(57)【要約】【課題】急激な負荷変動に対する誘導電動機の安定な回転。【解決手段】誘導電動機１７をインバータで駆動する場合、回転速度検出装置１３により誘導電動機１７の回転速度を検出し、この回転速度情報をインバータの制御器１にフィードバックし、拾い上げ動作の失敗をなくす。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
速度指令に基づいて出力指令を発生する制御手段と、前記出力指令に基づいて交流電力を発生する交流電力発生手段を具備し、誘導電動機を駆動するインバータにおいて、
前記誘導電動機の回転速度を検出する回転速度検出手段と、前記回転速度検出手段が検出する回転速度の情報を前記制御手段にフィードバックするフィードバック手段を具備することを特徴とするインバータ。
【請求項２】
請求項１において、前記回転速度検出手段は前記誘導電動機の回転子の軸振動を検出するセンサと、前記センサの出力からフーリエ変換により前記誘導電動機の回転速度を算出する演算手段を具備することを特徴とするインバータ。
【請求項３】
請求項２において、前記誘導電動機は磁気軸受付誘導電動機であり、前記センサは前記磁気軸受付誘導電動機のラジアル磁気軸受に備えられるギャップセンサであることを特徴とするインバータ。
【請求項４】
請求項３において、前記速度指令が所定の低速度領域である場合に前記交流電力発生手段の出力電圧を速度指令に基づく値よりも低下させる電圧調整手段を具備することを特徴とするインバータ。
【請求項５】
速度指令に基づいて出力指令を発生する制御手段と、前記出力指令に基づいて交流電力を発生する交流電力発生手段を具備し、磁気軸受付誘導電動機を駆動するインバータにおいて、
前記速度指令が所定の低速度領域である場合に前記交流電力発生手段の出力電圧を速度指令に基づく値よりも低下させる電圧調整手段を具備することを特徴とするインバータ。
【請求項６】
請求項４または５において、前記電圧調整手段として、速度指令が所定の低速度領域であるか否か判定する低速度領域判定手段と、一定の出力低下指令あるいは前記速度指令に応じて変化する出力低下指令を発生する出力低下指令発生手段と、前記出力指令から前記出力低下指令を減算して前記交流電力発生手段に与える減算手段を具備することを特徴とするインバータ。
【請求項７】
回転機器の軸振動を検出するセンサと、前記センサの出力からフーリエ変換により前記回転機器の回転速度を算出する演算手段を具備することを特徴とする回転速度検出装置。
【請求項８】
請求項７において、前記回転機器は磁気軸受付回転機器であり、前記センサは前記磁気軸受付回転機器のラジアル磁気軸受に備えられるギャップセンサであることを特徴とする回転速度検出装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は誘導電動機駆動用インバータ及び回転速度検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図７にインバータの従来例を示す。図示のインバータは制御器１及び交流電力発生装置３を備え、誘導電動機（ＩＭ）１７を駆動する。図７中、５は整流器、７は電力逆変換器、９は波形制御器、１１は商用電源である。誘導電動機１７は例えば磁気軸受付誘導電動機であり、その構成例を図８、図９に示す。
【０００３】
制御器１は速度指令を入力し、交流電力発生装置３に対する出力指令を発生する。出力指令には、例えば、交流電力発生装置３の出力の電流値に関する指令（以降これを「電流指令」と呼ぶ）及び出力の周波数あるいは位相に関する指令（以降これを「周波数指令」と呼ぶ）が含まれる。
【０００４】
交流電力発生装置３は出力指令に適合した電流値と周波数を持つ交流電力を発生し、誘導電動機１７に出力する。これにより、速度指令に応じて誘導電動機１７の回転速度（回転数）が変化する。
【０００５】
図７に示される交流電力発生装置３は整流器５、電力逆変換器７及び波形制御器９を有している。
【０００６】
図７において、整流器５は商用電源１１の交流電力を一旦直流電力に整流し、電力逆変換器７に与える。電力逆変換器７は波形制御器９から与えられる制御信号に基づいてスイッチング動作することにより直流電力を交流電力に変換し、これを誘導電動機１７に出力する。波形制御器９は制御器１からの出力指令に基づいて、同出力指令に応じた電流値と周波数を持つ交流電力を発生するように電力逆変換器７にスイッチング動作を行わせる制御信号を発生する。
【０００７】
このように、図７に示す従来のインバータでは、誘導電動機１７を可変速制御する場合、それの回転数をフィードバックすることなしに、可変速制御を実現している。
【０００８】
図８に誘導電動機１７に磁気軸受を使用した場合の構成例を示す。図８において、固定子３７はフレーム３９に固定され、回転子４１はスラスト磁気軸受４３と左右のラジアル磁気軸受４５、４７により非接触に浮上して回転可能に支持される。４９はタッチダウン軸受であり、非常時に回転子４１を接触支持する。
【０００９】
各磁気軸受４３、４５、４７には吸引力制御用に電磁石コイル４３ａ、４５ａ、４７ａが備えられ、また、回転子４１のスラスト方向（軸方向）変位を検出するためのギャップセンサ４３ｂと、回転子４１のラジアル方向（半径方向）変位を検出するための４５ｂ、４７ｂが備えられる。
【００１０】
図９に磁気軸受４３、４５、４７を制御する装置の構成例を示す。各ギャップセンサ４３ｂ、４５ｂ、４７ｂは、回転子４１の基準位置からの変位を計測する。この計測で得られた各ギャプ信号はセンサアンプ５１で増幅され、端子台（Ｌ）５３を通してデジタル信号処理器（ＤＳＰ）５５に取り込まれる。
【００１１】
デジタル信号処理器５５では各ギャプ信号をＡ／Ｄ変換し、回転子４１の変位から、同回転子４１を中心位置に戻すために必要な電磁石の吸引力をデジタル演算により求め、求めた吸引力を基に実際に電磁石コイル４３ａ、４５ａ、４７ａに流す電流を決定する。更に、電磁石コイル４３ａ、４５ａ、４７ａに流す電流値をＡ／Ｄ変換してアナログ電流指令値として、端子台（Ｒ）５７を通して電流ドライバ５９に与える。電流ドライバ５９はアナログ電流指令値に応じた値の電流を電磁石コイル４３ａ、４５ａ、４７ａに流し、回転子４１の位置を制御する。
【００１２】
以上により、回転子４１は磁気吸引力で浮上し、スラスト磁気軸受４３及びラジアル磁気軸受４５、４７により非接触支持される。
【００１３】
デジタル信号処理器５５の動作に必要なプログラムはホストコンピュータ（ＰＣ）６１からダウンロードされ、メモリ５５ａに記憶される。ホストコンピュータ６１とメモリ５５ａとの間で読み書きが行われる。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
誘導電動機１７の高速回転中に急激な負荷増大が起こると、すべりが大きくなり、誘導電動機１７に流れる電流が急増して、インバータの過電流保護が働くことがある。この時、インバータは停止する。
【００１５】
負荷増大の原因を取り払った後、「拾い上げ動作」により、つまり、「既に回転している誘導電動機１７に後からインバータを起動して電力を供給すること」により、運転を再開したい状況であっても、図１０に×印で示すように、高速運転中では失敗することが多い。拾い上げ動作が失敗すると、誘導電動機１７が安定して回転し続けることができない。また、拾い上げ動作のリトライ回数が増大する。
【００１６】
これは、従来はインバータが回転速度をフィードバックすることなしに可変速制御を実現しているため、インバータ側で再起動時に誘導電動機１７の回転速度を正確に把握することができないために起こっている。
【００１７】
例えば、図１０に示すように、ある期間Ｉ中、速度指令に応じて設定される周波数でインバータにより誘導電動機１７を駆動していて、時刻ｔ１で何らかの原因によりインバータが停止し、次の期間ＩＩでその原因を除去し、時刻ｔ２で運転を再開したとする。この場合、誘導電動機１７の回転速度が徐々に低下しているので、インバータは出力周波数を設定周波数以上の値（例えば最大周波数）から徐々に回転速度に適合するまで下げ、適合したところで設定周波数に戻す。この時、回転速度と最初のインバータ出力周波数とが離れているので、回転速度に適合するまでのモータサーチ期間ＩＩＩ  が所定の時間ｔ３を越えると、拾い上げ動作に失敗する。
【００１８】
一方、誘導電動機１７が磁気軸受で非接触支持されたもの、即ち、磁気軸受付誘導電動機である場合は、誘導電動機１７の低速回転時には電動機内部での固定子３７と回転子４１間の磁気的吸引力のアンバランスにより、ラジアル磁気軸受４５、４７にかかる力が最大許容値を超えてしまうことがある。よって、運転開始時等、低速回転時には、磁気軸受付誘導電動機が安定して回転し続けることができないことがある。
【００１９】
これは、インバータから誘導電動機１７に流す電流により生じる回転磁界が高速に変化している場合には回転子４１に働く力は平均的に釣り合っていると見做すことができるが、低速の場合は、回転磁界の位相に応じた方向へ働く力が無視できなくなるためである。
【００２０】
従って、本発明の課題は誘導電動機をインバータで駆動する場合に、急激な負荷変動に対して、又は、低速回転時に、安定した回転を実現することである。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係る発明は誘導電動機駆動用インバータであり、速度指令に基づいて出力指令を発生する制御手段と、前記出力指令に基づいて交流電力を発生する交流電力発生手段を具備し、誘導電動機を駆動するインバータにおいて、前記誘導電動機の回転速度を検出する回転速度検出手段と、前記回転速度検出手段が検出する回転速度の情報を前記制御手段にフィードバックするフィードバック手段を具備することを特徴とし、
請求項２に係る発明は請求項１に係る発明のインバータにおいて、前記回転速度検出手段は前記誘導電動機の回転子の軸振動を検出するセンサと、前記センサの出力からフーリエ変換により前記誘導電動機の回転速度を算出する演算手段を具備することを特徴とする。
【００２２】
請求項３に係る発明は磁気軸受付誘導電動機駆動用インバータであり、請求項２に係る発明のインバータにおいて、前記誘導電動機は磁気軸受付誘導電動機であり、前記センサは前記磁気軸受付誘導電動機のラジアル磁気軸受に備えられるギャップセンサであることを特徴とし、
請求項４に係る発明は請求項３に係る発明のインバータにおいて、前記速度指令が所定の低速度領域である場合に前記交流電力発生手段の出力電圧を速度指令に基づく値よりも低下させる電圧調整手段を具備することを特徴とする。
【００２３】
請求項５に係る発明は磁気軸受付誘導電動機駆動用インバータであり、速度指令に基づいて出力指令を発生する制御手段と、前記出力指令に基づいて交流電力を発生する交流電力発生手段を具備し、磁気軸受付誘導電動機を駆動するインバータにおいて、前記速度指令が所定の低速度領域である場合に前記交流電力発生手段の出力電圧を速度指令に基づく値よりも低下させる電圧調整手段を具備することを特徴とする。
【００２４】
請求項６に係る発明は請求項４または５に係る発明のインバータにおいて、前記電圧調整手段として、速度指令が所定の低速度領域であるか否か判定する低速度領域判定手段と、一定の出力低下指令あるいは前記速度指令に応じて変化する出力低下指令を発生する出力低下指令発生手段と、前記出力指令から前記出力低下指令を減算して前記交流電力発生手段に与える減算手段を具備することを特徴とする。
【００２５】
請求項７に係る発明は回転速度検出装置であり、回転機器の軸振動を検出するセンサと、前記センサの出力からフーリエ変換により前記回転機器の回転速度を算出する演算手段を具備することを特徴とする。
【００２６】
請求項８に係る発明は磁気軸受付回転機器用回転速度検出装置であり、請求項７に係る発明の回転速度検出装置において、前記回転機器は磁気軸受付回転機器であり、前記センサは前記磁気軸受付回転機器のラジアル磁気軸受に備えられるギャップセンサであることを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて、本発明の実施形態例を説明する。
【００２８】
［第１実施形態例］
図１に本発明の実施形態例に係るインバータを示す。図示のインバータは制御器１、交流電力発生装置３、回転速度検出装置１３、回転速度のフィードバックループ１３ａ、電流検出装置１５及びを出力電流のフィードバックループ１５ａ備え、誘導電動機１７を駆動する。図１中、５は整流器、７は電力逆変換器、９は波形制御器、１１は商用電源である。誘導電動機１７は例えば、図８に示したスラスト磁気軸受４３及びラジアル磁気軸受４５、４７を採用した磁気軸受付誘導電動機であり、各磁気軸受は図９に示した制御装置により制御される。
【００２９】
回転速度検出装置１３は誘導電動機１７の回転速度（回転数）を検出するものであり、検出した回転速度の情報は速度フィードバックループ１３ａにより制御器１にフィードバックされる。
【００３０】
この回転速度検出装置１３は基本的には、誘導電動機１７の回転速度を検出することができるものであれば何でも良いが、本例では、誘導電動機１７の回転子４１の軸振動をセンサで検出し、このセンサの出力からフーリエ変換により回転速度を算出することとしている。
【００３１】
この回転速度検出の原理は、回転機器が回転している場合、遠心力等の影響で回転速度に応じて僅かでも軸振動しながら回転機器が回転することに着目し、この軸振動をセンサで検出し、そのセンサ出力をフーリエ変換すれば回転速度を推定することができるというものであり、任意の回転機器の回転速度検出に適用可能である。
【００３２】
誘導電動機１７が磁気軸受付誘導電動機である場合は、回転子４１の軸振動が半径方向への回転子変位として現れるので、ラジアル磁気軸受４５や４７に備えられているギャップセンサ４５ｂや４７ｂにより軸振動の信号を得ることができ、軸振動を感知するセンサを別途設ける必要がない。また、タコジェネレータを回転子４１に取り付けることなく、回転速度を検出することができる。
【００３３】
更に、磁気軸受付誘導電動機以外でも、磁気軸受を採用した回転機器であれば、そのラジアル磁気軸受に備えられているギャップセンサの出力からフーリエ変換演算により、同回転機器の回転速度を求めることができる。
【００３４】
そこで、本例の回転速度検出装置１３は、図２に示すように、フーリエ変換器１９とラジアル磁気軸受４５に備えられているギャップセンサ４５ｂにより構成している。フーリエ変換器１９はギャップセンサ４５ｂが出力するギャップ信号をセンサアンプ５１を通して入力し、これをフーリエ変換演算することにより回転子４１の回転速度を求める。図２中、フーリエ変換器１９以外は、図９に示した磁気軸受制御装置と同じである。
【００３５】
電流検出装置１５は交流電力発生装置３から誘導電動機１７に流れる出力電流を検出するものであり、例えば変流器が使用される。検出した出力電流の情報は、電流フィードバックループ１５ａにより制御器１にフィードバックされる。
【００３６】
制御器１は速度指令を入力するとともに、回転速度の検出値及び出力電流の検出値を入力し、これらに基づいて、詳細は後述するが、交流電力発生装置３に対する出力指令を、通常動作モードと拾い上げ動作モードそれぞれにおいて、発生するものである。出力指令しては、例えば、電流指令（交流電力発生装置３の出力の電流値に関する指令）及び周波数指令（同出力の周波数あるいは位相に関する指令）を発生する。
【００３７】
交流電力発生装置３は出力指令に適合した電流値と周波数を持つ交流電力を発生し、誘導電動機１７に出力するものである。
【００３８】
本例では、交流電力発生装置３は整流器５、電力逆変換器７及び波形制御器９を有している。整流器５は商用電源１１の交流電力を一旦直流電力に整流し、電力逆変換器７に与える。電力逆変換器７は波形制御器９から与えられる制御信号に基づいてスイッチング動作することにより直流電力を交流電力に変換し、これを誘導電動機１７に出力する。波形制御器９は制御器１からの出力指令に基づいて、同出力指令が示す電流値と周波数を持つ交流電力を発生するためのスイッチング動作を電力逆変換器７に行わせる制御信号を発生する。
【００３９】
制御器１は通常動作モードと拾い上げ動作モードを持ち、通常動作モードでは、速度指令に基づく周波数指令をフィードバックされた回転速度により修正して出力し、また、速度指令に基づく電流指令をフィードバックされた出力電流により修正して出力する。
【００４０】
拾い上げ動作モードでは、制御器１は速度指令の代わりにフィードバックされた回転速度に基づいて出力指令を発生する。
【００４１】
従って、拾い上げ動作時に誘導電動機１７の回転速度とインバータの出力周波数が適合するため、拾い上げ動作の失敗がなくなる。これにより、急激な負荷変動に対して、誘導電動機１７が安定して回転し続けることができる。
【００４２】
例えば、図３に示すように、或る期間Ｉ中、通常動作モードにより、速度指令とフィードバックされた回転速度及び電流に応じて設定される周波数で誘導電動機１７が回転していて、時刻ｔ１で何らかの原因によりインバータが停止し、次の期間ＩＩでその原因を除去し、時刻ｔ２で運転を拾い上げ動作モードで再開したとする。この場合、誘導電動機１７の回転速度は徐々に低下しているが、最初からインバータの出力周波数が誘導電動機１７の回転速度に適合する。従って、拾い上げ動作は失敗しない。その後は、フィードバックされた回転速度に基づく出力指令から速度指令に基づく出力指令へ徐々に移るように出力指令を変化させ、速度指令に基づく出力指令に至った時に、通常動作モードに移る。
【００４３】
［第２実施形態例］
図４に本発明の他の実施形態例に係るインバータを示す。図８に示したようなスラスト磁気軸受４３及びラジアル磁気軸受４５、４７を採用した誘導電動機１７においては回転子４１の摩擦が殆ど無いので、回転子４１の慣性にもよるが、大きな始動トルクは必要ない。従って、低速回転時には、磁気軸受付誘導電動機１７に働く力を低く抑えるように、インバータの出力電圧を下げても何ら差し支えない。
【００４４】
図４に示すインバータは、電圧調整装置２１を図１に示したインバータに付加したものであり、他の構成は図１と同じである。従って、制御器１、交流電力発生装置３、回転速度検出装置１３、速度フィードバックループ１３ａ、電流検出装置１５、電流フィードバックループ１５ａ及び電圧調整装置２１を備える。交流電力発生装置３は整流器５、電力逆変換器７及び波形制御器９を有する。
【００４５】
電圧調整装置２１は磁気軸受付誘導電動機１７の運転開始時など、速度指令が所定の低速度領域である場合に、交流電力発生装置３の出力電圧を速度指令に基づく値よりも低下させるものである。
【００４６】
このような出力電圧の調整により、低速回転時において、磁気軸受付誘導電動機１７のトルクが減少し、固定子３７と回転子４１間の磁気的吸引力のアンバランスが低減し、ラジアル磁気軸受４５、４７にかかる負荷が減少し、最大許容値を超えることがなくなる。従って、運転開始時等、低速回転時に、磁気軸受付誘導電動機１７が安定して回転し続けることができる。
【００４７】
この場合、出力電圧の低下分は一定値でも良く、あるいは、一定割合でも良く、あるいは、低速で大きく高速になるほど小さくする等、速度指令に応じて変化させても良い。
【００４８】
図５に、運転開始時における出力電圧低下の例を示す。図５において、低速度領域ｉと高速度領域ｉｉは所定の基準速度Ｖｏで区分される。基準速度Ｖｏは、例えば、磁気軸受付誘導電動機１７の定格速度の１０パーセントに設定される。実線は速度指令に基づく出力電圧の変化２３を示し、破線は電圧調整装置２１により低下した出力電圧の変化２５を示す。
【００４９】
また、交流電力発生装置３の出力電圧が結果的に低下すれば良いので、電圧調整装置２１により、速度指令を直接加工して交流電力発生装置３の出力電圧を低下させても、あるいは、整流器５を制御してその出力電圧を低下させても、あるいは、電力逆変換器７を直接制御してその出力電圧を低下させても、あるいは、制御器１からの出力指令を加工して交流電力発生装置３の出力電圧を低下させても良い。
【００５０】
本例では、電圧調整装置２１を低速度領域判定器２７、出力低下指令発生器２９及び減算器３１で構成し、制御器１と波形制御器９の間に設けている。
【００５１】
低速度領域判定器２７は予め設定した基準速度Ｖｏを基に、速度指令が低速度領域ｉか高速度領域ｉｉかを判定し、その判定結果を出力低下指令発生器２９に与えるものである。
【００５２】
出力低下指令発生器２９は、速度指令が低速度領域ｉであると判定された場合に、出力低下指令を発生し減算器３１に与えるものである。
【００５３】
出力低下指令は、図６に示すように、低速度領域ｉの間は一定で高速度領域ｉｉではゼロとなる電流に関する低下指令３３としたり、あるいは、速度指令に応じて変化する電流に関する低下指令３５とすることができる。図示の電流低下指令３５は速度ゼロで大きく、速度が増大するほど減少し、基準速度Ｖｏ以上ではゼロになるものとしている。
【００５４】
減算器３１は制御器１からの出力指令と出力低下指令発生器２９からの出力低下指令を入力し、出力指令から出力低下指令を減算したものを、波形制御器９に与えるものである。例えば、出力指令のうち電流指令から、電流低下指令３３や３５を減算する。
【００５５】
ここで、交流電力発生装置３において、波形制御器９は減算器３１からの出力指令に基づいて、同出力指令が示す電流値と周波数を持つ交流電力を発生するためのスイッチング動作を電力逆変換器７に行わせる制御信号を発生するものである。電力逆変換器７は波形制御器９から与えられる制御信号に基づいてスイッチング動作することにより、整流器５からの直流電力を交流電力に変換し、これを磁気軸受付誘導電動機１７に出力するものである。制御器１は通常動作モードでは、速度指令に基づく周波数指令をフィードバックされた回転速度により修正して出力し、また、速度指令に基づく電流指令をフィードバックされた出力電流により修正して出力する。拾い上げ動作モードでは、最初、速度指令の代わりにフィードバックされた回転速度に基づいて出力指令を発生し、以後、速度指令に基づく出力指令になるまで徐々に変化させる。拾い上げ動作の終了後は、上記通常動作モードに移る。
【００５６】
【発明の効果】
請求項１に係る発明のインバータによれば、回転速度をフィードバックするので、拾い上げ動作が失敗せず、急激な負荷変動に対して誘導電動機を安定して回転させることができる。
【００５７】
請求項２に係る発明のインバータによれば、回転子の軸振動をセンサで検出し、そのセンサ出力からフーリエ変換により回転速度を算出し、フィードバックすることができる。
【００５８】
請求項３に係る発明のインバータによれば、磁気軸受付誘導電動機のラジアル磁気軸受に備えられているギャップセンサから軸振動の信号を得るので、軸振動検出用センサを別途用いる必要がなく、また、タコジェネレータを用いることなく、回転速度を検出してフィードバックすることができる。
【００５９】
請求項４に係る発明のインバータによれば、速度フィードバックによる急激な負荷変動に対する安定な回転に加え、低速回転時に出力電圧が低下するので、低速回転時にトルクが減少し、磁気軸受付誘導電動機を安定して回転させることができる。
【００６０】
請求項５に係る発明のインバータによれば、低速回転時に出力電圧が低下するので、低速回転時にトルクが減少し、磁気軸受付誘導電動機を安定して回転させることができる。
【００６１】
請求項６に係る発明のインバータによれば、低速回転時に出力指令を低下させることにより、出力電圧が低下する。
【００６２】
請求項７に係る発明の回転速度検出装置によれば、回転機器の軸振動をセンサで検出し、そのセンサ出力からフーリエ変換演算により回転速度を求めることができる。
【００６３】
請求項８に係る発明の回転速度検出装置によれば、磁気軸受付回転機器のラジアル磁気軸受に備えられているギャップセンサの出力を利用してフーリエ変換演算により回転速度を求めるので、タコジェネレータを回転子に取り付けることなく、また、軸振動検出用センサを別途設けることなく、磁気軸受付回転機器の回転速度を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態例に係るインバータの構成図。
【図２】図１における回転数検出装置の構成例を示す図。
【図３】図１のインバータにおける拾い上げ動作を示す図。
【図４】本発明の実施形態例に係る他のインバータの構成図。
【図５】図４のインバータにおける出力電圧の低下の例を示す図。
【図６】図４のインバータにおける出力低下指令の例を示す図。
【図７】インバータの従来例を示す図。
【図８】磁気軸受付誘導電動機の構成例を示す図。
【図９】磁気軸受制御装置の構成例を示す図。
【図１０】図７のインバータにおける拾い上げ動作の失敗を示す図。
【符号の説明】
１  制御器
３  交流電力発生装置
５  整流器
７  電力逆変換器
９  波形制御器
１１  商用電源
１３  回転速度検出装置
１３ａ  速度フィードバックループ
１５  電流検出装置
１５ａ  電流フィードバックループ
１７  誘導電動機（磁気軸受付誘導電動機）
１９  フーリエ変換器
２１  電圧調整装置
２３  速度指令に基づく出力電圧変化
２５  電圧調整で低下した出力電圧変化
２７  低速度領域判定器
２９  出力低下指令発生器
３１  減算器
３３  一定の電流低下指令
３５  速度指令に応じて変化する電流低下指令
３７  固定子
３９  フレーム
４１  回転子
４３  スラスト磁気軸受
４５、４７  ラジアル磁気軸受
４３ａ、４５ａ、４７ａ  電磁石コイル
４３ｂ、４５ｂ、４７ｂ  ギャップセンサ
４９  タッチダウン軸受
５１  センサアンプ
５３  端子台（Ｌ）
５５  デジタル信号処理器（ＤＳＰ）
５５ａ  デジタル信号処理器のメモリ
５７  端子台（Ｒ）
５９  電流ドライバ
６１  ホストコンピュータ（ＰＣ）
【図１】
2005057847.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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