(57)【要約】【課題】簡単な構成で、サイズの異なる感光性板状部材であってもステージに確実に吸着できる感光性板状部材吸着機構と、この感光性板状部材吸着機構を備えた画像記録装置を得る。【解決手段】ステージ１５２の側方に配置された巻き付けロール１７６に、レーザ光を透過可能な可撓性フィルム１７８が巻き付けられており、モータ１８２の回転駆動力で可撓性フィルム１７８を巻き出して、ステージ１５２のすべての吸着孔１７２を覆うことができる。これにより、基板１５０の周囲の吸着孔１７２からの空気漏れを防止できる。【選択図】        図８
2005003798.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置面上に感光性板状部材を載置可能なステージと、
前記載置面に形成され、載置された感光性板状部材を吸着するための複数の吸着孔と、
前記載置面に感光性板状部材が載置された状態で、この感光性板状部材と、感光性板状部材の外側の前記吸着孔の全てを被覆可能で、かつ感光性板状部材を露光するための光を透過可能とされた可撓性フィルムと、
前記可撓性フィルムを、感光性板状部材と感光性板状部材の外側の前記吸着孔の全てを被覆する被覆位置と、載置面上に感光性板状部材を載置可能とする退避位置との間で移動可能とする移動手段と、
を有することを特徴とする感光性板状部材吸着機構。
【請求項２】
前記移動手段が、前記可撓性フィルムを巻き付けられた巻き付けロールと、
前記巻き付けロールから前記可撓性フィルムを巻き出す巻き出し装置と、
を含んで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の感光性板状部材吸着機構。
【請求項３】
前記可撓性フィルムが、少なくとも波長１５０〜４５０ｎｍの光を透過可能とされていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の感光性板状部材吸着機構。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の感光性板状部材吸着機構と、
前記感光性板状部材吸着機構によって載置面上に吸着された感光性板状部材に画像を記録する画像記録手段と、
を有することを特徴とする画像記録装置。
【請求項５】
前記画像記録手段が、レーザー光を感光性板状部材に照射して画像記録を行うレーザー記録手段、
とされていることを特徴とする請求項４に記載の画像記録装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、感光性板状部材吸着機構及び画像記録装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
感光性板状部材をステージ上に載置し、所望のパターン等を記録する画像記録装置では、ステージの載置面に複数の吸着孔が形成されており、載置面に載置された感光性板状部材を負圧により吸着して保持する構成のものがある。
【０００３】
しかし、一般に、載置面上に載置された感光性板状部材の周囲からは、いわゆる空気漏れがあるため、十分な吸着力を得るためには、より大きな真空ポンプやブロワなどの装置が必要になる。
【０００４】
また、この構成では、画像記録の対象となる複数サイズの感光性板状部材のうち、最大サイズの感光性板状部材にあわせて複数の吸着孔を載置面の広い範囲に分散させているため、より小さいサイズの感光性板状部材を吸着する場合には、感光性板状部材の外側に位置する吸着孔が感光性板状部材によって塞がれず、十分な吸着力が得られないおそれがある。
【０００５】
このような不都合を解消するためには、たとえば、感光性板状部材の外側領域にある未使用の吸着孔をフィルム等で覆う方法が考えられる。しかし、この方法では、感光性板状部材サイズが異なるごとに、それに対応した形状のフィルムを用意して載置面に貼る必要があり、手間がかかる。
【０００６】
これに対し、いわゆるマスク密着型の露光機では、透光板や支持板、及びこれらの間を密閉する土手ゴム等でマスクと基板（感光性板状部材）とを囲繞し、囲繞された空間の空気を吸引する構成のものがある（たとえば特許文献１参照）。このように、マスク密着型の露光機を前提とした構成では、透光板や支持板、さらには、土手ゴムなどが必要となり、装置全体が大掛かりとなる。
【０００７】
【特許文献１】
特開２０００−２９９５４６号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記事実を考慮し、簡単な構成で、サイズの異なる感光性板状部材であってもステージに確実に吸着できる感光性板状部材吸着機構と、この感光性板状部材吸着機構を備えた画像記録装置を得ることを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明では、載置面上に感光性板状部材を載置可能なステージと、前記載置面に形成され、載置された感光性板状部材を吸着するための複数の吸着孔と、前記載置面に感光性板状部材が載置された状態で、この感光性板状部材と、感光性板状部材の外側の前記吸着孔の全てを被覆可能で、かつ感光性板状部材を露光するための光を透過可能とされた可撓性フィルムと、前記可撓性フィルムを、感光性板状部材と感光性板状部材の外側の前記吸着孔の全てを被覆する被覆位置と、載置面上に感光性板状部材を載置可能とする退避位置との間で移動可能とする移動手段と、を有することを特徴とする。
【００１０】
この感光性板状部材吸着機構では、移動手段によって可撓性フィルムを退避位置とし、ステージの載置面に感光性板状部材を載置する。この状態で、移動手段により、可撓性フィルムを被覆位置とする。感光性板状部材の外側に吸着孔が露出している場合には、可撓性フィルムが、感光性板状部材と、この感光性板状部材の外側に位置する吸着孔のすべてを被覆するので、未使用の吸着孔や感光性板状部材の周囲から不用意に空気が抜けることがない。したがって、たとえば、小さな吸引装置を使用した場合などであっても、確実に感光性板状部材を吸着することができる。もちろん、感光性板状部材がすべての吸着孔を覆う程度に大きい場合にも、吸着孔から不用意に空気が抜けることはないので、確実に感光性板状部材を吸着できる。このように、感光性板状部材のサイズに関わらず、確実に感光性板状部材を吸着できる。
【００１１】
しかも、可撓性フィルムを、移動手段によって、被覆位置と退避位置との間で移動させるため、構成が複雑になることもない。
【００１２】
請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記移動手段が、前記可撓性フィルムを巻き付けられた巻き付けロールと、前記巻き付けロールから前記可撓性フィルムを巻き出す巻き出し装置と、を含んで構成されていることを特徴とする。
【００１３】
したがって、巻き付けロールに可撓性フィルムを巻き取って退避位置とすることができ、広いスペースを必要としない。また、巻き出し装置によって可撓性フィルムを巻き出すだけで、被覆位置とすることもできる。
【００１４】
可撓性フィルムとしては、請求項３に記載のように、少なくとも波長１５０〜４５０ｎｍの光を透過可能とされていれば、感光性板状部材の露光に使用される光を確実に透過させることができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明では、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の感光性板状部材吸着機構と、前記感光性板状部材吸着機構によって載置面上に吸着された感光性板状部材に画像を記録する画像記録手段と、を有することを特徴とする。
【００１６】
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の感光性板状部材吸着機構を有しているので、簡単な構成で、しかも感光性板状部材サイズに関わらず、確実に感光性板状部材を吸着できる。
【００１７】
ステージの載置面に感光性板状部材を吸着した状態で、画像記録手段によって、画像を記録することができる。
【００１８】
請求項５に記載の発明では、請求項４に記載の発明において、前記画像記録手段が、レーザー光を感光性板状部材に照射して画像記録を行うレーザー記録手段、とされていることを特徴とする。
【００１９】
このように、レーザー記録手段によってレーザー光を感光性板状部材に照射することで、高速且つ高精度で画像を記録することが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
図８〜図１０には、本発明の第１実施形態の基板吸着機構１０４が示されている。また、図１には、この基板吸着機構１０４を備えた画像記録装置１０２が示されている。
【００２１】
この画像記録装置１０２は、いわゆるフラッドベッドタイプの画像記録装置とされており、図１に示すように、感光性板状部材の一例である基板１５０を表面（載置面１５２Ｐ）に吸着して保持するステージ１５２を備えている。４本の脚部１５４に支持された板状の定盤１５６の上面には、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド１５８が設置されている。ステージ１５２は、その長手方向がステージ移動方向を向くように配置されると共に、ガイド１５８によって往復移動可能に支持されている。なお、この画像記録装置には、ステージ１５２をガイド１５８に沿って駆動するための図示しない駆動装置が設けられており、後述するように、走査方向での所望の移動速度（走査速度）となるように、図示しないコントローラによって駆動制御される。
【００２２】
定盤１５６の中央部には、ステージ１５２の移動経路を跨ぐようにゲート１６０が設けられている。コ字状のゲート１６０の端部の各々は、定盤１５６の両側面に固定されている。このゲート１６０を挟んで一方の側にはスキャナ１６２が設けられ、他方の側には基板１５０に設けられたアライメントマークを検出する複数（例えば、２個）の検知センサ１６４が設けられている。スキャナ１６２及び検知センサ１６４はゲート１６０に各々取り付けられて、ステージ１５２の移動経路の上方に固定されている。なお、スキャナ１６２及び検知センサ１６４は、これらを制御する図示しないコントローラに接続されており、後述するように、露光ヘッド１６６によって露光する際に所定のタイミングで露光するように制御される。
【００２３】
また、検知センサ１６４は、撮像時の光源として１回の発光時間が極めて短いストロボ（図示省略）を備えており、このストロボの発光時のみ撮像が可能となるように受光感度が設定されている。
【００２４】
検知センサ１６４は、その真下の撮像位置をステージ１５２が通過する際に、所定のタイミングでストロボを発光させ、このストロボからの光の反射光を受光することにより、基板１５０に形成されたアライメントマークを含む撮像範囲をそれぞれ撮像する。また、検知センサ１６４は、アライメントマークの位置等に応じて幅方向に沿った位置調整が可能とされている。
【００２５】
また、スキャナ１６２はゲート１６０により走査方向に沿って位置調整可能に支持されている。これにより、検知センサ１６４による撮像位置とスキャナ１６２による露光位置との距離を所定の範囲内で調整可能となっている。
【００２６】
スキャナ１６２は、図２及び図３（Ｂ）に示すように、ｍ行ｎ列（例えば、３行５列）の略マトリックス状に配列された複数の露光ヘッド１６６を備えている。この例では、基板１５０の幅との関係で、１行目及び２行目には５個の、３行目には４個の露光ヘッド１６６を配置し、全体で、１４個とした。なお、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドを示す場合は、露光ヘッド１６６ｍｎと表記する。
【００２７】
露光ヘッド１６６による露光エリア１６８は、図２では、走査方向を短辺とする矩形状で、且つ、ヘッド並び方向に対し、所定の傾斜角で傾斜している。そして、ステージ１５２の移動に伴い、基板１５０には露光ヘッド１６６毎に帯状の露光済み領域１７０が形成される。なお、ｍ行目のｎ列目に配列された個々の露光ヘッドによる露光エリアを示す場合は、露光エリア１６８ｍｎと表記する。
【００２８】
また、図３（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、帯状の露光済み領域１７０のそれぞれが隣接する露光済み領域１７０と部分的に重なるように、ライン状に配列された各行の露光ヘッドの各々は、ヘッド並び方向に所定間隔ずらして配置されている。このため、１行目の露光エリア１６８１１と露光エリア１６８１２との間の露光できない部分は、２行目の露光エリア１６８２１と３行目の露光エリア１６８３１とにより露光することができる。
【００２９】
露光ヘッド１６６１１〜１６６ｍｎ各々は、図４、図５（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、入射された光ビームを画像データに応じて各画素毎に変調する空間光変調素子として、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）５０を備えている。このＤＭＤ５０は、データ処理部とミラー駆動制御部とを備えた図示しないコントローラに接続されている。コントローラのデータ処理部では、入力された画像データに基づいて、各露光ヘッド１６６毎にＤＭＤ５０の制御すべき領域内の各マイクロミラーを駆動制御する制御信号を生成する。
【００３０】
また、ミラー駆動制御部では、画像データ処理部で生成した制御信号に基づいて、各露光ヘッド１６６毎にＤＭＤ５０の各マイクロミラーの反射面の角度を制御する。
【００３１】
ＤＭＤ５０の光入射側には、光ファイバの出射端部（発光点）が露光エリア１６８の長辺方向と対応する方向に沿って一列に配列されたレーザ出射部を備えたファイバアレイ光源６６、ファイバアレイ光源６６から出射されたレーザ光を補正してＤＭＤ上に集光させるレンズ系６７、レンズ系６７を透過したレーザ光をＤＭＤ５０に向けて反射するミラー６９がこの順に配置されている。
【００３２】
レンズ系６７は、ファイバアレイ光源６６から出射されたレーザ光を平行光化する１対の組合せレンズ７１、平行光化されたレーザ光の光量分布が均一になるように補正する１対の組合せレンズ７３、及び光量分布が補正されたレーザ光をＤＭＤ上に集光する集光レンズ７５で構成されている。組合せレンズ７３は、レーザ出射端の配列方向に対しては、レンズの光軸に近い部分は光束を広げ且つ光軸から離れた部分は光束を縮め、且つこの配列方向と直交する方向に対しては光をそのまま通過させる機能を備えており、光量分布が均一となるようにレーザ光を補正する。
【００３３】
また、ＤＭＤ５０の光反射側には、ＤＭＤ５０で反射されたレーザ光を基板１５０の走査面（被露光面）５６上に結像するレンズ系５４、５８が配置されている。レンズ系５４及び５８は、ＤＭＤ５０と被露光面５６とが共役な関係となるように配置されている。
【００３４】
本実施形態では、ファイバアレイ光源６６から出射されたレーザ光は、実質的に５倍に拡大された後、各画素がこれらのレンズ系５４、５８によって約５μｍに絞られるように設定されている。
【００３５】
ＤＭＤ５０は、図６に示すように、ＳＲＡＭセル（メモリセル）６０上に、微小ミラー（マイクロミラー）６２が支柱により支持されて配置されたものであり、画素（ピクセル）を構成する多数の（例えば、ピッチ１３．６８μｍ、１０２４個×７６８個）の微小ミラーを格子状に配列して構成されたミラーデバイスである。各ピクセルには、最上部に支柱に支えられたマイクロミラー６２が設けられており、マイクロミラー６２の表面にはアルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。なお、マイクロミラー６２の反射率は９０％以上である。また、マイクロミラー６２の直下には、ヒンジ及びヨークを含む支柱を介して通常の半導体メモリの製造ラインで製造されるシリコンゲートのＣＭＯＳのＳＲＡＭセル６０が配置されており、全体はモノリシック（一体型）に構成されている。
【００３６】
ＤＭＤ５０のＳＲＡＭセル６０にデジタル信号が書き込まれると、支柱に支えられたマイクロミラー６２が、対角線を中心としてＤＭＤ５０が配置された基板側に対して±α度（例えば±１０度）の範囲で傾けられる。図７（Ａ）は、マイクロミラー６２がオン状態である＋α度に傾いた状態を示し、図７（Ｂ）は、マイクロミラー６２がオフ状態である−α度に傾いた状態を示す。従って、画像信号に応じて、ＤＭＤ５０の各ピクセルにおけるマイクロミラー６２の傾きを、図６に示すように制御することによって、ＤＭＤ５０に入射された光はそれぞれのマイクロミラー６２の傾き方向へ反射される。
【００３７】
なお、図６には、ＤＭＤ５０の一部を拡大し、マイクロミラー６２が＋α度又は−α度に制御されている状態の一例を示す。それぞれのマイクロミラー６２のオンオフ制御は、ＤＭＤ５０に接続された図示しないコントローラによって行われる。オフ状態のマイクロミラー６２により光ビームが反射される方向には、光吸収体（図示せず）が配置されている。
【００３８】
図８には、本実施形態のステージ１５２が示されている。このステージ１５２は、中空の扁平な箱状に形成されており、その上面が、基板１５０が載置される載置面１５２Ｐとされている。載置面１５２Ｐのサイズは、この画像記録装置１０２での画像記録の対象となる最も大きな基板であっても載置可能なサイズとされている。以下、本実施形態の画像記録装置１０２において画像記録の対象となる最も大きなサイズの基板を「最大サイズ基板」、もっとも小さなサイズの基板を「最小サイズ基板」ということとする。
【００３９】
載置面１５２Ｐには、複数の吸着孔１７２が形成されている（本実施形態では、ステージ移動方向に７個、これと直交するステージ幅方向にも７個のマトリクス状とし、合計で４９個とした）。ステージ１５２には、管路１７４（図１１参照）を介して図示しない吸引装置（たとえば真空ポンプ）が接続されており、ステージ１５２内を負圧にすると共に、吸着孔１７２から空気を吸引することができるようになっている。載置面１５２Ｐ上に載置された基板１５０によって吸着孔１７２が覆われている場合には、基板１５０を吸着する。吸着孔１７２は、最大サイズ基板を確実に吸引することができる程度の広い範囲をカバーし、且つ最小サイズ基板であっても確実に吸引することができる程度の面密度となるよう配置されている。
【００４０】
ステージ１５２の側方には、ステージ１５２の一辺と平行に巻き付けロール１７６が配置されている。この巻き付けロール１７６には、ファイバアレイ光源６６（図４及び図５参照）から出射されたレーザ光を透過可能な可撓性フィルム１７８が巻き付けられている。可撓性フィルム１７８は、ステージ１５２の幅方向において、少なくともすべての吸着孔１７２を覆うことができる程度の幅を有している（本実施形態では、ステージ１５２よりも可撓性フィルム１７８を幅広としている）。
【００４１】
巻き付けロール１７６の一端には、巻き付けロール１７６を可撓性フィルム１７８が巻き付けられる方向（矢印Ｒ１方向）に付勢する付勢部材１８０が設けられている。なお、付勢部材１８０としては、たとえばバネやゴム等の弾性部材を適用することができる。
【００４２】
ステージ１５２を挟んで巻き付けロール１７６の反対側には、モータ１８２の回転駆動力を受けて矢印Ｒ２方向に回転するシャフト１８４が配置され、さらにシャフト１８４の両端近傍に、２つのスプール１８６が取り付けられている。スプール１８６のそれぞれには、ワイヤ１８８の一端が固着され、ワイヤ１８８の他端はそれぞれ、バー１９０を介して、可撓性フィルム１７８の先端の両側部分に固着されている。モータ１８２の回転駆動力を受けてシャフト１８４及びスプール１８６が矢印Ｒ２方向に回転すると、ワイヤ１８８がスプール１８６に巻き取られ、付勢部材１８０の付勢力に抗して、図９に示すように、可撓性フィルム１７８が巻き付けロール１７６から巻き出される。そして、図１０に示すように、可撓性フィルム１７８が、すべての吸着孔１７２を覆うことができるまで巻き出されると、可撓性フィルム１７８が本発明における被覆位置となる。これに対し、モータ１８２をオフにすると、付勢部材１８０に付勢力で巻き付けロール１７６が回転し、可撓性フィルム１７８が巻き取られる。図８に示すように、載置面１５２Ｐ上に基板１５０を載置可能な程度に巻き取られると、可撓性フィルム１７８が本発明における退避位置となる。
【００４３】
ステージ１５２と巻き付けロール１７６との間には、案内ロール１９２が配置されている。案内ロール１９２は、可撓性フィルム１７８が載置面１５２Ｐ、又は載置面１５２Ｐ上の基板１５０と同一の高さとなるように案内している。また、ステージ１５２とスプール１８６の間には、案内プーリ１９４が配置されている。案内プーリ１９４も、ワイヤ１８８を介して、可撓性フィルム１７８が載置面１５２Ｐ、又は載置面１５２Ｐ上の基板１５０と同一の高さとなるように案内している。さらに案内プーリ１９４は、ワイヤ１８８がシャフト１８４の長手方向に不用意に移動しないように案内している。
【００４４】
次に、本実施形態の作用について説明する。
【００４５】
基板１５０に画像を記録するには、まず、モータ１８２をオフにし、可撓性フィルム１７８を退避位置としておく（図８参照）。そして、ステージ１５２の載置面１５２Ｐ上に基板１５０を載置する。吸着孔１７２の少なくとも一部は、基板１５０により覆われる。
【００４６】
次に、モータ１８２を駆動して、図９に示すように、シャフト１８４及びスプール１８６を矢印Ｒ２方向に回転させる。そして、図１０に示すように、可撓性フィルム１７８を被覆位置とする。これにより、基板１５０の外側に位置している吸着孔１７２、すなわち、基板１５０によって覆われていなかった吸着孔１７２も、可撓性フィルム１７８によって覆われる。
【００４７】
この状態で、図示しない吸引装置を駆動して、ステージ１５２の内部を負圧にする（図１１参照）。吸着孔１７２は、基板１５０又は可撓性フィルム１７８のいすれかで覆われているので、吸着孔１７２から不用意に空気を吸引してしまったり、基板１５０の周囲から空気が漏れてしまったりすることがなく、したがって、たとえば、吸引装置として小型のものを使用した場合であっても、確実に基板１５０を吸着できる。また、たとえば基板１５０に反りがある場合であっても、確実に基板１５０を吸着できる。
【００４８】
しかも、たとえば最小サイズの基板１５０であっても、基板１５０に覆われなかった吸着孔１７２は、可撓性フィルム１７８によって覆われる。もちろん、最大サイズの基板１５０の場合には、この基板１５０によって、すべての可撓性フィルム１７８が覆われる。したがって、基板１５０のサイズに関わらず、同一の工程で、基板１５０をステージ１５２の載置面１５２Ｐ上に吸着することができる。
【００４９】
加えて、モータ１８２の回転駆動力でシャフト１８４及びスプール１８６を回転させるだけで、可撓性フィルム１７８を退避位置から被覆位置へと移動させることができるので、構造が複雑になることもない。
【００５０】
このようにして、基板１５０を載置面１５２Ｐに吸着したステージ１５２は、図示しない駆動装置により、ガイド１５８に沿ってゲート１６０の上流側から下流側に一定速度で移動される。
【００５１】
図示しないコントローラは、アライメントマークが検知センサ１６４の撮像位置に達すると、ストロボを発光させて検知センサ１６４によりアライメントマークを含む撮像領域を撮像させる。このとき、検知センサ１６４により得られた撮像情報は画像処理部へ出力され、画像処理部は、撮像情報をアライメントマークの走査方向及び幅方向に沿った位置に対応する位置情報に変換し、この位置情報をコントローラへ出力する。
【００５２】
コントローラは、画像処理部からのアライメントマークの位置情報に基づき、１個の描画領域に対応して設けられた複数個のアライメントマークの位置をそれぞれ判断し、これらのアライメントマークの位置から描画領域の走査方向及び幅方向に沿った位置及び描画領域の走査方向に対する傾き量をそれぞれ判断する。
【００５３】
この後、コントローラは、描画領域の走査方向に沿った位置に基づいて描画領域に対する露光開始のタイミングを算出すると共に、描画領域の幅方向に沿った位置及び走査方向に対する傾き量に基づいて描画パターンに対応する画像情報に対する変換処理を実行し、変換処理した画像情報をフレームメモリ内に格納する。ここで、変換処理の内容としては、座標原点を中心として画像情報を回転させる座標変換処理、幅方向に対応する座標軸に沿って画像情報を平行移動させる座標変換処理が含まれる。更に必要に応じて、コントローラは、描画領域の幅方向及び走査方向に沿った伸長量及び縮長量に対応させて画像情報を伸長又は縮長させる変換処理を実行する。
【００５４】
そして、コントローラは、描画領域の先端が露光位置に達するタイミングに同期し、露光開始信号をスキャナ制御部へ出力する。これにより、スキャナ制御部は、フレームメモリに記憶された画像情報を複数ライン分ずつ順次読み出し、データ処理部により読み出した画像情報に基づいて各露光ヘッド１６６毎に制御信号を生成すると共に、ミラー駆動制御部により生成された制御信号に基づいて各露光ヘッド１６６毎にＤＭＤ５０のマイクロミラーの各々がオンオフ制御される。
【００５５】
ファイバアレイ光源６６からＤＭＤ５０にレーザー光が照射されると、ＤＭＤ５０のマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザー光は、レンズ系５４、５８により基板１５０の被露光面上に結像される。このようにして、ファイバアレイ光源６６から出射されたレーザー光が画素毎にオンオフされて、基板１５０の描画領域がＤＭＤ５０の使用画素数と略同数の画素単位で露光される。また、基板１５０がステージ１５２と共に一定速度で移動されることにより、基板１５０がスキャナ１６２によりステージ移動方向と反対の方向に副走査され、各露光ヘッド１６６毎に帯状の露光済み領域１７０（図２及び図３（Ａ）参照）が形成される。
【００５６】
画像記録終了後は、モータ１８２をオフにし、付勢部材１８０の付勢力で可撓性フィルム１７８を退避位置へと移動させると、露光済みの基板１５０を、未露光の基板１５０と取り替えることができる。
【００５７】
図１２には、本発明の第２実施形態の基板吸着機構２０４が示されている。第２実施形態では、画像記録装置の基本的構成は第１実施形態と同一とされているので、その詳細な説明を省略する。
【００５８】
第２実施形態では、第１実施形態の巻き付けロール１７６、モータ１８２、シャフト１８４、スプール１８６、案内ロール１９２及び案内プーリ１９４は設けられておらず、これらに代えて、枠状の支持部材２０４が、ヒンジ２０６によって回動可能に、ステージ１５２に取り付けられている。支持部材２０４は、その内側が、最大サイズの基板１５０よりも大きくなる形状とされ、可撓性フィルム１７８が掛け渡されている。図１２に実線で示すように、支持部材２０４を上方に上げると可撓性フィルム１７８は退避位置となり、載置面１５２Ｐ上に基板１５０を載置可能となる。これに対し、図１２に二点鎖線で示すように支持部材２０４を回動させて下ろすと、可撓性フィルム１７８は被覆位置となり、基板１５０及び、基板１５０の外側の吸着孔１７２を覆う。
【００５９】
このように、第２実施形態では、支持部材２０４を回動させるだけで、可撓性フィルム１７８を退避位置と被覆位置との間で移動させることができる。
【００６０】
なお、上記では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた露光ヘッドについて説明したがこのような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  ＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Ｓｐａｃｉａｌ  Ｌｉｇｈｔ  Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Ｇｒａｔｉｎｇ  Ｌｉｇｈｔ  Ｖａｌｖｅ（ＧＬＶ）を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。
【００６１】
また、上記の実施の形態では、合波レーザ光源を複数備えたファイバアレイ光源を用いる例について説明したが、レーザ装置は、合波レーザ光源をアレイ化したファイバアレイ光源には限定されない。例えば、１個の発光点を有する単一の半導体レーザから入射されたレーザ光を出射する１本の光ファイバを備えたファイバ光源をアレイ化したファイバアレイ光源を用いることができる。
【００６２】
さらに、複数の発光点が二次元状に配列された光源（たとえば、ＬＤアレイ、有機ＥＬアレイ等）を使用することもできる。これらの光源を使用する構成では、発光点のそれぞれが画素に対応するようにすることで、上記した空間変調措置を省略することも可能となる。
【００６３】
上記の実施形態では、図１３に示すように、スキャナ１６２によるＸ方向への１回の走査で基板１５０の全面を露光する例について説明したが、図１４（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、スキャナ１６２により基板１５０をＸ方向へ走査した後、スキャナ１６２をＹ方向に１ステップ移動し、Ｘ方向へ走査を行うというように、走査と移動を繰り返して、複数回の走査で基板１５０の全面を露光するようにしてもよい。
【００６４】
また、上記の実施形態では、いわゆるフラッドベッドタイプの画像記録装置を例に挙げたが、本発明の画像記録装置としては、感光材料が巻きつけられるドラムを有する、いわゆるアウタードラムタイプの画像記録装置であってもよい。
【００６５】
上記の画像記録装置は、例えば、プリント配線基板（ＰＷＢ；ＰｒｉｎｔｅｄＷｉｒｉｎｇ  Ｂｏａｒｄ）の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト（ＤＦＲ；Ｄｒｙ  Ｆｉｌｍ  Ｒｅｓｉｓｔ）の露光、液晶表示装置（ＬＣＤ）の製造工程におけるカラーフィルタの形成、ＴＦＴの製造工程におけるＤＦＲの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）の製造工程におけるＤＦＲの露光等の用途に好適に用いることができる。
【００６６】
また、上記の画像記録装置には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ）、固体レーザが使用される。
【００６７】
【発明の効果】
本発明は上記構成としたので、簡単な構成で、サイズの異なる基板であってもステージに確実に吸着できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の画像記録装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態の画像記録装置のスキャナの構成を示す斜視図である。
【図３】（Ａ）は感光材料に形成される露光済み領域を示す平面図であり、（Ｂ）は各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す図である。
【図４】本発明の第１実施形態の露光ヘッドの概略構成を示す斜視図である。
【図５】（Ａ）は図４に示す露光ヘッドの構成を示す光軸に沿った副走査方向の断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の側面図である。
【図６】本発明の第１実施形態の露光ヘッドに係るデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）の構成を示す部分拡大図である。
【図７】（Ａ）及び（Ｂ）は本発明の第１実施形態の露光ヘッドに係るＤＭＤの動作を説明するための説明図である。
【図８】本発明の第１実施形態の基板吸着機構を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。
【図９】本発明の第１実施形態の基板吸着機構を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。
【図１０】本発明の第１実施形態の基板吸着機構を示し、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図である。
【図１１】本発明の第１実施形態の基盤吸着機構を拡大して示す断面図である。
【図１２】本発明の第２実施形態の基板吸着機構を拡大して示す断面図である。
【図１３】スキャナによる１回の走査で感光材料を露光する露光方式を説明するための平面図である。
【図１４】（Ａ）及び（Ｂ）はスキャナによる複数回の走査で感光材料を露光する露光方式を説明するための平面図である。
【符号の説明】
ＬＤ１〜ＬＤ７  ＧａＮ系半導体レーザ
１０２    画像記録装置
１０４    基板吸着機構（感光性板状部材吸着機構）
１５０    基板（感光性板状部材）
１５２    ステージ
１５２Ｐ  載置面
１６６    露光ヘッド
１７２    吸着孔
１７６    巻き付けロール
１７８    可撓性フィルム
１８２    モータ（巻き出し装置）
１８８    ワイヤ（巻き出し装置）
２０４    基板吸着機構（感光性板状部材吸着機構）
２０４    支持部材
２０６    ヒンジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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