(57)【要約】【課題】電磁放射ノイズを効果的に遮蔽して、高い電磁放射ノイズ防止効果を発揮しうる除電装置を提供する。【解決手段】  除電装置Ｒ１は、発光装置２Ａ〜２Ｄを備えるランプ部１を有している。発光装置２は、誘電体バリア放電ランプ２１および外管２２を有している。誘電体バリア放電ランプ２１からは真空紫外線が放射され、外管２２には、誘電体バリア放電ランプ２１から放射される電磁放射ノイズを遮蔽するための金属製メッシュ３１が設けられている。ランプ部１の発光装置２Ａ〜２Ｄから放射される真空紫外線は、ランプ部１の下方に設けられた照射台４上に載置された除電対象物５に照射される。【選択図】  図２
2005050705.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管状の放電容器と、前記放電容器の中に設けられた内部電極と、前記放電容器の外周部に設けられた外部電極と、を備え、紫外線を照射する誘電体バリア放電ランプを有するとともに、
前記誘電体バリア放電ランプから放射される紫外線により除電される除電対象物を配置する除電対象部を有しており、
前記誘電体バリア放電ランプと、前記除電対象部に配置された除電対象物との間を仕切る仕切り部材が配設されており、
前記仕切り部材が、紫外線を透過する光透過性材料からなる光透過部を有しており、
前記仕切り部材に、接地された金属製メッシュが設けられていることを特徴とする除電装置。
【請求項２】
前記金属製メッシュが、前記仕切り部材における前記誘電体バリア放電ランプ側に配設されている請求項１に記載の除電装置。
【請求項３】
前記誘電体バリア放電ランプを冷却する冷却ガスが流通する冷却ガス流通口が設けられている請求項１または請求項２に記載の除電装置。
【請求項４】
前記除電対象部が、減圧させられている請求項１〜請求項３のうちのいずれか１項に記載の除電装置。
【請求項５】
前記除電対象部が、不活性ガス雰囲気である請求項１〜請求項４のうちのいずれか１項に記載の除電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成し、このエキシマ分子から放射される紫外線を放射する誘電体バリア放電ランプを備え、この紫外線によって除電対象物を除電する除電装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造やディスプレイなどの製造過程において、半導体や液晶などの精密基板に生じる静電気を除去する装置として除電装置（静電気除去装置）が用いられている。従来における除電装置としては、たとえば特開平９−６９４７８号公報に開示された静電気除去装置がある。この静電気除去装置は、静電気を除去すべき対象物に紫外線を照射する紫外線ランプを備えており、この紫外線ランプの封体の表面に近接した位置に、アースされた導電性部材を備えるものである。このようなアースされた導電性部材を備えることにより、静電気を十分に除去することができるというものである。
【特許文献１】特開平９−６９４７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、この種の除電装置では、静電気の除去を十分に行うことはもちろん必要であるが、紫外線ランプの点灯による放射ノイズがあると、半導体デバイスの破損や周辺精密機器の誤作動を誘発するおそれがある。このため、電磁放射ノイズを極力少なくしたものが要求されている。
【０００４】
しかし、上記特許文献１に開示された静電気除去装置では、紫外線ランプの点灯による電磁放射ノイズの除去に関しては、特に対策がなされていないものであった。
【０００５】
そこで、本発明の課題は、紫外線ランプの点灯によって生じる電磁放射ノイズを効果的に遮蔽して、高い電磁放射ノイズ防止効果を発揮しうる除電装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決した本発明に係る除電装置は、管状の放電容器と、放電容器の中に設けられた内部電極と、放電容器の外周部に設けられた外部電極と、を備え、紫外線を照射する誘電体バリア放電ランプを有するとともに、誘電体バリア放電ランプから放射される紫外線により除電される除電対象物を配置する除電対象部を有しており、誘電体バリア放電ランプと、除電対象部に配置された除電対象物との間を仕切る仕切り部材が配設されており、仕切り部材が、紫外線を透過する光透過性材料からなる光透過部を有しており、仕切り部材に、接地された金属製メッシュが設けられているものである。
【０００７】
本発明に係る除電装置は、誘電体バリア放電ランプと除電対象物との間に仕切り部材が配設されており、この仕切り部材に接地された金属製メッシュが設けられている。接地された金属製メッシュは、誘電体バリア放電ランプから放射される電磁放射ノイズを効果的に遮蔽するので、ノイズ防止効果を高いものとすることができる。ここでいう管状の放電容器は、管状であれば例えば単管でも、二重管でも良い。
【０００８】
ここで、金属製メッシュが、仕切り部材における誘電体バリア放電ランプ側に配設されているのが好適である。このように、金属製メッシュが外管の内側に設けられていることにより、金属製メッシュが外部に曝されないようにすることができるので、金属製メッシュの破損等を防止することができる。
【０００９】
また、誘電体バリア放電ランプを冷却する冷却ガスが流通する冷却ガス流通口が設けられている態様とするのが好適である。このように、冷却ガスを流通させる冷却ガス流通口が形成されていることにより、誘電体バリア放電ランプを容易に冷却することができる。
【００１０】
さらに、除電対象部が、減圧させられている態様とするのが好適である。除電対象部が減圧させられていることにより、誘電体バリア放電ランプから放射される真空紫外線を用いた減圧下での除電を行うにあたり、その作業を容易に行うことができる。
【００１１】
さらに、除電対象部が不活性ガス雰囲気である態様とするのが好適である。除電対象部が窒素ガスやアルゴンガス等による不活性ガス雰囲気であることにより、除電対象物を除電するためのイオンの発生源を十分に供給することができるとともに、除電対象物表面での酸化等による好ましくない反応を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、紫外線ランプの点灯によって生じる電磁放射ノイズを効果的に遮蔽して、高い電磁放射ノイズ防止効果を発揮しうる除電装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、同一要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。
【００１４】
図１は本発明の第１の実施形態に係る除電装置のランプ部の一部破断側面図、図２は第１の実施形態に係る除電装置の下側平面図である。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態に係る除電装置Ｒ１は、ランプ部１を備えており、図２にも示すように、ランプ部１には、複数、本実施形態では４本の発光装置２Ａ〜２Ｄが設けられている。これらの発光装置２Ａ〜２Ｄは、それぞれ細長い管状をなしており、互いに平行になるように配置されて金属材料からなる筐体枠３に取り付けられている。これらの発光装置２Ａ〜２Ｄは、いずれも同一の構造をなしており、その構造を、図３ないし図５を参照して説明する。発光装置２は、図３および図４に示すように、誘電体バリア放電ランプ２１および本発明の仕切り部材となる外管２２を備えている。誘電体バリア放電ランプ２１は、図５に示すように、細長い管状の光透過性放電容器（以下「放電容器」という）２３を備えている。放電容器２３は、外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ（肉厚１ｍｍ）、長さ４００ｍｍの筒状のガラス材からなるガラスバルブである。放電容器２３の内部には、長尺材からなる内部電極２４が設けられている。ここで、長尺材とは、長手方向の長さに対してその直交方向の長さが短い、いわば細長い部材であり、たとえば線材、棒材、管材、あるいは細長い板材などが含まれ、その断面形状等は問わないものである。
【００１６】
内部電極２４は、たとえばタングステンからなる中実の金属線であり、放電容器２３の長手方向に貫通して設けられている。内部電極２４の一端側にはコイル部２４Ａが形成されている。このコイル部２４Ａにより、内部電極２４に対して、その長さ方向に張力を作用させている。内部電極２４の両端部には、それぞれモリブデンを含むモリブデン箔などからなる金属箔２５，２５が接続されている。金属箔２５は横長の矩形表面を有する板状体であり、その一端側の表面における高さ方向中央部位に、内部電極２４の両端部がたとえば溶接によって接続されている。
【００１７】
また、放電容器２３における長手方向両端部は、ピンチシールされてそれぞれピンチシール部２６，２６とされており、放電容器２３の中を密閉している。ピンチシール部２６，２６の内部には、金属箔２５，２５がそれぞれ配設されており、このピンチシール部２６，２６で金属箔２５，２５が内部電極２４の両端部に接続されている。さらに、金属箔２５，２５の他端側の表面における高さ方向中央部には、それぞれたとえばモリブデン線からなるリード線２７，２７がたとえば溶接によって接続されている。なお、本実施形態においては、これらのリード線２７，２７は、それぞれ内部電極２４が接続されている面と同じ面に溶接されているが、互いに異なる面で溶接されていてもよい。
【００１８】
放電容器２３における外周部には、その周方向の全域にわたって、シームレス金属網からなる外部電極２８が設けられている。また、放電容器２３における他端側には、放電容器２３内にエキシマ放電用ガスを封入した後に封止切られた排気管２９が形成されている。外部電極２８は、この封止切った排気管２９の近傍とタングステンのコイル部２４Ａの近傍で放電が発生しない位置との間に配置されている。
【００１９】
さらに、内部電極２４および外部電極２８には、それぞれ交流電源３０が接続されており、この交流電源３０からそれぞれ交流電流が供給されている。また、外部電極２８は、接地電位に接続されている。
【００２０】
この放電容器２３内に主放電ガスであるキセノンを含む希ガス混合ガスを充填し、外部電極２８と内部電極２４との間に、交流電源３０から周波数約６５ｋＨｚ、Ｖｐ−ｐ〜３ｋＶの交流電流を印加することにより放電用ガスが放電し、真空紫外線が放射される。
【００２１】
外管２２は、誘電体バリア放電ランプ２１が発する光としての真空紫外線を透過する透過性材料である。外管２２は、たとえば合成石英で形成されており、たとえば外径２５ｍｍ、内径２２ｍｍ（肉厚１．５ｍｍ）の細長い管状をなしている。また、外管２２の内側の面には、誘電体バリア放電ランプ２１または点灯配線から放射される電磁放射ノイズを遮蔽するための金属製メッシュ３１が全周にわたって設けられている。金属製メッシュ３１は、誘電体バリア放電ランプ２１の放射領域（外部電極２８が設けられている範囲）だけでなく、誘電体バリア放電ランプ２１の全体を覆う範囲に設けられている。なお、金属製メッシュ３１は、メッシュであることから、外管２２のほぼ全体を光透過部とすることができる。
【００２２】
この外管２２の内部に誘電体バリア放電ランプ２１が収容されており、外管２２の内側両端部には、誘電体バリア放電ランプ保持部材３２，３２が設けられており、それぞれ誘電体バリア放電ランプ２１の両端部を保持して固定している。また、外管２２の両端部には、それぞれ金属材料からなる口金３４，３４が取り付けられており、外管２２の内部は、これらの口金３４，３４によって気密状態で密封されている。この口金３４，３４は、金属製メッシュ３１と接するようにして設けられており、口金３４，３４と金属製メッシュ３１とは、電気的に接続されている。
【００２３】
また、外部電極金具３３は、誘電体バリア放電ランプ２１における外部電極２８に接続されており、誘電体バリア放電ランプ２１における外部電極２８と口金３４とが外部電極金具３３を介して接続されている。さらに、口金３４と金属製メッシュ３１とは電気的に接続されているので、金属製メッシュ３１および口金３４は、外部電極金具３３および外部電極２８を通じてアース電位に接地されている。
【００２４】
口金３４には、誘電体バリア放電ランプ２１を冷却するための冷却ガスを外管２２の内部に流出入させる際の流通口となる冷却ガス流通口３５、および接続端子３６が形成されている。冷却ガス流通口３５から外管２２の内部に流通させられる冷却ガスとしては、たとえば誘電体バリア放電ランプ２１から放射される真空紫外線を吸収しにくい、たとえば窒素ガスが用いられる。また、接続端子３６には、誘電体バリア放電ランプ２１の点灯用配線３７が接続されている。
【００２５】
また、筐体枠３は、４枚の側板１１〜１４、天板１５を備えており、縦長の略直方体形状をなしている。発光装置２Ａ〜２Ｄは、筐体枠３における短尺の側板１１，１３に挟まれる長尺方向に沿って並設されており、広い範囲に真空紫外線を照射できるようになっている。
【００２６】
図１および図２に示すように、発光装置２Ａ〜２Ｄは、それぞれ口金３４が筐体枠３の側板１１，１３に固定されて取り付けられている。また、図１に示すように、ランプ部１の下方位置には、仮想線で示す照射台４が設けられており、照射台４の上が除電対象部となり、照射台４上に除電対象物５が載置され、除電対象物５が除電対象部に配置される。
【００２７】
以上の構成を有する本実施形態に係る除電装置Ｒ１においては、ランプ部１から照射される紫外線によって、照射台４上に載置された除電対象物５を除電する。このとき、ランプ部１における発光装置２Ａ〜２Ｄの外管２２に金属製メッシュ３１が設けられている。この金属製メッシュ３１が、発光装置２Ａ〜２Ｄが発する電磁放射ノイズを効果的に遮蔽する。したがって、ランプ部１から放射されるノイズの防止効果を高いものとすることができる。なお、具体的なノイズ防止効果については、後に説明する。
【００２８】
また、本実施形態に係る除電装置Ｒ１に用いられる発光装置２では、金属製メッシュ３１が外管２２の内側の面に設けられている。このため、金属製メッシュ３１が外部に曝されないようにすることができるので、金属製メッシュ３１の破損等を防止することができる。また、仮に金属製メッシュ３１が破損したとしても、その破損物が除電対象部に入り込まないようにすることができるので、除電対象部に異物が入り込まない状態を保つことができる。さらに、発光装置２では、口金３４に冷却ガス流通口３５が形成されており、外管２２内に冷却ガスを容易に導入することができるようになっている。したがって、誘電体バリア放電ランプ２１を容易に冷却することができる。また、発光装置２では、外管２２の端部に口金３４が設けられているので、外管２２に対して誘電体バリア放電ランプ２１を確実にしかも容易に固定することができるとともに、誘電体バリア放電ランプ２１の長軸方向に対して電磁放射ノイズの遮蔽効果を高めることができる。さらに、金属製メッシュ３１は、口金３４を介して誘電体バリア放電ランプ２１における外部電極２８に接続され、外部電極２８を介してアース電位に接地されているので、金属製メッシュ３１を容易に接地させることができる。
【００２９】
また、本実施形態に係る除電装置には、種々の誘電体バリア放電ランプを用いることができる。続いて、ここで用いることができる誘電体バリア放電ランプの種々の変形例について、順次説明する。
【００３０】
図６は本発明の第１の変形例に係る発光装置の側面図である。図６に示すように、変形例に係る発光装置ＭＲ１は、図３に示す上記発光装置２と比較して、外管の態様が異なる。本変形例に係る発光装置ＭＲ１における外管３８は、真空紫外線を透過する透過性材料である合成石英で形成されている。この外管３８は、一端側が開口し、他端側が閉口しており、開口する一端側には、口金３４が取り付けられている。また、他端側は外管３８自身で封止されている。
【００３１】
外管３８の内部には、上記第１の実施形態と同様の誘電体バリア放電ランプ２１が収容されている。また、外管３８の内部における両端部近傍位置には、それぞれ誘電体バリア放電ランプ保持部材３２，３２が設けられており、誘電体バリア放電ランプ２１を保持して固定している。口金３４には、外部電極金具３３が設けられており、誘電体バリア放電ランプ２１における外部電極２８（図５）と口金３４とを電気的に接続している。また、口金３４には、外管３８の内部に冷却ガスを流入する際の冷却ガス流通口３５および点灯用配線３７が接続された接続端子３６が設けられている。
【００３２】
さらに、外管３８の内側の面には、誘電体バリア放電ランプ２１または点灯配線から放射される電磁放射ノイズを遮蔽するための金属製メッシュ３１が全周にわたって設けられている。この金属製メッシュ３１は、誘電体バリア放電ランプ保持部材３２，３２をつなぐ領域全体を含む領域に設けられており、誘電体バリア放電ランプ２１の放射領域のみならず、誘電体バリア放電ランプ２１の全体を覆う範囲に設けられている。外管３８の他端側における金属製メッシュ３１は、誘電体バリア放電ランプ保持部材３２を覆うようにして閉じられている。なお、金属製メッシュ３１は、メッシュであるので、外管３８のほぼ全体を光透過部とすることができる。
【００３３】
この金属製メッシュ３１は、口金３４と接する位置に設けられており、口金３４および外部電極金具３３を介して誘電体バリア放電ランプ２１の外部電極２８と接続されている。そして、外部電極２８が接地電位に接続されることにより、金属製メッシュ３１は接地電位に接続される。
【００３４】
このような本変形例に係る発光装置ＭＲ１では、外管３８に金属製メッシュ３１が設けられている。この金属製メッシュ３１が、誘電体バリア放電ランプ２１が発する電磁放射ノイズを効果的に遮蔽する。したがって、この発光装置ＭＲ１を図１に示すランプ部に用いたとしても、ランプ部から発するノイズの防止効果を高いものとすることができる。また、外管３８の閉口する他端側における誘電体バリア放電ランプ２１の長軸方向に対する電磁放射ノイズに対しても、金属製メッシュ３１で誘電体バリア放電ランプ保持部材３２を覆って閉じることにより、電磁放射ノイズを遮蔽することができる。
【００３５】
次に、第２の変形例に係る発光装置について説明する。図７は第２の変形例に係る発光装置の側面図、図８は図７のＢ−Ｂ線断面図である。図７および図８に示すように、本変形例に係る発光装置ＭＲ２は、上記第１の実施形態と比較して、金属製メッシュ３１が外管２２の全周にわたって設けられているのに代えて、金属材料からなる反射部材３９および金属製メッシュ３１が設けられている。反射部材３９は、外管２２の内側に沿って配置され、外管２２における上側半分よりやや下側までを覆って設けられており、断面円弧形状をなし、その下側が光透過部として開口するようにして設けられている。反射部材３９は、たとえばアルミニウムからなり、誘電体バリア放電ランプ２１が発した真空紫外線の放射強度を上げるとともに、放出光に方向性を持たせる。誘電体バリア放電ランプ２１から発せられ、または反射部材３９によって反射された真空紫外線は、反射部材３９の下側に形成された開口した部分から出射する。
【００３６】
外管２２の内側面における反射部材３９の下側に形成された開口部分に対応する位置に、金属製メッシュ３１が設けられている。この金属製メッシュ３１は、反射部材３９と接しており、反射部材３９の下側に形成された開口部分の全体にわたって配設されている。また、金属製メッシュ３１は、口金３４に接続されており、外部電極金具３３および誘電体バリア放電ランプ２１に形成された外部電極２８を介して、接地電位に接続されている。
【００３７】
以上の構成を有する本変形例に係る発光装置ＭＲ２では、反射部材３９が設けられ、反射部材３９の下側に形成された開口部分から真空紫外線が照射される。この反射部材３９の作用により、放射強度を高めるとともに、方向性を持たせることができる。また、真空紫外線が出射する開口部分には金属製メッシュ３１が設けられている。この金属製メッシュ３１が、誘電体バリア放電ランプ２１が発する電磁放射ノイズを効果的に遮蔽するので、ノイズ防止効果を高いものとすることができる。
【００３８】
また、誘電体バリア放電ランプとしても、異なる態様のものを用いることができる。以下に、それらの例について説明する。図９は、第１の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図である。図９に示すように、本変形例に係る誘電体バリア放電ランプＭＬ１は、上記の誘電体バリア放電ランプ２１と比較して、内部電極の構成が異なっている。図９に示す誘電体バリア放電ランプＭＬ１は、放電容器２３を備えており、放電容器２３の内部には内部電極４１が設けられている。
【００３９】
内部電極４１は、放電容器２３の他端部から一端部近傍位置まで延在するたとえばタングステン線からなる本体部４２を有している。本体部４２の一端側には、たとえばＮｉスリーブからなるスリーブ４３が取り付けられており、スリーブ４３には張力保持線４４が接続されている。こうして、スリーブ４３は、本体部４２と張力保持線４４を連結している。張力保持線４４は、コイル部と直線部とを備えている。コイル部は、引っ張り方向に付勢する付勢力を有している。
【００４０】
また、本体部４２における他端部側および張力保持線４４の直線部は、それぞれ放電容器２３の両端部に設けられた金属箔２５，２５に固定されている。そして、張力保持線４４におけるコイル部の付勢力により、本体部４２が放電容器２３の内部で緊張させられている。このような本体部４２と張力保持線４４とが断線され、これらをスリーブ４３で接続した内部電極を有する誘電体バリア放電ランプＭＬ１を用いることができる。また、この誘電体バリア放電ランプＭＬ１を上記の発光装置２，ＭＲ１，ＭＲ２における外管２２のいずれにも用いることができる。
【００４１】
さらに、図５に示す誘電体バリア放電ランプ２１に代えて、第２の変形例として、図１０に示す誘電体バリア放電ランプＭＬ２を用いることもできる。この誘電体バリア放電ランプＭＬ２は、上記第１の実施形態で用いていたシームレス金属網に代えて、アルミニウム蒸着膜からなる外部電極４５を有している。外部電極４５は、排気管２９の近傍と、内部電極２４のコイル部２４Ａの近傍で放電しないような位置との間で、排気管２９が形成された位置を中心として外周の両側それぞれ１２０°の範囲に形成されている。
【００４２】
このような誘電体バリア放電ランプＭＬ２では、外部電極４５が反射鏡としても働いており、放電容器２３の下側から光が出射される。放電容器２３における下側の光が出射する位置の壁面には放電が発生しないので、特に光を出射する位置の放電容器の劣化を生じにくくすることができる。さらに、この誘電体バリア放電ランプＭＬ２を、図３に示す外管２２に収容した場合には、誘電体バリア放電ランプＭＬ２における放電には寄与しないような位置にも金属製メッシュ３１が存在することになるので、光の放射方向における放射ノイズを好適に低減することができる。
【００４３】
次に、第３の変形例に係る発光装置について説明する。図１１は第３の変形例に係る発光装置の側面図、図１２は図１１のＣ−Ｃ線断面図、図１３（ａ）は第３の変形例に係る発光装置に用いられる誘電体バリア放電ランプの一部破断側面図、（ｂ）はその正面図である。
【００４４】
図１１〜図１３に示すように、本実施形態に係る発光装置ＭＲ３は、誘電体バリア放電ランプ５０および外管５１を備えている。誘電体バリア放電ランプ５０は、図１２に示すように、径の異なる２本の合成石英からなる発光内管５２および発光外管５３を備える、いわゆる二重管型ランプである。発光内管５２および発光外管５３は、互いに同軸に配置されており、誘電体バリア放電ランプ５０は中空円筒状に形成されている。発光内管５２の内側面には、誘電体バリア放電ランプ５０の幅方向の全域にわたって光透過性の金属網からなる内部電極５４が設けられている。また、発光外管５３の外側面には、アルミニウム蒸着によって形成された反射膜を兼ねる外部電極５５が設けられている。さらに、発光内管５２と発光外管５３の両端部は、それぞれ封止されており、発光外管５３の一端部には、発光内管５２と発光外管５３との間にエキシマ放電用ガスを封入した後に封止切られた封止部５６が形成されている。また、内部電極５４および外部電極５５には、交流電源５７が接続されており、交流電源５７からそれぞれ交流電流が供給されている。また、外部電極５５は、接地電位に接続されている。
【００４５】
外管５１の内面には、金属製メッシュ３１が設けられている。また、外管５１の両端部には、それぞれ金属材料からなる口金５８，５８が取り付けられており、外管５１の内部は、これらの口金５８，５８によって気密状態で密封されている。この口金５８には、誘電体バリア放電ランプ取付部５９が設けられており、これらの誘電体バリア放電ランプ取付部５９，５９に誘電体バリア放電ランプ５０が取り付けられて保持されている。また、金属製メッシュ３１は、口金５８，５８と接しており、口金５８は、誘電体バリア放電ランプ５０における外部電極５５と電気的に接続されている。こうして、金属製メッシュ３１は、口金５８および外部電極５５を介して接地電位に接続されている。さらに、外管５１における一端側の口金５８には、冷却ガスを外管５１の内部に流出入させる際の流通口となる冷却ガス流通口３５、および接続端子３６が形成されており、接続端子３６には、誘電体バリア放電ランプ５０の点灯用配線３７が接続されている。
【００４６】
このような本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプのように、二重管型ランプである誘電体バリア放電ランプを用いた場合でも、外管５１に金属製メッシュ３１を形成することにより、金属製メッシュ３１が、誘電体バリア放電ランプ５０が発する電磁放射ノイズを効果的に遮蔽するので、ノイズ防止効果を高いものとすることができる。なお、金属製メッシュ３１は、メッシュであることから、外管５１のほぼ全体を光透過部とすることができる。
【００４７】
また、二重管型ランプからなる誘電体バリア放電ランプの変形例を図１４に示す。に示す。図１４（ａ）は第３の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの一部破断側面図、（ｂ）はその正面図である。図１４に示すようにこの態様に係る誘電体バリア放電ランプＭＬ３は、図１３に示す上記誘電体バリア放電ランプ５０と比較して、内部電極および外部電極の態様が異なる。誘電体バリア放電ランプＭＬ３は、発光内管６２および発光外管６３を備えており、両者は互いに同軸に配置され、誘電体バリア放電ランプＭＬ３は中空円筒状に形成されている。発光内管６２の内側面には、誘電体バリア放電ランプＭＬ３の幅方向の全域にわたって、アルミニウム蒸着によって形成された光反射膜を兼ねた内部電極６４が設けられている。また、発光外管６３の外側面には、光透過性の金属網からなる外部電極６５が設けられている。発光内管６２と発光外管６３の両端部は、それぞれ封止されており、発光外管６３の一端部には、発光内管６２と発光外管６３との間にエキシマ放電用ガスを封入した後に封止切られた封止部６６が形成されている。これらの内部電極６４と外部電極６５には、交流電源６７が接続されており、交流電源６７からそれぞれ交流電流が供給されている。また、外部電極６５は、接地電位に接続されている。
【００４８】
このように、内部電極がアルミニウム蒸着され、外部電極が金属網からなる二重管型ランプであっても、図１１に示す外管５１に収容し、外管５１に金属製メッシュ３１を形成することにより、金属製メッシュ３１が、誘電体バリア放電ランプＭＬ３が発する電磁放射ノイズを効果的に遮蔽するので、ノイズの防止効果を高いものとすることができる。外管５１に誘電体バリア放電ランプＭＬ３を収容する際には、金属製メッシュ３１を接地させるために、口金５８は、誘電体バリア放電ランプＭＬ３における外部電極６５に接続させる。
【００４９】
その他、図３に示す外管２２に収容することにより、金属製メッシュ３１の作用で電磁放射ノイズを好適に遮蔽することができる誘電体バリア放電ランプとしては、図１５〜図１８に示される種々の態様のものを用いることができる。これらの誘電体バリア放電ランプについて以下に説明する。
【００５０】
図１５（ａ）は第４の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。図１５に示すように、この態様に係る誘電体バリア放電ランプＭＬ４は、上記誘電体バリア放電ランプ２１と比較して、内部電極の態様が異なる。本態様に係る誘電体バリア放電ランプＭＬ４は、放電容器２３を備えており、放電容器２３の内部に内部電極７１が設けられている。内部電極７１は、放電容器２３の長手方向に沿って配置されており、その中央部のコイル状の連結部７２として形成され、両端部が直線状部７３，７４として形成されている。
【００５１】
コイル状の連結部７２は、引張方向に対する付勢力を有している。放電容器２３の両端部には、それぞれピンチシール部２６，２６が形成され、ピンチシール部２６，２６には、金属箔２５，２５が設けられている。内部電極７１における直線状部７３，７４は、それぞれピンチシール部２６，２６に設けられた金属箔２５，２５に固定されて取り付けられている。また、内部電極７１は、中央の連結部７２の付勢力により、放電容器２３内で緊張した状態で配置されている。また、金属箔２５，２５には、それぞれリード線２７，２７が接続されている。
【００５２】
また、内部電極７１は、直接放電に寄与する離間電極部７５を備えている。離間電極部７５は、放電容器２３の長手方向に所定のピッチで略等間隔に離間して配置されており、放電容器２３の内壁面に近接し、たとえば３ｍｍ以下の範囲に配置されている。このように離間電極部７５を放電容器２３の内壁面に近接した位置に配置することによって放電始動電圧を低下させている。これらの離間電極部７５は、離間電極支持部７６によって内部電極７１のコイル状の連結部７２に支持されている。そして、連結部７２および直線状部７３を経た電流が、離間電極支持部７６を介して離間電極部７５に供給される。
【００５３】
放電容器２３の外周部には、シームレス金属網からなる外部電極２８が設けられており、外部電極２８から外れた位置に排気管２９が設けられている。また、内部電極７１および外部電極２８は、それぞれ交流電源３０に接続されており、それぞれ交流電源が供給される。また、外部電極２８は、接地電位に接続されている。内部電極７１と外部電極２８との間の放電状態は、それぞれの離間電極部７５を中心とした放電容器２３の内側での沿面放電となる。このような態様の誘電体バリア放電ランプＭＬ４を用いることができる。
【００５４】
また、第５の変形例として、図１６に示す誘電体バリア放電ランプを用いることもできる。図１６（ａ）は第５の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線断面図である。図１４に示すように、本実施形態に係る誘電体バリア放電ランプＭＬ５は、放電容器２３を備えており、放電容器の内部には図１５に示す態様の誘電体バリア放電ランプＭＬ４に用いた内部電極同様の内部電極７７が設けられている。内部電極７７は、引張方向に対する付勢力を有するコイル状の連結部７８と、その両側に形成された直線状部７９，８０とを備えている。放電容器２３の両端部には、ピンチシール部２６，２６が形成されており、ピンチシール部２６，２６には、金属箔２５，２５が設けられ、これらの金属箔２５，２５にそれぞれ内部電極７７の両端に形成された直線状部７９，８０が固定されている。
【００５５】
さらに、内部電極７７は、直接放電に寄与する離間電極部８１およびこの離間電極部８１を支持する離間電極支持部８２を備えている。放電容器２３の外側面における内部電極７７の離間電極部８１に対応する位置には、アルミニウム蒸着によって形成されたアルミニウム蒸着膜からなる外部電極８３が設けられている。また、外部電極８３から外れた位置に排気管２９が設けられており、外部電極８３と内部電極７７に図示しない交流電源から交流電流が供給される。また、外部電極８３は、接地電位に接続されている。このような態様の誘電体バリア放電ランプＭＬ５を用いることもできる。
【００５６】
次に、さらに第６の変形例に係る誘電体バリア放電ランプについて説明する。図１７（ａ）は第６の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線断面図である。図１７に示すように、本態様に係る誘電体バリア放電ランプＭＬ６は、放電容器２３を備えており、放電容器２３の内部には、図１７に示す態様の内部電極と同様の内部電極８４が設けられている。この内部電極８４は、中央のコイル状部８５と、コイル状部８５の両端側に設けられた直線状部８６，８７とを備えている。放電容器２３の両端部には、ピンチシール部２６，２６が形成され、ピンチシール部２６，２６には金属箔２５，２５が設けられている。金属箔２５，２５には、それぞれ内部電極８４における直線状部８６，８７が固定されて接続されている。さらに、内部電極８４は、離間電極部８８および離間電極支持部８９を備えている。
【００５７】
また、放電容器２３における内部電極８４のコイル状部８５に対応する位置には、放電容器２３の周囲に巻き付けられたコイル状金属線からなる外部電極９０が設けられている。また、放電容器２３には、排気管２９が設けられている。このような態様の誘電体バリア放電ランプＭＬ６を設けることもできる。
【００５８】
続いて、第７の変形例に係る誘電体バリア放電ランプについて説明する。図１８（ａ）は、第７の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図、（ｂ）は、（ａ）のＧ−Ｇ線断面図である。図１８に示すように、本態様に係る誘電体バリア放電ランプＭＬ７は、放電容器２３を備えており、放電容器２３の内部には内部電極９１が設けられている。内部電極９１は、図１５〜図１７に示す誘電体バリア放電ランプにおける内部電極の離間電極部分に相当する部分が、コイル状に形成されたコイル状部９２を有している。コイル状部９２は、放電容器２３の内側面に近傍位置に沿って形成されたコイル状をなしている。コイル状部９２の両端部には、直線状部９３，９４が形成されており、それぞれ放電容器２３の両端部に形成されたピンチシール部２６，２６に設けられた金属箔２５，２５に固定されて接続されている。また、放電容器２３における内部電極９１のコイル状部９２が形成されている位置に対応する位置には、シームレス金属網からなる外部電極２８が設けられている。さらに、放電容器２３には排気管２９が設けられている。このような態様の誘電体バリア放電ランプＭＬ７を用いることもできる。
【００５９】
次に、本発明の第２の実施形態に係る除電装置について説明する。本実施形態に係る除電装置は、上記第１の実施形態と比較して、ランプ部の構成が異なるので、そのランプ部について主に説明する。
【００６０】
図１９は、本発明の第２の実施形態に係る除電装置におけるランプ部の下側平面図、図２０は、図１９のＨ−Ｈ線断面図、図２１は、ランプ部から仕切り部材を取り除いた状態の下側平面図である。
【００６１】
図１９〜図２１に示すように、本実施形態に係る除電装置におけるランプ部１００は、金属材料からなる筐体枠１０１を備えており、筐体枠１０１には、複数、本実施形態では６本の誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆが取り付けられている。筐体枠１０１の一端側には、筐体枠１０１に対して誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆをそれぞれ位置決めする位置決め部材１０３が取り付けられている。誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆには、それぞれ図１０に示す誘電体バリア放電ランプＭＬ２を用いている。
【００６２】
位置決め部材１０３には、複数の長溝が形成されており、この長溝に対して、それぞれ誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆのピンチシール部２６（図１０）が嵌め込まれる。位置決め部材１０３に６個の長溝が形成され、それぞれの長溝に誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆが嵌め込まれている。
【００６３】
また、筐体枠１０１には、誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆをそれぞれ保持する導電性のランプ保持具１０４が設けられている。これらのランプ保持具１０４は、弾性を有する把持爪を備えており、この把持爪の弾性力によって誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆのそれぞれの両端部を把持する。ランプ保持具１０４は、誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆの外部電極２８（図１０）に当接している。誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆは、このランプ保持具１０４に把持され、位置決め部材１０３に支持されることにより、筐体枠１０１に取り付けられる。
【００６４】
また、筐体枠１０１は、アース電位に接地されており、筐体枠１０１には、ランプ保持具１０４が接続されている。こうして、筐体枠１０１とランプ保持具１０４とを介して、誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆにおける外部電極２８がアース電位に接地されている。
【００６５】
さらに、筐体枠１０１は、側板１０１Ａ、天板１０１Ｂ、および底板１０１Ｃを有しており、底板１０１Ｃの中央部には開口部１０１Ｄが形成されている。筐体枠１０１の天板１０１Ｂには、金属材料からなる放熱器１０５が設けられており、放熱器１０５は、金属材料からなる第一熱伝導板１０６に接触している。また、第一熱伝導板１０６は、誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆと接触する金属材料からなる第二熱伝導板１０７と接触している。こうして、熱伝導板１０６，１０７を介して、誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆの熱が放熱器１０５に伝導し、放熱器１０５によって放熱される。
【００６６】
さらに、筐体枠１０１の側板１０１Ａには、筐体枠１０１内に冷却ガスである不活性ガスを流入させる不活性ガス導入口１０８および不活性ガスを排出させる不活性ガス排出口１０９がそれぞれ形成されている。また、筐体枠１０１の底板１０１Ｃに形成された開口部１０１Ｄは、本発明の仕切り部材の光透過部となる光照射窓１１０によって覆われている。筐体枠１０１、放熱器１０５、および光照射窓１１０で囲まれた空間は、不活性ガス導入口１０８および不活性ガス排出口１０９を通じて、誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆから放射される真空紫外線を吸収しにくい窒素ガスでパージされている。窒素ガスパージは、誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆの冷却も兼ねている。
【００６７】
筐体枠１０１における底板１０１Ｃには、金属メッシュ固定具１１１が設けられており、この金属メッシュ固定具１１１により、筐体枠１０１における開口部１０１Ｄの全面を覆うようにして、光透過部である光照射窓１１０が設けられている。光照射窓１１０は、誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆが放射する紫外線を透過する光透過性材料であるたとえば合成石英で形成されている。この光照射窓１１０には、誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆまたは点灯配線から放射される電磁放射ノイズを遮蔽するための金属製メッシュ１１２が設けられている。この金属製メッシュ１１２は、金属メッシュ固定具１１１を介して筐体枠１０１と電気的に接続されており、アース電位に接地されている。
【００６８】
以上の構成を有する本実施形態に係る除電装置では、ランプ部１００の下方に配置された図示しない照射台上に載置された除電対象物に紫外線を放射することにより、除電対象物を除電する。このとき、ランプ部１００における筐体枠１０１の光照射窓１１０には、金属製メッシュ１１２が設けられている。この金属製メッシュ１１２が、誘電体バリア放電ランプ１０２Ａ〜１０２Ｆが発する電磁放射ノイズを効果的に遮蔽する。したがって、ランプ部１００から照射されるノイズの防止効果を高いものとすることができる。
【００６９】
しかも、電磁放射ノイズを遮蔽する金属製メッシュ１１２を光照射窓１１０に設けているので、誘電体バリア放電ランプを覆う外管などを設けることなく、ノイズ防止効果を高めることができる。
【００７０】
次に、本発明の第３の実施形態に係る除電装置について説明する。本実施形態に係る除電装置は、上記第１の実施形態と比較して、ランプ部の構成が異なるので、そのランプ部について主に説明する。
【００７１】
図２２は、本発明の第３の実施形態に係る除電装置におけるランプ部の下側平面図、図２３は、その一部破断正断面図である。図２２および図２３に示すように、本実施形態に係る除電装置におけるランプ部１２０は、金属材料からなる筐体枠１２１を備えており、筐体枠１２１には、複数、本実施形態では４本の誘電体バリア放電ランプ１２２Ａ〜１２２Ｄが取り付けられている。本実施形態では、誘電体バリア放電ランプ１２２Ａ〜１２２Ｄとして、図１３に示す誘電体バリア放電ランプ５０を用いた。
【００７２】
筐体枠１２１は、側板１２１Ａおよび底板１２１Ｂを有している。側板１２１Ａに囲まれた上部は開口しており、また、底板１２１Ｂの中央部には開口部１２１Ｃが形成されている。また、側板１２１Ａに囲まれた上部の開口位置には、金属材料からなる冷却ブロック１２３が設けられており、冷却ブロック１２３は、上部の開口を塞いでいる。冷却ブロック１２３の下面には、断面半円状の切り欠き溝が４本形成されており、これらの切り欠き溝にそれぞれ誘電体バリア放電ランプ１２２Ａ〜１２２Ｄが接触して嵌め込まれている。誘電体バリア放電ランプ１２２Ａ〜１２２Ｄが冷却ブロック１２３に接触することにより、冷却ブロック１２３によって誘電体バリア放電ランプ１２２Ａ〜１２２Ｄが冷却される。
【００７３】
さらに、筐体枠１２１の側板１２１Ａには、筐体枠１２１内に冷却ガスである不活性ガスを流入させる不活性ガス導入口１２４および不活性ガスを排出させる不活性ガス排出口１２５がそれぞれ形成されている。また、筐体枠１２１の底板１２１Ｂに形成された開口部１２１Ｃは、光照射窓１２６によって覆われている。筐体枠１２１、冷却ブロック１２３、および光照射窓１２６で囲まれた空間は、不活性ガス導入口１２４および不活性ガス排出口１２５を通じて、誘電体バリア放電ランプ１２２Ａ〜１２２Ｄから放射される真空紫外線を吸収しにくい窒素ガスでパージされている。窒素ガスパージは、誘電体バリア放電ランプ１２２Ａ〜１２２Ｄの冷却も兼ねている。
【００７４】
筐体枠１２１における底板１２１Ｂには、金属メッシュ固定具１２７が設けられており、この金属メッシュ固定具１２７により、筐体枠１２１における開口部１２１Ｃの全面を覆うようにして、光透過部である光照射窓１２６が設けられている。光照射窓１２６は、誘電体バリア放電ランプ１２２Ａ〜１２２Ｄが放射する紫外線を透過する光透過性材料であるたとえば合成石英で形成されている。この光照射窓１２６には、誘電体バリア放電ランプ１２２Ａ〜１２２Ｄまたは点灯配線から放射される電磁放射ノイズを遮蔽するための金属製メッシュ１２８が設けられている。この金属製メッシュ１２８は、金属メッシュ固定具１２７を介して筐体枠１２１と電気的に接続されており、アース電位に接地されている。
【００７５】
以上の構成を有する本実施形態に係る除電装置では、ランプ部１２０の下方に配置された図示しない照射台上に載置された除電対象物に紫外線を放射することにより、除電対象物を除電する。このとき、ランプ部１２０における筐体枠１２１の光照射窓１２６には、金属製メッシュ１２８が設けられている。この金属製メッシュ１２８が、誘電体バリア放電ランプ１２２Ａ〜１２２Ｄが発する電磁放射ノイズを効果的に遮蔽する。したがって、ランプ部１２０から照射されるノイズの防止効果を高いものとすることができる。
【００７６】
しかも、電磁放射ノイズを遮蔽する金属製メッシュ１２８を筐体枠光照射窓１２６に設けているので、誘電体バリア放電ランプを覆う外管などを設けることなく、ノイズ防止効果を高めることができる。さらには、冷却ブロック１２３が筐体枠１２１に設けられていることから、筐体枠１２１を含めたランプ部１２０の全体を小型化することができる。
【００７７】
続いて、本発明の第４の実施形態について説明する。図２４は、本発明の第４の実施形態に係る除電装置の正断面図、図２５は、その側断面図、図２６は、そのランプ部の正断面図である。図２４および図２５に示すように、本実施形態に係る除電装置Ｒ２は、略立方体形状をなす中空の金属材料からなる筐体枠１３１を備えている。筐体枠１３１の中空部における高さ方向中央よりもやや上側の部位には、ランプ部１３２が配設されている。また、図２６に示すように、本実施形態における除電装置Ｒ２に用いるランプ部１３２としては、図１０に示す誘電体バリア放電ランプＭＬ２を図３に示す外管２２に収容した態様の発光装置が用いられている。誘電体バリア放電ランプＭＬ２は放電容器２３を有しており、放電容器２３の内側には内部電極２４が設けられ、放電容器２３の外側には外部電極４５が設けられている。外部電極４５は、放電容器２３の上側およそ２４０°の範囲を覆うアルミニウム蒸着膜によって形成されており、下方にスリット状の開口部が形成されている。誘電体バリア放電ランプＭＬ２から照射される紫外線は、スリット状に形成された開口部から、およそ１２０°の範囲に広がるようになる。
【００７８】
また、筐体枠１３１の一方の側板には、ランプ部１３２を取り付けるための取付用フランジ１３３が取り付けられており、筐体枠１３１の対向する側板には、固定具１３４が取り付けられている。これら取付用フランジ１３３および固定具１３４によって、ランプ部１３２が固定されて支持されている。取付用フランジ１３３からは、ランプ部１３２における口金３４が筐体枠１３１の外側に飛び出しており、冷却ガス流通口３５および接続端子３６が筐体枠１３１の外側に配置される。
【００７９】
さらに、筐体枠１３１の側板には、不活性ガス導入口１３５が形成されており、筐体枠１３１の底板には、不活性ガス排出口１３６が形成されている。不活性ガス導入口１３５からは、除電対象物を除電するためのイオン発生源である不活性ガスが導入される。また、不活性ガス排出口１３６は、排気ポンプ１３７に接続されており、排気ポンプ１３７を作動させることにより、不活性ガス排出口１３６を介して筐体枠１３１内の不活性ガスが排出され。筐体枠１３１内は所望の不活性ガスでの減圧状態とされる。筐体枠１３１内は、不活性ガス導入口１３５および不活性ガス排出口１３６を除いた位置では気密状態に維持されている。
【００８０】
また、筐体枠１３１内におけるランプ部１３２から照射される紫外線の照射範囲内には、照射台１３８が設けられており、照射台１３８の上が除電対象部となり、照射台１３８上に除電対象物１３９が載置され、除電対象物１３９が除電対象部に配置される。
【００８１】
以上の構成を有する本実施形態に係る除電装置Ｒ２では、ランプ部１３２の下方に配置された照射台１３８上に載置された除電対象物１３９に紫外線を放射することにより、除電対象物１３９を除電する。このとき、ランプ部１３２における外管２２には、金属製メッシュ３１が設けられている。この金属製メッシュ３１が、誘電体バリア放電ランプＭＬ２が発する電磁放射ノイズを効果的に遮蔽する。したがって、ランプ部１３２から照射されるノイズの防止効果を高いものとすることができる。
【００８２】
しかも、排気ポンプ１３７を作動させることにより、筐体枠１３１内を減圧状態とすることができる。したがって、ランプ部１３２（誘電体バリア放電ランプＭＬ２）から放射される真空紫外線を用いた減圧下での除電に有効である。その際、イオン発生源として不活性ガス流入口から窒素ガスやアルゴンガスのような不活性ガスを流入し、筐体枠１３１内を不活性ガス減圧雰囲気にすることにより、帯電物体を効果的に除電することができる。
【００８３】
次に、本発明の第５の実施形態について説明する。図２７は、本発明の第５の実施形態に係る除電装置の側断面図である。図２７に示すように、本実施形態に係る除電装置Ｒ３は、金属材料からなるトンネル筐体１４１を備えている。トンネル筐体１４１における上方位置には、ランプ部１４２が設けられている。本実施形態においては、ランプ部１４２として、上記第４の実施形態と同様、図１０に示す誘電体バリア放電ランプＭＬ２を誘電体バリア放電ランプとして、図３に示す外管２２に収納したものを用いている。
【００８４】
また、トンネル筐体１４１の上枠には、不活性ガスを導入するための不活性ガス導入口１４３が形成されており、下枠には、不活性ガスを排出するための不活性ガス排出口１４４が形成されている。不活性ガス排出口１４４には、排気ポンプ１４５が接続されており、排気ポンプ１４５を作動させることにより、トンネル筐体１４１内を減圧状態とすることができる。
【００８５】
さらに、トンネル筐体１４１の下面には、トンネル筐体１４１の長手方向に移動する搬送コンベア１４６が設けられている。搬送コンベア１４６には、その移動方向に離間してほぼ等間隔で照射台１４７が載置されており、照射台１４７には、除電対象物１４８が載置されている。搬送コンベア１４６は、ランプ部１４２から照射される真空紫外線の照射範囲内に配置されており、搬送コンベア１４６によって搬送される照射台１４７に載置される除電対象物１４８には、ランプ部１４２から照射される真空紫外線が照射されるようになっている。
【００８６】
以上の構成を有する本実施形態に係る除電装置Ｒ３では、ランプ部１４２の下方に配置された照射台１４７上に載置された除電対象物１４８に紫外線を放射することにより、除電対象物１４８を除電する。このとき、ランプ部１４２における外管２２には、金属製メッシュ３１が設けられている。この金属製メッシュ３１が、誘電体バリア放電ランプＭＬ２が発する電磁放射ノイズを効果的に遮蔽する。したがって、ランプ部１４２（誘電体バリア放電ランプＭＬ２）から照射されるノイズの防止効果を高いものとすることができる。
【００８７】
また、排気ポンプ１４５を作動させることにより、トンネル筐体１４１内を減圧状態とすることができる。したがって、誘電体バリア放電ランプＭＬ２から放射される真空紫外線を用いた減圧下での除電に有効となる。さらに、本実施形態に係る除電装置Ｒ３は、搬送コンベア１４６を有しており、搬送コンベア１４６によって、照射台１４７および除電対象物１４８を搬送している。このため、複数の除電対象物１４８を連続的に除電することができる。
【００８８】
次に、本発明の第６の実施形態について説明する。図２８は、本発明の第６の実施形態に係る除電装置の側断面図である。図２８に示すように、本実施形態に係る除電装置Ｒ４は、金属材料からなるトンネル筐体１５１を備えている。トンネル筐体１５１の上枠には開口部１５１Ａが形成されており、この開口部１５１Ａの上方にはランプ部１５２が設けられている。このランプ部１５２は、金属材料からなる筐体１５２Ａを備えており、筐体１５２Ａの内部に、図１０に示す誘電体バリア放電ランプＭＬ２が配設されている。筐体１５２Ａの底板には、開口部が形成されており、この開口部を塞ぐようにして光透過部である光照射窓１５２Ｂが設けられている。光照射窓１５２Ｂにおける筐体１５２Ａの内側には、金属製メッシュ１５２Ｃが取り付けられている。
【００８９】
また、トンネル筐体１５１の上枠には、不活性ガスを導入するための不活性ガス導入口１５３が形成されており、下枠には、不活性ガスを排出するための不活性ガス排出口１５４が形成されている。不活性ガス排出口１５４には、排気ポンプ１５５が接続されており、排気ポンプ１５５を作動させることにより、トンネル筐体１５１内を減圧状態とすることができる。
【００９０】
さらに、トンネル筐体１５１の下面には、トンネル筐体１５１の長手方向に移動する搬送コンベア１５６が設けられている。搬送コンベア１５６には、その移動方向に離間してほぼ等間隔で照射台１５７が載置されており、照射台１５７には、除電対象物１５８が載置されている。搬送コンベア１５６は、ランプ部１５２から照射される真空紫外線の照射範囲内に配置されており、搬送コンベア１５６によって搬送される照射台１５７に載置される除電対象物１５８には、ランプ部１５２から照射される真空紫外線が照射されるようになっている。
【００９１】
以上の構成を有する本実施形態に係る除電装置Ｒ４は、上記第５の実施形態と同様、ランプ部１５２の下方に配置された照射台１５７上に載置された除電対象物１５８に紫外線を放射することにより、除電対象物１５８を除電する。このとき、ランプ部１５２の光照射窓１５２Ｂには、接地された金属製メッシュ１５２Ｃが設けられている。この金属製メッシュ１５２Ｃが、誘電体バリア放電ランプＭＬ２が発する電磁放射ノイズを効果的に遮蔽する。したがって、ランプ部１５２（誘電体バリア放電ランプＭＬ２）から照射されるノイズの防止効果を高いものとすることができる。
【００９２】
また、排気ポンプ１５５を作動させることにより、トンネル筐体１５１内を減圧状態とすることができる。したがって、誘電体バリア放電ランプＭＬ２から放射される真空紫外線を用いた減圧下での除電に有効となる。さらに、搬送コンベア１５６によって、照射台１５７および除電対象物１４８を搬送しているため、複数の除電対象物１５８を連続的に除電することができる。
【００９３】
本発明で提案した電磁放射ノイズ遮蔽手段の効果を検証した結果を以下に示す。この実験では、第１の実施形態で説明した図３に示す外管に、図１０に示したタイプの誘電体バリア放電ランプＭＬ２を配置し、そのユニットから放射される電磁ノイズ電界強度を調べた。評価は、ランプ−電界プローブ間の距離と電界プローブによる検出電界強度（相対強度）の相関を調べることによって行った。また、第一従来例として、外管が設けられていない誘電体バリア放電ランプのみからなり、外部電極が接地された図５に示す誘電体バリア放電ランプ２１を用いた。また、第二従来例として、外部電極としてアルミニウム蒸着膜を形成した図１０に示す誘電体バリア放電ランプＭＬ２を用いた。その結果を図２９に示す。
【００９４】
図２９において、第一従来例は一点鎖線で示され、第二従来例は破線で示されている。また、本発明例は実線で示されている。図２９からわかるように、第一従来例および第二従来例に係る誘電体バリア放電ランプでは、いずれも十分に電磁放射ノイズが遮蔽されなかった。一方、本発明例のように、放電には寄与しない金属網を電磁放射ノイズ遮蔽手段とした誘電体バリア放電ランプでは、ノイズが効果的に遮蔽された。以上の結果により、本発明に係る誘電体バリア放電ランプでは、従来の誘電体バリア放電ランプと比較して、非常に高いノイズ遮蔽効果を発揮することが判った。
【００９５】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。たとえば、上記第４〜第６の実施形態に係る除電装置では、１本のランプ部のみを用いているが、複数の誘電体バリア放電ランプを有するランプ部を設ける態様とすることもできる。
【００９６】
また、本発明による電磁放射ノイズは、同じく電磁放射ノイズの影響があると思われる、ガラスや半導体基板、あるいはプラスチック等の有機物体表面の洗浄装置および改質装置等にも応用可能と考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】第１の実施形態に係る除電装置のランプ部の一部破断側面図である。
【図２】第１の実施形態に係る除電装置のランプ部の下側平面図である。
【図３】誘電体バリア放電ランプの側面図である。
【図４】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】誘電体バリア放電ランプの側面図である。
【図６】第１の変形例に係る発光装置の側面図である。
【図７】第２の変形例に係る発光装置の側面図である。
【図８】図７のＢ−Ｂ線断面図である。
【図９】第１の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図である。
【図１０】第２の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図である。
【図１１】第３の変形例に係る発光装置の側面図である。
【図１２】図１１のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１３】（ａ）は第３の変形例に係る発光装置に用いられる誘電体バリア放電ランプの一部破断側面図、（ｂ）はその正面図である。
【図１４】（ａ）は第３の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの一部破断側面図、（ｂ）はその正面図である。
【図１５】（ａ）は第４の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１６】（ａ）は第５の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図、（ｂ）は（ａ）のＥ−Ｅ線断面図である。
【図１７】（ａ）は第６の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線断面図である。
【図１８】（ａ）は、第７の変形例に係る誘電体バリア放電ランプの側面図、（ｂ）は、（ａ）のＧ−Ｇ線断面図である。
【図１９】第２の実施形態に係る除電装置におけるランプ部の下側平面図である。
【図２０】図１９のＨ−Ｈ線断面図である。
【図２１】ランプ部から仕切り部材を取り除いた状態の下側平面図である。
【図２２】第３の実施形態に係る除電装置におけるランプ部の下側平面図である。
【図２３】第３の実施形態に係る除電装置におけるランプ部の一部破断正断面図である。
【図２４】第４の実施形態に係る除電装置の正断面図である。
【図２５】第４の実施形態に係る除電装置の側断面図である。
【図２６】第４の実施形態に係る除電装置のランプ部の正断面図である。
【図２７】第５の実施形態に係る除電装置の側断面図である。
【図２８】第６の実施形態に係る除電装置の側断面図である。
【図２９】実験による測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００９８】
１，１００，１２０，１３２，１４２，１５２…ランプ部、２（２Ａ〜２Ｄ），１０２Ａ〜１０２Ｆ，１２２Ａ〜１２２Ｄ，ＭＲ１〜ＭＲ３…発光装置、３，１０１，１２１，１３１…筐体枠、４，１３８，１４７，１５７…照射台、５，１３９，１４８，１５８…除電対象物、１１〜１４…側板、１５…天板、２１，５０，ＭＬ１〜ＭＬ７…誘電体バリア放電ランプ、２２，３８，５１…外管、２３…放電容器、２４，５４，６４，７１，７７，８４，９１…内部電極、２５…金属箔、２６…ピンチシール部、２７…リード線、２８，４５，５５，６５，８３，９０…外部電極、２９…排気管、３０，５７，６７…交流電源、３１，１１２，１２８，１５２Ｃ…金属製メッシュ、３２…誘電体バリア放電ランプ保持部材、３３…外部電極金具、３４，５８…口金、３５…冷却ガス流通口、３６…接続端子、３７…点灯用配線、３９…反射部材、４１…内部電極、４２…本体部、４３…スリーブ、４４…張力保持線、５２，６２…発光内管、５３，６３…発光外管、５６，６６…封止部、５９…誘電体バリア放電ランプ取付部、７２，７８…連結部、７３，７４，７９，８０，８６，８７，９３，９４…直線状部、７５，８１，８８…離間電極部、７６，８２，８９…離間電極支持部、８５，９２…コイル状部、１０１Ａ，１２１Ａ…側板、１０１Ｂ…天板、１０１Ｃ，１２１Ｂ…底板、１０１Ｄ，１２１Ｃ…開口部、１０３…位置決め部材、１０４…ランプ保持具、１０５…放熱器、１０６…第一熱伝導板、１０７…第二熱伝導板、１０８，１２４，１３５，１４３，１５３…不活性ガス導入口、１０９，１２５，１３６，１４４，１５４…不活性ガス排出口、１１０，１２６，１５２Ｂ…光照射窓、１１１，１２７…金属メッシュ固定具、１２３…冷却ブロック、１３３…取付用フランジ、１３４…固定具、１３７，１４５，１５５…排気ポンプ、１４１，１５１…トンネル筐体、１４６，１５６…搬送コンベア、１５１Ａ…開口部、１５２Ａ…筐体、Ｒ１〜Ｒ４…除電装置。
【図１】
2005050705.tif 000003
【図２】
2005050705.tif 000004
【図３】
2005050705.tif 000005
【図４】
2005050705.tif 000006
【図５】
2005050705.tif 000007
【図６】
2005050705.tif 000008
【図７】
2005050705.tif 000009
【図８】
2005050705.tif 000010
【図９】
2005050705.tif 000011
【図１０】
2005050705.tif 000012
【図１１】
2005050705.tif 000013
【図１２】
2005050705.tif 000014
【図１３】
2005050705.tif 000015
【図１４】
2005050705.tif 000016
【図１５】
2005050705.tif 000017
【図１６】
2005050705.tif 000018
【図１７】
2005050705.tif 000019
【図１８】
2005050705.tif 000020
【図１９】
2005050705.tif 000021
【図２０】
2005050705.tif 000022
【図２１】
2005050705.tif 000023
【図２２】
2005050705.tif 000024
【図２３】
2005050705.tif 000025
【図２４】
2005050705.tif 000026
【図２５】
2005050705.tif 000027
【図２６】
2005050705.tif 000028
【図２７】
2005050705.tif 000029
【図２８】
2005050705.tif 000030
【図２９】
2005050705.tif 000031