(57)【要約】【課題】真空断熱用の外管に対して強固な真空シールを施すことができる真空断熱式二重配管の真空シール施工方法、および、真空断熱用の外管に対して強固な真空シールが施されている真空断熱式二重配管を提供する。【解決手段】流体搬送用の内管１に真空断熱用の外管２が外挿されている真空断熱式二重配管における外管２の管内を、外管２の管壁に設けられた排気口ＯＵＴから真空排気ポンプにより真空排気した後、排気口ＯＵＴに対し真空シールを施す。真空排気する前に外管真空排気用の排気通路内に予めろう材６を導入しておき、真空排気後にろう材６を加熱溶融させてから固化させることにより、外管２の管内の真空排気に用いられた排気口ＯＵＴに真空シールを施す真空断熱式二重配管の真空シール施工方法。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体搬送用の内管に真空断熱用の外管が外挿されている真空断熱式二重配管における前記外管の管内を、前記外管の管壁に設けられた排気口から真空排気ポンプにより真空排気した後、前記排気口に対し真空シールを施す方法であって、
真空排気する前に外管真空排気用の排気通路内に予めろう材を導入しておき、真空排気後にろう材を加熱溶融させてから固化させることにより、前記外管の管内の真空排気に用いられた前記排気口に真空シールを施すことを特徴とする真空断熱式二重配管の真空シール施工方法。
【請求項２】
真空断熱用の前記外管の管壁に、排気口となる先端側開口で前記外管の管内と連通して外管真空排気用の排気通路の一部を構成する封止用筒体を接続して、この封止用筒体の後端側に前記真空排気ポンプを接続すると共に、前記外管真空排気用の排気通路内に予め排気口閉塞用の弁体と真空シール用のろう材としての銀ろうとを、銀ろうは前記弁体に付着させて導入しておき、先ず排気口閉塞用の弁体を、排気口を閉塞しない位置に後退させた状態で前記外管の管内を真空排気してから、次に排気口閉塞用の前記弁体を銀ろうごと前記排気口を閉塞する位置に前進させた後、前記銀ろうを加熱溶解させて、排気口閉塞用の前記弁体と封止用筒体の隙間を溶解した銀ろうにより、閉ざした状態で前記銀ろうを固化させて排気口に対する真空シールを施す請求項１に記載の真空断熱式二重配管の真空シール施工方法。
【請求項３】
真空断熱用の前記外管の管壁に、排気口となる先端側開口で前記外管の管内と連通して外管真空排気用の排気通路の一部を構成する封止用筒体を接続して、この封止用筒体の後端側に前記真空排気ポンプを接続すると共に、前記封止用筒体の筒内に真空シール用のろう材としてガラスろうを導入しておき、前記外管の管内を真空排気してから、前記ガラスろうを加熱溶解させて、前記封止用筒体を溶解したガラスろうにより、閉ざした状態でガラスろうを固化させて前記排気口に対する真空シールを施す請求項１に記載の真空断熱式二重配管の真空シール施工方法。
【請求項４】
前記封止用筒体が電気良導体であって、高周波加熱により前記封止用筒体を加熱することで、この封止用筒体の筒内に配置したろう材を溶解する請求項２又は３に記載の真空断熱式二重配管の真空シール施工方法。
【請求項５】
前記外管の管内を真空排気する間に、ろう材の溶融温度以下の温度で前記外管の管内を予備加熱する請求項１〜４のいずれかに記載の真空断熱式二重配管の真空シール施工方法。
【請求項６】
ろう材を加熱溶解する際に、前記外管の管内において放出されるガスを吸収するガス吸着剤を前記外管の管内に予め配置しておく請求項１〜５のいずれかに記載の真空断熱式二重配管の真空シール施工方法。
【請求項７】
流体搬送用の前記内管に、真空断熱用の前記外管が外挿されている真空断熱式二重配管において、前記外管の管壁に設けられて、この外管の管内の真空排気に用いられた排気口が、請求項１〜６のいずれかに記載された真空断熱式二重配管の真空シール施工方法により施された真空シールで密封されていることを特徴とする真空断熱式二重配管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空断熱式二重配管の真空シール施工方法、および、真空断熱式二重配管に関し、詳しくは、流体搬送用の内管に真空断熱用の外管が外挿されている真空断熱式二重配管における前記外管の管内を外管の管壁に設けられた排気口から真空排気ポンプにより真空排気した後、前記排気口に対し真空シールを施す真空断熱式二重配管の真空シール施工方法、および、流体搬送用の内管に真空断熱用の外管が外挿されている真空断熱式二重配管に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば食品製造工場などでは、食品原料などの流体搬送に、図７に示すように、流体搬送用の内管５１に真空断熱用の外管５２が外挿されている真空断熱式二重配管が用いられる（例えば、特許文献１）。この真空断熱式二重配管の場合、外管５２の管内は真空排気（減圧）状態に保たれていて、内管５１の管内を流体が通過する。真空排気された外管５２によって内管５１全体が外界から熱遮断されているので、流体は外気温により温度変化することなく内管５１の管内を通過し搬送される。つまり、真空断熱式二重配管の場合、外管５２の管内を真空排気状態に保っておくだけで、加熱された流体は高温状態のまま搬送することができ、冷却された流体は低温状態のまま搬送することができる。
【特許文献１】特開２０００−２１３６７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の真空断熱式二重配管は、外管５２の管内を十分な真空排気状態に保っておくことが難しいという問題がある。
【０００４】
外管５２の管内を真空排気した後、例えばゴム製のＯ−リング等のパッキング材を用いて真空シール（図示省略）しておくのであるが、この真空シールは強固とは言えず、時間が経つと外管５２の管内の真空度が下がる。そうなると、外管５２による断熱機能が低下するので、内管５１の管内を通過する流体の保温あるいは保冷が果たせなくなる。したがって、従来の真空断熱式二重配管の場合、短い時間間隔で外管５２の管内を真空排気し直す作業を繰り返したり、更には外管の外側に十分な断熱材を被覆する必要があるといった不都合を伴うことになる。
【０００５】
そこで、本発明は上記従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、その課題は、真空断熱用の外管に対して強固な真空シールを施すことができる真空断熱式二重配管の真空シール施工方法、および、真空断熱用の外管に対して強固な真空シールが施されている真空断熱式二重配管を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明に係る真空断熱式二重配管の真空シール施工方法の特徴構成は、流体搬送用の内管に真空断熱用の外管が外挿されている真空断熱式二重配管における前記外管の管内を、前記外管の管壁に設けられた排気口から真空排気ポンプにより真空排気した後、前記排気口に対し真空シールを施す方法であって、真空排気する前に外管真空排気用の排気通路内に予めろう材を導入しておき、真空排気後にろう材を加熱溶融させてから固化させることにより、前記外管の管内の真空排気に用いられた前記排気口に真空シールを施すことにある。
【０００７】
この真空断熱式二重配管の真空シール施工方法（以下、適宜「真空シール施工方法」と略記）の場合、外管の管壁に設けられた排気口から外管の管内を真空排気ポンプで真空排気してから、真空排気を行なう前に外管真空排気用の排気通路内に予め導入したろう材を加熱溶融させてから固化させることにより、外管の管内の真空排気に用いられた排気口に真空シールを施す。
【０００８】
従って、本発明の真空シール施工方法によれば、排気口に対し施す真空シールは、ろう材を加熱溶融させてから固化させるという堅牢性に富む溶接封止方式の真空シールであるのに加え、真空シール用のろう材は、真空排気の前に外管真空排気用の排気通路内に予め導入されていて、真空シール用のろう材の導入が真空排気の妨げになることはないので、真空断熱用の外管に対して強固な真空シールを施すことができる。
【０００９】
本発明の好ましい実施形態として、真空断熱用の前記外管の管壁に、排気口となる先端側開口で前記外管の管内と連通して外管真空排気用の排気通路の一部を構成する封止用筒体を接続して、この封止用筒体の後端側に前記真空排気ポンプを接続すると共に、前記外管真空排気用の排気通路内に予め排気口閉塞用の弁体と真空シール用のろう材としての銀ろうとを、銀ろうは前記弁体に付着させて導入しておき、先ず排気口閉塞用の弁体を、排気口を閉塞しない位置に後退させた状態で前記外管の管内を真空排気してから、次に排気口閉塞用の前記弁体を銀ろうごと前記排気口を閉塞する位置に前進させた後、前記銀ろうを加熱溶解させて、排気口閉塞用の前記弁体と封止用筒体の隙間を溶解した銀ろうにより、閉ざした状態で前記銀ろうを固化させて排気口に対する真空シールを施す形態が挙げられる。
【００１０】
この実施形態によれば、排気口閉塞用の弁体とろう材が排気口を塞いでいない状態で真空排気を行なうので、外管の管内を速やかに真空排気できる。そのうえ、排気口閉塞用の弁体が排気口を塞いでいる状態で真空シールが施されるので、溶解した銀ろうは排気口閉塞用の弁体と封止用筒体の隙間だけを塞ぐだけで事足りる。しかも、銀ろうが弁体に付着していることにより弁体の直ぐ傍に銀ろうが配置されることになるので、溶解した銀ろうは排気口閉塞用の弁体と封止用筒体の隙間を漏れなく閉ざすことができる。
【００１１】
本発明の他の好ましい実施形態として、真空断熱用の前記外管の管壁に、排気口となる先端側開口で前記外管の管内と連通して外管真空排気用の排気通路の一部を構成する封止用筒体を接続して、この封止用筒体の後端側に前記真空排気ポンプを接続すると共に、前記封止用筒体の筒内に真空シール用のろう材としてガラスろうを導入しておき、前記外管の管内を真空排気してから、前記ガラスろうを加熱溶解させて、前記封止用筒体を溶解したガラスろうにより、閉ざした状態でガラスろうを固化させて前記排気口に対する真空シールを施す形態があげられる。
【００１２】
この実施形態によれば、排気口を塞ぐ弁体を用いずに済むので、真空シールが容易に施せるうえに、ガラスろうは、溶解後も比較的流動性が低くて、排気口を弁体で塞がなくても、溶解したガラスろうが排気口を通り抜けて外管の管内の方へ流れ込むようなことはないので、排気口はガラスろうで確実に閉ざされる。
【００１３】
本発明の他の好ましい実施形態として、前記封止用筒体が電気良導体であって、高周波加熱により前記封止用筒体を加熱することで、この封止用筒体の筒内に配置したろう材を溶解する形態があげられる。
【００１４】
この実施形態によれば、真空シール用のろう材を溶かす設備を設けずとも、電気良導体の封止用筒体の外側から高周波加熱すれば、ろう材が溶けるので、真空シール用のろう材の溶解は極めて容易である。
【００１５】
本発明の他の好ましい実施形態として、前記外管の管内を真空排気する間に、ろう材の溶融温度以下の温度で前記外管の管内を予備加熱する形態があげられる。
【００１６】
この実施形態によれば、外管の管内が真空排気の間に予備加熱されることにより、外管の管内の吸着・残留物がガスのかたちで外管の管内において放出されると共に、放出されたガスは外管の管内の真空排気によって外管の管外に排出されるので、外管の管内の真空度低下を引き起こす吸着・残留物を簡単に排除することができる。また、予備加熱はろう材の溶融温度以下の温度で行なわれるので、予備加熱でろう材が溶け出すこともない。
【００１７】
本発明の他の好ましい実施形態として、ろう材を加熱溶解する際に、前記外管の管内において放出されるガスを吸収するガス吸着剤を前記外管の管内に予め配置しておく形態が挙げられる。
【００１８】
この実施形態によれば、ろう材を加熱溶解する際の熱により外管の管内において放出されるガスは、外管の管内に予め配置されたガス吸着剤により吸収されるので、ろう材の加熱溶解時に外管の管内において放出されるガスにより外管の管内の真空度が低下することを回避できる。
【００１９】
さらに、上記課題を解決するため、本発明に係る真空断熱式二重配管の特徴構成は、流体搬送用の前記内管に、真空断熱用の前記外管が外挿されている真空断熱式二重配管において、前記外管の管壁に設けられて、この外管の管内の真空排気に用いられた排気口が、請求項１〜６のいずれかに記載された真空断熱式二重配管の真空シール施工方法により施された真空シールで密封されていることにある。
【００２０】
この真空断熱式二重配管によれば、外管の管壁に設けられて外管の管内の真空排気に用いられた排気口の密封は、請求項１〜６のいずれかに記載された真空断熱式二重配管の真空シール施工方法により施された真空シールであるので、真空断熱用の外管に対して施されている真空シールは強固となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（第１実施形態）
この実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。図１は第１実施形態による真空シール対象の二重配管を管軸沿いに破断して示す外管真空排気工程図、図２は図１の封止用筒体を外れた位置の横断面図、図３は実施形態１による真空シール対象の二重配管を管軸沿いに破断して示す排気口閉塞工程図、図４は第１実施形態による真空シール対象の二重配管を管軸沿いに破断して部分的に示す真空シール実行工程図である。
【００２２】
この施工方法が真空シール対象とするのは、図１、図２に示すように、流体搬送用の内管１に真空断熱用の外管２が外挿されている真空断熱式二重配管である。内管１と外管２は、普通、例えばステンレス製パイプのような金属製パイプが用いられるが、この他、プラスチック製やセラミック製のパイプも、内管１や外管２に使用可能である。内管１を通過させる流体は、液体や気体、あるいは、気液混合体の他、固液混合体、ゲルやゾルなどの半固体的な物質も挙げられる。
（Ａ）  外管真空排気工程
真空断熱用の外管２には、排気口ＯＵＴとなる先端側開口で外管２の管内と連通して外管真空排気用の排気通路（以下、適宜「外管排気通路」と略記）の一部を構成する導電金属製の封止用筒体３を溶接などで気密に取り付けることにより、外管２の管壁に外管２の管内を真空排気する排気口ＯＵＴを設けている。一方、封止用筒体３の後端側には、外管排気通路の残部を構成する排気管４を介して真空排気ポンプ５を接続する。もちろん、外管２は排気口ＯＵＴ以外では外気に通じていない。真空排気ポンプ５としては、例えばロータリーポンプや拡散ポンプなどが挙げられるが、これ以外の真空排気ポンプを用いたり、複数種の真空排気ポンプを併用してもよい。
【００２３】
他方、封止用筒体３または排気管４の筒内に、真空シール用のろう材として銀ろう６と排気口閉塞用の金属製の弁体７とを、封止用筒体３の取り付けの段階から排気管４の接続完了迄の間の適当なタイミングでセットする。すなわち、真空シール用の銀ろう６と排気口閉塞用の弁体７が、真空排気前に外管排気通路内に予め導入されるのである。
【００２４】
弁体７は、後部にネジ棒８がネジ込まれて固定されていると共に、真空排気通路の外側で行なう操作によりネジ棒８を軸方向に移動させられる構成とされていて、弁体７もネジ棒８の軸方向の移動に伴って、ネジ棒８の軸方向に移動する。もとより、ネジ棒８の移動機構は真空シール構造タイプのものが用いられる。また、銀ろう６は弁体７の首部に嵌めることで弁体７に付着させられていて、ネジ棒８の移動による弁体７の移動と連動して銀ろう６も弁体７と共に移動する構成とされている。
【００２５】
また、外管２の内表面における封止用筒体３の近くの位置には、後述するガス吸着剤（ゲッター材）９が予め設置されている。
【００２６】
そして、図１に示すように、ネジ棒８を引き上げて銀ろう６および排気口閉塞用の弁体７を、排気口ＯＵＴを閉塞しない位置に後退させた状態で、真空排気ポンプ５を作動させ、外管２の管内を排気口ＯＵＴから真空排気する。外管２の管内の目標とする真空度としては、二重配管の利用形態などによって異なるが、例えば１０-3Ｐａ程度以下が挙げられる。
【００２７】
さらに、外管２の管内を真空排気する間に、銀ろうの溶融温度以下の温度で外管２の管内を予備加熱する。外管２の管内が真空排気の間に予備加熱されることにより、外管２の管内の水分や高分子などの吸着・残留物がガスとして外管２の管内に放出されると共に、放出されたガスは外管２の管内の真空排気によって外管２の管外に排出されるので、外管２の管内の真空度を悪くする吸着・残留物が容易に排除できる。
【００２８】
予備加熱は、例えば外管２にリボンヒータ（図示省略）を巻いて通電することにより行なえる。予備加熱による加熱温度は、例えば３００℃前後の温度が挙げられ、加熱時間は、例えば２〜３時間が挙げられる。しかし、予備加熱は銀ろう６の溶融温度以下の温度で行なわれるので、予備加熱で銀ろう６（溶融温度は６５０℃程度）が溶け出すことはない。
（Ｂ）  排気口閉塞工程
外管２の管内が目標真空度に到達すると、図３に示すように、ネジ棒８を押し下げて排気口閉塞用の弁体７を、排気口ＯＵＴを閉塞する位置に前進させる。封止用筒体３の筒内深くまで入り込んだ排気口閉塞用の弁体７と封止用筒体３の内表面の間には、若干の隙間だけが開いている状態となる。
【００２９】
また、弁体７の前進に伴って銀ろう６も前進して封止用筒体３の筒内深くまで入り込み、排気口閉塞用の弁体７と封止用筒体３の隙間の近くに、銀ろう６が配置されている状態となる。銀ろう６の具体例としては、例えば水野ハンディ・ハーマン（株）製の銀ろう（溶融温度６５０℃）などが挙げられる。
【００３０】
なお、封止用筒体３や弁体７には銀ろう６のぬれ性を良くするためにフラックスを予め塗布しておくようにしてもよい。銀ろう６のぬれ性を向上させるフラックスとしては、日本共晶合金（株）社製のシルバースター等が例示される。
（Ｃ）  真空シール実行工程
排気口の閉塞に続いて、図４に示すように、高周波電力発生器１０を用いて封止用筒体３に高周波電力を供給し、封止用筒体３を加熱する。その結果、銀ろう６は溶解し、排気口閉塞用の弁体７と封止用筒体３の隙間が溶解した銀ろう６により閉鎖される。そして、封止用筒体３の加熱を停止し放冷すると、溶解した銀ろうは固化し、弁体７と封止用筒体３の隙間は銀ろう６で完全に密封され、排気口ＯＵＴに対する真空シールは完成する。なお、封止用筒体３の加熱温度は、銀ろう６の溶融温度である６５０℃以上（例えば７５０℃）であり、加熱時間は、例えば数分程度である。
【００３１】
この実施形態の場合、導電金属製の封止用筒体３は銀ろう６の溶融炉となっており、格別に銀ろう溶解用の設備を設けずとも、封止用筒体３の外側から高周波加熱すれば、銀ろう６が溶けるので、真空シール用の銀ろうの溶解は容易となる。
【００３２】
また、銀ろう６を加熱溶解する際の高熱により、外管２の管内において放出されるガスは、外管２の管内に予め配置しておいたガス吸着剤９により吸収されるので、銀ろう６の加熱溶解時に外管２の管内で放出されるガスにより、外管２の管内の真空度が悪くなることはない。
【００３３】
以上に述べたように、第１実施形態の真空シール施工方法によれば、排気口ＯＵＴに対し施す真空シールは、銀ろう６を加熱溶融させてから固化させるという堅牢性に富むろう付け封止方式の真空シールであるのに加え、真空シール用の銀ろう６は、真空排気の前に外管排気通路内に予め導入されていて、真空シール用の銀ろう６の導入が真空排気の妨げになることはないので、真空断熱用の外管２に対して強固な真空シールを施すことができる。
【００３４】
また、第１実施形態の真空シール施工方法により施された真空シールにより、外管２の管内の真空排気に用いられた排気口ＯＵＴが密封されている真空断熱式二重配管の場合、真空断熱用の外管２に対して施されている真空シールは強固なものとなっている。
【００３５】
加えて、第１実施形態の真空シール施工方法の場合、排気口閉塞用の弁体７と銀ろう６が排気口ＯＵＴを塞いでいない状態で真空排気を行なうので、外管２の管内を速やかに真空排気できる。そのうえ、排気口閉塞用の弁体７が排気口ＯＵＴを塞いでいる状態で真空シールを施すので、溶解した銀ろうは排気口閉塞用の弁体７と封止用筒体３の隙間だけを塞ぐだけで事足りる。しかも、銀ろう６が弁体７の直ぐ傍に配置されているので、溶解した銀ろうは排気口閉塞用の弁体７と封止用筒体３の隙間を漏れなく閉ざすことができる。
（第２実施形態）
この実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。図５は第２実施形態による真空シール対象の二重配管を管軸沿いに破断して示す外管真空排気工程図、図６は第２実施形態による真空シール対象の二重配管を管軸沿いに破断して示す真空シール実行工程図である。
【００３６】
この実施形態の場合、真空シール用のろう材として（銀ろう６に代えて）ガラスろう１１を用いる他は、実質的に第１実施形態と同様であるので、第１実施形態と共通する点の説明は省略し、相違する点の説明のみ行なう。
（ａ）  外管真空排気工程
第２実施形態の真空シール施工方法では、図５に示すように、封止用筒体３の筒内は排気口ＯＵＴの側が小径部となっており、真空シール用のろう材である細棒状のガラスろう１１が封止用筒体３の大径部の側に必要本数（例えば５〜６本）だけ導入されている。ガラスろう１１は、例えば直径数ｍｍ、長さ数ｃｍ程度に調整されている。ガラスろう１１は、小径部を塞いでしまわないようにして導入される。
【００３７】
そして、第１実施形態で用いられた排気口閉塞用の弁体７は全く使わずに、外管２の管内を真空排気ポンプ５を作動させて真空排気すると共に、真空排気中に予備加熱も行なう。したがって、ガラスろう１１も、予備加熱の温度では溶け出さないものが用いられている。具体的なガラスろう１１として、溶融温度６００℃の日本山村ガラス社製のＮＯ４２０（品番）などが挙げられる。
（ｂ）  真空シール実行工程
真空排気に続いて、図６に示すように、高周波電力発生器１０を用いて封止用筒体３に高周波電力を供給し封止用筒体３を加熱する。ガラスろう１１は溶解し、封止用筒体３の小径部が溶解したガラスろう１１で埋められて閉鎖される。そして、封止用筒体３の加熱を停止し放冷すると、溶解したガラスろうは固化し、排気口ＯＵＴに対する真空シールが完成する。封止用筒体３の加熱温度は、ガラスろう１１の溶融温度である６００℃以上（例えば７００℃）であり、加熱時間は、例えば数分程度である。
【００３８】
この第２実施形態の場合も、導電金属製の封止用筒体３はガラスろう１１の溶融炉となっており、格別にガラスろう溶解用の設備を設けずとも、封止用筒体３の外側から高周波加熱すれば、ガラスろう１１が溶けるので、真空シール用のガラスろうの溶解は極めて容易である。
【００３９】
また、第２実施形態の真空シール施工方法によれば、排気口ＯＵＴを塞ぐ弁体を用いずに済むので、真空シールが容易に施せるうえに、ガラスろう１１は、溶解後も比較的流動性が低くて、排気口ＯＵＴを弁体で塞がなくても、溶解したガラスろうが排気口ＯＵＴを通り抜けて外管２の管内の方へ流れ込むようなことはないので、排気口ＯＵＴはガラスろう１１で確実に閉鎖される。
〔別実施の形態〕
（１）上記実施形態の場合、真空シール用のろう材を溶解する際、高周波加熱を利用して行ったが、真空シール用のろう材の溶解は高周波加熱以外の加熱方式を利用して行なうようにしてもよい。
（２）上記実施形態の場合、真空シール用のろう材として銀ろうまたはガラスろうが用いられていたが、本発明における真空シール用のろう材は銀ろうやガラスろうに限られるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】第１実施形態の真空シール施工方法における外管真空排気工程図
【図２】図１の封止用筒体を外れた位置の横断面図
【図３】第１実施形態の真空シール施工方法における排気口閉塞工程図
【図４】第１実施形態の真空シール施工方法における真空シール実行工程図
【図５】第２実施形態の真空シール施工方法における外管真空排気工程図
【図６】第２実施形態の真空シール施工方法における真空シール実行工程図
【図７】従来の真空断熱式二重配管の基本構成を示す断面図
【符号の説明】
【００４１】
１        内管
２        外管
３        封止用筒体
５        真空排気ポンプ
６        銀ろう（ろう材）
７        弁体
９        ガス吸着剤
１０      高周波電力発生器
１１      ガラスろう
ＯＵＴ    排気口
【図１】
2005337386.tif 000003
【図２】
2005337386.tif 000004
【図３】
2005337386.tif 000005
【図４】
2005337386.tif 000006
【図５】
2005337386.tif 000007
【図６】
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【図７】
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