(57)【要約】【課題】大きな駆動力が得られ、かつ被駆動体を微少（微動）送りすることができるとともに、被駆動体を粗（粗動）送りすることもできる駆動装置を提供する。【解決手段】駆動装置１は、振動体２を有し、振動体２は、屈曲可能な本体部２１と、本体部２１の中心軸３１上に設けられ、被駆動体Ｐに当接する接触部２３と、本体部２１の中心軸３１上から外れた位置に、中心軸３１を介して対称に設けられ、電圧を印加することにより変形する励振部２２ａ〜２２ｄとを有している。微少送りモードと、通常送りモードとが設けられており、微少送りモードにおいては、振動体２は、励振部２２ａおよび２２ｃと、２２ｂおよび２２ｄとの一方のみを励振することにより、その一方の変形による応力、すなわち、駆動力と、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力との釣り合いによって屈曲変位し、この屈曲変位により接触部２３を介して被駆動体Ｐを駆動する。【選択図】図１
2005102369.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈曲可能な本体部と、前記本体部の対称軸上に設けられ、被駆動体に当接する接触部と、前記本体部の対称軸上から外れた位置に設けられ、電圧を印加することにより変形する複数の励振部とを有する振動体を備える駆動装置であって、
前記複数の励振部のうちの少なくとも１つの励振部を駆動せずに、この他の励振部を駆動して駆動力を与えることにより、前記振動体は、前記接触部が前記被駆動体から受ける反力との釣り合いによって屈曲変位し、この屈曲変位により前記接触部を介して前記被駆動体を駆動する微少送りモードと、
前記振動体の１回の振動における前記被駆動体の駆動量が前記微少送りモードより大きい通常送りモードとを有することを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記微少送りモードにおいては、前記駆動しない励振部と前記駆動する励振部との組合せを変更することにより、前記被駆動体の駆動方向を変更するよう構成されている請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
屈曲可能な本体部と、前記本体部の対称軸上に設けられ、被駆動体に当接する接触部と、前記本体部の対称軸上から外れた位置に設けられ、電圧を印加することにより変形する複数の励振部とを有する振動体を備える駆動装置であって、
前記複数の励振部のうちの少なくとも１つの励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせることにより、前記振動体は、屈曲変位し、この屈曲変位により前記接触部を介して前記被駆動体を駆動する微少送りモードと、
前記振動体の１回の振動における前記被駆動体の駆動量が前記微少送りモードより大きい通常送りモードとを有することを特徴とする駆動装置。
【請求項４】
前記微少送りモードにおいては、前記歪み量を異ならせる励振部の組合せを変更することにより、前記被駆動体の駆動方向を変更するよう構成されている請求項３に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記微少送りモードにおいては、前記複数の励振部をすべて駆動して前記被駆動体を駆動するよう構成されている請求項３または４に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記微少送りモードにおいては、前記励振部へ印加する電圧値を調整することにより、対応する励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせるよう構成されている請求項３ないし５のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項７】
前記微少送りモードにおいては、前記励振部の変位方向が、前記被駆動体の移動方向に対して略垂直である請求項１ないし６のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項８】
前記微少送りモードにおいては、前記励振部により縦振動を励振するよう構成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項９】
前記微少送りモードにおいては、前記励振部が、縦振動の共振周波数と略等しい周波数にて駆動されるよう構成されている請求項１ないし８のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記通常送りモードにおいては、前記複数の励振部のうちの少なくとも２つの励振部を駆動して、前記振動体に対し、少なくとも屈曲振動を励振するよう構成されている請求項１ないし９のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１１】
前記本体部の対称軸が、前記被駆動体の移動方向に対して略垂直である請求項１ないし１０のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１２】
前記複数の励振部のうちの少なくとも１対の励振部が、前記本体部の対称軸を間に介在させて配置されている請求項１ないし１１のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１３】
前記複数の励振部のうちの少なくとも１対の励振部が、前記本体部の対称軸に対して対称に配置されている請求項１ないし１１のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１４】
前記１対の励振部の間にスリットが設けられている請求項１２または１３に記載の駆動装置。
【請求項１５】
前記励振部は、圧電素子を有する請求項１ないし１４のいずれかに記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の駆動装置には、特許文献１に記載される技術が知られている。従来の駆動装置では、励振部により振動体を直接的に屈曲変位させ、これにより、接触部を介して被駆動体を駆動していた。
しかしながら、前記励振部により振動体を直接的に屈曲変位させて駆動する方式や、縦振動と屈曲振動とを併用し、これらを同時に共振させる方式の従来の駆動装置では、振動体で大きな駆動力を得るには、振動体の振幅を大きくする必要があり、これによって駆動量が大きくなってしまい、被駆動体を微少（微動）送りするのが困難であった。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２３５０６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、大きな駆動力が得られ、かつ被駆動体を微少（微動）送りすることができるとともに、被駆動体を粗（粗動）送りすることもできる駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の駆動装置は、屈曲可能な本体部と、前記本体部の対称軸上に設けられ、被駆動体に当接する接触部と、前記本体部の対称軸上から外れた位置に設けられ、電圧を印加することにより変形する複数の励振部とを有する振動体を備える駆動装置であって、
前記複数の励振部のうちの少なくとも１つの励振部を駆動せずに、この他の励振部を駆動して駆動力を与えることにより、前記振動体は、前記接触部が前記被駆動体から受ける反力との釣り合いによって屈曲変位し、この屈曲変位により前記接触部を介して前記被駆動体を駆動する微少送りモードと、
前記振動体の１回の振動における前記被駆動体の駆動量が前記微少送りモードより大きい通常送りモードとを有することを特徴とする。
【０００６】
この発明によれば、微少送りモードでは、励振部の駆動力と、接触部が被駆動体から受ける反力とによって振動体を間接的に屈曲変位させ、この屈曲変位により接触部を介して被駆動体を駆動する。これにより、大きな駆動力が得られるとともに、被駆動体を微少（微動）送りすることができる。一方、通常送りモードでは、被駆動体を粗（粗動）送りすることができる。このため、汎用性が広い。
【０００７】
また、被駆動体を微少送りするための専用の振動体と、振動体を粗送りするための専用の振動体とを設ける場合と比較し、振動体の数を少なくすることができ、装置全体の小型化および軽量化を図ることができるとともに、コストを低減することができる。
また、少なくとも１対の励振部を本体部の対称軸（中心軸）を間に介在させて配置することにより、対称軸に対して、振動体を正逆両方向に屈曲させ得るので、被駆動体を正逆両方向に駆動することができる。
【０００８】
本発明の駆動装置では、前記微少送りモードにおいては、前記駆動しない励振部と前記駆動する励振部との組合せを変更することにより、前記被駆動体の駆動方向を変更するよう構成されているのが好ましい。
これにより、容易に被駆動体の駆動方向を変更することができる。
本発明の駆動装置は、屈曲可能な本体部と、前記本体部の対称軸上に設けられ、被駆動体に当接する接触部と、前記本体部の対称軸上から外れた位置に設けられ、電圧を印加することにより変形する複数の励振部とを有する振動体を備える駆動装置であって、
前記複数の励振部のうちの少なくとも１つの励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせることにより、前記振動体は、屈曲変位し、この屈曲変位により前記接触部を介して前記被駆動体を駆動する微少送りモードと、
前記振動体の１回の振動における前記被駆動体の駆動量が前記微少送りモードより大きい通常送りモードとを有することを特徴とする。
この発明によれば、微少送りモードでは、励振部の歪み量（伸縮量）の偏り（違い）により振動体に屈曲変位を誘発できるので、より高い駆動力を得ることができる。一方、通常送りモードでは、被駆動体を粗（粗動）送りすることができる。このため、汎用性が広い。
【０００９】
また、被駆動体を微少送りするための専用の振動体と、振動体を粗送りするための専用の振動体とを設ける場合と比較し、振動体の数を少なくすることができ、装置全体の小型化および軽量化を図ることができるとともに、コストを低減することができる。
また、少なくとも１対の励振部を本体部の対称軸（中心軸）を間に介在させて配置することにより、対称軸に対して、振動体を正逆両方向に屈曲させ得るので、被駆動体を正逆両方向に駆動することができる。
【００１０】
本発明の駆動装置では、前記微少送りモードにおいては、前記歪み量を異ならせる励振部の組合せを変更することにより、前記被駆動体の駆動方向を変更するよう構成されているのが好ましい。
これにより、容易に被駆動体の駆動方向を変更することができる。
本発明の駆動装置では、前記微少送りモードにおいては、前記複数の励振部をすべて駆動して前記被駆動体を駆動するよう構成されているのが好ましい。
これにより、さらに高い駆動力を得ることができる。
【００１１】
本発明の駆動装置では、前記微少送りモードにおいては、前記励振部へ印加する電圧値を調整することにより、対応する励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせるよう構成されているのが好ましい。
これにより、容易に、励振部の歪み量を調整（調節）することができ、対応する励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせることができる。
【００１２】
本発明の駆動装置では、前記微少送りモードにおいては、前記励振部の変位方向が、前記被駆動体の移動方向に対して略垂直であるのが好ましい。
これにより、接触部と被駆動体との間の摩擦力を高めることができ、効率的な駆動を実現することができる。
本発明の駆動装置では、前記微少送りモードにおいては、前記励振部により縦振動を励振するよう構成されているのが好ましい。
これにより、屈曲振動や、縦振動と屈曲振動の合成振動を振動体に直接的に励起する場合と比較して、屈曲方向（横方向）にかかる接触部の変位量を抑制でき、被駆動体を微少送りすることができる。
【００１３】
本発明の駆動装置では、前記微少送りモードにおいては、前記励振部が、縦振動の共振周波数と略等しい周波数にて駆動されるよう構成されているのが好ましい。
これにより、屈曲振動や、縦振動と屈曲振動の合成振動を振動体に直接的に励起する場合と比較して、屈曲方向（横方向）にかかる接触部の変位量を抑制でき、被駆動体を微少送りすることができ、また、駆動効率を高めることができる。
本発明の駆動装置では、前記通常送りモードにおいては、前記複数の励振部のうちの少なくとも２つの励振部を駆動して、前記振動体に対し、少なくとも屈曲振動を励振するよう構成されているのが好ましい。
【００１４】
本発明の駆動装置では、前記本体部の対称軸が、前記被駆動体の移動方向に対して略垂直であるのが好ましい。
これにより、接触部と被駆動体との間の摩擦力を高めることができ、効率的な駆動を実現することができる。
本発明の駆動装置では、前記複数の励振部のうちの少なくとも１対の励振部が、前記本体部の対称軸を間に介在させて配置されているのが好ましい。
これにより、対称軸に対して、振動体を正逆両方向に屈曲させ得るので、被駆動体を正逆両方向に駆動することができる。
【００１５】
本発明の駆動装置では、前記複数の励振部のうちの少なくとも１対の励振部が、前記本体部の対称軸に対して対称に配置されているのが好ましい。
これにより、対称軸に対して、振動体を正逆両方向に対称に屈曲させ得るので、被駆動体を正逆両方向に対称に駆動することができる。
本発明の駆動装置では、前記１対の励振部の間にスリットが設けられているのが好ましい。
これにより、各励振部間の拘束が抑制され、振動体の駆動効率を高めることができる。
本発明の駆動装置では、前記励振部は、圧電素子を有するのが好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の駆動装置を添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図、図２は、図１に記載した駆動装置を示す構成図である。
これらの図に示すように、駆動装置１は、振動体２と、駆動回路４１を有する制御系とを備えている。駆動装置１は、交流電圧（高周波電圧）の印加により振動体２を振動させ、この振動を被駆動体（移動体）Ｐに伝達して被駆動体Ｐを駆動する（移動させる）超音波アクチュエータである。この駆動装置１は、被駆動体Ｐの駆動方向（移動方向）にかかる振動体２の振動成分が抑制されることによって、被駆動体Ｐを微少変位、すなわち、微少（微動）送りさせ得る微少送りモードと、振動体２の１回の振動における被駆動体Ｐの駆動量（送り量）を微少送りモードより大きく（多く）することによって、被駆動体Ｐを粗（粗動）送りさせ得る通常送り（粗送り）モードとを有する点に特徴を有する。
【００１７】
振動体２は、屈曲可能な本体部（補強板）２１と、第１の励振部２２ａと、第２の励振部２２ｂと、第３の励振部２２ｃと、第４の励振部２２ｄと、接触部（凸部）２３と、１対の支持部（腕部）２４とを有している。以下、第１の励振部、第２の励振部、第３の励振部、第４の励振部を、それぞれ、単に、「励振部」とも言う。
本体部２１は、略長方形の板状構造を有し、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、銅、銅系合金その他の金属材料で構成される。ただし、本体部２１の形状および構成材料は、これに限定されない。本体部２１は、振動体２を補強する機能を有し、過振幅や外力等による振動体２の損傷を防止する。また、本体部２１は、後述する１対の変形素子（電気／機械変換素子）２５に対する共通の電極として機能する。
【００１８】
各励振部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄは、それぞれ、変形素子２５と、電極２６とで構成され、振動体２の振動を励起（励振）する機能を有する。具体的には、変形素子２５の部分のうち、電圧の印加により伸縮（伸縮振動）する部分および電極２６が、それぞれ、励振部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄの主要部となる。すなわち、この駆動装置１では、変形素子２５の部分のうち、各電極２６が配置された部分（各電極２６に対応する部分）および対応する電極２６が、それぞれ、励振部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄの主要部を構成する。
ここで、「変形素子」とは、電気エネルギーの供給により変形する部材もしくは部分を有する素子をいうものとする。かかる変形素子としては、例えば、圧電素子、形状記憶素子、磁歪素子、人工筋肉等が挙げられ、これらのうちでは、圧電素子が好ましい。この駆動装置１では、変形素子２５として、圧電素子を採用する。
【００１９】
圧電素子の構成材料としては、特に限定されず、例えば、チタン酸ジルコニウム酸鉛（ＰＺＴ）、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。圧電素子に、交流電圧を印加することにより、所定方向に伸長・収縮する。また、印加電圧の大きさや周波数の調整（調節）により、その伸縮変位を容易に、任意に制御することができる。これにより、変形素子２５の変形を容易かつ的確に制御することができる。
【００２０】
また、変形素子２５は、本体部２１と略合同な長方形の板状構造を有する。変形素子２５は、一対を１組として構成されており、互に対向して本体部２１を表裏から挟み込むように、本体部２１に対して平面的に揃えて積層されている（図１参照）。また、変形素子２５、２５は、本体部２１に対して固着されている。これにより、振動体２の強度を向上できる利点がある。
【００２１】
電極２６は、短冊状（長方形）の板状部材で構成されており、変形素子２５上の長辺側の縁部に沿って、一方の変形素子２５上に、４枚を１組として設置されている。設置された各電極２６は、それぞれ、第１の励振部２２ａ、第２の励振部２２ｂ、第３の励振部２２ｃ、第４の励振部２２ｄに含まれる。
また、各電極２６は、それぞれ、振動体２（本体部２１）の長手方向の中心軸（対称軸）３１から外れた位置に設けられ、この中心軸３１に対して略平行に配置されている（図１および図２参照）。これにより、後述する作用により、振動体２に屈曲振動が励起（励振）される。
【００２２】
また、これらの電極２６は、中心軸３１を介して対称で、かつ、振動体２（本体部２１）の長手方向に対して垂直な方向（幅方向）の中心軸（対称軸）３２を介して対称に配置されている（図１および図２参照）。すなわち、振動体２上には、第１の励振部２２ａと第２の励振部２２ｂとが中心軸３１を間に挟んで対称に設けられ、第３の励振部２２ｃと第４の励振部２２ｄとが中心軸３１を間に挟んで対称に設けられ、かつ、第１の励振部２２ａと第３の励振部２２ｃとが中心軸３２を間に挟んで対称に設けられ、第２の励振部２２ｂと第４の励振部２２ｄとが中心軸３２を間に挟んで対称に設けられている。これにより、第１の励振部２２ａが駆動された場合と、第２の励振部２２ｂが駆動された場合とで振動体２には互に対称な振動が励起される。同様に、第３の励振部２２ｃが駆動された場合と第４の励振部２２ｄが駆動された場合、第１の励振部２２ａが駆動された場合と第３の励振部２２ｃが駆動された場合、第２の励振部２２ｂが駆動された場合と第４の励振部２２ｄが駆動された場合において、それぞれ、振動体２には互に対称な振動が励起される。
【００２３】
また、電極２６は、表裏の変形素子２５、２５に対して、それぞれ４枚ずつ、合計８枚が設置されている。これにより、振動体２には、表裏に前記第１の励振部２２ａ、第２の励振部２２ｂ、第３の励振部２２ｃおよび第４の励振部２２ｄがそれぞれ形成される。但し、図面に現れない裏面側の第１の励振部２２ａ、第２の励振部２２ｂ、第３の励振部２２ｃおよび第４の励振部２２ｄの図示は、省略する。
【００２４】
この駆動装置１では、振動体２が、表裏に合計８つの励振部２２ａ、２２ａ、２２ｂ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｃ、２２ｄ、２２ｄを有するが、これは、片側面のみに励振部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄを有する場合と比較して、より強い駆動力を得られる点で好ましい。
しかし、これに限らず、振動体２の片側面のみに励振部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄを有していても良い。これにより、振動体２（駆動装置１）を薄型化および軽量化することができる。
また、表裏の第１の励振部２２ａ、２２ａの電極２６、２６同士、表裏の第２の励振部２２ｂ、２２ｂの電極２６、２６同士、表裏の第３の励振部２２ｃ、２２ｃの電極２６、２６同士、並びに、表裏の第４の励振部２２ｄ、２２ｄの電極２６、２６同士は、それぞれ、導通線（導線）によって互に電気的に接続されている（図１および図２参照）。
【００２５】
また、各励振部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄの電極２６は、それぞれ、振動体２の駆動回路４１に接続される（図１および図２参照）。駆動回路４１は、励振部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄに交流電圧を印加して励振部２２ａ、２２ｂを高速で伸縮変位させ、印加電圧の調整、すなわち、印加電圧の大きさや周波数の調整により励振部２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄの伸縮変位を自在に制御する。
【００２６】
この場合、微少送りモードでは、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃと、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄとのいずれか一方の組合せの励振部のみを駆動する（通電する）。また、通常送りモードでは、第１の励振部２２ａおよび第４の励振部２２ｄと、第２の励振部２２ｂおよび第３の励振部２２ｃとのいずれか一方の組合せの励振部のみを駆動する。これにより、駆動回路４１は、振動体２に振動を励起すると共に、その振動を制御する。
なお、非駆動側（通電されていない側）の励振部から電圧を検出して、振動体２の振動周波数（振動）を検出する検出回路（図示せず）を設けても良い。
【００２７】
また、この駆動装置１では、振動体２と、駆動回路４１との間にスイッチ（切り換えスイッチ）Ｓ１、Ｓ２およびＳ３が、それぞれ、設けられる。スイッチＳ１は、駆動方向を正方向（図２中右方向）と、逆方向（図２中左方向）とに切り換えるためのものであり、その切り換えは、図２に示す通りである。また、スイッチＳ２およびＳ３は、それぞれ、モードを微少送りモードと、通常送りモードとに切り換えるためのものであって、互いに連動しており、その切り換えは、図２に示す通りである。なお、各スイッチＳ１〜Ｓ３には、それぞれ、任意の構成が採用可能である。
【００２８】
接触部２３は、振動体２の短辺の中央部、すなわち長手方向の先端部の中央部に設けられている。また、接触部２３は、振動体２の中心軸３１上に配置され、この中心軸３１の方向に突出して、被駆動体Ｐに対して略垂直に当接する（図１および図２参照）。また、接触部２３は、本体部２１に対して一体的に形成されている（本体部２１と接触部２３とが一部材で形成されている）。これにより、接触部２３を本体部２１（振動体２）に対して強固に設置できる利点がある。特に、この駆動装置１では、駆動時にて、接触部２３が振動体２の振動により、高速かつ反復的に高い押圧力にて被駆動体Ｐに衝突する。したがって、かかる構成により、接触部２３の耐久性を高め得る利点がある。
【００２９】
また、接触部２３は、本実施形態では、略半円形状の先端部を有する（図１および図２参照）。かかる接触部２３は、角形の先端部を有する場合と比較して、被駆動体Ｐの側面に安定的に摩擦接触する。これにより、振動体２の作用方向が多少ずれた場合にも、振動体２からの押圧力を確実に被駆動体Ｐに伝達できる利点がある。なお、接触部２３の形状は、半円形状に限定されず、他の形状であっても良い。
【００３０】
ここで、励振部２２ａ〜２２ｄと、接触部２３との位置関係について説明する。この駆動装置１では、励振部２２ａ〜２２ｄと、接触部２３とが、それぞれ、励振部２２ａ〜２２ｄのうちの所定の励振部の伸縮によって、間接的に振動体２内に屈曲振動が誘発される位置に設けられる。具体的には、上記のように、各励振部２２ａ〜２２ｄは、それぞれ、振動体２の中心軸３１から外れた位置に設けられ、この中心軸３１に対して略平行に、かつ、所定の励振部同士が互いに中心軸３１を介して対称になるように配置される（図１および図２参照）。
【００３１】
一方、接触部２３は、振動体２の中心軸３１上に配置され、この中心軸３１の方向に突出して、被駆動体Ｐに対して略垂直に当接する。
かかる配置では、駆動装置１の非駆動（静止）状態にて、励振部２２ａ〜２２ｄの長手方向、すなわち伸縮方向の延長線が、接触部２３と被駆動体Ｐとの接点（接触点）を通らない。したがって、かかる構成では、後述するように、励振部２２ａおよび２２ｃの伸縮による応力、または、励振部２２ｂおよび２２ｄの伸縮による応力と、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力とが、振動体２に対して作用し、振動体２に屈曲運動（屈曲振動）が誘発される。これにより、振動体２に微少な屈曲振動を励起できる利点がある。また、例えば、励振部２２ａ〜２２ｄへの印加電圧の調整や、励振部２２ａ〜２２ｄと接触部２３との位置関係の調整等により、振動体２に励起される屈曲振動を微少量にて調整できる利点がある。屈曲振動の調整は、具体的には、例えば、印加電圧の増減（変更）、周波数の増減、励振部２２ａ〜２２ｄと振動体２の中心軸３１との距離の増減等により、なし得る。
【００３２】
各支持部２４は、それぞれ、振動体２の対応する長辺の中央部、すなわち長手方向の側部中央部に、長辺に対して略垂直に突出して設けられている。各支持部２４は、本体部２１に対して一体的に形成されている（本体部２１と各支持部２４とが一部材で形成されている）。これにより、支持部２４を本体部２１（振動体２）に対して強固に設置できる利点がある。各支持部２４は、先端に設けられた孔に、例えばボルト、ネジその他の固定手段（図示省略）が挿通され、この固定手段を介して図示しない筐体（ベース）に固定設置される。また、各支持部２４は、振動体２を筐体の壁面（図示省略）から離間させた（壁面に対して浮上させた）状態で支持する。かかる構成では、振動体２と筐体の壁面との間に摩擦が生じないので、振動体２の振動が拘束され難く、振動体２の自由な振動を実現できる利点がある。
また、各支持部２４は、弾性を有しており、この弾性力（復元力）によって、振動体２を被駆動体Ｐ側に付勢し、この付勢力により、振動体２の接触部２３は、被駆動体Ｐの側面へ押圧される（押し付けられる）。なお、本体部２１は、例えば、この支持部２４を介して接地される。
【００３３】
ここで、支持部２４は、振動体２の側方であって、振動体２の振動の節となる位置に設けられる。この位置は、振動解析その他公知の手法により求めることができる。例えば、この駆動装置１のように、各電極２６が、振動体２の長手方向および幅方向に対称に設けられる場合（図１および図２参照）には、この振動体２の長手方向の略中央付近が振動の節となる。そこで、この駆動装置１では、支持部２４を振動体２の長辺の略中央に設ける。このようにすると、振動体２の振動時において、支持部２４が振動体２の振動を阻害しないので、支持部２４から外部への振動エネルギーの消散を抑制できる。これにより、駆動装置１を効率的に駆動できる利点がある。
【００３４】
被駆動体Ｐは、この第１実施形態では、スライダであり、振動体２の中心軸３１に対して垂直な方向（図１および図２中のｘ軸方向）にスライド可能（移動可能）に設置されている。
なお、本発明では、被駆動体Ｐの構成は、これに限らず、被駆動体Ｐは、例えば、板状体、線状体、棒状体、柱状体、筒状態、ロータ（回転体）、環状体、球状体等であってもよく、また、被駆動体Ｐは、例えば、回転可能、または、所定の支点を中心に揺動可能に設けられていてもよい。
【００３５】
図３および図４は、図１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。図３（ａ）〜図３（ｃ）は、微少送りモードにおいて被駆動体Ｐが図中の右方向にスライドする場合を示し、図３（ｄ）は、逆に、微少送りモードにおいて被駆動体Ｐが図中の左方向にスライドする場合を示している。また、図４（ａ）は、通常送りモードにおいて被駆動体Ｐが図中の右方向にスライドする場合を示し、図４（ｂ）は、逆に、通常送りモードにおいて被駆動体Ｐが図中の左方向にスライドする場合を示している。
【００３６】
この駆動装置１では、被駆動体Ｐを微少（微動）送りする微少送りモードに設定する場合には、スイッチＳ２およびＳ３が図２中の「微少」側に切り換わる。
また、被駆動体Ｐを図２および図３中の右側（正方向）に駆動する（スライドさせる）場合には、スイッチＳ１が図２中の「正方向」側に切り換わる。
そして、振動体２は、駆動回路４１から、所定の周波数（高周波数）の交流電圧を第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃに印加される。これにより、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃ（具体的には、電極２６が配置された部分の変形素子２５）が、この交流電圧の印加によって高速かつ反復的に長手方向に伸縮変位する。この第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃ自体の伸縮変位（振動）は、屈曲を伴わない縦振動である。また、このとき、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄ側は、伸縮変位しないか、若しくは、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃの伸縮変位により極めて微少な伸縮変位を行う。
【００３７】
まず、振動体２が変形していない初期状態（図３（ａ）参照）から、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃが長手方向に伸張する。この際、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃの伸張により生ずる応力と、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力とが、振動体２内にて作用し、振動体２は、中心軸３１が図中左側が凸となるように湾曲する方向に屈曲する（図３（ｂ）参照）。接触部２３が被駆動体Ｐに及ぼす押圧力（接触部２３の変位）Ｌは、被駆動体Ｐの移動方向に対し垂直な方向（垂直方向）に対して傾斜した方向に作用し、被駆動体Ｐの移動方向にかかる押圧成分（接触部２３の変位における被駆動体Ｐの移動方向の成分）Ｌｘを生ずる。一方、この押圧力Ｌの垂直方向にかかる押圧成分（接触部２３の変位における垂直方向の成分）Ｌｚは、接触部２３と被駆動体Ｐとの間に摩擦力を生じさせる。これにより、被駆動体Ｐは、接触部２３から与えられる、移動方向の押圧成分Ｌｘと、垂直方向の押圧成分Ｌｚとによって、図３（ｂ）中の右方向（正方向）にスライドする。
【００３８】
次に、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃが収縮し、振動体２は、前記と反対方向に屈曲する（図３（ｃ）参照）。この際、接触部２３は、被駆動体Ｐから瞬時に離間し、被駆動体Ｐの右方向へのスライドを阻害することや被駆動体Ｐを左方向へスライドさせてしまうことはない。
振動体２における前記第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃの伸縮を繰り返すことにより、振動体２は、図３（ｂ）および図３（ｃ）の状態を交互に繰り返す。これにより、振動体２には、結果として（間接的に）屈曲振動が誘発され、接触部２３が図中反時計回りの楕円軌道にて微少な回転運動を行う。そして、この接触部２３からの押圧力Ｌによって、被駆動体Ｐが図中の右方向に送られる。上記のように、この駆動装置１では、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃによって励振する縦振動と、この縦振動により接触部２３が受ける反力によって、振動体２に間接的に屈曲振動を誘発し、これにより被駆動体Ｐを駆動する。
ここで、振動体２の駆動周波数は、その縦振動の共振周波数とすることが好ましい。これにより、駆動効率の向上や、より大きな駆動力を得られる利点がある。なお、共振周波数は、振動体２の形状、構造、材質その他の要素に基づき、適宜決定し得る。
【００３９】
一方、上記の場合とは逆に、被駆動体Ｐを図２および図３中の左側（逆方向）に駆動する（スライドさせる）場合には、スイッチＳ１が図２中の「逆方向」側に切り換わる。
そして、振動体２は、駆動回路４１から、所定の周波数の交流電圧を第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄに印加される。
これにより、上記と同様の作用によって、振動体２の接触部２３は、図中時計回りの楕円軌道にて微少な回転運動を行う。そして、この接触部２３からの押圧力によって、被駆動体Ｐが図中の左方向（逆方向）に送られる（図３（ｄ）参照）。
【００４０】
ここで、この微少送りモードでは、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃ、または、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄの伸縮により生ずる応力、すなわち、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃ、または、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄの駆動力と、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力との釣り合いによって、振動体２に間接的に屈曲振動を誘発し、被駆動体Ｐの移動方向にかかる押圧成分Ｌｘを発生（形成）するので、移動方向の押圧成分Ｌｘが微少量に抑制され、被駆動体Ｐが微少量にて変位、すなわち、微少（微動）送りされる。
【００４１】
また、移動方向の押圧成分Ｌｘが微少量に抑制される分、被駆動体Ｐの移動方向に対して垂直な方向の押圧成分Ｌｚが大きい。これにより、接触部２３と被駆動体Ｐとの間に大きな摩擦力が得られ、高い駆動力が得られる。特に、励振部２２ａ〜２２ｄ（すなわち変形素子２５）自身には縦振動を励起するので、垂直な方向の押圧成分Ｌｚが非常に大きく、被駆動体Ｐの駆動力が非常に高い。
このようにして、被駆動体Ｐを正逆両方向（図中左右両方向）に任意に駆動することができる。すなわち、スイッチＳ１を切り換えて、駆動する励振部（駆動しない励振部と駆動する励振部との組合せ）を変更することにより、被駆動体Ｐの移動方向を変更することができ、被駆動体Ｐを正方向と、逆方向とのいずれの方向へも移動させることができる。
【００４２】
また、この駆動装置１では、励振部２２ａおよび２２ｃと、励振部２２ｂおよび２２ｄとが、振動体２の中心軸３１に対して対称に形成されている。これにより、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃが駆動された場合と、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄが駆動された場合とで、振動体２には互に対称な屈曲振動が励起されるので、被駆動体Ｐを正逆均等（正逆対称）に移動させ得る利点がある。すなわち、正逆（左右）対称になるので、正方向の駆動特性と逆方向の駆動特性とを略等しくすることができる。
【００４３】
被駆動体Ｐを粗（粗動）送りさせ得る通常送り（粗送り）モードに設定する場合には、スイッチＳ２およびＳ３が図２中の「通常」側に切り換わる。そして、被駆動体Ｐを図２および図３中の右側（正方向）に駆動する（スライドさせる）場合には、スイッチＳ１が図２中の「正方向」側に切り換わる。
そして、振動体２は、駆動回路４１から、所定の周波数の交流電圧を第１の励振部２２ａおよび第４の励振部２２ｄに印加される。
【００４４】
これにより、図４（ａ）に示すように、第１の励振部２２ａおよび第４の励振部２２ｄが駆動（伸縮）し、振動体２に対し、屈曲振動（または縦振動と屈曲振動との複合振動）が励振される。すなわち、振動体２に直接的に屈曲振動（または縦振動と屈曲振動との複合振動）が生じる。
これにより、振動体２の接触部２３は、図中反時計回りの楕円軌道にて微少な回転運動を行う。そして、この接触部２３からの押圧力によって、被駆動体Ｐが図中の右方向に送られる。
【００４５】
一方、上記の場合とは逆に、被駆動体Ｐを図２および図３中の左側（逆方向）に駆動する（スライドさせる）場合には、スイッチＳ１が図２中の「逆方向」側に切り換わる。
そして、振動体２は、駆動回路４１から、所定の周波数の交流電圧を第２の励振部２２ｂおよび第３の励振部２２ｃに印加される。
これにより、図４（ｂ）に示すように、第２の励振部２２ｂおよび第３の励振部２２ｃが駆動（伸縮）し、振動体２に対し、屈曲振動（または縦振動と屈曲振動との複合振動）が励振される。すなわち、振動体２に直接的に屈曲振動（または縦振動と屈曲振動との複合振動）が生じる。
これにより、振動体２の接触部２３は、図中時計回りの楕円軌道にて微少な回転運動を行う。そして、この接触部２３からの押圧力によって、被駆動体Ｐが図中の左方向に送られる。
【００４６】
ここで、この通常送りモードでは、励振部によって直接的に屈曲振動を励振（励起）して被駆動体Ｐを駆動しているので、移動方向の押圧成分Ｌｘが抑制されず、被駆動体Ｐが比較的大きな量にて変位、すなわち、粗（粗動）送りされる。また、屈曲振動の振幅を大きくすることにより、被駆動体Ｐの移動方向の押圧成分Ｌｘと、被駆動体Ｐの移動方向に対して垂直な方向の押圧成分Ｌｚとのそれぞれを大きくすることができ、大きな駆動力で、被駆動体を粗送りすることができる。
このようにして、被駆動体Ｐを正逆両方向（図中左右両方向）に任意に駆動することができる。
【００４７】
以上説明したように、この駆動装置１では、微少送りモードと、通常送りモードとを有しているので、微少送りモードにおいて、大きな（高い）駆動力で、被駆動体Ｐを微少（微動）送りすることができ、通常送りモードにおいて、大きな駆動力で、被駆動体Ｐを粗（粗動）送りすることができる。
微少送りモードを選択することにより、被駆動体Ｐを微少送りすることができ、高精度での位置決めが可能となる。
【００４８】
一方、通常送りモードを選択することにより、被駆動体Ｐを粗送り（高速送り）することができ、短時間で移動させることが可能となる。
特に、微少送りモードにおいては、励振部２２ａ〜２２ｄへの印加電圧の調整や、励振部２２ａ〜２２ｄと接触部２３との位置関係の調整により、被駆動体Ｐの移動方向の押圧成分Ｌｘを調整することによって、被駆動体Ｐの変位量を微少単位にて調整することができる。
【００４９】
また、微少送りモードにおいては、振動体２の接触部２３は、励振部２２〜２２ｄの縦振動により、垂直方向（被駆動体Ｐの被接触面に対する高さ方向）に大きく変位することができる。したがって、例えば、被駆動体Ｐの表面粗さが大きい場合にも、接触部２３がその凹凸を容易に乗り越えることができ、これにより、安定した駆動を実現することができる。
【００５０】
また、この駆動装置１では、振動体２が、その励振部２２ａ〜２２ｄの振動方向（変位方向）を、被駆動体Ｐの移動方向に対して、略垂直に向けて配置される（図１および図２参照）。したがって、微少送りモードにおいては、振動方向が被駆動体に対して傾斜するように振動体を配置する構成と比較して、被駆動体Ｐの移動方向の押圧成分Ｌｚを小さくできると共に、より大きな駆動力（高駆動力）を得ることができる。
【００５１】
また、微少送りモードにおいては、振動体２の励振部２２ａ〜２２ｄは、いずれも縦振動により駆動されるので、縦振動の共振周波数と略等しい周波数を駆動周波数とすることにより、振動体２を効率的に駆動することができる。
また、この駆動装置１では、振動体２の構成が簡素であり、駆動装置１を小型化かつ軽量化することができる。
【００５２】
また、この駆動装置１では、単一の振動体２を用い、この振動体２の通電パターンの切り換えによって、微少送りモードと通常送りモードとを切り換えるので、被駆動体Ｐを微少送りするための専用の振動体と、粗送りするための専用の振動体とを設ける場合と比較し、振動体の数を少なくすることができ、駆動装置１を小型化かつ軽量化することができ、また、コストを低減することができる。
このように、この駆動装置１は、微少送りモードと通常送りモードとを有しているので、汎用性が広い。
【００５３】
また、この駆動装置１の用途は、特に限定されないが、駆動装置１は、上記のように、大きな駆動力にて被駆動体Ｐを微少送りできる微少送りモードを有しているので、大きな駆動力と、微少送りとを必要とする稼動装置（制御装置）や電子機器に好適に用いることができる。この具体例としては、例えば、電動ステージ、撮像装置（カメラ）の回転台等が挙げられる。
なお、本実施形態における振動体は、片側に４つの励振部（電極）を有し、合計で８つの励振部を有するのものであるが、本発明では、振動体の構成（例えば、全体形状、本体部の形状、励振部（電極）の形状、励振部の数、励振部の配置等）や、振動体の駆動方式（例えば、振動モード、通電パターン等）等は、これに限定されるものではない。
【００５４】
例えば、図１に示す振動体２において、第１の励振２２ａおよび第３の励振２２ｃと、第２の励振２２ｂおよび第４の励振２２ｄとの間、すなわち、中心軸３１上に、第５の励振を設け、通常送りモードにおいて、この第５の励振も駆動することにより、縦振動と屈曲振動との複合振動を励振し、振動体２が縦振動と屈曲振動との複合振動を行なうように構成してもよい。この場合、縦振動の共振周波数と屈曲振動の共振周波数とが相互に異なると共に、相互に近接するように構成するのが好ましい。
【００５５】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。
図５は、本発明の第２実施形態にかかる駆動装置を示す構成図である。
以下、第２実施形態の駆動装置１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００５６】
同図に示す第２実施形態では、微少送りモードにおいて、第１の励振部２２ａ、第２の励振部２２ｂ、第３の励振部２２ｃおよび第４の励振部２２ｄのすべての励振部に対し、交流電圧を印加して駆動する。
また、この駆動装置１では、振動体２と、駆動回路４１との間にスイッチ（切り換えスイッチ）Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６、Ｓ７、Ｓ８、Ｓ９、Ｓ１０、Ｓ１１およびＳ１２が、それぞれ、設けられる。スイッチＳ４は、通常送りモードにおいて、駆動方向を正方向（図５中右方向）と、逆方向（図５中左方向）とに切り換えるためのものであり、その切り換えは、図５に示す通りである。また、スイッチＳ５およびＳ６は、それぞれ、微少送りモードにおいて、駆動方向を正方向（図５中右方向）と、逆方向（図５中左方向）とに切り換えるためのものであって、互いに連動しており、その切り換えは、図５に示す通りである。また、スイッチＳ７〜Ｓ１２は、それぞれ、モードを微少送りモードと、通常送りモードとに切り換えるためのものであって、互いに連動しており、その切り換えは、図５に示す通りである。なお、各スイッチＳ４〜Ｓ１２には、それぞれ、任意の構成が採用可能である。
また、スイッチＳ７は、駆動回路４１の高い（Ｈｉｇｈ）交流電圧側に接続され、スイッチＳ８は、駆動回路４１の低い（Ｌｏｗ）交流電圧側に接続されている。駆動回路４１の高い交流電圧と、低い交流電圧とは、同じ周波数で、かつ同じ位相の交流電圧とされる。
【００５７】
微少送りモードにおいては、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃと、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄとの一方の組合せの励振部が、高い交流電圧側に接続され、他方の組合せの励振部が、低い交流電圧側に接続され、これらが互いに異なる大きさの交流電圧で駆動される。
一方、通常送りモードにおいては、第１の励振部２２ａおよび第４の励振部２２ｄと、第２の励振部２２ｂおよび第３の励振部２２ｃとの一方の組合せの励振部のみが、高い交流電圧側に接続され、一方の組合せの励振部のみが駆動される。なお、この通常送りモードについては、前述した第１実施形態と同様であるので、スイッチの切り換えのみを説明する。
【００５８】
図６は、図５に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
この駆動装置１では、被駆動体Ｐを微少（微動）送りする微少送りモードに設定する場合には、スイッチＳ７〜Ｓ１２が図５中の「微少」側に切り換わる。
また、被駆動体Ｐを図５中の右側（正方向）に駆動する（スライドさせる）場合には、スイッチＳ５およびＳ６が図５中の「正方向」側に切り換わる。
【００５９】
そして、振動体２は、駆動回路４１から、所定の周波数（高周波数）の交流電圧を第１の励振部２２ａ、第２の励振部２２ｂ、第３の励振部２２ｃおよび第４の励振部２２ｄに印加される。この場合、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃに、高い交流電圧が印加され、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄに、低い交流電圧が印加される。
【００６０】
これにより、図６に示すように、これらの励振部２２ａ〜２２ｄは、いずれも長手方向に伸縮して縦振動する。しかし、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃの方が第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄよりも印加される電圧が大きいので、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃの方が第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄよりも変形量、すなわち伸縮量（歪み量）が大きくなり、その伸縮量の偏り（違い）によって、振動体２が屈曲振動する。そして、接触部２３からの押圧力Ｌによって、被駆動体Ｐが図中の右方向（正方向）に送られる。
【００６１】
一方、上記の場合とは逆に、被駆動体Ｐを図５中の左側（逆方向）に駆動する（スライドさせる）場合には、スイッチＳ５およびＳ６が図５中の「逆方向」側に切り換わる。
そして、振動体２は、駆動回路４１から、所定の周波数（高周波数）の交流電圧を第１の励振部２２ａ、第２の励振部２２ｂ、第３の励振部２２ｃおよび第４の励振部２２ｄに印加される。この場合、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄに、高い交流電圧が印加され、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃに、低い交流電圧が印加され、前記と逆に、被駆動体Ｐが図中の左方向に送られる。
なお、前記低い交流電圧を印加したときの励振部の歪み量と、前記高い交流電圧を印加したときの励振部の歪み量とのいずれを、基準の歪み量として設定してもよい。また、前記低い交流電圧を印加したときの励振部の歪み量と、前記高い交流電圧を印加したときの励振部の歪み量との間の任意の歪み量を基準の歪み量として設定してもよい。
【００６２】
このように、励振部２２ａ〜２２ｄに印加する交流電圧の大きさ（電圧値）を調整することにより、対応する励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせるので、容易に、励振部２２ａ〜２２ｄの歪み量を調整（調節）することができ、対応する励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせることができる。すなわち、容易に、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃの歪み量を第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄの歪み量より大きくしたり、また、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄの歪み量を第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃの歪み量より大きくすることができる。そして、スイッチＳ５およびＳ６を切り換えて、歪み量の大きい（小さい）励振部（歪み量を異ならせる励振部の組合せ）を変更することにより、被駆動体Ｐの移動方向を変更することができ、被駆動体Ｐを正方向と、逆方向とのいずれの方向へも移動させることができる。
【００６３】
被駆動体Ｐを粗（粗動）送りさせ得る通常送り（粗送り）モードに設定する場合には、スイッチＳ７〜Ｓ１２が図５中の「通常」側に切り換わる。そして、被駆動体Ｐを図５中の右側（正方向）に駆動する（スライドさせる）場合には、スイッチＳ４が図５中の「正方向」側に切り換わる。
そして、振動体２は、駆動回路４１から、所定の周波数の高い交流電圧を第１の励振部２２ａおよび第４の励振部２２ｄに印加され、前述した第１実施形態と同様に、被駆動体Ｐが図中の右方向に送られる。
【００６４】
一方、上記の場合とは逆に、被駆動体Ｐを図５中の左側（逆方向）に駆動する（スライドさせる）場合には、スイッチＳ５およびＳ６が図５中の「逆方向」側に切り換わる。
そして、振動体２は、駆動回路４１から、所定の周波数の高い交流電圧を第２の励振部２２ｂおよび第３の励振部２２ｃに印加され、前記と逆に、被駆動体Ｐが図中の左方向に送られる。
【００６５】
この駆動装置１によれば、前述した第１実施形態の駆動装置１と同様の効果が得られる。
そして、この駆動装置１では、微少送りモードにおいて、励振部２２ａ〜２２ｄのすべての励振部を駆動（励振）して屈曲振動を誘発するので、第１実施形態の駆動装置１と比較して、より大きな駆動力を得ることができる。
【００６６】
また、この駆動装置１では、振動体２の屈曲の大きさ（屈曲率）が、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃに印加される電圧と、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄに印加される電圧との差（励振部２２ａ、２２ｂ間の電圧差）により規制される。したがって、励振部２２ａ、２２ｂ間の電圧差を調整することにより、容易に、振動体２の１回の振動による被駆動体Ｐの移動量を調整することができる。
【００６７】
また、励振部２２ａ、２２ｂ間の電圧差を小さくして振動体２の１回の振動による被駆動体Ｐの移動量を微少としても、各励振部２２ａ〜２２ｄ自体には、大きな交流電圧を印加することができるので、垂直方向にかかる押圧成分Ｌｚを大きくすることができる。したがって、接触部２３と被駆動体Ｐとの間に十分に大きな摩擦力を与えることができ、より大きな駆動力が得られ、また、被駆動体Ｐの駆動効率をより高くすることができる。
【００６８】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態について説明する。
図７は、本発明の第３実施形態にかかる駆動装置の振動体を示す構成図である。
以下、第３実施形態の駆動装置１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６９】
同図に示すように、第３実施形態では、振動体２がスリット２７を有している。スリット２７は、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃと、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄとの間、すなわち、振動体２の中心軸３１上に設けられており、このスリット２７により、本体部２１および変形素子２５が切り欠かれたようになっている。すなわち、スリット２７により、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃと、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄとが、振動体２上にて分離されている。
この場合、スリット２７は、図７（ａ）に示すように、振動体２の接触部２３と反対側（図中上側）の端部において開放していてもよく、また、図７（ｂ）に示すように、開放していなくてもよい。
【００７０】
この駆動装置１によれば、前述した第１実施形態の駆動装置１と同様の効果が得られる。
そして、この駆動装置１では、電圧が印加された励振部２２ａ〜２２ｄは、いずれも他方の励振部に拘束されることなく、ほぼ独立して伸縮変位する。すなわち、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃと、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄとの間の干渉が抑制され、電圧が印加された励振部２２ａ〜２２ｄは、いずれも伸縮し易くなり、これにより、振動体２の駆動効率が向上する。
なお、この第３実施形態は、各実施形態に適用することができる。
【００７１】
以上、本発明の駆動装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
また、本発明では、駆動装置は、複数の振動体を有していてもよい。この場合、例えば、複数の振動体が共通の被駆動体を駆動するように構成されていてもよく、また、複数の振動体が、それぞれ、別々の被駆動体を駆動するように構成されていてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図である。
【図２】図１に記載した駆動装置を示す構成図である。
【図３】図１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図４】図１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態にかかる駆動装置を示す構成図である。
【図６】図５に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図７】本発明の第３実施形態にかかる駆動装置の振動体を示す構成図である。
【符号の説明】
【００７３】
１…駆動装置  ２…振動体  １１…ベース  ２１…本体部  ２２ａ〜２２ｄ…励振部  ２３…接触部  ２４…支持部  ２５…変形素子  ２６…電極  ２７…スリット  ３１、３２…中心軸  ４１…駆動回路  Ｌ…押圧力  Ｌｘ…押圧成分  Ｌｚ…押圧成分  Ｐ…被駆動体  Ｓ１〜Ｓ１２…スイッチ
【図１】
2005102369.tif 000003
【図２】
2005102369.tif 000004
【図３】
2005102369.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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