(57)【要約】      （修正有）【課題】  複数個の電子部品のリード及びアースリードの各先端面を確実に陰極に当接でき、且つリード及びアースリードに発生するめっき未着や色調異常を抑制できる電子部品用めっき治具を提供する。【解決手段】  該リード１６，１６及びアースリード１８の各先端径よりも幅狭の目開きで且つリード１６，１６及びアースリード１８の各先端が当接する位置に設けられている金属製のメッシュ状陰極３２と、ヘッダー１０の各々が挿入され、そのリード１６，１６及びアースリード１８の各先端面をメッシュ状陰極３２に案内すると共に、ヘッダー１０を押圧しリード１６，１６及びアースリード１８の各先端をメッシュ状陰極３２に押し付けるように電解めっき液が流れる筒状部と、メッシュ状陰極３２との間にヘッダー１０が位置するように配設された陽極５４とを具備することを特徴とする。【選択図】        図１
2005154839.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製部材の平坦部に形成された貫通孔内に挿入されたリードが、ガラス等の絶縁材料によって封着されているベースと、前記金属製部材の一面側に、一端部が接合されたアースリードとから成る複数個の電子部品の各々を位置決めし、前記電子部品を形成する金属から成る各部材の露出面の全面に電解めっきを施す電子部品用めっき治具であって、
該電子部品の各々を形成するベースの一面側に突出するリード及びアースリードの各先端径よりも幅狭の目開きで且つ前記リード及びアースリードの各先端が当接する位置に設けられている金属製のメッシュ状陰極と、
前記電子部品の各々が挿入され、そのリード及びアースリードの各先端を前記メッシュ状陰極に案内すると共に、前記電子部品を押圧しリード及びアースリードの各先端面を前記メッシュ状陰極に押し付けるように電解めっき液が流れる筒状部と、
前記電解めっき液が通過し得る部材であって、前記メッシュ状陰極との間に電子部品が位置するように配設された陽極とを具備することを特徴とする電子部品用めっき治具。
【請求項２】
メッシュ状陰極が、長尺状のメッシュ状陰極であって、電子部品に対する電解めっきの際に、新たなメッシュ状陰極を用いることができるように、めっき治具の一端側から他端側の方向に移動可能に設けられている請求項１記載の電子部品用めっき治具。
【請求項３】
長尺状のメッシュ状陰極が、その一端側がめっき治具の一端側の外方に設けられた供給ローラに巻かれていると共に、前記供給ローラから引き出されてめっき治具を経由した他端側が、前記めっき治具の他端側の外方に設けられた引取ローラに巻かれている請求項２記載の電子部品用めっき治具。
【請求項４】
筒状部が、上部筒状部と下部筒状部とに分割されている請求項１〜３のいずれか一項記載の電子部品用めっき治具。
【請求項５】
筒状部の途中には、前記筒状部に挿入された電子部品のリード及びアースリードの配列形状に倣った孔が形成されたガイド板が配設されている請求項１〜４のいずれか一項記載の電子部品用めっき治具。
【請求項６】
電子部品の各々が、メッシュ状陰極の一面側の方向に磁力で引かれるように、前記メッシュ状陰極の他面側に、前記電子部品の各々が挿入される筒状部に対応して磁石が設けられている請求項１〜５のいずれか一項記載の電子部品用めっき治具。
【請求項７】
磁石の各々が、電解めっき液が通過する複数個の貫通孔が形成された電気絶縁性材料から成る基台の所定の位置に埋設されている請求項６記載の電子部品用めっき治具。
【請求項８】
金属製部材の平坦部に形成された貫通孔内に挿入されたリードが、ガラス等の絶縁材料によって封着されているベースと、前記金属製部材の一面側に、一端部が接合されたアースリードとから成る複数個の電子部品の各々を位置決めし、前記電子部品を形成する金属から成る各部材の露出面の全面に電解めっきを施す電解めっき装置であって、
請求項１記載のめっき治具が設けられ、前記めっき治具の各筒状部内を流れる電解めっき液の液流によって、前記筒状部に挿入された電子部品を押圧してリード及びアースリードの各先端面を前記メッシュ状陰極に押し付けるように、前記めっき治具に電解めっき液を供給する供給手段が設けられていることを特徴とする電解めっき装置。                                                
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子部品用めっき治具及び電解めっき装置に関し、更に詳細には金属製部材の平坦部に形成された貫通孔内に挿入されたリードが、ガラス等の絶縁材料によって封着されているベースと、前記金属製部材の一面側に、一端部が接合されたアースリードとから成る複数個の電子部品の各々を位置決めし、前記電子部品を形成する金属から成る各部材の露出面の全面に電解めっきを施す電子部品用めっき治具及び電解めっき装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置等の電子部品には、図５（ａ）（ｂ）に示す様に、ヘッダー１０，２０が用いられているものがある。
図５（ａ）に示すヘッダー１０は、金属製部材から成るベース１２の平坦部に形成された二個の貫通孔１４，１４の各々にリード１６が挿通されてガラス封着されていると共に、ベース１２の一面側にアースリード１８の一端部が当接して接合されている。
また、図５（ｂ）に示すヘッダー２０は、金属製の板状部材にプレス加工を施して凹部が形成された金属製部材２２の平坦部に形成された二個の貫通孔２４，２４の各々にリード１６が挿通されてガラス封着されていると共に、金属製部材２２の平坦部の一面側にアースリード１８の一端部が当接して接合されている。
かかる図５（ａ）（ｂ）に示すヘッダー１０，２０では、例えば金属製部材から成るベース１２の他面側、或いは金属製部材２２の平坦部の他面側にろう材によって接合したヒートシンク２６に半導体素子２８を搭載し、この半導体素子２８とリード１６，１６の一端部とワイヤボンディングした後、ベース１２や金属製部材２２の平坦部の他面側にキャップを被着し、ヒートシンク２６に搭載した半導体素子２８等を気密に保持する。
【０００３】
ところで、図５（ａ）（ｂ）に示すヘッダー１０，２０には、防錆等のために、ヘッダー１０，２０を構成する金属から成る各部材の露出面に、電解めっきによってめっき皮膜を形成する。
しかし、リード１６，１６はガラス封着によってベース１２（金属製部材２２）に封着されているため、リード１６，１６、アースリード１８及びベース１２（又は金属製部材２２）の露出面の全面に、電解めっきによるめっき皮膜を形成するには、リード１６，１６及びアースリード１８に給電することが必要である。
このため、ヘッダー１０（２０）に電解めっきを施す際には、従来、バレルめっきを施していた。
バレルめっきでは、複数個のヘッダー１０（２０）及び通電補助材であるダミーを収容したカゴ体を回転して、ヘッダー１０（２０）の各々に電解めっきを施す。このため、電解めっき中にヘッダー１０（２０）のリード１６等が互いに絡み合ったり、ダミーがヘッダー１０（２０）のリード１６間に挟まったりするため、電解めっきが終了した際に、絡み合ったヘッダー１０（２０）を個々に解す作業が必要である。
更に、電解めっき中に複数個のヘッダー１０（２０）等が互いに衝突して打痕を作ったり、リード１６，１６やアースリード１８が曲折され易い。このため、カゴ体から取り出したヘッダー１０（２０）について、その曲折されたリード１６等の修正作業も必要となる。
【０００４】
また、従来では、図６に示す如く、複数個のヘッダー１０（２０）の各々を形成するリード１６，１６及びアースリード１８の各先端部を一本のワイヤ１００に接続し、ワイヤ１００に給電してヘッダー１０（２０）の各々に電解めっきを施すことも行われている。
図６に示す方法では、リード１６，１６やアースリード１８が、電解めっき中に曲折されることを防止できるが、リード１６，１６、アースリード１８の各先端部を一本のワイヤ１００に接続する接続作業及びワイヤ１００からリード１６，１６、アースリード１８の各先端部を切り離す切離作業を必要とする。
【０００５】
かかる従来の方法に対し、下記特許文献１には、ヘッダー１０（２０）の電解めっきの際に、図７に示すめっき治具を用いることが提案されている。
図７に示すめっき治具は、ヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８の先端を所定位置に引き寄せることができるように、複数個の磁石１０４，１０４・・の各々が所定位置に密封されて配設されている樹脂から成る基台１０２の一面側に、リード１６，１６及びアースリード１８の各々に給電する給電部材としての給電板１０６が設けられている。
更に、図７に示すめっき治具では、リード１６，１６、アースリード１８の長さに微差が存在していても、各先端面に給電板１０６から確実に給電されるように、給電板１０６上に導電性不織布１０８が配設されている。
かかる導電性不織布１０８の表面は、ヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８の先端面が当接する当接部及びその近傍を除いてマスク部材１１０によって覆われている。
このマスク部材１１０には、ヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８の先端面が当接する導電性不織布１０８の当接部及びその近傍が露出するように、貫通穴１１２に形成されている。かかる貫通穴１１２は、ヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８をガイドするガイド穴でもある。
尚、マスク部材１１０は、その貫通穴１１２が対応する磁石１０４上に位置するように、ピン１１４，１１４によって位置決めされている。
【特許文献１】特開２００３−２１３４９７号公報（図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図７に示すめっき治具を用いて複数個のヘッダー１０（２０）に電解めっきを施すことによって、ヘッダー１０（２０）のリード１６，１６及びアースリード１８の各先端部を一本のワイヤ１００に接続する接続作業やワイヤ１００からリード１６，１６、アースリード１８の各先端部を切り離す切離作業等の作業を省略でき、電解めっきを容易に施すことができる。
しかし、ヘッダー１０（２０）を導電性不織布１０８の方向に押圧する押圧手段を何等設けることなく、ヘッダー１０（２０）を導電性不織布１０８上に載置したのみでは、リード１６，１６及びアースリード１８の各先端面を同時に導電性不織布１０８に確実に当接していることを保証できない。
また、例えリード１６，１６及びアースリード１８の各先端面が同時に導電性不織布１０８に当接していても、給電板１０６から給電される導電性不織布１０８にも、ヘッダー１０（２０）と同時に電解めっきが施される。このため、導電性不織布１０８と接触しているリード１６，１６及びアースリード１８の各先端面等の接触部やその近傍にめっき未着部やめっき色調異常が発生する。
そこで、本発明の課題は、複数個の電子部品のリード及びアースリードの各先端面を確実に陰極に当接でき、且つリード及びアースリードに発生するめっき未着や色調異常を抑制できる電子部品用めっき治具及び電解めっき装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者等は、前記課題を解決すべく検討した結果、陰極として、メッシュ状陰極を採用し、電解めっき液をメッシュ状陰極の方向に流すことによって、複数個の電子部品をメッシュ状陰極の方向に同時に押圧でき、電子部品間におけるリード及びアースリードの長さが多少異なっても、メッシュ状陰極にリード及びアースリードの各先端面を同時に当接できることを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、金属製部材の平坦部に形成された貫通孔内に挿入されたリードが、ガラス等の絶縁材料によって封着されているベースと、前記金属製部材の一面側に、一端部が接合されたアースリードとから成る複数個の電子部品の各々を位置決めし、前記電子部品を形成する金属から成る各部材の露出面の全面に電解めっきを施す電子部品用めっき治具であって、該電子部品の各々を形成するベースの一面側に突出するリード及びアースリードの各先端径よりも幅狭の目開きで且つ前記リード及びアースリードの各先端が当接する位置に設けられている金属製のメッシュ状陰極と、前記電子部品の各々が挿入され、そのリード及びアースリードの各先端を前記メッシュ状陰極に案内すると共に、前記電子部品を押圧しリード及びアースリードの各先端面を前記メッシュ状陰極に押し付けるように電解めっき液が流れる筒状部と、前記電解めっき液が通過し得る部材であって、前記メッシュ状陰極との間に電子部品が位置するように配設された陽極とを具備することを特徴とする電子部品用めっき治具にある。
【０００８】
また、本発明は、金属製部材の平坦部に形成された貫通孔内に挿入されたリードが、ガラス等の絶縁材料によって封着されているベースと、前記金属製部材の一面側に、一端部が接合されたアースリードとから成る複数個の電子部品の各々を位置決めし、前記電子部品を形成する金属から成る各部材の露出面の全面に電解めっきを施す電解めっき装置であって、前述のめっき治具が設けられ、前記めっき治具の各筒状部内を流れる電解めっき液の液流によって、前記筒状部に挿入された電子部品を押圧してリード及びアースリードの各先端面を前記メッシュ状陰極に押し付けるように、前記めっき治具に電解めっき液を供給する供給手段が設けられていることを特徴とする電解めっき装置でもある。
【０００９】
かかる本発明において、メッシュ状陰極として、長尺状のメッシュ状陰極を用い、電子部品に対する電解めっきの際に、新たなメッシュ状陰極を用いることができるように、めっき治具の一端側から他端側の方向に移動可能に設けることによって、電解めっきの際に、目詰まりのないメッシュ状陰極を用いることができる。
この長尺状のメッシュ状陰極を、その一端側をめっき治具の一端側の外方に設けられた供給ローラに巻回すると共に、前記供給ローラから引き出されてめっき治具を経由した他端側を、前記めっき治具の他端側の外方に設けられた引取ローラに巻回することによって、電解めっき毎に、目詰まりのないメッシュ状陰極を容易に用いることができる。
更に、筒状部を、上部筒状部と下部筒状部とに分割することによって、電子部品の各々を対応する筒状部への挿入や取出しを容易に行うことができる。
かかる筒状部の途中に、前記筒状部に挿入された電子部品のリード及びアースリードの配列形状に倣った孔が形成されたガイド板を配設することにより、電子部品の筒状部への挿入や取出しを更に容易とすることができる。
【００１０】
また、電子部品の各々が、メッシュ状陰極の一面側の方向に磁力で引かれるように、前記メッシュ状陰極の他面側に、前記電子部品の各々が挿入される筒状部に対応して磁石を設けることによって、筒状部を流れる電解めっき液の液流と相俟って、電子部品のリード及びアースリードの先端面を更に確実にメッシュ状陰極に当接することができる。
かかる磁石の各々を、電解めっき液が通過する複数個の貫通孔が形成された電気絶縁性材料から成る基板の所定の位置に埋設することにより、電解めっき液及びメッシュ状陰極から磁石を隔離できる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、メッシュ状陰極の一面側に複数個の筒状部を設け、この筒状部の各々に電子部品を挿入した状態で、各筒状部内に電解めっき液をメッシュ状陰極の方向に流すことによって、複数個の電子部品をメッシュ状陰極の方向に同時に押圧できる。このため、電子部品間におけるリード及びアースリードの長さが多少異なっても、メッシュ状陰極にリード及びアースリードの各先端面を確実に当接できる。
更に、メッシュ状陰極に当接したリード及びアースリードの各先端面は、その一部がメッシュ状陰極を形成する金属ワイヤに接触しているに過ぎず、リード及びアースリードの各先端面の全面が給電部材と接触して発生するめっき未着や色調異常を可及的に抑制できる。
その結果、リード及びアースリードが形成された電子部品の全面に、良好な電解めっき皮膜を形成でき、最終的に得られる半導体装置等の製品の信頼性を向上できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明に係る電子部品用めっき治具の一例を図１に示す。図１に示すめっき治具３０には、電子部品としてのヘッダー１０，１０・・の各々を形成するベース１２の一面側に突出するリード１６，１６及びアースリード１８の各先端面が当接する金属ワイヤがステンレス製ワイヤから成るメッシュ状陰極３２が、電解めっき液が通過する貫通孔３６，３６・・が形成された電気絶縁性の材料、例えば樹脂から成る支承板３４の一面側に載置されている。
かかるメッシュ状陰極３２は、リード１６，１６及びアースリード１８の各先端面がメッシュ状陰極３２を形成するステンレス製ワイヤと当接するように、リード１６，１６及びアースリード１８の各先端径よりも幅狭の目開きに形成されている。例えば、リード１６，１６及びアースリード１８の各先端径が０．４５ｍｍの場合、メッシュ状陰極３２の目開きを０．３ｍｍ程度とすることが好ましい。
【００１３】
図１に示すメッシュ状陰極３２は、長尺状であって、その一端側はめっき治具３０の一端側の外方に設けられたガイドローラ３８ａ，３８ｂを経由して供給ローラ４０に巻回されている。更に、供給ローラ４０に巻回されているメッシュ状陰極３２から引き出されてめっき治具３０の支承板３４上を経由した他端側は、めっき治具３０の他端側の外方に設けられたガイドローラ４２ａ，４２ｂを経由して引取ローラ４４に巻回されている。このため、引取ローラ４４を矢印の方向に回転することによって、供給ローラ４０に巻回されているメッシュ状陰極３２から引き出された部分を、支承板３４の一面側に載置できる。
この様に、一面側にメッシュ状陰極３２が載置された支承板３４の他面側には、支承板３４の貫通孔３６，３６・・を通過した電解めっき液を捕集する捕集部４６が設けられている。この捕集部４６には、排出口４８が設けられている。
【００１４】
支承板３４の一面側に載置されたメッシュ状陰極３２には、ヘッダー１０，１０・・の各々が挿入される複数個の筒状部が一体に設けられた筒状部材としての上部筒状部材５０ａと下部筒状部材５０ｂとが分割可能に設けられており、下部筒状部材５０ｂの下端面がメッシュ状陰極３２に当接する。
この上部筒状部材５０ａには、ヘッダー１０，１０・・の各上部構造であるベース１２の近傍が挿入される複数個の上部筒状部５１ａ，５１ａ・・が一体に設けられており、下部筒状部材５０ｂには、ヘッダー１０，１０・・の各下部構造であるリード１６，１６及びアースリード１８が挿入される複数個の下部筒状部５１ｂ，５１ｂ・・が一体に設けられている。かかる上部筒状部５１ａ，５１ａ・・と下部筒状部５１ｂ，５１ｂ・・とは同一径である。
上部筒状部材５０ａの上端面は、枠体５２の一面側に設けられた陽極５４に当接している。この陽極５４は、ヘッダー１０，１０・・の電解めっきに用いる金属から成り、電解めっき液が通過し得る部材、例えば多数個の貫通孔が形成されたプレート又はメッシュ状体を用いることができる。
かかる枠体５２の他面側には、電解めっき液を上部筒状部材５０ａと下部筒状部材５０ｂとから成る筒状部材の各筒状部に供給する供給部５６が設けられている。この供給部５６には、供給口５８が設けられている。
【００１５】
図１に示すめっき治具３０には、筒状部材としての上部筒状部材５０ａと下部筒状部材５０ｂとの分割面には、上部筒状部５１ａと下部筒状部５１ｂとから成る筒状部に挿入されるヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８の配列形状に倣ったガイド孔６２が形成されたガイド板６０が挟み込まれる。かかるガイド孔６２は、上部筒状部５１ａと下部筒状部５１ｂとから成る筒状部の各々に対応して形成されている。
このガイド板６０の一例を図２に示す。図２に示すガイド板６０は、絶縁性樹脂から成り、上部筒状部５１ａと下部筒状部５１ｂとから成る筒状部の各々に対応する位置に、三角形状のガイド孔６２が形成されている。このガイド孔６２の形状は、ヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８は、ベース１２に三角形状に配列されていることに対応する。このため、ガイド孔６２に挿入されたヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８は、三角形状のガイド孔６２の各頂角近傍に位置し、メッシュ状陰極３２の方向に確実に案内される。
更に、後述する様に、上部筒状部５１ａと下部筒状部５１ｂとから成る筒状部を流下する電解めっき液の流動によってヘッダー１０が傾いて、そのリード１６，１６及びアースリード１８のいずれかの先端面がメッシュ状陰極３２から離れることも防止できる。
また、かかるガイド板６０の各ガイド孔６２にヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８を挿入しておくことによって、ヘッダー１０，１０・・の各々を対応する筒状部への挿入及び取出しを容易に行うことができる。
尚、ガイド板６０には、ガイド孔６２よりも開口面積の小さな小孔６５，６５・・が形成されており、電解めっき液の通過に利用される。
【００１６】
図１に示すめっき治具３０を構成する部材を組み立てる際には、支承板３４の一面側に載置されたメッシュ状陰極３２上に下部筒状部材５０ｂを載置した後、ガイド孔６２，６２・・の各々にヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８を挿入したガイド板６０を下部筒状部材５０ｂと上部筒状部材５０ａとの間に挟み込む。
下部筒状部材５０ｂと上部筒状部材５０ａとの間にガイド板６０を挟み込むことによって、ガイド板６０のガイド孔６２，６２・・の各々にリード１６，１６及びアースリード１８が挿入されたヘッダー１０を、上部筒状部５１ａと下部筒状部５１ｂとから成る対応する筒状部に挿入できる。
尚、各部材の当接面には、シリコーンゴム等の弾性材料から成るパッキンを配設することによって電解めっき液の漏れを防止できる。
【００１７】
図１に示す各部材を組み立てためっき治具３０を用いて、ヘッダー１０，１０・・に電解めっきを施す際には、図３に示す電解めっき装置を用いる。図３に示す電解めっき装置には、めっき治具３０を構成する下部筒状部材５０ｂと上部筒状部材５０ａとから成る筒状部材の各筒状部を流下する電解めっき液の液流によって、筒状部の各々に挿入したヘッダー１０を押圧し、リード１６，１６及びアースリード１８の各先端面をメッシュ状陰極３２に押し付けるように、めっき治具３０に電解めっき液を供給する供給手段Ｓを具備している。
この供給手段Ｓには、めっき液貯留槽６３に貯留されている電解めっき液６４を、めっき治具３０の供給部５６に設けられた供給口５８に供給する供給ポンプ６６が設けられている。
供給口５８に供給された電解めっき液は、陽極５４を通過して下部筒状部材５０ｂと上部筒状部材５０ａとから成る筒状部材の各筒状部を流下し、筒状部の各々にガイド板６０のガイド孔６２にリード１６，１６及びアースリード１８が案内されて挿入されているヘッダー１０をメッシュ状陰極３２の方向に押圧する。
【００１８】
かかる電解めっき液の液流の押圧によって、ヘッダー１０，１０・・の各リード１６，１６及びアースリード１８の先端面は、メッシュ状陰極３２に確実に当接できる。
また、ヘッダー１０，１０・・の各々は電解めっき液の液流によって押圧されるため、ヘッダー１０，１０・・の相互間において、リード１６，１６及びアースリード１８の長さが多少異なっても、各リード１６，１６及びアースリード１８の先端面をメッシュ状陰極３２に当接できる。
この様に、ヘッダー１０，１０・・をメッシュ状陰極３２の方向に押圧しつつ、筒状部の各々を流下した電解めっき液の液流は、メッシュ状陰極３２及び支承板３４の貫通孔３６，３６・・から流出し、捕集部４６に捕集されて排出口４８から排出される。排出された電解めっき液は、めっき液貯留槽６３に貯留されて再度めっき治具３０の供給口５８に供給される。
【００１９】
図３に示す電解めっき装置では、電解めっき液をめっき治具３０に循環使用しつつ、陽極５４とメッシュ状陰極３２との間に直流電流を流し、メッシュ状陰極３２に各リード１６，１６及びアースリード１８の先端面が当接しているヘッダー１０，１０・・の全面に電解めっきを施す。
ヘッダー１０，１０・・の電解めっきが終了したときには、供給ポンプ６６を停止し、下部筒状部材５０ｂと上部筒状部材５０ａとの間を開いて、ヘッダー１０，１０・・の各リード１６，６及びアースリード１８がガイド孔６２に挿入されているガイド板６０を取り出すことによって、筒状部の各々に挿入されているヘッダー１０，１０・・をめっき治具３０から容易に取出すことができる。
また、電解めっきの際に、メッシュ状陰極３２にもめっき皮膜が形成されるため、メッシュ状陰極３２の目開きが次第に狭くなる。このため、引取ローラ４４を駆動して、供給ローラ４０に巻回されているメッシュ状陰極３２を引き出し、新しいメッシュ状陰極３２を支承板３４上に載置する。
尚、引取ローラ４４に引き取った使用済のメッシュ状陰極３２は、剥離液中に浸漬して剥離することによって付着しためっき皮膜を容易に剥離して再生でき、再使用できる。
【００２０】
図１に示すめっき治具３０を用いた電解めっき装置によれば、下部筒状部材５０ｂと上部筒状部材５０ａとから成る筒状部材の各筒状部を流下する電解めっき液の液流によって、筒状部の各々に挿入したヘッダー１０を押圧し、リード１６，１６及びアースリード１８の各先端面を確実にメッシュ状陰極３２に押し付けることができる。
更に、メッシュ状陰極３２に当接したリード１６，１６及びアースリード１８の各先端面は、その一部がメッシュ状陰極３２を形成する金属ワイヤに接触しているに過ぎず、リード１６，１６及びアースリード１８の各先端面の全面が給電部材と接触して発生するめっき未着や色調異常を可及的に抑制できる。
このため、ヘッダー１０，１０・・の全面に、良好な電解めっき皮膜を形成でき、最終的に得られる半導体装置等の製品の信頼性を向上できる。
【００２１】
図１〜図３に示すめっき治具３０では、筒状部を流下する電解めっき液の液流のみによって、ヘッダー１０をメッシュ状陰極３２の方向に押圧していたが、図４に示すめっき治具３０の様に、支承板３４に代えて、磁石７０，７０・・が所定位置に埋め込まれた基板６８を用いることによって、筒状部を流下する電解めっき液の液流と磁石７０の磁力とを併用して、筒状部内に挿入されたヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８の各先端面を更に確実にメッシュ状陰極３２に当接できる。
かかる基板６８は、電気絶縁性材料、例えば樹脂によって形成され、メッシュ状陰極３２の他面側に配設されて、メッシュ状陰極３２の支承部材でもある。この基板６８には、ヘッダー１０が挿入される筒状部に対応する位置に磁石７０が埋設されていると共に、複数個の貫通孔７２，７２・・が形成されている。筒状部を流下した電解めっき液は、貫通孔７２，７２・・から捕集部４６内に流出する。
尚、図４に示すめっき治具３０を構成する部材については、図１〜図３に示すめっき治具３０と同一部材に関しては同一番号を付与して詳細な説明を省略する。
【００２２】
図１〜図４に示すめっき治具３０では、ガイド板６０として、絶縁性樹脂から成るガイド板６０を用いたが、金属から成るガイド板６０を用い、ガイド板６０を陰極としても用いてもよい。
この様に、陰極としてガイド板６０とメッシュ状陰極３２とを用いることによって、ヘッダー１０のリード１６，１６及びアースリード１８を確実に陰極と当接することができる。
また、メッシュ状陰極３２の下方に、電解めっき液が流下できる多数個の貫通孔が形成された絶縁性樹脂から成る絶縁板を介して陽極を配設し、ヘッダー１０とメッシュ状陰極３２とを、陽極５４との間に配設するようにしてもよい。
更に、図１〜図４に示すめっき治具３０では、ガイド板６０を用いているが、上部筒状部５１ａと下部筒状部５１ｂとから成る筒状部が、挿入されたヘッダー１０が、筒状部内を流下する電解めっき液の流動によって傾いてリード１６，１６及びアースリード１８のいずれかの先端面がメッシュ状陰極３２から離れることのない大きさであるならば、ガイド板６０は必ずしも必要ではない。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る電子部品用めっき治具の一例を説明するための分解図である。
【図２】図１に示すめっき治具に用いるガイド板６０の部分正面図である。
【図３】図１に示すめっき治具に用いた電解めっき装置を説明する説明図である。
【図４】本発明に係る電子部品用めっき治具の他の例を説明する組立図である。
【図５】電子部品の一例を説明する部分断面図である。
【図６】従来の電解めっきを施す電子部品の一態様を説明する正面図である。
【図７】改良された電子部品用めっき治具の一例を説明する概略断面図である。
【符号の説明】
【００２４】
１０，２０  ヘッダー（電子部品）
１２  ベース
１６  リード
１８  アースリード
２４，３６，７２  貫通孔
３０  めっき治具
３２  メッシュ状陰極
３４  支承板
３８ａ，３８ｂ，４２ａ，４２ｂ      ガイドローラ
４０  供給ローラ
４４  引取ローラ
４８  排出口
５０ｂ  下部筒状部材
５０ａ  上部筒状部材
５１ｂ  下部筒状部
５１ａ  上部筒状部
５４  陽極
５８  供給口
６０  ガイド板
６２  ガイド孔
６３  めっき液貯留槽
６４  電解めっき液
６６  供給ポンプ
６８  基板
７０  磁石
Ｓ  供給手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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