(57)【要約】【課題】  燃料電池を製造している際、燃料極と空気極の間の距離を正確かつ再現可能に制御することができる燃料電池支持構造を提供する。【解決手段】  本発明の燃料電池支持構造は、支持構造（110）を製造する方法であって、基板（330）を介して複数の細孔（150）を形成し、基板（330）を介して形成される細孔（150）の形状又は寸法を能動的に制御することからなる方法によって提供される。【選択図】  図１
2005050813.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持構造（110）を製造する方法であって、
基板（330）を介して複数の細孔（150）を形成し、
前記基板（330）を介して形成される前記細孔（150）の形状又は寸法を能動的に制御することからなる方法。
【請求項２】
前記細孔（150）の形状を制御することが、前記基板（330）を介する前記細孔（150）の長さに沿って変化する直径を有する細孔（150）を形成することを含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記細孔（150）の形状を制御することが、表面開口部と前記基板（330）の内部の狭い開口部とをそれぞれ含む細孔（150）を形成することを含み、前記細孔（150）が、前記表面開口部から前記狭い開口部まで内側に向かって細くなっている請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記細孔（150）の形状又は寸法を制御することが、前記細孔（150）の形成中に印加する電圧を調節することを含む請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記基板（330）内に補助孔隙を製造することをさらに含む請求項１に記載の方法。
【請求項６】
燃料電池支持構造（110）を製造する方法であって、 
基板（330）を介して複数の細孔（150）を形成し、
前記基板（330）を介して形成された前記細孔（150）の形状又は寸法を能動的に制御することからなる方法。
【請求項７】
燃料電池（100）を形成する方法であって、
基板を介して複数の細孔を形成し、
前記基板を介して形成された前記細孔の形状又は寸法を能動的に制御し、 
前記基板上に電解質、燃料極及び空気極を形成することからなる方法。
【請求項８】
空気極（140）、燃料極（130）及び電解質（120）を支持する支持基板（330）と、
前記基板（330）を介して形成され、それぞれが、あらかじめ選択された所望の有孔率にしたがって形成されている寸法と形状を有する複数の細孔（150）と
からなる燃料電池（100）。
【請求項９】
前記電解質（120）が前記細孔（150）内に付着されている請求項８に記載の燃料電池（100）。
【請求項１０】
電力消費装置と、
前記装置に電力を提供する燃料電池（100）であって、
空気極（140）、燃料極（130）及び電解質（120）を支持する支持基板（330）と、 
前記基板（330）を介して形成され、あらかじめ選択された所望の有孔率にしたがって形成されている寸法と形状を有する複数の細孔（150）を有する燃料電池（100）と
を備える装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
概して、本発明は燃料電池に関する。
【背景技術】
【０００２】
過去数年の間に、大容量及び小容量の電気を生成するための燃料電池の人気と実現性が大幅に高まった。燃料電池は、水素や酸素のような反応物質による電気化学反応によって、電気と熱を生成する。燃料電池は、電力を供給している間に「充電」できる点を除き、バッテリと類似している。さらに、燃料電池は、炭化水素を燃焼させる装置のような他の電源よりも低い温度で作動させることができ、かつ清浄である。
【０００３】
燃料電池は、電気モータ、電灯、コンピュータ又は多くの電気機器に電力を供給するために使用されるDC（直流）電圧をもたらす。典型的な燃料電池は、燃料極と空気極の間に配置されている電解質を含む。それぞれ異なる化学的性質を利用するいくつかの異なる形式の燃料電池がある。燃料電池は、通常、使用される電解質の形式によって分類される。燃料電池は、一般に、プロトン交換膜（PEM）型燃料電池、アルカリ型燃料電池（AFC）、リン酸型燃料電池（PAFC）、固体酸化物型燃料電池（SOFC）及び溶融炭酸塩型燃料電池（MCFC）の５つのグループのうちの１つに分類される。
【０００４】
全ての燃料電池は何らかの好ましい特徴を有するが、固体酸化物型燃料電池（SOFC）には、他の型の燃料電池よりも優れたいくつかの独特な利点がある。SOFCのいくつかの利点として、電解質管理の問題を軽減することができ、他の型の燃料電池よりも高い効率（最大効率60％）を得ることができ、燃料不純物に対する高い耐性を有し、さらに例えば水素とメタンを生成する炭化水素燃料の内部改質を含むという点を挙げることができる。
【０００５】
最近の取り組みは、次第により小さくなる装置を含むことによって、燃料電池の応用例を拡大することに焦点を当ててきた。したがって、そのような最近の取り組みは、燃料電池の全体の寸法の縮小、製造のしやすさの改善、熱サイクル中の効率と安定性の向上に焦点を当ててきた。このような最近の取り組みは、製造中における燃料電池の燃料極と空気極の間の距離を正確にかつ再現可能に制御することの難しさによって制限されてきた。また、このような最近の取り組みは、燃料電池の伝達特性を制御することの難しさと、様々な構成要素の支持体によって制限されてきた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、燃料電池を製造している際、燃料極と空気極の間の距離を正確かつ再現可能に制御することができる燃料電池支持構造の提供を課題とする。またそのような燃料電池支持構造の製造方法の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
燃料電池支持構造を製造する方法は、基板を介して複数の細孔を形成し、基板を介して形成された細孔の形状又は寸法を能動的に制御することを含む。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、燃料電池支持構造（110）を製造するための方法に関し、この方法は、基板（330）を介して複数の細孔（150）を形成し、この基板（330）を介して形成された細孔（150）の形状及び寸法を能動的に制御することからなる。この構成により、燃料電池を製造している際、燃料極と空気極の間の距離を正確かつ再現可能に制御することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
添付図面は、本発明の様々な実施形態を示し、本明細書の一部をなす。例示した実施形態は、単に本発明の例であり、本発明の範囲を限定するものではない。
【００１０】
図面全体にわたって、同一の参照番号は、類似しているが必ずしも同一とは限らない構成要素を示す。
【００１１】
本明細書において、燃料電池支持構造及び燃料電池支持構造を製造する方法を説明する。後で詳しく説明する１つの例示的な実施形態によれば、燃料電池支持構造は、選択された形態の微小細孔が画定されている自己組織化セラミックス基板を含む。このシステムは、単に説明を容易にすることを目的として、固体酸化物型燃料電池（SOFC）の文脈において説明する。しかしながら、本明細書で説明する構造と方法は、他の型の燃料電池と共に使用することができる。さらに、本明細書に示す支持構造は、燃料を必要とする任意のシステムに組み込むことができる。
【００１２】
以下の記述では、説明を目的として、本発明の完全な理解を提供するために多数の特定の詳細を説明する。しかしながら、当業者には、そのような特定の詳細を必要とすることなく、本発明を実施できることが理解されよう。本明細書における「一実施形態」又は「実施形態」の参照は、実施形態と関連して示される特定の特徴、構造又は特性が、少なくとも一実施形態に含まれていることを意味する。本明細書の様々な箇所で使用される「一実施形態において」という句は、必ずしも全て同じ実施形態を参照するとは限らない。
【００１３】
例示的構造
燃料電池（100）は、概して、図１に示すように、支持構造（110）、電解質（120）、燃料極（130）及び空気極（140）を含む。燃料電池支持構造（110）は、電解質（120）、燃料極（130）及び／又は空気極（140）を支持する。図１は、自己組織化微小細孔セラミックス燃料電池支持構造（110）を利用するデュアルチャンバ燃料電池（100）の例示的な実施形態を示す。本明細書に使用される場合、用語「自己組織化（self-organized）」は、後で示すように、支持基板を成長、微細機械加工又はエッチングしたときに、平行な微小細孔が形成される支持構造の材料の特性を意味する。支持構造は、例えば、陽極酸化アルミナから形成される。示す実施形態において、支持構造（110）の細孔（150）内に、電解質（120）の稠密な層が配置されている。さらに、燃料極（130）と空気極（140）は、支持構造（110）の両側に配置され、支持構造（110）と付着された電解質（120）によって分離されている。したがって、支持構造、電解質（120）、燃料極（130）及び空気極（140）の組み合せによって、燃料電池システム（図示せず）の２つのチャンバが分離されている。デュアルチャンバ燃料電池の構造及び動作については、図９〜図１１に関連して後にさらに詳細に説明する。デュアルチャンバシステムにおいて、効率は、２つのチャンバを互いに封止する必要性と、イオンを空気極から電解質を介して燃料極まで移動する能力とによって影響を受ける。支持構造の孔隙特性を正確に制御することにより、拡散を改善しながら、支持構造上に電解質及び／又は電極をより正確に形成することができる。
【００１４】
図２は、自己組織化セラミックス燃料電池支持体を利用するシングルチャンバ燃料電池（200）の実施形態を示す。図１と同様に、支持構造（110）上に、電解質（120）、燃料極（130）及び空気極（140）が配置されている。電解質（120）の層は、デュアルチャンバの実施形態（図１の100）に対して必要とされる層よりも薄くてもよく、支持構造（110）の細孔（150）内に配置されている。細孔は（150）は、図２に示すように、支持構造（110）を介して平行に延伸している。シングルチャンバ燃料電池の動作については、図１２〜図１３に関連して後に詳細に考察する。シングルチャンバ燃料電池では、デュアルチャンバ燃料電池と同様に、支持構造上に電解質及び／又は電極をより正確に形成することができるとともに同時に拡散を改善する支持構造の孔隙特性を正確に制御することによって利益を得ることができる。
【００１５】
図３は、前述の細孔（図１〜図２の150）に類似する支持構造（図１〜図２の110）の空所又は細孔（150）のより詳細な例示的構成の斜視図である。各電池（300）は、概して、細孔（150）、アルミナと電解質不純物の両方を含む部分（310）、及び比較的純粋なアルミナを含む部分（320）を含む。さらに、各電池は、少なくとも最初は、アルミニウム基部又は基板（330）上に支持されてもよい。各細孔（150）の底部には、障壁層（340）が配置されている。図３に示す構成と類似の構成の形成と調整については、図４〜図７に関連して後により詳細に考察する。
【００１６】
例示的な実施形態と製造 
支持構造（図１〜図２の110）の１つの例示的な実施形態は、図４に示すプロセスによって製造することができる。製造プロセスは、支持構造の所望の初期孔隙特性を決定することで開始される（ステップ400）。平均孔径は、陽極酸化アルミナの形成中に使用される陽極酸化電圧によって変化する。さらに、陽極酸化電解質の性質、電解質濃度、陽極酸化の温度のような他の要因が、孔径に影響を及ぼす。したがって、大きな平均孔径が必要なアルミニウム基板ほど、高い陽極酸化電圧が印加される。さらに、形成する際、基板が成長するときに孔隙特性を変化させることができ、それによって複数の孔径を含む細孔形態を確立し、基板成長方向に対して孔径を変化させることができる。したがって、所望の細孔形態を決定した後（ステップ400）、プロセスが所望の細孔形態を達成するのに必要な陽極酸化電圧分布、プロファイルを算出しなければならない（ステップ410）。次に、アルミニウム基板を、陽極酸化アルミナのような自己組織化微小細孔酸化物を確立するのに適した電解質溶液に配置する（ステップ420）。次に、先に決定された陽極酸化電圧分布（ステップ410）にしたがって、陽極酸化電圧を印加する（ステップ430）。プロセスのこの時点で、自己組織化微小細孔セラミックス基板が形成され、（ステップ460）にしたがって、燃料電池支持構造（図１〜図２の110）に使用するために、アルミニウム基板（図３の330）から分離される。さらにアルミニウム基板から自己組織化微小細孔セラミックス基板を分離することにより、障壁層に穴を空けることができる。
【００１７】
微細機械加工（ステップ440）のような、さらに他のプロセスを使用して、燃料電池支持構造（図１〜図２の110）の所望の特性がさらに達成される。この微細機械加工には、異方性陽極酸化又は局所的陽極酸化を介する選択的エッチングが含まれるが、全くこれらに限定されない。さらに、この微細機械加工は、フォトレジストや他のマスクを利用して、選択的エッチングに影響を及ぼすか又は任意の適切な微細機械加工方法を実施することができる。微細機械加工されたチャネルを含む微細機械加工された微細機械加工支持構造の可能な例示的な実施形態については、以下でさらに詳しく考察する。他のさらなるプロセスには、第２の陽極酸化プロセス（ステップ450）と、アニール、焼鈍や他の適切なプロセスによる補助孔隙の形成（ステップ470）が含まれる。これらのプロセスは、厚み、細孔分布、補助孔隙及び／又は拡散特性を含むがこれらに全く限定されない望ましい特性を達成するために必要である場合がある。先に言及したように、平均孔径は、陽極酸化電圧に正比例する。そのような変化の例を図５Ａ〜図５Ｄに示し、以下に詳細に説明する。
【００１８】
図５Ａ〜図５Ｄに示すように、時間に対して陽極酸化電圧を調節することによって、陽極酸化アルミナのような自己組織化微小細孔セラミックスの平均孔径を基板（505）の成長方向（厚み方向）（500）に対して変化させることができる。後で説明する基板の形成は、前述し、図４に示したプロセスにしたがって実行することができる。
【００１９】
図５Ａのグラフ部分（510）は、基板（505）の形成中、時間に対して一定に保持された陽極酸化電圧（515）を示す。陽極酸化電圧（515）を一定にした結果、基板（505）内の細孔（520）の平均寸法は、基板（505）全体にわたって、厚み（500）に対して実質的に一定に維持される。
【００２０】
同様に、図５Ｂのグラフ部分（525）は、図５Ａに示す陽極酸化電圧よりも低いが、基板（505）の形成中、完全に一定に保持された陽極酸化電圧（530）を示す。その結果、基板（505）の厚み（500）を介して延伸する細孔（535）は、図５Ａの細孔（520）よりも小さな寸法の平均孔径になる。
【００２１】
図５Ｃのグラフ部分（540）は、後に段階的に低下する一連の陽極酸化電圧（550）が続く初期陽極酸化電圧（545）を示す。初期陽極酸化電圧から、時間の経過とともに、段階的に電圧が低下する一連の陽極酸化電圧分布を示す。基板（505）を形成する際の、この段階的な陽極酸化電圧分布、プロファイルによって、基板の深さ方向に対して径が小さくなる一連の細孔（555）が、基板（505）の厚み（500）を介して延伸する。
【００２２】
同様に、図５Ｄのグラフ部分（560）は、最初段階的に低下する一連の低い電圧（570）が続き、その後段階的に高くなる一連の高い電圧（575）が続く初期陽極酸化電圧（565）を示す。初期陽極酸化電圧から、時間の経過とともに、最初に段階的に電圧が低下し、その後段階的に電圧が上昇する一連の陽極酸化電圧分布を示す。基板を形成する際に、この様式の陽極酸化電圧分布、プロファイルを適用することによって得られる細孔形態が、基板（505）の変化する孔径（580）に見られる。図５Ｄに示す細孔形態は、製造された状態の基板（505）の形態を表す。空所（585）を細孔（580）と接続する補助孔隙を製造することができる。
【００２３】
図５Ｄに示す細孔形態を、図６に示す概略図によって特徴付けることができる。段階的な陽極酸化電圧分布（図５Ｄの565、570、575）の結果は、絞り効果、スロットリング効果を作り出すことにあり、それによって細孔は、より大きな表面開口から基板505内のより小さな実効開口（600）まで先細りとなる。次に、細孔は、基板（404）の反対側の、別のより大きな表面開口まで外側に傾斜が付けられる。反対側の表面に向かって、開口の径が段階的に太くなっていく。
【００２４】
次に図７に移り、図５Ｄと図６に示す細孔形態を利用する燃料電池（700）を概略的に示す。燃料電池（700）は、概して、細孔形態を有する支持構造、電解質（120）、燃料極（130）及び空気極（140）を含む。示す実施形態において、細孔（580）の段階的な形状によって、電解質（120）が燃料極（130）及び空気極（140）と接触している表面領域、表面積を拡大することができ、同時に小さな有効開口（600）を横切る燃料極（130）と空気極（140）の間の距離（710）を正確に維持することができる。このように大きな表面領域によって、特定の時点で、単位面積当たりの電極から電解質に又は、その逆に、電解質から電極に移動するイオンの数が減少するので、電極分極の損失が少なくなる。さらに、燃料極（130）と空気極（140）の間の距離（710）を正確にかつ再現可能に制御することにより、燃料極（130）及び／又は空気極（140）の間の電解質（120）の層の付着の正確な制御が可能になり、拡散をさらに高めることができる。
【００２５】
先に説明した燃料電池と、前述の燃料電池の実際には多くの変形例が、図８のフローチャートに示すプロセスによって形成される。図４と関連して前述した形成プロセスは、図８に、支持構造の形成としてまとめてある（ステップ800）。支持構造を形成した（図４に示すプロセスのいずれかにより）後で、電解質を付着する（ステップ810）。化学蒸着法（CVD）やALCなどの方法を含むが、これらに限定されない任意の適切な電解質付着方法を利用することができる。電解質を付着させた後、燃料極を任意の適切な方法によって付着する（ステップ820）。最後に、任意の適切な方法によって空気極を付着する（ステップ830）。当業者は、電解質と電極の付着順序を任意の順序で行うことができることを理解するであろう。
【００２６】
図に示すSOFCの空気極（140）は、材料として、ランタンマンガナイト（LaMnO3）のような混合導電性ペロブスカイトを含むが、これに全く限定されない酸素又は空気と電子とを酸素イオンに変換することができる任意の材料からなる空気極とすることができる。図に示す燃料極（130）は、水素やメタンのような燃料を受容し、これが酸素イオンと反応したときに外部回路に電子を放出することができる任意の材料から構成される燃料極とすることができる。燃料極を形成するために使用される材料は、導電性ニッケル／イットリア安定化ジルコニアサーメットのようなセラミックス／金属複合物を含むが、これらに限定されない。電解質は、イットリア安定化ジルコニアのようなジルコニアを主成分とする電解質、ガドリニウムドープドセリア、バリウムインデート（Ba2In205）、（ストロンチウム、マグネシウム）ドープドランタンガレート（LaGaO3）（LSGM）を含むが、これらに全く限定されない任意の酸素イオン伝導電解質とすることができる。
【００２７】
代替的な実施形態
図９は、燃料電池支持構造（110）を含む図１に示す燃料電池と類似の、組み立てられた例示的なデュアルチャンバSOFCシステムの分解断面図である。図９に示すように、組み立てられたSOFCシステムは、いくつかの燃料供給溝部（910）と各燃料供給溝部（910）に結合されている燃料マニホルド（920）を有するSOFCハウジング（900）、複数の燃料チャネル（930）、燃料チャネル排出部（940）及び燃料電池支持棚部（950）を含む。燃料マニホルド（920）は、燃料チャネル（930）に流体連通するように構成されている。燃料チャネル排出部（940）と燃料電池支持棚部（950）の上には、燃料電池支持構造（110）、電解質（120）、燃料極（130）及び空気極（140）を含むSOFCが配置されている。
【００２８】
燃料極（130）と空気極（140）の間に配置されている電解質（120）は、SOFCの空気極側の空気チャンバ（960）内の空気から酸素イオンを燃料極側に導き、そこでそのイオンは燃料チャネル（930）内の燃料と反応する。水素又はメタン燃料と反応すると、水（及び、メタンの場合には二酸化炭素）と電気が生成される。次に、電気は、利用可能な電力として、燃料極と空気極（図示せず）上の電流コレクタから外部回路に伝えられる。このように、燃料電池を電子装置に結合して電力を提供することができる。示す実施形態において、支持構造（110）の細孔（150）は、実質的に均一な直径を有する。
【００２９】
図１０は、図９のものと類似するデュアルチャンバSOFC燃料電池システムの実施形態を示し、ここでは、細孔（図５Ｄの580）が図５Ｄの細孔形態を含む。細孔（580）の段階的な形状により、電解質（120）が燃料極（130）及び空気極（140）と接触している表面積を大きくすることができ、同時に小さな有効開口（図６〜図７の600）を横切る燃料極（130）と空気極（140）の間の正確な距離（図７の710）を維持することができる。このような大きな表面積は、きわめて薄い電解質層（120）の使用を可能にし、したがって燃料電池システムの性能特性を高めることができる。
【００３０】
図１１は、図９と類似するデュアルチャンバSOFC燃料電池システムの実施形態を示し、ここでは、細孔（図５Ｃの555）は図５Ｃの細孔形態を含む。図９に示す実施形態では、細孔（555）の径は、燃料極（130）に近い側の方が空気極（140）に近い側よりも大きくなるように形成されている。このような構成によって、電解質（120）を横切る拡散が強化され、きわめて薄い電解質層（120）の使用が可能になる。このような特性は、燃料電池システムの性能特性を高めることを可能にする。
【００３１】
図１２は、図２に示すものと類似する支持構造（110）を利用するシングルチャンバSOFC燃料電池システムの実施形態を示す。シングルチャンバ燃料電池は、デュアルチャンバ燃料電池と同じように動作するが、２つのチャンバ（930、950）が互いに流体連通している。シングルチャンバ燃料電池では、デュアルチャンバ設計と異なり、チャンバを分離するシールを必要としない。
【００３２】
図１３は、図４に示すプロセス全体によって形成された燃料支持構造を利用するシングルチャンバSOFC燃料電池システムの実施形態を示す。より具体的には、燃料電池支持構造は、微細機械加工チャネル（1300）を含む。微細機械加工チャネルは、燃料極（130）と空気極（140）間の正確な距離（1310）を維持しながら、電解質（120）が空気極（140）と接触する表面積を大きくすることを可能とする。このような大きな表面積は、きわめて薄い電解質層（120）の使用を可能とし、かつ拡散を強化し、したがって燃料電池システムの性能特性を高めることができる。
【００３３】
以上の説明は、本発明の実施例を示し説明するためにのみ行ったものである。説明は、本発明を網羅し、かつ開示した何らかの厳密な形態に本願を限定することを意図するものではない。以上の教示を鑑みて、多くの修正及び変形が可能である。本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲の記載によって定義されるように意図されている。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】１つの例示的な実施形態による燃料電池支持構造を利用するデュアルチャンバ燃料電池の部分断面図である。
【図２】１つの例示的な実施形態による燃料電池支持構造を利用するシングルチャンバ燃料電池の部分断面図である。
【図３】１つの例示的な実施形態において利用される自己組織化微小細孔セラミックの斜視図である。
【図４】１つの例示的な実施形態による燃料電池支持構造の製造方法を示すフローチャートである。
【図５Ａ】１つの例示的な実施形態による燃料電池支持構造の断面及び対応する陽極酸化電圧分布を示す図である。
【図５Ｂ】１つの例示的な実施形態による燃料電池支持構造の断面及び対応する陽極酸化電圧分布を示す図である。
【図５Ｃ】１つの例示的な実施形態による燃料電池支持構造の断面及び対応する陽極酸化電圧分布を示す図である。
【図５Ｄ】１つの例示的な実施形態による燃料電池支持構造の断面及び対応する陽極酸化電圧分布を示す図である。
【図６】１つの例示的な実施形態による燃料電池支持構造の細孔形態の概略図である。
【図７】１つの例示的な実施形態による燃料電池の概略断面図である。
【図８】１つの例示的な実施形態による燃料電池の製造方法を示すフローチャートである。
【図９】１つの例示的な実施形態によるデュアルチャンバSOFCシステムを示す図である。
【図１０】１つの例示的な実施形態によるデュアルチャンバSOFCシステムを示す図である。
【図１１】１つの例示的な実施形態によるデュアルチャンバSOFCシステムを示す図である。
【図１２】１つの例示的な実施形態によるシングルチャンバSOFCシステムを示す図である。
【図１３】１つの例示的な実施形態によるシングルチャンバSOFCシステムを示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
１１０    支持構造
１２０    電解質
１３０    燃料極
１４０    空気極
１５０    細孔
３３０    基板
【図１】
2005050813.tif 000003
【図２】
2005050813.tif 000004
【図３】
2005050813.tif 000005
【図４】
2005050813.tif 000006
【図５Ａ】
2005050813.tif 000007
【図５Ｂ】
2005050813.tif 000008
【図５Ｃ】
2005050813.tif 000009
【図５Ｄ】
2005050813.tif 000010
【図８】
2005050813.tif 000011
【図９】
2005050813.tif 000012
【図１０】
2005050813.tif 000013
【図１１】
2005050813.tif 000014
【図１２】
2005050813.tif 000015
【図１３】
2005050813.tif 000016
【図６】
2005050813.tif 000017
【図７】
2005050813.tif 000018