(57)【要約】【課題】  弁座を塑性変形させることなく分解することができる制御弁の分解方法及びそれに使用される制御弁を提供すること。【解決手段】  ボディ１とアクチュエータ部１９Ａとを複数の連結ネジ２１で連結したものであって、アクチュエータ部１９Ａに摺動可能に保持されたピストンロッド１０にダイアフラム７が保持され、ピストンロッド１０を押圧バネ１３で付勢することによりダイアフラム７をボディ１に内設された弁座５に当接させる制御弁１Ａの分解方法において、開弁状態維持手段２０でダイアフラム７を弁座５から離間させた状態で保持し、複数の連結部材２１を取り外してアクチュエータ部１９Ａをボディ１から分離する。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ボディとアクチュエータとを複数の連結ネジで連結したものであって、前記アクチュエータに摺動可能に保持された主軸に弁体が保持され、前記主軸を付勢手段で付勢することにより前記弁体を前記ボディに内設された弁座に当接させる制御弁の分解方法において、
前記弁体を前記弁座から離間させた状態で保持し、前記複数の連結部材を取り外して前記アクチュエータを前記ボディから分離することを特徴とする制御弁の分解方法。
【請求項２】
請求項１に記載する制御弁の分解方法において、
前記主軸に連結され、前記アクチュエータに形成された穿通孔に摺動可能に貫き通される指示部材と、
前記指示部材に装着され、前記指示部材を前記アクチュエータに係止させる係止部材とを有し、
前記主軸を前記付勢手段に抗して摺動させ、前記穿通孔から突出した前記指示部材に前記係止部材を装着することを特徴とする制御弁の分解方法。
【請求項３】
ボディとアクチュエータとを複数の連結ネジで連結したものであって、前記アクチュエータに摺動可能に保持された主軸に弁体が保持され、前記主軸を付勢手段で付勢することにより前記弁体を前記ボディに内設された弁座に当接させる制御弁において、
流体を制御していないときに、前記弁体を前記弁座から離間させた位置で保持する開弁状態維持手段を有することを特徴とする制御弁。
【請求項４】
請求項３に記載する制御弁において、
前記開弁状態維持手段は、
前記主軸に連結され、前記主軸が前記付勢手段に抗して摺動したときに前記アクチュエータに形成された穿通孔から外部に突出する指示部材と、
前記指示部材が前記アクチュエータから外部に突出したときに、前記指示部材に装着されて前記指示部材を前記アクチュエータに係止させる係止部材とを有することを特徴とする制御弁。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁体を弁座に当接又は離間させることにより流体を制御する制御弁の分解方法及びその分解方法に使用する制御弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、弁体を弁座に当接又は離間させることにより流体を制御する制御弁としては、例えば、半導体製造装置に設置される薬液弁がある。かかる薬液弁には、例えば、特許文献１に記載されたものがあり、これと基本構造が同様であって公然に実施されている薬液弁の一例を図９、図１０、図１１に示す。図９は、従来の薬液弁１００の断面図である。図１０は、従来の薬液弁１００の上面図である。図１１は、従来の薬液弁１００の要部断面側面図である。
【０００３】
薬液弁１００は、ボディ１０１とアクチュエータ部１０２とを連結ネジ１０３，１０３，１０３，１０３で連結したものである。ボディ１０１には、入力ポート１０４と出力ポート１０５とを連通させる弁座１０６が設けられている。アクチュエータ部１０２には、ピストンロッド１０７が摺動可能に保持されている。ピストンロッド１０７は、下端部がボディ１０１に突き出し、ダイアフラム１０８が連結されている。アクチュエータ部１０２には、押圧バネ１０９が縮設され、ピストンロッド１０７に弁座１０６方向の力を常時作用させている。従って、薬液弁１００は、操作ポート１１０に操作流体を供給されない間は、ピストンロッド１０７が下降してダイアフラム１０８を弁座１０６に当接させる。一方、薬液弁１００は、操作ポート１１０に操作流体を供給されると、ピストンロッド１０７が押圧バネ１０９に抗して上昇し、ダイアフラム１０８を弁座１０６から離間させる。
【０００４】
さて、近年、例えば、半導体製造装置の薬液には研磨剤を混入したものがあり、その薬液を薬液弁１００が制御することがある。この場合、研磨剤が弁座１０６に噛み込むと、閉弁時に噛み込み部分から流体漏れが生じるおそれがある。そのため、薬液弁１００は、連結ネジ１０３を取り外してボディ１０１からアクチュエータ部１０２を分離し、ボディ１０１や弁座１０６を洗浄するメンテナンスが行われる。メンテナンスが完了すると、薬液弁１００は、ボディ１０１にアクチュエータ部１０２を載せ、連結ネジ１０３…をアクチュエータ部１０２からボディ１０１へと貫き通して締結することにより、再組み立てされる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−１５３２６１号公報（段落０００２〜０００６、第７図。）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の制御弁（薬液弁１００）は、連結ネジ１０３…を１本ずつ弛めて分解するときに、アクチュエータ部１０２をボディ１０１に押し付ける力が弱くなる。アクチュエータ部１０２に縮設された押圧バネ１０９は、連結ネジ１０３を弛める方向に伸びようとして、ピストンロッド１０７に与える弾圧力のバランスを崩していた。これに伴って、図１２の断面図に示すように、アクチュエータ部１０２がピストンロッド１０７とともにボディ１０１に対して傾いていた。このとき、薬液弁１００は、操作ポート１１０に操作流体を供給されておらず、ダイアフラム１０８が弁座１０６に当接している。そのため、アクチュエータ部１０２が傾くのに従って、ダイアフラム１０８が弁座１０６に片当たりし、弁座１０６を塑性変形させることがあった（Ａ部参照）。弁座１０６が僅かでも塑性変形すると、全体のシール力の均一性が失われ、塑性変形部分から流体漏れを発生するおそれがあるため、問題である。
【０００７】
そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、弁座を塑性変形させることなく分解することができる制御弁の分解方法及びそれに使用される制御弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は以下の構成を有している。
（１）ボディとアクチュエータとを複数の連結ネジで連結したものであって、アクチュエータに摺動可能に保持された主軸に弁体が保持され、主軸を付勢手段で付勢することにより弁体をボディに内設された弁座に当接させる制御弁の分解方法において、弁体を弁座から離間させた状態で保持し、複数の連結部材を取り外してアクチュエータをボディから分離することを特徴とする。
【０００９】
（２）（１）に記載の発明において、主軸に連結され、アクチュエータに形成された穿通孔に摺動可能に貫き通される指示部材と、指示部材に装着され、指示部材をアクチュエータに係止させる係止部材とを有し、主軸を付勢手段に抗して摺動させ、穿通孔から突出した指示部材に係止部材を装着することを特徴とする。
【００１０】
（３）ボディとアクチュエータとを複数の連結ネジで連結したものであって、アクチュエータに摺動可能に保持された主軸に弁体が保持され、主軸を付勢手段で付勢することにより弁体をボディに内設された弁座に当接させる制御弁において、流体を制御していないときに、弁体を弁座から離間させた位置で保持する開弁状態維持手段を有することを特徴とする。
【００１１】
（４）（３）に記載の発明において、開弁状態維持手段は、主軸に連結され、主軸が付勢手段に抗して摺動したときにアクチュエータに形成された穿通孔から外部に突出する指示部材と、指示部材がアクチュエータから外部に突出したときに、指示部材に装着されて指示部材をアクチュエータに係止させる係止部材とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
次に、上記構成を有する発明の作用効果について説明する。
制御弁は、主軸が付勢手段により弁座方向に付勢されているときには、弁体が弁座に当接して流体を遮断する。一方、制御弁は、主軸が付勢手段に抗してアクチュエータ内を摺動すると、弁体が弁座から離間する。かかる制御弁は、次のように分解される。
【００１３】
制御弁は、開弁状態維持手段で弁体を弁座から離間させた位置で保持し、連結ネジを１本ずつ弛めて取り外し、アクチュエータをボディから取り外すことにより、分解される。このとき、連結ネジを弛めるに従って付勢手段が主軸に与える付勢力のバランスが崩れ、アクチュエータがボディに対して傾くことがある。しかし、弁体が弁座から離間しているため、アクチュエータがボディに対して傾いても、弁体が弁座に片当たりせず、弁座を塑性変形させない。よって、本発明によれば、弁座を塑性変形させることなく部品を分解することができる。
【００１４】
また、弁体と一体的に移動する主軸に指示部材を連結し、弁体を弁座から離間させたときに、指示部材がアクチュエータの穿通孔から突出するようにする。そして、アクチュエータから突出した指示部材に係止部材を取り付ける。指示部材は、主軸に作用する付勢手段の付勢力で弁座方向に移動しようとするが、係止部材でアクチュエータに係止されて移動を制限される。そのため、指示部材に連結する主軸及びその主軸に連結する弁体が弁座方向に移動できず、開弁状態が維持される。よって、本発明によれば、開弁時にアクチュエータから突出する指示部材に係止部材を装着するだけで開弁状態を維持できるので、簡単に弁座の塑性変形を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（第１実施の形態）
次に、本発明に係る制御弁の分解方法及びそれに使用する制御弁の第１実施の形態について図面を参照して説明する。図１は、薬液弁１Ａの断面図であって、閉弁状態を示す。図２は、薬液弁１Ａの断面図であって、開弁状態を示す。
本実施の形態の制御弁は、薬液の流量調整を行う薬液弁１Ａであって、例えば、半導体製造装置に設置される。薬液弁１Ａは、ボディ２にアクチュエータ部（「アクチュエータ」に相当するもの。）１９Ａを複数の連結ネジ（「連結部材」に相当するもの。）２１で連結したものであり（図１０及び図１１参照）、アクチュエータ部１９Ａに内設されるピストンロッド（「主軸」に相当するもの。）１０に従ってダイアフラム７を弁座５に当接又は離間させるエアオペレイトバルブである。
【００１６】
ボディ２は、耐腐食性などの観点からＰＴＦＥ（ポリテトラルフオロエチレン）やＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）などのフッ素樹脂をブロック状に成形したものである。ボディ２には、入力ポート３と出力ポート４が形成され、入力ポート３と出力ポート４との間に弁座５が一体成形されている。ボディ２には、シリンダ６Ａとカバー８Ａが積み重ねられ、４本の連結ネジ２１がカバー８Ａからシリンダ６Ａ、ボディ２、取付板１６へと貫き通され（図１０、図１１参照。）、ボディ２、シリンダ６Ａ、カバー８Ａ、取付板１６を一体化している。これにより、ボディ２にアクチュエータ部１９Ａが連結されている。
【００１７】
ボディ２とシリンダ６Ａとの間には、ダイアフラム７の周縁部７ｃが狭持されている。ダイアフラム７は、円柱状の弁体部７ａに薄膜部７ｂを介して肉厚の周縁部７ｃを接続したものであって、弁体部７ａが弁座５に当接又は離間するように配設されている。
【００１８】
シリンダ６Ａは、中空孔を備える円筒形状に成形されたものであり、カバー８Ａとの間にピストン室９が形成されている。ピストン室９は、ピストンロッド１０が摺動可能に装填され、一次室９Ａと二次室９Ｂに気密に区画されている。一次室９Ａには、シリンダ６Ａに開設された操作ポート１１が連通している。また、二次室９Ｂには、カバー８Ａに開設された排気ポート１２が連通するとともに、押圧バネ（「付勢手段」に相当するもの。）１３が縮設され、ピストンロッド１０に常時弁座５方向の力を作用させている。ピストンロッド１０は、下端部にダイアフラム７が連結し、一次室９Ａと二次室９Ｂの圧力変動によってダイアフラム７に上下方向の駆動力を与える。
【００１９】
ピストンロッド１０の上端部には、カバー８Ａに貫き通されたインジケータ（「指示部材」に相当するもの。）１４Ａが螺合され、インジケータ１４Ａをカバー８Ａの穿通孔８ａから出し入れするようになっている。インジケータ１４Ａには、開弁状態維持手段２０が設けられている（図２参照）。開弁状態維持手段２０は、インジケータ１４Ａに対して移動方向と直交する方向に貫通孔１４ａを形成し、カバー８Ａから露出した貫通孔１４ａにピン（「係止部材」に相当するもの。）１５を貫き通すよう構成されたものである。ピン１５は、カバー８Ａに形成された穿通孔８ａの直径より長く形成され、両端部がカバー８Ａに引っかけられて係止されるようになっている。
【００２０】
このような薬液弁１Ａは、図１に示すように、ボディ２の下端面に取付板１６が固設されており、取付板１６を半導体製造装置にネジ止めし、入力ポート３と出力ポート４に継手１７，１８を介して配管を接続することにより半導体製造装置に組み付けられる。取付板１６や継手１７，１８は、耐腐食性などの観点よりフッ素樹脂を射出成形で成形されている。
【００２１】
続いて、上記構成を有する薬液弁１Ａの動作について説明する。
操作ポート１１から一次室９Ａに操作流体を供給しない場合には、図１に示すように、ピストンロッド１０が押圧バネ１３に押し下げられて、ダイアフラム７の弁体部７ａを弁座５に当接させる。そのため、入力ポート３に供給された薬液が出力ポート４から出力されない。このとき、インジケータ１４Ａは、アクチュエータ部１９Ａ内に収められている。
【００２２】
一方、操作ポート１１から一次室９Ａに操作流体を供給する場合には、図２に示すように、ピストンロッド１０が押圧バネ１３に抗して上昇し、ダイアフラム７の弁体部７ａを弁座５から離間させる。そのため、入力ポート３に供給された薬液が弁開度に応じた流量で出力ポート４に出力される。なおこのとき、インジケータ１４Ａがダイアフラム７の上昇に応じてカバー８Ａから突き出すため、作業者はインジケータ１４Ａの突出量から薬液弁１Ａの開弁状態を確認することができる。
【００２３】
ところで、薬液弁１Ａが弁の開閉を繰り返して薬液を制御していると、薬液に含まれる異物（ゴミ）が弁座５に噛み込み、閉弁時に異物の噛み込み部分から薬液が漏れるおそれがある。特に、薬液弁１Ａが研磨剤などの混入したスラリーを制御する場合には、異物が弁座５に噛み込みやすい。そこで、異物（ゴミ）を取り除いたり、異物の噛み込みがないか点検する必要がある。薬液弁１Ａのメンテナンスは、次のように行われる。
【００２４】
先ず、薬液弁１Ａを分解する。
具体的には、図１に示すように薬液の供給を停止して、アクチュエータ部１９Ａの操作ポート１１から一次室９Ａに操作流体を供給する。一次室９Ａの圧力が押圧バネ１３の弾圧力に打ち勝つと、図２に示すように、ピストンロッド１０が上昇し、ダイアフラム７の弁体部７ａが弁座５から離間する。そこで、開弁状態維持手段２０によりダイアフラム７の弁体部７ａを弁座５から離間した位置で保持する。
【００２５】
インジケータ１４Ａは、ピストンロッド１０の上昇に従ってカバー８Ａの穿通孔８ａから突出し、貫通孔１４ａをカバー８Ａの外部に露出させるので、ピン１５をインジケータ１４Ａの貫通孔１４ａに貫き通す。その後、操作流体駆動源と接続する配管を操作ポート１１から取り外して、操作ポート１１から一次室９Ａへの操作流体の供給を停止する。ピストンロッド１０は、押圧バネ１３に付勢されて下降しようとするが、図３に示すように、ピン１５の両端部がカバー８Ａに引っかかってインジケータ１４Ａをアクチュエータ部１９Ａに係止させ、インジケータ１４Ａが弁座５方向に移動するのを制限する。これに伴って、インジケータ１４Ａに螺合するピストンロッド１０及びそのピストンロッド１０に螺合するダイアフラム７の弁体部７ａが弁座５方向の移動を制限され、開弁状態が維持される。
【００２６】
それから、カバー８Ａ、シリンダ６Ａ、ボディ２に貫き通した連結ネジ２１を弛めて取り外す。薬液弁１Ａは、４本の連結ネジ２１…が締結されている間は、押圧バネ１３の弾圧力がピストンロッド１０に均等に作用している。しかし、図４に示すように、連結ネジ２１の一本を弛めると、アクチュエータ部１９Ａをボディ２に押し付ける力が弱くなる。それに伴って、押圧バネ１３が伸びようとするため、ピストンロッド１０に作用する弾圧力のバランスが崩れる。しかし、このときはまだ、他の３本の連結ネジ２１，２１，２１がアクチュエータ部１９Ａとボディ２とを連結しているため、ピストンロッド１０に作用する弾圧力のバランスが若干崩れても、アクチュエータ部１９Ａの傾きが抑えられる。もっとも、連結ネジ２１の一本を弛めてアクチュエータ部１９Ａが若干傾いたとしても、ダイアフラム７の弁体部７ａが弁座５から離間している。そのため、ダイアフラム７の弁体部７ａが弁座５に片当たりして弁座５を塑性変形させることがない。
【００２７】
その後、図５に示すように、他の連結ネジ２１を弛めると、アクチュエータ部１９Ａをボディ２に押し付ける力が急に弱められる。押圧バネ１３は、連結ネジ２１を弛めるのに従ってカバー８Ａとピストンロッド１０との間で伸びようとし、ピストンロッド１０に与える弾圧力のバランスが崩れる。アクチュエータ部１９Ａは、押圧バネ１３の弾圧力のアンバランスに応じてピストンロッド１０とともにボディ２に対して傾き、ダイアフラム７を弁座５に対して傾かせる。しかしこのとき、ダイアフラム７は、弁体部７ａが弁座５から離間している。そのため、ダイアフラム７が弁座５に対して傾いても、ダイアフラム７の弁体部７ａが弁座５に片当たりして弁座５を塑性変形させることがない。
【００２８】
全ての連結ネジ２１を取り外したら、図６に示すように、ボディ２からアクチュエータ部１９Ａを取り外して分離する。このとき、ピン１５がインジケータ１４Ａをカバー８Ａに係止させてピストンロッド１０の移動を制限するので、押圧バネ１３がカバー８Ａとピストンロッド１０との間で圧縮保持される。よって、アクチュエータ部１９Ａをボディ２から取り外したときに、ピストンロッド１０や押圧バネ１３などがシリンダ６Ａから飛び出してばらばらになることがない。
【００２９】
次に、ボディ２の洗浄や部品の点検などを行う。
アクチュエータ部１９Ａをボディ２から取り外すと、ダイアフラム７もピストンロッド１０と一体的に取り外され、弁座５や流路が露出する。そこで、ボディ２や弁座５に付着した汚れを洗い流したり、シール面のキズなどを点検する。また、例えば、ダイアフラム７が劣化している場合には、新しいダイアフラムに交換する。このとき、アクチュエータ部１９Ａは、インジケータ１４Ａの貫通孔１４ａにピン１５が差し込まれ、ピストンロッド１０がシリンダ６Ａから脱落するのを防止しているので、アクチュエータ部１９Ａをばらばらにすることなく、ダイアフラム７を交換することができる。
【００３０】
次に、薬液弁１Ａを再組み立てする。
ダイアフラム７の周縁部７ｃを狭持するようにボディ２にアクチュエータ部１９Ａを載置する。そして、アクチュエータ部１９Ａ、ボディ２、取付板１６の四隅に連結ネジ２１を貫き通して締結し、カバー８Ａ、シリンダ６Ａ、ボディ２、取付板１６を連結する。このとき、インジケータ１４Ａにピン１５が貫き通されているので、ピストンロッド１０などがシリンダ６Ａに保持されてばらばらにならず、部品を再組み立てしやすい。また、ダイアフラム７が弁座５から離間した状態が維持されるため、ピストンロッド１０が連結ネジ２１を締結するときに傾いても、ダイアフラム７の弁体部７ａが弁座５に片当たりして、弁座５を塑性変形させることがない。
【００３１】
従って、本実施の形態の薬液弁１Ａの分解方法は、ダイアフラム７の弁体部７ａを弁座５から離間させた状態で保持し、複数の連結部材２１を取り外してアクチュエータ部１９Ａをボディ２から分離するので、弁座５を塑性変形させることなく部品を分解することができる。
特に、ピストンロッド１０を押圧バネ１３に抗して摺動させ、穿通孔８ａから突出したインジケータ１４Ａにピン１５を貫き通すことにより弁開状態を維持するので、簡単に弁座５の塑性変形を防止することができる。しかも、分解時に、操作ポート１１に操作流体を供給してダイアフラム７の弁体部７ａを弁座５から離間させておく必要がないので、簡単に部品を分解することができる。
【００３２】
また、本実施の形態の薬液弁１Ａは、ダイアフラム７の弁体部７ａを弁座５から離間させた位置で保持する開弁状態維持手段２０を有するので、弁座５を塑性変形させることなく部品を分解することができる。
特に、弁開度維持手段２０は、ピストンロッド１０に連結され、ピストンロッド１０が押圧バネ１３に抗して摺動したときにアクチュエータ部１９Ａに形成された穿通孔８ａから外部に突出するインジケータ１４Ａと、インジケータ１４Ａがアクチュエータ部１９Ａから外部に突出したときに、インジケータ１４Ａの貫通孔１４ａに貫き通されてインジケータ１４Ａをアクチュエータ部１９Ａに係止させるピン１５とを有するので、簡単に弁座５の塑性変形を防止することができる。また、従来のインジケータ１４Ａに貫通孔１４ａを設けてピン１５を貫いただけのコンパクトな構造であるため、製作が容易であり、製造コストを抑えることができる。
【００３３】
（第２実施の形態）
続いて、本発明に係る制御弁の分解方法及びそれに使用する制御弁の第２実施の形態について図面を参照して説明する。図７は、薬液弁１Ｂの断面図である。図８は、薬液弁１Ｂの上面図である。
本実施の形態の薬液弁１Ｂは、基本構造が第１実施の形態の薬液弁１Ａと同様であるが、シリンダ６Ｂとカバー８Ｂとを固定ネジ３０で一体化している点で第１実施の形態の薬液弁１Ａと相違する。よって、ここでは、第１実施の形態と異なる構成、作用効果を中心に説明し、第１実施の形態と同様の構成には図面に同一符号を付して適宜説明を省略する。
【００３４】
薬液弁１Ｂは、シリンダ６Ｂとカバー８Ｂとが一対の固定ネジ３０，３０で連結され、アクチュエータ単体で組み立てることが可能なアクチュエータ組立（「アクチュエータ」に相当するもの。）１９Ｂを構成している。一対の固定ネジ３０，３０は、インジケータ１４Ｂを挟んで対称位置に設けられている。一対の固定ネジ３０を対称配置するのは、シリンダ６Ｂをカバー８Ｂに押し付けて保持する力を均一化するためである。固定ネジ３０は、シリンダ６Ｂの下端面（ボディ２に当接する面）からカバー６Ｂに向かって貫き通されて締結されている。固定ネジ３０をシリンダ６Ｂの下端面側から締結するのは、薬液弁１Ｂの分解時に連結ネジ２１と誤って固定ネジ３０を弛めることを回避するとともに、固定ネジ３０の螺合面積を広く確保することにより押圧バネ１３の弾圧力に抗してシリンダ６Ｂとカバー８Ｂとを連結するためである。
【００３５】
こうした薬液弁１Ｂは、次のようにして分解される。
まず、薬液弁１Ｂの操作ポート１１に操作流体を供給し、ダイアフラム７の弁体部７ａを弁座５から離間させる。そして、操作ポート１１に操作流体を供給しながら、連結ネジ２１を弛めて取り外し、アクチュエータ組立１９Ｂをボディ２から分離する。
このとき、ピストンロッド１０の下端面に操作流体の流体圧が作用するため、押圧バネ１３が圧縮されてカバー８Ｂをシリンダ６Ｂから押し上げようとする。しかし、固定ネジ３０がシリンダ６Ｂとカバー８Ｂとを連結しているため、薬液弁１Ｂを分解するときに、アクチュエータ組立１９Ｂがばらばらにならない。
【００３６】
従って、本実施の形態の薬液弁１Ｂの分解方法によれば、操作ポート１１に操作流体を供給することによりダイアフラム７の弁体部７ａを弁座５から離間した位置で保持し、連結ネジ２１を取り外してアクチュエータ組立１９Ｂをボディ２から取り外すので、弁座５を塑性変形させることなく部品を分解することができる。
また、薬液弁１Ｂは、固定ネジ３０でシリンダ６Ｂとカバー８Ｂとを連結し、操作ポート１１に操作流体を供給することによりダイアフラム７を弁座５から離間させた位置で保持するので、第１実施の形態の薬液弁１Ａより装置サイズが大型になるものの、弁座５を塑性変形させることなく部品を分解することができる。
【００３７】
尚、以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
【００３８】
（１）例えば、上記第１実施の形態では、開弁状態維持手段２０はインジケータ１４Ａにピン１５を挿し通すよう構成した。それに対して、インジケータ１４Ａに枝やＥリングを装着して、カバー８Ａに係止させるようにしてもよい。また、インジケータ１４Ａの上端部外周面に雄ネジを形成し、内周に雌ネジを形成されたナットをインジケータ１４Ａに螺合するようにしてもよい。
【００３９】
（２）例えば、上記第１，第２実施の形態では、制御弁として半導体製造装置に使用される薬液弁１Ａ，１Ｂを説明したが、制御弁の使用用途はこれに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の第１実施の形態に係り、薬液弁の断面図であって、閉弁状態を示す。
【図２】同じく、薬液弁の断面図であって、操作流体を供給したピン挿入前の状態を示す。
【図３】同じく、薬液弁の断面図であって、操作流体を供給していないピン挿入後の状態を示す。
【図４】同じく、薬液弁の断面図であって、連結ネジの１本を弛めた状態を示す。
【図５】同じく、薬液弁の断面図であって、他の連結ネジを弛めた状態を示す。
【図６】同じく、薬液弁の断面図であって、アクチュエータ部をボディから分離した状態を示す。
【図７】本発明の第２実施の形態に係り、薬液弁の断面図である。
【図８】同じく、薬液弁の上面図である。
【図９】従来の薬液弁の断面図である。
【図１０】従来の薬液弁の上面図である。
【図１１】従来の薬液弁の要部断面側面図である。
【図１２】従来の薬液弁の断面図であって、連結ネジを弛めた状態を示す。
【符号の説明】
【００４１】
１Ａ  薬液弁
１Ｂ  薬液弁
２  ボディ
５  弁座
７  ダイアフラム
８ａ  穿通孔
１０  ピストンロッド
１４Ａ  インジケータ
１５  ピン
１９Ａ  アクチュエータ部
１９Ｂ  アクチュエータ組立
２０  開弁状態維持手段
２１  連結ネジ
３０  固定ネジ
【図１】
2005140295.tif 000003
【図２】
2005140295.tif 000004
【図３】
2005140295.tif 000005
【図４】
2005140295.tif 000006
【図５】
2005140295.tif 000007
【図６】
2005140295.tif 000008
【図７】
2005140295.tif 000009
【図８】
2005140295.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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