(57)【要約】【課題】  高速且つ高分解能のＸ線検査装置のためのＸ線発生装置を提供する。【解決手段】  本発明によるＸ線発生装置は、円柱形状または双曲回転体形状を有したターゲット手段を有し、ターゲット表面に照射する電子線を回転軸方向に走査するとともに、ターゲットを前記回転軸を中心に回転させることで、局所的にターゲット表面の温度が上昇するのを防ぐようにしている。また、本発明のＸ線発生装置複数個を円周状に配置し、１つのＸ線装置において電子線の走査が終わると隣接する次のＸ線装置において電子線の走査が開始されるといったように、各Ｘ線発生装置間で連携をとりながら各Ｘ線発生装置において順次電子線が走査されるようにする構成とすることにより、電子線発生部は固定位置に維持されたままであり、従来の電子管本体を回転させる方式のように陰極が遠心力によって物理的損傷を被ることがない。【選択図】  図１
2005347178.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子線を受けることによりＸ線を発生するターゲット部材を少なくともその表面に備え、円柱形状または双曲回転体形状を有し、その回転軸を中心に回転可能に設けられたターゲット手段と、前記ターゲット手段を回転せしめる駆動手段と、電子線を前記回転軸方向に走査しながら前記ターゲット手段の表面に照射する電子線発生手段とを具備し、前記ターゲット手段の表面上の電子線照射位置が、前記ターゲット手段の回転により前記ターゲット手段の回転方向へ移動するとともに、前記電子線の走査により前記回転軸方向にも移動することを特徴とするＸ線発生装置。
【請求項２】
前記ターゲット手段は前記回転軸に沿って冷却手段が貫設されており、前記ターゲット部材表面において発生した熱が該冷却手段へ伝達されることで前記ターゲット部材表面の温度の上昇を防ぐことを特徴とする請求項１に記載のＸ線発生装置。
【請求項３】
前記ターゲット手段は、前記ターゲット部材と、前記ターゲット部材をその外周に保持しながら回転可能に設けられたターゲット部材保持体とを具備して成ることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載のＸ線発生装置。
【請求項４】
前記冷却手段は、前記ターゲット手段においてその回転軸に沿って設けられた貫通孔と、該貫通孔内に軸受を介して貫設された配管とを具備して成り、該配管を枢軸として前記ターゲット手段が回転することを特徴とする請求項２または請求項３に記載のＸ線発生装置。
【請求項５】
前記駆動手段は、前記ターゲット手段の端部に配置され磁界を発生する固定子と、前記ターゲット手段の端部に固着されており、前記固定子による磁界を受けることにより回転トルクを発生して前記ターゲット手段を回転させる回転子とを具備することを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項６】
前記ターゲット部材の外部に冷却板を備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６の何れか一項に記載の前記Ｘ線発生装置を円周状に配置し、これを真空壁で包囲し、前記Ｘ線発生装置の対向する位置にＸ線検出器を設けて成るＸ線検査装置。
【請求項８】
隣接する前記Ｘ線発生装置の夫々は互いに異なる平面内に配置されていることを特徴とする請求項６に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高速であり且つ高分解能を有するＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
テロ対策用の各種荷物検査や医療用検査における非破壊検査手法の確立と共に、小型爆弾、突起製凶器、初期癌、血栓等その検査対象範囲として、より微小な物に対する適用が望まれている。
【０００３】
Ｘ線検査装置など被検査物毎によるＸ線透過性の差異を利用した分析を行う場合、評価可能なる位置分解能はＸ線強度密度(単位面積あたりの光子数)に依存する。Ｘ線発生手段として最も一般的な電子線照射による制動放射現象を利用した場合、Ｘ線断面形状はターゲット面における電子線形状に、Ｘ線強度は電子線電流量に、各々依存する。このため、高位置分解能での評価を行うためには、ターゲット部に高密度電子線を入射させることを要する。このような対応は、ターゲットに対する熱流束の増加につながるため、電子線入射面の温度増加に至り、ひいてはターゲット材の蒸気圧増加によるターゲット−電子線発生部間真空度劣化に至る。
【０００４】
電子線形状を狭小化する目的で電子線収束性を高めるには、移送途中での発散を回避するため、陰極−陽極間距離を短くする必要があり、通常ターゲットは陽極としての役割を兼ねさせる。即ち、ターゲット−電子線発生部間には電圧が印加されている。このため、前記真空度劣化が許容値を超過するまで入射電子線密度を高めた場合には、前記空間内における放電発生により、安定した運転を行うことができない。
【０００５】
本課題を解決するために、従来から一般にターゲット部を回転させることによる電子線実入射面積の分散化を行い、もって熱流束の低減を図っている。この発想に基づく回転電極型Ｘ線管の構造例として、例えば、図８に示すような構成がある（実公昭３７−３１２０４号：特許文献１）。陰極８１に設けられたフィラメント８２より放射された電子線が、回転陽極部８４の軸部８５に軸支されたターゲット板８６における焦点部分８７に入射することによって、Ｘ線８８が図８に示す方向へ放射されるようになっている。この構成により、電子線照射時におけるターゲット面の温度上昇量を低減させることができる。
【０００６】
ところで、検査対象物は有意形状物であることがほとんどであるため、上述した手法により高位置分解能での分析等を行うには、被検査物に対して多方向からＸ線照射・分析を行う必要がある。本目的のために、例えば通常のＸ線ＣＴ等では円周上に取り付けた前記Ｘ線管本体を高速回転させることにより、多方向から中心方向に向けたＸ線照射を図っている。しかし、Ｘ線管本体を高速回転させた場合には、当該Ｘ線管内構成部品が遠心力印加により健全性を損なうことから、Ｘ線管の回転速度に限界を生じる。このことは従来手法では単位時間あたりの検査速度に支障を生じることを意味する。
【０００７】
また、このような問題を回避するために、Ｘ線管を周状、平面状等に稠密配置することも考えられる。しかし、Ｘ線管自体の寸法による稠密化限界により、高位置分解能での評価を行うことが困難になる。
【０００８】
更に別手段として、図９に示すように電子線のみを電磁界的に掃引する方式（特開昭５２−１０７７９１号：特許文献２）も考案されているが、このような方式においては、電子線発生部９１とターゲット９２との距離、即ち位相空間が長いので、電子線９３がターゲット９２へ入射する前に空間電荷効果によるビーム発散が生じ、高位置分解能での検査を行うことができなかった。つまり、このような従来技術においては、高速で且つ高位置分解能でのＸ線検査を行うことのできる装置、およびそのためのＸ線発生装置を実現することができなかった。
【０００９】
また、ターゲット表面温度は、畜熱による定常的ベース温度と電子線照射時の一時的表面増加温度の合計であるため、畜熱によるベース温度増加は電子線許容密度の低減を意味する。このため、上述したＸ線管を長時間運転する場合は、Ｘ線管を絶縁油槽内に設置して絶縁油を循環させ、熱負荷を除去するといった方法が従来から行われている。しかし、この方法はターゲット部近傍からの輻射熱を除去するには有効であるが、ターゲットから直接熱が伝導する部分に対して、絶縁油によるシャフト部分の伝導面積が小さいため、除熱効率が悪く、大ビーム電流電子線でのターゲット照射を実現できなかった。
【００１０】
【特許文献１】実公昭３７−３１２０４号
【特許文献２】特開昭５２−１０７７９１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記問題を解決するためになされたもので、ターゲット部の温度上昇を低減させることができるＸ線発生装置、及びこれを用いて、高速であり且つ高分解能を有するＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
本発明は、電子線を受けることによりＸ線を発生するターゲット部材を少なくともその表面に備え、円柱形状または双曲回転体形状を有し、その回転軸を中心に回転可能に設けられたターゲット手段と、前記ターゲット手段を回転せしめる駆動手段と、電子線を前記回転軸方向に走査しながら前記ターゲット手段の表面に照射する電子線発生手段とを具備し、前記ターゲット手段の表面上の電子線照射位置が、前記ターゲット手段の回転により前記ターゲット手段の回転方向へ移動するとともに、前記電子線の走査により前記回転軸方向にも移動することを特徴とするＸ線発生装置を提供する。
【００１３】
本発明のＸ線発生装置複数個を円周状に配置し、各Ｘ線発生装置の対向する位置にＸ線検出器を設け、１つのＸ線装置において電子線の走査が終わると隣接する次のＸ線装置において電子線の走査が開始されるといったように、各Ｘ線発生装置間で連携をとりながら各Ｘ線発生装置において順次電子線が走査されるように各Ｘ線発生装置を制御する構成にすることにより、電子線発生部は固定位置に維持されたままであり、従来の電子管本体を回転させる方式のように陰極が遠心力によって物理的損傷を被ることがないので、Ｘ線発生装置の長寿命化を図ることができ、高速化が可能なＸ線検査装置を実現することができる。また、本発明のＸ線発生装置をＸ線検査装置に使用すれば、従来の電子線のみを電磁界的に掃引する方式のＸ線検査装置に比べて電子線発生部とターゲットの間の距離をより一層近接させることができるので、電子ビームの発散を低減することができ、高分解能化を図ることができる。さらに、ターゲットの回転により、相対的に電子線入射面積の低減がもたらされ、電子線照射に伴う電子線入射箇所の局所的温度上昇を低減することができる。
【００１４】
また、本発明のＸ線発生装置は、前記ターゲット手段において前記回転軸に沿って冷却手段を貫設させ、前記ターゲット部材表面において発生した熱が該冷却手段へ伝達されることで前記ターゲット部材表面の温度の上昇を防ぐようにすることもできる。この構成により、発熱部から冷却部までの距離を従来のＸ線管と比較して短くすることができるため、ターゲット部材の除熱をより一層効率的に行うことができる。
【００１５】
また、本発明のＸ線発生装置は、前記ターゲット手段において、前記ターゲット部材と、前記ターゲット部材をその外周に保持しながら回転可能に設けたターゲット部材保持体とを設けるようにすることもできる。この構成を採用することにより、構成が簡単になり、ターゲット部材の交換が容易になる。さらに、保持部材をターゲット部材の材質よりもさらに熱伝導のよいものにすることもできるので、冷却効率がより一層向上する。
【００１６】
また、本発明のＸ線発生装置は、前記冷却手段を、前記ターゲット手段においてその回転軸に沿って設けられた貫通孔と、該貫通孔内に軸受を介して貫設された配管により構成し、該配管を枢軸として前記ターゲット手段が回転するようにすることもできる。これにより、冷却媒体を前記配管に通すことができ、ターゲット表面において発生した熱がターゲット手段の外部へ容易に排出されるようになる。また、冷却機能の役目を果たす配管を中心軸としてターゲット部材保持体を回転させることができるので、構成が容易になる。さらに、熱伝導をかせぐために軸受数を増やすことも可能であり、これによって発熱部から冷却部までの距離が変化することがないので本手段は大変有用である。
【００１７】
また、本発明のＸ線発生装置は、前記駆動手段を、前記ターゲット手段の端部に配置され磁界を発生する固定子と、前記ターゲット手段の端部に固着されており、前記固定子による磁界を受けることにより回転トルクを発生して前記ターゲット手段を回転させる回転子とによって構成することもできる。これにより、真空環境下での摩擦力増大及び熱膨張による組合せ精度の変化という問題が無く、Ｘ線検査装置において利用する上で非常に有益である。
【００１８】
なお、前記ターゲット部材に近接して冷却板を設けることにより、ターゲット部材からの輻射熱を除去することが可能となる。
【００１９】
さらに、本発明のＸ線発生装置を円周状に配置し、これを真空壁で包囲し、前記Ｘ線発生装置の対向する位置にＸ線検出器を設けることにより、上述のような特徴を有するＸ線検査装置を実現することができる。即ち、ターゲット−電子線発生部間距離を短くすることができ、これらを隣接設置することが可能であるため、位相空間内での電子線発散を最低限にすることが可能である。このため、Ｘ線寸法（断面積)を従来の高速型Ｘ線検査装置よりも小さくすることが可能となる。
【００２０】
なお、隣接する前記Ｘ線発生装置の夫々を互いに異なる平面内に配置することにより、従来のＸ線管配列法よりも稠密にＸ線発生箇所を配列させることができ、上述のＸ線管回転速度の限界という制限を受けていた従来のＸ線検査装置よりも高速での被検査物評価が可能となる。従って、本発明によれば、従来よりも高速で且つ高分解能を有するＸ線検査装置を実現することが可能である。
【発明の効果】
【００２１】
ターゲット内へ電子線が入射する際にターゲット内で起こる、ターゲットを構成する原子・分子と電子線との相互作用により、電子線のエネルギの一部が当該ターゲットに移行し、これによってターゲットに温度上昇が生じる。ターゲットに対して断続的に電子線照射を行った場合、ターゲット温度は前述のように、（１）「蓄熱によるターゲット全体の温度上昇」、及び、（２）「電子線照射に伴う当該照射箇所の局所的温度上昇」の合計により決定される値に増加する。
【００２２】
一般に、一定熱流束が表面から入射した場合の表面温度上昇量は（式1）により求められる。
【００２３】
2005347178.tif 000003
・・・  （式１）
【００２４】
なお、電子線入射に伴う発熱は深さ方向分布を有すること、及び、電子線の一部は前記相互作用の結果からターゲット外に放出されること(この放出電子を一般に反射電子という)から、単純に前記式１に熱流束ｑ(＝電子エネルギ×ビーム電流／電子線入射面積)及び照射時間ｔ、熱伝導率λ、熱拡散率aを代入しても正確な解は得られないが、この式から前記（２）「電子線照射に伴う当該照射箇所の局所的温度上昇」の概略値を簡易評価することは可能である。
【００２５】
発生するＸ線の光子数はビーム電流値と照射時間ｔの積に比例する。しかし、前記式１によれば、表面温度上昇量はビーム電流量には比例するものの、照射時間には平方根値として比例する。このため、透過Ｘ線信号の採取時に有意雑音の影響を受けない程度の電流値で、且つ長時間照射を行うほうが、上昇温度低減には効果的である。但し、検査時間の短縮や、検出器の測定精度といった観点からは、このような対応だけでは本質的な対応とは成り得ない。
【００２６】
このため、（２）「電子線照射に伴う当該照射箇所の局所的温度上昇」を低減させる手段としては、ターゲットを回転させることによる電子線入射面積の相対的低減が現実的な有効手段である。ターゲットの回転速度が、電子線照射時間ｔ内における電子線照射面積がターゲット非回転時の２倍以上になるような速度でなければ、局所的最高温度は低減不能であることに留意を要する。なお、回転手段の付与は、歯車の組合せ等の機械的接触手段による場合には、真空環境下での摩擦力増大及び熱膨張による組合せ精度の変化という問題が存在するため、従来Ｘ線管と同様に非接触による誘導回転で実現するのが好適である。
【００２７】
一方、本発明によれば、（１）「蓄熱によるターゲット部材全体の温度上昇」を抑制するために、軸受を介して直接冷却管にターゲット部材保持体を接続することで伝導冷却を図ることができる。本方法では従来のＸ線管と比較して発熱部から冷却部までの距離が短いため、ターゲット部材及びターゲット部材保持体の除熱を効率的に行うことが可能である。また、伝熱面積増加手段として軸受数を増加させても、従来のＸ線管と異なり前記距離が変化することない。
【００２８】
また、位置毎における軸受部温度差が小さいので変形差異等を生じないため、各軸受が共に同様の安定した機能を長時間働かせることができる。なお、軸受は最低でも２箇所に設ける必要があるが、この際、各軸受・配管及びターゲット部材保持体に囲まれた空間は真空排気を行いに難いため、ターゲット部材保持体に前記空間に繋がる開口を設ける必要がある。なお、本発明のX線発生装置における軸受には、一般的な玉軸受よりも伝熱面積が増大する液体金属軸受の使用も可能であるが、高温時には液体金属と接触金属との間の反応性が高くなるため、留意が必要である。
【００２９】
さらに、本発明によれば、ターゲット−電子線発生部間距離を短くすることができ、これらを隣接設置することが可能であるため、位相空間内での電子線発散を最低限にすることが可能である。このため、Ｘ線寸法（断面積)を従来の高速型Ｘ線検査装置よりも小さくすることが可能となる。また、本発明のＸ線発生装置を複数配列することで複数のＸ線発生箇所を設けることができる。このため、従来のＸ線管配列法よりも稠密にＸ線発生箇所を配列させることができ、上述のＸ線管回転速度の限界という制限を受けていた従来のＸ線ＣＴよりも高速での被検査物評価が可能となる。従って、本発明によれば、従来よりも高速で且つ高分解能を有するＸ線検査装置を実現することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下に、本発明の一実施形態に係るＸ線発生装置について、図面を参照して説明する。本発明の位置実施形態に係るＸ線発生装置は、図１に示すような構成となっている（図２は図１のＸ線発生装置を矢印方向から見た側面図である）。電子線発生部２は、電子線８を出射する陰極９と、出射された電子線８を走査しながらターゲット部材１へ方向づけるための走査磁石１０を備えている。該電子線発生部２から出射された電子線８は、ターゲット部材１への入射角度をターゲット部材１の位置毎に同等にするために補正磁石１１によって適宜偏向させられ、ターゲット部材１に入射する。該ターゲット部材１はターゲット部材保持体３によって保持されている。該ターゲット部材保持体３は、円筒形状を有しており、中心に貫通孔が設けられ、その内部には、同じく円筒形状の配管６が軸受７を介して貫設されている。即ち、ターゲット部材保持体３は配管６によって軸支され、配管６を中心に回転可能なように設けられている。
【００３１】
ターゲット部材保持体３の端部には、ターゲット部材保持体と同心位置に中空状の回転子５が、ターゲット部材保持体３に固定設置されている。また、該回転子５を取り囲む位置に該回転子５に対して交番磁場を発生する固定子４が設置されている。即ち、固定子４から得られる交番磁界により、回転子５−固定子４間の相互作用が働き、回転子５に誘電力が付与される。このため、交番磁界印加により、回転子５と共にターゲット部材保持体３は配管の周りに対する回転運動が行われる。
【００３２】
ターゲット部材の近傍の電子線発生部２から、接地電位であるターゲット部材１に向けて電子線８が出射されるが、電子線８の形状及びターゲット部材１への入射角が所望のＸ線形状に対応し得るように、電子線発生部諸元は設定される。電子線８は、上述の補正手段（補正磁石１１）により、回転運動を行っているターゲット部材に対して一定角度で入射する。この際、電子線とターゲット部材との相互作用に基づく制動放射現象により、一定角度分布にてターゲット部材からＸ線１２が放出される（図２）。
【００３３】
配管６にはその内部に図示しない冷却材が通されており、ターゲット部材１において発生した熱を、ターゲット部材保持体３及び軸受７を介して受容するようになっている。なお、ターゲット部材保持体３の外周面に設置したターゲット部材１は、タングステン、タングステン合金等の高原子番号材からなる。或いは、ターゲット部材保持体３とターゲット部材１を同一材質で構成してもよく、また、これらを一体形成にすることも可能である。但し、後述のように冷却材による当該部温度低下を図るためには、ターゲット部材保持体は銅等の熱伝導性が良好な材質であることが望ましい。また、ターゲット部材とターゲット部材保持体は単に機械的に締結取り付けするだけでもよいが、両者間の接触熱抵抗を低減させるために当該間にカーボンシートの挟み込み、両者のロウ付け接続等を行うことが本発明ではより有効である。
【００３４】
なお、各構成要素は全て内部を真空排気された図示しない真空容器内に配置されており、配管への冷却材供給、各部電極等への電力供給等は真空容器外から図示しない真空容器壁面部コネクタを介して行う。また、発生したＸ線を真空容器外の被検査物等に照射させる場合には、真空容器壁面に取り付けられた図示しないＸ線窓等を介して真空容器外に取り出して使用する。なお、Ｘ線窓は、真空容器壁面で兼用することも可能であり、その形態は、特に限定されることなく、同様の効果を奏する。
【００３５】
前記ターゲット部材保持体３は、真空容器内において位置が固定されている配管６に対して軸受７を介して設置されている。つまり、該軸受７とターゲット部材保持体３及び配管６は相互に勘合等により相対的位置が固定されている。該配管６周りに対する当該ターゲット部材保持体の回転運動が可能になるように、本設置箇所における配管６は当該ターゲット部材保持体３の長さよりも長い区間に亘って一直線状であることを要する。
【００３６】
また、ターゲット部材保持体３はその側面外形が、円弧または直線をある回転軸を中心に回転させて形成される形状を有し、且つ前記回転軸を中心軸として円筒状の開口が設けてある中空状のものである。
【００３７】
図１では電子線発生部として、陰極９から出射された電子線８が走査磁石１０を用いて掃引されることにより線状電子線をターゲット部材に入射させる方式の場合を図示してある。しかし本発明は当該方式に限定するものではなく、例えば図３に示すように長尺の陰極から出射させた電子をグリッド１３に印加した電圧より静電的に引き出した後に加速してターゲット部材に入射させる方式でも同等に成立する。また、照射位置を制御するために、前記走査磁石掃引方式でも図示しないグリッドを併用したり、長尺陰極方式では長尺方向に対して複数の独立したグリッド構造を採用したりすることも有効である。更に、図１では電子線のターゲット部材への入射角度を位置毎に同等にするために掃引位置に応じて適宜偏向させるための補正磁石１１を示しているが、特定方向に対する発生位置毎のＸ線強度を問題としない場合等には本磁石は必ずしも必要ではない。
【００３８】
次に、上述した本発明によるＸ線発生装置を実際に用いたＸ線検査装置の例として、Ｘ線ＣＴのように周方向から中心に向けたＸ線出射体系の構築例を図４に示す。各Ｘ線発生装置は真空容器内に図４のように中心方向にＸ線が出射されるように円周位置に配置され、被検査物１４は当該円周中心位置を紙面に対して垂直な方向に移動する。Ｘ線の周方向における発生位置は連続的であることが望ましいが、回転子等の設置スペースが必要なこと、及び隣接ターゲットの近傍でのＸ線発生時における一部Ｘ線の隣接部構成要素間相互作用の影響が問題になることから、隣接するＸ線発生装置は、図５に示すように互いに異なる平面内に配置する必要がある。真空中で発生したＸ線は、真空壁１６に取り付けたＸ線窓１８を介して大気中に出射される。この際、所望する方向以外への不要なＸ線出射を抑制するために、前記Ｘ線窓近傍には遮へい板１７が設けられている。また、透過Ｘ線強度を評価するために、対向するＸ線発生装置のＸ線出射領域と干渉しない位置には、Ｘ線検出器１５が設置される。
【００３９】
Ｘ線発生装置から出射したＸ線は被検査物を通過した後、対向位置にあるＸ線検出器に入射する。Ｘ線検出器から得られた信号は、出射Ｘ線強度に対応した信号と共に、図示しない画像処理装置に送られた後に信号処理がなされて、結果として検査物内部画像の再構成が行われる。本再構成結果から当該被検査物の内部確認がなされる。
【００４０】
なお、多方向から同時にＸ線を出射した場合は、検出対象位置以外から出射されたＸ線の散乱等による迷信号成分も当該対象検出器に入射するため、前記再構成の精度が悪くなる。このため、迷信号成分の影響を受ける設置範囲内では任意の一箇所からのみＸ線が出射されるように電子線発生部を制御する必要がある。本対応には前述の電子線照射部におけるグリッド制御及び走査位置により実施する。
【００４１】
なお、本発明におけるＸ線発生装置の構成は、上述した構成に限定されるものではない。また、図５に示すように互いに直交する方向に対して前述のＸ線発生装置を設置して当該Ｘ線発生装置に対応する位置に検出器を設置するといった方法、及び、各構成要素の配置に限定されるものではない。例えば、図４に示す実施例においては、本発明のＸ線発生装置を円周状に配置した例を示したが、この配置に限らず、四角形状に配置することや、或いは互いに垂直な２つの面にのみ配置することも考えられる。
【００４２】
また、別の実施形態として、図６及び図７に示すようにターゲット部材１の外周を取り囲み且つ当該ターゲット部材1への電子線８の入射及びＸ線１２の出射に影響しない開口１９を備えた水冷板２０を設ける。このように、ターゲット部材近傍に一定温度に冷却されている水冷板を設置することにより、ターゲット部材からの輻射熱を除去することが可能になる。この構成をＸ線検査装置に採用することにより、従来法（Ｘ線管壁面を冷却）と比較して、相対的に冷却面−ターゲット間距離を近接させることが可能なため、形態係数が大きくなるため除熱効率が向上する。
【００４３】
本実施形態は、図６や図７に示すような水冷板２０の配置体系に依存せず成立する。また、本実施形態のように水冷板２０でターゲット部材１を取り囲んだ体系では、水冷板−ターゲット間の真空排気が充分に行い得ない可能性もある。このため、当該対策を行うために水冷板壁面には適宜真空排気用の開口（図示せず）を設けることが望ましい。なお、本水冷板自身が図示しない真空容器壁面であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施形態に係るＸ線発生装置の概略断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るＸ線発生装置の概略側面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るＸ線発生装置の部分断面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の概略側面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の一例を説明するための図である。
【図６】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の概略側面図である。
【図７】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の概略側面図である。
【図８】従来のＸ線発生装置を示す図である。
【図９】従来のＸ線検査装置を示す図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  ターゲット部材
２  電子線発生部
３  ターゲット部材保持体
４  固定子
５  回転子
６  配管
７  軸受
８  電子線
９  陰極
１０  走査磁石
１１  補正磁石
１２  Ｘ線
１３  グリッド
１４  被検査物
１５  Ｘ線検出器
１６  真空壁
１７  遮蔽板
１８  Ｘ線窓
１９  開口
２０  水冷板
【図１】
2005347178.tif 000004
【図２】
2005347178.tif 000005
【図３】
2005347178.tif 000006
【図４】
2005347178.tif 000007
【図５】
2005347178.tif 000008
【図６】
2005347178.tif 000009
【図７】
2005347178.tif 000010
【図８】
2005347178.tif 000011
【図９】
2005347178.tif 000012