(57)【要約】 【課題】  排気コンダクタンスの改善と放電干渉の抑制を両立させ、さらに安定した隔壁形状を得る。【解決手段】  開示されるＰＤＰ１０は、前面基板と背面基板とが両基板間に放電空間が形成されるように対向配置され、前面基板及び背面基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有する構成において、井桁状の隔壁５は対向面上で行方向Ｈに形成された横隔壁５Ａと、行方向Ｈと直交する列方向Ｖに形成された縦隔壁５Ｂとから構成され、横隔壁５Ａと縦隔壁５Ｂは異なるパターンに形成されて、横隔壁５Ａの高さは、縦隔壁５Ｂのそれよりも低く形成されている。なお、横隔壁及び縦隔壁に特定することなく、隔壁の凸凹を制御する一般的な用途に適用することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と第２の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、前記第１及び第２の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルであって、
前記隔壁は、性質の異なる複数の隔壁材料により形成され、該複数の材料は異なるパターンに形成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記第１の基板の前記対向面には第１の方向に主放電ギャップを介して第１の電極及び第２の電極から成る行電極群が配置される一方、前記第２の基板の前記対向面には前記行電極群と直交する方向に第３の電極から成る列電極群が配置されることを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記隔壁は、第１の隔壁材料と、該第１の隔壁材料とは組成の異なる第２の隔壁材料とを含む複数の隔壁材料により構成されるとともに、第１の隔壁部と、該第１の隔壁部とは前記第１の隔壁材料と前記第２の隔壁材料の構成比が異なる第２の隔壁部を有するものであって、
前記第１の隔壁部と前記第２の隔壁部との高さが異なることを特徴とする請求項１又は２記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記隔壁は、第１の隔壁材料と、該第１の隔壁材料とは組成の異なる第２の隔壁材料とを含む複数の隔壁材料により構成されるとともに、第１の隔壁部と、該第１の隔壁部とは前記第１の隔壁材料と前記第２の隔壁材料の構成比が異なる第２の隔壁部を有するものであって、
前記第１の隔壁部と前記第２の隔壁部との高さが略等しいことを特徴とする請求項１又は２記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記複数の隔壁材料は、焼成による収縮率の異なる隔壁材料を含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記複数の隔壁材料は、含有するガラス材料の軟化点が異なる隔壁材料を含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
第１の基板と第２の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、前記第１及び第２の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記隔壁を形成する工程が、
前記いずれか一方の対向面上に第１の隔壁材料を形成する工程と、
前記いずれか一方の対向面上に第２の隔壁材料を形成する工程と、
前記第１及び第２の隔壁材料を経時的に前記隔壁を構成する形状にパターニングする工程と、
前記第１及び第２の隔壁材料を同時に焼成する工程と、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】
第１の基板と第２の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、前記第１の基板の前記対向面には第１の方向に主放電ギャップを介して第１の電極及び第２の電極から成る行電極群が配置される一方、前記第２の基板の前記対向面には第２の方向に第３の電極から成る列電極群が配置され、前記第１及び第２の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、
前記隔壁を形成する工程が、
前記いずれか一方の対向面上に第１の隔壁材料を形成する工程と、
前記いずれか一方の対向面上に第２の隔壁材料を形成する工程と、
前記第１及び第２の隔壁材料を経時的に前記隔壁を構成する形状にパターニングする工程と、
前記第１及び第２の隔壁材料を同時に焼成する工程と、
を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
前記第１の隔壁材料の形成パターンと、前記第２の隔壁材料の形成パターンとが異なることを特徴とする請求項７又は８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
前記隔壁は、第１の隔壁部と、該第１の隔壁部とは前記第１の隔壁材料と前記第２の隔壁材料の構成比が異なる第２の隔壁部を有するものであって、
前記第１の隔壁部と前記第２の隔壁部との高さが異なることを特徴とする請求項７、８又は９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
前記隔壁は、第１の隔壁部と、該第１の隔壁部とは前記第１の隔壁材料と前記第２の隔壁材料の構成比が異なる第２の隔壁部を有するものであって、
前記第１の隔壁部と前記第２の隔壁部との高さが略等しいことを特徴とする請求項７、８又は９に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１２】
前記第１の隔壁材料と第２の隔壁材料は、焼成による収縮率が異なることを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１３】
前記第１の隔壁材料と第２の隔壁材料は、含有するガラス材料の軟化点が異なることを特徴とする請求項７乃至１１のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１４】
前記第１の隔壁材料を形成する工程が、該第１の隔壁材料を部分的に形成する一方、前記第２の隔壁材料を形成する工程が、該第２の隔壁材料を全面に形成することを特徴とする請求項７乃至１３のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１５】
前記隔壁を構成する形状にパターニングする工程が、共通のレジストパターンを用いて前記第３の電極と前記第１の隔壁材料とを同時にパターニングすることを特徴とする請求項８乃至１４のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１６】
前記隔壁を構成する形状にパターニングする工程が、透明基板の表面に遮光材料から成る前記第３の電極を覆うように感光性材料から成る前記第１の隔壁材料を形成した後、前記第３の電極をマスクとして前記透明基板の裏面から露光し、次に現像して前記第１の隔壁材料をパターニングすることを特徴とする請求項８乃至１４のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１７】
請求項１乃至６のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルを用いて構成したことを特徴とするプラズマ表示装置。
【請求項１８】
請求項７乃至１６のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法によりプラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、
前記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに前記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、
画像信号のフォマット変換を行い、前記モジュールに送信するインタフェースを前記モジュールに電気的に接続する第３の工程と、
を含むことを特徴とするプラズマ表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel:以下、ＰＤＰとも称する）及びその製造方法、並びにプラズマ表示装置及びその製造方法に係り、詳しくは、表示セルを区画するための隔壁を有するＰＤＰ及びその製造方法、並びにプラズマ表示装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ＰＤＰを主要部として構成されているプラズマ表示装置は、従来から広く用いられているＣＲＴ(Cathode Ray Tube:陰極線管)、あるいはＬＣＤ(Liquid Crystal Device:液晶表示装置)等の表示装置と比較して、ちらつきが少なく表示コントラスト比が大きいこと、薄型で大画面が可能であること、応答速度が速いこと等の多くの利点を有しているので、近年コンピュータのような情報処理機器の表示装置として利用されてる。
【０００３】
このプラズマ表示装置は、動作方式により、電極が誘電体層で被覆されて間接的に交流放電の状態で動作させるＡＣ型のものと、電極が放電空間に露出されて直流放電の状態で動作させるＤＣ型のものとに略大別されるが、特にＡＣ型プラズマ表示装置（単に、プラズマ表示装置とも称する）は上述したような大画面化が容易に実現できるので広く用いられている。
【０００４】
上述したようなプラズマ表示装置の主要部を構成するＰＤＰが、例えば特許文献１（第１の従来技術）に開示されている。同ＰＤＰ１００は、図１３に斜視図で示すように、前面基板１０１と、背面基板１０２とが対向するように配置されて、両基板１０１、１０２間に放電ガス空間１０３が形成される基本的な構成を有している。
前面基板１０１は、ガラス等の透明材料から成る第１の絶縁基板１０４と、第１の絶縁基板１０４の内面に行方向（横方向あるいは第１の方向）Ｈに沿って互いに平行に配置されて行電極群を構成する走査電極１０５及び維持電極（共通電極）１０６と、両電極１０５、１０６を被覆する低融点鉛ガラス（ＰｂＯ）等から成る第１の誘電体層１０７と、第１の誘電体層１０７を放電から保護する酸化マグネシウム（ＭｇＯ）等から成る保護層１０８とを備えている。ここで、走査電極１０５及び維持電極１０６は、それぞれＩＴＯ(Indium Tin Oxide)、酸化錫（ＳｎＯ2）等から成る透明電極１０５Ａ、１０６Ａと、低抵抗化を図るために透明電極１０５Ａ、１０６上の一部に形成されたＡｌ（アルミニウム）、Ａｇ（銀）等から成るバス電極（トレース電極）１０５Ｂ、１０６Ｂとから構成されている。
【０００５】
一方、背面基板１０２は、ガラス等の透明材料から成る第２の絶縁基板１０９と、第２の絶縁基板１０９の内面に行方向Ｈと直交する列方向（縦方向あるいは第２の方向）Ｖに沿って互いに平行に配置されて列電極群を構成するＡｌ、Ａｇ等から成るデータ電極（アドレス電極）１１１と、データ電極１１１を被覆する鉛含有フリットガラス等から成る第２の誘電体層１１２と、Ｈｅ（ヘリウム）、Ｎｅ（ネオン）、Ｘｅ（キセノン）等の放電用ガスが単独であるいは混合して充填されて上記放電ガス空間１０３を確保するとともに、表示の単位となる表示セルを区画するために列方向Ｖに形成された鉛含有フリットガラス等から成るストライプ状の隔壁１１３と、隔壁１１３の内壁面及び底面を被覆するように形成されて放電用ガスの放電により発生する紫外線を赤色光に変換する赤色蛍光体層、緑色光に変換する緑色蛍光体層及び青色に変換する青色蛍光体層が塗り分けられた蛍光体層１１４とを備えている。ここで、放電ガス空間１０３内への放電ガスの充填は、通常、パネルの端部に形成された通気口からパネル内のガスを一旦排気した後にその通気口から放電ガスを導入することにより行われる。
【０００６】
上述のような構成のＰＤＰ１００においては、背面基板１０２のデータ電極１１１と前面基板１０１の走査電極１０５との間で表示（発光）すべきセルを選択する書き込み放電を行い、続いて前面基板１０１の走査電極１０５と維持電極１０６との間で選択したセルの面放電１１０による維持放電（表示放電）を行うことにより、表示に供される。
【０００７】
ここで、上述のように背面基板１０２上にストライプ状の隔壁１１３を形成した特許文献１のＰＤＰ１００では、図１４に平面図で示すように、ＰＤＰを構成するそれぞれの表示セル１１５の走査電極１０５と維持電極１０６とはメインギャップ（放電ギャップ）ＭＧを介して横方向Ｈに対向配置される一方、列方向Ｖに隣接する表示セル１１５間にはセル間の放電干渉を避けるためにサブギャップ（非放電ギャップ）ＳＧが設けられている。通常、サブギャップＳＧの寸法は、メインギャップＭＧのそれの３〜５倍に設定されている。ＰＤＰの画素サイズは、通常画面サイズと画素数により規定されるため、非放電ギャップの寸法が大きくなることで、電極の幅が列方向Ｖに短くなる。このため、電極面積の減少に伴って放電電流が減少し、結果として発光輝度が減少するという問題が発生する。この傾向は表示セル１１５を増加させてＰＤＰ１００の大画面化を図る場合ほど著しくなる。
【０００８】
そのような観点から、電極面積の減少を避けて列方向Ｖに隣接する表示セル１１５間の放電干渉を防止するように構成したＰＤＰが、例えば特許文献２（第２の従来技術）に開示されている。同ＰＤＰ１２０は、図１５に平面図で示すように、表示セル１１５を区画するための井桁状の隔壁１１６を備えている。すなわち、このＰＤＰ１２０では、上述のＰＤＰ１００のように行方向Ｈにだけでなく、列方向Ｖにも形成された隔壁１１６を備えている。また、ＰＤＰ１００と比べて走査電極１０５及び維持電極１０６の配列が異なっていて、列方向Ｖの表示ラインごとにその配列順序が入れ替わっている。これは、列方向Ｖに隣接する表示セル１１５間で、走査電極１０５と維持電極１０６によって形成される容量成分を低減するためである。
【０００９】
これ以外の構成はＰＤＰ１００と略同様であるので、図１５において図１４の構成部分と対応する各部には、同一の番号を付してその説明を省略する。このような構成のＰＤＰ１２０によれば、表示セル１１５が井桁状の隔壁１１６で囲まれているので、列方向Ｖに隣接する表示セル１１５間の放電干渉を防止することができるだけでなく、表示セル１１５間のサブギャップを短くすることができるので、電極の幅が列方向Ｖに短くなるのを避けることができるようになる。さらに、サブギャップを短くできることに伴って、走査電極１０５及び維持電極１０６の電極面積を広げることができるので、放電電流を増大させることにより、高輝度での表示が可能となる。
【００１０】
しかしながら、図１５のＰＤＰ１２０では、井桁状の隔壁１１６を備えていることにより各表示セル１１５は密封構造となっているので、放電ガスを充填する工程において、パネル内を効率的に排気する場合に不利となる。すなわち、前面基板と背面基板上の井桁状の隔壁１１６との間の微小な間隙を通じて排気する必要があるので、排気コンダクタンスが著しく低下するようになる。この結果、上述のＰＤＰ１００と同様の排気工程を行った場合には、パネル内のガスを十分に排気することができなくなるため、多くの不純物ガスが残留するようになるので、放電特性、さらにはＰＤＰとしての発光特性を悪化させるようになる。また、ＰＤＰ１００と同等の排気状態を得るためには、より長い排気時間が必要になるので、ＰＤＰの生産性を低下させることになる。
【００１１】
上述のようなＰＤＰ１２０の問題を解決すべく、隔壁の高さを部分的に変えて排気経路を確保するようにした構成のＰＤＰが、例えば特許文献３（第３の従来技術）及び特許文献４（第４の従来技術）に開示されている。特許文献３に開示されているＰＤＰ１３０は、図１６に斜視図で示すように、井桁状の第１の隔壁１１７を形成した後、列方向Ｖのみの隔壁１１７上にストライプ状の第２の隔壁１１８を形成している。このような構成のＰＤＰ１３０によれば、行方向Ｈの隔壁１１７の高さは列方向Ｖの隔壁１１８のそれよりも低くなるので、背面基板と前面基板とを組み合わせた場合に、背面基板上の行方向Ｈの隔壁１１７と前面基板との間に間隙ができるので、良好な排気特性が得られて排気コンダクタンスの低下を防止できるとしている。
【００１２】
また、特許文献４に開示されているＰＤＰ１４０は、図１７に斜視図で示すように、列方向Ｖに第１の隔壁１２１を形成するとともに、行方向Ｈに第２の隔壁１２２及び第３の隔壁１２３を形成することにより井桁状の隔壁を形成している。このような構成のＰＤＰ１４０によれば、井桁状の隔壁を構成する行方向Ｈの隔壁１２２、１２３の幅を列方向Ｖの隔壁１２１のそれよりも大きくすることで、焼成による収縮の方向を異ならせて焼成後の隔壁形状に高さの分布を持たせて、背面基板と前面基板とを組み合わせた場合に、背面基板上の行方向Ｈの隔壁１２２、１２３と前面基板１０１との間に間隙を形成するようにしている。
【特許文献１】特開２００２−２５８７９４号公報
【特許文献２】特開２００２−４２６６１号公報
【特許文献３】特開２０００−２８５８０８号公報
【特許文献４】特開２００２−８３５４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、特許文献３、４に記載されている従来のＰＤＰでは、それぞれ以下に説明するような問題がある。
まず、特許文献３記載の第３の従来技術に係るＰＤＰ１３０では、図１６に示したように、２回の独立したパターン形成工程を用いて井桁状の第１の隔壁１１７を形成した後、列方向Ｖのみの隔壁１１７上にストライプ状の第２の隔壁１１８を重ねるように形成して所望の隔壁形状を形成しているので、第２の隔壁１１８がずれ易くなる。すなわち、第２の隔壁１１８の土台が不安になるので、背面基板と前面基板とを組み合わせてパネルとした場合に、第２の隔壁１１８が崩れてしまう可能性があり、安定した隔壁形状を得るのが困難となる。
【００１４】
次に、特許文献４記載の第４の従来技術に係るＰＤＰ１４０では、図１７に示したように、列方向Ｖに第１の隔壁１２１を形成するとともに、行方向Ｈに第２の隔壁１２２及び第３の隔壁１２３を形成することにより隔壁形状に高さの分布を持たせて井桁状の隔壁を形成しているので、隔壁幅の設計範囲が制限されてしまい、光学特性等を低下させてしまうことがある。また、排気コンダクタンス以外の制約により隔壁幅を決定しなければならない場合には、排気に必要な間隙が得られなくなって排気コンダクタンスを悪化させることになり、あるいは間隙が大きくなり過ぎて排気コンダクタンスは改善されるものの放電干渉を防止することができなくなる。
【００１５】
この発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、排気コンダクタンスの改善と放電干渉の抑制を両立させ、さらに安定した隔壁形状を得ることができるようにしたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びにプラズマ表示装置及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、第１の基板と第２の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、上記第１及び第２の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルに係り、上記隔壁は、性質の異なる複数の隔壁材料により形成され、該複数の材料は異なるパターンに形成されることを特徴としている。
【００１７】
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記第１の基板の上記対向面には第１の方向に主放電ギャップを介して第１の電極及び第２の電極から成る行電極群が配置される一方、上記第２の基板の上記対向面には上記行電極群と直交する方向に第３の電極から成る列電極群が配置されることを特徴としている。
【００１８】
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記隔壁は、第１の隔壁材料と、該第１の隔壁材料とは組成の異なる第２の隔壁材料とを含む複数の隔壁材料により構成されるとともに、第１の隔壁部と、該第１の隔壁部とは上記第１の隔壁材料と上記第２の隔壁材料の構成比が異なる第２の隔壁部を有するものであって、上記第１の隔壁部と上記第２の隔壁部との高さが異なることを特徴としている。
【００１９】
また、請求項４記載の発明は、請求項１又は２記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記隔壁は、第１の隔壁材料と、該第１の隔壁材料とは組成の異なる第２の隔壁材料とを含む複数の隔壁材料により構成されるとともに、第１の隔壁部と、該第１の隔壁部とは上記第１の隔壁材料と上記第２の隔壁材料の構成比が異なる第２の隔壁部を有するものであって、上記第１の隔壁部と上記第２の隔壁部との高さが略等しいことを特徴としている。
【００２０】
また、請求項５記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記複数の隔壁材料は、焼成による収縮率の異なる隔壁材料を含むことを特徴としている。
【００２１】
また、請求項６記載の発明は、請求項１乃至４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルに係り、上記複数の隔壁材料は、含有するガラス材料の軟化点が異なる隔壁材料を含むことを特徴としている。
【００２２】
また、請求項７記載の発明は、第１の基板と第２の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、上記第１及び第２の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記隔壁を形成する工程が、上記いずれか一方の対向面上に第１の隔壁材料を形成する工程と、上記いずれか一方の対向面上に第２の隔壁材料を形成する工程と、上記第１及び第２の隔壁材料を経時的に上記隔壁を構成する形状にパターニングする工程と、上記第１及び第２の隔壁材料を同時に焼成する工程とを含むことを特徴としている。
【００２３】
また、請求項８記載の発明は、第１の基板と第２の基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、上記第１の基板の上記対向面には第１の方向に主放電ギャップを介して第１の電極及び第２の電極から成る行電極群が配置される一方、上記第２の基板の上記対向面には第２の方向に第３の電極から成る列電極群が配置され、上記第１及び第２の基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有するプラズマディスプレイパネルに係り、上記隔壁を形成する工程が、上記いずれか一方の対向面上に第１の隔壁材料を形成する工程と、上記いずれか一方の対向面上に第２の隔壁材料を形成する工程と、上記第１及び第２の隔壁材料を経時的に上記隔壁を構成する形状にパターニングする工程と、上記第１及び第２の隔壁材料を同時に焼成する工程とを含むことを特徴としている。
【００２４】
また、請求項９記載の発明は、請求項７又は８記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第１の隔壁材料の形成パターンと、上記第２の隔壁材料の形成パターンとが異なることを特徴としている。
【００２５】
また、請求項１０記載の発明は、請求項７、８又は９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記隔壁は、第１の隔壁部と、該第１の隔壁部とは上記第１の隔壁材料と上記第２の隔壁材料の構成比が異なる第２の隔壁部を有するものであって、上記第１の隔壁部と上記第２の隔壁部との高さが異なることを特徴としている。
【００２６】
また、請求項１１記載の発明は、請求項７、８又は９記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記隔壁は、第１の隔壁部と、該第１の隔壁部とは上記第１の隔壁材料と上記第２の隔壁材料の構成比が異なる第２の隔壁部を有するものであって、上記第１の隔壁部と上記第２の隔壁部との高さが略等しいことを特徴としている。
【００２７】
また、請求項１２記載の発明は、請求項７乃至１１のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第１の隔壁材料と第２の隔壁材料は、焼成による収縮率が異なることを特徴としている。
【００２８】
また、請求項１３記載の発明は、請求項７乃至１１のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第１の隔壁材料と第２の隔壁材料は、含有するガラス材料の軟化点が異なることを特徴としている。
【００２９】
また、請求項１４記載の発明は、請求項７乃至１３のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記第１の隔壁材料を形成する工程が、該第１の隔壁材料を部分的に形成する一方、上記第２の隔壁材料を形成する工程が、該第２の隔壁材料を全面に形成することを特徴としている。
【００３０】
また、請求項１５記載の発明は、請求項８乃至１４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記隔壁を構成する形状にパターニングする工程が、共通のレジストパターンを用いて上記第３の電極と上記第１の隔壁材料とを同時にパターニングすることを特徴としている。
【００３１】
また、請求項１６記載の発明は、請求項８乃至１４のいずれか１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法に係り、上記隔壁を構成する形状にパターニングする工程が、透明基板の表面に遮光材料から成る上記第３の電極を覆うように感光性材料から成る上記第１の隔壁材料を形成した後、上記第３の電極をマスクとして上記透明基板の裏面から露光し、次に現像して上記第１の隔壁材料をパターニングすることを特徴としている。
【００３２】
また、請求項１７記載の発明は、プラズマ表示装置に係り、請求項１乃至６のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルを用いて構成したことを特徴としている。
【００３３】
また、請求項１８記載の発明は、プラズマ表示装置の製造方法に係り、請求項７乃至１６のいずれか一に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法によりプラズマディスプレイパネルを製造する第１の工程と、上記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路とともに上記プラズマディスプレイパネルを一つのモジュールとして製造する第２の工程と、画像信号のフォマット変換を行い、上記モジュールに送信するインタフェースを上記モジュールに電気的に接続する第３の工程とを含むことを特徴としている。
【発明の効果】
【００３４】
この発明のプラズマディスプレイパネル及びその製造方法、並びにプラズマ表示装置及びその製造方法によれば、プラズマディスプレイパネルの表示セルを区画するために例えば背面基板上に形成される井桁状の隔壁は、この隔壁を構成する横隔壁と縦隔壁との高さが異なり、あるいは横隔壁及び縦隔壁のいずれか一方の高さが部分的に異なるので、背面基板と前面基板とを組み合わせた場合に、背面基板上の隔壁と前面基板との間に排気経路としての間隙を容易に確保することができる。したがって、排気コンダクタンスの改善と放電干渉の抑制を両立させ、さらに安定した隔壁形状を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
この発明のプラズマディスプレイパネルは、前面基板と背面基板とが両基板間に放電空間を形成するように対向配置され、背面基板の対向面に表示セルを区画するための井桁状の隔壁を有する構成において、この隔壁は、性質の異なる複数の隔壁材料により形成され、複数の材料は異なるパターンに形成される。
【実施例１】
【００３６】
図１は、この発明の実施例１であるＰＤＰの概略構成を示す斜視図、図２は同ＰＤＰの製造方法を工程順に示す平面図、図３は図２のＡ−Ａ´線に沿った断面図である。なお、この例では背面基板のみの構成について説明し、前面基板については図１３の従来のＰＤＰのそれと略同じ構成なので、説明を省略する。
この例のＰＤＰ１０の背面基板１は、図１に示すように、ガラス等の透明材料から成る絶縁基板２と、絶縁基板２の内面に行方向Ｈと直交する列方向Ｖに沿って互いに平行に配置されて列電極群を構成するＡｌ、Ａｇ等から成るデータ電極（アドレス電極）３と、Ｈｅ、Ｎｅ、Ｘｅ等の放電用ガスが単独であるいは混合して充填されて前面基板（図示せず）との間で放電ガス空間を確保するとともに、表示セル４を区画するために行方向Ｈに形成された鉛含有フリットガラス等から成る井桁状の隔壁５と、データ電極３を被覆しかつ隔壁５の内壁面及び底面を被覆するように形成されて放電用ガスの放電により発生する紫外線を赤色光に変換する赤色蛍光体層、緑色光に変換する緑色蛍光体層及び青色に変換する青色蛍光体層が塗り分けられた蛍光体層６とを備えている。ここで、井桁状の隔壁５は、行方向Ｈに形成された横隔壁５Ａと列方向Ｖに形成された縦隔壁５Ｂとから構成されている。また、井桁状の隔壁５は、前面基板上の行方向Ｈに配置されている走査電極及び維持電極（ともに図示せず）に平行な横隔壁５Ａが非放電ギャップと重なるように形成されるとともに、列方向Ｖに配置されているデータ電極３に平行な縦隔壁５Ｂがデータ電極３間に配置されている。なお、データ電極３を被覆する誘電体層は不要にした例で示している。ＰＤＰの動作の原理上、その誘電体層は不要にしても何ら差し支えない。
【００３７】
また、図１から明らかなように、井桁状の隔壁５を構成している横隔壁５Ａと縦隔壁５Ｂは、性質の異なる複数の材料により異なるパターンに形成されて、横隔壁５Ａの高さは、縦隔壁５Ｂのそれよりも低く形成されている。このような設定により、背面基板と前面基板とを組み合わせた場合に、背面基板１上の行方向Ｈの横隔壁５Ａと前面基板との間に間隙を形成することができるように構成されている。なお、放電ガス空間内への放電ガスの充填は、従来のＰＤＰと同様に、パネルの端部に形成された通気口からパネル内のガスを一旦排気した後にその通気口から放電ガスを導入することにより行われる。
【００３８】
上述したように、この例のＰＤＰ１０によれば、表示セル４を区画するための井桁状の隔壁５は、行方向Ｈに形成された横隔壁５Ａと、行方向Ｈと直交する列方向Ｖに形成された縦隔壁５Ｂとから構成され、横隔壁５Ａと縦隔壁５Ｂは異なるパターンに形成されて、横隔壁５Ａの高さは、縦隔壁５Ｂのそれよりも低く形成されているので、背面基板１上の横隔壁５Ａと前面基板との間に排気経路としての間隙を容易に確保することができる。それゆえ、放電ガスを充填する工程において、その間隙を通じて排気することによりパネル内を効率的に排気することができるので、従来のＰＤＰ１００と同様の排気工程を行ってパネル内のガスを十分に排気することができるため、多くの不純物ガスが残留することがなくなり、放電特性、さらにはＰＤＰとしての発光特性を向上させることができる。また、従来のＰＤＰ１００と同等の排気状態を略同じ排気時間で得ることができるので、ＰＤＰの生産性を低下させることがなくなる。
【００３９】
次に、図２及び図３を参照して、この例のＰＤＰ１０の製造方法を工程順に説明する。なお、図３（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ図２（ａ）〜（ｅ）のＡ−Ａ´線に沿った断面を示している。
まず、図２（ａ）及び図３（ａ）に示すように、ガラス等の透明材料から成る絶縁基板２を用意して、列方向Ｖに沿って互いに平行にＡｌ、Ａｇ等から成るデータ電極３を形成した後、鉛含有フリットガラス等を含んだ絶縁ペーストから成る第１の隔壁材料５ａを、例えばスクリーン印刷法により行方向Ｈに沿って塗布する（形成する）。この場合、第１の隔壁材料５ａの高さは横隔壁５Ａとして最終的に必要な厚さの略１／２に選ぶ。
【００４０】
次に、図２（ｂ）及び図３（ｂ）に示すように、鉛含有フリットガラス等を含んだ絶縁ペーストから成る第２の隔壁材料５ｂを、例えばテーブルコータにより第１の隔壁材料５ａを覆うように絶縁基板２の略全面に塗布する。次に、レベリングにより、第２の隔壁材料５ｂの非形成部の高さが第１の隔壁材料５ａの形成部のそれと同じになるように調整する。ここで、第１の隔壁材料５ａ及び第２の隔壁材料５ｂは、後述するような組成のものを用いるようにする。
【００４１】
次に、図２（ｃ）及び図３（ｃ）に示すように、フォトリソグラフィ法により第２の隔壁材料５ｂ上に、形成すべき井桁状の隔壁５と同一形状のレジストパターン７を形成する。
【００４２】
次に、図２（ｄ）及び図３（ｄ）に示すように、レジストパターン７をマスクとして例えばサンドブラスト法により第２の隔壁材料５ｂのパターニングを行って、不要な第２の隔壁材料５ｂを除去する。このように、第２の隔壁材料５ｂのパターニングは、第１の隔壁材料５ａのパターニングよりも後の時点で、すなわち、経時的にパターニングを行う。
【００４３】
次に、図２（ｅ）及び図３（ｅ）に示すように、レジストパターン７を除去した後、焼成を行って、第１の隔壁材料５ａにより横隔壁５Ａを形成すると同時に第２の隔壁材料５ｂにより縦隔壁５Ｂを形成して、井桁状の隔壁５を形成して、図１に示すような背面基板１を完成させる。
【００４４】
次に、背面基板２の井桁状の隔壁５が形成された面と、前面基板（図示せず）の走査電極及び維持電極から成る行電極群が形成された面とを対向させて重ねて、周囲部を低融点ガラス（図示せず）により封止してパネルを形成する。次に、パネルの端部に形成した通気口からパネル内のガスを一旦排気した後、その通気口からＨｅ、Ｎｅ、Ｘｅ等の放電用ガスを放電ガス空間内に充填する。最後に、通気口を封止することによりＰＤＰ１０を完成させる。この後、ＰＤＰ１０に駆動回路、信号処理回路等の周辺回路基板を取り付けることにより、プラズマ表示装置を完成させる。
【００４５】
上述したようなＰＤＰ１０の製造方法において、一般に井桁状の隔壁５を形成するための隔壁材料は、焼成後の形状を維持するための金属酸化物等から成るフィラーと、焼成後のフィラー同士を接着するための低融点ガラスと、焼成前の各材料を接着するためのバインダとから構成される。ここで、バインダ成分は焼成により分解除去されるため、焼成後にはフィラーと低融点ガラスのみが残ることになる。
【００４６】
この場合、焼成前後での隔壁材料の体積差すなわち、焼成による隔壁材料の収縮は、フィラー、低融点ガラス及びバインダの組成比により決定される。例えば、これらの３つの原料から成る組成においてバインダの含有量を増やすような組成比にすると、焼成前後の体積変化が大きくなるため、結果的に収縮が大きくなる。
【００４７】
このような観点から、この例のＰＤＰ１０の製造方法においては、第１の隔壁材料５ａと第２の隔壁材料５ｂとの組成比を異ならせている。具体的には、第１の隔壁材料５ａのバインダの含有量を第２の隔壁材料５ｂのそれよりも多くして用いている。この結果、焼成による収縮量に差が生じて、バインダの含有量が多い第１の隔壁材料５ａの収縮量が第２の隔壁材料５ｂのそれよりも大きくなるので、第１の隔壁材料５ａにより形成される横隔壁５Ａの収縮量が第２の隔壁材料５ｂにより形成される縦隔壁５Ｂのそれよりも大きくなって、横隔壁５Ａの高さは縦隔壁５Ｂのそれよりも低く形成される。したがって、図１に示すように、横隔壁５Ａの高さを、縦隔壁５Ｂのそれよりも低く形成することができる。
【００４８】
上述したように、この例のＰＤＰの製造方法によれば、第１の隔壁材料５ａのバインダの含有量を第２の隔壁材料５ｂのそれよりも増やすような組成比のものを用いて、焼成によりバインダの含有量が多い第１の隔壁材料５ａにより形成される横隔壁５Ａの収縮量を第２の隔壁材料５ｂにより形成される縦隔壁５Ｂのそれよりも大きくして、横隔壁５Ａの高さを縦隔壁５Ｂのそれよりも低く形成するので、背面基板１上の横隔壁５Ａと前面基板との間に排気経路としての間隙を簡単に確保することができる。また、第１の隔壁材料５ａ及び第２の隔壁材料５ｂを塗布した後、一度のフォトリソグラフィ工程で横隔壁５Ａ及び縦隔壁５Ｂを形成するので、第１の隔壁材料５ａの形成精度があまり高くなくとも、隔壁形状のずれは発生しない。
【００４９】
このように、この例のＰＤＰ１０によれば、前面基板と背面基板とが両基板間に放電空間が形成されるように対向配置され、前面基板及び背面基板のいずれか一方の対向面に表示セルを区画するための隔壁を有する構成において、井桁状の隔壁５は対向面上で行方向Ｈに形成された横隔壁５Ａと、行方向Ｈと直交する列方向Ｖに形成された縦隔壁５Ｂとから構成され、横隔壁５Ａと縦隔壁５Ｂは異なるパターンに形成されて、横隔壁５Ａの高さは、縦隔壁５Ｂのそれよりも低く形成されているので、横隔壁５Ａと前面基板との間に排気経路としての間隙を容易に確保することができる。
また、この例のＰＤＰの製造方法によれば、焼成によりバインダ成分が多い第１の隔壁材料５ａにより形成される横隔壁５Ａの収縮量を第２の隔壁材料５ｂにより形成される縦隔壁５Ｂのそれよりも大きくして、横隔壁５Ａの高さを縦隔壁５Ｂのそれよりも低く形成するので、背面基板１上の横隔壁５Ａと前面基板との間に排気経路としての間隙を簡単に確保することができる。
したがって、排気コンダクタンスの改善と放電干渉の抑制を両立させ、さらに安定した隔壁形状を得ることができる。
【実施例２】
【００５０】
図４は、この発明の実施例２であるＰＤＰの概略構成を示す斜視図、図５は同ＰＤＰの製造方法（第１の製造方法）を工程順に示す平面図、図６は図５のＢ−Ｂ´線に沿った断面図、図７は同ＰＤＰの第１の製造方法により形成される隔壁の形状を説明する断面図である。この例のＰＤＰの概略構成が、上述した実施例１のそれと大きく異なるところは、行方向Ｈに形成される横隔壁の一部の高さを低く形成するようにした点である。
すなわち、この例のＰＤＰ１２の背面基板１１は、図４に示すように、井桁状の隔壁１３は、行方向Ｈに形成された横隔壁１３Ａと列方向Ｖに形成された縦隔壁１３Ｂとから構成されて、横隔壁１３Ａの一部の高さは低く形成されている。このような設定により、背面基板と前面基板とを組み合わせた場合に、背面基板１１上の行方向Ｈの横隔壁１３Ａの一部と前面基板との間に間隙を形成することができるように構成されている。なお、放電ガス空間内への放電ガスの充填は、実施例１のＰＤＰ１０と同様に、パネルの端部に形成された通気口からパネル内のガスを一旦排気した後にその通気口から放電ガスを導入することにより行われる。
これ以外の構成は図１に示した実施例１のＰＤＰ１０と略同様であるので、図４において図１の構成部分と対応する各部には、同一の番号を付してその説明を省略する。
【００５１】
上述したように、この例のＰＤＰ１２によれば、表示セル１４を区画するための井桁状の隔壁１３は、行方向Ｈに形成された横隔壁１３Ａと、行方向Ｈと直交する列方向Ｖに形成された縦隔壁１３Ｂとから構成され、横隔壁１３Ａと縦隔壁１３Ｂは異なるパターンに形成されて、横隔壁１３Ａの一部の高さは縦隔壁５Ｂのそれよりも低く形成されているので、背面基板１１上の横隔壁１３Ａと前面基板との間に排気経路としての間隙を容易に確保することができる。それゆえ、放電ガスを充填する工程において、その間隙を通じて排気することによりパネル内を効率的に排気することができるので、図１の実施例１のＰＤＰ１０と同様の排気工程を行ってパネル内のガスを十分に排気することができるため、多くの不純物ガスが残留することがなくなり、放電特性、さらにはＰＤＰとしての発光特性を向上させることができる。また、ＰＤＰ１０と同等の排気状態を略同じ排気時間で得ることができるので、ＰＤＰの生産性を低下させることがなくなる。
【００５２】
また、この例のＰＤＰ１２によれば、実施例１のＰＤＰ１０と同様に井桁状の隔壁１３は絶縁基板２の対向面上にそれぞれ形成された横隔壁１３Ａと縦隔壁１３Ｂとにより構成されて、いずれの隔壁部１３Ａ、１３Ｂ上にもストライプ状の隔壁は重ねられないので、第１及び縦隔壁１３Ａ、１３Ｂを安定に形成することができる。また、第１及び縦隔壁１３Ａ、１３Ｂはともに単一の隔壁により構成されて、いずれか一方の隔壁部のみの幅が大きく形成されることはないので、隔壁幅の設計範囲が制限されることはなくなる。
【００５３】
次に、図５及び図６を参照して、この例のＰＤＰ１２の第１の製造方法を工程順に説明する。なお、図６（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ図５（ａ）〜（ｅ）のＢ−Ｂ´線に沿った断面を示している。
まず、図５（ａ）及び図６（ａ）に示すように、ガラス等の透明材料から成る絶縁基板２を用意して、列方向Ｖに沿って互いに平行にＡｌ、Ａｇ等から成る電極層３ａを略全面に形成した後、鉛含有フリットガラス等を含んだ絶縁ペーストから成る第１の隔壁材料１３ａを、例えばスクリーン印刷法により略全面に塗布する。この場合、第１の隔壁材料１３ａの高さは横隔壁１３Ａとして最終的に必要な厚さの略１／２に選ぶ。次に、フォトリソグラフィ法により第１の隔壁材料１３ａ上に、形成すべきデータ電極３と同一形状のレジストパターン８を形成する。
【００５４】
次に、図５（ｂ）及び図６（ｂ）に示すように、レジストパターン８をマスクとして例えばサンドブラスト法により第１の隔壁材料１３ａのパターニングを行って、不要な第２の隔壁材料１３ａを除去する。さらに、レジストパターン８をマスクとしてエッチングによりパターニングを行ってデータ電極３を形成する。
【００５５】
次に、図５（ｃ）及び図６（ｃ）に示すように、鉛含有フリットガラス等を含んだ絶縁ペーストから成る第２の隔壁材料１３ｂを、例えばテーブルコータにより第１の隔壁材料１３ａを覆うように絶縁基板２の略全面に塗布する。次に、レベリングにより、第２の隔壁材料１３ｂの非形成部の高さが第１の隔壁材料１３ａの形成部のそれと同じになるように調整する。ここで、第１の隔壁材料１３ａ及び第２の隔壁材料１３ｂは、後述するような組成のものを用いるようにする。
次に、フォトリソグラフィ法により第２の隔壁材料１３ｂ上に、形成すべき井桁状の隔壁１３と同一形状のレジストパターン７を形成する。
【００５６】
次に、図５（ｄ）及び図６（ｄ）に示すように、レジストパターン７をマスクとして例えばサンドブラスト法により第２の隔壁材料１３ｂのパターニングを行って、不要な第２の隔壁材料１３ｂを除去する。
【００５７】
次に、図５（ｅ）及び図６（ｅ）に示すように、レジストパターン７を除去した後、焼成を行って、第１の隔壁材料１３ａにより横隔壁１３Ａを形成すると同時に第２の隔壁材料１３ｂにより縦隔壁１３Ｂを形成して、井桁状の隔壁１３を形成して、背面基板２を完成させる。
以下、実施例１のＰＤＰ１０の製造方法と同様な工程を経ることにより、ＰＤＰ１２を完成させ、さらにその後、ＰＤＰ１２に駆動回路、信号処理回路等の周辺回路基板を取り付けることにより、プラズマ表示装置を完成させる。
【００５８】
上述したようなＰＤＰ１２の第１の製造方法において、用いる第１の隔壁材料１３ａと第２の隔壁材料１３ｂとの軟化点を異ならせている。具体的には、第１の隔壁材料１３ａ及び第２の隔壁材料１３ｂは、焼成後の形状を維持するための金属酸化物等から成るフィラーと、焼成後のフィラー同士を接着するための低融点ガラスと、焼成前の各材料を接着するためのバインダとから構成される組成は同一で、第１の隔壁材料１３ａに含まれる低融点ガラスの軟化点を第２の隔壁材料１３ｂに含まれるそれの軟化点よりも低くして用いている。この結果、焼成時の隔壁構造の保持力に差が生じて、低融点ガラスの軟化点が低い第１の隔壁材料１３ａの保持力が第２の隔壁材料１３ｂのそれよりも小さくなるので、第１の隔壁材料１３ａにより形成される横隔壁１３Ａの保持力が第２の隔壁材料１３ｂにより形成される縦隔壁１３Ｂのそれよりも小さくなる。したがって、図４に示すように、横隔壁１３Ａの一部の高さを低く形成することができる。
【００５９】
図７（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図５（ｅ）におけるＸ−Ｘ´、Ｙ−Ｙ´線に沿った断面を示すもので、この例のＰＤＰ１２の第１の製造方法により形成される隔壁の形状を説明している。図７（ａ）に示すように、最初に塗布される第１の隔壁材料１３ａは、次に塗布される第２の隔壁材料１３ｂよりも低融点ガラスの軟化点が低くなっているので、焼成時に隔壁構造を保持する力が弱くなるため、底部にダレが生じてその高さは低くなる。一方、図７（ｂ）に示すように、第１及び第２の隔壁材料１３ａ、１３ｂの低融点ガラスの軟化点を略同一にして塗布した場合には、焼成時に隔壁構造を保持する力は略同じになるため、底部にダレがほとんど生じないのでその高さはそれほど低くならない。
【００６０】
このように、実施例１のＰＤＰ１０の製造方法のように隔壁材料の組成のバインダの含有量を増やして収縮量を大きくする例に限らずに、異なる現象によっても隔壁の高さを変えることができる。
【００６１】
また、上述のＰＤＰ１２の第１の製造方法によれば、レジストパターン８を共通のマスクとして用いて第１の隔壁材料１３ａのパターニング及びデータ電極３のパターニングを行うので、フォトリソグラフィ工程を増加することなく第１の隔壁材料１３ａのパターンを得ることができる。
【００６２】
このようにこの例によっても、実施例１において述べたのと略同様な効果を得ることができる。
【実施例３】
【００６３】
図８は、この発明の実施例３であるＰＤＰの製造方法を工程順に示す平面図、図９は図８のＣ−Ｃ´線に沿った断面図である。この例のＰＤＰの製造方法（実施例２のＰＤＰの第２の製造方法）の構成が、上述した実施例１のＰＤＰの第１の製造方法それと大きく異なるところは、隔壁材料として感光性材料を用いるようにした点である。以下、図８及び図９を参照して、ＰＤＰ１２の第２の製造方法を工程順に説明する。なお、図９（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ図８（ａ）〜（ｅ）のＣ−Ｃ´線に沿った断面を示している。
【００６４】
まず、図８（ａ）及び図９（ａ）に示すように、ガラス等の透明材料から成る絶縁基板２を用意して、列方向Ｖに沿って互いに平行にＡｌ、Ａｇ等から成るデータ電極３を形成した後、ネガ型の感光性を有する第１の隔壁材料１５ａを、例えばスクリーン印刷法により絶縁基板２の略全面に塗布する。この場合、第１の隔壁材料１５ａの高さは横隔壁１５Ａとして最終的に必要な厚さの略１／２に選ぶ。次に、データ電極３をマスクとして絶縁基板２の裏面から露光する。
【００６５】
次に、図８（ｂ）及び図９（ｂ）に示すように、現像を行うことにより、横隔壁１５ａをデータ電極３の直上部分のみを除去するようにパターニングする。データ電極３をＡｌ、Ａｇ等の遮光材料から構成することで、露光されないデータ電極３の直上部分のみの第１の隔壁材料１５ａが除去される。
【００６６】
次に、図８（ｃ）及び図９（ｃ）に示すように、鉛含有フリットガラス等を含んだ絶縁ペーストから成る第２の隔壁材料１５ｂを、例えばテーブルコータにより第１の隔壁材料１５ａを覆うように絶縁基板２の略全面に塗布する。次に、レベリングにより、第２の隔壁材料１５ｂの非形成部の高さが第１の隔壁材料１５ａの形成部のそれと同じになるように調整する。ここで、第１の隔壁材料１５ａ及び第２の隔壁材料１５ｂは、後述するような組成のものを用いるようにする。次に、フォトリソグラフィ法により第２の隔壁材料１５ｂ上に、形成すべき井桁状の隔壁１５と同一形状のレジストパターン７を形成する。
【００６７】
次に、図８（ｄ）及び図９（ｄ）に示すように、レジストパターン７をマスクとして例えばサンドブラスト法により第１及び第２の隔壁材料１５ａ、１５ｂのパターニングを行って、不要な第１及び第２の隔壁材料１５ａ、１５ｂを同時に除去する。
【００６８】
次に、図８（ｅ）及び図９（ｅ）に示すように、レジストパターン７を除去した後、焼成を行って、第１の隔壁材料１５ａにより横隔壁１５Ａを形成すると同時に第２の隔壁材料１５ｂにより縦隔壁１５Ｂを形成して、井桁状の隔壁１５を形成して、背面基板２を完成させる。
【００６９】
以下、実施例２のＰＤＰ１２の第１の製造方法と同様な工程を経ることにより、ＰＤＰ１２を完成させ、さらにその後、ＰＤＰ１２に駆動回路、信号処理回路等の周辺回路基板を取り付けることにより、プラズマ表示装置を完成させる。
【００７０】
上述したようなＰＤＰ１２の第２の製造方法において、用いる第１の隔壁材料１５ａと第２の隔壁材料１５ｂとの焼成による収縮量を異ならせている。具体的には、第１の隔壁材料１５ａを第２の隔壁材料１５ｂよりも収縮量が小さくなるようにその組成を調整して用いている。この結果、焼成による収縮量に差が生じて、第１の隔壁材料１５ａの収縮量が第２の隔壁材料１５ｂのそれよりも小さくなるので、第１の隔壁材料１５ａにより形成される横隔壁１５Ａの収縮量が第２の隔壁材料１５ｂにより形成される縦隔壁１５Ｂのそれよりも小さくなる。したがって、図４に示すように、実施例２のＰＤＰ１２のように横隔壁１３Ａ（この例では１５Ａとなる）の一部の高さを低く形成することができる。
【００７１】
また、上述のＰＤＰ１２の第２の製造方法によれば、データ電極３をマスクとして絶縁基板２の裏面から露光した後、現像を行うことにより、横隔壁１５ａにより横隔壁１５Ａを形成するので、専用の露光マスクが不要となり、またデータ電極３との位置合わせも不要となるため、簡単な工程で高精度に横隔壁１５Ａを形成することができる。
【００７２】
このようにこの例によっても、実施例２のＰＤＰの第１の製造方法において述べたのと略同様な効果を得ることができる。
【実施例４】
【００７３】
図１０は、この発明の実施例４であるＰＤＰの製造方法により製造されたＰＤＰの概略構成を示す斜視図、図１１は同ＰＤＰの製造方法を工程順に示すブロック図である。この例のＰＤＰは、実施例１〜実施例３におけるＰＤＰの製造方法に準じて製造される点に特徴を有している。
この例のＰＤＰ７０は、図１０に示すように、前面基板７１と、背面基板７２とが対向するように配置されて、両基板７１、７２間に放電ガス空間７３が形成される基本的な構成を有している。
【００７４】
ここで、前面基板７１は、図１０に示すように、ガラス等の透明材料から成る第１の絶縁基板７４と、第１の絶縁基板７４の内面に行方向Ｈに沿って互いに平行に配置されて行電極を構成する走査電極７５及び維持電極（共通電極）７６と、両電極７５、７６を被覆するＰｂＯ等から成る第１の誘電体層７７と、第１の誘電体層７７を放電から保護するＭｇＯ等から成る保護層７８とを備えている。ここで、走査電極７５及び維持電極７６は、それぞれＩＴＯ、ＳｎＯ2等から成る透明電極７５Ａ、７６Ａと、低抵抗化を図るために透明電極７５Ａ、７６上の一部に形成されたＡｌ、Ａｇ等から成るバス電極（トレース電極）７５Ｂ、７６Ｂとから構成されている。
【００７５】
一方、背面基板７２は、図１０に示すように、ガラス等の透明材料から成る第２の絶縁基板８１と、第２の絶縁基板８１の内面に行方向Ｈと直交する列方向Ｖに沿って互いに平行に配置されて列電極を構成するＡｌ、Ａｇ等から成るデータ電極（アドレス電極）８３と、データ電極８３を被覆する鉛含有フリットガラス等から成る第２の誘電体層８４と、Ｈｅ、Ｎｅ、Ｘｅ等の放電用ガスが単独であるいは混合して充填されて上記放電ガス空間７３を確保するとともに、表示セルを区画するために形成された鉛含有フリットガラス等から成る井桁状の隔壁８５と、隔壁８５の内壁面及び底面を被覆するように形成されて放電用ガスの放電により発生する紫外線を赤色光に変換する赤色蛍光体層、緑色光に変換する緑色蛍光体層及び青色に変換する青色蛍光体層が塗り分けられた蛍光体層８６とを備えている。
【００７６】
この例のＰＤＰ７０は、図１１に示したような製造方法によって製造される。以下、同図を参照して工程順に説明する。
まず、工程ａにおいて第１の絶縁基板７４としての前面ガラス基板を用意し、次に工程ｂにおいて基板７４の内面にスパッタ法等によりＩＴＯ等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングして各透明電極７５Ａ、７６Ａを形成し、次に工程ｃにおいて各透明電極７５Ａ、７６Ａ上にスパッタ法等によりＡｌ等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングして、各バス電極７５Ｂ、７６Ｂを形成して走査電極７５及び維持電極７６を完成させる。次に工程ｄにおいて走査電極７５及び維持電極７６を覆うようにスクリーン印刷法等によりＰｂＯ等の第１の誘電体層７７を形成し、次に工程ｅにおいてブラックマスク（図１０には図示していない）を形成し、次に工程ｆにおいてＭｇＯ等から成る保護膜７８を形成して前面基板７１を完成させる。
【００７７】
一方、工程ｇにおいて第２の絶縁基板８１としての背面ガラス基板を用意し、次に工程ｈにおいて基板８１の内面にスパッタ法等によりＡｌ等を成膜した後フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングしてデータ電極８３を形成する。次に工程ｉにおいてデータ電極８４上に、実施例１〜実施例３におけるＰＤＰの製造方法に準じて井桁状の隔壁８５を形成し、次に工程ｊにおいて隔壁８５を覆うように蛍光体層８６を形成し、次に工程ｋにおいてスクリーン印刷法等によりシールフリット（図１０には図示していない）を形成して背面基板７２を完成させる。
【００７８】
次に工程ｌにおいて、前面基板７１及び背面基板７２を用いて、１００μｍ程度のギャップを隔てて対向した状態で固定して組み立てる。次に工程ｍにおいて、両基板７１、７２の周辺部をシールフリット（封着材）により機密封止する。次に工程ｎにおいて、両基板７１、７２によるパネルの端部に形成された通気口からパネル内のガスを一旦排気した後にその通気口から放電ガスを充填することにより、放電ガス空間７３内に放電ガスの封入を行う。背面基板７２を構成している例えば第２の絶縁基板８１には適当な個所に通気口が形成されており、この絶縁基板８１の外側表面には、図１０では省略しているが、通気口に位置合わせした状態で、通気管が密封状態の下で取り付けられている。背面基板７１に取り付けられている端部とは反対側の通気管の端部は、当初の状態においては開口されており、この端部を介して通気管が排気・ガス充填装置に接続される。
【００７９】
まず、排気・ガス充填装置によって、放電ガス空間７３が真空に排気された後、放電ガス空間７３に放電ガスが充填される。放電ガスの充填が終了した後、通気管は過熱によりチップオンされ、開口端部が閉塞される。このようにして、放電ガス空間には放電ガスが充填され、ＰＤＰ７０が完成する。
【００８０】
このように、この例のＰＤＰ７０によれば、実施例１〜実施例３におけるＰＤＰの製造方法に準じて製造されるので、ＰＤＰ７０を安定に動作させることができる。
【００８１】
図１２は、この発明の実施例５であるプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。この例のプラズマ表示装置は、実施例１〜４によるＰＤＰを用いて構成した点に特徴を有している。
この例のプラズマ表示装置６０は、図１２に示すように、モジュール構造を有するものとして設計されており、具体的には、アナログインタフェース（以下、ＩＦ）２０とカラーＰＤＰモジュール３０とにより構成されている。
【００８２】
アナログＩＦ２０は、図１２に示すように、クロマ・デコータを備えるＹ／Ｃ分離回路２１と、Ａ／Ｄ変換回路２２と、ＰＬＬ回路を備える同期信号制御回路２３と、画像フォーマット変換回路２４と、逆γ（ガンマ）変換回路２５と、システム・コントロール回路２６と、ＰＬＥ制御回路２７とから構成されている。
【００８３】
概略的には、アナログＩＦ２０は、受信したアナログ映像信号をデジタル映像信号に変換した後、そのデジタル映像信号をカラーＰＤＰモジュール３０に供給する。例えばテレビチューナーから発信されたアナログ映像信号はＹ／Ｃ分離回路２１においてＲＧＢの各色の輝度信号に分解された後、Ａ／Ｄ変換回路２２においてデジタル信号に変換される。その後、カラーＰＤＰモジュール３０の画素構成と映像信号の画素構成が異なる場合には、画像フォーマット変換回路２４において必要な画像フォーマットの変換が行われる。ＰＤＰの入力信号に対する表示輝度の特性は線形的に比例するが、通常の映像信号はＣＲＴの特性に合わせて、予め補正（γ変換）されている。このため、Ａ／Ｄ変換回路２２において映像信号のＡ／Ｄ変換を行った後、逆γ変換回路２５において、映像信号に対して逆γ変換を施し、線形特性に復元されたデジタル映像信号を生成する。このデジタル映像信号はＲＧＢ映像信号としてカラーＰＤＰモジュール３０に出力される。
【００８４】
アナログ映像信号には、Ａ／Ｄ変換用のサンプリングクロック及びデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路２３に内蔵されているＰＬＬ回路が、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準として、サンプリングクロック及びデータクロック信号を生成し、カラーＰＤＰモジュール３０に出力する。アナログＩＦ２０のＰＬＥ制御回路２７は輝度制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を越える場合には表示輝度を低下させる。
【００８５】
システム・コントロール回路２６は、各種制御信号をカラーＰＤＰモジュール３０に対して出力する。カラーＰＤＰモジュール３０は、さらに、デジタル信号処理・制御回路３１と、パネル部３２と、ＤＣ／ＤＣコンバータを内蔵するモジュール内電源回路３３と、から構成されている。デジタル信号処理・制御回路３１は、入力ＩＦ信号処理回路３４と、フレームメモリ３５と、メモリ制御回路３６と、ドライバ制御回路３７とから構成されている。
【００８６】
例えば、入力ＩＦ信号処理回路３４に入力された映像信号の平均輝度レベルは入力ＩＦ信号処理回路３４内の入力信号平均輝度レベル演算回路（図示せず）により計算され、例えば、５ビットデータとして出力される。また、ＰＬＥ制御回路２７は、平均輝度レベルに応じてＰＬＥ制御データを設定し、入力ＩＦ信号処理回路３４内の輝度レベル制御回路（図示せず）に入力する。
【００８７】
デジタル信号処理・制御回路３１は、入力ＩＦ信号処理回路３４において、これらの各種信号を処理した後、制御回路をパネル部３２に送信する。同時に、メモリ制御回路３６及びドライバ制御回路３７はメモリ制御回路及びドライバ制御信号をパネル部３２に送信する。
【００８８】
パネル部３２は、例えば実施例４によるＰＤＰ７０と、走査電極を駆動する走査ドライバ３８と、データ電極を駆動するデータドライバ３９と、ＰＤＰ７０及び走査ドライバ３８にパルス電圧を供給する高圧パルス回路４０と、高圧パルス回路４０からの余剰電力を回収する電力回収回路４１とから構成されている。
【００８９】
ＰＤＰ７０は、例えば１３６５個×７６８個に配列された画素を有するものとして構成されている。ＰＤＰ７０においては、走査ドライバ３８が走査電極を制御し、データドライバ３９がデータ電極を制御することにより、これらの画素のうちの所定の画素の点灯又は非点灯が制御され、所望の表示が行われる。
なお、ロジック用電源がデジタル信号処理・制御回路３１及びパネル部３２にロジック用電力を供給している。さらに、モジュール内電源回路３３は、表示用電源から直流電力を供給され、この直流電力の電圧を所定の電圧に変換した後、パネル部３２に供給している。
【００９０】
以下、この例のプラズマ表示装置６０の製造方法を概略的に説明する。
まず、例えば実施例４によるＰＤＰ７０と、走査ドライバ３８と、データドライバ３９と、高圧パルス回路４０と、電力回収回路４１とを一基板上に配置し、パネル部３２を形成する。さらに、パネル部３２とは別個にデジタル信号処理・制御回路３１を形成する。
【００９１】
このようにして形成されたパネル部３２及びデジタル信号処理・制御回路３１とモジュール内電源回路３３とを一つのモジュールとして組み立て、カラーＰＤＰモジュール３０を形成する。さらに、カラーＰＤＰモジュール３０とは別個にアナログＩＦ２０を形成する。
このように、カラーＰＤＰモジュール３０をアナログＩＦ２０とをそれぞれ別個に形成した後、双方を電気的に接続することにより、図１２に示したプラズマ表示装置６０が完成する。
【００９２】
このように、プラズマ表示装置６０をモジュール化することにより、プラズマ表示装置を構成する他の構成部品とは別個に独立にプラズマ表示装置６０を製造することが可能となり、例えば、プラズマ表示装置６０が故障した場合には、カラーＰＤＰモジュール３０毎交換することにより、補修の簡素化及び短時間化を図ることができる。
【００９３】
このように、この例のプラズマ表示装置によれば、プラズマ表示装置６０をモジュール化することにより、故障したような場合に、カラーＰＤＰモジュール３０毎交換することができ、補修の簡素化及び短時間化を図ることができる。
【００９４】
以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれる。例えば実施例では隔壁を背面基板に形成する例で示したが、隔壁は背面基板に限ることなく、前面基板に形成するようにしてもよい。また、各実施例では井桁状の隔壁を形成する例について説明したが、隔壁の高さを部分的に制御して形成することを目的とするのであれば、特定の形状の隔壁には限定されない。また、実施例１のＰＤＰの製造方法では、第１及び第２の隔壁材料の組成におけるバインダの含有量を調整することにより、各隔壁材料の収縮量を変える例で説明したが、これに限らずに、組成におけるフィラーあるいは低融点ガラスの含有量を調整して各隔壁材料の収縮量を変えるようにしてもよい。また、実施例２のＰＤＰの製造方法では、第１及び第２の隔壁材料の組成における低融点ガラスの軟化点を調整することにより、隔壁の一部の高さを変える例で説明したが、これに限らずに、実施例１と同様に第１及び第２の隔壁材料の組成におけるバインダの含有量を調整することによって行ってもよい。また、隔壁の高さ関係は、両基板間に排気経路としての間隙を確保できれるようになっていれば、少なくとも一方の隔壁の上面に溝、凸凹面、傾斜面等が形成されていてもよい。
【００９５】
また、各実施例のＰＤＰの製造方法において説明した隔壁の形成方法は、部分的に隔壁の高さを制御する技術であり、各実施例においては隔壁に凹凸を形成する例を中心として説明したが、この発明はこれに限ることなく、他の要因により発生する隔壁の凹凸を制御するような用途にも用いることができる。例えば、第１の隔壁材料及び第２の隔壁材料を用いて隔壁を形成する場合、第１及び第２の隔壁材料の形成状態を異ならせることにより、横隔壁及び縦隔壁に特定することなく、すなわち横隔壁及び縦隔壁の位置に関係なく形成状態を異ならせた第１の隔壁部及び第２の隔壁部を形成することにより、隔壁の凹凸を制御することができる。また、この発明のＰＤＰあるいはプラズマ表示装置はカラー表示方式に限らず、モノクロ表示方式に対しても適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】この発明の実施例１であるＰＤＰの概略構成を示す斜視図である。
【図２】同ＰＤＰの製造方法を工程順に示す平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ´線に沿った断面図である。
【図４】この発明の実施例２であるＰＤＰの概略構成を示す斜視図である。
【図５】同ＰＤＰの製造方法を工程順に示す平面図である。
【図６】図５のＢ−Ｂ´線に沿った断面図である。
【図７】同ＰＤＰの製造方法により形成される隔壁の形状を説明する断面図である。
【図８】この発明の実施例３であるＰＤＰの製造方法を工程順に示す平面図である。
【図９】図８のＣ−Ｃ´線に沿った断面図である。
【図１０】この発明の実施例４であるＰＤＰの製造方法により製造されたＰＤＰの概略構成を示す斜視図である。
【図１１】同ＰＤＰの製造方法を工程順に示すブロック図である。
【図１２】この発明の実施例５であるプラズマ表示装置の構成を示すブロック図である。
【図１３】第１の従来技術に係るＰＤＰの構成を示す斜視図である。
【図１４】同第１の従来技術に係るＰＤＰの構成を示す平面図である。
【図１５】第２の従来技術に係るＰＤＰの構成を示す平面図である。
【図１６】第３の従来技術に係るＰＤＰの構成を示す斜視図である。
【図１７】第４の従来技術に係るＰＤＰの構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００９７】
１、１１    背面基板（第２の基板）
２    絶縁基板
３    データ電極（アドレス電極）
４、１４    表示セル
５、１３、１５    井桁状の隔壁
５ａ、１３ａ、１５ａ    第１の隔壁材料
５ｂ、１３ｂ、１５ｂ    第２の隔壁材料
５Ａ、１３Ａ、１５Ａ    横隔壁
５Ｂ、１３Ｂ、１５Ｂ    縦隔壁
６    蛍光体層
７、８    レジストパターン
１０、１２、７０    プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）
２０    アナログインタフェース（ＩＦ）
３０      カラーＰＤＰモジュール
３１      デジタル信号処理・制御回路
３２      パネル部
６０    プラズマ表示装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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