(57)【要約】【課題】より省コスト且つ小型化が可能な物理量検出器を提供する。【解決手段】弾性支持された可動極板（２１）と、可動極板と対面する位置に配置された固定極板（１１、３１）と、を備え、可動極板と固定極板とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出する加速度センサ（１）において、可動極板に搬送波電圧を印可する搬送波供給回路（２０２）と、エミッタが固定極板に接続された容量−電圧変換回路（２１１）と、容量−電圧変換回路のベースに駆動電圧を印可する駆動電源（２１２）と、を備え、駆動電源により固定極板にバイアス電圧を印可するように構成した。【選択図】  図３
2005003648.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性部によって変位自在に支持された可動極板と、
前記可動極板と対面する位置に配置された固定極板と、を備え、
前記可動極板と前記固定極板とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出する物理量検出器において、
前記可動極板に搬送波電圧を印可する搬送波供給回路と、
エミッタが前記固定極板に接続された容量−電圧変換回路と、
前記容量−電圧変換回路のトランジスタのベースに駆動電圧を印可する駆動電源と、を備え、
前記駆動電源により前記固定極板にバイアス電圧を印可するように構成したことを特徴とする物理量検出器。
【請求項２】
請求項１記載の物理量検出器において、
前記駆動電源と前記容量−電圧変換回路中のトランジスタのベースとの間に、電圧を常時印可するための電圧印加回路を配置したことを特徴とする物理量検出器。
【請求項３】
請求項１又は２記載の物理量検出器において、
前記可動極板の電位を変化させるテスト電圧を、前記可動極板に印可する検査回路を備えることを特徴とする物理量検出器。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか一項に記載の物理量検出器において、
前記可動極板と前記固定極板との電位差を調整する調整電圧を前記可動極板に印可する電位補正回路を備えることを特徴とする物理量検出器。
【請求項５】
請求項１〜３の何れか一項に記載の物理量検出器において、
出力電圧を前記搬送波電圧に加算する方式でフィードバックするように構成したことを特徴とする物理量検出器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、加速度、変位、圧力その他の物理量を静電容量差により検出する物理量検出器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、静電容量型の物理量検出器には様々なものが提供されており、例えば、図７に示すような、加速度センサが知られている（例えば、特許文献１）。
かかる加速度センサ１０００は、例えば、シリコン基盤１００１の下面に、第１のガラス基盤１００２が接合され、シリコン基盤１００１の上面に第２のガラス基盤１００３が接合されている。シリコン基盤１００１はエッチング加工により平面がロ字状に形成された支持枠１００１ａに重り部１００１ｂが梁部１００１ｃを介して片持ち支持されて連結されている。更に、重り部１００１ｂの上下両面と、対向する両ガラス基盤１００２、１００３の対向面との間には、所定の隙間を形成している。これにより、加速度を受けると梁部１００１ｃが撓み、重り部１００１ｂが変位し、前記隙間の距離が変化するようになっている。
【０００３】
そして、重り部１００１ｂの両表面に可動電極１００４が形成され、この可動電極１００４と対向するように、第１のガラス基盤１００２と第２のガラス基盤１００３の内側面にそれぞれ第１の固定電極１００５と第２の固定電極１００６が形成される。従って、重り部１００１ｂが変位して隙間の距離が変化すると、可動電極１００４と第１の固定電極１００５間に第１のキャパシタが形成され、可動電極１００４と第２の固定電極１００６間に第２のキャパシタが形成され、可動電極１００４の移動に伴って第１のキャパシタ及び第２のキャパシタの静電容量も変化する。この静電容量の変化を検出することにより、重り部１００１ｂの変位に基づく加速度を検出することができるようになる。
【０００４】
上記のような加速度センサ１０００においては、静電容量の差を検出するため、例えば、図示しない信号発生回路、Ｃ−Ｖ変換回路が設けられている。信号発生回路は、第１のキャパシタと第２のキャパシタに互いに電圧レベルの異なる搬送波信号を交互に印可する。Ｃ−Ｖ変換回路は、信号発生回路から出力される信号に基づき、第１、第２のキャパシタの第１、第２の静電容量を、加速度に対応した電圧に変換して出力する。このＣ−Ｖ変換回路の出力電圧は、増幅器、ローパスフィルタを介して出力される（例えば、特許文献２）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平９−２４３６５４号公報
【特許文献２】
特開２０００−７４９３９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記加速度センサ１０００では、増幅器を駆動するための駆動電源に加えて、振動特性や感度調整のため、増幅器の入力にバイアス電圧を印可するバイアス電源も必要としていたため、その分、コストが増加するとともに小型化が阻害されていた。
また、このような加速度センサでは、製造過程におけるバラツキに起因して測定精度の誤差が生じてしまうため、高精度が要求とされる用途には不向きであるという問題があった。
【０００７】
そこで、本発明の課題は、より低コスト、高性能化、小型化が可能な物理量検出器を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。なお、括弧の数字は、実施の形態において対応する構成の符号を示す。
請求項１記載の発明は、弾性部（２２）によって変位自在に支持された可動極板（２１）と、
前記可動極板と対面する位置に配置された固定極板（例えば、第１の固定極板１１、第２の固定極板３１）と、を備え、
前記可動極板と前記固定極板とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出する物理量検出器（例えば、加速度センサ１）において、
前記可動極板に搬送波電圧を印可する搬送波供給回路（２０２）と、
エミッタが前記固定極板に接続された容量−電圧変換回路（２１１）と、
前記容量−電圧変換回路のトランジスタのベースに駆動電圧を印可する駆動電源（２１２）と、を備え、
前記駆動電源により前記固定極板にバイアス電圧を印可するように構成したことを特徴とする。
【０００９】
請求項１記載の発明によれば、容量−電圧変換回路に駆動電圧を印可する駆動電源により固定極板にバイアス電圧が印可されるので、バイアス電圧を印可するための別個の電源を必要しないこととなって、より簡易な構造でコスト低減が図れるとともに、高性能で小型化が可能な物理量検出器を提供することができる。
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の物理量検出器において、
前記駆動電源と前記容量−電圧変換回路のトランジスタのベースとの間に、電圧を常時印可するための電圧印加回路（２０３）を配置したことを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、電圧印加回路により、駆動電源と容量−電圧変換回路のトランジスタのベースとの間に電圧が常時印可されるので、容量−電圧変換回路の感度が向上するとともに、出力電圧波形のひずみを抑制することができる。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の物理量検出器において、
前記可動極板の電位を変化させるテスト電圧を、前記可動極板に印可する自己検査回路（２０４）を備えることを特徴とする。
【００１３】
請求項３記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、自己検査回路により可動極板の電位を変化させるテスト電圧が可動電極に印可されるので、その出力電圧を調べることにより、物理量検出が正しく行われているか否かを判断することができる。
また、この入力に周波数の異なる電圧を入力することにより実際に加振機等により加振させなくても振動数特性を調べることができる。
ここで、このテスト電圧は、例えば、搬送波に加算することにより可動極板に入力する。
【００１４】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の物理量検出器において、
前記可動極板と前記固定極板との電位差を調整する調整電圧を前記可動極板に印可する電位補正回路（２０５）を備えることを特徴とする。
【００１５】
請求項４記載の発明によれば、請求項１〜３の何れか一項に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、電位補正回路により、可動極板と固定極板の電位差を調整することができるので、物理量検出器に機械的誤差があっても容易に調整することができる。
【００１６】
請求項５記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の物理量検出器において、
出力電圧を前記搬送波電圧に加算する方式でフィードバックするように構成したことを特徴とする。
【００１７】
請求項５記載の発明によれば、請求項１〜３の何れか一項に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、出力電圧が搬送波電圧に加算されてフィードバックされるので、耐ノイズ性を向上させることができることとなって、より精度の高い測定を行うことができる。
また、出力電圧をフィードバックさせることにより、振動帯域を広げることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態にかかる物理量検出器としての静電容量型加速度センサ（以下、加速度センサという。）について図１〜図６を参照しながら説明する。
【００１９】
［第１の実施の形態］
図１に示す加速度センサ１は、基盤２と、検出部１００と、制御部２００などにより構成されている。
【００２０】
基盤２には、検出部１００と、制御部２００とを電気的に接続するための配線がプリントされている。また、基盤２には、制御部２００を取り付けるためのパッドやスティック２ａなどが設けられている。
検出部１００は、図２に示す様に、中央に配置されたシリコン基盤１０２と、このシリコン基盤１０２を上下両側から挟む２つのガラス基盤１０１及びガラス基盤１０３と、をそれぞれ陽極接合する事により構成されている。シリコン基盤１０２の大部分は、シリコン製の本体部２０によって構成されており、当該本体部２０には、弾性部２２と、この弾性部２２によって厚さ方向に変位自在に支持された平面視円形の可動極板２１とがエッチングによって一体的に設けられている。
【００２１】
上側のガラス基盤１０１に於いて、可動極板２１と対面する位置には、これと数ミクロンのギャップ（隙間）を確保して、第１の固定極板１１が蒸着やスパッタリング等の方法によって成膜されている。
この第１の固定極板１１は、投影視において可動極板２１及び弾性部２２が占める領域に一致している。この第１の固定極板１１と可動極板２１とにより、第１のキャパシタが形成される。
第１の固定極板１１からは、チタンと白金の合金から成る平面Ｌ字状の第１の配線１２が、シリコン基盤１０２の島４の投影領域に向かって延設されている。
【００２２】
更に、上側のガラス基盤１０１に於いて、第１の固定極板１１の周囲には、貫通孔である穴部１３，１４、１５が所定位置に設けられている。当該各穴部１３，１４は、夫々島４，島５に向かって連通する様配置されている。
【００２３】
一方、下側のガラス基盤１０３に於いて、可動極板２１と対面する位置には、これと数ミクロンのギャップを確保して、第２の固定極板３１が蒸着やスパッタリング等の方法によって成膜されている。
この第２の固定極板３１は、投影視において可動極板２１及び弾性部２２が占める領域に一致している。この第２の固定極板３１と可動極板２１とにより、第２のキャパシタが形成される。
第２の固定極板３１からは、チタンと白金の合金から成る平面Ｌ字状の第２の配線３２が、島５の投影領域に向かって延設されている。
【００２４】
また、シリコン基盤１０２に於いて可動極板２１の周囲には、所定位置に電極取出用のシリコン製の島４、５が設けられている。当該各島４、５は、他の島及び本体部２０と接触せぬ様に隔離されて配置されており、従って他の島及び本体部２０とは電気的に絶縁されている。
これ等の内、島４は平面方向からの投影視に於いて穴部１３と重なる位置に配置されており、島５は同じく投影視に於いて穴部１４と重なる位置に配置されている。
【００２５】
ガラス基盤１０１に設けた穴部１３，１４、１５は、金属膜メッキされ、穴部１３，１４、１５の周囲には同金属膜のパッド１３ａ、１４ａ、１５ａが形成される。
パッド１３ａは、第１の固定極板１１と電気的に接続され、パッド１４ａは、第２の固定極板３１と電気的に接続され、パッド１５ａは、本体部２０を介して可動極板２１と電気的に接続される。
また、パッド１３ａ、１４ａ、１５ａは、基盤２のパッド（図示省略）に金線により電気的に接続され、これにより、検出部１００は、制御部２００等に電気的に接続される。
また、シリコン基盤１０２の所定位置にはガス吸着剤としてのゲッタＧを受け入れる収容部２３が設けて有る。
【００２６】
制御部２００は、図３に示すように、センサ駆動用アナログ回路を集積したＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  Ｓｐｅｃｉｆｉｃ  Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）などにより構成された駆動回路２０１や、可動極板２１に搬送波電圧を印可する搬送波供給回路２０２などを備え、検出部１００から検出された静電容量の値に基づいて、加速度を計算する。
具体的に、駆動回路２０１は、容量−電圧変換回路２１１と、容量−電圧変換回路２１２を駆動する駆動電源２１２と、出力インピーダンス２１３などを備えている。
容量−電圧変換回路２１１は、第１のトランジスタ２１１ａと第２のトランジスタ２１１ｂを備えている。
【００２７】
第１のトランジスタ２１１ａは、いわゆるｐｎｐ形トランジスタであり、エミッタ（Ｅ）が第１の固定極板１１と電気的に接続され、ベース（Ｂ）が駆動電源２１２に接続されている。
第２のトランジスタ２１１ｂはいわゆるｎｐｎ形トランジスタであり、エミッタ（Ｅ）が第２の固定極板３１と電気的に接続され、ベース（Ｂ）が駆動電源２１２に接続されている。
【００２８】
駆動電源２１２は、第１のトランジスタ２１１ａ及び第２のトランジスタ２１１ｂを駆動するための駆動電圧（±Ｖｃｃ）を供給する。また、駆動電源２１２は、ダイオード２１４を介して第１の固定極板１１及び第２の固定極板３１に各々接続されており、各固定極板１１、３１にバイアス電圧（±Ｖｃｃ）を印可することができるようになっている。
【００２９】
搬送波供給回路２０２は、いわゆる発振器などにより構成され、可動極板２１に所定の周波数レベルの搬送波電圧（Ｖｉｎ）を印可する。
【００３０】
次に、以上のように構成された加速度センサ１による加速度検出動作について説明する。
搬送波供給回路２０２により、メカの固有振動数より高い周波数の搬送波電圧（Ｖｉｎ）が可動極板２１に印可された状態にしている。加速度センサ１に加速度が加わると、可動極板２１が変位してキャパシタの静電容量が変化する。これに伴う電圧の変化が搬送波電圧（Ｖｉｎ）に重畳されて容量−電圧変換回路２１１に出力される。ここで、容量−電圧変換回路２１１に出力される加速度検出電圧のうち、正電圧は第１のトランジスタ２１１ａに出力され、負電圧は第２のトランジスタ２１１ｂに出力される。
【００３１】
次いで、第１のトランジスタ２１１ａ及び第２のトランジスタ２１１ｂにより、入力された加速度検出電圧は増幅され、図示しないローパスフィルタ等に出力電圧（Ｖｏｕｔ）として出力される。
【００３２】
以上説明した第１の実施の形態における加速度センサ１によれば、駆動電源２１２により、第１のトランジスタ２１１ａと第２のトランジスタ２１１ｂに駆動電圧を印可することができるとともに、第１の固定極板１１及び第２の固定極板３１にバイアス電圧を印可することができる。従って、バイアス電圧（Ｖｃｃ）を印可するための電源を別個に設ける必要がなく、コストダウンが図れるとともに、センサの更なる小型化も可能となる。
また、バイアス電圧を調整することにより、振動数特性や感度を調整することができる。
【００３３】
［第２の実施の形態］
第２の実施の形態における加速度センサ１ａは、第１の実施の形態にかかる加速度センサ１と基本構成は同一であり、制御部２００の一部が異なる。従って、第１の実施の形態と同様の部分については、同一符号を付すとともに説明を省略する。
【００３４】
図４は、第２の実施の形態におけるの制御部の要部回路構成を示す。
図４に示す第２の実施の形態にかかる加速度センサ１ａの制御部２００ａは、駆動電源２１２と容量−電圧変換回路２１１との間に電圧印加回路２０３を備えている。
電圧印加回路２０３は、駆動電源２１２と第１のトランジスタ２１１ａ及び第２のトランジスタ２１１ｂのベース（Ｂ）との間に夫々設けられたダイオード２３１と、このダイオード２３１と、第１のトランジスタ２１１ａと第２のトランジスタ２１１ｂとの間に並列して接続された抵抗２３２及びコンデンサ２３３と、を備え、抵抗２３２及びコンデンサ２３３はグランド（Ｇ）に接地されるようになっている。
そして、搬送波供給回路２０２から搬送波電圧が第１のトランジスタ２１１ａ及び第２のトランジスタ２１１ｂのエミッタより入力される際、搬送波電圧が例えば、０．５〜０．８Ｖ以上の駆動電圧となった場合に、第１のトランジスタ２１１ａ及び第２のトランジスタ２１１ｂに電流が流れるように構成されるとともに、駆動電源２１２からダイオード２３１に常に電流を流すことによって、ベースとエミッタ間に駆動電圧以上の電圧差が生じるように構成されている。
これにより、搬送波電圧がエミッタに入力されると、瞬時に第１のトランジスタ２１１ａ及び第２のトランジスタ２１１ｂに電流を流すことができるようになっている。
【００３５】
本第２の実施の形態にかかる加速度センサ１ａによれば、駆動電源２１２から常に容量−電圧変換回路２１１に駆動電圧（Ｖｃｃ）を印可することができるので、搬送波電圧がエミッタに入力されると、瞬時に第１のトランジスタ２１１ａ及び第２のトランジスタ２１１ｂに電流が流れることとなって、出力電圧（Ｖｏｕｔ）の感度の向上と波形歪みの抑制が可能となる。
【００３６】
［第３の実施の形態］
第３の実施の形態における加速度センサ１ｂは、第１、２の実施の形態にかかる加速度センサ１と基本構成は同一であり、制御部２００、２００ａの一部が異なる。従って、第１、２の実施の形態と同様の部分については、同一符号を付すとともに説明を省略する。
【００３７】
図５は、第３の実施の形態におけるの制御部の要部回路構成を示す。
図５に示す第３の実施の形態にかかる加速度センサ１ｂの制御部２００ｂは、検査回路２０４、電位補正回路２０５を備えている。
検査回路２０４は、搬送波と比較して十分低い周波数のテスト電圧（Ｖｔｅｓｔ）を可動極板２１に印可する。即ち、固有周波数以下の低周波数のテスト電圧（Ｖｔｅｓｔ）が可動極板２１に印可されると力が発生して可動極板２１が動く。この可動極板２１の移動に伴う静電容量の変化を検出することにより、当該加速度センサ１ｂの振動特性が得られるようになっている。
【００３８】
電位補正回路２０５は、可動極板２１に直流の調整バイアス電圧（Ｖｂｉａｓ）を印可して、可動極板２１を第１の固定極板１１と第２の固定極板３１の中立位置に保持させるための回路である。即ち、静止状態における出力電圧（Ｖｏｕｔ）から可動極板２１の中立位置からのずれ量を検出し、そのずれ量をキャンセルするための調整バイアス電圧（Ｖｂｉａｓ）を可動極板２１に印可する。
【００３９】
以上の如くして構成された加速度センサ１ｂによる自己検査動作、中立調整動作は次の通りである。
まず、静止した状態の加速度センサ１ｂの可動極板２１に、搬送波電圧（Ｖｉｎ）とともに所定の周波数のテスト電圧（Ｖｔｅｓｔ）を印可する。すると、可動極板２１は、テスト電圧（Ｖｔｅｓｔ）に応じて振動する。このときのキャパシタの静電容量変化が加速度検出電圧として容量−電圧変換回路２１１に出力される。そして、容量−電圧変換回路２１１は、かかる加速度検出電圧を増幅して出力する。従って、この出力電圧（Ｖｏｕｔ）により、当該加速度センサ１ｂの振動特性がモニターできるので、加速度センサ１ｂが正確な測定を行っているか否かを検査することができる。
【００４０】
また、静止した状態の加速度センサ１ｂの可動極板２１に、搬送波電圧（Ｖｉｎ）を印可する。仮に、可動極板２１が中立位置に位置している場合には、出力電圧（Ｖｏｕｔ）が＋と−で同一であり、ローパスフィルタ（図示省略）を通過した後は、「０」である。しかし、可動極板２１が中立位置に位置していない場合には、ローパスフィルタ（図示省略）を通過した後、直流成分が残る。よって、電位補正回路２０５は、この直流成分をキャンセルする調整バイアス電圧（Ｖｂｉａｓ）を可動極板２１に印可する。これにより、可動極板２１は、第１の固定極板１１と第２の固定極板３１の中立位置に位置することができる。
【００４１】
以上説明した本第３の実施の形態にかかる加速度センサ１ｂによれば、検査回路２０４により、加速度センサ１ｂの振動特性の検査が可能となる。従って、わざわざ加振器などを用いて検査する必要がないので、検査を容易に行うことができる。
また、電位補正回路２０５により、可動極板２１の中立位置の調整ができるので、センサ組立後でも機械的な誤差を容易にキャンセルできることとなって、精度のよい加速度センサを製造することができる。また、電位補正回路２０５により、静止状態で可動極板２１を中立位置に位置させることができるので、可動極板２１の第１の固定極板１１或いは第２の固定極板３１への張り付きを防止できる。
【００４２】
［第４の実施の形態］
第４の実施の形態における加速度センサ１ｃは、第１、２、３の実施の形態にかかる加速度センサ１、１ａ、１ｂと基本構成は同一であり、制御部２００、２００ａ、２００ｂの一部が異なる。従って、第１、２、３の実施の形態と同様の部分については、同一符号を付すとともに説明を省略する。
【００４３】
図６は、第４の実施の形態におけるの制御部の要部回路構成を示す。
図６に示す第４の実施の形態にかかる加速度センサ１ｃの制御部２００ｃは、出力電圧（Ｖｏｕｔ）を搬送波電圧（Ｖｉｎ）に加算してフィードバックさせるように構成されている。
このように、出力電圧（Ｖｏｕｔ）を搬送波電圧（Ｖｉｎ）に加算してフィードバックさせることにより、外乱ノイズをキャンセルさせることができ、耐ノイズ性が向上する。また、出力電圧（Ｖｏｕｔ）を負フィードバックさせることにより、振動帯域を広げることができる。
【００４４】
以上、本発明が適用された静電容量型の加速度センサについて説明したが、本発明の技術思想はこれに限られるものではない。例えば、次の事等は本発明と均等であると云うことができる。
【００４５】
例えば、検出制御部２００によって算出された加速度その他の物理量を、赤外線その他の無線にて外部出力する様に構成してもよい。この場合は、検出制御部２００を駆動する為のエネルギ及び検出結果を外部出力するのに必要なエネルギを、外部よりマイクロ波にて供給する様に構成するとよい。この様に構成すれば、リード線Ｌが不要となるのはもとより、狭い箇所や劣悪な環境の箇所等にも当該加速度センサ１を設置する事が可能となる。
【００４６】
また、加速度以外にも、圧力その他の物理量を検出する様に設計変更する事が可能である。この事は、外部からの圧力その他の物理量に起因して可動極板２１が変位する様に構成することで容易に実現できる。
可動極板２１、固定極板１１，３１等が真空中に配置されて封止される構成であってもよいし、常圧で封止される構成であってもよい。
【００４７】
また、本発明にかかる物理量検出器は、傾斜計にも適用可能である。
【００４８】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、容量−電圧変換回路に駆動電圧を印可する駆動電源により固定極板にバイアス電圧が印可されるので、バイアス電圧を印可するための別個の電源を必要としないこととなって、より簡易な構造でコスト省略が図れるとともに小型化が可能な物理量検出器を提供することができる。
【００４９】
請求項２記載の発明によれば、請求項１記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、電圧印加回路により、駆動電源と容量−電圧変換回路のベースとの間に駆動電圧が常時印可されるので、容量−電圧変換回路の感度が向上するとともに、出力電圧の波形のひずみを抑制することができる。
【００５０】
請求項３記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、自己検査回路により可動極板の電位を変化させるテスト電圧が可動電極に印可されるので、その出力電圧を調べることにより、物理量検出が正しく行われているか否かを判断することができる。
【００５１】
請求項４記載の発明によれば、請求項１〜３の何れか一項に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、電位補正回路により、可動極板と固定極板の電位差を調整することができるので、物理量検出器に機械的誤差があっても容易に調整することができる。
【００５２】
請求項５記載の発明によれば、請求項１〜３の何れか一項に記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特に、出力電圧が搬送波電圧にフィードバックされるので、耐ノイズ性を向上させることができることとなって、より精度の高い測定を行うことができる。
また、出力電圧をフィードバックさせることにより、振動帯域を広げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】加速度センサの概略構成を模式的に示す斜視図である。
【図２】加速度センサの検出部の構成を模式的に示す分解斜視概略図である。
【図３】第１の実施の形態におけるの制御部の要部回路構成図である。
【図４】第２の実施の形態におけるの制御部の要部回路構成図である。
【図５】第３の実施の形態におけるの制御部の要部回路構成図である。
【図６】第４の実施の形態におけるの制御部の要部回路構成図である。
【図７】従来技術に於ける静電容量型加速度センサを示す断面図である。
【符号の説明】
１    静電容量型加速度センサ（物理量検出器）
２    基盤
１１    第１の固定極板（固定極板）
２０    本体部
２１    可動極板（可動極板）
３１    第２の固定極板（固定極板）
１００    検出部
２００    制御部
２０１    駆動回路
２０２    搬送波供給回路
２０３    電圧印加回路
２０４    検査回路
２０５    電位補正回路
２１１    容量−電圧変換回路
２１１ａ  第１のトランジスタ
２１１ｂ  第２のトランジスタ
２１２    駆動電源
２１４    ダイオード
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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