(57)【要約】【課題】  樹脂チューブを簡単、確実に接続でき、かつ安価な樹脂チューブ用ステンレス継手を提供する。【解決手段】  継手本体１に設けたインサート部８に樹脂チューブ９を挿入し、継手本体１にナット３を螺合してスリーブ２を移動し、インサート部８とスリーブ２間で樹脂チューブ９を押圧・係止する管継手において、前記スリーブ２の外面に、大径部２ａと小径部２ｂとからなる段差部を形成し、前記小径部２ｂの長さを、スリーブ２をナット３に挿入した状態において、小径部２ｂの端面がナット３より外側に突出するような寸法とし、この端面内径を押し広げてナット３とスリーブ２を一体化する。【選択図】  図１
2005164018.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インサート部（８）を有する継手本体（１）と、スリーブ（２）と、継手本体（１）に螺合してスリーブ（２）を押圧するナット（３）とを備え、前記インサート部（８）には、挿入する樹脂チューブ（９）の内径とほぼ同じ外径を有する外面と、当該外面より大きな外径を持つ突起部（８ａ）が設けられ、前記スリーブ（２）には、挿入する前記チューブ（９）の外径よりやや大きい内径を持つ内面が設けられ、前記インサート部（８）に前記チューブ（９）を挿入し、継手本体（１）にナット（３）を螺合してスリーブ（２）を移動し、インサート部（８）とスリーブ（２）間でチューブ（９）を押圧・係止する管継手において、
前記スリーブ（２）の外面には、大径部（２ａ）と小径部（２ｂ）とからなる段差部が形成され、前記小径部（２ｂ）の長さは、スリーブ（２）をナット（３）に挿入した状態において、小径部（２ｂ）の端面がナット（３）より外側に突出するような寸法とされ、この端面内径は押し広げられてナット（３）とスリーブ（２）が一体化されていることを特徴とする樹脂チューブ用ステンレス継手。
【請求項２】
前記スリーブ（２）とナット（３）とを一体化した状態で、ナット（３）を継手本体（１）に螺合して、ナット（３）の側面を、継手本体（１）のスパナ掛け部（５）の側面に当接した状態において、前記インサート部（８）の突起部（８ａ）と、前記スリーブ（２）の大径部（２ａ）が対向するようにされていることを特徴とする請求項１記載の樹脂チューブ用ステンレス継手。
【請求項３】
前記ナット（３）は、その内面に継手本体（１）の雄ネジ部（７）に螺合する雌ネジ部と、スリーブ（２）の小径部（２ｂ）の外径よりやや大きい内径を有し、スリーブ（２）の段差部と係合してスリーブ（２）を移動可能とする押圧部（３ａ）が形成されていることを特徴とする請求項１または２記載の樹脂チューブ用ステンレス継手。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、半導体製造装置に使用される樹脂チューブ用ステンレス製継手に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  半導体製造装置では、クリーンエアー、純水、温調水、有機系薬液等の流体が使用されている。これらの流体を搬送する管には、フッ素樹脂チューブ、ポリウレタンチューブ、ナイロンチューブ等の樹脂チューブが使用され、これらの樹脂チューブを接続する継手には、油分、不純物対策を考慮して、ステンレス製継手が使用されている。現在、樹脂チューブ用継手としてダブルフェルールタイプのステンレス製継手が多用されている。
下記の非特許文献１には、インサート部を有する継手本体と、インサート部の外側に移動可能に設けられるスリーブと、継手本体に螺合してスリーブを移動するナットとを備え、前記インサート部の外側には膨出部が設けられおり、前記インサート部に管を挿入して、継手本体にナットを螺合してスリーブを前記膨出部の外側に移動して管を押圧・係止する管継手が記載されている。
【非特許文献１】  ニッタ・ムアー株式会社パンフレット「ケミフィットＣＳシリーズ」
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  背景技術の前者に述べたダブルフェルールタイプのステンレス製継手を極軟質の樹脂チューブに使用するには、次のような問題点がある。
（ａ）チューブの反力が期待できないので、フェルールのチューブの保持力が弱く、容易にチューブが回転し、チューブの引抜き抗力も低い。
（ｂ）上記（ａ）の問題を解決するために、チューブインサートを使用することも行なわれているが、この場合、フェルールのくい込みによりチューブが切断する可能性がある。
（ｃ）フェルールを締付けるナットの締付量は、ナットの指締め位置からの回転数となっているので、チューブの場合、締付量が不明確となる。
（ｄ）部品点数が４点（継手本体、ナット、フロントフェルール、バックフェルール）あり、管理、取扱いに手間が掛かる。
（ｅ）フェルールが２個あり、その取付け順序を間違えると、流体の漏れ、チューブの抜けの危険性がある。
背景技術の後者に述べた管継手は、ナットにスリーブを挿入する際、スリーブの入れる方向を間違えたり、管との接続方向によってはスリーブが落下したりする等の問題があった。
本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであって、樹脂チューブを簡単に、確実に接続でき、かつ安価な樹脂チューブ継手を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  本発明は、インサート部を有する継手本体と、スリーブと、継手本体に螺合してスリーブを押圧するナットとを備え、前記インサート部には、挿入する樹脂チューブの内径とほぼ同じ外径を有する外面と、当該外面より大きな外径を持つ突起部が設けられ、前記スリーブには、挿入する前記チューブの外径よりやや大きい内径を持つ内面が設けられ、前記インサート部に前記チューブを挿入し、継手本体にナットを螺合してスリーブを移動し、インサート部とスリーブ間でチューブを押圧・係止する管継手において、
前記スリーブの外面には、大径部と小径部とからなる段差部が形成され、前記小径部の長さは、スリーブをナットに挿入した状態において、小径部の端面がナットより外側に突出するような寸法とされ、この端面内径は押し広げられてナットとスリーブが一体化されていることを特徴とする。これにより、スリーブのナット内での自由な回転とナットからの抜け（分離）防止が図られる。
【発明の効果】
【０００５】（ａ）本発明によるステンレス製継手は、部品点数を２点（継手本体、アセンブリナット）に集約したので、管理、取扱いが容易となる。
（ｂ）本発明によるアセンブリナットは容易に製作できるので、コスト的に優れている。
（ｃ）本発明ではスリーブの端面内径を広げたことにより、チューブの挿入が容易になり、更にチューブの揺動によるチューブの損傷を防ぐことができる。
（ｄ）ナットの締付量を、継手本体に突き当たる位置で定めているので、締付量が明確となる。
（ｅ）スリーブとインサート部間でのチューブの圧着により、チューブの引抜きを防止しているのでチューブの保持力が強く、また、くい込み個所がないのでチューブの切断の危険がない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】  本発明を実施するための最良の形態を一実施例に基づき図面を参照して説明する。
本発明の一実施例に係るステンレス製継手は、図１に示すように、継手本体１と、スリーブ２と、ナット３とを備えている。
前記継手本体１は、機器などにねじ込まれる雄ネジ部４と、スパナ掛け部５と、樹脂チューブ９を接続するための管接続部６とから構成されている。スパナ掛け部５の側面は、後述するナット３の側面に対向する対向面とされている。なお、管接続部６と反対側の構成を雄ネジ部としているが、それに限定されるものではなく、ソケット部、管接続部などとすることができる。前記管接続部６は、図２に示すように、ナット３が螺合される雄ネジ部７と、雄ネジ部７の端面から軸方向に伸びているインサート部８とから構成されている。前記インサート部８は、円筒状で、樹脂チューブ９の内径とほぼ同じ外径を有する。その中央近傍には、断面台形状の突起部８ａが円周方向に形成されている。このインサート部８に樹脂チューブ９が雄ネジ部７の端面まで挿入可能とされる。
前記スリーブ２は、樹脂チューブ９の外径よりやや大きい内径を持つ内面を有し、その内面の図中左側には外に向かって広がる傾斜面が形成されている。スリーブ２の外面には、雄ネジ部側を大径部２ａ、反対側を小径部２ｂとした段差部が形成され、この大径部２ａの外径は、ナット３の雌ネジの内径より小さくされている。
前記ナット３は、その内面に継手本体１の雄ネジ部７に螺合する雌ネジ部と、スリーブ２の小径部２ｂの外径よりやや大きい内径を有し、スリーブ２の段差部と係合してスリーブ２を雄ネジ部７側に移動可能とする押圧部３ａが形成されている。
前記スリーブ２の小径部２ｂの長さは、スリーブ２をナット３に挿入した状態において、スリーブ２の小径部２ｂの端面がナット３の押圧部３ａより外部に突出するような寸法とされている。この端面内径をプレスにより押し広げることにより、スリーブ２のナット３内での自由な回転と、ナット３からの抜け（分離）を防止することができる。
このナット３とスリーブ２を一体化したアッセンブリナットを継手本体１の雄ネジ部７に螺合して、ナット３の側面を、継手本体１のスパナ掛け部５の側面に当接した状態において、前記インサート部８の断面台形状の突起部８ａと、スリーブ２の大径部２ａが樹脂チューブ９を介して対向するようにされている。
次に、上記樹脂チューブ用ステンレス製継手と樹脂チューブの接続方法について説明する。
（ａ）継手と樹脂チューブの選択
継手の形式、使用するチューブ９の内径および外径によって、それに合致する継手本体１と、ナット３とスリーブ２とからなるアセンブリナットを選択する。樹脂チューブ９は、その接続側端部を鋭利な刃物で直角に切断する。
（ｂ）樹脂チューブの挿入
チューブ９にアセンブリナットを挿入した状態で、チューブ９を継手本体１のインサート部８に挿入し、チューブ９の端面が継手本体１の雄ネジ部７の端面に接触するようにする。
（ｃ）アッセンブリナットを継手本体１側に移動して、ナット３を手で継手本体１の雄ネジ部７に締付けた後、スパナでアッセンブリナットの側面が継手本体１のスパナ掛け部５の側面と突き当たるまで締付ける。このとき、継手本体１のスパナ掛け部５にはバックアップスパナを掛けて固定する。これにより、ナット３の適正な締付量が得られる。樹脂チューブ９は、インサート部８の突起部８ａとスリーブ２との間で押圧され、継手本体１に密封、係止される。
（ｄ）継手本体とアセンブリナットの再使用
アセンブリナットを緩め、樹脂チューブ９を継手本体１のインサート部８から抜き取った後、樹脂チューブ９の端面の変形部を外した位置で再度直角に切断し、上記（ｂ）以降の組み込みを行なうことにより、再使用ができる。【０００７】  本発明による樹脂チューブ用ステンレス製継手を用いて下記の試験を行なった。
（ａ）使用チューブ
サイズ：φ４×φ２．５、φ６×φ４、φ８×φ６、φ１２×φ８、φ１８×φ１２
材質  ：ポリウレタン、テフロン、ナイロン
（ｂ）気密試験
Ｎ２ガスでチューブ使用圧力の２倍で漏れなし（目視）。
繰り返し曲げで継手部よりのＨｅ（１．５ＭＰａ）リークなし。
（ｃ）引張試験
チューブの伸びの発生まで、又は２００Ｎ以上で問題なし。
（ｄ）内圧破壊
チューブ破壊まで抜けなし。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明による樹脂チューブ用ステンレス製継手の一部断面図である。
【図２】図１のＡ部拡大図である。
【符号の説明】
【０００９】１  継手本体
２  スリーブ
２ａ  大径部
２ｂ  小径部
３  ナット
３ａ  押圧部
４、７  雄ネジ部
５  スパナ掛け部
６  管接続部
８  インサート部
８ａ  突起部
９  樹脂チューブ
【図１】
2005164018.tif 000003
【図２】
2005164018.tif 000004