(57)【要約】【課題】  基板搬送装置の厚み増加を招くことなく、清浄度を保ちながら基板を搬送すること。【解決手段】  ガラス基板３の下面両側縁部３ａをそれぞれ支持し得るように複数対の搬送ローラ２を搬送方向と交差する方向に間隔をおいて配置し、これら搬送ローラ２を回転させることによりガラス基板３を搬送する基板搬送装置において、搬送ローラ２の先端部外周面２Ｂ及び先端面２Ｃに開口する吸引孔２４を形成し、この吸引孔２４を吸引源と接続した。【選択図】  図２
2005154041.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の下面両側縁部をそれぞれ支持し得るように複数対の搬送ローラを搬送方向と交差する方向に間隔をおいて配置し、これら搬送ローラを回転させることにより基板を前記搬送方向に搬送する基板搬送装置において、
前記搬送ローラにその外面に開口する吸引孔を形成し、この吸引孔を吸引源と接続したことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記搬送ローラの基端側に回転継手を設け、この回転継手を介して前記吸引孔を前記吸引源と接続したことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記搬送ローラの一部をその周辺の汚染発生源と共にカバーで囲み、このカバー内にも前記吸引孔を開口させたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば液晶用ガラス等の薄板基板の両側縁部を下面への接触により支持しながら搬送する基板搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば液晶表示パネルの製造に用いられるガラス基板等を搬送するコンベヤ（基板搬送装置）として、特許文献１に記載されているような、クリーン環境下に設置されるコンベヤが知られている。このコンベヤでは、基板の汚染を防止するために、清浄な空気をコンベヤ上方より下方に向けて吹き付ける方式が採られている。さらに、コンベヤ駆動部をカバーで囲い、そのカバー内部を吸引する等の対策も施されている。
上記対策の他に、コンベヤ下部にファンフィルタユニットを取付ける方式もある。
【特許文献１】実用新案登録第３０３２７３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、近年のガラス基板のように搬送物が大型化すると、コンベヤ上方からの気流が搬送物によって阻害されてしまい、基板下面での清浄度が保てなくなるという課題がある。特に、基板とコンベヤとの接触部からの汚染は防止することはできない。
また、コンベヤ下部にファンフィルタユニットを取付ける方式の場合には、コンベヤ装置の厚みが大きくなるという問題がある。
【０００４】
この発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、基板搬送装置の厚み増加を招くことなく、清浄度を保ちながら基板を搬送することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、この発明では、基板の下面両側縁部をそれぞれ支持し得るように複数対の搬送ローラを搬送方向と交差する方向に間隔をおいて配置し、これら搬送ローラを回転させることにより基板を前記搬送方向に搬送する基板搬送装置において、前記搬送ローラにその外面に開口する吸引孔を形成し、この吸引孔を吸引源と接続した、という手段を採用する。
【０００６】
前記搬送ローラの基端側に回転継手を設け、この回転継手を介して前記吸引孔を前記吸引源と接続した、という手段を採用することもできる。
前記搬送ローラの一部をその周辺の汚染発生源と共にカバーで囲み、このカバー内にも前記吸引孔を開口させた、という手段を採用することもできる。
【発明の効果】
【０００７】
以上の手段によれば、基板の下面両側縁部、すなわち、基板との接触部に近いところで発塵を吸引できるので、清浄度を保ちながら基板を搬送することができる。
また、この基板搬送装置が例えばクリーンルーム等のクリーン環境下に置かれたときに、上方から下方に向かう清浄気流が基板によって阻害されることがあっても、搬送ローラにて基板下面側の発塵を直接吸引できるので、大型化した基板に対しても清浄度を保ちながら搬送することができる。
【０００８】
しかも、コンベヤ下部にファンフィルタユニット等の付加設備を設ける必要がなくなるので、基板搬送装置の厚み増加を招くこともない。
さらに、基板との接触部とは別の汚染発生源、例えば搬送ローラを回転自在に支持する軸サポートや、回転駆動源からの回転力を搬送ローラに伝達するローラ駆動ギヤ等、基板の清浄度維持を阻害し得る部品や装置からの発塵を、周囲に飛散させることなく吸引できるので、清浄度の更なる向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、この発明の最良の形態である実施例を図１〜図４の図面を参照して説明する。
この実施例による基板搬送装置は、例えば液晶表示パネル（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等に用いられるガラス基板のように、大型かつ薄板状で、しかも、汚染防止等のために搬送物の両側縁部を支持しながら搬送することが要求されるものの搬送に用いて好適であり、図１に示すように、搬送ローラユニット１を備えて構成されている。
【００１０】
搬送ローラユニット１は、図１及び図２に示すように、搬送物であるガラス基板３の幅方向、言い換えればガラス基板３の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて対向配置された一対のフレーム１１を備え、これらフレーム１１の上端部には、ベアリング等の軸サポート１２を介して、搬送ローラ２の基端側が回転自在に支持されている。この搬送ローラ２は、ガラス基板３の搬送方向に相互間隔をおいて複数列設けられている。
【００１１】
搬送ローラ２は、ガラス基板３をその下面両側縁部（幅方向両端部）３ａ，３ｂへの接触によって支持するものであり、その基端面２Ａから先端部に向けて中空部２１が形成されている。
搬送ローラ２の基端側には、駆動モータ（図示略）からの回転駆動力を搬送ローラ２に伝達するローラ駆動ギヤ１３が設けられている。また、搬送ローラ２の基端部には、搬送ローラ２側から管路１４側への回転動力の伝達を遮断する回転継手１５が設けられており、この回転継手１５の他側に接続された管路１４の先に図示せぬ吸気ブロワ（吸引源）が接続されている。
【００１２】
搬送ローラ２の先端部外周面２Ｂには、軸方向に間隔をおいて２つの周溝２２が形成されており、これらの周溝２２にガラス基板３の下面側縁部３ａ，３ｂに接触してガラス基板３を弾性的に支持する弾性体（例えば、Ｏリング）２３が嵌挿されている。
搬送ローラ２の先端面２Ｃと先端部外周面２Ｂには吸引孔２４が開口しており、これら吸引孔２４は中空部２１，回転継手１５，及び管路１４を介して吸気ブロワと接続されている。なお、先端面２Ｃに開口する吸引孔２４は、中空部２１との隔壁２５に形成された連通孔２６を介して中空部２１と連通している。
【００１３】
以上の如く構成された基板搬送装置においては、各駆動モータが同期して回転すると、その回転駆動力はローラ駆動ギヤ１３を介して搬送ローラ２に伝達され、各搬送ローラ２が揃って一方向に回転する。
これにより、基板搬送装置の上流側に移送されてきたガラス基板３は、その下面３Ａに対する搬送ローラ２との接触によって生じる摩擦力により、搬送方向前方に向かう搬送力を付与されて基板搬送装置内に引き込まれ、さらにその下流側へと連続的に搬送される。
【００１４】
このとき、ガラス基板３の下面両側縁部３ａ，３ｂは、弾性体２３を介して転がり接触している搬送ローラ２によって下方より支持されているため、このガラス基板３と搬送ローラ２との接触部は、その接触により発塵等を生じる汚染発生源となっている。
しかしながら、この実施例による基板搬送装置においては、吸気ブロワを運転し、管路１４，回転継手１５，及び中空部２１を介して、搬送ローラ２の先端面２Ｃ及び先端部外周面２Ｂに開口する吸引孔２４から周囲の空気を吸引しているので、ガラス基板３との接触部に近いところで発塵を同伴吸引することができる。よって、清浄度を保ちながらガラス基板３を搬送することができる。
【００１５】
また、この基板搬送装置が例えばクリーンルーム等のクリーン環境下に置かれたときに、上方から下方に向かう清浄気流が、近年大型化・薄型化の著しいガラス基板３（例えば、縦１８５０ｍｍ×横１５００ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ）によって阻害されることがあっても、搬送ローラ２にて基板下面３Ａ側の発塵を直接吸引することができるので、従来のように基板搬送装置の下部にファンフィルタユニットを取付ける必要がなくなる。
よって、大型化したガラス基板３に対しても、基板搬送装置の厚み増加を招くことなく、清浄度を保ちながら搬送することができる。
【００１６】
さらに、この実施例による基板搬送装置によれば、搬送ローラ２の基端側に回転継手１５を設け、この回転継手１５を介して吸引孔２４を吸気ブロワと接続した構成を採用しているので、軸回りに回転する搬送ローラ２の内部を吸引ルートとするための構成を簡略化することができる。
【００１７】
以上に加えて、この実施例においては、ガラス基板３の下面両側縁部３ａ，３ｂが吸引孔２４からの吸引力によって搬送ローラ２側に引き付けられ（付勢され）ているので、基板下面３Ａに対する搬送ローラ２の接触によって生じる摩擦力は、基板自重のみを搬送ローラ２に預けている場合よりも大きくなる。
このため、ガラス基板３のサイズによらずに搬送に必要十分な摩擦力を確保し得て、搬送時における加減速度を従来よりも大きく設定することが可能になり、搬送時間の短縮化を図ることができるという効果も奏する。
【００１８】
ところで、搬送ローラ２を回転自在に支持する軸サポート１２，駆動モータからの回転駆動力を搬送ローラ２に伝達するローラ駆動ギヤ１３，搬送ローラ２側から管路１４側への回転動力の伝達を遮断する回転継手１５等は、他の部品との摺動部や歯合部を備えているため、そこからの発塵によりガラス基板３の清浄度維持を阻害することがある。
そこで、清浄度に対する要求がより厳しい搬送物を搬送する場合には、図３に示すような構成を採用しておくことが好ましい。なお、この図ではフレーム１１の図示を省略している。
【００１９】
すなわち、軸サポート１２の軸方向先端側に設けられたスリーブ１６の途中から、軸サポート１２，ローラ駆動ギヤ１３，回転継手１５，及び管路１４の一部を気密に囲むカバー３１を設ける。そして、このカバー３１内に開口する吸引孔３２を、搬送ローラ２の先端部に形成した吸引孔２４以外にも形成しておく。
このような構成によれば、汚染発生源となる部品や装置からの発塵を周囲に飛散させることなく吸引することができるので、清浄度の更なる向上を図ることができる。
【００２０】
なお、この発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更が可能である。
例えば、上記実施例では、吸引孔２４を搬送ローラ２の先端面２Ｃ及び先端部外周面２Ｂに開口させているが、図４に示すように、先端部外周面２Ｂのみに開口させる構成でもよい。この場合、軸方向に間隔をおいて複数箇所に開口させておくことが好ましい。また、これとは逆に、吸引孔２４を搬送ローラ２の先端面２Ｃのみに開口させる構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】この発明の一実施例による基板搬送装置の正面図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】この発明の他の実施例による基板搬送装置の正面図である。
【図４】図２に示す基板搬送装置の変形例である。
【符号の説明】
【００２２】
２  搬送ローラ
３  ガラス基板
３ａ、３ｂ  下面両側縁部
１２  軸サポート（汚染発生源）
１３  ローラ駆動ギヤ（汚染発生源）
１５  回転継手（汚染発生源）
２４、３２  吸引孔
３１  カバー
【図１】
2005154041.tif 000003
【図２】
2005154041.tif 000004
【図３】
2005154041.tif 000005
【図４】
2005154041.tif 000006