(57)【要約】【課題】大判基板で液晶滴下法を使用して液晶表示装置を製造する場合に、液晶パネルの不良率を低下させることが可能な液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の液晶表示装置の製造方法は、サンプル基板１５０の複数のセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に、液滴吐出ヘッドを所定の走査方向に走査して、一定の吐出条件で液晶１０７を塗布する予備液晶塗布工程（Ｓ１１）と、複数のセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に塗布された液晶の膜厚をそれぞれ測定する膜厚測定工程（Ｓ１２）と、膜厚の測定結果に基づいて、複数のセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に液滴吐出ヘッドで吐出する液晶の吐出条件を算出する液晶吐出条件算出工程（Ｓ１３）と、算出された液晶の吐出条件に従って、第１マザー基板２０１の複数のセル形成領域に、液滴吐出ヘッドを所定の走査方向に走査して、液晶を塗布する液晶塗布工程（Ｓ２４）とを有する。【選択図】        図５
2005181531.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１マザー基板および第２マザー基板の少なくとも一方に液晶を滴下した後、シール材を介して、前記第１マザー基板と前記第２マザー基板とを貼り合わせて複数の液晶パネル部分を含む大判パネル構造を形成した後、前記複数の液晶パネルを切断する液晶表示装置の製造方法において、
サンプル基板の複数のセル形成領域に、液滴吐出ヘッドを所定の走査方向に走査して、所定の吐出条件で液晶を吐出させて液晶を塗布する予備液晶塗布工程と、
前記複数のセル形成領域に塗布された液晶の膜厚をそれぞれ測定する膜厚測定工程と、
前記膜厚測定工程の膜厚の測定結果に基づいて、前記複数のセル形成領域に前記液滴吐出ヘッドから吐出させる液晶の吐出条件を算出する液晶吐出条件算出工程と、
前記液滴吐出条件算出工程で算出された液晶の吐出条件に従って、前記第１マザー基板および前記第２マザー基板の少なくとも一方の複数のセル形成領域に、前記液滴吐出ヘッドを前記所定の走査方向に走査して、液晶を塗布する液晶塗布工程と、
を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
【請求項２】
前記液晶吐出条件算出工程では、前記膜厚測定工程で測定した前記複数のセル形成領域の液晶の膜厚に基づいて、各セル形成領域毎に、独立に前記液滴吐出ヘッドでの液晶の吐出条件を算出することを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項３】
前記液晶吐出条件算出工程では、前記膜厚測定工程で測定した前記複数のセル形成領域の液晶の膜厚の増減パターンを解析し、解析した増減パターンに従って前記複数のセル形成領域に前記液滴吐出ヘッドで吐出する液晶の吐出条件を算出することを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項４】
前記液晶の膜厚の増減パターンの解析は、前記複数のセル形成領域の全体、列単位、または行単位で行うことを特徴とする請求項３に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項５】
前記吐出条件は、前記液滴吐出ヘッドの駆動電圧波形および／または液晶滴下回数であることを特徴とする請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記液滴吐出ヘッドは、加温手段で加温されていることを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれか１つに記載の液晶表示装置の製造方法。
【請求項７】
請求項１〜請求項６のいずれか１つに記載の液晶表示装置の製造方法で製造されたことを特徴とする液晶表示装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液晶表示装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置の製造方法、液晶表示装置の製造方法で製造した液晶表示装置、および液晶表示装置を搭載した電子機器に関し、詳細には、第１マザー基板と第２マザー基板とを液晶滴下後にシール材で互いに貼り合わせて複数の液晶パネル部分を含む大判パネル構造を形成し、当該大判パネル構造を切断して複数の液晶パネルを製造する液晶表示装置の製造方法、液晶表示装置の製造方法で製造した液晶表示装置、および液晶表示装置を搭載した電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット装置等の液滴吐出装置は、各種電子機器の成膜に利用されている。液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドと呼ばれる液滴吐出機構を有している。この液滴吐出ヘッドには、規則的に複数のノズルが形成されている。液滴吐出装置では、これらのノズルから吐出材料（インク）の液滴を吐出することにより、何等かの製品の構成要素となる基板上に吐出材料からなるパターンの描画を行う。
【０００３】
液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドから所定量のインクを基板に対して吐出して供給するが、インクを吐出する手段としては、インクタンクを構成する壁面に複数のノズル開口を形成するとともに、各ノズル開口と対向するように伸縮方向を一致させて圧電素子を配設したものが多く用いられている。この種の圧電素子としては、電極と圧電材料とを交互にサンドイッチ上に積層したものが提案されており、液滴吐出ヘッドのキャビティ（インク溜まり）内にインクが圧電素子の変形により生じた圧力波によって吐出される構成となっている。この種の液滴吐出ヘッドでは、吐出可能なインク粘度に限界があるため、高粘度のインクを吐出することは困難である。そのため、インクを加熱してその粘度を低下させて吐出量の制御を行っている（特許文献１）。
【０００４】
近年、大判基板を互いに貼り合わせて複数の液晶パネル部分を含む大判パネル構造を形成し、当該大判パネル構造を切断して複数の液晶パネルを製造する方法（大判貼り合わせ法）が使用されている。また、生産工程数を低減するために、注入口を設けないシール材を形成した後、その中央部に液晶を滴下し、この後、シール材で基板を貼り合わせる液晶滴下法も使用されつつある。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１９７９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、大判基板を使用して液晶パネルを製造する場合には、各セルに滴下する液晶の量を一定にする必要があるが、上述の液滴吐出装置を使用した場合には、液滴吐出ヘッドの温度の低下や、液滴吐出ヘッドの改行動作に伴うインク供給流路の曲率変動等によって液晶の吐出量が減少して、目標とする液晶の塗布量が得られない場合がある。液晶の塗布量が少ないセルは不良品となる。また、液晶の塗布量が少ないセルが存在すると、基板間をシール材で貼り合わせる場合に、セル・ギャップが不均一となり、基板全体を一定の圧力で加圧することができなくなり、不良の液晶パネルが多数発生してしまうという問題がある。具体的には、加圧が不均一となると液晶パネルに表示ムラ等が発生することになる。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、大判基板で液晶滴下法を使用して液晶表示装置を製造する場合に、液晶パネルの不良率を低下させることが可能な液晶表示装置の製造方法、液晶表示装置の製造方法で製造した液晶表示装置、および液晶表示装置を搭載した電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、第１マザー基板および第２マザー基板の少なくとも一方に液晶を滴下した後、シール材を介して、前記第１マザー基板と前記第２マザー基板とを貼り合わせて複数の液晶パネル部分を含む大判パネル構造を形成した後、前記複数の液晶パネルを切断する液晶表示装置の製造方法において、サンプル基板の複数のセル形成領域に、液滴吐出ヘッドを所定の走査方向に走査して、所定の吐出条件で液晶を吐出させて液晶を塗布する予備液晶塗布工程と、前記複数のセル形成領域に塗布された液晶の膜厚をそれぞれ測定する膜厚測定工程と、前記予備膜厚測定工程の膜厚の測定結果に基づいて、前記複数のセル形成領域に前記液滴吐出ヘッドで吐出する液晶の吐出条件を算出する液晶吐出条件算出工程と、前記液滴吐出条件算出工程で算出された液晶の吐出条件に従って、前記第１マザー基板および前記第２マザー基板のいずれか一方の複数のセル形成領域に、前記液滴吐出ヘッドを前記所定の走査方向に走査して、液晶を塗布する液晶塗布工程と、を含むことを特徴とする。
【０００９】
これにより、マザー基板の各セル形成領域での液晶の膜厚を一定にして膜厚のバラツキを防止することにより、液晶の塗布量が少ないセル形成領域をなくすことができ、マザー基板間をシール材で貼り合わせる場合に、セル・ギャップを均一として、マザー基板全体を一定の圧力で加圧することができ、液晶パネルの不良発生率を低減することが可能となる。この結果、大判基板で液晶滴下法を使用して液晶表示装置を製造する場合に、液晶パネルの不良率を低下させることが可能な液晶表示装置の製造方法を提供することができる。
【００１０】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記液晶吐出条件算出工程では、前記膜厚測定工程で測定した前記複数のセル形成領域の液晶の膜厚に基づいて、各セル形成領域毎に、独立に前記液滴吐出ヘッドでの液晶の吐出条件を算出することが望ましい。これにより、各セル形成領域の測定膜厚に基づいて、各セル形成領域毎に、独立して吐出量を決定しているので、各セル形成領域毎に、理論値（目標膜厚）と実測値（測定膜厚）のズレを高精度に補正することができる。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記液晶吐出条件算出工程では、前記膜厚測定工程で測定した前記複数のセル形成領域の液晶の膜厚の増減パターンを解析し、解析した増減パターンに従って前記複数のセル形成領域に前記液滴吐出ヘッドで吐出する液晶の吐出条件を算出することが望ましい。これにより、規則性のある膜厚の変化を、簡単に補正して、各セル形成領域の理論値（目標膜厚）と実測値（測定膜厚）のズレを高精度に補正することができる。
【００１２】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記液晶の膜厚の増減パターンの解析は、複数のセル形成領域の全体、列単位、または行単位で行うことが望ましい。これにより、液晶の膜厚の増減パターンの解析は、複数のセル形成領域の全体、列単位、または行単位で行うことができる。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記吐出条件は、前記液滴吐出ヘッドの駆動電圧波形および液晶滴下回数であることが望ましい。これにより、液滴吐出ヘッドからの液晶の吐出量を簡単に変更することができる。
【００１４】
また、本発明の好ましい態様によれば、前記液滴吐出ヘッドは、加温手段で加温されていることが望ましい。これにより、液晶の粘度を低下させることができ、液晶の吐出量を安定させることができる。
【００１５】
また、本発明の好ましい態様によれば、液晶表示装置を本発明の液晶表示装置の製造方法で製造することが望ましい。これにより、不良のない液晶表示装置を提供することができる。
【００１６】
また、本発明の好ましい態様によれば、電子機器に本発明の液晶表示装置を搭載することが望ましい。これにより、不良のない液晶表示装置を搭載した電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。また、下記実施例における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの或いは実質的に同一のものが含まれる。なお、以下の実施例においては、パッシブマトリクス型の液晶表示装置を例示して説明するが、本発明に係る液晶表示装置はこれに限定されるものではない。また、以下の実施例においては、モノクロの液晶表示装置を例示して説明するが、本発明の適用対象はモノクロの液晶表示装置に限られるものではない。
【実施例】
【００１８】
［液滴吐出装置］
図１は、本発明に係る液滴吐出装置１の全体構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１は、図１に示すように、基板１０の表面に例えば、液晶等の塗布液２を吐出する液滴吐出ヘッド１１と基板１０に塗布された塗布液２の膜厚を測定する膜厚測定手段１２とを有する液滴吐出手段１３と、液滴吐出ヘッド１１および膜厚測定手段１２と基板１０との位置を相対的に移動させる移動手段１４と、液滴吐出手段１３、移動手段１４を制御する制御手段１５と、を具備している。同図では、説明の便宜上、液滴吐出ヘッド１１および膜厚測定手段１２を拡大して図示している。
【００１９】
移動手段１４は、テーブル１６上に載置された基板１０の上方に、液滴吐出ヘッド１１および膜厚測定手段１２を下方側に向けて支持すると共に移動自在のステージ１８によりＸ軸方向に移動自在のヘッド支持部１７と、上方の液滴吐出ヘッド１１に対してテーブル１６と共に基板１０をＹ軸方向に移動させるステージ駆動部１９とから構成されている。
【００２０】
ヘッド支持部１７は、液滴吐出ヘッド１１および膜厚測定手段１２を基板１０に対してその鉛直軸方向（Ｚ軸）に任意の移動速度で移動可能且つ位置決め可能な例えばリニアモータ等の機構と、鉛直軸を中心に液滴吐出ヘッド１１を回転させることによって下方の基板１０に対して任意な角度に設定可能なステッピングモータ等の機構とを備えたものである。
【００２１】
ステージ駆動部１９は、鉛直軸を中心にテーブル１６を回転させて上方の液滴吐出ヘッド１１に対して任意な角度に設定可能なθ軸ステージ２０と、テーブル１６とを液滴吐出ヘッド１１に対して水平方向（Ｙ方向）に移動させ且つ位置決めするステージ２１とを備えている。なお、θ軸ステージ２０は、ステッピングモータ等から構成され、ステージ２１はリニアモータ等から構成されている。
【００２２】
液滴吐出手段１３は、液滴吐出ヘッド１１とこれにチューブ２２を介して接続されたタンク２３とを備えている。タンク２３は塗布液２を貯留し、チューブ２２を介してこの塗布液２を液滴吐出ヘッド１１に供給するものとなっている。塗布液２としては、液晶材料を用いることができる。このような構成によって液滴吐出手段１３は、タンク２３に貯留された塗布液２を液滴吐出ヘッド１１から吐出し、これを基板１０上に塗布するようにしている。
【００２３】
液滴吐出ヘッド１１は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮し、その圧力で液滴（液状材料）を吐出させるものであり、一列又は複数列に配列された複数のノズル(ノズル孔)を有している。図２を参照して液滴吐出ヘッド１１の構成を詳細に説明する。図２は液滴吐出ヘッド１１の分解斜視図、図３は、液滴吐出ヘッド１１の断面図である。図２および図３に示すように、液滴吐出ヘッド１１は、例えばステンレス製のノズルプレート３１と振動版３２とを備え、仕切り部材（リザーバプレート）３３を介して両者を接合したものである。ノズルプレート３３と振動板３２との間には、仕切り部材によって複数の空間３４と液溜まり３５とが形成されている。各空間３４と液溜まり３５の内部は塗布液２(図示せず)で満たされており、各空間３４と液溜まり３５とは供給口３６を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート３１には、各空間３４から塗布液２を噴射するための微小孔のノズル３７が形成されている。一方、振動板３２には、液溜まり３５に塗布液２を供給するための孔３７ａが形成されている。
【００２４】
振動板３２の空間に対向する面と反対側の面上には、図２および図３に示すように、圧電素子（ピエゾ素子）３８が接合されている。この圧電素子３８は、図２に示すように、一対の電極３９、３９の間に位置し、通電するとこれが外側に突出するように撓曲するようになっている。そして、このような構成のもとに圧電素子３８が接合されている振動板３２は、圧電素子３８と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間３４の内部容積が増大するようになっている。したがって、空間３４内に増大した容積分に相当する塗布液２が液溜まり３５から供給口３６を介して流入する。また、このような状態から圧電素子３８への通電を解除すると、圧電素子３８と振動板３２とは共に元の形状に戻る。したがって、空間３４も元の容積に戻ることから、空間内部の塗布液２の圧力が上昇し、ノズル３７から基板１０に向けて塗布液２の噴霧状液滴が吐出される。
【００２５】
また、液滴吐出ヘッド１１の内部には、ヒータや温度センサからなる不図示の加温手段が設けられている。制御手段１５は、加温手段の温度センサの出力に基づいて、液滴吐出ヘッド１１が所定温度になるように、加温手段のヒータの温度制御を行っている。これにより、液滴吐出ヘッド１１から吐出される塗布液２を所定の低粘度状態とすることができる。
【００２６】
なお、液滴吐出ヘッド１１の方式としては、上述したような圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、超音波モータ、リニアモータ等により、振動を付与し、またはタンク内に圧力を印加することにより、ノズル３７から塗布液２を射出させるようにしてもよい。
【００２７】
上記膜厚測定手段１２は、液滴吐出ヘッド１１により基板１０に塗布された塗布液２の膜厚を測定して、その膜厚測定結果を制御手段１５に出力する。膜厚の測定方法としては、公知の方法を使用することができ、例えば、エリプソメトリー（偏光解析）の原理や干渉式膜厚測定技術を使用して測定することができる。また、膜厚を測定する場合の測定点は、中心点のみを測定する方法、中心点を含む複数点を測定してその平均値を使用する方法等のいずれの方法を使用してもよい。
【００２８】
上記制御手段１５は、装置全体の制御を行うマイクロプロセッサ等のＣＰＵや、各種信号の入出力機能を有するコンピュータ等によって構成されたものであり、図１に示したように、液滴吐出手段１３、移動手段１４にそれぞれ電気的に接続されており、液滴吐出手段１３による吐出動作、移動手段１４による移動動作を制御する。そして、このような構成により、塗布液２の吐出条件（駆動電圧波形、滴下回数）を調整し、形成する薄膜の塗布量を制御するようにしている。
【００２９】
すなわち、制御手段１５は、上記塗布量を制御する機能として、基板１０に対する塗布液２の吐出間隔を調整する制御機能と、１ドットあたりの液状吐出液の吐出量を調整する制御機能と、ノズルの配列方向と移動機構による移動方向との角度（θ）を調整する制御機能と、基板上を複数の領域に分けて各領域に吐出条件を設置する制御機能とを備えている。
【００３０】
さらに、制御手段１５は、上記吐出間隔を調整する制御機構として、基板１０と液滴吐出ヘッド１１との相対的な移動の速度を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、移動手段１４における吐出の時間間隔を調整して吐出間隔を調整する制御機能と、複数のノズルのうち同時に塗布液２を吐出させるノズルを任意に設定して吐出間隔を調整する制御機能と、液滴吐出ヘッド１１内の加温手段を制御して液滴吐出ヘッド１１を所定の温度に調整する制御機能とを備えている。
【００３１】
［液晶表示装置の製造方法］
つぎに、図４〜図８を参照して、上記液滴吐出装置１を使用して液晶表示装置を製造する場合について説明する。図４は、本実施例の液晶表示装置の断面概略図を示している。図４に示すように、液晶表示装置１００の液晶パネル１００ａは、ガラス基板を主体として対向面に透明導電膜（ＩＴＯ膜）１０３ａ、１０３ｂおよび配向膜１０４ａ、１０４ｂを形成した上基板１０１および下基板１０２と、この上下両基板１０１、１０２間に介在する多数のスペーサ１０５と、上下両基板１０１、１０２間を封止するシール材１０６と、上下両基板１０１、１０２間に充填した液晶１０７とで構成される。さらに、液晶表示装置１００は、この液晶パネル１００ａの上基板１０１の背面に位相基板１０８および偏光板１０９ａを積層し、さらに、その下基板１０２の背面に偏光板１０９ｂおよびバックライト１１０を積層して構成されている。
【００３２】
本実施例では、多面取りを行う大判のガラス基板（以下、「マザー基板」と称する）に、複数の液晶パネル１００ａを一度に大量に製造する例を説明する。図５は、液晶パネル１００ａの製造工程図、図６は予備工程を説明するために説明図、図７はサンプル基板の各セル形成領域の液晶の膜厚の測定結果の一例を示す図、図８は本製造工程を説明するための説明図を示している。図５〜図８を参照して、液晶パネル１００ａの製造方法を説明する。本実施例では、図８−１および図８−２に示す第１および第２マザー基板２０１、２０２から２６枚の液晶パネル１００ａを得る場合について説明する。第１および第２マザー基板２０１、２０２において、液晶パネル１００ａが形成される領域をセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６と称する。
【００３３】
図５に示す液晶パネル１００ａの製造工程は、液滴吐出ヘッド１１での液晶の吐出条件を決定するための予備工程（Ｓ１）と、予備工程（Ｓ１）で決定した液晶の吐出条件に従って、液晶の塗布を行って液晶パネル１００ａを製造する本製造工程（Ｓ２）とからなる。通常、液滴吐出ヘッド１１から目標の膜厚（理論値）となる液晶の吐出量を吐出させるための吐出条件で吐出させた場合には、目標の膜厚（理論値）となるが、上述したように、液滴吐出ヘッドの温度の低下や、液滴吐出ヘッド１１の改行動作に伴うインク供給流路の曲率変動等によって液晶の吐出量が減少して、実測した膜厚（実測値）が目標の膜厚（理論値）とならない場合がある。本実施例では、理論値と実測値のズレを補正して、目標の膜厚とするために、予備工程を実施して、液滴吐出ヘッド１１の液晶の吐出条件を算出している。
【００３４】
まず、予備工程（Ｓ１）を説明する。予備工程（Ｓ１）は、図５に示すように、予備液晶塗布工程（Ｓ１１）と、膜厚測定工程（Ｓ１２）と、液晶吐出条件算出工程（Ｓ１３）とからなる。図１の液滴吐出装置１のテーブル１６上に、第１および第２マザー基板２０１、２０２と同様の大きさのサンプル基板１５０（図６−１参照）を上に向けて水平に載置して支持する。
【００３５】
そして、図６−２に示すように、液滴吐出装置１の制御手段１５は、その液滴吐出ヘッド１１からサンプル基板１５０の表面の各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に向けて順次、同じ吐出条件（吐出量Ｘを吐出させるための吐出条件）で液晶１０７を吐出させる（予備液晶塗布工程：Ｓ１１）。液滴吐出ヘッド１１から吐出された液晶１０７は、一定の層厚で一様に分布する。
【００３６】
この後、図６−３に示すように、制御手段１５は、膜厚測定手段１２に、サンプル基板１５０の各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に塗布された液晶１０７の膜厚を測定させる（膜厚測定工程：Ｓ１２）。膜厚測定手段１２は、サンプル基板１５０の各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の液晶１０７の膜厚測定結果を制御手段１５に出力する。制御手段１５は、各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の液晶１０７の膜厚測定結果に基づいて、液滴吐出ヘッド１１における各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の液晶の吐出条件（吐出量）を算出して記憶しておく（液晶吐出条件算出工程：Ｓ１３）。なお、膜厚の測定は複数のサンプル基板１５０を使用して、その平均値を膜厚測定結果とするのが望ましい。
【００３７】
各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の液晶の吐出条件を算出する方法としては、（１）各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６毎に独立して吐出条件を算出する方法と、（２）セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６内での液晶の膜厚の増減パターンを解析して吐出条件を算出する方法とがある。
【００３８】
（１）各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６毎に独立して吐出条件を算出する方法
各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６毎に、測定した膜厚に基づいて、独立して、液晶の吐出条件（吐出量）を算出する。例えば、目標膜厚がＡμｍの場合に、測定膜厚がＡ＋ａ１μの場合には、膜厚をａ１減らすための吐出量Ｘ１を決定し、また、測定膜厚がＡ−ａ２μの場合には、膜厚をａ２増やすための吐出量Ｘ２を決定し、決定した吐出量を吐出するための吐出条件（駆動電圧波形、液滴吐出回数）を決定する。この方法によれば、各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の測定膜厚に基づいて、各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６毎に、独立して吐出量を決定しているので、各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６毎に、理論値と実測値のズレを高精度に補正することができる。
【００３９】
（２）セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６内での液晶の膜厚の増減パターンを解析して吐出条件を算出する方法
セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に塗布された液晶の膜厚の測定結果を多変量解析で解析し、解析結果に従って、液滴吐出ヘッド１１における各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６での液晶の吐出条件を決定する。例えば、膜厚が薄くなる（吐出量が減少する）傾向があれば、吐出量が次第に高くなるように制御し、また、例えば、液滴吐出ヘッド１１が改行するたびに膜厚が増加する（吐出量が増加する）傾向がある場合には、改行するたびに、吐出量が次第に低くなるように制御する。具体的には、セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に塗布された液晶の測定膜厚を多変量解析して、膜厚の重回帰式を算出し、その重回帰式に基づいて、実測値が目標の膜厚となるような液晶の吐出量を算出し、さらに、その吐出量に基づいて、各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の液晶の吐出条件を決定する。測定膜厚の重回帰式の算出は、セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の全体、列単位、または行単位で行う。高精度に膜厚を管理する必要とされる場合には、列単位または行単位で行うことが望ましい。
【００４０】
図７は、サンプル基板１５０での各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の液晶の膜厚の測定結果の一例を示す図である。同図に示す例は、液滴吐出ヘッド１１の改行が進む毎に膜厚が減少し、また同一の列内でも吐出時間の経過に伴い膜厚が減少する場合を示している。同図において、横軸は、セル形成領域のＮｏ、縦軸は膜厚（μｍ）であり、目標膜厚を２．９μｍとしている。同図において、セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の全体の重回帰式を式（１）、セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の列単位の重回帰式を式（２）で示している。高精度に膜厚を管理する必要がある場合は、列単位の重回帰式（２）を使用し、精度がそれほど要求されない場合は、全体の重回帰式（１）を使用する。
【００４１】
次に、上記図５を参照して、本製造工程（Ｓ２）を説明する。本製造工程（Ｓ２）は、図５に示すように、透明電極形成工程（Ｓ２１、Ｓ２５）、配向膜形成工程（Ｓ２２、Ｓ２６）、シール印刷工程（Ｓ２３）、液晶塗布工程（Ｓ２４）、スペーサ塗布工程（Ｓ２７）、接合工程（Ｓ２８）、切断工程（Ｓ２９）とからなる。
【００４２】
まず、図８−１に示す第１マザー基板２０１の表面の各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に、透明電極１０３ｂを形成した後（透明電極形成工程：Ｓ２１）、透明電極１０３ｂ上に配向膜１０４ｂを形成する（配向膜形成工程：Ｓ２２）。この後、図８−３に示すように、第１マザー基板２０１の電極形成側の表面に光硬化性樹脂からなるシール材１０６を各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の周縁に沿って枠状に印刷する（シール印刷工程：Ｓ２３）。このシール材の印刷には、図１の液滴吐出装置１を使用することにしてもよい。
【００４３】
次に、図１の液滴吐出装置１のテーブル１６上に、第１マザー基板２０１をシール材１０６を設けた表面を上に向けて水平に載置して支持する。そして、図８−４に示すように、液滴吐出装置１の制御手段１５は、上述の液晶吐出条件算出工程（Ｓ１３）で算出した吐出条件に従って、その液滴吐出ヘッド１１から第１マザー基板２０１の表面の各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６のシール材１０６の内側の領域に向けて順次、液晶１０７を吐出させる（液晶塗布工程：Ｓ２４）。液滴吐出ヘッド１１から吐出された液晶１０７は、シール材１０６の内側の領域の全体に広がって一定の層厚で一様に分布する。
【００４４】
他方、第２マザー基板２０２の表面の各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に、透明電極１０３ａを形成した後（透明電極形成工程：Ｓ２５）、透明電極１０３ａ上に配向膜１０４ａを形成する（配向膜形成工程：Ｓ２６）。そして、配向膜１０４ａ上の所定位置に、スペーサ１０５を散布して固着する（スペーサ塗布工程：Ｓ２７）。
【００４５】
そして、第１マザー基板２０１の上に第２マザー基板２０１を電極が形成された表面を下に向けて対向させて重ね合わせる。そして、第２マザー基板２０２に下方に一定の圧力を加え、両マザー基板２０１、２０２間の間隔をスペーサ１０５により均一に保ち、この状態でシール材１０６に紫外線を照射して硬化させ、このシール材１０６により両マザー基板２０１、２０２を接合して、２６個の液晶パネル１００ａを含む大判パネル構造を形成する（接合工程：Ｓ２８）。この接合工程は、液晶１０７内への気泡の混入を防止する点から真空チャンバー内において行なうことが望ましい。この後、大判パネル構造を切断して２６個の液晶パネル１００ａを得る（切断工程：Ｓ２９）。
【００４６】
なお、上記実施例では、１つの液滴吐出装置１で、予備液晶塗布工程、液晶膜厚測定工程を行うこととしたが、各工程を別々の装置で行うことにしてもよい。具体的には、液晶塗布工程を第１の液滴吐出装置で実行し、液晶膜厚測定工程を独立して設けた膜厚装置で実することにしても良い。
【００４７】
また、上記実施例では、液晶１０７を塗布する第１マザー基板２０１に、シール材１０６を形成することとしたが、第２マザー基板２０２側に形成してもよく、また両基板に形成することにしてもよい。また、スペーサ１０５を第２マザー基板２０２側に散布することとしたが、液晶１０７を塗布する第１マザー基板２０１側に散布することにしてもよい。また、本実施例では、第１マザー基板２０１側に液晶１０７を塗布することとしたが、第２マザー基板２０２側に液晶１０７を塗布することにしてもよい。
【００４８】
以上説明したように、上記実施例によれば、サンプル基板１５０の複数のセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に、液滴吐出ヘッド１１を所定の走査方向に走査して、一定の吐出条件で液晶１０７を吐出させて塗布する予備液晶塗布工程（Ｓ１１）と、複数のセル形成領域に塗布された液晶の膜厚をそれぞれ測定する膜厚測定工程（Ｓ１２）と、膜厚測定工程（Ｓ１２）の膜厚の測定結果に基づいて、複数のセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に液滴吐出ヘッド１１で吐出する液晶の吐出条件を算出する液晶吐出条件算出工程（Ｓ１３）と、液滴吐出条件算出工程（Ｓ１３）で算出された液晶の吐出条件に従って、第１マザー基板２０１の複数のセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に、液滴吐出ヘッド１１を所定の走査方向に走査して、液晶を塗布する液晶塗布工程（Ｓ２４）と、を有するものである。
【００４９】
これにより、各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６での液晶の膜厚を一定にして、液晶の膜厚のバラツキを防止することができ、基板間をシール材１０６で貼り合わせる場合に、セル・ギャップを均一として、基板全体を一定の圧力で加圧することができ、液晶パネルの不良発生率を低減することが可能となる。この結果、大判貼り合わせ法と液晶滴下法を使用して液晶表示装置を製造する場合に、液晶パネルの不良率を低下させることが可能な液晶表示装置の製造方法を提供することができる。
【００５０】
また、上記実施例によれば、液晶吐出条件算出工程（Ｓ１３）では、膜厚測定工程（Ｓ１２）で測定した複数のセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の液晶１０７の膜厚に基づいて、各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６毎に、独立に液滴吐出ヘッド１１での液晶１０７の吐出条件を算出することとしたので、各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６毎に、理論値（目標膜厚）と実測値（測定膜厚）のズレを高精度に補正することができる。
【００５１】
また、上記実施例によれば、液晶吐出条件算出工程（Ｓ１３）では、膜厚測定工程（Ｓ１２）で測定した複数のセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の液晶１０７の膜厚の増減パターンを解析し、解析した増減パターンに従って複数のセル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６に液滴吐出ヘッド１１で吐出する液晶１０７の吐出条件を算出することとしたので、規則性のある膜厚の変化を、簡単に補正して、各セル形成領域Ｉ１〜Ｉ２６の理論値（目標膜厚）と実測値（測定膜厚）のズレを高精度に補正することができる。また、上記実施例によれば、液滴吐出ヘッド１１を加温手段で加温することとしたので、液晶の粘度を低下させることができ、液晶の吐出量を安定させることが可能となる。
【００５２】
［電子機器への適用例］
次に、本発明に係る液晶表示装置を適用可能な電子機器の具体例について図９を参照して説明する。図９−１は、本発明に係る液晶表示装置を可搬型のパーソナルコンピュータ（いわゆるノート型パソコン）３００の表示部に適用した例を示す斜視図である。同図に示すように、パーソナルコンピュータ３００は、キーボード３０１を備えた本体部３０２と、本発明に係る液晶表示装置を適用した表示部３０３とを備えている。図９−２は、本発明に係る液晶表示装置を携帯電話機４００の表示部に適用した例を示す斜視図である。同図に示すように、携帯電話機４００は、複数の操作ボタン４０１のほか、受話口４０２、送話口３０３とともに、本発明に係る電気光学装置を適用した表示部４０４を備えている。
【００５３】
本発明に係る電子機器は、上述した携帯電話機やノートパソコン以外にも、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、およびＰＯＳ端末機などの電子機器に広く適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００５４】
本発明に係る液滴吐出装置は、工業上の各種分野の成膜に広く利用することができる。また、本発明に係る液晶表示装置は、透過型、反射型、および半透過型、モノクロ、カラーの液晶表示装置に利用することができる。また、本発明にかかる液晶表示装置は、パッシブマトリクス型の液晶表示装置やアクティブマトリクス型の液晶表示装置（例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）やＴＦＤ（薄膜ダイオード）をスイッチング素子として備えた液晶パネル）に利用することができる。また、本発明に係る液晶表示装置を搭載した電子機器は、携帯電話機、ＰＤＡ（Personal Digital Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器、携帯型パーソナルコンピュータ、パーソナルコンピュータ、ワークステーション、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話機、およびＰＯＳ端末機などの電子機器に広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施例に係る液滴吐出装置の全体構成を示す概略斜視図。
【図２】実施例に係る吐出ヘッド分解斜視図。
【図３】実施例に係る吐出ヘッドの断面図。
【図４】実施例に係る液晶表示装置の断面構造を示す図。
【図５】実施例に係る液晶パネルの製造工程図。
【図６−１】実施例に係る予備工程を説明するための説明図。
【図６−２】実施例に係る予備工程を説明するための説明図。
【図６−３】実施例に可かｒ予備工程を説明するための説明図。
【図７】サンプル基板における各セル形成領域での液晶の膜厚測定結果の一例を示す図。
【図８−１】実施例に係る液晶パネルの製造工程を説明するための説明図。
【図８−２】実施例に係る液晶パネルの製造工程を説明するための説明図。
【図８−３】実施例に係る液晶パネルの製造工程を説明するための説明図。
【図８−４】実施例に係る液晶パネルの製造工程を説明するための説明図。
【図９−１】実施例に係る電気光学装置を備えたパソコンの斜視図。
【図９−２】実施例に係る電気光学装置を備えた携帯電話機の斜視図。
【符号の説明】
【００５６】
１  液滴吐出装置、２  塗布液、１１  液滴吐出ヘッド、１２  膜厚測定手段、１３  液滴吐出手段、１４  移動手段、１５  制御手段、１６  基板ステージ、１７  ヘッド支持部  １８  ステージ、１９  ステージ駆動部、２０  θ軸ステージ、２１  ステージ、２２  チューブ、２３  タンク、３１  ノズルプレート、３２  振動版、３３  仕切り部材（リザーバプレート）、３４  空間、３５  液溜まり、３６  供給口、３７  ノズル、３７ａ  ノズル孔、３８  圧電素子（ピエゾ素子）、３９  電極、１００  液晶表示装置、１００ａ  液晶パネル、１０１  上基板、１０２  下基板、１０３ａ、１０３ｂ  透明導電膜（ＩＴＯ膜）、１０４ａ、１０４ｂ  配向膜、１０５  スペーサ、１０６  シール材、１０７  液晶、１０８  位相基板、１０９ａ、１０９ｂ  偏光板、１１０  バックライト、１５０  サンプル基板、２０１  第１マザー基板、２０２  第２マザー基板  ３００  パーソナルコンピュータ、３０１  キーボード、３０２  本体部、３０３  表示部、４００  携帯電話機、４０１  操作ボタン、４０２  受話口、４０３  送話口、４０４  表示部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６−１】
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【図６−２】
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【図６−３】
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【図７】
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【図８−１】
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【図８−２】
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【図８−３】
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【図８−４】
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【図９−１】
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【図９−２】
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