(57)【要約】【課題】  突出部の設置スペースを充分に確保して表示不良を防止させることが可能な表示装置を提供する。【解決手段】  走査線と、信号線と、走査線と信号線との交差部にそれぞれ設けられた複数の画素電極とを有するアクティブマトリクス基板１００と、一方の面に対向電極２２０が設けられ、対向電極２２０と画素電極とが向かい合うようにアクティブマトリクス基板１００に対向配置された対向基板と、アクティブマトリクス基板１００と対向基板との間に挟持された液晶層とを備え、対向電極２２０には、アクティブマトリクス基板１００との導通を確保するための突出部２２０ｂ…が対向電極２２０の外縁部２２０ａから外側に張り出されて形成されていることを特徴とする表示装置を採用する。【選択図】        図１
2005084514.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の走査線と、前記走査線に交差するように設けられた複数の信号線と、前記走査線と前記信号線との交差部にそれぞれ設けられた複数の画素電極とを有するアクティブマトリクス基板と、
一方の面に対向電極が設けられ、前記対向電極と前記画素電極とが向かい合うように前記アクティブマトリクス基板に対向配置された対向基板と、
前記アクティブマトリクス基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを備え、
前記対向電極には、該対向電極と前記アクティブマトリクス基板との導通を確保するための突出部が前記対向電極の外縁部から外側に張り出されて形成されていることを特徴とする表示装置。
【請求項２】
前記対向電極が平面視略矩形状に形成され、その外縁部に複数の前記突出部が対称に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
複数の走査線と複数の信号線との交差部に設けられた複数の画素電極を有するアクティブマトリクス基板と、前記各画素電極と向かい合う対向電極を備えた対向基板と、前記アクティブマトリクス基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを具備してなる表示装置に備えられる前記の対向基板としての表示装置用基板であり、
一面に前記対向電極が形成されるとともに、該対向電極と前記アクティブマトリクス基板との導通を確保するための突出部が前記対向電極の外縁部から外側に張り出されて形成されていることを特徴とする表示装置用基板。
【請求項４】
前記対向電極が平面視略矩形状に形成され、その外縁部に複数の前記突出部が対称に設けられていることを特徴とする請求項３に記載の表示装置用基板。
【請求項５】
複数の走査線と複数の信号線との交差部に設けられた複数の画素電極を有するアクティブマトリクス基板と、前記各画素電極と向かい合う対向電極を備えた対向基板と、前記アクティブマトリクス基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを具備してなる表示装置を製造する方法であり、
マザー基板にマスクを重ねて対向電極材料を成膜することによりマザー基板上に複数の対向電極を形成し、その一部又は全体を前記対向基板とする際において、
前記マスクには、前記対向電極に対応する複数の平面視略矩形の開口部が設けられ、各開口部同士は略帯状のパターン部により区画され、該パターン部には狭幅部と該狭幅部より幅広の広幅部が設けられており、
前記成膜工程において前記マスクを用いることにより、前記各対向電極に前記狭幅部に対応する突出部を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項６】
複数の走査線と複数の信号線との交差部に設けられた複数の画素電極を有するアクティブマトリクス基板と、前記各画素電極と向かい合う対向電極を備えた対向基板と、前記アクティブマトリクス基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを具備してなる表示装置を製造する方法であり、
マザー基板にマスクを重ねて対向電極材料を成膜することによりマザー基板上に複数の対向電極を形成し、対向電極ごとに前記マザー基板を分割して前記対向基板とする又は、前記アクティブマトリクス基板と張り合わせた後に前記対向電極ごとに分割して前記対向基板とする際において、
前記マスクには、前記対向電極に対応する複数の平面視略矩形の開口部が設けられ、各開口部同士は略帯状のパターン部により区画され、該パターン部には狭幅部と該狭幅部より幅広の広幅部が設けられており、
前記成膜工程において前記マスクを用いることにより、前記各対向電極に前記狭幅部に対応する突出部を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
【請求項７】
一面に対向電極を備えた表示装置用基板を製造する際において、マザー基板上に複数の対向電極を形成してから対向電極ごとに前記表示装置用基板を製造する方法であり、
前記マザー基板にマスクを重ねて対向電極材料を成膜することにより前記複数の対向電極を形成する成膜工程を有し、
前記マスクには、前記対向電極に対応する複数の平面視略矩形の開口部が設けられ、各開口部同士は略帯状のパターン部により区画され、該パターン部には狭幅部と該狭幅部より幅広の広幅部が設けられており、
前記成膜工程において前記マスクを用いることにより、前記各対向電極に前記狭幅部に対応する突出部を形成することを特徴とする表示装置用基板の製造方法。
【請求項８】
一面に対向電極を備えた表示装置用基板を製造する際において、マザー基板上に複数の対向電極を形成し、アクティブマトリクス基板と貼り合わせる前または、張り合わせた後に対向電極ごとに前記マザー基板を分割することにより前記表示装置用基板を製造する方法であり、
前記マザー基板にマスクを重ねて対向電極材料を成膜することにより前記複数の対向電極を形成する成膜工程を有し、
前記マスクには、前記対向電極に対応する複数の平面視略矩形の開口部が設けられ、各開口部同士は略帯状のパターン部により区画され、該パターン部には狭幅部と該狭幅部より幅広の広幅部が設けられており、
前記成膜工程において前記マスクを用いることにより、前記各対向電極に前記狭幅部に対応する突出部を形成することを特徴とする表示装置用基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクティブマトリクス駆動型の表示装置及びその表示装置に用いられる表示装置用基板及び表示装置の製造方法並びに表示装置用基板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の表示装置、例えば液晶装置に用いられるアクティブマトリクス基板では、走査線駆動回路やデータ線駆動回路等、画素部を駆動するための周辺駆動回路を基板上に作り込んだ駆動回路内蔵型のものが開発されている。この種の表示装置では、駆動回路を別の基板上に形成してその基板を実装するものと比較して、装置全体の小型化やコスト低減を図る上で有利となっている。
【０００３】
上述の液晶装置は、アクティブマトリクス基板と対向基板とがスペーサの混入されたシール材によって一定の間隔を保って貼り合わせられ、この一対の基板とシール材とにより形成された空間に液晶が封入された構造となっている。対向基板には、その内面側（液晶側）にＩＴＯ等の対向電極が全面に亘って形成されており、この対向基板の外周に沿って上述のシール材が枠状に設けられている。一方、アクティブマトリクス基板の内面側には、走査線と信号線とがマトリクス状に形成され、その交差部にＴＦＴ及び画素電極からなる画素部がそれぞれ形成されている。そして、この画素部がマトリクス状に形成された領域により矩形の表示領域が構成されている。
【０００４】
また、従来の液晶表示装置においては、アクティブマトリクス基板の表示領域の周囲に、対向電極との導通を確保するための接続端子が形成されている。対向電極は、表示領域及び接続端子と重なるように、即ち、表示領域よりも一回り大きな矩形状に形成されるのが一般的である。下記特許文献１には、対向電極の形状を工夫した液晶表示装置が開示されている。
【０００５】
ところで、表示領域より大きな対向電極を備えた対向基板を製造する場合には、まず大きなマザー基板２１０を用意し、このマザー基板２００上にマスクを重ねてＩＴＯなどを蒸着することによって図１６に示すような複数の対向電極２０１…を等間隔に形成し、その後、マザー基板２００を対向電極２０１ごとに分割することで複数の対向基板を一度に得るのが一般的である。
【特許文献１】特開平１１−１０１９８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
液晶表示装置における対向電極の機能を考慮した場合、対向電極は、アクティブマトリクス基板上の表示領域と接続端子とに重なれば十分である。従来のように表示領域よりも一回り大きな矩形状に形成した場合には、表示領域、接続端子の何れにも重ならない無駄な部分が発生していた。
【０００７】
また、対向電極を製造する際においては、生産性を高めるために、１枚のマザー基板からできるだけ多くの対向基板を得ることが望ましく、そのためには、対向電極同士の間隔をできるだけ狭めることが望ましい。このため、対向電極の形成に用いるマスク２０２においては、図１７に示すように、対向電極に対応する開口部２０３が複数形成されるが、この開口部２０３…同士の間隔を狭くしなければならない。
しかし、マスク２０２の開口部２０３…同士の間隔を狭くするということは、開口部２０３…同士を仕切るパターン部２０４の幅を狭くすることであり、パターン部２０４の幅が狭まることでマスク２０３自体の強度が低下し、マスク２０３の取扱いを慎重に行わなければならず、またマスク２０３自体が破損する虞もあり、かえって生産効率の面で問題があった。
【０００８】
本発明は、前記事情に鑑みてなされたものであって、突出部の設置スペースを充分に確保して表示不良を防止させることが可能な表示装置及びそのような表示装置に用いられる対向基板を提供することを目的とする。また、生産性に優れた対向基板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用した。
本発明の表示装置は、複数の走査線と、前記走査線に交差するように設けられた複数の信号線と、前記走査線と前記信号線との交差部にそれぞれ設けられた複数の画素電極とを有するアクティブマトリクス基板と、一方の面に対向電極が設けられ、前記対向電極と前記画素電極とが向かい合うように前記アクティブマトリクス基板に対向配置された対向基板と、前記アクティブマトリクス基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを備え、前記対向電極には、該対向電極と前記アクティブマトリクス基板との導通を確保するための突出部が前記対向電極の外縁部から外側に張り出されて形成されていることを特徴とする。
【００１０】
上述したように、対向電極の外縁部から外側に張り出された突出部が設けられているので、突出部の面積を広く確保することが可能となり、突出部における対向電極の駆動電流の抵抗を小さくすることができる。
【００１１】
また本発明の表示装置は、先に記載の表示装置であり、前記対向電極が平面視略矩形状に形成され、その外縁部に複数の前記突出部が対称に設けられていることを特徴とする。
【００１２】
上記構成により、対向電極の駆動電圧が対向電極全面において均一になり、表示の乱れが生じる虞がない。
【００１３】
次に本発明の表示装置用基板は、複数の走査線と複数の信号線との交差部に設けられた複数の画素電極を有するアクティブマトリクス基板と、前記各画素電極と向かい合う対向電極を備えた対向基板と、前記アクティブマトリクス基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを具備してなる液晶表示装置に備えられる前記の対向基板としての表示装置用基板であり、一面に前記対向電極が形成されるとともに、該対向電極と前記アクティブマトリクス基板との導通を確保するための突出部が前記対向電極の外縁部から外側に張り出されて形成されていることを特徴とする。
【００１４】
上述したように、対向電極の外縁部から外側に張り出された突出部が設けられているので、突出部の設置面積を広く確保することが可能となり、突出部における対向電極の駆動電流の抵抗を小さくすることができる。
【００１５】
また本発明の表示装置用基板は、先に記載の表示装置用基板であり、前記対向電極が平面視略矩形状に形成され、その外縁部に複数の前記突出部が対称に設けられていることを特徴とする。
【００１６】
上記構成により、対向電極の駆動電圧が対向電極全面において均一になり、表示の乱れが生じる虞がない。
【００１７】
次に本発明の表示装置の製造方法は、複数の走査線と複数の信号線との交差部に設けられた複数の画素電極を有するアクティブマトリクス基板と、前記各画素電極と向かい合う対向電極を備えた対向基板と、前記アクティブマトリクス基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを具備してなる表示装置を製造する方法であり、マザー基板にマスクを重ねて対向電極材料を成膜することによりマザー基板上に複数の対向電極を形成してから、アクティブマトリクス基板と貼り合わせる前または、貼り合わせた後に対向電極ごとに前記マザー基板を分割して前記対向基板とする際において、前記マスクには、前記対向電極に対応する複数の平面視略矩形の開口部が設けられ、各開口部同士は略帯状のパターン部により区画され、該パターン部には狭幅部と該狭幅部より幅広の広幅部が設けられており、前記成膜工程において前記マスクを用いることにより、前記各対向電極に前記狭幅部に対応する突出部を形成することを特徴とする。
また、本発明の表示装置の製造方法は、複数の走査線と複数の信号線との交差部に設けられた複数の画素電極を有するアクティブマトリクス基板と、前記各画素電極と向かい合う対向電極を備えた対向基板と、前記アクティブマトリクス基板と前記対向基板との間に挟持された液晶層とを具備してなる表示装置を製造する方法であり、マザー基板にマスクを重ねて対向電極材料を成膜することによりマザー基板上に複数の対向電極を形成し、対向電極ごとに前記マザー基板を分割して前記対向基板とする又は、前記アクティブマトリクス基板と張り合わせた後に前記対向電極ごとに分割して前記対向基板とする際において、前記マスクには、前記対向電極に対応する複数の平面視略矩形の開口部が設けられ、各開口部同士は略帯状のパターン部により区画され、該パターン部には狭幅部と該狭幅部より幅広の広幅部が設けられており、前記成膜工程において前記マスクを用いることにより、前記各対向電極に前記狭幅部に対応する突出部を形成することを特徴とする。
【００１８】
また本発明の表示装置用基板の製造方法は、一面に対向電極を備えた表示装置用基板を製造する際において、マザー基板上に複数の対向電極を形成してからアクティブマトリクス基板と貼り合わせる前または、張り合わせた後に対向電極ごとに前記マザー基板を分割することにより前記表示装置用基板を製造する方法であり、前記マザー基板にマスクを重ねて対向電極材料を成膜することにより前記複数の対向電極を形成する成膜工程を有し、前記マスクには、前記対向電極に対応する複数の平面視略矩形の開口部が設けられ、各開口部同士は略帯状のパターン部により区画され、該パターン部には狭幅部と該狭幅部より幅広の広幅部が設けられており、前記成膜工程において前記マスクを用いることにより、前記各対向電極に前記狭幅部に対応する突出部を形成することを特徴とする。
また本発明の表示装置用基板の製造方法は、一面に対向電極を備えた表示装置用基板を製造する際において、マザー基板上に複数の対向電極を形成し、アクティブマトリクス基板と貼り合わせる前または、張り合わせた後に対向電極ごとに前記マザー基板を分割することにより前記表示装置用基板を製造する方法であり、前記マザー基板にマスクを重ねて対向電極材料を成膜することにより前記複数の対向電極を形成する成膜工程を有し、
前記マスクには、前記対向電極に対応する複数の平面視略矩形の開口部が設けられ、各開口部同士は略帯状のパターン部により区画され、該パターン部には狭幅部と該狭幅部より幅広の広幅部が設けられており、前記成膜工程において前記マスクを用いることにより、前記各対向電極に前記狭幅部に対応する突出部を形成することを特徴とする。
【００１９】
上記構成により、マスクのパターン部に狭幅部と該狭幅部より幅広の広幅部が設けられているので、パターン部の強度が向上し、これに伴ってマスク自体の強度が向上し、マスクの取扱いを従来ほど慎重に行う必要もなく、更にマスク自体が破損する虞もない。
【００２０】
以上説明したように、本発明の表示装置用基板によれば、突出部の面積を広く確保することが可能となり、突出部における対向電極の駆動電流の抵抗を小さくすることができ、表示不良を低減できる。
また、本発明の表示装置用基板の製造方法によれば、マスク自体の強度が向上し、マスクの取扱いを従来ほど慎重に行う必要もなく、更にマスク自体が破損する虞もないので、基板の生産性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。図１は本発明の実施形態である表示装置の一例を示す図であって、アクティブマトリクス基板と対向電極の位置関係を示す平面模式図であり、図２は図１のＡ-Ａ’線に対応する断面模式図であり、図３は図１の表示装置の対向基板（表示装置用基板）を示す平面模式図である。また、図４は図１の表示装置の回路構成を説明するための平面模式図である。尚、これらの図１〜図４は表示装置及び対向基板の構成を説明するためのものであり、図示される各部の大きさや厚さや寸法等は、実際の表示装置や対向基板の寸法関係とは異なる場合がある。
【００２２】
本実施形態の表示装置は、周辺駆動回路が一体に形成された周辺回路内蔵型の液晶表示装置として構成されており、図１及び図４に示すように、ハードガラスや石英等からなるアクティブマトリクス基板１００の中央部に矩形の表示領域１５０が設けられ、その表示領域１５０の外側周辺に、走査線駆動回路１２０，データ線駆動回路１１０及びこれらの回路１１０，１２０にクロック信号や画像信号等の所定の信号を供給する各種配線からなる周辺駆動回路が設けられている。データ線駆動回路１２０がアクティブマトリクス基板１００の一辺に沿って設けられ、走査線駆動回路１２０がこの一辺に隣接する２辺に沿って設けられている。
【００２３】
また図１に示すように、アクティブマトリクス基板１００の上にはシール材１６０が設けられている。シール材１６０は、表示領域１５０及び周辺駆動回路（走査線駆動回路１２０，データ線駆動回路１１０等）を囲むように設けられている。
表示領域１５０は、液晶表示装置の表示に使用する領域であって、図４に示すように、走査線１５５，信号線１５６がそれぞれＸ方向，Ｙ方向に複数形成されており、各走査線１５５，信号線１５６の交差部には、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）１５２と矩形の画素電極１５１とからなる画素部が形成されている。このＴＦＴ１５２のゲート及びソースはそれぞれ走査線１５５，信号線１５６に接続され、ドレインは画素電極１５１に接続されている。また、保持特性を高めるために、ドレインには画素電極１５１と並列に蓄積容量１５１ａが接続されている。
【００２４】
走査線駆動回路１２０は、図４に示すように、垂直シフトレジスタ１２０ａ（シフトレジスタ）とレベルシフタ１２０ｂとを主体として構成されている。
シフトレジスタ１２０ａは、一垂直走査期間内に、クロック信号線（図示略）を介して外部制御装置から供給される基準クロック等に基づいて、走査線１５５に対してパルス状の走査信号Ｇ１，Ｇ２，・・・，Ｇｍを順次印加するものである。また、レベルシフタ１２０ｂは、シフトレジスタから発せられる走査信号Ｇ１…の電圧を昇圧若しくは降圧（レベルシフト）するものである。
また、シフトレジスタ１２０ａから発せられた走査信号Ｇ１…の電圧をレベルシフタ１２０ｂがレベルシフトする関係から、レベルシフタ１２０ｂはシフトレジスタ１２０ａよりも表示領域１５０寄りに配置されている。
【００２５】
また、図４に示すように、データ線駆動回路１１０は、低速駆動回路である複数のマルチプレクサ１１０ａを主体として構成されている。マルチプレクサ１１０ａの入力側には、外部に接続された図示略の外部制御装置から画像データ信号を入力するための画像信号入力線と、同じく図示略の外部制御装置からセレクト信号を入力するためのセレクト信号線とが接続されている。また、マルチプレクサ１１０ａの出力側には、画像信号を信号線１５６…に出力するための図示略の画像信号出力線が設けられている。
【００２６】
マルチプレクサ１１０ａは図示略の外部制御装置から受け取った画像データ信号を、上記セレクト信号と対応する画素列の信号線１５６…に出力する。そして、信号線１５６…への出力に同期して走査線駆動回路１２０から走査線に出力される走査信号Ｇ１，Ｇ２，・・・，Ｇｍにより各行の画素のスイッチングが行われ、画像が表示されるようになっている。
【００２７】
また、図１に示すように、アクティブマトリクス基板１００の下辺側の端部には、外部制御装置を実装するための実装端子１４０が設けられており、この実装端子１４０を介して外部制御装置から走査線駆動回路１２０，データ線駆動回路１１０に対して各種信号が供給されるようになっている。
また、上述のように構成されたアクティブマトリクス基板１００上にはポリイミド等からなる配向膜（図示略）が形成され、さらにシール材１６０の内周側には、表示領域１５０の外周に沿って図示略のＣｒ、Ｎｉ等からなる遮光膜が形成されている。
【００２８】
なお、駆動能力を高めるために、表示領域１５０のＴＦＴ１５２及び周辺駆動回路に内蔵されたＴＦＴのそれぞれのチャネル領域には多結晶シリコンが用いられており、例えばアクティブマトリクス基板１００上に低温ポリシリコン技術を用いて形成されている。このようにＴＦＴのチャネル領域に電荷移動度の高い多結晶シリコンを用いることで、数十から数百ＭＨｚという高速駆動に対応できるようになっている。
【００２９】
次に、図１〜図３に示すように、ガラス等からなる対向基板（表示装置用基板）２００の内面側（液晶層５０側）には、ＩＴＯ等からなる透明な対向電極２２０が形成されている。更に、対向基板２００の内面側には、表示領域１５０の外周に沿って、Ｃｒ、Ｎｉ等からなる図示略の遮光膜が矩形枠状に形成されている。
この対向基板２００は、上述のシール材１６０によりアクティブマトリクス基板１００と貼り合わされ、シール材１６０内に設けられるスペーサ（図示略）により一定間隔を保って保持される。そして、この基板１００，２００とシール材１６０とにより形成される空間に液晶が充填され、液晶層５０が形成されている。また、シール材１６０の四隅の外側に設けられた導通剤１６１によって、アクティブマトリクス基板１００と対向基板２００との導通が図られている。
【００３０】
対向電極２２０は、図１及び図３に示すように、対向基板２００とほぼ平面視相似形状、即ち平面視略矩形状に形成されている。また対向電極２２０には、その外縁部２２０ａから外側に張り出された突出部２２０ｂ…が備えられている。突出部２２０ｂ…は、対向電極２２０の対角線上に沿って４つ形成されている。
【００３１】
そして図１に示すように、対向電極２２０の４つの突出部２２０ｂ…が、シール材１６０の外側に張り出された状態で配置され、アクティブマトリクス基板１００上に備えられた導通剤１６１…に重ねられている。突出部２２０ｂ…と導通剤１６１…とによって、アクティブマトリクス基板１００と対向基板２００との導通が図られる。
このように、対向電極２２０の外縁部２２０ａから外側に張り出された突出部２２０ｂ…が設けられているので、突出部２２０ｂ…の面積を広く確保することが可能となり、突出部２２０ｂ…における対向電極２２０の駆動電流の抵抗を小さくすることができる。さらに、突出部２２０ｂ…への引き出し線幅２２０ｄは、１．５ｍｍ以上であることが望ましい。
また、突出部２２０ｂ…が複数設けられていることで、対向電極２２０の駆動電圧がその全面において均一になり、表示の乱れが生じる虞がない。
【００３２】
次に、本発明の表示装置の製造方法及び対向基板の製造方法について、図面を参照して説明する。図５は対向基板の製造方法を説明する工程図である。また、図６は対向基板の製造方法を説明する図であって、対向電極の形成に用いられるマスクを示す平面模式図である。更に、図７〜図９は対向基板の製造方法を説明する工程図である。
【００３３】
本発明の対向基板の製造方法の概略を説明すると、まず図５Ａに示すように、対向基板のほぼ４枚分の大きさのマザー基板６０を用意する。次に図５Ｂに示すように、このマザー基板６０に対してマスクを重ねた上で、ＩＴＯなどの対向電極材料を蒸着、スパッタリングなどの手段により成膜する。この成膜工程によって、マザー基板６０上に４つの対向電極２２０…が形成される。そして、アクティブマトリクス基板と貼り合わせた後に対向電極２２０…ごとに４分割する。または、貼り合わせる前に図５Ｃに示すように、対向電極２２０…ごとにマザー基板６０を４分割する。このようにして、対向電極２２０が一面上に形成された対向基板２００が４枚得られる。
【００３４】
図６には、対向電極２２０の成膜に用いられるマスクＭを示す。このマスクＭは、金属製のマスク基板７１から構成されている。マスク基板７１には、４つの開口部７０…が設けられている。隣接する開口部７０、７０同士の間には、マスク基板７１の一部である略帯状のパターン部７２が配置されている。図６に示すマスクＭには４つの開口部が２行２列の配置パターンで設けられており、このため各開口部７０…の間には４つのパターン部７２…が配置される関係になっている。また、４つの開口部７０…は、マスク基板７１の一部である環状の外周部７３によって囲まれている。各パターン部７２…は、一端側がマスクＭの中央において相互に連結されており、他端側が外周部７３に連結されている。
【００３５】
各パターン部７２…には、狭幅部７２ａと、この狭幅部７２ａより幅広の広幅部７２ｂが設けられている。狭幅部７２ａは、各パターン部７２の長手方向両側に配置されている。一方広幅部７２ｂは、各パターン部７２の長手方向中央に配置されており、狭幅部７２ａ、７２ａに挟まれた状態になっている。
また、各パターン部７２…と外周部７３との連結部分には、外周部７３の一部を切り欠いた凹部７３ａが形成されている。凹部７３ａは、各パターン部７２…の連結部分の両側に配置されている。
更に、外周部７３の４隅には、外周部７３の一部を切り欠いた凹部７３ｂが形成されている。
【００３６】
このように、各開口部７０…は、狭幅部７２ａ…、広幅部７２ｂ…、凹部７３ａ…、７３ｂ…及び外周部７３によってそれぞれ区画されており、その輪郭の平面視形状が対向電極２２０の平面視形状に対応するものとなっている。即ちマスクＭには、狭幅部７２ａ…及び凹部７３ａ…、７３ｂ…によって対向電極２２０の突出部２２０ｂに対応する形状が形成されている。
【００３７】
図７〜図１０には、上述のマスクＭを用いてマザー基板６０上に対向電極２２０…を成膜し、更にマザー基板６０を分割して対向基板２００を得るまでの工程を示す。
図７に示すように、マザー基板６０上にマスクＭを重ねて配置する。次に図８に示すように、ＩＴＯなどの対向電極形成材料を、蒸着、スパッタリングなどの手段を用いてマザー基板６０上に成膜する。マザー基板６０にはマスクＭが重ねられており、対向電極形成材料はマスクＭの開口部７０…を通過してマザー基板６０上に成膜される。このようにして、開口部７０…の形状に対応した対向電極２２０…が形成される。
【００３８】
図９には対向電極２２０…を形成した後のマザー基板６０の平面模式図を示す。図９に示すように、マザー基板６０に４つの略矩形状の対向電極２２０…が２行２列の配置で形成されている。各対向電極２２０…にはその４隅に突出部２２０ｂ…が形成されている。
そして、図１０に示すように、対向電極２２０ごとにマザー基板６０を分割することにより、対向基板２００が得られる。
【００３９】
更に、アクティブマトリクス基板上に走査線１５５、信号線１５６、画素電極１５１、ＴＦＴ１５２、走査線駆動回路１２０、データ線駆動回路１１０などをフォトリソグラフィ技術により形成し、更に実装端子１４０、導通剤１６１などを形成する。そして、アクティブマトリクス基板上にシール材１６０を環状に塗布して、先に得られた対向基板２００を貼り合わせる。対向基板２００は、対向電極２２０を画素電極に向き合わせた状態で対向電極２２０の突出部２２０ｂ…が導電剤１６１…に重なるように貼り合わされる。そして、シール材１６０の内側に液晶材料を注入し、シール材を完全に閉じる。このようにして、図１〜図４に示すような表示装置が得られる。
【００４０】
また、アクティブマトリクス基板とマザー基板６０を貼り合わせた後に分割する場合は、アクティブマトリクス基板上に走査線１５５、信号線１５６、画素電極１５１、ＴＦＴ１５２、走査線駆動回路１２０、データ線駆動回路１１０などをフォトリソグラフィ技術により形成し、更に実装端子１４０、導通剤１６１などを形成する。そして、アクティブマトリクス基板上にシール材１６０を環状に塗布して、先に得られたマザー基板６０を貼り合わせる。マザー基板６０は、対向電極２２０を画素電極に向き合わせた状態で対向電極２２０の突出部２２０ｂ…が導電剤１６１…に重なるように貼り合わされる。そして、シール剤材１６０の内側に液晶材料を注入し、シール剤材を完全に閉じる。そして、対向電極２２０ごとに分割することにより、表示装置を得る。
【００４１】
上記の対向基板の製造方法及び表示装置の製造方法によれば、マスクＭのパターン部７２…に狭幅部７２ａ…とこの狭幅部７２ａ…より幅広の広幅部７２ｂ…が設けられているので、パターン部７２の強度が向上し、これに伴ってマスクＭ自体の強度が向上し、マスクＭの取扱いを従来ほど慎重に行う必要もなく、更にマスクＭ自体が破損する虞もない。これにより、対向基板及び表示装置の生産性を高めることができる。
【００４２】
（電子機器）
次に、以上詳細に説明した表示装置を備えた電子機器の実施の形態について図１１〜図１５を参照して説明する。
【００４３】
先ず図１１に、このように表示装置を備えた電子機器の概略構成を示す。
図１１において、電子機器は、表示情報出力源１０００、表示情報処理回路１００２、前述の表示装置としての液晶パネル１０、クロック発生回路１００８並びに電源回路１０１０を備えて構成されている。
【００４４】
表示情報出力源１０００は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）、光ディスク装置などのメモリ、同調回路等を含み、クロック発生回路１００８からのクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号などの表示情報を表示情報処理回路１００２に出力する。表示情報処理回路１００２は、増幅・極性反転回路、相展開回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路等の周知の各種処理回路を含んで構成されており、クロック信号に基づいて入力された表示情報からデジタル信号を順次生成し、クロック信号ＣＬＫと共に駆動回路１００４に出力する。
【００４５】
駆動回路１００４は、走査線駆動回路１２０及びデータ線駆動回路１１０によって前述の駆動方法により液晶パネル１０を駆動する。電源回路１０１０は、上述の各回路に所定電源を供給する。尚、液晶パネル１０を構成するＴＦＴアレイ基板の上に、駆動回路１００４を搭載してもよく、これに加えて表示情報処理回路１００２を搭載してもよい。
【００４６】
次に、図１２〜図１５に、このように構成された電子機器の具体例を夫々示す。
図１２は、液晶プロジェクタの一例を示す断面図である。この液晶プロジェクタ１１００は、前述の表示装置１０をＲＧＢ用のライトバルブ１０Ｒ、１０Ｇ及び１０Ｂとして備えた投写型プロジェクタとして構成されている。液晶プロジェクタ１１００では、白色光源のランプユニット１１０２から投射された白色光は、ライトガイド１１０４の内部で複数のミラー１１０６に誘導され、２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に対応する光成分Ｒ，Ｇ，Ｂに分けられる。そして、これらの光成分Ｒ，Ｇ，Ｂはそれぞれ各色に対応するライトバルブ１０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂにより変調され、ダイクロイックプリズム１１１２により再度合成された後、投写レンズ１１１４を介してスクリーン等に投写される。
【００４７】
図１３は、ラップトップ型のパーソナルコンピュータの一例を示す正面図である。このパーソナルコンピュータ１２００は、本体１２０４にＣＰＵ，メモリ，モデム，キーボード１２０２を備え、更に、上述した表示装置１０を表示部としてトップカバーケース内に備えている。
【００４８】
図１４は、ページャの一例を示す分解斜視図である。ページャ１３００は、前述の表示装置１０を表示部として備え、この表示装置１０は、バックライト１３０６ａを含むライトガイド１３０６、回路基板１３０８、第１及び第２のシールド板１３１０及び１３１２、二つの弾性導電体１３１４及び１３１６、並びにフィルムキャリアテープ１３１８と共に金属フレーム１３０２内に収容されている。
【００４９】
なお、このページャ１３００は、図１５に示すように、回路部を外付けすることもできる。例えば、このようなページャでは、表示情報処理回路１００２を含むＩＣ１３２４がポリイミドテープ１３２２上に実装されたＴＣＰ（Ｔａｐｅ Ｃａｒｒｉｅｒ Ｐａｃｋａｇｅ）１３２０が、異方性導電フィルムを介して、アクティブマトリクス基板１に物理的且つ電気的に接続されている。
【００５０】
なお、本実施形態の表示装置は、図１１〜図１５に示した電子機器の他にも、液晶テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、携帯電話、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等の表示部として用いることができる。
【００５１】
したがって、本電子機器は、上記実施形態の表示装置を表示部として備えているので、高品位の画像表示が可能な表示部を有する電子機器を実現することができる。
【００５２】
なお、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【００５３】
本実施形態では、突出部２２０ｂを複数形成した構成になっているが、対向電極２２０の形状が比較的小さい場合は、突出部２２０ｂが１つであっても良い。
【００５４】
また、アクティブマトリクス基板１００には、上述の走査線駆動回路１２０，データ線駆動回路１１０の他に、サンプルホールド回路、プリチャージ回路を形成してもよい。このプリチャージ回路はデータ線駆動回路の信号線１５６への画像信号の書き込み負荷を低減するために、信号線１５６を、画像信号のサンプリングに先行するタイミングで所定電位にプリチャージするものであり、データ線駆動回路の補助的機能とみなすこともできる。
【００５５】
さらに、本実施形態では、走査線１５５を二つの走査線駆動回路１２０により両側から駆動する構成となっているが、走査線１５５に供給される走査信号の遅延が問題にならない場合には、一方の走査線駆動回路１２０を省略して、一つの走査線駆動回路１２０により走査線１５５を駆動するようにしてもよい。
【００５６】
また、対向基板２００には、表示装置の用途に応じてカラーフィルタが設けられ、隣接するカラーフィルタの間にはＣｒ，Ｎｉ，Ａｌ等の金属材料或いは、Ｃ（カーボン）やＴｉ（チタン）等をフォトレジストに分散させた樹脂ブラック等の遮光層が設けられる。なお、表示装置を、例えばプロジェクタのライトバルブ等の色光変調素子として用いる場合には、対向基板２００には、カラーフィルタは設けられずに遮光膜が形成される。また、必要に応じて表示装置に光を照射するフロントライトやバックライトを設けてもよい。
【００５７】
さらに、表示装置の液晶層５０には、ＴＮ液晶，ＳＴＮ液晶等のように初期の配向状態を配向膜によって規定されるものの他、高分子中に液晶分子を、配向状態がランダムとなるように分散させた高分子分散型液晶を用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】図１は本発明の実施形態である表示装置のアクティブマトリックス基板と対向電極の位置関係を示す平面模式図。
【図２】図２は図１のＡ-Ａ’線に対応する断面模式図。
【図３】図３は本発明の実施形態である対向基板の平面模式図。
【図４】図４は図１の表示装置の回路構成を説明するための平面模式図。
【図５】図５は本発明の実施形態である対向基板の製造方法を説明する工程図。
【図６】図６は本発明の実施形態である対向基板の製造方法を説明する図であって、対向電極の形成に用いられるマスクを示す平面模式図。
【図７】図７は対向基板の製造方法を説明する工程図。
【図８】図８は対向基板の製造方法を説明する工程図。
【図９】図９は対向基板の製造方法を説明する工程図。
【図１０】図１０は対向基板の製造方法を説明する工程図。
【図１１】図１１は本発明の実施形態である電子機器の機能的な構成を示すブロック図。
【図１２】図１２は電子機器の一例としての液晶プロジェクタを示す断面図。
【図１３】図１３は電子機器の他の例としてのパーソナルコンピュータを示す正面図。
【図１４】図１４は電子機器の他の例としてのページャを示す分解斜視図。
【図１５】図１５は電子機器の他の例としてのＴＣＰを用いた液晶装置を示す斜視図。
【図１６】図１６は従来の液晶表示装置の製造に用いられるマザー基板を示す平面模式図。
【図１７】図１７はマザー基板を製造する際に用いられるマスクを示す平面模式図。
【符号の説明】
【００５９】
３０…液晶層、１００…アクティブマトリクス基板、１５１…画素電極、１５５…走査線、１５６…信号線、２００…対向基板（表示装置用基板）、２２０…対向電極、２２０ａ…外縁部、２２０ｂ…突出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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