(57)【要約】【課題】  平滑な絶縁基板上に、高い密着強度で微細な配線が形成される多層配線板、及び、エッチング工程を必要とせず、平滑な絶縁基板上に密着性が良好であり、且つ、微細な配線を形成しうる多層配線板の製造方法を提供する。【解決手段】  絶縁基板上に、任意に形成された第１の導電性パターンと、絶縁材料層と、該絶縁材料層上に形成されたグラフトポリマーパターンに応じた領域にパターン状に導電性材料を付与することにより形成された第２の導電性パターンとを順次有し、該絶縁基板上に存在する第１の導電性パターンと第２の導電性パターンとを電気的に接続する導電性経路を有することを特徴とする多層配線板。前記グラフトポリマーパターンは、グラフトポリマーの存在領域／非存在領域からなるもの、或いは、親水性グラフトポリマーの存在領域／疎水性グラフトポリマーの存在領域からなるものである。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に、任意に形成された第１の導電性パターンと、絶縁材料層と、該絶縁材料層上に形成されたグラフトポリマーパターンに応じた領域にパターン状に導電性材料を付与することにより形成された第２の導電性パターンとを順次有し、該絶縁基板上に存在する第１の導電性パターンと第２の導電性パターンとを電気的に接続する導電性経路を有することを特徴とする多層配線板。
【請求項２】
前記絶縁材料層上に形成されたグラフトポリマーパターンが、グラフトポリマーの存在領域／非存在領域からなるものであり、そのいずれかの領域に選択的に導電性材料を付与することを特徴とする請求項１に記載の多層配線板。
【請求項３】
前記絶縁材料層上に形成されたグラフトポリマーパターンが、親水性グラフトポリマーの存在領域／疎水性グラフトポリマーの存在領域からなるものであり、そのいずれかの領域に選択的に導電性材料を付与することを特徴とする請求項１に記載の多層配線板。
【請求項４】
（ａ）絶縁基板上に、任意に形成された第１の導電性パターンと、絶縁材料層とを有する積層体の絶縁材料層上にグラフトポリマーパターンを形成する工程と、（ｂ）該グラフトポリマーパターン応じてパターン状に第２の導電性パターンを形成する工程と、（ｃ）該絶縁材料層に穴を形成する工程と、（ｄ）該穴に導電性材料を埋め込み導電性を付与することで、第２の導電性パターンと第１の導電性パターンとを電気的に接続する導電経路を形成する工程と、を含むことを特徴とする多層配線板の製造方法。
【請求項５】
前記（ａ）工程において、絶縁材料層上に形成されたグラフトポリマーパターンが、グラフトポリマーの存在領域／非存在領域からなるものであり、そのいずれかの領域に選択的に導電性材料を付与することを特徴とする請求項４に記載の多層配線板の製造方法。
【請求項６】
前記（ａ）工程において、絶縁材料層上に形成されたグラフトポリマーパターンが、親水性グラフトポリマーの存在領域／疎水性グラフトポリマーの存在領域からなるものであり、そのいずれかの領域に選択的に導電性材料を付与することを特徴とする請求項４に記載の多層配線板の製造方法。
【請求項７】
前記絶縁基板の、ＪＩＳ  Ｂ０６０１（１９９４年）、１０点平均高さ法で測定した平均粗さ（Ｒz）が、３μｍ以下であることを特徴とする請求項４乃至６のいずれかの１項に記載の配線板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気・電子機器等に広く使用される多層配線板及びその製造方法に関し、詳しくはセミアディティブ工法により製造される高密度プリント多層配線板の製造方法、および該製造方法による得られたビルドアップ多層プリント配線板に関する。
【背景技術】
【０００２】
絶縁性基材の表面に回路を形成したプリント配線板が、電子部品や半導体素子に広く用いられている。近年の電子機器の小型化、高機能化の要求に伴い、該プリント配線板に対しては、回路の高密度化、薄型化が要望されている。特にライン／スペースの間隔が２５μｍ／２５μｍ以下であるような微細回路を形成する方法の確立は、プリント配線板分野の重要な課題である。
【０００３】
このような微細回路を実現する高精細プリント配線板の製造方法としては、セミアディティブ法と呼ばれる方法が提案されている。
この方法では、高分子材料よりなる絶縁基板の表面にパラジウム化合物等のめっき触媒を付与した後、そのめっき触媒を核として無電解銅めっきを行い、絶縁基板の表面全体に薄層の銅めっき皮膜を形成する。
その後、無電解メッキにより形成された銅の薄層表面に感光性のレジスト膜（フォトレジスト膜）を塗布し、このレジスト膜上に回路パターンを転写し、現像することで、回路形成を予定する部分のレジスト膜を取り除く。その後、露出したパターン状の銅薄層部分を給電電極として電解銅めっきを行い、その表面に回路形状を有する電解銅めっき皮膜を形成する。
【０００４】
次に、レジスト膜を除去し、無電解めっきにより形成された銅薄層をエッチング除去して回路パターンを形成する。また、所望により形成された回路パターン（電解銅めっきにより形成されたパターン）表面にニッケルめっきや金めっきをさらに行って、プリント配線板を製造することも可能である。
【０００５】
セミアディティブ法は、感光性のレジスト膜の解像度、すなわち現像精度に応じた回路ピッチで回路パターンの形成がなされる為、厚い金属箔をエッチングして回路パターンを形成するサブトラクティブ法と呼ばれる方法と比較して、微細な回路パターンを精度良く形成することが可能となる。
しかしながら、セミアディティブ法においては、絶縁基板と回路パターンとの間には、無電解めっきによる銅薄層が存在するが、この層は本質的には絶縁基板に対する接着性を有さないため、絶縁基板表面の凹凸が比較的大きい場合には、回路パターン・絶縁基板間の接着は銅薄層のアンカー効果により良好に保たれるものの、絶縁基板として表面平滑なものを用いた場合、接着性が不十分であり、形成された回路の基板に対する接着強度が十分ではないと言う問題がある。
【０００６】
回路の接着強度を向上させる目的で、絶縁基板の表面を粗面化することが行われ、通常は、その表面にＪＩＳ  Ｂ０６０１に準じて測定した表面の十点平均粗さ（Ｒｚ値）換算で３〜５μｍ程度の凹凸が付与される。このような絶縁基板表面の凹凸は、形成される回路パターンのライン／スペースの値が３０／３０μｍ以上である場合には比較的問題となりにくいが、これより精細なパターン、例えば、２５／２５μｍ以下の線幅の回路パターン形成においては、高密度の極細線回路線が、絶縁基板表面の凹凸の影響をうけるため、大きな懸念となる。
このため、ライン／スペースの値が２５／２５μｍ以下であるような高精細の回路パターンの形成には、表面平滑性の高い絶縁基板、例えば、Ｒｚ値換算で３μｍ以下、さらに望ましくは１μｍ以下の平滑性を有する絶縁基板においても、接着性が低下しない回路形成技術が切望されている。
【０００７】
また、セミアディティブ工法においては、エッチング工程で最終的に不要となった無電解めっきによる銅薄層を取り除く必要があるが、銅薄層をエッチング除去する際に、電解メッキにより形成された銅層からなる回路パターンもエッチング液の影響により幅、厚みが減少し、精密な回路パターンを再現性良く製造することが難しくなり、この傾向は配線の線幅、厚みが小さくなるほど著しくなる。
【０００８】
また、セミアディティブ工法においては、無電解銅めっき工程において用いられるめっき触媒が絶縁基板の表面に残留しやすいため、得られるプリント配線板の絶縁性が低下しやすいと言う問題もある。また、残留した触媒に起因して、銅メッキ工程の後に所望により回路パターンに対しニッケルめっきや金めっきを行なう場合に、絶縁基板の表面にニッケルや金がめっきされて、所望されない回路が形成される懸念がある。残存するメッキ触媒を除去する目的で、エッチング能力の高いエッチング液を用いることも考えられるが、この場合、エッチング液による回路形状の再現性の悪化が問題となり、高精細な回路パターンを再現性よく製造しうる製造方法が求められている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記従来の技術の欠点を考慮してなされた本発明の目的は、平滑な絶縁基板上に、高い密着強度で微細な配線が形成される多層配線板を提供することにある。また、本発明の他の目的は、エッチング工程を必要とせず、平滑な絶縁基板上に密着性が良好であり、且つ、微細な配線を形成しうる多層配線板の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は鋭意検討の結果、多層配線を形成する際に、グラフトポリマーパターンに従った表面極性の変化により局所的に導電性材料を付着させることで、上記目的を達成しうることを見出して本発明を完成した。
即ち、本発明の多層配線板は、絶縁基板上に、任意に形成された第１の導電性パターンと、絶縁材料層と、該絶縁材料層上に形成されたグラフトポリマーパターンに応じた領域にパターン状に導電性材料を付与することにより形成された第２の導電性パターンとを順次有し、該絶縁基板上に存在する第１の導電性パターンと第２の導電性パターンとを電気的に接続する導電性経路を有することを特徴とする。
ここで、前記絶縁材料層上に形成されたグラフトポリマーパターンとしては、グラフトポリマーの存在領域／非存在領域からなるパターン、或いは、親水性グラフトポリマーの存在領域／疎水性グラフトポリマーの存在領域からなるパターンが挙げられ、その態様に応じて、いずれかの領域に選択的に導電性材料を付与することが好ましい。
【００１１】
また、本発明の請求項４に係る多層配線板の製造方法は、（ａ）絶縁基板上に、任意に形成された第１の導電性パターンと、絶縁材料層とを有する積層体の絶縁材料層上にグラフトポリマーパターンを形成する工程と、（ｂ）該グラフトポリマーパターン応じてパターン状に第２の導電性パターンを形成する工程と、（ｃ）該絶縁材料層に穴を形成する工程と、（ｄ）該穴に導電性材料を埋め込み導電性を付与することで、第２の導電性パターンと第１の導電性パターンとを電気的に接続する導電経路を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
上記製造方法においても、前記（ａ）工程における絶縁材料層上に形成されたグラフトポリマーパターンとしては、グラフトポリマーの存在領域／非存在領域からなるパターン、親水性グラフトポリマーの存在領域／疎水性グラフトポリマーの存在領域からなるパターンが挙げられる。
本発明の多層配線板の製造方法において用いられる絶縁基板としては、ＪＩＳ  Ｂ０６０１（１９９４年）、１０点平均高さ法で測定した平均粗さ（Ｒz）が３μｍ以下である基板を用いることが好ましく、本発明の方法によれば、このような平滑な基板上であっても密着性に優れた高精細な配線（回路）を形成しうる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、平滑な絶縁基板上に、密着性に優れた高精細な配線を有する多層配線板を提供できる。また、本発明の製造方法によれば、平滑な絶縁基板上に、エッチング工程を必ずしも行うことなく、基板との密着性に優れた高精細な配線が形成された多層配線板を製造しうる。さらに、本発明の製造方法により得られた多層配線板は、従来法におけるめっき触媒の残留による所望されない絶縁の低下や、エッチング工程に起因する配線へのダメージが抑制され、高精細配線の再現性に優れるという利点をも有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の多層配線板をその製造方法とともに順次詳細に説明する。
本発明の多層配線板においては、該絶縁基板に存在する導電性パターンとその上部に存在する絶縁材料層上に形成された第２の導電性パターンとを電気的に接続する導電性経路を有するが、その際、第２の導電パターンが、グラフトポリマーパターンに対応して形成されることを大きな特徴とする。
【００１４】
このような多層配線板を製造するにあたり、まず、絶縁基板上に任意の導電性パターン（第１の導電パターン）を有する積層体を準備する。この第１の導電性パターンの形成方法は任意であり、公知の方法により形成されたものであっても、後述する第２の導電性パターンと同様に、グラフトポリマーパターンを利用して形成されたものであってもよい。
まず、本発明の（ａ）工程は、このような絶縁基板上に、任意に形成された第１の導電性パターン上にさらに絶縁材料層とを有する積層体を準備し、該絶縁材料層上にグラフトポリマーパターンを形成する工程である。その後、（ｂ）該グラフトポリマーパターン応じてパターン状に第２の導電性パターンを形成する工程と、（ｃ）該絶縁材料層に穴を形成する工程と、（ｄ）該穴に導電性材料を埋め込み導電性を付与することで、第２の導電性パターンと第１の導電性パターンとを電気的に接続する導電経路を形成する工程と、実施するものであるが、これらの工程は、必ずしも（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）の順で行われる必要はなく、場合によっては（ｃ）工程を（ｂ）工程に先だって実施してもよく、他のいくつかの順で実施することも可能である。
【００１５】
本発明の方法によれば、絶縁材料層に形成される第２の導電パターンは、基材との密着性に優れたグラフトポリマーパターンを介して化学的に結合される。このため、絶縁材料層と第２の導電性パターンとの密着強度は、仮に絶縁基板やその上に設けられる絶縁材料層の平滑性が高い場合であっても実用上十分な値を示す。
また、本発明における導電性パターンの形成法は従来のサブトサクティブ、もしくはセミアディブ法による導電性パターン形成方法では必ず必要であったフォトレジストを用いたパターン形成プロセスを必要としないため、製造工程が簡便となる。とくに、本発明におけるような繰り返して配線を形成するプロセスが必要な多層配線板の製造においてはその効果は特に甚大となる。
本法のプロセスの特徴を明確にするために従来法と比較して示す。本方法では基本的なプロセスは７工程であり、以下に記載する公知の他のプロセスよりも工程数が少なく、製造簡易性に優れている。なお、以下のプロセスは、一例を示したものであり、これに限定するものではない。
【００１６】
〔サブトラクティブ法による導電性パターン形成工程〕
１．絶縁性基板→２．孔あけ（ビア形成）→３．デスマット、表面粗面化→４．無電解処理→５．電気メッキ→６．レジスト塗布→７．露光→８．現像→９．エッチング→１０．レジスト剥離→１１．クイックエッチ
【００１７】
〔セミアディブ法による導電性パターン形成工程〕
１．絶縁性基板→２．孔あけ（ビア形成）→３．デスマット、表面粗面化→４．無電解処理→５．レジスト塗布→６．露光→７．現像→８．電気メッキ→９．レジスト剥離→１０．クイックエッチ
【００１８】
〔本発明の製造方法による導電性パターン形成工程（一例を示す）〕
１．絶縁性基板→２．孔あけ（ビア形成）→３．重合性基含有化合物塗布→４．露光→５．現像→６．無電解めっき処理（導電性材料付着処理）→７．電気メッキ
【００１９】
以下、本発明の（ａ）〜（ｄ）の各工程について記述する。
（ａ）絶縁材料層上にグラフトパターンを形成する行程
絶縁基板或いは基板上に形成された絶縁材料層（これらのいずれか又は双方を、適宜、単に「基板」と称する）上に作成されるグラフトポリマーパターンとは、（ａ−１）基板表面にグラフトポリマーをパターン状に形成させたり、基板表面の全面に形成したグラフトポリマーの一部をパターン状に分解させることで、グラフトの存在領域と非存在領域を形成することによるパターンと、（ａ−２）基板表面にグラフトポリマーを全体に形成した後に、グラフトポリマーの親／疎水性をパターン状に変化させることにより、グラフトポリマーの親水性領域／疎水性領域を形成することによるパターンの２つがある。
【００２０】
はじめに（ａ−１）基板表面にグラフトポリマーをパターン状に形成させ、グラフトの存在領域と非存在領域を形成する方法について説明する。
このグラフトパターン形成方法の一態様として、重合性基を有する化合物を基板表面に接触させ、画像様に輻射線の照射を行うことで、照射領域のみにグラフトパターンを形成する態様がある。グラフトパターン形成のメカニズムは、輻射線の照射により基板表面にラジカルなどの活性点が発生し、これが起点となりラジカル重合が開始し表面にグラフトポリマーが生成するものである。
【００２１】
輻射線の照射により基板表面にラジカルを発生させるには、種々の公知の方法を使用することができる。一例をあげると、輻射線として電子線などのエネルギーの高い輻射線を用いて基板表面を構成するポリマーの共有結合を切断しラジカルを発生させる方法や、基板層中にラジカル発生させるラジカル発生剤を含有させておいて光によりこれを分解し、ラジカルを発生させる方法、基板表面に重合性化合物を接触させる際に、重合化合物中にベンゾフフェノンなどの化合物を少量添加しておき、光によりベンゾフェノンの水素引き抜き反応により基板にラジカルを発生させる方法、などをあげることができる。また基板表面に光ラジカル発生剤を固定化し、この表面にモノマーを接触させ、光をパターン状に照射することでグラフトのパターンを形成することもできる。
これらの方法は文献記載の公知の方法をいずれも使用することができる。例えば、新高分子実験学１０、高分子学会編、１９９４年、共立出版（株）発行、ｐ１３５には表面グラフト重合法として光グラフト重合法、プラズマ照射グラフト重合法が記載されている。また、吸着技術便覧、ＮＴＳ（株）、竹内監修、１９９９．２発行、ｐ２０３、ｐ６９５には、γ線、電子線などの放射線照射グラフト重合法が記載されている。光グラフト重合法の具体的方法としては、特開昭６３−９２６５８号公報、特開平１０−２９６８９５号公報及び特開平１１−１１９４１３号公報に記載の方法を使用することができる。
【００２２】
その他の方法として、表面にパターン状にラジカル発生剤を結合し、それを起点にしてグラフトポリマーをパターン状に形成する方法が挙げられる。表面にパターン状にラジカル発生剤を結合させる方法としては次の2つを挙げることができる。ひとつは基板層中に含有した、もしくは基板表面全体に固定化したラジカル発生剤をあらかじめ光照射によりパターン状に分解する方法である。またその他の方法としてはマイクロコンタクトプリンティング法を使用し、ラジカル発生剤をパターン状に基板に結合させる方法である。この方法ではまず、ポリジメチルシロキサンのポリマーからなるスタンプの表面にラジカル発生剤を付着させ、これを基板表面に転写することでラジカル発生剤のパターンを基板表面に作製することができる。このようにして表面にパターン状にラジカル発生剤を作成した後、モノマーを基板表面に接触させ、全面を光照射することでラジカル発生剤を起点にしてグラフト重合を起こすことができる。
【００２３】
グラフトパターン形成で使用する重合性基を有する化合物としてはモノマー、マクロマー、あるいは2重結合を有する高分子化合物のいずれでもよい。これらの化合物は公知のいずれのものも使用することができる。そのうち本発明において特に有用な化合物は重合性基を有し、かつ導電材料と相互作用可能な官能基を有する化合物である。導電材料と相互作用可能な官能基としてはカルボキシル基、水酸基、アミノ基、スルホン酸基、ホスホン酸基、アミド基、などの親水性基のほかにも、窒素や硫黄を含有するヘテロ環基、芳香族基、長鎖アルキル基などの疎水性基などをあげることができる。
【００２４】
具体的には、モノマーとしては（メタ）アクリル酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、イタコン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、スチレンスルホン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、２−スルホエチル（メタ）アクリレート若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、２−アクリルアミド−２−メチルプロパンスルホン酸若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、アシッドホスホオキシポリオキシエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート若しくはそのアルカリ金属塩及びアミン塩、ポリオキシエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−モノメチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ジメチロール（メタ）アクリルアミド、アリルアミン若しくはそのハロゲン化水素酸塩、、Ｎ−ビニルピロリドン、ビニルイミダゾール、ビニルピリジン、ビニルチオフェン、スチレン、エチル（メタ）アクリル酸エステル、n-ブチル（メタ）アクリル酸エステルなど炭素数１−２４までアルキル基を有する（メタ）アクリル酸エステルなどを挙げることができる。
【００２５】
マクロマーとしてはこれらのモノマーを用いて公知の方法にて作成することができる。本態様に用いられるマクロモノマーの製造方法は、例えば、平成１年９月２０日にアイピーシー出版局発行の「マクロモノマーの化学と工業」（編集者  山下雄也）の第２章「マクロモノマーの合成」に各種の製法が提案されている。これらのマクロモノマーのうち有用な分子量は２５０〜１０万の範囲で、特に好ましい範囲は４００〜３万である。
2重結合を有する高分子化合物とは、重合性基として、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリル基などのエチレン付加重合性不飽和基（重合性基）を導入したポリマーを指し、このポリマーは、少なくとも末端又は側鎖に重合性基を有するものである。2重結合を有する高分子化合物は重合性基のほかにもカルボキシル基などの上記記載の導電材料と相互作用性可能な官能基を有することが好ましい。このような2重結合を有する高分子化合物の合成方法としては、相互作用性基を有するモノマーと重合性基を有するモノマーとを共重合する方法、相互作用性基を有するモノマーと二重結合前駆体を有するモノマーとを共重合させ、次に塩基などの処理により二重結合を導入する方法、相互作用性基を有するポリマーと重合性基を有するモノマーとを反応させる方法が挙げられる。
【００２６】
好ましいのは、合成適性の観点から、相互作用性基を有するポリマーと重合性基を有するモノマーとを反応させ、重合性基を導入する方法、相互作用性基を有するモノマーと二重結合前駆体を有するモノマーとを共重合させ、次に塩基などの処理により二重結合を導入する方法である。
【００２７】
次に、（ａ−２）基板表面にグラフトポリマーを全体に形成した後に、グラフトポリマーの親／疎水性をパターン状に変化させることにより、グラフトポリマーの親水性領域／疎水性領域を形成する方法について説明する。
この方法においては基板表面にｔ−ブチルアクリレートなどのモノマーのグラフトポリマーを基板表面全体に形成し、その後に、光、熱により酸を発生させ酸の作用によりｔ−ブチルエチル基などの疎水性基をカルボキシル基などの親水性基に構造変化させ、表面に親疎水性のグラフトパターンを形成するものである。この方法については特開２００３−１１４５２５号公報などに記載の公知の方法を適用することができ、特開２００１−１１７２２３公報に記載の官能基なども有用である。また、（メタ）アクリロルオキシアルキルトリメチルアンモニウムなどの親水性官能基を有するグラフトを形成し、熱の作用により疎水性基に構造変化させる手段をとることもできる。
【００２８】
〔絶縁性基板〕
本発明の多層配線板に用いられる絶縁性基板は、配線形成が可能な絶縁性でかつ、グラフト反応に適した基板であれば特に限定されるものではなく、例えば、ガラス基板や有機高分子フィルム（以下、高分子フィルムと称する）などが例示される。また、基板として、樹脂材料に無機充填材等を配合した複合板や、ガラス等の無機質繊維あるいはポリエステル、ポリアミド、木綿等の有機質繊維からなるクロス、ペーパー等の基材を樹脂で接着した、基板、シートあるいはフィルム（可撓性基板）等も好適に使用される。
グラフト反応に適した基板とは紫外線や電子線などの輻射線の照射により表面にラジカルを発生することのできる基板である。このような基板としては高分子フィルムのほかに、ラジカル発生剤を表面に結合させたガラス基板、セラミック基板などの無機の基板を使用することができる。また、基板の表面にラジカル発生剤を含有した組成物のプライマー層を別途、塗布することで設けてもよい。また基板の内部にラジカル部位を組み込む、もしくは表面にラジカル発生部位を組み込んでもよい。
【００２９】
基板の表面平滑性は特に限定されるものではないが、Ｒｚ値換算（１０点平均高さ：ＪＩＳ規格Ｂ０６０１）で３μｍ以下であることがより好ましく、１μｍ以下であることがさらに好ましい。基板の表面平滑性が上記値の範囲内、すなわち、実質的に凹凸がない状態であれば、配線が極めて微細なもの（例えば、ライン／スペースの値が２５／２５μｍ以下の配線パターン）であっても、基板の表面粗さに影響されることなく高精度で形成可能となる。つまり、回路が高密度かつ高精度に形成されてなる配線板の製造が可能となる。
【００３０】
また、基板に対しては、必要に応じて基板表面にラジカル発生剤を結合させるときや、ラジカル発生剤を含有した組成物のプライマー層を塗布する際の密着性を向上させるため、コロナ放電処理、プラズマ処理、火炎処理、加熱処理処理等の公知の表面処理を施しても良い。
【００３１】
基板として特に好適には高分子フィルムが採用される。高分子フィルムの種類は特に限定されるものではなく、例えば、エポキシ樹脂系フィルム、フェノール樹脂系フィルム、ポリイミド樹脂系フィルム、不飽和ポリエステル樹脂系フィルム、ポリエステル樹脂系フィルム、ポリフェニレンエーテル樹脂系フィルム、ポリフェニレンサルファー樹脂系フィルム、ポリアミド樹脂系フィルム、シアナートエステル樹脂系フィルム、ベンゾシクロブテン系フィルム、液晶ポリマーフィルムなどが好適に用いられる。また、これらの中では、ポリイミドフィルムや、ポリイミド成分に適当な共単量体成分を含有させたフィルムなどの、ポリイミド樹脂系フィルムが、寸法安定性、耐熱性、電気絶縁性等の観点から特に好ましい。
【００３２】
以下、上記高分子フィルムとして特に好適なポリイミド樹脂系フィルムについてさらに詳しく説明する。ポリイミド樹脂系フィルムの製造には公知の方法が適用可能である。すなわち、１種または２種以上のテトラカルボン酸二無水物成分と、１種または２種以上のジアミン成分とを実質的に等モル使用し、有機極性溶媒（Ｎ、Ｎ’−ジメチルホルムアミドなど）中で重合して得られたポリアミド酸重合体溶液をガラス板やステンレスベルトなどの支持体上に流延塗布する。次に、自己支持性を持つ程度に部分的にイミド化または部分的に乾燥したポリアミド酸フィルム（以下、ゲルフィルムと称する）を支持体より引き剥がし、端部をピン、クリップなどの方法で固定してさらに加熱してポリアミド酸を完全にイミド化することで、上記ポリイミド樹脂系フィルムが得られる。
【００３３】
ポリアミド酸重合体の製造に用いられるテトラカルボン酸二無水物成分としては、公知のものを使用することができる。具体的には、ピロメリット酸二無水物、３、３’、４、４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３、３’、４、４’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、１、４、５、８−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、２、３、６、７−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、４、４’−オキシジフタル酸無水物、３、３’、４、４’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、３、３’、４、４’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、１、２、３、４−フランテトラカルボン酸二無水物、４、４’−ビス（３、４−ジカルボキシフェノキシ）ジフェニルプロパン二無水物、４、４’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、３、３’、４、４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、２、３、３’、４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ｐ−フェニレンジフタル酸無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物、ｐ−フェニレンビス（トリメリット酸モノエステル無水物）、等が例示される。
【００３４】
一方、ポリアミド酸重合体の製造に用いられる代表的なジアミン成分としては、公知のものを使用することができる。具体的には、４、４’−ジアミノジフェニルエーテル、３、４’−ジアミノジフェニルエーテル、２、２−ビス（４−アミノフェノキシフェニル）プロパン、１、４−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１、３−ビス（４−アミノフェノキシ）ベンゼン、１、３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、ビス（４−（４−アミノフェノキシ）フェニル）スルフォン、ビス（４−（３−アミノフェノキシ）フェニル）スルフォン、４、４’−ビス（４−アミノフェノキシ）ビフェニル、２、２−ビス（４−アミノフェノキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン、４、４’−ジアミノジフェニルスルフォン、３、３’−ジアミノジフェニルスルフォン、９、９−ビス（４−アミノフェニル）フルオレン、ビスアミノフェノキシケトン、４、４’−（１、４−フェニレンビス（１−メチルエチリデン））ビスアニリン、４、４’−（１、３−フェニレンビス（１−メチルエチリデン））ビスアニリン、ｍ−フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、４、４’−ジアミノベンズアニリド、３、３’−ジメチル−４、４’−ジアミノビフェニル、３、３’−ジメトキシ−４、４’−ジアミノビフェニル、３、３’−ジメチルベンジジン、３、３’−ジヒドロキシベンジジン、等の芳香族ジアミン、あるいはその他の脂肪族ジアミンが例示される。
【００３５】
なお、ここに記載したテトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分との組み合わせは、本発明のポリイミド樹脂系フィルムを得るための一具体例を示すものであり、これらの組み合わせに限らず、用いるテトラカルボン酸二無水物成分及びジアミン成分の組み合わせ、並びに使用比率を変えて、ポリイミド樹脂系フィルムの特性を調整することもできる。また、テトラカルボン酸二無水物成分やジアミン成分に加え、適当な共単量体を使用して、ポリイミド樹脂系フィルムを製造してもよい。
【００３６】
上記ポリイミド樹脂系フィルムの厚さは特に限定されるものではないが、５μｍ〜１２５μｍの範囲内であることが好ましく、特に多層プリント配線板用途としては５μｍ〜５０μｍの厚さである事がより好ましい。また、引張り弾性率は特に限定されるものではないが、４ＧＰａ以上であることがより好ましく、８ＧＰａ以上であることがさらに好ましい。線膨張係数は特に限定されるものではないが、１７ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１０ｐｐｍ以下であることがさらに好ましい。吸水率は２％以下であることがより好ましく、１％以下であることがさらに好ましい。ポリイミド樹脂系フィルムの引張り弾性率、線膨張係数、および吸水率が上記値の範囲内にあれば、最終的に得られる配線板の諸特性が特に良好となる。
【００３７】
また、上記方法で得られるポリイミド樹脂系フィルムには、必要に応じて公知の表面処理や後処理を適用してもよい。具体的には、エンボス処理、サンドブラスト処理、コロナ放電処理、プラズマ放電処理、電子線照射処理、ＵＶ処理、加熱処理、火炎処理、溶剤洗浄処理、プライマー処理、ケミカルエッチング処理、カップリング剤処理などが適用できる。また、前記フィルムに対して、上記処理を単独であるいは複数種組み合せて施した後に、ポリイミド樹脂系フィルムを得てもよい。
【００３８】
（ｂ）該グラフトポリマーパターン応じてパターン状に第２の導電性パターンを形成する工程
＜導電性パターン形成行程＞
＜導電性粒子付着法＞
つぎに、このようにして得られたグラフトパターンに導電性パターンを形成する方法について説明する。本発明の多層配線板に適用するパターン形成機構では、グラフトポリマーの極性に応じて導電性材料がグラフトポリマーに付着する。すなわち、アクリル酸グラフトなどの負の電荷を有するポリマーには正の電荷を有する導電性材料が付着する。導電性材料としては金属であってもよく、また有機の材料であっても良い。次にその例を挙げる。
【００３９】
（導電性材料）
本発明に用いられる導電性微粒子としては、導電性を有するものであれば特に制限はなく、公知の導電性材料からなる微粒子を任意に選択して用いることができる。例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｒｈ、Ｐｄ、Ａｌ、Ｃｒなどの金属微粒子、Ｉｎ2Ｏ3、ＳｎＯ2、ＺｎＯ、Ｃｄｏ、ＴｉＯ2、ＣｄＩｎ2Ｏ4、Ｃｄ2ＳｎＯ2、Ｚｎ2ＳｎＯ4、Ｉｎ2Ｏ3−ＺｎＯなどの酸化物半導体微粒子、及びこれらに適合する不純物をドーパントさせた材料を用いた微粒子、ＭｇＩｎＯ、ＣａＧａＯなどのスピネル形化合物微粒子、ＴｉＮ、ＺｒＮ、ＨｆＮなどの導電性窒化物微粒子、ＬａＢなどの導電性ホウ化物微粒子、また、有機材料としては導電性高分子微粒子などが好適なものとして挙げられる。
【００４０】
負電荷を有するグラフトパターンで使用されるカチオン性の導電性粒子としては、正電荷を有する金属（酸化物）微粒子などが挙げられる。
表面に高密度で正荷電を有する微粒子は、例えば、米澤徹らの方法、すなわち、T.Yonezawa, Chemistry Letters., 1999 page1061, T.Yonezawa, Langumuir 2000, vol16, 5218および米澤徹，  Polymer preprints, Japan vol.49. 2911 (2000)に記載された方法にて作成することができる。米澤らは金属−硫黄結合を利用し、金属粒子表面を正荷電を有する官能基で高密度に化学修飾できることを示している。
【００４１】
他の導電性パターン形成機構として、例えば、特開平１０−２９６８９５号公報に記載のアンモニウム基などの如きカチオングラフトパターン形成層では、もともとのパターン形成層材料表面が正の電荷を有している。ここにには負電荷を有する導電性粒子が吸着して導電性の領域が形成される。このようなパターン形成機構を用いる場合には、導電性粒子としてはクエン酸などの負の電荷を有する化合物で表面修飾された金属微粒子が好ましい。
【００４２】
＜金属還元法＞
本態様の導電性パターン材料のパターン形成機構において、グラフトパターンに金属イオンを吸着させ、それを還元して金属とする方法を採用することができる。負の電荷を有する領域には、金属イオンがそのイオン吸着性により吸着し、そして、吸着した金属イオンを還元することで、該領域に金属単体が析出し、金属薄膜が形成される。対して、正の電荷を有する領域には、金属塩を含有する溶液、又は金属塩が溶解した溶液を、その溶液ごと含浸させて、その含浸した溶液に含まれる金属イオン又は金属塩中の金属イオンを還元することで、該領域に金属単体が析出し、金属薄膜が形成される。これらの結果、金属配線が形成されることになる。
また、さらに、析出した金属薄膜を上に更に電気メッキなどの方法で銅、ニッケル、金などの導電性金属をパターン状に付着させることが出来る。このことによって、さらに金属パターンの厚みを増し、導電性を高めることができる。また金属パターンの化学的腐食を防いだり、機械的強度を増すことができる。
【００４３】
他の導電材料付与方法としては、グラフトポリマーに金属イオンを付着させ、それを還元して金属とし、導電性を付与する方法が挙げられる。
＜金属イオン及び金属塩＞
次に、金属イオン及び金属塩について説明する。
本発明において、金属塩としては、親水性表面上に付与させるために適切な溶媒に溶解して、金属イオンと塩基（陰イオン）に解離されるものであれば特に制限はなく、Ｍ（ＮＯ3）n、ＭＣｌn、Ｍ2/n（ＳＯ4）、Ｍ3/n（ＰＯ4）（Ｍは、ｎ価の、後述する用途に適した任意の金属原子を表す）などが挙げられる。
本発明に用いうる金属イオンとしては、上記の金属塩が解離したものを好適に用いることができる。具体例としては、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｐｄが挙げられ、導伝膜としてはＡｇ、磁性膜としてはＣｏ、水素透過性膜としてはＰｄが好ましく用いられる。
【００４４】
金属イオン又は金属塩を親水性領域に付与する際に、（１）グラフト領域を形成している化合物が酸性基を有し、その領域に金属イオンを吸着させる方法を用いる場合には、上記の金属塩を適切な溶媒で溶解し、解離した金属イオンを含むその溶液を、グラフト領域が存在する基板表面に塗布するか、或いは、その溶液中にグラフト領域を有する基板を浸漬すればよい。金属イオンを含有する溶液を接触させることで、前記酸性基には、金属イオンがイオン的に吸着することができる。これら吸着を十分に行なわせるという観点からは、接触させる溶液の金属イオン濃度、或いは金属塩濃度は１〜５０質量％の範囲であることが好ましく、１０〜３０質量％の範囲であることが更に好ましい。また、接触時間としては、１〜２４時間程度であることが好ましい。
【００４５】
〔還元剤〕
本発明において、親水性領域に吸着又は含浸して存在する金属塩、或いは、金属イオンを還元し、金属薄膜を成膜するために用いられる還元剤としては、用いた金属塩化合物を還元し、金属を析出させる物性を有するものであれば特に制限はなく、例えば、次亜リン酸塩、テトラヒドロホウ素酸塩、ヒドラジンなどが挙げられる。
これらの還元剤は、用いる金属塩、金属イオンとの関係で適宜選択することができるが、例えば、金属イオン、金属塩を供給する金属塩水溶液として、硝酸銀水溶液などを用いた場合にはテトラヒドロホウ素酸ナトリウムが、二塩化パラジウム水溶液を用いた場合には、ヒドラジンが、好適なものとして挙げられる。
【００４６】
上記還元剤の添加方法としては、例えば、親水性領域が存在する基板表面に金属イオンや金属塩を付与させた後、水洗して余分な金属塩、金属イオンを除去した後、該表面を備えた基材をイオン交換水などの水中に浸漬し、そこに還元剤を添加する方法、該基材表面上に所定の濃度の還元剤水溶液を直接塗布或いは滴下する方法等が挙げられる。また、還元剤の添加量としては、金属イオンに対して、等量以上の過剰量用いるのが好ましく、１０倍当量以上であることが更に好ましい。
【００４７】
還元剤の添加による均一で高強度の金属膜の存在は、表面の金属光沢により目視でも確認することができるが、透過型電子顕微鏡、或いは、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）を用いて表面を観察することで、その構造を確認することができる。また、金属薄膜の膜厚は、常法、例えば、切断面を電子顕微鏡で観察するなどの方法により、容易に行なうことができる。
【００４８】
（ｃ）該絶縁材料層に穴を形成する工程（ビア形成工程）
次に、絶縁材料層に穴（ビア）を形成する方法について説明する。加工方法としては、公知のドリルマシン、ドライプラズマ装置、炭酸ガスレーザー、ＵＶレーザー、エキシマレーザー等を用いた方法が例示されるが、中でも、ＵＶ−ＹＡＧレーザー、エキシマレーザーを用いる方法が、小径かつ良好な形状のビア形成が可能なためより好ましい。なお、炭酸ガスレーザーなどを用いる方法のように、レーザー加熱による分解にてビアを形成する場合には、さらにデスミア処理を行うことがより好ましい。デスミア処理により、後工程におけるビア内部の導電層形成をより良好に行うことができる。
【００４９】
（ｄ）穴に導電性材料を埋め込み導電性を付与する行程
この工程は、前記（ｃ）工程で形成した穴（ビア）に導電性材料を埋め込み導電性を付与することで、第２の導電性パターンと第１の導電性パターンとを電気的に接続する導電経路を形成する工程である。ビア内部を導電性にするために、ビア内部に導電材料を埋め込む方法をとればよい。この導電材料として、具体的には例えば、銅、ニッケル、クロム、チタン、アルミ、モリブデン、タングステン、亜鉛、錫、インジウム、金、銀、等の金属単体、またはこれらの合金（ニクロムなど）などの金属材料；ポリピロール、ポリチオフェンなどの導電性高分子材料；グラファイト、導電性セラミックなどの非金属無機導電材料；等が挙げられる。
導電性材料を埋め込む方法としては、無電解めっき法あるいは塗布法が挙げられる。これらの方法をとる理由は、無電解めっき法や塗布法によれば、ビアの内面のような微細空間にも比較的均一かつ容易に導電性を形成することが可能であるためである。
【００５０】
例えば、ビアを前記金属材料で構成する場合には、特に好適には、触媒をビア内部に付与して、化学的な金属めっき法（無電解めっき法）を行う。この金属めっきはグラフト表面を金属めっき処理する際に同時に行うことが好都合である。
【００５１】
また、ビア内部を導電性高分子材料で構成する場合には、無電解めっき法や塗布法を採用する。無電解めっき法では、適切な酸化剤をビア内部に付与した後に、ピロールやチオフェンモノマーを含む溶液、例えば、ピロール溶液に、積層体を浸漬すればよい。塗布法では、ポリピロールやポリ１、４ジオキシチオフェンなどの導電性高分子を溶媒に溶解した溶液を用い、この溶液をグラフト層およびビア上に塗布すれば良い。
【００５２】
また、ビア内部をグラファイトなどの非金属無機導電材料で構成する場合には、触媒を用いない無電解めっき法が好適に採用される。グラファイトめっきを例に挙げて説明すれば、ビアの表面を、前処理液で処理した後に、グラファイト分散液に積層体を浸漬すればよい。このプロセスに採用可能なグラファイトめっき液の代表例として、メック社のグラファイトめっき液であるダイレクトプレーティング（登録商標）が挙げられる。このグラファイトめっき液は、前処理液（メックＳプロセス  ＳＰ−６５６０）と、グラファイト分散液（メックＳプロセス  ＳＰ−６６０１）とがセットになったものである。
【００５３】
〔接着剤層〕
まず、絶縁基板上に第１の回路（第１の導電性パターン）を形成した後に、その上にビルドアップにより配線板（多層配線板）を製造する場合には、必要に応じ絶縁性材料層（＝絶縁性基板）と第１の回路との密着性を上げるために第２の絶縁性材料層の裏面に接着層を設けてもよい。
接着層には、例えば、従来の接着性樹脂が用いられ、適当な樹脂流れ性を有し、強固な接着性を実現できるものであれば公知の技術を適用することができる。また、接着層は、金属微小粒などの適当な導電性粒子を含む、導電性接着層であってもよい。
【００５４】
接着層の種類は特に限定されないが、含有する接着性樹脂の種類で大別すれば、（Ａ）熱可塑性樹脂を用いた熱融着性の接着剤、（Ｂ）熱硬化樹脂（熱硬化型樹脂）の硬化反応を利用した硬化型接着剤、の二種類が代表的なものとなる。
（Ａ）接着層に熱融着性を与える熱可塑性樹脂としては、ポリイミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂、ポリエーテルイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリケトン系樹脂、ポリスルホン系樹脂、ポリフェニレンエーテル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、フッ素系樹脂、ポリアリレート系樹脂、液晶ポリマー樹脂等が挙げられる。これらの１種または２種以上を適宜組み合わせて、本発明の積層体の接着層として用いることができる。中でも優れた耐熱性、電気信頼性、接着性、加工性、柔軟性、寸法安定性、誘電率、コストパフォーマンス等を有する観点から、接着層として熱可塑性のポリイミド系樹脂（以下、熱可塑性ポリイミド系樹脂と称する）を用いることがより好ましい。以下、熱可塑性ポリイミド系樹脂について説明する。
【００５５】
熱可塑性ポリイミド系樹脂は、公知の酸二無水物成分の１種または２種以上と、公知のジアミン成分の１種または２種以上とを、公知の方法に従い重合して製造可能である（基板１に関するポリイミド系樹脂の製造方法の記載も参照）。
酸二無水物成分およびジアミン成分の種類は特に限定されるものではない。ただし、熱可塑性ポリイミド系樹脂が特に優れた熱融着性を発現するためには、酸二無水物成分として、２、２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパンジベンゾエート−３、３’、４、４’−テトラカルボン酸二無水物、１、２−エチレンビス（トリメリット酸モノエステル無水物）、４、４’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、２、３、３’、４‘−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、４、４’−オキシジフタル酸無水物、３、３’、４、４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、４、４’−（４、４’−イソプロピリデンジフェノキシ）ビス（無水フタル酸）から選択される一種または二種以上を使用することがより好ましい。また、ジアミン成分としては、１、３−ビス（３−アミノフェノキシ）ベンゼン、３、３’−ジヒドロキシベンジジン、ビス（４−（３−アミノフェノキシ）フェニル）スルフォンから選択される一種または二種以上を使用することがより好ましい。
【００５６】
（Ｂ）接着層に熱硬化性を与える熱硬化樹脂の種類は特に限定されず、具体的には例えば、ビスマレイミド系樹脂、ビスアリルナジイミド系樹脂、フェノール系樹脂、シアナート系樹脂、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、トリアジン系樹脂、ヒドロシリル系硬化樹脂、アリル系硬化樹脂、不飽和ポリエステル系樹脂等を挙げることができ、これらを単独、または適宜組み合わせて用いることができる。中でも優れた接着性、加工性、耐熱性、柔軟性、寸法安定性、誘電率、コストパフォーマンス等を有する観点から、エポキシ系樹脂、シアナート系樹脂が特に好ましい。また、上記例示の熱硬化樹脂以外にも、高分子鎖の側鎖または末端にエポキシ基、アリル基、ビニル基、アルコキシシリル基、ヒドロシリル基、水酸基等の反応性基を有する側鎖反応性基型の熱硬化性高分子を熱硬化成分として使用することも可能である。
【００５７】
さらに、加熱接着時の流れ性を制御する目的で、前記熱可塑性樹脂と熱硬化樹脂とを混合することも可能である。両者の混合割合は特に限定されるものではないが、熱可塑性樹脂１００重量部に対して、熱硬化樹脂を１〜１００００重量部加えることがより好ましく、５〜２０００重量部加えることがさらに好ましい。上記混合割合がより好ましい理由は、混合樹脂中に占める熱硬化樹脂の割合が多くなりすぎると接着層が脆くなる虞があり、逆に少なすぎると接着剤（接着層を構成）の流れ性や接着性が低下する虞があるからである。
【００５８】
なお、前記熱可塑性樹脂と熱硬化樹脂との混合樹脂としては、エポキシ系樹脂またはシアナート系樹脂と、前記熱可塑性ポリイミド系樹脂との混合樹脂が、優れた接着性、加工性、耐熱性、柔軟性、寸法安定性、誘電率、コストパフォーマンス等を有する観点から特に好ましい。
【００５９】
接着層の形成方法は従来公知の方法を採用可能である。例えば、前記接着性樹脂を主成分としたもので接着層を構成する場合には、接着性樹脂材料を溶液状にして塗布乾燥する方法や、この樹脂材料を溶融塗布する方法、等が好適に採用される。
〔回路基板との積層工程〕
本発明の多層配線板は、次のような本発明の多層配線板の製造方法により製造することができる。図１を参照して、多層配線板の製造方法について工程順に説明する。図１（Ａ）〜（Ｉ）は、本発明の多層配線板の製造方法の一態様を工程順に記載したモデル図である。
まず、絶縁基板１０上に第１の回路層１２を形成した回路板１４を用意する［図１（Ａ）参照］。回路板１４は、例えば、第１の回路層（内層配線）１２が表面に形成された内層基板であり、内層基板として、通常の配線板において用いられる公知の積層板、例えば、ガラス布−エポキシ樹脂、紙−フェノール樹脂、紙−エポキシ樹脂、ガラス布・ガラス紙−エポキシ樹脂等が使用でき特に制限はない。また、ビスマレイミド−トリアジン樹脂を含浸させたＢＴ基板、さらにはポリイミドフィルムを基材として用いたポリイミドフィルム基板等も用いることができる。
【００６０】
また、回路層１４を形成するための方法についても特に制限はなく、銅箔と前記絶縁基板１０を張り合わせた銅張り積層板を用い、銅箔の不要な部分をエッチング除去するサブトラクティブ法や、前記絶縁基板の必要な個所に無電解めっきによって回路を形成するアディティブ法等、公知の配線板の製造方法を用いることができる。また、図１（Ａ）には絶縁基板１０の片面に回路層１２を形成した例を示すが、両面銅張積層板を用いて回路層１２を絶縁基板１０の両面に形成することもできる。
【００６１】
この回路基板１４上に、絶縁材料層あるいは絶縁材料層の上に形成された電気回路基板とのビルドアップにより配線板（多層プリント配線板）を製造する際には、回路基板１４（図１（Ａ）に示す）に絶縁材料層１６Ａを積層する。絶縁材料層１６Ａ上には所望によりグラフトポリマー層の形成に有用なプライマー層１６Ｂを設けることができる〔図１（Ｂ）〕。
必要に応じて回路層１４の表面を接着性に適した状態に表面処理する。この手法も、特に制限はなく、例えば、次亜塩素酸ナトリウムのアルカリ水溶液により回路層１４の表面に酸化銅の針状結晶を形成し、形成した酸化銅の針状結晶をジメチルアミンボラン水溶液に浸漬して還元するなど公知の製造方法を用いることができる。
【００６２】
回路基板１４と絶縁材料層１６Ａとを積層した積層体を形成するには、回路基板１４と絶縁材料層１６Ａ、もしくは、絶縁材料層１６Ａに形成された回路基板とを対向させ、例えば、加熱および／または加圧を伴う方法で両者を積層すればよい。この積層工程には、油圧プレスの他、例えば、真空プレス、真空ラミネート等も適用できる。中でも、積層時における接着層への気泡の咬み込みが抑止され、また、接着層への内層回路１２の埋め込み性にも優れる点から、真空プレス、真空ラミネートがより好ましく使用される。
【００６３】
図１（Ｂ）では、第１の回路１２は回路板１４の片面に形成されているが、両面に形成されていても良く、この場合は絶縁材料層１６Ａを回路板１４の両面に形成できる。また、この形成方法に特に制限はない。例えば、絶縁樹脂組成物のワニスを支持体上に塗布し、乾燥して支持体付き絶縁フィルムを作製し、これを回路板１４に積層して形成する方法が挙げられる。また、直接回路層１２を有する回路板１４の片面若しくは両面にカーテンコートやロールコータを用いて塗工して絶縁材料層１６Ａを形成する方法をとることもできる。その際には第１の回路１２に接する絶縁材料層１６Ａの片側に以下に詳述するような接着層が設けられていることが好ましい。
【００６４】
ワニスを回路板１４上に塗布する場合は、バーコート、スピンコート、スクリーン印刷など一般の塗布方法が使用できる。また、ワニスを支持体１０上に塗布する場合はコンマコータ、バーコータ、キスコータ、ロールコータなどが利用でき、絶縁材料層の厚みによって適宜使用される。何れの場合も塗布厚、塗布後の乾燥条件等は特に制限するものではないが、ワニスに使用した溶剤が８０重量％以上揮発していることが好ましい。ワニスが塗布される支持体としては、ＰＥＴ等のプラスチックフィルムや金属箔等が挙げられ、ワニス硬化後に支持体を剥離除去する場合は離型性のプラスチックフィルム等が好ましい。また、基板が銅箔等金属箔の場合は、剥離せずに後述する第２の回路層用として引き続き用いることができる。支持体付き絶縁フィルムの絶縁樹脂組成物層を回路板の回路層と接する面側に向け、ラミネート法やプレス装置を用いて回路板に積層する。また必要に応じて絶縁樹脂組成物層を加熱硬化させることも好ましい。
【００６５】
この絶縁材料層１６Ａ上に第２の導電性パターン（第２の回路）を形成することで多層配線板が製造される。本態様では、グラフトパターン形成に先立って、絶縁材料層１６Ａに穴を設ける工程を行う。図１（Ｃ）に示すように、第１の回路と第２の回路を接続する導電材料層を形成するための穴（ビア）を形成する。
このビアホールの形成手法として特に制限はなく、レーザ法やサンドブラスト法などを用いることができる。
【００６６】
次に、絶縁材料層１６Ａ上に所望の回路パターンに応じたグラフトパターン１８を露光により形成する。〔図１（Ｄ）〕
必要に応じてグラフト反応が進行しやすいように、絶縁材料層１６Ａ上に重合開始剤を含有するプライマー層１６Ｂを設けることもできる。プライマー層は絶縁材料自体がラジカルを発生する性質を持つ場合には特に必要ではない。
次に、絶縁材料層１６Ａ或いはその上に所望により設けられるプライマー層１６Ｂ上に２重結合を有する化合物を含有するグラフトポリマー前駆体層を設け、パターン状に光を照射する。この照射により絶縁材料層表面もしくはプライマー層表面から発生したラジカルが表面と接する２重結合を有する化合物と反応し、グラフト重合を開始する。光照射後に未照射部分にある未反応の２重結合を有する化合物を水現像で取り除くことにより露光領域のみにグラフトポリマー層１８が形成された表面グラフトパターンを得る。
【００６７】
本態様においては、グラフトパターンの形成は光などの輻射線の照射により行われる。上記穴を設けた基板表面に重合性モノマーを接触させ、例えば、紫外線、可視光線などによる光照射、γ線などの電子線照射などにより、所望のパターンにグラフトポリマー層（グラフトパターン）１８を形成する。パターン形成に用いる光源としては、例えば、水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯等がある。放射線としては、電子線、Ｘ線、イオンビームなどがある。またｇ線、ｉ線、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光、高密度エネルギービーム（レーザービーム）も使用される。その他の、光源として、炭酸ガスレーザ、窒素レーザ、Ａｒレーザ、Ｈｅ／Ｎｅレーザ、Ｈｅ／Ｃｄレーザ、Ｋｒレーザ等の気体レーザ、液体（色素）レーザ、ルビーレーザ、Ｎｄ／ＹＡＧレーザ等の固体レーザ、ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ、ＩｎＧａＡｓレーザ等の半導体レーザ、ＫｒＦレーザ、ＸｅＣｌレーザ、ＸｅＦレーザ、ＡｒF、、等のエキシマレーザ等を使用することができる。
【００６８】
次に、グラフトパターン１８上に導電性材料を付着させることで第２の導電性パターン２０が形成される。その後、前記した方法により、ビアに無電界めっき法により導電性材料を埋め込み、第２の導電性パターン２０と第１の導電性パターン１２とを電気的に接続する導電経路２２を形成し、２層の配線板が形成される。〔図１（Ｅ）〕
ここでは、次にこのパターンおよびビアの内部に同時に導電性材料を前記した手段により付着させるか、もしくは無電界メッキ等の処理により導電性材料層を形成することもできる。
【００６９】
なお、メッキ等の処理により導電性付与を行う場合には、必要に応じてビアの内部を軽く表面粗化処理するのが好ましい場合もある。粗面化液としては、クロム／硫酸粗化液、アルカリ過マンガン酸粗化液、フッ化ナトリウム／クロム／硫酸粗化液、ホウフッ酸粗化液などの酸化性粗化液を用いることができる。粗面化処理としては、例えば、先ず膨潤液として、ジエチレングリコールモノブチルエーテルとＮａＯＨとの水溶液を７０℃に加温して基板を１分間浸漬処理する。次に、粗化液として、ＫＭｎＯとＮａＯＨとの水溶液を８０℃に加温して２分間浸漬処理する。引き続き、中和液、例えば塩化第一錫（ＳｎＣｌ２）の塩酸水溶液に室温で５分間浸漬処理して中和する。粗面化処理後、パラジウムを付着させるめっき触媒付与処理を行う。めっき触媒処理は、塩化パラジウム系のめっき触媒液に浸漬して行われる。次に、無電解めっき液に浸漬してグラフトパターン１８（ビアホールをこの工程に先立って形成した場合はビアホール内面を含む）に厚さが０．３〜１．５μｍの無電解めっき層（導体層）を析出させる。必要により、更に電気めっきを行って必要な厚さとする。無電解めっきに使用する無電解めっき液は、公知の無電解めっき液を使用することができ、特に制限はない。また、電気めっきについても公知の方法によることができ特に制限はない。これらのメッキは銅メッキであることが好ましい。
この製造方法により形成された第２の導電パターン２０は、ライン／スペースが１０μｍ／１０μｍである回路パターンであり、形状劣化のない良好な回路形成が可能であることが確認された。
【００７０】
その後、さらに３層以上の多層配線板を製造する場合には、前記第２の導電パターン２０上に第２の絶縁材料層２４を形成し、前記図１（Ｂ）〜図１（Ｅ）の工程を同様に繰り返せすことにより〔図１（Ｇ）〜図１（Ｉ）〕、図１（Ｉ）に示すような３層の配線を有する多層配線板、さらに、所望により、それ以上の多層配線を有する配線板などを形成することができる。
【００７１】
なお、本発明にかかる配線板の製造方法では、より好ましくは、第２の回路２０、所望により設けられる第３の回路２６は、表面平滑な絶縁材料層１６Ａ、２４上に形成される。この場合、従来技術である粗面化された樹脂基板の表面に形成された無電解めっき金属層と比較して、本発明の多層配線板における第２、第３の回路層はより平滑な基板の上に密着性良好に形成される。そのため、本発明にかかる高精細導電性パターンの製造方法によれば、表面の凹凸による細線の乱れがなく、設計通りの良好な回路形状が得られる。
【００７２】
また、本発明にかかる配線板の製造方法の一特徴点として、回路形成時の絶縁特性の確保が容易である点が挙げられる。すなわち、従来のセミアディティブ法では、絶縁基板の表面全体に無電解銅めっきや無電解銅めっき触媒を付着させるため、これらの金属が残留しやすいため、得られる配線板上の配線間絶縁性が低下しやすい。しかし、本発明にかかる製造方法では、絶縁基板の表面全体ではなく、配線に必要なパターンにのみに無電解銅めっきや無電解銅めっき触媒を付着させるため、パターン以外の本来絶縁部分に無電解銅めっきや触媒が残留するという上記問題は発生しない。従って、本発明にかかる配線板の製造方法では、基板との密着性に優れ、かつ絶縁性にも優れた高密度回路（配線）の形成が可能となる。
【実施例】
【００７３】
以下、図１を参照しながら実施例により本発明をより詳細に説明するが、本発明の権利範囲は特に以下の実施例の記載のみに限定されるものではない。
【００７４】
〔実施例１〕
絶縁材料層１６Ａとしては厚み１２．５μｍのポリイミドフィルム（鐘淵化学株式会社製アピカルＨＰ：絶縁材料層３）を用いた。上記ポリイミドフィルムの表面平滑性は、Ｒｚ値で０．８μｍであった。このポリイミドの上にプライマー層１６Ｂとして下記の光重合性組成物を1ミクロンの厚みで塗布した。この光重合性組成物はラジカル発生剤を含み、パターン状に照射された光により表面にラジカルを発生させることができる。
【００７５】
（光重合性組成物）
・アリルメタクリレート／メタクリル酸共重合体            ４ｇ
（モル比率８０／２０、分子量１０万）
・エチレンオキシド変性ビスフェノールＡジアクリレート    ４ｇ
（東亞合成（株）Ｍ２１０）
・１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン        １．６ｇ
・１−メトキシ−２−プロパノール                      １６ｇ
【００７６】
光重合性組成物はロッドバー６番で塗布し、８０℃で２分間乾燥させた。次にこの塗布されたフィルムを、４００Ｗ高圧水銀灯（ＵＶＬ−４００Ｐ、理工科学産業（株）製）を使用し、５分間照射し、予備硬化させてプライマー層１６Ｂを形成した。
【００７７】
絶縁材料層１６Ａの下面へ接着層の設置
容量２０００ｍｌのガラス製フラスコ内を窒素ガスで置換し、極性溶媒としてのＮ、Ｎ−ジメチルホルムアミド（以下、ＤＭＦと称する）を入れた後に、ＤＭＦに１当量のビス｛４−（３−アミノフェノキシ）フェニル｝スルホン(以下ＢＡＰＳ−Ｍという)を溶解した。得られた溶液を氷水で冷却しつつ撹拌しながら、１当量の４、４’−（４、４’−イソプロピリデンジフェノキシ）ビス（無水フタル酸）（以下、ＢＰＡＤＡという）を加えて重合反応を行い、固形分濃度３０重量％のポリアミド酸重合体溶液（以下、ポリアミド酸溶液）を得た。このポリアミド酸溶液を２００℃・１８０分、６６５Ｐａの減圧条件下で加熱し、固形の熱可塑性ポリイミド樹脂を得た。次いで、この熱可塑性ポリイミド樹脂、ノボラック型のエポキシ樹脂（エピコート１０３２Ｈ６０：油化シェル社製）、および４、４’−ジアミノジフェニルスルフォン（以下、４、４’−ＤＤＳとする）を、重量比が順に７０／３０／９になるように混合し、さらに、固形分濃度が２０重量％になるようジオキソランに溶解して接着剤溶液を得た。得られた接着剤溶液を、乾燥後の厚みが９μｍになるよう絶縁材料層１６Ａの片面に塗布し、１７０℃で２分間乾燥して接着層を形成した。
【００７８】
また、厚さ９μｍの銅箔が全面に形成されたガラスエポキシ銅張積層板から内層回路板１４を作製し、次いで、上記の接着層のついた絶縁材料層１６Ａを、温度２００℃、熱板圧力３ＭＰａ、プレス時間２時間、真空条件１ＫＰａの真空プレス条件で内層回路板１４に積層し、接着層を硬化した。
次いで、ＵＶ−ＹＡＧレーザーにより、内層回路板１４の電極１２の直上に、該電極１２に至る内径３０μｍのビアを形成した。
【００７９】
2重結合性化合物の塗布
ビアが形成された基板表面〔図１（Ｃ））に２重結合性化合物としてアクリル基とカルボキシル基を含むポリマー（Ｐ−１、下記合成）を含む水溶液をロッドパー＃６で塗布し、１００度１分乾燥することで２ミクロン厚のグラフトポリマー前駆体層を設けた。
重合性基を有する化合物（グラフト前駆体ポリマーの塗布）
［塗布液組成物１］
・側鎖に重合性基を持つ親水性ポリマー（Ｐ−１）                ３．１ｇ
・水                                                          ２４．６ｇ
・１−メトキシ−２−プロパノール                              １２．３ｇ
【００８０】
（重合性基を有する化合物；親水性ポリマー（Ｐ−１）の合成）
：ポリアクリル酸（平均分子量２５、０００）１８ｇを、ジメチルアセトアミド（ＤＭＡＣ）３００ｇに溶解し、そこに、ハイドロキノン０．４１ｇと、２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート１９．４ｇと、ジブチルチンジラウレート０．２５ｇと、を添加し、６５℃、４時間反応させた。得られたポリマーの酸価は７．０２ｍｅｑ／ｇであった。その後、１ｍｏｌ／ｌ（１Ｎ）の水酸化ナトリウム水溶液でカルボキシル基を中和し、酢酸エチルを加えポリマーを沈殿させ、よく洗浄して、側鎖に重合性基を持つ親水性ポリマー１８．４ｇ（Ｐ−１）を得た。
【００８１】
露光によるグラフトポリマーパターンの生成
このようにして得られた基板に以下の条件で画像様にエネルギーを付与し、露光部のみにグラフトポリマー層１８を形成し、グラフトポリマーの生成領域と非生成領域とからなる親／疎水性パターン形成材料Ａを得た。
エネルギー付与は、アルゴン雰囲気下で、４００Ｗ高圧水銀灯（ＵＶＬ−４００Ｐ、理工科学産業（株）製）を使用し、５分間画像様に照射することにより実施した。光照射後、支持体をイオン交換水でよく洗浄した。
グラフトパターンへの導電性材料の付着
グラフトパターン材料Ａを、硝酸パラジウム（和光純薬製）０．１質量％の水溶液に１時間浸漬した後、蒸留水で洗浄した。その後、下記組成の無電解メッキ浴に２０分間浸漬し、金属パターンＡ２０を作製した。
【００８２】
＜無電解メッキ浴成分＞
・ＯＰＣカッパ−Ｈ  Ｔ１（奥野製薬（株）製）                    ６ｍＬ
・ＯＰＣカッパ−Ｈ  Ｔ２（奥野製薬（株）製）                １．２ｍＬ
・ＯＰＣカッパ−Ｈ  Ｔ３（奥野製薬（株）製）                  １０ｍＬ
・水                                                          ８３ｍＬ
ついでこの金属パターンＡ２０をさらに次の電気めっき浴に漬け、15分間電気を通ずることにより15ミクロン厚の電気めっきされた銅の配線を得た。このときのめっき時の電流密度は２Ａ／ｄｍ2である。
【００８３】
＜電気メッキ浴の組成＞
・硫酸銅                                                        ３８ｇ
・硫酸                                                          ９５ｇ
・塩酸                                                          １ｍＬ
・カッパ−グリームＰＣＭ（メルテックス（株）製）                ３ｍＬ
・水                                                          ５００ｇ
光学顕微鏡にて得られたパターンを観察したところ、ライン／スペースが１０μｍ／１０μｍで直線状であり、且つ、グラフトのない領域ではまったく金属は析出している様子は見られなかった。またさらにグラフトの非存在領域での金属の有無をＥＰＭＡにより確認したところ、グラフト非存在域では残存金属の存在はまったく認められなかった。
【００８４】
さらに、図１の配線１２（電解銅めっき配線）と、第２回路層２０との剥離強度（ＪＩＳ規格６４７１）は２０Ｎ／ｃｍであり優れた接着性を有していた。この剥離強度は、耐熱標準加速試験（ビルドアップ配線板技術標準  ＪＰＣＡ規格ｖｅｒ．２、１５０℃、５００時間）後もほとんど劣化せず、１８Ｎ／ｃｍの値をしめした。
【００８５】
例えば、無電解銅めっき層上に電解銅めっきを施した場合（従来例）の剥離強度（ＪＩＳ規格６４７１）が１０Ｎ／ｃｍであり、この剥離強度が上記耐熱標準加速試験後には５Ｎ／ｃｍとなることと比較すれば、本発明にかかる配線板の製造方法により、絶縁材料層１６Ａと配線１２や配線２０との強固な接着性が実現できることが判明した。
【００８６】
〔実施例２〕
絶縁材料として厚み１２．５μｍのポリイミドフィルム（鐘淵化学株式会社製アピカルＨＰ）を用い、実施例１と同様にプラーマー層、接着層を設け、第１の回路の上に接着し、ビアを形成した。つぎに、に2重結合性化合物としてアクリル基とカルボキシル基を含むポリマー（Ｐ−２、下記合成）を含む水溶液をロッドパー＃6で塗布し、100度1分乾燥することで2ミクロン厚のグラフトポリマー前駆体層を設けた。
【００８７】
＜塗布液の組成＞
・重合性基含有ポリマー（Ｐ−２合成方法は下記に示す）          ４．５ｇ
・エタノール                                                    ２３ｇ
【００８８】
＜上記重合性基含有ポリマーの合成方法Ｐ−２＞
５００ｍｌの三口フラスコに、２−ヒドロキシエチルメタクリレート５８．６ｇを入れ、アセトン２５０ｍｌを加え、撹拌した。ピリジン３９．２ｇ、ｐ−メトキシフェノール０．１ｇを添加した後に、氷水を入れた氷浴にて冷却した。混合液温度が５℃以下になった後に、２−ブロモイソブタン酸ブロミド１１４．９ｇを滴下ロートにて３時間かけて滴下した。滴下終了後、氷浴を外してさらに３時間撹拌した。反応混合液を水７５０ｍｌに投入し、１時間撹拌した。水混合液を分液ロートを用いて、酢酸エチル５００ｍｌで３回抽出した。有機層を１Ｍ塩酸５００ｍｌ、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液５００ｍｌ、飽和食塩水５００ｍｌで順次洗浄した。有機層に硫酸マグネシウム１００ｇを入れ、脱水乾燥した後、濾過した。溶媒を減圧留去し、モノマーＡを１２０．３ｇ得た。
【００８９】
次に、１０００ｍｌ三口フラスコにＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミド４０ｇを入れ、窒素気流下、７０℃まで加熱した。モノマーＡ１２．５８ｇ、メタクリル酸２７．５２ｇ、Ｖ−６０１（和光純薬製）０．９２１ｇのＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミド４０ｇ溶液を、２．５時間かけて滴下した。滴下終了後、９０℃まで加熱し、更に２時間撹拌した。室温まで、反応溶液を冷却した後、水３．５Ｌに投入し、高分子化合物を析出させた。析出した高分子化合物を濾取、水で洗浄、乾燥し高分子化合物を３０．５ｇ得た。得られた高分子化合物をポリスチレンを標準物質としたゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）により、重量平均分子量を測定した結果、１２４、０００であった。
【００９０】
２００ｍｌ三口フラスコに得られた高分子化合物２６．０ｇ、ｐ−メトキシフェノール０．１ｇを入れ、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド６０ｇ、アセトン６０ｇに溶解し、氷水を入れた氷浴にて冷却した。混合液温度が５℃以下になった後に、１、８−ジアザビシクロ〔５．４．０〕−７−ウンデセン（ＤＢＵ）６０．４ｇを滴下ロート用いて、１時間かけて滴下した。滴下終了後、氷浴を外してさらに８時間撹拌した。反応液を濃塩酸１７ｍｌを溶解させた水２Ｌに投入し重合性基含有ポリマーを析出させた。析出した重合性基含有ポリマーＰ−２を濾取、水で洗浄、乾燥し１５．６ｇ得た。
【００９１】
つぎに実施例１と同様にグラフト前駆体層を、１．５ｋＷ高圧水銀灯を使用して、１分間パターン露光した。その後に得られた膜を飽和重曹水にて洗浄し、露光部が親水性に変化したグラフトポリマーパターンが形成されたグラフトパターン材料を得た。
【００９２】
パターンへの金粒子の吸着（導電性素材の付着）
下記手法により作製した導電性素材分散液（正電荷Ａｇ分散液）中に、上記グラフトパターンが形成された基板を浸漬し、その後、流水で表面を充分洗浄して、余分なＡｇ分散液を除去し、導電素材がパターン状に付着した導電性パターン材料１を得た。
【００９３】
＜導電性素材の合成方法＞
過塩素酸銀のエタノール溶液（５ｍＭ）５０ｍｌにビス（１、１−トリメチルアンモニウムデ力ノイルアミノエチル）ジスルフィド３ｇを加え、激しく攪拌しながら水素化ホウ素ナトリウム溶液（０．４Ｍ）３０ｍｌをゆっくり滴下してイオンを還元し、４級アンモニウムで被覆された銀粒子の分散液を得た。この銀粒子のサイズを電子顕微鏡で測定したところ、平均粒径は５ｎｍであった。
【００９４】
このパターンの上にさらに実施例１でおこなった電気めっきの条件にて導電性パターンを得た。
光学顕微鏡にて得られたパターンを観察したところ、ライン／スペースが１０μｍ／１０μｍで直線状で且つ、グラフトのない領域ではまったく金属は析出している様子は見られなかった。またさらにグラフトの非存在領域での金属の有無をＥＰＭＡにより確認したところ、グラフト非存在域では残存金属の存在はまったく認められなかった。
【００９５】
さらに、図１の配線１８、２０（電解銅めっき配線）と、第１回路層１２との剥離強度（ＪＩＳ規格６４７１）は２２Ｎ／ｃｍであり優れた接着性を有していた。この剥離強度は、耐熱標準加速試験（ビルドアップ配線板技術標準  ＪＰＣＡ規格ｖｅｒ．２、１５０℃、５００時間）後もほとんど劣化せず、２０Ｎ／ｃｍの値をしめした。
【００９６】
例えば、無電解銅めっき層上に電解銅めっきを施した場合（従来例）の剥離強度（ＪＩＳ規格６４７１）が１０Ｎ／ｃｍであり、この剥離強度が上記耐熱標準加速試験後には５Ｎ／ｃｍとなることと比較すれば、本発明にかかる配線板の製造方法により、絶縁材料層１６Ａと第１の回路（導電性パターン）１２や第２の回路（導電性パターン）２０との強固な接着性が実現できることが判明した。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】（Ａ）〜（Ｉ）は、本発明の多層配線板の製造方法の一態様を工程順に記載したモデル図である。
【符号の説明】
【００９８】
１０  絶縁基板
１２  第１の回路層（第１の導電性パターン）
１４  回路板
１６Ａ  絶縁材料層
１８  グラフトポリマー層（グラフトポリマーパターン）
２０  第２の導電性パターン（第２の回路）
【図１】
2005347424.tif 000002