(57)【要約】【課題】  加速装置の小型化と一定のバンチ電流を有する電子ビームの発生を可能とする。【解決手段】  モードロックレーザー11とフォトカソード高周波電子銃12と加速管14とタイミングシステム16と高周波源15とから構成され、モードロックレーザーの周波数、高周波電子銃の周波数及び加速管の加速周波数を所定の離調範囲にすることにより、高周波電子銃から出力される電子ビームの周波数の位相を加速周波数の位相に対してわずかにずらしてビームを加速しながらビームローディングによるマルチバンチビームのエネルギー広がりを補正するレーザー制御型電子ビーム線形加速装置において、モードロックレーザーと高周波電子銃との間にレーザーパルス振幅変調器22を設けるとともに高周波電子銃の周波数を加速管の加速周波数に一致させることにより高周波源15を高周波電子銃及び加速管に共通の高周波源として構成する。【選択図】図１
2005093339.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カソード面がモードロックレーザーのレーザー光で照射されることによって放出された電子を即座に高周波電界によって加速してバンチ列で構成される電子ビームを出力するフォトカソード高周波電子銃と、該高周波電子銃から出力された電子ビームを加速する加速管と、基準信号から上記モードロックレーザーの入力信号の周波数、高周波電子銃の周波数及び加速管の加速周波数を作成するタイミングシステムと、上記高周波電子銃及び加速管にそれぞれ高周波電力を供給する高周波源とから構成され、上記モードロックレーザーの入力信号の周波数、高周波電子銃の周波数及び加速管の加速周波数を所定の離調範囲とすることにより、上記高周波電子銃から出力される電子ビームの周波数の位相を上記加速周波数の位相に対してわずかにずらし、それによってビームを加速しながらビームローディングによるマルチバンチビームのエネルギー広がりを補正するレーザー制御型電子ビーム線形加速装置において、
上記モードロックレーザーと上記高周波電子銃との間に上記モードロックレーザーから出力されるレーザーパルスの振幅を変調する手段を設けるとともに、上記高周波電子銃の周波数を上記加速管の加速周波数に一致させることにより上記高周波源を上記高周波電子銃及び加速管に共通の高周波源として構成したことを特徴とするレーザー制御型電子ビーム線形加速装置。
【請求項２】
上記レーザーパルスの振幅を変調する手段は、光ビームの偏光方向を素早くスイッチングすることにより所定数のバンチを有するバンチ列を切り出す機能を有することを特徴とする請求項１に記載のレーザー制御型電子ビーム線形加速装置。
【請求項３】
上記レーザーパルスの振幅を変調する手段は、ポッケルセルと一対の偏光子とから成ることを特徴とする請求項２に記載のレーザー制御型電子ビーム線形加速装置。
【請求項４】
上記タイミングシステムは、基準信号を逓倍又は分周することにより周波数Δｆとｆ０の信号を作成し、このΔｆとｆ０の信号をミキシングすることによりｆ０のサイドバンドである加速周波数ｆ１を作成し、上記Δｆは上記加速周波数ｆ１に対して数百ｋＨｚから数ＭＨｚの範囲内の周波数であり、上記ｆ０はｆ０＝ｆ１−Δｆの関係を有し、上記モードロックレーザーの入力信号は、上記ｆ０の信号を分周した信号であることを特徴とする請求項１又は２又は３に記載のレーザー制御型電子ビーム線形加速装置。
【請求項５】
上記タイミングシステムは、基準信号を逓倍又は分周することにより周波数Δｆと加速周波数ｆ１の信号を作成し、このΔｆとｆ１の信号をミキシングすることによりｆ１のサイドバンドである周波数ｆ０の信号を作成し、上記Δｆは上記加速周波数ｆ１に対して数百ｋＨｚから数ＭＨｚの範囲内の周波数であり、上記ｆ０はｆ０＝ｆ１−Δｆの関係を有し、上記モードロックレーザーの入力信号は、上記ｆ０の信号を分周した信号であることを特徴とする請求項１又は２又は３に記載のレーザー制御型電子ビーム線形加速装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザー制御型電子ビーム線形加速装置に関し、特に、電子ビームを加速しながらビームローディングによるマルチバンチビームのエネルギー広がりを補正するレーザー制御型電子ビーム線形加速装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子ビーム線形加速装置の分野では、ロングパルス且つ大電流の電子ビームの加速を行うため、一般にマルチバンチビームによる運転が行われている。ここで、マルチバンチビームとは、電子バンチ列すなわち一連の電子の固まりが列状に並んだもので構成される電子ビームのことである。電子ビームのパルス長が加速管のフィーリングタイムすなわち高周波電力が完全に加速管に充電される時間よりも短いマルチバンチビームを、定加速勾配型の加速管で構成した線形加速装置で加速した場合、先頭のバンチから後方のバンチに行くに従って、加速管内での過渡モードにおけるビームローディングにより、エネルギー利得がほぼ線形に減少してしまう。このマルチバンチビーム内のエネルギー差すなわちエネルギーの広がりを補正する方法はいくつかあるが、代表的な方法として、ΔＴ方式とΔＦ方式がある。
【０００３】
ΔＴ方式補正とは、フィーリングタイムの間にビームを入射しかつ加速管に供給する高周波の振幅を変化させることによって、加速高周波電力の傾斜を調整し、ビームローディングによって生じたバンチ列内のエネルギー差を補正するものである。
【０００４】
このΔＴ方式補正の例として、安定化高周波発振器と、加速用大出力パルス高周波源と、加速管を具備する装置において、更に、高周波を分割する高周波分割手段と、分割された高周波のそれぞれの位相を調整する位相変調器と、各々の高周波を合成する手段と、合成手段から合成高周波を入力して加速用大出力パルス高周波源と加速管に電子ビームを出力するパルス電子源とを設けて、各々の位相変調器に各々の分割高周波毎の位相変調指示を行うことにより、加速用高周波パルスの立ち上がり部分に振幅変調を与えて、電子ビームパルスの立ち上がり部分で発生するビームローディング効果による加速エネルギーの変動を補正するものがある。（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
またΔＦ方式補正とは、例えば、基本加速周波数（ｆ1）に対してわずかに異なる周波数（ｆ1±Δｆ）の加速管をｆ1の加速管で構成される線形加速装置の後に設置して、マルチバンチを周波数（ｆ1±Δｆ）のゼロクロス付近の位相におくことによって加減速させ、線形加速装置で発生するマルチバンチビームのエネルギーを補正するものである。このΔＦ方式補正では、加速と補正が線形加速装置中に別々に行われる。この加速と補正を同時に行うようにしたものが、レーザー制御型電子ビーム線形加速装置である。
【０００６】
このような、電子ビームを加速しながらビームローディングによるマルチバンチビームのエネルギー広がりをΔＦ方式で補正するレーザー制御型電子ビーム線形加速装置の概略図を図４に示す。図４に示すように、このレーザー制御型電子ビーム線形加速装置は、モードロックレーザー１１と、フォトカソード高周波電子銃１２及びその高周波源１３と、高加速勾配型加速管１４及びその高周波源１５とで構成される。この線形加速装置には、モードロックレーザー１１に供給される入力信号の周波数及びフォトカソード高周波電子銃１２の周波数及び加速管１４の加速周波数を作成するためにタイミングシステム１６が設けられている。このタイミングシステム１６には、基準信号発生器１７から基準信号が供給される。タイミングシステム１６は、逓倍器１８と、分周器１９及び２０と、ＳＳＢ（シングルサイドバンド）ジェネレータ２１を有している。ここで、モードロックレーザーとは、レーザーが正常に発振する、非常に接近した波長を持った幾つかの発振モードが同期することによって、ピコ秒のパルス光を発生する機能を持ったレーザーのことである。また、フォトカソード高周波電子銃とは、高周波空洞内の側面に設置されたカソード面にレーザー光を照射し、光電効果によって放出された電子が即座に高周波電界によって加速される構造のものである。
【０００７】
上述したような構成のレーザー制御型電子ビーム線形加速装置において、基準信号発生器１７からｆR＝1428.67646ＭＨｚの周波数の基準信号を出力し、その周波数ｆRを２逓倍した周波数ｆ0＝2857.35291ＭＨｚを高周波電子銃１２に用い、基準信号の４分周信号ｆR／４＝357.16911ＭＨｚをモードロックレーザー１１の入力信号の周波数ｆLとして用い、さらに、その４分周信号ｆR／４を264分周してΔｆ＝1.35291ＭＨｚの信号を作り、このΔｆと高周波電子銃１２の周波数ｆ0とをＳＳＢジェネレータ２１を用いて合成して加速管１４の加速周波数ｆ1＝2856ＭＨｚを作る。そして、モードロックレーザー１１から出力されたレーザーをフォトカソード高周波電子銃１２のカソードに打ち込むことによって、２０バンチのマルチバンチビームを発生させる。この高周波電子銃１２から出力されるビームの周波数ｆ0＝2857.35291ＭＨｚを基準加速周波数ｆ1＝2856ＭＨｚに対してΔｆ＝1.3529ＭＨｚだけ変化させることにより、各バンチビームの加速位相をわずかずらし、２０バンチビームの後段ほど加速電界が強くなるようにする。これにより、高周波電力を最大限利用した状態で、ビームを加速しながらビームローディングによるエネルギー広がりを補正するものがある（例えば、非特許文献１参照）。
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−４５８００号公報
【非特許文献１】平野耕一郎他８名「小型高輝度硬Ｘ線源開発−（２）Ｓバンド線形加速器システム−」、Proceedings of the 27th Linear Accelerator Meeting in Japan、京都大学、2002年8月7日、ｐ．１３０〜１３２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記レーザー制御型電子ビーム線形加速装置によれば、高周波電子銃と加速管のそれぞれに別の高周波源が用いられているので、線形加速装置全体が比較的大型のものとなっていた。高周波電子銃と加速管の高周波源を共通にすることにより、線形加速装置全体を小型化することが可能であるが、その場合には、高周波電子銃内でマルチバンチビームが受ける電界が後段部ほど強くなるため、発生する電子ビームの電流が後段部ほど大きくなる。従って、高周波電子銃から発生される電子ビームの電流パルス波形に歪が生じる。
【００１０】
すなわち、通常の高周波電子銃では、レーザーの周波数は高周波電子銃の周波数の分周信号を使用している。バンチの電流が大きくなると加速管同様高周波電子銃でもビームローディングが大きくなり、後段のバンチほどエネルギーが低くなり、各バンチのエネルギー差が大きくなっていく。一般に、高周波電子銃の加速エネルギー５MeVに対して加速管の加速エネルギーは１００MeVと大きく、高周波電子銃で発生する各バンチのエネルギー差より加速管で発生するエネルギー差の方が大きくなるので、加速管でエネルギー補正を行う。
【００１１】
加速管でのビームローディングを打ち消すようにエネルギー補正を行うようにすれば、高周波電子銃で発生するビームローディングを打ち消すように働く電場がビームローディングでロスする電場より強くなる場合には、高周波電子銃内のカソード面上に立つビームを引き出す電界が後段のバンチに対してより高く働くことになり、このため高周波電子銃から発生するバンチの電流は右肩上がりになる。言い換えれば、高周波電子銃から発生される電子ビーム波形に歪が生じる。
【００１２】
また、上記レーザー制御型電子ビーム線形加速装置によれば、高周波電子銃の周波数ｆ0と加速管の加速周波数ｆ1との関係は、ｆ0＝ｆ1＋Δｆであり、高周波の立下りスロープを利用している。このように高周波の立下りスロープを利用した場合は、各バンチ内の先頭の粒子より後方の粒子が低いエネルギーを受けるためバンチが広がることになる。よって、従来のレーザー制御型電子ビーム線形加速装置では、性能の良い電子ビームを得ることは困難である。
【００１３】
本発明は、線形加速装置全体を小型化にするとともに、上記電子ビームの電流パルス波形の歪みを修正して一定のバンチ電流を有する電子ビームが高周波電子銃から発生されるようにすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明によれば、カソード面がモードロックレーザーのレーザー光で照射されることによって放出された電子を即座に高周波電界によって加速してバンチ列で構成される電子ビームを出力するフォトカソード高周波電子銃と、該高周波電子銃から出力された電子ビームを加速する加速管と、基準信号から上記モードロックレーザーの入力信号の周波数、高周波電子銃の周波数及び加速管の加速周波数を作成するタイミングシステムと、上記高周波電子銃及び加速管にそれぞれ高周波電力を供給する高周波源とから構成され、上記モードロックレーザーの入力信号の周波数、高周波電子銃の周波数及び加速管の加速周波数を所定の離調範囲とすることにより、上記高周波電子銃から出力される電子ビームの周波数の位相を上記加速周波数の位相に対してわずかにずらし、それによってビームを加速しながらビームローディングによるマルチバンチビームのエネルギー広がりを補正するレーザー制御型電子ビーム線形加速装置において、上記モードロックレーザーと上記高周波電子銃との間に上記モードロックレーザーから出力されるレーザーパルスの振幅を変調する手段を設けるとともに、上記高周波電子銃の周波数を上記加速管の加速周波数に一致させることにより上記高周波源を上記高周波電子銃及び加速管に共通の高周波源として構成したことを特徴とするレーザー制御型電子ビーム線形加速装置が提供される。
【００１５】
本発明によれば、上記レーザーパルスの振幅を変調する手段は、光ビームの偏光方向を素早くスイッチングすることにより所定数のバンチを有するバンチ列を切り出す機能を有してもよい。
【００１６】
本発明によれば、上記レーザーパルスの振幅を変調する手段は、ポッケルセルと一対の偏光子とから成るものであってもよい。
【００１７】
本発明によれば、上記タイミングシステムは、基準信号を逓倍又は分周することにより周波数Δｆとｆ0の信号を作成し、このΔｆとｆ0の信号をミキシングすることによりｆ0のサイドバンドである加速周波数ｆ1を作成し、上記Δｆは上記加速周波数ｆ1に対して数百ｋＨｚから数ＭＨｚの範囲内の周波数であり、上記ｆ0はｆ0＝ｆ1−Δｆの関係を有し、上記モードロックレーザーの入力信号は、上記ｆ0の信号を分周した信号であってもよい。
【００１８】
本発明によれば、上記タイミングシステムは、基準信号を逓倍又は分周することにより周波数Δｆと加速周波数ｆ1の信号を作成し、このΔｆとｆ1の信号をミキシングすることによりｆ1のサイドバンドである周波数ｆ0の信号を作成し、上記Δｆは上記加速周波数ｆ1に対して数百ｋＨｚから数ＭＨｚの範囲内の周波数であり、上記ｆ0はｆ0＝ｆ1−Δｆの関係を有し、上記モードロックレーザーの入力信号は、上記ｆ0の信号を分周した信号であってもよい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、高周波電子銃と加速管に共通の高周波源を用いているので、線形加速装置全体を小型化することができる。また、モードロックレーザーと高周波電子銃との間に上記モードロックレーザーから出力されるレーザーパルスの振幅を変調する手段を設け、それにより、レーザーパルスの振幅を変調することにより、高周波電子銃から一定のバンチ電流を有する電子ビームを発生させることができる。また、本発明によれば、ｆ0＝ｆ1−Δｆの関係を選択することにより、高周波の立ち上がりのスロープを利用することができ、よって、各バンチ内の先頭の粒子より後方の粒子が高いエネルギーを受けるためバンチが固まり、性能の良い電子ビームを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明のレーザー制御型電子ビーム線形加速装置の構成を示す概略図であり、図４と同じ参照番号は同じ素子を示している。本発明のレーザー制御型電子ビーム線形加速装置は、図４に示された線形加速装置と同様に、モードロックレーザー１１と、フォトカソード高周波電子銃１２と、加速管１４と、加速管用高周波源１５と、タイミングシステム１６と、基準信号発生器１７で構成され、タイミングシステム１６が、逓倍器１８と、分周器１９及び２０と、ＳＳＢジェネレータ２１とを有する。しかしながら、図１の線形加速装置は、モードロックレーザー１１とフォトカソード高周波電子銃１２との間にレーザーパルス振幅変調器２２が設けられており、かつ、加速管１４の高周波源１５が高周波電子銃１２の高周波源を兼用している点が異なっている。また、基準信号発生器１７から発生される基準信号の周波数ｆRも異なっている。
【００２１】
基準信号発生器１７は、周波数ｆR＝1427.831624ＭＨzの基準信号を発生する。その基準信号は、分周器１９により４分周されてｆR／４＝356.957906ＭＨzの信号となって、モードロックレーザー１１の入力信号の周波数ｆLとして用いられる。さらに、このｆR／４の信号を分周器２０により４Ｎ分周（Ｎ＝２６５）してΔｆ＝0.336753ＭＨzの信号を作る。他方、周波数ｆRの基準信号を逓倍器１８により２逓倍して周波数ｆ0＝2855.66324ＭＨzの信号を作る。ＳＳＢジェネレータ２１がｆ0＝2855.66324ＭＨzの信号とΔｆ＝0.336753ＭＨzの信号を合成してすなわちミキシングして高周波源１５の加速周波数ｆ1＝2856ＭＨzを作る。ここで、ｆ1＝ｆ0＋Δｆであって、ｆ1はｆ0のサイドバンドである。
【００２２】
高周波源１５は、フォトカソード高周波電子銃１２及び加速管１４に共通の高周波源であるので、この高周波源１５から出力された周波数ｆ1の高周波が、フォトカソード高周波電子銃１２及び加速管１４の双方に供給される。高周波源１５として、クライストロン電源を使用してもよい。また、フォトカソード高周波電子銃として、１．６セル空洞ＢＮＬタイプのものを使用し、そのフォトカソードにＣｓ2Ｔｅを使用してもよい。モードロックレーザーとして、Ｎｄ：ＹＶＯレーザー（電荷量２ｎＣ／bunchに対して２６６ｎｍ、１μＪ／pulse）を使用してもよい。さらに、加速管として、３ｍ定加速勾配型進行波加速管（平均高加速勾配３３ＭｅＶ／ｍ）を使用してもよい。
【００２３】
モードロックレーザーの入力信号として用いられる信号の周波数ｆLは、基準信号の周波数ｆRを４分周したものすなわちｆL＝ｆR／４であり、また、周波数ｆ0は基準信号の周波数を２逓倍したものすなわちｆ0＝２ｆR であるので、周波数ｆL＝ｆ0／８である。従って周波数ｆLは周波数ｆ0を８分周したものである。このように、高周波源の加速周波数ｆ1よりΔｆだけ低い周波数ｆ0を分周した信号でロックをかけたモードロックレーザーから出力したパルスを、高周波電子銃のカソードに照射することにより、図２に示すように、高周波電子銃から発生するマルチビームの各バンチのタイミングを高周波加速位相に対して少しづつずらすことができる。
【００２４】
図２において、８本の垂直方向の破線Ｌはレーザーパルス発生のタイミングを示しており、１パルス毎に１つのバンチＢが形成される。レーザーパルス発生のタイミングＬの周波数はｆLであるので、電子ビームはｆLに同期して出力される。例えば、高周波電子銃から２．８ｎｓｅｃの間隔の２０バンチビームを出射するには、ミクロパルス幅１０ｐｓｅｃのレーザーが、ミクロパルスの繰り返し周波数ｆL＝356.957906ＭＨz、マクロパルス幅５６ｎｓｅｃでフォトカソードに打ち込まれる。すなわち、レーザーのミクロパルスの周期は２．８ｎｓｅｃであるので、マクロパルス幅５６ｎｓｅｃの中に２．８ｎｓｅｃの間隔で２０個の電子バンチが含まれることになる。
【００２５】
図２において、Ａは、加速周波数ｆ1＝2856ＭＨzを持つ加速高周波の波形を示す。上述したように、ｆ0／８＝ｆLであり、ｆ0＝ｆ1−Δｆであるので、加速周波数ｆ1＝2856ＭＨzは、レーザーの周波数ｆL＝356.957906ＭＨzのほぼ８倍である。従って、加速高周波Ａの８周期にほぼ１つのレーザーパルスが発生される。このため、８個の加速高周波Ａの波のうち１個だけが加速に使用され、残りの７個は空打ちとなる。よって、図２では、各レーザー周波数ｆLについて、加速高周波Ａの８周期の波形のうち、最初の１つの波形のみが実線で示されており、後の７周期分の波形は省略されている。また、実際のバンチは２０バンチであるが、図ではそのうちの８個だけのバンチが示されている。
【００２６】
図２に示されるように、加速周波数ｆ1に対して、レーザーの周波数ｆL、従って、マルチバンチビームの周波数を、Δｆ＝0.336753ＭＨzだけ変化させることにより、マルチバンチビームの各バンチのタイミングを高周波加速位相に対して少しづつずらすことができる。従って、マルチバンチビームの後段部の加速電界を高めることができる。すなわち、後段部のバンチビームほど高い加速エネルギー利得が得られるように補正する。この補正曲線を点線１で示す。これによって、ビームローディング効果による加速エネルギー低下（点線２で示す）を補正して一定の加速利得（一点鎖線３で示す）を得るようにする。なお、レーザー周波数ｆL、加速周波数ｆ1及びΔｆの関係は、Δｆ＝ｆ1−ｆ0＝ｆ1−８ｆLである。
【００２７】
図２による補正を行った場合には、一定の加速利得が得られるものの、高周波電子銃で発生するビームローディングを打ち消すように働く電場がビームローディングでロスする電場より強くなるため、高周波電子銃内で、後段のバンチに対してより高い電界が働くことになり、通常の高周波電子銃とは逆のエネルギー差が生じる。よって、発生する電子ビームの電流が後段部ほど大きくなる。すなわち、高周波電子銃の出力電流は、右肩上がりになる。また、電子ビームの方向性も悪くなる。例えば、マクロパルス幅５６ｎｓｅｃのレーザーパルスに対応して高周波電子銃１２から出力される高周波電子銃出口ビーム電流パルス波形は、図３に示すようにパルスの立ち下がり部分の電流強度が、立ち上がり部分の電流強度に比べて２．８％上昇する。そこで、本発明によれば、この上昇分を補正するため、図１に示すように、モードロックレーザー１１とフォトカソード高周波電子銃１２との間にレーザーパルス振幅変調器２２が設けられている。
【００２８】
この振幅変調器２２は、モードロックレーザー１１から出力されるレーザーパルスの強度すなわち振幅を変調することにより、図３のＣで示すようなパルス波形の歪を補正してＤのような波形に整形するものである。この振幅変調器２２は、ポッケルセルと一対の偏光子で構成される。ポッケルセルは、レーザービームの偏光方向を素早くスイッチングするのに用いられる素子であり、このポッケルセルと一対の偏光子とを組み合わせることによりレーザーパルスを所定幅で切り出すとともに光強度を変調することができる。ポッケルセルは、マクロパルス幅５６ｎｓｅｃのレーザーパルスを形成し、レーザーパルスに対して偏光子の傾きを制御することにより、レーザーパルスの振幅を変調することができる。図３の例では、Ｅで示すように、５６ｎｓｅｃの間にレーザーパルス強度が２．８％低下するように制御される。これにより、高周波電子銃出口ビームの電流パルス波形の２．８％の歪が補正される。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明のレーザー制御型線形加速装置は、放射光源用蓄積リング装置の電子ビーム発生装置、光蓄積装置と組み合わせて小型Ｘ線放射光源を構成できる。また、中性子生成コンバーターと組み合わせて、小型高輝度パルス中性子源を構成できる。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明のレーザー制御型線形加速装置の概略図である。
【図２】本発明におけるΔＦ方式マルチバンチエネルギー補正方法を説明する図である。
【図３】本発明における高周波電子銃出口ビーム電流補正方法を説明する図である。
【図４】従来のレーザー制御型線形加速装置の概略図である。
【符号の説明】
【００３１】
１１  モードロックレーザー
１２  フォトカソード高周波電子銃
１３、１５  高周波源
１４  加速管
１６  タイミングシステム
１７  基準信号発生器
１８  逓倍器
１９、２０  分周器
２１  ＳＳＢジェネレータ
２２  振幅変調器
Ａ  加速高周波の波形
Ｂ  電子バンチ
Ｃ  補正前の高周波電子銃出口ビーム電流パルス波形
Ｄ  補正後の高周波電子銃出口ビーム電流パルス波形
Ｅ  変調されたレーザーパルス強度
Ｌ  レーザーパルスのタイミング
【図１】
2005093339.tif 000003
【図２】
2005093339.tif 000004
【図３】
2005093339.tif 000005
【図４】
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