(57)【要約】【課題】  インクジェットプリントヘッドの駆動方法を提供する。【解決手段】  インク吐出のためのメインパルスをヒータに印加する段階と、メインパルスによってインクを吐出させた後、ポストパルスをヒータに印加する段階とを含むことを特徴とするインクジェットプリントヘッドの駆動方法。よって、インク吐出のためのメインパルスをヒータに印加した後でインク表面のメニスカスが定常状態に達する前にインク吐出はされずに、バブルだけ形成するエネルギーを有するポストパルスをヒータに印加することによってインク表面のメニスカスを早期に安定化させられる。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクチャンバにあるインクをヒータで加熱してバブルを発生膨脹させ、前記バブルの膨張力によって前記インクチャンバからインクを吐出させるインクジェットプリントヘッドを駆動する方法において、
インク吐出のためのメインパルスを前記ヒータに印加する段階と、
前記メインパルスによってインクを吐出させた後、ポストパルスを前記ヒータに印加する段階と、
を含むことを特徴とするインクジェットプリントヘッドの駆動方法。
【請求項２】
前記ポストパルスは、バブルは発生させるが、インクは吐出させないことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリントヘッドの駆動方法。
【請求項３】
前記ポストパルスは、インクが吐出された後、前記インクチャンバにあるインクのメニスカスが定常状態に達する前に印加されることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリントヘッドの駆動方法。
【請求項４】
前記ポストパルスは、インクが吐出された後、新しいインクが前記インクチャンバに充填される過程で印加されることを特徴とする請求項３に記載のインクジェットプリントヘッドの駆動方法。
【請求項５】
前記ポストパルスが印加される時間は前記メインパルスが印加される時間の４０〜６０％であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットプリントヘッドの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットプリントヘッドの駆動方法に係り、特にインク吐出のためのメインパルスをヒータに印加した後、インク表面のメニスカスが定常状態に達する前にインク吐出はさせずに、バブルだけ形成するエネルギーを有するポストパルスをヒータに印加することにより、吐出されるインク液滴の直進性を向上させられるインクジェットプリントヘッドの駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、インクジェットプリントヘッドは、印刷用インクの微小な液滴を記録用紙上の所望の位置に吐出させ、所定色相の画像に印刷する装置である。このようなインクジェットプリントヘッドは、インク液滴の吐出メカニズムによって大きく２種方式に分類されうる。その１つは熱源を利用してインクにバブルを発生させてそのバブルの膨張力によりインク液滴を吐出させるバブルジェット（登録商標）方式のインクジェットプリントヘッドであり、他の１つは圧電体を使用してその圧電体の変形によりインクに加えられる圧力によりインク液滴を吐出させる圧電方式のインクジェットプリントヘッドである。
【０００３】
前記バブルジェット（登録商標）方式のインクジェットプリントヘッドで、インク液滴の吐出メカニズムをさらに詳細に説明すれば次の通りである。抵抗発熱体からなるヒータにパルス状の電流が流れれば、ヒータから熱が発生しつつヒータに隣接したインクはほぼ３００℃に瞬間加熱される。これにより、インクが沸騰しつつバブルが生成され、生成されたバブルは膨脹してインクチャンバ内に満たされたインクに圧力を加える。これにより、ノズル付近にあったインクがノズルを介して液滴状でインクチャンバ外に吐出される。
【０００４】
一方、このようなバブルジェット（登録商標）方式はバブルの成長方向とインク液滴の吐出方向とにより、さらにトップシューティング方式、サイドシューティング方式及びバックシューティング方式に分類される。トップシューティング方式はバブルの成長方向とインク液滴の吐出方向とが同じ方式であり、サイドシューティング方式はバブルの成長方向とインク液滴の吐出方向とが直角をなす方式であり、バックシューティング方式はバブルの成長方向とインク液滴の吐出方向とが互いに反対であるインク吐出方式をいう。
【０００５】
このようなバブルジェット（登録商標）方式のインクジェットプリントヘッドは一般的に次のような要件を満足せねばならない。第一に、できる限りその製造が簡単であって製造コストがかからずに、大量生産が可能でなければならない。第二に、高画質の画像を得るためには隣接したノズル間の干渉は抑制しつつも、隣接したノズル間の間隔は可能なかぎり狭くなければならない。すなわち、ＤＰＩ（Ｄｏｔｓ Ｐｅｒ Ｉｎｃｈ）を高めるためには多数のノズルを高密度に配置できねばならない。第三に、高速印刷のためにはインクチャンバからインクが吐出された後、インクチャンバにインクがリフィールされる周期が可能なかぎり短くなければならない。すなわち、加熱されたインクとヒータの冷却が早くなされて駆動周波数を高められねばならない。
【０００６】
図１は従来のトップシューティング方式のインクジェットプリントヘッドの構成を示した部分切開斜視図であり、図２は図１に図示されたインクジェットプリントヘッドの垂直構造を示した断面図である。
【０００７】
まず、図１を参照すれば、インクジェットプリントヘッドは基板上に多数の物質層が積層されてなるベースプレート１０と、ベースプレート１０上に積層されてインクチャンバ２２を限定する隔壁２０と、隔壁２０上に積層されるノズルプレート３０からなっている。インクチャンバ２２内にはインクが満たされ、インクチャンバ２２の下方にはインクを加熱してバブルを生成させるためのヒータ（図２の１３）が設けられている。インク流路２４はインクチャンバ２２の内部にインクを供給するための通路であってインク貯蔵庫（図示せず）と連結されている。ノズルプレート３０にはそれぞれのインクチャンバ２２に対応する位置にインクの吐出がなされる多数のノズル３２が形成されている。
【０００８】
前記のようなインクジェットプリントヘッドの垂直構造を図２を参照して説明すれば、シリコンからなる基板１１上には、ヒータ１３と基板１１との間の断熱及び絶縁のための絶縁層１２が形成されている。絶縁層１２上にはインクチャンバ２２内のインクを加熱してバブルを発生させるためのヒータ１３が形成されている。このヒータ１３はタンタル窒化物（ＴａＮ）またはタンタル−アルミニウム合金（ＴａＡｌ）などを絶縁層１２上に薄膜状に蒸着することにより形成される。ヒータ１３上にはここに電流を印加するための導線１４が設けられている。この導線１４はアルミニウムまたはアルミニウム合金のような導電性の良好な金属物質からなる。
【０００９】
ヒータ１３及び導線１４上にはそれらを保護するための保護層１５が形成されている。保護層１５はヒータ１３と導線１４とが酸化したりインクと直接接触したりすることを防止するためのものであり、主にシリコン窒化膜を蒸着することによりなされる。そして、保護層１５上にはインクチャンバ２２が形成される部位にキャビテーション防止層１６が形成されている。
【００１０】
一方、基板１１上に複数の物質層が積層されて形成されたベースプレート１０上にはインクチャンバ２２を形成するための隔壁２０が積層されている。そして、この隔壁２０上にはノズル３２が形成されているノズルプレート３０が積層されている。
【００１１】
前記のような構造で、インクジェットプリントヘッドを駆動する駆動シグナル及びこれによるメニスカスの位置を図示したグラフが図３に図示されている。
【００１２】
図３を参照すれば、駆動パルスがヒータ１３に印加されれば、ヒータ１３上部のインクにはバブルが発生して膨脹し、このようなバブルの膨張力によってインクが液滴状でノズルプレート３０に形成されたノズル３２を介して吐出される。そして、インク液滴が吐出された後には、インクのメニスカスは経時的にノズル３２の上下に揺動しつつだんだんと安定化する。一方、前記のような従来のインクジェットプリントヘッドの駆動では、高速吐出時にインクのメニスカスが定常状態に達する前にインクの吐出のための駆動パルスが再び印加される。しかし、バブルジェット（登録商標）方式のインクジェットプリントヘッドでは、インクの吐出後にメニスカスが搖動する非定常状態にある時、再びインクを吐出させるようになれば正常な吐出がなされない。
【００１３】
図４及び図５は、それぞれインクのメニスカスが定常状態である場合と非定常状態である場合とにおけるインクジェットプリントヘッドから吐出されるインク液滴の写真である。図４及び図５に図示されたように、メニスカスが非定常状態である場合に吐出されるインク液滴は、メニスカスが定常状態である場合に比べて吐出されるインク液滴の直進性が落ちる。
【００１４】
従って、前記のような従来のインクジェットプリントヘッドの駆動方法によれば、吐出されるインク液滴の直進性が落ちるようになり、特に高周波吐出時には非定常的な吐出現象が目立つようになる。
【００１５】
一方、駆動波形を変えて吐出を向上させる方法として、特許文献１及び特許文献２に開示されたインクジェットプリントヘッドでは、駆動パルスを変形することによってプリントヘッドの性能向上を図っている。しかし前記のような場合には、駆動波形を調節してインクが加熱される様態を変えたりプレパルスを利用してインクが吐出される前に温度を引き上げたりすることによって熱力学的にプリントヘッドの性能を向上させようとするところにその目的があり、駆動波形を変化させることによって流体力学的にプリントヘッドの性能を向上させる方法は現在ない実情である。
【特許文献１】米国特許第４，３１３，１２４号明細書
【特許文献２】米国特許第４，７２３，１２９号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
本発明は前記のような問題点を解決するために考案されたものであり、インク吐出のためのメインパルスをヒータに印加した後でインク表面のメニスカスが定常状態に達する前に、インク吐出はされずに、バブルだけ形成するエネルギーを有するポストパルスをヒータに印加することによってインク表面のメニスカスを早期に安定化させ、これにより後続するインク吐出の直進性を向上させられるインクジェットプリントヘッドの駆動方法を提供するところにその目的がある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
前記の目的を達成するために本発明によれば、インクチャンバにあるインクをヒータで加熱してバブルを発生膨脹させ、前記バブルの膨張力によって前記インクチャンバからインクを吐出させるインクジェットプリントヘッドを駆動する方法において、インク吐出のためのメインパルスを前記ヒータに印加する段階と、前記メインパルスによってインクを吐出させた後、ポストパルスを前記ヒータに印加する段階と、を含むことを特徴とするインクジェットプリントヘッドの駆動方法が開示される。
【００１８】
ここで、前記ポストパルスは、バブルは発生させるが、インクは吐出させないことが望ましい。
【００１９】
前記ポストパルスは、インクが吐出された後、前記インクチャンバにあるインクのメニスカスが定常状態に達する前に印加されうる。ここで、前記ポストパルスはインクが吐出された後、新しいインクが前記インクチャンバに充填される過程で印加されることが望ましい。
【００２０】
前記ポストパルスが印加される時間は前記メインパルスが印加される時間の４０〜６０％であることが望ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によるインクジェットプリントヘッドの駆動方法によれば次のような効果がある。
【００２２】
第一に、インク吐出のためのメインパルスをヒータに印加した後でインク表面のメニスカスが定常状態に達する前に、インク吐出はされずに、バブルだけ形成するエネルギーを有するポストパルスをヒータに印加することによってインク表面のメニスカスを早期に安定化させることができる。
【００２３】
第二に、インク表面のメニスカスが安定した状態でインクの吐出がなされうるので、吐出されるインク液滴の直進性を向上させることができる。
【００２４】
第三に、高周波吐出時にインクの非正常吐出を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、添付された図面を参照して本発明による望ましい実施例を詳細に説明する。
【００２６】
まず、図６は本発明による駆動方法により駆動されるインクジェットプリントヘッドの一例を図示した断面図である。図６を参照すれば、インクジェットプリントヘッドは基板１１０と、前記基板１１０の上部に積層されるノズルプレート１２０と、を備える。
【００２７】
前記基板１２０の表面側にはインクチャンバ１０６が形成され、背面側には前記インクチャンバ１０６にインクを供給するマニフォールド１０２が形成される。そして、前記インクチャンバ１０６とマニフォールド１０２との間にはマニフォールド１０２からインクチャンバ１０６にインクを供給するインクチャンネル１０４がインクチャンバ１０６とマニフォールド１０２との間の基板１１０を垂直に貫通して形成される。一方、前記マニフォールド１０２はインクを入れているインク貯蔵庫（図示せず）と連結される。
【００２８】
前記のインクチャンバ１０６、マニフォールド１０２及びインクチャンネル１０４が形成された基板１１０の上部にはノズルプレート１２０が積層される。前記ノズルプレート１２０はインクチャンバ１０６の上部壁をなし、前記インクチャンバ１０６の中心部に対応する位置にはインクチャンバ１０６からインクの吐出がなされるノズル１０８が垂直に貫通されて形成される。
【００２９】
前記ノズルプレート１２０は基板１１０上に積層された多数の物質層からなっている。この物質層は第１ないし第３保護層１２１，１２３，１２５と熱発散層１２８とを含む。そして、前記第１保護層１２１と第２保護層１２３との間にはヒータ１２２が設けられ、前記第２保護層１２３と第３保護層１２５との間には前記ヒータ１２２に電気的に連結される導体１２４が設けられる。
【００３０】
前記第１保護層１２１はノズルプレート１２０をなす多数の物質層のうち最も下方の物質層であって基板１１０の上面に形成される。前記第１保護層１２１はその上に形成されるヒータ１２２とその下の基板１１０との間の絶縁とヒータ１２２の保護とのための物質層であってシリコン酸化物やシリコン窒化物からなる。
【００３１】
前記第１保護層１２１上にはインクチャンバ１０６の上部に位置してインクチャンバ１０６内部のインクを加熱するヒータ１２２が形成される。このヒータ１２２は不純物がドーピングされたポリシリコン、タンタル−アルミニウム合金、タンタル窒化物、チタン窒化物またはタングステンシリサイドのような発熱抵抗体からなる。
【００３２】
前記第２保護層１２３は第１保護層１２１及びヒータ１２２上に設けられる。前記第２保護層１２３はその上に設けられる熱発散層１２８とその下のヒータ１２２との間の絶縁とヒータ１２２の保護とのために設けられる。前記第２保護層１２３も第１保護層１２１と同様にシリコン窒化物またはシリコン酸化物からなる。
【００３３】
前記第２保護層１２３上にはヒータ１２２と電気的に連結されてヒータ１２２にパルス状の電流を印加する導体１２４が設けられる。前記導体１２４の一端部は第２保護層１２３に形成された第１コンタクトホールＣ１を介してヒータ１２２に接続され、その他端部はボンディングパッド（図示せず）に電気的に連結される。そして、前記導体１２４は導電性の良好な金属、例えばアルミニウムやアルミニウム合金または金や銀からなる。
【００３４】
前記第３保護層１２５は前記導体１２４及び第２保護層１２３上に設けられうる。前記第３保護層１２５はＴＥＯＳ（ＴｅｔｒａＥｔｈｙｌＯｒｔｈｏＳｉｌｉｃａｔｅ）酸化物、シリコン酸化物またはシリコン窒化物からなる。
【００３５】
前記熱発散層１２８は第３保護層１２５及び第２保護層１２３上に設けられ、第２保護層１２３と第１保護層１２１とを貫通して形成された第２コンタクトホールＣ２を介して基板１１０の上面に接触される。前記熱発散層１２８は少なくとも１層の金属層からなり、この時前記金属層それぞれは熱伝導性の良好な金属物質、例えばニッケル、銅、アルミニウムまたは金などからなりうる。このような熱発散層１２８は第３保護層１２５及び第２保護層１２３上に前記金属物質を電気メッキすることにより、１０〜１００μｍほどと比較的厚く形成できる。このために、第３保護層１２５及び第２保護１２３層上には前記金属物質の電気メッキのためのシード層１２７が設けられうる。前記シード層１２７は少なくとも１層の金属層からなり、この時前記金属層それぞれは電気伝導性の良好な金属物質、例えば銅、クロム、チタン、金またはニッケルなどからなる。
【００３６】
前記のように、金属からなる熱発散層１２８はメッキ工程により形成されるので、インクジェットプリントヘッドの他の構成要素と一体に形成され、また比較的厚く形成されうるので効果的な放熱がなされうる。
【００３７】
このような熱発散層１２８は前記第２コンタクトホールＣ２を介して基板１１０の上面に接触され、ヒータ１２２及びその周辺の熱を基板１１０に伝達する役割を行う。すなわち、インクが吐出された後にヒータ１２２及びその周辺に残留する熱は熱発散層１２８を介して基板１１０に伝えられて外部に発散される。従って、インクが吐出された後にさらに早い放熱がなされてノズル１０８周囲の温度が低くなるので、高い作動周波数で安定した印刷が可能になる。
【００３８】
一方、前記のように熱発散層１２８は比較的厚く形成されうるので、ノズル１０８の長さを十分に長く確保できる。従って、安定した高速印刷が可能になり、ノズル１０８を介して吐出されるインク液滴の直進性が向上される。すなわち、吐出されるインク液滴が基板１１０の表面に対して正確に垂直方向に吐出されうる。
【００３９】
前記ノズルプレート１２０には下部ノズル１０８ａと上部ノズル１０８ｂとからなるノズル１０８が貫通されて形成される。前記下部ノズル１０８ａはノズルプレート１２０の第１ないし第３保護層１２１，１２３，１２５を貫通する柱状に形成される。そして、前記上部ノズル１０８ｂは熱発散層１２８を貫通して形成されるが、この上部ノズル１０８ｂの形状は柱状になりもするが、図示されたように出口側に行くほどに断面積が小さくなるテーパ状になることが望ましい。このように、上部ノズル１０８ｂの形状がテーパ形状になった場合には、インクの吐出後にインク表面のメニスカスがさらに早く安定化される長所がある。
【００４０】
以下では、本発明によるインクジェットプリントヘッドの駆動方法について説明する。
【００４１】
図７は本発明による駆動方法によってインクジェットプリントヘッドに印加されるメインパルス及びポストパルスを図示したグラフである。図７で、メニスカスの位置はメインパルスだけ付加された時を基準に図示されたものである。
【００４２】
図７を参照すれば、まずインクジェットプリントヘッドのヒータ（図６の１２２）にインク吐出のためのメインパルスをほぼ１〜２μｓほど印加する。そして、インクが吐出された後で下降されたインク表面のメニスカスがインクの充填により上昇する時点で、インク吐出はなされずにバブルだけ形成するエネルギーを有するポストパルスを前記ヒータ１２２にもう一度印加する。この時、ポストパルスを印加する時間はほぼメインパルスを印加する時間の４０〜６０％ほどが望ましい。
【００４３】
このように、インク吐出後にインクのメニスカスがインク充填によって上昇される過程で、ヒータ１２２にポストパルスをもう一度印加すれば、ポストパルスによって発生したバブルが膨脹しつつインクの充填を増やす。また、インクのメニスカスがノズルプレート（図６の１２０）の上面よりもさらに上昇する前に前記バブルが崩壊されれば、この崩壊過程で発生する負圧によって前記メニスカスの上昇は抑制され、これによりメニスカスの安定化を早期になせるようになる。一方、インクジェットプリントヘッドでメニスカスの振動時間はインクチャンバの設計によって変わり、これによりヒータに印加されるポストパルスの印加時間や間隔もインクチャンバの設計によって最適化されねばならない。
【００４４】
次に、図７に図示された駆動方法によって駆動されるインクジェットプリントヘッドでインクが吐出される過程を図８Ａないし図８Ｄを参照して説明する。
【００４５】
まず、図８Ａを参照すれば、インクチャンバ１０６及びノズル１０８内部にインク１３１が満たされた状態で、導体１２４を介してヒータ１２２にメインパルスが印加されれば、前記ヒータ１２２で熱が発生する。そして、このように発生した熱は前記ヒータ１２２下の第１保護層１２１を介してインクチャンバ１０６内部のインク１３１に伝えられる。これにより、インクチャンバ１０６の内部には図８Ｂに図示されたようにインク１３１が沸騰して第１バブルＢ１が生成される。次に、生成された第１バブルＢ１は継続的な熱の供給によって膨脹し、これによりインク１３１表面のメニスカス１５０はノズル外に押し出される。
【００４６】
次に図８Ｃを参照すれば、前記第１バブルＢ１が最大に膨脹された時点で印加していた電流を遮断すれば、前記第１バブルＢ１は収縮して消滅する。この時、インクチャンバ１０６内には負圧がかかるようになり、ノズル１０８内部のインク１３１は再びインクチャンバ１０６の方向に戻ってくる。これと同時に、ノズル１０８外に押し出されていた部分は慣性力により液滴１３１′の形態でノズル１０８内部のインク１３１と分離されて吐出される。そして、インク液滴１３１′が分離された後には、ノズル１０８内部にあるインク１３１表面のメニスカス１５０はインクチャンバ１０６方向に後退するようになる。
【００４７】
次に、図８Ｄを参照すれば、インクチャンバ１０６内部の負圧が消えるようになれば、ノズル１０８の内部に形成されているインク１３１の表面張力によりメニスカス１５０は再びノズル１０８の出口側に上昇するようになる。これにより、インクチャンバ１０６の内部はマニフォールド１０２からインクチャンネル１０４を介して供給されるインク１３１で再び満たされる。
【００４８】
一方、このようなインクの充填過程でインク吐出はなされずに、バブルだけ発生させられるエネルギーを有するポストパルスが前記ヒータ１２２に印加される。従って、インクチャンバ１０６の内部には第２バブルＢ２が生成される。このように生成された第２バブルＢ２は膨脹してインク１３１の充填を増やす。次に、ヒータ１２２に印加した電流を遮断すれば、前記第２バブルＢ２は消滅してインク１３１の充填過程が完了して初期状態に復帰する。ここで、前記第２バブルＢ２の消滅によってインク１３１表面のメニスカスは早期に安定化される。
【００４９】
以上のように、インク吐出後にインク表面のメニスカスが定常状態に達する前にヒータにポストパルスを印加するようになれば、インク表面のメニスカスが早期に安定化される。そして、このようにメニスカスが安定した状態でインク吐出が後続するようになれば、吐出されるインク液滴の直進性が向上される。図９は本発明によってヒータにポストパルスを付加した場合に、インクジェットプリントヘッドから吐出されるインク液滴の写真である。図９に図示されたように、本発明の駆動方法によって駆動されるインクジェットプリントヘッドから吐出されるインク液滴の直進性は従来よりも向上されたことが分かる。
【００５０】
一方、本発明によるインクジェットプリントヘッドの駆動方法は本実施例で記述されたインクジェットプリントヘッド以外に、あらゆるバブルジェット（登録商標）方式のインクジェットプリントヘッドに適用されうる。従って、前述のバックシューティング方式だけではなくトップシューティング方式及びサイドシューティング方式のインクジェットプリントヘッドにも適用が可能である。
【００５１】
以上で本発明の実施例によるインクジェットプリントヘッドの駆動方法が説明されたが、これは例示的なものに過ぎず、当分野で当業者ならばこれから多様な変形及び均等な他実施例が可能であるという点が理解されるであろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は特許請求の範囲により決まるものである。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は印刷用インクの微小な液滴を記録用紙上の所望の位置に吐出させて所定色相の画像に印刷するインクジェットプリントヘッドに関わり、例えばさらに鮮明なインクジェットプリンティング機器に効果的に適応可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】従来のインクジェットプリントヘッドの部分切開斜視図である。
【図２】図１に図示されたインクジェットプリントヘッドの垂直構造を示した断面図である。
【図３】従来のインクジェットプリントヘッドを駆動する駆動シグナル及びこれによるメニスカスの位置を図示したグラフである。
【図４】メニスカスが定常状態である場合、インクジェットプリントヘッドから吐出されるインク液滴を写す写真である。
【図５】メニスカスが非定常状態である場合、インクジェットプリントヘッドから吐出されるインク液滴を写す写真である。
【図６】本発明によるインクジェットプリントヘッドの駆動方法によって駆動されるインクジェットプリントヘッドの一例を図示した断面図である。
【図７】本発明による駆動方法によってインクジェットプリントヘッドに付加されるメインパルス及びポストパルスを図示したグラフである。
【図８Ａ】インクジェットプリントヘッドで本発明による駆動方法によってインクが吐出される過程を説明するための図面である。
【図８Ｂ】インクジェットプリントヘッドで本発明による駆動方法によってインクが吐出される過程を説明するための図面である。
【図８Ｃ】インクジェットプリントヘッドで本発明による駆動方法によってインクが吐出される過程を説明するための図面である。
【図８Ｄ】インクジェットプリントヘッドで本発明による駆動方法によってインクが吐出される過程を説明するための図面である。
【図９】本発明による駆動方法によって駆動されたインクジェットプリントヘッドから吐出されるインク液滴を写す写真である。
【符号の説明】
【００５４】
１０２    マニフォールド
１０４    インクチャネル
１０６    インクチャンバ
１０８    ノズル
１０８ａ    下部ノズル
１０８ｂ    上部ノズル
１１０    基板
１２０    ノズルプレート
１２１，１２３，１２５    第１ないし第３保護層
１２２    ヒータ
１２４    導体
１２７    シード層
１２８    熱発散層
Ｃ１，Ｃ２    第１及び第２コンタクトホール
【図１】
2005022413.tif 000003
【図２】
2005022413.tif 000004
【図３】
2005022413.tif 000005
【図４】
2005022413.tif 000006
【図５】
2005022413.tif 000007
【図６】
2005022413.tif 000008
【図７】
2005022413.tif 000009
【図８Ａ】
2005022413.tif 000010
【図８Ｂ】
2005022413.tif 000011
【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図９】
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