(57)【要約】【目的】ナノチューブ探針による試料表面像に二重像などの誤差を与えず、鮮明な試料表面像を検出できる走査型顕微鏡用プローブを提供する。【構成】本発明に係る非先鋭走査型顕微鏡用プローブは、カンチレバーに固着されたナノチューブ探針の先端により試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバーに先鋭な先端を有しない突出部を形成し、この突出部の周面にナノチューブの基端部１４を固定してナノチューブの先端部を突出させたことを特徴とする。例えば、前記突出部の先端は平坦に形成される。測定状態で平均試料表面に対し略垂直状態になるように取付平面を前記突出部の周面に設ければ、ナノチューブの垂直配向が容易になり、前記取付平面に取付方向線を形成すれば、ナノチューブの垂直配向を更に効率的に実現できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
カンチレバーに固着されたナノチューブ探針の先端により試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、前記カンチレバーに先鋭な先端を有しない突出部を形成し、この突出部の周面にナノチューブの基端部１４を固定してナノチューブの先端部を突出させたことを特徴とする非先鋭走査型顕微鏡用プローブ。
【請求項２】
前記先鋭な先端を有しない突出部は、突出部の先端が平坦に形成される請求項１に記載の非先鋭走査型顕微鏡用プローブ。
【請求項３】
測定状態で平均試料表面に対し略垂直状態になるように取付平面を前記突出部の周面に設け、前記測定状態で前記平均試料表面に略垂直状態になるようにナノチューブの基端部を前記取付平面に配置し、前記基端部をコーティング膜又は融着により固着させた請求項１又は２に記載の非先鋭走査型顕微鏡用プローブ。
【請求項４】
前記取付平面に前記平均試料表面に対して略垂直状態となるように取付方向線が形成されており、この取付方向線に平行になるようにナノチューブの基端部を前記取付平面に配置し、前記基端部をコーティング膜又は融着により固着させた請求項３に記載の非先鋭走査型顕微鏡用プローブ。
【請求項５】
前記取付平面の両縁線が前記取付方向線となり、この取付平面の両縁線に平行に前記ナノチューブの基端部が取り付けられるようにした請求項４に記載の非先鋭走査型顕微鏡用プローブ。
【請求項６】
前記取付平面にナノチューブの基端部を嵌め込む取付溝が設けられ、この取付溝の軸方向線が前記取付方向線となり、この取付溝の前記軸方向線に平行に前記ナノチューブの基端部が取り付けられるようにした請求項４に記載の非先鋭走査型顕微鏡用プローブ。
【請求項７】
前記取付平面の表面に平坦な切欠部を設け、前記取付平面と前記切欠部の境界に段差が形成され、この境界線が前記取付方向線となり、この段差に沿って前記境界線に平行に前記ナノチューブの基端部が取り付けられるようにした請求項４に記載の非先鋭走査型顕微鏡用プローブ。
【請求項８】
前記ナノチューブの基端部の取付位置が稜線部であり、この稜線が前記取付方向線となり、この稜線に平行に前記ナノチューブの基端部が取り付けられるようにした請求項４に記載の非先鋭走査型顕微鏡用プローブ。
【請求項９】
前記カンチレバーのカンチレバー部の軸方向が測定状態において平均試料表面に対し角度θで尻上がり状に配置されるとき、前記ナノチューブの軸線とカンチレバー部の軸方向とが略（θ＋９０）度の角度をなす請求項１〜９のいずれかに記載の非先鋭走査型顕微鏡用プローブ。
【請求項１０】
前記取付平面を、集束イオンビーム加工、エッチングプロセス、又はデボジションプロセスを利用して形成する請求項３〜９のいずれかに記載の非先鋭走査型顕微鏡用プローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ナノチューブを探針として試料表面から物性情報を得る走査型顕鏡用プローブに関し、更に詳細には、試料表面に対しナノチューブ探針を略垂直に立設して試料表面から高分解能に物性情報を得ることができる高性能走査型顕微鏡用カンチレバー及びこれを使用した高性能走査型顕微鏡用プローブに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＡＦＭで略称される原子間力顕微鏡により試料表面の構造を撮像するには、試料表面に接触させて信号を取り出す探針が必要である。従来、この探針としてはカンチレバー部に四角錐や円錐などの先鋭な先端を有する突出部（ピラミッド部とも呼ぶ）を形成したシリコン製のカンチレバーが知られている。
【０００３】
近年になり、新規な炭素構造を有するカーボンナノチューブが発見された。このカーボンナノチューブは、直径が約１ｎｍから数十ｎｍ、長さが数μｍであり、アスペクト比（長さ／直径）は１００〜１０００程度になる。現在の半導体技術では直径が１ｎｍの探針を作成することは困難であり、この点から考えると、カーボンナノチューブはＡＦＭ用探針として最高の条件を備えている。
【０００４】
このような中で、Ｈ．Ｄａｉ等はＮＡＴＵＲＥ（Ｖｏｌ．３８４，１４ Ｎｏｖｅｍｂｅｒ １９９６）においてカーボンナノチューブをカンチレバーの突出部の先端に張り付けたＡＦＭ用プローブを報告した。彼らのプローブは画期的ではあったが、カーボンナノチューブを突出部に付着させたものに過ぎないため、試料表面を何回か走査している間にカーボンナノチューブが突出部から脱落してしまう性質があった。
【０００５】
本発明者等はこの弱点を解決するために、カーボンナノチューブをカンチレバーの突出部に強固に固着させる固定方法を開発するに到った。この開発の成果は、特開２０００−２２７４３５号として第１固定方法が、また特開２０００−２４９７１２号として第２固定方法が公開されている。
【０００６】
前記第１の固定方法は、ナノチューブの基端部に電子ビームを照射してコーティング膜を形成し、このコーティング膜によりナノチューブをカンチレバー突出部に被覆固定する方法である。第２の固定方法は、ナノチューブの基端部に電子ビーム照射又は通電して、ナノチューブ基端部をカンチレバー突出部に融着固定する方法である。
【非特許文献１】Ｈ．Ｄａｉ  ＮＡＴＵＲＥ（Ｖｏｌ．３８４，１４ Ｎｏｖｅｍｂｅｒ １９９６）
【特許文献１】特開２０００−２２７４３５号
【特許文献２】特開２０００−２４９７１２号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、ナノチューブを錐状体からなるカンチレバー突出部に固定するにしても、その配置によっては検出信号の分解能が低下することがしばしばある。
【０００８】
図１４は従来の走査型顕微鏡用プローブの立体構成図である。走査型顕微鏡用プローブ２０は、カンチレバー２とナノチューブ１２から構成される。このカンチレバー２はカンチレバー部４と、その後端の固定部６と、その先端の突出部８（ピラミッド部と呼ばれる）からなり、突出部８は探針となる先鋭な先端８ａを有している。ナノチューブ１２の基端部は突出部８に固定されるが、いつも先端８ａを通過するように固定することは高度の技術を要し、多くの場合は図のように先端８ａを通過しない。
【０００９】
このプローブ２０で試料２２の試料表面２４を走査すると、試料表面２４に対してナノチューブ先端１８と突出部先端８ａが両方とも探針として作用する。得られた表面映像は、ナノチューブ先端１８により得られた影像と突出部先端８ａにより得られた映像が重なって構成され、映像自体の鮮明度が低下してしまう。
【００１０】
図１５は従来の他の走査型顕微鏡用プローブの立体構成図である。この従来例では、ナノチューブ１２が突出部先端８ａを通過しているから突出部先端８ａの探針作用は封殺されている。従って、ナノチューブ先端１８だけが探針として作用する。
【００１１】
ところが、このナノチューブ先端１８を試料表面２４に接触させたとき、ナノチューブ１２と試料２２の平均表面２６とは直交せず、交差角φを以て斜交している。斜交状態ではナノチューブ先端１８は試料表面２４の急峻な凹部や凸部に追随できず、検出不能な空白領域が出現する。つまり、この場合にも検出分解能が低下することは避けられない。
【００１２】
これらの弱点は、従来のカンチレバー突出部８が錐体状に形成されているため、必ず先鋭な突出部先端８ａを有していることに起因する。言い換えれば、従来のＡＦＭ用探針をそのままナノチューブ探針のホルダーとして利用することにより、それらの弱点が出現する。
【００１３】
従って、本発明の目的は、カンチレバー突出部が先鋭な先端を有さず、しかも検出時にナノチューブ先端が試料面に対し略垂直状に当接する垂直式走査型顕微鏡用プローブを実現することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の第1の形態は、カンチレバーに固着されたナノチューブ探針の先端により試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、ナノチューブの基端部を固着する取付領域をカンチレバーに設け、カンチレバーを試料面に対し測定状態に配置したときに前記取付領域の高さ方向が試料面に対し略垂直状態になるように設けられることを特徴とする垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーである。
【００１５】
本発明の第２の発明は、前記取付領域が取付平面である請求項１に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーである。
【００１６】
本発明の第３の発明は、前記取付領域がナノチューブの基端部を挿入させる取付孔であり、この取付孔の軸方向が前記高さ方向となる請求項１に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーである。
【００１７】
本発明の第４の発明は、前記取付領域がナノチューブの基端部を嵌め込む取付溝であり、この取付溝の溝方向が前記高さ方向となる請求項１に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーである。
【００１８】
本発明の第５の発明は、前記取付領域が稜線部であり、この稜線の方向が前記高さ方向となる請求項１に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーである。
【００１９】
本発明の第６の発明は、前記取付領域が取付曲面であり、カンチレバーを試料面に対し測定状態に配置したときに前記取付曲面の接平面の高さ方向が試料面に対し略垂直状態になるように設けられる請求項１に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーである。
【００２０】
本発明の第７の発明は、前記取付領域を、集束イオンビーム加工、エッチングプロセス、又はデポジションプロセスを利用して形成する請求項１に記載の垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーである。
【００２１】
本発明の第８の発明は、カンチレバーに固着されたナノチューブ探針の先端により試料表面の物性情報を得る走査型顕微鏡用プローブにおいて、ナノチューブの基端部を固着する取付領域をカンチレバーに設け、カンチレバーを試料面に対し測定状態に配置したときに前記取付領域の高さ方向が試料面に対し略垂直状態になるように設けられ、ナノチューブの基端部をこの取付領域の高さ方向に固着させたことを特徴とする垂直式走査型顕微鏡用プローブである。
【００２２】
本発明の第９の発明は、前記カンチレバーのカンチレバー部の軸方向が測定状態において試料面に対し角度θで尻上がり状に配置されるとき、前記ナノチューブの軸線とカンチレバー部の軸方向とが略（θ＋９０）度の角度をなす請求項８に記載の垂直式走査型顕微鏡用プローブである。
【発明の効果】
【００２３】
第１の形態によれば、測定状態において試料面に対し略垂直状態になるように取付領域をカンチレバーに形成するから、この取付領域にナノチューブをその高さ方向に固定するだけで垂直式のプローブを製作できるなど、優れた垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーを提供できる。
【００２４】
第２の形態によれば、測定状態において試料面に対し略垂直状態になるように取付平面をカンチレバーに形成するから、この取付平面にしかもその高さ方向にナノチューブを固定するだけで垂直式のプローブを製作できるなど、優れた垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーを提供できる。
【００２５】
第３の形態によれば、測定状態において試料面に対し略垂直状態になるように取付孔をカンチレバーに形成するから、この取付孔にナノチューブを挿入固定するだけで垂直式のプローブを製作できるなど、優れた垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーを提供できる。
【００２６】
第４の形態によれば、測定状態において試料面に対し略垂直状態になるように取付溝をカンチレバーに形成するから、この取付溝にナノチューブを嵌合固定するだけで垂直式のプローブを製作できるなど、優れた垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーを提供できる。
【００２７】
第５の形態によれば、測定状態において試料面に対し略垂直状態になるように稜線部をカンチレバーに形成するから、この稜線部にナノチューブを固定するだけで垂直式のプローブを製作できるなど、優れた垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーを提供できる。
【００２８】
第６の形態によれば、取付曲面をカンチレバーに形成し、この取付曲面の接平面にその高さ方向にナノチューブを固定するだけで、ナノチューブを試料面に対し略垂直状態に配置できる垂直式走査型顕微鏡用カンチレバーを提供できる。
【００２９】
第７の形態によれば、集束イオンビーム加工、エッチングプロセス、又はデポジションプロセスを利用して、前述した取付領域、更に具体的には取付平面、取付孔、取付溝、稜線部又は取付曲面等を容易に形成できる。
【００３０】
第８の形態によれば、その高さ方向が試料面に垂直になる取付領域をカンチレバーに設け、この取付領域にナノチューブの基端部をその高さ方向に固着したから、探針先端が常に試料面に垂直に当接して試料表面像を高分解能に検出できる垂直式走査型顕微鏡用プローブを提供できる。
【００３１】
第９の形態によれば、ナノチューブの軸線とカンチレバー部の軸方向とを略（θ＋９０）度の開き角を有するように構成したから、測定状態においてカンチレバー部を角度θの尻上げ配置をするだけで、試料表面の凹凸に確実に追従できる垂直式走査型顕微鏡用プローブを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下に、本発明に係る垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー及びこれを用いた垂直式走査型顕微鏡用プローブの実施形態を添付する図面を参照して詳細に説明する。
【００３３】
図１は本発明の第１実施形態の斜視図である。垂直式走査型顕微鏡用カンチレバー２（以後カンチレバーと称する）は、カンチレバー部４と、固定部６と、突出部８から構成されている。突出部８はカンチレバー部４の先端に直方体状に突設されており、それ自体には探針状の先鋭な先端を有していない。
【００３４】
突出部８の周面は複数の平面から構成され、その内の少なくとも一面はナノチューブ１２の取付平面１０となる。この取付平面１０の特徴は、その高さ方向が試料測定時に一点鎖線で表す試料平面２６に対し垂直に立設状に配置されることである。この取付平面１０にその高さ方向にナノチューブ１２の基端部１４が固定される。
【００３５】
ナノチューブ１２には、導電性のカーボンナノチューブや絶縁性のＢＮ（窒化ホウ素）系ナノチューブ、ＢＣＮ（炭窒化ホウ素）系ナノチューブなど各種のナノチューブが存する。トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）用にはトンネル電流を検出する必要性から導電性ナノチューブが用いられ、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）用には導電性ナノチューブでも絶縁性ナノチューブでもどちらでもよいなど用途に合わせてナノチューブが選択される。
【００３６】
ナノチューブ１２を取付平面１０に固定する方法には、既に説明したように、２種類の方法がある。第１は、ナノチューブ１２の基端部１４をコーティング膜により被覆する方法であり、第２は基端部１４を電子ビームやイオンビーム又は通電で取付平面１０に熱融着させる方法である。
【００３７】
ナノチューブ１２は、その軸心が試料２２の平均表面２６に垂直に立設するように、取付平面１０に固定される。このように取り付けると、ナノチューブ１２の先端部１６は常に測定状態で平均表面２６に対し垂直配置になり、先端１８による試料表面２４の検出が効率よく行える。
【００３８】
ナノチューブ１２をカンチレバー２に固定することによって垂直式走査型顕微鏡用プローブ２０（以後プローブと略称する）が完成する。このプローブは走査型顕微鏡に使用されるもので、例えば上記のＡＦＭやＳＴＭに限らず、表面の違いを摩擦力で検出する水平力顕微鏡（ＬＦＭ）、磁気相互作用を検出する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）、電界力の勾配を検出する電界力顕微鏡（ＥＦＭ）、化学官能基の表面分布を画像化する化学力顕微鏡（ＣＦＭ）などがあり、試料表面の物理的・化学的作用を探針で走査検出して、試料の原子レベルでの物性情報を得るものである。
【００３９】
図２は第１実施形態の側面図である。プローブ２０を試料２２に対し測定状態に配置すると、カンチレバー部４の軸方向ｂは試料平均表面２６に対し角度θで尻上がりに傾斜する。この傾斜配置状態で、ナノチューブ１２の軸心と軸方向ｂとは角度（θ＋９０）度で交差するから、ナノチューブ１２は平均表面２６に対し角度９０度で垂直に立設することになる。
【００４０】
ナノチューブ１２が試料平均表面２６に垂直配置になることは、その先端１８が複雑に凹凸する試料表面２４に確実に追従できることを意味する。つまり、先端１８が探針先端となるから、試料表面の物理的・化学的情報を正確に高分解能で検出することが可能になる。
【００４１】
図３は本発明の第２実施形態の斜視図である。第１実施形態と作用効果が同一部分には同一番号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。この実施形態では突出部８に取付孔２８を形成している。この取付孔２８はプローブ２０を測定状態に配置した時に、取付孔２８の軸心方向が試料平均表面２６に垂直になるように形成される。
【００４２】
この取付孔２８にナノチューブ１２の基端部１４が挿入固定される。ナノチューブ１２を取付孔２８に挿入するだけで原子間力によって固定される。しかし、取付孔２８の断面直径がナノチューブ１２のそれと比較して大きくなるに従い、有機ガスの分解堆積物で孔を埋めたり、電子ビームを照射したり、又は通電して表面融着させる等の方法で確実に固定することもできる。
【００４３】
図４は第２実施形態の側面図である。プローブ２０が測定状態にあるとき、カンチレバー部４の軸方向ｂは試料平均表面２６に対し角度θだけ尻上がりに傾斜する点は第１実施形態と同様である。しかし、この傾斜配置においても、ナノチューブ１２の軸心方向（高さ方向）はカンチレバー部４の軸方向と角度（θ＋９０）度だけ開離しているから、ナノチューブ１２は試料平均表面２６に対し垂直に当接する。従って、先端１８は試料表面２４の凹凸に確実に追従することができる。
【００４４】
図５は本発明の第３実施形態の斜視図である。第１実施形態と作用効果が同一部分には同一番号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。この実施形態では、突出部８の表面に取付溝３０が刻設されており、この取付溝３０にナノチューブ１２の基端部１４が嵌合される。この嵌合を強固な固着にするため、表面を被覆するようにコーティング膜を形成してもよいし、ビーム照射したり、又は通電により表面を融着してもよい。取付溝３０の断面形状はコ字型、Ｖ字型、半円型など各種の形状がある。
【００４５】
図６は第３実施形態の側面図である。図示するように、カンチレバー部の軸方向ｂとナノチューブ１２の軸心とは角度（θ＋９０）度だけ開離するように組み立てられている。つまり、取付溝３０の溝方向（高さ方向）がカンチレバー部６に対し角度（θ＋９０）度の開き角を有するように設定されている。その結果、測定時のカンチレバー部６の尻上がり角が角θであるから、ナノチューブ１２は試料平均表面２６に対し角度９０度で垂直に当接する。従って、ナノチューブ１２の先端１８は試料表面２４の凹凸に確実に追従でき、試料表面の物性情報を高精度に検出することができる。
【００４６】
図７は本発明の第４実施形態の斜視図である。第１実施形態と作用効果が同一部分には同一番号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。この実施形態では、突出部８の表面に平坦な切欠部３２を形成し、この切欠部３２の段差３２ａの部分が取付溝３０を構成する。取付溝３０はナノチューブ１２を一義的に嵌合できる場所の総称で、溝状、段差状、その他の形状が含まれる。
【００４７】
この段差状の取付溝３０にナノチューブ１２の基端部１４を嵌合し、固定する。固定方法はコーティング膜や融着などが利用できる。ナノチューブ１２を試料平均面２６に垂直に当接させるため、この取付溝３０の軸方向が測定状態で試料平均面２６に垂直になるように形成される。
【００４８】
図８は第４実施形態の側面図である。カンチレバー部４の尻上げ角θ及びカンチレバー部４とナノチューブ１２の開き角（θ＋９０）度は前述した通りであるから、ここでは繰り返さない。
【００４９】
図９は本発明の第５実施形態の斜視図である。第１実施形態と作用効果が同一部分には同一番号を付してその説明を省略し、異なる部分のみを説明する。この実施形態では、突出部８は三角柱状に形成されており、稜線３４がナノチューブ１２の取付位置を示している。つまり、稜線の方向が取付方向であるから、稜線の近傍に稜線と平行にナノチューブ１２を固定する。
【００５０】
図１０は第５実施形態の側面図である。稜線３４の方向とナノチューブ１２の軸心とが接近状態で平行し、測定状態で試料平均表面２６に垂直に設定されている。それ以外は他の実施形態と同様であるから、省略する。
【００５１】
図１１は第６実施形態の斜視図である。突出部８の形状は円柱状で、その周面はナノチューブ１２を取り付ける取付曲面３８になっている。この周面の任意の位置に設けた接平面３６の高さ方向は平均試料平面２６に垂直になるように設けられる。取付曲面３８と接平面３６との接直線の位置にナノチューブ１２の基端部１４を固定する。このとき、先端部１６は平均試料平面２６に略垂直になり、尻上がり角をθとすると、カンチレバー部４とナノチューブ１２との交差角は（θ＋９０）度になる。
【００５２】
図１２は第７実施形態の斜視図である。突出部８の形状は斜めに切られた円柱状で、その周面のうち大面積領域がナノチューブ１２を取り付ける取付曲面３８となる。この取付曲面３８に設けた接平面３６の高さ方向は平均試料平面２６に垂直になるように設定される。取付曲面３８と接平面３６との接直線の位置にナノチューブ１２の基端部１４を固定する。このとき、先端部１６は平均試料平面２６に略垂直になり、試料に対し高分解能検出が可能になる。図のように、カンチレバー部４の尻上がり角をθとすると、カンチレバー部４とナノチューブ１２との交差角は（θ＋９０）度になっている。
【００５３】
図１３は第８実施形態の斜視図である。突出部８の形状は周面が湾曲した円錐台状で、その周面の下端周縁領域がナノチューブ１２を取り付ける取付曲面３８となる。この取付曲面３８に設けた接平面３６の高さ方向は平均試料平面２６に垂直になるように設定される。取付曲面３８と接平面３６との接直線の位置にナノチューブ１２の基端部１４を固定する。このとき、先端部１６は平均試料平面２６に略垂直になり、試料に対し高分解能検出が可能になる。図のように、カンチレバー部４の尻上がり角をθとすると、カンチレバー部４とナノチューブ１２との交差角は（θ＋９０）度になっている。
【００５４】
本発明では、カンチレバー２の突出部８に先鋭な先端を形成しない。その先端が探針となって、後で取り付けるナノチューブの探針作用に誤差を与えるからである。探針となるナノチューブ１２は、この突出部８に取り付けられる。これらの取付部位は、その方向が測定状態において平均試料表面２６に垂直に配置されているから、取り付けられたナノチューブ１２も当然平均試料表面２６に垂直な配置を取る。この垂直配置によって、ナノチューブ１２は鮮明な試料表面像を検出できる。
【００５５】
突出部８に取付平面１０、取付孔２８、取付溝３０、稜線部３４又は取付曲面３８を形成するには、集束イオンビームや電子ビームを利用してエッチングやデポジションを行ってもよいし、一般の半導体技術におけるエッチングプロセスやデポジションプロセスを用いてもよい。
【００５６】
本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲における種々の変形例や設計変更なども本発明の技術的範囲内に包含されることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明の第１実施形態（取付平面）の斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態の側面図である。
【図３】本発明の第２実施形態（取付孔）の斜視図である。
【図４】本発明の第２実施形態の側面図である。
【図５】本発明の第３実施形態（取付溝）の斜視図である。
【図６】本発明の第３実施形態の側面図である。
【図７】本発明の第４実施形態（取付溝の変形例）の斜視図である。
【図８】本発明の第４実施形態の側面図である。
【図９】本発明の第５実施形態（稜線部）の斜視図である。
【図１０】本発明の第５実施形態の側面図である。
【図１１】本発明の第６実施形態の斜視図である。
【図１２】本発明の第７実施形態の斜視図である。
【図１３】本発明の第８実施形態の斜視図である。
【図１４】従来の走査型顕微鏡用プローブの立体構成図である。
【図１５】従来の他の走査型顕微鏡用プローブの立体構成図である。
【符号の説明】
【００５８】
２        カンチレバー
４        カンチレバー部
６        固定部
８        突出部
１０      取付平面
１２      ナノチューブ
１４      基端部
１６      先端部
１８      先端
２０      垂直式走査型顕微鏡用プローブ
２２      試料
２４      試料表面
２６      試料平均表面
２８      取付孔
３０      取付溝
３２      切欠部
３４      稜線部
３６      接平面
３８      取付曲面
【図１】
2005257699.tif 000003
【図２】
2005257699.tif 000004
【図３】
2005257699.tif 000005
【図４】
2005257699.tif 000006
【図５】
2005257699.tif 000007
【図６】
2005257699.tif 000008
【図７】
2005257699.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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