(57)【要約】【課題】装置設計の自由度が高く、組立・調整のしやすいエンコーダの提供。【解決手段】光源１からの出射光がコリメータレンズ２で平行光８とされた後に格子３に入射すると、格子３からは１次回折光９ａ，９ｂが出射される。１次回折光９ａ，９ｂは格子４によって回折された後に、シリンドリカルレンズ５によって格子６上に集光される。格子６上における回折光９ａ，９ｂの集光位置は、ｙ方向に距離ｄ１だけずれている。そのため、格子６を出射した回折光９ａ，９ｂは、ｙ方向に明暗パターンが並んだ干渉縞パターン１０を検出部７上に形成する。一方、格子６は可動体に固定されており、可動体とともにｘ方向に移動する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動物体に固定され、前記可動物体の移動方向に配列された複数の格子を有する回折格子と、
光源からの光から２つの光束を形成する光束形成手段と、
前記２つの光束を前記回折格子上において所定間隔だけずらして集光する光学素子と、
前記回折格子から出射される光束の干渉による干渉縞を検出する検出部とを備えることを特徴とするエンコーダ。
【請求項２】
請求項１に記載のエンコーダにおいて、
前記光学素子は前記２つの光束を前記回折格子の格子面からずれた前記光源側の位置または前記検出部側の位置にそれぞれ集光するものであって、かつ、前記光学素子で集光される２つの光束の並列方向に対して、前記回折格子の格子の方向を所定角度傾けることを特徴とするエンコーダ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のエンコーダにおいて、
前記光学素子は、その円筒軸が前記回折格子に平行で、前記２つの光束の並列方向に対して傾いて配設されるシリンドリカルレンズで構成されることを特徴とするエンコーダ。
【請求項４】
可動物体に固定され、前記可動物体の移動方向に配列された多数の格子を有する回折格子と、
光源からの光から２つの光束を形成する光束形成手段と、
前記２つの光束を所定間隔だけずらして前記回折格子に入射させる光学素子と、
前記回折格子から出射された光束の干渉による干渉縞を検出する検出部とを備えることを特徴とするエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可動物体の位置決めや速度制御などに用いられる光学式エンコーダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、干渉型の光学式エンコーダの一つとして、３つの格子を用いる３格子光学系のエンコーダが知られている（例えば、特許文献１参照。）。三格子光学系のエンコーダでは、第１の格子は光源からの光を＋１次回折光と−１次回折光との２光束に分離して第２の格子に入射させる。第２の格子は第１の格子のピッチＰに対してＰ／２のピッチで形成されており、入射した２つの回折光を第３の格子上の同一位置に照射する。第３の格子は第１の格子と同一ピッチＰで形成されており、入射した２つの回折光は互いの光軸が平行となるよう出射されて、受光素子の受光面に入射する。そのため、受光素子では２つの回折光の干渉光が検出される。
【０００３】
例えば、第３の格子を移動スケールに設け、その第３の格子を刻線の方向と直交する方向に距離ｘだけ移動させると、受光面における＋１次回折光の位相変動は＋２πｘ／Ｐとなり、−１次回折光の位相変動は−２πｘ／Ｐとなるので、受光素子で検出される干渉光強度が変化する。この干渉光の強度変化に基づいて、第１および第２の格子と第３の格子との間の相対的移動量を検出することができる。
【０００４】
上述したエンコーダでは、２つの回折光が平行となって受光面に入射するので、移動量は検出できるが移動方向を弁別することができない。そこで、第３の格子のピッチを、第１の格子のピッチＰよりも１％程度大きくまたは小さくすることにより、移動距離の検出とともに移動方向の弁別を行うようにしたエンコーダが知られている。そのような装置では、第３の格子から出射される２つの回折光の光軸方向がわずかに異なり、受光面上に明暗パターンの干渉縞が形成される。
【０００５】
この光軸方向のずれは刻線と直交する方向、すなわち刻線の配列方向に発生するので、明暗パターンの配列方向は刻線の配列方向と同じになる。受光素子は干渉縞ピッチと同一ピッチを有する多分割受光素子で構成され、それらの分割受光素子からは明暗パターンの干渉光強度に応じた信号が出力されるので、移動方向の弁別に必要な位相差信号を取得することができる。
【０００６】
【特許文献１】
特開平２００２−８１９６４号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したエンコーダでは、干渉縞のピッチは第１および第２の格子と第３の格子との間の刻線ピッチの差で一義的に決定されるので、いったん各格子の刻線ピッチを形成した後では干渉縞ピッチを変えることはできなかった。そのため、例えば、干渉縞ピッチを微調整するというようなことは不可能であり、どうしても干渉縞ピッチを変えたい場合には、格子そのものを変更するしかなかった。
【０００８】
本発明は、干渉縞のピッチを調整することのできるエンコーダを提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明によるエンコーダは、可動物体に固定され、可動物体の移動方向に配列された複数の格子を有する回折格子と、光源からの光から２つの光束を形成する光束形成手段と、２つの光束を前記回折格子上において所定間隔だけずらして集光する光学素子と、回折格子から出射される光束の干渉による干渉縞を検出する検出部とを備えることを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載のエンコーダにおいて、光学素子は２つの光束を回折格子の格子面からずれた光源側の位置または検出部側の位置にそれぞれ集光するものであって、かつ、光学素子で集光される２つの光束の並列方向に対して、回折格子の格子の方向を所定角度傾けたものである。
請求項３の発明は、請求項１または２に記載のエンコーダにおいて、光学素子は、その円筒軸が回折格子に平行で、２つの光束の並列方向に対して傾いて配設されるシリンドリカルレンズで構成される。
請求項４の発明によるエンコーダは、可動物体に固定され、可動物体の移動方向に配列された多数の格子を有する回折格子と、光源からの光から２つの光束を形成する光束形成手段と、２つの光束を所定間隔だけずらして回折格子に入射させる光学素子と、回折格子から出射された光束の干渉による干渉縞を検出する検出部とを備えることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、図を参照して本発明の実施の形態を説明する。
−第１の実施の形態−
図１は本発明による光学式エンコーダの基本構成を示す図である。図１に示すエンコーダは３格子光学系のエンコーダであって、光源１，コリメートレンズ２，格子３，格子４，シリンドリカルレンズ５，格子６および検出部７を備えている。格子３の刻線ピッチと格子６の刻線ピッチとは同一ピッチＰ１に設定されており、格子４の刻線ピッチＰ２はＰ１／２に設定されている。
【００１１】
光源１，コリメートレンズ２，格子３，格子４，シリンドリカルレンズ５および検出部７は相互の位置関係が固定されている。一方、格子６は可動体（不図示）に設けられる移動格子であり、可動体の動作に伴って格子６は上述した格子３，４やシリンドリカルレンズ５等に対して図１のｘ方向に移動する。
【００１２】
図２（ａ）は図１の格子４，シリンドリカルレンズ５および格子６をｘ軸正方向から見た図であり、図２（ｂ）はシリンドリカルレンズ５をｚ軸正方向から見た図である。図１に示した各格子３，４，６では、刻線はｙ軸方向に平行でｘ軸方向に沿って所定ピッチで配設されている。一方、シリンドリカルレンズ５の円筒軸Ｊ１は、ｘｙ平面内においてｘ軸の正方向に対して角度αだけ傾けて配置されている。ここでは、シリンドリカルレンズ５のｚ軸の周りの回転をヨーイングと呼ぶことにし、シリンドリカルレンズ５のヨーイング角度をαと表すことにする。
【００１３】
光源１にはレーザ光源や発光ダイオード（ＬＥＤ）などが用いられる。光源１から発せられた光はコリメートレンズ２により平行光８とされ、第１番目の格子３に入射する。平行光８は格子３により回折されて、＋１次回折光９ａと−１次回折光９ｂとが発生する。実際には高次の回折光も発生するが１次回折光に比べて強度が極端に小さいので、測定光としては１次回折光が利用される。図１に示すように、＋１次回折光９ａはｘｚ平面内においてｚ軸から角度θでｘ軸正方向に出射され、逆に、−１次回折光９ｂは角度θ’でｘ軸負方向に出射される。すなわち、格子３は、平行光８を２つの光束９ａ，９ｂに分割する光学部材として機能している。
【００１４】
ここで、角度θは次式（１）で算出され、角度θ’は次式（２）で算出される。すなわち、θ’＝−θとなっている。
【数１】
ｓｉｎθ＝λ／Ｐ１        …（１）
ｓｉｎθ’＝−λ／Ｐ１    …（２）
【００１５】
格子３から出射された回折光９ａ，９ｂは、それぞれ第２番目の格子４に入射角θ，−θで入射する。上述したように格子４の刻線ピッチＰ２は格子３の刻線ピッチＰ１の１／２に設定されているので、角度θで入射する＋１次回折光９ａは格子４で回折されて角度−θで出射され、角度−θで入射する−１次回折光９ｂは格子４で回折されて角度θで出射される。格子４から出射された回折光９ａ，９ｂは図２（ｂ）に示すようにシリンドリカルレンズ５に入射する。
【００１６】
回折光９ａ，９ｂは、図２（ｂ）に示すようにｘ軸方向に並んだ状態でシリンドリカルレンズ５に入射し、シリンドリカルレンズ５により格子６上に集光される。しかし、シリンドリカルレンズ５の円筒軸Ｊ１は格子４の軸Ｊ２に対してヨーイング角度αだけ傾いているため、シリンドリカルレンズ５に入射する際に、回折光９ａのビーム中心軸１９ａは軸Ｊ１よりもｙ軸負方向にずれ、回折光９ｂのビーム中心軸１９ｂは軸Ｊ１よりもｙ軸正方向にずれる。そのため、図２（ａ）に示すように、格子６上における回折光９ａの集光位置はｙ軸正方向にずれ、回折光９ｂの集光位置はｙ軸負方向にずれる。図１に示すように、格子６上において回折光９ａの集光位置と回折光９ｂの集光位置とのｙ方向の間隔をｄ１とする。
【００１７】
集光された回折光９ａ，９ｂは格子６により回折され、回折光９ａ，９ｂはそれぞれのビーム中心軸１９ａ，１９ｂに沿って拡がる光束となる。この光束が重なる領域では、ｙ軸方向に並んだ明暗パターンから成る干渉縞パターン１０が形成される。受光部７はこの干渉縞強度を観測できる位置に配置される。
【００１８】
受光部７には複数の受光素子７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄがｙ軸方向に沿って等間隔で設けられている。例えば、図３のように、干渉縞の光強度パターン２０に対して受光素子７ａ〜７ｄを配置する。移動スケールである格子６がｘ方向に移動すると、＋１次回折光９ａの位相変動は＋２πｘ／Ｐ１で、−１次回折光９ｂの位相変動は−２πｘ／Ｐ１であって、干渉縞パターンはｙ方向に移動する。
【００１９】
このように、干渉縞パターン１０に対して複数の受光素子７ａ〜７ｄを配置することにより、格子６のｘ方向への移動量に加えて移動方向も検出することができる。移動方向を検出するためには受光素子の数は原理的には２つでもよいが、本実施の形態では信号のオフセット等を除去する意味で受光素子同士の差分信号を求め、その差分信号に基づいて干渉縞パターン１０のｓｉｎ成分およびｃｏｓ成分を得るようにしている。
【００２０】
ところで、干渉縞パターン１０のピッチは格子６上における回折光９ａ，９ｂの集光位置のずれ量ｄ１に依存している。そして、このずれ量ｄ１はシリンドリカルレンズ５のヨーイング角度αに依存しているので、ヨーイング角度αを調整することにより、受光素子７ａ〜７ｄの間隔ｄ２（図３参照）に合わせ込むように干渉縞パターン１０のピッチを調整することができる。
【００２１】
図４は本実施の形態に対する比較例を示す図であり、シリンドリカルレンズを用いない３格子型エンコーダの光学系を示す図である。格子３１の刻線ピッチをＰ３としたとき、格子３２の刻線ピッチはＰ３／２に設定されている。また、格子３３の刻線ピッチはＰ３＋ΔＰのように刻線ピッチＰ３に対して僅かに異なるように設定され、例えば、０．９９×Ｐ３程度に設定される。
【００２２】
平行光８は格子３１で回折されて、上述した格子３の場合と同様に＋１次回折光３４ａ，−１次回折光３４ｂを発生する。その後、回折光３４ａ，３４ｂはそれぞれ格子３２により回折されて、３番目の格子３３の同一位置に入射する。仮に、格子３３の刻線ピッチがＰ３であった場合には、格子３３で回折されて出射される回折光３４ａ，３４ｂのビーム中心軸は一致することになる。ところが、格子３３の刻線ピッチは０．９９×Ｐ３のようにピッチＰ３から僅かにずれているため、図４に示すように各回折光３４ａ，３４ｂのビーム中心軸の方向が異なり、各回折光３４ａ，３４ｂの干渉によって干渉縞パターン３５が形成されることになる。
【００２３】
干渉縞パターン３５のピッチは格子３３のピッチのずれ量ΔＰに依存しているので、格子３３の刻線ピッチを高精度に形成する必要があった。同様に、干渉縞パターン３５を検出する複数の受光素子７ａ〜７ｄのピッチに対しても、干渉縞パターン３５のピッチと合致するように高精度が要求されていた。また、干渉縞パターン３５のピッチと受光素子７ａ〜７ｄのピッチとの間に許容できない誤差が発見された場合には、格子３３や受光部７を交換する必要があった。
【００２４】
しかし、上述した本実施の形態では、組立時にシリンドリカルレンズ５のヨーイング角度αを調整することにより、干渉縞パターン１０のピッチと受光素子７ａ〜７ｄのピッチとを容易に合わせこむことができる。また、移動格子６の移動方向と直交するｙ方向に干渉縞パターン１０を形成することができるとともに、、上述したようにシリンドリカルレンズ５のヨーイング角度αの大きさに応じて回折光９ａ，９ｂの集光位置はｘ方向にもずれる。その結果、ｙ方向に並んだ干渉縞パターン１０だけでなく、ｙ軸から傾いた方向に並んだ干渉縞パターンを形成することが可能となる。そのため、干渉縞パターンをｘ方向にしか形成できない従来のエンコーダに比べて、エンコーダ取り付けに関する装置の設計自由度が増すという効果も有している。
【００２５】
上述した実施の形態では回折光９ａ，９ｂを格子６上に集光したが、各回折光９ａ，９ｂの集光位置を格子６の上下、すなわち格子面の前方および後方のいずれかにずらすようにしても良い。このように、各集光位置を格子６の上下のいずれかにずらした場合、回折光９ａ，９ｂに対して格子６をヨーイングさせると、集光位置同士のｙ方向間隔を変更することができる。すなわち、干渉縞パターン１０のピッチを変えることができる。
【００２６】
図５は格子６のヨーイング角度βと集光位置のｙ方向間隔を説明する図である。図５（ａ）は、回折光９ａ，９ｂの集光位置が格子６より下にあって、かつ、格子６がヨーイング角度β＝０である場合を示しており、上述した図１の場合に対応している。一方、図５（ｂ）は、回折光９ａ，９ｂの集光位置が格子６より下にあって、格子６がヨーイング角度β≠０である場合を示している。
【００２７】
図５（ａ），（ｂ）において、Ａ１およびＢ１は格子４から出射される回折光９ａ，９ｂの出射位置を示している。また、Ａ２，Ｂ２は、シリンドリカルレンズ５で集光された回折光９ａ，９ｂの格子６上における入射位置をそれぞれ示している。１９ａ，１９ｂは、前述したように回折光９ａ，９ｂのビーム中心軸であり、回折光９ａ，９ｂの進行方向を示している。４０は格子６の刻線である。４１，４２は格子４から出射される回折光９ａ，９ｂの進行方向のベクトルを表している。
【００２８】
格子４から出射される回折光９ａ（ビーム中心軸１９ａ），９ｂ（ビーム中心軸１９ｂ）が格子６によって回折されたときに、ベクトル４１，４２の刻線４０に直交する成分は回折により変化して例えばゼロとなるが、ベクトル４１，４２の刻線４０に平行な成分４１ａ，４２ａは保存される。
【００２９】
図５（ａ）の場合、格子６から紙面裏側方向（ｚ負方向）に出射される回折光９ａ，９ｂは、それらのビーム中心軸１９ａ，１９ｂが間隔ｄ１の入射位置Ａ２およびＢ２から僅かにｙ方向に拡がるように進行する（図１参照）。そのため、集光位置４３ａ，４３ｂの間隔ｄ３は入射位置Ａ２，Ｂ２の間隔ｄ１よりも広くなっている。なお、集光位置４３ａ，４３ｂはベクトル４１，４２の中間、すなわち、成分４１ａ，４２ａの中間にあるとして考える。
【００３０】
一方、図５（ｂ）の場合、刻線４０はヨーイング角度βだけ傾いているため、ベクトル４１，４２の刻線４０に平行な成分４１ｂ，４２ｂの大きさは、図５（ａ）の場合の成分４１ａ，４２ａよりも大きくなる。集光点４４ａ，４４ｂは成分４１ｂ，４２ｂの中間にあるので、その間隔ｄ４は図５（ａ）の場合の間隔ｄ３よりも大きくなる。また、β＜０の場合や、集光位置が格子６の上側であった場合にも間隔ｄ３はｄ３≠ｄ１となる。
【００３１】
このように、回折光９ａ，９ｂの集光位置を格子６の上下にずらして格子６をヨーイングさせると、間隔ｄ３を変えることができる。その結果、受光面に形成される干渉縞パターン１０のピッチも変化する。例えば、図１のようにエンコーダを装置に固定した後に、干渉縞パターン１０のピッチと受光素子７ａ〜７ｄのピッチとの間に誤差が発見された場合、可動体側に固定されている格子６の上下方向位置および取り付け角度（ヨーイング角度β）を調整することにより、干渉縞パターンのピッチ１０と受光素子７ａ〜７ｄのピッチとを合わせ込むことが可能となる。なお、ここでは可動体側に設けられた格子６の上下方向位置および取り付け角度βを調整するような構成としたが、格子３，４およびシリンドリカルレンズ５の方を一体で上下方向位置および取り付け角度を変えても良い。
【００３２】
−第２の実施の形態−
図６は、本発明によるエンコーダの第２の実施の形態を示す図である。なお、図６において、図１と同様の部分には同一符号を付し、以下では異なる部分を中心に説明する。図６に示すエンコーダでは、柱状のガラスブロック５０が図１の格子４と同様の機能を担っており、ガラスブロック５０の下面５０ｂには格子５１が設けられている。格子５１は反射型の回折格子であるが、図１の格子３と同一のピッチＰ１を有している。その他の構成は図１と同様であり、格子６の刻線ピッチは格子５１と同一のＰ１である。また、第１の実施の形態と同様に、シリンドリカルレンズ５はガラスブロック５０および格子５１に対して角度αだけヨーイングしている。
【００３３】
コリメートレンズ２からの平行光８は、ガラスブロック５０の上面５０ａに垂直入射し、ガラスブロック５０内を透過した後に格子５１に入射する。平行光８の入射により、反射型格子５１は＋１次回折光９ａを平行光８の入射軸に対して角度θ方向に、−１次回折光９ｂを角度−θ方向にそれぞれ発生する。発生した＋１次回折光９ａは、ガラスブロック５０の上面５０ａおよび下面５０ｂで繰り返し全反射されてガラスブロック５０内を＋ｘ方向に伝搬し、側面５０ｃで反射された後に下面５０ｂから出射される。一方、−１次回折光９ｂは、ガラスブロック５０の上面５０ａおよび下面５０ｂで繰り返し全反射されてガラスブロック５０内を−ｘ方向に伝搬し、側面５０ｄで反射された後に下面５０ｂから出射される。
【００３４】
ガラスブロック５０から出射された回折光９ａ，９ｂは、図１の場合と同様にシリンドリカルレンズ５によって格子６上に集光される。格子６上における回折光９ａ，９ｂの集光位置は、図１の場合と同様にｙ方向に間隔ｄ１だけずれている。そのため、格子６から出射される回折光９ａ，９ｂの干渉によって、検出部７の受光面にｙ方向の干渉縞パターン１０が形成される。シリンドリカルレンズ５をヨーイングさせることによってｙ方向の干渉縞パターン１０ができる理由は図１の場合と全く同様であり、ここでは説明を省略する。上述したように、第２の実施の場合にも、第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００３５】
−第３の実施の形態−
図７は本発明によるエンコーダの第３の実施の形態を示す図であり、図１のエンコーダの第１番目の格子３をビームスプリッタ６０およびミラー６１で置き換え、ピッチＰ１／２の格子４をピッチＰ１の格子６２で置き換えたものである。図１に示した第１の実施の形態では、格子３により平行光８を２つの光束９ａ，９ｂに分割したが。第３の実施の形態では、ビームスプリッタ６０により平行光８を２つの光束６３ａ，６３ｂに分割する。
【００３６】
光束６３ａ，６３ｂはともに平行光であり、ビームスプリッタ６０を透過した光束６３ｂは格子６に垂直に入射する。一方、ビームスプリッタ６０によりｘ正方向に反射された光束６３ａは、さらにミラー６１でｚ負方向に反射されて格子６２に垂直に入射する。光束６３ａ，６３ｂはそれぞれ格子６２により回折されるが、本実施の形態では光束６３ｂの＋１次回折光６４ｂと、光束６３ａの−１次回折光６４ａとを用いて干渉縞を形成する。
【００３７】
刻線ピッチＰ１の格子からは、＋１次回折光６４ｂは角度θで出射され、−１次回折光６４ａは角度−θで出射される。回折光６４ａ，６４ｂはシリンドリカルレンズ５により格子６上に集光される。第１の実施の形態と同様に回折光６４ａ，６４ｂの集光位置はｙ方向に間隔ｄ１だけずれており、それらが干渉することによりｙ方向の干渉縞パターン１０が検出部７の受光面に形成される。そのため、第３の実施の場合にも、第１の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
【００３８】
なお、上述した実施の形態ではシリンドリカルレンズ５を用いて回折光を集光しているが、格子６をヨーイングさせて干渉縞パターンのピッチを調整する場合を除いて、必ずしも回折光を集光する必要はない。例えば、図８に示すような構成としても良い。図８では、平面基板７０ａ，７０ｂを光路に挿入して、それぞれを任意角度αで傾斜させる。
【００３９】
以上説明した実施の形態と特許請求の範囲の要素との対応において、格子３，５１およびビームスプリッタ６０は光束形成手段を、格子６は回折格子をそれぞれ構成する。また、本発明の特徴を損なわない限り、本発明は上記実施の形態に何ら限定されるものではない。
【００４０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、干渉縞のピッチを調整することのできるエンコーダを提供し、検出精度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるエンコーダの第１の実施の形態を示す図である。
【図２】格子４，シリンドリカルレンズ５および格子６の関係を示す図であり、（ａ）は図１のｘ軸正方向から見た図であり、（ｂ）はシリンドリカルレンズ５をｚ軸正方向から見た図である。
【図３】受光素子７ａ〜７ｄの配列と干渉縞の光強度パターン２０との関係を示す図である。
【図４】本実施の形態に対する比較例を示す図である。
【図５】格子６のヨーイング角度βと集光位位置のｙ方向間隔を説明する図であり、（ａ）は集光位置が格子６上にある場合を、（ｂ）は集光位置が格子６の前後にずれていて、かつ、β≠０である場合をそれぞれ示している。
【図６】本発明によるエンコーダの第２の実施の形態を示す図である。
【図７】本発明によるエンコーダの第３の実施の形態を示す図である。
【図８】図６に示す装置の変形例を示す図である。
【符号の説明】
１  光源
２  コリメートレンズ
３，４，６，３１〜３３，５１，６２  格子
５  シリンドリカルレンズ
７  検出部
７ａ〜７ｄ  受光素子
８  平行光
９ａ，９ｂ，３４ａ，３４ｂ，６４ａ，６４ｂ  回折光
１０，３５  干渉縞パターン
４０  刻線
５０  ガラスブロック
６０  ビームスプリッタ
６１  ミラー
α，β  ヨーイング角度
【図１】
2005003438.tif 000003
【図２】
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【図３】
2005003438.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005003438.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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