(57)【要約】【課題】第１スリットのスリット幅を許容範囲内に保ち、安定した色選別機能を実現し得る展張型色選別マスク構体を得る。【解決手段】テープ部１ｄは、Ｙ方向に関するテープ部１ｄの端部の位置において、中心軸１００に関して対称な形状の幅狭部１ｅを有している。幅狭部１ｅは、金属薄板１の外周縁１ｃから内側に向かって湾曲して形成された切り欠き部１０１と、切り欠き部１０１に対向する箇所で金属薄板１を貫通して形成され、内側から切り欠き部１０１に向かって外側に湾曲する貫通溝３ｂとを有している。後に実行される蛍光面の露光工程の際に貫通溝３ｂを介して蛍光面が露光されないようにするために、貫通溝３ｂの幅は、スリット３のスリット幅よりも狭く設定されている。【選択図】図２
2005267992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ第１方向に沿って延在する複数の電子ビーム通過用貫通孔が、前記第１方向に垂直な第２方向に沿って並設されたベース部材を備え、
前記ベース部材は、
前記複数の電子ビーム通過用貫通孔が形成された有孔部と、
前記第１方向に関して前記有孔部を両側から挟み、それぞれフレームに接合される、一対の無孔部と、
前記第２方向に関して前記有孔部を両側から挟み、前記一対の無孔部同士を連結する、一対の連結部と
を有し、
前記連結部は、前記第１方向に関する端部の位置において、前記第１方向に沿って延在する仮想軸に関して対称な形状の幅狭部を有する、展張型色選別マスク構体。
【請求項２】
前記幅狭部は、
前記ベース部材の外周縁に湾曲して形成された切り欠き部と、
前記切り欠き部に対向して前記ベース部材に形成され、前記切り欠き部に向かって湾曲し、前記電子ビーム通過用貫通孔よりも幅狭の貫通溝と
を有する、請求項１に記載の展張型色選別マスク構体。
【請求項３】
前記貫通溝は、最外端の前記電子ビーム通過用貫通孔に接続されている、請求項１又は２に記載の展張型色選別マスク構体。
【請求項４】
前記有孔部には、最外端の前記電子ビーム通過用貫通孔の外側に隣接して、前記電子ビーム通過用貫通孔よりも幅狭のダミー貫通孔がさらに形成されており、
前記貫通溝は、前記ダミー貫通孔に接続されている、請求項１又は２に記載の展張型色選別マスク構体。
【請求項５】
それぞれ第１方向に沿って延在する複数の電子ビーム通過用貫通孔が、前記第１方向に垂直な第２方向に沿って並設されたベース部材を備え、
前記ベース部材は、
前記複数の電子ビーム通過用貫通孔が形成された有孔部と、
前記第１方向に関して前記有孔部を両側から挟み、それぞれフレームに接合される、一対の無孔部と、
前記第２方向に関して前記有孔部を両側から挟み、前記一対の無孔部同士を連結する、一対の連結部と
を有し、
前記連結部は、前記第１方向に関する端部の位置において、前記第１方向に沿って延在する仮想軸に関して対称な形状の蛇腹構造を有する、展張型色選別マスク構体。
【請求項６】
前記蛇腹構造は、
前記ベース部材の外周縁から内側に向かって前記ベース部材の一方主面及び他方主面に互い違いに形成された複数の第１の溝と、
前記複数の第１の溝に対向して前記ベース部材の前記一方主面及び前記他方主面に互い違いに形成された複数の第２の溝と
を有する、請求項５に記載の展張型色選別マスク構体。
【請求項７】
前記複数の第２の溝は、最外端の前記電子ビーム通過用貫通孔に接続されている、請求項５又は６に記載の展張型色選別マスク構体。
【請求項８】
前記有孔部には、最外端の前記電子ビーム通過用貫通孔の外側に隣接して、前記電子ビーム通過用貫通孔よりも幅狭のダミー貫通孔がさらに形成されており、
前記複数の第２の溝は、前記ダミー貫通孔に接続されている、請求項５又は６に記載の展張型色選別マスク構体。
【請求項９】
それぞれ第１方向に沿って延在する複数の電子ビーム通過用貫通孔が、前記第１方向に垂直な第２方向に沿って並設されたベース部材を備え、
前記ベース部材は、
前記複数の電子ビーム通過用貫通孔が形成された有孔部と、
前記第１方向に関して前記有孔部を両側から挟み、それぞれフレームに接合される、一対の無孔部と、
前記第２方向に関して前記有孔部を両側から挟み、前記一対の無孔部同士を連結する、一対の連結部と
を有し、
前記連結部は、前記第１方向に関する端部の位置において、前記第１方向に沿って延在する仮想軸に関して対称な形状の櫛歯構造を有する、展張型色選別マスク構体。
【請求項１０】
前記櫛歯構造は、
前記ベース部材の外周縁から内側に向かって形成され、前記電子ビーム通過用貫通孔よりも幅狭の、複数の第１の貫通溝と、
前記複数の第１の貫通溝に対向して前記ベース部材に形成され、前記電子ビーム通過用貫通孔よりも幅狭の、複数の第２の貫通溝と
を有する、請求項９に記載の展張型色選別マスク構体。
【請求項１１】
前記複数の第２の貫通溝は、最外端の前記電子ビーム通過用貫通孔に接続されている、請求項９又は１０に記載の展張型色選別マスク構体。
【請求項１２】
前記有孔部には、最外端の前記電子ビーム通過用貫通孔の外側に隣接して、前記電子ビーム通過用貫通孔よりも幅狭のダミー貫通孔がさらに形成されており、
前記複数の第２の貫通溝は、前記ダミー貫通孔に接続されている、請求項９又は１０に記載の展張型色選別マスク構体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーブラウン管（ＣＲＴ）に使用される展張型色選別マスク構体の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
一方向に色選別マスクを展張してフレームに接合する展張型色選別マスク構体では、色選別マスクをフレームに接触させる際の接触状態の不均一性、あるいはフレームの弾性反力の分布の不均一性に起因して、テープ部の周辺には、色選別マスクの面外方向成分の曲げモーメントが発生する。そして、この曲げモーメントを駆動力としてテープ部が変形することで、最外端の電子ビーム通過用スリット（以下、本明細書において「第１スリット」と称する）のスリット幅がばらつき、所望の色選別機能が損なわれるという問題が発生する。
【０００３】
上記問題を回避することを目的として、下記特許文献１に開示された従来の展張型色選別マスク構体では、電子ビーム通過用スリットよりも幅狭のエキストラスリットが、第１スリットの外側に隣接して、テープ部に設けられている。これにより、色選別マスクを展張してフレームに接合する際のテープ部の変形が、エキストラスリットによって吸収されている。
【０００４】
また、上記問題を回避することを目的として、下記特許文献２に開示された従来の展張型色選別マスク構体では、テープ部の幅が、テープ部の延在方向に関する両端部よりも中央部のほうが広くなるように、テープ部の形状が曲線状になっている（後述の図４参照）。これにより、色選別マスクを展張してフレームに接合する際のテープ部の変形が、テープ部の曲線形状によって吸収されている。
【０００５】
さらに、上記問題を解決することを目的として、下記特許文献３に開示された従来の展張型色選別マスク構体では、テープ部の延在方向に関する両端部に、電子ビーム通過用スリットよりも短い長方形の複数の貫通孔が並列して設けられている。これにより、色選別マスクを展張してフレームに接合する際のテープ部の変形が、上記複数の貫通孔によって吸収されている。
【０００６】
【特許文献１】特開平５−１５９７１６号公報（図１）
【特許文献２】特開平６−１３９９５０号公報（図１）
【特許文献３】特開平１０−１２５２５０号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に開示された従来の展張型色選別マスク構体によると、色選別マスクを展張してフレームに接合する際に、エキストラスリットのスリット幅が広がる方向にテープ部が変形した場合には、その後に実行されるカラーブラウン管の蛍光面作成工程において、エキストラスリットを介して蛍光面が露光されてしまうという問題がある。
【０００８】
また、上記特許文献２に開示された展張型色選別マスク構体によると、色選別マスクを展張してフレームに接合する際に、第１スリットに向かうテープ部の変位量が大きいと、テープ部が第１スリットに近付き過ぎて、第１スリットのスリット幅が変化してしまうという問題がある。
【０００９】
さらに、上記特許文献３に開示された展張型色選別マスク構体によると、テープ部の両端部に複数の貫通孔が設けられているため、色選別マスクを取り扱う上で、テープ部が変形しやすいという問題がある。
【００１０】
本発明はかかる問題を解決するために成されたものであり、テープ部に発生する曲げモーメントが展張条件や装置の個体差等によってばらつく場合であっても、第１スリットのスリット幅を許容範囲内に保ち、安定した色選別機能を実現し得る展張型色選別マスク構体を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
第１の発明に係る展張型色選別マスク構体は、それぞれ第１方向に沿って延在する複数の電子ビーム通過用貫通孔が、第１方向に垂直な第２方向に沿って並設されたベース部材を備え、ベース部材は、複数の電子ビーム通過用貫通孔が形成された有孔部と、第１方向に関して有孔部を両側から挟み、それぞれフレームに接合される、一対の無孔部と、第２方向に関して有孔部を両側から挟み、一対の無孔部同士を連結する、一対の連結部とを有し、連結部は、第１方向に関する端部の位置において、第１方向に沿って延在する仮想軸に関して対称な形状の幅狭部を有する。
【００１２】
第２の発明に係る展張型色選別マスク構体は、それぞれ第１方向に沿って延在する複数の電子ビーム通過用貫通孔が、第１方向に垂直な第２方向に沿って並設されたベース部材を備え、ベース部材は、複数の電子ビーム通過用貫通孔が形成された有孔部と、第１方向に関して有孔部を両側から挟み、それぞれフレームに接合される、一対の無孔部と、第２方向に関して有孔部を両側から挟み、一対の無孔部同士を連結する、一対の連結部とを有し、連結部は、第１方向に関する端部の位置において、第１方向に沿って延在する仮想軸に関して対称な形状の蛇腹構造を有する。
【００１３】
第３の発明に係る展張型色選別マスク構体は、それぞれ第１方向に沿って延在する複数の電子ビーム通過用貫通孔が、第１方向に垂直な第２方向に沿って並設されたベース部材を備え、ベース部材は、複数の電子ビーム通過用貫通孔が形成された有孔部と、第１方向に関して有孔部を両側から挟み、それぞれフレームに接合される、一対の無孔部と、第２方向に関して有孔部を両側から挟み、一対の無孔部同士を連結する、一対の連結部とを有し、連結部は、第１方向に関する端部の位置において、第１方向に沿って延在する仮想軸に関して対称な形状の櫛歯構造を有する。
【発明の効果】
【００１４】
第１の発明に係る展張型色選別マスク構体によれば、ベース部材を展張してフレームに接合する際に、最外端の電子ビーム通過用貫通孔の幅の変化量を、幅狭部が有する変形吸収機能によって低減でき、安定した色選別機能を実現することが可能となる。
【００１５】
第２の発明に係る展張型色選別マスク構体によれば、ベース部材を展張してフレームに接合する際に、最外端の電子ビーム通過用貫通孔の幅の変化量を、蛇腹構造が有する変形吸収機能によって低減でき、安定した色選別機能を実現することが可能となる。
【００１６】
第３の発明に係る展張型色選別マスク構体によれば、ベース部材を展張してフレームに接合する際に、最外端の電子ビーム通過用貫通孔の幅の変化量を、櫛歯構造が有する変形吸収機能によって低減でき、安定した色選別機能を実現することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
実施の形態１．
図１は、本発明の実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体の全体構造を模式的に示す斜視図である。また、図２は、図１に示した全体構造のうち、右上部の構造のみを拡大して示す上面図である。以下、図１，２を参照して、本実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体の構造について説明する。
【００１８】
図１を参照して、フレーム２は、所定の間隔を隔てて平行に対向配置された一対の支持棒２ａと、一対の支持棒２ａ同士の間に取り付けられた一対の弾性支持体２ｂとを有している。弾性支持体２ｂは図中のＹ方向（第１方向）に沿って延在し、支持棒２ａは図中のＸ方向（第２方向）に沿って延在している。金属薄板１（ベース部材）は、弾性支持体２ｂの弾性復元力によってＹ方向に架張される格好で、一対の支持棒２ａにそれぞれ接合されている。また、金属薄板１には、それぞれＹ方向に沿って延在する複数のスリット３（電子ビーム通過用貫通孔）が、Ｘ方向に沿って所定の間隔で並設されている。
【００１９】
図２を参照して、金属薄板１は、有孔部１ａと、一対の無孔部１ｂと、一対のテープ部（連結部）１ｄとを有している。但し、図２には、一対の無孔部１ｂ及び一対のテープ部１ｄの各一方のみが表されている。有孔部１ａには、複数のスリット３が形成されている。複数のスリット３のうちの右端のスリットは、第１スリット３ａである。無孔部１ｂは、Ｙ方向に関して有孔部１ａを両側から挟み、また、図１に示した支持棒２ａに接合されている。テープ部１ｄは、Ｘ方向に関して有孔部１ａを両側から挟み、また、一対の無孔部１ｂの各端部（Ｘ方向に関する端部）同士を互いに連結している。
【００２０】
テープ部１ｄは、Ｙ方向に関するテープ部１ｄの端部の位置において、中心軸１００に関して対称な形状の幅狭部１ｅを有している。ここで、中心軸１００は、Ｘ方向に関するテープ部１ｄの中心を規定する、Ｙ方向に沿って延在する仮想軸である。幅狭部１ｅにおけるテープ部１ｄの幅（Ｘ方向に関する寸法）は、幅狭部１ｅ以外の部分におけるテープ部１ｄの幅よりも狭い。図２には１個の幅狭部１ｅのみが示されているが、実際には、金属薄板１の右上部、左上部、右下部、及び左下部のそれぞれの箇所において、合計４個の幅狭部１ｅが形成されている（図１参照）。
【００２１】
具体的に、幅狭部１ｅは、金属薄板１の外周縁１ｃから内側に向かって湾曲して形成された切り欠き部１０１と、切り欠き部１０１に対向する箇所で金属薄板１を貫通して形成され、内側から切り欠き部１０１に向かって外側に湾曲する貫通溝３ｂとを有している。後に実行される蛍光面の露光工程の際に貫通溝３ｂを介して蛍光面が露光されないようにするために、貫通溝３ｂの幅は、スリット３のスリット幅よりも狭く設定されている。貫通溝３ｂの端部（図２では下端）は、第１スリット３ａの端部（図２では上端）に繋がっている。切り欠き部１０１及び貫通溝３ｂは、エッチングによってスリット３を形成する際に、併せて形成することができる。あるいは、スリット３を形成した後に、機械加工によって形成することもできる。
【００２２】
以下、本実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体の効果を説明するために、図４に示した従来の展張型色選別マスク構体（上記特許文献２に開示された構造である）と、本実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体とに関して、第１スリットのスリット幅の変化量を有限要素法を用いて解析した結果について説明する。展張時にテープ部近傍に発生する張力分布は、金属薄板とフレームとの接触状態の不均一性等の様々な原因によってばらつく。そこで、（ａ）マスク端部に向かって張力が単調に増加するような分布の荷重を境界条件として負荷した場合と、（ｂ）大きさが一定で、かつ逆符号の張力勾配となるような分布の加重を負荷した場合との二つの条件について、それぞれ解析を行った。解析結果については、第１スリットのスリット幅の変化量の最大値を評価指標とした。
【００２３】
条件（ａ）の場合に得られる解析結果と条件（ｂ）の場合に得られる解析結果との平均値は、張力勾配によらない平均的な張力の影響によるスリット幅の変化量であると考えられる。また、条件（ａ）の場合に得られる解析結果と条件（ｂ）の場合に得られる解析結果との差は、張力分布の影響によるスリット幅の変化量であると考えられる。そこで、これらをそれぞれ横軸、縦軸にとって比較したグラフを図３に示す。なお、図中の値は、幅狭部１ｅが形成されていない展張型色選別マスク構体に関する解析結果をリファレンス値として、本実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体に関する解析結果、及び図４に示した従来の展張型色選別マスク構体に関する解析結果を、それぞれリファレンス値で除して無次元化した値である。
【００２４】
図３に示したグラフを参照すると、従来構造では、平均張力の影響による第１スリット幅の変化量（横軸）が大きいことが分かる。その原因は、テープ部の左右非対称の形状に起因して、テープ部内部で比較的大きな曲げモーメントが発生するためと考えられる。一方、本実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体によると、平均張力の影響による第１スリット幅の変化量（横軸）、及び張力分布の影響による第１スリット幅の変化量（縦軸）のいずれに関しても、幅狭部を有しないリファレンス構造に対して小さい値となり、目的である第１スリットのスリット幅の変化量を低減する効果が達成されていることが分かる。
【００２５】
このように、本実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体によると、図２に示したように、テープ部１ｄには、Ｙ方向に関する端部の位置において、中心軸１００に関して対称な形状の幅狭部１ｅが形成されている。その結果、図３に示したグラフから分かるように、第１スリット３ａのスリット幅の変化量を低減でき、安定した色選別機能を実現することが可能となる。
【００２６】
また、図２に示したように、幅狭部１ｅの左辺を規定する貫通溝３ｂが、第１スリット３ａに接続されている。上記の通り、貫通溝３ｂを介して蛍光面が露光されることを回避すべく、貫通溝３ｂの幅は十分に狭く設定する必要がある。製造条件等によっては、このような十分に幅が狭い貫通溝を形成することが困難な場合があり得るが、本実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体によると、貫通溝３ｂが第１スリット３ａに接続されているため、貫通溝３ｂの長さが短くなり、貫通溝３ｂを形成すべき領域が小さくてすむ。従って、後述の変形例（図５）のようにダミースリット３ｄに貫通溝３ｂを接続する場合と比較すると、製造上容易に幅狭部１ｅを形成することが可能となる。
【００２７】
図５は、図２に対応させて、本実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体の変形例を示す上面図である。有孔部１ａには、複数のスリット３に加えて、スリット３よりも幅狭のダミースリット３ｄがさらに形成されている。ダミースリット３ｄは、第１スリット３ａの外側に隣接して、Ｙ方向に沿って延在して形成されている。後に実行される蛍光面の露光工程の際にダミースリット３ｄを介して蛍光面が露光されないようにするために、貫通溝３ｂと同様、ダミースリット３ｄの幅は十分に狭く設定されている。幅狭部１ｅの左辺を規定する貫通溝３ｂは、第１スリット３ａではなくダミースリット３ｄに接続されている。なお、図５では、幅狭部１ｅが、複数のスリット３の各上端部よりも上方側（無孔部１ｂ側）に形成されている例を示したが、幅狭部１ｅは、複数のスリット３の各上端部と同様の箇所、あるいは複数のスリット３の各上端部よりも下方側に形成されていてもよい。
【００２８】
図５に示した変形例に係る展張型色選別マスク構体によると、ダミースリット３ｄは、金属薄板１を展張してフレーム２に接合する際のテープ部１ｄの変形を吸収する機能を有する。しかも、テープ部１ｄには、中心軸１００に関して対称な形状の幅狭部１ｅが形成されている。そのため、ダミースリット３ｄによる効果と幅狭部１ｅによる効果とが重畳されて、第１スリット３ａのスリット幅の変化量を効果的に低減でき、安定した色選別機能を実現することが可能となる。
【００２９】
実施の形態２．
図６は、図２に対応させて、本発明の実施の形態２に係る展張型色選別マスク構体の部分構造を示す上面図である。また、図７は、図６に示したラインVII−VIIに沿った位置に関する断面構造を示す断面図である。
【００３０】
図６を参照して、テープ部１ｄは、Ｙ方向に関するテープ部１ｄの端部の位置において、中心軸１００に関して対称な形状の蛇腹構造１ｆを有している。図５には１個の蛇腹構造１ｆのみが示されているが、実際には、金属薄板１の右上部、左上部、右下部、及び左下部のそれぞれの箇所において、合計４個の蛇腹構造１ｆが形成されている。
【００３１】
図６，７を参照して、蛇腹構造１ｆは、金属薄板１の外周縁１ｃから内側に向かって金属薄板１の上面（一方主面）及び底面（他方主面）に互い違いに等間隔で形成された複数の溝１０３ａと、複数の溝１０３ｂに対向して金属薄板１の上面及び底面に互い違いに等間隔で形成された複数の溝１０３ｂとを有している。図７に示した例では、金属薄板１の上面内に形成された複数の溝１０３ａと、底面内に形成された複数の溝１０３ａとは、溝の形成ピッチの半分だけ互いにずれて配設されている。溝１０３ａ，１０３ｂは金属薄板１を貫通しておらず、その結果、後に実行される蛍光面の露光工程の際に、溝１０３ａ，１０３ｂを介して蛍光面が露光されることはない。溝１０３ｂの端部（図６では左端）は、第１スリット３ａに繋がっている。溝１０３ａ，１０３ｂは、スリット３を形成するためのエッチング工程において、金属薄板１の上面及び底面からそれぞれエッチングを施すことによって、容易に形成することができる。あるいは、スリット３を形成した後に、機械加工によって形成することもできる。
【００３２】
このように、本実施の形態２に係る展張型色選別マスク構体によると、図６に示したように、テープ部１ｄには、Ｙ方向に関する端部の位置において、中心軸１００に関して対称な形状の蛇腹構造１ｆが形成されている。テープ部１ｄのうち、蛇腹構造１ｆが形成されている領域は、蛇腹構造１ｆが形成されていない他の領域に比べて低剛性である。従って、蛇腹構造１ｆは、上記実施の形態１に係る幅狭部１ｅと同様に、金属薄板１を展張してフレーム２に接合する際のテープ部１ｄの変形を吸収する機能を有している。その結果、本実施の形態２に係る展張型色選別マスク構体によると、上記実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体と同様に、第１スリット３ａのスリット幅の変化量を低減でき、安定した色選別機能を実現することが可能となる。
【００３３】
しかも、溝１０３ａと溝１０３ｂとを互いに繋げるのではなく、溝１０３ａと溝１０３ｂとの間に蛇腹構造が形成されていない領域を残したため、テープ部１ｄの強度を確保することができる。従って、金属薄板１を展張した際に、蛇腹構造１ｆが形成されている部分でテープ部１ｄが破断するという事態を回避することもできる。
【００３４】
また、図６に示したように、溝１０３ｂが第１スリット３ａに接続されている。そのため、後述の変形例（図８）のように幅狭のダミースリット３ｄを金属薄板１に形成する場合と比較すると、展張型色選別マスク構体を容易に製造することが可能となる。
【００３５】
図８は、図６に対応させて、本実施の形態２に係る展張型色選別マスク構体の変形例を示す上面図である。有孔部１ａには、複数のスリット３に加えて、ダミースリット３ｄがさらに形成されている。溝１０３ｂは、第１スリット３ａではなくダミースリット３ｄに接続されている。なお、図８では、蛇腹構造１ｆが、複数のスリット３の各上端部よりも下方側に形成されている例を示したが、ダミースリット３ｄを無孔部１ｂ側に長く形成することにより、蛇腹構造１ｆを、複数のスリット３の各上端部と同様の箇所、あるいは複数のスリット３の各上端部よりも上方側に形成してもよい。
【００３６】
図８に示した変形例に係る展張型色選別マスク構体によると、ダミースリット３ｄは、金属薄板１を展張してフレーム２に接合する際のテープ部１ｄの変形を吸収する機能を有する。しかも、テープ部１ｄには、中心軸１００に関して対称な形状の蛇腹構造１ｆが形成されている。そのため、ダミースリット３ｄによる効果と蛇腹構造１ｆによる効果とが重畳されて、第１スリット３ａのスリット幅の変化量を効果的に低減でき、安定した色選別機能を実現することが可能となる。
【００３７】
実施の形態３．
図９は、図２に対応させて、本発明の実施の形態３に係る展張型色選別マスク構体の部分構造を示す上面図である。また、図１０は、図９に示した櫛歯構造１ｇを拡大して示す上面図である。
【００３８】
図９を参照して、テープ部１ｄは、Ｙ方向に関するテープ部１ｄの端部の位置において、中心軸１００に関して対称な形状の櫛歯構造１ｇを有している。図９には１個の蛇腹構造１ｇのみが示されているが、実際には、金属薄板１の右上部、左上部、右下部、及び左下部のそれぞれの箇所において、合計４個の蛇腹構造１ｇが形成されている。
【００３９】
図１０を参照して、櫛歯構造１ｇは、金属薄板１の外周縁から内側に向かって等間隔で形成された複数の貫通溝１０４ｂと、複数の貫通溝１０４ｂに対向して金属薄板１に等間隔で形成された複数の貫通溝１０４ａとを有している。後に実行される蛍光面の露光工程の際に貫通溝１０４ａ，１０４ｂを介して蛍光面が露光されないようにするために、貫通溝１０４ａ，１０４ｂの幅は、スリット３のスリット幅よりも十分に狭く設定されている。貫通溝１０４ａの端部（図１０では左端）は、第１スリット３ａに繋がっている。貫通溝１０４ａ，１０４ｂは、エッチングによってスリット３を形成する際に、併せて形成することができる。あるいは、スリット３を形成した後に、機械加工によって形成することもできる。
【００４０】
このように、本実施の形態３に係る展張型色選別マスク構体によると、図１０に示したように、テープ部１ｄには、Ｙ方向に関する端部の位置において、中心軸１００に関して対称な形状の櫛歯構造１ｇが形成されている。テープ部１ｄのうち、櫛歯構造１ｇが形成されている領域においては、テープ部の長手方向（Ｙ方向）に荷重が分担されることはなく、櫛歯構造１ｇは、上記実施の形態１に係る幅狭部１ｅと同様に、金属薄板１を展張してフレーム２に接合する際のテープ部１ｄの変形を吸収する機能を有している。その結果、本実施の形態３に係る展張型色選別マスク構体によると、上記実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体と同様に、第１スリット３ａのスリット幅の変化量を低減でき、安定した色選別機能を実現することが可能となる。
【００４１】
また、図１０に示したように、貫通溝１０４ａが第１スリット３ａに接続されている。そのため、後述の変形例（図１１）のように幅狭のダミースリット３ｄを金属薄板１に形成する場合と比較すると、展張型色選別マスク構体を容易に製造することが可能となる。
【００４２】
図１１は、図９に対応させて、本実施の形態３に係る展張型色選別マスク構体の変形例を示す上面図である。有孔部１ａには、複数のスリット３に加えて、ダミースリット３ｄがさらに形成されている。貫通溝１０４ａは、第１スリット３ａではなくダミースリット３ｄに接続されている。なお、図１１では、櫛歯構造１ｇが、複数のスリット３の各上端部よりも下方側に形成されている例を示したが、ダミースリット３ｄを無孔部１ｂ側に長く形成することにより、櫛歯構造１ｇを、複数のスリット３の各上端部と同様の箇所、あるいは複数のスリット３の各上端部よりも上方側に形成してもよい。
【００４３】
図１１に示した変形例に係る展張型色選別マスク構体によると、ダミースリット３ｄは、金属薄板１を展張してフレーム２に接合する際のテープ部１ｄの変形を吸収する機能を有する。しかも、テープ部１ｄには、中心軸１００に関して対称な形状の櫛歯構造１ｇが形成されている。そのため、ダミースリット３ｄによる効果と櫛歯構造１ｇによる効果とが重畳されて、第１スリット３ａのスリット幅の変化量を効果的に低減でき、安定した色選別機能を実現することが可能となる。
【００４４】
上記実施の形態１〜３においては、電子ビーム通過用の貫通孔として複数のスリット３が形成されている場合について説明した。しかしながら、上記実施の形態１〜３の変形例として、図１２に示すように、金属薄板１に行列状に形成された複数の貫通孔５０のうちのＹ方向に隣接する貫通孔５０同士が、対向するダミーブリッジ５１間に規定された貫通孔５２によって互いに連結された構造であってもよい。かかる変形例によっても、上記実施の形態１〜３と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体の全体構造を模式的に示す斜視図である。
【図２】図１に示した全体構造のうち、右上部の構造のみを拡大して示す上面図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体の効果を説明するためのグラフである。
【図４】従来の展張型色選別マスク構体の部分構造を示す上面図である。
【図５】図２に対応させて、本発明の実施の形態１に係る展張型色選別マスク構体の変形例を示す上面図である。
【図６】図２に対応させて、本発明の実施の形態２に係る展張型色選別マスク構体の部分構造を示す上面図である。
【図７】図６に示したラインVII−VIIに沿った位置に関する断面構造を示す断面図である。
【図８】図６に対応させて、本発明の実施の形態２に係る展張型色選別マスク構体の変形例を示す上面図である。
【図９】図２に対応させて、本発明の実施の形態３に係る展張型色選別マスク構体の部分構造を示す上面図である。
【図１０】図９に示した櫛歯構造を拡大して示す上面図である。
【図１１】図９に対応させて、本発明の実施の形態３に係る展張型色選別マスク構体の変形例を示す上面図である。
【図１２】本発明の実施の形態１〜３に係る展張型色選別マスク構体の変形例を示す上面図である。
【符号の説明】
【００４６】
１  金属薄板、１ａ  有孔部、１ｂ  無孔部、１ｃ  外周縁、１ｄ  テープ部、１ｅ  幅狭部、１ｆ  蛇腹構造、１ｇ  櫛歯構造、２  フレーム、３  スリット、３ａ  第１スリット、３ｂ，１０４ａ，１０４ｂ  貫通溝、３ｄ  ダミースリット、１００  中心軸、１０１  切り欠き部、１０３ａ，１０３ｂ  溝。
【図１】
2005267992.tif 000003
【図２】
2005267992.tif 000004
【図３】
2005267992.tif 000005
【図４】
2005267992.tif 000006
【図５】
2005267992.tif 000007
【図６】
2005267992.tif 000008
【図７】
2005267992.tif 000009
【図８】
2005267992.tif 000010
【図９】
2005267992.tif 000011
【図１０】
2005267992.tif 000012
【図１１】
2005267992.tif 000013
【図１２】
2005267992.tif 000014