(57)【要約】【課題】  簡易な構成により装置コストおよび製造コストの低減化を図りつつ、精度よく発泡剤としての流体を発泡成形装置へ供給することのできる流体供給装置を提供すること。【解決手段】  液化二酸化炭素が充填されるボンベ３、モータ１６が接続される定量ポンプ４および流量計５を順次接続する供給ライン６と、供給ライン６における流量計５の下流側から分岐され、供給ライン６におけるボンベ３と定量ポンプ４との間に接続される循環ライン７とを備える。また、液化二酸化炭素を循環ライン７を介して循環させる場合には、第２開閉制御弁３２の上流側に設けられている圧力センサ３１が各ボンベ３の供給圧力以上の所定圧力を検知したときに、ＣＰＵ２４が第２開閉制御弁３２を開放する。これによって、供給ライン６における液化二酸化炭素の気化を有効に防止することができる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発泡成形装置に、発泡剤としての流体を供給するための流体供給装置において、
発泡剤としての流体を貯蔵するタンクと、
前記タンクから発泡剤としての流体を供給するための供給手段と、
前記供給手段から供給される発泡剤としての流体の供給量を測定するための供給量測定手段と、
前記供給量測定手段によって測定された供給量に基づいて、前記供給手段の発泡剤としての流体の供給量を制御する制御手段と
を備えていることを特徴とする、流体供給装置。
【請求項２】
前記タンク、前記供給手段および前記供給量測定手段が順次接続される供給ラインと、
前記供給ラインにおける前記供給量測定手段の下流側から分岐され、前記供給ラインにおける前記タンクと前記供給手段との間に接続される循環ラインとを備えていることを特徴とする、請求項１に記載の流体供給装置。
【請求項３】
前記供給ラインにおける前記循環ラインの分岐部分の下流側に設けられ、前記発泡成形装置に対して発泡剤としての流体を供給または供給停止するための第１弁と、
前記循環ラインの途中に設けられ、発泡剤としての流体を循環または循環停止するための第２弁と、
発泡剤としての流体を前記発泡成形装置に供給する場合には、前記第１弁を開放し、前記第２弁を閉鎖し、発泡剤としての流体を前記供給ラインおよび前記循環ラインにおいて循環させる場合には、前記第１弁を閉鎖し、前記第２弁を開放するための制御手段とを備えていることを特徴とする、請求項２に記載の流体供給装置。
【請求項４】
前記第１弁を閉鎖し、前記第２弁を開放して、発泡剤としての流体を前記供給ラインおよび前記循環ラインにおいて循環させる場合には、前記供給手段が、昇圧手段を兼ねることを特徴とする、請求項３に記載の流体供給装置。
【請求項５】
前記循環ラインにおける前記第２弁の上流側には、管内圧力を検知するための圧力検知手段が設けられ、
前記制御手段は、発泡剤としての流体の前記供給ラインおよび前記循環ラインにおける循環を開始するときには、前記圧力検知手段の検知圧力が、前記タンクから前記供給ラインへ発泡剤としての流体を供給する供給圧力以上である場合に、前記第２弁を開放することを特徴とする、請求項３または４に記載の流体供給装置。
【請求項６】
前記供給ラインにおける前記タンクと前記循環ラインの接続部分との間には、逆止弁が設けられていることを特徴とする、請求項３ないし５のいずれかに記載の流体供給装置。
【請求項７】
前記供給ラインおよび／または前記循環ラインには、管内圧力を調節するための背圧弁が設けられていることを特徴とする、請求項２ないし６のいずれかに記載の流体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体供給装置、詳しくは、マイクロセルラーフォームを発泡成形するための発泡成形装置に装備される流体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、微細なマイクロセルからなるマイクロセルラーフォームを、発泡剤として超臨界状態の二酸化炭素を用いて、押出成形、射出成形あるいは反応射出成形などの各種の成形方法により発泡成形することが、種々検討されている（たとえば、特許文献１、特許文献２参照。）。
このような、マイクロセルラーフォームを成形するための発泡成形装置には、超臨界状態の二酸化炭素を供給するための供給装置が装備されている。
【０００３】
この供給装置は、たとえば、発泡剤として、二酸化炭素ガスを用いる場合には、ガスタンクと、昇圧ポンプと、流量調節弁とを備え、ガスタンクに貯蔵される二酸化炭素ガスを、昇圧ポンプによって昇圧し、流量調節弁で供給量を調節しながら、発泡成形装置へ定量供給するようにしている。また、この場合には、昇圧ポンプでの脈動を抑制するために、昇圧ポンプの下流側には、バッファータンクおよび圧力調整弁が設けられている。
【０００４】
また、たとえば、発泡剤として、液化二酸化炭素を用いる場合には、液化タンクと、送液ポンプとを備え、液化タンクに貯蔵される液化二酸化炭素を、回転数が固定された送液ポンプによって、発泡成形装置へ定量供給するようにしている。また、この場合においては、発泡成形装置への供給圧力を設定するために、背圧弁が設けられている。
【特許文献１】特表２００２−５０１４４３号公報
【特許文献２】特開２００２−１７８３５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかるに、二酸化炭素ガスを用いる供給装置では、昇圧ポンプによるガスの昇圧と、流量調節弁による供給量の調節とをそれぞれ独立して行なう必要があり、さらには、昇圧ポンプでの脈動を抑制するためのバッファータンクや圧力調整弁が必要となるために、装置コストが上昇し、制御も煩雑になるという不具合がある。
また、液化二酸化炭素を用いる供給装置では、送液ポンプの回転数が固定されているため、液化二酸化炭素が一部気化したり、あるいは、周囲の温度変化や液化タンクなどに起因して、不可避的に供給量が不安定となる。
【０００６】
また、発泡成形装置に対して任意のタイミングで液化二酸化炭素を供給するためには、常に圧力および供給量を安定させておく必要があるため、背圧弁から液化二酸化炭素を大気に開放して、圧力および供給量を安定させるようにしている。しかし、液化二酸化炭素を大気へ開放すると、発泡剤の不必要な消費を生じ、製造コストが上昇するという不具合がある。一方、このような不具合を防止するためには、液化二酸化炭素を循環させることが検討されるが、循環ラインを設ける場合には、液化二酸化炭素の気化を防止すべく、能力の大きな冷却装置を装備する必要がある。
【０００７】
本発明の目的は、簡易な構成により、装置コストおよび製造コストの低減化を図りつつ、精度よく発泡剤としての流体を発泡成形装置へ供給することのできる、流体供給装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、発泡成形装置に、発泡剤としての流体を供給するための流体供給装置において、発泡剤としての流体を貯蔵するタンクと、前記タンクから発泡剤としての流体を供給するための供給手段と、前記供給手段から供給される発泡剤としての流体の供給量を測定するための供給量測定手段と、前記供給量測定手段によって測定された供給量に基づいて、前記供給手段の発泡剤としての流体の供給量を制御する制御手段とを備えていることを特徴としている。
【０００９】
このような構成によると、制御手段が、供給量測定手段によって測定された供給量に基づいて、供給手段の発泡剤としての流体の供給量を制御するので、簡易な構成により、発泡剤としての流体を発泡成形装置へ安定して供給することができる。したがって、装置コストおよび製造コストの低減化および小型化を図りつつ、精度よく発泡剤としての流体を発泡成形装置へ供給することができる。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記タンク、前記供給手段および前記供給量測定手段が順次接続される供給ラインと、前記供給ラインにおける前記供給量測定手段の下流側から分岐され、前記供給ラインにおける前記タンクと前記供給手段との間に接続される循環ラインとを備えていることを特徴としている。
このような構成によると、発泡剤としての流体を発泡成形装置へ供給するときには、発泡剤としての流体を供給ラインから発泡成形装置へ供給できる一方、発泡剤としての流体を発泡成形装置へ供給しないときには、発泡剤としての流体を、大気へ開放することなく、供給ラインおよび循環ラインにおいて循環させることができる。そのため、発泡剤としての流体の不必要な消費を防止して、製造コストの上昇を抑制することができる。
【００１１】
また、請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記供給ラインにおける前記循環ラインの分岐部分の下流側に設けられ、前記発泡成形装置に対して発泡剤としての流体を供給または供給停止するための第１弁と、前記循環ラインの途中に設けられ、発泡剤としての流体を循環または循環停止するための第２弁と、発泡剤としての流体を前記発泡成形装置に供給する場合には、前記第１弁を開放し、前記第２弁を閉鎖し、発泡剤としての流体を前記供給ラインおよび前記循環ラインにおいて循環させる場合には、前記第１弁を閉鎖し、前記第２弁を開放するための制御手段とを備えていることを特徴としている。
【００１２】
このような構成によると、発泡剤としての流体を前記発泡成形装置に供給する場合には、制御手段が、第１弁を開放し、第２弁を閉鎖する。また、発泡剤としての流体を供給ラインおよび循環ラインにおいて循環させる場合には、制御手段が、第１弁を閉鎖し、第２弁を開放する。そのため、制御手段による簡易な弁制御によって、発泡剤としての流体の発泡成形装置への供給、および、発泡剤としての流体の供給ラインおよび循環ラインにおける循環を、選択的に達成することができる。
【００１３】
また、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載の発明において、前記第１弁を閉鎖し、前記第２弁を開放して、発泡剤としての流体を前記供給ラインおよび前記循環ラインにおいて循環させる場合には、前記供給手段が、昇圧手段を兼ねることを特徴としている。
このような構成によると、供給手段が、昇圧手段を兼ねるので、簡易な構成により、発泡剤としての流体を昇圧することができる。
【００１４】
また、請求項５に記載の発明は、請求項３または４に記載の発明において、前記循環ラインにおける前記第２弁の上流側には、管内圧力を検知するための圧力検知手段が設けられ、前記制御手段は、発泡剤としての流体の前記供給ラインおよび前記循環ラインにおける循環を開始するときには、前記圧力検知手段の検知圧力が、前記タンクから前記供給ラインへ発泡剤としての流体を供給する供給圧力以上である場合に、前記第２弁を開放することを特徴としている。
【００１５】
このような構成によると、発泡剤としての流体の供給ラインおよび循環ラインにおける循環の開始時において、制御手段が、圧力検知手段の検知圧力がタンクから供給ラインへ発泡剤としての流体を供給する供給圧力以上である場合に、第２弁を開放する。そのため、発泡剤としての流体の供給ラインおよび循環ラインにおける循環においては、循環ラインから供給ラインへ流入する発泡剤としての流体の圧力が、タンクから供給される発泡剤としての流体の圧力よりも高くなるので、供給ラインにおける発泡剤としての流体の気化を、低コストで有効に防止することができる。
【００１６】
また、請求項６に記載の発明は、請求項３ないし５のいずれかに記載の発明において、前記供給ラインにおける前記タンクと前記循環ラインの接続部分との間には、逆止弁が設けられていることを特徴としている。
このような構成によると、逆止弁により、供給ライン内の発泡剤としての流体の逆流を防止して、管内圧力を保持することができる。そのため、安定した発泡剤としての流体の供給を達成することができる。
【００１７】
また、請求項７に記載の発明は、請求項２ないし６のいずれかに記載の発明において、前記供給ラインおよび／または前記循環ラインには、管内圧力を調節するための背圧弁が設けられていることを特徴としている。
このような構成によると、背圧弁により、供給ライン内および／または循環ライン内の発泡剤としての流体を圧縮して、管内圧力を調節することができる。そのため、安定した発泡剤としての流体の供給を達成することができる。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に記載の発明によれば、装置コストおよび製造コストの低減化および小型化を図りつつ、精度よく発泡剤としての流体を発泡成形装置へ供給することができる。
請求項２に記載の発明によれば、発泡剤としての流体の不必要な消費を防止して、製造コストの上昇を抑制することができる。
請求項３に記載の発明によれば、制御手段による簡易な弁制御によって、発泡剤としての流体の発泡成形装置への供給、および、発泡剤としての流体の供給ラインおよび循環ラインにおける循環を、選択的に達成することができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、簡易な構成により、発泡剤としての流体を昇圧することができる。
請求項５に記載の発明によれば、供給ラインにおける発泡剤としての流体の気化を、低コストで有効に防止することができる。
請求項６に記載の発明によれば、安定した発泡剤としての流体の供給を達成することができる。
【００２０】
請求項７に記載の発明によれば、安定した発泡剤としての流体の供給を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明の流体供給装置の一実施形態としての発泡剤供給装置を示す概略構成図である。なお、以下の説明において、「上流側」、「下流側」は、発泡剤としての流体の流れ方向に基づいている。
図１において、この発泡剤供給装置１は、発泡剤としての流体としての液化ガス、より具体的には、液化二酸化炭素を、連続的もしくは間欠的に、高圧・超臨界状態で発泡成形装置２に、精度よく供給するものであって、タンクとしてのボンベ３、供給手段および昇圧手段としての定量ポンプ４、および、供給量測定手段としての流量計５が、上流側から下流側に向かって順次接続されている配管からなる供給ライン６と、供給ライン６における流量計５の下流側から分岐され、供給ライン６におけるボンベ３と定量ポンプ４との間に接続される配管からなる循環ライン７とを備えている。
【００２２】
ボンベ３は、たとえば、２つ設けられており、供給ライン６にそれぞれ接続されている。これらボンベ３には、液化二酸化炭素が圧縮状態で充填されており、所定の供給圧力で、供給ライン６へ液化二酸化炭素を供給できるように構成されている。
また、供給ライン６において、各ボンベ３の下流側であって、循環ライン７が接続される接続部分８の上流側には、逆止弁９が各ボンベ３に対応してそれぞれ接続されている。
【００２３】
また、供給ライン６において、接続部分８の下流側であって、定量ポンプ４の上流側には、冷凍機１０が接続されている。冷凍機１０は、供給ライン６の管内の液化二酸化炭素を冷却して気化を防止する。
また、供給ライン６において、接続部分８の下流側であって、冷凍機１０の上流側には、安全弁１１が供給ライン６から分岐するように接続されている。この安全弁１１は、常時閉鎖され、供給ライン６の管内圧力が設定圧力以上になると、開放される。
【００２４】
また、供給ライン６において、冷凍機１０の下流側であって、定量ポンプ４の上流側には、供給ライン６から分岐するように設けられる大気開放弁１２と、圧力センサ１３と、開閉弁１４と、フィルタ１５とが、上流側から下流側に向かって順次接続されている。
定量ポンプ４には、公知の送液ポンプが用いられ、ＣＰＵ２４が接続されるモータ１６が接続されている。このモータ１６は、ＣＰＵ２４によってインバータ制御され、回転数が設定される。定量ポンプ４では、モータ１６の回転数によって、液化二酸化炭素の供給量が調節される。
【００２５】
また、供給ライン６において、定量ポンプ４の下流側であって、流量計５の上流側には、供給ライン６から分岐するように設けられる圧力センサ３３、および、供給ライン６と圧力センサ３３との間から分岐される安全弁１８および大気開放弁１７と、開閉弁１９とが、上流側から下流側に向かって順次接続されている。安全弁１８は、常時閉鎖され、供給ライン６の管内圧力が設定圧力以上になると、開放される。
【００２６】
流量計５は、公知の流量計が用いられ、ＣＰＵ２４に接続されており、ＣＰＵ２４では、流量計５によって測定された供給量に基づいて、モータ１６の回転数をインバータ制御して、定量ポンプ４から供給する液化二酸化炭素の供給量を調節している。
また、供給ライン６において、流量計５の下流側であって、循環ライン７が分岐される分岐部分２０の上流側には、開閉弁２１、フィルタ２２および背圧弁２３が、上流側から下流側に向かって順次接続されている。背圧弁２３は、供給ライン６の管内圧力を調節して、液化二酸化炭素の密度を高めて、高圧・超臨界状態を保持している。
【００２７】
また、供給ライン６において、分岐部分２０には、圧力センサ２５が接続されており、その下流側には、第１弁としての第１開閉制御弁２６、逆止弁２７、開閉弁２８が、上流側から下流側に向かって順次接続されている。
また、開閉弁２８の下流側において、この供給ライン６は、発泡成形装置２に接続されている。発泡成形装置２は、特に制限されず、マイクロセルラーフォームを発泡成形するための成形装置であって、押出成形機、射出成形機、反応射出（ＲＩＭ）成形機などが含まれる。
【００２８】
第１開閉制御弁２６は、ＣＰＵ２４に接続されており、ＣＰＵ２４の制御によって開閉され、発泡成形装置２に対して液化二酸化炭素を供給または供給停止する。
循環ライン７には、大気開放弁２９、背圧弁３０、圧力検知手段としての圧力センサ３１、第２弁としての第２開閉制御弁３２が、上流側から下流側に向かって順次接続されている。
【００２９】
背圧弁３０は、循環ライン７の管内圧力を調節して、液化二酸化炭素の密度を高めて、高圧・超臨界状態を保持している。
第２開閉制御弁３２は、ＣＰＵ２４に接続されており、ＣＰＵ２４の制御によって開閉され、供給ライン６および循環ライン７において、液化二酸化炭素を循環または循環停止する。
【００３０】
次に、この発泡剤供給装置１の動作について説明する。
まず、この発泡剤供給装置１の始動時には、供給ライン６の途中に介装されている開閉弁１４、１９、２１、２８が開放され、供給ライン６の途中に介装されている大気開放弁１２、１７、循環ライン７の途中に介装されている大気開放弁２９が閉鎖されている。
また、圧力センサ１３、３３、２５、３１は、図示しないが、ＣＰＵ２４に接続されている。
【００３１】
そして、ＣＰＵ２４の制御によって、第１開閉制御弁２６および第２開閉制御弁３２が閉鎖された状態で、各ボンベ３が開放される。すると、液化二酸化炭素が、供給ライン６に供給され、各逆止弁９を介して冷凍機１０に流入される。冷凍機１０に流入された液化二酸化炭素は、冷却されることにより気化が抑制され、その後、開閉弁１４およびフィルタ１５を介して定量ポンプ４に流入される。定量ポンプ４では、ＣＰＵ２４によりインバータ制御されたモータ１６の回転数に応じた供給量で、液化二酸化炭素が送液される。
【００３２】
その後、液化二酸化炭素は、開閉弁１９を介して流量計５に流入される。流量計５では、流入された液化二酸化炭素の流量（供給量）が測定される。そして、流量計５から流出した液化二酸化炭素は、開閉弁２１、フィルタ２２および背圧弁２３を介して、循環ライン７に流入される。
循環ライン７に流入された液化二酸化炭素は、背圧弁３０を介して第２開閉制御弁３２に至り、このとき、第２開閉制御弁３２の上流側に設けられている圧力センサ３１が、各ボンベ３の供給圧力以上の所定圧力を検知すると、ＣＰＵ２４が第２開閉制御弁３２を開放する。すると、各ボンベ３の下流側には各逆止弁９が設けられ、第１開閉制御弁２６が閉鎖されていることから、液化二酸化炭素は、定量ポンプ４により昇圧されながら、供給ライン６および循環ライン７を順次循環する。このとき、循環する液化二酸化炭素は、循環ライン７から供給ライン６へ流入する液化二酸化炭素の圧力が、各タンク３から供給される液化二酸化炭素の圧力よりも高くなるので、供給ライン６における液化二酸化炭素の気化を、圧力調節により低コストで有効に防止することができる。また、背圧弁２３、３０によって、発泡成形装置２に供給するための圧力に調節され、高圧・超臨界状態が保持される。
【００３３】
そして、発泡成形装置２に液化二酸化炭素を供給する場合には、ＣＰＵ２４の制御によって、第１開閉制御弁２６を開放し、第２開閉制御弁３２を閉鎖する。すると、液化二酸化炭素は、供給ライン６において、第１開閉制御弁２６から、逆止弁２７および開閉弁２８を介して、高圧・超臨界状態で発泡成形装置２に供給される。
そして、発泡成形装置２への液化二酸化炭素の供給を停止する場合には、ＣＰＵ２４の制御によって、まず、第２開閉制御弁３２を閉鎖した状態で、第１開閉制御弁２６を閉鎖する。すると、液化二酸化炭素は、循環ライン７に流入され、背圧弁３０を介して第２開閉制御弁３２に至るので、このとき、第２開閉制御弁３２の上流側に設けられている圧力センサ３１が、各ボンベ３の供給圧力以上の所定圧力を検知すると、ＣＰＵ２４が第２開閉制御弁３２を開放する。すると、液化二酸化炭素が、供給ライン６に流入し、上記したように、定量ポンプ４により昇圧されながら、供給ライン６および循環ライン７を順次循環する。また、このとき循環する液化二酸化炭素は、循環ライン７から供給ライン６へ流入する液化二酸化炭素の圧力が、各タンク３から供給される液化二酸化炭素の圧力よりも高くなるので、供給ライン６における液化二酸化炭素の気化を、圧力調節により低コストで有効に防止することができる。
【００３４】
そして、このような発泡剤供給装置１においては、ＣＰＵ２４が、流量計５によって測定された供給量に基づいて、モータ１６の回転数をインバータ制御して、定量ポンプ４から供給する液化二酸化炭素の供給量を調節しているので、上記のような供給または循環の切り替えにおいても、液化二酸化炭素を、脈動を抑制しつつ発泡成形装置２へ安定して供給することができる。したがって、装置コストおよび製造コストの低減化ならびに小型化を図りつつ、精度よく液化二酸化炭素を発泡成形装置２へ供給することができる。
【００３５】
また、この発泡剤供給装置１では、液化二酸化炭素を発泡成形装置２へ供給するときには、液化二酸化炭素を供給ライン６から発泡成形装置２へ供給できる一方、液化二酸化炭素を発泡成形装置２へ供給しないときには、液化二酸化炭素を、大気へ開放することなく、循環ライン７において循環させることができる。そのため、液化二酸化炭素の不必要な消費を防止して、製造コストの上昇を抑制することができる。
【００３６】
また、この発泡剤供給装置１では、第１開閉制御弁２６を閉鎖し、第２開閉制御弁３２を開放して、液化二酸化炭素を供給ライン６および循環ライン７において循環させる場合には、定量ポンプ４が、液化二酸化炭素を昇圧するので、簡易な構成により、液化二酸化炭素を昇圧することができる。
しかも、この発泡剤供給装置１では、液化二酸化炭素を発泡成形装置２に供給する場合には、ＣＰＵ２４が、第１開閉制御弁２６を開放し、第２開閉制御弁３２を閉鎖する。また、液化二酸化炭素を供給ライン６および循環ライン７にて順次循環させる場合には、ＣＰＵ２４が、第１開閉制御弁２６を閉鎖し、第２開閉制御弁３２を開放する。そのため、ＣＰＵ２４による簡易な弁制御によって、液化二酸化炭素の発泡成形装置２への供給、および、液化二酸化炭素の供給ライン６および循環ライン７における循環を、選択的に達成することができる。
【００３７】
また、この発泡剤供給装置１では、各逆止弁９により、供給ライン６から各ボンベ３への逆流を防止することができ、また、逆止弁２７により、発泡成形装置２から供給ライン６への逆流を防止することができる。これによって、供給ライン６の管内圧力を保持することができるので、安定した液化二酸化炭素の供給を達成することができる。
さらに、この発泡剤供給装置１では、供給ライン６および循環ライン７には、管内圧力を調節するための背圧弁２３、３０がそれぞれ設けられているので、供給ライン６内および循環ライン７内の液化二酸化炭素を圧縮して、管内圧力を調節することができる。そのため、液化二酸化炭素の高圧・超臨界状態を安定して保持することができるので、より一層、安定した液化二酸化炭素の供給を達成することができる。
【００３８】
なお、上記の説明では、本発明の流体供給装置を、二酸化炭素に適用して説明したが、本発明の流体供給装置は、上記に限定されず、二酸化炭素以外の発泡剤としての流体、たとえば、窒素、アルゴン、燃焼性ガス（炭化水素など）、水などにも適用することができる。
また、本発明の流体供給装置は、発泡以外の分野にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の流体供給装置の一実施形態としての発泡剤供給装置を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００４０】
１    発泡剤供給装置
２    発泡成形装置
３    ボンベ
４    定量ポンプ
５    流量計
６    供給ライン
７    循環ライン
８    接続部分
９    逆止弁
２０  分岐部分
２３  背圧弁
２４  ＣＰＵ
２６  第１開閉制御弁
２７  逆止弁
３０  背圧弁
３２  第２開閉制御弁
【図１】
2005125767.tif 000003