(57)【要約】【課題】  ハードディスク装置に搭載されて駆動された際に、スライダの浮上量を確実に確保できる記録媒体を提供する。【解決手段】  記録媒体２の上面２ｂにはテクスチャ６０が形成されたＣＳＳゾーン３０と、情報が記録されているデータゾーン４０とが形成され、前記ＣＳＳゾーン３０の上面３０ａは前記データゾーン４０の上面４０ａよりも低い位置に形成されており、且つ前記テクスチャ６０の上面６０ａが前記データゾーン４０の上面４０ａよりも高い位置に形成されている。【選択図】    図４
2005235317.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、前記基板上に積層された記録層とを有する記録媒体において、前記記録媒体の上面にはテクスチャが形成されたＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）ゾーンと、情報が記録されているデータゾーンとが形成され、
前記ＣＳＳゾーンの上面は前記データゾーンの上面よりも低い位置に形成されており、且つ前記テクスチャの上面が前記データゾーンの上面よりも高い位置に形成されていることを特徴とする記録媒体。
【請求項２】
前記テクスチャの高さ寸法ｈ１は１０ｎｍ〜１５ｎｍの範囲内である請求項１記載の記録媒体。
【請求項３】
前記データゾーンの上面から前記テクスチャの上面までの高さ寸法ｈ２は１ｎｍ〜５ｎｍである請求項１または２記載の記録媒体。
【請求項４】
前記テクスチャは前記基板に形成された盛り上がり部の上方に形成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の記録媒体。
【請求項５】
前記テクスチャはレジスト層により形成された請求項１ないし３のいずれかに記載の記録媒体。
【請求項６】
前記テクスチャは金属材料層で形成された請求項１ないし３のいずれかに記載の記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はハードディスク装置に搭載される記録媒体に関し、特にハードディスク装置に搭載されて駆動された際に、スライダの浮上量を確実に確保できるとともに、スライダの吸着を適切に抑制できる記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
搭載された記録媒体が回転駆動されて、前記記録媒体に記録された記録信号の読み取りや書き込みが行なわれるハードディスク装置では、搭載される前記記録媒体の読み取りや書き込み動作前の停止時には、ハードディスクに設けられたスライダは前記記録媒体の上面に接触しているが、記録信号の読み取りや書き込みが行われる回転駆動中には、前記回転駆動によって生じる空気流による圧力で前記録媒体から一定の浮上量を維持しながら前記スライダが浮上する。そして、前記記録媒体の記録信号の読み取りや書き込みが終了すると、前記記録媒体の回転駆動の回転数の減少に伴って、前記スライダの浮上量は減少して行き、前記記録媒体の回転駆動が終了した際には、前記スライダは前記記録媒体の上面に接触した状態で静置される。
【０００３】
このようなハードディスク装置はＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）方式と呼ばれ、機構系が比較的簡単なことから現在普及している。
【０００４】
前記ＣＳＳ方式のハードディスク装置では、前記記録媒体の回転駆動開始の際に前記スライダと前記記録媒体との接触状態を打破するために必要な回転駆動力を低く抑えるため、および前記記録媒体の回転駆動中に前記スライダが効果的に浮上できるように、前記記録媒体の上面にテクスチャと呼ばれる微小の凹凸を形成することが行われている。
【０００５】
ここで、近年の高記録密度化に伴ってスペーシングロスをより減少させるという観点から、前記スライダの浮上量も低下する傾向にあるため、前記記録媒体の上面をより平滑化する必要がある。
【０００６】
しかし、前記記録媒体上面の平滑化度合いが大きくなると、前記スライダが前記記録媒体の上面に吸着し易くなり、前記スライダを適切に浮上させることが困難となる。
【０００７】
そこで、前記記録媒体の上面を、前記記録媒体の回転駆動開始前、および回転駆動の停止後に前記スライダが接触する領域であるＣＳＳゾーンと、記録信号が記録され、前記スライダの吸着の少なさが要求されるデータゾーンとに分けて形成し、前記テクスチャは前記ＣＳＳゾーンのみに形成するという、ゾーンテクスチャ記録媒体と呼ばれるものが存在する。
【０００８】
このようなゾーンテクスチャ記録媒体は、以下に示す特許文献１に開示されている。
【特許文献１】特開平１０−２５５２５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
前記特許文献１に開示されたハードディスク装置では、ＣＳＳゾーンに形成されたテクスチャ（レーザバンプ）の上端（バンプ頂上）の高さ位置が、前記データゾーンの上面の高さ位置と同じか、あるいは低い高さ位置に形成されている。
【００１０】
そのため、前記特許文献１に開示されたハードディスク装置では、前記レーザバンプのバンプ頂上を前記データゾーンに対して相対的に高く形成することはできないため、前記スライダを前記データゾーンに対して高く浮上させることは不可能であり、むしろ前記スライダが前記記録媒体の上面に吸着し易くなってしまう。
【００１１】
このように、前記スライダが前記記録媒体に吸着してしまうと、前記記録媒体や前記スライダが損傷し易くなる。
【００１２】
本発明は前記従来の課題を解決するものであり、ハードディスク装置に搭載されて駆動された際に、スライダの浮上量を確実に確保できるとともに、スライダの吸着を適切に抑制できる記録媒体に関する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の記録媒体は、基板と、前記基板上に積層された記録層とを有する記録媒体において、前記記録媒体の上面にはテクスチャが形成されたＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）ゾーンと、情報が記録されているデータゾーンとが形成され、
前記ＣＳＳゾーンの上面は前記データゾーンの上面よりも低い位置に形成されており、且つ前記テクスチャの上面が前記データゾーンの上面よりも高い位置に形成されていることを特徴とするものである。
【００１４】
本発明の前記記録媒体は、前記ＣＳＳゾーンの上面が、前記データゾーンの上面よりも高さ位置が低く形成されている。したがって、前記ＣＳＳゾーンの上面に形成される前記テクスチャの高さ寸法を大きくしても、前記テクスチャの上面が、前記データゾーンの上面から突出する量を小さくすることができる。したがって、前記記録媒体を回転駆動したときに、ハードディスク装置に設けられたスライダを浮上させるために必要な前記テクスチャの高さ寸法を確保できるため、スライダを効果的に浮上させることができる。
【００１５】
この場合、前記テクスチャの高さ寸法ｈ１は１０ｎｍ〜１５ｎｍの範囲内であるものとして構成することが好ましい。
【００１６】
このように構成すると、スライダを浮上させるために必要な前記テクスチャの高さ寸法を充分に確保できるため、スライダを効果的に浮上させることができる。
【００１７】
また、前記データゾーンの上面から前記テクスチャの上面までの高さ寸法ｈ２は１ｎｍ〜５ｎｍであるものとして構成することが好ましい。
【００１８】
このように構成すると、前記テクスチャが前記データゾーンの上面から突出する大きさを小さくできるため、高記録密度化に伴ってスライダの浮上量を低くすることができ、高記録密度化に適切に対応することが可能となる。
【００１９】
この場合、前記テクスチャは前記基板に形成された盛り上がり部の上方に形成されているものとして構成することや、前記テクスチャはレジスト層により形成されたものとして構成すること、前記テクスチャは金属材料層で形成されたものとして構成することができる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の前記記録媒体は、ＣＳＳゾーンの上面が、前記データゾーンの上面よりも高さ位置が低く形成されている。したがって、前記ＣＳＳゾーンの上面に形成される前記テクスチャの高さ寸法を大きくしても、前記テクスチャの上面が、前記データゾーンの上面から突出する量を小さくすることができる。したがって、前記記録媒体を回転駆動したときに、ハードディスク装置に設けられたスライダを浮上させるために必要な前記テクスチャ高さ寸法を確保できるため、スライダを効果的に浮上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は本発明の記録媒体が搭載された状態のハードディスク装置の一部を示す部分斜視図、図２は本発明の記録媒体を示す平面図、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線で切断した状態の記録媒体を示す切断断面図、図４は記録媒体の上面の形態を模式的に示した切断断面図である。
【００２２】
図１に示すように、ハードディスク装置１では、円盤状の記録媒体２が、駆動装置３の保持板３ａ上に保持される。前記記録媒体２の中央部にはセンターホール２ａが形成されており、このセンターホール２ａが前記保持板３ａの中央部に形成された嵌合突起３ｃに嵌合し、前記記録媒体２が前記保持板３ａ上に保持されるのである。前記駆動装置３に設けられた駆動軸３ｂが回転することにより、この駆動軸３ｂの上に固定された前記保持板３ａが回転駆動し、前記保持板３ａ上に保持された前記記録媒体２が、点Ｏを回転中心として回転駆動される。
【００２３】
図１に示すように、前記ハードディスク装置１には、スライダ４と前記スライダ４を支持する支持部材５を有する磁気ヘッド装置６が設けられている。
【００２４】
前記支持部材５は、ステンレス等の板ばね材からなるロードビーム５ａと、その先部に設けられた薄いステンレス等の板ばね材からなるフレキシャ（図示せず）とを有して構成される。
【００２５】
前記ロードビーム５ａの端部は所定の弾性押圧力を発揮できるものとなっている。また前記ロードビーム５ａの基端部にはマウント部５ｂが設けられており、前記マウント部５ｂが、ハードディスク装置１側に形成された取付面（図示せず）に取り付けられることによって、前記磁気ヘッド装置６が前記ハードディスク装置１内に搭載される。
【００２６】
前記スライダは例えばアルミナチタンカーバイト（Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ）などのセラミック材料で形成されている。
【００２７】
前記スライダ４のトレーリング側（図６参照）には、例えば再生磁気機能部である磁気抵抗効果を利用した薄膜再生素子と、記録磁気機能部であるインダクティブ型の薄膜記録素子とを有する薄膜素子７が設けられている。なお前記薄膜素子７は、薄膜再生素子のみ、または薄膜記録素子のみで構成されていてもよい。
【００２８】
前記記録媒体２は情報が記録された記録媒体であり、前記ハードディスク装置１に着脱可能に装着され、前記磁気ヘッド装置６に形成された前記薄膜素子によって、情報が読み取られ、または情報が記録される。例えば磁気ディスクや光磁気ディスク、あるいは光ディスクなどである。図１ないし図６には、記録媒体２として磁気ディスクである場合を例示している。
【００２９】
図３に示すように、前記記録媒体２は、非磁性材料からなる基板８の上に、下から下地層９、磁性材料層１０、保護層１１、潤滑剤層１２が積層されて形成されている。
【００３０】
前記基板８は、非磁性材料によって形成され、例えばアルミニウムやこのアルミニウム表面にＮｉＰをメッキした金属材料、あるいはガラス、レジストなどの材料で形成することができる。
【００３１】
前記下地層９は、例えばＣｒなどの金属材料で形成することができる。
前記磁性材料層１０は、Ｃｏ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｐｔ等のＣｏ系合金磁性膜等の金属材料で形成することができる。
【００３２】
前記保護層１１は、例えばカーボンなどの材料で形成することができる。
また前記潤滑剤層１２は、例えばパーフロロポリエーテル（ＰＦＰＥ）などのフッ素系の液体潤滑剤や、例えば二硫化モリブデンなどの固体潤滑剤で形成することができる。
【００３３】
図１ないし図３に示す磁気記録媒体２は、ＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）方式と呼ばれるものである。
【００３４】
ＣＳＳ方式の記録媒体では、搭載された記録媒体２が回転駆動されて、前記記録媒体２に記録された記録信号の読み取りや書き込みが行なわれるハードディスク装置１において、搭載される前記記録媒体２の読み取りや書き込み動作前の停止時には、前記スライダ４は前記記録媒体２の上面２ｂに接触しているが、記録信号の読み取りや書き込みが行われる回転駆動中には、前記回転駆動によって生じる空気流による圧力で前記記録媒体２から一定の浮上量を維持しながら前記スライダ４が浮上する。そして、前記記録媒体２の記録信号の読み取りや書き込みが終了すると、前記記録媒体２の回転数の減少に伴って空気流に伴う圧力の減少によって前記スライダ４の浮上量は減少して行き、前記記録媒体２の回転駆動が終了した際には、前記スライダ４は前記記録媒体２の上面２ｂに接触した状態で静置される。
【００３５】
本発明の前記記録媒体２では、前記記録媒体２の回転駆動開始の際に前記スライダ４と前記記録媒体２との接触状態を打破するために必要な回転駆動力を低く抑えるため、および前記記録媒体２の回転駆動中に前記スライダ４が効果的に浮上できるように、前記記録媒体２の上面２ｂにテクスチャと呼ばれる微小の凹凸が形成されている。
【００３６】
ＣＳＳ方式の記録媒体２を用いたハードディスク装置１では、最初、前記スライダ４は、前記支持部材５により前記記録媒体２の上面２ｂに対して弱い弾性力で付勢されている。すなわちスタート時にスライダ４が記録媒体２の前記上面２ｂに接触しており、図６に示すように前記記録媒体２の回転駆動開始と同時に記録媒体２の前記上面２ｂに生じる空気流により前記スライダ４に浮上力が作用し、前記スライダ４はリーディング側がトレーリング側より記録媒体２の前記上面２ｂから持ち上げられるとともに、前記トレーリング側が記録媒体２からわずかに浮上した傾斜姿勢となり記録媒体２の上面２ｂを走査する。
【００３７】
図１ないし図３に示す記録媒体２は、前記記録媒体の上面を、前記記録媒体の回転駆動開始前、および回転駆動の停止後に前記スライダが接触する領域であるＣＳＳゾーンと、記録信号が記録され、前記スライダの吸着の少なさが要求されるデータゾーンとに分けて形成し、前記テクスチャは前記ＣＳＳゾーンのみに形成するという、いわゆるゾーンテクスチャ記録媒体と呼ばれるＣＳＳ方式の記録媒体である。
【００３８】
図２および図４に示すように、前記記録媒体２は、前記センターホール２ａの外側にリードインゾーン２０が形成され、このリードインゾーン２０の外側にＣＳＳゾーン３０がリング状に形成されている。また、前記ＣＳＳゾーン３０の外側にデータゾーン４０がリング状に形成されている。そして、このデータゾーン４０の外側にリードアウトゾーン５０がリング状に形成されている。
【００３９】
前記リードインゾーン２０および前記リードアウトゾーン５０は情報が記録されないスペース領域として形成される場合や、記録情報の検出信号が記録される領域として形成される。なお、前記リードインゾーン２０および前記リードアウトゾーン５０は形成されていなくても良い。
【００４０】
前記ＣＳＳゾーン３０は、回転駆動の停止時に前記スライダ４が接触する領域であり、前記データゾーン４０は情報が書き込まれた、あるいは情報が書き込まれる領域である。
【００４１】
図４に示すように、前記ＣＳＳゾーン３０の上面３０ａには、高さ寸法ｈ１で形成されたテクスチャ６０が形成されている。ここで、前記高さ寸法ｈ１は１０ｎｍ〜１５ｎｍの範囲内で形成することができる。また、前記テクスチャ６０の図示Ｘ方向またはＹ方向の幅寸法Ｗ１は１μｍ〜２０μｍの範囲内で形成することができる。
【００４２】
図５は前記テクスチャ６０を示す部分拡大斜視図である。図５では前記テクスチャ６０の形状を分かり易く表現するため、前記テクスチャ６０を１個しか図示していないが、実際には複数個の前記テクスチャ６０が配列して形成されている。図５に示すように、前記テクスチャ６０は円錐形状に形成されている。
【００４３】
図４に示すように、前記ＣＳＳゾーン３０の上面３０ａは、前記リードインゾーン２０の上面２０ａ、前記データゾーン４０の上面４０ａ、および前記リードアウトゾーン５０の上面５０ａの図示Ｚ方向における高さ位置よりも低い位置となるように形成されている。一方、前記ＣＳＳゾーン３０に形成された前記テクスチャ６０の上面６０ａは、前記リードインゾーン２０の上面２０ａ、前記データゾーン４０の上面４０ａ、および前記リードアウトゾーン５０の上面５０ａの図示Ｚ方向における高さ位置よりも高い位置となるように形成されている。なお、前記リードインゾーン２０の上面２０ａ、前記データゾーン４０の上面４０ａ、および前記リードアウトゾーン５０の上面５０ａの図示Ｚ方向における高さ位置は全て同じ位置になるように形成されている。前記上面２０ａ、４０ａおよび５０ａから、前記テクスチャ６０の上面６０ａまでの高さ寸法ｈ２は、１ｎｍ〜５ｎｍ以下で形成することが好ましい。この理由については後述する。
【００４４】
前記したように、前記テクスチャ６０の高さ寸法ｈ１は１０ｎｍ〜１５ｎｍである。そして前記上面２０ａ、４０ａおよび５０ａから、前記テクスチャ６０の上面６０ａまでの高さ寸法ｈ２は１ｎｍ〜５ｎｍである。したがって、前記ＣＳＳゾーン３０の上面３０ａから、前記上面２０ａ、４０ａ、および５０ａまでの高さ寸法ｈ３は、５ｎｍ〜１４ｎｍの範囲内で形成することができる。
【００４５】
本発明の前記記録媒体２では、前記ＣＳＳゾーン３０の上面が、前記リードインゾーン２０、前記データゾーン４０、および前記リードアウトゾーン５０のそれぞれの上面２０ａ、４０ａ、および５０ａよりも前記高さ寸法ｈ３だけ低い位置に形成されている。したがって、前記上面３０ａに形成される前記テクスチャ６０の高さ寸法ｈ１を大きくしても、前記テクスチャ６０の上面６０ａが、前記リードインゾーン２０の上面２０ａ、前記データゾーン４０の上面４０ａ、および前記リードアウトゾーン５０の上面５０ａから突出する量である前記高さ寸法ｈ２は、１ｎｍ〜５ｎｍ以下と小さくすることができる。したがって、前記記録媒体２を回転駆動したときに、前記スライダ４を浮上させるために必要な前記テクスチャ６０の高さ寸法ｈ１を確保できるため、図６に示すように前記スライダ４を効果的に浮上させることができる。
【００４６】
一方、前記テクスチャ６０が前記データゾーン４０の上面４０ａなどから突出する大きさ（即ち前記高さ寸法ｈ３）は小さく形成できるため、高記録密度化に伴って前記スライダ４の浮上量を低くすることができる。このとき、前記テクスチャ６０の高さ寸法ｈ１は前記したように大きく確保されているため、前記スライダ４が前記記録媒体２の前記上面２ｂに接触するなど吸着を効果的に抑制することができ、高記録密度化にも適切に対応することが可能となる。すなわち、前記記録媒体２では、スライダ４の浮上量の確保とともに、高記録密度化に伴うスライダ４の浮上量の低下による前記記録媒体２への吸着防止という相反する要求を同時に達成させることができるのである。
【００４７】
仮に、前記特許文献１に開示された記録媒体のように、前記テクスチャ６０の上面６０ａが、前記リードインゾーン２０の上面２０ａ、前記データゾーン４０の上面４０ａ、前記リードアウトゾーン５０の上面５０ａと同じ高さ位置、または低い高さ位置となる構造であると、前記スライダ４の浮上量を充分なものとすることができず、前記スライダ４が前記記録媒体２の上面２ｂに吸着し易くなってしまい、前記記録媒体２や前記スライダ４の損傷が生じ易くなってしまう。特に、前記スライダ４の浮上量に生じるばらつきや、前記テクスチャ６０の高さ寸法ｈ１のばらつきを考慮すると、本発明の記録媒体２のように、前記テクスチャ６０の上面６０ａが前記上面２０ａ、４０ａ、５０ａの高さ位置よりも前記高さ寸法ｈ３だけ高い位置に形成することが好ましいのである。本発明の前記記録媒体２では、前記テクスチャ６０の前記上面６０ａが前記上面２０ａ、４０ａ、５０ａよりも前記寸法ｈ３だけ高い位置に形成されているため、前記スライダ４の浮上量を充分なものとすることが可能となる。
【００４８】
前記テクスチャ６０の製造方法について説明する。図７は前記基板８を示す平面図、図８は前記基板８の部分斜視図である。
【００４９】
まず図７に示すように、前記基板８の上面８ａに図示ハッチング部分以外の部分をレジスト層で被覆した後、前記ハッチング部分の上面８ａをエッチングにより削り、溝８ｂを形成する。
【００５０】
次に、図８に示すように、前記溝８ｂの上面８ｂ１にレーザ光７０を照射する。このように前記溝８ｂの上面８ｂ１にレーザ光７０を照射すると、前記レーザ光７０の熱によってレーザ光７０が照射された部分の前記溝８ｂには凹部８ｃが生じるとともに、前記凹部８ｃの部分が前記凹部８ｃの側方部に移動して、内部に前記凹部８ｃを有する円錐形状の盛り上がり部８ｄが形成される。
【００５１】
このようにして前記溝８ｂ内に複数の前記盛り上がり部８ｄを形成した後、前記基板８上に、前記下地層９をスパッタリングによって積層し、さらに前記下地層９上に前記磁性材料層１０、前記保護層１１を積層した後、前記潤滑剤層１２が前記保護層１１の上面に塗布する。
【００５２】
このように、前記基板８に形成された前記溝８ｂおよび前記盛り上がり部８ｄの上に、前記下地層９、前記磁性材料層１０、前記保護層１１、および前記潤滑剤層１２が積層されるが、このとき前記溝８ｂと前記盛り上がり部８ｄの形状に依拠した状態で前記各層９，１０，１１，１２が形成され、前記記録媒体２が製造される。
【００５３】
したがって、前記記録媒体２の上面２ｂには、前記溝８ｂの上方に前記溝８ｂと相似形状に形成された部分が形成され、前記盛り上がり部８ｄの上方に前記盛り上がり部８ｄと相似形状に形成された部分が形成される。この前記溝８ｂおよび前記盛り上がり部８ｄと相似形状に形成された前記上面２ｂの部分が、前記記録媒体２の前記ＣＳＳゾーン３０となる。また、前記溝８ｂの上面８ｂ１と相似形状に形成された前記上面２ｂの部分が前記ＣＳＳゾーン３０の上面３０ａとなり、前記盛り上がり部８ｄと相似形状に形成された前記上面２ｂの部分が前記テクスチャ６０となる。
【００５４】
図９ないし図１１は、前記テクスチャ６０の他の製造方法を示す工程図である。以下に、図９ないし図１１に示す前記テクスチャ６０の製造方法について説明する。
【００５５】
まず図７に示す工程と同様にして前記基板８に溝８ｂを形成した後、図９に示すように前記溝８ｂの上面８ｂ１上に、レジスト層７１を形成する。このレジスト層７１は公知の材料を用い、フォトリソグラフィー法などの公知の方法によって形成できる。図１０は前記レジスト層７１を斜め上方から示す部分拡大斜視図であるが、図１０では前記レジスト層７１の形状を分かり易く表現するため、前記レジスト層を１個しか図示していないが、実際には複数個の前記レジスト層７１を配列して形成する。図１０に示すように前記レジスト層７１は円柱形状で形成できる。ただし、例えば角柱形状など他の形状に形成しても良い。
【００５６】
次に図９および図１０の破線で示すように、前記レジスト層７１をミリング、あるいはリアクティブ・イオン・エッチングなどの方法により削ると、図５に示すテクスチャ６０が形成される。
【００５７】
図１１ないし図１４は、前記テクスチャ６０のさらに他の製造方法を示す工程図である。以下に、図１１ないし図１４に示す前記テクスチャ６０の製造方法を説明する。
【００５８】
まず図７に示す工程と同様にして前記基板８に溝８ｂを形成した後、図１１に示すように前記溝８ｂの上面８ｂ１上に、レジスト層７２を形成し、フレームパターン７３を形成する。このレジスト層７２は公知の材料を用い、フォトリソグラフィー法などの公知の方法によって形成できる。
【００５９】
次に図１２に示すように、前記フレームパターン７３内にメッキ下地層７４をを形成した後、このメッキ下地層７４の上に金属材料層７５を形成する。前記金属材料層７５はメッキ形成されるものであり、例えばＮｉ、Ｆｅ、Ｃｕ、またはこれら２種以上の積層体などの材料で形成することができる。
【００６０】
次に図１３に示すように前記レジスト層７２を除去して前記メッキ下地層７４および前記金属材料層７５のみを前記溝８ｂの上面８ｂ１に残す。図１４は前記前記メッキ下地層７４および前記金属材料層７５のみを斜め上方から示す部分拡大斜視図であるが、図１４では前記メッキ下地層７４および前記金属材料層７５の形状を分かり易く表現するため、前記メッキ下地層７４および前記金属材料層７５の積層体を１個ずつしか図示していないが、実際には複数個の前記メッキ下地層７４および前記金属材料層７５の積層体を配列して形成する。図１４に示すように前記メッキ下地層７４および前記金属材料層７５の積層体は円柱形状で形成できる。ただし、例えば角柱形状など他の形状に形成しても良い。
【００６１】
次に、図１３および図１４の破線で示すように、前記メッキ下地層７４および前記金属材料層７５をミリング、あるいはリアクティブ・イオン・エッチングなどの方法により削ると、図５に示すテクスチャ６０が形成される。
【００６２】
なお、前記メッキ下地層７４は前記基板８を金属材料で形成する場合には形成しなくても良い。
【００６３】
なお、前記テクスチャ６０が円錐形状のものに限定されるものではなく、他の形状、例えば円柱形状や角柱形状であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の記録媒体が搭載された状態のハードディスク装置の部分斜視図、
【図２】図１に示す記録媒体を示す平面図、
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線で切断した状態の記録媒体を示す切断断面図、
【図４】図１に示す記録媒体の上面の形態を模式的に示した切断断面図、
【図５】図１に示す記録媒体の部分拡大斜視図、
【図６】図１に示す記録媒体をハードディスク装置で回転駆動した状態を示す部分拡大断面図、
【図７】図１に示す記録媒体の製造工程を示す一工程図、
【図８】図７の次に行われる工程を示す一工程図、
【図９】図１に示す記録媒体の他の例の製造方法を示す一工程図、
【図１０】図９に示す状態を斜め上方から示す部分拡大斜視図、
【図１１】図１に示す記録媒体の他の例の製造方法を示す一工程図、
【図１２】図１１の次に行われる工程を示す一工程図、
【図１３】図１２の次に行われる工程を示す一工程図、
【図１４】図１３に示す状態を斜め上方から示す部分拡大斜視図、
【符号の説明】
【００６５】
１  ハードディスク装置
２  記録媒体
４  スライダ
６  磁気ヘッド装置
７  薄膜素子
８  基板
８ｄ  盛り上がり部
１０  磁性材料層
３０  ＣＳＳゾーン
３０ａ  上面
４０  データゾーン
４０ａ  上面
６０  テクスチャ
７１  レジスト層
７５  金属材料層
【図１】
2005235317.tif 000003
【図２】
2005235317.tif 000004
【図３】
2005235317.tif 000005
【図４】
2005235317.tif 000006
【図５】
2005235317.tif 000007
【図６】
2005235317.tif 000008
【図７】
2005235317.tif 000009
【図８】
2005235317.tif 000010
【図９】
2005235317.tif 000011
【図１０】
2005235317.tif 000012
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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