(57)【要約】【課題】  垂直方向の振動とともに水平方向における左右または前後方向の振動を防止し、多孔質焼結体を１枚または複数枚重ね合わせた金属製の防振材を使用することにより、全方向の振動を吸収する際に共振が発生せず且つ高い耐久性を付与する。【解決手段】    傾斜面を有する下方突起を形成した受け板と、該受け板の突起傾斜面と反対向きの傾斜面を有する上方突起を形成した支持板と、受け板の突起傾斜面と支持板の突起傾斜面との間に配置した多孔質焼結体の斜め防振材とを備え、斜め防振材を水平面において少なくとも三方向に配分する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
傾斜面を有する下方突起を形成した受け板と、該受け板の突起傾斜面と反対向きの傾斜面を有する上方突起を形成した支持板と、受け板の突起傾斜面と支持板の突起傾斜面との間に配置した多孔質焼結体の斜め防振材とからなり、斜め防振材を水平面において少なくとも三方向に配分することにより、上下方向の振動に加えて水平方向における左右または前後方向の振動を吸収できる３次元方向の防振装置。
【請求項２】
傾斜孔を形成した受け板と、該受け板の傾斜孔と反対向きの傾斜孔を形成した支持板と、筒体に収納して筒体内部で固着した多孔質焼結体の斜め防振材とからなり、筒体に取り付けたボルトを受け板または支持板の傾斜孔に挿通して締着し、一方、筒体内部の斜め防振材に取り付けたボルトを支持板または受け板の傾斜孔に挿通して締着し、斜め防振材を水平面において少なくとも三方向に配分することにより水平方向における左右または前後方向の振動を吸収できる３次元方向の防振装置。
【請求項３】
１枚または複数枚の多孔質焼結体を重ね合わせた垂直防振材を各２組の斜め防振材の間に配置することにより、上下方向の振動を吸収する請求項１または２記載の防振装置。
【請求項４】
下方突起を形成した受け板と、上方突起を形成した支持板と、受け板の突起傾斜面と支持板の突起傾斜面との間に配置した複数組の斜め防振材と、支持板を載置して固定するレベル調整可能な架台からなり、前記架台の各支持脚を上方脚部と下方脚部とに分離し、上方脚部に固着したＵ字枠を下方脚部に嵌め、該Ｕ字枠に挿通したボルトを下方脚部の縦溝に嵌入するとともに、調整ボルトが上方脚部と下方脚部とを関連づけるように回転可能にねじ込まれ、調整ボルトを回すことによって上方脚および下方脚の垂直間隔を微調整できる３次元方向の防振装置。
【請求項５】
傾斜孔を形成した受け板と、該受け板の傾斜孔と反対向きの傾斜孔を形成した支持板と、筒体に収納して筒体内部で固着し且つ受け板および支持板と関連づける複数組の斜め防振材と、支持板を載置して固定するレベル調整可能な架台からなり、前記架台の各支持脚を上方脚部と下方脚部とに分離し、上方脚部に固着したＵ字枠を下方脚部に嵌め、該Ｕ字枠に挿通したボルトを下方脚部の縦溝に嵌入するとともに、調整ボルトが上方脚部と下方脚部とを関連づけるように回転可能にねじ込まれ、調整ボルトを回すことによって上方脚および下方脚の垂直間隔を微調整できる３次元方向の防振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直方向の振動とともに水平方向における左右または前後方向の振動を防止する３次元方向の防振装置に関し、多孔質焼結体を１枚または複数枚重ね合わせた金属製の防振材を使用することにより、全方向の振動を吸収する際に共振が発生せず且つ高い耐久性を有する３次元方向の防振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
通常の大型プレス機やコンプレッサなどの機械について、振動そのものを吸収して機械精度を上げ且つ振動公害を防止するには、防振材料を大型の機械とその受け台（基礎または床）との間に挟むことが必要である。この種の用途では、硬質スポンジ，コルク，フェルトの弾性素材などの防振材料は、機械荷重が直接作用すると短期間に屈曲変形して防振効果を失なうため、このような態様での使用は実際上不可能であった。かなりの荷重が掛かる用途における防振材料は、高い耐屈曲性を有することを要し、従来から板バネまたは防振ゴムが使用されている。
【０００３】
この種の用途において、板バネは発生振動源と共振を起こしやすく、防振ゴムは荷重に対する耐屈曲性も低いので、いずれも大型機械用の防振材料として好ましくない。耐屈曲性が優れた素材として、粉末冶金法で金属粉末を圧縮成形後に加熱焼結させる多孔質の金属焼結体が存在するけれども、金属焼結体は、焼結体内部に空隙が残っていても非常に緻密であり、これによって焼結体が防振性を持つことは殆どなく、防振材料として使用することはできない。たとえ使用できたとしても、特開平８−２１０４３６号のように、多孔質の金属焼結体は、粉末原料が鉄鉱石やミルスケールの還元鉄粉，電解鉄粉，アトマイズ粉などであるので非常に高価であり、しかも製造用の焼結装置として電気炉，真空炉や水素炉が必要であり、製造価格は全体的にいっそう高価になってしまう。
【０００４】
本発明者は、板バネや防振ゴムにおける共振および低屈曲性の問題を解決するために、特殊な多孔質焼結体とその製造法として特許第３２５９００６号を提案し、さらに金属防振材料として特許第３２９０１５８号を既に提案している。この金属防振材料は、複数枚の多孔質焼結体からなり、ゴムや合成樹脂の緩衝材で被覆しないので防振材料全体がほぼ均質で非常に硬く、高い防振性および耐屈曲性を有する。この金属防振材料は、複数枚の多孔質焼結体を接着して全体を一体化しており、制振作用を高めて所定の周波数の振動を適切に吸収することができ、該防振材料を大型機械とその受け台との間に挟んで大型機械の荷重が直接作用する際に有効である。
【特許文献１】特開平８−２１０４３６号公報
【特許文献１】特許第３２５９００６号公報
【特許文献１】特許第３２９０１５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許第３２９０１５８号で開示した金属防振材料は、各種の製造機械分野において非常に好評であり、最近では、半導体製造装置などの超精密機器の分野においても振動防止のために防振ゴムに代わって広く使用されつつある。この金属防振材料は、垂直方向の振動に対する共振制御および耐屈曲性の点でほぼ十分の性能を有するけれども、前後および左右の水平方向における制振作用を殆ど有していない。このため、垂直方向の振動と同時に水平方向への振動が多少でも発生する機械では、この金属防振材料をコイルばねや防振ゴムと組み合わせて取り付けることが必要になり、しかもこの際には水平方向への振動防止が必ずしも十分でなく、この点の改善をユーザから要望されている。
【０００６】
本発明は、前記の金属防振材料についていっそうの改善を提案するものであり、垂直方向の振動防止だけでなく、前後および左右の水平方向における制振作用も備える３次元方向の防振装置を提供することを目的としている。本発明の他の目的は、主として金属防振材料を設置する際に、容易にレベル調整を行うことができ且つ剛性が高い架台を備える３次元方向の防振装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る３次元方向の防振装置は、傾斜面を有する下方突起を形成した受け板と、該受け板の突起傾斜面と反対向きの傾斜面を有する上方突起を形成した支持板と、受け板の突起傾斜面と支持板の突起傾斜面との間に配置した多孔質焼結体の斜め防振材とからなる。この防振装置は、斜め防振材を水平面において少なくとも三方向に配分することにより、上下方向の振動に加えて水平方向における左右または前後方向の振動を吸収できる。
【０００８】
本発明の防振装置は、傾斜孔を形成した受け板と、該受け板の傾斜孔と反対向きの傾斜孔を形成した支持板と、筒体に収納して筒体内部で固着した多孔質焼結体の斜め防振材とからなっていてもよい。この防振装置は、筒体に取り付けたボルトを受け板または支持板の傾斜孔に挿通して締着し、一方、筒体内部の斜め防振材に取り付けたボルトを支持板または受け板の傾斜孔に挿通して締着し、斜め防振材を水平面において少なくとも三方向に配分することにより水平方向における左右または前後方向の振動を吸収できる。好ましくは、この防振装置では、１枚または複数枚の多孔質焼結体を重ね合わせた垂直防振材を各２組の斜め防振材の間に配置することにより、上下方向の振動をより確実に吸収する。
【０００９】
本発明の防振装置において、支持板を載置して固定するレベル調整可能な架台を備えると好ましい。この架台では、各支持脚を上方脚部と下方脚部とに分離し、上方脚部に固着したＵ字枠を下方脚部に嵌め、該Ｕ字枠に挿通したボルトを下方脚部の縦溝に嵌入する。さらに、調整ボルトが上方脚部と下方脚部とを関連づけるように回転可能にねじ込まれ、調整ボルトを回すことによって上方脚および下方脚の垂直間隔を微調整できる。
【００１０】
本発明を図面によって説明すると、本発明の防振装置１は、図２に示すように、多孔質焼結体２で構成する防振材３を斜めに配置し、該防振材を水平面において少なくとも三方向に配分するために少なくとも３組使用する。防振材３を構成する多孔質焼結体２は、１枚または複数枚を重ね合わせて接着剤で相互に貼着すればよい。例えば、厚みが同一または異なる多孔質焼結体２を厚さ５〜２０ｍｍの範囲において複数枚接着すると、異なる周波数の振動を効率良く吸収できるので好ましい。
【００１１】
防振材３は、水平方向におけるあらゆる方向の振動を吸収できるように、水平面において少なくとも三方向に等間隔で３組配分することを要する。一般に防振材３は４組使用し、下記の実施例のように四方向に等間隔つまり配分中心に関して９０°の間隔で４組配分しており、３組または５組以上等間隔に配分することも可能である。
【００１２】
防振装置１において、複数組の防振材３を斜めに配置することにより、垂直および水平方向の振動をともに吸収できる。防振材３の傾斜角度は、図１または図５に示すように、水平面に対して４５°が一般的であるが、振動の発生頻度と大きさが垂直方向または水平方向で顕著に異なっているならば、発生頻度の高い方向に対して４５°を超えるように偏向させてもよい。また、垂直または水平方向だけの振動を吸収する防振材を別個に設置することも可能であり、例えば、図５および図７に示すように、１組または複数組の垂直防振材６４（図５参照）などを受け板３６と支持板４２との間に追加配置してもよい。
【００１３】
防振材３を構成する多孔質焼結体２は、全体が硬いうえにほぼ均質で剛性に優れ且つ高い耐久性と防振性を有する多孔質の金属素材であれば使用可能であり、セラミックス粉粒体または熱硬化性樹脂を一部含有していてもよい。多孔質焼結体２は、加熱温度または異なる金属細片の混合率で空隙の大きさを調整でき、所望に応じて吸音特性、遮音特性、断熱特性などを高めることも可能である。
【００１４】
多孔質焼結体２の製造例として、単一または異なる種類の金属チップを混合し、高圧で加圧しながら加圧方向と直交方向に高電流を流して通電加熱で成形すればよく、粉末冶金法に比べて単純であり、製造装置も簡素で安価である。原料の金属チップは、金属の粉粒体または切削屑（ダライ粉）などであり、形状や種類の異なる金属チップを混合してもよい。この金属チップには、鋳鉄切削屑，炭素鋼片，ステンレス鋼片のような鉄系金属、アルミニウム粉末，Ａｌ−Ｓｉ合金切削屑のようなアルミニウム系金属、銅系金属、チタン粉末などのチタン系金属などが例示できる。多孔質焼結体２を成形する際には、矩形型枠の底面に離型シートを敷設してから、該型枠内に金属チップを均等に入れ、その上にさらに離型シートを敷設した後に、プレス型を下降させ、電流が４０００〜６５００アンペアになるまでプレス型を下げて圧力２１０〜３４０ｋｇ／ｃｍ2で加圧する。この加圧を所定の時間継続し、型枠内を通過する電流がほぼ一定になったら成形体を取り出す。用いる金属チップは、フェライト粉末，セメント粉やガラス粒などのセラミックス粉粒体と混合したり、エポキシ樹脂，ポリエステル樹脂，ウレタン樹脂，フェノール樹脂，ジアリルフタレート樹脂などの熱硬化性樹脂と混合してもよい。この熱硬化性樹脂をフェライト粉末と混合することも可能である。得た多孔質焼結体２は、セラミックス粉粒体または熱硬化性樹脂が全体量の約１０重量％以下であると十分に多孔質であり、１０〜２５重量％では細孔を有していても防振性が多少低下する。したがって、多孔質焼結体２における金属チップの含有量は全体量の約７５重量％以上であり、特に防振性を要する用途では約９０重量％以上にすると好ましい。
【００１５】
防振装置１において、防振材３を含む防振部４を載置する架台５は、それぞれ単独で高さ調整可能な３本または４本以上の垂直支柱２０からなり、水平桟６８，７０（図８）などでそれぞれの相互位置を確定させる。各支柱２０は、同一または異なる形状であり、上方脚部７４と下方脚部７５とに分離している。架台５において、上方脚部７４に自在軸継手７６などを介在させることにより、各支柱２０が垂直位置を保ったまま支持板８または４２との連結を維持できる。
【００１６】
例えば、上方脚部７４および下方脚部７５は角筒形であり、該角筒の外周面に密接できるＵ字枠８８を脚部７４または７６に固着する。Ｕ字枠８８の代わりに、長溝を設けた角筒体または２枚のＬ字枠を使用することもできる。脚部７４，７５が円形または他の多角形の筒体であれば、これに対応させてＣ字枠などを用いればよく、Ｕ字枠８８にはＬ字枠やＣ字枠も包含する。調整ボルト８２について、Ｌ字金具７９，８０の一方にナットなどを取り付けてねじ込み、他方で空回りさせることにより、調整ボルト８２を回すと上方脚部７４が昇降する。
【００１７】
図１または図５に示す防振装置について、架台５を半導体製造工場などの基礎または床の上に水平に固着し、該架台の上に防振部４，２２を載置して固着する。次に、半導体製造装置のような超精密機器の機台８９（図１）などを受け板の上に載置し、所望に応じて受け台に固定すればよい。製造装置が稼動して振動が発生すると、垂直方向の振動を斜め防振材４または垂直防振材６４で吸収し、防振装置が共振することはない。また、製造装置が水平方向において前後および左右へ振動しても、この振動をいずれかの斜め防振材３，２４で吸収でき、斜め方向へ振動しても、この振動を各２組の斜め防振材３，２４で吸収できる。
【００１８】
一方、防振装置のレベル調整を行う際には、架台５の各支柱２０における調整ボルト８２を適宜に回して上方脚部７４を随意に昇降させる。上方脚部７４を上下動させる際に、Ｕ字枠８８を貫通した各ボルト９６が下方脚部７５の垂直溝９４に沿って上下方向に移動し、傾斜板１００の内壁面１０６と下方脚部７５の内壁との接触面積が比較的広く且つ三方で均等に支持することにより、昇降時や使用時に上方脚部７４が前後左右にがたつかず、各支柱２０の剛性が高い。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る防振装置は、大型の機械について、垂直方向の振動を斜め防振材で吸収して共振することがなく、水平方向における前後および左右へ振動および斜め方向への振動も効果的に防止することができる。本発明の防振装置は、大型の機械の荷重に対する耐屈曲性が高く、防振材を長期間交換することなく所定の防振性能を維持できる。特に、超精密機器はごく微細な横方向の振動でも品質不良が発生することが多く、これに対して本発明の防振装置は実に有効である。本発明の防振装置は、縦横方向の同時防振と高い屈曲性を兼備する点で嚆矢とも云える存在であり、半導体製造装置のような大型の超精密機器において皆無であった実用的な防振装置である。
【００２０】
本発明の防振装置は、縦横方向の同時防振を達成するだけでなく、該装置のレベル調整を行う際に、架台における各支柱の調整ボルトを適宜に回すだけで正確にレベル調整できる。この架台について、各支柱の調整ボルトを適宜に回すと、Ｕ字枠を貫通した各ボルトが下方脚部の垂直溝に沿って上下方向に移動して支柱ごとに上方脚部を昇降できるので、水平方向におけるいずれかの方向にも随意にレベル調整が可能である。各支柱は、傾斜板の内壁面が摺動面であり、その接触面積が比較的広いことによって上方脚部が前後左右にがたつくことがなく、その剛性が非常に高いという利点もある。
【００２１】
本発明の防振装置で用いる防振材は、例えば、１種または２種以上の金属チップからなる金属製の多孔質焼結体からなり、これを１枚または複数枚重ね合わせて接着するため、全体が硬いうえにほぼ均質で耐久性が非常に優れている。この多孔質焼結体は、構造が単純で安価であり、加熱温度または異なる金属細片の混合率で空隙の大きさを調整することにより、所望に応じて吸音特性、遮音特性、断熱特性などを高めることも可能である。この多孔質焼結体は、セラミックス粉粒体または熱硬化性樹脂を少量含有していても高い防振性および剛性を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
次に、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。図１に防振装置１の一例を示し、該防振装置は、上方において防振材３を含む防振部４および下方において架台５を備える。防振装置１は、その上方の防振部４において、水平に配置する正方形の受け板７と、該受け板よりも下方で水平に位置し且つ該受け板よりもやや大きい正方形の支持板８と、各２枚の多孔質焼結体２で構成する斜め防振材３とを有する。
【００２３】
図２を参照すると、防振材３は、例えば、厚さ１０ｍｍ、縦横４０×４０ｍｍの多孔質焼結体２を２枚重ね合わせ、熱硬化性接着剤で相互に密に貼り合わせ、全厚が２０ｍｍである。多孔質焼結板２は、各種の金属チップを充填したプレス型において電流加圧することにより、例えば、気孔率約５０％を有し、仕上げ直後で６００×６００×１０ｍｍの寸法である。多孔質焼結板２は、厚さ方向において外表面２ａの気孔が疎く且つ内部２ｂの気孔が密になっている。この焼結板２は、抗折力が全面的にほぼ等しくて０.２０〜 ０.２５ｋｇ／ｍｍ２および圧縮強度が３０〜４２ｋｇ／ｃｍ２である。
【００２４】
受け板７は、図３に例示するように、厚さ１０ｍｍ、縦横１９０×１９０ｍｍの矩形金属板であり、さらに角錐台形状の下方突起１０を形成している。下方突起１０は、底面１００×１００ｍｍ、高さ約２８ｍｍであり、４５°の傾斜面１２の横幅が４０ｍｍである。下方突起１０を有する受け板７は、１枚の金属材から切削しても下方突起部を金属板に溶接してもよく、該突起部を軽量化のために中空状にすることも可能である。
【００２５】
一方、支持板８は、図４に例示するように、厚さ１０ｍｍ、縦横２３０×２３０ｍｍの矩形金属板であり、さらに矩形環状の上方突起１４を形成している。上方突起１４は、頂点が直角の二等辺三角形断面であり、その内寸が約７５×７５ｍｍである。上方突起１４は、受け板７の突起傾斜面１２と反対向きである内向き傾斜面１６を有し、該傾斜面は角度４５°で横幅が４０ｍｍである。上方突起１４を有する支持板８は、受け板７と同様に１枚の金属材から切削しても上方突起部を溶接してもよく、該突起部を中空状にすることも可能である。
【００２６】
防振装置１において、図３または図４に示すように４組の斜め防振材３を用い、各防振材の下表面を支持板８の内向き傾斜面１６にそれぞれ熱硬化性接着剤などで貼り合わせる。次に、受け板７を重ね合わせ、該受け板の外向き傾斜面１２を各防振材３の上表面とそれぞれ貼り合わせる。この結果、４組の斜め防振材３が、水平面において等間隔で四方向を向き、４５°の角度で外向きに上昇する状態に配置され、受け板７の下方突起１０の頂面１８は支持板８の表面に接触しない。支持板８は、架台５の４本の支柱２０の上端面に固定して水平に配置する。
【００２７】
防振装置１の防振部４は、垂直方向の振動を４組の斜め防振材４で吸収して共振することがなく、大型の機械の荷重に対する耐屈曲性が高い。また、防振部４は、制振すべき物体が、水平方向において前後および左右へ振動すれば、この振動をいずれかの斜め防振材３で吸収でき、斜め方向へ振動しても、この振動を各２組の斜め防振材３で吸収することができる。このため、半導体製造装置のような超精密機器において、垂直方向の振動と同時に水平方向への振動が発生すると単独で吸収でき、コイルばねや防振ゴムと組み合わせて取り付けることが不要になる。
【００２８】
図５は防振部の変形例を示し、防振装置２１において、防振部２２の斜め防振材２４は、例えば、厚み５ｍｍの６枚の多孔質焼結体２６を有し、全厚が３０ｍｍである。６枚の多孔質焼結体２６は、相互に重ね合わせて熱硬化性接着剤で相互に密に貼り合わせ、さらに中心貫通孔２８を穿孔する。防振材２４は、該防振材より長い角筒体３０に収納して筒体内部で固着する。角筒体３０の内部において、防振材２４の表面に固定板３２を接着または溶接し、該固定板に後端をかしめ止めした上ボルト３４は防振材２４の貫通孔２８を通って角度４５°で上方へ延び、角筒体３０を通過して受け板３６に達する。一方、固定板３２から離隔した他方の固定板３８を角筒体３０の内端壁に接着または溶接し、該固定板に前端をかしめ止めした下ボルト４０は角度４５°で下方へ延び、筒体３０を通過して支持板４２に達する。
【００２９】
受け板３６は、図５と図６に例示するように、厚さ１５ｍｍ、縦横２５０×２５０ｍｍの矩形金属板であり、該金属板の各辺の中央表面に幅３０ｍｍで深さ１５ｍｍの切り込み４４をそれぞれ形成し、該切り込みの底壁４５は４５°に傾斜する。傾斜孔４６は、底壁４５から直交状に穿孔し、該傾斜孔は内方に向かって角度４５°で下降する。各傾斜孔４６には上ボルト３４の先端部を嵌入し、該ボルトをナット４８で締着する。また、受け板３６の四隅に貫通孔５０を設け、該貫通孔には支持板４２や架台５との連結部材（図示しない）などを取り付ける。
【００３０】
支持板４２は、図５と図７に例示するように、厚さ１５ｍｍ、縦横２５０×２５０ｍｍの矩形金属板であり、その中央裏面に９０°の水平間隔をおいて幅２０ｍｍで深さ１０ｍｍの縦断面三角の円形溝５２を形成し、該円形溝の底壁５４は４５°に傾斜する。傾斜孔５６は、底壁５４から直交状に穿孔し、該傾斜孔は外方に向かって角度４５°で上昇する。各傾斜孔５６には下ボルト４０の後方部を嵌入し、該ボルトをナット５８で締着する。また、支持板４２の四隅にも貫通孔６０を設ける。
【００３１】
防振部２２において、図５と図７に示すように４組の斜め防振材２４を支持板４２の中心に関して９０°の水平間隔で配置する。さらに、角柱形の垂直防振材６４を支持板４２の中心に関して各２組の斜め防振材２４の間に配置し、該垂直防振材の上面を受け板３６の裏面に接着し、且つ下面を支持板４２の表面に接着する。垂直防振材６４は、例えば、厚さ１０ｍｍ、縦横６０×６０ｍｍの多孔質焼結体６６を６枚重ね合わせ、熱硬化性接着剤で相互に密に貼り合わせ、全厚が６０ｍｍである。
【００３２】
防振装置２１の防振部２２では、４組の垂直防振材６４で垂直方向の振動を効果的に吸収して共振することがなく、該防振材は垂直配置であるので大型の機械の荷重に対する耐屈曲性がいっそう高い。また、制振すべき物体が水平方向において前後および左右へ振動すれば、この振動をいずれかの斜め防振材２４で吸収でき、斜め方向へ振動してもこの振動を各２組の斜め防振材２４で吸収することができる。このため、大型の超精密機器において、大部分の垂直方向の振動と同時に水平方向への振動が僅かに発生しても単独で吸収でき、コイルばねや防振ゴムと組み合わせて取り付けることが不要である。
【００３３】
図１または図５に示す架台５は、それぞれ単独で高さ調整可能な４本の垂直支柱２０からなり、図８から明らかなように各支柱２０を長短各２本の水平桟６８，７０でそれぞれ連結し、さらに４本の筋交い７２でそれぞれの相互位置を確定させる。４本の支柱２０は、いずれも同一の形状であり、同一断面である角筒状の上方脚部７４と下方脚部７５とに分離している。上方脚部７４の上端には自在軸継手７６を垂直に接合し、自在軸継手７６を介して各支柱２０を支持板８または４２の四隅と連結し、下方脚部７５の下端には矩形の水平取付板７８を水平に接合する。架台５は、自在軸継手７６を介在させることにより、支持板８または４２のどの方向への傾きにも対応できる。
【００３４】
図９を参照すると、上方脚部７４および下方脚部７５の側壁にＬ字金具７９，８０を溶接し、両金具の水平部を垂直方向に合致させる。六角頭部８１付きの調整ボルト８２は、Ｌ字金具７９，８０の水平部に同軸状に設けた貫通孔に挿通し、該調整ボルトを回すと上方脚部７４および下方脚部７５の垂直間隔を微調整できるように構成する。例えば、ナット８４をＬ字金具７９の貫通孔と同心状に該Ｌ字金具の水平部に溶接し、該貫通孔の直径がボルト８２の直径よりも大きく、ボルト８２をナット８４にねじ込むことができる。そしてボルト８２の下端部を小径化するとともに、Ｌ字金具８０の貫通孔をその小径部に応じた直径に定め、ボルト下端に戻り止めナット８６（図１）をねじ込んで固定させる。ボルト８２を回すと、Ｌ字金具７９の個所で上下動し、Ｌ字金具８０の個所では空回りする。この場合において、Ｌ字金具７９の個所で空回りし、Ｌ字金具８０の個所では上下動するように構成することも可能である。
【００３５】
図９と図１０から明らかなように、Ｕ字枠８８を上方脚部７４に溶接などによって固着し、該Ｕ字枠はＬ字金具７９，８０と接触することなく、該Ｕ字枠の内寸が上方脚部７４および下方脚部７５の外寸とほぼ等しい。Ｕ字枠８８は、上方脚部７４の下端面から部分的に下方へ突き出ており、その突出部９０が下方脚部７５の上方部と嵌合するとともに、その三方の側壁に貫通孔９２をそれぞれ設ける。一方、下方脚部７５の上端面に縦長の垂直溝９４を切り込み、該垂直溝はＵ字枠８８の貫通孔９２と対応させて角筒壁の三辺にそれぞれ形成する。
【００３６】
図１１と図１２を参照すると、ボルト９６をワッシャ９８とともにＵ字枠８８の各貫通孔９２に横向きにそれぞれ嵌入し、さらに傾斜板１００およびＴワッシャ１０２を通して止めナット１０４をねじ込む。傾斜板１００は、下方脚部７５の内壁と接触する平滑な内壁面１０６および下方に向かって外方へ傾く傾斜面１０８からなり、さらに下方脚部７５の垂直溝９４と対応する切り込み１１０を上端から形成する。Ｔワッシャ１０２では、縦突起１１２を有する内壁面１１４が傾斜板１００の傾斜面１０８と反対向きに傾斜することにより、その外壁面１１６は下方脚部７５の内壁面と平行である。縦突起１１２が傾斜板１００の切り込み１１０に密に嵌り込み、Ｔワッシャ１０２は傾斜板１００とともに上下方向に移動する。Ｔワッシャ１０２および止めナット１０４の代わりに、Ｔナット（図示しない）を使用してもよい。
【００３７】
架台５において、支持板８または４２のレベル調整を行う際に、４本の支柱２０における調整ボルト８２を適宜に回して上方脚部７４を随意に上下動させ、支持板８または４２をいずれの方向へも傾けることができる。上方脚部７４を上下動させる際に、Ｕ字枠８８を貫通した各ボルト９６が下方脚部７５の垂直溝９４に沿って上下方向に移動する。この時に、傾斜板１００の内壁面１０６が、下方脚部７５の内壁に対する摺動面であり、その接触面積が比較的広く且つ角筒の三辺で均等に支持することにより、上方脚部７４が前後左右にがたつくことがなく、各支柱２０の剛性が非常に高い。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係る３次元方向の防振装置を示す縦断面図である。
【図２】図１の防振装置で用いる防振材の拡大断面図である。
【図３】図１の防振装置で用いる受け板の裏面を示す平面図である。
【図４】図１の防振装置で用いる支持板の表面を示す平面図である。
【図５】本発明の防振装置の変形例を示す縦断面図である。
【図６】図５の防振装置で用いる受け板の表面を示す平面図である。
【図７】図５の防振装置で用いる支持板の裏面を示す平面図である。
【図８】本発明で用いる架台の水平断面図である。
【図９】架台の支柱の要部を示す斜視図である。
【図１０】支柱の上方脚部と下方脚部を分解して示す斜視図であり、上方脚部と下方脚部を部分的に図示する。
【図１１】上方脚部に固着したＵ字枠と下方脚部との連結状態を示す分解斜視図であり、Ｕ字枠と下方脚部を断面で図示する。
【図１２】図１１の連結状態を示す部分縦断面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１    防振装置
２    多孔質焼結体
３    防振材
５    架台
７    受け板
８    支持板
１０    下方突起
１２    外向き傾斜面
１４    上方突起
１６    内向き傾斜面
２０    垂直支柱
７４    上方脚部
７５    下方脚部
８２    調整ボルト
８８    Ｕ字枠
【図１】
2005214320.tif 000003
【図２】
2005214320.tif 000004
【図３】
2005214320.tif 000005
【図４】
2005214320.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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