェット記録ヘッドが形成される（図７のインク供給部を配置した基板図）。
【００５７】
本発明によるインクジェット記録ヘッドの製造方法は、記録紙の全幅に亘り、同時に記録ができるフルラインタイプの記録ヘッドとして、更には記録ヘッドを一体的に或は複数個組み合わせたカラー記録ヘッドにも有効である。
【００５８】
以上は、本発明を適用し得る基本的態様を主体に説明したが、次に本発明の実施例について詳述する。
【実施例１】
【００５９】
先ず、図１において、吐出エネルギー発生素子としての電気熱変換素子２（材質ＨｆＢ２から成るヒータ）を形成したシリコン基板１上にブラストマスクを設置し、サンドブラスト加工によりインク供給のための貫通口３を形成した。
【００６０】
次いで、この基板１上に、溶解可能な樹脂層４として、以下のものを用いた。
【００６１】
（樹脂組成物１）
名称                            重量部
ＯＤＵＲ−１０１０                １００重量部
ＫＥＭＩＳＯＲＢ  １１              ０．３重量部（紫外線吸収剤）
ＯＤＵＲ−１０１０はポリメチルイソプロぺニルケトン（東京応化工業（株）社製商品名）、ＫＥＭＩＳＯＲＢ１１は２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン（ケミプロ化成（株）製商品名）。これをＰＥＴ上、ドライフィルム状としたものをラミネートにより基板１に転写した。尚、ＯＤＵＲ−１０１０は、低粘度であり厚膜形成できないため濃縮して用いた。
【００６２】
次いで、上記のそれぞれを１２０℃にて２０分間プリベークした後、キヤノン（株）製マスクアライナーＰＬＡ５２０（商品名コールドミラーＣＭ２９０）にて、インク流路４のパターン露光を行った。露光は１. ８分間、現像はメチルイソブチルケトン／キシレン＝２／１、リンスはキシレンを用いた。この溶解可能な樹脂で形成されたパターン４は、インク供給口３と電気熱変換素子２とのインク流路を確保するためのものである（図２）。尚、現像後のレジストの膜厚は１０μｍであった。
【００６３】
次いで、下記に示す樹脂組成物１をメチルイソブチルケトン／キシレン混合溶媒に５０ｗｔ％の濃度で溶解し、スピンコートにて感光性被覆樹脂層５を形成した（流路パターン４上における膜厚１０μｍ、図３）。
【００６４】
（樹脂組成物１）
名称                                        重量部
ＥＨＰＥ−３１５８  ダイセル化学（株）製          １００重量部
Ａ−１８７          日本ユニカー（株）製              ５重量部
ＳＰ−１７０        旭電化工業（株）製            １．５重量部
次いで、前記マスクアライナーＰＬＡ５２０（ＣＭ２５０）にて、インク吐出口８形成のためのパターン露光を行った（図４）。尚、露光は１５秒、アフターベークは６０℃、３０分間行った。
【００６５】
次いで、メチルイソブチルケトンで現像を行い、インク吐出口を形成した。尚、本実施例ではφ１０μｍの吐出口パターンを形成した。
【００６６】
次に、溶解可能な樹脂層４（ポリメチルイソプロぺニルケトン）の除去性を高めるため、再び前記ＰＬＡ５２０（ＣＭ２９０）にて２分間露光した後、乳酸メチル中に超音波を付与しつつ浸積し、残存しているインク流路パターン４を溶出した（図６）。
【００６７】
次いで、インクジェット記録ヘッドを１８０℃、１時間加熱して感光性被覆材料層５を完全に硬化させる。
【００６８】
最後に、図７にインク供給部材を配置した基板図を示すように、インク供給口３にインク供給部材７を接着して、本実施例のインクジェット記録ヘッドが完成する。
【実施例２】
【００６９】
溶解可能な樹脂層に表２の樹脂組成物２を用い、露光は２分間行った。それ以外は実施例１と同様にインクジェット記録ヘッドを作製した（流路パターン４上における膜厚は１０μｍ、図３）。
【００７０】
（樹脂組成物２）
名称                            重量部
ＯＤＵＲ−１０１０                １００重量部
ＫＥＭＩＳＯＲＢ  １２              ０．５重量部（紫外線吸収剤）
ＫＥＭＩＳＯＲＢ  １２は２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン（ケミプロ化成（株）製商品名）。
【００７１】
＜比較従来例＞
比較従来例として、溶解可能な樹脂層としてＯＤＵＲ−１０１０を単独で用い、露光は１．５分間行った。それ以外は実施例１と同様にインクジェット記録ヘッドを作製した。この樹脂組成物には紫外線吸収剤を含まないものを用いた。
【００７２】
このようにして作製した実施例１，２、従来比較例のインクジェット記録ヘッドを記録装置に装着し、純水／ジエチレングリコール／イソプロピルアルコール／酢酸リチウム／黒色染料フードブラック２＝７９．４／１５／３／０．１／２．５から成るインクを用いて記録を行ったところ、本実施例では何れも安定な印字が可能であり、得られた印字物は高品位なものであった。
【００７３】
しかし、前記比較従来例では、印字の乱れが認められた。それぞれのヘッドを分解して観察すると、従来例では、インク吐出口入り口のインク流路の一部に数ｎｍ程度のスカムが観察された。本実施例のヘッドではスカムの発生は認められなかった。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、液体噴射記録方式に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘッドの製造方法において、溶解可能な樹脂層に紫外線吸収剤を添加することでインク流路の一部に発生するスカムを極小さいレベル、若しくは全く無いレベルまで抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明に係るインクジェット記録ヘッドに適用可能な基板の模式的斜視図である。
【図２】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの基本的な製造工程を示す模式的断面図である。
【図３】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの基本的な製造工程を示す模式的断面図である。
【図４】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの基本的な製造工程を示す模式的断面図である。
【図５】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの基本的な製造工程を示す模式的断面図である。
【図６】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの基本的な製造工程を示す模式的断面図である。
【図７】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの一例を示す模式的断面図である。
【符号の説明】
【００７６】
１    基板
２    電気熱変換素子（インク吐出圧発生素子）
３    インク供給口
４    インク流路パターン
５    感光性被覆樹脂層
６    ネガ型マスク
７    インク供給部材
８    インク吐出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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