(57)【要約】【課題】  スレーブ媒体に転写される磁気情報に信号抜けが発生しない良好な磁気転写が可能で、耐久性に優れ、クリーニング機能がある磁気転写用マスター担体を提供する。【解決手段】  データ部と面内磁気記録媒体に転写すべきプリフォーマット信号情報に応じてトラック方向に配列されたパターン状の凹凸を有するサーボパターン部とを備えて成る磁気転写用マスター担体において、データ部に、サーボパターン部の材料とは異なる材料、例えばカーボン系材料で凸形状を成膜により形成した。【選択図】      図３
2005050476.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データ部と面内磁気記録媒体に転写すべきプリフォーマット信号情報に応じてトラック方向に配列されたパターン状の凹凸形状を有するサーボパターン部とを備えて成る磁気転写用マスター担体において、
前記データ部に、前記サーボパターン部の材料とは異なる材料から成る凸形状を形成したことを特徴とする磁気転写用マスター担体。
【請求項２】
前記異なる材料は、カーボン系又はクロム系材料であることを特徴とする請求項１記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項３】
前記データ部の凸形状は、成膜により形成されたことを特徴とする請求項１又は２記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項４】
前記データ部の凸形状は、高さが前記サーボパターン部の凸形状の高さの０．６〜１．４倍であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項５】
前記データ部の凸形状は部分的に非磁性材料で形成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体。
【請求項６】
前記サーボパターン部とデータ部との凸形状の間に、未成膜部が形成されたことを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体にディジタル情報を転写するためのパターン状の凹凸を備えた磁気転写用マスター担体に関するもので、特にその凹凸パターンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録媒体においては一般に、情報量の増加と共に多くの情報を記録する大容量で安価で、さらに好ましくは短時間で必要な箇所が読み出せるような、いわゆる高速アクセスが可能な媒体が望まれている。それらの一例としてハードディスク装置やフロッピー（登録商標）ディスク装置に用いられる高密度磁気ディスク媒体が知られ、その大容量を実現するためには、狭いトラック幅を正確に磁気ヘッドが走査し、高いＳ／Ｎ比で信号を再生する、いわゆるトラッキングサーボ技術が、大きな役割を担っている。ディスクの１周の中で、ある間隔でトラッキング用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が、いわるプリフォーマットとして記録されており、磁気ヘッドはこのようなプリフォーマットの信号を読み取って自らの位置を修正することにより正確にトラック上を走行することが可能に設定されている。
【０００３】
一般的なサーボ信号（サーボパターン）は、サーボフレーム先頭部から順にプレアンブル（同期用信号）、グレイコード（トラック番号信号）、バースト信号（ヘッド位置決め信号）からなり、これに続いてデータ領域が設けられる。上記バースト信号は、トラック中心線より１／２トラック幅ずらせて記録される部分を有し、その他のサーボ信号はトラック中心線上に全トラックピッチ幅で記録される。また、データ領域はサーボ信号の記録幅より狭く、その内外のトラックと隣接する部分には信号が記録されないガードバンド部が形成されている。
【０００４】
現在、上述のようなプリフォーマットは、専用のサーボ記録装置を用い、ディスク１枚ずつ、またその１トラックずつ信号を書き込むことにより作成される。サーボ記録装置は、例えばトラックピッチの７５％程度のヘッド幅を持つ磁気ヘッドを備えており、まず、磁気ヘッドをディスクに近接させた状態でディスクを１回転させて、外側１／２トラックに相当するパターンを書き込み、その後この磁気ヘッドを半トラックピッチ内側に移動させて、ディスクの次回転で内側１／２トラックに相当するパターンを書き込むことにより１トラック分の信号を形成する。
【０００５】
上記のようなサーボ記録装置は高価であり、またプリフォーマット作成に時間が掛かるために、この工程が製造コストの大きな部分を占めることになり、その低コスト化が望まれている。
【０００６】
そこで、１トラックずつプリフォーマットを書き込むのではなく、磁気転写によりそれを実現する方法も提案されている。例えば、特開平１０−４０５４４号および特開平１０−２６９５６６号等に磁気転写技術が紹介されている。この磁気転写は、被磁気転写媒体である磁気ディスク媒体等のスレーブ媒体に対して転写すべき情報に対応する凹凸パターンを有するマスター担体を用意し、このマスター担体とスレーブ媒体を密着させた状態で、転写用磁界を印加することにより、マスター担体の凹凸パターンが担持する情報（例えばサーボ信号）に対応する磁気パターンをスレーブ媒体に転写するもので、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間である。
【０００７】
上記のような磁気転写における転写品質を高めるためには、マスター担体とスレーブ媒体とをいかに隙間なく密着させるかが重要である。つまり密着不良であると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られず信頼性が低下するという問題がある。
【０００８】
図５は、磁気転写用マスター担体のサーボパターン部とデータ部の配置関係を説明する平面図である。図において、Ｍ５は磁気転写用マスター担体、Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３．Ｓ４，Ｓ５，・・・はサーボパターン部、Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，・・・はデータ部である。図では見易くするために、各領域を広く描いているが、実際は１つの領域は中心角で２度程度である。また、サーボパターン部Ｓ１・・・よりもデータ部Ｄ１・・・を若干広く描いているが、実際はこの差はさらに大きい。後述の図６、図７、・・・は図５におけるＴ１方向の断面図を示している。
【０００９】
図６は、従来の磁気転写用マスター担体を用いてスレーブ媒体に磁気転写を行う状態を示す断面図で、（ａ）は転写前のマスター形状、（ｂ）は転写中のマスター形状である。
図において、Ｍ６は従来の磁気転写用マスター担体、Ｓはスレーブ媒体、Ｓ１，Ｓ２はサーボパターン部、Ｄ１，Ｄ２はデータ部である。図から判るように、従来の磁気転写用マスター担体Ｍはデータ部Ｄ１，Ｄ２の領域に凸形状を備えていなく、したがってスレーブ媒体との間は空気層Ｌ１であった。
【００１０】
この磁気転写方法は、マスター担体・スレーブ媒体を接触させることによりプリフォーマット信号形成を行なうものである。そこで、図６（ａ）の状態で、磁気転写用マスター担体Ｍ６とスレーブ媒体Ｓとを接触して、かつ両者間の空気抜きをすると、図６（ｂ）のようになって、外気圧Ｐが加わり、プリフォーマット信号凸部のみがスレーブ媒体と接触するため、接触時に高次歪みを発生する。すなわち、凸形状の形成されていない部位ｍ２，ｍ４が湾曲変形することにより凸形状の形成されている部位ｍ１，ｍ３も図示のように影響を受けて変形し、その結果、高次歪みで正確な磁気転写が行われなくなり、品質低下を招くことになった。そればかりか、サーボパターン部の凸形状の形状自体も徐々に変化して崩れてゆき、また湾曲する部位での材料疲弊を生じ、耐久性に問題のあるマスター担体となった。
【００１１】
また、マスター担体Ｍ６とスレーブ媒体Ｓを繰り返し接触することにより、スレーブ媒体Ｓに含まれる潤滑剤や空中のコンタミがマスター担体に付着することがおき、付着したこれらのスレーブ媒体潤滑剤やコンタミはマスター担体から除去することが困難で、これによっても十分な耐久性を確保することができなかった。
【００１２】
一方、スレーブ媒体との間に空気層を形成しないようなマスター担体としては、例えば、特許文献１又は２に記載のようなものがあった。すなわち、マスター担体とスレーブ媒体と隙間なく密着させるために、マスター担体作成時にデータ部をサーボパターン部と同じ高さに形成させ、サーボパターン部のみに磁性層を埋め込み形成し、結果的にサーボパターン部とデータ部の高さを同じにするものである。
【特許文献１】特開２００１−１２６２４７号（図１（ｄ））
【特許文献２】特開平１１−２７３０７０号（図３）
【００１３】
図７は特許文献１および２に共通する磁気転写用マスター担体の断面図である。
図において、５０は磁気転写用マスター担体のサーボパターン部、５１は非磁性基体、５２は強磁性体薄膜である。
これの製造は、非磁性基体５１の表面にレジストを塗布後、露光・現像し、エッチングして非磁性基体５１上に凹凸パターンを形成し、その上に強磁性体薄膜５２を形成し、その後、残留レジストおよび不要な強磁性体薄膜を除去すると図７（ａ）のようなサーボパターン部５０が得られる。
すなわち、磁気転写用マスター担体５０の表面は平坦で、強磁性体層が中に埋め込まれた構成になっている。このマスター担体の強磁性体層側をスレーブ媒体と接触させると、両者間は隙間なく密着することができ、良好な磁気転写が行われる。このように、表面に凹凸がないので、耐久性に優れ、長寿命のマスター担体が得られるものというものである。
ところで、特許文献１および２からサーボパターン部の構成については判るが、データ部については記載がない。しかしながらその製造方法から推測すると、非磁性基体５１そのものがデータ部になるものと理解される。そうすると、特許文献１および２より推測されるデータ部およびサーボパターン部とを磁気転写用マスター担体は、図７（ｂ）のようになるものと考えられる。
【００１４】
図７（ｂ）において、Ｍ７はサーボパターン部とデータ部から成る磁気転写用マスター担体、５１は非磁性基体、５２は強磁性体薄膜、Ｓはサーボパターン部５０、Ｄはデータ部である。サーボパターン部の幅をｄ１とし、データ部の幅をｄ２とすると、ｄ１＝ｄ２となる。
このように磁気転写用マスター担体Ｍ７は表面が平坦なので、これをスレーブ媒体に密着させると、データ部Ｄとスレーブ媒体との間に空気層ができないので、図６の場合のようなプリフォーマット信号凸形状のみの接触に起因する高次歪みも発生しなくなり、正確な磁気転写が行われ、耐久性のある長寿命のマスター担体が得られるものと考えられる。
【００１５】
しかしながら、図７記載の磁気転写用マスター担体Ｍ７は、サーボパターン部に凹凸を備えていないので、逆に磁性部と非磁性部の境界が明確になりにくく、特に磁性粉が平坦部である非磁性部に付着した場合、これが逆に正確な磁気転写の妨げとなる可能性があった。また、非磁性部５１の中に磁性部５２を埋め込む工数が必要であった。
【００１６】
これを解決するものとして、図８のような磁気転写用マスター担体が考えられる。図８は磁気転写用マスター担体を用いてスレーブ媒体に磁気転写を行う状態を示す断面図で、（ａ）は転写前のマスター形状、（ｂ）は転写中のマスター形状である。
図において、Ｍ８は従来の磁気転写用マスター担体、Ｓはスレーブ媒体、Ｓ１，Ｓ２はサーボパターン部、Ｄ１，Ｄ２はデータ部である。
【００１７】
図から判るように、この磁気転写用マスター担体Ｍ８の特徴は、データ部Ｄ１，Ｄ２の領域全範囲に及ぶ凸形状Ｔ１，Ｔ２を備えていて、サーボパターン部Ｓ１，Ｓ２の凸形状と同じ高さとなっている点である。したがってスレーブ媒体と重ねた場合、図７の場合と同じく、スレーブ媒体Ｓとの間に、図６（ａ）のＬ１のような空気層ができないので、図６（ｂ）の転写中において圧力Ｐが加わっても、プリフォーマット信号凸形状のみの接触に起因する高次歪みも発生しなくなり、正確な磁気転写が行われ、耐久性のある長寿命のマスター担体が得られることとなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
しかしながら、図８に示す磁気転写用マスター担体のデータ部の凸形状はサーボパターン部と同じ磁性基板で形成されているので、このままであれば磁気転写時にデータ部にも磁気転写が行われることになってしまうので好ましくない。
したがって、磁気転写時にデータ部については磁気転写しないような何らかの工夫が必要となる。例えば、サーボパターン部とデータ部と同期を取ってサーボパターン部を通過中は磁界を与え、データ部を通過中は磁界を与えないといった工夫が必要となるが、この制御が複雑であり面倒である。
【００１９】
また、図７および図８に示す磁気転写用マスター担体について共通に言えることであるが、両者ともサーボパターン部凸形状とデータ部との境に半径方向に貫通した凹部が存在していないことである。
このように、データ部の凸形状がサーボパターン部と同じ非磁性基板で同じ高さに形成されていると、マスター担体とスレーブ媒体が隙間なく密着できるといった転写時の密着効果が得られるものの、その他の機能、たとえばスレーブ媒体から染み出た潤滑剤などを吸収するクリーニング機能などは当然有していなかった。
【００２０】
また、平坦なマスター担体と平坦なスレーブ媒体を重ね合わせても、常に全面に亘って完全に密着するとは限らず、空気の排出の遅かった部位などには空気の溜まった孤島ができてしまい、逆にこれで磁気転写不良となるおそれがあったが、図７および図８に示す磁気転写用マスター担体ではこの空気を逃がすことができなかった。
【００２１】
本発明はこのような問題に鑑みなされたもので、スレーブ媒体に転写される磁気情報に信号抜けが発生しない良好な磁気転写を可能とする耐久性に優れ、長寿命のマスター担体であって、しかもスレーブ媒体から染み出た潤滑剤などを吸収するクリーニング機能および滞留空気の生じにくい磁気転写用マスター担体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
上記課題を解決するため、請求項１記載の磁気転写用マスター担体は、データ部と面内磁気記録媒体に転写すべきプリフォーマット信号情報に応じてトラック方向に配列されたパターン状の凹凸形状を有するサーボパターン部とを備えて成る磁気転写用マスター担体において、前記データ部に、前記サーボパターン部の材料とは異なる材料から成る凸形状を形成したことを特徴とする。
【００２３】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の磁気転写用マスター担体において、前記異なる材料がカーボン系又はクロム系材料であることを特徴とする。
【００２４】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の磁気転写用マスター担体において、前記データ部の凸形状が成膜により形成されたことを特徴とする。
【００２５】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体において、前記データ部の凸形状の高さが前記サーボパターン部の凸形状の高さの０．６〜１．４倍であることを特徴とする。
【００２６】
請求項５記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体において、前記データ部の凸形状は部分的に非磁性材料で形成したことを特徴とする。
【００２７】
請求項６記載の発明は、請求項１〜５のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体において、前記サーボパターン部とデータ部との凸形状の間に未成膜部が形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２８】
データ部にサーボパターン部の材料とは異なる材料、例えばカーボン系材料を用いて凸形状を成膜することにより、マスター担体・スレーブ媒体接触時、プリフォーマット信号凸部に加えて、データ部の凸形状がスレーブ媒体と接触するため、マスター担体変形を著しく低減することができる。成膜で凸形状を形成するので、凸形状の材料の選択幅が広がる。
【００２９】
また、スレーブ媒体であるハードディスク等の媒体には潤滑剤が使われているので、この潤滑剤がマスター担体と何回も接触を繰り返すうちにマスター担体側に移ってしまい、これがゴミ（コンタミ）となってしまったが、本発明により設けられたカーボンの膜でデータ部に成膜された凸形状部分でこれらのゴミを吸収させるクリーニング機能を持たせることができる。
【００３０】
サーボパターン部とデータ部との凸形状の間に未成膜部が形成されたので、スレーブ媒体と密着させる際に、残留空気が未成膜部を通って移動でき、端部から吸引されることができるので、結果的にスレーブ媒体との密着性を向上させることができる。密着性の向上により、信号抜けの発生を防止して転写信号品位を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態を詳細に説明する。まず、マスター担体を用いてスレーブ媒体へ情報を転写する磁気転写の基本工程を図１および図２に基づき説明する。
【００３２】
図１は、スレーブ媒体２とマスター担体３、４とを示す斜視図である。スレーブ媒体２は、例えば、円盤状の記録メディア２ａの中心部にハブ２ｂが固着されてなるフレキシブルディスクであり、記録メディア２ａはフレキシブルなポリエステルシート等の非磁性体からなる円盤状のベース２ｃの両面に磁性体層が形成された記録面２ｄ、２ｅを有するものである。
【００３３】
また、マスター担体３、４は、剛体により円環状ディスクに形成され、その片面に前記スレーブ媒体２の記録面２ｄ、２ｅに密着される微細凹凸パターンが形成されてなる転写情報担持面を有するものである。マスター担体３，４はそれぞれスレーブ媒体２の下側記録面２ｄ、上側記録面２ｅ用の凹凸パターンが形成されている。凹凸パターンは、マスター担体３を例に挙げると、図中点線で囲まれたドーナツ型の領域に形成されている。
なお、図１に示すマスター担体３、４は、凹凸パターンが形成された基板３１、４１とその凹凸パターン上に形成された軟磁性層３２、４２とから構成されるが、基板３１、４１がＮｉなどによる強磁性体である場合には、図６，図８のように、基板のみで磁気転写可能であり、必ずしも磁性層３２、４２（軟磁性層）を被覆しなくてもよい。但し、転写特性の良い磁性層を設けることでより良好な磁気転写を行うことができる。なお、図７の非磁性基体５１のように、基板が非磁性体の場合は磁性層を設ける必要がある。
【００３４】
また、強磁性金属による基板を用い、その凹凸パターン面に磁性層を被覆する場合には、基板の磁性の影響を断つために、基板と磁性層との間に非磁性層を設けることが好ましい。さらに最上層にダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護膜を被覆すれば、この保護膜により接触耐久性が向上し多数回の磁気転写が可能となる。さらにはＤＬＣ保護膜の下層にＳｉ膜をスパッタリング等で形成するようにしてもよい。
【００３５】
図２は、この磁気転写の基本工程を説明するための図であり、図２（ａ）は磁場を一方向に印加してスレーブ媒体を初期直流磁化する工程、（ｂ）はマスター担体とスレーブ媒体とを密着して反対方向磁界を印加する工程、（ｃ）は磁気転写後の状態をそれぞれ示す図である。なお、図２においてスレーブ媒体２についてはその下面記録面２ｄのみを示している。
【００３６】
図２(ａ)に示すように、予めスレーブ媒体２に初期磁界Ｈinをトラック方向の一方向に印加して初期磁化(直流消磁)を施しておく。その後、図２(ｂ)に示すように、このスレーブ媒体２の記録面２ｄとマスター担体３の基板３１の微細凹凸パターンに磁性層３２が被覆されてなる情報担持面とを密着させ、スレーブ媒体２のトラック方向に前記初期磁界Ｈinとは逆方向に転写用磁界Ｈduを印加して磁気転写を行う。その結果、図２(ｃ)に示すように、スレーブ媒体２の磁気記録面（トラック）にはマスター担体３の情報担持面の凹凸パターンに応じた情報（例えばサーボ信号）が磁気的に転写記録される。ここでは、スレーブ媒体２の下側記録面２ｄと下側マスター担体３とについて説明したが、図１に示すように、スレーブ媒体２の上側記録面２ｅについても上側マスター担体４と密着させて同様に磁気転写を行う。スレーブ媒体２の上下記録面２ｄ、２ｅへの磁気転写は同時になされてもよいし、片面ずつ順次なされてもよい。
【００３７】
また、マスター担体３の凹凸パターンが図２のポジパターンと逆の凹凸形状のネガパターンの場合であっても、初期磁界Ｈinの方向および転写用磁界Ｈduの方向を上記と逆方向にすることによって同様の情報を磁気的に転写記録することができる。なお、初期磁界および転写用磁界は、スレーブ媒体の保持力、マスター担体およびスレーブ媒体の比透磁率を勘案して定められた値を採用する必要がある。
【００３８】
次に、本発明の第１の実施の形態に係るマスター担体に形成される凹凸パターンについて説明する。
図３は本発明の第１の実施形態に係る磁気転写用マスター担体を用いてスレーブ媒体に磁気転写を行う状態を示す断面図で、（ａ）は転写前、（ｂ）は転写中である。
図において、Ｍ３は第１の実施形態に係る磁気転写用マスター担体、Ｓはスレーブ媒体、Ｓ１，Ｓ２はサーボパターン部、Ｄ１，Ｄ２はデータ部である。そしてＣ３は本発明によって設けられた凸形状で、これをサーボパターン部の材料とは異なる材料で形成した点が特徴である。マスター基板はここではＮｉが用いられており、したがって凹凸パターン上に特に磁性層を設けることはしていない。しかし転写特性を向上させたければさらに磁性層を設けることは適宜行なってよい。
【００３９】
図から判るように、この磁気転写用マスター担体Ｍはデータ部Ｄ１，Ｄ２の領域にサーボパターン部の材料とは異なる材料による凸形状Ｃを備えていて、サーボパターン部Ｓ１，Ｓ２の凸形状と同じ高さとなっており、スレーブ媒体Ｓと重ねた場合、スレーブ媒体Ｓとの間に空気層ができないようになる。したがって、図３（ａ）の状態で、磁気転写用マスター担体Ｍとスレーブ媒体とを接触させ、更に加圧してかつ両者間の空気抜きをしても、図３（ｂ）のように凸形状Ｃが介在するので、磁気転写用マスター担体Ｍのいずれの部位も湾曲変形は生じない。
よって、図６の場合のようなプリフォーマット信号凸形状のみの接触に起因する高次歪みも発生しなくなり、正確な磁気転写が行われ、耐久性のある長寿命のマスター担体が得られる。しかも、サーボパターン部Ｓ１，Ｓ２に凸形状が形成されているので、磁性部と非磁性部の境界が明確になり、また磁性粉が凹部に付着しても正確な磁気転写の妨げとはならない。
【００４０】
また、データ部の凸形状は、高さがサーボパターン部の凸形状の高さの０．６〜１．４倍であるのが望ましい。０．６倍以下であれば、高次歪み発生の可能性が生じ、正確な磁気転写が困難となる。また、１．４倍以上になると、逆にサーボパターン部の凸形状がスレーブ媒体に確実に接触できなくなり、正確な磁気転写が困難となる。
【００４１】
次に、本発明の第２の実施の形態にかかるマスター担体について説明する。
第２の実施の形態によれば、データ部のカーボンの凸形状を成膜により形成するものである。図４はデータ部にカーボンの成膜を形成する際に用いられるマスクの１例である。
図において、Ｋはマスク、Ｄ１’，Ｄ２’，Ｄ３’，Ｄ４’，Ｄ５’，・・・はデータ部にカーボンのパターンを形成するための開口部である。図では見易くするために、各領域を広く描いているが、実際は１つの領域は中心角で２度弱程度である。図５に示した磁気転写用マスター担体Ｍのデータ部Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，・・・よりも、開口部Ｄ１’，Ｄ２’，Ｄ３’，Ｄ４’，Ｄ５’，・・・の方が若干角度は狭くなっている（理由は第４の実施の形態で詳述）。
【００４２】
カーボン層の成膜は、図５に示した磁気転写用マスター担体Ｍの上にこのマスクＫを重ねて、プラズマ重合又はスパッタリングプロセスにより成膜することができる。
【００４３】
次に、本発明の第３の実施の形態にかかるマスター担体について説明する。
第３の実施の形態では、データ部の凸形状を部分的に非磁性材料、特にカーボン系材料で形成した点が特徴である。非磁性材料による凸形状であるので、転写に影響を与えずに磁気転写用マスター担体Ｍの湾曲変形を防止でき、よって図６の場合のようなプリフォーマット信号凸形状のみの接触に起因する高次歪みも発生しなくなった。
また、基板と同じ材料でできている図８のデータ部凸形状Ｔ１と違って、この凸形状Ｃはカーボン層でできているので、スレーブ媒体であるハードディスク等の媒体に使用される潤滑剤がマスター担体側に移ってゴミとなっても、カーボンの吸着作用を利用して、その凸形状ＣでこれらのゴミＪを吸収させるので、クリーニング機能を発揮し、常にマスター担体が清潔に保たれるという副次的で大きな効果が得られる。
【００４４】
カーボン系材料としては、例えば、カーボン膜やＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）膜を付与し、成膜の条件を変えて凸形状の表面エネルギ（約６０〜６５[ｍＮ／ｍ]）を周囲よりも変化させることでスレーブ媒体潤滑剤やコンタミの付着量を低減するなどが可能となる。
【００４５】
以上は、データ部の凸形状として、カーボン系材料を用いる例を示したが、他にクロム系材料で形成することも可能である。この場合、カーボン系材料と比較して薄膜が剥がれ難い性質を持つため、マスター・スレーブ間の繰り返し接触によるコンタミ抑制といった効果が期待される。
【００４６】
次に、本発明の第４の実施の形態にかかるマスター担体について説明する。
第４の実施の形態は、サーボパターン部とデータ部との凸形状の間に未成膜部を形成した点が特徴である。図５に示した磁気転写用マスター担体Ｍのデータ部Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，・・・よりも、図５に示したマスクの開口部Ｄ１’，Ｄ２’，Ｄ３’，Ｄ４’，Ｄ５’，・・・の方が若干角度が狭くなっている。こうすることにより、このマスクＫを図５に示した磁気転写用マスター担体Ｍに重ねて、プラズマ重合で成膜した場合、例えば、データ部Ｄ１の扇状の両端の半径方向には成膜がなされないことになり、ここだけカーボン成膜の無い凹部となる。このようにプリフォーマット信号部とデータ凸形状部の間に最内周から最外周にかけて連続した凹部が形成されるので、この凹部がマスター担体・スレーブ媒体接触時に滞留した空気の空気抜き効果を持つことになる。
したがって、スレーブ媒体と密着させる際に、残留空気が未成膜部を通って移動でき、端部から吸引されることができ、結果的にスレーブ媒体との密着性を向上させることができる。密着性の向上により、信号抜けの発生を防止して転写信号品位を高めることができる。
【実施例１】
【００４７】
上記手法により作製したマスター担体を用いて、マスター担体・スレーブ媒体間の繰り返し接触耐久性評価を実施した。評価には、マスター担体・スレーブ媒体間に１２０ｋｇ程度の力で繰り返し接触させる方法を用い、スレーブ媒体には、一般的なハードディスク媒体（２．５インチ、３，５００Ｏｅ）を用いた。
上記繰り返し接触を１万回実施し、従来マスター担体と本発明を基に作製した磁気転写媒体の信号出力推移を示す。従来マスター担体で作製した媒体が約１千回で出力低下が見られるのに対し、本発明を基に作製した媒体は約６千回でも出力低下が見られなかった。
よって、本発明による手段が、磁気転写方法の品質及び耐久性向上に有効な手段であることが確認できた。
【００４８】
以上のように、本発明によれば、スレーブ媒体に転写される磁気情報に信号抜けが発生しない良好な磁気転写を可能とする耐久性に優れ、長寿命のマスター担体を提供することはもちろん、その他、スレーブ媒体から染み出た潤滑剤などを吸収するクリーニング機能、および滞留空気できにくい磁気転写用マスター担体が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】スレーブ媒体２とマスター担体３、４とを示す斜視図である。
【図２】この磁気転写の基本工程を説明するための図であり、図２（ａ）は磁場を一方向に印加してスレーブ媒体を初期直流磁化する工程、（ｂ）はマスター担体とスレーブ媒体とを密着して反対方向磁界を印加する工程、（ｃ）は磁気転写後の状態をそれぞれ示す図である。
【図３】本発明の第１の実施形態に係る磁気転写用マスター担体を用いてスレーブ媒体に磁気転写を行う状態を示す断面図で、（ａ）は転写前のマスター形状、（ｂ）は転写中のマスター形状である。
【図４】データ部にカーボンの成膜を形成する際に用いられるマスクの１例である。
【図５】磁気転写用マスター担体のサーボパターン部とデータ部の配置関係を説明する平面図である。
【図６】従来の磁気転写用マスター担体を用いてスレーブ媒体に磁気転写を行う状態を示す断面図で、（ａ）は転写前のマスター形状、（ｂ）は転写中のマスター形状である。
【図７】特許文献１および２に共通する磁気転写用マスター担体の断面図である。
【図８】先行発明に係る磁気転写用マスター担体を用いてスレーブ媒体に磁気転写を行う状態を示す断面図で、（ａ）は転写前、（ｂ）は転写中である。
【符号の説明】
【００５０】
２  スレーブ媒体
３，４  マスター担体
３１，４１  凹凸パターンが形成されたマスター基板
３２、４２  軟磁性層
Ｍ３  第１の実施形態に係る磁気転写用マスター担体
Ｓ  スレーブ媒体
Ｓ１・・・  サーボパターン部
Ｄ１・・・  データ部
Ｃ３  カーボン層による凸形状
Ｋ  マスク
Ｄ１’・・・  開口部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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