(57)【要約】【課題】  微小物体の安定した搬送を図りながらも高速搬送による処理能力の飛躍的な向上を達成する。  【解決手段】  第１の回転インデクサＩＤ１と第２の回転インデクサＩＤ２は、各々外周全域に亘ってＶ字状溝ｖ１,ｖ２が形成されるＶ溝ローラＶａ,Ｖｂと、所定長の吸引用スリットｒ１,ｒ２が形成されたサクションリングＳｒａ,Ｓｒｂを有し、Ｖ溝ローラＶａ,Ｖｂに上記Ｖ字状溝ｖ１,ｖ２と連続するローラ側吸引孔７,８が多数形成され、ローラ側吸引孔７,８と上記所定長の吸引用スリットｒ１,ｒ２とが連結されている。また、縦型配置による連続回転方式により回転するとともに、各々外周全域に亘って形成されるＶ字状溝ｖ１,ｖ２の所定範囲に吸引力を働かせる所定長の吸引用スリットｒ１,ｒ２とを有して、所定長の吸引用スリットｒ１の位置から外れる位置にある第１の回転インデクサＩＤ１のＶ字状溝ｖ１の位置から上記所定長の吸引用スリットｒ２の及ぶ範囲の第２の回転インデクサＩＤ２のＶ字状溝ｖ２の位置に受け渡される。  【選択図】    図３
2005195567.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象である微小物体を整列搬送するフィーダと、フィーダから整列搬送される微小物体を中継して搬送する搬送溝を有する無振動中継台と、無振動中継台から微小物体を受け取り回転搬送する第１の回転インデクサと、第１の回転インデクサの下方側に配され回転搬送する第２の回転インデクサと、第１の回転インデクサによる搬送過程において微小物体を撮影する第１の位置の撮像手段と、第２の回転インデクサによる搬送過程において微小物体を撮影する第２の位置の撮像手段とを備え、
第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、外周全域に亘って形成されるＶ字状溝と、このＶ字状溝と連続するローラ側吸引孔とが形成されるＶ溝ローラと、所定長の吸引用スリットが形成されたサクションリングとを各々有し、上記ローラ側吸引孔と上記所定長の吸引用スリットとが連結されていることを特徴とする微小物体の外観検査装置。
【請求項２】
検査対象である微小物体を整列搬送するフィーダと、フィーダから整列搬送される微小物体を中継して搬送する搬送溝を有する無振動中継台と、無振動中継台から微小物体を受け取り回転搬送する第１の回転インデクサと、第１の回転インデクサの下方側に配され回転搬送する第２の回転インデクサと、第１の回転インデクサによる搬送過程において微小物体を撮影する第１の位置の撮像手段と、第２の回転インデクサによる搬送過程において微小物体を撮影する第２の位置の撮像手段とを備え、
第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、縦型配置による連続回転方式により回転するとともに、外周全域に亘って形成されるＶ字状溝と、Ｖ字状溝の所定範囲に吸引力を働かせる所定長の吸引用スリットとを各々有して、所定長の吸引用スリットの位置から外れる位置にある第１の回転インデクサのＶ字状溝の位置から上記所定長の吸引用スリットの及ぶ範囲の第２の回転インデクサのＶ字状溝の位置に受け渡されることを特徴とする微小物体の外観検査装置。
【請求項３】
前記第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、各々の回転軸がギヤ機構を介して一つの駆動手段に連結されて駆動することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の微小物体の外観検査装置。
【請求項４】
前記第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、各々の回転軸がギヤ機構を介して連結されるとともに、上記回転軸の一方が他方の回転軸から接離可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の微小物体の外観検査装置。
【請求項５】
前記微小物体は、直方体形状の電子素子であり、前記第１と第２の回転インデクサのローラ側吸引孔の数は、上記電子素子の長手方向において少なくとも２個以上の収納溝により吸引できるような数が設けられていることを特徴とする請求項２記載の微小物体の外観検査装置。
【請求項６】
前記第２の回転インデクサに、送風手段からの圧縮空気が供給される送風通路が下方側に向かって配され、前記Ｖ字状溝又は前記ローラ側吸引孔と連結されていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の記載の微小物体の外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣチップやチップ型コンデンサ等の超微小な電子素子などの微小物体の傷や寸法等の外観検査を行い、良品と不良品に選別する微小物体の外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣチップやチップ型コンデンサ等の電子素子（チップ部品）は、小型化が進んでおり、小型・薄型化が進む携帯電話や携帯情報端末等に広く搭載されるようになっている。このような精密小型の電子素子は、その性能（ＩＣチップでは電気特性等であり、チップ型コンデンサでは電気容量等）の検査、外周の傷の検査や、その種類や大きさを選別するための測定が行われる。このような精密小型の電子素子の外観検査としては、電子素子を吹き飛ばしながら外周側面を多角度的に撮像する方法が開発されている（特許文献１）。撮像手段としては、イメージセンサ（一次元又は二次元以上の光学情報を時系列の電気信号に変換する一種の光センサ）や、イメージセンサと発光ダイオードとを組み合わせた光学式外径測定器の他、高感度カメラ（ＣＣＤカメラ）等が使用される。
【０００３】
しかし、微小物体を吹き飛ばしながら撮像する方法は、微小物体が空気抵抗等でぶれて撮像が正確に行えない欠点がある。このため、外周側面に微小物体を収納する収納溝が形成され回転する円盤状の回転インデクサに、微小物体をその収納溝に収納させた状態で外観検査するものや、微小物体を回転インデクサの収納溝に収納させた状態とその前の搬送途中での外観検査とを併用して行うものが開発されている（特許文献２）。図１１と図１２に示す微小物体の外観検査装置は、検査対象である微小物体を整列搬送する直進フィーダＦ２と、外周側面に微小物体である電子素子Ｃを収納する収納溝５６が形成され回転する円盤状の回転インデクサＩＤ５と、直進フィーダＦ２と回転インデクサＩＤ５との間に位置して直進フィーダＦ２から整列搬送される微小物体Ｃを回転インデクサＩＤ５の収納溝５６に搬送する無振動中継台５５と、無振動中継台５５に移行した微小物体Ｃを吸引する第１の吸引手段（図示せず）とを備えた装置である。第１の吸引手段は、回転インデクサＩＤ５側に配されるバックゲージＢＧと連続して、回転インデクサＩＤの収納溝５６に電子素子Ｃを移動させる。そして、微小物体Ｃを回転インデクサＩＤ５の収納溝５６に収納させた状態で撮像手段により撮像するとともに、その前の無振動中継台５５の位置でも撮像手段Ｓ１，Ｓ２により撮像して、外観検査を行う。
【０００４】
直進フィーダＦ２は、図示しない円筒フィーダから送られてくる微小物体Ｃを振動させながら無振動中継台５５に搬送し、この無振動中継台５５から回転インデクサＩＤ５の収納溝５６に収納させる。無振動中継台５５は、上方に搬送溝５５ａが形成された振動しない中継台であり、上記搬送溝５５ａは水平状態に形成され、縦型の回転インデクサＩＤ５と垂直な位置関係で配置されている。無振動中継台５５の位置には、電子素子Ｃの外周側面を撮像する２つの第１の位置の撮像手段Ｓ１，Ｓ２が配置されている。電子素子Ｃは直進フィーダＦ２から整列搬送されて無振動中継台５５の搬送溝５５ａに至ると、無振動中継台５５に横付けされた第１の吸引手段により吸引されて回転インデクサＩＤ５の収納溝５６に収納されるとともに、回転インデクサＩＤ５に形成されている吸引溝Ｍ２ａを介して第２の吸引手段（図示せず）によって吸引される。縦型の回転インデクサＩＤ５は、その横方向に配されているモータ７により回転され、所定位置まで回転搬送されると、第２の位置の撮像手段Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５，Ｓ６により、上記第１の位置の撮像手段Ｓ１，Ｓ２により撮像されなかった他の四側面が撮像される。これにより直方体形状の六側面すべてが撮像され、更に回転搬送されて所定位置（上方）まで搬送されると、撮像手段により撮像された検査結果により良品と不良品とが選別されて取り出される。取り出しに際しては、送風通路（図示せず）により第２の吸引手段による吸引力よりも大きな力のエアーを送ることにより取り出される。無振動中継台５５の位置には、無振動中継台５５を通過したことを検知する第１の光センサ（トリガーセンサ）Ｌ１１が配されるとともに、第２の光センサ（トリガーセンサ）Ｌ１２が配され、第１の光センサＬ１１により第１の位置の撮像手段Ｓ１，Ｓ２の撮像動作が行われ、第２の光センサＬ１２により回転インデクサＩＤ５の収納溝５６に収納されたことが検知され、円盤状の回転インデクサＩＤ５を回転させ、次の位置の収納溝５６を無振動中継台５５の取り出し口まで回転して停止する。このような寸動回転と寸動停止を高速に繰り返して（つまり間欠的動作を繰り返して）、電子素子Ｃを排出側まで回転搬送する。
【０００５】
しかし、上記縦型配置の回転インデクサＩＤ５の径が大きくなると、その外周の収納溝５６の寸動停止のブレが大きくなることや、無振動中継台の搬送溝の距離を短くできず、微小物体の収納溝に対する衝突ダメージが大きくなる等の理由から、本願出願人は、水平型の回転インデクサを配置した微小物体の外観検査装置を提供している（特許文献３）。この特許文献３は、図１３に示すように、回転インデクサＩＤ６が水平型のもので、微小物体Ｃを吸引手段により吊り下げるように回転搬送して、約半周回転した位置で、送風手段からの圧縮空気を送風通路を介して収納溝５６に送り込み排出する構造である。この水平型の回転インデクサＩＤ６の場合にも、上記縦型の回転インデクサＩＤ５と同様に収納溝５６に微小物体（チップ部品）Ｃを収納させるときには、回転インデクサＩＤ５，ＩＤ６とは別個にバックゲージＢＧが配置されて、収納溝へと吸引する。
【特許文献１】特開２０００−１５７９３５号公報
【特許文献２】特開２０００−２１３９２２号公報
【特許文献３】特開２００３−２６０４１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来の縦型配置の回転インデクサＩＤ５でも水平型の回転インデクサＩＤ６でも、無振動中継台５５からの微小物体Ｃの搬送方向とは、その回転搬送方向を変える等の理由により、回転インデクサＩＤ５,ＩＤ６は間欠的動作を繰り返し行う方式を採用している。しかしながら、この間欠動作方式では、回転搬送速度を一定限度以上にできず、外観検査の処理能力を飛躍的に向上させることはできなかった。なお、円盤状の回転インデクサＩＤ５，ＩＤ６を間欠的動作により回転させるモータとしても、高精度のものが要求される。また、上記従来の縦型のものでも水平型のものでも、微小物体Ｃを一つ一つ区画化された収納溝で吸引するために、その制御が難しく、しかも、回転搬送する微小物体の数を多くすることに限度が生じていた。さらに、特許文献２のように、回転インデクサの中央に集合吸引部を設け、放射状に伸びる複数の管を介して外周の収納溝（ポケット）と連結させると、収納溝の数を多くできず、しかも、隣接する吸引溝と吸引溝との間で吸引による振動が伝播して、回転搬送姿勢の安定性が失われたり、無振動中継台からの受け渡しにもブレを生じさせる原因になるなどの問題を有する。
【０００７】
また、上記従来の縦型配置の回転インデクサＩＤ５でも水平型の回転インデクサＩＤ６でも、各々の収納溝５６にチップ部品Ｃを収納させるときには、回転インデクサとは別個にバックゲージＢＧが配置される必要があるので、装置の全体構造が複雑なものとなっていた。
【０００８】
なお、上記チップ部品の大きさは年々小さくなる傾向を有しており、このような微細な電子素子を高速搬送により外観検査の処理能力を飛躍的に向上させることは重要な技術的課題であるが、安定な搬送が行われないと、外観検査装置としての意義が失われる。
【０００９】
そこで本発明の目的は、全体の装置構成の簡素化を図り、微小物体の安定した搬送を図りながらも高速搬送による処理能力の飛躍的な向上を達成することが可能な微小物体の外観検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の微小物体の外観検査装置は、検査対象である微小物体を整列搬送するフィーダと、フィーダから整列搬送される微小物体を中継して搬送する搬送溝を有する無振動中継台と、無振動中継台から微小物体を受け取り回転搬送する第１の回転インデクサと、第１の回転インデクサの下方側に配され回転搬送する第２の回転インデクサと、第１の回転インデクサによる搬送過程において微小物体を撮影する第１の位置の撮像手段と、第２の回転インデクサによる搬送過程において微小物体を撮影する第２の位置の撮像手段とを備え、第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、外周全域に亘ってＶ字状溝が形成されるＶ溝ローラと、所定長の吸引用スリットが形成されたサクションリングを各々有し、Ｖ溝ローラに上記Ｖ字状溝と連続するローラ側吸引孔が多数形成され、ローラ側吸引孔と上記所定長の吸引用スリットとが連結されていることを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、検査対象である微小物体はフィーダから整列搬送されて無振動中継台に至り、無振動中継台の搬送溝から第１の回転インデクサの外周の吸引保持されて、第１の回転インデクサによる回転搬送されるときに第１の位置の撮像手段により撮像され、第２の回転インデクサにより吸引保持されて回転搬送されるときに第２の位置の撮像手段により撮像される。第１と第２の回転インデクサは、Ｖ溝ローラの外周全域に亘って形成されるＶ字状溝と、多数のローラ側吸引孔と、サクションリングの所定長の吸引用スリットとにより、第１と第２の回転インデクサの外周に多数の微小物体を回転搬送させ得る構造になる。従来のような中心位置から放射状に伸びるものと異なり、所定長の吸引用スリットから大きな吸引力を得て多数のローラ側吸引孔に対して吸引力を働かせることができ、ローラ側吸引孔の数を多くすることができる。また、Ｖ字状溝が外周全域に亘って形成されているので、微小物体がローラ側吸引孔の位置に正確に対応していなくとも、微小物体を数箇所で吸引することができ、数箇所で吸引することで、回転搬送の安定化が図られる。また、従来のような中心位置から放射状に伸びるものと異なり、隣接するローラ側吸引孔とローラ側吸引孔との間で吸引による振動が伝播し難くなる構造になる。
【００１２】
また、本発明の微小物体の外観検査装置は、検査対象である微小物体を整列搬送するフィーダと、フィーダから整列搬送される微小物体を中継して搬送する搬送溝を有する無振動中継台と、無振動中継台から微小物体を受け取り回転搬送する第１の回転インデクサと、第１の回転インデクサの下方側に配され回転搬送する第２の回転インデクサと、第１の回転インデクサによる搬送過程において微小物体を撮影する第１の位置の撮像手段と、第２の回転インデクサによる搬送過程において微小物体を撮影する第２の位置の撮像手段とを備え、第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、縦型配置による連続回転方式により回転するとともに、外周全域に亘って形成されるＶ字状溝と、Ｖ字状溝の所定範囲に吸引力を働かせる所定長の吸引用スリットとを各々有して、所定長の吸引用スリットの位置から外れる位置にある第１の回転インデクサのＶ字状溝の位置から上記所定長の吸引用スリットの及ぶ範囲の第２の回転インデクサのＶ字状溝の位置に受け渡されることを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、いずれも従来装置のように間欠的動作を繰り返し行うものではなく、いずれも連続回転方式により回転するものであるために、高速搬送が可能になる。そして、検査対象である微小物体はフィーダから整列搬送されて無振動中継台に至り、無振動中継台の搬送溝から第１の回転インデクサの外周に吸引保持されて、第１の回転インデクサにより回転搬送されるときに第１の位置の撮像手段により撮像され、第２の回転インデクサによる外周の吸引保持により回転搬送されるときに第２の位置の撮像手段により撮像される。第１の回転インデクサから第２の回転インデクサへの受け渡しは、いずれの回転インデクサにも吸引力を所定の範囲で働かせる所定長の吸引用スリットが形成されたサクションリングを有しており、上記所定長の吸引用スリットの位置から外れる位置にある第１の回転インデクサの外周位置から上記所定長の吸引用スリットの位置にある第２の回転インデクサの外周位置へと受け渡される。
【００１４】
本発明の請求項３記載の微小物体の外観検査装置は、請求項１又は請求項２記載の発明を前提として、前記第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、各々の回転軸がギヤ機構を介して一つの駆動手段に連結されて駆動することを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、各々の回転軸がギヤ機構を介して一つの駆動手段に連結されて駆動することから、第１の回転インデクサと第２の回転インデクサの回転軸の回転速度の高速回転が可能になると共に、別々に駆動手段を設ける必要がなくなる。
【００１６】
本発明の請求項４載の微小物体の外観検査装置は、請求項１又は請求項２記載の発明を前提として、前記第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、各々の回転軸がギヤ機構を介して連結されるとともに、上記回転軸の一方が他方の回転軸から接離可能に構成されていることを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、第１の回転インデクサと第２の回転インデクサとが接離することとなり、微小物体の大きさや形状などが異なるものでも、それに対応した適切な距離間隔にすることができる。
【００１８】
本発明の請求項５記載の微小物体の外観検査装置は、請求項２記載の発明を前提として、前記微小物体は、直方体形状の電子素子であり、前記第１の回転インデクサと第２の回転インデクサのローラ側吸引孔の数は、上記電子素子の長手方向において少なくとも２個以上のローラ側吸引孔により吸引できるように設けられていることを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、微小物体である直方体形状の電子素子一つに対して少なくとも２個のローラ側吸引孔で吸引できるように設けられているので、直方体形状の電子素子の長手方向の前側と後ろ側のように少なくとも２箇所で吸引するようになり、電子素子の回転搬送の安定化が図られる。
【００２０】
本発明の請求項６記載の微小物体の外観検査装置は、請求項１又は請求項２記載の発明を前提として、前記第２の回転インデクサに、送風手段からの圧縮空気が供給される送風通路が下方側に向かって配され、前記Ｖ字状溝又は前記ローラ側吸引孔と連結されていることを特徴とする。
【００２１】
この発明によれば、送風手段からの圧縮空気が供給される送風通路が下方側に向かってローラ側吸引孔と連結されていることから、送風手段からの弱い圧縮した空気でも、容易にローラ側吸引孔からの微小物体の排出が可能になる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の請求項１記載の微小物体の外観検査装置によれば、第１の回転インデクサと第２の回転インデクサの外周に多数の微小物体を回転搬送できるとともに、所定長の吸引用スリットから大きな吸引力を得てローラ側吸引孔に対して吸引力を働かせることができ、さらに、隣接するローラ側吸引孔とローラ側吸引孔との間で吸引による振動が伝播し難くなる構造になる。ローラ側吸引孔の数が多くなると、微小物体を数箇所で吸引することができるので、回転搬送の安定化が図られる。
【００２３】
また、本発明の請求項２記載の微小物体の外観検査装置によれば、第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、いずれも従来装置のように間欠的動作を繰り返し行うものではなく、いずれも連続回転方式により回転するものであるために、高速搬送が可能になる。また、第１の回転インデクサと第２の回転インデクサは、各々の回転軸がギヤ機構を介して一つの駆動手段に連結されて駆動する構造により、第１の回転インデクサと第２の回転インデクサの回転軸の回転速度の高速回転が可能になると共に、別々に駆動手段を設ける必要がなくなる。そして、回転インデクサの駆動に連続回転方式のモータを使用することとなるために、従来の間欠動作のモータのような精密な構造のモータを使用しなくともよくなる利点を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面にもとづいて説明する。
本実施の形態は、ＩＣチップやチップ型抵抗等の超微小物体である電子素子の外観測定装置に本発明を適用した微小物体の外観検査装置１である。この微小物体の外観検査装置１は、図１乃至図３に示すように、基台に、第１と第２の回転インデクサＩＤ１，ＩＤ２や電子素子Ｃを供給する円筒フィーダ（ボールフィーダ）Ｆ１や直進フィーダＦ２等が搭載されている。測定対象の超微小物体である電子素子Ｃは、図９（ａ）（ｂ）に示すようなチップ型コンデンサ（チップ部品とも呼ばれる）Ｃであり、その直方体形状の長手方向の両側に電極が設けられている。この立方体形状の電子素子の種類や大きさを選別するために、例えば、「０６０３」、「１００５」、「１６０８」、「２０１２」、「２４１２」とかの数字で呼ばれることが多い。「０６０３」の例では、０．６ｍｍ×０．３ｍｍであることを意味し、「２０１２」の例では、２．０ｍｍ×１．２ｍｍであることを意味する。
【００２５】
本実施の形態は、第１の回転インデクサＩＤ１による搬送過程において微小物体Ｃを撮影する第１の位置の撮像手段Ｓ１，Ｓ２と、第２の回転インデクサＩＤ２による搬送過程において微小物体Ｃを撮影する第２の位置の撮像手段Ｓ３，Ｓ４とを備え、微小物体である直方体形状の電子素子Ｃの四面を撮像して検査する。従来例のように直方体形状の電子素子Ｃの六面をすべてを撮像するものではないが、この種の電子素子Ｃの外観検査では、四面の検査でほとんど足り、一方、このような四面の外観検査により、高速搬送による検査能力が格段に高められると共に装置全体の構造の簡素化が図られている。
【００２６】
円筒フィーダＦ１は、振動により大量に投入された電子素子Ｃを外周壁面に順序よく整列させて、一つずつその排出口から直進フィーダＦ２に移動させる。直進フィーダＦ２は、円筒フィーダＦ１の排出口から取り出された電子素子Ｃを振動させながら送り出すもので、円筒フィーダＦ１の排出口と連続された直線状の溝３が形成されており（図１）、この溝３から無振動中継台５の搬送溝５ｃへと微小物体である電子素子Ｃを送り出す。
【００２７】
無振動中継台５は、直進フィーダＦ２と第１の回転インデクサＩＤ１との間に位置して直進フィーダＦ２から整列搬送される電子素子Ｃを第１の回転インデクサＩＤ１のローラ側吸引孔７ａに搬送する中継台である。無振動中継台５の上面に、電子素子Ｃを搬送するＶ溝が形成されている。この無振動中継台５の先端５ｄは、第１の回転インデクサＩＤ１の時計の１時を示す位置に向けられている。
【００２８】
第１の回転インデクサＩＤ１と第２の回転インデクサＩＤ２は、多数の電子素子Ｃをその外周で回転搬送させるもので、第２の回転インデクサＩＤ２は、第１の回転インデクサＩＤ１の下方側において約４０度位置をずらして配されている。このように第１の回転インデクサＩＤ１の真下ではなく、所定の角度（本実施の形態では約４０度）位置をずらすことにより、第２の位置の撮像手段Ｓ３，Ｓ４を第１の回転インデクサＩＤ１の下方側に配置させることができることと、回転搬送距離を短くすることと（斜めのＳ字状の軌跡を描き、回転搬送距離が短くなる）、後述する所定長の吸引用スリットｒ１,ｒ２の長さをできるだけ短くして吸引するためである。
【００２９】
第１の回転インデクサＩＤ１と第２の回転インデクサＩＤ２は、表裏の面を同じ向きとする縦型配置による連続回転方式により回転する。第１の回転インデクサＩＤ１は、その中心に配される回転軸Ｊ１により時計の針の回転方向とは逆向きに回転する。第２の回転インデクサＩＤ２は、その中心に配される回転軸Ｊ２により時計の針の回転方向と同じ向きに回転する。そして、第１と第２の回転インデクサＩＤ１,ＩＤ２は、ギヤ機構ＫＫを介して一つの駆動手段ＭＭからの駆動力を得て同期駆動する。ギヤ機構（歯車機構）Ｇ１ａ,Ｇ１ｂ,Ｇ２ａ,Ｇ２ｂは、図３に示すように、第１と第２の回転インデクサＩＤ１，ＩＤ２の回転軸Ｊ１，Ｊ２が各々上方に配されるギヤＧ１ａと下方に配されるギヤＧ１ｂと連結され、下方のギヤＧ１ｂは、駆動手段ＭＭの駆動軸Ｍａと連結されている。下方のギヤＧ１ｂは、上方のギヤＧ１ａと各々の外周の歯車を歯合させて回転を伝達させて、又、この下方のギヤＧ１ｂの回転は、下方の第２の回転インデクサＩＤ２に伝達させるために中継するギヤＧ２ｂと連結され、伝達されている。中継するギヤＧ２ｂの上方には、これと対応する上方側の中継するギヤＧ２ａが配されている。したがって、上下に位置する第１の回転インデクサＩＤ１と第２の回転インデクサＩＤ２とは、互いに逆向きの回転による同期駆動する構造になっている。ここで、本実施の形態では、第１の回転インデクサＩＤ１と第２の回転インデクサＩＤ２は、同じ大きさの円盤状を呈し、周速が同じであるが、これに限られるものではない。ただし、同じ大きさの円盤状を呈し、同期駆動させると、第１の回転インデクサＩＤ１での電子素子Ｃの間隔は、第２の回転インデクサＩＤ２でもその間隔（ピッチ）を同じくして引き継がれる。なお、同期駆動の方式としては、本実施の形態のように、駆動手段を同じ一つの駆動手段ＭＭとする方式もあれば、別々の駆動手段としても良い。また、回転軸Ｊ１と回転軸Ｊ２に、更に第１の回転インデクサＩＤ１と第２の回転インデクサＩＤ２とを追加して、２連方式にしても良い。
【００３０】
第１の回転インデクサＩＤ１と第２の回転インデクサＩＤ２は、回転軸Ｊ１，Ｊ２の延長線上に取り付けられるサクションリングＳｒａ，Ｓｒｂと、サクションリングＳｒａ，Ｓｒｂの外周に取り付けられるＶ溝ローラＶａ,Ｖｂとから構成されている。Ｖ溝ローラＶａ,Ｖｂは、サクションリングＳｒａ,Ｓｒｂよりも全体形状が一回り大きく、サクションリングＳｒａ，Ｓｒｂと重ね合わせられる。Ｖ溝ローラＶａ,Ｖｂには、その外周全域に亘ってＶ字状溝ｖ１,ｖ２が形成されている。このＶ字状溝ｖ１,ｖ２は、無振動中継台５の搬送溝５ｃに対応させたＶ字状のもので、このＶ字状溝ｖ１,ｖ２の底部とローラ側吸引孔７,８と連結され、このローラ側吸引孔７,８は、サクションリングＳｒａ，Ｓｒｂの吸引用スリットｒ１,ｒ２と連結されている。ローラ側吸引孔７,８は、等間隔、つまり所定角度間隔をおいて多数設けられ、所定長の吸引用スリットｒ１,ｒ２と連結され、図示しない吸引手段である真空ポンプを介して接続されている。吸引用スリットｒ１,ｒ２は、サクションリングＳｒａ，ＳｒｂのＶ溝ローラＶａ,Ｖｂとの重ね合わせ面において所定長の円弧状に形成されている。吸引用スリットｒ１,ｒ２は、ローラ側吸引孔７,８と連結されるとともに、連結部Ｑを介して吸引手段である真空ポンプ（図示せず）と連結されている。
【００３１】
ここで、ローラ側吸引孔７,８の数は、電子素子Ｃの長手方向において少なくとも２個のローラ側吸引孔７,８により吸引できるように設けられている。例えば、第１と第２の回転インデクサＩＤ１，ＩＤ２の直径が約８０ｍｍであるとすると、電子素子（チップ部品）Ｃが「０６０３」のときは、０．５度の間隔（外周におけるローラ側吸引孔７,８の長さ）で約７２０個のローラ側吸引孔７,８を形成することが好ましく、「２０１２」のときは、１．０度の間隔（ローラ側吸引孔７,８の外周上の長さ）で約３６０個のローラ側吸引孔６ａ,６ｂを形成することが好ましい。このようにすると、各々の大きさの電子素子Ｃが電子素子Ｃの長手方向において少なくとも２個、場合によっては３個のローラ側吸引孔７,８により吸引できる。
【００３２】
第１の回転インデクサＩＤ１のサクションリングＳｒａの吸引用スリットｒ１は、ほぼ半周上に設けられている。すなわち、時計の１時の方向から左回転に７時の方向の半周上に設けられている。第２の回転インデクサＩＤ２のサクションリングＳｒｂの吸引用スリットｒ２は、半周上よりもやや長く、時計の１時の位置から８時の位置までの範囲として設けられ、送風通路Ａ１…Ａ４が配される位置にまで及んでいる。したがって、第１と第２の回転インデクサＩＤ１，ＩＤ２に多数のローラ側吸引孔７,８が形成されているが、上記所定長の円弧状の吸引用スリットｒ１,ｒ２の範囲にあるローラ側吸引孔７a,８ａでなければ、電子素子Ｃを吸引保持できない。そして、電子素子Ｃは、上記所定長の吸引用スリットｒ１,ｒ２の位置から外れる位置にある第１の回転インデクサＩＤ１から第２の回転インデクサＩＤの時計の１時の位置でそのＶ字状溝ｖ２とその位置のローラ側吸引孔８（８ａ）に受け渡され、時計の８時の位置まで搬送される。なお、図３と図５と図６中において、上記所定長の吸引用スリットｒ１,ｒ２の吸引力が働く位置のローラ側吸引孔７,８を符号７ａ,８ａで示し、上記所定長の吸引用スリットｒ１,ｒ２の位置から外れる位置のものを符号７ｂ,８ｂで示している。
【００３３】
電子素子Ｃの外周側面を撮像する撮像手段Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４は、第１の回転インデクサＩＤ１による搬送途中で撮影する撮像手段Ｓ１，Ｓ２と、第２の回転インデクサＩＤ２の搬送途中で撮影する撮像手段Ｓ３，Ｓ４とが配置されている。各撮像手段Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４は、イメージセンサや、イメージセンサと発光ダイオードとを組み合わせた光学式外径測定器の他、高感度カメラ（ＣＣＤカメラ）等であり、立方体形状の電子素子Ｃの外周側面（前後の面を除く四側面）を撮像する。その結果は、図示しない制御部により、各々の面の長さ・幅や面積を撮像したり、傷の有無が検査される。
【００３４】
第１の位置の撮像手段Ｓ１，Ｓ２は、第１の回転インデクサＩＤ１の搬送途中の電子素子Ｃの二側面を撮像するもので、各々の先端に搭載されるカメラが電子素子Ｃに向けて配設されている。撮像手段Ｓ１，Ｓ２の撮像動作は、図示しない光センサ（トリガーセンサ）が所定の位置を通過したことを検知して、その信号を制御部に送り、撮像動作が行われる。本実施の形態では、撮像手段Ｓ１，Ｓ２が同じ位置の電子素子Ｃを同時に撮影するが、位置を異ならせて撮影することも可能である。
【００３５】
第２の位置の撮像手段Ｓ３，Ｓ４は、第２の回転インデクサＩＤ２の搬送途中の電子素子Ｃを撮像するもので、各々の先端に搭載されるカメラが向けて配設されている。撮像手段Ｓ３，Ｓ４の撮像動作は、図示しない光センサ（トリガーセンサ）が所定の位置を通過したことを検知して、その信号を制御部に送り、撮像動作が行われる。本実施の形態では、撮像手段Ｓ３，Ｓ４が同じ位置の電子素子Ｃを同時に撮影するが、位置を異ならせて撮影することも可能である。
【００３６】
撮像手段Ｓ１…Ｓ４は、図６に示すように、固定ブラケットＢＫ２の先端側に、プリズム、ＬＥＤ等の照明装置Ｓａが配され、固定ブラケットＢＫ２の後方側に高感度カメラ（ＣＣＤカメラ）Ｓｃが配された照明装置装置付きの撮像手段Ｓ１…Ｓ４である。照明装置Ｓａは、光源Ｓｄと光ファイバーＳｂと連結され、光ファイバーＳｂが連結される固定ガイドＢＫ１と固定ブラケットＢＫ２の間には、鏡筒（拡大レンズ等）Ｓｇが配されている。
【００３７】
第２の回転インデクサＩＤ２の下方側には、上記ローラ側吸引孔８ａから電子素子Ｃを取り出すための送風通路Ａ１…Ａ４が設けられ、これら送風通路Ａ１…Ａ４は、連結部Ｐを介して送風手段（図示せず）と連結されている。６時の位置から８時の位置にかけての第２の回転インデクサＩＤの外周位置には、排出側ブラケット２１が取り付けられている。排出側ブラケット２１には、Ｖ字状溝ｖ２から取り出して選別ボックス（図示せず）に連結される複数の排出口２８が設けられるとともに、排出されたことを検知するとともに個数をカウントする光センサ２７が取り付けられている。本実施の形態では、良品と、再検査品と検査不可能品との選別と、これらいずれでもないものが最終的にすべて排出されるようになっている。このように選別排出された電子素子Ｃは、各々の選別ボックス（図示せず）に排出口２８を介して収納される。排出側では、吸引手段による吸引よりも送風通路Ａ１…Ａ４によってエアーを短く送風し、Ｖ字状溝ｖ２のローラ側吸引孔８（８ａ）から微小物体Ｃを離脱させる。
【００３８】
次に、本実施の形態の微小物体の外観検査装置１を実際に使用して微小物体（電子素子）Ｃの外観検査する場合の動作について説明する。
【００３９】
円筒フィーダＦ１内の微小物体である電子素子Ｃは、直進フィーダＦ２に向けて振動されながら送られ、直進フィーダＦ２はその電子素子Ｃを受け取り直進方向、つまり無振動中継台５の搬送溝５ｃに向けて搬送される（図４）。このとき、電子素子Ｃは、直進フィーダＦ２の微小物体Ｃ群に押されて振動されながら搬送されてくるが、無振動中継台５の位置に至ると、無振動中継台５の搬送溝５ｃに沿って電子素子Ｃが搬送される。無振動中継台５では、電子素子Ｃは、間隔をおいて搬送されたり、繋がり合うように連結して搬送されたりする。しかし、本実施の形態では、無振動中継台５を搬送される速度よりも回転インデクサＩＤ１の速度が速く設定されて、電子素子Ｃが連続して搬送されてきても、一つずつ切り離される。また、筒搬送溝５ｃの先端５ｄは、第１の回転インデクサＩＤ１の１時の位置（最上方位置よりもやや低い位置）のＶ字状溝ｖ１に向けられているので、Ｖ字状の溝を有する搬送溝５ｃに対応するＶ字状溝ｖ１に収納されるとき、一旦持ち上げられるようになって、順次Ｖ字状溝ｖ１に収納される。時計の１時の位置のローラ側吸引孔７（７ａ）は、吸引用スリットｒ１が形成される範囲にあり、Ｖ字状溝ｖ１に収納されるとき、上記ローラ側吸引孔７（７ａ）により吸引される。
【００４０】
このように時計の１時の位置でローラ側吸引孔７ａに吸引された電子素子Ｃは、第１の位置の撮像手段Ｓ１とＳ２によりその断面菱形状の上方側の二側面が撮像される。すなわち、光センサ（図示せず）が通過したことを検知して、第１の位置の撮像手段Ｓ１とＳ２の撮像動作させて、電子素子Ｃの二側面が撮像される。これを図７（ａ）に示す直方体形状の電子素子Ｃで説明すると、丸数字で示す１面と２面が撮像される。撮像手段Ｓ１とＳ２により撮像された電子素子Ｃは、第１の回転インデクサＩＤ１の時計の７時の位置で第２の回転インデクサＩＤ２のローラ側吸引孔８（８ｂ）に受け渡される。第１の回転インデクサＩＤ１の時計の７時の位置、すなわち、第２の回転インデクサＩＤ１の時計の１時の位置では、第１の回転インデクサＩＤ１の所定長の吸引スリットｒ１の位置から外れ、他方、第２の回転インデクサＩＤ２の所定長の吸引用スリットｒ２の位置にあるローラ側吸引孔８（８ａ）に受け渡される。第１と第２の回転インデクサＩＤ１,ＩＤ２とは同期駆動しているので、電子素子Ｃの受け渡しも確実に行われる。
【００４１】
第２の回転インデクサＩＤ２の回転により、電子素子Ｃが第２の位置の撮像手段Ｓ３，Ｓ４の位置、つまり時計の３時の位置で電子素子Ｃの二側面が撮像される。これを図７（ｂ）に示す電子素子Ｃで説明すると、四角で囲む３面と４面とが撮像される。なお、三角で囲む５面と６面は撮像されない。その結果、立方体形状の電子素子Ｃの外周四面が撮像されると、その撮像結果は、制御部で蓄積データと照合されて、良品であるか、不良品であるか、更には再検査品であるか検査不可能品であるか等の選別が行われる。すなわち、撮像手段Ｓ３，Ｓ４による撮像が終了して上記選別が行われ、時計の６時から８時の位置にある排出側に回転搬送されると、上記外観検査結果に基づき、この排出側では、吸引手段による吸引よりも送風通路Ａ１…Ａ４によるエアーを強く送りローラ側吸引孔８ａから微小物体Ｃを離脱させ、排出口２８を介して選別ボックス（図示せず）に収納される。このように、電子素子Ｃは、無振動中継台５の先端側から斜めのＳ字曲線を描くように回転搬送される。
【００４２】
（第２の実施の形態）
本実施の形態は、図８に示すように、第１の回転インデクサＩＤ１の位置の真下に第２の回転インデクサＩＤ２が位置せず、両者はずらして上下に配設されている。このようなずらして配置するのは、本実施の形態の電子素子Ｃ１が上記電子素子Ｃと、その大きさが異なるためである。すなわち、第１の実施の形態の電子素子Ｃは、図９（ａ）に示すように、電子素子Ｃ１の５面と６面とがその一辺の長さＸ１と他辺の長さＹ１とが同じ長さの場合（Ｘ１＝Ｙ１）、つまり５面と６面は正方形であり、このため、第１の回転インデクサＩＤ１の真下に第２の回転インデクサＩＤ２が配置されていた。しかし、本実施の形態では、図９（ｂ）に示すように、電子素子Ｃ３の５面と６面とが各々その一辺の長さＸ１と他辺の長さＹ２とが相違する（Ｘ１≠Ｙ２）。すなわち、電子素子Ｃ１の５面と６面とが各々長方形のものであることから互いのＶ字状溝ｖ１,ｖ２の位置がずらして対向させている（下方側の回転インデクサＩＤ２を図中矢印方向にずらしている）。そして、この位置合わせを行うために、上記上下の平行な回転軸Ｊ１,Ｊ２のうちの上方の軸Ｊ１は、図８中矢印方向に移動可能に構成されている。すなわち、上記ギヤＧ１ａに連結される軸Ｊ３に固定板１１が取り付けられ、この固定板１１に対して接離する可動板１２が回転調節部材１３を介して取り付けられている。回転調節部材１３の内部にはネジが切ってあり、一方、軸Ｊ３の先端側（第１の回転インデクサＩＤ１側）外周にも対応するネジが切ってあり、回転調節部材１３を回転させると、可動板１２が移動することにより回転軸Ｊ１を介して連結される第２の回転インデクサＩＤ２が駆動手段（モータ）ＭＭ側に移動可能に構成されている。なお、符号Ｂｂは、回転調節部材１３を可動板１２に取り付けるボルトである。
【００４３】
（第３の実施の形態）
本実施の形態は、図１０に示すように、上記上下に位置する第１の回転インデクサＩＤ１と第２の回転インデクサＩＤ２とを各々２連配列させた構造を採用している。本実施の形態も、一つの駆動手段（モータ）ＭＭの駆動軸Ｍａから上方の第１の回転インデクサＩＤ１も下方の第２の回転インデクサＩＤ２の回転駆動力を得ているが、これらの回転軸Ｊ１,Ｊ２には、上方の第３の回転インデクサＩＤ３と、その下方の第４の回転インデクサＩＤ４がスペーサＳｐ,Ｓｐを介して各々取り付けられている。本実施の形態は、上下に各々２連配列さる構造であるが、３連以上配列させることも可能である。なお、その他の構成は第１と第２の実施の形態と同様であるから、同一の部材は同一の符号を持って示し、重複した説明を省略する。
【００４４】
上記各実施の形態は、図１４に示すように、第１の回転インデクサＩＤ１に対する第２の回転インデクサＩＤ２の位置が変更可能に構成されている。すなわち、錠剤Ｃ２の種類や大きさや形状が異なるものにも対応させるため、第２の回転インデクサＩＤ２の回転軸Ｊ２の位置がずらすことで、第１の回転インデクサＩＤ１に対する距離を接離可能とされ、具体的には、第２の回転インデクサＩＤ２の回転軸Ｊ２は、その回転軸Ｊ２を駆動させるためのギヤＧ２ｂと上記駆動手段ＭＭの駆動軸Ｍａと連結されているギヤＧ１ｂａとが歯合した状態において角度θ分だけずれさせる。つまり、駆動軸Ｍａを中心として第２の回転インデクサＩＤ２が揺動可能に構成とされている。したがって、錠剤Ｃ２の種類や大きさや形状が異なるものにも対応させて、第１の回転インデクサＩＤ１に対する第２の回転インデクサＩＤ２の位置が距離Ｈ１からＨ２の間で変更可能になっている。ここで、図示しないが、上記角度θ分ずれた回転軸Ｊ２をその所定位置で固定する手段が設けられている。なお、同じような構成により、第２の回転インデクサＩＤ２に対する第１の回転インデクサＩＤ１の位置が変更可能に構成することも可能である。
【００４５】
（実験）
次に、第１の実施の形態の微小物体の外観検査装置の処理能力と、従来例で挙げた特許文献３の水平型の回転インデクサＩＤ６を有する微小物体の外観検査装置の処理能力とを比較した。第１の実施の形態の第１と第２の回転インデクサＩＤ１，ＩＤ２の直径が約８０ｍｍであり、外周に約３６０個のローラ側吸引孔６ａ,６ｂを各々形成している。そして、電子素子（チップ部品）Ｃが「２０１２」の場合で比較した。なお、特許文献３の水平型の回転インデクサＩＤ６の径も８０ｍｍである。従来の特許文献３では、１５００個／分〜２０００個／分の処理能力であった。なお、従来の特許文献２では、１９００個／分の処理能力が得られたと記載されている（段落００３２参照）。これに対して、第１の実施の形態の外観検査の処理能力は、３０００個／分〜５０００個／分の処理能力が得られた。なお、上記２連方式にすると、６０００個／分〜１００００個／分の処理能力が得られることとなる。
【００４６】
以上、ＩＣチップやチップ型コンデンサ等の超微小な電子素子を例に明したが、本発明は、電子素子以外の微小物体の測定が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の第１の実施の形態の微小物体の外観検査装置を示す斜視図である。
【図２】上記第１の実施の形態の断面図である。
【図３】上記第１の実施の形態の無振動中継台と第１の回転インデクサを示す断面図である。
【図４】上記第１の実施の形態の第１の回転インデクサと第２の回転インデクサを示す断面図である。
【図５】上記第１の実施の形態の微小物体の搬送状態を示す断面図である。
【図６】上記第１の実施の形態の第１の位置と第２の位置の撮像手段を示す斜視図である。
【図７】微小物体である電子素子の撮像面を説明する斜視図である。
【図８】照明装置付きの撮像手段を説明する図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態の微小物体の外観検査装置を示す断面図である。
【図１０】微小物体である電子素子の種類を説明する斜視図である。
【図１１】上記従来の縦型の微小物体の外観検査装置を示す斜視図である。
【図１２】上記従来の微小物体の外観検査装置を示す断面図である。
【図１３】従来の水平型の微小物体の外観検査装置を示す側面図である。
【図１４】第１の回転インデクサに対して第２の回転インデクサを接離させる構造を説明する図である。
【符号の説明】
【００４８】
１              微小物体の外観検査装置、
５              無振動中継台、
５ｃ            搬送溝、
Ｃ              微小物体（電子素子）、
ＩＤ１          第１の回転インデクサ、
ＩＤ２          第２の回転インデクサ、
Ｓ１，Ｓ２      第１の位置の撮像手段、
Ｓ３，Ｓ４      第２の位置の撮像手段、
Ｊ１，Ｊ２      回転軸、
Ｖａ,Ｖｂ       Ｖ溝ローラ、
ｖ１,ｖ２       Ｖ字状溝、
７,８           ローラ側吸引孔、
７ａ,８ａ       吸引用スリットの及ぶ範囲のローラ側吸引孔
７ｂ,８ｂ       吸引用スリットの位置から外れるローラ側吸引孔、
Ｓｒａ，Ｓｒｂ  サクションリング、
ｒ１,ｒ２       吸引用スリット、
Ａ１…Ａ４      送風通路、
ＫＫ            ギヤ機構（歯車機構）、
Ｇ１ａ,Ｇ１ｂ,Ｇ２ａ,Ｇ２ｂ    ギヤ機構（歯車機構）、
ＭＭ            駆動手段（モータ）、Ｍａ  駆動軸、
【図１】
2005195567.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005195567.tif 000009
【図８】
2005195567.tif 000010
【図９】
2005195567.tif 000011
【図１０】
2005195567.tif 000012
【図１１】
2005195567.tif 000013
【図１２】
2005195567.tif 000014
【図１３】
2005195567.tif 000015
【図１４】
2005195567.tif 000016