(57)【要約】【課題】光源光の高い利用効率が得られ、ケラー照明系が従来よりも小型化できる照明装置。【解決手段】発光部と発光部からの光を出射する出射面とを有する光源と、光源側からコレクターレンズとコンデンサーレンズとを順次配置して照射面を照明するケラー照明系とを備える照明装置であって、出射面の面積が、０．００１ｍｍ2〜１ｍｍ2であることを特徴とする照明装置。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
発光部と発光部からの光を出射する出射面とを有する光源と、
光源側からコレクターレンズとコンデンサーレンズとを順次配置して照射面を照明するケラー照明系とを備える照明装置であって、
出射面の面積が、０．００１ｍｍ2〜１ｍｍ2であることを特徴とする照明装置。
【請求項２】
光源が光ファイバーをさらに有し、出射面は、光ファイバーの一方の端面である請求項１記載の照明装置。
【請求項３】
発光部がＬＥＤである請求項２記載の照明装置。
【請求項４】
発光部からの光を集光して光ファイバーの他方の端面に導入する光学系をさらに備える請求項２または３記載の照明装置。
【請求項５】
発光部がＬＥＤであり、出射面が前記ＬＥＤの表面である請求項１記載の照明装置。
【請求項６】
光ファイバーが取り換え可能に構成され、所望に応じて径の異なる光ファイバーを選択して装着することにより出射面の面積を変え、前記照射面の面積を所望に選択できる請求項２〜４の何れか１つに記載の照明装置。
【請求項７】
少なくとも出射面からコレクターレンズへの距離と、コレクターレンズからコンデンサーレンズへの距離と、コンデンサーレンズから照射面への距離とのいずれか１つを変えて、前記照射面の面積を所望に選択できる請求項１〜６の何れか１つに記載の照明装置。
【請求項８】
粒子測定装置に使用される請求項１〜７の何れか１つに記載の照明装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、照明装置に関するものであり、より詳細には、面積が０．００１ｍｍ2〜１ｍｍ2程度の小さな面積を照射するための照明装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
面積が０．００１ｍｍ2〜１ｍｍ2程度の小さな面積を照射する照明装置は、例えば光学式顕微鏡の照明系や、粒子分析装置の照明系に用いられる。前記照明装置の光源としては、ハロゲンランプやキセノンランプが知られている。あるいは、レーザを光源として用いる装置も知られている。
【０００３】
ハロゲンランプやキセノンランプを光源として用いる前記照明装置では、発光部からの光を照射面に導く照明光学系としてケラー照明系が一般的に用いられる。ケラー照明系の他にも、拡散した光で試料を照らす散光照明系や光源の像を試料面に結ばせるクリティカル照明系も考えられる。しかし、散光照明系は、大きな面積を均一に照射できるものの照明強度が弱く、照明のＮＡも小さい。また、クリティカル照明系は、照明強度は強くＮＡも大きくできるが、光源の像が試料面にできるので照明むらが生じやすい。また、試料面に熱も収束するので熱によって試料に影響が出やすい。これらの事情から、今日では、大きなＮＡで均一な強い照明が得られるケラー照明系が、標準的に用いられている。
【０００４】
図６は、ケラー照明系の一例を示す説明図である。ケラー照明系では、集光光学系を調節してコンデンサーレンズの前の光源側焦点の位置に光源の像を結像させる。実際には光源の像が結像する面には空間があるだけで光を乱反射して透過する透過膜などは置かれていないので、光源の像は可視化されない。ここでは、説明のために、この光源の像を空中光源像という。コンデンサーレンズと試料面との距離は、前記空中光源像が試料面で結像するように調整する。こうすると、試料面では空中光源像ができるが、実際には空中光源像の位置にはフィラメントなどのむらのある光源はなく、試料面での明るさはほぼ均一になる。
【０００５】
図６の照明系では、照射面に必要な照射面積に比べて発光部の面積が大きい。例えば、ランプの発光部であるフィラメントの長さが５ｍｍであり、照明したい面の直径が５０μｍであるとする。この場合、照射面の直径は、発光部の寸法に対して１／１００であるから、光源光を有効に利用するためには、照射面に到達する光を、光源に対して１／１００の広がりに絞り込む必要がある。このために、集光のためのコンデンサーレンズに高倍率のレンズを用いることが必要になる。一方、光源から出た光を有効に利用するためには、コレクターレンズの開口率ＮＡを大きくする必要がある。光源のランプからの光は角度的に広がりを持って発光部から出射されるからである。従って、高効率の照明装置を得るためには、高倍率で大口径のコレクターレンズが必要になる。このために、光学系が大型化してしまう。また、高倍率のコレクターレンズでは結像する空中光源像が大きくなるので、コンデンサーレンズも大型のものが必要になる。前記のように、照射面積に対して光源が大きい場合は高倍率のコンデンサーレンズが必要であるうえ、高効率の照明装置を得ようとすると、さらに高倍率のコンデンサーレンズが必要になる。大型で高倍率のレンズは高価であるので、装置にコストがかかってしまう。また、コヒーレントでない光源から出た光は、光学系で集光しても、回折限界以下には小さく集光することが原理的にできないため、高倍率のコンデンサーレンズを用いても絞り込める照射面の大きさには限界がある。
一方、照明装置の効率を上げるのではなく、光源を明るくすることによって照射面を明るくする方法もある。しかし、光源を明るくすると、放熱の対策によりコストがかかってしまう。また、放熱のために装置が大型化してしまう傾向がある。
結局、高い高率の光学系を用いる方法であっても、明るい光源を用いる方法であっても装置の大型化と高コスト化を招いてしまう。小型、低コストで光源光の高い利用効率が得られる照明装置が望まれている。
【０００６】
また、レーザ光源から発せられた照明光を光ファイバーを介した照明光学系に送って微小な光点に収束させ、この光点を試料上で２次元的に走査させて試料から透過あるいは乱反射した光を検出する走査型顕微鏡が知られている（例えば、特許文献１）。しかしながら、前述した走査型顕微鏡の照明光学系は光学式顕微鏡の照明系や粒子分析装置の照明系に適用することは困難である。
【特許文献１】特開平５−４５５８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、小型、低コストで光源光の高い利用効率が得られる照明装置を提供するものである。
【０００８】
発明者らは、光源光の高い利用効率が得られる照明装置を開発すべく研究を行っていたところ、光源の出射面の面積を微小にすることにより、光源光の高い利用効率が得られ、ケラー照明系が従来よりも小型化できるという顕著な効果が得られることを見出した。前述のように、そもそも従来の光源装置は照射面積に比して光源の照射面積が大きく、照射面に光を集光させる必要があるため、照明装置の大型化と高コストを招いている。換言すれば、照射面と光源の大きさのアンバランスが装置の大型化、高コスト化の原因になっている。この観点から、微小な出射面を有する光源を実現することが望ましい。そして、発明者らは、微小な出射面を有する光源を実現するために、光ファイバを用いることが好適であることを見出した。あるいは、光源としてＬＥＤが好適であることを見出した。その結果、かかる発明に関する出願をするに至った。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この発明は、発光部と発光部からの光を出射する出射面とを有する光源と、光源側からコレクターレンズとコンデンサーレンズとを順次配置して照射面を照明するケラー照明系とを備える照明装置であって、出射面の面積が、０．００１ｍｍ2〜１ｍｍ2であることを特徴とする照明装置を提供するものである。
【発明の効果】
【００１０】
この発明の照明装置は、発光部からの光を出射する出射面の面積が、０．００１ｍｍ2〜１ｍｍ2であるので、出射面からの光を照射面に導くケラー照明系を小型化することができ、これによって、照明装置およびそれが組み込まれる装置を小型化することができる。従来よりも出射面の面積が小さければ、従来と同じ開口率を有するコレクターレンズは径の小さいものでよく、従って、コンデンサーレンズも径の小さいものでよいからである。また、光源が小さいので、高い倍率のコンデンサーレンズを用いる必要がない。従って、ケラー照明系をもちいて照度が均一でむらが少なく、小型の照明装置が得られる。照明装置が小型化されても、照射面においては従来と同等の照度を得ることができる。必要な領域のみに光源光を集光し、不要な領域を照射しないからである。
【００１１】
そして、装置が小型化されることにより、装置の設置面積が節約でき、あるいは装置を安価に製造できることが期待される。特に、レンズ径が小さくてよいので、コレクターレンズとコンデンサーレンズを安価に製造できることが期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
この発明は、発光部と発光部からの光を出射する出射面とを有する光源と、
光源側からコレクターレンズとコンデンサーレンズとを順次配置して照射面を照明するケラー照明系とを備える照明装置に関し、その出射面の面積が、０．００１ｍｍ2〜１ｍｍ2であることを特徴とする。
ここで、光源は、コヒーレントでない光を出射するものであればよく、ＬＥＤが好適であるが、これに限られない。例えばレーザ光源から出射される光を位相変調器や光ファイバーなどを通してパーシャル・コヒーレント光を生成するものであってもよい。
また、出射面は発光部と一体に形成されている必要はなく、例えば、光ファイバーなどの発光部と異なる部材に導かれた光が出射する出射面であってもよいが、これに限られず、例えばＬＥＤチップの周囲に形成された樹脂表面のように発光部と一体に形成されたものであってもよい。
【００１３】
前記照明装置は、光源が光ファイバーをさらに有し、出射面は、光ファイバーの一方の端面であってもよい。こうすれば、必要とする照射面積に応じて径の異なる複数の光ファイバーの中から、最適な出射面積を持つものを選択することができるので、照明装置の光源光の利用効率および光学系の大きさを最適に設計することができる。さらに、光源の発光部と出射面とを独立して配置できるので、照明装置の設計上、構造的な制約を受けにくい。
【００１４】
また、前記照明装置は、発光部がＬＥＤであってもよい。ＬＥＤは、従来の照明装置で用いられる例えばハロゲンランプやキセノンランプに比べて発光部の面積は小さいが、発光効率が高く、発光部の単位面積あたりの光パワーは同等のものが得られるので、微小な面積を照射するために十分な輝度のものを得ることができる。しかも、発光部の全域に渡って輝度むらの少ないものが得られるので、輝度を均一化する際のロスが少なく、高い光源光の利用効率を有する照明装置を得ることができる。また、発光効率が高いので、発熱が少なく、放熱の設計が容易である。従って、前記照明装置の光源として好適である。
【００１５】
前記照明装置は、発光部からの光を集光して光ファイバーの他方の端面に導入する光学系をさらに備えてもよい。こうすれば、発光部からの光を効率的に光ファイバーに導入することができて、より高い光源光の利用効率を有する照明装置を得ることができる。ＬＥＤは、ハロゲンランプやキセノンランプに比べて小型の光源であるので、光学系も従来に比べて小型化が期待でき、さらに径の小さな光ファイバーに対して光を高効率に集光して導入することができる。
【００１６】
あるいは、前記照明装置は、発光部がＬＥＤであり、出射面が前記ＬＥＤの表面であってもよい。こうすれば、前記の光ファイバーが不要になって、光源の構成を簡単にすることができ、かつ光源を小型化できる。また、光ファイバーによる伝達のロスをなくすことができる。ＬＥＤは、照射面であるその表面の面積が小さいので、前記したように伝達ロスがないことと相まって、より高い光源光の利用効率を有する照明装置を得ることができる。
【００１７】
また、前記照明装置は、光ファイバーが取り換え可能に構成され、所望に応じて径の異なる光ファイバーを選択して装着することにより出射面の面積を変え、前記照射面の面積を所望に選択できるように構成されていてもよい。こうすれば、必要な照射面積に応じて径の異なる光ファイバーを選択し、照射面積を変えることができるので、いずれの場合においても高い光源光の利用効率を有する照明装置を得ることができる。
【００１８】
あるいはまた、前記照明装置は、少なくとも出射面からコレクターレンズへの距離と、コレクターレンズからコンデンサーレンズへの距離と、コンデンサーレンズから照射面への距離とのいずれか１つを変えて、前記照射面の面積を所望に選択できるように構成されていてもよい。こうすれば、照射面の面積を所望に選択できるので、照射面積がいずれの場合においても高い光源光の利用効率を有する照明装置を得ることができる。
前記照明装置は、粒子測定装置に使用されてもよい。
【００１９】
以下、図面に示す実施形態に基づいてこの発明の実施の形態を説明する。
（実施の形態）
【００２０】
図１は、この発明の照明装置の実施の形態の構成を示す説明図である。図１で、１は光源の発光部であるＬＥＤ、３は光ファイバー、２は出射面である光ファイバー端面である。また２０は、レセプタクルであって、ＬＥＤ１からの光を光ファイバー３へ導く集光光学系を兼ねている。ＬＥＤ１からの光は、レセプタクル２０を有する光ファイバー３の一方の端面から導入され、他端から出射される。他端はコレクターレンズ４の焦点の近傍に、レンズに対して焦点からやや外側にずらして配置される。この他端が光源の出射面である。一実施形態では、ＬＥＤ１の発光部の大きさは、１ｍｍ×１ｍｍ、光ファイバーの出射面の直径は、８００μｍ、１８０μｍ、１２０μｍ、５０μｍの４種類である。
【００２１】
光ファイバー３は、取り換え可能に構成され、必要に応じて出射面直径の異なるものと交換できるようになっている。即ち、ＬＥＤ１とは、レセプタクル２０との嵌合部分から取り外されて着脱可能に構成され、光ファイバー３の出射端面２までの部分が取り換えられるように構成されて、測定対象の大きさ、即ち必要とする光の照射面積に応じて最適な出射面積を有するように取り換えることができる。
【００２２】
５はコンデンサーレンズで、光源側のコレクターレンズ４と共にケラー照明系を構成し、照射面８に配置された試料を照射する。この照明光によって試料に照射された透過光は、６の結像レンズに対して照射面８と反対側に配置された受光素子のＣＣＤ７へ導かれ、ＣＣＤ７の受光面上に照射面に配置された試料の像が結像する。一実施形態では、ＣＣＤ受光面の大きさは、４．４ｍｍ×３．３ｍｍである。
【００２３】
図１の照明装置は、出射面２からコレクターレンズ４、コンデンサーレンズ５を経て照射面８へ至るケラー照明系が一体となって載置されて高軸方向に移動可能に構成され、照射面８に対して近づけたり、遠ざけたりすることによって、前記照射面の面積を所望に選択できるように構成されている。
【００２４】
図２は、出射面の面積が異なる２つの光源を用いて、各光源と同じ大きさの照射面積を同じ光パワー密度で照射する場合に、ケラー照明系が小型化できることを示す説明図である。一定の開口率の下では、エネルギー保存の法則により照射される光エネルギーの総量は、出射面の面積に比例する。しかし、単位面積あたりの光エネルギーは同じである。このことから、同じ開口率ＮＡ１の下で、出射面積がＳ１の大きな光源と出射面積がＳ２の小さな光源のケラー照明系は相似になる。その場合、照射面積も相似になる。図２では、出射面積Ｓ１に対して照射面積Ｓ１’が得られ、出射面積Ｓ２に対して照射面積Ｓ２’が得られる。必要な照射面積がＳ２’あるいはそれよりも小さな場合、出射面積がＳ２の小さな光源と、それに対応する小型の照明系で照明装置を構成できれば、照明装置を小型化でき、しかも照射面での光パワー密度は出射面積Ｓ１の大きな光源を用た場合と同じ照明装置が得られる。
【００２５】
表１は、出射面の直径がそれぞれ８００μｍ、１８０μｍ、１２０μｍ、５０μｍの４種類の光ファイバーを焦点距離が４．０ｍｍで開口率が０．７５のコレクターレンズ４の焦点Ｆ１から距離Ｌ１だけコレクターレンズ４から遠くに配置し、コレクターレンズ４の反対側に焦点距離が２．０ｍｍで開口率が０．８のコンデンサーレンズ５を配置し、コンデンサーレンズ５に対して光源と反対側の照射面を照射した場合の、各部の寸法と照明系の特性を示している。距離Ｌ２は、光ファイバー３の照射面から試料を照射する照射面までの距離、即ちケラー照明系の全長である。各直径の光ファイバー３に対して、前記のようにコレクターレンズ４とコンデンサーレンズ５を各焦点Ｆ１及びＦ２からそれぞれＬ１およびＬ３の距離だけレンズから遠ざけて配置し、コレクターレンズとコンデンサーレンズとの間の距離を調節して表１のＬ２に示す照明系全長になるように配置したときに、コンデンサーレンズ５に対して照射面と反対側の焦点付近に結像する空中光源像、即ち光ファイバー像の直径をＬ４としている。Ｌ４がいずれも３．２００ｍｍになるように各光学系の距離を設定している。従って、異なる出射面直径に対して図２に示すような相似形の光学系をそれぞれ構成するものではないが、実際に入手可能なコレクターレンズ、コンデンサーレンズを用いてこの発明に係る光学系を構成した場合の光学系の大きさの一例を示すものである。表１において、それぞれの出射面の直径に対して、試料を照射する照射面の直径をＬ５としている。そして、出射面の面積をＳ、そのときの照射面の面積をＳ’としている。
【表１】
2005195962.tif 000003
【００２６】
表１において、８００μｍの光ファイバーを用いた場合に、コレクターレンズの倍率が高すぎて、空中光源像の出射面端部がけられ、出射面からの光の一部が照射面に導入されない。すなわち、本実施形態の照明系に対して、出射面の面積が大きすぎる。結果的に、下記に示す表２において、８００μｍの光ファイバーを用いた場合の光源光の利用効率は低い値にとどまる。
【００２７】
また、照明系の全長Ｌ２は、出射面の直径によって１０２．６８１ｍｍ〜３３２．３７８ｍｍの値をとる。これに比べて、従来のキセノンランプを光源とし、同等な性能（曲率）の対物レンズを用いた光学系では、照明系の全長は約６００ｍｍ程度である。これらの数値からも、出射面積の小さな光源を用いれば、照明系が小型化できることがわかる。
表１に示すように、この発明の照明装置の出射面積が０．００１ｍｍ2〜０．０４９ｍｍ2の範囲においては、前記の従来の光学系の全長に比べて、０．１７〜０．５５倍に小型化される。出射面積は前記範囲に限らないが、大きすぎると従来の光学系との差異がなくなり、逆に照射面積よりも小さすぎると大きな光エネルギー密度の光源が必要となるので、０．００１ｍｍ2〜１ｍｍ2の出射面積が好適である。
【００２８】
表１のＬ５の値から、実施の形態の照明系を用いて所望の照射面積を得るには、どの出射面直径の光ファイバーを選択すればよいかを知ることができる。
【００２９】
表２は、光ファイバー出射面の直径がそれぞれ８００μｍ、１８０μｍ、１２０μｍ、５０μｍの４種類で照射面を照射する表１の照明系を用い、倍率が４０倍、６０倍、１００倍の３種類の結像レンズを組み合わせた場合の各組み合わせにおける光源光の利用効率ηを示す表である。
【００３０】
この実施の形態では、受光素子であるＣＣＤ７上に照射面８からの透過光を直径２．８ｍｍの円形の領域で受光する場合を、受光面の最大直径としている。それに対応する照射面８上の直径をＬ６、各条件における照明効率、即ち照射面光量を光ファイバーの出面光量で除した値をηとしている。
【表２】
2005195962.tif 000004
【００３１】
表２より、光源光の利用効率が最も高いのは、照射面の直径が５０μｍの光ファイバーを用いて試料を照射し、倍率が６０倍の結像レンズを用いた場合である。この場合、ＣＣＤ７上に結像する照射面が、前記したように直径２．８ｍｍの領域内にすべて収まる。さらに倍率の低い４０倍の結像レンズを用いた場合でも、ＣＣＤ７上に結像する照射面は、直径２．８ｍｍの領域内にすべて収まるが、光パワー密度がＣＣＤ７のダイナミックレンジを越えて飽和してしまうためにＣＣＤ７で取り出すことのできるトータルの受光量が頭打ちになり、ηの値としては１００％が得られていない。
【００３２】
ＣＣＤ７の受光画素数の観点からは、結像する照射面は、直径２．８ｍｍより小さすぎないほうが画素を有効に利用したことになる。従って、実使用に際しては、このような要素もして最適な光ファイバー径および結像レンズ倍率を選択するべきである。実施の形態のＣＣＤ７の受光面のサイズは、実際には４．４ｍｍ×３．３ｍｍであるので、２．８ｍｍに対して配置誤差を考慮しても余裕がある。従って、例えば、出射面の直径が５０μｍの光ファイバーと１００倍の結像レンズの組み合わせや、出射面の直径が１２０μｍの光ファイバーと４０倍の結像レンズ倍率の組み合わせなども、実使用上の最適な選択として考慮すればよい。
【００３３】
前述のように、高効率の照明装置を得るには、光ファイバーの出射面直径が５０〜１２０μｍ、即ち出射面の面積が０．００１〜０．００４ｍｍ2の範囲が特に好ましい。
【００３４】
図３は、前記実施形態において発光部であるＬＥＤ１からの光を光ファイバー３へ導く集光光学系２を兼ねた光ファイバーのレセプタクル２０の詳細を示す断面図である。ＬＥＤ１は、レセプタクル２０に挿入され、固定される。ＬＥＤ１から出射した光は、角度を持って四方に広がるが、集光レンズ２２が配置された光軸方向に最も強く光が放射されるような指向性を持っている。これは、ＬＥＤ１を構成している図示しないＬＥＤチップの配置と、その周囲のモールド材の形状とに大きく依存する。ＬＥＤ１から放射された光は、スリーブ２１に沿ってレンズ２２へ導かれる。内壁に反射した光は、正反射して進むようにスリーブ２１は反射性のある材質を用いて構成される。レンズ２２に対してＬＥＤ１と反対の側に、光ファイバー３の一端が配置される。光軸と平行あるいはほぼ平行にスリーブ２１の内部を進み、レンズ２２を通過した光は、集光されて光ファイバー３の一端からその内部へ導かれる。光ファイバー３の軸に対して十分小さい角度をもって入射した光は、ほとんど減衰することなく光ファイバー３の中を進んで他端の出射面に到達する。
【００３５】
ＬＥＤ１は、発光部が従来のハロゲンランプあるいはキセノンランプに比べて小面積であり、しかも光を放出する指向性が前記のランプに比べて鋭いので、発光部からの光を効率よく集光して光ファイバー３に導入することができる。
【００３６】
図４は、この発明の照明装置に用いる光源の、異なる実施形態を示す断面図である。図４では、ＬＥＤ１がコレクターレンズ４の焦点Ｆ１付近に配置され、ＬＥＤ１の表面が光源の出射面となっている。前記のように、ＬＥＤ１自身が、従来のハロゲンランプあるいはキセノンランプに比べて発熱がほとんどなく、小面積であって鋭い指向性をもつので、ＬＥＤ１の表面を直接出射面として使用することができる。照射したい面積が、ＬＥＤ１の発光部面積にほぼ等しい場合は、このように光源を構成してもよい。
【００３７】
図５は、この発明の照明装置を粒子測定装置に適用した場合の、照明装置の配置を示す説明図である。粒子測定装置では、測定対象の試料、即ち粒子がフローセル９内を通過する。この実施の形態に示す装置では、照明装置は前記フローセル９内を通過する粒子を照射する。照明装置、結像レンズ６と受光素子７を含む照明及び撮像系は、暗箱１２の内部に収納されている。照明及び撮像系は、高精度に加工されて高い剛性を有するベース１０上に取り付けられ、外部からの振動や装置の設置状態によって光学系の配置に誤差や歪が生じないように設計されている。光源のＬＥＤ、必要に応じて取り換え可能な光ファイバー及び出射面を含む光源ユニット２３と、シリンダー１１の両端に取り付けられたコレクターレンズ４及びコンデンサーレンズ５とが一体に構成された照明系は、その内部に照射面を含むフローセル９に対して光軸方向に移動可能に構成され、照射面積を所望に選択することができる。この他に、粒子測定装置は、図示しない粒子投入部や、装置に対する操作や指示を入力するための入力部、撮像された画像を処理する画像処理部、処理された画像や操作の結果、あるいは装置の設定等を表示する表示部、表示内容を出力する出力部、装置各部の動作を制御する制御部を含んでいてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】この発明の照明装置の１実施形態の構成を示す説明図である。
【図２】出射面積の異なる２つの光源を用いて、同じ光パワー密度で照射する場合に、ケラー照明系が小型化できることを示す説明図である。
【図３】ＬＥＤからの光を光ファイバーへ導く集光光学系を兼ねた光ファイバーのレセプタクルを示す断面図である。
【図４】この発明の照明装置に用いる光源の、異なる実施形態を示す断面図である。
【図５】この発明の照明装置を粒子測定装置に適用した場合の、照明装置の配置を示す説明図である。
【図６】従来から用いられているケラー照明系の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
１    発光部であるＬＥＤ
２    出射面である光ファイバー端面
３    光ファイバー
４    コレクターレンズ
５    コンデンサーレンズ
６    結像レンズ
７    受光素子であるＣＣＤ
８    照射面
９    フローセル
１０    ベース
１１    シリンダ
１２    暗箱
１９    粒子測定装置の照明及び撮像系
２０    レセプタクル
２１    スリーブ
２２    集光レンズ
２３    光源ユニット
Ｓ１、Ｓ２    出射面積
Ｓ１’、Ｓ２’    照射面積
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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