(57)【要約】【課題】検査ヘッドを検査試料の表面に正確に走査させて、検査試料の破損を防止する。【解決手段】検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔を調整するヘッド位置調整手段１２と、検査ヘッド１６に一体的にかつ検査試料１７の表面と平行に設けられて検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔を間接的に示す透明の基準板１３と、検査光を出射させると共に基準板１３での反射光と検査試料１７での反射光とを入射させそれらを比較して検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔を監視するヘッド間隔監視手段１４と、ヘッド間隔監視手段１４での検出値に基づいてヘッド位置調整手段１２を駆動させて検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔を設定値に調整する制御手段１５とを備えた。ヘッド間隔監視手段１４は、反射光の入射位置を検出するリニアイメージセンサを備えた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査試料の表面を僅かな隙間を隔てた状態で走査される検査ヘッドの、上記検査試料の表面との間隔を調整するヘッド位置調整手段と、
上記検査ヘッドに一体的にかつ上記検査試料の表面と平行に設けられ上記検査ヘッドと上記検査試料の表面との間隔を間接的に示す透明の基準板と、
当該基準板を介して上記検査試料の表面に検査光を出射させると共に上記基準板での反射光と検査試料での反射光とを入射させそれらを比較して上記検査ヘッドと上記検査試料の表面との間隔を監視するヘッド間隔監視手段と、
当該ヘッド間隔監視手段での検出値に基づいて上記ヘッド位置調整手段を駆動させて上記検査ヘッドと上記検査試料の表面との間隔を設定値に調整する制御手段とを備えたことを特徴とする検査ヘッド用位置調整装置。
【請求項２】
請求項１に記載の検査ヘッド用位置調整装置において、
上記ヘッド間隔監視手段が、上記反射光の入射位置を検出するリニアイメージセンサを備え、
当該リニアイメージセンサで、上記基準板での反射光の入射位置と、上記検査試料での反射光の入射位置との間隔を検出することを特徴とする検査ヘッド用位置調整装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の検査ヘッド用位置調整装置において、
上記制御手段が、上記ヘッド間隔監視手段を介して上記基準板での反射光を常時監視し、当該基準板での反射光に異常が生じた場合は、上記ヘッド位置調整手段を駆動させて上記検査ヘッドを上記検査試料の表面から離すことを特徴とする検査ヘッド用位置調整装置。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の検査ヘッド用位置調整装置において、
上記制御手段が、上記ヘッド間隔監視手段を介して上記基準板の表面での反射光と裏面での反射光とを常時監視し、当該基準板の表裏面での２つの反射光に異常が生じた場合は、上記ヘッド位置調整手段を駆動させて上記検査ヘッドを上記検査試料の表面から離すことを特徴とする検査ヘッド用位置調整装置。
【請求項５】
検査ヘッドを、検査試料の一側の表面で僅かな隙間を保った状態で走査させて抵抗率を測定する非接触型抵抗率測定装置において、
検査試料を支持する支持台部と、
当該支持台部に支持された上記検査試料の一側の表面に接触しないように架け渡して設けられ、上記検査ヘッドを上記検査試料の表面に僅かな隙間を保った状態で支持して移動させる検査ヘッド走査手段とを備え、
当該検査ヘッド走査手段に、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の検査ヘッド用位置調整装置を設けたことを特徴とする非接触型抵抗率測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、検査ヘッドを検査試料の表面に正確に走査させることができる検査ヘッド用位置調整装置及び、基盤表面に設けられた回路等の抵抗率を非接触状態で測定することができる非接触型抵抗率測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
非接触型抵抗率測定装置としては、特許文献１記載のものが知られている。この非接触型抵抗率測定装置は、図２に示すように、Ｃ字型に形成されてその両端部を半導体ウエハ１の両側面に向けて配設されたコア２と、このコア２を励磁する励磁コイル３と、コア２の一側端部に設けられた検出用コイル４と、電流発生装置５と、演算機６とから構成されている。この構成により、Ｃ字型のコア２の両端部の間に半導体ウエハ１が通されて、抵抗率が測定される。このときコア２の両端部は、半導体ウエハ１の表面と僅かな隙間を保った状態で、半導体ウエハ１の表面に沿って正確に走査される。
【特許文献１】特開平０１−９２６６６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来技術の非接触型抵抗率測定装置の場合は、検査試料の大型化に対応するのが難しいという問題がある。
【０００４】
検査試料が半導体ウエハ１のような小型の試料の場合は、上記コア２も小型で済むため、そのコア２に検査試料を挿入して、コア２の両端部と検査試料との間隔を正確に維持することは容易である。しかし、検査試料が大型になると、コア２も大きくする必要がある。さらに、この大きなコア２を移動させて検査試料の表面を走査させる必要がある。この場合、コア２の大型化に伴い、その両端部の間隔を正確に維持することが難しくなる。さらに、検査試料のうち、Ｃ字型のコア２に挿入されている部分では、検査試料を直接的に支持することができないため、検査試料を支持する間隔が広くなり、検査試料の撓みが問題となる。
【０００５】
このように、検査試料の大型化に伴って、コア２の両端部の間隔の正確な維持が難しくなり、検査試料も撓みやすくなるため、コア２の両端部を、検査試料の表面と僅かな隙間に維持して走査するのが難しくなる。この結果、僅かなずれや撓みによって、コア２の両端部が検査試料の表面に接触し、検査試料の表面を破損するおそれがあるという問題がある。
【０００６】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、検査ヘッドと試料の表面との間を設定値に正確に保って走査させることができる検査ヘッド用位置調整装置及び非接触型抵抗率測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために第１の発明に係る検査ヘッド用位置調整装置は、検査試料の表面を僅かな隙間を隔てた状態で走査される検査ヘッドの、上記検査試料の表面との間隔を調整するヘッド位置調整手段と、上記検査ヘッドに一体的にかつ上記検査試料の表面と平行に設けられ上記検査ヘッドと上記検査試料の表面との間隔を間接的に示す透明の基準板と、当該基準板を介して上記検査試料の表面に検査光を出射させると共に上記基準板での反射光と検査試料での反射光とを入射させそれらを比較して上記検査ヘッドと上記検査試料の表面との間隔を監視するヘッド間隔監視手段と、当該ヘッド間隔監視手段での検出値に基づいて上記ヘッド位置調整手段を駆動させて上記検査ヘッドと上記検査試料の表面との間隔を設定値に調整する制御手段とを備えたことを特徴とする。
【０００８】
上記構成により、ヘッド間隔監視手段が検査光を出射すると、この検査光は基準板と検査試料の表面で反射されて、ヘッド間隔監視手段に入射する。検査光が斜めに出射されれば、基準板での反射光と検査試料での反射光とはずれるため、この間隔の変化を監視することで、検査ヘッドと検査試料の表面との間隔の変化を監視することができる。制御手段は、基準板での反射光と検査試料での反射光との間隔の変化に基づいてヘッド位置調整手段を駆動させて、検査ヘッドと検査試料の表面との間隔を設定値に調整する。
【０００９】
第２の発明に係る非接触型抵抗率測定装置は、検査ヘッドを、検査試料の一側の表面に僅かな隙間を保った状態で走査させて抵抗率を測定する非接触型抵抗率測定装置において、検査試料を支持する支持台部と、当該支持台部に支持された上記検査試料の一側の表面に接触しないように架け渡して設けられ、上記検査ヘッドを上記検査試料の表面に僅かな隙間を保った状態で支持して移動させる検査ヘッド走査手段とを備え、当該検査ヘッド走査手段に、第１の発明に係る検査ヘッド用位置調整装置を設けたことを特徴とする。
【００１０】
上記構成により、検査ヘッド走査手段が、検査ヘッドを検査試料の表面に沿って移動させて、非接触状態で、抵抗率を測定する。このとき、検査ヘッドは、第１の発明に係る検査ヘッド用位置調整装置によって、検査試料の表面との間隔を正確に保って支持される。さらに、異常が発生した場合は、検査ヘッドを検査試料の表面から離して、検査試料の破損を防止する。
【発明の効果】
【００１１】
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。
【００１２】
（１）  ヘッド間隔監視手段で出射する検査光を基準板と検査試料の表面で反射させて、ヘッド間隔監視手段で反射光を検出するため、各反射光の違いから、検査ヘッドと検査試料の表面との間隔の変化を監視することができる。この検査ヘッドと検査試料の表面との間隔の変化に基づいて、制御手段でヘッド位置調整手段を駆動して、検査ヘッドと検査試料の表面との間隔を設定値に調整することができる。この結果、検査試料に撓み等がある場合でも、検査ヘッドと検査試料の表面との間隔を設定値に調整して、検査ヘッドを検査試料の表面に沿って正確に走査させることができる。
【００１３】
（２）  リニアイメージセンサで、基準板での反射光の入射位置と、検査試料での反射光の入射位置との間隔を検出し、制御手段で、その検出値と設定間隔とのズレを解消するように、ヘッド位置調整手段を駆動させて検査ヘッドと検査試料の表面との間隔を調整するため、検査ヘッドを検査試料の表面に沿って正確に走査させることができる。
【００１４】
（３）  基準板での反射光に異常が生じた場合は、制御手段がヘッド位置調整手段を駆動させて検査ヘッドを検査試料の表面から離すため、検査試料の破損を防止することができる。
【００１５】
（４）  基準板の表面での反射光と裏面での反射光とに異常が生じた場合は、ヘッド位置調整手段を駆動させて検査ヘッドを検査試料の表面から離すため、検査試料の破損を防止することができる。
【００１６】
（５）  非接触型抵抗率測定装置に本発明の検査ヘッド用位置調整装置を設けたので、検査試料の表面との間隔を正確に保った状態で走査することができると共に、異常が発生した場合は検査ヘッドを検査試料の表面から離して検査試料の破損を確実に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明の実施形態に係る検査ヘッド用位置調整装置及び非接触型抵抗率測定装置を添付図面に基づいて説明する。
【００１８】
［検査ヘッド用位置調整装置］
本発明の検査ヘッド用位置調整装置は、検査ヘッドを検査試料の表面に対して設定位置に調整するための装置である。抵抗率測定等のために、検査ヘッドを、検査試料の平坦面に対して、僅かな隙間を保った状態で走査させるときに、平坦面と検査ヘッドとの隙間を設定値に調整して保つための装置である。この検査ヘッド用位置調整装置を図１に基づいて説明する。
【００１９】
検査ヘッド用位置調整装置１１は、ヘッド位置調整手段１２と、基準板１３と、ヘッド間隔監視手段１４と、制御手段１５とから構成されている。
【００２０】
ヘッド位置調整手段１２は、検査ヘッド１６の検査試料１７の表面に対する位置（検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔）を調整するための装置である。このヘッド位置調整手段１２は、配設された検査試料１７に対して垂直方向に配設されている。具体的には、ヘッド位置調整手段１２は、検査試料１７の表面に対して垂直方向に往復動するボールスクリューとスライダやリニアモーター等の駆動装置を備えて構成されている。ヘッド位置調整手段１２によって、検査ヘッド１６が検査試料１７の表面に対してμｍ単位で間隔を調整することができるようになっている。
【００２１】
ヘッド位置調整手段１２には、検査ヘッド１６、基準板１３及びヘッド間隔監視手段１４が一体的に設けられている。これにより、ヘッド位置調整手段１２は、検査ヘッド１６が検査試料１７の表面を僅かな隙間を隔てた状態で走査されるときに、検査ヘッド１６を基準板１３及びヘッド間隔監視手段１４と共に移動させて、検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔を調整するようになっている。
【００２２】
基準板１３は、検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔を間接的に示すための部材である。基準板１３は、検査ヘッド１６に一体的にかつ検査試料１７の表面と平行に設けられている。基準板１３が、その下側面と検査ヘッド１６の下端とが整合する位置に取り付けられた場合は、基準板１３と検査試料１７の表面との間隔は、検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔と一致する。基準板１３が、その下側面を検査ヘッド１６の下端からズレた位置に取り付けられた場合は、そのズレた分を、基準板１３と検査試料１７の表面との間隔から差し引くことで、検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔を算出することができる。基準板１３の取り付け位置を、検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔に一致させてもずらしても、検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔が、検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔を間接的に示すことができる。基準板１３は透明の板材で構成され、ヘッド間隔監視手段１４からの検査光の一部が反射し、残りが透過するようになっている。基準板１３の厚さは、検査ヘッド１６等の寸法に応じて設定されるが、少なくとも基準板１３の熱膨張、収縮を検出できる程度の厚さに設定される。即ち、ヘッド間隔監視手段１４が、基準板１３の表面と裏面からの２つの反射光の入射位置間隔のズレ（熱膨張、収縮によるズレ）を識別できる程度の厚さに設定される。
【００２３】
ヘッド間隔監視手段１４は、検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔のズレを監視するための装置である。このヘッド間隔監視手段１４は、ヘッド位置調整手段１２に、基準板１３及び検査試料１７に面した状態で取り付けられている。ヘッド間隔監視手段１４は、コヒーレント光を発生する光源（図示せず）と、リニアイメージセンサ（図示せず）とを備えている。光源は、基準板１３及び検査試料１７に面して設けられ、その光源からのコヒーレント光が斜めに出射するように設定されている。この斜めのコヒーレント光が、基準板１３及び検査試料１７で斜めに反射することで、基準板１３の表裏面及び検査試料１７の表裏面でそれぞれ反射した４つの反射光がリニアイメージセンサに、それぞれズレた位置で入射するようになっている。コヒーレント光の傾斜角度は、検出する反射光の変動幅に応じて、かつヘッド間隔監視手段１４の寸法を加味して、設定される。即ち、僅かな寸法の変化を検出する場合は反射光の変動幅が小さいため、コヒーレント光の傾斜角度を可能な範囲で水平に近づけて、反射光の変動幅を大きくする。
【００２４】
リニアイメージセンサは、反射光の入射位置に貼付された長方形状の光感知センサである。このリニアイメージセンサは、入射した反射光の位置を、その座標位置を特定した点として検出し、複数の入射光の入射位置の間隔をμｍ単位で識別できる機能を備えている。リニアイメージセンサは、基準板１３及び検査試料１７に面して設けられている。
【００２５】
リニアイメージセンサで、複数の入射光の入射位置を比較してその間隔を検出し、その間隔のズレを監視することで、各光の反射位置のズレが分かる。２つの光が、基準板１３の裏面での反射光と、検査試料１７の表面での反射光の場合は、直接的には、基準板１３の裏面と検査試料１７の表面との間隔、間接的には、検査ヘッド１６と検査試料１７との間隔にズレが分かる。また、この間隔を設定値（検査ヘッド１６と検査試料１７とを基準となる間隔に置いた場合の、各反射光の入射位置の間隔）と比較しながら監視すれば、検査試料１７の撓み等による、検査ヘッド１６と検査試料１７との間隔の変動が分かる。この変動幅が許容範囲を超えれて接近すれば、制御手段１５で異常状態と判断する。さらに、間隔の変動はないが、２つの光が一定間隔を保った状態で入射位置が揺らぐような場合は、ヘッド間隔監視手段１４と、基準板１３及び検査試料１７との間にガス等が侵入して、その空間の屈折率が変化している状態と考えられるため、この揺らぎの場合も、制御手段１５で異常状態と判断する。また、基準板１３での反射光が入射しない場合は、光源の故障等により、検査光が出射されていないものと考えられ、制御手段１５で異常状態と判断する。その他、種々の検査態様によって生じ得る、検査ヘッド１６が検査試料１７と接触する可能性のある状態を異常状態と判断する。
【００２６】
２つの光が、基準板１３の表裏面での反射光の場合は、基準板１３の厚さ及びその熱膨張、収縮による変化が分かる。基準板１３の熱膨張、収縮は、各種機器の異常過熱や火災等により、周囲の気温が極端に変化した場合等に起きる。この基準板１３の熱膨張、収縮の変動幅が許容範囲を超えれば、制御手段１５で異常状態と判断する。さらに、間隔の変動はないが、２つの光が一定間隔を保った状態で入射位置が揺らぐような場合は、上述のように、ガス等が侵入して、その部分の屈折率が変化している状態と考えられるため、この揺らぎの場合も、制御手段１５で異常状態と判断する。また、基準板１３での反射光が入射しない場合は、上述したように、光源の故障等と考えられ、制御手段１５で異常状態と判断する。その他の場合も同様である。
【００２７】
制御手段１５は、ヘッド間隔監視手段１４での検出値に基づいて、ヘッド位置調整手段１２を制御するための装置である。この制御手段１５は、ヘッド位置調整手段１２とヘッド間隔監視手段１４とにそれぞれ接続して設けられている。制御手段１５は、ヘッド間隔監視手段１４と共に、ヘッド位置調整手段１２に設けてもよく、他の部分に設けてもよい。
【００２８】
制御手段１５は、メモリや演算処理部等（いずれも図示せず）を備えている。メモリには、ヘッド間隔監視手段１４のリニアイメージセンサの位置（正常状態における、基準板１３の表裏面からの反射光の入射位置及び検査試料１７の表裏面からの反射光の入射位置）が、設定値として予め記録されている。
【００２９】
演算処理部は、メモリに予め記録された各反射光の入射位置と、実際の反射光の入射位置とを比較して、ズレ等の状態を判断する。即ち、演算処理部は、ヘッド間隔監視手段１４での検出値であるリニアイメージセンサの反射光入射位置と、メモリに予め記録された各反射光の入射位置とを比較して、ズレている場合は、そのズレを解消するように、ヘッド位置調整手段１２を駆動させる。具体的には、検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔が設定値よりも広い場合は、ヘッド位置調整手段１２を駆動させて、その間隔が狭まるように制御し、狭い場合は、ヘッド位置調整手段１２を駆動させて、その間隔が広がるように制御する。このとき、ヘッド位置調整手段１２での１回の駆動による検査ヘッド１６等の移動量は僅かな量に設定され、新たな検出値と設定値との比較と、ヘッド位置調整手段１２の駆動とを数回繰り返して、検査ヘッド１６と検査試料１７の表面との間隔を設定値に調整する。
【００３０】
また、演算処理部は、上述した異常状態の監視も行っている。即ち、異常な変動量、反射光の有無又は揺らぎ等の上記異常状態も同時に監視している。検査ヘッド１６と検査試料１７との間隔の変動幅が予め設定された許容範囲を超えていれば、異常状態と判断し、ヘッド位置調整手段１２を制御して検査ヘッド１６を検査試料１７の表面から離して、互いに接触するのを防止する。反射光の入射がない場合や、揺らいでいる場合等の異常状態のときも同様に、ヘッド位置調整手段１２を駆動して検査ヘッド１６を検査試料１７の表面から離して、互いに接触するのを防止する。
【００３１】
なお、検査ヘッド１６としては種々のものがある。平坦面上に形成された回路の抵抗率を測定するものに限らず、平坦面状の検査面を僅かな隙間を隔てた状態で走査させる必要がある検査であれば、検査ヘッド１６を用いることができる。
【００３２】
以上のように構成された検査ヘッド用位置調整装置１１は次のように動作する。
【００３３】
検査ヘッド用位置調整装置１１の検査ヘッド１６が検査試料１７の表面を走査されるとき、ヘッド間隔監視手段１４の光源から検査光が、基準板１３及び検査試料１７に照射される。そして、検査光は、基準板１３の表面で第１反射光、裏面で第２反射光、検査試料１７の表面で第３反射光、裏面で第４反射光として反射し、リニアイメージセンサに入射する。
【００３４】
この反射光にうち主に第１〜第３反射光を基にして、上述した各種の異常状態を監視する。制御手段１５は、第２反射光と第３反射光との間隔の変化を監視し、この間隔が基準値と比較して許容範囲を超えて接近している場合は、ヘッド位置調整手段１２を制御して検査ヘッド１６を検査試料１７から離す。このとき、制御手段１５は、検査ヘッド１６を検査試料１７から僅かに離させて、第２反射光と第３反射光との間隔と基準値とを比較する。これにより、許容範囲内に納まれば作業を終了し、まだ許容範囲を超えてれば、許容範囲内に納まるまで上記動作を繰り返す。第２反射光と第３反射光との間隔が許容範囲を超えて離れている場合も同様である。なお、第４反射光は検査試料１７の厚さを検査するときに用いる。
【００３５】
これにより、検査試料１７に対して、検査ヘッド１６を設定間隔を隔てて正確に走査させることができるようになる。
【００３６】
また、制御手段１５が上記異常状態と判断した場合は、ヘッド位置調整手段１２を制御して検査ヘッド１６を検査試料１７から離す。この場合は、検査ヘッド１６を検査試料１７から、予め設定された十分な間隔まで直ちに離して、待機状態にする。これにより、検査ヘッド１６が検査試料１７に接触して検査試料１７が破損するのを防止する。
【００３７】
［非接触型抵抗率測定装置］
次に、上記構成の検査ヘッド用位置調整装置１１を用いた非接触型抵抗率測定装置について説明する。
【００３８】
非接触型抵抗率測定装置は、電磁誘導作用により、検査試料の回路表面に発生する渦電流を利用して、抵抗率を測定する装置である。この非接触型抵抗率測定装置による抵抗率測定の原理を以下に示す。
【００３９】
コイルに高周波の電圧をかけると、そのコイルから高周波周期で変化する磁場が発生する。この磁場中に試料を置くと、その試料の表面に渦電流が発生する。渦電流は、時間的に変化する磁場中におかれた導体の内部に電磁誘導によって生ずる渦状の電流である。電流が磁束方向に垂直な面内を渦状に流れてジュール熱を発生させ、電磁エネルギーの熱損失が起こる。この電磁誘導作用を利用することにより、半導体材料、メタル薄膜等の検査試料の抵抗率／シート抵抗を非接触で測定することが可能である。この原理を利用して、非接触型抵抗率測定装置が構成されている。
【００４０】
この非接触型抵抗率測定装置は図３に示すように主に、検査する試料２１を挟むように互いに対向して配設され内部にコイルを備えた検査ヘッド２２，２３と、この検査ヘッド２２，２３に高周波で変化する電圧をかける高周波発振器２４と、検査ヘッド２２，２３の間に設けられたコンデンサ２５とを備えて構成されている。
【００４１】
この構成により、高周波発振器２４で検査ヘッド２２，２３に高周波の電圧をかけると、上述のように、試料２１の表面に渦電流が発生してジュール熱が発生し、電磁エネルギーの熱損失が起こる。
【００４２】
高周波発振器２４によって検査ヘッド２２，２３に数ＭHzの高周波を加えることにより、各検査ヘッド２２，２３のギャップに高周波で変化する磁場が生ずる。従って、この２個の検査ヘッド２２，２３のギャップに導電性の試料２１を入れると、高周波誘導結合により導電性の試料２１に渦電流が発生する。発生した渦電流は、ジュール熱となって失われる。即ち、高周波電力の一部が試料２１内で、ジュール熱への変換という形をとって吸収される。そして、試料２１内での高周波電力の吸収と導電率(抵抗率の逆数)および試料の形状(厚さ)とは、正の相関を持っているため、これを利用することにより、試料２１に非接触で抵抗率／シート抵抗を測定することが出来る。
【００４３】
上記の回路で消費される高周波電力は、
Ｐ＝Ｅ×Ｉ＝Ｅ（Ｉe＋Ｉo）    ……（１）
但し、
Ｐ＝高周波電力
Ｅ＝高周波電圧
Ｉ＝高周波電流
Ｉo＝試料なし時の高周波電流
Ｉe＝試料を入れることにより増加した高周波電流
試料をギャップに入れることにより増加する高周波電力は、
Ｐe＝Ｅ×Ｉe                  ……（２）
試料の導電率=σ  試料の厚さ＝ｔ  コイルの結合係数＝Ｋ  とすると、
Ｐe＝Ｅ×Ｉe＝Ｋ×Ｅ2×σ×ｔ  ……（３）
上式より
Ｉe＝Ｋ×Ｅ×σ×ｔ＝Ｋ×Ｅ×（ｔ／ρ）  ……（４）
従って、低抗率は、
ρ＝Ｋ×（Ｅ／Ｉe）×ｔ    （Ω-ｃｍ）    ……（５）
抵抗率(ρ)とシート抵抗(ρs)との関係は、
ρs＝ρ／ｔ＝Ｋ×（Ｅ／Ｉe）  （Ω／sq）  ……（６）
試料とコイルの間の高周波結合係数が一定に保たれた状態で、高周波電圧Ｅを一定に保つように制御することにより、シート抵抗ρsと高周波電流Ｉeは、逆比例の関係となる。従って、あらかじめシート抵抗が既知の標準試料を使用して、シート抵抗と高周波電流との関係を図４のグラフのように作成する。
【００４４】
このグラフを参照して、試料２１を各検査ヘッド２２，２３のギャップに入れることによって増加した高周波電流を検出測定することにより、未知の試料のシート抵抗を求めることが出来る。
【００４５】
また、求められたシート抵抗に試料の厚さ(ｃｍ単位)を掛け合わせることにより、抵抗率を算出できる。
【００４６】
ρ＝ρs×ｔ    （Ω-ｃｍ）    ……（７）
以上の原理に基づいて、非接触型抵抗率測定装置を構成する。なおここでは、各検査ヘッド２２，２３を１つにまとめ、１つの検査ヘッドを試料２１の一側の表面のみに僅かな隙間を保った状態で走査させることで、抵抗率を測定する構成としている。
【００４７】
本実施例の非接触型抵抗率測定装置３１は図５〜７に示すように構成されている。この非接触型抵抗率測定装置３１は主に、支持台部３２と、検査ヘッド走査手段３３とから構成されている。
【００４８】
支持台部３２は、例えば２ｍ×２ｍ程度の大型のガラス基盤からなる検査試料３５を支持するための装置である。この支持台部３２は主に、筐体３６と、開閉扉３７と、下側ローラ３８と、上側ローラ３９と、背面支持部４０とから構成されている。
【００４９】
筐体３６は、支持台部３２の外殻を構成する部材である。開閉扉３７は、筐体３６の前面を開閉する扉である。
【００５０】
下側ローラ３８は、検査試料３５の下端部を支持するための部材である。下側ローラ３８は、筐体３６の下部に、水平方向に一列に多数配設されている。各下側ローラ３８は、駆動装置（図示せず）に接続され、全ての下側ローラ３８が同時に同一回転方向に回転して、検査試料３５を水平方向（図５中の左右方向）に移動させるようになっている。上側ローラ３９は、検査試料３５の上端部を支持して水平方向に移動させるための部材である。上側ローラ３９は、自由に回転し得るようになっており、下側ローラ３８の駆動によって検査試料３５が移動する際に、検査試料３５の上端部を支持するようになっている。
【００５１】
背面支持部４０は、検査試料３５をその背面から支持するための部材である。背面支持部４０の表面は平坦面状に形成されて鏡面仕上げが施されていると共に、複数の空気吹き出し穴（図示せず）が設けられている。そして、この空気吹き出し穴から空気を吹き出すことで、背面支持部４０の表面と検査試料３５の裏面との間に空気層を形成して、背面支持部４０が検査試料３５を空気層を介して支持するようになっている。背面支持部４０は、筐体３６の左右方向全長に亘って設けられている。さらに、背面支持部４０は、上下に３つ設けられている。各背面支持部４０は、検査試料３５を撓みのない状態で支持することができる位置に配設される。ここでは、各背面支持部４０を上方へ偏らせて配設されている。
【００５２】
筐体３６の左右には、検査試料３５の搬入装置（図示せず）と搬出装置（図示せず）とがそれぞれ設けられている。検査試料３５は、搬入装置で下側ローラ３８と上側ローラ３９との間に搬入され、抵抗率の測定終了後は搬出装置で外部に搬出される。
【００５３】
検査ヘッド走査手段３３は、後述する検査ヘッド４５を検査試料３５の表面に走査させるための装置である。検査ヘッド４５と検査試料３５の表面との隙間は、２００〜３００μｍ程度に維持される。この検査ヘッド走査手段３３は、縦方向に配設されて支持台部３２に支持されている。これにより、検査ヘッド走査手段３３は、検査試料３５の一側の表面に接触しないように架け渡して設けられ、検査ヘッド４５が検査試料３５の表面に僅かな隙間を保った状態で支持して移動させるようになっている。
【００５４】
検査ヘッド走査手段３３は、具体的には、図８，９に示すように構成されている。なお、図９においては、わかりやすくするために、全長を縮めて記載されている。実際には、筐体４６及びボールスクリュー４７が長く形成されて、図５のようになっている。
【００５５】
検査ヘッド走査手段３３は、縦走査部４３と、検査ヘッド用位置調整装置４４と、検査ヘッド４５とから構成されている。
【００５６】
縦走査部４３は、検査ヘッド用位置調整装置４４を支持して上下方向に走査させるための装置である。この縦走査部４３は主に、筐体４６と、ボールスクリュー４７と、駆動モータ４８と、スライダ４９とから構成されている。筐体４６は、ボールスクリュー４７、スライダ４９等を内部に収納するための部材である。筐体４６は、縦走査部４３の全長に亘って形成されている。ボールスクリュー４７は、スライダ４９を軸方向に正確に移動させるための棒材である。ボールスクリュー４７の外周面には螺旋状の溝が刻まれている。スライダ４９はボールスクリュー４７にはまり込み、ボールスクリュー４７の回転によって軸方向に正確に移動されるようになっている。ボールスクリュー４７は、筐体４６内にその全長に亘って配設され、筐体４６内の両端部で回転可能に支持されている。
【００５７】
駆動モータ４８は、筐体４６の一端部に取り付けられて、ボールスクリュー４７と連結されている。この駆動モータ４８によってボールスクリュー４７が設定角度だけ又は設定回転速度で回転駆動される。筐体４６内には、ボールスクリュー４７と並列にガイドレール５０が設けられ、スライダ４９を支持している。このガイドレール５０で支持されたスライダ４９は、ボールスクリュー４７の回転に伴って回転するのをガイドレール５０で抑えて、ボールスクリュー４７の軸方向にスムーズにスライドするようになっている。
【００５８】
スライダ４９は、内部に螺旋状の溝（図示せず）が設けられ、その溝とボールスクリュー４７の外周の溝との間に多数のボール（図示せず）が設けられている。これにより、ボールスクリュー４７の回転が、多数のボールを介して、スライダ４９の軸方向の正確な移動に変換されるようになっている。スライダ４９には、検査ヘッド用位置調整装置４４が一体的に取り付けられている。
【００５９】
検査ヘッド用位置調整装置４４としては、上述した検査ヘッド用位置調整装置１１を用いる。なお、検査ヘッド用位置調整装置１１では、具体的な構成についてはあまり詳述していないため、改めて具体的な構成を詳述する。
【００６０】
検査ヘッド用位置調整装置４４は、ヘッド位置調整手段５２と、基準板５３と、ヘッド間隔監視手段５４と、制御手段５５とから構成されている。なお、これらの機能は上述した通りである。
【００６１】
ヘッド位置調整手段５２は主に、支持板５７と、ガイドレール５８と、スライド板５９と、ナット部６０と、ボールスクリュー６１と、駆動モータ６２とから構成されている。
【００６２】
支持板５７は、ガイドレール５８、スライド板５９等を支持するための板材である。この支持板５７は、縦走査部４３のスライダ４９に一体的に取り付けられている。
【００６３】
ガイドレール５８は、スライド板５９をスライド可能に支持するための部材である。このガイドレール５８は、検査試料３５の表面に対して垂直方向に配設され、スライド板５９を検査試料３５の表面に対して垂直方向にスライド可能に支持している。
【００６４】
スライド板５９は、検査ヘッド４５等を支持して検査試料３５の表面に対して垂直方向にスライドするための部材である。ナット部６０は、ボールスクリュー６１にはめ込まれ、ボールスクリュー６１が回転することで、垂直方向にスライドするようになっている。ボールスクリュー６１は、支持板５７に回転可能に支持され、回転することで、ナット部６０を介して検査ヘッド４５等を垂直方向にスライドさせる。駆動モータ６２は、支持板５７に取り付けられ、ボールスクリュー６１に連結してこのボールスクリュー６１を回転させる。
【００６５】
基準板５３は、基準板１３と同様に、検査ヘッド４５の下端部付近の取り付けられている。ヘッド間隔監視手段５４は、基準板５３の上側に面して取り付けられている。制御手段５５は、検査ヘッド４５の上側部分に組み込まれている。
【００６６】
検査ヘッド４５は、上記検査ヘッド２２，２３を一体的に組み合わせて構成されている。
【００６７】
以上のように構成された非接触型抵抗率測定装置は、次のように動作する。
【００６８】
まず、検査試料３５が支持台部３２内に搬入される。搬入された検査試料３５は、下側ローラ３８と上側ローラ３９と背面支持部４０とで支持されて、搬送される。
【００６９】
検査試料３５が設定位置まで搬送されると、検査ヘッド走査手段３３が作動して、抵抗率の測定が行われる。
【００７０】
検査ヘッド走査手段３３では、縦走査部４３で検査ヘッド用位置調整装置４４が縦方向に往復動されて、検査ヘッド４５が検査試料３５を縦方向に走査する。縦走査部４３が検査ヘッド用位置調整装置４４を上下に往復動して、検査ヘッド４５で特定領域を測定した後は、支持台部３２の下側ローラ３８で検査試料３５が横へ僅かに移動され、再び縦走査部４３が検査ヘッド用位置調整装置４４を上下に往復動させて次の領域を測定する。これを繰り返して、検査試料３５の前面の抵抗率を測定する。
【００７１】
このとき、検査ヘッド用位置調整装置４４では、上記検査ヘッド用位置調整装置１１と同様に機能して、検査ヘッド４５と検査試料３５の表面との間隔を正確に保って支持される。さらに、異常が発生した場合は、直ちに検査ヘッド４５を検査試料３５の表面から離して、検査ヘッド４５が検査試料３５の表面に接触するのを防止する。これにより、検査試料の破損を防止する。
【００７２】
なお、上記実施形態では、検査ヘッド用位置調整装置４４の駆動手段としてナット部６０とボールスクリュー６１とを用いたが、圧電素子を用いても良い。例えば、図１０に示すように、リンク機構を用いて、圧電素子の僅かな変動を増幅し、検査ヘッド４５を検査試料３５の表面に対して移動させても良い。図１０においては、支柱７４が固定され、この支柱７４に２本の連結棒７２，７３が回転可能に取り付けられる。連結棒７２，７３の一端部には検査ヘッド４５等が一体的に支持される。連結棒７２，７３の他端部にはカウンターウエィト７１が取り付けられている。そして、連結棒７２，７３の中間位置近傍（支柱７４の検査ヘッド４５側）に圧電素子７５が取り付けられる。なお、連結棒７２，７３は全て回転可能に取り付けられる。これにより、圧電素子７５が変化すると、支柱７４に支持された連結棒７２，７３によって、検査ヘッド４５等が移動される。圧電素子７５の変化率は小さいため、支柱７４の軸支位置から圧電素子７５の支持位置までの距離と、支柱７４の軸支位置から検査ヘッド４５等の軸支位置までの距離との比率を調整して、検査ヘッド４５の変動量に合わせる。これによっても、上記実施形態同様の作用、効果を奏することができる。
【００７３】
また、上記実施形態では、検査試料３５として平板状のガラス基盤を例に説明したが、検査ヘッド用位置調整装置１１，４４は、平坦面状の部分であれば、検査ヘッド１６，４５を正確に位置調整できるため、検査試料は平板状に限らず、検査面が平坦面状であれば、全体形状が平板状のものであっても、本願発明を適用することができる。
【００７４】
検査ヘッド４５では、抵抗率を測定するセンサとして構成したが、他の用途の検査に用いるものでも良い。検査対象面に対して僅かな隙間を保ちながら走査させる必要のある検査であれば本願発明を適用することができる。
【００７５】
ヘッド間隔監視手段１４は、反射光の入射位置を検出するリニアイメージセンサを備えたが、他の構成の受光素子を備えても良い。また、干渉等を利用する場合は、検査光を垂直に出射させてもよい。
【００７６】
また、上記実施形態では、検査ヘッド走査手段３３に、検査ヘッド４５を上下に走査させる機能を持たせたが、検査ヘッド走査手段３３自身を左右へ移動させる機能を持たせても良い。これにより、検査ヘッド４５を上下に走査させながら、検査ヘッド走査手段３３が左右へ移動して検査試料３５の前面を走査することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明に係る検査ヘッド用位置調整装置を示す要部拡大図である。
【図２】従来の非接触型抵抗率測定装置を示す概略構成図である。
【図３】本発明に係る非接触型抵抗率測定装置の原理を説明する回路図である。
【図４】本発明に係る非接触型抵抗率測定装置のシート抵抗と高周波電流との関係を示すグラフである。
【図５】本発明に係る非接触型抵抗率測定装置を示す正面図である。
【図６】本発明に係る非接触型抵抗率測定装置を示す側面図である。
【図７】本発明に係る非接触型抵抗率測定装置の開閉扉の開閉状態を示す側面図である。
【図８】本発明に係る非接触型抵抗率測定装置の検査ヘッド走査手段を示す側面図である。
【図９】本発明に係る非接触型抵抗率測定装置の検査ヘッド走査手段を示す斜視図である。
【図１０】本発明の変形例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００７８】
１１：検査ヘッド用位置調整装置、１２：ヘッド位置調整手段、１３：基準板、１４：ヘッド間隔監視手段、１５：制御手段、１６：検査ヘッド、１７：検査試料、３１：非接触型抵抗率測定装置、３２：支持台部、３３：検査ヘッド走査手段、３６：筐体、３７：開閉扉、３８：下側ローラ、３９：上側ローラ、４０：背面支持部、４３：縦走査部、４４：検査ヘッド用位置調整装置、４５：検査ヘッド、４６：筐体、４７：ボールスクリュー、４８：駆動モータ、４９：スライダ、５２：ヘッド位置調整手段、５３：基準板、５４：ヘッド間隔監視手段、５５：制御手段、５７：支持板、５８：ガイドレール、５９：スライド板、６０：ナット部、６１：ボールスクリュー、６２：駆動モータ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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