(57)【要約】【課題】隣接の行配置画素群と液滴量平均値に差異があっても、表示装置を観る人は筋ムラとして認識されにくいインクジェット塗布装置を提供すること。【解決手段】基板３上の所定の領域内のライン毎にインク液滴量をそれぞれ吐出塗布するノズル１２を有するインクジェットヘッド８、各１２から吐出されるインク液滴量をそれぞれ指令電気量に応じて制御する複数のアクチュエータ２６、各１２から３に吐出塗布される各ラインにおけるインク液滴量の平均値を所定値に揃えるため、２０に与える指令電気量を調整する指令電気量調整手段２０、各２６に与えられ、前記ライン毎の指令電気量に対して隣接する画素に対してそれぞれ異なるノイズ値を発生するノイズ発生手段１９、２０からの指令電気量と１９からのノイズ値とをそれぞれライン毎で重畳させる複数の重畳手段２３を備たもの。【選択図】      図１
2005093099.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光材料を含む液滴を所定の配列状態となるように吐出して基板上に塗布するインクジェット塗布装置であって、同種の発光材料を複数のノズルから吐出するインクジェットヘッドと、前記複数のノズルから吐出させる同種の液滴の量を所定の量に定める設定値に対して各々のノズルから吐出される液滴量に所定の範囲でばらつき量を付加するノイズを前記ノズルの各々に付加するノイズ発生器と、
を具備すること特徴とするインクジェット塗布装置。
【請求項２】
有機ＥＬ表示装置を構成する基板上の所定の領域内であって、行方向及び列方向に互いに間隔を存した複数の画素を形成すべき位置に、インクジェットヘッドを有するインクジェット塗布装置により、所望の配列でＲ、Ｇ、Ｂ色の発光材料からなるインクの液滴量を吐出塗布して複数の画素を形成する場合、前記基板上の行方向に形成される複数の画素からなる行配置画素群毎に前記インク液滴量を所定の範囲内でばらつかせるようにした有機ＥＬ表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば有機ＥＬの発光層を形成する際に用いられるもので、１つの画素がＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色に対応する複数のドットから構成される表示基板上に、指令電気量に応じたインク液滴量を所定のドットに塗布するインクジェット塗布装置及び有機ＥＬ表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＰＣや携帯電話などの発達に伴い表示装置への需要が増加している。現在主流となっている液晶表示装置に変わる次世代表示装置の有力候補として有機ＥＬ表示装置が注目されている。その理由は、液晶と比較すると、有機ＥＬ表示装置には以下に示す多くの利点があるからである。
【０００３】
１）有機ＥＬ表示装置は自発光素子による表示なのでバックライトが不要で、また、２枚のガラスの間に液晶を注入する必要も無く、基本的には1枚のガラスから構成されるので薄型、軽量化が可能である。
【０００４】
２）液晶表示装置の懸案課題である視野角と応答速度に関する特性が優れている。
【０００５】
有機ＥＬ表示装置の発光材料は、低分子型と高分子型に大別され、それぞれ発光層形成技術が異なる。低分子型では、発光層はマスク蒸着技術により形成され、数十ミクロンの薄い金属製のマスクを使わなければならず、精度の良い大きなマスクを作ることは難しいので大型化には向かない。
【０００６】
一方、高分子型では、発光高分子を有機溶媒に溶解させ、これをインクジェットヘッドで基板上の所定のドットに塗布する。インクジェットヘッドと基板との相対位置を大きく変えられる機構は容易に実現できるので、高分子型材料をインクジェットヘッドで塗布する方法は大型化に向いている。
【０００７】
また、生産性の面でも、低分子型は蒸着を利用するため無駄にする材料が多い。一方、インクジェット方式は、必要量だけを所定の場所に塗布するので非常に材料の利用効率が高い。
【０００８】
このようにインクジェット方式は、大型化と生産性に優れていることから、有機ＥＬ表示装置を製造する事例が多い。
【０００９】
従来有機ＥＬ表示装置の発光層を形成するために発光材料の塗布に用いられるインクジェット塗布装置として、表示器を構成する基板上の所定の領域内に、この行方向に複数の画素を互いに間隔を存した行配置画素群（ライン）を、列方向に複数列形成するためのものであって、前記各画素にインク液滴量を吐出塗布するインクジェットヘッドと、各ノズルから吐出されるインク液滴量をそれぞれ指令電圧に応じて制御する複数のアクチュエータと、各ノズルから基板に吐出塗布される各ラインにおけるインク液滴量の平均値を所定値に揃えるため、各アクチュエータに与える指令電圧を調整する指令電圧調整器を備えたものである。
【００１０】
これは、インクジェットヘッドに有する複数のノズル間ピッチを、基板の画素間ピッチに一致させ、同一ヘッド内の各ノズルの液滴量の平均値が所定値になるように合わせ込む。そして、基板の端に並べられる画素のドットから順次インクジェットヘッドで所定のドットへ発光材料を塗布していく。ここで、基板の一画素は、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色に対応する複数のドットから構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
有機ＥＬからなる表示装置には、表示領域全域で均一に明るさを表示する特性が求められる。これを実現するために、従来は以下の手順でノズル間の液滴量のばらつきをできるだけ小さくしていた。
【００１２】
（１）指令電圧発生器により発光材料の目標液滴量に見合ったアクチュエータへの指令電圧を設定する。
【００１３】
（２）各インクジェットヘッドに有する各ノズルからそれぞれ実際に発光材料を吐出させ、各ノズルからの該当する行配置画素群内の液滴量を測定し、該当する行配置画素群内の液滴量の平均値を求める。
【００１４】
（３）（２）で求めた該当する行配置画素群内の液滴量の平均値のうちの所定値に、残りの行配置画素群内の液滴量の平均値を揃える。
【００１５】
以上のように、ノズル間の液滴量のばらつきを小さくするファインチューニングを行っても、製作した有機ＥＬ表示装置には、帯状の輝度ムラ（以下、筋ムラ）が発生したように見られることがある。これは、上記のようにファインチューニングを行っても、アクチュエータ間の特性のばらつきや、ノズル形状のばらつき等に起因する液滴量の平均値にばらつきが見られるからである。
【００１６】
そこで従来は、同一のインクジェットヘッドにおいて吐出中の発光材料であるインクの液滴形状、或いは、吐出塗布後（着弾後）の液滴径から液滴量を算出して、差異が大きい場合は、指令電圧調整器によって指令電圧を微調整し、ノズル間の液滴量平均値を合わせこんでいた。このようにノズル間の液滴量ばらつきを目標値まで追い込むファインチューニングは、複数回施行しなければならず、その液滴量調整には、多大な時間と手間がかかっていた。このことは、今後さらにインクジェットヘッドが多ノズル化した場合は、この作業への負担はさらに増大することが予想される。
【００１７】
また、隣接行配置画素群間の発光材料の液滴量平均値のばらつきが、同一ノズルで塗布された一行配置画素群内の液滴量のばらつきと比較して大きい場合は、人間はこの２行の輝度ばらつきを、明るさの異なる２本の直線として感じ、筋ムラとして認識しやすくなる。
【００１８】
さらに、別の課題として、上記ファインチューニングは、塗布時間が例えば数分に対して、チューニング時間が例えば数時間とかなりの時間と手間がかかり、生産性の悪化とコスト増加の原因となる。
【００１９】
本発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、隣接の行配置画素群と液滴量平均値に差異があっても、表示装置を観る人は筋ムラとして認識されにくいインクジェット塗布装置を提供すること、また、基板に塗布する液滴量を揃えるためのファインチューニングが従来よりもラフですむようになり、ファインチューニングのための調整時間が短縮できる高品質な有機ＥＬ表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
前記目的を達成するため、請求項１に対応する発明は、発光材料を含む液滴を所定の配列状態となるように吐出して基板上に塗布するインクジェット塗布装置であって、同種の発光材料を複数のノズルから吐出するインクジェットヘッドと、前記複数のノズルから吐出させる同種の液滴の量を所定の量に定める設定値に対して各々のノズルから吐出される液滴量に所定の範囲でばらつき量を付加するノイズを前記ノズルの各々に付加するノイズ発生器と、を具備すること特徴とするインクジェット塗布装置である。
【００２１】
前記目的を達成するため、請求項２に対応する発明は、有機ＥＬ表示装置を構成する基板上の所定の領域内であって、行方向及び列方向に互いに間隔を存した複数の画素を形成すべき位置に、インクジェットヘッドを有するインクジェット塗布装置により、所望の配列でＲ、Ｇ、Ｂ色の発光材料からなるインクの液滴量を吐出塗布して複数の画素を形成する場合、前記基板上の行方向に形成される複数の画素からなる行配置画素群毎に前記インク液滴量を所定の範囲内でばらつかせるようにした有機ＥＬ表示装置の製造方法である。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、隣接の行配置画素群と液滴量平均値に差異があっても、表示装置を観る人は筋ムラとして認識されにくいインクジェット塗布装置を得ることができる。
【００２３】
また、本発明によれば、基板に塗布する液滴量を揃えるためのファインチューニングが従来よりもラフですむようになり、ファインチューニングのための調整時間が短縮でき、その分低価格化が実現でき、高品質な有機ＥＬ表示装置の製造方法を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明のインクジェット塗布装置及び有機ＥＬ表示装置の製造方法の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２５】
本発明のインクジェット塗布装置の実施形態は、概略、発光材料を含む液滴を所定の配列状態となるように吐出して基板上に塗布するインクジェット塗布装置であって、同種の発光材料を複数のノズルから吐出するインクジェットヘッドと、前記複数のノズルから吐出させる同種の液滴の量を所定の量に定める設定値に対して各々のノズルから吐出される液滴量に所定の範囲でばらつき量を付加するノイズを前記ノズルの各々に付加するノイズ発生手段を具備するインクジェット塗布装置である。
【００２６】
具体的には、図１〜図３に示すように例えば有機ＥＬ表示装置を構成する基板３上の所定の領域内であって、行方向（ライン）及び列方向に互いに間隔を存した複数の画素Ｓを形成すべき位置に、インクジェットヘッド８を有するインクジェット塗布装置であって、所望の配列でＲ、Ｇ、Ｂ色の発光材料からなるインクの液滴量を吐出塗布して複数の画素Ｓを形成する場合、基板３上の行方向に形成される複数の画素からなる行配置画素群毎にインク液滴量を所定の範囲内でばらつかせる手段（例えば図３のノイズ発生手段１９と重畳手段２３からなるもの）を具備したものである。
【００２７】
図１はインクジェット塗布装置の概略構成を示す外観図、図２はインクジェット塗布装置の要部であるインクジェット機構の斜視図である。図中１は基台であり、この基台１における上面のＸ，Ｙ平面上には、移動自在なステージ２が備えられる。ステージ２上には、図示しない固定手段によって基板３が交換自在に支持固定されている。
【００２８】
ヘッド機構５は、図１２に示すように、液室６１、複数（ここでは、図８に示すようにａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅの５個）のノズル１２を有するノズル体６２、ダイヤフラム６３、ピエゾ素子６４、指令電圧発生器２１を構成する電源６５、指令電圧調整器２２を構成する調整抵抗器６６、液室６１とノズル体６２に有するノズル１２を連通する連通路６７からなっている。
【００２９】
液室６１には、発光材料からなるインクが蓄えられており、この液室６１内のインクがノズル体６２に有する複数のノズル１２を介して、基板３に形成される画素Ｓのドットに噴射できるように構成されている。すなわち、連通路６７の液室６１側に、電源６５による電圧を印加すると、それに伴って後述するアクチュエータ２６の一例であるピエゾ素子６４が変形し、これによってダイヤフラム６３を引っ張って連通路６７内を負圧にするように構成されている。この結果、液室６１内のインクが、ノズル体６２に有するノズル１２を通して基板３の画素のドットに噴射される。
【００３０】
さらに、基台１上のステージ２に対して架台４が跨設されていて、この架台４にヘッド機構５が取付けられている。このヘッド機構５は、４個のインクジェットヘッド機構６から構成され、このうちの１個は、その下端部に溶剤を吐出する溶剤付与手段を構成する溶剤用インクジェットヘッド７を含むものであり、また残りの３個は、その下端部に３色のインク（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を吐出するインク塗布手段を構成するインク用インクジェットヘッド８を含むものである。
【００３１】
４個のインクジェットヘッド機構６は、それぞれインクジェットヘッド７，８をθ回転させる機構９と、Ｙ方向に微調整可能とする機構１０および、Ｚ方向に微調整可能とする機構１１を備えている。それぞれのインクジェットヘッド７，８は、後述するように直列状に配置された複数のノズルを備えている。
【００３２】
ここでは、ヘッド機構部５が固定され、ＸＹステージ２を移動制御することで、溶剤用インクジェットヘッド７とインク用インクジェットヘッド８と基板３の相対位置を変化させるようになっている。
【００３３】
基板３上には、並設される複数のライン上に、各々複数の画素が格子状に分布した状態で形成されており、それぞれの画素は、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の３色に対応する複数のドットから構成されている。
【００３４】
ここで、ラインとは、基板３上の所定領域内であって、画素を形成すべき行方向（横方向）にそれぞれ並設する仮想の直線毎に、複数の画素が配列形成するためのものである。
【００３５】
本発明のインクジェット塗布装置の制御装置の実施形態は、図３に示すように有機ＥＬ表示装置の基板３上の所定の領域内であって、行方向に仮想上の複数のライン例えばａ〜ｅを並設し、該各ラインａ〜ｅにそれぞれ複数の画素Ｓを形成するために、インク液滴量を吐出塗布するものであって、以下のように構成されている。
【００３６】
すなわち、各々のラインａ〜ｅに対してインク液滴量をそれぞれ吐出塗布する複数のノズル１２を有するインクジェットヘッド８と、各ノズル１２から吐出されるインク液滴量をそれぞれ指令電気量に応じて制御する複数のアクチュエータ２６と、例えば指令電圧発生器２１と例えば指令電圧調整器２２からなる指令電気量調整手段２０、及び、例えばノイズ発生器２４と例えばノイズ調整器２５からなるノイズ発生手段１９並びに重畳手段２３から構成されている。
【００３７】
このうちのノイズ発生手段１９並びに重畳手段２３は、本発明のインク液滴量を所定の範囲内でばらつかせる手段、すなわち、基板３上の行方向に形成される複数の画素Ｓからなる行配置画素群毎（ライン毎）にインク液滴量を所定の範囲内でばらつかせる、つまり、印加されるノイズ成分が、各ノズル毎に異なっているものである。
【００３８】
この場合、指令電気量調整手段２０は、各ノズル１２から前記基板３に吐出塗布される各ラインａ〜ｅにおけるインク液滴量の平均値を所定値に揃えるため、各アクチュエータ２６に与える指令電気量を調整する。また、各ノイズ発生手段１９は、各アクチュエータ２６に与えられ、ラインａ〜ｅ毎の指令電気量に対して隣接する画素に対してそれぞれ異なるノイズ値を発生する。さらに、重畳手段２３は、指令電気量調整手段２０からの指令電気量とノイズ発生手段１９からのノイズ値とをそれぞれライン毎で重畳させる。この結果、アクチュエータ２６は各重畳手段２３の出力に対応したインク液滴量を吐出させ、各ラインａ〜ｅ内のノズル１２からのインク液滴量を、所定のばらつき量の範囲でそれぞればらつかせることができる。
【００３９】
次に、以上述べた実施形態について、詳細に説明する。ノイズ発生器２４は、例えば図４に示す様に、デジタル乱数発生器２４１とＤＡコンバータ２４２から構成したものを使用する。
【００４０】
そして、図３のノイズ発生器２４から、図５に見られる様な標準偏差が１で正規分布した乱数に基づく電圧を供給し、図３のノイズ調整器２５でα倍に増幅した後に、重畳手段２３で指令電圧とを重畳させる。つまり、図６に見られるように、指令電圧をＶｃ、ノイズ発生器２４から出力されるノイズ電圧をＶｎとすると、アクチュエータ２６への指令波形ＷｃはＶｃ＋Ｖｎとなり、Ｖｎ／Ｖｃ×１００（％）のノイズ成分が付加された電圧がアクチュエータ２６に供給されることになる。
【００４１】
指令電圧Ｖと液滴量Ｑが図７のような関係にあるとすると、指令電圧がＶｃからＶｃ＋Ｖｎまで変化した場合、液滴量にはＱｎに相当するノイズ成分が付加されたことになる。
【００４２】
尚、Ｖｎ＝４×αとすると、±４α／Ｖｃ×１００（％）のばらつきを、９９．９９％の確立で、指令電圧へ加えたことになる。例えば、Ｖｃ＝１００Ｖに５％のばらつきを付加したい場合は、ノイズ調整器２５の増幅率をα＝１．２５に設定すればよい。
【００４３】
また、アクチュエータ２６が図１２に示すようにピエゾ素子６４の圧電素子の場合は、図６中の指令波形Ｗｃを印加すると機械的負荷の影響で、印加電圧は駆動波形Ｗｄの様に、遅れと振動を持った波形となる。
【００４４】
次に、図７と図８を使って従来の問題である筋ムラが改善される点に関する説明を行う。図８中のインクジェットヘッド６（以下、ヘッドと称する）はＸＹ平面上に固定されており、複数ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ…のノズル１２を具備している。Ｘ、Ｙ方向に移動可能な図１のＸ−Ｙステージ２に搭載された基板３がヘッド６方向へ移動した際に、各ノズル１２から対応するラインの各画素Ｓへ順次インクが吐出される。
【００４５】
前述の様に、ノイズ成分の付加は、吐出間隔で行われ、ノイズ成分の大きさは一ライン内で正規性を持ってばらつく。ノズルａが塗布したラインＬａの液滴量の分布と、ノズルｂが塗布したラインＬｂの液滴量の分布を、図９（ａ）に示す。ここで、両者の液滴量平均値の差をΔＤとし、両者の標準偏差は同等とする。上記ノイズ成分Ｖｎを加算した後のラインＬａとラインＬｂの液滴量分布を図９（ｂ）に示す。図９（ｂ）と図９（ａ）を比較すると、ノズルａとノズルｂの平均値に変化はないが、標準偏差がノイズ成分を加算したことによって大きくなっている。
【００４６】
これにより、人間は同一ノズルで塗布した連続した複数の画素を、線として認識しなくなり、ライン間の輝度の差を認識しづらくなる。
【００４７】
ノイズ電圧Ｖｎの決定方法については、例えば、（２ライン間のライン内液滴量平均値の差）／（２ラインの液滴量平均）とＶｎ／Ｖｃが一致すると仮定して得られる数値を目安とするが、実用上は、複数の人間による感応試験を実施し、ノイズ成分が大きすぎてざらつき感が出ない程度に、筋ムラが目立たなくなる値を見つけて決定すればよい。
【００４８】
図１０、図１１は、本発明のインクジェット塗布装置の具体的な構成を示すブロック図である。図１０は、前述したノイズ発生手段１９を、複数のアクチュエータ２６毎に配置した構成である。具体的には、ノイズ発生手段１９ａ，１９ｂ，１９ｃ，１９ｄ…を、複数の指令電圧調整器２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ…、アクチュエータ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ…毎に独立してノイズを発生させ印加するようにそれぞれ配置し、指令電圧調整器２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ…と、アクチュエータ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ…の間に、重畳手段２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ…を配置し、各ノイズ発生手段１９ａ〜１９ｄ…から互いに独立に２％のノイズをばらつきを生じさせるように印加させるようにしたものである。なお、指令電圧調整器２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ…には、一つの指令電圧発生器２１からの指令電圧が入力されるようになっている。
【００４９】
図１１は、一つのノイズ発生手段１９から得られる乱数の異なるノイズが、複数の接点を有するスイッチ２７、複数の重畳手段を介して複数のアクチュエータ２６に与えられるように構成されている。具体的には、アクチュエータ２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ…の間に、それぞれ重畳手段２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ…を介して指令電圧調整器２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ…を配置し、
各重畳手段２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ…には、スイッチ２７に有する接点２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ，…の一端部が接続され、また接点２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ，…の他端部には、一つのノイズ発生手段１９から得られる乱数の異なるノイズが与えられるようになっている。なお、指令電圧調整器２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ…には、一つの指令電圧発生器２１からの指令電圧が入力されるようになっている。このような構成において、スイッチ２７の接点２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ，…には、図示しないメイン制御部からの切換え信号が順次与えられ、これにより各接点２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ，…が順次閉成され、ノイズ発生手段１９から乱数の異なるノイズが順次印加されるようになっている。吐出するアクチュエータ２６に対応したスイッチ２７内のスイッチ２７だけをオンして、重畳手段２３によりノイズ成分を選択的に重畳するようにしたものである。
【００５０】
以上述べた実施形態によれば、基板上の所定の領域内であって、行方向に仮想上の複数のラインにそれぞれ複数の画素を形成する際に、１ライン内のインク用インクジェットヘッド８から吐出されるインク液滴量を、所定のばらつき量の範囲でそれぞればらつかせることにより、隣接するインク用インクジェットヘッド８との間において吐出される液滴量の平均値に差があっても、人間は筋ムラとして認識しづらくなる。
【００５１】
尚、本発明は、本発明の効果を損なわない範囲で、種々の応用が可能である。例えば、ノイズ発生手段１９としては、ツェナーダイオードのなだれ電流がホワイトノイズに近い特性を持つことから、これを増幅してランダムノイズ成分を生成する電気回路を使用する方法等が考えられる。
【００５２】
前述の実施形態では、アクチュエータ２６は電圧駆動方式のピエゾ素子を使用した場合について説明したが、ヒータなどでインクを膨張させてインクを吐出させる電流駆動方式のアクチュエータであっても、同様に実施できる。
【００５３】
前述の実施形態では、インクジェット塗布装置の一例として、有機ＥＬ表示装置に適用した例を説明したが、これに限らす゛他の表示装置であっても同様に実施できる。具体的には、表示器を構成する基板上の所定の領域内であって、行方向及び列方向に互いに間隔を存した複数の画素を形成すべき位置にそれぞれインク液滴量を吐出塗布して複数の画素を形成するインクジェットヘッドを有するインクジェット塗布装置において、前記基板上の行方向に形成される複数の画素からなる行配置画素群毎に前記インク液滴量を所定の範囲内でばらつかせる手段を具備したものであれば何でもよい。
【００５４】
さらに、前述の各画素内のＲ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の配列の手法として、縦ストイブ配列、デルタ配列、正方配列のいずれであっても、本発明が適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェット塗布装置の外観図。
【図２】同実施形態に係るインクジェット機構の斜視図。
【図３】図１の実施形態における制御装置の構成を説明するためのブロック図。
【図４】図３のノイズ発生器を説明するためのブロック図。
【図５】図３のノイズ発生器を説明するための図。
【図６】図３の動作を説明するための図。
【図７】図３の指令電圧発生器を説明するための図。
【図８】本発明の実施形態の動作を説明するための図。
【図９】図８の作用効果を説明するための図。
【図１０】図３の具体的な実施形態を説明するための図。
【図１１】図３の具体的な実施形態を説明するための図。
【図１２】従来のインクジェットヘッド機構を説明するための図。
【符号の説明】
【００５６】
１…基台、２…ＸＹステージ、３…基板、４…架台、５…ヘッド機構部、６…インクジェットヘッド、７…溶剤用インクジェットヘッド、８…インク用インクジェットヘッド、９…θ回転させる機構、１０…Ｙ方向に微調整可能とする機構
、１１…Ｚ方向に微調整可能とする機構、１２…ノズル、１９…ノイズ発生手段
１９ａ〜１９ｄ…ノイズ発生手段、２０…指令電圧発生手段、２１…指令電圧発生器、２２…指令電圧調整器、２２ａ〜２２ｄ…指令電圧調整器、２３…重畳手段、２３ａ〜２３ｄ…重畳手段、２４…ノイズ発生器、２５…ノイズ調整器、２６…アクチュエータ、２６ａ〜２６ｄ…アクチュエータ、２７…スイッチ、２７ａ〜２７ｄ…接点、６１…液室、６２…ノズル体、６３…ダイヤフラム、６４…ピエゾ素子、６５…電源、６６…調整抵抗器、６７…連通路、２４１…デジタル乱数発生器、２４２…ＤＡコンバータ。
【図１】
2005093099.tif 000003
【図２】
2005093099.tif 000004
【図３】
2005093099.tif 000005
【図４】
2005093099.tif 000006
【図５】
2005093099.tif 000007
【図６】
2005093099.tif 000008
【図７】
2005093099.tif 000009
【図８】
2005093099.tif 000010
【図９】
2005093099.tif 000011
【図１０】
2005093099.tif 000012
【図１１】
2005093099.tif 000013
【図１２】
2005093099.tif 000014