(57)【要約】【課題】  パネル装着型の流量検出ユニットを専用ケースに確実に固定することのできる簡易な構造の流量検出装置を提供する。【解決手段】  流量センサを組み付けた流路ブロック体を略直方体形状の筐体に内蔵したパネル装着型の流量検出ユニットと、この流量検出ユニットを収納して該流量検出ユニットをパネルに装着しない状態で使用する為の箱形の専用ケースとを具備し、前記流量検出ユニットの前記流路ブロック体に設けられて該流路ブロック体を前記筐体の外側から該筐体に固定する為のねじ穴に、前記専用ケースの外側から前記筐体を介してねじを螺合することで前記専用ケースに前記流量検出ユニットを固定する。【選択図】      図２
2005221304.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の流路を形成すると共に該流路に流量センサを組み付けた流路ブロック体を略直方体形状のパネル装着用の筐体に内蔵し、この筐体をパネルに取り付けたときに該パネルの前面に露出する前記筐体の前面部に表示器および操作スイッチを設けると共に、前記筐体の背面部に前記流路の流入口および流出口を設けたパネル装着型の流量検出ユニットと、
この流量検出ユニットを収納して該流量検出ユニットを前記パネルに装着しない状態で使用する為の箱形の専用ケースと
を具備し、
前記流量検出ユニットの前記流路ブロック体に設けられて該流路ブロック体を前記筐体の外側から該筐体に固定する為のねじ穴に、前記専用ケースの外側から前記筐体を介して螺合するねじにより前記専用ケースに前記流量検出ユニットを固定したことを特徴とする流量検出装置。
【請求項２】
前記ねじは、前記流路ブロック体を前記筐体の外側から該筐体に固定しているねじを取り外して開放されるねじ穴に、前記専用ケースに穿たれた透孔を挿通させて該専用ケースの外側から螺着され、その頭部と前記流路ブロック体との間に前記筐体と前記専用ケースとを挟み込んで前記流量検出ユニットを前記専用ケースに固定するものである請求項１に記載の流量検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流路ブロック体をパネル装着用の筐体に内蔵した流量検出ユニットを、パネルに装着しない状態で使用する為の専用ケースに収納した流量検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体の製造工程においては各種のガスが用いられる。この種のガスの供給量を制御するべく、一般的にはガスの供給流路（ガス配管）に流量検出装置や流量制御装置を介挿し、その流量を調節することが行われる。ちなみに流量検出装置は、基本的にはガス配管に介挿される流路を形成した流路ブロック体と、この流路ブロック体に組み付けられて上記流路を通流するガス（流体）の流量を検出する流量センサとを備えて構成される（例えば特許文献１を参照）。また流量制御装置は更に前記ブロック体に前記ガス（流体）の流量を調節する流量調整弁を設けた構造を有し、流体の流量を所望の一定値に一致させるように動作する（例えば特許文献２を参照）。
【特許文献１】特開平１１−１３２８１３号公報
【特許文献２】特開２０００−８１９１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところでこの種の流量検出装置（流量制御装置）は、例えば図３にその分解構造を示すように所定の流路を形成した金属製の流路ブロック体１を電気回路基板２等と共に略直方体形状の筐体３に収納し、筐体３を所定のパネルＰに取り付けたときに該パネルＰの前面に露出する前記筐体３の前面部（前面パネル）４に表示器４ａおよび操作スイッチ４ｂを設けると共に、前記筐体３の背面部に前記流路の流入口５および流出口６を設けたパネル装着型の流量検出ユニットとして実現される。尚、表示器４ａは前記流路ブロック体１に組み込んだ流量センサ７を用いて計測した流量値等を表示する為のものであり、また操作スイッチ４ｂは前記流路ブロック体１に組み込んだ流量調整弁機構８に対する制御パラメータ等を設定するためのものである。
【０００４】
このような流量検出ユニット１０のパネルＰへの装着は、例えば図４に示すようにパネルＰに開口されたユニット取付穴に流量検出ユニット１０をその後部（背面部）から挿入し、該流量検出ユニット１０の前面部、具体的に筐体３の前端部に外側に向けて張り出したフランジ部３ａと前記流量検出ユニット１０の後部から装着されるパネル取り付け用の治具１１との間に上記パネルＰを挟み込むことで行われる。
【０００５】
ところでこのようなパネル装着型の流量検出ユニット１０をパネルＰに装着しない状態で使用する場合、パネルＰへの取り付けによって流量検出ユニット１０が固定的に位置決めされないことになる。しかも流量検出ユニット１０が、いわゆる剥き出し状態のまま使用されることになるので、外部から加わる衝撃等に対処することができないと言う問題がある。そこで上記流量検出ユニット１０を箱形の専用ケースに収納することで該流量検出ユニット１０を保護し、また専用ケースを机上等に半固定的に設置することで上述した問題を解消することが考えられる。
【０００６】
しかしながら流量検出ユニット１０を箱形の専用ケースに収納し、前述したパネル取り付け用の治具１１を用いて筐体３の前面部３ａを専用ケースに取り付けても、専用ケースが机上等に半固定的に設置されるだけなので、流量検出ユニット１０と配管との連結部に加わるストレスによって該流量検出ユニット１０が専用ケースから外れ易い。これ故、流量検出ユニット１０を専用ケースに確実に固定することが要求される。しかし流量検出ユニット１０に上記専用ケースへの固定用機構をわざわざ組み込むことは無駄が多く、また小型化された流量検出ユニット１０の場合には、その組み込みスペースを確保することも困難である。
【０００７】
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的は、パネル装着型の流量検出ユニットをパネルに装着しない状態で使用する場合であっても、上記流量検出ユニットをその専用ケースに確実に固定することのできる簡易な構造の流量検出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した目的を達成するべく本発明に係る流量検出装置は、所定の流路を形成すると共に該流路に流量センサを組み付けた流路ブロック体を略直方体形状のパネル装着用の筐体に内蔵し、この筐体をパネルに取り付けたときに該パネルの前面に露出する前記筐体の前面部に表示器および操作スイッチを設けると共に、前記筐体の背面部に前記流路の流入口および流出口を設けたパネル装着型の流量検出ユニットと、この流量検出ユニットを収納して該流量検出ユニットを前記パネルに装着しない状態で使用する為の箱形の専用ケースとを具備したものであって、
特に前記流量検出ユニットの前記流路ブロック体に設けられて該流路ブロック体を前記筐体の外側から該筐体に固定する為のねじ穴に、前記専用ケースの外側から前記筐体を介して螺合するねじにより前記専用ケースに前記流量検出ユニットを固定するようにしたことを特徴としている。
【０００９】
好ましくは前記ねじは、前記流路ブロック体を前記筐体の外側から該筐体に固定しているねじを取り外して開放されるねじ穴に、前記専用ケースに穿たれた透孔を挿通させて該専用ケースの外側から螺着されるものであって、その頭部と前記流路ブロック体との間に前記筐体と前記専用ケースとを挟み込むことによって前記流量検出ユニットと前記専用ケースとの確実な固定を実現する。
【発明の効果】
【００１０】
このようにして流量検出ユニットを専用ケースに収納して固定した流量検出装置によれば、専用ケースに流量検出ユニットを固定する為のねじが、該流量検出ユニットに組み込まれた流路ブロック体に直接固定されることになる。従って流量検出ユニットの内部を大きく占有し、しかも流量検出ユニットが有する重量を殆ど占める流路ブロック体に筐体および専用ケースをそれぞれ固定することが可能となるので、筐体と専用ケースとを確実に一体化することができる。この結果、配管からのストレスが加わっても専用ケースから流量検出ユニットが外れることが確実に防止されるので、該流量検出装置を安定に使用することが可能となる。
【００１１】
また流路ブロック体に予め設けられているねじ穴を利用して該流路ブロック体に筐体および専用ケースを一括して固定するだけなので、パネル装着型の流量検出ユニットに格別な変更を加える必要がない等の利点もある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係る流量検出装置について説明する。
図１はこの実施形態に係る流量検出装置の分解図であり、１０は流量ブロック体１を箱形の筐体３に収納したパネル装着型の流量検出ユニットである。この流量検出ユニット１０は、図３を参照して前述したように、流量センサ７を組み付けた流路ブロック体１を略直方体形状のパネル装着用の筐体３に内蔵し、その前面パネル部４に表示器４ａおよび操作スイッチ４ｂを設けると共に、前記筐体４の背面部に前記流路の流入口５および流出口６を設けたものである。
【００１３】
特にこの流量検出ユニット１０は、前記流量ブロック体１が金属製の重量物からなり、これに比較して電気回路基板２や筐体３が軽量物であることから、流量ブロック体１に電気回路基板２や前面パネル部４等を一体に組み付け、これを箱形の筐体３内に収納して該筐体３を前記流量ブロック体１に固定した構造を有している。換言すれば電気回路基板２や前面パネル部４等を一体に組み付けた流量ブロック体１を覆って箱形の筐体３を設け、この筐体３を前記流量ブロック体１に固定することで略直方体形状の流量検出ユニット１０が構築されている。
【００１４】
一方、上述したパネル装着型の流量検出ユニット１０を収納して該流量検出ユニット１０をパネルＰに装着しない状態で使用する為の専用ケース２０は、図１に示すように前面板２１と底板２２とを備えた下部ケース体２３と、この下部ケース体２３を覆って設けられる天板２４，一対の側板２５,２５、および背面板２６とを備えた上部ケース体２７とからなる。上記下部ケース体２３と上部ケース体２７とは、その側部においてタッピングねじ２７を用いて結合一体化されて箱形のケース２０を構成する。
【００１５】
また下部ケース体２３の前面板２１には、流量検出ユニット１０がその背面側から嵌め込まれる矩形状の取付孔２１ａが設けられており、また前記上部ケース体２７の背面板２６には流量検出ユニット１０の流入口５および流出口６（一対のコネクタ）をそれぞれ挿通する為の２つの丸孔２６ａと、流量検出ユニット１０の電気接続端子９を挿通する各孔２６ｂとが設けられている。
【００１６】
このような専用ケース２０への流量検出ユニット１０の取り付けは、上部ケース体２７を取り外した状態で、先ず前記下部ケース体２３の前面板２１に開口した取付孔２１ａに前記流量検出ユニット１０をその背面側から挿通させる。そして流量検出ユニット１０をその背面側から嵌め込んだプラスチック製のパネル取り付け用の治具１１を用い、流量検出ユニット１０における筐体３の前端部に設けたフランジ部３ａと前記治具１１との間に前面板２１を挟み込み、これによって流量検出ユニット１０を下部ケース体２３に固定する。
【００１７】
この状態で前記流量検出ユニット１０の背面において前記筐体３を前記流路ブロック体１に固定しているねじ３０の１つを取り外し、流路ブロック体１に設けられているねじ孔（図示せず）を開放する。そして前記下部ケース体２３の上に、上記流量検出ユニット１０を覆って上部ケース体２７を取り付け、図２に示すように上述した如く流量検出ユニット１０から取り外したねじ３０を上部ケース体２７の外側から前記流路ブロック体１に設けられているねじ孔にねじ込む。そして図２にその部分断面構造を示すように、上記ねじ３０の頭部と前記流路ブロック体１との間に流量検出ユニット１０の筐体３と上部ケース体２７の背面板２６とを重ね合わせて一体に挟み込み、これらを前記流路ブロック体１に固定する。
【００１８】
かくしてこのようにして流量検出ユニット１０を専用ケース２０に固定した構造の流量検出装置によれば、流量検出ユニット１０の主たる重量を占め、且つ筐体３内での占有空間を多く占める流路ブロック体１に専用ケース２０を直接固定することができるので、その取り付け強度を十分に高くすることができる。従って配管から流量検出ユニット１０の流入口５および流出口６に不本意なストレスが加わっても、前述したパネル取り付け用の治具１１の取り付け強度不足に起因して流量検出ユニット１０が専用ケース２０から外れるような不具合がなくなる。
【００１９】
しかも上記流量検出ユニット１０と専用ケース２０との固定を、前記流量ブロック体１に予め設けられているねじ孔をそのまま利用して、本来的には筐体３を固定する為だけに機能するねじ３０を用いて専用ケース２０と筐体３とを一括して流量ブロック体１に固定することにより実現するので、流量検出ユニット１０に格別な変更を加える必要がない等の利点もある。特に流量ブロック体１は、その主たる機能を十分に発揮させつつ必要最小限の大きさに形成されることが多いので、新たに該流量ブロック体１に別のねじ孔等を設けることが困難なことが多い。従って流量ブロック体１が備えるねじ孔をそのまま活用すると言う点で、実用的利点が多大である。
【００２０】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば流路ブロック体１に筐体３を結合するねじ３０については、通常、３〜４本程度設けられるので、その内の１本を専用ケース２０との固定に用いるようにすれば、残されたねじ３０により流量検出ユニット１０の組み立て状態が維持されるので、何等の問題も生じない。また流量検出ユニット１０から取り外したねじ３０を、再度、流量検出ユニット１０（流路ブロック体１）に螺合することになるので、強度的な問題も生じることがない。この場合、専用ケース２０の背面板２６の板厚分、そのねじ長さを長くした別のねじを用いることも勿論可能である。また専用ケース２０の形状や大きさ、その構造についても種々変形可能なことは言うまでもない。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明の一実施形態に係る流量検出装置の概略構成を示す分解斜視図。
【図２】図１に示す流量検出装置の要部断面構成図。
【図３】パネル装着用の流量検出ユニットの概略構成を示す分解斜視図。
【図４】図３に示す流量検出ユニットのパネルへの取り付け構造を示す図。
【符号の説明】
【００２２】
１  流路ブロック体
５  流入口（コネクタ）
６  流出口（コネクタ）
７  流量センサ
１０  流量検出ユニット
２０  専用ケース
２３  下部ケース体
２６  背面板
２７  上部ケース体
３０  ねじ
【図１】
2005221304.tif 000003
【図２】
2005221304.tif 000004
【図３】
2005221304.tif 000005
【図４】
2005221304.tif 000006