(57)【要約】 【課題】  複数の製造装置から出力されるデータの処理を改良することにより、開発、メンテナンスを簡便化した製造ライン管理システムの提供。【解決手段】  製造状況を監視し、その状況を表す画像データをアナログビデオ信号として出力するモニタリング装置２１と、モニタリング装置２１が出力するアナログビデオ信号を分配するビデオ信号分配器２３と、ビデオ信号分配器２３から分配されるアナログビデオ信号により画像データを表示するローカル表示装置２４と、ビデオ信号分配器２３から分配されるアナログビデオ信号をデジタル変換して出力する画像データ伝送装置２６と、を有する製造装置３と、アナログビデオ信号をデジタル変換した信号を受信して製造装置３をリモート管理するホスト装置２と、製造装置３の画像データ伝送装置２６とホスト装置２とを接続する伝送ネットワーク４と、を備える構成とする。【選択図】  図１
2005057453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造状況を監視し、その状況を表す画像データをアナログビデオ信号として出力するモニタリング装置と、モニタリング装置が出力するアナログビデオ信号を分配するビデオ信号分配器と、ビデオ信号分配器から分配されるアナログビデオ信号により画像データを表示するローカル表示装置と、ビデオ信号分配器から分配されるアナログビデオ信号をデジタル変換して出力する画像データ伝送装置と、を有する製造装置と、
アナログビデオ信号をデジタル変換した信号を受信して製造装置をリモート管理するホスト装置と、
製造装置の画像データ伝送装置とホスト装置とを接続する伝送ネットワークと、
を備える製造ライン管理システム。
【請求項２】
入力される画像データのアナログビデオ信号をデジタル変換してそれを出力する製造ライン管理システムに用いることができる画像データ伝送装置であって、
アナログビデオ信号をサンプリングし、デジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、
そのデジタル信号を伝送ネットワークに送信する伝送ネットワークインタフェース回路と、
アナログビデオ信号から水平同期信号と垂直同期信号とを分離して、それらを出力する同期信号分離回路と、
基準クロックを発生する電圧制御オシレータと、
基準クロックを分周し、ピクセルクロックを出力する第１の分周器と、
ピクセルクロックをさらに分周する第２の分周器と、
第２の分周器の出力と水平同期信号とを比較し、それに基づいて電圧制御オシレータを制御するＰＬＬ回路と、
垂直同期信号をカウントし、そのカウント値に応じてＡ／Ｄ変換器のサンプリングパルスを所定のピクセルクロックずつ遅延させるサンプリングパルス発生回路と、
を備える画像データ伝送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造ラインにおいて複数の製造装置のリモート管理を行うホスト装置を有する製造ライン管理システムおよびその製造ライン管理システムに用いることができる画像データ伝送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、自動化された製造ラインの管理を行う製造ライン管理システムは、いくつかの製造装置と、これらの製造装置の管理を行うホスト装置と、各装置間の通信を行う伝送ネットワークとを有して構成されている。その伝送ネットワークにおける通信は、例えば、製造装置が半導体製造装置である場合、主にＳＥＣＳ（半導体製造装置通信スタンダード）という標準規格の通信プロトコルが用いられている。図４はその構成を示した概略図である。
【０００３】
半導体製造装置を含む製造ライン管理システム１０１は、複数の製造装置１０５、１０６…と、これら製造装置１０５、１０６…のリモート管理を行うホスト装置１０２と、その間に設けられる伝送ネットワーク１０４と、から構成されている。製造装置１０５、１０６…は、具体的には、露光・現像装置、酸化装置、エッチング装置等である。これら各製造装置１０５、１０６…は、現在処理しているロットあるいは製造プロセス環境などの製造状況を常に監視し、その製造状況を表すデータを、伝送ネットワーク１０４を介してホスト装置１０２に送る。これに基づき、ホスト装置１０２は、各製造装置１０５、１０６…の製造状況のリモート管理を行うのである。
【０００４】
ところで、製造装置１０５、１０６…は、出力するデータの内容および形式（データ仕様）が製造装置メーカごとに異なり、製造ライン管理システム１０１を構成する場合、複数の製造装置メーカの製造装置が混ざって構成されることが一般的である。したがって、製造ライン管理システム１０１は、伝送ネットワーク１０４の通信プロトコルに合わせるべく、製造装置１０５、１０６…が出力するデータを変換する装置を設けることになる。前述の標準規格であるＳＥＣＳは、規格として緩いため、これに対応している製造装置においても同様にデータを変換する装置が必要である。
【０００５】
【特許文献１】特開平０７−８７０３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
このように、従来の製造ライン管理システム１０１は、データ仕様が異なる複数の製造装置から出力されるデータを、伝送ネットワークの通信プロトコルに合うよう変換する装置を設けなければならず、したがって、製造ライン管理システムの開発、メンテナンスが複雑になり、工数やコストのアップを招いている。
【０００７】
本発明は、以上の事由に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、複数の製造装置から出力されるデータの処理を改良することにより、開発、メンテナンスを簡便化した製造ライン管理システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、請求項１に係る製造ライン管理システムは、製造状況を監視し、その状況を表す画像データをアナログビデオ信号として出力するモニタリング装置と、モニタリング装置が出力するアナログビデオ信号を分配するビデオ信号分配器と、ビデオ信号分配器から分配されるアナログビデオ信号により画像データを表示するローカル表示装置と、ビデオ信号分配器から分配されるアナログビデオ信号をデジタル変換して出力する画像データ伝送装置と、を有する製造装置と、アナログビデオ信号をデジタル変換した信号を受信して製造装置をリモート管理するホスト装置と、製造装置の画像データ伝送装置とホスト装置とを接続する伝送ネットワークと、を備えることを特徴とする。
【０００９】
請求項２に係る画像データ伝送装置は、入力される画像データのアナログビデオ信号をデジタル変換してそれを出力する製造ライン管理システムに用いることができる画像データ伝送装置であって、アナログビデオ信号をサンプリングし、デジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、そのデジタル信号を伝送ネットワークに送信する伝送ネットワークインタフェース回路と、アナログビデオ信号から水平同期信号と垂直同期信号とを分離して、それらを出力する同期信号分離回路と、基準クロックを発生する電圧制御オシレータと、基準クロックを分周し、ピクセルクロックを出力する第１の分周器と、ピクセルクロックをさらに分周する第２の分周器と、第２の分周器の出力と水平同期信号とを比較し、それに基づいて電圧制御オシレータを制御するＰＬＬ回路と、垂直同期信号をカウントし、そのカウント値に応じてＡ／Ｄ変換器のサンプリングパルスを所定のピクセルクロックずつ遅延させるサンプリングパルス発生回路と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の製造ライン管理システムは、複数の製造装置の製造状況を表す画像データを変換し、伝送ネットワークに送出する画像データ伝送装置を設けることで、開発、メンテナンスを簡便化することができる。
【００１１】
さらに、画像データ伝送装置を高価な高速Ａ／Ｄ変換器を用いずに構成することが可能であるので、コストを削減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の実施形態である製造ライン管理システム１の構成を示す図である。
【００１３】
製造ライン管理システム１は、露光・現像装置、酸化装置、エッチング装置等である複数の製造装置３、３…と、複数の製造装置３、３…をリモート管理するホスト装置２と、複数の製造装置３、３…の画像データをホスト装置２に伝送する媒体である伝送ネットワーク４と、を有して構成される。図１では、複数の製造装置３、３…は、その内の１個だけを示し、その他の製造装置は省略している。
【００１４】
製造装置３は、製造状況を監視し、その製造状況を表す画像データをアナログビデオ信号として出力するモニタリング装置２１と、モニタリング装置２１が出力するアナログビデオ信号を分配するビデオ信号分配器２３と、ビデオ信号分配器２３から分配されるアナログビデオ信号により画像データを表示するローカル表示装置２４と、ビデオ信号分配器２３から分配されるアナログビデオ信号をデジタル変換して出力する画像データ伝送装置２６と、を有して構成される。２７、２８、２９は信号ケーブルであり、モニタリング装置２１とビデオ信号分配器２３、ビデオ信号分配器２３とローカル表示装置２４、ビデオ信号分配器２３と画像データ伝送装置２６、をそれぞれ接続している。また、画像データ伝送装置２６の出力側は、伝送ネットワーク４により、後述するホスト装置２のホストコンピュータ３０に接続されている。つまり、製造装置３において重要な点は、モニタリング装置２１が出力する画像データのアナログビデオ信号を分配するビデオ信号分配器２３と、そのアナログビデオ信号をデジタル変換して出力する画像データ伝送装置２６を設けたこと、にある。
【００１５】
ホスト装置２は、伝送ネットワーク４により複数の製造装置３の画像データ伝送装置２６に接続され、アナログビデオ信号をデジタル変換した信号を受信して複数の製造装置３をリモート管理するホストコンピュータ３０と、ホストコンピュータ３０に接続され、複数の製造装置３の製造状況の画像データを表示するホスト表示装置３１と、を有して構成される。
【００１６】
係る製造ライン管理システム１は、以下のように動作する。製造装置３は、モニタリング装置２１が製造状況を表す画像データをアナログビデオ信号として出力する。このアナログビデオ信号は、ビデオ信号分配器２３を経てローカル表示装置２４と画像データ伝送装置２６に送られる。これにより、ローカル表示装置２４は、本来の機能、すなわち、製造状況を示す画像データの表示を行うことができる。これと同時に、画像データ伝送装置２６は、アナログビデオ信号をデジタル変換し、伝送ネットワーク４を介してホスト装置２のホストコンピュータ３０に送られる。これにより、ホスト装置２のホスト表示装置３１は、ホストコンピュータ３０により製造状況を示す画像データの表示を行うことができる。したがって、この製造ライン管理システム１は、モニタリング装置２１が出力する画像データのアナログビデオ信号は規格として統一できているので、製造装置メーカの異なる製造装置個々にことさら対応することなく、そのアナログビデオ信号を画像データ伝送装置２６でデジタル変換して出力する。その結果、ホスト装置２により統一的にリモート管理が可能になることは勿論、製造ライン管理システムの開発、メンテナンスを簡便化することができるのである。
【００１７】
ここで、アナログビデオ信号はＲ信号、Ｇ信号、Ｂ信号からなるのが一般的であるが、ホスト装置２に伝送する画像データはカラーである必要はない。そこで、画像データ伝送装置２６は、この内、例えばＲ信号のみを変換して、ホスト装置２に伝送する。
【００１８】
なお、ホスト装置２に届いた画像データを文字認識ソフトを用いて変換し、ホスト表示装置３１に表示するのみならず、その他の管理にデータを用いることができるのは勿論である。
【００１９】
次に、画像データ伝送装置２６の構成を図２に基づいて説明する。
【００２０】
画像データ伝送装置２６は、入力端子（ＩＮ）から入力されたアナログビデオ信号をサンプリングし、デジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器５１と、そのデジタル信号を出力端子（ＯＵＴ）から伝送ネットワーク４に送信する伝送ネットワークインタフェイス回路５７と、アナログビデオ信号から水平同期信号（ＨＳ）と垂直同期信号（ＶＳ）とを分離して、それらを出力する同期信号分離回路５２と、基準クロックを発生する電圧制御オシレータ５３と、この基準クロックを分周し、ピクセルクロック（Ｐ＿ＣＬＫ）を出力する第１の分周器５４と、ピクセルクロック（Ｐ＿ＣＬＫ）をさらに分周する第２の分周器５５と、この第２の分周器５５の出力と水平同期信号（ＨＳ）とを比較し、それに基づいて電圧制御オシレータ５３を制御するＰＬＬ回路５６と、垂直同期信号（ＶＳ）とピクセルクロック（Ｐ＿ＣＬＫ）とからＡ／Ｄ変換器５１のサンプリングを制御するサンプリングパルスを出力するサンプリングパルス発生回路５８と、を有して構成される。
【００２１】
ローカル表示装置２４の表示モードはＶＧＡ、ＳＶＧＡなど様々であるが、例えば、ＶＧＡの場合だと、画像を構成するピクセルのレートは２５．１７５ＭＨｚである。このピクセルレートに合わせて、全てのピクセルをデジタル変換するには、高価な高速のＡ／Ｄ変換器を使うことも考えられるが、画像データ伝送装置２６のコスト削減のため、高速でないＡ／Ｄ変換器５１を用いる。そして、このために、サンプリングパルス発生回路が設けられている。
【００２２】
また、第１、第２の分周回路５４、５５では、前述のモニタリング装置２１が送出するアナログビデオ信号のピクセルレートに一致するピクセルクロック（Ｐ＿ＣＬＫ）を出力するように、パラメータを設定して分周比が決められている。
【００２３】
次に、画像データ伝送装置２６の動作について説明する。
【００２４】
画像データ伝送装置２６に入力するアナログビデオ信号は、同期信号分離回路５２により水平同期信号（ＨＳ）と垂直同期信号（ＶＳ）とが分離される。水平同期信号（ＨＳ）はＰＬＬ回路５６に入力され、第１、第２の分周器５４、５５によって分周された基準クロックと位相比較される。その位相差に応じて電圧制御オシレータ５３が制御され、基準クロックの位相は水平同期信号（ＨＳ）と合い、その分周クロックであるピクセルクロック（Ｐ＿ＣＬＫ）も水平同期信号（ＨＳ）と位相が合うことになる。
【００２５】
このピクセルクロック（Ｐ＿ＣＬＫ）はサンプリングパルス発生回路５８に入力され、サンプリングパルスを作り出す基本クロックとなる。サンプリングパルス発生回路５８では、垂直同期信号（ＶＳ）をカウントし、そのカウント値に応じてサンプリングパルスを１基本クロックずつ遅延させて行く。そして、所定のカウント値が終わるとリセットされて、再度最初からカウントを行う。このサンプリングパルスの期間で、アナログビデオ信号はサンプリングされ、Ａ／Ｄ変換器５１によってデジタル変換される。なお、サンプリングパルスの遅延は画像が認識できれば複数基本クロックであっても良い。
【００２６】
具体例として、その所定のカウント値を４と場合を図３に基づいて説明する。最初の垂直同期信号（ＶＳ）で表されるフレームでは、走査線ごとに水平同期信号（ＨＳ）から最初の画像ピクセル以降４個おきにサンプリングパルスを発生する。２番目のフレームでは、２番目の画像ピクセル以降４個おきにサンプリングパルスを発生する。以下、３番目、４番目のフレームでも同様に行う。それが終わると、続いて、最初のフレームとしてのサンプリングパルスを発生する。このように繰り返してサンプリングパルスを発生する。
【００２７】
したがって、この場合、Ａ／Ｄ変換器５１は、ピクセルクロック（Ｐ＿ＣＬＫ）の周波数の４分の１の周波数で動作することになる。表示モードがＶＧＡの場合だと、ピクセルクロック（Ｐ＿ＣＬＫ）の周波数は２５．１７５ＭＨｚであるから、Ａ／Ｄ変換器５１は、６．２９ＭＨｚで動作するものを用いれば良いので、高速のものである必要はない。さらに、前記所定のカウント値を大きくすれば、もっと低速のものを用いることも可能である。
【００２８】
このようにして変換されたデジタルの画像データは、伝送ネットワークインタフェイス回路５７から伝送ネットワーク４に送出される。ホスト装置２のホストコンピュータ３０は、その画像データを受け、ホスト表示装置３１がローカル表示装置２４と表示モードが同じならば、そのままホスト表示装置３１に出力する。表示モードが異なれば、画像データの間引きか補間を行って、ホスト表示装置３１に出力する。
【００２９】
なお、電圧制御オシレータ５３が発生する基準クロックをピクセルクロックとして用いることも可能であり、この場合は第１の分周器５４は不要となる。
【００３０】
また、この画像データ伝送装置２６は、製造ライン管理システム１の製造装置３の構成要素となるものであるが、製造ライン管理システムに限らず、画像データのアナログビデオ信号とそれをデジタル変換した信号とを処理するものであれば、他のシステムにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施形態に係る製造ライン管理システムの構成図。
【図２】同上の画像データ伝送装置のブロック図。
【図３】同上の画像データ伝送装置の動作説明図。
【図４】背景技術の製造ライン管理システムの概略構成図。
【符号の説明】
【００３２】
１              製造ライン管理システム
２              ホスト装置
３              製造装置
４              伝送ネットワーク
２１              モニタリング装置
２３              ビデオ信号分配器
２４              ローカル表示装置
２６              画像データ伝送装置
２７、２８、２９  信号ケーブル
３０              ホストコンピュータ
３１              ホスト表示装置
５１              Ａ／Ｄ変換器
５２              同期信号分離回路
５３              電圧制御オシレータ
５４              第１の分周回路
５５              第２の分周回路
５６              ＰＬＬ回路
５７              伝送ネットワークインタフェイス回路
５８              サンプリングパルス発生回路
【図１】
2005057453.tif 000003
【図２】
2005057453.tif 000004
【図３】
2005057453.tif 000005
【図４】
2005057453.tif 000006