(57)【要約】【解決手段】ボイスコイルモータのアームの先端部に設けられ、サスペンションを介して磁気ヘッドスライダを揺動させるアクチュエータであって、アームへの固定部を有し、この固定部の一端側がアームの先端部にステータ部とともに固定され、かつ他端側に曲げ加工によって成形された金属性マイクロビームによって揺動可能に支持されたローター部が設けられ、ステータ部に永久磁石、ローター部にコイルを、又はステータ部にコイル、ローター部に永久磁石を配置して、永久磁石の形成する磁界中でコイルに電流を流すことによりマイクロビームに変位を発生させ、ローター部に固定されたサスペンション及びその先に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成した磁気ディスク装置の磁気ヘッドアクチュエータ。【効果】本発明によると、信頼性が高く、簡単な構造で正確な位置決めを達成でき、耐衝撃性を有する磁気ヘッドアクチュエータを提供できる。【選択図】  図２
2005196943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボイスコイルモータのアームの先端部に設けられ、サスペンションを介して磁気ヘッドスライダを揺動させるアクチュエータであって、アームへの固定部を有し、この固定部の一端側がアームの先端部にステータ部とともに固定され、かつ他端側に曲げ加工によって成形された金属性マイクロビームによって揺動可能に支持されたローター部が設けられ、ステータ部に永久磁石、ローター部にコイルを、又はステータ部にコイル、ローター部に永久磁石を配置して、永久磁石の形成する磁界中でコイルに電流を流すことによりマイクロビームに変位を発生させ、ローター部に固定されたサスペンション及びその先に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする磁気ディスク装置の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項２】
前記マイクロビームは、ローター部の両側に一対に配置されてローター部を介してサスペンション及び磁気ヘッドスライダを支持し、磁気ディスクのトラッキング方向に対してステータ部とローター部との間に発生した駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項３】
前記マイクロビームは、少なくとも１つ以上の折返し部分を具備したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項４】
前記マイクロビームは、ボイスコイルモータのアーム先端への固定部及びローター部と一体であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項５】
前記マイクロビームは、ボイスコイルモータのアーム先端への固定部、ローター部及びサスペンションのロードビーム部と一体であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項６】
前記ステータ部が強磁性体からなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項７】
前記ステータ部がボイスコイルモータのアームと一体であり、該アームが強磁性体からなることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項８】
前記ローター部が強磁性体からなることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項９】
磁気回路を形成させるために、前記ローター部を挟んで前記ステータ部と対向する位置に補助ヨークが取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項１０】
ボイスコイルモータのアームの先端部に前記マイクロビーム、ローター部及びサスペンション部２組みが前記アームを挟むように対象に配置され、前記アーム先端部に１つのステータ部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
【請求項１１】
ボイスコイルモータの作動により回転するピボット回転軸を中心に移動するボイスコイルモータアームの先端に磁気ヘッドアクチュエータを介してサスペンションのロードビーム及びジンバルが取り付けられていると共に、サスペンション先端に磁気ヘッドを備えたスライダが取り付けられ、上記アームが動くように操作されることにより、上記スライダが磁気ディスク上の所定のトラックを移動するようにした磁気ディスク装置であって、前記磁気ヘッドアクチュエータは、ボイスコイルモータアーム先端への固定部とマイクロビームとコイル又は永久磁石が配置されたローター部とを構成する部品、永久磁石又はコイルが配置されたステータ部、補助ヨークを備え、ボイスコイルモータアームに固定されており、そして永久磁石とステータ部と補助ヨークとからなる磁気回路内で、永久磁石とコイルとが僅かなギャップを保ちながら対向するように配置されていると共に、前記マイクロビームは、ボイスコイルモータアーム先端への固定部の両側縁に一体に連設され、これら両側縁に沿ってステータ部側に向けて直角に折り返され、かつ固定部両側縁先端部より先方に向けて延出する長片を内方に１８０°屈曲（第１の屈曲）し、更に固定部両側縁先端部より先側で内方に１８０°屈曲（第１の屈曲と逆方向の第２の屈曲）し、その先端部において、連設部を介してローター部が一体に連設された構成を有し、永久磁石の作る磁界の中に置かれたコイルに通電することで、ローレンツ力により左右方向にローター部が揺動し、これと一体にサスペンション、磁気ヘッドを搭載したスライダも揺動することを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項１２】
固定部とローター部とが両側端部においてそれぞれ長片によって橋かけ、連結された基体を用い、その長片の中間部をそれぞれ約１８０°谷折りし、固定部にローター部を重ねるようにし、次いで、このように折曲された長片のうち、ローター部、連結側片の中間部をそれぞれ約１８０°谷折りし、固定部の先端縁とローター部の基端縁が互いに近接するようにし、更に、長片をステータ部側に向けて直角に谷折りすることによって、固定部とマイクロビームとローター部を構成する部品を形成するようにした請求項１１記載の磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置のヘッドアクチュエータ及びこれを用いた磁気ディスク装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置は、回転する強磁性媒体、即ち磁気ディスク上に磁気ヘッドを走査させることで情報の記録・再生を行うものであり、現代の情報化社会を支えるストレージ装置の中心として広く用いられている。磁気ヘッドはスライダに納められ、記録・再生時にスライダは磁気ディスク上をナノメートルオーダーの隙間を保ちながら浮上している。磁気ヘッドを所定の位置に移動する駆動力は、通常ボイスコイルモータにより発せられる。ボイスコイルモータのコイルはピボットで回転可能に支持されたアームに連結し、更にアーム先端からロードビームとジンバルからなるサスペンションを介して磁気ヘッドスライダが取り付けられている。ロードビームはスライダの浮上量と釣り合う荷重を発生させるバネ材であり、ジンバルはスライダを支え、ディスク面と平行な面以外で弾性変形することでトラッキングへの追従性を損なわずにディスク面振れやアセンブリに伴う傾きを吸収するバネ材である。この構造により、磁気ヘッドは回転ディスク上の所定のトラックに安定な状態を保ちながら移動できる。
【０００３】
近年、磁気ディスク装置の記録密度は高密度化（即ちトラック幅は狭化）し続けており、この狭いトラックに磁気ヘッドを正確に位置決めしなければならないため、ヘッドの位置決め精度を向上させる必要がある。従来、ヘッドの位置決めは上記のボイスコイルモータなどの大きいアクチュエータのみで行われてきたが、トラック幅の狭化に対しては充分な精度を有していない。そこで、高精度位置決めをする機構やマイクロアクチュエータが高記録密度ディスク装置には不可欠になってきた。
【０００４】
本発明者は、高精度位置決めを達成するために電磁力を用いたマイクロアクチュエータ（特願２００３−１９０４号、同１９２９号、同１９４９号）を提案している。このマイクロアクチュエータは、ローター部とステータ部を２つの板バネ（マイクロビームと称する）で結合させたものであり、サスペンションのジンバル部と一体で曲げ加工により製造される。
【０００５】
マイクロビームの断面は高いアスペクト比を有する長方形あるいはそれに近い形状であり、トラッキング方向の厚さは薄く、その直角方向、即ちサスペンションのロードビームが磁気ヘッドスライダに荷重をかける方向は厚い。これにより、マイクロビームはトラッキング方向に対してローターを揺動可能に支持し、かつ荷重方向に対しては十分高い剛性を示す。ローター及びステータ部には永久磁石とコイルが配置され、２段目のボイスコイルモータとしてトラック幅方向の高精度な位置決め制御を実現する。このマイクロアクチュエータの方式はジンバル部を介してスライダを駆動させる構造であるので、以後“スライダ駆動型”と称する。
【０００６】
磁気ディスク装置は、その高性能化に伴いテレビ画像記録装置、カーナビゲーションをはじめ種々の分野へ応用範囲を広げている。磁気ディスクの直径が２．５インチを下まわる小型磁気ディスク装置において、ディジタル・スチル・カメラ、ビデオカメラ、音楽プレーヤなど携帯型の機器への採用が検討あるいは実用化されてきている。このような応用に際しては、装置の耐衝撃性が重要となる。衝撃への対策としては装置全体の軽量化、緩衝構造を有する筐体、スライダの小型化や形状の工夫、衝撃を回避できるような制御を行う等が考えられ、現在盛んに研究・開発が行われている。
【０００７】
本発明者が前に提案したスライダ駆動型マイクロアクチュエータにおけるマイクロビームの断面形状は概ね０．０３×０．００５程度であり、強い衝撃を受けると容易に変形する場合がある。この場合、ビームの断面積を増やし、耐衝撃性及び剛性を高めると、マイクロビームのトラッキング方向におけるバネ定数も高くなるために永久磁石とコイルの体積を増大させる必要が生じる。しかし、安易にサスペンション先端部の質量を増加させると、共振周波数の低下と慣性の増大を招き、粗動アクチュエータによる制御が困難となるため、２段アクチュエータによるヘッドの位置決めに対する高精度化が図れない。このような理由により、スライダ駆動型マイクロアクチュエータの携帯型記録装置への適用は困難であった。
なお、本発明に関連する従来技術を示す文献として、下記のものが挙げられる。
【０００８】
【特許文献１】米国特許第６２９５１８５号明細書
【特許文献２】米国特許第６０７８４７３号明細書
【非特許文献１】Ｆａｎ  ｅｔ  ａｌ．，ＩＥＥＥ  ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ  ＯＮ  ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ．ＶＯＬ．３５，ＮＯ．２，ＭＡＲＣＨ  １９９９，ｐ．１０００−１００５
【非特許文献２】Ｋｏｇａｎｅｚａｗａ  ｅｔ  ａｌ．，ＩＥＥＥ  ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ  ＯＮ  ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ．ＶＯＬ．３５，ＮＯ．２，ＭＡＲＣＨ  １９９９，ｐ．９８８−９９２
【非特許文献３】Ｋｏｇａｎｅｚａｗａ  ｅｔ  ａｌ．，ＩＥＥＥ  ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ  ＯＮ  ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ．ＶＯＬ．３２，ＮＯ．５，ＳＥＰＴＥＭＢＥＲ  １９９６，ｐ．３９０８−３９１０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記した従来の問題点に鑑み、ボイスコイルモータのアーム先端部にアクチュエータを設け、サスペンション全体を駆動させる構造をとることでアクチュエータを大型化し、マイクロビームの断面積を増大させ、衝撃に強い磁気ディスク装置の磁気ヘッドアクチュエータ及びこれを用いた磁気ディスク装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するため鋭意検討を行った結果、本発明に到達したもので、本発明は下記の磁気ヘッドアクチュエータ及びこれを用いた磁気ディスク装置を提供する。
請求項１：ボイスコイルモータのアームの先端部に設けられ、サスペンションを介して磁気ヘッドスライダを揺動させるアクチュエータであって、アームへの固定部を有し、この固定部の一端側がアームの先端部にステータ部とともに固定され、かつ他端側に曲げ加工によって成形された金属性マイクロビームによって揺動可能に支持されたローター部が設けられ、ステータ部に永久磁石、ローター部にコイルを、又はステータ部にコイル、ローター部に永久磁石を配置して、永久磁石の形成する磁界中でコイルに電流を流すことによりマイクロビームに変位を発生させ、ローター部に固定されたサスペンション及びその先に取り付けられた磁気ヘッドスライダを揺動させるように構成したことを特徴とする磁気ディスク装置の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項２：前記マイクロビームは、ローター部の両側に一対に配置されてローター部を介してサスペンション及び磁気ヘッドスライダを支持し、磁気ディスクのトラッキング方向に対してステータ部とローター部との間に発生した駆動力で十分に変位し、その他の方向には高い剛性を有することを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項３：前記マイクロビームは、少なくとも１つ以上の折返し部分を具備したことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項４：前記マイクロビームは、ボイスコイルモータのアーム先端への固定部及びローター部と一体であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項５：前記マイクロビームは、ボイスコイルモータのアーム先端への固定部、ローター部及びサスペンションのロードビーム部と一体であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項６：前記ステータ部が強磁性体からなることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項７：前記ステータ部がボイスコイルモータのアームと一体であり、該アームが強磁性体からなることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項８：前記ローター部が強磁性体からなることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項９：磁気回路を形成させるために、前記ローター部を挟んで前記ステータ部と対向する位置に補助ヨークが取り付けられていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項１０：ボイスコイルモータのアームの先端部に前記マイクロビーム、ローター部及びサスペンション部２組みが前記アームを挟むように対象に配置され、前記アーム先端部に１つのステータ部が設けられていることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項記載の磁気ヘッドアクチュエータ。
請求項１１：ボイスコイルモータの作動により回転するピボット回転軸を中心に移動するボイスコイルモータアームの先端に磁気ヘッドアクチュエータを介してサスペンションのロードビーム及びジンバルが取り付けられていると共に、サスペンション先端に磁気ヘッドを備えたスライダが取り付けられ、上記アームが動くように操作されることにより、上記スライダが磁気ディスク上の所定のトラックを移動するようにした磁気ディスク装置であって、前記磁気ヘッドアクチュエータは、ボイスコイルモータアーム先端への固定部とマイクロビームとコイル又は永久磁石が配置されたローター部とを構成する部品、永久磁石又はコイルが配置されたステータ部、補助ヨークを備え、ボイスコイルモータアームに固定されており、そして永久磁石とステータ部と補助ヨークとからなる磁気回路内で、永久磁石とコイルとが僅かなギャップを保ちながら対向するように配置されていると共に、前記マイクロビームは、ボイスコイルモータアーム先端への固定部の両側縁に一体に連設され、これら両側縁に沿ってステータ部側に向けて直角に折り返され、かつ固定部両側縁先端部より先方に向けて延出する長片を内方に１８０°屈曲（第１の屈曲）し、更に固定部両側縁先端部より先側で内方に１８０°屈曲（第１の屈曲と逆方向の第２の屈曲）し、その先端部において、連設部を介してローター部が一体に連設された構成を有し、永久磁石の作る磁界の中に置かれたコイルに通電することで、ローレンツ力により左右方向にローター部が揺動し、これと一体にサスペンション、磁気ヘッドを搭載したスライダも揺動することを特徴とする磁気ディスク装置。
請求項１２：固定部とローター部とが両側端部においてそれぞれ長片によって橋かけ、連結された基体を用い、その長片の中間部をそれぞれ約１８０°谷折りし、固定部にローター部を重ねるようにし、次いで、このように折曲された長片のうち、ローター部、連結側片の中間部をそれぞれ約１８０°谷折りし、固定部の先端縁とローター部の基端縁が互いに近接するようにし、更に、長片をステータ部側に向けて直角に谷折りすることによって、固定部とマイクロビームとローター部を構成する部品を形成するようにした請求項１１記載の磁気ディスク装置。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によると、信頼性が高く、簡単な構造で正確な位置決めを達成でき、耐衝撃性を有する磁気ヘッドアクチュエータを提供できる。更に、アクチュエータの構造を簡単化することにより、磁気ヘッドアクチュエータの生産性を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態及び実施例】
【００１２】
以下、本発明の磁気ヘッドアクチュエータの具体的態様について詳述する。
図１は、本発明の磁気ヘッドアクチュエータ２を具備した磁気ディスク装置４の一例を示す平面図である。この例において磁気ヘッドスライダ（図示されていない）を磁気ディスク８上の所定のトラックに位置決めするための粗動アクチュエータはピボット回転軸１０を中心に移動するボイスコイルモータ（ＶＣＭ）アーム１２を具備したボイスコイルモータ（ＶＣＭ）１４で構成される。サスペンション１６のロードビームはＶＣＭアーム１２先端部に本発明の磁気ヘッドアクチュエータ２を介して取り付けられている。
【００１３】
図２に本発明の磁気ヘッドアクチュエータ２の分解斜視図を示してあるが、簡単のためにコイルへの電力供給線は図示していない。この磁気ヘッドアクチュエータ２は、ＶＣＭアーム先端への固定部１８、マイクロビーム２０，２２及びローター部２４を構成する部品２６を備え、ローター部２４にはコイル２８が取り付けられ、ステータ部３０には永久磁石３２が配置される。ステータ部３０は磁気回路を形成するために強磁性体を用いることが好ましい。磁気回路の効率を上げるために強磁性体からなる補助ヨーク３４を取り付けてもよい。ＶＣＭアーム先端への固定部１８、マイクロビーム２０，２２及びローター部２４を構成する部品２６、ステータ部３０、補助ヨーク３４はカシメ片、ネジ、リベット、溶接等でＶＣＭアーム（図示されていない）に固定される。
【００１４】
更に詳しくは、ＶＣＭアーム先端への固定部１８、マイクロビーム２０，２２及びローター部２４を構成する部品２６において、マイクロビーム２０，２２はＶＣＭアーム先端への固定部１８の両側縁に一体に連設され、後述する図６の説明のように、これら両側縁に沿ってステータ部３０側に向けて直角に折り返され、かつ固定部１８両側縁先端部より先方に向けて延出する長片２０ａ，２２ａを内方に１８０°屈曲（第１の屈曲）し、更に固定部１８両側縁先端部より先側で内方に１８０°屈曲（第１の屈曲と逆方向の第２の屈曲）し、その先端部において、連設部２０ｂ，２２ｂを介してローター部２４が一体に連設された構成を有する。
【００１５】
図３に示されているように、ローター部２４にはコイル２８の他にサスペンションのロードビーム３６のローター部への固定部３８が溶接等により取り付けられる。ロードビーム３６及びジンバル４０からなるサスペンション先端には磁気ディスク上のデータに対しリード・ライトを行う磁気ヘッド（図示されていない）を備えたスライダ４２が取り付けられる。ＶＣＭ１４はピボット回転軸１０を中心にアーム１２が動くように操作されるので、サスペンション１６先端に取り付けられるスライダ４２は磁気ディスク８上の所定のトラックに大まかに移動できる。なお、簡単のために磁気ヘッドへの信号線は図示していない。
【００１６】
図４にサスペンションの別の取り付け方法を示す。図３ではロードビーム３６は荷重をかける部分４４と根元の曲げ部４６，４８とローター部への固定部３８が一体となっているが、本例では曲げ部５０，５２とローター部への固定部５４がジンバル５６と一体の部品５５をなす。ロードビーム５７は上記部品５５のロードビームへの固定部５９に溶接等により取り付けられ、更に上記部品５５のローター部への固定部５４は接着あるいは溶接等によりローター部２４に取り付けられる。
【００１７】
本発明の一実施例に係る磁気ヘッドアクチュエータは、ＶＣＭアーム先端付近に設けられた永久磁石３２、ステータ部３０及び補助ヨーク３４からなる磁気回路内で、永久磁石３２とローター部２４に固定されたコイル２８とを僅かなギャップを保ちながら対向するように配置している。図５に示されたように、永久磁石は対向するコイルの面に垂直な方向に着磁され、スライダ前面から見て左右に２極に着磁されている。その代わりとして単極着磁された永久磁石２つを並べてもよい。永久磁石３２は、磁極面の面積で３〜１０ｍｍ2、着磁方向の厚さで０．１〜１ｍｍの大きさを有している。永久磁石３２の発生する磁力は、本発明の磁気ヘッドアクチュエータの駆動力に大きく影響する。上記寸法で充分な磁力を得るためにはＮｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石等の強力希土類磁石を用いることが好ましい。
【００１８】
ステータ部３０及び補助ヨーク３４は鋼などの強磁性体からなり、０．０５〜０．２５ｍｍの厚さを有している。永久磁石３２は例えばエポキシ系の接着材あるいはハンダ、溶接等でステータ部３０に固定される。
【００１９】
コイル２８には、銅線あるいはプリント配線板を用いる。コイル２８は、対向する永久磁石３２の磁極面に垂直な磁界を発生するように巻かれる。プリント配線板の場合は必要な磁力、即ち駆動力に応じて多層配線板を用いてもよい。コイル２８のローター部２４への固定には、例えばエポキシ系の接着材などを用いる。コイルへの電力供給線（図示していない）は、磁気ヘッドアクチュエータの揺動を妨げないよう若干のたわみを持たせた状態でＶＣＭアーム先端等に固定する。
【００２０】
ＶＣＭアーム先端への固定部１８、マイクロビーム２０，２２及びローター部２４を構成する部品２６は鋼系のバネ材からなり、０．０２５〜０．１５ｍｍ程度の厚さを有する。磁気回路３０，３２，３４及びコイル２８の発生する磁界を乱さない目的で非強磁性の鋼を用いることが好ましい。
【００２１】
図２に最もよく示されているように、１対のマイクロビーム２０，２２はＶＣＭアーム先端への固定部１８側よりローター部２４側に伸び、一旦折れ曲がってＶＣＭアーム先端への固定部１８側に戻り、更に折れ曲がってローター部２４側に伸びたところでローター部２４を支持している。この構造は片側に３本の梁を配置することと同等の効果があり、１本の場合と比較して、磁気ヘッドアクチュエータの駆動方向への弾性を高めながら、上下方向などに対しては高い剛性を維持できる。所定の弾性及び並進剛性を得るために折曲点を１個所のみ、あるいは３個所以上設けてもよい。
【００２２】
図５に示されているように、本発明の磁気ヘッドアクチュエータの駆動部は、粗動アクチュエータであるＶＣＭ１４と基本構造は同じである。永久磁石３２の作る磁界の中に置かれたコイル２８に通電することで、ローレンツ力により矢印Ｘの方向にローター部２４が揺動し、これと一体にサスペンション１６、磁気ヘッドを搭載したスライダ４２も揺動する。
【００２３】
マイクロビーム２０，２２は、従来のＶＣＭにおけるサスペンションのロードビームあるいはジンバルと同様に薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあと、曲げ加工を施すことで作製される。その際の加工変形の様子は図６に例示されたようになる。まず、プレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いた後のＶＣＭアーム先端への固定部１８、マイクロビーム２０，２２、ローター部２４を構成する部品２６は、図６（ａ）のような固定部１８とローター部２４とが両側端部においてそれぞれ長片２０ａ，２２ａによって橋かけ、連結された基体２６’を用い、その長片２０ａ，２２ａの線Ａで示す中間部をそれぞれ矢印Ｂに示すように約１８０°谷折りし、図６（ｂ）に示すように固定部１８にローター部２４を重ねるようにする。次いで、このように折曲された長片２０ａ，２２ａのうち、ローター部２４、連結側片２０ａ’，２２ａ’の線Ｃで示す中間部をそれぞれ矢印Ｄに示すように約１８０°谷折りし、固定部１８の先端縁とローター部２４の基端縁が互いに近接するようにする［図６（ｃ）］。更に、長片２０ａ，２２ａを矢印Ｅ，Ｆ，Ｇ，Ｈのように直角に谷折りすることによって、部品２６を形成するものである［図６（ｄ）］。
【００２４】
なお、曲げの順番はこれに限られるものではない。また、一連の加工を精度良く行うために、曲げ部に予め曲げ線を設けておいてもよい。
ステータ部３０及び補助ヨーク３４に関しても薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いたあと、曲げ加工を施すことで作製される。
【００２５】
図７には、本発明の第２実施形態の分解斜視図が示されている。本実施形態では、ローター部５８先端にサスペンションのロードビーム部６６を設け、ＶＣＭアーム先端への固定部６０、マイクロビーム６２，６４、ローター部５８及びサスペンションのロードビーム部６６を一体とすることで、部品点数を減らすことができる。
【００２６】
図８には、本発明の第３実施形態の分解斜視図が示されている。本実施形態では、ＶＣＭアーム６８先端にＶＣＭアーム６８と一体のステータ部７０を設けることで、部品点数を減らすことができる。本実施形態の場合には、ＶＣＭアーム６８に強磁性体を用いることにより、効率の高い磁気回路を形成することも可能である。ＶＣＭアーム先端への固定部１８、マイクロビーム２０，２２及びローター部２４からなる部品２６の代わりに第２実施形態で示されたサスペンションのロードビーム部一体型の部品７２を用いてもよい。ＶＣＭアーム先端への固定部１８、マイクロビーム２０，２２及びローター部２４からなる部品２６、ステータ部７０及び補助ヨーク３４はカシメ片７４でＶＣＭアーム６８に固定されるが、固定方法はこれに限られず、ネジ、リベット、溶接等によって固定されても構わない。
なお、図７，８において、図１〜５と同一部品については同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
【００２７】
図９及び図１０には、本発明の第４実施形態の部分分解斜視図及び断面図がそれぞれ示されている。本実施形態は、第３実施形態におけるステータ部をＶＣＭアーム７５先端裏側まで貫通した孔７６としたもので、この孔７６に永久磁石７８を埋め込む。本実施形態の場合は、図１０に最もよく示されているように、ＶＣＭアーム７５に２つの磁気ヘッドスライダ８０，８２を設けた際に１つのステータ部（永久磁石７８）で２つのローター部８４，８６を駆動させることができる。この場合、ＶＣＭアーム７５は非強磁性体を用いた方が磁気回路の効率は高くなる。ここで、１０６，１０８はサスペンションのジンバル、１１０，１１２はサスペンションのロードビーム、１１４，１１６はマイクロビーム、１１８，１２０はローター部、１２２，１２４は補助ヨーク、１２６，１２８はカシメ片、１３０，１３２はＶＣＭアーム先端への固定部である。なお、本実施形態においても、第２実施形態で示されたサスペンションのロードビーム部一体型の部品７２を用いることができる。
【００２８】
図１１を参照すると、本発明の第５実施形態の分解斜視図が示されている。本実施形態は、ステータ部８８にコイル９０を、ローター部９２に永久磁石９４を配したものであり、電力供給配線が必要であるコイル９０を揺動しないステータ部８８に置くことで、配線を簡素化できる。本実施形態の場合、ＶＣＭアーム先端への固定部９８、マイクロビーム１００，１０２及びローター部９２を構成する部品１０４に強磁性体を用いることで磁気回路の効率は高くなる。別の方法として、永久磁石９４とローター部９２の間に強磁性体を用いたヨーク９６を設けてもよい。本実施例で示されたローター部に永久磁石を配置する方法は、第２乃至第４実施形態にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の第１実施形態の磁気ヘッドアクチュエータを具備した磁気ディスク装置の平面図である。
【図２】本発明の第１実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの分解斜視図である。
【図３】本発明の第１実施形態の磁気ヘッドアクチュエータ、サスペンション及び磁気ヘッドスライダとの構成を示す分解斜視図である。
【図４】本発明の第１実施形態の磁気ヘッドアクチュエータ、サスペンション及び磁気ヘッドスライダとの別の構成を示す分解斜視図である。
【図５】本発明の第１実施形態のステータ・ローター部付近の断面図である。
【図６】本発明の第１実施形態のＶＣＭアーム先端への固定部、マイクロビーム及びローター部からなる部品の加工変形例を示す斜視図であり、（ａ）は薄板をプレス加工あるいはエッチング加工により打ち抜いた状態、（ｂ）は（ａ）をＢ方向に曲げた状態、（ｃ）は（ｂ）をＤ方向に曲げた状態、（ｄ）は（ｃ）をＥ〜Ｈ方向に折り曲げた状態の図である。
【図７】本発明の第２実施形態の磁気ヘッドアクチュエータ付近の分解斜視図である。
【図８】本発明の第３実施形態の磁気ヘッドアクチュエータ付近の分解斜視図である。
【図９】本発明の第４実施形態の磁気ヘッドアクチュエータ付近の部分分解斜視図である。
【図１０】本発明の第４実施形態の磁気ヘッドアクチュエータ付近の断面図である。
【図１１】本発明の第５実施形態の磁気ヘッドアクチュエータの分解斜視図である。
【符号の説明】
【００３０】
２  磁気ヘッドアクチュエータ
４  磁気ディスク装置
８  磁気ディスク
１０  ピボット回転軸
１２  ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）アーム
１４  ボイスコイルモータ（ＶＣＭ）
１６  サスペンション
１８  ＶＣＭアーム先端への固定部
２０，２２  マイクロビーム
２４  ローター部
２６  ＶＣＭアーム先端への固定部、マイクロビーム及びローター部からなる部品
２８  コイル
３０  ステータ部
３２  永久磁石
３４  補助ヨーク
３６  サスペンションのロードビーム
３８  ローター部への固定部
４０  サスペンションのジンバル
４２  磁気ヘッドスライダ
４４  荷重をかける部分
４６，４８  曲げ部分
５０，５２  曲げ部分
５４  ローター部への固定部
５６  ジンバル
５７  サスペンションのロードビーム部
５８  ローター部
５９  ロードビームへの固定部
６０  ＶＣＭアーム先端への固定部
６２，６４  マイクロビーム
６６  ロードビーム部
６８  ＶＣＭアーム
７０  ステータ部
７２  ＶＣＭアーム先端への固定部、マイクロビーム、ローター部及びロードビーム部からなる部品
７４  カシメ片
７５  ＶＣＭアーム
７６  孔
７８  永久磁石
８０，８２  磁気ヘッドスライダ
８４，８６  ローター部
８８  ステータ部
９０  コイル
９２  ローター部
９４  永久磁石
９６  ヨーク
９８  ＶＣＭアーム先端への固定部
１００，１０２  マイクロビーム
１０４  ＶＣＭアーム先端への固定部、マイクロビーム及びローター部からなる部品
１０６，１０８  サスペンションのジンバル
１１０，１１２  サスペンションのロードビーム
１１４，１１６  マイクロビーム
１１８，１２０  ローター部
１２２，１２４  補助ヨーク
１２６，１２８  カシメ片
１３０，１３２  ＶＣＭアーム先端への固定部
【図１】
2005196943.tif 000003
【図２】
2005196943.tif 000004
【図３】
2005196943.tif 000005
【図４】
2005196943.tif 000006
【図５】
2005196943.tif 000007
【図６】
2005196943.tif 000008
【図７】
2005196943.tif 000009
【図８】
2005196943.tif 000010
【図９】
2005196943.tif 000011
【図１０】
2005196943.tif 000012
【図１１】
2005196943.tif 000013