(57)【要約】【課題】動作不良を早期に発見することができる接触式変位センサを提供する。【解決手段】  まず、「速度設定モード」にてメモリ６２に基準速度Ｖｒｅｆを記憶する。そして、「異常検出モード」において、基準速度Ｖｒｅｆから所定割合低い速度「Ｖｒｅｆ／Ａ」と算出した変位速度Ｖｏとを比較する。基準速度から所定割合低い速度「Ｖｒｅｆ／Ａ」に対して算出された変位速度Ｖｏが小さい場合には、表示部６４にて異常の旨の表示をする。一方、基準速度から所定割合低い速度「Ｖｒｅｆ／Ａ」に対して算出された変位速度Ｖｏが大きい場合には、表示部６４に正常の旨の表示をする。【選択図】  図７
2005164297.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジングの開口部から外部へ突出するように付勢手段にて付勢される接触子が検出対象部位の変位に追従して基準位置からこの基準位置とは異なる変位位置へと変位したときのその変位量に基づいて、前記検出対象物の変位を測定するようにした接触式変位センサにおいて、
前記接触子の変位量を検出する変位量検出手段と、
前記接触子が少なくとも前記基準位置とは異なる検査位置から前記基準位置へ変位するときの変位速度を測定する速度検出手段と、
前記速度測定手段にて測定された変位速度に基づいて、前記接触子の動作異常を検出する異常検出手段とを備えることを特徴とする接触式変位センサ。
【請求項２】
基準速度を任意の速度として設定可能な速度設定手段を備え、
前記異常検出手段は前記速度測定手段にて測定された変位速度と前記速度設定手段にて設定された基準速度とを比較し、その比較結果に基づいて前記接触子の動作異常を検出することを特徴とする請求項１記載の接触式変位センサ。
【請求項３】
前記速度設定手段は、
前記変位位置からこの基準位置まで移動する前記接触子の変位速度を測定するサンプリング手段と、
前記サンプリング手段にて取得した変位速度よりも一定速度遅い速度を基準速度に設定する設定手段とからなり、
前記検出対象物の変位測定に先だって、あるいは、前記検出対象物の変位測定における初期段階で同時的に上記動作を行なうことを特徴とする請求項２に記載の接触式変位センサ。
【請求項４】
前記変位量検出手段は、
前記接触子の変位量に応じたパルス列を出力するパルス出力手段と、
前記パルス列のパルス数を計数するカウント手段と、
前記カウント手段にて計数されたパルス数に基づいて前記接触子の変位量を算出する変位量算出手段とから構成されており、
前記速度測定手段は、
単位時間あたりのパルス数により前記接触子の変位速度を測定することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の接触式変位センサ。
【請求項５】
前記接触子には穴部を変位方向に沿って複数備えられており、
前記パルス出力手段は、
前記接触子を挟んだ状態で対向配置した１対の投受光素子を少なくとも１組備え、
前記接触子に設けられた前記穴部の変位に応じてパルス信号を出力するように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の接触式変位センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接触式変位センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
検出対象物の変位量を検出するものとして、従来から接触式変位センサが知られている。これは、ハウジングからその内外へ移動可能に設けられたスピンドルの先端に位置する接触子を検出対象物に接触させ、検出対象物の変位に伴って移動する接触子の変位量に基づいて検出対象物の変位量を測定するものである（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
具体的には、ハウジングの一開口端からコイルばね等の付勢手段にてハウジング外方に向けて棒状のスピンドルを突出させて構成しており、このスピンドルのの移動方向に沿った方向に多段に形成された穴部が検出対象物の変位に伴って移動すると、ハウジング内にこの穴部を挟みこむようにして配された１対の投受光素子の光軸形成が許容される。そうすると、光軸形成時に受光素子から受光信号が出力され、この受光信号に対応して出力されるパルス信号に基づいて接触子の変位量が測定され、これにより、検出対象物の変位量が検出されるのである。
【特許文献１】特開平１０−２７４５０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記接触式変位センサは、機械的な動作により検出対象物の変位量を検出するものであるから、可動部分の不具合等により動作不良を起こすことは当然考えられる。
例えば、コイルばねの劣化や、ハウジングとスピンドルとの摩擦増加等が原因となって接触子の追従遅れが生じて正確な変位量を検出できなかったり、はたまた、接触子が曲がり変形してハウジング内外への移動が円滑に行なわれなくなることに起因して、結果として正確な検出ができ無くなることが考えられる。
従って、上記のような接触子の動作不良を早期に発見し、不具合箇所のメンテナンスや部品交換を行ない、常に正常に動作させることが必要となる。
しかしながら、上記構成では、異常検出の機能が無いがために、動作不良を早期に発見することが困難であった。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、動作不良を早期に発見することができる接触式変位センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明は、ハウジングの開口部から外部へ突出するように付勢手段にて付勢される接触子が検出対象部位の変位に追従して基準位置からこの基準位置とは異なる変位位置へと変位したときのその変位量に基づいて、前記検出対象物の変位を測定するようにした接触式変位センサにおいて、
前記接触子の変位量を検出する変位量検出手段と、
前記接触子が少なくとも前記基準位置とは異なる検査位置から前記基準位置へ変位するときの変位速度を測定する速度検出手段と、
前記速度測定手段にて測定された変位速度に基づいて、前記接触子の動作異常を検出する異常検出手段とを備えるところに特徴を有する。
【０００６】
請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、基準速度を任意の速度として設定可能な速度設定手段を備え、
前記異常検出手段は前記速度測定手段にて測定された変位速度と前記速度設定手段にて設定された基準速度とを比較し、その比較結果に基づいて前記接触子の動作異常を検出するところに特徴を有する。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項２に記載のものにおいて、前記速度設定手段は、
前記変位位置からこの基準位置まで移動する前記接触子の変位速度を測定するサンプリング手段と、
前記サンプリング手段にて取得した変位速度よりも一定速度遅い速度を基準速度に設定する設定手段とからなり、
前記検出対象物の変位測定に先だって、あるいは、前記検出対象物の変位測定における初期段階で同時的に上記動作を行なうところに特徴を有する。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記変位量検出手段は、
前記接触子の変位量に応じたパルス列を出力するパルス出力手段と、
前記パルス列のパルス数を計数するカウント手段と、
前記カウント手段にて計数されたパルス数に基づいて前記接触子の変位量を算出する変位量算出手段とから構成されており、
前記速度測定手段は、
単位時間あたりのパルス数により前記接触子の変位速度を測定するところに特徴を有する。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項４に記載のものにおいて、前記接触子には穴部を変位方向に沿って複数備えられており、
前記パルス出力手段は、
前記接触子を挟んだ状態で対向配置した１対の投受光素子を少なくとも１組備え、
前記接触子に設けられた前記穴部の変位に応じてパルス信号を出力するように構成されているところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００１０】
＜請求項１の発明＞
請求項１の発明によれば、接触子の変位速度を測定し、その速度に基づいて接触子の動作異常を判断するようにしている。これにより、動作異常を早期に発見し、常に正確な変位量測定を行なうことができる。
【００１１】
＜請求項２の発明＞
請求項２の発明では速度設定手段により、種々の使用環境に応じて異なる基準速度を任意に設定することができる。これにより、その使用環境において最低限必要とされる変位速度に設定すれば、無用にメンテナンスや部品交換をすることが無くなり、コストパフォーマンスに優れる構成とされる。
【００１２】
＜請求項３の発明＞
請求項３の発明では、実際の使用環境における接触子の変位速度に基づいて基準速度を決定し、その基準速度に基づいて異常検出するようにしているから、より実際の使用環境に準じた異常検出を行なうことが可能となる。
尚、「検出対象物の変位測定における初期段階」とは、接触式変位センサを製造した後の初回の検出対象物の変位測定のときのことを意味する。
【００１３】
＜請求項４の発明＞
請求項４の発明では、具体的な異常検出として接触子の変位量に基づいて出力されるパルス群の数を計数し、単位時間あたりに出力されるパルス数により接触子の変位量を測定している。例えば、接触子が変位位置から基準位置に移動する距離と、それに費やした時間とから変位速度を測定する場合に比べて、より正確な測定が可能となる。
【００１４】
＜請求項５の発明＞
請求項５の発明では、いわゆる光学系を用いてパルス群を出力する接触式変位センサである。このような構成では、例えば周囲機器からの電磁ノイズの影響を無視することができ、一層正確な測定を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
＜実施形態１＞
本発明に係る接触式変位センサの実施形態を図１ないし図１０を参照して説明する。
本実施形態の接触式変位センサはセンサ部１とコントローラ部６とから構成されており、センサ部１に設けられたスピンドル１０の先端にある接触子１０Ａを検出対象物Ｗに接触させ、この検出対象物Ｗの変位に伴って移動する接触子１０Ａの変位量の基づいて検出対象物Ｗの変位量を検出するものである。
【００１６】
＜センサ部＞
センサ部１は略筒状のハウジング２０の一開口部２０Ａから棒状のスピンドル１０を突出させているとともに、コントローラ部６に連なる信号線Ｓを導出している。
ハウジング２０は異径筒形状をなしており、先端側に縮径部２１が形成されている。縮径部２１内にはコイルばね３０を収容する収容筒部２１Ａが形成されている一方、基端部２２には、後述する投受光素子４０，５０が収容されているとともに、後端面から下方に延びる筒部２２Ａが形成されている。また、縮径部２１と基端部２２との間には環状壁部２３が形成されており、その中央部分に形成されている穴部２４の径は収容筒部２１Ａの径よりも小さい径とされている。
【００１７】
スピンドル１０は棒状に形成されて、中央領域に段部１２，１３を介して縮径部１１が形成されている。そして、この縮径部１１がハウジング２０内の収容筒部２１Ａ及び筒部２２Ａに収められているとともに、ハウジング２０の縮径部２１と基端部２２との間を往来することができるようになっている。また、上側にある段部１２は環状壁部２３に当接することによりハウジング２０外方に抜け落ちることが防止されている。このスピンドルの先端にある接触子１０Ａが検出対象物Ｗに接触あるいは当接するようになっている。
縮径部１１よりも上方にある基端部１４には図面左右方向に連通する複数の穴部１５が形成されている。これら穴部１５は第１及び第２の２つの隊列１６，１７を形成しており、かつ、隊列１６，１７を形成する穴部１５が等間隔に配置されている。また、それぞれの隊列１６，１７は図２に示すように、スピンドル１０の軸線方向において上下に所定量ずれて構成されている。
【００１８】
コイルばね３０（付勢手段に相当）はハウジング２０の収容筒部２１Ａに収容されており、スピンドル１０の段部１３とハウジング２０の環状壁部２３とに挟まれている。これによって接触子１０Ａをハウジング２０の外方に向けて突出付勢している。尚、このコイルばね３０の弾性復帰力はその縮み変形量に関係なく常に一定とされている。
【００１９】
ところで、ハウジング２０の基端部２２には１対の投受光素子４０，５０が２組設けられている。これら投受光素子４０，５０のうち一方は、第１の隊列１６を構成する穴部１５に対応した位置に配されて光軸Ｌを構成し、他方は第２の隊列１７を構成する穴部１５に対応した位置に配されて光軸Ｌを構成している。
従って、接触子１０Ａが移動すると、光軸Ｌ上に穴部１５と基端部１４とが交互に存在することととなり、光軸Ｌ上に穴部１５が配されたときには受光素子５０にて投光素子４０からの光が受光される。また、受光素子５０は受光量に応じた受光信号を信号線Ｓを介してコントローラ部６に送信している。
【００２０】
＜コントローラ部＞
コントローラ部６はセンサ部１から導出されている信号線Ｓを接続するためのコネクタ部が設けられて、このセンサ部１と電気的に接続されている。この信号線Ｓにより内部に設けられているＣＰＵ６１からセンサ部１の投光素子４０に駆動信号を出力するとともに、受光素子５０からの受光信号を受けることができるようになっている。
また、ＣＰＵ６１にはＡ／Ｄ変換機能が備えられており、受光素子５０から出力される受光信号の電圧レベルと予め設定されている基準値とを比較し、受光信号の電圧レベルが基準値を越えた場合には、ハイレベル（Ｈ）のディジタル信号を出力し、基準値を下回っている場合には、ロウレベル（Ｌ）のディジタル信号を出力するようになっている。
尚、Ａ／Ｄ変換回路をセンサ部１内に設け、受光素子５０からの受光信号をディジタル信号に変換し、このディジタル信号を信号線Ｓによりコントローラ部６に送信する構成としてもよい。
また、ＣＰＵ６１にはメモリ６２が設けられており、後述する基準速度Ｖｒｅｆを記憶するための領域が確保されているとともに、単位時間あたりのパルス数Ｐｍと変位速度Ｖ０の関係を示したデータテーブル及び単位時間あたりのパルス数Ｐｍと変位量との関係を示したデータテーブルが記憶されている。
【００２１】
コントローラ部１のハウジングには例えば操作ボタン等からなる操作部６３及び液晶ディスプレイ等の表示部６４が設けられており、この操作部６３を操作して後述する「速度基準速度設定モード」と「異常検出モード」と「変位量検出モード」との切り替えを行なうことができるようになっている。
【００２２】
本実施形態の接触式変位センサの構成は以上であり、その動作についてＣＰＵの制御を中心として説明する。
＜基準速度設定モード＞
操作部６３を操作して「基準速度設定モード」に切り替えると、ＣＰＵ６１は速度設定処理を実行する（ステップＳ１で「Ｎ］、ステップＳ２で「Ｙ］、ステップＳ４）。まず基準速度Ｖｏの入力を待ち、このときに基準速度Ｖｒｅｆの入力がなされて決定操作されると、入力された基準速度Ｖｒｅｆを受信して、メモリ６２に記憶する（ステップＳ４２）。一方、実際の変位速度Ｖｏをサンプリングし、これを基準速度Ｖｒｅとして記憶したい場合には、上記の基準速度Ｖｒｅｆの入力をスキップして、サンプリングスタートの決定操作をすると（ステップＳ４１で「Ｎ」）、速度算出処理に移行する（ステップＳ６）。
例えば、接触子１０Ａの変位方向と同一方向に移動する機構に搭載された治具にこの接触子１０Ａを接触させ、この治具を接触子１０Ａに対して接近させてた後、瞬時に離間させる。これによって、接触子１０Ａが基準位置Ｏとは異なる変位位置Ｙまで移動し、コイルばね３０の弾性力により基準位置Ｏに復帰する。
【００２３】
接触子１０Ａが上記のように動作するに伴って穴部１５が移動すると、投受光素子４０，５０により形成される光軸Ｌ上に穴部１５が存在するときと、基端部１４が存在して光軸Ｌを遮断するときとが交互に発生する。
これによって、出力されるパルス信号は、図１０に示すようにハイレベルとロウレベルが交互に発生することとなり、さらに一方の受光素子５０の受光信号に基づいて出力されるパルス列と他方の受光素子５０に基づいて出力されるパルス列とは所定の位相差を有する。
【００２４】
具体的には、接触子が基準位置Ｏから変位位置Ｙに移動するときには、第１の受光素子５０（図３中の右側に配された受光素子）から出力されるパルス列Ｐ１が第２の受光素子（図３中の左側に配された受光素子）から出力されるパルス列Ｐ２に対して遅れ位相となる（図１０（Ａ）参照）。逆に、接触子１０Ａが変位位置Ｙから基準位置Ｏに復帰するときには、第１の受光素子５０から出力されるパルス列Ｐ１が第２の受光素子５０から出力されるパルス列Ｐ２に対して進み位相となる（図１０（Ｂ）の破線Ａ以降を参照）。
また、接触子１０Ａが基準位置Ｏにあるときには、両投光素子４０の光が穴部１５を介して受光素子５０に受光される状態とされており、即ち、両パルス列Ｐ１，Ｐ２のレベルはハイレベルとされる。
【００２５】
パルス列Ｐ１がパルス列Ｐ２に対して進み位相となってから、両パルス列Ｐ１，Ｐ２のレベルがハイレベルとなるまでの一方又は双方のパルス列Ｐ１，Ｐ２のパルス数Ｐｎを計数した後（ステップＳ４１）、単位時間あたりのパルス数Ｐｍを計数する（ステップＳ４２）。メモリ６２には予め単位時間あたりのパルス数Ｐｍに応じた変位速度Ｖｏがデータテーブルとして記憶されており、その記憶されているデータテーブルを参照して速度Ｖｏを算出する（ステップＳ４３）。
【００２６】
尚、実際の接触子１０Ａの変位速度Ｖｏを基準速度Ｖｒｅｆとして設定する際には、例えば、上記動作を１回行って、その測定された変位速度Ｖｏを基準速度Ｖｒｅｆと設定したり、複数回にわたって接触子１０Ａの変位速度Ｖｏを測定し、その平均速度を基準速度Ｖｒｅｆとして設定してもよい。
また、変位速度Ｖｏのサンプリングは、このセンサ部１を製造した後の初回の検出対象物の変位測定に先だって行なうか、あるいは、初回の検出対象物の変位測定のときに行なうのが好ましい。
【００２７】
上記方法以外には、接触子１０Ａを検出対象物Ｗの検出領域内を走査するようにして移動させるか、あるいは、検出対象物Ｗを接触子１０Ａに対して移動させることで、接触子１０Ａを検出領域内で相対的に移動させるようにしてもよい。
接触子１０Ａの動作が終了したら、操作部６３にてストップ操作して、サンプリングの動作を終了させると、上記速度算出処理が実行されて、算出された変位速度Ｖｏが基準速度Ｖｒｅｆとしてメモリ６２に記憶される。
【００２８】
＜異常検出モード＞
操作部６３を操作して「異常検出モード」に切り替えると、ＣＰＵ６１は異常検出処理を実行する（ステップＳ１で「Ｙ」、ステップＳ３）。これにより、前述した速度算出処理で得られた基準速度Ｖｒｅｆと測定された変位速度Ｖｏとを比較してスピンドル１０が異常か否かを判断する。
まず、速度算出処理により（ステップＳ４）、スピンドル１０を動作させ、変位位置Ｙから基準位置Ｏに戻るまでに出力されたパルス数Ｐｎを計数し（ステップＳ４１）、単位時間あたりのパルス数Ｐｍを算出する（ステップＳ４２）。そして、メモリ６２に記憶されているデータテーブルから変位速度Ｖｏを算出する（ステップＳ４３）。
基準速度Ｖｒｅｆから所定割合低い速度「Ｖｒｅｆ／Ａ」（Ａ：１以上の自然数）に対して算出された変位速度Ｖｏが小さい場合には（ステップＳ３１で「Ｙ」）、表示部６４にて異常の旨の表示がなされてる（ステップＳ３２）。これを確認したときには、コイルばね３０の劣化やスピンドル１０の曲がり変形等による動作不良が考えられるから、メンテナンス又は部品交換をして、正常な状態となるように修復すればよい。
一方、基準速度Ｖｒｅｆから所定割合低い速度「Ｖｒｅｆ／Ａ」に対して算出された変位速度Ｖｏが大きい場合には（ステップＳ３１で「Ｎ」）、表示部６４に正常の旨の表示がなされるから（ステップＳ３３）、そのまま検出対象物Ｗの変位量検出を行なうようにすればよい。
【００２９】
＜変位量検出モード＞
操作部６３を操作して「変位量検出モード」に切り替えると、ＣＰＵ６１は変位量検出処理を実行する（ステップＳ１及びステップＳ２で「Ｎ」、ステップＳ５）。これにより、検出対象物Ｗの変位量が検出される。
ＣＰＵ６１は出力されるパルス列を確認し、パルス列Ｐ１がパルス列Ｐ２に対して進み位相となってから、両受光素子４０のパルス列Ｐ１，Ｐ２のレベルがハイレベルとなるまでのパルス数Ｐｎを計数する（ステップＳ５１）。そして、単位時間あたりのパルス数Ｐｍを計数する（ステップＳ５２）。そして、メモリ６２には予め単位時間あたりのパルス数に応じた変位量がデータテーブルとして記憶されており、その記憶されているデータテーブルを参照して変位量を算出する（ステップＳ５３）。
【００３０】
尚、上記実施形態によりＣＰＵ６１が「速度検出手段」、「異常検出手段」、「設定手段」、「カウント手段」、「変位量算出手段」として構成され、ＣＰＵ６１と投受光素子４０，５０とで、「変位量検出手段」、「パルス出力手段」として構成されていることは明らかである。また、ＣＰＵ６１と操作部６３とで「速度設定手段」を構成していることも明らかである。
【００３１】
上記実施形態によれば、接触子１０Ａの変位速度Ｖｏを測定し、その速度に基づいてスピンドル１０の動作異常を判断するようにしている。これにより、動作異常を早期に発見し、常に正確な変位量測定を行なうことができる。
また、「速度設定モード」により、種々の使用環境に応じて異なる基準速度Ｖｒｅｆを任意に設定することができる。これにより、その使用環境において最低限必要とされる基準速度Ｖｒｅｆに設定すれば、無用にメンテナンスや部品交換をすることが無くなり、コストパフォーマンスに優れる構成とされる。
さらには、実際の使用環境における接触子１０Ａの変位速度Ｖｏに基づいて基準速度Ｖｒｅｆを決定し、その基準速度Ｖｒｅｆに基づいて異常検出するようにしているから、より実際の使用環境に近い基準速度Ｖｒｅｆの設定が可能とされる。
【００３２】
また、異常検出として接触子１０Ａの変位量に基づいて出力されるパルス数Ｐｎを計数し、単位時間あたりに出力されるパルス数Ｐｍにより接触子１０Ａの変位量を測定している。例えば、接触子１０Ａが変位位置Ｙから基準位置Ｏに移動する距離と、それに費やした時間とから変位速度Ｖｏを測定する場合に比べて、より正確な測定が可能となる。
また、光学系を用いてパルス列を出力する構成としているから、例えば周囲機器からの電磁ノイズの影響を受けなくなり、一層正確な測定を行うことができる。
【００３３】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）上記実施形態では投受光素子４０，５０を用いて接触子１０Ａの変位量を検出する光学式の構成を示したが、例えば、ハウジング２０内部にコイルを配するとともに、スピンドル１０にコイルを巻きつけ、接触子１０Ａの移動に伴って発生する誘導起電力により接触子１０Ａの変位量及び動作異常を検出するいわゆる磁気式の構成としても良い。
（２）また、上記実施形態では、単位時間あたりのパルス数Ｐｍを計数し、このパルス数Ｐｍに基づいてスピンドル１０の変位速度Ｖｏを検出する構成としていたが、例えば、変位位置Ｙから基準位置Ｏに移動するまでの時間を測定し、変位量から時間を除して変位速度を算出する構成としてもよい。
（３）また、上記実施形態では、異常検出において、基準速度Ｖｒｅｆから組低割合低い速度「Ｖｒｅｆ／Ａ」と測定した変位速度Ｖｏとを比較して異常か否かを判断するようにしていたが、例えば、基準速度Ｖｒｅｆと変位速度Ｖｏとを比較して異常か否かを判断するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】実施形態１に係る接触式変位センサの全体図
【図２】実施形態１に係る接触式変位センサの全体図
【図３】接触子と投受光素子との位置関係を示した模式図
【図４】接触式変位センサの構成を示したブロック図
【図５】ＣＰＵの制御内容を示したフローチャート
【図６】変位速度算出処理を示したフローチャート
【図７】速度算出処理を示したフローチャート
【図８】異常検出処理を示したフローチャート
【図９】変位量検出処理を示したフローチャート
【図１０】パルス列とその位相関係を示したグラフ
【符号の説明】
【００３５】
１０…スピンドル
１０Ａ…接触子
１５…穴部
２０…ハウジング
３０…コイルばね
４０…投光素子
５０…受光素子
６１…ＣＰＵ
６２…操作部
【図１】
2005164297.tif 000003
【図２】
2005164297.tif 000004
【図３】
2005164297.tif 000005
【図４】
2005164297.tif 000006
【図５】
2005164297.tif 000007
【図６】
2005164297.tif 000008
【図７】
2005164297.tif 000009
【図８】
2005164297.tif 000010
【図９】
2005164297.tif 000011
【図１０】
2005164297.tif 000012