(57)【要約】【課題】  感度、解像性及び基板との密着性の全ての特性に優れる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】  本発明の感光性樹脂組成物は、（Ａ）アルカリ可溶性バインダーポリマーと、（Ｂ）少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）マレイン酸誘導体とを含むことを特徴とする。かかる感光性樹脂組成物は、光重合開始剤及びマレイン酸誘導体の両方を含んでいるため、光重合開始剤の含有量を少なくしたした場合であっても高感度を達成できる。このため、感光性樹脂組成物の解像度及び密着性も良好となり、これにより、高密度のレジストパターン及びプリント配線板の製造にも好適に応用できる。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）アルカリ可溶性バインダーポリマーと、（Ｂ）少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）マレイン酸誘導体と、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
【請求項２】
前記（Ｄ）マレイン酸誘導体が、イミド基の水素原子が置換基に置換された置換マレイミド化合物、２以上のマレイミド基を有するポリマレイミド、マレイミド及び無水マレイン酸からなる群より選ばれる少なくとも一つのマレイン酸誘導体であることを特徴とする請求項１記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記置換マレイミド化合物が、イミド基の水素原子がアルキル基に置換されたアルキルマレイミド、イミド基の水素原子が置換基を有するアルキル基に置換された置換アルキルマレイミド、イミド基の水素原子がアリール基に置換されたアリールマレイミド、及び、イミド基の水素原子が非炭素原子含有基の非炭素原子により置換された非炭素原子含有マレイミドからなる群より選ばれる少なくとも一つのマレイミド化合物であることを特徴とする請求項２記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記アルキルマレイミドが、下記一般式（１）で表されるマレイミドであることを特徴とする請求項３記載の感光性樹脂組成物。
【化１】
2005141084.tif 000015
［式中、Ｒ１は、炭素数１〜１０のアルキル基又は炭素数３〜１０のシクロアルキル基を示し、
Ｒ９１及びＲ９２はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基又はハロゲン原子を示す。
なお、Ｒ９１とＲ９２とは一緒になってイミド基の３位及び４位の炭素と共に５員環又は６員環構造を構成する２価の基を形成してもよい。］
【請求項５】
前記アルキルマレイミドが、メチルマレイミド、ｔ−ブチルマレイミド、ヘキシルマレイミド及びシクロへキシルマレイミドからなる群より選ばれる少なくとも１つのマレイミドであることを特徴とする請求項４記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
前記置換アルキルマレイミドが、下記一般式（２）で表されるマレイミドであることを特徴とする請求項３記載の感光性樹脂組成物。
【化２】
2005141084.tif 000016
［式中、Ｒ２１は炭素数１〜１０のアルキレン基又は炭素数３〜１０のシクロアルキレン基を示し、
Ｒ２２はハロゲン原子、ニトリル基、イソシアネート基、スルホン酸基、第４級アンモニウム基若しくは第４級アンモニウムの塩からなる基、又は、−ＯＲ２３、−ＳＲ２３、−ＳｉＨ２Ｒ２３、−ＯＣ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２３）２、−ＯＣ（Ｏ）Ｃ（Ｒ２３）＝ＣＨＲ２３、−ＯＣ（Ｏ）Ｒ２３、−Ｃ（Ｏ）Ｒ２３、−Ｎ（Ｒ２３）２、−Ｃ（Ｏ）ＯＲ２３、−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２３）２、−ＯＣ（Ｏ）ＯＲ２３、−Ｎ−Ｒ２４−Ｒ２５若しくは−Ｎ−Ｒ２４−Ｒ２６−Ｒ２５で表される基を示し、
前記Ｒ２３は、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アリールアルキル基又はアルキルアリール基を示し、
前記Ｒ２４はアリーレン基を示し、
前記Ｒ２５はハロゲン原子、炭素数１〜４のアルキル基、ニトリル基、イソシアネート基、スルホン酸基、第４級アンモニウム基若しくは第４級アンモニウムの塩からなる基、又は、−ＯＲ２３、−ＳＲ２３、−ＳｉＨ２Ｒ２３、−ＯＣ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２３）２、−ＯＣ（Ｏ）Ｃ（Ｒ２３）＝ＣＨＲ２３、−ＯＣ（Ｏ）Ｒ２３、−Ｃ（Ｏ）Ｒ２３、−Ｎ（Ｒ２３）２、−Ｃ（Ｏ）ＯＲ２３、−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２３）２若しくは−ＯＣ（Ｏ）ＯＲ２３で表される基を示し、
前記Ｒ２６はアルキレン基、アリーレン基及びシクロアルキレン基からなる群より選ばれる少なくとも１つの基から構成される２価の基を示し、
Ｒ９１及びＲ９２はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基又はハロゲン原子を示す。
なお、Ｒ９１とＲ９２とは一緒になってイミド基の３位及び４位の炭素と共に５員環又は６員環構造を構成する２価の基を形成してもよい。］
【請求項７】
前記置換アルキルマレイミドが、ヒドロキシメチルマレイミド、ヒドロキシエチルマレイミド、トリエチレングリコールビスカーボネートビスエチルマレイミド、２−エチルカーボネートエチルマレイミド、２−イソプロピルウレタンエチルマレイミド、２−アクリロイルエチルマレイミド、アセトキシエチルマレイミド、イソホロンウレタンビスエチルマレイミド、ビスエチルマレイミドカーボネート、４，９−ジオキサ−１，１２−ドデカンビスマレイミド、ビスプロピルマレイミド及びドデカン−Ｎ，Ｎ’−ビスマレイミドからなる群より選ばれる少なくとも１つのマレイミドであることを特徴とする請求項６記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記アリールマレイミドが、下記一般式（３）で表されるマレイミドであることを特徴とする請求項３記載の感光性樹脂組成物。
【化３】
2005141084.tif 000017
［式中、Ｒ３１は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、ハロゲン化アルキル基、シクロアルキル基、ニトリル基若しくはアリール基、又は−ＣＯＯＲ３２、−ＣＯＲ３２、−ＯＲ３２、−ＳＲ３２若しくは−Ｎ（Ｒ３２）２で表される基を示し、
前記Ｒ３２は、アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基を示し、
Ｒ９１及びＲ９２はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基又はハロゲン原子を示し、
ｐは１〜５の整数を示す。
なお、Ｒ３１が複数存在する場合、それぞれは同一でも異なっていてもよく、また、Ｒ９１とＲ９２とは一緒になってイミド基の３位及び４位の炭素と共に５員環又は６員環構造を構成する２価の基を形成してもよい。］
【請求項９】
前記アリールマレイミドが、フェニルマレイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−ｔ−ブチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニル）メチルマレイミド、Ｎ−（２，４，６−イソプロピル−３−マレイミドフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−ヨードフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−ブロモ−３，５−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド、ジ（４−マレイミドフェニル）メタン、Ｎ−（２−クロロフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−ブロモフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−フルオロフェニル）マレイミド及びＮ−（４−トリフルオロメチルフェニル）メタンからなる群より選ばれる少なくとも１つのマレイミドであることを特徴とする請求項８記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記非炭素原子含有マレイミドが、下記一般式（４）で表されるマレイミドであることを特徴とする請求項３記載の感光性樹脂組成物。
【化４】
2005141084.tif 000018
［式中、Ｒ４１は非炭素原子を有する２価の基を示し、
Ｒ４２は、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アルキルアリール基又はアリールアルキル基を示し、
Ｒ４３は、前記Ｒ４２で表される基（但し、水素原子を除く）から水素原子１つが除かれてなる２価の基を示し、
ｔは０又は１を示し、
Ｒ９１及びＲ９２はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基又はハロゲン原子を示す。
なお、Ｒ９１とＲ９２とは一緒になってイミド基の３位及び４位の炭素と共に５員環又は６員環構造を構成する２価の基を形成してもよい。］
【請求項１１】
前記ポリマレイミドが、下記一般式（５ａ）又は（５ｂ）で表されるマレイミドであることを特徴とする請求項２記載の感光性樹脂組成物。
【化５】
2005141084.tif 000019
［式中、Ｒ５１は単結合、アルキレン基、アリーレン基、オキシ基、カルボニル基、エステル基、カ−ボネート基及びウレタン基からなる群より選ばれる少なくとも１つの基から構成される２価の有機基を示し、
Ｒ５２は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン化アルキル基、アリール基若しくはニトリル基、又は、−ＣＯＯＲ５３、−ＣＯＲ５３、−ＯＲ５３、−ＳＲ５３若しくは−Ｎ（Ｒ５３）２で表される基を示し、
前記Ｒ５３はアルキル基、シクロアルキル基又はアリール基を示し、
Ｒ９１及びＲ９２はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基又はハロゲン原子を示し、
ｑは１〜（Ｒ５１の結合可能な結合手の数）の整数、ｍは１〜５の整数、ｒは５−ｍで表される数以下の整数を示す。
なお、Ｒ５２が複数存在する場合、それぞれは同一でも異なっていてもよく、また、Ｒ９１とＲ９２とは一緒になってイミド基の３位及び４位の炭素と共に５員環又は６員環構造を構成する２価の基を形成してもよい。］
【請求項１２】
前記（Ｂ）光重合性化合物が、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１３】
前記（Ｃ）光重合開始剤が、ベンゾフェノン系光重合開始剤であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１４】
支持体と、該支持体上に形成された請求項１〜１３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備えることを特徴とする感光性エレメント。
【請求項１５】
回路形成用基板上に、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を積層し、該感光性樹脂組成物層の所定の部分に活性光線を照射して光硬化した露光部を形成し、次いで、該露光部以外の部分を除去することを特徴とするレジストパターンの形成方法。
【請求項１６】
請求項１５記載のレジストパターンの形成方法によりレジストパターンの形成された回路形成用基板を、エッチング又はめっきすることを特徴とするプリント配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板の配線パターンを形成させるためのレジスト材料として、感光性樹脂組成物又はこれを用いた感光性エレメントが広く用いられている。感光性エレメントを用いて配線パターンの形成を行う場合、まず、この感光性エレメントを回路形成用の基板上にラミネートして感光性樹脂組成物層を金属箔上に形成させる。次に、この層にパターン露光して露光部を硬化させた後、現像により未硬化部を除去してレジストパターンを形成させる。そして、この基板をエッチング又はめっきして金属箔にパターンを形成し、得られた基板からレジストを除去することにより配線パターンを有する基板（プリント配線板）が得られる。
【０００３】
近年では、プリント配線板における配線パターンの高密度化に伴って、使用されるレジスト材料には、高感度且つ高解像性であり、さらに基板（或いは基板上の金属箔）との密着性にも優れるといった特性が求められている。このため、これらの特性の向上を目的として種々の感光性樹脂組成物が検討されている。
【０００４】
上述の感度及び解像度の特性は、感光性樹脂組成物に含有させる光重合開始剤の種類又は量に大きく依存する。このため、これらの特性を向上させ得る光重合開始剤が広く探索されており、例えば、下記特許文献１、２、３、４、５等に記載の開始剤が高感度化を達成し得る開始剤として見出された。しかし、これらの光重合開始剤は、配線パターン形成時に実施されるめっき工程においてめっき浴を汚染してしまうといった不都合があった。
【０００５】
そこで、めっき浴汚染性の低い光重合開始剤である２，４，５−トリフェニルイミダゾール二量体を用い、この開始剤と水素供与性化合物を組み合わせることによって高感度且つ低めっき浴汚染性を実現した感光性樹脂組成物が提案されている（例えば、特許文献６参照。）。しかし、この感光性樹脂組成物を用いる場合には、充分な感度を得るために光重合開始剤又は水素供与性化合物を多量に用いる必要があった。このようにして光重合開始剤の含有量が過剰になると、感光性樹脂組成物の解像度が低下して得られるレジストパターンの線幅が太くなる傾向にある。一方、水素供与性化合物の含有量が過剰になると、金属箔に対する密着性が低下するとともに感光性樹脂組成物の保存安定性が低下する傾向にある。
【０００６】
さらに、上述の光重合開始剤を用いた場合には、以下に示すような不都合を生じる場合もあった。例えば、露光後の感光性樹脂組成物中に光重合開始剤やその分解物が残存してしまう場合があり、この残存物によって感光性樹脂組成物の硬化速度の低下や、退色や酸化的分解に対する耐性の低下等が引き起こされる場合があった。また、光重合開始剤としては、光の吸収効率を向上させるために芳香環を有する化合物が多く用いられており、このため、熱等の影響によって硬化物が黄変してしまうことが多かった。
【０００７】
これらの光重合開始剤を用いた場合に生じる欠点を解消した感光性樹脂組成物として、マレイミド系の化合物を含有させたものが知られている。例えば、電子受容体であるマレイミド化合物と電子供与体とを組み合わせて含有し、この組み合わせにより生じる電荷移動錯体を経由して光重合を行う感光性樹脂組成物（例えば、特許文献７、非特許文献１参照。）や、マレイミド誘導体を光重合させる感光性樹脂組成物（例えば、非特許文献２参照。）、又は、マレイミド誘導体を含有する感光性樹脂組成物（例えば、特許文献８、９、１０参照。）等が知られている。
【０００８】
また、マレイミド系の化合物のなかでは、ペンダント型マレイミドが光架橋（［２＋２］の光環化二量化反応）することも知られている。このようなペンダント型マレイミドとしては、側鎖にα−アリールマレイミド基を有する光架橋可能な重合体（例えば、特許文献１１、１２、１３参照。）や、アルキル置換基を有する側鎖型マレイミド基を有する重合体（例えば、特許文献１４、１５参照。）が知られている。
【特許文献１】独国特許発明２０２７４６７号明細書
【特許文献２】欧州特許出願公開第１１７８６号明細書
【特許文献３】欧州特許出願公開第２２０号明細書
【特許文献４】欧州特許出願公開第５８９号明細書
【特許文献５】特開平６−６９６３１号公報
【特許文献６】米国特許第３４７９１８５号明細書
【特許文献７】特開平６−２９８８１７号公報
【特許文献８】特開昭６１−２５００６４号公報
【特許文献９】特開昭６２−６４８１３号公報
【特許文献１０】特開昭６２−７９２４３号公報
【特許文献１１】特開昭４９−５８１９６号公報
【特許文献１２】特開昭５０−１２３１３８号公報
【特許文献１３】特開昭５１−４７９４０号公報
【特許文献１４】特開昭５２−９８８号公報
【特許文献１５】特開昭５５−１６００１０号公報
【非特許文献１】「ポリマー・プレプリンツ（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｐｒｅｐｒｉｎｔｓ）」、１９９６年、第３７巻、ｐ．３４８−３４９
【非特許文献２】「ポリマー・レターズ（Ｐｏｌｙｍｅｒ  Ｌｅｔｔｅｒｓ）」、１９９６年、第６巻、ｐ．８８３−８８８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、これらのマレイミド系の化合物を含有させた感光性樹脂組成物は、上述した光重合開始剤を含有させたものに比して光の照射に対する硬化速度が遅く、短時間では充分な感度が得られない傾向にあった。また、上述のペンダント型マレイミドを用いた場合、レジストパターン形成時の光の照射による露光部の硬化及び溶媒への不溶化の度合が小さく、また、この場合の光架橋には数十秒〜数分の長時間、過剰の光量で光照射を行う必要があるため、レジスト材料としての実用性に乏しかった。このように、上記従来のマレイミド系化合物を含む感光性樹脂組成物は、光重合開始剤を用いた場合に比べて密着性や感光性樹脂組成物の保存安定性においては優れているものの、感度や解像度の特性において劣る場合が多く、高密度のプリント配線板を製造するためには、未だその特性が不充分であった。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、感度、解像性及び基板との密着性の全ての特性に優れており、且つ保存安定性にも優れる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。本発明はまた、上記感光性樹脂組成物を用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、本発明は、（Ａ）アルカリ可溶性バインダーポリマー（以下、単に「バインダーポリマー」という。）と、（Ｂ）少なくとも１つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物（以下、単に「光重合性化合物」という。）と、（Ｃ）光重合開始剤（以下、単に「開始剤」という。）と、（Ｄ）マレイン酸誘導体と、を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物を提供する。
【００１２】
本発明の感光性樹脂組成物は、バインダーポリマー及び光重合性化合物からなる基本組成に光重合開始剤とマレイミド系化合物に代表されるマレイン酸誘導体とを組み合わせて含有している。このため、光重合開始剤との相乗効果により、マレイン酸誘導体を単独で含有させた場合に比べて高い光感度を発揮する。この結果、開始剤の含有量を、上述したような開始剤に起因する問題が生じない程度に抑制した場合であっても、感光性樹脂組成物は良好な感度で露光される。また、このように開始剤の含有量を少なくすることができることから、過剰量の開始剤に起因する基板との密着性の低下が抑制され、硬化後の膜の機械的強度も良好となり、さらに、保存時の安定性も大幅に向上するようになる。
【００１３】
ここで、上記マレイン酸誘導体としては、イミド基の水素原子が置換基に置換された置換マレイミド化合物、２以上のマレイミド基を有するポリマレイミド、マレイミド及び無水マレイン酸からなる群より選ばれる少なくとも一つのマレイン酸誘導体が挙げられる。
【００１４】
なかでも、マレイン酸誘導体としては、置換マレイミド化合物が好ましく、かかる置換マレイミド化合物としては、イミド基の水素原子がアルキル基に置換されたアルキルマレイミド、イミド基の水素原子が置換基を有するアルキル基に置換された置換アルキルマレイミド、イミド基の水素原子がアリール基に置換されたアリールマレイミド、及び、イミド基の水素原子が非炭素原子含有基の非炭素原子により置換された非炭素原子含有マレイミドからなる群より選ばれる少なくとも一つのマレイミド化合物が好ましい。
【００１５】
具体的には、アルキルマレイミドとしては、下記一般式（１）で表されるマレイミドが例示できる。
【化１】
2005141084.tif 000002
［式中、Ｒ１は、炭素数１〜１０のアルキル基又は炭素数３〜１０のシクロアルキル基を示し、Ｒ９１及びＲ９２はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基又はハロゲン原子を示す。なお、Ｒ９１とＲ９２とは一緒になってイミド基の３位及び４位の炭素と共に５員環又は６員環構造を構成する２価の基を形成してもよい。］
【００１６】
上記式（１）で表されるアルキルマレイミドとしては、メチルマレイミド、ｔ−ブチルマレイミド、ヘキシルマレイミド及びシクロへキシルマレイミドからなる群より選ばれる少なくとも１つのマレイミドが好ましい。
【００１７】
また、置換アルキルマレイミドとしては、下記一般式（２）で表されるマレイミドが例示できる。
【化２】
2005141084.tif 000003
［式中、Ｒ２１は炭素数１〜１０のアルキレン基又は炭素数３〜１０のシクロアルキレン基を示し、Ｒ２２はハロゲン原子、ニトリル基、イソシアネート基、スルホン酸基、第４級アンモニウム基若しくは第４級アンモニウムの塩からなる基、又は、−ＯＲ２３、−ＳＲ２３、−ＳｉＨ２Ｒ２３、−ＯＣ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２３）２、−ＯＣ（Ｏ）Ｃ（Ｒ２３）＝ＣＨＲ２３、−ＯＣ（Ｏ）Ｒ２３、−Ｃ（Ｏ）Ｒ２３、−Ｎ（Ｒ２３）２、−Ｃ（Ｏ）ＯＲ２３、−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２３）２、−ＯＣ（Ｏ）ＯＲ２３、−Ｎ−Ｒ２４−Ｒ２５若しくは−Ｎ−Ｒ２４−Ｒ２６−Ｒ２５で表される基を示し、Ｒ２３は、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アリールアルキル基又はアルキルアリール基を示し、Ｒ２４はアリーレン基を示し、Ｒ２５はハロゲン原子、炭素数１〜４のアルキル基、ニトリル基、イソシアネート基、スルホン酸基、第４級アンモニウム基若しくは第４級アンモニウムの塩からなる基、又は、−ＯＲ２３、−ＳＲ２３、−ＳｉＨ２Ｒ２３、−ＯＣ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２３）２、−ＯＣ（Ｏ）Ｃ（Ｒ２３）＝ＣＨＲ２３、−ＯＣ（Ｏ）Ｒ２３、−Ｃ（Ｏ）Ｒ２３、−Ｎ（Ｒ２３）２、−Ｃ（Ｏ）ＯＲ２３、−Ｃ（Ｏ）Ｎ（Ｒ２３）２若しくは−ＯＣ（Ｏ）ＯＲ２３で表される基を示し、Ｒ２６はアルキレン基、アリーレン基及びシクロアルキレン基からなる群より選ばれる少なくとも１つの基からなる２価の基を示し、Ｒ９１及びＲ９２はそれぞれ独立に水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基又はハロゲン原子を示す。なお、Ｒ９１とＲ９２とは一緒になってイミド基の３位及び４位の炭素と共に５員環又は６員環構造を構成する２価の基を形成してもよい。］
【００１８】
このような置換アルキルマレイミドとしては、ヒドロキシメチルマレイミド、ヒドロキシエチルマレイミド、トリエチレングリコールビスカーボネートビスエチルマレイミド、２−エチルカーボネートエチルマレイミド、２−イソプロピルウレタンエチルマレイミド、２−アクリロイルエチルマレイミド、アセトキシエチルマレイミド、イソホロンウレタンビスエチルマレイミド、ビスエチルマレイミドカーボネート、４，９−ジオキサ−１，１２−ドデカンビスマレイミド、ビスプロピルマレイミド及びドデカン−Ｎ，Ｎ’−ビスマレイミドからなる群より選ばれる少なくとも１つのマレイミドが好ましい。
【００１９】
さらに、アリールマレイミドとしては、下記一般式（３）で表されるマレイミドが例示できる。
【化３】
2005141084.tif 000004
［式中、Ｒ３１は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、ハロゲン化アルキル基、シクロアルキル基、ニトリル基若しくはアリール基、又は−ＣＯＯＲ３２、−ＣＯＲ３２、−ＯＲ３２、−ＳＲ３２若しくは−Ｎ（Ｒ３２）２で表される基を示し、Ｒ３２は、アルキル基、シクロアルキル基又はアリール基を示し、Ｒ９１及びＲ９２はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基又はハロゲン原子を示し、ｐは１〜５の整数を示す。なお、Ｒ３１が複数存在する場合、それぞれは同一でも異なっていてもよく、また、Ｒ９１とＲ９２とは一緒になってイミド基の３位及び４位の炭素と共に５員環又は６員環構造を構成する２価の基を形成してもよい。］
【００２０】
このようなアリールマレイミドとしては、フェニルマレイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−ｔ−ブチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニル）メチルマレイミド、Ｎ−（２，４，６−イソプロピル−３−マロイミドフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−ヨードフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−ブロモ−３，５−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド、ジ（４−マレイミドフェニル）メタン、Ｎ−（２−クロロフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−ブロモフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−フルオロフェニル）マレイミド及びＮ−（４−トリフルオロメチルフェニル）メタンからなる群より選ばれる少なくとも１つのマレイミドが好ましい。
【００２１】
また、非炭素原子含有マレイミドとしては、下記一般式（４）で表されるマレイミドが例示できる。
【化４】
2005141084.tif 000005
［式中、Ｒ４１は非炭素原子を有する２価の基を示し、Ｒ４２は、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アルキルアリール基又はアリールアルキル基を示し、Ｒ４３は、前記Ｒ４２で表される基（但し、水素原子を除く。）から水素原子１つが除かれてなる２価の基を示し、ｔは０又は１を示し、Ｒ９１及びＲ９２はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基又はハロゲン原子を示す。なお、Ｒ９１とＲ９２とは一緒になってイミド基の３位及び４位の炭素と共に５員環又は６員環構造を構成する２価の基を形成してもよい。］
【００２２】
さらにまた、上記ポリマレイミドとしては、下記一般式（５ａ）又は（５ｂ）で表されるマレイミドが挙げられる。
【化５】
2005141084.tif 000006
［式中、Ｒ５１は単結合、アルキレン基、アリーレン基、オキシ基、カルボニル基、エステル基、カ−ボネート基及びウレタン基からなる群より選ばれる少なくとも１つの基から構成される２価の有機基を示し、Ｒ５２は、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、シクロアルキル基、ハロゲン化アルキル基、アリール基若しくはニトリル基、又は、−ＣＯＯＲ５３、−ＣＯＲ５３、−ＯＲ５３、−ＳＲ５３若しくは−Ｎ（Ｒ５３）２で表される基を示し、Ｒ５３はアルキル基、シクロアルキル基又はアリール基を示し、Ｒ９１及びＲ９２はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜１０のアルキル基、炭素数３〜１０のシクロアルキル基、アリール基、アルコキシ基又はハロゲン原子を示し、ｑは１〜（Ｒ５１の結合可能な結合手の数）の整数、ｍは１〜５の整数、ｒは５−ｍで表される数以下の整数を示す。なお、Ｒ５２が複数存在する場合、それぞれは同一でも異なっていてもよく、また、Ｒ９１とＲ９２とは一緒になってイミド基の３位及び４位の炭素と共に５員環又は６員環構造を構成する２価の基を形成してもよい。］
【００２３】
さらに、上記光重合性化合物としては、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物が好ましい。さらに、光開始剤としては、ベンゾフェノン系光重合開始剤が好ましい。
【００２４】
また、本発明による感光性エレメントは、上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を備えて好適なものであり、支持体と、この支持体上に形成された上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層とを備えることを特徴とする。
【００２５】
さらに、本発明によるレジストパターンの形成方法は、上記本発明の感光性樹脂組成物又は感光性エレメントを用いて有効な方法であって、回路形成用基板上に、上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を積層し、この感光性樹脂組成物層の所定の部分に活性光線を照射して光硬化した露光部を形成し、次いで、この露光部以外の部分を除去することを特徴とする。
【００２６】
こうしてレジストパターンが形成された回路形成用基板に回路（配線パターン）を形成することにより、プリント配線板を簡易に製造できる。すなわち、本発明によるプリント配線板の製造方法は、上記本発明のレジストパターンの形成方法によりレジストパターンの形成された回路形成用基板を、エッチング又はめっきすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
本発明の感光性樹脂組成物は、光開始剤とマレイン酸誘導体とを組み合わせて含有していることから、光開始剤の含有量を、光開始剤に起因する不都合が生じない程度の量とした場合であっても高い感度を達成し得る。また、バインダーポリマー及び光重合性化合物の基本組成からなるため、解像度に優れ、さらに基板との密着性にも優れるようになる。このような本発明の感光性樹脂組成物又はこれを用いた本発明の感光性エレメントを用いることにより、解像度及び密着性に優れたレジストパターンを形成することが可能となる。そして、こうしてレジストパターンが形成された回路形成用基板により、高密度の配線パターンを有するプリント配線板を製造し得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
【００２９】
本発明の感光性樹脂組成物は、上記（Ａ）バインダーポリマー、（Ｂ）光重合性化合物、（Ｃ）光開始剤及び（Ｄ）マレイン酸誘導体を含むことを特徴とするものである。以下、まず、各成分について説明する。
【００３０】
（バインダーポリマー）
バインダーポリマーとしては、例えば、ポリエステル樹脂、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、エポキシ系樹脂、アミド系樹脂、アミドエポキシ系樹脂、アルキド系樹脂、フェノール系樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられ、アクリル系樹脂が挙げられ、これらを単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。
【００３１】
このようなバインダーポリマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を有した単量体をラジカル重合等して得られたものが好ましい。エチレン性不飽和二重結合を有した単量体としては、例えば、スチレン、ビニルトルエン、α−メチルスチレン、ｐ−メチルスチレン、ｐ−エチルスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｐ−エトキシスチレン、ｐ−クロロスチレン、ｐ−ブロモスチレン等の重合可能なスチレン誘導体、ジアセトンアクリルアミド等のアクリルアミド、ビニル−ｎ−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエーテル類、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、（メタ）アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、２，２，２−トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、α−ブロモ（メタ）アクリル酸、α−クロル（メタ）アクリル酸、β−フリル（メタ）アクリル酸、β−スチリル（メタ）アクリル酸等の（メタ）アクリル酸系単量体、マレイン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、マレイン酸モノイソプロピル等のマレイン酸系単量体や、アクリロニトリル、フマル酸、ケイ皮酸、α−シアノケイ皮酸、イタコン酸、クロトン酸、プロピオール酸が例示可能である。これらは単独又は２種以上を組み合わせて用いることができる。なお、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸又はメタクリル酸をいうものとし、以下同様に、（メタ）アクリレートはアクリレート又はメタクリレート、（メタ）アクリロイルはアクリロイル又はメタクリロイルをいう。
【００３２】
本発明におけるバインダーポリマーは、アルカリ溶液を用いてアルカリ現像を行う場合に良好な現像性を得る観点から、カルボキシル基を有するポリマーの１種又は２種以上からなることが好ましい。このようなカルボキシル基を有するポリマーは、カルボキシル基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体とをラジカル重合させる等して製造することができる。
【００３３】
さらに、感光性樹脂組成物の硬化後の可とう性を向上させる見地からは、上記カルボキシル基を有するポリマーは、（メタ）アクリル酸と、この（メタ）アクリル酸と共重合し得るモノマーとの共重合体であることが好ましい。（メタ）アクリル酸と共重合し得るモノマーとしては、（メタ）アクリル酸アルキルエステルやスチレン系化合物（スチレン及び／又はスチレン誘導体）が挙げられ、これらの１種又は２種以上を用いることができる。なお、スチレン誘導体とはスチレンにおける水素原子が置換基（アルキル基等の有機基やハロゲン原子等）で置換されたものをいう。
【００３４】
カルボキシル基を有するポリマーとしては、特に（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸アルキルエステルとこれらと共重合しうるモノマーとの共重合体が好ましく、上記共重合しうるモノマーとしてはスチレン系化合物が好ましい。
【００３５】
（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ペンチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸ヘプチル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル及びこれらの構造異性体等が挙げられる。これらは単独で又は２種以上を組み合わせて用いることができる。
【００３６】
スチレン及び／又はスチレン誘導体を含有させる場合、その含有量は、バインダーポリマーの全重量中、０．１〜３０重量％であることが好ましく、１〜２８重量％であることがより好ましく、１．５〜２７重量％であることが更に好ましい。スチレン及び／又はスチレン誘導体を上記の範囲で含有させることにより、硬化物の密着性、剥離特性及び可撓性を向上させることができる。スチレン及び／又はスチレン誘導体の含有量が０．１重量％未満であると密着性が劣る傾向があり、また３０重量％を超えると、剥離片が大きくなり、剥離時間が長くなる傾向にある。
【００３７】
また、バインダーポリマーの酸価は、３０〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、４５〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましい。酸価が３０ｍｇＫＯＨ／ｇ未満では現像時間が長くなる傾向があり、２００ｍｇＫＯＨ／ｇを超えると光硬化した感光性樹脂組成物の耐現像液性が低下する傾向がある。また、現像工程として溶剤による現像を行う場合は、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和二重結合を有した単量体を少量に調製することが好ましい。
【００３８】
バインダーポリマーの重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定することができる（標準ポリスチレンを用いた検量線による換算）。この測定法によれば、バインダーポリマーのＭｗは、２０，０００〜３００，０００が好ましく、２５，０００〜１５０，０００がより好ましい。Ｍｗが２０，０００未満では耐現像液性が低下する傾向にあり、３００，０００を超えると現像時間が長くなる傾向にある。
【００３９】
上記のバインダーポリマーは任意に感光性基を有することができる。また、これらのバインダーポリマーは、単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。２種類以上を組み合わせて用いる場合のバインダーポリマーとしては、例えば、異なる共重合成分からなる２種類以上のバインダーポリマー、異なる重量平均分子量の２種類以上のバインダーポリマー、異なる分散度の２種類以上のバインダーポリマーなどが挙げられる。また、特開平１１−３２７１３７号公報記載のマルチモード分子量分布を有するポリマーを用いることもできる。
【００４０】
（光重合性化合物）
光重合性化合物としては、例えば、多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシポリブトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパン等のビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物等のウレタンモノマー、ノニルフェノキシポリエチレンオキシ（メタ）アクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−（メタ）アクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、β−ヒドロキシアルキル−β’−（メタ）アクリロイルオキシアルキル−ｏ−フタレート等のフタル酸系化合物、（メタ）アクリル酸アルキルエステル等が挙げられる。なかでも、ビスフェノールＡ系（メタ）アクリレート化合物、ウレタン結合を有する（メタ）アクリレート化合物、アルキレングリコールジ（メタ）アクリレート化合物、又はポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート化合物が好ましい。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４１】
上記多価アルコールにα，β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレン基の数が２〜１４であり、プロピレン基の数が２〜１４であるポリエチレン・ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４２】
上記２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシポリエトキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシジエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシトリエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシテトラエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシヘキサエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシヘプタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシオクタエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシノナエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシウンデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシドデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシトリデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシテトラデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシヘキサデカエトキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−５００（新中村化学工業（株）製、製品名）として商業的に入手可能であり、２，２−ビス（４−（メタクリロキシペンタデカエトキシ）フェニル）プロパンは、ＢＰＥ−１３００（新中村化学工業（株）製、製品名）として商業的に入手可能である。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４３】
また、上記２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシ）フェニル）プロパンとしては、例えば、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシジエトキシオクタプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシテトラエトキシテトラプロポキシ）フェニル）プロパン、２，２−ビス（４−（(メタ)アクリロキシヘキサエトキシヘキサプロポキシ）フェニル）プロパン等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４４】
上記ウレタンモノマーとしては、例えば、β位にＯＨ基を有する（メタ）アクリルモノマーとイソホロンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，４−トルエンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等のジイソシアネート化合物との付加反応物、トリス（(メタ）アクリロキシテトラエチレングリコールイソシアネート）ヘキサメチレンイソシアヌレート、ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。ＥＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業（株）製、製品名ＵＡ−１１等が挙げられる。また、ＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジ（メタ）アクリレートとしては、例えば、新中村化学工業（株）製、製品名ＵＡ−１３等が挙げられる。
【００４５】
なお、ＥＯはエチレンオキシドを示し、ＥＯ変性された化合物はエチレンオキシド基のブロック構造を有する。また、ＰＯはプロピレンオキシドを示し、ＰＯ変性された化合物はプロピレンオキシド基のブロック構造を有する。
【００４６】
上記ノニルフェノキシポリエチレンオキシ（メタ）アクリレートとしては、例えば、ノニルフェノキシテトラエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシペンタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシヘキサエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシヘプタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシオクタエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシノナエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート、ノニルフェノキシウンデカエチレンオキシ（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４７】
また、アクリル酸およびメタクリル酸、およびこれらのアミド、エステル、塩又は対応するニトリル等の（メタ）アクリルモノマーやビニル化合物等の反応性ビニルモノマーを用いることもできる。かかる反応性ビニルモノマーとしては、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸ｎ−又はｔ−ブチル、アクリル酸イソオクチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸２−エチルヘキシル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシエチルヘキシルメタクリレート等のヒドロキシ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジメチルメタクリレート、ヘキサメチレングリコールジメタクリレート等のグリコール（メタ）アクリレート、アリールメタクリレート、ジアリルメタクリレート等のアリール（メタ）アクリレート、グリシジルメタクリレート等のエポキシ（メタ）アクリレート、メラミンアクリレート等のアミノプラストアクリレート、ビニル又はビニリデンハライド、メタクリルアミド、アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド等の（メタ）アクリルアミド、スチレン、アルキルスチレン、ハロスチレン、アルコキシスチレン、ジビニルベンゼン、ビニルトルエン等のビニル芳香族、ビニル又はビニリデンエステル、ビニル又はビニリデンエーテル、ビニル又はビニリデンケトン、酢酸ビニル、ブタジエン等が例示可能である。これらは単独で又は２種類以上を組み合わせて用いることができる。
【００４８】
（光開始剤）
光開始剤としては、光開始剤又は増感剤として従来用いられている化合物の１種以上を特に制限なく用いることができる。かかる光開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、３−メチルベンゾフェノン、４−ベンゾイルビフェニル、Ｎ，Ｎ’−テトラメチル−４，４’−ジアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、４−モルホリノベンゾフェノン、４，４’−ジフェノキシベンゾフェノン、４，４’−ジ−（４−イソプロピルフェノキシ）ベンゾフェノン、４，４’−ジフェニルベンゾフェノン、４−フェニルベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物、チオキサントン、イソプロピルチオキサントン、フロロチオキサントン、１−メチル−２−（２−エチルヘキシルオキシ）チオキサントン、メチル−ｏ−ベンゾイルベンゾエート、アクリル酸−４−ベンゾイルフェニルエステル、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノ−プロパノン−１等の芳香族ケトン、アルキルアントラキノン等のキノン類、ベンゾインアルキルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、ベンゾイン、アルキルベンゾイン等のベンゾイン化合物、ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（メトキシフェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体、９−フェニルアクリジン、１，７−ビス（９，９′−アクリジニル）ヘプタン等のアクリジン誘導体、Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシン誘導体、クマリン系化合物などが挙げられる。なお、２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体における２つのアリール基の置換基は同一で対称な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。光重合開始剤としては、ベンゾフェノン化合物を含むベンゾフェノン系光重合開始剤が好ましい。光重合開始剤としてベンゾフェノン系光重合開始剤を用いることにより、感光性樹脂組成物の密着性及び感度を向上させることが可能となる。
【００４９】
（マレイン酸誘導体）
本発明の感光性樹脂組成物に含有させるマレイン酸誘導体としては、イミド基の水素原子が置換基に置換された置換マレイミド化合物、２以上のマレイミド基を有するポリマレイミド、マレイミド及び無水マレイン酸からなる群より選ばれる少なくとも一つのマレイン酸誘導体が挙げられる。このようなマレイン酸誘導体としては、マレイミド基を有するマレイミド系化合物が好ましい。
【００５０】
かかるマレイミド系化合物としては、イミド基の水素原子が置換基に置換された置換マレイミド化合物、２以上のマレイミド基を有するポリマレイミド、マレイミド等が挙げられ、なかでも置換マレイミド化合物又はポリマレイミドが好適である。
【００５１】
置換マレイミド化合物としては、イミド基の水素原子がアルキル基に置換されたアルキルマレイミド、イミド基の水素原子が置換基を有するアルキル基に置換された置換アルキルマレイミド、イミド基の水素原子がアリール基に置換されたアリールマレイミド、又は、イミド基の水素原子が非炭素原子含有基の非炭素原子により置換された非炭素原子含有マレイミドが挙げられ、これらの群より選ばれる少なくとも一つのマレイミド化合物を用いることができる。なかでも、アルキルマレイミド、置換アルキルマレイミド又はアリールマレイミドが、入手が容易で実用性に優れるため好ましい。以下、これらの置換マレイミド化合物について説明する。
【００５２】
アルキルマレイミドは、マレイミドにおける窒素原子がアルキル基により置換された化合物であり、上記一般式（１）で表される化合物が好ましい。上記一般式（１）で表されるアルキルマレイミドとしては、Ｒ１が炭素数１〜６のアルキル基又は炭素数３〜６のシクロアルキル基であり、Ｒ９１及びＲ９２が水素原子である化合物がより好ましい。このようなアルキルマレイミドとしては、メチルマレイミド、ｔ−ブチルマレイミド、へキシルマレイミド及びシクロへキシルマレイミドからなる群から選ばれる少なくとも１つのアルキルマレイミドがより好ましく、メチルマレイミド、ｔ−ブチルマレイミド又はシクロへキシルマレイミドが特に好ましい。
【００５３】
置換アルキルマレイミドは、マレイミドの窒素原子が、アルキル基を除く置換基を有するアルキル基により置換された化合物であり、上記一般式（２）で表される化合物が例示できる。上記一般式（２）で表される置換アルキルマレイミドにおいては、Ｒ２１は炭素数１〜３のアルキレン基が好ましく、Ｒ２２はヒドロキシル基、炭素数１〜６のアルキルカーボネート基、炭素数１〜６のアルキルカルバモイルオキシ基、（メタ）アクリロイル基及び炭素数１〜３のアシロキシ基からなる群より選ばれる少なくとも１つの基であることが好ましい。
【００５４】
このような置換アルキルマレイミドとしては、具体的には、ヒドロキシメチルマレイミド（下記化学式（６ａ）で表される化合物）、ヒドロキシエチルマレイミド（下記化学式（６ｂ）で表される化合物）、２−エチルカーボネートエチルマレイミド（下記化学式（６ｃ）で表される化合物）、２−イソプロピルウレタンエチルマレイミド（下記化学式（６ｄ）で表される化合物）、２−アクリロイルエチルマレイミド（下記化学式（６ｅ）で表される化合物）、アセトキシエチルマレイミド（下記化学式（６ｆ）で表される化合物）等が挙げられる。なかでも、２−エチルカーボネートエチルマレイミドが特に好ましい。
【００５５】
【化６】
2005141084.tif 000007
これらの置換アルキルマレイミドは、公知の製造方法により製造することができる。具体的には、例えば、Z .Y . Wang, Synth. Commn. , 20(11)1607-1610(1990)、P .O. Tawneyら,J .Org .Chem .,26 ,15(1961) 、米国特許第２，５４２，１４５号明細書等に記載された方法により製造可能である。
【００５６】
また、アリールマレイミドは、マレイミドにおけるイミド基の水素原子がアリール基で置換された化合物である。この場合のアリール基は更に置換基を有していてもよい。このようなアリールマレイミドとしては、上記一般式（３）で表される化合物が例示できる。
【００５７】
上記一般式（３）で表されるアリールマレイミドにおいては、Ｒ３１は水素原子、ハロゲン原子、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数３〜６のシクロアルキル基及びトリフルオロメチル基からなる群より選ばれる少なくとも１つの基が好ましい。また、Ｒ９１及びＲ９２としては水素原子が好ましい。
【００５８】
このようなアリールマレイミドとしては、具体的には、Ｎ−フェニルマレイミド（下記化学式（７ａ）で表される化合物）、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド（下記化学式（７ｂ）で表される化合物）、Ｎ−（２−ｔ−ブチルフェニル）マレイミド（下記化学式（７ｃ）で表される化合物）、α−メチル−Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド（下記化学式（７ｄ）で表される化合物）、Ｎ−（２−ヨードフェニル）マレイミド（下記化学式（７ｅ）で表される化合物）、Ｎ−（２−ブロモ−３，５−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド（下記化学式（７ｆ）で表される化合物）、Ｎ−（２−クロロフェニル）マレイミド（下記化学式（７ｇ）で表される化合物）、Ｎ−（２−ブロモフェニル）マレイミド（下記化学式（７ｈ）で表される化合物）、Ｎ−（２−フルオロフェニル）マレイミド（下記化学式（７ｉ）で表される化合物）、Ｎ−（４−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド（下記化学式（７ｊ）で表される化合物）等が例示できる。
【００５９】
【化７】
2005141084.tif 000008
【００６０】
これらのなかでも、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド、Ｎ−（２−ｔ−ブチルフェニル）マレイミド、α−メチル−Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドからなる群より選ばれる少なくとも１つのマレイミドがより好ましく、Ｎ−（２−トリフルオロメチルフェニル）マレイミド又はＮ−（２−ｔ−ブチルフェニル）マレイミドが特に好ましい。
【００６１】
さらに、非炭素原子含有マレイミドは、マレイミドにおけるイミド基の水素原子が、非炭素原子含有基の非炭素原子により置換されてなる化合物であり、上記一般式（４）で表される化合物が例示できる。
【００６２】
上記一般式（４）においては、Ｒ４１で表される基は、非炭素原子を有する２価の基であり、非炭素原子としてはＳｉ、Ｏ又はＮが挙げられる。このような２価の基としては、−ＳｉＨ２−、−Ｏ−、−ＮＨ−で表される基が好ましい。また、Ｒ４２で表される基は、アルキル基、シクロアルキル基、アリール基、アルキルアリール基及びアリールアルキル基からなる群より選ばれる少なくとも１つの基が好ましい。
【００６３】
本発明の感光性樹脂組成物に含有させるマレイン酸誘導体としては、上述した置換マレイミド化合物以外に、ポリマレイミドを用いることも好適である。かかるポリマレイミドは、２以上のマレイミド基を有する化合物であり、上記一般式（５ａ）又は（５ｂ）で表される化合物が例示できる。
【００６４】
上記一般式（５ａ）又は（５ｂ）においては、Ｒ５１としては、炭素数１〜４のアルキル基又は炭素数１〜１０のオキシアルキル基を側鎖に有していてもよい炭素数１〜１２のアルキレン基、炭素数１〜４のアルキル基又は炭素数１〜１０のオキシアルキル基を側鎖に有していてもよい炭素数３〜１２のシクロアルキレン基、炭素数１〜１２のオキシアルキレン基、置換基を有していてもよいアリーレン基、又は下記一般式（８ａ）〜（８ｅ）で表される２価の基が挙げられる。これらの２価の基としては、エチレングリコール、カルボネート、アリール、アルキルアリール、アリールアルキル等の化合物から誘導される酸素原子を１つ以上含む２価の基が好ましい。
【００６５】
【化８】
2005141084.tif 000009
【００６６】
式中、Ｒ８１及びＲ８２としては、それぞれ独立に、炭素数２〜１０のアルキレン基、炭素数３〜１０のシクロアルキレン基、オキシ基、カルボニル基及びイミノ基からなる群より選ばれる少なくとも一種の基から構成される２価の基が挙げられ、アルキレン基、オキシアルキレン基、又はイソホロンジイソシアネートから導かれる２価の基が好ましく、ｖは１〜１０の整数、ｗは０〜１０の整数が好ましい。
【００６７】
このようなポリマレイミドとしては、トリエチレングリコールビスカーボネートビスエチルマレイミド（下記化学式（９ａ）で表される化合物）、イソホロンビスウレタンビスエチルマレイミド（下記化学式（９ｂ）で表される化合物）、ビスエチルマレイミドカーボネート（下記化学式（９ｃ）で表される化合物）、４，９−ジオキサ−１，１２−デカンビスマレイミド（下記化学式（９ｄ）で表される化合物）、４，９−ジオキサ−１，１２−ドデカンビスマレイミド、ビスプロピルマレイミド（下記化学式（９ｅ）で表される化合物）、ドデカン−Ｎ，Ｎ’−ビスマレイミド（下記化学式（９ｆ）で表される化合物）、Ｎ−（２，４，６−イソプロピル−３−マロイミドフェニル）マレイミド（下記化学式（９ｇ）で表される化合物）、ジ（４−マレイミドフェニル）メタン（下記化学式（９ｈ）で表される化合物）、ジ（３，５−ジエチル−４−マレイミドフェニル）メタン（下記一般式（９ｉ）で表される化合物）等が例示でき、ジ（４−マレイミドフェニル）メタンが特に好ましい。
【００６８】
【化９】
2005141084.tif 000010
【００６９】
さらにまた、本発明の感光性樹脂組成物中に含有させるマレイン酸誘導体としては、下記一般式（１０ａ）で表されるマレイミドや、下記一般式（１０ｂ）で表される無水マレイン酸を用いることもでき、これらの化合物を用いた場合でも感度向上の効果は充分に奏される。なお、式中のＲ９１及びＲ９２は、上記と同義であり、特に水素原子が好ましい。
【００７０】
【化１０】
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【００７１】
以上、本発明の感光性樹脂組成物に用い得るマレイン酸誘導体を説明してきたが、これらのなかでも、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド及びジ（４−マレイミドフェニル）メタンからなる群より選ばれる少なくとも１つのマレイミドが特に好ましい。
【００７２】
上述したバインダーポリマー、光重合性化合物、光開始剤及びマレイン酸誘導体の４成分は、本発明の感光性樹脂組成物において、以下に示す配合量で混合されていることが好ましい。
【００７３】
まず、バインダーポリマーの配合量は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量１００重量部に対して、２０〜９０重量部とすることが好ましく、３０〜８５重量部とすることがより好ましく、４０〜８０重量部とすることが更に好ましい。この配合量が２０重量部未満では、光硬化物が脆くなりやすく、感光性エレメントとして用いた場合に塗膜性に劣る傾向があり、９０重量部を超えると、感度が不十分となる傾向がある。
【００７４】
また、光重合性化合物の配合量は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量１００重量部に対して、１０〜８０重量部とすることが好ましく、１５〜７０重量部とすることがより好ましく、２０〜６０重量部とすることが更に好ましい。この配合量が１０重量部未満では、感度が不十分となる傾向があり、８０重量部を超えると、光硬化物が脆くなる傾向がある。
【００７５】
さらに、光開始剤の配合量は、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量１００重量部に対して、０．０１〜２０重量部とすることが好ましく、０．０２〜１５重量部とすることがより好ましく、０．０３〜１０重量部とすることが特に好ましい。この配合量が、０．０１重量部未満では、充分な光感度が得られない傾向があり、２０重量部を越えると、露光の際に組成物の表面での光吸収が増加して、内部の光硬化が不充分となる傾向がある。
【００７６】
さらにまた、マレイン酸化合物の配合量は、バインダーポリマー及び光重合開始剤の総量１００重量部に対して、約０．００１〜１００重量部とすることが好ましく、約０．００５〜２０重量部とすることがより好ましく、約０．０１〜１０重量部とすることが更に好ましい。
【００７７】
（その他成分）
本発明の感光性樹脂組成物中には、上述した必須成分に加えて、その他の成分を１種以上添加することができる。
【００７８】
その他の成分としては、例えば、共開始剤や相乗剤として機能する、水素原子又は電子を供与する働きを有する水素原子供与体を含有させることができる。このような水素原子供与体としては、活性な水素原子を有する化合物を用いることができ、例えば、ヘテロ原子に隣接する炭素に水素原子を有するアルコール、第３級アミン又はエーテル等が例示できる。このような水素原子供与体としては、トリエタノールアミン、メチル−ジエタノールアミン、エチルジエタノールアミン、ジメチルアミノ安息香酸等が挙げられる。また、例えば、ポリエチレングリコールジアクリレートのように、光重合性化合物自体が上記のような活性な水素原子を分子中に有する場合も、上記の水素原子供与体を含有させた場合と同様の効果を得ることができる。
【００７９】
その他の成分として水素原子供与体を含有させる場合、水素原子供与体の含有量は、組成物の全重量に対して約０．１〜５重量％とすることができる。また、光重合性化合物自体が活性な水素原子を有している場合、共開始剤や相乗剤を別に含有させるのと同等の効果を得るためには、感光性樹脂組成物に含まれる全光重合性化合物中の活性な水素原子を有する光重合性化合物の重量が８５重量％以上であると好ましい。
【００８０】
さらに、感光性樹脂組成物中には、必要に応じて、少なくとも１つのカチオン重合可能な環状エーテル基を有する光重合性化合物（例えば、オキセタン化合物）、カチオン重合開始剤、マラカイトグリーン等の染料、トリブロモメチルフェニルスルホン、ロイコクリスタルバイオレット等の光発色剤、熱発色防止剤、ｐ−トルエンスルホンアミド等の可塑剤、顔料、充填材、消泡剤、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤等を、バインダーポリマー及び光重合性化合物の総量１００重量部に対して各々０．０１〜２０重量部程度含有することもできる。
【００８１】
このような本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、メタノール、エタノール、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、トルエン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、プロピレングリコールモノメチルエーテル等の有機溶媒又はこれらの混合溶媒に溶解又は分散させて固形分３０〜６０重量％程度のワニスとして用いることができる。
【００８２】
次に、本発明による感光性エレメントについて説明する。
【００８３】
本発明の感光性エレメントは、支持体と、この支持体上に形成された上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層とを備えるものであり、感光性樹脂組成物層上には、該感光性樹脂組成物層を被覆する保護フィルムを更に備えていてもよい。この場合、感光性樹脂組成物層の乾燥後の厚みは、１〜１００μｍ程度とすることができる。なお、本発明による感光性エレメントには、感光性樹脂組成物層、支持体及び保護フィルムの構成に加えて、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層を更に備えるものも含まれる。
【００８４】
感光性エレメントは、支持体としてポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等からなる厚さ１〜１００μｍ程度の重合体フィルムを用い、かかる支持体上に、上記の感光性樹脂組成物を塗布した後、乾燥することによって得ることができる。かかる塗布は、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法で行うことができる。また、乾燥は、感光性樹脂組成物中に残存する溶媒が揮発する程度に加熱することにより実施でき、通常、約７０〜１５０℃で５〜３０分間程度加熱される。乾燥後における感光性樹脂組成物層中の残存有機溶媒量は、後の工程での有機溶媒の拡散を防止する観点から、２重量％以下であることが好ましい。
【００８５】
この感光性エレメントにおける感光性樹脂組成物層を被覆する保護フィルムとしては、支持体に用いられるものと同様のフィルムが適用できるが、感光性樹脂組成物層との接着力が、支持体に用いたフィルムよりも小さいものが好ましく、また、低フィッシュアイであるものがより好ましい。
【００８６】
このような感光性エレメントは、例えば、そのままの平板状の形態で、又は円筒状の巻芯に巻きとったロールの形態で貯蔵することができる。後者の場合、巻芯としては、例えば、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂（アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体）等のプラスチック等を用いることができる。また、ロールの形態で貯蔵する場合、感光性樹脂組成物層上には保護フィルムを備えていることが望ましく、さらに、巻き取り時には支持体が最も外側になるように巻き取ることがより好ましい。このロール状の感光性エレメントの端面には、端面保護の見地から端面セパレータを設置し、加えて耐エッジフュージョンの見地から防湿端面セパレータを設置することが更に好ましい。これらの感光性エレメントを梱包して貯蔵する場合、梱包方法としては、透湿性の小さいブラックシートに包んで包装することが好ましい。
【００８７】
次に、本発明によるレジストパターンの形成方法について説明する。
【００８８】
本発明によるレジストパターンの形成方法においては、回路形成用基板上に、上記本発明の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層を積層させ、感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成させ、次いで、露光部以外の部分を除去する。
【００８９】
ここで、回路形成用基板としては、絶縁基板上に金属箔等の導電層が形成された積層基板や、このような導電層を有しない絶縁基板を用いることができる。導電層を有する積層基板は、例えば、プリント配線板の製造において導電層がエッチングされることにより配線パターンが形成されるサブトラクティブ法に適用される。一方、導電層を有しない絶縁基板は、めっきにより絶縁基板上に配線パターンが形成されるアディティブ法に適用される。
【００９０】
これらの回路形成用基板上への感光性樹脂組成物層の積層は、感光性樹脂組成物を好ましくはワニスの状態で基板上に塗布するか、又は上記本発明による感光性エレメントを用いる方法により実施することができる。塗布により積層する場合、かかる塗布には、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の方法を適用できる。また、感光性エレメントを用いる場合には、必要に応じて感光性エレメントにおける保護フィルムを除去した後、感光性樹脂組成物層を加熱しながら基板上に圧着する方法（ラミネート）により感光性樹脂組成物層の積層が可能である。後者の感光性エレメントを用いた積層の場合、密着性及び追従性の見地から減圧下で圧着を実施するのが好適である。また、圧着時の感光性樹脂組成物層の加熱温度は７０〜１３０℃であることが好ましく、圧力は０．１〜１．０ＭＰａ程度（１〜１０ｋｇｆ／ｃｍ2程度）とすることが好ましい。また、感光性樹脂組成物層を上記のように７０〜１３０℃に加熱すれば必ずしも必要ではないが、積層性をさらに向上させる観点からは、回路形成用基板の予熱処理を施しておくことも有効である。
【００９１】
こうして感光性樹脂組成物層の積層が完了した後、この感光性樹脂組成物層の所定部分に活性光線を照射して露光部を形成させる。露光部を形成させる方法としては、アートワークと呼ばれるネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射する方法が挙げられる。この際、感光性樹脂組成物層上に存在する支持体が活性光線に対して透明の場合には、支持体を通して活性光線を照射することができ、支持体が活性光線に対して不透明の場合には、支持体を除去した後に感光性樹脂組成物層に活性光線を照射する。
【００９２】
活性光線の光源としては、公知の光源を使用でき、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものが用いられる。また、写真用フラッド電球、太陽ランプ等の可視光を有効に放射するものも用いられ、更に、レーザー直接描画露光法を適用することも可能である。
【００９３】
かかる露光の後、感光性樹脂組成物層上に支持体が存在している場合には、支持体をオートピーラー等で除去した後、ウエット現像、ドライ現像等で露光部以外の部分を除去（現像）してレジストパターンを形成させる。本発明の感光性樹脂組成物を用いる場合、現像はウエット現像で行うことが好ましく、この場合、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤系現像液等の現像液を適宜選択し、これを用いてディップ方式、スプレー方式、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像する。
【００９４】
現像液としては、特にアルカリ性水溶液が安全かつ安定であり、さらに操作性が良好であるため好ましい。アルカリ性水溶液における塩基としては、例えば、リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等の水酸化アルカリ、リチウム、ナトリウム、カリウム若しくはアンモニウムの炭酸塩又は重炭酸塩等の炭酸アルカリ、リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等のアルカリ金属リン酸塩、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等のアルカリ金属ピロリン酸塩などが挙げられる。なかでも、０．１〜５重量％炭酸ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％炭酸カリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％水酸化ナトリウムの希薄溶液、０．１〜５重量％四ホウ酸ナトリウムの希薄溶液等が好ましい。これらのアルカリ性水溶液のｐＨは９〜１１であることが好ましく、また、その温度は感光性樹脂組成物層の現像性に合わせて調節することができる。さらに、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤や、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させても構わない。
【００９５】
現像後には、必要に応じて６０〜２５０℃程度の加熱又は０．２〜１０Ｊ／ｃｍ2程度の露光を行うことができる（後硬化工程）。このような加熱又は露光により、形成されたレジストパターンがさらに硬化され、基板との密着性や機械強度がさらに向上して、後述するエッチングやめっき工程における剥離等が更に生じ難くなる。
【００９６】
次に、本発明によるプリント配線板の製造方法について説明する。
【００９７】
本発明によるプリント配線板の製造方法は、上記本発明のレジストパターンの形成方法により、レジストパターンの形成された基板をエッチング（サブトラクティブ法）又はめっき（アディティブ法）した後、レジストパターンの除去を行うことを特徴とする方法である。
【００９８】
積層基板又は絶縁基板のエッチング及びめっきは、形成されたレジストパターンをマスクとして、基板の導体層等に対して行われる。エッチングは、塩化第二銅溶液、塩化第二鉄溶液、アルカリエッチング溶液、過酸化水素系エッチング液等をエッチング液として用い、これらの溶液中にレジストパターンの形成された回路形成用基板（導電層付き絶縁基板）を浸漬する等により実施される。本発明の感光性樹脂組成物に対しては、エッチング液としては、塩化第二鉄溶液がエッチファクタが良好であるため好ましい。
【００９９】
また、めっきは、例えば、硫酸銅めっき、ピロリン酸銅めっき等の銅めっき、ハイスローはんだめっき等のはんだめっき、ワット浴（硫酸ニッケル−塩化ニッケル）めっき、スルファミン酸ニッケルめっき等のニッケルめっき、ハード金めっき、ソフト金めっき等の金めっきなどが挙げられ、これらのめっき液中にレジストパターンが形成された回路形成用基板（導電層を有しない絶縁基板）を浸漬する等して実施される。なお、硫酸銅めっき等で銅からなる配線パターンを形成した場合は、銅パターンの保護を目的として、銅パターン上にはんだめっきを更に施してもよい。なお、めっきによる回路形成は、回路形成用基板として導電層付き絶縁基板用いた場合にも適用できる。この場合、導電層上にめっきを施し、後述する方法でレジストパターンを除去した後、レジストにより保護されておりめっきがなされなかった部位の導電層をソフトエッチング等により除去して配線パターンを形成させる。
【０１００】
エッチング又はめっき終了後、回路形成用基板上のレジストパターンを、例えば、現像に用いたアルカリ性水溶液よりさらに強アルカリ性の水溶液で剥離して基板上から除去することにより、絶縁基板上に所定の配線パターンを有するプリント配線板が得られる。レジストパターンの剥離に用いる強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜１０重量％水酸化ナトリウム水溶液、１〜１０重量％水酸化カリウム水溶液等が挙げられる。そして、これらの強アルカリ溶液を用い、浸漬方式、スプレー方式等の公知の方法を単独で又は組み合わせて実施することによりレジストパターンが除去される。
【０１０１】
以上によりプリント配線板が得られるが、本発明のプリント配線板の製造方法においては、上述した本発明の感光性樹脂組成物又は感光性エレメントを用いるため、パターン間隔を狭小にした場合であっても、高感度且つ高解像度で露光・現像を実施することができ、これにより良好なエッチング又はめっきが可能になる。その結果、プリント配線板における配線パターンの高密度化が実現される。なお、上記本発明のプリント配線板の製造方法は、単層のプリント配線板の製造に限定されるものではなく、多層プリント配線板の製造にも好適に応用できる。
【実施例】
【０１０２】
以下、本発明を好適な実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
【０１０３】
［バインダーポリマーの合成］
（合成例１）
撹拌機、還流冷却器、温度計、滴下ロート及び窒素ガス導入管を備えたフラスコに、メチルセロソルブ：トルエンが重量比３：２で混合された混合溶媒７００ｇを加え、窒素ガスを吹き込みながら８５℃に加熱し撹拌した。この混合溶媒中に、メタクリル酸１１０ｇ、メチルメタクリレート２２５ｇ、エチルアクリレート１３５ｇ、スチレン３０ｇ及びアゾビスイソブチロニトリル３ｇを予め混合して得られた溶液を４時間かけて滴下した後、８５℃で撹拌しながら２時間保温した。次いで、上記と同様の混合溶媒６０ｇにアゾビスイソブチロニトリル０．３ｇを溶解した溶液を、１０分かけて上記フラスコ内に滴下した。その後、得られた溶液を撹拌しながら８５℃で５時間保温した後、冷却して、バインダーポリマーである重合体を得た。得られた重合体は、不揮発分が４１．８重量％、重量平均分子量が８４，０００であった。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算した値である。
【０１０４】
［感光性樹脂組成物の調製］
（実施例１〜３、比較例１）
まず、表１に示すバインダーポリマー（Ａ成分）、光重合性化合物（Ｂ成分）、光開始剤（Ｃ成分）及びその他の成分を配合して第１の溶液を得た。
【０１０５】
【表１】
2005141084.tif 000012
【０１０６】
なお、表中、ＨＤＤＡは１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ＵＡ−１３はＥＯ，ＰＯ変性ウレタンジメタクリレート、ＭＥＣＨＰＰはγ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β’−メタクリロイルオキシエチル−ｏ−フタレート、ＢＰはベンゾフェノン、Ｃｌ−ＨＡＢＩは２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルイミダゾール二量体、ＥＡＢはジエチルアミノベンゾフェノンをそれぞれ示す。
【０１０７】
次いで、得られた第１の溶液に表２に示すマレイン酸誘導体（Ｄ成分）を溶解して、実施例１〜３及び比較例１の感光性樹脂組成物の溶液を得た。
【０１０８】
【表２】
2005141084.tif 000013
【０１０９】
なお、式中、ＭＭＩはＮ−メチルマレイミド、ＰＭＩはＮ−フェニルマレイミド、ＢＭＩはジ（４−マレイミドフェニル）メタンをそれぞれ示す。
【０１１０】
［感光性エレメントの製造］
（実施例４〜６、比較例２）
実施例１〜３及び比較例１の感光性樹脂組成物の溶液を、幅３８０ｍｍ×厚さ２０μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（ＰＥＴフィルム、支持体）上に乾燥後の膜厚が４０μｍとなるようにそれぞれ塗布して感光性樹脂組成物層を形成させた。次に、塗布された感光性樹脂組成物層を熱風対流式乾燥機により１００℃で乾燥させた後、感光性樹脂組成物層上に厚さ３５μｍのポリエチレンフィルム（保護フィルム）を載せて、ロールで加圧することにより被覆し、実施例４〜６、比較例２の感光性エレメントを得た。なお、実施例１〜３の感光性樹脂組成物を用いた場合が実施例４〜６に、比較例１の感光性樹脂を用いた場合が比較例２にそれぞれ該当する。
【０１１１】
［光感度、密着性及び解像度の評価］
銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積層したガラスエポキシ材である銅張積層板（日立化成工業社製、ＭＣＬ−Ｅ−６７）の銅表面を、スコッチブライトバフロール（住友スリーエム社製）で研磨して水洗を行った後、空気流で乾燥した。この銅張積層板を６０℃に加温し、銅面上に実施例４〜６、比較例２の感光性エレメントを、銅面に感光性樹脂組成物層が向くようにして、１１０℃に加熱しながら感光性樹脂組成物層を積層して特性評価用試料を得た。
【０１１２】
得られたそれぞれの特性評価用試料について、光感度、密着性及び解像度を以下に示す方法で評価した。結果をまとめて表３に示す。
【０１１３】
（光感度）
特性評価用試料の感光性樹脂組成物層上に、ネガとしてストーファー４１段ステップタブレットを置いて、高圧水銀灯ランプを有する露光機（オーク社製、ＨＭＷ２０１ＧＸ）を用いて、露光量３０、６０、１２０ｍＪ／ｃｍ２で露光した。露光後、室温で３０分間放置した後、ＰＥＴフィルムを剥離し、３０℃の１重量％炭酸ナトリウム水溶液をスプレーすることにより、未露光部分を除去した。その後、形成された硬化膜のステップタブレットの段数を測定し、ステップタブレットが２３段／４１段残る露光量を計算することにより、光感度を評価した。光感度は露光量で示され、ステップタブレットが２３段／４１段を与える露光量が小さいほど光感度が高いことを意味する。
【０１１４】
（密着性及び解像度）
特性評価用試料の感光性樹脂組成物層上に、ライン幅／スペース幅が３０／４００〜２００／４００（密着性評価用、単位：μｍ）の配線パターンを有するフォトツール、又は３０／３０〜２００／２００（解像度評価用、単位：μｍ）の配線パターンを有するフォトツールを密着させ、光感度評価と同様の手段を用いて、各試験片のステップタブレットが２３段／４１段を与える露光量で露光した後、未露光部分を除去した。密着性及び解像度は、それぞれの評価用のフォトツールを用いて露光・現像を行った物性評価用試料において、現像後に剥離せずに残った最小ライン幅（μｍ）を測定することによって求めた。これらの幅が小さいほど密着性又は解像度が優れていることを示す。
【０１１５】
【表３】
2005141084.tif 000014