(57)【要約】      （修正有）【課題】光硬化性樹脂層に混入した気泡が、微小か、その存在位置が原版の凹凸形状と重なった場合でも、高精度にその存在を検知できるようにした、混入気泡検知方法と検知装置、ならびに気泡の有無を事前に前記混入気泡検知方法により確認・検知してからなされる光硬化樹脂製複製版の複製方法の提供。【解決手段】微細な凹凸部が一表面に設けてある複製原版をその凹凸部が設けてある面を透明基板上の光硬化性樹脂層面に密着させた状態で、透明基板側から光硬化性樹脂層に対して光硬化用ビームを照射して光硬化性樹脂層を硬化させることにより光硬化樹脂製複製版を複製する際、透明基板側から未硬化の光硬化性樹脂層の周囲に対して検知用ビームを走査して照射すると共に、光硬化性樹脂層中に存在する気泡と光硬化性樹脂との界面で反射して透明基材外に戻ってくる反射光を順次記録し、この記録情報に基づいて気泡の存在を検知する。【選択図】図１
2005201785.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面状の透明基板表面に未硬化の光硬化性樹脂層を設けた後、微細な凹凸部が一表面に設けてある平面状の複製原版をその微細な凹凸部が設けてある面を光硬化性樹脂層面に密着させた状態で、透明基板側から光硬化性樹脂層に対してそれを硬化させる波長の光硬化用ビームを走査しながら順次照射して光硬化性樹脂層を硬化させることにより、表面に微細な凹凸形状を有する光硬化樹脂製複製版を複製する際、未硬化の光硬化性樹脂層を硬化させる前に、透明基板側から未硬化の光硬化性樹脂層の周囲に対して光硬化性樹脂層を硬化させない波長の検知用ビームを走査して照射すると共に、光硬化性樹脂層中に存在する気泡と光硬化性樹脂との界面で反射して透明基材外に戻ってくる反射光を順次記録し、この記録情報に基づいて気泡の存在を検知することを特徴とする混入気泡検知方法。
【請求項２】
透明基材外に戻ってくる反射光を記録手段により記録し、しかる後その記録情報に基づいて画像解析することにより気泡を検知することを特徴とする請求項１に記載の混入気泡検知方法。
【請求項３】
平面状の透明基板表面に未硬化の光硬化性樹脂層を設けた後、微細な凹凸部が一表面に設けてある平面状の複製原版をその微細な凹凸部が設けてある面を光硬化性樹脂層面に密着させた状態で、透明基板側から光硬化性樹脂層に対してそれを硬化させる波長の光硬化用ビームを走査しながら照射して光硬化性樹脂層を硬化させることにより、表面に微細な凹凸形状を有する光硬化樹脂製複製版を複製する際に、未硬化の光硬化性樹脂層中における気泡の混入を検知するための装置であって、未硬化の光硬化性樹脂層を硬化させる前に、透明基板側から未硬化の光硬化性樹脂層の周囲に対して光硬化性樹脂層を硬化させない波長の検知用ビームを走査しながら照射するための検知用ビーム照射手段と、光硬化性樹脂層中に存在する気泡の光硬化性樹脂との界面で反射して透明基板外に戻ってくる反射光を順次記録するための記録手段と、この記録手段からの記録情報に基づき気泡の有無を識別するための混入気泡検知手段を少なくとも具備することを特徴とする混入気泡検知装置。
【請求項４】
平面状の透明基板表面に未硬化の光硬化性樹脂層を設けた後、微細な凹凸部が一表面に設けてある平面状の複製原版をその微細な凹凸部が設けてある面を光硬化性樹脂層面に密着させた状態で、透明基板側から未硬化の光硬化性樹脂層の周囲に対して光硬化性樹脂層を硬化させない波長の検知用ビームを走査して照射し、複製原版に密着させてある光硬化性樹脂層中に気泡が存在する場合には気泡と光硬化性樹脂との界面で反射して透明基板外に戻ってくる反射光が無く、未硬化の光硬化性樹脂層中に気泡の混入が無いことが検知・確認されたら、透明基板側から光硬化性樹脂層にそれを硬化させる波長の光硬化用ビームを走査しながら照射して光硬化性樹脂層を順次硬化させることにより、表面に微細な凹凸形状を有する光硬化樹脂製複製版を複製することを特徴とする複製方法。
【請求項５】
上記光硬化性樹脂層を硬化させる波長の光硬化用ビームの走査と、光硬化性樹脂層を硬化させない波長の検知用ビームの走査を、同一のビーム走査手段で切り替えて行えるようにしたことを特徴とする請求項５に記載の複製方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平面状の透明基板表面に未硬化の光硬化性樹脂層を設けた後、微細な凹凸部が一表面に設けてある平面状の複製原版をその微細な凹凸部が設けてある面を光硬化性樹脂層面に密着させた状態で、透明基板側から光硬化性樹脂層にそれが硬化する波長の光硬化用ビームを走査しながら順次照射して光硬化性樹脂層を硬化させることにより、表面に微細な凹凸形状を有する光硬化樹脂製複製版を複製する際に行われる、未硬化の光硬化性樹脂層中の気泡の存在を事前に検知するための混入気泡検知方法と、その検知に際して用いられる検知装置、ならびに前記混入気泡検知方法による気泡混入の検知を行ってからなされる光硬化樹脂製複製版の複製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、表面に回折格子パターンのような微細な凹凸形状を有する樹脂製複製版を複製する場合、例えば回折格子に係る微細な凹凸形状をその表面に有する複数の複製原版を多面付けしてなる複製原版（スタンパー）を用いてその凹凸形状を樹脂板の表面に転写・賦型する方法が多く採用されている。
【０００３】
一方、２光束干渉による回折格子パターンを有するディスプレイの複製原版を作製する方法としては、例えば２光束干渉による干渉縞を、ピッチ、方向、および光強度等を変化させて、感光材料からなる基板の表面に次々に露光していく方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
しかしながら、このような複製原版作製方法は多くの時間と工程を必要とすることから、大きな面積の複製原版を作製する場合には、効率が極めて悪くなってしまう。
【０００５】
他方、微細な凹凸形状をその表面に有する大面積の複製物を作製する方法として、複製原版に光硬化性樹脂を密着させた状態で光を照射して樹脂を硬化させて複製原版の凹凸形状を光硬化性樹脂の表面に転写・賦型する方法もある（例えば、特許文献２参照。）。
【０００６】
しかし、このような方法では、光硬化性樹脂層と複製原版を密着する際に、光硬化性樹脂層と複製原版との界面に気泡が混入してしまうことがあり、この気泡の混入を検知する必要がある。例えば、混入気泡の検知方法としては、光硬化性樹脂を感光させない波長の照明光を照射した状態でカメラ撮影をすると共に、その撮影画像情報をコンピュータに取り込み、画像解析をすることにより混入した気泡を検知する方法がある。しかしこの方法では、気泡が微小な場合にはその部分が照明光照射時にあまり明るくならないため、複製原版の凹凸形状との区別が困難となり、その存在を明確に検知することができなかった。
【０００７】
また、この検知方法では、気泡の位置が複製原版の凹凸形状と重なった場合にも同様に気泡部分での明るさが他の部分と明確に区別できるまでの明るさに達しないため、画像解析に当たっては複製原版の凹凸形状から得られる情報と分離することができず、気泡の存在を検知することが困難であった。
【特許文献１】特公平８−１２２８５号公報
【特許文献２】特許第２７８９５９７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、係る従来技術の問題点を解決するものであり、その課題とするところは、平面状の透明基板表面に未硬化の光硬化性樹脂層を設けた後、微細な凹凸形状が一表面に設
けてある平面状の複製原版をその微細な凹凸形状が設けてある面を光硬化性樹脂層に密着させた状態で、透明基板側から光硬化性樹脂層に対してそれを硬化させる波長の硬化用ビームを走査しながら順次照射して光硬化性樹脂層を硬化させることにより、表面に微細な凹凸形状を有する光硬化樹脂製複製版を複製する際、光硬化性樹脂層に混入した気泡が、微小か、もしくは、その存在位置が原版の凹凸形状と重なった場合でも、極めて高精度にその存在を検知できるようにした、混入気泡検知方法と検知装置、ならびに光硬化性樹脂層中の気泡の有無を事前に前記混入気泡検知方法により確認・検知してからなされる光硬化樹脂製複製版の複製方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を達成すべくなされ、請求項１に記載の発明は、平面状の透明基板表面に未硬化の光硬化性樹脂層を設けた後、微細な凹凸部が一表面に設けてある平面状の複製原版をその微細な凹凸部が設けてある面を光硬化性樹脂層面に密着させた状態で、透明基板側から光硬化性樹脂層に対してそれを硬化させる波長の光硬化用ビームを走査しながら順次照射して光硬化性樹脂層を硬化させることにより、表面に微細な凹凸形状を有する光硬化樹脂製複製版を複製する際、未硬化の光硬化性樹脂層を硬化させる前に、透明基板側から未硬化の光硬化性樹脂層の周囲に対して光硬化性樹脂層を硬化させない波長の検知用ビームを走査して照射すると共に、光硬化性樹脂層中に存在する気泡と光硬化性樹脂との界面で反射して透明基材外に戻ってくる反射光を順次記録し、この記録情報に基づいて気泡の存在を検知することを特徴とする混入気泡検知方法である。
【００１０】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の混入気泡検知方法において、透明基材外に戻ってくる反射光を記録手段で記録し、しかる後その記録情報に基づいて画像解析することにより気泡を検知することを特徴とする。
【００１１】
さらにまた、請求項３に記載の発明は、平面状の透明基板表面に未硬化の光硬化性樹脂層を設けた後、微細な凹凸部が一表面に設けてある平面状の複製原版をその微細な凹凸部が設けてある面を光硬化性樹脂層面に密着させた状態で、透明基板側から光硬化性樹脂層に対してそれを硬化させる波長の硬化用ビームを走査しながら照射して光硬化性樹脂層を硬化させることにより、表面に微細な凹凸形状を有する光硬化樹脂製複製版を複製する際に、未硬化の光硬化性樹脂層中における気泡の混入を検知するための装置であって、未硬化の光硬化性樹脂層を硬化させる前に、透明基板側から未硬化の光硬化性樹脂層の周囲に対して光硬化性樹脂層を硬化させない波長の検知用ビームを走査しながら照射するための検知用ビーム照射手段と、光硬化性樹脂層中に存在する気泡の光硬化性樹脂との界面で反射して透明基板外に戻ってくる反射光を順次記録するための記録手段と、この記録手段からの記録情報に基づき気泡の有無を識別するための混入気泡検知手段を少なくとも具備することを特徴とする混入気泡検知装置である。
【００１２】
さらにまた、請求項４に記載の発明は、平面状の透明基板表面に未硬化の光硬化性樹脂層を設けた後、微細な凹凸部が一表面に設けてある平面状の複製原版をその微細な凹凸部が設けてある面を光硬化性樹脂層面に密着させた状態で、透明基板側から未硬化の光硬化性樹脂層の周囲に対して光硬化性樹脂層を硬化させない波長の検知用ビームを走査して照射し、複製原版に密着させてある光硬化性樹脂層中に気泡が存在する場合には気泡と光硬化性樹脂との界面で反射して透明基板外に戻ってくる反射光が無く、未硬化の光硬化性樹脂中に気泡の混入が無いことが検知・確認されたら、透明基板側から光硬化性樹脂層にそれを硬化させる波長の光硬化用ビームを走査しながら照射して光硬化性樹脂層を順次硬化させることにより、表面に微細な凹凸形状を有する光硬化樹脂製複製版を複製することを特徴とする複製方法である。
【００１３】
さらにまた、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の複製方法において、上記光硬
化性樹脂層を硬化させる波長の光硬化用ビームの走査と、光硬化性樹脂層を硬化させない波長の検知用ビームの走査を、同一のビーム走査手段で切り替えて行えるようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は以上の構成であるから、光硬化性樹脂層に混入している気泡の部分を発光するように明るく観察できるようになり、気泡が微小であったり、その存在位置が複製原版の凹凸形状と重なった場合でも、極めて高精度にその存在を検知できるようになる。また、光硬化性樹脂層を硬化させる波長の光硬化用ビームの走査と、気泡混入の有無を検知・確認するための光硬化性樹脂層を硬化させない波長の検知用ビームの走査を、同一のビーム走査手段で切り替えて行えるため、混入気泡の検知や光硬化性樹脂製複製版の複製が迅速かつ効率よく行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を図面を用いて詳細に説明する。
【００１６】
図４は、回折格子等に係る微細な凹凸形状が一表面に設けてある平面状の複製原版を使用し、表面に微細な凹凸形状を有する樹脂製の複製板を複製している時の状態とその時に使用される装置の一部を示す説明図である。
【００１７】
図にも示すように、水平に設置されたガラス基板（平面状の透明基板）４１に対しては垂直方向に移動する昇降ヘッド４４が配置してある。この昇降ヘッド４４のガラス基板４１に対向する面には、表面に微細な凹凸部が設けてあるニッケルメッキを施した平面状の複製原版４３が凹凸部形成側を下側にして貼り付けてある。
【００１８】
一方、ガラス基板４１の表面にはノングレア処理が施されており、薬液によりその表面が細かく荒らされた状態になっている。また、その上にはさらにシランカップリング処理が施されていてシランカップリング処理層が設けられている。このシランカップリング処理層は、ガラス基板４１とその上に設ける光硬化性樹脂層４２との密着性を向上させるために設けるものであり、それを構成するシランカップリング剤は、分子中に無機質材料と化学的結合する反応基と、有機材料と化学的結合する反応基の２種以上の異なった反応基を持っている。このため、シランカップリング剤で表面処理を行ったガラス基板４１上には光硬化性樹脂層４２が強固に固着されるようになる。
【００１９】
このような処理が施されたガラス基板４１上には、図面にも示すように、まず紫外線等の活性光線により硬化する光硬化性樹脂が塗布（滴下）され、光硬化性樹脂層４２が設けられる。この時、ガラス基板４１の表面のノングレア処理による微細な凹凸部は、表面に塗布した光硬化樹脂層４２によって埋めらることになり、見かけ上は透明な基板となる。
【００２０】
次に、この光硬化性樹脂層４２に向けて複製原版４３を貼り付けた昇降ヘッド４４を徐々に降下させ、複製原版４３の微細な凹凸部が設けてある面を光硬化性樹脂層４２に密着させる（図５参照）。
【００２１】
図４においてはガラス基板４１の表面に設けた光硬化性樹脂層４２と、ニッケルメッキ製の複製原版４３は離れたように示してあるが、光硬化性樹脂層４２を硬化させる波長の光硬化用ビームを照射するときは、図５にも示すように、光硬化性樹脂層４２と複製原版４３は密着して配置される。
【００２２】
このような状態に光硬化性樹脂層４２と複製原版４３がセットされたら、次に、光硬化用ビーム発振手段４５から光硬化用ビーム（例えば、波長が３２５ｎｍの紫外線レーザー
（Ｈｅ−Ｃｄレーザー））４５’を発振させ、それをミラー４６、シャッター４７を順次経由させてＸスキャナー４８のミラーに入射させる。
【００２３】
入射された光硬化用ビームはＸスキャナー４８で走査されながら、Ｙスキャナー４９に導かれ、そこでＸスキャナー４８の走査方向と直交する方向にさらに走査され、ガラス基板４１側から光硬化性樹脂層４２に到達する。光硬化性樹脂層４２では照射された部分が光硬化することにより、複製原版４３の微細な凹凸形状が転写・賦型され、光硬化樹脂製複製版が製造される。
【００２４】
この時、密着配置してある複製原版４３とガラス基板４１との距離が、硬化して成形される光硬化樹脂製複製版の厚みとなる。複製原版４３とガラス基板４１との距離としては、５μｍから１０００μｍ程度の範囲でよく、２００μｍ程度が最適である。
【００２５】
以上のようにして光硬化性樹脂層４２の所定の部分を光硬化させたら、昇降ヘッド４４を上昇させ、密着されていた複製原版４３を光硬化性樹脂層４２より剥離する。しかる後、ガラス基板４１をＸＹステージで移動させ、前述の工程を繰り返すことで光硬化性樹脂層４２の表面に複製原版４３の凹凸形状を多面に転写・賦型したら、今度は光硬化性樹脂層４２の周縁で凹凸形状が賦型されていない未硬化部分に光硬化用ビームを照射し、全体を硬化させる。
【００２６】
以上、従来から行われている光硬化樹脂製の複製版の複製方法と製造装置の概略を説明したが、このような従来の複製方法に際して行う、本発明に係る混入気泡検知方法と検知装置、そして気泡混入の検知を行ってからなされる複製方法につき、図１〜図３を参照にして以下に説明する。
【００２７】
図１は、回折格子等に係る微小な凹凸形状を一表面に有する光硬化樹脂製複製版を複製している状態と、その際に行われる混入気泡の検知方法ならびにそれに使用される検知装置の概要を示す説明図である。一方、図２と図３は、光硬化樹脂製複製版の複製中にガラス基板上の光硬化性樹脂層中における気泡混入の有無を確認・検知している時の状態を示す説明図である。
【００２８】
図１に示すように、複製装置には水平に設置されたガラス基板（平面状の透明基板）１１に対しては垂直方向に移動する昇降ヘッド１４が配置してある。この昇降ヘッド１４のガラス基板１１に対向する面には、表面に微細な凹凸部が設けてあるニッケルメッキを施した平面状の複製原版１３が凹凸部の形成側を下側にして貼り付けてある。
【００２９】
一方、ガラス基板１１の表面にはノングレア処理が施されており、薬液によりその表面が細かく荒らされた状態になっている。また、その上にはさらにシランカップリング処理が施されていてシランカップリング処理層１０が設けられている。このシランカップリング処理層１０は、前述したように、ガラス基板１１とその上に設ける光硬化性樹脂層１２との密着性を向上させるために設けるものであり、それを構成するシランカップリング剤は、分子中に無機質材料と化学的結合する反応基と、有機材料と化学的結合する反応基の２種以上の異なった反応基を持っている。このため、シランカップリング剤で表面処理を行ったガラス基板１１上には光硬化性樹脂層１２が強固に固着されるようになる。
【００３０】
このような処理が施されたガラス基板１１上には、図面にも示すように、紫外線等の活性光線により硬化する光硬化性樹脂が塗布（滴下）され、光硬化性樹脂層１２が設けられる。そして、この光硬化性樹脂層１２に向けて複製原版１３を貼り付けた昇降ヘッド１４を徐々に降下させ、複製原版１３の微細な凹凸部が設けてある面を光硬化性樹脂層１２に密着させる（図１、２参照）。
【００３１】
図１においてはガラス基板１１の表面に設けた光硬化性樹脂層１２と、ニッケルメッキ製の複製原版１３は離れたように示しているが、光硬化性樹脂層１２を硬化させる波長の光硬化用ビームを照射するときは、図２にも示すように、光硬化性樹脂層１２と複製原版１３は密着して配置され、一体化されている。
【００３２】
次に、検知用ビーム発振器１５から光硬化性樹脂層１２を硬化させない波長の検知用ビーム（例えば、波長が６３３ｎｍの赤色レーザー（Ｈｅ−Ｎｅレーザー））１５’を発振し、切り替えミラー１６にて反射させ、シャッター１７を経由して、Ｘスキャナー１８のミラーに入射させる。
【００３３】
Ｘスキャナー１８はそのミラーに入射された光検知用ビーム１５’を走査して、Ｙスキャナー１９のミラーに出射し、そこでＸスキャナー１８の走査方向と直交する方向にさらに走査しながら、ガラス基板１１側から光硬化性樹脂層１２に対して検知用ビームを照射する。
【００３４】
検知用ビーム発振器１５，切り替えミラー１６、シャッター１７、Ｘスキャナー１８、Ｙスキャナー１８等を具備してなる検知用ビーム照射手段を操作し、検知用ビームが光硬化性樹脂層１２の内部に入射されると、ガラス基板１１と光硬化性樹脂層１２とでは屈折率が異なることから、その境界では検知用ビームが反射して光硬化性樹脂層１２中を導波していく。その時、光硬化性樹脂層１２中に気泡２４が存在すると、気泡２４の内部と光硬化性樹脂層１２を構成する光硬化性樹脂の屈折率は異なることから、気泡２４の光硬化性樹脂層１２側で拡散反射した反射光はガラス基板１１の外側に出射し、観察カメラ等の記録手段２１によりその光を記録することができる。そして、この記録された情報に基づいて混入気泡検知手段２９により画像処理等を行い気泡の混入を検知することができる（図２参照）。
【００３５】
混入気泡の検知に当たっては、図３に示すように、まず光硬化性樹脂層１２の内側領域にＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄの四つの頂点からなる正方形で定められる走査範囲２５を設定し、このの周囲を検知用ビームで順次走査していく。
【００３６】
この時、頂点Ａに照射した検知用ビームは光硬化性樹脂層１２の内部を導波して、気泡２４のａ部分に達し、同様に、頂点Ｂに照射した検知用ビームがｂに、頂点Ｃに照射した検知用ビームがｃに、さらには頂点Ｄに照射した検知用ビームがｄにそれぞれ到達して気泡の表面で拡散反射することになる。
【００３７】
また、前記走査範囲２５の一辺（線ＡＢ）上を検知用ビームで走査した場合には、気泡２４の表面では曲線ａｂが反射することになり、発光部分２６として観察される。
【００３８】
さらに、走査範囲２５の頂点Ａから頂点Ｂ、頂点Ｃ、頂点Ｄを経由して４辺を連続して走査した場合には、気泡２４のａｂｃｄを通る円の部分で反射することになり、気泡２４の外形に対応した部分が発光するように明るく観察できるようになる。
【００３９】
記録手段２１、例えば観察カメラではこの発光した部分を撮影・記録した後、その記録情報をコンピュータで画像ファイルに変換し、コントラスト調整、二値化処理、ノイズ除去等の前処理を行い、形状認識処理を行う。
【００４０】
以上のような形状認識処理を混入気泡検知手段２９で行うことにより、光硬化性樹脂層中に存在する気泡の円形の形状をコンピュータで認識することができ、光硬化性樹脂層中における気泡の混入が検知されることになる。
【００４１】
ところで、通常の照明方法で撮影した画像では、複製原版の凹凸形状に対応して得られる撮影情報が、混入した気泡に対応して得られる円形状の撮影情報と近似した形状の場合、上記した画像処理では分離することが困難となってしまうことがある。
【００４２】
しかし、本発明では、気泡の部分が発光したように明るく観察でき、その明るさは複製原版の微細な凹凸部での明るさと大きく異なることから、気泡と複製原版の画像形状との分離は容易となる。
【００４３】
さらに、気泡混入の検知をより確実に判断する必要がある場合には、正方形の走査範囲２５の各頂点ＡＢＣＤを連続して走査するのではなく、頂点Ａから頂点Ｂを経由して頂点Ｃに至る２辺を走査し、気泡のａ点、ｂ点、ｃ点の各点を含む半円を形状認識し、同様にＢＣＤ、ＣＤＡ、ＤＡＢの各２辺を順に走査し、ｂｃｄ、ｃｄａ、ｄａｂの半円のそれぞれを分割して形状認識すれば、これらの認識に基づいて気泡の混入をより確実に判断することが出来る。
【００４４】
前記画像処理で気泡の混入が確認されたら、光硬化性樹脂層１２側から複製原版１３を剥離し、複製原版１３を貼り付けた昇降ヘッド１４を再度降下させて光硬化性樹脂層１２と複製原版１３との界面に気泡が存在しないように再度密着させ、もう一度気泡混入の有無を確認する。
【００４５】
以上のようにして混入気泡の検知を行って気泡の混入がないことが確認できたら、今度は光硬化用ビーム発振器２２から光硬化用ビーム２２’を発振させ、光硬化用ビーム２２’を前記検知用ビームと同様に、シャッター１７を経由させて、Ｘスキャナー１８のミラーからＹスキャナー１９のミラーへと順次導き、そこでＸスキャナー１８の走査方向と直交する方向に走査し、その走査ビームをガラス基板１１側から気泡が混入していない光硬化性樹脂層１２に順次照射して光硬化性樹脂層１２の硬化を行い、光硬化性樹脂製複製版を得る。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係る混入気泡検知方法と検知方法、ならびに複製方法の概要を示す説明図である。
【図２】本発明において行われる混入気泡の検知の状態を示す断面説明図である。
【図３】本発明において行われる混入気泡の検知の状態を示す平面説明図である。
【図４】従来から行われている光硬化樹脂製複製版の製造方法と製造装置の概略の状態を示す説明図である。
【図５】光硬化樹脂製複製版の製造時の様子を示す断面説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０、４０‥‥シランカップリング処理層
１１、４１‥‥ガラス基板
１２、２４‥‥光硬化性樹脂層
１３、４３‥‥複製原版
１４、４４‥‥昇降ヘッド
１５’‥‥検知用ビーム
１６‥‥切り替えミラー
１７‥‥シャッター
１８‥‥Ｘスキャナー
１９‥‥Ｙスキャナー
２１‥‥記録手段
２２’‥‥光硬化用ビーム
２３‥‥ミラー
２４‥‥気泡
２５‥‥走査範囲
２６‥‥発光部分
５１‥‥樹脂硬化部分
５２‥‥樹脂未硬化部分
【図１】
2005201785.tif 000003
【図２】
2005201785.tif 000004
【図３】
2005201785.tif 000005
【図４】
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【図５】
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