(57)【要約】【課題】  光源の特性変化にかかわらず、電気光学装置の透過性能の検査を常に適切に実施できるようにする。【解決手段】  電気光学装置（１００、１０１）に光を照射する光源と、該光源からの光を受けこれを透過させる較正部（４２１、４２２）を有するとともに該較正部が存在する位置とは異なる位置で前記電気光学装置を保持する移動テーブル（４１）と、光源からの光が較正部及び電気光学装置のいずれか一方に選択的に照射されるように移動テーブルを光源との関係において相対的に移動させる移動手段と、電気光学装置を透過する光を受ける受光手段とを備えている。【選択図】      図２
2005257479.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学装置に光を照射する発光手段と、
該発光手段からの光を受けこれを透過させる較正部を有するとともに該較正部が存在する位置とは異なる位置で前記電気光学装置を保持する被検査体保持手段と、
前記発光手段からの光が前記較正部及び前記電気光学装置のいずれか一方に選択的に照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動手段と、
前記電気光学装置を透過する光又は前記較正部を透過する光を受ける受光手段と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項２】
電気光学装置に光を照射する発光手段と、
該発光手段からの光を受けこれを反射させる較正部を有するとともに該較正部が存在する位置とは異なる位置で前記電気光学装置を保持する被検査体保持手段と、
前記発光手段からの光が前記較正部及び前記電気光学装置のいずれか一方に選択的に照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動手段と、
前記電気光学装置で反射する光又は前記較正部で反射する光を受ける受光手段と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項３】
前記移動手段による移動は、弧を描くように行われることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項４】
前記被検査体保持手段は、一の方向から平面視して円形状を含み、
前記較正部及び前記電気光学装置は前記円形状の周に沿って配置されており、
前記移動手段による移動は、前記円形状の中心を回転軸とする移動であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項５】
前記較正部と前記電気光学装置は弧度９０度の間隔をもって配置されているとともに、
前記較正部は、前記円形状の第１直線上にのるように少なくとも二つ配置されており、前記電気光学装置は前記第１直線と直交する第２直線上にのるように少なくとも二つ配置され得ることを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項６】
前記移動手段による移動は、直線的に行われることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項７】
前記被検査体保持手段は、一の方向から見て平面視して矩形状を含み、
前記較正部及び前記電気光学装置は前記矩形状の一辺に沿って配置されており、
前記移動手段による移動は、前記一辺に沿った移動であることを特徴とする請求項１、２又は６に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項８】
前記電気光学装置は前記較正部を挟んで少なくとも二つ配置され得ることを特徴とする請求項７に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項９】
前記移動手段による移動は、自動的に行われることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１０】
前記移動手段による移動は、水平方向に沿って行われることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１１】
前記発光手段及び前記被検査体保持手段間並びに前記被検査体保持手段及び前記受光手段間の少なくとも一方に配置され前記光を通過させる光学要素を更に備えたことを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１２】
較正部及び該較正部が存在する位置とは異なる位置で前記電気光学装置を保持する被検査体保持手段における前記較正部に発光手段からの光を照射する第１照明工程と、
前記較正部を透過する光を受光して前記発光手段の特性を確認する第１受光工程と、
前記較正部に代わって前記電気光学装置に前記発光手段からの光が照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動工程と、
前記被検査体保持手段における前記電気光学装置に前記発光手段からの光を照射する第２照明工程と、
前記電気光学装置を透過する光を受光する第２受光工程と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項１３】
較正部及び該較正部が存在する位置とは異なる位置で前記電気光学装置を保持する被検査体保持手段における前記較正部に発光手段からの光を照射する第１照明工程と、
前記較正部で反射する光を受光して前記発光手段の特性を確認する第１受光工程と、
前記較正部に代わって前記電気光学装置に前記発光手段からの光が照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動工程と、
前記被検査体保持手段における前記電気光学装置に前記発光手段からの光を照射する第２照明工程と、
前記電気光学装置で反射する光を受光する第２受光工程と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶装置その他の透過性を有するとともに通電によってその透過性の程度を変更させうる電気光学装置の品質検査等に用いられて好適な検査装置及び検査方法の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、基板上にマトリクス状に配列された画素部を持つ、液晶装置等の電気光学装置が知られている。この電気光学装置では、通常、投射光やバックライトの照射を受けるとともにその光を透過し又は透過後反射した上で更に透過することによって、スクリーン上や直視で所定の画像を表示することが可能となっている。ここで、様々な事情により、光透過に障害が生じる場合がある。例えば、電気光学装置がアクティブマトリクス駆動方式であるなら、画素スイッチング素子の一例たる薄膜トランジスタの不良により一定の画素部における光透過が遮られることがある。また、単に電気光学装置の表面にごみが付着したり、傷がついたりすることもある。いずれにせよ、これらの事象が発生すると、所望の光透過状態を実現することができず、画像上に“しみ”や“むら”等（前述のような原因に基づくのではないが、微妙なばらつき等を原因として僅かに観察されるようなものもある。）が生じるような状態を発生させるおそれが出てくる。
【０００３】
そこで従来から電気光学装置の製造工程における所定の段階において、その光透過性能を確認するための検査工程が組み込まれることが行われている。そして、この検査工程においては、適当な検査装置が使われることも行われている。そのような検査装置あるいは方法としては、例えば、特許文献１、あるいは特許文献２等に掲げるようなものが知られている。これらに開示されている装置あるいは方法では、いずれにおいても、被検査体である液晶装置等に対して実際に所定の光源からの光を照射し、その透過の具合を確かめることによって、当該被検査体の透過性能を検査するという点において基本的な原理を同じくすると考えられる。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１６６７７９号公報
【特許文献２】特開２００１−１４７４１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来における電気光学装置の検査装置、あるいは検査方法においては、次のような問題点がある。すなわち、検査時に用いられる光源の特性は、一般に時間の経過につれて変化することから、常に同質の検査を実施することが困難なことである。例えば仮に、全く同じ光透過性能を有する二つの電気光学装置があるとしても、その一方を光源使用開始直後に検査し、他方を光源寿命切れ直前に検査したとすると、違う検査結果が得られることがあるということである。この場合、光源の明るさは経時的に劣化していくのが通常だから、前者の基準を維持すると、後者は“不良”との判定が下されてしまいかねない。なお、前記の特許文献１及び２は、この点について特に配慮がなされているわけではない。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、光源の特性変化にかかわらず、電気光学装置の透過性能の検査を常に適切に実施し得る電気光学装置の検査装置及び検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の電気光学装置の検査装置は、上記課題を解決するため、電気光学装置に  
【０００８】
光を照射する発光手段と、該発光手段からの光を受けこれを透過させる較正部を有するとともに該較正部が存在する位置とは異なる位置で前記電気光学装置を保持する被検査体保持手段と、前記発光手段からの光が前記較正部及び前記電気光学装置のいずれか一方に選択的に照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動手段と、前記電気光学装置を透過する光又は前記較正部を透過する光を受ける受光手段とを備えている。
【０００９】
本発明の第１の電気光学装置の検査装置によれば、その検査時には、発光手段で発生した光は、電気光学装置を透過した後、受光手段に達する。ここに電気光学装置とは、具体的には例えば、液晶表示装置その他の透過性を有するとともに通電によってその透過性の程度を変更させうる装置が該当する。したがって、当該検査装置のオペレータは、電気光学装置を透過した光及び受光手段それ自体により構成された、あるいは当該光及び受光手段に接続された適当な画像表示手段により構成された画像を視認等することで、当該電気光学装置における光透過性能について確認することができる。なお、発光手段と電気光学装置との間、あるいは電気光学装置と受光手段との間には適当なレンズ、偏光板等々からなる種々の光学要素を備えていてもよい。
【００１０】
そして、本発明では特に、電気光学装置が被検査体保持手段に保持されるとともに、該被検査体保持手段は較正部を有している。この較正部が存在する位置と、電気光学装置の保持位置とは異なっている。そして、かかる被検査体保持手段は移動手段により移動させられるようになっており、この移動により、発光手段からの光が電気光学装置及び較正部のいずれか一方に選択的に照射されるようになっている。言い換えれば、移動手段は、発光手段からの光を較正部に照射させる位置と、電気光学装置に照射させる位置との間で、被検査体保持手段を移動可能に構成されている。これによると、本発明に係る検査装置を例えば以下のように運用することが可能になる。
【００１１】
すなわち、第一に、発光手段からの光を較正部に照射し、この較正部において透過する光を受光手段により受光する。これにより、現時点における発光手段の特性を確認することができる。ちなみに、較正部を「透過」する場合とは、例えば該較正部が被検査体保持手段に設けられた単なる開口部であるというような場合に該当する。即ち、この場合には「開口部」或いは「較正用開口部」とは、開口を規定する被検査体保持手段の本体或いは基材の壁部分に相当する。この際、開口は、素通しでもよいし、何らかの透明部材が嵌め込まれていても構わない。いずれにせよ、これらによると、受光手段は、発光手段からの光を直接的に受けることが可能になり、もって当該発光手段の現時点における特性を推し量ることが可能になる。即ち、例えば透過率測定の際における零合せ、或いは較正（キャリブレーション）を実行することが可能となる。
【００１２】
第二に、このような較正後に、移動手段により被検査体保持手段を移動させ、発光手段からの光を電気光学装置に照射する。前記で確認された発光手段の特性を前提にして、当該電気光学装置の光透過性能を確認する。つまり、発光手段の使用開始直後であれば該発光手段はより明るく、発光手段の寿命切れ直前であればより暗いということを前提とした上で、電気光学装置の透過性能を確認することができるのである。
【００１３】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、光源の特性変化にかかわらず、電気光学装置の透過性能の検査を常に適切に実施し得ることになる。また、本発明では、較正部及び電気光学装置の保持部が同じ被検査体保持手段に備えられることから、両者を別々に用意するなどという場合に比べて、作業の迅速性・確実性等を向上させることができるし、発光手段の現時点における特性の確認とそれを前提とした電気光学装置の検査とを間をおかずに実施することができるから、透過型の電気光学装置について、より正確な検査を実施することもできる。
【００１４】
本発明の第２の電気光学装置の検査装置は、上記課題を解決するため、電気光学装置に光を照射する発光手段と、該発光手段からの光を受けこれを反射させる較正部を有するとともに該較正部が存在する位置とは異なる位置で前記電気光学装置を保持する被検査体保持手段と、前記発光手段からの光が前記較正部及び前記電気光学装置のいずれか一方に選択的に照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動手段と、前記電気光学装置で反射する光又は前記較正部で反射する光を受ける受光手段とを備えている。
【００１５】
本発明の第２の電気光学装置の検査装置によれば、その検査時には、発光手段で発生した光は、電気光学装置を反射した後、受光手段に達する。ここに電気光学装置とは、具体的には例えば、液晶表示装置その他の反射性能を有するとともに通電によってその反射性能の程度を変更させうる装置が該当する。したがって、当該検査装置のオペレータは、電気光学装置を反射した光及び受光手段それ自体により構成された、あるいは当該光及び受光手段に接続された適当な画像表示手段により構成された画像を視認等することで、当該電気光学装置における光反射性能について確認することができる。なお、発光手段と電気光学装置との間、あるいは電気光学装置と受光手段との間には適当なレンズ、偏光板等々からなる種々の光学要素を備えていてもよい。
【００１６】
そして、本発明では特に、電気光学装置が被検査体保持手段に保持されるとともに、該被検査体保持手段は較正部を有している。この較正部が存在する位置と、電気光学装置の保持位置とは異なっている。そして、かかる被検査体保持手段は移動手段により移動させられるようになっており、この移動により、発光手段からの光が電気光学装置及び較正部のいずれか一方に選択的に照射されるようになっている。言い換えれば、移動手段は、発光手段からの光を較正部に照射させる位置と、電気光学装置に照射させる位置との間で、被検査体保持手段を移動可能に構成されている。これによると、本発明に係る検査装置を例えば以下のように運用することが可能になる。
【００１７】
すなわち、第一に、発光手段からの光を較正部に照射し、この較正部において反射する光を受光手段により受光する。これにより、現時点における発光手段の特性を確認することができる。ちなみに、較正部を「反射」する場合とは、例えば該較正部が被検査体保持手段に設けられたミラーであるというような場合に該当する。これによると、受光手段は、発光手段からの反射光を直接的に受けることが可能になり、もって当該発光手段の現時点における特性を推し量ることが可能になる。即ち、例えば反射率測定の際における零合せ、或いは較正（キャリブレーション）を実行することが可能となる。
【００１８】
第二に、このような較正後に、移動手段により被検査体保持手段を移動させ、発光手段からの光を電気光学装置に照射する。前記で確認された発光手段の特性を前提にして、当該電気光学装置の光反射性能を確認する。つまり、発光手段の使用開始直後であれば該発光手段はより明るく、発光手段の寿命切れ直前であればより暗いということを前提とした上で、電気光学装置の反射性能を確認することができるのである。
【００１９】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、光源の特性変化にかかわらず、電気光学装置の反射性能の検査を常に適切に実施し得ることになる。また、本発明では、較正部及び電気光学装置の保持部が同じ被検査体保持手段に備えられることから、両者を別々に用意するなどという場合に比べて、作業の迅速性・確実性等を向上させることができるし、発光手段の現時点における特性の確認とそれを前提とした電気光学装置の検査とを間をおかずに実施することができるから、反射型の電気光学装置について、より正確な検査を実施することもできる。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の一態様では、前記移動手段による移動は、弧を描くように行われる。
【００２０】
この態様によれば、被検査体保持手段の移動態様についての好適な一態様が提供される。例えば、被検査体保持手段が直線的に移動するなどという場合に比べて、移動範囲をより小さくしうる可能性があるから、装置全体の小型化などを実現することができる。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記被検査体保持手段は、一の方向から平面視して円形状を含み、前記較正部及び前記電気光学装置は前記円形状の周に沿って配置されており、前記移動手段による移動は、前記円形状の中心を回転軸とする移動である。
【００２１】
この態様によれば、較正部及び電気光学装置の配置態様についての好適な一態様が提供される。「被検査体保持手段を一の方向から平面視する」とは、例えば、平面的に広がる、被検査体保持手段における較正部及び電気光学装置が配置される面を、その法線方向から平面的に見ることを意味する。言い換えれば、被検査体保持手段は、例えば、較正部及び電気光学装置が保持又は載置される円形状の面を有する。そして、移動手段による移動は、この円形状の中心を回転軸とする移動、即ち回転運動である。従って、例えば、較正部及び電気光学装置が直線上にのるような配置態様とされる場合よりも、空間的により狭い範囲で両者を配置させることができる。また、この態様では、被検査体保持手段は前述の態様のように弧を描くように移動することが好ましく、この場合には、前述した態様に係る作用効果と同じ作用効果も得ることができる。
この態様では、前記較正部と前記電気光学装置は弧度９０度の間隔をもって配置されているとともに、前記較正部は、前記円形状の第１直線上にのるように少なくとも二つ配置されており、前記電気光学装置は前記第１直線と直交する第２直線上にのるように少なくとも二つ配置され得るように構成してもよい。
【００２２】
このような構成によれば、較正部及び電気光学装置が被検査体保持手段においてバランスよく配置されるというだけでなく、検査作業の迅速性・確実性をより向上させることができる。というのも、この態様によれば、典型的には、次のような作業を実現することができるからである。すなわち、この態様ではまず、第１直線にのる一方の較正部で発光手段の特性を確認した後、被検査体保持手段を回転させて、第２直線にのる一方の電気光学装置の検査を実施することができるが、このとき同時に、第２直線にのるべき他方の電気光学装置の被検査体保持手段に対するセッティング作業を実施することができる。続いて、前記一方の電気光学装置の検査が完了した後には、第１直線にのる他方の較正部で発光手段の特性を確認した後、被検査体保持手段を前記と同じ方向に回転させて、第２直線にのる他方の電気光学装置の検査を実施することができる。以下同様である。このように、本態様によれば、検査作業全体を効率よく実施することができるのである。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段による移動は、直線的に行われる。
【００２３】
この態様によれば、被検査体保持手段の移動態様についての好適な一態様が提供される。例えば、被検査体保持手段が弧を描くように移動するなどという場合に比べて、移動機構をより単純にしうる可能性があるから、装置構成の簡易化などを実現することができる。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記被検査体保持手段は、一の方向から見て平面視して矩形状を含み、前記較正部及び前記電気光学装置は前記矩形状の一辺に沿って配置されており、前記移動手段による移動は、前記一辺に沿った移動である。
【００２４】
この態様によれば、較正部及び電気光学装置の配置態様についての好適な一態様が提供される。「被検査体保持手段を一の方向から平面視する」とは、例えば、平面的に広がる、被検査体保持手段における較正部及び電気光学装置が配置される面を、その法線方向から平面的に見ることを意味する。言い換えれば、被検査体保持手段は、例えば、較正部及び電気光学装置が保持又は載置される矩形状の面を有する。そして、移動手段による移動は、この矩形状の一辺に沿った移動、即ち往復運動或いは直線的な運動である。従って、例えば、較正部及び電気光学装置が円周上にのるような配置態様とされる場合よりも、被検査体保持手段の構成をより簡易化することができる。また、この態様では、被検査体保持手段は前述の態様のように直線的に移動することが好ましく、この場合には、前述した態様に係る作用効果と同じ作用効果も得ることができる。
この態様では、前記電気光学装置は前記較正部を挟んで少なくとも二つ配置され得るように構成してもよい。
【００２５】
このような構成によれば、較正部及び電気光学装置が被検査体保持手段においてバランスよく配置されるというだけでなく、検査作業の迅速性・確実性をより向上させることができる。というのも、この態様によれば、典型的には、次のような作業を実現することができるからである。すなわち、この態様ではまず、較正部で発光手段の特性を確認した後、被検査体保持手段を移動させて、一方の電気光学装置の検査を実施することができるが、このとき同時に、較正部の向こうに配置されるべき他方の電気光学装置の被検査体保持手段に対するセッティング作業を実施することができる。続いて、前記一方の電気光学装置の検査が完了した後には、被検査体保持手段を前記と逆の方向に移動させて、再び較正部で発光手段の特性を確認した後、同方向に更に被検査体保持手段を移動させて、前記他方の電気光学装置の検査を実施することができる。以下同様である。このように、本態様によれば、検査作業全体を効率よく実施することができるのである。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段による移動は、自動的に行われる。
【００２６】
この態様によれば、電気光学装置は自動的に移動することになるから、当該検査装置のオペレータの手を煩わせることなく、極めて容易に当該電気光学装置の検査作業を行うことができる。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段による移動は、水平方向に沿って行われる。
【００２７】
この態様によれば、被検査体保持手段が水平方向に沿って移動することから、典型的には、電気光学装置は当該被検査体手段に水平に設置される場合が考えられる。これによると、被検査体保持手段に対する電気光学装置の設置をより自然なかたちで行うことができる。また、このことは、検査対象の電気光学装置が複数存在する場合に検査の作業性を向上させる。なぜなら、第１又は第２の電気光学装置の検査装置に対する設置が自然なかたちで行える方が、そうでない場合よりも、より迅速・確実な作業が期待できるからである。
本発明の第１又は第２の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記発光手段及び前記被検査体保持手段間並びに前記被検査体保持手段及び前記受光手段間の少なくとも一方に配置され前記光を通過させる光学要素を更に備えている。
【００２８】
この態様によれば、例えばレンズ、偏光板等の光学要素が更に備えられていることにより、電気光学装置の検査をより正確に行うことができる。また、発光手段から受光手段に至る光路を適当に設定することができることにより、検査装置全体の小型化や被検査体保持手段の移動機構との兼ね合いをよりよく設定することもできる。
本発明の第１の電気光学装置の検査方法は、上記課題を解決するために、較正部及び該較正部が存在する位置とは異なる位置で前記電気光学装置を保持する被検査体保持手段における前記較正部に発光手段からの光を照射する第１照明工程と、前記較正部を透過する光を受光して前記発光手段の特性を確認する第１受光工程と、前記較正部に代わって前記電気光学装置に前記発光手段からの光が照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動工程と、前記被検査体保持手段における前記電気光学装置に前記発光手段からの光を照射する第２照明工程と、前記電気光学装置を透過する光を受光する第２受光工程とを備えている。
【００２９】
本発明の第１の電気光学装置の検査方法によれば、上述した本発明の第１の電気光学装置の検査装置をより好適に運用することができる。尚、上述した本発明の第１の電気光学装置の検査装置における各種態様に対応して、本発明の検査方法も各種態様を採ることが可能である。
【００３０】
本発明の第２の電気光学装置の検査方法は、上記課題を解決するために、較正部及び該較正部が存在する位置とは異なる位置で前記電気光学装置を保持する被検査体保持手段における前記較正部に発光手段からの光を照射する第１照明工程と、前記較正部で反射する光を受光して前記発光手段の特性を確認する第１受光工程と、前記較正部に代わって前記電気光学装置に前記発光手段からの光が照射されるように前記被検査体保持手段を前記発光手段との関係において相対的に移動させる移動工程と、前記被検査体保持手段における前記電気光学装置に前記発光手段からの光を照射する第２照明工程と、前記電気光学装置で反射する光を受光する第２受光工程とを備えている。
【００３１】
本発明の第２の電気光学装置の検査方法によれば、上述した本発明の第２の電気光学装置の検査装置をより好適に運用することができる。尚、上述した本発明の第２の電気光学装置の検査装置における各種態様に対応して、本発明の検査方法も各種態様を採ることが可能である。  本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下では、本発明の実施の形態について図を参照しつつ説明する。
【００３３】
（第１実施形態）
第１実施形態について図１から図３を参照して説明する。
【００３４】
先ず、第１実施形態の構成について図１及び図２を参照して説明する。ここに図１は、本実施形態の検査装置の概要を示す構成図、図２は、図１の上方から臨んだ移動テーブル等の構成を示す平面図である。
【００３５】
図１において、検査装置は、液晶装置等の電気光学装置１００に光を照射するための光源１１を備えている。この光源１１は、本発明にいう「発光手段」の一例であり、より具体的には例えばメタルハライドランプ等を用いることができる。レンズ１２は、光源１１から照射された光を所定の光路を進むように調整するとともに、その光を電気光学装置１００に入射させる。レンズ１３は、電気光学装置１００を透過した光を適当に集光する。反射鏡１４は、レンズ１３によって集光された光を反射させて、その光を受光装置１５に向かわせる。受光装置１５は、反射鏡１４によって反射された光を検出する。受光装置１５は、本発明に言う「受光手段」の一例であり、より具体的には例えば、照度計等の光量測定機や、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の固体撮像素子、あるいはスクリーン等が該当する。
【００３６】
電気光学装置１００の図１中上下両側から挟むように、偏光板２１及び２２が配置されている。偏光板２１及び２２は、それぞれレンズ１２の出射光及び電気光学装置１００の出射光を偏光する。この偏光板２１及び２２の存在により、電気光学装置１００における光透過状態の変動に応じて、受光装置１５における光の到達状態に変動を生じさせることができる。
【００３７】
なお、以下では、上述の光源１１から受光装置１５に至るまでの構成（但し、電気光学装置１００並びに偏光板２１及び２２を除く。）をまとめて光学系１０と呼ぶことがある。
【００３８】
また、検査装置は、電気光学装置１００を保持するための移動テーブル４１を備えている。移動テーブル４１は、図２に示されているように、概略円形状を有している。この円形状の図２中上下に延びる直径上には電気光学装置１００をセッティングするための図１中上下に貫通する保持用開口部が二つ設けられている。電気光学装置１００はこの保持用開口部内に収納されるようにして保持される。また、保持用開口部が二つ設けられていることにより、その一方の保持用開口部に電気光学装置１００をセッティングすることができると同時に、その他方の保持用開口部に、電気光学装置１０１（図１では示されず図２において示されている。）をセッティングすることができるようになっている。
【００３９】
一方、図２中左右に延びる直径上には単なる較正用開口部４２１及び４２２が設けられている。これらの較正用開口部４２１及び４２２並びに前述の電気光学装置１００及び１０１をセッティングするための保持用開口部はいずれも、円形状の移動テーブル４１の円周に沿って配置されている。
【００４０】
以上のような構成により、電気光学装置１００と較正用開口部４２１及び４２２とは、それぞれ弧度９０度の間隔をもって配置され、また電気光学装置１０１と較正用開口部４２１及び４２２とも、それぞれ弧度９０度の間隔をもって配置されるようになっている。
【００４１】
このような移動テーブル４１には駆動装置３３が接続されている。駆動装置３３で起こされた動力は移動テーブル４１に伝わるようになっている。電気光学装置１００及び１０１は、このような移動テーブル４１に保持されることにより、光学系１０に対して、図２に示す矢印に示す方向に沿って相対的に、且つ、弧を描くように移動可能とされる。
【００４２】
検査装置は、上述のほか、電気光学装置１００に対して所定の電気信号を送るためのプローブ（不図示）を備えている。プローブは、電気光学装置１００に接続されたＦＰＣ基板１０５に接続され、このＦＰＣ基板１０５を介して電気光学装置１００に所定の電気信号を供給する。なお、電気光学装置１０１にもＦＰＣ基板１０６が接続されている（図２参照）。
【００４３】
また、検査装置は、制御装置８１を備えている（図１参照）。この制御装置８１は、上述の各要素のうち幾つかから適当な信号を受けてこれを解析し、あるいは自ら制御信号を発して当該各要素の幾つかを動作させることで、検査装置全体が調和的に動作するようにこれを制御する。より具体的には、制御装置８１は、受光装置１５が固体撮像素子等である場合には、これから検出信号を受けて画像を構成する。また、本実施形態においては特に、制御装置８１は、駆動装置３３に制御信号を送信することによって、移動テーブル４１、ひいては電気光学装置１００を、所定の量、間隔、頻度等でもって前述のように移動させ得るようになっている。
【００４４】
さらに、電気光学装置１００は、例えば一対の透明基板とこれらの間に挟持された液晶等からなる液晶表示装置である。かかる液晶表示装置は、更に具体的には、一対の透明基板の一方の上にマトリクス状に配列された画素電極及び画素スイッチング素子としての薄膜トランジスタ、その他方の上に配置された対向電極等を備える。画素電極及び薄膜トランジスタがマトリクス状に配列されることで、画素部が規定される。このような構成では、前記プローブから供給されてきた電気信号により、薄膜トランジスタのＯＮ・ＯＦＦが制御されるとともに、画素電極及び対向電極間の電位差が画素ごとに適当に設定されることで、液晶の配向状態が画素ごとに変更され、当該液晶表示装置を透過する光の有無及び程度が調整可能となる。
【００４５】
なお、上述におけるレンズ１２及び１３、反射鏡１４並びに偏光板２１及び２２等の配置態様は、一例を示しているものに過ぎず、この他種々の特徴を備えたレンズ系を構成しうることは言うまでもない。
【００４６】
以上のような構成となる検査装置では、例えば次のような検査作業が実施されることになる。以下では、これを既に参照した各図及び図３を参照して説明する。ここに図３は、図２と同趣旨の図であるが、移動テーブルが同図からちょうど９０度回転した様子を示す図である。
【００４７】
まず、移動テーブル４１の開口部にセッティングされた電気光学装置１００の検査を実施する前に、本実施形態では、光源１１からの光が届く領域Ｖに較正用開口部４２２を位置させる。その様子は図示されないが、図２に示される矢印とは逆方向に移動テーブル４１が９０度回転した状況を想定すればよい（なお、図３参照。）。そして、このような状況のもとで、光源１１が点灯され、較正用開口部４２２をそのまま透過した光、即ち素通りした光が受光装置１５において確認される。このときの照度は、具体的な値、例えば“Ｌ０”などとして測定される。
【００４８】
次に、移動テーブル４１を図２に示す矢印どおりに９０度回転させて、領域Ｖに電気光学装置１００を位置させる。そして、この電気光学装置１００にプローブが接続されるとともに、このプローブからＦＰＣ基板１０５を通じて電気光学装置１００に所定の電気信号が供給される。これにより、光源１１から発せられた光は、当該電気光学装置１００を透過し又は遮られることになる。その結果は、光学系１０の最終部分である受光装置１５によって検出される。このとき、電気光学装置１００を全透過したときの照度、及び、全遮蔽したときの照度は、具体的な値、例えばそれぞれ“Ｌｗ”及び“Ｌｂ”などとして測定される。そして、これらと前述のＬ０を利用することにより、電気光学装置１００の全透過率がＴ＝Ｌｗ／Ｌ０と、コントラストがＣ＝Ｌｗ／Ｌｂなどと計算され得ることになる。このようにして、当該電気光学装置１００の透過性能を検査することができる。
【００４９】
ところで、本実施形態においては、このような電気光学装置１００の透過性能の検査と同時に、電気光学装置１０１の移動テーブル４１に対するセッティング作業が実施される。この作業は、図２に示すように、電気光学装置１００を保持する開口部と同一直径上にのるもう一つの開口部がちょうど真向かいに位置していることから、当該電気光学装置１００の検査工程を邪魔することなく容易に行うことができる。
【００５０】
続いて、電気光学装置１００の検査が完了した後には、移動テーブル４１を図２に示す矢印どおりに９０度回転させて、領域Ｖに較正用開口部４２１を位置させる（図３参照）。これにより、前述の較正用開口部４２２の場合と同様に、較正用開口部４２１をそのまま透過した光を受光装置１５において確認することにより、そのときの照度Ｌ０が改めて取得されることになる（いわばＬ０が“更新”されるかたちになる。）。
【００５１】
次に、移動テーブル４１を図２に示す矢印どおりに９０度回転させて、領域Ｖに電気光学装置１０１を位置させる。後は、前述と全く同様にして、当該電気光学装置１０１についての検査が実施される。ただし、このとき用いられるＬ０は、すぐ前で述べた較正用開口部４２１を用いて得られた更新されたＬ０である。また、この際には、既に検査が完了した電気光学装置１００を移動テーブル４１から取り外すとともに、新たな電気光学装置のセッティング作業を実施することができる。
【００５２】
以上のような検査が実施されることにより、本実施形態によれば、電気光学装置１００の検査前には、較正用開口部４２２を用いて得られたＬ０により光源１１の現時点における特性が確認された後、これを前提に当該検査が実施され、また電気光学装置１０１の検査前には、較正用開口部４２１を用いて得られたＬ０により光源１１の現時点における特性が再び確認された後、これを前提に当該検査が実施されるというように、その時々の光源１１の特性が勘案された上で、各個の電気光学装置の検査が実施されていくようになっている。したがって、本実施形態によれば、光源１１等の特性変化にかかわらず、電気光学装置の透過性能の検査を常に適切に実施し得ることになる。しかも、本実施形態においては、上述した作業手順からも明らかなように、複数の電気光学装置の検査作業を効率的に実施することができるのである。
【００５３】
以上詳細に説明したように第１実施形態によれば、透過型の電気光学装置１００についての正確な透過率検査を、効率良く或いは迅速に実施できる。
尚、上記実施形態では、移動テーブル４１が制御装置８１の制御を受けて自動的に移動するようになっていたが、本発明ではこれに代えて、当該移動テーブル４１をオペレータの手によって回転させるように構成してもよい。
【００５４】
加えて、上記実施形態においては、受光装置１５としてＣＣＤ等の固体撮像素子が用いられることについて述べたが、受光装置１５としては単なるスクリーンを用いることができる。この場合にも、電気光学装置を検査する際のスクリーン上に映し出される画像と、較正用の画像（例えば、全面白色の画像）とを比較することで、検査を高精度で行うことが可能となる。
【００５５】
（第２実施形態）
第２実施形態について図４を参照して説明する。ここに図４（ａ）から図４（ｃ）は夫々、異なる位置に移動された状態にある、第２実施形態に係る移動テーブルを示す平面図である。
【００５６】
第１実施形態においては、移動テーブル４１は、その平面形状が円形状であり、これが回転移動する態様となっていたが、第２実施形態では、図４に示すように、移動テーブル５１は、平面形状が矩形状となる。
即ち図４においては、移動テーブル５１は矩形状を有しているとともに、図４（ｂ）に示す両矢印のように直線的に移動するようになっている。また、この移動テーブル５１には較正用開口部５２が一つ設けられ、その両側に電気光学装置１１１及び１１２を保持するための保持用開口部が二つ配置されるようになっている。
【００５７】
以上のような構成によると、例えば次のような検査作業を実施することができる。すなわち、まず、図４（ａ）に示すように、電気光学装置１１１についての検査を実施する。ただし、その検査の前には、較正用開口部５２を用いてＬ０を取得しておき、光源１１の現時点における特性を確認しておく。また、電気光学装置１１１の検査と同時に、較正用較正部５２の向こうに配置されるべき電気光学装置１１２の移動テーブル５２に対するセッティング作業を実施することができる。この作業は、図４（ａ）に示すように、当該電気光学装置１１２を保持するための保持用開口部が、電気光学装置１１１を保持する保持用開口部からみて較正用開口部５２を隔てた相当程度離れた場所に位置していることから、電気光学装置１１１の検査工程を邪魔することなく容易に行うことができる。
【００５８】
続いて、電気光学装置１１１の検査が完了した後には、移動テーブル５１を図４（ａ）から図４（ｂ）に示すように移動させて、較正用較正部５２で光源１１の特性を確認する。更に続けて、移動テーブル５１を図４（ｂ）から図４（ｃ）に示すように移動させて、電気光学装置１１２の検査を実施する。この際用いられるＬ０は、すぐ前で得られたＬ０である。そして、このとき同時に、既に検査が完了した電気光学装置１１１を移動テーブル５１から取り外すとともに、新たな電気光学装置のセッティング作業を実施することができる。
【００５９】
後は、前記とは逆に、図４（ｃ）から図４（ｂ）への移動を行ってＬ０を更新し、更に図４（ｂ）から図４（ｃ）への移動を行って新たな電気光学装置の検査を実施するとともに、また別の電気光学装置の移動テーブル５１に対するセッティングを行うという作業を繰り返し行えばよい。
【００６０】
このように、図４に示すような第２実施形態によっても、前述の第１実施形態と略同様な作用効果が得られ、透過型の電気光学装置１１１及び１１２についての正確な透過率検査を、効率良く或いは迅速に実施できる。
（第３実施形態）
【００６１】
第３実施形態について図５を参照して説明する。ここに図５は、図１と同趣旨である、第３実施形態の検査装置の概要を示す構成図である。
【００６２】
第１実施形態においては、光源１１の特性変化に追随するために、較正用開口部４２１及び４２２が用いられていたが、第３実施形態では図５に示すように、図１乃至図３に示した較正用開口部４２１及び４２２が配置されるのと同じ位置に、反射鏡４２１ｂ及び４２２ｂを備える。更に、光源１１ｂからの光が、レンズ１２ｂ、プリズム６１等を介して、測定位置に移動された反射鏡４２１ｂ又は４２２ｂに対して選択的に照射され、或いは、測定位置に移動された反射型の電気光学装置１００ｂに対して選択的に照射されるように構成されている。第３実施形態に係るその他の構成要素については第１実施形態の場合と同様であるので、同様の参照符号を付し、それらの説明は省略する。尚、第３実施形態では、検査対象は、反射型の液晶装置等である反射型の電気光学装置１００ｂである。
【００６３】
図５に示すように、第３実施形態においては、その検査時に、光源１１ｂからの光を、プリズム６１等を介して反射鏡４２１ｂ又は４２２ｂに照射する。そして、反射鏡４２１ｂ又は４２２ｂで単純に反射されてなる反射光を、プリズム６１等を介して受光装置１５において受光する。これにより、反射性能測定における較正が可能となる。即ち、そのときの照度Ｌ０が取得されることになる。更に、移動テーブル４１ｂを移動させることで、光源１１からの光を、プリズム６１等を介して電気光学装置１００ｂに照射する。そして、電気光学装置１００ｂで反射されてなる反射光を、プリズム６１等を介して受光装置１５において受光する。これにより、迅速にして高精度の反射性能測定が可能となる。
【００６４】
以上のように第３実施形態によれば、反射型の電気光学装置１００ｂについての正確な反射率検査を、効率良く或いは迅速に実施できる。
【００６５】
（第４実施形態）
第４実施形態について図６を参照して説明する。ここに図６は、ここに図６（ａ）から図６（ｃ）は夫々、図４と同趣旨である、異なる位置に移動された状態にある、第４実施形態に係る移動テーブルを示す平面図である。
【００６６】
第２実施形態においては、較正用開口部５２が用いられていたが、第４実施形態では図６に示すように、図４に示した較正用開口部５２が配置されるのと同じ位置において、テーブル５１ｂは反射鏡５２ｂを備える。更に、第３実施形態の場合と同様に、光源からの光が、プリズム等を介して、反射鏡５２ｂに対して照射され、或いは、反射型の電気光学装置１１１ｂ又は１１２ｂに対して照射されるように構成されている。第４実施形態に係るその他の構成要素については第２実施形態の場合と同様であるので、それらの説明は省略する。尚、第４実施形態では、検査対象は、第３実施形態の場合と同様に反射型の液晶装置等である反射型の電気光学装置１１１ｂ及び１１２ｂである。
【００６７】
図６（ａ）から図６（ｃ）に示すように、第４実施形態においては、その検査時に、光源からの光を、プリズム等を介して反射鏡５２ｂに照射する。そして、反射鏡５２ｂで単純に反射されてなる反射光を、プリズム等を介して受光装置において受光する。これにより、反射性能測定における較正が可能となる。即ち、そのときの照度Ｌ０が取得されることになる。更に、移動テーブル５１ｂを移動させることで、光源からの光を、プリズム等を介して電気光学装置１１１ｂ又は１１２ｂに照射する。そして、電気光学装置１１１ｂ又は１１２ｂで反射されてなる反射光を、プリズム等を介して受光装置において受光する。これにより、迅速にして高精度の反射性能測定が可能となる。
【００６８】
以上のように第４実施形態によれば、反射型の電気光学装置１１１ｂ及び１１２ｂについての正確な反射率検査を、効率良く或いは迅速に実施できる。
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置の検査装置及び検査方法もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明に係る第１実施形態の電気光学装置の検査装置の概要を示す構成図である。
【図２】図１の上方から臨んだ移動テーブル等の構成を示す平面図である。
【図３】図２から９０度回転した様子を示す平面図である。
【図４】第２実施形態の移動テーブル等の構成を示す平面図である。
【図５】第３実施形態の電気光学装置の検査装置の概要を示す構成図である。
【図６】第４実施形態の移動テーブル等の構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１１…光源、１２…レンズ、１３…レンズ、１４…反射鏡、１５…受光装置、２１及び２２…偏光板、４１、５１…移動テーブル、４２１、４２２、５２…較正用開口部、８１…制御装置、１００、１０１、１１１、１１２…電気光学装置
【図１】
2005257479.tif 000003
【図２】
2005257479.tif 000004
【図３】
2005257479.tif 000005
【図４】
2005257479.tif 000006
【図５】
2005257479.tif 000007
【図６】
2005257479.tif 000008