(57)【要約】【課題】  流路が微細になっても液体を容易に撹拌でき、また素子面積が小さくても撹拌することができる撹拌素子を提供する。【解決手段】  液体が流入する流路３と、前記液体が流出する流路の間に配置された攪拌部１５において前記液体を攪拌するための攪拌素子であって、流路の攪拌部１５の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対２、７と、前記進行波により振動する圧電体６を有する撹拌素子。前記進行波発生用の電極対２、７は圧電体６を挾んで配置され、一方の電極２が櫛歯電極である。前記流路内の撹拌部において、前記流体が渦状に移動するよう前記電極対と圧電体が配置されている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された撹拌部において前記液体を撹拌するための撹拌素子であって、前記撹拌部の内壁面に沿った方向に前記液体に対して力を付与する手段を前記撹拌部外に備えることを特徴とする撹拌素子。
【請求項２】
前記力を付与する手段として、前記撹拌部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、前記進行波により振動する圧電体を有することを特徴とする請求項１記載の撹拌素子。
【請求項３】
前記圧電体は進行波発生用の電極対の間に配置され、一方の電極が櫛歯電極であることを特徴とする請求項２記載の撹拌素子。
【請求項４】
前記進行波発生用の電極対は前記圧電体に接して配置され、一方の電極は前記圧電体の流路面とは反対側に、他方の電極は流路面側に配置されていることを特徴とする請求項２または３記載の撹拌素子。
【請求項５】
前記撹拌部において、前記液体が渦状に移動するよう前記電極対と圧電体が配置されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかの項に記載の撹拌素子。
【請求項６】
前記撹拌部において、前記液体の輸送方向を横切るように前記液体が移動するように前記電極対と圧電体が配置されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかの項に記載の撹拌素子。
【請求項７】
液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された撹拌部において前記液体を撹拌する撹拌方法であって、前記撹拌部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、該電極対の間に挾んで圧電体を設け、前記電極対に電圧を印加して発生した進行波により前記圧電体を振動し液体を撹拌することを特徴とする撹拌方法。
【請求項８】
液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された検知部において前記液体に含まれる検体を検知するためのセンサーであって、前記検知部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、前記進行波により振動する圧電体を有することを特徴とするセンサー。
【請求項９】
液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された開閉部において前記液体を開閉するためのバルブであって、前記開閉部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、前記進行波により弯曲する圧電体を有することを特徴とするバルブ。
【請求項１０】
液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された空間部において前記液体を一方向に移動するためのポンプであって、前記空間部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、前記進行波により弾性変形する圧電体を有することを特徴とするポンプ。
【請求項１１】
請求項１乃至６のいずれかの撹拌素子を含み、さらに少なくともバルブ、センサーおよびポンプの少なくとも１つを含むことを特徴とする微細液体処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撹拌素子および撹拌方法に関し、特に極微量のウィルス、蛋白やＤＮＡなどを検出するための、ラボオンアチップ、マイクロタス、ヘルスケアデバイス、あるいは微小な環境汚染物質などを検出するための環境物質検出チップ、あるいはマイクロケミカルプラントなどにおいて２種類以上の液体を混合する撹拌素子および撹拌方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、液体の分岐と合流部を多数設け、適宜バルブ、検出器、温度計、流量計、温度調節装置等を配置し、汎用的に化学反応、分析等ができる微小化学モジュールが示され、バルブ操作により２系等の液体を混合することが開示されている。
【０００３】
特許文献２には、微小流路において混合撹拌を促進するために、流路と直交する方向に流路を挟んで配置した複数の超音波振動子により試料液体を混合撹拌する技術が開示されている。
【０００４】
また何回も細い流路を折り曲げて混合撹拌を行う方法がある。
【特許文献１】特開２００２−２８２６８２号公報
【特許文献２】特開平１１−３４７３９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
μ−ＴＡＳ、ＭＥＭＳ等で必要となる液体を搬送する場合、流路が微細になると容易に層流になり、多種の液体を混合するのが困難になるり、また混合に時間がかかる。
また何回も細い流路を折り曲げて混合撹拌を行う方法は有効ではあるが、折り曲げ流路が多くの素子面積を使用するために、チップ（素子）コストを押し上げる要因となってしまう。
【０００６】
また、特許文献２のように流路と直交する方向に流路を挟んで配置した複数の超音波振動子を配置する場合、超音波振動子を流路に隣接して設置しなければならず、流路が微細になるほどそのアセンブリ精度が厳しくなる。また超音波素子の数が多くなるにしたがってアセンブリ工程に手間と時間がかかり、チップのコストが上昇してしまう。
【０００７】
本発明は、この様な背景技術に鑑みてなされたものであり、液体が流入する流路において、流路が微細になっても液体を容易に撹拌でき、また素子面積が小さくても撹拌することができる撹拌素子および撹拌方法を提供するものである。
【０００８】
また、本発明は、コストを低くでき、作製の手間と時間が少ない撹拌素子を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
すなわち、本発明の第１は、液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された撹拌部において前記液体を撹拌するための撹拌素子であって、前記撹拌部の内壁面に沿った方向に前記液体に対して力を付与する手段を前記撹拌部外に備えることを特徴とする撹拌素子である。
【００１０】
前記力を付与する手段として、前記撹拌部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、前記進行波により振動する圧電体を有することを特徴とする。
前記圧電体は進行波発生用の電極対の間に配置され、一方の電極が櫛歯電極であることを特徴とする。
【００１１】
前記進行波発生用の電極対は前記圧電体に接して配置され、一方の電極は前記圧電体の流路面とは反対側に、他方の電極は流路面側に配置されていることを特徴とする。
前記撹拌部において、前記液体が渦状に移動するよう前記電極対と圧電体が配置されていることを特徴とする。
【００１２】
前記撹拌部において、前記液体の輸送方向を横切るように前記液体が移動するように前記電極対と圧電体が配置されていることを特徴とする。
また、本発明の第２は、液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された撹拌部において前記液体を撹拌する撹拌方法であって、前記撹拌部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、該電極対の間に挾んで圧電体を設け、前記電極対に電圧を印加して発生した進行波により前記圧電体を振動し液体を撹拌することを特徴とする撹拌方法である。
【００１３】
前記圧電体は進行波発生用の電極対の間に配置され、一方の電極が櫛歯電極であることを特徴とする。
前記櫛歯電極の複数の電極に順次位相をπ／２ずらした電圧を印加することを特徴とする。
【００１４】
前記櫛歯電極の複数の電極に正負交互に電圧を印加することを特徴とする。
また、本発明の第３は、液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された検知部において前記液体に含まれる検体を検知するためのセンサーであって、前記検知部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、前記進行波により振動する圧電体を有することを特徴とするセンサーである。
【００１５】
また、本発明の第４は、液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された開閉部において前記液体を開閉するためのバルブであって、前記開閉部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、前記進行波により弯曲する圧電体を有することを特徴とするバルブである。
【００１６】
また、本発明の第５は、液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された空間部において前記液体を一方向に移動するためのポンプであって、前記空間部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、前記進行波により弾性変形する圧電体を有することを特徴とするポンプである。
【００１７】
また、本発明の第６は、
上記の撹拌素子を含み、さらに少なくともバルブ、センサーおよびポンプの少なくとも１つを含むことを特徴とする微細液体処理装置である。
【００１８】
前記微細液体処理装置は、上記の撹拌素子を含み、さらに少なくともバルブ、センサーおよびポンプの少なくとも１つを含み、前記撹拌素子と、バルブ、センサーおよびポンプのうち少なくとも１つは同一の作製プロセスにより作製されたか、または同一の構成であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明は、液体が流入する流路において、流路が微細になっても液体を容易に撹拌でき、また素子面積が小さくても撹拌することができる撹拌素子および撹拌方法を提供することができる。
【００２０】
また、本発明は、コストを低くでき、作製の手間と時間が少ない撹拌素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の撹拌素子は、液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された撹拌部において前記液体を撹拌するための撹拌素子であって、前記流路内の撹拌部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、前記進行波により振動する圧電体を有することを特徴とする。
【００２２】
従来、μＴＡＳ等の液体が流通する微小流路に用いられていた圧電素子は、液体にポンプなどのような圧力や振動を印加するためのものであるが、本発明は圧電体を流路を流れる液体に回転運動を与えて撹拌することを特徴とするものであります。
【００２３】
本発明では、流路の撹拌部の周壁の外側の少なくとも一面には、電極対と圧電体とを有する撹拌素子を設け、薄膜の圧電体上の一方の面の電極は櫛歯電極とし、該櫛歯電極に電圧を印加して進行波を発生させて圧電体を振動させ、その圧電体の振動により撹拌部の周壁にバルク振動波を形成して液体を撹拌するものである。
【００２４】
櫛歯電極は、圧電体の液体に接する面側と反対側に設けられる。また、撹拌のために渦流を作るのが好ましい。
また、本発明の撹拌方法は、液体が流入する流路と、前記液体が流出する流路の間に配置された撹拌部において前記液体を撹拌する撹拌方法であって、前記撹拌部の周壁の少なくとも一面に進行波発生用の電極対と、該電極対の間に挾んで圧電体を設け、前記電極対に電圧を印加して発生した進行波により前記圧電体を振動し液体を撹拌することを特徴とする。
【００２５】
前記進行波発生用の電極対は圧電体を挾んで配置され、一方の電極が櫛歯電極であり、前記櫛歯電極の複数の電極に順次位相をπ／２ずらした電圧を印加するか、または櫛歯電極の複数の電極に正負交互に電圧を印加することにより発生した進行波により圧電体を振動し液体を撹拌する。
【００２６】
本発明により流路が微細になっても容易に撹拌できる。またその際、チップ（素子）面積を小さくでき、コストを低くできる。また作製の手間と時間が少なくチップコストを低くできる。
【実施例１】
【００２７】
微細ポンプの第１の実施態様を示す実施例
図１は、本発明の撹拌素子の１実施例を示す概略図である。図１（ａ）は概略平面図、図１（ｂ）は概略断面図を示す。
【００２８】
１２はシリコン単結晶（Ｓｉ）、１１はＳｉＯ２、１０はシリコン単結晶である。たとえばこの場合ＳＯＩウェハーを用いてもよい。空間１４を作製するにはたとえばＫＯＨによる異方性エッチングを行う。Ｓｉ振動板１０の上にはＹＳＺ（イットリウム安定化ジルコニア）８、白金下電極７、圧電体（たとえばＰＺＴ）６、白金上電極、各層をスパッタリング等により成膜する。次に、白金上電極をフォトリソグラフィーとスパッタエッチングによりパターニングし櫛歯電極１、２を形成する。また流路３を形成するためにＳｉＯ2基板１３をフォトリソとドライエッチングにより流路等を形成し、前記ＳＯＩウェハー上に形成したセンサー部と接着する。
【００２９】
櫛歯電極２に電源４より電圧を正負交互に印加することにより圧電体中に進行波が発生する。このときリフレクター電極１により反射されるため進行は一方向に伝播する。さらにこの進行波により圧電体は楕円運動をするため、これに接した液体は一方向に力を受け流れる。このとき図１のように櫛歯電極とリフレクター電極を配置することで矢線のように液体が流れるので流路３から流れ込んだ液体はこの撹拌部分において十分に撹拌される。
【００３０】
なおリフレクター電極１がなくても、振動部の中央部以外の位置に櫛歯電極２があればよく、撹拌部１５における振動が非対称になり結果的に液体の流れが生じるので、必ずしもリフレクター電極１は必要ではない。
【００３１】
また複数の撹拌用駆動部（圧電体、櫛歯電極、リフレクター電極などよりなる）はともに同じ作製プロセスで一括して作り込むことができ低価額な素子である。
【実施例２】
【００３２】
図２は、本発明の撹拌素子の他の実施例を示す概略図である。
櫛歯電極の位置を図２のようにすることもできる。この場合も撹拌部１５において矢線のような液体の流れが生じ、２つの流路１７、１８から流れ込んだ液体は撹拌部１５で十分に撹拌される。この場合も撹拌部１５の端に櫛歯電極が設置されているので、リフレクターはなくても撹拌素子として成り立つ。
【実施例３】
【００３３】
図３は、本発明の撹拌素子の他の実施例を示す概略図である。図３（ａ）は概略平面図、図３（ｂ）は概略断面図を示す。
２８はシリコン単結晶、２７はＳｉＯ2、２６はシリコン単結晶である。たとえばこの場合ＳＯＩウェハーを用いてもよい。空間３１を作製するにはたとえばＫＯＨによる異方性エッチングを行う。Ｓｉ振動板の上にはＹＳＺ（イットリウム安定化ジルコニア）２４、白金下電極２３、圧電体（たとえばＰＺＴ）２２、白金上電極の各層をスパッタリング等により成膜する。
【００３４】
次に白金上電極をフォトリソグラフィーとスパッタエッチングによりパターニングし櫛歯電極２０を形成する。
また流路３０を形成するためにＳｉＯ2基板２９をフォトリソとドライエッチングにより流路を形成し、前記ＳＯＩウェハーに形成したセンサー部と接着する。
【００３５】
もちろん上記構成は一例であり、他の構成でもかまわない。
電極２０と電極２３の間に電圧を印加することにより、振動板２６を含めた部分が湾曲する。
【００３６】
４個の電極に位相をπ／２ずらした電圧を順次与えれば液体に回転運動を与えることができる。この結果流路３０から流れ込んだ液体を十分に撹拌することができる。
また複数の撹拌用駆動部（圧電体、電極などを含む）はともに同じ作製プロセスで一括して作り込むことができローコストな素子である。
【実施例４】
【００３７】
本発明の撹拌素子のセンサーへの応用を示す。
図４は、本発明の撹拌素子をセンサーに応用した実施例を示す概略図である。図４（ａ）は概略平面図、図４（ｂ）は概略断面図を示す。
【００３８】
４２はシリコン単結晶、４１はＳｉＯ2、４０はシリコン単結晶である。たとえばこの場合ＳＯＩウェハーを用いてもよい。空間４６を作製するにはたとえばＫＯＨによる異方性エッチングを行う。Ｓｉ振動板の上にはＹＳＺ（イットリウム安定化ジルコニア）３８、白金下電極３７、圧電体（たとえばＰＺＴ）３６、白金上電極、各層をスパッタリング等により成膜する。次に白金上電極をフォトリソグラフィーとスパッタエッチングによりパターニングし櫛歯電極３２、３３を形成する。また流路４３を形成するためにＳｉＯ2基板４４をフォトリソとドライエッチングにより流路を形成し、前記ＳＯＩウェハー上に形成したセンサー部と接着する。
【００３９】
交流電源３４から櫛歯電極３３に電圧が印加されると圧電体３６に振動が発生する。このとき振動板４０とともに振動が伝播し櫛歯電極３２部分が振動する。このとき圧電体３２の電極間に電圧が発生し検出部３５で信号が検知される。このとき受容体４５に検体が付着すると振動板の実質的な質量が変化するから検出部３５で検知される信号量が変化する。このような原理により微量な物質の検知が可能である。
【００４０】
ＤＮＡの検出なら相補的ＤＮＡを４５の受容体としてあらかじめ付着しておけばよい。蛋白質の検出なら目的とした蛋白質に作用する特定の抗体を４５の受容体としてあらかじめ付着しておけばよい。
【実施例５】
【００４１】
本発明の撹拌素子のバルブへの応用を示す。
図５は、本発明の撹拌素子をバルブに応用した実施例を示す概略図である。
５５はシリコン単結晶、５４はＳｉＯ2、５３はシリコン単結晶である。たとえばこの場合ＳＯＩウェハーを用いてもよい。空間５９を作製するにはたとえばＫＯＨによる異方性エッチングを行う。Ｓｉ振動板の上にはＹＳＺ（イットリウム安定化ジルコニア）５０、白金下電極４９、圧電体（たとえばＰＺＴ）４８、白金上電極４７、各層をスパッタリング等により成膜する。また流路５６を形成するためにＳｉＯ2基板５７をフォトリソとドライエッチングにより流路５６や突起部５８を形成し、前記ＳＯＩウェハーに形成したセンサー部と接着する。
【００４２】
もちろん上記構成は一例であり、他の構成でもかまわない。
電極４７と電極４９の間に電圧を印加することにより、振動板５３を含めた部分５３、５４が湾曲し、この湾曲部分とガラス突起部５８が密着し流路が閉じる。また電圧をオフすれば流路は再び開く。このように電圧のオンオフにより流路のオンオフが可能である。
【００４３】
この湾曲部とガラス突起部が接触する部分にはシリコン樹脂よりなるパッド５２をつけると密着性をより良好にできる。図５ではパッドは振動板側にあるが、ガラス突起部５８上につけてもよい。
【実施例６】
【００４４】
本発明の撹拌素子のポンプへの応用を示す。
図６は、本発明の撹拌素子をポンプに応用した実施例を示す概略図である。図６（ａ）は概略平面図、図６（ｂ）は概略断面図を示す。
【００４５】
６９はシリコン単結晶、６８はＳｉＯ2、６７はシリコン単結晶である。たとえばこの場合ＳＯＩウェハーを用いてもよい。空間７３を作製するにはたとえばＫＯＨによる異方性エッチングを行う。Ｓｉ振動板の上にはＹＳＺ（イットリウム安定化ジルコニア）６５、白金下電極６４、圧電体（たとえばＰＺＴ）６３、白金上電極、各層をスパッタリング等により成膜する。次に白金上電極をフォトリソグラフィーとスパッタエッチングによりパターニングし櫛歯電極６０、６１を形成する。また流路７１を形成するためにＳｉＯ2基板７０をフォトリソとドライエッチングにより流路７１や突起部７２を形成し、前記ＳＯＩウェハーに形成したセンサー部と接着する。
【００４６】
もちろん上記構成は一例であり、他の構成でもかまわない。
櫛歯電極６１に交流電圧を印加することにより圧電体６３に弾性波が発生する。櫛歯電極はメンブレン部６６の端に形成すれば弾性波は櫛歯のない方向に主に伝播する。弾性波は楕円運動をするので液体に接した部分で液体は一方向に力を受け、ポンプとして作用する。またリフレクター電極６０をもうけることにより弾性波の進行方向はより確実に一方向へ伝播させることができる。このときリフレクター電極６０は接地または一定電位を与える。
【実施例７】
【００４７】
本発明の撹拌素子のヒーターへの応用を示す。
図７は、本発明の撹拌素子をヒーターに応用した実施例を示す概略図である。
図７において上部電極に電流を流すと電極の温度は上昇する。そして熱伝導で空間８７の液体を加熱することができる。
【００４８】
上記のセンサー、ポンプ、バルブ、ヒーター、実施例１〜３の撹拌素子などは同じ材料構成であるから、同一のプロセス、同一の基板で効率よく少ない工程、低価格で作製することができる。
【００４９】
例えば上記に挙げた部品を用いて、溶媒検出チップを作製することができる。
【実施例８】
【００５０】
本発明の撹拌素子を用いた液体回路を溶媒抽出装置へ応用した例である。
図８は、本発明の撹拌素子を液体回路に応用した実施例を示す概略図である。
図８に示すような溶媒抽出装置への応用も可能である。
【００５１】
検体を入り口８８よりポンプ９１により導入する。なおポンプ記号脇についている矢線はポンプの駆動方向を示している。また試薬を入り口８９よりポンプ９４により導入する。検体と試薬はそれぞれヒーター９３、９６により加熱された後合流し、混合撹拌素子９７により十分に混合される。
【００５２】
また溶媒を入り口９０よりポンプ１００により導入する。このときバルブ９２、９５、１０１、９８は開く。検体／試薬と溶媒は１０５の部分で合流する。このとき流路が小さいので流れは層流となり両者は混じらず１０６の地点でふたたび検体と溶媒は分離される。この間に検体中の所望の物質が溶媒側に拡散する。このようにして溶媒抽出が可能となる。
【実施例９】
【００５３】
本発明の撹拌素子を用いた液体回路を溶媒抽出装置へ応用した例である。
図９は、本発明の撹拌素子を液体回路に応用した他の実施例を示す概略図である。
図９に示すような溶媒抽出装置への応用も可能である。
【００５４】
検体を入り口１０９よりポンプ１１１により導入する。また溶媒を入り口１１０よりポンプ１１４により導入する。このときバルブ１１２、１１５、１２６、１３０は開く、バルブ１１７、１１８、１２５、１２９は閉じる。検体と溶媒は１１９の部分で合流する。このとき流路が小さいので流れは層流となり両者は混じらず１２１の地点でふたたび検体と溶媒は分離される。この間に検体中の所望の物質が溶媒側に拡散する。このようにして溶媒抽出が可能となる。しかし抽出されずに残る分が必ず検体中に残る為に検体量が少ない場合には非効率的である。このためこの溶媒抽出部にループを作り検体と溶媒を循環させれば、効率的な溶媒抽出が可能となる。
【００５５】
具体的には検体が層分離部１２１に達したらポンプ１１１、１１４を停止し、続いてバルブ１１２、１１５、１２６、１３０を閉じ、バルブ１１７、１１８、１２５、１２９を開く。続いてポンプ１２３、１２８を運転する。このとき所望の検体を検出するセンサー１２４を設け、溶媒抽出が完了したかどうかをモニターしてもよい。
【００５６】
この循環機能を用いた場合、液体は層流となるから溶媒抽出部からポンプを通ってサンプルが循環しても、効果はあるものの、溶媒抽出面付近にない抽出したい物質は溶媒抽出面１２０に達するまでに時間がかかる。
【００５７】
そこで混合撹拌素子１２２を設けることによって上記問題を解決でき、より効率的な溶媒抽出が、短時間で達成できる。
十分に溶媒抽出が完了したら一旦すべてのポンプを停止し、続いてバルブ１１５、１３０を開ける。次にポンプ１３４、１３５、１２３を駆動させる。すると新たな溶媒が入り口１１０から導入され抽出が終わった溶媒が押し出され溶媒出口１３３より回収することができる。
【００５８】
このようにしてくり返し溶媒抽出ができ、小さな面積で効率的な抽出が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
本発明の撹拌素子は、液体が流入する流路において、流路が微細になっても液体を容易に撹拌でき、また素子面積が小さくても撹拌することができるので、極微量のウィルス、蛋白やＤＮＡなどを検出するための、ラボオンアチップ、マイクロタス、ヘルスケアデバイス、あるいは微小な環境汚染物質などを検出するための環境物質検出チップ、あるいはマイクロケミカルプラントなどにおいて２種類以上の液体を混合する撹拌素子として利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の撹拌素子の１実施例を示す概略図である。
【図２】本発明の撹拌素子の他の実施例を示す概略図である。
【図３】本発明の撹拌素子の他の実施例を示す概略図である。
【図４】本発明の撹拌素子をセンサーに応用した実施例を示す概略図である。
【図５】本発明の撹拌素子をバルブに応用した実施例を示す概略図である。
【図６】本発明の撹拌素子をポンプに応用した実施例を示す概略図である。
【図７】本発明の撹拌素子をヒーターに応用した実施例を示す概略図である。
【図８】本発明の撹拌素子を液体回路に応用した実施例を示す概略図である。
【図９】本発明の撹拌素子を液体回路に応用した他の実施例を示す概略図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  リフレクター電極
２  櫛歯電極
３  流路
４  電源
６  圧電体
７  電極
８  ＹＳＺ
１０  Ｓｉ
１１  ＳｉＯ2
１２  Ｓｉ
１３  ＳｉＯ2
１４  空間
１５  撹拌部
１６  櫛歯電極
１７、１８  流路
１９  合流部
２０  電極
２１  電線
２２  圧電体
２３  電極
２４  ＹＳＺ
２６  Ｓｉ
２７  ＳｉＯ2
２８  Ｓｉ
２９  ＳｉＯ2
３０  流路
３２、３３  櫛歯電極
３４  電源
３５  検出回路
３６  圧電体
３７  電極
３８  ＹＳＺ
４０  Ｓｉ
４１  ＳｉＯ2
４２  Ｓｉ
４３  流路
４４  ＳｉＯ2
４５  検体を吸着する物質
４７  電極
４８  圧電体
４９  電極
５０  ＹＳＺ
５２  パッド
５３  Ｓｉ
５４  ＳｉＯ2
５５  Ｓｉ
５６  流路
５７  ＳｉＯ2
５８  突起部
６０  リフレクター電極
６１  櫛歯電極
６２  電源
６３  圧電体
６４  電極
６５  ＹＳＺ
６６  メンブレン部
６７  Ｓｉ
６８  ＳｉＯ2
６９  Ｓｉ
７０  ＳｉＯ2
７１  流路
７４、７５、７８  配線
７６  電極（発熱部）
７７  圧電体
７９  電極
８０  ＹＳＺ
８２  Ｓｉ
８３  ＳｉＯ2
８４  Ｓｉ
８５  ＳｉＯ2
８６  流路
８８、８９、９０、１０９、１１０  液体入り口
９２、９５、９８、１０１、１１２、１１５、１１７、１１８、１２５、１２９、１２６、１３０  バルブ
９３、９６、９９、１０２、１１３、１１６  ヒーター
９７、１２２  撹拌素子
９１、９４、１００、１１１、１１４、１２３、１２８、１３４、１３５、１２７、１３１  ポンプ
１２４  検出素子
１０８、１０７、１３２、１３３  液体出口
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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