(57)【要約】【課題】成形体にしたときに高飽和磁化と高絶縁性の得られるフェライト被覆磁性金属微粒子およびこれを用いたフェライト被覆磁性金属微粒子成形体、並びにこうしたフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法を提供する。【解決手段】磁性金属微粒子を水に浸漬し水面に酸素を含む気体を接触させた状態で攪拌をしながら、２価鉄イオンを有するフェライトめっき反応液とｐＨ調整液とを添加し、前記懸濁液のｐＨが７以上１２未満、液温が５０℃以下にてフェライトめっき反応により平均厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ未満の緻密で均一なフェライト被覆層を形成する。このようにしてフェライト層の被覆された磁性金属微粒子粉末を加圧成形することにより、高抵抗率で高飽和磁化を有し、透磁率の高周波特性の優れた成形体を得る。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁性金属微粒子と、
前記磁性金属微粒子を被覆する平均厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ未満の均一で緻密なフェライト被覆層と
を備えたことを特徴とするフェライト被覆磁性金属微粒子。
【請求項２】
前記フェライト被覆層は、前記磁性金属微粒子と水との懸濁液の液面に酸素を含む気体を接触させた状態で前記懸濁液を攪拌しながら前記懸濁液に２価鉄イオンを有するフェライトめっき反応液とｐＨ調整液とを添加し、前記懸濁液のｐＨが７以上１２未満、前記懸濁液の液温が５０℃以下にて形成したフェライト被覆層であることを特徴とする請求項１記載のフェライト被覆磁性金属微粒子。
【請求項３】
磁性金属微粒子を被覆するフェライト微小粒子の最大粒径が５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２記載のフェライト被覆磁性金属微粒子。
【請求項４】
平均厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ未満の均一で緻密なフェライト被覆層で被覆されたフェライト被覆磁性金属微粒子粉末を成形したことを特徴とするフェライト被覆磁性金属微粒子成形体。
【請求項５】
飽和磁化が前記磁性金属粒子の有する飽和磁化の６０％以上であることを特徴とする請求項４記載のフェライト被覆磁性金属微粒子成形体。
【請求項６】
透磁率との自然共鳴周波数との積が３×１０９Ｈｚ以上であることを特徴とする請求項３又は４項記載のフェライト被覆磁性金属微粒子成形体。
【請求項７】
磁性金属微粒子を水に浸漬し水面に酸素を含む気体を接触させた状態で攪拌し前記磁性微粒子を懸濁させて懸濁液とし、前記懸濁液の攪拌を続けながら２価鉄イオンを有するフェライトめっき反応液と前記懸濁液のｐＨを調整するｐＨ調整液とを前記懸濁液に添加し、前記懸濁液のｐＨが７以上１２未満、液温が５０℃以下にて前記磁性金属微粒子表面を均一で緻密なフェライト被覆層で被覆することを特徴とするフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法。
【請求項８】
請求項７記載のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法に対する前記磁性金属微粒子の前処理工程として、前記磁性金属微粒子を２価鉄イオンを有する水溶液に浸漬する工程を備えたことを特徴とするフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フェライト被覆磁性金属微粒子およびフェライト被覆磁性金属微粒子成形体並びにフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法に関し、特に薄くて緻密なフェライト層で均一に表面が被覆されたフェライト被覆磁性金属微粒子およびこのフェライト被覆磁性金属微粒子粉末を成形した成形体、並びに微粒子の表面を薄くて緻密なフェライト層で均一に被覆するフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フェライトは抵抗率の大きい磁性材料であることから、高い周波数で用いる磁心などとして広く用いられてきた。しかし磁性材料を用いた電子部品の小型化と高性能化が進められた結果、通常のフェライトよりも高周波特性のさらに優れた磁性材料が求められるようになった。例えばＭｎＺｎフェライトはスイッチング電源用磁心などとして多く用いられてきたが、デバイスの小型化、高周波化および高効率化のために、ＭｎＺｎフェライトよりも飽和磁化がより大きくしかも抵抗率の高い磁性材料が望まれるようなった。
【０００３】
そのような磁性材料として、金属鉄や鉄ニッケル合金などの磁性金属粉末の表面を絶縁性にし加圧成形した成形体が用いられるようになった。しかしながら、これら磁性金属粉末の成形体においては、磁性金属微粒子同士が絶縁性皮膜で互いに絶縁されているため、実効的に高抵抗率が得られる一方で、この絶縁層が磁性金属微粒子間の磁気ギャップとなるため、成形体の透磁率が低いという問題点があった。
【０００４】
また近年、磁性材料は高周波領域における電磁ノイズの抑制体への応用が重要性を高めてきた。例えば数１００ＭＨｚ以上の高い周波数領域では、電子機器の線路を伝わる電磁ノイズの抑制が必要であり、ビーズ状のＮｉＺｎフェライトなどの磁性材料がそのような電磁ノイズの抑制体として用いられてきた。
【０００５】
最近では電子機器や電子デバイスの高周波化が進み、抑制対象の電磁ノイズの周波数がＧＨｚの領域に達するようになった。ところが透磁率の実数部と強磁性共鳴周波数との積が飽和磁化の値に比例することから、フェライトの透磁率とフェライトの自然共鳴周波数との積には、フェライトの飽和磁化による限界、すなわちスヌークの限界が存在し、フェライト透磁率を高周波領域で利用することについての制約が問題にされるようになった。例えばフェライトの透磁率として３以上を確保しようとすると、自然共鳴周波数は１ＧＨｚ以下となる。このため、これまで用いられてきたＮｉＺｎフェライトなどのフェライトを用いてＧＨｚ帯の電磁ノイズの抑制体で効率がよく小体積で抑制できるものを得ることは困難であった。
【０００６】
そこで数ＧＨｚの周波数領域での電磁ノイズの抑制に対応できる電磁ノイズ抑制体を得るために、フェライトよりも飽和磁化値の大きい金属鉄などの磁性金属材料が着目されるようになり、磁性金属微粒子を絶縁性の非磁性物質で被覆し結合樹脂などの絶縁性の分散媒体に分散させた電磁ノイズ抑制体が開発された（特許文献１：特開平１１−４５８０４号公報）。この構成では導電性の磁性金属微粒子間に絶縁性の非磁性層が介在し、この非磁性層が電磁ノイズ抑制体の抵抗率を実効的に高めているものの、磁性金属粒子間の絶縁性の非磁性層は磁気的には空隙と同様であることから、抑制体の透磁率を低めていた。このため透磁率がより高く、電磁ノイズの抑制性能のより優れた電磁ノイズ抑制体の開発が強く望まれてきた。
【０００７】
ところで水溶液中で基体面にフェライト層を生成する方法として、フェライトめっき法がある。この方法は本発明者の一人とその共同研究者によって開発されたもので、水溶液中で基体上に２価の鉄イオンを結合させ、その一部を３価の鉄イオンに酸化させることによって基体上にフェライト層を形成するものである（非特許文献１：  M. Abe and Y. Tamaura： Jpn. J. Appl. Phys., 22 , L511（1983）、非特許文献２：阿部正紀：金属，６８，２９０（１９９５））。この方法には、フェライトの燒結体を製造する場合のような高温での熱処理を必要とせず、常圧の水溶液中でフェライトが生成できるという大きな利点を有している。
【０００８】
この方法でフェライト膜やフェライト層を形成することにより、燒結体のフェライトでは得られなかった新しいフェライトの用途が開かれるようになった。その１つはフェライト薄膜の高周波応用であって、フェライトを膜状に形成しその形状効果を利用することにより、スヌークの限界を超える透磁率の高周波特性を得て、高い周波数領域における磁気コアや電磁ノイズ抑制体としての利用を可能にしている（非特許文献３：N.Matsushita, C.P.Chong, T.Mizutani, and M.Abe： J. Appl. Phys., 91, 7376 (2002)）。
【０００９】
フェライトめっきの際の基体を微粒子とすることにより、微粒子の表面に磁性を有し絶縁性のフェライト層を設けた複合体の微粒子を製造することができる。
【００１０】
本発明者らは、このフェライトめっきを利用し、微粒子の表面にフェライトめっき層を形成した多層構造の磁性微粒子とその製造方法を開発した。さらにこの磁性微粒子を用いた磁性多層微粒子分散媒体を開発し、高周波電磁界の吸収特性および磁気光学特性において多層構造を持つ微粒子の集合体特有の優れた特性を得ている（特許文献２：特開２００２−９３６０７号公報）。
【００１１】
また特許文献３（特開平１１−１７０２号公報）には、鉄基磁性金属粉末を含むアルカリ水溶液に、鉄の金属塩と、鉄以外の２価の金属塩１種以上とを所定の配合比率として溶解した水溶液を、非酸化性雰囲気中で添加した後、所定の温度に加熱しつつ、アルカリ水溶液を添加してｐＨ７以上とし、その後、酸素を含む気体を吹き込み、前記鉄基磁性金属粉末の表面にフェライト酸化物の被膜を形成することを特徴とする鉄基金属−フェライト酸化物複合粉末の製造方法が記載されている。
【特許文献１】特開平１１−４５８０４号公報
【特許文献２】特開２００２−９３６０７号公報
【特許文献３】特開平１１−１７０２号公報
【非特許文献１】M. Abe and Y. Tamaura： Jpn. J. Appl. Phys., 22 , L511 (1983).
【非特許文献２】阿部正紀：金属，６８，２９０  （１９９５）
【非特許文献３】N.Matsushita, C.P.Chong, T.Mizutani, and M.Abe： J. Appl. Phys., 91, 7376 (2002).
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明者らは図６に示すように、高飽和磁化を持つ磁性金属微粒子６１の表面にフェライトめっきによってフェライト層６２を被覆して複合微粒子とし、この複合微粒子の粉末を加圧成形して図７に模式的に示したような成形体とした。この成形体は磁性金属微粒子６１の粒界にフェライトめっきによる絶縁性のフェライト層７２を有する。このため、この成形体は実効的に抵抗率が高く、しかもこの絶縁層は磁性層であるため、磁性金属微粒子間が磁気的に接続され、粒界の磁気ギャップが埋められるので、磁性金属微粒子を非磁性の絶縁層で被覆した場合に比べ、成形体の透磁率の向上が得られる。
【００１３】
このような成形体の構成により、磁性金属微粒子の有する高飽和磁化とフェライトの有する高絶縁性および磁性がそれぞれ有効に利用され、実効的に高抵抗率で高透磁率の磁性体を得ることができるようになった。こうして得られる磁性体はフェライトよりも高飽和磁化を得ることが可能であり、透磁率の実数部と強磁性共鳴周波数との積はフェライトに関するスヌークの限界を超えることが可能であることから、例えばＧＨｚ帯の周波数領域における電磁ノイズ抑制体や磁気コアとして利用できるようになった。
【００１４】
このような成形体の構成により、ＧＨｚ帯の周波数領域での電磁ノイズ抑制体や磁気コアとして利用できるようになったので、こうした成形体の特性を一段と高めることや、比較的簡易な方法で製造が可能な生産性の高い製造方法を見出すことにより、その発展を図ることを課題とし、検討を重ねた。その結果、上記成形体は高飽和磁化と高絶縁性特性が共に得られたときに、高周波数領域での電磁ノイズ抑制体や磁気コアとして優れた特性を示すが、成形体の飽和磁化と絶縁性特性は、成形に用いるフェライト被覆磁性金属微粒子粉末のフェライト被覆状態によって大きく支配されることがわかった。
【００１５】
本発明は、成形体に用いたときに高飽和磁化と高絶縁性特性の得られるフェライト被覆磁性金属微粒子と、このフェライト被覆磁性金属微粒子を用いた成形体を提供し、さらにこのような成形体として高飽和磁化と高絶縁性特性の得られるフェライト被覆磁性金属微粒子を、比較的簡易な方法でフェライト被覆磁性金属微粒子を製造する製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子は、磁性金属微粒子と、磁性金属微粒子を被覆する平均厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ未満の均一で緻密なフェライト被覆層とを備えたことを特徴としている。
【００１７】
本発明者らは、フェライト被覆磁性金属微粒子の成形体における磁性金属微粒子のフェライト被覆を薄くすることにより、成形体の飽和磁化を高めることができることを見出し、フェライトめっきで形成されるフェライト被覆層を薄くすることを試みた。ところが、これまでに用いられてきたフェライトめっきの方法を用い、磁性微粒子表面にフェライト被覆を形成しようとしても、平均の厚さが１００ｎｍ未満では、均一な被覆を形成することができず、微粒子の表面にフェライトが島状に形成されたものとなった。磁性微粒子全体を被覆するには、平均の厚さを少なくとも１５０〜２００ｎｍにする必要があった。このため、平均の被覆厚さが１００ｎｍ未満になるようにフェライトめっきをした磁性金属微粒子を加圧成形して成形体にしたものは、飽和磁化は比較的高いものの、成形体の抵抗率が低く、高周波で用いる磁性体としては不適であった。
【００１８】
本発明者らは、磁微粒子に対し薄くて緻密なフェライトめっき層の形成について研究を重ねた結果、従来は全く考えることのできなかった厚さ１００ｎｍ未満のきわめて薄い緻密なフェライト層で被覆されたフェライト被覆磁性金属微粒子を得ることができた。このきわめて薄い緻密なフェライト層で被覆されたフェライト被覆磁性金属微粒子の粉末を加圧成形し成形体とし電気的測定および磁気的測定を行なった結果、フェライト被覆磁性金属微粒子の被覆の厚さが２ｎｍ以上であり１００ｎｍ未満であれば、高抵抗率が得られると共に高い飽和磁化を得ることができ、透磁率の高周波特性の優れた成形体が得られることがわかった。こうした知見を基に研究を進めた結果、本発明を完成させることができた。なお、成形体においてより高い飽和磁化とより高い透磁率を得るために、被覆の厚さが５０ｎｍ以下であることがより好ましい。
【００１９】
本発明において、磁性金属微粒子は強磁性を有する金属微粒子であって、軟磁性であることが好ましく、また高飽和磁化であることが好ましい。そのような磁性金属微粒子として、鉄および鉄合金の微粒子のほか、コバルトおよびコバルト合金、ニッケルおよびニッケル合金、パーマロイ、センダスト合金、金属間化合物などの微粒子を挙げることができる。
【００２０】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子において、磁性金属微粒子を被覆する均一で緻密なフェライト被覆層は、磁性金属微粒子と水との懸濁液の液面に酸素を含む気体を接触させた状態で懸濁液を攪拌しながら懸濁液に２価鉄イオンを有するフェライトめっき反応液とｐＨ調整液とを添加し、懸濁液のｐＨが７以上１２未満、懸濁液の液温が５０℃以下にて形成することができる。ここに懸濁液の液面に接触させる酸素を含む気体には、酸素を配合した気体を用意して用いてもよいが、通常の空気を用いることができる。
【００２１】
本発明において磁性金属微粒子をフェライトめっきによって被覆する際の懸濁液の攪拌は、この攪拌によって磁性金属微粒子の懸濁状態が維持されることを必要とする。この攪拌が空気中で行なわれて、懸濁液と空気とが接触することにより、空気中の酸素が懸濁液中に取り込まれ、この酸素がフェライト相を生成する際の酸化剤として用いられる。
【００２２】
本発明において２価鉄イオンを有するフェライトめっき反応液は、２価鉄塩の水溶液であり、例えば塩化第１鉄を有する水溶液や硝酸第１鉄を有する水溶液など、２価鉄の強酸塩の水溶液を用いることができる。
【００２３】
本発明においてｐＨ調整液は、フェライトめっきの反応時における懸濁液のｐＨを適切な範囲に保つものであって、アルカリ溶液、ｐＨ緩衝溶液、アルカリ溶液とｐＨ緩衝溶液との組み合わせなどを用いることができる。本発明において、フェライトの微小粒子による緻密な被覆を得るためのｐＨの適正値は７以上１２未満であり、この範囲よりｐＨが小さいとフェライト相の生成が困難になり、この範囲よりｐＨが大きいと生成するフェライトの粒子が粗大化したり微粒子の表面以外にフェライトが生成するなどして緻密な被覆を得ることが困難になる。このような観点からフェライトめっき反応時における懸濁液のｐＨの下限としては８以上がより好ましく、また上限としては１０以下がより好ましい。
【００２４】
本発明において、フェライトめっき反応時の液温は５０℃以下にて行なう。液温が５０℃を超えた場合には、生成するフェライトの粒子が粗大化し、薄い緻密な被覆を得ることが困難になる。
【００２５】
フェライトめっき反応の温度に関する公知の情報としては、特許文献３の記載がある。特許文献３では、フェライトめっき反応の温度は９０℃ないし６０℃が適正な温度であって、反応温度が６０℃以下になると、反応中間体である鉄などの２価金属の水酸化物が変質し、これを出発物質としたフェライト以外の副生成物の生成量が増大し、鉄基金属微粒子をフェライトで被覆する効果が得られなくなることが記載されている。
【００２６】
本発明者らは、従来のフェライト被覆よりも緻密で均一なフェライト被覆を得ることを目的として検討を重ねた。その結果、フェライトめっき反応の液温を特許文献３では不適切な温度とされた５０℃以下にするとともに、液を空気中で攪拌し微粒子の懸濁を保ちながらフェライトめっき反応を行なうと、緻密で均一なフェライト被覆を得ることができるという、非常に興味ある結果を得ることができた。
【００２７】
本発明において、フェライト相を生成する際の酸化剤として用いられる酸素は、液の攪拌によって液中に取り込まれるので、液の攪拌が単位時間に酸素を液中に取り込む量とフェライトの生成速度とを支配している。空気中で液の攪拌を行なうことにより、単位時間に取り込まれる酸素量とフェライト相の形成速度とがバランスし、緻密で均一なフェライト被覆が形成されるものと考えられる。この点において、本発明の方法は、特許文献３に記載の酸素を含む気体を液に強制的に吹き込むことによって液に酸素を供給する方法と大きく異なるつているものと考えられる。特許文献３に記載の方法では、６０℃以下において水酸化第２鉄が生成し、フェライト相の生成は得られていない。
【００２８】
またフェライトめっきでは超音波励起を用いる方法が広く用いられてきた。これは反応場となる液に超音波を加えて基体表面を活性化し、基体に均等にフェライト層を形成することを目的としたものである。ところが多量の磁性金属微粒子をフェライト被覆する場合に超音波励起を用い、その効果を得ようとすると、超音波の電力を十分に大きくすることが必要となり、多量の磁性金属微粒子をフェライト被覆する工程では、十分に大きな電力の超音波発生装置を必要とするため、超音波励起を用いる方法よりもより簡易な方法が望まれていた。しかもフェライトめっきを行なう際に超音波励起の電力が大きくなるとフェライトめっきを行なう液の温度が上昇し、フェライト相の生成速度が大きくなることから、超音波励起の方法を用いたフェライトめっきを用いて被覆されたフェライト被覆磁性金属微粒子は、被覆の緻密さと均一性において改善の余地を残しており、被覆層として薄くて緻密な層を得るのが困難であった。
【００２９】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子は、磁性金属微粒子がフェライトの微小粒子によって緻密な薄い層で被覆されており、このフェライト被覆磁性金属微粒子粉末を成形して成形体とすることによって、高抵抗率で高飽和磁化を有するので、透磁率が高くその周波数特性が良好なフェライト被覆磁性金属微粒子成形体を得ることができる。逆に磁性金属微粒子がフェライトの微小粒子の緻密な薄い層で被覆されていなければ、そのような微粒子粉末を成形しても、透磁率が高くその周波数特性が良好な成形体を得ることができない。このため、本発明における「均一で緻密なフェライト被覆層」の評価手段としては、電子顕微鏡観察を用いて磁性金属の表面を被覆する均一で緻密なフェライト被覆層を直接的に確認する代わりに、フェライト被覆磁性金属微粒子粉末を成形した成形体の透磁率の周波数特性を用いることにより、より定量的に評価をすることが可能になる。そこで本発明においては、均一で緻密なフェライト被覆層は、この被覆層によって被覆されたフェライト被覆磁性金属微粒子粉末を加圧成形した成形体の透磁率と自然共鳴周波数との積として大きい値の得られるフェライト被覆層を意味するものとする。より具体的にはこの被覆層によって被覆されたフェライト被覆磁性金属微粒子粉末を加圧成形した成形体の透磁率と自然共鳴周波数との積として３×１０９Ｈｚ以上の得られるフェライト被覆層を意味するものとする。
【００３０】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子において、磁性金属微粒子を被覆している被覆層のフェライト微小粒子は、最大粒径が５０ｎｍ以下であることが好ましい。
【００３１】
磁性金属微粒子を被覆しているフェライト微小粒子の最大粒径が５０ｎｍよりも大きいと、緻密で均一な被覆層を得ることが困難となる。また加圧成形して得られる成形体の充填密度も低下し、成形体の飽和磁化および透磁率が低下する。
【００３２】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子成形体は、上記平均厚さが２ｎｍ以上１００ｎｍ未満の均一で緻密なフェライト被覆層で被覆された磁性金属微粒子粉末を成形した成形体であることを特徴とする。
【００３３】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子成形体は、高い飽和磁化を有するとともに、磁性金属微粒子間が磁性を有するフェライト層によって絶縁されて高抵抗率を有するので、高い透磁率を示すとともに、透磁率の高周波特性が優れている。
【００３４】
本発明の上記フェライト被覆磁性金属微粒子成形体は、飽和磁化の値が前記磁性金属粒子の有する飽和磁化の６０％以上であることが好ましい。
【００３５】
本発明の上記フェライト被覆磁性金属微粒子成形体は、飽和磁化の値を磁性金属粒子の有する飽和磁化の値の６０％以上にすることによって、成形体の高周波における磁気特性を著しく高めることができる。本発明による上記薄い被覆層のフェライト被覆磁性金属微粒子粉末を加圧成形して成形体とすることにより、成形体の飽和磁化の値を、被覆を有しない磁性金属粒子の飽和磁化値の６０％以上を得ることができる。本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子成形体において、飽和磁化の値が磁性金属粒子の有する飽和磁化の値の８０％以上であることがさらに好ましい。
【００３６】
本発明の上記フェライト被覆磁性金属微粒子成形体は、透磁率との自然共鳴周波数との積が３×１０９Ｈｚ以上であることが好ましい。
【００３７】
本発明の上記フェライト被覆磁性金属微粒子成形体は、透磁率との自然共鳴周波数との積が３×１０９Ｈｚ以上であることにより、ＧＨｚ帯において特に効率的な電磁ノイズ抑制体を得ることがてきる。本発明によるフェライト被覆磁性金属微粒子粉末を加圧成形して成形体とすることにより、透磁率との自然共鳴周波数との積として３×１０９Ｈｚ以上を得ることができる。
【００３８】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法は、磁性金属微粒子を水に浸漬し水面に酸素を含む気体を接触させた状態で攪拌し磁性微粒子を懸濁させて懸濁液とし、懸濁液の攪拌を続けながら２価鉄イオンを有するフェライトめっき反応液とｐＨを調整するｐＨ調整液とを懸濁液に添加し、添加後の懸濁液のｐＨが７以上１２未満、液温が５０℃以下にて磁性金属微粒子表面を均一で緻密なフェライト被覆層で被覆することを特徴とする。
【００３９】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法によれば、磁性金属微粒子が薄いフェライト層によって緻密に被覆できる。こうした本発明の製造方法によって製造されたフェライト被覆磁性金属微粒子は、加圧成形して成形体とすることにより、磁性金属微粒子の粒子間がフェライトによって電気的に絶縁されるとともに磁性金属微粒子間がフェライトによって磁気的に結合され、しかも成形体を形成しているフェライト被覆磁性金属微粒子のフェライト被覆層が薄いので、成形体中のフェライトの比率を小さく磁性金属微粒子の比率を大きくできるので、成形体の飽和磁化を大きくできる。その結果、本発明の製造方法によって製造されたフェライト被覆磁性金属微粒子を加圧成形することにより、成形体の透磁率と自然共鳴周波数との積を大きくできるので、透磁率の周波数特性の優れたフェライト被覆磁性金属微粒子成形体を得ることができる。
【００４０】
また本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法によれば、超音波励起や酸化剤の添加を必要とせずにフェライトめっきによる磁性金属微粒子の被覆が行なえるので、本発明を実施するための製造装置は、比較的簡易に構成することができる。
【００４１】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法においては、上述した磁性金属微粒子表面をフェライトめっき膜で被覆する工程の前処理工程として、２価鉄イオンを有する水溶液に磁性金属微粒子を浸漬する工程を備えることができる。
【００４２】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法においては、この前処理工程を設けることにより、フェライトめっきにおける磁性金属微粒子表面に対する均一で緻密なフェライト被覆層の形成を容易にし、加圧成形して成形体としたときの透磁率の周波数特性を高めることができる。
【００４３】
本発明において、磁性金属微粒子の上記前処理に用いる２価鉄イオンを有する水溶液は、例えば塩化第１鉄の水溶液や硝酸第１鉄の水溶液などの２価鉄イオンの強酸塩の水溶液を用いることができる。
【００４４】
また磁性金属微粒子を２価鉄イオンを有する水溶液に浸漬する浸漬時間は、磁性金属微粒子の状態に応じて、適宜選択すればよく、例えば１分〜１時間浸漬させればよい。また浸漬後の磁性金属微粒子は水洗浄し、２価鉄イオンを除去することが好ましい。
【００４５】
上記前処理に用いる２価鉄塩の水溶液の濃度は、５ｍｍｏｌ／Ｌ以上２００ｍｍｏｌ／Ｌ以下が好ましい。この範囲より低濃度の処理では前処理の効果が小さく、またこの範囲よりも高濃度の処理では、処理後の洗浄による前処理液の除去が十分でなく微粒子表面のｐＨが低くなって、フェライトめっき処理の工程においてフェライト相が生成できず、非磁性の相が生成してしまう可能性がある。
【００４６】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法において、磁性金属微粒子に対し、フェライトめっきの前に上記前処理をしておくことにより、より緻密で均一なフェライト被覆の薄い層を得ることができる。この結果、前処理をしてからフェライトめっきによる被覆をしたフェライト被覆磁性金属微粒子の粉末は、加圧成形することにより、周波数特性が良好なフェライト被覆磁性金属微粒子成形体が得られる。またこの前処理により、フェライトめっきの際に、磁性金属微粒子に対しより均等なフェライト被覆が得られることがわかった。さらにこの前処理によって前処理をしない場合に比べ、多量の磁性金属微粒子のフェライト被覆を行なうことができることがわかった。
【発明の効果】
【００４７】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子は、加圧成形することにより、飽和磁化が大きく高抵抗率であり、このため透磁率が高く、透磁率の周波数特性が優れた成形体を得ることができる。また本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法によれば、比較的簡易な方法により、薄いフェライト層によって緻密で均一に被覆されたフェライト被覆磁性金属微粒子を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
図１は、本発明において磁性金属微粒子にフェライト被覆を行なうための工程の一形態を示した図である。図１において、水１に磁性金属微粒子２を浸漬し、攪拌器具を用いて攪拌３を行なうことにより、水１に磁性金属微粒子２を懸濁させた懸濁液４の状態にする。この磁性金属微粒子２の懸濁液４に対し、攪拌３によって懸濁液４の懸濁状態を保ちながら、２価鉄イオンを含むフェライトめっき反応液５を添加し、あわせてｐＨ調整液６を添加し、フェライトめっき反応によって磁性金属微粒子２にフェライト層の被覆を形成させ、フェライト被覆磁性金属微粒子の懸濁液７を得る。ここでフェライトめっき反応における鉄イオンの酸化には、微粒子懸濁液４の液面を空気に接触させ、攪拌３を空気中で行なうことにより、液中に少しずつ取り込まれる空気中の酸素が用いられる。このフェライト被覆磁性金属微粒子懸濁液７は、必要の程度に応じた洗浄工程８にて洗浄されてフェライト被覆磁性金属微粒子９を得る。
【００４９】
図２は本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子を作製する装置の一形態を模式的に示した図である。図２において、容器２１には水２２と磁性金属微粒子２３が収容されている。水２２の液面は空気２４と接触しており、水２２は攪拌装置２５により攪拌されて空気中から酸素が取り込まれるとともにこの攪拌によって磁性金属微粒子２３がこの水に懸濁されて懸濁液となる。この懸濁液の攪拌を行ないながら、この懸濁液に２価鉄イオンを含有する水溶液であるフェライトめっき反応液２６を添加し、これに合わせてｐＨ調整液２７の添加を行なってこの懸濁液のｐＨを所定の範囲に調整することにより、磁性金属微粒子２３の表面にフェライト層を形成させる。
【００５０】
本発明の製造方法によれば、添加したフェライトめっき反応液の鉄イオンなどの金属イオンがむだなく微粒子の被覆に利用される。ここでこの懸濁液のｐＨはｐＨメータまたはｐＨ−温度調整装置２８によって計測され調整される。ｐＨおよび温度の目標値との差はｐＨ調整液２７の滴下および液の温度調整にフィードバックすることができる。なおｐＨ調整液２７には必要に応じて補助的に酸化剤を含有させるようにしてもよい。
【００５１】
上記攪拌装置２５による懸濁液の攪拌は、磁性金属微粒子の懸濁を維持し、空気中の酸素を懸濁液中に適量取り込むほかに、滴下されるフェライトめっき反応液２６とｐＨ調整液２７を懸濁液に均一に混合している。このフェライトめっき反応液２６とｐＨ調整液２７の懸濁液への均一混合は、フェライト層が磁性金属微粒子の表面に均一に形成されるのに有効な役割を果している。
【００５２】
磁性金属微粒子２３の表面にフェライト層を形成させる際の水溶液中には、２価鉄イオンのほかに３価鉄イオンを添加しておくことができる。またこの磁性金属微粒子３の表面にフェライト層を形成させる際の水溶液中には、形成されたフェライト層において２価鉄イオンを置換する２価金属元素のイオンおよび３価鉄イオンを一部置換する３価金属元素のイオンを含有させることができる。これら２価金属元素イオンおよび３価金属イオンは、１価や４価以上の金属元素を組み合わせることによって平均の価数が２価や３価になるものであってもよい。このようにして置換に用いることのできる金属元素として、Ｌｉ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｓｃ、Ｇａ、Ｉｎ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｎ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗなどを挙げることができる。このような置換により、フェライト層の磁気特性や抵抗率などを制御することができ、またそれによって加圧成形した成形体の特性を制御することができる。
【００５３】
本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法においては、磁性金属微粒子２３の表面にフェライト層を形成させる際の懸濁液のｐＨが低くなると成膜速度が低下し、懸濁液のｐＨが７未満では成膜が著しく低下する。このため懸濁液のｐＨは７以上が好ましく、ｐＨ値を８以上にすることさらに好ましい。他方でフェライト層を形成させる際に設定する懸濁液のｐＨは、高すぎると膜の平坦性および緻密さが損なわれることから、平坦で緻密なフェライト被覆の膜を得るために、ｐＨを１２未満にすることが好ましく、９以下にすることがさらに好ましい。
【００５４】
ここで用いるｐＨ調整液としては、緩衝剤の水溶液を用い、懸濁液を緩衝溶液の状態にすることができる。またｐＨ調整液として水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、またはアンモニア水などのアルカリの水溶液を適量ずつ添加して用いることができる。その際には液のｐＨ値をｐＨメータにより計測し、計測結果をアルカリの水溶液の滴下にフィードバックし、液のｐＨ値が目標値となるように制御することができる。
【００５５】
また上記本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法において、磁性金属微粒子の表面にフェライト層を形成させる際の液の温度は５０℃以下である。水溶液の温度がこの温度を超えると磁性金属微粒子を被覆するフェライト層を薄い層で均一性と緻密さを有するものが得られなくなる。磁性金属微粒子の表面に、薄い層で均一性と緻密さを有するフェライト層を形成させるために、液の温度は４０℃以下であることがさらに好ましい。また本発明において液の温度の下限は液相を保つ温度であればよいが、成膜速度がより適切であるためには１０℃以上であることが好ましく、２０℃以上であることがさらに好ましい。
【００５６】
本発明の製造方法で作製しフェライト層で被覆された磁性金属微粒子は、必要に応じ必要な程度の洗浄を行ない、また必要に応じて乾燥して乾燥粉末とすることができる。こうして本発明の製造方法で作製されたフェライト被覆磁性金属微粒子は、加圧成形により成形体にして用いるなど、さまざまな用途に用いることができる。
【００５７】
次に本発明におけるフェライト被覆磁性金属微粒子の評価方法について述べる。本発明においては、走査型電子顕微鏡を用い表面観察を行なうことによって、被覆の緻密性、均一性および被覆層の粒子サイズなどの被覆の状態を評価することができる。また本発明において、フェライト被覆された磁性金属微粒子は、加圧成形を行ない、成形された成形体のかさ密度および抵抗率によって被覆の状態を評価することができる。さらに成形体について、インピーダンスアナライザを用いた高周波複素透磁率の測定による評価を行ない、その結果を通じ、成形体を構成するフェライト被覆された磁性金属微粒子の評価を行なうことができる。
【００５８】
本発明に用いられる磁性金属微粒子は、フェライトに比べ高い飽和磁化を有する金属微粒子である。このような磁性金属微粒子表面に効率よく均一なフェライト被覆を行なうために、その形状としては単純な形状の微粒子が好ましく、そのような磁性金属微粒子として、例えば各種のアトマイズ鉄粉を用いることができる。同様の理由により、カーボニル法で作られた鉄粉などの磁性金属微粒子を用いることができる。磁性金属微粒子の粒子形状としては、球状のほか、反磁界の効果を考えて扁平な板状を選択するなど、目的に応じて適切な形状を選択して用いることができる。また本発明に用いられる磁性金属微粒子の粒子サイズは、使用する周波数におけるうず電流による表皮深さを一つの基準とし、高い周波数ほど粒子径を小さいものを選ぶようにして、適宜選択することができる。
【００５９】
本発明において、磁性金属微粒子粉末の加圧成形は、広く用いられている単軸方向の加圧圧縮による圧縮成形によって行なうことができる。また加圧成形時に磁性金属微粒子粉末を加熱してその温度を例えば１００〜４００℃にするホットプレスを用いることにより、成形性の良好な成形体を得ることができる。また等方的な圧力を用いて成形する静水圧成形を用いることもできる。
【実施例１】
【００６０】
（攪拌の効果）
図２に模式的に示された容器（２００ｍＬのビーカー）２１に１００ｍＬの純水２２を入れ、これに直径２μｍの鉄微粒子２３を２ｇ入れ、純水が液面で空気２４と接触した状態でスターラー２５により攪拌速度５００ｒｐｍに攪拌し、空気２４から酸素を取り込むとともに、鉄微粒子２３をこの攪拌によって懸濁状態にした。この攪拌速度で液の攪拌を続けながらこの液にフェライトめっき反応液として１２．５ｍｍｏｌ／Ｌの塩化第一鉄の水溶液５０ｍＬと、ｐＨ調整液として水酸化カリウム水溶液５０ｍＬとを、共に５ｍＬ／分の一定流量にて１０分間で添加し、懸濁液のｐＨを８の付近に保って鉄微粒子２３の表面に厚さ約１５ｎｍのフェライト層を形成した（実施例１）。これらの工程において、懸濁液の温度は２５〜２８℃の範囲に保たれた。
【００６１】
このようにして得られた実施例１のフェライト被覆鉄微粒子の走査電子顕微鏡写真を図３に示す。この写真から鉄微粒子がフェライトの微細な粒子によって緻密に被覆されている様子を伺うことができる。
【００６２】
次に実施例１との比較のために、攪拌を行なわなかったほかは、上記実施例１のフェライトめっき条件と同じ条件で、鉄微粒子２３の表面にフェライト層を形成させた（比較例１−１）。
【００６３】
また実施例１との比較のために、攪拌を行なう代わりに超音波励起を行なったほかは、上記実施例１のフェライトめっき条件と同じ条件で、鉄微粒子２３の表面にフェライト層を形成した（比較例１−２）。なお、このフェライト層被覆では、超音波励起によって被覆の終了時における懸濁液の温度は５０℃以上に上昇していた。
【００６４】
さらに実施例１と比較して、懸濁液の温度の影響を知るために、懸濁液の温度を５０℃に高めたほかは、上記実施例１のフェライトめっき条件と同じ条件で、鉄微粒子２３の表面にフェライト層を形成した（比較例１−３）。
【００６５】
これらのフェライト層を被覆した鉄微粒子について、結晶構造解析をＣｏＫαによるＸ線回折を用いて行ないスピネル構造を確認し、また磁気特性を振動試料型磁力計を用いて行ない、所要の磁気特性が得られていることを確認した。さらに走査型電子顕微鏡により、形成されたフェライト層について評価を行なった。またこれら微粒子を７ｔ／ｃｍ２の成形圧で成形し、その抵抗率および飽和磁化を評価した。これらの評価結果を表１に示す。
【表１】
2005093548.tif 000003
【００６６】
表１に示されている通り、攪拌を行なった実施例１では磁性金属微粒子に均一で緻密な厚さ１５ｎｍのフェライト被覆が得られ、この磁性微粒子粉末を加圧成形した成形体は１．５６の高飽和磁化で高抵抗率を得ている。これに対し、攪拌を行なわない場合は、磁性金属微粒子表面の被覆率が低く、この磁性微粒子粉末を加圧成形した成形体は抵抗率が小さく、高周波での用途には不適であることがわかった。また、攪拌の代わりに超音波励起を行なった場合も同様であって、磁性金属微粒子表面の被覆率が低く、この磁性微粒子粉末を加圧成形した成形体は抵抗率が小さく、高周波での用途に不適であることがわかった。
【実施例２】
【００６７】
（ｐＨの影響）
本発明の磁性金属微粒子に対するフェライト被覆における懸濁液のｐＨの影響を明らかにするために、上記実施例１に加えて、次のような条件による鉄微粒子２３の表面にフェライト層形成を行なった。
【００６８】
まず、ｐＨ調整液として水酸化カリウム水溶液を添加し、ｐＨメータ２８によりこの溶液のｐＨを９に調整したほかは実施例１と同じ条件で鉄微粒子２３の表面にフェライト層を形成させた（実施例２−１）。
【００６９】
次にｐＨ調整液として水酸化カリウム水溶液を添加し、ｐＨメータ２８によりこの溶液のｐＨを１０に調整したほかは実施例１と同じ条件で、鉄微粒子２３の表面にフェライト層を形成させた（実施例２−２）。
【００７０】
これらの実施例に対する比較例として、水酸化カリウム水溶液をｐＨ調整液として添加し、ｐＨメータ２８によりこの溶液のｐＨを１１に調整したほかは実施例１と同じ条件で鉄微粒子２３の表面にフェライト層を形成させた（実施例２−３）。
【００７１】
これらのフェライト層を被覆した鉄微粒子について、先の場合と同様に結晶構造解析と磁気特性測定を行ってスピネル構造が得られていることを確認し、また所要の磁気特性が得られていることを確認するとともに、走査型電子顕微鏡により、形成されたフェライト層の評価を行なった。またこれら微粒子を７ｔ／ｃｍ２の成形圧で成形し、その抵抗率および飽和磁化を評価した。これらの評価結果を表２に示す。
【表２】
2005093548.tif 000004
【００７２】
表２から、２価鉄イオン濃度を１５ｍｍｏｌ／Ｌ、攪拌速度５００ｒｐｍと一定に保ち、溶液のｐＨ９，１０および１１の場合に、被覆フェライト層の表面性は良好であり、膜は均一で緻密に成膜されていることがわかった。なお、ｐＨが９から１１まで上昇するのに伴い、表面の凹凸は増加する傾向がみられた。
【実施例３】
【００７３】
（成形体の透磁率の周波数特性）
実施例１のフェライトめっき条件により、それぞれＮｉＺｎフェライト、ＦｅＺｎフェライト、ＣｏフェライトおよびＦｅフェライトの被覆をした４種の鉄微粒子粉末をそれぞれ作製し、それぞれ７ｔ／ｃｍ２の成形圧で加圧成形して外径８ｍｍ、内径３ｍｍのコアを作製し、インピーダンスアナライザによって１ＭＨｚから３ＧＨｚまでの周波数領域における複素透磁率の実数部μ’およびμ”をそれぞれ測定した。
【００７４】
比較例として、フェライト被覆を行なわない鉄微粒子および超音波励起を用いＮｉＺｎフェライトの被覆を行なった鉄微粒子粉末を加圧成形して実施例６と同じ形のコアを作製したものを作製し、同じ測定を行なった。
【００７５】
図４はこのようにして得られた高周波複素透磁率の周波数変化を示す図である。図において、４１−１は被覆がＮｉＺｎフェライトの場合の透磁率の実数部、４１−２は被覆がＮｉＺｎフェライトの場合の透磁率の虚数部、４２−１は被覆がＦｅＺｎフェライトの場合の透磁率の実数部、４２−２は被覆がＦｅＺｎフェライトの透磁率の虚数部、４３−１は被覆がＣｏフェライトの場合の透磁率の実数部、４３−２は被覆がＣｏフェライトの場合の透磁率の虚数部、４４−１は被覆がＦｅフェライトの場合の透磁率の実数部、４４−２は被覆がＦｅフェライトの場合の透磁率の虚数部、４５−１は被覆がＮｉＺｎフェライトで超音波を用いた場合の透磁率の実数部、４５−２は被覆がＮｉＺｎフェライトで超音波を用いた場合の透磁率の虚数部、４６−１は被覆がない場合の透磁率の実数部、そして４６−２は被覆がない場合の透磁率の虚数部である。
【００７６】
この図から、本発明の製造方法によってフェライト被覆した鉄微粒子粉末を加圧成形したコアが、フェライト被覆により微粒子間の絶縁性を保持するとともに、磁気的には粒子間を結合させたものは、高周波において高透磁率が得られていることがわかる。これに対し、鉄微粒子表面の被覆に超音波励起を用いＮｉＺｎフェライトを被覆した場合の一例では、透磁率の実数部４５−１および虚数部４５−２の値が共に小さい。これは鉄微粒子表面の被覆が不均一で凹凸を持つため、加圧成形した成形体の充填密度が低く、空隙が多くなったためである。なお、この超音波励起を用いＮｉＺｎフェライトを被覆した場合の一例では透磁率の実数部虚数部の値が、高周波側にシフトしているので、より高い周波数での利用には有用である。またフェライト被覆がない鉄微粒子粉末を加圧成形した成形体の場合は周波数が高くなると透磁率の実数部４６−１および虚数部４６−２の値が急速に低下した。これはフェライト被覆がないため成形体の抵抗率が小さいことによる。
【実施例４】
【００７７】
（前処理の効果）
磁性金属微粒子にフェライト被覆をする前に、この粒子を２価鉄イオンを有する水溶液に浸漬する前処理を加え、その効果を調べた。
【００７８】
鉄微粒子２０ｇを塩化第１鉄水溶液（濃度５０ｍｍｏｌ／Ｌ）に１０分間浸漬し攪拌をした後、これを水洗し、  ２００ｍＬのビーカーに１００ｍＬの純水とともに入れ、純水が液面で空気と接触した状態でスターラーにより攪拌速度５００ｒｐｍに攪拌し、空気中からの酸素を取り込むるとともに、鉄微粒子をこの攪拌によって懸濁状態にした。この攪拌速度で液の攪拌を続けながらこの液にフェライトめっき反応液として１２．５ｍｍｏｌ／Ｌの塩化第一鉄の水溶液５０ｍＬと、ｐＨ調整液として水酸化カリウム水溶液５０ｍＬとを、共に５ｍＬ／分の一定流量にて添加し、鉄微粒子の表面にフェライト層を形成した（実施例４−１）。なお、これらの工程において、懸濁液の温度は２５〜２８℃の範囲に保たれた。
【００７９】
次に鉄微粒子に対し、上記前処理において塩化第１鉄水溶液の濃度を１００ｍｍｏｌ／Ｌとしたほかは、上記実施例４−１と同じ条件で鉄微粒子２３の表面にフェライト層を形成した（実施例４−２）。
【００８０】
次に鉄微粒子に対し、上記前処理を行なわなかったほかは、上記実施例４−１と同じ条件で鉄微粒子２３の表面にフェライト層を形成した（実施例４−３）。
【００８１】
この実施例および比較例２でフェライト層を被覆した鉄微粒子について、先の場合と同様に結晶構造解析と磁気特性測定を行ってスピネル構造が得られていることを確認し、また所要の磁気特性が得られていることを確認するとともに、走査型電子顕微鏡により、形成されたフェライト層の評価を行なった。形成されたフェライト層の評価結果を表３に示す。
【表３】
2005093548.tif 000005
【００８２】
上記実施例４−１〜実施例４−３で作製したフェライト被覆磁性金属微粒子粉末を上記実施例３と同じ加圧成形条件にて加圧成形し、高周波透磁率の周波数特性を測定した。その結果を図５に示す。比較のために、実施例１で作製したフェライト被覆磁性金属微粒子粉末を同じ条件にて成形し、高周波透磁率の周波数特性を測定した結果を加えた。
【００８３】
図５において、実施例１の前処理なしで３ｇ処理にて作製した粉末の成形体の透磁率の周波数特性５１−１および５１−２に比べると、実施例４−３の前処理なしで処理量を２０ｇに増して作製した粉末の成形体の透磁率の周波数特性５２−１および５２−２は低下しているが、実施例４−１の濃度５０ｍｍｏｌ／Ｌの塩化第１鉄水溶液による前処理をしてからフェライト被覆を行なった粉末は、処理量が２０ｇと増大しているにもかかわらず、この粉末を加圧成形した成形体の透磁率の周波数特性５３−１および５３−２には、著しい周波数特性の向上がみられた。また実施例４−２の濃度１００ｍｍｏｌ／Ｌの塩化第１鉄水溶液による前処理をしてからフェライト被覆を行なった粉末についても、加圧成形した成形体の透磁率の周波数特性５４−１および５４−２には、前処理を行なわない場合に比べ、顕著な周波数特性の向上の効果がみられた。
【００８４】
このような前処理を導入することにより、粉末を加圧成形した成形体の透磁率の周波数特性が向上していることは、前処理によって薄く緻密で均一なフェライト被覆層が形成され易くなることを示唆するものである。前処理を導入することによって、処理量が多くなっても良好なフェライト被覆が得られるということは、前処理の導入がフェライト被覆磁性金属微粒子粉末の量産における重要な技術となり得ることを示している。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明のフェライト被覆磁性金属微粒子の製造方法の一実施形態を示した流れ図である。
【図２】本発明の一実施形態における磁性金属微粒子にフェライト被覆を形成する装置を模式的に示した図である。
【図３】実施例１で作製したフェライト被覆鉄微粒子の走査電子顕微鏡写真である。
【図４】本発明の実施例によりフェライト被覆を行なった磁性金属微粒子粉末を加圧成形して得た成形体の複素透磁率について、その実数部および虚数部の周波数変化を模式的に示した図である。
【図５】前処理をした後にフェライト被覆を行なった磁性金属微粒子粉末を加圧成形して得た成形体の複素透磁率について、その実数部および虚数部の周波数変化を模式的に示した図である。
【図６】磁性金属微粒子の表面にフェライトめっきによりフェライト層を形成した複合微粒子の模式的断面図である。
【図７】複合微粒子粉末を成形した成形体の一部の模式的断面図である。
【符号の説明】
【００８６】
２１…容器、２２…純水、２３…磁性金属微粒子、２４…空気、２５…攪拌装置、２６…２価鉄イオンを含有する水溶液、２７…ｐＨ調整液、２８…ｐＨメータ、４１−１…被覆がＮｉＺｎフェライトの磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の実数部、４１−２…被覆がＮｉＺｎフェライトの磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の虚数部、４２−１…被覆がＦｅＺｎフェライトの磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の実数部、４２−２…被覆がＦｅＺｎフェライトの磁性金属微粒子粉末成形体透磁率の虚数部、４３−１…被覆がＣｏフェライトの磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の実数部、４３−２…被覆がＣｏフェライトの磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の虚数部、４４−１…被覆がＦｅフェライトの磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の実数部、４４−２…被覆がＦｅフェライトの磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の虚数部、４５−１…被覆がＮｉＺｎフェライトで超音波を用いた磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の実数部、４５−２…被覆がＮｉＺｎフェライトで超音波を用いた磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の虚数部、４６−１…被覆がない磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の実数部、４６−２…被覆がない磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の虚数部、５１−１…実施例１で作製したフェライト被覆磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の実数部、５１−２…実施例１で作製したフェライト被覆磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の虚数部、５２−１…実施例４−３で作製したフェライト被覆磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の実数部、５２−２…実施例４−３で作製したフェライト被覆磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の虚数部、５３−１…実施例４−１で作製したフェライト被覆磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の実数部、５３−２…実施例４−１で作製したフェライト被覆磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の虚数部、５４−１…実施例４−２で作製したフェライト被覆磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の実数部、５４−２…実施例４−２で作製したフェライト被覆磁性金属微粒子粉末成形体の透磁率の虚数部、６１…磁性金属微粒子、６２…フェライト層、７１…磁性金属微粒子、７２…粒界のフェライト層。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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