(57)【要約】【課題】  ポンプ動作中の機械音の発生を抑制する。【解決手段】  クランク軸５の下部はクランク台４の出力軸３ａから偏心した部位に傾斜した状態で軸着され、上部は駆動体６の非貫通穴７に遊嵌されている。駆動体６の一対の腕８，８にはダイヤフラム１３のダイヤフラム部１４，１４が取り付けられている。ダイヤフラム部１４とダイヤフラムホルダー１６とでポンプ室２０，２０が形成されている。駆動体６の頭部６ａには平面視楕円形の凸条体３０が突設されており、この凸条体３０がダイヤフラムホルダー１０の当接部１１に当接し、駆動体６の揺動支点となる。駆動体６がＹ軸方向に傾斜したときに、駆動軸５の軸線方向Ｃから揺動支点となる凸条体３０が偏心した位置に位置付けられる。【選択図】  図１
2005233028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータの出力軸と一体的に回転するクランク台と、互いに反対方向に延設された一対の腕が設けられた駆動体と、この駆動体の中央部と前記クランク台の出力軸から偏心した部位との間を連結する駆動軸と、前記駆動体の腕にポンプ室を形成する２つのダイヤフラム部が取り付けられたダイヤフラムと、このダイヤフラムを保持するダイヤフラムホルダーとを備え、前記駆動体と前記ダイヤフラムホルダーとの間に駆動体を揺動自在に支承する支承部を設け、この支承部を中心として駆動体を揺動させることにより前記ダイヤフラムの各ダイヤフラム部を往復動させ前記ポンプ室が拡縮することでポンプ作用をするダイヤフラムポンプにおいて、前記支承部を前記駆動軸の軸線方向から偏心した位置に位置付けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
請求項１記載のダイヤフラムポンプにおいて、前記支承部を前記駆動体に突設した楕円形を呈する凸条体としたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
請求項２記載のダイヤフラムポンプにおいて、前記ダイヤフラムホルダーの前記凸条体が当接する部位を円錐形に形成し、この円錐形の頂角をβとし、前記駆動軸の傾斜角度をαとしたときに、β≒（１８０−α）としたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
モータの出力軸と一体的に回転するクランク台と、互いに反対方向に延設された一対の腕が設けられた駆動体と、この駆動体の中心部と前記クランク台の出力軸から偏心した部位との間を連結する駆動軸と、前記駆動体の腕にポンプ室を形成する２つのダイヤフラム部が取り付けられたダイヤフラムと、このダイヤフラムを保持するダイヤフラムホルダーとを備え、前記駆動体を揺動させることにより前記ダイヤフラムの各ダイヤフラム部を往復動させ前記ポンプ室が拡縮することでポンプ作用をするダイヤフラムポンプにおいて、前記両ダイヤフラム部を結ぶ線と直交する方向に傾斜した前記駆動軸の軸線方向を、前記駆動体が前記ダイヤフラムから受ける力の方向から偏心した位置に位置付けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項５】
モータの出力軸と一体的に回転するクランク台と、互いに反対方向に延設された一対の腕が設けられた駆動体と、この駆動体の中心部と前記クランク台の出力軸から偏心した部位との間を連結する駆動軸と、前記駆動体の腕にポンプ室を形成する２つのダイヤフラム部が取り付けられたダイヤフラムと、このダイヤフラムを保持するダイヤフラムホルダーとを備え、前記駆動体を揺動させることにより前記ダイヤフラムの各ダイヤフラム部を往復動させ前記ポンプ室が拡縮することでポンプ作用をするダイヤフラムポンプにおいて、前記両ダイヤフラム部を結ぶ線と直交する方向に傾斜した前記駆動軸の軸線方向を、前記駆動体が前記ダイヤフラムから受ける力の方向に対して傾斜させたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項６】
請求項１ないし５記載のいずれか１項のダイヤフラムポンプにおいて、前記クランク台と前記駆動体との間にこの駆動体を前記ダイヤフラムホルダー側に付勢する付勢手段を設けたことを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータの回転に追従して傾斜した状態で回転する駆動軸によって揺動する駆動体を備え、この駆動体の揺動動作によってこの駆動体に取り付けられたダイヤフラムの各ダイヤフラム部を往復動させポンプ室が拡縮することによりポンプ作用をするダイヤフラムポンプに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図７は従来のダイヤフラムポンプを示し、同図（Ａ）は正断面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のVII（Ｂ）-VII（Ｂ） 線断面図、図８はクランク台の位相に対して左右のポンプ室の圧力差を示す図である。図７に、全体を符号１０１で示す２気筒で負圧型のダイヤフラムポンプは、略有底角筒状に形成されたケース２の底部の外側に固定されたモータ３を備えており、このモータ３の出力軸３ａはケース２の孔からケース２内に突出し、突出端部にはクランク台４が軸着されている。５は下部がクランク台４の出力軸３ａから偏心した部位に傾斜した状態で軸着された駆動軸であって、上部が駆動体６の中央部に設けた非貫通穴７内に遊嵌されており、駆動体６はこの駆動軸５に回転自在に支持されている。この駆動体６の頭部６ａは断面が円弧状に形成され、駆動体６には互いに反対方向に延設された一対の腕８，８が一体に設けられており、これら腕８，８の両端部の上側には、それぞれキノコ形に形成された固定子９，９が突設されている。
【０００３】
１０は下方が開口され箱状に形成されたダイヤフラムホルダーであって、上板の中央部に駆動体６の頭部６ａが当接する当接部１１と、この当接部１１を挟むようにして２つの保持孔１２，１２とが設けられており、ケース２の上部開口端に載置されている。１３はダイヤフラムであって、ダイヤフラムホルダーの保持孔１２，１２に挿入される平面視において互いに１８０°位相をずらした２つのダイヤフラム部１４，１４が設けられているとともに、これらダイヤフラム部１４，１４の下部には、駆動体６の固定子９，９に取り付けられるピストン１５，１５が設けられており、ダイヤフラムホルダー１０上に載置されている。
【０００４】
１６はバルブホルダーであって、中央に２つの吐出孔１７，１７が設けられているとともに、これら吐出孔１７，１７の外側に吸入孔１８，１８が設けられており、これら吸入孔１８，１８を開閉する吸入弁１９，１９が取り付けられている。このバルブホルダー１６によってダイヤフラム１３をダイヤフラムホルダー１０とともに挟持することにより、このバルブホルダー１６と各ダイヤフラム部１４，１４との間にポンプ室２０，２０が形成される。２１は吐出孔１７，１７を開閉する吐出弁である。２２はバルブホルダー１６を覆う蓋体であって、バルブホルダー１６との間に、吐出孔１７を介してポンプ室２０に連通する吐出空間２３と、この吐出空間２３の周りに吸入孔１８を介してポンプ室２０に連通する吸入空間２４とが形成されている。２５は外部と吐出空間２３とを連通する吐出筒、２６は外部と吸入空間２４とを連通する吸入筒である。
【０００５】
このように構成されていることにより、吸入筒２６にエアーチューブ等を介して真空引きする装置を接続させ、吐出筒２５を大気に開放する。このような状態としてから、モータ３を駆動し出力軸３ａを回転させると、クランク台４も一体的に回転し、駆動軸５が傾斜した状態で回転するため、駆動体６はダイヤフラムホルダー１０の当接部１１に当接した頂部６ａを中心として揺動し、一対の腕８，８の両端部が図中上下方向へ往復動する。したがって、２つのダイヤフラム部１４，１４が交互に上下方向に往復動するため、２つのポンプ室２０，２０も交互に拡縮する。ポンプ室２０が拡張することにより、ポンプ室２０内が負圧状態となって吸入筒２６を介して真空引きする装置内のエアーが吸入空間２４および吸入孔１８を通ってポンプ室２０内に吸入されるから、装置の内部が減圧される。一方、ポンプ室２０が収縮すると、ポンプ室２０内のエアーは圧力が上昇するので吐出孔１７および吐出空間２３を通って吐出筒２５から大気に放出される。なお、上述した従来技術は、出願人が出願時点で知る限りにおいて文献公知ではない。また、出願人は、出願時までに本発明に関連する先行技術文献を発見することができなかった。よって、先行技術文献情報を開示していない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述した従来のダイヤフラムポンプにおいては、このダイヤフラムポンプによって真空引きする装置の内部が減圧され、最大の減圧状態、すなわち締切圧に近づくと、駆動体６と駆動軸５との間で機械音が発生するという問題があった。そこで、発明者らは、その原因を究明すべく試行錯誤の結果、次の理由により発生する機械音であることを突き止めた。以下、図７および図８を用いてその理由について説明する。
【０００７】
図７（Ａ）に示すように、駆動軸５が駆動体６の腕８，８の延設方向（Ｘ軸方向）において左斜めに傾斜した状態、すなわち図８において駆動軸５が左端側に図示する態様のときには、左側のポンプ室２０Ａ内の圧力が締切圧に近い負圧状態になり、右側のポンプ室２０Ｂ内の圧力は無負荷状態となる。したがって、左右のポンプ室の間で圧力差が発生するから、ダイヤフラムホルダー１０の当接部１１に当接した上端６ａを中心として、駆動体６から駆動軸５に対してモーメントｍが発生するため、駆動体６の非貫通穴７の内面に駆動軸５が密着する。
【０００８】
一方、図７（Ａ）に示す状態からクランク台４が９０°回転し、同図（Ｂ）に示すように駆動軸５がＸ軸方向と直交するＹ軸方向において傾斜した状態、すなわち、図８において駆動軸５が中央に図示する態様のときには、左右のポンプ室２０，２０間の圧力が略同じ負圧となって圧力差がなくなる。このため、駆動体６がダイヤフラム１３から受ける力は、駆動軸５の軸線Ｃ方向と同方向のｆのみとなるため、駆動軸５が駆動体６の非貫通穴７の内面と密着しようとする力がかからなくなる。このように、クランク台４の回転中に、駆動軸５が駆動体６の非貫通穴７の内面に密着した状態と密着していない状態とを交互に繰り返す。このため、駆動体６の非貫通穴７の内周面と駆動軸５の外周面とが当接・離間を繰り返すため、これらの間で機械音が発生するものと考えられる。
【０００９】
本発明は上記した従来の問題に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、ポンプ動作中の機械音の発生を抑制することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するために、請求項１に係る発明は、モータの出力軸と一体的に回転するクランク台と、互いに反対方向に延設された一対の腕が設けられた駆動体と、この駆動体の中央部と前記クランク台の出力軸から偏心した部位との間を連結する駆動軸と、前記駆動体の腕にポンプ室を形成する２つのダイヤフラム部が取り付けられたダイヤフラムと、このダイヤフラムを保持するダイヤフラムホルダーとを備え、前記駆動体と前記ダイヤフラムホルダーとの間に駆動体を揺動自在に支承する支承部を設け、この支承部を中心として駆動体を揺動させることにより前記ダイヤフラムの各ダイヤフラム部を往復動させ前記ポンプ室が拡縮することでポンプ作用をするダイヤフラムポンプにおいて、前記支承部を前記駆動軸の軸線方向から偏心した位置に位置付けたものである。
【００１１】
請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明において、前記支承部を前記駆動体に突設した楕円形を呈する凸条体としたものである。
【００１２】
請求項３に係る発明は、請求項２に係る発明において、前記ダイヤフラムホルダーの前記凸条体が当接する部位を円錐形に形成し、この円錐形の頂角をβとし、前記駆動軸の傾斜角度をαとしたときに、β≒（１８０−α）としたものである。
【００１３】
請求項４に係る発明は、モータの出力軸と一体的に回転するクランク台と、互いに反対方向に延設された一対の腕が設けられた駆動体と、この駆動体の中心部と前記クランク台の出力軸から偏心した部位との間を連結する駆動軸と、前記駆動体の腕にポンプ室を形成する２つのダイヤフラム部が取り付けられたダイヤフラムと、このダイヤフラムを保持するダイヤフラムホルダーとを備え、前記駆動体を揺動させることにより前記ダイヤフラムの各ダイヤフラム部を往復動させ前記ポンプ室が拡縮することでポンプ作用をするダイヤフラムポンプにおいて、前記両ダイヤフラム部を結ぶ線と直交する方向に傾斜した前記駆動軸の軸線方向を、前記駆動体が前記ダイヤフラムから受ける力の方向から偏心した位置に位置付けたものである。
【００１４】
請求項５に係る発明は、モータの出力軸と一体的に回転するクランク台と、互いに反対方向に延設された一対の腕が設けられた駆動体と、この駆動体の中心部と前記クランク台の出力軸から偏心した部位との間を連結する駆動軸と、前記駆動体の腕にポンプ室を形成する２つのダイヤフラム部が取り付けられたダイヤフラムと、このダイヤフラムを保持するダイヤフラムホルダーとを備え、前記駆動体を揺動させることにより前記ダイヤフラムの各ダイヤフラム部を往復動させ前記ポンプ室が拡縮することでポンプ作用をするダイヤフラムポンプにおいて、前記両ダイヤフラム部を結ぶ線と直交する方向に傾斜した前記駆動軸の軸線方向を、前記駆動体が前記ダイヤフラムから受ける力の方向に対して傾斜させたものである。
【００１５】
請求項６に係る発明は、請求項１ないし５のいずれか１項の発明において、前記クランク台と前記駆動体との間にこの駆動体を前記ダイヤフラムホルダー側に付勢する付勢手段を設けたものである。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に係る発明によれば、機械音の発生を抑制することができる。
【００１７】
請求項２に係る発明によれば、ダイヤフラムポンプの小型化を図ることができる。
【００１８】
請求項３に係る発明によれば、駆動体とダイヤフラムホルダーとの間に摺動が起こらないから、摩擦が発生することがなく耐久性が向上する。
【００１９】
請求項４または５に係る発明によれば、負圧ポンプとしてだけではなく正圧ポンプとして使用しても機械音の発生を抑制することができる。
【００２０】
請求項６に係る発明によれば、締切圧の比較的小さいポンプの場合にも、駆動軸に大きなモーメントを発生させることができるから、機械音の発生をより確実に抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。図１は本発明に係るダイヤフラムポンプを示し、同図（Ａ）は正断面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のI（Ｂ）-I（Ｂ） 線断面図、図２（Ａ）は駆動体の平面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のII（Ｂ）-II（Ｂ） 線断面図、同図（Ｃ）はダイヤフラムホルダーの頂角と駆動軸の傾斜角度との関係を説明するための要部の断面図、図３はダイヤフラムホルダーの頂角と駆動軸の傾斜角度との関係を説明するためのモデル図である。これらの図において、上述した図７に示す従来技術において説明した同一または同等の部材については、同一の符号を付し詳細な説明は適宜省略する。
【００２２】
本発明に係るダイヤフラムポンプ１の第１の特徴とするところは、図１および図２に示すように、駆動体６の頂部６ａを平坦状に形成し、この頂部６ａに、この駆動体６が駆動軸５に組み付けられた状態で、ダイヤフラムホルダー１０側から視て、腕８，８の延設方向（Ｘ軸方向）を短軸とする楕円形の支承部としての凸条体３０を一体に突設した点にある。
【００２３】
また、第２の特徴とするところは、図２に示すように、ダイヤフラムホルダー１０の凸条体３０が当接する当接部１１を円錐形に形成し、図３に示すように、この当接部１１の頂点Ｏを駆動軸５の軸線Ｃ上およびモータ３の出力軸３ａの軸線Ｇ上に位置付け、駆動軸５がＹ軸方向に傾斜した状態で、軸線Ｇに対する駆動軸５の傾斜角をαとし、当接部１１の頂角をβとしたときに、β≒（１８０−α）とした点にある。
【００２４】
このように、凸条体３０を設けたことにより、図１に示すように、この凸条体３０がダイヤフラムホルダー１０の当接部１１に当接し駆動体６の支承部となる。そして、同図（Ｂ）に示すように、駆動軸５の下端部がＹ軸方向に偏心したとき、すなわち駆動軸５がＹ軸方向に傾斜した状態において、駆動体６の支承部となる凸条体３０が駆動軸５の軸線Ｃ方向から偏心した位置に位置付けられる。このため、この凸条体３０を中心として駆動体６に時計方向のモーメントｍ１が発生するから、駆動体６の非貫通穴７の内面と駆動軸５とが密着する。
【００２５】
一方、クランク台４が９０°回動し、同図（Ａ）に示すように、駆動軸５の下端部がＸ軸方向に偏心したとき、すなわち駆動軸５がＸ軸方向において傾斜した状態において、上述した従来技術と同様に左右のポンプ室２０Ａ，２０Ｂとの間の圧力差によって、駆動体６に時計方向のモーメントが発生する。同時に、駆動体６の支承部となる凸条体３０が駆動軸５の軸線Ｃから偏心した位置に位置付けられるため、この凸条体３０を中心として駆動体６に時計方向のモーメントが発生する。したがって、駆動体６には、これらモーメントを合計したモーメントｍ２が発生するから、駆動体６の非貫通穴７の内面と駆動軸５とが密着する。このように、クランク台４が回転しポンプ作用を行っている間、駆動体６の非貫通穴７の内面と駆動軸５とが密着したままの状態を保持するから、駆動体６と駆動軸５との間に発生する機械音を抑制することができる。
【００２６】
ここで、凸条体３０を駆動体６の腕８，８の延設方向（Ｘ軸方向）を短軸とした楕円形としたことにより、凸条体３０が当接する当接部１１のＸ軸方向の寸法を大きくする必要がないから、装置が大型化するようなことがない。また、両ポンプ室２０，２０との間の圧力差がなくなる同図（Ｂ）に示す状態のときに、凸条体３０と駆動軸５の軸線Ｃとの間隔が最大となり、モーメントｍ１も最大となる。したがって、両ポンプ室２０，２０との間の圧力差がなくなる同図（Ｂ）に示す状態のときにも、駆動体６の非貫通穴７の内面と駆動軸５との密着力も充分に得られるから、駆動体６と駆動軸５との間に発生する機械音をより確実に抑制することができる。
【００２７】
また、β≒（１８０−α）としたことにより、凸条体３０と当接部１１との間で摺動による摩擦が発生しないから耐久性が向上する。これを図３によって説明すると、点Ｄは凸条体３０と当接部１１とが当接する部位を示しており、この部位Ｄと軸線Ｇまでの長さＤＥ（ｒ１）は、駆動体６が回転した際に凸条体３０が当接部１１に当接する軌跡までの距離に相当する。一方、部位Ｄと駆動軸５までの長さＤＦ（ｒ２）は、駆動軸５と凸条体３０までの距離に相当し、図２（Ａ）における凸条体３０の楕円形状を示している。駆動体６が回転した際に、凸条体３０と当接部１１との間で摺動が起こらない条件として、図２（Ａ）における凸条体３０の楕円形状と、駆動体６が回転した際に凸条体３０が当接部１１に当接する軌跡とが同じ形状、すなわちｒ１＝ｒ２になることが必要となる。
【００２８】
したがって、△ＤＥＯと△ＤＦＯとが同一となり、
∠ＥＯＦ＝１８０−αであるから、
∠ＤＯＥ＝∠ＤＯＦ＝（１８０−α）／２となる。このとき、
∠ＤＯＥ＝β／２であるから、
β／２＝（１８０−α）／２となり、
β＝１８０−α
すなわち、β＝１８０−αとなるように、駆動軸５の傾斜角度αと当接部１１の頂角βとを設定すれば、常にｒ１＝ｒ２となり、上述したように、図２（Ａ）における凸条体３０の楕円形状と、駆動体６が回転した際に凸条体３０が当接部１１に当接する軌跡とが同じ形状となるから、駆動体６が回転した際に、凸条体３０と当接部１１との間で摺動が起こるようなことがなくなる。
【００２９】
図４は本発明の第２の実施の形態を示し、同図（Ａ）は正断面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のIV（Ｂ）-IV（Ｂ） 線断面図である。
【００３０】
この第２の実施の形態においては、クランク台４と駆動体６との間に、この駆動体６をダイヤフラムホルダー１０の当接部１１に付勢する付勢手段としての圧縮コイルばね３５を弾装したものである。このように構成されていることにより、締切圧が比較的小さくて駆動体６に対して駆動軸５の軸線方向に発生する力ｆが小さい場合にも、圧縮コイルばね３５によってこれを補うことができる。したがって、駆動体６に大きなモーメントｍを発生させることができるから、機械音の発生をより確実に抑制することができる。
【００３１】
図５は本発明の第３の実施の形態を示し、同図（Ａ）は側断面図、同図（Ｂ）は駆動軸の位置を説明するためのモデル図であってダイヤフラムホルダーの平面図である。
【００３２】
この第３の実施の形態においては、駆動軸５の下端部が両ダイヤフラム部１４，１４の中心を結ぶ線Ｈと直交する方向（Ｙ軸方向）に偏心したとき、すなわち駆動軸５がＹ軸方向に傾斜したとき、この駆動軸５の軸線方向Ｃを、駆動体６がダイヤフラム１３から受ける力ｆの方向Ｃ′、すなわちダイヤフラム１３のピストン１５の往復動方向Ｃ′から間隔γだけ偏心した位置に位置付けたものである。すなわち、駆動体６の頂部６ｂがダイヤフラムホルダー１０の当接部１１に当接する部位３７が、両ダイヤフラム部１４，１４の中心を結んだ線ＨからＹ軸方向に間隔δだけずれた位置に位置付けられている。
【００３３】
このように構成されていることにより、駆動軸５がＹ軸方向に傾斜したとき、すなわち両ポンプ室２０Ａ，２０Ｂとの間の圧力差がなくなる同図（Ａ）に示す状態のとき、ダイヤフラム１３のピストン１５から駆動体６に加わる力ｆによって、駆動体６に図中時計方向のモーメントｍが発生する。したがって、両ポンプ室２０Ａ，２０Ｂとの間の圧力差がなくなる同図（Ａ）に示す状態のときにも、駆動体６の非貫通穴７の内面と駆動軸５との密着力も充分に得られるから、駆動体６と駆動軸５との間に発生する機械音をより確実に抑制することができる。
【００３４】
図６は本発明の第４の実施の形態を示し、同図（Ａ）は駆動軸５の下端部がＹ軸方向の一方側に偏心した状態を示す側断面図、同図（Ｂ）は駆動軸５の下端部がＹ軸方向の他方側に偏心した状態を示す側断面図である。
【００３５】
この第４の実施の形態においては、駆動軸５の下端部がＹ軸方向に偏心したとき、すなわち駆動軸５がＹ軸方向に傾斜したとき、この駆動軸５の軸線方向Ｃ′を、駆動体６がダイヤフラム１３から受ける力ｆの方向、すなわちダイヤフラム１３のピストン１５の底面１５ａと直交する方向Ｃに対して角度δだけ傾斜させたものである。このように構成されていることにより、駆動軸５がＹ軸方向に傾斜したとき、すなわち両ポンプ室２０Ａ，２０Ｂとの間の圧力差がなくなる同図（Ａ）および（Ｂ）に示す状態のとき、ダイヤフラム１３のピストン１５から駆動体６に加わる力ｆによって、駆動体６に図中反時計方向のモーメントｍが発生する。したがって、両ポンプ室２０Ａ，２０Ｂとの間の圧力差がなくなる同図（Ａ）および（Ｂ）に示す状態のときにも、駆動体６の非貫通穴７の内面と駆動軸５との密着力も充分に得られるから、駆動体６と駆動軸５との間に発生する機械音をより確実に抑制することができる。
【００３６】
なお、本実施の形態においては、駆動軸５をクランク台４に軸着するとともに、駆動体６の非貫通穴７内に遊嵌して駆動体６を駆動軸５に回転自在に支持するようにしたが、駆動軸５を駆動体６に軸着し、クランク台４を駆動軸５に回転自在に支持するようにしてもよく、その場合にも上述した同様な作用効果が得られる。また、凸条体３０をダイヤフラムホルダー１０側から視て楕円形に形成したが円形でもよく種々の設計変更が可能である。また、第３および第４の実施の形態において、第２の実施の形態と同様にクランク台４と駆動体６との間に圧縮コイルばね３５を弾装してもよい。また、第３および第４の実施の形態においては、必ずしも駆動体６がダイヤフラムホルダー１０の当接部１１に当接させて使用しなくてもよく、このため負圧ポンプとしてだけではなく、正圧ポンプとして使用してもよい。正圧ポンプとして使用した場合には、駆動軸５の上端と駆動体６の非貫通穴７の頭部と当接し、上述した第３および第４の実施の形態と同様な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に係るダイヤフラムポンプを示し、同図（Ａ）は正断面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のI（Ｂ）-I（Ｂ） 線断面図である。
【図２】同図（Ａ）は本発明に係るダイヤフラムポンプの駆動体の平面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のII（Ｂ）-II（Ｂ） 線断面図、同図（Ｃ）はダイヤフラムホルダーの頂角と駆動軸の傾斜角度との関係を説明するための要部の断面図である。
【図３】本発明に係るダイヤフラムポンプにおいて、ダイヤフラムホルダーの頂角と駆動軸の傾斜角度との関係を説明するためのモデル図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態を示し、同図（Ａ）は正断面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のIV（Ｂ）-IV（Ｂ） 線断面図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態を示し、同図（Ａ）は側断面図、同図（Ｂ）は駆動軸の位置を説明するためのモデル図であってダイヤフラムホルダーの平面図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態を示し、同図（Ａ）は駆動軸５の下端部がＹ軸方向の一方側に偏心した状態を示す側断面図、同図（Ｂ）は駆動軸５の下端部がＹ軸方向の他方側に偏心した状態を示す側断面図である。
【図７】従来のダイヤフラムポンプを示し、同図（Ａ）は正断面図、同図（Ｂ）は同図（Ａ）のVII（Ｂ）-VII（Ｂ） 線断面図である。
【図８】ダイヤフラムポンプにおいて、クランク台の位相に対して左右のポンプ室の圧力差を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１…ダイヤフラムポンプ、３…モータ、３ａ…出力軸、５…駆動軸、６…駆動体、７…非貫通穴、８…腕、１０…ダイヤフラムホルダー、１１…当接部、１３…ダイヤフラム、１４…ダイヤフラム部、１５…ピストン、１９…吸入弁、２１…吐出弁、２５…吐出筒、２６…吸入筒、３０…凸条体（支承部）、３５…圧縮コイルばね（付勢部材）。
【図１】
2005233028.tif 000003
【図２】
2005233028.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005233028.tif 000008
【図７】
2005233028.tif 000009
【図８】
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