(57)【要約】【課題】従来の単なる目視による色むら検査に比べて検査精度が向上するカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置及び色むら検査方法を提供することを目的とする。【解決手段】パネルガラス６にＲＧＢのカラーフィルタ膜５を形成した検査対象２０における前記５の色むらを検査するためのものであって、ＲＧＢを含む波長の光を発光し、この光を２０に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系及び２０に前記光を透過させない参照光観察系にそれぞれ導くハロゲンランプ１と、１と２０の間であって前記透過光観察系に設けられ、２０の所定の照射領域に透過させ、該照射領域における分解能を高めるための開口４ａを有する絞り４と、２０を透過した光と、前記参照光観察系からの光の差分に基き、前記照射領域毎に波長とスペクトル強度の関係を求める分光手段と、前記分光手段の出力と、２０における色むらのないものの波長とスペクトル強度の関係を比較可能な比較手段を備えたもの。【選択図】      図１
2005274326.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成した第１の検査対象における前記カラーフィルタ膜の色むらを検査するためのものであって、
ＲＧＢを含む波長の光を発光し、この光を前記検査対象に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系及び前記検査対象に前記光を透過させない参照光観察系にそれぞれ導く第１の光源と、
前記光源と前記検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記検査対象の所定の照射領域に透過させ、該照射領域における分解能を高めるための開口を有する絞りと、
前記検査対象を透過した光と、前記参照光観察系からの光の差分に基き、前記照射領域毎に波長とスペクトル強度の関係を求める分光手段と、
前記分光手段の出力と、前記検査対象における前記色むらのないものの波長とスペクトル強度の関係を比較可能な比較手段と、
を具備したカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置。
【請求項２】
パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成した第１の検査対象における前記カラーフィルタ膜の色むらを検査するためのものであって、
ＲＧＢを含む波長の光を発光し、この光を前記検査対象に透過させる第１の光源と、
前記光源と前記検査対象の間であって、前記検査対象の所定の照射領域に透過させ、該照射領域における分解能を高めるための第１のＲＧＢのカラーフィルタと、
前記検査対象を透過した光の輝度分布を出力する撮像手段と、
を具備したカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置。
【請求項３】
パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成し、かつ該カラーフィルタ膜にＲＧＢの蛍光体膜を形成した第２の検査対象における前記蛍光体膜の色むらを検査するためのものであって、
前記蛍光体膜の励起波長を含む光を発光し、この光を前記検査対象に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系及び前記検査対象に前記光を透過させない参照光観察系にそれぞれ導く第２の光源と、
前記光源と前記検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記検査対象の所定の照射領域に透過させ、前記光源で発光した光のうちのｉ線のみを、前記検査対象に透過させるｉ線フィルタと、
前記検査対象を透過した光を集光させて入力させ、前記照射領域毎に平均化した光を出力するカライドスコープと、
前記カライドスコープから出力される光と、前記参照光観察系からの光の差分に基き、前記照射領域毎に波長とスペクトル強度の関係を求める分光手段と、
前記分光手段の出力と、前記検査対象における前記色むらのないものの波長とスペクトル強度の関係を比較可能な比較手段と、
を具備したカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置。
【請求項４】
パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成し、かつ該カラーフィルタ膜にＲＧＢの蛍光体膜を形成した第２の検査対象における前記蛍光体膜の色むらを検査するためのものであって、
前記蛍光体の励起波長を含む光を発光し、この光を前記検査対象に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系に導く第２の光源と、
前記光源と前記検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記検査対象の所定の照射領域に透過させ、前記光源で発光した光のうちのｉ線のみを通過させて、前記検査対象に透過させるｉ線フィルタと、
前記検査対象の検査したい部位の色に合わせて選択され、前記光源からの光を透過させる第２のＲＧＢのカラーフィルタと、
前記検査対象を透過した光の輝度分布を出力する撮像手段と、
を具備したカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置。
【請求項５】
パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成した第１の検査対象における前記カラーフィルタ膜、又はパネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成し、かつ該カラーフィルタ膜にＲＧＢの蛍光体膜を形成した第２の検査対象における前記蛍光体膜の色むらを検査するためのものであって、
ＲＧＢを含む波長の光を発光し、この光を前記検査対象に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系及び前記検査対象に前記光を透過させない参照光観察系にそれぞれ導く第１の光源と、
前記蛍光体膜の励起波長を含む光を発光し、この光を前記検査対象に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系及び前記検査対象に前記光を透過させない参照光観察系にそれぞれ導く第２の光源と、
前記第１の光源と前記第１の検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記第１の検査対象の所定の照射領域に透過させ、該照射領域における分解能を高めるための開口を有する絞りと、
前記第２の光源と前記第２の検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記第２の検査対象の所定の照射領域に透過させ、前記第２の光源で発光した光のうちのｉ線のみを通過させて、前記第２の検査対象に透過させるｉ線フィルタと、
前記第２の検査対象を透過した光を集光させて入力させ、前記照射領域毎に平均化した光を出力するカライドスコープと、
前記第１の検査対象を透過した光又は前記カライドスコープから出力される光と、前記参照光観察系からの光の差分に基き、前記照射領域毎に波長とスペクトル強度の関係を求める分光手段と、
前記分光手段の出力と、前記第１又は第２の検査対象における前記色むらのないものの波長とスペクトル強度の関係を比較可能な比較手段と、
前記第１の検査対象の色むらを検査するときは、光源として前記第１の光源を用いるとともに、この第１の光源と前記分光手段との光の通過路には、前記絞り、前記第１の検査対象を切換選択配置し、また前記第２の検査対象の色むらを検査するときは、光源として前記第２の光源を用いるとともに、この第２の光源と前記分光手段との光の通過路には、前記ｉ線フィルタ、前記第２の検査対象、前記カライドスコープを配置する構成切換選択手段と、
を具備したカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置。
【請求項６】
パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成した第１の検査対象における前記カラーフィルタ膜、又はパネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成し、かつ該カラーフィルタ膜にＲＧＢの蛍光体膜を形成した第２の検査対象における前記蛍光体膜の色むらを検査するためのものであって、
ＲＧＢを含む波長の光を発光し、この光を前記第１の検査対象に透過させる第１の光源と、
前記蛍光体の励起波長を含む光を発光し、この光を前記第２の検査対象に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系に導く第２の光源と、
前記第１の光源と前記第１の検査対象の間であって、前記第１の検査対象の所定の照射領域に透過させ、該照射領域における分解能を高めるための第１のＲＧＢのカラーフィルタと、
前記第２の光源と前記第２の検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記第２の検査対象の所定の照射領域に透過させ、前記第２の光源で発光した光のうちのｉ線のみを通過させて、前記第２の検査対象に透過させるｉ線フィルタと、
前記第２の検査対象の検査したい部位の色に合わせて選択され、前記第２の光源からの光を透過させる第２のＲＧＢのカラーフィルタと、
前記第１又は第２の検査対象を透過した光の輝度分布を出力する撮像手段と、
前記第１の検査対象の色むらを検査するときは、光源として前記第１の光源を用いるとともに、この第１の光源と前記撮像手段との光の通過路には、前記第１のＲＧＢのカラーフィルタを切換選択配置し、また前記第２の検査対象の色むらを検査するときは、光源として前記第２の光源を用いるとともに、この第２の光源と前記撮像手段との光の通過路には、前記ｉ線フィルタ、前記第２の検査対象、前記第２のＲＧＢのカラーフィルタを配置する構成切換選択手段と、
を具備したカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置。
【請求項７】
パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成した第１の検査対象の所定の照射領域に、ＲＧＢを含む波長の光を発光する第１の光源からの光を照射させ、前記検査対象を透過する光に基いて前記カラーフィルタ膜の色むらを検査するカラーブラウン管用パネルの色むら検査方法。
【請求項８】
パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成し、かつ該カラーフィルタ膜にＲＧＢの蛍光体膜を形成した第２の検査対象の所定の照射領域に、前記蛍光体膜の励起波長を含む第２の光源からの光を照射させ、前記検査対象を透過する光を平均化した値に基いて前記蛍光体膜の色むらを検査するカラーブラウン管用パネルの色むら検査方法。
【請求項９】
パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成した後、該カラーフィルタにＲＧＢの蛍光体膜を形成して得た検査対象の色むら検査方法であって、
前記パネルガラスにカラーフィルタ膜を形成した段階で、該カラーフィルタの所定の照射領域に、ＲＧＢを含む波長の光を発光する第１の光源からの光を照射させ、前記パネルガラスを透過する光に基いて前記カラーフィルタ膜の色むらを検査し、該カラーフィルタ膜の色むらの検査結果が異常なしと判断された後であって、
前記カラーフィルタ膜に前記ＲＧＢの蛍光体膜を形成した段階で、前記カラーフィルタ膜の所定の照射領域より広い前記蛍光体膜の照射領域に、前記蛍光体膜の励起波長を含む第２の光源からの光を照射させ、前記ガラスパネルを透過する光を平均化した値に基いて前記蛍光体膜の色むらを検査するカラーブラウン管用パネルの色むら検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーブラウン管用パネルを製造する際にカラーフィルタ膜又は蛍光体膜の色むらを検査する色むら検査装置及び色むら検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、カラーブラウン管の一例として、カラーブラウン管用パネルと、このパネルに気密に接合される管からなるものがある。このうちのカラーブラウン管用パネルの製造工程は、図６に示すように、４つの製造工程を順次経て製造されている。すなわち、第１の工程は、パネルガラス６の全面に赤（Ｒ）色のマイクロフィルタ膜（ＭＦ膜）２１を薄くコーティング（蒸着）する工程であり、この工程は画面の鮮明さと、コントラストを上げるためのものである。
【０００３】
第２の工程は、第１の工程でコーティングしたマイクロフィルタ膜２１にダグＢＣ（カーボン）２２を塗布（膜付け）する工程である。
【０００４】
第３の工程は、第２の工程で得られたダグ２２の塗布面側にカラーフィルタ膜（マイクロフィルタ膜）５を蒸着（塗布）する工程で、Ｂ色（ＢＦ）−Ｇ色（ＧＦ）−Ｒ色（ＲＦ）の順で蒸着する。
【０００５】
第４の工程は、第３の工程で得られたマイクロフィルタ５に蛍光体膜（ＳＣ）１６を蒸着（塗布）する工程であり、Ｂ色の蛍光体−Ｇ色の蛍光体−Ｒ色の蛍光体の順で蒸着する。
【０００６】
このような工程を経て製造されたカラーブラウン管用パネルにあっては、ＲＧＢ色むら不良が問題となっており、上記各工程での不良要因分析ができていない。特に、ＭＦ２１及びＳＣ１６に関しては目視検査以外にはないため苦慮している。さらにＳＣ１６による検査手法についても確立されれば、上記工程の不良要因分析が容易に行え、カラーブラウン管用パネルのコストの低下が実現できると考えられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前述のカラーフィルタ膜５を蒸着工程後、作業者がパネルを任意にラインから抜き出し目視検査でカラーフィルタ膜５の色むらを検査している。この場合、作業者は必ずしも同人であるとは限らず、色むらの検査レベルや検査時間もまちまちであり効果的あるいは適切な手法ではない。また、パネルは任意に取り出すため色むら不良品が流れやすく、検査の間にもみすみす不良品を見逃している状況である。最終的に見逃した不良品はブラウン管（チューブ）に成形した後、電子ビーム（ＥＢ光）を照射させた時点で判別され、そのまま廃棄される。仮にパネル塗布時点で判別されれば、ＭＦまたはＳＣ膜を剥がして再度前工程へ戻し再塗布が可能である。このことから、ＭＦ及びＳＣ色むら不良が特定できればパネルコストも下がり、目視検査による検査誤差もなく高い効果が得られるものと推測される。
【０００８】
本発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、従来の単なる目視による色むら検査に比べて検査精度が向上するカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置及び色むら検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するため、請求項１に対応する発明は、パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成した第１の検査対象における前記カラーフィルタ膜の色むらを検査するためのものであって、ＲＧＢを含む波長の光を発光し、この光を前記検査対象に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系及び前記検査対象に前記光を透過させない参照光観察系にそれぞれ導く第１の光源と、前記光源と前記検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記検査対象の所定の照射領域に透過させ、該照射領域における分解能を高めるための開口を有する絞りと、前記検査対象を透過した光と、前記参照光観察系からの光の差分に基き、前記照射領域毎に波長とスペクトル強度の関係を求める分光手段と、前記分光手段の出力と、前記検査対象における前記色むらのないものの波長とスペクトル強度の関係を比較可能な比較手段とを具備したカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置である。
【００１０】
前記目的を達成するため、請求項３に対応する発明は、パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成し、かつ該カラーフィルタ膜にＲＧＢの蛍光体膜を形成した第２の検査対象における前記蛍光体膜の色むらを検査するためのものであって、前記蛍光体膜の励起波長を含む光を発光し、この光を前記検査対象に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系及び前記検査対象に前記光を透過させない参照光観察系にそれぞれ導く第２の光源と、前記光源と前記検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記検査対象の所定の照射領域に透過させ、前記光源で発光した光のうちのｉ線のみを、前記検査対象に透過させるｉ線フィルタと、前記検査対象を透過した光を集光させて入力させ、前記照射領域毎に平均化した光を出力するカライドスコープと、前記カライドスコープから出力される光と、前記参照光観察系からの光の差分に基き、前記照射領域毎に波長とスペクトル強度の関係を求める分光手段と、前記分光手段の出力と、前記検査対象における前記色むらのないものの波長とスペクトル強度の関係を比較可能な比較手段とを具備したカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置である。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、従来の単なる目視による色むら検査に比べて検査精度が向上するカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置及び色むら検査方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施形態について説明する。以下、本発明の実施の形態について、図を参照しながら説明する。
【００１３】
図１は、本発明によるカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置及びその色むら検査方法の第１の実施形態を説明するための図である。これは、パネルガラス６に蒸着によりＲＧＢのカラーフィルタ膜５を形成した第１の検査対象（カラーブラウン管用パネルの中間体）２０におけるカラーフィルタ膜５の色むらを検査するためのものであって、以下のように構成されている。
【００１４】
第１の光源は、例えばハロゲンランプ１と集光レンズ２と分岐ミラー３からなり、ハロゲンランプ１はＲＧＢを含む波長の光（白色光）を発光し、この光を、分岐手段例えば分岐ミラー３により所定の割合で２分岐するように構成し、この分岐された光の一方を検査対象２０に透過させて得られる透過光をカメラレンズ７に結像（集光）して観察するための透過光観察系例えば透過光観察用光ファイバ９及び該分岐ミラー３により分岐された光の他方を検査対象２０に光を透過させない参照光観察系例えば参照光観察用光ファイバ１０にそれぞれ導くように構成されている。
【００１５】
分岐ミラー３と検査対象２０の間には、所定の大きさで所定形状の開口（例えば１．５ｍｍ以下の正方形の角穴）４ａを有する絞り４が配設され、絞り４は分岐ミラー３からの光を、検査対象２０の所定の照射領域に透過させ、該照射領域における分解能を高めるためのものである。
【００１６】
検査対象２０を透過した透過光観察用光ファイバ９からの透過光を、参照光観察用光ファイバ１０からの参照光で除算した値に基き、照射領域毎に例えば図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように波長とスペクトル強度の関係を求める分光手段（図示しない）と、該分光手段の出力と、検査対象２０における色むらのないものの波長とスペクトル強度の関係を比較可能な比較手段（図示しない）例えばパソコンからなる分光装置８を具備している。
【００１７】
分光手段は、眼で観測できるようにスペクトルを作り出すために、例えば図示しない視野絞り、プリズム又は回折格子、対物レンズなどからなる光学機器である。
【００１８】
以上述べた第１の実施形態によれば、次のような作用効果が得られる。すなわち、光源を構成するハロゲンランプ１による白色光は、開口４ａを有する絞り４を介して、パネルガラス６にカラーフィルタ膜５が形成された検査対象２０を透過し、検査対象２０を透過した光はカメラレンズ７で結像されると共に、透過光観察用光ファイバ９を介して分光装置８に入力され、また分光装置８にはハロゲンランプ１からの光が検査対象２０を透過しない参照光観察用光ファイバ１０を介して入力される。
【００１９】
分光装置８の内部では、分光手段を構成する分光器により、透過光を参照光で除算したにおける波長とスペクトル強度が例えば表形式又はグラフ形式に表示され、また検査対象であって予め検査された過去の色むらのないものの波長とスペクトル強度も表示可能になっている。
【００２０】
比較手段は、色むらのない検査対象における波長とこのスペクトル強度、並びに透過光を参照光で除算したにおける波長とスペクトル強度とを比較し、両者の差が所定値を超えたときこれを表示するように構成されている。この場合、フィルタ膜の膜厚が厚い場合にはプラスで表示され、またフィルタ膜の膜厚が薄い場合にはマイナスで表示される。この結果、色むらがある検査対象と、色むらがない検査対象とでは、顕著に変わることから、色むらが定量化され、従来目視でしか検査していない色むらが、カラーブラウン管用パネルの中間体で検査することができる。もし、色むらが発見されたら、その段階でカラーフィルタ膜が蒸着されている検査対象を取り出し、塗装膜を剥がし再蒸着（再塗布）できる。これにより、カラーブラウン管用パネルのコスト低下が可能で、目視検査以上の高い検査効果が得られる。
【００２１】
図５は、例えばカラーフィルタ膜５の色むらを検査した結果の一例を説明するための図である。図５（ｄ）は、検査対象の光の照射範囲と絞り４の関係を示す図であり、図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はいずれも分岐装置８の比較手段の表示装置の出力画面を示している。図５（ｂ）は、絞り４に有する開口４ａと一致する位置において、色むらが存在している例であり、図５（ｂ）は開口４ａから−２ｍｍずれた位置であって、色むらがない場合であり、図５（ｃ）は開口４ａから＋２ｍｍずれた位置であって、色むらがない場合である。これらの図から図５（ｃ）の点線のまる部分がスペクトル強度の変化が大きいことから、色むら有りと考えられる。
【００２２】
このことから、目視検査で明らかな場合には、本発明の色むら検査装置を使用しなくてもわかるが、境界線に近い場合とか、作業者が見落とすような場合には、極めて有効である。
【００２３】
なお、絞り４の開口４ａの大きさが、大きいと透過光の強度が平均化されてしまうので、できる限り開口４ａの大きさは小さい方がよい。
【００２４】
図２は、本発明によるカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置及びその色むら検査方法の第２の実施形態を説明するための図である。これは、パネルガラス６に蒸着によりＲＧＢのカラーフィルタ膜５を形成したカラーブラウン管用パネルの中間体からなる検査対象２０におけるカラーフィルタ膜５の色むらを検査するためのものであって、次のように構成されている。
【００２５】
第１の光源は、例えばハロゲンランプ１と、集光レンズ２からなり、ＲＧＢを含む波長の光を発光し、この光を検査対象２０に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系に導くものである。
【００２６】
光源と検査対象２０の間には、ＲＧＢのカラーフィルタ１１が配設され、これは検査対象２０の所定の照射領域に透過させ、該照射領域における分解能を高めるためのものである。撮像手段例えばＣＣＤカメラ１２からなり、透過光観察系の検査対象２０を透過した光の輝度分布を出力するものである。
【００２７】
ハロゲンランプ１からの光がカラーフィルタ１１を通して検査対象２０に透過され、カメラレンズ７で結像されたカラフィルタ膜５の像がＣＣＤカメラ１２に撮像される。この像は、作業者が目視で見るよりはるかに輝度が鮮明である。勿論、図１の場合より検査精度はやや劣るが構成が簡単である。
【００２８】
図３は、本発明によるカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置及びその検査方法の第３の実施形態を説明するための図である。これは、パネルガラス６に蒸着によりＲＧＢのカラーフィルタ膜５を形成し、かつ該カラーフィルタ膜５に蒸着によりＲＧＢの蛍光体膜１６を形成したカラーブラウン管用パネルの中間体からなる検査対象２０における蛍光体膜１６の色むらを検査するためのものであって、次のように構成されている。
【００２９】
第２の光源は、例えば水銀ランプ１３と、水銀ランプ１３からの光を集光する集光レンズ１４と、集光レンズ１４からの光を所定の割合で２分岐する分岐ミラー３と、蛍光体膜１６の励起波長を含む光を発光し、この光を検査対象２０に透過させて得られる透過光を分光装置８に導くように、分光装置８と検査対象２０の間にカメラレンズ７と、カライドスコープ１７と、透過光観察用光ファイバ９が配設されている。
【００３０】
光源の分岐ミラー３と検査対象２０の間にｉ線フィルタ１５が設けられ、水銀ランプ１３からの光のうちのｉ線のみを検査対象２０の所定の照射領域に透過させるようになっている。
【００３１】
カライドスコープ１７は、検査対象２０を透過した光をカメラレンズ７により集光させて入力させ、照射領域毎に平均化した光を出力するためのものである。、
カライドスコープ１７から出力される光を蛍光観察用光ファイバ９と、参照光観察系例えば参照光観察用光ファイバ１０からの光の差分に基き、図１と同様に次に述べる分光手段と比較手段からなる分光装置８で構成されている。図３の場合には、検査対象２０に蛍光体膜１６が存在しているので、図１で使用した絞り４を省略してある。この理由は、蛍光体膜１６を通過する光は輝度が大きくなるからである。
【００３２】
図４は、本発明によるカラーブラウン管用パネルの色むら検査装置及びその検査方法を説明するための図である。これは、パネルガラス６に蒸着によりＲＧＢのカラーフィルタ膜５を形成し、かつ該カラーフィルタ膜５に蒸着によりＲＧＢの蛍光体膜１６を形成したカラーブラウン管用パネルの中間体からなる検査対象２０における蛍光体膜１６の色むらを検査するためのものであって、次のように構成されている。
【００３３】
第２の光源は、蛍光体膜１６の励起波長を含む光を発光する水銀ランプ１３と、水銀ランプ１３からの光を集光させる集光レンズ１４とからなり、検査対象２０に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系例えばカラーフィルタ１８とカメラレンズ７を直列に介して設けられたＣＣＤカメラ１９に導かれるようになっている。
【００３４】
ｉ線フィルタ１８は、光源のと検査対象２０の間であって透過光観察系に設けられ、検査対象２０の所定の照射領域に透過させ、光源で発光した光のうちのｉ線のみを通過させて、検査対象２０に透過させると、検査対象の検査したい部位の色に合わせて選択され、前記光源からの光を透過させるＲＧＢのカラーフィルタ１８と、透過光観察系の検査対象を透過した光の輝度分布を出力する撮像手段例えばＣＣＤカメラ１９とを具備したものである。
【００３５】
この場合も、図２の実施形態と同様にＣＣＤカメラ１９で撮像された画像から検査対象２０の蛍光体膜１６の色むらを検査できる。
【００３６】
ここで、第５の実施形態として図示しないが、概略図１と図３の構成を同一容器内に収容して、以下に述べる構成切換選択手段を設けるようにしてもよい。この場合は、図１、図３に示すように、パネルガラス６にＲＧＢのカラーフィルタ膜６を形成した第１の検査対象におけるカラーフィルタ膜、又はパネルガラス６にＲＧＢのカラーフィルタ膜６を形成し、かつ該カラーフィルタ膜６にＲＧＢの蛍光体膜１６を形成した第２の検査対象における蛍光体膜１６の色むらを検査するためのものであり、この概略構成は次のようになっている。ＲＧＢを含む波長の光を発光し、この光を前記検査対象に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系及び前記検査対象に前記光を透過させない参照光観察系にそれぞれ導く第１の光源例えばハロゲンランプ１と集光レンズ２と分岐ミラー３からなるものを備えている。
【００３７】
また、蛍光体膜１６の励起波長を含む光を発光し、この光を検査対象２０に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系及び検査対象２０に前記光を透過させない参照光観察系にそれぞれ導く第２の光源例えば水銀ランプ１３と集光レンズ１４と分岐ミラー３からなるものを備えている。
【００３８】
さらに、前記第１の光源と前記第１の検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記第１の検査対象の所定の照射領域に透過させ、該照射領域における分解能を高めるための開口４ａを有する絞り４を備えている。
【００３９】
前記第２の光源と前記第２の検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記第２の検査対象の所定の照射領域に透過させ、前記第２の光源で発光した光のうちのｉ線のみを通過させて、前記第２の検査対象に透過させるｉ線フィルタ１５を備えている。
【００４０】
さらに、前記第２の検査対象２０を透過した光を集光させて入力させ、前記照射領域毎に平均化した光を出力するカライドスコープ１７を備えている。前記第１の検査対象を透過した光又は前記カライドスコープから出力される光と、前記参照光観察系からの光の差分に基き、前記照射領域毎に波長とスペクトル強度の関係を求める分光手段と、前記分光手段の出力と、前記第１又は第２の検査対象における前記色むらのないものの波長とスペクトル強度の関係を比較可能な比較手段とからなる分光装置８を備えている。
【００４１】
また、構成切換選択手段は、前記第１の検査対象の色むらを検査するときは、光源として前記第１の光源を用いるとともに、この第１の光源と前記分光手段との光の通過路には、前記絞り、前記第１の検査対象を切換選択配置し、また前記第２の検査対象の色むらを検査するときは、光源として前記第２の光源を用いるとともに、この第２の光源と前記分光手段との光の通過路には、前記ｉ線フィルタ、前記第２の検査対象、前記カライドスコープを配置するものである。
【００４２】
次に、第６の実施形態として図示しないが、概略図２と図４の構成を同一容器内に収容して、以下に述べる構成切換選択手段を設けるようにしてもよい。この場合は、図２、図４に示すように、パネルガラス６にＲＧＢのカラーフィルタ膜６を形成した第１の検査対象におけるカラーフィルタ膜、又はパネルガラス６にＲＧＢのカラーフィルタ膜６を形成し、かつ該カラーフィルタ膜６にＲＧＢの蛍光体膜１６を形成した第２の検査対象における蛍光体膜１６の色むらを検査するためのものであり、この概略構成は次のようになっている。
【００４３】
ＲＧＢを含む波長の光を発光し、この光を前記第１の検査対象に透過させる第１の光源例えばハロゲンランプ１と集光レンズ２と分岐ミラー３からなるものを備えている。
【００４４】
前記蛍光体の励起波長を含む光を発光し、この光を前記第２の検査対象に透過させて得られる透過光を観察するための透過光観察系に導く第２の光源例えば水銀ランプ１３と集光レンズ１４と分岐ミラー３からなるものを備えている。
【００４５】
前記第１の光源と前記第１の検査対象の間であって、前記第１の検査対象の所定の照射領域に透過させ、該照射領域における分解能を高めるための第１のＲＧＢのカラーフィルタ１１を備えている。
【００４６】
前記第２の光源と前記第２の検査対象の間であって前記透過光観察系に設けられ、前記第２の検査対象の所定の照射領域に透過させ、前記第２の光源で発光した光のうちのｉ線のみを通過させて、前記第２の検査対象に透過させるｉ線フィルタ１５を備えている。
【００４７】
前記第２の検査対象の検査したい部位の色に合わせて選択され、前記第２の光源からの光を透過させる第２のＲＧＢのカラーフィルタ１８を備えている。
【００４８】
前記第１又は第２の検査対象を透過した光の輝度分布を出力する撮像手段例えばＣＣＤカメラ１２、１９を備えている。
【００４９】
構成切換選択手段は、前記第１の検査対象の色むらを検査するときは、光源として前記第１の光源を用いるとともに、この第１の光源と前記撮像手段との光の通過路には、前記第１のＲＧＢのカラーフィルタを切換選択配置し、また前記第２の検査対象の色むらを検査するときは、光源として前記第２の光源を用いるとともに、この第２の光源と前記撮像手段との光の通過路には、前記ｉ線フィルタ、前記第２の検査対象、前記第２のＲＧＢのカラーフィルタを配置するものである。
【００５０】
本発明のカラーブラウン管用パネルの色むら検査方法は、前述した実施形態は勿論次の（１）〜（３）のようにする場合を全て含むものである。
【００５１】
（１）パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成した第１の検査対象の所定の照射領域に、ＲＧＢを含む波長の光を発光する第１の光源からの光を照射させ、前記検査対象を透過する光に基いて前記カラーフィルタ膜の色むらを検査するカラーブラウン管用パネルの色むら検査方法である。
【００５２】
（２）パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成し、かつ該カラーフィルタ膜にＲＧＢの蛍光体膜を形成した第２の検査対象の所定の照射領域に、前記蛍光体膜の励起波長を含む第２の光源からの光を照射させ、前記検査対象を透過する光を平均化した値に基いて前記蛍光体膜の色むらを検査するカラーブラウン管用パネルの色むら検査方法である。
【００５３】
（３）パネルガラスにＲＧＢのカラーフィルタ膜を形成した後、該カラーフィルタにＲＧＢの蛍光体膜を形成して得た検査対象の色むら検査方法であって、前記パネルガラスにカラーフィルタ膜を形成した段階で、該カラーフィルタの所定の照射領域に、ＲＧＢを含む波長の光を発光する第１の光源からの光を照射させ、前記パネルガラスを透過する光に基いて前記カラーフィルタ膜の色むらを検査し、該カラーフィルタ膜の色むらの検査結果が異常なしと判断された後であって、前記カラーフィルタ膜に前記ＲＧＢの蛍光体膜を形成した段階で、前記カラーフィルタ膜の所定の照射領域より広い前記蛍光体膜の照射領域に、前記蛍光体膜の励起波長を含む第２の光源からの光を照射させ、前記ガラスパネルを透過する光を平均化した値に基いて前記蛍光体膜の色むらを検査するカラーブラウン管用パネルの色むら検査方法である。
【００５４】
＜変形例＞
前述したハロゲンランプ１は、長時間例えば３０００時間点灯すると、出力特性が劣化するので、参照光観察用光ファイバ１０の出力端を何等かの手段により出力特性をチェックすることが望ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の第１の実施形態を説明するためのＭＦ不良検査光学系を示す図。
【図２】本発明の第２の実施形態を説明するためのＭＦ不良検査光学系を示す図。
【図３】本発明の第３の実施形態を説明するためのＳＣ不良検査光学系を示す図。
【図４】本発明の第４の実施形態を説明するためのＳＣ不良検査光学系を示す図。
【図５】本発明の第１の実施形態を説明するためのＭＦ不良判別例（スペクトル変化）を示す図。
【図６】カラーブラウン管の塗布工程を説明するためのフロー図
【符号の説明】
【００５６】
１…ハロゲンランプ、２…集光レンズ、３…分岐ミラー、４ａ…開口、５…カラーフィルタ膜、６…パネルガラス、７…カメラレンズ、８…分光装置、９…透過光観察用光ファイバ、１０…参照光観察用光ファイバ、１１…カラーフィルタ、１２…ＣＣＤカメラ、１３…水銀ランプ、１４…集光レンズ、１５…ｉ線フィルタ、１６…蛍光体膜、１７…カライドスコープ、１８…カラーフィルタ、１９…ＣＣＤカメラ、２０…検査対象。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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