(57)【要約】  【課題】  外力が加わった場合でもセルギャップが変化せず、しかも良好な表示品質が得られる液晶素子を製造できる方法を提供する。  【解決手段】  一方のガラス基板１に形成した配向膜２上に、熱硬化性官能基を含むフォトレジストを形成し、所定のフォトマスクを介して紫外線で露光してアルカリ性の現像液で現像し，フォトレジストパターン3aを形成する。熱硬化性官能基の反応率が 100％未満となるような条件で、加熱焼成（ポストベイク）した（ｆ）後、ラビングローラ６を用いてラビング処理を施す（ｇ）。他方のガラス基板11に配向膜12を形成して、ラビング処理を施し、ガラス基板11上に、硬質ビーズ13を散布した後、ガラス基板11の辺縁部に液晶注入口14を除いて周辺シール剤15を形成する（ｈ）。両方のガラス基板１，11を貼り合わせ、加圧加熱により、硬質ビーズ13の高さでフォトレジストパターン3aの接着性により両方のガラス基板１，11を接着する（ｉ）。【選択図】        図２
2005241873.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物の接着性により２枚の基板を接着させると共に、該感光性樹脂組成物をパターニングしたものにより前記両基板間の対向距離を維持する液晶素子を製造する方法において、
一方の基板に形成した感光性樹脂組成物をパターニングした後にラビングし、他方の基板と貼り合わせて加圧加熱することを特徴とする液晶素子の製造方法。
【請求項２】
前記感光性樹脂組成物をパターニングした後でラビングする前に、前記感光性樹脂組成物を加熱焼成することを特徴とする請求項１記載の液晶素子の製造方法。
【請求項３】
熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物の接着性により２枚の基板を接着させると共に、該感光性樹脂組成物をパターニングしたものにより前記両基板間の対向距離を維持する液晶素子を製造する方法において、
一方の基板に配向膜を形成する第１工程と、該配向膜上に感光性樹脂組成物を形成する第２工程と、形成した感光性樹脂組成物を露光現像によりパターニングする第３工程と、パターニング後の感光性樹脂組成物を加熱焼成する第４工程と、加熱焼成後の感光性樹脂組成物をラビングする第５工程と、前記一方の基板と配向膜を形成してラビング処理した他方の基板とを貼り合わせて加圧加熱する第６工程とを有することを特徴とする液晶素子の製造方法。
【請求項４】
前記第４工程及び第６工程における加熱温度は、前記配向膜のガラス転移温度よりも低いことを特徴とする請求項３記載の液晶素子の製造方法。
【請求項５】
前記感光性樹脂組成物を加熱焼成する際の前記熱硬化性官能基の反応率が１００％未満であることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の液晶素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶素子の製造方法に関し、特に、外力が加わった場合でも２枚の基板間の対向距離が変化しにくい液晶素子を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のいわゆる情報化社会の進展に伴って、パーソナルコンピュータ，ＰＤＡ（Personal Digital Assistants)等に代表される電子機器が広く使用されるようになっている。このような電子機器の普及によって、オフィスでも屋外でも使用可能な携帯型の需要が発生しており、それらの小型・軽量化が要望されている。そのような目的を達成するための手段の一つとして液晶表示装置が広く使用されている。液晶表示装置は、単に小型・軽量化のみならず、バッテリ駆動される携帯型の電子機器の低消費電力化のためには必要不可欠な技術である。
【０００３】
このような液晶表示装置に使用される液晶素子は、電極を設けた設けた２枚の基板を、その電極が対向するように配置させて生じる空隙内に液晶物質を封入し、その電極間に電圧を印加することにより、印加された電圧によって決定される液晶物質の光透過率を制御する構成をなしている。よって、２枚の基板間の対向距離（セルギャップ）が不均一である場合には、液晶物質にかかる電界が面内で異なるため、液晶物質の駆動差による面内ばらつきを生じてしまう。このようにセルギャップは、液晶素子の光透過率を決定する重要なパラメータであるので、このセルギャップを容易に所定値で面内均一とするための種々の技術が提案されている。例えば、感光性樹脂をパターン露光してパターニングされたものをセルギャップを維持するスペーサとして使用することが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平２００１−１２５１１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
また、本発明者らは、外力がかかった場合でもセルギャップが変化しない液晶素子として、加熱によって変形しない第１ギャップ維持材と、加熱によって溶融または軟化した後に硬化して接着性を発現するポリシラン系などのフォトレジスト材料からなる第２ギャップ維持材とを用いる液晶素子（先行例という）を考案した。この液晶素子の製造工程は、以下の通りである。
【０００５】
一方のガラス基板にポリイミド製の配向膜を形成した後、ラビング処理を施す。次に、配向膜上に、熱硬化性官能基を含む第２ギャップ維持材としてのフォトレジストを形成する。所望パターンのフォトマスクを介してフォトレジストを露光した後に現像して、フォトレジストパターンを作成する。他方のガラス基板にポリイミド製の配向膜を形成してラビング処理を施し、液晶注入口を除く辺縁部に周辺シール剤を形成する。一方のガラス基板または他方のガラス基板の何れかに第１ギャップ維持材としてのプラスチック製のビーズ粒を散布し、両ガラス基板を貼り合わせて加圧加熱する。これによりフォトレジストが接着性を発現して、両ガラス基板は接着する。その後、液晶注入口から液晶物質を注入する。
【０００６】
上記工程にあっては、フォトレジストパターンの剥がれまたは形状崩れを防止するために、フォトレジストの形成処理前に、配向膜のラビング処理を行っている。これにより、フォトレジストパターンをその形状を損なうことなく形成することはできたが、作製した液晶素子を用いた液晶表示装置にて黒表示を行った際に、全体的に光漏れが生じて、表示品質が良好でない結果を得た。そして、その後の研究により、光漏れの発生は、ラビング処理された配向膜がアルカリ性の現像液によってダメージを受けてラビング効果が消失したことに起因することが分かった。そこで、このような光漏れの問題を解決するための技術の開発が望まれている。
【０００７】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、外力が加わった場合でもセルギャップが変化せず、しかも良好な表示品質が得られる液晶素子を製造できる方法を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に係る液晶素子の製造方法は、熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物の接着性により２枚の基板を接着させると共に、該感光性樹脂組成物をパターニングしたものにより前記両基板間の対向距離を維持する液晶素子を製造する方法において、一方の基板に形成した感光性樹脂組成物をパターニングした後にラビングし、他方の基板と貼り合わせて加圧加熱することを特徴とする。
【０００９】
第１発明の液晶素子の製造方法にあっては、熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物を一方の基板に形成した後にパターニングし、パターニン後にラビング処理を施し、その後他方の基板と貼り合わせて加圧加熱する。よって、加熱によって、感光性樹脂組成物は接着性を発現するため、外力が加わった場合でもセルギャップが変化しない。また、感光性樹脂組成物のパターニング処理後にラビング処理を施すため、配向膜が現像液に接触しても、上述したような先行例とは異なり、ラビング効果が消失することはない。よって、このようにして製造した液晶素子を用いた液晶表示装置で黒表示を行った場合に、光漏れは生じず、その表示品質は高くなる。
【００１０】
請求項２に係る液晶素子の製造方法は、請求項１において、前記感光性樹脂組成物をパターニングした後でラビングする前に、前記感光性樹脂組成物を加熱焼成することを特徴とする。
【００１１】
第２発明の液晶素子の製造方法にあっては、感光性樹脂組成物をパターニングした後であって、ラビング処理を施す前に、パターニングされた感光性樹脂組成物を加熱焼成する。この加熱焼成によって、耐ラビング性が向上する。
【００１２】
請求項３に係る液晶素子の製造方法は、熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物の接着性により２枚の基板を接着させると共に、該感光性樹脂組成物をパターニングしたものにより前記両基板間の対向距離を維持する液晶素子を製造する方法において、一方の基板に配向膜を形成する第１工程と、該配向膜上に感光性樹脂組成物を形成する第２工程と、形成した感光性樹脂組成物を露光現像によりパターニングする第３工程と、パターニング後の感光性樹脂組成物を加熱焼成する第４工程と、加熱焼成後の感光性樹脂組成物をラビングする第５工程と、前記一方の基板と配向膜を形成してラビング処理した他方の基板とを貼り合わせて加圧加熱する第６工程とを有することを特徴とする。
【００１３】
第３発明の液晶素子の製造方法にあっては、一方の基板に配向膜を形成し、配向膜に熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物を形成し、形成した感光性樹脂組成物を露光現像によりパターニングし、パターニング後の感光性樹脂組成物を加熱焼成し、加熱焼成後の感光性樹脂組成物をラビングし、配向膜を形成してラビング処理した他方の基板と、上記のように感光性樹脂組成物がパターニングされた一方の基板とを貼り合わせて加圧加熱する。よって、加圧加熱によって、感光性樹脂組成物は接着性を発現するため、外力が加わった場合でもセルギャップが変化しない。また、感光性樹脂組成物のパターニング処理後にラビング処理を施すため、配向膜が現像液に接触しても、上述したような先行例とは異なり、ラビング効果が消失することはない。よって、このようにして製造した液晶素子を用いた液晶表示装置で黒表示を行った場合に、光漏れは生じず、その表示品質は高くなる。      
【００１４】
請求項４に係る液晶素子の製造方法は、請求項３において、前記第４工程及び第６工程における加熱温度は、前記配向膜のガラス転移温度よりも低いことを特徴とする。
【００１５】
第４発明の液晶素子の製造方法にあっては、感光性樹脂組成物の加熱焼成時、及び、両基板を貼り合わせるときの加圧加熱時における加熱温度を、配向膜のガラス転移温度よりも低くする。よって、ラビング効果の消失を防止する。
【００１６】
請求項５に係る液晶素子の製造方法は、請求項２乃至４のいずれかにおいて、前記感光性樹脂組成物を加熱焼成する際の前記熱硬化性官能基の反応率が１００％未満であることを特徴とする。
【００１７】
第５発明の液晶素子の製造方法にあっては、感光性樹脂組成物を加熱焼成する際に、熱硬化性官能基を完全には反応させない。熱硬化性官能基の反応率を高くすればするほど耐ラビング性は向上するが、完全に反応させた場合には接着性が失われてしまう。そこで、両基板を貼り合わせた際に接着性を発現できるように、加熱焼成における熱硬化性官能基の反応率を１００％未満とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の液晶素子の製造方法では、感光性樹脂組成物のパターニング処理後にラビング処理を施すようにしたので、ラビング効果は消失することがなく、液晶表示装置で黒表示を行った際に、光漏れが生じず、その表示品質を高くすることができると共に、外力が加わった場合でもセルギャップが変化しない液晶素子を製造することができる。
【００１９】
また、本発明の液晶素子の製造方法では、感光性樹脂組成物のパターニング処理とラビング処理との間に、感光性樹脂組成物を加熱焼成するようにしたので、耐ラビング性を向上することができる。
【００２０】
また、本発明の液晶素子の製造方法では、配向膜のガラス転移温度よりも低い温度にて、感光性樹脂組成物を加熱焼成すると共に両基板を加圧加熱するようにしたので、配向膜のラビング効果の消失を防止することができる。
【００２１】
更に、本発明の液晶素子の製造方法では、感光性樹脂組成物を加熱焼成する際の熱硬化性官能基の反応率を１００％未満とするようにしたので、耐ラビング性と接着性とを両立させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明をその実施の形態を示す図面を参照して具体的に説明する。
（第１実施の形態）
図１，図２は、本発明の第１実施の形態に係る液晶素子の製造方法の工程を示す図である。まず、一方のガラス基板１にポリイミド製の配向膜２を形成する（図１（ａ））。この配向膜２上に、熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物からなるフォトレジスト３を形成する（図１（ｂ））。次いで、形成したフォトレジスト３を所定のフォトマスク４を介して紫外線で露光し（図１（ｃ））、アルカリ性の現像液５で現像し（図１（ｄ）），フォトレジスト３をパターニングして、フォトレジストパターン３ａを形成する（図１（ｅ））。
【００２３】
次に、熱硬化性官能基の反応率が１００％未満となるような条件で、加熱焼成（ポストベイク）した（図２（ｆ））後。ラビングローラ６を用いてラビング処理を施す（図２（ｇ））。
【００２４】
他方のガラス基板１１にポリイミド製の配向膜１２を形成して、ラビング処理を施し、そのガラス基板１１上に、加熱によって変形しない硬質ビーズ１３を散布した後、ガラス基板１１の辺縁部に液晶注入口１４を除いて周辺シール剤１５を形成する（図２（ｈ））。そして、両方のガラス基板１，１１を貼り合わせ、加圧加熱により、硬質ビーズ１３の高さでフォトレジストパターン３ａの接着性により両方のガラス基板１，１１を接着する（図２（ｉ））。最後に，液晶注入口１４を介して両ガラス基板１，１１間の空隙に液晶物質を注入した後、液晶注入口を封止する。
【００２５】
なお、上述した例では、ガラス基板１１上に、硬質ビーズ１３を散布し、周辺シール剤１５を形成するようにしたが、これとは異なり、硬質ビーズ１３の散布、及び／または、周辺シール剤１５の形成を、フォトレジストパターン３ａを有するガラス基板１上に行うようにしても良い。
【００２６】
（第２実施の形態）
この第２実施の形態にあっては、ラビング処理までは上述した第１実施の形態と同じであるため、その説明は省略する。ラビング処理後、一方のガラス基板上、または、配向膜を形成してラビング処理した他方のガラス基板上に、加熱によって変形しない硬質ビーズを散布した後、一方のガラス基板または他方のガラス基板の辺縁部に周辺シール剤を形成し、一方のガラス基板上または他方のガラス基板上に必要量の液晶物質を配置し、真空中で両方のガラス基板を貼り合わせ、加圧加熱により、硬質ビーズの高さで感光性樹脂組成物の接着性により両方のガラス基板を接着する。
【００２７】
なお、第１，第２実施の形態では、散布される硬質ビーズをスペーサとして用いることとしたが、上述したフォトレジストとは異なる感光性樹脂組成物をパターン形成してなるギャップ制御材をスペーサとして用いることも可能である。このようなギャップ制御材を用いる例が、下記の第３，第４実施の形態である。
【００２８】
（第３実施の形態）
一方のガラス基板に対して、第１実施の形態と同様の工程をラビング処理まで行う。また、他方のガラス基板に、感光性樹脂組成物を形成した後、露光・現像により所定形状にパターニングしてギャップ制御材を形成する。ギャップ制御材を形成した他方のガラス基板上に配向膜を形成してラビング処理を施す。次に、第１実施の形態と同様に、一方のガラス基板または他方のガラス基板の辺縁部に液晶注入口を除いて周辺シール剤を形成し、両方のガラス基板を貼り合わせ、加圧加熱により、ギャップ制御材の高さでフォトレジストパターンの接着性により両方のガラス基板を接着させ、液晶注入口を介して両ガラス基板間の空隙に液晶物質を注入した後、液晶注入口を封止する。
【００２９】
（第４実施の形態）
一方のガラス基板に対して、第１実施の形態と同様の工程をラビング処理まで行う。また、他方のガラス基板に、感光性樹脂組成物を形成した後、露光・現像により所定形状にパターニングしてギャップ制御材を形成する。ギャップ制御材を形成した他方のガラス基板上に配向膜を形成してラビング処理を施す。次に、第２実施の形態と同様に、一方のガラス基板または他方のガラス基板の辺縁部に周辺シール剤を形成し、一方のガラス基板上または他方のガラス基板上に必要量の液晶物質を配置し、真空中で両方のガラス基板を貼り合わせ、加圧加熱により、ギャップ制御材の高さでフォトレジストパターンの接着性により両方のガラス基板を接着する。
【００３０】
なお、上述した第３，第４実施の形態では、フォトレジストパターンを設けない他方のガラス基板上にギャップ制御材を形成することとしたが、これとは異なり、フォトレジストパターンを設ける一方のガラス基板上にギャップ制御材を形成するようにしても良い。      
【００３１】
熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物を使用し、現像後にラビング処理を行うことに本発明の特徴がある。このようにすることにより、先行例のようにラビング効果が消失することは起こり得ない。つまり、現像液に配向膜が接触しても、その後にラビング処理を施すため、ラビング効果が失われることはない。この結果、このように製造した液晶素子を用いた液晶表示装置では、黒表示の際に光漏れが発生せず、表示品質は高くなる。また、熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物は、加熱されることによって、接着性を発現するため、外力が加わった場合でもセルギャップが変化しない液晶表示装置を実現できる。      
【００３２】
ところで、加熱により、熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物は接着性を発現するが、ラビング処理前のポストベークの条件が非常に重要である。なぜなら、ポストベークによって耐ラビング性は向上するが、ポストベークの条件が強すぎると十分な接着強度が得られないからである。
【００３３】
ポストベーク時間と剥離強度及び熱硬化性官能基の反応率との関係を測定した。その測定結果を図３のグラフ及び図表に示す。図４に示すような剥離強度測定装置を用いて次のような条件にて、剥離強度を測定した。
【００３４】
剥離強度測定装置は、Ｌ型治具２１を設けたプッシュプルゲージ２２と、試料３０を固定するベース基材２３とを備える。試料３０は、上側基板３１と下側基板３２との間にパターニング形成した感光性樹脂組成物３３を設けて構成されている。下側基板３２を両面テープ３４でベース基材２３に固定し、上側基板３１をＬ型治具２１に引っかけてプッシュプルゲージ２２で引っ張るようになっている。
【００３５】
具体的な試料３０の作製方法は、以下の通りである。
１．縦５０ｍｍ×横５０ｍｍ×厚さ０．７ｍｍの２枚の白板ガラスの片面全域に配向膜を形成
２．一方の白板ガラスの配向膜上に、熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物を形成した後、プリベーク処理（８０℃×３０分）
３．直径１０μｍ，ピッチ１００μｍのガラスマスクを使用して露光（硬化後の面積率１％）
４．アルカリ水溶液にて現像
５．ポストベーク処理（温度は１３０℃に固定し、ポストベーク時間を０分，５分，１０分，１５分，２０分，２５分に変動）
６．一方または他方の白板ガラスに、直径４μｍのプラスチックビーズを散布
７．５ｍｍだけずらせて両白板ガラスを貼り合わせ
８．真空パックして、加熱硬化（１５０℃×１時間）
【００３６】
真空パックを破って、作製した試料３０を取り出し、取り出した試料３０の一方の白板ガラス（下側基板３２）を両面テープ３４でベース基材２３に固定する。他方の白板ガラス（上側基板３１）の５ｍｍずれた部分をＬ型治具２１に引っかける。２枚の白板ガラスが剥離するまで、プッシュプルゲージ２２で引っ張り、剥離した時点の引っ張り強度（剥離強度）を求める。
【００３７】
また、熱硬化性官能基の反応率は、１５０℃×１時間の加熱条件で完全に硬化させた試料のＤＳＣ（Differential Scanning Calorimetry)による発熱量を１００％とした場合の各ポストベーク時間での発熱量を比較した数値を表す。具体的に、この熱硬化性官能基の反応率は下記式（１）で算出される。
反応率（％）＝｛１−（各ポストベーク時間でのＤＳＣによる発熱量／ポストベーク                            なしでのＤＳＣによる発熱量）｝×１００  …（１）
【００３８】
なお、上述した例では、温度を固定とし時間を変動させて種々のポストベーク条件を設定したが、これとは逆に、時間が固定で温度の変動により種々のポストベーク条件を設定するようにしても良い。
【００３９】
図３の結果から分かるように、ポストベーク時間が長くなるにつれて、剥離強度が小さくなって接着強度は弱くなっている。全くポストベークを行わない場合には、熱硬化性官能基の反応が全く生じておらず、ポストベーク時間が長くなるにつれてその反応が進み、ポストベーク時間が２０分以上になった場合にはほぼその反応が終了している。即ち、ポストベーク時間が長くなると熱硬化性官能基の反応が進んで、その後再加熱しても十分な接着強度を呈することができなくなっている。従って、熱硬化性官能基の反応が完全に終了しないように、ポストベーク条件を設定する必要がある。一方、ポストベークを全く行わない場合には、耐ラビング性が低く、フォトレジストパターンが剥がれたり、その形状が崩れたりする可能性があるため、ある程度のポストベーク処理は必要である。そこで、本発明では、熱硬化性官能基の反応率が１００％未満になるように、ポストベーク条件を設定する。
【００４０】
以下、本発明の具体的な実施例について説明する。
（実施例１）
縦５０ｍｍ×横５０ｍｍ×厚さ０．７ｍｍの２枚の青板ガラスからなる基板の片面に、幅８０μｍ，ピッチ８８μｍのライン状のＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる透明電極をパターニングした。透明電極上に、ポリイミド製の配向膜（例えば、日産化学製：ＳＥ７７９２）をスピーナにて厚さ約１０００Åで形成する。配向膜の焼成温度は２００℃，１時間とした。
【００４１】
その後、一方の基板に、熱硬化性官能基を含む感光性樹脂組成物をスピーナにて形成した。感光性樹脂組成物のプリベーク条件は、８０℃，３０分とした。次に、直径１０μｍ，ピッチ８８μｍのポジ型ガラスマスクを使用して感光性樹脂組成物を露光し、アルカリ溶液にて現像し、感光性樹脂組成物をパターニングした。なお、露光する際、両基板を貼り合わせたときに感光性樹脂組成物のパターンが非画素領域に形成されるように、位置合わせを行った。
【００４２】
その後、１３０℃×５分の条件でポストベークを行い、両基板にラビング処理を施した。感光性樹脂組成物のパターンを有する基板に、ギャップ制御材となる直径４μｍのプラスチックビーズを散布し、液晶注入口となる一部を除いて周辺シール剤（例えば、三井化学製：ＸＮ−２１Ｆ）を形成した。２枚の基板のラビング方向が９０°になるように両基板を貼り合わせ、加圧しながら、１５０℃，１時間の条件で感光性樹脂組成物のパターン及び周辺シール剤を硬化させて、空パネルを作製した。
【００４３】
その後、液晶の長軸方向が厚さ４μｍで９０°ツイストするように光学活性剤（カイラル剤）を適量添加したＴＮ（Twisted Namatic)液晶（例えば、メルク製：ＺＬＩ−４７９２）を、液晶注入口から真空注入法により充填した。そして、液晶注入口を封止し、ラビング方向に偏光板の吸収軸が合うように２枚の偏光板をパネルに貼り付け、ノーマリーブラックモードの液晶表示装置を作製した。
【００４４】
このように作製した液晶表示装置では、パターニングされた感光性樹脂組成物が画素領域内にないので、感光性樹脂組成物周辺からの光漏れはなく、コントラスト比は５００以上であった。また、押しても、捩じっても表示が変化することはなく、５００ｋＰａ相当の外力がかかった場合でも、セルギャップは変化せず、表示品質が高い液晶素子が得られた。
【００４５】
なお、上述した例では、ネマティック液晶を用いることとしたが、強誘電性液晶または反強誘電性液晶などの他の液晶物質を用いた液晶表示装置にも本発明を同様に適用できることは勿論である。
【００４６】
（実施例２）
ポストベークの時間を１０分とした以外は、上述した実施例１と同様の条件で液晶表示装置を作製した。この液晶表示装置では、５００ｋＰａ以上の外力がかかった場合に表示品質は劣化したが、４００ｋＰａ程度の外力までは表示品質に劣化が見られず、実用的な強度を有していた。
【００４７】
（実施例３）
ポストベークの時間を１５分とした以外は、上述した実施例１と同様の条件で液晶表示装置を作製した。この液晶表示装置では、３００ｋＰａ以上の外力がかかった場合に表示品質は劣化したが、２５０ｋＰａ程度の外力までは表示品質に劣化が見られず、実用的な強度を有していた。
【００４８】
（比較例）
ポストベークの時間を２０分（熱硬化性官能基の反応率が１００％）とした以外は、上述した実施例１と同様の条件で液晶表示装置を作製した。この液晶表示装置では、５０ｋＰａ以上の外力がかかった場合に表示品質が劣化した。よって、ペン入力などの液晶表示装置には適しておらず、実用的な強度を有するとは言えなかった。、
【００４９】
（先行例）
感光性樹脂組成物を形成する前にラビング処理を行う以外は、上述した実施例１と同様の条件で液晶表示装置を作製した。この液晶表示装置では、実施例１と同様に、５００ｋＰａ相当の外力がかかった場合でも表示が変化することはなかったが、黒表示の際に、表示領域全面から光漏れが生じて、コントラスト比は１００程度であり、表示品質が著しく劣化した。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の液晶素子の製造方法の工程を示す図である。
【図２】本発明の液晶素子の製造方法の工程を示す図である。
【図３】測定したポストベーク時間と剥離強度及び熱硬化性官能基の反応率との関係を示すグラフ及び図表である。
【図４】剥離強度測定装置の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００５１】
１，１１  ガラス基板
２，１２  配向膜
３  フォトレジスト
３ａ  フォトレジストパターン
４  フォトマスク
５  現像液
６  ラビングローラ
１３  硬質ビーズ
１４  液晶注入口
１５  周辺シール剤
【図１】
2005241873.tif 000003
【図２】
2005241873.tif 000004
【図３】
2005241873.tif 000005
【図４】
2005241873.tif 000006