(57)【要約】【課題】  光拡散性に優れた微細な凹凸を有する光拡散シート原盤及びその製造方法を提供すること。【解決手段】  微粒子状の感光性樹脂（微粒子２）が分散された分散液をガラス基板３に塗布して感光性樹脂層４を形成し、感光性樹脂層４を露光して感光層４ｂと非感光層４ｃとを生じさせる。そして感光層４ｂを除去して樹脂層としての非感光層４ｃを露出させ、樹脂層（非感光層）４ｃの表面４ｅに微粒子２の除去又は残留による微細な凹部２２又は凸部２１を形成させ、光拡散シート原盤を得る。得られた光拡散シート原盤より光拡散シート用スタンパを製造でき、更に、この光拡散シート用スタンパより光拡散シートを製造することもできる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
微粒子状に分散された感光性樹脂の分散液を基板に付与して感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、
前記感光性樹脂層を露光して感光層を形成する露光工程と、を含み、
前記感光性樹脂層の一部を除去して生成した樹脂層の表面に前記微粒子状に分散された感光性樹脂の除去又は残留による微細な凹凸を形成させることを特徴とする光拡散シート原盤の製造方法。
【請求項２】
前記分散液は、ポジ型レジストとネガ型レジストとの組み合わせであり、ポジ型レジスト又はネガ型レジストがネガ型レジスト又はポジ型レジストをマトリックスとして微粒子状に分散した分散液であることを特徴とする請求項１記載の光拡散シート原盤の製造方法。
【請求項３】
前記分散液は、露光特性の異なる感光性樹脂の組み合わせであり、少なくとも１種類の感光性樹脂が他の感光性樹脂をマトリックスとして微粒子状に分散した分散液であることを特徴とする請求項１記載の光拡散シート原盤の製造方法。
【請求項４】
前記分散液は、粒子状の感光性樹脂の粒径が１μｍ以上５０μｍ以下の範囲内であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光拡散シート原盤の製造方法。
【請求項５】
基板と該基板上に形成された感光性樹脂からなる樹脂層とを備え、
前記樹脂層の表面が微粒子状に分散された感光性樹脂の除去又は残留による微細な凹凸を有し、
該表面の算術平均粗さが０．１以上１０μｍの範囲内にあることを特徴とする光拡散シート原盤。
【請求項６】
請求項１から４のいずれかに記載の製造方法により得られた光拡散シート原盤又は請求項５に記載の光拡散シート原盤の表面に導電化膜を成膜し、前記導電化膜に電鋳用金属を電鋳して電鋳層を形成し、前記導電化膜から前記光拡散シート原盤を剥離することにより光拡散シート成形用スタンパを製造する光拡散成形用スタンパの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の製造方法により得られた光拡散シート成形用スタンパを用いて微細な凹凸を樹脂シートに転写することを特徴とする光拡散シートの製造方法。
【請求項８】
微粒子状に分散された感光性樹脂の分散液を基板に付与して感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光して感光層を形成する露光工程と、を含み、前記感光性樹脂層の一部を除去して生成した樹脂層の表面に前記微粒子状に分散された感光性樹脂の除去又は残留による微細な凹凸を形成させることを特徴とする凹凸模様を備えた感光性樹脂成形物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光拡散シート原盤、光拡散シート成形用スタンパ、及び光拡散シートの製造方法、並びに感光性樹脂成形物の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
メタクリル樹脂、スチレン樹脂、ポリカーボネートのような透明樹脂に光散乱剤を分散させ、或いはその表面に微細な凹凸を形成することにより、光を散乱させるようにした樹脂板が知られている。この樹脂板は、例えば照明カバーや看板、液晶ディスプレイの面光源装置等に用いられている。
【０００３】
このように光を散乱させる樹脂板の製造方法としては、従来から、エンボスローラーを用い、押出成形する製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この製造方法は、押出機から押し出されたタルク含有樹脂に、微細な凹凸を備えるエンボスローラーで凹凸を転写し、これによりタルク含有樹脂の表面に微細な凹凸を形成するものである。
【０００４】
また、この他の製造方法として、透明樹脂に無機系微粉体、或いは有機架橋重合体を配合して混練押し出しする製造方法も知られている（例えば、特許文献２、特許文献３参照。）。
【０００５】
更には、特定粒子径の樹脂架橋粒子を透明樹脂基板の表面に積層させる樹脂板の製造方法も知られている（例えば、特許文献４参照。）。
【０００６】
ここで、例えば液晶ディスプレイの面光源装置に用いる樹脂板（光拡散シート）は、一般に表面の微細な凹凸により光を拡散させているが、特に大型液晶ディスプレイ用のものを製造する場合、薄型で大面積の押出し板を切削して所望形状に形成する押出成形よりも、射出成形によって所望形状を形成した方がコスト低減を図ることができる。
【０００７】
また、このような光拡散シートは、近年、高機能化が図られている。例えば、光拡散シートと重ねて使用されるプリズムシートのような光学シートの機能を、光拡散シートに取り込むような試みがなされている。このような光拡散シートの表面には、より微細で均一な凹凸形状を成形しなければならず、押出成形が困難となっている。このため、射出成形、熱プレス、キャスト法等による精密な転写方法を用いて表面形状を成形する必要性が高まっている。
【０００８】
従って、前述の特許文献１乃至４に記載のように押出成形により樹脂板を製造するものは、このような光拡散シートの製造に関しては好適とは言えない。また、無機系微粉体等の微粒子を配合した透明樹脂を射出成形して光拡散シートを製造したとしても、微粒子は表面に突出せず、その表面で光を拡散させることができない。
【０００９】
そこで、圧縮空気と共に研磨剤を吹き付けるサンドブラスト法により、表面に微細な凹凸を備える光拡散シート用金型を製造し、これを用いて射出成形で光拡散シートを製造する方法も考えられている（例えば、特許文献５参照。）。
【特許文献１】特開２００１−１２９８８１号公報（第２−３頁、図１）
【特許文献２】特開平０５−０９２５２９号公報（第２−３頁）
【特許文献３】特開平０４−０１８３４６号公報（第２−５頁）
【特許文献４】特開平１１−２２７１１５号公報（第２−４頁）
【特許文献５】特開２００２−１６６４４６号公報（第３頁）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、サンドブラスト法により光拡散シート用金型を製造する場合、表面粗さを広い面積で均一にさせることが難しい。また、表面粗さに関して、同等の品質を再現することが困難である、という問題があった。更には、特定の起伏パターンを備える金型に対しては研磨剤を均一に吹き付けることが難しく、このような金型に均一で微細な凹凸を形成することはより困難である、という問題があった。
【００１１】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、従来とは異なる手法により光拡散シートを製造する製造方法を提供することを目的とする。
【００１２】
また、本発明は、光拡散性に優れた微細な凹凸を有する光拡散シート原盤及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記課題を解決するため、本発明は、微粒子状に分散された感光性樹脂の分散液を基板に付与して感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程、得られた感光性樹脂層を露光して感光層を形成する露光工程、とを含み、感光性樹脂層の一部を除去して生成した樹脂層の表面に微粒子状に分散された感光性樹脂の除去又は残留による微細な凹凸を形成させることを特徴とする光拡散シート原盤の製造方法である。
【００１４】
このように構成すれば、微粒子状に分散された感光性樹脂の分散液が感光性樹脂層形成工程で基板に塗布されて微粒子状の感光性樹脂が分散された感光性樹脂層が形成され、この感光性樹脂層は露光工程で露光されて感光層となる。ついで感光性樹脂層の一部を除去して生成した樹脂層の表面に粒子状に分散された感光性樹脂の除去又は残留による微細な凹凸を形成する。これにより、表面に微細な凹凸を備える拡散シート原盤を容易に製造することができる。
【００１５】
このような分散液の好ましい一例は、ポジ型レジストとネガ型レジストとの組み合わせにより形成した分散液である。このような分散液では、ネガ型レジストがポジ型レジストをマトリックスとして微粒子状に分散した分散液（エマルション）であるか、又はポジ型レジストがネガ型レジストをマトリックスとして微粒子状に分散した分散液（エマルション）である。
【００１６】
このように構成すれば、ポジ型レジストを海成分としてネガ型レジストを粒子状に分散させて感光性樹脂層を形成し、その感光性樹脂層を露光すれば、粒子状のネガ型レジストは露光後の現像（エッチング工程）工程で残留するが、海成分としてのポジ型レジストは露光後の現像（エッチング工程）工程で一部が除去される。これにより粒子状のネガ型レジストが突出して凸部を形成した基板を得ることができる。ネガ型レジストの一部は脱落する場合があり、この場合はネガ型レジストの脱落部には凹部が形成される。
【００１７】
また、ネガ型レジストを海成分としてポジ型レジストを粒子状に分散させて感光性樹脂層を形成し、その感光性樹脂層を露光すれば、粒子状のポジ型レジストは露光後の現像（エッチング工程）工程で除去されるが、海成分としてのネガ型レジストは露光後の現像工程で一部が除去される。これにより、粒子状のポジ型レジストが除去された凹部が形成される。
【００１８】
いずれの場合にも粒子状の感光性樹脂の除去又は残留により表面に微細な凹凸を備える光拡散シート原盤を容易に製造することができる。
【００１９】
このような分散液の他の好ましい一例は、露光特性の異なる感光性樹脂の組み合わせにより形成した分散液である。少なくとも１種類の感光性樹脂が露光特性の異なる他の感光性樹脂をマトリックスとして微粒子状に分散した分散液（エマルション）である。
【００２０】
ここで、露光特性が異なるとは、ポジ型レジストとネガ型レジストとの組み合わせによる場合を含めて、感光性樹脂が感応する感応波長が異なる感光性樹脂の組み合わせが例示される。
【００２１】
このように露光特性の異なる感光性樹脂の組み合わせにより形成された分散液を用いて感光性樹脂層を形成すれば、その感光性樹脂層には周囲の感光性樹脂とは異なる露光特性の感光性樹脂が粒子状で分散されている。
【００２２】
このような感光性樹脂層の表面は、露光する条件を適宜選択することにより、粒子状の感光性樹脂が残留又は除去して生じる凹凸を形成することができる。
【００２３】
すなわち、第１の露光条件は、粒子状の感光性樹脂は露光により除去できるが、海成分としての感光性樹脂の一部が残存する条件で露光させることである。
【００２４】
この第１の条件により露光させることにより、感光層の海成分の一部を除去して樹脂層を形成しつつ粒子状の感光性樹脂を除去することにより、粒子状の感光性樹脂が除去された凹部を得ることができる。
【００２５】
また、第２の条件は、粒子状に分散した感光性樹脂が除去されずに残留するが、海成分としての感光性樹脂の一部が除去できる条件で露光させることである。
【００２６】
この第２の条件により露光させることにより、粒子状の感光性樹脂を残留させて周囲の感光性樹脂の一部を除去して樹脂層を生成させることができる。残留した粒子状の感光性樹脂は、この樹脂層の表面に凸部を形成するが、海成分との関係で脱落して凹部を形成することもある。
【００２７】
いずれの場合にも粒子状の感光性樹脂の除去又は残留により表面に微細な凹凸を備える光拡散シート原盤を容易に製造することができる。
【００２８】
ここで、これらの感光性樹脂の微粒子の平均粒子径を１μｍ〜５０μｍの範囲内とすることにより、微粒子の除去又は残留により形成された凹凸部は、算術平均粗さが０．１〜１０μｍ程度のものとすることができる。
【００２９】
以上により形成された光拡散シート原盤は、基板と該基板上に形成された感光性樹脂からなる樹脂層とを備え、該樹脂層の表面が微粒子状に分散された感光性樹脂の除去又は残留による微細な凹凸を有し、表面の算術平均粗さが０．１以上１０μｍの範囲内となる。
【００３０】
このような光拡散シート原盤を用い、その表面に導電化膜を成膜し、導電化膜に電鋳用金属を電鋳して電鋳層を形成し、導電化膜から光拡散シート原盤を剥離することにより光拡散シート成形用スタンパを製造することができる。
【００３１】
また、このようにして得られた光拡散成形用スタンパを用いて、微細な凹凸を樹脂シートに転写することにより光拡散性の優れた光拡散シートを製造することができる。
【００３２】
また、本発明は、微粒子状に分散された感光性樹脂の分散液を基板に付与して感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記感光性樹脂層を露光して感光層を形成する露光工程と、を含み、前記感光性樹脂層の一部を除去して生成した樹脂層の表面に前記微粒子状に分散された感光性樹脂の除去又は残留による微細な凹凸を形成させることを特徴とする凹凸模様を備えた感光性樹脂成形物の製造方法である。
【発明の効果】
【００３３】
本発明の光拡散シート原盤の製造方法によれば、表面に微粒子が除去又は残留して生じる微細な凹凸を容易に形成させることができ、このような光拡散シート原盤を用いて、光拡散シート成形用スタンパ及び光拡散シートを製造すれば、光拡散性の良好な光拡散シートを製造することができる。
【００３４】
また、本発明の方法によれば、微粒子状に分散された感光性樹脂の分散液を用いることにより微粒子状の感光性樹脂が突出した又は取り除かれて生じる凹凸模様を備えた感光性樹脂成形物を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しつつ説明する。ここで、図１は、本発明に係る光拡散シート原盤の製造方法の一実施形態を示す説明図である。
【００３６】
まず、本発明においては、図１（ａ）に示すように、海成分（マトリックス）１としてのポジ型フォトレジスト内に微粒子状のネガ型フォトレジスト（以下、単に微粒子２ということがある。）が分散された分散液を基板３に付与して感光性樹脂層４を形成する（感光性樹脂層形成工程）。
【００３７】
本発明に用いる基板３は原盤として利用できるものであれば特には制限が無く広く用いることができる。例えば、ガラス基板や金属板等の平面的な基板等を用いることができるが、必ずしもこれらに限定されるものではない。
【００３８】
本発明に用いる分散液は、互いに相溶性の無いポジ型フォトレジスト及びネガ型フォトレジストを選択し、少量成分を所定の小径ノズルを用いて勢いよく吐出させたりするなどの、エマルションを成形する常法に従い形成することができる。
【００３９】
この場合、得られた分散液は、脱泡するなどの脱法工程を経て光拡散シート原盤に形成させる凹凸をより均一にするために微粒子径をできるだけ均一に分散させることが好ましい。
【００４０】
ここで、ポジ型フォトレジストとは、露光光が照射されることにより感光した部分（感光部）が現像により除去され、感光していない部分（非感光部）が現像後も残留する性質のフォトレジストである。また、ネガ型フォトレジストとは、感光部が現像後も残留し、非感光部が現像によって除去される性質のフォトレジストである。
【００４１】
一般的にこのような分散液では、多量成分が海成分（マトリックス）となり少量成分が略球形の微粒子となって分散する。
【００４２】
本発明の分散液における微粒子径Ｄは目的とする凹凸の大きさにより適宜設定されるが、通常は１μｍ以上５０μｍ以下の範囲内であり、好ましくは１μｍ以上１５μｍ以下の範囲内であり、特に好ましくは１μｍ以上１０μｍ以下の範囲内である。微粒子径をこのような範囲内に設定することにより、表面に所望とする凹凸形状を備えた光拡散シート原盤を得ることが容易となる。
【００４３】
なお、本発明においては、この分散液は微粒子が分散液に対して均一に分散されていることが好ましい。均一に分散されていることにより、得られる原盤の表面の凹凸も均一に分散されたものが得られ易い。
【００４４】
分散液中の微粒子を均一に分散させるには、ホモジナイザー、ミキサー等を用いた撹拌等により分散させることができるが、必ずしもこれらに限定されるものではなく、適宜選択することができる。
【００４５】
本発明において分散液を基板に付与させる方法としては、スピンコート、スプレーコート、ディップコートなどのコータ（塗布機）により塗布して付与する方法等が考えられるが、必ずしもこれらに限定されるものではなく、適宜選択することができる。
【００４６】
次いで、得られた感光性樹脂層４は、図１（ｂ）に示すように、表面側４ａから露光する（露光工程）。これにより、ネガ型フォトレジストにより形成される微粒子２は露光により不溶化される。また、露光光Ｌの量を適宜に調節することによりポジ型フォトレジストにより形成される海成分１の表面４ａ側のみ感光させて、図１（ｃ）に示すように、表面側に感光層４ｂを形成し、背面４ｅ側に非感光層４ｃを残留させる。なお、図１（ｃ）では、感光層４ｂと非感光層４ｃとの境界を模式的に明確に図示しているが、これは模式図であり、この境界は必ずしもこのように明確に現れる必要はなく、感光層４ｂが露光後に除去できればよい。
【００４７】
次に、図１（ｄ）に示すように、感光層４ｂを除去する（感光層除去工程）。感光層４ｂの除去は、いわゆる現像工程であり、現像液により感光層４ｂを除去する。エッチングにより除去してもよい。これにより、海成分としてのポジ型レジストは露光後の現像工程で感光層４ｂは除去されるが非感光層４ｃは除去されずに残留してこの非感光層４ｃは本発明に従う樹脂層を形成する。
【００４８】
これにより、感光層４ｂを取り除くと、感光層４ｂと非感光層４ｃとの境界に位置していた不溶化された微粒子２が樹脂層としての非感光層４ｃの表面４ｅに残留して凸部２１を形成する。また、図２に要部を拡大して示すように、この微粒子２のうち非感光層４ｃへの没入量が小さいものは脱落して凹部２２を形成する。ここで、この図２において、符号Ｄは微粒子２の粒子径を表し、符号Ｔは微粒子２が埋設されている膜厚を示している。
【００４９】
これにより表面４ｅには、微粒子２の直径の略半分以下の微細な凹凸が形成される。この凹凸は微粒子２の残留又は除去により形成されるので、微粒子２の形状に沿って形成され、断面が図示のとおりの微粒子２の直径に応じた略円弧状となった凹凸形状の光拡散シート原盤１０を得ることができる。
【００５０】
一方、ネガ型レジストを海成分としてポジ型レジストを粒子状に分散させて透明基板（感光性樹脂の光特性に応じた光線透過性を備えた基板）上に感光性樹脂層を形成し、その感光性樹脂層を基板側から（基板を透過させて）露光すれば、粒子状のポジ型レジストは露光後の現像工程で除去されるが、海成分としてのネガ型レジストは露光後の現像工程で基板側の感光層を残留させて表面側の非感光層が溶解する。これにより、粒子状のポジ型レジストが溶解除去された凹部が樹脂層としての感光層の表面に形成される。
【００５１】
以上の工程により形成された表面の凹凸は、微粒子の除去又は残留により形成させるため、円弧状の曲線で形成された微細な凹凸であり、このような表面性状を備えた光拡散シート原盤を用いて、光拡散シート成形用スタンパ及び光拡散シートを製造すれば、光拡散性の良好な光拡散シートを製造することができる。
【００５２】
また、この凹凸形状は、微粒子の粒子径、微粒子の濃度、微粒子の均一性などを適宜に制御すればよい。微粒子の濃度は微粒子となる成分の割合（混合比率）により調節できる。また、微粒子の均一性や粒子径は場合によっては、微粒子を調整した後の塗布までに要する時間を調整することにより制御できる場合もある。このようにして、算術平均粗さが０．１〜１０μｍ程度のものとすることができ、例えば、算術平均粗さが０．１〜５μｍ範囲内のものや、さらには、算術平均粗さが０．２〜２μｍの範囲内の均一性に優れた凹凸を形成することもできる。
【００５３】
なお、この光拡散シート原盤の製造方法において、上述した凹凸形状に加えて光拡散シート原盤の感光性樹脂層の表面に別の加工を施してもよい。それらは、例えば、フォトマスクや任意のレーザ描画装置を利用した特定形状の起伏パターンであり、本発明おける露光工程と同時又は段階的に行える。
【００５４】
例えば、マスキング工程により非露光領域を設定すれば、特定形状の起伏パターンを形成することができる。この場合、非露光領域では微粒子が除去又は残留しないため、微粒子の除去又は残留による微細な凹凸を備えていない平坦な表面形状を形成することができる。
【００５５】
また、レーザ描画やグレースケールマスク露光を行い、除去する感光性樹脂層の層厚を部分的に異なるようにしてもよい。
【００５６】
これにより、本発明に従う微粒子の除去又は残留による微細な凹凸に加えて、レーザ描画やグレースケールマスク露光により特定形状の起伏パターンを形成することができ、立体的な起伏パターンにより複雑に入り組んだ模様を備えた光拡散シートを得ることができる。
【００５７】
なお、以上の最良の実施の形態では、ポジ型レジストとネガ型レジストとの組み合わせによる分散液を用いた例を説明したが、分散液中に微粒子状で分散された感光性樹脂を用い、該感光性樹脂の感光特性を利用して凹凸模様を付すことが本発明の特徴であるので、この分散液は、ポジ型フォトレジストとネガ型フォトレジストとの組み合わせに限定されずに他の感光性樹脂の組み合わせでもよい。
【００５８】
このような分散液の他の好ましい一例は、露光特性の異なる感光性樹脂の組み合わせが例示される。ここで、露光特性が異なるとは、例えば、感光性樹脂が感応する感応波長が異なることを意味し、微粒子状で分散された感光性樹脂と海成分としての感光性樹脂とが異なる波長で感応する感光性樹脂の組み合わせを用いて同様に粒子状の感光性樹脂及び海成分としての感光性樹脂を各々独立して制御して凹凸を形成させることもできる。
【００５９】
このように露光特性の異なる感光性樹脂の組み合わせにより形成された分散液を用いて感光性樹脂層を形成すれば、その感光性樹脂層には周囲の感光性樹脂とは異なる露光特性の感光性樹脂が粒子状で分散されている。
【００６０】
例えば、粒子状の感光性樹脂は露光により除去できるが、海成分としての感光性樹脂の一部が残存する条件で露光させることである（第１の条件）。
【００６１】
この第１の条件により露光させることにより、感光層の海成分の一部を除去して樹脂層を形成しつつ粒子状の感光性樹脂を除去することにより、粒子状の感光性樹脂が除去された凹部を得ることができる。
【００６２】
他の一例は、粒子状に分散した感光性樹脂が除去されずに残留するが、海成分としての感光性樹脂の一部が除去できる条件で露光させることである（第２の条件）。
【００６３】
この第２の条件により露光させることにより、粒子状の感光性樹脂を残留させて周囲の感光性樹脂の一部を除去して樹脂層を生成させることができる。残留した粒子状の感光性樹脂は、この樹脂層の表面に凸部を形成するが、海成分との関係で脱落して凹部を形成することもある。
【００６４】
いずれの場合にも粒子状の感光性樹脂の除去又は残留により樹脂層の表面に微細な凹凸を備える光拡散シート原盤を容易に製造することができる。
【００６５】
これらの感光性樹脂の微粒子の平均粒子径を１μｍ〜５０μｍの範囲内とすることにより、微粒子の除去又は残留により形成された凹凸部は、算術平均粗さが０．１〜１０μｍ程度のものとすることができ、ポジ型フォトレジストとネガ型フォトレジストとの組み合わせで得られる作用効果と実質的に同一乃至は均等の作用効果を奏すると期待される。
【００６６】
以上により形成された光拡散シート原盤は、基板と該基板上に形成された感光性樹脂からなる樹脂層とを備え、該樹脂層の表面が微粒子状に分散された感光性樹脂の除去又は残留による微細な凹凸を有し、表面の算術平均粗さが０．１以上１０μｍの範囲内のものを得ることができる。
【００６７】
以上のようにして形成された光拡散シート原盤１０は、感光性樹脂層の表面に導電化膜を成膜する成膜工程と、導電化膜に電鋳用金属を電鋳して電鋳層を形成する電鋳層形成工程と、導電化膜から光拡散シート原盤を剥離する剥離工程と、を含むことにより光拡散シート成形用スタンパを製造することができる。
【００６８】
この光拡散シート成形用スタンパの製造方法では、原盤製造工程において微細な凹凸を形成するためのマスキング工程を省略することができる。
【００６９】
本発明で成膜する導電化膜の導電化金属は適宜選択することができるが、例えば、ニッケル、金、銀、又は銅のいずれか、或いは金、銀、銅、及びニッケルのうち、任意の二以上の合金を用いることができる。
【００７０】
また、本発明で用いられる電鋳用金属は適宜選択することができるが、例えば、銅、亜鉛又はニッケルのいずれか、或いは、銅、亜鉛及びニッケルのうち任意の二以上の合金を用いることができる。
【００７１】
また、以上のようにして形成された光拡散シート成形用スタンパの導電化膜の表面に形成された微細な凹凸を樹脂シートに転写する転写工程と、を含むことにより光拡散シートを製造することができる。
【００７２】
この転写工程は、射出成形、熱プレス、キャスト法等を用いることができるが、必ずしもこれらに限定されるものではなく、適宜選択することができる。
【実施例】
【００７３】
本発明に関し、以下の実験を行った。
（１）実験方法
（ｉ）分散液（エマルション）の形成
ポジ型フォトレジスト（クラリアント社製ＡＺＰ４４００）２００ｍｌに、ネガ型レジスト（信越化学社製；ＳＩＮＲ３１７０）１０ｍｌをミキサー式攪拌機を用いて１０分間攪拌することによって行い、混合し加圧脱泡することにより、ポジ型フォトレジストを海成分（マトリックス成分）としてネガ型レジストが微粒子状で均一分散された分散液を得た。
【００７４】
（ｉｉ）感光性樹脂層の形成
基板としてのガラスに（ｉ）で得られた分散液を塗布してフォトレジスト層を形成した。ガラスには清浄なものを用い、スピンコートによりフォトレジスト層の層厚が約１０μｍとなるように塗布した。
【００７５】
（ｉｉｉ）露光前加熱処理
露光前加熱処理を、９０℃で１２０分間行った。
【００７６】
（ｉｖ）露光工程
室温まで冷却後、感光性樹脂層の全面に８０ｍｊの光照射を行った。
【００７７】
（ｖ）露光後加熱処理
露光後の加熱処理を１１０℃で２分間行った。
【００７８】
（ｖｉ）凹凸形成
無機アルカリ溶液で７５秒間、現像処理を行い、感光性樹脂層の一部を除去した。これにより、フォトレジスト層の表面に微粒子の除去又は残留による凹凸を形成させ光拡散シート原盤としての感光性樹脂成形物を得た。この感光性樹脂成形物の表面を電子顕微鏡により撮影し、その撮影結果を図３に示した。図面よりきれいな略円形の凹凸が形成されていることが確認される。
【００７９】
（ｖｉ）光拡散シート成形用スタンパの製造
光拡散シート原盤のフォトレジスト層の表面にニッケル導電化膜を成膜した。そして、このニッケル導電化膜に電鋳用金属としてのニッケルを電鋳してニッケル電鋳層を形成した。更に、ニッケル導電化膜から光拡散シート原盤を剥離し、これにより光拡散シート成形用スタンパを得た。
【００８０】
（２）実験結果
製造した光拡散シート成形用スタンパの算術表面粗さ（Ｒａ）を東京精密社製の表面粗さ測定機（Surfcom200B）で測定した。この測定結果を図４に示す。これによれば、光拡散シート成形用スタンパの算術表面粗さは、ほぼ０．２〜２μｍの範囲内となっており、微細で均一な凹凸が形成されていることがわかった。
【００８１】
この凹凸は、マスキングを行わずに露光していることを勘案すると、ネガ型フォトレジストが微粒子に分散された微粒子の除去又は残留により凹凸が形成されたものと考えられる。従って、本実施例によれば、光拡散シート原盤或いは光拡散シート成形用スタンパに微細な凹凸を形成するためのマスキング工程を省略することができる。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明によれば、断面が略円弧状の微細な凹凸を付与することができるので、光拡散シートに限らずにこの微細な凹凸を利用した各種の成形物への応用が期待される。例えば、この凹凸形状はそのまま拡散に利用してもよく、反射膜をコートすることにより反射特性を利用してもよい。
【００８３】
それらの具体的な一例は、表面に微細な凹凸 を形成した薄膜トランジスタアレイ基板（例えば、特開平09-129882号公報参照）に加えて、凹凸 面を利用した光吸収材料から成るブラックストライプを形成した画像投射スクリーン（特開平08-254756号公報）、凹凸を有する樹脂層の上に反射層が形成された反射型液晶装置（特開平11-295728号公報参照）などが例示される。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明に係る光拡散シート原盤の製造方法の一実施形態を示す説明図であり、（ａ）は、基板上に形成された感光性樹脂層を説明する図であり、（ｂ）は感光性樹脂層を露光する露光工程を説明するずであり、（ｃ）は露光後の感光状況を説明する図であり、（ｄ）は感光層を現像することにより得られた感光性樹脂成形物としての光拡散シート原盤を示している。
【図２】図１（ｄ）の要部拡大図である。
【図３】本発明により製造された光拡散シート原盤としての感光性樹脂成形物の表面を電子顕微鏡で撮影した撮影結果を表す図である。
【図４】本発明により製造された光拡散シート成形用スタンパの算術表面粗さの測定結果を示した図である。
【符号の説明】
【００８５】
１０  光拡散シート原盤
１    海成分（マトリックス）
２    微粒子状で分散した感光性樹脂（微粒子）
３    基板（ガラス板）
４    感光性樹脂層
４ａ  表面
４ｂ  感光層
４ｃ  非感光層（樹脂層）
４ｄ  背面
４ｅ  （感光層）表面
２１  凸部
２２  凹部
Ｔ    微粒子が埋設した層厚
Ｄ    粒径
【図１】
2005266535.tif 000003
【図２】
2005266535.tif 000004
【図３】
2005266535.tif 000005
【図４】
2005266535.tif 000006