(57)【要約】【課題】転写法で色材のパターンを形成する際、その色材のパターンの位置精度を高くして、裏面露光法でブラックマトリクスを形成することができるようにし、転写法を採用して低コストにて高精度のカラーフィルタを得る。【解決手段】カラーフィルタの構成色のパターンに凸状部８を対応配置させていて、該凸状部８に、ベースフィルム１６に剥離剤層１７及び色材層１０を形成してなる色材層転写部材９から前記構成色の色材層１０が転写され、凸状部８から構成色の色材層１０をカラーフィルタ基板１上へ転写するカラーフィルタ製造用の転写型７であり、構成色の全色のパターンに対応するように凸状部８を備えた。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタの構成色のパターンに凸状部を対応配置させていて、該凸状部に、ベースフィルムに剥離可能に色材層を形成してなる色材層転写部材から前記構成色の色材層が転写され、この凸状部から前記構成色の色材層をカラーフィルタ基板上へ転写するカラーフィルタ製造用の転写型であって、
前記凸状部が構成色の全色のパターンに対応していることを特徴とする転写型。
【請求項２】
実質的に熱膨張しない、またはカラーフィルタ基板と実質的に同じ熱膨張率である請求項１に記載の転写型。
【請求項３】
構成色のパターンごとに凸状部が加熱可能に設けられている請求項１又は２に記載の転写型。
【請求項４】
前記凸状部が台形状である請求項１〜３の何れか一項に記載の転写型。
【請求項５】
前記凸状部の底部が繋がっている請求項１〜４の何れか一項に記載の転写型。
【請求項６】
請求項１から５の何れか一項に記載の転写型におけるカラーフィルタの構成色のパターンに対応した凸状部に、ベースフィルムに剥離可能に色材層を形成してなるカラーフィルタの前記構成色である色材層転写部材の前記色材層を転写させて、凸状部それぞれに対応する構成色の色材層を転写型に転写配置する色材層受け工程と、
前記転写型の全凸状部上の色材層をカラーフィルタ基板へ一括して転写する色材層渡し工程と、
裏面露光方法によってカラーフィルタ基板上の色材層間に遮光膜を形成する遮光膜形成工程と
を備えていることを特徴とするカラーフィルタの形成方法。
【請求項７】
上記転写型の凸状部が構成色のパターンごとに加熱可能に設けられ、上記色材層受け工程において、色材層転写部材の色材層の構成色に応じて、該構成色のパターンに対応した凸状部を加熱する請求項６に記載のカラーフィルタの形成方法。
【請求項８】
上記色材層受け工程において、上記色材層転写部材の色材層下に配した剥離剤層を加熱剥離性とし、前記色材層転写部材と転写型とが相対するときに、該色材層転写部材の構成色に対応する凸状部のみを加熱する請求項４又は５に記載のカラーフィルタの形成方法。
【請求項９】
上記色材層受け工程において、上記色材層転写部材と転写型とが相対するときに、該色材層転写部材の構成色に対応する凸状部のみに粘着層を形成する請求項６から８の何れか一項に記載のカラーフィルタの形成方法。
【請求項１０】
上記色材層受け工程において、カラーフィルタの構成色のパターンごとに上記凸状部を色材層転写部材に対してプレスするプレス型により、色材層転写部材のベースフィルム上からプレスする請求項６から９の何れか一項に記載のカラーフィルタの形成方法。
【請求項１１】
上記色材層転写部材の色材層は、該色材層と転写型の凸状部が接し、かつ加熱または加圧による転写条件が付与されたときにベースフィルム側から前記凸状部に転写する構成に設けられている請求項６から１０の何れか一項に記載のカラーフィルタの形成方法。
【請求項１２】
上記色材層渡し工程において、色材層と凸状部の間の接着力を低下させる前記凸状部への加熱を行なう請求項６から１１の何れか一項に記載のカラーフィルタの形成方法。
【請求項１３】
上記色材層渡し工程において、上記凸状部上の色材層またはカラーフィルタ基板上に接着剤層を形成した後、色材層をカラーフィルタ基板へ転写する請求項６から１２の何れか一項に記載のカラーフィルタの形成方法。
【請求項１４】
上記接着剤層を形成する接着剤をＵＶ硬化性の接着剤とし、色材層と凸状部とカラーフィルタ基材とが重なりあった状態でカラーフィルタ基板側からＵＶ光を照射して接着剤層を硬化させる請求項１３に記載のカラーフィルタの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はカラーフィルタ液晶ディスプレイ等に使用されるカラーフィルタの形成する際に用いる転写型と、この転写型を用いたカラーフィルタの形成方法に関するもので、さらに詳しくは、ブラックマトリクス（ＢＭ）を形成する裏面露光法と、カラーフィルタの各構成色のパターンを得るための色材層を有する色材層転写部材と転写型を使用してカラーフィルタ基板の所要の位置に色材層を転写してカラーフィルタを形成する方法と、を組み合わせることができるようにしたものに関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、カラー液晶ディスプレイ等に使用されるカラーフィルタは、液晶テレビに使用される割合が増加し、大型化、低コスト化が強く要求されている。例えば、サイズは対角３０インチ以上が要求され、画面サイズは３０インチワイドの場合、約７００mm×４００mmであり、カラーフィルタの形成に際してカラーフィルタ基板とするガラス基板に多面付けで形成するために、カラーフィルタ形成時に用意されるそのガラス基板のサイズとして２ｍ角が想定される状況である。このような大型ガラス基板を用いて効率よくカラーフィルタを形成することが求められている。
【０００３】
このカラーフィルタにおいて、隣接する画素間には、ブラックマトリクスとよばれる遮光性のパターンがある。ブラックマトリクスの形状は、格子状、ストライプ状があるが、大型液晶テレビではストライプ状が一般的であり、ブラックストライプと呼ぶことが多い（なお、以降、ブラックマトリクスと表記されている部分では、格子状とストライプ状との両方を含めている）。
そして、対角３０インチのテレビでは、そのブラックマトリクスのストライプの幅は２０μｍ±２μｍ、ピッチは１００μｍ程度、寸法精度は全面で±３μｍ程度である。今後、画面サイズが大きくなればピッチは比例して広がるが、ストライプの幅は、開口率が高い方が好ましいので、これより広くなる可能性は少ない。また、全寸法精度もＴＦＴ側基板に合わせる必要があるので、これより緩くなることは考え難い。
【０００４】
このようにカラーフィルタが大型のものであっても、ブラックマトリクスの精度に対する要求は高いものである。なお、ブラックマトリクスの材料として遮光性が非常に高い金属クロムの１０００Å程度の薄膜が使用されることがあるが、カラーフィルタ基板からカラーフィルタを見た場合の反射率が高いこと、クロムのエッチング廃液の廃棄処理が高コストであることのため、以下に述べる黒色の感光性樹脂を使用したものに生産が移行している。
【０００５】
カラーフィルタにおける通常の樹脂製ブラックマトリクスに要求される光学濃度、形状、寸法に関する仕様、特性としては、光学濃度Ｄ＞３．０〜３．５、厚さ１〜２μｍ、線幅１０〜３０μｍ、寸法精度＜±３μｍ（サイズによらず）が代表的な例である。全体的な寸法精度は、ＴＦＴ側のパターンと一致させるために非常に厳しい値である。また、開口率を高くするために、幅の仕様値も細く、また目視でばらつきが認識されないと言う条件のため、ばらつきも低く抑える必要がある。
【０００６】
ブラックマトリクスに対して上述した条件をクリアさせながら、ほとんどすべてのカラーフィルタが現在、フォトリソグラフ法で作成されていて、その作成手順は以下の通りである。
（１）まず、カラーフィルタ基板（通常はガラス基板）にブラックマトリクスをフォトリソグラフ法で形成する。即ち、感光性樹脂のブラックマトリクス材をガラス基板全面に塗布し、乾燥後、所望のブラックマトリクスパターンを有するフォトマスクを使用して、露光し、現像し、乾燥し、熱処理して、所望のブラックマトリクスを形成する。
（２）次に、例えば赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）の三色の色材を有するカラーフィルタの場合、最初に例えば赤色の色材として赤色用感光性カラーフィルタ用インキを全面に塗布し、所望の赤色パターンを有するマスクを使用して、露光、現像、水洗、乾燥、熱処理をおこなう。
（３）さらに、同様な操作をＧ，Ｂについて行い、カラーフィルタを完成する。
【０００７】
この場合、各色の色材のパターンにおいて画素部を形成する部分それぞれのサイズは、ブラックマトリクスで区分けされている所定の部分サイズより、少し大きめであるようにしている。大きめにする理由は、アライメント精度がやや低いため、数μｍ程度のズレが発生することの対策である。即ち、アライメントがずれても、カラーフィルタがない部分（白抜け）が発生しないようにするための対策である。
結果として、フォトリソグラフ法で実際に形成されているものは、図１（ａ）に示したようにカラーフィルタ基板１上でブラックマトリクス２と色材３が重なった部分では、色材３がブラックマトリクス２の上に乗り上げることになる。そして、乗り上げている状態が好ましくない場合、研磨して平坦にすることが提案されている（例えば特許文献１参照）。しかし、研磨を行なうことはかなりのコストアップになるので、実際にはオーバーコート層を設けて平坦な面にしている場合が多い。
カラーフィルタの断面形状としては望ましいものは、図１（ｂ）に示したように、色フィルタ部分（色材３部分）とブラックマトリクス２が同一高さで、凹凸なく連続しているものである。
【０００８】
ブラックトリクスの上に色材が乗り上げない構造を得ることができる方法として裏面露光法がある。この裏面露光法（背面露光法、裏露光法と呼ばれる場合もある）とは、カラーフィルタ構成色である所要の色材のパターンを全て設けて色フィルタパターンをカラーフィルタ基材に形成した後に、感光性ブラックマトリクス材を、カラーフィルタ形成部分を含む所定部分全面に塗布し、カラーフィルタ基板の裏面側から露光し、カラーフィルタ形成部分（色フィルタである色材がある部分）をフォトマスクとして使用して、感光性ブラックマトリクス材を硬化するとともに、感光性ブラックマトリクス材の未硬化部を溶剤で除去してカラーフィルタを形成する方法であり、特許文献２、特許文献３、特許文献４、特許文献５等で提案されている。以下に図２に基づいてブラックマトリクスを裏面露光法により形成する点を説明する。
図２（ａ）はカラーフィルタ基板１にすでに所要の三色の色材３のパターンが形成された状態である。この上にブラックマトリクスとなるブラックマトリクス用インキ４（感光性樹脂）を全面に塗布する（図２（ｂ）、図２（ｃ））。溶剤を揮発させた後（図２（ｄ））、カラーフィルタ基板１側から裏面露光５すると、色材３がない部分のブラックマトリクス用インキ４は硬化するが、色材３の上のブラックマトリクス用インキ４は色材３で遮光されて硬化しない（図２（ｅ））。現像液で未硬化部のブラックマトリクス用インキ４を除去する（図２（ｆ））と、所要部にブラックマトリクス２が形成されたカラーフィルタ６を得ることができる。
【０００９】
この裏面露光法は、ブラックマトリクスを先に形成する通常方法よりも、色材とブラックマトリクスとが重なった凸部がなく、また色材が存在すべき位置（画素部）での白抜け欠陥を防ぐことができ、さらに少なくともアライメント露光工程が一回少ないので低コストプロセスでもあり、カラーフィルタを得る上で好ましい方法である。
しかしながら、上記裏面露光法によるブラックマトリクスを備えるカラーフィルタの形成方法では、カラーフィルタ部分自体の形成に際しては各カラーフィルタの構成色ごとのパターンを順次形成するので、図１に示すように赤（Ｒ）緑（Ｇ）、青（Ｂ）の順にパターンを形成したとすると、三回アライメント露光が必要であることには変わりが無い。
特にアライメント精度が非常に高い場合には、図３（ａ）に示したように色材３のパターン中の画素部の間の隙間、すなわち裏面露光を用いてブラックマトリクスとする部分の幅は同一となる。しかし、例えばＧの色材３のパターンのアライメントが１μｍパターンにして垂直方向（ストライプに対して垂直方向、図上右方向）にずれた場合には全面に亘り、図３（ｂ）に示したように隙間の寸法が一部不揃いとなる。
【００１０】
このような全面のズレにおいて、ＴＦＴ側の画素パターンとの位置ずれが問題にならない場合であっても、この液晶カラーフィルタからなるテレビ画面を目視した場合にムラとして認識されるかどうかが問題である。
実際には、全面のズレは、数μｍのズレであっても、全体的な表示ムラとして見えてしまう。さらに、アライメント時に回転した場合には、図３（ｃ）に示したように色材３間の間隔が不均一となり、これも目視においてムラと認識される。
【００１１】
ブラックマトリクスを先に形成する方法の場合、ブラックマトリクスの幅の精度仕様は現在一番緩くても±２μｍ程度である。この精度であれば、ブラックマトリクスのムラが目視で認識されない。
従って、ブラックマトリクスを後に形成するカラーフィルタ形成方法の場合（裏面露光法を採る場合）、図３に示す隙間間隔Ｄ１、Ｄ２において、Ｄ１−Ｄ２＜２μｍでなければならず、色材による画素部を先に形成する際に、許容される画素部の位置ズレは±１μｍとなる。即ち、各色材のパターンそれぞれにおいてそのアライメントのズレの許容が±１μｍとなる。三色を別々に形成する通常の方法では、この精度を保持することは露光機の性能からして非常に難しい。
よってフォトリソグラフィ法により色材のパターンを先に形成してブラックマトリクスを裏面露光法により得る方法において、ブラックマトリクスの幅のムラを肉眼で感知できない程度にするためには、高精度のアライメント装置付きの露光装置を使用して、高安定状態で各構成色のパターンを形成する必要があり、生産技術上からもコスト的にも難しかった。
【００１２】
また、特許文献６には、フレキソ印刷法でカラーフィルタを形成する方法が開示されている。これは、三色を順次フレキソ印刷法でガラス基板上に形成し、裏面露光法でブラックマトリクスを形成する方法である。この方法においても、上述した三点の困難点は全く同様であるので、仕様を満足することができるブラックマトリクスを形成することができず、ブラックマトリクスを有するカラーフィルタを形成することもできなかった。
【００１３】
一方、ベースフィルム上に剥離剤層と色材層とを順に形成して、カラーフィルタ用の色材層転写部材となし、これを使用して、転写法でカラーフィルタを形成することが検討されている。この方法の利点は、色材層を形成する際、ベースフィルム上の形成するので、高精度塗布技術を使用することができる点である。ガラス基板などの剛性板の上に膜厚精度が非常に厳しいカラーフィルタ用の色材層を塗布する方法が種々提案されているが、実際問題として、フィルム上に色材層を形成する場合のほうが、膜厚精度がかなり高く、またスループットが遙かに高い。
【００１４】
このため以前から種々の方法が提案されている。例えば特許文献７には転写シート上の色素材を加熱できる押し型を用いて、カラーフィルタ基板に加熱加圧転写する方法が開示されている。押し型の端面部（実際に転写部材に接触する部分）の形状がカラーフィルタの一つの画素に対応していて、一色毎に所定の位置に転写する。端面部が多数配列されていて生産効率を高めた押し型が同出願の図１に開示されている。
【００１５】
上記の方法は、転写箔のベースフィルム側から押し型を押しつける方法であるが、別の方法として、転写部材上の色材層を転写型の上に転写し、さらにその色材層をカラーフィルタ基板へ転写する方法がある。例えば、特許文献８では、上記の方法で一画素毎にカラーフィルタ基板上に色材層のパターンを順次形成している。
【００１６】
また、特許文献１０では、転写箔上の色材層を粘着剤を用いて、転写基材上に三色分順次転写し、その後三色全部を同時にカラーフィルタ基板へ転写する点が示されている。
【特許文献１】特開２００２−０７１９２８（段落番号００１４、図１）
【特許文献２】特開平０３−２０９２０３（第２頁上右欄、第１図）
【特許文献３】特開平０４−１７７２０２（第６頁上左欄）
【特許文献４】特開平０７−１２０６１０（第１頁）
【特許文献５】特開２００３−０１５２９４（段落番号０００５）
【特許文献６】特開平０９−０５４２１０（第１頁、図２）
【特許文献７】特開平０４−１００００５（第３頁、第１図）
【特許文献８】特開平０９−０８０２１５（段落番号００３９、図３）
【特許文献９】特開平０９−１０４１０２（段落番号００２２、図１）
【特許文献１０】特開２００２−３５７７１３（段落番号００３７、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
しかしながら、上記特許文献７に示された押し型を用いた方法の大きな問題点は次の二点である。
（１）色素材一色毎にガラス基板へ転写するので、また一色の転写も一度で終了することがないので、各色素材間の位置精度は、一つの版で同時に転写された部分だけは高くても、その他の部分との位置関係は低くくなりがちである。そしてブラックスマトリクスをフォトリソグラフ法で形成して、その問題の解消を図っている。このようにフォトリソグラフ法を使用するため、低コスト化の妨げとなっていた。
（２）同出願ではブラックマトリクスとしてはクロム等を用い、予めカラーフィルタ基板上に形成している。クロムならば１０００Å程度の厚さで遮光することができるので、それに一部重なるように色素材を転写することができる。しかし、ブラックマトリクスとして感光性の黒ペーストを使用する場合には、その厚さが色素材の厚さと同じ程度になり、適正に転写することが難しい。
【００１８】
また、転写部材上の色材層を転写型の上に転写し、その色材層をカラーフィルタ基板へ転写するに際し、上記特許文献８で示された一画素毎にカラーフィルタ基板上に色材層のパターンを順次形成する場合も、一画素毎に高位置精度が必要であり、そのようなアライメント機構を有する転写装置は高価であり、またスループットが上がらなかった。また、特許文献９においては、一色については画素位置が固定している転写型を使用しているので、位置精度を所要の値にすることが可能であるが、二色目を形成する場合には、一色目との高精度位置合わせが必要であり、装置が高価になると共に、スループットを高くすることも難しかった。
【００１９】
さらに、特許文献１０で示された三色全部を同時にカラーフィルタ基板へ転写する場合、転写基材上に三色の色材層を転写する際に、色ごとに個々に位置合わせしている。従って、各色間の位置精度を高くするには、位置合わせ精度を高くする必要があった。しかし、フォトリソグラフ法と同程度の位置合わせ精度を得るためには、高価な装置が必要であり、またスループットが上がらなかった。
【００２０】
そこで本発明は上記事情に鑑み、転写法で色材のパターンを形成する際、その色材のパターンの位置精度を高くして、裏面露光法でブラックマトリクスを形成することができるようにすることを課題とし、転写法を採用して低コストにて高精度のカラーフィルタを得ることを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は上記課題を考慮してなされたもので、カラーフィルタの構成色のパターンに凸状部を対応配置させていて、該凸状部に、ベースフィルムに剥離可能に色材層を形成してなる色材層転写部材から前記構成色の色材層が転写され、この凸状部から前記構成色の色材層をカラーフィルタ基板上へ転写するカラーフィルタ製造用の転写型であって、前記凸状部が構成色の全色のパターンに対応していることを特徴とする転写型を提供して、上記課題を解消するものである。
【００２２】
上記発明において、実質的に熱膨張しない、またはカラーフィルタ基板と実質的に同じ熱膨張率の材料とすることが良好である。
【００２３】
さらに、上記発明において、構成色のパターンごとに凸状部が加熱可能に設けられていることが良好である。
【００２４】
さらに、上記発明において、凸状部が台形状であることが良好である。
【００２５】
またさらに、上記発明において、凸状部の底部が繋がっているものとすることが良好である。
【００２６】
また、もう一つの発明は、上記転写型におけるカラーフィルタの構成色のパターンに対応した凸状部に、ベースフィルムに剥離可能に色材層を形成してなるカラーフィルタの前記構成色である色材層転写部材の前記色材層を転写させて、凸状部それぞれに対応する構成色の色材層を転写型に転写配置する色材層受け工程と、前記転写型の全凸状部上の色材層をカラーフィルタ基板へ一括して転写する色材層渡し工程と、裏面露光方法によってカラーフィルタ基板上の色材層間に遮光膜を形成する遮光膜形成工程とを備えていることを特徴とするカラーフィルタの形成方法であり、このカラーフィルタの形成方法を提供して、上記課題を解消するものである。
【００２７】
上記発明の方法において、上記転写型の凸状部が構成色のパターンごとに加熱可能に設けられ、上記色材層受け工程において、色材層転写部材の色材層の構成色に応じて、該構成色のパターンに対応した凸状部を加熱することが良好である。
【００２８】
また、上記発明の方法では、上記色材層受け工程において、上記色材層転写部材の色材層下に配した剥離剤層を加熱剥離性とし、前記色材層転写部材と転写型とが相対するときに、該色材層転写部材の構成色に対応する凸状部のみを加熱することが良好である。
【００２９】
また、上記発明の方法では、上記色材層受け工程において、上記色材層転写部材と転写型とが相対するときに、該色材層転写部材の構成色に対応する凸状部のみに粘着層を形成することが良好である。
【００３０】
また、上記発明の方法では、上記色材層受け工程において、カラーフィルタの構成色のパターンごとに上記凸状部を色材層転写部材に対してプレスするプレス型により、色材層転写部材のベースフィルム上からプレスすることが良好である。
【００３１】
また、上記発明の方法では、上記色材層転写部材の色材層は、該色材層と転写型の凸状部が接し、かつ加熱または加圧による転写条件が付与されたときにベースフィルム側から前記凸状部に転写する構成に設けられていることが良好である。
【００３２】
また、上記発明の方法では、上記色材層渡し工程において、色材層と凸状部の間の接着力を低下させる前記凸状部への加熱を行なうことが良好である。
【００３３】
また、上記発明の方法では、上記色材層渡し工程において、上記凸状部上の色材層またはカラーフィルタ基板上に接着剤層を形成した後、色材層をカラーフィルタ基板へ転写することが良好である。
【００３４】
また、上記発明の方法では、上記接着剤層を形成する接着剤をＵＶ硬化性の接着剤とし、色材層と凸状部とカラーフィルタ基材とが重なりあった状態でカラーフィルタ基板側からＵＶ光を照射して接着剤層を硬化させることが良好である。
【発明の効果】
【００３５】
（請求項１の発明の効果）
本発明により、転写型としてカラーフィルタの全構成色のパターンに対応する凸状部を有する転写型であるので、カラーフィルタ基板へ一括して転写することにより、各色の相対的位置精度が転写型の各色用凸状部の相対位置精度と同じであるカラーフィルタを得ることができる。
【００３６】
（請求項２の発明の効果）
転写型を実質的に熱膨張しない、またはカラーフィルタ基板と実質的に同じ熱膨張率とすることで、この転写型の温度が変化しても、実質的に寸法が変化しないか、あるいは変化してもカラーフィルタ基板と実質的に同等の熱膨張率であるので、転写型を作成した時の寸法精度が使用時に維持されるか、またはカラーフィルタの基板と同じように熱膨張するので、カラーフィルタ基板へ転写した色材層の寸法精度が作業環境温度の変化の影響を受けにくく、高精度であることが保証されている。
また、絶対寸法精度は凸状部を形成する方法として、フォトリソグラフ法を使用することによって、従来のフォトリソグラフ法で形成するカラーフィルタと同程度の精度の凸状部を有する転写型を得ることができる。
【００３７】
（請求項３の発明の効果）
また、転写型を、構成色のパターンごとに凸状部が加熱可能に設けられているものとすることで、この転写型が熱転写の方法で転写することが可能になり、しかも少なくとも所要の色別に加熱可能なので、１色毎に凸状部へ色材層を載せることができる。また、全部を加熱することで、カラーフィルタ基板へ一括して転写することができる。加熱しても、請求項１の発明により、寸法変化がほとんどないので、高寸法精度を保持することができる。
【００３８】
（請求項４の発明の効果）
また、凸状部が台形状とすることで、各転写工程において、凸状部が潰れ難く、より正確なパターンを転写できる。
【００３９】
（請求項５の発明の効果）
また、凸状部の底部が繋がっていることで、転写型を曲げたときにも、凸状部間の距離が変わり難く、より正確な転写が可能となる。
【００４０】
（請求項６の発明の効果）
本発明の方法によれば、色材層転写部材と上記転写型を使用するカラーフィルタの製造方法であって、全構成色のパターンに対応する凸状部が転写型に形成されていて、しかも一度に転写型上の全色材層を、カラーフィルタ基板へ転写するので、相互間の位置精度は非常に高いことが保証されている。即ち、凸状部の押し端面の位置精度がカラーフィルタ基板へ転写される色材パターンの位置精度になる。
このため、裏面露光の方法でブラックマトリクスを形成してもその位置精度や寸法精度が高いものを得ることができる。高位置精度、高寸法精度を有するカラーフィルタを低コストで製造することが可能となった。特に、大サイズのカラーフィルタを製造する場合に利点が多い。
【００４１】
（請求項７の発明の効果）
そして、上記発明の方法において、上記転写型の凸状部が構成色のパターンごとに加熱可能に設けられ、上記色材層受け工程において、色材層転写部材の色材層の構成色に応じて、該構成色のパターンに対応した凸状部を加熱することで、熱転写型の転写型として、少なくとも一色毎に別個に凸状部を加熱することができ、かつ全凸状部を加熱することができる転写型の実際的な構造の一つが得られた。
【００４２】
（請求項８の発明の効果）
また、上記色材層受け工程において、上記色材層転写部材の色材層下に配した剥離剤層を加熱剥離性とし、前記色材層転写部材と転写型とが相対するときに、該色材層転写部材の構成色に対応する凸状部のみを加熱することにより、熱転写の方法で転写型の所要の凸状部上のみに色材層をのせることが実際に可能になった。
【００４３】
（請求項９の発明の効果）
また、上記色材層受け工程において、上記色材層転写部材と転写型とが相対するときに、該色材層転写部材の構成色に対応する凸状部のみに粘着層を形成することで、凸状部上に適正にその凸状部が対応する構成色の色材層を転写ことができる。
【００４４】
（請求項１０の発明の効果）
また、上記色材層受け工程において、カラーフィルタの構成色のパターンごとに上記凸状部を色材層転写部材に対してプレスするプレス型により、色材層転写部材のベースフィルム上からプレスすることで、目的以外の凸状部に色材層が転写されることを防止する。
【００４５】
（請求項１１の発明の効果）
また、上記色材層転写部材の色材層が、該色材層と転写型の凸状部が接し、かつ加熱または加圧による転写条件が付与されたときにベースフィルム側から前記凸状部に転写する構成に設けられているものとすることで、目的以外の凸状部に色材層が転写されることを防止する。そして、加熱転写などが可能であり、かつ色材層が転写型の凸状部やその上の色材層と接しただけでは削れない硬度なので、格別の対策なしに不要部の色汚れを防ぐことが可能となった。
【００４６】
（請求項１２の発明の効果）
また、上記色材層渡し工程において、色材層と凸状部の間の接着力を低下させる前記凸状部への加熱を行なうものとすることで、凸状部上の色材層をより確実にカラーフィルタ基板へ転写できる。
【００４７】
（請求項１３の発明の効果）
また、上記色材層渡し工程において、上記凸状部上の色材層またはカラーフィルタ基板上に接着剤層を形成した後、色材層をカラーフィルタ基板へ転写することで、凸状部上の色材層をより確実にカラーフィルタ基板へ転写できる。
【００４８】
（請求項１４の発明の効果）
また、上記接着剤層を形成する接着剤をＵＶ硬化性の接着剤とし、色材層と凸状部とカラーフィルタ基材とが重なりあった状態でカラーフィルタ基板側からＵＶ光を照射して接着剤層を硬化させることで、凸状部上の色材層をより確実にカラーフィルタ基板へ転写できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
まず、本発明によるカラーフィルタの作成の基本的な方法について、図４に基づいて説明する。
（カラーフィルタの形成方法）
転写型７として図４（ａ）に示す凸型版を準備する。この転写型７の凸状部８がカラーフィルタの各構成色のパターンに対応し、原則として全構成色のパターンに対応して凸状部８がある。この凸状部８はその表面で、色材層転写部材９から色材層１０を転写受け取りすることができる構成となっている。色材層転写部材９はベースフィルム１６上に、剥離剤層１７、色材層１０を順に設けたものであるが、構成については詳しく後述する。
つぎに図４（ｂ）に示すように転写型７と押し型１１との間にカラーフィルタの色材層１０を転写層とする箔状の色材層転写部材９を置く。ここで押し型１１はカラーフィルタの構成色の一色のパターンに対応する配置で凸部１２を有する。
そして、上記色材層転写部材９を介在させた状態のまま、転写型７と押し型１１を加圧１３する（図４（ｃ））。
つぎに、加圧１３を解除して転写型７と押し型１１を引き剥がすと、色材層１０は転写型７へ転写される（図４（ｄ））。
同様にして、他の二色を順次転写型７上の凸状部８の対応する部分に転写する（色材層受け工程の終了、図４（ｅ）、図５（ａ））。
【００５０】
全構成色の色材層１０が凸状部８に転写された転写型７とカラーフィルタ基板（ガラス基板）１とを、前記カラーフィルタ基板１の表面に塗布された接着剤１４を置いた状態で加圧１３する（図５（ｂ））。
上記加圧１３を解除して、転写型７とカラーフィルタ基板１を引き剥がすと、色材層１０は接着剤１４の作用によってカラーフィルタ基板１側に転写される（色材層渡し工程の終了、図５（ｃ））。
ここで、各色材層１０間、即ち、各構成色のパターン間の相対的位置は、転写型７の凸状部８の位置精度になる。転写型７の凸状部８を高位置精度が可能な形成方法で形成すれば、各色材層１０間の位置も高精度になる。
図５（ｄ）（ｅ）（ｆ）は裏面露光でブラックマトリスク２を形成する手法を概略的にして順に示していて、感光性樹脂のブラックマトリスク材１５を、色材層１０が転写されたカラーフィルタ基材１の前記色材層１０全てを覆うように塗布し（図５（ｄ））、カラーフィルタ基材１側から裏面露光５を行ない（図５（ｅ））、その後に現像して未硬化のブラックマトリクス材１５を除去して、ブラックマトリクス２を備えたカラーフィルタ６を形成する（遮光膜形成工程の終了、図５（ｆ））。
ここで説明の都合上、押し型と転写型を用語の上で区別したが、実際の基本構造に格別の差異はない。
【００５１】
（色材層の凸状部への転写、凸状部からカラーフィルタ基材への転写）
色材層転写部材９上の色材層１０を転写型７の凸状部８へ転写（色材層受け工程）し、その後にカラーフィルタ基板１上へ前記凸状部８によって転写（色材層渡し工程）するための方法について説明する。
カラーフィルタの構成色のパターンで色材層１０が全て確実にカラーフィルタ基板１へ、抜け等の欠陥無しに転写されることが必要である。確実に転写が行われるためには、色材層１０の凝集力ｘ、色材層１０と色材層転写部材９のベースフィルム１６間の剥離強度α１、色材層１０と転写型７の間の剥離強度α２、色材層１０とカラーフィルタ基板１の間の接着強度ｙに以下の関係が必要である。なお、色材層転写部材９の構成については後述する。
ｘ＞ｙ＞α２＞α１          式１
ここで、転写を確実にするには、式１の各力の値の差が大きいことが好ましい。実際には、０．２ｋｇ／ｃｍ以上の差があることが好ましい。
色材層１０の凝集力ｘは、使用するビヒクルの種類とビヒクル成分以外の成分の割合でほぼ決定する。この凝集力は、温度が上がると減少するが、ビヒクル分としてアクリル系樹脂を使用している通常のフォトリソグラフ法のカラーフィルタの色材層を使用すれば、加熱転写に使用する２００℃以下では、必要な強度を簡単に得ることができる。
上記式１を満足させる色材層１０とカラーフィルタ基板１の間の接着力ｙは、上述の如く接着剤１４を使用することによって確実に得ることができる。接着剤１４の種類としては感熱型、感圧型（粘着型）、硬化型があるがカラーフィルタ６の耐久性を得るためには硬化型を使用することが好ましい。
【００５２】
色材層１０と色材層転写部材９のベースフィルム１６間の剥離強度α１と，色材層１０と転写型７の間の剥離強度α２との調整には、第一に離型剤を使用する。離型剤には重い離型剤と軽い離型剤とがある。重い離型剤とはその上の層との剥離力が大きいものを指し、軽い離型剤とはその上の層との剥離力が低いものを指す。α２＞α１の順を得るためには、色材層転写部材９において、色材層１０とその下の剥離剤層１７（図８参照）の間の接着力（剥離強度）は低いことが必要であり、転写型７の凸状部８の表面を被覆する材料として中程度の剥離強度の離型剤を使用する。凸状部８に離型剤ｒを施したことを図６と図７において明示した。
離型剤としては、シリコーン樹脂系のものが低剥離強度から高剥離強度のものまであるため好ましい。別の材料としては、粘着ゴムロールに使用されるものを使用することができる。たとえば、ウレタン系の粘着性材料である。
【００５３】
さらに、剥離剤層１７と色材層１０の組合せによっては、剥離強度が温度によって大きく変化させることができるものがあり、本発明において、第二の方法として必要に応じて温度を変えて、上記式１を満足する形態にすることができるものであって、色材層転写部材９の色材層１０における凸状部８に対応する部分の温度を上げてその色材層１０の剥離強度を減少させて転写を行なるようにする。この方法をここでは熱転写と呼ぶ。
本発明では、色材層１０を色材層転写部材９から転写型７に転写する際、粘着・接着力の差によって転写するが、基本的には転写型７の表面に粘着性を持たせ、補助的に加熱を用いる。また、カラーフィルタ基板１への転写には、カラーフィルタ基板１と転写型７との間に接着剤１４を挟み込むことを基本とし、補助的に加熱を使用する。
【００５４】
上記特許文献８（特開平０９−０８０２１５号）には、色材層転写部材上の色材層を、凸型版へ転写する際には熱転写を使用し、凸型版からカラーフィルタ基板への転写する際には接着剤を使用する方法が開示されている。本発明はその方法も使用することが可能である。ただし異なるのは、一画素毎に転写するのではなく、全構成色のパターン（全画素）に対応する凸状部８を有する転写型７を使用し、構成色のパターンごとの凸状部８にその凸状部８が対応する構成色の色材層１０を転写して、全ての凸状部８が構成色の色材層１０を受ける点であり、また、全構成色の色材層１０を凸状部８へ載せた後、一括してカラーフィルタ基板１へ転写する点である。
【００５５】
本発明の実施の形態での熱転写の方法として、
（１）それぞれが加熱制御可能な加熱ヒータ１８を各凸状部８の表面に近い位置に設けてその各凸状部８が独立に加熱でき、構成色ごとのパターンに対応する凸状部８を加熱できるようにした転写型７を用い、これによって所要部のみを加熱する方法（図６（ａ））、
（２）色材層転写部材９を凸状部８へ押し当てた状態で背面側（色材層転写部材９のベースフィルム１６側）に、構成色のパターンに対応してレーザ光１９を照射して、転写所要部をレーザ加熱する方法（図６（ｂ））、
（３）色材層転写部材９を押し当てた状態で、その色材層転写部材９の転写所要部のみを部分加熱する加熱ヒータ２０を備えた凸状加熱体２１を使用して加熱する方法（図６（ｃ））がある。
【００５６】
上記（１）の加熱ヒータ１８として、例えばナイロプリントの凸状部８の上に抵抗体インキを印刷形成するかニクロム線を埋め込み、両端を電源に接続できるようにし、その上にシリコーン樹脂をコートすることで、作成することができる。また、市販の面状発熱体（テープ）を貼り付ける方法も好適である。
この方法は、色材層転写部材９から色材層１０を転写型７が受ける場合、転写型７の凸状部８を構成色のパターンごとに加熱ヒータや面状発熱体などによって加熱できるようにし、色材層受け工程において、色材層転写部材９の色材層１０の構成色に応じて、該構成色のパターンに対応した凸状部８を加熱するものである。
色材層転写部材の色材層の構成色に応じてその構成色のパターンに対応した凸状部８を加熱できるようにした上記加熱ヒータ１８に給電する回路例を図８に示していて、図示されているようにＲ、Ｇ、Ｂの構成色のパターンに対応する加熱ヒータ１８ごとに電源３５から給電されるように回路形成し、その回路中にあるスイッチ３６のｏｎ−ｏｆｆ操作で、構成色のパターンに対応する加熱ヒータ１８を発熱させるようにする。図示した状態は、Ｒ用のスイッチ３６をｏｎとし、他のＧ用、Ｂ用のスイッチ３６をｏｆｆにして、Ｒの色材層を、Ｒの構成色のパターンに対応するＲ用の凸状部８に熱転写するときのものである。
同様に、Ｇ用のスイッチ３６をｏｎとし、他のＲ用、Ｂ用のスイッチ３６をｏｆｆにして、Ｇの色材層を、Ｇの構成色のパターンに対応するＧ用の凸状部８に熱転写する。さらに、同様にして、Ｂ用のスイッチ３６をｏｎとし、他のＲ用、Ｇ用のスイッチ３６をｏｆｆにして、Ｂの色材層を、Ｂの構成色のパターンに対応するＢ用の凸状部８に熱転写する。なお、それぞれの場合、給電回路が開いている部分（スイッチｏｆｆ状態）の加熱ヒータがある凸状部は加熱されず、色材層が転写されない。
また、転写型上の全色材層をカラーフィルタ基材に転写するときには、図示した給電回路においてＲ、Ｇ、Ｂのスイッチ全てをｏｎにし、全加熱ヒータを昇温さえて凸状部全てを加熱する。このようにすることで、転写型からカラーフィルタ基板への熱転写を行なうことができるようになる。
【００５７】
構成色のパターンがストライプ状ではなく、ドット状であるときには、図９のようにドット配置の凸状部８において、構成色のパターンに応じたＲ列、Ｇ列、Ｂ列の凸状部８に加熱ヒータ１８を設け、それらをパターンごとに結線する。加熱ヒータ相互は図１０（ａ）に示すように支持基盤２３（後述）を迂回する配線３７で繋いだり、（ｂ）に示すように迂回することなく直接渡した配線３７で繋ぐようにしてもよい。
【００５８】
上記（２）については、所要部以外の部分へのレーザ光１９を遮断するマスク２２を用いる図示した方法と、所要部のみにレーザ光１９を照射することができる機構を使用する場合がある。
また、（３）については、凸状加熱体２１として、（１）と同様な構造体を使用する方法と、通常のサーマルヘッド型のライン状のものを使用する方法がある。そして、前記凸状加熱体２１がライン状のものであれば転写型７に対して相対的に移動させるようにすればよい。
【００５９】
また、特開平０９−８０２１６は、凸状部の材質に感光性のウレタン樹脂を使用し、寸法精度が高くして色材層転写部材やカラーフィルタ基板への密着性のよい転写型を得ることを開示しているが、本発明においても使用することができる。
また、引用文献１０の特開２００２−３５７７１３ではガラス基板と色材層転写部材の接着を確実なものとするために、マイクロカプセル型の粘着剤を使用しているが、本発明においても使用することができる。
【００６０】
（転写型の構造、材料組成）
つぎに転写型７の構造の例を図７に示す。図７（ａ）に示すように転写型７は、凸状部８とこの凸状部８を支持する支持基板２３を同一の材料にて一体とすることができる。
また、図７（ｂ）、（ｃ）に示すように凸状部８と支持基板２３を別の材料とする構成を採ることも可能である。支持基板２３に使用する材料は図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すいずれについても寸法精度を確保するために、熱伸縮がほとんどないインバー合金、石英ガラスが好ましい。また、カラーフィルタ基板１と同一の熱伸縮率の材料、例えばカラーフィルタ基板１用のガラス板や４２鉄―ニッケル合金も好ましい。
また、図（ａ）（ｃ）に示すように凸状部それぞれがその底部側で一体となると、転写型を曲げたときに凸状部間の距離が変わり難く、より正確な転写が可能となる。
【００６１】
転写型は剛体であってもよいが、可撓性がある方が好ましい。その理由は、転写型の背面から加圧するとき、ロールプレス機で必要な圧力を印加することができるからである。転写型が剛体であると、ロールプレス機で加圧しても全面加圧となるため、必要な圧力を得るためには加圧能力の高い頑丈なプレス機が必要となる上に、スループットを上げることが難しい。図１１に示すごとく可撓性がある転写型７であれば、ロールプレス機Ｐで印加した圧力が局部的に加わるので、全圧を小さくすることができ、またスループットを上げることができる。
さらに、転写型とカラーフィルタ基板を引き離すとき、図１２のように転写型７を反らしながらカラーフィルタ基板１から引き離すことができ、引き剥がし条件（状態）を引き剥がし位置速度制御用ロールＨＰで制御しながら、少ない力で引き離すことができる。転写型が剛体であるときは、カラーフィルタ基板の方の端部に引き剥がし力を加えて、軽く反らしながら引き剥がす方法があり、剛体同士を引き剥がすより引き剥がす状態を制御することが容易である。一番好ましいのは可撓性のある転写型を用い、その端部に引き剥がし力を加える方法である。なお、引き剥がし方向は、カラーフィルタがストライプ状であるときはそのストライプ方向に沿う方向が好ましい。
【００６２】
支持基盤２３の厚さは、使用時の変形が無ければ薄くてもよく、金属板の場合０．３〜５ｍｍ、ガラス板の場合１〜１０ｍｍ程度が好ましい。
凸状部８の高さは、転写をスムーズに行なうことができる３０〜５００μｍ程度であればよい。また凸状部８の断面形状は長方形や台形状であることが耐久性の点で好ましい。
図７（ａ）の一体型の転写型７の場合、凸状部８を形成する方法は、パターンエッチング法が好ましい。
図７（ｂ）、（ｃ）に示した転写型７の場合には、凸状部８を形成する材料として凸版印刷用の感光性樹脂を使用することができる。例えばナイロプリント（ＢＡＳＦ社製）、ＡＰＲ（旭化成社製）を使用すると、比較的容易に高精度の転写用凸型の形状を得ることができる。しかも、加圧に対する耐性が高く、好ましい。
【００６３】
図４（ｂ）に示した押し型１１の構造は、転写型７の構造と同じでもよく、またロール状でもよい。凸部１２の幅は、実際のカラーフィルタの構成色のパターン幅より若干大きい方がよい。凸部１２の幅が大きいと、押し型１１と転写型７との位置合わせが容易になる。例えば、カラーフィルタの構成色のパターンの幅が８０μｍ、ブラックマトリクスのストライプの幅が２０μｍであるストライプ状のカラーフィルタの場合、押し型１１の凸部１２の幅を９０μｍとすると、位置合わせは±５μｍの精度があればよい。
押し型１１の材料、製法は転写型７の材料、製法を使用することができる。
【００６４】
（色材層転写部材）
図１３は色材層転写部材９の一実施例を模式的に示している。色材層転写部材９はベースフィルム１６上に、剥離剤層１７、色材層１０を順に設けたものである。そして２４は使用に際しては事前に取り外す保護フィルムを示している。
色材層転写部材９のベースフィルム１６は伸縮すると、色材層１０にひび割れが発生するおそれがあることから、ベースフィルム１６としては引っ張りに対して伸びが少ないものが好ましい。
ベースフィルム１６の素材としては、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、ポリイミド（ＰＩ）等のプラスチックからなるフィルム、金属箔、あるいは前記したプラスチックフィルムと金属箔とをラミネートした多層フィルム等を使用することができる。本発明においては、特に３〜２００μｍ 厚のＰＥＴフィルムの使用が好ましいが、ドライフィルムの基材として必要とされる要求に沿うものであれば、材質、厚さともに限定されない。フィルム幅は、使用される透明基板等のサイズに応じて決定され、長さに関しては特に限定するものではない。
また、ベースフィルム１６の厚さはポリエステルフィルムの場合、作業性の面から４〜２０μｍの範囲が特に好ましい。
【００６５】
（色材層転写部材−剥離剤層）
ベースフィルム１６上の剥離剤層１７は色材層１０をベースフィルム１６から転写型７の凸状部８へ転写する場合に、その転写が所定領域、即ち、加圧粘着層（先に示した離型剤ｒが層として設けられている部分）が存在する領域に限定して確実に行われるようにしている。剥離しやすいと、凸状部８における加圧粘着層の接着力や色材層１０の凝集力が上回って、所定部分以外の色材層１０もベースフィルム１６から剥離してしまう。色材層１０の厚さはたかだか数μｍ程度であり、凝集力も大きくないので、剥離強度としては５ｇ／ｃｍ程度以上であればよい。また、強すぎると、式１の条件を満足しなくなるので、５０ｇ／ｃｍ以下が好ましい。ベースフィルム１６と色材層１０の樹脂との組合せによっては、剥離剤層無しでも上記の剥離強度内に入る場合があり、その場合には剥離剤層は不要である。特に、ベースフィルム１６としてポリエチレン、ポリプロピレン、ポリイミド、ポリエステルを使用した場合には、剥離剤層を設ける必要がない場合が多い。
【００６６】
剥離剤層１７とその形成方法としては、シリコーン系ポリマーや有機パラフィンのような剥離性の良好な材料からなる層を形成する方法や、カーボンその他の無機化合物を蒸着、スパッタリング等の物理的方法で成膜して、ベースフィルムの平滑性を向上させ表面エネルギーを低減する方法などがある。ベースフィルムの主面にこのような接着性低減処理を施しておくことにより、ドライフィルムから版面への着色固化膜の転写効率を高め、転写不良の発生を軽減することができる。
【００６７】
剥離剤層１７は、ベースフィルム１６の上に、下記のポリマーの溶液や剥離剤として知られるシリコーン樹脂剤を塗布して形成する。適当なポリマーとしてはポリビニルアルコール、水溶性のポリビニルアルコール部分エステル、同部分エーテル、同部分アセタール、８８〜９９％加水分解したポリ酢酸ビニル、ゼラチン、アラビアゴム、メチルビニルエーテル／無水マレイン酸共重合体、ポリビニルピロリドン、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレン、１０００００〜３００００００の平均分子量の高分子水溶性エチレンオキシド重合体等を挙げることができる。これらの剥離剤層の厚さは格別の制限はないが、形成しやすい０．２〜５μｍが好ましい。
一方、シリコーン樹脂系の剥離剤は各種の市販品があり、さらにはポリエステルフィルムにシリコーン樹脂系剥離層を形成した製品もある。剥離強度も種々のものがあるので、テストして選定する。例えば、信越シリコーン社の剥離紙用離型剤ＫＳシリーズ、ＫＭシリーズ、ＫＮＳシリーズ、東レ・ダウコーニング社の剥離紙用シリコーンＳＲＸシリーズ、ＳＤシリーズ、ＳＰシリーズがある。特に剥離剤層としてシリコーン樹脂系のものを使用した場合には、その上に加圧粘着層や色材層を均一に塗布することができない場合がある。そのような場合には、保護フィルム２４に色材層１０を塗布し、色材層１０を形成した後、剥離剤層１７を形成したベースフィルム１６とラミネートして剥離剤層１７上に色材層１０を形成する。
また、印刷工程やプリント回路板製造のゴミ取りに使用される粘着性ゴムのうち低粘着力のものも剥離剤層１７として使用することができる。特に、ウレタン製、ポリビニルブチラール製のものが耐久性があって好ましい。
【００６８】
（色材層転写部材−色材層）
上記色材層１０は、カラーフィルタ用色材と、それを分散した樹脂成分を主成分とする樹脂組成物からなる。カラーフィルタ用色材としては、染料材と顔料材がある。
この色材層１０は、ベースフィルム１６の上に染料材や顔料材の分散型塗料を塗布し、乾燥あるいは硬化等の必要な処理を加えて塗布層を固化して得る。
本発明において、色材層１０を形成する上で使用する顔料分散型の塗料としては、通常カラーフィルタの着色層形成用として開発・使用されているものであれば、特に限定されない。例えばＲ、Ｇ、Ｂ各色の顔料を、酢酸ビニル系、アクリル系等の樹脂溶液中に分散してなる塗料の使用が好適する。多くの場合、光硬化型の樹脂に色材顔料を分散させたものである。光硬化型にする目的はフォトリソ法によるパターンニングであるので、本発明の色材層１０では光硬化型にする必要はない。しかし本発明においては、このような塗料のベースとなる樹脂として、ウレタン−アクリレート系やエポキシ−アクリレート系の紫外線硬化型樹脂のような感光性樹脂を使用するとともに、このような感光性樹脂組成物からなる色材層１０をカラーフィルタ基板１に転写する工程終了までに、色材層１０を露光させて前記感光性樹脂を硬化させるように構成することにより、転写不良をなくすことができる。また、色材層１０をカラーフィルタ基板１へ転写する際に硬化するようにすると、カラーフィルタ基板１との接着性が向上し、接着剤なしで転写することが可能となる場合がある。
前記した顔料分散型塗料の塗布方式としては、リバースコート方式、グラビアコート方式、マイクログラビアコート方式、バーコート方式、ワイヤーバーコート方式、ギャップコート方式、ナイフコート方式、ノズルコート方式、カーテンコート方式、スプレーコート方式、エアロコート方式など、各種の方式が例示される。着色層として必要とされる厚みが確保される手法であれば、どのような塗布方法を用いても良いが、特に薄膜性や量産性に優れたマイクログラビアコート方式やノズルコート方式が好適する。
さらに、このような塗料の塗膜の上に被着される保護フィルム２４としては、ＰＥＴ、ＰＰＳ、ＰＥ、ＰＰ、ＰＩのようなプラスチックフィルムを使用することができる。特に３〜５０μｍ厚のＰＥあるいはＰＰフィルムの使用が好ましいが、カバーフィルムとして必要な要求に沿うものであれば、材質、厚さともに特に限定されない。フィルム幅および長さは、それぞれ使用されるベースフィルム１６のサイズに合わせて決定される。
【００６９】
最後に、色材層１０の上に上記保護フィルム２４を被着して、色材層転写部材９が完成する。ただし、使用方法によっては保護フィルム２４が不要な場合もある。
【００７０】
(色材層をカラーフィルタ基材に転写するときの接着剤)
色材層１０を色材層受けした転写型７からカラーフィルタ基板１へ転写する際に使用する接着剤１４としては、無溶剤型が好ましい。また、不要部へはみ出すので、不要部にあるものを簡単に除去することができるものであることが必要である。このような特性を備えた接着剤が特開平２０００−１３６３５４に開示されていて、本発明においても使用することができる。
この接着剤１４は、樹脂、希釈モノマー、光増感剤を主成分とする感光性無溶剤型のカラーフィルタ用接着剤であって、前記樹脂がエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するアクリル系共重合体であることを特徴とするカラーフィルタ用接着剤である。
また、前記アクリル系共重合体が分子量１〜１００×１０3 、二重結合当量３×１０3 以下、カルボキシル基は樹脂酸価で５０〜１５０のアクリル系共重合体であり、さらに、前記アクリル系共重合体に少なくとも５重量％以上熱硬化成分を含有すること、前記希釈モノマーの沸点が２００℃以上であることを特徴とするカラーフィルタ用接着剤である。
【００７１】
転写型７から色材層１０をカラーフィルタ基材１に転写するときに用いる接着剤１４を、以下により詳しく説明する。
この接着剤１４は樹脂、希釈モノマー、光増感剤を主成分とする感光性無溶剤型のカラーフィルタ用接着剤であって、樹脂がエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するアクリル系共重合体であるが、必要に応じ熱硬化成分、添加剤などが用いられる。
ここで、エチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するアクリル系共重合体は、感度の面から二重結合当量が３×１０3 以下であることが好ましく、カルボキシル基は溶解性の面から、樹脂酸価として５０〜１５０の範囲が好ましい。酸価５０以下では溶解性が低下し、接着剤が除去しきれずガラス基板上の転写シートの周辺部に残る。また、酸価１５０以上では接着剤の除去時に膨潤してしまい、きれいな転写シートの周辺部が得られないという問題がある。また、このアクリル系共重合体の分子量は１〜１００×１０3 の範囲が好ましいものであり、分子量が１×１０3以下では感度低下をきたし、１００×１０3 以上ではアルカリ溶解性が低下する。
【００７２】
前記アクリル系共重合体としては、グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）のようなグリシジル基とエチレン性不飽和基を有するモノマーのアクリル系共重合体にアクリル酸の様なエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するモノマーを付加した後、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸のような酸無水物を付加させた物や、アクリル酸のようなエチレン性不飽和基とカルボキシル基を有するモノマーのアクリル系共重合体にＧＭＡのようなグリシジル基とエチレン性不飽和基を有するモノマーを付加した樹脂が挙げられる。また、フェノールノボラック樹脂やクレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールタイプ等のエポキシ樹脂にアクリル酸の様なエチレン性不飽和基を有するカルボン酸を付加した後、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸を付加させた物も使用できる。
【００７３】
前記希釈モノマーとしては、硬化時に発泡等を起こさないよう、その沸点が２００℃以上あることが好ましいく、貼り合わせ押圧時の作業にあわせ、接着剤を適切な粘度まで希釈出来れば良い。例えば、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の多官能モノマー、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート等の３官能モノマー、１．６ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート等の２官能モノマー、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、トリシクロデシル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−アクリロイルオキシエチルモノフタレート等の単官能モノマー、水酸基を２個以上有するポリオール化合物、イソシアネート化合物及び水酸基を有する（メタ）アクリレートからなるウレタンアクリレートやエポキシアクリレート等が挙げられ、これらを適宜組み合わせて使用できる。
【００７４】
前記光増感剤としては、特に制限はなく、ベンゾフェノン、ジエチルアミノベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸メチル、ベンゾインイソプロピルエーテル、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン、ジエチルチオキサントン、２−メチル｛４−（メチルチオ）フェニル｝−２−モルフォリノ−１−プロパノン、等が挙げられ、その添加量は樹脂と希釈モノマーの総量に対し、０．１〜２０重量部が好ましい。
【００７５】
前記添加剤としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル等の重合防止剤、シランカップリング剤、チタンカップリング剤等の接着性付与剤、及び、エポキシ樹脂、ポリオール、メラミン樹脂等の熱硬化成分等が挙げられ、このうち熱硬化成分が少ないと、硬化した樹脂にカルボン酸基が多く残り耐水性が低下する。その添加量はアクリル系共重合体中のカルボン酸に対し、１／２当量以上の添加が好ましい。
【実施例】
【００７６】
（押し型（平板状）の作成）
液状感光性樹脂を使用した押し型を作成した例を図１４に基づいて述べる。
まず、所望の構成色のパターンを透過部分として有する乾板型ガラス製フォトマスク２５を作成した。前記ガラス製フォトマスク２５とするガラスにはカラーフィルタ基板１に使用するガラス材と同じ材質の低膨張ノンアルカリガラス（コーニング社製  ＃１７３７、厚さ３ｍｍ）を採用した。その上に厚さ２２μｍのポリプロピレンフィルムヒタックをカバーフィルム２６としてラミネートした。
樹脂凸版に使用する感光性樹脂液状材料２７（旭化成製ＡＰＲ：ＦＰ―７５Ｂ）をバケットコータｐでほぼ所定の厚さ（０．５ｍｍ）に塗布し、その上に支持フィルム２８としてＡＰＲと接着性を確保するプライマーをコートした厚さ１５μｍのポリエステルフィルムをラミネートした（図１４(ａ)）。
その状態で上記支持フィルム２８側から、ＳＲ製版システム（旭化成製）を使用して、所定量の光量のバック露光２９を行い、バック硬化層３０を形成した（図１４（ｂ））。
つぎに厚さ０．２ｍｍの鉄−ニッケル４２合金板からなる裏打ち板３１をエポキシ系接着剤で支持フィルム２８の上に貼り付けた後、ガラス製フォトマスク２５（構成色の一色のパターンを有するフォトマスクとなる）を介して、所定量の光量の露光３２を行った。拡散光なので、末広がりの台形状に硬化する（図１４（ｃ））。ガラス製フォトマスク２５側における感光性樹脂液状材料２７の未露光部分を所定の洗浄液で洗浄し、現像ｓした（図１４（ｄ））。
この後、取り扱いを容易にするため、支持フィルム２８の周辺部全部に対して、アルミ製の角パイプからなる枠３３をホットメルト型の接着剤で固定した（図９（ｅ））。
【００７７】
（転写型の作成）
押し型１１の作成と同様な方法で、全構成色のパターンに対応する凸状部８を有する転写型７を以下のようにして形成した。
まず、カラーフィルタ基板１に使用するガラス基板がコーニング社製のイーグル２０００とし、転写型７の支持基板２３も前記イーグル２０００の厚さ３ｍｍのものを使用した。その上に樹脂凸版用の感光性樹脂剤により上記凸状部８を設けた転写型７を以下のようにして作成した。
カラーフィルタ基板用と同一材料の支持基材２３（ガラス基板、厚さ３ｍｍ）の両面にポリビニルブチラール（厚さ２００μｍ）を貼り付け、一方の面に感光性樹脂凸版用材料（旭化成製ＡＰＲ：Ｇ―４２）を、押し型１１の作成の場合と同様にして厚さ１００μｍ塗布し、次に、カラーフィルタ基板用のフォトマスクを使用して前記感光性樹脂凸版材を平行光で所定の光量を露光した。
押し型１１の作成の場合と同様にして現像して所望の凸状部８を得た。凸状部８を含む全面に６重量％のポリビニルアルコールを５〜１０μｍの厚さにディップコーター方式にて塗布形成した後、１５０℃の雰囲気で乾燥して離型剤層を得た。
なお、転写型７の支持基板２３をガラス板でなく金属とすることもよい。金属基板としたときの転写型７の作成方法は、上述のガラス基板とした転写型７の作成方法とほぼ類似している。使用する金属板としては、カラーフィルタ用ガラス基板と熱膨張率がなるべく近いものが良い。例えば、ＴＦＴ液晶用ではノンアルカリ低膨張率のガラス基板が使用されていて、そのノンアルカリ低膨張率のガラス基板と熱膨張率が類似しているのは４２鉄ニッケル合金である。厚さは０．２〜０．５ｍｍが良い。
【００７８】
（ヒータ入り凸型版（転写版））
厚さ０．５ｍｍのインバーの板にフォトリソグラフーエッチング法で凸状部を形成した。エッチング工程はＣＲＴのシャドーマスクを形成する工程を使用した。ヒータとして河合電器製作所製のシリコンラバーヒータを使用した。すなわち、エッチング加工した上記のインバーのエッチングしてない面に厚さ１．６ｍｍのシリコンラバーヒータを同社製の粘着シートで貼り付け、その上に、裏打ち基板として厚さ０．５ｍｍのインバーの板を同様に粘着シートで貼り付けた。さらに、周辺部はシリコーンゴム系背着剤で２枚のインバー板間を接着した。
【００７９】
（色材層転写部材の作成）
カラーフィルタ用色材を転写層とする色材層転写部材９を作成した例を以下に述べる。
ベースフィルム１６として厚さ９μｍのポリエステルフィルムを用い、その上にシリコーン樹脂剥離剤層（荒川化学製シリコーンＵＶ  ＰＯＬＹ２００）１７を設け、さらにこの剥離剤層１７上に、下記組成の赤色アクリル系顔料分散感光材を乾燥膜厚が１．５μｍとなるようにリバースコーターで塗布し、乾燥後、厚さ２５μｍのポリエチレンフィルムを保護フィルム２４として重ね合わせ、紫外線を照射して硬化し、赤色転写部材とした。この硬化を行なうことによって、膜切れによる転写不良が発生しなくなり、また転写型７の凸状部８等に触れても、削れることがなくなった。そのため、転写時に転写型７と色材層１０の間に離型性を有する不要部分転写防止フィルムを挟み込むことが不要になった。以下同様にして緑色のアクリル系顔料分散感光材、青色のアクリル系顔料分散感光材を用い色材層転写部材を得た。
【００８０】
使用したアクリル系顔料分散材の組成は以下の処方による。
Ａ；顔料１０重量部
顔料はカラーインデックス（Ｃ．Ｉ）ナンバーで示す。
赤色：Ｃ．Ｉ．赤色顔料１７７
緑色：Ｃ．Ｉ．緑色顔料３６及びＣ．Ｉ．黄色顔料１３９
青色：Ｃ．Ｉ．青色顔料１５
黒色：Ｃ．Ｉ．黒色顔料７
Ｂ；以下の組成からなるアニオン性アクリル共重合体１０重量部
メチルメタクリレート        ２重量部
メタクリル酸                １重量部
ヒドロキシメタクリレート    ２重量部
ブチルメタクリレート        ２重量部
シクロヘキシルアクリレート  ３重量部
Ｃ；多官能アクリルモノマー          １０重量部
アロニックスＭ−３００（東亞合成化学工業（株）製）
Ｄ；光重合開始剤                  ０．５重量部
イルガギュアー９０７（チバガイギー社製）
Ｅ；有機溶剤                      １２０重量部
【００８１】
（感光性無溶剤型接着剤（色材をカラーフィルタ基板に転写する接着剤）の調製）
グリシジルメタクリレート（ＧＭＡ）４０ｇ、メチルメタクリレート（ＭＭＡ）６０ｇとアセトン２００ｇを窒素雰囲気下でＡＤＶＮ（大塚化学製）を用い、分子量２０×１０3 のポリマーを得た。このポリマー溶液にアクリル酸２０ｇ、ベンジルジメチルアミン０．２ｇを加え反応させた後、テトラヒドロ無水フタル酸２５ｇを加え反応させ、シクロヘキサンにて析出沈殿させ、乾燥し白色粉末１３０ｇを得た。この粉末の樹脂の分子量は３５×１０3 、酸価は１００であった。この樹脂５０ｇにＴＭＰ３Ａ５０ｇ、ヒドロキシエチルメタクリレート４０ｇ、１，６−ヘキサンジオールジメタクリレート４０ｇ、ビスコート＃２０００（大阪有機化学製）１０ｇ、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン１０ｇ、メトキノン０．１ｇ、グリシドキシプロピルトリメトキシシラン１０ｇ、ビスフェノールＡのジグリシジルエーテル１５ｇを加え、溶解して感光性無溶剤型接着剤を得た。
【００８２】
（カラーフィルタの作成）（転写型７（図４）と押し型１１を使用）
押し型１１はカラーフィルタの一色に対応する凸部を有し、上述したように転写型７はカラーフィルタの全構成色のパターンに対応する凸状部８を有する。押し型１１と転写型７は共にヒータ付きのものを使用した。
まず、赤色の色材層を有する色材層転写部材９から赤色色材層１０を転写型７の凸状部８に次のようにして転写した。押し型１１と転写型７との間に色材層転写部材９を、色材層１０と凸状部８とが相対するように置き、押し型１１の温度を内部ヒータで６０℃に加熱し、ロールプレス機で一端から他端までプレスした。これにより色材層１０を転写型７の所定の凸状部８（２０℃）に転写した。
同様にして、赤、青についても転写型７へ転写した。このようにして凸状部８に三色の色材層１０を形成した転写型７に紫外線を照射して色材層１０を硬化した。次に、ゴミ取りロールと呼ばれる弱粘着性ゴムのロールを当てて、色材層１０のバリを除去した。
【００８３】
カラーフィルタ基板１へ上記で作成した感光性無溶剤型接着剤を滴下した。滴下直後に、滴下した接着剤の上から上記の準備を施した転写型７を被せ、ロールプレス機にて１〜５ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で押圧し、接着剤１４を均一に色材層１０とカラーフィルタ基板１の間に延展させた。
【００８４】
ついで、カラーフィルタ基板１の裏側から、転写配置した色材層１０及び遮光層となる部分以外の領域を遮光するフォトマスクを介して紫外線を２００ｍＪ／ｃｍ2 照射し接着剤１４の硬化を行い、転写型７の剥離を行った。そして、はみ出した接着剤をアルカリ水溶液を用いて除去した。続いて、ポストベークを行って、カラーフィルタ基板１上に、色材層１０が転写された転写型のカラーフィルタ６を得た。
【００８５】
使用したアルカリ水溶液の組成は以下の処方による。
Ｎａ2 ＣＯ3     ・・・・    ５重量部
ＮａＯＨ      ・・・・    １重量部
Ｈ2 Ｏ        ・・・・２００重量部
【００８６】
（感光性樹脂のブラックマトリクス材の調整）
全構成色のパターンからなる色材層１０が転写され、ブラックマトリクスが形成されていない上記カラーフィルタ基板１に、以下のようにして裏面露光法でブラックマトリクスを形成した。
酸により架橋するヒドロキシスチレン系高分子化合物樹脂（共重合体：共重合比はｐ−ヒドロキシスチレン／メタクリル酸ｎ−ブチル／アクリル酸＝３９／４９／１２）１２ｇをバインダー樹脂に用いて、架橋剤としてヘキサ（Ｎ−メトキジメチル）−メラミン（三和ケミカル社製：ニッカラックＭＷ−３０Ｍ）を５ｇ、光酸発生剤として、みどり化学社製「ＴＡＺ−１０４」を５ｇ、顔料（カーボンブラックが高分子化合物によりグラフト化されているグラフト化カーボン分散溶液）を３００ｇ、溶剤としてＰＧＭ−Ａｃを１７２ｇ、さらにガラスビーズを５００ｇをガラス瓶に入れ、ペイントシェーカーにより２時間分散し黒色感光性樹脂組成物（感光性樹脂のブラックマトリクス材）を作製した。
【００８７】
（黒色樹脂層の形成）
図１５（ａ）（ｂ）に示すブラックマトリクスのないカラーフィルタ基板１の三色ＲＧＢの色材層１０の膜厚は１．３μｍであった。この色材層１０からなる色フィルタを覆うように、上記黒色感光性樹脂組成物をスピンナーにより６００ｒｐｍ、５秒で塗布、乾燥して図１６（ａ）（ｂ）に示すように黒色樹脂層を形成した。
次に、図１７に示すように、３ｋＷ超高圧水銀灯により５００ｍＪ／ｃｍ2 の露光量で前記色フィルタ部分（全構成色のパターンで転写配置された色材層）をマスクパターンとしてカラーフィルタ基材の裏面側より全面露光（裏面露光）５した。この裏面露光に際して、所要部位以外への光漏れを防ぐため他のマスクも使用する。
露光後、図１８に示すように、ホットプレートを用いて１００℃で１分間加熱した。続いて、１％水酸化ナトリウム水溶液を用いて、カラーフィルタ基板１をコンベアーで搬送させながらシャワーを噴霧する方式で９０秒間現像し、複数色の色フィルタ上、および非露光部の黒色樹脂層を剥離除去した。
最後にオーブン中にて２３０℃で１時間加熱し、図１９（ａ）（ｂ）に示すように構成色のパターン間（色材層間）にブラックマトリックスを有するカラーフィルタを得た。
このようにして作製したカラーフィルタは、その画素上には黒色樹脂層の残留は見られず、ブラックマトリクスと構成色パターンの色材層との重なりによる突起のないものであった。
【００８８】
また、上記カラーフィルタをプレッシャークッカー試験器に入れ、１２０℃、１００％ＲＨ、２気圧の条件にて５０時間放置後、「ＪＩＳ-Ｋ５４００」記載の碁盤目付着性試験法にて密着性の評価を行った結果、色フィルタ部分、ブラックマトリクス部の剥離個数はいずれも０／１００であり密着性に全く問題ないものであった。
【００８９】
上記カラーフィルタに対して目視のムラ検査を行ない、そのムラ検査に合格した。その理由は、バラツキが全体的なものでなく、微小範囲のものであり、全体的にはムラがないからであると考えている。
なお、説明の都合上、色フィルタとして赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の三色系の構成のものを取り上げたが、黄（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）の３色系の構成のカラーフィルタやその他特別な色や色数のカラーフィルタを製造する際にも、ブラックマトリクスを有するものであれば、本願発明の方法を使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】カラーフィルタを示すもので、（ａ）はフォトリソフラフィ法で形成したカラーフィルタを断面で示す説明図、（ｂ）は色材とブラックマトリクスと膜厚を揃えたカラーフィルタを断面で示す説明図である。
【図２】従来のブラックマトリクスの形成を示す説明図である。
【図３】カラーフィルタ基板上での色材の並びを示すもので、（ａ）はブラックマトリクスを設ける部分の幅が同一となる色材の並びを示す説明図、（ｂ）は一色の色材パターンが位置ずれしている状態の並びを示す説明図、（ｃ）は一色の色材パターンがアライメント時に回転した色材の並びを示す説明図である。
【図４】本発明におけるカラーフィルタの形成方法の一例を示すもので、（ａ）は転写型の一例を側方から見た状態で示す説明図、（ｂ）は一例の転写型と押し型との間に色材層転写部材が配置されている状態を示す説明図、（ｃ）は色材層転写部材を転写型と押し型とでプレスした状態を示す説明図、（ｄ）は転写型と押し型とを離す状態を示す説明図、（ｅ）は他の二色における色材層の転写を示す説明図である。
【図５】同じく本発明におけるカラーフィルタの形成方法の一例を示すもので、（ａ）は転写型の凸状部にカラーフィルタの全構成色のパターンにして色材層が転写配置された状態を示す説明図、（ｂ）は転写型の凸状部の色材層をカラーフィルタ基材の接着層に対応させて転写型とカラーフィルタ基材とを加圧する状態を示す説明図、（ｃ）は転写型をカラーフィルタ基材から引き離した状態を示す説明図、（ｄ）はブラックマトリックス材をカラーフィルタ基材の表面に塗布した状態を示す説明図、（ｅ）は裏面露光を示す説明図、（ｆ）は露光したブラックマトリクス材を現像してブラックマトリクスを形成した状態を示す説明図である。
【図６】転写型における色材層受け工程を示すもので、（ａ）は凸状部それぞれに加熱ヒータが設けれられた転写型への色材層渡しを示す説明図、（ｂ）はレーザ照射により色材層転写部材を加熱して転写型への色材層渡しを示す説明図、（ｃ）は凸状部加熱体により色材層転写部材を加熱して転写型への色材層渡しを示す説明図である。
【図７】転写型の構成を示すもので、（ａ）は凸状部と支持基板とが一体となる転写型を示す説明図、（ｂ）は凸状部と支持基板とが別部材となる転写型を示す説明図、（ｃ）は凸状部と支持基板とが別部材となる転写型を示す説明図である。
【図８】加熱ヒータへの給電回路の一例を示す説明図である。
【図９】ドット状の凸状部に加熱ヒータを設けた状態を示す説明図である。
【図１０】ドット状の凸状部における加熱ヒータ相互の結び状態を示すもので、（ａ）は支持基盤を迂回して配線が設けられている例を示す説明図、（ｂ）は支持基盤を迂回しない配線で加熱ヒータ同士を接続した例を示す説明図である。
【図１１】転写時にロールプレスにより加圧する例を示す説明図である。
【図１２】転写方を引き剥がし位置速度制御用ロールを用いて引き剥がす状態を示す説明図である。
【図１３】色材層転写部材の一例を模式的に示す説明図である。
【図１４】押し型の形成を示すもので、（ａ）は押し型の形成に際して感光性樹脂液状材料をコートする状態を示す説明図、（ｂ）は押し型の形成でのバック露光を示す説明図、（ｃ）は押し型の形成における露光を示す説明図、（ｄ）は押し型の形成における現像を示す説明図（ｅ）は押し型に枠を取付けた状態を示す説明図である。
【図１５】ブラックマトリクス形成前のカラーフィルタ基板を示すもので、（ａ）は平面を示す説明図、（ｂ）は（ａ）Ｘ−Ｘ線に沿った位置での断面を示す説明図である。
【図１６】黒色感光性樹脂組成物を塗布した状態を示すもので、（ａ）は平面を示す説明図、（ｂ）は（ａ）Ｘ−Ｘ線に沿った位置での断面を示す説明図である。
【図１７】ブラックマトリクスの形成に際しての裏面露光を示す説明図である。
【図１８】ホットプレートによる加熱を示す説明図である。
【図１９】ブラックマトリクスの形成状態を示すもので、（ａ）は平面を示す説明図、（ｂ）は（ａ）Ｘ−Ｘ線に沿った位置での断面を示す説明図である。
【符号の説明】
【００９１】
１…カラーフィルタ基板
２…ブラックマトリクス
３…色材
５…裏面露光
６…カラーフィルタ
７…転写型
８…凸状部
９…色材層転写部材
１０…色材層
１１…押し型
１５…ブラックマトリクス材
１７…剥離剤層
１８…加熱ヒータ
１９…レーザ光
２０…加熱ヒータ
２１…凸条加熱体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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