(57)【要約】【課題】  隣り合う基板同士の接触が阻止されるキャリアと、これを用いた太陽電池の製造方法を提供する。【解決手段】  キャリア１では、互いに対向して一方向に延在する１対の側面部１ａが設けられ、その１対の側面部１ａの一方向の一端と他端には前端面部１ｂと後端面部１ｃがそれぞれ設けられている。１対の側面部１ａのそれぞれには、基板１１を収容するための複数の位置決め溝３が互いに対向するように設けられている。キャリア１の下部には、基板１１が収容された状態で基板１１を下方から支持する２本の支持部材５が配設されている。その支持部材５には、収容される複数の基板１１のそれぞれを受入れる受入れ溝５ａが形成されている。その受入れ溝５ａは、たとえば、そろばん珠の形状をなすように形成されている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を収容するためのキャリアであって、
互いに対向して一方向に延在する１対の側面部と、
１対の前記側面部のそれぞれに対向するように設けられ、前記一方向と略直行する方向に延在し基板を収容する際に基板の両側部をそれぞれ受け入れて、複数の基板の位置をそれぞれ決める位置決め溝と、
前記一方向に延在して収容された基板を下方から支持する支持部材と
を有し、
前記支持部材は、収容される複数の基板のそれぞれの下部を受入れる受入れ溝を備えた、キャリア。
【請求項２】
前記受入れ溝は前記支持部材の全周にわたって形成されている、請求項１記載のキャリア。
【請求項３】
前記受入れ溝はテーパ状である、請求項１または２に記載のキャリア。
【請求項４】
前記受入れ溝の底の位置は、前記位置決め溝を略水平にした状態で対応する前記位置決め溝の中心位置よりも下方になるように設定された、請求項３記載のキャリア。
【請求項５】
前記受入れ溝はそろばん珠状に形成された、請求項１〜４のいずれかに記載のキャリア。
【請求項６】
前記受入れ溝はのこぎり歯状に形成された、請求項１〜４のいずれかに記載のキャリア。
【請求項７】
前記支持部材は互いに間隔を隔てて複数配設された、請求項１〜６のいずれかに記載のキャリア。
【請求項８】
前記支持部材の少なくとも表面は耐薬品性樹脂によって覆われた、請求項１〜７のいずれかに記載のキャリア。
【請求項９】
複数の基板をキャリアにそれぞれ収容する工程と、
基板を収容した前記キャリアを所定の薬液に浸漬させることにより、基板に薬液処理を施す工程と
を備え、
前記薬液処理を施す工程では、基板の下部部分と、対向する両側部分とをそれぞれ保持した状態で基板に薬液処理が施される、太陽電池の製造方法。
【請求項１０】
前記キャリアとして、前記キャリアに基板が収容された状態で基板の下部部分と、対向する両側部分とをそれぞれ受入れる溝部を備えたキャリアを用いる、請求項９記載の太陽電池の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリアおよびそれを用いた太陽電池の製造方法に関し、特に、搭載された基板の位置ずれが抑制されるキャリアと、そのようなキャリア用いた太陽電池の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
太陽電池セルや半導体デバイスは、たとえばガラス基板やウェハ等の基板上に成膜処理、加工処理あるいは薬液処理等の所定の処理を順次施すことによって形成される。特に、基板に対して薬液処理を施す際には、基板は所定のキャリアに搭載されて、キャリアごと所定の薬液に浸漬されることになる。そこで、このような薬液処理の際に使用される従来のキャリアとして、特許文献１に開示されたキャリアについて説明する。
【０００３】
図１３に示すように、従来のキャリア１０１では、一方向に延在する１対の側面部１０１ａが設けられ、その１対の側面部１０１ａの一方向の一端と他端には前端面部１０１ｂと後端面部１０１ｃがそれぞれ設けられている。また、１対の側面部には、基板１１１を収容するための互いに対向する複数の位置決め溝１０３が設けられている。さらに、キャリア１０１の下部は、基板１１１が収容された状態で基板１１１を下方から支持する支持部材１０５が配設されている。この支持部材１０５は、柔軟性を備えた樹脂材を用いて丸棒状に成型されている。
【０００４】
このキャリアでは、キャリア１０１の下部に支持部材１０５が配設されていることで、基板として角型の基板と非角型の基板とを収容する際に、角型の基板と非角型の基板とが双方とも支持部材１０５によって支持されることになる。これにより、角型の基板と非角型の基板とはキャリア１０１において同じ高さの位置に収容されて、同時に同じ薬液槽にて薬液処理を施すことができる。
【特許文献１】特開２００２−１２４５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来のキャリア１０１では次のような問題点があった。太陽電池セルをより大面積にしてしかも軽くするために、基板には大型化と薄型化が求められている。基板が大型化してその厚さが薄くなると、基板自体が反りやすくなる傾向にある。しかも、上述したキャリア１０１では、基板１１１は下方から丸棒状の支持部材１０５によって支持されているだけなので、キャリア１０１ごと薬液中に浸漬されると、基板１１１は薬液槽中の薬液の流れや化学反応等による影響も受けることになる。
【０００６】
そのため、図１４および図１５に示すように、基板１１１の下部の部分が支持部材１０５が延びる方向に沿って位置ずれを起こしてしまい、隣り合う基板１１１同士が接触するおそれがあった。その結果、薬液処理後に基板移載機によってキャリア１０１の基板を他のキャリアへ移し替える際に、基板１１１が割れてしまうおそれがあった。
【０００７】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、隣り合う基板同士の接触が阻止されるキャリアを提供することであり、他の目的は、そのようなキャリアを用いた太陽電池の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るキャリアは複数の基板を収容するためのキャリアであって、１対の側面部と位置決め溝と支持部材とを有している。１対の側面部は互いに対向して一方向に延在している。位置決め溝は、１対の前記側面部のそれぞれに対向するように設けられ、一方向と略直行する方向に延在し基板を収容する際に基板の両側部をそれぞれ受け入れて、複数の基板の位置をそれぞれ決めている。支持部材は一方向に延在して、収容された基板を下方から支持している。その支持部材は、収容される複数の基板のそれぞれの下部を受入れる受入れ溝を備えている。
【０００９】
この構造によれば、基板がキャリアに収容された状態では、基板は基板における対向する２つの側部が位置決め溝に受入れられるとともに、基板の下部が受入れ溝に受入れられることになって、基板は、上部を除く３ヶ所の部分が位置決め溝と受入れ溝に受入れられた状態で処理が施されることになる。そのため、基板が大型化してその厚さが薄くなり、たとえば薬液槽中の薬液の流れや化学反応等による影響を受けて基板が反りやすくなっても、従来のキャリアに比べて基板が位置ずれを起こすことが阻止される。その結果、隣り合う基板同士が接触することがなくなり、処理後にキャリアの基板を他のキャリアへ移し替える際に、基板が割れてしまうのを防止することができる。
【００１０】
また、受入れ溝は支持部材の全周にわたって形成されていることが好ましい。
【００１１】
これにより、キャリアに支持部材を取付ける際に、回転方向の位置に関係なく支持部材を取付けることができ、さらに、部分的に受入れ溝が形成されている支持部材に比べると、全周にわたって受入れ溝が形成されていることで、製作が容易で価格をより安価にすることができる。
【００１２】
さらに、受入れ溝はテーパ状であることが好ましい。
【００１３】
これにより、基板を容易に受入れてこれを保持することができる。
【００１４】
また、受入れ溝の底の位置は、位置決め溝を略水平にした状態で対応する位置決め溝の中心位置よりも下方になるように設定されていることが好ましい。
【００１５】
これにより、重力により下方に下がってしまう基板の先端部分を確実に受入れ溝に受入れさせることができる。
【００１６】
そのような受入れ溝の具体的な形状としては、そろばん珠状に形成されたものやのこぎり歯状に形成されたものが好ましい。
【００１７】
さらに、支持部材は互いに間隔を隔てて複数配設されていることが好ましい。
【００１８】
これにより、基板をより確実に保持することができる。
【００１９】
また、支持部材の少なくとも表面は、耐薬品性樹脂によって覆われていることが好ましい。
【００２０】
これにより、薬液にキャリアごと浸漬することができる。
【００２１】
本発明に係る太陽電池の製造方法は以下の工程を備えている。複数の基板をキャリアにそれぞれ収容する。基板を収容したキャリアを所定の薬液に浸漬させることにより、基板に薬液処理を施す。薬液処理を施す工程では、基板の下部部分と、対向する両側部分とをそれぞれ保持した状態で基板に化学処理が施される。
【００２２】
この方法によれば、基板は、上部を除く両側部分と下部部分との３ヶ所が保持された状態で処理が施されることになる。そのため、基板が大型化してその厚さが薄くなり、たとえば薬液槽中の薬液の流れや化学反応等による影響を受けて基板が反りやすくなっても、基板が位置ずれを起こすことが阻止される。その結果、隣り合う基板同士が接触することがなくなり、処理後にキャリアの基板を他のキャリアへ移し替える際に、基板が割れてしまうのを防止することができる。
【００２３】
そのように基板を保持するためには、キャリアに基板が収容された状態で基板の下部部分と、対向する両側部分とをそれぞれ受入れる溝部を備えたキャリアを用いることが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の実施例に係る基板を収容するキャリアと、これを用いた太陽電池セルの製造方法について説明する。図１、図２および図３に示すように、キャリア１では、互いに対向して一方向に延在する１対の側面部１ａが設けられ、その１対の側面部１ａの一方向の一端と他端には前端面部１ｂと後端面部１ｃがそれぞれ設けられている。
【００２５】
その１対の側面部１ａのそれぞれには、基板１１を収容するための複数の位置決め溝３が互いに対向するように設けられている。キャリア１の下部には、基板１１が収容された状態で基板１１を下方から支持する２本の支持部材５が配設されている。その支持部材５には、収容される複数の基板１１のそれぞれを受入れる受入れ溝５ａが形成されている。
【００２６】
その受入れ溝５ａは、たとえば図４および図５に示すように、そろばん珠の形状をなすように形成されている。なお、キャリア１ごと薬液に浸漬するために、支持部材５の少なくとも表面は耐薬品性樹脂によって覆われていることが望ましい。
【００２７】
次に、上述したキャリア１への基板の収容動作と薬液処理について説明する。図６に示すように、キャリア１の前端面１ｂが上を向くように所定のステージ（図示せず）に載置される。ステージに載置されたキャリア１に対して基板移載機（図示せず）によって複数の基板が順次収容される。
【００２８】
このとき、図７に示すように、各基板１１は位置決め溝３を経て支持部材５の受入れ溝５ａに受入れられることになる。その際に、基板の先端部分が重力により下方に下がってしまうため、基板１１が対応する受入れ溝５ａに受入れられるように、位置決め溝５ａの溝中心の位置は対応する受入れ溝５ａの最深部の位置５ｂよりも、受入れ溝５ａの間隔（長さＨ）のたとえば１／４分（ｈ）だけ下方に設定されている。
【００２９】
基板１１の収容が完了すると、キャリア１はステージから払い出されて、基板１１がほぼ垂直となる状態（基板を立てた状態）にされる。次に、その状態でキャリア１ごと所定の薬液に浸漬されて基板１１に薬液処理が施されることになる。
【００３０】
たとえば太陽電池セルを製造する際に、エッチング処理を施す場合には薬液としてフッ化水素酸含有液を貯留した槽にキャリア１が浸漬される。また、たとえば洗浄処理を施す場合には、薬液として純水を貯留した槽にキャリア１が浸漬される。
【００３１】
所定の薬液処理が施された基板１１は、基板移載機によって他のキャリアに移し替えられて次の工程に搬送されることになる。このようにして、各工程ごとに所定のキャリアに収容された基板１１に対して所定の処理が順次施されることによって太陽電池セルが製造される。
【００３２】
上述したキャリア１によれば、基板１１が収容された状態で基板１１を下方から支持する２本の支持部材５に、複数の基板１１のそれぞれの下部部分を受入れる受入れ溝５ａが形成されている。これにより、基板１１がキャリア１に収容された状態では、図８、図９および図１０に示すように、基板１は基板１における対向する２つの側部が位置決め溝３に受入れられるとともに、基板１の下部が受入れ溝５ａに受入れられていることになる。
【００３３】
このようにして、基板１１は、上部を除く３ヶ所の部分が位置決め溝３と受入れ溝５ａに受入れられた状態で薬液処理が施される。そのため、基板が大型化してその厚さが薄くなり、薬液槽中の薬液の流れや化学反応等による影響を受けて基板１１が反りやすくなっても、従来のキャリア１０１に比べて支持部材５が延びる方向に沿って基板１１が位置ずれを起こすことが阻止される。その結果、基板１１の位置ずれに伴って隣り合う基板１１同士が接触することがなくなり、薬液処理後にキャリア１の基板１１を他のキャリアへ移し替える際に、基板１１が割れてしまうのを防止することができる。
【００３４】
なお、上述した実施例では、受入れ溝５ａが形成された支持部材５の形状として、そろばん珠の形状を例に挙げて説明したが、支持部材５の形状としてはこれに限られるものではない。たとえば図１１および図１２に示すように、のこぎり歯状の受入れ溝５ａを有する支持部材５でもよく、基板１１の挿入方向に向かって受入れ溝の側面がテーパ状に細くなっていればよい。
【００３５】
また、受入れ溝５ａは支持部材５の全周にわたって形成されていることが望ましく、これにより、キャリアに支持部材５を取付ける際に、回転方向の位置に関係なく支持部材５を取付けることができる。さらに、部分的に受入れ溝が形成されている支持部材に比べると、全周にわたって受入れ溝５ａが形成されていることで、製作が容易で価格をより安価にすることができる。
【００３６】
また、配設される支持部材５の本数としては２本に限られるものではなく、少なくとも１本あれば目的を達成することができる。なお、この場合には支持部材は、基板１１下部の中央付近を支持するように配設されることが望ましい。
【００３７】
さらに、上述した実施例では、太陽電池セルを製造する際の化学処理に当該キャリア１を用いる場合を例に挙げて説明したが、当該キャリア１の用途としてはこれに限られるものではなく、広く半導体装置の製造にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施例に係るキャリアの斜視図である。
【図２】同実施例において、図１に示すキャリアの側面部分断面図である。
【図３】同実施例において、図１に示すキャリアの正面部分断面図である。
【図４】同実施例において、図１に示すキャリアの支持部材の一例を示す側面図である。
【図５】同実施例において、図４に示す支持部材の正面図である。
【図６】同実施例において、図１に示すキャリアを用いた薬液処理を説明するための基板をキャリアに移載する工程を示す側面部分断面図である。
【図７】同実施例において、キャリアにおける支持部材の受入れ溝と位置決め溝との関係を示す部分拡大側面図である。
【図８】同実施例において、基板を収容したキャリアを示す正面部分断面図である。
【図９】同実施例において、基板を収容したキャリアを示す部分側面図である。
【図１０】同実施例において、基板を収容したキャリアを示す部分上面図である。
【図１１】同実施例において、支持部材の他の例を示す側面図である。
【図１２】同実施例において、図１１に示す支持部材の正面図である。
【図１３】従来のキャリアの斜視図である。
【図１４】従来のキャリアにおける問題点を説明するための部分側面図である。
【図１５】従来のキャリアにおける問題点を説明するための部分上面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１  キャリア、１ａ  側面部、１ｂ  前端面部、１ｃ  後端面部、３  位置決め溝、５  支持部材、５ａ  受入れ溝、５ｂ  最深部、１１  基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005150272.tif 000009
【図８】
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【図９】
2005150272.tif 000011
【図１０】
2005150272.tif 000012
【図１１】
2005150272.tif 000013
【図１２】
2005150272.tif 000014
【図１３】
2005150272.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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