(57)【要約】【課題】  軸体とローラ本体とが確実に同軸の状態で設けられ、ローラ本体の軸線と回転軸線とが一致する搬送ローラ体を提供することである。また搬送ローラ体によって、対象物を安定に搬送する搬送装置を提供することである。また搬送装置によって複数の洗浄装置間の搬送が容易な洗浄設備を提供することである。【解決手段】  締付体１３を用いて、ローラ本体１２の固定部１７を、軸体１１に半径方向外方側から弾発的に押圧して、軸体１１の全周にわたって固定部を当接させ、ローラ本体１２を軸体１１に固定して搬送ローラ体１０を構成する。この搬送ローラ体を用いて、搬送装置を構成する。この搬送装置を用いて、洗浄設備を構成する。【選択図】      図１
2005154031.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
予め定める回転軸線まわりに回転することによって、載置され
る対象物を搬送する搬送ローラ体であって、
前記回転軸線まわりに回転自在に設けられる軸体と、
対象物が載置される支持台部および支持台部と一体に設けられる固定部を有し
、軸体が同軸に挿通されるローラ本体と、
ローラ本体の固定部を、半径方向外方側から弾発的に押圧して、軸体に当接さ
せる締付体とを含むことを特徴とする搬送ローラ体。
【請求項２】
ローラ本体の固定部は、周方向に分断され、半径方向に弾発的
に変形可能であり、外周部がテーパ状に形成され、この外周部に雄ねじが形成さ
れ、
締付体は、内周部がテーパ状に形成され、この内周部にローラ本体の固定部の
雄ねじと螺合する雌ねじが形成されることを特徴とする請求項１記載の搬送ロー
ラ体。
【請求項３】
軸体およびローラ本体に対する締付体の回転を阻止する回転阻
止体をさらに含むことを特徴とする請求項２記載の搬送ローラ体。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の複数の搬送ローラ体が、前記
回転軸線の方向とは異なる搬送方向に並べられて構成されることを特徴とする搬
送装置。
【請求項５】
対象物を洗浄する複数の洗浄装置と、各洗浄装置間に設けられ
る請求項４記載の搬送装置とを含むことを特徴とする洗浄設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転軸線まわりに回転することによって対象物を搬送する搬送ロー
ラ体、その搬送ローラ体を用いて対象物を搬送する搬送装置および搬送装置を備
える洗浄設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
図９は、従来の技術の搬送ローラ体１を示す断面図である。図１０は、従来の
技術の搬送ローラ体１を回転軸線方向一方に見て示す断面図である。この搬送ロ
ーラ体１は、たとえば液晶表示用のガラス基板などを洗浄する洗浄設備などに設
けられ、ガラス基板を搬送するために用いられる。搬送ローラ体１は、軸体２と
複数のローラ本体３とを含んで構成される。軸体２は、軸線まわりに回転自在に
設けられ、図示しない駆動体によって回転駆動される。ローラ本体３は、ガラス
基板が載置される支持台部４と、支持台部４と一体に設けられる固定部５とを有
する。軸体２とローラ本体３とは、同軸に挿通される。ローラ本体３の固定部５
には、半径方向に貫通し、止めねじ７を螺合可能な２つの貫通孔６が形成される
。止めねじ７を貫通孔６に挿入し、止めねじ７を回転させ、止めねじ７を止めね
じ７の軸線方向に変位させることによって、止めねじ７の軸体２寄りの端面部７
ａが、軸体２に当接される。これによって軸体２とローラ本体３とを固定する（
たとえば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平３−２８３４８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
図１１は、止めねじ７を用いてローラ本体３を軸体２に固定した状態の、従来
の技術の搬送ローラ体１を示す断面図である。止めねじ７を用いて固定する場合
、止めねじ７の端面部７ａを軸体２に当接させると、ローラ本体３には、止めね
じ７が螺着される部分に、軸体２から離反する方向の力が作用する。これによっ
て、ローラ本体３が部分的に半径方向外方に膨出するように変形する場合がある
。このようにローラ本体３が変形すると、支持台部４における外周面半径が、支
持台部４の周方向に関して変化する。支持台部４の外周面が回転軸線を軸線とす
る円筒面からずれる状態となる。したがって、搬送ローラ体１によって搬送され
るガラス基板が、所定の位置からずれて搬送されたり、蛇行して搬送されたりす
るおそれがある。これによって搬送される対象物が搬送ローラ体から落下などが
あり、対象物が破損する原因となり、安定して対象物を搬送することができなか
った。
【０００４】
したがって本発明の目的は、軸体とローラ本体とが確実に同軸の状態で設けら
れ、ローラ本体の軸線と回転軸線とが一致する搬送ローラ体を提供することであ
る。
【０００５】
また搬送ローラ体によって、対象物を安定に搬送する搬送装置を提供すること
である。
【０００６】
また搬送装置によって複数の洗浄装置間の搬送が容易な洗浄設備を提供するこ
とである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、予め定める回転軸線まわりに回転することによって、載置される対
象物を搬送する搬送ローラ体であって、
前記回転軸線まわりに回転自在に設けられる軸体と、
対象物が載置される支持台部および支持台部と一体に設けられる固定部を有し
、軸体が同軸に挿通されるローラ本体と、
ローラ本体の固定部を、半径方向外方側から弾発的に押圧して、軸体に当接さ
せる締付体とを含むことを特徴とする搬送ローラ体である。
【０００８】
本発明に従えば、搬送ローラ体は、締付体を用いてローラ本体を軸体に固定し
て構成される。締付体は、ローラ本体の固定部を半径方向外方側から弾発的に押
圧して、固定部を軸体に当接させて固定する。したがってローラ本体の支持台部
の軸線と、軸体の軸線とが一致するように構成することができる。これによって
軸体の軸線まわりに軸体を回転させることによって、軸体に固定されるローラ本
体の支持台部の外周面が、円軌道を正確に描くことができる。
【０００９】
また本発明は、ローラ本体の固定部は、周方向に分断され、半径方向に弾発的
に変形可能であり、外周部がテーパ状に形成され、この外周部に雄ねじが形成さ
れ、
締付体は、内周部がテーパ状に形成され、この内周部にローラ本体の固定部の
雄ねじと螺合する雌ねじが形成されることを特徴とする。
【００１０】
本発明に従えば、ローラ本体の固定部は、周方向に分断されるので、固定部の
剛性が低下し、半径方向外方側からの外力によって、容易に弾発的に半径方向へ
変形可能である。ローラ本体の固定部に形成される雄ねじと、締付体に形成され
る雌ねじとが螺合するので、締付体をローラ本体に対して回転させて回転軸線方
向へ変位させることができる。雄ねじが形成される固定部と雌ねじが形成される
締付体とが、テーパ状に形成されているので、締付体を回転軸線方向へ変位させ
ることによって、締付体が固定部を半径方向内方側へ変形させることができる。
したがって固定部を全周にわたって半径方向内方側へ均一に押圧することができ
る。
【００１１】
また本発明は、軸体およびローラ本体に対する締付体の回転を阻止する回転阻
止体をさらに含むことを特徴とする。
【００１２】
本発明に従えば、軸体およびローラ本体に対する締付体の回転（以下、「相対
回転」という場合がある）を阻止する回転阻止体をさらに含むので、搬送ローラ
体が回転することによって生じる、振動などに起因する締付体の相対回転を阻止
することができる。したがって搬送ローラ体が回転しているときに、ローラ本体
と締付体とが、容易に分離するのを防ぐことができる。
【００１３】
また本発明は、前記複数の搬送ローラ体が、前記回転軸線の方向とは異なる搬
送方向に並べられて構成されることを特徴とする搬送装置である。
【００１４】
本発明に従えば、搬送装置は、複数の搬送ローラ体が、前記回転軸線の方向と
は異なる搬送方向に並べられて構成されるので、対象物を円滑に、安定して搬送
する装置を実現することができる。
【００１５】
また本発明は、対象物を洗浄する複数の洗浄装置と、各洗浄装置間に設けられ
る前記搬送装置とを含むことを特徴とする洗浄設備である。
【００１６】
本発明に従えば、洗浄設備は、対象物を洗浄する複数の洗浄装置と、各洗浄装
置間に設けられる搬送装置とを含むので、より円滑に安定して対象物を搬送する
洗浄設備を実現することができる。
【発明の効果】
【００１７】
以上のように本発明によれば、ローラ本体の支持台部の軸線と、軸体の軸線と
が一致するように構成することができる。これによって軸体の軸線まわりに軸体
を回転させることによって、軸体に固定されるローラ本体の支持台部の外周面が
、円軌道を正確に描くことができる。したがって対象物を搬送するときに、対象
物を搬送ローラ体の回転によって搬送方向とは異なる方向に変位することなく、
安定して搬送することができる。
【００１８】
また本発明によれば、締付体を回転軸線方向に変位させることによって、締付
体が固定部を半径方向内方側へ変形させることができる。したがってローラ本体
を軸体に容易にかつ周方向全周にわたって、固定部を固定する搬送ローラ体を実
現することができる。
【００１９】
また本発明によれば、搬送ローラ体が回転しているときに、ローラ本体と締付
体とが、容易に分離するのを防ぐことができる。したがって、搬送ローラ体が回
転しているときに生じる、搬送ローラ体の不具合をより少なくすることができる
。
【００２０】
また本発明によれば、対象物が搬送方向とは異なる方向に変位しない搬送装置
を容易に実現することができる。
【００２１】
また本発明によれば、各洗浄装置間を対象物が効率的に搬送され、好適に対象
物を洗浄する洗浄設備を容易に実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
図１は、本発明の実施の一形態の搬送ローラ体１０を示す断面図である。搬送
ローラ体１０は、軸体１１、ローラ本体１２および締付体１３を含んで構成され
る。搬送ローラ体１０は、予め定める回転軸線まわりに回転することによって、
載置される対象物を搬送する。搬送ローラ体１０は、締付体１３を用いて軸体１
１にローラ本体１２を固定して構成される。軸体１１は、円柱状であって、軸体
１１の軸線まわりに回転自在に設けられ、図示しない駆動体によって回転駆動さ
れる。軸体１１に固定されるローラ本体１２は、軸体１１の回転に伴って回転し
、ローラ本体１２に載置される対象物を搬送する。
【００２３】
図２は、搬送ローラ体１０において、ローラ本体１２と締付体１３とを分離し
て示す断面図である。図３は、搬送ローラ体１０を示す分解斜視図である。搬送
ローラ体１０は、さらに止めねじ１４およびリング１５を含んで構成される。
【００２４】
ローラ本体１２は、支持台部１６、固定部１７および鍔部１８を含んで構成さ
れる。支持台部１６、固定部１７および鍔部１８は、それぞれ略円筒状であって
、各部の内周面半径は互いに等しく形成される。各部の外周面半径はそれぞれ異
なり、固定部１７、支持台部１６そして鍔部１８の順に順次大きく形成される。
ローラ本体１２は、各部１６〜１８の軸線が同軸の状態であって、軸線方向に固
定部１７、鍔部１８そして支持台部１６の順に、一体に形成される。支持台部１
６は、対象物が載置される部位である。
【００２５】
固定部１７は、固定部１７の外周部の一部がテーパ状に形成され、このテーパ
状の部位１７ａに雄ねじが形成される。また固定部は、固定部の周方向に分断す
る切欠き部２１が形成され、本実施の形態では周方向に３等分に分断され、半径
方向に弾発的に変形可能に構成される。
【００２６】
鍔部１８は、支持台部１６に載置される対象物が、軸線方向一方側に変位しな
いように設けられる。支持台部１６における外周面半径と、鍔部１８における外
周面半径との差は、対象物の厚み寸法に基づいて決定される。鍔部１８の厚み方
向の周縁部１８ａは、軸線方向の中間部に向かって拡径するようにテーパ状に形
成される。支持台部１６寄りの鍔部１８の周縁部１８ａは、対象物を支持台部１
６に載置する場合に、対象物を支持台部１６に容易に案内されるように構成され
る。
【００２７】
軸体１１とローラ本体１２とは、同軸に挿通され、軸体１１の外周面半径はロ
ーラ本体１２の内周面半径よりも小さく形成され、ローラ本体１２が軸体１１に
対して軸線方向にずれるように構成される。ローラ本体１２は、耐薬品性および
耐腐食性を有する材料から成り、たとえば合成樹脂、具体的にはポリ４ふっ化エ
チレン（例：テフロン（Ｒ））およびポリアセタール（例：ジュラコン（Ｒ））
などから成る。
【００２８】
締付体１３は、ローラ本体１２の固定部１７を半径方向外方側から弾発的に押
圧して、ローラ本体１２の固定部１７におけるテーパ状の部位の内周部を、軸体
１１に当接させる。締付体１３は、略円筒状であって、内周部がテーパ状に形成
され、このテーパ状の部分１３ａにローラ本体１２の固定部１７の雄ねじと螺合
する雌ねじが形成される。締付体１３は、半径方向に貫通する貫通孔１９が複数
、本実施の形態では２つ形成され、２つの貫通孔１９である第１および第２貫通
孔１９ａ，１９ｂに臨む内周部に雌ねじが形成される。以下、不特定の貫通孔１
９を示す場合、「第１」および「第２」を省略する。第１貫通孔１９ａが形成さ
れる位置は、締付体１３とローラ本体１２とを組合わせたときに、締付体１３の
内周部における第１貫通孔１９ａの孔部が、軸体１１に臨む位置に形成される。
第２貫通孔１９ｂの形成される位置は、締付体１３とローラ本体１２とを組合せ
たときに、締付体１３の内周部における第２貫通孔１９ｂの孔部が、ローラ本体
１２の固定部１７に臨む位置に形成される。具体的には、固定部１７のテーパ状
の部分を除く残余の部分であって、鍔部１８寄りの位置に形成される。締付体１
３は、耐腐食性および耐薬品性を有する材料から成り、たとえば合成樹脂、具体
的にはポリ４ふっ化エチレン（例：テフロン（Ｒ））およびポリアセタール（例
：ジュラコン（Ｒ））などから成る。
【００２９】
回転阻止体である止めねじ１４は、軸体１１およびローラ本体１２に対する締
付体１３の回転を阻止するために用いられる。止めねじ１４は円柱状であって、
外周部に締付体１３の貫通孔１９の雌ねじと螺合する雄ねじが形成される。止め
ねじ１４を貫通孔１９に挿入し、止めねじ１４を回転させて、止めねじ１４の軸
線方向に止めねじ１４を変位させる。第１貫通孔１９ａに挿入される止めねじ１
４である第１止めねじ１４ａの軸体１１寄りの端面部を、軸体１１に当接させ、
第２貫通孔１９に挿入される止めねじ１４である第２止めねじ１４ｂの軸体１１
寄りの端面部を、ローラ本体１２の固定部１７に当接させる。止めねじ１４の端
面部と軸体１１および固定部１７との摩擦力によって、軸体１１およびローラ本
体１２に対する締付体１３の回転が阻止される。
【００３０】
リング１５は、対象物を搬送するときに、支持台部１６と対象物との摩擦力を
向上するために、支持台部１６の周方向全周にわたって支持台部１６に外接する
ように設けられる。リング１５は、支持台部１６よりも摩擦力が大きい材料から
成り、たとえば天然樹脂から成り、本実施の形態ではゴムから成る。リング１５
は、円環状であって、たとえばオーリング（Ｏリング）によって実現される。
【００３１】
図４は、搬送ローラ体１０を回転軸線方向一方に見て示す断面図である。ロー
ラ本体１２の固定部１７は、切欠き部２１が形成されることによって、周方向に
３等分に分断され、半径方向に弾発的に変形可能に構成される。固定部１７を締
付体１３の内周部に挿入し、締付体１３をローラ本体１２に対して回転させ、回
転軸線方向に変位させる。締付体１３をローラ本体１２に対して回転させる前の
固定部１７の回転軸線方向一方側の端面部１７ｂを、想像線２０を用いて示す。
固定部１７の外周部および締付体１３の内周部がテーパ状に形成されるので、半
径方向内方側に外力が生じる。固定部１７のテーパ状の部位だけが、周方向全周
にわたって半径方向内方側に変形し、固定部１７の内周部が周方向全周にわたっ
て軸体１１に当接して、ローラ本体１２が軸体１１に固定される。軸体１１は周
方向全周にわたって固定部１７から半径方向内方側に外力を受けるので、軸体１
１は変形しない。また固定部１７のテーパ状の部位だけが変形するので、残余の
部分はである支持台部１６および鍔部１８は変形しない。
【００３２】
ローラ本体１２を軸体１１に固定した後、貫通孔１９に挿入されている止めね
じ１４を回転させる。第１止めねじ１４ａの端面部を軸体１１に当接させ、第２
止めねじ１４ｂの端面部を固定部１７に当接させ、軸体１１およびローラ本体１
２に対する締付体１３の回転を阻止する。さらにリング１５を、ローラ本体１２
の支持台部１６に配置して設ける。ローラ本体１２を軸体１１に固定するために
、締付体１３のローラ本体１２寄りの端面部１３ｂと、ローラ本体１２の鍔部１
８の締付体１３寄りの端面部１８ｂとが当接するよりも先に、固定部１７の内周
部が軸体１１に当接して固定するように、軸体１１とローラ本体１２と締付体１
３との寸法関係が決められる。したがって搬送ローラ体において、締付体１３の
ローラ本体１２寄りの端面部１３ｂと、ローラ本体１２の鍔部１８の締付体１３
寄りの端面部１８ｂとの間に間隔ΔＬが存在するように構成される。
【００３３】
前述のような本実施の形態の搬送ローラ体１０によれば、搬送ローラ体１０は
、締付体１３を用いてローラ本体１２を軸体１１に固定して構成される。締付体
１３は、ローラ本体１２の固定部１７を半径方向外方側から弾発的に押圧して、
固定部１７を軸体１１に当接させて固定する。したがってローラ本体１２の支持
台部１６の軸線と、軸体１１の軸線とが一致するように構成することができる。
これによって軸体１１の軸線まわりに軸体１１を回転させることによって、軸体
１１に固定されるローラ本体１２の支持台部１６の外周面が、円軌道を正確に描
くことができる。したがって対象物を搬送するときに、対象物を搬送ローラ体１
０の回転によって搬送方向とは異なる方向に変位することなく、安定して搬送す
ることができる。
【００３４】
本実施の形態の搬送ローラ体１０では、ローラ本体１２の固定部１７は、周方
向に分断されるので、固定部１７の剛性が低下し、半径方向外方側からの外力に
よって、容易に弾発的に半径方向へ変形可能である。ローラ本体１２の固定部１
７に形成される雄ねじと、締付体１３に形成される雌ねじとが螺合するので、締
付体１３をローラ本体１２に対して回転させて回転軸線方向へ変位させることが
できる。雄ねじが形成される固定部１７と雌ねじが形成される締付体１３とが、
テーパ状に形成されているので、締付体１３を回転軸線方向へ変位させることに
よって、締付体１３が固定部１７を半径方向内方側へ変形させることができる。
したがって固定部１７を全周にわたって半径方向内方側へ均一に押圧することが
できる。したがってローラ本体１２を軸体１１に容易にかつ周方向全周にわたっ
て、固定部１７を固定する搬送ローラ体１０を実現することができる。
【００３５】
また本実施の形態の搬送ローラ体１０では、固定部１７のテーパ状の部位だけ
が締付体によって変形するので、残余の部分は変形しない。したがってローラ本
体１２の支持台部の外周面が正確に円軌道を描くように回転させることができる
。
【００３６】
また本実施の形態の搬送ローラ体１０では、締付体１３の相対回転を阻止する
止めねじ１４をさらに含むので、搬送ローラ体１０が回転することによって生じ
る、振動などに起因する締付体１３の相対回転を阻止することができる。したが
って搬送ローラ体１０が回転しているときに、ローラ本体１２と締付体１３とが
、容易に分離するのを防ぐことができる。これによって搬送ローラ体１０が回転
しているときに生じる、搬送ローラ体１０の不具合をより少なくすることができ
る。
【００３７】
また本実施の形態の搬送ローラ体１０では、ローラ本体１２は締付体１３およ
び止めねじ１４によって２重に固定されるので、振動などに起因するローラ本体
１２の軸体１１に対する変位しにくいように構成することができる。
【００３８】
図５は、本発明の実施の他の形態の搬送装置に用いられる搬送ローラ体３０を
示す正面図である。搬送装置は、複数の搬送ローラ体３０が、回転軸線の方向と
は異なる搬送方向に並べられて構成される。本実施の形態は前述の図１〜図４の
搬送ローラ体１０と類似しており、本実施の形態の構成には図１〜図４の搬送ロ
ーラ体１０における対応する構成と同一の参照符号を付し、異なる構成について
だけ説明し、同様の構成については説明を省略する。本実施の形態の搬送ローラ
体３０は、軸体１１、第１搬送ローラ部３１、第２搬送ローラ部３４および第３
搬送ローラ部３２を含んで構成される。第１搬送ローラ部３１は、前述の搬送ロ
ーラ体１０から軸体１１を除いた残余の部分である。第２搬送ローラ部３４の構
成は、第１搬送ローラ部３１に対してローラ本体３３の構成が異なる。第３搬送
ローラ部は、第１搬送ローラ部と同様の構成である。
【００３９】
本実施の形態の搬送ローラ体３０は、同一の軸体１１に、軸線方向に順次、第
１搬送ローラ部３１、第２搬送ローラ部３４、第３搬送ローラ部３２の順に配置
され固定される。第１搬送ローラ部３１と第３搬送ローラ部３２とは、互いに支
持台部１６が対向するように配置される。第１搬送ローラ部３１と第３搬送ロー
ラ部３２との間隔は、二つの支持台部１６に対象物が載置されるような寸法に構
成される。載置される対象物は、第１および第３搬送ローラ部３１，３２の鍔部
１８によって、回転軸線方向に変位しないように、搬送ローラ体３０は構成され
る。第２搬送ローラ部３４は、第１搬送ローラ部３１と第３搬送ローラ部３２と
の中間部３５に配置される。
【００４０】
本実施の形態の搬送ローラ体３０を形成する場合、第１〜第３搬送ローラ部３
１，３２，３４を構成する締付体１３およびローラ本体１２，３３を、予め軸体
１１に挿通する。第１〜第３搬送ローラ部３１，３２，３４を形成する順序とし
ては、まず搬送装置の構成などによって決定される位置に軸体１１が設けられる
。軸体１１に対象物に基づいて決定される位置に第１搬送ローラ部３１を設ける
。次に、第１搬送ローラ部３１の位置と対象物の幅方向の寸法とによって決定さ
れる位置に第３搬送ローラ部３２を設ける。次に、第１および第３搬送ローラ部
３１，３２の中間部に第２搬送ローラ部３４を設ける。
【００４１】
図６は、本実施の形態の搬送ローラ体３０を構成する第２搬送ローラ部３４を
示す断面図である。図７は、第２搬送ローラ部３４において、ローラ本体３３と
締付体１３とを分離して示す断面図である。本実施の形態の第２搬送ローラ部３
４は、前述した図１〜図４の搬送ローラ体１０と、ローラ本体３３の構成が異な
る。第２搬送ローラ部３４のローラ本体３３は、固定部３６および支持台部３７
が一体に設けられる。支持台部３７の外周面半径は、固定部３６の外周面半径よ
りも大きく構成される。支持台部３７は略円筒状である。支持台部３７の厚み方
向の周縁部３７ａは、軸線方向の中間部に向かって拡径するようにテーパ状に形
成される。周縁部３７ａがテーパ状に形成されることによって、支持台部に載置
される対象物に、傷などが入らないようにすることができる。第２搬送ローラ部
３４を軸体の中間部に設けるので、支持台部３７によって、対象物の中間部が、
対象物の自重に起因して鉛直方向下向きにたわむのを防ぐことができる。
【００４２】
本実施の形態の搬送装置では、搬送装置は、複数の搬送ローラ体３０が、前記
回転軸線の方向とは異なる搬送方向に並べられて構成されるので、対象物を円滑
に、安定して搬送する装置を実現することができる。また対象物が搬送方向とは
異なる方向に変位しない搬送装置を容易に実現することができる。また本実施の
形態の搬送ローラ体３０が、前述の搬送ローラ体１０と同様に締付体１３を用い
て軸体１１にローラ本体１２，３３を固定しているので、前述の搬送ローラ体１
０と同様の効果を達成することができる。
【００４３】
図８は、本発明のさらに他の実施の形態の洗浄設備４０を概略的に示す平面図
である。本実施の形態の洗浄設備４０は、枚葉式の洗浄設備４０であり、たとえ
ば液晶表示パネル用ガラス基板などの洗浄に用いられる。洗浄設備４０は、ロー
ダ４１、複数の洗浄装置４２〜４５、アンローダ４６および搬送装置４７を含ん
で構成される。
【００４４】
ローダ４１は、対象物であるガラス基板４８を収めるカセット４９が収容され
る。複数の洗浄装置４２〜４５は、たとえばスクラブ洗浄装置４２、超音波洗浄
装置４３、高圧ジェット洗浄装置４４および乾燥装置４５である。スクラブ洗浄
装置４２は、洗浄用のブラシ４２ａ備え、ブラシ４２ａを用いてガラス基板４８
を洗浄する。超音波洗浄装置４３は、超音波発振器４３ａおよび洗浄液供給ノズ
ル４３ｂを備える。超音波洗浄装置４３は、洗浄液供給ノズル４３ｂによって洗
浄液をガラス基板４８に噴射し、超音波発信器４３ａによって超音波をガラス基
板４８に印可し、超音波振動を与えて洗浄を促進する。高圧ジェット洗浄装置４
４は、洗浄液供給ノズル４３ｂよりも高圧の洗浄液をガラス基板４８に噴射し、
ガラス基板４８を洗浄する。乾燥装置４５は、たとえば空気をガラス基板４８に
噴射するエアナイフ４５ａによって、ガラス基板４８に付着している洗浄液を除
去するとともに、ガラス基板４８を乾燥する。アンローダ４６は、カセット４９
を収納していて、洗浄されたガラス基板４８が、カセット４９に収納される。
【００４５】
本実施の形態の搬送装置４７は、前述した図５〜図７の搬送ローラ体３０を用
いた搬送装置と類似しており、本実施の形態の構成には図５〜図７の搬送ローラ
体３０における対応する構成と同一の参照符号を付し、異なる構成についてだけ
説明し、同様の構成については説明を省略する。搬送装置４７は、予め定められ
る搬送経路に沿ってガラス基板４８が搬送されるように、複数の搬送ローラ体３
０が配置される。本実施の形態では複数の搬送ローラ体３０において、それぞれ
の第１および第３搬送ローラ部３１，３２の支持台部３７の端面が、互いに面一
になるように搬送ローラ体３０の位置が調整される。ガラス基板４８は搬送装置
４７によって、予め定める搬送経路に沿って安定して、落ちることなく移動する
。ガラス基板４８は、搬送装置４７によってローダ４１から順次、スクラブ洗浄
装置４２、超音波洗浄装置４３、高圧ジェット洗浄装置４４、乾燥装置４５を経
て、アンローダ４６まで搬送される。
【００４６】
本実施の形態の洗浄設備４０は、ガラス基板４８を洗浄する複数の洗浄装置４
２〜４５と、各洗浄装置４２〜４５間に設けられる搬送装置４７とを含むので、
より円滑に安定してガラス基板４８を搬送する洗浄設備４０を実現することがで
きる。円滑に安定してガラス基板４８を搬送するので、搬送するときのガラス基
板４８に生じる亀裂などの不具合をなくすことができ、生産性を向上することが
できる。また軸体１１にローラ本体１２，３３を容易な作業で取り付けることが
できるので、前記作業を効率的に行うことができる。したがって各洗浄装置４２
〜４５間をガラス基板４８が効率的に搬送され、好適にガラス基板４８を洗浄す
る洗浄設備４０を容易に実現することができる。また本実施の形態の搬送装置４
７は、前述の実施の形態の搬送ローラ体３０を用いた搬送装置と同様の構成なの
で、同様の効果を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施の一形態である搬送ローラ体１０を示す断面図である。
【図２】搬送ローラ体１０において、ローラ本体１２と締付体１３とを分離して示す断面図である。
【図３】搬送ローラ体１０を示す分解斜視図である。
【図４】搬送ローラ体１０を回転軸線方向一方に見て示す断面図である。
【図５】本発明の実施の他の形態である搬送装置に用いられる搬送ローラ体３０を示す正面図である。
【図６】搬送ローラ体３０を構成する第２搬送ローラ部３４を示す断面図である。
【図７】第２搬送ローラ部３４において、ローラ本体３３と締付体１３とを分離して示す断面図である。
【図８】本発明のさらに他の実施の形態である洗浄設備４０を概略的に示す平面図である。
【図９】従来の技術である搬送ローラ体１を示す断面図である。
【図１０】搬送ローラ体１を回転軸線方向一方に見て示す断面図である。
【図１１】止めねじ７を用いてローラ本体３を軸体２に固定した状態の、搬送ローラ体１を示す断面図である
【符号の説明】
【００４８】
１０，３０  搬送ローラ体
１１  軸体
１２，３３  ローラ本体
１３  締付体
１４  止めねじ
１６，３７  支持台部
１７，３６  固定部
４０  洗浄設備
４７  搬送装置
【図１】
2005154031.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2005154031.tif 000006
【図５】
2005154031.tif 000007
【図６】
2005154031.tif 000008
【図７】
2005154031.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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