(57)【要約】【課題】液晶パネルの対向基板上に透明電極が正確に成膜されたかを簡易に判断する。【解決手段】液晶パネルの対向基板１０は、ガラス基板１１と、基板１１の主面上の一部分に成膜された透明電極膜１２と、主面上に露出した第１の電極パッド１５及び第２の電極パッド１６と、基板１１に形成された第１の接続端子２０及び第２の接続端子２２と、第１の電極パッド１５と第１の接続端子２０とを接続する第１の配線１９と、第２の電極パッドと上記第２の接続端子とを接続する第２の配線２１とを備えている。第１の電極パッド１５は透明電極膜１２が成膜される位置上に形成され、第２の電極パッド１６は透明電極膜１２が成膜されない位置上に形成される。対向基板１０では、第１の電極パッド１５と第２の電極パッド１６との導通確認を行い、導通していれば透明電極が正しい位置に形成されていないと判断される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
上記基板の主面上の一部分に成膜された透明な導電性材料からなる透明電極膜と、
上記基板から上記主面上に露出した第１の電極パッド及び第２の電極パッドと、
上記基板に形成され外部装置と電気的に接続するための第１の接続端子及び第２の接続端子と、
上記第１の電極パッドと上記第１の接続端子とを接続する第１の配線と、
上記第２の電極パッドと上記第２の接続端子とを接続する第２の配線とを備え、
上記第１の電極パッドは、上記透明電極膜が成膜される位置に形成され、
上記第２の電極パッドは、上記透明電極膜が成膜されない位置に形成されること
を特徴とする透明電極を有する基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶表示装置の対向基板等に用いられる透明電極を有する基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルは、通常、ＴＦＴ（Thin Film Transistor ）基板と対向基板とが重ね合わされ、その間に液晶層が形成されている。
【０００３】
対向基板には、通常、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる透明電極が形成されている。対向基板に透明電極を形成する方法として、対向基板の主面の全面に亘って透明電極を形成する方法と、対向基板の主面の必要な一部分にのみ透明電極を形成する方法（例えば特許文献１参照。）がある。全面に形成する方法の場合、製造工程が少なくて済むというメリットがあり、必要な一部分のみに形成する方法の場合には、回路の配線容量が低減し、液晶パネルの周囲に金属枠を使用した場合であってもショートすることがないというメリットがある。
【０００４】
【特許文献１】特許第３０３４３６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、対向基板の主面の必要な一部分にのみ透明電極を形成する方法を採用した場合、透明電極が正しい位置に形成されたか否かを検査する必要がある。しかしながら、ＩＴＯは透明であり且つ抵抗値が小さいため、目視やカメラ等での検査並びに抵抗値測定による検査を行うことが困難である。
【０００６】
本発明は、基板の主面の一部分にのみ透明電極を形成した後、その透明電極が正確に基板上に配置されたか否かを、簡易に判断することができる基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る透明電極を有する基板は、基板と、上記基板の主面上の一部分に成膜された透明電極膜と、上記基板から上記主面上に露出した第１の電極パッド及び第２の電極パッドと、上記基板に形成され外部装置と電気的に接続するための第１の接続端子及び第２の接続端子と、上記第１の電極パッドと上記第１の接続端子とを接続する第１の配線と、上記第２の電極パッドと上記第２の接続端子とを接続する第２の配線とを備え、上記第１の電極パッドは、上記透明電極膜が成膜される位置に形成され、上記第２の電極パッドは、上記透明電極膜が成膜されない位置に形成されることを特徴とする。
【０００８】
本発明に係る透明電極を有する基板では、第１の電極パッドと第２の電極パッドとの導通確認を行い、導通していれば透明電極が正しい位置に形成されていないと判断する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る透明電極を有する基板では、第１の電極パッドが透明電極膜の成膜位置に形成され、第２の電極パッドが透明電極膜の成膜位置以外の位置に形成され、第１の接続端子及び第２の接続端子を用いて第１の電極パッドと第２の電極パッドとの間の導通確認を外部から行い、導通していれば透明電極が正しい位置に形成されていないと判断する。
【００１０】
このことにより、本発明の透明電極を有する基板では、透明電極が正確に基板上に配置されたか否かを外部から簡易に判断することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明を実施するための最良の形態として、本発明を適用した液晶パネルの対向基板について説明をする。
【００１２】
図１に示す対向基板１０は、ＴＦＴ基板と重ね合わされ、その間に液晶層が形成されることにより、液晶パネルとして用いられる。
【００１３】
対向基板１０は、カラーフィルタが形成された透明絶縁性基板であるガラス基板１１の主面１１ａ上に、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）等からなる透明電極膜１２が例えばスパッタリング等により成膜されている。
【００１４】
透明電極膜１２は、ＴＦＴ基板に形成された電極との間で電界を形成し、ＴＦＴ基板と対向基板１０との間に配置された液晶分子の配向制御をするために用いられる。透明電極膜１２は、ガラス基板１１の主面１１ａ上の中心部分にのみ形成されており、周縁部分には形成されていない。すなわち、ガラス基板１１の周縁部分は、主面１１ａが露出している。具体的に、透明電極膜１２が形成されている部分は、ＴＦＴ基板と重ね合わせを行ったときに、対向する位置にＴＦＴ素子が形成されている部分である。なお、以下、ガラス基板１１の主面１１ａ上の透明電極膜１２が形成される領域を中心領域１３といい、ガラス基板１１の主面１１ａ上の透明電極膜１２が形成されない領域を周縁領域１４というものとする。
【００１５】
また、対向基板１０の中心領域１３には、導電製材料から構成された第１の電極パッド１５が形成され、対向基板１０の周縁領域１４には、導電製材料から構成された第２の電極パッド１６が形成されている。第１の電極パッド１５及び第２の電極パッド１６は、例えば金属材料からなり、主面１１ａ上から露出している。そのため、第１の電極パッド１５及び第２の電極パッド１６上に透明電極膜１２が成膜された場合、透明電極膜１２と第１の電極パッド１５とが接触し、又は、透明電極膜１２と第１の電極パッド１５とが接触し、電気的に接続される。
【００１６】
また、対向基板１０には、外部装置と当該対向基板１０の内部配線とを接続するためのフラットケーブル１７が取り付けられる端子群１８が設けられている。フラットケーブル１７が対向電極１０に取り付けられると、フラットケーブル１７内の各接続ラインと端子群１８の一つ一つとが電気的に接続される。
【００１７】
また、対向電極１０には、第１の電極パッド１５と端子群１８の任意の一つの端子（第１の端子２０）とを電気的に接続する第１の配線１９が設けられている。対向電極１０には、第２の電極パッド１６と端子群１８の第１の端子２０以外の任意の一つの端子（第２の端子２２）とを電気的に接続する第２の配線２１が設けられている。第１の配線１９及び第２の配線２１は、例えば上層に絶縁膜等が形成されることにより、主面１１ａ上には露出していない。
【００１８】
つぎに、以上のような対向基板１０の製造が完了した後、透明電極膜１２が所定の位置に正しく成膜されているか否か、すなわち、中心領域１３に正しく成膜されているか否かをチェックする成膜位置チェック方法について説明する。
【００１９】
透明電極膜１２の成膜位置チェックは、図２に示すように、フラットケーブル１７の第１の端子２０が接続された接続ライン３１と、フラットケーブル１７の第２の端子２２が接続された接続ライン３２との間を、導通チェッカ３３により導通確認を行えばよい。
【００２０】
透明電極膜１２が中心領域１３上に正しく成膜されていれば、図２に示すように、第１の電極パッド１５上には透明電極膜１２が成膜され、第２の電極パッド１６上には透明電極膜１２が成膜されない。この場合、接続ライン３１と接続ライン３２との間は、つまり、第１の電極パッド１５と第２の電極パッド１６との間は、電気的に開放状態となる。
【００２１】
反対に、透明電極膜１２が中心領域１３上に正しく成膜されていなければ、図３に示すように、第１の電極パッド１５上に透明電極膜１２が成膜され、第２の電極パッド１６上にも透明電極膜１２が成膜されてしまう場合がある。この場合、接続ライン３１と接続ライン３２との間は、つまり、第１の電極パッド１５と第２の電極パッド１６との間は、電気的に短絡状態となる。
【００２２】
従って、導通チェッカ３３により第１の電極パッド１５と第２の電極パッド１６との間の導通チェックを行って、導通してしまっている場合には、確実に透明電極膜１２の成膜不良であることがわかる。
【００２３】
以上のように対向基板１０では、第１の電極パッド１５を透明電極膜１２が成膜される位置に形成し、第２の電極パッド１６を透明電極膜１２が成膜される位置以外の位置に形成している。このため、第１の電極パッド１５と第２の電極パッド１６との間の導通確認を外部から行い、導通していれば透明電極が正しい位置に形成されていないと判断することができる。
【００２４】
このことにより、対向基板１０では、目視やカメラ確認又は抵抗値測定等を行わずに、透明電極膜１２が正確にガラス基板１１上に配置されたか否かを外部から簡易に判断することができる。
【００２５】
なお、例えば、図４に示すように、第１の電極パッド１５を中心領域１３の周縁領域１４との境界部分近傍に多数形成し、第２の電極パッド１６を周縁領域１４の中心領域１３との境界部分近傍に多数形成することにより、より正確に透明電極膜１２が成膜されている位置のチェックを行うことができる。つまり、このようにすれば、透明電極膜１２が成膜されている位置が少しずれても、いずれかの第２の電極１６上に透明電極膜１２が重なってしまうので、より厳しく成膜位置のチェックを行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明を適用した液晶パネル用の対向基板を示した図である。
【図２】透明電極膜が正しく成膜された状態の上記対向基板を示した図である。
【図３】透明電極膜が正しく成膜されていない状態の上記対向基板を示した図である。
【図４】複数の電極パッドが設けられた上記対向基板を示した図である。
【符号の説明】
【００２７】
１０  対向基板、１１  ガラス基板、１２  透明電極膜、１３  中心領域、１４  周辺領域、１５  第１の電極パッド、１６  第２の電極パッド、１７  フラットケーブル、１８  端子群、１９  第１の配線、２０  第１の端子、２１  第２の配線、２２  第２の端子、３１  接続ライン、３２  接続ライン、３３  導通チェッカ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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