(57)【要約】【課題】同時に複数の被検査体を検査することができる洩れ検査装置を提案する。【解決手段】  共通の基準タンクに対して２個の被検査体を設け、基準タンクと２個の被検査体との間に発生する圧力差を差圧検出器によって検出し、その検出出力を逆極性で第１加算器で加算し、その加算結果の極性により洩れのある被検査体を特定し、洩れ量が許容値を超えているか否かを判定し、更に差圧検出器の検出出力を同極性で第２加算器で加算し、その加算結果により被検査体の同量に近い洩れの有無を判定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ａ．空圧源から与えられる空気圧を三方に分岐する三方分岐管と、
Ｂ．この三方分岐管によって分岐された各管路に接続された遮断弁と、
Ｃ．この遮断弁を通じて取出された空気圧の一つの管路に接続した標準タンクと、
Ｄ．上記遮断弁を通じて取出された空気圧の二本の管路に接続した一対の被検査体と、
Ｅ．この一対の被検査体に連通する管路と上記基準タンクに通ずる管路との間のそれぞれに差渡されて標準タンクと各被検査体との間に発生する圧力差をそれぞれ検出する一対の差圧検出器と、
Ｆ．この一対の差圧検出器の検出出力を逆極性で加算する第１加算器と、
Ｇ．この加算器の加算結果により、上記各被検査体の洩れの有無を判定する第１良否判定装置と、
Ｈ．上記一対の差圧検出器の検出出力を同極性で加算する第２加算器と、
Ｉ．この第２加算器の加算結果より、ドリフト補正値を減算するドリフト補正手段と、
Ｊ．このドリフト補正手段でドリフト補正した補正結果により上記各被検査体の洩れの有無を判定する第２良否判定装置と、
Ｋ．上記空圧源と三方分岐管との間に接続され、空圧源から与えられる空気圧を三方分岐管側に与える第１の状態と、空圧源側を閉じ三方分岐管を大気に解放する第２の状態に切換る三方電磁弁と、
Ｌ．この三方電磁弁を上記第１の状態に切換え、上記遮断弁をそれぞれ開の状態にして上記基準タンク及び各被検査体のそれぞれに空気圧を与える加圧モードと、上記遮断弁を閉じこの状態で上記差圧検出器の検出出力を計測して各被検査体の洩れの有無を判定する検査モードと、三方電磁弁を上記第２の状態に切換え、上記基準タンク及び各被検査体に与えられた空気を大気に放出させる排気モード切換制御する制御器と、
によって構成した洩れ検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の洩れ検査装置において、上記ドリフト補正手段は校正モードで取得したドリフト補正値を記憶するドリフト記憶装置と、このドリフト記憶器に記憶したドリフト補正値を上記第２加算器の加算出力値から差し引く引算器と、によって構成したことを特徴とする洩れ検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の洩れ検査装置の何れかにおいて、
上記ドリフト記憶器に記憶するドリフト補正値は上記一対の被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、検査時のタイミングにほぼ等しい第１タイミングで上記第２加算器から得られる初期加算値と、上記第１タイミングからドリフトが収束すると見られる時間が経過した第２タイミングで上記第２加算器から得られる真の洩れに相当する測定値との差の値としたことを特徴とする洩れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は各種の容器の洩れの有無を自動的に検査することに用いられる洩れ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に洩れ検査装置は図３に示すように、１個の被検査体９と１個の基準タンク１１に空気圧を印加し、これらの間に圧力差が発生するか否かにより被検査体９に洩れが有るか否かを判定している。先ずこの一般的な洩れ検査装置について簡素に説明する。
図中１は空圧源を示す。この空圧源１で発生する空気圧が管路２を通じて調整弁３に与えられ、調整弁３により一定の空気圧に安定化されて三方電磁弁４に与えられる。三方電磁弁４の出口側に分岐管５が接続され、分岐管５によって空圧源１から与えられる空気圧を二つの分岐路６と７に分岐する。
【０００３】
二つの分岐路６と７のそれぞれに遮断弁８Ａ、８Ｂが介挿され、これら遮断弁８Ａと８Ｂを通じて被検査体９と基準タンク１１に空圧源１から出力される空気圧を与える。分岐路６、７に挿入した遮断弁８Ａ、８Ｂの先の部分（被検査体９と基準タンク１１との間の分岐路）を分岐路６′、７′とする。分岐路６′と７′の間には差圧検出器１２が差渡され、分岐路６′と７′の間の差圧を計測できるように構成される。尚、分岐路６′には必要に応じて圧力計１７を接続する場合もある。
差圧検出器１２の検出出力は増幅器１３で増幅され、その増幅出力信号を良否判定装置１４に与え、被検査体９の洩れの有無を判定し、その判定結果を表示器１５に表示させるか、又は良否仕分け装置を作動させて、洩れの有る不良品と良品とを自動的に仕分けさせることができる。
【０００４】
洩れの検査は次のようにして行われる。三方電磁弁４をＡ−Ｂ間が連通する第１の状態に制御し、遮断弁８Ａ、８Ｂを開に制御して被検査体９と基準タンク１１に空気圧を与える。この状態を加圧モードと称する（図４）。
加圧後一定時間（安定モード）の後に遮断弁８Ａ、８Ｂを閉じる。基準タンク１１は被検査体９と同一内容積の洩れのない容器で構成される。従って被検査体９に洩れが無ければ分岐路６′と７′の間には圧力差が発生しないが、被検査体９に洩れが有る場合は時間の経過に従って分岐路６′と７′の間に圧力差が発生する。この圧力差を差圧検出器１２で検出し、この検出出力信号を増幅器１３で増幅し、良否判定装置１４で所定時間経過後の差圧検出値が所定値以上に達したとき洩れ有りと判定する（検査モード）。
【０００５】
検査終了後、三方電磁弁４をＢ−Ｃ間が連通する第２の状態に切換え、遮断弁８Ａ、８Ｂを開に制御することにより被検査体９と基準タンク１１に与えられた空気圧を三方電磁弁４の排気口Ｃから放出（排気モード）させ、１テストサイクルを終了し、被検査体９の交換を行なう。１６はこれらの工程を制御する制御器である。
図３に示した洩れ検査装置では基準タンク１１を固定とし、被検査体９を順次交換するから、基準タンク１１には順次空気圧が繰返し与えられる。この空気圧の供給によって基準タンクの温度が上昇し、基準タンク１１と被検査体９との間に温度差が発生し、この温度差によってゼロ点変動等の外乱が発生する欠点がある。
【０００６】
この欠点を解消するために本出願人は特許文献１に開示するように、共通の基準タンクに対して２個の被検査体を接続し、基準タンクと２個の各被検査体との間に発生する圧力差を差圧測定器によって測定し、その測定値を加算し、その加算結果の極性により洩れの有る被検査体を特定し、洩れ量が許容量を超えているか否かを判定する洩れ検査装置を提案した。
図５にその構成例を示す。制御器１６は三方電磁弁４と遮断弁８Ａ、８Ｂ、８Ｃを制御して加圧モード、検査モード、排気モードに制御する点は図３に示した洩れ検査装置と同じである。
【０００７】
図３と異なる点は三方電磁弁４の出力側に三方分岐管１８を設けると共に、三方分岐管１８の各分岐路６Ａ、６Ｂ及び７にそれぞれ遮断弁８Ａ、８Ｂ、８Ｃをそれぞれ接続する。ここでは遮断弁８Ａ、８Ｂ、８Ｃを通過した出力側の分岐路を分岐路６Ａ′、７′、６Ｂ′と称することにする。分岐路７′に基準タンク１１を接続し、分岐路６Ａ′と６Ｂ′にそれぞれ被検査体９Ａと９Ｂを接続する点である。
これと共に基準タンク１１に通じる分岐路７′と一方の被検査体９Ａに通じる分岐路６Ａ′との間及び７′と分岐路６Ｂ′との間にそれぞれ差圧検出器１２Ａと１２Ｂを差渡して設ける。この接続構造により、差圧検出器１２Ａは基準タンク１１と被検査体９Ａとの間の圧力差を検出し、差圧検出器１２Ｂは基準タンク１１と被検査体９Ｂとの間の圧力差を検出する。
【０００８】
特許文献１で提案した洩れ検査装置の特徴とする構成はこれら二つの差圧検出器１２Ａと１２Ｂの検出出力信号を加算器１９で加算する構造とした点である。つまり、差圧検出器１２Ａでは被検査体９Ａに洩れが有る場合にはダイヤフラムＤＦは点線で示す方向に偏位し、例えば正極性の検出信号ＶＡを発信する。また差圧検出器１２Ｂでは被検査体９Ｂに洩れが有る場合は差圧検出器１２ＢのダイヤフラムＤＦは点線で示す方向に偏位し、例えば負極性の検出信号−ＶＢを発信する。この二つの検出信号ＶＡと−ＶＢを加算器１９で加算し、その加算結果の極性により、洩れの有無及び洩れが有る側の被検査体を特定することができる。
【０００９】
つまり、被検査体９Ａに洩れが有り、被検査体９Ｂに洩れが無い場合は正極性の検出信号ＶＡが発信され、負極性の検出信号−ＶＢは−ＶＢ＝０であるから、加算器１９の加算結果は正極性となる。よってこの場合は被検査体９Ａに洩れが有ることが解る。また被検査体９Ｂに洩れが有る場合は加算器１９の加算結果は負極性となる。
ここで、基準タンク１１の温度が加圧の繰返しの結果上昇し、空気圧を与えた直後に、この温度上昇により基準タンク１１内の空気が熱膨張し、空気圧を与えた直後に、この温度上昇により基準タンク１１内の圧力が上昇したとすると、この圧力上昇は二つの差圧検出器１２Ａ、１２Ｂの各ダイヤフラムＤＦを互に逆向の方向に同程度偏位させる。このダイヤフラムＤＦの動きを加算器１９の出力で見るとΔＶＡ＋（−ΔＶＢ）≒０となる。つまり基準タンク１１の温度上昇或は変形管による外乱は除去されることがわかる。よって図５に示す構成によれば被検査体９Ａと９Ｂの圧力差を計測したのと等価となり、基準タンク１１の温度上昇及び変形管による外乱を除去した精度の高い検査結果を得ることができる。
【００１０】
従って加算器１９の加算結果を増幅器１３で増幅し、その増幅出力を良否判定装置１４に入力することにより、良否判定装置１４では入力される信号の極性と、その電圧値によって被検査体９Ａと９Ｂの何れに洩れが有るか否かと、その洩れ量が許容範囲か否かを判定することができ、その判定結果を例えば表示器１５に表示させることができる。図６は表示器１５の表示の一例を示す。指示計の正側に被検査体９Ａの洩れ量を表示し、負側に被検査体９Ｂの洩れ量を表示する。従って指針１５Ａが正側に振れた場合は被検査体９Ａに洩れが有ることを表示し、負側に振れた場合は被検査体９Ｂに洩れが有ることを表示する。指針１５Ａが不良ゾーンＡまで振れると被検査体９Ａは不良と判定し、不良ゾーンＢまで振れると被検査体９Ｂは不良と判定する。指針１５Ａが中央の良ゾーンの範囲にある状態で良と判定する。
【特許文献１】特許第２１２６３４３号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献１で提案した洩れ検査装置によれば一度に基準タンク１１と２個の被検査体９Ａと９Ｂとをそれぞれ比較し検査することができるため、多量の被検査体を検査する場合に適用して有効である。然も基準タンク１１の温度が単独で変動しても、その変動に伴なう圧力変化は２つの差圧検出器１２Ａと１２Ｂの検出出力を加算することで相殺することができる利点が得られる。
ところで、上述では加算器１９の加算値の極性により何れの被検査体９Ａ，９Ｂに洩れが有るか否かが判定できると説明したが、この判定方法では厳密に正しい判定を行なうことはできない。例えば加算器１９の加算値が正極性で指針１５Ａが不良ゾーンＡまで振れたとしても、加算器１９の加算値はＶＡ＋（−ＶＢ）であるため、被検査体９Ｂに洩れが有ってもＶＡ＋（−ＶＢ）＞０の状態になれば指針１５Ａは正側に振れ、更にＶＡの値が大きければ不良ゾーンＡに達することも考えられる。従って、ＶＡ＋（−ＶＢ）＞０であるから「被検査体９Ａのみに洩れが有る」と判定することは危険である。
【００１２】
この欠点を解消するには図７に示すように各差圧検出器１２Ａと１２Ｂの検出結果を別々に良否判定装置１４Ｂと１４Ｃに入力し、各被検査体９Ａと９Ｂの個々について別々に洩れの有無を判定し、個々の差圧検出値がゼロで、更に加算器１９の加算結果もゼロであれば両方の被検査体９Ａと９Ｂは洩れが無いと判定すれば正確に判定したことになる。
また、加算器１９の加算結果が正極性であり、被検査体９Ａの個別の検査結果が「洩れ有り」で、このとき被検査体９Ｂの検査結果が「洩れ無し」であれば被検査体９Ａのみに「洩れが有る」と判定することができる。また加算器１９の加算結果が負極性で被検査体９Ｂの個別の検査結果が「洩れ有り」で、被検査体９Ａの個別の検査結果が「洩れ無し」であれば被検査体９Ｂのみに「洩れ有り」と判定することができる。
【００１３】
このように、加算器１９の加算結果により２個の被検査体の洩れの有無を判定する場合には、真の判定結果を得ることができる。然し乍ら各被検査体９Ａと９Ｂ毎に個別に良否判定を行なわなくてはならないから検査装置の規模が大きくなる欠点がある。
更に、各個別に設けた良否判定手段１４Ａと１４Ｂに入力される差圧検出信号には基準タンク１１の温度変動等に伴なって発生するドリフト成分を含むから、個別の良否判定装置１４Ａと１４Ｂの判定はドリフト成分より大きい洩れの場合しか不良を検出することはできない。つまり、ドリフト成分より小さい洩れの有無を検出することができない不都合が生じる。この結果、図７に示す洩れ検査装置を用いたとしても、被検査体９Ａと９Ｂにドリフト成分より小さく同じ程度の洩れが有った場合には、その洩れを検出することはできないことになる。
【００１４】
この発明の目的は図７に示した洩れ検査装置で２個の被検査体９Ａと９Ｂに同じような洩れが有っても、その洩れを検出することができる洩れ検査装置を提案するものである。
この発明の更に他の目的は２個の被検査体９Ａと９Ｂに同じような洩れが存在することを検出する場合に発生するドリフトの影響を除去することができる洩れ検査装置を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
この発明の請求項１では、空圧源から与えられる空気圧を三方に分岐する三方分岐管と、この三方分岐管によって分岐された各管路に接続された遮断弁と、この遮断弁を通じて取出された空気圧の一つの管路に接続した標準タンクと、上記遮断弁を通じて取出された空気圧の二本の管路に接続した一対の被検査体と、この一対の被検査体に連通する管路と上記基準タンクに通ずる管路との間のそれぞれに差渡されて標準タンクと各被検査体との間に発生する圧力差をそれぞれ検出する一対の差圧検出器と、この一対の差圧検出器の検出出力を逆極性で加算する第１加算器と、この加算器の加算結果により、各被検査体の洩れの有無を判定する第１良否判定装置と、一対の差圧検出器の検出出力を同極性で加算する第２加算器と、この第２加算器の加算結果より、ドリフト補正値を減算するドリフト補正手段と、このドリフト補正手段でドリフト補正した補正結果により各被検査体の洩れの有無を判定する第２良否判定装置と、空圧源と三方分岐管との間に接続され、空圧源から与えられる空気圧を三方分岐管側に与える第１の状態と、空圧源側を閉じ三方分岐管を大気に解放する第２の状態に切換る三方電磁弁と、この三方電磁弁を上記第１の状態に切換え、遮断弁をそれぞれ開の状態にして基準タンク及び各被検査体のそれぞれに空気圧を与える加圧モードと、遮断弁を閉じこの状態で差圧検出器の検出出力を計測して各被検査体の洩れの有無を判定する検査モードと、三方電磁弁を上記第２の状態に切換え、基準タンク及び各被検査体に与えられた空気を大気に放出させる排気モード切換制御する制御器とによって構成した洩れ検査装置を提案する。
【００１６】
この発明の請求項２では請求項１記載の洩れ検査装置において、ドリフト補正手段は校正モードで取得したドリフト補正値を記憶するドリフト記憶装置と、このドリフト記憶器に記憶したドリフト補正値を第２加算器の加算出力値から差し引く引算器とによって構成したことを特徴とする洩れ検査装置を提案する。
この発明の請求項３では請求項１又は２記載の洩れ検査装置の何れかにおいて、ドリフト記憶器に記憶するドリフト補正値は一対の被検査体と基準タンクに空気圧を印加し、検査時のタイミングにほぼ等しい第１タイミングで第２加算器が得られる初期加算値と、第１タイミングからドリフトが収束すると見られる時間が経過した第２タイミングで第２加算器から得られる真の洩れに相当する測定値との差の値としたことを特徴とする洩れ検査装置を提案する。
【発明の効果】
【００１７】
この発明による洩れ検査装置によれば２つの差圧検出器の検出出力を同極性で加算する第２加算器を設けたから、２つの被検査体に同じ程度の洩れが有った場合、第１加算器の出力が０であってもこの第２加算器の加算結果には一方の差圧検出器の差圧検出値がΔＡであった場合、２ΔＡが出力される。この結果、２つの被検査体に同じような洩れが有った場合、それを検出することができる。
更に、この発明では第２加算器の加算結果を良否判定装置に入力する前段に、ドリフト補正手段を設けたから、第２加算器の加算結果にドリフト成分が含まれていても、このドリフト補正手段でドリフト成分を除去するから、ドリフト成分によって誤った判定を下すことを回避することができる。
【００１８】
特にドリフト補正手段に設けたドリフト記憶器にはマスタリングと呼ばれる手法で取得したドリフト補正値を記憶するから、そのドリフト補正値の信頼性は高く、ドリフトによる影響を確実に除去することができる。従って信頼性の高い洩れ検査を実施することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１にこの発明による洩れ検査装置の一実施例を示す。図５と対応する部分には同一符号を付し、その重複説明は省略するが、この発明では図５で説明した加算器１９を第１加算器、良否判定装置１４を第１良否判定装置と定めると共に、第２加算器２１と、第２良否判定装置２２を設けた構成を第１の特徴とするものである。
更に、第２加算器２１の出力側にドリフト補正手段２３を設けた構成を第２の特徴とするものである。
更に、このドリフト補正手段２３に設けるドリフト記憶器２３Ｂに記憶するドリフト補正値をマスタリングと呼ばれている手法で取得した点を第３の特徴とするものである。
【００２０】
以下にそれらの各特長とする点について説明する。
第１加算器１９では差圧検出器１２Ａと１２Ｂの検出出力を互に逆極性で加算（ＶＡ−ＶＢ）したから、２つの被検査体９Ａと９Ｂの何れか一方に洩れが有ればその加算結果に正極性か負極性の検出信号を得ることができ、この加算出力信号の極性によってどちらの被検査体に洩れが有るか否かを判定することができる。
これに対し、第２加算器２１では２つの差圧検出器１２Ａと１２Ｂの検出出力信号を同極性で加算（ＶＡ＋ＶＢ）する。図１に示すインバータ２６はその極性反転のために設けている。同極性で加算した場合には被検査体９Ａと９Ｂに同じ値の洩れが有った場合、差圧検出器１２Ａと１２Ｂの一方で検出される差圧値ΔＰの２倍の加算値２ΔＰを算出する。従って第２良否判定装置２２は加算値２ΔＰを設定値と比較し、設定値を超えていれば被検査体９Ａと９Ｂの双方に「洩れ有り」と判定し、表示器２５にそれを表示させる。従って、第１良否判定装置１４では検出できない同一の洩れを検出することができる。
【００２１】
次に第２の特徴とする点について説明する。第２の特徴とする点は第２加算器２１の後段にドリフト補正手段２３を設けた構成とした点である。尚、ドリフトとは被検査体９Ａ、９Ｂと基準タンク１１に空気圧を印加した状態で、空気の断熱変化等によって発生するドリフト成分は２つの差圧検出器に同極性で発生する。従って第２加算器２１では２つの差圧検出器１２Ａと１２Ｂが検出する差圧検出信号を同極性で加算するから、これら２つの差圧検出器１２Ａと１２Ｂが出力する差圧検出信号に含まれるドリフト成分が互いに加算されることになる。この結果、被検査体９Ａと９Ｂに同一の洩れが無くともドリフト成分だけで「洩れ有り」と判定してしまうおそれがある。
【００２２】
ドリフト補正手段２３でドリフト成分を除去し、ドリフト成分を除去した結果を増幅器２４を通じて第２良否判定装置２２に入力することにより、ドリフト成分による影響を除去することができる。ドリフト成分の除去方法としてはドリフト記憶器２３Ｂにドリフト補正値を記憶しておき、このドリフト補正値を減算器２３Ａで第２加算器２１から出力される加算結果から減算することにより除去する方法を採ることができる。
この発明の第３の特徴はドリフト記憶器２３Ｂに記憶するドリフト補正値をマスタリングによって取得したドリフト補正値とした点である。以下にマスタリングによってドリフト補正値を取得する方法を説明する。
【００２３】
図２に示す曲線Ｐ１は平衡期間Ｔ２の終了時点で第２加算器２１の加算出力値をゼロリセットし、検査を開始した状態の第２加算器２１の加算値を示す。この加算出力曲線Ｐ１には実質的にドリフト値Ｐ２と洩れ量Ｐ３（ここでは被検査体９Ａ、９Ｂに洩れが有るものと仮定している）とを含む。
洩れによって発生する差圧Ｐ３は検査期間Ｔ３の開始時点からある一定の増加率で上昇する直線で表される。これに対し、空気を加圧したことによる断熱変化によって発生するドリフト量Ｐ２は検査期間Ｔ３の開始直後は内部空気温度と被検査体の温度差のため指数関数的に上昇するが、終局的には飽和し、一定値を維持する。
【００２４】
従って、このドリフト量Ｐ２が一定値に収束した状態で洩れ量を測定すれば真の洩れ量を測定することができる。つまり、検査期間Ｔ３を終了する時点で第２加算器２１の加算出力Ｄ１を測定しておき、その時点から更に測定状態を維持し、所定の時間、例えば数１０秒間程度経過した時点で加算値Ｄ２を測定し、その測定時点から検査期間Ｔ３と同じ期間Ｔ３（数秒程度）を経過後に再び加算値Ｄ３を測定する。この測定によりＤ３−Ｄ２は洩れによる圧力変化値である。よってＤ３−Ｄ２の減算結果が判定値ＮＧより大きいか小さいかによって洩れの有無を判定すればドリフトに影響されずに正しい判定を下すことができる。
【００２５】
然し乍ら、この検査方法を採った場合には検査時間が数１０秒ずつ必要であることから、実際の検査に利用することはできない。このため、一般にはΔＤ３＝Ｄ３−Ｄ２を演算し、この洩れ量ΔＤ３を第１測定値Ｄ１から減算すると残りはドリフト値となる。つまり、ドリフト値Ｄは、
Ｄ＝Ｄ１−ΔＤ３        ………（１）
で求められる。このドリフト値Ｄをドリフト補正値として記録しておくことにより次回以降の検査では第１測定値Ｄ１からドリフト補正値Ｄを除去すれば短時間にドリフト値を除去した洩れ量を算出することができ、正しい判定を行うことができる。この測定値Ｄ１、Ｄ２及びＤ３を測定し、ドリフト値Ｄを求める作業を一般にマスタリングと称している。マスタリングは周囲温度が大きく変わった場合などに適宜実行し、環境の変化に応じてドリフト補正値を更新する。
【００２６】
上述したように、マスタリングによって取得したドリフト補正値はドリフト量が一定値に収束した状態で求めた洩れ量を基に算出するから、そのドリフト補正値は信頼性が高い。この信頼性の高いドリフト補正値をドリフト記憶器２３Ｂに記憶しておくことにより検査の信頼性を高めることができる。
【産業上の利用可能性】
【００２７】
この発明による洩れ検査装置は例えば食品を収納するパッケージ或は薬品を収納するパッケージに洩れが有るか否かを検査することに活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】この発明による洩れ検査装置の実施形態を説明するためのブロック図。
【図２】この発明に用いるマスタリングを説明するためのグラフ。
【図３】極く一般に用いられている洩れ検査装置を説明するためのブロック図。
【図４】図３に示した洩れ検査の動作を説明するためのグラフ。
【図５】先に提案した洩れ検査装置を説明するためのブロック図。
【図６】図５に示した洩れ検査装置に用いることができる良否判定表示器の一例を説明するための図。
【図７】従来の技術の他の例を示すブロック図。
【符号の説明】
【００２９】
１    空圧源                １４    第１良否判定装置
２    管路            １５、２５    表示器
３    調整弁                １９    第１加算器
４    三方電磁弁            ２１    第２加算器
６Ａ、６Ｂ、６Ａ′、６Ｂ′    分岐路                ２２    第２良否判定装置
７、７′    分岐路                ２３    ドリフト補正手段
８Ａ〜８Ｃ    遮断弁                ２３Ａ    減算器
９Ａ、９Ｂ    被検査体              ２３Ｂ    ドリフト記憶器
１１    基準タンク            ２６    インバータ
１２Ａ、１２Ｂ    差圧検出器
１３、２４    増幅器
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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