(57)【要約】【課題】  放電ランプと外部電極として作用する導電性保持部材との位置決めを精度よくしかも簡単に行うことのでる放電ランプ装置を提供する。【解決手段】  管状のランプ本体内にその中心軸線方向に内部給電電極が設けられた放電ランプ１０は導電性保持部材２０の収容溝に所定の間隔をおいて収容される。このとき、導電性保持部材２０の左右両側面に設けた当接部材２２の当接片２２ｂの先端部に形成した突部２４の当接面にランプ本体１１にソケット１４が当接されて、放電ランプ１０と導電性保持部材２０は所定の間隔に保持される。そして、ソケット１４は吊下部材１５を介して連結された板バネ３１によって、突部２４の当接面に対して圧接保持されている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状のランプ本体内にその中心軸線方向に内部給電電極が設けられた放電ランプと、
前記ランプ本体を収容し、前記ランプ本体の内部給電電極に対して外部電極として作用する導電性保持部材と、
前記導電性保持部材の両端部に、前記ランプ本体の中心軸線方向において前記ランプ本体と前記導電性保持部材との間隔をそれぞれ予め定めた間隔に位置決め保持するための位置決め保持手段とを設けたことを特徴とする放電ランプ装置。
【請求項２】
請求項１に記載の放電ランプ装置において、
前記位置決め保持手段は、
前記導電性保持部材の長手方向の両側面が外方に延び、前記ランプ本体の両端部に設けたソケットの外周面の一部にそれぞれ当接する当接部材と、
前記ランプ本体の両端部に設けたソケットの各々を、それぞれの前記当接部材に対して当接させる保持部材と
を有したことを特徴とする放電ランプ装置。
【請求項３】
請求項２に記載の放電ランプ装置において、
前記位置決め保持手段は、弾性部材であって、その弾性力にて前記ソケットを当接部材に当接することを特徴とする放電ランプ装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載の放電ランプ装置において、
前記ソケットの外周面近傍を吸引する吸引手段を備えていることを特徴とする放電ランプ装置。
【請求項５】
請求項２〜４に記載の放電ランプ装置において、
前記ソケットの外周面近傍を覆うカバー部材を備えていることを特徴とする放電ランプ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、放電ランプ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光化学処理、例えば、液晶基板等をドライ洗浄等する際にエキシマランプを使った放電ランプ装置が利用されている。放電ランプ装置は、エキシマ生成ガスを封入した石英ガラス管からなるエキシマランプに高周波電圧を印加して同管内を放電させている。これにより、同管内のエキシマ生成ガスをエキシマ状態にして、波長が３８０ｎｍ以下の単色光的な紫外線を発生させている。そして、この単色光的な紫外線を酸素ガスに照射することによって励起酸素ガス原子を生成し、この励起酸素原子により液晶基板等の面上に付着する有機物を化学的に分解除去洗浄している。
この放電ランプ装置では、その洗浄効率を向上させるために紫外線照度を増加させる提案がなされている（例えば特許文献１）。例えば、特許文献１では、エキシマランプ本体に対して並行にかつ離間して配置される長尺の導電性保持部材を備えている。この導電性保持部材は、エキシマランプの管内であってその中心軸線方向に設けた内部給電電極に対して、外部電極として作用するようになっている。そして、この導電性保持部材がエキシマランプ本体に対して反照射側に位置するように配置されている。これにより、紫外線照射を遮蔽する外部電極をエキシマランプの照射側に設ける必要が無く、その照度を増加させることができる。
【特許文献１】特開２００３−１９７１５２公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記の特許文献１の放電ランプ装置は、エキシマランプ本体と導電性保持部材が接触している。それらエキシマランプ本体と導電性保持部材との間に間隔（ギャップ）があった場合、そのギャップは、エキシマランプに印加する高周波電圧の給電する場合においてキャパシタンスとして作用する。このキャパシタンスが変動すると、高周波電圧に対する負荷インピーダンスが変動する。この結果、エキシマランプにて消費される高周波電力が減少し、エキシマランプの照度が低下する。そのため、増加させた紫外線照度をエキシマランプの長手方向全範囲で一様に得るためには、エキシマランプ本体と導電性保持部材との間隔をエキシマランプ本体の長手方向全範囲で等しいことが望ましい。
しかしながら、エキシマランプと導電性保持部材との位置決めは、それぞれ目測でエキシマランプの両端のそれぞれが導電性保持部材に対して隙間が生じるように、エキシマランプの両端部に設けたソケットを支持固定していた。従って、エキシマランプの一端部と他端部とで、導電性保持部材との間隔が相違する。その結果、エキシマランプと導電性保持部材との間のキャパシタについて、その長手方向において一様でなく勾配が生じていた。このキャパシタの勾配により、例えば一端部から他端部に向かって徐々に紫外線照度が弱くなり、被照射体に対して均一な照射を実現することのできず照射ムラという問題が生じる。
【０００４】
本発明は上記問題点を解消するためになされたものであって、その目的は、放電ランプと外部電極として作用する導電性保持部材との位置決めを精度よくしかも簡単に行うことのでる放電ランプ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１に記載の発明は、管状のランプ本体内にその中心軸線方向に内部給電電極が設けられた放電ランプと、前記ランプ本体を収容し、前記ランプ本体の内部給電電極に対し
て外部電極として作用する導電性保持部材と、前記導電性保持部材の両端部に、前記ランプ本体の中心軸線方向において前記ランプ本体と前記導電性保持部材との間隔をそれぞれ予め定めた間隔に位置決め保持するための位置決め保持手段とを設けた。
【発明の効果】
【０００６】
請求項１に記載の発明によれば、導電性保持部材の両端部に位置決め保持手段を設け、ランプ本体の両端部のそれぞれを位置決め保持手段を使って位置決めするだけで、ランプ本体の両側部において導電性保持部材との間隔をそれぞれ予め定めた間隔に精度良くしかも簡単に位置決めすることができるため、放電ランプと導電性保持部材との間の間隔について、その長手方向において一様することができる。その結果、放電ランプと導電性保持部材との間のキャパシタについて、その長手方向において一様でき、被照射体に対して均一な照射を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
（第１実施形態）
以下、本発明を光化学処理装置に使う放電ランプ装置に具体化した第１実施形態を、図１〜図１０に従って説明する。図１は、放電ランプ装置を説明するための正面図である。
【０００８】
図１において、放電ランプ装置１は、放電ランプ１０と導電性保持部材２０を備える。放電ランプ１０は、そのランプ本体１１が光線透過性材料である石英ガラス管で形成された両端部が封止され円筒状の長尺管体で形成されている。ランプ本体１１は、放電媒体としてのエキシマ生成ガスが封入されている。ランプ本体１１内には、図５に示すように、内部給電電極１２が設けられている。内部給電電極１２は、ランプ本体１１内であってその中心軸線Ｃ方向に沿って配置されている。内部給電電極１２の両端部はランプ本体１１の両端部に形成した封止部において連結固定されている。このとき、内部給電電極１２は、所定の張力を有して両側の封止部に連結固定されている。
【０００９】
内部給電電極１２には、図５に示すように、複数の導電性アンカー１３が、等間隔に設置されている。導電性アンカー１３は、リード部１３ａとコイル部１３ｂとからなる。リード部１３ａは、その一端が内部給電電極１２と電気的に接続され他端がコイル部１３ｂに連結されている。コイル部１３ｂは、ランプ本体１１の内周面に近接するように同内周面に沿って配置される円環状のコイルである。
前記ランプ本体１１の両端部には、ソケット１４が固着されている。従って、ランプ本体１１の両端部の封止部は、ソケット１４によって外部から視認できないようになっている。ソケット１４は、断面円形の有蓋筒状体であって、その開口部からランプ本体１１の端部（封止部）をソケット１４内に挿入させる。そして、ソケット１４は、その外周面１４ａの開口部に設けた締結部１４ｂにてランプ本体１１の外周面１１ａに対して締め付け固定する。ソケット１４は、ランプ本体１１の外周面１１ａに締め付け固定されたとき、その中心軸線は、ランプ本体１１の中心軸線Ｃと一致するようになっている。その結果、両側のソケット１４の外周面１４ａとランプ本体１１の外周面１１ａは、その断面形状は同心円となる。そして、ソケット１４の外周面１４ａの外径Ｌ１が、ランプ本体１１の外周面１１ａの外径Ｌ２より、ソケット１４の肉厚分大きくなっている。
【００１０】
図４に示すように、左右一対のソケット１４の外周面１４ａの締結部１４ｂ寄りには、それぞれ保持部材を構成する吊下部材１５が設けられている。右側の吊下部材１５は、その吊下部材１５ａに絶縁材料が形成されている。また、左側のソケット１４は、その外端寄りの外周面１４ａに連結片１６が設けられ、その連結片１６には、図２及び図３に示すように、リード線導出部材１７が連結固定されている。リード線導出部材１７はリード線１８を支持する支持部材である。リード線１８は、内部給電電極１２の右端部とその一端が封止部において電気的に接続され、他端部がランプ本体１１、ソケット１４及びリード
線導出部材１７を介しての外部に導出されるようになっている。
【００１１】
上記のように構成された放電ランプ１０の上側には、導電性保持部材２０が配置されている。導電性保持部材２０は、導電性材料であるアルミで形成された断面四角形状の長尺角材で形成され、ランプ本体１１の内部給電電極１２に対して外部電極として作用する。導電性保持部材２０は、図５に示すように、ランプ本体１１と対向する面（下面）には、断面半円弧状の収容溝２１が長手方向全長に渡って形成されている。そして、収容溝２１に放電ランプ１０を収容すると、その放電ランプ１０の両端部のソケット１４が導電性保持部材２０の左右両側面から突出するようになっている。
【００１２】
収容溝２１は、図３に示すように、ランプ本体１１が所定の間隔Ｄをおいて収容される溝であって、本実施形態では、収容溝２１の断面半円弧の中心軸線と、ランプ本体１１の中心軸線Ｃと一致するように配置されるようにしている。従って、本実施形態では、収容溝２１の断面半円弧の中心軸線（中心軸線Ｃ）から収容溝２１の内周面２１ａまでの距離（半径ｒ１）は、ランプ本体１１の半径ｒ２（外径Ｌ２の半分の長さ）より前記間隔Ｄだけ長くなっている。
【００１３】
導電性保持部材２０の左右両側面は、位置決め保持手段としての当接部材２２が設けられている。当接部材２２は、アルミで形成され、図２、図６及び図７に示すように、導電性保持部材２０の側面に連結固定されるベース部２２ａと、該ベース部２２ａから側方の延出形成された前後一対（図７では左右方向）の当接部材としての当接片２２ｂとから構成されている。ベース部２２ａは、ねじ２３にて導電性保持部材２０の側面に固定され、導電性保持部材２０の左右両側面に現れる収容溝２１を塞がないよう配置固定されている。前後一対の当接片２２ｂは、図７に示すように、中心軸線Ｃに対して上下方向に直交にする線を挟んで対称形状である。
【００１４】
図７及び図８において、前後一対の当接片２２ｂの先端部には、突部２４が形成されている。突部２４には、断面円弧状の当接面２４ａが形成されている。当接面２４ａは前記中心軸線Ｃを中心とする円弧面であって、本実施形態では、中心軸線Ｃから当接面２４ａまでの距離は、ソケット１４の外周面１４ａの外径Ｌ１の半分の値（＝Ｌ１／２）となるように形成されている。
【００１５】
そして、前記ソケット１４に設けた吊下部材１５を前後一対の当接片２２ｂの間を通過するようにして、ランプ本体１１を下方から導電性保持部材２０の収容溝２１内に収容配置すると、図７に示すように、前後一対の突部２４の当接面２４ａは、ソケット１４の外周面１４ａに当接する。そして、ソケット１４の外周面１４ａが突部２４の当接面２４ａに当接すると、ランプ本体１１はそれ以上の収容溝２１内に収容されないように規制される。つまり、外周面１４ａが当接面２４ａに当接することによって、ランプ本体１１は左右両端部においてランプ本体１１の外周面１１ａと収容溝２１の内周面２１ａとの間隔が前記所定の間隔Ｄに位置決めされる。従って、ランプ本体１１は左右両端部においてランプ本体１１と収容溝２１との間隔を所定の間隔Ｄに簡単に位置決めすることができることになる。
【００１６】
導電性保持部材２０の全長に渡って形成された収容溝２１の中間位置には、図９及び図１０に示すように、貫通孔２５が上面に向かって貫通形成され、貫通孔２５の上面側開口部には、図１に示すように、吸引ポート２６が取着されている。吸引ポート２６には、図示しない吸引パイプが連結されている。吸引パイプは図示しない吸引ポンプに接続され、吸引ポンプを駆動させることによって貫通孔２５の収容溝側開口部付近の気体を吸引する。
【００１７】
また、収容溝２１の中間位置には、貫通孔２５の開口部の一部分を閉塞するように、半円弧上の接触板２７がねじＢにて取着されている。接触板２７の内周面２７ａは、板厚分だけ収容溝２１の内周面２１ａより張り出していて、本実施形態は、接触板２７の板厚を間隔Ｄの長さより短くしている。
【００１８】
図１に示すように、導電性保持部材２０の上面左右両側部には逆Ｌ字上の支承枠２８が連結固定されている。支承枠２８の腕部２８ａには、絶縁部材２９を介して連結アーム３０が連結されている。連結アーム３０は、その先端部が、前後一対の当接片２２ｂの上方であって、前後一対の当接片２２ｂ中間位置に配置されるようになっている。従って、前記ソケット１４の外周面１４ａを突部２４の当接面２４ａに当接させるとき、ソケット１４に設けた吊下部材１５が連結アーム３０と相対向するようになっている。
連結アーム３０と吊下部材１５との間には、保持部材または弾性部材としての板バネ３１が設けられている。板バネ３１は、吊下部材１５を介してランプ本体１１（ソケット１４）を板バネ３１側に引き寄せている。従って、ランプ本体１１は、両側のソケット１４の外周面１４ａが突部２４の当接面２４ａに板バネ３１の弾性力にて当接された状態で保持される。これによって、放電ランプ１０は、導電性保持部材２０に対して配置固定される。従って、所定の間隔Ｄにランプ本体１１と収容溝２１とが位置決めされた状態が保持される。
【００１９】
また、図１において、右側の連結アーム３０には、右側のソケット１４のリード線導出部材１７から導出したリード線１８が電気的に接続されている。そして、リード線１８は、右側の連結アーム３０、絶縁部材２９の中心部に設けた導電部２９ａを介して、同導電部２９ａに接続され絶縁部材２９に上端面から突出した外部端子Ｔ１に電気的に接続される。この外部端子Ｔ１から、放電ランプ１０の内部給電電極１２に対して高周波高電圧が印加されるようになっている。このとき、ソケット１４及び導電性保持部材２０は、電気的絶縁部材である吊下部材１５及びリード線導出部材１７によって、連結アーム３０に対して電気的に絶縁されている。なお、アルミで形成された導電性保持部材２０は、図示しない配線を介して接地されている。従って、外部端子Ｔ１を介して放電ランプ１０の内部給電電極１２の一端に高周波高電圧が印加されると、導電性保持部材２０が外部電極として作用し、ランプ本体１１内で放電プラズマが発生する、そして、この放電プラズマによりエキシマ生成ガスがエキシマ状態になり、波長が３８０ｎｍ以下の単色光的な紫外線を発生させている。
【００２０】
次に、上記のように構成された放電ランプ装置の作用について説明する。
今、放電ランプ１０を導電性保持部材２０に取り付けるとき、ソケット１４に設けた吊下部材１５をそれぞれ当接部材２２の前後一対の当接片２２ｂの間を通過させて、ランプ本体１１を下方から導電性保持部材２０の収容溝２１内に収容配置する。すると、ソケット１４の外周面１４ａは、前後一対の突部２４の当接面２４ａに当接する。続いて、ソケット１４の外周面１４ａを突部２４の当接面２４ａに当接させた状態で、吊下部材１５を支承枠２８から延びた連結アーム３０に対して板バネ３１で連結固定する。
そして、ランプ本体１１は、両側のソケット１４の外周面１４ａが突部２４の当接面２４ａに板バネ３１の弾性力にて当接された状態で保持され、放電ランプ１０の導電性保持部材２０への取り付けは完了する。
【００２１】
このとき、ソケット１４の外周面１４ａが突部２４の当接面２４ａに当接保持されるため、ランプ本体１１は左右両端部においてランプ本体１１の外周面１１ａと収容溝２１の内周面２１ａとの間隔が所定の間隔Ｄに位置決めされた状態で、収容溝２１内に配置される。
【００２２】
上記実施形態の放電ランプ装置１よれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態によれば、導電性保持部材２０の左右両側面に、ランプ本体１１の左右両端部においてランプ本体１１の外周面１１ａと収容溝２１の内周面２１ａとの間隔が所定の間隔Ｄに位置決めするための当接部材２２を設けた。従って、放電ランプ１０の左右両側部で、導電性保持部材２０との間隔を等しくすることができる。その結果、放電ランプ１０と導電性保持部材２０との間のキャパシタについて、その長手方向において一様となって勾配が生じない。その結果、このキャパシタの勾配により、例えば一端部から他端部に向かって徐々に紫外線照度が弱くなるといったことはなく、被照射体に対して均一な照射を実現することができる。
（２）本実施形態によれば、ソケット１４の外周面１４ａを突部２４の当接面２４ａに当接させるだけで、ランプ本体１１の外周面１１ａと収容溝２１の内周面２１ａとの間隔が所定の間隔Ｄに位置決めでき、特別に意識しないでも位置決めが行われるため、その取り付け作業は非常に簡単となる。しかも、突部２４の当接面２４ａは、予めソケット１４の外周面１４ａが当接したとき、ランプ本体１１の外周面１１ａと収容溝２１の内周面２１ａとの間隔が所定の間隔Ｄになるように形成したので、精度の高い位置決めが簡単に行える。
【００２３】
（３）本実施形態によれば、放電ランプ１０は、板バネ３１によって、常にソケット１４の外周面１４ａが突部２４の当接面２４ａに圧接された状態で保持されるようにしたので、その取り付け作業は非常に簡単となる。
（４）本実施形態によれば、ソケット１４の外周面１４ａを突部２４の当接面２４ａ、すなわち、面接触で保持しているため、ソケット１４は安定した状態で保持することができる。
【００２４】
（５）本実施形態によれば、収容溝２１の中間位置に、収容溝２１の内周面２１ａに沿って半円弧上の接触板２７を取着して、その接触板２７の内周面２７ａを板厚分だけ収容溝２１の内周面２１ａより張り出させた。従って、放電ランプ１０のランプ本体１１が、仮にその中間位置で僅かに導電性保持部材２０側に撓んでいた場合、接触板２７の内周面２７ａに、ランプ本体１１の中間位置の外周面１１ａが当接する。従って、仮にその中間位置で僅かに導電性保持部材２０側に撓んでいた放電ランプ１０が取り付けられても、ランプ本体１１の中間位置を除く各位置は収容溝２１の内周面２１ａに対して所定の間隔Ｄが保持される。
しかも、接触板２７と隣接する収容溝２１に貫通孔２５を形成し、貫通孔２５を介して同貫通孔２５の収容溝側開口部付近の気体を吸引するようにした。従って、接触板２７の内周面２７ａにランプ本体１１の外周面１１ａが当接し、摩擦等でパーティクルが発生しても、パーティクルを被照射体に落下させることなく貫通孔２５を介して外部に排除させることができる。
また、接触板２７を設けない導電性保持部材２０に撓んだ放電ランプ１０が取り付けられ場合、収容溝２１のどの位置でランプ本体１１の外周面１１ａが接触するか特定し難い。これを、収容溝２１の内周面２１ａより張り出した接触板２７を設けことによって、収容溝２１の内周面２１ａに当接させないで該接触板２７に当接させるようにして当接位置を特定できるようにした。その結果、貫通孔２５の形成位置を容易に設定できることになる。
（６）本実施形態によれば、板バネ３１の弾性力により、ランプ本体１１のソケット１４の外周面１４ａを突部２４の当接面２４ａに引き寄せるようにした。従って、放電時に発生する熱等により、ランプ本体１１が収容溝２１と間隔Ｄを変化させるように変形しても、その変化量を軽減して所定の間隔Ｄを保持することができる。
（第２実施形態）
次に、本発明を光化学処理装置に使う放電ランプ装置に具体化した第２実施形態を、図１１に従って説明する。なお、この第２実施形態は、第１実施形態に対してソケット１４
の外周面１４ａ近傍を吸引する吸引手段を付加したものであり、以下ではその吸引手段について詳細に説明する。図１１は放電ランプ装置を説明するための要部正面図である。
図１１に示すように、支承枠２８の腕部２８ａにあってソケット１４の外周面１４ａと当接する突部２４の当接面２４ａと相対する位置には、その腕部２８ａの下面から上面に向かって貫通孔２８ｂが貫通形成されている。その貫通孔２８ｂの上面側開口部には、吸引手段を構成する吸引ポート４０が取付けられている。吸引ポート４０上端には、図示しない吸引パイプが連結され、その吸引パイプは第１実施形態に記載する図示しない吸引ポンプに接続されている。
そして、吸引ポンプを駆動させると、貫通孔２８ｂの下側にあって突部２４の当接面２４ａと当接するソケット１４の外周面１４ａ付近の気体が吸引される。
上記実施形態の放電ランプ装置１よれば、以下のような効果を得ることができる。
【００２５】
（１）本実施形態によれば、当接面２４ａの上方にある腕部２８ａに設けた貫通孔２８ｂを介して当接面２４ａと当接する外周面１４ａ付近の気体を吸引ポンプにより吸引するようにした。従って、当接面２４ａと外周面１４ａとが当接し、摩擦等でパーティクルが発生しても、そのパーティクルを被照射体側（ランプ本体１１下側）に落下させることなく貫通孔２８ｂを介して外部に排除させることができる。その結果、ランプ本体１１は、被照射体に対してパーティクルを落下させることなく均一な照射を実現することができる。
（第３実施形態）
次に、本発明を光化学処理装置に使う放電ランプ装置に具体化した第３実施形態を、図１２及び図１３に従って説明する。なお、この第３実施形態は、第２実施形態に対してソケット１４の外周面近傍を覆うカバー部材を付与したものであり、以下ではそのカバー部材について詳細に説明する。図１２は放電ランプ装置を説明するための要部拡大正面図、図１３は当接部材とカバー部材との関係を示す側断面図である。
図１２及び図１３に示すように、ランプ本体１１の両端部には、略箱形状をなすカバー部材としてのカバー５０が、ソケット１４を覆うようにして配設されている。カバー５０の一側面であってランプ本体１１側と対向する側面には、図１３に示すように、側面方向から見て、前後一対の当接片２２ｂと外周面１４ａとの外縁に沿った略Ω字状の挿通孔５１が貫通形成されている。そのカバー５０の上面には、図１３に示すように、連結片１６の前後幅と同幅からなる案内孔５２が、中心軸線Ｃ方向に沿ってカバー５０の上面全左右幅にわたり切り欠き形成されている。この案内孔５２を形成することにより、その前後両側には、当接片２２ｂと当接してカバー５０を支持する一対の支持面５３が形成されている。
そして、カバー５０の挿通孔５１に当接片２２ｂと外周面１４ａとを挿通する。これにより、連結片１６が案内孔５２内に案内され、支持面５３が当接片２２ｂによって支持される。その結果、カバー５０は、突部２４及びソケット１４を覆うようにして配置される。
【００２６】
（１）本実施形態によれば、ソケット１４をカバー５０によって覆うようにした。従って、当接面２４ａとソケット１４の外周面１４ａとが当接し、摩擦等でパーティクルが発生しても、パーティクルを被照射体側（ランプ本体下側）に落下させることなくカバー５０内に保持することができる。その結果、ランプ本体１１は、被照射体に対してパーティクルを落下させることなく均一な照射を実現することができる。
○上記実施形態では、収容溝２１の中間位置に導電性保持部材２０と別部材に接触板２７を取着したが、収容溝２１の内周面２１ａの一部に間隔Ｄだけ張り出した接触面を形成してもよい。
○上記実施形態では、収容溝２１の中間位置に接触板２７を取着するとともに、パーティクルを吸引するための貫通孔２５を形成したが、これを省略してもよい。
○上記実施形態では、導電性保持部材２０をアルミで実施したが、導電性のものであれば
良く、例えばステンレス等であってもよい。
○上記実施形態では、導電性保持部材２０の冷却構造について特に記載しなかったが、導電性保持部材２０に流路を形成し、その流路に冷却水を流すようにして実施してもよい。○上記実施形態では、放電ランプ装置１は、下方に向かって紫外線を照射させるものであったが、上方にある被照射体に紫外線を照射する放電ランプ装置に応用してもよい。
○上記実施形態では、光化学処理装置に使う放電ランプ装置に具体化したがその他の目的で使う放電ランプ装置に応用してもよい。
○上記第２実施形態では、吸引ポート４０を腕部２８ａに設けたが、これに限らず、例えば支承枠２８に設けてもよく、ソケット１４の外周面近傍の雰囲気をランプ本体１１から離間させる方向に吸引できる位置であればよい。
○上記第３実施形態では、吸引ポート４０を備える放電ランプ装置にカバー５０を具備したが、吸引ポート４０を備えない放電ランプ装置にカバー５０を具備するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】第１実施形態に記載する放電ランプ装置を説明するための正面図。
【図２】同じく放電ランプ装置の要部拡大正面図。
【図３】同じく導電性保持部材の要部拡大正断面図。
【図４】同じく放電ランプの要部拡大正図。
【図５】同じく放電ランプ装置の側断面図。
【図６】同じく当接部材の平面図。
【図７】同じく当接部材とソケットの関係を示す側面図。
【図８】同じく当接部材の断面図。
【図９】同じく接触板を説明するための導電性保持部材の要部拡大正断面図。
【図１０】同じく接触板を説明するための導電性保持部材の要部下面図。
【図１１】第２実施形態に記載する放電ランプ装置を説明するための要部拡大正面図。
【図１２】第３実施形態に記載する放電ランプ装置を説明するための要部拡大正面図。
【図１３】同じく当接部材とカバー部材との関係を示す要部側断面図。
【符号の説明】
【００２８】
１…放電ランプ装置、１０…放電ランプ、１１…ランプ本体、１１ａ…外周面、１２…内部給電電極、１３…導電性アンカー、１３ａ…リード部、１３ｂ…コイル部、１４…ソケット、１４ａ…外周面、１５…保持部材を構成する吊下部材、１６…連結片、１７…リード線導出部材、１８…リード線、２０…導電性保持部材、２１…収容溝、２２…位置決め保持手段を構成する当接部材、２２ａ…ベース部、２２ｂ…当接片、２４…突部、２４ａ…当接面、２５…貫通孔、２６…吸引ポート、２７…接触板、２７ａ…内周面、２８…支承枠、２８ａ…腕部、２８ｂ…貫通孔、２９…絶縁部材、３０…連結アーム、３１…保持部材または弾性部材としての板バネ、４０…吸引手段を構成する吸引ポート、５０…カバー部材としてのカバー、５１…挿通孔、５２…案内孔、Ｄ…間隔。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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