(57)【要約】      （修正有）【課題】基板の撓みや基板への異物の付着を防止できる枚用単位の基板搬送装置を提供する。【解決手段】基台４を床上と天井との間で昇降させる昇降手段７と、基板Ｐの処理ライン間を結ぶ天井走行路１上で基台４を走行させる走行手段と、基台４上の基板Ｐを覆うケース５とを具備した基板搬送装置であって、基板Ｐを縦向きにして基板Ｐの処理ライン間で搬送することができるので、基板Ｐの撓みを防止することができ、落下する異物の基板Ｐ上への付着を防止することができる。また、基板Ｐを枚葉単位で搬送するので、従来のカセットが不要であり、基板Ｐのサイズが大型化しても速やかに対処することができる。さらに、基板Ｐを保持した基台４は昇降手段７により上昇し天井を走行するので、工場の床面積の有効利用が可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を枚葉単位で縦向きに保持する基台と、基台を床上と天井との間で昇降させる昇降手段と、基板の処理ライン間を結ぶ天井走行路上で基台を走行させる走行手段と、基台上の基板を覆うケースとを具備したことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、ケース内部を清浄に保つ清浄手段を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の基板搬送装置において、天井走行路が処理ライン間にバッファ部を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶工場に代表されるフラットパネルディスプレイ製造工場においてガラス基板を搬送する方法には大きく分けて二種類ある（例えば、非特許文献１参照。）。
【０００３】
ひとつはガラス基板の処理ライン間での搬送をカセット単位で行い、各処理ライン内での搬送をガラス基板単位で行う搬送方式である。処理ライン間では、複数枚のガラス基板を収容したカセットを有軌道台車、無人搬送車等の搬送台車に載せて各処理ラインの処理装置へ搬送する。各処理装置に対してはロボット等の装置でカセットからガラス基板を枚葉毎に取出し、処理装置を通した後、再びロボット等の装置がカセットに収容して、次の処理装置に搬送するようになっている。
【０００４】
もうひとつは処理ライン間の搬送及び処理ライン内での搬送の両方をガラス基板単位で行う搬送方式である。この搬送方式では、処理ライン間、各処理ライン内でガラス基板を水平コンベアで搬送するようになっている。
【０００５】
【非特許文献１】北原洋明、「液晶製造におけるクリーンテクノロジーの展望」、クリーンテクノロジー、２００１年２月、ｐ．２４〜ｐ．２９
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ノートパソコン、モニタ、テレビ等の大型化に伴い、フラットパネルディスプレイ生産用のガラス基板が大型化しており、液晶工場では第４世代とされる７３０ｍｍ×９２０ｍｍのサイズから第５世代の１１００ｍｍ×１２５０ｍｍのサイズあるいはそれ以上のサイズへと大型化している。
【０００７】
このようなガラス基板の大型化に伴い、ガラス基板をカセット単位で搬送する方式では、ガラス基板を収容したカセットの重量が増大することにより搬送機器が大型化し、ガラス基板の大型化に合わせてカセットを交換しなければならない等の問題が生じる。
【０００８】
また、ガラス基板をカセットに収容し、あるいはコンベアで搬送するときは、ガラス基板は水平状態に保持されるため、大きいガラス基板ほど大きな撓みが発生する。この撓みはガラス基板の破損の原因になり、ガラス基板に配線パターンが形成されている場合には断線の原因にもなる。また、水平状態に保持されるガラス基板上には異物が堆積しやすい。
【０００９】
その他、ガラス基板を水平方向に搬送する方式では、大きいガラス基板ほど工場の床面積に占める搬送ラインの割合が増大するので、クリーンエリアが拡大することになり、製品のコストアップを招く。
【００１０】
本発明は、上記問題点を解決することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、基板（Ｐ）を枚葉単位で縦向きに保持する基台（４）と、基台（４）を床上と天井との間で昇降させる昇降手段（７）と、基板（Ｐ）の処理ライン（Ａ，Ｂ，Ｃ）間を結ぶ天井走行路（１，２，３）上で基台（４）を走行させる走行手段と、基台（４）上の基板（Ｐ）を覆うケース（５）とを具備した基板搬送装置を採用する。
【００１２】
この請求項１に係る発明によれば、基板（Ｐ）を縦向きにして基板（Ｐ）の処理ライン（Ａ，Ｂ，Ｃ）間で搬送することができるので、基板（Ｐ）の撓みを防止することができ、落下する異物の基板（Ｐ）上への付着を防止することができる。また、基板（Ｐ）を枚葉単位で搬送するので、従来のカセットが不要であり、基板（Ｐ）のサイズが大型化しても速やかに対処することができる。さらに、基板（Ｐ）を保持した基台（４）は昇降手段（７）により上昇し天井を走行するので、工場の床面積の有効利用が可能となる。
【００１３】
また、請求項２に係る発明は、請求項１に記載の基板搬送装置において、ケース（５）内部を清浄に保つ清浄手段（９）を備えた基板搬送装置を採用する。
【００１４】
この請求項２に係る発明によれば、清浄手段（９）によりケース（５）内部を清浄に保つことにより基板（Ｐ）への塵埃等の異物の付着を防止するので、クリーンエリアを縮小することができる。
【００１５】
また、請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の基板搬送装置において、天井走行路が処理ライン（Ａ，Ｂ，Ｃ）間にバッファ部（３）を備えた基板搬送装置を採用する。
【００１６】
この請求項３に係る発明によれば、各処理ライン（Ａ，Ｂ，Ｃ）での基板（Ｐ）の処理速度に応じて基板（Ｐ）をバッファ部（３）で待機させることができるので、基板（Ｐ）の処理及び搬送が円滑化される。
【００１７】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
液晶ディスプレイの画面を構成するカラーフィルタの製造工場では、例えば１１００ｍｍ×１３００ｍｍの畳一枚程度の大きさの薄いガラス基板が各処理ラインで製膜、着色等の種々の処理を施され、例えば液晶ディスプレイ１６台分の取り数でカラーフィルタが形成された後、梱包され工場外に搬出される。図２はカラーフィルタの製造工場のレイアウト図であり、各種処理ラインが平行に配置されている。図２中、符号Ａは赤フィルタを形成する処理ラインを示し、符号Ｂは緑フィルタを形成する処理ラインを示し、符号Ｃは処理が終了したガラス基板を梱包する梱包ラインを示している。処理ラインＢと処理ラインＣとの間には他の処理ラインが介在するがそれらは図示を省略する。
【００１９】
この基板搬送装置は、図２に示すように、上記カラーフィルタの製造工場の天井に配置される天井走行路を備える。
【００２０】
天井走行路は具体的には天井レールであり、処理ラインＡ，Ｂ，Ｃの全体の周囲を巡るように配置される無端レール１、無端レール１から各処理ラインＡ，Ｂ，Ｃの始端又は終端へと伸びる引込みレール２等を備える。各処理ラインＡ，Ｂ，Ｃの始端又は終端における工場の床上にはガラス基板Ｐの積み下ろし用のステーション１０が設けられる。また、処理ラインＡ，Ｂ，Ｃ間にバッファ部として機能するように待機レール３が必要に応じて一箇所又は複数箇所にわたって設けられる。
【００２１】
この基板搬送装置は、上記天井レールを使用してガラス基板Ｐを搬送するため、図１に示すように、ガラス基板Ｐを枚葉単位で縦向きに保持する基台４と、基台４を床上と天井との間で昇降させる昇降手段と、天井レール上で基台４を走行させる走行手段と、基台４上のガラス基板Ｐを覆うケース５とを具備する。
【００２２】
基台４は、図１に示すように、一枚のガラス基板Ｐをやや傾斜した縦向き状態で支えるための台座であり、ガラス基板Ｐをその背面から支える背面支え部４ａと、ガラス基板Ｐの下端を支える下端支え部４ｂとを備える。背面支え部４ａには縦向き状態のガラス基板Ｐを水平方向に案内する多数のローラ６が配置される。下端支え部４ｂにはガラス基板Ｐの下端を受け止め又は水平方向に案内する溝が設けられる。
【００２３】
昇降手段は、入れ子状に組み合わされたスライド棒７と、スライド棒７を伸縮させる図示しないモータとを備える。スライド棒７は無端レール１等の天井レールに吊り下げられた台車８から垂下し、その下端に上記基台４が連結される。モータは台車８に固定され、そのシャフトがスライド棒７にワイヤ及びプーリ等の伝動装置を介して動力的に連結される。モータの駆動によりスライド棒７が上下に伸縮し、これにより基台４が工場の床上の各ステーション１０へと降下し又は天井へと上昇する。
【００２４】
走行手段は、上記台車８と、台車８を天井レール上で走行させる図示しないモータと、図示しない伝動装置とを備える。モータの回転が伝動装置により台車８の図示しない車輪に伝達されると、車台８が上記基台４、スライド棒７等を伴って天井レール上を図２中矢印ａ方向に走行し天井レール上を循環する。ガラス基板Ｐは基台４上に縦向きに置かれた状態で引込みレール３から各処理ラインＡ，Ｂ，Ｃに入り、各処理ラインＡ，Ｂ，Ｃでは横向き状態で走行するので、ガラス基板Ｐを縦向きと横向き間で姿勢変更する図示しない移載装置が引込みレール２の端と各処理ラインＡ，Ｂ，Ｃとの間に配置される。移載装置は公知の装置であるからその詳細な説明は省略する。
【００２５】
ケース５は基台４をガラス基板Ｐごと収納しうる空洞を備えた無底の角筒体であり、その上端が台車８に連結される。上記昇降手段のモータにより基台４が上昇すると、基台４がガラス基板Ｐと共にケース５の空洞内に収納される。ケース５の底には必要に応じて図示しない自動開閉蓋が設けられる。
【００２６】
このケース５には清浄手段であるファンフィルタユニット９が取り付けられる。ファンフィルタユニット９の図示しないファンの回転により外気がフィルタを通って除塵された後ケース５内に取り込まれケース５の底から排出される。このようにファンフィルタユニット９によりケース５内部が清浄に保たれるので、ガラス基板Ｐを搬送する際ガラス基板Ｐへの塵埃等の異物の付着が防止される。
【００２７】
図２に示すように、上記台車８、基台４等は天井レールに複数台吊り下げられ、それらの走行及び昇降は図示しない制御部のコンピュータによりコントロールされる。また、上記各種モータの動力源としては望ましくはバッテリ充電方式が採用される。バッテリを台車８等に搭載することにより、台車８、基台４等の動作が給電ケーブル等による拘束から解放される。
【００２８】
次に、上記構成の基板搬送装置の作用について説明する。
【００２９】
処理ラインＡにおいて処理され赤色フィルタが形成された横置き状態のガラス基板Ｐが処理ラインＡの終端に到達すると、図示しない移載装置により縦向き状態とされ、引込みレール２下で待機する基台４上に送り込まれる。この基台４は、図１に示すようにスライド棒７の伸び動作により床上のステーション１０に降下しており、移載装置から送られるガラス基板Ｐを背面支え部４ａと下端支え部４ｂとで受け止める。
【００３０】
基台４は一枚のガラス基板Ｐを縦向きで受け取ると、スライド棒７の縮動作により上昇し、ガラス基板Ｐと共にケース５内に入って停止する。基台４がケース５内に入ると、ケース５の底の開閉蓋が閉じる。ケース５内はファンフィルタユニット９により清浄に保たれるので、ガラス基板Ｐの搬送中、ガラス基板Ｐへの異物の付着が防止される。
【００３１】
ケース５内にガラス基板Ｐを収容した台車８は引込みレール２から無端レール１へと移動し、図２中矢印ａ方向に次の処理ラインＢへと移動する。
【００３２】
処理ラインＢが先行するガラス基板Ｐで一杯の場合は、台車８は待機レール３から処理ラインＡ，Ｂ間のバッファ部に入りそこで待機する。
【００３３】
処理ラインＢに向かう台車８は引込みレール２から処理ラインＢのステーション１０の真上へと侵入し停止する。続いてスライド棒７の伸動作により基台４が下降し、ガラス基板Ｐを処理ラインＢの始端に臨ませる。処理ラインＢの始端に配置された図示しない移載装置が基台４から排出される縦向き状態のガラス基板Ｐを受け取り、横向きに変更して処理ラインＢ内に供給する。このガラス基板Ｐは処理ラインＢで処理され緑色のフィルタが形成された後、処理ラインＢの終端から排出される。
【００３４】
この処理ラインＢの終端に設定されたステーション１０では他の台車８から基台４が降下して待機しており、移載装置により横向きから縦向きに姿勢を変更したガラス基板Ｐを基台４上に受け取る。この台車８は引込みレール２から無端レール１上に出た後、図２中矢印ａ方向に走行し、処理ラインＡ，Ｂ等を通過した後図示しない他の処理ラインのステーションへと向かい、当該処理ラインにガラス基板Ｐを渡す。
【００３５】
各処理ラインでの処理を経て全フィルタが形成されたガラス基板Ｐは、台車８により天井を梱包ラインＣのステーション１０へと搬送され、梱包ラインＣ内に供給されて図示しない梱包装置により梱包される。
【００３６】
なお、上記基板搬送装置はガラス基板を搬送するものとして説明したが、ガラス以外の樹脂、金属等他の材料でできた板材の搬送にも用いることができる。また、ガラス基板の処理ラインは、液晶パネルの製造ラインとして説明したが、他の製造ラインにもこの基板搬送装置を適用することができる。
【００３７】
【発明の効果】
請求項１に係る発明によれば、基板を枚葉単位で縦向きに保持する基台と、基台を床上と天井との間で昇降させる昇降手段と、基板の処理ライン間を結ぶ天井走行路上で基台を走行させる走行手段と、基台上の基板を覆うケースとを具備した基板搬送装置であり、基板を縦向きにして基板の処理ライン間で搬送することができるので、基板の撓みを防止することができ、落下する異物の基板上への付着を防止することができる。また、基板を枚葉単位で搬送するので、従来のカセットが不要であり、基板のサイズが大型化しても速やかに対処することができる。さらに、基板を保持した基台は昇降手段により上昇し天井を走行するので、工場の床面積の有効利用が可能となる。
【００３８】
請求項２に係る発明によれば、請求項１に記載の基板搬送装置において、ケース内部を清浄に保つ清浄手段を備えた基板搬送装置であるから、清浄手段によりケース内部を清浄に保つことにより基板への塵埃等の異物の付着を防止することができ、クリーンエリアを縮小することができる。
【００３９】
請求項３に係る発明によれば、請求項１又は請求項２に記載の基板搬送装置において、天井走行路が処理ライン間にバッファ部を備えた基板搬送装置であるから、各処理ラインでの基板の処理速度に応じて基板をバッファ部で待機させることができ、基板の処理及び搬送が円滑化される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板搬送装置の要部を示し、（Ａ）はその正面図、（Ｂ）は側面図である。
【図２】本発明に係る基板搬送装置のレイアウト図である。
【符号の説明】
Ａ，Ｂ，Ｃ…処理ライン
Ｐ…基板
１…無端レール
２…引込みレール
３…待機レール
４…基台
５…ケース
７…スライド棒
９…ファンフィルタユニット
【図１】
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【図２】
2005022837.tif 000004