(57)【要約】【課題】照明光の明るさ向上に影響されることなくコントラストの良い暗視野観察を実現する暗視野照明装置を提供する。【解決手段】暗視野照明装置は、照明光線を発する照明用光源１と、照明用光源１から発せられた照明光線の一部を遮る遮光板３と、吸収タイプのＮＤフィルター４と、遮光板３とＮＤフィルター４を取り囲む円筒形状の暗視野ミラー２とを備えている。照明用光源１と遮光板３とＮＤフィルター４は共に対物レンズ６の光軸Ｏ上に位置している。遮光板３は、被検体７と照明用光源１の間に位置し、照明用光源１から対物レンズ６に直接入射する照明照明光線を選択的に遮る。円筒形状の暗視野ミラー２の内面２ａはミラーであり、遮光板３で遮られる照明光線よりも外側を通る光線を被検体７に向けて反射する。ＮＤフィルター４は、被検体７と遮光板３の間に配置され、被検体７の側に平滑面４ａを有している。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察光学系により観察される被検体に対して暗視野照明を行う暗視野照明装置であり、
照明光線を発する照明用光源と、
前記被検体と前記照明用光源の間に位置し、前記照明用光源から発せられた照明光線のうち前記観察光学系へ直接入射する照明光線を選択的に遮る遮光板と、
前記遮光板で遮られる照明光線よりも外側を通る照明光線を前記被検体へ方向付ける光学部材とを備えている暗視野照明装置において、
前記被検体と前記遮光板の間に配置され、前記被検体の側に平滑面を有するバックグラウンド部材を更に備えていることを特徴とする暗視野照明装置。
【請求項２】
前記バックグラウンド部材の平滑面が鏡面であることを特徴とする、請求項１に記載の暗視野照明装置。
【請求項３】
前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を減衰させることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の暗視野照明装置。
【請求項４】
前記バックグラウンド部材は、平滑面に設けられた反射防止膜を更に有していることを特徴とする、請求項１〜請求項３のいずれかひとつに記載の暗視野照明装置。
【請求項５】
前記バックグラウンド部材と前記遮光板とが、ひとつの部材として構成されていることを特徴とする、請求項１〜請求項４のいずれかひとつに記載の暗視野照明装置。
【請求項６】
前記被検体と前記バックグラウンド部材の間に配置された防塵防水ガラスを更に備えていることを特徴とする、請求項１に記載の暗視野照明装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡の暗視野照明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
透光性を有する純物質や光学的異方性物質を含む被検体を顕微競で観察する場合、暗視野観察が一般的に用いられている。
【０００３】
暗視野観察とは、観察光学系に直接照明光が入らないようにすることで、被検体での散乱光だけを観察する観察方法であり、観察像は暗黒内に散乱光だけが見える。
【０００４】
このとき、被検体の散乱光以外の光線が観察光学系に入射すると、観察像の背景が暗黒になりきらず、コントラストが低下し、目的とする被検体の散乱光を検出し難くなる。すなわち、暗視野観察では、不要な光線が観察光学系へ入射することを防ぐことが重要である。
【０００５】
実公昭４５−１１０５１号公報は、暗視野観察を行うための照明装置を開示している。図５は、同文献に開示されている暗視野観察を行うための照明装置の断面構造を示している。
【０００６】
図５に示される照明装置では、暗視野の観察の際、明視野・暗視野の切換レバー２２が照明光源１８の上に入れられる。これにより、照明光源１８から発せられた照明光線の内、観察光学系に直接入射する照明光線のみが遮光される。その他の照明光線は、反射ミラー１９の内面で被検体３０側へ反射されて、被検体３０を照明する。このとき、設計光路以外の光線が、明視野・暗視野の切換レバー２２に当たって散乱して、観察光学系に入射するのを防ぐため、もともとの設計光路以外の光線が観察光学系に入るのを防ぐように遮光部３１が配置されている。
【０００７】
被検体３０を透過した不要な反射照明光線は観察光学系に入射することなく、図の上方へ進んでいく。その結果、観察像の散乱光だけが暗黒な視野の中に見える暗視野観察が可能となる。
【０００８】
また、特開平１１−１５３７５５公報は、暗視野観察を行うための照明装置を開示している。図６は、同文献に開示されている暗視野観察を行うための照明装置の断面構造を示している。
【０００９】
図６に示される照明装置では、照明光源３４と観察光学系である対物レンズ３９の間に遮光部３６が配置されている。遮光部３６は、照明光源３４から発せられた照明光線の内、対物レンズ３９に直接入射する照明光線のみを遮光する。その他の照明光線は、反射ミラー３５の内側に構成された内壁面３５ａで被検体３８側へ反射されて、被検体３８を照明する。
【００１０】
被検体３８を透過した不利益な反射照明光線は、対物レンズ３９に入射することなく、図の上方へ進んでいく。その結果、観察像は暗黒に散乱光だけが見える暗視野観察となる。
【００１１】
【特許文献１】
実公昭４５−１１０５１号公報
【００１２】
【特許文献２】
特開平１１−１５３７５５公報
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、多くの場合、被検体はガラスプレートやガラス容器で保持される。また、照明装置へのごみや水の進入を防ぐための防塵防水ガラスが被検体と遮光板の間に設けられている。このように、通常は、被検体と照明光源の間にガラス製の部材が存在する。このため、被検体を照明する照明光線の一部は、このガラス面で再び光源の側へ反射される。この反射光線の一部は、遮光板上に入射し拡散され、拡散光の一部は、対物レンズへ入射して、観察像のコントラストを低下させてしまう。
【００１４】
また、暗視野観察では被検体から発する散乱光が微弱なため、より明るい光源の採用や照明系の適正化といった照明系の明るさ向上が盛んに行われている。これは、その反面、ガラス面で再び光源側へ反射される光線量が多くなるため、前述のコントラスト低下はより顕著な問題となってきている。
【００１５】
本発明は、この様な実状を考慮して成されたものであり、その目的は、照明光の明るさ向上に影響されることなくコントラストの良い暗視野観察を実現する暗視野照明装置を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明は、観察光学系により観察される被検体に対して暗視野照明を行う暗視野照明装置に向けられており、以下の各項に列記する暗視野照明装置を含んでいる。
【００１７】
１．  本発明の暗視野照明装置は、照明光線を発する照明用光源と、前記被検体と前記照明用光源の間に位置し、前記照明用光源から発せられた照明光線のうち前記観察光学系へ直接入射する照明光線を選択的に遮る遮光板と、前記遮光板で遮られる照明光線よりも外側を通る照明光線を前記被検体へ方向付ける光学部材とを備えている暗視野照明装置において、前記被検体と前記遮光板の間に配置され、前記被検体の側に平滑面を有するバックグラウンド部材を更に備えていることを特徴とする。
【００１８】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材は被検体の側の面が平滑面であるので、バックグラウンド部材と被検体の間に存在する部材で反射されてバックグラウンド部材に入射する光線は殆ど散乱されない。このため、不所望な光線が観察光学系に入ることが効果的に防止される。
【００１９】
２．  本発明の別の暗視野照明装置は、第１項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材の平滑面が鏡面であることを特徴とする。
【００２０】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材の平滑面（鏡面）に入射した光線は反射されて観察光学系の外に抜けて行く。
【００２１】
３．  本発明の別の暗視野照明装置は、第１項または第２項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を減衰させることを特徴とする。
【００２２】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材の平滑面を通過してその内部に入った照明光線は減衰され、バックグラウンド部材の平滑面で反射された光線は観察光学系の外に抜けて行く。
【００２３】
４．  本発明の別の暗視野照明装置は、第３項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を吸収することにより減衰させることを特徴とする。
【００２４】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材の平滑面を通過してその内部に入った照明光線は吸収により減衰される。
【００２５】
５．  本発明の別の暗視野照明装置は、第３項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を干渉により減衰させることを特徴とする。
【００２６】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材の平滑面を通過してその内部に入った照明光線は干渉により減衰される。
【００２７】
６．  本発明の別の暗視野照明装置は、第１項〜第５項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材は、平滑面に設けられた反射防止膜を更に有していることを特徴とする。
【００２８】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材の平滑面で反射される照明光線の光線量が低減される。
【００２９】
７．  本発明の別の暗視野照明装置は、第１項〜第６項の暗視野照明装置において、前記光学部材は、内面が反射面である円筒形状ミラーを含み、円筒形状ミラーの中心軸が観察光学系の光軸に略一致して配置されていることを特徴とする。
【００３０】
この暗視野照明装置においては、被検体に照明光線が周りから均等に照射される。
【００３１】
８．  本発明の別の暗視野照明装置は、第１項〜第７項の暗視野照明装置において、前記バックグラウンド部材と前記遮光板とが、ひとつの部材として構成されていることを特徴とする。
【００３２】
この暗視野照明装置においては、部品点数が低減される。
【００３３】
９．  本発明の別の暗視野照明装置は、第１項の暗視野照明装置において、前記被検体と前記バックグラウンド部材の間に配置された防塵防水ガラスを更に備えていることを特徴とする。
【００３４】
この暗視野照明装置においては、バックグラウンド部材などの汚れが効果的に防止される。
【００３５】
１０．  本発明の別の暗視野照明装置は、第９項の暗視野照明装置において、前記防塵防水ガラスは、その表面に設けられた反射防止膜を更に有していることを特徴とする。
【００３６】
この暗視野照明装置においては、防塵防水ガラスで照明光源側に反射される照明光線の光線量が低減される。
【００３７】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態について説明する。
【００３８】
第一実施形態
本実施形態は、観察光学系により観察される被検体に対して暗視野照明を行う暗視野照明装置に向けられている。図１は、本発明の第一実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。
【００３９】
図１に示されるように、被検体７はステージガラス５上に載置されている。被検体７を観察するための観察光学系は、例えば、被検体７の上方に配置された顕微鏡の対物レンズ６を含んでいる。本実施形態の暗視野照明装置は、ステージガラス５を基準にして観察光学系の対物レンズ６の反対側、すなわち、ステージガラス５の下方に位置している。
【００４０】
本実施形態の暗視野照明装置は、照明光線を発する照明用光源１と、照明用光源１から発せられた照明光線の一部を遮る遮光板３と、吸収タイプのＮＤフィルター４と、遮光板３とＮＤフィルター４（光線透過率２０％以下）を取り囲む円筒形状の暗視野ミラー２とを備えている。
【００４１】
照明用光源１と遮光板３とＮＤフィルター４は共に対物レンズ６の光軸Ｏ上に位置している。
【００４２】
遮光板３は、被検体７と照明用光源１の間に位置しており、照明用光源１から発せられた照明光線のうち対物レンズ６に直接入射する照明照明光線を選択的に遮る。
【００４３】
円筒形状の暗視野ミラー２は、その内径が遮光板３やＮＤフィルター４より大きく、その内面２ａは、ミラーであり、遮光板３で遮られる照明光線よりも外側を通る照明光線を、被検体７へ方向付ける（つまり被検体７に向けて反射する）。これにより、被検体７には、照明光線が、その周囲から均等に照射される。
【００４４】
ＮＤフィルター４は、被検体７と遮光板３の間に配置され、被検体７の側に平滑面４ａを有している。
【００４５】
図１において、照明用光源１から発せられた照明光線のうち、被検体７に直接向かう照明光線は、遮光板３で遮光されて、被検体７には到達し得ない。また、暗視野ミラー２の内面２ａで反射された照明光線Ｌ１は、ＮＤフィルター４の外側を通り、ステージガラス５を透過する。照明光線Ｌ１は、一部が、被検体７に入射し、他は、観察光学系の対物レンズ６には入らずに、顕微鏡装置の外に抜けて行く。被検体７に入射した照明光線Ｌ１は、被検体７を照明し、被検体７で散乱される。
【００４６】
被検体７からの散乱光の一部は、対物レンズ６（の開口）に入射し、対物レンズ６を含む（図示しない）観察光学系によって拡大観察される。その観察光学系の拡大視察された視野は、遮光板３が照明用光源１の光を遮ることにより暗いバックグラウンドとなり、被検体７からの散乱光が暗いバックグラウンドの中に観察される。
【００４７】
暗視野ミラー２で反射された照明光線Ｌ１は、ステージガラス５の照明用光源１の側の面や被検体７の側の面において、その光線量の数％が反射される。ステージガラス５で反射された照明光線Ｌ２は、その殆どは、ＮＤフィルター４に入射する。ＮＤフィルター４に入射した照明光線Ｌ２は、その大部分は、散乱されることなく平滑面４ａを通過してＮＤフィルター４内に入り、ＮＤフィルター４の光線の吸収により十分に減衰される。また、ＮＤフィルター４に入射した照明光線Ｌ２の数％程度は、平滑面４ａを通過してＮＤフィルター４内に入らないが、そのような照明光線Ｌ３は、平滑面４ａで散乱されることなく反射され、対物レンズ６（の開口）の外側を通り、顕微鏡装置の外に抜けて行く。
【００４８】
これまでの説明から分かるように、本実施形態の暗視野照明装置においては、ステージガラス５で反射された照明光線Ｌ２は、ＮＤフィルター４の被検体側が平滑面４ａであるために散乱されることなく、ＮＤフィルター４の内部に入り吸収されるか、平滑面４ａで反射されて観察光学系の外に抜けていく。このため、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察が可能となる。
【００４９】
本実施形態の暗視野照明装置において、ＮＤフィルター４は何の支障もなく遮光板３の近くに容易に配置可能であるので、光軸に沿ってコンパクトに構成可能である。
【００５０】
なお、ステージガラス５は取り外しが可能であり、吸収タイプのＮＤフィルター４の平滑面４ａは容易に清掃可能であり、ＮＤフィルター４の平滑面４ａに付着したゴミや汚れ等の光拡散物は容易に除去することが可能である。これにより、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察を継統的に得ることが可能である。
【００５１】
本実施形態は、以下に述べる変形例のように、様々な変更や修正や改良が施されてもよい。
【００５２】
第一変形例
本実施形態の暗視野照明装置における吸収タイプのＮＤフィルター４は、被検体７の側に平滑面を有する光線透過率２０％以下の干渉タイプのＮＤフィルターに置き換えられてもよい。干渉タイプのＮＤフィルターの干渉膜は、被検体７の側の面と照明用光源１の側の面のどちらに成膜されてもよい。
【００５３】
本変形例においても、干渉タイプのＮＤフィルターは被検体７の側に平滑面を有しているため、干渉タイプのＮＤフィルターに入射した照明光線Ｌ２は殆ど散乱されない。干渉ＮＤフィルターの内部に入った照明光線は干渉を繰り返して減衰される。また、干渉ＮＤフィルターで反射された照明光線は対物レンズ６の外に抜けて行く。
【００５４】
このため、本実施形態と同様、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察が可能となる。
【００５５】
第二変形例
本実施形態の暗視野照明装置における吸収タイプのＮＤフィルター４は、光線透過率０％〜２０％のアクリル板やウィンドフィルムなど、被検体７の側に平滑面を有すると共に光を吸収することにより減衰させる光吸収部材に置き換えられてもよい。
【００５６】
本変形例においても、光吸収部材は被検体７の側に平滑面を有しているため、光吸収部材に入射した照明光線Ｌ２は殆ど散乱されない。光吸収部材の内部に入った照明光線は吸収され減衰される。また、光吸収部材で反射された照明光線は対物レンズ６の外に抜けて行く。
【００５７】
このため、本実施形態と同様、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察が可能となる。さらに、部品コストの削減効果が得られる。
【００５８】
第三変形例
本実施形態の暗視野照明装置における吸収タイプのＮＤフィルター４は、被検体７の側に平滑な鏡面を有する鏡に置き換えられてもよい。つまり、平滑面が鏡面であってよい。
【００５９】
本変形例においても、鏡は被検体７の側に平滑面を有しているため、鏡に入射した照明光線Ｌ２は殆ど散乱されない。また、鏡に入射した照明光線は反射されて対物レンズ６の外に抜けて行く。
【００６０】
このため、本実施形態と同様、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察が可能となる。
【００６１】
第四変形例
本実施形態の暗視野照明装置（およびその第一変形例〜第三変形例）におけるＮＤフィルター（やそれに代わる部材）は、平滑面に設けられた反射防止膜を更に有していてもよい。
【００６２】
本変形例においては、平滑面に入射した照明光線Ｌ２は、反射防止膜の中に入り、干渉により減衰される。これにより、平滑面で反射される照明光線の光線量が減る。また、ＮＤフィルター等の内部に入った照明光線は、より好適に吸収される。
【００６３】
このため、バックグラウンドが暗くコントラストの良いより好適な暗視野観察が可能となる。
【００６４】
第五変形例
本実施形態の暗視野照明装置における吸収タイプのＮＤフィルター４は、植毛布に置き換えられてもよい。植毛布は、無数の毛がほぼ垂直に植えられた布であり、毛そのものの反射率の低さと、無数の毛が互いに重なりあう部分を有する。このため、植毛布は入射する光線を殆ど散乱せず反射もしない。
【００６５】
本変形例において、植毛布に入射した照明光線は、殆ど散乱されず、また殆ど反射されない。
【００６６】
このため、本実施形態と同様、バックグラウンドが暗くコントラストの良い暗視野観察が可能となる。
【００６７】
第二実施形態
本実施形態は、別の暗視野照明装置に向けられている。図２は、本発明の第二実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。図２において、図１に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
【００６８】
図２に示されるように、本実施形態の暗視野照明装置は、第一実施形態の暗視野照明装置の構成に加えて、暗視野ミラー２とステージガラス５の間に配置された防塵防水ガラス８を更に備えている。ステージガラス５が取り外し可能であるのに対して、防塵防水ガラス８は、顕微鏡照明架台の本体に固定されており、照明架台本体内部にゴミや挨、塵、水など汚染物質が進入するのを防いでいる。
【００６９】
防塵防水ガラス８は、暗視野ミラー２の内面２８で反対された照明光線Ｌ１の一部を反射する。防塵防水ガラス８で反射された照明光線Ｌ４の一部はＮＤフィルター４（やその代替部材）に入射する。ＮＤフィルター４（やその代替部材）は被検体７の側に平滑面を有しているため、ＮＤフィルター４（やその代替部材）に入射した照明光線Ｌ４は殆ど散乱されない。ＮＤフィルター４（やその代替部材）で反射された照明光線Ｌ５は、対物レンズ６の外に抜けて行く。また、ＮＤフィルター４（や鏡を除く代替部材）の内部に入った照明光線は減衰される。
【００７０】
本実施形態の暗視野照明装置においては、第一実施形態と同様の利点に加えて、防塵防水ガラス８を有しているため、ＮＤフィルター４（やその代替部材）などの汚れが効果的に防止される。
【００７１】
本実施形態は、以下に述べる変形例のように、様々な変更や修正や改良が施されてもよい。
【００７２】
第一変形例
本実施形態の暗視野照明装置における防塵防水ガラス８は、その表面に設けられた反射防止膜を更に有していてもよい。
【００７３】
本変形例においては、防塵防水ガラス８が反射防止膜を有しているため、防塵防水ガラス８で照明用光源１の側に反射される照明光線の光線量が減る。
【００７４】
このため、バックグラウンドが暗くコントラストの良いより好適な暗視野観察が可能となる。
【００７５】
第二変形例
本実施形態の暗視野照明装置における防塵防水ガラス８は、各種の光学部材に置き換えられてもよい。また、そのような各種の光学部材が、ＮＤフィルター４（やその代替部材）とステージガラス５の間に配置されてもよい。
【００７６】
本変形例においては、追加した各種の光学部材に特有の利点や光学的作用等を本実施形態に付与することが可能となる。
【００７７】
第三実施形態
本実施形態は、第一実施形態の暗視野照明装置や第二実施形態の暗視野照明装置の部分的変形に向けられている。
【００７８】
本実施形態の暗視野照明装置は、第一実施形態の暗視野照明装置や第二実施形態の暗視野照明装置の構成から遮光板３が取り除され、その代わりにＮＤフィルター４（やその代替部材）が遮光板３と同様の機能を兼ね備えている構成を有している。つまり、遮光板とＮＤフィルター（やその代替部材）とが一つの部品として構成されている。
【００７９】
本実施形態におけるＮＤフィルター（やその代替部材）は、照明用光源１の側からの照明光線に対する光線透過率が０％である。
【００８０】
本実施形態においては、ＮＤフィルター（やその代替部材）が遮光板を兼ねるため、第一実施形態や第二実施形態と比較して、部品価格の低減、組立て工数の削減などの利点が得られる。
【００８１】
第四実施形態
本実施形態は、別の暗視野照明装置に向けられている。図３は、本発明の第四実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。図４は、図３に示される暗視野ミラーを下方から見た平面図である。図３において、図２に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
【００８２】
図３に示されるように、本実施形態の暗視野照明装置は、照明光線束を発する照明用光源９と、照明用光源９からの照明光線束を平行光線束に変えるコレククーレンズ１０と、平行光線束を収束性光線束に変える凸レンズ１２と、コレククーレンズ１０と凸レンズ１２の間に配置された各種フィルター１１と、凸レンズ１２からの照明光線束を偏向するミラー１３と、暗視野ミラー１５とを備えている。
【００８３】
暗視野ミラー１５は、図３と図４に示されるように、円錐反射鏡１５ａと、その内面がミラーである円筒ミラー部１５ｂと、円錐反射鏡１５ａと円筒ミラー部１５ｂを連結している連結部１５ｃとを有している。円錐反射鏡１５ａは、ミラー１３からの照明光線を円筒ミラー部１５ｂに方向付け、円筒ミラー部１５ｂは、円錐反射鏡１５ａからの照明光線を被検体７へ方向付ける。
【００８４】
暗視野照明装置は更に、図３に示されるように、ミラー１３等からの照明光線が対物レンズ６に直接入射するのを防止するための遮光板１７を有している。遮光板１７は、円錐反射鏡１５ａの裏側すなわち被検体側に設けられている。
【００８５】
本実施形態の暗視野照明装置は、第一実施形態〜第三実施形態と同様の利点を有していることに加えて、照明用光源９が観察光学系の光軸Ｏを外れて横方向に配置されているため、光軸Ｏに沿った寸法を小さくすることが可能となる。また、照明用光源９が被検体７から離れているため、被検体７の不所望な温度上昇が効果的に抑えることが可能となる。
【００８６】
これまで、図面を参照しながら本発明の実施の形態を述べたが、本発明は、これらの実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
【００８７】
本明細書は以下に各項に記す発明を開示している。
【００８８】
１．  観察光学系により観察される被検体に対して暗視野照明を行う暗視野照明装置であり、
照明光線を発する照明用光源と、
前記被検体と前記照明用光源の間に位置し、前記照明用光源から発せられた照明光線のうち前記観察光学系へ直接入射する照明光線を選択的に遮る遮光板と、
前記遮光板で遮られる照明光線よりも外側を通る照明光線を前記被検体へ方向付ける光学部材とを備えている暗視野照明装置において、
前記被検体と前記遮光板の間に配置され、前記被検体の側に平滑面を有するバックグラウンド部材を更に備えていることを特徴とする暗視野照明装置。
【００８９】
２．  前記バックグラウンド部材の平滑面が鏡面であることを特徴とする、第１項に記載の暗視野照明装置。
【００９０】
３．  前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を減衰させることを特徴とする、第１項または第２項に記載の暗視野照明装置。
【００９１】
４．  前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を吸収することにより減衰させることを特徴とする、第３項に記載の暗視野照明装置。
【００９２】
５．  前記バックグラウンド部材は、その内部に入った照明光線を干渉により減衰させることを特徴とする、第３項に記載の暗視野照明装置。
【００９３】
６．  前記バックグラウンド部材は、平滑面に設けられた反射防止膜を更に有していることを特徴とする、第１項〜第５項のいずれかひとつに記載の暗視野照明装置。
【００９４】
７．  前記光学部材は、内面が反射面である円筒形状ミラーを含み、円筒形状ミラーの中心軸が観察光学系の光軸に略一致して配置されていることを特徴とする、第１項〜第６項のいずれかひとつに記載の暗視野照明装置。
【００９５】
８．  前記バックグラウンド部材と前記遮光板とが、ひとつの部材として構成されていることを特徴とする、第１項〜第７項のいずれかひとつに記載の暗視野照明装置。
【００９６】
９．  前記被検体と前記バックグラウンド部材の間に配置された防塵防水ガラスを更に備えていることを特徴とする、第１項に記載の暗視野照明装置。
【００９７】
１０．  前記防塵防水ガラスは、その表面に設けられた反射防止膜を更に有していることを特徴とする、第９項に記載の暗視野照明装置。
【００９８】
【発明の効果】
本発明によれば、照明光の明るさ向上に影響されることなくコントラストの良い暗視野観察を実現する暗視野照明装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。
【図２】本発明の第二実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。
【図３】本発明の第四実施形態の暗視野照明装置の断面構造を示している。
【図４】図３に示される暗視野ミラーを下方から見た平面図である。
【図５】同文献に開示されている暗視野観察を行うための照明装置の断面構造を示している。
【図６】同文献に開示されている暗視野観察を行うための照明装置の断面構造を示している。
【符号の説明】
１…照明用光源、２…暗視野ミラー、２ａ…内面、３…遮光板、４…ＮＤフィルター、４ａ…平滑面、５…ステージガラス、６…対物レンズ、７…被検体、８…防塵防水ガラス、９…照明用光源、１０…コレククーレンズ、１１…フィルター、１２…凸レンズ、１３…ミラー、１５…暗視野ミラー、１５ａ…円錐反射鏡、１５ｂ…円筒ミラー部、１５ｃ…連結部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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