(57)【要約】【課題】  被加工物の製造ロット経年変化によって被加工物の形状が異なっても、安定した加工を行うことができる倣い加工装置を提供する。【解決手段】  被加工物とレーザ加工ヘッドのノズル先端間の距離を距離センサで測定する。該測定値が、設定ギャップ距離となるように加工プログラムの加工形状に倣って加工を行う。教示した教示点位置毎に、測定された距離ΔＺrnと設定ギャップ距離ΔＺｓより教示データ修正量ΔZ'mnを求める（S6〜S15）。教示位置データをこの修正量ΔZ'mnで修正して、加工プログラムの新たな教示位置データとする(S16〜S19)。加工プログラムの教示位置が加工毎に更新されるので、被加工物と加工ヘッドノズル先端間の距離が大きくなることはない。倣い加工時に、加工ヘッドの高さ位置を補正する場合、この補正量が小さくなるから、補正動作が遅れヘッドと被加工物が干渉することはなく、安定した加工ができる。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物に対して加工を行う加工ツールをロボットアーム先端に備え、ロボットが加工プログラムの教示点に基づく経路を動作し、さらに前記被加工物と加工ツール先端との距離を検出する手段を設けた倣い加工装置において、
加工プログラムの実行による加工時に、前記距離検出手段にて検出した被加工物と、加工ツール先端との距離をフィードバックし、前記被加工物と前記加工ツールとが所定の距離を保ちながら該加工ツールが移動するようロボットに倣い制御を行う手段と、
前記倣い制御により得られたロボット経路上の位置を求める手段と、
前記加工プログラムの教示点に基づく経路を前記求めた位置を基に修正する手段と、
を備えた倣い加工装置。
【請求項２】
定位置にある加工ツールによって加工が行われる被加工物を把持する手段をロボットアーム先端に備え、ロボットが加工プログラムの教示点に基づく経路を動作し、さらに被加工物と加工ツール先端との距離を検出する手段を設けた倣い加工装置において、
加工プログラムの実行による加工時に、前記距離検出手段にて検出した被加工物と、加工ツール先端との距離をフィードバックし、前記被加工物と前記加工ツールとが所定の距離を保ちながら被加工物が移動するようロボットに倣い制御を行う手段と、
前記倣い制御により得られたロボット経路上の位置を求める手段と、
前記加工プログラムの教示点に基づく経路を前記求めた位置を基に修正する手段と、
を備えた倣い加工装置。
【請求項３】
前記加工プログラムの教示点に基づく経路の修正は、教示点そのもの、又は教示点間に点を設けて修正する請求項１または請求項２に記載の倣い加工装置。
【請求項４】
前記加工プログラムの教示点に基づく経路の修正は、教示点そのもの、又は教示点間に点を設け、それに補正データを与える請求項１または請求項２に記載の倣い加工装置。
【請求項５】
前記倣い制御実行時に、前記加工プログラムの教示点に基づく経路上の位置と、倣い制御により得られたロボット経路上の対応した位置との差が何れかにおいて許容値を超えているとき異常と判断する手段を備えた請求項１乃至４の内いずれか１項に記載の倣い加工装置。
【請求項６】
前記加工中に、前記加工プログラムの経路に対する前記修正を行う請求項１乃至４の内いずれか１項に記載の倣い加工装置。
【請求項７】
前記加工終了後に、前記加工プログラムの経路に対する前記修正を行う請求項１乃至４の内いずれか１項に記載の倣い加工装置。
【請求項８】
前記ならい制御によって測定された加工ツール先端と被加工物表面の距離と加工ツールの位置データに基づいて被加工物の表面形状を計算し、前記表面形状が予め設定された許容範囲内であれば前記測定された加工ツール先端と被加工物表面の距離が前記所定の距離になるよう経路の修正を行い、許容範囲外であれば被加工物形状の不良と判定する手段を備えた請求項１乃至４の内いずれか１項に記載の倣い加工装置。
【請求項９】
前記ならい制御実行時に得られた位置データを蓄積記憶し、該位置データに基づいて被加工物形状の変化範囲または変化傾向を数値化する手段を備えた請求項１乃至４の内いずれか１項に記載の倣い加工装置。
【請求項１０】
前記ならい制御実行時に得られる位置データを蓄積記憶し、前記加工プログラム中の各教示点に対応する前記蓄積記憶した位置データに基づいて加工ツールの軌跡の近似式を作成し、前記近似式で求めた軌跡上の点に変更する手段を備えた請求項１または請求項２に記載のならい加工装置。
【請求項１１】
前記修正された経路からなる被加工物形状を表示する手段をそなえた請求項８に記載の倣い加工装置。
【請求項１２】
前記倣い制御により得られたロボット経路上の、前記加工プログラムの各教示点に対応する位置を表示する手段を揃えた請求項１または請求項２に記載の倣い加工装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、教示された加工プログラムの加工経路を倣って加工を行う倣い加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ロボットを用いて、教示された加工プログラムの加工経路に倣って加工を行う倣い加工装置は、自動車業界を始め、各種産業分野において用いられている。特に、レーザ加工においては、レーザ加工ヘッドのノズル先端と被加工物との間隔に非常に高い位置精度が要求される。また、プレス加工品などの被加工物では、プレス型の経年変化やプレス条件の変化によって、被加工物製造のロット毎に被加工物の形状が変化する。このような場合、レーザ加工において要求される最適な被加工物とレーザ加工ヘッドノズル間のギャップ距離が保てず、安定な加工ができないという問題がある。そのため、従来のロボットを用いたレーザ加工の倣い加工装置においては、レーザ加工ヘッド近傍に距離センサを設け、該距離センサで測定した距離に基づき被加工物とレーザ加工ヘッド３のノズル先端間ギャップ距離を求め、該ギャップ距離が教示された加工プログラムでのギャップ基準値と比較し、その差分を位置補正量として補正してフィードバック制御を行い、被加工物の表面に対してレーザ加工ヘッドの追従動作を行うようにしている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のギャップ距離のフィードバック制御は、加工中、教示された加工プログラムの加工経路上の被加工物とレーザ加工ヘッドノズル間のギャップ距離を測定し、予め設定されギャップ基準値と比較し、その差を補正するようにレーザ加工ヘッドを駆動して最適ギャップを保持するものである。この動作補正分が大きくなると、レーザ加工ヘッドに対する補正動作の加減速動作が追いつかず、レーザ加工ヘッドが被加工物と干渉する場合がある。
【０００４】
特に、上述したように、自動車組み立てライン等のプレス加工品が、この倣い加工装置の加工対象の被加工物である場合、プレス加工を行う被加工物のロットによって、被加工物の形状が異なる。そのため、上述した距離センサによって被加工物とレーザ加工ヘッドノズル間のギャップ距離を測定しながら、該ギャップ距離を最適値になるように補正しながらフィードバック制御により加工したとしても、この補正量が大きい場合、補正動作が間に合わず、被加工物とレーザ加工ヘッドが干渉を起こすという問題がある。  
そこで、本発明の目的は、被加工物の製造ロットによって、又、経年変化によって、被加工物の形状が異なっても、安定した加工を行うことができる倣い加工装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願請求項１に係わる発明は、定位置にある被加工物に対して加工を行う加工ツールをロボットアーム先端に備え、ロボットが加工プログラムの教示点に基づく経路を動作し、さらに前記被加工物と加工ツール先端との距離を検出する手段を設けた倣い加工装置において、加工プログラムの実行による加工時に、前記距離検出手段にて検出した被加工物と、加工ツール先端との距離をフィードバックし、前記被加工物と前記加工ツールとが所定の距離を保ちながら該加工ツールが移動するようロボットに倣い制御を行う手段と、前記倣い制御により得られたロボット経路上の位置を求める手段と、前記加工プログラムの教示点に基づく経路を前記求めた位置を基に修正する手段とを設けて、加工プログラムの経路を修正するようにして、倣い制御時に加工ツール先端と被加工物間の距離を一定距離に保持するよう制御する際に、この動作が遅れて、被加工物と加工ツールが干渉するような事態を避けることができるようにしたものである。
【０００６】
又、請求項２に係わる発明は、請求項１に係わる発明とは逆に、定位置に加工ツールを配置し、該加工ツールによって加工が行われる被加工物をロボットアーム先端に把持手段で把持して、被加工物を加工プログラムに基づいて移動させるようにした点が相違するもので他は請求項１に記載のものと同じである。  
また、請求項３に係わる発明は、前記加工プログラムの教示点に基づく経路の修正を、教示点そのもの、又は教示点間に点を設けて修正するようにした。また、請求項４に係わる発明は教示点そのもの、又は教示点間に点を設け、それに補正データを与えることによって経路を修正した。  
また、請求項５に係わる発明は、前記倣い制御実行時に、前記加工プログラムの教示点に基づく経路上の位置と、倣い制御により得られたロボット経路上の対応した位置との差が何れかにおいて許容値を超えているとき異常と判断する手段を備えるようにしたものであり、請求項６に係わる発明は、前記加工中に、前記加工プログラムの経路に対する前記修正を行うものとし、また、請求項７に係わる発明は、前記加工終了後に、前記加工プログラムの経路に対する前記修正を行うものとした。
【０００７】
さらに、請求項８に係わる発明は前記ならい制御によって測定された加工ツール先端と被加工物表面のギャップを加工ツールの位置データに基づいて被加工物の表面形状の計算をおこなうもので、前記表面形状が予め設定された許容範囲内であれば前記測定された加工ツール先端と被加工物表面が設定ギャップになるように経路の修正をおこない、許容範囲外であれば被加工物形状の不良として良否判定をおこなうものとした。また、請求項９に係わる発明は、前記倣い制御によって得られた位置データを蓄積、その位置データの変化範囲または変化傾向を数値化する手段を備えたものとした。
【０００８】
また、請求項１０に係わる発明は、前記ならい制御実行時に得られる位置データを蓄積し、前記蓄積された前記加工プログラム中の各教示点に対応する位置データに基づいて加工ツールの軌跡の近似式を作成し、前記近似式で求めた軌跡上の点に変更する手段を備えるものとした。  
請求項１１に係わる発明は、請求項８に記載の被加工物形状を外部に表示する機能とし、請求項１２に係わる発明は、前記倣い制御によって得られた教示点に対応する位置を外部に表示する機能とした。
【発明の効果】
【０００９】
被加工物の製造ロットが異なり被加工物の形状が製造ロットの違いで異なる場合でも、また、被加工物を製造する部材の経時的変化により、被加工物の形状が変化しても、加工プログラムとの形状ずれを修正して新たな加工プログラムを得るようにしているから、距離センサに基づいて加工ツールの位置のフィードバック補正を行っても加減速が遅れ、加工ツールと被加工物が干渉することを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は、本発明の一実施形態の概要図である。この実施形態の倣い加工装置は、ロボット１とレーザ発振器２、レーザ加工ヘッド３で構成されている。ロボット機構部１ａのロボットアーム先端には加工ツールとしてのレーザ加工ヘッド３が取り付けられ、該レーザ加工ヘッド３とレーザ発振器２間は光ファイバー４で接続されている。  
また、ロボット機構部１ａのロボットアーム先端には、レーザ加工ヘッド３と共に距離センサ５が取り付けられ、該距離センサ５の出力はケーブル７を介して距離センサアンプ６に入力され、該距離センサアンプ６の出力は、ロボット制御装置１ｂに入力されている。ロボット制御装置１ｂは、プロセッサ、ＲＯＭ，ＲＡＭ等のメモリ、入出力回路、ロボット機構部１ａの各関節を駆動するサーボモータの回転位置、速度を制御するサーボ制御回路や該サーボモータを駆動するサーボアンプ等を備えている。
【００１１】
図１中、符号１０は被加工物であり、該被加工物１０に対してレーザ加工を行うもので、ロボット制御装置１ｂには、加工経路を形成する教示点を予め教示することによって加工経路が教示されたプログラムが格納されている。ロボット制御装置１ｂのプロセッサは、該加工プログラムを実行し、レーザ発振器２より発振されたレーザビームを、光ファィバー４を介してレーザ加工ヘッド３に送り、レーザ加工ヘッド３からレーザビームを被加工物に照射し、かつ、加工プログラムに基づいてロボット機構部１ａを駆動制御し、ロボット機構部１ａのロボットアーム先端に取り付けられたレーザ加工ヘッド３を、加工プログラムで指令されている加工経路に倣って移動させてレーザ加工を行う。このとき、ロボット制御装置１ｂは、距離センサ５でレーザ加工ヘッド３のノズル先端と被加工物１０との間のギャップ距離を測定し、該測定距離がギャップ基準値と一致するようにレーザ加工ヘッド３の高さ位置を教示した加工プログラムの経路に対して補正するフィードバック制御を行いながらロボット機構部１ａを駆動制御する。
【００１２】
上述したロボット機構部１ａ、ロボット制御装置１ｂ、レーザ発振器２，レーザ加工ヘッド３、距離センサ５、距離センサアンプ６等の構成は、従来のロボットを用いたレーザ加工を行う倣い加工装置と同じであり、従来からあるロボットを用い、ロボットと被加工物間のギャップ距離を測定する距離センサを備えた倣い加工装置のどのようなタイプのものでもよいものである。また、距離センサ５によって測定した被加工物１０とレーザ加工ヘッドノズル間のギャップ距離がギャップ基準値と一致するようにレーザ加工ヘッド３の高さ位置を補正しながらロボット機構部１ａを駆動制御する点も従来と同一である。
【００１３】
本発明は、教示された加工プログラムにおける教示点の位置を加工毎に修正する点に特徴があるものである。被加工物１０に対して加工経路上の点を教示することによって、加工プログラムを作成し、ロボット制御装置１ｂのメモリに格納する。この加工プログラムの作成は、ロボット１を駆動し、レーザ加工ヘッド３を加工位置に対応付けて教示点として教示して加工経路を教示して加工プログラムする方法と、自動プログラミング装置によって、オフラインで加工プログラムを作成する方法があるが、本発明の場合、いずれの加工プログラムの作成方法を用いてもよいものである。  
いずれかの方法によって加工プログラムが作成され、ロボット制御装置１ｂのメモリに格納されている状態において、被加工物の製造ロットを指定して加工実行指令を入力すると、ロボット制御装置１ｂのプロセッサは図２の処理を開始する。
【００１４】
まず、加工プログラムの行番号Ｌ指定するレジスタに「１」をセットし（ステップＳ１）、該行番号Ｌがプログラムの最終行を超えたか判別し（ステップＳ２）、最終行を超えてなければ、該プログラムＬ行目の動作文を読む（ステップＳ３）。そして、フラグＦが「１」にセットされているか判断し（ステップＳ４）、該フラグが「１」でなければ（最初は初期設定で「０」にセットされている）、ステップＳ３で読み込んだ動作文がレーザＯＮ命令か判別し（ステップＳ２０）、レーザＯＮ命令でなければ、ステップＳ２２へ移行し、また、レーザＯＮ命令であれば、フラグＦを「１」にセットし（ステップＳ２１）、ステップＳ２２へに移行する。
【００１５】
ステップＳ２２では、このＬ行目の動作文の指令を従来と同様にを実行し、行番号Ｌ指定するレジスタを「１」インクリメントし（ステップＳ２３）、ステップＳ２に戻る。すなわち、レーザＯＮ命令が読み込まれるまでステップＳ２〜Ｓ４、ステップＳ２０、ステップＳ２２、ステップＳ２３の処理を繰り返し実行し、レーザＯＮ命令が読み込まれると、フラグＦを「１」にセットし（ステップＳ２１）、ステップＳ２２でレーザＯＮ命令をレーザ発振器２に出力しレーザ発振器２を作動開始させる。
【００１６】
以後は、順次、加工プログラムの行を読み込み、フラグＦが「１」にセットされているから、ステップＳ４からステップＳ５に移行して、教示点への移動指令か判別し、教示点への移動指令でなければ、ステップＳ２２へ移行し、教示点への移動指令であれば、該教示された位置に移動しながら加工行う（ステップＳ６）。この場合、距離センサ５からの信号を読み取り、該距離センサ５からの信号に基づいてレーザ加工ヘッド３のノズル先端から被加工物１０までの距離を求め、該距離が設定ギャップ距離ΔＺsに一致するようにフィードバック制御してロボット機構部を駆動制御する。
【００１７】
そして、指令された教示点位置に到達したか判断し（ステップＳ７）、教示点位置に達すると、距離センサ５からの信号を読み取り（ステップＳ８）、該読み取った信号に基づいて該教示点での被加工物１０とレーザ加工ヘッド３のノズル先端間のギャップ距離ΔＺrnを求める（ステップＳ９）。また、レーザＯＮ命令後の教示点を示す指標ｎを「１」インクリメントする（ステップＳ１０）。なお、この指標は、加工実行指令が入力されたときの初期設定で「０」にセットされている。
【００１８】
次に、設定ギャップ量ΔＺsより、ステップＳ９で求めた測定ギャップ距離ΔＺrnを減じて位置修正量ΔＺmnを求める（ステップＳ１１）。すなわち次の１式の演算を行って、位置修正量ΔＺmnを求める。  
ΔZmn=ΔZs−ΔZrn  -----（１）
こうして求められた位置修正量ΔＺmnはメモリに過去Ｃ個分が記憶される（ステップＳ１２）。即ち、先入れ、先出し方式でメモリに位置修正量ΔＺmnがＣ個記憶されることになる。  
そして、該メモリに記憶された位置修正量ΔＺmnの個数がＣ個以上（加工プログラムの実行回数がＣ回以上）か判断し（ステップＳ１３）、Ｃ個に達していなければ、ステップＳ１１で求めた位置修正量ΔＺmnを教示点のデータ修正量ΔＺ'mnとする（ステップＳ１５）。又、Ｃ個の位置修正量ΔＺmnが記憶されていれば、その平均値を教示点のデータ修正量ΔＺ'mnとし（ステップＳ１４）、教示位置データとこのデータ修正量ΔＺ'mnより新位置データを求める（ステップＳ１６）。
【００１９】
例えば、ｐ回目の加工プログラム実行において、ある任意の教示点ｎで計算される位置修正量ΔZmnは設定された被加工物と加工ツール間距離とのずれ量として表される。教示点ｎにおける過去C回分の位置修正量ΔZmnはメモリに格納され、データ修正量ΔZ'mn は過去C回分の教示点ｎでのΔZｍｎ平均値、つまり過去C回分のΔZｍｎの積算値をCで除算して得られる。なお位置修正量ΔZmn がC個に達してなければ、データ修正量ΔZ'mnはｐ回目に測定し、（１）式で計算された位置修正量ΔZmnに等しい。ｐ+１回目の加工プログラム実行時の位置データは当該位置データ（Xn,Yn,Zn）にデータ修正量ΔZ'mnを加算して得られる新位置データ（Xn,Yn,Zn）となる(ステップＳ１６)。
また、ステップS１１からS１６に紹介した新位置データ（Xn,Yn,Zn）をもとめる手段とは別に、蓄積された教示位置データに基づいて軌跡の近似式を作成し、近似式上の点を新しい教示点としてもよい。近似方法は多項式近似のほか線形近似、対数近似、累乗平均、指数近似を利用してもよい。
【００２０】
次に、この新位置データと最初に教示された位置データとの差分の絶対値が最大修正許容値Δａを越えていないか判断し（ステップＳ１７）、超えている場合はアラームを発生し、プログラムを停止する（ステップＳ２４，Ｓ２５）。これは、新教示位置データと最初の教示データとの差があまりにも大きいときには、被加工物が正常ではないと判断した方がよいから、このような処理にしている。
又、被加工物１０とレーザ加工ヘッドノズル間の距離はレーザ加工ヘッド直交するＸ−Ｙ−Ｚの座標系上のＺ軸方向（垂直方向）に向いているときには、単にＺ軸位置にデータ修正量ΔZ'mnを加算すればよい。一方、レーザ加工ヘッドが傾いている場合、測定ギャップ距離ΔＺrnは、この傾いたレーザ加工ヘッドの軸線方向であり、データ修正量ΔZ'mnもこの方向である。この傾き方向は、レーザ加工ヘッドの教示された姿勢データから分かるので、この教示姿勢データに基づいて、傾きを求め、この傾きに対応して各軸方向の修正量を求めて教示点の新位置データを求める。
この求めた新位置データを当該教示点位置データとしてメモリ記憶し、このメモリに記憶された新位置データを当該教示点における教示位置データとして更新し（ステップＳ１８，Ｓ１９）、ステップＳ２に戻る。
【００２１】
以下、前述したステップＳ２以下の処理を繰り返し実行し、当該ロットで製造された被加工物に対する加工を行うと共に、加工プログラムの教示点位置の修正を実行し、新たな教示位置データで構成された加工プログラムを得る。そして、プログラムの最終行までプログラムが実行されれば、この加工処理を終了する。
例えば、図１に示すように、被加工物１０が破線で示す形状であるものとして加工プログラムが教示されていたものとする。このときのレーザ加工ヘッド３の加工経路は破線で示すＰＰであったとする。しかし、あるロットで製造された被加工物１０はΔＡだけ変形し、実線で示す形状であったとする。このときは、図２に示した処理が実行され、この実際の被加工物１０の形状に合わせて、加工プログラムの教示点位置が修正され、加工プログラムの加工経路は実線で示したＰＱの経路に修正され、被加工物１０とレーザ加工ヘッドノズル間のギャップ距離は設定ギャップ距離ΔＺｓに保持される。
図３は、この教示位置の修正の説明図である。
【００２２】
加工プログラムでの教示点Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４…とし、各教示点で測定したギャップ距離がΔZr1，ΔZr2，ΔZr3，ΔZr4…であったとする。新教示点Q１，Q２，Q３，Q４…は、設定ギャップ距離ΔZｓから測定ギャップ距離Zrn（ｎ＝１，２，３…）を減じて求められるΔZmnを各教示点の履歴データとして蓄積し、履歴データが指定個数C以上蓄積された時点から過去C回分のΔZmnの平均値ΔZ'mnをもとめ、これをデータ修正量ΔZ'mnとする。ここで過去C回分のΔZmnpの平均をとることによってハイトセンサ測定誤差を平均化できる。なおC=1の場合には最後に計算された位置修正量ΔZmnの値がデータ修正量ΔZ'mnとなる。
【００２３】
レーザ加工ヘッドの３にレーザビーム照射方向である軸線方向に位置を補正することによって、被加工物１０とレーザ加工ヘッド３のノズル先端間の距離を設定ギャップ距離ΔZsに保持した新しい教示点Q１，Q２，Q３，Q４からなる加工経路ＰQを得る。
このように被加工物を加工する毎に、新たな修正された教示位置からなる加工プログラムが作成されることになる。そして、加工処理中、ステップＳ１７で修正された新位置データと基準として教示された位置デ―タとの差分の絶対値が最大修正許容値Δａを越えたときはステップＳ２４に移行し、アラーム出力し、プログラムの実行を強制的に終了する。  
新位置データと最初に教示された位置データとの差分の絶対値が最大修正許容値Δａを越えることは、あまりにも、非加工物の形状が当初の形状からずれすぎていることを意味する。
【００２４】
以上のように、ロボット制御装置１ｂは、距離センサ５で検出された距離に基づいて被加工物１０とレーザ加工ヘッド３のノズル先端間のギャップ距離を求めて、この検出ギャップ距離が設定ギャップ距離ΔＺｓになるようにフィードブック制御する。この点は、従来と同様であるが、各加工の都度、教示位置が修正され、新たな教示点位置データからなる加工プログラムの加工経路が作成され、この修正された加工プログラムによって次の被加工物に対しては加工制御がなされるものであるから、フィードバック制御に伴う補正量は小さく、補正のための加減速が間に合わず、被加工物１０とレーザ加工ヘッド３が干渉するような事態が発生することはない。  
なお、上述した実施形態では、教示点の位置を加工中に修正したが、位置補正量ΔＺmnを順次記憶しておき、加工終了後に新教示点の位置データを求めるようにしてもよい。即ち、ステップＳ１２で位置補正量ΔＺmnを順次記憶しておき、加工終了後にステップ１３以下の処理を実行し教示点の位置データを更新するようにしてもよい。
【００２５】
また、上述した実施形態では、被加工物を定位置に配置し、加工ツールであるレーザ加工ヘッドをロボットアーム先端に取り付けて加工を行う倣い加工装置の例を説明したが、加工ツールを定位置に配置し、被加工物をロボットアーム先端に取り付けた把持部材で把持し、被加工物を加工プログラムに基づいて該加工プログラムで教示した加工形状に倣うよう駆動制御して加工を行うようにしてもよい。
【００２６】
また、ステップＳ１９で求めた各教示点の新位置データと設定ギャップ距離ΔＺｓに基づいて、もしくは、修正前の教示点の位置データとステップＳ９で求めたレーザ加工ヘッドノズル先端と被加工物１０との距離ΔＺnに基づいて、被加工物１０の形状を求め、この形状をロボット制御装置１ｂが有する表示装置の画面に表示させることによつて、被加工物１０の形状変化を監視し、その形状の良否の判定をしてもよい。
また定期的に被加工物全体を非加工の前記倣い制御を行うことによって、被加工物１０の３次元表面全体の形状変化を監視してもよい。
【００２７】
また被加工物１０の形状データを蓄積し、各教示点の所定期間における形状データの最大値と最小値からばらつきを計算し、前記形状のばらつきや経時変化の様子を図４に示すように前記表示画面に表示してもよい。図４（ａ）は、被加工物の表面形状のばらつきを表示した例で、図４（ｂ）は、ある任意の教示点における高さ位置の経年変化を表示した例である。
【００２８】
さらにステップＳ８からＳ１９で得られた所定期間の測定位置データまたは新教示位置データを図５に示すように前記表示画面に表示させてもよい。
また、前記倣い制御により加工された被加工物１０の検査工程において加工不良などが検出された場合、不良を知らせる信号を前記倣い加工装置が認識することによって、前記倣い加工装置は加工ツールと被加工物表面距離の再校正を行い、前記校正値に基づいて前記倣い制御を実施し、教示点の修正を行ってもよい。  
また、上述した実施形態では、レーザ加工を行う倣い加工装置の例を説明したが、アーク溶接の加工等のをロボットを用いて加工を行うものに対して、本発明は適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の一実施形態の概要図である。
【図２】同実施形態における教示位置データ修正処理のフローチャートである。
【図３】同実施形態における教示位置の修正の説明図である。
【図４】同実施形態における測定された被加工物形状、任意の教示点位置の経年変化の表示例である。
【図５】同実施形態における位置データの表示例である。
【符号の説明】
【００３０】
１  ロボット
１ａ  ロボット機構部
１ｂ  ロボット制御装置
２  レーザ発振器
３  レーザ加工ヘッド
４  光ファィバー
５  距離センサ
６  距離センサアンプ
１０  被加工物
【図１】
2005196242.tif 000003
【図２】
2005196242.tif 000004
【図３】
2005196242.tif 000005
【図４】
2005196242.tif 000006
【図５】
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