(57)【要約】【課題】  そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分を計測するとともに、併せて自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にすること。【解決手段】  表面に周期的な形状変化を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定装置において、前記被計測体までの距離を非接触で計測する非接触計測器４と、計測によって得られた計測データから、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離するとともに、前記計測データから、分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離する制御処理装置５とから成る表面形状測定方法および装置。【選択図】図１
2005241311.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に周期的な形状変化を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定方法において、
前記被計測体までの距離を非接触で計測し、
計測によって得られた計測データから、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離し、
前記計測データから、分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離する
ことを特徴とする表面形状測定方法。
【請求項２】
請求項１において、
計測によって得られた計測データを平均処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離する
ことを特徴とする表面形状測定方法。
【請求項３】
請求項１において、
計測によって得られた計測データをろ波処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離する
ことを特徴とする表面形状測定方法。
【請求項４】
請求項２において、
計測によって得られた計測データを移動平均処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離する
ことを特徴とする表面形状測定方法。
【請求項５】
請求項４において、
前記移動平均処理が、計測によって得られた計測データの任意の１点である注目点の前後複数点の平均値を求め、求められた前記平均値を前記注目点の値とする処理を、データを一つずつずらして全てのデータについて行うものである
ことを特徴とする表面形状測定方法。
【請求項６】
表面に周期的な形状変化を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定装置において、
前記被計測体までの距離を非接触で計測する非接触計測器と、
計測によって得られた計測データから、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離するとともに、
前記計測データから、分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離する制御処理装置と
から成ることを特徴とする表面形状測定装置。
【請求項７】
請求項６において、
前記制御処理装置が、計測によって得られた計測データを平均処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去する平均回路を備えている
ことを特徴とする表面形状測定装置。
【請求項８】
請求項６において、
前記制御処理装置が、計測によって得られた計測データをろ波処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去するフィルター回路を備えている
ことを特徴とする表面形状測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面に周期的な形状変化を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定方法および装置において、前記被計測体までの距離を非接触で計測し、計測によって得られた計測データから、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離し、前記計測データから、分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離する表面形状測定方法および装置に関するものであって、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分と自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にするものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の表面形状測定方法は、被計測体が薄板材である時を例にとると、前記薄板材表面に周期的に変化するウェーブを加工した製品の表面形状を測定するには、加工したウェーブの他に自然のそりなどによる形状変化があるため、図１０に示されるように前記そりを治具などで矯正し、加工したウェーブの高さを接触式測定器などで計測していた。
【０００３】
また従来の薄板の表面形状測定方法および装置としては、非接触計測器で薄板の表面形状計測を行うものであった（例えば特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２０００−２９２１５７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の薄板の表面形状測定方法および装置は、薄板材表面のウェーブの成分とそりの成分の分離が行えず、またウェーブを計測するためにそりを矯正する必要があった。さらに薄板材のそりの成分のデータが得られないという問題があった。
【０００５】
そこで本発明者は、表面に周期的な形状変化を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定方法において、前記被計測体までの距離を非接触で計測し、計測によって得られた計測データから、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離し、前記計測データから、分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離するという本発明の技術的思想に着眼し、さらに研究開発を重ねた結果、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分と自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にするという目的を達成する本発明に到達した。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明（請求項１に記載の第１発明）の表面形状測定方法は、
表面に周期的な形状変化を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定方法において、
前記被計測体までの距離を非接触で計測し、
計測によって得られた計測データから、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離し、
前記計測データから、分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離する
ものである。
【０００７】
本発明（請求項２に記載の第２発明）の表面形状測定方法は、
前記第１発明において、
計測によって得られた計測データを平均処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離する
ものである。
【０００８】
本発明（請求項３に記載の第３発明）の表面形状測定方法は、
前記第１発明において、
計測によって得られた計測データをろ波処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離する
ものである。
【０００９】
本発明（請求項４に記載の第４発明）の表面形状測定方法は、
前記第２発明において、
計測によって得られた計測データを移動平均処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離する
ものである。
【００１０】
本発明（請求項５に記載の第５発明）の表面形状測定方法は、
前記第４発明において、
前記移動平均処理が、計測によって得られた計測データの任意の１点である注目点の前後複数点の平均値を求め、求められた前記平均値を前記注目点の値とする処理を、データを一つずつずらして全てのデータについて行うものである
ものである。
【００１１】
本発明（請求項６に記載の第６発明）の表面形状測定装置は、
表面に周期的な形状変化を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定装置において、
前記被計測体までの距離を非接触で計測する非接触計測器と、
計測によって得られた計測データから、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離するとともに、
前記計測データから、分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離する制御処理装置と
から成るものである。
【００１２】
本発明（請求項７に記載の第７発明）の表面形状測定装置は、
前記第６発明において、
前記制御処理装置が、計測によって得られた計測データを平均処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去する平均回路を備えている
ものである。
【００１３】
本発明（請求項８に記載の第８発明）の表面形状測定装置は、
前記第６発明において、
前記制御処理装置が、計測によって得られた計測データをろ波処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去するフィルター回路を備えている
ものである。
【発明の効果】
【００１４】
上記構成より成る第１発明の表面形状測定方法は、表面に周期的な形状変化を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定方法において、前記被計測体までの距離を非接触で計測し、計測によって得られた計測データから、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離し、前記計測データから、分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離するので、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分を計測することを可能にするものであり、併せて自然に生じる被計測体表面のそりなどの成分とを計測することを可能にするという効果を奏する。
【００１５】
上記構成より成る第２発明の表面形状測定方法は、前記第１発明において、計測によって得られた計測データを平均処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離するので、前記計測データから、平均処理によって分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離するので、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分と自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にするという効果を奏する。
【００１６】
上記構成より成る第３発明の表面形状測定方法は、前記第１発明において、計測によって得られた計測データをろ波処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離するので、前記計測データから、ろ波処理によって分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離するので、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分と自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にするという効果を奏する。
【００１７】
上記構成より成る第４発明の表面形状測定方法は、前記第２発明において、計測によって得られた計測データを移動平均処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離するので、前記計測データから、移動平均処理によって分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離するので、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分と自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にするという効果を奏する。
【００１８】
上記構成より成る第５発明の表面形状測定方法は、前記第４発明において、前記移動平均処理が、計測によって得られた計測データの任意の１点である注目点の前後複数点の平均値を求め、求められた前記平均値を前記注目点の値とする処理を、データを一つずつずらして全てのデータについて行うものであるので、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分と自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にするという効果を奏する。
【００１９】
上記構成より成る第６発明の表面形状測定装置は、表面に周期的な形状変化を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定装置において、前記非接触計測器が、前記被計測体までの距離を非接触で計測し、前記制御処理装置が、計測によって得られた計測データから、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離するとともに、前記計測データから、分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離するので、シンプルな構成によって、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分と自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にするという効果を奏する。
【００２０】
上記構成より成る第７発明の表面形状測定装置は、前記第６発明において、前記制御処理装置が備える前記平均回路が、計測によって得られた計測データを平均処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去するので、前記計測データから、平均処理によって分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を分離するので、シンプルな構成によって、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分と自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にするという効果を奏する。
【００２１】
上記構成より成る第８発明の表面形状測定装置は、前記第６発明において、前記制御処理装置が備える前記フィルター回路が、計測によって得られた計測データをろ波処理することにより、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去するので、シンプルな構成によって、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分と自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にするという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下本発明の最良の実施の形態につき実施例に基づき、図面を用いて具体的に説明する。
【実施例１】
【００２３】
本第１実施例の表面形状測定装置は、図１および図２に示されるように薄板材１を固定する治具２と、前記薄板材１の上面の高さを計測するため薄板材１を移動例えば回転させる回転ステージ３と、薄板材１の上面の高さを測定する非接触式計測器４と、前記ステージ３と非接触計測器４を制御し、計測データを処理する制御処理装置５からなっている。
【００２４】
表面形状測定装置は、薄板材１の計測の際、薄板材１のそりの矯正を必要とせず、計測データからそりの成分とウェーブの成分を分離することをねらいとしている。
【００２５】
上記構成より成る本第１実施例の表面形状測定装置によって取得した計測データは、薄板材のそりを矯正していないため薄板材のそりとウェーブの高さデータが両方含まれたデータになっており、このままこの計測データからウェーブの高さを計測してしまうと、そりの影響でウェーブの高さデータが正しく得られない。
【００２６】
本第１実施例における制御処理装置５は、このため計測データからそりの成分と、既知の周期的成分であるウェーブの成分に平均処理によって分離する。前記ウェーブの波長は、製品の機能上加工されるので決まっており既知であるので、平均処理によってかかる周波数成分を計測データの中から除去され、前記薄板材１のそりの高さデータが得られる。元の計測データから前記薄板材１のそりの高さデータを差分することで、ウェーブの高さデータが得られる。
【００２７】
本第１実施例の表面形状測定装置は、元の計測データに対してそりとウェーブを分離する処理を行うことにより、従来行っていた前記薄板材１のそりを矯正する必要が無くなり、前記薄板材のウェーブを抽出取得することを可能にするものである。
【００２８】
また本第１実施例の表面形状測定装置は、１度の計測で前記薄板材１のウェーブとそりのデータを取得することを可能にするという効果を奏する。
【実施例２】
【００２９】
第２実施例の表面形状測定装置は、図１および図２に示されるようにクラッチ摩擦材などウェーブ形状を持ったプレス加工品である薄板材１を固定する治具２と、計測のため薄板材を回転させるステージ３と、前記薄板材１の上面の高さを計測する非接触計測装置４と、前記ステージ３と非接触計測装置４を制御し、取得した計測データを処理する制御処理装置５から成っている。
【００３０】
前記薄板材１は、計測の簡易化をねらいとして、そりがついたまま前記治具２に載置され、固定される。前記ステージ３は、非接触計測装置と連動しており、数千点の高さデータを随時、前記制御処理装置５において取得し蓄えられる。該制御処理装置５で取得した計測データに対して移動平均処理を行うことにより、前記薄板材１の既知のウェーブの周波数成分を除去して、前記薄板材１のそりの成分のみを抽出する。取得した計測データから抽出したそりの成分を差し引くことにより、前記薄板材１のウェーブの成分を抽出するものである。
【００３１】
本第２実施例の表面形状測定装置の計測手順について、図３に示されるチャート図を用いて説明する。
【００３２】
ステップ１０１において、前記薄板材１を前記治具２の上に載置して固定する。ステップ１０２において、前記薄板材１を前記ステージ３において回転させる。
【００３３】
ステップ１０３において、前記非接触計測器４によって前記薄板材１の上面の高さを計測する。ステップ１０４において、前記制御処理装置５に（Ａ）で示すデータを蓄える。
【００３４】
ステップ１０５において、取得した計測データ（Ａ）をｎ項移動平均によって前記薄板材１の既知のウェーブの周波数成分を除去して、（Ｂ）で示すそりのデータを抽出する。
【００３５】
ステップ１０６において、元の計測データ（Ａ）からそりのデータ（Ｂ）を差分し、ウェーブのデータ（Ｃ）を抽出取得する。
【００３６】
本第２実施例の表面形状測定装置は、計測したデータ（Ａ）からそりの成分（Ｂ）を分離して、ウェーブの成分（Ｃ）を抽出するため、そりの矯正を不要にするとともに、１度の計測でウェーブとそりのデータを取得できるようにするという効果を奏する。
【実施例３】
【００３７】
本第３実施例の表面形状測定方法は、表面に周期的な形状を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定方法において、計測によって得られた計測データから、信号解析を行うことにより被計測体表面の周期的な形状の成分と自然のそりなどにより生じた形状の成分とを分離し、得られた計測データから周期的な形状の成分と自然のそりなどによって生じた成分とを移動平均処理によって分離し、計測時に被計測体に自然に生じるそりなどを矯正することなく計測を行い、一度の計測で周期的な形状の成分と自然のそりなどによって生じる成分とを計測するものである。
【００３８】
本第３実施例の表面形状測定方法において用いる表面形状測定装置は、被計測体をリング状の薄板材とした時、図１に示されるように被計測体である薄板材１を回転させるための回転ステージ３の上に、前記薄板材１を固定する治具２が配設され、前記薄板材１を表面にそりがついたままの状態で適当に前記治具２に乗せ、固定する。
【００３９】
前記薄板材１の鉛直方向上部に前記薄板材１の上面の高さを計測するための非接触計測装置４が前記薄板材１と一定距離離れて配設される。前記非接触計測装置４により得られた計測データは前記非接触制御装置４に接続されている制御処理装置５によって処理が行われる。
【００４０】
次に、具体的に表面に周期的に変化するウェーブが施された薄板材１のウェーブ高さの計測方法について、図４に示されるフローチャートを用いて説明する。
【００４１】
まずステップ２０１において、図１に示されるように表面にウェーブが施された前記薄板材１を、自然に生じるそりなどがついたままの状態で、適当に前記治具１に載置して固定する。
【００４２】
ステップ２０２において、次に前記回転ステージ３を回転させることにより、前記薄板材１が固定された前記治具２を一定速度で回転させる。
【００４３】
これにより、ステップ２０３において、前記薄板材１の鉛直方向上部に一定距離離れて配設された非接触計測装置５によって、前記薄板材１の１周分の計測データＡ（図５（ａ）参照）が得られる。
【００４４】
ステップ２０４において、得られた計測データＡは前記制御処理装置５に蓄えられ、前記治具２の影響による計測差を取り除くため、予め取得してある治具の計測値Ｂ（図５（ｂ）参照）で差分Ｃ＝Ａ−Ｂ（図５（ｃ）参照）を求める。
【００４５】
ステップ２０５において、計測データＣからフィルター処理により大きなうねり成分Ｄ（図５（ｄ）参照）を除去する。すなわち得られた計測データＣに対してｎ項移動平均を用いて前記薄板材１の表面（上面）に自然に生じたそりのデータを抽出する。ｎ項移動平均の式を以下に示す。
【数１】
2005241311.tif 000003
【００４６】
前記ステップ２０５における前記ｎ項移動平均について、図６に示すフローチャートを用いて、さらに詳細に説明する。
【００４７】
ステップ３０１において、前記得られた計測データＡから治具の計測値Ｂを引いた計測データＣ（図５（ｃ）参照）に対して、任意の１点を注目点とする。ステップ３０２において、次に、前記注目点と横軸前後ｎ点の値の高さ平均値を計算する。
【００４８】
ステップ３０３において、得られた高さ平均値を前記注目点の新しい値とし、ステップ３０５において、次に注目点を１つずらし、新しい注目点の前後ｎ点の値の高さ平均値を計算する。同様に得られた高さ平均値を前記注目点の新しい値とし、ステップ３０４において、これを全ての計測データについて行う。これにより作成されたデータを図５（ｄ）に示す。
【００４９】
前記作成されたデータ（図５（ｄ）参照）は、図５（ｃ）において、ある注目点の前後ｎ点の値の高さ平均を取るということは、ｎ点が前記薄板１の表面に施された周期的に変化する形状（ここではウェーブ）の半波長分すなわち、前後ｎ点で１波長分の計測値を含んでいれば、山と谷は打ち消され、前記注目点におけるそりの高さデータが得られることになる。すなわち図５のフローチャートにより作成された前記図３（ｄ）のデータは各注目点におけるそりの高さデータになる。
【００５０】
図４のフローチャートにおけるステップ２０６において、前記ｎ項移動平均の式により得られたそりの高さデータ（図３（ｄ）参照）を計測データＣ（図３（ｃ）参照）から差分することにより薄板材５に施された周期的なウェーブの高さデータ（図（ｅ）参照）を得る。最後に、ステップ２０７において、このようにして得られたそりの高さデータおよびウェーブの高さデータについて評価を行い、終了する。
【００５１】
上記作用を奏する本第３実施例の表面形状測定方法は、表面に周期的な形状を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定方法において、計測によって得られた計測データから、信号解析を行うことにより被計測体表面の周期的な形状の成分と自然のそりなどにより生じた形状の成分とを分離するので、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分を計測するという効果を奏する。
【００５２】
また本第３実施例の表面形状測定方法は、得られた計測データから周期的な形状の成分と自然のそりなどによって生じた成分とを移動平均処理によって分離するので、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分と自然に生じるそりなどの成分とを計測することを可能にするという効果を奏する。
【００５３】
さらに本第３実施例の表面形状測定方法は、計測時に被計測体に自然に生じるそりなどを矯正することなく計測を行うので、被計測体のそりを矯正する手間を不要にするという効果を奏する。
【００５４】
上述の実施例は、説明のために例示したもので、本発明としてはそれらに限定されるものではなく、特許請求の範囲、発明の詳細な説明および図面の記載から当業者が認識することができる本発明の技術的思想に反しない限り、変更および付加が可能である。
【００５５】
また上述の実施例は、一例として図１に示されるように表面にウェーブ形状を施した薄板の高さ方向（厚さ方向）の表面形状測定方法の例について説明したが、本発明としては図示したものに限定されるものではなく、必要に応じて図７に示されるようにギヤなどの部材を回転させ、その前記ギヤの外周方向に一定距離離れて配設された非接触計測器によって前記ギヤの外周面を計測する態様や、図８に示されるように固定されたネジに対して一定距離離れて配設された非接触計測器が前記ネジと平行に移動できるように配設されたスライドレールの上を滑りながら移動し、前記ネジ山表面を計測する態様など、その他の態様に適用することが出来るものである。
【００５６】
また前記ｎ項移動平均は、図６のフローチャートに示したように注目点を変更するたびに前後ｎ点の高さ平均値を計算するものに限定されるものではなく、必要に応じて図６のフローチャートに示すように、注目点と前後ｎ点の高さデータの合計値をＴとすると、注目点を１つずらした時、ずらした方向と逆側のｎ点目の高さデータを前記合計値Ｔから減算し、ずらした方向のｎ＋１点目の高さデータを加算し平均値の計算を行う変更態様など、その他の態様に適用することが出来るものである。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
表面に周期的な形状を有する被計測体の表面形状を測定する表面形状測定方法において、前記被計測体までの距離を非接触で計測し、計測によって得られた計測データから、既知の周期的な形状変化の周波数成分を除去して、前記被計測体表面の周期的な形状変化成分に重畳している既知でない自然のそりなどにより生じた形状変化成分を分離し、前記計測データから、分離された形状変化成分を除去して、周期的な形状変化を抽出分離して計測するもので、そりを矯正することなく一度の計測で被計測体表面の周期的な形状の成分を計測するとともに、併せて自然に生じるそりなどの成分とを計測することが要求される用途にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施例の表面形状測定方法および装置を示す斜視図である。
【図２】本実施例の表面形状測定方法における薄板材の表面形状およびウェーブを示す説明図である。
【図３】本発明の第２実施例の表面形状測定方法における計測手順および計測値等を示すチャート説明図である。
【図４】本発明の第３実施例の表面形状測定方法の計測手順を示すチャート図である。
【図５】本第３実施例の表面形状測定方法における計測および処理されたデータを示すタイムチャート図である。
【図６】本第３実施例の表面形状測定方法における移動平均の手順について示すチャート図である。
【図６】本実施例の表面形状測定方法における移動平均の変更例を示すチャート図である。
【図７】本発明のその他の態様の表面形状測定方法および装置を説明するための説明図である。
【図８】本発明のその他の態様の表面形状測定方法および装置を説明するための説明図である。
【図９】本実施例の移動平均処理における変更態様の手順を示すチャート図である。
【図１０】従来におけるそりを治具によって矯正し、加工したウェーブの高さを接触式測定器によって計測する例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  薄板材
２  治具
３  回転ステージ
４  非接触計測器
５  制御処理装置
【図１】
2005241311.tif 000004
【図２】
2005241311.tif 000005
【図３】
2005241311.tif 000006
【図４】
2005241311.tif 000007
【図５】
2005241311.tif 000008
【図６】
2005241311.tif 000009
【図７】
2005241311.tif 000010
【図８】
2005241311.tif 000011
【図９】
2005241311.tif 000012
【図１０】
2005241311.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成16年3月26日(2004.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
【図１】本発明の実施例の表面形状測定方法および装置を示す斜視図である。
【図２】本実施例の表面形状測定方法における薄板材の表面形状およびウェーブを示す説明図である。
【図３】本発明の第２実施例の表面形状測定方法における計測手順および計測値等を示すチャート説明図である。
【図４】本発明の第３実施例の表面形状測定方法の計測手順を示すチャート図である。
【図５】本第３実施例の表面形状測定方法における計測および処理されたデータを示すタイムチャート図である。
【図６】本第３実施例の表面形状測定方法における移動平均の手順について示すチャート図である。
【図７】本発明のその他の態様の表面形状測定方法および装置を説明するための説明図である。
【図８】本発明のその他の態様の表面形状測定方法および装置を説明するための説明図である。
【図９】本実施例の移動平均処理における変更態様の手順を示すチャート図である。
【図１０】従来におけるそりを治具によって矯正し、加工したウェーブの高さを接触式測定器によって計測する例を示す斜視図である。