(57)【要約】【課題】クリーンルーム内において層流状態の垂直下降空気流を形成するためにファンフィルタユニットの吹出し風量を調整する方法として、ファンをインバータ制御する構成が知られているが、インバータは比較的故障の多い製品であることから、多数を使用することにより故障の確率が高くなって、メンテナンスに労力を要すると共に、コストも高い。【解決手段】そこで本発明では、上部にファン２、下部にフィルタ３をケーシング４で囲んで構成したファンフィルタユニット１において、フィルタの上流側の空気の一部を流出させる流出量調整可能な空気流出部１５を構成したファンフィルタユニットの吹出し風量調整機構を提案する。【選択図】      図１
2005003243.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上部にファン、下部にフィルタをケーシングで囲んで構成したファンフィルタユニットにおいて、フィルタの上流側の空気の一部を流出させる流出量調整可能な空気流出部を構成したことを特徴とするファンフィルタユニットの吹出し風量調整機構
【請求項２】
空気流出部は、ケーシングの上部に開口を設けると共に、開口に流出量調整用のダンパーを設けて構成したことを特徴とする請求項１に記載のファンフィルタユニットの吹出し風量調整機構
【請求項３】
空気流出部は、ケーシングに対するファンの取付部に開口を設けると共に、開口に流出量調整用のダンパーを設けて構成したことを特徴とする請求項１に記載のファンフィルタユニットの吹出し風量調整機構
【請求項４】
空気流出部は、フィルタ部分の近傍のケーシングに開口を設けると共に、開口に流出量調整用のダンパーを設けて構成したことを特徴とする請求項１に記載のファンフィルタユニットの吹出し風量調整機構
【請求項５】
ダンパーは、開口をスライド板の手動操作で塞ぐことにより開口面積を変化させる構成としたことを特徴とする請求項２〜４のいずれか１項に記載のファンフィルタユニットの風量調整機構
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）の吹出し風量調整機構に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ファンフィルタユニットａは、例えば図４に示すように上部にファンｂ、下部にフィルタｃをケーシングｄで囲んで構成した装置であり、ファンｂとフィルタｃの間には、フィルタｃの上流側の面に均一に空気を当てるための案内板ｅが設けられている。このようなファンフィルタユニットａを、例えば図５に示すように、クリーンルームｆの天井ｇの一面に縦横に多数設置し、天井内空間ｈの空気をフィルタｃを通過させて清浄にして下方の室内ｆに吹き出すようにしている。そしてファンフィルタユニットａから室内ｆに吹き出された空気は、室内ｆを垂直に下降し、グレーチング床ｉを経て床下空間ｊに流入した後、還流経路ｋを経て天井内空間ｈに戻り、再びファンフィルタユニットａを通過して、清浄な空気として室内ｆに吹き出される。
【０００３】
この際、ファンフィルタユニットａから吹き出された清浄な空気は、室内ｆを上方から下方に向かって層流状態で垂直に流れるようにするのが重要であり、そのためにはファンフィルタユニットａは、天井ｇの一面に設置された各ユニット毎の吹出し風量を一定にすることが必要となる。
【０００４】
このようにファンフィルタユニットの吹出し風量を調整する方法としては、ファンをインバータ制御する構成とし、電気的にファンの回転数を変更して風量を調整する方法が知られている。（例えば特許文献１参照。）
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−８９７４７号公報（第５頁）
【０００６】
一方、上述したような層流状態の垂直流を得るための他の方法としては、グレーチング床８にシャッターを設けて気流調整を行うことも行われている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
ファンフィルタユニットの吹出し風量の調整をインバータ制御により行うものでは、多数のファンフィルタユニット毎に設けるインバータのためにコストが多大にかかり、またインバータからのノイズを遮断するためのフィルタを設置する必要が生じる場合には更にコストがかかるという課題がある。
【０００８】
またインバータは比較的故障の多い製品であることから、多数のファンフィルタユニット毎に設けていることにより、故障の確率が高くなって、メンテナンスに労力を要するようになり、２４時間操業を行うことが常識の半導体工場等では、操業に支障がでるため、採用を嫌うというような課題がある。
【０００９】
一方、層流状態の垂直流を形成するための他の方法として、上述したようにグレーチング床にシャッターを設けて気流調整を行うものでは、１個所を調整すると他の個所に影響が及んだりして、調整に多大な労力と時間がかかるという課題がある。
本発明はこのような課題を解決することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決するために本発明では、まず請求項１において、上部にファン、下部にフィルタをケーシングで囲んで構成したファンフィルタユニットにおいて、フィルタの上流側の空気の一部を流出させる流出量調整可能な空気流出部を構成したファンフィルタユニットの吹出し風量調整機構を提案する。
【００１１】
また請求項２では、請求項１の機構において、空気流出部は、ケーシングの上部に開口を設けると共に、開口に流出量調整用のダンパーを設けて構成することを提案する。
【００１２】
また請求項３では、請求項１の機構において、空気流出部は、ケーシングに対するファンの取付部に開口を設けると共に、開口に流出量調整用のダンパーを設けて構成することを提案する。
【００１３】
また請求項４では、請求項１の機構において、空気流出部は、フィルタ部分の近傍のケーシングに開口を設けると共に、開口に流出量調整用のダンパーを設けて構成することを提案する。
【００１４】
そして請求項５では、請求項２〜４の機構において、ダンパーは、開口をスライド板の手動操作で塞ぐことにより開口面積を変化させる構成とすることを提案する。
【００１５】
本発明によれば、ファンにより圧縮されたケーシング内の空気をフィルタの上流側に構成した空気流出部から流出させることにより、フィルタを通過して下方に吹き出される吹出し空気量を低減することができ、従って空気流出部からの空気の流出量を調整することにより、吹出し空気量を調整することができる。
【００１６】
こうしてクリーンルームの天井一面に設置された多数のファンフィルタユニット毎に吹出し風量を調整して一定にすることができ、層流状態の垂直流を形成することができる。
【００１７】
ファンフィルタユニットは極めて清浄な空間で使用されるためフィルタの目詰まりは殆どなく、低静圧のファンが使用されており、吹出し風量は、初期設定すれば使用途中で変更することは殆どない。
【００１８】
従って、流出量調整可能な空気流出部としては、開口をスライド板の手動操作で塞ぐことにより開口面積を変化させる構成のダンパーを使用した構成とすることができ、この場合には、メンテナンスが不要となり、低コストとなる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図を参照して説明する。
図１は本発明の吹出し風量調整機構を適用したファンフィルタユニットの第１の実施の形態を示す側面図である。
このファンフィルタユニット１は、従来のものと同様に、上部にファン２、下部にフィルタ３を配置してケーシング４で囲んで構成している。ファン２は電動機５を支持したファン基体６の下側に羽根車７を支持しており、ファン基体６を支持フレーム８に支持している。この支持フレーム８をケーシング４の上部に設けた支持突条９の上側に載置固定すると共に、ファン基体６の外周に環状の気密部材１０を設けて、これをケーシング４の上面に当接している。またファン２とフィルタ３の間には、フィルタ３の上流側の面に均一に空気を当てるための案内板１１が設けられている。このような構成のファンフィルタユニット１はフィルタ３側のケーシング４をクリーンルームの天井に設置した支持フレーム１２に載置固定して設置する。
【００２０】
ファンフィルタユニット１の以上の構成は従来と同様であるが、本発明の第１の実施の形態においては、ケーシング４の上部に開口１３ａを設けると共に、開口１３ａに流出量調整用のダンパー１４を設けて流出量調整可能な空気流出部１５を構成している。このダンパー１４は、上記開口１３ａをスライド板１６の手動操作で塞ぐことにより開口面積を変化させる構成としたものである。
【００２１】
以上の構成において、ファン２により圧縮されたケーシング１内の空気をフィルタ３の上流側に構成した空気流出部１５から流出させることにより、フィルタ３を通過して下方に吹き出される吹出し空気量を低減することができ、従って空気流出部１５からの空気の流出量をダンパー１４で調整することにより、吹出し空気量を調整することができる。
【００２２】
この実施の形態においては、ダンパー１４は、スライド板１６を手動操作でスライドさせて開口１３を塞ぐことにより開口面積を変化させて流出量の調整を行うことができる。
【００２３】
こうしてクリーンルームの天井一面に設置された多数のファンフィルタユニット毎に吹出し風量を調整して、所定吹出し風量で一定にすることができ、室内に層流状態の垂直流を形成することができる。
【００２４】
ファンフィルタユニット１は極めて清浄な空間で使用されるためフィルタ３の目詰まりは殆どなく、ファン２も低静圧のものが使用されており、従って上述した調整により得られた吹出し風量は、初期設定すれば使用途中で変更することは殆どない。
【００２５】
従って、上述した手動操作の簡単な構成のダンパー１４を使用して空気流出部１５を構成することにより、インバータや電動式のダンパーのように故障を発生することがなく、メンテナンスが不要になると共に、低コストとなる。
【００２６】
次に図２は本発明の吹出し風量調整機構を適用したファンフィルタユニットの第２の実施の形態を示す側面図である。
この第２の実施の形態は、空気流出部１５の構成のみが図１に示した第１の実施の形態の構成と相違しているので、対応する要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
即ち、この第２の実施の形態では、ケーシング４に対するファン２の取付部、この場合、上記環状の気密部材１０に開口（図示省略）を設けると共に、開口に流出量調整用のダンパーを設けて流出量調整可能な空気流出部１５を構成している。このダンパーは、第１の実施の形態のものと同様に、上記開口をスライド板（図示省略）の手動操作で塞ぐことにより開口面積を変化させる構成としたものである。
【００２７】
従ってこの構成においても、ファン２により圧縮されたケーシング１内の空気をフィルタ３の上流側に構成した空気流出部１５から流出させ、この流出量をダンパー１４で調整することにより、吹出し空気量を調整することができる。
【００２８】
次に図３は本発明の吹出し風量調整機構を適用したファンフィルタユニットの第３の実施の形態を示す側面図である。
この第３の実施の形態においても、空気流出部１５の構成のみが図１、図２に示した第１、第２の実施の形態の構成と相違しているので、対応する要素には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
即ち、この第３の実施の形態では、フィルタ３部分の近傍のケーシング１に開口１３を設けると共に、開口１３に流出量調整用のダンパー１４を設けて流出量調整可能な空気流出部１５を構成している。このダンパー１４は、第１の実施の形態のものと同様に、上記開口１３ａをスライド板１６の手動操作で塞ぐことにより開口面積を変化させる構成としたものである。
【００２９】
従ってこの構成においても、ファン２により圧縮されたケーシング１内の空気をフィルタ３の上流側に構成した空気流出部１５から流出させ、この流出量をダンパー１４で調整することにより、吹出し空気量を調整することができる。
【００３０】
【発明の効果】
本発明は以上のとおり、ファンフィルタユニットにおいて、ファンにより圧縮されたケーシング内の空気をフィルタの上流側に構成した空気流出部から流出させ、この流出量をダンパーで調整することにより、吹出し空気量を調整することができるので、次のような効果がある。
ａ．手動操作の簡単な構成のダンパーを使用して空気流出部を構成することにより、インバータや電動式のダンパーのように故障を発生することがなく、流量調整が可能でメンテナンスフリーなファンフィルタユニットを提供することができる。
ｂ．風量調整をするために従来設けていたインバータと比較してコストを大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の吹出し風量調整機構を適用したファンフィルタユニットの第１の実施の形態を示す側面図である。
【図２】本発明の吹出し風量調整機構を適用したファンフィルタユニットの第２の実施の形態を示す側面図である。
【図３】本発明の吹出し風量調整機構を適用したファンフィルタユニットの第３の実施の形態を示す側面図である。
【図４】従来のファンフィルタユニットの側面図である。
【図５】クリーンルームにおけるファンフィルタユニットの設置、使用状況を示す説明図である。
【符号の説明】
１            ファンフィルタユニット
２            ファン
３            フィルタ
４            ケーシング
５            電動機
６            ファン基体
７            羽根車
８            支持フレーム
９            支持突条
１０          気密部材
１１          案内板
１２          支持フレーム
１３          開口
１４          ダンパー
１５          空気流出部
１６          スライド板
ａ            ファンフィルタユニット
ｂ            ファン
ｃ            フィルタ
ｄ            ケーシング
ｅ            案内板
ｆ            クリーンルーム（室内）
ｇ            天井
ｈ            天井内空間
ｉ            グレーチング床
ｊ            床下空間
ｋ            還流経路
【図１】
2005003243.tif 000003
【図２】
2005003243.tif 000004
【図３】
2005003243.tif 000005
【図４】
2005003243.tif 000006
【図５】
2005003243.tif 000007