(57)【要約】【課題】  π−１モードなどのスプリアスの発振を抑制し、フィルタを挿入しなくても、スプリアスの放射を抑制することができるマグネトロンを提供する。【解決手段】  陰極２の周囲に、ほぼ同じ周波数で共振する複数の共振空洞１３からなる陽極空洞共振器１が設けられ、主発振モードが所定の周波数で発振するように、図示しないポールピースやマグネットなどと共にマグネトロンが形成されている。この陽極空洞共振器１には、さらに主発振モードが発振する周波数と異なる周波数で共振する不要モード共振空洞６が、陽極空洞共振器１と電気的および／または磁気的に結合するように、少なくとも１個設けられている。【選択図】        図１
2005093082.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
陰極と、該陰極の周囲に設けられ、ほぼ同じ周波数で共振する複数の共振空洞からなる陽極空洞共振器とを有し、主発振モードが所定の周波数で発振するように形成されるマグネトロンにおいて、前記主発振モードが発振する周波数と異なる周波数で共振する不要モード共振空洞が、前記陽極空洞共振器と電気的および／または磁気的に結合するように、少なくとも１個設けられていることを特徴とするマグネトロン。
【請求項２】
陰極と、該陰極の周囲に設けられ、ほぼ同じ周波数で共振する複数の共振空洞からなる陽極空洞共振器と、該陽極空洞共振器と結合され、該陽極空洞共振器で発振するマイクロ波を、アンテナを介して取り出す出力部とを有し、主発振モードが所定の周波数で発振するように形成されるマグネトロンにおいて、前記主発振モードが発振する周波数と異なる周波数で共振する不要モード共振空洞が、前記出力部と電気的および／または磁気的に結合するように、少なくとも１個設けられていることを特徴とするマグネトロン。
【請求項３】
前記不要モード共振空洞内に、電波吸収体が設けられてなる請求項１または２記載のマグネトロン。
【請求項４】
前記不要モード共振空洞が、前記陽極空洞共振器で発生するスプリアス放射の周波数とほぼ一致する周波数で共振するように形成されてなる請求項１、２または３記載のマグネトロン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ波を発振するマグネトロンに関する。さらに詳しくは、スプリアスモードの発振を効果的に抑制することができる構造のマグネトロンに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、マイクロ波を放射する装置に対して、スプリアス放射の規制が厳しくなる傾向にある。その傾向の中にあって、発振管であるマグネトロンは、その発振機構上スプリアス放射抑制が困難なデバイスである。しかし、マグネトロンは低価格、かつ、取扱いが容易で大出力が得られることから、レーダ装置などの送信機に広く用いられている。そのため、マグネトロンのスプリアス放射を抑える製品開発が進められている。
【０００３】
一般的にマグネトロンは、主発振モードとしてπモードと呼ばれる隣接する空洞間がπラジアンの位相差となるモードで発振させている。しかしながら、マグネトロンは、その構造からこのπモード以外の沢山の共振モードを有している。ベーンストラップタイプのマグネトロンにおいて、一般的にマグネトロンが放射するスプリアス成分の中で最大のものは、π−１モードとよばれる成分で、πモードの発振周波数に対して、１.１〜２倍程
度の周波数の不要輻射を発生させる。通常は、このπモードとπ−１モードの出力レベルの比は、−３０〜−５０ｄＢｃ（基本波レベルとの比較デシベル値）程度得られているが、混信やノイズ源とならないように、さらに高いレベルでスプリアス輻射を抑制する必要がある。
【０００４】
これらマグネトロンのスプリアス輻射を抑制するため、図７に示されるように、マグネトロン５０のアンテナ５１からπモードの基本波と共に、導波管５２内に伝送されたスプリアス発振波を、導波管５２に接続されたフィルタ５３により減衰させる回路構成が考えられている。なお、図７で５５はアノードシェル、５６はベーン、５７はストラップをそれぞれ示している。
【０００５】
フィルタとしては、主発振モードの周波数を通過し、スプリアス成分のπ−１モードを通過しないような、帯域通過フィルタ、低域通過フィルタ、帯域阻止フィルタなどの使用が考えられている（たとえば特許文献１参照）。フィルタを装着することにより、通過帯域幅となるπモードの基本波発振は、問題なく通過するが、たとえばπモードより高い周波数にあるπ−１モードのスプリアス発振は、フィルタにより遮断され、負荷側に伝送されないことになる。
【特許文献１】特開平２００１−３５３９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述のように、マグネトロンでは、スプリアス発振波が出力部から輻射されるため、レーダセット内にフィルタを装着する必要が生じる。しかしながら、レーダセットは、船舶などの高い位置に取り付けられることが多く、軽量で小型に設計することが要求され、フィルタの装着と相反することになる。また、フィルタの加工精度は、基本波以外の減衰量を確保しつつ、基本波を減衰させずに通過させる必要があることから、精度の高い寸法での加工が必要となり、コストが高くなるという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、マグネトロンでとくに問題となるπ−１モードなどのスプリアスの発振を抑制し、フィルタを挿入しなくても、スプリアスの放射を抑制することができるマグネトロンを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によるマグネトロンは、陰極と、該陰極の周囲に設けられ、ほぼ同じ周波数で共振する複数の共振空洞からなる陽極空洞共振器とを有し、主発振モードが所定の周波数で発振するように形成されるマグネトロンにおいて、前記主発振モードが発振する周波数と異なる周波数で共振する不要モード共振空洞が、前記陽極空洞共振器と電気的および／または磁気的に結合するように、少なくとも１個設けられていることを特徴とする。ここに電気的とは電流または電界による結合を意味し、磁気的とは磁界により結合することを意味する。
【０００９】
また、本発明によるマグネトロンの他の形態は、陰極と、該陰極の周囲に設けられ、ほぼ同じ周波数で共振する複数の共振空洞からなる陽極空洞共振器と、該陽極空洞共振器と結合され、該陽極空洞共振器で発振するマイクロ波を、アンテナを介して取り出す出力部とを有し、主発振モードが所定の周波数で発振するように形成されるマグネトロンにおいて、前記主発振モードが発振する周波数と異なる周波数で共振する不要モード共振空洞が、前記出力部と電気的および／または磁気的に結合するように、少なくとも１個設けられていることを特徴とする。
【００１０】
前記不要モード共振空洞内に、電波吸収体が設けられることにより、主発振モードと異なる周波数のマイクロ波を不要モード共振空洞内に引き込んで消滅させることができるため好ましい。
【００１１】
前記不要モード共振空洞が、前記陽極空洞共振器で発生するスプリアス放射の周波数とほぼ一致する周波数で共振するように形成されていることにより、スプリアス放射を有効に除去することができる。
【発明の効果】
【００１２】
この構造にすることにより、陽極空洞共振器内で発生する主発振モードと異なる周波数の発振、たとえばπ−１モードのスプリアスは、その周波数で共振するように形成された不要モード共振空洞が陽極空洞共振器または出力部と結合するように設けられているため、そのπ−１モードのスプリアスは不要モード共振空洞内に引き込まれ、減衰させることができる。そのため、マグネトロンの出力部から陽極空洞共振器側を見たπ−１モードのＱ値は非常に低下する。一方、主発振モード、たとえばπモードの周波数のマイクロ波に対しては、不要モード共振空洞と殆ど結合しないため、必要な周波数のマイクロ波は減衰することがなく、πモードの共振のＱ値を非常に高く維持することができる。
【００１３】
たとえばπ−１モードのスプリアス発振の周波数で共振するように不要モード共振空洞が形成されることにより、主発振モードのπモード発振には影響を受けることなく、π−１モード発振の出力を非常に小さくすることができ、フィルタを付加しなくても、スプリアスとしての影響を殆ど与えないマグネトロンとすることができる。なお、この不要モード共振空洞は、１個でなくても同じ共振周波数のものを複数個設けることもできるし、たとえばπ−１モードとその他のスプリアスを減衰させる必要がある場合には、そのスプリアスの周波数で共振する不要モード共振空洞を、さらに陽極空洞共振器と結合するように設けることにより、同様に出力側から見た陽極空洞共振器における、そのスプリアスの共振のＱ値を低下させ、スプリアスの輻射を抑制することができる。
【００１４】
その結果、フィルタを取り付ける必要がなくなり、スペース効率を阻害したり、重量増を余儀なくされたりすることがなく、船舶の高い位置に取り付ける場合でも容易に取り付けることができ、レーダ装置などの送信機器の低コスト化に大きく寄与する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
つぎに、図面を参照しながら本発明のマグネトロンについて説明をする。本発明によるマグネトロンは、図１にその一実施形態の断面説明図が示されるような構造になっている。すなわち、陰極２の周囲に、ほぼ同じ周波数で共振する複数の共振空洞１３からなる陽極空洞共振器１が設けられ、主発振モードが所定の周波数で発振するように、図示しないポールピースやマグネットなどと共にマグネトロンが形成されている。この陽極空洞共振器１には、さらに主発振モードが発振する周波数と異なる周波数で共振する不要モード共振空洞６が、陽極空洞共振器１と電気的および／または磁気的に結合するように、少なくとも１個設けられていることに特徴がある。
【００１６】
マグネトロンの基本的な構成は、たとえば図１に横断面の説明図が示されるように、たとえば無酸素銅などからなる円筒状のアノードシェル１１の内周壁に、一端部が固着され、その一端部と対向する先端部がアノードシェル１１の中心に向かって放射状に延びるように、複数個のベーン（陽極片）１２が設けられることにより隣接するベーン１２間に共振空洞１３が複数個形成され、この複数個の共振空洞１３の全体で陽極空洞共振器１が形成されており、その陽極空洞共振器１の中心部に陰極２が設けられている。このベーン１２を１個おきにストラップ１４により連結して、それぞれπラジアン位相を異ならせることにより、πモード発振をしやすい構造に形成されている。そして、ベーン１２の先端部と陰極２とが対向する作用空間３に陰極２とほぼ平行な磁界を印加し得るように、紙面と垂直方向から図示しない１組の鉄などからなるポールピースが設けられて磁界が印加される構成になっており、作用空間に印加される電磁界により電子が運動してエネルギーを空洞に与えることにより共振するように形成されている。
【００１７】
図１に示される例では、アノードシェルの内周壁に複数枚のベーンを固着して共振空洞を複数個形成するベーン構造のマグネトロンが示されているが、陽極がスリットにより分割されて多分割にされたものや、ラインジングサン型など、複数個の小空洞により陽極空洞共振器が形成される構造であればよい。
【００１８】
陽極空洞共振器１で発振した主発振モードであるπモードの発振出力は、たとえば陽極空洞共振器の一つの共振空洞と結合させた出力ループ４１を介して、出力アンテナ４２から放射されるように、同軸部の外導体を構成する出力管４３および出力セラミックス４４などからなる真空壁により被覆されて出力部４が形成されている。この出力セラミックス４４の部分が、たとえば図１に示されるように導波管２０と結合されることにより、導波管２０内に発振したマイクロ波出力が伝送される。導波管２０を介さないで、同軸出力によりマイクロ波を伝送する場合もある。この際、主発振モード以外のモード、たとえばπ−１モードなどのスプリアス発振の出力も小さいながら混入する。本発明では、このようなスプリアスの出力をできるだけ減衰させるため、不要モード共振空洞６が、陽極空洞共振器１または出力部４に電気的および／または磁気的に結合するように設けられている。
【００１９】
図１に示される例では、陽極空洞共振器１の一つの共振空洞１３と結合するように、結合窓５を介して不要モード共振空洞６が設けられている。この不要モード共振空洞６は、陽極空洞共振器１と連通しており、空洞壁６ａにより真空を維持できるように形成されているが、アノードシェル１と結合窓５の境界部でセラミックスなどにより真空壁が形成されれば、不要モード共振空洞６を形成する空洞壁６ａは真空壁を構成する必要はない。結合窓５は、所望のある周波数帯を通過させ、所望のある周波数帯の通過を阻止するように形成され、図１に示される例では、リッジ部５ａがくしの歯状に形成されたリッジ構造に形成されている。しかし、リッジ構造でなくても、結合窓の一部の幅広面の間隔を狭くし、周波数特性を持たせたリアクタンス窓により形成することもできる。
【００２０】
一般的に、πモードを主発振モードとするマグネトロン放射のスプリアス成分の中で最
大のものは、π−１モードと呼ばれる成分である。そこで、一例としてこのπ−１モードのスプリアスを低減する方法で説明を行う。しかし、他のスプリアスでも同様に低減できることは言うまでもない。
【００２１】
πモードの発振周波数を９.４ＧＨｚとすると、π−１モードのスプリアス周波数を１
０.５ＧＨｚ程度に設定することは、ストラップ１４などの設計により、コントロール可
能である。そして、結合窓５の特性を、π−１モードの周波数を通過させ、１.１ＧＨｚ
離れたπモードの周波数を遮断する特性に設計する。そうすることにより、不要モード共振空洞６には、πモードには影響を与えることなく、π−１モードのスプリアスを導くことができる。このπ−１モードの結合度を高くしておくことにより、出力部４から陽極空洞共振器１側を見たときのπ−１モードのＱ値は、著しく低下する。さらに、不要モード共振空洞６の寸法を、π−１モードの周波数で共振させるように形成しておくことにより、π−１モードの結合度を充分に上げることができる。したがって、出力部４からは、πモードの出力は従来どおりで影響なく輻射され、π−１モードの出力は、殆ど輻射されず、スプリアスの抑制されたスペクトラム特性を有する良質のマイクロ波を供給することができる。
【００２２】
図１に示される例では、不要モード共振空洞６内に、電波吸収体７が設けられている。この電波吸収体７としては、たとえばテフロン（登録商標）、セラミック系材料、ＳｉＣ、金属粉末と絶縁物の混合物質などを用いることができる。前述のように、結合窓５は、π−１モードとは結合度が大きく、πモードとは結合度が小さくて殆ど遮断するように形成されているため、不要モード共振空洞６内には、πモードの発振出力は殆ど導かれず、π−１モードの成分のみが導かれる。その結果、電波吸収体７が設けられることにより、不要モード共振空洞６内に導かれたπ−１モードの成分のみが吸収されて減衰する。そして、不要モード共振空洞６のＱ値を下げた状態でπ−１モードの結合度を高くすることができ、出力部４から陽極空洞共振器１側を見たときのπ−１モードのＱ値は、著しく低下する。したがって、電波吸収体７を設けない場合よりもさらに一層、出力部４からは、πモードのみでπ−１モードは殆ど輻射されず、スプリアスの抑制されたスペクトラム特性を有する良質のマイクロ波を供給することができる。
【００２３】
以上のように、本発明によれば、主発振モードであるπモードについては安定に動作し、スプリアスであるπ−１モードについては、Ｑ値の低下により発振が不安定となり、π−１モード発振が発生し難くなる。すなわち、所望のスプリアスの周波数に合せた不要モード共振空洞を結合させることにより、スプリアスを殆ど発生しなくすることができる。
【００２４】
図２は、図１の変形例を示す図１と同様の図で、図１と同じ部分には同じ符号を付してその説明を省略する。すなわち、図１に示される構造では、陽極空洞共振器１と不要モード共振空洞６との結合が結合窓５を介して行われていたが、この例では、１個のベーン１２に接続された内軸線８の他端が不要モード共振空洞６内に挿入される半同軸による結合である点で異なっている。不要モード共振空洞６は、その内軸線８と空洞壁６ａとにより形成され、内軸線８の長さ（アノードシェル１１の外壁から先端までの長さ）がスプリアス、たとえばπ−１モードの周波数の電気長のおよそ半波長の長さに形成され、共振空洞がπ−１モードの周波数で共振するように形成されている。
【００２５】
不要モード共振空洞６がこのように同軸構造で形成されることにより、図１に示される構造と同様に、不要モード共振空洞６は、π−１モードの周波数に対しては共振し、陽極空洞共振器１と大きな結合度で結合するが、主発振モードであるπモードの周波数に対しては殆ど結合しないため、π−１モードのマイクロ波が不要モード共振空洞６内に導かれ、電波吸収体７により吸収されて減衰する。そのため、π−１モードのＱ値は著しく低下するが、πモードに対しては減衰することなく高いＱ値を維持することができる。その結
果、出力部４からは、πモードは従来通りで影響なく輻射され、π−１モードは輻射されないという、スプリアスの抑制されたスペクトラム特性を有する良質のマイクロ波を供給することができる。この構造にすることにより、簡単な構造で構成できるという利点がある。
【００２６】
なお、図２において、９は同調機構で、空洞壁６ａを押すことにより、不要モード共振空洞６の容積や電波吸収体７の位置を変えて共振周波数を調整するものである。この同調機構９は、図１に示される構造でも同様に形成することができる。同調機構が設けられることにより、スプリアスの波長に共振を的確に合せることができるため、出力部から陽極空洞共振器１側を見たときのスプリアスの共振のＱ値を確実に低くすることができ、マグネトロンは、安定に主発振モードであるπモードの周波数で発振することになる。
【００２７】
同調機構９は、たとえば図６（ａ）に、空洞壁６ａ（図２参照）の側壁部に同調機構が形成される場合の部分断面説明図が示されるように、側壁２１の一部を薄くした薄壁部２１ａを形成しておき、その外壁部に押え板２２と共にネジ２３を取り付けることにより、ネジ２３の回転で、薄壁部２１ａが空洞内に押し出されたり、戻ったりして変形し、リアクタンスが変化するため共振周波数を調整することができる。このような構造にすれば、不要モード共振空洞６が陽極空洞共振器１と連通して内部が真空になっていても、外部から自由に共振周波数を調整することができる。しかし、内軸線８の引出し部でセラミックスなどにより真空領域が遮断されている場合には、ただ単に空洞側壁からビスをねじ込む構造でもよい。また、同調機構９は、たとえば図１に示されるリッジ構造の結合窓の場合には、その出口部分５ｂ（不要モード共振空洞６側）に、図６（ｂ）に示されるように、調整ネジ２４を挿入することによっても同様に共振周波数を調整することができる。この場合も結合窓５の部分でセラミックスなどにより真空領域を遮断するか、調整ネジ２４部分で真空壁を維持する構造にする必要がある。
【００２８】
図３および図４は、図２のさらなる変形例を示す同様の断面説明図である。これらの図においても、図１と同じ部分には同じ符号を付してその説明を省略する。図３に示される例では、内軸線８の長さが、不要モード、たとえばπ−１モードの周波数の半波長に形成されるだけではなく、不要モード共振空洞６の空洞壁６ａの長さも半波長の長さに形成され、不要モード共振空洞６の内壁に接続されている点で図２に示される例と異なっている。この構造にすることにより、製作加工の容易さ、振動衝撃に対する堅牢さが増すという効果がある。また、この例では、不要モード共振空洞６の空洞壁６ａのうち、内軸線８の長さのほぼ中間点の側壁に同調機構９が設けられると共に、その同調機構９部分の内壁に電波吸収体７が設けられている。こうすることにより、半波長のほぼ中間で電界が最大になる位置であるため、僅かな変形で共振周波数の変化が大きく、効果的に共振波長をスプリアスの波長に正確に合せやすいと共に、不要モードの電波を吸収しやすい。
【００２９】
図４は、図３の構造で、内軸線８の先端部をループとして、不要モード共振空洞６の側壁に接合したものである。このように、先端部を曲げて側壁に接合することにより、結合度が調整しやすいと共に、スプリアスに対する帯域幅を大きくとれる、という利点がある。なお、不要モード共振空洞６の向きや形状、内軸線８のループの接合場所などにより、不要モード共振空洞６内の電界は変化するが、電波吸収体７を取り付ける場合においては、比較的電界の大きい位置に取り付けることにより、出力部４から見たπ−１モードのＱ値を著しく低下させることができる。
【００３０】
図５は、本発明によるマグネトロンの他の実施形態を示す図１と同様の断面説明図である。すなわち、前述の各例では、不要モード共振空洞６が陽極空洞共振器１と結合するように設けられていたが、本実施形態では、出力部４と結合するように不要モード共振空洞６が設けられている。他の陽極空洞共振器１部および不要モード共振空洞６の部分並びに
不要モード共振空洞６の結合構造などは前述の各例と同じで、同じ部分には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００３１】
図５に示される例は、出力部４の出力管４３に同軸構造で不要モード共振空洞６が結合され、内軸線８の先端部は、図４に示される例と同様にループにして不要モード共振空洞６の側壁に接続されている。出力部４は、陽極空洞共振器１の１つの共振空洞と結合して設けられている。出力ループ４１の先端には出力アンテナ４２が接続され、その周りを出力管４３が囲み同軸構造を形成している。この出力アンテナ４２と出力管４３の間の空間に内軸線８の一端部が挿入されることにより、導波管２０に向うマイクロ波のうち、不要モード共振空洞６と結合しやすい周波数のマイクロ波は、内軸線８を経て不要モード共振空洞６内に導かれ、不要モード共振空洞６と結合しない周波数のマイクロ波は、そのまま出力アンテナ４２を伝播して導波管２０内に放射され、導波管２０内を伝播する。
【００３２】
したがって、不要モード共振空洞６と出力部４とがスプリアスの周波数帯に対して高い結合度で結合し、主発振モードに対しては殆ど結合しないように、すなわち前述の各例と同様に不要モード共振空洞６が形成されることにより、出力部４でスプリアスを除去することができる。なお、このように、出力部４と不要モード共振空洞６とを結合させる構造は、ループによる同軸構造の結合に限らず、前述の図１〜３に示される各構造を同様に適用することができる。さらに、電波吸収体７が不要モード共振空洞６内に設けられることが望ましいことも前述の各例と同じである。この場合も、出力アンテナ４２から陽極空洞共振器１側を見たときのπ−１モード（スプリアス）のＱ値は、著しく低下し、主発振モードであるπモードのＱ値は高く維持されている。なお、このような不要モード共振空洞を出力部に設ける構造は、たとえばπモードの周波数を通過させるフィルタを出力部に設ける構造と比較して、小型化が可能であり、一体化して製作可能であるという利点がある。また、フィルタと異なり、π−１モードを吸収するため、反射が起らず、マグネトロンでモジュレーションが起きないという利点がある。
【００３３】
前述の各例における、不要モード共振空洞は、その断面形状は円形に限らず、多角形や矩形形状など種々の形状にすることができるし、取付けの向きもπ−１モードなどのスプリアスの共振モードと結合させることができれば、その構造は限定されない。また、前述のように、同じ周波数で共振する不要モード共振空洞を複数個、１個の陽極空洞共振器または出力部に結合させることにより、スプリアスを減衰させる効果を高めることができるし、異なるスプリアスの周波数に対応する不要モード共振空洞をそれぞれ１個の陽極空洞共振器などに設けることもできる。また、不要モード共振空洞の共振周波数は、１個のスプリアスの周波数だけに共振させることにより特定のスプリアスを減衰させることができるし、主発振モードの周波数と結合しない限り、幅広い周波数で共振させることもできる。したがって、除去するスプリアスの目的に応じて、不要モード共振空洞の共振特性を調整することができる。
【００３４】
なお、陽極空洞共振器に不要モード共振空洞を結合させる場合、陽極空洞共振器の各空洞と、不要モード共振空洞とが相互作用をして、主発振モードの共振特性に影響を及ぼす場合があるので、不要モード共振空洞を設計する場合、減衰させるスプリアスの共振特性にのみ注意を払うのではなく、主発振モードが減衰しないように注意をする必要がある。とくに、複数個の不要モード共振空洞を結合させる場合、各不要モード共振空洞の主発振モードへの影響が合算されるため、充分に注意をする必要がある。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明は、レーダ装置などのマイクロ波送信を行う電子機器分野で幅広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明によるマグネトロンの一実施形態を説明する断面説明図である。
【図２】図１の変形例を示す断面説明図である。
【図３】図２の変形例を示す断面説明図である。
【図４】図２の変形例を示す断面説明図である。
【図５】本発明によるマグネトロンの他の実施形態を説明する断面説明図である。
【図６】同調機構の例を示す断面説明図である。
【図７】従来のスプリアスを抑制する一例のマグネトロンの構成説明図である。
【符号の説明】
【００３７】
１    陽極空洞共振器
２    陰極
４    出力部
５    結合窓
６    不要モード共振空洞
７    電波吸収体
８    内軸線
９    同調機構
【図１】
2005093082.tif 000003
【図２】
2005093082.tif 000004
【図３】
2005093082.tif 000005
【図４】
2005093082.tif 000006
【図５】
2005093082.tif 000007
【図６】
2005093082.tif 000008
【図７】
2005093082.tif 000009