(57)【要約】【課題】  複数のＩＣハンドラ装置を使用するシステムであっても装置間誤差に起因するティーチング作業を必要としないＩＣハンドラシステムを実現する。【解決手段】  同一構造になった複数台のＩＣハンドラ装置を用いてＩＣデバイスをテストするＩＣハンドラシステムにおいて、  前記各ＩＣハンドラ装置間で共通する工程間の始点位置から終点位置までの位置決め対象の移動距離をＸ軸方向及びＹ軸方向について測定した距離データを収集する移動距離データ収集手段と、  収集された前記距離データと設計値データとの差分データを前記各ＩＣハンドラ装置毎に保持する差分データ保持手段と、  前記ＩＣハンドラ装置毎に前記差分データ保持手段から差分データを読み出して位置決めの修正データとして利用する工程移動制御手段と、を備える。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
同一構造になった複数台のＩＣハンドラ装置を用いてＩＣデバイスをテストするＩＣハンドラシステムにおいて、
前記各ＩＣハンドラ装置間で共通する工程間の始点位置から終点位置までの位置決め対象の移動距離をＸ軸方向及びＹ軸方向について測定した距離データを収集する移動距離データ収集手段と、
収集された前記距離データと設計値データとの差分データを前記各ＩＣハンドラ装置毎に保持する差分データ保持手段と、
前記ＩＣハンドラ装置毎に前記差分データ保持手段から差分データを読み出して位置決めの修正データとして利用する工程移動制御手段と、
を備えることを特徴とするＩＣハンドラシステム。
【請求項２】
前記位置決め対象をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置決めするＸ，Ｙサーボ制御系に与える設定値の修正情報として前記差分データを用いることを特徴とする請求項１に記載のＩＣハンドラシステム。
【請求項３】
前記工程間の始点位置から終点位置までの移動距離は、前記Ｘ，Ｙサーボ制御系の始点位置と終点位置のＸ、Ｙ座標の差であることを特徴とする請求項２に記載のＩＣハンドラシステム。
【請求項４】
前記設計値データは、特定のＩＣハンドラ装置で測定された移動距離データを用いることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のＩＣハンドラシステム。
【請求項５】
差分データ保持手段の修正データは、工程間情報と前記差分データとを対応させたテーブルになっていて、このテーブルは前記ＩＣハンドラ装置毎に設られていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のＩＣハンドラシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、同一構造になった複数台のＩＣハンドラ装置を用いてＩＣデバイスをテストするＩＣハンドラシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は一般的なＩＣハンドラ装置の構成例を示す平面図である。ＴＳ１は被検査ＩＣデバイス（以下、ＤＵＴ：Device Under Test）がセットされる供給トレイストッカである。ＬＤ１は、Ｘ，Ｙサーボ制御系で構成された第１ローダであり、供給トレイストッカにセットされたＤＵＴを取り出してプリヒータＰＨの所定位置に移動させる。
【０００３】
ＬＤ２は、Ｘ，Ｙサーボ制御系で構成された第２ローダであり、プリヒータＰＨにセットされているＤＵＴを取り出してロードシャトルＬＳのポケットに運ぶ。ロードシャトルＬＳはポケットからＤＵＴを取り出してロータリヘッドＲＨに渡す。
【０００４】
ロータリヘッドＲＨは、ロードシャトルＬＳからＤＵＴを受け取り９０°回転後、テスタ（図示せず）でＤＵＴをテスト後に、更に９０°回転してアンロードシャトルＵＳにＤＵＴを渡す。アンロードシャトルＵＳは、ロータリヘッドＲＨからＤＵＴを受け取り、アンロードシャトル上のポケットに運ぶ。
【０００５】
ＵＬ１は、Ｘ，Ｙサーボ制御系で構成された第１アンローダであり、アンロードシャトルＵＳのポケットからＤＵＴを取り出し、ＤＵＴを受け渡しする一時置き場であるトランスファプレートＴＰへ運ぶ。
【０００６】
ＵＬ２は、Ｘ，Ｙサーボ制御系で構成された第２アンローダであり、トランスファポケットＴＰからＤＵＴを取り出し、検査済みデバイスを載せるトレイを積載する収納トレイストッカＴＲ２に運ぶ。ＴＲ３は、未検査のＤＵＴを載せるトレイを積載する空トレイストッカである。
【０００７】
ＩＣハンドラ装置は、ＤＵＴを搬送・検査・分類する。ＩＣハンドラ装置で扱うＤＵＴは多種に及ぶため、各部にはＤＵＴの品種毎に適合するチェンジキットとよばれる機械的ユニットが取り付けられる。ユーザは、その状態で、そのＤＵＴを搬送・検査・分類するためのローダ（ＬＤ１，ＬＤ２）及びアンローダ（ＵＬ１，ＵＬ２）の位置決め位置を測定し、品種登録データとして記憶させるテーチィング操作を装置毎に個別に実行している。
【０００８】
図４は、同一構造になった複数台のＩＣハンドラ装置を用いてＩＣデバイスをテストするＩＣハンドラシステムの従来構成を示す機能ブロック図である。１１，１２，…１ｎは、同一構造になったｎ台のＩＣハンドラ装置を示す。
【０００９】
各ＩＣハンドラ装置は、共通する工程、例えばＡ工程からＢ工程間を、位置決め対象を移動制御する工程移動制御手段２１，２２，…２ｎを有する。これら工程移動制御手段は、位置決め対象の始点位置から終点位置までの移動を、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に位置決めするＸ，Ｙサーボ制御系で実現されている。
【００１０】
各ＩＣハンドラ装置におけるＡ工程からＢ工程間のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動距離は、構成部品の機械的な取り付け誤差を持ってばらついている。Ｘ１，Ｘ２，…Ｘｎは、ＩＣハンドラ装置１１，１２，…１ｎにおけるＡ工程からＢ工程までのＸ軸方向の移動距離である。
【００１１】
同様に、Ｙ１，Ｙ２，…Ｙｎは、各ＩＣハンドラ装置のＡ工程からＢ工程までのＹ軸方向の移動距離を示す。高密度のピン配列を有するＤＵＴを次の工程に精度良く移動させるためには、ＩＣハンドラ装置毎に工程移動制御手段２１，２２，…２ｎに対して位置決め対象の正確な移動距離をティーチング作業３１，３２，…３ｎにより設定し登録する必要がある。
【００１２】
ＩＣハンドラ装置に関連する先行技術文献としては次のようなものがある。
【００１３】
【特許文献１】特開２００２−７１７５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ユーザは、複数のＩＣハンドラ装置の共通する工程を使用する場合でも、ＤＵＴ毎に品種登録データ（搬送時移動量など）を各ＩＣハンドラ装置に登録するティーチング作業が必要であり、この作業がユーザには大きな負担になっている。
【００１５】
従って本発明が解決しようとする課題は、複数のＩＣハンドラ装置を使用するシステムであっても装置間誤差に起因するティーチング作業を必要としないＩＣハンドラシステムを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
このような課題を達成するために、本発明の構成は次の通りである。
（１）同一構造になった複数台のＩＣハンドラ装置を用いてＩＣデバイスをテストするＩＣハンドラシステムにおいて、
前記各ＩＣハンドラ装置間で共通する工程間の始点位置から終点位置までの位置決め対象の移動距離をＸ軸方向及びＹ軸方向について測定した距離データを収集する移動距離データ収集手段と、
収集された前記距離データと設計値データとの差分データを前記各ＩＣハンドラ装置毎に保持する差分データ保持手段と、
前記ＩＣハンドラ装置毎に前記差分データ保持手段から差分データを読み出して位置決めの修正データとして利用する工程移動制御手段と、
を備えることを特徴とするＩＣハンドラシステム。
【００１７】
（２）前記位置決め対象をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置決めするＸ，Ｙサーボ制御系に与える設定値の修正情報として前記差分データを用いることを特徴とする（１）に記載のＩＣハンドラシステム。
【００１８】
（３）前記工程間の始点位置から終点位置までの移動距離は、前記Ｘ，Ｙサーボ制御系の始点位置と終点位置のＸ、Ｙ座標の差であることを特徴とする（２）に記載のＩＣハンドラシステム。
【００１９】
（４）前記設計値データは、特定のＩＣハンドラ装置で測定された移動距離データを用いることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載のＩＣハンドラシステム。
【００２０】
（５）差分データ保持手段の修正データは、工程間情報と前記差分データとを対応させたテーブルになっていて、このテーブルは前記ＩＣハンドラ装置毎に設られていることを特徴とする（１）乃至（４）のいずれかに記載のＩＣハンドラシステム。
【発明の効果】
【００２１】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば装置間誤差を有する複数のＩＣハンドラ装置を使用するシステムにおいても、装置毎のティーチング作業をすることなく、同じ品種登録データで、ＤＵＴの搬送・検査・分類を正しく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図１は本発明を適用したＩＣハンドラシステムの一実施形態を示す機能ブロック図である。図４で説明した従来システムと同一要素には同一符号を付し、説明を省略する。以下、本発明の特徴部につき説明する。
【００２３】
図１において、１０１，１０２，…１０ｎは、ｎ台のＩＣハンドラ装置であり、基本構造は図４の従来システムのＩＣハンドラ装置１１，１２，…０ｎと同一である。２０１，２０２，…２０ｎは、Ｘ，Ｙサーボ制御系による工程移動制御手段であり、基本構造は図４の従来システムの工程移動制御手段２１，２２，…２ｎと同一であるが、後述する位置決め制御における設定値の修正情報を自動的に取得する。
【００２４】
３０１，３０２，３１０ｎは、ｎ台のＩＣハンドラ装置毎に設けられた距離データ測定手段であり、システムの使用に先立って工程間を移動する位置決め対象のＸ軸方向及びＹ軸方向の移動距離を測定する。
【００２５】
Ｘ１，Ｙ１は、ＩＣハンドラ装置１０１の工程Ａより工程Ｂの距離データ、Ｘ２，Ｙ２は、ＩＣハンドラ装置１０２の工程Ａより工程Ｂの距離データ、Ｘｎ，Ｙｎは、ＩＣハンドラ装置１０ｎの工程Ａより工程Ｂの距離データを示す。
【００２６】
鎖線のブロック４００は、装置間誤差管理手段である。ＩＣハンドラ装置毎に設けられた距離データ測定手段の測定データは、装置間誤差管理手段における移動距離データ収集手段４０１に渡されて登録される。
【００２７】
登録された距離データは、差分演算手段４０２に渡され、設計値データ保持手段４０３にあらかじめ設定・保持されている設計データと比較されてその差分データが算出される。この差分データは、データベース構造の差分データ保持手段４０４に渡されてＩＣハンドラ装置毎に工程に対応した差分データが位置決めの修正データとして保持される。
【００２８】
保持の形態としては、工程に対応した修正データを、ＩＣハンドラ装置毎に形成したテーブル形成で保持する形態が管理し易い。ＴＢ−１，ＴＢ−２，…ＴＢ−ｎは、ＩＣハンドラ装置１０１，１０２，…１０ｎに対応して形成した修正データ保持用のテーブルである。
【００２９】
ＩＣハンドラ装置１０１のテーブルＴＢ−１の内容を例示すれば、工程Ａ→Ｂ，Ｂ→Ｃ，Ｃ→Ｄにつき、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の修正データΔＸ１，ΔＹ１が対応して保持されている。他のＩＣハンドラ装置１０２…１０ｎのテーブル内容も同一構成となっており、ΔＸ２，ΔＹ２…ΔＸｎ，ΔＹｎが保持されている。
【００３０】
各ＩＣハンドラ装置の工程移動制御手段２０１，２０２，…２０ｎは、Ｘ，Ｙサーボ制御系による位置決め制御において、差分データ保持手段４０４より自己のテーブルに保持されている修正データを読み出して位置決め制御の設定値に対する修正データとして利用する。
【００３１】
このように、ＩＣハンドラ装置毎に固有の誤差を持つ工程間の移動距離に対する位置決め制御は、装置毎に保持された修正データを利用することで、自動的に設定値が修正される。従って、装置毎に実施していた従来システムの煩雑なティーチング作業は不要となり、複数のＩＣハンドラ装置を用いるシステムの装置間誤差管理の効率を格段に高めることが可能となる。
【００３２】
以下、事前に実行されるＩＣハンドラ毎の工程間距離データの測定及び登録手順について説明する。図２は、位置決め校正を行うための冶具とＸ，Ｙサーボ制御系の相対関係を示す側面図である。
【００３３】
図２において、５００はＩＣハンドラ装置筐体、５０１はその特定工程の基準位置に設けられた基準ピンである。６００は板状の校正冶具プレートであり、位置決め校正される工程の基準ピン５０１に係合する位置決め孔６０１を有する。
【００３４】
６０２は、校正冶具プレート６００の上面に形成されたマスターピンであり、円錐状の先端部を有する。この校正冶具プレートは、図３で説明した供給トレイストッカＴＳ１、プレヒータＰＨ、ロードシャトルＬＳ、アンロードシャトルＵＳ、トランスファプレートＴＰの基準位置にセットされる。
【００３５】
７００はピックアップ部であり、Ｘ，Ｙサーボ制御系で構成される第１ローダＬＤ１，第２ローダＬＤ２及び第１アンローダＵＬ１，第２アンローダＵＬ２におけるＤＵＴ吸着ユニットが取り付けられている。
【００３６】
７０１はその吸着ユニットの１個をアンカーとして利用して取り付けられたマスターピンであり、円錐状の先端部を有する。このマスターピン７０１が、校正冶具プレート６００の上面に形成されたマスターピン６０２と対向配置される。
【００３７】
８００は、拡大監視カメラであり、ピックアップ部側のマスターピン７０１と冶具プレート側のマスターピン６０２の一致をオペレータが拡大した撮影画像を監視することで実行する。Ｘ，Ｙサーボ制御系を手動操作してマスターピン７０１をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させ、冶具プレート側のマスターピン６０２との一致を確認した場所の位置情報をＸ，Ｙサーボ制御系より取得する。
【００３８】
以下、操作の具体的な手順を説明する。
（１）各ＩＣハンドラ装置におけるプリヒータＰＨ、ロードシャトルＬＳ、アンロードシャトルＵＳのトランスファポケットに、機械的な商となる位置決めピンを設ける。
【００３９】
（２）プリヒータＰＨ、ロードシャトルＬＳ、アンロードシャトル、トランスファポケットの位置決めピンに合わせた校正治具プレートを各部に置く。各校正冶具プレートには、位置決め測定用のマスターピンを取り付ける。
【００４０】
（３）供給トレイストッカＴＳ１の基準面に突き合わせて位置出しできる校正治具プレートをトレイストッカに置く。プレートには、位置決め測定用のマスターピンを取り付ける。
【００４１】
（４）リニアサーボモータで駆動される、Ｘ，Ｙサーボ制御系の第１，第２ローダＬＤ１，ＬＤ２及び第１，第２アンローダＵＬ１，ＵＬ２のピックアップ部に、位置決め測定用のマスターピンを取り付ける。
【００４２】
（５）リニアサーボモータの機械原点位置から、供給トレイストッカＴＲ１、プリヒータＰＨ、ロードシャトルＬＳ、アンロードシャトルＵＳ、トランスファポケットＴＰに載せた校正治具プレート上のマスターピンまでの位置を、ピックアップ部のマスターピンと冶具プレートのマスターピンの一致により順次測定する。
【００４３】
測定は、冶具プレートのマスターピン６０２先端とピックアップ部マスターピン７０１の先端が合致する位置に、ローダ、アンローダを動かし、拡大監視用カメラで一致を確認した位置におけるＩＣハンドラ装置が表示するリニアサーボモータのエンコーダ座標値を読み取ることで行う。
【００４４】
（６）このような手順で測定された各ＩＣハンドラ装置の工程間距離データは、共通に設けられた装置間誤差管理手段４００の移動距離データ収集手段４０１に渡されて装置固有のデータとして登録される。以上で校正が終わる。
【００４５】
図１に示した実施形態では、設計値データ保持手段４０３には、あらかじめエンジニアリングされた距離の設定値データが保持されている構成を示したが、複数台のＩＣハンドラ装置の特定な１台の距離測定データを設計値データとみなしてこれを設計値データ保持手段４０３に保持することもできる。
【００４６】
更に、各ＩＣハンドラ装置の距離測定データの平均値を算出し、これを設計値データ保持手段４０３に設定値データとして保持させることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明を適用したＩＣハンドラシステムの一実施形態を示す機能ブロック図である。
【図２】位置決め校正を行うための冶具と、Ｘ，Ｙサーボ制御系の相対関係を示す側面図である。
【図３】一般的なＩＣハンドラ装置の構成例を示す平面図である。
【図４】ＩＣハンドラシステムの従来構成を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０１，１０２，…１０ｎ  ＩＣハンドラ装置
２０１，２０２，…２０ｎ  工程移動制御手段
３０１，３０２，…３０ｎ  距離データ測定手段
４００  装置間誤差管理手段
４０１  移動距離データ収集手段
４０２  差分データ演算手段
４０３  設計値データ保存手段
４０４  差分データ保持手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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