(57)【要約】【課題】  露光面或いは焼付面等の照射面上に高輝度で分布光量が均一な高輝度放電ヘリカルランプハウスおよび高輝度放電ヘリカルランプハウスを得る。【解決手段】  管体１がヘリカル状の高輝度放電ヘリカルランプＳＭを基部３１内の内部反射体４０に立設した高輝度放電ランプハウス３によって高輝度で分布光量が均一な高輝度放電ヘリカルランプおよび高輝度放電ヘリカルランプハウスを得る。【選択図】        図１
2005093141.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
立設した２本のガラス管体内に配設された１対の放電電極部間にヘリカル状の放電空間部となるガラス管体を形成してなることを特徴とする高輝度放電ヘリカルランプ。
【請求項２】
前記高輝度放電ヘリカルランプを水冷用のランプハウス内に収納させて成ることを特徴とする請求項１記載の高輝度放電ヘリカルランプ。
【請求項３】
前記高輝度放電ヘリカルランプの照光面を２次元方向に広げる形状となしたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の高輝度放電ヘリカルランプ。
【請求項４】
立設した２本のガラス管体内に配設された１対の放電電極部間にヘリカル状の放電空間部となるガラス管体を形成した高輝度放電ヘリカルランプと、
上記高輝度放電ヘリカルランプの端子を導出すると共に冷却用入出力孔を有し、底部と側部を残した中ぐり部の形成された基部と、
上記中ぐり部内に挿入され、上記冷却用入出力孔と連通する通路と上記高輝度放電ヘリカルランプの上記端子の挿入される挿入孔とを有すると共に上面に鏡面を形成した内部反射体と、
上記内部反射体の略中央位置に立設させた排出管と、  
上記内部反射体を有する上記基部に係止されるガラスカバーと、
を具備し、
上記高輝度放電ヘリカルランプの上記ヘリカル状の放電空間部の２次元的照光面から放射される放射光を上方に放射させて成ることを特徴とする高輝度放射ヘリカルランプハウス。
【請求項５】
前記排出管を前記ヘリカル状の前記放電空間部の略中央位置に配設し、該排出管を蛇腹状となし、外面に反射層を形成してなることを特徴とする請求項１記載の高輝度放電ヘリカルランプハウス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は高輝度放電ヘリカルランプおよび高輝度放電ヘリカルランプハウスに係わり、特に、超高圧水銀ヘリカルランプからなる曲管状放電ランプを用いて露光面上の絶対光量を増加させると共に高いパワー出力が可能な高輝度放電ヘリカルランプおよび高輝度放電ヘリカルランプハウスに関する。
【背景技術】
【０００２】
高輝度放電ランプ（High Intensity Discharge Lamp ：ＨＩＤ）は一般的には発光するアークが発光管の管壁温度によって、安定化される管壁負荷が３×１０-4ｗ．ｍ-2以上である熱陰極放電ランプと定義されていて一般的には高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、高圧ナトリウムランプ等を指している。
【０００３】
高圧水銀ランプは点灯中の蒸気分圧が１０5 Ｐａ以上の水銀蒸気中の放電によって発光し、メタルハライドランプは金属蒸気とハロゲン化物の解離生成物との混合中の放電によって発光し、高圧ナトリウムランプは、点灯中の蒸気圧が１０4 Ｐａ程度のナトリウム蒸気中の放電によって発光している。
【０００４】
本発明者は上述の高圧水銀灯を超高圧化し、点灯時の圧力を２×１０7 Ｐａ程度とし、ガラス管を逆Ｕ字状に形成した高輝度放電ランプを特許文献１で提案している。
【０００５】
図９は特許文献１に開示された高輝度放電ランプを示すものであり、この構造を簡単に説明すると高圧水銀ランプから成る、高輝度放電ランプＭは放電空間２２を内部に形成する逆Ｕ字状に弯曲形成された石英管等より成る管体２１を設け、この管体２１の両端に例えばタングステン線より成る棒状の放電電極２３Ｌおよび２３Ｒを、管体２１の両端部の管軸上に貫通配置させ、且つ気密的に封着させている。
【０００６】
また、管体２１の両端部には各端から所要の間隔を保持した位置に環状に縊れ部２４Ｌ及び２４Ｒを管体２１自体に突設し、各縊れ部２４Ｌ及び２４Ｒからガラスの管体２１の各端の封着部の間に水銀２６Ｌ、２６Ｒを充填した水銀溜２５Ｌ、２５Ｒを形成する。各電極２３Ｌ、２３Ｒは、その内端が水銀２６Ｌ、２６Ｒより突出するようになされ、各放電電極２３Ｌ、２３Ｒの外端自体より成るリードまたは、この外端に連結されて成るリード２７Ｌ、２７Ｒが管体２１外に端子として導出されている。
【０００７】
さらに、高輝度放電ランプＭの両端には、他部との電気的連結及び機械的補強に供する金属又は合成樹脂より成るベース２８を設ける。このベース２８には、管体２１の両端部をそれぞれ挿入する透孔２９Ｌ、２９Ｒが穿設され、これら透孔２９Ｌ、２９Ｒを通じて両放電電極２３Ｌ、２３Ｒのリード２７Ｌ、２７Ｒがベース２８の例えば下端より導出される。また、透孔２９Ｌ、２９Ｒ内には、例えばベース２８が導電性である場合は絶縁性の接着剤３０が充填されてベース２８に管体２１の機械的保持がなされる。
【０００８】
上述の構成によると放電空間２２を物理的に両端の水銀溜２５Ｌ、２５Ｒより上方に配置したので水銀２６Ｌ，２６Ｒの蒸発や凝縮の繰り返しにおいて、液化した水銀２６Ｌ、２６Ｒが表面張力のみならず、その自重によって速やかに水銀溜２５Ｌ、２５Ｒへと戻ることから、希ガスの取り込みを激減させることができ、これによって気泡の発生を効果的に減少させることができると共に、管体２１の放電空間部２２が屈曲されていることによってベース２８から両電極の端子導出をなし得ることから、外部回路との連結が簡便となると共にベース２８によって管体２１の両端部が機械的に一体化されることによって補強効果を生じ、管体２１の破損事故が激減される。また、全体の構成の小型コンパクト化も図られる。さらに、高輝度放電ランプＭが直線状である場合に比し、配光分布もとり易いという利点がある。
【０００９】
また、上述の様な逆Ｕ字状の高輝度放電ランプＭを用いて、陰極線管の蛍光体やシャドウマスク、印刷製版、プリント基板、ＩＣリードフレーム等の露光或いは焼付光源として用いる場合は図１０および図１１に示すような高輝度放電ランプハウスが用いられている。この様な高輝度放電ランプハウスは本出願人が先に特許文献２として提案している。
【００１０】
図１０および図１１は上記特許文献に提示した一形態例を示すもので図１０は高輝度放電ランプハウスの平面図、図１１は図１０のＡ−Ａ断面図を示すものである。
【００１１】
図１０および図１１において、３１はランプハウス台であり、このランプハウス台３１の４隅にピン孔３１ａを設けてガイドピンを嵌め込むことにより、基台に位置決めするようになっている。ランプハウス台３１上には上面にネジ孔３１ｂと、このネジ孔３１ｂよりやや小さい径で同心円状の窓孔３１ｃがそれぞれ形成され、さらに、右側面から内方に向って先端が円弧形のランプ収納部３１ｄが形成されている。ランプ収納部３１ｄは窓孔３１ｃの下方に連続して配置されている。
【００１２】
ランプ収納部３１ｄの先端円弧部の中心には、馬蹄形状のランプ収納部３１ｄを形成する円盤形の仕切り板３２がネジ３３により固定されている。これにより、ランプ収納部３１ｄ内にほぼ半円状の曲管収納部分が形成され、この端部においてランプ収納部３１ｄとランプハウス台３１の外側面との間に流路３１ｅ，３１ｆがそれぞれ形成されている。
【００１３】
一方、逆Ｕ字状に形成した、図９で詳記した例えば、高圧水銀ランプから成る高輝度放電ランプＭは馬蹄形状のランプ収納部３１ｄ内に配設され、図９で説明したベース２８のソケットと成るフランジ２８ａをランプハウス台３１にＯリング３４を介して、気密に螺着している。なお、３５はフランジに螺着した端子、２７Ｌ及び２７Ｒは端子から引き出された高輝度放電ランプＭのリードである。
【００１４】
また、窓孔３１ｃにはガラスからなるフェースプレート３６が嵌め込まれており、このフェースプレート３６の外縁部にはＯリング３７を挟んでリング３８が設けられている。枠リング３９をネジ孔３１ｂにネジ込むことにより、リング３８は下方に押されてＯリング３７を圧縮して、窓孔３１ｃは気密状態に保たれる。
【００１５】
このような構成において、流路３１ｆから冷却用の水を流入すると、水は高輝度放電ランプＭの周囲を通過して流路３１ｅから流出し、高輝度放電ランプＭは水冷される。そして、リード２７Ｌ及び２７Ｒを電源に接続すると放電電極２３Ｌ及び２３Ｒ間に高電圧が加わり、管体内２１内で放電が起こって逆Ｕ字状の高輝度放電ランプＭが光源として図９のＡ、Ｂ．Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆで示す様に発光する様に成されていた。
【特許文献１】特公平６−３０２４０号公報（３頁、第１図）
【特許文献２】特開平１−１４５７２号（２頁、第３図、第４図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
上述の図１０及び図１１に示す高輝度放電ランプハウスの構成によると高輝度放電ランプは図９に示すようにランプハウス台上に寝かされた状態で使用されるため、図９で詳記したような放電空間２２を物理的に両端の水銀溜２５Ｌ及び２５Ｒより上方に配置したことで水銀２６Ｌ，２６Ｒの蒸発や凝縮の繰り返しにおいて、液化した水銀２６Ｌ、２６Ｒが表面張力のみならず、その自重によって速やかに水銀溜２５Ｌ、２５Ｒへと戻ることで、希ガスの取り込みを激減させることができ、これによって気泡の発生を効果的に減少させる効果が得られないという課題を有していた。さらに、高輝度放電ランプが逆Ｕ字状となるため光源が非対称となりの照光面上の均一化が難しくなる課題を有していた。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決し、本発明の目的を達成するための第１の本発明は、立設した２本のガラス管体内に配設された１対の放電電極部間にヘリカル状の放電空間部となるガラス管体を形成してなることを特徴とする高輝度放電ヘリカルランプとなしたものである。
【００１８】
第２の本発明は、高輝度放電ヘリカルランプを水冷用のランプハウス内に収納させて成ることを特徴とする高輝度放電ヘリカルランプとしたものである。
【００１９】
第３の本発明は、高輝度放電ヘリカルランプの照光面を２次元方向に広げる形状となしたことを特徴とする高輝度放電ヘリカルランプとしたものである。
【００２０】
第４の本発明は、立設した２本のガラス管体内に配設された１対の放電電極部間にヘリカル状の放電空間部となるガラス管体を形成した高輝度放電ヘリカルランプと、高輝度放電ヘリカルランプの端子を導出すると共に冷却用入出力孔を有し、底部と側部を残した中ぐり部の形成された基部と、中ぐり部内に挿入され、冷却用入出力孔と連通する通路と高輝度放電ヘリカルランプの端子の挿入される挿入孔とを有すると共に上面に鏡面を形成した内部反射体と、この内部反射体の略中央位置に立設させた排出管と、内部反射体に係止されるガラスカバーと、を具備し、高輝度放電ヘリカルランプのパイラル状の放電空間部の２次元的照光面から放射される放射光を上方に放射させて成ることを特徴とする高輝度放射ヘリカルランプハウスとしたものである。
【００２１】
第５の本発明は、排出管をヘリカル状の放電空間部の略中央位置に配設し、排出管をジャバラ状となし、外面に反射層を形成してなることを特徴とする高輝度放電ヘリカルランプハウスとしたものである。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によると、高輝度放電ヘリカルランプをランプハウスの基部に対して立設する事ができるため高輝度放電ヘリカルランプの放電空間を物理的に両端の水銀溜より上方に配置したことで水銀の蒸発や凝縮の繰り返しにおいて、液化した水銀が表面張力のみならず、その自重によって速やかに水銀溜へと戻ることで、希ガスの取り込みを激減させることができ、これによって気泡の発生を効果的に減少する効果が得られると共に高輝度放電ヘリカルランプのヘリカル部の光源が略円管状で対称となりの照光面上の輝度および照度の均一化を図ることが可能となり配光分布も、とり易いという利点がある。
さらに、水冷方法をガラスカバー内に立設した配水管により排水効率を高めると共に配水管の外壁に反射層を形成したので高いパワー出力が可能な高輝度放電ヘリカルランプおよび高輝度放電ヘリカルランプハウスを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の高輝度放電ヘリカルランプおよび高輝度放電ヘリカルランプハウスとして、放電空間部の管体をヘリカル状に形成した高輝度放電ヘリカルランプを高輝度放電ヘリカルランプハウスに収納した構成を図１乃至図８を用いて詳記する。
【００２４】
図１は本発明の１形態例を示す高輝度放電ヘリカルランプ及び高輝度放電ヘリカルランプハウスの組み立て状態を示す斜視図、図２（Ａ）（Ｂ）は本発明の１形態例を示す高輝度放電ヘリカルンプハウスの側断面図およびＡ−Ａ断面矢視図、図３（Ａ）（Ｂ）は本発明の左側面図および底面図、図４（Ａ）（Ｂ）は本発明他の形態例を示す高輝度放電ヘリカルランプのヘリカル部の平面図及び側面図である。
【００２５】
以下、図１乃至図４に於いて、図９乃至図１１との対応部分には同一符号を付して説明する。
【００２６】
図１（Ａ）（Ｂ）に於いて、本発明の高輝度放電ヘリカルランプＳＭを構成する石英等の碍子より成る管体１は、図１、図２（Ｂ）、図３（Ａ）に示すように一方の第１の直管部１Ａからヘリカル状に立ち上がり、その平面形状が図２（Ａ）に示すように略リング状でありヘリカル部１Ｂの終端は他方の第２の直管部１Ｃに連接されている。
【００２７】
ヘリカル状に形成した管体１の第１及び第２の直管部１Ａ、１Ｂの両端内には図９と同様にタングステン線より成る棒状の左右の放電電極２３Ｌ、２３Ｒが設けられ、これら放電電極２３Ｌ、２３Ｒは管体１の第１および第２の直管部１Ａ、１Ｂの左右封止端から貫通立設されている。左右の放電電極２３Ｌ、２３Ｒ近傍の第１および第２の直管部１Ａ、１Ｂの内壁には縊れ部２４Ｌ、２４Ｒが突出形成され、左右封止部と縊れ部２４Ｌ、２４Ｒ間には水銀２６Ｌ，２６Ｒを挿入して水銀溜２５Ｌ、２５Ｒを形成する。
【００２８】
高輝度放電ヘリカルランプＳＭの管体１の左右両端の第１および第２の直管部１Ａ、１Ｂの左右封止部は放電電極部を構成する端子３５となされ、第１および第２の放電電極２３Ｌ、２３Ｒを電気的に連結すると共に機械的に補強するために合成樹脂より成る円筒状ベースの内径に管体１の第１および第２の直管部１Ａ、１Ｂの左右封止部を挿入して、絶縁性接着剤で接合する。
【００２９】
これら放電電極部２３Ｌ，２３Ｒを構成する円筒状ベースの端子３５を貫通したリード２７Ｌおよび２７Ｒは高輝度放電ヘリカルランプハウス３の外部に導出されて所定の電源に接続される。
【００３０】
つぎに、高輝度放電ヘリカルランプハウス３の構成を説明する。ランプハウス台となる基部３１は合成樹脂あるいは金属からなる略円盤状部材の上面を円状に座ぐって、中ぐり部３１Ａを形成することで、底部３１Ｂ，円周部３１Ｃを残して断面が略凹状の基部３１が形成される。基部３１の底部１Ｂの中心には図２（Ｂ）、図３（Ｂ）に示すように排水用の排水口３１Ｄが穿たれ、この排水口３１Ｄの両端に透孔３１Ｅ，３１Ｅを穿ち、後述する内部反射体４０を基部３１の底部３１Ｂの裏側からネジ４１で螺着させる。これら透孔３１Ｅ，３１Ｅの両端には高輝度放電ヘリカルランプＳＭの端子３５を挿通させるための透孔３１Ｆ，３１Ｆが穿たれている。また、基部３１の底部３１Ｂの内側には排気口３１Ｄおよび２個の透孔３１Ｆ，３１Ｆを囲むように２個のリング溝３１Ｇ，３１Ｈを形成してゴム製のＯリング４２を挿入して端子３５を防水するように成される。
【００３１】
また、基部３１の円周部３１Ｃには水挿入口３１Ｊ，３１Ｊが穿たれている。さらに、基部３１の上部外周には雄ネジ３１Ｋを形成し、リング状ネジ４２の内径部に形成した雌ネジと螺合させるように成されている。
【００３２】
高輝度放電ヘリカルランプＳＭの端子３５を立設させるための内部反射体４０は略円柱状の金属部材からなり、その上面は外周からリング状溝４０Ａを形成して、このリング状溝４０ＡにＯリング溝４０Ｂを形成し、ゴム製のＯリング４７を挿入し、気密になし、さらに、ガラスカバー４５のフランジ４６をリング状溝４０Ａに載置し、Ｏリング４８を介してリング状ネジ４２を略コップ状のガラスカバー４５の頂部から挿入し、リング状ネジ４２の内径部に形成した雌ネジを基部31の雄ネジ３１Ｋを螺合させる。又基部３１の中ぐり部３１Ａに挿入される内部反射体４０の中心位置には排出口３１Ｄと連通する透孔４０Ｃを形成する。また、この透孔４０Ｃの両端にネジ４１と螺合する雌ネジ４０Ｄが形成されると共に、この雌ネジ４０Ｄの両端には基板３１に穿った透孔３１Ｆと連通する段付透孔４０Ｅが穿たれ高輝度放電ヘリカルランプＳＭの端子３５を挿入し、基板３１の透孔３１Ｆから端子３５の一部を突出させるように固定させる。
【００３３】
内部反射体４０の外周面には基部３１の円周部３１Ｃに穿った水排出口３１Ｊに連通する傾斜通路４０Ｇが透孔３１Ｆから通じている。さらに、内部反射体４０の外周面にはリング溝４０Ｈが形成され、Ｏリング４９が挿着されている。内部反射体４０の上面は表面にニッケル鍍金等を施して、凹面部４０Ｊとなされ、凹面部４０Ｊは鏡面とされて反射面を構成して、ヘリカル部１Ｂで発光した光は凹面部４１Ｊで反射してガラスカバー４５を介して上方に照射される。内部反射体４０の中央の穿った透孔４０Ｃ内には上部を蛇腹状にした排出管５０が装着され所定の方法で固定されている。
【００３４】
上述のように構成された各部材の組み立て方法を図１により説明する。まず、基部３１の中ぐり部３１Ａ内に内部反射体４０を挿入する。つぎに、基部３１の底部３１Ｂの裏面からネジ４１を挿入螺着させて基部３１に内部反射体４０を固定させる。また、内部反射体４０の中央に穿った透孔４０Ｃに排出管５０を挿入固定する。この排出管５０の固定方法はネジ止め、接着剤の接合、嵌合等の適宜方法で固定することが出来る。もちろん、基部３１のリング溝３１Ｇ，３１Ｈ，内部反射体４０のリング溝４０Ｂ，４０Ｈ内にはＯリング４２、４７，４９が装着されている。
【００３５】
つぎに、高輝度放電ヘリカルランプＳＭの端子３５を内部反射体４０の段付透孔４０Ｅ内に挿入して、排出管４１の固定方法と同様に端子３５の先端が基部３１の底部３１Ｂから突出するように立設させて、ガラスカバー４５のフランジ４６を内部反射体４０のリング状溝４０Ａ内に装着し、Ｏリング４８を介してリング状ネジ４２によって、リング状ネジ４２の内径内の雌ネジを内部反射体４０に形成した雄ネジ３１Ｋさせることでガラスカバー４５を基部３１に固定させる。
【００３６】
上述のように、組み立てられた高輝度放電ヘリカルランプハウス３の水挿入口３１J、３１Ｊから水を注入することで、傾斜通路４０Ｇおよび段付透孔４０Ｂを介してガラスカバー４５内に充満した水は排出管５０の頂部から排出、口３１Dを経由して矢印Aのように排出される。したがって、電気的に導通状態となされた高輝度放電ヘリカルランプＳＭを有効に冷却さすることができる。
【００３７】
次に、図４（Ａ）（Ｂ）によって他の形態例を説明する。図４（Ａ）は高輝度放電ヘリカルランプＳＭのヘリカル部１Ｂを上側から見た平面図であり、図（Ｂ）はさらに他の構成を示すヘリカル部１Ｂの斜視図である。図１乃至図３ではヘリカル部１Ｂは略同一径の螺旋構造の管体としたが、図４（Ａ）ではヘリカル部１Ｂを略方形状に同一の大きさで立ち上げたものである、もちろん、方形状のヘリカル部１Ｂの大きさを順次大きく、あるいは小さくさせる様にしても良い。また、排出管５０も管軸と直交する断面の形状を略正方形状となしたものである。このように構成することで、照光面での発光面積を自由に選択することができて、輝度等も自由に選択可能となる。また、ヘリカル部１Ｂをスパイラル状に構成させるようにしてもよい。さらに、上述の高輝度放電ヘリカルランプハウスの構成では１本の高輝度放電ランプＳＭを配設したが、２つの端子３５が上面から見て互に直交する様に十文字状に配設し、第１のヘリカル部１Ｂの外側に、この第１のヘリカル部より径の大きい第２のヘリカル部を有する第２の高輝度放電ランプを配設して、高輝度化、高電圧化を図るようにすることもできる。また、第１及び第２のヘリカル部を同一径にして上下に重ね合わせるようにすることもできる。さらにまた、内部反射体４０の凹面部４０Ｊに形成する段付透孔４０Ｅを内部反射体４０の円周をｎ等配分割した位置に穿設し、複数の高輝度放電ランプＳＭを配設するようにしてもよい。
【００３８】
図４（Ｂ）に示す構成は図２と同様に略円形状にヘリカル部１Ｂを立ち上げているが、このヘリカル部１Bの直径を順次大きくして、照光面での発光面積を増加させる様にしたものである。もちろん、上述の構成と逆にヘリカル部１Ｂの直径を順次小さくして照光面での発光面積を増加させる様にしてもよい。また、排出管５４は円管に限らず図４（Ａ）に示す様に方形管であってもよい。
【００３９】
つぎに、上述の本発明および従来の高輝度放電ヘリカルランプ及び高輝度放電ヘリカルランプハウスに基づいて被照射体に露光用の光を照射した場合の強度（照度）分布測定結果を以下に説明する。
【００４０】
図５は、本発明の高輝度放電ヘリカルランプ及び高輝度放電ヘリカルランプハウス強度分布の測定方法を示す模式図であり、図５で反射鏡となる凸面部４０Jを有する内部反射体４０と、ヘリカル部１Ｂを有する高輝度放電ヘリカルランプＳＭからなる高輝度放電ヘリカルランプハウス３を光源とした２次元方向の測定点を示すものである。図７（Ａ）は光源のＸＹＺ軸の中心位置Ｏから２２０ｍｍの１次元の水平円周方向の各位置０乃至１５地点の輝度強度（ＭＷ／ｃｍ２）分布の測定結果を示し、図７（Ｂ）は高輝度放電ヘリカルランプＳＭの光源中心位置Ｏから２２０ｍｍの２次元の垂直円周方向のＹ軸位置に配した各位置イ乃至ワ地点の強度分布の測定結果を示し、図７（Ｃ）は高輝度放電ヘリカルランプＳＭの光源中心位置Ｏから２２０ｍｍの２次元の垂直円周方向のＸ軸位置に配した各位置ａ乃至ｍ地点の強度分布測定結果を示す。なお、各地点の１区間の角度は２２．５度である。
【００４１】
図６は、従来の高輝度放電ランプおよび高輝度放電ランプハウスの強度分布の測定方法を示す模式図であり、図６で図５と異なる点は反射鏡となる凸面部４０Jを有する内部反射体４０上に図９で説明した略逆Ｕ字状の放電空間部２２を有する高輝度放電ランプＭからなる高輝度放電ランプハウス３を光源とした２次元方向の測定点を示すものである。図８（Ａ）は光源のＸＹＺ軸の中心位置Ｏから２２０ｍｍの１次元の水平円周方向の各位置０乃至１５地点の輝度強度（ＭＷ／ｃｍ２）分布の測定結果を示し、図８（Ｂ）は高輝度放電ルランプＭの光源中心位置Ｏから２２０ｍｍの２次元の垂直円周方向のＹ軸位置に配した各位置イ乃至ワ地点の強度分布の測定結果を示し、図８（Ｃ）は高輝度放電ランプＭの光源中心位置Ｏから２２０ｍｍの２次元の垂直円周方向のＸ軸位置に配した各位置ａ乃至ｍ地点の強度分布測定結果を示す。なお、各地点の１区間の角度は２２．５度である。
【００４２】
上述の本発明および従来の強度分布特性図の比較からも明らかなように、本発明の高輝度放電ヘリカルランプおよび高輝度放電ヘリカルランプハウスでは大幅に照光面上の輝度強度の増大が図られ、照度面での均一性が改善されて均一な露光可能な高輝度放電ヘリカルランプ及び高輝度放電ヘリカルランプハウスが得られていることが解る。また、従来の強度分布特性図では垂直円周方向のＹ軸位置に配した各位置ヘ、ト、チの地点で輝度の変化を生じている、これは光源を包み込むグローブのトップ形状によって生ずるが、本発明ではこのような輝度変化を生じていないので  本発明の高輝度放電ヘリカルランプおよび高輝度放電ヘリカルランプハウスによると、プリント基板やＩＣリードフレーム、ＣＲＴのシャドウマスク等の露光光源に用いる場合の露光面の輝度の絶対光量を増加させると共に照度分布の均一性調整が容易なものが得られることが解かる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の高輝度放電ヘリカルランプハウスの１形態例の組み立て状態を示す斜視図である。
【図２】本発明の高輝度放電ヘリカルランプハウスの１形態例を示す平面および側断面図である。
【図３】本発明の高輝度放電ヘリカルランプハウスの１形態例を示す左側面および低面図である。
【図４】本発明の本発明の高輝度放電ヘリカルランプの他の形態例を示す平面図および斜視図である。
【図５】本発明の高輝度放電ヘリカルランプハウスに用いる輝度の強度分布測定位置を説明するための斜視図である。
【図６】従来の高輝度放電ランプハウスに用いる輝度の強度分布測定位置を説明するための斜視図である。
【図７】本発明の高輝度放電ヘリカルランプハウスに用いた輝度の強度分布測定結果をしめす図表である。
【図８】従来の高輝度放電ランプハウスに用いた輝度の強度分布測定結果をしめす図表である。
【図９】従来の高輝度放電ランプの構成を示す側断面図である。
【図１０】従来の高輝度放電ランプハウスの平面図である。
【図１１】従来の高輝度放電ランプハウスの側断面図である。
【符号の説明】
【００４４】
ＳＭ・・・高輝度放電ヘリカルランプ、１Ａ・・・第１の直管部、１Ｂ・・・ヘリカル部、１Ｃ・・・第２の直管部、３・・・高輝度放電ヘリカルランプハウス、３１・・・基部、３５・・・端子、４０・・・内部反射体、４２・・・リング状ネジ、４６・・・ガラスカバー
【図１】
2005093141.tif 000003
【図２】
2005093141.tif 000004
【図３】
2005093141.tif 000005
【図４】
2005093141.tif 000006
【図５】
2005093141.tif 000007
【図６】
2005093141.tif 000008
【図７】
2005093141.tif 000009
【図８】
2005093141.tif 000010
【図９】
2005093141.tif 000011
【図１０】
2005093141.tif 000012
【図１１】
2005093141.tif 000013