(57)【要約】      （修正有）【課題】被駆動物を複数のピエゾアクチュエータでＺ軸方向に駆動する場合、複数のピエゾアクチュエータの間隔が狭い場合でも被駆動物に傾きが生じないように駆動制御する。【解決手段】被駆動物をＺ軸方向に駆動するために３個のピエゾアクチュエータ３３〜３５を備える。ピエゾアクチュエータはそれぞれ、指令信号を入力とする個別のピエゾ制御系にて制御される。各ピエゾ制御系は、指令信号を入力としピエゾアクチュエータに固有の特性に応じて設定される変換式に基づいて出力する変換部１２−１〜１２−３と、ピエゾアクチュエータを駆動するアンプ１４−１〜１４−３とを含む。３個のピエゾアクチュエータのそれぞれに隣接して変位量を検出するための静電容量センサ３７〜３９が設置され、センサの出力は対応するアンプにフィードバックされ、該アンプは、対応する変換部の出力とフィードバック入力との差に応じて対応するピエゾアクチュエータを駆動する。【選択図】図１
2005093510.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被駆動物をＺ軸方向に駆動する駆動源として３個以上の複数のピエゾアクチュエータを備えたＺ軸駆動装置において、
位置指令値を受けて前記複数のピエゾアクチュエータに共通の指令信号を与える演算回路を備え、
前記複数のピエゾアクチュエータはそれぞれ、前記指令信号を入力とする個別のピエゾ制御系にて制御され、
各ピエゾ制御系は、前記指令信号を入力としピエゾアクチュエータに固有の特性に応じて設定される変換式に基づいて前記指令信号を変換して出力する変換部と、前記変換部の出力を受けてピエゾアクチュエータを駆動するアンプとを含み、
前記複数のピエゾアクチュエータのそれぞれに隣接して変位量を検出するための第１のセンサが設置され、
前記第１のセンサの出力は対応する前記アンプにフィードバックされ、該アンプは、対応する前記変換部の出力と前記フィードバック入力との差に応じて対応するピエゾアクチュエータを駆動することを特徴とするＺ軸駆動装置。
【請求項２】
更に、前記被駆動物の変位量を検出するための第２のセンサが設置され、該第２のセンサの出力は開閉器を介して前記演算回路にフィードバックされ、前記開閉器がオンの場合、該演算回路は前記位置指令値と前記フィードバック入力との差に応じて前記指令信号を出力することを特徴とする請求項１に記載のＺ軸駆動装置。
【請求項３】
前記演算回路は、前記ピエゾアクチュエータを伸長させる場合には定量加算により前記指令信号を出力し、前記ピエゾアクチュエータを縮小させる場合には定量減算により前記指令信号を出力することを特徴とする請求項１または２に記載のＺ軸駆動装置。
【請求項４】
前記演算回路は、前記ピエゾアクチュエータの持つ伸長、縮小時のヒステリシスの影響を少なくするために、伸長時と縮小時とを区別して前記指令信号を出力することを特徴とする請求項３に記載のＺ軸駆動装置。
【請求項５】
前記変換式は一次式で与えられることを特徴とする請求項１に記載のＺ軸駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はＺ軸駆動装置に関し、特に駆動対象物をＺ軸に関して高精度で位置決めすると共に姿勢制御を可能にしたＺ軸駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造用の電子ビーム露光装置等に採用されるウエハ側のステージ装置には、ウエハの搬送やチップ間移動時に動作する粗動ステージ装置と、ミクロンオーダーの位置決めを行う微動ステージ装置とを組み合わせた構成が採用されることが多い。
【０００３】
微動ステージ装置の一例として、弾性ヒンジと圧電素子によるピエゾアクチュエータによるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
一方、上記のような組み合わせのステージ装置とは別に、以下のようなステージ装置が提案されている。Ｘ−Ｙステージ装置によりＸ軸方向、Ｙ軸方向に可動のテーブルにウエハ等の被処理対象物を搭載し、被処理対象物を上方から観察するためにＸ−Ｙステージ装置の上方にカメラを配置する。そして、カメラの焦点合わせを可能にするためにカメラを、Ｚ軸方向に微動可能なＺ軸ステージに搭載する。また、Ｚ軸ステージの駆動源として複数のピエゾアクチュエータをＺ軸方向に延在するように配置し、Ｚ軸ステージをミクロンオーダーで駆動することでカメラの焦点合わせを行うようにする。例えば、ピエゾアクチュエータを３個使用する場合、３個のピエゾアクチュエータは正三角形の頂点に対応する配置関係で設置される。
【０００５】
上記のようなＺ軸ステージにおいて、複数のピエゾアクチュエータの間隔が広い場合には、複数のピエゾアクチュエータには共通の指令値を与えるようにされる。これは、特性のばらつきにより個々のピエゾアクチュエータにおけるミクロンオーダーの変位量にわずかなばらつきがあったとしてもＺ軸ステージに生じる傾きは無視でき、Ｚ軸方向の位置決め精度に影響が出ないからである。
【０００６】
しかしながら、複数のピエゾアクチュエータの間隔が狭い場合には、個々のピエゾアクチュエータにおける変位量にばらつきがあると、変位量がミクロンオーダーであってもＺ軸ステージに傾きが生じてしまい、カメラによる撮像に影響が出てしまう。
【特許文献１】特開平１１−２７１４７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
そこで、本発明の課題は、被駆動物を複数のピエゾアクチュエータでＺ軸方向に駆動する場合、複数のピエゾアクチュエータの間隔が狭い場合でも被駆動物に傾きが生じないように駆動制御できるＺ軸駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、被駆動物をＺ軸方向に駆動する駆動源として３個以上の複数のピエゾアクチュエータを備えたＺ軸駆動装置において、位置指令値を受けて前記複数のピエゾアクチュエータに共通の指令信号を与える演算回路を備え、前記複数のピエゾアクチュエータはそれぞれ、前記指令信号を入力とする個別のピエゾ制御系にて制御され、各ピエゾ制御系は、前記指令信号を入力としピエゾアクチュエータに固有の特性に応じて設定される変換式に基づいて前記指令信号を変換して出力する変換部と、前記変換部の出力を受けてピエゾアクチュエータを駆動するアンプとを含み、前記複数のピエゾアクチュエータのそれぞれに隣接して変位量を検出するための第１のセンサが設置され、前記第１のセンサの出力は対応する前記アンプにフィードバックされ、該アンプは、対応する前記変換部の出力と前記フィードバック入力との差に応じて対応するピエゾアクチュエータを駆動することを特徴とする。
【０００９】
本発明によるＺ軸駆動装置においては、更に前記被駆動物の変位量を検出するための第２のセンサが設置され、該第２のセンサの出力は開閉器を介して前記演算回路にフィードバックされ、前記開閉器がオンの場合、該演算回路は前記位置指令値と前記フィードバック入力との差に応じて前記指令信号を出力する。
【００１０】
本発明によるＺ軸駆動装置においてはまた、前記演算回路は、前記ピエゾアクチュエータを伸長させる場合には定量加算により前記指令信号を出力し、前記ピエゾアクチュエータを縮小させる場合には定量減算により前記指令信号を出力する。
【００１１】
本発明によるＺ軸駆動装置においては更に、前記演算回路は、前記ピエゾアクチュエータの持つ伸長、縮小時のヒステリシスの影響を少なくするために、伸長時と縮小時とを区別して前記指令信号を出力する。
【００１２】
なお、前記ピエゾアクチュエータが３個の場合、当該３個のピエゾアクチュエータは同一面上において三角形の頂点に対応する位置にＺ軸方向に延びるように固定配置されることが好ましい。
【００１３】
また、前記変換式は、一次式あるいは二次以上の高次式で与えられる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によるＺ軸駆動装置によれば、被駆動物を複数のピエゾアクチュエータでＺ軸方向に駆動する場合、複数のピエゾアクチュエータの間隔が狭い場合であっても被駆動物のピッチング、ヨーイングを抑制して被駆動物に傾きが生じないように駆動制御できる。つまり、被駆動物をＺ軸方向の位置決めだけでなく姿勢制御も行うことができる。
【００１５】
第２の実施の形態について言えば、以下のようになる（但し、ピエゾアクチュエータのフルストローク４５μｍ、制御範囲３０μｍ）。
【００１６】
ピッチング精度の向上  本発明適用前：１０秒
本発明適用後：１秒以下
ヨーイング精度の向上  本発明適用前：８秒
本発明適用後：１秒以下
位置決め精度  オープンループ時：３μｍｐ−ｐ以下
クローズドループ時：６０ｎｍｐ−ｐ以下
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１〜図３を参照して、本発明によるＺ軸駆動装置の第１の実施の形態について説明する。
【００１８】
図２は、Ｘ−Ｙステージ装置２０の上方に、観察光学系として下向きのカメラ４０をＺ軸方向に駆動するためのＺ軸駆動装置３０が設置される場合の構成例を示している。図２において、Ｘ−Ｙステージ装置２０は定盤１００上に設置され、半導体基板、液晶基板のようなターゲット２２を搭載するためのテーブル２１をＸ軸方向、Ｙ軸方向に駆動する。定盤１００の上方には、その両側に設置された支持体１１０によりコラム１２０が設置されている。そして、コラム１２０の中央部にＺ軸駆動装置３０が設置されている。なお、テーブル２１には開口が設けられており、テーブル２１の下方に光源を設けてターゲット２２を照射することによりカメラ４０による撮像に寄与するようにしている。
【００１９】
図３は、図２におけるＺ軸駆動装置３０の概略構成を拡大して縦断面図にて示す。断面略Ｕ形状の保持体３１内に、有底筒状のカメラ支持体３２がＺ軸方向（図中、上下方向）に変位可能に支持される。保持体３１は、図２で説明したコラム１２０に設置される。カメラ支持体３２は、上端部にフランジ３２−１を有する。保持体３１の内底部には、複数個（３個以上で、ここでは３個）のピエゾアクチュエータ３３、３４、３５（３個目の３５は図１参照）がＺ軸方向に延在するように固定設置され、その上部の変位部がフランジ３２−１の下側に固定されている。保持体３１、カメラ支持体３２は、それぞれ角筒状、円筒状、あるいはまた互いに対向する２枚の壁を持つ樋状のように、どのような形状であっても良い。
【００２０】
ピエゾアクチュエータが３個の場合、前述したように、これらは正三角形の頂点に対応する位置に設置されるのが好ましいが、これに限定されるものではない。なお、図３は、Ｚ軸駆動装置３０の駆動原理をわかり易くするための図であり、図２に示されたＺ軸駆動装置３０とは必ずしも一致していない。
【００２１】
保持体３１の上端部とフランジ３２−１との間には、複数個の板ばね３６が設置されている。板ばね３６は、カメラ支持体３２をＺ軸方向のみ変位可能とするためのもので、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に関しては変位を阻止する。
【００２２】
保持体３１、カメラ支持体３２には、それぞれ貫通穴３１ａ、３２ａが設けられている。カメラ４０は貫通穴３１ａを遊嵌状態にて貫通して下方に延びるように貫通穴３２ａに固定される。カメラ４０を固定する手段を有底筒状としているのは、Ｚ軸に関する変位部全体の重心を低くするためである。
【００２３】
ピエゾアクチュエータ３３〜３５に隣接した位置には、それぞれＺ軸方向の変位量を検出するための静電容量センサ（第１のセンサ）３７、３８、３９（３個目の３９は図１参照）が設置されている。静電容量センサは、互いに対向し合う２つの電極を含み、一方の電極がカメラ支持体３２の外壁側に、他方の電極が保持体３１の内底壁側に固定されている。このような静電容量センサは周知であり、互いに対向し合う２つの電極間の距離が変化すると静電容量が変化するので、静電容量の変化を検出することで変位量を検出するものである。
【００２４】
上記の３個の静電容量センサに加えて、本形態では更に、カメラ支持体３２の変位量を検出するために、リニアエンコーダ（第２のセンサ）（図示せず）が設置される。リニアエンコーダは周知であるが、簡単に説明すると、例えばカメラ支持体３２の外壁に磁気的あるいは光学的に読取り可能な目盛りが設けられ、保持体３１側にこの目盛りを磁気的あるいは光学的に読取るセンサが設置される。リニアエンコーダの設置箇所は、カメラ４０の光軸にできるだけ近い位置が好ましいことは言うまでも無い。
【００２５】
いずれにしても、３個のピエゾアクチュエータが駆動されると、カメラ支持体３２がＺ軸方向に変位することでカメラ４０も一体にＺ軸方向に変位する。変位量は、数十ミクロン〜数ミクロンの範囲である。
【００２６】
図１は、図３に示された３個のピエゾアクチュエータの制御系のブロック構成図を示す。図１には、３個目のピエゾアクチュエータ３５、これに対応する静電容量センサ３９を示し、上記のリニアエンコーダを１５で示している。
【００２７】
図１において、本制御系は、位置指令値を受ける演算回路１１を有する。演算回路１１は、演算機能としては、少なくとも定量加算及び定量減算機能と２つの信号の差を算出する減算機能とを有する。定量加算機能というのは、ある初期値に一定の値を加算する動作を定周期で繰り返すことにより漸増する値を出力する機能であり、定量減算機能というのは逆の動作により漸減する値を出力する機能である。演算回路１１のその他の機能については後述される。ピエゾアクチュエータ３３〜３５は個別のピエゾ制御系にて制御されるが、各ピエゾ制御系は演算回路１１から同じ指令信号を受ける。ピエゾアクチュエータ３３用のピエゾ制御系について言えば、演算回路１１からの出力を受けてこの出力をあらかじめ定められた第１の一次関数による変換式（ｙ1 ＝ａ1 ・ｘ＋ｂ1 ）に基づいて変換する変換部１２−１、Ｄ／Ａ変換部１３−１、増幅用のアンプ１４−１を有する。アンプ１４−１には、静電容量センサ３７の検出信号がフィードバックされる。このフィードバック系はマイナーフィードバックループとして機能し、アンプ１４−１は、Ｄ／Ａ変換部１３−１の出力と静電容量センサ３７からの検出値との差に応じてピエゾアクチュエータ３３を制御する。
【００２８】
同様にして、ピエゾアクチュエータ３４のピエゾ制御系には、演算回路１１からの出力を受けてこの出力をあらかじめ定められた第２の一次関数による変換式（ｙ2 ＝ａ2 ・ｘ＋ｂ2 ）に基づいて変換する変換部１２−２、Ｄ／Ａ変換部１３−２、増幅用のアンプ１４−２が備えられる。アンプ１４−２は、Ｄ／Ａ変換部１３−２の出力と静電容量センサ３８からの検出値との差に応じてピエゾアクチュエータ３４を制御する。
【００２９】
ピエゾアクチュエータ３５のピエゾ制御系には、演算回路１１からの出力を受けてこの出力をあらかじめ定められた第３の一次関数による変換式（ｙ3 ＝ａ3・ｘ＋ｂ3 ）に基づいて変換する変換部１２−３、Ｄ／Ａ変換部１３−３、増幅用のアンプ１４−３が備えられる。アンプ１４−３は、Ｄ／Ａ変換部１３−３の出力と静電容量センサ３９からの検出値との差に応じてピエゾアクチュエータ３５を制御する。
【００３０】
なお、上記第１〜第３の一次関数において、ｙ1 〜ｙ3 は変換部１２−１〜１２−３の出力を示し、ｘは変換部１２−１〜１２−３の入力、ａ1 〜ａ3 、ｂ1〜ｂ3 は定数である。定数ａ1 〜ａ3 、ｂ1 〜ｂ3 は、ピエゾアクチュエータ３３〜３５の特性によって決まる。つまり、ピエゾアクチュエータ３３〜３５に同じ指令信号を与えた時の伸縮量の違いをあらかじめ計測し、同じ指令信号であれば同じ伸縮量になるように定数ａ1 〜ａ3 、ｂ1 〜ｂ3 が適宜設定される。変換部１２−１〜１２−３において一次式を使用するのは簡略化のためであり、二次式以上の高次式を使用することで、ピエゾアクチュエータ３３〜３５の特性に適合した設定が可能になることは言うまでも無い。
【００３１】
以上のように、ピエゾアクチュエータ３３〜３５のピエゾ制御系には演算回路１１から同じ指令信号が入力されるが、各ピエゾ制御系は、変換部１２−１〜１２−３で与えられる一次式に基づき、また静電容量センサからのフィードバック値を用いて個別にピエゾアクチュエータ３３〜３５の制御を行う。
【００３２】
つまり、本形態におけるＺ軸駆動装置３０は、機構的にピエゾアクチュエータ間の間隔が短いために、ピエゾアクチュエータ個々の伸縮量に違いがあるとカメラ４０の撮像に影響を与える。そこで、本形態では、ピエゾアクチュエータ個々に個別に指令値を与えるようにすることで、３個のピエゾアクチュエータ駆動時のカメラ４０のピッチング、ヨーイングを抑制する姿勢制御を行うようにしている。
【００３３】
一方、前述したリニアエンコーダ１５の出力は変換部１６でパルス状の信号、つまりディジタル信号に変換されて演算回路１１にフィードバックされる。このフィードバック系はカメラ４０の位置補正用のメジャーフィードバックループとして機能するが、リニアエンコーダ１５のフィードバックラインには開閉器１７が設けられていることにより、必要に応じてフィードバックのオン、オフを可能にしている。つまり、リニアエンコーダ１５のフィードバックオンの場合、カメラ４０を含む被駆動部全体の位置決めが行われる。
【００３４】
以下に、本制御系の制御動作について説明する。
【００３５】
１．原点決め（オープンループ）
原点はアンプ１４−１〜１４−３に４（Ｖ）の入力を与えた時の位置にしている。この時は、リニアエンコーダ１５のフィードバックオフ、つまりオープンループとし、演算回路１１における定量加算値を各ピエゾ制御系に与えてカメラ４０を少しずつ原点に向け移動させる。
【００３６】
２．位置決め
ａ．一定移動量にて位置決め（オープンループ）
原点決めと同様に、演算回路１１により定量加算（ピエゾアクチュエータの伸び）あるいは定量減算（ピエゾアクチュエータの縮み）を行うことでカメラ４０を目標位置に向かわせる。この制御動作によれば位置決め精度は良いが、目標位置到達までに時間を要する。
【００３７】
なお、ピエゾアクチュエータには、伸び時、縮み時にヒステリシスがあるので、演算回路１１は、ピエゾアクチュエータの伸び時、縮み時とを区別して指令信号を出力するようにしている。
【００３８】
ｂ．リニアエンコーダ１５のフィードバックオンによる位置決め（クローズドループ）
開閉器１７がオンにされ、演算回路１１は、位置指令置（目標値）とリニアエンコーダ１５からの現在値との差を移動量（加算量／減算量）として指令信号を出力する。各ピエゾ制御系は、この指令信号を受けて個別にピエゾアクチュエータ３２〜３４の制御を行うことにより位置決めが行われる。
【００３９】
この位置決め動作によれば、上記ａの一定移動量による位置決め動作よりも短時間で位置決めできる。しかし、移動量によっては演算回路１１における差が大きくなり、オーバーシュートを生じるおそれがあるので、演算回路１１において移動量にリミットをかける必要がある。
【００４０】
以上の説明で理解できるように、本形態においては、位置決めに要する時間を無視できるのであれば、リニアエンコーダ１５によるフィードバックループは省略されても良い。
【００４１】
図４、図５を参照して、本発明によるＺ軸駆動装置の第２の実施の形態について説明する。
【００４２】
図４は、Ｘ−Ｙステージ装置５０の下方に、観察光学系として上向きのカメラ４０をＺ軸方向に駆動するためのＺ軸駆動装置６０が設置される場合の構成例を示している。図４において、Ｘ−Ｙステージ装置５０はコラム１２０上に設置され、半導体基板、液晶基板のようなターゲット２２を搭載するためのテーブル５１をＸ軸方向、Ｙ軸方向に駆動する。定盤１００上には、その両側にＹ軸方向へ延びる支持体１１０が設けられており、これらの支持体１１０にコラム１２０が設けられている。そして、コラム１２０の中央部にＺ軸駆動装置６０が設置されている。Ｘ−Ｙステージ装置５０上に設けられたテーブル５１には開口が設けられており、これらの開口を通して上向きのカメラ４０によるターゲット２２下面の撮像が行われ、ここでもテーブル５１の下方から光源によりターゲット２２の下面を照射することができるようにしている。
【００４３】
図５は、図４におけるＺ軸駆動装置５０の概略構成を拡大して斜視図にて示す。略Ｕ形状の保持体６１が図４で説明したコラム１２０に設置される。この保持体６１に、カメラ支持板６２がＺ軸方向（図中、上下方向）に変位可能に支持される。保持体６１の内底部には、複数個（ここでも３個）のピエゾアクチュエータ３３、３４、３５がＺ軸方向に延在するように固定設置され、その上部の変位部がカメラ支持板６２の下側に固定されている。保持体６１は、図示の樋状の他、角筒状、円筒状のように、どのような形状であっても良い。なお、図５は、Ｚ軸駆動装置６０の駆動原理をわかり易くするための図であり、図４に示されたＺ軸駆動装置６０とは必ずしも一致していない。
【００４４】
保持体６１の上端部とカメラ支持板６２の上面との間には、それぞれ板ばね６６が設置されている。第１の実施の形態と同様、板ばね６６は、カメラ支持板６２をＺ軸方向にのみ変位可能とするためのもので、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に関しては変位を阻止する。
【００４５】
カメラ支持板６２には貫通穴６２ａが設けられている。図５には図示していないが、カメラ４０は上向きにして貫通穴６２ａに固定される。ピエゾアクチュエータ３３、３４、３５に隣接した位置には、それぞれＺ軸方向の変位量を検出するための静電容量センサ６７、６８、６９（３個目の６９は図示省略）が設置されている。静電容量センサは、第１の実施の形態に使用されるものと同じである。
【００４６】
上記の３個の静電容量センサに加えて、本形態でも更に、カメラ支持板６２の変位量を検出するために、リニアエンコーダ７５が設置される。リニアエンコーダ７５は、第１の実施の形態と同様、例えば保持体６１の内壁に磁気的あるいは光学的に読取り可能な目盛りが設けられ、カメラ支持板６２側にこの目盛りを磁気的あるいは光学的に読取るセンサが設置される。勿論、本形態でもリニアエンコーダ７５の設置箇所は、カメラ４０の光軸にできるだけ近い位置が好ましい。
【００４７】
いずれにしても、３個のピエゾアクチュエータ３３〜３５が駆動されると、カメラ支持板６２がＺ軸方向に変位することでカメラ４０も一体にＺ軸方向に変位する。変位量は、数十ミクロン〜数ミクロンの範囲である。
【００４８】
３個のピエゾアクチュエータ３３〜３５は、図１に示された制御系とまったく同じ制御系で制御される。つまり、３個目の静電容量センサを６９とすると、図１における静電容量センサ３７〜３９に代えて静電容量センサ６７〜６９が接続され、図１におけるリニアエンコーダ１５に代えてリニアエンコーダ７５が接続される。それ故、この制御系の制御動作は、第１の実施の形態で説明した制御動作とまったく同じであるので、説明は省略する。
【００４９】
以上、本発明を２つの実施の形態について説明したが、本発明は様々な変形が可能である。例えば、第１、第２の実施の形態では、カメラを固定したカメラ支持板をＺ軸方向に駆動するためのＺ軸駆動装置としているが、ターゲットを搭載するためのテーブルをＺ軸方向に駆動するＺ軸駆動装置としても良い。言い換えれば、本発明は３個以上のピエゾアクチュエータで被駆動物をピッチング、ヨーイングを抑制しつつ微少量、Ｚ軸方向に駆動することを要求されるＺ軸駆動装置全般に適用され得る。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明によるＺ軸駆動装置は、ステージ装置全般、特にワークを搭載してＸ軸方向、Ｙ軸方向の位置決めに加えてＺ軸方向に関しても位置決めの必要な、例えば電子ビーム露光装置のような露光装置等への適用に適している。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明によるＺ軸駆動装置の制御系の構成例を示したブロック図である。
【図２】本発明によるＺ軸駆動装置をＸ−Ｙステージ装置と組み合わせる場合の第１の適用例を説明するための図である。
【図３】図２に示されるＺ軸駆動装置の概略構成を拡大して示した縦断面図である。
【図４】本発明によるＺ軸駆動装置をＸ−Ｙステージ装置と組み合わせる場合の第２の適用例を説明するための図である。
【図５】図４に示されるＺ軸駆動装置の概略構成を拡大して示した斜視図である。
【符号の説明】
【００５２】
１５、７５    リニアエンコーダ
２０、５０    Ｘ−Ｙステージ装置
２１、５１    テーブル
２２    ターゲット
３０、６０    Ｚ軸駆動装置
３１、６１    保持体
３２    カメラ支持体
３３〜３５    ピエゾアクチュエータ
３６、６６    板ばね
３７〜３９、６７、６８    静電容量センサ
６２    カメラ支持板
【図１】
2005093510.tif 000003
【図２】
2005093510.tif 000004
【図３】
2005093510.tif 000005
【図４】
2005093510.tif 000006
【図５】
2005093510.tif 000007