(57)【要約】【課題】  ＴＦＴパネルの検出データを取得するためのデータ処理を減少させ、ＴＦＴパネル検査に要する処理時間を短縮すること。【解決手段】  多面取りパネルを行う一つの基板に形成する枚数（面取り数）や配置に合わせて、電子銃や二次電子検出器の配置を変更することによって複数の電子銃の測定範囲と各ＴＦＴパネルとの対応付けを行い、検出データを取得するためのデータ処理を減少させ、検査処理時間を短縮する。ＴＦＴパネル検査装置１は、基板に検査信号を供給し、駆動状態を検出することによって基板上のＴＦＴパネルを検査する検査装置において、真空室内に電子銃４や二次電子検出器を設置するための設置部材６を備え、設置部材６は電子銃４や二次電子検出器を設置するための複数の設置部位を備える。複数の設置部位の中から選択した設置部位に電子銃や二次電子検出器を取り付けることにより、電子銃や二次電子検出器の真空室内での設置位置を変更する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＦＴ基板に検査信号を供給し、駆動状態を検出することによってＴＦＴ基板上のＴＦＴパネルを検査するＴＦＴパネル検査装置において、
真空室内に電子銃及び／又は二次電子検出器を設置するための設置部材を備え
前記設置部材は、前記電子銃及び／又は二次電子検出器を設置するための複数の設置部位を備え、
前記設置部位の選択により、前記電子銃及び／又は二次電子検出器の真空室内での設置位置を変更可能とすることを特徴とするＴＦＴパネル検査装置。
【請求項２】
前記設置部材は、前記設置部に前記電子銃及び／又は二次電子検出器を取り付けるための開口部を備えることを特徴とする請求項１に記載のＴＦＴパネル検査装置。
【請求項３】
ＴＦＴ基板に検査信号を供給し、駆動状態を検出することによってＴＦＴ基板上のＴＦＴパネルを検査するＴＦＴパネル検査装置において、
真空室内に電子銃及び／又は二次電子検出器を設置するための設置部材を着脱自在に備え、
前記設置部材の交換により、前記電子銃及び／又は二次電子検出器の真空室内での設置位置を変更可能とすることを特徴とするＴＦＴパネル検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイなどのフラットパネルディスプレイに使われるＴＦＴアレイ基板のパネル検査に使用するＴＦＴパネル検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイのパネルはその製造工程において、通常マザーガラス基板の上にＴＦＴアレイのパターンを含む複数のパネルを形成し、このマザーガラス基板から各パネルを切り出している。このフラットパネルディスプレイの製造、検査において、マザーガラス基板から各パネルを切り離す前に、マザーガラス基板の状態においてＴＦＴパネルを評価する必要がある。
【０００３】
薄膜トランジスタアレイ基板（基板という）は、マザーガラス基板の各パネル上にマトリックス状に薄膜トランジスタ（ＴＦＴアレイ）が配置される。ＴＦＴアレイはアモルファスシリコンを用いるパネルと、ポリシリコンを用いるパネルが知られている。
【０００４】
ポリシリコンを用いたパネルでは、ガラス基板上にＴＦＴアレイに駆動信号を供給してパネルを駆動する駆動回路を形成することができる。
【０００５】
ガラス基板等で形成される基板上には、ＴＦＴアレイから成る複数のパネルが形成される。各ＴＦＴアレイはマトリックス状に配列された複数の薄膜トランジスタを備え、この薄膜トランジスタは、走査信号電極端子，映像信号電極端子から入力される信号により駆動される。
【０００６】
この基板上の各パネルに形成されるＴＦＴアレイを検査する装置としてＴＦＴパネル検査装置が知られている。
【０００７】
基板上には、マトリックス状に配置されて薄膜トランジスタからなるＴＦＴアレイが形成され、また、各薄膜トランジスタを駆動する信号電極端子（例えば、走査信号電極端子，映像信号電極端子）が形成され、この基板の信号電極端子に検査信号を供給する手段としてプローバフレームが設けられている。プローバフレームはプローブピンを信号電極端子に接触させ、これによってＴＦＴパネルに検査信号を供給し駆動する。
【０００８】
ＴＦＴパネルの検査は、真空室内にＴＦＴパネルを挿入し、このＴＦＴパネルに電子銃から電子線を照射し、ＴＦＴアレイから放出する二次電子を二次電子検出器で検出することによって行う。（例えば、特許文献１参照）
【０００９】
従来、電子銃や二次電子検出器のＴＦＴパネル検査装置への取り付けは、ＴＦＴパネル検査装置のケース等の外装部分に開口部を設け、この開口部の外装壁に、筒状の真空容器に入れた電子銃や二次電子検出器をネジ等によって固定することによって行われている。
【００１０】
複数の電子銃や二次電子検出器を用いる場合には、所定間隔を開けて列状に配列し、さらに多数を配置する場合には複数列として格子状配列としている。
【特許文献１】特開２００１−２７２６４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
従来のＴＦＴパネル検査装置では、前記したように電子銃や二次電子検出器の取り付けを、装置の外装部分に開口部を形成し、この開口部分に真空容器と共に取り付けているため、電子銃や二次電子検出器の設置個数や設置位置は固定されている。そのため、設置個数や設置位置を容易に変更することができない。
【００１２】
ＴＦＴパネルは、通常一枚の基板から複数のＴＦＴパネルを形成する、所謂多面取りが行われ、複数のＴＦＴパネルを多くの電子銃及び二次電子検出器を同時に駆動して、多数のＴＦＴパネルを短時間で検査することが行われている。
【００１３】
一本の電子銃の電子ビームが走査する走査範囲は数センチ四方であって、ＴＦＴパネルの大きさと比較して狭いため、一走査ではＴＦＴパネルの全面を走査することができない。そのため、ＴＦＴパネル移動と走査とを組み合わせることによって、ＴＦＴパネルの全面の走査を行っている。
【００１４】
検査基板は複数種類あり、基板上に形成される複数のＴＦＴパネルの枚数や配置位置は種々異なる。前記したように、電子銃や二次電子検出器の設置位置は、ＴＦＴパネル検査装置の外装部分に対して固定されているため、多面取りのＴＦＴパネルのパネル間の桟の部分と、隣接する電子銃の走査のつなぎ目とは必ずしも一致しない。
【００１５】
そのため、各電子銃及び二次電子検出器が検出する検出データは、ＴＦＴパネル毎のデータではなく、隣接するＴＦＴパネルのデータが含まれているため、一枚のＴＦＴパネルのデータを得るには各検出データをデータ処理する必要がある。
【００１６】
検出データは膨大であるため、検出されたデータをつなぎ合わせて各ＴＦＴパネルのデータを取得するには膨大な処理時間を要することになり、ＴＦＴパネルの検査時間が長くなる要因となっている。
【００１７】
図７は、ＴＦＴパネルのデータ処理を説明するための図である。図７（ａ）は、９枚のＴＦＴパネル１０１ａ〜１０１ｅが形成された基板１００を、二つの電子銃１０２ａ，１０２ｂで検出する例を示している。なお、二次電子検出器は電子銃１０２ａ，１０２ｂに対応して設けられるが、図７では図示していない。
【００１８】
図７（ｂ）は電子銃１０２ａによる走査範囲（斜線で示す部分）を示し、図７（ｃ）は電子銃１０ｂａによる走査範囲（斜線で示す部分）を示している。ここで、電子銃１０２による走査のつなぎ目と各ＴＦＴパネル１０１のパネル間の桟とは一致していないため、各ＴＦＴパネル１０１の検出データは、電子銃１０２で得られる検出データをつなぎ合わせる必要がある。
【００１９】
図７（ｄ）は、電子銃の走査により得られる検出データの関係を示しており、１０４ａ〜１０４ｄの部分は隣接する２つの検出データが重なる部分を示し、１０４ｅは隣接する４つの検出データが重なる部分を示している。
【００２０】
この検出データの範囲とＴＦＴパネルの範囲とは必ずしも一致しないため、ＴＦＴパネルの検出データを取得するには、いくつかの検出データの組み合わせについてデータ処理を行う必要がある。例えば、図７（ｄ）中にＴＦＴパネル１０１ｅの検出データを得るには、１０３ａ〜１０３ｄの検出データについてデータ処理を行う。
【００２１】
基板の種類によって基板上に形成されるＴＦＴパネルの枚数や位置が異なるため、一つのＴＦＴパネル検査装置によって種類の異なる基板を検査する場合には、このようなデータ処理が必要となる。
【００２２】
前記したように、従来のＴＦＴパネル検査装置では、電子銃や二次電子検出器は装置の外装部に固定されているため、ＴＦＴパネルの検出データを取得するために膨大なデータ処理が必要であり、ＴＦＴパネル検査に要する処理時間が長くかかるという問題がある。
【００２３】
そこで、本発明は上記課題を解決し、ＴＦＴパネルの検出データを取得するためのデータ処理を減少させ、ＴＦＴパネル検査に要する処理時間を短縮することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記目的を解決するために、本発明は、多面取りパネルを行う一つの基板に形成する枚数（面取り数）や配置に合わせて、電子銃や二次電子検出器の配置を変更することによって複数の電子銃の測定範囲と各ＴＦＴパネルとの対応付けを行い、これによって、ＴＦＴパネルの検出データを取得するためのデータ処理を減少させ、ＴＦＴパネル検査に要する処理時間を短縮する。
【００２５】
本発明のＴＦＴパネル検査装置の第１の形態は、ＴＦＴ基板に検査信号を供給し、駆動状態を検出することによってＴＦＴ基板上のＴＦＴパネルを検査するＴＦＴパネル検査装置において、真空室内に電子銃及び／又は二次電子検出器を設置するための設置部材を備え、設置部材は電子銃及び／又は二次電子検出器を設置するための複数の設置部位を備える構成とする。複数の設置部位の中から選択した設置部位に電子銃や二次電子検出器を取り付けることにより、電子銃や二次電子検出器の真空室内での設置位置を変更することができる。このとき、検査対象の基板に形成されるＴＦＴパネルの面取り数や配置に応じて設置部位を選択することにより、電子銃の走査範囲と各ＴＦＴパネルとを対応付け、これによって、ＴＦＴパネルの検出データを取得するためのデータ処理を減少させ、ＴＦＴパネル検査に要する処理時間を短縮する。
【００２６】
設置部材は、設置部に電子銃や二次電子検出器を取り付けるための開口部を備えた構成とする。設置部位の選択は、選択検査対象の基板に形成されるＴＦＴパネルの面取り数や配置に応じて行うことができる。
【００２７】
また、本発明のＴＦＴパネル検査装置の第２の形態は、ＴＦＴ基板に検査信号を供給し、駆動状態を検出することによってＴＦＴ基板上のＴＦＴパネルを検査するＴＦＴパネル検査装置において、真空室内に電子銃及び／又は二次電子検出器を設置するための設置部材を着脱自在に備える。この設置部材を交換して真空室に取り付けることにより、電子銃や二次電子検出器の真空室内での設置位置を変更可能とすることができる。
【００２８】
設置部材は、検査対象である基板に応じて設定された位置に電子銃や二次電子検出器が設置された複数の設置部材を用意しておき、これら複数の設置部材から検査対象の基板に応じた設置部材を選択し、真空室内に取り付ける。これにより、電子銃の走査範囲と各ＴＦＴパネルとを対応付け、これによって、ＴＦＴパネルの検出データを取得するためのデータ処理を減少させ、ＴＦＴパネル検査に要する処理時間を短縮する。
【発明の効果】
【００２９】
本発明のＴＦＴパネル検査装置によれば、ＴＦＴパネルの検出データを取得するためのデータ処理を減少させ、ＴＦＴパネル検査に要する処理時間を短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。
【００３１】
はじめに、本発明のＴＦＴパネル検査装置の構成について図１を用いて説明する。
【００３２】
図１は本発明のＴＦＴパネル検査装置の概略構成を説明するための図である。
【００３３】
基板１０はＴＦＴパネル検査装置１が検査する検査対象であり、基板１０上にはＴＦＴアレイが形成された複数のＴＦＴパネル１１が形成されている。この基板１０に形成されるＴＦＴアレイのレイアウトは、例えば液晶パネルのサイズや仕様に応じて種々に設定される。ＴＦＴパネル１１のＴＦＴアレイには薄膜トランジスタがマトリックス状に形成され、各薄膜トランジスタを駆動する電極１２（例えば、走査信号電極端子，映像信号電極端子）が形成されている。なお、図１では、電極１２は基板１０の外部と電気的に接続するための電極を兼ねているが、別に電極を設けることもできる。
【００３４】
ＴＦＴパネル検査装置１は、基板１０の電極１２とを電気的に接続し、電極１２に検査用の駆動信号を供給する電圧印加機構を備える。電圧印加機構はプローバフレーム２により構成することができる。プローバフレーム２は、基板１０の電極１２と電気的に接続する検査用プローブ３を備え、駆動回路２０から基板１０に駆動信号を供給する。
【００３５】
プローバフレーム２はステージ９上に配置され、ステージ９上に載置された基板１０に向かって検査用プローブ３が設けられる。電極１２と検査用プローブ３とを電気的に接触させることによって、プローバフレーム２側から基板１０側にＴＦＴアレイを検査するための駆動信号を供給する。
【００３６】
基板１０は真空室（図示していない）内に配置され、当該基板１０上に形成されたＴＦＴパネルの検査は、当該真空室内に設置した電子銃４ａ，４ｂ及び二次電子検出器５ａ，５ｂによって行う。
【００３７】
電子銃４ａ，４ｂは電子をＴＦＴパネル１１に照射し、電子照射によってＴＦＴパネル１１から放出された二次電子を二次電子検出器５ａ，５ｂで検出し、検出した検出信号に基づいてＴＦＴパネルの短絡、点欠陥、断線等の検査を行う。なお、図１では、電子銃４及び二次電子検出器５を２つ設置する例を示しているが、設置個数及び設置する位置は、検査対象である基板１０の多面取りパネルを行うＴＦＴパネル１１の枚数（面取り数）や配置に合わせて設定することができる。
【００３８】
電子銃４ａ，４ｂ及び二次電子検出器５ａ，５ｂは設置部材６に設けられ、設置部材６ごと真空室内に設置される。
【００３９】
本発明のＴＦＴパネル検査装置１は、この設置部材６に取り付ける電子銃や二次電子検出器の位置を変更可能とする構成、あるいは電子銃や二次電子検出器を取り付けた設置部材６を交換可能とする構成によって、電子銃や二次電子検出器の設置位置を、基板１０の多面取りパネルを行うＴＦＴパネル１１の枚数（面取り数）や配置に合わせることができる。
【００４０】
本発明のＴＦＴパネル検査装置の第１の形態は、電子銃や二次電子検出器を設置するための設置部材を真空室内に備え、設置部材は電子銃や二次電子検出器を設置するための複数の設置部位を備える構成とする。
【００４１】
図２〜図４を用いて本発明のＴＦＴパネル検査装置の第１の形態について説明する。なお、図２〜図４では電子銃のみ示し二次電子検出器については省略している。
【００４２】
図２（ａ），（ｂ）はＴＦＴパネル検査装置の第１の形態の構成例である。設置部材６Ａ，６Ｂは、電子銃（４ａ，４ｂ，４ｃ等）や二次電子検出器（図示していない）を取り付けるための複数の開口部７が設けられ、真空室内に設置される。
【００４３】
開口部７は、基板１０に形成される各ＴＦＴパネル１１の電子走査に適した配置位置に電子銃や二次電子検出器と設置部材６に取り付けるための部分であり、ＴＦＴパネルの各種の枚数や配置に合わせた複数種の配置位置を組み合わせて形成される。
【００４４】
例えば、図２（ａ）に示す設置部材６は、基板１０に形成された２×２の４枚のＴＦＴパネルに対応して電子銃４ａ等を配置した例であり、設置部材６の横一列に形成した開口部６ａ〜６ｆの内で、２×２の多面取りパネルに適した開口部６ａ，６ｄに電子銃４ａ，４ｄを取り付ける。
【００４５】
また、図２（ｂ）に示す設置部材６は、基板１０に形成された３×３の９枚のＴＦＴパネルに対応して電子銃４ａ等を配置した例であり、設置部材６の横一列に形成した開口部６ａ〜６ｆの内で、３×３の多面取りパネルに適した開口部６ａ，６ｃ，６ｅに電子銃４ａ，４ｃ，４ｅを取り付ける。
【００４６】
図３は、第１の形態における電子銃（二次電子検出器）の設置位置の選択を説明するための概略平面図である。なお、図３は２×２、３×３、及び６×６の多面取りパネルに好適な設置部材の例を示している。
【００４７】
図３（ａ）は設置部材６の一例であり、横一列に配置した開口部７ａ〜７ｆを備える。図３（ｂ）は、この設置部材６を２×２のＴＦＴパネルのパネル配列に適用した例であり、開口部７ａ，７ｄの位置に電子銃４ａ，４ｄ（二次電子検出器）を配置することにより、電子銃４ａの走査範囲をＴＦＴパネル１１ａ，１１ｃの各アレイ領域に対応させ、電子銃４ｂの走査範囲をＴＦＴパネル１１ｂ，１１ｄの各アレイ領域に対応させる。
【００４８】
図３（ｃ）は、設置部材６を３×３のＴＦＴパネルのパネル配列に適用した例であり、開口部７ａ，７ｃ，７ｅの位置に電子銃４ａ，４ｃ，４ｅ（二次電子検出器）を配置することにより、電子銃４ａの走査範囲をＴＦＴパネル１１ａ，１１ｄ，１１ｇの各アレイ領域に対応させ、電子銃４ｃの走査範囲をＴＦＴパネル１１ｂ，１１ｅ，１１ｈの各アレイ領域に対応させ、電子銃４ｅの走査範囲をＴＦＴパネル１１ｃ，１１ｆ，１１ｉの各アレイ領域に対応させる。
【００４９】
また、図３（ｄ）は、設置部材６を６×６のＴＦＴパネルのパネル配列に適用した例であり、開口部７ａ〜７ｆの位置に電子銃４ａ〜４ｆ（二次電子検出器）を配置することにより、電子銃４ａの走査範囲をＴＦＴパネル１１ａ，１１ｇ，…の各アレイ領域に対応させ、電子銃４ｂの走査範囲をＴＦＴパネル１１ｂ，１１ｈの各アレイ領域に対応させる。電子銃４ｃ〜４ｆについても、同様に、走査範囲を各ＴＦＴパネル１１の各アレイ領域に対応させる。
【００５０】
また、図４は２×２と３×３の多面取りパネルに好適な設置部材の例を示している。図４（ａ）は図３（ａ）と同様の設置部材の例であり、開口部７ａ〜７ｆを備える。ここで、２×２のＴＦＴパネル１１（図４（ｃ））について検査を行う場合には、設置部材６の開口部７ａに電子銃４ａを取り付け、開口部７ｄに電子銃４ｄを取り付ける（図４（ｂ））。図４（ｄ）は設置部材６に取り付けた電子銃４ａ，４ｄとＴＦＴパネル１１との位置関係を示している。電子銃４ａ，４ｄの走査範囲は、ＴＦＴパネル１１ａ，１１ｂのアレイ領域、及びＴＦＴパネル１１ｃ，１１ｄのアレイ領域と対応にしているため、走査範囲とアレイ領域とのずれを合わせるためのデータ処理を低減させることができる。
【００５１】
また、３×３のＴＦＴパネル１１（図４（ｆ））について検査を行う場合には、設置部材６の開口部７ａ，７ｃ，７ｅに電子銃４ａ，４ｃ，４ｅを取り付ける（図４（ｅ））。図４（ｇ）は設置部材６に取り付けた電子銃４ａ，４ｃ，４ｅとＴＦＴパネル１１との位置関係を示している。電子銃４ａ，４ｃ，４ｅの走査範囲は、ＴＦＴパネル１１ａ，１１ｂ，１１ｃのアレイ領域、ＴＦＴパネル１１ｄ，１１ｅ，１１ｆ、及び１１ｇ，１１ｈ，１１ｉのアレイ領域と対応しているため、走査範囲とアレイ領域とのずれを合わせるためのデータ処理を低減させることができる。
【００５２】
なお、前記した例では、設置部材に電子銃や二次電子検出器を取り付ける設置部位に開口部を形成した例を示しているが、設置部位において電子銃や二次電子検出器を取り付ける構成は開口部に限らず、他の機構とすることもできる。
【００５３】
また、設置部材に設ける設置部位は等間隔に限らず任意の間隔とすることができ、ＴＦＴパネルの面取りの個数や配置によって定まる間隔で設定することができる。
【００５４】
本発明のＴＦＴパネル検査装置の第２の形態は、電子銃や二次電子検出器を設置するための設置部材を真空室に対して着脱自在な構成とし、真空室内に設置する設置部材を交換可能とする。
【００５５】
図５を用いて本発明のＴＦＴパネル検査装置の第２の形態について説明する。なお、図５では電子銃のみ示し二次電子検出器については省略している。
【００５６】
図５（ａ），（ｂ）はＴＦＴパネル検査装置の第２の形態の構成例である。設置部材６Ｃ，６Ｄには、所定の設定位置に電子銃（４ａ，４ｂ，４ｃ）や二次電子検出器（図示していない）が真空室に対して着脱自在に設置される。
【００５７】
設置部材６Ｃ，６Ｄは、ＴＦＴパネルの面取り枚数や配置に合わせて配置位置がそれぞれ設定される。例えば、図５（ａ）に示す設置部材６Ｃは、基板１０に形成された２×２の４枚のＴＦＴパネルに対応して電子銃４ａ，４ｂを配置した例であり、２×２の多面取りパネルに適した設置部位に電子銃４ａ，４ｂを取り付ける。
【００５８】
また、図５（ｂ）に示す設置部材６Ｄは、基板１０に形成された３×３の９枚のＴＦＴパネルに対応して電子銃４ａ，４ｃを配置した例であり、３×３の多面取りパネルに適した設置部位に電子銃４ａ，４ｂ，４ｃを取り付ける。
【００５９】
第２の形態のＴＦＴパネル検査装置によってＴＦＴパネル検査を行う場合には、検査対象の基板上に形成されるＴＦＴパネルの面取り数や配置に適した設置部材６を選択し、選択した設置部材６を真空室内に設置する。
【００６０】
前記した各構成例は、電子銃及び二次電子検出器を一列に配列した構成例を示しているが、電子銃及び二次電子検出器を格子状に配列する構成としてもよい。
【００６１】
図６は、電子銃及び／又は二次電子検出器を格子状に配列した設置部材の構成例を説明するための図である。
【００６２】
図６（ａ），（ｂ）は、２×２の４枚のＴＦＴパネルに対応した例である。図６（ａ）の構成例は、設置部材６Ｅに設けられている開口部７から各ＴＦＴパネル１１ａ〜１１ｃ（ＴＦＴパネル１１ｄは示していない）に対応した開口部を選択し、各開口部に電子銃４（及び／又は二次電子検出器）を取り付けることによって、格子状配列を構成している。
【００６３】
また、図６（ｂ）の構成例は、設置部材６Ｆの各ＴＦＴパネル１１ａ〜１１ｃ（ＴＦＴパネル１１ｄは示していない）に対応した設置部位に、それぞれに電子銃４（及び／又は二次電子検出器）を取り付けることによって、格子状配列を構成している。
【００６４】
格子状配列とすることによって、ステージの移動量を低減させることができ、走査時間を短縮することができるという効果や、装置を小型化することができるという効果を奏することができる。
【００６５】
また、上記例では、１ＴＦＴパネルに１つの電子銃及び／又は二次電子検出器を設ける構成としているが、１ＴＦＴパネルに対して複数の電子銃及び／又は二次電子検出器を設ける構成としてもよい。この構成によれば、さらに走査時間を短縮することができる。
【００６６】
なお、図６では、２×２の４枚のＴＦＴパネルに対応した例について示しているが、３×３の多面取りパネルなど他の多面取りパネルに対応させて格子状に配列することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００６７】
本発明の液晶アレイ基板のほか、有機ＥＬアレイ基板の検査等に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明のＴＦＴパネル検査装置の概略構成を説明するための図である。
【図２】本発明のＴＦＴパネル検査装置の第１の形態の構成例を説明するための図である。
【図３】本発明の第１の形態における電子銃（二次電子検出器）の設置位置の選択を説明するための概略平面図である。
【図４】本発明の第１の形態の設置部材の例を説明するための図である。
【図５】本発明のＴＦＴパネル検査装置の第２の形態を説明するための図である。
【図６】本発明の他の設置部材の例を説明するための図である。
【図７】ＴＦＴパネルのデータ処理を説明するための図である。
【符号の説明】
【００６９】
１…ＴＦＴパネル検査装置、２…プローバフレーム、３…プローバフレームピン、４，４ａ〜４ｅ…電子銃、５，５ａ，５ｂ…二次電子検出器、６，６Ａ〜６Ｆ…設置部材、７，７ａ〜７ｆ…開口部、９…ステージ、１０…基板、１１，１１ａ〜１１ｉ…パネル、１２…電極、２０…駆動回路、１００…基板、１０１ａ〜１０１ｉ…ＴＦＴパネル、１０２ａ，１０２ｂ…電子銃（二次電子検出器）、１０３ａ，１０３ｂ…走査範囲。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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