(57)【要約】【課題】  簡単な構成で低コストに湿度状態を検出することができる湿度状態検出システムを提供する。【解決手段】  測定環境の湿度状態の変化を、圧電基板１４の表面を伝搬する弾性表面波の振幅変化として抽出する。これにより、高湿度になるに従って、反射器１３からの反射信号の信号強度が低下するので、この信号強度に応じて識別用閾値を設定し、例えば、信号強度が当該閾値を下回った場合に測定環境が高湿度状態であることを検出する。応答信号の信号強度に基づいて湿度状態を検出するようにしているので、弾性表面波の遅延時間や周波数を検出する場合に比べて回路構成を簡素化でき、システム構築コストの低減を図ることができる。また、単発的に発生する蒸気や呼気等の検出センサとしても用いることができる。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性表面波素子を備えた応答器と、この応答器に送信される駆動信号を発生する駆動信号発生手段及び前記応答器からの応答信号を受信して信号処理を行う信号処理手段を備えた問合せ器とを有し、
前記弾性表面波素子が、前記問合せ器からの駆動信号を受けて弾性表面波を励起させる送受信用電極と、前記弾性表面波を前記送受信用電極に向けて反射する１乃至複数の反射器とをそれぞれ圧電材料表面に形成してなり、
前記信号処理手段は、前記応答信号の信号強度に応じて設定される識別用閾値に基づいて、前記弾性表面波素子の表面の湿度状態を検出する
ことを特徴とする湿度状態検出システム。
【請求項２】
前記識別用閾値は、前記複数の反射器からの各反射信号強度における一定以上の出力差である
ことを特徴とする請求項１に記載の湿度状態検出システム。
【請求項３】
前記複数の反射器のうち、一部の反射器は、測定環境に露出した圧電材料表面に配置され、残余の反射器は、測定環境から遮蔽された圧電材料表面に配置されており、
前記識別用閾値は、前記残余の反射器からの反射信号の信号強度である
ことを特徴とする請求項１に記載の湿度状態検出システム。
【請求項４】
前記応答器はアンテナ手段を具備し、前記問合せ器と無線により信号の送受信を行う
ことを特徴とする請求項１に記載の湿度状態検出システム。
【請求項５】
前記信号処理手段は、前記応答信号の信号強度の変化間隔や一定期間内での変化数をカウントする
ことを特徴とする請求項１に記載の湿度状態検出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性表面波素子を用いた湿度状態検出システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、弾性表面波の応用として、ワイヤレスで個体識別及びセンシングを行う個体情報検出装置が知られている。この種の個体情報検出装置は、測定対象物に取り付けられ弾性表面波素子及びアンテナ手段を備えた応答器と、この応答器に対して駆動信号を送信するとともに当該応答器からの応答信号を受信する問合せ器とで構成されている。このような個体情報検出装置は、応答器に弾性表面波素子を用いているので、応答器をバッテリレスで構成することができる。
【０００３】
また、近年、弾性表面波素子を用いた湿度検出センサが種々提案されている。例えば、下記特許文献１，２及び非特許文献１には、弾性表面波の伝搬路上に感湿膜を形成し、その弾性表面波の伝搬特性の変化から湿度変化を検出する技術が開示されている。
【０００４】
図７は、感湿膜を有する従来の弾性表面波素子１０１の一構成例を示している。
弾性表面波素子１０１は、櫛形電極構造をなす送受信電極１０２と反射器１０３とを圧電基板１０４上に形成してなり、更に、湿度に対して物理特性が変化する感湿膜１０６を弾性表面波の伝搬路（圧電基板１０４上の送受信電極１０２と反射器１０３との間）に形成している。送受信電極１０２は、一対の櫛形電極１０２ａ，１０２ｂを対向させ、一方の電極間に他方の電極が位置するように互い違いに交差配置されている。このような電極配置構造は、一般に、ＩＤＴ（Interdigital Transducers）構造と称されている。
【０００５】
送受信電極１０２の入出力端子１０５ａ，１０５ｂに交流電圧を加えると、公知のように圧電基板１０４上に弾性表面波が励起される。この弾性表面波は圧電基板１０４の表面を伝搬し、伝搬路上の反射器１０３で反射されて、再び送受信電極１０２へ戻る。このときに、湿度の影響により感湿膜１０６の質量、電気抵抗等の物理的特性が変化し、これに伴い弾性表面波の反射信号が変化する。このため、感湿膜１０６の特性変化を介して周波数、遅延時間といった弾性表面波の伝搬特性の変化を抽出し、湿度変化を検出するようにしている。
【０００６】
一方、下記特許文献３には、基準発振器を構成する弾性表面波素子と湿度検知発振器を構成する弾性表面波素子とを同一基台上に設置し、これら両発振器の発信周波数差から湿度を検出する構成が開示されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平６−１１４９２号公報
【特許文献２】特開平７−１９８４２８号公報
【特許文献３】特公平６−４００５６号公報
【非特許文献１】野村徹、安田力「弾性表面波湿度センサ」日本音響学会誌５１巻                    １号（１９９５）、ｐｐ．６０−６５
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上述したような感湿膜１０６を用いる構成の従来の湿度検出センサにおいては、感湿性の優れた感湿膜を開発する必要があるため高コスト化し、また、弾性表面波の伝搬路上に感湿膜を形成するため、これによる弾性表面波の伝搬損失が生じるなどの問題もある。
【０００９】
更に、弾性表面波の周波数や遅延時間等で湿度の変化を検出する方法では、信号処理系が複雑化し高コストになる。用途によっては、正確な数値までを必要とせず、例えば、液滴センサのように水分の付着の有無が判別できればよいといったものもある。
また、この種の圧電基板は、湿度だけでなく温度変化等の情報も混在するおそれがあるため、特性が温度に依存しない圧電基板を用いたり、温度情報をキャンセルできる回路を別途設ける等の工夫が必要となる。
【００１０】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、簡単な構成で低コストに、湿度状態を検出することができる湿度状態検出システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
以上の課題を解決するに当たり、本発明の湿度状態検出システムは、弾性表面波素子を備えた応答器と、この応答器に送信される駆動信号を発生する駆動信号発生手段及び応答器からの応答信号を受信して信号処理を行う信号処理手段を備えた問合せ器とを有し、上記弾性表面波素子が、問合せ器からの駆動信号を受けて弾性表面波を励起させる送受信用電極と、弾性表面波を送受信電極に向けて反射する１乃至複数の反射器とをそれぞれ圧電材料表面に形成してなり、上記信号処理手段は、上記応答信号の信号強度に応じて設定される識別用閾値に基づいて、弾性表面波素子の表面の湿度状態を検出する。
【００１２】
この発明により、測定環境の湿度状態の変化は、圧電材料表面を伝搬する弾性表面波の振幅変化として抽出することができるようになり、高湿度になるに従って応答器からの応答信号の信号強度が低下する。そこで、この応答信号の信号強度に応じて識別用閾値を設定し、例えば、信号強度が当該閾値を下回った場合に測定環境が高湿度状態であることを検出するようにする。
【００１３】
これにより、湿度状態の高低検出センサや液滴センサ、結露センサ等、具体的な数値までを必要としない簡易なセンサ用途に好適に実施することができる。また、応答信号の信号強度に基づいて湿度状態を検出するようにしているので、弾性表面波の遅延時間や周波数を検出する場合に比べて回路構成を簡素化でき、システム構築コストの低減を図ることができる。
【００１４】
応答信号の信号強度の識別用閾値としては、複数の反射器からの各反射信号強度における一定以上の出力差や、測定環境の影響を受けない弾性表面波伝搬路に形成された反射器からの反射信号の信号強度等を採用することにより、応答器と問合せ器との間の信号の授受を無線で行う場合において、電波の空中伝搬による減衰等を除去し、通信距離に依存しない適正な状態検出を行うことができるようになる。
【００１５】
また、応答器からの応答信号の信号強度の変化間隔や、一定期間内での信号強度の変化数をカウントする設定とすることにより、蒸気センサや呼気センサ等も容易に構成することができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上述べたように、本発明の湿度状態検出システムによれば、湿度の高低の状態検出や液体の付着検出、呼気や蒸気等の間欠的な変化間隔や変化数の算出等を、簡単な構成で低コストに実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は本発明の実施の形態による湿度状態検出システム２０の概略構成を示している。湿度状態検出システム２０は、応答器２１と、問合せ器２２とで構成されている。
【００１９】
応答器２１は、弾性表面波（ＳＡＷ）素子部２４及びアンテナ部２３により構成されている。弾性表面波素子部２４は、対象となる情報を弾性表面波の変化として検出する部分で、測定対象物あるいは測定環境中に取り付けられる。アンテナ部２３は、問合せ器２２との間で電波信号の送受信を行う部分である。
【００２０】
一方、問合せ器２２は、送受信回路部２６、演算回路部２７、駆動信号発生回路部２８及びアンテナ部２５により構成されている。
【００２１】
駆動信号発生回路部２８は、弾性表面波素子部２４に供給する駆動信号を発生する部分で、送受信回路部２６は応答器２１への送信及び応答器２１からの応答信号の受信を行う部分である。
【００２２】
また、演算回路部２７は応答器２１からの応答信号を信号処理してセンシング情報を抽出する部分であり、本発明に係る「信号処理手段」に相当する。演算回路部２７は、応答器２１から返信される特定周波数の応答信号を増幅する増幅回路や、受信した応答信号を抽出し状態判別を行う処理回路等で構成されている。
【００２３】
本実施の形態では、後述するように、応答器２１から返信される応答信号の信号レベル（振幅）の強弱に基づいて、測定対象物あるいは測定環境中の湿度状態及びその変化を判別するように構成されている。
【００２４】
また、これら応答器２１と問合せ器２２との間の信号の授受は、それぞれのアンテナ部２３，２５間における無線通信によってなされるようになっている。なお、これら応答器２１と問合せ器２２との間の信号の授受を有線で行うことも勿論可能である。
【００２５】
次に、図２は応答器２１の概略構成を示している。
【００２６】
応答器２１は、回路基板３１上に設置されたアンテナ部２３、整合部３３及び弾性表面波素子部２４を有している。各部は回路基板３１上の回路パターンとワイヤを介して電気的に接続されているが、これ以外にも、バンプを介したフェイスダウンボンディングや回路パターンのみで接続することも可能である。
【００２７】
アンテナ部２３は、弾性表面波素子部２４を駆動する問合せ器２２から発せられる電波（駆動信号）を受信し、また、弾性表面波素子部２４による計測信号（応答信号）を送信するもので、ループ、ヘリカル、モノポール、ダイポール、パッチ、チップ、板状逆Ｆ、マイクロストリップアンテナ等が用いられる。
【００２８】
アンテナ部２３は銅、アルミニウム等の線材、あるいは絶縁性フィルム基板上に形成したアンテナコイルパターンで構成されるが、直接、回路基板３１上にめっき法、ペースト印刷法、エッチング法あるいは公知の真空薄膜技術により作製するようにしてもよい。
【００２９】
整合部３３は、アンテナ部２３と弾性表面波素子部２４との間のインピーダンス整合をとるためのもので、抵抗器、コイル、キャパシタ等を組み合わせて構成される。これらの各素子は回路基板３１上にはんだ等で搭載されるが、アンテナ部２３と同様、回路基板３１上に直接、めっき、ペースト印刷、エッチングあるいは真空薄膜形成技術を用いて作製してもよい。
【００３０】
なお、整合部３３は上述のようにアンテナ部２３と弾性表面波素子部２４との間のインピーダンス整合をとるために設けられたものであるため、整合がとれた状態では省略することができる。
【００３１】
図３Ａは、弾性表面波素子部２４の一構成例を示している。弾性表面波素子部２４は、圧電基板１４の表面に、送受信電極１２と、反射器１３とが形成された構成となっている。
【００３２】
圧電基板１４としては、レイリー波を発生する、例えばニオブ酸リチウム単結晶の１２８°回転Ｙカット基板が用いられる。なお、これ以外にも、水晶、タンタル酸リチウム、四ホウ酸リチウム、ランガサイト等を適切な方位でカットした基板を使用してもよい。更に、他の圧電材料として、ＺｎＯ等の圧電性薄膜をガラス、シリコン単結晶、ＧａＡｓ等の基板に形成して使用することも可能である。
【００３３】
送受信電極１２は、一対の櫛形電極１２ａ，１２ｂを対向させてなり、一方の櫛形電極１２ａの電極間に他方の櫛形電極１２ｂの電極が位置するように互い違いに交差配置されたＩＤＴ構造を有している。送受信電極１２を構成する各櫛形電極１２ａ，１２ｂには、この弾性表面波素子部２４に対する入出力端子部１５ａ，１５ｂがそれぞれ設けられている。
【００３４】
アンテナ部２３と弾性表面波素子部２４との間の接続は、送受信電極１２の入出力端子１５ａ，１５ｂを介して行われ、この接続は通常ワイヤが用いられるが、フリップチップ方式によりバンプを用いて直接接続することもできる。また、アンテナ部２３が圧電基板１４の表面に形成される場合には、送受信電極１２及び後述する反射器１３の形成時のパターニングで接続してもよい。また、圧電基板１４端部での弾性表面波の反射による干渉を軽減するために、図示していない吸音材を圧電基板１４の端部に塗布してもよい。
【００３５】
送受信電極１２は金属薄膜パターンで構成される。送受信電極１２は、設計に応じた特性が得られるように薄膜の材質、幅、厚さ等が調整される。薄膜形成方法としては、スパッタ法のほか、蒸着等の真空薄膜形成技術や、めっき法、ペースト印刷法等も適用することができる。
【００３６】
送受信電極１２で励起される弾性表面波ＳＡＷの波長をλとすると、送受信電極１２の電極ピッチはλ／２、電極幅はλ／４、電極対数は図中では簡略して３対で表しているが通常１０〜５０対程度で、伝送の帯域幅などを考慮して決められる。また、電極厚みはλ／３０としたが、特に限定されるものではなく、励起効率を勘案して通常、λ／１５０〜λ／８の範囲で決定される。
【００３７】
送受信電極１２を形成する材料としては、電気抵抗が小さく軽量であり、パターニングが容易であることから、アルミニウムが好適な例として挙げられる。これ以外には、銅、チタン、タンタル、クロム、金等を適用してもよく、更にはこれら金属同士を混ぜ合わせたり、各種金属を添加したり、あるいは積層構造としてもよい。
【００３８】
反射器１３もまた、金属薄膜パターンで構成され、設計に応じた特性が得られるように薄膜の材質、幅、厚さ等が調整される。薄膜形成方法としては、スパッタ法のほか、蒸着等の真空薄膜形成技術や、めっき法、ペースト印刷法等も適用することができる。
【００３９】
本実施の形態では、反射器は簡略して１本で説明するが、通常数本から数十本で構成され、十分な反射信号が得られるよう、また帯域幅等を勘案して最適な本数を設定する。
【００４０】
反射器１３の電極ピッチはλ／２、電極幅はλ／４とした。また、電極厚みはλ／３０としたが特に限定されるものではなく、励起効率を勘案して通常、λ／１５０〜λ／８の範囲で決定される。
【００４１】
反射器１３を形成する材料としては、電気抵抗が小さく軽量であり、パターニングが容易であることから、アルミニウムが好適な例として挙げられる。これ以外には、銅、チタン、タンタル、クロム、金等を適用してもよく、更にはこれら金属同士を混ぜ合わせたり、各種金属を添加したり、あるいは積層構造としてもよい。
【００４２】
反射器１３は、送受信電極１２で励起され圧電基板１４上を伝搬する弾性表面波を送受信電極１２へ向けて反射するように、送受信電極１２に対し平行に所定の間隔をあけて形成されている。
【００４３】
次に、以上のように構成される本実施の形態の湿度状態検出システム２０の作用について説明する。
【００４４】
図１及び図２を参照して、問合せ器２２から定期的に発せられる駆動信号としての無線信号は応答器２１のアンテナ部２３で受信され、整合部３３を介して弾性表面波素子部２４に供給される。図３Ａに示すように、駆動信号は入出力端子１５ａ，１５ｂを介して弾性表面波素子２４の送受信電極１２に供給される。これにより、送受信電極１２の櫛形電極１２ａ及び１２ｂの電極ピッチに対応した波長λの弾性表面波ＳＡＷが圧電基板１４上に励起される。
【００４５】
送受信電極１２にて発生した弾性表面波ＳＡＷは、圧電基板１４の表面を伝搬し、反射器１３が形成されるトラック上を進行する。反射器１３に到達した弾性表面波ＳＡＷは反射器１３で反射され送受信電極１２へ戻ることになる。このとき、伝搬面上に水粒子付着等による状態変化があれば、弾性表面波ＳＡＷの伝搬が抑制され信号強度が低下する。
【００４６】
送受信電極１２は、弾性表面波ＳＡＷの反射波ＳＡＷ−Ｒを受信し電気信号に変換する。送受信電極１２で受信された弾性表面波ＳＡＷの反射信号は、入出力端子１５ａ，１５ｂ、整合部３３及びアンテナ部２３を介して応答信号として問合せ器２２へ返信される。
【００４７】
問合せ器２２においては、応答器２１からの応答信号がアンテナ部２５及び送受信回路部２６を介して演算回路部２７へ供給される。演算回路部２７では応答信号の信号強度を抽出して、あらかじめ決められた閾値と比較することで状態判別を行う。
【００４８】
図６は、弾性表面波素子部２４を恒温槽に入れ、温度４０℃一定として、湿度を段階的に変えながら弾性表面波素子部２４の応答性を調べたものである。図において縦軸は反射信号強度、横軸は湿度（相対湿度）を示している。送受信電極１２の入出力端子１５ａ，１５ｂに電圧を加え、反射器１３からの反射信号電圧の変化を湿度３０％の値を基準として描画している。
【００４９】
図６において、湿度が６０％を越える辺りから信号の減衰が見られる。これは、圧電基板１４上の弾性表面波伝搬面に水粒子の付着が起こり、弾性表面波のエネルギー分散を招いたことによる。弾性表面波伝搬面に付着した水粒子は、弾性表面波による圧電基板面の振動で飛散するが、湿度が高い場合は付着する水粒子と、飛散する水粒子が平衡状態を保って安定化する。
【００５０】
従って、結露センサ等として高湿度状態を検出する場合は、例えば湿度９０％前後を判定の目安として、定常状態に対し信号強度２ｄＢ低下を閾値として状態判別すればよい。水滴付着の場合は、弾性表面波の減衰が著しく、信号低下は更に大きくなるため状態判別は容易となる。例えば、湿度状態の高低、結露センサ、液滴センサ等、正確な数値まで必要とされないセンサ用途に好適に用いることができる。
【００５１】
また、単発的な蒸気や呼気等を検出する検出センサとして応答器２１を構成した場合、弾性表面波素子部２４への水粒子の付着が著しいため、急激な信号の減衰が生じ、程度によっては信号がほとんどゼロとなる。従って、定常状態あるいは固定値をもとに設定された閾値と比較して状態判別すればよい。
【００５２】
具体的に、単発付着の場合は、圧電基板表面の振動により、付着した水粒子は速やかに飛散して定常状態に回復するため、演算回路部２７において信号強度の変化間隔や一定期間内での変化数をカウントすることで、呼気や蒸気の噴き出し周期、回数を算出することができる。
【００５３】
図３Ｂは、問合せ器２２からの送信信号と、反射器１３で反射して戻ってきた応答信号との関係を示したものである。図において縦軸は信号強度、横軸は時間を示している。なお、この図では複数回の反射による応答信号は省略している。
【００５４】
上述したように、定常状態における応答信号の信号強度を基準とし、例えば−２ｄＢを閾値としてそれを境に応答信号強度がそれ以下の場合を湿度９０％以上の高湿度状態と判別できる。図示していないが、更に、例えば−５ｄＢを第二閾値として、信号強度がそれ以下の場合は液滴の付着があったと判断することもできる。
【００５５】
なお、無線で使用する場合、用途によっては伝送距離や送受信感度が変化することが考えられるので、一定間隔で送受される信号で常に前回の応答信号を基準として判別するのが好ましい。例えば、上記高湿度状態の検出の場合は、前回の応答信号強度が−２０ｄＢならば−２２ｄＢを閾値とするようにする。
【００５６】
本実施の形態によれば、応答信号の信号強度に基づいて湿度状態を検出するようにしているので、弾性表面波の遅延時間や周波数を検出する場合に比べて回路構成を簡素化でき、システム構築コストの低減を図ることができる。
【００５７】
続いて、本発明の他の実施の形態による弾性表面波素子部４１の構成を図４Ａに示す。この例に示す弾性表面波素子部４１では、圧電基板４４の表面に、一対の櫛形電極４２ａ及び４２ｂでなる送受信電極４２と、２つの反射器４３ａ，４３ｂとを設けている。４５ａ，４５ｂは、送受信電極４２の入出力端子である。
【００５８】
図３Ａに示した構成例では反射器が１つのため応答信号は１つであったが、図４Ａの例では反射器が２つあるため２つの応答信号が得られることになる。２つの反射器４３ａ，４３ｂは、一定間隔をおいて弾性表面波の伝搬路上に設けられている。弾性表面波の伝搬距離が異なるため、図４Ｂに示すように上記２つの応答信号１，２は一定時間をおいて検知される。なお、図４Ｂには反射器４３ａ，４３ｂにおける複数回の反射による応答信号の図示は省略している。
【００５９】
高湿度状態の状態検出について説明すると、反射器４３ａ，４３ｂからの応答信号１，２は何れも信号強度が低下するが、送受信電極４２からより離れた反射器４３ｂからの応答信号２の方が大きく減衰するため、応答信号１，２に出力差を生じる。このとき一定以上の出力差を識別用閾値として設定し、応答信号１，２が当該閾値以上の出力差を生じた場合に高湿度状態であるというように判別する。
【００６０】
この２反射器を用いる方法では、２つの応答信号の出力差をとるため、電波の空中伝搬における減衰や、信号伝達・処理回路での信号減衰を除去することができる。
【００６１】
図５Ａは、本発明の更に他の実施の形態を示している。この例に示す弾性表面波素子部５１では、圧電基板５４の表面に、一対の櫛形電極５２ａ及び５２ｂでなる送受信電極５２と、２つの反射器５３ａ，５３ｂとを設けている。５５ａ，５５ｂは、送受信電極５２の入出力端子である。
【００６２】
反射器５３ａ，５３ｂは、送受信電極５２の両側に、送受信電極５２からの距離を変えて設けられている。送受信電極５２を中心として、反射器５３ａ側は弾性表面波伝搬面が直接測定環境に触れる一方、反射器５３ｂ側はそれに触れないように構成してある。本例では、反射器５３ｂ側の弾性表面波伝搬面を測定環境から遮蔽するカバー５６を用いている。カバー５６の構成は特に限定されないが、反射器５３ｂ側の弾性表面波伝搬空間を測定環境に触れることなく区画できる構成であればよい。
【００６３】
以上のように構成される弾性表面波素子５１においては、外部環境の変化を受けるのは送受信電極５２を境として反射器５３ａの側のみとなる。この弾性表面波素子５１を用いた場合の送信信号と応答信号との関係について図５Ｂを参照して説明する。
【００６４】
反射器５３ａ，５３ｂは互いに送受信電極５２からの距離が異なるので、送信信号に対して反射器５３ａでの反射による応答信号３と反射器５３ｂでの反射による応答信号４とが時間的にずれて検出される。外部環境の変化、例えば蒸気を浴びた場合、反射器５３ａ側は大きな影響を受け、そのため応答信号５３ａは減衰する。一方、反射器５３ｂ側はカバー５６により影響を受けないようになっているため応答信号４に変化はない。
【００６５】
従って、反射器５３ｂからの応答信号４を基準信号として、環境変化を受ける反射器５３ａからの応答信号３を比較し、応答信号３が応答信号４を下回った場合に、湿度状態に変化が起こったとして判別することができる。
【００６６】
また、基準信号となる応答信号４は、応答信号３よりも、検出対象とする環境変化量に対応すべく決められた一定量だけ信号強度が小さくなるように設定しておく必要があるため、反射器５３ｂは反射器５３ａよりも、例えば、図５Ａに示すように電極の長さを短くするなどの処置が施される。
【００６７】
以上、本発明の各実施の形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００６８】
例えば以上の実施の形態では、主として、測定対象物あるいは測定環境の湿度状態を検出する場合を例に挙げて説明したが、これに加えて、弾性表面波素子部にＩＤ検出用の反射器パターンを付与して個々のＩＤ情報をも検出するようにしてもよい。
【００６９】
また、以上の実施の形態では反射器の形成数を１又は２としたが、更に形成数を増やしてより細かな湿度状態検出を可能とし、システムの拡張を図るようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の実施の形態による湿度状態検出システム２０の概略構成図である。
【図２】応答器２１の概略構成図である。
【図３】Ａは弾性表面波素子１１の概略構成図であり、Ｂはその送信信号と応答信号との関係を説明する図である。
【図４】Ａは他の実施の形態による弾性表面波素子４１の概略構成図であり、Ｂはその送信信号と応答信号との関係を説明する図である。
【図５】Ａは更に他の実施の形態による弾性表面波素子５１の概略構成図であり、Ｂはその送信信号と応答信号との関係を説明する図である。
【図６】図３Ａに示す弾性表面波素子１１の湿度に対する応答信号の信号強度を示す図である。
【図７】従来の湿度検出センサの構成を説明する図である。
【符号の説明】
【００７１】
１２，４２，５２…送受信電極、１３，４３ａ，４３ｂ，５３ａ，５３ｂ…反射器、１４，４４，５４…圧電基板、２０…湿度状態検出システム、２１…応答器、２２…問合せ器、２３，２５…アンテナ部、２４，４１，５１…弾性表面波素子部、２６…送受信回路部、２７…演算回路部、２８…駆動信号発生回路部、３１…回路基板、３３…整合部、５６…カバー、ＳＡＷ…弾性表面波、ＳＡＷ−Ｒ…弾性表面波の反射波。
【図１】
2005214713.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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