(57)【要約】【課題】小型化を図ることのできるインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】ノズル位置決め孔２９ａを形成したノズルプレート２９と、第１、第２位置決め孔２８ａ、２１ａがそれぞれ形成されたカバープレート２８及びキャビティプレート２１が両端に配されるフロントエンド７６と、リザーバ位置決め孔７７ａが形成されたリザーバ位置決め板７７が一端に配されるリザーバ７５の一端とを備え、第１接合工程でノズル位置決め孔２９ａ及び第１位置決め孔２８ａに第１位置決めピン９１を嵌合してノズルプレート２９とフロントエンド７６とを位置決めして接着するとともに、第２接合工程で第１位置決め孔２８ａ及びノズル位置決め孔２９ａに挿通される第２位置決めピン９２を第２位置決め孔２１ａ及びリザーバ位置決め孔７７ａに嵌合してフロントエンド７６とリザーバ７５とを位置決めして接着した。【選択図】      図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出するノズルを有したノズルプレートと、前記ノズルにインクを供給する流路を形成したフロントエンドと、前記フロントエンドを強化するリザーバとを積層して構成するインクジェットヘッドの製造方法において、
ノズル位置決め孔を有する前記ノズルプレートを形成するノズルプレート形成工程と、
第１位置決め孔を有する第１薄板と、第１位置決め孔に連通するとともに第１位置決め孔よりも小さい第２位置決め孔を有する第２薄板とを含む複数の薄板を、第１薄板及び第２薄板が夫々積層方向の端部に位置するように位置決めして積層することで前記フロントエンドを形成するフロントエンド形成工程と、
リザーバ位置決め孔を有するリザーバ位置決め板を含む複数の板を、前記リザーバ位置決め板が積層方向の端部に位置するように位置決めして積層することで前記リザーバを形成するリザーバ形成工程と、
前記ノズルプレートと第１薄板とが対面する状態で、前記ノズル位置決め孔と第１位置決め孔とに対して前記ノズルプレートの側から第１位置決めピンを挿通して前記ノズルプレートと前記フロントエンドとを位置決めし、その状態で前記ノズルプレートと前記フロントエンドとを接合する第１接合工程と、
第２薄板と前記リザーバ位置決め板とが対面する状態で、第２位置決め孔と前記リザーバ位置決め孔とに対し前記ノズルプレートの側から前記ノズル位置決め孔及び第１位置決め孔を通じて第２位置決めピンを挿通して前記フロントエンドと前記リザーバとを位置決めし、その状態で前記フロントエンドと前記リザーバとを接合する第２接合工程と、
を含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
インクを吐出するノズルを有したノズルプレートと、複数の薄板を積層して成るとともに前記ノズルにインクを供給する流路を形成したフロントエンドと、一以上の厚板により形成して前記フロントエンドを強化するリザーバとを順に位置決めして積層したインクジェットヘッドにおいて、
前記ノズルプレートに形成されたノズル位置決め孔と、
前記フロントエンドの一方の積層方向端に位置する第１薄板に形成された第１位置決め孔と、
前記フロントエンドの他方の積層方向端に位置する第２薄板に形成されるとともに第１位置決め孔に連通する第２位置決め孔と、
前記リザーバの厚板に形成されたリザーバ位置決め孔と、
を備え、前記ノズル位置決め孔及び第１位置決め孔は前記ノズルプレートと前記フロントエンドとを位置決めする第１位置決めピンが挿通されるものであり、第２位置決め孔及び前記リザーバ位置決め孔は前記フロントエンドと前記リザーバとを位置決めする第２位置決めピンが挿通されるものであることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
第２位置決め孔及び前記リザーバ位置決め孔は前記ノズル位置決め孔及び第１位置決め孔を貫通した第２位置決めピンが挿通されるものであることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
第１位置決め孔を第２位置決め孔よりも大径にしたことを特徴とする請求項２または請求項３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
第１位置決め孔と第２位置決め孔とを連通するとともに第１、第２位置決め孔よりも大径の貫通孔を、前記フロントエンドの第１、第２薄板間に配される各薄板に設けたことを特徴とする請求項２〜請求項４のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記フロントエンドに圧電素子を固着するとともに前記圧電素子との干渉を回避する凹部を前記リザーバに設けたことを特徴とする請求項２〜請求項５のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記フロントエンドは積層される各薄板を位置決めするピンが挿通される第３位置決め孔を第１、第２位置決め孔と異なる位置に有することを特徴とする請求項２〜請求項６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記リザーバは複数の厚板を積層して成ることを特徴とする請求項２〜請求項７のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はプリンタ等に設けられるインクジェットヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリンタやファクシミリ等に用いられるインクジェットヘッドは、薄板を積層してインク流路が形成された流路ユニットとしてのフロントエンドを有している。フロントエンドの一面にはインクを吐出する複数のノズルが配列されたノズルプレートが接着される。フロントエンドの他面にはリザーバが設けられ、厚みの薄いフロントエンドを支持して補強するようになっている。
【０００３】
特許文献１にはフロントエンド及びノズルプレートを接着する方法が開示されている。フロントエンドを構成する複数の薄板とノズルプレートには貫通孔が形成されている。位置決めピンを該貫通孔に嵌合し、接着剤を介して各層を積層することによりフロントエンドとノズルプレートとが位置決めして接着される。これにより、インク流路に対してノズルが所定位置に配されるようになっている。
【０００４】
インク流路に対するノズルの位置精度は吐出特性への影響が大きく、高い吐出精度を確保するためにはフロントエンドとノズルプレートとを高精度に位置決めする必要がある。このため、フロントエンドの各層を予め接着した後にフロントエンドとノズルプレートとを位置決めして接着する方法が考えられている。
【０００５】
図１３、図１４はこのインクジェットヘッドの製造工程を示す断面図である。フロントエンド７６には第１、第２位置決め孔７６ｂ、７６ｃ及び貫通孔７６ａ、７６ｄが形成されている。貫通孔７６ｄは第２位置決め孔７６ｃと同軸に設けられ、第２位置決め孔７６ｃよりも径が大きくなっている。
【０００６】
ノズルプレート２９にはノズル位置決め孔２９ａ及び貫通孔２９ｂが形成されている。貫通孔２９ｂは第２位置決め孔７６ｃよりも径が大きくなっている。フロントエンド７６は貫通孔７６ａに位置決めピン（不図示）を嵌合して各薄板が位置決めされ予め各層が接着されている。
【０００７】
第１位置決め孔７６ｂ及びノズル位置決め孔２９ａには位置決めピン９１が嵌合され、フロントエンド７６とノズルプレート２９とが位置決めして接着される。これにより、流路ユニット２が形成され、インク流路（不図示）に対してノズル（不図示）が高精度に位置決めされる。
【０００８】
次に、図１４に示すように、リザーバ７５は厚板を積層して成り、貫通孔７５ａ及びリザーバ位置決め孔７５ｂが形成されている。リザーバ７５は貫通孔７５ａに位置決めピン（不図示）を嵌合して各厚板が位置決めされ予め各層が接着されている。
【０００９】
貫通孔２９ｂ、７６ｄを介して第２位置決め孔７６ｃ及びリザーバ位置決め孔７５ｂには位置決めピン９２が嵌合され、フロントエンド７６とリザーバ７５とが位置決めして接着される。これにより、ノズルプレート２９、フロントエンド７６及びリザーバ７５が一体に形成されるようになっている。
【００１０】
【特許文献１】
特開平８−１７４８２５号公報（第２頁〜第４頁、第７図）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来のインクジェットヘッドによると、フロントエンド７６には第１、第２位置決め孔７６ｂ、７６ｃが径方向に並んで形成される。このため、インクジェットヘッドが長手方向（図１４において左右方向）に長くなり、インクジェットヘッドが大型になる問題があった。
【００１２】
本発明は、小型化を図ることのできるインクジェットヘッドを提供することを目的とする。また本発明はインクジェットヘッドの小型化を図ることのできるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルを有したノズルプレートと、前記ノズルにインクを供給する流路を形成したフロントエンドと、前記フロントエンドを強化するリザーバとを積層して構成するインクジェットヘッドの製造方法において、ノズル位置決め孔を有する前記ノズルプレートを形成するノズルプレート形成工程と、第１位置決め孔を有する第１薄板と、第１位置決め孔に連通するとともに第１位置決め孔よりも小さい第２位置決め孔を有する第２薄板とを含む複数の薄板を、第１薄板及び第２薄板が夫々積層方向の端部に位置するように位置決めして積層することで前記フロントエンドを形成するフロントエンド形成工程と、リザーバ位置決め孔を有するリザーバ位置決め板を含む複数の板を、前記リザーバ位置決め板が積層方向の端部に位置するように位置決めして積層することで、前記リザーバを形成するリザーバ形成工程と、前記ノズルプレートと第１薄板とが対面する状態で、前記ノズル位置決め孔と第１位置決め孔とに対して前記ノズルプレートの側から第１位置決めピンを挿通して前記ノズルプレートと前記フロントエンドとを位置決めし、その状態で前記ノズルプレートと前記フロントエンドとを接合する第１接合工程と、第２薄板と前記リザーバ位置決め板とが対面する状態で、第２位置決め孔と前記リザーバ位置決め孔とに対し前記ノズルプレートの側から前記ノズル位置決め孔及び第１位置決め孔を通じて第２位置決めピンを挿通して前記フロントエンドと前記リザーバとを位置決めし、その状態で前記フロントエンドと前記リザーバとを接合する第２接合工程と、を含むことを特徴としている。（請求項１）
【００１４】
また、本発明のインクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルを有したノズルプレートと、複数の薄板を積層して成るとともに前記ノズルにインクを供給する流路を形成したフロントエンドと、一以上の厚板により形成して前記フロントエンドを強化するリザーバとを順に位置決めして積層したインクジェットヘッドにおいて、前記ノズルプレートに形成されたノズル位置決め孔と、前記フロントエンドの一方の積層方向端に位置する第１薄板に形成された第１位置決め孔と、前記フロントエンドの他方の積層方向端に位置する第２薄板に形成されるとともに第１位置決め孔に連通する第２位置決め孔と、前記リザーバの厚板に形成されたリザーバ位置決め孔と、を備え、前記ノズル位置決め孔及び第１位置決め孔は前記ノズルプレートと前記フロントエンドとを位置決めする第１位置決めピンが挿通されるものであり、第２位置決め孔及び前記リザーバ位置決め孔は前記フロントエンドと前記リザーバとを位置決めする第２位置決めピンが挿通されるものであることを特徴としている。（請求項２）
【００１５】
これらの発明によると、ノズル位置決め孔及び第１位置決め孔に第１位置決めピンを嵌合してノズルプレートとフロントエンドとが位置決めして接着される。また、第２位置決め孔に連通した第１位置決め孔及びノズル位置決め孔に挿通される第２位置決めピンが第２位置決め孔及びリザーバ位置決め孔に嵌合され、フロントエンドとリザーバとが位置決めして接着される。従って、ノズルプレートとフロントエンドとを位置決めするためのノズル位置決め孔及び第１位置決め孔と、フロンエンドとリザーバとを位置決めするための第２位置決め孔及びリザーバ位置決め孔との４つの孔を、ノズルプレート、フロントエンド及びリザーバの積層方向に沿うように連通させて配置できるので、積層位置決めにかかるこれら４つの孔を集約して配置することができ、これにより、インクジェットヘッドを小型化することができる。
【００１６】
また本発明は、上記構成のインクジェットヘッドにおいて、第２位置決め孔及び前記リザーバ位置決め孔は前記ノズル位置決め孔及び第１位置決め孔を貫通した第２位置決めピンが挿通されるものであることを特徴としている。（請求項３）
【００１７】
また本発明は、上記構成のインクジェットヘッドにおいて、第１位置決め孔を第２位置決め孔よりも大径にしたことを特徴としている。（請求項４）
【００１８】
この構成によると、第２位置決め孔に第１位置決め孔を介して挿通された第２位置決めピンが嵌合される際に、第１薄板と第２位置決めピンとの干渉が防止され、第２位置決めピンをスムーズに挿通することができる。
【００１９】
また本発明は、上記構成のインクジェットヘッドにおいて、第１位置決め孔と第２位置決め孔とを連通するとともに第１、第２位置決め孔よりも大径の貫通孔を、前記フロントエンドの第１、第２薄板間に配される各薄板に設けたことを特徴としている。（請求項５）
【００２０】
この構成によると、第２位置決め孔に第１位置決め孔を介して挿通された第２位置決めピンが嵌合される際に、第１、第２薄板間に配される各薄板と第２位置決めピンとの干渉が防止され、第２位置決めピンをスムーズに挿通することができる。また、第１位置決め孔に第１位置決めピンが嵌合される際に、第１薄板に隣接する薄板と第１位置決めピンとの干渉が防止される。従って、位置決め精度の低下を防止することができる。
【００２１】
また本発明は、上記構成のインクジェットヘッドにおいて、前記フロントエンドに圧電素子を固着するとともに前記圧電素子との干渉を回避する凹部を前記リザーバに設けたことを特徴としている。（請求項６）
【００２２】
この構成によると、リザーバの凹部とフロントエンドとの間の空間に圧電素子が配置され、フロントエンドとリザーバとを容易に接合することができる。
【００２３】
また本発明は、上記構成のインクジェットヘッドにおいて、前記フロントエンドは積層される各薄板を位置決めするピンが挿通される第３位置決め孔を第１、第２位置決め孔と異なる位置に有することを特徴としている。（請求項７）
【００２４】
この構成によると、フロントエンドは第３位置決め孔に位置決めピンを嵌合して各薄板が積層して接着される。これにより、フロントエンドを容易に予め形成し、フロントエンドとノズルプレートとを高い位置決め精度で接着することができる。
【００２５】
また本発明は、上記構成のインクジェットヘッドにおいて、前記リザーバは複数の厚板を積層して成ることを特徴としている。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施形態を図面を参照して説明する。図１は一実施形態のインクジェットヘッドを示す斜視図である。インクジェットヘッド１は記録用紙に対向配置されるヘッドユニット７０が基部７１により保持されている。インクジェットヘッド１をＸ方向（主走査方向）に走査し、記録用紙をＹ方向（副走査方向）送って記録用紙に記録できるようになっている。
【００２７】
ヘッドユニット７０は詳細を後述するように圧力室１０やノズル８等を含んで流路が構成された流路ユニット２及び圧力室１０中のインクを加圧するアクチュエータユニット４（いずれも図２、図４参照）から成り、記録用紙の所定位置にインクを吐出する。基部７１はリザーバ７５及びホルダ７２から成っている。リザーバ７５はヘッドユニット７０の背面側に固着され、薄く形成されるヘッドユニット７０を支持して強度を補強する。
【００２８】
ホルダ７２は本体部７３と支持部７４とから成っている。本体部７３はリザーバ７５を保持する。支持部７４は本体部７３からヘッドユニット７０と反対側に延設され、支持部７４によりインクジェットヘッド１が支持されるようになっている。
【００２９】
基部７１の外周にはアクチュエータを形成する個別電極６（図５参照）に接続されるＦＰＣ５０がスポンジ等の弾性部材８３を介して配される。ＦＰＣ５０にはアクチュエータを駆動するドライバＩＣ８０と、ドライバＩＣ８０を制御する制御基板８１とが取り付けられている。ドライバＩＣ８０には発熱を放出するヒートシンク８２が固着されている。
【００３０】
図２はヘッドユニット７０を示す平面図である。ヘッドユニット７０はインクの流路を形成する流路ユニット２を有している。流路ユニット２は矩形に形成され、短辺方向に重なる２列で長辺方向に並設される複数の吐出素子群９を有している。
【００３１】
各吐出素子群９上には圧電素子から成るアクチュエータを有したアクチュエータユニット４がそれぞれ固着されている。また、各吐出素子群９にはリザーバ７５（図１参照）に設けられたインク溜り（不図示）に開口部３ａ、３ｂを介して連通するマニホールド５からインクが供給されるようになっている。
【００３２】
図３は図２のＥ部の詳細を示す平面図である。吐出素子群９は記録画像の各画素に対応してインクを吐出する多数の吐出素子１１がマトリクス状に配列して構成され、その外形が略台形形状になっている。各吐出素子１１はマニホールド５に連通するアパーチャ１３、圧力室１０、ノズル８（図４参照）等を有している。
【００３３】
図４は吐出素子１１の断面形状を示している。流路ユニット２はＮｉ等の薄板を積層して構成され、フロントエンド７６とノズルプレート２９とが接着して形成されている。フロントエンド７６はアクチュエータユニット４側から順にキャビティプレート２１、ベースプレート２２、アパーチャプレート２３、サプライプレート２４、マニホールドプレート２５、２６、２７、カバープレート２８を有しており、この順に積層されて構成される。このフロントエンド７６はノズル８にインクを供給する流路ユニットを構成するものである。
【００３４】
キャビティプレート２１には圧力室１０が形成される。圧力室１０は後述するアクチュエータの駆動によりマニホールド５から吸引したインクをノズル８に圧出する。アパーチャプレート２３にはアパーチャ１３及びインク送出路７を構成する貫通孔が形成される。アパーチャ１３によってマニホールド５から圧力室１０に流入するインクの流路が絞られるようになっている。ベースプレート２２はアパーチャ１３と圧力室１０とを連通させる貫通孔と、インク送出路７を構成する貫通孔とが形成される。
【００３５】
マニホールドプレート２５、２６、２７は積層してマニホールド５を形成するとともにインク送出路７を構成する貫通孔が形成される。サプライプレート２４はアパーチャ１３とマニホールド５とを連通させる貫通孔と、インク送出路７を構成する貫通孔とが形成される。
【００３６】
ノズルプレート２９はインク送出路７を介して送られたインクを吐出するノズル８が形成される。カバープレート２８はインク送出路７を構成してノズル８にインクを供給する開口部が形成される。各プレート（２１〜２９）を積層することで、共通のインク室として働くマニホールド５の出口から圧力室１０を介してノズル８に連通した吐出素子１１を複数含んだ流路ユニット２が形成されることになる。尚、１４は各層を接着する接着剤を逃がす逃がし溝である。
【００３７】
図５は図４のＦ部を示しており、アクチュエータユニット４を構成する個別のアクチュエータの詳細を示す断面図である。アクチュエータユニット４は複数の圧電シート４１〜４４が内部電極４５とともに積層されている。流路ユニット２側から離れた側には各吐出素子１１の圧力室１０に対向して個別電極６が設けられている。
【００３８】
個別電極６は図６に示すようにランド部６２及び電極部６１を有し、電極部６１は圧力室１０と近似する略菱形状の平面形状に形成されている。これにより、各吐出素子１１に対応した圧電素子から成るアクチュエータが構成される。個別電極６に電圧を印加するとアクチュエータが変形するので圧力室１０（図４参照）の容積を可変してインクの吸引及び圧出が可能になっている。
【００３９】
図７はインクジェットヘッド１のヘッドユニット７０及びリザーバ７５を一体化する製造工程を示す工程図である。ノズルプレート形成工程ではエッチング及びプレス加工によってノズル位置決め孔２９ａ（図１０参照）及びノズル８を有するノズルプレート２９が形成される。
【００４０】
薄板形成工程ではインク流路や位置決め用の各貫通孔を有したフロントエンド７６の各薄板がエッチングにより形成される。フロントエンド形成加工では図８に示すように、フロントエンド７６の各薄板が積層される。各薄板には、同径の貫通孔７６ａ（第３位置決め孔）が上記薄板形成工程で形成されている。貫通孔７６ａに位置決めピン９３が嵌合され、各薄板を位置決めして接着する。
【００４１】
厚板形成工程ではインク溜り（不図示）等を有したリザーバ７５の各厚板がエッチングやプレス加工により形成される。リザーバ形成加工では図９に示すように、リザーバ７５の各厚板が積層される。各厚板には、同径の位置決め孔７５ａが上記厚板形成工程で形成されている。貫通孔７５ａに位置決めピン９４が嵌合され、各厚板を位置決めして接着する。
【００４２】
第１接合工程では図１０に示すように、ノズルプレート２９とフロントエンド７６とを接着して流路ユニット２が形成される。ノズルプレート２９にはノズル位置決め孔２９ａが上記ノズルプレート形成工程で形成されている。フロントエンド７６の積層方向の一端に配されるカバープレート２８にはノズル位置決め孔２９ａと同径の第１位置決め孔２８ａが上記薄板形成工程で形成されている。
【００４３】
尚、フロントエンド７６の積層方向の他端に配されるキャビティプレート２１にはノズル位置決め孔２９ａよりも径の小さい第２位置決め孔２１ａが上記薄板形成工程で形成されている。カバープレート２８とキャビティプレート２１との間に配される各薄板にはノズル位置決め孔２９ａよりも更に径の大きい貫通孔７６ｅが上記薄板形成工程で形成されている。
【００４４】
ノズル位置決め孔２９ａ及び位置決め孔２８ａに位置決めピン９１（第１位置決めピン）が嵌合され、フロントエンド７６とノズルプレート２９とが位置決めして接着される。これにより、フロントエンド７６に形成されるインク流路に対してノズル８を高精度に配置して高い吐出精度を得ることができる。
【００４５】
尚、貫通孔７６ｅが位置決め孔２８ａよりも径が大きいので、貫通孔７６ｅを位置決めピン９１に干渉させずにフロントエンド７６とノズルプレート２９とを位置決めすることができる。
【００４６】
アクチュエータ接着工程では流路ユニット２にアクチュエータユニット４を接着してヘッドユニット７０が形成される。前述の図２に示すようにアクチュエータユニット４は各吐出素子群９に対応して複数設けられている。
【００４７】
第２接合工程では図１１に示すようにヘッドユニット７０のフロントエンド７６とリザーバ７５とが接着される。リザーバ７５の積層方向の一端に配されるリザーバ位置決め板７７にはキャビティプレート２１の第２位置決め孔２１ａと同径のリザーバ位置決め孔７７ａが上記厚板形成工程で形成されている。また、リザーバ位置決め板７７に隣接する厚板７８にはリザーバ位置決め孔７７ａよりも径の大きい貫通孔７８ａが上記厚板形成工程で形成されている。
【００４８】
リザーバ位置決め孔７７ａ及び第２位置決め孔２１ａに位置決めピン９２（第２位置決めピン）が嵌合され、リザーバ７５とフロントエンド７６とが位置決めして接着される。図１２はリザーバ７６の下層のリザーバ位置決め板７７のフロントエンド７６側の面を示している。同図に示すようにリザーバ位置決め板７７にはアクチュエータユニット４に対応する位置に凹部７７ｂが形成されている。凹部７７ｂによってリザーバ７５とアクチュエータユニット４との干渉を回避してリザーバ７５とフロントエンド７６とを押圧できるようになっている。
【００４９】
ノズル位置決め孔２８ａ、第１位置決め孔２９ａ及び貫通孔７６ｅは第２位置決め孔２１ａよりも径が大きいので位置決めピン９２はこれらを貫通してリザーバ位置決め孔７７ａ及び位置決め孔２１ａに嵌合することができる。このため、位置決めピン９１、９２が挿通される貫通孔を並設して設ける必要がない。
【００５０】
従って、インクジェットヘッド１を長手方向（図１１において左右方向）に短くすることができ、インクジェットヘッド１の小型化を図ることができる。ノズル位置決め孔２８ａ、第１位置決め孔２９ａ及び貫通孔７６ｅは位置決めピン９２が挿通可能であれば第２位置決め孔２１ａと同軸でなくてもよい。
【００５１】
尚、凹部７７ｂ（図１２参照）の形成によりリザーバ位置決め板７７は一部薄くなっており、組立後には圧電素子に直接外力が加わらないようになっている。このため、仮に、組立手順としてリザーバ７５に対して圧電素子が固定されたフロントエンド７６を押圧する形で位置決めしながら接着を行うと、フロントエンド７６の剛性の低さから接着中に圧電素子がリザーバ７５に当接して不要な外力が加わってしまうことになる。
【００５２】
しかし、本実施形態では、上述のように、ノズル位置決め孔２８ａと第１位置決め孔２９ａとにより位置精度良く組み立てられたフロントエンド７６に対してリザーバ７５を押圧する形で接着を行っている。このリザーバ７５自体は高剛性で押圧により撓むことはない。更に、フロントエンド７６とリザーバ７５との接着の前にフロントエンド７６とノズルプレート２９との接着を行うことにより、圧電素子に押圧力が加わる回数を最小限にするようになっている。
【００５３】
【発明の効果】
本発明のインクジェットヘッドの製造方法によると、ノズルプレートと第１薄板とが対面する状態で、ノズル位置決め孔と第１位置決め孔とに対してノズルプレートの側から第１位置決めピンを挿通してノズルプレートとフロントエンドとを位置決めし、その状態でノズルプレートとフロントエンドとを接合する第１接合工程と、第２薄板とリザーバ位置決め板とが対面する状態で、第２位置決め孔とリザーバ位置決め孔とに対しノズルプレートの側からノズル位置決め孔及び第１位置決め孔を通じて第２位置決めピンを挿通してフロントエンドとリザーバとを位置決めし、その状態でフロントエンドとリザーバとを接合する第２接合工程とを備えるので、フロントエンドとリザーバとの接合の前にノズルプレートとフロントエンドとを接合できるとともに、インクジェットヘッドの小型化を図ることができる。
【００５４】
また本発明のインクジェットヘッドによると、ノズルプレートとフロントエンドを位置決めするノズル位置決め孔及び第１位置決め孔をそれぞれノズルプレート及びフロントエンドに設けるとともに、フロントエンドとリザーバとを位置決めする第２位置決め孔及びリザーバ位置決め孔をそれぞれフロントエンド及びリザーバに設け、第１、第２位置決め孔が連通するので、ノズルプレート、フロントエンド及びリザーバの長手方向における一部の領域にこれらの孔を集約して配置することができる。従って、ノズルプレート、フロントエンド、及びリザーバプレートの長手方向の長さを短くすることができ、インクジェットヘッドの小型化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施形態のインクジェットヘッドの斜視図である。
【図２】本発明の実施形態のインクジェットヘッドのヘッドユニットの平面図である。
【図３】図２のＥ部詳細図である。
【図４】本発明の実施形態のインクジェットヘッドの吐出素子を示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態のインクジェットヘッドのアクチュエータユニットを構成するアクチュエータを示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態のインクジェットヘッドのアクチュエータユニットの個別電極を示す平面図である。
【図７】本発明の実施形態のインクジェットヘッドの製造工程を示す工程図である。
【図８】本発明の実施形態のインクジェットヘッドのフロントエンド形成工程を示す断面図である。
【図９】本発明の実施形態のインクジェットヘッドのリザーバ形成工程を示す断面図である。
【図１０】本発明の実施形態のインクジェットヘッドの第１接合工程を示す断面図である。
【図１１】本発明の実施形態のインクジェットヘッドの第２接合工程を示す断面図である。
【図１２】本発明の実施形態のインクジェットヘッドのリザーバ位置決め板を示す平面図である。
【図１３】従来のインクジェットヘッドの製造工程を示す断面図である。
【図１４】従来のインクジェットヘッドの製造工程を示す断面図である。
【符号の説明】
１    インクジェットヘッド
２    流路ユニット
４    アクチュエータユニット
５    マニホールド
６    個別電極
７    排出流路
８    ノズル
９    吐出素子群
１０    圧力室
１１    吐出素子
１３    アパーチャ
２１    キャビティプレート（第２薄板）
２１ａ、７６ｃ  第２位置決め孔
２８    カバープレート（第１薄板）
２８ａ、７６ｂ  第１位置決め孔
２９    ノズルプレート
４１〜４４  圧電シート
５０    ＦＰＣ
７０    ヘッドユニット
７１    基台
７２    ホルダ
７５    リザーバ
７６    フロントエンド
７６ａ  貫通孔（第３位置決め孔）
７７    リザーバ位置決め板
８０    ドライバＩＣ
８１    制御基板
８２    ヒートシンク
９１〜９４  位置決めピン
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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