(57)【要約】【課題】  ＮとＭはそれぞれ正の整数とし、ＮbitのＡＤコンバータに、（Ｎ＋Ｍ）bitの分解能として生成した検査用信号を入力して、各検査用信号に基づく出力コード信号を出力させることにより出力コード信号が変化する変化点を特定し、この変化点となる検査用信号情報に基づいてＡＤコンバータの検査を行う検査装置において、高速な検査を可能とした検査装置を提供する。【解決手段】  変化点となる検査用信号の検出を、変化点となる検査用信号が存在すると想定される最小の検査用信号と最大の検査用信号とで規定される領域に対し、最小の検査用信号と最大の検査用信号との間の略中間となる中間検査用信号を挟んで、最小の検査用信号寄りの検査用信号と、最大の検査用信号寄りの検査用信号とを交互に、かつ中間検査用信号に漸次近づけながら逐次入力することによって行うように構成する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＮとＭはそれぞれ正の整数とし、Ｎbitのアナログ・デジタルコンバータに、（Ｎ＋Ｍ）bitの分解能として生成した検査用信号を入力して、各検査用信号に基づく出力コード信号を出力させることにより出力コード信号が変化する変化点を特定し、各変化点となる検査用信号情報に基づいて前記アナログ・デジタルコンバータの検査を行う検査装置において、
変化点となる検査用信号が存在する領域を、同領域に含まれる最小の検査用信号と最大の検査用信号とで設定し、
最小の検査用信号を前記アナログ・デジタルコンバータに入力し、次いで、最大の検査用信号を前記アナログ・デジタルコンバータに入力し、さらに、最小の検査用信号と最大の検査用信号との間の略中間となる中間検査用信号を挟んで、最小の検査用信号寄りの検査用信号と、最大の検査用信号寄りの検査用信号とを交互に、かつ中間検査用信号に漸次近づけながら前記アナログ・デジタルコンバータに入力して変化点となる検査用信号の検出を行うべく構成したことを特徴とするアナログ・デジタルコンバータ用検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アナログ・デジタルコンバータの検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、アナログ・デジタルコンバータ（以下、「ＡＤコンバータ」と呼ぶ）は、製造後において、アナログ信号を正常にデジタル信号に変換できているかどうかが検査されおり、正常に変換できていないＡＤコンバータの選別除去が行われている。
【０００３】
かかる検査を行う場合には所要の検査装置が用いられており、同検査装置ではアナログ信号からなる検査用信号をＡＤコンバータに入力し、その検査用信号をＡＤコンバータによってデジタル信号に変換して出力コード信号として出力させ、出力された出力コード信号が所定の信号となっているかどうかを判定することにより良否判定を行うように構成している（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
以下において、検査装置を具体的に説明する。検査装置は、図９に示すように、制御部100と、測定ユニット部200と、ソケット部300とから構成しており、制御部100はあらかじめ内蔵された検査プログラムに基づいて測定ユニット部200に検査制御信号100sを入力する。
【０００５】
測定ユニット部200は所要の中央演算装置（ＣＰＵ）と記憶装置（メモリ）とからなる測定制御器210と、アナログ信号生成器220と、信号比較器230とを具備しており、測定ユニット部200に入力された検査制御信号100sは測定制御器210に入力され、測定制御器210は検査制御信号100sに基づいて所要の制御信号210sをアナログ信号生成器220に入力する。
【０００６】
アナログ信号生成器220は入力された制御信号210sに基づいてアナログ信号の検査用信号220sを生成して出力し、ソケット部300に装着した被検査体のＡＤコンバータ400に同検査用信号220sを入力する。
【０００７】
ＡＤコンバータ400は、検査用信号220sの入力に基づいて所要の信号変換、すなわちデジタル信号への変換を行って出力コード信号400sを生成し、ソケット部300へ出力している。
【０００８】
ソケット部300はＡＤコンバータ400から入力された出力コード信号400sを測定ユニット部200の信号比較器230に入力し、信号比較器230では先に入力されていた出力コード信号400sと、新たに入力された出力コード信号400sとの比較を行って出力コード信号400sの変動の有無を検出し、検出結果を検出結果信号230sとして測定ユニット部200の測定制御器210に入力する。
【０００９】
測定制御器210は、信号比較器230から入力された検出結果信号230sを一時記憶し、新たな制御信号210sをアナログ信号生成器220に入力する。このようにして、所定の制御信号210sに対する検出結果信号230sが得られたところで測定制御器210は変化点となる検査用信号220sの特定を行って検査結果情報信号200sを生成し、同検査結果情報信号200sを制御部100に入力してＡＤコンバータ400の良否判定を行っている。
【００１０】
ここで、検査装置は、精度の良い検査を行うために、ＡＤコンバータ400に入力する検査用信号220sの分解能を、ＡＤコンバータ400の分解能以上とする必要がある。例えば、被検査体であるＡＤコンバータ400が10bitのＡＤコンバータ400であった場合には、通常、13bit以上の分解能の検査用信号220sを用いている。すなわち、例えばＡＤコンバータ400の電源電圧が３Ｖであった場合、このＡＤコンバータ400の分解能は2.93mV/bitであるので、ＡＤコンバータ400に入力する検査用信号220sを、０Ｖから３Ｖの間で0.37mVずつ異ならせた入力電圧値を有する信号として、各検査用信号220sをＡＤコンバータ400に逐次入力して、図１０に示すように、各検査用信号220sに対応した出力コード信号400sを出力させている。図１０中の１つの白丸印が、１つの検査用信号220sに対する出力コード信号400sの値をそれぞれ示している。
【００１１】
そして、隣り合った検査用信号220sの間で出力コード信号400sが変化する変化点（図１０中の黒丸印）を検出し、変化点の検査用信号220sの電圧値を検査用信号情報として記憶し、得られた電圧値が所定の規格を満たしているかどうかを判別することによって、ＡＤコンバータ400の良否判定を行っている。
【特許文献１】特開平１０−６８７６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上記したＡＤコンバータの検査装置では、例えば被検査体を10bitのＡＤコンバータとして13bitの分解能とした検査用信号で検査を行う場合に、ＡＤコンバータに入力する検査用信号としては8,193個の検査用信号が必要となり、ＡＤコンバータに対して8,193個の検査用信号を順番に入力して出力コード信号400sを得ているために、検査に多大な時間を要し、検査効率を向上させることが困難であるという問題があった。
【００１３】
しかも、昨今では機能向上の要求にともなってＡＤコンバータがさらに多bit化してきているために、検査用信号も多bit化して生成する必要があり、そのため生成する検査用信号の数が膨大となってＡＤコンバータの検査にさらに時間を要することとなり、検査時間の短縮による検査効率の向上を図ることがさらに困難となっていた。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
そこで、本発明のＡＤコンバータ用検査装置では、ＮとＭはそれぞれ正の整数とし、ＮbitのＡＤコンバータに、（Ｎ＋Ｍ）bitの分解能として生成した検査用信号を入力して、各検査用信号に基づく出力コード信号を出力させることにより出力コード信号が変化する変化点を特定し、この変化点となる検査用信号情報に基づいて前記ＡＤコンバータの検査を行う検査装置において、変化点となる検査用信号が存在する領域を、同領域に含まれる最小の検査用信号と最大の検査用信号とで設定し、最小の検査用信号を前記ＡＤコンバータに入力し、次いで、最大の検査用信号を前記ＡＤコンバータに入力し、さらに、最小の検査用信号と最大の検査用信号との間の略中間となる中間検査用信号を挟んで、最小の検査用信号寄りの検査用信号と、最大の検査用信号寄りの検査用信号とを交互に、かつ中間検査用信号に漸次近づけながら前記ＡＤコンバータに入力して変化点となる検査用信号の検出を行うように構成した。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１記載の発明によれば、ＮとＭはそれぞれ正の整数とし、ＮbitのＡＤコンバータに、（Ｎ＋Ｍ）bitの分解能として生成した検査用信号を入力して、各検査用信号に基づく出力コード信号を出力させることにより出力コード信号が変化する変化点を特定し、この変化点となる検査用信号情報に基づいて前記ＡＤコンバータの検査を行う検査装置において、変化点となる検査用信号の検出を、変化点となる検査用信号が存在すると想定される最小の検査用信号と最大の検査用信号とで規定される領域に対し、最小の検査用信号と最大の検査用信号との間の略中間となる中間検査用信号を挟んで、最小の検査用信号寄りの検査用信号と、最大の検査用信号寄りの検査用信号とを交互に、かつ中間検査用信号に漸次近づけながら逐次入力することによって行うべく構成したことによって、少ない検査用信号の入力によって変化点の検出を行うことができるので、検査時間を短縮化して検査効率を向上させることができる。
【００１６】
特に、検査精度を向上させるべく高分解能（Ｍをできるだけ大きい値とする）とした場合に、入力が必要である検査用信号を効率よく選択して検査を行うことができ、高精度の検査を効率よく実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明のＡＤコンバータ用検査装置では、ＡＤコンバータに検査用信号を入力して得た出力コード信号に基づいて出力コード信号が変化する変化点となる検査用信号を検出するために、小さい値の検査用信号から大きい値の検査用信号までを順番に、あるいは逆に大きい値の検査用信号から小さい値の検査用信号までを順番に入力することにより検出を行うのではなく、変化点となる検査用信号が存在すると想定される領域に絞って検査用信号の入力を行うものである。
【００１８】
すなわち、ＡＤコンバータを製造した場合には、通常変化点が大きく偏倚して製造されることは少なく、基本的にあらかじめ予想される領域内に変化点が存在していることがほとんどである。したがって、このことを利用して、予想される領域内に限定して変化点の検出を行うことによりＡＤコンバータに入力する検査用信号の数を削減することができ、検査時間を短縮化することができる。
【００１９】
特に、ＡＤコンバータに入力する検査用信号は、変化点となる検査用信号が存在する検査用信号の領域を、その領域に含まれる最小の検査用信号と最大の検査用信号とを用いて設定した領域内から選択すべく構成している。
【００２０】
そして、最初に最小の検査用信号をＡＤコンバータに入力し、次いで、最大の検査用信号をＡＤコンバータに入力する。
【００２１】
その後、最小の検査用信号と最大の検査用信号との間の略中間となる中間検査用信号を挟んで、最小の検査用信号寄りの検査用信号と、最大の検査用信号寄りの検査用信号とを交互に、かつ中間検査用信号に漸次近づけながらＡＤコンバータに入力している。
【００２２】
したがって、ＡＤコンバータが規格どおりに製造されていた場合には、従来よりも少ない検査用信号の入力によって変化点の検出を行うことができるので、検査時間を短縮化して検査効率を向上させることができ、一方、変化点が予想される変化点の存在領域から偏倚して存在していた場合には、変化点が適正位置にないことを検出することができ、かかる変化点を有するＡＤコンバータを不良品として適正に処理することができる。
【００２３】
以下において、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。本実施形態の検査装置は、従来の技術の項で説明した検査装置と同一構成であって、図１に示すように、制御部10と、測定ユニット部20と、ソケット部30とから構成している。さらに、測定ユニット部20は、所要の中央演算装置（ＣＰＵ）と記憶装置（メモリ）とからなる測定制御器21と、アナログ信号生成器22と、信号比較器23とを具備している。
【００２４】
そして、被検査体のＡＤコンバータ40をソケット部30に装着した後、制御部10にあらかじめ内蔵した検査プログラムに基づいて測定ユニット部20に検査制御信号10sを入力して検査を行うものである。検査制御信号10sは測定ユニット部20の測定制御器21に入力され、測定制御器21は検査制御信号10sに基づいて所要の制御信号21sを生成してアナログ信号生成器22に入力し、アナログ信号生成器22では、入力された制御信号21sに基づいてアナログ信号の検査用信号22sを生成し、ソケット部30に装着したＡＤコンバータ40に同検査用信号22sを入力すべく構成している。
【００２５】
そして、ＡＤコンバータ40は、検査用信号22sの入力に基づいてデジタル信号への変換を行って出力コード信号40sを生成し、同出力コード信号40sをソケット部30を介して測定ユニット部20の信号比較器23に入力し、信号比較器23では入力された出力コード信号40sに基づいて検出結果信号23sを生成し、同検出結果信号23sを測定制御器21に入力している。
【００２６】
測定制御器21では、入力された検出結果信号23sに基づいて検査結果情報信号20sを生成して制御部10に入力し、制御部10では入力された検査結果情報信号20sに基づいてＡＤコンバータ40の良否判定を行っている。
【００２７】
本発明の要旨は、このように構成した検査装置において、測定ユニット部20における検査用信号22sの生成の制御方法が従来と異なっている点にある。以下においてより具体的に説明するために、検査装置は、電源電圧が３Ｖで、10bitのＡＤコンバータ40の検査を行うものとし、13bitの分解能とした検査用信号22sをＡＤコンバータ40に入力するものとする。すなわち、測定ユニット部20の測定制御器21は、アナログ信号生成器22において０Ｖから３Ｖの間で0.37mVずつ異なった8,193個の検査用信号22sを生成させるべく所要の制御信号21sを出力し、アナログ信号生成器22に入力すべく構成している。
【００２８】
まず、測定制御器21は、被検査体のＡＤコンバータ40における所定の変化点が検出される検査用信号22sの存在領域を設定する。この存在領域の設定は、検出しようとしている変化点が存在すると想定される領域の最小の検査用信号と最大の検査用信号とを設定することにより行うべく構成している。
【００２９】
そして、測定ユニット部20は、最小の検査用信号を１番目に入力する第１検査用信号としてアナログ信号生成器22から出力し、ＡＤコンバータ40に入力する。特に、第１検査用信号は、検査開始時においては０Ｖの検査用信号を用いればよく、それ以降においては検査によって特定された既知の変化点を用いればよい。本実施例では、図２に示すように、既知の変化点となる検査用信号22sを第１検査用信号としている。図２に示すように、変化点における検査用信号によって得られた出力コード信号の値を、黒丸印で表すこととする。ここで、ＡＤコンバータ40に第１検査用信号を入力して得られた第１出力コード信号は、１０進数表記で「５２４」であったとしている。
【００３０】
次いで、測定ユニット部20は、２番目に入力する第２検査用信号として、上記した最大の検査用信号を第２検査用信号としてアナログ信号生成器22から出力し、ＡＤコンバータ40に入力する。第２検査用信号となる最大の検査用信号は、ＡＤコンバータ40が理想的なＡＤコンバータと仮定した場合に、検出しようとしている変化点と同じ出力コード信号を出力すると予想される検査用信号において最大の電圧となる検査用信号としている。したがって、図２に示すように、第２検査用信号をＡＤコンバータ40に入力して出力された第２出力コード信号は、第１出力コード信号より「１」だけ大きい値となっている。変化点とはならない検査用信号22sによって得られた出力コード信号40sの値を、白丸印で表すこととする。
【００３１】
上記のように第１検査用信号と第２検査用信号とを設定することにより、本実施例のように10bitのＡＤコンバータ40に対して13bitの分解能とした検査用信号22sを入力する場合には、第２検査用信号は第１検査用信号から数えて１５番目の検査用信号22sとなっており、このことから本実施例では、第１検査用信号を基準として１５番目の検査用信号22sを第２検査用信号と設定すべく構成し、測定ユニット部20では、第１検査用信号の入力後、所要の演算処理を行うことにより第２検査用信号を生成して出力している。
【００３２】
これをより汎用的に表現すると、Ｎ及びＭを正の整数として、ＮbitのＡＤコンバータに、（Ｎ＋Ｍ）bitの分解能として生成した検査用信号を入力して検査を行う場合に、既知の変化点から第１検査用信号を決定し、第１検査用信号を基準として（２×２Ｍ−１）番目の検査用信号22sを演算処理によって生成し、生成した検査用信号22sを第２検査用信号としているものである。ここで、２×２Ｍ−１＝Ｐ（図２参照）とし、この値を第１間隔と呼ぶ。本実施例ではＰ＝１５である。
【００３３】
なお、上記のように第１検査用信号を基準としてＰ番目の検査用信号22sを第２検査用信号とするのは、ＡＤコンバータ40の製造精度が高い場合であって、ＡＤコンバータ40の製造精度が高くない場合には、第１間隔Ｐをより狭い幅に設定してもよい。
【００３４】
次いで、測定ユニット部20は、３番目に入力する第３検査用信号を演算処理によって生成し、アナログ信号生成器22から出力してＡＤコンバータ40に入力する。ここで、第１間隔を「３」で割った商の値を「Ｐ／３」で表すとすると、第３検査用信号は、図３に示すように、第１検査用信号を基準としてＰ／３番目の検査用信号22sとしている。すなわち、本実施例では、第３検査用信号は、第１検査用信号を基準として５番目の検査用信号22sである。第３検査用信号をＡＤコンバータ40に入力して出力された第３出力コード信号は、第２出力コード信号より「１」だけ小さい値となっている。
【００３５】
次いで、測定ユニット部20は、４番目に入力する第４検査用信号を演算処理によって生成し、アナログ信号生成器22から出力してＡＤコンバータ40に入力する。ここでも第１間隔を「３」で割った商の値を「Ｐ／３」で表すとすると、第４検査用信号は、図４に示すように、第２検査用信号を基準として（−Ｐ／３）番目の検査用信号22sとしている。すなわち、本実施例では、第４検査用信号は、第１検査用信号を基準として１０番目の検査用信号22sである。第４検査用信号をＡＤコンバータ40に入力して出力された第４出力コード信号は、第３出力コード信号より「１」だけ大きい値となっている。
【００３６】
第３検査用信号と第４検査用信号との間における検査用信号22sの数を第２間隔と呼び、その値をＱで表すこととする。すなわち、第４検査用信号は第３検査用信号を基準としてＱ番目の検査用信号22sとなっている。本実施例では、第２間隔Ｑ＝５となっている。
【００３７】
次いで、測定ユニット部20は、５番目に入力する第５検査用信号を演算処理によって生成し、アナログ信号生成器22から出力してＡＤコンバータ40に入力する。ここで、第２間隔を「３」で割った商の値を「Ｑ／３」で表すとすると、第５検査用信号は、図５に示すように、第３検査用信号を基準としてＱ／３番目の検査用信号22sとしている。すなわち、本実施例では、第５検査用信号は、第３検査用信号を基準として１番目、つまり第１検査用信号を基準として６番目の検査用信号22sである。第５検査用信号をＡＤコンバータ40に入力して出力された第５出力コード信号は、第４出力コード信号より「１」だけ小さい値となっている。
【００３８】
次いで、測定ユニット部20は、６番目に入力する第６検査用信号を演算処理によって生成し、アナログ信号生成器22から出力してＡＤコンバータ40に入力する。ここでも第２間隔を「３」で割った商の値を「Ｑ／３」で表すとすると、第６検査用信号は、図６に示すように、第４検査用信号を基準として（−Ｑ／３）番目の検査用信号22sとしている。すなわち、本実施例では、第６検査用信号は、第４検査用信号を基準として−１番目、つまり第１検査用信号を基準として９番目の検査用信号22sである。第６検査用信号をＡＤコンバータ40に入力して出力された第６出力コード信号は、第５出力コード信号より「１」だけ大きい値となっている。
【００３９】
第５検査用信号と第６検査用信号との間における検査用信号22sの数を第３間隔と呼び、その値をＲで表すこととする。すなわち、第６検査用信号は第５検査用信号を基準としてＲ番目の検査用信号22sとなっている。本実施例では、第３間隔Ｒ＝３となっている。
【００４０】
次いで、測定ユニット部20は、７番目に入力する第７検査用信号を演算処理によって生成し、アナログ信号生成器22から出力してＡＤコンバータ40に入力する。ここで、第３間隔を「３」で割った商の値を「Ｒ／３」で表すとすると、第７検査用信号は、図７に示すように、第５検査用信号を基準としてＲ／３番目の検査用信号22sとしている。すなわち、本実施例では、第７検査用信号は、第５検査用信号を基準として１番目、つまり第１検査用信号を基準として７番目の検査用信号22sである。第７検査用信号をＡＤコンバータ40に入力して出力された第７出力コード信号は、第６出力コード信号より「１」だけ小さい値となっている。
【００４１】
次いで、測定ユニット部20は、８番目に入力する第８検査用信号を演算処理によって生成し、アナログ信号生成器22から出力してＡＤコンバータ40に入力する。ここでも第３間隔を「３」で割った商の値を「Ｒ／３」で表すとすると、第８検査用信号は、図８に示すように、第６検査用信号を基準として（−Ｒ／３）番目の検査用信号22sとしている。すなわち、本実施例では、第８検査用信号は、第６検査用信号を基準として−１番目、つまり第１検査用信号を基準として８番目の検査用信号22sである。第８検査用信号をＡＤコンバータ40に入力して出力された第８出力コード信号は、第７出力コード信号より「１」だけ大きい値となっている。
【００４２】
このように、最初に最小の検査用信号である第１検査用信号をＡＤコンバータに入力し、次いで、最大の検査用信号である第２検査用信号をＡＤコンバータに入力して、第１検査用信号に対応した第１出力コード信号と、第２検査用信号に対応した第２出力コード信号とが「１」だけ異なって、第１検査用信号と第２検査用信号との間に変化点となる検査用信号22sが存在することを確認した後に、第１検査用信号と第２検査用信号との間の略中間となる中間検査用信号を挟んで、第１検査用信号寄りの検査用信号22sと、第２検査用信号寄りの検査用信号22sとを交互に、かつ中間検査用信号に漸次近づけながら演算処理によって生成してＡＤコンバータに入力することにより、ＡＤコンバータへの入力の必要のない検査用信号22sを入力することなくＡＤコンバータの検査を行うことができるので、ＡＤコンバータへの検査用信号22sの入力数を削減することができ、検査時間を短縮することができる。
【００４３】
特に、中間検査用信号を挟んで、第１検査用信号寄りの検査用信号22sと、第２検査用信号寄りの検査用信号22sとを交互に、かつ中間検査用信号に漸次近づけながら演算処理によって生成する場合に、第１検査用信号寄りの検査用信号22sと、第２検査用信号寄りの検査用信号22sとの間に存在する検査用信号22sの数の１／３とした数だけ中間検査用信号に近づけながら新たな検査用信号22sを生成することにより、変化点が存在する可能性が高い領域では密に、変化点が存在する可能性が高い領域では粗として検査用信号22sの入力を行うことができ、検査用信号22sの効率の良い入力を行うことができる。
【００４４】
なお、第１検査用信号寄りの検査用信号22sと、第２検査用信号寄りの検査用信号22sとの間に存在する検査用信号22sの数が「３」よりも小さくなった場合には、第１検査用信号寄りの検査用信号22sと、第２検査用信号寄りの検査用信号22sとの間に存在する全ての検査用信号22sを生成して、ＡＤコンバータに入力すべく構成している。
【００４５】
また、検査用信号22sのＡＤコンバータへの入力にともなってＡＤコンバータから出力された出力コード信号40sは、先に出力された出力コード信号40sとは「１」だけ異なりながら出力されることにより、先に入力した検査用信号22sと、その後に入力した検査用信号22sとの間に変化点となる検査用信号22sが存在していることを確認しながら検査用信号22sの入力を行うことができる。
【００４６】
一方、先に出力された出力コード信号40sと後に出力された出力コード信号40sとで値が異ならない場合には、先に入力した検査用信号22sと後に入力した検査用信号22sとの間には、変化点となる検査用信号22sが存在していないことを意味しており、変化点となる検査用信号22sに偏倚が生じていることを検出できる。
【００４７】
上記した実施例では、説明の便宜上、測定制御器21において最小の検査用信号と最大の検査用信号とを設定することにより変化点が検出される検査用信号22sの存在領域を設定した後に、アナログ信号生成器22から出力させる所要の検査用信号22sを逐次生成してＡＤコンバータ40に入力し出力コード信号40sを得るとして説明しているが、検査過程において一度生成した検査用信号22sを再度生成する必要が生じた場合には、その検査用信号22sの生成は行わず、その検査用信号22sに基づいて先に得られた出力コード信号40sを再度利用することにより、ＡＤコンバータ40への入力回数を削減して、検査時間を短縮化している。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明にかかる検査装置の概略ブロック図である。
【図２】本発明にかかる検査装置による検査方法の説明図である。
【図３】本発明にかかる検査装置による検査方法の説明図である。
【図４】本発明にかかる検査装置による検査方法の説明図である。
【図５】本発明にかかる検査装置による検査方法の説明図である。
【図６】本発明にかかる検査装置による検査方法の説明図である。
【図７】本発明にかかる検査装置による検査方法の説明図である。
【図８】本発明にかかる検査装置による検査方法の説明図である。
【図９】従来の検査装置の概略ブロック図である。
【図１０】従来の検査装置による検査方法の説明図である。
【符号の説明】
【００４９】
10  制御部
20  測定ユニット部
21  測定制御器
22  アナログ信号生成器
23  信号比較器
30  ソケット部
40  アナログ・デジタルコンバータ（ＡＤコンバータ）
10s 検査制御信号
20s 検査結果情報信号
21s 制御信号
22s 検査用信号
23s 検出結果信号
40s 出力コード信号
【図１】
2005257415.tif 000003
【図２】
2005257415.tif 000004
【図３】
2005257415.tif 000005
【図４】
2005257415.tif 000006
【図５】
2005257415.tif 000007
【図６】
2005257415.tif 000008
【図７】
2005257415.tif 000009
【図８】
2005257415.tif 000010
【図９】
2005257415.tif 000011
【図１０】
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