(57)【要約】【課題】光ファイバ等のコア部を有する光伝送用部材に対し、所定の曲率半径の球面部分を有するマイクロレンズを容易にかつ確実に形成することのできる方法を提供する。【解決手段】本発明のマイクロレンズの形成方法は、（Ａ）光ファイバ５の端面を上方に向けた状態で、他の光ファイバ１を用いて、液状の光硬化性樹脂組成物の液滴４を光ファイバ５の上端面に付着させ、光ファイバ５のコア部の外径よりも大きな外径を有する半球状の液滴を光ファイバ５の上端面に形成させる工程と、（Ｂ）この液滴に対し、光ファイバ５のコア部を通じて紫外線１２を照射して、液滴の外表面の一部を輪郭として含むマイクロレンズ１４を形成する工程を含む。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つ以上のコア部を有する光伝送用部材の端面に対するマイクロレンズの形成方法であって、
（Ａ）前記光伝送用部材の前記端面における前記コア部の各々に対し、当該コア部の外径よりも大きな外径を有するように液状の光硬化性樹脂組成物の液滴を付着させる工程と、
（Ｂ）該光硬化性樹脂組成物の液滴に対し、該光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長を有する光を照射して、該液滴の少なくとも一部を光硬化させ、該液滴の外表面の輪郭の少なくとも一部を外表面として含むマイクロレンズを形成する工程とを含むことを特徴とするマイクロレンズの形成方法。
【請求項２】
前記工程（Ａ）において、前記光伝送用部材の前記端面を上方に向けた状態で、前記液滴を付着させる請求項１に記載のマイクロレンズの形成方法。
【請求項３】
前記工程（Ａ）において、前記マイクロレンズの外径が２０μｍ以上になるように、液滴の付着量を定める請求項１又は２に記載のマイクロレンズの形成方法。
【請求項４】
前記液状の光硬化性樹脂組成物を下端に付着させた光ファイバを用いて、前記工程（Ａ）における液滴の付着を行なう請求項１〜３のいずれか１項に記載のマイクロレンズの形成方法。
【請求項５】
前記光ファイバから、前記液状の光硬化性樹脂組成物を硬化させない波長の光を出射することによって、前記光ファイバと前記光伝送用部材との調芯を行なった後、前記液滴の付着を行なう請求項４に記載のマイクロレンズの形成方法。
【請求項６】
所定の液量の液滴を下方に吐出し得る液体吐出手段を用いて、前記工程（Ａ）における液滴の付着を行なう請求項１〜３のいずれか１項に記載のマイクロレンズの形成方法。
【請求項７】
前記光伝送用部材の前記コア部から、前記液状の光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長を有する光を出射することによって、前記工程（Ｂ）における光硬化を行なう請求項１〜６のいずれか１項に記載のマイクロレンズの形成方法。
【請求項８】
前記液滴が付着している前記光伝送用部材のコア部に対し、該コア部と光軸が略一致するように、光ファイバを対向して配置させた後、該光ファイバから、前記液状の光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長を有する光を出射することによって、前記工程（Ｂ）における光硬化を行なう請求項１〜６のいずれか１項に記載のマイクロレンズの形成方法。
【請求項９】
前記光伝送用部材が光ファイバである請求項１〜８のいずれか１項に記載のマイクロレンズの形成方法。
【請求項１０】
前記光伝送用部材が光ファイバアレイである請求項１〜８のいずれか１項に記載のマイクロレンズの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバ、光ファイバアレイ、光導波路等の光伝送用部材の端面に設けられる、接続損失を減少させるためのマイクロレンズの形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバ通信は、大容量で高速の通信が可能であり、現代の情報化社会を支える基盤技術である。そして、光ファイバ通信で用いられる光モジュール（具体的には、半導体レーザ、フォトダイオード等の光送受信モジュール）は、小型化、薄型化、低コスト化が求められている。
かかる状況下で、光ファイバと光モジュールとの接続部における接続損失を低減させることが課題となっている。この接続損失の低減方法として、従来から、光ファイバの端面にマイクロレンズを形成させる方法が知られている。
その一例として、光ファイバのクラッドの外径より小さな最外直径を有する光硬化性樹脂からなるレンズが、光ファイバの端面に形成されてなるレンズ付き光ファイバが、提案されている（特許文献１）。
このレンズ付き光ファイバは、光ファイバの下端に硬化済み樹脂を形成させた後、この硬化済み樹脂の下面に未硬化樹脂を付着させ、この未硬化樹脂を硬化用光で硬化させて、球面状のレンズを形成させることによって製造される。
他の例として、シングルモード光ファイバの端部のコア径を端面に近付くにつれて大きくしたコア径拡大シングルモード光ファイバの端面に、凸レンズが付着されているレンズ付コア径拡大光ファイバが、提案されている（特許文献２）。
このレンズ付コア径拡大光ファイバは、コア径拡大シングルモード光ファイバの端部を光軸がほぼ垂直となるような姿勢で液状の透明材料中に浸漬し、その姿勢で引き上げ、端面に付着したしずくを硬化させて、光ファイバの端面に半球状のレンズを形成させることによって製造される。
【特許文献１】特開平１０−２２１５４７号公報
【特許文献２】特開平７−２９４７７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述の従来の技術では、レンズの径の大きさは、光ファイバの端面（または端面に形成された硬化済み樹脂の下面）の径によって定まり、種々の寸法に調整することが困難である。
また、上述の従来の技術では、レンズを形成させるための未硬化樹脂の付着は、光ファイバの端面を下方に向けた状態で行なわれている。そのため、未硬化樹脂は、重力と釣り合う表面張力によって光ファイバの下端面に付着し保持されることになる。この場合、未硬化樹脂の輪郭は、変化し易い不安定なものであり、所定の曲率半径を有する球面部分を保つことが困難である。
したがって、本発明の目的は、光ファイバ等のコア部を有する光伝送用部材に対し、光の伝送効率を高めることのできる所定の曲率半径の球面部分を有するマイクロレンズを容易にかつ確実に形成することのできる方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明者は、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、光ファイバ等の光伝送用部材の端面におけるコア部に、当該コア部の外径よりも大きな外径を有するように液状の光硬化性樹脂組成物の液滴を付着させた後、この液滴に対し、光を照射して、当該液滴の所定の領域を光硬化させれば、光の伝送効率を高めることのできる所定の曲率半径の曲面を有するマイクロレンズを形成することができることを見出し、本発明を完成した。
すなわち、本発明のマイクロレンズの形成方法は、少なくとも１つ以上のコア部を有する光伝送用部材の端面に対するマイクロレンズの形成方法であって、（Ａ）前記光伝送用部材の前記端面における前記コア部の各々に対し、当該コア部の外径よりも大きな外径を有するように液状の光硬化性樹脂組成物の液滴を付着させる工程と、（Ｂ）該光硬化性樹脂組成物の液滴に対し、該光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長を有する光を照射して、該液滴の少なくとも一部を光硬化させ、該液滴の外表面の輪郭の少なくとも一部を外表面として含むマイクロレンズを形成する工程とを含むことを特徴とする。
【０００５】
工程（Ａ）において、前記光伝送用部材の前記端面を上方に向けた状態で、前記液滴を付着させることが好ましい。
工程（Ａ）における液滴の付着量は、前記マイクロレンズの外径が２０μｍ以上になるように定めることが好ましい。
工程（Ａ）において液滴を付着させる方法の一例として、液状の光硬化性樹脂組成物を下端に付着させた光ファイバを用いる方法が挙げられる。
この場合、光ファイバから、液状の光硬化性樹脂組成物を硬化させない波長の光を出射することによって、光ファイバと光伝送用部材との調芯を行なうことができる。
工程（Ａ）において液滴を付着させる方法の他の例として、所定の液量の液滴を下方に吐出し得る液体吐出手段を用いる方法が挙げられる。
工程（Ｂ）における光硬化の方法の一例として、光伝送用部材のコア部から、液状の光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長を有する光を出射する方法が挙げられる。
工程（Ｂ）における光硬化の方法の他の例として、液滴が付着している光伝送用部材のコア部に対し、該コア部と光軸が略一致するように、光ファイバを対向して配置させた後、該光ファイバから、液状の光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長を有する光を出射する方法が挙げられる。
本発明の方法の対象物である光伝送用部材の例としては、光ファイバ、光ファイバアレイ、光導波路等が挙げられる。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のマイクロレンズの形成方法によれば、光ファイバ等のコア部を有する光伝送用部材に対し、所定の曲率半径の球面部分を有するマイクロレンズを容易にかつ確実に形成させることができる。
また、本発明の方法で形成されるマイクロレンズは、所定の曲率半径の球面部分（外表面）を有するため、光ファイバ等の光伝送用部材と、半導体レーザ等の光モジュールまたは他の光伝送用部材とを接続するに際し、接続損失を減少させ、かつ、軸ずれに対する許容度を大きくすることができる。
特に、本発明の方法で形成されるマイクロレンズは、コア部の外径よりも大きな曲率半径を有する外表面を有するため、光伝送用部材と光モジュールの隙間（ギャップ）の距離（通常、数μｍ〜数百μｍ）と同程度の焦点距離を有し、光伝送用部材と光モジュールの間の光の伝送効率を高めることができる。
また、本発明のマイクロレンズの形成方法によれば、光ファイバ等の光伝送用部材の端面に対して、直接、マイクロレンズを形成することができるので、光伝送用部材とマイクロレンズの間に合成樹脂成形体等を介在させる方法と比べて、マイクロレンズを効率的に形成することができる。
さらに、本発明のマイクロレンズの形成方法は、加熱溶融等の工程を含まないため、マイクロレンズを簡易な設備を用いて短時間で形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明のマイクロレンズの形成方法は、少なくとも１つ以上のコア部を有する光伝送用部材の端面に対するマイクロレンズの形成方法であって、（Ａ）光伝送用部材の端面におけるコア部の各々に対し、当該コア部の外径よりも大きな外径を有するように液状の光硬化性樹脂組成物の液滴を付着させる工程と、（Ｂ）該光硬化性樹脂組成物の液滴に対し、該光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長を有する光を照射して、該液滴の少なくとも一部を光硬化させ、該液滴の外表面の輪郭の少なくとも一部を外表面として有するマイクロレンズを形成する工程とを含むものである。
【０００８】
［工程Ａ］
工程（Ａ）は、光伝送用部材の端面におけるコア部の各々に対し、当該コア部の外径よりも大きな外径を有するように液状の光硬化性樹脂組成物の液滴を付着させる工程である。
ここで、光伝送用部材の例としては、光の伝送路である軸状のコア部を有するものであればよく、特に限定されないが、例えば、光ファイバ、光ファイバアレイ、光導波路等が挙げられる。
なお、光ファイバは、軸状のコア部と該コア部の周りに被覆形成されたクラッド部とからなる部材である。光ファイバアレイは、軸状のコア部と該コア部の周りに被覆形成されたクラッド部とからなる複数の光ファイバ部分を、適当なマトリックス材料を用いて複数の軸状のコア部が所定の間隔を置いて並列するように配設させてなる部材（換言すれば、複数の光ファイバを一体的に並列させて集合させた部材）である。
【０００９】
工程（Ａ）において、光伝送用部材は、好ましくは、端面を上方に向けた状態、すなわち、液状の光硬化性樹脂組成物の液滴を付着させるべき面が、略水平な上面となるように配置される。この場合、光伝送用部材の端面が上方に向いた状態で、液状の光硬化性樹脂組成物の液滴を、光伝送用部材のコア部の各々に付着させる。それによって、液滴の付着量をより一層容易に調整することができ、また、液滴の外表面の曲面部分の形状をより好適なものとすることができる。
光硬化性樹脂組成物の液滴は、コア部の外径よりも大きな外径を有するように付着させることが必要である。該液滴の外径がコア部の外径以下であると、該液滴の硬化により形成されるマイクロレンズの曲率半径が小さくなり、光伝送用部材と光モジュールとの接続部における光の伝送効率を高めることが困難になる。
なお、「液滴の外径」の語は、光伝送用部材の端面における液滴の付着部分の外径（ただし、円形状ではない場合は、最大寸法）を意味するものとする。
本発明において、液滴の外径は、好ましくは２０μｍ以上、より好ましくは２０〜１３０μｍ、さらに好ましくは４０〜１２０μｍ、特に好ましくは６０〜１１０μｍである。
なお、液滴の外径が大き過ぎる場合（例えば、２００μｍ以上の場合）には、液滴の硬化により形成されるマイクロレンズの曲率半径が過度に大きくなり、伝送効率が低下することがある。
【００１０】
本発明で用いる光硬化性樹脂組成物の種類は、特に限定されることがなく、例えば、アクリル系モノマー、エポキシ系モノマー等の光重合性モノマーと、光重合開始剤等とを含む組成物が挙げられる。
ここで、アクリル系モノマーの例としては、分子中に２つの（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレートや、分子中に１つの（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレートや、分子中に３つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレートが挙げられる。
このうち、分子中に２つの（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレートの例としては、エチレンオキシド付加ビスフェノールＡ型ジ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加テトラブロモビスフェノールＡ型ジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ビスフェノールＡ型ジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加テトラブロモビスフェノールＡ型ジ（メタ）アクリレート等のビスフェノール含有ジ（メタ）アクリレートや、１，４−ブタンジオールジアクリレート等のアルキルジオールジアクリレートや、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート等のポリアルキレングリコールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。なお、分子中に２つの（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレートは、耐熱性等を向上させることができるので、好ましく用いられる。
分子中に１つの（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレートの例としては、フェノキシエチル（メタ）アクリレート等のフェノキシ基含有（メタ）アクリレートや、イソボルニル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
分子中に３つ以上の（メタ）アクリロイル基を有する（メタ）アクリレートの例としては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
【００１１】
本発明で用いられる光重合開始剤としては、紫外線等の活性エネルギー線を照射することにより活性ラジカル種を生じさせる化合物（光ラジカル重合開始剤）が好適に用いられる。
光重合開始剤の例としては、アセトフェノン、アセトフェノンベンジルケタール、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、キサントン、フルオレノン、べンズアルデヒド、フルオレン、アントラキノン、トリフェニルアミン、カルバゾール、３−メチルアセトフェノン、４−クロロベンゾフェノン、４，４'−ジメトキシベンゾフェノン、４，４'−ジアミノベンゾフェノン、ミヒラーケトン、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンジルジメチルケタール、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、チオキサントン、ジエチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−プロパン−１−オン、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルフォスフィンオキシド等が挙げられる。
本発明で用いる光硬化性樹脂組成物中の光重合開始剤の配合割合は、好ましくは０．０１〜１０質量％、より好ましくは０．１〜７質量％、特に好ましくは０．５〜５質量％である。該配合割合が０．０１質量％未満では、組成物の硬化速度の低下などの問題が生じ得る。該配合割合が１０質量％を超えると、伝送特性の低下などの問題が生じ得る。
光硬化性樹脂組成物の他の成分の例としては、溶媒、光増感剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、シランカップリング剤、塗面改良剤、熱重合禁止剤、レベリング剤、界面活性剤等が挙げられる。これらの成分は、必要に応じて適宜の量だけ配合される。
【００１２】
工程（Ａ）において液滴を付着させる方法としては、例えば、以下の（ａ）、（ｂ）のいずれかの方法を採用することができる。
（ａ）液滴の付着用の光ファイバを用いる方法
まず、液槽内の液状の光硬化性樹脂組成物の中に、所定の外径を有する液滴付着用光ファイバの下端を浸漬した後、この液滴付着用光ファイバを引き上げる。次いで、この液滴付着用光ファイバを、コア部を含む端面を上方に向けて配置されている光伝送用部材の上方に移動させ、液滴付着用光ファイバの下端に付着している液滴を、光伝送用部材のコア部の辺りに接触させて付着させる。
この際、液滴付着用光ファイバのコア部から、光伝送用部材のコア部に向けて、光硬化性樹脂組成物を硬化させない波長の光を出射し、液滴付着用光ファイバの位置を調整しながら、光伝送用部材に入射される光の強度が最大となる地点を探すことによって、液滴付着用光ファイバの最適な位置（すなわち、光伝送用部材のコア部の軸心と一致する位置）を定め、その位置にて液滴を光伝送用部材に付着させることが好ましい。この場合、付着する液滴は、コア部を中心とする略半球状に形成される。
【００１３】
（ｂ）液体吐出手段を用いる方法
まず、所定の位置に、コア部を含む端面を上方に向けた状態で光伝送用部材を配置させる。次いで、所定の液量の液滴を下方に吐出し得る液体吐出手段の吐出口を、自動制御によって、光伝送用部材の上方に移動させる。そして、液体吐出手段の吐出口から光硬化性樹脂組成物の液滴を落下させて、光伝送用部材のコア部に液滴を付着させる。
ここで、液体吐出手段としては、光ファイバの端面にマイクロレンズを形成させるために適量の液滴を吐出し得るものであれば特に限定されないが、例えば、インクジェット方式の装置や、ディスペンサ方式の装置等が挙げられる。なお、液滴の液量が小さい場合には、光伝送用部材のコア部に対して所定の液量（総量）になるまで、液滴の吐出を複数回繰り返してもよい。
【００１４】
［工程Ｂ］
工程（Ｂ）は、上述の工程（Ａ）によって光伝送用部材に付着させた光硬化性樹脂組成物の液滴に対し、該光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長を有する光を照射して、該液滴の少なくとも一部を光硬化させ、該液滴の外表面の輪郭の少なくとも一部を外表面として含むマイクロレンズを形成する工程である。
ここで、光の照射方法としては、（ａ）光伝送用部材のコア部から、該コア部に液滴として付着している光硬化性樹脂組成物を硬化させる波長の光を出射する方法や、（ｂ）液滴が付着している光伝送用部材のコア部に対し、該コア部と光軸が一致するように、光伝送用部材の上方に光ファイバを対向して配置させた後、該光ファイバのコア部から、光伝送用部材のコア部に向けて、光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長の光を出射する方法等が挙げられる。
光の照射は、光伝送用部材の液滴の外表面に対する光伝送用部材のコア部の投影部分（図２中の（ａ）の符号Ｓを参照）よりも広い領域を有する外表面が、硬化物（マイクロレンズ）の輪郭として形成されるまで行なわれる。なお、このような硬化物の輪郭を形成させるためには、照射する光の強さ及び照射時間を各々一定以上に調整することが必要である。例えば、光伝送用部材のコア部から光を出射する場合（上述の（ａ）の方法の場合）、紫外線を５分間以上照射すれば、広い曲面部分を有する硬化物（マイクロレンズ）を形成させることができる。
マイクロレンズの形成後、アセトン、エタノール等の溶媒を用いて未硬化の光硬化性樹脂組成物を除去すれば、マイクロレンズを有する光伝送用部材が完成する。
【００１５】
マイクロレンズの外径は、好ましくは２０μｍ以上、より好ましくは２０〜１２０μｍ、さらに好ましくは３０〜１１０μｍ、特に好ましくは４０〜１００μｍである。
なお、マイクロレンズの外径が大き過ぎる場合（例えば、１５０μｍ以上の場合）には、曲面部分の曲率半径が大きくなる傾向があり、その結果、焦点距離が大きくなり過ぎて、伝送効率が低下することがある。
なお、「マイクロレンズの外径」は、光伝送用部材の端面に対するマイクロレンズの投影部分における最大寸法として定義される。例えば、マイクロレンズが半球状である場合には、当該半球状における直径を意味する。
マイクロレンズの外表面の曲面部分の曲率半径は、好ましくは２０〜１００μｍである。
マイクロレンズの焦点距離は、好ましくは２０μｍ以上、より好ましくは２０〜１００μｍである。
本発明の方法で製造されるマイクロレンズを有する光伝送用部材は、半導体レーザ、フォトダイオード等の光モジュールや、他の光伝送用部材（光ファイバ、光ファイバアレイ、光導波路等）と接続して用いられる。
【００１６】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施形態の例を説明する。
図１は、光ファイバを対象とした本発明のマイクロレンズの形成方法の一例を示すフロー図、図２は、図１中の（ｃ）における光硬化性樹脂組成物の硬化方法の一例を示すフロー図、図３は、図１中の（ｃ）における光硬化性樹脂組成物の硬化方法の他の例を示すフロー図、図４は、光ファイバアレイを対象とした本発明のマイクロレンズの形成方法の一例を示すフロー図である。
【００１７】
［Ａ．光ファイバがマイクロレンズの付着対象物である場合］
図１中、液滴付着用の光ファイバ１の下端を、液槽２内の光硬化性樹脂組成物３の中に浸漬した後、光ファイバ１を引き上げる（図１中の（ａ））。次いで、下端に光硬化性樹脂組成物３の液滴４を付着させた光ファイバ１を、鉛直方向に延びるように配置させたマイクロレンズ形成用の光ファイバ５（光ファイバ１と同径のもの）の上方に移動した後、光ファイバ１の下端を光ファイバ５の上端に接近させて（図１中の（ｂ））、液滴４を光ファイバ５に付着させる。光ファイバ５の上端面に付着した液滴６は、液滴４よりも液量が若干少なくなっており、図２に示すように、光ファイバ５のコア部１０の外径よりも大きな外径を有し、かつ、光ファイバのクラッド部１１の外径（光ファイバ５の外径でもある。）と同等かこれよりも小さな外径を有する略半球状に形成される。
その後、図２の（ｂ）に示すように、液滴６が付着している端部とは反対側の光ファイバ５の端部に、光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長の光１２（例えば、紫外線）を入射させ、この紫外線１２を、液滴６が付着している端部から出射させることによって、光硬化性樹脂組成物からなる液滴６を徐々に硬化させて硬化物１３を形成させる。なお、紫外線の強さは、例えば、出射口におけるパワーが５０〜１００μＷ程度になるように調整すればよい。
紫外線１２の出射は、図２の（ｃ）に示すように、少なくとも、液滴６の外表面に対するコア部１０の投影部分（図２の（ａ）中の符号Ｓ）よりも広い領域を含む輪郭（外表面）を含む硬化物が形成されるまで行われる。照射時間は、例えば、５〜１０分間である。光照射の強さが小さい場合（例えば、１μＷ以下）や、照射時間が短い場合（例えば、３分間以下）には、液滴６の外表面の少なくとも一部を輪郭とする硬化物（マイクロレンズ）を形成させることが困難となる。
紫外線の照射後、アセトン等を用いて、未硬化の光硬化性樹脂組成物１５を除去すれば、マイクロレンズ１４を端部に有する光ファイバ５が得られる。
【００１８】
なお、図３に示すように、紫外線の照射は、他の光ファイバを用いて行ってもよい。
図３中、光ファイバ５の上方に光ファイバ２０を配置して、光硬化性樹脂組成物を硬化させない波長の光（例えば、１，５５０ｎｍの波長の光）を光ファイバ２０から光ファイバ５に出射して、光ファイバ５に伝送される光の強度が最大となる位置を調べ、調芯する（図３中の（ａ））。なお、光ファイバ２０は、コア部２１とクラッド部２２を含む。
その後、光ファイバ２０のコア部２１から、光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長の光２３（例えば、紫外線）を光ファイバ５のコア部１０に向けて出射して、光硬化性樹脂組成物からなる液滴６を徐々に硬化させて硬化物２４を形成させる。硬化物２４の下端と光ファイバ５との接触面積が十分な大きさになったときに、紫外線２３の照射を中止し、未硬化の光硬化性樹脂組成物２６を除去すれば、マイクロレンズ２５を端部に有する光ファイバ５が得られる。
【００１９】
［Ｂ．光ファイバアレイがマイクロレンズの付着対象物である場合］
図４中、液滴付着用の光ファイバ１の下端を、液槽２内の光硬化性樹脂組成物３の中に浸漬した後、光ファイバ１を引き上げる（図４中の（ａ））。次いで、下端に光硬化性樹脂組成物３の液滴４を付着させた光ファイバ１を、光ファイバアレイ３０（光ファイバ部分３１を複数並列的に配置させた集合体）のコア部の上方に移動させて（図４中の（ｂ））、１００μｍ程度の距離（ギャップ）を隔てた状態で、光硬化性樹脂組成物３を硬化させない波長の光（例えば、１，５５０ｎｍの波長の光）を、光ファイバアレイ３０のコア部に照射し、調芯する。
次いで、光ファイバ１を下降させて、光ファイバ１の下端に付着している液滴４を光ファイバアレイ３０のコア部に付着させる（図４中の（ｃ））。
光ファイバアレイ３０のコア部に付着した液滴３２は、光ファイバ部分３１のコア部の外径よりも大きな外径を有し、かつ、光ファイバ部分３１のクラッド部の外径（図４中に点線で示す。）と同等かこれよりも小さな外径を有する略半球状に形成される。
その後、光照射用の光ファイバ３３（光ファイバ部分３１と同径のもの）を用意して、上述と同様に調芯した後、５００μｍ程度の距離（ギャップ）を隔てた状態で、光ファイバ３３のコア部から光ファイバアレイ３０のコア部に向けて、光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長の光３３（例えば、紫外線）を照射することによって、硬化物（マイクロレンズ）を形成させる。以上の手順を光ファイバアレイ３０のコア部の各々に対して同様に行なった後、アセトン等を用いて、未硬化の光硬化性樹脂組成物を除去すれば、コア部の各々にマイクロレンズ３４が付着した光ファイバアレイ３１が得られる。
【実施例】
【００２０】
以下、本発明の実施例を説明する。
［光硬化性樹脂組成物の調製］
エチレンオキシド付加ビスフェノールＡ型ジ（メタ）アクリレート９８重量％と、ラジカル重合開始剤（ＩＲＧＡＣＵＲＥ８１９、チバスペシャリティケミカルズ社製）２重量％との混合物を調製した。
［実施例１］
図１に示すように、光ファイバ１（外径：１２５μｍ、コア部の径：１０μｍ）の下端を液槽２内の光硬化性樹脂組成物３に浸漬した後、引き上げて、光硬化性樹脂組成物３の液滴を下端に付着させた光ファイバ１を得た。次いで、この光ファイバ１の液滴を光ファイバ５（外径：１２５μｍ、コア部の径：１０μｍ）の上端面に付着させた。そして、光ファイバ５の他端に４０５ｎｍのレーザ光を導入し、光ファイバ５の上端におけるパワーが７５μＷとなるようにレーザ光源の出力パワーを調整しつつ、光ファイバ５上の液滴に光照射した。光照射を６分間行なった後、アセトンを用いて未硬化の光硬化性樹脂組成物を洗い流し、マイクロレンズ１４を有する光ファイバを得た。このマイクロレンズ１４は、外径が８０μｍの半球状であった。
【００２１】
［実施例２］
図４に示すように、光ファイバ１（外径：１２５μｍ、コア部の径：１０μｍ）の下端を液槽２内の光硬化性樹脂組成物３に浸漬した後、引き上げて、光硬化性樹脂組成物３の液滴４を下端に付着させた光ファイバ１を得た。次いで、この光ファイバ１を、光ファイバアレイ３０（外径が１２５μｍでコア部の径が１０μｍである光ファイバ部分３１を複数並列的に配置させた集合体）のコア部の上方に移動させて（図４中の（ｂ））、１００μｍの距離（ギャップ）を隔てた状態で、１，５５０ｎｍの波長の光を、光ファイバアレイ３０のコア部に照射し、調芯した。
次いで、光ファイバ１を下降させて、光ファイバ１の下端に付着している液滴４を光ファイバアレイ３０のコア部に付着させた（図４中の（ｃ））。
その後、光照射用の光ファイバ３３（外径：１２５μｍ、コア部の径：１０μｍ）を用意して、上述と同様に調芯した後、５００μｍの距離（ギャップ）を隔てた状態で、光ファイバ３３のコア部から光ファイバアレイ３０のコア部に向けて、４０５ｎｍの波長の紫外線を照射することによって、硬化物（マイクロレンズ）を形成させた。なお、この際、光ファイバ３３の下端におけるパワーが１μＷになるようにレーザ光の強度を定めた。
以上の手順を光ファイバアレイ３０のコア部の各々に対して同様に行なった後、アセトンを用いて、未硬化の光硬化性樹脂組成物を除去し、コア部の各々にマイクロレンズ３４が付着した光ファイバアレイ３１を得た。このマイクロレンズ１４は、外径が９０μｍの半球状であった。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】光ファイバを対象とした本発明のマイクロレンズの形成方法の一例を示すフロー図である。
【図２】図１中の（ｃ）における光硬化性樹脂組成物の硬化方法の一例を示すフロー図である。
【図３】図１中の（ｃ）における光硬化性樹脂組成物の硬化方法の他の例を示すフロー図である。
【図４】光ファイバアレイを対象とした本発明のマイクロレンズの形成方法の一例を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００２３】
１，５，２０，３３    光ファイバ
２    液槽
３    光硬化性樹脂組成物
４，６，３２    液滴
１０，２１    コア部
１１，２２    クラッド部
１２，２３    光硬化性樹脂組成物を硬化させ得る波長の光（紫外線）
１３，２４    硬化物
１４，２５，３４    マイクロレンズ
１５，２６    未硬化の光硬化性樹脂組成物
３０    光ファイバアレイ
３１    光ファイバ部分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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