(57)【要約】【課題】  透明な異物の検出精度が高い異物検査方法および異物検査装置を提供する。【解決手段】  被検査物であるインジェクタ５０を洗浄する洗浄水に、ｐＨによって色が変化する指示薬を添加している。また、インジェクタ５０を通過する洗浄水に含まれる異物を捕集するフィルタ３０にはアルカリ性の水溶液が塗布されている。そのため、フィルタ３０に捕集された異物と、背景となるフィルタ３０との間には色の差が生じる。これにより、フィルタ３０に、フィルタ３０と同化する透明な異物３１やフィルタ３０とほぼ同一の色調を有する異物３１が捕集された場合でも、フィルタ３０と異物３１とは確実に区別して検出される。したがって、透明な異物３１やフィルタ３０と同一色調の異物３１の検出精度を高めることができる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物に、ｐＨによって色が変化する指示薬を含む洗浄流体を供給する流体供給段階と、
前記被検査物に供給された前記洗浄流体を突沸させて前記被検査物に付着した異物を除去する洗浄段階と、
前記被検査物から流出する前記洗浄流体を、酸性またはアルカリ性の溶液を塗布したろ過手段でろ過し、前記洗浄流体に含まれる異物を捕集する異物捕集段階と、
を含むことを特徴とする異物検査方法。
【請求項２】
前記洗浄流体は、前記指示薬により着色しており、前記ろ過手段を通過することにより前記ろ過手段が変色することを特徴とする請求項１記載の異物検査方法。
【請求項３】
前記洗浄流体は、無色であり、前記ろ過手段を通過することにより前記ろ過手段を着色することを特徴とする請求項１記載の異物検査方法。
【請求項４】
被検査物を収容するチャンバと、
前記チャンバの内部を減圧する減圧手段と、
前記減圧手段により前記チャンバの内部が減圧されているとき、前記チャンバの内部に収容されている前記被検査物の一方の端部側に、ｐＨによって色が変化する指示薬を含み加圧され過熱状態となった洗浄流体を供給する流体供給手段と、
酸性またはアルカリ性の溶液が塗布され、前記被検査物の他方の端部側で前記被検査物の内部で突沸した前記洗浄流体をろ過し、この洗浄流体に含まれる異物を捕集するろ過手段と、
を備えることを特徴とする異物検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、異物検査方法および異物検査装置に関し、特に洗浄流体を突沸させて被検査物に付着した異物を除去して検出する異物検査方法および異物検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、流体噴射弁のように内部に流体流路を有する被検査物の場合、内部に残留する異物の検査は重要な工程である。流体噴射弁の場合、内部に異物が残留していると、弁部に異物が付着し、閉弁時における弁密度の低下を招くおそれがある。そのため、被検査物の内部に残留する異物は高精度に検査する必要がある（例えば、特許文献１参照）。近年、流体流路に残留する異物の検出精度を向上するために、異物を捕集したフィルタなどのろ過手段を顕微鏡で拡大して異物を検出している。この場合、ろ過手段を顕微鏡で拡大するとともに、カメラで撮影し、画像処理を施すことにより、異物の種類、大きさおよび数量などを検出する手法が多用されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１９２０２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、異物には金属に限らず例えば樹脂の繊維などの非金属の異物が含まれている。非金属の異物には樹脂からなる無色透明なものが含まれる。そのため、上述のように異物を捕集したろ過手段を顕微鏡で拡大しカメラで撮影する場合、無色透明な異物は背景であるろ過手段と同化し検出が困難になる。その結果、全体的な異物の検出精度が低下し、異物が発生している工程の特定が困難である。また、異物の検出精度の低下により、被検査物の信頼性の低下を招くおそれもある。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、透明な異物の検出精度が高い異物検査方法および異物検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１または４記載の発明では、洗浄流体はｐＨによって色が変化する指示薬を含んでいる。被検査物を通過した洗浄流体をろ過するろ過手段には、酸性またはアルカリ性の溶液が塗布されている。そのため、洗浄流体がろ過手段を通過することにより、ろ過手段は変色する。一方、ろ過手段に捕集された異物は洗浄流体に含まれる指示薬によって変色しない。その結果、背景となるろ過手段と異物との間には色に差が生じる。したがって、透明な異物の検出精度を高めることができる。
【０００７】
請求項２記載の発明では、洗浄流体は指示薬により着色している。洗浄流体がろ過手段を通過することにより、洗浄流体に含まれている指示薬はろ過手段に塗布されている酸性またはアルカリ性の溶液によって変色する。そのため、ろ過手段は変色する。一方、ろ過手段に捕集された異物は指示薬によって変色しない。その結果、異物は洗浄流体に含まれている指示薬本来の色に着色され、ろ過手段と異物との間には色に差が生じる。したがって、透明な異物の検出精度を高めることができる。
【０００８】
請求項３記載の発明では、洗浄流体は無色である。すなわち、洗浄流体に含まれている指示薬は着色していない。無色の洗浄流体がろ過手段を通過することにより、洗浄流体に含まれている指示薬はろ過手段に塗布されている酸性またはアルカリ性の溶液によって変色する。そのため、ろ過手段は着色される。一方、ろ過手段に捕集された異物は指示薬によって着色されない。その結果、ろ過手段のみが着色され、ろ過手段と異物との間には色に差が生じる。したがって、透明な異物の検出精度を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
本発明の一実施形態による異物検査装置を図１に示す。図１に示す異物検査装置１０は、被検査物である流体噴射弁（以下、流体噴射弁を「インジェクタ」という。）５０に含まれる異物を検査する。
異物検査装置１０は、インジェクタ５０を収容するチャンバ１１を備えている。インジェクタ５０は、例えばエンジンの燃料噴射弁として使用される。インジェクタ５０は、チャンバ１１の内部に倒立して収容される。すなわち、本実施形態の場合、インジェクタ５０は図１の上方に燃料を噴射する噴射側が位置し、図１の下方に導入側が位置する。チャンバ１１は、箱状の密閉容器である。
【００１０】
インジェクタ５０は、ボディ５１、ニードル５２およびコイル５３を有している。ボディ５１は、筒状に形成され、内部をニードル５２が軸方向へ往復移動可能である。ボディ５１の周囲は、モールド樹脂５４により被覆されている。ニードル５２は、軸方向においてボディ５１の一方の端部に設置される噴孔５５を開閉する。コイル５３は、チャンバ１１の外部の電源部６０に接続されている。コイル５３には、電源から所定の時期に所定の電力が供給される。ニードル５２は、付勢手段５６により噴孔５５を閉塞する方向へ押し付けられている。付勢手段５６としては、例えばコイルスプリングなどが用いられる。一方、ニードル５２は、コイル５３に通電することにより形成される磁気回路によって付勢手段５６に押し付けられる方向とは逆方向へ駆動される。すなわち、ニードル５２は、コイル５３への通電および非通電を切り換えることにより、軸方向へ往復移動する。ニードル５２は、コイル５３へ所定の電力を供給すると、発生する磁気吸引力により付勢手段５６の押し付け力に抗して図１の下方へ移動し、噴孔５５を開放する。また、ニードル５２は、コイル５３への通電を停止すると、付勢手段５６の押し付け力により図１の上方へ移動し、噴孔５５を閉塞する。ボディ５１は、噴孔５５とは反対側の端部に、インジェクタ５０をエンジンに搭載したとき燃料が供給される導入口５７を有している。
【００１１】
異物検査装置１０は、洗浄水生成部２０、加圧過熱水供給部２１および温水供給部２２を備えている。チャンバ１１に収容されているインジェクタ５０の噴孔５５側はノズル１２に取り付けられている。ノズル１２は、加圧過熱水供給部２１および温水供給部２２に接続している。洗浄水生成部２０は、加圧過熱水供給部２１および温水供給部２２に洗浄流体としての洗浄水を供給する。洗浄水生成部２０では、溶解している電解質および有機成分、ならびに浮遊物などを除去した純水を生成する。また、洗浄水生成部２０では、生成した純水に指示薬を添加する。指示薬は、ｐＨによって色が変化する試薬である。指示薬としては、例えばＢＴＢ（ブロモチモールブルー）溶液、フェノールフタレイン溶液、あるいはメチルオレンジ溶液など汎用の指示薬を適用可能である。本実施形態の場合、ｐＨ７付近の中性のとき青色を呈し、ｐＨ８〜１１付近のアルカリ性のとき無色となる指示薬を適用している。
【００１２】
加圧過熱水供給部２１は、洗浄水生成部２０で生成された洗浄水を加圧および過熱して加圧過熱水を生成する。加圧過熱水供給部２１は、生成した加圧過熱水を、ノズル１２を経由してインジェクタ５０に供給する。加圧過熱水供給部２１で生成される加圧過熱水は、大気圧以上に加圧され、沸点である１００℃以上に過熱されている。温水供給部２２は、洗浄水生成部２０で生成された洗浄水を加熱して温水を生成する。温水供給部２２は、生成した温水を、ノズル１２を経由してインジェクタ５０に供給する。温水供給部２２で生成される温水は、大気圧に保持され、沸点以下に加熱されている。本実施形態の場合、温水は７０℃から９０℃に加熱されている。
【００１３】
加圧過熱水供給部２１とノズル１２とを接続する加圧配管２３には、バルブ２４が設置されている。バルブ２４を開閉することにより、加圧過熱水供給部２１からノズル１２への加圧過熱水の供給が制御される。同様に、温水供給部２２とノズル１２とを接続する温水配管２５には、バルブ２６が設置されている。バルブ２６を開閉することにより、温水供給部２２からノズル１２への温水の供給が制御される。洗浄水生成部２０、加圧過熱水供給部２１、温水供給部２２、加圧配管２３、バルブ２４、温水配管２５、バルブ２６およびノズル１２は、特許請求の範囲に記載の流体供給手段を構成している。
加圧過熱水供給部２１で生成された加圧過熱水は、過熱状態のままノズル１２を経由してインジェクタ５０の噴孔５５側に供給される。インジェクタ５０に供給された加圧過熱水は、インジェクタ５０のニードル５２が開弁することにより、大気圧に開放される。そのため、加圧過熱水は、瞬間的に沸騰して水蒸気へ気化し、インジェクタ５０に流入する。
【００１４】
異物検査装置１０は、減圧手段としての吸引ポンプ４１を備えている。吸引ポンプ４１は、チャンバ１１に接続されている。吸引ポンプ４１とチャンバ１１との間にはバルブ４２が設置されている。バルブ４２を開放することにより、チャンバ１１の内部は大気圧以下に減圧される。また、異物検査装置１０は、減圧手段としての吸引ポンプ４３を備えている。吸引ポンプ４３は、チャンバ１１に設置されている排出部１３に接続されている。排出部１３は、チャンバ１１に収容されているインジェクタ５０の反噴孔側に設置されている。排出部１３は排出通路１４を形成している。インジェクタ５０を通過した洗浄水または水蒸気は、排出部１３の排出通路１４を流れる。吸引ポンプ４３と排出部１３との間には、バルブ４４が設置されている。バルブ４４を開放することにより、排出通路１４は大気圧以下に減圧される。
【００１５】
異物検査装置１０はヒータ１５を備えている。ヒータ１５は、インジェクタ５０の外周側に設置され、電源部６０から電力が供給される。ヒータ１５に電力を供給することにより、インジェクタ５０は加熱される。インジェクタ５０を加熱することにより、インジェクタ５０の内部における洗浄水の気化を促進する。なお、インジェクタ５０は、ヒータ１５により加熱するのではなく、ニードル５２が移動しない程度の電力をコイル５３に供給し、コイル５３の発熱により加熱してもよい。
【００１６】
異物検査装置１０は、ろ過手段としてのフィルタ３０を備えている。フィルタ３０は、排出部１３に設置されている。フィルタ３０は、インジェクタ５０から排出通路１４へ排出される洗浄水または水蒸気に含まれる異物を捕集する。本実施形態の場合、フィルタ３０はろ紙から構成されている。フィルタ３０を構成するろ紙には、アルカリ性の溶液が塗布されている。本実施形態の場合、フィルタ３０には、例えば純水に炭酸ナトリウムなどを溶解したアルカリ性の炭酸ナトリウム水溶液が塗布または含浸されている。上述のように洗浄水に含まれる指示薬は、中性で青色を呈し、アルカリ性で無色となる。そのため、中性で青色を呈している洗浄水がフィルタ３０を通過した場合、アルカリ性の溶液が塗布されているフィルタ３０は変色しない。すなわち、フィルタ３０は本来の色を維持する。
【００１７】
異物検査装置１０は検出部１６を備えている。検出部１６は、フィルタ３０に捕集された異物を拡大する例えば拡大鏡などの図示しない拡大手段を有している。検出部１６は、拡大手段で拡大されたフィルタ３０を撮影する図示しない撮影部、および撮影された異物の画像を処理する図示しない処理部を有している。撮影部は、例えばＣＣＤカメラなどの画像を電子的に入力可能な入力手段を有している。また、処理部は、コンピュータから構成されており、撮影部で撮影されたフィルタ３０の画像について画像処理を実行し、フィルタ３０に捕集された異物の種類、大きさおよび数量などを検出する。
【００１８】
次に、上記の構成による異物検査装置１０による異物検査方法について図２に基づいて説明する。
異物の検査は、大きくインジェクタ５０の内部の洗浄と、インジェクタ５０に含まれる異物の検出との二つの段階に区分される。
（インジェクタのセット）
異物検査の対象となるインジェクタ５０をチャンバ１１の内部に設置する（Ｓ１００）。このとき、チャンバ１１の内部は大気圧である。インジェクタ５０は、噴孔５５側の端部がノズル１２に接続される。なお、インジェクタ５０は、図示しない支持部によりチャンバ１１に支持してもよい。
【００１９】
（低沸点成分の除去）
チャンバ１１の内部へのインジェクタ５０の設置が完了すると、チャンバ１１は密閉される。そして、バルブ４２が開放され、チャンバ１１の内部は吸引ポンプ４１により減圧される。これにより、チャンバ１１の内部およびインジェクタ５０の内部は大気圧以下に減圧される。また、チャンバ１１の内部の減圧とともに、ヒータ１５には所定の電力が供給される。ヒータ１５に所定の電力を供給することにより、インジェクタ５０のボディ５１は加熱される。なお、上述のようにコイル５３に電力を供給し、コイル５３の発熱によりボディ５１を加熱してもよい。
【００２０】
チャンバ１１およびインジェクタ５０の内部を減圧するとともに、ボディ５１を加熱することにより、ボディ５１の内壁およびニードル５２の外壁などインジェクタ５０に付着した低沸点成分は蒸発する。蒸発した低沸点成分は、吸引ポンプ４１により吸引され、チャンバ１１の外部へ排出される。これにより、インジェクタ５０に付着した異物のうち低沸点成分は除去される（Ｓ１１０）。このとき、除去される低沸点成分としては、例えば低沸点の油分あるいは水分などである。低沸点成分の除去が完了すると、チャンバ１１の内部は一旦大気圧に昇圧される。
【００２１】
（加圧過熱水の供給）
低沸点成分の除去が完了すると、加圧配管２３のバルブ２４が開放され、加圧過熱水供給部２１からノズル１２へ加圧過熱水が供給される（Ｓ１２０）。加圧過熱水供給部２１には、洗浄水生成部２０から洗浄水が供給されている。洗浄水生成部２０では洗浄水に指示薬を添加しているため、洗浄水は青色を呈している。このとき、コイル５３への通電は停止されているため、ニードル５２は噴孔５５を閉塞している。そのため、加圧過熱水は加圧過熱状態でノズル１２に蓄えられる。
【００２２】
（大気圧への開放）
ノズル１２に加圧過熱水が供給されると、コイル５３へ所定の電力が供給される。このとき、コイル５３へ供給される電力は、ニードル５２を駆動するために必要となる電力である。コイル５３に所定の電力を供給することにより、ニードル５２はコイル５３側へ吸引され図１の下方へ移動する。これにより、ニードル５２は噴孔５５を開放する。ニードル５２が噴孔５５を開放することにより、インジェクタ５０の噴孔５５側であるノズル１２に供給されている加圧過熱水は大気圧に開放される（Ｓ１３０）。その結果、ノズル１２に供給されている加圧過熱水は、瞬間的に沸騰して気化し、水蒸気となってインジェクタ５０の内部へ流入する。
【００２３】
発生した水蒸気は、粘着性の高い汚れとともにボディ５１の内壁やニードル５２の外壁に付着している異物の周囲に流入する。粘着性の高い汚れとは、例えばタール状の高沸点の油分など半固形状あるいは液状の汚れである。汚れおよび異物の周囲に流入した水蒸気は、大きな熱量を有しているため、ボディ５１やニードル５２に付着している汚れを軟化させる。そして、水蒸気は、汚れや異物の周囲で凝結し、水滴を形成する。その結果、汚れや異物は、水滴によって包囲される。これにより、水滴の水分はボディ５１やニードル５２と汚れとの境界面に浸透する。加圧過熱水には、指示薬が含まれているため、汚れおよび異物の周囲に凝結した水滴は青色を呈している。そのため、汚れおよび異物は青色の水滴によって青色に着色される。
【００２４】
（チャンバ内の減圧）
加圧過熱水の大気圧への開放が完了すると、コイル５３への通電が停止される。これにより、ニードル５２は噴孔５５を閉塞する。ニードル５２が噴孔５５を開放している期間は、例えば数ミリ秒から数秒程度の短期間である。ニードル５２が噴孔５５を閉塞すると、吸引ポンプ４１によりチャンバ１１の内部が減圧される（Ｓ１４０）。このとき、バルブ４２を開放することにより、チャンバ１１の内部は急激に減圧される。チャンバ１１の内部は凝結して沸点以下となった洗浄水が沸騰する程度の圧力まで減圧される。これにより、ボディ５１やニードル５２に付着した汚れや異物の周囲の水滴は瞬間的に沸騰する。その結果、付着した汚れは水蒸気とともに分散されるとともに、ボディ５１やニードル５２と汚れとの間に浸透した水分は汚れを浮かせ付着力を低減する。
【００２５】
（温水の供給）
チャンバ１１の内部が減圧されると、温水配管２５のバルブ２６が開放され、温水供給部２２からノズル１２へ温水が供給される（Ｓ１５０）。温水供給部２２には、洗浄水生成部２０から洗浄水が供給されている。洗浄水生成部２０は、洗浄水に指示薬を添加しているため、洗浄水は青色を呈している。このとき、コイル５３への通電は停止されているため、温水はノズル１２に蓄えられる。
【００２６】
（異物の除去および捕集）
ノズル１２に温水が供給されると、コイル５３へ所定の電力が供給される。このとき、コイル５３に供給される所定の電力は、Ｓ１３０における大気圧の開放の際にコイル５３へ供給された電力と同一である。そのため、ニードル５２は、コイル５３側へ吸引され、噴孔５５を開放する。
このとき、Ｓ１４０においてチャンバ１１の内部は減圧されている。そのため、ニードル５２が噴孔５５を開放すると、ノズル１２に蓄えられている温水はインジェクタ５０の内部に流入するとともに、瞬間的に沸騰する。
【００２７】
また、コイル５３への通電によるニードル５２の開弁とほぼ同時に、バルブ４４が開放される。これにより、インジェクタ５０の内部はさらに減圧される。そのため、インジェクタ５０の内部で発生した水蒸気は、音速に近い速度でインジェクタ５０の内部を噴孔５５側から導入口５７側まで流れる。高速の水蒸気がインジェクタ５０のボディ５１の内部を流れることにより、Ｓ１４０において付着力が低減した汚れは水蒸気とともに分散される。これとともに、汚れとともにボディ５１やニードル５２に付着していた異物は、高速の水蒸気の流れによって吹き飛ばされ、ボディ５１やニードル５２から剥がされる。
【００２８】
チャンバ１１およびインジェクタ５０の内部は吸引ポンプ４３によって吸引されている。そのため、インジェクタ５０の内部を通過した水蒸気は、排出部１３へ流入する。インジェクタ５０の内部を通過した水蒸気が排出部１３の排出通路１４を流れることにより、水蒸気により吹き飛ばされた異物はフィルタ３０に捕集される（Ｓ１６０）。このとき、インジェクタ５０の内部を通過する水蒸気の一部は凝結し、凝結した水蒸気は水滴となってフィルタ３０に捕集された異物に付着する。上述の手順により、インジェクタ５０の洗浄工程が実行される。
【００２９】
本実施形態では、上述のように洗浄水はｐＨによって色が変化する指示薬を含んでいる。すなわち、指示薬は、中性付近では青色を呈し、アルカリ性では無色となる。Ｓ１６０においてフィルタ３０に捕集された異物には、水蒸気の一部が凝結した水滴が付着する。そのため、図３に示すように、フィルタ３０に捕集された異物３１は、凝結した水滴に含まれる指示薬によって、指示薬自身の色すなわち青色に着色されている。これに対し、フィルタ３０にはアルカリ性の水溶液が塗布されている。そのため、フィルタ３０において水蒸気が凝結しても、指示薬は無色となる。その結果、背景であるフィルタ３０は変色しないのに対し、異物３１は指示薬本来の色に着色される。これにより、背景となるフィルタ３０と異物３１との間には色に差が生じる。
【００３０】
（異物の検出）
インジェクタ５０の内部の洗浄が完了すると、異物３１の検出工程が実行される。検出工程では、異物３１を捕集したフィルタ３０が排出部１３から取り外される。取り外されたフィルタ３０は、検出部１６に送られる。検出部１６では、フィルタ３０に付着した異物３１を観察し、金属か非金属であるかなどの異物の種類、ならびに捕集された異物３１の大きさおよび数量などが検出される。検出された異物３１から、インジェクタ５０の性能および洗浄度が評価されるとともに、インジェクタ５０の複数の加工工程のうちどの工程で異物３１が混入しているか特定される。
【００３１】
フィルタ３０は、検出部１６のカメラにより画像として入力される。このとき、金属は光の反射率が大きいため、フィルタ３０に含まれる金属の異物は明るい画像として撮影される。また、非金属の異物は、光の反射率が小さいため、フィルタ３０に含まれる非金属の異物は暗い画像として撮影される。一方、例えば樹脂繊維などからなる透明な異物は、光を透過するため、背景であるフィルタ３０と同化し画像による検出が困難となる。
本実施形態の場合、上述のように異物３１は着色され背景となるフィルタ３０と異物３１との間には色に差が生じる。そのため、フィルタ３０に捕集された異物３１は透明である場合でも容易に検出される。
【００３２】
以上、説明した一実施形態では、洗浄水にｐＨによって色が変化する指示薬を添加するとともに、フィルタ３０にはアルカリ性の水溶液を塗布している。そのため、フィルタ３０に捕集された異物３１は指示薬の本来の色に着色されるのに対し、フィルタ３０は変色しない。すなわち、異物３１は指示薬本来の青色を呈するのに対し、フィルタ３０は変色することなくフィルタ３０本来の色を維持する。その結果、背景となるフィルタ３０と異物３１との間には色の差が生じる。これにより、フィルタ３０に、フィルタ３０と同化する透明な異物３１やフィルタ３０とほぼ同一の色調を有する異物３１が捕集された場合でも、フィルタ３０と異物３１とは確実に区別して検出される。したがって、透明な異物３１やフィルタ３０と同一色調の異物３１の検出精度を高めることができる。
【００３３】
（その他の実施形態）
以上説明した本発明の一実施形態では、洗浄流体に中性のとき着色し、アルカリ性のとき無色となる指示薬を添加する例について説明した。しかし、指示薬は、上述の例に限らず、ｐＨによって色が変化するものであれば種類を問わず適用することができる。
例えば、洗浄流体に中性のとき無色となり、アルカリ性のとき着色する指示薬を添加することにより、図４に示すようにアルカリ性の水溶液が塗布されたフィルタ３０のうち、捕集された異物３１と接している部分は着色せず、異物３１と接していない部分のみが着色する。すなわち、捕集された異物３１が付着している部分ではフィルタ３０は着色しない。そのため、背景となるフィルタ３０と捕集された異物３１との間では色が異なる。したがって、透明な異物３１やフィルタ３０と同一色調の異物３１の検出精度を高めることができる。
【００３４】
また、フィルタにアルカリ性の水溶液ではなく酸性の水溶液を塗布し、洗浄流体に中性と酸性との間で変色する指示薬を添加してもよい。指示薬は、中性のとき着色し酸性のとき無色となるもの、または中性のとき無色であり酸性のとき着色するもののいずれでもよい。この場合でも上述の本発明の一実施形態と同様に背景となるフィルタと捕集された異物との間では色が異なる。したがって、透明な異物やフィルタと同一色調の異物の検出精度を高めることができる。
【００３５】
さらに、上述の実施形態では、ｐＨによって着色または無色となる指示薬を用いる例について説明した。しかし、ｐＨによって色が変化する指示薬であればよく、酸性、アルカリ性または中性のいずれかで無色になる必要はない。例えば、酸性で黄色、中性で緑色、アルカリ性で青色を呈するようなＢＴＢ溶液などを適用してもよい。ｐＨによって色が変化すれば、背景となるフィルタと捕集された異物との間では色が異なる。したがって、透明な異物やフィルタと同一色調の異物の検出精度を高めることができる。
【００３６】
さらに、上述の実施形態では、被検査物としてインジェクタを適用する例について説明したが、インジェクタに限らず、内部に流体流路を有する筒状の部材であれば被検査物として適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態による異物検査装置を示す模式図である。
【図２】本発明の一実施形態による異物検査装置を用いた異物検査の流れを示す図である。
【図３】本発明の一実施形態による異物検査装置によりフィルタに捕集された異物を示す模式図である。
【図４】本発明の他の実施形態による異物検査装置によりフィルタに捕集された異物を示す模式図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０  異物検査装置、１１  チャンバ、１２  ノズル（流体供給手段）、２０  洗浄水生成部（流体供給手段）、２１  加圧過熱水供給部（流体供給手段）、２２  温水供給部（流体供給手段）、２３  加圧配管（流体供給手段）、２４  バルブ（流体供給手段）、２５  温水配管（流体供給手段）、２６  バルブ（流体供給手段）、３０  フィルタ（ろ過手段）、３１  異物、４１  吸引ポンプ（減圧手段）、４３  吸引ポンプ（減圧手段）、５０  インジェクタ（被検査物）
【図１】
2005181042.tif 000003
【図２】
2005181042.tif 000004
【図３】
2005181042.tif 000005
【図４】
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