(57)【要約】【課題】  フッ素系樹脂製の被着体やフッ素系樹脂塗料の塗膜に対して良好な粘着力を示し、且つ剥離の際には優れた再剥離性を示す粘着テープを提供する。【解決手段】  請炭素数８〜１２のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが８０重量％以上を占める（メタ）アクリル酸アルキルエステル単量体と、同単量体と共重合可能な官能基を有する不飽和単量体０．１〜６重量％とを共重合してなるアクリル系共重合体１００重量部に、粘着付与樹脂３〜２５重量部を配合する。この混合物に架橋剤を加え、混合物を支持体に塗工し、次いで加熱する。架橋アクリル系感圧接着剤の層厚は２５〜１００μｍであり、層厚（単位：μｍ）とゲル分率（単位：％）の間に、０．０５×層厚≦ゲル分率≦０．４×層厚、なる関係が成立する。【選択図】    なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持体に架橋アクリル系感圧接着剤層が設けられてなる粘着テープであって、架橋アク
リル系感圧接着剤は、炭素数８〜１２のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキル
エステルが８０重量％以上を占める（メタ）アクリル酸アルキルエステル単量体と、同単
量体と共重合可能な官能基を有する不飽和単量体０．１〜６重量％とを共重合してなるア
クリル系共重合体１００重量部に対し、これと相溶可能な粘着付与樹脂３〜２５重量部を
配合し、その後架橋が施されてなるものであり、
該接着剤層の層厚が２５〜１００μｍであり、且つ、層厚（単位：μｍ）とゲル分率（
単位：％）の間に
０．０５×層厚≦ゲル分率≦０．４×層厚
なる関係が成立する
ことを特徴とするフッ素系樹脂固定用粘着テープ。
【請求項２】
支持体の少なくとも片面に架橋アクリル系感圧接着剤層が設けられてなる両面粘着テー
プであって、架橋アクリル系感圧接着剤は、炭素数８〜１２のアルキル基を有する（メタ
）アクリル酸アルキルエステルが８０重量％以上を占める（メタ）アクリル酸アルキルエ
ステル単量体と、同単量体と共重合可能な官能基を有する不飽和単量体０．１〜６重量％
とを共重合してなるアクリル系共重合体１００重量部に対し、これと相溶可能な粘着付与
樹脂３〜２５重量部を配合し、その後架橋が施されてなるものであり、
該接着剤層の層厚が２５〜１００μｍであり、且つ、層厚（単位：μｍ）とゲル分率（
単位：％）の間に
０．０５×層厚≦ゲル分率≦０．４×層厚
なる関係が成立する
ことを特徴とするフッ素系樹脂固定用両面粘着テープ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ素系樹脂製の被着体やフッ素系樹脂塗料の塗膜に対し良好な粘着力を示
し、且つ剥離の際には糊残りのないフッ素系樹脂固定用粘着テープに関する。本発明によ
る粘着テープは、シリコーンウェハー、ＬＣＤ、ハードディスク、ＬＳＩ等を平坦化する
際に用いられる研磨パッドと定盤を接着する粘着テープとして特に好適である。
【背景技術】
【０００２】
従来、アクリル系感圧接着剤は、表面エネルギーの高い金属製や樹脂製の被着体に対し
て良好な粘着力を示すが、フッ素系樹脂製の表面エネルギーの低い被着体に対しては粘着
力に劣り、フッ素系樹脂被着体の接着にはシリコーン系感圧接着剤を使用するのが一般的
であった。アクリル系感圧接着剤については、フッ素系樹脂製の被着体に対する粘着力を
改善すべく、アクリル系単量体の組成及び粘着付与樹脂の添加量を規定した接着剤が提案
されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平３−２６７７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、シリコーン系感圧接着剤は非常に高価であるためコスト面で不利であり
、また特許文献１記載のアクリル系感圧接着剤は、フッ素含有量の低い樹脂製の被着体に
対しては接着効果が認められるが、フッ素含有量の高いＰＴＦＥ（テトラフルオロエチレ
ン樹脂）、ＰＦＡ（パーフルオロアルコキシ樹脂）、ＦＥ（フッ化エチレンプロピレン樹
脂）等に対しては、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７で規定される粘着力測定方法による粘着力は不
十分で実用に耐えうるものではなかった。
【０００４】
本発明は、上記の点に鑑み、フッ素系樹脂製の被着体やフッ素系樹脂塗料の塗膜に対し
て良好な粘着力を示し、且つ剥離の際には優れた再剥離性を示す粘着テープを提供するこ
とを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記目的を達成すべくアクリル系感圧接着剤の組成成分、配合量及びクリー
プ特性について鋭意検討を重ねた結果、アクリル系共重合体の極性制御、並びに塗工層厚
とゲル分率の関係を制御することにより、上記課題を解決することができることを見出し
、完成されたものである。
【０００６】
すなわち、本発明によるフッ素系樹脂固定用粘着テープは、支持体に架橋アクリル系感
圧接着剤層が設けられてなる粘着テープであって、架橋アクリル系感圧接着剤は、炭素数
８〜１２のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが８０重量％以上を
占める（メタ）アクリル酸アルキルエステル単量体と、同単量体と共重合可能な官能基を
有する不飽和単量体０．１〜６重量％とを共重合してなるアクリル系共重合体１００重量
部に対し、これと相溶可能な粘着付与樹脂３〜２５重量部を配合し、その後架橋が施され
てなるものであり、
架橋アクリル系感圧接着剤の層厚（特許請求の範囲および明細書全体を通して、層厚は
、塗工工程で用いた溶媒を除いた架橋アクリル系感圧接着剤固形分の層厚である）が２５
〜１００μｍであり、且つ、層厚（単位：μｍ）とゲル分率（単位：％）の間に、下記不
等式（Ｉ）
０．０５×層厚≦ゲル分率≦０．４×層厚  …………  （Ｉ）
が成立する
ことを特徴とするものである。
【０００７】
炭素数８〜１２のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、
（メタ）アクリル酸ｎ−オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）ア
クリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ノニル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ
）アクリル酸イソデシル、（メタ）アクリル酸ラウリル等が例示される。
【０００８】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル単量体は、炭素数８〜１２のアルキル基を有する
（メタ）アクリル酸アルキルエステルを８０重量％以上、好ましくは９０重量％以上の割
合で含む。炭素数８未満のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルの割
合が多すぎると、得られたアクリル系共重合体の極性が高くなりフッ素系樹脂被着体に対
する接着性が低下し、炭素数１２を越えるアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキ
ルエステルの割合が多すぎると、共重合性が悪化するため目標性能が得られない。
【０００９】
（メタ）アクリル酸アルキルエステル単量体と共重合可能な官能基を有する不飽和単量
体としては、水酸基を有する単量体、カルボキシル基を有する単量体、アミノ基を有する
単量体等が例示される。水酸基を有する単量体としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）
アクリレート、ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ
）アクリレート等が例示される。カルボキシル基を有する単量体としては、アクリル酸、
メタクリル酸等のα、β−不飽和カルボン酸、マレイン酸ブチル等のマレイン酸モノアル
キルエステル、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸等が例示される。無水マレイン酸のよ
うな酸無水物も対応する酸と同様の共重合成分を与える。アミノ基を有する単量体として
は、アクリルアミド、ジメチルアクリルアミド、ジエチルアクリルアミド等のアルキル（
メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブトキシメチルアクリルアミド、Ｎ−エトキシメチルアクリ
ルアミド等のＮ−アルコキシメチル（メタ）アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド
、さらにはジメチルアミノエチルアクリレート等が例示される。
【００１０】
共重合可能な官能基含有不飽和単量体は、全単量体の０．１〜６重量％、好ましくは０
．１〜４重量部の割合で使用される。官能基含有不飽和単量体は架橋剤による架橋及び官
能基による水素結合により凝集力向上の作用をするが、この割合が少なすぎると、上記作
用が十分発揮されず、多すぎると、アクリル系共重合体の極性もしくは凝集力が高くなり
、フッ素系樹脂被着体に対する接着性が低下し目標性能が得られない。
【００１１】
アクリル系共重合体に配合される粘着付与樹脂としては、アクリル系共重合体に対し相
溶可能なものであれば特に限定はないが、粘着剤の系の極性低下のためには相溶可能な範
囲で低極性のものが好ましい。特に、アクリル系共重合体に対する溶解性パラメーター（
ＳＰ値）が８．６以下であるものが好ましく、ロジン系樹脂、テルペン・フェノール系樹
脂、芳香族変性テルペン系樹脂、テルペン系樹脂、Ｃ５系石油樹脂、Ｃ９系石油樹脂、Ｃ
５系／Ｃ９系共重合石油樹脂等が例示され、粘着付与樹脂は不飽和部が水素添加されたも
のでもよく、また、２種以上の粘着付与樹脂を組み合わせて使用してもよい。
【００１２】
粘着付与樹脂はアクリル系共重合体１００重量部に対し３〜２５重量部、好ましくは７
〜２０重量部の範囲で配合される。この配合割合が少なすぎると、充分な粘着付与効果が
発揮できず、目標性能が得られない。多すぎると、テープ剥離時にスリップアンドスティ
ック現象が生じ、やはり目標性能は得られない。
【００１３】
アクリル系共重合体と粘着付与樹脂の混合後、この混合物に架橋剤を加え、混合物を支
持体に塗工し、次いで加熱する。用いる架橋剤としては、イソシアネート系架橋剤、エポ
キシ系架橋剤、金属キレート系架橋剤、メラミン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、有機過
酸化物系架橋剤が例示される。少なくとも、共重合に使用された官能基含有不飽和単量体
と架橋反応する架橋剤を使用する。
【００１４】
支持体はＰＥＴフィルム等であってよい。支持体に塗工された架橋アクリル系感圧接着
剤の層厚は、２５〜１００μｍ、好ましくは３５〜７０μｍである。層厚が薄すぎると目
標の接着性が得られず、厚すぎると得られた粘着テープはコストが嵩み実用的でない。
【００１５】
架橋アクリル系感圧接着剤は、その層厚（単位：μｍ）とゲル分率（単位：％）の間に
下記不等式
０．０５×層厚≦ゲル分率≦０．４×層厚  …………  （Ｉ）
好ましくは０．１×層厚≦ゲル分率≦０．３×層厚
が成立するように、塗工される。
【００１６】
ゲル分率が０．０５×層厚の値未満であると再剥離性に問題が生じ、０．４×層厚の値
を越えると充分な接着力が得られない。
【００１７】
粘着テープは両面粘着テープであってもよい。両面粘着テープは、支持体の少なくとも
片面に、架橋アクリル系感圧接着剤を層厚（架橋アクリル系感圧接着剤を両面に塗工する
場合は各面での層厚）が２５〜１００μｍになるように、且つ層厚とゲル分率の間に上記
不等式（Ｉ）が成立するように塗工してなるものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明による粘着テープは、支持体に架橋アクリル系感圧接着剤層が設けられてなる粘
着テープであって、該接着剤は、特定の単量体からなるアクリル系共重合体と粘着付与樹
脂を配合し、その後架橋が施されてなるものであり、特定範囲の層厚を有し、且つ、層厚
（単位：μｍ）とゲル分率（単位：％）の間に上記不等式（Ｉ）が成立するものであるの
で、アクリル系感圧接着剤の系全体を低極性化し、且つ、同感圧接着剤の凝集力を制御す
ることにより、フッ素系樹脂製の被着体に対して良好な粘着力を示し、且つ剥離の際には
優れた再剥離性を示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
つぎに、本発明を具体的に説明するために、本発明の実施例およびこれとの比較を示す
ための比較例をいくつか挙げる。
【００２０】
実施例１
２−エチルヘキシルアクリレート９８重量部、アクリル酸２重量部、及び溶媒としてト
ルエン１００重量部を７０℃で撹拌しながら、重合開始剤としてアゾビスイソブチロニト
リルをアクリル単量体１００重量部に対し０．５重量部、撹拌下に添加し、温度を７０℃
に維持して反応を１０時間行い、アクリル系共重合体（重量平均分子量４５万）の有機溶
媒溶液を得た。
【００２１】
このアクリル系共重合体の有機溶媒溶液に粘着付与樹脂として芳香族変性テルペン樹脂
（ヤスハラケミカル社製「クリアロンＭ１０５」）をアクリル系共重合体１００重量部に
対し１５重量部配合し、撹拌溶解後、固形分が４０％となるように濃度調整を行い、未架
橋アクリル系感圧接着剤の有機溶媒溶液を得た。
【００２２】
この未架橋アクリル系感圧接着剤の有機溶媒溶液（固形分：４０％）１００重量部に対
し、架橋剤としてＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−ｍ−キシレンジアミン（三菱
レーヨン社製）を０．０２重量部配合し、得られた混合物をＰＥＴフィルム（厚み：５０
μｍ）に乾燥後の層厚が６０μｍとなるように均一に塗布した。次いでこれをオーブンに
て８０℃で５分間の条件で乾燥した後、４０℃で７日間の養生を経て、ＰＥＴフィルムの
片面に架橋アクリル系感圧接着剤層を設けてなる粘着テープを得た。
【００２３】
実施例２
実施例１において、アクリル系単量体の配合を表１に示すように変更する以外は同様の
方法にて粘着テープを得た。
【００２４】
比較例１
ブチルアクリレート４８．５重量部、２−エチルヘキシルアクリレート４８．５重量部
、アクリル酸３重量部、及び溶媒として酢酸エチル１００重量部を、還流装置にて沸点下
撹拌しながら、重合開始剤として過酸化ベンゾイルを添加し、１０時間反応を行い、アク
リル系共重合体（重量平均分子量５２万）の酢酸エチル溶液を得た。
【００２５】
このアクリル系共重合体の酢酸エチル溶液に粘着付与樹脂としてロジン系樹脂（荒川化
学社製「ＫＥ−３１１」）をアクリル系共重合体１００重量部に対し２０重量部配合し、
撹拌溶解後、固形分が３５％となるように濃度調整を行い、未架橋アクリル系感圧接着剤
の有機溶媒溶液を得た。
【００２６】
この未架橋アクリル系感圧接着剤の有機溶媒溶液（固形分：３５％）１００重量部に対
し、架橋剤（日本ポリウレタン社製「コロネートＬ」）を０．２６重量部配合し、得られ
た混合物をＰＥＴフィルム（厚み：５０μｍ）に乾燥後の層厚が３５μｍとなるように均
一に塗布した。次いでこれをオーブンにて１００℃で２分間の条件で乾燥後、４０℃で３
日間の養生を経て、ＰＥＴフィルムの片面に架橋アクリル系感圧接着剤層を設けてなる粘
着テープを得た。
【００２７】
比較例２
比較例１において、粘着剤層厚を表１に示すように変更する以外は同様の方法にて粘着
テープを得た。
【００２８】
比較例３
比較例１において、アクリル系単量体の配合を表１に示すように変更する以外は同様の
方法にて粘着テープを得た。
【００２９】
比較例４
実施例１において、アクリル系単量体配合を表１に示すように変更する以外は同様の方
法にて粘着テープを得た。
【００３０】
比較例５
実施例１において、アクリル系単量体配合及び粘着付与樹脂を表１に示すように変更す
る以外は同様の方法にて粘着テープを得た。
【００３１】
比較例６
実施例１において、粘着付与樹脂を使用しない以外は同様の方法にて粘着テープを得た
。
【００３２】
比較例７
実施例１において、粘着付与樹脂の配合量を表１に示すように変更する以外は同様の方
法にて粘着テープを得た。
【００３３】
比較例８
実施例１において、架橋剤の配合量を表１に示すように変更する以外は同様の方法にて粘
着テープを得た。
【００３４】
比較例９
実施例１において、架橋剤を使用しない以外は同様の方法にて粘着テープを得た。
【００３５】
比較例１０
実施例１において、架橋剤の配合量及び粘着剤層厚を表１に示すように変更する以外は同
様の方法にて粘着テープを得た。
【００３６】
評価方法
実施例および比較例で得られた粘着テープについて、下記項目の評価試験を行った。
【００３７】
１）対ＰＴＦＥ粘着力
被着体として、ＰＴＦＥ（三井・デュポンフロロケミカル社製）製のものを使用する以
外はＪＩＳ  Ｚ  ０２３７に規定の方法に準じ、対ＰＴＦＥ粘着力の測定を行った。
【００３８】
２）対ＰＦＡ粘着力
被着体として、ＰＦＡ（ダイキン社製ネオフロンＰＦＡ）製のものを使用する以外はＪ
ＩＳ  Ｚ  ０２３７に規定の方法に準じ、対ＰＦＡ粘着力の測定を行った。
【００３９】
３）対ＰＴＦＥ再剥離性
ＰＴＦＥ（三井・デュポンフロロケミカル社製）製の被着体に粘着テープを貼付し、７
０℃で５日間加熱後、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７に規定の標準状態に２時間放置後、これを被
着体に対し直角方向に剥離速度１ｍ／分にて剥離し、剥離後の糊（すなわち架橋アクリル
系感圧接着剤）残りの有無を調べて対ＰＴＦＥ再剥離性を評価した。
【００４０】
４）対ＰＦＡ再剥離性
ＰＦＡ（ダイキンエ業社製ネオフロンＰＦＡ）製の被着体に粘着テープを貼付し、７０
℃で５日間の加熱後、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７に規定の標準状態に２時間放置後、これを被
着体に対し直角方向に剥離速度１ｍ／分にて剥離し、剥離後の糊残り有無を調べて対ＰＦ
Ａ再剥離性を評価した。
【００４１】
５）ゲル分率
粘着テープから糊（架橋アクリル系感圧接着剤）を採取、秤量し、トルエン中で膨潤し
た糊片が解けるまで浸漬し、２００メッシュ金網にて濾取し、金網に残った糊を１１０℃
にて１時間乾燥し、ＪＩＳ  Ｚ  ０２３７に規定の標準状態に２時間以上放置し、その後
糊の重量を測定し、次式によりゲル分率を算出した。
【００４２】
ゲル分率(%)＝［トルエン浸漬前の糊重量(g)／乾燥後金網に残った糊重量(g)］×１００
【００４３】
実施例及び比較例で用いた各成分の種類及び量、並びに評価試験結果を表１にまとめて
示す。
【表１】
2005154474.tif 000002
【００４４】
表１から分かるように、実施例１及び２で得られた粘着テープは、フッ素系樹脂である
ＰＴＦＥ及びＰＦＡに対し、良好な粘着力を示し、再剥離性にも優れている。
【００４５】
比較例１及び３で得られた粘着テープは、２−エチルヘキシルアクリレートの共重合比
率が低く、且つゲル分率／糊層厚の比が高いため良好な粘着力を示さない。
【００４６】
比較例２及び４で得られた粘着テープは、２−エチルヘキシルアクリレートの共重合比
率が低いため良好な粘着力を示さない。
【００４７】
比較例５で得られた粘着テープは、アクリル酸（官能基含有不飽和単量体）の共重合比
率が高いため、良好な粘着力を示さない。
【００４８】
比較例６で得られた粘着テープは、粘着付与樹脂の配合量が低いため良好な粘着力を示
さない。
【００４９】
比較例７で得られた粘着テープは、粘着付与樹脂の配合量が高いため剥離時スリップア
ンドスティック現象が生じ良好な粘着力を示さない。
【００５０】
比較例８で得られた粘着テープは、架橋剤の配合量が高いため「ゲル分率／糊層厚」が
高くなり良好な粘着力を示さない。
【００５１】
比較例９で得られた粘着テープは、架橋剤の配合量が低いため「ゲル分率／糊層厚」が
低くなり良好な再剥離性を示さない。
【００５２】
比較例１０で得られた粘着テープは、糊層厚が低いため良好な粘着力を示さない。