(57)【要約】【課題】残渣の発生に起因する粒子あるいは粉流体の貼り付きや画像表示の不均一をなくすことができる画像表示装置の製造方法および画像表示装置を提供する。【解決手段】透明基板及び対向基板の間に粒子群（または粉流体）を封入し、粒子群（または粉流体）に電界を与えて粒子（または粉流体）を移動させて画像を表示する、隔壁により互いに隔離された１つ以上の画像表示素子を持つ画像表示用パネルを備える画像表示装置の製造方法であって、透明基板１及び対向基板２のうち一方の基板に隔壁を形成するにあたり、フォトレジスト法により、一方の基板上にドライフィルム１１を貼り付け、所定のパターンに露光し、現像し、洗浄した後、ドライ処理による洗浄を行う。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透明基板及び対向基板の間に粒子群を封入し、粒子群に電界を与えて粒子を移動させて画像を表示する、隔壁により互いに隔離された１つ以上の画像表示素子を持つ画像表示用パネルを備える画像表示装置の製造方法であって、前記透明基板及び対向基板のうち一方の基板に隔壁を形成するにあたり、フォトレジスト法により、前記一方の基板上にドライフィルムを貼り付け、所定のパターンに露光し、現像し、洗浄した後、ドライ処理による洗浄を行うことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項２】
粒子の平均粒子径が０．１〜５０μｍである請求項１記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項３】
同じ種類のキャリヤを用いてブローオフ法により測定した２種類の粒子の、表面電荷密度の差の絶対値が、５μＣ／ｍ２〜１５０μＣ／ｍ２である請求項１または２記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項４】
粒子が、その表面と１ｍｍの間隔をもって配置されたコロナ放電器に、８ＫＶの電圧を印加してコロナ放電を発生させて表面を帯電させた場合に、０．３秒後における表面電位の最大値が３００Ｖより大きい粒子である請求項１〜３のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項５】
粒子の色が白色及び黒色である請求項１〜４のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項６】
透明基板及び対向基板の間に粉流体を封入し、粉流体に電界を与えて粉流体を移動させて画像を表示する、隔壁により互いに隔離された１つ以上の画像表示素子を持つ画像表示用パネルを備える画像表示装置の製造方法であって、前記透明基板及び対向基板のうち一方の基板に隔壁を形成するにあたり、フォトレジスト法により、前記一方の基板上にドライフィルムを貼り付け、所定のパターンに露光し、現像し、洗浄した後、ドライ処理による洗浄を行うことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
【請求項７】
粉流体の最大浮遊時の見かけ体積が未浮遊時の２倍以上である請求項６記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項８】
粉流体の見かけ体積の時間変化が次式を満たすものである請求項６または７記載の画像表示装置の製造方法。
Ｖ１０／Ｖ５＞０．８
なお、Ｖ５は最大浮遊時から５分後の粉流体の見かけ体積（ｃｍ３）、Ｖ１０は最大浮遊時から１０分後の粉流体の見かけ体積（ｃｍ３）を示す。
【請求項９】
粉流体を構成する粒子の平均粒子径ｄ（０．５）が０．１〜２０μｍである請求項６〜８のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記ドライ処理による洗浄を、低圧水銀ランプを用いたＵＶオゾン処理、エキシマランプを用いたＵＶオゾン処理、低圧プラズマ処理、大気圧プラズマ処理、コロナ処理、のいずれかの処理による洗浄方法で行う請求項１〜９のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法により製造したことを特徴とする画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、静電力を利用した粒子群の移動あるいは粉流体の移動に伴い画像を繰り返し画像表示、消去できる画像表示板を備える画像表示装置の製造方法に関し、特に、隔壁の製造方法を改良して、画像表示の均一性を向上できる画像表示装置の製造方法及びそれにより製造した画像表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
液晶（ＬＣＤ）に代わる画像表示装置として、電気泳動方式、エレクトロクロミック方式、サーマル方式、２色粒子回転方式などの技術を用いた画像表示装置（ディスプレイ）が提案されている。これらの画像表示装置は、ＬＣＤに比べて、通常の印刷物に近い広い視野角が得られる、消費電力が小さい、メモリー機能を有している等のメリットから、次世代の安価な表示装置として考えられ、携帯端末用表示、電子ペーパー等への展開が期待されている。
【０００３】
最近、分散粒子と着色溶液からなる分散液をマイクロカプセル化し、これを対向する基板間に配置する電気泳動方式が提案されている。しかしながら、電気泳動方式では、液中に粒子が泳動するために液の粘性抵抗により応答速度が遅いという問題がある。また、低比重の溶液中に酸化チタンなどの高比重の粒子を分散させているために、沈降しやすく、分散状態の安定性維持が難しく、画像繰り返し安定性に欠けるという問題を抱えている。マイクロカプセル化にしても、セルサイズをマイクロカプセルレベルにし、見かけ上、このような欠点が現れ難くしているだけで、本質的な問題は何ら解決されていない。
【０００４】
以上のような溶液中での挙動を利用した電気泳動方式に対し、溶液を使わず、導電性粒子と電荷輸送層を基板の一部に組み入れた方式も提案されている（例えば、非特許文献１参照）。この方式は、電荷輸送層、更には電荷発生層を配置するための構造が複雑になると共に、導電性粒子から電荷を一定に逃がすことが難しく安定性に欠けるという問題もある。
【０００５】
【非特許文献１】
趙  国来、外３名、“新しいトナーディスプレイデバイス（Ｉ）”、１９９９年７月２１日、日本画像学会年次大会（通算８３回）“Ｊａｐａｎ  Ｈａｒｄｃｏｐｙ’９９”、ｐ．２４９−２５２
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
以上の問題を解消するために、透明基板および対向基板の間に、色及び帯電特性の異なる２種類の粒子群あるいは粉流体を封入し、電位の異なる２種類の電極から粒子群あるいは粉流体に電界を与えて、粒子あるいは粉流体を移動させ画像を表示する、隔壁により互いに隔離された１つ以上の画像表示素子を持つ画像表示板を備える画像表示装置が知られている。この画像表示装置では、いずれか一方の基板上（あるいは電極付き基板上）、例えば透明基板としてのＩＴＯガラス上に、ドライフィルムレジストを貼り付けてラミネートし、ｉ線の平行光でマスクを通してパターン露光し、これを０．１％炭酸ナトリウム水溶液で現像し、その後純水で洗浄、乾燥して、隔壁を形成している。ここで、ｉ線とは、従来から知られているように、露光装置の光源として用いられている３６５ｎｍの波長を有する紫外線のことをいう。
【０００７】
しかしながら、上述したように隔壁を形成した場合には、洗浄した際にレジスト膜を完全に除去することが出来ず、ＩＴＯガラスの表面上に残渣が残ることがあった。特に、本発明の対象となる画像表示装置のように、隔壁が格子状に形成されており隔壁により画像表示素子を形成する場合に、特に残渣が顕著に残っていた。残渣が残ると粒子群や粉流体が貼り付き動かなくなる問題が発生していた。また、画像表示装置の画像表示用パネルの面内において、残渣の残り方に分布があると、画像表示が不均一になる問題があった。
【０００８】
本発明の目的は上述した課題を解消して、残渣の発生に起因する粒子あるいは粉流体の貼り付きや画像表示の不均一をなくすことができる画像表示装置の製造方法および画像表示装置を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の画像表示装置の製造方法の第１発明は、透明基板及び対向基板の間に粒子群を封入し、粒子群に電界を与えて粒子を移動させて画像を表示する、隔壁により互いに隔離された１つ以上の画像表示素子を持つ画像表示用パネルを備える画像表示装置の製造方法であって、前記透明基板及び対向基板のうち一方の基板に隔壁を形成するにあたり、フォトレジスト法により、前記一方の基板上にドライフィルムを貼り付け、所定のパターンに露光し、現像し、洗浄した後、ドライ処理による洗浄を行うことを特徴とするものである。
【００１０】
また、本発明の画像表示装置の製造方法第２発明は、透明基板及び対向基板の間に粉流体を封入し、粉流体に電界を与えて粉流体を移動させて画像を表示する、隔壁により互いに隔離された１つ以上の画像表示素子を持つ画像表示用パネルを備える画像表示装置の製造方法であって、前記透明基板及び対向基板のうち一方の基板に隔壁を形成するにあたり、フォトレジスト法により、前記一方の基板上にドライフィルムを貼り付け、所定のパターンに露光し、現像し、洗浄した後、ドライ処理による洗浄を行うことを特徴とするものである。
【００１１】
粒子群を利用する第１発明及び粉流体を使用する第２発明とも、フォトレジスト法により、前記一方の基板上にドライフィルムを貼り付け、所定のパターンに露光し、現像し、洗浄した後、ドライ処理による洗浄を行うことで、基板表面上の洗浄残渣を完全に除去でき、粒子あるいは粉流体の貼り付きを改善できるとともに、洗浄残渣のむらをなくすことができ、画像表示の不均一をなくすことができる。
【００１２】
本発明の第１発明の好適例として、粒子の平均粒子径が０．１〜５０μｍであること、同じ種類のキャリヤを用いてブローオフ法により測定した２種類の粒子の、表面電荷密度の差の絶対値が、５μＣ／ｍ２〜１５０μＣ／ｍ２であること、粒子が、その表面と１ｍｍの間隔をもって配置されたコロナ放電器に、８ＫＶの電圧を印加してコロナ放電を発生させて表面を帯電させた場合に、０．３秒後における表面電位の最大値が３００Ｖより大きい粒子であること、および、粒子の色が白色及び黒色であること、がある。いずれの場合も本発明の画像表示装置の製造方法をより好適に実施することができる。
【００１３】
また、本発明の第２発明の好適例として、粉流体の最大浮遊時の見かけ体積が未浮遊時の２倍以上であること、粉流体の見かけ体積の時間変化が次式を満たすものであること、Ｖ１０／Ｖ５＞０．８、（なお、Ｖ５は最大浮遊時から５分後の粉流体の見かけ体積（ｃｍ３）、Ｖ１０は最大浮遊時から１０分後の粉流体の見かけ体積（ｃｍ３）を示す。）、および、粉流体の平均粒径ｄ（０．５）が０．１〜２０μｍであること、がある。いずれの場合も本発明の画像表示装置の製造方法をより好適に実施することができる。
【００１４】
さらに、本発明の第１発明及び第２発明に共通する好適例として、ドライ処理による洗浄を、低圧水銀ランプを用いたＵＶオゾン処理、エキシマランプを用いたＵＶオゾン処理、低圧プラズマ処理、大気圧プラズマ処理、コロナ処理、のいずれかの処理による洗浄方法で行うことがある。この場合も本発明の画像表示装置の製造方法をより好適に実施することができる。
【００１５】
さらにまた、本発明の画像表示装置は、上述した画像表示装置の製造方法に従って製造することが特徴となる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の画像表示装置を構成する画像表示板の画像表示素子における一例の構成とその表示駆動原理を示す図である。図１（ａ）〜（ｃ）に示す例において、１は透明基板、２は対向基板、３は表示電極、４は対向電極、５は負帯電性粒子（または粉流体）、６は正帯電性粒子（または粉流体）、７は隔壁である。
【００１７】
図１（ａ）に示す例では、対向する基板（透明基板１と対向基板２）の間に、負帯電性粒子５及び正帯電性粒子６（または気体中に固体状物質が分散質として安定に浮遊するエアロゾル状態で高流動性を示す負帯電性粉流体５及び正帯電性粉流体６）を配置した状態を示す。この状態のものに、表示電極３側が低電位、対向電極４側が高電位となるように電圧を印加すると、図１（ｂ）に示すように、クーロン力によって、正帯電性粒子（または粉流体）６は表示電極３側に移動し、負帯電性粒子（または粉流体）５は対向電極４側に移動する。この場合、透明基板１側から見る表示面は正帯電性粒子（または粉流体）６の色に見える。次に、電位を切り換えて、表示電極３側が高電位、対向電極４側が低電位となるように電圧を印加すると、図１（ｃ）に示すように、クーロン力によって、負帯電性粒子（または粉流体）５は表示電極３側に移動し、正帯電性粒子（または粉流体）６は対向電極４側に移動する。この場合、透明基板１側から見る表示面は負帯電性粒子（または粉流体）６の色に見える。
【００１８】
図１（ｂ）と図１（ｃ）の間は電源の電位を反転するだけで繰り返し表示することができ、このように電源の電位を反転することで可逆的に色を変化させることができる。粒子群または粉流体の色は、随意に選定できる。例えば、負帯電粒子（または粉流体）５を白色とし、正帯電粒子（または粉流体）６を黒色とするか、負帯電粒子（または粉流体）５を黒色とし、正帯電粒子（または粉流体）６を白色とすると、表示は白色と黒色間の可逆表示となる。この方式では、各粒子群または粉流体は一度電極に鏡像力により貼り付いた状態にあるので、電源を切った後も表示画像は長期に保持され、メモリー保持性が良い。
【００１９】
本発明では、各帯電粒子（または粉流体）は気体中を移動するため、画像表示の応答速度が速く、応答速度を１ｍｓｅｃ以下にすることができる。また、液晶表示素子のように配向膜や偏光板等が不要で、構造が単純で、低コストかつ大面積が可能である。温度変化に対しても安定で、低温から高温まで使用可能である。さらに、視野角がなく、高反射率、反射型で明るいところでも見易く、低消費電力である。メモリー性もあり、画像保持する場合に電力を消費しない。
【００２０】
本発明の画像表示装置の製造方法における特徴は、上述した構成の画像表示装置の隔壁を形成するにあたり、従来と同様に、フォトレジスト法により、透明基板及び対向基板のうち一方の基板上にドライフィルムを貼り付け、所定のパターンに露光し、現像し、洗浄する各工程に加えて、フォトレジストの洗浄工程の後に、ドライ処理による洗浄を行うことによって残渣を除去する点にある。その結果、粒子あるいは粉流体貼り付き現象の改善、及び、画像表示の均一性を達成することができる。
【００２１】
図２（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ本発明の画像表示装置の製造方法の一例を説明するための図である。以下、図２（ａ）〜（ｄ）に従って、本発明の画像表示装置の製造方法におけるが隔壁７の形成方法を説明する。まず、図２（ａ）に示すように、透明基板１および対向基板２のうち一方の基板、ここではガラスからなる透明基板１上にドライフィルムレジスト１１を貼り付けてラミネートする。ここで、透明基板１上には、必要に応じて予めＩＴＯ電極を設けておくこともできる。次に、図２（ｂ）に示すように、フォトマスク１２を用いて、ドライフィルムレジスト１１の隔壁７に相当する部位１３のみにｉ線の平行光を用いてパターン露光を行い、隔壁７に相当する部位１３を硬化させる。次に、図２（ｃ）に示すように、例えば０．１％炭酸ナトリウム水溶液で現像して、ドライフィルムレジスト１１の硬化した部位１３以外の非硬化部分を取り除く。その後、純水で洗浄し、乾燥させる。
【００２２】
次に、図２（ｄ）に示すように、ドライフィルムレジスト１１の洗浄工程の後に、ドライ処理による洗浄を行い、所定の隔壁７を形成する。なお、ここでいうドライ処理による洗浄とは、低圧水銀ランプを用いたＵＶオゾン処理、エキシマランプを用いたＵＶオゾン処理、低圧プラズマ処理、大気圧プラズマ処理、コロナ処理、のいずれかの処理による洗浄方法をいう。その後、形成した隔壁７で画成された画像表示素子の空間へ、粒子群または粉流体を充填し、対向基板２を隔壁７の先端に貼り合わせて、画像表示用パネルを得ている。
【００２３】
上述した本発明の画像表示装置の製造方法によれば、ウェット洗浄プロセスでは洗浄残渣の完全除去が不可能なため、ドライ処理による洗浄プロセスを適用した結果、基板の表面上の洗浄残渣を完全に除去でき、粒子群や粉流体の貼り付きを改善することができるとともに、洗浄残渣のむらもなくすことができ、画像表示の均一性を達成することができる。
【００２４】
以下、本発明の画像表示装置の各構成部分について、粒子群（第１発明）、粉流体（第２発明）、第１発明と第２発明に共通の構成部分の順に、詳細に説明する。
【００２５】
まず、第１発明に係る粒子群について説明する。
本発明の画像表示装置の第１発明で表示のための粒子は、負又は正帯電性の着色粒子で、クーロン力により移動するものであればいずれでも良いが、特に、球形で比重の小さい粒子が好適である。粒子には単一の色のものであり、白色又は黒色の粒子が好適に用いられる。粒子の平均粒子径は０．１〜５０μｍが好ましく、特に１〜３０μｍが好ましい。粒子径がこの範囲より小さいと粒子の電荷密度が大きすぎて電極や基板への鏡像力が強すぎ、メモリー性はよいが、電界を反転した場合の追随性が悪くなる。反対に粒子径がこの範囲より大きいと、追随性は良いが、メモリー性が悪くなる。
【００２６】
粒子を負又は正に帯電させる方法は、特に限定されないが、コロナ放電法、電極注入法、摩擦法等の粒子を帯電する方法が用いられる。粒子の帯電量は当然その測定条件に依存するが、画像表示装置における粒子の帯電量はほぼ、初期帯電量、基板との接触、種類の異なる粒子との接触、経過時間に伴う電荷減衰に依存し、特に「種類の異なる粒子との接触」、すなわち２粒子間の接触に伴う帯電挙動の飽和値が支配因子となっているということが分かっている。したがって、帯電量においてはこの２粒子間の帯電特性の差、すなわち仕事関数の差を知ることが重要であるが、これは簡易測定では難しい。
【００２７】
本発明者らは鋭意検討の結果、ブローオフ法において同じキャリヤを用いて、それぞれの粒子の帯電量測定を行うことにより相対的に評価できることを見出し、これを表面電荷密度によって規定することにより、画像表示装置として適当な粒子の帯電量を予測できることを見出した。
【００２８】
測定方法は詳しくは後に述べるが、ブローオフ法によって、粒子とキャリヤ粒子とを十分に接触させ、その飽和帯電量を測定することにより該粒子の単位重量あたりの帯電量を測定することができる。そして、該粒子の粒子径と比重を別途求めることにより該粒子の表面電荷密度を算出することができる。
【００２９】
画像表示装置においては、用いる粒子の粒子径は小さく、重力の影響はほぼ無視できるほど小さいため、粒子の比重は粒子の動きに対して影響しない。しかし、粒子の帯電量においては、同じ粒子径の粒子で単位重量あたりの平均帯電量が同じであっても、粒子の比重が２倍異なる場合に保持する帯電量は２倍異なることとなる。従って、画像表示装置に用いられる粒子の帯電特性は粒子の比重に無関係な表面電荷密度（単位：μＣ／ｍ２）で評価するのが好ましいことが分かった。
【００３０】
そして、粒子間においてこの表面電荷密度の差が十分にある時、２種類の粒子はお互いの接触により異なる極性の帯電量を保持し、電界により移動する機能を保持するのである。
【００３１】
ここで、表面電荷密度は２粒子の帯電極性を異なるものにするためにある程度の差が必要であるが、大きいほどよいというものではない。粒子移動による画像表示装置においては粒子の粒子径が大きいときは主に電気影像力が粒子の飛翔電界（電圧）を決定する因子となる傾向が強いため、この粒子を低い電界（電圧）で動かすためには帯電量が低いほうがよいこととなる。また、粒子の粒子径が小さいときは分子間力・液架橋力等の非電気的な力が飛翔電界（電圧）決定因子となることが多いため、この粒子を低い電界（電圧）で動かすためには帯電量が高いほうがよいこととなる。しかし、これは粒子の表面性（材料・形状）にも大きく依存するため一概に粒子径と帯電量で規定することはできない。
【００３２】
本発明者らは平均粒子径が０．１〜５０μｍの粒子においては、同じ種類のキャリヤを用いてブローオフ法により測定した２種類の粒子の、表面電荷密度の差の絶対値が５〜１５０μＣ／ｍ２である場合に画像表示装置として使用できる粒子と成り得ることを見出した。
【００３３】
ブローオフ測定原理及び方法は以下の通りである。ブローオフ法においては、両端に網を張った円筒容器中に粉体とキャリヤの混合体を入れ、一端から高圧ガスを吹き込んで粉体とキャリヤとを分離し、網の目開きから粉体のみをブローオフ（吹き飛ばし）する。この時、粉体が容器外に持ち去った帯電量と等量で逆の帯電量がキャリヤに残る。そして、この電荷による電束の全てはファラデーケージで集められ、この分だけコンデンサーは充電される。そこでコンデンサー両端の電位を測定することにより粉体の電荷量Ｑは、Ｑ＝ＣＶ（Ｃ：コンデンサー容量、Ｖ：コンデンサー両端の電圧）として求められる。
【００３４】
ブローオフ粉体帯電量測定装置としては東芝ケミカル社製のＴＢ−２００を用いた。本発明ではキャリヤとして正帯電性・負帯電性の２種類のものを用い、それぞれの場合の単位表面積あたり電荷密度（単位：μＣ／ｍ２）を測定した。すなわち、正帯電性キャリヤ（相手を正に帯電させ自らは負になりやすいキャリヤ）としてはパウダーテック社製のＦ９６３−２５３５を、負帯電性キャリヤ（相手を負に帯電させ自らは正に帯電しやすいキャリヤ）としてはパウダーテック社製のＦ９２１−２５３５を用いた。
【００３５】
粒子はその帯電電荷を保持する必要があるので、体積固有抵抗が１×１０１０Ω・ｃｍ以上の絶縁性粒子が好ましく、特に１×１０１２Ω・ｃｍ以上の絶縁性粒子が好ましい。
【００３６】
また、本発明の画像表示装置における粒子は、以下に述べる方法で評価した電荷減衰性の遅い粒子が更に好ましい。即ち、粒子を、別途、プレス、加熱溶融、キャストなどにより、厚み５〜１００μｍ範囲のフィルム状にして、そのフィルム表面と１ｍｍの間隔をもって配置されたコロナ放電器に、８ＫＶの電圧を印加してコロナ放電を発生させて表面を帯電させ、その表面電位の変化を測定し判定する。この場合、０．３秒後における表面電位の最大値が３００Ｖより大きく、好ましくは４００Ｖより大きくなるように、粒子構成材料を選択、作製することが望ましい。
【００３７】
なお、上記表面電位の測定は、例えば図３に示した装置（ＱＥＡ社製ＣＲＴ２０００）により行なうことが出来る。この装置の場合は、前述したフィルムを表面に配置したロールシャフト両端部をチャック２１にて保持し、小型のスコロトロン放電器２２と表面電位計２３とを所定間隔離して併設した計測ユニットを上記フィルムの表面と１ｍｍの間隔を持って対向配置し、上記のロールシャフトを静止した状態のまま、上記計測ユニットを該ロールシャフトの一端から他端まで一定速度で移動させることにより、表面電荷を与えつつその表面電位を測定する方法が好適に採用される。なお、測定環境は温度２５±３℃、湿度５５±５ＲＨ％とする。
【００３８】
本発明の画像表示装置における粒子は帯電性能等の特性が満たされれば、いずれの材料から構成されても良い。例えば樹脂、荷電制御剤、着色剤、無機添加剤等から、或いは着色剤単独等で形成することができる。
樹脂の例としては、ウレタン樹脂、ウレア樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、アクリルウレタン樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、アクリルフッ素樹脂、シリコーン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリスチレン樹脂、スチレンアクリル樹脂、ポリオレフイン樹脂、ブチラール樹脂、塩化ビニリデン樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂などが挙げられ、特に基板との付着力を制御する上から、アクリルウレタン樹脂、アクリルシリコーン樹脂、アクリルフッ素樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、フッ素樹脂、シリコーン樹脂が好適である。２種以上混合することもできる。
【００３９】
荷電制御剤としては、特に制限はないが、負荷電制御剤としては例えば、サリチル酸金属錯体、含金属アゾ染料、含金属（金属イオンや金属原子を含む）の油溶性染料、４級アンモニウム塩系化合物、カリックスアレン化合物、含ホウ素化合物（ベンジル酸ホウ素錯体）、ニトロイミダゾール誘導体等が挙げられる。正荷電制御剤としては例えば、ニグロシン染料、トリフエニルメタン系化合物、４級アンモニウム塩系化合物、ポリアミン樹脂、イミダゾール誘導体等が挙げられる。その他、超微粒子シリカ、超微粒子酸化チタン、超微粒子アルミナ等の金属酸化物、ピリジン等の含窒素環状化合物及びその誘導体や塩、各種有機顔料、弗素、塩素、窒素等を含んだ樹脂等も荷電制御剤として用いることもできる。
【００４０】
着色剤としては、以下に例示すような、有機又は無機の各種、各色の顔料、染料が使用可能である。
黒色顔料としては、カーボンブラック、酸化銅、二酸化マンガン、アニリンブラック、活性炭などがある。
黄色顔料としては、黄鉛、亜鉛黄、カドミウムイエロー、黄色酸化鉄、ミネラルファストイエロー、ニッケルチタンイエロー、ネーブルイエロー、ナフトールイエローＳ、ハンザイエローＧ、ハンザイエロー１０Ｇ、ベンジジンイエローＧ、ベンジジンイエローＧＲ、キノリンイエローレーキ、パーマネントイエローＮＣＧ、タートラジンレーキなどがある。
橙色顔料としては、赤色黄鉛、モリブデンオレンジ、パーマネントオレンジＧＴＲ、ピラゾロンオレンジ、バルカンオレンジ、インダスレンブリリアントオレンジＲＫ、ベンジジンオレンジＧ、インダスレンブリリアントオレンジＧＫなどがある。
【００４１】
赤色顔料としては、ベンガラ、カドミウムレッド、鉛丹、硫化水銀、カドミウム、パーマネントレッド４Ｒ、リソールレッド、ピラゾロンレッド、ウォッチングレツド、カルシウム塩、レーキレッドＤ、ブリリアントカーミン６Ｂ、エオシンレーキ、ローダミンレーキＢ、アリザリンレーキ、ブリリアントカーミン３Ｂなどがある。
紫色顔料としては、マンガン紫、ファストバイオレットＢ、メチルバイオレットレーキなどがある。
青色顔料としては、紺青、コバルトブルー、アルカリブルーレーキ、ビクトリアブルーレーキ、フタロシアニンブルー、無金属フタロシアニンブルー、フタロシアニンブルー部分塩素化物、ファーストスカイブルー、インダスレンブルーＢＣなどがある。
緑色顔料としては、クロムグリーン、酸化クロム、ピグメントグリーンＢ、マラカイトグリーンレーキ、ファイナルイエローグリーンＧなどがある。
また、白色顔料としては、亜鉛華、酸化チタン、アンチモン白、硫化亜鉛などがある。
【００４２】
体質顔料としては、バライト粉、炭酸バリウム、クレー、シリカ、ホワイトカーボン、タルク、アルミナホワイトなどがある。
更に、塩基性、酸性、分散、直接染料などの各種染料として、ニグロシン、メチレンブルー、ローズベンガル、キノリンイエロー、ウルトラマリンブルーなどがある。
これらの着色剤は、単独で或いは複数組合せて用いることができる。
特に黒色着色剤としてカーボンブラックが、白色着色剤として酸化チタンが好ましい。
粒子の製造例については特に限定されないが、例えば、電子写真のトナーを製造する場合に準じた粉砕法および重合法が使用出来る。また無機または有機顔料の粉体の表面に樹脂や荷電制御剤等をコートする方法も用いられる。
【００４３】
本発明の画像表示装置における透明基板１と対向基板２の間隔は、粒子が移動でき、コントラストを維持できれば良いが、通常１０〜５０００μｍ、好ましくは３０〜５００μｍに調整される。
粒子充填量（体積占有率）は、基板間の空間体積に対して、１０〜８０％、好ましくは１０〜７０％を占める体積になるように充填するのが良い。
【００４４】
また、ここで繰り返し耐久性を更に向上させるためには、該粒子を構成する樹脂の安定性、特に、吸水率と溶剤不溶率を管理することが効果的である。
基板間に封入する粒子を構成する樹脂の吸水率は、３重量％以下、特に２重量％以下とすることが好ましい。なお、吸水率の測定は、ＡＳＴＭ  Ｄ５７０に準じて行い、測定条件は２３℃で２４時間とする。
該粒子を構成する樹脂の溶剤不溶率に関しては、下記関係式で表される粒子の溶剤不溶率を５０％以上、特に７０％以上とすることが好ましい。
溶剤不溶率（％）＝（Ｂ／Ａ）×１００
（但し、Ａは樹脂の溶剤浸漬前重量、Ｂは良溶媒中に樹脂を２５℃で２４時間浸漬した後の重量を示す）
この溶剤不溶率が５０％未満では、長期保存時に粒子表面にブリードが発生し、粒子との付着力に影響を及ぼし粒子の移動の妨げとなり、画像表示耐久性に支障をきたす場合がある。
なお、溶剤不溶率を測定する際に用いる溶剤（良溶媒）としては、フッ素樹脂ではメチルエチルケトン等、ポリアミド樹脂ではメタノール等、アクリルウレタン樹脂ではメチルエチルケトン、トルエン等、メラミン樹脂ではアセトン、イソプロパノール等、シリコーン樹脂ではトルエン等が好ましい。
【００４５】
また、粒子は球形で、粒子径が均一で揃っていることが好ましい。
本発明では、各粒子の粒子径分布に関して、下記式に示される粒子径分布Ｓｐａｎを５未満、好ましくは３未満とする。
Ｓｐａｎ＝（ｄ（０．９）−ｄ（０．１））／ｄ（０．５）
（但し、ｄ（０．５）は粒子の５０％がこれより大きく、５０％がこれより小さいという粒子径をμｍで表した数値、ｄ（０．１）はこれ以下の粒子の比率が１０％である粒子径をμｍで表した数値、ｄ（０．９）はこれ以下の粒子が９０％である粒子径をμｍで表した数値である。）
Ｓｐａｎを５以下の範囲に納めることにより、各粒子のサイズが揃い、均一な粒子移動が可能となる。
【００４６】
さらにまた、各粒子の相関について、使用した粒子の内、最大径を有する粒子のｄ（０．５）に対する最小径を有する粒子のｄ（０．５）の比を５０以下、好ましくは１０以下とすることが肝要である。
たとえ粒子径分布Ｓｐａｎを小さくしたとしても、互いに帯電極性の異なる粒子が互いに接近して動くので、互いの粒子サイズが近く、互いの粒子が容易に移動できるようにするのが好適であり、それがこの範囲となる。
【００４７】
なお、上記の粒子径分布および粒子径は、レーザー回折／散乱法などから求めることができる。測定対象となる粒子にレーザー光を照射すると空間的に回折／散乱光の光強度分布パターンが生じ、この光強度パターンは粒子径と対応関係があることから、粒子径および粒子径分布が測定できる。
本発明における粒子径および粒子径分布は、体積基準分布から得られたものである。具体的には、Ｍａｓｔｅｒｓｉｚｅｒ２０００（Ｍａｌｖｅｒｎ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ  Ｌｔｄ．）測定機を用いて、窒素気流中に粒子を投入し、付属の解析ソフト（Ｍｉｅ理論を用いた体積基準分布を基本としたソフト）にて、粒子径および粒子径分布の測定を行なうことができる。
【００４８】
次に、本発明の第２発明で用いる粉流体について説明する。
本発明の第２発明における「粉流体」は、気体の力も液体の力も借りずに、自ら流動性を示す、流体と粒子の特性を兼ね備えた両者の中間状態の物質である。例えば、液晶は液体と固体の中間的な相と定義され、液体の特徴である流動性と固体の特徴である異方性（光学的性質）を有するものである（平凡社：大百科事典）。一方、粒子の定義は、無視できるほどの大きさであっても有限の質量をもった物体であり、重力の影響を受けるとされている（丸善：物理学事典）。ここで、粒子でも、気固流動層体、液固流動体という特殊状態があり、粒子に底板から気体を流すと、粒子には気体の速度に対応して上向きの力が作用し、この力が重力とつりあう際に、流体のように容易に流動できる状態になるものを気固流動層体と呼び、同じく、流体により流動化させた状態を液固流動体と呼ぶとされている（平凡社：大百科事典）。このように気固流動層体や液固流動体は、気体や液体の流れを利用した状態である。本発明では、このような気体の力も、液体の力も借りずに、自ら流動性を示す状態の物質を、特異的に作り出せることが判明し、これを粉流体と定義した。
【００４９】
すなわち、本発明における粉流体は、液晶（液体と固体の中間相）の定義と同様に、粒子と液体の両特性を兼ね備えた中間的な状態で、先に述べた粒子の特徴である重力の影響を極めて受け難く、高流動性を示す特異な状態を示す物質である。このような物質はエアロゾル状態、すなわち気体中に固体状もしくは液体状の物質が分散質として安定に浮遊する分散系で得ることができ、本発明の画像表示用パネルで固体状物質を分散質とするものである。
【００５０】
本発明の対象となる画像表示用パネルは、少なくとも一方が透明な、対向するシート間に、気体中に固体粒子が分散質として安定に浮遊するエアロゾル状態で高流動性を示す粉流体を封入するものであり、このような粉流体は、低電圧の印加でクーロン力などにより容易に安定して移動させることができる。
【００５１】
粉流体とは、先に述べたように、気体の力も液体の力も借りずに、自ら流動性を示す、流体と粒子の特性を兼ね備えた両者の中間状態の物質である。この粉流体は、特にエアロゾル状態とすることができ、本発明の画像表示用パネルでは、気体中に固体状の物質が分散質として比較的安定に浮遊する状態で用いられる。
【００５２】
エアロゾル状態の範囲は、粉流体の最大浮遊時の見かけ体積が未浮遊時の２倍以上であることが好ましく、更に好ましくは２．５倍以上、特に好ましくは３倍以上である。上限は特に限定されないが、１２倍以下であることが好ましい。
粉流体の最大浮遊時の見かけ体積が未浮遊時の２倍より小さいと表示上の制御が難しくなり、また、１２倍より大きいと粉流体を装置内に封入する際に舞い過ぎてしまうなどの取扱い上の不便さが生じる。なお、最大浮遊時の見かけ体積は次のようにして測定される。すなわち、粉流体が透過して見える密閉容器に粉流体を入れ、容器自体を振動或いは落下させて、最大浮遊状態を作り、その時の見かけ体積を容器外側から測定する。具体的には、直径（内径）６ｃｍ、高さ１０ｃｍのポリプロピレン製の蓋付き容器（商品名アイボーイ：アズワン（株）製）に、未浮遊時の粉流体として１／５の体積相当の粉流体を入れ、振とう機に容器をセットし、６ｃｍの距離を３往復／ｓｅｃで３時間振とうさせる。振とう停止直後の見かけ体積を最大浮遊時の見かけ体積とする。
【００５３】
また、本発明の画像表示用パネルでは、粉流体の見かけ体積の時間変化が次式を満たすものが好ましい。
Ｖ１０／Ｖ５＞０．８
ここで、Ｖ５は最大浮遊時から５分後の見かけ体積（ｃｍ３）、Ｖ１０は最大浮遊時から１０分後の見かけ体積（ｃｍ３）を示す。なお、本発明の画像表示用パネルは、粉流体の見かけ体積の時間変化Ｖ１０／Ｖ５が０．８５よりも大きいものが好ましく、０．９よりも大きいものが特に好ましい。Ｖ１０／Ｖ５が０．８以下の場合は、通常のいわゆる粒子を用いた場合と同様となり、本発明のような高速応答、耐久性の効果が確保できなくなる。
【００５４】
また、粉流体を構成する粒子物質の平均粒子径（ｄ（０．５））は、好ましくは０．１〜２０μｍ、更に好ましくは０．５〜１５μｍ、特に好ましくは０．９〜８μｍである。０．１μｍより小さいと表示上の制御が難しくなり、２０μｍより大きいと、表示はできるものの隠蔽率が下がり装置の薄型化が困難となる。なお、粉流体を構成する粒子物質の平均粒子径（ｄ（０．５））は、次の粒子径分布Ｓｐａｎにおけるｄ（０．５）と同様である。
【００５５】
粉流体を構成する粒子物質は、下記式に示される粒子径分布Ｓｐａｎが５未満であることが好ましく、更に好ましくは３未満である。
粒子径分布Ｓｐａｎ＝（ｄ（０．９）−ｄ（０．１））／ｄ（０．５）
ここで、ｄ（０．５）は粉流体を構成する粒子物質の５０％がこれより大きく、５０％がこれより小さいという粒子径をμｍで表した数値、ｄ（０．１）はこれ以下の粉流体を構成する粒子物質の比率が１０％である粒子径をμｍで表した数値、ｄ（０．９）はこれ以下の粉流体を構成する粒子物質が９０％である粒子径をμｍで表した数値である。粉流体を構成する粒子物質の粒子径分布Ｓｐａｎを５以下とすることにより、サイズが揃い、均一な粉流体移動が可能となる。
【００５６】
なお、以上の粒子径分布および粒子径は、レーザー回折／散乱法などから求めることができる。測定対象となる粉流体にレーザー光を照射すると空間的に回折／散乱光の光強度分布パターンが生じ、この光強度パターンは粒子径と対応関係があることから、粒子径および粒子径分布が測定できる。この粒子径および粒子径分布は、体積基準分布から得られる。具体的には、Ｍａｓｔｅｒｓｉｚｅｒ２０００（Ｍａｌｖｅｒｎ  Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ  Ｌｔｄ．）測定機を用いて、窒素気流中に粉流体を投入し、付属の解析ソフト（Ｍｉｅ理論を用いた体積基準分布を基本としたソフト）にて、測定を行うことができる。
【００５７】
粉流体の作製は、必要な樹脂、荷電制御剤、着色剤、その他添加剤を混練り粉砕しても、モノマーから重合しても、既存の粒子を樹脂、荷電制御剤、着色剤、その他添加剤でコーティングしても良い。以下、粉流体を構成する樹脂、荷電制御剤、着色剤、その他添加剤を例示する。
【００５８】
樹脂の例としては、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン変性アクリル樹脂、シリコーン樹脂、ナイロン樹脂、エポキシ樹脂、スチレン樹脂、ブチラール樹脂、塩化ビニリデン樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、フッ素樹脂などが挙げられ、２種以上混合することもでき、特に、基板との付着力を制御する上から、アクリルウレタン樹脂、アクリルウレタンシリコーン樹脂、アクリルウレタンフッ素樹脂、ウレタン樹脂、フッ素樹脂が好適である。
【００５９】
荷電制御剤の例としては、正電荷付与の場合には、４級アンモニウム塩系化合物、ニグロシン染料、トリフェニルメタン系化合物、イミダゾール誘導体などが挙げられ、負電荷付与の場合には、含金属アゾ染料、サリチル酸金属錯体、ニトロイミダゾール誘導体などが挙げられる。
【００６０】
着色剤の例としては、塩基性、酸性等の染料が挙げられ、ニグロシン、メチレンブルー、キノリンイエロー、ローズベンガル等が例示される。
無機系添加剤の例としては、酸化チタン、亜鉛華、硫化亜鉛、酸化アンチモン、炭酸カルシウム、鉛白、タルク、シリカ、ケイ酸カルシウム、アルミナホワイト、カドミウムイエロー、カドミウムレッド、カドミウムオレンジ、チタンイエロー、紺青、群青、コバルトブルー、コバルトグリーン、コバルトバイオレット、酸化鉄、カーボンブラック、マンガンフェライトブラック、コバルトフェライトブラック、銅粉、アルミニウム粉などが挙げられる。
これらの着色剤及び無機系添加剤は、単独或いは複数組み合わせて用いることができる。特に黒色着色剤としてカーボンブラックが、白色着色剤として酸化チタンが好ましい。
【００６１】
しかしながら、このような材料を工夫無く混練り、コーティングなどを施しても、エアロゾル状態を示す粉流体を作製することはできない。エアロゾル状態を示す粉流体の決まった製法は定かではないが、例示すると次のようになる。
【００６２】
まず、粉流体を構成する粒子物質の表面に、平均粒子径が２０〜１００ｎｍ、好ましくは２０〜８０ｎｍの無機微粒子を固着させることが適当である。また、その無機微粒子が２種以上の微粒子から成ることが適当である。更に、その無機微粒子がシリコーンオイルで処理されていることが適当である。ここで、無機微粒子としては、二酸化珪素（シリカ）、酸化亜鉛、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化セリウム、酸化鉄、酸化銅等が挙げられる。この無機微粒子を固着させる方法が重要であり、例えば、ハイブリダイザー（奈良機械製作所（株）製）やメカノフュージョン（ホソカワミクロン（株）製）などを用いて、ある限定された条件下（例えば処理時間）で、エアロゾル状態を示す粉流体を作製することができる。
【００６３】
ここで繰り返し耐久性を更に向上させるためには、粉流体を構成する樹脂の安定性、特に、吸水率と溶剤不溶率を管理することが効果的である。シート間に封入する粉流体を構成する樹脂の吸水率は、３重量％以下、特に２重量％以下とすることが好ましい。なお、吸水率の測定は、ＡＳＴＭ−Ｄ５７０に準じて行い、測定条件は２３℃で２４時間とする。粉流体を構成する樹脂の溶剤不溶率に関しては、下記関係式で表される粉流体の溶剤不溶率を５０％以上、特に７０％以上とすることが好ましい。
溶剤不溶率（％）＝（Ｂ／Ａ）×１００
（但し、Ａは樹脂の溶剤浸漬前重量、Ｂは良溶媒中に樹脂を２５℃で２４時間浸漬した後の重量を示す）
【００６４】
この溶剤不溶率が５０％未満では、長期保存時に粒子物質表面にブリードが発生し、粉流体との付着力に影響を及ぼし粉流体の移動の妨げとなり、画像表示耐久性に支障をきたす場合がある。なお、溶剤不溶率を測定する際の溶剤（良溶媒）としては、フッ素樹脂ではメチルエチルケトン等、ポリアミド樹脂ではメタノール等、アクリルウレタン樹脂では、メチルエチルケトン、トルエン等、メラミン樹脂ではアセトン、イソプロパノール等、シリコーン樹脂ではトルエン等が好ましい。
【００６５】
次に、第１発明と第２発明に共通の構成部分を説明する。
先ず、基板について説明する。
透明基板１は装置外側から粒子群あるいは粉流体の色が確認できる基板であり、可視光の透過率が高くかつ耐熱性の良い材料が好適である。可とう性の有無は用途により適宜選択され、例えば、電子ペーパー等の用途には可とう性のある材料、携帯電話、ＰＤＡ、ノートパソコン類の携帯機器表示等の用途には可とう性のない材料が用いられる。
【００６６】
基板材料を例示すると、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルサルフォン、ポリエチレン、ポリカーボネートなどのポリマーシートや、ガラス、石英などの無機シートが挙げられる。
基板厚みは、２〜５０００μｍ、好ましくは５〜１０００μｍが好適であり、薄すぎると、強度、基板間の間隔均一性を保ちにくくなり、厚すぎると、表示機能としての鮮明さ、コントラストの低下が発生し、特に、電子ペーパー用途の場合には可とう性に欠ける。
【００６７】
基板には、必要に応じて電極を設けても良い。
基板に電極を設けない場合は、基板外部表面に静電潜像を与え、その静電潜像に応じて発生する電界にて、所定の特性に帯電した色のついた粒子群あるいは粉流体を基板に引き寄せあるいは反発させることにより、静電潜像に対応して配列した粒子群あるいは粉流体を透明な基板を通して表示装置外側から視認する。なお、この静電潜像の形成は、電子写真感光体を用い通常の電子写真システムで行われる静電潜像を本発明の画像表示装置の基板上に転写形成する、あるいは、イオンフローにより静電潜像を基板上に直接形成する等の方法で行うことができる。
【００６８】
基板に電極を設ける場合は、電極部位への外部電圧入力により、基板上の各電極位置に生じた電界により、所定の特性に帯電した色の粒子群あるいは粉流体が引き寄せあるいは反発させることにより、静電潜像に対応して配列した粒子群あるいは粉流体を透明な基板を通して表示装置外側から視認する方法である。
透明基板側に設ける電極は、透明かつパターン形成可能である導電性材料で形成され、例示すると、酸化インジウム、アルミニウムなどの金属類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンなどの導電性高分子類が挙げられ、真空蒸着、塗布などの形成手法が例示できる。なお、電極厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障なければ良く、３〜１０００ｎｍ、好ましくは５〜４００ｎｍが好適である。
背面基板側に設ける電極は、透明である必要はなくパターン形成可能である導電性材料で形成され、例示すると、酸化インジウム、アルミニウム、金、銀、銅などの金属類、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェンなどの導電性高分子類が挙げられ、真空蒸着、塗布などの形成手法が例示できる。なお、電極厚みは、導電性が確保でき光透過性に支障なければ良く、３〜１０００ｎｍ、好ましくは５〜４００ｎｍが好適である。
この場合の外部電圧入力は、直流あるいは交流を重畳しても良い。
【００６９】
本発明の隔壁７の形状は、表示にかかわる粒子のサイズあるいは粉流体のサイズにより適宜最適設定され、一概には限定されないが、隔壁の幅は１０〜１０００μｍ、好ましくは１０〜５００μｍに、隔壁の高さは１０〜５０００μｍ、好ましくは１０〜５００μｍに調整される。
また、隔壁７を形成するにあたり、対向する両基板の各々にリブ（隔壁）を形成した後に接合する両リブ法による隔壁形成を用いても、対向する両基板の一方にリブを形成した後に接合する片リブ法による隔壁形成を用いてもよい。
これらリブからなる隔壁により形成される表示セルは、基板平面方向からみて四角状、三角状、ライン状、円形状、六角状（ハニカム構造）が例示される。
表示側から見える隔壁断面部分に相当する部分（表示セルの枠部の面積）はできるだけ小さくした方が良く、画像表示の鮮明さが増す。
【００７０】
なお、本発明の画像表示用パネルは、ノートパソコン、ＰＤＡ、携帯電話などのモバイル機器の表示部、電子ブック、電子新聞などの電子ペーパー、看板、ポスター、黒板などの掲示板、コピー機、プリンター用紙代替のリライタブルペーパー、電卓、家電製品の表示部、ポイントカードなどのカード表示部などに用いられる。
【００７１】
【実施例】
次に実施例、比較例を示して、本発明を更に具体的に説明する。但し本発明は以下の実施例により限定されるものではない。
【００７２】
＜実施例１＞
３０Ω／□のＩＴＯ電極体ガラスに、フォトレジスト法によって、３００μｍ□の開口部を有し、線幅が１００μｍで高さが１００μｍの隔壁を、上述したように、ドライフィルムレジストの貼り付け、露光、現像、洗浄工程を経て作製した。その後、低圧水銀灯で２分間の条件でドライ処理による洗浄を行った。低圧水銀ランプとしては、アイグラフィックＵＶオゾン洗浄装置：２５Ｗ×６灯用／ＯＣ−２５０６を使用した。そして、白粒子、黒粒子をそれぞれ６ｇ／ｍ２画像表示素子の空間に自由落下法にて充填した。その後、対向基板を貼り合わせて、画像表示用パネルを得た。
【００７３】
得られた画像表示用パネルに対し、以下の表１に示す所定の電圧を加えて、その時の各粒子の反射率及び画像表示用パネルのコントラストを測定するとともに、顕微鏡で粒子の貼り付き程度を確認した。結果を以下の表１に示す。表１において、判定はコントラスト２以上の場合を○とした。
【００７４】
＜実施例２＞
ドライ処理による洗浄として、低圧水銀灯で５分間ドライ処理した以外、実施例１と同様にして、画像表示用パネルを作製し、実施例１と同様にして、作製した画像表示用パネルの評価を行った。結果を以下の表１に示す。
【００７５】
＜実施例３＞
ドライ処理による洗浄として、エキシマランプで１分間ドライ処理した以外、実施例１と同様にして、画像表示用パネルを作製し、実施例１と同様にして、作製した画像表示用パネルの評価を行った。なお、エキシマランプとしては、ウシオ電機製エキシマランプ：ＵＥ２０−１７２を使用した。結果を以下の表１に示す。
【００７６】
＜実施例４＞
ドライ処理による洗浄として、エキシマランプで２分間ドライ処理した以外、実施例３と同様にして、画像表示用パネルを作製し、実施例３と同様にして、作製した画像表示用パネルの評価を行った。結果を以下の表１に示す。
【００７７】
＜比較例１＞
ドライ処理による洗浄を行わなかった以外、実施例１と同様にして、画像表示用パネルを作製し、実施例１と同様にして、作製した画像表示用パネルの評価を行った。結果を以下の表１に示す。
【００７８】
【表１】
2005003892.tif 000003
【００７９】
表１の結果から、ドライ処理による洗浄を行った実施例１〜４は、ドライ処理による洗浄を行わなかった比較例１と比べて、高いコントラストと良好な粒子貼り付き程度を得られることがわかる。
また、同様の実験を粉流体に対しても行ったところ、粒子群についての実施例１〜４及び比較例１と同様の傾向の結果を得ることができ、粉流体についても本発明の有用性を確認できた。
【００８０】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、フォトレジスト法により、一方の基板上にドライフィルムを貼り付け、所定のパターンに露光し、現像し、洗浄した後、ドライ処理による洗浄を行っているため、基板表面上の洗浄残渣を完全に除去でき、粒子あるいは粉流体の貼り付きを改善できるとともに、洗浄残渣のむらをなくすことができ、画像表示の不均一をなくすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の画像表示装置を構成する画像表示用パネルの画像表示素子における一例の構成とその表示駆動原理を示す図である。
【図２】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ本発明の画像表示装置の製造方法の一例を説明するための図である。
【図３】本発明において粒子の表面電位測定をするための測定装置の一例を説明するための図である。
【符号の説明】
１  透明基板
２  対向基板
３  表示電極
４  対向電極
５  負帯電性粒子（または粉流体）
６  正帯電性粒子（または粉流体）
７  隔壁
１１  ドライフィルムレジスト
１２  フォトマスク
１３  硬化した部位
２１  チャック
２２  スコロトロン放電器
２３  表面電位計
【図１】
2005003892.tif 000004
【図２】
2005003892.tif 000005
【図３】
2005003892.tif 000006