(57)【要約】【課題】  金属材料が使用できないような腐食性環境下で且つ大きな負荷が作用する高負荷環境下において使用されても、転動体に損傷が生じにくく長寿命な転動装置を提供する。【解決手段】  深溝玉軸受の内輪１，外輪２，及び玉３を、加圧焼結により製造されたアルミナで構成した。そして、玉３については、その圧砕荷重が下記式で表されるＷｃ以上である。                      Ｗｃ＝０．０５×Ｄａ1.93  ここで、Ｗｃの単位はｋＮである。また、Ｄａは玉の直径であり、その単位はｍｍである。【選択図】    図１
2005201327.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転運動可能又は直線運動可能な可動子と、該可動子を回転運動可能又は直線運動可能に支持する支持体と、前記可動子と前記支持体との間に転動自在に配された複数の転動体と、を備える転動装置において、
前記転動体は、アルミナを主成分とするセラミックスで構成されるとともに、その圧砕荷重が下記式で表されるＷｃ以上であることを特徴とする転動装置。
Ｗｃ＝０．０５×［転動体の直径］1.93
ここで、Ｗｃの単位はｋＮであり、転動体の直径の単位はｍｍである。
【請求項２】
前記転動体は加圧焼結により製造されたものであることを特徴とする請求項１に記載の転動装置。
【請求項３】
前記転動体の中心線平均粗さＲａが０．０２μｍ以上０．５μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の転動装置。
【請求項４】
前記可動子及び前記支持体が、炭化ケイ素を主成分とするセラミックスで構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の転動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、転がり軸受，リニアガイド装置，ボールねじ等の転動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
金属材料が使用できないような腐食性環境下（例えば、水中や強い腐食性を有する液体と接触する環境下）においては、内輪，外輪，及び転動体をセラミックスで構成した転がり軸受が使用される。セラミックスとしては、窒化ケイ素，炭化ケイ素，ジルコニア，アルミナ等が一般的であるが、特に高い耐食性を要求されるような用途では炭化ケイ素が用いられることが多い。
【０００３】
例えば特許文献１には、内輪，外輪，及び転動体が炭化ケイ素で構成され、少なくとも表面がフッ素樹脂で構成された保持器が組み込まれた転がり軸受が開示されている。
【特許文献１】特開平１０−８２４２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、一般にセラミックスのような脆性材料には、製造工程において導入される微細な欠陥が多数存在するので、破壊靱性値が低くクラックが伝播しやすい傾向がある。
さらに、近年においてはガラス基板等の大型化が進んでいるため、これらの製造設備で使用される転動装置は、より大きな荷重やモーメントの下で作動することが要求されている。このような大きな負荷（荷重やモーメント）が作用する転動装置においては、負荷応力が繰り返し作用する転動体の強度が不十分だと、転動体の表面や表面近傍にクラックや脱落が生じるおそれがあり、転動体が破壊する場合もある。
【０００５】
よって、特許文献１に記載の転がり軸受のような、転動部材が炭化ケイ素で構成された転がり軸受は、大きな負荷が作用する高負荷環境下において使用されると、転動体に損傷が生じて、寿命が不十分となるおそれがあった。
また、セラミックスは一般に、酸性化合物と塩基性化合物とその中間的な性質を有する両性化合物とに大別される。酸性化合物は酸性物質には侵されないが、アルカリ性物質に対する耐腐食性は塩基性化合物よりも劣る。また、逆に塩基性化合物はアルカリ性物質には優れた耐腐食性を示すが、酸性物質には侵されやすい。
【０００６】
炭化ケイ素は酸性の強い化合物であり、酸性物質に対しては極めて良好な耐腐食性を示すが、アルカリ性物質に対してはそれほど強い耐腐食性を示さない。特に、転動体においては、その構成材料の使用雰囲気に対する耐腐食性の優劣が、摩耗や剥離に著しく影響を与えるため、異常摩耗，表面の剥離，粒子脱落等のような軸受特性に有害な不具合が生じるおそれがある。よって、アルカリ性溶液が使用されるプロセスにおいては、炭化ケイ素の腐食，劣化のため、転動体に異常な摩耗が発生したり、転がり軸受の転動疲労寿命が短くなるという問題が生じるおそれがあった。
【０００７】
そこで、本発明は、前述のような従来技術が有する問題点を解決し、金属材料が使用できないような腐食性環境下で且つ大きな負荷が作用する高負荷環境下において使用されても、転動体に損傷が生じにくく長寿命な転動装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明に係る請求項１の転動装置は、回転運動可能又は直線運動可能な可動子と、該可動子を回転運動可能又は直線運動可能に支持する支持体と、前記可動子と前記支持体との間に転動自在に配された複数の転動体と、を備える転動装置において、前記転動体は、アルミナを主成分とするセラミックスで構成されるとともに、その圧砕荷重が下記式で表されるＷｃ以上であることを特徴とする。
【０００９】
Ｗｃ＝０．０５×［転動体の直径］1.93
ここで、Ｗｃの単位はｋＮであり、転動体の直径の単位はｍｍである。
このような構成であれば、金属材料が使用できないような腐食性環境下で且つ大きな負荷が作用する高負荷環境下において使用されても、転動体に損傷が生じにくく長寿命である。
【００１０】
転動体の圧砕荷重がＷｃ未満であると、大きな負荷が作用した場合に、転動体に表面や内部の欠陥を起点としたクラックが発生，伝播しやすくなって、摩耗粉が多量に発生したり剥離が生じたりして、転動装置が短寿命となる場合がある。
一方、液晶パネルや半導体の製造設備等で用いられる腐食性物質としては、塩酸，硫酸，フッ酸等の酸性物質や、水酸化アンモニウム溶液等のアルカリ性物質がある。近年においては製造工程の高効率化等の目的により、使用される薬剤（腐食性物質）の組成が複雑化し、液晶パネルや半導体の製造メーカーによってもまちまちである。
【００１１】
そのため、これらの製造設備で使用される転動装置についても、多くの薬剤に対する耐腐食性が要求される。特に、負荷応力が繰り返し作用する転動体は、使用雰囲気（薬剤）に対する耐腐食性の優劣により摩耗や剥離の程度が大きく変化するので、異常摩耗，表面剥離，粒子脱落等が生じて転動装置の特性に有害な問題が起きるおそれがある。
アルミナは、酸性化合物と塩基性化合物の中間的な性質を有する両性化合物であり、酸性物質及びアルカリ性物質の両方に対してある程度の耐腐食性を有する。よって、この転動装置は、酸性環境下及びアルカリ性環境下においても、転動体に損傷が生じにくく長寿命である。
【００１２】
なお、アルミナの焼結体には、通常はＭｇＯ，ＳｉＯ2 等の金属酸化物が添加剤として混合されており、このような添加剤の影響により僅かに酸性又は塩基性を呈する場合がある。よって、広範囲の薬剤に対して優れた耐腐食性を得るためには、添加剤の含有量を極力少なくすることが望ましい。添加剤の含有量は０．５質量％以下が好ましく、０．１質量％以下がより好ましいが、不可避的に０．００１質量％程度は含まれる。
【００１３】
また、本発明に係る請求項２の転動装置は、請求項１に記載の転動装置において、前記転動体は加圧焼結により製造されたものであることを特徴とする。
物体の表面に空孔やクラック等の欠陥が存在すると、外部からの液体の浸透によって内部が腐食されるため、該物体の耐腐食性が大きく低下することが知られている。特に、本発明の転動装置に使用される転動体のように、腐食性環境下において負荷応力が繰り返し作用する場合には、より優れた耐腐食性が必要とされるので、表面に存在する欠陥だけでなく、内部欠陥についても減少させる必要がある。アルミナ原料粉末を加圧焼結により成形して得た転動体は、表面欠陥とともに内部欠陥も少ないので、腐食性環境下における転動装置の耐久寿命が著しく向上する。
【００１４】
さらに、本発明に係る請求項３の転動装置は、請求項１又は請求項２に記載の転動装置において、前記転動体の中心線平均粗さＲａが０．０２μｍ以上０．５μｍ以下であることを特徴とする。
炭化ケイ素等のセラミックスは金属材料に比べて濡れ性が悪く、液体が微量である場合には部分的に乾燥状態となり、摩耗が増加する場合がある。転動体の表面粗さを０．０２μｍ以上とすれば、表面粗さの谷へ液体が引き込まれ滞留しやすくなるので、乾燥状態となりにくく摩耗が生じにくい。なお、中心線平均粗さＲａは０．１μｍ以上とすることがより好ましい。一方、中心線平均粗さＲａが０．５μｍを超えると、表面粗さの山が起点となって、剥離や微小摩耗等の損傷が転動体に生じる場合がある。
【００１５】
さらに、本発明に係る請求項４の転動装置は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の転動装置において、前記可動子及び前記支持体が、炭化ケイ素を主成分とするセラミックスで構成されていることを特徴とする。
なお、本発明は種々の転動装置に適用することができる。例えば、転がり軸受，ボールねじ，リニアガイド装置，直動ベアリング等である。本発明における前記可動子とは、転動装置が転がり軸受の場合には回転輪、同じくボールねじの場合には通常はナット、同じくリニアガイド装置の場合には通常はスライダ、同じく直動ベアリングの場合には通常は外筒をそれぞれ意味する。また、前記支持体とは、転動装置が転がり軸受の場合には固定輪、同じくボールねじの場合には通常はねじ軸、同じくリニアガイド装置の場合には通常は案内レール、同じく直動ベアリングの場合には通常は軸をそれぞれ意味する。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の転動装置は、金属材料が使用できないような腐食性環境下で且つ大きな負荷が作用する高負荷環境下において使用されても、転動体に損傷が生じにくく長寿命である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明に係る転動装置の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は、本発明に係る転動装置の一実施形態である転がり軸受の構造を示す部分縦断面図である。この転がり軸受は、呼び番号６００１の深溝玉軸受（内径１２ｍｍ，外径２８ｍｍ，幅８ｍｍ，玉の直径４．７６２ｍｍ）であり、外周面に軌道面１ａを有する内輪１と、軌道面１ａに対向する軌道面２ａを内周面に有する外輪２と、両軌道面１ａ，２ａ間に転動自在に配設された複数の玉３と、内輪１と外輪２との間に複数の玉３を保持する保持器４と、を備えている。なお、本実施形態においては、固定輪である外輪２が本発明の構成要件たる支持体に相当し、回転輪である内輪１が本発明の構成要件たる可動子に相当する。
【００１８】
内輪１，外輪２，及び玉３はアルミナで構成されており、この玉３は、圧砕荷重が下記式で表されるＷｃ以上である。
Ｗｃ＝０．０５×［転動体の直径］1.93
ここで、Ｗｃの単位はｋＮであり、転動体の直径の単位はｍｍである。前述のように玉の直径は４．７６２ｍｍであるから、Ｗｃは１．０１ｋＮである。
【００１９】
このような本実施形態の転がり軸受は、金属材料が使用できないような腐食性環境下で且つ大きな負荷が作用する高負荷環境下において使用されても、玉３に損傷が生じにくく長寿命である。
なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては玉３とともに内輪１及び外輪２もアルミナで構成したが、内輪１及び外輪２は他種のセラミックスで構成してもよい。例えば、窒化ケイ素（Ｓｉ3 Ｎ4 ）系, ジルコニア（ＺｒＯ2 ）系, 炭化ケイ素（ＳｉＣ）系，窒化アルミニウム（ＡｌＮ）系，炭化ホウ素（Ｂ4 Ｃ）系, ホウ化チタン（ＴｉＢ2 ）系，窒化ホウ素（ＢＮ）系, 炭化チタン（ＴｉＣ）系, 窒化チタン（ＴｉＮ）系、あるいは、これらのうち２種以上を複合させたセラミック系複合材料などを例示できる。
【００２０】
また、玉等の転動体をアルミナで製造する方法は特に限定されるものではないが、例えば、転動体が玉である場合には、アルミナ原料粉末を造粒成形法により球形に一次成形し、１３００〜１６００℃の焼結温度で焼成した後、ラップ盤等により所定精度に加工する方法によって製造することができる。なお、半球状のキャビティを有する金型を用いたプレス成形により一次成形を行ってもよい。
【００２１】
アルミナ原料粉末の一次粒径は１μｍ以下が好ましく、０．５μｍ以下がより好ましい（ただし、０．０５μｍが現実的な下限値である）。そして、低温で焼結すると、焼結過程での粒成長を抑制できるので、最終の結晶粒径を小さくすることができる。その結果、高密度の焼結体が得られるため、強度が高まることに加えて、耐腐食性も向上する。この時の焼結条件としては、１３００℃程度の温度での１〜２時間程度の加熱が好ましい。さらに、常圧を超える圧力を付与して加圧焼結することにより、内部空孔の残存や結晶粒の異常成長を抑制でき、緻密な焼結体を得ることができる。加圧焼結は、１０００気圧程度のＨＩＰ焼結法が好ましいが、数百気圧のホットプレス法や、数十気圧のガス圧焼結法でも差し支えない。このようにして得られたアルミナ焼結体は、相対密度が９８％以上であることが好ましく、９９％以上であることがより好ましい。また、焼結後の平均結晶粒径は５μｍ以下であることが好ましく、１μｍ以下であることがより好ましい。
【００２２】
さらに、本発明においては、破壊靱性や機械的強度等を向上させるために、各種セラミックスに繊維状充填剤を配合してもよい。繊維状充填材の種類は特に限定されるものではないが、炭化ケイ素ウィスカー，窒化ケイ素ウィスカー, アルミナウィスカー，窒化アルミニウムウィスカー等を例示できる。
さらに、保持器４を構成する素材は特に限定されるものではないが、溶融成形可能な耐腐食性樹脂や各種含フッ素樹脂が好ましい。溶融成形可能な耐腐食性樹脂としては、ポリフェリレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）に代表されるポリアリーレンスルフィド樹脂，ポリエーテルニトリル樹脂（ＰＥＮ），ポリエーテルエーテルケトン樹脂（ＰＥＥＫ），ＰＥＥＫとポリベンゾイミダゾールとのブレンド物（ＰＥＥＫ−ＰＢＩ）等を例示できる。これらのうちＰＰＳ及びＰＥＥＫは、自己潤滑性及び耐腐食性が特に優れているため、酸，アルカリ等の腐食性環境下での使用に好適である。
【００２３】
含フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ），テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ），テトラフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＴＦＥ），ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ），テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ），ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ），クロロトリフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）等を例示できる。これらのうちＰＴＦＥ，ＰＦＡ，ＥＴＦＥ，ＰＶＤＦ，ＦＥＰは、自己潤滑性及び耐腐食性が特に優れているため、酸，アルカリ等の腐食性環境下での使用に好適である。
【００２４】
また、保持器を構成する樹脂には、潤滑特性を向上させるために固体潤滑剤を添加してもよい。そうすれば、可動子，支持体と転動体との接触点に発生する摩擦力が低減されるため、摩擦による発熱をより抑制することができる。固体潤滑剤としては、ＰＴＦＥ粉末，黒鉛，六方晶窒化ホウ素（ｈＢＮ），フッ素雲母，メラミンシアヌレート（ＭＣＡ），層状の結晶構造を有するアミノ酸化合物（Ｎ−ラウロ−Ｌ−リジン），フッ化黒鉛，フッ化ピッチ，二硫化モリブデン（ＭｏＳ2 ）等があげられる。
【００２５】
さらに、保持器を構成する樹脂には、機械的強度，耐熱性，寸法安定性等を向上させるために、繊維状充填材を配合することができる。繊維状充填材の種類は特に限定されるものではないが、ホウ酸アルミニウムウィスカー，チタン酸カリウムウィスカー，カーボンウィスカー，アラミド繊維，芳香族ポリイミド繊維，液晶性ポリエステル繊維，グラファイトウィスカー，ガラス繊維，炭素繊維，ボロン繊維，炭化ケイ素ウィスカー，窒化ケイ素ウィスカー，アルミナウィスカー，窒化アルミニウムウィスカー，ウォラストナイト等を例示できる。これらの繊維状充填材には、母材である含フッ素樹脂との密着性を向上させる目的や、母材中に均一に分散させる目的で、シラン系，チタネート系のカップリング剤により表面処理を施してもよい。また、その他の目的に応じた表面処理を施してもよい。
【００２６】
さらに、本実施形態においては、転動装置の例として深溝玉軸受をあげて説明したが、転がり軸受の種類は深溝玉軸受に限定されるものではなく、本発明は様々な種類の転がり軸受に対して適用することができる。例えば、アンギュラ玉軸受，自動調心玉軸受，円筒ころ軸受，円すいころ軸受，針状ころ軸受，自動調心ころ軸受等のラジアル形の転がり軸受や、スラスト玉軸受，スラストころ軸受等のスラスト形の転がり軸受である。さらに、本発明は、転がり軸受に限らず、他の種類の様々な転動装置に対して適用することができる。例えば、ボールねじ，リニアガイド装置，直動ベアリング等である。
【００２７】
〔実施例〕
以下に、さらに具体的な実施例を示して、本発明を説明する。前述した呼び番号６００１の深溝玉軸受とほぼ同様の構成の深溝玉軸受において、内輪，外輪，及び玉を構成するセラミックスを、表１に示すように種々変更したものを用意して、回転試験によって耐久性（寿命）を評価した。なお、表１に記載の各アルミナ及び炭化ケイ素について、原料アルミナの純度，焼結方法，圧砕荷重を始めとする各種物性を表２に示す。
【００２８】
ここで、表２に記載の圧砕荷重は、以下のような圧砕試験により測定したものである。すなわち、２個の玉を並べて接触させ、玉の並列方向両側から両玉に荷重を負荷し、少なくとも一方の玉に損傷が生じる荷重を圧砕荷重とした。
【００２９】
【表１】
2005201327.tif 000003
【００３０】
【表２】
2005201327.tif 000004
【００３１】
表１，２に記載のセラミックスのうちアルミナ１は、常圧焼結法で得られたものであるが、内部の組織が不均一であるため、圧砕荷重は０．７ｋＮで本発明における好適な範囲から外れている。アルミナ２は常圧焼結法で得られたものであり、圧砕荷重は１．１ｋＮで本発明における好適な範囲内である。アルミナ３は常圧焼結法で得られたものであるが、アルミナ２よりも相対密度及び原料アルミナの純度が高く、圧砕荷重は１．５ｋＮで本発明における好適な範囲内である。アルミナ４は、１０００気圧以上の加圧焼結法であるＨＩＰ法（熱間静水圧焼結法）で得られた高強度アルミナであり、圧砕荷重は２．０ｋＮで本発明における好適な範囲内である。アルミナ５は、１０００気圧以上の加圧焼結法であるＨＩＰ法で得られた高強度アルミナであり、アルミナ４よりも相対密度及び原料アルミナの純度が高く、圧砕荷重は２．５ｋＮで本発明における好適な範囲内である。
【００３２】
また、表１，２に記載のセラミックスのうち炭化ケイ素は、ホウ素，炭素系の焼結助剤を用いて焼結法で製造されたα型の炭化ケイ素である。なお、炭化ケイ素の種類は特に限定されるものではないが、炭化ケイ素を反応焼結法により製造する場合には、素材内部に金属シリコンが残留することがあり、これが素材の耐腐食性に悪影響を及ぼすおそれがあるため、この残留金属シリコンは５質量％以下とすることが好ましい。
【００３３】
さらに、全ての深溝玉軸受の玉の表面の中心線平均粗さＲａは０．１μｍである。さらに、全ての深溝玉軸受の保持器は、ＥＴＦＥ８０質量％とチタン酸カリウムウィスカー２０質量％とからなる樹脂組成物を、射出成形して製造した冠形保持器である。
これらの深溝玉軸受を、８０℃に保持した５％フッ酸水溶液又は３０％水酸化ナトリウム水溶液に１００時間浸漬した後、図２に示すような日本精工株式会社製の軸受回転試験機に取り付けて、回転試験を行った。
【００３４】
この軸受回転試験機は、水平な基台Ｄと図示しないモータによって回転駆動される回転軸Ｓとを備えており、回転軸Ｓは基台Ｄに対して傾斜して配されている。この回転軸Ｓは、ハウジングＨの軸方向の両端部に外輪が固定された２個の玉軸受Ｊ１，Ｊ２により回転可能に支持されており、その先端には試験軸受Ｊが装着されている。そして、基台Ｄの上には水５１が満たされた容器５が設置されている。
【００３５】
試験軸受Ｊの外輪が容器５内の水５１に浸漬されている状態で、試験軸受Ｊに径方向の荷重（ラジアル荷重）Ｒを負荷しながら、内輪回転で回転試験を行った。試験条件は、ラジアル荷重：９８Ｎ、回転速度：１０００ｍｉｎ-1、雰囲気温度：常温である。そして、回転中の試験軸受Ｊに生じる振動を測定し、振動値が試験開始時の３倍となるまでの時間を試験軸受Ｊの寿命とした。結果を表１にまとめて示す。なお、表１に記載した寿命の数値は、比較例１の深溝玉軸受の寿命を１とした場合の相対値で示してある。
【００３６】
表１から分かるように、実施例１〜５の深溝玉軸受は、比較例１〜３の深溝玉軸受と比べて寿命が優れていた。この結果から、実施例１〜５の深溝玉軸受は、腐食性環境下においても耐久性が優れていると言える。また、実施例３〜５の深溝玉軸受は、加圧焼結法で得られた高強度アルミナで玉が製造されているので、常圧焼結法で得られたアルミナで玉が製造されている実施例１，２の深溝玉軸受と比べて、長寿命であった。さらに、実施例５の深溝玉軸受は、内輪及び外輪も加圧焼結法で得られた高強度アルミナで製造されているので、全実施例の中で最も長寿命であった。
【００３７】
次に、玉の直径及び圧砕荷重を種々変更した深溝玉軸受を用意して、前述の回転試験の場合と同様の方法で、５％フッ酸水溶液に浸漬した後の寿命を測定した。この深溝玉軸受の構成は、玉の直径及び圧砕荷重を変更するために、玉を構成するアルミナの種類及び深溝玉軸受の大きさを変更した以外は、前述の回転試験に用いたものとほぼ同様の構成である。なお、内輪及び外輪は炭化ケイ素製である。
【００３８】
結果を、図３のグラフに示す。このグラフにおいては、前述の比較例１の深溝玉軸受の寿命を１とした場合の相対値で各軸受の寿命を示してあり、寿命が１以下の場合は×印、１超過３未満の場合は○印、３以上の場合は◎印をプロットしてある。グラフから分かるように、玉の圧砕荷重が直径（Ｄａ）から算出されるＷｃ以上である場合（Ｗｃ＝０．０５×Ｄａ1.93のラインよりも上方にプロットされている場合）は、深溝玉軸受が長寿命であり、Ｗｃ未満である場合（Ｗｃ＝０．０５×Ｄａ1.93のラインよりも下方にプロットされている場合）は、深溝玉軸受の寿命が１以下であった。
【００３９】
次に、前述の実施例４の深溝玉軸受において玉の表面の中心線平均粗さＲａを種々変更したものを用意して、前述の回転試験の場合と同様の方法で、５％フッ酸水溶液に浸漬した後の寿命を測定し、転動体の表面粗さと深溝玉軸受の耐久性との関係を調査した。その結果を図４のグラフに示す。なお、このグラフにおける寿命の数値は、前述の比較例１の深溝玉軸受の寿命を１とした場合の相対値で示してある。
【００４０】
グラフから分かるように、玉の表面の中心線平均粗さＲａが０．０２〜０．５μｍである深溝玉軸受は、優れた耐久性を有していた。これは、表面粗さの谷へ液体が引き込まれたため、乾燥状態となりにくく摩耗が生じにくいことが原因と考えられる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明の転動装置は、水，酸，アルカリ等の腐食性を有する液体又は気体と接触するような腐食性環境下（例えば、前記液体の飛沫や蒸気と接触する環境下や前記液体中）においても好適に使用可能である。例えば、化学繊維，フィルム，半導体，液晶パネル，コンデンサ等を製造する際に使用される各種洗浄装置，レジスト塗布・剥離装置，エッチング装置等の回転支持部を構成する転動装置として好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明に係る転動装置の一実施形態である転がり軸受の構造を示す部分縦断面図である。
【図２】軸受回転試験機の構造を示す断面図である。
【図３】転動体の圧砕荷重と深溝玉軸受の寿命との相関を示すグラフである。
【図４】転動体の表面粗さと深溝玉軸受の寿命との相関を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４３】
１      内輪
２      外輪
３      玉
Ｊ      試験軸受
【図１】
2005201327.tif 000005
【図２】
2005201327.tif 000006
【図３】
2005201327.tif 000007
【図４】
2005201327.tif 000008