(57)【要約】    【課題】  電極パターン等の導電性部品パターンの焼成時における有機成分の熱分解性に優れ、形成された電極等の導電性部品に有機成分が残留しにくい導電性組成物、およびこれを用いた電極の形成方法を提供すること。    【解決手段】  （Ａ）導電性無機粉体、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）下記式（１）で表される化合物と下記式（２）で表される化合物とからなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物、および（Ｄ）光重合開始剤を含有することを特徴とする導電性組成物、ならびにこれを用いた電極の形成方法。【化５】2005257906.tif 000008【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）導電性無機粉体、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）下記式（１）で表される化合物と下記式（２）で表される化合物とからなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物、および（Ｄ）光重合開始剤を含有することを特徴とする導電性組成物。
【化１】
2005257906.tif 000006
［式（１）中、Ｒ1は水素原子、水酸基、炭素数１〜４のアルキル基または炭素数１〜４
のヒドロキシアルキル基である。］
【化２】
2005257906.tif 000007
［式（２）中、Ｒ2は（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）a、（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）b、ＣＨ2ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2Ｏ、ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏまたは炭素数２〜１８のアルキレン基である。ａおよびｂは各々独立に１〜１２の数である。］
【請求項２】
アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）がメタクリレート共重合体である請求項１記載の導電性組成物。
【請求項３】
支持フィルムと、この支持フィルム上に請求項１または請求項２に記載の導電性組成物を用いて形成された層とからなることを特徴とする転写フィルム。
【請求項４】
（ｉ）基板上に請求項１または請求項２に記載の導電性組成物を用いて層を形成し、
（ii）所望のパターンに放射線を照射して前記層を露光させ、露光部分を架橋させてアルカリ性現像液に対して不溶化させた後、
（iii）アルカリ性現像液を使用して未露光部分を溶解、除去して電極パターンを形成
し、
（iv）前記電極パターンを焼成処理する
ことを特徴とする電極の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、新規な導電性組成物、およびこれを用いた電極の形成方法に関する。本発明の導電性組成物は焼成時の有機成分の熱分解性に優れ、形成された導電性部材に有機成分が残留しにくい。そのため、導電性部材形成用材料、特にフィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、無機エレクトロルミネッセンス（無機ＥＬ）用の電極形成用材料として有用である。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報社会の発展により、通信、視野情報の受け渡し機能の役割を担うディスプレイの用途が拡大し、その重要性が高まっている。このような中、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）等の平面型ディスプレイが開発されている。この中でフィールドエミッションディスプレイは、自発光型、広視野角、高応答速度、高精細、低消費電力という優れた性能を有し注目されている。
【０００３】
フィールドエミッションディスプレイは電界印可によって陰極から真空中に電子を放出させ、その電子を陽極上の蛍光体に照射することにより発光、表示を行うディスプレイである。
【０００４】
このようなディスプレイ用電極パターンの形成方法としては（１）ペースト状の電極形成用組成物を用いてスクリーン印刷により電極パターンを形成させるスクリーン印刷法、（２）感光性の電極形成用組成物層を形成し、フォトマスクを介して紫外線を照射した上で現像することにより電極パターンを形成させるフォトリソグラフィー法（たとえば、特許文献１および２）、等が知られている。これらの方法では電極パターンを形成した後、高温下で焼成を行い樹脂等の有機成分を除去し、電極を形成する。
【０００５】
しかしながら、前記スクリーン印刷法では、電極パターンの位置精度が劣る、高精細な電極パターンが形成できない、という問題がある。そのため、大型基板の電極、高精細の電極を筆頭に、前記フォトリソグラフィー法が用いられ電極パターンの形成が行われている。
【０００６】
また、前記焼成過程において、有機成分の除去が不十分であると、電極の導電性が劣る、あるいはディスプレイのパネル性能が劣ることとなる。特にフィールドエミッションディスプレイでは陰極から電子を放出するためにパネル内を真空にする必要があり、電極中に残留有機成分が多いと十分な真空度を得るのに時間を要する、或いは、時間とともに真空度が低下し、それに伴いパネルの輝度が低下するという問題が発生する（特許文献３）。とりわけ、フォトリソグラフィー法で用いられる感光性の電極形成用組成物には、光重合開始剤によって架橋する不飽和化合物が含有されているため、焼成時の有機成分の除去性能の向上が求められている。
【０００７】
この問題を解決するためには、有機成分を十分に除去するために、高温で長時間焼成処理を行うことが必要になる。しかしながら、高温および長時間の焼成処理は、ディスプレイ基板の変形や劣化という大きな問題につながるため、好ましくない。一方、生産性向上の点からも、焼成時間の短縮化を目的として、焼成時の有機成分の除去性能の向上が望まれている。
【特許文献１】特開平９−１４２８７８号公報
【特許文献２】特開平１０−６４４３５号公報
【特許文献３】特開平８−１７１８７７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、電極パターン等の導電パターンの焼成時における有機成分の熱分解性に優れ、形成された電極等の導電性部材に有機成分が残留しにくい導電性組成物、およびこれを用いた電極の形成方法を提供することを目的としている。
【０００９】
また本発明は、前記導電性組成物から得られる塗膜を有し、ハンドリング性、転写後の膜厚均一性に優れた転写フィルムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る導電性組成物は、（Ａ）導電性無機粉体、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）下記式（１）で表される化合物（以下、「化合物（Ｃ１）」ともいう）と下記式（２）で表される化合物（以下、「化合物（Ｃ２）」ともいう）とからなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物（以下、これらをまとめて「化合物（Ｃ）」ともいう）、ならびに（Ｄ）光重合開始剤を含有することを特徴としている。
【００１１】
【化３】
2005257906.tif 000002
【００１２】
［式（１）中、Ｒ1は水素原子、水酸基、炭素数１〜４のアルキル基または炭素数１〜４
のヒドロキシアルキル基である。］
【００１３】
【化４】
2005257906.tif 000003
【００１４】
［式（２）中、Ｒ2は（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）a、（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）b、ＣＨ2ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ2Ｏ、ＣＨ2ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏまたは炭素数２〜１８のアルキレン基である。ａおよびｂは各々独立に１〜１２の数である。］
上記導電性組成物は、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）がメタクリレート共重合体であることが好ましい。
【００１５】
本発明に係る転写フィルムは、支持フィルムと、この支持フィルム上に上記導電性組成物を用いて形成された層とからなることを特徴としている。
本発明に係る電極の形成方法は、
（ｉ）基板上に前記導電性組成物を用いて層を形成し、
（ii）所望のパターンに放射線を照射して前記層を露光させ、露光部分を架橋させてアルカリ性現像液に対して不溶化した後、
（iii）アルカリ性現像液を使用して未露光部分を溶解、除去して電極パターンを形成
し、
（iv）前記電極パターンを焼成処理する
ことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る導電性組成物は、電極パターン等の導電パターンの焼成時における有機成分の熱分解性に優れ、形成された電極等の導電性部材には有機成分が残留しにくい。
本発明に係る転写フィルムは、前記導電性組成物から得られる層が支持フィルム上に形成されたものであり、ハンドリング性に優れている。この転写フィルムを用いることにより、膜厚均一性に優れた導電性部材形成用塗膜を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を具体的に説明する。
＜導電性組成物＞
本発明に係る導電性組成物は、（Ａ）導電性無機粉体、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）上記式（１）、式（２）で表される化合物、ならびに（Ｄ）光重合開始剤を含有する。
【００１８】
（Ａ）導電性無機粉体
導電性無機粉体としては、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｇ−Ｐｄ合金、Ｃｒ、Ｎｉなどの粒子を挙げることができる。これらの導電性無機粉体は、単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。導電性無機粉体の粒径は、得られる電極に十分な導電性を付与する点から１０μｍ以下が好ましい。
【００１９】
なお、本発明に係る導電性組成物には、上記導電性無機粉体（Ａ）の他に、ガラスフリットが含有されてもよい。前記ガラスフリットの組成としては、たとえば、（１）酸化鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系）の混合物、（２）酸化亜鉛、
酸化ホウ素、酸化ケイ素（ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系）の混合物、（３）酸化鉛、酸化
ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム（ＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3系）の混
合物、（４）酸化鉛、酸化亜鉛、酸化ホウ素、酸化ケイ素（ＰｂＯ−ＺｎＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2系）の混合物、（５）酸化ビスマス、酸化ホウ素、酸化ケイ素、酸化アルミニウム
（Ｂｉ2Ｏ3−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2−Ａｌ2Ｏ3系）の混合物などを挙げることができる。これ
らのガラスフリットの軟化点としては、４００〜６００℃の範囲内であることが好ましい。本発明に係る導電性組成物におけるガラスフリットの含有量は、導電性無機粉体（Ａ）全量に対して５０質量％以下、好ましくは３０質量％以下である。
【００２０】
（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂：
本明細書における「アルカリ可溶性」とは、アルカリ性の現像液によって溶解し、アルカリ性の現像液を使用した現像処理が遂行される程度に溶解性を有する性質をいう。
【００２１】
このようなアルカリ可溶性樹脂としては、たとえば（メタ）アクリル系樹脂、ヒドロキシスチレン樹脂、ノボラック樹脂、ポリエステル樹脂などを挙げることができる。このようなアルカリ可溶性樹脂のうち、好ましいものとしては、下記のモノマー（ａ）とモノマー（ｃ）との共重合体、モノマー（ａ）とモノマー（ｂ）とモノマー（ｃ）との共重合体などの（メタ）アクリル系樹脂を挙げることができる。さらに好ましくは、焼成時の熱分解性に優れる点から、メタクリレートモノマーを共重合したメタクリレート共重合体であることが好ましい。
【００２２】
モノマー（ａ）：カルボキシル基含有モノマー類
アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ケイ皮酸、コハク酸モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）、ヘキサヒドロフタル酸モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）、フタル酸モノ（２−（メタ）アクリロイロキシエチル）、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートなど。
【００２３】
モノマー（ｂ）：水酸基含有モノマー類
（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２−ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸３−ヒドロキシプロピルなどの水酸基含有モノマー類；ｏ−ヒドロキシスチレン、ｍ−ヒドロキシスチレン、ｐ−ヒドロキシスチレンなどのフェノール性水酸基含有モノマー類など。
【００２４】
モノマー（ｃ）：その他の共重合可能なモノマー類
（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ｎ−ブチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸ｎ−ラウリル、（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸グリシジル、（メタ）アクリル酸ジシクロペンタニルなどのモノマー（ａ）以外の（メタ）アクリル酸エステル類；スチレン、α−メチルスチレンなどの芳香族ビニル系モノマー類；ブタジエン、イソプレンなどの共役ジエン類；ポリスチレン、ポリ（メタ）アクリル酸メチル、ポリ（メタ）アクリル酸エチル、ポリ（メタ）アクリル酸ベンジル等のポリマー鎖の一方の末端に（メタ）アクリロイル基などの重合性不飽和基を有するマクロモノマー類など。
【００２５】
上記モノマー（ａ）とモノマー（ｃ）との共重合体や、モノマー（ａ）とモノマー（ｂ）とモノマー（ｃ）との共重合体は、モノマー（ａ）に由来する構成単位の存在により、アルカリ可溶性を有するものとなる。中でもモノマー（ａ）とモノマー（ｂ）とモノマー（ｃ）との共重合体は、無機粒子の分散安定性に優れる点や、後述するアルカリ現像液への溶解性に優れる点から、特に好ましい。
【００２６】
上記モノマー（ａ）とモノマー（ｃ）との共重合体は、モノマー（ａ）に由来する構成単位を好ましくは５〜６０質量％、特に好ましくは１０〜４０質量％の量で含有する。ただし、モノマー（ａ）およびモノマー（ｃ）に由来する構成単位の合計量を１００質量％とする。また、モノマー（ａ）とモノマー（ｂ）とモノマー（ｃ）との共重合体は、モノマー（ａ）に由来する構成単位を好ましくは５〜６０質量％、特に好ましくは１０〜４０質量％の量で含有し、モノマー（ｂ）に由来する構成単位を好ましくは１〜５０質量％、特に好ましくは５〜３０質量％の量で含有する。ただし、モノマー（ａ）、モノマー（ｂ）およびモノマー（ｃ）に由来する構成単位の合計量を１００質量％とする。上記各モノマーに由来の構成単位は、無機粒子の分散安定性に優れる点や、後述するアルカリ現像液への溶解性に優れる点から、上記範囲にあることが特に好ましい。
【００２７】
アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）は、上記モノマー（ａ）とモノマー（ｃ）とを、または、モノマー（ａ）とモノマー（ｂ）とモノマー（ｃ）とを、従来公知の方法で共重合することにより製造できる。このとき、モノマー（ａ）とモノマー（ｃ）との共重合体は、モノマー（ａ）とモノマー（ｃ）との合計量１００重量％に対して、モノマー（ａ）を好ましくは５〜６０質量％、特に好ましくは１０〜４０質量％の量使用して製造される。また、モノマー（ａ）とモノマー（ｂ）とモノマー（ｃ）との共重合体は、モノマー（ａ）とモノマー（ｂ）とモノマー（ｃ）との合計量を１００質量％に対して、モノマー（ａ）を好ましくは５〜６０質量％、特に好ましくは１０〜４０質量％の量、モノマー（ｂ）を好ましくは１〜５０質量％、特に好ましくは５〜３０質量％使用して製造される。各モノマーの
使用量は、上記構成単位を有する共重合を得ることができる点から、上記範囲にあることが特に好ましい。
【００２８】
また、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）として、上記アルカリ可溶性樹脂にグリシジルメタクリレート、または（メタ）アクリロイロキシエチルイソシアネートを付加重合し、アルカリ可溶性樹脂に不飽和基を導入した樹脂を用いることもできる。
【００２９】
アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５，０００〜５，０００，０００であることが好ましく、さらに好ましくは１０，０００〜３００，０００とされる。Ｍｗが上記範囲にあると、アルカリ現像液への溶解性に優れ、転写フィルムを形成したときにフィルム強度が十分保たれる点から、好ましい。
【００３０】
また、本発明に用いられるアルカリ可溶性樹脂（Ｂ）の含有量は、導電性無機粉体（Ａ）１００質量部に対して、通常１〜２００質量部であり、好ましくは５〜１００質量部、特に好ましくは１０〜８０質量部である。
【００３１】
（Ｃ）メタクリロイル基含有化合物
本発明に用いられる化合物（Ｃ）は、上記式（１）で表される化合物と上記式（２）で表される化合物とからなる群からとから選ばれる少なくとも一種の化合物であり、本発明に係る導電性組成物から得られた塗膜の露光部分を架橋させる効果を有する。
【００３２】
式（１）で表される化合物（Ｃ１）としては、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、グリセリントリメタクリレートなどのトリメタクリレートが挙げられる。これらは単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。これらの中で、特に好ましいものはトリメチロールプロパントリメタクリレートである。
【００３３】
式（２）で表される化合物（Ｃ２）としては、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、１，３−ブタンジオールジメタクリレート、１，４−ブタンジオールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート、１，９−ノナンジオールジメタクリレート、１，１０−デカンジオールジメタクリレート、グリセロールジメタクリレートなどのジメタクリレートが挙げられる。これらは単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。これらの中で、特に好ましいものは、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、グリセロールジメタクリレートである。
【００３４】
また、化合物（Ｃ）として、化合物（Ｃ１）と化合物（Ｃ２）のいずれか一方を用いてもよいが、併用することが好ましい。併用の場合、好ましくは質量比で（Ｃ１）：（Ｃ２）＝０．２〜０．８：０．８〜０．２、特に好ましくは０．４〜０．７：０．６〜０．３の割合である。ただし、化合物（Ｃ１）と（Ｃ２）との合計を１とする。質量比が上記範囲であると形成される導電パターンの精度に優れる点から、好ましい。
【００３５】
化合物（Ｃ）の含有量は、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）１００質量部に対して、１００質量部以下であり、さらに２０〜８０質量部であることが好ましい。２０質量部未満では、露光部の硬化不良により、導電パターンの形成が困難となることがある。また、１００質量部を超えると焼成時の導電パターンの変形が大きくなることがある。
【００３６】
（Ｄ）光重合開始剤
光重合開始剤（Ｄ）としては、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾフェノン、カンファーキノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−メチル−〔４’−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノ−１−プロパノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１−オンなどのカルボニル化合物；アゾイソブチロニトリル、４−アジドベンズアルデヒドなどのアゾ化合物あるいはアジド化合物；メルカプタンジスルフィドなどの有機硫黄化合物；ベンゾイルパーオキシド、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシド、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロパーオキシド、クメンハイドロパーオキシド、パラメタンハイドロパーオキシドなどの有機パーオキシド；１，３−ビス（トリクロロメチル）−５−（２’−クロロフェニル）−１，３，５−トリアジン、２−〔２−（２−フラニル）エチレニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジンなどのトリハロメタン類；２，２’−ビス（２−クロロフェニル）４，５，４’，５’−テトラフェニル１，２’−ビイミダゾールなどのイミダゾール二量体などを挙げることができる。これらは単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
【００３７】
光重合開始剤（Ｄ）の含有量は、化合物（Ｃ）１００質量部に対して、通常、１〜１００質量部であり、好ましくは、５〜５０質量部である。含有量が上記範囲であると形成される導電パターンの精度に優れる点から、好ましい。
【００３８】
（Ｅ）溶剤
本発明に係る導電性組成物には、通常、適当な流動性または可塑性、良好な膜形成性を付与するために、溶剤が含有される。このような溶剤としては、導電性無機粉体との親和性、アルカリ可溶性樹脂の溶解性が良好で、導電性組成物に適度な粘性を付与することができると共に、乾燥することにより容易に蒸発除去できるものであることが好ましい。
【００３９】
特に好ましい溶剤として、標準沸点（１気圧における沸点）が１００〜２００℃であるケトン類、アルコール類およびエステル類を挙げることができる。
上記ケトン類としては、ジエチルケトン、メチルブチルケトン、ジプロピルケトン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
【００４０】
上記アルコール類としては、ｎ−ペンタノール、４−メチル−２−ペンタノール、シクロヘキサノール、ジアセトンアルコールなどのアルコール類；エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテルなどのエーテル系アルコール類などが挙げられる。
【００４１】
上記エステル類としては、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸アミルなどの飽和脂肪族モノカルボン酸アルキルエステル類；乳酸エチル、乳酸−ｎ−ブチルなどの乳酸エステル類；メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−３−エトキシプロピオネートなどのエーテル系エステル類などが挙げられる。
【００４２】
これらの溶剤は、単独でまたは２種以上を組み合わせて使用することができる。
これらのうち、メチルブチルケトン、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチル−３−エトキシプロピオネートなどが好ましい。
【００４３】
上記例示した溶剤以外の溶剤としては、テレビン油、エチルセロソルブ、メチルセロソ
ルブ、テルピネオール、ブチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトール、イソプロピルアルコール、ベンジルアルコールなどを挙げることができる。
【００４４】
本発明に係る導電性組成物における溶剤（Ｅ）の含有量は、良好な膜形成性（流動性または可塑性）が得られる範囲内において適宜選択することができる。
たとえば、導電性組成物全量に対して、通常１〜９０質量％、好ましくは５〜７０質量％である。
【００４５】
（Ｆ）添加剤
また、本発明に係る導電性組成物には、任意成分として、可塑剤、分散剤、現像促進剤、接着助剤、ハレーション防止剤、レベリング剤、保存安定剤、消泡剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、増感剤、連鎖移動剤などの各種添加剤が含有されてもよい。
（組成物の調製方法）
本発明に係る導電性組成物は、上記導電性無機粉体（Ａ）、アルカリ可溶性樹脂（Ｂ）、化合物（Ｃ）、光重合開始剤（Ｄ）、および必要に応じて溶剤（Ｅ）と添加剤（Ｆ）とを、ロール混練機、ミキサー、ホモミキサー、ボールミル、ビーズミルなどの混練機を用いて混練することにより調製することができる。
【００４６】
上記のようにして調製される導電性組成物は、塗布に適した流動性を有するペースト状の組成物であり、その粘度は、通常１００〜１，０００，０００ｃｐ、好ましくは５００〜３００，０００ｃｐである。
【００４７】
＜転写フィルム＞
本発明に係る転写フィルムは、支持フィルムと、この支持フィルム上に上記導電性組成物から得られる層とから構成される。このような転写フィルムは、たとえば支持フィルム上に上記導電性組成物を塗布し、この塗膜を乾燥することにより得られる。転写フィルムを構成する支持フィルムは、耐熱性および耐溶剤性を有すると共に可撓性を有する樹脂フィルムであることが好ましい。支持フィルムが可撓性を有することにより、ロールコータによってペースト状組成物を塗布することができ、導電性組成物をロール状に巻回した状態で保存し、供給することができる。支持フィルムを形成する樹脂としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリイミド、ポリビニルアルコール、ポリ塩化ビニル、ポリフロロエチレンなどの含フッ素樹脂、ナイロン、セルロースなどを挙げることができる。支持フィルムの厚さは、例えば２０〜１００μｍである。
【００４８】
導電性組成物が塗布される支持フィルムの表面には、離型処理が施されていることが好ましい。これにより、後述する転写工程において、支持フィルムの剥離操作を容易に行うことができる。
【００４９】
導電性組成物を支持フィルム上に塗布する方法としては、膜厚の均一性に優れた塗膜を効率よく形成することができるものであることが必要とされる。具体的には、ロールコータによる塗布方法、ドクターブレードによる塗布方法、カーテンコータによる塗布方法、ダイコータによる塗布方法、ワイヤーコータによる塗布方法などを好ましいものとして挙げることができる。
【００５０】
上記のようにして塗布された塗膜の乾燥条件は、例えば、５０〜１５０℃で０．５〜３０分間程度であり、乾燥後における溶剤の残存割合（乾燥後の塗膜中の含有率）は、通常２質量％以内である。
【００５１】
上記のようにして支持フィルム上に形成された塗膜の厚さは、導電性無機粉体の含有率
やサイズ、導電性部材の用途などによっても異なるが、電極形成用の塗膜であれば、例えば５〜５０μｍである。
なお、導電性組成物の表面に設けられることのある保護フィルム層としては、ポリエチレンフィルム、ポリビニルアルコール系フィルムなどを挙げることができる。
【００５２】
＜電極の形成方法＞
本発明に係る電極の形成方法は、
（ｉ）基板上に前記導電性組成物を用いて層を形成し、
（ii）所望のパターンに放射線を照射して前記層を露光させ、露光部分を架橋させてアルカリ性現像液に対して不溶化させた後、
（iii）アルカリ性現像液を使用して未露光部分を溶解、除去して電極パターンを形成
し、
（iv）前記電極パターンを焼成処理する
ことを特徴とする。
【００５３】
基板上に導電性組成物を用いて層（電極形成用塗膜）を形成する方法としては、基板上に導電性組成物を塗布する方法や、本発明に係る転写フィルムを用い、基板上に電極形成用塗膜を転写する方法が挙げられる。これらの内、転写フィルムを用いる方法が好ましく、膜厚均一性に優れた電極形成用塗膜を容易に形成することができ、形成される電極パターンの膜厚均一化を図ることができる。
【００５４】
用いられる放射線としては、特に限定されるものではないが、低圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ、ｇ線・ｉ線ステッパー等の紫外線が挙げられる。また、電子線、レーザー光線等も挙げられる。
【００５５】
放射線の照射は、放射線が紫外線の場合は、通常、所望のパターンを有するフォトマスクを介して照射することが好ましい。この場合、照射量は通常５０〜２０００ｍＪ／ｃｍ2である。
【００５６】
電子線あるいはレーザー光線等の場合は、直接所望のパターンに照射するのが好ましい。
また、上記アルカリ性現像液の有効成分としては、例えば水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、リン酸水素ナトリウム、リン酸水素二アンモニウム、リン酸水素二カリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素カリウム、リン酸二水素ナトリウム、ケイ酸リチウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、ホウ酸リチウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどの無機アルカリ性化合物；テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、トリメチルヒドロキシエチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどの有機アルカリ性化合物などを挙げることができる。
【００５７】
アルカリ現像液は、前記アルカリ性化合物の１種または２種以上を水などに溶解させることにより調製することができる。アルカリ性現像液におけるアルカリ性化合物の濃度は、通常０．００１〜１０質量％とされ、好ましくは０．０１〜５質量％とされる。
【００５８】
なお、アルカリ性現像液による現像処理がなされた後は、通常、水洗処理が施される。［実施例］
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下において「部」は「質量部」を示す。
【００５９】
＜重量平均分子量の測定方法＞
重量平均分子量は、東ソー株式会社製ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）（装置機種名：ＨＬＣ−８０２Ａ）により測定したポリスチレン換算の重量平均分子量である。
【００６０】
＜アルカリ可溶性樹脂の合成＞
［合成例１］
【００６１】
【表１】
2005257906.tif 000004
【００６２】
表１に示した化合物を混合し、この混合物を攪拌器付きオートクレーブに仕込み、窒素雰囲気下で室温で均一になるまで攪拌した後、８０℃で３時間重合し、さらに１００℃で１時間反応を続けた後、室温まで冷却し、共重合体（Ｐ１）の溶液を得た。
【００６３】
得られた共重合体（Ｐ１）は、重合転化率が９７％であり、ポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）が７０，０００であった。
［合成例２］
コハク酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）の代わりに、ヘキサヒドロフタル酸モノ（２−メタクリロイロキシエチル）３５部を用いた以外は合成例１と同様にして、共重合体（Ｐ２）を得た。得られた共重合体（Ｐ２）は、重合転化率が９７％であり、ポリスチレン換算重量平均分子量（Ｍｗ）が６６，０００であった。
【００６４】
＜導電性組成物の作製＞
［実施例１］
【００６５】
【表２】
2005257906.tif 000005
【００６６】
表２に示した化合物を混合し、この混合物を分散機で混練することにより導電性組成物（Ｓ１）を製造した。
得られた導電性組成物（Ｓ１）をＰＥＴフィルムよりなる支持フィルム（幅２００ｍｍ、長さ３０ｍ、厚さ３８μｍ）上にダイコータを用いて塗布し、塗膜を１００℃で５分間乾燥して溶剤を除去し、厚さが１０μｍの電極形成用塗膜を有する転写フィルム（Ｆ１）を作製した。
【００６７】
得られた転写フィルム（Ｆ１）の電極形成用塗膜がガラス基板の表面に当接するように重ね合わせ、加熱ローラにて熱圧着し転写を行い、ガラス基板上に電極形成用塗膜を形成した。ここで圧着条件は、加熱ローラの表面温度を９０℃、ロール圧を２ｋｇ／ｃｍ2、
加熱ローラの移動速度を０．５ｍ／分とした。
【００６８】
続いて、ガラス基板上に形成された電極形成用塗膜に対して、フォトマスク（Ｌ／Ｓ＝１００／４００μｍのストライプパターン）を介して、支持フィルム側から４００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線（ｉ線：波長３６５ｎｍ）を露光させた後、支持フィルムを剥離した。
【００６９】
その後、０．６質量％の炭酸ナトリウム水溶液（３０℃）を現像液とするシャワー法による現像処理を行い、次いで、１分間超純水のシャワーを浴びせることにより、紫外線未露光部を除去した。さらに乾燥処理を行ない、電極パターンを基板上に形成した。
【００７０】
その後、この電極パターンが形成されたガラス基板を焼成炉内で５９０℃の温度雰囲気下で１５分間焼成を行い、有機成分を除去し、電極を形成することが出来た。
一方、４００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線で硬化させた導電性組成物（Ｓ１）を熱天秤に載せ
、２０℃／分の速度で昇温を行い、重量減少を測定したところ、３８０℃までに重量減少は完了し、有機成分の熱分解性が良好であった。
［実施例２］
合成例１で得た共重合体（Ｐ１）の代わりに合成例２で得た共重合体（Ｐ２）５０部を用いた以外は、実施例１と同様にして導電性組成物（Ｓ２）を製造し、その後、電極の形成を行った。その結果、実施例１と同様に電極を形成することが出来た。
【００７１】
また、実施例１と同様にして重量減少を測定したところ、実施例１と同様に３８０℃までに重量減少は完了し、有機成分の熱分解性が良好であった。
［実施例３］
プロピレングリコールジメタクリレートの代わりにグリセロールジメタクリレート１２．５部を用いた以外は、実施例１と同様にして導電性組成物（Ｓ３）を製造し、その後、電極の形成を行った。その結果、実施例１と同様に電極を形成することが出来た。
【００７２】
また、実施例１と同様にして重量減少を測定したところ、実施例１と同様に３８０℃までに重量減少は完了し、有機成分の熱分解性が良好であった。
［比較例］
トリメチロールプロパントリメタクリレートの代わりにトリメチロールプロパントリアクリレート１２．５部を、プロピレングリコールジメタクリレートの代わりにプロピレングリコールジアクリレート１２．５部を用いた以外は、実施例１と同様にして導電性組成物（ＣＳ１）を製造し、その後、電極の形成を行った。その結果、実施例１と同様に目的とする電極を形成することが出来た。
【００７３】
しかし、実施例１と同様にして重量減少を測定したところ、重量減少が完了したのは４６０℃と高く、有機成分の熱分解性が劣った。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、新規な導電性組成物に関する。本発明の導電性組成物は焼成時の有機成分の熱分解性に優れ、形成された電極等の導電性部材に有機成分が残留しにくい。そのため、導電性部材、特にフィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、無機エレクトロルミネッセンス（無機ＥＬ）用の電極形成材料として有用である。