(57)【要約】【課題】  長さの異なる微細短孔と微細長孔とが所定パターンで形成されたシャドウマスクを製造する場合において、微細短孔と微細長孔の両方共を適正形状に形成することができる方法を提供する。【解決手段】  金属薄板材の主面に、金属薄板材に形成しようとする長さの異なる微細短孔と微細長孔とに対応する短孔開口部１０と長孔開口部１２とが所定パターンで形成されたレジスト膜を被着形成する場合に、長孔開口部１２を、複数個の分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを一直線上にかつ互いに近接させて配列させることにより構成する。【選択図】  図１
2005235402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄板材の主面に、金属薄板材に形成しようとする長さの異なる微細短孔と微細長孔とにそれぞれ対応する短孔開口部と長孔開口部とが所定パターンで形成されたレジスト膜を被着形成し、その金属薄板材をエッチングして、金属薄板材に長さの異なる微細短孔と微細長孔とを所定パターンで形成するフォトエッチング製品の製造方法において、
前記レジスト膜に形成される前記長孔開口部を、複数個の分割開口部を一直線上にかつ互いに近接させて配列させることにより構成することを特徴とするフォトエッチング製品の製造方法。
【請求項２】
金属薄板材の主面に、金属薄板材に形成しようとするスリット状の微細長孔に対応する長孔開口部が所定パターンで形成されたレジスト膜を被着形成し、その金属薄板材をエッチングして、金属薄板材にスリット状の微細長孔を所定パターンで形成するフォトエッチング製品の製造方法において、
前記レジスト膜に形成される前記長孔開口部を、複数個の分割開口部を一直線上にかつ互いに近接させて配列させることにより構成することを特徴とするフォトエッチング製品の製造方法。
【請求項３】
金属薄板材に形成しようとする長さの異なる微細短孔と微細長孔とにそれぞれ対応する短孔画像と長孔画像とが所定パターンで描出され、金属薄板材の主面に被着形成されたレジスト膜に密着してレジスト膜を露光し、そのレジスト膜に、金属薄板材に形成しようとする微細短孔と微細長孔とにそれぞれ対応する短孔開口部と長孔開口部とを所定パターンで形成するために使用されるパターン板において、
前記長孔画像が、複数個の分割画像を、一直線上にかつ互いに近接させて配列させることにより構成されたことを特徴とする、フォトエッチング製品の製造に用いられるパターン板。
【請求項４】
金属薄板材に形成しようとするスリット状の微細長孔に対応する長孔画像が所定パターンで描出され、金属薄板材の主面に被着形成されたレジスト膜に密着してレジスト膜を露光し、そのレジスト膜に、金属薄板材に形成しようとするスリット状の微細長孔に対応する長孔開口部を所定パターンで形成するために使用されるパターン板において、
前記長孔画像が、複数個の分割画像を一直線上にかつ互いに近接させて配列させることにより構成されたことを特徴とする、フォトエッチング製品の製造に用いられるパターン板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、カラー受像管に使用されるシャドウマスク等のフォトエッチング製品の製造方法、ならびに、その方法において用いられる露光用パターン板に関する。
【背景技術】
【０００２】
スロット状等の多数の微細透孔が形成されたシャドウマスクでは、微細透孔の長さ寸法を大きくすると、カラー受像管において電子ビームの透過率が上がって輝度を高めることができる。一方、微細透孔の長さ寸法を大きくすると、シャドウマスクの強度の点で問題となる。そこで、図１２に部分拡大平面図を示すように、長さの異なる微細短孔２と微細長孔３とが所定パターンで混在したシャドウマスク１も製作されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
図１２に示したようなシャドウマスク１は、金属薄板材の主面に、図１３に拡大平面図を示すように微細短孔２に対応する短孔開口部６６と微細長孔３に対応する長孔開口部６８とが所定パターンで形成されたレジスト膜を被着形成し、その金属薄板材をエッチングすることにより製造される。また、図示していないが（後述に係る図８参照）、スリット状の微細長孔が所定パターンで形成されたシャドウマスクは、金属薄板材の主面に、図１７に拡大平面図を示すようにスリット状の微細長孔に対応する長孔開口部７８が所定パターンで形成されたレジスト膜を被着形成し、その金属薄板材をエッチングすることにより製造される。
【特許文献１】特開２００１−１８５０４５号公報（第３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図１３に示すように短孔開口部６６と長孔開口部６８とが所定パターンで混在したレジスト膜が形成された金属薄板材をエッチングした場合、図１４に拡大平面図を示すように金属薄板材のエッチングが進行する。図１４において、７０ａ、７０ｂ、７０ｃ；７４ａ、７４ｂ、７４ｃがそれぞれ凹部（テーパー面）であり、７２ａ、７２ｂ、７２ｃ；７６ａ、７６ｂ、７６ｃがそれぞれ貫通部である。図１４に示すように、長孔開口部６８におけるエッチングの進み具合は、短孔開口部６６におけるエッチングに比べて遅れる。これは、金属薄板材をエッチングして孔を貫通させる場合、図１４の（ａ）に示したように、貫通部の形成はレジスト膜開口部の両端から始まるためであり、図１４の（ｂ）に示したように、貫通部が長さ方向において繋がるまでの時間はレジスト膜開口部の長さによって異なるからである。この結果、図１４の（ｃ）をさらに拡大した平面図を図１５の（ａ）に示すように、微細短孔２（貫通部７２ｃ）が適正に形成された時点でエッチングを終了すると、微細長孔３（貫通部７６ｃ）は、長さ方向における中央部がエッチング不足となり、図１５の（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図を図１５の（ｂ）に示すように、微細短孔２の長さ方向における中央部の幅ｗ１に比べて、微細長孔３の長さ方向における中央部の幅ｗ２が狭くなる。一方、図１６に示すように、微細長孔３（貫通部７６ｃ）が適正に形成されるまでエッチングを続けると、微細短孔２（貫通部７２ｃ）がオーバーエッチングとなり、図１６の（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図を図１６の（ｂ）に示すように、微細短孔２の幅ｗ３が微細長孔３の幅ｗ４に比べて広くなる。このように、長さの異なる微細短孔２と微細長孔３とが所定パターンで混在したシャドウマスク１においては、微細短孔２と微細長孔３の両方共をそれぞれ適正形状に形成することが従来は困難であった。
【０００５】
また、図１７に示すようにスリット状の微細長孔に対応する長孔開口部７８が所定パターンで形成されたレジスト膜が被着された金属薄板材をエッチングした場合、図１８に拡大平面図を示すように金属薄板材のエッチングが進行する。図１８において、８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄがそれぞれ凹部（テーパー面）であり、８２ａ、８２ｂ、８２ｃ、８２ｄｃがそれぞれ貫通部である。上記したように、金属薄板材をエッチングして孔を貫通させる場合、図１８の（ａ）に示したように、貫通部の形成はレジスト膜開口部の両端から始まる。このため、図１８の（ｄ）に示したように、微細長孔（貫通部８２ｄ）が適正に形成されるまでエッチングするのに、多くの時間を必要とする。このように、スリット状の微細長孔が所定パターンで形成されたシャドウマスクの製造においては、微細短孔が所定パターンで形成されたシャドウマスクに比べると、エッチング時間が長くなり、生産効率が低下する、といった問題点がある。
【０００６】
この発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであり、長さの異なる微細短孔と微細長孔とが所定パターンで形成されたシャドウマスク等のフォトエッチング製品を製造する場合において、微細短孔と微細長孔の両方共をそれぞれ適正形状に形成することができる方法、および、スリット状の微細長孔が所定パターンで形成されたシャドウマスク等のフォトエッチング製品を製造する場合において、エッチング時間を短縮して生産効率を向上させることができる方法を提供すること、ならびに、そのようなフォトエッチング製品の製造方法をそれぞれ実施する際に用いられるパターン板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１に係る発明は、金属薄板材の主面に、金属薄板材に形成しようとする長さの異なる微細短孔と微細長孔とにそれぞれ対応する短孔開口部と長孔開口部とが所定パターンで形成されたレジスト膜を被着形成し、その金属薄板材をエッチングして、金属薄板材に長さの異なる微細短孔と微細長孔とを所定パターンで形成するフォトエッチング製品の製造方法において、前記レジスト膜に形成される前記長孔開口部を、複数個の分割開口部を一直線上にかつ互いに近接させて配列させることにより構成することを特徴とする。
【０００８】
請求項２に係る発明は、金属薄板材の主面に、金属薄板材に形成しようとするスリット状の微細長孔に対応する長孔開口部が所定パターンで形成されたレジスト膜を被着形成し、その金属薄板材をエッチングして、金属薄板材にスリット状の微細長孔を所定パターンで形成するフォトエッチング製品の製造方法において、前記レジスト膜に形成される前記長孔開口部を、複数個の分割開口部を一直線上にかつ互いに近接させて配列させることにより構成することを特徴とする。
【０００９】
請求項３に係る発明は、金属薄板材に形成しようとする長さの異なる微細短孔と微細長孔とにそれぞれ対応する短孔画像と長孔画像とが所定パターンで描出され、金属薄板材の主面に被着形成されたレジスト膜に密着してレジスト膜を露光し、そのレジスト膜に、金属薄板材に形成しようとする微細短孔と微細長孔とにそれぞれ対応する短孔開口部と長孔開口部とを所定パターンで形成するために使用されるパターン板において、前記長孔画像が、複数個の分割画像を一直線上にかつ互いに近接させて配列させることにより構成されたことを特徴とする。
【００１０】
請求項４に係る発明は、金属薄板材に形成しようとするスリット状の微細長孔に対応する長孔画像が所定パターンで描出され、金属薄板材の主面に被着形成されたレジスト膜に密着してレジスト膜を露光し、そのレジスト膜に、金属薄板材に形成しようとするスリット状の微細長孔に対応する長孔開口部を所定パターンで形成するために使用されるパターン板において、前記長孔画像が、複数個の分割画像を一直線上にかつ互いに近接させて配列させることにより構成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１に係る発明のフォトエッチング製品の製造方法によると、金属薄板材をエッチングしたときに、レジスト膜の長孔開口部を構成する各分割開口部におけるエッチングの進み具合が短孔開口部におけるエッチングの進み具合とそれぞれほぼ等しくなる。このため、互いに近接して配列された各分割開口部においてそれぞれ孔が貫通しそれらの貫通孔同士が繋がって微細長孔が適正に形成されるまでのエッチング時間と、微細短孔が適正に形成されるまでのエッチング時間とが、ほとんど同じになる。したがって、請求項１に係る発明の製造方法を用いると、長さの異なる微細短孔と微細長孔の両方共がそれぞれ適正形状に所定パターンで形成されたフォトエッチング製品を得ることができる。
【００１２】
請求項２に係る発明のフォトエッチング製品の製造方法によると、金属薄板材をエッチングしたときに、レジスト膜の長孔開口部を構成する各分割開口部において個別にエッチングが進行してそれぞれ孔が貫通し、続いてそれらの貫通孔同士が繋がってスリット状の微細長孔が形成されるので、微細長孔が適正に形成されるまでのエッチング時間が従来に比べて短くなる。したがって、請求項２に係る発明の製造方法を用いると、スリット状の微細長孔が所定パターンで形成されたフォトエッチング製品を製造する場合における生産効率を向上させることができる。
【００１３】
請求項３に係る発明のパターン板を使用して、金属薄板材の主面に被着形成されたレジスト膜を密着露光し、現像処理すると、レジスト膜に、微細短孔に対応する短孔開口部と、複数個の分割開口部を一直線上にかつ互いに近接させて配列させた、微細長孔に対応する長孔開口部とが、所定パターンで形成される。したがって、請求項３に係る発明のパターン板を使用すると、請求項１に係る発明の製造方法を実施して、上記効果を奏することができる。
【００１４】
請求項４に係る発明のパターン板を使用して、金属薄板材の主面に被着形成されたレジスト膜を密着露光し、現像処理すると、レジスト膜に、複数個の分割開口部を一直線上にかつ互いに近接させて配列させた、微細長孔に対応する長孔開口部が所定パターンで形成される。したがって、請求項４に係る発明のパターン板を使用すると、請求項２に係る発明の製造方法を実施して、上記効果を奏することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、この発明の最良の実施形態について図１ないし図１１を参照しながら説明する。
フォトエッチング製品、例えば図１２に示したように長さの異なる微細短孔２と微細長孔３とが所定パターンで混在したシャドウマスク１を製造する場合には、金属薄板材の主面に、図１に拡大平面図を示すように微細短孔２に対応する短孔開口部１０と微細長孔３に対応する長孔開口部１２とが所定パターンで形成されたレジスト膜を被着形成し、その金属薄板材をエッチングするようにするが、この発明に係る方法では、レジスト膜に形成される長孔開口部１２を、複数個の分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを一直線上に配列させることにより構成する。図示例では、長孔開口部１２が、一直線上に並んだ３個分の短孔開口部１０に相当する長さを有しており、長孔開口部１２は、３個の分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃを一直線上に配列させて構成されている。分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃの端部同士の間隔は、短孔開口部１０の端部同士の間隔に比べて相当に小さくされている。すなわち、図１の長孔開口部１２をさらに拡大した平面図を図２に示すように、分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃの端部間のブリッジ部１６の幅ａは、例えば、短孔開口部１０および微長孔開口部１２のそれぞれの幅が１００μｍで短孔開口部１０の端部間のブリッジ部の幅が１５０μｍであるときに５０μｍ以下、好ましくは１０μｍ〜３０μｍとされる。
【００１６】
金属薄板材の主面に被着されたレジスト膜に、図１に示したような短孔開口部１０と長孔開口部１２とを所定パターンで形成するのには、図３に部分拡大平面図を示すように、短孔開口部１０に対応する短孔画像２０と、３個の分割画像２４ａ、２４ｂ、２４ｃが一直線上にかつ互いに近接し配列されて構成され長孔開口部１２に対応する長孔画像２２とが、それぞれ所定パターンで描出されたパターン板１８を使用する。ここで言うパターン板には、マスターパターンおよびワーキングパターンの両方が含まれる。そして、金属薄板材の主面に被着形成されたレジスト膜にパターン板（ワーキングパターン）１８を密着してレジスト膜を露光し、そのレジスト膜を現像することにより、短孔開口部１０と長孔開口部１２とが所定パターンで形成されたレジスト膜が得られる。
【００１７】
図１に示したように３個の分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃで構成された長孔開口部１２と短孔開口部１０とが所定パターンで形成されたレジスト膜が被着された金属薄板材をエッチングした場合、図４に拡大平面図を示すように金属薄板材のエッチングが進行する。図４において、２６ａ、２６ｂ、２６ｃ；３０ａ、３０ｂ、３０ｃがそれぞれ凹部（テーパー面）であり、２８ａ、２８ｂ、２８ｃ；３２ａ、３２ｂ、３２ｃがそれぞれ貫通部である。図４の（ａ）に示すように、長孔開口部１２においては、各分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃにおける両端からそれぞれ金属薄板材への貫通部の形成が始まる。すなわち、長孔開口部１２における貫通部の形成は、従来のように長孔開口部の両端の２個所だけではなくて６個所において始まることになる。そして、長孔開口部１２を構成する各分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃにおけるエッチングの進み具合は、短孔開口部１０におけるエッチングの進み具合とそれぞれほぼ等しくなる。このため、図４の（ｂ）に示すように、各分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃにおいてそれぞれ孔が貫通してそれらの貫通孔同士が繋がり、図４の（ｃ）に示すように微細長孔３６（３２ｃ）が適正に形成されるまでのエッチング時間は、微細短孔３４（２８ｃ）が適正に形成されるまでのエッチング時間とほとんど同じになる。したがって、図４の（ｃ）をさらに拡大した平面図を図５の（ａ）に示し、図５の（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図を図５の（ｂ）に示すように、長さの異なる微細短孔３４（貫通部２８ｃ）と微細長孔３６（貫通部３２ｃ）の両方共がそれぞれ適正形状に形成される。但し、図５の（ａ）のＡ部分の拡大図を図６に示すように、微細長孔３６には、分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃの端部間のブリッジ部１６に相当する部分に微細突起３８が形成される。しかしながら、微細突起３８の高さｂは、２０μｍ以下、実際には１０μｍ以下であるため、シャドウマスクの性能に影響することはない。
【００１８】
上記した実施形態は、図１２に示したように、微細短孔２が配列された孔列と微細長孔３が配列された孔列とが交互に繰り返されるパターンを有するシャドウマスク１を製造する場合についてのものであるが、微細短孔と微細長孔との形成パターンは、上記のものに限らない。例えば、図７に部分拡大平面図を示すように、長さの異なる微細短孔４２と微細長孔４４とが同列に配列されたパターンを有するシャドウマスク４０も、上記と同様の方法によって製造することができ、長さの異なる微細短孔４２と微細長孔４４の両方共がそれぞれ適正形状に形成されたシャドウマスク４０を得ることができる。
【００１９】
次に、図８に部分拡大平面図を示すように、スリット状の微細長孔４８のみが所定パターンで形成されたシャドウマスク４６を製造する場合について説明する。この場合には、金属薄板材の主面に、図９に拡大平面図を示すようにスリット状の微細長孔４８に対応する長孔開口部５０が所定パターンで形成されたレジスト膜を被着形成し、その金属薄板材をエッチングするようにするが、レジスト膜に形成される長孔開口部５０を、複数個の分割開口部５２ａ、５２ｂ、５２ｃを一直線上に配列させることにより構成する。図示例では、長孔開口部５０が３個の分割開口部５２ａ、５２ｂ、５２ｃを一直線上に配列させて構成されている。分割開口部５２ａ、５２ｂ、５２ｃの端部同士の間隔は、上記した実施形態における長孔開口部１２の分割開口部１４ａ、１４ｂ、１４ｃと同様に狭くされている。
【００２０】
金属薄板材の主面に被着されたレジスト膜に、図９に示したような長孔開口部５０を所定パターンで形成するのには、図１０に部分拡大平面図を示すように、３個の分割画像５８ａ、５８ｂ、５８ｃが一直線上にかつ互いに近接し配列されて構成され長孔開口部５０に対応する長孔画像５６が所定パターンで描出されたパターン板５４を使用する。そして、金属薄板材の主面に被着形成されたレジスト膜にパターン板（ワーキングパターン）５４を密着してレジスト膜を露光し、そのレジスト膜を現像することにより、長孔開口部５０が所定パターンで形成されたレジスト膜が得られる。
【００２１】
図９に示したように３個の分割開口部５２ａ、５２ｂ、５２ｃで構成された長孔開口部５０が所定パターンで形成されたレジスト膜が被着された金属薄板材をエッチングした場合、図１１に拡大平面図を示すように金属薄板材のエッチングが進行する。図１１において、６０ａ、６０ｂ、６０ｃがそれぞれ凹部（テーパー面）であり、６２ａ、６２ｂ、６２ｃがそれぞれ貫通部である。図１１の（ａ）に示すように、長孔開口部５０においては、上記した実施形態における長孔開口部１２と同様に、各分割開口部５２ａ、５２ｂ、５２ｃにおける両端からそれぞれ金属薄板材への貫通部の形成が始まる。このため、長孔開口部５０におけるエッチングの進み具合は、従来のように１本につながった長孔開口部６８（図１３参照）におけるエッチングの進み具合と比べて速くなる。そして、図１１の（ｂ）に示すように、各分割開口部５２ａ、５２ｂ、５２ｃにおいてそれぞれ孔が貫通してそれらの貫通孔同士が繋がり、図１１の（ｃ）に示すように微細長孔６４（貫通部６２ｃ）が適正に形成されるまでのエッチング時間が従来に比べて短くなる。この結果、図８に示したようにスリット状の微細長孔４８が所定パターンで形成されたシャドウマスク４６を製造する場合における生産効率が向上することとなる。なお、この場合においても、上記実施形態と同様に、微細長孔６４の、分割開口部５２ａ、５２ｂ、５２ｃの端部間のブリッジ部に相当する部分に微細突起が形成されるが、微細突起は無視し得る程度に小さいので、シャドウマスクの性能に影響することはない。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】第１の発明の実施形態の１例を示し、長さの異なる微細短孔と微細長孔とが所定パターンで混在したシャドウマスクを製造する過程において金属薄板材の主面に被着形成されるレジスト膜の拡大平面図である。
【図２】図１に示したレジスト膜の一部をさらに拡大した平面図である。
【図３】図１に示したレジスト膜を形成するために使用されるパターン板の部分拡大平面図である。
【図４】図１に示したレジスト膜が被着された金属薄板材をエッチングした場合におけるエッチングの進行状態を示す拡大平面図である。
【図５】（ａ）は、図４の（ｃ）をさらに拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図６】図５の（ａ）のＡ部分の拡大図である。
【図７】第１の発明に係る方法が適用されるシャドウマスクの１例を示す部分拡大平面図である。
【図８】第２の発明に係る方法が適用されるシャドウマスクの１例を示す部分拡大平面図である。
【図９】第２の発明の実施形態の１例を示し、スリット状の微細長孔が所定パターンで形成されたシャドウマスクを製造する過程において金属薄板材の主面に被着形成されるレジスト膜の拡大平面図である。
【図１０】図９に示したレジスト膜を形成するために使用されるパターン板の部分拡大平面図である。
【図１１】図９に示したレジスト膜が被着された金属薄板材をエッチングした場合におけるエッチングの進行状態を示す拡大平面図である。
【図１２】シャドウマスクの１例を示す部分拡大平面図である。
【図１３】図１２に示したシャドウマスクを製造する過程において金属薄板材の主面に被着形成されるレジスト膜の拡大平面図である。
【図１４】図１３に示したレジスト膜が被着された金属薄板材をエッチングした場合におけるエッチングの進行状態を示す拡大平面図である。
【図１５】（ａ）は、図１４の（ｃ）をさらに拡大した平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図１６】（ａ）は、図１３に示したレジスト膜が被着された金属薄板材をオーバーエッチングした場合における金属薄板材の拡大平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ矢視断面図である。
【図１７】スリット状の微細長孔が所定パターンで形成されたシャドウマスクを製造する過程において金属薄板材の主面に被着形成される従来のレジスト膜の拡大平面図である。
【図１８】図１７に示したレジスト膜が被着された金属薄板材をエッチングした場合におけるエッチングの進行状態を示す拡大平面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１、４０、４６  シャドウマスク
２、３４、４２  微細短孔
３、３６、４４、４８、６４  微細長孔
１０  短孔開口部
１２、５０  長孔開口部
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、５２ａ、５２ｂ、５２ｃ  分割開口部
１６  分割開口部の端部間のブリッジ部
１８、５４  パターン板
２０  短孔画像
２２、５６  長孔画像
２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、５８ａ、５８ｂ、５８ｃ  分割画像
２６ａ、２６ｂ、２６ｃ、３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、６０ａ、６０ｂ、６０ｃ  凹部（テーパー面）
２８ａ、２８ｂ、２８ｃ、３２ａ、３２ｂ、３２ｃ、６２ａ、６２ｂ、６２ｃ  貫通部
【図１】
2005235402.tif 000003
【図２】
2005235402.tif 000004
【図３】
2005235402.tif 000005
【図４】
2005235402.tif 000006
【図５】
2005235402.tif 000007
【図６】
2005235402.tif 000008
【図７】
2005235402.tif 000009
【図８】
2005235402.tif 000010
【図９】
2005235402.tif 000011
【図１０】
2005235402.tif 000012
【図１１】
2005235402.tif 000013
【図１２】
2005235402.tif 000014
【図１３】
2005235402.tif 000015
【図１４】
2005235402.tif 000016
【図１５】
2005235402.tif 000017
【図１６】
2005235402.tif 000018
【図１７】
2005235402.tif 000019
【図１８】
2005235402.tif 000020