(57)【要約】【課題】  複数の被検査装置の検査作業を可能な限り迅速に実施することが可能な検査装置を提供する。【解決手段】  半円筒状の湾曲構造を有する保持壁１０の湾曲面において複数の有機ＥＬディスプレイＤが保持された状態において、検査機２１が回動軸Ｊ１を中心として回動しながら複数の有機ＥＬディスプレイＤを検査する。検査機がＸＹステージを利用して２方向に直線的に移動しながら複数の有機ＥＬディスプレイを検査する従来の検査装置とは異なり、検査作業時に検査機２１が移動しなくて済むため、その検査機２１の移動に時間を要しなくなる。これにより、検査機２１の移動時間分だけ検査作業に要する時間が短くなるため、複数の有機ＥＬディスプレイＤの検査作業に要する時間が短くなる。【選択図】    図４
2005233788.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の軸を中心とした円周上に複数の被検査装置を保持する保持手段と、
前記第１の軸上に配置された検査部を含み、その第１の軸を中心として前記検査部を水平方向に回動させながら前記複数の被検査装置を検査する検査手段と
を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記検査手段が、前記第１の軸を中心として前記検査部を水平方向に回動させると共に、その第１の軸に沿って前記検査部を移動させるものであり、
前記保持手段が、前記検査部の移動方向に対応して前記複数の被検査装置を複数段に渡って保持するものである
ことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記保持手段が、円筒状の湾曲構造を有している
ことを特徴とする請求項２記載の検査装置。
【請求項４】
前記検査手段が、前記第１の軸を中心として前記検査部を水平方向に回動させると共に、その第１の軸に直交する第２の軸を中心として前記検査部を鉛直方向に回動させるものであり、
前記保持手段が、前記検査部の鉛直方向の回動方向に対応して前記複数の被検査装置を複数段に渡って保持するものである
ことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項５】
前記保持手段が、球状の湾曲構造を有している
ことを特徴とする請求項４記載の検査装置。
【請求項６】
前記検査手段が、前記被検査装置として表示装置を検査するものであり、
前記保持手段が、前記検査部に対して正対させるように前記複数の表示装置を保持するものである
ことを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項７】
前記検査手段が、前記表示装置の輝度を検査するものである
ことを特徴とする請求項６記載の検査装置。
【請求項８】
複数の被検査装置を湾曲面上に保持し、検査機を回動させながら前記複数の被検査装置を検査する
ことを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の被検査装置を検査するための検査装置および検査方法に係り、特に、例えば被検査装置として表示装置の輝度を検査するための検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ブラウン管（ＣＲＴ；Cathode-ray tube）に代わるディスプレイとして、多様な表示機構を有するディスプレイが開発されている。中でも、有機エレクトロルミネセンス（Electro Luminescence；以下、単に「ＥＬ」という。）現象を利用して映像を表示する有機ＥＬディスプレイは、視野角が広く、かつ消費電力が低い点において利点を有しているため、ＣＲＴの後継ディスプレイとして注目されている。
【０００３】
有機ＥＬディスプレイの製造工程では、一般に、表示性能（動作信頼性）を確認するために、検査装置を使用して有機ＥＬディスプレイを検査している。この検査作業では、例えば、検査装置を使用して有機ＥＬディスプレイの連続点灯試験を行うことにより、その有機ＥＬディスプレイの輝度を自動測定している。
【０００４】
この検査装置に関しては、既にいくつかの構成例が知られている。具体的には、例えば、複数の有機ＥＬディスプレイを載置するための平板状構造を有する保持台と、この保持台に対向配置された検査機とを備えた検査装置が知られている（例えば、非特許文献１参照。）。この検査装置では、保持台により複数の有機ＥＬディスプレイが保持された状態において、検査機がＸＹステージを利用して２方向に直線的に移動しながら各有機ＥＬディスプレイを順次検査するため、一度の検査作業において複数の有機ＥＬディスプレイが一括して検査される。
【非特許文献１】ダイトロンテクノロジー株式会社ホームページ  「有機ＥＬ発光検査装置  ＤＯＥＬ−００１」  インターネット＜URL：http://www.dtc-daitron.com/05products/06el/yuuki.html＞
【０００５】
なお、上記した検査装置に関しては、例えば、その検査装置の占有スペースを小さくするために、保持台に代えて、複数の有機ＥＬディスプレイを高さ方向に複数段に渡って配置させるための平板状構造を有する保持壁を備えたものも知られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、有機ＥＬディスプレイの製造効率を向上させるためには、例えば、複数の有機ＥＬディスプレイの検査作業を迅速に実施する必要がある。しかしながら、上記した従来の検査装置を使用して複数の有機ＥＬディスプレイを検査する場合には、その検査装置の構成的要因に起因して検査作業に時間を要するため、検査作業に要する時間を短縮する観点において未だ改善の余地がある。特に、有機ＥＬディスプレイの製造効率に関する要望が今後益々高まることを考慮すれば、その有機ＥＬディスプレイの量産性を確保するために、複数の有機ＥＬディスプレイの検査作業を可能な限り迅速に実施することが可能な検査方法と共に、その検査方法を実現させることが可能な検査装置の登場が望まれるところである。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、複数の被検査装置の検査作業を可能な限り迅速に実施することが可能な検査装置および検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る検査装置は、第１の軸を中心とした円周上に複数の被検査装置を保持する保持手段と、第１の軸上に配置された検査部を含み、その第１の軸を中心として検査部を水平方向に回動させながら複数の被検査装置を検査する検査手段とを備えたものである。上記した「円周」とは、「完全な円の周囲」だけでなく、「円の一部の周囲（すなわち円弧）」も含む意味である。
【０００９】
本発明に係る検査方法は、複数の被検査装置を湾曲面上に保持し、検査機を回動させながら複数の被検査装置を検査するようにしたものである。
【００１０】
本発明に係る検査装置では、保持手段により第１の軸を中心とした円周上に複数の被検査装置が保持された状態において、検査手段が第１の軸を中心として検査部を水平方向に回動させることにより、その検査手段が検査部を使用して複数の被検査装置を検査する。この場合には、検査部がＸＹステージを利用して２方向に直線的に移動しながら複数の被検査装置を検査する従来の検査装置とは異なり、検査作業時に検査部が移動しなくて済み、すなわち検査部の移動に時間を要しなくなるため、その検査部の移動時間分だけ検査作業に要する時間が短くなる。
【００１１】
本発明に係る検査方法では、複数の被検査装置が湾曲面上に保持された状態において、検査機が回動しながら複数の被検査装置を検査するため、上記したように、検査機の移動時間分だけ検査作業に要する時間が短くなる。
【００１２】
なお、本発明に係る検査装置では、検査手段が第１の軸を中心として検査部を水平方向に回動させると共にその第１の軸に沿って検査部を移動させ、保持手段が検査部の移動方向に対応して複数の被検査装置を複数段に渡って保持し、より具体的には保持手段が円筒状の湾曲構造を有するようにしてもよいし、あるいは検査手段が第１の軸を中心として検査部を水平方向に回動させると共にその第１の軸に直交する第２の軸を中心として検査部を鉛直方向に回動させ、保持手段が検査部の鉛直方向の回動方向に対応して複数の被検査装置を複数段に渡って保持し、より具体的には保持手段が球状の湾曲構造を有するようにしてもよい。上記した「円筒状」とは、「完全な円筒」だけでなく、「円筒の一部（例えば半円筒）」も含む意味である。また、上記した「球状」とは、「完全な球」だけでなく、「球の一部（例えば部分球）」も含む意味である。特に、検査手段が被検査装置として表示装置を検査する場合には、保持手段が検査部に対して正対させるように複数の表示装置を保持するのが好ましい。この場合の検査部と複数の表示装置との間の位置関係としては、上記したように検査部と各表示装置とが互いに正対していることが重要であり、検査部と各表示装置との間の距離が必ずしも一定である必要はない。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係る検査装置によれば、検査手段が検査部を回動させながら複数の被検査装置を検査する構造的特徴に基づき、その複数の被検査装置を検査するために要する時間が短くなる。したがって、複数の被検査装置の検査作業を可能な限り迅速に実施することができる。
【００１４】
本発明に係る検査方法によれば、検査機を回動させながら複数の被検査装置を検査する手法的特徴に基づき、その複数の被検査装置を検査するために要する時間が短くなる。したがって、複数の被検査装置の検査作業を可能な限り迅速に実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１６】
［第１の実施の形態］
まず、図１〜図３を参照して、本発明の第１の実施の形態に係る検査装置の構成について説明する。図１〜図３は検査装置の構成を表しており、図１は斜視構成、図２は平面構成、図３は側面構成をそれぞれ示している。なお、本発明の検査方法は本実施の形態の検査装置の動作として実現されるため、その検査方法に関しては以下で併せて説明する。
【００１７】
本実施の形態に係る検査装置は、複数の被検査装置を湾曲面上に保持し、検査機を回動させながら複数の被検査装置を検査するものであり、例えば、被検査装置として有機ＥＬディスプレイを検査するために使用されるものである。具体的には、検査装置は、例えば、図１〜図３に示したように、ベース１上に設置された保持壁１０および検査機構２０を備えている。
【００１８】
ベース１は、保持壁１０および検査機構２０を支持するための支持体であり、特に、保持壁１０と検査機構２０との間の位置関係を一定に維持するためのものである。このベース１は、例えば、後述する保持壁１０の湾曲構造（例えば半円筒状の湾曲構造）に対応して、半円型の平面形状を有している。なお、検査装置が必ずしもベース１を備えている必要はなく、その検査装置がベース１を備えるか否かは自由に設定可能である。
【００１９】
保持壁１０は、所定の軸（回動軸；第１の軸）Ｊ１を中心とした円周上に配列させるように複数の有機ＥＬディスプレイを保持するための保持手段である。この保持壁１０は、例えば、ベース１上に固定された複数（例えば３本）の脚部１１と、この脚部１１により支持された壁部１２とを含んで構成されている。
【００２０】
特に、保持壁１０（壁部１２）は、例えば、上記したように回動軸Ｊ１を中心とした円周上に複数の有機ＥＬディスプレイを配列させると共に、後述する検査機２１の移動方向に対応して複数の有機ＥＬディスプレイを高さ方向（Ｚ軸方向）に複数段に渡って配列させるように保持するものである。具体的には、壁部１２は、例えば、検査機２１の周囲を部分的に囲むように構成された円筒状（例えば半円筒状）の湾曲構造を有しており、その検査機２１に対して正対させるように（すなわち表示方向が検査機２１を向くように）複数の有機ＥＬディスプレイを保持するものである。この壁部１２には、例えば、有機ＥＬディスプレイを保持するための複数の保持口１３（例えば９列×５段）が設けられており、各保持口１３には、例えば、有機ＥＬディスプレイを通電させるための電極端子や回路基板（いずれも図示せず）などが設置されている。なお、保持口１３の設置個数は自由に設定可能である。
【００２１】
検査機構２０は、回動軸Ｊ１上に配置された検査機２１を含み、その回動軸Ｊ１を中心として検査機２１を水平方向（Ｘ軸に平行な方向）に回動させながら複数の有機ＥＬディスプレイを検査するための検査手段であり、例えば、上記した検査機２１と共に、この検査機２１を駆動可能に支持する駆動シャフト２２を含んで構成されている。
【００２２】
検査機２１は、有機ＥＬディスプレイを実質的に検査するための検査部であり、例えば、有機ＥＬディスプレイの輝度を検出する輝度計などの測定機器である。なお、図１および図２に示した矢印Ｒ１は、検査機２１の輝度測定方向を示している。また、図１〜図３では、例えば、高さ方向（Ｚ軸方向）において、検査機２１が最下段の保持口１３に対応して位置している状態を示している。
【００２３】
駆動シャフト２２は、例えば、上記したように回動軸Ｊ１を中心として水平方向に回動可能な上、その回動軸Ｊ１に沿って伸縮可能な駆動機構を有しており、すなわち水平方向の回動動作を利用して検査機２１を回動軸Ｊ１を中心として水平方向に回動させると共に、伸縮動作を利用して検査機２１を回動軸Ｊ１に沿って移動させるものである。この駆動シャフト２２の回動動作および伸縮動作を利用して、検査機２１は、保持壁１０により保持されている各有機ＥＬディスプレイと正対可能になっている。
【００２４】
なお、検査装置は、上記した一連の構成要素と共に、例えば、検査装置全体の動作を制御するためのコンピュータや検査結果を表示するためのモニタなどの他の構成要素（いずれも図示せず）も備えている。特に、検査装置は、例えば、検査環境を清浄に保つ必要がある場合には、外部環境と隔絶された検査室（例えばクリーンルーム等）内に設置される場合もある。
【００２５】
次に、図１〜図５を参照して、検査装置の動作について説明する。図４は検査装置による有機ＥＬディスプレイの検査手順を説明するためのものであり、図５は検査装置による有機ＥＬディスプレイの検査順序を説明するためのものである。なお、図５では、保持壁１０により保持されている複数の有機ＥＬディスプレイＤの配列状態を模式的に示しており、すなわち複数の有機ＥＬディスプレイＤを一平面内に展開して配列させた状態を示している。
【００２６】
この検査装置では、図４に示したように、複数の保持口１３に複数の有機ＥＬディスプレイＤが装着され、すなわち保持壁１０の湾曲面において複数の有機ＥＬディスプレイＤが保持された状態において、駆動シャフト２２が回動および伸縮しながら検査機２１を回動および移動させることにより、検査機構２０が検査機２１を使用して複数の有機ＥＬディスプレイＤを検査する。具体的には、例えば、図４および図５に示したように、駆動シャフト２２が回動軸Ｊ１を中心とした水平方向の回動動作と回動軸Ｊ１に沿った伸縮動作とを交互に繰り返すことにより、検査機２１が矢印Ｒ２に沿って最下段の一端側（位置Ｓ）から最上段の他端側（位置Ｅ）までジグザグに移動する過程において各有機ＥＬディスプレイＤと順次正対しながら輝度を測定する。これにより、検査機２１により一連の有機ＥＬディスプレイＤが順次検査される。なお、検査機２１による複数の有機ＥＬディスプレイＤの検査順序は、必ずしも図５に示した場合に限られず、自由に変更可能である。
【００２７】
本実施の形態に係る検査装置では、半円筒状の湾曲構造を有する保持壁１０により複数の有機ＥＬディスプレイＤが保持された状態において、検査機２１が回動軸Ｊ１を中心として水平方向に回動しながら複数の有機ＥＬディスプレイＤを検査するようにしたので、検査機がＸＹステージを利用して２方向に直線的に移動しながら複数の有機ＥＬディスプレイを検査する従来の検査装置とは異なり、検査作業時に検査機２１が移動しなくて済む。この場合には、検査機２１の移動に時間を要しなくなるため、その検査機２１の移動時間分だけ検査作業に要する時間が短くなる。したがって、本実施の形態では、複数の有機ＥＬディスプレイＤの検査時間が短くなるため、その複数の有機ＥＬディスプレイＤの検査作業を可能な限り迅速に実施することができる。
【００２８】
特に、本実施の形態では、検査機２１が回動軸Ｊ１を中心として水平方向に回動する上、その回動軸Ｊ１に沿って移動するようにしたので、その検査機２１の移動機構を利用して、同一階層に配列された複数の有機ＥＬディスプレイＤだけでなく、多階層に配列された複数の有機ＥＬディスプレイＤも検査することが可能になる。したがって、複数の有機ＥＬディスプレイＤを複数段に渡って検査することが可能になるため、一度の検査作業時における有機ＥＬディスプレイＤの検査数を増加させることができる。
【００２９】
また、本実施の形態では、検査機２１が回動および移動しながら複数の有機ＥＬディスプレイＤを検査可能とするために、その複数の有機ＥＬディスプレイＤを保持する保持壁１０が半円筒状の湾曲構造を有するようにしたので、平板状構造を有する保持台または保持壁を備えていた従来の検査装置と比較して、有機ＥＬディスプレイＤの保持個数を同数とした場合に、検査装置全体の占有面積がより小さくなる。したがって、検査装置を小型化することができる。
【００３０】
また、本実施の形態では、上記したように、検査作業時に検査機２１が回動軸Ｊ１を中心として水平方向に回動し、すなわち検査機２１がＸ軸方向およびＹ軸方向のいずれの方向にも移動しないため、検査機がＸＹステージを利用して２方向に直線的に移動し、すなわち検査機が広い範囲に渡って移動する従来の検査装置と比較して、検査装置を使用して検査作業を実施する作業者等が検査機２１と接触し得る範囲が狭くなる。したがって、検査作業時に作業者等が検査機２１と接触しにくくなるため、その作業者の安全性を向上させることができる。
【００３１】
また、本実施の形態では、有機ＥＬディスプレイＤの検査数を増加させた場合においても、従来の検査装置と比較して、有機ＥＬディスプレイＤの検査作業を可能な限り迅速に実施することができる。なぜなら、従来の検査装置において有機ＥＬディスプレイＤの検査数を増加させた場合には、平板状構造を有する保持台や保持壁の大型化に起因して検査機の移動距離が長くなるため、結果として検査機の移動時間（すなわち検査作業時間）も長くなるが、本実施の形態の検査装置において有機ＥＬディスプレイＤの検査数を増加させた場合には、半円筒状の湾曲構造を有する保持壁１０が半径方向（検査機２１を中心とする円の半径方向）に大型化したとしても、依然として検査機２１はＸ軸方向およびＹ軸方向のいずれの方向にも移動する必要がないため、保持壁１０の大型化に起因して検査機２１の検査作業時間が長くならないからである。
【００３２】
特に、本実施の形態に係る検査方法では、保持壁１０の湾曲面上に複数の有機ＥＬディスプレイＤを保持し、駆動シャフト２２の回動動作および伸縮動作を利用して検査機２１を回動および移動させながら複数の有機ＥＬディスプレイＤを検査するようにしたので、検査装置の作用として上記したように、検査機２１の移動時間分だけ検査作業に要する時間が短くなる。したがって、複数の有機ＥＬディスプレイＤの検査作業を可能な限り迅速に実施することができる。
【００３３】
なお、本実施の形態では、図２に示したように、保持壁１０（壁部１２）が半円筒状の湾曲構造を有するようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、回動および移動する検査機２１と正対させるように複数の有機ＥＬディスプレイＤを保持し得る限り、その壁部１２の構造は自由に変更可能である。具体的には、例えば、図６に示したように、略Ｃ型円筒状の湾曲構造を有するように壁部１２を構成してもよい。もちろん、図示はしないが、完全な円筒状の湾曲構造を有するように壁部１２を構成してもよい。これらの場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。特に、略Ｃ型円筒状や完全円筒状の湾曲構造を有するように壁部１２を構成した場合には、検査装置の占有面積が大きくなる一方で、一度の検査作業において検査可能な有機ＥＬディスプレイＤの数を増加させることができる。なお、上記したように壁部１２の湾曲構造を変更した場合には、その壁部１２の湾曲構造に対応するようにベース１の平面形状を変更するのが好ましい。具体的には、例えば、図６に示したように、略Ｃ型円筒状の湾曲構造を有するように壁部１２を構成した場合には、その略Ｃ型円筒状の湾曲構造に対応して円型の平面形状を有するようにベース１を構成するのが好ましい。図６に示した検査装置に関する上記以外の構成は、図２に示した場合と同様である。
【００３４】
また、本実施の形態では、図２に示したように、脚部１１および壁部１２を含むように保持壁１０を構成したが、必ずしもこれに限られるものではなく、上記したように、検査機２１と正対させるように複数の有機ＥＬディスプレイＤを保持し得る限り、その保持壁１０の構成は自由に変更可能である。特に、壁部１２の構造に関して補足しておくと、その壁部１２が検査機２１に正対させるように複数の有機ＥＬディスプレイＤを保持し得る限り、その壁部１２は多角面構造であってもよい。この場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００３５】
また、本実施の形態では、例えば、図７に示したように、検査機２１の周囲に配置されるように遮光板２３を設けてもよい。この遮光板２３は、検査機２１の後方（検査機２１の輝度測定方向Ｒ１と反対方向）において発生した光を遮るものであり、すなわち検査機２１の後方において発生した光がその検査機２１へ到達することを防止するためのものである。この遮光板２３を設けることにより、以下の理由により、有機ＥＬディスプレイＤの検査精度を向上させることができる。すなわち、半円筒状の湾曲構造を有するように保持壁１０（壁部１２）を構成した場合には、その壁部１２の一端側において保持された有機ＥＬディスプレイＤ（検査対象の有機ＥＬディスプレイＤ）と他端側において保持された他の有機ＥＬディスプレイＤ（非検査対象の有機ＥＬディスプレイＤ）とが正対する（２つの有機ＥＬディスプレイＤが互いに表示方向を向き合わせるように配置される）と、検査機２１を使用して検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの輝度を測定する際に、非検査対象の有機ＥＬディスプレイＤから放出された光が検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの表示面に映り込む現象に起因して、検査機２１により検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの輝度が高めに測定されるため、有機ＥＬディスプレイＤの検査誤差が大きくなってしまう。この点に関して、検査機１２に遮光板２３を設ければ、検査機２１を使用して検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの輝度を測定する際に非検査対象の有機ＥＬディスプレイＤから光が放出されたとしても、その光が遮光板２３において遮られることにより検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの表示面に映り込みにくくなるため、有機ＥＬディスプレイＤの検査誤差が小さくなる。したがって、有機ＥＬディスプレイＤの検査精度を向上させることができるのである。図７に示した検査装置に関する上記以外の構成は、図４に示した場合と同様である。
【００３６】
なお、上記した「光の映り込み」は、検査対象の有機ＥＬディスプレイＤと正対している特定の有機ＥＬディスプレイＤに限らず、その特定の有機ＥＬディスプレイＤ以外の他の有機ＥＬディスプレイＤ（例えば、検査対象の有機ＥＬディスプレイＤと正対している有機ＥＬディスプレイＤの隣りの有機ＥＬディスプレイＤ）に起因しても生じ得るが、検査対象の有機ＥＬディスプレイＤにおける光の映り込み総量は、その検査対象の有機ＥＬディスプレイＤと正対している有機ＥＬディスプレイＤに起因する割合が大きいため、検査対象の有機ＥＬディスプレイＤと正対している有機ＥＬディスプレイＤに起因する光の映り込み量を低減させれば、有機ＥＬディスプレイＤの検査誤差が効果的に減少する。なお、具体的に図面を参照して説明しないが、検査対象の有機ＥＬディスプレイＤにおける光の映り込み総量を可能な限り低減させる上では、例えば、上記した遮光板２３に代えて遮光筒を検査機２１に設けるようにしてもよい。
【００３７】
また、本実施の形態では、検査機２１を使用して有機ＥＬディスプレイＤの輝度を測定する際に、演算処理を利用して補正しながら有機ＥＬディスプレイＤの輝度を測定するようにしてもよい。具体的には、例えば、検査機２１を使用して検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの輝度を測定する場合には、その検査対象の有機ＥＬディスプレイＤ以外の他の有機ＥＬディスプレイＤ群から放出される光（バックグラウンド光）に起因して、検査対象の有機ＥＬディスプレイＤが作動（点灯）していなくても検査機１２において輝度が測定されてしまう。このとき測定される輝度は、検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの輝度ではなく、上記したバックグラウンド光の強度に相当するため、検査機２１において検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの輝度としてバックグラウンド光の強度が測定されると、その検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの検査精度が低下してしまう。この点を改善するためには、例えば、検査機２１を使用して検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの輝度を測定する際に、前準備として有機ＥＬディスプレイＤを意図的に停止（消灯）させた状態において、検査機２１を使用してバックグラウンド光の強度を測定し、引き続き有機ＥＬディスプレイＤを作動（点灯）させた状態において、検査機２１を使用して輝度を測定したのち、その輝度からバックグラウンド光の強度を差し引いた値（補正値）を検査対象の有機ＥＬディスプレイＤの輝度として決定するのが好ましい。この場合には、バックグラウンド光の強度に起因する誤差が排除されるため、有機ＥＬディスプレイＤの検査精度を向上させることができる。特に、この場合には、有機ＥＬディスプレイＤの検査項目として、例えば、輝度に代えて３刺激値や分光輝度を測定することも可能である。
【００３８】
なお、上記したように演算処理を利用して補正しながら有機ＥＬディスプレイＤの輝度を測定する場合には、例えば、検査機２１を使用してバックグラウンド光の強度を直接的に測定する代わりに、有機ＥＬディスプレイＤと同程度の反射特性を有する物体（反射板）を準備し、その反射板を有機ＥＬディスプレイＤの近辺に配置することにより、反射板から反射される光を検査機２１において検出することによりバックグラウンド光の強度を間接的に測定するようにしてもよい。
【００３９】
［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。
【００４０】
図８〜図１０は本実施の形態に係る検査装置の構成を表しており、図８は斜視構成、図９は平面構成、図１０は側面構成をそれぞれ示している。また、図１１は、検査装置による有機ＥＬディスプレイの検査手順を説明するためのものである。図８〜図１１では、上記第１の実施の形態において説明した構成要素と同一の要素に同一の符号を付している。なお、本発明の検査方法は本実施の形態の検査装置において実現されるため、その検査方法に関しては以下で併せて説明する。
【００４１】
本実施の形態に係る検査装置は、上記第１の実施の形態の検査装置と同様に、例えば、被検査装置として有機ＥＬディスプレイを湾曲面上に保持し、検査機を回動させながら複数の有機ＥＬディスプレイを検査するものである。この検査装置は、円筒状の湾曲構造を有する保持壁１０に代えて、球状の湾曲構造を有する保持壁３０を備えていると共に、検査機２１を回動および移動させるための駆動シャフト２２を含む検査機構２０に代えて、検査機４１を２方向（水平方向，鉛直方向）に回動させるための駆動シャフト４２を含む検査機構４０を備えている点を除き、上記第１の実施の形態の検査装置とほぼ同様の構成を有している。
【００４２】
保持壁３０は、例えば、上記第１の実施の形態において説明した保持壁１０と同様の構成を有しており、すなわち複数（例えば３本）の脚部３１および壁部３２（保持口３３）を含んで構成されている。特に、保持壁３０（壁部３２）は、例えば、回動軸Ｊ１を中心とした円周上に複数の有機ＥＬディスプレイを配列させると共に、検査機４１の鉛直方向の回動方向に対応して複数の有機ＥＬディスプレイを高さ方向（Ｚ軸方向）に複数段に渡って配列させるように保持するものである。具体的には、壁部３２は、例えば、上記したように、検査機４１の周囲を部分的に囲むように構成された球状（例えば部分球状）の湾曲構造を有しており、その検査機４１に対して正対させるように複数の有機ＥＬディスプレイを保持するものである。
【００４３】
検査機構４０は、上記したように検査機４１および駆動シャフト４２を含み、回動軸Ｊ１を中心として検査機４１を水平方向（Ｘ軸に平行な方向）に回動させながら複数の有機ＥＬディスプレイを検査するための検査手段である。駆動シャフト４２は、例えば、上記したように回動軸Ｊ１を中心として水平方向に回動可能な上、その回動軸Ｊ１に直交する他の軸（回動軸；第２の軸）Ｊ２を中心として鉛直方向（Ｚ軸に平行な方向）に回動可能な動作機構を有しており、すなわち水平方向の回動動作を利用して検査機４１を水平方向に回動させると共に、鉛直方向の回動動作を利用して検査機４１を鉛直方向に回動させるものである。なお、検査機４１は、例えば、鉛直方向の非回動状態（仰角＝０°，伏角＝０°）において、複数段に渡って配列された複数の有機ＥＬディスプレイのうちの中央の段（例えば、段数＝５段の場合には３段目）と正対するように、高さ方向（Ｚ軸方向）の位置が固定されている。
【００４４】
この検査装置では、図１１に示したように、複数の保持口３３に複数の有機ＥＬディスプレイＤが装着され、すなわち保持壁３０の湾曲面において複数の有機ＥＬディスプレイＤが保持された状態において、駆動シャフト４２が水平方向および鉛直方向に回動しながら検査機４１を水平方向および鉛直方向に回動させることにより、検査機構４０が検査機４１を使用して複数の有機ＥＬディスプレイＤを検査する。なお、検査機４１による有機ＥＬディスプレイＤの検査順序は、例えば、上記第１の実施の形態において図５を参照して説明した場合と同様である。
【００４５】
本実施の形態に係る検査装置では、部分球状の湾曲構造を有する保持壁３０により複数の有機ＥＬディスプレイＤが保持された状態において、検査機４１が回動軸Ｊ１を中心として水平方向に回動しながら複数の有機ＥＬディスプレイＤを検査するようにしたので、上記第１の実施の形態と同様の作用により、複数の有機ＥＬディスプレイＤの検査作業を可能な限り迅速に実施することができる。
【００４６】
特に、本実施の形態では、検査機４１が回動軸Ｊ１を中心として水平方向に回動する上、回動軸Ｊ２を中心として鉛直方向にも回動するようにしたので、検査機２１の移動機構を利用した上記第１の実施の形態と同様の作用により、検査機４１の鉛直方向の回動機構を利用して複数の有機ＥＬディスプレイＤを複数段に渡って検査することが可能になる。したがって、上記第１の実施の形態と同様に、一度の検査作業時における有機ＥＬディスプレイＤの検査数を増加させることができる。
【００４７】
また、本実施の形態では、検査機４１が水平方向および鉛直方向に回動しながら複数の有機ＥＬディスプレイＤを検査可能とするために、その複数の有機ＥＬディスプレイＤを保持する保持壁３０が部分球状の湾曲構造を有するようにしたので、保持壁１０が円筒状の湾曲構造を有する上記第１の実施の形態と同様の作用により、検査装置全体の占有面積が小さくなる。したがって、上記第１の実施の形態と同様に、検査装置を小型化することができる。
【００４８】
この場合には、特に、保持壁３０（壁部３２）が部分球状の湾曲構造を有している構造的特徴に基づき、検査機４１が鉛直方向のいずれの方向（上方向，下方向）に回動した場合においても、その検査機４１と保持壁３０により保持されている各有機ＥＬディスプレイＤとの間の距離が一定に保たれる。したがって、検査機４１と各有機ＥＬディスプレイＤとの間で検査条件（例えば、輝度の測定条件）が一定に保たれるため、有機ＥＬディスプレイＤの検査精度を確保することができる。
【００４９】
また、本実施の形態では、上記したように、検査機４１が検査作業時に水平方向および鉛直方向に回動することにより、その検査機４１がＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸のいずれの方向にも移動しないため、上記第１の実施の形態と比較して、検査作業時に作業者等が検査機４１とより接触しにくくなる。したがって、作業者の安全性を極めて向上させることができる。
【００５０】
なお、本実施の形態では、図８〜図１０に示したように、保持壁３０（壁部３２）が部分球状の湾曲構造を有するようにしたが、水平方向および鉛直方向に回動する検査機４１と正対させるように複数の有機ＥＬディスプレイＤを保持し得る限り、その壁部３２の構造は自由に変更可能である。具体的には、例えば、壁部３２の大きさは、有機ＥＬディスプレイＤの保持数などに応じて自由に設定可能である。また、壁部３２が検査機４１に正対させるように複数の有機ＥＬディスプレイＤを保持し得る限り、その壁部３２は湾曲構造に限らず、多角面構造であってもよい。これらの場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００５１】
特に、保持壁３０（壁部３２）の構造に関して補足すると、本実施の形態では、図１１に示したように、保持壁３０により保持された複数の有機ＥＬディスプレイＤを検査機４１に正対させると共に、その検査機４１と各有機ＥＬディスプレイＤとの間の距離を一定に保つために、球状の湾曲構造を有するように保持壁３０（壁部３２）を構成したが、必ずしもこれに限られるものではなく、複数の有機ＥＬディスプレイＤを検査機４１に正対させ得る限り、保持壁３０の構造は自由に変更可能である。具体的には、例えば、図１２および図１３に示したように、上記第１の実施の形態において説明した保持壁１０（壁部１２）と同様に半円筒状の湾曲構造を有するように壁部３２を構成した上、その壁部３２が検査機４１に正対させるように複数の有機ＥＬディスプレイＤを保持し得るように複数の保持口３３に互いに異なる保持角度を設けるようにしてもよい。なお、図１３は、図１２に示した検査装置の主要部（保持壁３０および検査機４１）の断面構成を拡大して表している。この場合においても、上記実施の形態と同様の効果を得ることができる。なお、検査機４１と各有機ＥＬディスプレイＤとの間の距離に関して説明しておくと、その距離は有機ＥＬディスプレイＤの検査精度を可能な限り高める上では一定であることが好ましいが、検査機４１と各有機ＥＬディスプレイＤとの間の距離は必ずしも一定である必要はなく、その距離が各有機ＥＬディスプレイＤ間において異なったとしても十分な検査精度が得られる。なお、検査機４１と各有機ＥＬディスプレイＤとの間の距離が互いに異なっている場合においても検査精度を可能な限り高めたいならば、例えば、検査機４１の測定結果に対して上記した距離に基づく誤差を解消するための補正演算処理を施すのが好ましい。
【００５２】
なお、本実施の形態に係る検査装置に関する上記以外の構成、動作、作用、効果および変形は、上記第１の実施の形態と同様である。
【００５３】
以上、いくつかの実施の形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、それらの実施の形態と同様の効果を得ることが可能な限りにおいて、自由に変形可能である。
【００５４】
具体的には、例えば、上記各実施の形態では、検査機を輝度計とし、その輝度計を使用して有機ＥＬディスプレイの輝度を検査する場合について説明したが、必ずしもこれに限られるものではなく、検査機の種類や有機ＥＬディスプレイの検査項目は自由に変更可能である。具体的には、例えば、検査機を色度計とし、その色度計を使用して有機ＥＬディスプレイの色度を検査したり、あるいは検査機を熱画像測定機とし、その熱画像測定機を使用して有機ＥＬディスプレイの表面温度分布を測定するようにしてもよい。これらの場合においても、上記各実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００５５】
また、上記各実施の形態では、被検査装置として有機ＥＬディスプレイを検査するために本発明の検査装置を使用するようにしたが、必ずしもこれに限られるものではなく、例えば、有機ＥＬディスプレイ以外の他のディスプレイを検査したり、あるいはディスプレイ以外の他の被検査装置を検査するために本発明の検査装置を使用するようにしてもよい。この「他のディスプレイ」としては、例えば、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ；Field Emission Display）などが挙げられる。これらの「他のディスプレイ」や「他の被検査装置」を検査するために本発明の検査装置を使用した場合においても、上記各実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５６】
本発明に係る検査装置および検査方法は、例えば、有機ＥＬディスプレイなどの複数の被検査装置を検査するために使用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置の斜視構成を表す斜視図である。
【図２】図１に示した検査装置の平面構成を表す平面図である。
【図３】図１に示した検査装置の側面構成を表す側面図である。
【図４】図１に示した検査装置による有機ＥＬディスプレイの検査手順を説明するための斜視図である。
【図５】図１に示した検査装置による有機ＥＬディスプレイの検査順序を説明するための模式図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置の構成に関する変形例を表す平面図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る検査装置の構成に関する他の変形例を表す斜視図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態に係る検査装置の斜視構成を表す斜視図である。
【図９】図８に示した検査装置の平面構成を表す平面図である。
【図１０】図８に示した検査装置の側面構成を表す側面図である。
【図１１】図８に示した検査装置による有機ＥＬディスプレイの検査手順を説明するための斜視図である。
【図１２】本発明の第２の実施の形態に係る検査装置の構成に関する変形例を表す斜視図である。
【図１３】図１２に示した検査装置の主要部の断面構成を拡大して表す断面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１…ベース、１０，３０…保持壁、１１，３１…脚部、１２，３２…壁部、１３，３３…保持口、２０，４０…検査機構、２１，４１…検査機、２２，４２…駆動シャフト、２３…遮光板、Ｄ…有機ＥＬディスプレイ、Ｊ１，Ｊ２…回動軸。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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