(57)【要約】【課題】  例えば１ｋΩ／□以上の高い抵抗値を有し、温度特性（ＴＣＲ）及び耐電圧特性（ＳＴＯＬ）の両立を図ることができる。【解決手段】  Ｒｕ系複合酸化物を含有する導電性材料及びＴＣＲ調整剤を含有し、これらが有機ビヒクルと混合されてなる抵抗体ペーストである。Ｒｕ系複合酸化物及びＴＣＲ調整剤の少なくとも一部が互いに固溶した状態とされている。Ｒｕ系複合酸化物及びＴＣＲ調整剤を固溶するには、ＲｕＯ2、Ｒｕ系複合酸化物の原料化合物及びＴＣＲ調整剤を予め混合し、混合物を焼成する。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｒｕ系複合酸化物を含有する導電性材料及びＴＣＲ調整剤を含有し、これらが有機ビヒクルと混合されてなる抵抗体ペーストであって、
前記Ｒｕ系複合酸化物及び前記ＴＣＲ調整剤の少なくとも一部が互いに固溶した状態とされていることを特徴とする抵抗体ペースト。
【請求項２】
前記Ｒｕ系複合酸化物が、ＣａＲｕＯ3、ＳｒＲｕＯ3、ＢａＲｕＯ3、Ｂｉ2Ｒｕ2Ｏ7から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項１記載の抵抗体ペースト。
【請求項３】
前記ＴＣＲ調整剤が、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯ、ＭｎＯ2、Ｍｎ3Ｏ4、ＣｏＯ、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｓｃ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5、Ｎｂ2Ｏ5、ＷＯ3、ＳｎＯ2、ＣｅＯ2、Ｅｕ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、Ｔｂ4Ｏ7、Ｈｏ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3、Ｔｍ2Ｏ3、Ｙｂ2Ｏ3、Ｌｕ2Ｏ3、Ｔａ２Ｏ５から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項１記載の抵抗体ペースト。
【請求項４】
前記ＴＣＲ調整剤が、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ、Ｓｃ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、ＺｎＯ、Ｓｃ２Ｏ３、Ｍｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項３記載の抵抗体ペースト。
【請求項５】
ガラス組成物を含有することを特徴とする請求項１記載の抵抗体ペースト。
【請求項６】
前記ガラス組成物が、主たる修飾酸化物成分としてＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯから選ばれる少なくとも１種と、
網目形成酸化物成分としてＢ2Ｏ3及びＳｉＯ2から選ばれる少なくとも一種とを含有することを特徴とする請求項５記載の抵抗体ペースト。
【請求項７】
前記ガラス組成物が、他の修飾酸化物成分として、ＺｒＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＺｎＯから選ばれる少なくとも一種を含有することを特徴とする請求項６記載の抵抗体ペースト。
【請求項８】
添加物をさらに含有することを特徴とする請求項１記載の抵抗体ペースト。
【請求項９】
前記添加物が、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする請求項８記載の抵抗体ペースト。
【請求項１０】
ガラス組成物、導電性材料、及び添加物を合計した合計質量と、前記有機ビヒクルの重量との比率が、１：０．２５〜１：４であることを特徴とする請求項１記載の抵抗体ペースト。
【請求項１１】
Ｒｕ系複合酸化物を含有する導電性材料及びＴＣＲ調整剤を含有し、これらが有機ビヒクルと混合されてなる抵抗体ペーストの製造方法であって、
ＲｕＯ2、前記Ｒｕ系複合酸化物の原料化合物及び前記ＴＣＲ調整剤を混合した混合物を焼成し、前記Ｒｕ系複合酸化物及び前記ＴＣＲ調整剤を少なくとも一部互いに固溶させることを特徴とする抵抗体ペーストの製造方法。
【請求項１２】
前記原料化合物として、ＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、Ｂｉ2Ｏ3、ＣａＣＯ3、ＳｒＣＯ3、ＢａＣＯ3、Ｃａ（ＯＨ）2から選ばれる少なくとも一種を用いることを特徴とする請求項１１記載の抵抗体ペーストの製造方法。
【請求項１３】
前記ＴＣＲ調整剤として、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯ、ＭｎＯ2、Ｍｎ3Ｏ4、ＣｏＯ、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｓｃ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5、Ｎｂ2Ｏ5、ＷＯ3、ＳｎＯ2、ＣｅＯ2、Ｅｕ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、Ｔｂ4Ｏ7、Ｈｏ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3、Ｔｍ2Ｏ3、Ｙｂ2Ｏ3、Ｌｕ2Ｏ3、Ｔａ２Ｏ５から選ばれる少なくとも一種を用いることを特徴とする請求項１１記載の抵抗体ペーストの製造方法。
【請求項１４】
前記ＲｕＯ2、前記金属酸化物及び前記ＴＣＲ調整剤を、湿式混合することを特徴とする請求項１１記載の抵抗体ペーストの製造方法。
【請求項１５】
前記焼成を１０００℃〜１４００℃で行うことを特徴とする請求項１１記載の抵抗体ペーストの製造方法。
【請求項１６】
Ｒｕ系複合酸化物を含有する導電性材料及びＴＣＲ調整剤を含有し、これらＲｕ系複合酸化物及び前記ＴＣＲ調整剤の少なくとも一部が互いに固溶した状態とされていることを特徴とする抵抗体。
【請求項１７】
請求項１乃至１０のいずれか１項記載の抵抗体ペーストを用いて形成されたことを特徴とする請求項１６記載の抵抗体。
【請求項１８】
請求項１６又は１７記載の抵抗体を有することを特徴とする電子部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性材料としてＲｕ系複合酸化物を含有する抵抗体ペースト及びその製造方法、抵抗体ペーストを用いて形成される抵抗体、電子部品に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば抵抗体ペーストは、一般に、抵抗値の調節及び結合性を与えるためのガラス組成物と、導電性材料と、有機ビヒクルとを主たる成分として構成されており、これを基板上に印刷した後、焼成することによって、厚さ５〜２０μｍ程度の厚膜抵抗体が形成される。そして、この種の抵抗体ペースト（厚膜抵抗体）においては、通常、導電性材料として酸化ルテニウム（ＲｕＯ2）や鉛ルテニウム酸化物等が用いられ、ガラスとして酸化鉛（ＰｂＯ）系ガラス等が用いられている。
【０００３】
近年、環境問題が盛んに議論されてきており、鉛等の有害物質の電子部品からの排除が進められている。前記抵抗体ペーストや厚膜抵抗体も例外ではなく、鉛フリーとするための研究が行われている。
【０００４】
抵抗体ペーストの鉛フリー化における課題の一つとして、特に高抵抗（１〜１０ｋΩ／□以上）の抵抗体ペーストにおいて、温度特性（ＴＣＲ）と耐電圧特性（ＳＴＯＬ）の両立が挙げられる。例えば、従来の鉛系抵抗体ペーストにおいて用いられてきた金属酸化物を添加することによるＴＣＲの調節を、そのまま鉛フリーの組成に応用した場合、電圧印加による抵抗値の変動が鉛系組成と比較して大きく起こるため、結果としてＴＣＲとＳＴＯＬの両立を実現することは困難である。
【０００５】
このような事情から、鉛を含まないガラス組成物、鉛を含まない導電性材料、及び有機ビヒクルを主成分とする抵抗体ペーストにおいて、添加物としてＣａＴｉＯ3若しくはＮｉＯを添加し、温度特性（ＴＣＲ）と耐電圧特性（ＳＴＯＬ）とを両立する試みがなされている（例えば、特許文献１等を参照）。
【０００６】
特許文献１には、抵抗体ペーストに例えばＣａＴｉＯ3を０ｖｏｌ％超、１３ｖｏｌ％以下、若しくはＮｉＯを０ｖｏｌ％超、１２ｖｏｌ％以下含有させることが好ましく、さらにはＣｕＯ、ＺｎＯ、ＭｇＯ等の添加物を同時に添加させることが好ましい旨の記述があり、それにより、高い抵抗値を有しながらも、抵抗値の温度特性（ＴＣＲ）および耐電圧特性（ＳＴＯＬ）が小さい抵抗体を得ることに適した鉛フリーの抵抗体ペーストを提供することが可能であるとされている。
【特許文献１】特開２００３−１９７４０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１記載の発明のように、添加物を多量に含有させることでＴＣＲ特性を調整した抵抗体ペーストを用いて形成された抵抗体では、従来の鉛系組成の抵抗体ペーストを用いた場合よりもＳＴＯＬ特性が低下する傾向にある。したがって、添加物を添加しない状態、すなわちガラス組成物及び導電性材料からなる組成の抵抗体ペーストを用いて形成された抵抗体の段階で、ＳＴＯＬ特性をさらに向上させる必要がある。
【０００８】
そこで本発明は、このような従来の実情に鑑みて提案されたものであり、例えば１ｋΩ／□以上の高い抵抗値を有し、温度特性（ＴＣＲ）及び耐電圧特性（ＳＴＯＬ）の両立を図ることができる抵抗体及びその製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、前記抵抗体ペーストを用いて作製された抵抗体、さらにはこの抵抗体を有する電子部品を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは、温度特性（ＴＣＲ）及び耐電圧特性（ＳＴＯＬ）の両立が可能な抵抗体ペーストについて長期に亘り研究を重ねた結果、ＴＣＲ調整剤の少なくとも一部を固溶したＲｕ系複合酸化物を導電性材料として用いることが有効であることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１０】
すなわち、本発明に係る抵抗体ペーストは、Ｒｕ系複合酸化物を含有する導電性材料及びＴＣＲ調整剤を含有し、これらが有機ビヒクルと混合されてなる抵抗体ペーストであって、前記Ｒｕ系複合酸化物及び前記ＴＣＲ調整剤の少なくとも一部が互いに固溶した状態とされていることを特徴とする。また、本発明に係る抵抗体は、Ｒｕ系複合酸化物を含有する導電性材料及びＴＣＲ調整剤を含有し、これらＲｕ系複合酸化物及び前記ＴＣＲ調整剤の少なくとも一部が互いに固溶した状態とされていることを特徴とする。また、本発明に係る電子部品は、前記抵抗体を有することを特徴とする。
【００１１】
Ｒｕ系複合酸化物及びＴＣＲ調整剤の少なくとも一部が互いに固溶した状態とした抵抗体ペーストは、従来のように導電性材料としてのＲｕ系複合酸化物とＴＣＲ調整剤とが互いに固溶していない状態の抵抗体ペーストと比較して、例えば１ｋΩ／□以上の高抵抗で、ＴＣＲ特性、ＳＴＯＬ特性が両立される。
【００１２】
また、本発明に係る抵抗体ペーストの製造方法は、Ｒｕ系複合酸化物を含有する導電性材料及びＴＣＲ調整剤を含有し、これらが有機ビヒクルと混合されてなる抵抗体ペーストの製造方法であって、ＲｕＯ2、前記Ｒｕ系複合酸化物の原料である金属酸化物及び前記ＴＣＲ調整剤を混合した混合物を焼成し、前記Ｒｕ系複合酸化物及び前記ＴＣＲ調整剤を少なくとも一部互いに固溶させることを特徴とする。
【００１３】
以上のような抵抗体ペーストの製造方法では、Ｒｕ系複合酸化物を得るための焼成前に、Ｒｕ系複合酸化物の原料とＴＣＲ調整剤とを予め混合しておくことで、Ｒｕ系複合酸化物及びＴＣＲ調整剤の少なくとも一部が固溶した状態を形成することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の抵抗体ペーストは、高抵抗で且つＴＣＲ特性及びＳＴＯＬ特性を両立することが可能な抵抗体を得ることができる。したがって、本発明によれば、高抵抗で温度特性（ＴＣＲ）及び耐電圧特性（ＳＴＯＬ）に優れた抵抗体、電子部品を提供することが可能である。
【００１５】
また、本発明の抵抗体ペーストの製造方法によれば、高抵抗でＴＣＲ特性及びＳＴＯＬ特性を両立することが可能な抵抗体ペーストを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係る抵抗体ペースト及びその製造方法、抵抗体ペーストを用いて形成される抵抗体、及び抵抗体を有する電子部品について説明する。
【００１７】
本発明の抵抗体ペーストは、ガラス組成物、Ｒｕ系複合酸化物を含有する導電性材料及びＴＣＲ調整剤を含有し、これらが有機ビヒクルと混合されてなり、Ｒｕ系複合酸化物及びＴＣＲ調整剤の少なくとも一部が互いに固溶した状態とされているものである。ここで、ＴＣＲ調整剤は、Ｒｕ系複合酸化物に対して一部が固溶した状態、全量が固溶した状態のいずれでもかまわないが、従来の抵抗体ペーストのようにＲｕ系複合酸化物及びＴＣＲ調整剤が互いに固溶せずに抵抗体ペースト中に存在する場合に比べてＴＣＲ調整剤の含有量を低減できることから、Ｒｕ系複合酸化物に対して全量が固溶した状態とすることが好ましい。
【００１８】
Ｒｕ系複合酸化物としては、例えば、ＣａＲｕＯ3、ＳｒＲｕＯ3、ＢａＲｕＯ3、Ｂｉ2Ｒｕ2Ｏ7から選ばれる少なくとも一種を用いることが好ましい。
【００１９】
Ｒｕ系複合酸化物に少なくとも一部が固溶されるＴＣＲ調整剤は、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ、ＺｎＯ、ＭｎＯ2、Ｍｎ3Ｏ4、ＣｏＯ、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｓｃ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5、Ｎｂ2Ｏ5、ＷＯ3、ＳｎＯ2、ＣｅＯ2、Ｅｕ2Ｏ3、Ｇｄ2Ｏ3、Ｔｂ4Ｏ7、Ｈｏ2Ｏ3、Ｅｒ2Ｏ3、Ｔｍ2Ｏ3、Ｙｂ2Ｏ3、Ｌｕ2Ｏ3、Ｔａ２Ｏ５から選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。これらＴＣＲ調整剤は、単独で用いてもＴＣＲ特性の調整を行うことができるが、これらを複数種類適当に組み合わせて用いることで、ＴＣＲ特性の合わせ込みを容易とすることができる。中でもＴＣＲ特性の微調整が可能なことから、ＣｕＯ、ＮｉＯ及びＭｇＯを組み合わせて用いることが好ましい。また、Ｓｃ２Ｏ３、Ｍｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５を用いることも好ましい。
【００２０】
抵抗体ペースト中の導電性材料の含有量は、ガラス組成物、導電性材料、及び添加物の合計質量を１００質量％とした場合に、９．４質量％〜５３．３質量％とするのが好ましい。導電性材料の含有量が前記範囲を下回る場合、抵抗値が高くなりすぎてしまい、抵抗体ペーストとしての使用に適さなくなるおそれがある。逆に、導電性材料の含有量が前記範囲を越えると、ガラス組成物による導電性材料の結着が不十分になり、信頼性が低下するおそれがある。
【００２１】
ガラス組成物は、特に限定されないが、本発明では環境保全上、鉛を実質的に含まない鉛フリーのガラス組成物を用いることが好ましい。なお、本発明において、「鉛を実質的に含まない」とは、不純物レベルとは言えない量を越える鉛を含まないことを意味し、不純物レベルの量（例えば、ガラス組成物中の含有量が０．０５質量％以下程度）であれば含有されていてもよい趣旨である。鉛は、不可避不純物として極微量程度に含有されることがある。
【００２２】
ガラス組成物は、抵抗体とされたとき、抵抗体中で導電性材料及び添加物を基板と結着させる役割を持つ。ガラス組成物は、原料として、修飾酸化物成分、網目形成酸化物成分等を混合して用いることができる。主たる修飾酸化物成分としては、アルカリ土類酸化物、具体的にはＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯから選ばれる少なくとも１種を挙げることができる。また、網目形成酸化物成分としては、Ｂ2Ｏ3及びＳｉＯ2を挙げることができる。また、前記主たる修飾酸化物成分の他、その他の修飾酸化物成分として、任意の酸化物を用いることができる。具体的な酸化物は、例えばＡｌ2Ｏ3、ＺｒＯ2、ＭｇＯ、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、Ｋ2Ｏ、Ｎａ2Ｏ、Ｌｉ2Ｏ、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＺｎＯ、ＣｏＯ、ＭｎＯ、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5等から選ばれる少なくとも一種であり、中でもＺｒＯ2、Ａｌ2Ｏ3、ＭｎＯから選ばれる少なくとも一種であることが好ましい。
【００２３】
ガラス組成物における各成分の含有量にはそれぞれ最適範囲が存在し、例えば主たる修飾酸化物成分の含有量が少なすぎると、導電性材料との反応性が低下し、ＴＣＲ、ＳＴＯＬ特性を劣化させるおそれがある。逆に、主たる修飾酸化物成分の含有量が多すぎる場合、抵抗体を形成した時に、過剰な金属酸化物の析出が起こり、特性、信頼性を劣化させるおそれがある。網目形成酸化物成分の含有量が少ない場合、ガラスの作製が困難となるおそれがある。逆に、網目形成酸化物成分の含有量が多すぎる場合、ガラス組成物の耐水性が低下するため、抵抗体としたときの信頼性を著しく低下させるおそれがある。また、その他の修飾酸化物成分の含有量が少なすぎる場合、ガラス組成物の耐水性が低下するため、抵抗体としたときの信頼性を著しく低下させるおそれがある。逆に、その他の修飾酸化物成分の含有量が多すぎる場合、抵抗体を形成した時に、過剰な金属酸化物の析出が起こり、特性、信頼性を劣化させるおそれがある。
【００２４】
抵抗体ペースト中のガラス組成物の含有量は、導電性材料、ガラス組成物、添加物の合計の質量を１００質量％とした時に、４７．７質量％〜９０．６質量％とするのが好ましい。含有量が少ない場合、導電性材料、添加物の結着が不十分となり、信頼性が著しく低下するおそれがある。逆に、ガラス組成物の含有量が前記範囲を越えると、抵抗値が高くなり過ぎてしまい、抵抗体ペーストとしての使用に適さなくなるおそれがある。
【００２５】
抵抗体ペーストには、前述のガラス組成物、導電性材料、導電性材料であるＲｕ系複合酸化物に固溶したＴＣＲ調整剤の他、特性の調整等を目的として、添加物が含まれていてもよい。抵抗体ペーストにおける添加物の含有量は、ガラス組成物、導電性材料、及び添加物の合計質量を１００質量％とした場合に、０〜２７．２質量％とするのが好ましい。添加物の含有量が少ない場合、十分な特性の調整が困難となる。逆に、添加物の含有量が多すぎる場合、導電性材料、添加物の結着が不十分となり、信頼性が著しく低下するおそれがある。
【００２６】
添加物としては、任意の金属酸化物を用いることができる。具体的には、ＭｇＯ、ＴｉＯ2、ＳｎＯ2、ＺｎＯ、ＣｏＯ、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｎＯ、Ｍｎ3Ｏ4、ＣｏＯ、Ｆｅ2Ｏ3、Ｃｒ2Ｏ3、Ｙ2Ｏ3、Ｖ2Ｏ5等が挙げられる。中でも、ＴＣＲ調整剤として効果の高い酸化物であるＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯが好ましい。それぞれの添加物の含有量が多すぎる場合、ＳＴＯＬ特性が劣化するおそれがある。
【００２７】
有機ビヒクルは、ガラス組成物、導電性材料と添加物とを混練しペースト化させる役割を有し、この種の抵抗体ペーストに用いられるものがいずれも使用可能である。有機ビヒクルは、バインダを有機溶剤中に溶解することによって調製されるものである。バインダとしては、特に限定されず、例えば、エチルセルロース、ポリビニルブチラール等、各種バインダから適宜選択すればよい。有機溶剤も限定されず、テルピネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン等、各種有機溶剤から適宜選択すればよい。さらに、抵抗体ペーストの物性を調節するために、分散剤等の各種添加剤を加えてもよい。
【００２８】
前記有機ビヒクルの配合比率であるが、ガラス組成物、導電性材料、及び添加物を合計した合計質量（Ｗ１）と、有機ビヒクルの質量（Ｗ２）の比率（Ｗ２／Ｗ１）が、０．２５〜４（Ｗ２：Ｗ１＝１：０．２５〜１：４）であることが好ましい。より好ましくは、前記比率（Ｗ２／Ｗ１）が０．５〜２である。前記比率を外れると、抵抗体を例えば基板上に形成するのに適した粘度の抵抗体ペーストを得ることができなくなるおそれがある。
【００２９】
以下、本発明の抵抗体ペーストの製造方法について説明する。先ず、ＴＣＲ調整剤が少なくとも一部固溶した状態のＲｕ系複合酸化物を作製するために、Ｒｕ系複合酸化物の原料であるＲｕＯ2及び原料化合物、並びにＴＣＲ調整剤を所定量秤量し、例えばボールミル等を用いて混合する。これらを混合する際には、乾式混合、湿式混合のいずれを採用することも可能であるが、良好な混合状態を得られることから湿式混合を採用することが好ましい。
【００３０】
Ｒｕ系複合酸化物の原料化合物には、例えばＣａＯ、ＳｒＯ、ＢａＯ、Ｂｉ2Ｏ3、ＣａＣＯ3、ＳｒＣＯ3、ＢａＣＯ3、Ｃａ（ＯＨ）2から選ばれる少なくとも一種を用いることができる。
【００３１】
次に、各種原料を混合した混合物を例えば大気中で焼成することにより、ＴＣＲ調整剤の少なくとも一部を固溶したＲｕ系複合酸化物が得られる。焼成温度は１０００℃〜１４００℃とすることが好ましい。焼成温度が前記範囲を下回ると、所望のＲｕ系複合酸化物が合成されず、逆に前記範囲を上回ると、ＲｕＯ2が分解するおそれがある。
【００３２】
そして、得られたＲｕ系複合酸化物と、ガラス組成物と、必要に応じて添加物とを、適当な有機ビヒクルと混合し、ペースト化することにより、抵抗体ペーストが得られる。
【００３３】
抵抗体を形成するには、前述の成分を含む抵抗体ペーストを例えば基板上にスクリーン印刷等の手法で印刷（塗布）し、８５０℃程度の温度で焼成すればよい。基板としては、Ａｌ2Ｏ3基板やＢａＴｉＯ3基板の誘電体基板や、低温焼成セラミック基板、ＡｌＮ基板等を用いることができる。基板形態としては、単層基板、複合基板、多層基板のいずれであってもよい。多層基板の場合、抵抗体は、表面に形成してもよいし、内部に形成してもよい。
【００３４】
抵抗体の形成に際しては、通常、基板に電極となる導電パターンを形成するが、この導電パターンは、例えば、ＡｇやＰｔ、Ｐｄ等を含むＡｇ系の良導電材料を含む導電ペーストを印刷することにより形成することができる。また、形成した抵抗体の表面に、ガラス膜等の保護膜を形成してもよい。
【００３５】
本発明の抵抗体を適用可能な電子部品としては特に限定されないが、例えば単層または多層の回路基板、チップ抵抗器等の抵抗器、アイソレータ素子、Ｃ−Ｒ複合素子、モジュール素子の他、積層チップコンデンサ等のコンデンサやインダクタ等が挙げられ、コンデンサやインダクタ等の電極部分にも適用することができる。
【実施例】
【００３６】
以下、本発明を適用した具体的な実施例について、実験結果に基づいて説明する。なお、本発明は以下の実施例の記載に限定されるものではない。
【００３７】
＜ＣａＲｕＯ３の作製（従来例）＞
ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とが１．０ｍｏｌ％：１．０ｍｏｌ％の割合となるように、ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とを秤量し、混合した（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2混合物）。この混合粉末を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2混合物）。溶媒としては純水を用いた。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥し、混合粉末を得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2混合物）。
【００３８】
前記混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して仮焼きした（状態：ＣａＲｕＯ3）。次に、得られたＣａＲｕＯ3を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて６４時間湿式粉砕した（状態：ＣａＲｕＯ3）。溶媒としては純水を用いた。次に、ＣａＲｕＯ3粉末を含むスラリーを１２０℃、空気中で乾燥させ、抵抗体ペーストに用いるＣａＲｕＯ3を得た。得られたＣａＲｕＯ3を導電性材料試料１、４、６、８、１０、１２、１４、１６とした。
【００３９】
＜導電性材料試料２の作製（実施例）＞
ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とが１．０ｍｏｌ％：１．０ｍｏｌ％の割合となるように、ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とを秤量し、また、ＴＣＲ調整剤として、ＣｕＯを１０．０質量％、ＮｉＯを５０．０質量％、ＭｇＯを２０．０質量％秤量し、これらを混合した（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ混合物）。以下の実施例（試料５、７、９、１１、１３、１５、１７）及び比較例（試料３）でも同様であるが、導電性材料作製時のＴＣＲ調整剤の添加量は、ＣａＲｕＯ３を１００質量％として換算した値で表している。この混合粉末を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ混合物）。溶媒としては純水を用いた。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥し、混合粉末を得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ混合物）。
【００４０】
前記混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して仮焼きした（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ混合物）。次に、得られたＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ及びＭｇＯ混合物を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて６４時間湿式粉砕した（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ混合物）。溶媒としては純水を用いた。次に、ＣａＲｕＯ3粉末を含むスラリーを１２０℃、空気中で乾燥させ、抵抗体ペーストに用いる導電性材料試料２（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ混合物）を得た。
【００４１】
＜導電性材料試料３の作製（比較例）＞
ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とが１．０ｍｏｌ％：１．０ｍｏｌ％の割合となるように、ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とを秤量し、混合した（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2混合物）。この混合粉末を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2混合物）。溶媒としては純水を用いた。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥し、混合粉末を得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2混合物）。
【００４２】
前記混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して仮焼きした（状態：ＣａＲｕＯ3）。次に、得られたＣａＲｕＯ3を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて６４時間湿式粉砕した（状態：ＣａＲｕＯ3）。溶媒としては純水を用いた。次に、ＣａＲｕＯ3粉末を含むスラリーを１２０℃、空気中で乾燥させた（状態：ＣａＲｕＯ3）。
【００４３】
次に、ＴＣＲ調整剤としてＣｕＯを１０．０質量％、ＮｉＯを１００質量％、ＭｇＯを２０．０質量％秤量してＣａＲｕＯ3に加え、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ混合物）。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥させ、抵抗体ペーストに用いる導電性材料試料３（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ混合物）を得た。
【００４４】
＜導電性材料試料５の作製（実施例）＞
ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とが１．０ｍｏｌ％：１．０ｍｏｌ％の割合となるように、ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とを秤量し、また、ＴＣＲ調整剤として、ＣｕＯを２０．０質量％、ＮｉＯを２０．０質量％、Ｓｃ２Ｏ３を１０．０質量％秤量し、これらを混合した（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）。この混合粉末を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）。溶媒としては純水を用いた。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥し、混合粉末を得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）。
【００４５】
前記混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して仮焼きした（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）。次に、得られたＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ及びＳｃ２Ｏ３混合物を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて６４時間湿式粉砕した（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）。溶媒としては純水を用いた。次に、ＣａＲｕＯ3粉末を含むスラリーを１２０℃、空気中で乾燥させ、抵抗体ペーストに用いる導電性材料試料５（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）を得た。
【００４６】
＜導電性材料試料７の作製（実施例）＞
ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とが１．０ｍｏｌ％：１．０ｍｏｌ％の割合となるように、ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とを秤量し、また、ＴＣＲ調整剤として、ＣｕＯを２０．０質量％、ＮｉＯを３０．０質量％、Ｇｄ２Ｏ３を１０．０質量％秤量し、これらを混合した（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｇｄ２Ｏ３混合物）。この混合粉末を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｇｄ２Ｏ３混合物）。溶媒としては純水を用いた。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥し、混合粉末を得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｇｄ２Ｏ３混合物）。
【００４７】
前記混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して仮焼きした（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｇｄ２Ｏ３混合物）。次に、得られたＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ及びＧｄ２Ｏ３混合物を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて６４時間湿式粉砕した（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｇｄ２Ｏ３混合物）。溶媒としては純水を用いた。次に、ＣａＲｕＯ3粉末を含むスラリーを１２０℃、空気中で乾燥させ、抵抗体ペーストに用いる導電性材料試料７（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｇｄ２Ｏ３混合物）を得た。
【００４８】
＜導電性材料試料９の作製（実施例）＞
ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とが１．０ｍｏｌ％：１．０ｍｏｌ％の割合となるように、ＣａＣＯ３とＲｕＯ２とを秤量し、また、ＴＣＲ調整剤として、ＣｕＯを２０．０質量％、ＮｉＯを３０．０質量％、Ｅｒ２Ｏ３を１０．０質量％秤量し、これらを混合した（状態：ＣａＣＯ３、ＲｕＯ２、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｅｒ２Ｏ３混合物）。この混合粉末を、アルミナポット及びＺｒＯ２ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＣＯ３、ＲｕＯ２、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｅｒ２Ｏ３混合物）。溶媒としては純水を用いた。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥し、混合粉末を得た（状態：ＣａＣＯ３、ＲｕＯ２、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｅｒ２Ｏ３混合物）。
【００４９】
前記混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して仮焼きした（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｅｒ２Ｏ３混合物）。次に、得られたＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ及びＥｒ２Ｏ３混合物を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて６４時間湿式粉砕した（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｅｒ２Ｏ３混合物）。溶媒としては純水を用いた。次に、ＣａＲｕＯ3粉末を含むスラリーを１２０℃、空気中で乾燥させ、抵抗体ペーストに用いる導電性材料試料９（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＮｉＯ、Ｅｒ２Ｏ３混合物）を得た。
【００５０】
＜導電性材料試料１１の作製（実施例）＞
ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とが１．０ｍｏｌ％：１．０ｍｏｌ％の割合となるように、ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とを秤量し、また、ＴＣＲ調整剤として、ＣｕＯを２０．０質量％、ＺｎＯを４０．０質量％、Ｓｃ２Ｏ３を１０．０質量％秤量し、これらを混合した（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＺｎＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）。この混合粉末を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＺｎＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）。溶媒としては純水を用いた。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥し、混合粉末を得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、ＺｎＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）。
【００５１】
前記混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して仮焼きした（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＺｎＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）。次に、得られたＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＺｎＯ及びＳｃ２Ｏ３混合物を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて６４時間湿式粉砕した（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＺｎＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）。溶媒としては純水を用いた。次に、ＣａＲｕＯ3粉末を含むスラリーを１２０℃、空気中で乾燥させ、抵抗体ペーストに用いる導電性材料試料１１（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、ＺｎＯ、Ｓｃ２Ｏ３混合物）を得た。
【００５２】
＜導電性材料試料１３の作製（実施例）＞
ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とが１．０ｍｏｌ％：１．０ｍｏｌ％の割合となるように、ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とを秤量し、また、ＴＣＲ調整剤として、ＣｕＯを１０．０質量％、Ｍｎ３Ｏ４を５．０質量％、Ｖ２Ｏ５を５．０質量％秤量し、これらを混合した（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、Ｍｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５混合物）。この混合粉末を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、Ｍｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５混合物）。溶媒としては純水を用いた。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥し、混合粉末を得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、Ｍｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５混合物）。
【００５３】
前記混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して仮焼きした（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、Ｍｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５混合物）。次に、得られたＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、Ｍｎ３Ｏ４及びＶ２Ｏ５混合物を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて６４時間湿式粉砕した（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、Ｍｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５混合物）。溶媒としては純水を用いた。次に、ＣａＲｕＯ3粉末を含むスラリーを１２０℃、空気中で乾燥させ、抵抗体ペーストに用いる導電性材料試料１３（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、Ｍｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５混合物）を得た。
【００５４】
＜導電性材料試料１５の作製（実施例）＞
ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とが１．０ｍｏｌ％：１．０ｍｏｌ％の割合となるように、ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とを秤量し、また、ＴＣＲ調整剤として、ＣｕＯを１５．０質量％、Ｔａ２Ｏ５を３０．０質量％秤量し、これらを混合した（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、Ｔａ２Ｏ５混合物）。この混合粉末を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、Ｔａ２Ｏ５混合物）。溶媒としては純水を用いた。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥し、混合粉末を得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、Ｔａ２Ｏ５混合物）。
【００５５】
前記混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して仮焼きした（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、Ｔａ２Ｏ５混合物）。次に、得られたＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ及びＴａ２Ｏ５混合物を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて６４時間湿式粉砕した（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、Ｔａ２Ｏ５混合物）。溶媒としては純水を用いた。次に、ＣａＲｕＯ3粉末を含むスラリーを１２０℃、空気中で乾燥させ、抵抗体ペーストに用いる導電性材料試料１５（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、Ｔａ２Ｏ５混合物）を得た。
【００５６】
＜導電性材料試料１７の作製（実施例）＞
ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とが１．０ｍｏｌ％：１．０ｍｏｌ％の割合となるように、ＣａＣＯ3とＲｕＯ2とを秤量し、また、ＴＣＲ調整剤として、ＣｕＯを２０．０質量％、Ｎｂ２Ｏ５を４０．０質量％秤量し、これらを混合した（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、Ｎｂ２Ｏ５混合物）。この混合粉末を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて、１６時間湿式混合し、混合物スラリーを得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、Ｎｂ２Ｏ５混合物）。溶媒としては純水を用いた。得られた混合物スラリーを１２０℃、空気中で乾燥し、混合粉末を得た（状態：ＣａＣＯ3、ＲｕＯ2、ＣｕＯ、Ｎｂ２Ｏ５混合物）。
【００５７】
前記混合粉末を大気中で５℃／分の速度で１２００℃まで昇温し、その温度に５時間保持して仮焼きした（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、Ｎｂ２Ｏ５混合物）。次に、得られたＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ及びＮｂ２Ｏ５混合物を、アルミナポット及びＺｒＯ2ボールを用いたボールミルにて６４時間湿式粉砕した（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、Ｎｂ２Ｏ５混合物）。溶媒としては純水を用いた。次に、ＣａＲｕＯ3粉末を含むスラリーを１２０℃、空気中で乾燥させ、抵抗体ペーストに用いる導電性材料試料１７（状態：ＣａＲｕＯ3、ＣｕＯ、Ｎｂ２Ｏ５混合物）を得た。
【００５８】
＜ガラス組成物の作製＞
Ｂ2Ｏ3、ＳｉＯ2、ＣａＣＯ3、ＳｒＣＯ3、ＢａＣＯ3、ＺｒＯ2、Ａｌ2Ｏ3等の化合物を所定量秤量し、ボールミルにて混合した後、乾燥した。得られた粉末を５℃／分の速度で１３００℃まで昇温し、その温度に１時間保持した後、水中に投入することによって急冷し、ガラス化した。得られたガラス化物をボールミルで粉砕し、ガラス組成物粉末を得た。ガラス組成は以下のとおりである。
ＣａＯ：Ｂ2Ｏ3：ＳｉＯ2：ＺｒＯ2＝３４：３６：２５：５（ｍｏｌ％）
【００５９】
＜添加物＞
添加物として、ＣｕＯ、ＮｉＯ、ＭｇＯ、Ｓｃ２Ｏ３、Ｇｄ２Ｏ３、Ｅｒ２Ｏ３、ＺｎＯ、Ｍｎ３Ｏ４、Ｖ２Ｏ５、Ｔａ２Ｏ５、Ｎｂ２Ｏ５を用いた。
【００６０】
＜有機ビヒクルの作製＞
バインダとしてエチルセルロース、有機溶剤としてテルピネオールを用い、有機溶剤を加熱撹拌しながらバインダを溶かして、有機ビヒクルを作製した。
【００６１】
＜抵抗体ペーストの作製＞
実施例及び比較例の導電性材料を用いる場合には、導電性材料の粉末と、ガラス組成物粉末及び有機ビヒクルを秤量し、３本ロールミルで混練し、抵抗体ペーストを得た。導電性材料粉末及びガラス組成物粉末の合計質量と有機ビヒクルの質量の比は、得られた抵抗体ペーストがスクリーン印刷に適した粘度となるように、質量比で１：０．２５〜１：４の範囲で調合し、抵抗体ペーストを作製した。
【００６２】
従来例の導電性材料を用いる場合には、前述の導電性材料の粉末、ガラス組成物粉末及び有機ビヒクルに加えて、添加物として後述の表１に示すＴＣＲ調整剤を秤量し、これらを３本ロールミルで混練し、抵抗体ペーストを得た。導電性材料粉末、ガラス組成物粉末及び添加物粉末の合計質量と有機ビヒクルの質量の比は、得られた抵抗体ペーストがスクリーン印刷に適した粘度となるように、質量比で１：０．２５〜１：４の範囲で調合し、抵抗体ペーストを作製した。
【００６３】
各抵抗体ペーストにおいては、実施例と対応する従来例とで同程度の抵抗値を実現するように、抵抗体ペースト中の導電性材料、ガラス組成物及び添加物の比率、ＴＣＲ調整剤の添加量等を設定した。
【００６４】
＜抵抗体の作製＞
９６％のアルミナ基板上に、Ａｇ−Ｐｔ導体ペーストを所定形状にスクリーン印刷して乾燥させた。Ａｇ−Ｐｔ導体ペーストにおけるＡｇの割合は９５質量％、Ｐｔの割合は５質量％とした。このアルミナ基板をベルト炉に入れ、投入から排出まで１時間のパターンで焼き付けを行った。この時の焼き付け温度は８５０℃、その温度での保持時間は１０分間とした。
【００６５】
このようにして導体が形成されたアルミナ基板上に、先に作製した抵抗体ペーストをスクリーン印刷法にて所定の形状（１ｍｍ×１ｍｍの方形状）のパターンで塗布し、乾燥した。その後、導体焼き付けと同じ条件で抵抗体ペーストを焼き付け、厚膜抵抗体を得た。それぞれの導電性材料について、抵抗値が１ＭΩ付近となるようにペースト組成比を調整した抵抗体を作製し、以下のように特性の評価を行った。
【００６６】
＜抵抗体の特性評価＞
（１）抵抗値
Agilent Technologies 社製の製品番号 34401Aにより測定。試料数２４個の平均値を求めた。
【００６７】
（２）ＴＣＲ
室温２５℃を基準として、−５５℃及び１２５℃へ温度を変えた時の抵抗値変化率を求めた。試料数１０個の平均値である。−５５℃、２５℃、１２５℃の抵抗値をR-55、25、R125（Ω／□）とおくと、ＴＣＲ（ppm／℃）＝［(R-55-R25)/R25/80］×1000000、あるいは、ＴＣＲ（ppm／℃）＝［(R125-R25)/R25/100］×1000000である。数値の大きい方をＴＣＲ値とした。
【００６８】
（３）ＳＴＯＬ（短時間過負荷）
厚膜抵抗体に試験電圧を５秒間印加し、その前後における抵抗値の変化率を求めた。試料数１０個の平均値である。試験電圧＝２．５×定格電圧であり、定格電圧＝√（Ｒ／８）、Ｒは抵抗値（Ω／□）である。計算した試験電圧が２００Ｖを越える抵抗値を持つ抵抗体については、試験電圧を２００Ｖにて行った。
【００６９】
（４）経時変化
厚膜抵抗体を８５℃、８５％ＲＨの雰囲気に放置し、１０００時間後の抵抗値変動率を求めた。経時変化≦±１．０％が特性の基準となる。
【００７０】
（５）恒温恒湿負荷試験
厚膜抵抗体に１５Ｖの電圧を印加しながら、８５℃、８５％ＲＨの雰囲気に放置し、１０００時間後の抵抗値変動を評価した。試験前後での抵抗値の変動をΔＲ（％）とすると、±１．０％以下であることが好ましい。
【００７１】
抵抗体の特性の評価結果を表１に示す。表１中、ＴＣＲ調整剤添加方法の項目における「従来例」は、抵抗体ペースト作製時に添加物としてＴＣＲ調整剤を添加したこと（従来例の導電性材料を用いたこと）を表す。「実施例」は、導電性材料の焼成前に予めＲｕ系複合酸化物の原料とＴＣＲ調整剤を混合しておいたこと（実施例の導電性材料を用いたこと）を表す。「比較例」は、導電性材料の焼成後、且つ抵抗体ペースト作製前にＴＣＲ調整剤を添加したこと、すなわち焼成後のＲｕ系複合酸化物とＴＣＲ調整剤とを混合して用いたこと（比較例の導電性材料を用いたこと）を表す。
【００７２】
なお、表１においては、抵抗体ペーストにおけるＴＣＲ調整剤、ＣａＲｕＯ３及びガラス組成物の各成分の含有量を、導電性材料、ガラス組成物及び添加物の合計質量を１００質量％とした場合の換算値として表した。表１に示すＴＣＲ調整剤は、従来例においては添加物として用いられ、実施例においてはＣａＲｕＯ３に固溶した状態（導電性材料）として用いられ、比較例ではＣａＲｕＯ３と混合した状態（導電性材料）として用いられる。
【００７３】
【表１】
2005235756.tif 000002
【００７４】
表１から、焼成前に予めＲｕ系複合酸化物の原料とＴＣＲ調整剤を混合しておいた試料２は、抵抗体ペースト作製時に添加物としてＴＣＲ調整剤を添加した試料１と比較して、ＴＣＲ特性、ＳＴＯＬ特性、経時変化及び恒温恒湿負荷試験のいずれも改善していることがわかる。また、試料２は、焼成後のＲｕ系複合酸化物とＴＣＲ調整剤とを混合して用いた試料３と比較して、特にＳＴＯＬ特性、経時変化及び恒温恒湿負荷試験が良好であることがわかる。したがって、試料２のように、焼成前にＲｕ系複合酸化物の原料とＴＣＲ調整剤とを混合し、Ｒｕ系複合酸化物にＴＣＲ調整剤が固溶した抵抗体ペーストを用いることによって、良好な特性の抵抗体を得られることがわかる。
【００７５】
また、焼成前にＲｕ系複合酸化物の原料とＴＣＲ調整剤とを混合し、Ｒｕ系複合酸化物にＴＣＲ調整剤が固溶した抵抗体ペーストを用いることで、ＴＣＲ調整剤の種類を変えた場合（試料４〜試料１７）であっても、良好な特性の抵抗体が実現されている。
【００７６】
また、表１から、実施例の抵抗体ペーストにおいては、従来例や比較例の抵抗体ペーストに比べて、ＴＣＲ調整剤の添加量を低減できていることがわかる。