(57)【要約】【課題】  低駆動電力の大きな偏向角を得ることができる光偏向装置を提供する。【解決手段】  コーナーキューブを有する。【選択図】  図１
2005181927.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
反射面を備えた可動部を揺動軸を中心に揺動させることで前期可動部に入射する光ビームを偏向させる光偏向装置であって、集光作用を有する集光素子と互いに直交する複数の反射面を有するミラー群とを備え、揺動している可動部を反射した光ビームが再び可動部に戻るように前記集光素子および前記ミラー群が配置されていることを特徴とする光偏向装置。
【請求項２】
前記集光素子および前記ミラー群によって共役関係にある２点が空間上で概略一致している、すなわち、ある一点からの光が前記集光素子を通り前記ミラー群で反射され再び前記集光素子を通ってもう一度最初の点に戻る、ように前記集光素子および前記ミラー群が配置されており、かつ、前記可動部の中心が前記共役関係にある点と概略一致するように前記可動部が配置されていることを特徴とする請求項１に記載の光偏向装置。
【請求項３】
前記可動部の中心が前記集光素子の前側焦点位置にあり、前記ミラー群の各反射面が交わる点または線が前記集光素子の後側焦点位置にあることを特徴とする請求項２に記載の光偏向装置。
【請求項４】
前記ミラー群が互いに直交する３つの反射面を有していることを特徴とする請求項３に記載の光偏向装置。
【請求項５】
前記ミラー群がコーナーキューブプリズムの直交する３つの反射面からなることを特徴とする請求項４に記載の光偏向装置。
【請求項６】
前記ミラー群が直交する２つの反射面を有しており、前記２つの反射面が交わる線が前記可動部の揺動軸の方向と平行になるように前記ミラー群が配置されており、前記可動部の揺動軸の方向と垂直になるように可動部に入射する光ビームの入射方向が定められていることを特徴とする請求項３に記載の光偏向装置。
【請求項７】
前記集光素子が集光レンズからなることを特徴とする請求項２から６の何れかに記載の光偏向装置。
【請求項８】
前記集光素子が凹面鏡からなることを特徴とする請求項２から６の何れかに記載の光偏向装置。
【請求項９】
前記集光素子と前記ミラー群とが一体成形されていることを特徴とする請求項２から７の何れかに記載の光偏向装置。
【請求項１０】
ひとつの可動部に対して前記集光素子と前記ミラー群とで構成される光学系が複数配置されていることを特徴とする請求項１から９の何れかに記載の光偏向装置。
【請求項１１】
反射面を備えた可動部を２つの揺動軸を中心に揺動させることが可能なジンバル構造を有することを特徴とする請求項１から１０の何れかに記載の光偏向装置。
【請求項１２】
前記光ビームは複数の波長の光を合波して形成されており、前記集光素子は色収差補正構造を有していることを特徴とする請求項１から１１の何れかに記載の光偏向装置。
【請求項１３】
請求項１から１２の何れかに記載の光偏向装置を用いることを特徴とする画像表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザービーム等の光を反射させて光偏向を行う光偏向装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複写機やレーザービームプリンター、バーコードリーダー等の光学機器、あるいはレーザー光を走査して映像を投影する画像表示装置などでは光偏向器が用いられている。
【０００３】
一般に、機械的に光偏向を行う光偏向器としては、回転多面鏡からなるポリゴンミラーや揺動型反射鏡からなるガルバノミラーなどが知られている。特にガルバノミラータイプにおいては、マイクロメカニクス技術によってシリコン基板を用いたマイクロミラーが開発されており、小型化、軽量化、低コスト化が期待できる。
【０００４】
このようなガルバノミラーの駆動方式としては、静電引力を用いた静電駆動方式やコイルに電流を流して磁場を発生させる電磁駆動方式、圧電素子によって振動を与える圧電駆動方式などがある。いずれの方式でも光偏向角を大きくするためには大きな駆動電力を必要とする。また、そのガルバノミラーの機械的限界からミラー自体の偏向角が制限されるため、その限界以上の大きな光偏向角は得られない。さらに、機械的限界に近い偏向角で駆動を続けることは耐久性に問題がある。
【０００５】
そのため、例えば特許文献１には低駆動電力で大きな光偏向角を得る例が開示されている。図１４はその代表的な構成例を示す図である。この例では、振動部１５、１７上に設けられた２つの反射ミラー１９、２０の間で光ビームを多重反射させることで光偏向角を拡大するものである。
【特許文献１】特開２００１−６６５２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、上記の光偏向器では光ビームを多重反射させているため反射ミラーの面積を大きくする必要がある。必然的に揺動させる振動部の面積も大きくなるので駆動電力が増大するという課題がある。
【０００７】
そこで、本発明では低駆動電力で大きな光偏向角が得られ、高周波数走査が可能で耐久性に優れた光偏向装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明は、反射面を備えた可動部を揺動軸を中心に揺動させることで前期可動部に入射する光ビームを偏向させる光偏向装置であって、集光作用を有する集光素子と互いに直交する複数の反射面を有するミラー群とを備え、揺動している可動部を反射した光ビームが再び可動部に戻るように前記集光素子および前記ミラー群が配置されていることを特徴としている。
【０００９】
より具体的には、前記集光素子および前記ミラー群によって共役関係にある２点が空間上で概略一致している、すなわち、ある一点からの光が前記集光素子を通り前記ミラー群で反射され再び前記集光素子を通ってもう一度最初の点に戻る、ように前記集光素子および前記ミラー群が配置されており、かつ、前記可動部の中心が前記共役関係にある点と概略一致するように前記可動部が配置されていることを特徴としている。
【００１０】
また、前記可動部の中心が前記集光素子の前側焦点位置にあり、前記ミラー群の各反射面が交わる点または線が前記集光素子の後側焦点位置にあることを特徴としている。具体的には、前記ミラー群が互いに直交する３つの反射面を有していたりする。また、前記ミラー群がコーナーキューブプリズムの直交する３つの反射面から構成されていたりする。また、前記ミラー群が直交する２つの反射面を有しており、前記２つの反射面が交わる線が前記可動部の揺動軸の方向と平行になるように前記ミラー群が配置されており、前記可動部の揺動軸の方向と垂直になるように可動部に入射する光ビームの入射方向が定められていたりする。また、前記集光素子が集光レンズ、あるいは凹面鏡からなることを特徴としている。
【００１１】
また、前記集光素子と前記ミラー群とが一体成形されていることを特徴としている。
さらに、ひとつの可動部に対して前記集光素子と前記ミラー群とで構成される光学系が複数配置されていることを特徴としている。
【００１２】
さらに、反射面を備えた可動部を２つの揺動軸を中心に揺動させることが可能なジンバル構造を有することを特徴としている。
【００１３】
さらに、前記集光素子が色収差補正構造を有していることを特徴としている。
【００１４】
本発明はまた、上記記載の光偏向装置を用いることを特徴とする画像表示装置を含む。
【００１５】
以上が本発明の構成要素であり、その詳細は以下に記載する。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明によると、低駆動電力で大きな光偏向角が得られ、高周波数走査が可能で耐久性に優れた光偏向装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明による光偏向装置は、反射面を備えた可動部を揺動軸を中心に揺動させることで前期可動部に入射する光ビームを偏向させる光偏向装置であって、集光作用を有する集光素子と互いに直交する複数の反射面を有するミラー群とを備え、揺動している可動部を反射した光ビームが再び可動部に戻るように前記集光素子および前記ミラー群が配置されている。
【００１８】
図１、２を用いてその動作を説明する。図１は斜視図、図２は側面図である。図中１０１は光ビーム、１０３は反射面を備えた可動部を揺動軸を中心に揺動させることが可能なガルバノミラー、１０５は集光作用を有する集光素子として用いているガルバノミラー１０３からの反射光を集光させる集光レンズ、１０７は互いに直交する複数の反射面を有するミラー群として用いている互いに直交する３つの反射面１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃからなるコーナーキューブミラーである。
【００１９】
コーナーキューブミラー１０７の３つの反射面が交わる交点が集光レンズ１０５の後側焦点（像側焦点）に位置するように配置しておく。この場合、集光レンズ１０５の前側焦点（物体側焦点）からの光は集光レンズ１０５を通過し、３つの反射面１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃで反射し、再び集光レンズ１０５を通過して集光レンズ１０５の前側焦点に戻ることになる。すなわち、集光レンズ１０５の前側焦点は集光レンズ１０５、コーナーキューブミラー１０７通過後の同一点と共役な関係にある。この位置にガルバノミラー１０３の中心を配置する。
【００２０】
このような配置にすることで、ガルバノミラー１０３を揺動させた場合においてもその反射光は再びガルバノミラー１０３に戻る。その結果、ガルバノミラー１０３の機械的偏向角度をφとすると、第１段目の反射で光偏向角は２φ、第２段目の反射で光偏向角は４φとなる。
【００２１】
図１、２では模式的に光ビームを幅を持たない直線で示したが、実際はある幅を持っている。その場合の光ビームの進行の様子を図３に示す。ある幅を持った並行光で入射した光ビーム１０１はガルバノミラー１０３で反射され、集光レンズ１０５で集束光に変換される。その後３つの反射面１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃで反射されるが、その途中で焦点を結び発散光となり、集光レンズ１０５によって平行光に変換されてガルバノミラー１０３に到達する。この関係はガルバノミラー１０３を揺動させた場合も成立する。
【００２２】
第１段目の反射も、第２段目の反射もガルバノミラー１０３の同じ面を用いているのでミラーの面積を大きくする必要はない。
【００２３】
本発明によれば、１回反射による偏向の場合と同じ駆動電力で光偏向角を２倍にできる。言い換えれば、所定の光偏向角を得るための駆動電力は１回反射による偏向の場合に比べ小さくできる。また、ガルバノミラー１０３の機械的偏向角は半分でよいので耐久性が向上する。
【００２４】
一般に、高周波数走査と大偏向角を両立することは駆動電力の問題とガルバノミラーの機械的強度の問題で制約が大きいが、本発明によれば、ガルバノミラーの機械的偏向角は小さくできるので高周波数走査にも有利である。
【００２５】
本発明において、集光作用を有する集光素子としては凹面鏡であってもよい。この場合、例えば、複数の波長の光を合波した光ビームを用いていることを想定すると、レンズでは色収差を考慮する必要があるが、凹面鏡を用いた場合は収差が発生しないので設計上有利である。もちろん、集光レンズを用いる場合でも、その色収差を考慮して複数のレンズ群で構成したり、回折型光学素子を含んだレンズ群を用いることで色収差補正を行ったりしてもよい。
【００２６】
また、互いに直交する複数の反射面を有するミラー群としては、２つの直交する反射面からなる直角ミラーを用いてもよい。
【００２７】
また、集光作用を有する集光素子と互いに直交する複数の反射面を有するミラー群を一体成形してもよい。
【００２８】
さらに、前記集光素子と前記ミラー群とで構成される光学系を複数配置しておいてもよい。この場合、ひとつのガルバノミラーを３回以上反射させることができるのでさらなる光偏向角の拡大が可能となる。
【００２９】
また、ガルバノミラーの駆動方式としては、静電駆動方式、電磁駆動方式、圧電駆動方式などいずれの方式を用いてもよい。
【００３０】
さらに、ジンバル構造のガルバノミラーを用いてもよい。この場合でもガルバノミラーの同じ反射面を２回以上反射させることが可能であり本発明の効果は十分発揮される。
【００３１】
本発明の光偏向装置はいろいろな光学機器に用いることが可能である。例えば、光ビームを２次元上に走査して画像を形成する画像表示装置に応用した場合、形成される画像の解像度は光偏向角に比例するので高解像度の画像形成が可能な画像表示装置を実現することができる。
【００３２】
以上が本発明の実施形態であり、その詳細は以下の実施例で説明する。
【実施例１】
【００３３】
以下、本発明の第１の実施例について図面を用いて説明する。
【００３４】
図１、２は、本発明の第１の実施例における光偏向装置の模式的な構成図であり、図１は斜視図、図２は側面図である。
【００３５】
図中１０１は光ビーム、１０３は反射面を備えた可動部を揺動軸を中心に揺動させることが可能なガルバノミラー、１０５は集光作用を有する集光素子として用いているガルバノミラー１０３からの反射光を集光させる集光レンズ、１０７は互いに直交する複数の反射面を有するミラー群として用いている互いに直交する３つの反射面１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃからなるコーナーキューブミラーである。
【００３６】
ガルバノミラー１０３はシリコン基板をマイクロメカニクス技術によって加工することで形成されたものであり、その大きさは軸方向に１．０ｍｍ、その垂直方向に１．５ｍｍ、厚さ０．２５ｍｍと小型形状となっている。反射面にはＡｌとＳｉＯ２からなる高反射膜が形成されている。また、図示していないが、ミラーの近傍には駆動のための磁場を与えるコイルが設けられており、マイクロミラーの裏面には磁石が装着されている。コイルに正弦波形状の電流を注入することでガルバノミラー１０３は揺動駆動される。
【００３７】
集光レンズ１０５は焦点距離３０ｍｍの単レンズを用いている。コーナーキューブミラー１０７は表面にＡｌとＳｉＯ２からなる高反射膜を形成した３枚のミラーを互いに直角になるように組み合わせたもので中空となっている。
【００３８】
コーナーキューブミラー１０７は、その３つの反射面が交わる交点が集光レンズ１０５の後側焦点（像側焦点）に位置するように配置されており、ガルバノミラー１０３は、その中心が集光レンズ１０５の前側焦点（物体側焦点）に位置するように配置されている。
【００３９】
このような配置にすることで、ガルバノミラー１０３を揺動させた場合においてもその反射光は再びガルバノミラー１０３に戻る。その結果、ガルバノミラー１０３の機械的偏向角度を±φとすると、第１段目の反射で光偏向角は±２φ、第２段目の反射で光偏向角は±４φとなる。
【００４０】
コーナーキューブミラーを用いた場合、角度ずれに強いという利点がある。３つの反射面が交わる交点が集光レンズ１０５の後側焦点に位置するという条件を満たしていれば、集光レンズ１０５の主軸に対して角度ずれがあったり主軸を中心に回転していたりしてもよい。
【００４１】
図１、２では模式的に光ビーム１０１を幅を持たない直線で示したが、実際はある幅を持っている。その場合の光ビーム１０１の進行の様子を図３に示す。ある幅を持った並行光で入射した光ビーム１０１はガルバノミラー１０３で反射され、集光レンズ１０５で集束光に変換される。その後３つの反射面１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃで反射されるが、その途中で焦点を結び発散光となり、集光レンズ１０５によって平行光に変換されてガルバノミラー１０３に到達する。この関係はガルバノミラー１０３を揺動させた場合も成立する。本実施例では、約０．８ｍｍのビーム幅を持った平行光を入射している。
【００４２】
第１段目の反射も、第２段目の反射もガルバノミラー１０３の同じ面を用いているのでミラーの面積を大きくする必要はない。
【００４３】
入射した光ビームと２段反射後の走査光ビームの位置関係を示すために、入射した光ビームに垂直な仮想的な面で切り出した各光ビームの位置を図４に示す。１１１が入射した光ビームに対応する位置であり、１１３が走査光ビームに対応する位置である。本実施例では、揺動軸の方向と垂直になるようにガルバノミラー１０３に入射する光ビーム１０１の入射方向を定めているため、入射した光ビームに対応する位置１１１と走査光ビームに対応する位置１１３が一直線上に並んでいる。
【００４４】
以上のように構成された本実施例の光偏向装置を、駆動周波数１５ｋＨｚ、機械的偏向角±２．５°で駆動したところ、±１０°の光偏向角が得られた。そのときの駆動電力は０．５Ｗであった。比較のため、１回反射による光偏向装置の場合（図１の集光レンズ１０５とコーナーキューブミラー１０７を除去した状態）で同様の光偏向角を得るためには１Ｗ必要であった。よって低駆動電力化を確認できた。
【００４５】
また、本実施例では入射する光ビームと走査光ビームがガルバノミラーに対して同じ側に位置している。そのため、本装置を筐体に実装する場合、筐体の隅にコーナーキューブミラーを配置させることが可能であり、筐体の体積を有効利用することができる。
【００４６】
加えて、本実施例において、コーナーキューブミラー（中空）のかわりにガラスで構成されたコーナーキューブプリズムを用いてもよい。その場合、直交する３面への入射角が全反射条件となるように光学系を構成しておくか、もしくは、直交する３面にＡｌ膜などの反射膜を形成しておいてもよい。コーナーキューブプリズムを用いる場合はガラスでの屈折によって集光レンズの後側焦点の位置が変わることに配慮して配置を決めておけばよい。
【実施例２】
【００４７】
以下、本発明の第２の実施例について図面を用いて説明する。
【００４８】
図５、６は、本発明の第２の実施例における光偏向装置の模式的な構成図であり、図５は斜視図、図６は側面図である。第１の実施例との違いは、コーナーキューブミラー１０７の代わりに直交する２つの反射面２０９ａ、２０９ｂからなる直角ミラー２０７を配置したことである。その他の構成は第１の実施例とほとんど同様であり詳細の説明は省略する。同一構成部材には同一番号を付加する。
【００４９】
本実施例においては、２つの反射面２０９ａ、２０９ｂが交わる線が集光レンズ１０５の後側焦点（像側焦点）に位置するように、かつ、ガルバノミラー１０３の揺動軸の方向と平行になるように直角ミラー２０７が配置されており、揺動軸の方向と垂直になるようにガルバノミラー１０３に入射する光ビーム１０１の入射方向を定めておく。
【００５０】
光ビーム１０１の進行の様子を図７に示す。第１の実施例と同様、ある幅を持った並行光で入射した光ビーム１０１はガルバノミラー１０３で反射され、集光レンズ１０５で集束光に変換される。その後２つの反射面２０９ａ、２０９ｂで反射されるが、その途中で焦点を結び発散光となり、集光レンズ１０５によって平行光に変換されてガルバノミラー１０３に到達する。
【００５１】
本実施例では、コーナーキューブミラーに比べて直角ミラーのほうが製造が簡単であるため低コスト化の上で有利である。
【実施例３】
【００５２】
以下、本発明の第３の実施例について図面を用いて説明する。
【００５３】
図８は、本発明の第３の実施例における光偏向装置の模式的な構成図（斜視図）である。第１の実施例との違いは、集光レンズ１０５、コーナーキューブミラー１０７の代わりに一体成形したレンズ体３０１を配置していることである。ここではこのレンズ体をコーナーキューブレンズと呼ぶ。その他の構成は第１の実施例とほとんど同様であり詳細の説明は省略する。同一構成部材には同一番号を付加する。
【００５４】
コーナーキューブレンズ３０１は３角錐形状のコーナーキューブプリズムの直交する３つの面以外の１面に所定の曲率を有する曲面３０３を形成したものである。
【００５５】
本実施例においては、第１の実施例と比べ、構成部材が少なくなっているため小型化することができる。
【実施例４】
【００５６】
以下、本発明の第４の実施例について図面を用いて説明する。
【００５７】
図９、１０は、本発明の第４の実施例における光偏向装置の模式的な構成図であり、図９は側面図、図１０は上面図である。第１の実施例との違いは、ガルバノミラー１０３に入射する光ビームの角度を変えたことである。その他の構成は第１の実施例とほとんど同様であり詳細の説明は省略する。同一構成部材には同一番号を付加する。
【００５８】
本実施例では、ガルバノミラー１０３に入射する光ビーム４０１を、図１０の上面図において、ガルバノミラー１０３の揺動軸の垂直方向に対して角度αだけ傾けて入射している。
【００５９】
この場合でもガルバノミラー１０３で反射された光ビームは集光レンズ１０５およびコーナーキューブミラー１０７を通過して再びガルバノミラー１０３に戻って２段目の反射を受けることになる。このことは、入射する光ビームの角度が所定角度からずれてガルバノミラー１０３に入射した場合でも光偏向装置として機能することを意味する。
【００６０】
本実施例において、ガルバノミラー１０３の機械的偏向角度を±φとすると、第２段目の反射後の光偏向角は±４φ・ｃｏｓαとなる。
【００６１】
入射した光ビームと２段反射後の走査光ビームの位置関係を示すために、入射した光ビームに垂直な仮想的な面で切り出した各光ビームの位置を図１１に示す。４０３が入射した光ビームに対応する位置であり、４０５が走査光ビームに対応する位置である。
【００６２】
走査光ビームに対応する位置４０５は入射した光ビームに対応する位置４０３と異なった領域に存在しており、入射光ビームと走査光ビームが干渉することはない。したがって、第１の実施例と比べ、光偏向角を大きくできる、光源などの光学系を構成する要素（光源など）を配置する上での制約が小さい、といった利点がある。
【００６３】
以上のように構成された本実施例の光偏向装置を、α＝１５°、駆動周波数１５ｋＨｚ、機械的偏向角±２．５°で駆動したところ、±９．６５°の光偏向角が得られた。そのときの駆動電力は０．５Ｗであった。
【実施例５】
【００６４】
以下、本発明の第５の実施例について図面を用いて説明する。
【００６５】
図１２は、本発明の第５の実施例における光偏向装置の模式的な構成図（上面図）である。
【００６６】
本実施例においては、ひとつのガルバノミラー１０３に対して、集光レンズ（５０５、５１１）とコーナーキューブミラー（５０７、５１３）とで構成される光学系を複数配置している。ガルバノミラー１０３と集光レンズ（５０５、５１１）、コーナーキューブミラー（５０７、５１３）の配置は第１の実施例で述べたものと同様であり、コーナーキューブミラー（５０７、５１３）の３つの反射面が交わる交点が集光レンズ（５０５、５１１）の後側焦点に位置するように配置し、集光レンズ（５０５、５１１）の前側焦点位置にガルバノミラー１０３の中心が位置するように配置しておく。
【００６７】
ガルバノミラー１０３に入射した光ビーム５０１は、１段目の反射を受け、集光レンズ５０５を通過し、コーナーキューブミラー５０７の３つの反射面５０９ａ、５０９ｂ、５０９ｃで反射され、集光レンズ５０５を通過し、再びガルバノミラー１０３に戻る。その後、ガルバノミラー１０３で１段目の反射を受け、集光レンズ５１１を通過し、コーナーキューブミラー５１３の３つの反射面５１５ａ、５１５ｂ、５１５ｃで反射され、集光レンズ５１３を通過し、再びガルバノミラー１０３に戻る。その後、３段目の反射を受けて、走査光ビームが形成される。
【００６８】
その結果、ガルバノミラー１０３の機械的偏向角度をφとすると、第３段目の反射で光偏向角は、入射光ビームの入射角度や光学系の配置も依存するが、６φ〜８φとすることができる。
【００６９】
以上のように構成された本実施例の光偏向装置を、駆動周波数１５ｋＨｚ、機械的偏向角±２．５°で駆動したところ、±１７．５°の光偏向角が得られた。そのときの駆動電力は０．５Ｗであった。よって、第１の実施例と比べ、同じ駆動電力で光偏向角を拡大することが可能となった。
【実施例６】
【００７０】
本発明の光偏向装置はいろいろな光学機器に用いることが可能あり、画像表示装置に応用した例を以下に示す。
【００７１】
図１３は、本発明の第６の実施例における画像表示装置の模式的な構成図である。
【００７２】
図中、６０１はレーザー光源、６０３はレーザー光源から発せられた光ビーム、６０５は光変調器である。６０７は第１の実施例で述べたような光偏向装置であり、６０９はガルバノミラー、６１１は集光レンズ、６１３はコーナーキューブミラーである。６１５は第２の光偏向装置であり、６１７はスクリーンである。光偏向装置６０７は画像形成において水平走査を行っており、第２の光偏向装置６１５は垂直走査を行っている。第２の光偏向装置６１５は画像のフレームレート（例えば６０Ｈｚ）で駆動できればよく、図中ではガルバノミラー型の光偏向装置を表しているが、ポリゴンミラー型のものであってもよい。また、光偏向装置６０７と同様の構成としてもよい。
【００７３】
光ビーム６０３は光変調器６０５によって画像信号に対応して強度変調される。その後、光偏向装置６０７、６１５によって水平、垂直走査されスクリーン６１７上に投影される。本実施例中で用いている光偏向装置６０７は大きな光偏向角での駆動が可能である。形成される画像の解像度は光偏向角に比例するので、本実施例の画像表示装置においては、
高解像度の画像形成が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の第１の実施例の光偏向装置の模式的な構成図（斜視図）
【図２】本発明の第１の実施例の光偏向装置の模式的な構成図（側面図）
【図３】本発明の第１の実施例の光ビームの進行の様子を説明する図
【図４】本発明の第１の実施例の入射光ビームと走査光ビームの位置関係を説明する図
【図５】本発明の第２の実施例の光偏向装置の模式的な構成図（斜視図）
【図６】本発明の第２の実施例の光偏向装置の模式的な構成図（側面図）
【図７】本発明の第２の実施例の光ビームの進行の様子を説明する図
【図８】本発明の第３の実施例の光偏向装置の模式的な構成図（斜視図）
【図９】本発明の第４の実施例の光偏向装置の模式的な構成図（側面図）
【図１０】本発明の第４の実施例の光偏向装置の模式的な構成図（上面図）
【図１１】本発明の第４の実施例の入射光ビームと走査光ビームの位置関係を説明する図
【図１２】本発明の第５の実施例の光偏向装置の模式的な構成図（上面図）
【図１３】本発明の第６の実施例の画像表示装置の模式的な構成図
【図１４】従来の光偏向装置の模式的な構成図
【符号の説明】
【００７５】
１０１、４０１、５０１、６０３  光ビーム
１０３、６０９  ガルバノミラー
１０５、５０５、５１１、６１１  集光レンズ
１０７、５０７、５１３、６１３  コーナーキューブミラー
１０９ａ、１０９ｂ、１０９ｃ、２０９ａ、２０９ｂ、３０５ａ、３０５ｂ、３０５ｃ、５０９ａ、５０９ｂ、５０９ｃ、５１５ａ、５１５ｂ、５１５ｃ  反射面
１１１、４０３  入射光ビームに対応する位置
１１３、４０５  走査光ビームに対応する位置
２０７  直角ミラー
３０１  コーナーキューブレンズ
３０３  曲面
６０１  レーザー光源
６０５  光変調器
６０７、６１５  光偏向装置
６１７  スクリーン
【図１】
2005181927.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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