(57)【要約】【課題】氷点以下の温度で燃料電池を確実に起動させると同時に、反応ガスの使用量と電力消費量を必要最小限に抑える。【解決手段】メモリ２８が、前回のシステム停止時から起動時までの間の燃料電池セル１の抵抗及び温度の変化を記憶し、制御部２９が、メモリ２８内に記憶された燃料電池セル１の抵抗及び温度の変化の様子に従って、触媒層表面にどの程度水滴が付着しているかや、電解質膜の内部及び表面の水が凍結しているかを正確に判断し、この判断結果に従って燃料電池セル１の起動方法を決定する。これにより、氷点以下の温度で燃料電池セル１を確実に起動させると同時に、反応ガスの使用量と電力消費量を必要最小限に抑えることができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜電極接合体において反応ガスを電気化学反応させることによって電力を発生する燃料電池セルを備えた燃料電池システムであって、
前回のシステム停止時からシステム起動時までの間の燃料電池セルの抵抗及び温度の変化の関係に従って、燃料電池セルの起動方法を制御すること
を特徴とする燃料電池システム。
【請求項２】
膜電極接合体において反応ガスを電気化学反応させることによって電力を発生する燃料電池セルを備えた燃料電池システムであって、
前記燃料電池セルの抵抗及び温度を測定する測定手段と、
前回のシステム停止時からシステム起動時までの間の前記燃料電池セルの抵抗及び温度の変化を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された燃料電池セルの抵抗と温度の変化の関係に従って、燃料電池セルの起動方法を制御する制御手段と
を備えることを特徴とする燃料電池システム。
【請求項３】
前記制御手段は、前記燃料電池セルの抵抗から前記電解質膜の抵抗成分を算出し、絶対温度の逆数に対する膜抵抗成分の対数、若しくは、絶対温度の逆数に対する膜抵抗成分と温度の積の対数の微分値の変化の有無に基づいて、前記燃料電池セルの起動方法を決定することを特徴とする請求項２に記載の燃料電池システム。
【請求項４】
前記制御手段は、前記燃料電池セルの抵抗から前記電解質膜の抵抗成分を算出し、絶対温度の逆数に対する膜抵抗成分の対数、若しくは、絶対温度の逆数に対する膜抵抗成分と温度の積の対数の微分値の大きさに基づいて、前記燃料電池セルの起動方法を決定することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の燃料電池システム。
【請求項５】
前記燃料電池セルを加熱する加熱手段を備え、
前記制御手段は、前記対数若しくは微分値に変化があった場合、前記加熱手段を制御することにより前記燃料電池セルを加熱し、燃料電池セルが所定温度以上になるのに応じて燃料電池セルを起動することを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の燃料電池システム。
【請求項６】
前記反応ガスの流量と圧力の少なくとも一方を調整する調整手段を備え、
前記制御手段は、前記対数若しくは微分値の大きさが所定値以下である場合、前記調整手段を制御することにより、前記燃料電池セルに供給する反応ガスの流量と圧力の少なくとも一方を通常の起動時より増量すること特徴とする請求項４又は請求項５に記載の燃料電池システム。
【請求項７】
前記制御手段は、前記対数若しくは微分値の大きさが所定値以下である場合、前記燃料電池セルに反応ガスを供給してから電流の取り出しを開始するまでの時間を通常の起動時より長くすることを特徴とする請求項４から請求項６のうち、いずれか１項に記載の燃料電池システム。
【請求項８】
前記制御手段は、前記対数若しくは微分値の大きさ及び前記膜抵抗成分の大きさに応じて、燃料電池セルから取り出す電流量と電流を上げる速さを制御することを特徴とする請求項４から請求項７のうち、いずれか１項に記載の燃料電池システム。
【請求項９】
前記制御手段は、前記対数若しくは微分値の大きさが所定値以下である場合、前記燃料電池セルから取り出す電流値の大きさを通常の起動時より小さくすることを特徴とする請求項８に記載の燃料電池システム。
【請求項１０】
前記制御手段は、前記対数若しくは微分値の大きさが所定値以下、且つ、前記膜抵抗成分の大きさが所定値以上である場合、電流を上げる速さを通常の起動時より遅くすることを特徴とする請求項８又は請求項９に記載の燃料電池システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、燃料電池システムに関し、より詳しくは、氷点以下の温度で燃料電池を発電させる際の触媒層表面や電解質膜中の水や氷の量を正確に把握することを可能にする技術に係わる。
【背景技術】
【０００２】
一般に、水素ガスと酸素ガスを用いた電気化学反応によって発電する高分子電解質型燃料電池では、氷点以下の温度で発電を行おうとすると、電極近傍や電解質膜表面の水分が凍結するために、電極触媒反応部への反応ガスの到達が阻害され、反応ガスを供給しても電気化学反応が進行せずに燃料電池が起動できないことがある。
【０００３】
このような背景から、従来までの高分子電解質型燃料電池では、氷点以下の温度で発電を行う時には、エンドプレート等に取り付けたヒータを加熱することにより燃料電池スタックを暖めたり、燃料電池スタックに供給する反応ガスの流量や圧力を増やしたり、電流や電圧の取り出し方を工夫する等、燃料電池を確実に起動させるための種々の対策が取られている。
【０００４】
しかしながら、上記のような対策により氷点以下の温度で発電を行う場合には、多量の電力や反応ガスが消費され、燃料電池の起動途中で発電不能になることがある。このため、最近では、氷点以下の温度で燃料電池を確実に起動させると同時に、反応ガスの使用量と電力消費量を必要最小限に抑えるために、燃料電池スタック内の特に触媒表面や電解質膜中の水分量や凍結の有無に応じて燃料電池を起動する方法が検討されている。
【０００５】
ところで、電解質膜中の水分量を把握する方法の一つとして、セル抵抗を約１［ｋＨｚ］の高周波インピーダンスの実部成分として測定し、測定されたセル抵抗により電解質膜中の水分量を把握する方法が知られている（例えば、特許文献１を参照）。
【特許文献１】特開２０００−２４３４１８号公報（段落［００５４］，図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、一般に、セル抵抗は電解質膜中の水分量に対応しているのに過ぎないので、電解質膜中の水や触媒表面の水が凍結しているかどうかや、触媒表面の水分量がどの程度なのかをセル抵抗から把握することはできない。従って、セル抵抗は、氷点以下で燃料電池をより確実に起動させると同時に、反応ガスの使用量と電力消費量を必要最小限に抑えるための指標としては不十分である。
【０００７】
また、水分は必ずしも０［℃］で凍結するとは限らず、電解質膜中や触媒表面の水は過冷却現象や電解質膜の構成成分であるスルホン酸基との相互作用、あるいは、電解質膜中の水のクラスタサイズが小さいことによる表面張力の増加によって、凝固点が降下することが考えられる。また、発電停止時に、セル内に水素が残留していると、放置している間に空気中の酸素が混入することにより、触媒層で水が生成することや、セル内に閉じこめられた水蒸気が温度の低下と共に凝縮して触媒層に水滴が付着することが考えられる。従って、触媒層や電解質膜中の水や氷の量を正確に把握することは、氷点以下で燃料電池を確実に起動させると同時に、反応ガスの使用量と電力消費量を必要最小限に抑えるために、非常に重要な作業である。
【０００８】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、触媒層表面や電解質膜中の水や氷の量を正確に把握することにより、氷点以下の温度で燃料電池を確実に起動させると同時に、反応ガスの使用量と電力消費量を必要最小限に抑えることが可能な、燃料電池システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の課題を解決するために、本発明に係る燃料電池システムは、前回のシステム停止時から起動時までの間の燃料電池セルの抵抗及び温度の変化の関係に従って、燃料電池セルの起動方法を決定する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る燃料電池システムによれば、触媒層や電解質膜中の水や氷の量を正確に把握することができるので、氷点以下の温度で燃料電池を確実に起動させると同時に、反応ガスの使用量と電力消費量を必要最小限に抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明に係る燃料電池システムは、図１に示すような構成の燃料電池セルに反応ガスを供給して電力を取り出す処理に適用することができる。ここで、図１に示す燃料電池セル１は、パーフルオロスルホン酸ポリマーやナフィオン等の固体高分子材料により形成された電解質膜２と、この電解質膜２を挟持するように配設されたアノード（水素極）３及びカソード（空気極）４と、アノード３及びカソード４の外側に配設されたセパレータ５ａ，５ｂ及びエンドプレート６ａ，６ｂとを主な構成要素として備え、これらの構成要素はボルト７ａ，７ｂにより固定されている。また、上記アノード３及びカソード４はそれぞれ、触媒層８ａとガス拡散層９ａ、及び触媒層８ｂとガス拡散層９ｂを有し、触媒層８ａ，８ｂは、カーボン担持白金触媒とナフィオンにより形成されている。また、上記ガス拡散層９ａ，９ｂは、カーボンペーパーにより形成され、シリコンシール１０ａ，１０ｂによってその厚みが調整されている。また、セパレータ５ａ，５ｂにはそれぞれ、ガス拡散層９ａに水素を供給するための水素ガス流路１１、及びガス拡散層９ｂに空気を供給するための空気ガス流路１２が形成されている。また、エンドプレート６ａ，６ｂの外側には、燃料電池セル１を加熱するためのヒータ１３ａ，１３ｂが配設されている。なお、この実施形態では、電解質膜２、触媒層８ａ，８ｂ、及びガス拡散層９ａ，９ｂにより構成されるＭＥＡ（Membrane and Electrode Assembly：電極膜接合体）の面積は、２５［ｃｍ２］とした。また、この実施形態では、燃料電池は燃料電池セル１により構成されているとしたが、燃料電池セル１を複数積層することにより燃料電池を構成してもよい。そして、このような構成を有する燃料電池セル１では、水素ガス流路１１を介してアノード３に水素が供給されると、アノード３において以下の反応式に示す触媒層９ａの白金による触媒反応が生じる。
【数１】
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【００１２】
上記の触媒反応によって生じたプロトン（Ｈ＋）は、アノード３からカソード４側に向かって移動する。カソード４側に移動したプロトンは、空気ガス流路１２を介してカソード４に供給された空気（Ｏ２）と以下の反応式に示す触媒層９ｂの白金による触媒反応を起こし、水（Ｈ２Ｏ）を生成する。これにより、燃料電池セル１は起電力を生じる。
【数２】
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【００１３】
以下、図面を参照して、上記燃料電池セル１により構成した本発明の実施形態となる燃料電池システムの構成及び動作について説明する。
【００１４】
〔燃料電池システムの構成〕
始めに、図２を参照して、本発明の実施形態となる燃料電池システムの構成について説明する。
【００１５】
本発明の実施形態となる燃料電池システム２０は、図２に示すように、燃料電池セル１と、この燃料電池セル１への水素及び空気の供給量を制御するマスフローコントローラ（ＭＦＣ）２１ａ，２１ｂと、燃料電池セル１に設けられたヒータ１３に電力を供給するヒータ電源２２と、燃料電池セル１から取り出す電流量を制御する定電流制御回路２３と、定電流制御回路２３から出力された直流電流を交流電流に変換し、負荷２４に電力を供給するインバータ２５とを備える。
【００１６】
また、この燃料電池システム２０は、燃料電池セル１の温度（以下、セル温度と略記）を測定する温度計２６と、燃料電池セル１の抵抗（以下、セル抵抗と略記）を測定するセル抵抗測定器２７と、温度計２６及びセル抵抗測定器２７により測定されたセル温度及びセル抵抗を記憶するメモリ２８と、燃料電池システム２０の動作を制御する制御部２９とを有する。また、この実施形態では、セル温度は、燃料電池セル１を構成するセパレータ５ａ，５ｂに溝を形成し、この溝に熱電対を挿入することにより測定する。また、セル抵抗は、１［kHz］の高周波インピーダンスの実部成分として燃料電池セル１を構成するアノード３とカソード４間の抵抗を計測することにより測定する。なお、上記温度計２６及びセル抵抗測定器２７は、本発明に係る測定手段として機能する。また、上記メモリ２８は、本発明に係る記憶手段として機能する。
【００１７】
〔燃料電池システムの動作〕
このような構成を有する燃料電池システム２０では、制御部２９が、メモリ２８内に記憶された前回のシステム停止時から起動時までのセル温度とセル抵抗の変化の様子を参照して、セル温度の逆数と電解質膜２の抵抗成分（膜抵抗成分）の対数をプロットしたアレニウスプロットを作成し、作成したアレニウスプロットに従って以下に示す起動処理を実行することにより燃料電池セル１を起動する。
【００１８】
なお、上記膜抵抗成分は、セル抵抗から予め計測しておいた、温度依存性が少ない触媒層、ガス拡散層、及びセパレータ間の接触抵抗を差し引くことにより、算出することができる。また、上記アレニウスプロットは、図３に示すように、外気温度が氷点下になると、約０〜−１０［℃］の温度範囲で傾き（微分値）の大きさが変化する特性を有する。また、セル温度とセル抵抗の関係は、一般に、以下の数式により定義される（ＲＭ：膜抵抗成分，Ｒ０：ガス拡散層と触媒層の接触抵抗とセパレータやＧＤＬの抵抗の和，λ：電解質膜の含水率）。
【数３】
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【００１９】
以下、図４，図５に示すフローチャートを参照して、本発明の第１及び第２の実施形態となる起動処理を実行する際の制御部２９の動作について説明する。
【実施例１】
【００２０】
始めに、図４に示すフローチャートを参照して、本発明の第１の実施形態となる起動処理を実行する際の制御部２９の動作について説明する。
【００２１】
図４に示すフローチャートは、燃料電池セル１の起動命令が制御部２９に入力されることで開始となり、この起動処理はステップＳ１の処理に進む。なお、制御部２９は、前回のシステム停止後、燃料電池セル１が放置されている間のセル温度とセル抵抗を定期的に計測し、計測した値をメモリ２８に記憶しているものとする。
【００２２】
ステップＳ１の処理では、制御部２９が、メモリ２８内に記憶された情報を参照して、セル温度の逆数と膜抵抗成分の対数をプロットしたアレニウスプロットを算出する。なお、このステップＳ１の処理において、制御部２９は、膜抵抗成分の対数の代わりに、膜抵抗成分と温度の積の対数を用いてもよい。これにより、このステップＳ１の処理は完了し、この起動処理はステップＳ１の処理からステップＳ２の処理に進む。
【００２３】
ステップＳ２の処理では、制御部２９が、ステップＳ１の処理により算出したアレニウスプロットに傾き（微分値）の変化点があるか否かを判別する。そして、判別の結果、アレニウスプロットに傾きの変化点がない場合、制御部２９は、通常の起動モードで燃料電池セル１を起動すべく、起動処理をステップＳ２の処理からステップ６の処理に起動処理を進める。一方、アレニウスプロットに傾きの変化点がある場合には、制御部２９は、低温時の起動モードで燃料電池セル１を起動すべく、起動処理をステップＳ２の処理からステップＳ３の処理に進める。
【００２４】
ステップＳ３の処理では、制御部２９が、ヒータ電源２２を制御することによりエンドプレート６ａ，６ｂに設けられたヒータ１３ａ，１３ｂを加熱し、燃料電池セル１を加熱する。これにより、このステップＳ３の処理は完了し、この起動処理はステップＳ３の処理からステップＳ４の処理に進む。
【００２５】
ステップＳ４の処理では、制御部２９が、温度計２６を制御することにより、燃料電池セル１の温度を計測する。これにより、このステップＳ４の処理は完了し、この起動処理はステップＳ４の処理からステップＳ５の処理に進む。
【００２６】
ステップＳ５の処理では、制御部２９が、燃料電池セル１の温度を参照して、燃料電池セル１の温度が所定温度以上になったか否かを判別する。そして、燃料電池セル１の温度が所定温度以上になるのに応じて、制御部２９は、起動処理をステップＳ５の処理からステップＳ６の処理に進める。一方、燃料電池セル１の温度が所定温度以上になっていない場合には、制御部２９は、所定時間待機した後、起動処理をステップＳ５の処理からステップＳ４の処理に戻す。
【００２７】
なお、この実施形態では、上記所定温度は、０［℃］であるとするが、本発明はこれに限られることはなく、燃料電池セル１が発電を持続可能になる温度である限りどのような値であってもよい。また、傾きの変化点の温度が高い時は上記所定温度を高く、変化点の温度が低い時には上記所定温度を低く設定してもよい。
【００２８】
ステップＳ６の処理では、制御部２９が、ＭＦＣ２１ａ，２１ｂを制御することにより、燃料電池セル１への水素と空気の供給を開始し、燃料電池セル１を起動する。これにより、このステップＳ６の処理は完了し、この起動処理はステップＳ６の処理からステップＳ７の処理に進む。
【００２９】
ステップＳ７の処理では、制御部２９が、定電流制御回路２３を制御することにより、燃料電池セル１から直流電流の取り出しを開始する。これにより、一連の起動処理は終了する。
【００３０】
以上の説明から明らかなように、本発明の第１の実施形態となる起動処理によれば、メモリ２８が、前回のシステム停止時から起動時までの間の燃料電池セル１の抵抗及び温度の変化を記憶し、制御部２９が、メモリ２８内に記憶された燃料電池セル１の抵抗及び温度の変化の様子に従って、触媒層表面にどの程度水滴が付着しているかや、電解質膜の内部及び表面の水が凍結しているかを正確に判断し、この判断結果に従って燃料電池セル１の起動方法を決定するので、氷点以下の温度で燃料電池セル１を確実に起動させると同時に、反応ガスの使用量と電力消費量を必要最小限に抑えることができる。
【００３１】
また、本発明の第１の実施形態となる起動処理によれば、制御部２９が、絶対温度の逆数をｘ軸、膜抵抗成分の対数をｙ軸としてプロットしたアレニウスプロットを作成し、作成されたアレニウスプロットに傾きの変化点があるか否かを判別することにより、電解質膜の内部及び表面において水が凍結しているか否かを判断するので、氷点以下の温度で燃料電池をより確実に起動させると同時に、反応ガスの使用量と電力消費量を必要最小限に抑えることができる。
【００３２】
さらに、本発明の第１の実施形態となる起動処理によれば、アレニウスプロットに傾きの変化点がある場合、制御部２９が、低温時の起動モードとして、ヒータ電源２２を制御することによりエンドプレート６ａ，６ｂに設けられたヒータ１３ａ，１３ｂを加熱し、燃料電池セル１が所定温度になるまで加熱した後に燃料電池セル１を起動するので、氷点以下の温度においても、無駄な電力を消費することなく、燃料電池セル１を確実に起動させることができる。
【実施例２】
【００３３】
次に、図５に示すフローチャートを参照して、本発明の第２の実施形態となる起動処理を実行する際の制御部２９の動作について説明する。なお、図５に示すフローチャートは、図４に示すステップＳ２の処理において、アレニウスプロットに傾きの変化点があると判別された以後（ステップＳ３の処理以後）の処理である。また、図５に示すステップＳ１１〜ステップＳ１３の処理は、図４に示すステップＳ３〜ステップＳ５の処理と同じであるので、以下ではステップＳ１４の処理から本発明の第２の実施形態となる起動処理について説明する。
【００３４】
ステップＳ１４の処理では、制御部２９が、アレニウスプロットの傾きの大きさが所定値以下であるか否かを判別する。そして、判別の結果、アレニウスプロットの傾きの大きさが所定値以下でない場合、制御部２９は、ステップＳ１５の処理としてＭＦＣ２１ａ，２１ｂを制御して燃料電池セル１への水素と空気の供給を開始した後、起動処理をステップＳ１８の処理に進める。
【００３５】
一方、アレニウスプロットの傾きの大きさが所定以下である場合には、制御部２９は、
燃料電池セル１内に残留している水素が外部から侵入した酸素と反応して水を生成しながら温度が低下、若しくは、燃料電池セル１内の水蒸気が温度低下と共に凝結し、氷点以下の温度における起動時に触媒層に残留している水の量が多いと判断する。そして、制御部２９は、ステップＳ１６の処理としてＭＦＣ２１ａ，２１ｂを制御して水素と空気の流量を通常時よりも増量して燃料電池セル１に供給し、ステップＳ１７の処理として所定時間待機した後、起動処理をステップＳ１８の処理に進める。これにより、触媒層に存在する氷による水素や空気の供給不良を抑え、拡散分極（過電圧）の増大を抑えることができる。
【００３６】
ステップＳ１８の処理では、制御部２９が、アレニウスプロットの傾きと起動時の膜抵抗成分の大きさから、燃料電池セル１から取り出す電流量と電流を取り出す際に電流を上げる速さ（時間微分）を決定する。具体的には、アレニウスプロットの傾きが小さい場合、触媒層に氷が多く存在し、拡散分極が大きいと考えられるので、制御部２９は、取り出す電流量を小さくする。また、アレニウスプロットの傾きが小さく、膜抵抗成分が所定値以上である場合には、触媒層に氷が多く存在することに加えて、電解質膜が乾燥することによって電解質膜の抵抗による分極も大きいと考えられるので、制御部２９は、電流を上げる速度を遅くすることにより、電流を上げている間に発電によって生成された水を電解質膜に逆拡散させ、膜抵抗成分を小さくする。これにより、このステップＳ１８の処理は完了し、この起動処理はステップＳ１８の処理からステップＳ１９の処理に進む。
【００３７】
ステップＳ１９の処理では、制御部２９が、ステップＳ１８の処理において決定した取り出し電流量と電流を上げる速度で燃料電池セル１から電流を取り出すように定電流制御回路２３を制御する。これにより、一連の起動処理は完了する。
【００３８】
以上の説明から明らかなように、本発明の第２の実施形態となる起動処理によれば、制御部２９が、絶対温度の逆数をｘ軸、膜抵抗成分の対数をｙ軸としてプロットしたアレニウスプロットを作成し、作成されたアレニウスプロットの傾きの大きさが所定値以下であるか否かを判別することにより、触媒層や電解質膜表面の水や氷の分量を定性的に把握するので、氷点以下の温度で燃料電池セル１を確実に起動させると同時に、反応ガスの使用量と電力消費量を必要最小限に抑えることができる。
【００３９】
また、本発明の第２の実施形態となる起動処理によれば、アレニウスプロットの傾きの大きさが所定値以下である場合、制御部２９が、ＭＦＣ２１ａ，２１ｂを制御して水素と空気の流量を通常の起動時より増量して燃料電池セル１に供給するので、触媒層中の氷を取り除き、拡散分極による燃料電池セル１の電圧低下を防止できる。
【００４０】
また、本発明の第２の実施形態となる起動処理によれば、制御部２９が、ＭＦＣ２１ａ，２１ｂを制御して水素と空気の流量を通常の起動時より増量して燃料電池セル１に供給してから所定時間経過した後に燃料電池セル１から電流を取り出すように制御するので、反応ガスが触媒層まで十分に到達する前に燃料電池セル１の発電を開始してしまうことを防止できる。
【００４１】
さらに、本発明の第２の実施形態となる起動処理によれば、制御部２９が、アレニウスプロットの傾きと膜抵抗成分の大きさに応じて、燃料電池セル１から取り出す電流量と電流を取り出す際に電流を上げる速さを制御するので、氷点以下の温度で燃料電池セル１を起動する際に、燃料電池セル１が発電不能になることを防止すると共に、発電効率を向上させることができる。
【００４２】
以上、本発明者によってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論であることを付け加えておく。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施形態となる固体高分子型燃料電池の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の一実施形態となる燃料電池システムの構成を示すブロック図である。
【図３】アレニウスプロットの一例を示す図である。
【図４】本発明の第１の実施形態となる起動処理の流れを示すフローチャート図である。
【図５】本発明の第１の実施形態となる起動処理の流れを示すフローチャート図である。
【符号の説明】
【００４４】
１：燃料電池セル
１３：ヒータ
２１ａ，２１ｂ：マスフローコントローラ（ＭＦＣ）
２２：ヒータ電源
２３：定電流制御回路
２４：負荷
２５：インバータ
２６：温度計
２７：セル抵抗測定器
２８：メモリ
２９：制御部
【図１】
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【図２】
2005150020.tif 000007
【図３】
2005150020.tif 000008
【図４】
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【図５】
2005150020.tif 000010