(57)【要約】【課題】フラックスの転写用薄膜をフラックス供給テーブルとスキージの作用により一定の膜厚に保つ駆動機構を簡単で安価な装置で実現したフラックス供給装置を提供する。【解決手段】単動シリンダからなる空圧シリンダ７７にはテープ式部品供給装置の部品テープを搬送駆動するシリンダへ供給するのと同じ圧縮空気が作業ヘッドの動作に同期して空気ホース５７から供給される。ピストン７８が上昇し、水平リンクアーム７９が時計回り方向に回動し、垂直ロッド８５が降下し、その上端部のラチェットホイール駆動機構８６がラチェットホイール８７を一回転させ、歯付きプーリ９３、タイミングベルト９５、歯付きプーリ９４、及び回転支持軸７４を介してスキージ７５が図の矢印ｍで示す反時計回り方向に一回転駆動される。【選択図】      図３
2005235933.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品のバンプを基板の電極端子に接着するための液状接着材をフラックス供給テーブルとスキージの作用により均一な薄膜に形成して前記バンプの先端に転写させるフラックス供給装置において、
部品搭載装置からの圧縮空気の供給と解除の作用によりピストンの直線運動を行うシリンダと、
前記スキージにプーリとべルトを介して連結されたラチェット機構と、
該ラチェット機構と前記ピストンとの間に介装された中間連結機構と、
を有することを特徴とするフラックス供給装置。
【請求項２】
前記圧縮空気の供給と解除は、部品搭載装置のテープ式部品供給装置の部品を供給するために部品テープを搬送駆動するピストンシリンダに供給される空気圧供給機構により作業ヘッドの動作に同期して行われることを特徴とする請求項１記載のフラックス供給装置。
【請求項３】
前記ラチェット機構は、プーリとべルトを介して前記フラックス供給テーブルに連結されていることを特徴とする請求項１記載のフラックス供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラックス(flux）やペ−スト(paste)の部品への転写用薄膜をフラックス供給テーブルとスキージ(squeeze）の作用により一定の膜厚に保つ駆動機構を簡単で安価な機構で行うフラックス供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、プリント回路基板（以下、単に基板という）に多数のチップ状電子部品（以下、単に部品という）を搭載してなる基板ユニットを作製する基板ユニット製造ラインがある。この基板ユニット製造ラインには、例えば基板を供給する基板供給装置、その供給された基板上の所定位置にペースト状の半田等を添付又は塗布するディスペンサ、その半田等が添付又は塗布された基板に部品を搭載する部品搭載装置、その搭載された部品を基板上に固定するリフロー炉、搭載された部品が固定されて完成した基板ユニットを収納する基板収納装置等から構成される。（例えば、特許文献１参照。）
上記のような基板ユニット製造ラインの中で、例えば部品搭載装置は最も重要な位置を占める装置といえる。部品搭載装置には種々の形式のものがあるが、小型で設計上の小回りが利く形式のものとしてワンバイワン方式の部品搭載装置がある。このワンバイワン方式の部品搭載装置は、装置内に搬入される基板の上方の作業空間を前後（Ｙ方向）左右（Ｘ方向）に自在に移動する作業ヘッドに、上下（Ｚ方向）に移動自在で３６０度（θ方向）に回転自在な搭載ヘッドを備えて、この搭載ヘッドにより部品を基板に搭載する。（例えば、特許文献２参照。）
図４(a) は、そのような部品搭載装置の一例を示す外観斜視図であり、同図(b) は、その上下の保護カバーを取り除いて内部の構成を模式的に示す斜視図である。
【０００３】
同図(a) に示すように、部品搭載装置１は、天井カバー上の前後に、それぞれＣＲＴディスプレイからなるモニタ装置２と、同じく天井カバー上の左右に、それぞれ稼動状態を報知する警報ランプ３を備えている。また、上部保護カバー４の前部と後部の面には、液晶ディスプレイとタッチ式入力装置からなり外部からの操作により各種の指示を入力することができる操作入力用表示装置５が配設されている（図の右斜め上方向になる後部の操作入力用表示装置５は陰になって見えない）。
【０００４】
下部の基台６の上には、中央に、固定と可動の１対の平行する基板案内レール７が同図(b) に示す基板８の搬送方向（Ｘ軸方向、図の斜め右下から斜め左上方向）に水平に延在して配設される。これらの基板案内レール７の下部に接して、図には見えないループ状の搬送ベルト（コンベアベルト）が走行可能に配設される。
【０００５】
搬送ベルトは、それぞれ数ミリ幅のベルト脇部を基板案内レール７の下から基板搬送路に覗かせて、不図示のベルト駆動モータにより駆動され、基板搬送方向に走行し、基板８の裏面両側を下から支持しながら装置本体内に部品搭載前の基板８をライン上流側から搬入し、部品搭載済みの基板８を順次ライン下流側に搬出する。この部品搭載装置１内には、常時２枚の基板８が搬入され、位置決めされて、電子部品の搭載が終了するまで固定されている。
【０００６】
基台６の前後には、それぞれ部品供給ステージ９が形成されている（同図(a) では図の右斜め上方向になる後部の部品供給ステージ９は陰になって見えない。また、同図(b) では、後部の部品供給ステージ９は図示を省略している）。部品供給ステージ９には、テープ式部品供給装置１１が、５０個〜７０個と多数配置される。テープ式部品供給装置１１には、その後端部に、部品を収容したテープを捲着した部品テープ保持リール１２が着脱自在に装着されている。
【０００７】
また、基台６の上方には本体フレームの左右（Ｘ軸方向）に分かれて固定された二本のＹ軸レール１３と、これら二本のＹ軸レール１３にそれぞれ摺動自在に支持される二本（装置全体で合計四本）のＸ軸レール１４が配置されている。
【０００８】
Ｘ軸レール１４は、Ｙ軸レール１３に沿ってＹ軸方向に摺動でき、これらのＸ軸レール１４には、それぞれ１台（装置全体で合計４台）の作業ヘッド１５（１５−１、１５−２及び１５−３、１５−４）がＸ軸レール１４に沿ってＸ軸方向に摺動自在に懸架されている。そして、これらの各作業ヘッド１５には、同図(b) に示す例では２個の搭載ヘッド１６が配設されている。つまりこの部品搭載装置１には合計８個の搭載ヘッド１６が配設されている。各搭載ヘッド１６の先端には吸着ノズル１７が着脱自在に装着されている。
【０００９】
上記の作業ヘッド１５は、屈曲自在で内部が空洞な帯状のチェーン体１８に保護・収容された複数本の不図示の信号コードを介して装置本体１の基台６内部の電装部マザーボード上に配設されている中央制御部と連結されている。作業ヘッド１５は、これらの信号コードを介して中央制御部からは電力及び制御信号を供給され、中央制御部へは基板の位置決め用マークや部品の搭載位置の情報を示す画像データを送信する。
【００１０】
また、基板案内レール７と部品供給ステージ９との間には、搭載ヘッド１６の吸着ノズル１７に吸着された部品を画像認識するための複数種類の部品認識用カメラ１９が、４個の作業ヘッド１５に対応して４箇所にそれぞれ配置されており、その近傍には同図では図示を省略しているが、搭載ヘッド１６に対して交換自在に装着するための複数種類の吸着ノズル１７を収容したノズルチェンジャーが配置されている。
【００１１】
また、基台６の内部には、上述した中央制御部のほかに、特には図示しないが、基板の位置決め装置、基板を２本の基板案内レール７間に固定する基板固定機構等が備えられている。
【００１２】
上記の作業ヘッド１５は、上述したＹ軸レール１３とＸ軸レール１４とにより前後左右に自在に移動する。これらの作業ヘッド１５に支持される各２個の搭載ヘッド１６は、それぞれＺ軸方向（上下方向）に昇降可能であり且つθ軸方向（３６０°方向）に回転可能である。
【００１３】
これにより、搭載ヘッド１６の先端に装着されている吸着ノズル１７は、作業ヘッド１５と搭載ヘッド１６を介して、各作業領域において、前後と左右に移動自在であり、上下に昇降自在であり、且つ３６０°方向に回転自在である。
【００１４】
上記の搭載ヘッド１６は、その先端に装着されている吸着ノズル１７で部品供給装置から部品を吸着し、この吸着した部品を既に精密に位置決めされて所定の位置に停止している基板上に搭載する。この基板上への部品の搭載に際しては、搭載ヘッドに部品を吸着した作業ヘッドが部品搭載装置本体のフレームに固定されているＣＣＤ（charge coupled device)を備えた部品認識用カメラ１９の上方を通過して、搭載ヘッドに吸着されている部品を部品認識用カメラ１９により撮像し、その撮像画像を画像認識して部品の吸着時のずれ量を検出し、基板への搭載時にそのずれ量を補正する。
【００１５】
このような部品搭載装置において、中には基板ユニット製造ラインの小規模化と生産能率の向上を目的としてディスペンサを兼ねているものもあり、そのような部品搭載装置では、搭載ヘッドが部品供給装置から吸着して上記の画像認識を行う途上において、フリップチップ（半田付け用の電極であるバンプが底面に付いた形式の小型で薄型の部品）の電極（バンプ）にフラックスやペースト（以下、代表的に単にフラックスという）を転写するためのフラックス供給装置を備えている。（例えば、特許文献３参照。）
ただし、上記のフラックス供給装置は単なるフラックスの受け皿であり、特別な構成のものではない。上記の特許文献３の技術は、受け皿上のフラックスを部品の電極に転写する際の受け皿への部品の押圧の程度を制御する技術である。
【００１６】
図５は、より複雑な構成のただし上記のように部品の押圧の程度を制御する必要のない米国で発売されているフラックス供給装置の部品搭載装置内における配置と処理動作の例を模式的に示す図である。尚、同図には図４と形状はやや異なるが同一機能を有する部分には判り易いように図４と同一の番号を付与して示している。
【００１７】
また、図５には、装置手前側の部品供給ステージ９のみを示しており、その部品供給ステージ９には、テープ式部品供給装置１１の他に、トレー式部品供給装置２０が配置されている。そして、そのトレー式部品供給装置２０の部品ステージ２１が部品供給ステージ９の左側上方に差し込まれている。
【００１８】
トレー式部品供給装置２０の部品ステージ２１の先端部には、装置内部のパレット収容棚からパレット２２が引き出されており、そのパレット２２上のトレー２３上には、多数の部品２４が載置・収容されている。このトレー２３に載置・収容されている部品２４はフリップチップである。
【００１９】
また、部品供給ステージ９にはテープ式部品供給装置１１とトレー式部品供給装置２０の間にフラックス供給装置２５が配置されている。フラックス供給装置２５は、回転テーブル２６と、この回転テーブル２６上のスキージ２７を備えている。このフラックス供給装置２５は、配線２８によって本体装置（部品搭載装置）の中央制御部に接続されている。また、このフラックス供給装置２５が配設されていることに対応して、部品認識用カメラ１９に隣接してフリップチップ認識カメラ２９が配設されている。
【００２０】
フラックス供給装置２５は、搭載ヘッド１６の吸着ノズル１７に吸着保持された部品（フリップチップ）にフラックスを転写するために、回転テーブル２６上でフラックスを均一に引き伸ばす。この回転テーブル２６の回転は、ＮＣモータで制御され作業ヘッド１５と連動して動作する。
【００２１】
図５において、図１(b) に示す作業ヘッド１５は、搭載ヘッド１６の吸着ノズル１７により、図５に示すテープ式部品供給装置１１の部品テープの先端から供給される部品又はトレー式部品供給装置２０のトレー２３から供給される部品を吸着し（図５はトレー式部品供給装置２０のトレー２３から部品２４を吸着した（矢印ａ）場合の例を示している）、水平に移動して（矢印ｂ）フラックス供給装置２５上で一旦停止し、下降と上昇を行って（両方向矢印ｃ）フリップチップの電極にフラックスを転写し、水平移動を行って（矢印ｄ）フリップチップ認識カメラ２９上でフリップチップの画像認識を行った後、基板８上へ水平移動し（矢印ｅ）、所定の部品搭載位置３０上で矢印ｆに示すように吸着ノズル１７（つまり搭載ヘッド１６）が降下して、部品２４を基板８の所定の搭載位置３０に搭載する。
【００２２】
図６は、上記フラックス供給装置２５の構成を、より詳細に示す模式的平面図である。同図に示すフラックス供給装置２５は、回転テーブル２６のフラックス転写面３１には面全体の１／６ほどの領域を占める浅い溝状のフラックス溜り３２が形成されており、このフラックス転写面３１に対し所定の間隙を有し、支持軸３３に固定されて、スキージ２７が配置されている。
【００２３】
本体の内部には、回転テーブル２６のプーリ３４と、ＮＣモータ３５及びその駆動プーリ３６、並びに電装制御ユニット３７が配設されている。回転テーブル２６のプーリ３４とＮＣモータ３５の駆動プーリ３６は、タイミングベルト３８によって連結されている。また、電装制御ユニット３７は、配線２８及びその端部に取り付けられたコネクタ３９を介して、部品搭載装置１の不図示の中央制御部に接続されている。
【００２４】
電装制御ユニット３７は、部品搭載装置１の中央制御部からの制御の下で、図１(b) に示す作業ヘッド１５の動作と同期を取りながら、図５の矢印ｂで示すように作業ヘッド１５が搭載ヘッド１６の吸着ノズル１７により部品２４を吸着してフラックス供給装置２５上にくる度に、回転テーブル２６を一回転させて、スキージ２７の働きにより回転テーブル２６上にフラックスの均一な薄膜を形成する。
【００２５】
作業ヘッド１５は、吸着ノズル１７を降下させ、部品２４の下面の電極突端をフラックスの薄膜に当接させ、部品２４の電極にフラックスを転写する。
【特許文献１】特開平１０−２５４５２８号公報（段落［０００２］〜［０００４］、図５）
【特許文献２】特開平１１−１８６７９４号公報（段落［０００２］〜［０００４］、［００１５］〜［００２６］、図１、図２）
【特許文献３】特開平１０−１８９６６３号公報（段落［００１４］〜［００１７］、図１、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
しかしながら、上記のフラックス供給装置２５は、部品の押圧の程度を加減する面倒な制御が不要なことと、フラックスの薄膜を高速に形成できる点での利点はあるが、フラックス供給装置本体に複雑な制御装置が必要なことや、部品搭載装置の中央制御部と電気的に接続するために、部品搭載装置側に新たに専用のI／Ｆボードの増設をしなければならず、手数の掛かるという問題があった。
【００２７】
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、フラックスの転写用薄膜をフラックス供給テーブルとスキージの作用により一定の膜厚に保つ駆動機構を簡単で安価な装置で実現したフラックス供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
本発明のフラックス供給装置は、電子部品のバンプを基板の電極端子に接着するための液状接着材をフラックス供給テーブルとスキージの作用により均一な薄膜に形成して上記バンプの先端に転写させるフラックス供給装置において、部品搭載装置からの圧縮空気の供給と解除の作用によりピストンの直線運動を行うシリンダと、上記スキージにプーリとべルトを介して連結されたラチェット機構と、該ラチェット機構と上記ピストンとの間に介装された中間連結機構と、を有して構成される。
【００２９】
上記圧縮空気の供給と解除は、例えば、部品搭載装置のテープ式部品供給装置の部品を供給するために部品テープを搬送駆動するピストンシリンダに供給される空気圧供給機構により作業ヘッドの動作に同期して行われるように構成される。
【００３０】
また、上記ラチェット機構は、例えば、プーリとべルトを介して上記フラックス供給テーブルに連結されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、部品搭載装置に基本的に備わるテープ式部品供給装置用の圧縮空気供給機構を利用し、ピストンシリンダと中間連結機構とラチェット機構とから成る駆動機構で回転テーブルを回転駆動するので、安価で簡単な構成で部品搭載装置への配設も容易なフラックス供給装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
（実施例１）
図１は、一実施の形態におけるフラックス供給装置を備えた部品搭載装置のシステム構成を示すブロック図である。尚、同図に示す部品搭載装置４０の外観構成及び内部各部の配置構成は、フラックス供給装置の構成及びその部品搭載装置との連結方法を除いては、図４(a),(b) 及び図５に示した部品搭載装置１の外観構成及び内部各部の配置構成とほぼ同様である。
【００３３】
図１に示すように、部品搭載装置４０のシステムは、主要部の構成としてＣＰＵ４１と、このＣＰＵ４１に接続されたタッチパネル表示装置４２、ＶＧＡ(video graphics array)４３、メモリ４４、モニタ４５、Ｉ／Ｆ（インターフェース）４６を備えている。上記のタッチパネル表示装置４２は図４(a) に示した操作入力用表示装置５と同様の構成であり、上記のモニタ４５は同じく図４(a) に示したモニタ装置２と同様の構成である。
【００３４】
また、ＶＧＡ４３には、図５に示した部品認識用カメラ１９やフリップチップ認識カメラ２９と同様の構成の画像認識用カメラ、図４(b) には示さなかったが各作業ヘッド１５に配設されている基盤認識用カメラ等のカメラ群４７が接続されている。
【００３５】
メモリ４４は、ＣＰＵ４１と同じマザーボードに配置されたＲＯＭ（read only memory）やＲＡＭ（Random Access Memory）の他に、ここでは、ＨＤ(hard disk) のほか、ＦＤ(floppy disk：フロッピー（登録商標）ディスク）、ＣＤ−ＲＯＭ（compact disc read only memory)、ＣＤ−Ｒ／Ｗ（compact disc read and write)、ＭＯ（Magneto Optical disk）、種々な形状のフラッシュメモリなどの可搬性の記録媒体も含めている。
【００３６】
上記のＲＯＭには、本体装置の基本制御プログラムが格納され、ＲＡＭには各種プログラムがロードされるプログラム領域と各種データが一時的に格納されるデータ領域を備えている。また、ＨＤや可搬性の記録媒体には、部品搭載プログラムや各種のデータファイルが記録され、また、保管される。
【００３７】
Ｉ／Ｆ４６には、一方では、それぞれのドライバを介して、作業ヘッドをＸ軸方向に駆動するＸ軸モータ、Ｘ軸レールをＹ軸方向に駆動するＹ軸モータ、搭載ヘッドを昇降駆動するＺ軸モータ、同じく搭載ヘッドを回転駆動するθ軸モータ、基板搬送ベルトを駆動するベルト駆動モータ等のモータ群４８が接続されている。更に、特には図示していないが異常表示ランプ、基板センサ、位置決め装置、部品吸着に係わるバキューム機構等の諸装置が接続されている。
【００３８】
また、他方では、各部品供給ステージ４９のＩ／Ｆ５１が接続されている。このＩ／Ｆ５１には、部品供給ステージ４９のＣＰＵ５２、メモリ５３、及び電磁弁群５４が接続されている。
【００３９】
ＣＰＵ５２は、部品搭載装置４０のＣＰＵ４１から送信されＩ／Ｆ５１を介してメモリ５３に格納される制御データを読み出しながら部品供給ステージ４９の各部の動作を制御する。
【００４０】
上記の電磁弁群５４の各電磁弁は、不図示の圧縮空気供給機構の圧縮空気供給部と部品供給ステージ４９の各圧縮空気供給パイプ５５（５５−１、５５−２、５５−３、・・・）との間に介装されている。電磁弁群５４の図の最端部の１個の電磁弁５４−１を除いて他の電磁弁はそれぞれ図５に示したテープ式部品供給装置１１と同様のテープ式部品供給装置に配設されているピストンシリンダに圧縮空気を供給し解除する圧縮空気供給パイプ５５−２、５５−３、・・・の端部に介装されている。
【００４１】
同図に示すように、最端部の１個の電磁弁５４−１は、本例のフラックス供給装置５６に連結された空気ホース５７の端部が連結されている最端部の圧縮空気供給パイプ５５−１に介装されている。
【００４２】
これらの電磁弁群５４の各電磁弁は、常には圧縮空気供給部からの通気路を閉じ、圧縮空気供給パイプ５５との連結部を外気に開放している。そして、ＣＰＵ５２に駆動されることによって、空気供給パイプ５５との連結部を外気から封止すると共に圧縮空気供給部からの通気路を開き、圧縮空気を圧縮空気供給パイプ５５を介してテープ式部品供給装置又はフラックス供給装置のピストンシリンダに供給する。
【００４３】
部品供給ステージ４９のＣＰＵ５２は、多数のテープ式部品供給装置のピストンシリンダを、電磁弁群５４の他の電磁弁によって作業ヘッドの動作に同期して駆動制御すると同様の処理で、フラックス供給装置５６の後述するピストンシリンダを、最端部の１個の電磁弁５４−１により、作業ヘッドの動作に同期して駆動制御する。
【００４４】
図２(a) は、本例の部品搭載装置４０の部品供給ステージ４９に装着されるテープ式部品供給装置の一方の側面図であり、同図(b) はその他方の側面図である。このテープ式部品供給装置５７は、部品搭載装置４０の部品供給ステージ４９に水平にスライドさせながら装着するようになっており、装着時の上下の作業空間が狭くて済むように構成されている。
【００４５】
このテープ式部品供給装置５８は、図２(a) に示すようにリール保持部５９に保持される部品テープ保持リール６０から、部品テープ（不図示）が引き出される。この部品テープは、テープ式部品供給装置５８の先端部に配置されているテープガイド６１の部品供給口６２の横に沿って形成されているスプロケット送り歯嵌入溝に嵌入しながら間欠回転する図４(b) に示すスプロケット６３によっての引き出される。
【００４６】
引き出され部品テープは、装置内部の搬送経路６４を通り抜け、テープ押圧部材６５のテープ送り方向上流側近傍まで引き出されたところで上側のトップテープと下側の部品収容テープとに、上下に剥離され、上側のトップテープはテープ回収容器６６に回収される。
【００４７】
上側のトップテープを剥離されて部品の露出した下側の部品収容テープは、部品収容テープの部品の浮き上がり防止するためのテープ押圧部材６５の下を通って、部品供給口６２まで引き出される。この部品供給口６２で、露出した部品が部品搭載装置４０の部品搭載ヘッド先端の吸着ノズルによって吸着されて取り出される。
【００４８】
部品が取り出されて空となった部品収容テープは、図２(a) に示す装置内部の排出路６７を通過して、矢印Ｅで示すように外部下方に落下して、製造ラインの作業通路に堆積する。
【００４９】
上記のスプロケット６３は、ピストンシリンダ６８によって一定方向（部品テープ搬送方向）に回転駆動され、スプロケット６３と一体のラッチギア及びこのラッチギアに係合するラッチによって逆方向への回転を禁止されている。
【００５０】
上記のピストンシリンダ６８への圧縮空気は、このテープ式部品供給装置５８が部品供給ステージ４９の装着位置にスライドしながら装着されたとき、圧縮空気受給パイプ６９が部品供給ステージ４９側の圧縮空気供給パイプ５５−２、５５−３、・・・のいずれかに嵌入して結合することによって供給可能となる。上記の圧縮空気受給パイプ６９は、特には図示しないが、装置内部に配置されている空気ホース又はパイプによってピストンシリンダ６８と連結されている。
【００５１】
図３は、本例の上記フラックス供給装置５６の構成とその動作状態を説明する図である。同図に示すように、本例のフラックス供給装置５６は、本体の長手方向の端部（図では上端部）近傍に固定型のフラックス供給テーブル７１を備えている。フラックス供給テーブル７１のフラックス転写面７２には面全体の１／６ほどの領域を占める浅い溝状のフラックス溜り７３が形成されている。
【００５２】
このフラックス転写面７２に対し所定の間隙を有し、回転支持軸７４に支持されて、スキージ７５が配置されている。なお、上記のフラックス転写面７２の上面とスキージ７５の下面との隙間は調整可能であるように構成されている。
【００５３】
本体の内部下方には、本体フレームに対し支持部７６によって固定された空圧シリンダ７７が本体の長手方向に沿って配置されている。この空圧シリンダ７７は、内部にスプリングを有する単動シリンダで構成されている。
【００５４】
この空圧シリンダ７７のピストン７８の頭部７８ａに中間連結機構の水平リンクアーム７９の一端が係合している。この水平リンクアーム７９は、支持軸８１を支点にしてシーソー状に回動可能である。この水平リンクアーム７９の支持軸８１よりも図では左側となるピストン７８の頭部７８ａとの係合部と支持軸８１との間に設けれられている係止ピン８２と、本体フレームに設けられている係止ピン８３との間に引き付勢部材８４が介装されている。
【００５５】
この引き付勢部材８４は、空圧シリンダ７７と平行に配置されており、水平リンクアーム７９に対しピストン７８をシリンダ内に退縮させる方向、すなわち支持軸８１を支点にして反時計回り方向に回動させるように付勢している。
【００５６】
他方、水平リンクアーム７９の支持軸８１よりも右側に、中間連結機構の垂直ロッド８５の下端部が係合している。この垂直ロッド８５の上端部にはラチェットホイール駆動機構８６が配設されており、このラチェットホイール駆動機構８６がラチェットホイール８７のラチェットに係合している。
【００５７】
逆回転防止爪８８は、支持ピン８９により回動可能に支持されており図で示す左端部と本体フレームに設けられている係止ピン９１との間に引き付勢部材９２を介装されている。これにより、逆回転防止爪８８は、支持ピン８９を支点にして反時計回り方向に常に付勢されており、その先端の爪がラチェットホイール８７の逆回転方向のラチェット根元に食い込んでいる。
【００５８】
このため、ラチェットホイール８７は、図の矢印ｉに示す反時計回り方向の順回転方向にのみ回転可能であり、この順回転のときにはラチェット上に浮いて摺接する逆回転防止爪８８が、ラチェットホイール８７が逆回転しようとするときには逆回転方向のラチェット根元に食い込むため、ラチェットホイール８７は逆回転を出来ない。
【００５９】
このラチェットホイール８７と一体に歯付きプーリ９３が設けれている。また、スキージ７５の回転支持軸７４にも、これと一体に歯付きプ−リ９４が設けられている。そして歯付きプーリ９３と９４は、タイミングベルト９５によって連結されている。
【００６０】
この構成において、図１に示す部品供給ステージ４９のＣＰＵ５２は、部品供給装置４０のＣＰＵ４１の制御の下に、あたかも作業ヘッドの部品吸着の動作に同期してテープ式部品供給装置５８から部品を供給するためにテープ式部品供給装置５８のピストンシリンダ６８に圧縮空気を供給するのと同様のタイミングで、作業ヘッドのフラックス転写の動作に同期して最端部の電磁弁５４−１を駆動する。
【００６１】
これにより、図３において、空気ホース５７を介して圧縮空気を供給された空圧シリンダ７７のピストン７８が矢印ｊで示すように、内部のスプリングと引き付勢部材８４の引き付勢力に抗して図の上方に伸長する。
【００６２】
これにより、水平リンクアーム７９が時計回り方向に回動し、これに追随して垂直ロッド８５が図の矢印ｋで示すように降下する。この垂直ロッド８５の降下により、垂直ロッド８５の上端部にあるラチェットホイール駆動機構８６により、ラチェットホイール８７が図の矢印ｉに示す反時計回り方向に一回転する。
【００６３】
そして、ラチェットホイール８７の一回転に追随して歯付きプーリ９３、タイミングベルト９５、歯付きプーリ９４、及び回転支持軸７４を介してスキージ７５が図の矢印ｍで示す反時計回り方向に一回転駆動される。
【００６４】
フラックス供給テーブル７１のフラックス溜り７３には、あらかじめフラックスが充填されており、スキージ７５の回転によりフラックス溜り７３から汲み出され、フラックス転写面７２上を引き回されたフラックスが、フラックス転写面７２の上面とスキージ７５の下面との間隙の分だけ後に残されて、フラックス転写面７２に薄い膜厚の転写用フラックス膜を形成する。この後の部品へのフラックス転写の処理は図５で説明したと同様の方法で行われる。
【００６５】
この後、電磁弁５４−１の駆動が解除され、空圧シリンダ７７内の圧縮空気が外気と導通し、シリンダ内部のスプリングと引き付勢部材８４の引き付勢力により、ピストン７８が空圧シリンダ７７内に押し込まれて退縮する。このときラチェットホイール８７が逆回転せずに停止していることは前述したとおりである。
【００６６】
尚、上記実施の形態では、ラチェットホイールでスキージを回転させているが、これに限ることなく、スキージを固定し、フラックス供給テーブルの方を回転させるようにしても良いことは言うまでもない。
【００６７】
また、フリップチップを電子回路基板に搭載する場合のフラックス供給装置として説明しているが、これに限ることなく、フリップチップを電子回路フイルムに搭載する場合にも適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】一実施の形態におけるフラックス供給装置を備えた部品搭載装置のシステム構成を示すブロック図である。
【図２】(a) は本例の部品搭載装置の部品供給ステージに装着されるテープ式部品供給装置の一方の側面図、(b) はその他方の側面図である。
【図３】本例のフラックス供給装置の構成とその動作状態を説明する図である。
【図４】(a) は従来のフラックス供給装置を備えた部品搭載装置の一例を示す外観斜視図、(b) はその上下の保護カバーを取り除いて内部の構成を模式的に示す斜視図である。
【図５】従来のより複雑な構成ながら部品の押圧の程度を制御する必要のない米国で発売のフラックス供給装置の部品搭載装置内における配置と処理動作の例を模式的に示す図である。
【図６】従来の米国製フラックス供給装置の構成をより詳細に示す模式的平面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１      部品搭載装置
２      モニタ装置
３      警報ランプ
４      上部保護カバー
５      操作入力用表示装置
６      基台
７      基板案内レール
８      基板
９      供給ステージ
１１    テープ式部品供給装置
１２    部品テープ保持リール
１３    Ｙ軸レール
１４    Ｘ軸レール
１５（１５−１、１５−２、１５−３、１５−４）  作業ヘッド
１６    搭載ヘッド
１７    吸着ノズル
１８    チェーン体
１９    部品認識用カメラ
２０    トレー式部品供給装置
２１    部品ステージ
２２    パレット
２３    トレー
２４    部品
２５    フラックス供給装置
２６    回転テーブル
２７    スキージ
２８    配線
２９    フリップチップ認識カメラ
３０    部品の搭載位置
３１    ファラックス転写面
３２    フラックス溜り
３３    支持軸
３４    プーリ
３５    ＮＣモータ
３６    駆動プーリ
３７    電装制御ユニット
３８    タイミングベルト
３９    コネクタ
４０    部品搭載装置
４１    ＣＰＵ
４２    タッチパネル表示装置
４３    ＶＧＡ(video graphics array)
４４    メモリ
４５    モニタ
４６    Ｉ／Ｆ（インターフェース）
４７    カメラ群
４８    モータ群
４９    部品供給ステージ
５１    Ｉ／Ｆ
５２    ＣＰＵ
５３    メモリ
５４    電磁弁群
５４−１  最端部１個の電磁弁
５５−１、５５−２、５５−３、・・・    圧縮空気供給パイプ
５６    フラックス供給装置
５７    空気ホース
５８    テープ式部品供給装置
５９    リール保持部
６０    部品テープ保持リール
６１    テープガイド
６２    部品供給口
６３    スプロケット
６４    搬送経路
６５    テープ押圧部材
６６    テープ回収容器
６７    排出路
６８    ピストンシリンダ
６９    圧縮空気受給パイプ
７１    フラックス供給テーブル
７２    フラックス転写面
７３    フラックス溜り
７４    回転支持軸
７５    スキージ
７６    支持部
７７    空圧シリンダ
７８    ピストン
７８ａ  頭部
７９    水平リンクアーム
８１    支持軸
８２、８３  係止ピン
８４    引き付勢部材
８５    垂直ロッド
８６    ラチェットホイール駆動機構
８７    ラチェットホイール
８８    逆回転防止爪
８９    支持ピン
９１    係止ピン
９２    引き付勢部材
９３、９４  歯付きプーリ
９５    タイミングベルト
【図１】
2005235933.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005235933.tif 000008