(57)【要約】【課題】  より簡易且つ安価な検査装置で、より確実に電気光学装置の透過性能を検査できるようにする。【解決手段】  電気光学装置（１００）に光を照射する光源（１１）と、電気光学装置を透過する光を受ける受光装置（１５）と、電気光学装置を保持する移動テーブル（３１）と、レンズ（１２、１３）と、移動テーブルを少なくとも前記レンズ（１２、１３）との関係において相対的に移動させる移動手段（３２、３３）とを備えている。【選択図】      図１
2005257478.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学装置に光を照射する発光手段と、
前記電気光学装置を透過する光を受ける受光手段と、
前記電気光学装置を保持する被検査体保持手段と、
前記発光手段及び前記被検査体保持手段間並びに前記被検査体保持手段及び前記受光手段間の少なくとも一方に配置され前記光を前記電気光学装置へ又は前記電気光学装置から通過させる光学要素と、
前記被検査体保持手段を少なくとも前記光学要素との関係において相対的に移動させる移動手段と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項２】
前記移動手段による移動は、自動的に行われることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項３】
前記移動手段による移動は、前記電気光学装置の表示面に沿った方向で行われることを特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項４】
前記移動手段による移動は、水平方向に沿って行われることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項５】
前記電気光学装置に接続された信号伝達部を介して当該電気光学装置に所定の電気信号を供給すると共に長手方向に延びる可塑性の信号供給手段を更に備えてなり、
前記移動手段による移動は、前記長手方向に沿って行われることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項６】
前記被検査体保持手段は、前記信号伝達部と前記信号供給手段と前記電気光学装置とを固定する固定部を含み、
前記移動手段は、前記固定部を移動させることを特徴とする請求項５に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項７】
前記移動手段による移動前に前記受光手段で受けた光に基づき構成された第１画像と、前記移動手段による移動後に前記受光手段で受けた光に基づき構成された第２画像との差分をとることで、前記電気光学装置における不具合の部位を判定する判定手段を更に備えたことを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項８】
前記移動手段は、前記被検査体保持手段を揺動させることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項９】
前記移動手段による揺動は、所定周波数で振動するように行われることを特徴とする請求項８に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１０】
前記移動手段は、前記光学要素を移動させることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１１】
前記移動手段は、前記電気光学装置を移動させることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１２】
電気光学装置を被検査体保持手段に保持させる準備工程と、
前記電気光学装置に入射側光学要素を介して又は介さずに光を照射する照明工程と、
前記電気光学装置を透過し且つ出射側光学要素を介して又は介さずに光を受ける受光工程と、
前記被検査体保持手段を少なくとも前記光学要素との関係において相対的に移動させる移動工程と
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液晶装置その他の透過性を有するとともに通電によってその透過性の程度を変更させうる電気光学装置の品質検査等に用いられて好適な検査装置及び検査方法の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、基板上にマトリクス状に配列された画素部を持つ、液晶装置等の電気光学装置が知られている。この電気光学装置では、通常、投射光やバックライトの照射を受けるとともにその光を透過し又は透過後反射した上で更に透過することによって、スクリーン上や直視で所定の画像を表示することが可能となっている。ここで様々な事情により、光透過に障害が生じる場合がある。例えば、電気光学装置がアクティブマトリクス駆動方式であるなら、画素スイッチング素子の一例たる薄膜トランジスタの不良により一定の画素部における光透過が遮られることがある。また、単に電気光学装置の表面にごみが付着したり、傷がついたりすることもある。いずれにせよ、これらの事象が発生すると、所望の光透過状態を実現することができず、画像上に“しみ”や“むら”等（前述のような原因に基づくのではないが、微妙なばらつき等を原因として僅かに観察されるようなものもある。）が生じるような状態を発生させるおそれが出てくる。
【０００３】
そこで従来から、電気光学装置の製造工程における所定の段階において、その光透過性能を確認するための検査工程が組み込まれることが行われている。そして、この検査工程においては、適当な検査装置が使われることも行われている。そのような検査装置あるいは方法としては、例えば、特許文献１、あるいは特許文献２等に掲げるようなものが知られている。これらに開示されている装置あるいは方法では、いずれにおいても、被検査体である液晶装置等に対して実際に光を照射し、その透過の具合を確かめることによって、当該被検査体の透過性能を検査するという点において基本的な原理を同じくすると考えられる。
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１６６７７９号公報
【特許文献２】特開２００１−１４７４１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来における電気光学装置の検査装置、あるいは検査工程においては、次のような問題点がある。すなわち、特許文献１に開示されている欠陥検査装置及び欠陥検査方法では、ＣＣＤ等の撮像素子を用いないことによって欠陥検出精度の向上を図るとともに、欠陥検出用の画像を得るために光路の設定に工夫を凝らしたり、テレセントリックな光学系を利用したりすることなどが行われている。また、特許文献２に開示されている検査方法及びその装置では、欠陥絵素を特定するためにレーザ光線を利用したり、あるいは輝度値のサンプリングを行ったりすることなどが行われている。従って、どちらの手段においても、比較的高価あるいは高度な装置・手法が要求されていると考えられることが問題である。例えば、特許文献１のように、光路の設定を工夫しようとすれば、それだけレンズの数も増えるし、各レンズ間の調整を図る必要も出てくることから、検査装置が比較的高価なものになるおそれがある。また、特許文献２では、検査工程に作業者の主観が入ることを排除することを目的としているため、それだけでも装置自体の構成の複雑化を招いており、その高価化が生じることは否めない。欠陥絵素の検出手法ないしは検出過程が比較的複雑になっているのも、前記目的とは無関係でないと思われるが、これも高価化の要因になると考えられる。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、より簡易且つ安価な構成でありながら、より確実に電気光学装置の透過性能を検査し得る検査装置及び検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の電気光学装置の検査装置は、上記課題を解決するため、電気光学装置に光を照射する発光手段と、前記電気光学装置を透過する光を受ける受光手段と、前記電気光学装置を保持する被検査体保持手段と、前記発光手段及び前記被検査体保持手段間並びに前記被検査体保持手段及び前記受光手段間の少なくとも一方に配置され前記光を前記電気光学装置へ又は前記電気光学装置から通過させる光学要素と、前記被検査体保持手段を少なくとも前記光学要素との関係において相対的に移動させる移動手段とを備えている。
【０００８】
本発明の電気光学装置の検査装置によれば、その検査時には、発光手段で発生した光は、電気光学装置を透過し又は透過後反射した上で更に透過した後、受光手段に達する。ここに電気光学装置とは、具体的には例えば、液晶表示装置その他の透過性を有するとともに通電によってその透過性の程度を変更させうる装置が該当する。したがって、当該検査装置のオペレータは、電気光学装置を透過した光及び受光手段それ自体により構成された、あるいは当該光及び受光手段に接続された適当な画像表示手段により構成された画像を視認等することで、当該電気光学装置における光透過性能について確認することができる。なお、発光手段と電気光学装置との間、あるいは電気光学装置と受光手段との間には適当なレンズ、偏光板等々からなる種々の光学要素を備えている。
【０００９】
そして、本発明では特に、電気光学装置は被検査体保持手段に保持されるとともに、該被検査体保持手段は、光学要素との関係、あるいはこれに加えて受光手段、更には発光手段との関係において、相対的に移動されるようになっている。つまり、電気光学装置は、少なくとも光学要素との関係において相対的に移動されるようになっているのである。具体的には、移動手段は、被検査体保持手段を移動させ且つ光学要素を移動させないでもよいし、光学要素を移動させ且つ被検査体保持手段を移動させないでもよいし、両者を同時に移動させてもよい。これにより、検査時にオペレータが視認する画像においては或いは検査時に受光手段で撮像される画像においては、移動方向及び検査装置を構成する各要素の配置関係等が適切である場合に、典型的には次のような現象を見ることができる。
【００１０】
すなわち、まず、前記画像には、一般に、当該電気光学装置に固有の光透過性能の不具合に由来する像（以下、「不具合像」という。）が現れると同時に、当該検査装置に備えられ得る光学系（前記の光学要素、発光手段及び受光手段を含む。）その他の原因によって固有に発生する“むら”等の像（以下、「不要像」という。）が現れることが考えられる。ここで、電気光学装置の移動前において、画像上のＡという場所に不具合像が存在し、Ｂという場所に不要像が存在しているとする。いま、これをオペレータの視点から見た場合を考えると、これだけの状況では、通常は不具合像及び不要像の区別が外観上つき難いことが多いということもあって、どちらが電気光学装置の不具合の部位を表象しているかを判断することは困難なことがある。
【００１１】
ここで、電気光学装置を前述のように少なくとも光学要素との関係において相対的に移動させる。すると、不具合像は、電気光学装置の移動とともに画像上を移動することになる。つまり、不具合像の位置は、前記ＡからＡ´になる。これは、不具合像が当該電気光学装置に固有の不具合に由来するものだからである。一方、不要像については、電気光学装置の移動とともに画像上を移動することはない。つまり、不要像の位置は、依然前記Ｂのままである。なぜなら、不要像は、当該検査装置それ自体に固有に由来するものだからである。
【００１２】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、電気光学装置の不具合の部位の特定を行うことができる。しかも、これは電気光学装置と光学要素等との間の相対的な移動を行うことでもって達成されているのである。よって、本発明によれば、より簡易且つ安価な構成でありながら、より確実に電気光学装置の透過性能を検査し得るのである。
本発明の電気光学装置の検査装置の一態様では、前記移動手段による移動は、自動的に行われる。
【００１３】
この態様によれば、電気光学装置は自動的に移動することになるから、当該検査装置のオペレータの手を煩わせることなく、極めて容易に当該電気光学装置の不具合部位の特定等を行うことができる。
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段による移動は、前記電気光学装置の表示面に沿った方向で行われる。
【００１４】
この態様によれば、移動の態様が好適になり、前述の不具合像及び不要像に関する原理に基づく電気光学装置の不具合部位の特定をより容易且つ確実に行うことができる。
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段による移動は、水平方向に沿って行われる。
【００１５】
この態様によれば、被検査体保持手段が水平方向に沿って移動することから、典型的には、電気光学装置は当該被検査体手段に水平に設置される場合が考えられる。これによると、被検査体保持手段に対する電気光学装置の設置をより自然なかたちで行うことができる。また、このことは、検査対象の電気光学装置が複数存在する場合に検査の作業性を向上させる。なぜなら、電気光学装置の検査装置に対する設置が自然なかたちで行える方が、そうでない場合よりも、より迅速・確実な作業が期待できるからである。
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記電気光学装置に接続された信号伝達部を介して当該電気光学装置に所定の電気信号を供給すると共に長手方向に延びる可塑性の信号供給手段を更に備えてなり、前記移動手段による移動は、前記長手方向に沿って行われる。
【００１６】
この態様によれば、例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）基板等からなる信号供給部が接続された電気光学装置についても円滑な検査作業を実現できる。というのも、ＦＰＣ基板等が存在すると、移動手段による移動の態様に制約が加えられるおそれがあることになるが、本態様では、当該移動がＦＰＣ基板等の長手方向に沿って行われるようになっており、この際、可塑性のＦＰＣ基板等は自然にたわむことが可能である。従って、当該移動の態様が大きな制約を受けるおそれがないためである。
【００１７】
この態様では、前記被検査体保持手段は、前記信号伝達部と前記信号供給手段と前記電気光学装置とを固定する固定部を含み、前記移動手段は、前記固定部を移動させるように構成してもよい。
【００１８】
このように構成すれば、固定部を移動させることで、比較的容易にして電気光学装置の不具合の部位の特定を行うことができる。
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段による移動前に前記受光手段で受けた光に基づき構成された第１画像と、前記移動手段による移動後に前記受光手段で受けた光に基づき構成された第２画像との差分をとることで、前記電気光学装置における不具合の部位を判定する判定手段を更に備えている。
【００１９】
この態様によれば、前述した不具合像及び不要像の原理（記号Ａ、Ａ´及びＢを用いた前記の説明参照。）に従い、電気光学装置の不具合部位の特定を容易に行うことができる。
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段は、前記被検査体保持手段を揺動させる。
【００２０】
この態様によれば、電気光学装置の不具合部位の特定をより容易且つ確実になしうる。この場合、不動の不要像に対して、不具合像は被検査体保持手段の揺動につれてやはり揺動することになり、両者の区別をより明瞭になし得るからである。
この態様では、前記移動手段による揺動は、所定周波数で振動するように行われるように構成してもよい。
【００２１】
このような構成によれば、前記の揺動が所定周波数、より好ましくは比較的高周波数で振動するように行われることから、電気光学装置の不具合部位の特定を前述にも増してさらに容易且つ確実になし得る。この場合、不具合像の揺動が、人間の視識可能な速度を超える、一定程度の速度以上で行われるようにすれば、当該不具合像があたかも消滅したかの如き状態を実現することができる。従って、不具合像と不要像との区別を更に明瞭になし得る。
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段は、前記光学要素を移動させる。
【００２２】
この態様によれば、被検査体保持手段が移動の対象とされるのではなく、その周囲の構成が移動の対象とされることになる。この場合、不具合像が移動し且つ不要像が不動であるのではなく、不具合像が不動で且つ不要像が移動するということになる。従って、特に前述の態様の如き移動手段による高周波数の揺動によって、不要像があたかも消滅したかの如き状態を実現することができる。即ち、不要像が消滅した状態で、不具合像を検査することが一層容易となる。
【００２３】
なお、本態様においては、光学要素に加えて、受光手段、あるいは発光手段もともに移動されるように構成されていてよいことは言うまでもない。逆に、受光手段を不動としつつ光学要素を移動させるように構成されてもよい。また、念のため、本態様にいう「移動」には、前述した「揺動」が当然含まれる。
【００２４】
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記移動手段は、前記電気光学装置を移動させる。
【００２５】
この態様によれば、電気光学装置或いは電気光学装置を保持する被検査体保持手段が移動の対象とされる。この場合、不具合像が移動し且つ不要像が不動であるということになる。従って、移動に応じて動く象として、不具合像を検査することが一層容易となる。
本発明の電気光学装置の検査方法は、上記課題を解決するために、電気光学装置を被検査体保持手段に保持させる準備工程と、前記電気光学装置に入射側光学要素を介して又は介さずに光を照射する照明工程と、前記電気光学装置を透過し且つ出射側光学要素を介して又は介さずに光を受ける受光工程と、前記被検査体保持手段を少なくとも前記光学要素との関係において相対的に移動させる移動工程とを備えている。
【００２６】
本発明の電気光学装置の検査方法によれば、本発明の検査装置をより好適に運用することができる。尚、上述した本発明の検査装置における各種態様に対応して、本発明の検査方法も各種態様を採ることが可能である。
【００２７】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下では、本発明の実施の形態について図を参照しつつ説明する。ここに図１は、本実施形態の検査装置の概要を示す構成図、図２は、図１の上方から臨んだ移動テーブル等の構成を示す平面図である。
【００２９】
図１において、検査装置は、液晶装置等の電気光学装置１００に光を照射するための光源１１を備えている。この光源１１は、本発明にいう「発光手段」の一例であり、より具体的には例えばメタルハライドランプ等を用いることができる。レンズ１２は、光源１１から照射された光を所定の光路を進むように調整するとともに、その光を電気光学装置１００に入射させる。レンズ１３ａは、電気光学装置１００を透過した光を投射する。反射鏡１４は、レンズ１３ａによって投射された光を反射させて、その光を受光装置１５ａに向かわせる。受光装置１５ａは、反射鏡１４によって反射された光を検出する。受光装置１５ａは、本発明に言う「受光手段」の一例であり、より具体的には例えば、スクリーン等や、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの固体撮像素子が該当する。なお、受光装置１５ａとして固体撮像素子を利用する場合には、レンズ１３ａとして集光レンズを用い、発散或いは投射させるのではなく、適当に集光させるようにするのが好ましい（図６の変形形態における受光装置１５ｂ、レンズ１３ｂ参照）。
【００３０】
電気光学装置１００の図１中上下両側から挟むように、偏光板２１及び２２が配置されている。偏光板２１及び２２は、それぞれレンズ１２の出射光及び電気光学装置１００の出射光を偏光する。この偏光板２１及び２２の存在により、電気光学装置１００における光透過状態の変動に応じて、受光装置１５ａにおける光の到達状態に変動を生じさせることができる。
【００３１】
なお、以下では、上述の光源１１から受光装置１５ａに至るまでの構成（但し、電気光学装置１００を除く。）をまとめて光学系１０と呼ぶことがある。
【００３２】
また、検査装置は、電気光学装置１００を保持するための移動テーブル３１を備えている。移動テーブル３１は図１中上下に貫通するような開口部を有しており、電気光学装置１００はこの開口部内に収納されるようにして保持される。このような移動テーブル３１は、固定テーブル４１に設けられた開口部４２に収まるように配置されている（図２も参照）。移動テーブル３１の一端には動力伝達部３２が取り付けられており、動力伝達部３２には駆動装置３３が接続されている。動力伝達部３２は、固定テーブル４１の一部を貫通するように設けられている。これにより、駆動装置３３で起こされた動力は、まず動力伝達部３２に伝わり、最終的に、移動テーブル３１に伝わるようになっている。電気光学装置１００は、このような移動テーブル３１に保持されることにより、光学系１０及び固定テーブル４１に対して、図１及び図２に示す矢印に示す方向に沿って相対的に移動可能とされる。
【００３３】
検査装置は、上述のほか、電気光学装置１００に対して所定の電気信号を送るためのプローブ１０９を備えている。プローブ１０９は、電気光学装置１００に接続されたＦＰＣ基板１０５に接続されており、このＦＰＣ基板１０５を介して電気光学装置１００に所定の電気信号を供給する。なお、本実施形態において、プローブ１０９は、電気光学装置１００及び移動テーブル３１の移動とともに移動するのではなく固定された状態にある。
【００３４】
また、検査装置は、制御装置８１を備えている。この制御装置８１は、上述の各要素のうち幾つかから適当な信号を受けてこれを解析し、あるいは自ら制御信号を発して当該各要素の幾つかを動作させることで、検査装置全体が調和的に動作するようにこれを制御する。より具体的には、制御装置８１は、受光装置１５ａが固体撮像素子等である場合には、これから検出信号を受けて画像を構成する（図６参照）。また、本実施形態においては特に、制御装置８１は、駆動装置３３に制御信号を送信することによって、移動テーブル３１、ひいては電気光学装置１００を、所定の量、間隔、頻度等でもって前述のように移動させ得るようになっている。
【００３５】
さらに、電気光学装置１００は、例えば一対の透明基板とこれらの間に挟持された液晶等からなる液晶表示装置である。かかる液晶表示装置は、更に具体的には、一対の透明基板の一方の上にマトリクス状に配列された画素電極及び画素スイッチング素子としての薄膜トランジスタ、その他方の上に配置された対向電極等を備える。画素電極及び薄膜トランジスタがマトリクス状に配列されることで、画素部が規定される。このような構成では、前記プローブ１０９から供給されてきた電気信号により、薄膜トランジスタのＯＮ・ＯＦＦが制御されるとともに、画素電極及び対向電極間の電位差が画素ごとに適当に設定されることで、液晶の配向状態が画素ごとに変更され、当該液晶表示装置を透過する光の有無及び程度が調整可能となる。
【００３６】
なお、上述におけるレンズ１２及び１３ａ、反射鏡１４並びに偏光板２１及び２２等の配置態様は、一例を示しているものに過ぎず、この他種々の特徴を備えたレンズ系を構成しうることは言うまでもない。
【００３７】
以上のような構成となる検査装置では、例えば次のような検査が実施されることになる。以下では、これを既に参照した各図及び図３を参照して説明する。ここに図３は、図１における受光装置１５ａ上において観察される画像の例を示す説明図である。
【００３８】
まず、移動テーブル３１の開口部に電気光学装置１００が収納されるとともに、この電気光学装置１００にプローブ１０９が接続される。続いて、光源１１が点灯された後、プローブ１０９から、ＦＰＣ基板１０５を通じて電気光学装置１００に所定の電気信号が供給される。これにより、光源１１から発せられた光は、当該電気光学装置１００を透過し又は遮られることになる。そして、その結果は、光学系１０の最終部分である受光装置１５ａによって検出されることになり、具体的には、図３（ａ）に示すような画像が得られることになる。
【００３９】
この図３（ａ）において、電気光学装置１００に固有の光透過性能の不具合に由来する像Ｐ（以下、「不具合像Ｐ」という。）が示されていると同時に、当該検査装置の光学系１０その他の原因によって固有に発生する“むら”等の像Ｇ１及びＧ２（以下、「不要像Ｇ１及びＧ２」という。）が示されている。図においては、不具合像Ｐを四角で、不要像Ｇ１及びＧ２を黒丸で表現しているため、両者の区別は明瞭ではあるが、一般に、現実の画像においては、オペレータの視点から見て不具合像及び不要像の区別が外観上つき難い場合がある。このような場合、どちらが電気光学装置１００の不具合の部位を表象しているかを判断することは困難である。
【００４０】
ここで、オペレータは、検査装置に対して、移動テーブル３１を所定量移動させる指令を発すると、制御装置８１は該指令どおりに、移動テーブル３１、ひいては電気光学装置１００を移動させる。これは、制御装置８１から発せられた制御信号に応じて、駆動装置３３が動力を発生し、これを動力伝達部３２を介して移動テーブル３１、ひいては電気光学装置１００に及ぼすことによる。
【００４１】
すると、不具合像Ｐは、図３（ｂ）に示すように、電気光学装置１００の移動とともに画像上を移動することになる（図３（ｂ）における矢印は移動方向を示す。）。これは、不具合像Ｐが当該電気光学装置１００に固有の不具合に由来するものだからである。一方、不要像Ｇ１及びＧ２については、電気光学装置１００の移動とともに画像上を移動することはない。つまり、不要像Ｇ１及びＧ２の位置は、依然のままである。なぜなら、不要像Ｇ１及びＧ２は、当該検査装置それ自体に固有に由来するものだからである。
【００４２】
以上のような検査が実施されることにより、本実施形態によれば、不要像Ｇ１及びＧ２から明確に区別される形で、不具合像Ｐの発見を行うことができ、その結果、電気光学装置１００の不具合の部位の特定を行うことができる。しかも、これは電気光学装置１００と光学系１０及び固定テーブル４１等との間の相対的な移動を行うことでもってのみ達成されているのである。加えて、本実施形態においては、移動テーブル３１の移動が一定の平面内で、即ち電気光学装置１００の表示面に沿った方向で行われるようになっていることから、移動の態様が好適となり、電気光学装置１００の不具合部位の特定をより容易且つ確実に行うことができる。
【００４３】
また、本実施形態では、移動テーブル３１の移動が、制御装置８１、駆動装置３３及び動力伝達部３２によって自動的に行われるようになっていることから、当該検査装置のオペレータの手を煩わせることなく、極めて容易に当該電気光学装置の不具合部位の特定等を行うことができる。ただし、移動テーブル３１の移動は手動によるのでもよい。
【００４４】
さらに、移動テーブル３１及び電気光学装置１００の移動方向は、図１及び図２に示したように、可塑性のＦＰＣ基板１０５の延びる方向に沿って行われるようになっている。これによると、移動が行われても、ＦＰＣ基板１０５は自然にたわむことが可能であるから（図１参照）、当該移動の態様が大きな制約を受けるおそれがない。したがって、円滑な検査作業を実現できる。
【００４５】
ちなみに、前述した手順では、単に所定量の移動を一回のみ行うようになっているが、そうではなくて、例えば、図３（ａ）の画像を中心として、図３（ｂ）のような移動を行った後に、今度は図３（ｃ）に示すようにそれとは逆の移動、即ち図３（ｂ）から図３（ａ）へ戻る移動を行うとともに、更に図３（ａ）から図３（ｂ）の移動量と同じ移動量だけの図３（ｂ）とは反対の方向の移動を行い、さらに再び図３（ｂ）のような移動を行うなどといった揺動を行えば、不具合像Ｐの発見は更に容易且つ確実になしうる。
【００４６】
なお、移動テーブル３１を移動ないしは揺動させるための機構としては、具体的には例えば、図４に示すようなものを採用することができる。この図において、図１にいう動力伝達部３２が、カム３２１及びスプリング３２２からなり、駆動装置３３がカム回転装置３３１からなるようなものとなっている。
【００４７】
また、上記実施形態では、電気光学装置１００が、光学系１０及び固定テーブル４１等に対して相対的に移動する構成となっていたが、本発明の一変形形態としては、これとは逆に、光学系１０及び固定テーブル４１等が、電気光学装置１００に対して相対的に移動するような構成となっていてもよい。この場合、図３で示したのとは逆に、不要像Ｇ１及びＧ２が画像上で移動し、不具合像Ｐが不動のものとなる。
【００４８】
即ち、本変形形態では図５に示すように、光学系１０及び固定テーブル４１等を前述したように揺動させるとともに、その揺動を所定周波数で振動するように行えようにすれば、不要像Ｇ１及びＧ２の揺動が、一定程度の速度以上で行われるため、当該不要像Ｇ１及びＧ２自体があたかも消滅したかのごとき状態、言い換えると不具合像Ｐのみが残存するような状態を実現することができることになる。即ち、揺動速度を高めることで、スクリーン等の受光装置１５ａ上では、静止時画像である図５（ａ）から、中速揺動時の画像である図５（ｂ）を経て、高速揺動時の画像である図５（ｃ）の如き投射表示が実現される。よって、スクリーン等の受光装置１５ａ上で、不要像Ｇ１及びＧ２を視覚上消滅させると共に不具合像Ｐを特定することが容易になり、電気光学装置の不具合部位の特定をより容易且つ確実になしうることになる。
【００４９】
更に、他の変形形態では、既に上で何度か触れたが、図１に示した受光装置１５ａとして、ＣＣＤ等の固体撮像素子を用いる。この場合、図６に示すように、ＣＣＤ等の固体撮像素子からなる受光装置１５ｂと制御装置８１とが相互に連絡を取り合う構成を採用することができる。この際、レンズ１３ｂは、表示光を受光装置１５ｂの大きさに合わせて適度に集光する。この場合においては、受光装置１５ｂがスクリーンであるような場合（図１参照）とは異なり、画像は電子化されるため、取り込んだ画像に対して適当な画像処理を実施することができる。すなわち、前記の図３や図５で説明したような不具合像Ｐの発見を、制御装置８１において自動的に実施することができるのである。
【００５０】
より具体的には、図３（ａ）及び（ｂ）の双方、あるいは図３（ａ）及び（ｃ）の双方をビットマップ等のデータとして電子化した上で、適当な演算処理（例えば、画素毎の差分処理）を実施することによって、不具合像Ｐを発見することも可能である。或いは、画素毎の差分処理を行って、図５（ａ）に対応するビットマップデータから図５（ｃ）に対応するビットマップデータを算出することができる。これにより、電気光学装置の不具合部位の特定をより容易且つ確実になしうることになる。
【００５１】
加えて、受光装置１５ｂとしてＣＣＤ等の固体撮像素子を用いる場合であって（図６参照）且つ電気光学装置１００を不動としつつ光学系１０を移動させる場合、ＣＣＤ等の受光装置１５ｂについては、不動としてもよい。このように構成すると、受光装置１５ｂに起因する不要像Ｇ１及びＧ２を不具合像Ｐ２から区別することはできない。しかしながら、ＣＣＤ等の受光装置１５ｂで撮像する画像中で、受光装置１５ｂ以外の光学系１０に起因する不要像Ｇ１及びＧ２については、或いは受光装置１５ｂ以外の光学系１０に起因する不要像Ｇ１及びＧ２を除いた不具合象Ｐについては、図５に示したように制御装置８１により自動的に特定することも可能となる。
【００５２】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置の検査装置及び検査方法もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本実施形態の電気光学装置の検査装置の概要を示す構成図である。
【図２】図１の上方から臨んだ移動テーブル等の構成を示す平面図である。
【図３】図１における受光装置上において観察される画像の例を示す説明図である。
【図４】移動テーブルを移動させるための、より詳細な構成を示す図である。
【図５】変形形態で受光装置上にて観察される画像の例を示す説明図である。
【図６】図１とは別形態となる電気光学装置の検査装置の概要を示す構成図である。
【符号の説明】
【００５４】
１１…光源、１２…レンズ、１３ａ、１３ｂ…レンズ、１４…反射鏡、１５ａ、１５ｂ…受光装置、２１及び２２…偏光板、３１…移動テーブル、３２…動力伝達部、３２２…スプリング、３２１…カム、３３…駆動装置、３３１…カム回転装置、８１…制御装置、１００…電気光学装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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