(57)【要約】【課題】  合成石英ガラスからなるペリクルをフォトマスクに装着する際にペリクル板のたわみ形状を変形させることなくフォトマスクに確実かつ容易に装着することが可能なペリクル装着治具、ペリクル装着方法並びにペリクル装着構造の提供を目的とする。【解決手段】  合成石英ガラスからなるペリクル２の周縁を粘着剤３を介して押圧してフォトマスク１に装着し、一対の平行な押圧片８と押圧片８同士を連結する連結片９からなるペリクル装着治具４であって、前記ペリクル２は、矩形枠体のペリクルフレーム５と、これに貼り付けられる凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板６からなり、前記一対の平行な押圧片８で、ペリクル２周縁部のうち前記たわみのない側の対向する２辺６ｂの周縁部を押圧し、前記連結片９はこの押圧時に前記ペリクル板６に非接触である。【選択図】        図１
2005195992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
合成石英ガラスからなるペリクルの周縁を粘着剤を介して押圧してフォトマスクに装着し、一対の平行な押圧片と押圧片同士を連結する連結片からなるペリクル装着治具であって、
前記ペリクルは、矩形枠体のペリクルフレームと、これに貼り付けられる凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板からなり、
前記一対の平行な押圧片でペリクル周縁部のうち前記たわみのない側の対向する２辺の周縁部を押圧し、
前記連結片はこの押圧時に前記ペリクル板に非接触であることを特徴とするペリクル装着治具。
【請求項２】
前記連結片の押圧側の面に弾性部材が備わり、
該弾性部材は押圧時に前記ペリクル板に接触して弾力的に押圧することを特徴とする請求項１に記載のペリクル装着治具。
【請求項３】
合成石英ガラスからなるペリクルの周縁を粘着剤を介して押圧してフォトマスクに装着し、一対の平行な押圧片と押圧片同士を連結する連結片からなるペリクル装着治具であって、
前記ペリクルは、矩形枠体のペリクルフレームと、これに貼り付けられる凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板からなり、
前記一対の平行な押圧片でペリクル周縁部のうち前記たわみのない側の対向する２辺の周縁部を押圧し、
前記連結片の押圧側の面は前記ペリクル板と同曲率で凹状に湾曲していることを特徴とするペリクル装着治具。
【請求項４】
合成石英ガラスからなるペリクルを押圧してフォトマスクに装着するペリクル装着方法であって、
前記ペリクルは、矩形枠体のペリクルフレームとこれに貼り付けられる凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板からなり、
前記ペリクルフレームの少なくとも一対の対辺は前記ペリクル板の外周縁から突出した突出面を有し、
該突出面を押圧することを特徴とするペリクル装着方法。
【請求項５】
矩形枠体のペリクルフレームに凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板を貼り付けた合成石英ガラスからなるペリクルがフォトマスクに装着されたペリクル装着構造であって、
前記ペリクルフレームの少なくとも一対の対辺は外側に突出片が形成された断面略Ｌ字形状であり、
該突出片と前記フォトマスクを保持部材により挟持して相互に固定することを特徴とするペリクル装着構造。
【請求項６】
合成石英ガラスからなる矩形枠体のペリクルフレームと、
凸状に湾曲してたわんだ状態の合成石英ガラスからなるペリクル板を前記ペリクルフレームに貼り付けて構成されるペリクルであって、
前記ペリクルフレームの少なくとも一対の対辺は前記ペリクル板の外周縁から外側に突出していることを特徴とするペリクル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体素子等の基板に回路パターンを印刷する等の集積回路の製造工程で使用されるフォトマスク又はレチクル（以下、フォトマスクという）に異物付着防止の目的で装着される、とりわけＦ２レーザー（波長１５７．６ｎｍ）の光を用いる光リソグラフィに好適なペリクルのペリクル装着治具、ペリクル装着方法及びペリクル装着構造並びにペリクルに関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路の製造工程で使用される光リソグラフィ工程においては、レジスト材を塗布した半導体ウェーハを露光することによりパターン形成が行われる。この際に用いるフォトマスクに傷・異物が存在していると、パターンとともに傷・異物がウェーハ上に転写され、回路の短絡・断線等の原因となる。このため、回路パターンが形成されたフォトマスクの表面の傷や異物混入を防止するため、フォトマスクの片面又は両面にペリクルが装着される。
【０００３】
従来、ペリクルはアルミニウム等からなるペリクルフレームにニトロセルロース又はフッ素樹脂等の有機樹脂からなる数ｎｍ〜数μｍの厚みのペリクル膜を接着剤で貼り付けたものが用いられており、これをフォトマスク上のパターンを覆うように固定して用いられていた。しかし、このような有機樹脂膜等を使用したペリクルは、露光精度を上げるために使用される波長が短くなると、光学的エネルギーが強大であることから、有気分が分解し実際の露光で使用するエネルギーでのショット数、換言すれば使用時間に対して十分な耐久性をもっていない。
【０００４】
したがって、近年のパターン微細化や高密度化により波長１５７ｎｍのＦ２レーザ等の短波長の光を用いた露光光に対する耐久性を考慮して、合成石英ガラスを薄い板に加工したペリクル板を使用することが検討されている。
【０００５】
図１１は従来のペリクル装着治具を用いたペリクルの装着方法を示す概略図である。
図示したように、フォトマスク７１上のパターン（不図示）を覆うようにペリクル７２を粘着剤７３を介して接着し、矩形枠体の装着治具７４でペリクル７２の周辺部を押圧して装着する。ペリクル７２は合成石英ガラスからなり、矩形枠体のペリクルフレーム７５にペリクル板７６を接着剤７７を介して貼り付けて構成される。この合成石英ガラスは、例えば、ケイ素源と酸素源とを気相で反応させスートと呼ばれる酸化ケイ素からなる多孔質を成長させ、この多孔質を焼結して得られる実質的に酸化ケイ素のみからなるガラスである。この合成石英ガラスからなるペリクル板７６は、透過効率を向上させるために片面もしくは両面に反射防止膜を施すことが多い。
【０００６】
このように、合成石英ガラスをペリクル板として使用する場合、ペリクル板７６の厚さは０．０１〜２ｍｍであることが望ましいとされているが、このような厚みを持つペリクル板は、有機樹脂からなるペリクル膜と異なり、ペリクル板７６内部の複屈折やペリクル板７６の反りにより露光光の光路変動の要因になる場合がある。
【０００７】
一方、ペリクルを基板（フォトマスク）に装着するペリクル装着構造として、ペリクルフレームに溝を設け、コ字状に形成した複数の板バネを溝と基板に係合する構造が特許文献１に開示されている。しかし、特許文献１に記載のペリクル装着構造はペリクルフレームに溝を形成しなければならず、ペリクルフレームとして合成石英ガラスを使用した場合には十分な強度を保てる溝を形成することが困難である。したがって、合成石英ガラスからなるペリクルの装着構造としては適していない。
【０００８】
【特許文献１】特開平１１−１９４４８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
フォトマスク７１の下面にペリクル７２はペリクル板７６を下にして装着されるため、ペリクル板７６が使用時に自重でたわむと、露光光の光路変動が生じ、露光精度の悪化の要因となるが、露光装置による露光はペリクル付きのフォトマスクが一方向に移動してフォトマスクのパターンをウェーハ上に転写するものであるため、垂直方向のペリクル板７６の変異は偶数次数の関数で表すことのできる曲率であれば光学系で補正が可能であり、この曲率がフォトマスクの移動方向に対して一定であればよい。
【００１０】
したがって、フォトマスク７１の移動方向（矢印Ｅ）と平行なペリクル板７６の対辺が、ペリクルフレーム７５のフォトマスク７１に対する接着面と平行に接着されていれば、フォトマスクの移動方向（矢印Ｅ）と垂直なペリクル板７６の対辺がペリクルフレーム７５に対してたわんでいても、このたわみを光学的に補正して半導体ウェーハへのパターン形成が可能である。
【００１１】
一方、ペリクル板７６がたわんでペリクルフレーム７５との間に隙間が生じると、そこから異物等が混入し、フォトマスク表面を保護するというペリクルの機能が果たせなくなることを防止したり、露光装置内でペリクル付きのフォトマスクが移動する際に生じる振動でたわみ量が部分的に変化することを防止するため、たわんだペリクル板７６とペリクルフレーム７５との間に生じる隙間を密閉する。このとき、ペリクル板７６のたわみ量はペリクル板７６とペリクルフレーム７５間の隙間にスペーサを介入させたり接着剤７７等の封止材を用いて一定に保たれる（図では接着剤７７で封止）。したがって、ペリクル板７６は所定の曲率でたわみ、たわんだ側の対辺の中点を結ぶ線で線対称となる。
【００１２】
この凸状にたわんだペリクル板７６を備えたペリクル７２をフォトマスク７１に装着しようとする場合、矩形枠体からなる装着治具７４ではペリクル板７６の４辺を均等に押圧するので、ペリクル板７６のたわんだ対辺とペリクルフレーム７５との間の隙間を圧縮することになり、ペリクル板７６に部分的な変形が生じ、たわみを光学的に補正した露光光における露光精度が悪化する要因となる。
【００１３】
本発明は、上記従来技術を考慮したものであり、合成石英ガラスからなるペリクルをフォトマスクに装着する際にペリクル板のたわみ形状を変形させることなくフォトマスクに確実かつ容易に装着することが可能なペリクル装着治具、ペリクル装着方法及びペリクル装着構造並びにペリクルの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記目的を達成するため、請求項１の発明では、合成石英ガラスからなるペリクルの周縁を粘着剤を介して押圧してフォトマスクに装着し、一対の平行な押圧片と押圧片同士を連結する連結片からなるペリクル装着治具であって、前記ペリクルは、矩形枠体のペリクルフレームと、これに貼り付けられる凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板からなり、前記一対の平行な押圧片でペリクル周縁部のうち前記たわみのない側の対向する２辺の周縁部を押圧し、前記連結片はこの押圧時に前記ペリクル板に非接触であることを特徴とするペリクル装着治具を提供する。
【００１５】
請求項２の発明では、前記連結片の押圧側の面に弾性部材が備わり、該弾性部材は押圧時に前記ペリクル板に接触して弾力的に押圧することを特徴としている。
【００１６】
請求項３の発明では、合成石英ガラスからなるペリクルの周縁を粘着剤を介して押圧してフォトマスクに装着し、一対の平行な押圧片と押圧片同士を連結する連結片からなるペリクル装着治具であって、前記ペリクルは、矩形枠体のペリクルフレームと、これに貼り付けられる凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板からなり、前記一対の平行な押圧片でペリクル周縁部のうち前記たわみのない側の対向する２辺の周縁部を押圧し、前記連結片の押圧側の面は前記ペリクル板と同曲率で凹状に湾曲していることを特徴とするペリクル装着治具を提供する。
【００１７】
請求項４の発明では、合成石英ガラスからなるペリクルを押圧してフォトマスクに装着するペリクル装着方法であって、前記ペリクルは、矩形枠体のペリクルフレームとこれに貼り付けられる凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板からなり、前記ペリクルフレームの少なくとも一対の対辺は前記ペリクル板の外周縁から突出した突出面を有し、該突出面を押圧することを特徴とするペリクル装着方法を提供する。
【００１８】
請求項５の発明では、矩形枠体のペリクルフレームに凸状に湾曲してたわんだ状態のペリクル板を貼り付けた合成石英ガラスからなるペリクルがフォトマスクに装着されたペリクル装着構造であって、前記ペリクルフレームの少なくとも一対の対辺は外側に突出片が形成された断面略Ｌ字形状であり、該突出片と前記フォトマスクを保持部材により挟持して相互に固定することを特徴とするペリクル装着構造を提供する。
【００１９】
請求項６の発明では、合成石英ガラスからなる矩形枠体のペリクルフレームと、凸状に湾曲してたわんだ状態の合成石英ガラスからなるペリクル板を前記ペリクルフレームに貼り付けて構成されるペリクルであって、前記ペリクルフレームの少なくとも一対の対辺は前記ペリクル板の外周縁から外側に突出していることを特徴とするペリクルを提供する。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１の発明によれば、押圧片と連結片からなるペリクル装着治具の一対の平行な押圧片でペリクル周縁のたわみのない側の対向する２辺を押圧する時に、連結片が凸状に湾曲してたわんだペリクル板に非接触なので、ペリクル装着時にペリクル板のたわみ形状を変形させずに確実にペリクルをフォトマスクに装着することができる。
【００２１】
請求項２の発明によれば、ペリクル装着治具でペリクルをフォトマスクに装着する際に連結片に備わる弾性部材がたわんだペリクル板を弾力的に押圧するため、押圧時にペリクル板のたわみ形状を変形させることはなく、押圧効果を高めて確実に装着することができる。
【００２２】
請求項３の発明によれば、連結片の押圧側の面がペリクル板の凸状湾曲形状に対応して同曲率で凹状に湾曲するため、一対の平行な押圧片でペリクル周縁のたわみのない側の対向する２辺を押圧する時に、連結片がペリクル板に接触しても、ペリクル板のたわみ形状が変形を生じることはなく、確実にペリクルをフォトマスクに装着できる。
【００２３】
請求項４の発明によれば、ペリクルフレームの少なくとも一対の対辺がペリクル板を貼り付けた状態でこのペリクル板の外周縁より外側に広く形成された突出面を有し、この突出面を押圧するので、ペリクル板に接触することなくペリクルをフォトマスクに装着でき、ペリクル板のたわみ形状を変形させずに確実にペリクルをフォトマスクに装着することができる。
【００２４】
請求項５の発明によれば、ペリクルフレームの少なくとも一対の対辺が外側に突出して突出片を形成し、この突出片とフォトマスクを保持部材で挟持するので、ペリクル板に接触することなくペリクルをフォトマスクに装着でき、ペリクル板のたわみ形状を変形させずに確実にペリクルをフォトマスクに装着することができる。また、保持部材によりペリクルを挟持して固定するため、その脱着作業が容易であり、フォトマスクに傷や汚れ等の損傷を与えることが少なく、ペリクルも再生利用することができ、経済性に優れたものといえる。
【００２５】
請求項６の発明によれば、ペリクルを構成するペリクルフレームの少なくとも一対の対辺が、ペリクル板の外周縁より外側に突出しているため、この突出部分をフォトマスクに押圧あるいは挟持してペリクル板に接触することなくペリクルをフォトマスクに装着できるので、ペリクル板のたわみ形状を変形させずに確実にフォトマスクに装着可能なペリクルを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１は本発明に係るペリクル装着治具を示す概略図である。
図示したように、フォトマスク１上のパターン（不図示）を覆うようにペリクル２を粘着剤３を介して接着し、矩形枠体の装着治具４でペリクル２の周辺部を押圧（図の下方向）して装着する。ペリクル２は合成石英ガラスからなり、矩形枠体のペリクルフレーム５にペリクル板６を接着剤７を介して貼り付けて構成される。このペリクル板６は一対の対辺（第１の辺６ａ）が所定の曲率でたわんで形成され、露光の際に光学系で補正が可能である。この凸状にたわんだペリクル板６とペリクルフレーム５との隙間に接着剤７が充填され封止してそのたわみ形状が固定される。このたわみ形状の固定はスペーサ等の部材をペリクル板６とペリクルフレーム５の隙間に挟んで行ってもよい。
【００２７】
装着治具４は押圧片８と連結片９からなる矩形枠体であり、連結片９の厚みは押圧片８よりも薄く、その差Ｄはペリクル板６の最大たわみ量Ｆよりも大きく形成される。したがって連結片９の押圧方向側（図の下側）には空間が形成され、装着治具４でペリクル２を押圧した場合、押圧片８がペリクル板６のたわんでない対辺（第２の辺６ｂ）を押圧し、たわんだ側の対辺は連結片９に接触しない。これによりペリクル板６のたわみ量を変化させずに確実にペリクル２をフォトマスク１に装着することができる。なお、押圧片８は第２の辺６ｂよりも長いことが望ましいが、短くてもよいし、押圧片８の押圧方向側の面を凹凸形状として凸状部分で連結片９との厚みの差を確保して第２の辺６ｂを押圧してもよい。また、装着治具４は押圧片８と連結片９からなる矩形枠体状に限定されず、一対の平行な押圧片８の中央に１又は複数本の連結片９を架渡す形状であってもよい。
【００２８】
図２は本発明に係る別のペリクル装着治具を示す概略図である。
図示したように、連結片９の押圧方向側（図の下側）に弾性部材１０が備わる。この弾性部材１０の圧縮弾性係数はペリクル板６の第１の辺６ａのたわみ量を保持する接着剤７よりも大きいため、装着治具４でペリクル２を押圧する際にペリクル板６と弾性部材１０が接触しても、その圧力を吸収するのでペリクル板６の第１の辺６ａのたわみ量を変化させずに確実にペリクル２をフォトマスク１に装着することができる。なお、弾性部材１０は連結片９の長手方向と垂直方向にはみ出ていてもよい。その他の構成、作用、効果は図１と同様である。
【００２９】
図３は本発明に係るさらに別のペリクル装着治具を示す概略図である。
図示したように、連結片９の押圧方向側（図の下側）の面がペリクル板６のたわみ形状に倣って形成される。すなわち、連結片９の押圧片８との厚みの差が長手方向各位置でのペリクル板６のたわみ量と同等となる。したがってペリクル装着治具４でペリクル２を押圧する際に連結片９がペリクル板６の第１の辺６ａの曲率を変化させることなく確実にペリクル２をフォトマスク１に装着することができる。その他の構成、作用、効果は図１と同様である。
【００３０】
図４は本発明に係るペリクル装着方法の一例を示す概略図である。
フォトマスク１上のパターン（不図示）を覆うようにペリクル２を粘着剤３を介して装着する。ペリクル２は合成石英ガラスからなり、矩形枠体のペリクルフレーム５にペリクル板６を接着剤７を介して貼り付けて構成される。このペリクル板６は一対の対辺（第１の辺６ａ）が所定の曲率に形成され、露光の際に光学系で補正が可能である。この凸状にたわんだペリクル板６とペリクルフレーム５との隙間に接着剤７が充填され封止してそのたわみ形状が固定される。このたわみ形状の固定はスペーサ等の部材をペリクル板６とペリクルフレーム５の隙間に挟んで行ってもよい。
【００３１】
ペリクルフレーム５には一対の対辺が外側に突出する突出面１１が形成される。本発明に係るペリクル装着方法はこの突出面１１を押圧してペリクル２をフォトマスク１に装着する。このように突出面１１を押圧することにより、ペリクル板６に接触せずにペリクル２をフォトマスク１に装着でき、ペリクル板６のたわみ量を変化させずに確実にペリクル２をフォトマスク１に装着することができる。
【００３２】
また、押圧によるペリクル板の粘着剤３の変形や、ペリクルフレーム５のゆがみが少ないという利点がある。なお、ペリクルフレーム５に形成する突出面１１は図とは異なる一対の対辺に設けてもよいし、４辺全周に設けてもよい。また、ペリクルフレーム５の各辺の長手方向に対し、断続的に設けてもよい。この場合、フォトマスク１の外周縁には各種位置合わせマークや識別記号や番号等が書き込まれているため、突出面１１はこれらを覆わない程度の大きさとする。
【００３３】
この突出面１１の押圧方法としては、図示したように装着治具１２を用いることが好ましい。例えば、この装着治具１２は押圧片１３と連結片１４で構成された矩形枠体である。押圧片１３は連結片１４に比べて下側に突出し、その突出長さは突出面１１からペリクル板６の最大たわみ部分（第１の辺６ａの中点）までの長さより長い。このような装着治具１２を用いてペリクルフレーム５の突出面１１を押圧することにより、上述した効果を得ることができる。
【００３４】
図５〜図７は本発明に係るペリクル装着方法を使用するペリクルフレーム近傍の断面図である。なお、突出面１１はペリクル板６の第２の辺６ｂに対応するペリクルフレーム５の辺に設けた例を示す。
図５に示すように、ペリクルフレーム５の下側を突出させて突出面１１を形成する。この突出面１１を押圧することにより、上述した効果を得ることができる。また、図６に示すように、ペリクルフレーム５の上面を切欠いてペリクル板６を接着して貼り付けるための段差１５を形成し、その外側に突出面１１を形成してもよい。この突出面１１を押圧することにより、上述した効果を得ることができる。また、図７に示すように、ペリクルフレーム５の幅をペリクル板６よりも大きくし、突出面１１を形成してもよい。この場合、ペリクルフレーム５の幅よりも小さいペリクル板６を用いて突出面１１を形成してもよい。この突出面１１を押圧することにより、上述した効果を得ることができる。
【００３５】
図８は本発明に係るペリクル装着構造を示す概略図である。
図示したように、フォトマスク１上にペリクル２を載置する。ペリクルフレーム５は外側に突出する突出片１６を有し、この突出片１６とフォトマスク１を保持部材１７が挟持してペリクル２をフォトマスク１に装着する。保持部材１７は断面略コ字状のクリップであり、内側に挟持する方向に弾性を有する。このようにペリクルフレーム５の突出片１６とフォトマスク１を挟持して保持するので、ペリクル板６に接触することなくペリクル２をフォトマスク１に装着でき、ペリクル板６のたわみ量を変化させずに確実にペリクル２をフォトマスク１に装着することができる。また、保持部材１７によりペリクル２を挟持して固定するため、その脱着作業が容易であり、フォトマスク１に傷や汚れ等の損傷を与えることが少なく、ペリクル２も再生利用することができ、経済性に優れたものといえる。
【００３６】
なお、図ではペリクルフレーム５とフォトマスク１の間に粘着剤を介してないが、この場合は高精度に平面加工されたペリクルフレーム５の粘着面（下面）がフォトマスク１と直接接触することになり、粘着剤の厚みムラ等の影響を受けることなくペリクル板６とフォトマスク１の平行度を保持することができる点で好ましい。ただし、両者の接触面の傷や異物によるパージガスのリークやペリクルフレーム５の変形を防止するために、シール材あるいはガスケットとしての機能をもたせた弾性体を両者間に塗布、挟持してもよい。また、ペリクルフレーム５やフォトマスク１の破損防止を目的として、保持部材１７との接触部分に緩衝材を載置してもよい。その他の構成、作用、効果は図４と同様である。
【００３７】
図９は本発明に係る別のペリクル装着構造を示す概略図である。
図示したように、保持部材１８としてクランプを用いて突出片１６とフォトマスク１を挟持して固定し、ペリクル２をフォトマスク１に装着してもよい。この場合、突出片１６の上面とフォトマスク１の下面を２枚の板材１９で挟み、この２枚の板材１９の間隔をネジ２０で締めることにより狭めて挟持する。その他の構成、作用、効果は図８と同様である。
【００３８】
図１０は本発明に係るさらに別のペリクル装着構造を示す概略図である。
図示したように、突出片１６の上面がペリクルフレーム５の側面に対し鋭角となるように設けてもよい。これにより、保持部材１７が突出片１６の隅部に引っかかり、ペリクル２とフォトマスク１を挟持しやすくなる。その他の構成、作用、効果は図８と同様である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に係るペリクル装着治具を示す概略図。
【図２】本発明に係る別のペリクル装着治具を示す概略図。
【図３】本発明に係るさらに別のペリクル装着治具を示す概略図。
【図４】本発明に係るペリクル装着方法の一例を示す概略図。
【図５】本発明に係るペリクル装着方法を使用するペリクルフレーム近傍の断面図。
【図６】本発明に係るペリクル装着方法を使用するペリクルフレーム近傍の断面図。
【図７】本発明に係るペリクル装着方法を使用するペリクルフレーム近傍の断面図。
【図８】本発明に係るペリクル装着構造を示す概略図。
【図９】本発明に係る別のペリクル装着構造を示す概略図。
【図１０】本発明に係るさらに別のペリクル装着構造を示す概略図。
【図１１】従来のペリクル装着治具を用いたペリクルの装着方法を示す概略図。
【符号の説明】
【００４０】
１：フォトマスク、２：ペリクル、３：粘着剤、４：装着治具、５：ペリクルフレーム、６：ペリクル板、７：接着剤、８：押圧片、９：連結片、１０：弾性部材、１１：突出面、１２：装着治具、１３：押圧片、１４：連結片、１５：段差、１６：突出片、１７：保持部材、１８：保持部材、１９：板材、２０：ネジ。
【図１】
2005195992.tif 000003
【図２】
2005195992.tif 000004
【図３】
2005195992.tif 000005
【図４】
2005195992.tif 000006
【図５】
2005195992.tif 000007
【図６】
2005195992.tif 000008
【図７】
2005195992.tif 000009
【図８】
2005195992.tif 000010
【図９】
2005195992.tif 000011
【図１０】
2005195992.tif 000012
【図１１】
2005195992.tif 000013