(57)【要約】【課題】  ディスプレーパネル自体の不良を正確に検知できるディスプレーパネルの検査装置および検査方法を提供する。【解決手段】  ディスプレーパネルの表面に光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第１画像を得る段階と；前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第２画像を得る段階と；前記第１画像と前記第２画像を比較し、前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含む。【選択図】      図１ 
2005214962.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスプレーパネルにパターンを印加せず前記ディスプレーパネルを撮影して第１画像を得る段階と；
前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第２画像を得る段階と；
前記第１画像と前記第２画像を比較し、前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査方法。
【請求項２】
前記第１画像と前記第２画像を互いに比較する段階は、
前記第１および第２画像でそれぞれ不良地点を確認する段階と；
前記第２画像で不良地点が確認されると、前記第１画像および第２画像の不良地点を比較する段階と；
前記第１画像の不良地点と前記第２画像の不良地点とが互いに異なる場合、前記ディスプレーパネル自体の不良地点であると判断する段階とを含むことを特徴とする請求項１に記載のディスプレーパネルの検査方法。
【請求項３】
前記第２画像で不良地点が確認できないと、前記ディスプレーパネルに不良がないと判断することを特徴とする請求項２に記載のディスプレーパネルの検査方法。
【請求項４】
前記第１画像の不良地点と前記第２画像の不良地点が一致する場合、前記ディスプレーパネル自体の不良地点でないと判断することを特徴とする請求項２に記載のディスプレーパネルの検査方法。
【請求項５】
前記第１画像は、前記ディスプレーパネルの表面に光を照射する照明装置をオンさせ、前記ディスプレーパネルの背面に光を照射するバックライトをオフさせた状態で、前記ディスプレーパネルにパターンを印加せず前記ディスプレーパネルを撮影して得ることを特徴とする請求項１に記載のディスプレーパネルの検査方法。
【請求項６】
前記第１画像は、前記ディスプレーパネルの表面に光を照射する照明装置をオンさせ、前記ディスプレーパネルの背面に光を照射するバックライトをオンさせた状態で、前記ディスプレーパネルにブラックパターンを印加して前記ディスプレーパネルを撮影して得ることを特徴とする請求項１に記載のディスプレーパネルの検査方法。
【請求項７】
前記第２画像は、前記ディスプレーパネルの表面に光を照射する照明装置をオフさせ、前記ディスプレーパネルの背面に光を照射するバックライトをオンさせた状態で、前記ディスプレーパネルを撮影して得ることを特徴とする請求項１に記載のディスプレーパネルの検査方法。
【請求項８】
前記ディスプレーパネルはＬＣＤパネルであることを特徴とする請求項１に記載のディスプレーパネルの検査方法。
【請求項９】
保護膜を有するディスプレーパネルの検査方法において、
前記保護膜に光を照射し、前記保護膜を撮影して第１画像を得る段階と；
前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記パターンと前記保護膜を撮影して第２画像を得る段階と；
前記第１画像と前記第２画像を互いに比較して前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査方法。
【請求項１０】
ディスプレーパネルの表面に光を照射する第１照明装置と、
前記ディスプレーパネルの背面に光を照射する第２照明装置と、
前記第１照明装置と連係して前記ディスプレーパネルを撮影することにより第１画像を得、前記ディスプレーパネルにパターンを印加して前記第２照明装置と連係して前記ディスプレーパネルを撮影することにより第２画像を得る撮影装置と、
前記撮影装置により得られた第１および第２画像を伝達され、前記第１および第２画像を比較することにより前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査装置。
【請求項１１】
前記不良の存在如何は前記第１画像で確認された不良地点と前記第２画像で確認された不良地点とが一致するかどうかにより判断されることを特徴とする請求項１０に記載のディスプレーパネルの検査装置。
【請求項１２】
前記第１照明装置の内部には多様な照射角度をもつように多数のランプまたはＬＥＤが多様な位置に配列されることを特徴とする請求項１０に記載のディスプレーパネルの検査装置。
【請求項１３】
前記ディスプレーパネルはＬＣＤパネルであることを特徴とする請求項１０に記載のディスプレーパネルの検査装置。
【請求項１４】
保護膜を有するディスプレーパネルの検査装置において、
前記保護膜に光を照射する第１照明装置と；
前記ディスプレーパネルの背面に光を照射する第２照明装置と；
前記第１照明装置と連係して前記保護膜を撮影することにより第１画像を得、前記第２照明装置と連係して前記ディスプレーパネルのパターンと前記保護膜を撮影することにより第２画像を得る撮影装置と；
前記撮影装置により得られた第１および第２画像を伝達され、前記第１および第２画像を比較することにより前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査装置。
【請求項１５】
保護膜を有するディスプレーパネルの検査装置において、
ディスプレーパネルを位置させるためのステージと；
前記ディスプレーパネルに光を照射する照明装置を含む照明支持部と；
前記ステージの背部に設置され、前記ディスプレーパネルに光を照射するバックライト部と；
照明装置と連係してディスプレーパネルを撮影して第１画像を得、バックライト装置と連係してディスプレーパネルを撮影して第２画像を得るカメラ部が設置されるカメラ支持部と；
カメラから伝送されたそれぞれの第１画像信号と第２画像信号を比較し、ディスプレーパネルに不良があるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査装置。
【請求項１６】
前記照明支持部は、
上下方向に延設された第１乗降レールと；
第１乗降レールに移動可能に結合されて上下に移動する第１乗降部材と；
第１乗降部材に設置されて第１乗降部材を固定させる固定レバーとを具備し、
第１乗降部材の側面には水平移動レールが設置され；
水平移動スライダーが水平移動レールに設置され、照明装置の上面と結合されて支持することを特徴とする請求項１５に記載のディスプレーパネルの検査装置。
【請求項１７】
前記カメラ支持部は第２乗降レールと、第２乗降レールに上下に移動可能に結合された第２乗降部材とを含むことを特徴とする請求項１６に記載のディスプレーパネルの検査装置。
【請求項１８】
前記ステージはバックライトから背面に照射された光が通過できる材質から構成されることを特徴とする請求項１５に記載のディスプレーパネルの検査装置。
【請求項１９】
カメラから伝送された第１画像信号と第２画像信号を処理して複数の画像を復元する画像処理部と；
前記画像処理部により処理された画像信号に基づき前記複数の画像を比較し、ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する第２制御部とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査装置。
【請求項２０】
ディスプレーパネルに印加されたパターンに応じてディスプレーパネルの第１画像と第２画像を撮影する画像撮影部と；
前記第１画像と第２画像に応じて前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とするディスプレーパネルの検査装置。
【請求項２１】
第１照明と第２照明を発生する照明部をさらに含み、
前記第１照明と第２照明がそれぞれディスプレーパネルに照射されたときに撮影された第１画像と第２画像に応じて、前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断することを特徴とする請求項２０に記載のディスプレーパネルの検査装置。
【請求項２２】
前記照明部は照明装置とバックライトとを含み、それぞれ第１照明と第２照明を発生することを特徴とする請求項２１に記載のディスプレーパネルの検査装置。
【請求項２３】
前記第１画像は前記ディスプレーパネル自体の不良画像を検出せず、前記第２画像は前記ディスプレーパネル自体の不良画像を検出することを特徴とする請求項２０に記載のディスプレーパネルの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレーパネルの検査装置および検査方法に関し、より詳細にはディスプレーパネル自体の不良を正確に検知できるディスプレーパネルの検査装置および検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ディスプレーパネルはデータを視覚的に示す表示装置であり、ＬＣＤ(液晶表示装置：以下、ＬＣＤという)やＰＤＰ(プラズマ表示パネル)などが属している。
【０００３】
このうち、ＬＣＤパネルは液体と固体の中間的な特性をもつ液晶の電気光学的な性質を利用した表示装置である。すなわち、ＬＣＤパネルはバックライトから発生する光の量を内部液晶の動きにより調節して特定のパターンを画面に表示するものである。
【０００４】
このようなＬＣＤパネルは製造過程で混入した異物やパネル自体の電気的欠陥などによりパターンがうまく生成できない不良が発生し得るため、従来にもＬＣＤパネルの不良を検知するための各種検査装置が開発されてきた。
【０００５】
従来のＬＣＤパネルの検査装置は通常バックライトと、検査のために予め設定されたパターンをＬＣＤパネルに印加するパターン生成機と、ＬＣＤパネルを撮影して画像を得るカメラと、検査装置の全体的な動作を制御するマイコンとから構成されている。
【０００６】
前記従来のＬＣＤパネルの検査装置はＬＣＤパネルの不良検査のために検査対象であるＬＣＤパネルに試験用パターンを印加してバックライトをオンさせる。次に、カメラを介してＬＣＤパネルを撮影してＬＣＤパネルに対する画像を得る。ＬＣＤパネルに対する画像が得られると、マイコンは前記得られた画像を分析してＬＣＤパネルが不良であるか否かを判断する。ＬＣＤパネルの検査で現れる不良の形態としてはハイ不良(HIGH  defect)とオフ不良(OFF  defect)などがあるが、ハイ不良はブラックパターンを印加したときに全部黒い色に表示されるはずなのに一部地点から光が漏れ出る場合のことで、オフ不良はホワイトパターンを印加したときに光が出ず暗くなる部分がある場合のことである。
【０００７】
しかしながら、ＬＣＤパネルの検査時にＬＣＤパネル自体の不良以外に外部要因によりまるでＬＣＤパネルの不良であるかのように表示される場合がある。すなわち、ＬＣＤパネルの検査のためにバックライトをオンさせると、製造過程でＬＣＤパネルを保護するために付着した保護フィルムの表面スクラッチや保護フィルムの表面に付着されたほこりなどがＬＣＤパネルを透過した光の散乱を起こし、前記状態でＬＣＤパネルを撮影して得られた画像では、ほこりや表面スクラッチのある部分がＬＣＤパネル自体が不良である場合と同一な形態で表示される。
【０００８】
したがって、従来のＬＣＤパネルの検査装置および検査方法は、ＬＣＤパネル自体の不良をほこりや表面スクラッチなどと区分できなくて、ＬＣＤパネル検査における誤判定を招来する問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従って、本発明は、前述した従来の問題点を解決するために案出されたものであり、ディスプレーパネル自体の不良を正確に検知できるディスプレーパネルの検査装置および検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記の目的を達成するために、本発明のディスプレーパネルの検査方法は、ディスプレーパネルの表面に光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第１画像を得る段階と；前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記ディスプレーパネルを撮影して第２画像を得る段階と；前記第１画像と前記第２画像を比較し、前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含むことを特徴とする。
【００１１】
かつ、本発明のディスプレーパネルの検査方法は、保護膜を有するディスプレーパネルの検査方法において、前記保護膜に光を照射し、前記保護膜を撮影して第１画像を得る段階と；前記ディスプレーパネルにパターンを印加した状態で前記ディスプレーパネルに光を照射し、前記パターンと前記保護膜を撮影して第２画像を得る段階と；前記第１画像と前記第２画像を互いに比較して前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する段階とを含むことを特徴とする。
【００１２】
なお、本発明のディスプレーパネルの検査装置は、ディスプレーパネルの表面に光を照射する第１照明装置と；前記ディスプレーパネルの背面に光を照射する第２照明装置と；前記第１照明装置と連係して前記ディスプレーパネルを撮影することにより第１画像を得、前記ディスプレーパネルにパターンを印加し、前記第２照明装置と連係して前記ディスプレーパネルのパターンと前記保護膜を撮影することにより第２画像を得る撮影装置と；前記撮影装置により得られた第１および第２画像を伝達され、前記第１および第２画像を比較することにより前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とする。
【００１３】
さらに、本発明のディスプレーパネルの検査装置は、保護膜を有するディスプレーパネルの検査装置において、前記保護膜に光を照射する第１照明装置と；前記ディスプレーパネルの背面に光を照射する第２照明装置と；前記第１照明装置と連係して前記保護膜を撮影することにより第１画像を得、前記第２照明装置と連係して前記ディスプレーパネルのパターンと前記保護膜を撮影することにより第２画像を得る撮影装置と；前記撮影装置により得られた第１および第２画像を伝達され、前記第１および第２画像を比較することにより前記ディスプレーパネルが不良であるか否かを判断する制御部とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るディスプレーパネルの検査装置は、ディスプレーパネル自体の不良を正確に検知することができて、ディスプレーパネルの検査時における誤判定が防止される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明に係る好ましい実施形態を添付図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この発明の実施の形態について、同一の参照符号は同一の構成要素を示す。
【００１６】
図１に示したように、本発明の実施の形態によるディスプレーパネルの検査装置は検査対象であるＬＣＤパネル１５を位置させるためのステージ１０と、ＬＣＤパネル１５の上部からＬＣＤパネル１５に光を照射し、照明支持部３０により支持される照明装置２０と、カメラ支持部５０に設置され、照明装置２０の前面でＬＣＤパネルの画像を撮影する高倍率カメラ４０とを具備する。
【００１７】
照明支持部３０は上下方向に延設された第１乗降レール３１と、第１乗降レール３１に移動可能に結合されて上下に移動する第１乗降部材３２と、第１乗降部材３２に設置されて第１乗降部材３２を固定させる固定レバー３３とを具備する。第１乗降部材３２の側面には水平移動レール３４が設けられ、水平移動レール３４には水平移動スライダー３５が横方向に移動可能に設置される。水平移動スライダー３５の下面には照明装置２０の外部上面が結合され、水平移動スライダー３５を移動させることによりディスプレーパネルの検査装置は照明装置２０の横方向の位置を調節することができる。水平移動レール３４の上面には水平移動スライダー３５を固定させるための第２固定レバー３６が設置される。
【００１８】
カメラ支持部５０は第２乗降レール５１と、第２乗降レール５１に上下に移動可能に結合された第２乗降部材５２とを具備する。第２乗降部材５２の前方にはブラケット５３により高倍率カメラ４０が取り付けられるので、第２乗降部材５２を移動させることにより高倍率カメラ４０の上下位置を調節することができる。
【００１９】
ステージ１０の下部にはＬＣＤパネル１５に光を照射するバックライト１１が設置され、バックライト１１はバックライト支持部材１２により支持される。ここて、ステージ１０はバックライト１１から照射された光が前面部へとできる材質から構成される。そして、ステージ１０とバックライト１１との間には後述するパターン生成機(図２における参照符号６３)から伝送されたパターン信号をＬＣＤパネル１５に印加するプルーバが設けられる。
【００２０】
図２に示したように、本発明の実施形態によるディスプレーパネルの検査装置は高倍率カメラ４０を駆動するカメラ駆動部６５と、照明装置２０を駆動する照明駆動部６１と、バックライト１１を駆動するバックライト駆動部６２と、ＬＣＤパネル１５に印加するパターン信号を生成するパターン生成機６３とをさらに具備する。
【００２１】
かつ、図１および図２に示したように、ディスプレーパネルの検査装置は高倍率カメラ４０から伝送された画像信号を処理して画像を復元する画像処理部６７と、前記画像処理部６７で処理された画像を比較してＬＣＤパネル１５自体の不良であるか否かを判断する第２制御部６６とを具備する。そのために、画像処理部６７には画像信号を復元するためのデータが予め貯蔵されている。第２制御部６６はＬＣＤパネル１５を撮影して得た複数の画像をそれぞれ複数のセルに分けて、複数の画像から同一の部分における特定セルの画像を互いに比較して画像が一致するかどうかを判断する。
なお、図２に示したように、ディスプレーパネルの検査装置は画像処理部６７で復元された画像を示す表示部６４と、制御命令を入力するための入力部６８と、検査装置の全体的な動作を制御するための第１制御部６０とを具備する。
図３ないし図５を参照して、本発明の他の実施例による図１および図２の装置を用いるディスプレーパネルの検査方法を説明する。前記実施例の方法により検査されるＬＣＤパネル１５は製造過程でＬＣＤパネル１５を保護するための保護フィルム１８がＬＣＤパネル１５の表面に付着される。
【００２２】
さらに、図１および図２に示したように、ディスプレーパネルの検査装置に含まれる照明装置２０は、図３に示したように照明装置２０の内部上面に設置される上部照明２１と、照明装置２０の内部傾斜面に設置される傾斜照明２２とを具備する。上部照明２１は多数のランプまたはＬＥＤ(発光ダイオード)などの発光素子が等間隔で環状に配置されており、傾斜照明２２は多数のランプまたはＬＥＤなどの発光素子が等間隔で多環状に配置されている。このように多数の発光素子が位置を異にして規則的に配列されることにより、多数の発光素子をオンさせるときに各発光素子からＬＣＤパネル１５に至る光は多様な照射角度を有することになる。照明装置２０の上部には高倍率カメラ４０がＬＣＤパネル１５を撮影できるように撮影穴２３が形成される。このような照明装置２０の形態と設置位置は多様に変形することが可能である。例えば、ＬＣＤパネル１５より低い位置に発光素子を設置して上方に光を照射し、前記照射された光をＬＣＤパネル１５の上部に設置された反射板で反射させてＬＣＤパネル１５に送り出すことができる。
【００２３】
図２、図３および図５を参照すると、まず制御部６０は照明装置駆動部６１とバックライト駆動部６２に制御信号を伝送して照明装置２０をオンさせ、バックライト１１をオフさせる(ステップ７０)。かつ、ＬＣＤパネル１５にパターンを印加しない。図３において、参照符号１６は保護フィルムの上に付着されたほこりである。バックライト１１がオフされているのでＬＣＤパネル１５は暗く見えるが、図３に示したように照明装置２０から多様な角度で照射された光により保護フィルム１８の表面に付着されたほこり１６や表面スクラッチ(図示せず)は明るく光るようになる。前記のような状態で制御部６０は高倍率カメラ４０を介してＬＣＤパネル１５を撮影するが、前記撮影された画像４１ではほこり１６や表面スクラッチのある地点(Ｘ地点)がＬＣＤパネル１５自体の不良がある場合と同一な形態で示される。高倍率カメラ４０により撮影された画像４１は第１画像信号に変換されて制御部６０に伝送される(ステップ７２)。
【００２４】
次いで、図４および図５に示したように、制御部６０は照明装置駆動部６１とバックライト駆動部６２に制御信号を伝送してバックライト１１をオンさせ、照明装置２０をオフさせる(ステップ７４)。なお、パターン生成機６３に制御信号を伝送してＬＣＤパネル１５にパターン(例えば、ブラックパターン)を印加せしめる。図４において、参照符号１７は表面スクラッチのようなＬＣＤパネル自体の不良を示したものである。ＬＣＤパネル１５にパターンが印加され、バックライト１１がオンされたときに、ＬＣＤパネル１５には予め設定されたパターンが表示される。ところが、ＬＣＤパネル１５自体の不良がある地点(Ｙ地点)には設定されたパターンが形成されず、保護フィルム１８のほこり１６や表面スクラッチ１７もＬＣＤパネル１５を通過した光を散乱させる。このような状態で制御部６０は高倍率カメラ４０を介してＬＣＤパネル１５を撮影するが、撮影されたＬＣＤパネル１５の画像４２はＬＣＤパネル１５自体の不良がある地点(Ｙ地点)とほこり１６や表面スクラッチのある地点(Ｘ地点)をすべて表示することができる。撮影された画像４２は第２画像信号に変換されて第１制御部６０に伝送される(ステップ７６)。
【００２５】
第１および第２画像信号が第１制御部６０に伝送されると、第１制御部６０は高倍率カメラ４０から伝送された第１画像信号と第２画像信号を画像処理部６７で復元せしめ(ステップ７８)、画像処理部６７での復元が完了されると、復元された第１画像４１と第２画像４２を第２制御部６６に伝送する。第１画像４１および第２画像が伝送されると、第２制御部６６はまず第２画像４２に不良地点があるかどうかを判断する(ステップ８０)。第２画像４２に不良地点があるかどうかは第２画像４２が予め設定されたパターンの画像と同一であるか否かにより決定される。ＬＣＤパネル１５自体の不良がないと判断されると(もし、第２画像４２に不良地点がなければ)、サイクルを終了する。ところが、第２画像４２に不良地点があると判断されると、第２制御部６６は第１画像４１と第２画像４２を多数のセルに分けて比較した後(ステップ８２)、第２画像４２の不良地点が第１画像４１の不良地点と一致するかどうかを判断する(ステップ８４)。
【００２６】
もし、第１画像４１の不良地点と第２画像４２の不良地点が一致すると、第２画像４２に表示された不良は第１画像４１で表示された不良と同じなので、ＬＣＤパネル１５自体の不良ではなく保護フィルム１８のほこり１６や表面スクラッチなどによるものと判断する(ステップ８８)。実施例においては、第１画像４１と第２画像４２でそれぞれＸ地点に不良があると確認されたため、Ｘ地点はＬＣＤパネル１５自体の不良でないと判断される。ところが、第１画像４１の不良地点と第２画像４２の不良地点が一致しないと、第２画像４２に表示された不良はＬＣＤパネル１５自体の不良であると判断される(ステップ８６)。この際、複数のセルに分割された画像で不良地点の位置が確認できて、結局ＬＣＤパネル１５に発生した不良地点(または不良ピクセル)の位置を把握することができる。なお、前記の実施形態において、第２画像４２では不良地点を示すＹ地点が表示されたが第１画像４１では表示されないと、Ｙ地点がＬＣＤパネル１５自体の不良地点であると判断できる。
【００２７】
図２および図６ないし図７を参照して、本発明の他の実施例によるディスプレーパネルの検査方法を説明することにする。
【００２８】
図６および図７に示したように、まず制御部６０(図２参照)は照明装置駆動部６１とバックライト駆動部６２に制御信号を伝送して照明装置２０をオンさせ、バックライト１１をオフさせる(ステップ９０)。かつ、ＬＣＤパネル１５の背景が黒色になるようにブラックパターンを印加する。図６において、参照符号１６は保護フィルム１８の上に付着されたほこりであり、参照符号１７はＬＣＤパネル１５自体の不良である。バックライト１１がオフされていてもＬＣＤパネル１５にブラックパターンが印加された状態なので、ＬＣＤパネル１５は暗く見え、図６に示したように照明装置２０から多様な角度で照射された光により保護フィルム１８の表面に付着されたほこり１６や表面スクラッチ(図示せず)は明るく光るようになる。前記のような状態で、制御部６０は高倍率カメラ４０を介してＬＣＤパネル１５を撮影するが、撮影された画像４３ではほこり１６(又は表面スクラッチ)のある地点(Ｘ地点)とＬＣＤパネル１５自体の不良地点(Ｙ地点)がすべて表示される。高倍率カメラ４０により撮影された画像４３は第１臨時画像信号に変換されて制御部６０に伝送される(ステップ９２)。
【００２９】
図７に示したように、第２画像信号を得る過程(ステップ９４ないしステップ９６)は前述した実施例と同一に適用される。
【００３０】
第１臨時画像信号および第２画像信号が第１制御部６０に伝送されると、第１制御部６０は第１臨時画像信号と第２画像信号を画像処理部６７でそれぞれ復元せしめ(ステップ９８)、画像処理部６７での復元が完了されると、復元された第１臨時画像４３と第２画像４２を第２制御部６６に伝送する。第１臨時画像４３および第２画像４２が伝送されると、第２制御部６６はまず第２画像４２に不良地点があるかどうかを判断する(ステップ１００)。第２画像４２に不良地点があるかどうかは第２画像４２が予め設定されたパターンの画像と同一であるか否かにより決定される。
【００３１】
ＬＣＤパネル１５自体の不良がないと判断されると(もし、第２画像４２に不良地点がなければ)、サイクルを終了する。ところが、第２画像４２に不良地点があると判断されると、第２制御部６６は第１臨時画像４３と第２画像４２を比較して第１画像４１を得る(ステップ１０２)。第１画像４１を得るために第２制御部６６は第１臨時画像４３と第２画像４２を多数のセルに分けた後、同一の位置にある第１臨時画像４３のセルと第２画像４２のセルとの差を比較する。第１臨時画像４３と第２画像４２はすべてパターンが印加された状態で撮影されたので、ＬＣＤパネル１５自体の不良地点(Ｙ地点)は第１臨時画像４３と第２画像４２で殆ど同一な形態や明るさで表示されることになる。
【００３２】
しかし、ほこり１６または表面スクラッチなどがある地点(Ｘ地点)は、照明装置２０がオフされた状態で撮影された第２画像４２よりも照明装置２０がオンされた状態で撮影された第１臨時画像４３でさらに明るく表示される。したがって、第１臨時画像４３および第２画像４２は両方不良地点があるかのように表示されるが、第１臨時画像４３と第２画像４２との明るさの差による不良地点はほこり１６または表面スクラッチなどがある地点であると見なして、ＬＣＤパネル１５自体の不良ではないと判断する。
【００３３】
第２制御部６６は、このように第１臨時画像４３と第２画像４２間の明るさの差による不良地点はそのまま保持させ、明るさや形態の差がない不良地点は取り除くことにより、第１画像４１を得ることになる。結局、第１画像４１ではほこり１６や表面スクラッチのある地点だけを表示する。
【００３４】
第１画像４１が得られると、第２制御部６６は第１画像４１と第２画像４２を多数のセルに分けて比較した後(ステップ１０４)、第２画像の不良地点が第１画像４１の不良地点と一致するかどうかを判断する(ステップ１０６)。
【００３５】
もし、第１画像４１の不良地点と第２画像４２の不良地点が一致すると、第２画像４２に表示された不良は第１画像４１でも表示された不良と同一なので、ＬＣＤパネル１５自体の不良ではなく保護フィルム１８のほこり１６や表面スクラッチであると判断する(ステップ１１０)。前記の実施形態においては、第１画像４１と第２画像４２でそれぞれＸ地点に不良があると確認されたため、Ｘ地点はＬＣＤパネル１５自体の不良でないと判断される。
【００３６】
ところが、第１画像４１の不良地点と第２画像４２の不良地点が一致しないと、第２画像４２に表示された不良はＬＣＤパネル１５自体の不良であると判断される(ステップ１０８)。この際、複数のセルに分割された画像で不良地点の位置が確認できれば、ＬＣＤパネル１５で不良地点(または、不良ピクセル)の位置を把握することができる。前記実施例において、第２画像４２で表示される不良地点を示すＹ地点が第１画像４１では表示されないと、ＬＣＤパネル１５自体の不良であると判断される。
【００３７】
したがって、前述したように本発明は、ディスプレーパネル自体の不良を正確に検知することができて、ディスプレーパネルの検査時における誤判定を防止することができる。
【００３８】
以上、本発明を具体的な実施の形態に基づき説明したが、本発明の思想から逸脱しない範囲内で様々な変形が可能であることは当業者にとって自明であり、従って、本発明の範囲は特許請求の範囲及びその請求の範囲と均等なものによって定められるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施の形態によるディスプレーパネル検査装置の正面図である。
【図２】図１に示したディスプレーパネル検査装置の構成を示したブロック図である。
【図３】図１および図２に示した装置において、他の実施例による第１画像を得る過程を示した図である。
【図４】図１および図２に示した装置において、他の実施例による第２画像を得る過程を示した図である。
【図５】本発明の他の実施例によるディスプレーパネルの検査方法を示した流れ図である。
【図６】図１および図２に示した装置において、他の実施例による第１臨時画像を得る過程を示した図である。
【図７】本発明の他の実施例によるディスプレーパネルの検査方法を示した流れ図である。
【符号の説明】
【００４０】
１０  ステージ
１１  バックライト
１２  バックライト支持部材
１５  ＬＣＤパネル
１６  ほこり
１８  保護フィルム
２０  照明装置
２１  上部照明
２２  傾斜照明
２３  撮影穴
３０  照明支持部
３１  第１乗降レール
３２  第１乗降部材
３３  固定レバー
３４  水平移動レール
３５  水平移動スライダー
３６  第２固定レバー
４０  高倍率カメラ
４１  第１画像
４２  第２画像
５０  カメラ支持部
５１  第２乗降レール
５２  第２乗降部材
５３  ブラケット
６０  第１制御部
６１  照明駆動部
６２  バックライト駆動部
６３  パターン生成機
６４  表示部
６５  カメラ駆動部
６６  第２制御部
６７  画像処理部
６８  入力部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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