(57)【要約】【課題】ダイヤフラムポンプにおいて、可変容積室に連なる吸入側と吐出側の流路を簡単な構成で薄型かつ液密に構成する。【解決手段】ハウジングの凹部（ダイヤフラム）と反対側の面に、該凹部と連通する吸入側流路溝と吐出側流路溝と、この吸入側流路溝と吐出側流路溝の形成エリアを含んで蓋板嵌込凹部を形成し、この蓋板嵌込凹部に、入口側流路溝と吐出側流路溝を閉塞して吸入側流路と吐出側流路を構成する蓋板を嵌め込み、さらにこの蓋板を該蓋板より平面形状が大きくハウジングに接着される接着フィルムで覆ってハウジングに固定したダイヤフラムポンプ。【選択図】  図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングに形成した凹部とこの凹部を閉塞するダイヤフラムとによって可変容積室を形成し、ダイヤフラムを振動させることによりポンプ作用を得るダイヤフラムポンプにおいて、
上記ハウジングの凹部と反対側の面に形成した、上記凹部と連通する吸入側流路溝と吐出側流路溝と、
この吸入側流路溝と吐出側流路溝の形成エリアを含んでハウジングに形成した蓋板嵌込凹部と、
この蓋板嵌込凹部に嵌め込まれ、上記入口側流路溝と吐出側流路溝を閉塞して吸入側流路と吐出側流路を構成する蓋板と、
この蓋板より平面形状が大きく、該蓋板を覆ってハウジングに接着する接着フィルムと、
を有することを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
請求項１記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記接着フィルムは、合成樹脂材料または金属箔材料からなり、厚さが０．０２〜０．１５ｍｍであるダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
請求項１または２記載のダイヤフラムポンプにおいて、ハウジングと接着フィルムを接着する接着剤は、接着フィルムと同等あるいは該接着フィルムより軟らかい材料からなっているダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記蓋板は、入口側流路溝と吐出側流路溝を一緒に覆っているダイヤフラムポンプ。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記ハウジングは、ダイヤフラムを挟んで一対が設けられており、この一対のハウジングにそれぞれ、該ダイヤフラムの表裏に可変容積室を形成する上記凹部、この凹部の反対側の面に形成された上記吸入側流路溝と吐出側流路溝、この入口側流路溝と吐出側流路溝を閉塞して吸入側流路と吐出側流路を構成する上記蓋板、及び上記接着フィルムが設けられているダイヤフラムポンプ。
【請求項６】
請求項１ないし５のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記ダイヤフラムは圧電振動子または電歪振動子であるダイヤフラムポンプ。
【請求項７】
請求項１ないし５のいずれか１項記載のダイヤフラムポンプにおいて、上記ダイヤフラムはバイモルフ型圧電振動子であるダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイヤフラムポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ダイヤフラムポンプは、ハウジングに形成した凹部とこの凹部を閉塞するダイヤフラムとによって可変容積室を形成し、ダイヤフラムを振動させることによりポンプ作用を得るポンプとして知られている。ダイヤフラムは、ゴム、圧電振動子等の弾性（振動）可能な材料から構成される。
【０００３】
このダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムを含む可変容積室を薄型にできることから、薄型のポンプとして例えば水冷ノートパソコンの冷却水循環ポンプとして用いられつつある。
【０００４】
このダイヤフラムポンプにおいては、ダイヤフラムとの間に可変容積室を形成するハウジングに、可変容積室に通ずる吸入側と吐出側の流路を形成する必要がある。
【特許文献１】特開平８-２６１１５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、ダイヤフラムポンプにおいて、可変容積室に連なる吸入側と吐出側の流路を簡単な構成で薄型かつ液密に構成することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、ハウジングに吸入側流路溝と吐出側流路溝を形成し、この吸入側流路溝と吐出側流路溝とを閉塞する蓋板とによって流路を形成するという基本構成を採用しつつ、Ｏリング等のシール部材を必要とすることなく、簡単に流路を形成できる構造を発案したものである。
【０００７】
本発明は、ハウジングに形成した凹部とこの凹部を閉塞するダイヤフラムとによって可変容積室を形成し、ダイヤフラムを振動させることによりポンプ作用を得るダイヤフラムポンプにおいて、ハウジングの凹部と反対側の面に、上記凹部と連通する吸入側流路溝と吐出側流路溝と、この吸入側流路溝と吐出側流路溝の形成エリアを含んで蓋板嵌込凹部を形成し、この蓋板嵌込凹部に、入口側流路溝と吐出側流路溝を閉塞して吸入側流路と吐出側流路を構成する蓋板を嵌め込み、さらにこの蓋板を該蓋板より平面形状が大きくハウジングに接着される接着フィルムで覆ってハウジングに固定したことを特徴としている。
【０００８】
接着フィルムは、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＰ（ポリプロピレン）などの合成樹脂材料または、アルミニウム、ステンレスなどの金属箔材料から構成し、厚さを０．０２〜０．１５ｍｍとすることが好ましい。また、接着剤はアルソル系粘着材料等が好ましい。また、接着剤は接着フィルムと同等あるいは該接着フィルムより柔らかい材料であると、接着フィルムの柔軟性を損なわずにクラックによる水漏れや脈流への悪影響を防止することができる。なお、粘着剤が予め接着フィルムに固定されている態様であると作業性が良い。
【０００９】
蓋板は、入口側流路溝と吐出側流路溝を別々に塞ぐ蓋板としてもよいが、吸入側流路溝と吐出側流路溝を一緒に塞ぐ蓋板とするのが好ましい。
【００１０】
また、ダイヤフラムは、該ダイヤフラムの上下にそれぞれ対向して可変容積室を形成する凹部を有する一対のハウジングに挟着支持し、この一対のハウジングにそれぞれ、該ダイヤフラムの表裏に可変容積室を形成する凹部、この凹部の反対側の面に形成された上記吸入側流路溝と吐出側流路溝、この入口側流路溝と吐出側流路溝を閉塞して吸入側流路と吐出側流路を構成する蓋板、及び接着フィルムを設けることが好ましい。
【００１１】
逆止弁はアンブレラから構成することができる。また、ダイヤフラムは圧電振動子または電歪振動子から構成することができる。特にバイモルフ型圧電振動子が好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ダイヤフラムポンプにおいて、可変容積室に連なる吸入側と吐出側の流路を簡単な構成で薄型かつ液密に構成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
図１ないし図９は、薄型化及び脈動周期を半分にすることを同時に目的としたダイヤフラムポンプに本発明を適用した実施形態である。本ダイヤフラムポンプは、アッパハウジング１０、ロアハウジング２０、圧電振動子（ダイヤフラム）３０、及び４つのアンブレラ（逆止弁）１７、１８、２７、２８を基本的な構成要素としている。圧電振動子３０を挟着するアッパハウジング１０とロアハウジング２０は全体として平板状であり、略面対称形状をしているが、ロアハウジング２０には平面円形をなす圧電振動子３０の円形収納凹部２１（図４）が形成され、アッパハウジング１０にはこの円形収納凹部２１に嵌まり込んで、該円形収納凹部２１との間に圧電振動子３０を挟着する円形凸部１１（図４）が形成されている。またロアハウジング２０には、吸入ポート３１と吐出ポート３２が形成されている。
【００１４】
アッパハウジング１０とロアハウジング２０にはそれぞれ、図４ないし図５に示すように、円形凸部１１と円形収納凹部２１と同心の回転対称凹部１２と２２が形成されている。回転対称凹部１２と２２はそれぞれ中心部が最も深く周辺部にかけて徐々に浅くなる断面階段状をなしている。回転対称凹部１２と２２の外側には、Ｏリング収納凹部１３ａと２３ａが形成されており、このＯリング収納凹部１３ａと２３ａに嵌められたＯリング１３と２３は、円形収納凹部２１に収納された圧電振動子３０の上下（表裏）に接触して、該圧電振動子３０の上下に可変容積室（ポンプ室）１４と可変容積室（ポンプ室）２４を形成する。
【００１５】
ロアハウジング２０に形成された吸入ポート３１と吐出ポート３２は、図２ないし図６に明らかなように、その中心が圧電振動子３０の平面高さと同じ平面高さに位置して互いに平行をなしている。この吸入ポート３１と吐出ポート３２の内端部は、吸入側交互室３１ａと吐出側交互室３２ａを構成する。
【００１６】
アッパハウジング１０には、回転対称凹部１２の反対側の面に、吸入ポート３１と吐出ポート３２の延長方向と平面的に同じ位置に位置させて、互いに平行に吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６が形成されている。吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６の内側端部は、平面的に見て回転対称凹部１２の最深部分に達しており、貫通穴１５ａと１６ａを介して該回転対称凹部１２（可変容積室１４）に連通している。同様に、ロアハウジング２０には、回転対称凹部２２の反対側の面に、吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６と同じ平面位置に位置させて、互いに平行に吸入側流路溝２５と吐出側流路溝２６が形成されている。吸入側流路溝２５と吐出側流路溝２６の内側端部は、平面的に見て回転対称凹部２２の最深部分に達しており貫通穴２５ａと２６ａを介して該回転対称凹部２２（可変容積室２４）に連通している。
【００１７】
吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６の外側端部はそれぞれ、吸入ポート３１の吸入側交互室３１ａと吐出ポート３２の吐出側交互室３２ａに達しており、この吸入側交互室３１ａと吐出側交互室３２ａ部分に、アンブレラ装着部（連通穴）１５ｂと１６ｂが形成されている。アンブレラ装着部１５ｂと１６ｂはそれぞれ、図３に明らかなように、中心部のアンブレラ装着穴１５ｂ１と１６ｂ１と、周辺部の連通穴１５ｂ２と１６ｂ２とを備え、アンブレラ装着穴１５ｂ１と１６ｂ１にアンブレラ１７の軸部１７ａとアンブレラ１８の軸部１８ａが嵌合係止される。このアンブレラ１７と１８は、アンブレラ装着部１５ｂと１６ｂで装着方向が反対である。すなわち、アンブレラ１７は、吸入側交互室３１ａから連通穴１５ｂ２を経て吸入側流路溝１５（可変容積室１４）へ至る流体流は傘部１７ｂが弾性変形して許し、その逆方向の流れは許さない第一の吸入側逆止弁であり、アンブレラ１８は、吐出側流路溝１６（可変容積室１４）から連通穴１６ｂ２を経て吐出側交互室３２ａへ至る流体流は傘部１８ｂが弾性変形して許し、その逆方向の流れは許さない第一の吐出側逆止弁である。
【００１８】
吸入側流路溝２５と吐出側流路溝２６の形成態様も吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６と同様である。すなわち、吸入側流路溝２５と吐出側流路溝２６の外側端部は、平面的に見て吸入側交互室３１ａと吐出側交互室３２ａに達しており、この吸入側交互室３１ａと吐出側交互室３２ａ部分に、アンブレラ装着部２５ｂと２６ｂが形成されている。アンブレラ装着部２５ｂと２６ｂはそれぞれ、中心部のアンブレラ装着穴２５ｂ１と２６ｂ１と、周辺部の連通穴２５ｂ２と２６ｂ２とを備え、アンブレラ装着穴２５ｂ１と２６ｂ１にアンブレラ２７の軸部２７ａとアンブレラ２８の軸部２８ａが嵌合係止される。このアンブレラ２７と２８は、アンブレラ装着部２５ｂと２６ｂで装着方向が反対である。アンブレラ２７は、吸入側交互室３１ａから連通穴２５ｂ２を経て吸入側流路溝２５（可変容積室２４）へ至る流体流は傘部２７ｂが弾性変形して許し、その逆方向の流れは許さない第二の吸入側逆止弁である。アンブレラ２８は、吐出側流路溝２６（可変容積室２４）から連通穴２６ｂ２を経て吐出側交互室３２ａへ至る流体流は傘部２８ｂが弾性変形して許し、その逆方向の流れは許さない第二の吐出側逆止弁である。第一、第二の吸入側逆止弁（アンブレラ）１７と２７は平面的に見て同じ位置にあり、第一、第二の吐出側逆止弁（アンブレラ）１８と２８は平面的に見て同じ位置にある。なお、アッパハウジング１０とロアハウジング２０の間には、アンブレラ装着部２５ｂと２６ｂを囲むＯリング（図示せず）が挟着されている。
【００１９】
アッパハウジング１０には吸入側流路溝１５と吐出側流路溝１６の形成エリアを含んで蓋板嵌込凹部１０ａが形成されており、この蓋板嵌込凹部１０ａに蓋板１９が嵌め込まれている。同様に、ロアハウジング２０には吸入側流路溝２５と吐出側流路溝２６の形成エリアを含んで蓋板嵌込凹部２０ａが形成されており、この蓋板嵌込凹部２０ａに蓋板２９が嵌め込まれている。蓋板１９（２９）の裏面には、吸入側流路溝１５（２５）と吐出側流路溝１６（２６）の対応位置に、流路溝１９ａ（２９ａ）が形成されている。この流路溝１９ａ（２９ａ）は、ダイヤフラムポンプを薄型化しつつ流路面積を確保するのに有効である。
【００２０】
嵌込凹部１０ａ（２０ａ）と蓋板１９（２９）は、該嵌込凹部１０ａ（２０ａ）に嵌め込まれた蓋板１９（２９）の表面がアッパハウジング１０の表面と面一になるように形成されており、蓋板１９（２９）は、該蓋板１９（２９）より大きい接着フィルム１９ｂ（２９ｂ）（図２ないし図４、図８に図示）でハウジング１０（２０）に液密に固定されている。接着フィルム１９ｂ（２９ｂ）は、合成樹脂材料、金属箔等から形成可能であり、高い接着性と耐水性を備えた接着剤によって接着されている。このような接着フィルム１９ｂ（２９ｂ）によると、特別なシール部材を要することなく簡単に吸入側流路溝１５（２５）部分に吸入側流路１５Ｉ（２５Ｉ）、吐出側流路溝１６（２６）部分に吐出側流路１６Ｉ（２６Ｉ）を形成することができる。
【００２１】
圧電振動子３０は、例えば中立位置から上下に均等に変位すると考えられるバイモルフ型圧電振動子を用いることができる。図９は、バイモルフ型圧電振動子３０の模式図で、中心部のシム３０１と、その上下（表裏）に積層形成した圧電体３０２とからなっている。シム３０１は、導電性の金属薄板材料、例えば厚さ０．２ｍｍ程度のステンレス薄板から構成される。圧電体３０２は、例えば厚さ０．３ｍｍ程度のＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3）から構成されるもので、その表裏方向に分極処理が施されている。この分極処理は、シム３０１の表裏に位置する一対の圧電体３０２において同方向である。つまり、図９において、一対の圧電体３０２の分極方向を矢印ａまたはｂで表すと、分極方向はシム３０１を挟んで同一方向である。
【００２２】
一対の圧電体３０２のシム３０１側の面は、該シム３０１と全面的に導通するように接着され、シム３０１側と反対の露出面には、全面的に膜状電極３０３が形成されている。この膜状電極３０３は、例えば導電ペースト（銀ペースト）を印刷（スクリーン焼成）することで形成することができる。また、膜状電極はシム側にも形成することがある。これらの膜状電極の材料や形成方法は各種周知である。
【００２３】
以上のバイモルフ型圧電振動子３０は、シム３０１を一方の共通電極とし、一対の圧電体３０２の露出面（膜状電極３０３）を他方の共通電極として、交番電界を与えると、表裏の一方が伸び他方が縮む（正逆に弾性変形する）動作が繰り返される。
【００２４】
上記構成の本ダイヤフラムポンプは次のように作動する。図示しない電源回路によりバイモルフ圧電振動子３０のシム３０１と膜状電極３０３に交番電界を与えると、該圧電振動子３０が正逆に弾性変形（振動）する。圧電振動子３０が正逆に弾性変形すると、可変容積室１４と２４のいずれか一方の容積が増大し他方の容積が減少する。可変容積室１４の容積が増大する行程は可変容積室２４の容積が減少する行程であり、可変容積室１４の容積が増大するからアンブレラ（第一の吸入側逆止弁）１７が開いて吸入ポート３１から可変容積室１４内に流体が流入し、可変容積室２４の容積が減少するから可変容積室２４内の流体がアンブレラ（第二の吐出側逆止弁）２８を開いて吐出ポート３２に流出する。逆に可変容積室１４の容積が減少する行程は可変容積室２４の容積が増大する行程であり、可変容積室２４の容積が増大するからアンブレラ（第二の吸入側逆止弁）２７が開いて吸入ポート３１から可変容積室２４内に流体が流入し、可変容積室１４の容積が減少するから可変容積室１４内の流体がアンブレラ（第一の吐出側逆止弁）１８を開いて吐出ポート３２に流出する。回転対称凹部１２と２２が階段状で中央部が最も深い構成は、圧電振動子３０の中央部と周辺部でともに十分に流体を移動させ、効率的なポンプ作用を得るために効果がある。
【００２５】
以上の実施形態において、吸入側流路１５Ｉ（２５Ｉ）と吐出側流路１６Ｉ（２６Ｉ）は、吸入側流路溝１５（２５）と吐出側流路溝１６（２６）、及びこれら流路溝を閉塞する蓋板１９（２９）によって構成されており、蓋板１９（２９）は、ハウジング１０（２０）の蓋板嵌込凹部１０ａ（２０ａ）に嵌め込まれている。図１０にはハウジング１０側の吸入側、吐出側の流路溝１５、１６、嵌込凹部１０ａ、蓋板１９及び接着フィルム１９ｂの関係を分解状態で描いた。そして、蓋板１９（２９）がハウジング１０（２０）の蓋板嵌込凹部１０ａ（２０ａ）に嵌め込まれた状態では、蓋板１９（２９）の表面とアッパハウジング１０の表面とは面一になり、この状態において、蓋板１９（２９）は、該蓋板１９（２９）より大きくハウジング１０（２０）に接着される接着フィルム１９ｂ（２９ｂ）でハウジング１０（２０）に固定されている。
【００２６】
この蓋板の固定構造（流路の形成構造）によると、単に接着フィルム１９ｂ（２９ｂ）を用いるだけで、流路を構成することができる。例えばＯリング等のシール部材やボルトナット等の機械的固定部材を必要とすることがない。なお、蓋板１９（２９）と凹部１０ａ（２０ａ）との当接面（溝１５、１６以外の部分）に必要な接着剤を介在させてもよい。また、ハウジング１０（２０）の全面を接着フィルムで覆うことで、より載置し易くすることもできる。
【００２７】
以上の実施形態においては、アンブレラ１７、１８あるいは２７、２８と、圧電振動子３０とは平面的に見て異なる位置に配置されており、平面的にオーバラップしていない。また、吸入ポート３１と吐出ポート３２は、図２、図３、図６に明らかように、通路断面形状が圧電振動子３０の平面方向に長い横長形状とされている。これらの構成は、ダイヤフラムポンプを薄型化するのに効果があるが、本発明はこれらの構成に限定されない。
【００２８】
以上の実施形態では、圧電振動子３０の正逆の変形行程のいずれにおいても吐出ポート３２から流体を取り出すことができ、脈動の周期を半分にすることができるという利点があるが、圧電振動子３０の正逆の変形行程のいずれか一方のみで吐出ポート３２から流体を取り出す構成も可能である。この構成は、図１ないし図９の構成から、アンブレラ１７と１８（及びその関連構成）、またはアンブレラ２７と２８（及びその関連構成）を除去した構成に相当する。
【００２９】
以上の実施形態ではダイヤフラムとして圧電振動子を用いたが、圧電振動子に代えて電歪振動子を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明によるダイヤフラムポンプの一実施形態を示す平面図である。
【図２】図１のII-II線に沿う断面図である。
【図３】図２の一部拡大断面図である。
【図４】図１のIV-IV線に沿う断面図である。
【図５】図１のＶ矢視図である。
【図６】図１ないし図５のダイヤフラムポンプの要部を断面とした斜視図である。
【図７】図１ないし図５のダイヤフラムポンプの流路のみを示すスケルトン図である。
【図８】蓋板の単体形状を示す、裏面から見た斜視図である。
【図９】バイモルフ型圧電振動子の模式分解斜視図である。
【図１０】本発明によるダイヤフラムポンプにおいて蓋板を接着フィルムによってハウジングに固定する状況を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０  アッパハウジング
２０  ロアハウジング
１０ａ  ２０ａ  蓋板嵌込凹部
１２  ２２  回転対称凹部
１３  ２３  Ｏリング
１４  ２４  可変容積室
１５  ２５  吸入側流路溝
１５Ｉ  ２５Ｉ  吸入側流路
１６  ２６  吐出側流路溝
１６Ｉ  ２６Ｉ  吐出側通路
１５ａ  １６ａ  貫通穴
１５ｂ  １６ｂ  アンブレラ装着部
１７  １８  ２７  ２８  アンブレラ
１７ａ  １８ａ  ２７ａ  ２８ａ  軸部
１７ｂ  １８ｂ  ２７ｂ  ２８ｂ  傘部
１９  ２９  蓋板
１９ａ  ２９ａ  流路溝
１９ｂ  ２９ｂ  接着フィルム
３０  圧電振動子（ダイヤフラム）
３１  吸入ポート
３２  吐出ポート
３１ａ  吸入側交互室
３２ａ  吐出側交互室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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