(57)【要約】 【課題】  ディスプレイパネルに損傷を与える虞がない排気装置を提供する。【解決手段】  加熱チャンバ内のＰＤＰ１の支持位置の下方部分に、ほぼ水平向きにスライド自在に支持されたサブプレート１１と、このサブプレート１１上に支持されて加熱チャンバ内の支持位置に支持されたＰＤＰ１の排気管１Ｆに接続される排気ヘッド１３と、この排気ヘッド１３とサブプレート１１との間に介装されて排気ヘッド１３を上下動自在に支持するとともに上方向の付勢力によって排気管１Ｆに接続させるばね１２と、加熱チャンバ内の支持位置に支持されたＰＤＰ１の下側の面に着脱自在に固定されるとともに排気ヘッド１３が上下方向にスライド自在に連結された拘束シャフト１４とが配置されている。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱チャンバ内に製造過程のディスプレイパネルを支持してこのディスプレイパネルの一方の面に取り付けられた排気管を介してパネルの内部に形成された空間からの排気を行うディスプレイパネルの排気装置であって、
前記加熱チャンバ内のディスプレイパネルの支持位置の下方部分に、ほぼ水平向きにスライド自在に支持されたベース部材と、このベース部材上に支持されて加熱チャンバ内の支持位置に支持されたディスプレイパネルの排気管に接続される排気用接続部材と、この排気用接続部材とベース部材との間に介装されて排気用接続部材を上下動自在に支持するとともに上方向の付勢力によってこの排気用接続部材に接続される排気管をディスプレイパネル側に押圧する第１付勢部材と、加熱チャンバ内の支持位置に支持されたディスプレイパネルの下側の面に着脱自在に固定されるとともに排気用接続部材が上下方向にスライド自在に連結された拘束部材とが配置されていることを特徴とするディスプレイパネルの排気装置。
【請求項２】
前記ベース部材が、加熱チャンバ内のディスプレイパネルの支持位置の下方部分に水平向きに支持されたプレート部材上に載置されて、このプレート部材に沿ってスライド自在に支持されている請求項１に記載のディスプレイパネル。
【請求項３】
前記拘束部材とベース部材との間に介装されて、拘束部材を上下動自在に支持するとともに、上方向の付勢力によって拘束部材の上端部を加熱チャンバ内の支持位置に支持されたディスプレイパネルの下側の面に押圧させる第２付勢部材をさらに備えている請求項１に記載のディスプレイパネル。
【請求項４】
前記排気用接続部材がアーム部を有し、このアーム部によって排気用接続部材が拘束部材に対してスライド自在に連結されている請求項１に記載のディスプレイパネル。
【請求項５】
前記拘束部材の上端面に上方が開口されるとともに真空ポンプに接続された凹所が形成されていて、この凹所内が真空ポンプによって負圧されることによって拘束部材がディスプレイパネルの下側の面に吸着される請求項１に記載のディスプレイパネル。
【請求項６】
前記拘束部材の上端面に設けられた突起がディスプレイパネルの下側の面に形成された穴部に嵌合されることによって、拘束部材がディスプレイパネルの下側の面に固定される請求項１に記載のディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ディスプレイパネルの製造工程において使用される排気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットディスプレイを構成するプラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）は、放電空間を介して前面ガラス基板と背面ガラス基板とが互いに対向するように配置されており、前面ガラス基板の背面側に、行方向に延び列方向に並設されてそれぞれ表示ラインを形成する複数の行電極対が形成されていて、この行電極対が誘電体層および保護誘電体層によって被覆されており、また、背面ガラス基板の前面ガラス基板と放電空間を介して対向する側に、列方向に延び行方向に並設されて行電極対と交差する位置の放電空間内にそれぞれ放電セルを構成する複数の列電極と、各放電セルを区画する隔壁と、各放電セル毎に赤，緑，青の三原色に色分けされた蛍光体層とが形成されており、そして、この前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間内に、ネオンやキセノンなどの混合ガスからなる放電ガスが封入された構造を有している。
【０００３】
このＰＤＰは、この放電ガスが封入された各放電セルの放電空間内において、行電極と列電極間および行電極対間において選択的に放電が行われることにより、各放電セルの赤，緑，青の三原色に色分けされた蛍光体層が発光して、画像を形成する。
【０００４】
このようなＰＤＰの製造工程においては、従来、放電ガスを充填するために前面ガラス基板と背面ガラス基板の間の放電空間を真空にするために、図１に示されるような排気装置が使用されている。
【０００５】
図１において、この従来の排気装置は、製造過程のＰＤＰ１が加熱されて前面ガラス基板１Ａと背面ガラス基板１Ｂの接着等が行われた後、前面ガラス基板１Ａと背面ガラス基板１Ｂの間の放電空間内の排気とこの排気後の放電空間内への放電ガスの封入を行う。
【０００６】
ここで、この製造過程にあるＰＤＰ１は、図２に示されるように、背面ガラス基板１Ｂの外縁部の非表示領域に表示領域を囲むようにフリットペーストが塗布されて、これが仮焼成されることによって封止層１Ｃが形成されており、この封止層１Ｃを挟んで前面ガラス基板１Ａと背面ガラス基板１Ｂが重ね合わされて、互いの間に放電空間１Ｄが形成された状態で、図示しないクリップによって互いに分離しないように仮固定されている。
【０００７】
そして、このＰＤＰ１の背面ガラス基板１Ｂの非表示領域部分に、放電空間１Ｄと外部とを連通する貫通孔１Ｅが形成され、さらに、この貫通孔１Ｅの外側開口部に排気管１Ｆが、フリットペーストなどの封着剤１Ｇによって仮固定されている。
【０００８】
なお、この図２には、前面ガラス基板１Ａと背面ガラス基板１Ｂのそれぞれ対向する側の面に形成されている行電極対，誘電体層，保護誘電体層，隔壁，蛍光体層，列電極などの他の構成部分の図示が省略されている。
【０００９】
上記の製造過程におけるＰＤＰ１は、図１に図示されているように、排気装置の加熱チャンバ内に収容されて、この加熱チャンバを構成するマガジンフレーム２に固定されたＳＵＳ製のＬ字形状の支持台３によって、前面ガラス基板１Ａを下側にした状態で下方から支持される。
【００１０】
ＰＤＰ１は、この状態で加熱されて封止層１Ｃおよび封着剤１Ｇが本焼成される。
【００１１】
次に、ＰＤＰ１の排気管１Ｆに排気ヘッド４を介して金属製のフレキシブルホース５が接続され、さらに、このフレキシブルホース５が切換バルブ６を介して図示しない真空ポンプと放電ガス供給装置に接続される。
【００１２】
そして、所定温度でＰＤＰ１が加熱されている状態で、真空ポンプによるＰＤＰ１の放電空間１Ｄ内からの排気（ＥＧ）が行われ、その後、切換バルブ６が切り替えられて、放電ガス供給装置から放電空間１Ｄ内に放電ガス（ＤＧ）が導入される。
【００１３】
この放電ガス（ＤＧ）の導入の後、排気管１Ｆが切断されて溶融されることにより、放電空間１Ｄが密閉されて、この放電空間１Ｄ内に放電ガスが封じ込められる。
【００１４】
この排気装置は、排気ヘッド４が、冷却水（ＣＷ）を供給するフレキシブルパイプ７によってマガジンフレーム２に対して移動可能に支持されており、これによって、ＰＤＰ１に対する加熱処理中に、排気装置の各構成部分の熱膨脹率の違いによってマガジンフレーム２と排気ヘッド４の相対的位置が変化しても、排気ヘッド４に熱膨張によるストレスが発生することがなく、排気管１Ｆの背面ガラス基板１Ｂに対する取付位置のずれや破損が発生するのが防止されるようになっている。
【００１５】
上記のような従来の排気装置は、ＰＤＰ１を、そのパネル表示面となる前面ガラス基板１Ａが下側になる状態で支持台３によって支持するために、前面ガラス基板１Ａが傷つき易いという問題を有している。
【００１６】
また、上記従来の排気装置は、排気ヘッド４が支持台３によって支持されているＰＤＰ１に対して上方側に位置されるために、排気ヘッド４を待避させた状態でＰＤＰ１を支持台３上に支持させ、その後に排気ヘッド４をＰＤＰ１の支持位置上に位置させて排気管１Ｆに連結しなければならないので、この排気装置による排気工程の自動化が難しいという問題を有している。
【００１７】
そこで、背面ガラス基板１Ｂを下側にしてＰＤＰ１を加熱チャンバ内に支持するとともに、この支持されたＰＤＰ１の下方側に排気ヘッド４を配置して排気管１Ｆに連結させる方法が考えられている。
【００１８】
しかしながら、このＰＤＰ１を背面ガラス基板１Ｂが下側になるように支持して、排気ヘッド４をＰＤＰ１の下方側から連結させる方法は、排気管１Ｆに排気ヘッド４が吊り下げられた状態で支持されることになるので、排気ヘッド４とこれに接続されているフレキシブルホース５やフレキシブルパイプ７等の重量によって、排気管１Ｆやこの排気管１Ｆを背面ガラス基板１Ｂに固定している封着剤１Ｇに大きな負荷が掛かることになって、排気管１Ｆが損傷してしまう虞がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
この発明は、上記のようなフラットディスプレイパネルの排気装置における問題点を解決することをその解決課題の一つとしている。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
第１の発明によるディスプレイパネルの排気装置は、上記目的を達成するために、加熱チャンバ内に製造過程のディスプレイパネルを支持してこのディスプレイパネルの一方の面に取り付けられた排気管を介してパネルの内部に形成された空間からの排気を行うディスプレイパネルの排気装置であって、前記加熱チャンバ内のディスプレイパネルの支持位置の下方部分に、ほぼ水平向きにスライド自在に支持されたベース部材と、このベース部材上に支持されて加熱チャンバ内の支持位置に支持されたディスプレイパネルの排気管に接続される排気用接続部材と、この排気用接続部材とベース部材との間に介装されて排気用接続部材を上下動自在に支持するとともに上方向の付勢力によってこの排気用接続部材に接続される排気管をディスプレイパネル側に押圧する第１付勢部材と、加熱チャンバ内の支持位置に支持されたディスプレイパネルの下側の面に着脱自在に固定されるとともに排気用接続部材が上下方向にスライド自在に連結された拘束部材とが配置されていることを特徴としている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
この発明の実施形態におけるディスプレイパネルの排気装置は、製造過程のディスプレイパネルの焼成を行う加熱チャンバ内のディスプレイパネルの支持位置の下方部分に、サブプレートが水平方向にスライド自在に支持され、このサブプレート上に、加熱チャンバ内の支持位置に支持されたディスプレイパネルの排気管に接続される排気ヘッドが、この排気ヘッドとサブプレートとの間に介装されたばねによって上下動自在に支持されるとともにこのばねの上方向の付勢力によってこの排気用接続部材に接続される排気管をディスプレイパネル側に押圧するようになっており、加熱チャンバ内の支持位置に支持されたディスプレイパネルの下側の面に着脱自在に固定される拘束シャフトが、排気ヘッドに対して相対的に上下方向にスライド自在に連結されているものである。
【００２２】
この排気装置は、製造過程のディスプレイパネルを、その表示面となる側を上側にした状態で下方から支持して、加熱チャンバ内に収容する。
【００２３】
そして、排気ヘッドが、加熱チャンバ内に支持されているディスプレイパネルの下側の面に固定されている排気管の下端部に下方から連結されるとともに、ばねによって上方に付勢されることにより、この排気ヘッドが連結された排気管をディスプレイパネル側に押圧している。
【００２４】
これと同時に、拘束シャフトが，その上端部を加熱チャンバ内に支持されているディスプレイパネルの下側の面に固定される。
【００２５】
この状態で、加熱チャンバ内が加熱されてディスプレイパネルの焼成が行われた後、排気ヘッドが真空ポンプに接続されて、この真空ポンプの作動により、ディスプレイパネル内に形成されている空間内からの排気が排気管を介して行われる。
【００２６】
上記のようなＰＤＰの製造工程において、この排気装置は、ディスプレイパネルへの加熱によってディスプレイパネルに反りが発生したり、排気管およびこの排気管に連結された排気ヘッドが変位するような場合に、排気ヘッドは、その排気管の変位に追従することが出来る。
【００２７】
すなわち、排気ヘッドは、水平方向には、サブプレートがスライドことにより、拘束シャフトとともにその移動が許容され、上下方向には、ばねによって下方から支持されながらベースプレートおよび拘束シャフトに対して上下方向にスライドすることによって、その移動が許容される。
【００２８】
これによって、このディスプレイパネルの製造工程においてパネル面や排気管に変位が生じた場合でも、排気ヘッドの追従によって排気管に過剰な負荷が掛かるのが防止される。
【００２９】
さらに、排気ヘッドは、ばねによって上方に付勢された状態で支持されているので、その重量が排気管に負荷されることがなく、これによって、排気ヘッドの排気管への下方からの接続が許容されるようになる。
【００３０】
そして、この排気装置は、排気ヘッドを排気管に対して下方から接続するので、ディスプレイパネルを表示側のパネル面を上側にした状態で加熱チャンバ内に支持することができ、これによって、パネルの表示面を傷つける虞がなくなる。
【実施例】
【００３１】
図３は、この発明の実施形態における一実施例を示す側面図である。
【００３２】
この図３において、排気装置は、加熱チャンバ内のＰＤＰ１の支持位置の下方部分に、図示しないマガジンフレームに取り付けられて水平方向に延びるベースプレート１０が配置されている。
【００３３】
そして、このベースプレート１０上に、サブプレート１１がベースプレート１０の上面に沿ってスライド自在に取り付けられている。
【００３４】
サブプレート１１上には、ばね１２がその軸線を上下向きにして取り付けられており、排気ヘッド１３が、このばね１２上に連結されることによって、サブプレート１１に対して上下方向に移動自在に支持されている。
【００３５】
この排気ヘッド１３には、その側部（図３においては、右側側部）から外方に水平に延びる拘束アーム１３Ａが固定されており、この拘束アーム１３Ａの先端部に、上下向きに貫通する貫通孔１３Ａａが形成されている。
【００３６】
この拘束アーム１３Ａに形成された貫通孔１３Ａａ内には、拘束シャフト１４がその軸方向を垂直向きにしてスライド自在に嵌挿されている。
【００３７】
この拘束シャフト１４の先端面には、後述するようにＰＤＰ１の基板面に当接される円盤状の当接部１４Ａが形成されていて、図４に示されるように、この当接部１４Ａの中央部分に、上方に開口された凹所１４Ａａが形成されている。
【００３８】
そして、この当接部１４Ａの凹所１４Ａａには、拘束シャフト１４内に形成された通気孔１４Ａｂが連通されていて、この通気孔１４Ａｂを介して図示しない真空ポンプに接続されるようになっている。
【００３９】
この拘束シャフト１４の下端とサブプレート１１との間には、拘束シャフト１４を軸方向に沿って上方に付勢するばね１５が介装されている。
【００４０】
次に、上記排気装置によるＰＤＰの排気工程について説明を行う。
【００４１】
上記排気装置は、製造過程のＰＤＰ１を、その前面ガラス基板１Ａを上側にし背面ガラス基板１Ｂを下側にした状態で、支持台３によって下方から支持することにより、加熱チャンバ内に収容する。
【００４２】
そして、排気ヘッド１３が、ＰＤＰ１の背面ガラス基板１Ｂに固定された排気管１Ｆの下端部に下方から装着されて、排気ヘッド１３内部のシール材（図示せず）によって連結され、ばね１２によって上方に付勢されることにより、排気管１Ｆが背面ガラス基板１Ｂに押圧される。
【００４３】
これと同時に、拘束シャフト１４の当接部１４Ａが，加熱チャンバ内に支持されているＰＤＰ１の下側に位置している背面ガラス基板１Ｂの背面に当接されて、ばね１５の上方への付勢力によって背面ガラス基板１Ｂに密着される。
【００４４】
さらに、この拘束シャフト１４の当接部１４Ａは、通気孔１４Ａｂに接続された図示しない真空ポンプの作動によって凹所１４Ａａ内が負圧にされることにより、背面ガラス基板１Ｂに強固に固定される。
【００４５】
次に、この状態で、加熱チャンバ内が加熱されてＰＤＰ１の本焼成が行われた後、加熱チャンバ内が所定温度に維持された状態で、排気ヘッド１３が図示しない切換バルブを介して真空ポンプに接続されて、この真空ポンプの作動により、ＰＤＰ１の前面ガラス基板１Ａと背面ガラス基板１Ｂの間に形成されている放電空間内からの排気が排気管１Ｆを介して行われる。
【００４６】
次に、切換バルブが切り換えられて排気ヘッド１３が図示しない放電ガス供給装置に接続され、この放電ガス供給装置から供給される放電ガスが、排気ヘッド１３および排気管１Ｆを介してＰＤＰ１の真空状態になっている放電空間内に導入される。
【００４７】
そして、この放電ガスの導入が終了すると、排気管１Ｆが切断および溶融されることによって放電空間が密閉されて、放電空間内への放電ガスの封入が終了する。
【００４８】
以上のようなＰＤＰの製造工程において、この排気装置は、ＰＤＰ１の本焼成の加熱によってＰＤＰ１に反りが発生したり、マガジンフレーム２とＰＤＰ１の熱膨張係数の違いによる水平方向の相対的移動が発生したり、排気管１Ｆを背面ガラス基板１Ｂに固定する封着剤（図２参照）の収縮などによって排気管１Ｆおよびこの排気管１Ｆに連結された排気ヘッド１３が上昇したりする場合に、排気ヘッド１３は、その排気管１Ｆの変位に追従することが出来る。
【００４９】
すなわち、排気ヘッド１３は、水平方向には、サブプレート１１がベースプレート１０上を摺動することによって拘束シャフト１４とともにその移動が許容され、上下方向には、ばね１２によって下方から支持されながら拘束シャフト１４に対して上下方向にスライドすることによって、その移動が許容される。
【００５０】
これによって、このＰＤＰ１の製造工程においてパネル面や排気管１Ｆに変位が生じた場合でも、排気ヘッド１３の追従によって排気管１Ｆに過剰な負荷が掛かるのが防止される。
【００５１】
さらに、排気ヘッド１３は、ばね１２によって上方に付勢されているので、その重量が排気管１Ｆに負荷されることがなく、これによって、排気ヘッド１３の排気管１Ｆへの下方からの接続が可能になる。
【００５２】
そして、この排気装置は、排気ヘッド１３を排気管１Ｆに対して下方から接続するので、ＰＤＰ１を背面ガラス基板１Ｂを下側にした状態で加熱チャンバ内に支持することができ、これによって、パネルの表示面となる前面ガラス基板１Ａを傷つける虞がなくなる。
【００５３】
なお、上記排気装置は、拘束シャフト１４が真空ポンプによる吸着によってＰＤＰ１に固定されるが、図５に示されるように、ＰＤＰ１の背面ガラス基板１Ｂの背面にピン孔１Ｂａを形成して、このピン孔１Ｂａに拘束シャフト１４の当接部１４Ａの上面に形成された係合ピン１４Ａｐを係合させることによって、拘束シャフト１４をＰＤＰ１に固定するようにしても良い。
【００５４】
また、排気ヘッド１３または拘束シャフト１４がサブプレート１１に固定され、ベースプレート１０がマガジンフレーム２に対して上下動可能な構成としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】従来例を示す側面図である。
【図２】製造過程のプラズマディスプレイパネルを示す側断面図である。
【図３】この発明の実施形態における一実施例を示す側面図である。
【図４】同例における拘束シャフトの構成を示す部分拡大図である。
【図５】拘束シャフトの構成の他の例を示す部分拡大図である。
【符号の説明】
【００５６】
１        …ＰＤＰ
１Ａ      …前面ガラス基板
１Ｂ      …背面ガラス基板
１Ｂａ    …ピン孔（穴部）
１Ｄ      …放電空間
１Ｆ      …排気管
１０      …ベースプレート（プレート部材）
１１      …サブプレート（ベース部材）
１２      …ばね（第１付勢部材）
１３      …排気ヘッド（排気用接続部材）
１３Ａ    …拘束アーム（アーム部）
１４      …拘束シャフト（拘束部材）
１４Ａａ  …凹所
１４Ａｐ  …係合ピン（突起）
１５      …ばね（第２付勢部材）
【図１】
2005093206.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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