(57)【要約】【要  約】【課  題】  バイト目を除去する研磨加工を効率的行い、かつ長期にわたって使用できる加工治具を実現する。【解決手段】  加工治具５を、カップ部52、その上面に接続された軸部51、下縁に接着されたリング状の研磨材53で構成し、研磨材53には砥粒を含浸させる。この加工治具５を縦軸のボール盤のチャックにくわえ、回転させながら研磨面に押し付けて研磨する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
底付き円筒を伏せた形状のカップ部（52）と、その上面中央に接続された軸部（51）と、前記カップ部（52）の下縁に接着されたリング状の研磨材（53）とからなり、前記軸部（51）を縦軸のボール盤のチャック（41）にくわえて使用するＯリング当たり面の加工治具（５）であって、前記研磨材（53）には砥粒が含浸または塗布されていることを特徴とするＯリング当たり面の加工治具。
【請求項２】
前記研磨材（53）がフェルトを圧縮して固めたものである請求項１に記載のＯリング当たり面の加工治具。
【請求項３】
底付き円筒を伏せた形状のカップ部と、その上面中央に接続された軸部と、前記カップ部の下縁に接着され、リング状で砥粒を含浸させた研磨材とからなる加工治具の前記軸部を回転型工作機械のチャックにくわえ、前記加工治具を回転させながら研磨材をＯリング当たり面に押し付けて研磨することを特徴とするＯリング当たり面の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体の製造に使用される真空機器や、コンプレッサ、内燃機関等の高圧機器等（以下これらをまとめて「圧力機器」という）の接合部のシール面に使用されるＯリング当たり面の加工治具ならびに加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力機器の本体と蓋、フランジ継手等の接合部にあるシール面には、一般にＯリングが配置される。その一例を図面により説明する。図３は圧力機器の本体１と蓋３とをシール面で開いた状態を示す部分斜視図、図４は同じく部分断面図で、11は本体１のシール面に設けられたリング溝、11aはその底部のＯリング当たり面、２はこのリング溝11に挿入されるＯリング、31は蓋３のＯリングに対応する位置に設けられる当たり面である。これら圧力機器の材質は通常ステンレス鋼あるいはアルミニウムである。
【０００３】
図５はこの例における蓋３の部分底面図である。シール面は一般に旋盤、フライス盤などの工作機械で平面加工される。図５における符号Ｗは、バイト目である。平面加工とはいっても、刃物あるいはワークの送りによってこのようなバイト目が形成され、Ｏリングの当たり面31がこれと同心円の関係にある場合以外は、図５に模式的に示すようにバイト目Ｗが当たり面31と交わることになる。旋盤、フライス盤などの機械加工における平面の表面粗さは、ＪＩＳ（2001）による最大高さRzで見ても良くて6.3μｍ程度であり、これ以下にすることは困難であるから、シール力の分布が一様にならず、バイト目の谷の部分でリークが発生するおそれがある。このため、当たり面31に対して別途研磨仕上げを施してＯリングの円周方向の凹凸を低減することが行われている。
【０００４】
この研磨仕上げで使用されていた加工治具の従来例を図６に示す。5aは加工治具、51はその上端に設けられた軸部、52はその下方のカップ部、53aはカップ部52の下端に接着された研磨布である。研磨布53aは「スコッチブライト」等の商品名で市販されているが、空隙のある柔らかい布状体に研磨剤の粉末をまぶしたものである。研磨布53aの外径は当たり面31の外径、すなわちＯリングの外径に若干の余裕を加えた寸法である。
【０００５】
図６の加工治具５を使用して当たり面の研磨加工を行っている状況を図７に示す。４は縦軸のボール盤、41はそのチャック、42はテーブルである。テーブル42に加工するワークである蓋３を固定し、チャック41に加工治具5aの軸部をくわえて研磨布53aを回転させながら押し付け、当たり面を研磨するのである。
【０００６】
ところで、このような従来の研磨加工には、つぎのような問題点があった。まず、研磨布53aは柔らかいために強く押し付けると千切れたり、接着が剥がれたりして寿命がきわめて短いこと、つぎにやはり研磨布53aが柔らかいために研磨面にうねりが生じ、またバイト目の深いものが完全に取りきれないことである。
【０００７】
このほか、一般に「ヘールバイト」と呼ばれる軽い切削を行う総形バイトを使用して当たり面31を仕上げ加工する方法もあるが、旋盤にくわえにくいワークの場合は採用できないし、可能な場合でも芯出し等に長時間を要し、きわめて加工コストの高いものになってしまう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は従来の技術における上記のような諸問題点を解消し、簡単な作業で効率的にバイト目を除去し、リークが発生するおそれのない当たり面を加工することのできるＯリングの当たり面加工治具ならびに加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のＯリング当たり面の加工治具は、底付き円筒を伏せた形状のカップ部と、その上面中央に接続された軸部と、前記カップ部の下縁に接着されたリング状の研磨材とからなり、前記軸部を縦軸のボール盤のチャックにくわえて使用するＯリング当たり面の加工治具であって、前記研磨材には砥粒が含浸または塗布されていることを特徴とし、望ましくは前記研磨材がフェルトを圧縮して固めたものである前記のＯリング当たり面の加工治具である。
【００１０】
また、本発明のＯリング当たり面の加工方法は、底付き円筒を伏せた形状のカップ部と、その上面中央に接続された軸部と、前記カップ部の下縁に接着され、リング状で砥粒を含浸させた研磨材とからなる加工治具の前記軸部を回転型工作機械のチャックにくわえ、前記加工治具を回転させながら研磨材をＯリング当たり面に押し付けて研磨することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、当たり面におけるバイト目の除去を有効に行うことができるとともに、加工治具の寿命も延長され、品質ならびにコストの両面において効率化が推進されるという、すぐれた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明においては、従来の加工治具と同様のものを使用するが、研磨材の部分が異なっている。従来の布状体に代わって、バフを使用する。バフとは本来もみ皮や布などの柔らかいものを指す名称であるが、近年のバフ加工と呼ばれる磨き加工ではフェルトを固めたものがよく使用される。ここではフェルトを圧縮して固めたシート状のバフをポンチ等でリング状に打ち抜いたものを使用し、これに研磨用の砥粒を含浸させる。砥粒は100番から300番程度の粒度のアルミナ、炭化硅素、ガーネット、ダイヤモンド等を水、あるいは油に分散させ、その中にバフを浸漬する。使用後もこの浸漬を繰り返すことにより研磨力が再生するので、長期にわたって同じ治具を使用することができる。
【００１３】
背景技術の説明において図７に示したような縦軸のボール盤等の回転型工作機械のチャックに本発明の加工治具を取り付け、加工治具の位置をワークのＯリング当たり面に合わせ、加工治具を回転させながら押し付けて数秒間研磨すると、当たり面の表面粗さをRz ＝ 1.6μｍ程度にまで仕上げることができる。当たり面は、図4に示した蓋側のもの31あるいは溝側のもの11aいずれでも同様である。
【実施例】
【００１４】
図１は本発明の実施例の加工治具を下から見上げた斜視図、図２は断面図で、図６で示した従来のものと同様、51は軸部、52はカップ部である。リング状の研磨材53はその下端にボンド等で接着される。研磨材53の外径、内径はそれぞれＯリングの外径、内径に若干の余裕を設けた値であり、幅として2〜10ｍｍ、厚さ2〜3ｍｍ程度である。この加工治具は使用されるＯリングの寸法毎に用意する必要がある。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施例の加工治具を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施例の加工治具を示す断面図である。
【図３】本発明に係わる圧力機器の一部を蓋を開いた状態で示す部分斜視図である。
【図４】同じく本発明に係わる圧力機器の一部を蓋を開いた状態で示す部分断面図である。
【図５】本発明に係わる圧力機器の蓋の一部を示す部分底面図である。
【図６】従来の技術における加工治具を示す斜視図である。
【図７】従来の技術において加工治具の使用状況を示すボール盤の側面図である。
【符号の説明】
【００１６】
１    （圧力機器の）本体
２    Ｏリング
３    （圧力機器の）蓋
４    ボール盤
５、5a    加工治具
11  リング溝
11a、31    当たり面
41    チャック
42    テーブル
51    軸部
52    カップ部
53    研磨材
53a    研磨布
Ｗ    バイト目
【図１】
2005125451.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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