(57)【要約】【課題】高解像度の欠陥検査が可能でありながら、装置の小型化を実現することができるパターン検査装置を提供する。【解決手段】検査用ドラムの周面に沿った搬送方向における、六等分された撮像位置Ｐ１〜Ｐ３で、ＴＡＢテープ１２の表面に施された配線パターンが撮像される。撮像は、その長さ方向において同一位置となる第１〜第３撮像領域２５〜３０毎に、複数のＣＣＤラインセンサにより分担して行われる。まず、撮像位置Ｐ１では、前記六等分された内の二つの領域である第１撮像領域２５，第１撮像領域２６がそれぞれ連続的に撮像される。また、撮像位置Ｐ２では、前記六等分された内の二つの領域である第３撮像領域２７，第４撮像領域２８がそれぞれ連続的に撮像される。そして、撮像位置Ｐ３では、前記六等分された内の二つの領域である第５撮像領域２９，第６撮像領域３０が連続的に撮像される。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査パターンが施されたテープを所定方向へ搬送するテープ搬送手段と、前記被検査パターンを撮像する複数の撮像手段とを備え、
前記テープ搬送手段は、前記テープの搬送途中において、当該テープを搬送方向において湾曲させる湾曲搬送部を有しており、
前記各撮像手段は、前記湾曲搬送部により湾曲させられた状態にある前記テープの表面から所定の間隔を有するように各々配置され、かつ、前記被検査パターンを撮像する際の各撮像領域が前記テープの搬送方向に沿う長さ方向において同一位置となる配置構成になっていることを特徴とするパターン検査装置。
【請求項２】
前記各撮像手段におけるそれぞれの撮像領域の幅は前記テープの幅方向における前記被検査パターンが施された領域の全体幅よりも小さく設定されており、各撮像手段は共同して前記被検査パターンが施された領域の幅方向全体を撮像することを特徴とする請求項１に記載のパターン検査装置。
【請求項３】
前記各撮像手段は、前記テープの幅方向においてそれぞれ異なる位置に割り当てられた撮像領域を撮像することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のパターン検査装置。
【請求項４】
前記テープ搬送手段の搬送経路上には、前記テープにテンションを付与するテンション付与手段を備えている請求項１〜請求項３のうち何れか一項に記載のパターン検査装置。
【請求項５】
前記各撮像手段は、それぞれ複数の撮像装置を有しており、各撮像装置同士は、前記テープの長さ方向において同一位置となる撮像領域をそれぞれ互いに異なる撮像条件で撮像することを特徴とする請求項１〜請求項４のうち何れか一項に記載のパターン検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばＴＡＢテープ等に使用される半導体実装用テープ上に形成された回路パターンの欠陥を検査するパターン検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体パッケージの主流は高密度化及び小形化の要求に伴い、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｐａｃｋａｇｅ）から多ピン化が可能であるＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）へと移行しており、特に、微細配線が可能なＴＡＢテープが多くのＢＧＡに採用されている。ところで、このＴＡＢテープ上に形成される配線パターンは、エッチング時に製品不良の原因となる突起や欠損等の欠陥を伴う場合があるため、出荷時には当該欠陥を検査し、予め取り除いておく必要がある。そこで、かかる欠陥検査のために、従来より、ＴＡＢテープを搬送しながら、搬送経路の上方に設置された撮像装置（ＣＣＤセンサ等）により光学的に配線パターン（被検査パターン）の形状を認識し、この認識したデータに基づいて画像処理等により配線パターンの欠陥検査を行なう検査装置が提案されている。例えば、特許文献１にはＴＡＢテープ等の実装用テープを保持ドラムの湾曲した側面に沿わせるように搬送する過程で、湾曲状態に保持した実装用テープの表面を上方からＣＣＤラインセンサで撮像する画像処理検査用テープ搬送装置が開示されている。
【０００３】
即ち、この特許文献１においては、保持ドラムの上方位置に１つのＣＣＤラインセンサを配置し、このラインセンサによる撮影位置を実装用テープの表面が保持ドラムの回転に伴って通過するように構成されている。そして、このように保持ドラムの湾曲した側面に沿うように実装用テープを搬送させることで、当該テープの歪みを防止しながら欠陥検査を実施することが可能とされている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−１９１２９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、微細配線が施されたＴＡＢテープの欠陥検査を実施する場合、特許文献１に開示されているように、１つの撮像装置を用いて欠陥検査を実施する場合には、高解像度の撮像装置を使用しなければならない。しかしながら、当該撮像装置の画素数には限界があり、例えばＣＣＤラインセンサは現時点で最大８０００画素程度のものしか市場に供給されていないのが現状である。従って、１つのＣＣＤラインセンサから高画質の配線パターン画像を得ることは困難であった。そこで、複数個の撮像装置を連続配置することで高画質化に対応することが考えられているが、この場合は撮像装置をテープ搬送方向へ直列に複数個連ねて配置することになり、装置の大型化を招いてしまうといった問題があった。
【０００６】
本発明は、このような問題を解決するためになされた発明であり、高解像度の欠陥検査が可能でありながら、装置の小型化を実現することができるパターン検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、パターン検査装置に係る請求項１に記載の発明は、被検査パターンが施されたテープを所定方向へ搬送するテープ搬送手段と、前記被検査パターンを撮像する複数の撮像手段とを備え、前記テープ搬送手段は、前記テープの搬送途中において、当該テープを搬送方向において湾曲させる湾曲搬送部を有しており、前記各撮像手段は、前記湾曲搬送部により湾曲させられた状態にある前記テープの表面から所定の間隔を有するように各々配置され、かつ、前記被検査パターンを撮像する際の各撮像領域が前記テープの搬送方向に沿う長さ方向において同一位置となる配置構成になっていることを要旨とした。
【０００８】
また、同じく請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のパターン検査装置において、前記各撮像手段におけるそれぞれの撮像領域の幅は前記テープの幅方向における前記被検査パターンが施された領域の全体幅よりも小さく設定されており、各撮像手段は共同して前記被検査パターンが施された領域の幅方向全体を撮像することを要旨とした。
【０００９】
また、同じく請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のパターン検査装置において、前記各撮像手段は、前記テープの幅方向においてそれぞれ異なる位置に割り当てられた撮像領域を撮像することを要旨とした。
【００１０】
また、同じく請求項４に記載の発明は、請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載のパターン検査装置において、前記テープ搬送手段の搬送経路上には、前記テープにテンションを付与するテンション付与手段を備えていることを要旨とした。
【００１１】
また、同じく請求項５に記載の発明は、請求項１〜請求項４のうちいずれか一項に記載のパターン検査装置において、前記各撮像手段は、それぞれ複数の撮像装置を有しており、各撮像装置同士は、前記テープの長さ方向において同一位置となる撮像領域をそれぞれ互いに異なる撮像条件で撮像することを要旨とした。
【００１２】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
以下、本発明をＴＡＢテープに施された回路パターン上の断線や短絡等の欠陥を検出するパターン検査装置に具体化した第１実施形態を図１〜図３に従って説明する。
【００１３】
図１に示すように、本実施形態に係るパターン検査装置１１は、検査対象であるＴＡＢテープ１２を同図において左方向（上流側）から右方向（下流側）へ搬送するテープ搬送手段１３、及び撮像装置としての複数のＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆを備えた構成となっている。なお、本実施形態では、ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆにより、それぞれ撮像手段が構成されており、全部で６つ（複数）の撮像手段が設けられている。前記テープ搬送手段１３は、案内ローラ１５（１５ａ，１５ｂ）、テンション付与手段としてのテンションプーリ１６（１６ａ，１６ｂ）、湾曲搬送部としての検査用ドラム１７、複数のピンチローラ１８ａ〜１８ｄ、及び複数のガイドローラ１９により構成されている。そして、前記案内ローラ１５、テンションプーリ１６、検査用ドラム１７については、ＴＡＢテープ１２の搬送方向の上流側から下流側へ、案内ローラ１５ａ、テンションプーリ１６ａ、検査用ドラム１７、テンションプーリ１６ｂ、案内ローラ１５ｂの順に連続した配置構成となっている。
【００１４】
図１に示すように、前記案内ローラ１５ａ，１５ｂは、前記検査用ドラム１７と略同一高さ位置において、回転軸２０ａ，２０ｂにそれぞれ回転可能に支持されており、所定の直径及び厚さの略円盤状に形成されている。また、前記案内ローラ１５ａ，１５ｂの周面上には、搬送途中のＴＡＢテープ１２をガイドするとともに、幅方向に位置ぶれするのを規制する役目を果たす搬送溝（図示せず）が形成されている。そして、前記ＴＡＢテープ１２は、これら各案内ローラ１５ａ，１５ｂの上側半分の周面上に巻き掛けられた状態で、下流側（図１において右方向）へと搬送されるようになっている。
【００１５】
次に、前記テンションプーリ１６ａ，１６ｂは、前記検査用ドラム１７及び前記案内ローラ１５ａ，１５ｂよりも下方位置に、上下方向への移動可能に配設されている。即ち、前記テンションプーリ１６ａ，１６ｂは、上下移動可能な回転軸２１ａ，２１ｂにそれぞれ回転可能に支持されており、その回転軸２１ａ，２１ｂには当該回転軸２１ａ，２１ｂを常には下方に向けて付勢するテンション調整機構（図示せず）が連結されている。また、前記テンションプーリ１６ａ，１６ｂは所定の直径及び厚さの略円盤状に形成されており、その周面上には、前記案内ローラ１５ａ，１５ｂの場合と同様の搬送溝（図示せず）が形成されている。そして、前記ＴＡＢテープ１２は、これら各テンションプーリ１６ａ，１６ｂの下側半分の周面上に巻き掛けられた状態で、下流側へと搬送されるようになっている。なお、前記テンションプーリ１６ａ，１６ｂには、軽量化を目的とした貫通孔２２が６箇所に形成されている。
【００１６】
また、前記検査用ドラム１７は、駆動源（図示せず）からの駆動力に基づき回転駆動される回転軸２３に回動自在に支持されており、所定の直径及び厚さの略円盤状に形成されている。また、図２に示すように、前記検査用ドラム１７の周面上には、搬送途中のＴＡＢテープ１２と同じ幅であって当該ＴＡＢテープ１２が幅方向に位置ぶれするのを規制する規制溝２４が前記案内ローラ１５ａ，１５ｂ及びテンションプーリ１６ａ，１６ｂにおける各搬送溝と対応するように形成されている。そして、前記ＴＡＢテープ１２は、この検査用ドラム１７の上側半分の周面上に巻き掛けられた状態で、下流側へと搬送されるようになっている。
【００１７】
なお、前記ピンチローラ１８ａ，１８ｂは、前記案内ローラ１５ａ，１５ｂの上方から、当該案内ローラ１５ａ，１５ｂの搬送溝内を搬送されるＴＡＢテープ１２の表面に当接し、当該ＴＡＢテープ１２を押圧するようにそれぞれ配設されている。また、前記ピンチローラ１８ｃ，１８ｄは前記検査用ドラム１７の両側方から当該検査用ドラム１７の規制溝２４内を搬送されるＴＡＢテープ１２の表面に当接し、当該ＴＡＢテープ１２を押圧するようにそれぞれ配設されている。また、前記各ガイドローラ１９は、円筒状をなしており、前記ＴＡＢテープ１２の搬送経路における所定位置に回転可能に配設されている。そして、各ガイドローラ１９は、前記ＴＡＢテープ１２に摺接して、当該ＴＡＢテープ１２を搬送方向へと案内する役目を果たしている。
【００１８】
前記各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆは、前記検査用ドラム１７の上方に、当該検査用ドラム１７の周面から所定の同一間隔を有して配設されている。各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆは、ＴＡＢテープ１２の搬送方向に沿う長さ方向において同一位置となる撮像領域の全体を幅方向に六等分した各撮像領域２５〜３０を、それぞれが分担して撮像する配置構成となっている。即ち、前記ＣＣＤラインセンサ１４ａ，１４ｂは前記検査用ドラム１７の周面に沿った搬送方向における撮像位置Ｐ１において第１撮像領域２５，第２撮像領域２６（図３（ａ）参照）をそれぞれ撮像できるように、撮像位置Ｐ１を頂点とする略Ｖ字状をなして配置されている。同じく、ＣＣＤラインセンサ１４ｃ，１４ｄは撮像位置Ｐ２において第３撮像領域２７，第４撮像領域２８（図３（ｂ）参照）をそれぞれ撮像できるように、撮像位置Ｐ２を頂点とする略Ｖ字状をなして配置されている。同じく、ＣＣＤラインセンサ１４ｅ，１４ｆは撮像位置Ｐ３において第５撮像領域２９，第６撮像領域３０（図３（ｃ）参照）をそれぞれに撮像できるように、撮像位置Ｐ３を頂点とする略Ｖ字状をなして配置されている。なお、各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆの側方には、各撮像位置Ｐ１〜Ｐ３をそれぞれ照射する照明ライト３１ａ〜３１ｆが配設されている。
【００１９】
次に、以上のように構成された本実施形態におけるパターン検査装置の作用について説明する。パターン検査装置１１の稼働に伴い、検査用ドラム１７が駆動源により駆動を開始すると、ＴＡＢテープ１２は、搬送方向の上流側から案内ローラ１５、テンションプーリ１６の周面に形成された搬送溝、及び検査用ドラム１７の周面に形成された規制溝２４にガイドされながら下流側へと搬送される。なお、ＴＡＢテープ１２が搬送される際の搬送速度は一定であり、本実施形態においては、１８ｍｍ／ｓｅｃである。
【００２０】
さて、パターン検査装置１１の稼働に伴い下流側へ搬送されるＴＡＢテープ１２は、テンション調整機構により下方へ付勢されたテンションプーリ１６ａ，１６ｂによって、検査用ドラム１７の上側半分の周面上において張られた状態となる。そのため、前記検査用ドラム１７の周面上における各撮像位置Ｐ１〜Ｐ３において、前記ＴＡＢテープ１２は、撓みやうねりが矯正された展張状態で各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆにより前記第１〜第６撮像領域２５〜３０が撮像されることになる。
【００２１】
即ち、図１，図３（ａ）〜（ｃ）に示すように、検査用ドラム１７の周面に沿った搬送方向における、３つの撮像位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３で、ＴＡＢテープ１２表面に施された配線パターン（被検査パターン）は撮像される。撮像は、その長さ方向において同一位置となる第１〜第６の各撮像領域２５〜３０毎に、前記各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆにより分担して行われる。
【００２２】
まず、図３（ａ）に示すように、撮像位置Ｐ１では、ＣＣＤラインセンサ１４ａ，１４ｂにより、前記六等分した内の二つ領域である第１撮像領域２５，第２撮像領域２６（搬送方向に向かって右側の領域）がそれぞれ連続的に撮像される。また、図３（ｂ）に示すように、撮像位置Ｐ２では、ＣＣＤラインセンサ１４ｃ，１４ｄにより、前記六等分した内の二つの領域である第３撮像領域２７，第４撮像領域２８（ＴＡＢテープ１２における幅方向の中央領域）がそれぞれ連続的に撮像される。また、図３（ｃ）に示すように、撮像位置Ｐ３では、ＣＣＤラインセンサ１４ｅ，１４ｆにより、前記六等分した内の二つの領域である第５撮像領域２９，第６撮像領域３０（搬送方向に向かって左側の幅）がそれぞれ連続的に撮像される。
【００２３】
そして、以上のようにＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆにより撮像された回路パターンの撮像データは、図示しない欠陥検査手段へと送られ、撮像データの加工処理等が施された後、回路パターンにおける突起や欠損等の欠陥の有無が検査される。
【００２４】
上記第１実施形態のパターン検査装置１１によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態では、円筒状をなす検査用ドラム１７における周面の上方に、複数のＣＣＤラインセンサ（撮像装置）１４ａ〜１４ｆにより構成される複数（６つ）の撮像手段を配置した。そして、各撮像手段がＴＡＢテープ１２の搬送方向に沿う長さ方向において同一位置となる各撮像領域２５〜３０を撮像する構成とした。即ち、低解像度のＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆを複数個用いることで、ＴＡＢテープ１２に施された配線パターンを高解像度にて撮像することが可能となる。また、ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆを検査用ドラム１７の上方に、当該検査用ドラム１７の周面から所定の同一間隔を有して配設した。従って、各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆをコンパクトに配置することができ、パターン検査装置１１の小型化を実現することができる。
【００２５】
（２）上記実施形態では、各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆにより構成される撮像手段がそれぞれ撮像する第１〜第６撮像領域２５〜３０を、ＴＡＢテープ１２に施された配線パターンの幅方向の一部分とした。従って、ＴＡＢテープ１２に施された配線パターンの幅方向の領域全体を各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆは割り当てられた各撮像領域２５〜３０ごとに分担して撮像できるため、前記配線パターンを高解像度かつ高精度に撮像することができる。
【００２６】
（３）上記実施形態では、ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆにより構成される撮像手段は、ＴＡＢテープ１２の長さ方向において同一位置となる撮像領域の幅方向の領域全体を六等分した各撮像領域２５〜３０を分担して撮像するようにした。即ち、互いの撮像領域２５〜３０がＴＡＢテープ１２の幅方向において重複しないように各撮像手段が幅方向の撮像領域全体を分担して撮像するようにした。従って、ＴＡＢテープ１２に施された配線パターンを解像度が最も高い状態で撮像することができる。
【００２７】
（４）上記実施形態では、テンションプーリ１６ａ，１６ｂを、検査用ドラム１７及び案内ローラ１５ａ，１５ｂよりも下方位置において上下方向への移動可能に配設するとともに、上下移動可能な回転軸２１ａ，２１ｂにそれぞれ回転可能に支持した。従って、下流側へ搬送されるＴＡＢテープ１２は、テンションプーリ１６ａ，１６ｂによって、検査用ドラム１７の上側半分の周面上において張られた状態となる。即ち、前記検査用ドラム１７の周面上における各撮像位置Ｐ１〜Ｐ３において、各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆは、ＴＡＢテープ１２に施された配線パターンを撓みやうねりが矯正された展張状態で撮像することができ、ピントがずれることなく鮮明な撮像が行える。
（第２実施形態）
次に第２実施形態を図４，５に従って説明する。なお、第１実施例と同一の構成については同一の符号を付して、その説明を省略する。本実施形態では、ＣＣＤラインセンサ１４ａとＣＣＤラインセンサ１４ｂの組、ＣＣＤラインセンサ１４ｃとＣＣＤラインセンサ１４ｄの組、ＣＣＤラインセンサ１４ｅとＣＣＤラインセンサ１４ｆの組で、それぞれ１つずつ撮像手段が構成されており、全部で３つ（複数）の撮像手段が設けられている。
【００２８】
前記各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆは、前記検査用ドラム１７の上方に、当該検査用ドラム１７の周面から所定の同一間隔を有して配設されている。各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆは、前記各組（３つ）の撮像手段が、ＴＡＢテープ１２の搬送方向に沿う長さ方向において同一位置となる撮像領域の全体を幅方向に三等分した各撮像領域３２〜３４を、それぞれが分担して撮像する配置構成となっている。即ち、前記ＣＣＤラインセンサ１４ａ，１４ｂは前記検査用ドラム１７の周面に沿った搬送方向における撮像位置Ｐ１において第１撮像領域３２（図５（ａ）参照）を同時に撮像できるように、撮像位置Ｐ１を頂点とする略Ｖ字状をなして配置されている。同じく、ＣＣＤラインセンサ１４ｃ，１４ｄは撮像位置Ｐ２において第２撮像領域３３（図５（ｂ）参照）を同時に撮像できるように、撮像位置Ｐ２を頂点とする略Ｖ字状をなして配置されている。同じく、ＣＣＤラインセンサ１４ｅ，１４ｆは撮像位置Ｐ３において第３撮像領域３４（図５（ｃ）参照）を同時に撮像できるように、撮像位置Ｐ３を頂点とする略Ｖ字状をなして配置されている。また、各ＣＣＤラインセンサ１４ａ，１４ｃ，１４ｅの側方には、各撮像位置Ｐ１〜Ｐ３をそれぞれ照射する照明ライト３５ａ〜３５ｃが配設されている。
【００２９】
次に、以上のように構成された本実施形態におけるパターン検査装置の作用について説明する。
図４，図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、検査用ドラム１７の周面に沿った搬送方向における、３つの撮像位置Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３で、ＴＡＢテープ１２表面に施された配線パターン（被検査パターン）は撮像される。撮像は、その長さ方向において同一位置となる第１〜第３の各撮像領域３２〜３４毎に、前記各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆにより分担して行われる。まず、図５（ａ）に示すように、撮像位置Ｐ１では、ＣＣＤラインセンサ１４ａ，１４ｂにより、前記三等分した内の一つの領域である第１撮像領域３２（搬送方向に向かって右側の領域）が連続的に撮像される。このとき、撮像位置Ｐ１には照射ライト３５ａから照射光が照射されているため、ＣＣＤラインセンサ１４ａにより第１撮像領域３２は上方から照射光が照射された状態で撮像され、ＣＣＤラインセンサ１４ｂは斜め方向から照射光が照射された状態で第１撮像領域３２を撮像する。
【００３０】
また、図５（ｂ）に示すように、撮像位置Ｐ２では、ＣＣＤラインセンサ１４ｃ，１４ｄにより、前記三等分した内の一つの領域である第２撮像領域３３（ＴＡＢテープ１２における幅方向の中央領域）が連続的に撮像される。このとき、撮像位置Ｐ２には照明ライト３５ｂから照射光が照射されているため、ＣＣＤラインセンサ１４ｃにより第２撮像領域３３は上方から照射光が照射された状態で撮像され、ＣＣＤラインセンサ１４ｄは斜め方向から照射光が照射された状態で第２撮像領域３３を撮像する。
【００３１】
また、図５（ｃ）に示すように、撮像位置Ｐ３では、ＣＣＤラインセンサ１４ｅ，１４ｆにより、前記三等分した内の一つの領域である第３撮像領域３４（搬送方向に向かって左側の幅）が連続的に撮像される。このとき、撮像位置Ｐ３には照明ライト３５ｃから照射光が照射されているため、ＣＣＤラインセンサ１４ｅにより第３撮像領域３４は上方から照射光が照射された状態で撮像され、ＣＣＤラインセンサ１４ｆは斜め方向から照射光が照射された状態で第３撮像領域３４を撮像する。
【００３２】
上記第２実施形態のパターン検査装置１１によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）上記第２実施形態では、第１実施形態の効果に加え、１組のＣＣＤラインセンサ１４ａと１４ｂ、１４ｃと１４ｄ、１４ｅと１４ｆがそれぞれ同じ撮像位置における撮像領域を、異なる方向から照射光が照射された状態で撮像した。即ち、照射光が上方から照射された場合と斜め方向から照射された場合とでは欠陥の見え方に変化が生じ、上方からの照明では汚れなどの平らな表面の欠陥を、そして、斜め方向からの照明では配線パターンの欠けや突起などの立体的欠陥をそれぞれ顕著に確認することができるようになる。従って、より確実に配線パターン上の欠陥を検出することができる。
【００３３】
なお、本実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記第１，第２実施形態では、テープとしてＴＡＢテープ１２を用いたが、これに限られることはなく、その他、ＣＳＰ用テープ等の半導体の実装用テープでもよい。
【００３４】
○上記第１，第２実施形態では、撮像手段（撮像装置）として、ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆを用いたが、これに限られることはなく、エリアセンサを用いてもよい。
【００３５】
○上記第２実施形態では、１組のＣＣＤラインセンサ１４ａと１４ｂ、１４ｃと１４ｄ、１４ｅと１４ｆがそれぞれ同じ撮像領域を、異なる方向から照射光が照射された状態で撮像した。しかしながら、撮像条件はこれに限られることなく、例えば、１組のＣＣＤラインセンサのうち一方をモノクロセンサとし、他方をカラーセンサとしてもよい。
【００３６】
○上記第１，第２実施形態では、テンション付与手段として、テンションプーリ１６ａ，１６ｂを用いたが、これに限られることはなく、ＴＡＢテープ１２の撓みやうねりを好適に防止できるものであればよい。
【００３７】
○上記第１実施形態では、ＴＡＢテープ１２の長さ方向において同一位置となる撮像領域を六つの撮像領域２５〜３０に六等分し、各撮像領域２５〜３０を各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆにより構成される六つの撮像手段でそれぞれ分担して撮像するようにした。また、上記第２実施形態では、ＴＡＢテープ１２の長さ方向において同一位置となる撮像領域を三つの撮像領域３２〜３４に三等分し、各撮像領域３２〜３４を各ＣＣＤラインセンサ１４ａ〜１４ｆにより構成される三つの撮像手段でそれぞれ分担して撮像するようにした。しかしながら、これらに限られることはなく、例えば図６に示すように、撮像領域の一部が重複するように等分した第１〜第３撮像領域３２ａ〜３４ａを三つの撮像手段でそれぞれ撮像するようにしてもよい。また、図７に示すように、撮像領域を不均等に分割した第１〜第３撮像領域３２ｂ〜３４ｂを三つの撮像手段でそれぞれ撮像するようにしてもよい。更には、一部が重複しており、かつ不均等に分割した撮像領域を複数の撮像手段でそれぞれ撮像するようにしてもよい。
【００３８】
○上記第２実施形態では、ＣＣＤラインセンサ１４ａ，１４ｂの組、ＣＣＤラインセンサ１４ｃ，１４ｄの組、ＣＣＤラインセンサ１４ｅ，１４ｆの組で、それぞれ１つずつ撮像手段が構成されており、全部で３つの撮像手段が設けられていた。しかしながらこれに限られることはなく、１つの撮像手段は３つ以上のＣＣＤラインセンサで構成してもよい。また、撮像手段の数は２つであってもよいし、４つ以上であってもよい。
【００３９】
○上記第１，第２実施形態では、湾曲搬送部として円筒状をなす検査用ドラム１７を用いたが、これに限られることはなく、例えば、ベルトコンベアのようなものであって、ＴＡＢテープ１２を湾曲した状態で搬送できればよい。
【００４０】
○上記第１，第２実施形態では、配線パターンの欠陥等を検査するパターン検査装置に具体化したが、これに限られることはなく、例えば、８ミリフィルム等に記録された画像を検査する装置等にも適用可能である。
【００４１】
【発明の効果】
本発明によれば、高解像度の欠陥検査が可能でありながら、装置の小型化及び低コストを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】パターン検査装置の要部概略正面図。
【図２】パターン検査装置の要部概略平面図。
【図３】（ａ）は検査用ドラム上における撮像位置Ｐ１の説明図、（ｂ）は撮像位置Ｐ２の説明図、（ｃ）は撮像位置Ｐ３の説明図。
【図４】パターン検査装置の要部概略正面図。
【図５】（ａ）は検査用ドラム上における撮像位置Ｐ１の説明図、（ｂ）は撮像位置Ｐ２の説明図、（ｃ）は撮像位置Ｐ３の説明図。
【図６】ＣＣＤラインセンサの撮像領域の別例を示す説明図。
【図７】ＣＣＤラインセンサの撮像領域の別例を示す説明図。
【符号の説明】
Ｐ１〜Ｐ３  撮像位置
１２  テープとしてのＴＡＢテープ
１３  テープ搬送手段
１４ａ〜１４ｆ  撮像手段及び撮像装置としてのＣＣＤラインセンサ
１６  テンション付与手段としてのテンションプーリ
１７  湾曲搬送部としての検査用ドラム
２５〜３０  第１〜第６撮像領域
【図１】
2005003645.tif 000003
【図２】
2005003645.tif 000004
【図３】
2005003645.tif 000005
【図４】
2005003645.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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