(57)【要約】【課題】凹凸が小さく、厚みばらつきの小さい樹脂またはセラミックスからなるシートを得るための乾燥装置を提供する。【解決手段】中空状の装置本体１４の内部を乾燥室１１とし、該乾燥室１１内に樹脂又はセラミックスからなるシート７ａを移送する長尺状の基材６を一方向に向けて走行させるとともに、上記基材６の走行方向に対して反対方向に熱風１８を流す送風部１９と、基材６の上方に基材６に対して垂直方向に、且つ巾方向全体に向けて気体２１を吹付ける吹出し部１５を備えた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空状の装置本体の内部を乾燥室とし、該乾燥室内に樹脂又はセラミックスからなるシートを移送する長尺状の基材を一方向に向けて走行させるとともに、上記基材の走行方向に対して反対方向に気体を流す送風部と、基材の上方に基材に対して垂直方向に、且つ巾方向全体に向けて気体を吹付ける吹出し部を備えたことを特徴とする乾燥装置。
【請求項２】
上記吹出し部を乾燥室の全長に対し、基材の走行方向より２〜５０％の範囲に設けたことを特徴とする請求項１に記載の乾燥装置。
【請求項３】
上記乾燥室が複数の乾燥室からなるとともに、各乾燥室に上記送風部を備え、且つ基材の走行方向に対して最も手前の乾燥室内に上記吹出し部を設けたことを特徴とする請求項１又は２に記載の乾燥装置。
【請求項４】
上記吹出し部が、長手方向に設けたスリット又は複数の貫通孔からなる吹出し口を有する吹出し管と、該吹出し管の上部に基材と平行に形成された整流板とからなることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の乾燥装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の乾燥装置を用いたシート乾燥方法であって、上記基材上にシートを載置するとともに走行させ、上記送風部および吹出し部より気体を送風して乾燥することを特徴とするシート乾燥方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は樹脂、セラミックスからなるシートを乾燥させるための乾燥装置とこれを用いた乾燥方法に関し、特にハイブリッドＩＣ基板、抵抗器用基板等のセラミックス基板用のグリーンシートを乾燥させるための乾燥装置とその乾燥方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
長尺状の基材の上面にドクターブレード法等により基材上に塗工された樹脂またはセラミックスからなるシートを成形するための乾燥装置として、乾燥装置内で基材上のシートを走行させながら乾燥させる装置が多用されている。
【０００３】
この乾燥装置として、図５に示すように、装置本体１４の内部に設けた複数の乾燥室と、上面にシート７ａを載置した基材６を走行させ、各乾燥室に基材６の走行方向と反対方向に送風口９から排出口８の方向に熱風を流す送風部１９とを備え、さらに手前の乾燥室内に複数の貫通孔を有する密閉通路形成体２２で基材６を囲い、密閉通路形成体２２の上下各々に基材６の走行方向と反対方向に送風口９から排出口８の方向に熱風を流して基材６を加熱することで、密閉通路形成体２２内部においてシート７ａから蒸発する有機溶剤が概ね自然対流によって貫通孔から排出してシート７ｂを得る乾燥装置が提案されている（特許文献１参照）。
【０００４】
また、図６に示すように、装置本体１４の内部を乾燥室として、溶液用容器１中のセラミックもしくは樹脂の溶剤を基材６とブレード３の間から引き出したシート７ａを基材６とともに走行させ、基材６の走行方向と反対方向に送風口９から排出口８の方向に熱風を流し、さらに基材６の上方に基材６に平行となるよう有機溶剤を排気するための通気孔を有する第１プレート２３ａを設けるとともに、第１プレート２３ａの上方に送風口９から送風された熱風を基材に平行に流すための第２プレート２３ｂを設け、第１プレート２３ａ、基材６の間を概ね自然対流とした自然乾燥空間２４を設け、この自然乾燥空間２４から排出される有機溶剤を第１プレート２３ａの通気孔より流すことで乾燥する装置が提案されていた（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開平１０−３３７５２０号公報
【特許文献２】特開平１０−３１４６５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図５に示すような乾燥装置では、熱風により密閉通路形成体２２を暖め、その熱伝導により密閉通路形成体２２内の気体を暖め、基材６に塗布された樹脂又はシートを乾燥させる形態を取っているために、密閉通路形成体２２内では自然対流による乾燥であり、密閉通路形成体２２内では乾燥ムラが出やすくなっており、基材の走行方向と直角方向（幅方向）で温度と風速が不均一となり、乾燥による密度ムラや厚みムラが発生し、乾燥後の切断加工で密度ムラにより変形するという問題があった。
【０００６】
また、切断加工後の焼成時に変形するという問題があった。また、自然乾燥の形態を取っているために乾燥ムラが生じにくいように減速が必要となり成形速度が上げにくいという問題があった。
【０００７】
また、乾燥にバラツキがあるために、乾燥装置内の温度を上げて速度を上げると表面に被膜を形成した後、乾燥が遅い部分で被膜下部の残留した溶剤が一挙に揮発することにより、樹脂やシートの内部や下面に溶剤が気泡として欠陥を発生させるという問題があった。
【０００８】
また、図６に示すような乾燥装置では、乾燥用の熱風を直接基材６にあてず自然乾燥空間２４を暖める構造となっているために図５の乾燥装置と同様に、幅方向で乾燥が不均一となり、生密度がばらつくために切断後の変形、シートであれば焼成後の変形、厚みバラツキ、成形速度が上がらない、同様の原理で内部や下面に気泡となる等の問題があった。
【０００９】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、厚みばらつきが小さく、内部や下面に気泡のないシートを得、さらにシート内の有機溶剤の乾燥速度が速い量産効果の高い乾燥装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、中空状の装置本体の内部を乾燥室とし、該乾燥室内に樹脂又はセラミックスからなるシートを移送する長尺状の基材を一方向に向けて走行させるとともに、上記基材の走行方向に対して反対方向に気体を流す送風部と、基材の上方に基材に対して垂直方向に、且つ巾方向全体に向けて気体を吹き付ける吹出し部を備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、上記吹出し部を乾燥室の全長に対し、基材の走行方向より１０〜５０％の範囲に設けたことを特徴とする。
【００１２】
また、上記乾燥室が複数の乾燥室からなるとともに、各乾燥室に上記送風部を備え、且つ基材の走行方向に対して最も手前の乾燥室内に上記吹出し部を設けたことを特徴とする。
【００１３】
また、上記吹出し部が、長手方向に設けたスリット又は複数の貫通孔からなる吹出し口を有する吹出し管と、該吹出し管の上部に基材と平行に形成された整流板とからなることを特徴とする。
【００１４】
また、上記乾燥装置を用いたシート乾燥方法であって、上記基材上にシートを載置するとともに走行させ、上記送風部および吹出し部より気体を送風して乾燥することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、中空状の装置本体の内部を乾燥室とし、該乾燥室内に樹脂又はセラミックスからなるシートを移送する長尺状の基材を一方向に向けて走行させるとともに、上記基材の走行方向に対して反対方向に気体を流す送風部と、基材の上方に基材に対して垂直方向に、且つ巾方向全体に向けて気体を吹付ける吹出し部を備えたことにより、吹出し部から吹出した気体により、シートの巾方向の全体にわたって表面被膜が形成され、その後の乾燥速度が一定となり、密度や厚みばらつきの小さいシートを得ることができるとともに、均一に被膜が形成されることにより乾燥時の異方収縮が発生しないために成形時の乾燥収縮によるクラックが発生しにくい。また、シートに異方収縮が発生しないため残留応力が残りにくく、切断加工後変形や切断加工後の焼成で変形が小さくすることができる。
【００１６】
また、吹出し部を乾燥室の全長に対し、基材の走行方向より１０〜５０％の範囲に設けることにより、厚みがレベリングされた直後に吹出し部からの均一な気体により強制的に被膜を巾方向および厚み方向において均一な被膜を形成することができるため、その後の乾燥も均一となり厚みバラツキや変形のないシートを得ることができる。
【００１７】
また、上記乾燥室が複数の乾燥室からなるとともに、各乾燥室に上記送風部を備え、且つ基材の走行方向に対して最も手前の乾燥室内に上記吹出し部を設けたことにより、乾燥初期の被膜形成を強制的に巾方向に均一に形成できるため、厚みが均一で、変形の少ないシートを得ることができる。
【００１８】
また、上記吹出し部が、長手方向に設けたスリット又は複数の貫通孔からなる吹出し口を有する吹出し管と、該吹出し管の上部に基材と平行に形成された整流板とからなることにより、表面に乾燥被膜を形成させるための吹出す気体をより均一に吹出すことができるとともに、吹出された気体が一定方向に流れる様に整流板を設置することにより、溶剤濃度と温度の等しい気体を分流および整流でき、乾燥による被膜を更に均一に形成することが可能となる。
【００１９】
また、上記乾燥装置を用いたシート乾燥方法によれば、上記基材上にシートを載置するとともに走行させ、上記送風部および吹出し部より気体を送風して乾燥することにより、セラミックスシート部分の幅方向の乾燥が均一となり、一時的にセラミックスシート表面に形成される堅い被膜部の厚みを均一にすることができ、これによって部分的な凹凸がさらに少ないセラミックスシートを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の最良の実施形態について図面に基づいて詳述する。
【００２１】
図１は、本発明の乾燥装置、また乾燥装置を用いた乾燥法方を示す概略断面図であり、図２、３はそれぞれ図１の乾燥装置の一部を示す正面図、斜視図である。
【００２２】
図１〜図４に基づいて本発明の乾燥装置を用いてセラミックスからなるシートを得る工程、乾燥装置の構造を説明する。
【００２３】
セラミックスシートを得るためには、先ず溶液用容器１内には有機溶剤とセラミックスを含む溶液２が入っている。溶液２は、回転ローラー５によって一方向へ走行する基材６とブレード３との間で厚みを一定にして擦り切られた後、有機溶剤を含むシート７ａとして中空状の装置本体１４の内部へと送られる。
【００２４】
なお、上記シート７ａは、溶液２を用いて作製されるが、乾燥装置の内部にあるシートを７ａとし、乾燥装置から排出したシートを７ｂと記す。
【００２５】
基材６は、塗工されたシート７ａを支持し一方向に定速で走行させる機能を有し、例えばベルトコンベアからなり、ベルトコンベア上に離型シート４を載せることで、シート７ａの表面を平滑にし、ベルトコンベアとシート７ａを剥離することができる。また、基材６の走行速度は、乾燥させる厚みまたは用いる溶剤量により異なるが、例えば０．２〜３ｍ／ｍｉｎである。
【００２６】
先ず、シート７ａは予備室１３へ入り、ブレード３から予備室１３までの間で液面がレベリングされる。
【００２７】
予備室１３から基材６の走行方向に対して最も手前の第１乾燥室１１ａに入り、シート７ａに含まれる有機溶剤が第１乾燥室１１ａから順に第２乾燥室１１ｂ、第３乾燥室１１ｃ内で基材６の走行方向に対して反対方向に、且つ基材６と平行に送風する熱風１８によって暖められ乾燥する。
【００２８】
乾燥室は複数に分けられていることが好ましく、例えば図１では仕切板１２によって乾燥室を第１乾燥室１１ａ、第２乾燥室１１ｂ、第３乾燥室１１ｃの３つの乾燥室に分けている。複数の乾燥室１１ａ、１１ｂ、１１ｃを有することで、各乾燥室１１ａ、１１ｂ、１１ｃ毎に揮発させた溶剤濃度を段階的に減らすことが可能となり、乾燥室１１ａ〜１１ｃの雰囲気の溶剤濃度が低くなることでシート７ａの表面からの乾燥を更に早めることができ、また、乾燥温度を上げることが可能となるため、更に成形速度を上げることができる。
【００２９】
また、各乾燥室１１ａ、１１ｂ、１１ｃは完全な密閉ではなく、熱風１８が相互に流れる構造となっている。
【００３０】
各乾燥室１１ａ、１１ｂ、１１ｃには、熱風１８を送風するための送風部１９が設けられており、この送風部１９は、送風ガス１０ａを加熱して送風口９から各乾燥室１１ａ、１１ｂ、１１ｃ内に熱風１８として送り、排出口８から排出ガス１０ｂとして排出する仕組みである。この送風ガス１０ａは、空気や窒素等の不活性ガスからなり、これらを室温以上４０〜１５０℃程度に加熱して、熱風１８として送風する。また、熱風１８は、基材６の走行方向に対して反対方向に、且つ基材６と平行に送風することで、気化させたシート７ａ中の溶剤の蒸気が、気化した後のシート７ａの表面を濡らすことがなく、常時気液平衡状態より溶剤濃度の低い熱風と接することができるために乾燥速度を上げることが可能となる。更に基材６と平行に送風することにより巾方向の温度バラツキが小さくなり、シート７ａの乾燥速度が均一となることにより巾方向の変形が小さくなる。
【００３１】
ここで、本発明の乾燥装置では、基材６の上方に対して垂直方向に、且つ基材６の幅方向全体に向けて気体２１を吹付ける吹出し部１５を備えることが重要である。
【００３２】
これによって、シート７ａに近い位置で大量の気体２１を狭い範囲にシート７ａに対して垂直に吹付けるため、風量、風向、風速、温度が均一な気体２１を吹付けることができるため、シート７ａの幅方向の全体に渡って乾燥速度が一定となり、シート７ａに亀裂がなく、厚みばらつきの小さいシート７ｂを得ることができるとともに、シート７ａの表面部の有機溶剤を一時的に素早く乾燥させて表面に堅い被膜部を形成させることによって、生密度バラツキが小さくなり、また、皮膜が厚く形成できるため風圧によるしわがなくなり、乾燥ムラによる厚みバラツキのないシート７ｂを得ることができる。
【００３３】
図２は、吹出し部１５の構造を示す拡大図であり、この吹出し部１５は、吹出し管１６を２個以上備えてなり、吹出し管１６へ送る気体２１の温度をコントロールするには、例えば乾燥室１１ａ内と同等の温度とする場合、図２に示すように乾燥室１１ａ内に熱交換用タンク２０を設け、一定時間気体２１が滞留させることにより気体２１の温度を一定とし、吹出し管１６へ送り、図３に示す吹き出し口１６ａから送風する。
【００３４】
また、乾燥室１１ａより高い温度が必要な場合は乾燥室１１ａ外で暖めた後、直接吹出し管１６へ送り込んでも良い。
【００３５】
そして、図３（ａ）、（ｂ）に示すように吹出し管１６は、基材６の幅と同等の長さを有するとともに、図３（ａ）に示すように長さ方向にスリットからなる吹出し口１６ａを有するものや、図３（ｂ）に示すように長さ方向に複数の孔を等間隔に設けてなる吹出し口１６ａを有するものが好ましく、基材６の幅方向全体に向かってシート７ａに向かって垂直に均一に気体２１を吹付けることができることから、一時的にシート表面に形成される堅い被膜部の厚みを均一にすることができ、これによって部分的な凹凸がさらに少ないシート７ａを得ることができる。
【００３６】
なお、吹出し部１５が基材６の上方に対して垂直方向とは、吹出し部１５における吹出し管１６の中心が基材６に対して８０〜１００°の範囲に設けられることを示し、気体２１が吹出す吹出し口１６ａは基材６に対して３０〜９５°の範囲に設けられることが好ましい。また、図１に示すように乾燥室１１内では送風部１９からのガスの流れと、シート７ａの移動によって、気体２１の流れは基材６に対して緩やかな傾斜となる。
【００３７】
また、吹出し部１５より吹付けられる気体２１は、大気および不燃性ガス（窒素）等からなり、送風部１９より送風される熱風１８の温度より高く、流速も大きくすることが好ましい。これは、送風部１９より送風される熱風１８の温度より高いほうが好ましく、流速も早くする方が好ましい。これは、熱風１８が乾燥室全体を均一な流速、均一な温度で流れていないため温度バラツキが生じ、乾燥が不均一になっているため、被膜形成、その後の乾燥にバラツキが生じるためであり、均一な被膜形成を行わせるために、乾燥室１１ａ内より均一な乾燥条件を吹出し口１６ａの下部で得るために乾燥室１１ａ内より温度が高く、熱風１８より流速の早い気体２１をあてることで他の部分より均一な乾燥状態を作ることが重要である。従って、吹出し口１６ａ下部の巾方向の乾燥条件が均一にできることにより、均一な厚みの乾燥被膜が成形でき、その後の乾燥も均一に行うことが可能となり、乾燥終了後のシート７ａの切断加工時に変形がなく、更に熱処理しても変形を小さくすることができるためである。
【００３８】
また、吹出し管１６を基材６の走行方向の後部に平行に設置することにより、乾燥した被膜に更に気体を吹き付けることで均一な被膜を保持する。これは、濡れ戻りによる乾燥バラツキを無くせることによる。
【００３９】
さらに、吹出し部１５の位置は、図１に示すように排気口８から基材６の走行方向よりＬ’の距離に位置し、この距離Ｌ’が乾燥室１１ａ〜１１ｃの全長Ｌに対して２〜５０％の位置に設けることが好ましい。
【００４０】
これは、厚みがレベリングされた直後に吹出し部１５からの均一な気体２１により強制的に被膜を巾方向および厚み方向に均一な被膜を形成することができるためである。また、乾燥室が第1乾燥室１１ａから第３乾燥室１１ｃまである場合のように複数ある場合には、
最初の乾燥室１１ａに吹出し部１５を形成することが好ましく、第２乾燥室１１ｂ、第３乾燥室１１ｃ内の温度バラツキなどの乾燥条件に影響を及ぼすことなく、また、強制的に乾燥に使用された気体２１が排気口８からすぐに排出できる。
【００４１】
吹出し部１５が５０％を超えて設けると、被膜が形成される部分が発生するため、形成開始する排気口８の下部の幅方向の乾燥バラツキが生じ、シート７ａに凹凸が発生しやすく、一方、２％未満であると、吹出し部１５からの気体２１をシート７ａの狭い範囲にしかあてることができず、シート７ａの表面に均一な被膜を十分に形成することができない。
【００４２】
なお、上記Ｌ’は、基材６の走行方向に平行に排気口８から吹出し部１５における吹出し管１６の吹出し口１６ａまでの位置を示すものである。
【００４３】
例えば、上記Ｌ’／Lは、７％以内とすることがより好ましく、レベリングされた直後の排気口８のすぐ近くに吹出し部１５を設置することで、吹出し部１５以降の乾燥室内の温度バラツキなどの乾燥条件に影響を及ぼすことなく、また、強制的に乾燥に使用された気体２１が排気口８からすぐに排出されるため、より均一に被膜を形成することができる。
【００４４】
また、基材６に垂直方向に基材６上面から吹出し部１５の吹出し口１６ａとの距離Ｈ’は、５〜２０ｃｍであることにより、均一な被膜を形成し、吹出し口１６ａから吹き出される気体２１が熱風１８の流れによって乱されることなく、基材６の幅方向の全体に渡って気体２１を均一な流速でシート７ａに吹付けることができるため、より厚みばらつきの小さなシート７ａを得ることができる。これは、表面を波立たせずにかつ被膜を一挙に形成するための風量が得られることによる。基材６と吹出し口１６ａとの距離Ｈ’が５ｃｍ未満であると吹出した気体１９により被膜が波打つ現象が発生し、波打たない量まで下げると十分な厚みの被膜形成が行えなくなり、乾燥速度を上げられなくなると共に乾燥ムラが生じ、厚みバラツキが生じることとなる。一方、Ｈ’が２０ｃｍを越えると、幅方向での流速を一定に保つことが困難となり幅方向の厚みバラツキが発生することとなる。
【００４５】
また、図２、３に示すように吹出し管１６の基材６の走行方向と反対側に整流板１７を設けることが好ましい。
【００４６】
これは、排気口８と向き合うように吹出し部１５を設置し、整流板１７の下方に温度コントロールされた気体２１が流れるようにすることで、揮発した溶剤を大量に含む気体２１は排気口８から排出され、溶剤を含む気体２１が他の乾燥室および乾燥室内の他のゾーンに影響を与えないようにできるとともに整流板１７下方の気体２１の流速を一定にすることができる。従って、均一な乾燥ができ、揮発した溶剤を含む気体２１を乾燥室１１ａから排出するために乾燥速度を上げることが可能となる。
【００４７】
さらに、図４に示すように整流板１７を基材６の走行方向に対して反対方向に傾斜させて設けることで、ダンパーの絞りと同様に大量の気体を絞るために、乾燥させるシート７ａに吹き出した気体２１が均一にあたり、被膜を均一に形成することができる。なお、この傾斜角度は５〜３０°とすることが好ましい。
【００４８】
またさらに、上記吹出し部１５は、複数備えることが好ましく、最初の吹き出し部１５で形成されるシート７ａ表面の被膜の厚みが、得られる乾燥後のシート７ａに対して薄い場合、被膜の下部の溶剤が浸透してきて濡れ戻りが発生することにより、乾燥バラツキを生じることがあるが、吹出し部１５を複数設けることで更に乾燥を進め、より均一な密度のシート７ａを得ることができる。この場合も複数の吹出し部１５が走行方向側の吹出し部１５の距離Ｌ’が乾燥室の全長Ｌに対して２〜５０％の範囲に設けることが好ましい。
【００４９】
このようにシート７ａは乾燥室に入った直後に吹出し部１５により表面に幅方向で均一な乾燥被膜が形成され、順次第２乾燥室１１ｂ、第３乾燥室１１ｃに送られ、被膜下の溶剤分を乾燥されて行くこととなる。
【００５０】
また、装置本体１４は、中空状をなし、好ましくは高さ０．３〜１ｍ、幅０．５〜２ｍ、長さ５〜５０ｍの大きさとして、熱風１８の流れを制御し、シート７ａを均一に乾燥することができる。
【００５１】
そして、乾燥装置より排出されたシート７ｂは、基体４より剥離され、巻き取ったり、切断した後、形状加工後熱処理を行うこととなる。
【００５２】
なお、本発明の乾燥装置は、上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。
【実施例１】
【００５３】
次いで、本発明の実施例を説明する。
【００５４】
本発明の実施例として、図１に示すような乾燥装置を準備した。
【００５５】
３つの乾燥室を備え、第１乾燥室、第２乾燥室に吹出し部を表１に示す如く、位置、個数で設けた。
【００５６】
また、比較例として吹出し部を設けない乾燥装置も準備した。
【００５７】
各乾燥室には、送風部から空気を９０℃に加熱し、送風口から各乾燥室内に熱風として送り、乾燥室内の風速を０．５ｍ／ｓｅｃとする。
【００５８】
また、吹出し部の吹出し管からは、空気を１００℃に加熱し、吹出し口から流量１０ｍ３／ｍｉｎで排出する。
【００５９】
そして、溶剤：５０重量部にセラミック粉末：１００重量部と適量分散剤を入れ混合し分散させた後、結合剤：１０重量部を添加し混合し、粘度調整後、脱泡したスラリーからなるシートを速度０．５ｍ／ｍｉｎで基材上に走行させ、長さ３００ｍ、幅１ｍのセラミックシートを成形した。このシートから長さ２ｍ、幅１ｍの評価用シートを１０枚切り出し、表面のしわを光を斜めからあて目視で、また、厚みを１ｃｍ間隔でマイクロメーターを用いて、さらにシートの内部および下面の気泡は光を当て、光を当てた反対面から拡大鏡を用いて明るい部分を気泡としてカウントし、カウントした気泡の大きさを光学顕微鏡を用いてそのサイズを測定した。
【００６０】
乾燥速度は、成形した評価用シート１０枚を直径５ｍｍの円柱に巻き付け、巻き付けて曲がった部分に赤で表面に色を付け、スジ状の乾燥不良によるクラックの有無を光学顕微鏡で観察することで評価した。
【００６１】
しわは、発生個所が０のものを○、１個所発生しているものを△、１個所以上発生しているものを×とした。
【００６２】
厚みは、最大値と最小値の差が１５μm未満を○、１５〜３０μｍを△、３０μｍを越えるものを×とした。
【００６３】
シート内部、下面の気泡は、気泡がないものを○、１２０μｍ以上の気泡があるものを×とした。
【００６４】
乾燥速度は、クラックがないものを○、１カ所発生したものを△、２カ所以上発生した物を×とした。
【００６５】
表１に結果を示す。
【表１】
2005241037.tif 000003
【００６６】
表1から明らかなように、各乾燥装置を用いたシートにおいて、得られたシートは、吹出し部を備えた試料（Ｎｏ．１〜１２）は、シートの状態が、しわの有無、厚みバラツキ、気泡の有無、乾燥速度が○、△の評価となった。
【００６７】
これに対し、吹出し部のない乾燥装置を用いたシートにおいて、得られたシートは、吹出し部を備えた試料（Ｎｏ．１〜１２）は、シートの状態が、しわの発生はないものの厚みバラツキが大きく、気泡が多数生じ、乾燥速度も遅いものであった。
【００６８】
吹出し部は、しわは、吹出し部から気体の風圧で発生するが、レベリング直後より乾燥が始まり、乾燥されるスラリーの温度が上がってからの方が乾燥による被膜厚みが厚くなるため、吹出し部の位置がＬ’／Ｌ≧２％以上で発生がなくなる。
【００６９】
また、厚みバラツキは、乾燥の不均一から発生するため被膜形成を均一にするための吹
出し部のからの気体による被膜は吹出し部が設置していない物と比較すると小さくなる。
【００７０】
さらに、整流板がある方が気体の整流が均一となり、効果として乾燥が均一となり、更に厚みバラツキは小さくなる。
【００７１】
また、スラリー全体の温度が上がり、被膜を形成せずに溶剤が抜けている範囲：２％≧Ｌ’／Ｌ≧６０％では同じ気体量で被膜厚みが厚くなるために更に良好となる。逆にＬ’／Ｌ≧６０％となると乾燥室内で表面に被膜が形成される部分が発生するために、吹き出し部からの気体を吹き付けても均一な厚みの被膜とならず、被膜が形成できても厚みが不均一となり、その後の乾燥速度が一定しないために厚みバラツキが発生するとともに気泡が発生する。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の乾燥装置の一実施形態を示す概略断面図である。
【図２】本発明の乾燥装置の一部を示す平面図である。
【図３】本発明の乾燥装置の一部を示す斜視図である。
【図４】本発明の乾燥装置の一部を示す平面図である。
【図５】従来の乾燥装置を示す概略断面図である。
【図６】従来の乾燥装置を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００７３】
１．溶液用容器
２．溶液
３．ブレード
４．離型シート
５．回転ローラー
６．基材
７ａ、７ｂ．シート
８．排出口
９．送風口
１０ａ．送風ガス
１０ｂ．排出ガス
１１ａ．第1乾燥室
１１ｂ．第２乾燥室
１１ｃ．第３乾燥室
１２．仕切板
１３．予備室
１４．装置本体
１５．吹出し部
１６．吹き出し管
１６ａ．吹出し口
１７．整流板
１８．熱風
１９．送風部
２０．気体用容器
２１．気体
２２．密閉通路形成体
２３ａ．第１プレート
２３ｂ．第２プレート
２４．自然乾燥空間
【図１】
2005241037.tif 000004
【図２】
2005241037.tif 000005
【図３】
2005241037.tif 000006
【図４】
2005241037.tif 000007
【図５】
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【図６】
2005241037.tif 000009