(57)【要約】【課題】この発明は、半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ前後の搬送系を変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハおよび支持板の位置合わせ精度が緩和され、半導体素子の製造効率を向上させることができる半導体ウエハを得る。【解決手段】この発明の半導体ウエハは、周縁部に、裏面の削除加工の厚さよりも大きく、かつ平坦面１ａから径の外側方向に延びた寸法が、半導体ウエハ１およびこの半導体ウエハ１とほぼ同一径の支持板の径寸法の仕上がり公差の最大最小差と、半導体ウエハ１および支持板の貼合わせ時に生じる位置合わせ誤差の最大値との合計値よりも大きく、裏面の削除により分離される段差部４が形成されている。【選択図】        図１
2005026413.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体回路が形成される平坦面である表面に支持板が貼り合わされるとともに、裏面が削除加工され薄板化される半導体ウエハであって、
周縁部には、前記裏面の削除加工による仕上がり厚さよりも大きく、かつ前記平坦面から径の外側方向に延びた寸法が、前記半導体ウエハおよびこの半導体ウエハとほぼ同一径の支持板の径寸法の仕上がり公差の最大最小差と、前記半導体ウエハおよび前記支持板の貼合わせ時に生じる位置合わせ誤差の最大値との合計値よりも大きく、裏面の削除により分離される分離部が形成されている半導体ウエハ。
【請求項２】
前記分離部は、前記表面から垂直方向に切断された垂直面とこの垂直面に対して水平方向に切断された底面とから構成された段差部である請求項１に記載の半導体ウエハ。
【請求項３】
前記分離部は、径方向の外側に向かって肉厚が漸次薄くなっている薄肉部である請求項１に記載の半導体ウエハ。
【請求項４】
前記分離部は、前記裏面の削除加工の厚さよりも深い溝およびその外周部である請求項１に記載の半導体ウエハ。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４の何れかに記載の前記半導体ウエハの裏面が削除され、前記分離部が除去されたベースと、このベースの表面に形成された半導体回路とを備えた半導体素子体が複数個に分割されて構成された半導体素子。
【請求項６】
請求項１ないし請求項４の何れかに記載の分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面に加工処理をする工程とを含む半導体素子の製造方法。
【請求項７】
ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、
請求項１ないし請求項４の何れかに記載の分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面の加工処理をする工程とを含む半導体素子の製造方法。
【請求項８】
ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体回路から前記ウエハ本体に延びた複数個の孔を形成する工程と、前記ウエハ本体の周縁部に請求項１ないし請求項４の何れかに記載の分離部を形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記孔に導電材である金属を埋め込み、電極部を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成するとともに前記電極部の端面を露出させる工程と、前記ベースの裏面を削除し、前記電極部を突出させる工程と、前記ベースの裏面において絶縁膜を形成する工程と、前記電極部の端面を加工して貫通電極を形成する工程とを含む半導体素子の製造方法。
【請求項９】
前記孔を形成する工程と、前記分離部を形成して前記半導体ウエハを形成する工程とは同時である請求項８に記載の半導体素子の製造方法。
【請求項１０】
前記分離部は、請求項２に記載の段差部であり、前記孔の深さと、前記段差部の垂直面の高さとは同一である請求項８または請求項９に記載の半導体素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体回路が形成される平坦面である表面に支持板が貼り合わされるとともに、裏面が削除加工され薄板化される半導体ウエハ、その半導体ウエハを用いて製造された半導体素子、およびその半導体素子の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、半導体素子の製造方法として、半導体回路が形成される平坦面である表面に半導体ウエハの機械的強度を補強するための支持板を貼り合わせ、その後半導体ウエハの裏面を削除加工して薄板化して半導体素子を製造するものが知られており、これに関連した半導体素子の製造方法が、例えば特許文献１に示されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平１０−３３５１９５号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この場合、半導体ウエハの当初厚さを１／１０程度まで研削して薄くしなければならず、以下のような問題点があった。
即ち、一般に脆性が強く単結晶であるため劈開性のある半導体ウエハは薄くするにつれて、急速に割れやすくなるため、一定厚さ以下に研削した後の搬送はきわめて困難であり、そのために研削前に所定の剛性を有する支持板に貼り付けているが、貼り付ける支持板は、半導体ウエハの裏面の研削前の半導体ウエハと加工設備の搬送系を共通化する必要から、半導体ウエハと同一径にしている。ところが、例えば、半導体ウエハと支持板が共に許される公差の最大値であった場合、両者を貼り合わせた後の支持板付きの半導体ウエハ全体の外径寸法が、貼り合せ時に発生する位置合せの誤差の分だけさらに増大してしまい、許容される全体外径寸法より大きくなってしまい、後工程の加工設備の搬送系に掛からないことが生じる。そのため、例えばそれぞれの加工装置に適合する治具や、アタッチメントのようなものを作製し、その都度治具を用いたり、アタッチメントを交換しなければならないといったことが生じてしまい、製造効率が低下してしまうという問題点があった。
【０００５】
また、実際に半導体ウエハが支持板からはみ出した場合には、その部分は非常に割れやすいため、不良や汚染の原因となり、事実上半導体ウエハのはみ出しは許容されないため、半導体ウエハおよび支持板の寸法精度、並びに両者の貼合わせ位置精度は極めて高い精度が要求されるという問題点もあった。
【０００６】
この発明は、上記のような問題点を解決することを課題とするものであって、半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ前後の搬送系を変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハと支持板との位置合わせ精度を緩和することができ、半導体素子の製造効率を向上させることができる半導体ウエハを得ることを目的とする。
【０００７】
また、その半導体ウエハを用いて製造された半導体素子を得ることを目的とする。
【０００８】
さらに、その半導体素子の製造方法を得ることを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体ウエハは、周縁部に、裏面の削除加工による仕上がり厚さよりも大きく、かつ平坦面から径の外側方向に延びた寸法が、前記半導体ウエハおよびこの半導体ウエハとほぼ同一径の支持板の径寸法の仕上がり公差の最大最小差と、前記半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ時に生じる位置合わせ誤差の最大値との合計値よりも大きく、裏面の削除により分離される分離部が形成されている。
【００１０】
また、この発明に係る半導体素子は、半導体ウエハの裏面が削除され、分離部が除去されたベースと、このベースの表面に形成された半導体回路とを備えている。
【００１１】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法は、分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面に加工処理をする工程とを含む。
【００１２】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法は、ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面の加工処理をする工程とを含む。
【００１３】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法は、ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体回路から前記ウエハ本体に延びた複数個の孔を形成する工程と、前記ウエハ本体の周縁部に分離部を形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記孔に導電材である金属を埋め込み、電極部を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成するとともに前記電極部の端面を露出させる工程と、前記ベースの裏面を削除し、前記電極部を突出させる工程と、前記ベースの裏面において絶縁膜を形成する工程と、前記電極部の端面を加工して貫通電極を形成する工程とを含む。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の各実施の形態について説明するが、各実施の形態において同一、相当部材、部位については、同一符号を付して説明する。
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１の半導体ウエハの部分側断面図、図２（Ｉ）〜図２（Ｖ）は半導体素子の製造方法の各工程を示す図、図３（Ｉ）〜図３（ＶＩ）は、図２（Ｖ）の次工程以降の半導体素子の製造方法の各工程を示す図である。
この半導体ウエハ１は、半導体回路２が形成される平坦面１ａである表面に支持板３が貼り合わされるとともに、裏面が研削加工され薄板化される。円盤状の半導体ウエハ１は、表面の周縁部に、分離部である段差部４が形成されている。段差部４は、表面から垂直方向に切断された垂直面４ｂとこの垂直面４ｂに対して水平方向に切断された底面４ａとから構成されている。段差部４の底面４ａは、裏面が研削削除された後のベース５の厚さ寸法よりも、深く、かつその底面４ａの幅寸法は、半導体ウエハ１およびこの半導体ウエハ１とほぼ同一径の支持板３の径寸法の仕上がり公差の最大最小差と、半導体ウエハ１および支持板３の貼合わせ時に生じる位置合わせ誤差の最大値との合計値よりも大きい。
【００１５】
上記半導体ウエハ１から各製造工程を経て半導体素子１２が製造されるが、以下、その各製造工程について説明する。
先ず、円盤状のウエハ本体の表面側の周縁部を段差加工で段差部４を形成して半導体ウエハ１を形成する（図２（Ｉ））。次に、半導体ウエハ１の表面の平坦面１ａに半導体回路２を形成する（図２（ＩＩ））。その後、段差部４を有する半導体ウエハ１の表面に接着材７を用いて半導体ウエハ１とほぼ同一径寸法の支持板３を貼り合わせる（図２（ＩＩＩ））。このとき、この図では半導体ウエハ１と支持板３との間では貼り合わせ誤差Ａが生じている。その次に、半導体ウエハ１の裏面を１／１０程度の仕上がり厚さになるまで削除して分離部である段差部４を除去してベース５を形成する（図２（ＩＶ））。次に、ベース５の裏面において絶縁膜８を形成する加工処理を行い、半導体素子体６を形成する（図２（Ｖ））。この結果、半導体素子体６が接着材７により支持板３に固定されたブロック１１が形成される。
【００１６】
引き続き、リング状のフレーム９の下面に張設された支持フィルム１０にブロック１１の裏面を貼り付ける（図３（Ｉ））。その後、ブロック１１の表面側から紫外線を照射し、接着材７の接着力を失わせ、支持板３を半導体素子体６から分離させる（図３（ＩＩ）、（ＩＩＩ））。次に、半導体素子体６をダイシングして複数個に分割して、半導体素子１２を形成する（図３（ＩＶ））。最後に、支持フィルム１０の裏面から紫外線を照射し、支持フィルム１０の表面上の接着層の接着力を失わせ、半導体素子１２を支持フィルム１０から剥離することで、半導体素子１２の製造が完了する（図３（Ｖ）、（ＶＩ））。
【００１７】
上記構成の半導体素子１２では、半導体回路２の形成工程の投入前に、半導体ウエハ１の周縁部に、半導体ウエハ１の仕上げ厚さより深く、かつ半導体ウエハ１およびこれと同一径の支持板３の仕上がり公差の最大最小差とこれらを貼り合せたときに生ずる位置合わせ誤差の最大値との合計値より大きい幅の段差部４を形成し、支持板３に貼り合わせた後、半導体ウエハ１の研削加工を行っているので、段差部４は研削加工により消失し、半導体ウエハ１の外径寸法よりも段差部４の分だけ外径寸法が小さいベース５が形成される。このとき、段差部４の幅寸法は、半導体ウエハ１および支持板３の仕上がり交差および位置合わせの両誤差を考慮に入れて、適切な幅になっているので、半導体ウエハ１の裏面が研削された後のベース５が支持板３の外周面から外側に突出することはない。
【００１８】
従って、支持板３とほぼ同径であり、表面に半導体回路２が形成された半導体ウエハ１の搬送系は、ベース５が形成される工程（図２（ＩＶ））後の各工程でもそのまま利用可能である。
また、半導体ウエハ１の裏面が研削された後のブロック１１の径寸法は、ほぼ支持板３の径寸法であり、ブロック１１の径寸法精度は、支持板３の径寸法精度で決まり、半導体ウエハ１の仕上がり精度並びに半導体ウエハおよび支持板３の位置合わせ精度は緩和される。
また、図２（ＩＶ）以降の工程では、ベース５の大きさは、支持板３の大きさよりも小さくなっているので、支持板３をベース５から分離する際には、この大きさの差を利用し、ベース５と重ならない支持板３の部分から、ベース５が貼り付けられている支持フィルム１０から離れる方向に支持板３を剥がすことが可能となり、ベースおよび支持板がほぼ同じ大きさのブロックが支持フィルム１０に貼り付けられている状態のときと比較して、支持板３をベース５から分離する作業性が向上する。
【００１９】
なお、上記半導体ウエハ１の分離部である段差部４は、底面４ａに対して垂直面４ｂを有しているが、図４に示すように底面４ａに対して傾斜面４ｃを有する形状の段差部４Ａであってもよいし、図５に示すように垂直面４ｂと平坦面１ａとが交差する部位に面取り部４ｄを有する形状の段差部４Ｂであってもよい。
【００２０】
また、図６に示すように、平坦面１ａから、周縁部に向かって徐々に肉厚が薄くなっている薄肉部４Ｃを有する半導体ウエハ１であってもよい。この場合、支持板３に固着された半導体ウエハ１の裏面は厚さＢになるまで研削することで、分離部である薄肉部４Ｃも削除され、前述したブロック１１と同様に、ブロック１１の径寸法は、支持板３の径寸法で決定され、先に述べた半導体ウエハ１と全く同様の作用効果が得られる。
【００２１】
また、図７に示すように、底面４ａの最内径側部に溝部４ｅを有し、かつ垂直面４ｂと平坦面１ａとが交差する部位に面取り部４ｄを有する形状の分離部である段差部４Ｄであってもよい。
【００２２】
実施の形態２．
図８（Ｉ）〜（ＩＶ）はこの発明の実施の形態２の半導体素子１２の製造方法の各工程の内、実施の形態１と異なる各工程について示す図である。
上記実施の形態１では、半導体ウエハ１の周縁部の薄肉化は、平坦面１ａに半導体回路２が形成される前に予め行われていたが、この場合には、半導体ウエハ１の仕上げ厚さや、半導体ウエハ１および支持板３を貼り合わせる装置の位置合わせ精度は、貼り合わせ前に決まっていなければならない。
実際には、品種や用途によって半導体ウエハ１の仕上げ厚さが異なることが多く、実施の形態１で述べた製造方法を採用したときには、品種や用途に応じて周縁部の加工形状を変えた半導体ウエハ１を予め用意しなければならない。
【００２３】
これに対して、この実施の形態では、円盤形状のウエハ本体５０の平坦面１ａに半導体回路２を形成した後、その半導体回路２の用途に従って、ウエハ本体５０の周縁部に所定幅で所定深さの段差加工による段差部４を形成することで（図８（Ｉ）〜（ＩＩＩ））、品種や用途によって仕上げ厚さが異なる場合に、固有の寸法の段差部４を予め用意しなくても、実施の形態１と同様な作用効果を得ることができる。なお、図８（ＩＶ）の製造工程以降の各工程は、図２（ＩＶ）、図３（Ｉ）〜図３（ＶＩ）に示した各製造工程と同様であり、その説明は省略する。
【００２４】
実施の形態３．
図９（Ｉ）〜図９（ＶＩ）はこの発明の実施の形態３の半導体素子体６の製造方法の各工程のうち、実施の形態１と異なる各工程について示す図である。
実施の形態２では、図８（ＩＩＩ）の工程で分離部である段差部４を形成したが、この実施の形態では、図９（ＩＩＩ）に示すように段差部４の代わりに、半導体ウエハ１の周縁部の所定位置に、半導体ウエハ１の裏面の研削による形成されたベース５の厚さよりも深い溝２６を形成し、溝２６およびその外周部を分離部とした点が異なる。
【００２５】
この例では、支持板３の貼り付けの後半導体ウエハ１の裏面を研削すると同時に、この溝２６の外側の半導体ウエハ１の外周部が分離され、ベース５が形成される。その後の製造工程は、図２（ＩＶ）、図３（Ｉ）〜図３（ＶＩ）に示した各製造工程と同様であり、また、この実施の形態の作用効果は、実施形態２と同様である。
【００２６】
実施の形態４．
図１０（Ｉ）〜図１０（ＶＩＩＩ）はこの発明の実施の形態４の半導体素子３０の製造方法の各工程を示す図である。
この半導体素子３０は、表面に形成された半導体回路２と電気的に接続された貫通電極２３を有しているが、この半導体素子３０は、ウエハ本体５０から各製造工程を経て半導体素子３０が製造される。以下、その各製造工程について説明する。
【００２７】
先ず、円盤状のウエハ本体５０の平坦面１ａに半導体回路２を形成する（図１０（Ｉ））。次に、半導体回路２からウエハ本体５０に延びた複数個の孔２０をエッチングにより形成すると同時に、その周縁部に段差部４を形成して半導体ウエハ１を形成する（図１０（ＩＩ））。その後、孔２０に導電材である金属を埋め込み、電極部２１を形成する（図１０（ＩＩＩ））。その後、分離部である段差部４を有する半導体ウエハ１の表面に接着材７を用いて半導体ウエハ１とほぼ同一径寸法の支持板３を貼り合わせる（図１０（ＩＶ））。その次に、半導体ウエハ１の裏面を１／１０程度の仕上がり厚さになるまで削除して段差部４を除去してベース５を形成する。なお、段差部４の深さと孔２０の深さが同じであるので、このとき段差部４の削除と同時に電極部２１の端面が露出する（図１０（Ｖ））。次に、ベース５の裏面をエッチングし、電極部２１を突出させる（図１０（ＶＩ））。その後、ベース５の裏面において絶縁膜２４を形成する加工処理を行った後、電極部２１の端面に金属を付着して貫通電極２３を形成して、半導体素子３０を有するブロック３１を形成する（図１０（ＶＩＩ）、（ＶＩＩＩ））。
【００２８】
その後は、実施の形態１〜３と同様に、紫外線照射により、ブロック３１から半導体素子３０を分離する。
【００２９】
この貫通電極２３を有する半導体素子３０では、ウエハ本体５０に対するエッチング加工によって孔２０を形成すると同時に、周縁部における段差部４を形成しており、わざわざ段差部４を形成する工程を設ける必要性が無い。そして、表面に半導体回路２が形成された半導体ウエハ１の搬送系は、ベース５が形成された工程（図１０（Ｖ））以降の工程でもそのまま利用可能である。
【００３０】
また、半導体ウエハ１の裏面が研削され、貫通電極２３が裏面から突出した後のブロック３１の径寸法は、支持板３の径寸法であり、ブロック３１の径寸法精度は、支持板３の径寸法精度で決まり、半導体ウエハ１の精度並びに半導体ウエハ１と支持板３との位置合わせ精度は緩和される。
また、段差部４の深さと孔２０の深さが同じであるので、段差部４の研削と同時に電極部２１の端面が露出し、段差部４の削除と電極部２１の端面露出とを同一工程で行うことができ、製造効率が向上する。
【００３１】
実施の形態５．
上記各実施の形態では、円盤形状の半導体ウエハ１について説明したが、図１１（ａ）、（ｂ）および図１２（ａ）、（ｂ）に示すように、半導体ウエハ１の裏面が研削削除された後のベース５の形状がドーナツ形状のものや、図１３（ａ）、（ｂ）および図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、半導体ウエハ１の裏面が研削削除された後のベース５の形状がほぼ四角形状のものであってもこの発明は適用できる。
例えば、図１１（ａ）に示した半導体ウエハ１を用いて半導体素子１２を製造する場合、製造途中において、円盤状のウエハ本体の表面側の周縁部を段差加工で段差部４を有する半導体ウエハ１の表面の平坦面１ａに半導体回路２を形成し、その後半導体ウエハ１の表面に接着材７を用いて半導体ウエハ１とほぼ同一径寸法の支持板３を貼り合わせる（図１５（ａ））。その次に、半導体ウエハ１の裏面を仕上がり厚さになるまで削除して分離部である段差部４を除去して図１１（ｂ）に示すベース５を形成する（図１５（ｂ））。この後の工程は、実施の形態１で説明したものと同様である。
【００３２】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係る半導体ウエハによれば、周縁部に、裏面の削除加工による仕上がり厚さよりも大きく、かつ平坦面から径の外側方向に延びた寸法が、前記半導体ウエハおよびこの半導体ウエハとほぼ同一径の支持板の径寸法の仕上がり公差の最大最小差と、半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ時に生じる位置合わせ誤差の最大値との合計値よりも大きく、裏面の削除により分離される分離部が形成されているので、搬送系を半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ後でも、その前と変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハと支持板との位置合わせ精度を緩和することができ、その結果半導体素子の製造効率を向上させることができる。
【００３３】
また、この発明に係る半導体素子によれば、半導体ウエハの裏面が削除され、分離部が除去されたベースと、このベースの表面に形成された半導体回路とを備えた半導体素子体が複数個に分割されて構成されているので、製造効率が向上する。
【００３４】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法によれば、分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面に加工処理をする工程とを含むので、搬送系を半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ後でも、その前と変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハおよび支持板の位置合わせ精度が緩和され、その結果半導体素子の製造効率を向上させることができる。
また、ベースの大きさは支持板の大きさよりも小さくなっているので、支持板をベースから分離する分離作業性が向上する。
【００３５】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法によれば、ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、分離部をウエハ本体の表面側の周縁部に形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成する工程と、このベースの裏面の加工処理をする工程とを含むので、搬送系を半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ後でも、その前と変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハおよび支持板の位置合わせ精度が緩和され、その結果半導体素子の製造効率を向上させることができる。
また、ベースの大きさは支持板の大きさよりも小さくなっているので、支持板をベースから分離する分離作業性が向上する。
また、品種や用途によって仕上げ厚さが異なる場合に、固有の寸法の分離部を予め用意しなくてもよい。
【００３６】
また、この発明に係る半導体素子の製造方法によれば、ウエハ本体の表面の平坦面に半導体回路を形成する工程と、前記半導体回路から前記ウエハ本体に延びた複数個の孔を形成する工程と、ウエハ本体の周縁部に分離部を形成して半導体ウエハを形成する工程と、前記孔に導電材である金属を埋め込み、電極部を形成する工程と、前記半導体ウエハの表面に接着材を用いて半導体ウエハとほぼ同一径寸法の支持板を貼り合わせる工程と、前記半導体ウエハの裏面を削除して前記分離部を除去してベースを形成するとともに前記電極部の端面を露出させる工程と、前記ベースの裏面を削除し、前記電極部を突出させる工程と、前記ベースの裏面において絶縁膜を形成する工程と、前記電極部の端面を加工して貫通電極を形成する工程とを含むので、搬送系を半導体ウエハおよび支持板の貼合わせ後でも、その前と変えることなく利用できるとともに、半導体ウエハの仕上がり精度並びに半導体ウエハおよび支持板の位置合わせ精度が緩和され、その結果半導体素子の製造効率を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態１の半導体ウエハの部分断面図である。
【図２】この発明の実施の形態１の半導体素子の各製造工程を示す図である。
【図３】この発明の実施の形態１の半導体素子の各製造工程を示す図である。
【図４】この発明の実施の形態１の半導体ウエハの他の例を示す部分断面図である。
【図５】この発明の実施の形態１の半導体ウエハの他の例を示す部分断面図である。
【図６】この発明の実施の形態１の半導体ウエハの他の例を示す部分断面図である。
【図７】この発明の実施の形態１の半導体ウエハの他の例を示す部分断面図である。
【図８】この発明の実施の形態２の半導体素子の各製造工程を示す図である。
【図９】この発明の実施の形態３の半導体素子の各製造工程を示す図である。
【図１０】この発明の実施の形態４の半導体素子の各製造工程を示す図である。
【図１１】図１１（ａ）は異なる形状の半導体ウエハの平面図、図１１（ｂ）は図１１（ａ）の半導体ウエハが研削削除された後のベースの平面図である。
【図１２】図１２（ａ）はさらに異なる形状の半導体ウエハの平面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）の半導体ウエハが研削削除された後のベースの平面図である。
【図１３】図１３（ａ）はさらに異なる形状の半導体ウエハの平面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）の半導体ウエハが研削削除された後のベースの平面図である。
【図１４】図１４（ａ）はさらに異なる形状の半導体ウエハの平面図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）の半導体ウエハが研削削除された後のベースの平面図である。
【図１５】図１５（ａ）は図１１（ａ）に示した半導体ウエハを用いて製造される半導体素子の製造の一工程を示す断面図、図１５（ｂ）は図１５（ａ）の次工程の断面図である。
【符号の説明】
１  半導体ウエハ、１ａ  平坦面、２  半導体回路、３  支持板、４，４Ａ，４Ｂ，４Ｃ，４Ｄ  段差部（分離部）、４ａ  垂直面、４ｂ  底面、４ｃ  薄肉部（分離部）、５  ベース、６  半導体素子体、７  接着材、１１，３１  ブロック、１２  半導体素子、２０  孔、２１  電極部、２３  貫通電極、２４  絶縁膜、２６  溝、３０  半導体素子、３１  ブロック、５０  ウエハ本体。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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