(57)【要約】【課題】  センサ部とそのコントローラ部とを備えたセンシング機器に、上記センサ部の校正データを簡易に与えることのできる個体情報提供システムを提供する。【解決手段】  エッジセンサ（センサ部）に関する固有情報（受光分布パターンとその校正データ）を予め登録したＷｅｂサーバを備え、Ｗｅｂサーバは、ユーザから与えられるエッジセンサに関する個体識別情報（受光分布パターンやシリアル番号）に従ってエッジセンサを個体認証し、その認証結果により特定されるエッジセンサの固有情報（校正データ）を上記ユーザに提供する。【選択図】      図２
2005164435.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ部と、このセンサ部を介してセンシング情報を得るコントローラ部とを具備したセンシング機器における上記センサ部に関する固有情報を予め登録したＷｅｂサーバを備えて構築され、
上記Ｗｅｂサーバは、前記コントローラ部からのアクセスに応じて前記センサ部に関する固有情報を上記コントローラ部に提供する情報提供手段を備える
ことを特徴とする個体情報提供システム。
【請求項２】
前記情報提供手段は、前記コントローラ部からのアクセス時に該コントローラ部から与えられる前記センサ部の個体識別情報に従って、予め計測されて前記Ｗｅｂサーバに登録されている該センサ部に固有な校正データを前記コントローラ部に出力するものである請求項１に記載の個体情報提供システム。
【請求項３】
前記センシング機器は、ライン型光センサ装置または画像センサ装置であって、
前記校正データは、上記各センサ装置におけるセンサ部の計測特性に対する誤差分布データである請求項２に記載の個体情報提供システム。
【請求項４】
前記情報提供手段は、前記コントローラ部からのアクセス時に該コントローラから与えられる該コントローラ部に接続されたセンサ部の個体性を示す特性データと、予め計測されて前記Ｗｅｂサーバに登録されている複数のセンサ部の各個体性を示す特性データとを照合して当該センサ部を個体認証し、この認証により特定されたセンサ部に関する固有情報を出力するものである請求項１に記載の個体情報提供システム。
【請求項５】
前記センシング機器は、ライン型光センサ装置または画像センサ装置であって、
前記センサ部の個体性を示す特性データは、上記光センサ装置の受光分布パターンデータである請求項４に記載の個体情報提供システム。
【請求項６】
前記センシング機器は、ライン型光センサ装置または画像センサ装置であって、
前記センサ部に関する固有情報は、少なくとも該センサ部の計測特性に対する誤差分布データおよび／または製造等に関する履歴情報である請求項４に記載の個体情報提供システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ部とこのセンサ部を介してセンシング情報を得るコントローラ部とを具備したセンシング機器に対して、上記センサ部に関する固有情報を、例えばセンサ部の計測特性に対する誤差分布データを簡易に提供することのできる個体情報提供システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
各種のセンシング機器は、センサ部（センサユニット）とこのセンサ部を介してセンシング情報を得るコントローラ部とを備えて構成されることが多い。例えば光学式位置検出装置（センシング機器）のセンサ部をなすエッジセンサは、図１に示すように所定幅の平行光線を発する光源（投光器）１と、この光源１に対峙して上記平行光線を受光するように設けられたラインセンサ（直線上に並んだ多数の受光セルを有する受光器）２と備えて構成される（例えば特許文献１を参照）。そしてコントローラ部４は、上記光源１を駆動すると共に上記ラインセンサ２の出力から上記光源１とラインセンサ２との間に存在する物体Ａによる前記平行光線の遮蔽状態に基づいて、その端部（エッジ）位置を検出する役割を担う。
【０００３】
また本出願人は、先にラインセンサ２の受光面上での光強度分布の立ち上がり部分における光強度変化をコントローラ部４においてハイパボリックセカンド関数sech(ｘ)により近似し、このハイパボリックセカンド関数sech(ｘ)を用いて前記ラインセンサ２の各受光セルにおける受光強度を解析することで前記物体（遮蔽物）のエッジ位置を高精度に求めることを提唱した（例えば特許文献２を参照）。このエッジ位置の検出方法によれば、例えば１０２個の受光セルを８５μｍのピッチで配列した汎用の安価なラインセンサ（エッジセンサ）を用いた場合であっても、５μｍ以下の精度（分解能）でエッジ位置を高精度に検出することができる。
【０００４】
ところで前述したエッジセンサ等のセンサ部（センサユニット）は、一般にその製造のバラツキに起因する固有な計測誤差を有しており、計測精度を低下させる要因となっている。従って計測精度を高めるには、予めエッジセンサに固有な計測誤差を計測しておき、その計測誤差に応じた補正を施すようにすれば良い。しかしながらセンサ部に固有な計測誤差を測定するには、一般的には高精度な計測機器を必要とする、これ故、センサ部の設置現場においてその計測誤差を求めることは困難である。
【０００５】
そこで予めセンシング機器の出荷検査時に求められるセンサ部に固有な計測誤差データ（またはその校正データ）を、上記センサ部と一体に用いられるコントロール部が内蔵するＥＥＰＲＯＭ等のメモリに登録しておくことも考えられる。しかしコントロール部は、通常、複数のセンサ部を並列に用いるべく多チャネル化されており、専ら、このコントロール部とセンサ部とは別々に販売されることが多い。これ故、コントロール部に接続して用いられるセンサ部の計測誤差データ（校正データ）を、そのコントロール部のメモリ（ＥＥＰＲＯＭ等）に予め登録しておくことは困難である。
【０００６】
また個々のセンサ部毎に、そのセンサ部に固有な計測誤差データをフレキシブルディスク（ＦＤ）等の記録媒体に記録し、このＦＤをセンサ部に添付して出荷したり、或いはセンサ部毎に上記計測誤差データを書き込んだＲＯＭ等のメモリを組み込むことも考えられている。
【特許文献１】特開平８−２４７７２６号
【特許文献２】特願２００２−３４５９５８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながらセンサ部にその計測誤差データを書き込んだＲＯＭ等のメモリを組み込むには、センサ部のコストが高くなることが否めない。しかもセンサ部にＲＯＭ等のメモリを組み込んだとしても、その計測誤差データをコントローラ部に読み出すための工夫が必要であり、システム構成が大掛かりとなることが否めない。また計測誤差データを記録したＦＤを添付しても、取り扱い対象とするセンサ部の数が多い場合、或いはメンテナンスに伴ってセンサ部を交換したような場合、複数のセンサ部とＦＤとの対応付け管理が非常に煩雑になると言う不具合がある。
【０００８】
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的は、センサ部とこのセンサ部を介してセンシング情報を得るコントローラ部とを具備したセンシング機器に対して、例えば上記センサ部の計測特性に対する誤差分布データを簡易に与えることのできる個体情報提供システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した目的を達成するべく本発明に係る個体情報提供システムは、センサ部と、このセンサ部を介してセンシング情報を得るコントローラ部とを具備したセンシング機器における上記センサ部に関する固有情報を予め登録したＷｅｂサーバを備えて構築されるものであって、
特に上記Ｗｅｂサーバは、前記コントローラ部からのアクセスに応じて前記センサ部に関する固有情報を上記コントローラ部に提供する情報提供手段を備えることを特徴としている。
【００１０】
好ましくは前記情報提供手段は、前記コントローラ部からのアクセス時に該コントローラ部から与えられる前記センサ部の、例えば所定の条件下におけるセンサ部の出力や製造シリアル番号等の個体識別情報に従って、予め計測されて前記Ｗｅｂサーバに登録されている該センサ部に固有な校正データを前記コントローラ部に出力するものとして構成される（請求項２）。
【００１１】
例えば前記センシング機器が、ライン型光センサ装置または画像センサ装置である場合には、前記校正データは上記各センサ装置におけるセンサ部の計測特性に対する誤差分布データとして与えられる（請求項３）。
本発明の好ましい態様は、前記情報提供手段においては、前記コントローラ部からのアクセス時に該コントローラから与えられる該コントローラ部に接続されたセンサ部の個体性を示す特性データと、予め計測されて前記Ｗｅｂサーバに登録されている複数のセンサ部の各個体性を示す特性データとを照合して当該センサ部を個体認証し、この認証により特定されたセンサ部に関する固有情報を出力するように構成される（請求項４）。
【００１２】
この際、前記センシング機器がライン型光センサ装置または画像センサ装置である場合には、上記センサ部の個体認証に用いる前記センサ部の個体性を示す特性データとして上記光センサ装置の受光分布パターンを用いることが好ましい（請求項５）。そして前記コントローラ部に提供する前記センサ部に関する固有情報については、少なくとも該センサ部の計測特性に対する誤差分布データおよび／または製造等に関する履歴情報として与えるようにすれば良い（請求項６）。
【発明の効果】
【００１３】
このように構築された個体情報提供システムによれば、センサ部に関する固有情報がＷｅｂサーバを介して提供されるので、センサ部とコントローラ部とを使用するユーザ側においては、必要に応じてＷｅｂサーバをアクセスするだけで上記センサ部に関する固有情報を容易に取得することができる。特にコントローラ部から与えられる前記センサ部の、例えば所定の条件下におけるセンサ部の出力（例えば受光分布パターン）や製造シリアル番号等の個体識別情報に従って個体認識し、この認識結果に従って当該センサ部に固有な校正データをＷｅｂサーバから与えるようにすることで、コントローラ部は前記センサ部の出力を誤差補正する上で必要な校正データを容易に取得することが可能となる。
【００１４】
尚、このようにしてコントローラ部に提供されるセンサ部に固有な情報（校正データ）は、該コントローラ部に接続されたセンサ部に対してだけ有効なものであり、他のセンサ部に対しては全く無意味（無価値）のものである。従って上述したようにセンサ部の個体識別情報に従ってそのセンサ部に固有な情報（校正データ）を前記Ｗｅｂサーバから出力すれば、例えばその校正データに基づいてセンサ部の計測特性を補正し、その計測精度を高めようとするユーザだけが恩恵を受容し得ることになる。仮に上記校正データを他のユーザが取得したとしても、そのデータは全く利用価値のないものであるから、Ｗｅｂサーバを無駄にアクセスしただけに留まることになる。
【００１５】
またセンシング機器がライン型光センサ装置または画像センサ装置である場合には、例えば光センサ装置におけるセンサ部の受光分布パターンが、その製造誤差等に起因して個々に異なる分布パターンを示す。従ってこの分布パターンデータを上記センサ部の個体認証に用いることにより、Ｗｅｂサーバにおいては当該センサ部の計測特性を補正するに必要な校正データを、そのセンサ部を接続したコントローラ部に確実に与えることが可能となる。
【００１６】
即ち、本発明においては、センサ部の個体識別情報に従ってそのセンサ部に対してだけ有効な校正データ等の固有情報をＷｅｂサーバから提供することができるので、ユーザは実際に使用するセンサ部に固有な情報（例えば校正データ）を必要に応じて容易に取得し、取得した情報を用いて、例えばセンサ部の出力を補正することで容易にその計測精度を高めることが可能となる。
【００１７】
また本発明においては、コントローラ部を介して与えられるセンサ部の、例えば受光分布パターン等の個々のセンサ部に固有な個体情報に従ってセンサ部を個体認識するので、そのセンサ部に付随する各種の情報を、そのセンサ部に対応付けて確実に出力することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係る個体情報提供システムについて、物体のエッジ位置を光学的に検出する為のセンシング機器である位置検出装置に対して、そのセンサ部であるエッジセンサの校正データ（計測誤差補正用のデータ）を提供するシステムを例に説明する。
この種の光学式位置検出装置は、例えば図１に示すように光源（投光器）１と、この光源１に対峙して設けられたラインセンサ（受光器）２とを有するセンサ部（エッジセンサ）３、およびこのセンサ部３を上記光源１を駆動すると共に、上記ラインセンサ２の出力から上記光源１とラインセンサ２との間に存在する物体Ａのエッジ位置を検出するコントロール部４とを具備して構成される。
【００１９】
このような光学式位置検出装置（センシング機器）に対して、センサ部（エッジセンサ）の校正データを提供する個体情報提供システムは、例えば図２に示すように所定の通信網（例えばインターネット網）１０を介して所定のＷｅｂサーバ２０に上記エッジセンサＳの計測誤差特性やその校正データを登録する上記エッジセンサＳの製造工場３０側の端末（例えばＰＣ；パーソナルコンピュータ）３１と、この工場３０から入手したエッジセンサＳを使用するユーザ４０側の端末４１であって、上記Ｗｅｂサーバ２０をアクセスして上記エッジセンサＳに関する固有な情報である該エッジセンサＳの校正データを取得する端末（例えばＰＣ）４１を備えて構築される。
【００２０】
工場３０に設けられる端末３１は、エッジセンサＳの計測誤差特性を測定する検査装置３２に、例えばシリアルインターフェースを介して接続されたもので、該検査装置３２を介して入力されるエッジセンサＳの製造シリアル番号と、後述するように計測される上記エッジセンサＳの受光分布パターンと、その計測誤差特性を補正する校正データとを前記Ｗｅｂサーバ２０にアップロードして登録する機能を備える。
【００２１】
具体的には上記検査装置３２は、工場にて生産されたエッジセンサＳに順次付される製造シリアル番号（バーコード）を読み取るバーコードリーダ、および光源から照射された光をラインセンサにて一様に受光したときの出力からその受光分布パターンをエッジセンサＳの固有な受光特性として求める個体情報入力装置３３と、図３にその概略構成を示すように構成された特性検査ユニット３４とを備える。
【００２２】
この特性検査ユニット３４は、モータ５０等によって一定速度で回転駆動される、例えば円盤状の回転体５１と、この回転体５１の外縁部をなす遮光部５２を跨いで前記エッジセンサＳを前記回転体５１に対して所定の位置に位置付けるセンサ保持体５３とを備える。特にこのセンサ保持体５３は、前記回転体５１の回転中心から所定の距離Ｌを隔てた一定の位置に前記光学式エッジセンサＳを位置付けて該光学式エッジセンサＳを一定の姿勢で安定に保持する役割を担う。
【００２３】
円盤状の回転体５１は、図４にその平面構成を示すように、その外周縁における半径方向への突出長を該回転体５１の周方向に亘って、特にその１周長に亘って一定の割合で変化させ、その最大突出部と最小突出部との間に段差ａを形成した形状を有する。この回転体５１の外周縁は、前記光学式エッジセンサＳにおける前述した光源とラインセンサとの間に位置付けられる遮光部５２をなすもので、上記光源とラインセンサとの間に侵入可能な厚みを有し、且つ光源から照射された光の透過を阻止する役割を担う。特にこの遮光部（外周縁）５２の先端は、例えば断面ナイフエッジ形状に加工されており、光源から照射された単色平行光のフレネル回折がほぼ理想的に生じるようになっている。
【００２４】
上述した遮光部５２を一体に備えた回転体５１は、その全体が遮光性を有する材料で形成したものであっても良く、或いはその外周縁近傍の所定領域だけが遮光性を有するように形成したものであっても良い。具体的には或る程度の剛性を有して形状変形の少ない金属材料、例えばアルミニウム材を用いて前記遮光部５２を一体に備えた円盤状の回転体５１を製作するようにすれば良い。また円形の金属製ターンテーブルを回転体５１とし、その外周縁部の上面に遮光性を有する合成樹脂製の薄板体やフィルム体を一体に取り付け、この薄板体やフィルム体を上述した遮光部５２とすることも可能である。
【００２５】
一方、前記光学式エッジセンサＳの出力（センサ回路の出力）を収集して前記光学式エッジセンサＳの計測特性を検査するデータ処理装置６０は、概略的には同期手段６１、サンプリング手段６２，および平均化手段６３を備えて構成される。このデータ収集手段としてのデータ処理装置６０は、前記回転体５１が一定速度で回転しているとき、前記エッジセンサＳの出力（センサ回路の出力）を所定の周期でサンプリングすることで、前記回転体５１の回転方向の全周に亘って前記遮光部５２のエッジ位置を順次検出する役割を担う。
【００２６】
即ち、前記同期手段６１は、回転体５１の回転に伴って前記遮光部５２のエッジ位置が最大突出部から最小突出部へと急激に変化した時点（エッジセンサＳに対する段差ａの通過時点）をトリガタイミングとして検出し、前記サンプリング手段６２にトリガを与える役割を有する。サンプリング手段６２は、所定の周期、例えば５００μSe毎に前記光学式エッジセンサＳにより計測されるエッジ位置を順次検出し、その計測データを記憶する役割を担っている。特にサンプリング手段６２は前記同期手段６１によりトリガされる都度、エッジ位置の計測データのサンプリングを開始し、前記回転体５１が１回転する期間に亘って所定の周期で前記計測データのサンプリングすることで、前記回転体５１の周方向の複数の位置にそれぞれ対応するエッジ位置計測データを収集している。
【００２７】
前述した平均化手段６３は、このようにして前記回転体５１が１回転する都度、該回転体５１の周方向の全域に亘って所定の周期で計測したエッジ位置計測データを、前述した前記遮光部５２のエッジ位置が最大突出部から最小突出部へと急激に変化した時点を基準として定まる同一タイミング毎に平均化処理し、これによって前記遮光部５２の各部位の前記光学式エッジセンサＳによって計測されたエッジ位置を求めている。このようにして求められるエッジ位置と、前記遮光部５２における実際のエッジ位置との差がエッジセンサＳに固有な計測誤差特性（校正データ）として求められる。そしてこのようにして求められたエッジセンサＳの校正データ（計測誤差特性）は、前述したエッジセンサＳに固有な受光分布パターンおよびそのシリアル番号と共に前記Ｗｅｂサーバ２０に登録される。
【００２８】
即ち、前記遮光部５２の回転体５１の中心からの突出長は、前述したように回転体５１の周方向に一定の割合で直線的に変化するように設定されている。従って回転体５１が一定速度で回転した場合、光学式エッジセンサＳが設けられた位置における遮光部５２のエッジ位置は、図５に特性Ａとして示すように直線的に変化する。これ故、仮に光学式エッジセンサＳの計測特性が計測誤差を全く含むことのない理想的なものであるとするならば、回転体５１の回転に伴って計測される各点でのエッジ位置計測データは上記特性Ａと完全に一致して重なることになる。
【００２９】
しかしながらエッジセンサＳは、その製作精度等に起因する計測誤差を含む固有の計測特性を有しており、通常、上述した如く計測される各点でのエッジ位置計測データは前記特性Ａに完全に重なるとは言い難い。そこで回転体５１の回転位置によって特定される遮光部５２の突出長（実際のエッジ位置）と前記光学式エッジセンサＳにて計測されるエッジ位置との誤差をそれぞれ求めれば、図５に特性Ｂとして示すようにエッジセンサＳに固有な計測特性（計測誤差特性）を求めることが可能となる。
【００３０】
このようにして求められる計測誤差特性は、前述した受光分布パターンと相俟って個々の光学式エッジセンサＳに固有なものであり、光学式エッジセンサＳの個体性を示している。従って光学式エッジセンサＳを種々の用途に応じて使用するに際し、該光学式エッジセンサＳの出力を上記計測誤差特性を用いて補正すれば、これによって光学式エッジセンサＳが有する計測誤差成分を打ち消すことが可能となり、その計測精度を十分に高めることが可能となる。具体的には、例えば前記計測誤差特性を用いて光学式エッジセンサＳのラインセンサにおける各受光セルの受光感度を補正し、その上でエッジ位置の計算を行うようにすれば良い。
【００３１】
即ち、前述した工場３０側の端末３１は、このようにして検査装置３２にて計測される複数のエッジセンサＳに固有な受光分布パターンとその校正データ（計測誤差特性）を、例えば図６に示す手順に従って前述したシリアル番号と共に前記Ｗｅｂサーバ２０にアップロードしている。具体的には、工場３０においては先ずエッジセンサＳのシリアル番号を入力し［ステップＳ１］、次いでエッジセンサＳの受光分布パターンを測定する［ステップＳ２］。更に前述したようにしてエッジセンサＳの誤差分布データを求めて該エッジセンサＳの出力に対する校正データを作成し［ステップＳ３］、これらの各情報をエッジセンサＳに固有な情報としてＷｅｂサーバ２０にアップロードする［ステップＳ４］。そしてＷｅｂサーバ２０にアップロードした情報を、そのエッジセンサＳを使用するユーザ４０が適宜、そのエッジセンサＳに固有な情報、具体的にはその校正データを取得し得るように準備する役割を担う。
【００３２】
一方、ユーザ４０においては、エッジセンサ（センサ部）Ｓを所定のコントローラ（コントローラ部）４２に接続して使用する。このコントローラ４２は、例えば複数のエッジセンサＳを並列に用いる多チャネル型のもので、通常、エッジセンサＳとは別に販売される。このコントローラ４２は、図２に示すようにエッジセンサＳに付されている製造シリアル番号（バーコード）を読み取るバーコードリーダ、および光源から照射された光をラインセンサにて一様に受光したときの出力からその受光分布パターンをエッジセンサＳの固有な受光特性として求める個体情報入力装置４３を備える。更にコントローラ４２は、上記個体情報入力装置４３にて求められたエッジセンサＳの個体情報に従って前記端末４１から後述するように前記Ｗｅｂサーバ２０をアクセスし、該Ｗｅｂサーバ２０から取得した上記エッジセンサＳの校正データを記憶するメモリ４４と、このメモリ４４に記憶された校正データに基づいて前記エッジセンサＳにて計測される計測値を補正する補正手段４５とを備える。
【００３３】
即ち、ユーザ４０側においてはＷｅｂサーバ２０をアクセスし、前記個体情報入力装置４３にて求められたエッジセンサＳの個体情報を入力することで、該Ｗｅｂサーバ２０から該ユーザ４０において使用するエッジセンサＳに固有な校正データを取得し得るようになっている。そしてＷｅｂサーバ２０から取得した校正データに基づき、前記補正手段４５を用いて前記エッジセンサＳから得られる計測値を補正することで、その計測精度を高めるものとなっている。
【００３４】
このようにしてユーザ４０に対してエッジセンサＳの校正データを提供するＷｅｂサーバ２０は、基本的には図２に示すように工場３０からアップロードされた各エッジセンサＳについてのシリアル番号やその受光分布パターンおよびその校正データ等を記憶したメモリ２１を備える。更にＷｅｂサーバ２０は、アクセス元のユーザ４０から入力されるエッジセンサＳについての個体情報を認識する個体認証手段２２と、認証したエッジセンサＳに関する固有情報、特にその校正データを前記メモリ２１から読み出してアクセス元のユーザ４０に出力する情報提供手段２３とを備えて構成される。即ち、Ｗｅｂサーバ２０においては、ユーザ４０からアクセスされたとき、該ユーザ４０側から与えられるエッジセンサＳの個体情報に従ってそのエッジセンサＳに関する固有情報である校正データ等をそのユーザ４０に提供するようになっている。
【００３５】
ユーザ４０によるＷｅｂサーバ２０のアクセスと、このアクセスに対するエッジセンサＳに固有な校正データのダウンロードの手順について図７を参照して説明すると、ユーザ４０側においては先ず使用するエッジセンサＳの受光分布パターンを計測する［ステップＳ１１］。この受光分布パターンの計測は、前述した光源とラインセンサとの間に遮光物を介在させない状態で上記光源からの光をラインセンサにて一様に受光し、そのときの各セルの出力を求めることによって行われる。しかる後、計測した受光分布パターンをエッジセンサＳの個体性を示す個体情報としてＷｅｂサーバ２０に送信する［ステップＳ１２］。そしてＷｅｂサーバ２０においては、ユーザ４０側から送られてきた上記受光分布パターンと、メモリ２１に予め登録されている複数のエッジセンサＳの各受光分布パターンとをパターンマッチング等の手法を用いて照合し、その受光分布パターンが示すエッジセンサＳを個体認証する［ステップＳ１３］。
【００３６】
尚、この個体認証に失敗し、エッジセンサＳを特定することができなかった場合にはエッジセンサＳに付されているシリアル番号の入力を促し［ステップＳ１４］、これを受けてユーザ４０側から入力されるシリアル番号を用いてエッジセンサＳを特定する［ステップＳ１５］。そして前述した受光分布パターンに基づく個体認証によって、或いはシリアル番号に従ってエッジセンサＳが特定されたならば、前記メモリ２１から該当するエッジセンサＳについての校正データを読み出し、この校正データをユーザ４０に対して送信する［ステップＳ１６］。これによってユーザ４０においては、使用するエッジセンサＳに関する校正データを取得することが可能となり［ステップＳ１７］、取得した校正データに基づいてエッジセンサＳを用いて計測される計測値を補正してその計測精度を高めることが可能となる。
【００３７】
かくして上述した如く構成された個体情報提供システムによれば、エッジセンサＳの計測精度を高める上で必要となる該エッジセンサＳに固有な校正データをＷｅｂサーバ２０を介して上記校正データを容易に取得することができる。しかもＷｅｂサーバ２０においては、エッジセンサＳの受光分布パターンやそのシリアル番号等の個体情報（エッジセンサＳに固有な情報）に基づいてエッジセンサＳを個体認証し、認証したエッジセンサＳについての校正データを出力するので、ユーザ４０においては使用するエッジセンサＳに固有な校正データだけを確実に取得することが可能となる。またメンテナンス等においてエッジセンサＳを交換する際にも、新たなエッジセンサＳに対する校正データを容易に取得することが可能となるので、その実用的利点が多大である。
【００３８】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。ここではエッジセンサＳに対してその校正データをＷｅｂサーバ２０を介して提供する例について説明したが、トレーサビリティに必要な製造場所や製造年月日、検査の内容等をの情報提供するようにしても良い。このような情報をＷｅｂサーバ２０から提供すればトレーサビリティの証明書を添付する必要がなくなり、ユーザ４０は必要に応じてその情報を引き出すことが可能となるので、エッジセンサＳの管理を容易化することが可能となる。
【００３９】
またここではエッジセンサＳを例に説明したが、画像センサにおいて複数の画素（受光セル）の感度のバラツキが問題となるような場合にも、同様にしてその校正データを提供することができる。この場合には、画像センサにて白い紙等の標準体を撮像し、その撮像強度の分布パターンを求めて当該画像センサの個体情報として用いるようにすれば良い。また高精度な電圧検出プローブ等のセンサに対しては、製造時に不可避的に生じる個体間のインピーダンスのバラツキに着目し、例えば矩形波やパルス波を与えたときのパルス応答特性の差異を調べ、この観測波形を個体情報として用いて当該プローブに固有な校正データ等を提供するようにすれば良い。
【００４０】
更には高精度温度センサに対する校正データの提供にも同様に適用することができる。具体的には温度を高精度に測定するＮiセンサやＰtセンサ等においては、温度に依存する抵抗値の変化を、一定電流を流したときの電圧の変化または一定電圧を加えたときの電流の変化として検出することで、その温度を計測している。従って温度計測に用いる駆動電流または駆動電圧を変化させて上記ＮiセンサやＰtセンサの発熱条件を変え、そのときの変化特性を該センサに固有な個体情報として用いるようにすれば良い。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】センサ部とコントローラ部とを備えたセンシング装置の一例である光学式エッジセンサの概略構成図。
【図２】本発明の一実施形態に係る個体情報提供システムの概略構成図。
【図３】エッジセンサの校正データを求める為の特性検査ユニットの概略構成図。
【図４】図３に示す特性検査ユニットにおける回転体の平面構成図。
【図５】図３に示す特性検査ユニットを用いて求められるエッジセンサの誤差分布パターンの例を示す図。
【図６】Ｗｅｂサーバに対するエッジセンサの個体情報のアップロード手順の例を示す図。
【図７】Ｗｅｂサーバからのエッジセンサに固有な校正データのダウンロード手順の例を示す図。
【符号の説明】
【００４２】
２０  Ｗｅｂサーバ
２１  メモリ
２２  個体認証手段
２３  情報提供手段
３０  工場
３２  検査装置
３３  個体情報入力装置
３４  特性検査ユニット
４０  ユーザ
４２  コントローラ
４３  個体情報入力装置
４４  校正データメモリ
４５  補正手段
Ｓ  エッジセンサ
【図１】
2005164435.tif 000003
【図２】
2005164435.tif 000004
【図３】
2005164435.tif 000005
【図４】
2005164435.tif 000006
【図５】
2005164435.tif 000007
【図６】
2005164435.tif 000008
【図７】
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