(57)【要約】【課題】必要精度を確保しつつ、製造工程の削減及び加工時間を削減することができる直動案内ユニットのスライダーの製造方法を提供する。【解決手段】直動案内ユニット用スライダーの製造方法において、スライダー素材の最終引抜き加工後に、５００°Ｃ以上で歪取り焼鈍を行なう（ステップ（６））。また、硬化熱処理において、浸炭処理後に徐冷した後、再加熱して焼入処理を施すようにする（ステップ（１１））。このように、５００°Ｃ以上で歪取り焼鈍を行なうと共に、浸炭処理後に徐冷した後再加熱して焼入処理を施すようにすると、変形駆動力を効果的に分離することができるので、従来に比べて熱処理後の変形を大幅に抑えることができ、延いては必要精度を確保しつつ工程の削減及び加工時間を削減することができる。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
転動体を介して直動レールに移動自在に配設される直動案内ユニット用スライダーの製造方法であって、熱処理時に生じる変形駆動力を重畳して或いは連続して生じさせないように、変形駆動力の発生時期を分離したことを特徴とする直動案内ユニット用スライダーの製造方法。
【請求項２】
スライダー素材の最終引抜き加工後に、５００°Ｃ以上で歪取り焼鈍を行なうことを特徴とする請求項１に記載の直動案内ユニット用スライダーの製造方法。
【請求項３】
前記歪取り焼鈍が、８００°Ｃ以下で行なわれることを特徴とする請求項２に記載の直動案内ユニット用スライダーの製造方法。
【請求項４】
浸炭処理後に徐冷した後、再加熱して焼入処理を施すことを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１つに記載の直動案内ユニット用スライダーの製造方法。
【請求項５】
熱処理後に転動体戻し路の穴を加工しないことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか１に記載の直動案内ユニット用スライダーの製造方法。
【請求項６】
請求項１〜請求項５の何れか１つに記載の直動案内ユニット用スライダーの製造方法により製造されたことを特徴とする直動案内ユニット用スライダー。
【請求項７】
請求項６に記載の直動案内ユニット用スライダーを含んで構成されたことを特徴とする直動案内ユニット。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マシニングセンタ、旋盤、研削盤、ロボット、精密Ｘ−Ｙテーブル、計測装置、半導体や液晶等の製造設備、搬送設備等の直線運動を行なう装置に用いられる直動案内ユニット用スライダーの製造方法に関する。更に、該製造方法により製造された直動案内ユニット用スライダー及び該スライダーを含む直動案内ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
図８、図９に示す製品例のような直動案内ユニット１に用いられる移動スライダー（以下、単にスライダーとも言う）２は、例えば図７に示す工程を経て製造される。
【０００３】
まず、素材としての鋼材を用いて、図７のステップ（５）の「引抜き加工」工程によりスライダー形状を作る。即ち、素材を引抜き加工することで、図８に示す断面略コ字形状に凹形成されるレール収容部７及び転動体としてのボール４が転動する転動溝５を形成する。
【０００４】
その後、ステップ（６）で「歪取り焼鈍」工程を行い、更にステップ（９）で必要な長さに「切断」して、スライダー２を得る。
【０００５】
切断された該スライダー２に、転がり疲労に十分な硬度を得るため、ステップ（１０）の「熱処理」工程により、浸炭処理や高周波焼入等の硬化処理を施す。
【０００６】
続く、ステップ（１１）の「研削」工程で、ボール４が転動する転動溝５を含め必要な部位を研削加工して、スライダー部品としての仕上げを行なう。
【０００７】
最後に、ステップ（１３）の「組立」工程で、ボール４を組み込み、直動レール３とアッセンブルする。なお、図９における符号３Ａは、スライダー２側の転動溝５に対向して設けられる、直動レール３側に形成されるボール４の転動溝である。
【０００８】
また、本発明に関連する先行技術文献情報としては、以下のようなものがある。
【特許文献１】特許第３２２１７１３号
【特許文献２】特開平１０−４７３４３号
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図８に示したように、スライダー２は、断面略コ字形状になっているため、硬化熱処理時に、図５（Ｂ）、（Ｃ）に示すような変形が発生するおそれがある。
【００１０】
そのため、後の製造工程で加工コストが上昇する場合があり、特に、転動溝５のボール転動面の研削取代が大きくなる場合や、図８に示す転動体戻し路６の穴を追加工する場合などに顕著になる。
【００１１】
本発明は、上記従来の実情に鑑みなされたもので、必要精度を確保しつつ、製造工程の削減及び加工時間を削減することができる直動案内ユニットのスライダーの製造方法、及び低コストで高精度な直動案内ユニット用スライダー及び直動案内ユニットを提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、転動体を介して直動レールに移動自在に配設される直動案内ユニット用スライダーの製造方法において、熱処理時に生じる変形駆動力を重畳して或いは連続して生じさせないように、変形駆動力の発生時期を分離するようにした。
【００１３】
即ち、鋼は降伏強度を超えた力が加わると、塑性変形が発生し変形が起こるが、この塑性変形を起こす変形駆動力は、
（ｉ）焼入冷却時に、鋼がマルテンサイト変態する。冷却むらによる変態タイミングのばらつきが、変態膨張による体積バランスを崩すことにより変形が発生する。
（ｉｉ）焼入冷却時に高温から急冷されることで、熱収縮が発生するが、表面から早く冷却されることやワーク形状による、冷却むらが体積バランスを崩すことにより変形が発生する。
（ｉｉｉ）熱処理前に加えられた加工による残留歪がワークに内在し、焼入加熱時にこの残留歪が開放することで変形が発生する。
【００１４】
という原因に基づくものであるが、鋼の塑性変形は複雑で、例えば変態中には降伏強度が著しく低下する超塑性現象が現れ、塑性変形し易くなる。従って、変形駆動力と変態等が重なって又は連続して起こると、塑性変形し易くなり、変形が大きくなると考えられる。
【００１５】
つまり、変形駆動力である上記（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）が、熱処理時に重なって又は連続して生じないように、変形の駆動力が発生する時期を分離するようにすれば、有効な変形対策になる。
【００１６】
このため、本発明では、熱処理時に生じる変形駆動力を重畳して或いは連続して生じさせないように分離し、以って熱処理後の変形を抑制することができ、延いては必要精度を確保しつつ工程の削減及び加工時間を削減することができることになる。
【００１７】
請求項２に記載の発明に係る直動案内ユニット用スライダーの製造方法では、スライダー素材の最終引抜き加工後に、５００°Ｃ以上で歪取り焼鈍を行なうようにする。
【００１８】
このように、５００°Ｃ以上の歪取り焼鈍処理を施すことで、効果的に引抜き加工で発生した残留歪を除去できるため、当該残留歪に起因する変形駆動力が熱処理時に他の変形駆動力と重なって又は連続して発生しないように分離することができ、以って熱処理後の変形を効果的に抑えることができ、延いては必要精度を確保しつつ工程の削減及び加工時間を一層削減することができることになる。
【００１９】
なお、請求項３に記載の発明のように、前記歪取り焼鈍を、８００°Ｃ以下で行なうようにすれば、素材表面の脱炭のおそれなどを抑制しながら効果的に熱処理後の変形を抑制できることとなる。
【００２０】
請求項４に記載の発明に係る直動案内ユニット用スライダーの製造方法では、浸炭処理後に徐冷した後、再加熱して焼入処理を施すようにする。
【００２１】
このように、浸炭処理後に徐冷した後、再加熱して焼入処理を施すようにすれば、変形の駆動力の発生時期を効果的に分離することができ、以って浸炭処理と焼入処理を連続して行なった場合に比べ熱処理後の変形を抑えることができ、延いては必要精度を確保しつつ工程の削減及び加工時間を一層削減することができることになる。
【００２２】
請求項５に記載の発明に係る直動案内ユニット用スライダーの製造方法では、熱処理後に転動体戻し路の穴を加工しないことを特徴とする。
【００２３】
本発明に係る製造方法によれば、熱処理後の変形を最小に抑えることができるので、熱処理後に転動体戻し路の穴の加工工程を省略することが可能となり、以って必要精度を確保しつつ工程の削減及び加工時間をより一層削減することができることになる。
【００２４】
請求項６に記載の発明に係る直動案内ユニット用スライダーは、請求項１〜請求項５の何れか１つに記載の直動案内ユニット用スライダーの製造方法により製造されたことを特徴とする。
【００２５】
請求項７に記載の発明に係る直動案内ユニットは、請求項６に記載の直動案内ユニット用スライダーを含んで構成されたことを特徴とする。
【００２６】
請求項６、７に記載の発明によれば、必要精度を確保しつつ低コスト化された直動案内ユニット用スライダー及び直動案内ユニットを提供できる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しつつ、本発明の一実施の形態について詳細に説明する。
【００２８】
なお、本実施形態に係る直動案内ユニット１の基本的な構成は、図８及び図９で例示したものと同様であり、同一要素には同一符号を付してその説明は省略することとし、本実施形態に係る直動案内ユニット１のスライダー２の製造方法について、以下に詳細に説明することとする。
【００２９】
本実施形態に係るスライダー２及び該スライダー２を用いた直動案内ユニット１は、例えば図６に示す工程を経て製造される。
【００３０】
ここで、図６に示す製造方法の基本的な流れについて説明する。
まず、圧延された丸棒素材（図６のステップ（１））に対して引抜き加工（図６のステップ（５））を行なうため、鋼材先端に引抜き用の取手を作る口付け加工（図６のステップ（２）を施し、軟化焼鈍（図６のステップ（３））により鋼材の硬さを調整し、引抜き加工用の潤滑材として機能するように鋼材表面に化成処理等の表面処理（図６のステップ（４））を施す。
【００３１】
かかる処理を施された鋼材を、引抜き加工（図６のステップ（５））によりスライダー形状に近づけていくが、丸棒から１回で断面略コ字形状に作り込むことは困難であるため、図６に示すように、焼鈍（図６のステップ（３））と表面処理（図６のステップ（４））を繰返して、必要回数の引抜き加工（図６のステップ（５））を行なうことで、所定のスライダー形状に作り込む。
【００３２】
その後、引抜き加工で発生した残留歪を、歪取り焼鈍（図６のステップ（６）を行なうことで開放する。
【００３３】
なお、本実施形態においては、図６のステップ（６）の歪取り焼鈍処理は、後述するような条件で実行される。
【００３４】
次に、ショットブラスト等で表面仕上げ処理（図６のステップ（７））を行なう。長尺の引抜き品は、焼鈍（図６のステップ（６））や表面処理（図６のステップ（７））により曲がりが発生するので、曲り変形矯正（図６のステップ（８））を施す。
【００３５】
長尺の引抜き品を、必要な長さに切断（図６のステップ（９））してスライダー２を作り、戻り穴加工（図６のステップ（１０））により転動体戻り路６を作る。
【００３６】
次に、転がり疲労に十分な硬度を得るため、スライダー２に浸炭処理や高周波焼入等の硬化熱処理（図６のステップ（１１））を施す。
【００３７】
なお、本実施形態においては、図６のステップ（１１）の硬化熱処理は、後述するような条件で実行される。
【００３８】
その後、ボール４が転動する転動溝５を含め必要な部位を研削加工（図６のステップ（１２））して、スライダー部品として仕上げる。
【００３９】
ここで、図８に示した転動体戻し路６には、硬化熱処理（図６のステップ（１））時に、その条件やスライダー２の形状にも左右されるが、図５（Ｂ）、（Ｃ）に示したような変形が発生する。この熱処理変形にはバラツキの幅があり、場合によっては、その寸法が規定外になってしまうおそれがある。そのため、直動ユニット１の作動性や振動、騒音及び転がり寿命を所定に維持するべく、転動体であるボール４の通過を安定させる必要があり、転動体戻し路６の穴を追加工（図６のステップ（１３））して、寸法精度を調整する。
【００４０】
そして、最後に、転動体４を組み込み、直動レール３とアッセンブル（図６のステップ（１４））して製造工程を終了する。
【００４１】
ここで、本実施形態では、スライダー２の必要精度を確保しつつ工程の削減及び加工時間を削減することを可能にするため、図６のステップ（６）において、以下のような歪取り焼鈍を行なう。
【００４２】
一般的な歪取り焼鈍パターンを図４に示すが、従来は、素材の炭素量や処理温度（焼鈍温度）によっては、炭化物が球状化する場合があり、また焼鈍時の雰囲気が大気等の酸化雰囲気の場合、素材が脱炭してしまう場合があることから、一般に歪取り焼鈍は、極力低い温度で、短時間で処理を行なうことが望ましいとされて来た。
【００４３】
しかしながら、本発明らは、種々の実験を行い、その結果として、本実施形態における歪取り焼鈍では、素材の温度を上げ、焼鈍温度を高温（例えば５００〜８００°Ｃ程度）で保持することで、素材の歪を開放し、素材の硬さも下げることが、効果的であるという知見を得た。
【００４４】
ここで、図６のステップ（６）の歪取り焼鈍工程で焼鈍温度を変えた場合の変形率Ｗへの影響を調査した実験結果を示す。
［実験方法及び結果］
ＮＳＫリニアガイドのスライダー（リニアガイド名番：ＬＨ２５ＡＮ、スライダーの転動体戻り路サイズ  Ｌｌ＝３９ｍｍ）を仕上げ引抜き加工後に行なう歪取り焼鈍（図６のステップ（６））を、以下の表１に示す条件で行なった。その後、通常工程で製造し、転動体戻り路６を加工後、穴寸法を測定する。更に工程を進めて、図６のステップ（１１）の硬化熱処理後に再び寸法を測定し、変形量から変形率Ｗを算出した。その結果を表１、図１に示す。
【表１】
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【００４５】
表１及び図１から、５００°Ｃ以上の歪取焼純を施すことで、熱処理後の変形が低く抑えられることが解る。さらに、望ましくは、６００°Ｃ以上で歪取り焼鈍を行なった方が、より変形率Ｗが落ち着いてくることが分かる。従って、望ましくは６００°Ｃ以上の歪取り焼鈍が好ましい。また、７００°Ｃ以上になると、図６のステップ（５）で行われる引抜加工の歪が完全に取除けるので、より好ましくは７００°Ｃ以上の歪取焼純を施すことである。しかし、この温度域では、前述した通り、素材表面が脱炭するおそれがあり、また、鋼の変態点である７２３°Ｃを超える場合は、その冷却過程を調整する必要があり、細かい注意が必要になってくる。
【００４６】
従って、歪取り焼鈍温度は８００°Ｃ以下で行なうことが望ましいことになる。
【００４７】
本実施形態では、変形量を表す指標として、変形率Ｗを用いているが、変形率Ｗは以下の定義による。
Ｗ＝｜Ｌ１−Ｌ２｜／Ｌ１  ×  １００  （％）
Ｌｌ：熱処理前のボール戻り穴間隔
Ｌ２：熱処理後のボール戻り穴間隔
【００４８】
なお、図５（Ｂ）、（Ｃ）で示したように、スライダー２には、熱処理変形により、転動溝５を備えた脚部８が開たり閉じたりてしまう現象が現れるが、スライダー２の変形により、転動溝５の転動面の研削取代のバラツキが大きくなったり、転動体戻し路６の追加工が必要になる。このため、本実施形態では、スライダーの変形量を示す変形率Ｗを、転動体戻し路６の位置ズレで表すこととしたものである。
【００４９】
即ち、本実施形態における変形率Ｗは、図５（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示すように、熱処理前の転動体戻し路間距離Ｌｌに対して、変形によって変化した転動体戻し路間距離Ｌ２との差を、元の距離Ｌｌで割った値を％で示したものである。
【００５０】
変形率Ｗに関する寸法測定は、スライダー本体を直接、非接触型の３次元測定機（株式会社  ミツトヨ（ＭＩＴＵＴＯＹＯ  ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ）製クイックビジョンＱＶ２０２）を用い、転動体戻り穴位置と距離を測定した。該測定機の測定精度は、０．１μｍレベルより高いが、本実施形態では０．１μｍ単位の測定を行なった。
【００５１】
本実施形態では、以上で説明した知見をもとに、加工時の残留歪に起因する変形を、硬化熱処理を行なう前に、効果的な歪取り焼鈍を行なうことで除去することができるようにしたので、硬化熱処理後の変形を効果的に抑制することができ、以って必要精度を確保しつつ工程の削減及び加工時間を削減することができる。
【００５２】
更に、本発明者らは、スライダー２に要求される必要精度を確保しつつ後工程の削減及び加工時間を削減できるようにするため、図６のステップ（１１）の硬化熱処理時に生じるスライダー２の変形を抑制することに着目し、かかる硬化熱処理時の変形に関して調査した。
【００５３】
その結果、本発明者らは、以下の知見を得た。
（１）熱処理温度が高いほど変形が大きい。
（２）熱処理時間が長いほど変形が大きい。
（３）焼入冷媒の温度が低いほど変形が大きい。
また、変形量にはバラツキがある。
【００５４】
以下の表２、及び図２は、硬化熱処理時の熱処理条件を変えた場合のスライダー変形率Ｗの違いを示すものである。
【表２】
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【００５５】
熱処理条件１は、熱処理温度（浸炭温度、焼入温度）が低めで処理時間が短く、焼入冷媒の温度を高めとすることで、マイルドな熱処理にマイルドな焼入を組み合わせたもので、変形量が小さく、バラツキ幅も小さくなっている。
【００５６】
熱処理条件２は、熱処理温度（浸炭温度、焼入温度）、処理時間を適正とし、焼入冷媒の温度を必要硬さに合わせて適切な温度とすることで、一般的なスライダーの熱処理変形量を実現できる条件である。
【００５７】
熱処理条件３は、熱処理温度（浸炭温度、焼入温度）、処理時間を必要以上に高くし、焼入冷媒の温度を低めとすることで、ハードな熱処理にハードな焼入を組み合わせたもので、変形率Ｗが大きく、バラツキ幅も大きくなっている。
【００５８】
熱処理条件１のマイルドな熱処理条件では、大型のスライダーでは、浸炭時間の不足や、焼入性不足となってしまう可能性があるため、本実施形態では、熱処理条件２をベースに変形率Ｗの改善を行なうこととする。
【００５９】
ところで、熱処理変形の原因には、一般に、以下の３つの原因があると言われている。
（ｉ）焼入冷却時に、鋼がマルテンサイト変態する。冷却むらによる変態タイミングのばらつきが、変態膨張による体積バランスを崩すことにより変形が発生する。
（ｉｉ）焼入冷却時に高温から急冷されることで、熱収縮が発生するが、表面から早く冷却されることやワーク形状による、冷却むらが体積バランスを崩すことにより変形が発生する。
（ｉｉｉ）熱処理前に加えられた加工による残留歪がワークに内在し、焼入加熱時にこの残留歪が開放することで変形が発生する。つまり、焼入冷却前にすでに変形が発生してしまう現象である。
【００６０】
ここで、上記（ｉ）、（ｉｉ）の変形は、焼入冷却時に同時に発生するものであるため、これらを分離して評価することは困難であるが、上記（ｉｉｉ）の加工時の残留歪の変形に対する影響は、焼入加熱した後、急冷せずに徐冷することで、ある程度把握することができる。
【００６１】
図３に、熱処理前の変形率Ｗと、浸炭処理後に徐冷した状態（「加熱、徐冷」）での変形率Ｗ、及び浸炭処理後に徐冷した後再加熱して焼入を行なった状態（「再加熱、焼入」）での変形率Ｗを示す。
【００６２】
図３より、熱処理前の変形率Ｗと、浸炭処理後に徐冷した状態（「加熱、徐冷」）での変形率Ｗと、の間に大きな差がないことから、加工時に発生した残留歪による変形の影響は小さい。
【００６３】
この一方で、浸炭処理後に徐冷した状態（「加熱、徐冷」）での変形率Ｗと、浸炭処理後に徐冷した後再加熱して焼入を行なった状態（「再加熱、焼入」）での変形率Ｗと、の差が大きいことから、焼入による変形が支配的であることが解る。
【００６４】
ここで、本発明者らは、浸炭処理後に徐冷した後再加熱して焼入を行なった場合（「再加熱、焼入」）の変形率Ｗと、熱処理条件（浸炭温度、浸炭時間、焼入温度、焼入冷媒温度）は同じであるが浸炭処理後に徐冷し再加熱して焼入するのではなく従来の熱処理と同様に浸炭処理と焼入処理とを連続して行なった場合の変形率Ｗと、の比較により、「浸炭処理後に徐冷した後、再加熱して焼入」を行なった場合の方が、従来のように連続して熱処理を施した場合に比べ、変形率Ｗ及びバラツキ量共に小さくなるという新たな知見を得た。
【００６５】
これは、熱処理条件（浸炭温度、浸炭時間、焼入温度、焼入冷媒温度）は同じであるが、上記（ｉ）、（ｉｉ）の焼入冷却時の変形が顕在化する（変形駆動力が発生する）時期と、「浸炭処理後に徐冷した後、再加熱して焼入」を行なうことで上記（ｉｉｉ）の加工時の残留歪に起因する変形が顕在化する（変形駆動力が発生する）時期と、を、分離したことにより、全体としての変形が小さくなったものと考えられる。
【００６６】
より詳細に説明すると、鋼は降伏強度を超えた力が加わると、塑性変形が発生し変形が起こる。塑性変形を起こす駆動力は、上記（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）であるが、鋼の塑性変形は複雑で、例えば変態中には降伏強度が著しく低下する超塑性現象が現れ、塑性変形し易くなる。従って、変形駆動力と変態等が重なって又は連続して起こると、塑性変形し易くなり、変形が大きくなると考えられる。
【００６７】
つまり、変形の駆動力である上記（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）が、重なって又は連続して起こらないように、変形の駆動力が発生する時期を分離することが有効な変形対策になると考えられる。
【００６８】
ここにおいて、表３及び図３に、熱処理前の変形率Ｗと、浸炭処理後に徐冷した状態での変形率Ｗ、及び更に再加熱して焼入を行なった状態での変形率Ｗを示しておく。
【表３】
2005054830.tif 000005
【００６９】
表３及び図３から、加工で発生した残留歪による変形の影響は小さく、焼入による変形が支配的であるように見えるが、「浸炭処理後に徐冷し、再加熱して焼入」を行なうことで、変形の駆動力の発生時期を分離することができ、以って浸炭処理と焼入処理とを連続して行なった表２の熱処理条件２よりも変形率Ｗが下がっていることが解る。
【００７０】
このように、本実施形態では、変形に寄与する変形駆動力を分離解析し、その一つである前加工で発生した加工歪を適量開放すべく、上記（ｉ）、（ｉｉ）、（ｉｉｉ）の変形駆動力が重なって又は連続して発生しないように、変形の駆動力が発生する時期を分離するようにしたので、熱処理後の変形を最小限に抑えることができ、延いては必要精度を確保しつつ工程の削減及び加工時間を一層削減することができる。
【００７１】
なお、上述した図６のステップ（６）の歪取り焼鈍処理によって、引抜き加工で発生した残留歪を除去しておくことは、当該残留歪に起因する変形駆動力が硬化熱処理時に他の変形駆動力と重なって又は連続して発生しないように変形駆動力の発生時期を分離するという概念に含まれるものである。
【００７２】
ところで、スライダー２の変形で問題となるのが、既述した通り、転動溝５の転動面の研削取代のバラツキが大きくなったり、転動体戻し路６の追加工が必要になることである。
【００７３】
転動体戻し路６は、図９に示すエンドキャップ２Ａと嵌合して転動体４の通り道（戻し路）を形成するが、スライダー２の変形が大きいと、エンドキャップ２Ａとの接合部に段差が生じるおそれがある。この段差は、作動性の低下、騒音、振動等を悪化させるおそれがある。更に、ボール間にリテーニングピースを適用するタイプの直動案内ユニットでは、リテーニングピースが段差に接触し破損してしまうおそれもある。
【００７４】
しかしながら、本実施形態に係る製造方法を適用すれば、転動体戻し路６の追加工（図６のステップ（１３））を廃止することも可能となり、低コストで高精度な直動案内ユニットのスライダーを提供することが可能となる。
【００７５】
なお、本実施形態では、直動ユニット（リニアガイド）のスライダーに関して説明したが、直動ユニット（リニアガイド）のスライダーに限らず、前加工で歪が発生する転がり転動関連部品の製造においても、本発明を適用可能であることは言うまでもない。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、変形駆動力のうち、特に、加工時の残留歪に起因する変形の駆動力を、熱処理を行なう前に、効果的な歪取り焼鈍を行なうことで除去できるようにしたので、熱処理後の変形を抑えることができ、以って必要精度を確保しつつ工程の削減及び加工時間を削減することができる。
【００７７】
更に、本発明では、変形に寄与する変形駆動力を分離解析し、その一つである前加工で発生した加工歪を適量開放すべく、熱処理時に生じる変形駆動力が重なって又は連続して発生しないように、変形の駆動力の発生する時期を分離するようにしたので、熱処理後の変形を最小限に抑えることができ、延いては必要精度を確保しつつ工程の削減及び加工時間を一層削減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】歪取り焼鈍温度と変形率との関係を示す図である。
【図２】熱処理条件１、２、３と変形率との関係を示す図である。
【図３】加工工程（「熱処理前」、「加熱、徐冷」、「再加熱、焼入」）と変形率との関係を示す図である。
【図４】一般的な歪取り焼鈍パターン（横軸：時間、縦軸：温度）を示す図である。
【図５】（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、スライダーの変形態様及びＬ１（熱処理前のボール戻り穴間隔）、Ｌ２（熱処理後のボール戻り穴間隔）を説明する図である。
【図６】本実施形態におけるスライダーの製造工程を説明するフローチャートである。
【図７】スライダーの製造工程の一例を説明するフローチャートである。
【図８】直動案内ユニットの一例を示す部分断面図である。
【図９】直動案内ユニットの一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１  直動案内ユニット
２  スライダー
３  直動レール
４  転動体（ボール）
５  スライダー側の転動溝
６  転動体戻り路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2005054830.tif 000013
【図９】
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