(57)【要約】【課題】  加速電極と制御電極を備え、表示領域に間隔保持部材を有する表示装置で、加速電極と制御電極の電子通過孔をセルフアライメント化させて表示画像の大画面化を容易に実現可能とする。【解決手段】  導電性のメッシュ状基材１８１を加速電極１８とし、メッシュ状基材１８１の開口を加速電極１８の電子通過孔１８ａとし、このメッシュ状基材１８１の片面に絶縁層１９を介して制御電極１７を配置し、前記加速電極１８の電子通過孔１８ａと同軸に絶縁層１９に開口１９ａを、又制御電極１７に電子通過孔１７ａをそれぞれ備えた。【選択図】        図３
2005093125.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、
一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設された複数の陰極配線と、この陰極配線上に電気的に導通して配置された複数の電子源とを内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、
この背面基板と前記前面基板間に介挿され表示領域内で前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、
この制御電極と前記前面基板間に介挿され前記制御電極の各電子通過孔を通過した電子を通過させる電子通過孔を有し、かつ当該電子通過孔を通過する電子を加速させる加速電極と、
前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域内に配置され、前記所定の間隔を保持するための複数の間隔保持部材と、
前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持体と、
この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封着部材を介して気密封着してなる画像表示装置であって、
前記制御電極及び加速電極の何れか一方を導電性のメッシュ状基材を含む電極構成としたことを特徴とする画像表示装置。
【請求項２】
前記メッシュ状基材は、メッシュ板からなることを特徴とする請求項１に記載の画像表示装置。
【請求項３】
前記メッシュ状基材は、前記間隔保持部材を貫通させる貫通孔を有することを特徴とする請求項１又は請求項2に記載の画像表示装置。
【請求項４】
前記メッシュ状基材の前記間隔保持部材を貫通させる貫通孔は、前記間隔保持部材と強制嵌合する狭小部を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の画像表示装置。
【請求項５】
前記間隔保持部材は、前記メッシュ状基材の前記間隔保持部材が配置される部位の薄肉部を貫通して配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項4のいずれかに記載の画像表示装置。
【請求項６】
陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、
一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設された複数の陰極配線と、この陰極配線上に電気的に導通して配置された複数の電子源とを内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、
この背面基板と前記前面基板間に介挿され表示領域内で前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、
この制御電極と前記前面基板間に介挿され前記制御電極の各電子通過孔を通過した電子を通過させる電子通過孔を有し、かつ当該電子通過孔を通過する電子を加速させる加速電極と、
前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域内に配置され、前記所定の間隔を保持するための複数の間隔保持部材と、
前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持体と、
この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封着部材を介して気密封着してなる画像表示装置の製造であって、
導電性のメッシュ状基材の片面に前記電子通過孔を除いて絶縁層で被覆して前記加速電極を形成する工程と、この加速電極の前記絶縁層側を前記陰極配線側に対向配置して前記前面基板と前記背面基板との間の所定の部位に組み込む工程を備えたことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記加速電極と反対側の前記絶縁層上に前記電子通過孔と同軸の電子通過孔を有する制御電極を形成し、この制御電極を前記陰極配線側に対向配置して前記前面基板と前記背面基板との間の所定の部位に組み込む工程を備えたことを特徴とする請求項６に記載の画像表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空中への電子放出を利用した画像表示装置に係わり、特に電子源から放出される電子放出量を制御する制御電極及び加速電極を高精度に形成して安定した電子放出量の制御を可能として表示特性を向上させた画像表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、高輝度，高精細に優れた画像表示装置として従来からカラー陰極線管が広く用いられている。しかし、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画質化に伴い、高輝度，高精細の特性を有するとともに、軽量，省スペースの平板状ディスプレイ（パネルディスプレイ）の要求が高まっている。
【０００３】
その典型的な例として液晶表示装置，プラズマディスプレイ表示装置などが実用化されている。また、特に高輝度化が可能なものとしては、電子源から真空中への電子放出を利用した表示装置（以下、電子放出型表示装置または電界放出型表示装置と称される）や低消費電力化を特徴とする有機ＥＬディスプレイなど種々の型式のパネル型表示装置が実用化されている。
【０００４】
この種のパネル型の表示装置のうち、前述した電界放出型表示装置には、Ｃ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔらにより発案された電子放出構造を有するもの（例えば米国特許第３４５３４７８号明細書、特開２０００−２１３０５号公報参照）、また、メタル−インシュレータ−メタル（ＭＩＭ）型の電子放出構造を有するものさらには、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造（表面伝導型電子源とも称される特開２０００−２１３０５号公報参照）を有するもの、また、ダイヤモンド膜、グラファイト膜またはカーボンナノチューブの有する電子放出現象を利用するもの等が知られている。
【０００５】
図２１は、既知の電界放出型の画像表示装置の一構成例を説明する断面図である。
【０００６】
図２１において、電界放出型の表示装置は、内面に電界放出型の電子源と制御電極とを形成した背面パネル１００と、この背面パネル１００と対向する内面に陽極と蛍光体層とを備えた前面パネル２００とを内周縁部に封止枠３００を介挿して封止し、背面パネル１００と前面パネル２００と封止枠３００とで形成される内部を外界の気圧より低圧または真空状態に保持して構成される。
【０００７】
背面パネル１００は、ガラスまたはセラミックスなどを好適とする背面基板１の一面上に電子源２ａ（図示せず）を有する複数の陰極配線２と、絶縁層３を介して陰極配線２に交差して設けた制御電極４とを有している。そして、陰極配線２と制御電極４との間の電位差で電子源からの電子の放出量（放出のオン・オフを含む）を制御する。
【０００８】
また、前面パネル２００は、ガラス等の光透過性に材料で形成された前面基板５の一面上に蛍光体６と陽極７とを有している。また、封止枠３００は、背面パネル１００と前面パネル２００との内周縁にフリットガラスなどの接着剤で固着される。背面パネル１００と前面パネル２００と封止枠３００とで形成される内部は、例えば１０-5〜１０-7Ｔｏｒｒの真空度に排気される。背面パネル１００と前面パネル２００と間の間隙は間隙保持部材９により所定の間隔に保持される。
【０００９】
図２２は、図２１に示した電界放出型の表示装置における１画素に電子放出源とその電子放出量を制御する制御電極との構成例を説明する図であり、図２２（ａ）は側面図を、図２２（ｂ）は平面図をそれぞれ示している。
【００１０】
図２２において、背面パネル１００の背面基板１に設けられた陰極配線２と、この陰極配線２と交差する制御電極４との間には、絶縁層３が介挿され、制御電極４の各交差部に開孔（グリットホール）４ａを有している。一方、陰極配線２の上記交差部には電子源２ａを有し、制御電極４の開孔４ａに対応する部分では絶縁層３が除去されている。この開孔４ａは電子源２ａから放出される電子を陽極側に通過させる。
【００１１】
上記電子源２ａは、例えばカーボンナノチューブ（ＣＮＴ），ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）またはその他の電界放出カソードで構成される。なお、この電子源２ａとしては、ここではカーボンナノチューブ（以下ＣＮＴと称する）を用いたものとして示してある。また、この電子源２ａは図２２に示したように制御電極４の開孔４ａの直下に設けられている。図２２では電子源２ａが１画素あたり１個の場合を示しているが、これを複数個とすることもできる。
【００１２】
図２３は、既知の電界放出型の画像表示装置の他の構成例を説明する模式断面図であり、１画素あたり１個の電子源と１個の開孔とを備えたものである。また、図２４は、図２３のＡ部の要部拡大断面図である。
【００１３】
図２３において、参照符号１００は背面パネル、２００は前面パネル、３００は封止枠をそれぞれ示している。背面パネル１００は、背面基板１の内面に電子源２ａ（図示せず）を有する陰極配線２と、この陰極配線２とは電気的に絶縁されて設けられた制御電極４とを有している。この例では制御電極４の保持は前述した絶縁層３を介在させない構成となっている。また、前面パネル２００を構成する前面基板５の内面には、前述と同様に蛍光体６と陽極７とが形成されている。
【００１４】
制御電極４は、陰極配線２上に配置する電子源２ａ（図示せず）から電子放出（電子の引き出し）を制御する機能を有している。また、制御電極４に代えて或いは追加して電子を蛍光体６に収束させる電位を印加する他の電極を設ける構成も可能である。なお、図２３では、陽極７の上に蛍光体６を設けた構成としているが、蛍光体６を覆って陽極７を形成する構成もある。また、隣接する蛍光体６の相互間に遮光層（ブラックマトリクス）を設けることも行われている。背面パネル１００と前面パネル２００とは、封止枠３００により貼り合わせてそれらの間が真空封止される。
【００１５】
又、図２４に示したように背面基板１上に設ける陰極配線２上には電子源２ａが形成されている。この電子源２ａは、陰極配線２と制御電極４との間に印加される電界で電子を効率良く発生する電子放出材料で構成される。導電性の材料は、一般的に電界中に露出する外側エッジが先鋭な形状であるほど電子放出性能が高い。したがって、ファイバ状（棒状）の導電材料を用いることで高効率の電子放出を実現することができる。この電子放出材料の一つとして前述したＣＮＴがある。
【００１６】
ファイバ状の導電材料を電子源２ａとして用いる場合、陰極配線２上にこの導電性ファイバを固定する必要がある。ここでは、ファイバ状の導電材料としてＣＮＴを例として説明する。このＣＮＴは極めて細い針状の炭素化合物（厳密に言えば炭素原子が六角形状に並んだグラフェンと称される平面構造が円筒状に配置されて閉じており、直径がナノメートルスケールの中空物質）であり、これを陰極配線２上に配置して電子源２ａとして用いることで効率の良い電子放出を得ることができる。
【００１７】
ＣＮＴを陰極配線２上に設置する際には、ＣＮＴを銀またはニッケルなどの導電性フィラーとともに混練した電極ペーストを塗布して電子源層を形成し、これを焼成して陰極配線２上に固定する方法が知られている。なお、この種の表示装置に関する従来技術を開示したものとしては、例えば特開平１１−１４４６５２号公報及び特開２０００−３２３０７８号公報などを挙げることができる。
【００１８】
図２５は、電界放出型の画像表示装置の概略構成を説明する背面パネルの平面図であり、図示しない前面パネル側から見た模式図を示している。
【００１９】
図２５において、背面基板１は、ガラスまたはアルミナ等を好適とする絶縁基板上に電子源を有する複数本の陰極配線２と複数本の帯状電極素子（メタルリボングリット：ＭＲＧ）からなる板部材の制御電極４を有する。陰極配線２は背面基板１上の一方向に延在し、この一方向に交差する他方向に多数本並設される。
【００２０】
この陰極配線２は、銀などを含む導電性ペーストの印刷などによりパターニングされ、その上面（前面基板側）に電子源が配置される。また、陰極配線２の延在した一端部は陰極配線引出し線２０として封止枠を構成する枠体９０の外側に引出され、他の一端部は枠体９０の内側でかつ表示領域ＡＲの外側の終端２２まで延在している。
【００２１】
一方、制御電極４は、別部材として製作され、背面基板１上に設置される。すなわち、電子源を有する陰極配線２の上方（前面基板側）に近接し、かつ当該陰極配線２に対して表示領域ＡＲの全域にわたって所定の間隔を有して対向して設置される。この制御電極４を構成する多数本の帯状電極素子４１は、上記他方に延在し、上記一方向に多数本並設されている。この帯状電極素子４１は、陰極配線２上の電子源との交差部に電子通過孔となる開孔を有し、この電子通過孔を陰極配線２の電子源から放出された電子が前面基板側（陽極側）に通過し、この交差部に画素が形成される。
【００２２】
この制御電極４は、例えばアルミニウム系または鉄系などの金属材料からなる例えば０．０５ｍｍ程度の薄板をフォトリソグラフィ法を用いたエッチング加工により多数のストライプ状の薄板に多数に電子通過孔を有するように形成するのが好適である。また、制御電極４は、表示領域ＡＲに外側に設けた固定部でガラス材などの絶縁体からなる保持部材６０などよって背面基板１上に固定されて配設される。
【００２３】
この固定部の近傍または枠体９０の近傍で制御電極４に引出し線（制御電極引出し線）４０が接続されて画像表示装置の外縁に引き出されている。なお、枠体９０に保持部材６０の機能を持たせることもできる。そして、陰極配線２と制御電極４との間の電位差で陰極配線２に有する電子源からの電子の放出量を制御する。
【００２４】
一方、図示しない前面基板は、ガラスなどの光透過性を有する絶縁材料で形成され、その内面に陽極と蛍光体とを有している。蛍光体は陰極配線２と制御電極４との交差部に形成される画素に対応して配置される。なお、図中、ｘは制御電極４の延在方向、ｙは陰極配線２の延在方向、ｚは背面基板及び前面基板の基板面と直交する方向をそれぞれ示している。
【００２５】
このように構成される背面基板１と前面基板とが枠体９０を介して封止され、その封止された内部空間を排気孔１１から真空吸引し、例えば１０-5〜１０-7Ｔｏｒｒに真空に排気して電界放出型の表示装置が形成される。また、上記電子源２ａは、例えば、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ），ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）またはその他の電界放出カソード物質などにより構成される。
【００２６】
なお、この種の画像表示装置に関する従来技術を開示したものとしては、例えば下記に示す特許文献１乃至特許文献５などを挙げることができる。
【特許文献１】米国特許第３４５３４７８号明細書
【特許文献２】特開２０００−２１３０５号公報
【特許文献３】特開平１１−１４４６５２号公報
【特許文献４】特開２０００−３２３０７８号公報
【特許文献５】特開２００１−３３８５２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２７】
このように構成される画像表示装置は、電子源２ａから放出された電子が開孔４ａを通過して陽極７上の蛍光体６に射突し、この蛍光体６を励起させ、発光させて画像表示が行われ、高輝度，高精細の特性が得られるとともに、軽量，省スペース化の平板状ディスプレイを実現可能にしている。
【００２８】
しかしながら、このように構成される画像表示装置は、陰極配線２上に形成される各電子源２ａと、これらの電子源２ａに対応する制御電極４に形成される各開孔４ａとの同軸性が表示領域の全面にわたって高精度で得られないと、不必要な陰極電流が制御電極４へ流入し、陽極電流に対してゆう乱を発生させ、この結果、表示画面の表示効率が低下する。さらに、制御電極４が金属材料で形成されている場合には表示効率の低下に加えて放熱の解決手段が必要となる。
【００２９】
更に、前記制御電極に加えて加速電極を持ち陰極線管用電子銃の三極構造と同様のトライオード電子放出動作が可能な構成のものでは、電子源と制御電極更には加速電極の三者の同軸性の確保がより一層困難で、その解決が求められている。
【００３０】
一方、このような問題を解決する手段としては、陰極配線２上の電子源２ａと対応する制御電極４の開孔４ａとをセルフアライメント化すれば、電子源２ａと開孔４ａとを高精度で一致させることができる。このセルフアライメント化の手段としては、フォトエッチング法により背面基板１から制御電極４までを製作する手段がある。しかしながら、フォトエッチング法を用いる製作手段では、例えば画面対角が公称４２インチ型クラスの大画面化を実現させる制御電極の製作には適用できず、実用化が極めて困難であった。
【００３１】
また、大画面化に対しては、制御電極４を帯状電極素子（ＭＲＧ）構造で構成する手段では、制御電極４が極めて繊細なウエブ状に形成されることから、セルフアライメント化が困難であるため、背面基板１及びＭＲＧ構造の制御電極４を単品構造または組立て体構造に係わらず、それぞれサブミクロンオーダの公差で組立てる必要があり、現実的ではない。この種の問題は、大画面化の画像表示装置の実用化に対して十分ではなく、解決すべき課題の一つとなっていた。
【００３２】
従って、本発明は、前述した従来の課題を解決するためになされたものであり、背面基板上に形成された各電子源の有効範囲と、制御電極及び加速電極の各開孔とをセルフアライメント化させて同軸性を確保させ、所望の高品位表示が可能で、しかも表示画像の大画面化も容易に実現可能とする画像表示装置及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３３】
本発明による画像表示装置及びその製造方法は、加速電極及び制御電極の何れか一方をメッシュ状基材を含む電極構成としたことを特徴とする。
【００３４】
以下本発明の画像表示装置及びその製造方法の代表的な構成を記述する。
【００３５】
陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設された複数の陰極配線と、この陰極配線上に電気的に導通して配置された複数の電子源とを内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、この背面基板と前記前面基板間に介挿され表示領域内で前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、
この制御電極と前記前面基板間に介挿され前記制御電極の各電子通過孔を通過した電子を通過させる電子通過孔を有し、かつ当該電子通過孔を通過する電子を加速させる加速電極と、前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域内に配置され、前記所定の間隔を保持するための複数の間隔保持部材と、前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持体と、この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封着部材を介して気密封着してなる画像表示装置であって、
前記制御電極及び加速電極の何れか一方を導電性のメッシュ状基材を含む電極構成としたことを特徴とする。
【００３６】
又、本発明による画像表示装置は、前記メッシュ状基材は、メッシュ板とすることが出来、更に前記メッシュ状基材は、前記間隔保持部材を貫通させる貫通孔を有することが出来、更に又前記間隔保持部材を貫通させる貫通孔は、前記間隔保持部材と強制嵌合する狭小部を有することが出来、又前記間隔保持部材は、前記メッシュ状基材の前記間隔保持部材が配置される部位の薄肉部を貫通して配置することが出来る。
【００３７】
更に、本発明による画像表示装置の製造方法は、陽極及び蛍光体を内面に有する前面基板と、一方向に延在し前記一方向に交差する他方向に並設された複数の陰極配線と、この陰極配線上に電気的に導通して配置された複数の電子源とを内面に有して前記前面基板と所定の間隔をもって対向する背面基板と、この背面基板と前記前面基板間に介挿され表示領域内で前記電子源からの電子を前記前面基板側に通過させる電子通過孔を有する制御電極と、この制御電極と前記前面基板間に介挿され前記制御電極の各電子通過孔を通過した電子を通過させる電子通過孔を有し、かつ当該電子通過孔を通過する電子を加速させる加速電極と、前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域内に配置され、前記所定の間隔を保持するための複数の間隔保持部材と、前記前面基板と前記背面基板との間で前記表示領域を周回して介挿され、前記所定の間隔を保持する支持体と、この支持体の端面と前記前面基板及び背面基板とをそれぞれ封着部材を介して気密封着してなる画像表示装置の製造であって、
導電性のメッシュ状基材の片面に前記電子通過孔を除いて絶縁層で被覆して前記加速電極を形成する工程と、この加速電極の前記絶縁層側を前記陰極配線側に対向配置して前記前面基板と前記背面基板との間の所定の部位に組み込む工程を備えたことを特徴とする。
【００３８】
又、本発明による画像表示装置の製造方法は、前記加速電極と反対側の前記絶縁層上に前記電子通過孔と同軸の電子通過孔を有する制御電極を形成し、この制御電極を前記陰極配線側に対向配置して組み込む構成とすることが出来る。
【００３９】
上述した構成により、高品位表示が可能で、大画面化も可能な画像表示装置及びその製造方法を可能にした。
【００４０】
なお、本発明は、上記の構成及び後述する実施例の構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱することなく種々の変更が可能であることは言うまでもない。
【発明の効果】
【００４１】
以上、説明したように本発明による画像表示装置によれば、導電性のメッシュ状基材を加速電極又は制御電極の何れかとし、これに絶縁層を介して残余の制御電極又は加速電極を一体に形成したグリット電極構体を用いる構成としたことにより、このグリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来る。
【００４２】
又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となり、電極構造及び組立て構造の高精度化が不要となり、その精度を緩く製作できるので、製作が容易となり、歩留まりを容易かつ大幅に向上でき、しかも部品単価を低減できると共に、表示画像の大画面化が容易、かつ低コストで実現可能となるなどの極めて優れた効果が得られる。
更に、加速電極と制御電極の二つの電極を持つグリット電極構体を単品として取り扱うことが出来、画像表示装置の組立工程を含んで作業性の向上及び寸法精度の向上が図れる。
又、スペーサをグリット電極構体と前面基板間で固定する構成ではスペーサ自体の高さを低く出来て機械的な強度の向上が図れ、更にグリット電極構体の反りや撓みを防止出来、更に又電極間間隔及び表示領域の両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
又、スペーサをグリット電極構体に設けたスペーサ保持孔に貫通して配置する構成では、スペーサもスペーサ保持孔で保持すると共に両基板にそれぞれ固定する三点固定構成としたことで、スペーサ自体の傾きや折損を防止でき、更には三点固定により機械的な強度の向上が図れる。
又、スペーサがスペーサ保持孔を良好な接触状態で貫通しているため、安定な電界を形成できる等極めて優れた効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
以下、本発明の実施の形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。
【００４４】
図１は本発明の表示装置の一実施例の電界放出型の画像表示装置の一例の概略構成の模式的説明図で、前面基板側から見た平面図、図２は図１のＢ−Ｂ線の模式的断面図である。
【００４５】
図１及び図２において、参照符号１２は前面基板で、透明なガラス板等から構成されている。１３は背面基板で、前記前面基板１２と同様にガラスあるいはアルミナ等のセラミックスを好適とし、板厚が数ｍｍ、例えば３ｍｍ程度の絶縁基板から構成されている。１４は気密封着部で、この気密封着部１４は外枠を兼ねた支持体１４１の上下端面に配置された封着部材１４２を介してｚ方向に積み重られた前記両基板１２、１３の周縁部を気密封着している。
【００４６】
なお、ｚ方向は背面基板１３及び前面基板１２の基板面と直交する方向を示す。
【００４７】
前記支持体１４１はガラス板或いはフリットガラスの整形品等から構成され、一方封着部材１４２はフリットガラスを好適としている。
【００４８】
すなわち、前記封着部材１４２としては、例えばＰｂＯ：７５〜８０ｗｔ％、Ｂ2Ｏ3：約１０ｗｔ％、その他：１０〜１５ｗｔ％等の組成からなり、かつ非晶質タイプのフリットガラスを含むガラス材料からなるものが好適である。
【００４９】
又、支持体１４１と封着部材１４２とを同一材料で一体に形成しても良い。
【００５０】
又、前記気密封着部１４で囲繞された部分が表示領域１４３を構成しており、この表示領域１４３の部分は真空に保持されている。
【００５１】
更に、この表示領域１４３の部分にはこの領域の両基板１２、１３間の間隔を所定の寸法に保持する機能を持つ薄い板状の間隔保持部材のスペ−サ１５を複数備え、これらスペ−サ１５の上下端は一端をフリットガラスの様な固定材１５１で前面基板１２に固定し、他端は後述するグリット電極構体にフリットガラスの様な固定材１５１で固定している。
【００５２】
次に、参照符号１６は陰極配線で、この陰極配線１６は背面基板１３の内表面に複数本が方向（y方向）に延在し他方向（x方向）に並設されている。この陰極配線１６の端部は陰極配線引出し線１６１として背面基板１３の２辺に分けられて気密封着部１４の外側に引き出されている。
【００５３】
この陰極配線１６は、例えば蒸着により形成するか、或いは粒径数μｍ、例えば１〜５μｍ程度の導電性の銀粒子に、絶縁性を発現する低融点ガラスを混合した銀ペ−ストを厚膜印刷し、例えば６００℃程度で焼成して形成すること等により設けられている。
【００５４】
又、参照符号１７は制御電極、１８は加速電極で、これら制御電極１７と加速電極１８は、絶縁層１９を挟んで配置され、それぞれの電子通過孔１７a、１８a及び絶縁層１９の前記電子通過孔に対応する開孔１９aの三者の中心軸を一致させて一体化されてグリット電極構体２３を構成している。
このグリット電極構体２３の構成の一例を図３に示す。
なお、図３は本発明の画像表示装置に用いられるグリット電極構体の一例の模式分解斜視図で、前述した各図と同じ部分には同一記号を付してある。
このグリット電極構体２３は、加速電極１８を兼ねるメッシュ状基材１８１を基材としている。
このメッシュ状基材１８１は、例えばニッケルークロムー鉄合金からなる厚さ数十ミクロン、例えば厚さ２０ミクロン程度のメッシュ板から構成されており、このメッシュ板は図４に示すように開口形状が円形の多数の貫通孔１８２を全面に一様に配置した構成とされている。
なお、図４は本発明の画像表示装置に用いられるグリット電極構体を構成するメッシュ状基板の一例の模式平面図で、前述した各図と同じ部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図3及び図４において、このメッシュ状基材１８１は、その片面に厚膜印刷又はドライフィルムとエッチングの組み合わせ等の方法で形成された絶縁層１９を備えている。
この絶縁層１９の形成は、例えば厚膜印刷による場合は、メッシュ状基材１８１の多数の円形の貫通孔１８２（凹部）と残部（凸部）との形状差を利用し、残部（凸部）に絶縁材を残存塗布して開口１９aを持つ絶縁層１９を形成する。
又、ドライフィルムとエッチングとの組み合わせによる方法では、メッシュ状基材１８１自体をマスクとして用いてパタンニングすることで形成することが可能である。
又、制御電極１７は前記絶縁層１９の他面に例えば銀ペーストで直接印刷するか或は金属蒸着、メッキ等の方法で形成すること等で構成されている。
このような構成からなるグリット電極構体２３を、図１、図2に示すようにその制御電極１７側を背面基板１３側に向け、背面基板１３上の所定の位置に接着配置された例えばフリットガラスからなる第２の絶縁層２４に同じくフリットガラスからなる固着材２５を介して固定して、前記陰極配線１６の前方（前面基板１２側）に当該陰極配線１６及び電子源２６と絶縁されて配置されている。又、この制御電極１７及び加速電極１８の各端部は電極引出し線として背面基板１３の気密封着部１４の外側にそれぞれ引き出されている。
又、前述したが、このグリット電極構体２３は、その前記加速電極１８側の前面（前面基板１２側）に前記両基板１２、１３間の間隔を所定の寸法に保持する機能を持つ薄い板状のスペ−サ１５をフリットガラスの様な固定材１５１で固定している。
この固定位置は、この実施例ではグリット電極構体２３を背面基板１３に固定する第２の絶縁層２４が配置された部分に対応する位置とし、両基板間の間隔の保持は勿論のこと、スペ−サ１５を固定したことによるグリット電極構体２３の変形の発生も抑制できる構成としている。
【００５５】
一方、前記陰極配線１６上の電子源２６は、メタル−インシュレータ−メタル（ＭＩＭ）型の電子放出素子、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造（表面伝導型電子源とも呼ばれる）素子、ダイヤモンド膜やグラファイト膜、あるいはカーボンナノチューブ等から構成され、陰極配線１６上に所定のピッチで配置されている。
【００５６】
この電子源２６の形成方法としては、例えば厚膜印刷され焼成された陰極配線１６表面にカ−ボンナノチュ−ブペ−ストを印刷し、例えば真空中５９０℃で焼成して形成する方法等が利用できる。
【００５７】
この実施例では前記カ−ボンナノチュ−ブペ−ストはシングルウオ−ルカ−ボンナノチュ−ブをエチレンセルロ−ス及びテルピネウオ−ルに分散させたものを用いた。
【００５８】
ここで、上記ではシングルウオ−ルのカ−ボンナノチュ−ブを用いて説明したが、これらはマルチウオ−ルカ−ボンナノチュ−ブやカ−ボンナノファイバ−でも良く、更にはこれら以外に例えばダイヤモンド、ダイヤモンドライクカ−ボン、黒鉛、無定形カ−ボン等を用いることができ、更に又これらの混合物でも良いことは勿論である。
【００５９】
一方、前面基板１２の内表面には蛍光面２７を構成するメタルバック膜２８（陽極）と蛍光体膜２９が配置されており、陰極配線１６上に配置された電子源２６から出た電子が、数十Ｖ、例えば５０Ｖ程度のグリット電圧の印加された制御電極１７の電子通過孔１７aで制御を受けてここを通過し、絶縁層１９の開孔１９aを通過した後、更に数百Ｖ、例えば２００Ｖ程度の加速電圧の印可された加速電極１８の電子通過孔１８aで制御を受け、例えば１０ＫＶの陽極電圧の印加された蛍光面２７に向い、メタルバック膜２８（陽極）を通過して蛍光体膜２９に射突してこれを発光させ、映視像面に所望の表示を行う構成となっている。
【００６０】
なお、図示しないが蛍光面２７はブラックマトリクス（ＢＭ）膜を備えており、本実施例の蛍光面は従来のカラ−陰極線管蛍光面と略同様な構成である。
【００６１】
そして、陰極配線１６と制御電極１７、加速電極１８との交差部にマトリクス状に単位画素が形成され、このマトリクス配列された画素で上記の表示領域が形成される。一般には、上記単位画素の三個のグループで赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）からなるカラー画素を構成する。
【００６２】
ここで、前記封着部材１４２を介して行う気密封着は、例えば窒素雰囲気中で例えば４３０℃程度の温度で行い、その後例えば３５０℃程度で加熱しつつ排気して真空に封止する方法等が利用できる。
この実施例の構成であれば、加速電極に円形の貫通孔が全面に一様に配置されたメッシュ状基板を用い、これに絶縁層を介して制御電極を一体に形成したグリット電極構体を用いる構成としたことにより、このグリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となる。又、電子通過孔が円形であることから電界分布が均一となってビーム制御が容易となる等の特徴を有し、高品位表示が可能となる。
更に、スペーサの固定もグリット電極構体と前面基板間としたことでスペーサ自体の高さを低く出来て機械的な強度の向上が図れる。又、グリット電極構体の反りや撓みを防止出来、更に又電極間間隔及び表示領域の両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
又、グリット電極構体を単品として取り扱うことが出来、画像表示装置の組立工程を含んで作業性の向上及び寸法精度の向上が図れる。
次に、図５は本発明の表示装置の他の実施例の電界放出型の画像表示装置の一例の概略構成の模式的断面図で、前述した各図と同じ部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図５に示す実施例においては、表示領域１４３に配置されるスペーサ１５はグリット電極構体３３を貫通して両基板１２、１３間に固定されている。
このグリット電極構体３３は、前述した図3に示すグリット電極構体２３と同様に、メッシュ状基材を有する加速電極３４の片面に絶縁層３５を介して制御電極３６を一体に積層して構成したものであるが、このグリット電極構体３３は前記スペーサ１５が貫通する部分及びその近傍で絶縁層３５及び制御電極３６が欠落した構成とされている。
図６は前記グリット電極構体３３に用いられるメッシュ状基材の一例の模式平面図で、前述した各図と同じ部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図６において、メッシュ状基材３４１は電子ビームが通過する多数の円形の貫通孔３４２を備えた帯状板３４３と、これらの帯状板３４３相互をつなぐ連結部３４４と、前記帯状板３４３相互間に設けられたスペーサ保持孔３４５及び角孔３４６を備えた構成で加速電極３４を兼ねている。
このメッシュ状基材３４１の前記スペーサ保持孔３４５は、表示領域１４３内に配置されるスペーサ１５に対応する位置に設けられており、その一例の詳細を図７に示す。なお、図７は図６のスペーサ保持孔の拡大平面図である。
このスペーサ保持孔３４５は、スペーサ１５の厚さより大きな幅Ｔと、長さＬとを有し、これに孔端面から中心に向かって複数の突起部３４５aを突出して備えている。Ｔ１は突起部３４５ａの突出長である。
この突起部３４５aはその一例の詳細を図７に示すように、この部分の板厚を基材厚さより薄くするか或は図示しないが突起部３４５aの根元部分にノッチを入れる等の加工を施してあり、応力が加わった際に変形する。
ここで各寸法の一例を説明すると、例えばスペーサの厚さが５０ミクロンの場合、孔の幅Ｔは例えば１００ミクロン、突起部の突出長Ｔ１は例えば３０ミクロン程度とすれば良い。
これによりスペーサ保持孔３４５にスペーサ１５を挿入する作業では突起部が変形して挿入が容易で、しかも挿入後は両者の接触状態が良好に保持できる構成となっている。なお、図８は図７のＣ−Ｃ線の断面図である。
又、角孔３４６はスペーサ保持孔３４５と略同一寸法で前記帯状板３４３相互間のスペーサ保持孔３４５とは異なる位置に設けられている。この角孔３４６はスペーサ保持孔３４５と同一形状でも良い。
このスペーサ１５と係合しない角孔３４６は排気作業の効率向上にも寄与できる。
又、前記スペーサ保持孔３４５をハーフエッチ構造としておき、スペーサとの組み立て時にスペーサで貫通開口する構成としても良い。
前記グリット構体３３は、前記メッシュ状基材３４１を備えており、このメッシュ状基材３４１の帯状板３４３部分のみに絶縁層３５及び制御電極３６が被着され、残部のスペーサ保持孔３４５、角孔３４６及び連結部３４４部分には絶縁層３５及び制御電極３６は欠落して存在しない構成となっている。
この実施例の構成であれば、加速電極に円形の貫通孔が全面に一様に配置されたメッシュ状基材を用い、これに絶縁層を介して制御電極を一体に形成したグリット電極構体を用いる構成としたことにより、このグリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となる。又、電子通過孔が円形であることから電界分布が均一となってビーム制御が容易となる等の特徴を有し、高品位表示が可能となる。
更に、スペーサもグリット電極構体に設けたスペーサ保持孔を貫通させて該部分で保持すると共に両基板にそれぞれ固定する三点固定構成としたことで、スペーサ自体の傾きや折損を防止でき、更には三点固定により機械的な強度の向上が図れる。又、電極間間隔及び両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
更に、グリット電極構体も帯状板と連結部の組み合わせ構成を備えていることから背面基板のうねり等の凹凸に対して追従可能で、反りや撓みを防止出来る。又、帯状板に絶縁層を厚く均一に形成でき、両電極間の干渉を軽減できる。更に又、グリット電極構体を単品として取り扱うことが出来、画像表示装置の組立工程を含んで作業性の向上及び寸法精度の向上が図れる。
次に、図９は本発明の画像表示装置に用いられるメッシュ状基材の他の例を示す模式平面図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図９において、メッシュ状基材４４１は電子ビームが通過する多数の円形の貫通孔４４２を備えた帯状部４４３と、これらの帯状部４４３相互をつなぐ無孔部４４４と、前記帯状板３４３相互間の無孔部４４４に設けられたスペーサ保持孔４４５を備えた構成で加速電極４４を兼ねている。
このメッシュ状基材４４１の前記スペーサ保持孔４４５は、表示領域１４３内に配置されるスペーサ１５に対応する位置でスペーサ１５の形状に一致した構成となっている。更にスペーサ保持孔形状は前述した図７及び図８に示すような突起部を有するか或はノッチ加工をした構成としても良い。
図９に示す実施例のメッシュ状基材では、電子ビームが通過する多数の円形の貫通孔が無孔部を挟んで配置された構成としたことにより、グリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となる。又、電子通過孔が円形であることから電界分布が均一となってビーム制御が容易となる等の特徴を有し、高品位表示が可能となる。
更に、スペーサも前述した図５に示すようにグリット電極構体に設けたスペーサ保持孔を貫通させて該部分で保持すると共に両基板にそれぞれ固定する三点固定構成としたことで、スペーサ自体の傾きや折損を防止でき、更には三点固定により機械的な強度の向上が図れる。又、電極間間隔及び両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えており、更に無孔部を存在させたことで機械的な強度も有することから単板として取り扱うことが可能で作業効率の点でも優れている。
次に、図１０は本発明の画像表示装置に用いられるメッシュ状基材の更に他の例を示す模式平面図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図１０において、メッシュ状基材５４１は電子ビームが通過する多数の長円形の貫通孔５４２を備えた帯状部５４３と、これらの帯状部５４３相互をつなぐ無孔部５４４と、前記長円形の貫通孔５４２の長軸と直角に交わりメッシュ状基材５４１の端部でその略全幅に亘って配置されたスペーサ保持孔５４５を備えた構成で加速電極５４を兼ねている。
このメッシュ状基材５４１の前記スペーサ保持孔５４５は、表示領域１４３内に配置されるスペーサ１５に対応する位置でスペーサ１５の形状に一致した構成となっている。更にスペーサ保持孔形状は前述した図７及び図８に示すような突起部を形成するか或はノッチ加工した構成としても良い。
図１０に示す実施例のメッシュ状基材では、電子ビームが通過する多数の長円形の貫通孔が無孔部を挟んで配置された構成としたことにより、絶縁層及び制御電極を持つグリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となり、高品位表示が可能となる。
更に、スペーサもグリット電極構体に設けたスペーサ保持孔を貫通させて該部分で保持すると共に両基板にそれぞれ固定する三点固定構成とすることが出来、スペーサ自体の傾きや折損を防止でき、更には三点固定により機械的な強度の向上が図れる。又、電極間間隔及び両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
【００６３】
次に、図１１は本発明の画像表示装置の更に他の実施例のスペーサ配列パターンを示す模式平面図で、前述した図と同じ部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
図１１に示すスペーサ配列パターンは、スペーサ１５をその長手方向を背面基板１３の短辺と平行に揃え、このスペーサ１５を複数個等ピッチで背面基板１３の長手方向に並べて列を形成し、この列を前記短辺方向に３列設けると共に、中央列を上下列と半ピッチずらして配置する構成の配列パターンとしたものである。
図１１の様な配列パターン構成であれば、スペーサが表示領域内で均等に配置されているために、表示領域内の両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えており、又図５の様にスペーサをグリット電極構体に貫通して配置する構成でもこの配列パターンであればグリット電極構体自体の機械的強度の低下は全く無く、作業性の点でも何等問題は生じない。更に、排気作業においてもこの配列パターンであれば排気コンダクタンスの劣化はなく短時間で高真空が得られ、作業性の向上が図れると共に長寿命の表示装置が得られる。
【００６４】
次に、図１２は本発明の画像表示装置の他の実施例における背面基板側の模式平面図、図１３は図１２のＤ−Ｄ断面図、図１４は図１２のＥ−Ｅ断面図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
【００６５】
図１２乃至図１４において、背面基板１３上に陰極配線１６が例えば厚膜印刷のような手段で一方向に延在しこの一方向に交差する他方向に並設されている。
【００６６】
一方、前記陰極配線１６上を含む基板表面には、例えばフリットガラスからなる第２の絶縁層２４及びこの絶縁層２４上に配置された同じく例えばフリットガラスからなる固着材２５が配置されている。
【００６７】
この第２の絶縁層２４及び固着材２５は、前記陰極配線１６と直交する方向に延在し、この延在方向に交差する他方向に並設され、制御電極及び加速電極とこの間に挟まれた絶縁層とを有する構成のグリット電極構体を背面基板上の所定の位置に固定する。
【００６８】
又、前記陰極配線１６上の第２の絶縁層２４及びこの絶縁層２４上に配置された固着材２５で区分けされた位置に電子源２６が配置されている。
【００６９】
この構成であれば、中間に配置した絶縁層２４及び固着材２５でグリット電極構体の撓みや反りを防止することが出来、電極間間隔を高精度に保持できる。
【００７０】
次に、図１５は本発明の画像表示装置の更に他の実施例における背面基板側の模式平面図、図１６は図１５のＦ−Ｆ断面図、図１７は図１５のＧ−Ｇ断面図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
【００７１】
図１５乃至図１７において、背面基板１３上に陰極配線１６が例えば厚膜印刷のような手段で一方向に延在しこの一方向に交差する他方向に並設されている。
【００７２】
この陰極配線１６は、グルーピングされており、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）で１つの画素とした場合、この陰極配線１６上を含む基板表面に配置される第２の絶縁層２４及び固着材２５は画素間にも配置されている。すなわち、この実施例では第２の絶縁層２４及びこの絶縁層２４上に配置された固着材２５は、前記陰極配線１６と直交する方向に延在し、この延在方向に交差する他方向に並設されると共に、陰極配線１６の延在方向と同方向にも延在（２４ａ、２５ａ）している。又、前記陰極配線１６上の第２の絶縁層２４及びこの絶縁層２４上に配置された固着材２５で区分けされた位置に電子源２６が配置されている。
【００７３】
この構成であれば、中間に配置した絶縁層２４及び固着材２５でグリット電極構体の撓みや反りを防止することが出来、電極間間隔を高精度に保持できる。
【００７４】
又、画素間に絶縁層２４ａ及び固着材２５ａを配置したことにより、電極間間隔を一層高精度に制御出来、スペーサ保持孔をグリット電極構体の強度低下を招く事無く所望の寸法に設定出来る。
【００７５】
次に、図１８は本発明の画像表示装置の他の実施例の一部切欠平面図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。  
【００７６】
図１８は、前面基板の内面側から背面基板１３側を見た図で、背面基板１３上に所定のピッチで陰極配線１６が配置され、その上に陰極配線１６と平行及び横断するパターンからなる第２の絶縁層２４（図示せず）と固着材２５が配置されている。
【００７７】
又、陰極配線１６上の固着材２５に囲まれた領域に電子源２６が配置され、更にこれらの上方で前述した表示領域の略全面を覆うようにグリット電極構体６４が載置されており、このグリット電極構体６４は前記固着材２５と固着されている。
【００７８】
一方、スペーサ１５は前記グリット電極構体６４を貫通して背面基板１３と前記第２の絶縁層２４上の固着材２５を介して固着されている。
【００７９】
前記グリット電極構体６４は、加速電極６５と、その下側に順次積層配置された絶縁層及び制御電極を備えている。
【００８０】
前記加速電極６５は、メッシュ状基材６５１に複数の長円形の貫通孔からなる電子通過孔６５２と、この電子通過孔６５２が配置された帯状部６５３と、帯状部６５３相互を繋ぐ連結部６５４、帯状部６５３相互間に配置されたスペーサ１５を貫通保持するスペーサ保持孔６５５及び空隙となる角孔６５６とを備えた構成となっており、前記電子通過孔６５２が前記電子源２６と対向配置されている。
【００８１】
この図１８の構成であれば、グリット電極構体の構造、絶縁層２４及び固着材２５の配置パターン構成、更には貫通配置されたスペーサとの係合構造等の相乗効果により、グリット電極構体の撓みや反りを防止することが出来、電極間間隔を高精度に保持できる。
【００８２】
又、画素間に絶縁層２４ａ及び固着材２５ａを配置したことにより、電極間間隔を一層高精度に制御出来、スペーサ保持孔をグリット電極構体の強度低下を招く事無く所望の寸法に設定出来る。更に、グリット電極構体６４と背面基板間の排気が容易となって真空度を向上出来、駆動容量を少なくすることが出来る。
【００８３】
次に、本発明の画像表示装置の製造方法を説明する
図１９は本発明の画像表示装置の製造方法を説明する工程図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
【００８４】
この図１９に示す工程図は、図１乃至図４に示す本発明の画像表示装置の実施例を参照して説明する。
【００８５】
図１９において、前面基板用ガラスの一面に、ＢＭ膜、蛍光体膜２９及びメタルバック膜２８からなる蛍光面２７を形成して前面基板１２とする。
【００８６】
一方、背面基板用ガラスには陰極配線１６を例えば圧膜印刷の手段で形成した後、例えばフリットガラスを用いて所定のパターンに印刷、焼成して第２の絶縁層２４を形成する
この第２の絶縁層２４の厚さは電子源２６と制御電極１７間間隙を確保できる寸法であればよい。
【００８７】
次に、第２の絶縁層２４上に、例えばフリットガラスを用いて所定のパターンに印刷、焼成して固着材２５を形成する。
【００８８】
次に、前記陰極配線１６上に前述した様に例えばＣＮＴを銀又はニッケル等の導電性フィラーと共に混練した電極ペーストを塗布、形成して電子源２６を形成して背面基板１３とする。
【００８９】
又、グリット電極構体２３は、図４に示すような多数の円形状の貫通孔１８２を有する導電性のメッシュ状基材１８１を基材とし、その片面に図３に示す様に絶縁層１９を形成する。
【００９０】
この絶縁層１９は、前記導電性のメッシュ状基材１８１の凹凸形状、すなわち凹部（貫通孔部）と、凸部（貫通孔部を除く残部）の形状差を利用し、貫通孔１８２に対応した開口１９ａを備えた形状としたもので、その製造方法は前記導電性のメッシュ状基材１８１の片面に、厚膜印刷又はドライフイルムとエッチングとの組み合わせで形成する。
【００９１】
一方、絶縁層１９上に印刷又は蒸着で制御電極１７を形成してグリット電極構体２３としている。この制御電極１７は銀ペーストで直接印刷するか或は金属蒸着、メッキ等の方法で形成する。
【００９２】
このグリット電極構体２３を、前記背面基板１３上の固着材２５に固着して背面基板組立体ＢＰＡとする。
【００９３】
一方、支持体１４１の両端面に封着部材１４２を塗布し、仮焼成する。この仮焼成時の温度はフリットガラスを用いた際は組成にもよるが例えば３５０℃乃至４５０℃程度で行う。
【００９４】
又、スペーサ１５の両端面に固定材１５１を塗布し、仮焼成する。この仮焼成時の温度はフリットガラスを用いた際は組成にもよるが例えば３５０℃乃至４５０℃程度で行う。
【００９５】
次に、前面基板１２にスペーサ１５を固定材１５１により固定し前面基板組立体ＦＰＡとする。
【００９６】
次に、この前面基板組立体ＦＰＡと、電子源２６等を備えた背面基板組み立て体１３と、封着部材１４２を持つ支持体１４１を所定の位置関係、例えば図１、図２に示す様な位置関係で組み合わせて仮パネルＴＰＡを形成する。
【００９７】
次に、この仮パネルＴＰＡの両基板１２，１３をＺ方向に加圧しながら例えば窒素雰囲気中４５０℃まで加熱して封着部材１４２、固定材１５１を溶融し、その後加熱温度を例えば３５０℃に下げ封着部材１４２、固定材１５１を硬化させて両基板１２，１３と支持体１４１相互間を気密封着すると共に、前面基板１２に固定されているスペーサ１５をグリット電極構体２３と固着する。
【００９８】
次に、図示しない排気管を介して両基板１２，１３と支持体１４１で囲まれた表示領域１４３となる空間を排気する。
【００９９】
この排気は、仮パネルＴＰＡを真空炉内に配置し前記封着部材１４２の溶融工程の加熱と同時に行うことも可能である。
【０１００】
その後排気管を備えた構成では排気完了後排気管をチップオフして表示装置を製造する。
【０１０１】
この実施例の方法では、メッシュ状基材を用い、このメッシュ状基材の開口を電子通過孔とし、このメッシュ状基材に絶縁層を介して制御電極を一体に形成したグリット電極構体を用いることにより、このグリット電極構体をメッシュ状基板の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、加速電極と制御電極との電子通過孔のセルフアライメントが可能となり、又第２の絶縁層２４及び固着材２５を形成した後に電子源２６を形成することから、電子源２６の汚染の恐れが無く、高効率の電子放出を可能にし高輝度で、高品位表示が可能な画像表示装置を提供できる。
更に、スペーサの固定もグリット電極構体と前面基板間としたことでスペーサ自体の高さを低く出来て機械的な強度の向上が図れる。又、グリット電極構体の反りや撓みを防止出来、更に又電極間間隔及び表示領域の両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
又、グリット電極構体を単品として取り扱うことが出来、画像表示装置の組立工程を含んで作業性の向上及び寸法精度の向上が図れる。
【０１０２】
次に、図２０は本発明の画像表示装置の製造方法を説明する他の例の工程図で、前述した図と同一部分又は同一機能を有する部分には同一記号を付してある。
【０１０３】
この図２０に示す製造方法では、図１９に示す製造方法と比べ、グリット電極構体２３側に第２の絶縁層２４及び固着材２５を配置したものである。
【０１０４】
この実施例の方法では、前述した図１９の方法と同様な特徴の他に電子源２６の表面処理が容易となる等の別の特徴を備えている。
【０１０５】
次に、図５に示す様なスペーサ１５がグリット電極構体３３を貫通する構成のものでは、前述の図１９、図２０で説明した方法の他に、予めスペーサ１５をグリット電極構体３３を貫通して背面基板１３上の第２の絶縁層２４、固着材２５に固着した後、前面基板１２と固着する方法でも良い。
このスペーサがグリット電極構体を貫通するものでは、メッシュ状基材を用い、これに絶縁層を介して制御電極を一体に形成したグリット電極構体を用いる構成としたことにより、このグリット電極構体をメッシュ状基材の構成の特徴を利用することで極めて容易に形成することが出来、又、加速電極と制御電極の電子通過孔のセルフアライメントが可能となる。
更に、スペーサもグリット電極構体に設けたスペーサ保持孔を貫通させて該部分で保持すると共に両基板にそれぞれ固定する三点固定構成としたことで、スペーサ自体の傾きや折損を防止でき、更には三点固定により機械的な強度の向上が図れる。又、電極間間隔及び両基板間の間隔を高精度に保持できる特徴を備えている。
更に、グリット電極構体を単品として取り扱うことが出来、画像表示装置の組立工程を含んで作業性の向上及び寸法精度の向上が図れる。
【０１０６】
ここで、前述の実施例ではメッシュ状基材を加速電極として説明したが、制御電極にメッシュ状基材を用い絶縁層を介して加速電極を例えば銀ペースト印刷或は金属蒸着等の方法で形成しても良いことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明の画像表示装置の一実施例の概略構成の平面図である。
【図２】図１のＢ−Ｂ線の断面図である。
【図３】本発明の画像表示装置に用いられるグリット電極構体の一例の分解斜視図である。
【図４】本発明の画像表示装置に用いられるグリット電極構体を構成するメッシュ状基材の一例の平面図である。
【図５】本発明の画像表示装置の他の実施例の概略構成の断面図である。
【図６】本発明の画像表示装置の他の実施例のグリット電極構体に用いられるメッシュ状基材の一例の平面図である。
【図７】図６のスペーサ保持孔の拡大平面図である。
【図８】図７のＣ−Ｃ線の断面図である。
【図９】本発明の画像表示装置に用いられるメッシュ状基材の他の例を示す平面図である。
【図１０】本発明の画像表示装置に用いられるメッシュ状基材の更に他の例を示す平面図である。
【図１１】本発明の画像表示装置の更に他の実施例のスペーサ配列パターンを示す平面図である。
【図１２】本発明の画像表示装置の他の実施例における背面基板側の平面図である。
【図１３】図１２のＤ−Ｄ線の断面図である。
【図１４】図１２のＥ−Ｅ線の断面図である。
【図１５】本発明の画像表示装置の更に他の実施例における背面基板側の平面図である。
【図１６】図１５のＦ−Ｆ線の断面図である。
【図１７】図１５のＧ−Ｇ線の断面図である。
【図１８】本発明の画像表示装置の他の実施例の一部切欠平面図である。
【図１９】本発明の画像表示装置の製造方法を説明する工程図である。
【図２０】本発明の画像表示装置の製造方法を説明する他の例の工程図である。
【図２１】従来の画像表示装置の構成を示す要部断面図である。
【図２２】図２１に示す画像表示装置の制御電極の開孔と陰極配線上の電子源との位置関係を示す拡大図で、図２２（ａ）は断面図、図２２（ｂ）は平面図である。
【図２３】従来の画像表示装置の他の構成を示す要部断面図である。
【図２４】図２３のＡ部の構成を示す要部拡大断面図である。
【図２５】従来の電界放出型画像表示装置の概略構成を示す背面パネルの平面図である。
【符号の説明】
【０１０８】
１２  前面基板
１３  背面基板
１４  気密封着部
１４１  支持体
１４２  封着部材
１５  間隔保持部材（スペーサ）
１５１  固定材
１６  陰極配線
１７、３６  制御電極
１７ａ  制御電極の電子通過孔
１８、３４  加速電極
１８ａ  加速電極の電子通過孔
１８１  メッシュ状基材
１８２  貫通孔
１９、３５  絶縁層
１９ａ  絶縁層の開口
２３、３３  グリット電極構体
２４  第２の絶縁層
２５  固着材
２６  電子源
２７  蛍光面
２８  メタルバック膜（陽極）
２９  蛍光体膜
３４５  スペーサ保持孔
３４５ａ  スペーサ保持孔突起
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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