(57)【要約】【課題】被測定物の形状を確認し易くすると共に、正確かつ効率良く寸法や角度等の測定を行うことのできる投影器を提供する。【解決手段】透過照明１８から発射された透過光２４の一部は、被測定物５６の外周縁を通過して、有効投影レンズ２０の入射面に入射される。これによって、回転スクリーン６６の投影面６８に、被測定物５６全体の輪郭を表す像が投影される。一方、スリット照明３６および３６から発射されたスリット光は、被測定物５６の側面で乱反射し、この乱反射した光の一部が、有効投影レンズ２０の入射面に入射される。これによって、回転スクリーン６６の投影面６８に、被測定物５６を有効投影レンズ２０によって切断したと仮定した場合の断面の輪郭を表す像が投影される。つまり、被測定物５６全体の輪郭を表す像と、被測定物５６の任意の断面の輪郭を表す像とが、重畳した状態で同時に投影される。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射面に入射された光に従う像を投影面に投影させる光学系と、
被測定物の側面が上記光学系の入射側合焦面と交わるように該被測定物を設置する設置手段と、
上記被測定物を挟んで上記光学系の入射面とは反対側から該被測定物に向けて第１光線を照射する第１照射手段と、
上記光学系の入射側光軸に対して直角な方向に沿ってかつ上記被測定物の側面の上記光学系の入射側合焦面と交わる部分に向けて第２光線を照射する第２照射手段とを具備する、投影器。
【請求項２】
上記被測定物に対する上記第２光線の照射方向を任意に変化させる照射方向変化手段をさらに備える、請求項１記載の投影器。
【請求項３】
上記被測定物に対してそれぞれ異なる複数の方向から同時に上記第２光線が照射されるように複数の上記第２照射手段を備える、請求項１または２記載の投影器。
【請求項４】
上記第２光線は上記第１光線よりも明るい、請求項１ないし３のいずれかに記載の投影器。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、投影器に関し、特に例えば被測定物に光を照射すると共にこの照射された光を利用して当該被測定物の拡大像をスクリーンなどの投影面に投影させる投影器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
この種の投影器において、従来、被測定物の任意の断面の輪郭を投影することのできる技術が、非特許文献１に開示されている。すなわち、この非特許文献１には、投影光軸（投影レンズの入射側光軸）に対して直角に、かつ被測定物の側面の当該投影レンズの合焦面に相当する位置にナイフエッジ状（線状）の鮮鋭な光を照射すれば、当該被測定物の任意の断面の輪郭を投影することができる旨が、開示されている。
【０００３】
【非特許文献１】
森本良雄著，「工場測定器講座（１０）投影器」，日刊工業新聞社，１９６２年，ｐ．１７９−１９３
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この非特許文献１に開示された従来技術では、上述のように被測定物の任意の断面の輪郭を投影することはできるが、被測定物全体の輪郭、具体的には被測定物を投影レンズ側から見たときの当該被測定物の外周縁の輪郭を投影することはできない。つまり、スクリーンには、任意の断面の輪郭のみを表す言わば端面図的な像が写し出される。従って、被測定物の形状によっては、当該被測定物全体の形状、および投影されている断面が被測定物のどの部分に相当するのかを確認するのが困難であり、または不可能である、という問題がある。
【０００５】
また、従来技術では、スクリーンに写し出された像に基づいて、当該像に対応する断面の各部の寸法や角度等を測定することができる。しかし、上述したように、像として映し出されている断面が被測定物のどの部分に相当するのかが不明確であるため、真に希望する断面の寸法や角度等を正確かつ効率良く測定することができない、という問題もある。
【０００６】
そこで、この発明は、従来よりも被測定物の形状を確認し易くすると共に、正確かつ効率良く寸法や角度等の測定を行うことのできる投影器を提供することを、目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この発明は、入射面に入射された光に従う像を投影面に投影させる光学系と、被測定物の側面が光学系の入射側合焦面と交わるように当該被測定物を設置する設置手段と、被測定物を挟んで光学系の入射面とは反対側から当該被測定物に向けて第１光線を照射する第１照射手段と、光学系の入射側光軸に対して直角な方向に沿ってかつ被測定物の側面の当該光学系の入射側合焦面と交わる部分に向けて第２光線を照射する第２照射手段とを具備する、投影器である。
【０００８】
この発明では、第１照射手段から発射された第１光線は、被測定物の側面、具体的には光学系の入射面が存在する側とは反対側の側面に向けて照射される。この第１光線の一部が、被測定物の外周縁、具体的には被測定物を光学系の入射面側から見たときの当該被測定部の外周縁を通過すると、この通過した光は、光学系の入射面に入射される。これによって、当該被測定物の外周縁の輪郭を表す像が、投影面に投影される。一方、第２照射手段から発射された第２光線は、光学系の入射側光軸に対して直角な方向に沿って、かつ被測定物の側面の光学系の入射側合焦面と交わる部分に向けて照射される。この第２光線は、当該部分において乱反射され、この乱反射された一部が、光学系の入射面に入射される。これによって、当該部分を光学系の入射面側から見た状態、換言すれば被測定物を光学系の入射側合焦面によって切断したと仮定した場合の断面の輪郭を表す像が、投影面に投影される。つまり、被測定物全体の輪郭を表す像と、当該被測定物の断面の輪郭を表す像とが、互いに重畳された状態で同時に投影される。その結果、言わば断面図的な像が投影される。
【０００９】
なお、被測定物に対する第２光線の照射方向を任意に変化させる照射方向変化手段を設けてもよい。このようにすれば、比較的に複雑な形状をした被測定物であっても、その断面の輪郭を表す像を投影することができる。
【００１０】
また、被測定物に対してそれぞれ異なる複数の方向から同時に第２光線が照射されるように第２照射手段を複数設けてもよい。これによっても、上述と同様に、複雑な断面形状の輪郭を表す像を投影することができる。また、当該輪郭の全体を表す像を一度に投影することもできる。
【００１１】
さらに、第１光線よりも第２光線を明るくするのが、望ましい。すなわち、上述したように、投影面に投影される像のうち被測定物全体の輪郭を表す像は、第１光線の一部が当該被測定物の外周縁を通過して光学系の入射面に入射されることによって投影される。これに対して、被測定物の断面の輪郭を表す像は、第２光線が当該測定物の側面において乱反射し、この乱反射した光の一部が光学系の入射面に入射されることによって投影される。従って、例えば第１光線と第２光線とが同じ明るさである場合には、第１光線の照射によって投影される像に比べて、第２光線の照射によって投影される像は、目立ち難い。よって、第１光線よりも第２光線を明るくすることで、当該第２光線の照射によって投影される像を強調させるのが、望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
この発明の一実施形態について、図１から図１０を参照して説明する。図１に示すように、この実施形態の投影器１０は、基台部１２と、この基台部１２の上方に設けられたヘッド部１４と、これら基台部１２およびヘッド部１４を互いに連結する連結部１６とを、備えている。
【００１３】
基台部１２は、第１照射手段としての透過照明１８を内蔵している。この透過照明１８は、ヘッド部１４に設けられた後述する有効投影レンズ２０の真下、換言すれば当該有効投影レンズ２０の入射側光軸２２上に配置されており、第１光線としての透過光２４を、上方、つまり有効投影レンズ２０の図示しない入射面に向けて発射する。なお、透過照明１８としては、例えば消費電力が１００［Ｗ］〜３００［Ｗ］のハロゲンランプが用いられる。勿論、これ以外のランプを透過照明１８に採用してもよい。
【００１４】
そして、基台部１２の上には、ＸＹＺステージ２６が載置されている。このＸＹＺステージ２６は、その上面２８に透明のステージガラスを備えており、図示しない調整ツマミが操作されると、これに応じて、当該ステージガラス２８を、投影器１０の幅方向（Ｘ軸方向），奥行方向（Ｙ軸方向）および高さ方向（Ｚ軸方向）のそれぞれに沿って移動させる。なお、図には示さないが、ＸＹＺステージ２６の中央部は中空とされており、上述の透過光２４は、当該中空部およびステージガラス２８を介して、有効投影レンズ２０の入射面に向けて照射される。
【００１５】
そしてさらに、ステージガラス２８上には、案内レール３０が載置されている。この案内レール３０は、図２に示すように、幅寸法が一定の扁平な環状のものであり、その中心を概ね有効投影レンズ２０の入射側光軸２２に合わせるようにして載置される。そして、この案内レール３０上に、２台の照明ユニット３２および３２が載置されている。
【００１６】
それぞれの照明ユニット３２は、Ｌ字状の照明用ホルダ３４と、第２照射手段としてのスリット照明３６とを備えている。照明用ホルダ３４の底部には、図３に示すように、案内レール３０と嵌合する溝部３８が設けられており、これによって、この照明用ホルダ３４を含む照明ユニット３２は、図２に矢印４０および４０に示すように、案内レール３０に沿って自在に移動可能とされている。そして、照明用ホルダ３４の上部に、スリット照明３６が固定されている。
【００１７】
スリット照明３６は、円筒状のものであり、ステージガラス２８の上面に沿って、つまり水平方向に沿って延伸するように固定されている。そして、このスリット照明３６の一端には、光ファイバ製のライトガイド４２が接続されており、このライドガイド４２を介して図示しないメタルハライド光源装置から当該スリット照明３６内に光が導入される。この光は、水平方向に沿って、かつスリット照明３６の他端（ライドガイド４２が接続されていない側の端部）に向かって進行するように導入され、当該スリット照明３６内に設けられたスリット板４４を通ることによって、第２光線としての細長いスリット光、具体的にはその進行方向を横切る断面が水平方向に沿う線状（ナイフエッジ状）のスリット光４６に成形される。ただし、このスリット光４６は、スリット板４４を通過する際に回折等の影響によって拡散するので、これを収束させるために、スリット照明３６内には、２組のレンズ群４８および５０から成る収束レンズが設けられている。これらのレンズ群４８および５０は、スリット光４６の幅および厚さ寸法等に応じて、球面レンズ、または非球面レンズ、或いはシリンドリカルレンズの組み合わせによって構成される。
【００１８】
なお、図には詳しく示さないが、照明用ホルダ３４は、上下位置調整機構を備えており、この機構によって、図３に矢印５２に示すように、自身の高さ寸法、換言すればステージガラス２８の上面からスリット光４６までの高さを、任意に調整することができる。また、照明用ホルダ３４は、前後位置調整機構を有しており、この機構によって、図３に矢印５４で示すように、スリット照明３６を固定する位置を、水平方向、より詳しくは案内レール３０の半径方向に沿って、任意に調整することができる。
【００１９】
さらに、ステージガラス２８上には、この投影器１０に被測定物５６を設置するための設置手段としての試料ホルダ５８も載置される。具体的には、試料ホルダ５８は、被測定物５６の測定対象部分Ｐが有効投影レンズ２０の入射側光軸２２に当たるように配置される。この試料ホルダ５８は、Ｘ−Ｙ位置調整機構を有しており、この機構によって、図２に十字状の矢印６０で示すように、ステージガラス２５の上面に沿う方向（言わばＸ軸方向およびＹ軸方向）において、被測定物５６の位置を任意に移動させることができ、つまり測定対象部分Ｐの位置を微調整することができる。
【００２０】
一方、ヘッド部１４は、その下部にターレット式のレンズ交換機構６２を備えており、このレンズ交換機構６２に、上述した有効投影レンズ２０を含む３本の投影レンズ２０，２０，２０が、それぞれの入射面を真下に向けた状態で取り付けられている。各投影レンズ２０，２０，２０は、互いに拡大倍率の異なるものであり、それぞれの拡大倍率は、例えば１０倍，２０倍，５０倍とされている。勿論、これ以外の拡大倍率のものを選定することもできる。そして、各投影レンズ２０，２０，２０のうち、この投影器１０の最も前寄り（図１（ａ）において紙面の表側、または図１（ｂ）において最も左側）にあるものが、有効とされ、つまり有効投影レンズ２０とされる。いずれの投影レンズ２０，２０，２０を有効とさせるかは、レンズ交換機構６２によって任意に選択できる。
【００２１】
そして、ヘッド部１４の前面６４に、円形の回転スクリーン６６が設けられている。この回転スクリーン６６の投影面６８には、互いの原点を共通とし、かつ互いに４５度の角度差を有する２対の直交軸７０および７２が描画されている。さらに、一方の直交軸７０には、その延伸方向に沿って一定の間隔毎に目盛線７４が記されている。なお、この回転スクリーン６６は、その円周方向に沿って自在に回転可能とされている。つまり、この回転スクリーン６６を回転させることによって、各直交軸７０および７２の傾き角を任意に変更することができる。また、回転スクリーン６６の上方には、外乱光を遮蔽するためのフード７６が設けられている。
【００２２】
ヘッド部１４は、図示しない光処理機構を内蔵しており、有効投影レンズ２０の入射面に入射された光に従う像を、当該有効投影レンズ２０の拡大倍率に応じた大きさで、回転スクリーン６６の投影面６８に投影させる。特に、この実施形態の投影器１０では、被測定物５６の任意の断面の輪郭と、当該被測定物５６全体の輪郭とを重ね合わせた、言わば断面図的な像を、投影させることができる。
【００２３】
すなわち、今、被測定物５６として、例えば図４に示すような円錐コロ軸受を用いるとする。この円錐コロ軸受５６は、概略円錐台状のものであり、その中央には、上面７８から底面８０まで真っ直ぐに貫通する円筒状の中空部８２が設けられている。そして、底面８０側の周縁には、その全域にわたって外方に突出したフランジ部８４が設けられており、このフランジ部８４の上面８６の内側部分には、環状の溝８８が設けられている。ここで、図４（ｂ）に点線の円９０で示す部分、具体的には当該円錐コロ軸受５６の中央を縦方向に（中空部８２の中心９２に沿って）切断し、その断面のうち溝８８を含むフランジ部８４の周辺部分を、上述した測定対象部分Ｐとして回転スクリーン６６（投影面６８）に投影させるとする。
【００２４】
この場合、円錐コロ軸受５６の中空部８２の中心９２が水平方向に沿うように、換言すれば上面７８および底面８０が垂直方向に沿うように、当該円錐コロ軸受５６を試料ホルダ５８に保持させる。そして、上述したＸＹＺステージ２６の調整ツマミ、厳密には高さ方向（Ｚ軸方向）用の調整ツマミによって、円錐コロ軸受５６の中空部８２の中心線９２の位置、つまりこれから投影させようとする当該円錐コロ軸受５６の断面の位置が、有効投影レンズ２０の入射側合焦面９４に一致するように、当該有効投影レンズ２０の入射面から円錐コロ軸受５６までの距離を調整する（図３参照）。なお、ここで言う入射側合焦面９４とは、有効投影レンズ２０の入射（対物）側の空間において、当該有効投影レンズ２０の焦点が合うと見なすことのできる領域の集合のことを言う。さらに、ＸＹＺステージ２６の調整ツマミ、厳密には幅方向（Ｘ軸方向）および奥行方向（Ｙ軸方向）用の調整ツマミ、或いは試料ホルダ５８のＸ−Ｙ位置調整機構によって、上述の如く円錐コロ軸受５６の測定対象部分Ｐ（９０）が有効投影レンズ２０の入射側光軸２２に当たるように、当該測定対象部分Ｐの位置を調整する。
【００２５】
次に、各スリット照明３６および３６から発射されるスリット光４６および４６が、円錐コロ軸受５６の測定対象部分Ｐに照射されるように、各照明用ホルダ３４および３４の上述した上下位置調整機構および前後位置調整機構を調整する。具体的には、ステージガラス２８の上面から各スリット光４６および４６までの高さが、当該ステージガラス２８の上面から円錐コロ軸受５６の測定対象部分Ｐまでの高さ、換言すればステージガラス２８の上面から有効投影レンズ２０の入射側合焦面９４までの高さと一致するように、各照明用ホルダ３４および３４の上下位置調製機構を調整する。そして、各スリット光４６および４６の収束点（それぞれのスリット光４６が上述したレンズ群４８および５０から成る収束レンズによって最も細く収束される位置）が円錐コロ軸受５６の測定対象部分Ｐに位置するように、各照明用ホルダ３４および３４の前後位置調整機構を調整する。なお、各スリット光４６および４６は、３０万［ｌｘ（ルクス）］以上の照度、好ましくは１００万［ｌｘ］〜百数十万［ｌｘ］の照度で、各スリット照明３６および３６から発射される（つまり、各スリット照明３６および３６の発射口付近での照度は３０万［ｌｘ］以上である）。
【００２６】
そして、各スリット光４６および４６のうちの一方が、図４（ｂ）に矢印９６で示すように、測定対象部分Ｐのうち主として溝８８の部分に照射されるように、より具体的には円錐コロ軸受５６のやや外方寄りの方向から当該溝８８の部分に照射されるように、上述した案内レール３０に沿って一方の照明ユニット３２を移動させる。そして、他方のスリット光４６が、図４（ｂ）に矢印９８で示すように、測定対象部分Ｐのうち主としてフランジ部８４の底面８０の部分に照射されるように、詳しくは円錐コロ軸受５６のやや側面１００寄りの方向から当該底面８０部分に照射されるように、案内レール２６に沿って他方の照明ユニット３２を移動させる。
【００２７】
さらに、上述した透過照明１８から透過光２４を発射させることによって、当該透過光２４を、円錐コロ軸受５６の下方から、つまり有効投影レンズ２０の入射面が存在する側とは反対側から、当該円錐コロ軸受５６に向けて照射させる。なお、この透過光２４の照度、厳密には透過照明１８の当該透過光２４の発射口付近での照度は、上述したスリット光４６および４６の照度（３０万［ｌｘ］以上）よりも小さく、例えば５万［ｌｘ］〜６万［ｌｘ］程度である。また、この透過光２４は、基台部１２内に設けられた図示しないフィルタ（グリーンフィルタ）を通されるので、その照度は、当該値（５万［ｌｘ］〜６万［ｌｘ］）よりもさらに小さくなり、例えば１０分の１〜１００分の１程度に減衰される。
【００２８】
かかる条件によれば、まず、透過光２４の一部が、円錐コロ軸受５６の外周縁、詳しくはこの円錐コロ軸受５６を有効投影レンズ２０側から見たときの当該円錐コロ軸受５６の外周縁を通過して、有効投影レンズ２０の入射面に入射される。これによって、図５に斜線模様５６ａで示すように、当該円錐コロ軸受５６の外周縁の輪郭を表す像が、回転スクリーン６６の投影面６８に投影される。つまり、この投影面６８に投影された像５６ａから、円錐コロ軸受５６全体の輪郭形状を確認することができる。
【００２９】
これと同時に、各スリット照明３６および３６から発射されるスリット光４６および４６は、円錐コロ軸受５６の側面によって乱反射される。そして、乱反射された光の一部が、有効投影レンズ２０の入射面に入射される。これによって、図５に符号８８ａで示すように、上述した一方の（図４（ｂ）に矢印９６で示す）スリット光４６が照射された溝８８の部分の輪郭を表す像が、明るく投影される。そして、図５に符号８０ａで示す部分、つまり他方の（図４（ｂ）に矢印９８で示す）スリット光４６が照射されたフランジ部８４の底面８０の輪郭を表す像が、特に鮮明に投影される。なお、図６に、実際の投影像の一例を示す。
【００３０】
すなわち、この実施形態の投影器１０によれば、円錐コロ軸受５６全体の輪郭を表す像５６ａと、当該円錐コロ軸受５６を有効投影レンズ２０の入射側合焦面９４によって切断したと仮定した場合の断面の輪郭（特に８０ａおよび８８ａの部分）を表す像とが、互いに重畳された状態で同時に投影され、言わば断面図的な像が投影される。従って、端面図的な像しか投影されない上述した従来技術とは異なり、被測定物（円錐コロ軸受）５６全体の形状、および当該被測定物５６の任意の断面の形状を、１つの投影像から同時に確認することができる。また、投影されている断面が被測定物５６全体のどの部分に位置するのかが明確であるため、真に希望する断面の寸法や角度等を正確かつ効率良く測定することができる。
【００３１】
さらに、溝８８の部分については、フランジ部８４の側面１００よりも内側において当該フランジ部８４内に入り込んだ構造となっているため、例えば円錐コロ軸受５６を有効投影レンズ２０の入射面側から肉眼で見た場合は、当該溝８８の部分の輪郭を確認することはできない。これに対して、この実施形態の投影器１０では、上述したように溝８８の部分にスリット光４６を照射し、その乱反射光を利用することで、当該溝８８の輪郭を表す像を投影させている。つまり、この実施形態の投影器１０によれば、特定の方向から肉眼で見た場合に確認することのできない部分でも、その形状を確認することができる。
【００３２】
また、図５に符号８０ａで示す部分のように、有効投影レンズ２０から見て奥行（厚み）のある部分であっても、スリット光４６が照射されることによって、鮮明な投影像が得られる。従って、かかる部分８０ａを基準（基準線）とした寸法等の測定が可能となり、換言すれば当該基準が明確になる。このことは、上述した円錐コロ軸受５６のように、有効投影レンズ２０から見て奥行のある物体を測定対象とする場合に、極めて有効である。
【００３３】
そして、回転スクリーン６６の投影面６８には、上述したように２対の直交軸７０および７２が描画されており、さらに、一方の直交軸７０には、目盛線７４が記されているので、寸法および角度等を測定する上で都合が良い。なお、直交軸７０に沿う等間隔な目盛線７４に代えて、複数の同心円からなる目盛線を設けてもよい。また、直交軸７０，７２および目盛線７４は、インク等によって描画することができるが、例えばこれらを像（映像）として投影面６８に投影させてもよい。つまり、投影面６８上に目盛を重畳させてもよい。
【００３４】
さらに、この実施形態の投影器１０では、上述したようにＸＹＺステージ２６の高さ方向用の調整ツマミによって、有効投影レンズ２０の入射面から被測定物５６までの距離、つまり投影対象となる断面の位置を、任意に変化させることができる。従って、被測定物５６の断面形状を詳細かつ自由（意のまま）に検分することができる。このように、ＸＹＺステージ２６の調整ツマミは、有効投影レンズ２０の入射側光軸２２に沿う方向において投影対象となる断面の位置を任意に変化させるという言わば断面位置変化手段として機能するが、勿論、これ以外の構成によって、当該断面位置変化手段を実現してもよい。
【００３５】
また、照明ユニット３２を２台設け、それぞれの照明ユニット３２による被測定物５６へのスリット光４６の照射方向を案内レール３０に沿って任意に変化させることができるので、被測定物５６の形状が比較的に複雑であっても、その断面の輪郭を表す像を投影させることができる。なお、案内レール３０およびこれに沿って移動する証明用ホルダ３４が、特許請求の範囲に記載の照射方向変化手段に対応するが、これ以外の構成によって当該照射方向変化手段を実現してもよい。
【００３６】
そして、照明ユニット３２の数は、２台に限らず、１台でも、３台以上でもよい。この照明ユニット３２の数が多いほど、複雑な形状の被測定物５６を検分するのに都合が良く、また、被測定物５６の断面形状をその輪郭の全域にわたって検分するのにも都合が良い。
【００３７】
さらに、各スリット光４６および４６の照度は、透過光２４の照度よりも大きく、厳密には、当該各スリット光４６および４６が照射されることによる被測定物４６の表面の照度は、透過光２４が照射されることによる照度よりも大きい、とされている。従って、被測定物４６の断面を表す像、特に図５において符号８０ａおよび８８ａで示される部分は、当該スリット光４６および４６の乱反射の一部を利用して投影されているにも係わらず、透過光２４による投影像５６ａに埋もれることなく、鮮明に写し出される。これらのスリット光４６および４６の光源として、上述したメタルハライド光源装置を例に挙げたが、これに限定されるものではない。
【００３８】
なお、この実施形態では、回転スクリーン６６の投影面６８に被測定物５６の像を投影させる、という仕様の投影器１０に、この発明を適用する場合について説明したが、これに限らない。例えば、回転スクリーン６６に代えてＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）型やＭＯＳ（Ｍｅｔａｌ−Ｏｘｉｄｅ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）型のカメラなどの撮影手段を備えた投影器にも、この発明を適用することができる。すなわち、被測定物５６の像を当該カメラで撮影すると共に、撮影した画像をモニタ装置に映し出したり、或いは当該画像に各種画像処理を施したりしてもよい。また、かかる画像処理によって、被測定物５６の寸法や角度等を測定してもよい。
【００３９】
また、被測定物５６によるスリット光４６および４６の乱反射を増大させるために、当該被測定物５６の表面に表面反射処理剤を塗布してもよい。かかる表面反射処理剤を塗布して、被測定物５６の表面におけるスリット光４６および４６に対する反射率を向上させることによって、当該被測定物５６の断面の輪郭を表す像をより鮮明に投影させることができる。なお、表面反射処理剤としては、例えば酸化マグネシウム（ＭｇＯ）とシンナーとの混合液体、或いは白ラッカなどがある。
【００４０】
そして、被測定物５６の一例として、円錐コロ軸受を挙げたが、これに限定されるものではない。ただし、この発明は、上述したように、溝８８のような入り込んだ部分を有する被測定物５６を検分するのに、極めて有効である。また、有効投影レンズ２０から見て（入射側光軸２２に沿う方向において）奥行のある部分を検分するのにも、有効である。
【００４１】
なお、参考までに、図７に、上述した従来技術によって図４の円錐コロ軸受５６を投影した場合の一例を示す。同図に示すように、従来技術によれば、例えばフランジ部８４の上面８６に対応する像８６ａが投影されず、つまり円錐コロ軸受５６の一断面の輪郭のみを表す言わば端面図的な像しか投影されない。従って、円錐コロ軸受５６全体の形状を確認することができない。
【００４２】
また、一般に万能投影器と呼ばれている公知の投影器による投影例を、図８に示す。同図に示すように、万能投影器によれば、円錐コロ軸受５６全体の輪郭を表す像５６ａのみが投影され、上述した図５に示すような溝８８に対応する部分８８ａの像は投影されない。つまり、当該溝８８を観測することすらできず、換言すれば任意の断面の形状を確認することができない。また、当該像５６ａのうち、フランジ部８４の側面１００に対応する部分１００ａのように、有効投影レンズ２０から見て奥行が比較的に小さい部分については、或る程度鮮明に投影されるが、底面８０やフランジ部８４の上面８６に対応する部分８０ａおよび８６ａのように、有効投影レンズ２０から見て奥行のある部分については、鮮明に投影されず、ぼやけた像となる。
【００４３】
【発明の効果】
この発明によれば、被測定物全体の輪郭を表す像と当該被測定物の断面の輪郭を表す像とが互いに重畳された状態で同時に投影され、言わば断面図的な像が投影される。従って、端面図的な像しか投影することのできない上述の従来技術と異なり、被測定物全体の形状、および当該被測定物の或る一断面の形状を、１つの投影像によって同時に確認することができる。また、投影されている断面が被測定物のどの部分に相当するのかが明確であるため、真に希望する断面の寸法や角度等を正確かつ効率良く測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施形態の概略構成を示す図である。
【図２】同実施形態におけるスリット照明と被測定物との位置関係を上方から見た図である。
【図３】同実施形態におけるスリット照明と被測定物との位置関係を横方から見た図である。
【図４】同実施形態における被測定物の一例を示す構造図である。
【図５】同実施形態において図４の被測定物を投影した状態を示す図解図である。
【図６】図５の実際の投影例を示す写真である。
【図７】図４の被測定物を従来技術によって投影した例を示す図解図である。
【図８】図４の被測定物を公知の万能投影器によって投影した例を示す図解図である。
【符号の説明】
１０  投影器
１２  基台部
１４  ヘッド部
１８  透過照明
２０  投影レンズ
２２  入射側光軸
３６  スリット照明
４６  スリット光
５６  被測定物
５８  試料ホルダ
６６  回転スクリーン
６８  投影面
９４  入射側合焦面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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