(57)【要約】  【課題】  導電性液体に浸したセラミック素子に存在しうるクラック等の内部の空気を除去し、クラック等の存在の有無の検査を容易に行うことができるセラミック素子の検査方法を提供する。  【解決手段】  検出ユニット１０が減圧室１００に入室され、真空ポンプ１２０の駆動によって減圧室１００内が減圧される。検出ユニット１０は導電性液体１１１に浸され、次いでバルブ１３０の操作により減圧室１００内が大気圧に復帰される。検出ユニット１０にクラック等が存在した場合、クラック等の内部に残る空気と減圧室１００内の大気との間の圧力差に基づき押圧された導電性液体１１１によってクラック等の内部の空気は排除され、クラック等の内部は導電性液体１１１に満たされる。測定された電極端子２２，１１２間の絶縁抵抗値に基づき絶縁性が保たれているかを判断でき、クラック等の有無を検査できる。【選択図】  図４
2005274234.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部と絶縁された少なくとも一つの導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、
前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、
前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、
前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、
前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、
前記セラミック素子の前記導電パターンと、前記導電性液体と接触する電極との間に電圧を印加し、両者間の抵抗値を測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程と
を備えたことを特徴とするセラミック素子の検査方法。
【請求項２】
互いに絶縁された少なくとも二つの導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、
前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、
前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、
前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、
前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、
前記セラミック素子の前記導電パターンのうち、検査を行う被検査導電パターン間に電圧を印加し、両者間の抵抗値を測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程と
を備えたことを特徴とするセラミック素子の検査方法。
【請求項３】
前記浸漬工程は、前記減圧工程の後に実施されることを特徴とする請求項１または２に記載のセラミック素子の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、内部に導電パターンが形成されたセラミック素子に存在しうるクラックの有無の検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、自動車などの排気ガス中の窒素酸化物または酸素などの濃度に応じた電気信号を出力するガスセンサのセンサ素子が知られている。このようなセンサには酸素センサ、全領域空燃比センサ、ＮＯＸセンサなどがあるが、例えば全領域空燃比センサの素子は、酸素濃度を検出する検出ユニットと、その検出ユニットを加熱するヒータユニットとが互いに張り合わされた構造を有する。検出ユニットは、両面に、多孔質からなる一対の白金電極が形成された、ジルコニア固体電解質からなるセラミック基板が複数積層されており、ヒータユニットは、発熱を行う導電パターンがアルミナからなる２枚のセラミック基板に挟持されて形成されている。
【０００３】
ガスセンサの製造工程において、このようなセラミックを基材とする検出ユニットやヒータユニットに、ピンホールやクラックが存在していないか検査が行われる。ピンホールやクラックが存在するとそれらユニットの強度不足や絶縁性の低下等の問題を生じ、センサ素子としての信頼性を損なう虞があるからである。そこで、これらユニットのように電極を有するセラミック素子にクラックが存在しているか否かを検査する方法が、従来より提案されている。この従来のクラック等の有無の検査では、導電性の液体を満たした槽にセラミック素子を浸し、例えば毛管現象を利用してクラック等の内部に導電性液体を染み込ませている。そして、セラミック素子の導電パターンと導電性液体との間に電圧を印加したとき、両者間の絶縁抵抗値が所定値よりも小さければ、クラック等が存在したとみなす手法が知られている（例えば特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平９−３０４３２４号公報
【０００４】
また、導電性液体が満たされた槽にセラミック素子を浸した際に、セラミック素子の外表面上に細かな気泡が付着する場合がある。この気泡がクラック等の表面部分に付着していた場合、気泡の表面張力によってクラック等の内部に導電性液体が染み込むのを阻害されてしまう可能性がある。そこで、セラミック素子に超音波振動を与え、セラミック素子の外表面上から気泡の除去を行うことも提案されている（例えば特許文献２参照。）。
【特許文献２】特開２００２−４８８３２号公報
【０００５】
ところで、セラミック素子に非常に小さなクラック（マイクロクラック）が存在した場合、その内部に付着した気泡は、セラミック素子に超音波振動を与えても除去されない可能性がある。この気泡のような空気が残ることを前提にクラック等の有無の検査を行う場合、その検査の精度を高めるためには、マイクロクラック内の空気による絶縁の影響を受けないようにすればよい。具体的には、従来は、高電圧（例えば、１ｋＶ）を印加して、その空気の絶縁破壊を発生させ、セラミック素子の導通パターンと導電性液体との間の絶縁抵抗値を測定していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、クラック内に空気が残ることを前提に高電圧を利用してクラック等の有無の検査を行う方法では、検査を行うための配線に耐高電圧ケーブルを使用する必要があり、高電圧に対する安全対策も含め、取り扱いに手間やコストがかかるという問題があった。
【０００７】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、導電性液体に浸したセラミック素子に存在しうるクラック等の内部の空気を除去し、クラック等の有無の検査を容易に行うことができるセラミック素子の検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、請求項１に係る発明のセラミック素子の検査方法は、外部と絶縁された少なくとも一つの導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、前記セラミック素子の前記導電パターンと、前記導電性液体と接触する電極との間に電圧を印加し、両者間の抵抗値を測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程とを備えている。
【０００９】
また、請求項２に係る発明のセラミック素子の検査方法は、互いに絶縁された少なくとも二つの導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、前記セラミック素子の前記導電パターンのうち、検査を行う被検査導電パターン間に電圧を印加し、両者間の抵抗値を測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程とを備えている。
【００１０】
また、請求項３に係る発明のセラミック素子の検査方法は、請求項１または２に記載の発明の構成に加え、前記浸漬工程は、前記減圧工程の後に実施されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る発明のセラミック素子の検査方法では、まず、減圧工程と浸漬工程とを実施する。その後、気圧復帰工程を実施することにより、セラミック素子にクラック等が存在した場合、このクラック内に気泡を存在させることなく、導電性液体を染み込ませることができる。そして、セラミック素子の内部に形成された導電パターンと、セラミック素子の外部を満たす導電性液体との間に電圧を印加して両者間の抵抗値を測定すれば、クラック等が存在する場合には両者間の抵抗値が小さくなるので、これに基づきクラック等の有無について検査を行うことができる。また、クラック等の内部に残る空気を排除することができるので、導電パターンと導電性液体との間に高電圧を印加することなく、十分な検査結果を得ることができる。これにより、高電圧によるセラミック素子の破壊の可能性を排除できる。また、その検査時の印加電圧の低下によって、耐高電圧ケーブルの使用等、安全対策にかかる手間を軽減でき、検査コストの削減を図ることができる。
【００１２】
請求項２に係る発明のセラミック素子の検査方法では、まず、減圧工程と浸漬工程とを実施する。その後、気圧復帰工程を実施することにより、セラミック素子にクラック等が存在した場合、このクラック内に気泡を存在させることなく、導電性液体を染み込ませることができる。そして、セラミック素子の内部に形成され、互いに絶縁された検査対象の被検査導電パターン間に電圧を印加して両者間の抵抗値を測定すれば、クラック等が存在する場合には両者間の抵抗値が小さくなるので、これに基づきクラック等の有無について検査を行うことができる。また、クラック等の内部に残る空気を排除することができるので、被検査導電パターン間に高電圧を印加することなく、十分な検査結果を得ることができる。これにより、高電圧によるセラミック素子の破壊の可能性を排除できる。また、被検査導電パターン間同士が近接するような状況にあっても、検査時に、両者間を隔てる空気において絶縁破壊が発生し、検査精度の低下を招いてしまう可能性を排除することができる。さらに、その検査時の印加電圧の低下によって、耐高電圧ケーブルの使用等、安全対策にかかる手間を軽減でき、検査コストの削減を図ることができる。
【００１３】
また、請求項３に係る発明のセラミック素子の検査方法では、セラミック素子を導電性液体に浸す前にセラミック素子が入室された減圧室の気圧を減圧したので、セラミック素子にクラック等が存在する場合、セラミック素子を導電性液体に浸すときにはクラック等の内部の圧力が低下した状態となる。この後に、減圧室内の気圧を大気圧に復帰させると、導電性液体を介して大気とクラック等の内部に残る空気との間に圧力差が生じるため、クラック等の内部を大気に押圧された導電性液体によって満たすことができる。
【００１４】
なお、請求項１および請求項２に記載のセラミック素子の検査方法を同時に実現してもよい。すなわち、互いに絶縁され、外部とも絶縁された少なくとも二つ以上の導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、前記セラミック素子の前記導電パターンのうちの検査を行う被検査導電パターン間に電圧を印加する一方、前記被検査導電パターンの少なくとも１つと前記導電性液体に接触する電極の間とのそれぞれに電圧を印加し、各者間の抵抗値をそれぞれ測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程とを備えたセラミック素子の検査方法を実現すればよい。
【００１５】
この方法によれば、セラミック素子の検査対象となる導電パターン間と、導電パターンと導電性液体に接触する電極との間のそれぞれの絶縁を維持しているセラミック素子にクラック等が存在するか否かの検査を、一度の検査で行うことができるため、検査にかかる時間を大幅に短縮することができ、検査効率を上げ、検査コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明のセラミック素子の検査方法の一実施の形態について、図面を参照して説明する。まず、図１を参照して、本発明の検査方法を用いて検査が行われるセラミック素子の一例としての検出ユニット１０を備えたセンサ素子１について説明する。図１は、センサ素子１の模式的な構成を示す模式断面図である。
【００１７】
一般的なガスセンサに使用される検出ユニットは、検出対象に応じて様々な型式の素子が用いられている。例えば、接触した被検出ガスの濃度に応じて起電力が変化するもの（起電力変化型）が広く用いられている。本実施の形態における検出ユニット１０は周知の構造を有し、被検出ガスとしての排気ガス中の酸素濃度の検出が可能な全領域空燃比センサのセラミック素子である。
【００１８】
図１に示すように、センサ素子１の検出ユニット１０には、固体電解質としての短冊状のジルコニア製のセラミック基材１１，セラミック基材１５の各両面に、多孔質の白金等からなる一対の導電パターン１２，１３および導電パターン１６，１７がそれぞれ設けられている。セラミック基材１１とセラミック基材１５とは、導電パターン１３と導電パターン１６とが対向するように積層され、両者間にガス検出室２１が形成されている。ガス検出室２１の側方の壁面には、ガス検出室２１内に排気ガスを導入するための多孔質のガス拡散多孔質壁１４が形成されている。ジルコニア製のセラミック基材１１，１５は、高温環境下（例えば９００℃）において活性化し酸素イオン導電性を示すが、室温環境下では絶縁性が高い。
【００１９】
セラミック基材１５の導電パターン１７は、セラミック基材１５のガス検出室２１とは反対側の面上に形成されており、その導電パターン１７の外方を覆う絶縁性に優れたアルミナ製のセラミック基材２０との間に酸素を貯留するための酸素基準室１８が設けられている。セラミック基材２０は、検出ユニット１０の外装として保護するとともに、導電パターン１７と外部との絶縁を担っている。同様に、セラミック基材１１の導電パターン１２は、セラミック基材１５のガス検出室２１とは反対側の面上に形成されており、その導電パターン１２の外方が多孔質状のアルミナ製のセラミック基材１９で覆われ、導電パターン１２と外部との絶縁がなされている。
【００２０】
そして、導電パターン１３と導電パターン１６とは素子内部で電気的に接続されており、導電パターン１２、導電パターン１７とともに、それぞれ、素子外部との電気的な接続を行うための三本の電極端子２２，２３，２４に接続されている。
【００２１】
また、全領域空燃比センサのセンサ素子１では、短冊状のヒータユニット３０がセメント２５によって検出ユニット１０に接着されている。ヒータユニット３０には、二層のアルミナ製セラミック基材３１の層の間に発熱抵抗体からなる導電パターン３２が形成されている。導電パターン３２はヒータユニット３０の内部で繋がった一本のヒータパターンであり、外部の電極端子３３，３４は、そのヒータパターンの両端部にそれぞれ接続されている。
【００２２】
このように構成されたセラミック素子の検査方法について、以下、説明を行うにあたり、まず、セラミック素子に存在しうるクラック等の有無の検査を行うための構成について、図２を参照して説明する。図２は、減圧室１００内に検出ユニット１０を入室させる様子を示す図である。なお、本実施の形態ではセラミック素子の一例としての検出ユニット１０の検査方法について説明するが、説明の容易化のため、以下の図面に示す検出ユニット１０は、導電パターンのみに着目した簡略図を用いている。
【００２３】
図２に示す減圧室１００は、密閉可能な室内に浴槽１１０を備え、室内の気圧を減圧する真空ポンプ１２０と、室内に大気を導入することが可能なバルブ１３０とが接続されている。浴槽１１０には導電性液体１１１が満たされており、その浴槽１１０内には導電性液体１１１に電圧を印加するための電極端子１１２が設けられている。また、図示しないが、減圧室１００内には検出ユニット１０を保持し、減圧室１００が密閉された状態で、保持した検出ユニット１０を導電性液体１１１に浸すことが可能な保持アームが設けられている。なお、電極端子１１２が、本発明における「導電性液体と接触する電極」に相当する。
【００２４】
なお、導電性液体１１１としては水を用いてもよいが、発泡性の少ない有機溶媒等が好ましく、例えばエタノールや硝酸アンモニウム水溶液等であれば、セラミック素子の材質に悪影響を与えないのでより好適である。
【００２５】
次に、セラミック素子の検査方法について、図２〜図５を参照して説明する。図３は、浴槽１１０に満たされた導電性液体１１１に検出ユニット１０を浸した状態を示す図である。図４，図５は、クラック等の有無の検査を行う様子を示す図である。
【００２６】
まず、図２に示すように、セラミック素子の一例として、センサ素子１に組み立てる前の検出ユニット１０が、減圧室１００内に入室される（入室工程）。検出ユニット１０は、図示外の保持アームに保持され、次いで減圧室１００の密閉が行われる。このとき、検出ユニット１０は、未だ導電性液体１１１には接触されていない。
【００２７】
減圧室１００の密閉が完了すると真空ポンプ１２０が駆動され、減圧室１００内の気圧が減圧される（減圧工程）。これにより、検出ユニット１０を取り巻く大気の気圧が減少し、検出ユニット１０のセラミック基材１１，１５，１９，２０にクラック等が存在した場合、そのクラック等の内部の気圧も減少する。なお、クラック等の内部の減圧を確実に行うには減圧室１００内を−５０ＫＰａ以下の気圧とすればよいことは周知であるが、発明者の実験により、−９０ＫＰａ以下であれば、より確実にクラック等の内部の気圧を減少させることができることが判明しており、好ましい。
【００２８】
減圧室１００の減圧が完了すると、次に図３に示すように、保持アーム（図示外）が駆動され、検出ユニット１０が浴槽１１０の導電性液体１１１に浸される（浸漬工程）。このとき、電極端子２２，２３，２４は導電性液体１１１に浸からないように調整される。検出ユニット１０にクラック等が存在すれば、毛管現象によりクラック等の内部に導電性液体１１１が染み込む。減圧工程では完全な真空状態とはならないのでクラック等の内部には圧力の小さい空気が残る場合があるが、毛管現象によりクラック等の外部へと引き出され、クラック等の内部は導電性液体１１１で満たされる。
【００２９】
次に、バルブ１３０が開放され、減圧室１００内に大気が導入される（大気圧復帰工程）。これにより減圧室１００内の気圧が大気圧に等しくなる。すると、この大気による圧力によって導電性液体１１１が押圧され、クラック等の内部の圧力の低い空気にもその圧力がかかる。クラック等の内部（特にマイクロクラック内）に残る空気は、大気の圧力により押された導電性液体１１１との押圧力に抗しきれず、クラック等の外部に排除される。こうして、検出ユニット１０にクラック等が存在した場合、そのクラック等の内部は導電性液体１１１によって満たされる。
【００３０】
次に、図４に示すように、検出ユニット１０の各電極端子２２，２３，２４および浴槽１１０内の電極端子１１２の任意の電極端子間に周知の抵抗値測定器１４０が接続され、両者間に印加される電圧と測定される電流値に基づき、両者間の絶縁抵抗値の測定が行われる（検査工程）。なお、図４では、電極端子２２と電極端子１１２との間の絶縁抵抗値を測定する場合の抵抗値測定器１４０の接続例が示されている。本実施の形態では２５０Ｖの電圧が、検査対象である電極端子間に印加される。前述した入室工程、減圧工程、浸漬工程、大気圧復帰工程を経ることでセラミック基材１１，１５，１９，２０にクラック等が存在した場合でも、確実に、そのクラック等の内部に導電性液体１１１を満たすことが可能となる。このため、クラック等の内部に空気が残った場合を想定して高電圧を印加し、その空気の絶縁破壊を行わせて素子の絶縁抵抗値を測定する方法でクラック等の有無の検査を行う必要が無く、上記２５０Ｖの電圧でも十分に、クラック等の有無の検査を行うことができる。なお、検査対象の電極端子が接続されている検出ユニット１０の導電パターンが、本発明における「被検査導電パターン」に相当する。
【００３１】
測定によって得られた絶縁抵抗値が所定のしきい値よりも大きければ、測定された電極端子間の絶縁性が保たれていると判断される。すなわち、測定された電極端子間の絶縁障害の原因となるクラック等が存在しない、あるいは、クラック等が存在しても十分な絶縁性や強度を確保できるとして判断される。一方、測定によって得られた絶縁抵抗値が所定のしきい値以下であれば、測定された電極端子間の絶縁性が保たれていないと判断される。すなわち、測定された電極端子間にはクラック等が存在し、十分な絶縁性や強度が確保できないと判断される。なお、所定のしきい値として、測定された電極端子間の絶縁抵抗値が少なくとも１０ＭΩよりも大きければ、一般的に十分な絶縁性を保つことができ、絶縁性に影響のあるクラック等は存在しないと判断することができる。さらには、測定された電極端子間の絶縁抵抗値が１００ＭΩより大きい値であることが好ましい。
【００３２】
そして、図５に示すように、未だ測定が行われていない電極端子間についても、順次、絶縁抵抗値の測定が行われる。なお、図５では、電極端子２２と電極端子２３との間の絶縁抵抗値を測定する場合の抵抗値測定器１４０の接続例が示されている。そして、あらかじめ検査を行うと決められた所定の電極端子の組み合わせの全てについて絶縁性が保たれていると判断されれば、検出ユニット１０は良品として判断される。また、いずれかの組み合わせの一つでも絶縁性が保たれていないと判断された場合には、検出ユニット１０は不良品として判断され、センサ素子１の部品としては使用されない。
【００３３】
以上説明したように、本実施の形態のセラミック素子の検査方法では、セラミックにより絶縁性が確保されたセラミック素子を構成するセラミック基材に、クラック等が存在し、このクラック等により絶縁性が損なわれていないか検査が行われる。まず、減圧室１００内にセラミック素子（その一例として検出ユニット１０）を入室させ（入室工程）、真空ポンプ１２０を駆動させ減圧室１００内の気圧を減圧する（減圧工程）。次いで、検出ユニット１０を浴槽１１０に満たした導電性液体１１１に浸す（浸漬工程）。そして減圧室１００のバルブ１３０を開き、減圧室１００内の気圧を大気圧に復帰させる（大気圧復帰工程）。すると、検出ユニット１０にクラック等が存在した場合、そのクラック等の内部に残る空気の圧力が小さいことから、大気の圧力によって押された導電性液体１１１によってクラック等の内部に残る空気が排除される。
【００３４】
これにより、マイクロクラックも含め、存在する全てのクラック等の内部は導電性液体１１１で満たされることとなる。互いに絶縁された導電パターンに接続されている電極端子２２，２３，２４、および導電性液体１１１に電気的に接続された電極端子１１２のうち所定の電極端子間の絶縁抵抗値が測定され、所定のしきい値に基づき絶縁性が確保されているか否か検査が行われる（検査工程）。そして、あらかじめ決められた全ての組み合わせについて検査が行われた結果、全ての組み合わせについて絶縁性が保たれていると判断されれば、検査対象の検出ユニット１０が良品であると判断することができる。
【００３５】
このように、減圧室１００内で検出ユニット１０を取り巻く空気の気圧の減圧を行ったので、検出ユニット１０にクラック等が存在した場合、そのクラック等の内部の空気も減圧される。このため、検出ユニット１０を導電性液体１１１に浸し、減圧室１００内の気圧を大気圧に復帰させれば、大気の圧力によって押圧された導電性液体１１１によって、クラック等の内部に残る空気を排除することができる。特に、マイクロクラックが存在した場合、毛管現象を利用した場合や、超音波による気泡の除去を行った場合では、そのマイクロクラック内に残る空気の圧力に抗してその空気をマイクロクラック外に排除することができるだけの圧力差を得られないが、減圧工程および大気圧復帰工程を設けたことによって、上記圧力差を得ることができ、マイクロクラック内の空気を容易に排除することができる。
【００３６】
そして、クラック等の内部に残る空気を外部に排除することができるので、従来、クラック等の内部に空気が残った場合を想定して、その空気の絶縁破壊を行わせて短絡を発生させるべく各電極端子間に高電圧（例えば１ｋＶ）を印加していたが、クラック等の内部に導電性液体１１１が満たされていれば印加する電圧を低く（例えば２５０Ｖ）しても十分な検査結果を得ることができる。これにより、高電圧によるセラミック素子の破壊の可能性を排除できる。また、センサ素子１の小型化に伴う導電パターン間の密接によって抵抗値測定器１４０が接続される各電極端子間も密接され、高電圧を印加する検査の際に電源と接続された電極端子間を隔てる空気において絶縁破壊が発生し、検査精度の低下を招いてしまう可能性を排除することができる。また、その検査時の印加電圧の低下によって、耐高電圧ケーブルの使用等、安全対策にかかる手間を軽減でき、検査コストの削減を図ることができる。
【００３７】
なお、本発明は上記実施の形態に限られず、各種の変形が可能なことはいうまでもない。例えば、検査工程において、抵抗値測定器１４０と各電極端子２２，２３，２４，１１２との接続を任意に切り替えることが可能な切替手段を設け、その切替手段による切り替えに基づいて任意の２つの電極端子が抵抗値測定器１４０に接続されるようにしてもよい。また、検査工程において、抵抗値測定器１４０を複数設け、本実施の形態では４つの電極端子２２，２３，２４，１１２のうちあらかじめ決められた全ての電極端子の組み合わせについてそれぞれ抵抗値測定器１４０を接続し、全て同時に検査を行ってもよい。
【００３８】
また、本実施の形態では減圧工程を行った後に浸漬工程を行ったが、浸漬工程後に減圧工程を行ってもよい。このようにすれば、減圧工程において、減圧室１００内の空気とクラック等の内部に残る空気との間に圧力差が生じるため、クラック等の内部に残る空気が膨張してクラック等の外部に排除されやすくなる。さらにクラック等の内部に空気が残った場合でも、その空気の圧力は下がっているため、本実施の形態と同様に、大気圧復帰工程において導電性液体１１１によってクラック等の内部から排除される。
【００３９】
また、本実施の形態ではセラミック素子の一例として検出ユニット１０を用いて説明したが、ヒータユニット３０に対して同様の検査を行ってもよい。この場合、ヒータユニット３０内の導電パターン３２は１パターンであり電極端子３３と電極端子３４とは導通されているので、電極端子３３と浴槽１１０に設けられた電極端子１１２との間の絶縁抵抗値を測定し、クラック等の有無について検査を行えばよい。そして、センサ素子としては、検出ユニットおよびヒータユニットのそれぞれを接着する前に検査を行い、正常品と判別されたもの同士を組み合わせてセンサ素子を形成するとよい。
【００４０】
また、導電性液体１１１に電圧を印加するため浴槽１１０内に電極端子１１２を設けたが、浴槽１１０を導電性の金属等で形成し、浴槽１１０自体を電極として利用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
窒素酸化物、酸素および炭化水素、あるいは特定のガス濃度などを検出する各種ガスセンサや、温度センサ、アクチュエータ等のセラミック素子のクラック等の有無の検査法法として利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】センサ素子１の模式的な構成を示す模式断面図である。
【図２】減圧室１００内に検出ユニット１０を入室させる様子を示す図である。
【図３】浴槽１１０に満たされた導電性液体１１１に検出ユニット１０を浸した状態を示す図である。
【図４】クラック等の有無の検査を行う様子を示す図である。
【図５】クラック等の有無の検査を行う様子を示す図である。
【符号の説明】
【００４３】
１０    検出ユニット
１１，１５，１９，２０  セラミック基材
１２，１３，１６，１７  導電パターン
２２，２３，２４，１１２  電極端子
１００    減圧室
１１１    導電性液体
【図１】
2005274234.tif 000003
【図２】
2005274234.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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