(57)【要約】【課題】テープ幅が異なる複数種類の半導体実装用テープを検査する場合であっても、再調整等にかかる時間を低減でき、作業効率に優れたパターン検査装置を提供する。【解決手段】検査用ドラム１８の後方側からは、略有底円筒状をなす筒状ドラム６０が外嵌合されている。そして、検査用ドラム１８における周面の前方側には周面から突出した凸部２６が形成されており、当該凸部２６と前記筒状ドラム６０の端縁部６２とによりＴＡＢテープ１２の幅方向への移動を規制する規制溝６３が形成されている。検査対象を幅の狭いＴＡＢテープ１２に変更する際には、筒状ドラム６０を構成する８つのドラム片６１が拡開され、当該拡開状態が維持されたまま、規制溝６３の幅が変更するＴＡＢテープ１２の幅と等しくなるまで装置前方へとドラム片６１を移動し、その後縮閉する。【選択図】      図２
2005003646.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査パターンが施されたテープを当該テープの長さ方向に沿って搬送させるテープ搬送手段と、
当該テープ搬送手段によって搬送途中にある前記テープの表面と対向する位置に配置され、当該テープ上に施された前記被検査パターンを撮像する撮像手段と、
前記テープ搬送手段によって搬送途中にある前記テープが少なくとも前記撮像手段により前記被検査パターンを撮像される所定位置から当該テープの幅方向へ位置ぶれするのを規制する位置ぶれ規制手段とを備え、
前記位置ぶれ規制手段は前記テープの幅方向に対する位置ぶれ規制条件が調整可能とされていることを特徴とするパターン検査装置。
【請求項２】
前記位置ぶれ規制手段は、前記搬送途中にあるテープの幅方向における一方の側縁に当接可能な第１の規制部と、他方の側縁に当接可能な第２の規制部とを有し、
前記第１の規制部と前記第２の規制部とが前記テープの幅方向へ相対移動することにより前記位置ぶれ規制条件が調整されるようにした請求項１に記載のパターン検査装置。
【請求項３】
前記第１の規制部は、前記テープを搬送途中に面接触状態で支持するテープ支持部材において前記テープの幅方向における一方の側縁と対応する部位から突出した凸部により構成される一方、前記第２の規制部は、前記テープ支持部材に対して相対的に移動する位置ぶれ規制部材の所定部位により構成され、当該位置ぶれ規制部材は前記テープ支持部材に面接触状態で支持されたテープの幅方向における他方の側縁に前記所定部位が当接する規制時位置と当該所定部位が前記他方の側縁から離間する調整時位置との間を移動可能に設けられている請求項２に記載のパターン検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばＴＡＢテープ等に使用される半導体実装用テープ上に形成された回路パターンの欠陥を検査するパターン検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体パッケージの主流は高密度化及び小形化の要求に伴い、ＱＦＰ（Ｑｕａｄ  Ｆｌａｔ  Ｐａｃｋａｇｅ）から多ピン化が可能であるＢＧＡ（Ｂａｌｌ  Ｇｒｉｄ  Ａｒｒａｙ）へと移行しており、特に、微細配線が可能なＴＡＢテープが多くのＢＧＡに採用されている。ところで、このＴＡＢテープ上に形成される配線パターンは、エッチング時に製品不良の原因となる突起や欠損等の欠陥を伴う場合があるため、出荷時には当該欠陥を検査し、予め取り除いておく必要がある。そこで、かかる欠陥検査のために、従来より、ＴＡＢテープを搬送しながら、搬送経路の上方に設置された撮像装置（ＣＣＤセンサ等）により光学的に配線パターン形状を認識し、この認識したデータに基づいて画像処理等により配線パターン形状の検査を行なう検査装置が提案されている。例えば、特許文献１にはＴＡＢテープ等の実装用テープを保持ドラムの湾曲した側面に沿わせるように搬送する過程で、湾曲状態に保持した実装用テープの表面を上方からＣＣＤラインセンサで撮像する画像処理検査用テープ搬送装置が開示されている。
【０００３】
即ち、この特許文献１においては、保持ドラムの上方位置に１つのＣＣＤラインセンサを配置し、このラインセンサによる撮影位置を実装用テープの表面が保持ドラムの回転に伴って通過するように構成されている。そして、このように保持ドラムの湾曲した側面に沿うように実装用テープを搬送させることで、当該テープの歪みを防止しながら欠陥検査を実施することが可能とされている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−１９１２９号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、ＴＡＢテープには様々な種類があり、その幅も種類毎に異なっているため、同一の検査装置で幅の異なるＴＡＢテープを検査する場合、保持ドラムを当該テープ幅に対応するものに交換する必要があった。更に、テープ搬送部は高精度を要するため、部品交換を行う毎に再調整を行う必要もあった。即ち、従来の保持ドラムを交換するという手法は、作業効率が著しく阻害される原因となっていた。
【０００６】
本発明は、テープ幅が異なる複数種類の半導体実装用テープを検査する場合であっても、再調整等にかかる時間を低減でき、作業効率に優れたパターン検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、パターン検査装置に係る請求項１に記載の発明は、被検査パターンが施されたテープを当該テープの長さ方向に沿って搬送させるテープ搬送手段と、当該テープ搬送手段によって搬送途中にある前記テープの表面と対向する位置に配置され、当該テープ上に施された前記被検査パターンを撮像する撮像手段と、前記テープ搬送手段によって搬送途中にある前記テープが少なくとも前記撮像手段により前記被検査パターンを撮像される所定位置から当該テープの幅方向へ位置ぶれするのを規制する位置ぶれ規制手段とを備え、前記位置ぶれ規制手段は前記テープの幅方向に対する位置ぶれ規制条件が調整可能とされていることを要旨とした。
【０００８】
また、同じく請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のパターン検査装置において、前記位置ぶれ規制手段は、前記搬送途中にあるテープの幅方向における一方の側縁に当接可能な第１の規制部と、他方の側縁に当接可能な第２の規制部とを有し、前記第１の規制部と前記第２の規制部とが前記テープの幅方向へ相対移動することにより前記位置ぶれ規制条件が調整されるようにしたことを要旨とした。
【０００９】
また、同じく請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のパターン検査装置において、前記第１の規制部は、前記テープを搬送途中に面接触状態で支持するテープ支持部材において前記テープの幅方向における一方の側縁と対応する部位から突出した凸部により構成される一方、前記第２の規制部は、前記テープ支持部材に対して相対的に移動する位置ぶれ規制部材の所定部位により構成され、当該位置ぶれ規制部材は前記テープ支持部材に面接触状態で支持されたテープの幅方向における他方の側縁に前記所定部位が当接する規制時位置と当該所定部位が前記他方の側縁から離間する調整時位置との間を移動可能に設けられていることを要旨とした。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をＴＡＢテープ上に施された回路パターン（被検査パターン）の断線や短絡等の欠陥を検出するパターン検査装置に具体化した一実施形態を図１〜図７に従って説明する。
【００１１】
図１，２に示すように、本実施形態に係るパターン検査装置１１は、検査対象であるＴＡＢテープ１２を図１において左方向（上流側）から右方向（下流側）へ搬送するテープ搬送手段１３、撮像手段としてのＣＣＤラインセンサ１４、及び位置ぶれ規制手段１５を備えている。前記テープ搬送手段１３は、案内ローラ１６（１６ａ，１６ｂ）、テンションプーリ１７（１７ａ，１７ｂ）、テープ支持部材及び第１の筒状ドラムとしての検査用ドラム１８、複数のピンチローラ１９ａ〜１９ｄ、及び複数のガイドローラ２０により構成されている。そして、前記案内ローラ１６、テンションプーリ１７、検査用ドラム１８については、ＴＡＢテープ１２の搬送方向の上流側から下流側へ、案内ローラ１６ａ、テンションプーリ１７ａ、検査用ドラム１８、テンションプーリ１７ｂ、案内ローラ１６ｂの順に連続した配置構成となっている。
【００１２】
図１に示すように、前記案内ローラ１６ａ，１６ｂは、前記検査用ドラム１８と略同一高さ位置において、回転軸２１ａ，２１ｂにそれぞれ回転可能に支持されている。また、前記テンションプーリ１７ａ，１７ｂは、前記検査用ドラム１８及び前記案内ローラ１６ａ，１６ｂよりも下方位置に、上下方向への移動が可能に配設されている。即ち、前記テンションプーリ１７ａ，１７ｂは、上下移動可能な回転軸２２ａ，２２ｂにそれぞれ回転可能に支持されており、その回転軸２２ａ，２２ｂには当該回転軸２２ａ，２２ｂを常には下方に向けて付勢するテンション調整機構（図示せず）が連結されている。
【００１３】
また、前記検査用ドラム１８は、駆動源であるドラム回転用モータ２３（図２に図示）からの駆動力に基づき回転駆動される回転軸２４に回動自在に支持されている。そして、図３に示すように、前記検査用ドラム１８の外周面は、前記ＴＡＢテープ１２を搬送途中において面接触状態で支持するテープ載置部としてのテープ支持面２５となっている。また、検査用ドラム１８の前方側（図２，３の右側）の外周縁部位からは前記テープ支持面２５上のＴＡＢテープ１２の幅方向における一方（前方）の側縁が当接して位置合わせされる凸部（本実施形態ではフランジ部）２６が第１の規制部として突出形成されている。
【００１４】
従って、前記ＴＡＢテープ１２は、前記各案内ローラ１６ａ，１６ｂの上側半分の周面上、各テンションプーリ１７ａ，１７ｂの下側半分の周面上、及び、検査用ドラム１８の上側半分のテープ支持面２５に、それぞれ巻き掛けられた状態で下流側（図１において右方向）へと搬送されるようになっている。なお、前記ピンチローラ１９ａ，１９ｂは、前記案内ローラ１６ａ，１６ｂの上方から、当該案内ローラ１６ａ，１６ｂの搬送溝内を搬送されるＴＡＢテープ１２の表面に当接し、当該ＴＡＢテープ１２を押圧するようにそれぞれ配設されている。また、前記ピンチローラ１９ｃ，１９ｄは前記検査用ドラム１８の径方向外側から当該検査用ドラム１８のテープ支持面２５に面接触して搬送されるＴＡＢテープ１２の表面に当接し、当該ＴＡＢテープ１２を前記テープ支持面２５に向けて押圧するようにそれぞれ配設されている。
【００１５】
また、前記各ガイドローラ２０は、円筒状をなしており、前記ＴＡＢテープ１２の搬送経路における所定位置に回転可能に配設されている。そして、各ガイドローラ２０は、前記ＴＡＢテープ１２に摺接して、当該ＴＡＢテープ１２を搬送方向へと案内する役目を果たしている。また、前記ＣＣＤラインセンサ１４は、ＴＡＢテープ１２上に施された回路パターンを撮像するものであり、前記検査用ドラム１８の上方に、当該検査用ドラム１８の前記テープ支持面２５から所定の間隔を有するようにして配設されている。
【００１６】
次に位置ぶれ規制手段１５について、図２〜図５に基づき説明する。位置ぶれ規制手段１５は、搬送途中にあるＴＡＢテープ１２の幅方向への移動（位置ぶれ）を規制するとともに、ＴＡＢテープ１２の幅方向に対する位置ぶれ規制条件を自動調整する機能を備えている。
【００１７】
図２，３に示すように、前記検査用ドラム１８の下側には基台２７が配設されており、この基台２７の前端部（図２，３で右端部）上面にはコラム２８が立設される一方、基台２７の後端部側上面には前記コラム２８と略同一高さの支持ボックス２９が立設されている。そして、コラム２８と支持ボックス２９の各上部に貫通形成された軸孔（図示略）に対して前記回転軸２４の両端部が挿通支持されている。前記支持ボックス２９の後面側には前記ドラム回転用モータ２３が取付けられており、このドラム回転用モータ２３の出力軸と前記回転軸２４の後端部とが支持ボックス２９内で動力伝達可能に連結されている。
【００１８】
また、前記回転軸２４における前記支持ボックス２９よりも少し前側位置には、前記検査用ドラム１８と同径の略円盤状に形成されたロータ３０が嵌合固定されている。そして、当該ロータ３０の周縁部と対応する所定位置には、図示しないブラケットを介して前記支持ボックス２９に支持されたエンコーダ３１が、ロータ３０の回動量（即ち、検査用ドラム１８の回動量）を測定可能に配設されている。即ち、当該エンコーダ３１により、ロータ３０の回動量に応じたパルス信号が図示しない撮像制御用コントローラへと出力され、検査用ドラム１８の回動量（ＴＡＢテープ１２の搬送速度に相当する）が制御されることになる。
【００１９】
また、前記基台２７上の前後方向ほぼ中央部には、前後方向に延びる２本のレール３２が平行に配置されている。そして、このレール３２の上には、当該レール３２上を摺動可能な滑車３３を下面側に有する移動プレート３４が載置されている。なお、この移動プレート３４の一側部（図３では上側の端部）には連結板３５を介してブロック体３６が支持されており、当該ブロック体３６にはネジ孔３７が前後方向へ貫通形成されている。
【００２０】
また、前記基台２７の上面には、前記ブロック体３６を前後方向から挟む位置に前後一対の軸受け３８が設けられ、その後方側（図２で左側）の軸受け３８よりも更に後方側にはステッピングモータ３９が配置されている。ステッピングモータ３９の出力軸には長尺棒状をなす移動用シャフト４０の後端部が連結されており、移動用シャフト４０は前記両軸受け３８によって回動可能に支持されている。この移動用シャフト４０は、その長手方向の一部外周面にネジ溝４１を有しており、当該ネジ溝４１が形成された部分が前記ブロック体３６のネジ孔３７に挿通されている。従って、前記ステッピングモータ３９の駆動に伴い移動用シャフト４０が回転すると、その回転運動が前記ネジ溝４１とネジ孔３７を介してブロック体３６の直線往復運動に変換される結果、移動プレート３４が前後方向へ進退移動する構成となっている。
【００２１】
一方、前記移動プレート３４の上面には、所定の厚さを有する平板状の支持プレート４２が前記回転軸２４の軸方向と直交する垂直平面に沿うように立設されている。この支持プレート４２の略中心部には、前記回転軸２４よりも大径で且つ中心が前記回転軸２４の軸線と一致する貫通孔４３（図３に図示）が形成されている。そして、前後両面にボス部４４ａ，４４ｂを有して略円環状をなすホルダ４５が、その後側のボス部４４ｂを前記貫通孔４３に挿通させた状態で、図示しないボルト等を介して前記支持プレート４２の前面側に固定されている。なお、前記ホルダ４５の内周面側において前記ボス部４４ａ，４４ｂと対応する位置には、前後一対のベアリング４６が組み付け固定され、当該各ベアリング４６における内輪の内周面によりホルダ４５の内周面が構成されている。
【００２２】
また、前記ホルダ４５の前側には略円盤状をなす回転テーブル４７が配置されており、当該回転テーブル４７は、その後面から軸方向に延設した筒状のボス部４８が前記ホルダ４５の内周面と回転軸２４の外周面との間に挿通嵌合されている。そして、前記ボス部４８の内周面と回転軸２４の外周面との間には軸方向に延びるスプライン溝（図示略）等からなるスプライン嵌め合い構造が設けられている。従って、前記ドラム回転用モータ２３の駆動力により回転軸２４が回転すると、前記回転テーブル４７も前記検査用ドラム１８及びロータ３０と共に回転することになる。なお、前記ボス部４８の先端側外周面にはナット４９を螺合するためのネジ溝（図示略）が形成されている。
【００２３】
一方、前記支持プレート４２に固定されたホルダ４５は、その前側のボス部４４ａ（具体的には、内周面の前側に組み付けたベアリング４６）の部分が、前記回転テーブル４７におけるボス部４８の基端側（図３で右端側）に形成された段部５０と当接している。そして、前記ホルダ４５は、その後側のボス部４４ｂ（具体的には、内周面の後側に組み付けたベアリング４６）の部分が、前記ボス部４８のネジ溝に螺合されたナット４９によりリング状のスペーサ５１を介して前方側へ押圧されている。即ち、前記ホルダ４５は、段部５０及びナット４９により挟み込まれた状態とされ、回転テーブル４７（及びそのボス部４８）に対して前後方向（図２の左右方向）への相対移動が規制される構成になっている。従って、前記ステッピングモータ３９の駆動力により移動プレート３４及び支持プレート４２が前後方向へ移動すると、前記ホルダ４５及び回転テーブル４７も同様に前後方向へ移動することになる。
【００２４】
前記支持プレート４２の前面側には、略円盤状をなすプッシャ５２が配設されている。当該プッシャ５２の外周面は、前記回転テーブル４７に対向する側から装置後方（図２において左方向）へ向かうにつれてプッシャ５２の外径が徐々に拡径するテーパ面５３となっている。また、前記支持プレート４２の後面側には、図示しないコントローラに基づき駆動制御される複数（本実施形態では２個）のエアシリンダ５４、及び複数（本実施形態では等間隔に４個）の軸受け５５が、前記ホルダ４５の外周縁よりも外側となる配置構成で固定されている。前記エアシリンダ５４は、そのロッド５６（図５参照）が前記回転軸２４の軸方向に伸縮する配置構成とされ、当該ロッド５６は、支持プレート４２に形成された貫通孔５７（図２参照）内に挿通されて先端が前記プッシャ５２の後面に固定されている。
【００２５】
また、前記支持プレート４２には、前記軸受け５５の軸方向中心と対応する位置に貫通孔５８（図２参照）が貫通形成されている。そして、この貫通孔５８及び前記軸受け５５に挿通されたリニアシャフト５９の先端が前記プッシャ５２の後面に固定されている。従って、前記エアシリンダ５４が駆動されると、そのロッド５６の伸縮により、前記プッシャ５２はリニアシャフト５９にガイドされながら、前記支持プレート４２や回転テーブル４７等とは別に、前後方向へ進退移動することになる。
【００２６】
図２，３に示すように、前記検査用ドラム１８には、位置ぶれ規制部材及び第２の筒状ドラムとしての筒状ドラム６０が外嵌合されている。この筒状ドラム６０は、当該筒状ドラム６０の周方向へ等分割された複数（８つ）のドラム片６１により構成されている。そして、図２，３に示すように、前記各ドラム片６１からなる筒状ドラム６０は、前記検査用ドラム１８への外嵌合状態において、前記テープ支持面２５に面接触状態で支持されたＴＡＢテープ１２の幅方向における他方の側縁に当該筒状ドラム６０の前側の端縁部（所定部位）６２が当接可能な構成とされている。即ち、筒状ドラム６０の端縁部６２は、前記検査用ドラム１８の凸部２６（第１の規制部）がテープ支持面２５に面接触して搬送されるＴＡＢテープ１２の幅方向における一方の側縁に当接した際、その他方の側縁に当接して位置ぶれ規制する第２の規制部として機能するようになっている。そして、前記筒状ドラム６０が検査用ドラム１８に対して外嵌合状態にあるとき、そのテープ支持面２５上には、当該テープ支持面２５と前記凸部２６及び端縁部６２により、ＴＡＢテープ１２が幅方向へ位置ぶれするのを規制するための規制溝６３が形成される。
【００２７】
図４（ａ）に示すように、前記各ドラム片６１において前記プッシャ５２と対向する底部６４には、先端にカムフォロア６５が付設されたリンク棒６６が、前記プッシャ５２の外周形状と略対応する位置から、筒状ドラム６０の軸方向に沿うように立設されている。また、前記底部６４の略中央部には、断面形状がアリ溝状をなすレール受け６７が、その溝方向を筒状ドラム６０の軸線（＝回転軸２４の軸線）を中心とする放射方向に沿わせるようにして配設されている。なお、各ドラム片６１は、バネ等の付勢手段（図示せず）により、検査用ドラム１８の軸芯方向へ付勢されている。
【００２８】
また、図４（ｂ）に示すように、前記回転テーブル４７における前記筒状ドラム６０と対向する面（図２，３では前面）には、前記各ドラム片６１と同数の断面略Ｔ字状をなすレール６８が、前記各レール受け６７と対応する位置で且つ各レール受け６７の溝方向に沿うようにして、等間隔に配設されている。そして、各レール６８は、前記各ドラム片６１のレール受け６７にアリ嵌合するようにして噛み合わされ、その結果、各ドラム片６１の移動が回転軸２４の軸芯を中心とする放射方向のみに規制されるようになっている。
【００２９】
また、前記回転テーブル４７において前記レール６８の両側には、前記プッシャ５２の各リンク棒６６と対応する位置に貫通孔６９がそれぞれ形成されている。即ち、前記各ドラム片６１のリンク棒６６は、回転テーブル４７の前記貫通孔６９内を通ってプッシャ５２側へと延設されている。従って、前記エアシリンダ５４のロッド５６が伸縮してプッシャ５２が前後移動すると、筒状ドラム６０を形成する各ドラム片６１は各リンク棒６６とプッシャ５２のテーパ面５３との位置関係により前記テープ支持面２５に対して密着して外嵌合した規制時位置又は離間して拡開した調整時位置とを取ることになる。本実施形態においては、前記検査用ドラム１８の凸部２６、移動プレート３４、ブロック体３６、ステッピングモータ３９、移動用シャフト４０、支持プレート４２、回転テーブル４７、プッシャ５２、エアシリンダ５４、筒状ドラム６０の端縁部６２、リンク棒６６等により、位置ぶれ規制手段１５が構成されている。
【００３０】
次に、以上のように構成された本実施形態におけるパターン検査装置１１の作用について説明する。なお、ＴＡＢテープ１２が搬送される際の搬送速度は一定であり、本実施形態においては、１８ｍｍ／ｓｅｃであるものとする。
【００３１】
さて、パターン検査装置１１の稼働に伴い下流側へ搬送されるＴＡＢテープ１２は、テンション調整機構により下方へ付勢されたテンションプーリ１７ａ，１７ｂによって、検査用ドラム１８のテープ支持面２５上において張られた状態となる。そのため、前記検査用ドラム１８のテープ支持面２５上において、前記ＴＡＢテープ１２は、撓みやうねりが矯正された展張状態でＣＣＤラインセンサ１４により撮像されることになる。なお、ＣＣＤラインセンサ１４では、エンコーダ３１から出力されるパルス信号に基づいて撮像周期が決定され、所定タイミングで撮像が実施される。そして、以上のようにＣＣＤラインセンサ１４により撮像された回路パターンの撮像データは、図示しない欠陥検査手段へと送られ、撮像データの加工処理等が施された後、回路パターンにおける突起や欠損等の欠陥の有無が検査される。
【００３２】
次に、位置ぶれ規制手段１５の作用について、図５〜図７の動作説明図を用いて説明する。なお、本実施形態では、幅の広いＴＡＢテープ１２から、幅の狭いＴＡＢテープ１２へと検査対象を変更する際におけるパターン検査装置１１の動作を説明する。
【００３３】
まず、コントローラからの動作指令によりエアシリンダ５４のロッド５６が伸長動作すると、プッシャ５２が前進移動する。その結果、図５に示すように、プッシャ５２のテーパ面５３にリンク棒６６先端のカムフォロア６５が接触する。そして、その状態から更に、ロッド５６が伸長すると、カムフォロア６５及びリンク棒６６が前記テーパ面５３により回転軸２４の軸線を中心とする放射方向へ押し上げられる。
【００３４】
すると、その放射方向への押し上げ力を受けて、図６に示すように、各ドラム片６１のレール受け６７が回転テーブル４７のレール６８に沿って摺動する結果、各ドラム片６１は回転軸２４の軸線を中心とした放射方向外側へ移動する。従って、筒状ドラム６０は、各ドラム片６１が検査用ドラム１８のテープ支持面２５から離間して拡開した調整時位置となり、前記レール受け６７とレール６８とのアリ嵌合により連結された回転テーブル４７と共に前後移動することが可能となる。
【００３５】
次に、前記調整時位置にあって各ドラム片６１の拡開状態が維持されたまま、ステッピングモータ３９の駆動力に基づいたブロック体３６の前進移動に伴い、移動プレート３４及びホルダ４５等と共に回転テーブル４７が前進移動する。すると、当該回転テーブル４７に各ドラム片６１が連結された筒状ドラム６０も、同時に前進移動される。
【００３６】
すると、ＴＡＢテープ１２を搬送方向へ案内する規制溝６３の幅が、新たに交換するＴＡＢテープ１２のテープ幅になった時点で、コントローラはステッピングモータ３９の回転駆動を停止する。そして次に、コントローラからの動作指令によりエアシリンダ５４のロッド５６が収縮動作すると、プッシャ５２が後退移動する。その結果、図７に示すように、プッシャ５２のテーパ面５３からリンク棒６６の先端のカムフォロア６５が離間する。すると、各ドラム片６１がバネの付勢作用により縮閉され、筒状ドラム６０は、各ドラム片６１がテープ支持面２５に密着して外嵌合した規制時位置となる。従って、新たに交換された幅の狭いＴＡＢテープ１２に対しても、その両側縁に前記凸部２６と端縁部６２が当接することになり、当該ＴＡＢテープ１２が幅方向へ位置ぶれすることを規制する。
【００３７】
上記実施形態のパターン検査装置１１によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１）上記実施形態では、検査用ドラム１８のテープ支持面２５上を搬送されるＴＡＢテープ１２の幅方向の位置ぶれ規制条件が、検査用ドラム１８の凸部２６と筒状ドラム６０の端縁部６２との間隔により決定される前提にあって、当該凸部２６と端縁部６２との間隔が変更調節可能な構成とした。即ち、ステッピングモータ３９及びエアシリンダ５４の駆動に伴って、前記凸部２６と端縁部６２との間隔が広くなったり狭くなったりして、前記規制溝６３の溝幅がＴＡＢテープ１２の幅に合わせて調整されるようにした。従って、幅の異なる複数種類のＴＡＢテープ１２を検査する場合であっても、従来のように検査用ドラム１８を交換する必要がなく、検査に必要な時間を低減することができる。
【００３８】
（２）上記実施形態では、前記ＴＡＢテープ１２の位置ぶれ規制条件の決定要素である検査用ドラム１８の凸部２６（第１の規制部）と筒状ドラム６０の端縁部６２（第２の規制部）とがＴＡＢテープ１２の幅方向へ相対移動することにより、位置ぶれ規制条件を調整するようになっている。従って、ＴＡＢテープ１２の位置ぶれ規制条件を複雑な構成を採用することなく簡易な構成で変更調節できる。
【００３９】
（３）上記実施形態では、筒状ドラム６０を形成する各ドラム片６１が、検査用ドラム１８におけるテープ支持面２５に対して密着して外嵌合した規制時位置と、テープ支持面２５から離間して拡開した調整時位置との間を移動可能に設けられている。従って、テープ支持面２５と検査用ドラム１８の凸部２６及び筒状ドラム６０の端縁部６２とから形成される規制溝６３の幅を変更する際に、検査用ドラム１８の外周面を傷つけることなく、テープ幅の調整を実施することができる。
【００４０】
（４）上記実施形態では、テープ支持部材を検査用ドラム１８により構成すると共に、位置ぶれ規制部材を前記検査用ドラム１８に外嵌合される筒状ドラム６０にて構成した。従って、ＴＡＢテープ１２が検査用ドラム１８の外周面に対して面接触状態で搬送されるため、ＴＡＢテープ１２に施された配線パターンを撓みやうねりが矯正された状態で撮像することができ、ピントがずれることなく鮮明な撮像が行える。
【００４１】
（５）上記実施形態では、前記筒状ドラム６０は、周方向へ複数のドラム片６１に分割された構成であり、前記調整時位置での移動時には、前記各ドラム片６１が前記検査用ドラム１８から離間する方向へ、具体的には検査用ドラム１８の軸線を中心とする放射方向へ拡開する構成とした。従って、テープ支持面２５を傷つけることなく、テープ幅を変更するために行われる各ドラム片６１の移動を、僅かなスペースで行うことができ、装置全体のコンパクト化に寄与することができる。
【００４２】
なお、本実施形態は以下のように変更してもよい。
○上記実施形態では、被検査用のテープとしてＴＡＢテープ１２を用いたが、これに限られることはなく、その他、ＣＳＰ用テープ等の半導体の実装用テープでもよい。
【００４３】
○上記実施形態では、筒状ドラム６０は、周方向へ８つのドラム片６１に分割された構成としたが、この数は８つに限られることはない。また、筒状ドラム６０は、複数のドラム片６１に分割することなく構成してもよい。
【００４４】
○上記実施形態では、回転軸２４の回転駆動に伴い、検査用ドラム１８及び筒状ドラム６０も回転する構成となっていたが、これに限られることはなく、検査用ドラム１８のみを回転可能に構成し、筒状ドラム６０は回転しない構成としてもよい。
【００４５】
○上記実施形態では、テープ搬送手段として、検査用ドラム１８の外周面のように湾曲したテープ支持面２５を有し、当該検査用ドラム１８の周面上で、ＴＡＢテープ１２の位置ぶれ規制条件を変更調節可能な構成とした。しかし、これに限られることはなく、水平なテープ支持面を有するテープ搬送手段の当該テープ支持面上でＴＡＢテープ１２の位置ぶれ規制条件を変更可能な構成としてもよい。
【００４６】
○上記実施形態では、筒状ドラム６０を検査用ドラム１８に外嵌合する構成とし、筒状ドラム６０を検査用ドラム１８に対して移動させる構成としたが、検査用ドラム１８の方を筒状ドラム６０に対して移動させる構成としてもよい。
【００４７】
○上記実施形態では、第１の規制部としての凸部２６が、検査用ドラム１８における全周にわたって突出形成されていたが、複数個の突起（第１の規制部）が検査用ドラム１８の周方向へ所定の間隔を有して突出形成されるような構成であってもよい。
【００４８】
○上記実施形態では、検査用ドラム１８に外嵌合される筒状ドラム６０は、規制時位置にあるとき各ドラム片６１が互いに接合することにより筒状をなし、検査用ドラム１８の全周を覆うように嵌合形成されていたが、これに限られることはない。例えば、規制時位置において各ドラム片６１を互いに所定の間隔を有して間欠的に検査用ドラム１８に外嵌合させてもよい。
【００４９】
○上記実施形態では、検査用ドラム１８に筒状ドラム６０が外嵌合される構成とし、検査用ドラム１８の外周面上のテープ支持面２５と凸部２６（第１の規制部）及び筒状ドラム６０の端縁部６２（第２の規制部）により規制溝６３が形成されたが、このような構成に限られることはない。例えば、端縁部６２に換わる構成として、検査用ドラム１８の内周面側からテープ支持面２５上へ出没自在なピンを第２の規制部として設け、当該ピンを検査用ドラムの周方向へ所定間隔をおいて列設すると共に、そのような複数ピンの列をテープ支持面２５の幅方向へ所定間隔をおいて設けてもよい。
【００５０】
○上記実施形態では、撮像手段として、ＣＣＤラインセンサ１４を用いたが、これに限られることはなく、エリアセンサを用いてもよい。
○上記実施形態では、配線パターンの欠陥等を検査するパターン検査装置に具体化したが、これに限られることはなく、例えば、８ミリフィルム等に記録された画像を検査する装置等にも適用可能である。
【００５１】
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について、以下に追記する。
（ａ）前記テープ支持部材は第１の筒状ドラムにより構成されると共に、当該第１の筒状ドラムの一方側縁に形成された凸部にて前記第１の規制部が構成され、一方、前記位置ぶれ規制部材は前記第１の筒状ドラムに外嵌合される第２の筒状ドラムにて構成されると共に、当該第２の筒状ドラムにおいて前記第１の筒状ドラムの凸部と対向する側の端縁部にて前記第２の規制部が構成されている請求項３に記載のパターン検査装置。
【００５２】
（ｂ）前記第２の筒状ドラムは、周方向へ複数のドラム片に分割された構成であり、前記調整時位置での移動時には、前記各ドラム片が前記第１の筒状ドラムから離間する方向へ変位し、当該第２の筒状ドラムが前記第１の筒状ドラムに対して拡開状態となる上記技術的思想（ａ）に記載のパターン検査装置。
【００５３】
【発明の効果】
本発明によれば、テープ幅が異なる複数種類の半導体実装用テープを検査する場合であっても、再調整等にかかる時間を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】パターン検査装置の要部概略正面図。
【図２】パターン検査装置の要部概略側面図。
【図３】図２のＸ−Ｘ’要部上断面図。
【図４】（ａ）はドラム片の説明図、（ｂ）は回転テーブルの説明図。
【図５】パターン検査装置の動作説明図（拡開時）。
【図６】パターン検査装置の動作説明図（拡開時）。
【図７】パターン検査装置の動作説明図。
【符号の説明】
１２  テープとしてのＴＡＢテープ
１３  テープ搬送手段
１４  撮像手段としてのＣＣＤラインセンサ
１５  位置ぶれ規制手段
１８  テープ支持部材及び第１の筒状ドラムとしての検査用ドラム
２６  第１の規制部としての凸部
６０  位置ぶれ規制部材及び第２の筒状ドラムとしての筒状ドラム
６２  第２の規制部としての端縁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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