(57)【要約】    【課題】  ２次元平面を走査する２次元光スキャナーを提供する。    【解決手段】  支持枠３１の内側に設けられ、裏面に磁石面を形成した内枠３４と、内枠３４の両端を支持枠３１に支持する１対のトーションバネ３８，３９と、内枠３４の内側に設けられ、表面に鏡面を形成するとともに裏面に磁石面を形成したミラー板３７と、１対のトーションバネ３８，３９の並び方向と直交する方向に配置され、ミラー板３７の両端を内枠３４に支持する１対のトーションバネ４０，４１と、内枠３４およびミラー板３７の裏面に形成した磁石面に直交する磁界を生成する磁界生成手段とを備え、内枠３４とミラー板３７の裏面の磁石を、１対のトーションバネ３８，３９の並び方向と１対のトーションバネ４０，４１の並び方向とから傾斜した方向に着磁し、１対のトーションバネ３８，３９および１対のトーションバネ４０，４１をそれぞれねじり軸として、磁界生成手段の磁界によりミラー板３７を２次元方向に傾動させる。【選択図】  図３ 
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持枠の内側に設けられ、裏面に磁石面を形成した内枠と、
前記内枠の両端を前記支持枠に支持する１対のトーションバネＸ１，Ｘ２と、
前記内枠の内側に設けられ、表面に鏡面を形成するとともに裏面に磁石面を形成したミラー板と、
前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２の並び方向と直交する方向に配置され、前記ミラー板の両端を前記内枠に支持する１対のトーションバネＹ１，Ｙ２と、
前記内枠および前記ミラー板の裏面に形成した磁石面に直交する磁界を生成する磁界生成手段とを備え、
前記内枠と前記ミラー板の裏面の磁石を、前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２の並び方向と前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２の並び方向とから傾斜した方向に着磁し、
前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２と前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２とをねじり軸として、前記磁界生成手段の磁界により前記ミラー板を２次元方向に傾動させることを特徴とする２次元スキャナー。
【請求項２】
請求項１に記載の２次元スキャナーにおいて、
前記支持枠、前記内枠、前記ミラー板、前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２および前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２は、１枚のシリコン薄板から加工した一体成型部材であり、
前記一体成型部材の裏面に、前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２と前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２の部分をマスクして磁性薄膜を形成し、前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２の並び方向と前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２の並び方向とから傾斜した方向に着磁することを特徴とする２次元スキャナー。
【請求項３】
請求項１に記載の２次元スキャナーにおいて、
前記支持枠、前記内枠、前記ミラー板、前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２および前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２は、１枚のシリコン薄板から加工した一体成型部材であり、
前記一体成型部材の裏面に磁性薄膜を形成し、前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２と前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２の部分のみ、前記一体成形部材と垂直な方向に着磁するとともに、前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２と前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２の部分以外を、前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２の並び方向と前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２の並び方向とから傾斜した方向に着磁することを特徴とする２次元スキャナー。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかの項に記載の２次元スキャナーにおいて、
前記磁界生成手段は、前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２のねじり共振周波数と、前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２のねじり共振周波数とに加え、前記１対のトーションバネＸ１，Ｘ２の曲げ共振周波数または前記１対のトーションバネＹ１，Ｙ２の曲げ共振周波数の成分を有する交番磁界を発生させることを特徴とする２次元スキャナー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２次元平面を走査する光スキャナーに関する。
【背景技術】
【０００２】
一方の面に鏡面部を形成するとともに、他方の面に磁石膜を形成した走査ミラーの両端を支持し、走査ミラーの磁石膜形成面と対向する側にコイルを配置して走査ミラーを１次元に駆動するようにした１次元光スキャナーが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この出願の発明に関連する先行技術文献としては次のものがある。
【特許文献１】特開平０６−０８２７１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来の光スキャナーは２次元平面上を走査するものではないため、例えば、車両前方の２次元方向にレーザー光または電波を放射し、車両前方に存在する物体からの反射光を受光して物体の大きさと物体までの距離を検出する車両用レーダー装置に用いることはできない。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、支持枠の内側に設けられ、裏面に磁石面を形成した内枠と、内枠の両端を支持枠に支持する１対のトーションバネＸ１，Ｘ２と、内枠の内側に設けられ、表面に鏡面を形成するとともに裏面に磁石面を形成したミラー板と、１対のトーションバネＸ１，Ｘ２の並び方向と直交する方向に配置され、ミラー板の両端を内枠に支持する１対のトーションバネＹ１，Ｙ２と、内枠およびミラー板の裏面に形成した磁石面に直交する磁界を生成する磁界生成手段とを備え、内枠とミラー板の裏面の磁石を、１対のトーションバネＸ１，Ｘ２の並び方向と１対のトーションバネＹ１，Ｙ２の並び方向とから傾斜した方向に着磁し、１対のトーションバネＸ１，Ｘ２と１対のトーションバネＹ１，Ｙ２とをねじり軸として、磁界生成手段の磁界によりミラー板を２次元方向に傾動させる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、小形で安価な２次元光スキャナーを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本願発明の２次元光スキャナーを、車両用レーザーレーダー装置に応用した一実施の形態を説明する。
【０００８】
《発明の第１の実施の形態》
図１は第１の実施の形態の構成を示すブロック図である。レーザーダイオード１は所定の拡がり角のレーザー光を発光する。レーザーダイオード駆動回路２はレーザーダイオード１を駆動し、制御回路３からの発光指令にしたがってレーザーダイオード１からレーザー光を発光させる。レーザーダイオード１から発光されたレーザー光はスキャナー部４へ入射し、スキャナー部４の傾動によりレーザー光を２次元平面上で走査させる。スキャナー部４のミラー部（詳細後述）で反射されたレーザー光は反射鏡５に入射し、反射鏡５で全反射されて光軸が車両前方に向けられる。
【０００９】
フォトディテクター６は、車両前方の物体７で反射されたレーザー光を受光する。受光回路８は、フォトティテクター６から出力される受光信号を受光パルス信号に成形して制御回路３へ出力する。制御回路３は、レーザーダイオード１によるレーザー光の発光からフォトディテクター６による受光までの時間、すなわちレーザーダイオード１からレーザー光が発せられて物体７に到達し、物体７で反射されたレーザー光がフォトディテクター６に戻るまでの伝播遅延時間を計時し、伝播遅延時間とスキャナー部４のミラー部角度に基づいて物体７までの距離と方向を検出する。
【００１０】
増幅器９〜１１は、スキャナー部４に設置される３台の角度検出器（詳細後述）からのねじれ角度信号および曲げ角度信号をそれぞれ増幅する。駆動回路１２〜１４は、スキャナー部４の３台の角度検出値からのねじれ角度および曲げ角度がそれぞれ制御回路３からの振れ角指令値に一致するようにフィードバック制御を行い、コイル１５（詳細後述）に流すスキャナー駆動信号を出力する。増幅器１６〜１８は、駆動回路１２〜１４のスキャナー駆動信号を増幅してコイル１５へ通電する。
【００１１】
図２はスキャナー部の形状を示す断面図である。スキャナー部４は、ベースプレート２１の上にスペーサー２２を介してシリコンプレート２３が設置される。ベースプレート２１とスペーサー２２は中空になっており、この中空部にコイル１５が内装されて図中のＡ方向、すなわちシリコンプレート２３と直交する方向に磁界を発生する。なお、１５ａ、１５ｂはコイル１５の電源端子である。
【００１２】
図３はシリコンプレート２３の構造を示す上面図である。シリコンプレート２３は、マイクロマシニング加工によりスリットが形成され、同心状の３個の長方形に区分される。最も外枠は支持プレート３１であり、図２に示すスキャナー部４のスペーサー２２に取り付けられる。支持プレート３１の内側にはスリット３２、３３を挟んでフレーム３４が形成され、さらにフレーム３４の内側にはスリット３５、３６を挟んでミラー部３７が形成される。ミラー部３７の表面は鏡面が形成される。
【００１３】
支持プレート３１とフレーム３４とは左右方向の１対のトーションバネ３８、３９を介して連結され、またフレーム３４とミラー部３７とは上下方向の１対のトーションバネ４０、４１を介して連結されており、支持プレート３１に対してフレーム３４とミラー部３７はそれぞれ独立に傾動可能に構成されている。１対のトーションバネ３８、３９の並び方向と１対のトーションバネ４０、４１の並び方向とは互いに直交しており、したがって、ミラー部３７は、１対のトーションバネ３８、３９と１対のトーションバネ４０、４１とをねじり軸として支持プレート３１に対して２次元方向に傾動可能である。
【００１４】
トーションバネ３９の近傍にはトーションバネ３９のねじれ角度、すなわち１対のトーションバネ３８、３９をねじり軸としたフレーム３４の傾動角度を検出する角度検出器４２が設置される。また、トーションバネ４０の近傍にはトーションバネ４０のねじれ角度、すなわち１対のトーションバネ４０、４１をねじり軸としたミラー部３７の傾動角度を検出する角度検出器４３が設置される。さらに、トーションバネ４１の近傍にはトーションバネ４１の曲げ角度、すなわち１対のトーションバネ３８、３９の並び方向を軸としたミラー部３７の傾動角度を検出する角度検出器４４が設置される。これらの角度検出器４２〜４４にはピエゾ抵抗素子が用いられる。角度検出器４２〜４４の角度信号は、フレーム３４および支持プレート３１の上面の配線パターン（不図示）を介して支持プレート３１上のコンタクトパッド４５へ導かれ、信号配線を介して対応する増幅器９〜１１へ出力される。
【００１５】
シリコンプレート２３の裏面には、強磁性材料からなる磁性薄膜が形成されている。磁性薄膜は、例えば、サマリウムやテルビウムなどの強磁性材料と、鉄やニッケルなどの弱磁性材料との複合材料をスパッタなどの薄膜形成手法によって複数種積層して形成する。
【００１６】
磁性薄膜の磁極は、左右方向１対のトーションバネ３８、３９の並び方向と上下方向１対のトーションバネ４０、４１の並び方向とからそれぞれ４５度傾いた図中矢印Ｃの方向に形成され、図示のようにＮ極とＳ極を有する。また、左右方向１対のトーションバネ３８、３９は２５０Ｈzのねじり共振周波数を有しており、上下方向１対のトーションバネ４０、４１は５０Ｈzのねじり共振周波数を有している。さらに、上下方向１対のトーションバネ４０、４１は２ｋＨzの曲げ共振周波数を有している。
【００１７】
シリコンプレート２３の背面に配置されるコイル１５によって、シリコンプレート２３と垂直な方向に２５０Ｈzの交番磁場が生成されると、左右方向１対のトーションバネ３８、３９は図示Ｅ方向にねじり共振振動を生じる。
【００１８】
説明を理解しやすくするために、シリコンプレート２３の裏面（磁性薄膜形成面）側にＮ極、表面（鏡面形成面）側にＳ極の静止した磁場がコイル１５により生成されている瞬間を考える。左右方向１対のトーションバネ３８、３９のねじり共振に着目すると、図中のａ部とｅ部は、磁極Ｃの上下方向成分Ｃβの磁気モーメントによってＳ極に着磁されているため、コイル１５の磁界に反発してシリコンプレート２３の表面側（図３紙面の表側）に移動する。同様に、図中のｂ部とｆ部は、磁極Ｃの上下方向成分Ｃβの磁気モーメントによってＮ極に着磁されているため、コイル１５の磁界に引かれてシリコンプレート２３の裏面側（図３紙面の裏側）に移動する。したがって、フレーム３４とミラー部３７は左右方向の１対のトーションバネ３８、３９をねじり軸として図中矢印Ｅの方向に傾動する。
【００１９】
また、コイル１５によってシリコンプレート２３と垂直な方向に５０Ｈzの交番磁場が生成されると、上下方向１対のトーションバネ４０、４１は図示Ｄ方向にねじり共振振動を生じる。
【００２０】
説明を理解しやすくするために、シリコンプレート２３の裏面側にＮ極、表面側にＳ極の静止した磁場がコイル１５により生成されている瞬間を考える。上下方向１対のトーションバネ４０、４１のねじり共振に着目すると、図中のｃ部は、磁極Ｃの左右方向成分Ｃαの磁気モーメントによってＳ極に着磁されているため、コイル１５の磁界に反発してシリコンプレート２３の表面側（図３紙面の表側）に移動する。同様に、図中のｄ部は、磁極Ｃの左右方向成分Ｃαの磁気モーメントによってＮ極に着磁されているため、コイル１５の磁界に引かれてシリコンプレート２３の裏面側（図３紙面の裏側）に移動する。したがって、ミラー部３７は上下方向の１対のトーションバネ４０、４１をねじり軸として図中矢印Ｄの方向に傾動する。
【００２１】
さらに、コイル１５によってシリコンプレート２３と垂直な方向に２ｋＨzの交番磁場が生成されると、上下方向１対のトーションバネ４０、４１は図示Ｅ方向に曲げ共振振動を生じる。
【００２２】
説明を理解しやすくするために、シリコンプレート２３の裏面側にＮ極、表面側にＳ極の静止した磁場がコイル１５により生成されている瞬間を考える。上下方向１対のトーションバネ４０、４１の曲げ共振に着目すると、図中のｅ部は、磁極Ｃの上下方向成分Ｃβの磁気モーメントによってＳ極に着磁されているため、コイル１５の磁界と反発してシリコンプレート２３の表面側（図３紙面の表側）に移動する。同様に、図中のｆ部は、磁極Ｃの上下方向成分Ｃβの磁気モーメントによってＮ極に着磁されているため、コイル１５の磁界と反発してシリコンプレート２３の裏面側（図３紙面の裏側）に移動する。したがって、ミラー部３７の上下方向の中心を回転中心として、上下方向１対のトーションバネ４０、４１を図中矢印Ｅの方向に傾動する。
【００２３】
図４はスキャナー部ミラーの走査軌跡を示す図である。水平方向（図３に示すシリコンプレート２３の左右方向）は振れ角２０度、周波数５０Ｈzの共振走査である。また、垂直方向（図３に示すシリコンプレート２３の上下方向）は振れ角５度、周波数２５０Ｈzの共振走査である。水平と垂直の周波数比は５であるから、垂直方向に５回交番すると水平方向に１回交番する走査軌跡５１を描く。なお、走査軌跡５１が定在波となって同じ場所を通るために、レーザー光の照射欠損部５２が生じる。
【００２４】
図５は、図４のＦ部を拡大した図である。図４では走査軌跡５１を細い線で描いたが、実際は上下方向の１対のトーションバネ４０、４１の曲げ共振によって、図５に示すように振れ角３度、周波数２ｋＨzの共振走査が行われる。
【００２５】
この第１の実施の形態によれば、コイル１５によって、１対のトーションバネ３８、３９のねじり共振周波数と、１対のトーションバネ４０、４１のねじり共振周波数とに加え、１対のトーションバネ４０、４１の曲げ共振周波数の成分を有する交番磁界を発生させるようにしたので、水平（左右）走査軸と垂直（上下）走査軸の固有共振周波数の比が整数比となっても、水平走査または垂直走査に加え、新たな走査を付加することが可能であり、レーザー光の照射が不能となる照射欠損部５２（図４参照）が発生せず、レーザーレーダーに応用した場合には非検知領域が生じないからレーザーレーダーの性能を向上させることができる。
【００２６】
なお、上述した第１の実施の形態では、シリコンプレート２３の裏面に形成する磁性薄膜の磁極方向を、左右方向１対のトーションバネ３８、３９および上下方向１対のトーションバネ４０、４１の並び方向からそれぞれ４５度の傾きとした例を示したが、磁極方向の傾きは４５度に限定されるものではなく、左右方向および上下方向の力の必要度合いに応じて任意に決定すればよい。例えば、左右方向の振れ角を２０度、上下方向の振れ角を５度とする場合、すなわち上下方向に対し左右方向に４倍の力を必要とする場合にはtan−１（０．２５）＝１４度とするのが望ましい。また、左右方向と上下方向の共振周波数が大きく異なる場合、あるいは、ミラー部３７の形状が正方形から大きく異なる場合にも、単純な幾何演算により求められる所要力から磁極の最適傾斜角度を決定すればよい。なお、一般的には最適傾斜角度は２０度から７０度の範囲になることが多い。
【００２７】
また、第１の実施の形態では、左右方向１対のトーションバネ３８、３９と上下方向１対のトーションバネ４０、４１のねじれ共振の他に、上下方向１対のトーションバネ４０、４１の曲げ共振を用いた例を示したが、３つの共振は必ずしも必要ではない。例えば、走査欠損部の発生が問題とならない用途であれば、上下方向１対のトーションバネ４０、４１に曲げ共振を用いる必要はない。なお、左右方向１対のトーションバネ３８、３９と上下方向１対のトーションバネ４０、４１のねじれ共振の他に、左右方向１対のトーションバネ３８、３９の曲げ共振を用いてもよい。
【００２８】
このように、上述した第１の実施の形態によれば、支持プレート３１枠の内側に設けられ、裏面に磁石面を形成したフレーム３４と、フレーム３４の両端を支持プレート３１に支持する１対のトーションバネ３８、３９と、フレーム３４の内側に設けられ、表面に鏡面を形成するとともに裏面に磁石面を形成したミラー部３７と、１対のトーションバネ３８、３９の並び方向と直交する方向に配置され、ミラー部３７の両端をフレーム３４に支持する１対のトーションバネ４０、４１と、フレーム３４およびミラー部３７の裏面に形成した磁石面に直交する磁界を生成するコイル１５とを備え、フレーム３４とミラー部３７の裏面の磁石を、１対のトーションバネ３８、３９の並び方向と１対のトーションバネ４０、４１の並び方向とから傾斜した方向に着磁し、１対のトーションバネ３８、３９と１対のトーションバネ４０、４１とをねじり軸として、コイル１５の磁界によりミラー部３７を２次元方向に傾動させるようにしたので、少ないエネルギーで２次元方向の走査を行うことができ、小形で安価な２次元光スキャナーを提供することができる。
【００２９】
《発明の第２の実施の形態》
トーションバネ３８〜４１の部分のみ、磁性薄膜を形成しないようにした第２の実施の形態を説明する。図６は、第２の実施の形態のシリコンプレート２３を裏面から見た図である。なお、図３に示す部材と同様な部材に対しては同一の符号を付して相違点を中心に説明する。また、シリコンプレート裏面の磁性薄膜の形成以外の構成については上述した第１の実施の形態と同様であり、それらの図示と説明を省略する。
【００３０】
シリコンプレート２３にスリット加工をした後、裏面全体に磁性薄膜をスパッタなどの手法で付着させるときに、トーションバネ３８〜４１の部分にマスク５３を貼り付け、トーションバネ３８〜４１の部分のみ、磁性薄膜を形成しないようにする。
【００３１】
トーションバネ３８〜４１の部分に磁性薄膜を付着させないため、磁性薄膜が有する磁歪効果が発生しない。特に、トーションバネ３８〜４１の部分は振れ角を増大させるためにねじれ弾性を下げる、すなわち細く薄く加工されるのが一般的である。そのため、このトーションバネ３８〜４１の部位に磁性薄膜による磁歪効果が発生すると、トーションバネ３８〜４１に不要な応力が働いてトーションバネ３８〜４１の共振を妨げてしまう。この第２の実施の形態によれば、トーションバネ３８〜４１の部分にはねじれ共振および曲げ共振を妨げるような磁歪力は発生しない。
【００３２】
このように、第２の実施の形態によれば、支持プレート３１、フレーム３４、ミラー部３７、１対のトーションバネ３８、３９および１対のトーションバネ４０、４１を、１枚のシリコン薄板から加工した一体成型部材とし、この一体成型部材の裏面に、１対のトーションバネ３８、３９と１対のトーションバネ４０、４１の部分をマスクして磁性薄膜を形成し、１対のトーションバネ３８、３９の並び方向と１対のトーションバネ４０、４１の並び方向とから傾斜した方向に着磁するようにしたので、第１の実施の形態の上述した効果に加え、トーションバネ３８〜４１の部分にはねじれ共振および曲げ共振を妨げるような磁歪力が発生せず、２次元方向の正確な走査が可能になる。
【００３３】
《発明の第３の実施の形態》
トーションバネ３８〜４１の部分にも磁性薄膜を形成させるが、トーションバネ３８〜４１の部分のみ、ねじれ共振および曲げ共振を妨げるような磁歪力が発生しない方向に着磁するようにした第３の実施の形態を説明する。図７は第３の実施の形態のシリコンプレート２３を裏面から見た図である。なお、図３に示す部材と同様な部材に対しては同一の符号を付して相違点を中心に説明する。また、シリコンプレート裏面の磁性薄膜の形成以外の構成については上述した第１の実施の形態と同様であり、それらの図示と説明を省略する。
【００３４】
シリコンプレート２３にスリット加工をした後、裏面全体に磁性薄膜をスパッタなどの手法で付着させる。このとき、図中に示す矢印Ｃの方向に強磁場を印加しながらスパッタ工程を行うことによって、シリコンプレート２３の裏面にＣ方向の磁極が形成される。次に、トーションバネ３８〜４１近傍の部分５４〜５７に対してのみ、シリコンプレート２３に垂直に強磁場を印加することによって、トーションバネ部分５４〜５７の磁性薄膜をシリコンプレート２３に垂直な磁極方向に着磁する。このとき、すべてのトーションバネ３８〜４１において、シリコンプレート裏面側がＮ極になるように磁極を揃える。
【００３５】
これにより、トーションバネ部分５４〜５７の磁性薄膜の磁極はコイル１５による磁極と同一となり、磁歪効果による応力はシリコンプレート２３と垂直な方向に働くが、この応力はフレーム３４およびミラー部３７を傾動させるような力にはならない。上述したように、トーションバネ３８〜４１の部分は振れ角を増大させるためにねじれ弾性を下げる、すなわち細く薄く加工されるのが一般的である。そのため、このトーションバネ部分５４〜５７に磁性薄膜による磁歪効果が発生すると、トーションバネ３８〜４１に不要な応力が働いてトーションバネ３８〜４１の共振を妨げてしまう。この第３の実施の形態によれば、トーションバネ部分５４〜５７にはねじれ共振および曲げ共振を妨げるような磁歪力は発生しない。
【００３６】
このように、第３の実施の形態によれば、支持プレート３１、フレーム３４、ミラー部３７、１対のトーションバネ３８、３９および１対のトーションバネ４０、４１を、１枚のシリコン薄板から加工した一体成型部材とし、この一体成型部材の裏面に磁性薄膜を形成し、１対のトーションバネ３８、３９と１対のトーションバネ４０、４１の部分のみ、一体成形部材と垂直な方向に着磁するとともに、１対のトーションバネ３８、３９と１対のトーションバネ４０、４１の部分以外を、１対のトーションバネ３８、３９の並び方向と１対のトーションバネ４０、４１の並び方向とから傾斜した方向に着磁するようにしたので、第１の実施の形態の上述した効果に加え、トーションバネ３８〜４１の部分にはねじれ共振および曲げ共振を妨げるような磁歪力が発生せず、２次元方向の正確な走査が可能になる上に、マスク部材などが不要になるために工程の簡素化が図れ、コストを低減することができる。
【００３７】
特許請求の範囲の構成要素と一実施の形態の構成要素との対応関係は次の通りである。すなわち、支持プレート３１が支持枠を、フレーム３４が内枠を、ミラー部３７がミラー板を、左右方向１対のトーションバネ３８、３９が１対のトーションバネＸ１，Ｘ２を、上下方向１対のトーションバネ４０、４１が１対のトーションバネＹ１，Ｙ２を、コイル１５が磁界生成手段をそれぞれ構成する。なお、本発明の特徴的な機能を損なわない限り、各構成要素は上記構成に限定されるものではない。
【００３８】
上述した一実施の形態では、本願発明の２次元光スキャナーを、車両用レーザーレーダー装置に応用した例を説明したが、本願発明の２次元光スキャナーは車両用レーザーレーダー装置に限定されず、レーザー光や電波を２次元方向に放射するあらゆる装置に応用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】第１の実施の形態の構成を示す図である。
【図２】第１の実施の形態のスキャナー部の形状を示す断面図である。
【図３】第１の実施の形態のシリコンプレートの構造を示す上面図である。
【図４】スキャナー部の走査軌跡を示す図である。
【図５】スキャナー部の走査軌跡の部分拡大図である。
【図６】第２の実施の形態のシリコンプレートの裏面図である。
【図７】第３の実施の形態のシリコンプレートの裏面図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  レーザーダイオード
２  レーザーダイオード駆動回路
３  制御回路
４  スキャナー部
５  反射鏡
６  フォトディテクター
８  受光回路
９〜１１、１６〜１８  増幅回路
１２〜１４  駆動回路
１５  コイル
１５ａ、１５ｂ  電源端子
２１  ベースプレート
２２  スペーサー
２３  シリコンプレート
３１  支持プレート
３２、３３、３５、３６  スリット
３４  フレーム
３７  ミラー部
３８、３９、４０、４１  トーションバネ
４２、４３、４４  角度検出器
４５  コンタクトパッド
５１  走査軌跡
５２  レーザー光照射欠損部
５３  マスク
５４〜５７  トーションバネ部分
【図１】
2005181576.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005181576.tif 000005
【図４】
2005181576.tif 000006
【図５】
2005181576.tif 000007
【図６】
2005181576.tif 000008
【図７】
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