(57)【要約】【課題】集電用グリッド電極の断線を防止できる安定した印刷方法を実現するための受光面電極形成用スクリーンを提供すること。【解決手段】細長い集電用メイン電極と細長い集電用グリッド電極とが互いに交差してなる受光面電極を所定方向にへら状のスキージを移動させて太陽電池セルの受光面に印刷するためのスクリーンであって、受光面電極に対応した形状のメッシュパターンを有し、メッシュパターンは、集電用メイン電極の形状に対応する第１パターンと、集電用グリッド電極の形状に対応する第２パターンが互いに交差してなり、第２パターンはスキージの移動方向に延び第１パターンへ入り込む導入部と、第１パターンからスキージの移動方向に延出し始める導出部とを有し、導入部の幅は導出部の幅よりも広い。【選択図】図１
2005150540.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
細長い集電用メイン電極と細長い集電用グリッド電極とが互いに交差してなる受光面電極を所定方向にへら状のスキージを移動させて太陽電池セルの受光面に印刷するためのスクリーンであって、受光面電極に対応した形状のメッシュパターンを有し、メッシュパターンは、集電用メイン電極の形状に対応する第１パターンと、集電用グリッド電極の形状に対応する第２パターンが互いに交差してなり、第２パターンはスキージの移動方向に延び第１パターンへ入り込む導入部と、第１パターンからスキージの移動方向に延出し始める導出部とを有し、導入部の幅は導出部の幅よりも広いことを特徴とする受光面電極形成用スクリーン。
【請求項２】
第２パターンは、導入部を基端としてそこからスキージの移動方向と逆方向へ向かって徐々に幅が狭くなる請求項１に記載の受光面電極形成用スクリーン。
【請求項３】
第２パターンは、導入部を基端としてそこからスキージの移動方向と逆方向へ向かって段階的に幅が狭くなる請求項１に記載の受光面電極形成用スクリーン。
【請求項４】
第２パターンは、導出部を基端としてそこからスキージの移動方向へ向かって段階的に幅が広くなる請求項１〜３のいずれか１つに記載の受光面電極形成用スクリーン。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の受光面電極形成用スクリーンを光電変換層の受光面上に配置し、前記スクリーン上に導電性金属ペーストを塗布し、前記スクリーン上でスキージを第２パターンの延びる方向に移動させて受光面上に導電性金属ペーストからなる受光面電極パターンを印刷する工程を備える太陽電池セルの製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載の太陽電池セルの製造方法によって製造された太陽電池セル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、受光面電極形成用スクリーンおよびそれを用いる太陽電池セルの製造方法、並びに、その製造方法で製造された太陽電池セルに関し、詳しくは、太陽電池セルの受光面上にスクリーン印刷法で受光面電極を印刷する際に用いられる受光面電極形成用スクリーンに関する。
【背景技術】
【０００２】
この発明に関連する従来技術としては、太陽電池セルの表面側に集電用メイン電極と集電用グリッド電極が互いに交差してなる受光面電極をスクリーン印刷法で形成する際に、集電用メイン電極に対して集電用グリッド電極を直交させるのではなく所定の角度に傾斜させて形成する太陽電池セルの製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
このような製造方法によれば、スムーズなスクリーン印刷を行うことができ、印刷かすれによる集電用グリッド電極の断線が防止できる。
【特許文献１】特開２０００−１８８４１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
図２９に示されるように、一般的な太陽電池セル１３０の受光面電極１３７は、平行な２本の集電用メイン電極１３９と、これら集電用メイン電極１３９に直交する複数の集電用グリッド電極１３８とから構成されている。
集電用メイン電極１３９は、モジュール化される際にインターコネクタが接続される部分であるためある程度の幅を有するが、集電用グリッド電極１３８はシャドーロスを少なくするために集電用メイン電極１３９と比較して非常に細く形成される。
【０００４】
受光面電極１３７の形成にあたっては、一般に図３０に示されるように、受光面電極１３７（図２９参照）の形状に対応したメッシュパターン１４１を有するスクリーン１４０が用いられる。以下、このようなスクリーン１４０を用いて受光面電極１３７をスクリーン印刷法で形成する工程について図３１および図３２に基づいて説明する。
【０００５】
まず、図３１に示されるように、スクリーン１４０を太陽電池セル１３０の上に配置し、スクリーン１４０のメッシュパターン１４１（図３０参照）上にスクレーパー１４２により銀ペースト１４３を均一に広げる。
次に、図３２に示されるように、印圧を加えながらスキージ１４４を移動方向Ｆへ移動させ、太陽電池セル１３０上に受光面電極１３７を印刷する。この際、スキージ１４４に移動方向Ｆは、銀ペースト１４３がスクリーン１４０のメッシュから抜け易くなるように、集電用グリッド電極１３８に対応する細いパターンが延びる方向に沿った方向であるのが一般的である。
【０００６】
しかしながら、以上のような工程を経て印刷された受光面電極１３７は、図２９のＬ部拡大図である図３３に示されるように、スキージ１４４の移動方向Ｆに向かって集電用メイン電極１３９へ接する集電用グリッド電極１３８の線幅が、集電用メイン電極１３９と接する箇所において設計値よりも細くなる傾向がある。
一方、スキージ１４４の移動方向Ｆへ向かって集電用メイン電極１３９から延出する集電用グリッド電極１３８は、その線幅が集電用メイン電極１３９から延出する箇所において設計値よりも太くなる傾向がある。
【０００７】
これらの現象は、スキージ１４４の移動方向Ｆに銀ペースト１４３のローリングによる力が働くためであると考えられる。
すなわち、スキージ１４４の移動方向Ｆに向かって集電用メイン電極１３９へ接する集電用グリッド電極１３８では、印刷工程時にグリッド中のペーストが集電用メイン電極１３９に引き込まれるため線幅が細くなると考えられる。
一方、スキージ１４４の移動方向Ｆへ向かって集電用メイン電極１３９から延出する集電用グリッド電極１３８では、印刷工程時に集電用メイン電極１３９からペーストが押し出されるため線幅が太くなると考えられる。
【０００８】
ところで、太陽電池セルの高効率化のためには、集電用グリッドは細く厚く形成されることが好ましいが、上述のように、グリッドの線幅が設計値よりも細く印刷されると断線の危険性が高まり、歩留まりや高効率化の障害となる。
また、線幅が設計値よりも太く印刷されるとシャドーロスの原因となるばかりでなく、高価な銀ペーストの使用量が増大することになりコストアップの原因ともなる。
【０００９】
このような課題を解決するためには、印刷工程において、集電用メイン電極の延びる方向に沿ってスキージを移動させることが考えられるが、この場合、集電用グリッドに対応した細いメッシュパターンに目詰まりが起きる恐れがある。
背景技術の項で紹介した従来の製造方法は、このような目詰まりの課題を解決するものであるが、受光面電極のパターンを従来から変更することなく、安定した印刷を行うことが求められている。
【００１０】
この発明は以上のような事情を考慮してなされたものであり、集電用グリッド電極の断線を防止できる安定した印刷方法を実現するための受光面電極形成用スクリーンを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
この発明は、細長い集電用メイン電極と細長い集電用グリッド電極とが互いに交差してなる受光面電極を所定方向にへら状のスキージを移動させて太陽電池セルの受光面に印刷するためのスクリーンであって、受光面電極に対応した形状のメッシュパターンを有し、メッシュパターンは、集電用メイン電極の形状に対応する第１パターンと、集電用グリッド電極の形状に対応する第２パターンが互いに交差してなり、第２パターンはスキージの移動方向に延び第１パターンへ入り込む導入部と、第１パターンからスキージの移動方向に延出し始める導出部とを有し、導入部の幅は導出部の幅よりも広いことを特徴とする受光面電極形成用スクリーンを提供するものである。
【発明の効果】
【００１２】
この発明によれば、集電用グリッド電極の形状に対応する第２パターンのうち、スキージの移動方向に延び集電用メイン電極の形状に対応する第１パターンと接する導入部は、第１パターンからスキージの移動方向に延出する導出部よりも幅が広く形成されるので、集電用グリッド電極のうち線幅が設計値よりも細く印刷されがちな前記導入部と対応する箇所が、ほぼ設計値通りの線幅で印刷され、集電用グリッド電極の断線が防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
この発明による受光面電極形成用スクリーンは、細長い集電用メイン電極と細長い集電用グリッド電極とが互いに交差してなる受光面電極を所定方向にへら状のスキージを移動させて太陽電池セルの受光面に印刷するためのスクリーンであって、受光面電極に対応した形状のメッシュパターンを有し、メッシュパターンは、集電用メイン電極の形状に対応する第１パターンと、集電用グリッド電極の形状に対応する第２パターンが互いに交差してなり、第２パターンはスキージの移動方向に延び第１パターンへ入り込む導入部と、第１パターンからスキージの移動方向に延出し始める導出部とを有し、導入部の幅は導出部の幅よりも広いことを特徴とする。
【００１４】
この発明による受光面電極形成用スクリーンにおいて、第２パターンは、導入部を基端としてそこからスキージの移動方向と逆方向へ向かって徐々に幅が狭くなってもよい。
【００１５】
また、この発明による受光面電極形成用スクリーンにおいて、第２パターンは、導入部を基端としてそこからスキージの移動方向と逆方向へ向かって段階的に幅が狭くなってもよい。
【００１６】
また、この発明による受光面電極形成用スクリーンにおいて、第２パターンは、導出部を基端としてそこからスキージの移動方向へ向かって段階的に幅が広くなってもよい。
【００１７】
また、この発明による受光面電極形成用スクリーンにおいて、第２パターンは、導出部を基端としてそこからスキージの移動方向へ向かって段階的に幅が広くなってもよい。
【００１８】
また、この発明は別の観点からみると、この発明による上述の受光面電極形成用スクリーンを光電変換層の受光面上に配置し、前記スクリーン上に導電性金属ペーストを塗布し、前記スクリーン上でスキージを第２パターンの延びる方向に移動させて受光面上に導電性金属ペーストからなる受光面電極パターンを印刷する工程を備える太陽電池セルの製造方法を提供するものでもある。
【００１９】
また、この発明はさらに別の観点からみると、この発明による上述の太陽電池セルの製造方法によって製造された太陽電池セルを提供するものでもある。
【００２０】
以下にこの発明の実施例による受光面電極形成用スクリーンおよびそれを用いた太陽電池セルの製造方法、並びに、その製造方法で製造された太陽電池セルについて図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００２１】
受光面電極形成用スクリーン
この発明の実施例１による受光面電極形成用スクリーンについて図１および図２に基づいて説明する。図１は実施例１による受光面電極形成用スクリーンの平面図、図２は図１のＡ部拡大図である。
【００２２】
図１に示されるように、実施例１による受光面電極形成用スクリーン１０は、受光面電極２７（図９参照）に対応した形状のメッシュパターン１１を有し、メッシュパターン１１は、集電用メイン電極２９（図９参照）の形状に対応する第１パターン１２と、集電用グリッド電極２８（図９参照）の形状に対応する第２パターン１３が互いに交差して構成されている。
図１および図２に示されるように、第２パターン１３はスキージ２６（図８参照）の移動方向Ｆに延び第１パターン１２と接する導入部１３ａと、第１パターン１２からスキージ２６の移動方向Ｆに延出する導出部１３ｂとを有し、導入部１３ａの幅は導出部１３ｂの幅よりも広く形成されている。
【００２３】
図１に示される受光面電極形成用スクリーン１０は、３２０ｍｍ×３２０ｍｍの寸法を有する枠体１４と、ＳＵＳ２５０からなるメッシュ１５と、メッシュ１５と一体化された乳剤１６とから主に構成され、メッシュパターン１１に対応する部分のみ乳剤１６が欠損している。
図２に示される第１パターン１２は幅Ｗ３が１．５ｍｍである。一方、第２パターン１３は導入部１３ａの幅Ｗ１が１５０μｍ、導出部１３ｂの幅Ｗ２が１２５μｍである。第２パターン１３は導入部１３ａ側と導出部１３ｂ側で上記の通り幅が異なるが、いずれも一定の幅を維持したままストレート形状で延びている。
【００２４】
太陽電池セルの製造
まず、図３に示されるように、ワイヤーソーにより１２５ｍｍ角、厚さ３００μｍにスライスされたｐ型シリコンウエハ２０にアルカリエッチングを施し、スライス時におけるダメージ層を除去する。
次に、図４に示されるように、受光面となるウエハ２０の表面にリン（Ｐ）系の化合物を含有したｎ型の不純物を塗布し、８００〜９００℃の熱拡散により面抵抗値が約５０Ωのｎ型拡散層２１を形成する。
【００２５】
次に、図５に示されるように、ウエハ２０の受光面に反射防止膜２２（ＡＲＣ）として膜厚７０〜１００μｍのＳｉＮ膜をプラズマＣＶＤ法で形成する。
次に、図６（ａ）および図６（ｂ）に示されるように、ウエハ２０の裏面にアルミペーストをスクリーン印刷法により印刷し、１５０℃程度で乾燥させた後、７００〜８００℃程度で焼成し、不純物となるアルミを拡散させてＰ+層からなるＢＳＦ層（図示せず）を形成すると共に裏面集電極２３を形成する。
なお、この裏面集電極２３の形成の際、図６（ｂ）に示されるように、裏面集電極の一部に後の工程で裏面配線用電極３０（図１１参照）を形成するための開口部２３ａを形成しておく。
【００２６】
次に、図７に示されるように、ウエハ２０の表面上に上述の受光面電極形成用スクリーン１０を配置し、受光面電極形成用スクリーン１０のパターン（図示せず）上に銀ペースト２４（粘度３５０Ｐａ・ｓ（１０ｒｐｍにおける粘度））をスクレーパー２５で均一に広げる。
次に、図８に示すように、印圧を加えながらスキージ２６を移動方向Ｆへ移動させ、ウエハ２０上に受光面電極２７（図９参照）を印刷する。なお、スキージ２６の移動方向Ｆは、第２パターン１３（図１参照）の延びる方向に沿っている。
【００２７】
このような工程を経て印刷された受光面電極を図９および図１０に示す。図１０は図９のＢ部拡大図である。
図９および図１０に示されるように、実施例１による受光面電極形成用スクリーン１０（図１参照）を用いて印刷された受光面電極２７の集電用グリッド電極２８は、第２パターン１３の導入部１３ａおよび導出部１３ｂとそれぞれ対応する導入部対応部２８ａおよび導出部対応部２８ｂにおいて、線幅がほぼ等しく印刷されている。
特に、第２パターン１３の導入部１３ａと対応する導入部対応部２８ａにおいて、十分な線幅が確保されているため断線が発生し難く、歩留まりの向上に寄与する。
【００２８】
次に、図１１に示されるように、裏面集電極２３の開口部２３ａに銀ペーストをスクリーン印刷法で印刷し、１５０℃程度で乾燥させた後、７００〜８００℃程度で焼成して裏面配線用電極３０を形成する。なお、この焼成の際にウエハ２０の受光面に印刷された受光面電極２７が反射防止膜２２をファイヤースルーし、受光面電極２７とウエハ２０とのオーミックコンタクトが得られる。
その後、はんだディップを行うことにより受光面電極２７および裏面配線用電極３０の表面がはんだ層３１で被覆され、実施例１による太陽電池セル４０が完成する。
【実施例２】
【００２９】
この発明の実施例２について図１３〜１６に基づいて説明する。図１３は実施例２による受光面電極形成用スクリーンの平面図、図１４は図１３のＣ部拡大図、図１５は実施例２による受光面電極形成用スクリーンを用いて印刷された受光面電極の平面図、図１６は図１５のＤ部拡大図である。
【００３０】
実施例２では、実施例１で用いた図１に示される受光面電極形成用スクリーン１０の代わりに、図１３に示される受光面電極形成用スクリーン５０を用いる。それ以外は太陽電池セルの製造工程を含めて実施例１と同一である。
図１３および図１４に示されるように、実施例２による受光面電極形成用スクリーン５０は、第２パターン５３が、導入部５３ａを基端としてそこからスキージ２６（図８参照）の移動方向Ｆと逆方向へ向かって徐々に幅が狭くなっている。
【００３１】
図１４に示される第１パターン５２は、幅Ｗ７が１．５ｍｍである。一方、第２パターン５３の導入部５３ａは幅Ｗ４が１５０μｍで、そこからスキージ２６の移動方向Ｆと逆方向へ向かって徐々に幅が狭くなり先端の幅Ｗ５が１２５μｍとなっている。
また、第２パターン５３の導出部５３ｂは幅Ｗ６が１２５μｍで、導出部５３ｂ側はこの幅を維持したままストレート形状で延びている。
【００３２】
図１５および図１６に示されるように、実施例２による受光面電極形成用スクリーン５０を用いて印刷された受光面電極６７の集電用グリッド電極６８は、実施例１と同様に、第２パターン５３の導入部５３ａおよび導出部５３ｂとそれぞれ対応する導入部対応部６８ａおよび導出部対応部６８ｂにおいて、線幅がほぼ等しく印刷されており、断線が発生し難い。
また、導入部対応部６８ａ側が先細に形成されているため、シャドーロスが少なくなり、特性のよい太陽電池セルが得られる。
【実施例３】
【００３３】
この発明の実施例３について図１７〜２０に基づいて説明する。図１７は実施例２による受光面電極形成用スクリーンの平面図、図１８は図１７のＥ部拡大図、図１９は実施例３による受光面電極形成用スクリーンを用いて印刷された受光面電極の平面図、図２０は図１９のＧ部拡大図である。
【００３４】
実施例３では、実施例１で用いた図１に示される受光面電極形成用スクリーン１０の代わりに、図１７に示される受光面電極形成用スクリーン７０を用いる。それ以外は太陽電池セルの製造工程を含めて実施例１と同一である。
図１７および図１８に示されるように、実施例３による受光面電極形成用スクリーン７０は、第２パターン７３が、導入部７３ａを基端としてそこからスキージ２６（図８参照）の移動方向Ｆと逆方向へ向かって段階的に幅が狭くなっている。
【００３５】
図１８に示される第１パターン７２は、幅Ｗ１１が１．５ｍｍである。一方、第２パターン７３の導入部７３ａは、導入部７３ａからスキージ２６の移動方向Ｆと逆方向へ向かって１ｃｍの区間の幅Ｗ８が１５０μｍで、１ｃｍを超えた箇所で幅Ｗ９が１２５μｍに狭められ、そこから先端まではこの幅を維持したままストレート形状で延びている。
また、第２パターン７３の導出部７３ｂは幅Ｗ１０が１２５μｍで、導出部７３ｂ側はこの幅を維持したままストレート形状で延びている。
【００３６】
図１９および図２０に示されるように、実施例２による受光面電極形成用スクリーン７０を用いて印刷された受光面電極８７の集電用グリッド電極８８は、実施例１と同様に、第２パターン７３の導入部７３ａおよび導出部７３ｂとそれぞれ対応する導入部対応部８８ａおよび導出部対応部８８ｂにおいて、線幅がほぼ等しく印刷されており、断線が発生し難い。
また、集電用グリッド電極８８の導入部対応部８８ａ側が、断線の恐れの高い箇所、すなわち導入部対応部８８ａでのみ通常より若干太く形成され、そこからは先へは通常の太さで形成されるため、シャドーロスが最小限に抑えられ、より特性のよい太陽電池セルが得られる。
【実施例４】
【００３７】
この発明の実施例４について図２１〜２４に基づいて説明する。図２１は実施例４による受光面電極形成用スクリーンの平面図、図２２は図２１のＨ部拡大図、図２３は実施例４による受光面電極形成用スクリーンを用いて印刷された受光面電極の平面図、図２４は図２３のＩ部拡大図である。
【００３８】
実施例４では、実施例１で用いた図１に示される受光面電極形成用スクリーン１０の代わりに、図２１に示される受光面電極形成用スクリーン９０を用いる。それ以外は太陽電池セルの製造工程を含めて実施例１と同一である。
図２１および図２２に示されるように、実施例４による受光面電極形成用スクリーン９０は、第２パターン９３が、導出部９３ｂを基端としてそこからスキージ２６（図８参照）の移動方向Ｆへ向かって段階的に幅が広くなっている。
【００３９】
図２２に示される第１パターン９２は、幅Ｗ１５が１．５ｍｍである。一方、第２パターン９３の導入部９３ａは幅Ｗ１２が１２５μｍで、導入部９３ａ側はこの幅を維持したままストレート形状で延びている。
また、第２パターン９３の導出部９３ｂは、導出部９３ｂからスキージ２６の移動方向Ｆへ向かって１ｃｍの区間の幅Ｗ１３が１００μｍで、１ｃｍを超えた箇所で幅Ｗ１４が１２５μｍに広げられ、そこから先端まではこの幅を維持したままストレート形状で延びている。
【００４０】
図２３および図２４に示されるように、実施例４による受光面電極形成用スクリーン９０を用いて印刷された受光面電極１０７の集電用グリッド電極１０８は、設計値以上に線幅が太く印刷されがちな第２パターン９３の導出部９３ｂと対応する導出部対応部１０８ｂにおいて、線幅が必要以上に太く印刷されず、適切な線幅で印刷されるため、シャドーロスが少なくなっている。
【００４１】
比較例
上述の実施例１〜４に対する比較例として作製した太陽電池セルについて図２５〜図２８に基づいて説明する。図２５は比較例に係る受光面電極形成用スクリーンの平面図、図２６は図２５のＪ部拡大図、図２７は比較例による受光面電極形成用スクリーンを用いて印刷された受光面電極の平面図、図２８は図２７のＫ部拡大図である。
【００４２】
比較例では、実施例１で用いた図１に示される受光面電極形成用スクリーン１０の代わりに、図２５に示される受光面電極形成用スクリーン１１０を用いる。それ以外は太陽電池セルの製造工程を含めて実施例１と同一である。
図２５および図２６に示されるように、比較例による受光面電極形成用スクリーン１１０は、第２パターン１１３が、導入部１１３ａおよび導出部１１３ｂともに同一の幅Ｗ１６，Ｗ１７を有し、導入部１１３ａ側および導出部１１３ｂ側ともにストレート形状で延びている。
図２６に示される導入部１１３ａおよび導出部１１３ｂの幅Ｗ１６，Ｗ１７はいずれも１２５μｍである。一方、第１パターン１１２の幅Ｗ１８は、実施例１〜４と同様に１．５ｍｍである。
【００４３】
図２７および図２８に示されるように、比較例による受光面電極形成用スクリーン１１０を用いて印刷された受光面電極１２７の集電用グリッド電極１２８は、第２パターン１１３の導入部１１３ａと対応する導入部対応部１２８ａにおいて、線幅が設計値以上に細く印刷され、断線の危険性が高い。
また、第２パターン１１３の導出部１１３ｂと対応する導出部対応部１２８ｂでは、線幅が設計値以上に太く印刷され、シャドーロスが大きくなっている。
【００４４】
実施例１〜４と比較例との比較
ここで、比較例による太陽電池セルに対する、実施例１〜４による太陽電池セルの各特性の変化率を表１に示す。
【００４５】
【表１】
2005150540.tif 000003
【００４６】
ここで、Ｉｓｃは短絡電流、Ｖｏｃは開放電圧、ＦＦは曲線因子、Ｐｍは最大電流である。また、表１に示される変化率は、比較例による太陽電池セル１００枚あたりの平均値と、各実施例の太陽電池セル１００枚あたりの平均値とを比較したものである。
【００４７】
表１に示されるように、実施例１による太陽電池セルでは、集電用グリッド電極のうち、導入部側の線幅が拡大された分だけシャドーロスが大きくなり、Ｉｓｃの低下がみられるが、ＦＦの安定性が良くなっているため、結果としてはＰｍが増大している。
【００４８】
実施例２による太陽電池セルでは、集電用グリッド電極が、導入部と対応する部分においてのみ太く形成され、そこから先端へ向かって先細に形成されるためシャドーロスが少なくなり、さらにＰｍが増大している。
【００４９】
実施例３による太陽電池セルでは、集電用グリッド電極が、断線の危険性が高い部分、すなわち導入部と対応する部分においてのみ太く形成され、そこから先端へ向かっては従来通りの線幅で形成されるため、シャドーロスがさらに少なくなり、より一層Ｐｍが増大している。
【００５０】
実施例４による太陽電池セルでは、集電用グリッド電極が、設計値よりも太く印刷されがちな導出部と対応する箇所において、必要以上に線幅が太く印刷されず適切な線幅で印刷されているため、シャドーロスの低下分だけＩｓｃが向上しているが、導入部側は従来例と同じであるため、ＦＦの向上効果はみられずＰｍの増大も僅かである。
【００５１】
これらの比較結果を参考に、実施例１〜４を適切に組み合わせることにより、より最適な受光面電極形成用スクリーンが得られ、特性の優れた太陽電池セルを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】この発明の実施例１による受光面電極形成用スクリーンの平面図である。
【図２】図１のＡ部拡大図である。
【図３】実施例１による太陽電池セルの製造工程を示す工程図である。
【図４】実施例１による太陽電池セルの製造工程を示す工程図である。
【図５】実施例１による太陽電池セルの製造工程を示す工程図である。
【図６】実施例１による太陽電池セルの製造工程を示す工程図であり、（ａ）は側面からみた状態、（ｂ）は裏面からみた状態を示している。
【図７】実施例１による太陽電池セルの製造工程を示す工程図である。
【図８】実施例１による太陽電池セルの製造工程を示す工程図である。
【図９】実施例１による受光面電極形成用スクリーンを用いて印刷された受光面電極の平面図である。
【図１０】図９のＢ部拡大図である。
【図１１】実施例１による太陽電池セルの製造工程を示す工程図であり、（ａ）は側面からみた状態、（ｂ）は裏面からみた状態を示している。
【図１２】実施例１による太陽電池セルの製造工程を示す工程図である。
【図１３】実施例２による受光面電極形成用スクリーンの平面図である。
【図１４】図１３のＣ部拡大図である。
【図１５】実施例２による受光面電極形成用スクリーンを用いて印刷された受光面電極の平面図である。
【図１６】図１５のＤ部拡大図である。
【図１７】実施例３による受光面電極形成用スクリーンの平面図である。
【図１８】図１７のＥ部拡大図である。
【図１９】実施例３による受光面電極形成用スクリーンを用いて印刷された受光面電極の平面図である。
【図２０】図１９のＧ部拡大図である。
【図２１】実施例４による受光面電極形成用スクリーンの平面図である。
【図２２】図２１のＨ部拡大図である。
【図２３】実施例４による受光面電極形成用スクリーンを用いて印刷された受光面電極の平面図である。
【図２４】図２３のＩ部拡大図である。
【図２５】比較例による受光面電極形成用スクリーンの平面図である。
【図２６】図２５のＪ部拡大図である。
【図２７】比較例による受光面電極形成用スクリーンを用いて印刷された受光面電極の平面図である。
【図２８】図２７のＫ部拡大図である。
【図２９】従来のスクリーンを用いて印刷された受光面電極の平面図である。
【図３０】従来のスクリーンの平面図である。
【図３１】従来のスクリーンを用いて受光面電極を印刷する工程を示す工程図である。
【図３２】従来のスクリーンを用いて受光面電極を印刷する工程を示す工程図である。
【図３３】図２９のＬ部拡大図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０，５０，７０，９０，１１０・・・受光面電極形成用スクリーン
１１，１４１・・・メッシュパターン
１２，５２，７２，９２，１１２・・・第１パターン
１３，５３，７３，９３，１１３・・・第２パターン
１３ａ，５３ａ，７３ａ，９３ａ，１１３ａ・・・導入部
１３ｂ，５３ｂ，７３ｂ，９３ｂ，１１３ｂ・・・導出部
１４・・・枠体
１５・・・メッシュ
１６・・・乳剤
２０・・・ウエハ
２１・・・ｎ型拡散層
２２・・・反射防止膜
２３・・・裏面集電極
２４，１４３・・・銀ペースト
２５，１４２・・・スクレーパー
２６，１４４・・・スキージ
２７，６７，８７，１０７，１２７，１３７・・・受光面電極
２８，６８，８８，１０８，１２８，１３８・・・集電用グリッド電極
２８ａ，６８ａ，８８ａ・・・導入部対応部
２８ｂ，６８ｂ，８８ｂ，１０８ｂ・・・導出部対応部
２９，１３９・・・集電用メイン電極
３０・・・裏面配線用電極
３１・・・はんだ層
４０，１３０・・・太陽電池セル
１４０・・・スクリーン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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