(57)【要約】【課題】簡単な構成で、パターンを損傷することなく、基板に密着されたシートを、高精度で基板から剥ぎ取る。【解決手段】シート（１２）の端部をクランプするシート端部クランプ手段（３０）と、該シート端部クランプ手段と基板を、シートを剥がす方向に相対的に平行移動させる移動手段（３６、３８、４０）と、基板からシートを剥がす角度を一定に保持するための剥がし角度保持手段（５０）と、該剥がし角度保持手段を、前記移動手段と同期して基板と平行移動させる手段（５２、５４、５６）とを備える。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に密着されたシートを、基板から剥ぎ取るためのシート剥がし装置において、
シートの端部をクランプするシート端部クランプ手段と、
該シート端部クランプ手段と基板を、シートを剥がす方向に相対的に平行移動させる移動手段と、
基板からシートを剥がす角度を一定に保持するための剥がし角度保持手段と、
該剥がし角度保持手段を、前記移動手段と同期して基板と平行移動させる手段と、
を備えたことを特徴とするシート剥がし装置。
【請求項２】
前記剥がし角度保持手段が、基板と平行に配設された、回転自在なローラであることを特徴とする請求項１に記載のシート剥がし装置。
【請求項３】
前記剥がし角度保持手段が、基板と平行に配設された、回転しないバーであることを特徴とする請求項１に記載のシート剥がし装置。
【請求項４】
前記剥がし角度が調整可能とされていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のシート剥がし装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥がし装置に係り、特に、プリント配線基板のレーザによるパターン加工に際して、レーザ加工後のガラス基板よりＰＥＴフィルムを剥がす際に用いるのに好適な、基板に密着されたシートを、基板から剥ぎ取るためのシート剥がし装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータ等の電子機器で使用されるプリント配線基板は、銅等の所定パターンの配線がガラス等の絶縁性基板の片面（又は両面）に形成されたものである。
【０００３】
この種のプリント配線基板では、従来、エッチングにより配線パターンを形成していたが、最近、レーザビームでパターンを描画する、いわゆるレーザパターニングも実用化されつつある。
【０００４】
いずれにしても、このようなプリント配線基板の製造工程においては、加工前に基板に貼った透光性樹脂（例えばＰＥＴ）フィルムを、エッチング後、又は、レーザパターニング後、剥離する工程が必要とされている。そのため、例えば特許文献１においては、フィルムを剥ぎ取るための一対のコンベアを基板上方に配置して、該コンベアでフィルムを狭持して剥ぎ取ることが記載されている。
【０００５】
【特許文献１】特開昭６３−３７３５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら特許文献１のようにベルトコンベアを基板上に配設するのでは装置が大掛かりとなり、コストも高いという問題点を有していた。
【０００７】
一方、基板からシートを一気に剥がしてしまうと、パターンが曲がったり、欠けたりすることがあった。
【０００８】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、簡単な構成で、パターンを損傷することなく、基板に密着されたシートを基板から高精度で剥ぎ取ることを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、基板に密着されたシートを、基板から剥ぎ取るためのシート剥がし装置において、シートの端部をクランプするシート端部クランプ手段と、該シート端部クランプ手段と基板を、シートを剥がす方向に相対的に平行移動させる移動手段と、基板からシートを剥がす角度を一定に保持するための剥がし角度保持手段と、該剥がし角度保持手段を、前記移動手段と同期して基板と平行移動させる手段とを備えることにより、前記課題を解決したものである。
【００１０】
又、前記剥がし角度保持手段を、基板と平行に配設された、回転自在なローラとして、シートの傷付きを防止したものである。
【００１１】
あるいは、前記剥がし角度保持手段を、基板と平行に配設された、回転しないバーとして、構成を簡略化したものである。
【００１２】
又、前記剥がし角度を調整可能として、シートの種類や状態に応じた適切なシート剥がしが行なえるようにしたものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、簡単な構成で、剥がし角度を一定に保持して、パターンを損傷することなく、基板に密着されたシートを高精度で基板から剥がすことができる。
【００１４】
特に、剥がし角度保持手段を、基板と平行に配設されたローラ又はバーとした場合には、シート端部クランプ手段とローラ又はバーの相対的な位置関係やクランプ手段の移動速度を調整することで、剥がし角度や剥ぎ取り速度を容易に調整可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下図面を参照して、レーザ加工後の処理として、ガラス基板（薄板）に密着しているＰＥＴフィルムシートを自動で剥ぎ取る装置に適用した、本発明の実施形態を詳細に説明する。
【００１６】
本実施形態は、図１（正面図）、図２（側面図）及び図３（平面図）に示す如く構成される。
【００１７】
図において、１２は、例えば膜厚０．１５〜０．０５ｍｍ、サイズ１８５０×１５５０ｍｍ〜１００×１００ｍｍの剥ぎ取るべきＰＥＴフィルム（以下、単にフィルムと称する）で、図４に示す如く、周りがガラス基板１０から約２０〜７０ｍｍ程度はみ出した状態で、ガラス基板１０に密着されている。
【００１８】
２０は、例えば吸引ブロワを備えたガラス基板吸着テーブルで、図５に示す如く、例えば三重矩形状の基板吸着エリア２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ及び隅部吸着エリア２２Ｄにより、内側の基板吸着エリア２２Ａから外側の基板吸着エリア２２Ｃ及び隅部吸着エリア２２Ｄに向かって順次吸着することによって、その上に配置されるガラス基板１０を吸着、固定する。
【００１９】
２４Ａ〜２４Ｆは、前記基板吸着エリア２２Ｂの外側に設けられた、例えば吸引ブロワを備えたフィルム吸着エリアであり、例えば図の右側のエリア２４Ａから左側のエリア２４Ｆに向かって順次吸着することによって、フィルム１２のしわを伸ばしながらフィルムの全周を吸着する。フィルムを剥がす場合には、逆の順で吸着が解除され、最後にエリア２４Ａのみでフィルムの端部を吸着した状態となる。本実施形態では、図の右端のフィルム吸着エリア２４Ａが、フィルム右端を基板に保持するための下部吸着プレートも兼ねているので、構成が簡略である。なお、フィルムエリア吸着エリア２４Ａとは独立した下部吸着プレートを設けることもできる。保持方法も吸引ブロワによる吸着に限定されない。
【００２０】
３０は、フィルム１２の端部全幅をクランプするフィルム端部クランプ機構であり、例えば吸引ブロワによりフィルム１２の端部を吸着するための上部吸着プレート３２も含まれる。このクランプ機構３０は、上下機構３４により上下方向に移動されると共に、クランプ移動用駆動モータ３６及びタイミングベルト３８により、直進（ＬＭ）ガイド４０上を図１の左右方向に移動可能とされている。
【００２１】
５０は、本発明に係るフィルム剥がし角度保持ローラであり、ローラ移動用駆動モータ５２及びボールねじ５４によって、直進（ＬＭ）ガイド５６上をフィルム端部クランプ機構３０の半分の速度で同じ方向に同期移動するようにされている。
【００２２】
６０は、ＰＥＴフィルム剥がし装置へガラス基板１０を供給、排出するためのロボットアーム、６２は、剥ぎ取ったフィルムを収納するためのＰＥＴフィルム回収スペース、６４は静電気除去装置である。
【００２３】
以下、図６を参照して、剥ぎ取り装置の作用を説明する。
【００２４】
まずステップ１００で、ロボットアーム６０により、ガラス基板吸着テーブル２０上に、ＰＥＴフィルム１２が密着されたガラス基板１０を装着する。この際、パターンの損傷を防止するために、図７に示す如く、主たるパターン１１の方向とフィルムを剥がす方向を一致させるのが望ましい。
【００２５】
次いで、ステップ１１０で、基板吸着エリア２２Ａ〜２２Ｃ、隅部吸着エリア２２Ｄ、フィルム吸着エリア２４Ａ〜２４Ｆにより、ガラス基板１０、及び、該ガラス基板１０からはみ出したフィルム１２の端部（約２０〜７００ｍｍ）を、図５に示したように、しわが寄らないように吸着した後、順次吸着を解除して、下部吸着プレート２４Ａのみでフィルム１２の右端のみが吸着された状態にする。
【００２６】
次いでステップ１２０で、図１中に符号Ａで示した如く、下部吸着プレート２４Ａの上位置にフィルム端部クランプ機構３０を移動させて、上下機構３４により下降させる。
【００２７】
下降させると、ステップ１３０で、図８に符号Ｂで示す如く、上部吸着プレート３２と下部吸着プレート２４Ａが一致し、フィルム１２の右端部が下部吸着プレート２４Ａから上部吸着プレート３２に受け渡される。
【００２８】
次いでステップ１４０で、図９に示す如く、フィルム端部クランプ機構３０が上下機構３４により上昇し、上部吸着プレート３２との間でフィルム１２の端部を機械的にクランプする。なお、上部吸着プレート３２による吸着が強力でフィルム剥がしに耐えられる場合は、独立したクランプ機構３０を省略して、上部吸着プレート３２のみによりクランプすることもできる。
【００２９】
次いでステップ１５０に進み、直進ガイド４０によりガイドされたフィルム端部クランプ機構３０を、クランプ移動用駆動モータ３６に駆動されるタイミングベルト４０により、符号Ｃに示す如く、図の左方向に走行して、フィルム１２の剥ぎ取りを開始する。この際、フィルム剥がし角度保持ローラ５０が、ローラ移動用モータ５２に駆動されるボールねじ５４により、図８に示した如く、クランプ機構３０の半分の速度で遅れて移動することにより、剥ぎ取りの方向性が一定に保持される。
【００３０】
次いでステップ１６０に進み、符号Ｄに示す如く、剥ぎ取り部が移動端まで到達すると、フィルム１２の吸着／クランプを解除して、フィルム１２を回収スペース６２に落下させ、当該基板のフィルム剥がしを終了する。
【００３１】
本実施形態においては、ローラ５０とガラス基板１０の相対位置やクランプ機構３０の移動速度を変えることで、剥がし角度を容易に調整可能である。
【００３２】
又、本実施形態においては、フィルム剥がし角度保持手段がローラ５０とされているので、フィルム１２とローラ表面が擦れることがなく、フィルム表面が傷つけられることがない。なお、ローラ５０の代わりに回転しないバーを用いることも可能である。
【００３３】
前記実施形態においては、クランプ機構３０がタイミングベルト３８を用いて直進ガイド４０上を移動し、フィルム剥がし角度保持ローラ５０がボールねじ５４を用いて直進ガイド５６上を移動するようにされていたが、これらを移動するための構成は、これに限定されない。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明は、特にレーザ加工後の処理として、ガラス基板に密着しているＰＥＴフィルムを自動で剥ぎ取る際に用いるのに好適である。なお、本発明の適用対象はこれに限定されず、基板に密着されたシート一般を基板から剥ぎ取る際に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施形態の正面図
【図２】同じく側面図
【図３】同じく平面図
【図４】同じくフィルムが貼り付けられたガラス基板を示す平面図
【図５】同じく基板吸着テーブルを示す平面図
【図６】本実施形態における剥ぎ取り手順を示す流れ図
【図７】同じくパターンと剥ぎ取りの望ましい方向を示す平面図
【図８】同じく剥ぎ取っている状態を示す正面図
【図９】同じくクランプした状態を示す正面図
【符号の説明】
【００３６】
１０…ガラス基板
１２…ＰＥＴフィルム
２０…ガラス基板吸着テーブル
２２Ａ〜２２Ｃ…基板吸着エリア
２２Ｄ…隅部吸着エリア
２４Ａ〜２４Ｆ…フィルム吸着エリア
２４Ｆ…下部吸着プレート
３０…フィルム端部クランプ機構
３２…上部吸着プレート
３４…クランプ上下機構
３６…クランプ移動用駆動モータ
３８…タイミングベルト
４０、５６…直進（ＬＭ）ガイド
５０…フィルム剥がし角度保持ローラ
５２…ローラ移動用駆動モータ
５４…ボールねじ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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