(57)【要約】【課題】  測定範囲を狭めることなく、透明な測定対象の表面又は裏面からの反射光のみを受光して測定を行うことが可能なレーザ変位計を提供する。【解決手段】  透明体４０にレーザ光を照射する投光部２０と、レーザ光の照射方向と異なる方向で透明体４０からの反射光を受けて透明体４０上の照射点の像を結像させる受光部３０と、受光部３０による照射点の結像位置に配置される受光面を有し、照射点の結像位置に応じた信号を出力する結像位置検出素子３１と、結像位置検出素子３１の受光面側に配置され、結像位置検出素子３１による反射光の受光範囲を制限する遮光マスク３３、３４と、制限された受光範囲を維持した状態で、遮光マスク３３、３４を受光面に沿って移動させる遮光マスク移動手段３００とを備える。【選択図】      図１
2005201708.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性を有する測定対象にレーザ光を照射する投光部（２０）と、
この投光部によるレーザ光の照射方向と異なる方向で前記測定対象からの反射光を受けて前記測定対象上の照射点の像を結像させる受光部（３０）と、
この受光部による前記照射点の結像位置に配置される受光面を有し、前記照射点の変位とともに移動するその結像位置を検出して、その検出結果に応じた信号を出力する結像位置検出素子（３１）と、
この結像位置検出素子の受光面側に近接して配置され、前記結像位置検出素子による前記反射光の受光範囲を制限するための遮光マスク（３３、３４）と、
前記制限された受光範囲を維持した状態で、前記遮光マスクを前記受光面に沿って移動させる遮光マスク移動手段（３００）と、
を備えていることを特徴とするレーザ変位計。
【請求項２】
前記測定対象の表面と裏面のいずれか一方からの反射光のみを前記結像位置検出素子に受光させ、他方からの反射光を遮蔽するように前記遮光マスクの位置を調整するための受光範囲調整手段（６００）を更に備えていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ変位計。
【請求項３】
前記遮光マスク移動手段（３００）は、前記結像位置検出素子からの前記出力信号を基に前記遮光マスクの移動位置を制御することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のレーザ変位計。
【請求項４】
前記結像位置検出素子からの前記出力信号に基づいて前記照射点の変位量を演算する変位量演算手段（１００）と、この変位量演算手段により演算された前記変位量の正負の極性を判断する極性判断手段（２００）とを更に備え、
前記遮光マスク移動手段（３００）は、前記極性判断手段による判断結果に応じて前記遮光マスクの位置を切り換え制御することを特徴とする請求項３に記載のレーザ変位計。
【請求項５】
前記結像位置検出素子からの前記出力信号に基づいて前記照射点の変位量を演算する変位量演算手段（１００）を更に備え、
前記遮光マスク移動手段（３００）は、前記変位量演算手段により演算された前記変位量の変化に対応して、前記制限された受光範囲を前記測定対象の表面からの反射光に追従させるように前記遮光マスクを移動制御することを特徴とする請求項３に記載のレーザ変位計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定対象に照射したレーザ光を受光して、測定対象の位置変位を検出するレーザ変位計に関する。
【背景技術】
【０００２】
図４に、従来のレーザ変位計１の概略構成を示す。レーザ変位計１は、レーザ光源２から測定対象に照射されたレーザ光の照射点の像を、結像レンズ３によって結像位置検出素子としての受光素子４上に結像させるように構成されている。
【０００３】
このとき、図４に示すように、Ｐ０点がレーザ光の照射点である場合の像は受光素子４のＫ０点で受光され、Ｐ０点よりもレーザ変位計１に近いＰ１点の像はＫ１点で受光され、Ｐ０点よりもレーザ変位計１から遠いＰ２点の像はＫ２点で受光される。
【０００４】
受光素子４は、図３に示すように、両端に電極４ａ、４ｂを有し、受光位置から各電極４ａ、４ｂまでの距離に対応した電流Ｉ１、Ｉ２をそれぞれ出力するように構成されている。この電流Ｉ１、Ｉ２の差を電流の和で除算した値（ｄ＝（Ｉ１−Ｉ２）／（Ｉ１＋Ｉ２））が照射の変位量に比例する値として得られる。なお、受光素子４の中央（例えばＫ０）に受光位置があるときは変位出力がゼロとなり、このときの照射の位置Ｐ０は、このレーザ変位計１の基準位置となる。
【０００５】
しかしながら、このような従来のレーザ変位計１を用いて、透明板の測定を行なう場合、透明体内部に入射した一部の光がその裏面（例えばＰ２点）で反射して、表面（Ｐ１点）で反射した光とともに受光素子４で受光されてしまうことが起こる。透明体の厚さが大きい場合、一方の反射光が受光素子４で受光されないために、受光量（Ｉ１＋Ｉ２）の激減を境界にして表面による反射であるか又は裏面による反射であるかを判別することができるが、透明体の厚さが小さい場合には、このような判別が不可能になるため、測定対象の厚さによって変位測定できる範囲が大きく制限されてしまうことがあった。
【０００６】
そこで本出願人は、下記の特許文献１に示すレーザ変位計を考案してこのような問題の解決を図った。当該文献には、レーザ光を測定対象に照射する投光部と、前記投光部のレーザ光の照射方向と異なる方向で前記測定対象からの反射光を受けて前記測定対象上の照射点の像を結像させる受光部と、前記受光部による前記測定対象上の照射点の結像位置に一致する受光面を有し、該照射点の変位にともなって移動する結像位置に応じた信号を出力する結像位置検出素子とを有し、前記測定対象上の照射点の変位を前記結像位置検出素子の出力信号に基づいて検出するレーザ変位計において、前記結像位置検出素子の受光面側に近接するように配置され、前記結像位置の移動方向に沿った該受光面の長さを制限するための遮光板（遮光マスク）と、前記遮光板を前記結像位置検出素子の受光面に沿って移動して、透光性を有する測定対象の表面からの反射光が前記遮光板によって制限された結像位置検出素子の受光面に結像するときには測定対象の裏面からの反射光が前記遮光板に遮られ、測定対象の裏面からの反射光が前記遮光板によって制限された結像位置検出素子の受光面に結像するときには測定対象の表面からの反射光が前記遮光板に遮られるように、前記遮光板の位置を決めるための位置決め手段とを備えたことを特徴とするレーザ変位計が記載されている。
【０００７】
図５には、特許文献１に記載のレーザ変位計の特徴である受光範囲調整手段の概略構成が示されている。このレーザ変位計は、受光素子４の受光面４ａ側に、照射点の結像位置の移動方向に沿った受光面の長さを制限するための一対の遮光マスク５、６を備え、透明体の表面での反射光と裏面での反射光とが同時に受光面４ａに到達しないように遮光マスク５と遮光マスク６との間隔を調整することにより、表面からの反射光と裏面からの反射光とを判別可能としている。遮光マスク５、６には、先端部７ａと根本部７ｂとで逆方向にネジが切られたネジ部材が貫通されている。また、遮光マスク５、６の下端側には、その側方への移動をガイドするガイド部材８が当接されている。遮光マスク５、６は、ネジ部材が回転されることによって、ガイド部材８に沿って互いに逆方向に移動され、その間隔が変化され、受光素子４による受光範囲が調整される。
【０００８】
このような構成により、特許文献１に記載のレーザ変位計によれば、当該文献の第５図（ａ）に示すように、遮光マスクの間隔を狭く設定することにより、裏面からの反射光を遮りつつ表面からの反射光を受光することができる。この状態から、透明体とレーザ変位計とが近接されていくと、同第５図（ｂ）に示すように反射光が受光されない状態を経由して、上記の値ｄ＝（Ｉ１−Ｉ２）／（Ｉ１＋Ｉ２）の正負の極性が反転する。更に両者が近づけられていくと、同第５図（ｃ）に示すように、透明体の表面からの反射光が遮蔽され、裏面からの反射光のみが受光される。
【０００９】
しかし、特許文献１に記載のレーザ変位計では、透明体の表面による反射光のみを受光する場合に遮光板の間隔を狭くする必要があるため、受光素子による受光範囲が小さくなり、測定範囲が狭まってしまうという問題があった。
【００１０】
【特許文献１】特許第２８７９２４２号（請求項、明細書〈本発明の実施例〉第１５〜１９段落）第２図、第５図（ａ）、（ｂ）、（ｃ））
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、板状の透明体を検査するときに、測定範囲を狭めることなく、その表面又は裏面からの照射点の反射光のみを受光して測定を行うことが可能なレーザ変位計を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、透光性を有する測定対象にレーザ光を照射する投光部と、この投光部によるレーザ光の照射方向と異なる方向で前記測定対象からの反射光を受けて前記測定対象上の照射点の像を結像させる受光部と、この受光部による前記照射点の結像位置に配置される受光面を有し、前記照射点の変位とともに移動するその結像位置を検出して、その検出結果に応じた信号を出力する結像位置検出素子と、この結像位置検出素子の受光面側に近接して配置され、前記結像位置検出素子による前記反射光の受光範囲を制限するための遮光マスクと、前記制限された受光範囲を維持した状態で、前記遮光マスクを前記受光面に沿って移動させる遮光マスク移動手段と、を備えていることを特徴とするレーザ変位計である。
【００１３】
また、上記目的を達成するために、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のレーザ変位計であって、前記測定対象の表面と裏面のいずれか一方からの反射光のみを前記結像位置検出素子に受光させ、他方からの反射光を遮蔽するように前記遮蔽マスクの位置を調整するための受光範囲調整手段を更に備えていることを特徴とする。
【００１４】
また、上記目的を達成するために、請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載のレーザ変位計であって、前記遮光マスク移動手段は、前記結像位置検出素子からの前記出力信号を基に前記遮光マスクの移動位置を制御することを特徴とする。
【００１５】
また、上記目的を達成するために、請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のレーザ変位計であって、前記結像位置検出素子からの前記出力信号に基づいて前記照射点の変位量を演算する変位量演算手段と、この変位量演算手段により演算された前記変位量の正負の極性を判断する極性判断手段とを更に備え、前記遮光マスク移動手段は、前記極性判断手段による判断結果に応じて前記遮光マスクの位置を切り換え制御することを特徴とする。
【００１６】
また、上記目的を達成するために、請求項５に記載の発明は、請求項３に記載のレーザ変位計であって、前記結像位置検出素子からの前記出力信号に基づいて前記照射点の変位量を演算する変位量演算手段を更に備え、前記遮光マスク移動手段は、前記変位量演算手段により演算された前記変位量の変化に対応して、前記制限された受光範囲を前記測定対象の表面からの反射光に追従させるように前記遮光マスクを移動制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係るレーザ変位計によれば、遮光マスクにより制限された受光範囲を維持したままで、遮光マスクを受光面に沿って移動させることができるので、結像位置検出素子による受光範囲、すなわち測定範囲を狭めることなく、透光性を有する測定対象の表面又は裏面からの照射点の反射光のみを受光して、測定対象の位置変位を測定することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明に係るレーザ変位計の実施形態の一例について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１９】
本発明に係るレーザ変位計は、結像位置検出素子による測定対象からの反射光の受光範囲を維持した状態で、遮光マスクを結像位置検出素子の受光面に沿って移動可能に構成することによって、板状の透明体を測定対象とするときに、その測定範囲を狭めることなく裏面からの反射光を遮光して、表面からの反射光のみを受光して測定できるように構成されていることを特徴としている。
【００２０】
［レーザ変位計の構成］
図１には、本実施形態のレーザ変位計１０の概略構成が示されている。レーザ変位計１０は、透光性を有する板状の測定対象である透明体４０にレーザ光を照射し、透明体４０によるその反射光を受光して透明体４０の表面４０ａの位置変位を検出するための装置である。なお、この透明体４０としては、例えば液晶パネルの表面に装着されるガラス板などがある。
【００２１】
レーザ変位計１０は、透明体４０にレーザ光を照射する投光部２０と、投光部２０によるレーザ光の照射方向と異なる方向で透明体４０からの反射光を受けて透明体４０上の照射点の像を結像させる受光部３０とを備えている。
【００２２】
投光部２０は、レーザ光を出力するレーザダイオード２１と、このレーザダイオード２１からのレーザ光を集光する集光レンズ２２とを含んで構成されている。なお、レーザダイオード２１は、図示しない電源回路から電源の供給を受けてレーザ光を発光する。
【００２３】
受光部３０は、結像位置検出素子３１と、結像レンズ３２と、遮光マスク（遮光板）３３、３４とを含んで構成されている。
【００２４】
結像位置検出素子３１は、透明体４０上におけるレーザ光の照射点の変位を検出するために用いられるＰＳＤ（Ｐｏｓｉｔｉｏｎ  Ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ  Ｄｅｔｅｃｔｏｒ）等の受光素子である。結像位置検出素子３１の受光面は、測定対象の透明体４０側、かつ、照射点の結像レンズ３２による結像位置に配置される。結像位置検出素子３１は、照射点の変位とともに移動する当該照射点の反射光の受光面における結像位置を検出し、検出した結像位置に対応する信号を出力する。結像位置検出素子３１は、図３に示したように、その両端部に電極を備えており、一方の電極（同図中の電極４ａ）から電流値Ｉ１を出力し、他方の電極（同図中の電極４ｂ）から電流値Ｉ２を出力するようになっている。この電流値Ｉ１とＩ２は、受光面上での反射光の結像位置に応じて変化する。例えば、反射光が両電極の中間位置に結像された場合はＩ１＝Ｉ２となり、結像位置が一方の電極に近づくにつれて当該電極側からの出力電流値は大きくなり、他方の電極からの出力電流値は小さくなる。
【００２５】
遮光マスク３３、３４は、結像位置検出素子３１の受光面側に近接して配置されており、結像位置検出素子３１の受光面に反射光が当たる面積（受光範囲）を制限するための部材である。
【００２６】
レーザ変位計１０は、変位量演算手段１００と、極性判断手段２００と、遮光マスク移動手段３００とを制御系として備えている。遮光マスク移動手段３００は、遮光マスク駆動手段４００と、遮光マスク制御手段５００と、受光範囲調整手段６００とを含んでいる。
【００２７】
変位量演算手段１００は、結像位置検出素子３１の出力信号を基に透明体４０の位置変位量を演算する。具体的には、変位量演算手段１００は、結像位置検出素子３１の出力信号（電流値）Ｉ１、Ｉ２を受けて、式ｄ＝（Ｉ１−Ｉ２）／（Ｉ１＋Ｉ２）により定義される値（変位量）を算出する。
【００２８】
極性判断手段２００は、変位量算出手段１００により演算された上記変位量の極性、すなわち正負（＋／−／０）を判断する。なお、上記式の分子Ｉ１−Ｉ２のみを参照して極性判断を行ってもよい。また、変位量算出手段１００を介さずに、結像位置検出素子３１の出力信号Ｉ１、Ｉ２の大小関係を比較して極性判断を行うようにしてもよい。
【００２９】
遮光マスク移動手段３００は、遮光マスク３３、３４を同時に同じ移動量だけ移動させることにより、結像位置検出素子３１による反射光の受光範囲を維持したままで、反射光をマスクする位置、すなわち結像位置検出素子３１が反射光を受光する位置を変更することが可能である。このような遮光マスク３３、３４の移動制御は、遮光マスク駆動手段４００と遮光マスク制御手段５００とにより実行される。
【００３０】
遮光マスク駆動手段４００は、遮光マスク３３、３４を結像位置検出素子３１の受光面に沿って移動させるための駆動装置で、ソレノイドや、ステッピングモータ等により構成される。
【００３１】
遮光マスク制御手段５００は、極性判断手段２００による判断結果に基づいて、遮光マスク駆動手段４００による遮光マスク３３、３４の移動位置を制御する。この遮光マスク制御手段３００は、例えば、極性判断手段２００による判断結果が正（＋）又は０であった場合（Ｉ１≧Ｉ２）、信号Ｉ１が出力された電極（図３中の電極４ａ；図１では、結像位置検出素子３１の投光部２０とは反対側の端部に形成された不図示の電極）の側を開放するように、遮光マスク３３、３４を同時に同じ移動量だけ移動させるように遮光マスク駆動手段４００を制御する。逆に、極性判断手段２００による判断結果が負（−）であった場合（Ｉ１＜Ｉ２）、信号Ｉ２が出力された電極（図３中の電極４ｂ；図１では、結像位置検出素子３１の投光部２０側の端部に形成された不図示の電極）の側を開放するように、遮光マスク３３、３４を同時に同じ移動量だけ移動させるように遮光マスク駆動手段４００を制御する。なお、遮光マスク３３、３４の移動量は、透明体４０の厚さ、結像位置検出素子３１の受光面の大きさ等に基づいてあらかじめ設定されている。
【００３２】
遮光マスク移動手段３００に含まれる受光範囲調整手段６００は、透明体４０の表面４０ａと裏面４０ｂのいずれか一方からの照射点の反射光のみを結像位置検出素子３１に受光させ、他方からの反射光を遮蔽するように受光範囲を調整するためのもので、図５を参照して前述した従来の構成を備えている。この受光範囲調整手段６００は、手動操作又は自動設定により受光範囲の調整を行う。手動操作による場合、図５に示したネジ部材の根本部（符号７ｂ）に、かつ、レーザ変位計の不図示の筐体外部に設けられたノブを回転させることによって受光範囲の調整を行う。また、受光範囲を自動設定する場合、検査に係る透明体４０の厚さと遮光マスク３３、３４の間隔とを関連付けた情報に基づいて受光範囲が設定される。
【００３３】
なお、常に同じ厚さの透明体を測定対象とする場合などには、受光範囲調整手段６００を設ける必要はなく、遮蔽マスク３３、３４の間隔、すなわち受光範囲が固定された構成を採用することができる。
【００３４】
［レーザ変位計の動作・作用］
以下、このような構成を備えるレーザ変位計１０の動作について説明する。
【００３５】
まず、あらかじめ、受光範囲調整手段６００により、透明体４０の表面４０ａと裏面４０ｂのいずれか一方からの照射点の反射光のみを結像位置検出素子３１に受光させ、他方からの反射光を遮蔽するように遮光マスク３３、３４を移動させて受光範囲を調整しておく。
【００３６】
レーザダイオード２１から出力されたレーザ光は、集光レンズ２２によって集光されて透明体４０に照射される。レーザ光は、透明体４０の表面４０ａ及び裏面４０ｂによって反射され、それぞれの反射光は、結像レンズ３２によって結像位置検出素子３１の受光面上において結像される。結像位置検出素子３１は、出力信号Ｉ１、Ｉ２を変位量演算手段１００に送信する。
【００３７】
変位量算出手段１００は、結像位置検出素子３１からの出力信号Ｉ１、Ｉ２を基に、変位量ｄ＝（Ｉ１−Ｉ２）／（Ｉ１＋Ｉ２）を算出して極性判断手段２００に送信する。極性判断手段２００は、変位量ｄの極性を判断してその判断結果を遮光マスク制御手段５００に送信する。
【００３８】
極性判断手段２００による判断結果が正又は０であった場合、遮光マスク制御手段５００は、結像位置検出素子３１の受光面の信号Ｉ１を出力した電極の側の領域を開放するために、遮光マスク３３、３４を同時に同じ移動量だけ当該電極側に移動させるように遮光マスク駆動手段４００を制御する。
【００３９】
一方、極性判断手段２００による判断結果が負であった場合、遮光マスク制御手段５００は、結像位置検出素子３１の受光面の信号Ｉ２を出力した電極の側の領域を開放するために、遮光マスク３３、３４を同時に同じ移動量だけ当該電極側に移動させるように遮光マスク駆動手段４００を制御する。
【００４０】
図２は、変位量ｄの極性に応じて変更される結像位置検出素子３１の受光面の開放領域の状態を模式的に示している。ここで、開放領域とは、一対の遮光マスク３３、３４によって反射光が遮光されない領域、すなわち反射光を受光する結像位置検出素子３１の受光面の領域を表すこととする。なお、この開放領域により特定される範囲の面積が上記の受光範囲となる。
【００４１】
図２に示す縦方向の３つの鎖線は、結像位置検出素子３１の受光面上の位置を表しており、左からそれぞれ、信号Ｉ１を出力する不図示の電極の位置Ａ、図３に示した受光面の中心位置Ｋ０、信号Ｉ２を出力する不図示の電極の位置Ｂを示している。
【００４２】
遮光マスク制御手段５００は、変位量ｄの極性が正又は０である場合、遮光マスク駆動手段４００を制御して、電極位置Ａと中心位置Ｋ０を含む受光面上の領域を開放領域Ｒ＋とするように遮光マスク３３、３４を移動させる。一方、変位量ｄの極性が負である場合、遮光マスク制御手段５００は、遮光マスク駆動手段４００を制御して、電極位置Ｂと中心位置Ｋ０を含む受光面上の領域を開放領域Ｒ−とするように遮光マスク３３、３４を移動させる。
【００４３】
これにより、透明体４０がレーザ変位計１０に近づけられていく場合、表面４０ａによる反射光は信号Ｉ１を出力した電極の方向に変位していくが、このとき変位量ｄは出力信号Ｉ１の増加に伴って正値となるため遮光マスク３３、３４が当該電極の方向に移動され、裏面４０ｂからの反射光を遮蔽するとともに表面４０ａからの反射光を開放領域Ｒ＋にて受光することができる。また、両者が更に近接されて変位量ｄの極性が逆転すると、遮光マスク３３、３４が信号Ｉ２を出力した電極の方向に移動され、表面４０ａからの反射光を遮蔽するとともに裏面４０ｂからの反射光を開放領域Ｒ−にて受光することができる。ここで、遮光マスク３３、３４は同時に同じ移動量だけ移動されるので、当該移動方向における開放領域Ｒ＋、Ｒ−の長さは等しく、したがって開放領域Ｒ＋、Ｒ−の面積、すなわち受光領域は等しくなっている。
【００４４】
このように、本実施形態のレーザ変位計１０によれば、レーザ変位計１０と透明体４０との距離の変化に伴う反射光の位置の変化に応じて遮光マスク３３、３４により形成される開放領域をその受光範囲を維持した状態で切り換えることができるので、測定範囲を狭めることなく適正に測定を行うことが可能である。
【００４５】
なお、上記の構成では、開放領域の切り換えを変位量ｄの正負に応じて２段階で行っているが、変位量に複数のしきい値を設けることによって３段階以上の切り換えを行うように構成してもよい。また、変位量ｄと遮光マスク３３、３４の移動量との関係をグラフ等によって連続的に関連付けて無段階の切り換えを行うこともできる。
【００４６】
また、変位量ｄの変化を常時監視することにより得られる変位量ｄの値の変化及び当該変化の方向に応じて、開放領域をリアルタイムで移動制御させるように構成することが好ましい。具体的には、変位量演算手段１００は、結像位置検出素子３１から出力される信号を常時監視して変位量ｄを算出するとともにその変化の方向を求め、遮光マスク制御手段５００は、当該変位量ｄと変化の方向とに対応する位置に遮光マスク３３、３４を移動するように遮光マスク駆動手段４００を制御する。当該処理を結像位置検出素子３１からの出力信号ごとに反復して行うことにより、例えば、透明体４０の表面４０ａでの反射光を追従するように開放領域を移動させながら測定を行うことができる。
【００４７】
［レーザ変位計のハードウェア構成］
以下、このような構成及び動作を特徴とするレーザ変位計１０の制御系のハード構成の一例について、その制御用ソフトウェアの概略とともに説明する。レーザ変位計１０は、演算制御装置としてのＣＰＵと、記憶装置としてのＲＯＭ等を備えている。なお、レーザ変位計１０を外部のコンピュータ端末等に接続して使用する場合には、そのコンピュータ端末等のＣＰＵ、ＲＯＭ、ハードディスクドライブ等を用いるようにしてもよい。
【００４８】
当該ＲＯＭ等の記憶装置には、上記の動作を制御するための制御プログラムとデータとが格納されている。当該制御プログラムは、結像位置検出素子３１からの出力信号Ｉ１、Ｉ２から変位量ｄを演算するための変位量演算プログラム、変位量ｄの極性を判断するための極性判断プログラム、変位量ｄの極性に応じて遮光マスク３３、３４の移動させるように遮光マスク駆動手段４００を制御するための移動制御プログラムなどが含まれている。また、制御のためのデータとしては、変位量ｄの極性と遮光マスク３３、３４の移動量（又は移動位置）とを関連付けるデータが含まれている。
【００４９】
変位量演算手段１００は、変位量演算プログラムにしたがって動作するＣＰＵによって構成される。極性判断手段２００は、極性判断プログラムにしたがって動作するＣＰＵによって構成される。遮光マスク制御手段５００は、移動制御プログラムにしたがって動作するＣＰＵによって構成される。
【００５０】
以上に詳述した構成は、本発明に係るレーザ変位計を実施するための一具体例に過ぎないものであり、本発明の要旨の範囲内において各種の変形を施すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係るレーザ変位計の実施の形態の構成の一例を示す概略図である。
【図２】本発明に係るレーザ変位計の実施の形態により照明点の変位量の極性に応じて変更される結像位置検出素子の受光面の開放領域の状態を模式的に示した説明図である。
【図３】結像位置検出素子の概略構成を示す図である。
【図４】従来のレーザ変位計の概略構成を示す図である。
【図５】受光範囲調整手段の概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０  レーザ変位計
２０  投光部
２１  レーザダイオード
２２  集光レンズ
３０  受光部
３１  結像位置検出素子
３２  結像レンズ
３３、３４  遮光マスク
４０  透明体（測定対象）
４０ａ  表面
４０ｂ  裏面
１００  変位量演算手段
２００  極性判断手段
３００  遮光マスク移動手段
４００  遮光マスク駆動手段
５００  遮光マスク制御手段
６００  受光範囲調整手段
【図１】
2005201708.tif 000003
【図２】
2005201708.tif 000004
【図３】
2005201708.tif 000005
【図４】
2005201708.tif 000006
【図５】
2005201708.tif 000007