(57)【要約】【課題】従来のウエハ検査装置は、ウエハカセット毎に回収した後、次のウエハカセットから検査対象のウエハを取り出すため、その間に無駄な待ち時間が生じていた。【解決手段】本発明は、複数設けられた載置台に被検体が複数収納された最初のカセットが載置されると、マッピングを行いそれらの被検体の枚数と所在を確認し、設定した検査項目（レシピ）に従い、被検体が順次取り出されて検査される。その最初のカセットの最後の検査対象となる被検体が取り出される前で且つ、マッピング及び検査項目設定が完了するタイミングで、次に検査を行う被検体が収納されたカセットが載置されると、最初のカセットの最後の被検体に続いて、次のカセットから最初の被検体が取り出されて検査が続いて行われる被検体の検査装置及び検査方法である。【選択図】    図１
2005274243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被検体が収納される複数のカセットと、
上記カセットのうち少なくとも２つのカセットを載置する載置台と、それぞれの該カセットに収納される上記被検体を搬出及び搬入又は、搬送するための複数のアーム機構とを備える搬送部と、
上記アーム機構に保持されている上記被検体に対して、マクロ的な外観検査を行うマクロ検査部と、
上記マクロ検査部による検査の後に、上記アーム機構から上記被検体を受け取り、ミクロ的な外観検査を行う顕微鏡観察部と、
上記載置台に載置された上記カセット内に収納された複数の被検体のマッピングを行い、上記搬送部における搬送制御と、上記マクロ検査部及び上記顕微鏡観察部における検査設定項目の設定を行う制御部と、
を具備し、
上記載置台のそれぞれに上記カセットが載置された際に、独立して上記被検体のマッピングが可能であり、先に載置されたカセットに収納される最後の検査対象となる被検体が搬出されるまでに、後のカセットが載置されてマッピング及び検査条件設定が行われたならば、後のカセットに収納される被検体を引き続き、搬出及び検査を行うことを特徴とする被検体の検査装置。
【請求項２】
複数のカセットに収納される複数の被処理体を、カセット単位で連続的に搬出し、所定の検査を行った後、元のカセットに収納する被処理体の検査方法であって、
最初のカセットのマッピングと第１の検査項目の設定をした後、収納される被処理体が順次搬出され検査されている期間内に、次のカセットのマッピングと第２の検査項目の設定を行い、上記最初のカセットの最終の被処理体を搬出した後、続いて、上記次のカセットに収納されている被処理体を搬出し、前記最終の被処理体の検査後に上記第１の検査項目から第２の検査項目に切り替えて、続いて検査を行うことを特徴とする被検体の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の被検体を検査する検査装置に係り、特に複数枚の被検体をカセット単位で連続的に検査を行う際に、検査に要する時間を短縮するウエハの検査装置及びその検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体装置製造工程において、製造途中の半導体ウエハ（以下、ウエハと称する）の外観等の検査が行われている。この検査装置には、検査部に被検体であるウエハをカセットから順次供給するウエハ搬送部（ローダ）が設けられている。このウエハ搬送部のカセット載置台に複数のウエハが収納されたウエハカセットがセットされる。このウエハカセットに収納された複数枚のウエハは、ロボットアームにより１枚ずつ取り出され、所定の検査が行われた後、再度ロボットアームによりウエハカセットに回収される。この検査装置におけるウエハ載置台には、検査作業の効率化を図るため、少なくとも２つのウエハカセットが載置できるように構成されている。
【０００３】
この場合、１番目のウエハカセット内の全ウエハについて検査を終了して、その全ウエハがカセット内に回収された後、次の２番目のウエハカセットに収納されたウエハに対する検査が継続して行われる。
【特許文献１】特開平９−１８１１４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述したような検査装置における２つのウエハカセットを用いた場合のウエハの流れは、最初のウエハカセットの全ウエハが検査されて回収された後、次のウエハカセットに収納されたウエハろぼっとにより取り出されて、検査部に搬送される。
【０００５】
従って、ウエハ検査は、ウエハカセット単位毎に行われる。つまり、１番目のウエハカセットにおける最後に検査されたウエハが、その１番目のウエハカセットに回収されるまで、２番目のウエハカセットから取り出されないため、２番目のウエハカセット内にある１枚目のウエハのマクロ検査を開始するまでの間、検査の待時間が生じてしまう。
【０００６】
検査済みのカセットの交換作業の時間を短くする方法が特許文献１に開示されている。この特許文献１のものは、基板投入から処理終了まで無人で行われるシステムにおいて、処理終了時間を算出して作業者にカセット交換を促すことによりカセットの交換作業時間の短縮化を図るものである。
【０００７】
しかし、この特許文献１のものは、無人化によるカセットの交換作業の効率化を図ることを目的としており、検査を行うような検査装置に対して、この技術を適用しても検査処理時間の短縮という効果は生じない。
【０００８】
そこで本発明は、複数のカセットに収納された被検体を連続的に検査する場合に、シーケンスの変更によりカセット間の移行時間を削減することにより、全体の検査時間の短時間化を可能にする検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記目的を達成するために、複数の被検体が収納される複数のカセットと、上記カセットのうち少なくとも２つのカセットを載置する載置台と、それぞれの該カセットに収納される上記被検体を搬出及び搬入又は、搬送するための複数のアーム機構とを備える搬送部と、上記アーム機構に保持されている上記被検体に対して、マクロ的な外観検査を行うマクロ検査部と、上記マクロ検査部による検査の後に、上記アーム機構から上記被検体を受け取り、ミクロ的な外観検査を行う顕微鏡観察部と、上記載置台に載置された上記カセット内に収納された複数の被検体のマッピングを行い、上記搬送部における搬送制御と、上記マクロ検査部及び上記顕微鏡観察部における検査設定項目の設定を行う制御部とを備え、上記載置台のそれぞれに上記カセットが載置された際に、独立して上記被検体のマッピングが可能であり、先に載置されたカセットに収納される最後の検査対象となる被検体が搬出されるまでに、後のカセットが載置されてマッピング及び検査条件設定が行われたならば、後のカセットに収納される被検体を引き続き、搬出及び検査を行う被検体の検査装置を提供する。
【００１０】
また本願発明は、複数のカセットに収納される複数の被処理体を、カセット単位で連続的に搬出し、所定の検査を行った後、元のカセットに収納する被処理体の検査方法であって、最初のカセットのマッピングと第１の検査項目の設定をした後、収納される被処理体が順次搬出され検査されている期間内に、次のカセットのマッピングと第２の検査項目の設定を行い、上記最初のカセットの最終の被処理体を搬出した後、続いて、上記次のカセットに収納されている被処理体を搬出し、前記最終の被処理体の検査後に上記第１の検査項目から第２の検査項目に切り替えて、続いて検査を行う被検体の検査方法を提供する。
【００１１】
以上のような構成の被検体の検査装置及び検査方法は、複数設けられた載置台に被検体が複数収納された最初のカセットが載置されると、マッピングを行いそれらの被検体の枚数と所在を確認し、設定した検査項目（レシピ）に従い、被検体が順次取り出されて検査される。その最初のカセットの最後の検査対象となる被検体が取り出される前で且つ、マッピング及び検査項目設定が完了するタイミングで、次に検査を行う被検体が収納されたカセットが載置されると、最初のカセットの最後の被検体に続いて、次のカセットから最初の被検体が取り出されて検査が続いて行われる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、複数のカセットに収納された被検体を連続的に検査する場合に、シーケンスの変更によりカセット間の移行時間を削減することにより、全体の検査時間の短時間化を可能にする検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。  
図１は、本発明の検査装置に係る一実施形態として、ウエハ外観検査装置の搬送に関わる概略的な構成例を示す。  
このウエハ外観検査装置は、大別して、ウエハ供給収納部１と、アーム式搬送部２と、マクロ検査部３と、アライナー４と、顕微鏡検査部（ミクロ検査部）５と、制御部６と、入力部７と、表示部８とから構成される。
【００１４】
ウエハ供給収納部１は、少なくとも２つのウエハカセット９，１０を載置できる載置台１１，１２を備えており、アーム式搬送部２に対して、被検体となる半導体ウエハ（以下、ウエハと称する）１３の受け渡しができるように昇降機能を有している。これらのウエハカセット９，１０は、複数、例えば２５枚のウエハ１３を収納することが可能である。また載置台１１，１２には、それぞれカセット９，１０の載置及び収納されているウエハのマッピング検出を行うセンサ１４，１５が設けられている。
【００１５】
本実施形態において、マッピングはウエハカセット内に収納されているウエハの枚数と、どのスリットに収納されているかを関係づけて検出され、制御部６に記憶される。ウエハ検査が終了したウエハは、このマッピング結果に従い、ウエハカセット内の元のスリットに収納される。
【００１６】
アーム式搬送部２は、ウエハカセット９，１０からウエハ１３を搬出搬入するための後述するカセット用アーム機構１６と、各検査部３，５とアライナー４間でウエハ１３を搬送する検査用アーム機構１７とで構成される。
【００１７】
マクロ検査部３は、検査用アーム機構１７からマクロ検査台に受け渡してマクロ検査を行う。アライナー４は、次の顕微鏡検査部５によるミクロ検査を行うための位置合わせのために、ウエハ１３のオリフラ（オリエンテーションフラット）を基準として位置出し（又は位置合わせ）を行う。勿論、この位置合わせは、オリフラを基準としなくとも、フォトリソグラフィ工程やダイシング工程等に用いるために、ウエハ上に設けられたアライメントマークを利用してもよい。
【００１８】
制御部６は、ウエハ供給収納部１と、アーム式搬送部２と、マクロ検査部３と、アライナー４と、顕微鏡検査部５とを制御して、搬送及び検査処理を含む全体的なシーケンスや検査条件の指示などを行う。また、入力部７は、操作パネルや複数のキーから成り、検査条件（レシピ）の設定や、検査や搬送における指示を入力する。表示部８は、例えば、液晶表示素子等から成り、検査処理状態、検査条件や検査結果などを表示する。
【００１９】
図２には、前述した一実施形態のウエハ外観検査装置におけるウエハ搬送のための具体的な構成例を示す。このアーム式搬送部２は、カセット用アーム機構１６及び検査用アーム機構１７とで構成されている。
【００２０】
カセット用アーム機構１６は、延縮するアーム部２１を有し、先端には、真空チャック機能を有するＬ型フォーク部２２が取り付けられている。このフォーク部２２をウエハカセット９，１０内に進入させてウエハ１３の裏面を吸着保持しウエハカセット９，１１内からウエハを搬出して、検査用アーム機構１７に受け渡しを行う。またカセット用アーム機構１６は、検査用アーム機構１７から検査済みのウエハ１３を受け取り、元のカセット９，１０の元の収納位置に搬入する。尚、この例では、マッピングのために載置台１１，１２が昇降する機能を有しているため、カセット用アーム機構１６によるウエハの搬出・搬入の際に、ウエハカセット９，１０にフォーク部２２の取り出し位置まで昇降させている。これに代えて、アーム部２１に昇降機能を持たせて、ウエハカセット９，１０にウエハ搬出・搬入する場合に、ウエハカセット９，１０を固定し、フォーク部２２を昇降させてもよい。
【００２１】
この昇降可能なカセット用アーム機構１６を用いる場合には、フォーク部２２の先端にマッピング用センサを設けることにより、フォーク部２２を昇降させることによりマッピングを行うことができる。
【００２２】
また、フォーク部２２を各ウエハカセット９，１０のそれぞれ正面（取り出し位置）及び検査用アーム機構１７のウエハ受け渡し位置Ａまでアーム部２１を平行移動させるために、リニアモータ等やモータ駆動されるギヤ機構等から成る移動部２３を有している。
【００２３】
ウエハ受け渡し位置とマクロ検査位置（マクロ検査部）Ｂとミクロ検査位置（顕微鏡検査部５にウエハ１３を受け渡す位置に配置されたアライナー４）Ｃとの中間の位置に回転部２４が配置され、この回転部２４は、回転機能と昇降機能を有している。さらに、回転部２４には、３本のアーム部２５ａ，２５ｂ，２５ｃが設けられている。
【００２４】
これらのアーム部２５ａ〜２５ｃの先端には、ウエハを吸着保持する真空チャック機能を有するフォーク部２６ａ，２６ｂ，２６ｃが設けられている。これらのフォーク部２６ａ〜２６ｃにウエハ１３を保持した状態で回転部２４を回転させることにより、各アーム部２５ａ〜２５ｃに吸着保持されたウエハ１３は、ウエハ受け渡し位置Ａとマクロ検査位置Ｂと、ミクロ検査位置Ｃとに循環搬送される。
【００２５】
マクロ検査部３及び顕微鏡検査部５は、ウエハ１３を１枚毎に検査を行う。カセット用アーム機構１６により搬送されたウエハ１３は、検査用アーム機構１７にウエハ１３を受け渡す際に、アライナー４よりも精度の低いプリアライメントされる。ここで、プリアライメントされたウエハ１３は、マクロ検査部３に搬送されマクロ検査が行われた後に、検査用アーム機構１７によりアライナー４へ搬送される。アライナー４によりウエハ１３のオリフラを基準として所定方向に揃えられると共に、ウエハ１３の中心ずれ補正が行われる。位置合わせされたウエハ１３は、顕微鏡検査部５の観察位置へ搬送されてミクロ検査が行われる。
【００２６】
図３に示すフローチャート及び図４に示すタイミングチャートを参照して、本実施形態による検査におけるウエハ搬送について説明する。ここでは、２つのウエハカセットを用いて連続的に検査を行う例について説明する。この実施形態では、一例として、ウエハカセット９，１０には、２５枚のウエハ１３が収納可能であるものとして説明している。
【００２７】
まず、作業者はウエハカセット９（先に載置されたカセット）をウエハ供給収納部１の載置台１１に載置すると、載置台１１に設けられたセンサによりウエハカセット９が載置されたこと検出する（ステップＳ１）。この検出信号（ＹＥＳ）は、制御部６へ出力され、制御部６からウエハ供給収納部１へマッピングが指示される。その指示に従い、ウエハ供給収納部１はセンサ１４を用いてマッピングを行い、ウエハカセット９内のウエハ１３の収納状態を検出し制御部６に報告する（ステップＳ２）。
【００２８】
制御部６は、表示部８にマッピング結果を表示する（ステップＳ３）。この表示は、例えば、ウエハカセットの２５段のスリットを表示し、そのスリット内に収納されている状態のウエハを示してもよい。このように表示すれば、収納枚数だけではなく、どのスリットに収納されているか収納状態も一見して判断できる。尚、本実施形態では、マッピングを制御部６の指示で開始する例であるが、ウエハ供給収納部１がウエハカセット９，１０の載置を検出した後、制御部６の指示を待たずに直ちにマッピングを行い、載置及びマッピング結果を制御部６に出力するシーケンスであってもよい。
【００２９】
このマッピングの報告の後に載置台１１を昇降させて、カセット用アーム機構１６のフォーク部２２の搬入位置に最初に取り出されるウエハ１３a1を位置決めする。
【００３０】
次に、作業者は装置側で載置されたことを確認した後、予め定められたレシピを入力部７により設定して検査を開始を指示する（ステップＳ４）。
【００３１】
この指示により、カセット用アーム機構１６は、アーム部２１のフォーク部２２をウエハカセット９へ差し込み、１枚目のウエハ１３a1の裏面を吸着保持して取り出し、移動部２３により、検査用アーム機構１７の受け渡し位置Ａへ移動する（ステップＳ５）。この移動中に、載置台１１は検査対象となる２番目のウエハ１３a2の取り出し位置へ降下する。このとき、センサ１４は、常に次のウエハ１３の有無を検出しており、マッピング結果と異なった場合には、エラー表示を行い、ウエハ搬送を含めて装置の駆動を一時停止する。
【００３２】
カセット用アーム機構１６のフォーク部２２に保持されるウエハ１３a1は、受け渡し位置Ａにおいて、検査用アーム機構１７へ受け渡される（ステップＳ６）。検査用アーム機構１７は、ウエハ１３a1をフォーク部２６ａで受け取った後、回転部２４を回転させて、ウエハ１３a1をマクロ検査部３の検査位置Ｂへ搬送する。ウエハ１３a1は、この検査位置Ｂでフォーク部２６ａからマクロ検査台に受け渡されてマクロ検査が行われる（ステップＳ７）。このときに、カセット用アーム機構１６は、移動部２３によりウエハカセット９の前方に戻り、上記と同様にウエハカセット９から次のウエハ１３a2を搬出し、検査用アーム機構１７のフォーク部２６ｂに受け渡される。
【００３３】
次に、最初のウエハ１３a1は、マクロ検査が終了した後、検査用アーム機構１７によりアライナー４に搬送される（ステップＳ８）。このアライナー４は、顕微鏡検査部５におけるＸ，Ｙ，θステージの回転ステージにウエハ１３a1を吸着保持させた状態で回転ステージを回転させながらウエハ１３a1のエッヂ座標を検出してオリフラの位置と中心位置ずれを検出する。
【００３４】
次に、Ｘ，Ｙ，θステージを制御してオリフラの位置と中心ずれ量を補正したウエハ１３a1は、顕微鏡検査部５の観察位置へ移動されて、顕微鏡検査部５によるミクロ検査が行われる（ステップＳ９）。同時に、フォーク部２６ｂに保持されているウエハ１３a2は、マクロ検査部３に搬送され、マクロ検査が行われる。このマクロ検査とミクロ検査が行われている時、カセット用アーム機構１６から検査用アーム機構１７のフォーク部２６ｃへ３枚目のウエハ１３a3が受け渡される（ステップＳ１０）。
【００３５】
そして、ミクロ検査が終了したウエハ１３a1は、検査用アーム機構１７のフォーク部２６ａに戻され、受け渡し位置Ａへ回転移動される（ステップＳ１１）。受け渡し位置Ａにおいて、フォーク部２６ａからカセット用アーム機構１６のフォーク部２２へミクロ検査されたウエハ１３a1が受け渡される。フォーク部２２は、ウエハ１３a1をウエハカセット９に戻すと共に４枚目のウエハ１３a4を取り出し、現在空いている検査用アーム機構１７のフォーク部２６ａに受け渡す（ステップＳ１２）。以降、同様な搬送及び検査を繰り返して行うことにより、マッピングで指定された順番でウエハ１３が連続して検査用アーム機構１７のウエハ受け渡し位置に搬送される。
【００３６】
尚、ステップＳ１３では、載置台１２に次に検査を行うためのウエハカセット１０（後から載置されたカセット）が載置されたか否かを検出する。本実施形態において、連続して検査を行わせるために、次に検査を行うウエハカセット１０を載置するタイミングは、図４に示すようにウエハカセット９のウエハの検査が開始された後、ウエハカセット９から最後のウエハ１３が取り出されるまでの期間内で、次の検査対象となるウエハカセット１０のマッピングが終了していればよい。また、新たなレシピを設定する場合についても同様である。
【００３７】
上記ステップＳ１３において、ウエハカセット１０が載置台１２に載置されたことをセンサ１５ａが検出されると（ＹＥＳ）、制御部６へ検出信号が割り込み信号として出力される。制御部６は、この検出信号を受けて、ウエハ供給収納部１へマッピングを指示する。その指示に従い、ウエハ供給収納部１はマッピングを行い、検出されたウエハカセット９内のウエハ１３の収納状態をマッピング完了として制御部６に報告する（ステップＳ１４）。
【００３８】
次に、作業者は、ウエハカセット１０に収納されたウエハに対する検査項目、つまりレシピを入力部７を用いて設定する（ステップＳ１５）。ここで検査されるウエハが同じロットで同仕様であれば、継続を指示するだけでもよい。レシピ設定の後、載置台１２を昇降させて、次のウエハカセット１０を最初に取り出されるウエハ１３b1の取り出し位置に移動させて待機する（ステップＳ１６）。
【００３９】
次に、ウエハカセット９における最後のウエハ１３a25がフォーク部２２により取り出されて、表示部８にウエハカセット終了予告が表示される（ステップＳ１７）。そして、ウエハ１３a25が受け渡し位置Ａからマクロ検査位置Ｂに移動した際に、検査が終了したウエハ１３a23がウエハカセット９に回収される。尚、最後のウエハ１３a25が取り出されてウエハカセット終了予告が表示されるまでの間に、次のウエハカセット１０が載置台１２に載置されたか否かを判断する（ステップＳ１８）。この判断でウエハカセット１０が載置されていなければ（ＮＯ）、ウエハカセット９の最後のウエハ１３a25を回収した時点で検査を終了する。
【００４０】
ステップＳ１８の判断でウエハカセット１０が載置されていたならば（ＹＥＳ）、ウエハ供給収納部１へステップＳ１６のウエハカセット１０の待機状態を解除する（ステップＳ１９）。制御部６は、前のウエハカセット９の最後のウエハ１３a25を回収させると共に、ウエハ供給収納部１へ次の検査対象となるウエハカセット１０から最初のウエハ１３b1を取り出すように指示する。このウエハ１３b1は、カセット用アーム機構１６により取り出され、検査用アーム機構１７のフォーク部２６ｂに吸着保持される（ステップＳ２０）。このとき、フォーク部２６ａに保持されているウエハ１３a25はマクロ検査が行われ、フォーク部２６ｃに保持されるウエハ１３a24はミクロ検査が行われている。これらの検査が終了すると共に、検査用アーム機構１７が回転する。制御部６は、次のマクロ検査からウエハカセット１０に対して設定されたレシピに切り替えて（ステップＳ２１）、ウエハ１３b1のマクロ検査を行う（ステップＳ２２）。
【００４１】
さらに、ウエハ１３a25のミクロ検査が完了した後、制御部６は、次のミクロ検査からウエハカセット１０に対して設定されたレシピに切り替え（ステップＳ２３）、ウエハ１３b1のミクロ検査を実施する（ステップＳ２４）。以後、ウエハカセット１０に収納されているウエハ１３をマッピングの指定順に連続してカセット用アーム機構１６に搬送して、最後のウエハ１３b25までマクロ検査及びミクロ検査を繰り返し行う。
【００４２】
ウエハカセット９にウエハ１３a25が収納されると、制御部６はウエハカセット９の検査からウエハカセット１０の検査に移行したことを表示部８に表示する（ステップＳ２５）。勿論、表示だけでなく、ブザー音等を用いて知らせてもよい。この表示により、作業者は、引き続き検査を行う場合には、このウエハカセット９を載置台１１から離脱して、次の検査対象となるウエハが収納されたウエハカセットを載置する。
【００４３】
このように、第１番目のウエハカセット９に収納されている最後のウエハ１３a25の検査と連続して、第２番目のウエハカセット１０に収納される最初のウエハ１３b1の検査が連続的に行うことができる。以降、検査が終了したウエハカセットと未検査のウエハカセットを交換することにより、連続して検査を実施することができる。
【００４４】
図５（ａ）には、本実施形態のウエハ外観検査装置における搬送及び検査のタイミングを搬送アーム毎に分けて示す。このように、アーム部２５ａ，２５ｂ，２５ｃには、それぞれ２つおきにウエハ１３が連続して保持されて、同時に３枚のウエハが搬送される。例えば、アーム部２５ｂがウエハカセット９，１０のウエハ１３を搬送する場合には、ウエハ１３a2，ウエハ１３a5，ウエハ１３a8，…，ウエハ１３a23、ウエハ１３b1、ウエハ１３b4、…と、２つのウエハカセットに対して２つおきにウエハ１３が連続して搬送される。
【００４５】
これに対して、従来のようにウエハカセット毎に検査を終了させる場合、次のウエハカセットに移行する時には、図５（ｂ）に示すように、アーム部２５ａに保持されているウエハ１３a25が、ウエハカセット９に収納されるまで、他のアーム２５ｂ，２５ｃはウエハ１３を受け取ることができない。この従来の方法では、次のウエハカセット１０に移行する際に、アーム部２５ａ，２５ｂ，２５ｃから前のウエハカセット９のウエハ１３a23，１３a24，１３a25を取り除いた後にも次のウエハカセット１０のウエハ１３b1が取り出されて、フォーク部２６ａに保持される。以降同様に、ウエハ１３b2、１３b3が取り出されて搬送及び検査が行われる。
【００４６】
従って、本実施形態は従来技術に比べて、検査の１サイクル分の時間（この例では３枚のウエハ検査時間）が短縮される。本実施形態では、２つの検査項目を実施するウエハ外観検査装置であるため、装置内に３枚のウエハが搬入されて順次、検査する構成であるが、検査項目が３項目以上あったり、装置内にストックするウエハ枚数が増加した場合には、検査にかかる時間に対して、さらに短縮する時間が増えて、効果的である。
【００４７】
以上説明したように、本実施形態によれば、複数のウエハカセットを連続して載置してウエハ検査を行う場合に、従来のように先のウエハカセットの最終のウエハが回収される間を待つことなく、検査条件（レシピ）が異なっていたとしても、連続的に搬送され、検査装置で連続して検査が行うことができる。従って、ウエハ回収のためだけの待ち時間が無くなり、効率よく検査が実施できる。さらにウエハの検査枚数が多くなるほど、作業時間短縮の効果が大きくなる。
【００４８】
本実施形態では、マクロ検査とミクロ検査の両方を実施する例について説明したが、この例に限定されるものではなく、マクロ検査又はミクロ検査のいずれか一方であってもよく、ミクロ検査は光学顕微鏡、電子間力顕微鏡などの被検体を拡大視するものであればよい。また、１つのウエハカセット内で途中から、例えば、１５枚目のウエハから検査条件を変更するようにレシピを設定することもできる。
【００４９】
本実施形態では、被検体として、半導体ウエハを記載しているが、これに限定されるものではなく、カセットに収納可能なガラス基板、液晶用基板、マスク用基板等の基板であればよい。
【００５０】
また、本実施形態では、最初に載置されたカセットと後から載置されたカセットの載置するタイミングに時間差を持たせた例であったが、例えば、同時に載置された場合には、載置台に予め優先順位を持たせておくことで、ウエハの搬出を支障無く行うことができる。また、制御部による処理が可能であれば、マッピングについては平行して行われてもよい。さらに、レシピ設定においては、同じ設定項目で行われるウエハの検査枚数が複数のカセットに亘る場合には、予め検査枚数を設定しておき、その設定数の検査が完了するまで、載置台におけるカセット交換だけで検査を継続するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の検査装置に係る一実施形態として、ウエハ外観検査装置の搬送に関わる概略的な構成例を示す図である。
【図２】本実施形態のウエハ外観検査装置におけるウエハ搬送のための具体的な構成例を示す図である。
【図３】本実施形態による検査におけるウエハ搬送について説明するためのフローチャートである。
【図４】本実施形態による検査におけるウエハ搬送について説明するためのタイミングチャートである。
【図５】図５（ａ）は、本実施形態のウエハ外観検査装置におけるウエハ搬送及び検査のタイミングについて説明するための図、図５（ｂ）は、従来のウエハ搬送及び検査のタイミングについて説明するための図である。
【符号の説明】
【００５２】
１…ウエハ供給収納部、２…アーム式搬送部、３…マクロ検査部、４…アライナー、５…顕微鏡検査部、６…制御部、７…入力部、８…表示部、９，１０…ウエハカセット、１１，１２…載置台、１３…半導体ウエハ（ウエハ）、１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ…センサ。
【図１】
2005274243.tif 000003
【図２】
2005274243.tif 000004
【図３】
2005274243.tif 000005
【図４】
2005274243.tif 000006
【図５】
2005274243.tif 000007