(57)【要約】【課題】本発明はＩＣの自動試験方法及びプログラムに関し，複数の品種のＩＣの試験を簡単な操作により設定して自動的に試験を実行できることを目的とする。【解決手段】複数種のＩＣを連続して試験するため各ＩＣの特性と試験条件を表すそれぞれ複数のＩＤからなる試験コードが複数個設定されたスケジュール表と試験コードの各ＩＤの意味を表すＩＤの定義テーブルを試験制御装置に入力し，試験開始の指示によりスケジュール表の試験コードの１番目の番号を取り出して，試験コードに対応する試験プログラムの条件を設定し，ＩＣをトレー部から移動して試験制御装置に接続するソケット部にセットして試験を実行し，１番目の試験コードによる試験が終了すると，スケジュール表の次の番号の試験コードを取り出して，対応する試験プログラムの条件を設定して対象とするＩＣについて試験を行い，全ての試験を順次実行するよう構成する。【選択図】図１
2005321242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験制御装置の試験プログラムによりＩＣの試験を行うＩＣの自動試験方法において，
複数種のＩＣを連続して試験するため各ＩＣの特性と試験条件を表すそれぞれ複数のＩＤ（識別番号）からなる試験コードが複数個設定されたスケジュール表と前記試験コードの各ＩＤの意味を表すＩＤの定義テーブルを前記試験制御装置内に入力し，
試験開始の指示により前記スケジュール表の試験コードの１番目の番号を取り出して，前記ＩＤの定義テーブルを参照することで当該試験コードに対応する試験プログラムの条件を設定し，
ＩＣを移動させるハンドラを制御して前記１番目の試験コードに対応する試験の対象となるＩＣが収容されたトレー部からＩＣを移動して前記試験制御装置に接続するソケット部にセットして試験を実行し，
前記１番目の試験コードによる試験が終了すると，前記スケジュール表の次の番号の試験コードを取り出して，対応する試験プログラムの条件を設定して対象とするＩＣについて試験を行い，スケジュール表に設定された全ての試験を順次実行することを特徴とするＩＣの自動試験方法。
【請求項２】
請求項１において，
前記試験の対象となるＩＣをメモリＩＣとし，前記試験コードを構成する複数のＩＤとして，メモリ容量，ビット構成，スピード，電源電圧，トレイ数，温度という要素について複数の数値に対応した各条件が設定されることを特徴とするＩＣの自動試験方法。
【請求項３】
ＩＣの試験制御を行う試験制御装置内蔵のコンピュータを，
複数種のＩＣを連続して試験するため各ＩＣの特性と試験条件を表すそれぞれ複数のＩＤからなる試験コードが複数個からなるスケジュール表と前記各ＩＤの定義を表すテーブルの入力に対し，前記スケジュール表の試験コードの前記１番目の番号を取り出して，前記ＩＤの定義テーブルを参照することで当該試験コードに対応する試験プログラムの条件を設定する手段，
試験の対象とするＩＣを当該試験制御装置と接続するソケット部にセットする手段，
セットされたＩＣについて条件が設定された前記試験プログラムによる試験を行う手段，
前記１番目の試験コードによる試験が終了すると，前記スケジュール表の次の番号の試験コードを取り出して，対応する試験プログラムの条件を設定して対象とするＩＣについて試験を行う手段，
スケジュール表に設定された全ての試験を順次実行させる手段，
として機能させるＩＣの自動試験のためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，メモリ等のＩＣ（Integrated Circuits)の自動試験方法及びプログラムに関する。
【０００２】
近年，メモリ等のＩＣの種類が増えて多品種のＩＣが使用され，各品種について少量のメモリが使用されるようになり，それらの各種のＩＣを試験する必要があるが，連続して効率的に試験することが望まれている。
【背景技術】
【０００３】
メモリ等の大容量の素子からなるＩＣの自動化を行う場合，図５に示す従来例のシステム構成が用いられている。図５において，８０は試験対象のＩＣの種類に対応したテストプログラムによりＩＣに対して入力を発生し，出力を受け取ってチェックをしてエラー，正常の判定を行って，そのＩＣを良，不良の箱（図示省略）に仕分ける処理を行うテスタ本体，８１はテスタ本体８０と接続し，試験対象のＩＣが後述するハンドラにより置かれるとＩＣの各端子に電気的に接続する端子を備えたソケット部（または試験ヘッドという），８２はトレーから試験対象のＩＣを取り出してソケット部８１に置き，試験終了後はソケット部８１からＩＣの置き場へ移すようＸ・Ｙ方向に移動可能な機構を備えたハンドラ，８３は試験の対象となるＩＣが置かれる多数（ｍ×ｎ個）の収容部８３ａを備えたトレーであり，試験の対象として複数枚のトレーが用意される場合が多い。８４は収容部８３ａに置かれた試験対象のＩＣである。
【０００４】
図６は従来の試験のフローチャートである。図５のトレー８３の収納部８３ａに試験の対象として‘Ａ’という名称のＩＣ（サンプルＩＣ）を置き，テスタ本体８０へそのＡという名称のＩＣのテストプログラム（試験ＴＰという）名として‘Ａ’を入力する（図６のＳ１）。次にトレー８３にサンプルＡ（ＩＣ）をセットし（図６のＳ２），ハンドラ（図５の８２）の動作を開始させると（図６のＳ３），トレー８３からサンプルＡの一つを把持し，ソケット部（図５の８１）へ試験の対象となるサンプルＡを置く（図６のＳ４）。
【０００５】
この状態でテストプログラムＡによりサンプルＡのデバイス試験を開始し（図６のＳ５），デバイス試験が終了すると（同Ｓ６），試験の結果が正常（良）か，異常（不良）かにより，試験済み品をハンドラ（図５の８２）を制御して良品／不良品の置き場へ置く（図６のＳ７）。この後，指定された枚数のトレー（図５の８３）の試験サンプルの試験が終了したか判別し（図６のＳ８），終了しないとＳ３へ戻って，同様の処理が行われ，全て終了するとハンドラ動作を終了する。
【０００６】
このように従来の試験方法では，トレーにセットするＩＣの品種は１種類のみであり，一つの種類のＩＣである試験サンプルＡについて，テストプログラム‘Ａ’をテスタ本体（図５の８０）にセットし，試験条件（温度や，トレー数等）のキー入力の操作を行うことで試験を開始し，指定された枚数のトレーの試験サンプルＡについて試験が終了すると動作が停止する。この後，他の種類のＩＣである試験サンプルＢを搭載したトレーについて試験を行う場合，作業者がハンドラ（トレー）に試験サンプルＢをセットし，対応する試験プログラムのセットと試験条件のキー入力等の操作をしなければならない。また，それに対応するテストプログラム名‘Ｂ’をテスタ本体に入力する必要があり，夜中に品種が異なるＩＣに切り替えて連続試験を自動的に行うことができなかった。
【０００７】
図７は２種類のＩＣの試験を行う場合の条件設定の例を示す。この例では，最初の試験（１）のプログラム条件(a) として，試験品種がＩＣメモリの名称‘Ａ’，容量が６４Ｍ×４ビット，周波数が１００ＭＨｚ，電源電圧が２．５Ｖ，入力レベルが２．４Ｖ，０．４Ｖ，トレイ数が２枚，試験温度は高温，等が規定されている。これに対するテストプログラム（ＴＰＡ）には，テスト条件(b) として，電源電圧／入力レベル，試験タイミング及びテストパターンが設定されている。この試験の後に第２の試験（２）のプログラム条件(a) として，試験品種がＩＣメモリの名称‘Ｂ’，容量が１２８×８ビット，周波数が１３３ＭＨｚ，電源電圧が３．３Ｖ，入力レベルが２．２Ｖ，０．６Ｖ，トレイ数が３枚，試験温度が低温，等が規定されている。これに対するテストプログラムＴＰＢのテスト条件(b) として，対応する電源電圧／入力レベル，試験タイミング及びテストパターンが設定されている。
【０００８】
一方，集積回路試験装置の技術において，試験の対象となる集積回路の内部に製品コード名識別信号発生回路を設け，試験装置から集積回路の入力端子に製品コード名識別信号発生要求信号を入力すると，出力端子から製品コード名識別用信号を出力し，これを試験装置で識別することで，その集積回路用の試験プログラムをロードするか切り替えるかにより試験を行うことが知られている（特許文献１及び特許文献２参照）
【特許文献１】特開平１−１８０４７１号公報
【特許文献２】特開平１−２６６７３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記図５〜図７に示す従来の方法によれば，多品種のＩＣを連続して試験する場合，作業者がＩＣの品種を切り替える毎にプログラムの切り替えと条件等の入力操作を行う必要があり，夜間の無人連続試験を行うことは困難であるという問題があった。
【００１０】
また，上記特許文献１，２の技術では，試験対象となるＩＣの内部に製品コード名識別信号発生回路を組込む必要があり，ＩＣ回路の規模が増加し，コストも増大する等の問題がある。
【００１１】
本発明は複数の品種のＩＣの試験を簡単な操作により設定して自動的に試験を実行できるメモリ等のＩＣの自動試験方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
図１は本発明の原理構成を示す図である。図中，１はコンピュータ内蔵の試験制御装置，１０は設定部，１１は試験対象となるＩＣについてプログラムを備え，試験コードにより指定されたＩＣの種別に対応したパラメータや，条件が設定され，ＩＣへの入力信号の発生と，ＩＣからの出力信号が予め設定した範囲であるかの比較を行うことで正常，異常（良，不良）を判定する機能を備えた試験実行部，１２は試験を実行する予定の複数種のＩＣの試験内容を規定する試験コードが順番に設定されるスケジュール表，１３は試験コードを構成する各パラメータのＩＤの意味を定義したＩＤの定義テーブル，２は入出力部，３は試験対象のＩＣを装着して試験制御装置１と接続する端子を備えたＩＣのソケット部，４は試験対象のＩＣを搬送するハンドラ，５は試験対象のＩＣを収納したトレー部である。なお，トレー部５は複数のトレーにより構成される。
【００１３】
最初に試験制御装置１に対し，入出力部２から試験を行うＩＣの品種毎に，それぞれの仕様（対象となるＩＣの種類やテスト条件等）を表す複数の各パラメータを表す複数のＩＤを組合せた試験コードを，試験を行う順番を表す番号１，２，…に対応して設定する。すなわち，メモリＩＣの場合，容量，ビット構成，スピード，電源電圧，入力レベル，トレー数（各トレーに試験を行うＩＣを複数収容）等のそれぞれの特性をＩＤの数値により表した複数個のＩＤにより構成する。各ＩＣの種類毎に順番に試験コードが入力されると，設定部１０によりそれらの試験コードはスケジュール表１２に設定される。なお，試験コードを構成する各桁位置のＩＤ（数値１，２，３…）の意味を定義したＩＤの定義テーブル１３が予め設定されているものとする。試験実行部１１が起動すると，スケジュール表１２から先頭の試験コードを取り込んで，試験コードを構成する各ＩＤの数値についてＩＤの定義テーブル１３を参照してそれぞれの数値を取り出し，試験プログラムの中の各パラメータとして設定する。この後，ハンドラ部４を駆動することで，ハンドラ部４によりトレー部５からＩＣを取り出してＩＣのソケット部３に置き，試験実行部１１により当該ＩＣの種類，特性，トレー数等のパラメータに対応したプログラムにより試験が実行される。トレー部５の複数のＩＣについて全ての試験を終了し，指定された枚数のトレーの試験が終了すると，試験実行部１１はスケジュール表１２に設定された次の試験コードを取り出し，以下は上記したのと同様の方法で試験を実行する。
【００１４】
なお，上記の単位の試験プログラムとは，機能が類似したＩＣ，例えばメモリＩＣについては条件（容量，ビット構成，スピード，電源電圧等）を変更することにより共通のものを使用できるが，機能が全く異なるＩＣ（論理演算）については，対応するプログラムを用意する必要がある。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば，複数の種類のＩＣの試験を行う場合に，種類が変わる毎に作業者によるテストプログラムを変更する必要がなくなる。その場合，作業者による温度設定変更も必要がなくなる。更に，テストプログラムの複数管理からテストプログラムに変更することにより試験条件の変更等が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図２は本発明が実施されるシステムの構成を示す図である。図中，１は上記図１の符号１と同様にＣＰＵ（中央処理装置），ＲＡＭ，ＲＯＭ等を含むコンピュータ内蔵の試験制御装置，１ａはプログラムを内蔵するテスト実行制御部，１ｂはテスタドライバー部，１ｃはテスタコンパレータ部，１２はスケジュール表，１３はＩＤの定義テーブルである。２は表示装置とキーボードを含む入出力部，３はＩＣのソケット部，３０はトレー部からハンドラハンド部４１によりソケット部３にＩＣを置いた後，ＩＣを上部から押さえてＩＣの端子とソケット部３の対応する端子の電気的接続を確実にするためのソケット押え板部，４０と４１は図１のハンドラ部４を構成し，４０はハンドラ制御部，４１はハンドラハンド部，５はトレー部を表し，多数のトレーが設けられる。
【００１７】
この実施例では試験対象となるＩＣとして各種の構成を持つメモリＩＣの例について説明し，複数の種類のメモリＩＣについてプログラム（テスト実行制御部１ａ内に保持）をセットし，従って外部からメモリＩＣの種類に応じて異なるプログラムをロードする必要がない。
【００１８】
図３は実施例のフローチャートであり，図４に試験コード，ＩＤの定義テーブル及びテストプログラムのテスト条件の例を示す。
【００１９】
図３のフローチャートにおいて，最初に試験制御装置（図２の１）に入出力部（図２の２）から試験を実行したいメモリＩＣの試験条件（ＩＣの品種，特性，試験対象の個数を表すトレー数等）を表す試験コードを入力する（図３のＳ１）。この場合，試験を行うＩＣの種類別に，試験を行う順番に入力することにより試験制御装置（図２の１）の制御でスケジュール表（図２の１２）に各試験コードが設定される。
【００２０】
スケジュール表（図２の１２）にセットされる試験コードの例を図４のＡ．に示し，この例では，各試験コードは７つのＩＤ（識別番号）を表す数値で構成され，第１の試験コード（ＩＤ入力１と表示）は『１１１１１２１』，第２の試験コード（ＩＤ入力２と表示）は『２２３２３３２』である。各試験コードを構成する各桁のＩＤの数値が表す意味は，図４のＢ．に示すＩＤの定義テーブルに記載されている。この定義によれば，第１の試験コード（ＩＤ入力１）の場合，１番目（１桁目）のＩＤの『１』はメモリＩＣの容量が『６４Ｍ（メガバイト）』であることを意味し，２番目（２桁目）のＩＤの『１』は１バイトのビット構成が『×４』（４ビット）であることを意味し，３番目のＩＤの『１』はスピードが『１００ＭＨｚ（メガヘルツ）』であることを意味し，４番目のＩＤの『１』は電源電圧が『２．５Ｖ』であることを意味し，５番目のＩＤの『１』が入力レベルが『２．４Ｖ，０．４Ｖ』であることを意味し，６番目のＩＤの『２』はトレー数が２枚であることを意味し，７番目のＩＤの『１』は温度が高温であることを意味する。第２の試験コード（ＩＤ入力２）についても，ＩＤの定義テーブルを参照することにより各ＩＤの意味が確定する。
【００２１】
この後，ハンドラの各トレーへ試験の対象となる複数種のＩＣの各試験サンプルを試験を行う順にセットし（図３のＳ２），試験開始を指示し（同Ｓ３），試験の番号を表す変数Ｘに“１”をセットし（同Ｓ４），スケジュール表（図２の１２）のＸ番目の試験コードに従って試験プログラムの条件を設定する（図３のＳ５）。最初は，１番目の試験コードが対象となり，各ＩＤについてＩＤの定義テーブルを参照して条件を識別して，テストプログラムが設定される。
【００２２】
次にハンドラの動作を開始させてＩＣをトレー部よりソケット部へ移動する（図３のＳ６）。これにより，ハンドラは，最初の試験の対象となるＩＣをトレー部（図２の５）から取り出してソケット部（図２の３）に置き，続いてソケット押え板部（図２の３０）が駆動されてＩＣがソケット部に固定される。なお，ハンドラによりトレー部からＩＣを取り出す機構は従来技術により実現されている。また，ソケット部に置くＩＣの個数は，試験装置の仕様により異なり，複数個を同時に試験できる場合は，ソケット部に複数個のＩＣが置かれる。
【００２３】
ソケット部に試験対象のＩＣがセットされると，テストプログラムに従って，ソケット部を介して試験対象のＩＣに試験信号を入力し，出力信号を検出して，その信号が予め設定された信号の範囲内かをチェックすることで試験を実行する（図３のＳ７）。この時の，テストプログラムのテスト条件は図４のＣ．に示され，試験コードに基づいて，電源電圧（試験コードの第４桁のＩＤに基づく），試験タイミング（試験コードの第３桁のＩＤに基づく）及びテストパターン（試験コードの第１桁〜第３桁のＩＤに基づく）等を反映したプログラムにより実行される。
【００２４】
ソケット部にセットしたＩＣの試験が終了すると（図３のＳ８），試験済みＩＣを試験結果に応じて良品／不良品の置き場へハンドラハンド部（図２の４１）により運んで置く（同Ｓ９）。次に，同じ試験番号（Ｘ）の試験コードの中に設定されたトレー数の試験が終了したか判別し（図３のＳ１０），終了しないと，上記ステップＳ５に戻り残りのトレーのＩＣについて同様の試験動作を行い，設定されたトレー数の試験が終了した場合は，Ｘ＝Ｘ＋１により試験番号を更新し（図３のＳ１１），Ｘの値が最終番号（スケジュール表に設定された試験コードの最終番号）を越えたか判別し（同Ｓ１２），越えた場合は試験を終了し，越えない場合は，ステップＳ５に戻る。この場合，スケジュール表の次の番号Ｘに設定された試験コードに対応する試験を，ハンドラによりトレー部の次のトレーから取り出したＩＣをソケット部に置いて，上記と同様の試験を実行する。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の原理構成を示す図である。
【図２】本発明が実施されるシステムの構成を示す図である。
【図３】実施例のフローチャートを示す図である。
【図４】試験コード，ＩＤの定義テーブル，試験プログラムの条件の例を示す図である。
【図５】従来例のシステム構成を示す図である。
【図６】従来の試験のフローチャートを示す図である。
【図７】２種類のＩＣの試験を行う場合の条件設定の例を示す図である。
【符号の説明】
【００２６】
１        試験制御装置
１０      設定部
１１      試験実行部
１２      スケジュール表
１３      ＩＤの定義テーブル
２        入出力部
３        ソケット部
４        ハンドラ部
５        トレー部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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