(57)【要約】【課題】  伝送トラッキングの位相が取得できるようにして、測定系の誤差を補正することができるようにする。【解決手段】  ＤＵＴ２による周波数変換とは無関係に生じる測定系誤差要因を記録する測定系誤差要因記録部８０と、端子２ａから出力される信号が、端子２ａに入力される信号に第一係数を乗じたものおよび他の端子２ｂに入力される信号に第二係数を乗じたものの和として表され、第二係数の大きさの比が一定である校正用ミキサの第一係数および第二係数を測定し、測定系誤差要因記録部８０に記録された測定系誤差要因と、第一係数および第二係数とに基づき、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する誤差要因取得部９０とを備える。【選択図】  図１
2005233883.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物による周波数変換とは無関係に生じる測定系誤差要因を記録する測定系誤差要因記録手段と、
ある端子から出力される信号が、その端子に入力される信号に第一係数を乗じたものおよび他の端子に入力される信号に第二係数を乗じたものの和として表され、第二係数の大きさの比が一定である校正用周波数変換素子の前記第一係数および前記第二係数を測定したものを出力する校正用係数出力手段と、
前記測定系誤差要因記録手段に記録された前記測定系誤差要因と、前記校正用係数出力手段の出力した前記第一係数および前記第二係数とに基づき、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する伝送トラッキング取得手段と、
を備えたネットワークアナライザ。
【請求項２】
請求項１に記載のネットワークアナライザであって、
前記校正用周波数変換素子における、
前記第一係数を、M11’、M22’、
前記第二係数を、M12’、M21’、
第一端子に入力される信号をａ１、第一端子から出力される信号をｂ１、
第二端子に入力される信号をａ２、第二端子から出力される信号をｂ２、
とした場合、
ｂ１＝M11’×ａ１＋M12’×ａ２
ｂ２＝M21’×ａ１＋M22’×ａ２
であり、
|M12’|／|M21’|が一定である、
ネットワークアナライザ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のネットワークアナライザであって、
いずれの端子についても、前記第二係数の大きさが同じものである、
ネットワークアナライザ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか一項に記載のネットワークアナライザであって、
前記被測定物に入力する入力信号に関する入力信号パラメータを、前記測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、
前記被測定物の端子に接続され、前記入力信号を出力する複数のポートと、
前記ポートに前記被測定物の端子から入力された被測定物信号に関する被測定物信号パラメータを測定する被測定物信号測定手段と、
を備えたネットワークアナライザ。
【請求項５】
請求項４に記載のネットワークアナライザであって、
前記校正用係数出力手段は、前記校正用周波数変換素子の前記第一係数および前記第二係数を、前記入力信号測定手段により測定された前記入力信号パラメータと、前記被測定物信号測定手段により測定された前記被測定物信号パラメータとの比によって求める、
ネットワークアナライザ。
【請求項６】
請求項４に記載のネットワークアナライザであって、
前記伝送トラッキング取得手段は、被測定物信号が前記被測定物の端子より周波数変換を伴わないで出力されてから前記被測定物信号測定手段により受信されるまでに生じる誤差要因の比に基づき、前記伝送トラッキングを取得する、
ネットワークアナライザ。
【請求項７】
測定系誤差要因記録手段が、被測定物による周波数変換とは無関係に生じる測定系誤差要因を記録する測定系誤差要因記録工程と、
校正用係数出力手段が、ある端子から出力される信号が、その端子に入力される信号に第一係数を乗じたものおよび他の端子に入力される信号に第二係数を乗じたものの和として表され、第二係数の大きさの比が一定である校正用周波数変換素子の前記第一係数および前記第二係数を測定したものを出力する校正用係数出力工程と、
伝送トラッキング取得手段が、前記測定系誤差要因記録手段に記録された前記測定系誤差要因と、前記校正用係数出力手段の出力した前記第一係数および前記第二係数とに基づき、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する伝送トラッキング取得工程と、
を備えたネットワーク解析方法。
【請求項８】
被測定物による周波数変換とは無関係に生じる測定系誤差要因を記録する測定系誤差要因記録処理と、
ある端子から出力される信号が、その端子に入力される信号に第一係数を乗じたものおよび他の端子に入力される信号に第二係数を乗じたものの和として表され、第二係数の大きさの比が一定である校正用周波数変換素子の前記第一係数および前記第二係数を測定したものを出力する校正用係数出力処理と、
前記測定系誤差要因記録処理により記録された前記測定系誤差要因と、前記校正用係数出力処理により出力された前記第一係数および前記第二係数とに基づき、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する伝送トラッキング取得処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項９】
被測定物による周波数変換とは無関係に生じる測定系誤差要因を記録する測定系誤差要因記録処理と、
ある端子から出力される信号が、その端子に入力される信号に第一係数を乗じたものおよび他の端子に入力される信号に第二係数を乗じたものの和として表され、第二係数の大きさの比が一定である校正用周波数変換素子の前記第一係数および前記第二係数を測定したものを出力する校正用係数出力処理と、
前記測定系誤差要因記録処理により記録された前記測定系誤差要因と、前記校正用係数出力処理により出力された前記第一係数および前記第二係数とに基づき、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する伝送トラッキング取得処理と、
をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定物の回路パラメータを演算計測するネットワークアナライザに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被測定物（ＤＵＴ：Device
Under Test）の回路パラメータ（例えば、Ｓパラメータ）を測定することが行われている。従来技術にかかる被測定物（ＤＵＴ）の回路パラメータの測定法を図２５を参照して説明する。
【０００３】
信号源１１０から周波数ｆ１の信号をDUT２００を介して受信部１２０に送信する。この信号は受信部１２０により受信される。受信部１２０により受信された信号の周波数をｆ２とする。受信部１２０により受信された信号を測定することによりDUT２００のＳパラメータや周波数特性を取得することができる。
【０００４】
このとき、信号源１１０等の測定系とDUT２００との不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えばＥｄ：ブリッジの方向性に起因する誤差、Ｅｒ：周波数トラッキングに起因する誤差、Ｅｓ：ソースマッチングに起因する誤差、である。周波数ｆ１＝ｆ２の場合の信号源１１０に関するシグナルフローグラフを図２６に示す。RF INは、信号源１１０からDUT２００等に入力する信号、Ｓ１１ｍはDUT２００等から反射されてきた信号から求められたDUT２００等のＳパラメータ、Ｓ１１ａは測定系誤差の無い真のDUT２００等のＳパラメータである。
【０００５】
周波数ｆ１＝ｆ２の場合は、例えば特許文献１に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源１１０に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をブリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類のＳパラメータ（Ｓ１１ｍ）を求める。三種類のＳパラメータから三種類の変数Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを求める。
【０００６】
しかしながら、周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しくない場合がある。例えば、DUT２００がミキサ等の周波数変換機能を有するデバイスである場合である。周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しくない場合の信号源１１０に関するシグナルフローグラフを図２７に示す。Ｅｄ、Ｅｓは周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しい場合と同様であるが、ＥｒはＥｒ１およびＥｒ２に分かれてしまう。特許文献１に記載のようなキャリブレーションでは三種類のＳパラメータ（Ｓ１１ｍ）しか求めないため、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２しか求めることができない。よって、Ｅｒ１およびＥｒ２を求めることができない。
【０００７】
さらに、周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しくない場合は、受信部１２０による測定系誤差も無視できない。信号源１１０と受信部１２０とを直結した場合のシグナルフローグラフを図２８に示す。Ｓ２１ｍは、受信部１２０が受信した信号から求められたDUT２００等のＳパラメータである。図２８に示すように、Ｅｔ、ＥＬという受信部１２０による測定系誤差が生ずる。これについても、特許文献１に記載のようなキャリブレーションでは求めることができない。
【０００８】
そこで、周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しくない場合は、特許文献２に記載のようにして誤差を補正する。まず、三種類の校正キット（オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0））を信号源に接続する。これは、特許文献１に記載の方法と同様であるので、Ｅｄ、Ｅｓ、Ｅｒ１・Ｅｒ２を求めることができる。次に、信号源をパワーメータに接続する。パワーメータの測定結果に基づき、Ｅｒ１およびＥｒ２を求めることができる（特許文献２の図６、図７を参照）。さらに、信号源と受信部とを直結し、そのときの測定結果により、Ｅｔ、ＥＬを求めることができる（特許文献２の図８、図９を参照）。
【０００９】
なお、伝送トラッキングは、Ｅｒ１・Ｅｔとして定義される。特許文献２に記載の方法によれば、Ｅｒ１およびＥｔを測定できるので、伝送トラッキングＥｒ１・Ｅｔを求めることも可能である。
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−３８０５４号公報
【特許文献２】国際公開第０３／０８７８５６号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献２に記載した方法によって、伝送トラッキングＥｒ１・Ｅｔを求めた場合、Ｅｒ１を測定するためにパワーメータを使用する必要がある。パワーメータを使用するので、伝送トラッキングの位相が取得できない。
【００１２】
そこで、本発明は、伝送トラッキングの位相が取得できるようにして、測定系の誤差を補正することができるようにすることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、被測定物による周波数変換とは無関係に生じる測定系誤差要因を記録する測定系誤差要因記録手段と、ある端子から出力される信号が、その端子に入力される信号に第一係数を乗じたものおよび他の端子に入力される信号に第二係数を乗じたものの和として表され、第二係数の大きさの比が一定である校正用周波数変換素子の第一係数および第二係数を測定したものを出力する校正用係数出力手段と、測定系誤差要因記録手段に記録された測定系誤差要因と、校正用係数出力手段の出力した第一係数および第二係数とに基づき、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する伝送トラッキング取得手段とを備えるように構成される。
【００１４】
上記のように構成された発明によれば、測定系誤差要因記録手段は、被測定物による周波数変換とは無関係に生じる測定系誤差要因を記録する。校正用係数出力手段は、ある端子から出力される信号が、その端子に入力される信号に第一係数を乗じたものおよび他の端子に入力される信号に第二係数を乗じたものの和として表され、第二係数の大きさの比が一定である校正用周波数変換素子の第一係数および第二係数を測定したものを出力する。伝送トラッキング取得手段は、測定系誤差要因記録手段に記録された測定系誤差要因と、校正用係数出力手段の出力した第一係数および第二係数とに基づき、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する。
【００１５】
本発明は、さらに、校正用周波数変換素子における、第一係数を、M11’、M22’、第二係数を、M12’、M21’、第一端子に入力される信号をａ１、第一端子から出力される信号をｂ１、第二端子に入力される信号をａ２、第二端子から出力される信号をｂ２、とした場合、
ｂ１＝M11’×ａ１＋M12’×ａ２
ｂ２＝M21’×ａ１＋M22’×ａ２
であり、
|M12’|／|M21’|が一定であることが好ましい。
【００１６】
本発明は、さらに、いずれの端子についても、第二係数の大きさが同じものであることが好ましい。
【００１７】
本発明は、さらに、被測定物に入力する入力信号に関する入力信号パラメータを、測定系誤差要因の生ずる前に測定する入力信号測定手段と、被測定物の端子に接続され、入力信号を出力する複数のポートと、ポートに被測定物の端子から入力された被測定物信号に関する被測定物信号パラメータを測定する被測定物信号測定手段とを備えることが好ましい。
【００１８】
本発明は、さらに、校正用係数出力手段は、校正用周波数変換素子の第一係数および第二係数を、入力信号測定手段により測定された入力信号パラメータと、被測定物信号測定手段により測定された被測定物信号パラメータとの比によって求めることが好ましい。
【００１９】
本発明は、さらに、伝送トラッキング取得手段は、被測定物信号が被測定物の端子より周波数変換を伴わないで出力されてから被測定物信号測定手段により受信されるまでに生じる誤差要因の比に基づき、伝送トラッキングを取得することが好ましい。
【００２０】
本発明は、測定系誤差要因記録手段が、被測定物による周波数変換とは無関係に生じる測定系誤差要因を記録する測定系誤差要因記録工程と、校正用係数出力手段が、ある端子から出力される信号が、その端子に入力される信号に第一係数を乗じたものおよび他の端子に入力される信号に第二係数を乗じたものの和として表され、第二係数の大きさの比が一定である校正用周波数変換素子の第一係数および第二係数を測定したものを出力する校正用係数出力工程と、伝送トラッキング取得手段が、測定系誤差要因記録手段に記録された測定系誤差要因と、校正用係数出力手段の出力した第一係数および第二係数とに基づき、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する伝送トラッキング取得工程とを備えるように校正される。
【００２１】
本発明は、被測定物による周波数変換とは無関係に生じる測定系誤差要因を記録する測定系誤差要因記録処理と、ある端子から出力される信号が、その端子に入力される信号に第一係数を乗じたものおよび他の端子に入力される信号に第二係数を乗じたものの和として表され、第二係数の大きさの比が一定である校正用周波数変換素子の第一係数および第二係数を測定したものを出力する校正用係数出力処理と、測定系誤差要因記録処理により記録された測定系誤差要因と、校正用係数出力処理により出力された第一係数および第二係数とに基づき、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する伝送トラッキング取得処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
【００２２】
本発明は、被測定物による周波数変換とは無関係に生じる測定系誤差要因を記録する測定系誤差要因記録処理と、ある端子から出力される信号が、その端子に入力される信号に第一係数を乗じたものおよび他の端子に入力される信号に第二係数を乗じたものの和として表され、第二係数の大きさの比が一定である校正用周波数変換素子の第一係数および第二係数を測定したものを出力する校正用係数出力処理と、測定系誤差要因記録処理により記録された測定系誤差要因と、校正用係数出力処理により出力された第一係数および第二係数とに基づき、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する伝送トラッキング取得処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する。
【００２４】
図１は、本発明の実施の形態に係るネットワークアナライザ１の構成を示したブロック図である。ネットワークアナライザ１には、ＤＵＴ（Device Under Test：被測定物）２が接続されている。ネットワークアナライザ１は、ＤＵＴ２の回路パラメータ、例えばＳパラメータを測定する。なお、ＤＵＴ２として、ミキサ（乗算器）を用いた場合は、Ｓパラメータのことを特に、Ｍパラメータという。
【００２５】
図２（ａ）は、ＤＵＴ２の構成を示す図である。ＤＵＴ２は、ミキサ（乗算器）である。ＤＵＴ２は、第一端子２ａ、第二端子２ｂ、ＲＦ信号処理部２Ｒ、ＩＦ信号処理部２Ｉ、ローカル信号処理部２Ｌを有する。
【００２６】
第一端子２ａから周波数ｆ１の信号ａ１が入力されると、ＲＦ信号処理部２Ｒに与えられる。また、ローカル信号処理部２Ｌにはローカル信号Ｌｏ（周波数ｆＬｏ）が与えられる。ＲＦ信号処理部２Ｒに与えられた信号（周波数ｆ１）と、ローカル信号処理部２Ｌに与えられた信号（周波数ｆＬｏ）とは混合されて、ＩＦ信号処理部２Ｉから周波数ｆ２（＝ｆ１−ｆＬｏ）の信号ｂ２として、第二端子２ｂを介して出力される。なお、第一端子２ａから周波数ｆ１の信号ａ１が入力されると、ある程度は、ＤＵＴ２により周波数変換が行なわれれずに反射され、第一端子２ａから周波数ｆ１のまま信号ｂ１として出力される。
【００２７】
第二端子２ｂから周波数ｆ２の信号ａ２が入力されると、ＩＦ信号処理部２Ｉに与えられる。また、ローカル信号処理部２Ｌにはローカル信号Ｌｏ（周波数ｆＬｏ）が与えられる。ＲＦ信号処理部２Ｒに与えられた信号（周波数ｆ１）と、ローカル信号処理部２Ｌに与えられた信号（周波数ｆＬｏ）とは混合されて、ＲＦ信号処理部２Ｒから周波数ｆ１（＝ｆ２＋ｆＬｏ）の信号ｂ１として、第一端子２ａを介して出力される。なお、第二端子２ｂから周波数ｆ２の信号ａ２が入力されると、ある程度は、ＤＵＴ２により周波数変換が行なわれれずに反射され、第二端子２ｂから周波数ｆ２のまま信号ｂ２として出力される。
【００２８】
ここで、周波数ｆ１の信号ａ１をａ１（ｆ１）、周波数ｆ２の信号ａ２をａ２（ｆ２）、周波数ｆ１の信号ｂ１をｂ１（ｆ１）、周波数ｆ２の信号ｂ２をｂ２（ｆ２）と表記する。
【００２９】
図２（ｂ）は、第一端子２ａおよび第二端子２ｂに入出力される信号の関係を示すものである。すなわち、
ｂ１＝M11×ａ１＋M12×ａ２
ｂ２＝M21×ａ１＋M22×ａ２
が成立する。
【００３０】
なお、M11およびM22を第一係数、M12およびM21を第二係数という。
【００３１】
図１に戻り、ネットワークアナライザ１は、ポート４ａ、４ｂ、ＤＵＴ用ローカル信号ポート４ｃ、信号源１０、測定部２０、３０、ＤＵＴ用ローカル信号発振器４０、切替器５２、５４、５６、順経路誤差要因取得部６０、逆経路誤差要因取得部７０、測定系誤差要因記録部８０、誤差要因取得部９０、回路パラメータ測定部９８を備える。
【００３２】
ポート４ａは測定部２０および第一端子２ａに接続されている。ポート４ａは、信号源１０からの入力信号（周波数ｆ１）を第一端子２ａに出力する。
【００３３】
ポート４ｂは測定部３０および第二端子２ｂに接続されている。ポート４ｂは、信号源１０からの入力信号（周波数ｆ２）を第二端子２ｂに出力する。
【００３４】
ＤＵＴ用ローカル信号ポート４ｃはＤＵＴ用ローカル信号発振器４０に接続されている。ＤＵＴ用ローカル信号ポート４ｃは、ＤＵＴ用ローカル信号発振器４０からのＤＵＴ用ローカル信号をＤＵＴ２に与える。
【００３５】
信号源１０は、信号出力部１２、ブリッジ１３、スイッチ１４、内部ミキサ１６、レシーバ（Ｒｃｈ）１８（入力信号測定手段）を有する。
【００３６】
信号出力部１２は、周波数ｆ１あるいはｆ２の入力信号を出力する。
【００３７】
ブリッジ１３は、信号出力部１２から出力された信号を内部ミキサ１６およびスイッチ１４に供給する。ブリッジ１３が供給する信号は、ネットワークアナライザ１による測定系誤差要因の影響を受けていない信号といえる。
【００３８】
スイッチ１４は、端子１４ａ、１４ｂ、１４ｃを有する。端子１４ａは、ブリッジ１３に接続され、ブリッジ１３から信号を受ける。端子１４ｂは測定部２０に、端子１４ｃは測定部３０に接続される。端子１４ａは、端子１４ｂまたは端子１４ｃと、接続される。端子１４ａと端子１４ｂとが接続されると、信号出力部１２の出力する入力信号（このとき、入力信号の周波数をｆ１とする）は、測定部２０に与えられる。端子１４ａと端子１４ｃとが接続されると、信号出力部１２の出力する入力信号（このとき、入力信号の周波数をｆ２とする）は、測定部３０に与えられる。
【００３９】
内部ミキサ１６は、ブリッジ１３から与えられた信号を、内部ローカル信号と混合してから出力する。
【００４０】
レシーバ（Ｒｃｈ）１８（入力信号測定手段）は、内部ミキサ１６が出力した信号のＳパラメータを測定する。よって、レシーバ（Ｒｃｈ）１８は、ネットワークアナライザ１による測定系誤差要因の影響の生ずる前に、入力信号に関するＳパラメータを測定する。
【００４１】
測定部２０は、ブリッジ２３、内部ミキサ２６、レシーバ（Ａｃｈ）２８（被測定物信号測定手段）を有する。
【００４２】
ブリッジ２３は、信号源１０から与えられた信号をポート４ａに向けて出力する。さらに、ＤＵＴ２から反射されて戻ってきた信号およびＤＵＴ２を通過した信号を、ポート４ａを介して受け、内部ミキサ２６に供給する。なお、ＤＵＴ２から反射されて戻ってきた信号およびＤＵＴ２を通過した信号を被測定物信号という。
【００４３】
内部ミキサ２６は、ブリッジ２３から与えられた信号を、内部ローカル信号と混合してから出力する。
【００４４】
レシーバ（Ａｃｈ）２８（被測定物信号測定手段）は、内部ミキサ２６が出力した信号のＳパラメータを測定する。よって、レシーバ（Ａｃｈ）２８は、被測定物信号に関するＳパラメータを測定する。
【００４５】
測定部３０は、ブリッジ３３、内部ミキサ３６、レシーバ（Ｂｃｈ）３８（被測定物信号測定手段）を有する。
【００４６】
ブリッジ３３は、信号源１０から与えられた信号をポート４ｂに向けて出力する。さらに、ＤＵＴ２から反射されて戻ってきた信号およびＤＵＴ２を通過した信号を、ポート４ｂを介して受け、内部ミキサ３６に供給する。なお、ＤＵＴ２から反射されて戻ってきた信号およびＤＵＴ２を通過した信号を被測定物信号という。
【００４７】
内部ミキサ３６は、ブリッジ３３から与えられた信号を、内部ローカル信号と混合してから出力する。
【００４８】
レシーバ（Ｂｃｈ）３８（被測定物信号測定手段）は、内部ミキサ３６が出力した信号のＳパラメータを測定する。よって、レシーバ（Ｂｃｈ）３８は、被測定物信号に関するＳパラメータを測定する。
【００４９】
ＤＵＴ用ローカル信号発振器４０は、ローカル信号Ｌｏ（周波数ｆＬｏ）をＤＵＴ２に与える。
【００５０】
なお、図１に示す状態をシグナルフローグラフで表現したものを図３に示す。Ｍ１１、Ｍ２１、Ｍ１２、Ｍ２２はＤＵＴ２の真の（測定系誤差要因の影響を排除した）Ｍパラメータである。
【００５１】
図３（ａ）は入力信号（周波数ｆ１）を測定部２０を介してＤＵＴ２に与える状態（順経路という）を示し（端子１４ａと端子１４ｂとが接続される）、図３（ｂ）は入力信号（周波数ｆ２）を測定部３０を介してＤＵＴ２に与える状態（逆経路という）を示す（端子１４ａと端子１４ｃとが接続される）。
【００５２】
測定系誤差要因は、順経路（図３（ａ）参照）においては、Ｅｄ１（ブリッジの方向性に起因する誤差）、Ｅｉ１、Ｅｏ１（周波数トラッキングに起因する誤差）、Ｅｓ１（ソースマッチングに起因する誤差）、Ｅｇ２、ＥＬ２がある。
【００５３】
測定系誤差要因は、逆経路（図３（ｂ）参照）においては、Ｅｄ２（ブリッジの方向性に起因する誤差）、Ｅｉ２、Ｅｏ２（周波数トラッキングに起因する誤差）、Ｅｓ２（ソースマッチングに起因する誤差）、Ｅｇ１、ＥＬ１がある。
【００５４】
切替器５２は、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果を、順経路誤差要因取得部６０、誤差要因取得部９０および回路パラメータ測定部９８のいずれか一つに与える。
【００５５】
切替器５４は、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果を、逆経路誤差要因取得部７０、誤差要因取得部９０および回路パラメータ測定部９８のいずれか一つに与える。
【００５６】
切替器５６は、レシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を、順経路誤差要因取得部６０、逆経路誤差要因取得部７０、誤差要因取得部９０および回路パラメータ測定部９８のいずれか一つに与える。
【００５７】
順経路誤差要因取得部６０は、切替器５２を介して、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果を受ける。さらに、順経路誤差要因取得部６０は、切替器５６を介して、レシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を受ける。そして、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果に基づき、順経路（図３（ａ）参照）における、Ｅｄ１、Ｅｉ１・Ｅｏ１（＝Ｅｒ１）、Ｅｓ１、ＥＬ２を取得する。
【００５８】
図４は、順経路誤差要因取得部６０の構成を示す機能ブロック図である。順経路誤差要因取得部６０は、切替器６２、第一順経路誤差要因取得部６４、第二順経路誤差要因取得部６６を有する。
【００５９】
切替器６２は、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を、第一順経路誤差要因取得部６４あるいは第二順経路誤差要因取得部６６に送る。具体的には、ポート４ａに校正用具６（後述する）を接続したときは、第一順経路誤差要因取得部６４に、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を送る。ポート４ａにポート４ｂを接続したときは、第二順経路誤差要因取得部６６に、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を送る。
【００６０】
第一順経路誤差要因取得部６４は、Ｅｄ１、Ｅｉ１・Ｅｏ１（＝Ｅｒ１）、Ｅｓ１を取得する。校正用具６の端子６ａとポート４ａとが接続されている状態を図５に示す。校正用具６は、特開平１１−３８０５４号公報（特許文献１）に記載のようにオープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0）の三種類の状態を実現する周知のものである。
【００６１】
ポート４ａに校正用具６が接続されている状態をシグナルフローグラフで表現したものを図６に示す。ここで、レシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果はR1(f1)、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果はA1(f1)である。R1(f1)とA1(f1)との関係は、下記の数式の通りである。
【００６２】
【数１】
2005233883.tif 000003
ここで、校正用具６が三種類接続されるため、R1(f１)とA1(f1)との組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥｄ１、Ｅｉ１・Ｅｏ１（＝Ｅｒ１）、Ｅｓ１という三種類の変数である。
【００６３】
第二順経路誤差要因取得部６６は、第一順経路誤差要因取得部６４からＥｄ１、Ｅｉ１・Ｅｏ１（＝Ｅｒ１）、Ｅｓ１を受け、切替器６２を介して、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を受ける。そして、第二順経路誤差要因取得部６６はＥＬ２を取得する。
【００６４】
ポート４ａにポート４ｂを接続した状態を図７に示す。ポート４ａにポート４ｂを接続した状態をシグナルフローグラフで表現したものを図８に示す。ここで、レシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果はR1(f1)、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果はA1(f1)である。また、入力信号（周波数ｆ１）を測定部２０を介してポート４ａから出力しているものとする。R1(f1)とA1(f1)との関係は、下記の数式の通りである
【００６５】
【数２】
2005233883.tif 000004
ここで、Ｅｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１は既知なので、ＥＬ２を求めることができる。第二順経路誤差要因取得部６６は、Ｅｄ１、Ｅｉ１・Ｅｏ１（＝Ｅｒ１）、Ｅｓ１、ＥＬ２を測定系誤差要因記録部８０に出力する。
【００６６】
逆経路誤差要因取得部７０は、切替器５４を介して、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果を受ける。さらに、逆経路誤差要因取得部７０は、切替器５６を介して、レシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を受ける。そして、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果に基づき、逆経路（図３（ｂ）参照）における、Ｅｄ２、Ｅｉ２・Ｅｏ２（＝Ｅｒ２）、Ｅｓ２、ＥＬ１を取得する。
【００６７】
図９は、逆経路誤差要因取得部７０の構成を示す機能ブロック図である。逆経路誤差要因取得部７０は、切替器７２、第一逆経路誤差要因取得部７４、第二逆経路誤差要因取得部７６を有する。
【００６８】
切替器７２は、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を、第一逆経路誤差要因取得部７４あるいは第二逆経路誤差要因取得部７６に送る。具体的には、ポート４ｂに校正用具６を接続したときは、第一逆経路誤差要因取得部７４に、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を送る。ポート４ａにポート４ｂを接続したときは、第二逆経路誤差要因取得部７６に、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を送る。
【００６９】
第一逆経路誤差要因取得部７４は、Ｅｄ２、Ｅｉ２・Ｅｏ２（＝Ｅｒ２）、Ｅｓ２を取得する。校正用具６については、先に説明しており、説明を省略する。ここで、レシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果をR2(f2)、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果をB2(f2)であるとすれば、R2(f2)とB2(f2)との関係は、下記の数式の通りである。
【００７０】
【数３】
2005233883.tif 000005
ここで、校正用具６が三種類接続されるため、R2(f2)とB2(f2)との組み合わせは三種類求められる。よって、求められる変数もＥｄ２、Ｅｉ２・Ｅｏ２（＝Ｅｒ２）、Ｅｓ２という三種類の変数である。
【００７１】
第二逆経路誤差要因取得部７６は、第一逆経路誤差要因取得部７４からＥｄ２、Ｅｉ２・Ｅｏ２（＝Ｅｒ２）、Ｅｓ２を受け、切替器７２を介して、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果を受ける。そして、第二逆経路誤差要因取得部７６はＥＬ１を取得する。
【００７２】
ここで、レシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果をR2(f2)、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果をB2(f2)とすると、R2(f2)とB2(f2)との関係は、下記の数式の通りである。なお、入力信号（周波数ｆ２）を測定部３０を介してポート４ｂから出力しているものとする。
【００７３】
【数４】
2005233883.tif 000006
ここで、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２は既知なので、ＥＬ１を求めることができる。第二逆経路誤差要因取得部７６は、Ｅｄ２、Ｅｉ２・Ｅｏ２（＝Ｅｒ２）、Ｅｓ２、ＥＬ１を測定系誤差要因記録部８０に出力する。
【００７４】
測定系誤差要因記録部８０は、順経路誤差要因取得部６０からＥｄ１、Ｅｉ１・Ｅｏ１（＝Ｅｒ１）、Ｅｓ１、ＥＬ２を受け、逆経路誤差要因取得部７０からＥｄ２、Ｅｉ２・Ｅｏ２（＝Ｅｒ２）、Ｅｓ２、ＥＬ１を受けて記録する。Ｅｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１、ＥＬ２、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２、ＥＬ１は、被測定物の周波数変換とは無関係に生ずる測定系誤差要因である。
【００７５】
誤差要因取得部９０は、周波数変換によって生じる伝送トラッキングを取得する。なお、伝送トラッキングＥｔ２１、Ｅｔ１２は、それぞれ、Ｅｔ２１＝Ｅｉ１・Ｅｇ２、Ｅｔ１２＝Ｅｉ２・Ｅｇ１として定義される。伝送トラッキングは、被測定物の周波数変換によって生ずる測定系誤差要因である。
【００７６】
また、伝送トラッキングを取得する際には、図１１に示すように、校正用ミキサ８をネットワークアナライザ１に接続する。校正用ミキサ８は、ＤＵＴ２と、ほぼ同様なものである。ただし、第一係数をM11’およびM22’とし、第二係数をM12’およびM21’とすれば、|M12’|と|M21’|との比が一定、もし校正用ミキサ８として双方向性ミキサを使用する場合は|M12’|=|M21’|である。
【００７７】
このような校正用ミキサ８に、入力信号（周波数ｆ１）を測定部２０を介して与え、さらに、入力信号（周波数ｆ２）を測定部３０を介して与え、そのときのレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果に基づき、伝送トラッキングが取得される。
【００７８】
図１０は、誤差要因取得部９０の構成を示す機能ブロック図である。誤差要因取得部９０は、測定系誤差要因読出部９１０、切替器９２２、順経路測定データ取得部９２４、逆経路測定データ取得部９２６、回路パラメータ取得部（校正用係数出力手段）９２８、伝送トラッキング取得部９３０を有する。
【００７９】
測定系誤差要因読出部９１０は、測定系誤差要因記録部８０からＥｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１、ＥＬ２、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２、ＥＬ１を読み出して、伝送トラッキング取得部９３０に出力する。
【００８０】
切替器９２２は、レシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果を、順経路測定データ取得部９２４または逆経路測定データ取得部９２６に送る。具体的には、入力信号（周波数ｆ１）を測定部２０を介して与えたときは（端子１４ａと端子１４ｂとを接続する）、順経路測定データ取得部９２４に測定結果を送る。入力信号（周波数ｆ２）を測定部３０を介して与えたときは（端子１４ａと端子１４ｃとを接続する）、逆経路測定データ取得部９２６に測定結果を送る。
【００８１】
順経路測定データ取得部９２４は、切替器９２２から受けたレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果をR1(f1)、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果をA1(f1)、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果をB1(f2)として、回路パラメータ取得部９２８に出力する。
【００８２】
逆経路測定データ取得部９２６は、切替器９２２から受けたレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果をR2(f2)、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果をA2(f1)、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果をB2(f2)として、回路パラメータ取得部９２８に出力する。
【００８３】
回路パラメータ取得部（校正用係数出力手段）９２８は、順経路測定データ取得部９２４から受けたR1(f1)、A1(f1)、B1(f2)および逆経路測定データ取得部９２６から受けたR2(f2)、A2(f1)、B2(f2)に基づき、校正用ミキサ８のＭパラメータを取得する。
【００８４】
回路パラメータ取得部９２８により取得されたＭパラメータをM11m’、M12m’、M21m’およびM22m’とすると
M11m’ = A1(f1) / R1(f1)
M12m’ = A2(f1) / R2(f2)
M21m’ = B1(f2) / R1(f1)
M22m’ = B2(f2) / R2(f2)
となる。
【００８５】
伝送トラッキング取得部９３０は、回路パラメータ取得部９２８により取得された校正用ミキサ８のＭパラメータM11m’、M12m’、M21m’、M22m’と、測定系誤差要因読出部９１０により読み出されたＥｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１、ＥＬ２、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２、ＥＬ１を受けて、伝送トラッキングＥｔ２１、Ｅｔ１２を取得する。
【００８６】
まず、ネットワーアナライザ１を詳細に解析することにより、下記の式１のような関係があることがわかる。証明は、後述する。また、ＥＬ１、ＥＬ２のＬを小文字のｌと表記する。
【００８７】
【数５】
2005233883.tif 000007
よって、Ｘ＝Ｅｏ２／Ｅｏ１とおくと、伝送トラッキングＥｔ２１、Ｅｔ１２は下記の式２のように表される。また、ＥＬ１、ＥＬ２のＬを小文字のｌと表記する。
【００８８】
【数６】
2005233883.tif 000008
なお、Ｅｏ１は、被測定物信号がＤＵＴ２の第一端子２ａより周波数変換を伴わないで出力されてからレシーバ（Ａｃｈ）２８により受信されるまでに生じる誤差要因である。Ｅｏ２は、被測定物信号がＤＵＴ２の第二端子２ｂより周波数変換を伴わないで出力されてからレシーバ（Ｂｃｈ）３８により受信されるまでに生じる誤差要因である。
【００８９】
Ｅｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１、ＥＬ１、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２およびＥＬ２は、測定系誤差要因読出部９１０により読み出されたものを用いればよい。よって、Ｘがわかれば、伝送トラッキングＥｔ２１、Ｅｔ１２を求めることができる。
【００９０】
ここで、校正用ミキサ８のＭパラメータM11’、M12’、M21’、M22’と、回路パラメータ取得部９２８により取得された校正用ミキサ８のＭパラメータの測定結果M11m’、M12m’、M21m’、M22m’とは下記の式３のような関係がある。ただし、M11’等の’（ダッシュ）を省略し、M11等と表記している。また、ＥＬ１、ＥＬ２のＬを小文字のｌと表記する。
【００９１】
【数７】
2005233883.tif 000009
式２を式３に適用し、M21’／M12’を求めると、下記の式４のようになる。ただし、M11’等の’（ダッシュ）を省略し、M11等と表記している。また、ＥＬ１、ＥＬ２のＬを小文字のｌと表記する。
【００９２】
【数８】
2005233883.tif 000010
ここで、|M12’|=|M21’|なので、M12’ = M21’×eθである。ただし、θはローカル信号Ｌｏの位相により決まる定数である。式４をＸについて解き、下記の式５を得る。ただし、M11’等の’（ダッシュ）を省略し、M11等と表記している。また、ＥＬ１、ＥＬ２のＬを小文字のｌと表記する。
【００９３】
【数９】
2005233883.tif 000011
なお、順経路誤差要因取得部６０あるいは逆経路誤差要因取得部７０により測定系誤差要因を取得している間の任意の時点を基準とし、この基準時点におけるθを０とすれば、式５におけるθを定めることができる。
【００９４】
よって、測定系誤差要因記録部８０に記録されたＥｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１、ＥＬ１、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２、ＥＬ２と、回路パラメータ取得部（校正用係数出力手段）９２８が取得した校正用ミキサ８のＭパラメータM11m’、M12m’、M21m’、M22m’とに基づき、Ｘを求め（式５）、Ｘに基づき伝送トラッキングＥｔ２１、Ｅｔ１２を取得できる（式２）。
【００９５】
回路パラメータ測定部９８は、ＤＵＴ２の真のＭパラメータを取得する。なお、真のＭパラメータというのは、誤差要因の影響を除去したことを意味している。
【００９６】
また、ＤＵＴ２の真のＭパラメータを取得する際には、図１に示すように、ＤＵＴ２をネットワークアナライザ１に接続する。ＤＵＴ２に、入力信号（周波数ｆ１）を測定部２０を介して与え、さらに、入力信号（周波数ｆ２）を測定部３０を介して与え、そのときのレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果に基づき、ＤＵＴ２の真のＭパラメータが取得される。
【００９７】
図１２は、回路パラメータ測定部９８の構成を示す機能ブロック図である。回路パラメータ測定部９８は、測定系誤差要因読出部９８０、切替器９８２、順経路測定データ取得部９８４、逆経路測定データ取得部９８６、回路パラメータ取得部９８８、真値回路パラメータ取得部９８９を有する。
【００９８】
測定系誤差要因読出部９８０は、測定系誤差要因記録部８０からＥｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１、ＥＬ２、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２、ＥＬ１を読み出して、真値回路パラメータ取得部９８９に出力する。
【００９９】
切替器９８２は、レシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果を、順経路測定データ取得部９８４または逆経路測定データ取得部９８６に送る。具体的には、入力信号（周波数ｆ１）を測定部２０を介して与えたときは（端子１４ａと端子１４ｂとを接続する）、順経路測定データ取得部９８４に測定結果を送る。入力信号（周波数ｆ２）を測定部３０を介して与えたときは（端子１４ａと端子１４ｃとを接続する）、逆経路測定データ取得部９８６に測定結果を送る。
【０１００】
順経路測定データ取得部９８４は、切替器９８２から受けたレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果をR1(f1)、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果をA1(f1)、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果をB1(f2)として、回路パラメータ取得部９８８に出力する。
【０１０１】
逆経路測定データ取得部９８６は、切替器９８２から受けたレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果をR2(f2)、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果をA2(f1)、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果をB2(f2)として、回路パラメータ取得部９８８に出力する。
【０１０２】
回路パラメータ取得部９８８は、順経路測定データ取得部９８４から受けたR1(f1)、A1(f1)、B1(f2)および逆経路測定データ取得部９８６から受けたR2(f2)、A2(f1)、B2(f2)に基づき、ＤＵＴ２のＭパラメータを取得する。
【０１０３】
回路パラメータ取得部９８８により取得されたＭパラメータをM11m、M12m、M21mおよびM22mとすると
M11m = A1(f1) / R1(f1)
M12m = A2(f1) / R2(f2)
M21m = B1(f2) / R1(f1)
M22m = B2(f2) / R2(f2)
となる。
【０１０４】
真値回路パラメータ取得部９８９は、回路パラメータ取得部９８８により取得されたＤＵＴ２のＭパラメータM11m、M12m、M21m、M22mと、測定系誤差要因読出部９８０により読み出されたＥｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１、ＥＬ２、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２、ＥＬ１と、誤差要因取得部９０により取得された伝送トラッキングＥｔ２１、Ｅｔ１２を受けて、ＤＵＴ２の真のＭパラメータM11、M12、M21、M22を取得する。
【０１０５】
ＤＵＴ２の真のＭパラメータM11、M12、M21、M22は式３により求めることができる。
【０１０６】
次に、本発明の実施形態の動作を説明する。図１３は、本発明の実施形態の動作を示すフローチャートである。
【０１０７】
まず、ネットワークアナライザ１の測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓ、ＥＬ、Ｅｔ）を取得する（Ｓ１０）。なお、ＥｄはＥｄ１およびＥｄ２を、ＥｒはＥｒ１およびＥｒ２を、ＥｓはＥｓ１およびＥｓ２を、ＥＬはＥＬ１およびＥＬ２を、ＥｔはＥｔ２１およびＥｔ１２をまとめて表記したものである。
【０１０８】
次に、ネットワークアナライザ１にＤＵＴ２を接続して、ＤＵＴ２のＭパラメータを測定する（Ｓ２０）。
【０１０９】
図１４は、ネットワークアナライザ１の測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓ、ＥＬ、Ｅｔ）の取得の手順を示すフローチャートである。
【０１１０】
まず、校正用具６を使用して、Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓを測定する（Ｓ１０２）。
【０１１１】
詳細には、まず、ポート４ａに三種類（オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0））の校正用具６を接続する。このときの、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果が、切替器６２を介して、第一順経路誤差要因取得部６４に与えられる。第一順経路誤差要因取得部６４は、Ｅｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１を求める。
【０１１２】
そして、ポート４ｂに三種類（オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷Z0））の校正用具６を接続する。このときの、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果が、切替器７２を介して、第一逆経路誤差要因取得部７４に与えられる。第一逆経路誤差要因取得部７４は、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２を求める。
【０１１３】
次に、ポート４ａとポート４ｂとを直結して、ＥＬを測定する（Ｓ１０４）。
【０１１４】
詳細には、入力信号（周波数ｆ１）を測定部２０を介してポート４ａから出力する。このときの、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果が、切替器６２を介して、第二順経路誤差要因取得部６６に与えられる。第二順経路誤差要因取得部６６は、ＥＬ２を求める。第二順経路誤差要因取得部６６は、Ｅｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１、ＥＬ２を測定系誤差要因記録部８０に出力する。
【０１１５】
そして、入力信号（周波数ｆ２）を測定部３０を介してポート４ｂから出力する。このときの、レシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果およびレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果が、切替器７２を介して、第二逆経路誤差要因取得部７６に与えられる。第二逆経路誤差要因取得部７６は、ＥＬ１を求める。第二逆経路誤差要因取得部７６は、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２、ＥＬ１を測定系誤差要因記録部８０に出力する。
【０１１６】
次に、校正用ミキサ８をネットワークアナライザ１に接続して、Ｒ、Ａ、Ｂを測定する（Ｓ１０６）。なお、ＲはR1(f1)およびR2(f2)、ＡはA1(f1)およびA2(f1)、ＢはB1(f2)およびB2(f2)をまとめて表記したものである。
【０１１７】
詳細には、入力信号（周波数ｆ１）を測定部２０を介して与える。そのときのレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果が、切替器９２２を介して、順経路測定データ取得部９２４に与えられる。順経路測定データ取得部９２４は、R1(f1)、A1(f1)、B1(f2)を、回路パラメータ取得部９２８に出力する。
【０１１８】
そして、入力信号（周波数ｆ２）を測定部３０を介して与える。そのときのレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果が、切替器９２２を介して、逆経路測定データ取得部９２６に与えられる。逆経路測定データ取得部９２６は、R2(f2)、A2(f1)、B2(f2)を、回路パラメータ取得部９２８に出力する。
【０１１９】
回路パラメータ取得部９２８は、校正用ミキサ８のＭパラメータM11m’、M12m’、M21m’およびM22m’を求める。
【０１２０】
最後に、伝送トラッキング取得部９３０は、回路パラメータ取得部９２８により取得された校正用ミキサ８のＭパラメータM11m’、M12m’、M21m’、M22m’と、測定系誤差要因読出部９１０により読み出されたＥｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１、ＥＬ２、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２、ＥＬ１を受けて、伝送トラッキングＥｔ２１、Ｅｔ１２を取得する（Ｓ１０８）。
【０１２１】
具体的には、式５によりＸを求め、式２に代入すれば、伝送トラッキングＥｔ２１、Ｅｔ１２を取得できる。
【０１２２】
図１５は、ＤＵＴ２のＭパラメータの取得の手順を示すフローチャートである。
【０１２３】
まず、ＤＵＴ２をネットワークアナライザ１に接続し、Ｒ、Ａ、Ｂを測定する（Ｓ２０２）。
【０１２４】
詳細には、入力信号（周波数ｆ１）を測定部２０を介して与える。そのときのレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果が、切替器９８２を介して、順経路測定データ取得部９８４に与えられる。順経路測定データ取得部９８４は、R1(f1)、A1(f1)、B1(f2)を、回路パラメータ取得部９８８に出力する。
【０１２５】
入力信号（周波数ｆ２）を測定部３０を介して与える。そのときのレシーバ（Ｒｃｈ）１８の測定結果、レシーバ（Ａｃｈ）２８の測定結果およびレシーバ（Ｂｃｈ）３８の測定結果が、切替器９８２を介して、逆経路測定データ取得部９８６に与えられる。逆経路測定データ取得部９８６は、R2(f2)、A2(f1)、B2(f2)を、回路パラメータ取得部９８８に出力する。
【０１２６】
次に、回路パラメータ取得部９８８は、ＤＵＴ２のＭパラメータM11m、M12m、M21mおよびM22mを決定する（Ｓ２０４）。
【０１２７】
最後に、真値回路パラメータ取得部９８９は、回路パラメータ取得部９８８により取得されたＤＵＴ２のＭパラメータM11m、M12m、M21m、M22mと、測定系誤差要因読出部９８０により読み出されたＥｄ１、Ｅｒ１、Ｅｓ１、ＥＬ２、Ｅｄ２、Ｅｒ２、Ｅｓ２、ＥＬ１と、誤差要因取得部９０により取得された伝送トラッキングＥｔ２１、Ｅｔ１２を受けて、ＤＵＴ２の真のＭパラメータM11、M12、M21、M22を取得する（Ｓ２０６）。
【０１２８】
本発明の実施形態によれば、伝送トラッキングＥｔ２１、Ｅｔ１２を求めるために、（１）ポート４ａに校正用具６を接続し、ポート４ｂに校正用具６を接続する、（２）ポート４ａおよびポート４ｂを直結する、（３）校正用ミキサ８をポート４ａおよびポート４ｂに接続する、といった位相を取得できるような工程を行なうので、伝送トラッキング誤差の位相が取得できるようにして、測定系の誤差を補正することができる。
【０１２９】
なお、本発明の実施形態においては、ネットワークアナライザ１が入力信号を出力し、ＤＵＴ２からの被測定物信号を受けるためのポートが２ポート（ポート４ａ、４ｂ）のものを説明した。しかし、このようなポートが３個以上あってもかまわない。
【０１３０】
例えば、図１６に示すように、ポート４ａ、４ｂの他に、ポート４ｄ、４ｅがあってもよい。図１６に示す変形例（その１）は、ポート４ｄ、４ｅ、スイッチ１４の端子１４ｄ、１４ｅ、ブリッジ１２３、１３３、内部ミキサ１２６、１３６、レシーバ（Ｄｃｈ）１２８（被測定物信号測定手段）、レシーバ（Ｃｃｈ）１３８（被測定物信号測定手段）がネットワークアナライザ１に新たに加わったものである。他の部分は、先に説明した通りである。なお、図１６においては、ＤＵＴ用ローカル信号発振器４０、切替器５２、５４、５６、順経路誤差要因取得部６０、逆経路誤差要因取得部７０、測定系誤差要因記録部８０、誤差要因取得部９０、回路パラメータ測定部９８を図示の便宜上、図示省略している。
【０１３１】
スイッチ１４の端子１４ｄ、１４ｅは、ブリッジ１３３、１２３に接続されている。
【０１３２】
ブリッジ１２３、１３３は、信号源１０から与えられた信号をポート４ｅ、４ｄに向けて出力する。さらに、被測定物から反射されて戻ってきた信号および被測定物を通過した信号を、ポート４ｅ、４ｄを介して受け、内部ミキサ１２６、１３６に供給する。
【０１３３】
内部ミキサ１２６、１３６は、ブリッジ１２３、１３３から与えられた信号を、内部ローカル信号と混合してから出力する。
【０１３４】
レシーバ（Ｄｃｈ）１２８、レシーバ（Ｃｃｈ）１３８は、内部ミキサ１２６、１３６が出力した信号のＳパラメータを測定する。
【０１３５】
例えば、図１７に示すように、ポート４ａ、４ｂの他に、ポート４ｄ、４ｅがあってもよい。図１７に示す変形例（その２）は、図１６に示す変形例（その１）から、ブリッジ１３、内部ミキサ１６、レシーバ（Ｒｃｈ）１８を除去し、かわりに、ブリッジ１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅ、内部ミキサ１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅ、レシーバ（Ｒｃｈ）１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｅを有するものである。なお、図１７においては、ＤＵＴ用ローカル信号発振器４０、切替器５２、５４、５６、順経路誤差要因取得部６０、逆経路誤差要因取得部７０、測定系誤差要因記録部８０、誤差要因取得部９０、回路パラメータ測定部９８を図示の便宜上、図示省略している。
【０１３６】
スイッチ１４の端子１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、１４ｅは、ブリッジ１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅに接続されている。
【０１３７】
ブリッジ１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅは、信号源１０から与えられた信号を、ブリッジ２３、３３、１３３、１２３を介して、ポート４ａ、４ｂ、４ｄ、４ｅに向けて出力する。さらに、被測定物から反射されて戻ってきた信号および被測定物を通過した信号を、ポート４ａ、４ｂ、４ｄ、４ｅを介して受け、内部ミキサ１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅに供給する。
【０１３８】
内部ミキサ１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅは、ブリッジ１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅから与えられた信号を、内部ローカル信号と混合してから出力する。
【０１３９】
レシーバ（Ｒｃｈ）１８ｂ、１８ｃ、１８ｄ、１８ｅは、内部ミキサ１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅが出力した信号のＳパラメータを測定する。
【０１４０】
図１７に示す変形例（その２）によれば、Ｅｓ１＝ＥＬ１、Ｅｓ２＝ＥＬ２、…が成立するため、計測や演算が容易になる。
【０１４１】
また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。ＣＰＵ、ハードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取り装置に、上記の各部分（例えば順経路誤差要因取得部６０、逆経路誤差要因取得部７０、測定系誤差要因記録部８０および誤差要因取得部９０）を実現するプログラムを記録したメディアを読み取らせて、ハードディスクにインストールする。このような方法でも、上記の実施形態を実現できる。
[式１の証明]
SG1からPort1までの経路を、図１８のように、A,B,Cのブロックに分ける。SWを1:FWD側(信号を出力するとき)と2:REV側(信号を出力しないとき)に切り替えたとき、状態が変化するのはCブロックのみである。
【０１４２】
ここで、
Aブロックの反射係数と伝送係数をそれぞれAx,Ay
BブロックのＳパラメータをBij(i,j=1,2,3)
SWが1:FWD側のときのCブロックの反射係数と伝送係数をCx,Cy
SWが2:REV側のときのCブロックの反射係数をCz
とすると、FWDの系は、図１９に示すようなシグナルフローグラフで表され、REVの系は、図２０に示すようなシグナルフローグラフで表される。
【０１４３】
ここで、レシーバの検波値とPort1の信号、すなわち、
R1(f1),A1(f1),A2(f1),a1(f1),b1(f1),a1"(f1),b1"(f1)
の依存関係だけに着目するために、変数を集約すると、図１９に示すようなシグナルフローグラフは図２１のように、図２０に示すようなシグナルフローグラフは図２２のように変形できる。
【０１４４】
P11,P21,P12,P22,Qx,QyはそれぞれBij(i,j=1,2,3),Ax,Ayの関数であるが、その関数を書き下した式はこの後の計算で使わないため、明記しない。
【０１４５】
図２１に示すシグナルフローグラフが、図２３に示す測定系の誤差要因に対応する。図２２に示すシグナルフローグラフが、図２４に示す測定系の誤差要因に対応する。
【０１４６】
ゆえに、数式での対応関係は次のようになる。
【０１４７】
【数１０】
2005233883.tif 000012
したがって、以下のように計算される。
【０１４８】
【数１１】
2005233883.tif 000013
[式１の証明終わり]
【図面の簡単な説明】
【０１４９】
【図１】本発明の実施の形態に係るネットワークアナライザ１の構成を示したブロック図である。
【０１５０】
【図２】ＤＵＴ２の構成を示す図（図２（ａ））および第一端子２ａおよび第二端子２ｂに入出力される信号の関係を示す図（図２（ｂ））である。
【０１５１】
【図３】入力信号（周波数ｆ１）を測定部２０を介してＤＵＴ２に与える状態（順経路という）を示す図（端子１４ａと端子１４ｂとが接続される）（図３（ａ））、入力信号（周波数ｆ２）を測定部３０を介してＤＵＴ２に与える状態（逆経路という）を示す図（端子１４ａと端子１４ｃとが接続される）（図３（ｂ））である。
【０１５２】
【図４】順経路誤差要因取得部６０の構成を示す機能ブロック図である。
【０１５３】
【図５】校正用具６の端子６ａとポート４ａとが接続されている状態を示す図である。
【０１５４】
【図６】ポート４ａに校正用具６が接続されている状態を表現したシグナルフローグラフである。
【０１５５】
【図７】ポート４ａにポート４ｂを接続した状態を示す図である。
【０１５６】
【図８】ポート４ａにポート４ｂを接続した状態を表現したシグナルフローグラフである。
【０１５７】
【図９】逆経路誤差要因取得部７０の構成を示す機能ブロック図である。
【０１５８】
【図１０】誤差要因取得部９０の構成を示す機能ブロック図である。
【０１５９】
【図１１】ネットワークアナライザ１に接続した状態の校正用ミキサ８を示す図である。
【０１６０】
【図１２】回路パラメータ測定部９８の構成を示す機能ブロック図である。
【０１６１】
【図１３】本発明の実施形態の動作を示すフローチャートである。
【０１６２】
【図１４】ネットワークアナライザ１の測定系誤差要因（Ｅｄ、Ｅｒ、Ｅｓ、ＥＬ、Ｅｔ）の取得の手順を示すフローチャートである。
【０１６３】
【図１５】ＤＵＴ２のＭパラメータの取得の手順を示すフローチャートである。
【０１６４】
【図１６】変形例（その１）に係るネットワークアナライザ１の構成を示したブロック図である。
【０１６５】
【図１７】変形例（その２）に係るネットワークアナライザ１の構成を示したブロック図である。
【０１６６】
【図１８】式１を証明するために参照する、ネットワークアナライザ１の構成を示したブロック図である。
【０１６７】
【図１９】図１８に示すネットワークアナライザ１におけるFWDの系を表現したシグナルフローグラフである。
【０１６８】
【図２０】図１８に示すネットワークアナライザ１におけるREVの系を表現したシグナルフローグラフである。
【０１６９】
【図２１】図１９に示すようなシグナルフローグラフを変形したものである。
【０１７０】
【図２２】図２０に示すようなシグナルフローグラフを変形したものである。
【０１７１】
【図２３】図２１に示すシグナルフローグラフが対応する測定系の誤差要因を示す図である。
【０１７２】
【図２４】図２２に示すシグナルフローグラフが対応する測定系の誤差要因を示す図である。
【０１７３】
【図２５】従来技術にかかる被測定物（ＤＵＴ）の回路パラメータの測定法を説明するための図である。
【０１７４】
【図２６】従来技術にかかる周波数ｆ１＝ｆ２の場合の信号源１１０に関するシグナルフローグラフである。
【０１７５】
【図２７】従来技術にかかる周波数ｆ１が周波数ｆ２と等しくない場合の信号源１１０に関するシグナルフローグラフである。
【０１７６】
【図２８】従来技術にかかる信号源１１０と受信部１２０とを直結した場合のシグナルフローグラフである。
【符号の説明】
【０１７７】
１  ネットワークアナライザ
４ａ、４ｂ  ポート
４ｃ  ＤＵＴ用ローカル信号ポート
１０  信号源
１８  レシーバ（Ｒｃｈ）（入力信号測定手段）
２８  レシーバ（Ａｃｈ）（被測定物信号測定手段）
３８  レシーバ（Ｂｃｈ）（被測定物信号測定手段）
２０、３０  測定部
４０  ＤＵＴ用ローカル信号発振器
５２、５４、５６  切替器
６０  順経路誤差要因取得部
７０  逆経路誤差要因取得部
８０  測定系誤差要因記録部
９０  誤差要因取得部
９１０  測定系誤差要因読出部
９２２  切替器
９２４  順経路測定データ取得部
９２６  逆経路測定データ取得部
９２８  回路パラメータ取得部（校正用係数出力手段）
９３０  伝送トラッキング取得部
９８  回路パラメータ測定部
２  ＤＵＴ
２ａ  第一端子
２ｂ  第二端子
２Ｒ  ＲＦ信号処理部
２Ｉ  ＩＦ信号処理部
２Ｌ  ローカル信号処理部
【図１】
2005233883.tif 000014
【図２】
2005233883.tif 000015
【図３】
2005233883.tif 000016
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2005233883.tif 000021
【図９】
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【図１０】
2005233883.tif 000023
【図１１】
2005233883.tif 000024
【図１２】
2005233883.tif 000025
【図１３】
2005233883.tif 000026
【図１４】
2005233883.tif 000027
【図１５】
2005233883.tif 000028
【図１６】
2005233883.tif 000029
【図１７】
2005233883.tif 000030
【図１８】
2005233883.tif 000031
【図１９】
2005233883.tif 000032
【図２０】
2005233883.tif 000033
【図２１】
2005233883.tif 000034
【図２２】
2005233883.tif 000035
【図２３】
2005233883.tif 000036
【図２４】
2005233883.tif 000037
【図２５】
2005233883.tif 000038
【図２６】
2005233883.tif 000039
【図２７】
2005233883.tif 000040
【図２８】
2005233883.tif 000041