(57)【要約】【課題】吐出装置の材料液流動部を自動洗浄して、装置の安定稼動を維持する洗浄機構を提供する。【解決手段】材料液を吐出部から吐出する吐出装置に備えられる洗浄機構であって、洗浄液を吐出部へ第１のバルブを介して導入して、吐出部を洗浄液で洗浄する第一の洗浄系統と、材料液を吐出部へ供給する材料液供給経路に洗浄液を導入して、材料液供給経路および吐出部を洗浄液で洗浄する第二の洗浄系統と、を有する。【選択図】  図１
2005125194.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料液を吐出部から吐出する吐出装置に備えられる洗浄機構であって、
洗浄液を前記吐出部へ第1のバルブを介して導入し、前記吐出部を前記洗浄液で洗浄する第一の洗浄系統と、
前記材料液を前記吐出部へ供給する材料液供給経路に前記洗浄液を導入して、前記材料液供給経路および前記吐出部を前記洗浄液で洗浄する第二の洗浄系統と、を有することを特徴とする洗浄機構。
【請求項２】
前記洗浄液あるいは前記材料液のいずれかを選択して前記材料液供給経路へ導入する第２のバルブと、
前記第一の洗浄系統の前記洗浄液および前記材料液供給経路の前記材料液か前記洗浄液のいずれかを選択して前記吐出部へ導入する前記第１のバルブと、を有することを特徴とする請求項１に記載の洗浄機構。
【請求項３】
前記第一の洗浄系統と前記第二の洗浄系統とは、前記洗浄液あるいは前記材料液を前記吐出部へ導入するためのポンプ又は吸引機構をそれぞれ有していることを特徴とする請求項１あるいは２に記載の洗浄機構。
【請求項４】
材料液を材料液タンクから吐出ヘッドまで材料供給経路によって供給し、前記吐出ヘッドから液滴の状態で吐出する液滴吐出装置であって、
前記洗浄液タンクの洗浄液を前記吐出ヘッドへヘッド部切替バルブを介して導入し、前記吐出ヘッドを前記洗浄液で洗浄する第一の洗浄系統と、
前記材料液を前記吐出ヘッドへ供給する材料液供給経路に前記洗浄液を導入して、前記材料液供給経路および前記吐出ヘッドを前記洗浄液で洗浄する第二の洗浄系統と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
前記洗浄液あるいは前記材料液のいずれかを選択して前記材料液供給経路へ導入する流路切替バルブと、
前記第一の洗浄系統の前記洗浄液および前記材料液供給経路の前記材料液か前記洗浄液のいずれかを選択して前記吐出ヘッドへ導入するヘッド部切替バルブと、を有することを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記吐出ヘッドの洗浄時および稼動休止時は、前記吐出ヘッドを保守するためのキャッピングユニットが前記吐出ヘッドへ密着していることを特徴とする請求項４あるいは５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記キャッピングユニットは、前記吐出ヘッドの洗浄時に、前記吐出ヘッドから前記洗浄液を吸引することを特徴とする請求項４から６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項４から７のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて、少なくともカラーフィルタ材料を画素領域へ吐出して製造されたことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項９】
請求項４から７のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて、少なくともルミネッセンス発光材料を発光部へ吐出して製造されたことを特徴とするルミネッセンス表示装置。
【請求項１０】
請求項４から７のいずれかに記載の液滴吐出装置を用いて、少なくともプラズマ蛍光材料を蛍光部へ吐出して製造されたことを特徴とするプラズマ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
材料液が流動する経路を清浄に保つための洗浄機構および洗浄機構を備えた液滴吐出装置並びに液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置およびプラズマ表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、材料液を液滴状態で吐出するインクジェット方式を採用している液滴吐出装置の吐出ヘッド部、および材料液の流動経路を洗浄する場合、吐出ヘッド部を液滴吐出装置から取り外して、専用の洗浄機に移して行っていた。また、材料液変更時に、新規に配管変更を行っていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来の洗浄方法では、液滴吐出装置からの吐出ヘッド部の取り外しや、配管の接続変更等が必要であり、実質の洗浄以外に、付帯する準備作業の時間が多くかかっていた。
【０００４】
そこで、本発明は、上記課題を鑑みてなされており、装置から洗浄する部分を取り外さずに、特定部分あるいは材料液の流動する経路全体を、自動的に洗浄する洗浄機構および洗浄機構を備えた液滴吐出装置並びに液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置およびプラズマ表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の洗浄機構は、材料液を吐出部から吐出する吐出装置に備えられる洗浄機構であって、洗浄液を吐出部へ第１のバルブを介して導入し、吐出部を洗浄液で洗浄する第一の洗浄系統と、材料液を吐出部へ供給する材料液供給経路に洗浄液を導入して記材料液供給経路および吐出部を洗浄液で洗浄する第二の洗浄系統と、を有することを特徴とする。
【０００６】
この洗浄機構によれば、吐出装置の主要部である吐出部の洗浄と、吐出部を含む材料液供給経路全体の洗浄と、を区分して洗浄でき、洗浄部分の一定期間経過毎に機能維持のための適切な洗浄が最適に且つ自動で行える。また、材料液の種類変更時に、前の材料液を自動で洗い流し、容易に交換ができる。
【０００７】
この場合、洗浄液あるいは材料液のいずれかを選択して材料液供給経路へ導入する第２のバルブと、第一の洗浄系統の洗浄液および材料液供給経路の材料液か洗浄液のいずれかを選択して吐出部へ導入する第１のバルブと、を有することが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、第２のバルブによって材料液供給経路へ材料液あるいは洗浄液のどちらかを供給する選択が行われ、第２のバルブの選択に対応して、第１のバルブによって吐出部へ連通する経路の選択が行われる。両バルブの経路選択により目的とする部分の洗浄が自動的に行える。
【０００９】
また、第一の洗浄系統と第二の洗浄系統とは、洗浄液あるいは材料液を吐出部へ導入するためのポンプ又は吸引機構をそれぞれ有していることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、系統ごとに専用のポンプ又は吸引機構を設置し、バルブの連通経路選択に対応して迅速な材料液あるいは洗浄液の供給がなされる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置は、材料液を材料液タンクから吐出ヘッドまで材料供給経路によって供給し、吐出ヘッドから液滴の状態で吐出する液滴吐出装置であって、洗浄液タンクの洗浄液を吐出ヘッドへヘッド部切替バルブを介して導入し、吐出ヘッドを洗浄液で洗浄する第一の洗浄系統と、材料液を吐出ヘッドへ供給する材料液供給経路に洗浄液を導入して、材料液供給経路および吐出ヘッドを洗浄液で洗浄する第二の洗浄系統と、を有することを特徴とする。
【００１２】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置の主要部である吐出ヘッドの洗浄と、吐出ヘッドを含む材料液供給経路全体の洗浄と、を区分して洗浄でき、洗浄部分の一定期間経過毎に機能維持のための適切な洗浄が最適に、しかも自動で行える。また、材料液の種類変更時に、前の材料液を自動で洗い流し、容易に交換ができる。
【００１３】
この場合、洗浄液あるいは材料液のいずれかを選択して材料液供給経路へ導入する流路切替バルブと、第一の洗浄系統の洗浄液および材料液供給経路の材料液か洗浄液のいずれかを選択して吐出ヘッドへ導入するヘッド部切替バルブと、を有することが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、流路切替バルブによって材料液供給経路へ材料液あるいは洗浄液のどちらかを供給する選択が行われ、流路切替バブルの選択に対応して、ヘッド部切替バルブによって吐出部へ連通する経路の選択が行われる。両バルブの経路選択により目的とする部分の洗浄が自動的に行える。
【００１５】
この場合、吐出ヘッドの洗浄時および稼動休止時は、吐出ヘッドを保守するためのキャッピングユニットが吐出ヘッドへ密着しており、キャッピングユニットは、吐出ヘッドの洗浄時に、吐出ヘッドから洗浄液を吸引することが好ましい。
【００１６】
これらの構成によれば、吐出ヘッドの稼動休止時は、材料液の乾燥などを防ぐためキャッピングユニットで吐出ヘッドを密閉する。また、キャッピングユニットは、吐出ヘッド洗浄時に、洗浄液を高速で流すために洗浄液を吸引して、洗浄効果を高める働きをする。洗浄後、次の稼動まで吐出ヘッドに洗浄液を保持して吐出ヘッドの清浄さを保つ効果もある。
【００１７】
本発明の液晶表示装置は、前記液滴吐出装置を用いて、少なくともカラーフィルタ材料を画素領域へ吐出して製造されたことを特徴とし、エレクトロルミネッセンス表示装置は、前記液滴吐出装置を用いて、少なくともルミネッセンス発光材料を発光部へ吐出して製造されたことを特徴とし、プラズマ表示装置は、前記液滴吐出装置を用いて、少なくともプラズマ蛍光材料を蛍光部へ吐出して製造されたことを特徴とする。
【００１８】
これらの構成によれば、液滴吐出装置により、各表示装置のカラー表示のための主要部である画素領域、発光部および蛍光部へそれぞれ材料を吐出塗布し、高品位な表示の表示装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に、図面を参照して吐出装置に備えられている洗浄機構について説明する。ここでは材料液を液滴の状態で吐出する、いわゆるインクジェット方式の液滴吐出装置に備えられた場合の洗浄機構を例にして詳述する。
【実施例】
【００２０】
液滴吐出装置１は、図２に示すように、材料液を液滴として吐出するヘッド部２０を有するヘッド機構部２と、ヘッド部２０から吐出された液滴の吐出対象であるワーク３０を有するワーク機構部３と、通常ヘッド部２０に主として液滴となる材料液を供給する材料液供給部４と、ヘッド部２０の保守を行うメンテナンス機構部５と、これら各機構部および供給部を総括的に制御する制御部６を備えている。この場合、材料液供給部４は洗浄機構としての機能を兼ね備えている。
【００２１】
液滴吐出装置１は、床上に設置された複数の支持脚８と、支持脚８の上側に設置された定盤９を備えている。定盤９の上側には、ワーク機構部３が定盤９の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されており、ワーク機構部３の上方には、定盤９に固定された２本の支持柱２２で支持されているヘッド機構部２が、ワーク機構部３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤９の一方の端部上には、ヘッド機構部２のヘッド部２０から連通して主に材料液を供給する材料液供給部４が配置されている。そして、ヘッド機構部２の一方の支持柱２２近傍には、メンテナンス機構部５がワーク機構部３と並んでＸ軸方向に配置されている。さらに、定盤９の下側には、制御部６が収容されている。
【００２２】
ヘッド機構部２は、材料液を吐出するヘッド部２０と、ヘッド部２０を懸架したヘッドキャリッジ２１と、ヘッドキャリッジ２１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド２３と、Ｙ軸ガイド２３の側方にＹ軸ガイド２３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ２４と、を備えている。
【００２３】
ワーク機構部３は、ヘッド機構部２の下方に位置し、ヘッド機構部２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に配置されており、ワーク３０と、ワーク３０を載置しているワーク載置台３１と、ワーク載置台３１の移動をガイドするＸ軸ガイド３３と、Ｘ軸ガイド３３の側方にＸ軸ガイド３３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ３４と、を備えている。
【００２４】
また、ヘッド機構部２およびワーク機構部３には、図示していないが、ヘッド部２０とワーク載置台３１の移動した位置を検出する位置検出手段が、それぞれ備えられている。また、ヘッドキャリッジ２１とワーク載置台３１には、回転方向（いわゆるΘ軸）を調整する機構が組込まれ、ヘッド部２０の中心を回転中心とした回転方向調整、およびワーク載置台３１の回転方向調整が可能である。
【００２５】
これらの構成により、ヘッド部２０とワーク３０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。まず、ヘッド部２０の移動について説明する。ヘッド部２０を懸架したヘッドキャリッジ２１は、Ｙ軸ガイド２３に移動可能に取り付けられている。図示されていないが、ヘッドキャリッジ２１からＹ軸リニアモータ２４側へ張り出している突起部が、Ｙ軸リニアモータ２４と係合して駆動力を得ることにより、ヘッドキャリッジ２１がＹ軸ガイド２３に沿って任意の位置に移動する。同様に、ワーク載置台３１に載置されたワーク３０もＸ軸方向に自在に移動する。
【００２６】
このように、ヘッド部２０は、Ｙ軸方向の吐出位置まで移動して停止し、下方にあるワーク３０のＸ軸方向の移動に同調して、液滴を吐出する構成となっている。Ｘ軸方向に移動するワーク３０と、Ｙ軸方向に移動するヘッド部２０とを相対的に制御することにより、ワーク３０上に所定の描画等を行うことができる。
【００２７】
この場合、ワーク載置台３１をＸ軸方向に移動させるように設定しているが、ヘッド部２０をＸ軸方向に移動させる構成でもよい。また、ヘッド部２０を固定として、ワーク載置台３１をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる構成でもよいし、逆にワーク載置台３１を固定とし、ヘッド部２０をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる構成であってもよい。
【００２８】
なお、ヘッド機構部２のＹ軸リニアモータ２４が、Ｙ軸ガイド２３の両側に対になって配置され、ヘッドキャリッジ２１を両側から駆動する構成にすれば、ヘッドキャリッジ２１の両側からバランスよく駆動力が伝わり、ヘッドキャリッジ２１の移動にとってより好ましい。ワーク機構部３のＸ軸リニアモータについても同様である。
【００２９】
次に、ヘッド部２０に主として材料液を供給する材料液供給部４は、ヘッド部２０に連通して材料液を供給する経路と、洗浄液を専用に供給する経路の２系統がある。材料液を供給する経路は、材料液タンク４５と、流路切替バルブ４１と、材料液ポンプ４６と、Ｙ軸ガイド２３上のサブタンク２５と、ヘッド部切替バルブ４２と、材料液タンク４５からヘッド切替バルブ４２を経てヘッド部２０までを上記順序で接続する流路チューブ４９と、を備えている。洗浄液を専用に供給する経路は、洗浄液タンク４３と、洗浄液ポンプ４４と、洗浄液タンク４３から洗浄液ポンプ４４を経てヘッド部切替バルブ４２までを接続する流路チューブ４９と、を備えた第一の洗浄系統と、洗浄液タンク４３から流路切替バルブ４１までを流路チューブ４９で接続する第二の洗浄系統と、を有している。
【００３０】
この構成の材料液供給部４において、ヘッド部切替バルブ４２は、材料液を供給する経路と、洗浄液を専用に供給する第一の洗浄系統の経路と、を選択して、いずれかの液をヘッド部２０へ供給する。流路切替バルブ４１は、通常、材料液を選択して材料液を供給する経路へ供給するが、洗浄時には第二の洗浄系統の洗浄液を選択して、材料液を供給する経路へ洗浄液を供給することができる。流路切替バルブ４１、洗浄液ポンプ４４、および材料液ポンプ４６は定磐９上に設置されている。また、サブタンク２５と、ヘッド部切替バルブ４２とは、Ｙ軸ガイド２３上に設置され、ヘッド部２０へ重力により材料液の自然供給がなされる。従って、サブタンク２５の材料液量は、サブタンク２５に設置された液面センサの検出結果により管理され、具体的には、サブタンク２５底面から上部液面までの高さが１ｍｍ以内の変動となるように、材料液ポンプ４６によって供給調整されている。
【００３１】
材料液タンク４５は一本だけでなく複数本備えることも可能である。この場合、複数のタンクは、それぞれ専用の流路チューブによって、流路切替バルブ４１へ接続されている。それにより、色や機能の異なる材料液を、流路切替バルブ４１の操作で容易に選択することができる。なお、材料液の変更時には、流路切替バルブ４１からヘッド部２０までの材料液を供給する経路を洗浄しておくことが必要である。
【００３２】
ヘッド部２０は、図３（ａ）に示すように互いに同じ構造を有する複数の吐出ヘッド２６を保持している。ここで、図３（ａ）は、ヘッド部２０をワーク載置台３１側から観察した図である。ヘッド部２０には６個の吐出ヘッド２６からなる列が、それぞれの吐出ヘッド２６の長手方向がＸ軸方向に対して角度をなすように２列配置されている。また、材料液を吐出するための吐出ヘッド２６は、図３（ｂ）に示すように、それぞれが吐出ヘッド２６の長手方向に延びる２つのノズル列２８、２８を有している。１つのノズル列は、それぞれ１８０個のノズル２７が一列に並んだ列のことであり、このノズル列２８、２８の方向に沿ったノズル２７の間隔は、約１４０μｍである。２つのノズル列２８、２８間のノズル２７はそれぞれ半ピッチ（約７０μｍ）ずれて配置されている。各吐出ヘッド２６はノズル２７がＹ軸方向に一定ピッチで連続するように配置されており、吐出ヘッド２６のＸ軸方向に対して角度を調整すれば、ピッチを変えることができる。
【００３３】
この配列パターンは一例であり、各種のワーク３０に対し吐出ヘッド２６を専用部品とすれば、ワーク３０に合致したノズルの配設をすれば良い。あるいは、６個の吐出ヘッド２６の列を一つの吐出ヘッドで構成しても良い。すなわち、吐出ヘッド２６の個数や列数、さらに配列パターンは任意に設定できる。いずれにしても、１２個の吐出ヘッド２６の全吐出ノズル２７によるドットが、Ｙ軸方向において連続していればよい。また、ヘッド部切替バルブ４２は、各吐出ヘッド２６毎に取り付けても、複数の吐出ヘッド２６に対して一個取り付ける構成であっても良い。
【００３４】
図４（ａ）（ｂ）に示すように、それぞれの吐出ヘッド２６は、振動板６３と、ノズルプレート６４とを、備えている。振動板６３と、ノズルプレート６４との間には、材料液タンク４５から孔６７を介して供給される材料液が常に充填される液たまり６５が位置している。また、振動板６３と、ノズルプレート６４との間には、複数の隔壁６１が位置している。そして、振動板６３と、ノズルプレート６４と、１対の隔壁６１とによって囲まれた部分がキャビティ６０である。キャビティ６０はノズル２７に対応して設けられているため、キャビティ６０の数とノズル２７の数とは同じである。キャビティ６０には、１対の隔壁６１間に位置する供給口６６を介して、液たまり６５から材料液が供給される。
【００３５】
振動板６３上には、それぞれのキャビティ６０に対応して、振動子６２が位置する。振動子６２は、ピエゾ素子６２ｃと、ピエゾ素子６２ｃを挟む１対の電極６２ａ、６２ｂとから成る。この１対の電極６２ａ、６２ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズル２７から材料液が液滴１０となって吐出される。なお、ノズル２７のそれぞれから吐出される液滴１０の体積は、０ｐｌ〜４２ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。なお、材料液を吐出させるために、振動子６２の代わりに電気熱変換素子を用いてもよく、これは電気熱変換素子による材料液の熱膨張を利用して、材料液を吐出する構成である。
【００３６】
メンテナンス機構部５は、図２に示すように、キャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７、およびフラッシングユニット５８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ５１と、メンテキャリッジ５１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド５２と、メンテキャリッジ５１と一体の螺合部５５と、螺合部５５が螺合するボールねじ５４と、ボールねじ５４を回転させるメンテモータ５３と、を備えている。これにより、メンテモータ５３が正逆回転すると、ボールねじ５４が回転し、螺合部５５を介してメンテキャリッジ５１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ５１がヘッド部２０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド２３に沿ってヘッド部２０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。
【００３７】
メンテナンスユニットのキャッピングユニット５６は、液滴吐出装置１が稼動していない時に、ヘッド部２０の１２個の吐出ヘッド２６のそれぞれと密着してキャッピングし、材料液が乾燥してノズル２７が詰まるなどの不具合が生じないようにする。ヘッド部２０がキャッピングユニットの直上へ位置すると、キャッピングユニットはエレベータ機構により上昇し吐出ヘッド２６と密着する。また、キャッピングユニット５６は吸引ポンプと連動してノズル２７から材料液、洗浄液を高速で吸引することができる。この機能により、吐出ヘッド２６や流路チューブ４９内に洗浄液などを高速で通過させて、流路内の付着物等を洗い流し、流路が塞がれるような事態を未然に防ぐ。ワイピングユニット５７は、材料液の連続吐出後やキャッピング時にノズル２７に付着した材料液などを、洗浄液を含むワイピング布で拭い、全ノズルの清浄な状態を維持する。微小な液滴１０を吐出するノズル２７は、材料液がノズル２７先端に付着して残っていると、液滴１０がまっすぐに吐出しないなどの不具合が生じる場合があり、ワイピングはこのような現象を防げる。フラッシングユニット５８は、液滴吐出装置１の稼動開始時やワーク３０への加工前に、ノズル２７から吐出される材料液を受け、ノズル２７の吐出状態を確認する。
【００３８】
これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置１の非稼動時やワーク３０を交換載置している加工待ち時などに、吐出ヘッド２６の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。
【００３９】
次に、以上述べた構成を制御する制御部６について図５を参考に説明する。制御部６は、指令部７０と駆動部８０とを備え、指令部７０は、ＣＰＵ７２、ＲＯＭ７３、ＲＡＭ７４および入出力インターフェイス７１からなり、ＣＰＵ７２が入出力インターフェイス７１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ７３、ＲＡＭ７４のデータに基づき処理し、入出力インターフェイス７１を介して駆動部８０へ制御信号を出力して、それぞれを制御する。
【００４０】
駆動部８０は、ヘッドドライバ８１、モータドライバ８２、ポンプドライバ８３、バルブドライバ８４、およびメンテドライバ８５から構成されている。モータドライバ８２は、指令部７０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ３４、Ｙ軸リニアモータ２４を制御し、ワーク３０、ヘッド部２０の移動を制御する。さらに、メンテモータ５３を制御してメンテナンス機構部５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。ヘッドドライバ８１は、吐出ヘッド２６からの材料液の吐出を制御し、モータドライバ８２の制御と同調して、ワーク３０上に所定の描画が行えるようにする。また、ポンプドライバ８３は、材料液の吐出状態に対応して材料液ポンプ４６を制御し、吐出ヘッド２６への材料液供給を最適に制御し、洗浄時には洗浄液ポンプ４４を制御して吐出ヘッド２６へ洗浄液を供給する。バルブドライバ８４は、ヘッド切替バルブ４１と流路切替バルブ４２とを制御して、ヘッド部２０へ材料液あるいは洗浄液のどちらかを供給する。そして、メンテドライバ８５は、メンテナンス機構部５のキャッピングユニット５６、ワイピングユニット５７およびフラッシングユニット５８を制御して、吐出ヘッド２６のノズル２７を常に良好な状態に保つ。
【００４１】
指令部７０は、ヘッドドライバ８１を介して、複数の振動子６２のそれぞれに互いに独立な信号を与えるように構成されている。このため、ノズル２７から吐出される液滴１０の体積は、ヘッドドライバ８１からの信号に応じてノズル２７毎に制御される。さらに、ノズル２７のそれぞれから吐出される液滴１０の体積は、０ｐｌ〜４２ｐｌの間で可変であり、液滴１０の体積の選択が、この範囲内で自由に選択できるメリットがある。
【００４２】
以上、洗浄機構を備えた液滴吐出装置１について説明をした。さらに、洗浄機構について、図１に基づき詳細に説明する。洗浄機構は、吐出装置を一定期間使用した後、あるいは材料液の種類を変更する時に、吐出部や材料液の供給経路を自動的に洗浄する機構である。液滴吐出装置１においては、材料液供給部４がこれに該当する。
【００４３】
洗浄機構は、洗浄液を専用に供給する２つの系統からなり、吐出ヘッド２６を直接洗浄する第一の洗浄系統と、材料液の供給経路に洗浄液を供給する第二の洗浄系統と、を備えている。概説した材料液の供給経路の詳細は、材料液を貯蔵する材料液タンク４５と、流路切替バルブ（第２のバルブ）４１と、材料液タンク４５から流路切替バルブ４１へ連通する流路チューブ４９ａと、材料液を吸引・排出する材料液ポンプ４６と、流路切替バルブ４１から材料液ポンプ４６へ連通する流路チューブ４ｅと、吐出ヘッド２６上方のサブタンク２５と、材料液ポンプ４６からサブタンク２５を連通する流路チューブ４９ｆと、ヘッド切替バルブ（第１のバルブ）４２と、サブタンク２５からヘッド切替バルブ４２へ連通する流路チューブ４９ｇと、ヘッド切替バルブ４２から吐出ヘッド２６へ連通する流路チューブ４９ｈとを有している。
【００４４】
また、洗浄液を専用に供給する経路は、洗浄液を貯蔵する洗浄液タンク４３と、洗浄液タンク４３からヘッド部切替バルブ４２へ連通する流路チューブ４９ｃと、流路チューブ４９ｃに設けられている図示されていないポンプ又は吸引機構と、を有する第一の洗浄系統と、洗浄液タンク４３と流路切替バルブ４１とを連通している流路チューブ４９ｂを有する第二の洗浄系統とから成っている。流路切替バルブ４１は、流路チューブ４９ａからの材料液あるいは流路チューブ４９ｂからの洗浄液のいずれかを選択して、流路チューブ４ｅへ供給する機能を持つ。同様に、ヘッド切替バルブ４２は、流路チューブ４９ｇからの材料液あるいは洗浄液と流路チューブ４９ｃからの洗浄液とのいずれかを選択して、流路チューブ４９ｈへ供給する機能を持つ。
【００４５】
ここで流路チューブ４９のうち、ヘッド部切替バルブ４２と吐出ヘッド２６を連通する流路チューブ４９ｈについては、吐出ヘッド２６の移動に追随するための柔軟性が必要である。他の流路チューブ４９は、柔軟性である必要がなく、液滴吐出装置１へ固定されていてもよい。なお、流路チューブ４９は、耐久性の良いステンレス性のものを用い、ステンレス材と材料液との親液性を排除して材料液のスムーズな通過を図る目的で、ステンレス材の表面に撥水性の共析めっきが施されている。一定期間、液滴吐出装置１を稼動させると、流路チューブ４９内に材料液が付着して材料液の流動を妨げる場合がある。特に、ワーク３０へ材料液を吐出する吐出ヘッド２６は、材料液とともに外部雰囲気に直接触れており、吐出時に材料液が汚れなどとなって付着しやすい。汚れなどが付着すると、液滴が曲がって吐出され、正しい描画がなされない。長期的には固着して吐出不良を起こす。事前にこのような事態を防ぐために、メンテナンスユニットによる保守だけでなく、洗浄液を用いた定期的な洗浄を行うことが有効である。
【００４６】
まず、この洗浄機構の洗浄液を専用に供給する第一の洗浄系統の経路によって、吐出ヘッド２６を洗浄する場合について説明する。通常、流路切替バルブ４１は、流路チューブ４９ａと流路チューブ４ｅとを連通して材料液を供給する状態にあり、洗浄液を供給する流路チューブ４９ｂ側（第二の洗浄系統）は閉鎖されている。ヘッド部切替バルブ４２は、通常、流路チューブ４９ｇと流路チューブ４９ｈとを連通して材料液を供給する状態にあり、洗浄液を供給する流路チューブ４９ｃ側（第一の洗浄系統）は閉鎖されている。そこで、ヘッド部切替バルブ４２を切り替えて、吐出ヘッド２６へ繋がっている流路チューブ４９ｈと洗浄液を供給する流路チューブ４９ｃとを連通させる。このとき、吐出ヘッド２６は、キャッピングユニット５６と密着している状態である。ここで洗浄液を供給するポンプ又は吸引機構が作動して洗浄液タンク４３から洗浄液が、流路チューブ４９ｃ、ヘッド部切替バルブ４２、流路チューブ４９ｈを経て吐出ヘッド２６に供給される。さらに、キャッピングユニット５６の吸引ポンプの作動により洗浄液が高速で流れ、直前まで吐出ヘッド２６に充満していた材料液や付着物を洗い流して、吐出ヘッド２６を清浄にする。
【００４７】
次いで、キャッピングユニット５６の吸引ポンプ、そして洗浄液を供給するポンプ又は吸引機構を順次停止すると、吐出ヘッド２６内に洗浄液が満たされる。吐出ヘッド２６内に洗浄液が満たされた状態で液滴吐出装置１を停止することが、吐出ヘッド２６の清浄さを保つことになり、次の液滴吐出装置１の稼動のために望ましい。再度稼動するときには、ヘッド部切替バルブ４２を切り替え、材料液を供給する流路チューブ４９ｇと流路チューブ４９ｈとを連通させる。そして、キャッピングユニット５６の吸引ポンプが作動し、吐出ヘッド２６内の洗浄液が吸い出され、新しい材料液が吐出ヘッド２６へ供給される。この後、吸引ポンプが停止してから、キャッピングユニット５６が吐出ヘッド２６から離反し、ワイピングユニット５７が吐出ヘッド２６へ移動して来て、キャッピング時にノズル２７に付着した材料液を拭ってノズル２７を清浄にし、次いでフラッシングユニット５８が吐出ヘッド２６へ移動して来て、吐出ヘッド２６からの液滴１０の吐出確認が行なわれる。一連のメンテナンス作業後、吐出ヘッド２６はワーク３０の加工を行うための所定位置へ移動する。
【００４８】
次に、材料液の供給経路および吐出ヘッド２６を洗浄する場合について説明する。まず、キャッピングユニット５６が吐出ヘッド２６へ密着し、ヘッド部切替バルブ４２が切り替わり、材料液を供給する流路チューブ４９ｇと流路チューブ４９ｈとが連通する。そして、キャッピングユニット５６の吸引ポンプが作動し、吐出ヘッド２６、流路チューブ４９ｈ、ヘッド部切替バルブ４２、流路チューブ４９ｇ、サブタンク２５の材料液がすべて吸引される。吸引された材料液は、材料タンク４５へ戻され、無駄なく再利用される。
【００４９】
サブタンク２５内の材料液がなくなったところで、一旦キャッピングユニット５６の吸引ポンプが止まる。そして、流路切替バルブ４１が切り替わり、洗浄液を供給する流路チューブ４９ｂ（第二の洗浄系統）と流路チューブ４９ｅとが連通した状態で、材料液ポンプ４６が作動して、洗浄液をサブタンク２５へ導入する。洗浄液でサブタンク２５が一定量満ちると、キャッピングユニット５６の吸引ポンプが再び作動して、高速で洗浄液を吸引する。これらの一連の動作によって、洗浄液が、流路チューブ４９ｂ、流路切替バルブ４１、流路チューブ４９ｅ、材料液ポンプ４６、流路チューブ４９ｆ、サブタンク２５、流路チューブ４９ｇ、ヘッド部切替バルブ４２、流路チューブ４９ｈ、吐出ヘッド２６を順に洗浄する。一定時間、洗浄を行った後、キャッピングユニット５６の吸引ポンプおよび材料液ポンプ４６を止め、次の加工開始まで、材料液の供給経路を洗浄液で満たしておく。
【００５０】
次の加工を開始する前に、流路切替バルブ４１が切り替わり、材料液を供給する流路チューブ４９ａと流路チューブ４９ｅとが連通した状態で、材料液ポンプ４６が作動する。材料液ポンプ４６の作動により、材料液タンク４５から材料液が供給され、流路チューブ４９ｅ、材料液ポンプ４６、流路チューブ４９ｆ内の洗浄液をサブタンク２５へ押し出す。ここで材料液ポンプ４６が停止し、キャッピングユニット５６の吸引ポンプが作動して、吐出ヘッド２６、流路チューブ４９ｈ、ヘッド部切替バルブ４２、流路チューブ４９ｇ、サブタンク２５の洗浄液が吸引される。サブタンク２５内の洗浄液がなくなったところで、キャッピングユニット５６の吸引ポンプが止まる。吸引ポンプが止まると材料液ポンプ４６が作動して材料液をサブタンク２５へ供給する。サブタンク２５に材料液が一定量満ちると、キャッピングユニット５６の吸引ポンプが、再び作動して材料液を吸引し、材料液の供給経路に材料液が充填された状態となって、吸引ポンプが停止する。なお、キャッピングユニット５６の吸引ポンプ作動中、液滴吐出のためのピエゾ素子６２ｃを含む振動子６２は、振動させても良いし、止めておいても良い。
【００５１】
この後、キャッピングユニット５６が吐出ヘッド２６から離反し、ワイピングユニット５７が吐出ヘッド２６へ移動して来て、ノズル２７を清浄にし、次いでフラッシングユニット５８が吐出ヘッド２６へ移動して来て、吐出ヘッド２６からの液滴１０の吐出確認が行なわれる。一連のメンテナンス作業後、吐出ヘッド２６はワーク３０の加工を行うための所定位置へ移動する。
【００５２】
この洗浄機構は、以上述べた洗浄を自動で行うことができ、吐出ヘッド２６のみの洗浄あるいは材料液供給経路および吐出ヘッド２６の洗浄のどちらかを選択すれば、制御部６がそれぞれの各作動工程を順に制御して、目的部分の洗浄が行える。材料液ポンプ４６によって材料液が供給される、材料液タンク４５からサブタンク２５までの経路の流速に比べて、材料液の流速が遅く材料液の付着が生じやすいサブタンク２５から吐出ヘッド２６までの経路の洗浄が重要であり、この経路を含めた洗浄が、効率的に行える。具体的には、装置の分解組み立てなどの付帯作業が不必要で、洗浄時間も従来の五分の一の短時間で行える。さらに、定期的に洗浄を行うことにより、吐出ヘッド２６の寿命を従来の３倍に伸ばすことが可能となる。
【００５３】
次に、以上説明した洗浄機構を備えた液滴吐出装置１を用いて製造した各種の高品質な表示装置について代表的な例を述べる。ここでは、表示装置として液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置およびプラズマ表示装置について記述する。
【００５４】
図６は、液晶表示装置の構成を示す断面図である。同図に示すように、液晶表示装置１００は、偏光板１２１、１２７が対向して配置され、偏光板１２１の内側表面にはカラーフィルタ１１５、画素電極１１４が形成されており、偏光板１２１の外側表面にはバックライト１２０がとりつけられ、偏光板１２７の内側表面には対向基板１２６が形成されている。また、画素電極１１４および対向基板１２６間には、配向膜１２２、１２４が構成され、対向基板１２６の内側の面には、図示していないＴＦＴ（薄膜トランジスタ）素子と対向電極１２３とがマトリクス状に形成されている。そして、配向膜１２２、１２４の間に設置されたシール部１２８に囲まれた空間へ、液晶１２５を封入することにより、液晶表示装置１００が構成されている。
【００５５】
本発明の液滴吐出装置１を適用することによって、カラーフィルタ１１５を効率的に製造することができる。この場合、図２の液滴吐出装置１のワーク３０に相当するカラーフィルタ１１５は、図６（ｂ）に示すように、マトリクス状に並んだ画素領域１１０を備え、それらの境目は、ディスペンサやスクリーン印刷、もしくはフォトリソグラフィにより形成された樹脂境界層１１２により区切られている。画素領域１１０の１つ１つには、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかのカラーフィルタ材料が導入されている。より具体的には、カラーフィルタ１１５は、図６（ａ）のように透光性のフィルタ基板１１１と、遮光性の樹脂境界層１１２とを備え、樹脂境界層１１２が形成されていない部分は画素領域１１０を構成している。さらに樹脂境界層１１２及び画素領域１１０の上面には、オーバーコート層１１３が形成されている。なお、画素領域１１０は、図６（ｂ）のようなモザイク状の配列だけでなく、ストライプ状やデルタ状の配列であっても良い。
【００５６】
樹脂境界層１２で区切られて形成された画素領域１１０には、液滴吐出装置１を用いて、図４に示すノズル２７からＲ・Ｇ・Ｂ各色のカラーフィルタ材料の液滴１０が選択的に吐出される。そして、塗布した液滴１０を乾燥させることにより、各色の画素領域１１０を得るようにしている。また、オーバーコート層１１３も液滴吐出装置１を用いて、オーバーコート材料を吐出ヘッド２６により吐出して形成することもできる。
【００５７】
図７に示す液晶表示装置１００の製造装置１８０は、カラーフィルタの画素領域１１０のそれぞれに対して、対応するカラーフィルタ材料の液滴１０を吐出する吐出装置を含んだ装置群である。各吐出装置は本発明の液滴吐出装置１である。製造装置１８０は、赤のカラーフィルタ材料が塗布されるべき画素領域１１０のすべてに、赤のカラーフィルタ材料を塗布する吐出装置１４０Ｒと、画素領域１１０上のカラーフィルタ材料を乾燥させる乾燥装置１５０Ｒと、緑のカラーフィルタ材料が塗布されるべき画素領域１１０のすべてに緑のカラーフィルタ材料を塗布する吐出装置１４０Ｇと、画素領域１１０上のカラーフィルタ材料を乾燥させる乾燥装置１５０Ｇと、同様に青のカラーフィルタ材料が塗布されるべき画素領域１１０のすべてに、青のカラーフィルタ材料をそれぞれ塗布および乾燥させる吐出装置１４０Ｂ、乾燥装置１５０Ｂと、各色のカラーフィルタ材料を再度加熱（ポストベーク）するオーブン１６０と、ポストベークされたカラーフィルタ材料の層の上にオーバーコート層１１３を設ける吐出装置１４０Ｃと、オーバーコート層１１３を乾燥させる乾燥装置１５０Ｃと、乾燥されたオーバーコート層１１３を再度加熱して硬化する硬化装置１６５とを備えている。さらに製造装置１８０は、吐出装置１４０Ｒ、乾燥装置１５０Ｒ、吐出装置1４０Ｇ、乾燥装置1５０Ｇ、吐出装置1４０Ｂ、乾燥装置1５０Ｂ、吐出装置1４０Ｃ、乾燥装置1５０Ｃ、硬化装置1６５の順番にカラーフィルタ1１５を搬送する搬送装置1７０も備えている。各吐出装置は洗浄機構を備えており、定期的な洗浄により常に良好な吐出状態を維持でき、装置群を有する製造装置１８０全体の連続稼動に貢献できる。なお、カラーフィルタ材料を用いる場合の洗浄機構に用いられる洗浄液は、ブチルカルビトールなどのブチル系溶液である。
【００５８】
次に、図６（ｂ）に基づき液晶１２５の封入工程について簡単に説明する。第一基板１３０は既に説明した偏光板１２１と、カラーフィルタ１１５と画素電極１１４と、配向膜１２２とから成り、第二基板１３５は偏光板１２７と、対向基板１２６と、対向電極１２３と、配向膜１２４とから成っている。まず、第一基板１３０の表面に、液晶１２５の塗布領域を形成する矩形のシール部１２８を、ディスペンサやスクリーン印刷により形成する。このシール部１２８の内側に、液滴吐出装置１を用いて、カラーフィルタ材料と同様に液晶１２５を吐出ヘッド２６のノズル２７から吐出する。液晶１２５がシール部１２８の内側に満たされた後、第一基板１３０上のシール部１２８に第二基板１３５を張り合わせ、偏光板１２１へ光が入射するようにバックライト１２０を取り付けて液晶表示装置１００ができあがる。
【００５９】
さらに、図８を参照して、エレクトロルミネッセンス表示装置について説明する。図８に示すように、エレクトロルミネッセンス表示装置２００は、ガラス基板２０１上に回路素子部２０２が積層され、回路素子部２０２上に主体を為すエレクトロルミネッセンス表示素子２０４が積層されている。またエレクトロルミネッセンス表示素子２０４の上側には、不活性ガスの空間を存して封止用基板２０５が形成されている。
【００６０】
エレクトロルミネッセンス表示素子２０４には、無機物境界層２１２ａおよびこれに重ねた有機物境界層２１２ｂにより境界層２１２が形成され、この境界層２１２により、図６（ｂ）のカラーフィルタ材料の画素領域１１０に相当するマトリクス状の発光部２２０が画成されている。そして、各発光部２２０内には、下側から画素電極２１１、正孔注入／輸送層２１３、および赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの発光層２１０が積層され、且つ全体がＣａやＡｌ等の薄膜を複数層に亘って真空蒸着法などを用いて積層した対向電極２０３で覆われている。
【００６１】
発光層２１０の形成は、図６を基に既に説明したカラーフィルタ材料の塗布と同様に、本発明の液滴吐出装置１を用いて、境界層２１２で区切られて形成された各発光部２２０に、吐出ヘッド２６のノズル２７により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色のルミネッサンス発光材料を選択的に吐出して形成されている。そして、塗布したルミネッセンス発光材料を乾燥させることにより、各発光部２２０内に各色の発光層２１０Ｒ、２１０Ｇ、２１０Ｂが形成される。
【００６２】
図９に示すエレクトロルミネッセンス表示装置の製造装置２３０は、マトリックス状の発光部２２０のそれぞれに対して、対応するルミネッセンス発光材料を吐出する装置を含んだ装置群である。製造装置２３０は、画素電極２１１の上に正孔注入／輸送層２１３を形成する機能液を塗布する吐出装置２６０と、赤のルミネッセンス発光材料が塗布されるべき発光層２１０Ｒのすべてに赤のルミネッセンス発光材料を塗布する吐出装置２４０Ｒと、塗布した赤のルミネッセンス発光材料を乾燥させる乾燥装置２５０Ｒと、同様に、発光層２１０Ｇに緑のルミネッセンス発光材料をそれぞれ塗布および乾燥させる吐出装置２４０Ｇおよび乾燥装置２５０Ｇと、同様に、発光層２１０Ｂに青のルミネッセンス発光材料をそれぞれ塗布および乾燥させる吐出装置２４０Ｂおよび乾燥装置２５０Ｂとを備えている。さらに製造装置２３０は、吐出装置２６０、吐出装置２４０Ｒ、乾燥装置２５０Ｒ、吐出装置２４０Ｇ、乾燥装置２５０Ｇ、吐出装置２４０Ｂ、乾燥装置２５０Ｂ、の順番に発光層２１０を搬送する搬送装置２７０も備えている。各吐出装置は洗浄機構を備えた液滴吐出装置１であり、液晶表示装置１００の製造装置１８０と同様、製造装置２３０全体の連続稼動に貢献できる。なお、ルミネッセンス発光材料を用いる液滴吐出装置１の洗浄機構に用いられる洗浄液は、エタノールである。
【００６３】
このように形成された発光部２２０と境界層２１２の上に、既述したように対向電極２０３を積層し、対向電極２０３と封止用基板２０５間に不活性ガスを封入してエレクトロルミネッセンス表示装置２００ができあがる。
【００６４】
次に、図１０を参照してプラズマ表示装置３００について説明する。プラズマ表示装置は、背面基板３１５と前面基板３１６とを備えている。背面基板３１５は、格子状に配置された複数の蛍光部３２５を有している。詳細には、さらに支持基板３０１と、支持基板３０１上にストライプ状に形成された複数のアドレス電極３０２と、アドレス電極３０２を覆うように形成された誘電体ガラス層３０３と、格子状の形状を有するとともに複数の蛍光部領域を規定する境界層３０５とから成る。複数の蛍光部領域は格子状に位置しており、蛍光部領域からなる複数の列のそれぞれは、複数のアドレス電極３０２のそれぞれに対応する。アドレス電極３０２、誘電体ガラス層３０３はスクリーン印刷技術で形成される。
【００６５】
発光部３２５には、液滴吐出装置１を用い、既に説明したカラーフィルタ材料の塗布と同様に、境界層３０５で区切られて形成された各蛍光部領域内に、吐出ヘッド２６のノズル２７により、Ｒ・Ｇ・Ｂ各色のプラズマ蛍光材料を選択的に吐出して蛍光層３２０Ｒ、３２０Ｇ、３２０Ｂが形成されている。そして、塗布したプラズマ蛍光材料を乾燥させることにより、背面基板３１５が形成される。
【００６６】
図１１に示す製造装置３３０は、背面基板３１５の蛍光部３２５のそれぞれに対して、対応するプラズマ蛍光材料を吐出する装置である。製造装置３３０は、赤のプラズマ蛍光材料が塗布されるべき蛍光層３２０Ｒのすべてに赤のプラズマ蛍光材料を塗布する吐出装置３４０Ｒと、塗布した赤のプラズマ蛍光材料を乾燥させる乾燥装置３５０Ｒと、同様に蛍光層３２０Ｇに緑のプラズマ蛍光材料をそれぞれ塗布および乾燥させる吐出装置３４０Ｇおよび乾燥装置３５０Ｇと、同様に蛍光層３２０Ｂに青のプラズマ蛍光材料をそれぞれ塗布および乾燥させる吐出装置３４０Ｂおよび乾燥装置３５０Ｂとを備えている。さらに製造装置３３０は、吐出装置３４０Ｒ、乾燥装置３５０Ｒ、吐出装置３４０Ｇ、乾燥装置３５０Ｇ、吐出装置３４０Ｂ、乾燥装置３５０Ｂの順番に背面基板３１５を搬送する搬送装置３７０も備えている。各吐出装置は洗浄機構を備えた液滴吐出装置１であり、常に良好な吐出状態を維持でき、製造装置３３０全体の連続稼動に貢献できる。なお、プラズマ蛍光材料を用いる液滴吐出装置１の洗浄機構に用いられる洗浄液は、エタノールである。
【００６７】
次に図１０に示すように、背面基板３１５と、前面基板３１６とを貼り合わせてプラズマ表示装置３００が得られる。この前面基板３１６は、ガラス基板３１３と、ガラス基板３１３上で互いに平行にパターニングされた表示電極および表示スキャン電極３１２と、表示電極および表示スキャン電極３１２とを覆うように形成された誘電体ガラス層３１１と、誘電体ガラス層３１１上に形成された保護層３１０とを有する。背面基板３１５と前面基板３１６とは、背面基板３１５のアドレス電極３０２と、前面基板３１６の表示電極・表示スキャン電極３１２とが、互いに直交するように位置合わせされている。そして、各境界層３０５で囲まれる領域には、所定の圧力で放電ガス３１４を封入する。
【００６８】
以上、本発明の洗浄機構によれば、材料液が流動する洗浄部分を取り外す等の必要が一切無く、洗浄作業開始を選択すれば自動的に洗浄が行われる。洗浄は、主要な洗浄部分のみの洗浄と、材料液が流動する経路を含めた洗浄と、を選択することができ、効率的に装置の洗浄が行える。
【００６９】
また、洗浄機構を備えた液滴吐出装置１によれば、主要部である材料液を吐出する吐出ヘッド２６の洗浄と、材料液の供給経路を含めた洗浄と、を選択して洗浄できる。それぞれ定期的に実施することにより、材料液を安定して吐出ヘッド２６から吐出でき、液滴吐出装置１の確実な稼動を維持できる。材料液の安定した吐出により、液晶表示装置の画素領域、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光部、プラズマ表示装置の蛍光部などのカラー表示部に均一に材料液を塗布することができ、高品位な表示装置が提供できる。
【００７０】
このように、本発明の洗浄機構および液滴吐出装置１は、カラーフィルタ表示装置１００、エレクトロルミネッセンス表示装置２００、プラズマ表示装置３００などの表示装置の製造に貢献でき、これらを搭載したテレビ、パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション、デジタルカメラ、携帯電話などの高品質な電子機器を提供できる。更に、本発明は、カラーフィルタ、エレクトロルミネッセンス、プラズマの表示装置（ディスプレイ）に加え、電子放出素子を備えた表示装置であるＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）やＳＥＤ（Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ−Ｅｍｉｔｔｅｒ  Ｄｉｓｐｌａｙ）等の製造にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の洗浄機構を示す模式図。
【図２】液滴吐出装置の全容を示す外観斜視図。
【図３】（ａ）ヘッド部の吐出ヘッド配置を示す平面図、（ｂ）吐出ヘッドのノズル配置を示す平面図。
【図４】（ａ）吐出ヘッドの構造を示す斜視図、（ｂ）ノズル部の詳細構造を示す断面図。
【図５】液滴吐出装置の制御系を示すブロック図。
【図６】（ａ）液晶表示装置の構成を示す断面図、（ｂ）画素領域の配置を示す平面図。
【図７】カラーフィルタの製造装置を示す模式図。
【図８】エレクトロルミネッセンス表示装置の構成を示す断面図。
【図９】エレクトロルミネッセンス表示装置の発光部の製造装置を示す模式図。
【図１０】プラズマ表示装置の構成を示す断面図。
【図１１】プラズマ表示装置の背面基板の製造装置を示す模式図。
【符号の説明】
【００７２】
１．液滴吐出装置                    １０．液滴
２６．吐出ヘッド                      ２７．ノズル
４１．流路切替バルブ                  ４２．ヘッド部切替バルブ
４３．洗浄液タンク                    ４４．洗浄液ポンプ
４９．流路チューブ                    ５６．キャッピングユニット
１００．液晶表示装置
２００．エレクトロルミネッセンス表示装置
３００．プラズマ表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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