(57)【要約】【課題】最小の自動搬送車の台数で最大の搬送効率をうることができる自動搬送車を提供する。【解決手段】液晶表示装置の製造工程における処理装置にカセットを搬送するための自動搬送車であって、該自動搬送車１は、２個のカセット収容部２ａ、２ｂが並設されている。【選択図】図１
2005026720.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記被処理物を収納したカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載されるとともに、前記被処理物を収納していない空のカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴とする自動搬送車。
【請求項２】
液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記被処理物を収納していない空のカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載されるとともに、前記被処理物を収納したカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴とする自動搬送車。
【請求項３】
液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記処理装置により処理が終了した被処理物を収納したカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載された後に、処理すべき被処理物を収納したカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴とする自動搬送車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は自動搬送車に関する。さらに詳しくは、液晶表示装置における液晶用ガラス基板の製造工程において、ガラス基板を収納したカセットおよび／または空のカセットを前工程からつぎの工程の処理装置へ搬送させる自動搬送車に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の自動搬送車としては、図６に示すように、自動搬送車５１上に、１つのカセット収容部５２を備えており、前工程で処理が完了したガラス基板を収納したカセット５３をカセット収容部５２に保持し、つぎの工程まで自動搬送し、つぎの工程の処理装置５４のカセットステージ５５へ移載するものがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、かかる自動搬送車は、１台の自動搬送車で１個のカセットしか搬送できないため、多数の自動搬送車が必要となる。また、処理完了のカセットを自動搬送車に移し、空のカセットを処理装置にセットするばあいなど、それぞれの作業を別々に行なう必要があるため、搬送の効率がわるく、時間がかかるなどの問題がある。
【０００４】
本発明は、叙上の事情に鑑み、最小の自動搬送車の台数で最大の搬送効率をうることができる自動搬送車を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の自動搬送車は、液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記被処理物を収納したカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載されるとともに、前記被処理物を収納していない空のカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴としている。
【０００６】
本発明の他の自動搬送車は、液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記被処理物を収納していない空のカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載されるとともに、前記被処理物を収納したカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴としている。
【０００７】
本発明のさらに他の自動搬送車は、液晶表示装置の製造工程における処理装置に被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットを搬送するために、該被処理物を収納したカセットと被処理物を収納していない空のカセットのための複数個のカセット収容部が並設されている自動搬送車であって、前記処理装置により処理が終了した被処理物を収納したカセットが、前記処理装置のカセットステージから前記複数個のカセット収容部のいずれかに移載された後に、処理すべき被処理物を収納したカセットが、他のカセット収容部から前記処理装置のカセットステージに移載されることを特徴としている。
【発明の効果】
【０００８】
以上説明したとおり、本発明の自動搬送車では、自動搬送車上に複数のカセット収容部を備えており、またカセット収容部の間隔を処理装置のカセットステージと同一または自動的に変えうるようにしたので、最小の自動搬送車台数で最大の搬送効率がえられるとともに、設備費用が低減し、生産性が向上する。
【０００９】
また自動搬送車の配車を処理装置の処理情報により行なうため、さらに一環した生産を行なうことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、添付図面に基づいて本発明の自動搬送車について説明する。
【００１１】
図１は本発明の自動搬送車の一実施例を示す概略図、図２は図１における自動搬送車の動作を示す説明図、図３は本発明の自動搬送車の他の実施例を示す概略図、図４は本発明の自動搬送車のさらに他の実施例を示す概略図、図５は本発明の自動搬送車を配車制御するためのブロック図である。
【００１２】
本発明の自動搬送車は、液晶表示装置の製造工程における、たとえば洗浄、現像、エッチング、剥離などのプロセス処理を行なう処理装置にガラス基板などの被処理物を収納したカセットや該被処理物を収納していない空のカセットを搬送するものである。
【００１３】
図１に示すように、自動搬送車１は、その上面にカセットを保持する２個のカセット収容部２ａ、２ｂが並設されているが、本発明においては、カセット収容部は２個に限定されるものではなく、３個以上とすることもできる。またカセット収容部は上面にのみ設けるものに限定されるものではなく、上下２段に配置することもできる。そして自動搬送車１が処理装置Ｍ１まで移動したのち、カセットステージ３に載置されている処理済のカセットＫは、自動搬送車１上に設置されているロボットアーム等（図示せず）により、カセット収容部２ｂに移載されるとともに、カセット収容部２ａに保持されている空のカセットＫ１は、処理装置Ｍのカセットステージ３に移載される。
【００１４】
つぎに本発明の自動搬送車の動作を説明する。まず図２（ａ）に示すように、自動搬送車１により処理装置Ｍ１のカセットローダ４ｂにガラス基板を収納したカセットＫ２をセットするとともに、カセットアンローダ４ａに空のカセットＫ１をセットする。各セットが完了すると、図２（ｂ）に示すようにカセットＫ２から順次ガラス基板を取り出したのち、所定の処理を行ない、カセットＫ１に収納する。そして全てのガラス基板の処理が完了すると、処理装置Ｍのカセットアンローダ４ａおよびカセットローダ４ｂの前方にそれぞれ自動搬送車１ａ、１ｂが移動する。該自動搬送車１ａは、カセット収容部２ｂに空のカセットＫ３が保持されているが、他のカセット収容部２ａにはカセットが保持されていない空の状態にされている。一方、自動搬送車１ｂは、カセット収容部２ｂに未処理のガラス基板を収納したカセットＫ４が保持されているが、他のカセット収容部２ａにはカセットが保持されていない。ついで図２（ｂ）、（ｃ）に示すように、カセットアンローダ４ａ上の処理済のカセットＫ１が自動搬送車１ａのカセット収容部２ａに移載されるとともにカセットローダ４ｂ上の空のカセットＫ２が自動搬送車１ｂのカセット収容部２ａに移載される。つぎに図２（ｄ）に示すように、自動搬送車１ａ、１ｂは、カセット収容部２ｂがカセットアンローダ４ａ側およびカセットローダ４ｂ側に来るように移動される。そののち自動搬送車１ａのカセット収容部２ｂに保持されている空のカセットＫ３がカセットアンローダ４ａへセットされるとともに、自動搬送車１ｂのカセット収容部２ｂに保持されている未処理のカセットＫ４がカセットローダ４ｂへセットされる。そして図２（ｂ）に示したように、引きつづき、カセットＫ４（Ｋ２）から順次ガラス基板が処理されたのち、空のカセットＫ３（Ｋ１）に収納されると、他の自動搬送車が移動して来て、カセットの交換を行なう。このように１台の自動搬送車１ａ、１ｂで処理装置Ｍ１とのあいだに処理済のカセットと空のカセットとの交換および空のカセットと未処理のカセットとの交換が行なわれるため、搬送時間が短縮され、生産性が向上する。
【００１５】
つぎに本発明の自動搬送車の他の実例例を説明する。図３（ａ）に示される処理装置Ｍ２は、カセットローダとカセットアンローダが同一のカセットステージ２４で行なわれるものである。この処理装置Ｍ２において、カセットＫ５に収納されるガラス基板の処理が終了すると、自動搬送車２１が処理装置Ｍ２へ移動する。この自動搬送車２１のカセット収容部２２ａには、処理すべきガラス基板を収納するカセットＫ６が保持されており、他のカセット収容部２２ｂは、空の状態にされている。そして図３（ｂ）に示すように、カセットステージ２４上の処理完了のカセットＫ５をカセット収容部２２ｂに移載する。ついで図３（ｃ）に示すように、自動搬送車２１を前進したのち、カセット収容部２２ａに保持されるつぎのカセットＫ６をカセットステージ２４へセットする。
【００１６】
つぎに本発明の自動搬送車のさらに他の実施例を説明する。図４（ａ）に示すように、自動搬送車３１のカセット収容部３２ａ、３２ｂから２個のカセットＫ７を同時に処理装置Ｍ３のカセットステージ３４ａ、３４ｂに移載するばあい、および図４（ｂ）に示すように、処理装置Ｍ３のカセットステージ３４ａ、３４ｂ上の処理が完了した２個のカセットＫ８を同時に自動搬送車３１のカセット収容部３２ａ、３２ｂに移載するばあい、２個のカセット収容部３２ａ、３２ｂの間隔Ａ１と２個のカセットステージ３４ａ、３４ｂの間隔Ａ２が同一ピッチにされている。また自動搬送車３１にカセット収容部の間隔Ａ１を自動的に変更できる可変機構を設けることにより、前記間隔Ａ２が異なる他の処理装置に対しても対応可能となり、作業時間が短縮し、生産性が向上する。前記可変機構としては、カセット収容部の下部に設置されるサーボモータとボールネジ等を用いることができ、カセット収容部の間隔をカセットステージの間隔に自動的に変更する。
【００１７】
つぎに本発明の自動搬送車の配車制御方法について説明する。図５に示すように、自動搬送車４１ａ、４１ｂ、４１ｃと処理装置に取り付けられたコントローラ４５ａ、４５ｂ、４５ｃは、配車コントローラ４４に各通信線４６でつながれ、集中管理されている。これにより、各処理装置におけるガラス基板の処理状況（情報）を各コントローラ４５ａ、４５ｂ、４５ｃから配車コントローラ４４に通信し、該通信に基づいて各処理装置に最も近くて、かつ最適なカセットを保持している自動搬送車を選定し、自動搬送車と処理装置とのあいだの配車を制御している。このように最適配車をコントロールするため、生産性がさらに向上する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の自動搬送車の一実施例を示す概略図である。
【図２】図１における自動搬送車の動作を示す説明図である。
【図３】本発明の自動搬送車の他の実施例を示す概略図である。
【図４】本発明の自動搬送車のさらに他の実施例を示す概略図である。
【図５】本発明の自動搬送車を配車制御するためのブロック図である。
【図６】従来の自動搬送車を示す説明図である。
【符号の説明】
【００１９】
１，１ａ，１ｂ，２１，３１  自動搬送車、
２ａ，２ｂ，２２ａ，２２ｂ，３２ａ，３２ｂ  カセット収容部、
Ｋ，Ｋ１，Ｋ２，Ｋ３，Ｋ４，Ｋ５，Ｋ６，Ｋ７，Ｋ８  カセット。
【図１】
2005026720.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005026720.tif 000005
【図４】
2005026720.tif 000006
【図５】
2005026720.tif 000007
【図６】
2005026720.tif 000008