(57)【要約】【課題】  記録媒体に対する平均的な画像形成時間を短縮し、かつ描画領域が増加しても記録媒体に対する画像形成時間が増加することを防止する。【解決手段】  レーザー露光装置１０では、２枚以上の基板材料に対して連続的に画像を形成する場合に、読取キャリッジ３６に、基板材料が載置された一のステージ部材４６を装着すると共に、露光キャリッジ１８に、読取キャリッジ３６から載せ替えられた他のステージ部材４６を装着し、ＣＣＤカメラ１０６による一のステージ部材４６上に載置された基板材料からのアライメントマークの読み取りと、レーザースキャナ１１０による他のステージ部材４６上に載置された基板材料の描画領域に対する露光とを並行して実行する。これにより、複数枚の基板材料に対するアライメントマークの読取開始からレーザースキャナ１１０による露光完了までの平均的な画像形成時間を短縮できる。【選択図】    図１
2005266216.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
描画領域に対応してアライメントマークが設けられた記録媒体の描画領域を光ビームにより露光して画像を形成する露光装置であって、
記録媒体を保持し該記録媒体と一体となって移動するステージ部材と、
前記ステージ部材が着脱可能とされ、装着された前記ステージ部材を所定の読取搬送経路に沿って移動させる読取搬送手段と、
前記読取搬送手段により前記ステージ部材と一体となって移動する記録媒体のアライメントマークを前記読取搬送路上で読み取る読取手段と、
前記ステージ部材が着脱可能とされ、装着された前記ステージ部材を所定の露光搬送経路に沿って移動させる露光搬送手段と、
前記ステージ部材により保持された記録媒体における描画領域の位置を前記読取手段からの読取情報に基づいて判断すると共に、前記露光搬送手段により前記ステージ部材と一体となって移動する記録媒体の描画領域を前記露光搬送路上で画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該描画領域に画像を形成する露光手段と、
前記読取手段により前記ステージ部材により保持された記録媒体のアライメントマークを読み取った後、該ステージ部材を記録媒体と共に前記読取搬送手段から離脱させ前記露光搬送手段に装着する第１の載替手段とを有し、
前記読取搬送路と前記露光搬送路とを互いに略平行に設けると共に、装置の設置面上へ投影した場合に少なくとも一部が重なり合うように配置したことを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記露光手段による記録媒体の描画領域に対する露光が完了した後に、前記ステージ部材を、前記露光搬送手段から離脱させ前記読取搬送手段に装着する第２の載替手段を有することを特徴とする請求項１記載の露光装置。
【請求項３】
２枚以上の記録媒体の描画領域に対して連続的に画像を形成する場合に、
前記読取搬送手段に、記録媒体を保持した一の前記ステージ部材を装着すると共に、前記露光搬送手段に、前記第１の載替手段により前記読取搬送手段から離脱させた他の前記ステージ部材を装着し、
前記読取手段による一の前記ステージ部材により保持された記録媒体のアライメントマークに対する読み取りと、前記露光手段による他の前記ステージ部材により保持された記録媒体の描画領域に対する露光と、を並行して行うことを特徴とする請求項１又は２記載の露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像情報に基づいて変調された光ビームによりプリント配線基板等の記録媒体における所定の描画領域を露光して配線パターン等の画像を形成する露光装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線基板等の配線パターンを形成するためのレーザー露光装置としては、例えば、特許文献１に記載されている走査式描画装置が知られている。この特許文献１に記載された走査式描画装置では、基板搬送用テーブル上に載置されたプリント配線基板の四隅にそれぞれ設けられた位置合せ穴（アライメントマーク）を、テーブルと共に副走査方向に沿って待機位置からＣＣＤカメラによる測定位置へ移動させ、このＣＣＤカメラによりプリント配線基板における各アライメントマークを撮像し、この撮像に得られたプリント配線基板の位置に合わせて描画座標系中の描画対象領域をシフト（座標変換）することにより、描画情報に対するアライメント処理を実行すると共に、テーブルを待機位置に復帰させた後、このテーブルを副走査へ所定の画像形成速度で移動させつつ、レーザービームによる露光位置にて、描画情報に基づいて変調され、ポリゴンミラーにより主走査方向へ偏向されたレーザービームによりプリント配線基板上に形成された感光性塗膜を走査、露光することにより、プリント配線基板における所定の領域（描画領域）に配線パターンに対応する潜像を形成する。
【特許文献１】特開２０００−２７５８６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献１に記載されているようなレーザー露光装置では、プリント配線基板における１つの描画領域に対する画像形成を行う際には、プリント配線基板を待機位置からアライメントマークの測定位置へ移動させ、プリント配線基板のアライメントマークの位置を測定した後、このプリント配線基板を待機位置に復帰させなければ、プリント配線基板の描画領域に対する露光を開始できない。
【０００４】
またプリント配線基板には、生産性の向上等のため、それぞれ独立した配線パターンが形成される複数の描画領域及び、これら複数の描画領域にそれぞれ対応する複数組のアライメントマークが設けられるもの（所謂、多面取りのプリント配線基板）がある。このようなプリント配線基板における複数の描画領域に、上記特許文献１に記載されているようなレーザー露光装置により、それぞれ配線パターンを形成する場合には、１個の描画領域に対する露光が完了する毎に、プリント配線基板を露光位置から待機位置へ一旦復帰させ、１組のアライメントマークに対する位置測定を完了した後でなければ、プリント配線基板における次の描画領域に対する露光を開始できない。このため、特許文献１のようなレーザー露光装置では、記録媒体におけるアライメントマークに対する読取開始から描画領域に対する露光終了までの時間（画像形成時間）が長くなり、またプリント配線基板に設けられた描画領域の個数が増加するに伴って、アライメントマークの位置測定に要する時間が増加し、１枚のプリント配線基板全体に対する画像形成時間も著しく増加してしまう。
【０００５】
本発明の目的は、上記事実を考慮して、記録媒体に対する平均的な画像形成時間を短縮でき、かつ描画領域が増加しても記録媒体に対する画像形成時間が増加することを防止できる露光装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明に係る露光装置は、描画領域及び該描画領域に対応するアライメントマークが設けられた記録媒体の描画領域に光ビームにより画像を形成する露光装置であって、記録媒体を保持し該記録媒体と一体となって移動するステージ部材と、前記ステージ部材が着脱可能とされ、装着された前記ステージ部材を所定の読取搬送経路に沿って移動させる読取搬送手段と、前記読取搬送手段により前記ステージ部材と一体となって移動する記録媒体のアライメントマークを前記読取搬送路上で読み取る読取手段と、前記ステージ部材が着脱可能とされ、装着された前記ステージ部材を所定の露光搬送経路に沿って移動させる露光搬送手段と、前記ステージ部材により保持された記録媒体における描画領域の位置を前記読取手段からの読取情報に基づいて判断すると共に、前記露光搬送手段により前記ステージ部材と一体となって移動する記録媒体の描画領域を前記露光搬送路上で画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光し、該描画領域に画像を形成する露光手段と、前記読取手段により前記ステージ部材により保持された記録媒体のアライメントマークを読み取った後、該ステージ部材を記録媒体と共に前記読取搬送手段から離脱させ前記露光搬送手段に装着する第１の載替手段とを有し、前記読取搬送路と前記露光搬送路とを互いに略平行に設けると共に、装置の設置面上へ投影した場合に少なくとも一部が重なり合うように配置したことを特徴とする。
【０００７】
上記本発明に係る露光装置では、読取搬送手段がステージ部材を読取搬送経路に沿って移動させると共に、読取手段がステージ部材により保持された記録媒体のアライメントマークを読取搬送路上で読み取る工程（測定工程）と、露光搬送手段がステージ部材を露光搬送路に沿って移動させると共に、露光手段がステージ部材により保持された記録媒体における描画領域の位置を前記読取手段からの読取情報に基づいて判断すると共に、この記録媒体の描画領域を露光搬送路上で画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光する工程（露光工程）とそれぞれ独立して行われ、前記測定工程の完了後に、第１の載替手段がステージ部材を読取搬送手段から離脱させ露光搬送手段に装着する。
【０００８】
従って、記録媒体に複数の描画領域及び、これら複数の描画領域にそれぞれ対応する複数組のアライメントマークが設けられている場合にも、１回の測定工程により記録媒体から全てのアライメントマークを読み取った後に、アライメントマークの読み取りにより得られた情報（読取情報）に基づいて記録媒体における各描画領域の位置等を正確に判断し、これらの各描画領域を露光手段が画像情報に基づいて変調された光ビームにより露光できるので、記録媒体に複数の描画領域及び、これら複数の描画領域にそれぞれ対応する複数組のアライメントマークが設けられている場合にも、描画領域の増加に伴う記録媒体に対する計測時間と露光時間との和である画像形成時間の増加を防止できる。
【０００９】
また本発明に係る露光装置では、２枚以上の記録媒体の描画領域に対して連続的に画像を形成する場合に、読取搬送手段に、記録媒体を保持した一の前記ステージ部材を装着すると共に、露光搬送手段に、第１の載替手段により読取搬送手段から離脱させた他の前記ステージ部材を装着し、読取手段による一のステージ部材により保持された記録媒体のアライメントマークに対する読み取りと、露光手段による他のステージ部材により保持された記録媒体の描画領域に対する露光とを並行して行うようにすれば、複数の記録媒体に対する読取開始から露光完了までの平均的な画像形成時間を短縮できる。
【００１０】
また本発明に係る露光装置では、読取搬送路と露光搬送路とを互いに略平行に設けると共に、これらの読取搬送路と露光搬送路とを装置の設置面上へ投影した場合に、この設置面上でこれらの搬送路の少なくとも一部が重なり合うように配置したことにより、２本の読取搬送路及び露光搬送路が設置面上で重なり合わない場合と比較し、２本の読取搬送路及び露光搬送路の設置面上での投影面積を、重なり合った部分の面積だけ減少できるので、装置を設置面上に設置するために必要となる面積を小さいものにできる。
【発明の効果】
【００１１】
以上説明したように本発明に係る露光装置によれば、記録媒体に対する平均的な画像形成時間を短縮でき、かつ描画領域が増加しても記録媒体に対する画像形成時間が増加することを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
〔第１の実施形態〕
図１〜図３には、本発明の第１の実施形態に係るレーザー露光装置が示されている。このレーザー露光装置１０は、プリント配線基板の材料となる薄肉プレート状の基板材料５０（図５参照）を画像情報により変調されたレーザービームにより露光し、この基板材料５０にプリント配線基板の配線パターンに対応する画像（潜像）を形成するものである。
【００１３】
図２に示されるように、レーザー露光装置１０には、その下端側に矩形状のマウントフレーム１２が設けられると共に、このマウントフレーム１２によりフロアー上に水平に支持される肉厚プレート状の支持基台１４が設けられている。支持基台１４は、図１に示されるように、装置の幅方向（矢印Ｗ方向）を長手方向とする略長方形のプレート状とされており、この支持基台１４の上面部には、奥行方向（矢印Ｄ方向）に沿った中央部分にそれぞれ幅方向に沿って直線的に延在する一対のガイドレール１６が取り付けられている。一対のガイドレール１６は、図２及び図３に示されるように、支持基台１４の幅方向に沿った一端（図２では左端）から他端の手前側まで延在しており、この一対のガイドレール１６上には、ステージ部材４６が着脱可能に装着されるプレート状の露光キャリッジ１８が配置されている。露光キャリッジ１８は一対のガイドレール１６により装置の幅方向と平行なステージ移動方向（矢印Ｍ方向）へ移動可能に支持されている。
【００１４】
ここで、露光キャリッジ１８は、ステージ移動方向に沿って所定の露光開始位置（図５（Ｄ）に示される位置）と露光完了位置（図１に示される位置）との間で移動可能とされている。
【００１５】
図１に示されるように、レーザー露光装置１０には、支持基台１４上に読取支持台２０が配置されている。読取支持台２０は、図４に示されるように、梁状部材が矩形状に連結されたフレーム構造を有しており、中央部分が開口した幅方向へ細長い額縁状に形成されている。読取支持台２０には、その４隅部分にそれぞれ奥行方向に沿って外側へ突出するブロック状の連結部２２が設けられており、これら４個の連結部２２には、それぞれ装置の高さ方向（矢印Ｈ方向）へ貫通するリング状のすべり軸受２４が嵌挿されている。また読取支持台２０には、その両側の側面中央部にそれぞれステー部材２６が固定されている。
【００１６】
図１及び図４に示されるように、支持基台１４の上面部には、読取支持台２０における４個の連結部２２に対応する部位にそれぞれ丸棒状のガイドロッド２８が立設されており、これら４本のガイドロッド２８は、それぞれ読取支持台２０における４個のすべり軸受２４内へ摺動可能に挿入されている。これにより、読取支持台２０は、４本のガイドロッド２８を介して支持基台１４により高さ方向へ移動可能に支持される。
【００１７】
また支持基台１４の上面部には、読取支持台２０における２個のステー部材２６に対応する部位にそれぞれリニアアクチュエータ３０が取り付けられている。２個のリニアアクチュエータ３０は、それぞれ上端面から高さ方向に沿って突出する駆動ロッド３２を備えており、これらの駆動ロッド３２の先端部は、読取支持台２０における２個のステー部材２６にそれぞれ連結固定されている。ここで、リニアアクチュエータ３０は、後述するコントローラ１２０（図１１参照）からの制御信号に従って駆動ロッド３２の高さ方向への突出長を変化させ、これにより、支持基台１４を高さ方向に沿って下限位置である測定レベルと上限位置である装着レベルとの間で移動（昇降）させる。
【００１８】
図４及び図５に示されるように、読取支持台２０には、その奥行方向両端部にそれぞれ幅方向に沿って直線的に延在するガイドレール４２が取り付けられ、これら２本のガイドレール４２は読取支持台２０上に固定されている。読取支持台２０における周縁部を構成する梁状部材の内側には、ステージ部材４６（図１参照）が着脱可能に装着される読取キャリッジ３６が配置されている。
【００１９】
読取キャリッジ３６も、梁状部材が連結されたフレーム構造を有しており、中央部分が開口した幅方向へ細長い額縁状に形成されている。読取キャリッジ３６には、その奥行方向両端部をそれぞれ構成する梁状部材の下側にガイドブロック４３（図４では紙面奥側のガイドブロック４３のみが示されている。）が固定されており、このガイドブロック４３は幅方向へ延在するように固定されているガイドレール４２に取り付けられている。これにより、読取キャリッジ３６は、２本のガイドレール４２を介して読取支持台２０によりステージ移動方向（矢印Ｍ方向）へ移動可能に支持される。ここで、読取キャリッジ３６はステージ移動方向に沿って所定の読取開始位置（図１に示される位置）と読取完了位置との間で移動可能とされている。
【００２０】
図３に示されるように、支持基台１４上には、一対のガイドレール１６の間に幅方向へ延在するようにリニアモータ３８が配置されている。リニアモータ３８は、露光キャリッジ１８の下面に取り付けられたコイル（図示省略）を介して露光キャリッジ１８にそれぞれ連結されており、コントローラ１２０（図１１参照）により駆動パルスが供給されると、露光キャリッジ１８に駆動力を伝達し、露光キャリッジ１８をステージ移動方向に沿って駆動パルスの極性に対応する方向へ入力パルス数に比例する距離だけ移動（前進又は後進）させる。また、一方のリニアモータ３８には、リニアエンコーダ４０（図１１参照）が付設されており、このリニアエンコーダ４０は、露光キャリッジ１８の移動方向に対応する極性のパルス信号を移動量に比例するパルス数だけコントローラ１２０へ出力する。
【００２１】
図４に示されるように、
読取支持台２０には、一対のガイドレール４２の上側にそれぞれリニアモータコイル３７及びマグネットバー３４が配置されている。これら一対のリニアモータコイル３７は、読取キャリッジ３６の内側面に取り付けられており、後述するコントローラ１２０（図１１参照）により駆動電流及び駆動パルスが供給されると、読取キャリッジ３６に駆動力を伝達し、読取キャリッジ３６をステージ移動方向に沿って移動（前進又は後進）させる。また、一方のマグネットバー３４には、リニアエンコーダ４４（図１１参照）が付設されており、このリニアエンコーダ４４は、読取キャリッジ３６の移動方向に対応する極性のパルス信号を移動量に比例するパルス数だけコントローラ１２０へ出力する。
【００２２】
レーザー露光装置１０は、露光キャリッジ１８及び読取キャリッジ３６上にそれぞれ着脱可能とされたプレート状のステージ部材４６を２個備えており、図１に示されるように、一方のステージ部材４６は露光キャリッジ１８に装着され、他方のステージ部材４６は読取キャリッジ３６に装着される。ここで、レーザー露光装置１０では、２個のステージ部材４６の何れも一方のキャリッジ１８，３６から離脱させ、他方のキャリッジ１８，３６へ装着することが可能になっている。ステージ部材４６は、キャリッジ１８，３６に装着されると、そのキャリッジ１８，３６と一体となってステージ移動方向へ移動する。
【００２３】
図６に示されるように、ステージ部材４６は、その上面部が基板材料５０を載置するための平面状の載置面４８とされており、この載置面４８には、基板材料５０を負圧により吸着するための吸着溝（図示省略）が形成されており、この吸着溝内には、載置面４８上への基板材料５０の載置時に真空ポンプ等の真空発生装置から負圧が供給される。これにより、載置面４８上に載置された基板材料５０は、吸着溝内の負圧の作用により載置面４８上に密着状態で固定される。ここで、基板材料５０の上面部は、感光材料により薄膜状の感光性塗膜が成膜された被露光面５１（図１０参照）とされている。被露光面５１には、潜像形成後にエッチング等の所定の処理を受けることにより潜像に対応する配線パターンが形成される。ステージ部材４６には、両側の外側面にそれぞれ略円柱状の車輪５６が２個ずつ取り付けられている。これらの車輪５６は、ステージ部材４６によりそれぞれ回転可能に支持されている。
【００２４】
図６に示されるように、ステージ部材４６には、幅方向に沿った両側の外側面にそれぞれ位置決め穴５８が形成されている。またステージ部材４６には、奥行方向に沿った両側の外側面にそれぞれ位置決め穴６０が形成されている。またステージ部材４６の下面には、円柱状に形成された３本（図６には２本のみが示されている。）の位置決めピン６４が突出するように取り付けられている。
【００２５】
図４に示されるように、読取キャリッジ３６には、幅方向に沿った両側の梁状部材の外側にそれぞれ位置決めシリンダ６６が取り付けられている。これらの位置決めシリンダ６６は、ステージ部材４６における一対の位置決め穴５８にそれぞれ対応するように配置されており、位置決め穴５８に対応する位置決めピンを備えている。位置決めシリンダ６６は、位置決めピンを幅方向に沿って所定の挿入位置と待機位置との間で移動可能に支持しており、コントローラ１２０からの制御信号に従って位置決めピン６７を挿入位置及び待機位置の何れかに移動させる。
【００２６】
読取キャリッジ３６には、奥行方向に沿った両側の梁状部材の内側にそれぞれ位置決めシリンダ６８が取り付けられている。これらの位置決めシリンダ６８は、ステージ部材４６における一対の位置決め穴６０にそれぞれ対応するように配置されており、これらの位置決め穴６０にそれぞれ対応するテーパ状及び円柱状の位置決めピンを備えている。位置決めシリンダ６８は、位置決めピンを幅方向に沿って所定の挿入位置と待機位置との間で移動可能に支持しており、コントローラ１２０からの制御信号に従って位置決めピンを挿入位置及び待機位置の何れかに移動させる。
【００２７】
図６に示されるように、露光キャリッジ１８には、その上面部にステージ部材４６における３本の位置決めピン６４にそれぞれ対応する３個の位置決めクランプ７２が配置されている。位置決めクランプ７２には上面側が開口した着脱穴７３が設けられており、この着脱穴７３は位置決めピン６４が挿脱可能とされている。位置決めクランプ７２にはコレットチャックが内臓されており、このコレットチャックは、コントローラ１２０からの指示に従って着脱穴７３内へ挿入された位置決めピン６４を外周側から締め付けて拘束する。
【００２８】
図１に示されるように、レーザー露光装置１０には、支持基台１４上の幅方向に沿った一端側に第１リフタ７４が設けられている。この第１リフタ７４は、図７に示されるように、支持基台１４上に立設された一対の昇降フレーム７６を備えており、これら一対の昇降フレーム７６には、それぞれリフト台７８が高さ方向に沿って移動可能に連結されている。ここで、リフト台７８は、高さ方向に沿って図１に示される下限位置と、後述する水平搬送コンベア９４のレベルに対応する上限位置との間で移動可能とされている。また一対の昇降フレーム７６には、それぞれ高さ方向に沿って昇降ベルト８０が張設されると共に、この昇降ベルト８０を介してリフト台７８に連結された昇降モータ８２が配置されており、この昇降モータ８２は、コントローラ１２０からの指示に従ってリフト台７８を下限位置及び上限位置の何れかに移動（昇降）させる。
【００２９】
レーザー露光装置１０では、露光キャリッジ１８の位置決めクランプ７２がステージ部材４６の位置決めピン６４を解放した後、ステージ部材４６が装着された露光キャリッジ１８が露光開始位置側から露光完了位置へ移動すると、露光キャリッジ１８上に装着されていたステージ部材４６の両側の車輪５６がそれぞれリフト台７８上に乗り上げ、ステージ部材４６が露光キャリッジ１８からリフト台上に載せ替えられる。これにより、第１リフタ７４は、リフト台７８と共にステージ部材４６を下限位置から上限位置へ移動させることが可能になる。
【００３０】
図１及び図２に示されるように、レーザー露光装置１０には、支持基台１４上の幅方向に沿った他端側に第２リフタ８４が設けられている。この第２リフタ８４は第１リフタ７４と略共通の構造を有しており、図８に示されるように、支持基台１４上に立設された一対の昇降フレーム８６を備えており、これら一対の昇降フレーム８６には、それぞれリフト台８８が高さ方向に沿って移動可能に連結されている。ここで、リフト台８８は、高さ方向に沿って図１に示される下限位置と、後述する水平搬送コンベア９４のレベルに対応する上限位置との間で移動可能とされており、これら一対のリフト台８８上には、ステージ部材４６の両側の車輪５６がそれぞれ載置可能とされている。また一対の昇降フレーム８６には、それぞれ高さ方向に沿って昇降ベルト９０が張設されると共に、この昇降ベルト９０を介してリフト台８８に連結された昇降モータ（図示省略）が配置されており、この昇降モータは、コントローラ１２０からの指示に従ってリフト台８８を下限位置及び上限位置の何れかに移動（昇降）させる。
【００３１】
レーザー露光装置１０では、読取キャリッジ３６が読取開始位置にあるときに、ステージ部材４６の載置されたリフト台８８が上限位置側から下限位置へ移動すると、リフト台８８上に載置されたステージ部材４６が読取キャリッジ３６の開口部内へ保持される。この状態で、読取キャリッジ３６に設けられた４個の位置決めシリンダ６６，６８がそれぞれ位置決めピンを待機位置から挿入位置へ突出させると、これらの位置決めピンがそれぞれステージ部材４６の位置決め穴５８，６０に挿入され、ステージ部材４６が読取キャリッジ３６に装着される。ステージ部材４６の装着完了後、読取キャリッジ３６が読取開始位置から読取完了位置側へ移動すると、ステージ部材４６はリフト台８８上から離脱する。
【００３２】
図１に示されるように、レーザー露光装置１０には、第１リフタ７４と第２リフタ８４との間に水平搬送コンベア９４が設けられている。図９に示されるように、水平搬送コンベア９４には、第１リフタ７４の昇降フレーム７６と第２リフタ８４の昇降フレーム８６との間に掛け渡された一対のガイドレール９６が設けられており、この一対のガイドレール９６上には、ステージ部材４６の両側面からそれぞれ突出する車輪５６がそれぞれ載置及び転動可能とされている。一対のガイドレール９６は、上限位置にあるリフト台７８及びリフト台８８と一致する高さに配置されており、ステージ部材４６は、その車輪５６を転動させつつ第１リフタ７４のリフト台７８上からガイドレール９６上へ移動可能とされると共に、ガイドレール９６上から第２リフタ８４のリフト台８８上へ移動可能とされている。
【００３３】
また水平搬送コンベア９４には、一対のガイドレール９６の上側に幅方向へ張設された搬送ベルト９８が設けられると共に、この搬送ベルト９８を張設した駆動ローラ９９に連結された搬送モータ１００が設けられている。また搬送ベルト９８には、図２に示されるように外周側へ突き出たフック部材１０１が取り付けられており、このフック部材１０１は、ステージ部材４６が装着されたリフト台７８が上限位置に移動した後、搬送ベルト９８が所定の搬送方向（図２の矢印Ｃ方向）へ循環移動すると、リフト台７８上のステージ部材４６を掛止し、このステージ部材４６に搬送ベルト９８からの搬送力を伝達する。これにより、ステージ部材４６は、搬送ベルト９８の移動に従ってリフト台７８上からガイドレール９６上へ送り出された後、ガイドレール９６上から上限位置にあるリフト台８８上へ送り出される。
【００３４】
レーザー露光装置１０では、ステージ部材４６が装着された読取キャリッジ３６が読取完了位置（図５（Ｃ）参照）にあるときに、露光キャリッジ１８が露光開始位置（図５（Ｄ）参照）に移動してくると、露光キャリッジ１８が読取キャリッジ３６の真下に位置し、幅方向及び奥行方向に沿った露光キャリッジ１８の中心と読取キャリッジ３６の中心が一致する。このとき、２個のリニアアクチュエータ３０が読取支持台２０を測定レベルから装着レベルへ下降させると、読取キャリッジ３６に装着されたステージ部材４６が露光キャリッジ１８上へ載置されると共に、ステージ部材４６における３本の位置決めピン６４が露光キャリッジ１８における位置決めクランプ７２の着脱穴７３内にそれぞれ挿入される。これに連動し、コントローラ１２０が読取キャリッジ３６における位置決めシリンダ６６，６８により位置決めピンをそれぞれ挿入位置から待機位置へ移動させると共に、位置決めクランプ７２のコレットチャックにより位置決めピン６４を拘束する。これにより、ステージ部材４６は、読取キャリッジ３６の開口部内から露光キャリッジ１８上へ載せ替えられ露光キャリッジ１８に装着される。
【００３５】
図１に示されるように、レーザー露光装置１０には、支持基台１４の上面部に読取支持台２０を跨ぐように、下方へ向って開いた略コ字状に形成された支持ゲート１０２が設置されている。この支持ゲート１０２は読取開始位置（図１参照）と読取完了位置との中間に配置されている。支持ゲート１０２には、図４に示されるように、読取開始位置側及び読取完了位置側の側端部にそれぞれ複数台（本実施形態では４台ずつ）のＣＣＤカメラ１０４及びＣＣＤカメラ１０６が配置されている。ここで、複数台のＣＣＤカメラ１０４と複数台のＣＣＤカメラ１０６とは、奥行方向へは互いに所定距離ずれるように配置（千鳥状配置）されており、これにより、各ＣＣＤカメラ１０４，１０６は奥行方向に沿ってそれぞれ異なる領域を撮像可能とされている。
【００３６】
ここで、ＣＣＤカメラ１０４，１０６は、それぞれ二次元ＣＣＤを撮像素子として備えると共に、撮像時の光源として１回の発光時間が極めて短いストロボ（図示省略）を備えており、このストロボの発光時のみ撮像が可能となるように、各撮像素子の受光感度が設定されている。ＣＣＤカメラ１０４，１０６は、その真下の撮像位置を読取キャリッジ３６に装着されたステージ部材４６が通過する際に、所定のタイミングでストロボを発光させ、この基板材料５０からの光の反射光を受光することにより、基板材料５０におけるアライメントマーク５２（図１０参照）を含む撮像範囲をそれぞれ撮像する。
【００３７】
図１に示されるように、レーザー露光装置１０には、支持基台１４の上面部にガイドレール１６を跨ぐように、下方へ向って開いた略コ字状に形成された支持ゲート１０８が設置されている。この支持ゲート１０８は、露光キャリッジ１８の露光開始位置と露光完了位置（図１参照）との中間に配置されている。支持ゲート１０８には、露光完了位置側の側端部にレーザースキャナ１１０が取り付けられている。レーザースキャナ１１０は、その真下の露光位置を露光キャリッジ１８に装着されたステージ部材４６上に載置された基板材料５０が通過する時に、画像情報に基づいて変調された複数本のレーザービームを基板材料５０の被露光面５１へ照射し、基板材料５０の被露光面５１にプリント配線基板の配線パターンに対応する画像（潜像）を形成する。
【００３８】
図１０（Ａ）及び（Ｂ）にそれぞれに示されるように、基板材料５０には、その被露光面５１に予め配線パターンに対応する潜像が形成される複数の描画領域５３が設けられると共に、これら複数の描画領域５３にそれぞれ対応する複数組のアライメントマーク５２が形成されている。図１０（Ａ）に示される基板材料５０には、１枚の基板材料５０から、８枚の比較的小面積のプリント配線基板を製造する場合の描画領域５３及びアライメントマーク５２の配置が示されている。この図１０（Ａ）に示される基板材料５０では、１枚のプリント配線基板にそれぞれ１対１で対応する描画領域５３が幅方向に沿って２行、走査方向に沿って４列設定されており、描画領域５３のコーナ部の外側に所定の間隔を空けてアライメントマーク５２が形成されている。
【００３９】
また図１０（Ｂ）に示される基板材料５０には、１枚の基板材料５０から、２枚の比較的大面積のプリント配線基板を製造する場合の描画領域５３及びアライメントマーク５２の配置が示されている。この図１０（Ｂ）に示される基板材料５０では、１枚のプリント配線基板にそれぞれ１対１で対応する描画領域５３が幅方向に沿って１行、走査方向に沿って２列設定されており、描画領域５３の各コーナ部の外側に所定の間隔を空けてアライメントマーク５２が形成されると共に、描画領域５３の走査方向に沿った辺部中心点の外側に所定の間隔を空けてアライメントマーク５２が形成されている。
【００４０】
ここで、図１０（Ｂ）に示される描画領域５３は、描画領域５３の辺部の外側に形成されたアライメントマーク５２の位置を基準とし、走査方向に沿って２個の小領域５４Ａ，５４Ｂに区画されている。なお、本実施形態のアライメントマーク５２は、基板材料５０の被露光面５１に円形の貫通穴又は凹部を設けることにより形成されているが、被露光面５１に予め形成された配線パターンであるランド等をアライメントマークとしても良い。
【００４１】
次に、レーザー露光装置１０における制御系の構成について簡単に説明する。図１１に示されるように、レーザー露光装置１０は、装置全体を制御するためのコントローラ１２０を備えており、このコントローラ１２０には、搬送制御部１２２、画像処理部１２４及びスキャナ制御部１２６がそれぞれ接続されている。
【００４２】
ここで、搬送制御部１２２は、リニアモータ３８，４２及びリニアエンコーダ４０，４４にそれぞれ接続されており、露光キャリッジ１８又は読取キャリッジ３６の移動時にリニアモータ３８，４２に駆動パルス信号を出力する。このとき、搬送制御部１２２は、リニアエンコーダ４０，４４からのパルス信号に基づいてリニアモータ３８，４２をフィードバック制御する。画像処理部１２４は、ＣＣＤカメラ１０４，１０６からの画像信号を処理し、各ＣＣＤカメラ１０４，１０６により撮像されたアライメントマーク５２の位置に対応する位置情報をコントローラ１２０へ出力する。またスキャナ制御部１２６は、コントローラ１２０からのスキャナ駆動信号及び、配線パターンに対応する画像信号に基づいてレーザースキャナ１１０を駆動制御する。
【００４３】
次に、上記のように構成された本実施形態に係るレーザー露光装置１０の動作について説明する。なお、以下の説明にて、２個のステージ部材４６をそれぞれ区別する必要がある場合には、一方をステージ部材４６Ａと表記し、他方をステージ部材４６Ｂと表記する。
【００４４】
先ず、レーザー露光装置１０により基板材料５０からのアライメントマークの読取動作と基板材料５０に対する露光動作とが並行して行われている定常時における、キャリッジ１８，３６上のステージ部材４６に対する基板材料５０の搬入及び搬出動作と、キャリッジ１８，３６に対するステージ部材４６の着脱動作と、キャリッジ１８，３６の移動動作について説明する。
【００４５】
レーザー露光装置１０では、図５（Ａ）に示されるように、読取キャリッジ３６にはステージ部材４６Ａが装着され、この読取キャリッジ３６が読取開始位置にあり、また露光キャリッジ１８にはステージ部材４６Ｂが装着され、この露光キャリッジ１８が所定の露光速度で露光開始位置から露光完了位置へ移動している途中であるとする。このとき、ステージ部材４６Ａには、基板材料５０が載置されておらず、またステージ部材４６Ｂには、アライメントマーク５２がＣＣＤカメラ１０４，１０６により既に読み取られた基板材料５０が載置されている。
【００４６】
レーザー露光装置１０では、露光キャリッジ１８に装着されたステージ部材４６Ｂが露光位置に達すると、レーザースキャナ１１０が露光速度で移動するステージ部材４６Ｂ上の基板材料５０の被露光面５１に画像情報に従って変調されたレーザビームを照射し、露光速度で移動する基板材料５０の被露光面５１に配線パターンに対応する画像（潜像）を形成して行く（露光工程）。
【００４７】
露光工程の開始後、読取キャリッジ３６に装着されたステージ部材４６Ａ上に基板材料５０が載置される。このとき、基板材料５０は、ステージ部材４６Ａの載置面４８上に所定の基準位置を基準とする領域に傾きが生じないように位置調整されつつ載置される。ステージ部材４６Ａ上に基板材料５０が載置されると、図５（Ｂ）に示されるように、読取キャリッジ３６は、読取開始位置から読取完了位置へ所定の測定速度で移動開始し、ステージ部材４６Ａ上の基板材料５０の先端が計測位置に達すると、ＣＣＤカメラ１０４，１０６により基板材料５０の先端が検出された後、読取キャリッジ３６が読取完了位置に達するまでに、基板材料５０の先端を基準として判断されるアライメントマーク５２を含む領域（撮像領域）がＣＣＤカメラ１０４，１０６により順次撮像される（測定工程）。
【００４８】
ここで、露光工程及び測定工程の所要時間は、基板材料５０のサイズ、アライメントマーク５２の個数、配線パターンの実装密度等に応じて変化するが、本実施形態では、例えば、約１５秒であることを想定した場合、後述する露光キャリッジ１８から読取キャリッジ３６へのステージ部材４６の載替時間、ステージ部材４６上へ基板材料５０を位置決めしつつ載置する時間（基板ロード時間）等を考慮すると、露光工程の開始後、約７〜８秒経過した時点で、計測工程を開始できることになる。従って、レーザー露光装置１０では、定常時には露光工程と測定工程とが約７〜８秒に亘って重複して実行されることになる。
【００４９】
露光工程の完了後、図５（Ｃ）に示されるように、露光キャリッジ１８が露光完了位置へ達すると、ステージ部材４６Ｂが露光キャリッジ１８上から第１リフタ７４のリフト台７８上に載せ替えられると共に、ステージ部材４６Ｂ上に載置されている露光済みの基板材料５０が搬出用リフタ（図示省略）により持ち上げられ、基板材料５０を一時保管するためのストック台や、基板材料５０に対する現像工程が行われる現像処理装置等へ搬出（基板アンロード）される。基板材料５０のアンロード完了後、レーザー露光装置１０は、第１リフタ７４によりステージ部材４６Ｂを下限位置から上限位置へ上昇させると共に、露光キャリッジ１８を露光完了位置から露光開始位置へ高速で移動開始させる。
【００５０】
この後、第１リフタ７４により上限位置に達したステージ部材４６Ｂは、図５（Ｄ）に示されるように、水平搬送コンベア９４により第２リフタ８４へ搬送開始される。この水平搬送コンベア９４によりステージ部材４６Ｂの搬送途中に、ステージ部材４６Ａが装着された読取キャリッジ３６は読取完了位置に達し、ステージ部材４６Ｂが離脱した露光キャリッジ１８は露光開始位置に復帰する。これに同期し、リニアアクチュエータ３０は、読取キャリッジ３６を支持した読取支持台２０を測定レベルから装着レベルに下降させる。これにより、図５（Ｄ）に示されるように、読取キャリッジ３６に装着されているステージ部材４６Ａが露光キャリッジ１８上に載置されると共に、ステージ部材４６Ａの３本の位置決めピン６４がそれぞれ露光キャリッジ１８における位置決めクランプ７２の着脱穴７３内へ挿入される。
【００５１】
読取支持台２０が装着レベルまで下降完了すると、コントローラ１２０は、位置決めシリンダ６６，６８により位置決めピンを挿入位置から待機位置へ復帰させた後、位置決めクランプ７２のコレットチャックにより位置決めピン６４を拘束する。これにより、載置されたステージ部材４６Ａが読取キャリッジ３６から離脱すると共に、露光キャリッジ１８へ載せ替えられて露光キャリッジ１８に装着される。
【００５２】
レーザー露光装置１０は、露光キャリッジ１８にステージ部材４６Ａが装着されると、リニアアクチュエータ３０により読取支持台２０が装着レベルから測定レベルに上昇開始すると共に、露光キャリッジ１８が露光開始位置から露光完了位置へ移動開始する。この後、露光キャリッジ１８に装着されたステージ部材４６Ａ上の基板材料５０が露光位置へ達すると、この基板材料５０がレーザースキャナ１１０からのレーザビームにより露光開始され、露光速度で露光完了位置側へ移動する基板材料５０の被露光面５１には配線パターンに対応する画像が形成されて行く。
【００５３】
一方、読取支持台２０が測定レベルに復帰すると、読取キャリッジ３６が読取完了位置から読取開始位置へ高速で移動開始する。この読取キャリッジ３６が読取開始位置に復帰すると、レーザー露光装置１０は、図５（Ａ）に示される状態に再び戻り、以上説明した動作を全ての基板材料５０の処理が完了するまで、繰り返し行う。
【００５４】
次に、基板材料５０に対するアライメントマーク５２の測定工程について説明する。この測定工程時に、コントローラ１２０は、リニアエンコーダ４４からのパルス信号によりステージ部材４６上の基板材料５０の位置を判断すると共に、予め入力されている予備画像情報に基づいて基板材料５０における先端を基準とする各アライメントマーク５２の位置（相対位置）を判断した後、ＣＣＤカメラ１０４，１０６により基板材料５０を検出する。この後、コントローラ１２０は、基板材料５０におけるアライメントマーク５２を含む領域がＣＣＤカメラ１０４，１０６の撮像位置に達すると、読取キャリッジ３６を一時停止させた後、ストロボを発光させてＣＣＤカメラ１０４，１０６により被露光面５１におけるアライメントマーク５２を含む撮像領域を撮像させ、撮像完了後に読取キャリッジ３６の移動を再開する。このとき、ＣＣＤカメラ１０４，１０６により得られた撮像情報は画像処理部１２４へ出力される。画像処理部１２４は、撮像情報をアライメントマーク５２の走査方向及び幅方向に沿った位置に対応する位置情報に変換し、この位置情報をコントローラ１２０へ出力する。
【００５５】
コントローラ１２０は、画像処理部１２４からのアライメントマーク５２の位置情報に基づき、１個の描画領域５３に対応して設けられた複数個のアライメントマーク５２の位置をそれぞれ判断し、これらのアライメントマーク５２の位置から描画領域５３の走査方向及び幅方向に沿った位置及び描画領域５３の走査方向に対する傾き量をそれぞれ判断する。
【００５６】
この後、コントローラ１２０は、描画領域５３の幅方向に沿った位置及び走査方向に対する傾き量に基づいて配線パターンに対応する画像情報に対する変換処理を実行し、変換処理した画像情報をフレームメモリ内に格納する。ここで、変換処理の内容としては、座標原点を中心として画像情報を回転させる座標変換処理、幅方向に対応する座標軸に沿って画像情報を平行移動させる座標変換処理が含まれる。更に必要に応じて、コントローラ１２０は、描画領域５３の幅方向及び走査方向に沿った伸長量及び縮長量に対応させて画像情報を伸長又は縮長させる変換処理を実行する。
【００５７】
また、図１０（Ｂ）に示されるように描画領域５３がアライメントマーク５２により複数の小領域５４Ａ，５４Ｂに分割されている場合には、コントローラ１２０は、各小領域５４Ａ，５４Ｂ毎にそれぞれ位置及び傾きを判断し、それぞれの小領域５４Ａ，５４Ｂに対応する画像情報毎に上記の変換処理を実行する。このようにして得られた変換処理後の画像情報及び描画領域５３の位置情報は、２個のステージ部材４６の何れか一方に関連付けられてコントローラ１２０のフレームメモリ内に一時記憶され、そのステージ部材４６上から基板材料５０が搬出された後にフレームメモリ内から消去される。
【００５８】
次に、基板材料５０に対する露光工程について説明する。この露光工程時に、コントローラ１２０は、リニアエンコーダ４０からのパルス信号によりステージ部材４６上の基板材料５０の位置を判断すると共に、フレームメモリ内に格納された描画領域５３の位置情報に基づいて描画領域５３の先端が露光位置に達するタイミングを判断する。コントローラ１２０は、描画領域５３の先端が露光位置に達するタイミングに同期して露光開始信号をスキャナ制御部１２６へ出力する。これにより、スキャナ制御部１２６は、フレームメモリに記憶された画像情報を複数ライン分ずつ順次読み出し、データ処理部により読み出した画像情報に基づいてレーザースキャナ１１０を駆動制御し、レーザースキャナ１１０により画像情報に従って変調されたレーザビームを出射させる。
【００５９】
レーザースキャナ１１０から出射されたレーザビームは、基板材料５０の被露光面５１上に結像される。このとき、ステージ部材４６上の基板材料５０が露光キャリッジ１８と共に所定の露光速度で移動されることにより、基板材料５０がレーザースキャナ１１０によりステージ移動方向と反対の方向に副走査され、レーザビームにより描画領域５３に配線パターンに対応する潜像が形成される。コントローラ１２０は、基板材料５０の最先端に位置する描画領域５３に対する露光を完了すると、この最先端の描画領域５３に対する場合と同様に、測定工程により得られた変換処理後の画像情報及び位置情報に基づいて２番目の描画領域５３に対する露光を行い、この動作を最後端に位置する描画領域５３に対する露光が完了するまで繰り返す。
【００６０】
以上説明したように、本発明の第１の実施形態に係るレーザー露光装置１０では、読取キャリッジ３６がステージ部材４６をステージ移動方向に沿って読取開始位置から読取完了位置へ移動させると共に、ＣＣＤカメラ１０４，１０６がステージ部材４６上に載置された基板材料５０のアライメントマーク５２を読取位置上で読み取る工程（測定工程）と、露光キャリッジ１８がステージ部材４６をステージ移動方向に沿って露光開始位置から露光完了位置へ移動させると共に、レーザースキャナ１１０がステージ部材４６上に載置された基板材料５０における描画領域５３の位置をＣＣＤカメラ１０４，１０６からの読取情報に基づいて判断すると共に、この基板材料５０の描画領域５３を露光位置で画像情報に基づいて変調されたレーザビームにより露光する工程（露光工程）とそれぞれ独立して行われ、ＣＣＤカメラ１０４，１０６による測定工程の完了後に、リニアアクチュエータ３０が読取支持台２０を測定レベルから装着レベルへ下降させることにより、読取キャリッジ３６に装着されていたステージ部材４６が露光キャリッジ１８へ載せ替えられ、このステージ部材４６が露光キャリッジ１８へ装着可能になる。
【００６１】
従って、レーザー露光装置１０によれば、基板材料５０に複数の描画領域５３及び、これら複数の描画領域５３にそれぞれ対応する複数組のアライメントマーク５２が設けられている場合にも、１回の測定工程により基板材料５０から全てのアライメントマーク５２を読み取った後に、アライメントマーク５２の読み取りにより得られた情報（読取情報）に基づいて基板材料５０における各描画領域５３の位置等を正確に判断し、これらの描画領域５３をレーザースキャナ１１０により画像情報に基づいて変調されたレーザビームにより露光できるので、基板材料５０に複数の描画領域５３及び、これら複数の描画領域にそれぞれ対応する複数組のアライメントマーク５２が設けられている場合にも、描画領域５３の増加に伴う基板材料５０に対する測定時間と露光時間との和である画像形成時間の増加を効果的に防止できる。
【００６２】
またレーザー露光装置１０では、２枚以上の基板材料５０の描画領域５３に対して連続的に画像を形成する場合に、読取キャリッジ３６に、基板材料５０が載置された一のステージ部材４６を装着すると共に、露光キャリッジ１８に、読取キャリッジ３６から載せ替えられた他のステージ部材４６を装着し、ＣＣＤカメラ１０４，１０６による一のステージ部材４６上に載置された基板材料５０のアライメントマーク５２の読み取りと、レーザースキャナ１１０による他のステージ部材４６上に載置された基板材料５０の描画領域５３に対する露光とが並行して実行されるので、複数枚の基板材料５０に対するアライメントマーク５２の読取開始からレーザースキャナ１１０による露光完了までの平均的な画像形成時間を短縮できる。
【００６３】
またレーザー露光装置１０では、一対のガイドレール４２等により構成された読取キャリッジ３６の搬送路（読取搬送路）と、一対のガイドレール１６等により構成された露光キャリッジ１８の搬送路（露光搬送路）とを互いに平行に設けると共に、これらの読取搬送路と露光搬送路とを装置が設置されるフロアー上へ投影した場合に、このフロアー上でこれらの搬送路の少なくとも一部が重なり合うように配置したことにより、読取搬送路及び露光搬送路がフロアー上で重なり合わない場合と比較し、読取搬送路及び露光搬送路の設置面上での投影面積を、重なり合った部分の面積だけ減少できるので、レーザー露光装置１０をフロアー上に設置するために必要となる面積（設置スペース）を小さいものにできる。
〔第２の実施形態〕
図１２〜図１４には、本発明の第２の実施形態に係るレーザー露光装置が示されている。なお、本実施形態に係るレーザー露光装置１３０において、第１の実施形態に係るレーザー露光装置１０と同一の部分には同一符合を付して説明を省略する。
【００６４】
図１２に示されるように、レーザー露光装置１３０には、マウントフレーム１２によりフロアー上に水平に支持される肉厚プレート状の支持基台１３２が設けられている。支持基台１３２は、装置の幅方向（矢印Ｗ方向）を長手方向とする略長方形のプレート状とされており、この支持基台１３２の上面部には、奥行方向（矢印Ｄ方向）に沿った中央部分に段差状に窪んだ凹部１３４が幅方向へ全長に亘って延在するように形成されている。
【００６５】
図１２〜１４に示されるように、支持基台１３２には、凹部１３４の底面部上に一対のガイドレール１３６が幅方向へ延在するように設置されている。この一対のガイドレール１３６上には、ステージ部材１７０が着脱可能に装着されるプレート状の読取キャリッジ１３８が配置されている。読取キャリッジ１３８は、一対のガイドレール１３６により装置の幅方向と平行なステージ移動方向（矢印Ｍ方向）へ移動可能に支持されている。ここで、読取キャリッジ１３８は、ステージ移動方向に沿って所定の読取開始位置（図１２に示される位置）と読取完了位置（図１５（Ｅ）に示される位置）との間で移動可能とされている。
【００６６】
図１６に示されるように、読取キャリッジ１３８は、全体としては幅方向を長手方向とする略長方形の肉厚プレート状に形成されており、その幅方向に沿った中央部がリブ１４０により補強されている。この読取キャリッジ１３８の上面部には、幅方向に沿った一端側（図１６では左側）に２個のクランプ部材１４２が配置されると共に、他端側に１個のクランプ部材１４２が配置されている。また読取キャリッジ１３８の中央部には、その厚さ方向へ貫通する矩形状の開口部１４４が設けられている。ここで、クランプ部材１４２は、その上面部に着脱穴１４３が開口すると共に、この着脱穴１４３内へ後述する位置決めピン１７６が挿入されると、この位置決めピン１７６を拘束するコレットチャック（図示省略）を内蔵している。
【００６７】
図１２及び図１４に示されるように、支持基台１３２上には、一対のガイドレール１３６の内側にリニアモータ１４６が配置されている。このリニアモータ１４６は、読取キャリッジ１３８の下面部に配置されたコイル１４８（図１６参照）を介して読取キャリッジ１３８に連結されており、コントローラ２２０（図２１参照）により駆動パルスが供給されると、読取キャリッジ１３８をステージ移動方向に沿って駆動パルスの極性に対応する方向へ入力パルス数に比例する距離だけ移動（前進又は後進）させる。このリニアモータ１４６には、リニアエンコーダ１４７（図２１参照）が付設されており、リニアエンコーダ１４７は、読取キャリッジ１３８の移動方向に対応する極性のパルス信号を移動量に比例するパルス数だけコントローラ２２０へ出力する。
【００６８】
図１２に示されるように、支持基台１３２の上面部には、凹部１３４の外側の両端部にそれぞれ幅方向に沿って延在する支持ブロック１５３が配置されており、この支持ブロック１５３上には、幅方向に沿って直線的に延在するガイドレール１５９が取り付けられている。これら一対のガイドレール１５９は、それぞれ支持台１５３を介して支持基台１３２上に固定されている。レーザー露光装置１３０には、一対のガイドレール１５９の内側であって凹部１３４の上方に露光キャリッジ１５４が配置されている。
【００６９】
図１７に示されるように、露光キャリッジ１５４は、中央部分が開口した幅方向へ細長い額縁状に形成されている。この露光キャリッジ１５４の下面部には、幅方向に沿った一端側（図１７では左側）に１個のクランプ部材１５６が配置されると共に、他端側に２個のクランプ部材１５６が配置されている。ここで、クランプ部材１５６は、読取キャリッジ１３８のクランプ部材１４２と同様の構造とされており、その下面部に着脱穴（図示省略）が開口すると共に、この着脱穴内へ後述する位置決めピン１７８が挿入されると、この位置決めピン１７８を拘束するコレットチャック（図示省略）を内蔵している。
【００７０】
露光キャリッジ１５４には、下面側の奥行方向に沿った両端部にそれぞれ２個ずつガイドブロック１５７が取り付けられており、これらのガイドブロック１５７は、支持基台１３２に幅方向へ延在するように設けられたガイドレール１５９（図１２参照）に摺動可能に係合している。これにより、露光キャリッジ１５４は支持基台１３２によりステージ移動方向（矢印Ｍ方向）へ移動可能に支持される。
【００７１】
ここで、露光キャリッジ１５４は、ステージ移動方向に沿って所定の露光開始位置（図１５（Ｄ）に示される位置）と露光完了位置（図１５（Ｂ）に示される位置）との間で移動可能とされている。図１７に示されるように、露光キャリッジ１５４は、全体としては幅方向を長手方向とする略長方形の肉厚プレート状に形成されており、その中央部に高さ方向へ貫通する略長方形の開口部１５５が形成されている。
【００７２】
露光キャリッジ１５４には、リニアモータコイル１５８が取り付けられている。また支持基台１３２上には、図１２に示されるように、一対のガイドレール１５９の上側にそれぞれマグネットバー１５２が配置されている。これら一対のリニアモータコイル１５８、マグネットバー１５２は、コントローラ２２０（図２１参照）により駆動パルスが供給されると、露光キャリッジ１５４をステージ移動方向に沿って駆動パルスの極性に対応する方向へ入力パルス数に比例する距離だけ移動（前進又は後進）させる。また、一方のマグネットバー１５２には、リニアエンコーダ１６６（図２１参照）が付設されており、このリニアエンコーダ１６６は、露光キャリッジ１５４の移動方向に対応する極性のパルス信号を移動量に比例するパルス数だけコントローラ２２０へ出力する。
【００７３】
レーザー露光装置１３０は、露光キャリッジ１５４及び読取キャリッジ１３８にそれぞれ着脱可能とされたプレート状のステージ部材１７０を２個備えており、図１２に示されるように、一方のステージ部材１７０は露光キャリッジ１５４に装着され、他方のステージ部材１７０は読取キャリッジ１３８に装着される。ここで、レーザー露光装置１３０では、２個のステージ部材１７０の何れも一方のキャリッジ１３８，１５４から離脱させ、他方のキャリッジ１３８，１５４へ装着することが可能になっている。ステージ部材１７０は、キャリッジ１３８，１５４に装着されると、そのキャリッジ１３８，１５４と一体となってステージ移動方向へ移動する。
【００７４】
図１２に示されるように、ステージ部材１７０は肉厚プレート状に形成されており、その上面部が基板材料５０を載置するための平面状の載置面１７２とされている。この載置面１７２には、基板材料５０を負圧により吸着するための吸着溝（図示省略）が形成されており、この吸着溝内には、載置面１７２上への基板材料５０の載置時に真空ポンプ等の真空発生装置から負圧が供給される。これにより、載置面１７２上に載置された基板材料５０は、吸着溝内の負圧の作用により載置面１７２上に密着状態で固定される。
【００７５】
図１６に示されるように、ステージ部材１７０には、幅方向に沿った両端面の下端部からそれぞれ外側へ延出する薄肉プレート状のフランジ部１７４が形成されると共に、奥行方向に沿った両端面の下端部からそれぞれ外側へ延出する薄肉プレート状の連結片１７５が形成されている。ステージ部材１７０には、一方のフランジ部１７４の下面に２個の位置決めピン１７６が取り付けられると共に、他方のフランジ部１７４の下面に１個の位置決めピン１７６が取り付けられている。これら３個の位置決めピン１７６は、読取キャリッジ１３８における３個のクランプ部材１４２にそれぞれ対応する配置及び形状とされている。
【００７６】
また図１８に示されるように、ステージ部材１７０には、一方のフランジ部１７４の上面に１個の位置決めピン１７８が取り付けられると共に、他方のフランジ部１７４の上面に２個の位置決めピン１７８が取り付けられている。これら３個の位置決めピン１７８は、露光キャリッジ１５４における３個のクランプ部材１５６にそれぞれ対応する配置及び形状とされている。
【００７７】
図１４に示されるように、支持基台１３２における凹部１３４の底面には、支持ゲート１０２と支持ゲート１０８との間に高さ方向へ貫通する矩形状の開口部１８０が設けられており、この開口部１８０内には、ステージ部材１７０を読取キャリッジ１３８から露光キャリッジ１５４へ載せ替えるためのアップリフタ１８２が配置されている。アップリフタ１８２には、図１９に示されるように、互いに平行に支持された押上板１８４と連結板１８６とが設けられており、連結板１８６は支持基台１３２にボルト等により締結固定されている。ここで、押上板１８４の面方向に沿った寸法は、読取キャリッジ１３８の開口部１４４よりも一回り小さくなっている。
【００７８】
押上板１８４には、その幅方向に沿った両端部にそれぞれ下方へ突出するように丸棒状のガイドロッド１８８が固定されており、連結板１８６には、その幅方向に沿った両端部にそれぞれ高さ方向へ貫通した円筒状のすべり軸受１９０が固定されている。これら一対のすべり軸受１９０内には、一対のガイドロッド１８８が高さ方向に沿って摺動可能に挿入されている。これにより、押上板１８４は、一対のすべり軸受１９０を介して支持基台１３２により高さ方向に沿って所定の上限位置と下限位置との間で移動（昇降）可能に支持される。
【００７９】
またアップリフタ１８２には、マウントフレーム１２側に固定されたエアーシリンダ１９２が設けられており、このエアーシリンダ１９２は、駆動ロッド１９４を高さ方向に沿って伸縮可能に支持しており、この駆動ロッド１９４をコントローラ２２０による制御に従って伸縮させる。駆動ロッド１９４は、連結板１８６の中央部に穿設された挿通穴１８７を通して上方へ突出し、その先端部が押上板１８４の中央部に連結固定されている。
【００８０】
ここで、エアーシリンダ１９２が駆動ロッド１９４を伸長させると、押上板１８４は、読取キャリッジ１３８下側の下限位置から、読取キャリッジ１３８上側の上限位置へ上昇する。このとき、図１５（Ｄ）に示されるように、ステージ部材１７０が装着された読取キャリッジ１３８が読取完了位置と読取開始位置との中間のステージ受渡位置にあり、露光キャリッジ１５４が露光開始位置にあれば、読取キャリッジ１３８のクランプ部材１４２によりステージ部材１７０の位置決めピン１７６を解放した後、アップリフタ１８２が押上板１８４を下限位置から上限位置へ上昇させると、この押上板１８４が上限位置への移動途中に読取キャリッジ１３８の開口部１４４内へ挿入された後、ステージ部材１７０の下面に当接し、ステージ部材１７０を上限位置へ押し上げる。これにより、ステージ部材１７０は、露光キャリッジ１５４の開口部１５５内へ挿入されると共に、ステージ部材１７０の位置決めピン１７８が露光キャリッジ１５４のクランプ部材１５６内へ挿入される。これに連動し、クランプ部材１５６が位置決めピン１７８を拘束することにより、ステージ部材１７０が露光キャリッジ１５４に装着される。
【００８１】
またエアーシリンダ１９２が駆動ロッド１９４を下方へ縮長させると、押上板１８４は、上限位置から下限位置へ下降し、読取キャリッジ１３８がステージ受渡位置から読取開始位置側へ移動可能になる。
【００８２】
支持基台１３２における凹部１３４の底面上には、幅方向に沿って露光完了位置に対応する部位にダウンリフタ１９６が配置されている。図２０に示されるように、ダウンリフタ１９６は、奥行方向内側へ向ってそれぞれ開口する筐体状に形成された一対の昇降フレーム１９８を備えており、この昇降フレーム１９８は凹部１３４の底面上に固定されている。一対の昇降フレーム１９８の奥行方向に沿った間隔は、ステージ部材１７０における一対の連結片１７５の間隔に対応するものになっている。
【００８３】
昇降フレーム１９８の内側には、その幅方向両端部に丸棒状のガイドロッド２００が立設されると共に、これら一対のガイドロッド２００の中間にスクリュー軸２０２が軸支されている。一対のガイドロッド２００及びスクリュー軸２０２は、その軸心が高さ方向と平行となるように昇降フレーム１９８に連結されている。スクリュー軸２０２は、その下端部が昇降フレーム１９８の底板部を貫通し突出しており、このスクリュー軸２０２の下端部には従動プーリ２０４が同軸的に固定されている。
【００８４】
ダウンリフタ１９６には、一対のガイドロッド２００及びスクリュー軸２０２に連結されたリフト台２０６が設けられている。リフト台２０６には、昇降フレーム１９８内へ挿入されるベース部２０８と、このベース部２０８により奥行方向内側へ延出するように支持されたクリップ部２１０とが一体的に形成されている。ベース部２０８には、その幅方向両端部にそれぞれ一対のガイドロッド２００がそれぞれ摺動可能に挿入される一対のガイド穴（図示省略）が穿設されると共に、一対のガイド穴間にスクリュー軸２０２がねじ込み可能とされたスクリュー穴が穿設されている。またクリップ部２１０には、凹状の係合溝２１２が幅方向へ延在するように形成されており、この係合溝２１２は、その両端部がクリップ部２１０の両端面へ開口すると共に、奥行方向内側へ向ってスリット状に開口している。
【００８５】
ダウンリフタ１９６には、昇降フレーム１９８に隣接するようにモータユニット２１４が支持基台１３２上に固定されており、このモータユニット２１４には、その下端部に駆動トルクが伝達可能とされた駆動プーリ２１６が設けられている。この駆動プーリ２１６は、タイミングベルト２１７を介して従動プーリ２０４に連結されており、モータユニット２１４が発生した駆動トルクは、駆動プーリ２１６、タイミングベルト２１７及び従動プーリ２０４を介してスクリュー軸２０２へ伝達される。
【００８６】
ここで、モータユニット２１４からのトルクによりスクリュー軸２０２が回転すると、リフト台２０６は、高さ方向に沿ってスクリュー軸２０２の回転方向に対応する方向へ、スクリュー軸２０２の回転量に比例する距離だけ移動（上昇又は下降）する。このとき、リフト台２０６は、高さ方向に沿って所定の上限位置（図２０に示される位置）と下限位置との間で昇降可能とされている。
【００８７】
レーザー露光装置１３０では、ダウンリフタ１９６のリフト台２０６がそれぞれ上限位置にある状態で、図１５（Ａ）〜（Ｂ）に示されるように、ステージ部材１７０が装着された露光キャリッジ１５４が露光開始位置側から露光完了位置へ移動してくると、露光キャリッジ１５４に装着されたステージ部材１７０における一対の連結片１７５がそれぞれ一対のリフト台２０６の係合溝２１２内へそれぞれ挿入され、、高さ方向へは一対のリフト台２０６がステージ部材１７０に連結される。この後、露光キャリッジ１５４のクランプ部材１５６がステージ部材１７０の位置決めピン１７８を解放すると、ステージ部材１７０が露光キャリッジ１５４から離脱し、ステージ部材１７０が高さ方向へはリフト台２０６と一体となって移動可能となる。
【００８８】
従って、露光キャリッジ１５４のクランプ部材１５６がステージ部材１７０の位置決めピン１７８を解放した後、ダウンリフタ１９６がリフト台２０６を上限位置と下限位置との中間の待機位置まで下降させると、図１５（Ｂ）に示されるように、ステージ部材１７０も露光キャリッジ１５４から離脱してリフト台２０６と一体となって待機位置まで下降する。次いで、ステージ部材１７０が装着されていない読取キャリッジ１３８がステージ受渡位置からステージ部材１７０の待機位置まで移動してきた後に、ダウンリフタ１９６がリフト台２０６をステージ部材１７０と共に待機位置から下限位置まで下降させると、図１５（Ｅ）に示されるように、ステージ部材１７０が読取キャリッジ１３８上に載置されると共に、ステージ部材１７０の位置決めピン１７６が読取キャリッジ１３８のクランプ部材１４２の着脱穴１４３内へ挿入される。この状態で、クランプ部材１４２により位置決めピン１７６を拘束すると、ステージ部材１７０が読取キャリッジ１３８へ装着される。
【００８９】
次に、上記のように構成された本実施形態に係るレーザー露光装置１３０の動作について説明する。なお、以下の説明にて、２個のステージ部材１７０をそれぞれ区別する必要がある場合には、一方をステージ部材１７０Ａと表記し、他方をステージ部材１７０Ｂと表記する。
【００９０】
先ず、レーザー露光装置１３０により基板材料５０からのアライメントマークの読取動作と基板材料５０に対する露光動作とが並行して行われている定常時におけるキャリッジ１３８，１５４上のステージ部材１７０に対する基板材料５０の搬入及び搬出動作と、キャリッジ１３８，１５４に対するステージ部材１７０の着脱動作と、キャリッジ１３８，１５４の移動動作について説明する。
【００９１】
先ず、レーザー露光装置１３０では、読取キャリッジ１３８にはステージ部材１７０Ａが装着され、この読取キャリッジ１３８が読取開始位置にあり、また露光キャリッジ１５４にはステージ部材１７０Ｂが装着されており、この露光キャリッジ１５４が所定の露光速度で露光開始位置から露光完了位置へ移動している途中であるとする。このとき、ステージ部材１７０Ａには、基板材料５０が載置されておらず、またステージ部材１７０Ｂには、アライメントマーク５２がＣＣＤカメラ１０４，１０６により既に読み取られた基板材料５０が載置されている。
【００９２】
レーザー露光装置１３０では、露光キャリッジ１５４に装着されたステージ部材１７０Ｂが露光位置に達すると、レーザースキャナ１１０が露光速度で移動するステージ部材１７０Ｂ上の基板材料５０の被露光面５１に画像情報に従って変調されたレーザビームを照射し、露光速度で移動する被露光面５１に配線パターンに対応する画像（潜像）を形成して行く（露光工程）。
【００９３】
露光工程の開始後、読取キャリッジ１３８に装着されたステージ部材１７０Ａ上に基板材料５０が載置される。このとき、基板材料５０は、ステージ部材１７０Ａの載置面１７２上に所定の基準位置を基準とする領域に傾きが生じないように位置調整されつつ載置される。ステージ部材１７０Ａ上に基板材料５０が載置されると、読取キャリッジ１３８は、図１５（Ａ）に示されるように、読取開始位置から読取完了位置へ所定の測定速度で移動開始し、ステージ部材１７０Ａ上の基板材料５０の先端が計測位置に達すると、ＣＣＤカメラ１０４，１０６により基板材料５０の先端が検出された後、読取キャリッジ１３８が図１５（Ｃ）に示されるステージ受渡位置に達するまでに、基板材料５０の先端を基準として判断されるアライメントマーク５２を含む領域（撮像領域）がＣＣＤカメラ１０４，１０６により順次撮像される（測定工程）。
【００９４】
ここで、露光工程及び測定工程の所要時間は、基板材料５０のサイズ、アライメントマーク５２の個数、配線パターンの実装密度等に応じて変化するが、本実施形態では、例えば、約１５秒であることを想定した場合、後述する露光キャリッジ１５４から読取キャリッジ１３８へのステージ部材１７０の載替時間、ステージ部材１７０上へ基板材料５０を位置決めしつつ載置する時間（基板ロード時間）等を考慮すると、露光工程の開始後、約６〜７秒経過した時点で、計測工程を開始できることになる。従って、レーザー露光装置１３０では、定常時には露光工程と測定工程とが約７〜８秒に亘って重複して実行されることになる。
【００９５】
露光工程の完了後、図１５（Ｂ）に示されるように、露光キャリッジ１５４が露光完了位置へ達すると、ステージ部材１７０Ｂが露光キャリッジ１５４上からダウンリフタ１９６のリフト台２０６上に載せ替えられた後、ダウンリフタ１９６がリフト台２０６をステージ部材１７０Ｂと共に上限位置から待機位置まで下降させる。ステージ部材１７０が待機位置まで下降すると、図１５（Ｃ）に示されるように、露光キャリッジ１５４は露光完了位置側へ高速で移動開始する。
【００９６】
また露光キャリッジ１５４が露光完了位置側へ移動開始した後、ステージ部材１７０Ｂ上に載置されている露光済みの基板材料５０は、搬入・搬出用リフタ（図示省略）により持ち上げられ、基板材料５０を一時保管するためのストック台や、基板材料５０に対する現像工程が行われる現像処理装置等へ搬出（基板アンロード）される。この後、待機位置にあるステージ部材１７０Ｂ上には、搬入・搬出用リフタによりアライメントマーク計測前の基板材料５０が載置される（基板ロード）。
【００９７】
一方、露光キャリッジ１５４が露光開始位置側へ移動開始すると、ステージ受渡位置にある読取キャリッジ１３８は、クランプ部材１４２によりステージ部材１７０Ａの位置決めピン１７６を解放する。この後、露光キャリッジ１５４が露光開始位置に達すると、アップリフタ１８２は、押上板１８４をステージ部材１７０Ａと共に下限位置から上限位置へ上昇させる。これにより、図１５（Ｄ）に示されるように、ステージ部材１７０Ａが露光キャリッジ１５４の開口部１５５内へ挿入されると共に、位置決めピン１７８が露光キャリッジ１５４のクランプ部材１５６の着脱穴内へ挿入される。これに同期し、クランプ部材１５６が位置決めピン１７８を拘束することにより、ステージ部材１７０Ａが露光キャリッジ１５４へ装着される。この後、露光キャリッジ１５４は、露光開始位置から露光完了位置側へ所定の露光速度で移動開始し、ステージ部材１７０Ａ上に載置された基板材料５０に対する露光工程が開始される。
【００９８】
また、ステージ受渡位置にある読取キャリッジ１３８は、ステージ部材１７０Ａが離脱した後、読取完了位置側へ移動開始する。読取キャリッジ１３８がステージ部材１７０Ｂの待機位置に到達すると、ダウンリフタ１９６は、リフト台２０６と共にステージ部材１７０Ｂを待機位置から下限位置まで下降させ、図１５（Ｅ）に示されるように、ステージ部材１７０Ｂを読取キャリッジ１３８上に載置する。これに同期し、読取キャリッジ１３８のクランプ部材１４２がステージ部材１７０Ｂの位置決めピン１７６を拘束する。これにより、読取キャリッジ１３８にはステージ部材１７０Ｂが装着される。ステージ部材１７０Ｂが装着された読取キャリッジ１３８は、高速で読取開始位置へ移動開始する。読取開始位置に達した読取キャリッジ１３８は、ステージ部材１７０Ｂの待機位置側へ所定の測定速度で移動開始し、ステージ部材１７０Ｂ上に載置された基板材料５０に対する測定工程が開始される。
【００９９】
レーザー露光装置１３０では、以上説明した動作を全ての基板材料５０の処理が完了するまで、繰り返し行う。なお、基板材料５０に対するアライメントマーク５２の測定工程及び基板材料５０の描画領域５１に対する露光工程については、第１の実施形態に係るレーザー露光装置１０の場合と同様なので説明を省略する。
【０１００】
以上説明したように、本発明の第２の実施形態に係るレーザー露光装置１３０によれば、第１の実施形態に係るレーザー露光装置１０と基本的に共通の作用及び効果が得られると共に、それに加えて、ステージ部材１７０が高さ方向へは露光キャリッジ１５４と読取キャリッジ１３８との間で移動し、露光キャリッジ１５４と読取キャリッジ１３８との間を循環可能とされていることにより、第１の実施形態に係るレーザー露光装置１０と比較し、高さ方向に沿った装置寸法を小さくできるという効果も得られる。
【０１０１】
なお、以上説明の本実施形態に係る説明では、レーザー露光装置１０，１３０によりプリント配線基板の素材となる基板材料５０を露光する場合のみついて説明したが、本発明に係る構成を有する露光装置は、基板材料５０以外にもＰＳ板、ＣＴ刷板等の感光性印刷板、感光紙等の感光材料に対する直接露光に用いることでき、これらを露光するための光ビームとしては、レーザービーム以外にも可視光線、Ｘ線等も用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るレーザー露光装置の構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施形態に係るレーザー露光装置の構成を示す側面図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係るレーザー露光装置の構成を示す平面図である。
【図４】図１に示されるレーザー露光装置における読取支持台及び読取キャリッジの斜視図である。
【図５】図１に示されるレーザー露光装置の側面図であり、（Ａ）〜（Ｄ）は読取キャリッジ又は露光キャリッジがそれぞれ異なる位置へ移動した状態を示している。
【図６】図１に示されるレーザー露光装置における露光キャリッジ及びステージ部材の斜視図である。
【図７】図１に示されるレーザー露光装置における第１リフタの斜視図である。
【図８】図１に示されるレーザー露光装置における第２リフタの斜視図である。
【図９】図１に示されるレーザー露光装置における水平搬送コンベアの斜視図である。
【図１０】本発明の実施形態に係るレーザー露光装置により露光される基板材料の構成を示す平面図である。
【図１１】図１に示されるレーザー露光装置における制御系の概略構成を示すブロック図である。
【図１２】本発明の第２の実施形態に係るレーザー露光装置の構成を示す斜視図である。
【図１３】本発明の第２の実施形態に係るレーザー露光装置の構成を示す側面図である。
【図１４】本発明の第２の実施形態に係るレーザー露光装置の構成を示す平面図である。
【図１５】図１２に示されるレーザー露光装置の側面図であり、（Ａ）〜（Ｅ）は読取キャリッジ又は露光キャリッジがそれぞれ異なる位置へ移動した状態を示している。
【図１６】図１２に示されるレーザー露光装置における読取キャリッジ及びステージ部材の斜視図である。
【図１７】図１２に示されるレーザー露光装置における露光キャリッジの斜視図である。
【図１８】図１２に示されるレーザー露光装置におけるステージ部材の斜視図である。
【図１９】図１２に示されるレーザー露光装置におけるアップリフタの斜視図である。
【図２０】図１２に示されるレーザー露光装置におけるダウンリフタの斜視図である。
【図２１】図１２に示されるレーザー露光装置における制御系の概略構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１０      レーザー露光装置（露光装置）
１８      露光キャリッジ（露光搬送手段）
２０      読取支持台（読取搬送手段）
３０      リニアアクチュエータ（第１の載替手段）
３６      読取キャリッジ（読取搬送手段）
３８      リニアモータ（露光搬送手段）
４２      リニアモータ（読取搬送手段）
４６      ステージ部材
４６Ａ    ステージ部材
４６Ｂ    ステージ部材
５０      基板材料（基板材料）
５１      描画領域
５２      アライメントマーク
７４      第１リフタ（第２の載替手段）
８４      第２リフタ（第２の載替手段）
９４      水平搬送コンベア（第２の載替手段）
１０４，１０６  ＣＣＤカメラ
１１０    レーザースキャナ
１３０    レーザー露光装置（露光装置）
１３８    読取キャリッジ（読取搬送手段）
１４６    リニアモータ（読取搬送手段）
１５４    露光キャリッジ（露光搬送手段）
１６４    リニアモータ（露光搬送手段）
１７０，１７０Ａ，１７０Ｂ  ステージ部材
１８２    アップリフタ（第１の載替手段）
１９６    ダウンリフタ（第２の載替手段）
【図１】
2005266216.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005266216.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005266216.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005266216.tif 000009
【図８】
2005266216.tif 000010
【図９】
2005266216.tif 000011
【図１０】
2005266216.tif 000012
【図１１】
2005266216.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2005266216.tif 000016
【図１５】
2005266216.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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