(57)【要約】【課題】  調整・検査工程における作業への負担を低減させることが可能なガス流量計を提供する。【解決手段】  本発明のガス流量計１０によれば、気密試験を行う場合には、ガス流量計１０に所定の圧力のガスを付与した状態にして外部から所定のトリガーをガス流量計１０に付与すればよい。すると、ガス流量計１０に備えた外部気密自己検査プログラム１１が起動して、圧力に変化があった場合にガス漏れがあると判断し、圧力に変化がなかった場合にガス漏れがないと判断する。このように本発明によれば、ガス流量計１０自体がガス漏れの有無を判別するので、作業者の負担が軽減される。しかも、ガス流量計１０に備えられた圧力センサ１６を利用して漏れの有無を判別するので、調整・検査工程の設備費も低減される。【選択図】  図７
2005337726.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスの圧力を検出する圧力センサと、前記ガスの圧力が異常である場合にガスの供給を遮断する遮断弁とを備えたガス流量計において、
外部から所定のトリガーを受けたときに起動する外部気密自己検査手段を備え、
前記外部気密自己検査手段は、ガスの流量及び／又は前記圧力センサの検出結果に基づいて、ガス流量計から外部への漏れを検査することを特徴とするガス流量計。
【請求項２】
ガスの圧力を検出する圧力センサと、前記ガスの圧力が異常である場合にガスの供給を遮断する遮断弁とを備えたガス流量計において、
前記遮断弁が閉じた状態で計測されるガスの流量及び／又は前記圧力センサの検出結果に基づいて、前記遮断弁の漏れを検査する遮断弁自己検査手段を備えたことを特徴とするガス流量計。
【請求項３】
外部から所定のトリガーを受けたときに起動する圧力センサ検査手段を備え、
前記圧力センサ検査手段は、前記圧力センサの検出結果と、ガス流量計に予め設定された基準圧力値とが一致したか否かを判別することを特徴とする請求項１又は２に記載のガス流量計。
【請求項４】
前記圧力センサは、ガス流量計の出口の近傍に備えられ、
外部から所定のトリガーを受けたときに起動する圧力損失検査手段を備え、
前記圧力損失検査手段は、前記圧力センサの検出結果と、ガス流量計に予め設定された入口側圧力値との差圧を求め、その差圧がガス流量計に予め設定された基準圧力損失値と一致したか否かを判別することを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載のガス流量計。
【請求項５】
パルスモータによって駆動されて開度を徐々に変更可能な遮断弁を備えたガス流量計において、
外部から所定のトリガーを受けたときに起動する弁開度自己検査手段を備え、
前記弁開度自己検査手段は、前記遮断弁の開度を予め設定された開度に変更し、前記各開度に対する前記ガスの流量が、予め設定された基準値と一致したか否かを判別することを特徴とするガス流量計。
【請求項６】
感震器を備えて、その感震器が震動を検出したときに前記遮断弁が閉じられるように構成すると共に、
外部から所定のトリガーを受けたときに起動する感震器検査手段を備え、
前記感震器検査手段は、所定の時間内に前記感震器が震動を検出したか否かを判別することを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載のガス流量計。
【請求項７】
ガスが流れる方向に間隔を空けて配置された１対の超音波送受波器の間で超音波を送受波してガスの流量を計測するガス流量計において、
前記ガスの流量を計測するための通常モードと、前記ガスの実際の流量が０であるときに計測された流量が０になるようにチューニングを行うゼロ点チューニングモードとに切り替え可能に構成され、
前記ゼロ点チューニングモードに切り替わると、一方から他方の前記超音波送受波器への超音波の到達時間と、前記他方から前記一方の超音波送受波器への超音波の到達時間との時間差がオフセット補正値として記憶され、前記通常モードに切り替わると、前記一方から前記他方の超音波送受波器への超音波の到達時間から前記オフセット補正値を減算するように構成したことを特徴とするガス流量計。
【請求項８】
ガスが流れる方向に間隔を空けて配置された１対の超音波送受波器の間で超音波を送受波してガスの流量を計測するガス流量計において、
前記ガスの流量を計測するための通常モードと、前記ガスの実際の流量と計測したガスの流量とが一致するようにチューニングを行うチューニングモードとに切り替え可能に構成され、
前記チューニングモードに切り替わると、その切り替わった後の所定のタイミングで計測した流量をガス流量計に予め設定された基準流量と一致させるための補正ゲインが求められ、前記通常モードに切り替わると、計測された流量に前記補正ゲインを乗じて補正を行うように構成したことを特徴とするガス流量計。
【請求項９】
ガスが流れる方向に間隔を空けて配置された１対の超音波送受波器の間で超音波を送受波し、一方から他方の前記超音波送受波器への超音波の到達時間の逆数と、前記他方の前記一方の超音波送受波器への超音波の到達時間の逆数との差に流量演算係数Ｋｘを乗じて流量を求めるガス流量計において、
前記ガスの流量を計測するための通常モードと、前記ガスの実際の流量と計測したガスの流量とが一致するようにチューニングを行うチューニングモードとに切り替え可能に構成され、
前記チューニングモードに切り替わった後に計測した流量Ｑｘと、その流量Ｑｘを求める際に使用した流量演算係数Ｋｘと、予め設定された基準流量Ｑｓと、次式、
Ｋｓ＝Ｋｘ・Ｑｓ／Ｑｘ
、とから新係数Ｋｓが求められ、前記通常モードで使用する前記流量演算係数Ｋｘを前記新係数Ｋｓの値に更新するように構成したことを特徴とするガス流量計。
【請求項１０】
外部から所定のトリガーを受けたときに起動する合否自己検査手段を備え、
前記合否自己検査手段は、ガスの流量が、３［リットル／時間］と一致したか否かを判別することを特徴とする請求項１乃至９の何れかに記載のガス流量計。
【請求項１１】
外部から所定のトリガーを受けたときに起動する圧力損失検査手段を備え、
前記圧力損失検査手段は、ガスの流量に基づいてガス流量計による圧力損失を演算し、その圧力損失がガス流量計に予め設定された基準圧力損失値と一致したか否かを判別することを特徴とする請求項１乃至１０の何れかに記載のガス流量計。
【請求項１２】
外部から所定のトリガーを受けたときに起動する器差性能検査手段を備え、
前記器差性能検査手段は、所定の間隔で複数回計測されたガスの流量が、ガス流量計に予め設定された複数の基準流量と一致したか否かを判別することを特徴とする請求項１乃至１１の何れかに記載のガス流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス流量計に関し、特に、圧力センサ、感震器及び遮断弁等の保安部品を備えたガス流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のガス流量計は、ガスの流量を計測するのみならず、ガス漏れや地震に対する保安機能付きのガス流量計が一般的になっている。そのために、ガス流量計には、ガス漏れによる圧力異常を検出するための圧力センサ、地震等による震動を検出するための感震器、及び、異常時にガスの供給を遮断する遮断弁が備えられている（例えば、特許文献１参照）。このため、ガス流量計の製造会社又はメンテナンス会社では、ガス流量計の組付工程後に行われる調整・検査工程において、ガスの流量を計測するためのチューニング及び気密試験のみならず、保安部品の性能検査も行っていた。
【特許文献１】特開平８−２１０８９３号公報（段落［００２６］、［００３６］、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記した従来のガス流量計の気密試験を行う場合には、例えばガス流量計に検査用の配管を連結し、ガス流量計内に所定の圧力のガスを充填してガスの供給を停止する。この状態で、検査用の配管に設けられた圧力センサの検出結果を作業者が目視にてチェックし、その圧力が一定の状態に保持されているか否かに応じて気密試験の合否を判断していた。そして、ガス流量計に流す実際の流量を０とし、このときのガス流量計による計測結果が０になるように作業者が計測結果を目視にてチェックしながら０点調整を行い、さらに、実際の流量を予め設定された基準流量とし、このときの計測結果が基準流量と同じ値になるように作業者が計測結果を目視にてチェックしながらゲイン調整を行っていた。これらに加え、圧力センサ、感震器及び遮断弁等の保安部品に関しても、作業者が目視にて確認して調整及び検査を行っていた。このため、作業者の負担が大きく、効率よく調整・検査工程を行うことができなかった。
【０００４】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、調整・検査工程における作業者への負担を低減させることが可能なガス流量計の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するためになされた請求項１の発明に係るガス流量計は、ガスの圧力を検出する圧力センサと、前記ガスの圧力が異常である場合にガスの供給を遮断する遮断弁とを備えたガス流量計において、外部から所定のトリガーを受けたときに起動する外部気密自己検査手段を備え、前記外部気密自己検査手段は、ガスの流量及び／又は前記圧力センサの検出結果に基づいて、ガス流量計から外部への漏れを検査するところに特徴を有する。
【０００６】
請求項２の発明に係るガス流量計は、ガスの圧力を検出する圧力センサと、ガスの圧力が異常である場合にガスの供給を遮断する遮断弁とを備えたガス流量計において、遮断弁が閉じた状態で計測されるガスの流量及び／又は圧力センサの検出結果に基づいて、遮断弁の漏れを検査する遮断弁自己検査手段を備えたところに特徴を有する。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項１又は２に記載のガス流量計において、外部から所定のトリガーを受けたときに起動する圧力センサ検査手段を備え、前記圧力センサ検査手段は、前記圧力センサの検出結果と、ガス流量計に予め設定された基準圧力値とが一致したか否かを判別するところに特徴を有する。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項１乃至３の何れかに記載のガス流量計において、前記圧力センサは、ガス流量計の出口の近傍に備えられ、外部から所定のトリガーを受けたときに起動する圧力損失検査手段を備え、前記圧力損失検査手段は、前記圧力センサの検出結果と、ガス流量計に予め設定された入口側圧力値との差圧を求め、その差圧がガス流量計に予め設定された基準圧力損失値と一致したか否かを判別するところに特徴を有する。
【０００９】
請求項５の発明に係るガス流量計は、パルスモータによって駆動されて開度を徐々に変更可能な遮断弁を備えたガス流量計において、外部から所定のトリガーを受けたときに起動する弁開度自己検査手段を備え、前記弁開度自己検査手段は、前記遮断弁の開度を予め設定された開度に変更し、前記各開度に対する前記ガスの流量が、予め設定された基準値と一致したか否かを判別するところに特徴を有する。
【００１０】
請求項６の発明は、請求項１乃至５の何れかに記載のガス流量計において、感震器を備えて、その感震器が震動を検出したときに前記遮断弁が閉じられるように構成すると共に、外部から所定のトリガーを受けたときに起動する感震器検査手段を備え、前記感震器検査手段は、所定の時間内に前記感震器が震動を検出したか否かを判別するところに特徴を有する。
【００１１】
請求項７の発明に係るガス流量計は、ガスが流れる方向に間隔を空けて配置された１対の超音波送受波器の間で超音波を送受波してガスの流量を計測するガス流量計において、ガスの流量を計測するための通常モードと、ガスの実際の流量が０であるときに計測された流量が０になるようにチューニングを行うゼロ点チューニングモードとに切り替え可能に構成され、ゼロ点チューニングモードに切り替わると、一方から他方の超音波送受波器への超音波の到達時間と、他方から一方の超音波送受波器への超音波の到達時間との時間差がオフセット補正値として記憶され、通常モードに切り替わると、一方から他方の超音波送受波器への超音波の到達時間からオフセット補正値を減算するように構成したところに特徴を有する。
【００１２】
請求項８の発明に係るガス流量計は、ガスが流れる方向に間隔を空けて配置された１対の超音波送受波器の間で超音波を送受波してガスの流量を計測するガス流量計において、ガスの流量を計測するための通常モードと、ガスの実際の流量と計測したガスの流量とが一致するようにチューニングを行うチューニングモードとに切り替え可能に構成され、チューニングモードに切り替わると、その切り替わった後の所定のタイミングで計測した流量をガス流量計に予め設定された基準流量と一致させるための補正ゲインが求められ、通常モードに切り替わると、計測された流量に補正ゲインを乗じて補正を行うように構成したところに特徴を有する。
【００１３】
請求項９の発明に係るガス流量計は、ガスが流れる方向に間隔を空けて配置された１対の超音波送受波器の間で超音波を送受波し、一方から他方の超音波送受波器への超音波の到達時間の逆数と、他方の一方の超音波送受波器への超音波の到達時間の逆数との差に流量演算係数Ｋｘを乗じて流量を求めるガス流量計において、ガスの流量を計測するための通常モードと、ガスの実際の流量と計測したガスの流量とが一致するようにチューニングを行うチューニングモードとに切り替え可能に構成され、チューニングモードに切り替わった後に計測した流量Ｑｘと、その流量Ｑｘを求める際に使用した流量演算係数Ｋｘと、予め設定された基準流量Ｑｓと、次式、Ｋｓ＝Ｋｘ・Ｑｓ／Ｑｘ、とから新係数Ｋｓが求められ、通常モードで使用する流量演算係数Ｋｘを新係数Ｋｓの値に更新するように構成したところに特徴を有する。
【００１４】
請求項１０の発明は、請求項１乃至９の何れかに記載のガス流量計において、外部から所定のトリガーを受けたときに起動する合否自己検査手段を備え、前記合否自己検査手段は、ガスの流量が、３［リットル／時間］と一致したか否かを判別するところに特徴を有する。
【００１５】
請求項１１の発明は、請求項１乃至１０の何れかに記載のガス流量計において、外部から所定のトリガーを受けたときに起動する圧力損失検査手段を備え、前記圧力損失検査手段は、ガスの流量に基づいてガス流量計による圧力損失を演算し、その圧力損失がガス流量計に予め設定された基準圧力損失値と一致したか否かを判別するところに特徴を有する。
【００１６】
請求項１２の発明は、請求項１乃至１１の何れかに記載のガス流量計において、外部から所定のトリガーを受けたときに起動する器差性能検査手段を備え、前記器差性能検査手段は、所定の間隔で複数回計測されたガスの流量が、ガス流量計に予め設定された複数の基準流量と一致したか否かを判別するところに特徴を有する。
【００１７】
なお、本発明の請求項３，４，５，８，９，１０，１１，１２における「一致」とは、完全一致に限定されるものでなく、所定の許容範囲で一致する場合を含むものである。
【発明の効果】
【００１８】
［請求項１の発明］
請求項１の構成によれば、気密試験を行う場合には、ガス流量計に所定の圧力のガスを付与した状態にして外部から所定のトリガーをガス流量計に付与すればよい。すると、ガス流量計に備えた外部気密自己検査手段が起動して、流量が０でないか或いは圧力に変化があった場合にガス漏れがあると判断し、流量が０であるか或いは圧力に変化がなかった場合にガス漏れがないと判断する。このように本発明によれば、ガス流量計自体がガス漏れの有無を判別するので、作業者の負担が軽減される。しかも、ガス流量計に備えられた流量を計測するための機能及び／又は圧力センサを利用して漏れの有無を判別するので、調整・検査工程の設備費も低減される。
【００１９】
［請求項２の発明］
請求項２の構成によれば、遮断弁における気密試験を行う場合には、遮断弁を閉じ、ガス流量計に所定の圧力のガスを付与した状態にすればよい。すると、ガス流量計に備えた遮断弁自己検査手段が、流量が０でないか或いは圧力に変化があった場合に遮断弁におけるガス漏れがあると判断し、流量が０であるか或いは圧力に変化がなかった場合に遮断弁におけるガス漏れがないと判断する。このように本発明によれば、ガス流量計自体が遮断弁におけるガス漏れの有無を判別するので、作業者の負担が軽減される。しかも、ガス流量計に備えられた流量を計測するための機能及び／又は圧力センサを利用して漏れの有無を判別するので、調整・検査工程の設備費も低減される。なお、遮断弁自己検査手段は、外部から所定のトリガーをガス流量計に付与した場合にのみ起動するように構成してもよい。
【００２０】
［請求項３の発明］
請求項３の構成によれば、ガス流量計に付与するガスの圧力を予め設定された基準圧力値とし、外部から所定のトリガーをガス流量計に付与する。すると、圧力センサ検査手段が起動して圧力センサの検出結果と基準圧力値とが一致したか否かを判別し、これにより、圧力センサが正常に作動するか否かがわかる。このように本発明によれば、ガス流量計自体が圧力センサの異常を検査するので、作業者の負担が軽減される。
【００２１】
［請求項４の発明］
請求項４の構成によれば、ガス流量計による圧力損失を求める場合には、ガス流量計に付与するガスの圧力を、予め設定された入口側圧力値とし、外部から所定のトリガーをガス流量計に付与する。すると、圧力損失検査手段が起動して圧力センサの検出結果と入口側圧力値との差圧から圧力損失を求め、その差圧がガス流量計に予め設定された基準圧力損失値と一致したか否かを判別する。このように本発明によれば、ガス流量計自体がガス流量計の圧力損失を計測するので、作業者の負担が軽減される。
【００２２】
［請求項５の発明］
請求項５の構成によれば、外部から所定のトリガーをガス流量計に付与すると遮断弁自己検査手段が起動し、パルスモータにより遮断弁を駆動することで遮断弁の開度を変更しつつガスの流量を計測する。そして、各開度に対するガスの各流量が、予め設定された基準値と一致したか否かを判別する。このように本発明によれば、ガス流量計自体が遮断弁の開度に対する流量が基準値通りか否かをチェックするので、作業者の負担が軽減される。
【００２３】
［請求項６の発明］
請求項６の構成によれば、外部から所定のトリガーをガス流量計に付与してから所定の時間内にガス流量計に振動を付与する。すると、トリガーによって起動した感震器検査手段により、感震器が震動を検出したか否かが判別される。このように本発明によれば、ガス流量計自体が感震器の異常を検出するので、作業者の負担が軽減される。
【００２４】
［請求項７の発明］
請求項７の構成によれば、ガス流量計を通常モードにすると、一方から他方の超音波送受波器への超音波の到達時間と、他方から一方の超音波送受波器への超音波の到達時間とに基づいてガスの流量が計測される。ここで、ガス流量計に付与する実際の流量を０にして、ガス流量計をゼロ点チューニングモードに切り替えると、一方から他方の超音波送受波器への超音波の到達時間と、他方から一方の超音波送受波器への超音波の到達時間との時間差がオフセット補正値として記憶される。そして、通常モードに切り替えたときに、一方から他方の超音波送受波器への超音波の到達時間からオフセット補正値が減算される。これにより、ガスの実際の流量が０であるときの計測結果も０になる。このように本発明によれば、ガス流量計自体が０点調整を行うので、作業者の負担が軽減される。
【００２５】
［請求項８の発明］
請求項８の構成によれば、ガス流量計を通常モードにすると、一方から他方の超音波送受波器への超音波の到達時間と、他方から一方の超音波送受波器への超音波の到達時間とに基づいてガスの流量が計測される。ここで、ガス流量計に予め設定された基準流量を流し、かつガス流量計をチューニングモードに切り替えると、チューニングモードに切り替わった後の所定のタイミングで計測した流量を基準流量に一致させるための補正ゲインが求められる。そして、通常モードに切り替えたときに、計測結果に補正ゲインを乗じる補正が行われ、これにより、ガスの実際の流量と計測結果とが一致するようになる。このように本発明によれば、ガス流量計自体が自動的にチューニングを行うので作業者の負担が軽減される。
【００２６】
［請求項９の発明］
請求項９の構成によれば、ガス流量計を通常モードにすると、一方から他方の超音波送受波器への超音波の到達時間の逆数と、他方から一方の超音波送受波器への超音波の到達時間の逆数との差に流量演算係数Ｋｘを乗じて流量を求める。そして、実際に流す流量を予め設定された基準流量Ｑｓにして、ガス流量計をチューニングモードとに切り替えると、その切り替わった後に計測された流量Ｑｘと、その流量Ｑｘを求める際い使用した流量演算係数Ｋｘと、予め設定された基準流量Ｑｓと、次式、Ｋｓ＝Ｋｘ・Ｑｓ／Ｑｘ、とから新係数Ｋｓが求められ、通常モードで使用する流量演算係数Ｋｘがその新係数Ｋｓの値に更新される。これにより、ガスの実際の流量と計測結果とが一致するようになる。このように本発明によれば、ガス流量計自体が自動的にチューニングを行うので、作業者の負担が軽減される。
【００２７】
［請求項１０の発明］
請求項１０の構成によれば、ガス流量計に３［リットル／時間］の流量を流した状態にして、外部から所定のトリガーをガス流量計に付与すると、合否自己検査手段が起動し、ガス流量計が計測したガスの流量が、３［リットル／時間］と一致したか否かを判別する。このように本発明によれば、ガス流量計自体が３［リットル／時間］を規定の範囲で正確に計測可能か否かを判別するので作業者の負担が軽減される。
【００２８】
［請求項１１の発明］
請求項１１の構成によれば、外部から所定のトリガーをガス流量計に付与すると、圧力損失検査手段が起動し、起動後に計測したガスの流量に基づいてガス流量計による圧力損失を求め、その圧力損失が、予め設定された基準圧力損失値と一致したか否かを判別する。このように本発明によれば、ガス流量計自体がガス流量計の圧力損失を計測するので、作業者の負担が軽減される。
【００２９】
［請求項１２の発明］
請求項１２のガス流量計では、外部からガス流量計に所定のトリガーを付与し、所定の間隔で流量を、予め設定された複数種類の基準流量に順次変更する。すると、ガス流量計の器差性能判別手段が所定の間隔でガスの流量を複数回計測し、それら計測したガスの流量と、予め設定された複数種類の基準流量と一致したか否かを判別する。これにより、ガス流量計自体で、ガス流量計の器差性能が規定の範囲であるか否かを判別することができ、作業者の負担が軽減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の一実施形態を図１〜図２５に基づいて説明する。
図１に示すように、本実施形態のガス流量計１０に備えたメーターケース１１には、ガスが通過可能な計測路１２が形成され、その計測路１２の両端に備えたガス流入口１３及びガス流出口１４にガス管が連結される。
【００３１】
計測路１２の中間部分には、ガスの流れ方向に沿って１対の超音波送受波器２０，２１が備えられている。計測路１２のうち超音波送受波器２０，２１よりガス流出口１４側には圧力センサ１６が備えられ、超音波送受波器２０，２１よりガス流入口１３側には遮断弁１５が備えられている。この遮断弁１５は、パルスモータと、そのパルスモータの出力回転を直動運動に変換する変換機構部と、その変換機構部の直動部分に設けられた弁体とからなり、その弁体がパルスモータによって弁口に接離される。そして、弁体が弁口の縁部に密着すると、計測路１２の途中部分が遮断されてガスが通過不能になり、弁体を弁口から離間して開度を徐々に大きくすると、その開度に応じた流量のガスが計測路１２を通過する。
【００３２】
メーターケース１１には、計測路１２と区画して回路基板収容室１７が設けられ、そこに電子回路基板５０が収容されている。電子回路基板５０には、震動を検出するための感震器５３、流量の計測結果等を表示するためのＬＣＤ５２（液晶表示装置）、ガス流量計１０全体を制御するＣＰＵ５１、超音波送受波器２０，２１を制御する送受波信号制御回路５６等が実装されている。
【００３３】
送受波信号制御回路５６には、図２に示すように、超音波送受波器２０，２１に超音波を出力させるための送波器駆動回路２２と、超音波送受波器２０，２１が超音波を受信したときに出力する受波信号を増幅する増幅回路２６とが備えられている。そして、送波器駆動回路２２は、送波器切替スイッチ２４によって両超音波送受波器２０，２１の何れか一方に接続され、増幅回路２６は受波器切替スイッチ２５によって両超音波送受波器２０，２１の他方に接続される。これにより、両超音波送受波器２０，２１の一方から送波された超音波が他方で受波され、送波器切替スイッチ２４及び受波器切替スイッチ２５が作動すると、両超音波送受波器２０，２１の他方から送波された超音波が一方で受波される。
【００３４】
送波器切替スイッチ２４及び受波器切替スイッチ２５は、ＣＰＵ５１から切替信号を受けて作動し、送波器駆動回路２２は、ＣＰＵ５１からスタート指令を受けて起動する。このスタート指令は、計数回路２３にも同時に付与されており、ＣＰＵ５１が起動すると同時に計数回路２３が図示しないクロックパルスから受けるクロック数のカウントを開始する。また、増幅回路２６には、ゼロクロス検知回路２７が接続されており、ゼロクロス検知回路２７は、増幅回路２６を通して超音波送受波器２０，２１の受波信号を受けて受波タイミングを検出し、計数回路２３にストップ指令を付与する。これにより、計数回路２３がクロック数のカウントを停止する。
【００３５】
ＣＰＵ５１は、図３に示した通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００を実行して流量を求める。なお、この通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００が実行されているときが、本発明に係る「通常モード」に相当する。通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００が実行されると、計測路１２における上流側の超音波送受波器２０から下流側の超音波送受波器２１に向けて（この方向を以下「順方向」という）、複数回、超音波を送波し、その都度、計数回路２３がカウントしたクロック数に基づいて順方向の超音波の到達時間（Ｔ１１，Ｔ１２，Ｔ１３，・・・Ｔ１ｎ）を求める（Ｓ１）。そして、複数回の到達時間の平均値Ｔ１ａｖ’を求め（Ｓ２）、その平均値Ｔ１ａｖ’からオフセット補正値Ｈ１を減算して順方向の到達時間の平均値Ｔ１ａｖ（Ｔ１ａｖ＝Ｔ１ａｖ’−Ｈ１）を求める（Ｓ３）。ここで、オフセット補正値は、デフォルト状態では、「０」に設定されており、後述するゼロ点チューニングプログラムＰＧ２１を実行することによって更新される。
【００３６】
次いで、ＣＰＵ５１は、計測路１２における下流側の超音波送受波器２１から上流側の超音波送受波器２０（この方向を以下「逆方向」という）に向けて超音波を複数回、送波し、その都度、計数回路２３がカウントしたクロック数に基づいて逆方向の超音波の到達時間（Ｔ２１，Ｔ２２，Ｔ２３，・・・Ｔ２ｎ）を求め（Ｓ４）、それらの平均値を逆方向の到達時間Ｔ２ａｖとして求める（Ｓ５）。
【００３７】
次いで、順方向の到達時間Ｔ１ａｖから順方向の周波数ｆ１（＝１／Ｔ１ａｖ）を求めかつ、逆方向の到達時間Ｔ２ａｖから逆方向の周波数ｆ２（＝１／Ｔ２ａｖ）を求める（Ｓ６）。次いで、それら順方向と逆方向との周波数差Δｆ（＝｜ｆ１−ｆ２｜）を求め（Ｓ７）、その周波数差Δｆに流量演算係数Ｋｘを乗じて流量Ｑｘを求める（Ｓ８）。
【００３８】
Ｑｘ＝Ｋｘ・Δｆ            ・・・（１）
【００３９】
ここで、超音波送受波器２０，２１の間の計測路１２の断面積をＡ、超音波送受波器２０，２１間の距離をＬ、補正ゲインをｋとすると、流量演算係数Ｋｘは、デフォルト状態では、次式（２），（３）で示した値に設定され、後述するチューニングプログラムＰＧ２３を実行することによって更新される。
【００４０】
Ｋｘ＝Ａ・Ｌ／２・ｋ    ・・・・・（２）
ｋ＝１                  ・・・・・（３）
【００４１】
ＣＰＵ５１は、この通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００を終了後に所定の出力用プログラム（図示せず）を実行して、ＬＣＤ５２に流量を表示する。
【００４２】
ＣＰＵ５１は、流量の計測以外に、異常時に遮断弁１５を遮断する処理を行っている。具体的には、ＣＰＵ５１は、所定周期で圧力センサ１６の検出結果を取り込んでおり、計測路１２内の圧力が所定の基準値以下に低下したことをもってガス漏れが発生したと判断し、遮断弁１５を閉じる。また、ＣＰＵ５１の割り込み端子には感震器５３が接続されており、感震器５３が所定の震度以上の震動を検出すると、ＣＰＵ５１が割り込み処理にて遮断弁１５を閉じる。また、電子回路基板５０に備えた復帰スイッチ５４を操作すると、遮断弁１５が開いた状態に復帰する。
【００４３】
ＣＰＵ５１には、ガス流量計１０の外部機器との間で信号を送受信するための複数のラインＡ，Ｂ，Ｃが設けられている。そして、ラインＡには、図４に示した検査制御装置４０が接続され、ガス流量計１０の調整・検査工程の作業を従来より容易に行うことができる。以下、その調整・検査工程におけるガス流量計１０の動作と併せて、ガス流量計１０のＣＰＵ５１が実行する各プログラムについて説明する。
【００４４】
図４に示すように、調整・検査工程では、ガス流量計１０に調整・検査用の配管４１，４２を接続する。ガス流量計１０のガス流出口１４に接続された配管４２の途中には、下流側電磁弁４４が設けられ、ガス流入口１３に接続された配管４１の途中には、上流側電磁弁４３が設けられている。また、ガス流入口１３に接続された配管４１の端部には、ガス供給装置４５が接続され、そのガス供給装置４５の制御回路（図示せず）には、検査制御装置４０からの制御信号が取り込まれる。そして、検査制御装置４０からの指令に従って、所定の流量又は圧力のガス（例えば圧縮空気でもよい）がガス流量計１０に供給される。また、上流側電磁弁４３及び下流側電磁弁４４は、検査制御装置４０によって開閉駆動される。
【００４５】
検査制御装置４０には、図示しないＣＰＵが備えられ、作業者の起動操作によりそのＣＰＵが図５に示した調整・検査プログラムＰＧ３００を実行する。すると、まず外部気密検査補助ルーチンＳ１０が実行され、検査制御装置４０は、図６に示すように下流側電磁弁４４を閉じ、かつ上流側電磁弁４３を開き（Ｓ１００）、ガス流量計１０内が所定の圧力になるまでガス供給装置４５にてガス流量計１０にガスを供給する（Ｓ１０１）。そして、上流側電磁弁４３を閉じ（Ｓ１０２）、ガス流量計１０のＣＰＵ５１に外部気密自己検査プログラムＰＧ１１（本発明に係る「外部気密自己検査手段」に相当する）の実行命令を付与してプログラムＰＧ１１を実行させる（Ｓ１０３）。
【００４６】
ガス流量計１０のＣＰＵ５１は、外部気密自己検査プログラムＰＧ１１を実行すると、図７に示すように、圧力センサ１６が検出した圧力Ｐ１を記憶する（Ｓ１１０）。次いで、所定時間経過後に圧力センサ１６が検出した圧力Ｐ２を記憶する（Ｓ１１１）。そして、圧力Ｐ１と圧力Ｐ２との差（＝｜Ｐ１−Ｐ２｜）が所定の許容範囲ΔＰ１２に収まっているか否かを判別する（Ｓ１１２）。ここで許容範囲ΔＰ１２に収まっていた場合（Ｓ１１２でＹＥＳ、即ち、所定時間経過しても内圧が変化しなかった場合）には、ガス漏れはなく、外部気密検査は合格（即ち、外部へのガス漏れはなし）と判断する（Ｓ１１３）。一方、許容範囲ΔＰ１２に収まっていなかった場合には（Ｓ１１２でＮＯ）、外部気密検査は不合格（即ち、外部へのガス漏れがある）と判断する（Ｓ１１４）。そして、それら何れかの判断結果を検査制御装置４０に出力して、この外部気密自己検査プログラムＰＧ１１を抜ける。
【００４７】
このように本実施形態では、ガス流量計１０自体が外部へのガス漏れの有無を判別するので、作業者の負担が軽減される。しかも、ガス流量計１０に備えられた圧力センサ１６を利用して漏れの有無を判別するので、調整・検査工程の設備費も低減させることができる。
【００４８】
検査制御装置４０は、外部気密検査の判断結果を得ると、その判断結果を図示しない検査結果テーブルに記憶し、次いで、図８に示した遮断弁検査補助ルーチン（Ｓ１２）を実行する。このルーチン（Ｓ１２）を実行すると、検査制御装置４０は、下流側電磁弁４４を閉じかつ上流側電磁弁４３を開く（Ｓ１２０）。そして、ガス流量計１０内が予め設定された所定の圧力になるまでガス供給装置４５からガス流量計１０にガスを供給する（Ｓ１２１）。そして、ガス流量計１０のＣＰＵ５１に遮断弁自己検査プログラムＰＧ１３（本発明に係る「遮断弁自己検査手段」に相当する）を実行させる（Ｓ１２２）。
【００４９】
ガス流量計１０のＣＰＵ５１は、遮断弁自己検査プログラムＰＧ１３を実行すると、図９に示すように遮断弁１５を閉じ（Ｓ１３０）、圧力センサ１６が検出した圧力Ｐ３を記憶する（Ｓ１３１）。次いで、所定時間経過後に圧力センサ１６が検出した圧力Ｐ４を記憶し（Ｓ１３２）、圧力Ｐ３と圧力Ｐ４との差（＝｜Ｐ３−Ｐ４｜）が所定の許容範囲ΔＰ３４に収まっているか否かを判別する（Ｓ１３３）。ここで、圧力Ｐ３と圧力Ｐ４との差が所定の許容範囲ΔＰ３４に収まっていた場合には（Ｓ１３３でＹＥＳ）、弁気密検査は合格（即ち、遮断弁１５におけるガス漏れはなし）と判断する一方（Ｓ１３４）、許容範囲ΔＰ３４に収まっていなかった場合には（Ｓ１３３でＮＯ）、弁気密検査は不合格（即ち、遮断弁１５におけるガス漏れがあり）と判断し（Ｓ１３５）、例えば、それら何れかの判断結果を検査制御装置４０に出力して、この遮断弁自己検査プログラムＰＧ１３を抜ける。
【００５０】
このように本実施形態では、ガス流量計１０自体が、遮断弁１５におけるガス漏れの有無を判別するので作業者の負担が軽減される。しかも、ガス流量計１０に備えた圧力センサ１６を利用してガス漏れの有無を判別するので、調整・検査工程の設備費も低減させることができる。
【００５１】
検査制御装置４０は、弁気密検査の判断結果を得ると、その判断結果を図示しない検査結果テーブルに記憶し、次いで、図１０に示した圧力センサ検査補助ルーチン（Ｓ１４）を実行する。このルーチン（Ｓ１４）を実行すると、検査制御装置４０は、下流側電磁弁４４が閉じかつ上流側電磁弁４３を開く（Ｓ１４０）。次いで、ガス流量計１０内の圧力が、予め設定された第１基準値Ｐ１０になるまでガス供給装置４５からガス流量計１０にガスを供給し（Ｓ１４１）、ガス流量計１０のＣＰＵ５１に圧力センサ検査プログラムＰＧ１５（本発明に係る「圧力センサ検査手段」に相当する）を実行させる（Ｓ１４２）。そして、所定時間経過後に、今度は、ガス流量計１０内の圧力が、予め設定された第２基準値Ｐ１１になるまでガス供給装置４５からガス流量計１０にガスを供給する（Ｓ１４３）。
【００５２】
ガス流量計１０のＣＰＵ５１は、圧力センサ検査プログラムＰＧ１５を実行すると、図１１に示すように、圧力センサ１６が検出した圧力Ｐ５を記憶する（Ｓ１５０）。次いで、所定時間経過後に圧力センサ１６が検出した圧力Ｐ６を記憶する（Ｓ１５１）。そして、圧力Ｐ５と前記した第１基準値Ｐ１０との差が所定の許容範囲ΔＰ１０に収まっているか否かを判別すると共に（Ｓ１５２）、前記した第２基準値Ｐ１１との差が所定の許容範囲ΔＰ１１に収まっているか否かを判別する（Ｓ１５３）。ここで、圧力Ｐ５と第１基準値Ｐ１０との差が所定の許容範囲ΔＰ１０に収まっていないか（Ｓ１５２でＮＯ）、或いは、圧力Ｐ６と第２基準値Ｐ１１との差が所定の許容範囲ΔＰ１１に収まっていない場合には（Ｓ１５３でＮＯ）、圧力センサ１６に異常があると判断する（Ｓ１５５）。また、圧力Ｐ５と第１基準値Ｐ１０との差が所定の許容範囲ΔＰ１０に収まり（Ｓ１５２でＹＥＳ）かつ、圧力Ｐ６と第２基準値Ｐ１１との差が所定の許容範囲ΔＰ１１に収まっていた場合には（Ｓ１５３でＹＥＳ）、圧力センサ１６は正常であると判断する（Ｓ１５４）。そして、それら何れかの判断結果を検査制御装置４０に出力して、この圧力センサ検査プログラムＰＧ１５を抜ける。このように本実施形態によれば、ガス流量計１０自体が、圧力センサ１６の正常・異常を判別するので、作業者の負担が軽減される。
【００５３】
検査制御装置４０は、圧力センサ１６の検査の判断結果を得ると、その判断結果を図示しない検査結果テーブルに記憶し、次いで、図１２に示した圧力損失検査補助ルーチン（Ｓ１６）を実行する。このルーチン（Ｓ１６）を実行すると、検査制御装置４０は、ガス供給装置４５からガス流量計１０に予め設定された圧力損失検査用の基準圧力Ｐ１２でガスを供給する（Ｓ１６０）。そして、ガス流量計１０のＣＰＵ５１に圧力損失検査プログラムＰＧ１７（本発明の「圧力損失検査手段」に相当する）を実行させる（Ｓ１６１）。
【００５４】
ガス流量計１０のＣＰＵ５１は、圧力損失検査プログラムＰＧ１７を実行すると、図１３に示すように、圧力センサ１６が検出した圧力Ｐ７を記憶する（Ｓ１７０）。次いで、その圧力Ｐ７を前記した基準圧力Ｐ１２から引き、その差を圧力損失Ｐ８として求める（Ｓ１７１）。そして、その圧力損失Ｐ８が所定の許容値ΔＰ８の範囲内であるか否かを判別する（Ｓ１７２）。ここで、圧力損失Ｐ８が許容値ΔＰ８の範囲以内であれば（Ｓ１７２でＹＥＳ）、圧力損失は正常値であると判断し（Ｓ１７３）、圧力損失Ｐ８が許容値ΔＰ８の範囲外であれば（Ｓ１７２でＮＯ）、圧力損失は異常値であると判断する（Ｓ１７４）。そして、それら何れかの判断結果を検査制御装置４０に出力して、この圧力損失検査プログラムＰＧ１７を抜ける。このように本実施形態では、ガス流量計１０自体がガス流量計１０自体の圧力損失の異常を検出するので、作業者の負担が軽減される。
【００５５】
検査制御装置４０は、圧力損失に関する判断結果を得ると、その判断結果を図示しない検査結果テーブルに記憶し、次いで、図１４に示した感震器検査補助ルーチン（Ｓ１８）を実行する。このルーチン（Ｓ１８）を実行すると検査制御装置４０は、ガス流量計１０のＣＰＵ５１に感震器検査プログラムＰＧ１９（本発明に係る「感震器検査手段」に相当する）を実行させる（Ｓ１８０）。そして、その後、所定時間内にガス流量計１０に震動を付与する（Ｓ１８１）。なお、検査制御装置４０は、図示しない打撃装置を駆動してガス流量計１０を打撃することでガス流量計１０に震動を付与する。
【００５６】
ガス流量計１０のＣＰＵ５１は、感震器検査プログラムＰＧ１９を実行すると、図１５に示すように、所定時間内に感震器５３からＣＰＵ５１に検出信号が付与されるか否かをチェックする（Ｓ１９０）。そして、所定時間内に感震器５３からＣＰＵ５１に検出信号が付与された場合には（Ｓ１９０でＹＥＳ）、感震器５３は正常であると判断し（Ｓ１９１）、そうでなかった場合には（Ｓ１９０でＮＯ）、感震器５３は異常であると判断する（Ｓ１９２）。そして、それら何れかの判断結果を検査制御装置４０に出力して、この感震器検査プログラムＰＧ１９を抜ける。このように本実施形態によれば、ガス流量計１０自体が、感震器５３が正常に作動するか否かをチェックするので、作業者の負担が軽減される。
【００５７】
検査制御装置４０は、感震器５３に関する検査の判断結果を得ると、その判断結果を図示しない検査結果テーブルに記憶し、次いで、図１６に示したゼロ点チューニング補助ルーチン（Ｓ２０）を実行する。このルーチン（Ｓ２０）を実行すると、検査制御装置４０は、上流側電磁弁４３及び下流側電磁弁４４を閉じて（Ｓ２００）、ガス流量計１０内のガスの流量を０にする。そして、ガス流量計１０のＣＰＵ５１にゼロ点チューニングプログラムＰＧ２１を実行させる。
【００５８】
ガス流量計１０のＣＰＵ５１は、ゼロ点チューニングプログラムＰＧ２１を実行すると、図１７に示すように、前記した通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００のステップＳ１，Ｓ２，Ｓ４，Ｓ５と同様に、複数回に亘って順方向の超音波の到達時間（Ｔ１１，Ｔ１２，Ｔ１３，・・・Ｔ１ｎ）を求め（Ｓ２１０）、それらの平均値Ｔ１ａｖ’を求める（Ｓ２１１）。次いで、複数回に亘って逆方向の超音波の到達時間（Ｔ２１，Ｔ２２，Ｔ２３，・・・Ｔ２ｎ）を求め（Ｓ２１２）、それらの平均値Ｔ２ａｖを求める（Ｓ２１３）。次いで、到達時間Ｔ１ａｖ’，Ｔ２ａｖの差ΔＴ（＝｜Ｔ１ａｖ’−Ｔ２ａｖ｜）を求め（Ｓ２１４）、通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００で使用するオフセット補正値Ｈ１の値を前記到達時間Ｔ１ａｖ’，Ｔ２ａｖの差ΔＴの値に更新して記憶する（Ｓ２１５）。そして、オフセット補正値Ｈ１の更新が完了した旨の信号を検査制御装置４０に付与してこのゼロ点チューニングプログラムＰＧ２１から抜ける。このように本実施形態では、ガス流量計１０自体が０点調整を行うので、作業者の負担が軽減される。
なお、このゼロ点チューニングプログラムＰＧ２１を実行している状態が、本発明に係る「ゼロ点チューニングモード」に相当する。
【００５９】
検査制御装置４０は、オフセット補正値Ｈ１の更新が完了した旨の信号を受けると、次いで、図１８に示したチューニング補助ルーチン（Ｓ２２）を実行する。すると、検査制御装置４０は、ガス供給装置４５からガス流量計１０に予め設定された基準流量Ｑｓのガスを流し（Ｓ２２１）、ガス流量計１０のＣＰＵ５１にチューニングプログラムＰＧ２３を実行させる（Ｓ２２２）。
【００６０】
ガス流量計１０のＣＰＵ５１は、チューニングプログラムＰＧ２３を実行すると、図１９に示すように、前記した通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００を実行し、これにより計測した流量Ｑｘを記憶する（Ｓ２３１）。そして、その流量Ｑｘと前記した基準流量Ｑｓと、通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００で使用した流量演算係数Ｋｘと以下の式（４）から、新係数Ｋｓを求める（Ｓ２３２）。
【００６１】
Ｋｓ＝Ｋｘ・Ｑｓ／Ｑｘ    ・・・・・（４）
【００６２】
そして、通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００で使用する流量演算係数Ｋｘを新係数Ｋｓの値に更新して記憶する（Ｓ２３３）。そして、その更新が完了した旨の信号を検査制御装置４０に付与してこのチューニングプログラムＰＧ２３から抜ける。このように実施形態では、ガス流量計１０自体が自動的にチューニングを行うので作業者の負担が軽減される。
【００６３】
なお、このチューニングプログラムＰＧ２３を実行している状態が、本発明に係る「チューニングモード」に相当する。また、流量演算係数Ｋｘが新係数Ｋｓに更新されて、実質的には流量演算係数Ｋｘに含まれる補正ゲインｋ（上記式（２）参照）が更新される。
【００６４】
検査制御装置４０は、流量演算係数Ｋｘの更新が完了した旨の信号を受けると、次いで、図２０に示した合否検査補助ルーチン（Ｓ２４）を実行する。すると、検査制御装置４０は、ガス供給装置４５からガス流量計１０に３［リットル／時間］の流量のガスを流し（Ｓ２４１）、ガス流量計１０のＣＰＵ５１に合否自己検査プログラムＰＧ２５（本発明に係る「合否自己検査手段」に相当する）を実行させる（Ｓ２４２）。
【００６５】
ガス流量計１０のＣＰＵ５１は、合否自己検査プログラムＰＧ２５を実行すると、図２１に示すように、前記した通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００を実行し、これにより計測した流量Ｑｚを記憶する（Ｓ２５１）。そして、その流量Ｑｚと３［リットル／時間］との差が所定の許容誤差ΔＱｚ以内に入っているか否かを判別する（Ｓ２５２）。ここで、許容誤差ΔＱｚ以内に入っていた場合には（Ｓ２５２でＹＥＳ）、「合格」と判断し（Ｓ２５３）、許容誤差ΔＱｚ以内に入っていなかった場合には（Ｓ２５２でＮＯ）、「不合格」と判断する（Ｓ２５４）。そして、それら何れかの判断結果を検査制御装置４０に出力して、この合否自己検査プログラムＰＧ２５を抜ける。このように本実施形態では、ガス流量計１０自体が３［リットル／時間］を規定の範囲で正確に計測可能か否かを判別するので、作業者の負担が軽減される。
【００６６】
検査制御装置４０は、３［リットル／時間］の計測精度に関する検査の判断結果を得ると、その判断結果を図示しない検査結果テーブルに記憶し、次いで、図２２に示した器差性能検査補助ルーチン（Ｓ２６）を実行する。このルーチン（Ｓ２６）を実行すると、例えば、検査制御装置４０は、カウンタｊに値「１」をセットし（Ｓ２６１）、ガス供給装置４５からガス流量計１０に流すガスの流量を予め設定された第ｊ基準流量Ｙ（ｊ）、即ち、第１基準流量Ｙ（１）とし（Ｓ２６２）、ガス流量計１０のＣＰＵ５１に器差性能検査プログラムＰＧ２７（本発明に係る「器差性能検査手段」に相当する）を実行させる（Ｓ２６３）。次いで、所定時間待機して（Ｓ２６４）、カウンタｊを１インクリメントし（Ｓ２６５）、ガス供給装置４５からガス流量計１０に流すガスの流量を予め設定された第ｊ基準流量Ｙ（ｊ）、即ち、第２基準流量Ｙ（２）とする（Ｓ２６６）。そして、カウンタｊが所定数ｎになるまで、ステップＳ２６４〜Ｓ２６６を繰り返す（Ｓ２６７）。
【００６７】
ガス流量計１０のＣＰＵ５１は、器差性能検査プログラムＰＧ２７を実行すると、図２３に示すように、カウンタｉに値「１」をセットしてから（Ｓ２７０）、前記した通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００を実行し、これにより計測した流量Ｘ（ｊ）を記憶する（Ｓ２７１）。そして、所定時間待機して（Ｓ２７２）、カウンタｉをインクリメントし（Ｓ２７３）、カウンタｉが所定数ｎになるまで、ステップＳ２７１〜Ｓ２７３の動作を繰り返す（Ｓ２７４）。これにより、実際に流した第ｊ基準流量Ｙ（ｊ）に対し、ガス流量計１０が計測した流量Ｘ（ｉ）が求められる。
【００６８】
そして、カウンタｉを１にリセットしてから（Ｓ２７５）、カウンタｉがｎになるまで、第ｉ基準流量Ｙ（ｉ）（ｉ＝１〜ｎ）に対する器差Ｚ（ｉ）（ｉ＝１〜ｎ）を下記式（５）にて求め（Ｓ２７６）、その器差Ｚ（ｉ）（ｉ＝１〜ｎ）が、所定の許容値Ｗ（ｉ）（ｉ＝１〜ｎ）に収まっているか否かを判別する（Ｓ２７７）。
【００６９】
Ｚ（ｉ）＝（Ｘ（ｉ）−Ｙ（ｉ））・１００／Ｙ（ｉ）・・・・（５）
【００７０】
器差Ｚ（ｉ）（ｉ＝１〜ｎ）のうち何れか１つでも許容値Ｗ（ｉ）（ｉ＝１〜ｎ）に収まっていなかったら（Ｓ２７７でＮＯ）、器差性能不合格と判断し（Ｓ２７９）、そうでない場合にのみ（Ｓ２７７でＹＥＳ）、器差性能合格と判断する（Ｓ２７８）。そして、それら何れかの判断結果を検査制御装置４０に出力して、この器差性能検査プログラムＰＧ２７を抜ける。このように本実施形態では、ガス流量計１０自体で、ガス流量計１０の器差性能が規定の範囲であるか否かを判別することができ、作業者の負担が軽減される。
【００７１】
検査制御装置４０は、器差性能に関する検査の判断結果を得ると、その判断結果を図示しない検査結果テーブルに記憶し、次いで、図２４に示した弁開度検査補助ルーチン（Ｓ２８）を実行する。このルーチン（Ｓ２８）を実行すると、例えば、検査制御装置４０は、ガス供給装置４５から予め設定された所定圧力のガスをガス供給装置４５からガス流量計１０に流し（２８１）、ガス流量計１０のＣＰＵ５１に弁開度自己検査プログラムＰＧ２９（本発明に係る「弁開度自己検査手段」に相当する）を実行させる（Ｓ２８２）。
【００７２】
ガス流量計１０のＣＰＵ５１は、弁開度自己検査プログラムＰＧ２９を実行すると、図２５に示すように、パルスモータにより遮断弁１５を完全に閉じた状態とし（Ｓ２９１）、カウンタｉに値「１」をセットする（Ｓ２９２）。そして、パルスモータを所定パルス分駆動して遮断弁１５の開度を第ｉ開度にする（Ｓ２９３）。次いで、前記した通常モード用信号処理プログラムＰＧ１００を実行して計測した流量Ｑｘと第ｉ開度に対して予め設定された設計流量Ｑｗ（ｉ）との差ΔＱ（以下、「設計誤差ΔＱ」という）を求める。そして、設計誤差ΔＱが許容値Ｑｖ（ｉ）の範囲か否かをチェックする（Ｓ２９５）。そして、設計誤差ΔＱが許容値Ｑｖ（ｉ）の範囲以内である場合は（Ｓ２９５でＹＥＳ）、カウンタｉをインクリメントし（Ｓ２９６）、カウンタｉが所定数ＣになるまでステップＳ２９３〜Ｓ２９６の動作を繰り返す（Ｓ２９７）。そして、設計誤差ΔＱが許容値Ｑｖ（ｉ）の範囲以外となった場合には（Ｓ２９５でＮＯ）、弁開度性能不合格と判断し（Ｓ２９９）、設計誤差ΔＱが１度も許容値Ｑｖ（ｉ）の範囲以外とならなかった場合には（Ｓ２９７でＹＥＳ）、弁開度性能合格と判断する（Ｓ２９８）。そして、それら何れかの判断結果を検査制御装置４０に出力して、この弁開度自己検査プログラムＰＧ２９を抜ける。検査制御装置４０は、弁開度性能に関する判断結果を受けたら、調整・検査プログラムＰＧ３００を終了する。
【００７３】
以上説明したように、本実施形態のガス流量計１０によれば、ガス流量計１０自体が自動で調整・検査を行うので、作業者の負担が軽減される。
【００７４】
［他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下に説明するような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）前記実施形態の外部気密自己検査プログラムＰＧ１１及び遮断弁自己検査プログラムＰＧ１３では、圧力センサ１６で検出した圧力の変化に基づいてガス流量計１０から外部へのガス漏れ又は遮断弁１５におけるガス漏れを検出していたが、ガス流量計１０内のガスの流量が「０」であるか否かに基づいてそれらガス漏れを検出する構成にしてもよい。
【００７５】
（２）また、前記実施形態の圧力損失検査プログラムＰＧ１７では、ガス流量計１０に供給するガスの圧力と、圧力センサ１６で検出した圧力との差に基づいてガス流量計１０による圧力損失を求めていたが、ガス流量計１０が計測した流量に基づいて圧力損失を演算する構成にしてもよい。
【００７６】
（３）前記実施形態では、検査制御装置４０が自動で上流側電磁弁４３及び下流側電磁弁４４さらにはガス供給装置４５を駆動していたが、作業者の手動操作によりこれら上流側電磁弁４３等を動作させてもよい。
【００７７】
（４）また、前記実施形態では、ガス流量計１０に所定のプログラムを実行させるためのトリガーとして検査制御装置４０からガス流量計１０に実行命令を付与していたが、例えば、ガス流量計１０に所定の圧力を加える、又は所定の流量を所定時間流したことをトリガーとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の一実施形態に係るガス流量計の概念図
【図２】送受波信号制御回路の回路図
【図３】通常モード用信号処理プログラムのフローチャート
【図４】調整・検査装置の概念図
【図５】調整・検査プログラムのフローチャート
【図６】外部気密検査補助ルーチンのフローチャート
【図７】外部気密自己検査プログラムのフローチャート
【図８】遮断弁検査補助ルーチンのフローチャート
【図９】遮断弁自己検査プログラムのフローチャート
【図１０】圧力センサ検査補助ルーチンのフローチャート
【図１１】圧力センサ検査プログラムのフローチャート
【図１２】圧力損失検査補助ルーチンのフローチャート
【図１３】圧力損失検査プログラムのフローチャート
【図１４】感震器検査補助ルーチンのフローチャート
【図１５】感震器検査プログラムのフローチャート
【図１６】ゼロ点チューニング補助ルーチンのフローチャート
【図１７】ゼロ点チューニングプログラムのフローチャート
【図１８】チューニング補助ルーチンのフローチャート
【図１９】チューニングプログラムのフローチャート
【図２０】合否検査補助ルーチンのフローチャート
【図２１】合否自己検査プログラムのフローチャート
【図２２】器差性能検査補助ルーチンのフローチャート
【図２３】器差性能検査プログラムのフローチャート
【図２４】弁開度検査補助ルーチンのフローチャート
【図２５】弁開度自己検査プログラムのフローチャート
【符号の説明】
【００７９】
１０    ガス流量計
１５    遮断弁
１６    圧力センサ
２０，２１    超音波送受波器
４０    調整検査制御装置
５３    感震器
Ｈ１    オフセット補正値
ＰＧ１１    外部気密自己検査プログラム（外部気密自己検査手段）
ＰＧ１３    遮断弁自己検査プログラム（遮断弁自己検査手段）
ＰＧ１５    圧力センサ検査プログラム（圧力センサ検査手段）
ＰＧ１７    圧力損失検査プログラム（圧力損失検査手段）
ＰＧ１９    感震器検査プログラム（感震器検査手段）
ＰＧ２１    ゼロ点チューニングプログラム
ＰＧ２３    チューニングプログラム
ＰＧ２５    合否自己検査プログラム（合否自己検査手段）
ＰＧ２７    器差性能検査プログラム（器差性能検査手段）
ＰＧ２９    弁開度自己検査プログラム（弁開度自己検査手段）
ＰＧ１００  通常モード用信号処理プログラム
【図１】
2005337726.tif 000003
【図２】
2005337726.tif 000004
【図３】
2005337726.tif 000005
【図４】
2005337726.tif 000006
【図５】
2005337726.tif 000007
【図６】
2005337726.tif 000008
【図７】
2005337726.tif 000009
【図８】
2005337726.tif 000010
【図９】
2005337726.tif 000011
【図１０】
2005337726.tif 000012
【図１１】
2005337726.tif 000013
【図１２】
2005337726.tif 000014
【図１３】
2005337726.tif 000015
【図１４】
2005337726.tif 000016
【図１５】
2005337726.tif 000017
【図１６】
2005337726.tif 000018
【図１７】
2005337726.tif 000019
【図１８】
2005337726.tif 000020
【図１９】
2005337726.tif 000021
【図２０】
2005337726.tif 000022
【図２１】
2005337726.tif 000023
【図２２】
2005337726.tif 000024
【図２３】
2005337726.tif 000025
【図２４】
2005337726.tif 000026
【図２５】
2005337726.tif 000027