(57)【要約】【課題】  所定間隔をおいて離間する複数のエッジ部間の距離の検出精度を向上させる。【解決手段】  塗布工具１１のスリット部２２のスリット幅ｈを算出するスリット幅測定装置１０が、スリット部２２を撮像する撮像装置１２と、スリット部２２を通過して撮像装置１２に向かう光を照射する照明装置１００と、撮像装置１２により撮像して得られた画像に基づいてスリット幅を算出するスリット幅算出部３４を有する画像処理装置１３とを備える。【選択図】      図１
2005214864.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定間隔をおいて離間する複数のエッジ部間の距離を測定するエッジ間距離測定装置であって、
前記複数のエッジ部を撮像する撮像手段と、
前記複数のエッジ部間を通過して前記撮像手段に向かう光を照射する照明手段と、
前記撮像手段により撮像して得られた画像に基づいて前記複数のエッジ部間の距離を算出するエッジ間距離算出手段と
を備えていることを特徴とするエッジ間距離測定装置。
【請求項２】
所定間隔をおいて離間する複数のエッジ部間の距離を測定するエッジ間距離測定方法であって、
照明手段により前記複数のエッジ部間を通過して撮像手段に向かう光を照射しながら前記撮像手段により前記複数のエッジ部を撮像するステップと、
前記撮像手段により撮像して得られた画像に基づいて前記複数のエッジ部間の距離を算出するステップと
を備えていることを特徴とするエッジ間距離測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッジ間距離測定装置およびエッジ間距離測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば相対的に移動する被塗布物の表面に塗布液を塗布する際に使用される塗布工具は、内部に塗布液の液溜めとされるマニホールドを備え、このマニホールドに通じる塗布幅方向に伸びたスリットから塗布液が吐出されることで、塗布ヘッドの塗布表面上を相対的に移動する被塗布物の表面に塗布液を連続的に塗布するものであって、特に長尺の被塗布物に対して均一な塗布厚さの塗布面を形成するために、塗布液が吐出されるスリットのスリット幅は精度良く形成される必要がある。
これに伴い、例えば塗布幅方向に伸びるスリットの長さ（例えば、数ｍ等）に比べ、相対的に小さいスリット幅（例えば、数１０〜数１００μｍ等）を有するスリットに対して、スリット幅を精度良く測定する必要があり、従来、例えばテーパゲージをスリットに挿入し、テーパゲージに設けられた目盛りを読み取る方法が知られている。
【０００３】
しかしながら、このようにスリットのエッジ部にテーパゲージ等の測定器を接触させる接触式の測定方法では、測定器やエッジ部に摩耗や損傷等が生じる虞があると共に、スリットの長さが相対的に長い場合には、スリット幅の検出精度を向上させるために、この長さ方向における測定位置の設定数を増大させる必要があり、測定に要する煩雑な手間が嵩むという問題がある。
このような問題に対して、従来、例えば特許文献１に開示された位置検出装置のように、被測定対象物の上方に配置したＣＣＤカメラ等の撮像装置により被測定対象物のエッジ部を撮像して、この撮像により得られた画像からエッジ部の位置を検出する非接触式の検出装置が知られている。
【特許文献１】特開２０００−３０４５１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような検出装置によって塗布工具等のスリットのスリット幅を検出しようとすると、例えば、ＣＣＤカメラ等の撮像装置とスリットを有する被測定対象物とを、スリットの伸びる方向に対して相対的に移動させ、スリットのエッジ部を上方から撮像することになる。ここで、撮像装置によるスリットのエッジ部の撮像は、照明手段によって被測定対象物に光を照射しつつ行われるようになっており、このようにして撮像された画像に基づいて、相対的に輝度値が小さくなるスリットと光が反射されることで相対的に輝度値が大きくなる被測定対象物本体との境界部を抽出するような画像処理を行うことにより、これらの境界部間の距離をスリット幅（エッジ間距離）として算出することができる。
【０００５】
しかしながら、上記の検出装置においては、スリットのエッジ部を撮像装置で撮像するときに用いられる照明手段が被測定対象物に向かって光を照射するように構成されているため、スリットのエッジ部を撮像して得られた画像は、そのエッジ部がどうしてもぼやけやすくなっており、ひいては、検出されるスリット幅に誤差が生じやすくなってしまうのであった。特にこのような傾向は、スリットのエッジ部が丸みを帯びたＲ形状をなしている場合に顕著になってしまう。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、所定間隔をおいて離間する複数のエッジ部間の距離の検出精度を向上させることが可能なエッジ間距離測定装置およびエッジ間距離測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決して係る目的を達成するために、本発明のエッジ間距離測定装置は、所定間隔をおいて離間する複数のエッジ部間の距離を測定するエッジ間距離測定装置であって、前記複数のエッジ部を撮像する撮像手段と、前記複数のエッジ部間を通過して前記撮像手段に向かう光を照射する照明手段と、前記撮像手段により撮像して得られた画像に基づいて前記複数のエッジ部間の距離を算出するエッジ間距離算出手段とを備えていることを特徴としている。
【０００７】
また、本発明によるエッジ間距離測定方法は、所定間隔をおいて離間する複数のエッジ部間の距離を測定するエッジ間距離測定方法であって、照明手段により前記複数のエッジ部間を通過して撮像手段に向かう光を照射しながら前記撮像手段により前記複数のエッジ部を撮像するステップと、前記撮像手段により撮像して得られた画像に基づいて前記複数のエッジ部間の距離を算出するステップとを備えていることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、例えば被測定対象物等に設けられたスリット部等において、所定間隔をおいて離間する複数のエッジ部をＣＣＤカメラ等の撮像手段により上方から撮像する際に、照明手段によって複数のエッジ部間を通過して撮像手段に向かう光を照射するようになっているため、撮像手段によって撮像された画像においては、相対的に輝度値が大きくなる複数のエッジ部同士の間の空間と相対的に輝度値が小さくなる被測定対象物本体との境界部をくっきりと確実に浮かび上がらせることができる。したがって、この画像に対して複数のエッジ部同士の間の空間と被測定対象物本体との境界部を抽出するような画像処理を行うことにより、これらの境界部間の距離をエッジ間距離として精度良く算出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明のエッジ間距離測定装置およびエッジ間距離測定方法の一実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
本実施の形態に係るエッジ間距離測定装置１０は、例えば被測定対象物に設けられたスリットや溝等の幅を検出するものであって、例えば相対的に移動する被塗布物の表面に塗布液を塗布する際に使用される塗布工具１１のスリット幅を検出するものとされており、例えば図１に示すように、ＣＣＤカメラ等をなす撮像装置１２（撮像手段）と、撮像装置１２に向かって光を照射する照明装置１００（照明手段）と、撮像装置１２から出力される画像データを処理する画像処理装置１３と、制御装置１４と、制御装置１４により制御され、塗布工具１１と撮像装置１２とを相対移動させる駆動装置１５（移動手段）とを備えて構成されている。
【００１０】
塗布工具１１は、内部に塗布液の液溜めとされるマニホールド２１を備え、このマニホールド２１に通じる塗布幅方向に伸びたスリット部２２から塗布液が吐出されることで、塗布ヘッド２３の塗布表面２３Ａ上を相対的に移動する被塗布物の表面に塗布液を連続的に塗布するものであって、特に長尺の被塗布物に対して均一な塗布厚さの塗布面を形成するために、塗布液が吐出されるスリット部２２のスリット幅ｈ（例えば、数１０〜数１００μｍ等）は、塗布幅方向に伸びるスリット部２２の長さ（例えば、数ｍ等）に比べて、相対的に小さく形成されている。
そして、塗布工具１１は、駆動装置１５によりスリット部２２が伸びる方向に平行な方向（Ｘ方向）およびスリット部２２の深さ方向、つまりＸ方向に直交する方向（Ｙ方向）に変位可能とされたテーブル２４上に載置された状態で固定されている。
【００１１】
ＣＣＤカメラ等をなす撮像装置１２は、例えば、塗布ヘッド２３の塗布表面２３Ａの上方の位置、つまりＹ方向にテーブル２４の表面上から所定の距離だけ離間した位置において、Ｘ方向に少なくとも所定距離Ｌだけ変位可能に配置されており、塗布ヘッド２３のスリット部２２を含む塗布表面２３Ａを上方から撮像する。そして、撮像により得られた画像データを画像処理装置１３へ出力する。
【００１２】
照明装置１００は、塗布工具１１の内部に位置して塗布液の液溜めとされるマニホールド２１内に配置されており、このマニホールド２１に通じるスリット部２２を通過して撮像装置１２に向かう光を照射する。
この照明装置１００は、例えば、超高輝度ＬＥＤから作成されたＬＥＤアレイ光源や化学的な作用によって発光するケミカルライトなどの発光部材が、マニホールド２１内においてＸ方向の略全長に亘って或いは部分的に配置されることで、スリット部２２を通過して撮像装置１２に向かって光を照射するように構成されていたり、図２に示すように、光源１０１から照射された光をミラー１０２によって反射させることで、スリット部２２を通過して撮像装置１２に向かう光を照射するように構成されている。
【００１３】
画像処理装置１３は、例えば、画像データ取得部３１と、二値化処理部３２（二値化処理手段）と、境界部検出部３３（境界部検出手段）と、スリット幅算出部３４（エッジ間距離算出手段）と、Ｙ方向距離変更部３５（距離変更手段）と、二値化閾値変更部３６（二値化閾値変更手段）と、位相差法処理部３７（誤差補正手段）とを備えて構成されている。
画像データ取得部３１は、照明装置１００を用いてスリット部２２を撮像した撮像装置１２から出力される画像データを取得し、記憶部（図示略）に格納する。
二値化処理部３２は、記憶部に格納された画像データを読み込み、所定の二値化閾値に基づいて二値化処理を行う。これにより、相対的に輝度値が大きくなるスリット部２２と、光が反射されることで相対的に輝度値が小さくなる塗布表面２３Ａとの境界位置が設定される。
【００１４】
境界部検出部３３は、二値化処理後の画像データ上において境界位置を抽出し、境界位置に対して最小二乗法を用いた直線近似を行う、或いは、複数の画像データ毎の境界位置の位置情報を時系列データとして扱い、これらの複数のデータ列に対して最小二乗法を用いた直線近似を行い、スリット部２２と塗布表面２３Ａとの間の２つの境界部を検出し、スリット幅算出部３４へ出力する。
スリット幅算出部３４は、直線近似された２つの境界部間の距離を算出しスリット幅としてＹ方向距離変更部３５および二値化閾値変更部３６および位相差法処理部３７へ出力する。
【００１５】
Ｙ方向距離変更部３５は、例えば後述する二値化閾値設定処理等において、撮像装置１２と塗布ヘッド２３の塗布表面２３Ａとの間の距離（Ｙ方向距離）に応じたスリット幅の変化に基づき、Ｙ方向距離の変更を指示するＹ方向距離指令値を制御装置１４へ出力する。
二値化閾値変更部３６は、例えば後述する二値化閾値設定処理等において、二値化処理部３２での二値化処理において参照される二値化閾値を変更する。
【００１６】
位相差法処理部３７は、撮像装置１２とスリット部２２とのＸ方向における所定相対位置から駆動装置１５によりスリット部２２がＸ方向に移動させられた際に、撮像装置１２により撮像された画像データに基づき算出された第１回目の測定時における第１スリット幅ｍＡ（ｘｎ）と、スリット部２２が所定相対位置からＸ方向に所定距離Ｌだけ変位させられた後の相対位置から、駆動装置１５によりスリット部２２がＸ方向に移動させられた際に撮像装置１２により撮像された画像データに基づき算出された第２回目の測定時における第２スリット幅ｍＢ（ｘｎ）とに基づいて、スリット部２２が駆動装置１５によりＸ方向に移動させられる際にＹ方向距離が変動することに起因してスリット幅の算出結果に対して生じる誤差、つまり駆動装置１５の駆動に係る運動誤差ｅ（ｘｎ）によるスリット幅測定誤差ｆ（ｅ（ｘｎ））を補正した後のスリット幅ｈ（ｘｎ）を算出する。なお、ｘｎ（ｎは任意の自然数）は、スリット部２２のＸ方向における適宜の位置である。
【００１７】
制御装置１４は、撮像装置１２および駆動装置１５の動作を制御しており、例えば後述する二値化閾値設定処理等においては、画像処理装置１３から入力されるＹ方向距離指令値に基づき、塗布工具１１が載置されるテーブル２４をＹ方向に変位させることで、撮像装置１２と塗布ヘッド２３の塗布表面２３Ａとの間のＹ方向距離を変更する。そして、変位後におけるＹ方向距離の情報を画像処理装置１３の二値化閾値変更部３６へ出力する。
また、制御装置１４は、例えば図３に示すように、塗布工具１１が載置されるテーブル２４を駆動装置１５によりＸ方向に移動させることで、撮像装置１２が塗布工具１１のスリット部２２を長さ方向に走査するように設定する。すなわち、この走査時にはスリット部２２の長さ方向（Ｘ方向）の撮像を行うように撮像装置１２を制御し、撮像により得られる画像データを画像処理装置１３へ出力させる。そして、移動後或いは移動中の所定時点におけるＸ方向の変位（Ｘ方向距離）の情報を画像処理装置１３の位相差法処理部３７へ出力する。
【００１８】
また、制御装置１４は、例えば後述する位相差法による検出処理においては、先ず、第１回目の測定時において、撮像装置１２とスリット部２２をＸ方向における所定相対位置に設定し、この所定相対位置からスリット部２２を駆動装置１５によりＸ方向に移動させると共に、撮像装置１２によりスリット部２２を撮像させ、撮像により得られた画像データを画像処理装置１３へ出力させる。
次に、第２回目の測定時において、撮像装置１２とスリット部２２をＸ方向における所定相対位置からＸ方向に所定距離Ｌだけ変位した相対位置に設定し、この相対位置からスリット部２２を駆動装置１５によりＸ方向に移動させると共に、撮像装置１２によりスリット部２２を撮像させ、撮像により得られた画像データを画像処理装置１３へ出力させる。
【００１９】
本実施の形態によるエッジ間距離測定装置１０は上記構成を備えており、以下に、このエッジ間距離測定装置１０によるエッジ間距離測定方法について説明する。
本実施の形態によるエッジ間距離測定方法は、照明装置１００によりスリット部２２を通過して撮像装置１２へ向かう光を照射しつつ、この撮像装置１２によりスリット部２２を撮像するものであり、また、撮像して得られた画像データからスリット幅を算出する際に、塗布工具１１をＸ方向に移動させることで、スリット部２２の長さ方向に亘ってスリット幅を検出する場合に、Ｙ方向における撮像装置１２とスリット部２２との間の距離の変動に伴い、スリット幅の検出値に誤差が生じることを抑制する、或いは、スリット幅の検出値と実際のスリット幅との間に生じる差異を補正するものである。
【００２０】
以下に、照明装置１００を用いてスリット部２２を撮像した撮像装置１２から出力される画像データに対して二値化処理を行う際に参照される二値化閾値を適切に設定することによって、スリット幅の検出値に誤差が生じることを抑制する方法における、二値化閾値設定処理について説明する。
先ず、図４に示すステップＳ０１においては、二値化処理にて参照される二値化閾値の初期値を設定する。
次に、ステップＳ０２においては、撮像装置１２から出力される画像データに対して、後述する画像処理を実行する。
次に、ステップＳ０３においては、ステップＳ０２において算出したスリット幅と、画像データの撮像時におけるＹ方向距離と、画像データに対する二値化処理にて参照した二値化閾値とを、記憶部（図示略）に格納する。
次に、ステップＳ０４においては、Ｙ方向距離の設定値を変更する。
そして、ステップＳ０５においては、Ｙ方向距離の設定値の変化の累積値が所定変化を超えたか否かを判定する。
この判定結果が「ＮＯ」の場合、つまり一連の処理におけるＹ方向距離の変化の累積値が所定変化未満である場合には、上述したステップＳ０２に戻る。
一方、この判定結果が「ＹＥＳ」の場合には、ステップＳ０６に進む。
【００２１】
ステップＳ０６においては、スリット幅の変動の累積値が所定範囲を超えたか否かを判定する。
この判定結果が「ＮＯ」の場合、つまり一連の処理におけるスリット幅の変動の累積値が所定範囲以内である場合には、後述するステップＳ０９に進む。
一方、この判定結果が「ＹＥＳ」の場合には、ステップＳ０７に進む。
ステップＳ０７では、二値化閾値を変更してステップＳ０８に進み、ステップＳ０８では、Ｙ方向距離を初期化、つまりＹ方向距離の設定値の変化の累積値がゼロとなるように塗布工具１１をＹ方向に移動させ、上述したステップＳ０２に戻る。
一方、ステップＳ０９においては、記憶部（図示略）に格納したスリット幅と、Ｙ方向距離と、二値化閾値とに基づき、スリット幅の変動が所定の許容変動以下となるＹ方向距離および二値化閾値を抽出して、一連の処理を終了する。
【００２２】
以下に、上述したステップＳ０２における画像処理について説明する。
先ず、図５に示すステップＳ１１においては、上記のような光を照射する照明装置１００を用いてスリット部２２を撮像した撮像装置１２から出力される画像データを取得する。
次に、ステップＳ１２においては、取得した画像データに対して、二値化閾値に基づいて二値化処理を行う。これにより、例えば画像データが適宜の輝度値（例えば、０〜２５５の間の整数）を有する複数の画素から構成されている場合には、これらの画素を、二値化閾値を超える輝度値の画素と、二値化閾値以下の輝度値の画素とに分類する。
次に、ステップＳ１３においては、分類された画素の境界位置を抽出し、最小二乗法を用いた直線近似を行う。
次に、ステップＳ１４においては、直線近似された２つの境界部間の距離をスリット幅として算出し、一連の処理を終了する。
【００２３】
例えば図６に示すように、適宜の二値化閾値（例えば、１２７等）において、Ｙ方向距離の変化（Ｙ方向変位）に応じてスリット幅が相対的に大きく変化することから、Ｙ方向変位がゼロのときのスリット幅を基準としてスリット幅の変化が所定範囲以内となるＹ方向変位の許容領域（例えば、図６におけるゼロ近傍の領域Ａ）が相対的に狭くなる場合であっても、例えば図７に示すように、二値化閾値を変更（例えば、１４５等に変更）することによって、スリット幅の変化が所定範囲以内となるＹ方向変位の許容領域（例えば、図７における、０〜５０μｍ程度の領域Ｂ）を相対的に拡大することができる。
したがって、二値化閾値を適切に設定した後に、塗布工具１１を駆動装置１５によりＸ方向に移動させ、スリット部２２の長さ方向に亘ってスリット幅を検出することにより、塗布工具１１を駆動装置１５によりＸ方向に移動させることに伴うＹ方向変位が許容領域以内であれば、検出されるスリット幅の変化が所定範囲以内となるように設定することができ、スリット幅の検出精度を向上させることができる。
なお、図６における誤差は、適宜の二値化閾値（例えば、１２７等）において、Ｙ方向変位に応じたスリット幅の変化を２回に亘って測定した結果におけるスリット幅の偏差である。
【００２４】
以下に、スリット幅の検出値と実際のスリット幅との間に生じる差異を補正する位相差法による検出処理について説明する。
この方法では、例えば図８に示すように、塗布工具１１を駆動装置１５によりＸ方向に移動させ、スリット部２２の長さ方向に亘ってスリット幅を検出する際に、駆動装置１５により塗布工具１１の移動を開始する時点における撮像装置１２とスリット部２２との相対位置が所定距離Ｌだけ異なる２回の測定処理を行い、これら２回の測定処理により得られた第１スリット幅ｍＡ（ｘｎ）および第２スリット幅ｍＢ（ｘｎ）に基づいて、スリット部２２が駆動装置１５によりＸ方向に移動させられる際にＹ方向に生じる運動誤差ｅ（ｘｎ）によるスリット幅測定誤差ｆ（ｅ（ｘｎ））を補正した後のスリット幅ｈ（ｘｎ）を算出する。なお、ｘｎ（ｎは任意の自然数）は、スリット部２２のＸ方向における適宜の位置である。
【００２５】
先ず、図９に示すステップＳ２１においては、第１回目の測定処理として、撮像装置１２とスリット部２２とのＸ方向における所定相対位置からスリット部２２を駆動装置１５によりＸ方向に移動させ、撮像装置１２によりスリット部２２の撮像を開始する。
次に、ステップＳ２２においては、撮像装置１２から出力される画像データに対する画像処理、つまり上述したステップＳ１１〜ステップＳ１４の処理を行う。
そして、ステップＳ２３においては、算出した第１スリット幅ｍＡ（ｘｎ）を記憶部（図示略）に格納する。
なお、この第１スリット幅ｍＡ（ｘｎ）は、例えば下記数式（１）に示すように、Ｘ方向における適宜の位置ｘｎでのスリット幅ｈ（ｘｎ）に、スリット部２２がＸ方向に移動させられる際にＹ方向距離が変動することに起因してスリット幅の算出結果に対して生じる運動誤差ｅ（ｘｎ）によるスリット幅測定誤差ｆ（ｅ（ｘｎ））を加算して得た値として設定されている。
【００２６】
【数１】
2005214864.tif 000003
【００２７】
次に、ステップＳ２４においては、所定相対位置からのスリット部２２の駆動装置１５による移動距離が、所定の相対移動距離に到達したか否かを判定する。
この判定結果が「ＮＯ」の場合には、上述したステップＳ２２に戻る。
一方、この判定結果が「ＹＥＳ」の場合には、ステップＳ２５に進む。
ステップＳ２５においては、撮像装置１２による撮像を停止し、スリット部２２の駆動装置１５による移動を停止し、例えば駆動装置１５の駆動方向を逆転させる等によって、スリット部２２を所定相対位置に戻して撮像装置１２とスリット部２２との相対位置を初期状態に戻す。
次に、ステップＳ２６（位置変更手段）においては、例えば制御装置１４により制御される移動装置（図示略）等により、撮像装置１２をＸ方向においてスリット部２２の移動方向と平行な方向に所定距離Ｌだけ変位させる。
【００２８】
そして、ステップＳ２７においては、第２回目の測定処理として、所定相対位置から撮像装置１２が所定距離Ｌだけ変位した相対位置から、スリット部２２を駆動装置１５によりＸ方向に移動させ、撮像装置１２によりスリット部２２の撮像を開始する。
次に、ステップＳ２８においては、撮像装置１２から出力される画像データに対する画像処理、つまり上述したステップＳ１１〜ステップＳ１４の処理を行う。
そして、ステップＳ２９においては、算出した第２スリット幅ｍＢ（ｘｎ）を記憶部（図示略）に格納する。
なお、この第２スリット幅ｍＢ（ｘｎ）は、例えば下記数式（２）に示すように、Ｘ方向における適宜の位置ｘｎから所定距離Ｌだけ減算して得た位置でのスリット幅ｈ（ｘｎ―Ｌ）に、スリット部２２が駆動装置１５によりＸ方向に移動させられる際にＹ方向距離が変動することに起因してスリット幅の算出結果に対して生じる運動誤差ｅ（ｘｎ）によるスリット幅測定誤差ｆ（ｅ（ｘｎ））を加算して得た値として設定されている。
【００２９】
【数２】
2005214864.tif 000004
【００３０】
次に、ステップＳ３０においては、記憶部（図示略）に格納した第１スリット幅ｍＡ（ｘｎ）と、第２スリット幅ｍＢ（ｘｎ）とに基づいて、運動誤差ｅ（ｘｎ）によるスリット幅測定誤差ｆ（ｅ（ｘｎ））を補正した後のスリット幅ｈ（ｘｎ）を算出し、一連の処理を終了する。
すなわち、上記数式（１）の第１スリット幅ｍＡ（ｘｎ）と、上記数式（２）の第２スリット幅ｍＢ（ｘｎ）との差分においては、運動誤差ｅ（ｘｎ）によるスリット幅測定誤差ｆ（ｅ（ｘｎ））を除去することができ、下記数式（３）に示すように、この差分を所定距離Ｌで除して得た差分変化Δｍ（ｘｎ）は、運動誤差ｅ（ｘｎ）によるスリット幅測定誤差ｆ（ｅ（ｘｎ））を補正した後のスリット幅ｈ（ｘｎ）の１回微分として近似することができる。
【００３１】
【数３】
2005214864.tif 000005
【００３２】
従って、上記数式（３）を順次積分することによって、下記数式（４）に示すように、駆動装置１５の駆動に係るスリット幅の誤差を取り除いたスリット幅ｈ（ｘｎ）を算出することができる。
なお、スリット部２２のＸ方向における適宜の位置ｘｎ（ｎは任意の自然数）は、各画像データが撮像された位置を示すものであり、例えば今回の撮像の位置ｘｎに対して、位置ｘｎ−１は、前回の撮像の位置となる。
【００３３】
【数４】
2005214864.tif 000006
【００３４】
この位相差法による検出処理によれば、例えば、上述した二値化閾値設定処理において二値化閾値を設定した際に、塗布工具１１を駆動装置１５によりＸ方向に移動させることに伴うＹ方向変位が許容領域を超え、検出されるスリット幅の変化が所定範囲を超える場合であっても、スリット幅の検出精度を向上させることができる。
【００３５】
以上説明したように、本実施の形態に係るエッジ間距離測定装置１０およびエッジ間距離測定方法によれば、スリット部２２を撮像装置１２によって上方から撮像するときに、照明装置１００によってスリット部２２を通過して撮像装置１２に向かう光を照射することにより、従来のようにスリット部２２の輝度値を相対的に小さくした画像を得るのではなく、逆にスリット部２２の輝度値を相対的に大きくした画像を得るようになっている。
そのため、このような照明装置１００を用いつつ撮像装置１２によって撮像されたスリット部２２の画像においては、相対的に輝度値が大きくなるスリット部２２と相対的に輝度値が小さくなる塗布表面２３Ａとの境界部がくっきりを浮かび上がることとなり、この画像を画像処理装置１３によって処理することで、たとえスリット部２２のエッジ部が丸みを帯びたＲ形状をなしていたとしても、上記境界部間の距離であるスリット幅ｈの検出精度を向上させることができる。
【００３６】
また、本実施の形態に係るエッジ間距離測定装置１０およびエッジ間距離測定方法によれば、予めＹ方向距離および二値化閾値を適宜に変更して、スリット幅の変化を把握することにより、塗布工具１１を駆動装置１５によりＸ方向に移動させ、スリット部２２の長さ方向に亘ってスリット幅を検出する際に、塗布工具１１を駆動装置１５によりＸ方向に移動させることに伴うＹ方向変位が許容領域以内であれば、検出されるスリット幅の変化が所定範囲以内となるように設定することができ、スリット幅の検出精度を向上させることができる。
しかも、二値化閾値設定処理において二値化閾値を設定した際に、塗布工具１１を駆動装置１５によりＸ方向に移動させることに伴うＹ方向変位が許容領域を超え、検出されるスリット幅の変化が所定範囲を超える場合であっても、位相差法によりスリット幅の検出精度を向上させることができる。
【００３７】
なお、上述した本実施の形態においては、駆動装置１５によって塗布工具１１を移動させるとしたが、これに限定されず、撮像装置１２をＸ方向およびＹ方向に移動させてもよい。ここで、発光部材がマニホールド２１内において部分的に配置されて構成された照明装置１００や、図２に示すような光源１０１とミラー１０２とから構成された照明装置１００を用いた場合には、撮像装置１２のＸ方向への移動に伴って照明装置１００も撮像装置１２と同様にＸ方向へ移動させ、撮像装置１２がスリット部２２を撮像している間中、照明装置１００がスリット部２２を通過して撮像装置１２へ向かう光を照射するようにすることが必要である。
また、上述した本実施の形態において、位相差法による検出処理では、撮像装置１２によってスリット部２２の長さ方向に亘る２回の測定処理を行うとしたが、これに限定されず、例えばＸ方向に所定距離Ｌだけ離間して２つの撮像装置１２，１２を配置し、これらの撮像装置１２，１２によってスリット部２２の長さ方向に亘る１回の測定処理を行うようにしてもよい。
【００３８】
なお、本発明の一実施形態に係るエッジ間距離測定方法を実現するエッジ間距離測定装置１０は、専用のハードウェアにより実現されるものであっても良く、また、メモリおよびＣＰＵを備えて構成され、エッジ間距離測定装置１０の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現するものであっても良い。
【００３９】
また、上述した本発明に係るエッジ間距離測定方法を実現するためのプログラムをコンピュータ読みとり可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより結晶形状の測定を行っても良い。なお、ここで言うコンピュータシステムとはＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものであっても良い。
【００４０】
また、コンピュータ読みとり可能な記録媒体とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことを言う。さらに、コンピュータ読みとり可能な記録媒体とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記憶されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の一実施形態に係わるエッジ間距離測定装置を示す構成図である。
【図２】照明装置の一例を示す概略構成図である。
【図３】図１に示すエッジ間距離測定装置において、塗布工具の移動方向を示す斜視図である。
【図４】二値化閾値設定処理を示すフローチャートである。
【図５】図４に示す画像処理の詳細について示すフローチャートである。
【図６】適宜の二値化閾値（例えば、１２７等）でのＹ方向変位に応じたスリット幅の変化を示すグラフ図である。
【図７】二値化閾値を変更（例えば、１４５等に変更）後のＹ方向変位に応じたスリット幅の変化を示すグラフ図である。
【図８】位相差法による検出処理での撮像装置と塗布工具との相対位置を示す図である。
【図９】位相差法による検出処理について示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４２】
１０  エッジ間距離測定装置
１１  塗布工具
１２  撮像装置（撮像手段）
１５  駆動装置（移動手段）
２２  スリット部
３２  二値化処理部（二値化処理手段）
３３  境界部検出部（境界部検出手段）
３４  スリット幅算出部（エッジ間距離算出手段）
３５  Ｙ方向距離変更部（距離変更手段）
３６  二値化閾値変更部（二値化閾値変更手段）
３７  位相差法処理部（誤差補正手段）
１００  照明装置（照明手段）
ステップＳ２６  位置変更手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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