(57)【要約】【課題】    特定の画素の位置を確実に取得して検査効率を向上させることができる表示素子の画素位置取得方法および表示用パネルの検査方法を提供すること。【解決手段】表示用パネルにおける各画素１１の位置算出の基準となる基準画素１２そのものに欠陥があったとしても、基準画素１２周辺の周辺画素１３における中心位置１３Ａを検出し、この周辺画素１３の中心位置１３Ａに基づいて基準画素１２の中心位置１２Ａを算出することができる。これにより基準画素１２の中心位置１２Ａに基づいて、有機ＥＬパネル１０における各画素１１の位置が確実に算出でき、算出した各画素１１の位置等に基づいた表示用パネルの検査が速やかに実行できるため、検査効率を向上させることができる。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像形成領域上に複数の画素が配列形成された表示素子の画素を撮像素子により撮像し、撮像された複数の画素のうち、特定の画素の位置を取得する表示素子の画素位置取得方法であって、
前記特定の画素を含む領域が撮像された画像に基づいて、前記特定の画素の欠陥の有無を判定する欠陥判定手順と、
前記欠陥判定手順において、前記特定の画素に欠陥がないと判定された場合には、前記画像から当該特定の画素の位置を検出する画素位置検出手順と、
前記欠陥判定手順において、前記特定の画素に欠陥があると判定された場合には、前記画像から当該特定の画素の周囲に位置する欠陥のない画素位置を検出し、検出した画素位置および前記表示素子の設計上の画素ピッチに基づいて、前記特定の画素の推定位置を算出する推定位置算出手順と
を備えていることを特徴とする表示素子の画素位置取得方法。
【請求項２】
請求項１に記載の表示素子の画素位置取得方法において、
前記欠陥判定手順における前記特定の画素の欠陥の有無は、前記撮像された画像に基づく当該特定の画素の輝度と、予め設定した輝度のしきい値との比較により判定され、当該特定の画素の輝度が前記輝度のしきい値を下回った場合に欠陥があると判定されることを特徴とする表示素子の画素位置取得方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の表示素子の画素位置取得方法において、
前記欠陥判定手順における前記特定の画素の欠陥の有無は、前記撮像された画像に基づく当該特定の画素の面積と、予め設定した面積のしきい値との比較により判定され、当該特定の画素の面積が前記面積のしきい値を下回った場合に欠陥があると判定されることを特徴とする表示素子の画素位置取得方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の表示素子の画素位置取得方法において、
前記画素は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の３色の画素が配列されて構成されており、
前記撮像素子は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の３色が識別可能なカラーＣＣＤであることを特徴とする表示素子の画素位置取得方法。
【請求項５】
画像形成領域上に複数の画素が配列形成された表示用パネルの画素を撮像素子により撮像し、撮像された測定用画像に基づいて表示状態を検査する表示用パネルの検査方法であって、
前記撮像された複数の画素のうち、特定の画素を含む領域が撮像された測定用画像に基づいて、前記特定の画素の欠陥の有無を判定する欠陥判定手順と、
前記欠陥判定手順において、前記特定の画素に欠陥がないと判定された場合には、前記測定用画像から当該特定の画素の位置を検出する画素位置検出手順と、
前記欠陥判定手順において、前記特定の画素に欠陥があると判定された場合には、前記測定用画像から当該特定の画素の周囲に位置する欠陥のない画素位置を検出し、検出した画素位置および前記表示素子の設計上の画素ピッチに基づいて、前記特定の画素の推定位置を算出する推定位置算出手順と、
前記画素位置検出手順または前記推定位置算出手順で求められた前記特定の画素の位置に基づいて、当該表示用パネルの前記複数の画素の位置を算出し、これらの各画素の欠陥を評価する評価手順と
を備えていることを特徴とする表示用パネルの検査方法。
【請求項６】
請求項５に記載の表示用パネルの検査方法において、
前記表示用パネルを撮像する前に、当該表示用パネルの少なくとも１辺と平行に離隔した少なくとも２つの画素を撮像し、これらの画素を結ぶ直線と撮像基準線とを合致させる回転位置補正手順を備えたことを特徴とする表示用パネルの検査方法。
【請求項７】
請求項５または請求項６に記載の表示用パネルの検査方法において、
前記表示用パネルを複数の区画に分割した測定区画ごとに撮像して前記測定用画像を複数生成し、これら複数の測定用画像のうちの少なくとも１つの測定用画像に関し、前記欠陥判定手順で前記特定の画素の欠陥の有無を判定するとともに、前記画素位置検出手順または前記推定位置算出手順で前記特定の画素の位置を求めることを特徴とする表示用パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示素子の画素位置取得方法および表示用パネルの検査方法に関する。詳しくは、有機ＥＬパネルや無機ＥＬパネル、液晶パネル、プラズマパネル等、画像形成領域上に複数の画素が配列形成された表示素子の画素位置を取得し、取得した画素位置に基づいて検査を実施するための表示素子の画素位置取得方法、および表示用パネルの検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、表示用パネルの検査方法として、ＣＣＤカメラを用いてその視野内におさまる視野区画ごとに表示用パネルを撮像し、撮像した画像を画像処理することにより、表示用パネルの表示ムラ等を測定する検査方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
このような表示用パネルの検査においては、検査精度を確保するために、各画素の位置（座標）を検出し、検出した各画素の位置に基づいて測定結果を評価することが重要である。表示用パネルの画素位置を検出する方法として、特許文献１の検査方法では、表示ムラ等の測定に先立って、表示用パネルとＣＣＤカメラとの位置決め（アライメント）を実行するようになっている。このアライメントの方法としては、表示用パネルの表示領域全体または各視野区画において、四隅などの特定位置の画素（アライメント用表示画素）を点灯させた状態で、表示用パネルをＣＣＤカメラで撮像して画像処理することにより、各画素のＸ、Ｙ方向の位置、およびθ方向の回転角を検出する。そして、検出したＸ、Ｙ方向の位置や回転角に基づいて、表示用パネルとＣＣＤカメラとをアライメントすることで、各画素の位置が高精度に検出でき、検査精度を向上させることができるようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特開平６−２５０１３９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１における画素位置検出方法では、予め設定したアライメント用表示画素を点灯させた状態で表示用パネルを撮像し、撮像した画像中のアライメント用表示画素の位置に基づいてアライメントを実行するようになっているため、アライメント用表示画素そのものに欠陥があった場合には、アライメントが実行不能になってしまい、画素位置を検出することができないという問題がある。そして、アライメントに失敗した場合には、再度アライメント用表示画素を設定し直した上で、画像を撮像して画像処理するという一連の工程をやり直さなければならないため、検査効率が著しく低下してしまうという問題がある。
一方、特許文献１の方法以外に、表示用パネルを撮像した画像に基づいてパターンマッチングにより各画素の位置を検出する方法があるが、この場合でも、パターンマッチングの対象となる画素に欠陥があるとマッチング処理が実行不能になるため、各画素の位置を検出することができず、上述と同様の問題がある。
【０００５】
本発明の目的は、特定の画素の位置を確実に取得して検査効率を向上させることができる表示素子の画素位置取得方法および表示用パネルの検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の表示素子の画素位置取得方法は、画像形成領域上に複数の画素が配列形成された表示素子の画素を撮像素子により撮像し、撮像された複数の画素のうち、特定の画素の位置を取得する表示素子の画素位置取得方法であって、前記特定の画素を含む領域が撮像された画像に基づいて、前記特定の画素の欠陥の有無を判定する欠陥判定手順と、前記欠陥判定手順において、前記特定の画素に欠陥がないと判定された場合には、前記画像から当該特定の画素の位置を検出する画素位置検出手順と、前記欠陥判定手順において、前記特定の画素に欠陥があると判定された場合には、前記画像から当該特定の画素の周囲に位置する欠陥のない画素位置を検出し、検出した画素位置および前記表示素子の設計上の画素ピッチに基づいて、前記特定の画素の推定位置を算出する推定位置算出手順とを備えていることを特徴とする。
【０００７】
このような本発明によれば、表示素子の検査の際にアライメントの基準となる特定の画素そのものに欠陥があったとしても、その周辺の欠陥のない画素に基づいて特定の画素の位置を取得することができる。従って、従来のようにアライメントの工程をやり直す必要がなく、表示素子における各画素位置が確実に算出でき、算出した各画素位置に基づいた表示素子の検査を、画素位置取得に引き続いて速やかに実行できるため、検査効率を向上させることができる。
この際、特定の画素としては、表示素子の四隅のうちのいずれかに形成された画素であることが望ましく、また、特定の画素の周囲に位置する欠陥のない画素としては、特定の画素の上下左右いずれかの方向に隣接または近接する画素であることが望ましい。このようにすれば、表示素子の外形から特定の画素の位置をおおまかに予想してから特定の画素の欠陥を判定することができるとともに、特定の画素に欠陥があった場合にも近傍の画素から容易に特定の画素の位置を算出することができる。
【０００８】
この際、本発明の表示素子の画素位置取得方法では、前記欠陥判定手順における前記特定の画素の欠陥の有無は、前記撮像された画像に基づく当該特定の画素の輝度と、予め設定した輝度のしきい値との比較により判定され、当該特定の画素の輝度が前記輝度のしきい値を下回った場合に欠陥があると判定されることが好ましい。
このような構成によれば、特定の画素における輝度のしきい値を予め設定しておき、このしきい値を特定の画素の輝度が下回った場合に欠陥画素であると判定することで、特定の画素の欠陥の有無を容易に判定することができる。ここで、輝度のしきい値としては、特定の画素における設計上の輝度に対して、例えば５０％の輝度などに設定しておけばよく、任意に設定可能である。
【０００９】
さらに、本発明の表示素子の画素位置取得方法では、前記欠陥判定手順における前記特定の画素の欠陥の有無は、前記撮像された画像に基づく当該特定の画素の面積と、予め設定した面積のしきい値との比較により判定され、当該特定の画素の面積が前記面積のしきい値を下回った場合に欠陥があると判定されることが好ましい。
このような構成によれば、特定の画素における面積のしきい値を予め設定しておき、このしきい値を特定の画素の面積が下回った場合に欠陥画素であると判定することで、特定の画素の欠陥の有無を容易に判定することができる。ここで、特定の画素の面積は、撮像した画像から特定の画素部分の画像を切り出し、切り出した画像を二値化処理する等の画像処理により算出することができる。また、面積のしきい値としては、特定の画素の設計上の面積に対して、例えば５０％の面積などに設定しておけばよく、任意に設定可能である。
さらに、特定の画素の輝度および面積の両方に関してしきい値と比較して欠陥の有無を判定するようにすれば、より一層高精度に特定の画素の欠陥の有無を判定することができるようになる。
【００１０】
また、本発明の表示素子の画素位置取得方法では、前記画素は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の３色の画素が配列されて構成されており、前記撮像素子は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の３色が識別可能なカラーＣＣＤであることが好ましい。
このような構成によれば、ＲＧＢの各画素が所定の配列で設けられた表示素子をカラーＣＣＤで撮像することで、撮像された画像において各画素の色が識別され、この色情報に基づくことでも画素の位置が推定できるため、画素位置の検出精度をより一層高めることができる。つまり、例えば特定の画素が赤色の画素であれば、その特定の画素には緑色の画素隣接している等、色情報によって特定の画素とその周辺の画素との位置関係が明確になり、特定の画素の欠陥判定や周辺の画素からの位置推定などの処理が容易かつ迅速に実行できる。
ここで、カラーＣＣＤとしては、ＲＧＢ三板式のカラーＣＣＤを用いることが望ましいが、単板式のカラーフィルタ付きＣＣＤを用いてもよい。ただし、三板式のカラーＣＣＤの方が、単板式のカラーフィルタ付きＣＣＤをよりも解像度が高いため、三板式のカラーＣＣＤを用いることで画素位置検出の精度や検査精度等を高くすることができる。
【００１１】
一方、本発明の表示用パネルの検査方法は、画像形成領域上に複数の画素が配列形成された表示用パネルの画素を撮像素子により撮像し、撮像された測定用画像に基づいて表示状態を検査する表示用パネルの検査方法であって、前記撮像された複数の画素のうち、特定の画素を含む領域が撮像された測定用画像に基づいて、前記特定の画素の欠陥の有無を判定する欠陥判定手順と、前記欠陥判定手順において、前記特定の画素に欠陥がないと判定された場合には、前記測定用画像から当該特定の画素の位置を検出する画素位置検出手順と、前記欠陥判定手順において、前記特定の画素に欠陥があると判定された場合には、前記測定用画像から当該特定の画素の周囲に位置する欠陥のない画素位置を検出し、検出した画素位置および前記表示素子の設計上の画素ピッチに基づいて、前記特定の画素の推定位置を算出する推定位置算出手順と、前記画素位置検出手順または前記推定位置算出手順で求められた前記特定の画素の位置に基づいて、当該表示用パネルの前記複数の画素の位置を算出し、これらの各画素の欠陥を評価する評価手順とを備えていることを特徴とする。
【００１２】
このような本発明によれば、前述と同様に、特定の画素に欠陥があったとしても、その周辺の欠陥のない画素に基づいて特定の画素の位置を算出することで、表示用パネルにおける各画素位置が確実に検出でき、検出した各画素位置に基づいた表示用パネルの検査を速やかに実行できるため、検査効率を向上させることができる。
【００１３】
この際、本発明の表示用パネルの検査方法では、前記表示用パネルを撮像する前に、当該表示用パネルの少なくとも１辺と平行に離隔した少なくとも２つの画素を撮像し、これらの画素を結ぶ直線と撮像基準線とを合致させる回転位置補正手順を備えることが好ましい。
このような構成によれば、測定用画像を生成する前に表示用パネルの回転位置のズレ（傾き）を補正（θズレ補正）しておくことで、特定の画素の位置から表示用パネルにおける各画素の位置を迅速かつ高精度に算出することができる。
【００１４】
さらに、本発明の表示用パネルの検査方法では、前記表示用パネルを複数の区画に分割した測定区画ごとに撮像して前記測定用画像を複数生成し、これら複数の測定用画像のうちの少なくとも１つの測定用画像に関し、前記欠陥判定手順で前記特定の画素の欠陥の有無を判定するとともに、前記画素位置検出手順または前記推定位置算出手順で前記特定の画素の位置を求めることが好ましい。
このような構成によれば、複数の測定用画像のうちの少なくとも１つに関して特定の画素の位置を求めることで、これに基づいて表示用パネルにおける各画素の位置を算出することができ、必ずしも全ての測定用画像に関して各々の特定の画素の位置を求める必要がないため、位置検出に要する時間が短縮され、検査効率をさらに向上させることができる。つまり、表示用パネルにおける各画素は、所定の配列により一定のピッチで形成されているため、複数の測定区間に分割した場合でも、最低限１つの特定の画素の位置が求まれば、他の全ての画素についても位置を特定することができる。
すなわち、表示用パネルの高精細化に伴って、１枚のパネル当たりの測定区画を細分化（例えば、数十分割から百分割以上に分割）して検査することが一般的に行われており、このような多数の測定区画ごとにアライメントを実行する、つまり前述の特許文献１の方法のように、各視野区画ごとにアライメント用表示画素を検出してアライメントを実行すると処理時間が長期化してしまうという問題がある。これに対して、本発明では、必ずしも全ての測定用画像に関して特定の画素の位置を検出しなくてもよいため、このような問題を回避することができ、従来と比較して検査効率を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１５】
以上の本発明によれば、特定の画素の位置を確実に取得して検査効率を向上させることができる表示素子の画素位置取得方法および表示用パネルの検査方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態に係る表示用パネルの検査装置１の概略構成を示すブロック図である。図２は、表示用パネルの検査方法を示すフローチャートである。図３は、検査における回転位置補正方法を説明する平面図である。図４は、表示用パネルを分割した測定区画を説明する平面図である。図５は、測定区画ごとに撮像した測定用画像を示す平面図である。図６は、基準画素の画素位置取得方法を説明する平面図である。
【００１７】
図１に示すように、検査装置１は、表示用パネル（表示素子）としての有機ＥＬパネル１０を撮像し、撮像した画像データに基づいて有機ＥＬパネル１０の表示ムラや画素欠陥等を検査するためのものである。有機ＥＬパネル１０は、その画像形成領域上に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の３色の画素（サブ画素）１１（１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ、図５、６参照）が配列されたＲＧＢ一組の画素を多数備え、各色の画素の輝度を調整しながら各画素１１を点灯制御することでカラー（フルカラー）表示可能に構成されている。
検査装置１は、有機ＥＬパネル１０が載置される検査ステージ２と、この検査ステージ２を位置制御するステージコントローラ３と、有機ＥＬパネル１０を撮像するＣＣＤカメラ４と、このＣＣＤカメラ４を駆動制御するカメラコントローラ５と、有機ＥＬパネル１０を点灯制御する点灯チェッカー６と、これらのステージコントローラ３、カメラコントローラ５、および点灯チェッカー６に接続されたコンピュータ７とを備えている。
【００１８】
検査ステージ２は、平面二方向であるＸ方向およびＹ方向と、平面内の回転方向であるθ方向との各方向に移動可能になっており、ステージコントローラ３からの制御信号により各方向に移動して有機ＥＬパネル１０の位置調節ができるようになっている。ステージコントローラ３は、コンピュータ７からの指令に基づいて制御信号を検査ステージ２に送信する。
ＣＣＤカメラ（撮像手段）４は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の各色ごとに１つずつの撮像素子を備え、各色の光をダイクロイックレンズ等で各撮像素子に分ける三板式のカラーＣＣＤカメラである。そして、ＣＣＤカメラ４には、顕微鏡４Ａが装備されており、ＣＣＤカメラ４は、顕微鏡４Ａにより拡大された有機ＥＬパネル１０を撮像する。このＣＣＤカメラ４で撮像した撮像画像は、カラーの画像データとしてカメラコントローラ５を介してコンピュータ７に送信される。
点灯チェッカー６は、コンピュータ７からの制御信号を受信して、その制御信号により有機ＥＬパネル１０の各画素の点灯、消灯を制御する。この点灯チェッカー６には、電源（ソース／マルチメータ）６Ａが接続されており、この電源６Ａは、コンピュータ７により制御され、有機ＥＬパネル１０の各画素に対応した出力電圧（駆動電圧）を出力する。
【００１９】
コンピュータ７は、図示しないＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭ、ディスク装置、モニタ７Ａ等を備えており、前述のように検査ステージ２、ＣＣＤカメラ４、点灯チェッカー６を制御する制御装置として機能するとともに、ＣＣＤカメラで撮像した画像データを画像処理する画像処理装置としても機能する。すなわち、コンピュータ７は、ＣＣＤカメラ４からの画像データに対して平均化処理や二値化処理を実行し、この演算結果に基づいて有機ＥＬパネル１０の各画素１１の位置を検出したり、画素１１の欠陥や表示ムラを検出したりできるようになっている。そして、コンピュータ７のＲＯＭやＲＡＭ等には、前記演算を実行するためのプログラムや各種データ（例えば、有機ＥＬパネル１０の大きさや、画素配列、画素ピッチ、画素の色情報、画素の輝度や面積のしきい値等）が記録されている。
【００２０】
次に、有機ＥＬパネル１０の検査方法について、図２〜図６に基づいて詳しく説明する。
図２に示すように、有機ＥＬパネル１０の検査方法は、有機ＥＬパネル１０のＣＣＤカメラ４に対する回転位置を補正する回転位置補正工程（θズレ補正、ステップＳＴ１）と、前記測定区画ごとに撮像した測定用画像Ｇ１〜Ｇｎ（図５）をコンピュータ７に取り込む画像取り込み工程（画像生成手順、ステップＳＴ２）と、取り込んだ測定用画像Ｇ１〜Ｇｎを画像処理する画像処理工程（画像処理手順、ステップＳＴ３）と、特定の画素である基準画素１２（図５、６）の欠陥を判定する欠陥判定工程（欠陥判定手順、ステップＳＴ４）とを備えている。そして、欠陥判定工程（ステップＳＴ４）において基準画素１２に欠陥が検出された場合には、基準画素１２の周辺に位置する周辺画素（隣接画素）１３の中心座標を検出する隣接画素中心座標検出工程（ステップＳＴ５）が実行され、これに続いて、または欠陥判定工程（ステップＳＴ４）において基準画素１２に欠陥が検出されなかった場合には、基準画素１２の中心座標を検出する基準画素中心座標検出工程（ステップＳＴ６）が実行されるようになっている。さらに、検出した基準画素１２の中心座標に基づいて有機ＥＬパネル１０における各画素１１の位置を算出し（ステップＳＴ７）、これらの各画素１１の欠陥や表示ムラを評価する評価工程（評価手順、ステップＳＴ８）が実行されるようになっている。
【００２１】
先ず、検査ステージ２に有機ＥＬパネル１０をセットした状態で、コンピュータ７からステージコントローラ３、カメラコントローラ５、および点灯チェッカー６に制御信号を出力し、検査ステージ２、ＣＣＤカメラ４、および有機ＥＬパネル１０の点灯状態を初期化する。そして、コンピュータ７から点灯チェッカー６に指令して有機ＥＬパネル１０の全てまたは所定区画の画素１１を点灯させるとともに、検査ステージ２を移動させて有機ＥＬパネル１０の所定部分がＣＣＤカメラ４の視野範囲に入るように位置決めし、次の回転位置補正工程（ステップＳＴ１）を実行する。
【００２２】
回転位置補正工程（ステップＳＴ１）において、図３に示すように、有機ＥＬパネル１０の一辺（図中、縦の辺）と平行に（図中、上下方向に）離隔した少なくとも２つの画素１１を結ぶ直線と、ＣＣＤカメラ４の撮像基準線（図中、Ｙ方向に平行な仮想線）Ｌとを合致させることで、有機ＥＬパネル１０のθズレを補正する。つまり、２つの画素１１を結ぶ直線と撮像基準線Ｌとがずれていた場合には、これらが合致するように検査ステージ２をθ方向に回転移動させる。この際、有機ＥＬパネル１０における図３の上部左端の区画をＣＣＤカメラ４で撮像し、検査ステージ２をＹ方向に移動させてから有機ＥＬパネル１０における図３の下部左端の区画をＣＣＤカメラ４で撮像し、これらの各画素１１のＸ方向ずれ量を測定することによっても有機ＥＬパネル１０のθズレを補正することができる。
なお、撮像基準線Ｌと合致させる画素１１は、２つに限らず、３つ以上であってもよく、また、撮像基準線ＬはＸ方向に平行で、２つ（または３つ以上）の画素が互いに図３の左右方向に離隔して設けられていてもよい。さらに、Ｘ方向およびＹ方向の二方向に関して複数の画素１１を結ぶ線と、撮像基準線Ｌとを合致させてθズレ補正を実行してもよい。
【００２３】
画像取り込み工程（ステップＳＴ２）において、図４に示すように、有機ＥＬパネル１０を複数の区画に分割した測定区画Ａ１〜Ａｎごとに有機ＥＬパネル１０を撮像して測定用画像Ｇ１〜Ｇｎを生成する。この際、各測定区画Ａ１〜Ａｎの大きさは、ＣＣＤカメラ４の解像度や視野角によって設定され、検査ステージ２をＸ方向およびＹ方向に所定量ずつ移動させながら撮像する。ここで、測定区画Ａ１〜Ａｎは、図４においては理解しやすさを考慮して４行×３列の１２区画としているが、この分割数としては、例えば９６分割などと非常に多くなるのが一般的である。そして、各測定区画Ａ１〜Ａｎごとの測定用画像Ｇ１〜Ｇｎがコンピュータ７のＲＡＭに記録される。これらの測定用画像Ｇ１〜Ｇｎは、カラー画像であり、図５にしめすように、各色の画素１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂが識別できるようになっている。
【００２４】
画像処理工程（ステップＳＴ３）において、図５に示すように、測定区画Ａ１の測定用画像Ｇ１に対して、先ず、基準画素１２を切り出す処理を実行する。この基準画素１２は、測定用画像Ｇ１における図５中、上部左隅に設けられた画素１１であり、つまり有機ＥＬパネル１０の四隅のうちの１つの領域に形成された隅の画素１１である。そして、切り出した基準画素１２の画像に対して、平均化処理や二値化処理等の画像処理を実行し、基準画素１２の輝度および面積を算出する。算出した基準画素１２の輝度と、前記コンピュータ７に記録された輝度のしきい値とを比較し、基準画素１２の輝度がしきい値を下回った場合には、次の欠陥判定工程（ステップＳＴ４）において基準画素１２を欠陥画素と判定する。さらに、算出した基準画素１２の面積と面積のしきい値とを比較し、基準画素１２の面積がしきい値を下回った場合には、次の欠陥判定工程（ステップＳＴ４）において基準画素１２を欠陥画素と判定する。また、画像処理工程（ステップＳＴ３）において、各測定区画Ａ１〜Ａｎごとの測定用画像Ｇ１〜Ｇｎに対して、平均化処理や二値化処理等の画像処理を実行し、各画素１１の輝度および面積を算出する。
以上のように基準画素１２に欠陥が検出された場合（ステップＳＴ４において、Ｎの場合）には、次の隣接画素中心座標検出工程（ステップＳＴ５）に移行する。
一方、基準画素１２の輝度および面積の両方がしきい値を上回った場合（ステップＳＴ４において、Ｙの場合）には、基準画素１２に欠陥が検出されなかったものとして基準画素中心座標検出工程（ステップＳＴ６）に移行する。
【００２５】
隣接画素中心座標検出工程（ステップＳＴ５）において、図６に示すように、欠陥のある基準画素１２の図中、右側に隣接した周辺画素１３を切り出す処理を実行する。ここで、切り出した周辺画素１３に対しても上述と同様に欠陥の判定を行い、この周辺画素１３に欠陥があった場合には、さらに隣の画素１１，１１Ｂを切り出す。そして、切り出した周辺画素１３に欠陥がない場合には、この周辺画素１３の中心位置（座標）１３Ａを画像処理（ブローブ処理）により検出し、次の基準画素中心座標検出工程（ステップＳＴ６）に移行する。
なお、周辺画素１３は、基準画素１２の左右に隣接した画素１１に限らず、上下に隣接した画素１１，１１Ｒでもよく、また、基準画素１２から所定距離だけ離れた画素１１、例えば基準画素１２（１１Ｒ）と同じ色の画素１１Ｒを周辺画素として設定してもよい。
【００２６】
基準画素中心座標検出工程（ステップＳＴ６）において、前記欠陥判定工程（ステップＳＴ４）で基準画素１２に欠陥があった場合には、隣接画素中心座標検出工程（ステップＳＴ５）で検出した周辺画素１３の中心位置１３Ａと、前記コンピュータ７に記録された画素ピッチＸ１とに基づいて、基準画素１２の中心位置（座標）１２Ａを算出する（推定位置算出手順）。
一方、欠陥判定工程（ステップＳＴ４）で基準画素１２に欠陥がなかった場合には、切り出した基準画素１２の画像に対して、画像処理（ブローブ処理）を実行し、基準画素１２の中心位置１２Ａを検出する（画素位置検出手順）。
【００２７】
以上のようにして求められた基準画素１２の中心位置１２Ａと、コンピュータ７に記録された有機ＥＬパネル１０の大きさや、画素配列、画素ピッチ等に基づいて、有機ＥＬパネル１０全体の各画素１１の位置を算出する（ステップＳＴ７）。
このように算出した各画素１１の位置と、前記画像処理工程（ステップＳＴ３）で算出した各画素１１の輝度および面積に基づいて、各画素１１の欠陥や表示ムラ等を評価する（ステップＳＴ８）。
以上により、有機ＥＬパネル１０の検査が完了する。
【００２８】
上述した本実施形態では、以下のような効果がある。
（１）有機ＥＬパネル１０における各画素１１の位置算出の基準となる基準画素１２そのものに欠陥があったとしても、基準画素１２に隣接する周辺画素１３の中心位置１３Ａを検出し、この周辺画素１３の中心位置１３Ａに基づいて基準画素１２の中心位置１２Ａを算出することができる。これにより基準画素１２の中心位置１２Ａに基づいて、有機ＥＬパネル１０における各画素１１の位置が確実に算出でき、算出した各画素１１の位置等に基づいた有機ＥＬパネル１０の検査が速やかに実行できるため、検査効率を向上させることができる。
【００２９】
（２）さらに、回転位置補正工程（ステップＳＴ１）にて有機ＥＬパネル１０のθズレを補正してから、画像取り込み工程（ステップＳＴ２）において、測定区画Ａ１〜Ａｎごとに撮像して測定用画像Ｇ１〜Ｇｎを生成することで、測定用画像Ｇ１〜Ｇｎを連続して撮像することができ、迅速に測定用画像Ｇ１〜Ｇｎを得ることができる。
【００３０】
（３）また、基準画素中心座標検出工程（ステップＳＴ６）において、複数の測定用画像Ｇ１〜Ｇｎのうち、１つの測定用画像Ｇ１に関して基準画素１２の中心位置１２Ａを検出し、この中心位置１２Ａに基づいて有機ＥＬパネル１０全体における各画素１１の位置を算出したので、全ての測定用画像Ｇ１〜Ｇｎに関して各々基準画素の位置を検出する必要がなく、位置検出に要する時間が短縮され、検査効率をさらに向上させることができる。
【００３１】
（４）また、画像処理工程（ステップＳＴ３）において、切り出した基準画素１２の輝度および面積を、予め設定しておいた輝度および面積のしきい値と比較することによって、基準画素１２の欠陥の有無を容易に判定することができる。
【００３２】
（５）さらに、ＲＧＢの各画素１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂが所定の配列で設けられた有機ＥＬパネル１０を、カラーのＣＣＤカメラ４で撮像することで、測定用画像Ｇ１〜Ｇｎにおいて各画素１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの色が識別され、この色情報に基づくことでも画素１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂの位置が推定できるため、画素位置の検出精度をより一層高めることができる。
【００３３】
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、以下に示すような変形をも含むものである。
例えば、前記各実施形態では、表示用パネルとして有機ＥＬパネル１０を用いた場合について説明したが、これに限らず、表示用パネルとしては、無機ＥＬパネルであってもよく、また液晶パネルやプラズマパネルであってもよい。
また、表示用パネルは、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色の画素を備えたカラー表示可能なものに限らず、モノクロ表示用のものであってもよい。
【００３４】
また、前記実施形態では、複数の測定区画Ａ１〜Ａｎごとに撮像して測定用画像Ｇ１〜Ｇｎを生成し、そのうちの１つの測定用画像Ｇ１に関して基準画素１２の位置を検出したが、これに限らず、複数の測定用画像Ｇ１〜Ｇｎの全て、または所定数の測定用画像Ｇ１〜Ｇｎに関して基準画素１２の位置を検出してもよい。このようにすれば、検査ステージ２の移動誤差等の影響を排除して、表示用パネルの検査精度を向上させることができる。また、複数の測定区画Ａ１〜Ａｎごとに測定用画像Ｇ１〜Ｇｎを生成するものに限らず、表示用パネル全体を１つの測定用画像として撮像してもよい。
【００３５】
その他、本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明は、各種の電子機器における表示装置として用いられる表示用パネルの検査方法に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係る表示用パネルの検査装置の概略構成を示すブロック図。
【図２】前記表示用パネルの検査方法を示すフローチャート。
【図３】前記表示用パネルの検査における回転位置補正工程を説明する平面図。
【図４】前記表示用パネルを分割した測定区画を説明する平面図。
【図５】前記測定区画ごとに撮像した測定用画像を示す平面図。
【図６】前記表示用パネルにおける基準画素の画素位置取得方法を説明する平面図。
【符号の説明】
【００３８】
１０…有機ＥＬパネル（表示用パネル）、１１，１１Ｒ，１１Ｇ，１１Ｂ…画素、１２…基準画素（特定の画素）、１２Ａ…基準画素中心位置、１３…周辺画素、１３Ａ…周辺画素中心位置、Ａ１〜Ａｎ…測定区画、Ｇ１〜Ｇｎ…測定用画像、Ｌ…撮像基準線、ＳＴ１…回転位置補正工程（手順）、ＳＴ４…欠陥判定工程（手順）、ＳＴ６…基準画素中心座標検出工程（画素位置検出手順、推定位置算出手順）、ＳＴ８…評価工程（手順）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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