(57)【要約】【要  約】【課  題】  本発明は、光ディスク基盤上に有機色素からなる塗膜を均一に塗布する有機色素塗布液固化防止装置に関するものである。【解決手段】  ディスペンスノズルは、前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するものであり、前記光ディスク基盤の表面に前記有機色素塗布液を塗布しない待機状態の場合、ディスペンスノズル待機用溶剤タンクに先端部が漬けられている。前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内には、超音波発生器が設置されている。前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内の溶剤は、前記超音波発生器の振動によって、常に動いているため、前記ディスペンスノズルの先端部に前記有機色素塗布液が付着しない。【選択図】    図１
2005196869.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液固化防止装置において、
前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、
前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、
前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内に設置された超音波発生器と、
を少なくとも備えていることを特徴とする有機色素塗布液固化防止装置。
【請求項２】
光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液固化防止装置において、
前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、
前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、
前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクに溶剤を供給する前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤を循環させる循環ポンプと、
を少なくとも備えていることを特徴とする有機色素塗布液固化防止装置。
【請求項３】
光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液固化防止装置において、
前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、
前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、
前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段と、
を少なくとも備えていることを特徴とする有機色素塗布液固化防止装置。
【請求項４】
光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液固化防止装置において、
前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、
前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、
前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内に設置された超音波発生器と、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクに溶剤を供給する前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤を循環させる循環ポンプと、
を少なくとも備えていることを特徴とする有機色素塗布液固化防止装置。
【請求項５】
光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液固化防止装置において、
前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、
前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、
前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内に設置された超音波発生器と、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段と、
を少なくとも備えていることを特徴とする有機色素塗布液固化防止装置。
【請求項６】
光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液固化防止装置において、
前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、
前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、
前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクに溶剤を供給する前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤を循環させる循環ポンプと、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段と、
を少なくとも備えていることを特徴とする有機色素塗布液固化防止装置。
【請求項７】
光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液固化防止装置において、
前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、
前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、
前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内に設置された超音波発生器と、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクに溶剤を供給する前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤を循環させる循環ポンプと、
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段と、
が少なくとも備えられていることを特徴とする有機色素塗布液固化防止装置。
【請求項８】
前記循環ポンプ、有機色素塗布液供給タンク、および溶剤供給タンクは、コーターブース外に設置されていることを特徴とする請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載された有機色素塗布液固化防止装置。
【請求項９】
前記循環ポンプおよび／または溶剤排出手段は、タイマによって制御されていることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載された有機色素塗布液固化防止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスク基盤上に有機色素からなる塗膜を均一に塗布する有機色素塗布液固化防止装置に関するものである。本発明における明細書に記載された「光ディスク」とは、たとえば、光再生ディスク、光磁気記録再生ディスク、光磁気記録ディスク等を含むものである。
【背景技術】
【０００２】
図３は従来例における光ディスク作製用コーターにおける有機色素塗布液固化防止装置を説明するための図である。図３において、光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布するディスペンスノズル３５は、図示されていない光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布した後、次の光ディスク基盤（図示されていない）の塗布が開始するまでの間、ホームポジションで待機する。
【０００３】
前記ディスペンスノズル３５は、前記ホームポジションにおいて待機中、ディスペンスノズル３５の先端部３６における有機色素塗布液が乾燥して付着するのを防止するために、溶剤が入れられたディスペンスノズル待機用溶剤タンク３４の中に漬けられている。
【０００４】
光ディスクの基盤表面に一定の厚さの塗布膜形成方法は、たとえば、特開２０００−３３９７８３号公報に記載されているように、気体導入部から気体排出部への気体の流通をディスペンスノズルからの塗布液の円盤状基盤表面への供給開始時に、相対的に高速で行い、ディスペンスノズルからの塗布液の円盤状基盤表面への供給停止後に、相対的に低速で行っている。
【０００５】
さらに、薄膜形成装置は、たとえば、特開平９−１９２５７４号公報に記載されているように、インクジェットヘッドの吐き出し口の塗布液側近傍の第１の圧力を調整する第１の調整手段と、インクジェットヘッドの吐き出し口の外側近傍の第２の圧力を調整する第２の調整手段と、これらを制御することによって、吐き出し口からの塗布液の吐き出しを制御する制御手段とを有している。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−３３９７８３号公報
【特許文献２】特開平９−１９２５７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
光ディスク基盤上に有機色素膜をコーティングするディスペンスノズル３５は、前記のように、ディスペンスノズル待機用溶剤タンク３４内に漬けられて待機中に先端部３６が乾燥するのを防止している。しかし、ディスペンスノズル３５の先端部３６は、何回も待機を繰り返す間に、有機色素塗布液が少しずつ堆積する。
【０００８】
さらに、前記ディスペンスノズル３５の待機回数が増加すると、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク３４内における溶剤内の有機色素塗布液の濃度が上昇し、前記ディスペンスノズル３５の先端部３６には、前記有機色素塗布液の固まりが成長するようになる。
【０００９】
この状態で光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布すると、前記ディスペンスノズル３５の先端部３６における有機色素塗布液の固まりは、光ディスク基盤の表面に落下し、所望の厚さの塗膜が形成されないだけでなく、前記光ディスクに書き込みを行う際に悪影響を与えるという問題がある。
【００１０】
以上のような課題を解決するために、本発明は、ディスペンスノズル待機用溶剤タンクを振動させ、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクの溶剤を積極的に循環化させ、あるいは前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内の溶剤を所定時間毎にタンクから排出することにより、ディスペンスノズルの先端部に有機色素塗布液が固まりとして堆積しない有機色素塗布液固化防止装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
（第１発明）
第１発明の有機色素塗布液固化防止装置は、光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液が固化するのを防止するものであり、前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内に設置された超音波発生器と、を少なくとも備えていることを特徴とする。
【００１２】
（第２発明）
第２発明の有機色素塗布液固化防止装置は、光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液が固化するのを防止するものであり、前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクに溶剤を供給する前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤を循環させる循環ポンプと、を少なくとも備えていることを特徴とする。
【００１３】
（第３発明）
第３発明の有機色素塗布液固化防止装置は、光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液が固化するのを防止するものであり、前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段と、を少なくとも備えていることを特徴とする。
【００１４】
（第４発明）
第４発明の有機色素塗布液固化防止装置は、光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液が固化するのを防止するものであり、前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内に設置された超音波発生器と、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクに溶剤を供給する前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤を循環させる循環ポンプと、を少なくとも備えていることを特徴とする。
【００１５】
（第５発明）
第５発明の有機色素塗布液固化防止装置は、光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液が固化するのを防止するものであり、前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内に設置された超音波発生器と、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段と、を少なくとも備えていることを特徴とする。
【００１６】
（第６発明）
第６発明の有機色素塗布液固化防止装置は、光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液が固化するのを防止するものであり、前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクに溶剤を供給する前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤を循環させる循環ポンプと、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段と、を少なくとも備えていることを特徴とする。
【００１７】
（第７発明）
第７発明の有機色素塗布液固化防止装置は、光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液が固化するのを防止するものであり、前記光ディスク基盤の表面に塗布する有機色素塗布液を供給する前記有機色素塗布液供給タンクと、前記有機色素塗布液を前記光ディスク基盤の表面に塗布するディスペンスノズルと、前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内に設置された超音波発生器と、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクに溶剤を供給する前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤を循環させる循環ポンプと、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段と、が少なくとも備えられていることを特徴とする。
【００１８】
（第８発明）
第８発明の有機色素塗布液固化防止装置は、光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液が固化するのを防止するものであり、前記循環ポンプ、有機色素塗布液供給タンク、および溶剤供給タンクがコーターブース外に設置されていることを特徴とする。
【００１９】
（第９発明）
第９発明の有機色素塗布液固化防止装置は、光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、光ディスクを作製する際の有機色素塗布液が固化するのを防止するものであり、前記循環ポンプおよび／または溶剤排出手段がタイマによって制御されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内に超音波発生器を取り付けたため、ディスペンスノズルの先端部に有機色素塗布液の固まりが付き難く、前記固まりが光ディスク基盤の表面に落下することがない。
【００２１】
本発明によれば、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクと、溶剤供給タンクとの間に循環ポンプを設置して、常に溶剤を循環させることにより、ディスペンスノズルの先端部に有機色素塗布液の固まりが付き難く、前記固まりが光ディスク基盤の表面に落下することがない。
【００２２】
本発明によれば、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクに所定時間毎に、溶剤を排出する溶剤排出手段を設けるとともに、新しい溶剤を供給できるようにして、前記溶剤内における有機色素塗布液の濃度を一定以下に保つことにより、ディスペンスノズルの先端部に有機色素塗布液の固まりが付き難く、前記固まりが光ディスク基盤の表面に落下することがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
（第１発明）
第１発明の有機色素塗布液固化防止装置は、回転している光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布して、有機色素膜を形成する際に、ディスペンスノズルの先端部において、有機色素塗布液が固化するのを防止する有機色素塗布液固化防止装置にかかるものである。
【００２４】
有機色素塗布液供給タンクは、回転している前記光ディスク基盤の表面に有機色素塗布液を塗布するディスペンスノズルに有機色素塗布液を供給するためのものである。ディスペンスノズルは、前記有機色素塗布液を回転する前記光ディスク基盤の表面に塗布するものであり、前記光ディスク基盤の表面に前記有機色素塗布液を塗布しない場合に、前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクに先端部が漬けられている。
【００２５】
前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内には、超音波発生器が設置されている。前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内の溶剤は、前記超音波発生器の振動によって、常に振動しているため、前記ディスペンスノズルの先端部に前記有機色素塗布液が付着しない。したがって、前記光ディスク基盤は、前記ディスペンスノズルの先端部から前記有機色素塗布液の固まりが落下しないので、その表面を清楚に保持でき、情報の記憶または読出等に悪影響を与えることがないものとなる。
【００２６】
（第２発明）
第２発明の有機色素塗布液固化防止装置は、前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤が絶えず循環ポンプによって循環されている点で、第１発明と異なっている。前記溶剤は、前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとの間を絶えず循環して、溶剤内の有機色素塗布液の濃度を常に一定としているため、ディスペンスノズルの先端部に前記有機色素塗布液が付着して固まりとなり、前記固まりが前記光ディスク基盤の表面に落下することがない。
【００２７】
（第３発明）
第３発明の有機色素塗布液固化防止装置は、前記ディスペンスノズルを待機させるディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段を備えている点で、第１発明および第２発明と異なっている。前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内の溶剤は、所定時間毎に、前記溶剤排出手段、たとえば、電磁弁等により開閉ができる蛇口等、から排出されるとともに、ポンプによって前記溶剤が供給されることにより、有機色素塗布液の濃度が一定の値以下になり、前記ディスペンスノズルの先端部に有機色素塗布液が付着し難い。
【００２８】
（第４発明）
第４発明の有機色素塗布液固化防止装置は、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内の溶剤を攪拌する超音波発生器、および前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤を循環させる循環ポンプを有する点で、第１発明ないし第３発明と異なっている。第４発明は、溶剤を超音波発生器により振動させ、また、循環ポンプにより循環させることにより、前記ディスペンスノズルの先端部に有機色素塗布液が固化するのを防止することができる。
【００２９】
（第５発明）
第５発明の有機色素塗布液固化防止装置は、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内の溶剤を攪拌する超音波発生器、および前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段とを有する点で、第１発明ないし第４発明と異なっている。
【００３０】
（第６発明）
第６発明の有機色素塗布液固化防止装置は、前記溶剤供給タンクと前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクとにおける溶剤を循環させる循環ポンプ、および前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段とを有する点で、第１発明と第５発明と異なっている。第４発明ないし第６発明は、前記第１発明ないし第３発明の内の少なくとも二つを組み合わせた有機色素塗布液固化防止装置である。
【００３１】
（第７発明）
第７発明の有機色素塗布液固化防止装置は、第１発明ないし第３発明の全ての手段を備えている点で、第１発明ないし第６発明と異なっている。すなわち、第７発明は、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク内に設置された超音波発生器と、溶剤を循環させる循環ポンプと、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクにおける溶剤を所定時間毎に廃棄する溶剤排出手段とを備えている。
【００３２】
（第８発明）
第８発明の有機色素塗布液固化防止装置は、前記循環ポンプ、有機色素塗布液供給タンク、および溶剤供給タンクがコーターブース外に設置されている。前記循環ポンプは、熱を発生し、また、有機色素塗布液供給タンクは大型である。そのため、前記循環ポンプ、有機色素塗布液供給タンク、および溶剤供給タンクは、前記コーターブース外に設置した方が、前記コーターブースを小型化できるだけでなく、コーターブース内の温度を制御し易い。
【００３３】
（第９発明）
第９発明の有機色素塗布液固化防止装置は、前記循環ポンプおよび／または溶剤排出手段がタイマによって制御されている。前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンクは、前記タイマによって溶剤の供給および／または排出が行われるため、前記溶剤内の有機色素塗布液の濃度を一定以下にすることができ、ディスペンスノズルの先端部に前記有機色素塗布液が付き難い。
【実施例１】
【００３４】
図１は本発明の第一実施例で、光ディスク基盤に有機色素塗布液を塗布するコーターの概略図である。図１において、有機色素塗布液供給タンク１２、循環ポンプ１３、および溶剤供給タンク１７は、コーターブース１１の外部に設置されている。また、前記コーターブース１１の内部には、ディスペンスノズル１４、ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５、および有機色素塗布液調整バルブ１６が備えられている。
【００３５】
有機色素塗布液調整バルブ１６によって調整された有機色素塗布液は、前記ディスペンスノズル１４の先端部１４１から図示されていない光ディスク基盤の表面に塗布される。前記ディスペンスノズル１４の先端部１４１は、前記光ディスクに有機色素塗布液が塗布された後、別の光ディスクに交換する間、ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５の中に漬けられて、乾燥が防止される。
【００３６】
前記有機色素塗布液は、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５に取り付けられた超音波発生器１５１の振動により、絶えず移動している。したがって、前記ディスペンスノズル１４の先端部１４１は、有機色素塗布液が付着または堆積して固まりとならない。
【実施例２】
【００３７】
また、図１において、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５は、パイプにより、コーターブース１１の外部に設置されている溶剤供給タンク１７および循環ポンプ１３に接続されている。したがって、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５における溶剤は、循環ポンプ１３により、絶えず溶剤供給タンク１７から供給される。
【００３８】
そのため、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５における溶剤は、有機色素塗布液の濃度が一定以下となり、前記ディスペンスノズル１４の先端部１４１に有機色素塗布液が固まりとなって付着しない。
【実施例３】
【００３９】
図２は本発明の第三実施例で、光ディスク基盤に有機色素塗布液を塗布するコーターの概略図である。図２において、第一実施例および第二実施例と異なるところは、タイマ２１によって、ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５へ溶剤を供給する溶剤供給ポンプ２２と、同じくタイマ２１によって、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５から溶剤を廃棄する溶剤排出手段２３とが設けられている点である。
【００４０】
前記ディスペンスノズル１４の待機回数が増加するにしたがい、ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５の溶剤内の有機色素塗布液の濃度は高くなる。前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５内の前記有機色素塗布液が高い濃度になるのを防止するために、前記ディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５は、タイマ２１により、所定時間毎に、前記溶剤が下部から排出されて、溶剤供給タンク１７から新しい溶剤が供給される。
【００４１】
容量の小さいディスペンスノズル待機用溶剤タンク１５内の溶剤は、排出と供給により、有機色素塗布液の濃度を一定以下に保つことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
以上、本実施例を詳述したが、本発明は、前記本実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載されている事項を逸脱することがなければ、種々の設計変更を行うことが可能である。たとえば、本発明の第一実施例ないし第三実施例の少なくとも一つまたは複数を組み合わせることができる。
【００４３】
また、第一実施例ないし第三実施例は、概略を説明するためのものであり、省略された部分がある。さらに、前記各タンク、ディスペンスノズル、超音波発生器、ポンプ類、タイマ、溶剤排出手段等は、公知または周知の技術によって達成できるものである。前記各タンク、ディスペンスノズル、超音波発生器、ポンプ類、タイマ等は、図示されていない公知または周知の制御装置により制御されている。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の第一実施例で、光ディスク基盤に有機色素塗布液を塗布するコーターの概略図である。（実施例１）
【図２】本発明の第三実施例で、光ディスク基盤に有機色素塗布液を塗布するコーターの概略図である。（実施例３）
【図３】従来例における光ディスク作製用コーターにおける有機色素塗布液固化防止装置を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４５】
１１・・・コーターブース
１２・・・有機色素塗布液供給タンク
１３・・・循環ポンプ
１４・・・ディスペンスノズル
１４１・・先端部
１５・・・ディスペンスノズル待機用溶剤タンク
１５１・・超音波発生器
１６・・・有機色素塗布液調整バルブ
１７・・・溶剤供給タンク
２１・・・タイマ
２２・・・溶剤供給ポンプ
２３・・・溶剤排出手段
【図１】
2005196869.tif 000003
【図２】
2005196869.tif 000004
【図３】
2005196869.tif 000005