(57)【要約】【課題】特性個体差を吸収可能で、低コスト、素子構成が単純であるガスセンサ素子の出力調整方法を提供すること。【解決手段】固体電解質体１１と一対の基準電極４と被測定ガス側電極３とからなり、一対の電極３、４は、出力を取り出すよう構成した測定回路に電気的に接続される。被測定ガス側電極３における被測定ガスと対面する面を覆うように拡散抵抗層２が設けてあり、少なくとも拡散抵抗層２から被測定ガス側電極３に向けて被測定ガスを導入するよう、拡散抵抗層２の表面はガス導入部２０を有するガスセンサ素子の出力を調整するにあたり、出力調整量に応じて、拡散抵抗層２により覆われた被測定ガス側電極３の面積を調整する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固体電解質体と該固体電解質体の表面に設けた一対の基準電極と被測定ガス側電極とからなり、上記一対の電極は、該一対の電極から出力を取り出すよう構成した測定回路に電気的に接続されてなり、
かつ上記被測定ガス側電極における被測定ガスと対面する面を覆うように拡散抵抗層が設けてあり、少なくとも上記拡散抵抗層から上記被測定ガス側電極に向けて被測定ガスを導入するよう、上記拡散抵抗層の表面はガス導入部を有するガスセンサ素子の出力を調整するにあたり、
出力調整量に応じて、拡散抵抗層により覆われた被測定ガス側電極の面積を調整することを特徴とするガスセンサ素子の出力調整方法。
【請求項２】
請求項１において、上記被測定ガス側電極は１枚の主電極と該主電極よりも面積の小さい複数の調整電極とからなり、かつ上記主電極に対する拡散距離をＬ１、上記調整電極に対する拡散距離をＬ２とすると、Ｌ２≦Ｌ１であり、
出力調整量に応じて、上記調整電極を上記主電極から電気的に切断または接続することを特徴とするガスセンサ素子の出力調整方法。
【請求項３】
請求項１または２において、ガスセンサ素子の出力を測定しつつ、該出力の大きさに応じて出力調整量を定めて、出力を調整することを特徴とするガスセンサ素子の出力調整方法。
【請求項４】
請求項２または３において、上記主電極と上記調整電極とは組成が異なることを特徴とするガスセンサ素子の出力調整方法。
【請求項５】
請求項４において、上記主電極と上記調整電極は共にＡｕを含有するが、その含有量が異なる、または上記調整電極のみにＡｕを含有させることを特徴とするガスセンサ素子の出力調整方法。
【請求項６】
請求項４において、上記主電極と上記調整電極は共にＲｈを含有するが、その含有量が異なる、または上記調整電極のみにＲｈを含有させることを特徴とするガスセンサ素子の出力調整方法。
【請求項７】
固体電解質体と該固体電解質体の表面に設けた一対の基準電極と被測定ガス側電極とからなり、上記一対の電極は、該一対の電極から出力を取り出すよう構成した測定回路に電気的に接続されてなり、
上記被測定ガス側電極は１枚の主電極と該主電極よりも面積の小さい複数の調整電極とからなり、かつ上記主電極に対する拡散距離をＬ１、上記調整電極に対する拡散距離をＬ２とすると、Ｌ２≦Ｌ１であることを特徴とするガスセンサ素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動車エンジン等の内燃機関の排気系等に設置して燃焼制御等に利用できるガスセンサ素子及びその出力調整方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車エンジン等の内燃機関において、空燃比制御を行う際に、次のような構成のガスセンサ素子を設けたガスセンサが広く用いられている。
すなわち、図１１、図１２に示すごとく、ガスセンサ素子９は、固体電解質体１１と該固体電解質体１１の表面に設けた一対の基準電極９２と被測定ガス側電極９１とからなり、上記一対の電極９１、９２は、該一対の電極９１、９２から出力を取り出すよう構成した測定回路（図示略）に電気的に接続されている。
そして、上記被測定ガス側電極９１における被測定ガスと対面する面を覆うように、緻密層２１と多孔層２２からなる拡散抵抗層２が設けてあり、少なくとも上記拡散抵抗層２から上記被測定ガス側電極９１に向けて被測定ガスを導入するよう、上記拡散抵抗層２の表面はガス導入部２０を有する。
【０００３】
上記ガスセンサ素子９において、ガス濃度の測定は次のように行われる。
すなわち、被測定ガスが導入部２０を介して拡散抵抗層２に入り、被測定ガス側電極９１と接触する。
被測定ガス側電極９１と基準電極９２との間に測定回路が接続されているが、この測定回路を介して、上記一対の電極９１、９２の間に定電圧を印加する。
この定電圧の値が適切であれば、上記一対の電極９１、９２の間に流れる電流値は拡散抵抗層２を通過する酸素分子の量によって律速される。
従って、上記一対の電極９１、９２に接続した測定回路において検出できる電流値は、被測定ガス中の酸素濃度が一定であれば、特定の値で飽和する特性を持つ。
【０００４】
図１３は酸素濃度がａ〜ｄまで変化した場合（ａ＞ｂ＞ｃ＞ｄ）の、上記一対の電極９１、９２に対する印加電圧と出力電流との関係を示す線図である。
同図より、上記一対の電極９１、９２間に適当な印加電圧を加えることで（同図に示すＶ）、酸素濃度に応じた出力電流が得られることがわかる。同図において、酸素濃度がａの場合、出力電流Ｉａを得ることができる。
【０００５】
ところで多数のガスセンサ素子を製造する際は、製造ばらつきにより特性に個体差が発生することがある。
酸素濃度ａの被測定ガスにさらしたガスセンサ素子の、上記一対の電極の間に定電圧Ｖを印加すると、出力電流はＩａとなる筈である。
しかし現実に多数のガスセンサ素子からから得られる出力電流をプロットすると、図１４に示すような分布図が得られる。
ある程度の誤差を許容するとして、ΔＩａの範囲にある出力を得たガスセンサ素子は良品として実用に供することができても、ΔＩａの範囲を越えたＸにあたる出力を備えるガスセンサ素子は、測定誤差が大きく、使用に耐えない不良品である。
【０００６】
従って、製造歩留まり向上のためには、不良品のガスセンサ素子をなんらかの手段で良品となる出力範囲に出力調整してやる必要がある。
従来、素子の外部に抵抗体等を備えた外部回路を設けて、該外部回路の抵抗値を適宜変更して出力電流を調整し、製造ばらつきによる特性個体差を吸収することが提案されていた（特許文献１参照）。
また、拡散抵抗層を加工して、被測定ガスが導入部から電極に到達するまでの距離（拡散距離）を変えて、特性個体差を吸収することが提案されていた（特許文献２参照）。
【０００７】
【特許文献１】実公平７−２７３９１号公報
【特許文献２】特開２００１−１５３８３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１にかかる発明では、出力電流の調整にガスセンサ素子と別個の外部回路、抵抗体等が必要で、素子構成が複雑となるおそれがあった。
また、特許文献２にかかる発明では、拡散抵抗層の拡散抵抗の特性（気孔率や気孔径）が場所に応じてばらつくことがあるため、拡散距離の変更のみで目標とする出力電流を得ることは困難であった。
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、特性個体差を吸収可能で、低コスト、素子構成が単純であるガスセンサ素子及びその出力調整方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明は、固体電解質体と該固体電解質体の表面に設けた一対の基準電極と被測定ガス側電極とからなり、上記一対の電極は、該一対の電極から出力を取り出すよう構成した測定回路に電気的に接続されてなり、
かつ上記被測定ガス側電極における被測定ガスと対面する面を覆うように拡散抵抗層が設けてあり、少なくとも上記拡散抵抗層から上記被測定ガス側電極に向けて被測定ガスを導入するよう、上記拡散抵抗層の表面はガス導入部を有するガスセンサ素子の出力を調整するにあたり、
出力調整量に応じて、拡散抵抗層により覆われた被測定ガス側電極の面積を調整することを特徴とするガスセンサ素子の出力調整方法にある。
【００１０】
ガスセンサ素子において、拡散抵抗層に覆われた被測定ガス側電極と基準電極との間に適当な電圧を印加した場合、両電極間から得られる出力電流は拡散抵抗層を通過する被測定ガスの量によって律速される。
一般に、拡散抵抗層で覆われた被測定ガス側電極を備えたガスセンサ素子において、出力電流は拡散断面積が大きくなると増加する傾向がある。
よって、出力調整量に応じて、拡散抵抗層で覆われた被測定ガス側電極の面積を調整することで、拡散断面積を調整し、出力電流を調整することができる。すなわち、被測定ガス側電極の面積を小さくすることで、拡散断面積を小さくして、出力電流を減らすことができる。反対に、被測定ガス側電極の面積を大きくすることで、拡散断面積を大きくして、出力電流を増やすことができる。
【００１１】
また、第１の発明にかかるガスセンサ素子では、被測定ガス側電極が拡散抵抗層に覆われている。従って、被測定ガスはガス導入部から拡散抵抗層の内部を経由して、拡散抵抗層と被測定ガス側電極との境界面を通じて、被測定ガス側電極表面に到達する。
被測定ガス側電極の面積を調整する手段を設けることで、拡散断面積をコントロールして、容易に素子の出力調整を行うことができる。
そして、第１の発明は、被測定ガス側電極の面積を調整する手段として従来技術に記載したような抵抗体を用いた外部回路を用いていないため、低コストかつ素子構成を単純とすることができる。
更に、拡散距離でなく、拡散断面積を調整する方法で出力調整を行うため、拡散距離の差が原因の拡散抵抗層のガス通過時間、すなわち応答時間のガスセンサ素子間バラツキが生じ難いという効果を得ることができる。
以上、第１の発明によれば、特性個体差を吸収可能で、低コスト、素子構成が単純であるガスセンサ素子の出力調整方法を提供することができる。
【００１２】
第２の発明は、固体電解質体と該固体電解質体の表面に設けた一対の基準電極と被測定ガス側電極とからなり、上記一対の電極は、該一対の電極から出力を取り出すよう構成した測定回路に電気的に接続されてなり、
上記被測定ガス側電極は１枚の主電極と該主電極よりも面積の小さい複数の調整電極とからなり、かつ上記主電極に対する拡散距離をＬ１、上記調整電極に対する拡散距離をＬ２とすると、Ｌ２≦Ｌ１であることを特徴とするガスセンサ素子にある（請求項７）。
【００１３】
第２の発明にかかるガスセンサ素子は被測定ガス側電極が、主電極と該主電極よりも面積の小さい複数の調整電極からなる。
従って、調整電極を主電極から１つづつ電気的に切り離すことで、少なくとも１つの調整電極により生じる出力電流の大きさに応じた調整を行うことができる（後述する図１参照）。
更に、Ｌ２≦Ｌ１であることから、全ての調整電極が主電極から電気的に切り離されない限り、ガスセンサ素子の出力電流に寄与することができる。
仮にＬ２＞Ｌ１である場合、被測定ガスは調整電極に達する前に、主電極に到達する。
そのため、検出したい特定ガスの濃度が薄い場合等に、主電極において特定ガスの大半が分解して酸素イオンとなり、調整電極に到達し難くなる。そのため、出力電流は常に主電極にのみ依存することとなり、調整電極を設ける意味がなくなる。
なお、上記Ｌ１、Ｌ２はガス導入部と主電極や調整電極の端部との間の最短距離であり、具体的な寸法は後述する図５、図９に示した。
【００１４】
そして、第２の発明にかかる構成のガスセンサ素子を用いることで、被測定ガス側電極の面積を調整する手段として従来技術に記載したような抵抗体を用いた外部回路を用いていないため、低コストかつ素子構成を単純とすることができる。
更に、拡散距離でなく、拡散断面積を調整する方法で出力調整を行うため、拡散距離の差が原因の拡散抵抗層のガス通過時間、すなわち応答時間のガスセンサ素子間バラツキが生じ難いという効果を得ることができる。
【００１５】
以上、第２の発明によれば、特性個体差を吸収可能で、低コスト、素子構成が単純であるガスセンサ素子の出力調整方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
第１の発明にかかる出力調整方法は、内燃機関の燃焼制御に用いる空燃比センサ素子や、限界電流式の酸素センサ素子の他、ＮＯｘ、ＣＯ、ＨＣ等の各種ガス濃度を検出するガスセンサ素子に適用することができる。
また、第２の発明にかかるガスセンサ素子において、拡散抵抗層は、被測定ガス側電極のみを覆うように構成することもできるし、被測定ガス側電極を設けた固体電解質体の表面の全体または部分を覆うように構成することもできる。
更に、拡散抵抗層をガス不透過の緻密層とガスが透過する多孔層とから構成することもできる（図２参照）。
また、一般的なガスセンサ素子と同様に、第２の発明のガスセンサ素子における上記固体電解質体は酸素イオン導電性のセラミックから構成することができ、また拡散抵抗層は多孔質のセラミックから構成することができる。
また、第２のガスセンサ素子は一体的に積層したセラミックヒータを持つことができる。
【００１７】
次に、上記被測定ガス側電極は１枚の主電極と該主電極よりも面積の小さい複数の調整電極とからなり、かつ上記主電極に対する拡散距離をＬ１、上記調整電極に対する拡散距離をＬ２とすると、Ｌ２≦Ｌ１であり、
出力調整量に応じて、上記調整電極を上記主電極から電気的に切断または接続することが好ましい（請求項２）。
これにより、少なくとも１つの調整電極により生じる出力電流の大きさに応じた調整を行うことができる（後述する図１参照）。
【００１８】
ところで、ガスセンサ素子における特定ガス濃度検出のメカニズムについて説明すると、酸素濃度を測定する場合は、被測定ガス側電極の表面において、酸素をイオン化して、酸素イオンが被測定ガス側電極から基準電極に移動する際の電流を出力電流として検出することで、酸素濃度を測定する。ＮＯｘ等の場合は、ＮＯｘ等を被測定ガス側電極の表面で分解して生じた酸素イオンに拠る酸素イオン電流を出力電流として検出することで、ＮＯｘ等の濃度を測定する。
このように、第１の発明のガスセンサ素子は、特定ガスが分解されて生じた酸素イオン等を利用して、測定を行っている。
【００１９】
仮にＬ２＞Ｌ１である場合、被測定ガスは調整電極に達する前に、主電極に到達する。
そのため、検出したい特定ガスの濃度が薄い場合等に、主電極において特定ガスの大半が分解して酸素イオンとなり、調整電極に到達し難くなる。そのため、出力電流は常に主電極にのみ依存することとなり、調整電極を設ける意味がなくなる。
なお、上記Ｌ１、Ｌ２はガス導入部と主電極や調整電極の端部との間の最短距離であり、具体的な寸法は後述する図５、図９に示した。
【００２０】
そして、上記調整電極を上記主電極から電気的に切断または接続する方法として、例えば次に記載するような方法がある。
すなわち、調整電極から測定回路に接続する調整リード部を別途設けておき、該調整リード部を必要に応じて切断または接続する（実施例１参照）。
上記調整リード部は固体電解質体上に設けることもできるし（図５参照）、固体電解質体の外部に設けておくこともできる（実施例２、図８参照）。
また、調整リード部の電気的導通をオン／オフするスイッチ構造を設けておいて（実施例２、図８参照）、このスイッチの操作により、切断と接続を実現することで、従来と異なりスイッチだけの簡単な回路により、本発明にかかる効果を得ることができる。
更に、スイッチを設けた構成は、調整リード部の再接続が可能であり、調整リード部切断のやり直しもでき、調整の範囲や自由度がより広くなる。
【００２１】
また、リード部の切断方法として、固体電解質体上にリード部を設けた場合は、レーザー照射等を利用してリード部を焼き切る方法がある。または、ガスセンサ素子の側面等からブラスト加工や切削加工を利用して、固体電解質体ごとリード部を切断する方法もある（実施例１参照）。
【００２２】
次に、ガスセンサ素子の出力を測定しつつ、該出力の大きさに応じて出力調整量を定めて、出力を調整することが好ましい（請求項３）（実施例１参照）。
これにより、出力を測定しつつ調整することができるため、より精度高い出力調整が可能となる。
【００２３】
次に、上記主電極と上記調整電極とは組成が異なることが好ましい（請求項４）。
組成を変更することで、主電極及び各調整電極によって生じる出力電流の大小を制御することができる。従って、よりきめ細かい出力調整を可能とすることができる。
そして、組成を違える具体的な方法としては、例えば、上記主電極と上記調整電極は共にＡｕを含有するが、Ａｕの含有量を主電極と調整電極において違えるか、上記調整電極のみにＡｕを含有させる方法がある（請求項５）。
または、上記主電極と上記調整電極は共にＲｈを含有するが、Ｒｈの含有量を主電極と調整電極において違えるか、上記調整電極のみにＲｈを含有させる方法がある（請求項６）。
電極がＡｕを含むことで、電極の酸素吸着力が低下するため、出力電流が小さくなる。また、電極がＲｈを含むことで、電極の酸素吸着力が増大するため、出力電流が大きくなる。従って、ＡｕやＲｈを添加し、その含有量を主電極と調整電極とで違えることで、主電極と調整電極によって生じる出力電流の大きさを違えることができる。
【実施例】
【００２４】
（実施例１）
本発明にかかるガスセンサ素子とその出力調整方法について説明する。
本例にかかるガスセンサ素子１は、図１〜図５に示すごとく、固体電解質体１１と該固体電解質体１１の表面に設けた一対の基準電極４と被測定ガス側電極３とからなり、上記一対の電極３、４は、該一対の電極３、４から出力を取り出すよう構成した測定回路（図示略）に電気的に接続されてなり、かつ上記被測定ガス側電極３における被測定ガスと対面する面を覆うように拡散抵抗層２が設けてあり、少なくとも上記拡散抵抗層２から上記被測定ガス側電極３に向けて被測定ガスを導入するよう、上記拡散抵抗層２の表面はガス導入部２０を有する。
この素子１の出力を調整するに当たり、出力調整量に応じて、拡散抵抗層２により覆われた被測定ガス側電極３の面積を調整する。
具体的には、上記被測定ガス側電極３は１枚の主電極３１と該主電極３１よりも面積の小さい６枚の調整電極３２ａ〜３２ｆとからなり、かつ上記主電極３１に対する拡散距離をＬ１、上記調整電極３２ａ〜３２ｆに対する拡散距離をＬ２とすると、Ｌ２≦Ｌ１である。
そして、出力調整量に応じて、上記調整電極３２ａ〜３２ｆを上記主電極３１から電気的に切断または接続する。
【００２５】
以下、詳細に説明する。
本例のガスセンサ素子は、図１、図２、図３に示すごとく、拡散抵抗層２、酸素イオン導電性の固体電解質体１１、基準ガス室形成用のスペーサ１２、発熱体１３０等を設けたヒータ基板１３とを積層してなる。
本例の拡散抵抗層２は、ガス透過性の多孔層２２にガス不透過の遮蔽層２１を積層してなる。
被測定ガスは、遮蔽層２１で覆われた面から入ることができないため、本例の構成にかかるガスセンサ素子１におけるガス導入部２０は、図２、図５に示すごとく、多孔層２２の側面１１５、１１６、１１７を構成する端面となる。
固体電解質体１１の拡散抵抗層２を設けた側の表面１１１には、被測定ガス側電極３と、端子部３９１と、被測定ガス側電極３と端子部３９１とを電気的に接続する電極リード部３９とを設ける。
【００２６】
また、スペーサ１２は溝部１２０を有し、この溝部１２０と固体電解質体１１の表面１１２とで囲まれた空間が基準ガス室となる。
固体電解質体１１の面１１２側には、基準ガス室と対面する基準電極４と、内部端子部４９０と、基準電極４と内部端子部４９０とを電気的に接続する電極リード部４９とを設ける。そして、内部端子部４９０に導電スルーホール（図示略）を設けて、面１１１側に設けた端子部４９１と電気的に導通させる。
端子部３９１と端子部４９１は素子の外部に露出しており、電極３、４に電圧を印加したり、素子の出力電流を取り出すよう構成した測定回路（図示略）を、上記端子部３９１、４９１に電気的に接続する。
【００２７】
被測定ガス側電極３について詳細に説明する。
図４、図５に示すごとく、被測定ガス側電極３は、主電極３１とこれより小さい調整電極３２とからなり、調整電極３２は調整リード部３３及びリード部３３９によって、電極リード部３９に電気的に接続される。
調整電極３２は全部で６枚で、主電極に近い順に３２ａ〜３２ｆと符号を与えた。
各調整電極３２ａ〜３２ｆはそれぞれ調整リード部３３ａ〜３３ｆによってリード部３３９に接続され、更にリード部３３９はリード部３９に接続される。
主電極は、長手方向の素子先端側に設けてあり、調整電極は主電極より基端側に設けてある。
なお、素子の先端側、基端側は図４に記載したように被測定ガス側電極を設けた側が先端側、端子部を設けた側を基端側とした。
【００２８】
本例において各調整電極３２ａ〜３２ｆはいずれも同組成、同面積である。
すなわち、主電極３１及び各調整電極３２ａ〜３２ｆはいずれもＰｔからなる。
そして、本例のガスセンサ素子において、被測定ガスは、図１に示す矢線ｈに示すごとく、拡散抵抗層２における多孔層２２の側面から導入されるため、主電極３１の拡散距離と調整電極の拡散距離とは、図５に図示する通りであり、Ｌ２＝Ｌ１となる。
【００２９】
本例のガスセンサ素子１の出力調整の方法について詳細に説明する。
本例のガスセンサ素子１では、調整電極３２ａ〜３２ｆをリード部３９から電気的に切り離すことで、出力調整を実現する。
更に、この出力調整は、ガスセンサ素子の出力を測定しつつ、該出力の大きさに応じて出力調整量を定めて、出力を調整する。
すなわち、図５に示すごとく、本例の調整電極３２ａ〜３２ｆをリード部３９に接続する調整リード部３３は、３３ａ〜３３ｆの６本からなり、３３ａが最も素子の外側に、３３ｆが最も内側に位置する。３３ａは調整電極３２ａと導通し、３３ｆは調整電極３２ｆと導通する。
そして、カッターを用いて図５に示す破線３３０に沿って、拡散抵抗層や固体電解質体ごと素子に切れ目を入れる。
【００３０】
その結果、図６に示すごとく、調整リード部３３を切断していない状態の出力電流は、主電極３１と６枚の調整電極３２とから得られる出力電流の合計であり、かつ主電極から得た出力電流をＡ（ｍＡ）、調整電極３２の１枚当たりから得られる出力電流をＢ（ｍＡ）とすると、Ａ＋６Ｂである。（なお、調整電極３２はすべて同面積であることから、同じ出力電流Ｂが得られる。）
ここで切れ目を入れ、最も外側に位置する調整リード部３３ａを切断すると、出力電流はＢだけ低下し、Ａ＋５Ｂとなる。
切れ目をどんどん大きくすることで、各調整リード部３３が切断され、１本切断されるごとにＢずつ出力電流が低下し、最後は出力電流がＡとなる。
【００３１】
従って、本例によれば、図７に示すごとき出力電流の分布を備えたガスセンサ素子を製造し、このガスセンサ素子に許される出力電流の範囲がＩａ０〜Ｉａ１である。
この場合、同図に示すＸ部の範囲（範囲ｎ）に当たるガスセンサ素子は出力電流が大きく、未調整のままでは使用することができない。それ以外の範囲ｍに当たるセンサ素子は調整せずとも用いることができる。
【００３２】
そこでこのガスセンサ素子１を出力電流を測定する電流計と一対の電極３、４に電圧を印加する電源を備えた測定回路に接続する。
まず、電圧を印加して、全ての調整リード部３３が切断されていない状態での出力電流を測定する。
測定した値が、Ｉａ１より大であった場合、上記した方法でカッターを用いて、拡散抵抗層２、固体電解質体１１ごと素子１に切れ目を設けて、調整リード部３３ａ〜３３ｆを１本切断した。
再び電圧を印加して出力電流を測定し、出力電流がＩａ１より小さくなったら、加工は中断し、素子１を良品として取り分ける。
出力電流がＩａ１より大きい場合は、これがＩａ１より小さくなるまで１づつ調整リード部３３を切断して、出力電流の範囲が上記Ｉａ０〜Ｉａ１となるようにした。
これにより範囲ｎにあった不良品は、すべて範囲ｍに収まり良品として使用できる。
【００３３】
本例の作用効果について説明する。
本例にかかるガスセンサ素子１では、被測定ガス側電極３が拡散抵抗層２に覆われている。従って、被測定ガスは、ガス導入部２０から拡散抵抗層２の内部を経由して、拡散抵抗層２と被測定ガス側電極３との境界面を通じて、被測定ガス側電極３の表面に到達する。
本例は、被測定ガス側電極３の面積を調整する手段として、従来技術に記載したような外部回路や抵抗体を用いず、被測定ガス側電極３を主電極３１と６枚の調整電極３２で構成し、拡散抵抗層２や固体電解質体１１ごと素子１に切り目を入れることで調整電極３２とリード部３９との間を導通させる調整リード部３３を切断する。
これにより、低コストな素子、単純構成の素子を得ることができる。
更に、本例では、拡散距離でなく、拡散断面積を調整する方法で出力調整を行うため、
という効果を得ることができる。
以上、本例によれば、特性個体差を吸収可能で、低コスト、素子構成が単純であるガスセンサ素子及び出力調整方法を提供することができる。
【００３４】
なお、レーザーを拡散抵抗層を介して照射することで、調整リード部を焼き切って、出力調整を行うことができる。
【００３５】
（実施例２）
本例のガスセンサ素子１は、図８に示すごとく、実施例１と同様の主電極３１及び調整電極３２からなる被測定ガス側電極３を備えている。
ただし、調整リード部３３の末端は、素子１の外部に引き出され、主電極３１に対するリード部３９に導通するよう調整リード部３３９を設けて、上記調整リード３３で素子１の外部に引き出された部分に対しスイッチ３３１を設ける。
なお、主電極３１のリード部３９も途中から素子の外部に引き出してある。
【００３６】
このガスセンサ素子１の出力調整は、次のように行う。
すなわち、スイッチ３３１が全てオンとすると、素子１の出力電流は主電極３１と６枚の調整電極３２とから得られる出力電流の合計であり、かつ主電極から得た出力電流をＡ（ｍＡ）、調整電極３２の１枚当たりから得られる出力電流をＢ（ｍＡ）とすると、Ａ＋６Ｂである。（なお、調整電極３２はすべて同面積であることから、同じ出力電流Ｂが得られる。）
ここでスイッチ３３１のひとつをオフにする。出力電流はＢだけ低下し、Ａ＋５Ｂとなる。
オフにするスイッチ３３１の数を増やすことで、Ｂずつ出力電流が低下し、最後は出力電流がＡとなる。
これを利用して出力電流を調整する。
その他詳細な構成は実施例１と同様であり、また実施例１と同様の作用効果を有する。
【００３７】
（実施例３）
本例は、図９に示すごとき配列の主電極３１及び調整電極３２からなる被測定ガス側電極３を持ったガスセンサ素子１について説明する。
本例のガスセンサ素子１は、素子の長手方向先端側から順に、リード部３３９、６枚の調整電極３３、主電極３１と配列した。
被測定ガスの導入が素子の側面１１６のみからなるように、拡散抵抗層を多孔層と遮蔽層とで構成する（図示略）。
そして、主電極３１に対する拡散距離Ｌ１と調整電極に対する拡散距離Ｌ２は、図９に示すような状態となり、Ｌ２≦Ｌ１となる。
その他詳細な構成は実施例１と同様であり、また実施例１と同様の作用効果を有する。
【００３８】
（実施例４）
本例は、図１０に示すごとく、実施例１と同様の配列の主電極３１及び調整電極３２からなる被測定ガス側電極３を持ったガスセンサ素子１である。
但し、実施例１と異なり、被測定ガスの導入を素子１の側面１１５と１１７から行い、１１６から被測定ガスが入らないように、拡散抵抗層を多孔層と遮蔽層とで構成する（図示略）。
その他詳細な構成は実施例１と同様であり、また実施例１と同様の作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】実施例１にかかる、ガスセンサ素子の説明図。
【図２】実施例１にかかる、ガスセンサ素子の断面説明図。
【図３】実施例１にかかる、ガスセンサ素子の斜視展開図。
【図４】実施例１にかかる、固体電解質体と被測定ガス側電極の説明図。
【図５】実施例１にかかる、固体電解質体と被測定ガス側電極の要部説明図。
【図６】実施例１にかかる、出力電流と調整リード部の切断本数との関係を示す線図。
【図７】実施例１にかかる、出力電流とガスセンサ素子の個数との関係を示す線図。
【図８】実施例２にかかる、固体電解質体と被測定ガス側電極の説明図。
【図９】実施例３にかかる、固体電解質体と被測定ガス側電極の要部説明図。
【図１０】実施例４にかかる、固体電解質体と被測定ガス側電極の要部説明図。
【図１１】従来技術にかかる、ガスセンサ素子の平面図。
【図１２】従来技術にかかる、ガスセンサ素子の断面説明図。
【図１３】ガスセンサ素子における、出力電流と印加電圧との関係を示す線図。
【図１４】出力電流とガスセンサ素子の個数との関係を示す線図。
【符号の説明】
【００４０】
１  ガスセンサ素子
１１  固体電解質体
２  拡散抵抗層
３  被測定ガス側電極
３１  主電極
３２  調整電極
４  基準電極
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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