(57)【要約】【課題】ウエブがカットされてエンドレスのイメージングベルトに形成される前に、光受容体における欠陥を特定する。【解決手段】光源Ｌは連続した一様な光Ｉを出力し、それがフリースパンウエブ部ＦＳに入射する。反射光イメージ獲得システムＲＬは、フリースパンウエブ部ＦＳから反射された光源Ｉからの光Ｒを受け取って、反射光Ｒを表す反射光イメージデータＲＤを生成する。一方、透過光イメージ獲得システムＴＬは同時に、フリースパンウエブ部ＦＳを透過した光源Ｉからの光Ｔを受け取って、透過光Ｔを表す透過光イメージデータＴＤを生成する。このイメージデータＲＤ、ＴＤが、イメージ処理ユニットＩＰＵに入力され、欠陥検出が行われる。その後、欠陥箇所などにフラグが付される。【選択図】図２
2005195583.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエブ検査方法であって、
光源から光を投射して、ダウンウエブ方向に動き且つ横方向に延在してクロスウエブ方向に幅を規定するウエブの選択部上に入射させるステップと、
前記選択ウエブ部によって反射された前記光源の反射光を獲得して、前記反射光のデジタルイメージを生成するステップと、
前記反射光の獲得ステップと同時に、前記選択ウエブ部を透過した前記光源からの透過光を獲得して、前記透過光のデジタルイメージを生成するステップと、
前記反射光デジタルイメージと前記透過光デジタルイメージとをデジタル的に合成して、前記反射光と前記透過光との両方を表す合成イメージデータを生成するステップと、
前記合成イメージデータを使用して、前記ウエブにおける欠陥を特定するステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
前記反射光デジタルイメージと前記透過光デジタルイメージに、前記合成イメージデータとを使用して、前記ウエブにおける欠陥を特定するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
【請求項３】
前記反射光を獲得するステップが、反射光イメージ獲得カメラシステムを使用するステップを含み、
前記透過光を獲得するステップが、透過光イメージ獲得カメラシステムを使用するステップを含み、
前記ウエブが前記反射光イメージ獲得システムと前記透過光イメージ獲得システムとの間に位置している、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記合成イメージデータを使用して前記ウエブにおける欠陥を特定するステップの後に、前記ダウンウエブ方向における前記ウエブの動きを妨げることなく、前記ウエブの特定された全ての欠陥の箇所又はその近傍にマークするステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記ウエブの選択される選択部が第1及び第2のウエブサポートの間に延在する前記ウエブの非支持フリースパン部である、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
ウエブ検査装置であって、
ダウンウエブ方向に動いている関連ウエブを移動可能に支持する第1及び第2のウエブサポートと、
選択されたフリースパンであって、前記第1及び第2のウエブサポート間に位置する前記関連ウエブの非支持部上に入射するように適合された光パターンを出力する光源と、
前記選択ウエブ部によって反射された前記光源からの光に基づいて前記関連ウエブの前記選択部をイメージングする反射光イメージ獲得システムと、
前記選択ウエブ部を透過した前記光源からの光に基づいて前記関連ウエブの前記選択部をイメージングする透過光イメージ獲得システムと、
を備えており、
前記反射光イメージ獲得システムが前記透過光イメージ獲得システムと位置合わせされており、前記反射光イメージ獲得システムと前記透過光イメージ獲得システムとが、それぞれ反射光及び透過光に関して前記関連ウエブの前記選択部を同時にイメージングするように適合されている、装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、改良されたライティング及びカメラ構成を使用するウエブ検査方法及び装置に関する。本明細書では、本発明は、例えば電子写真イメージングシステムのための光受容体ベルトを製造するために使用される光受容体のようなフレキシブルなイメージングウエブのためのウエブ検査方法及び装置に関して記述されているが、任意の特定のタイプのウエブ材料の検査に限定されることは意図されていない。
【背景技術】
【０００２】
より進化し、より高速の電子写真コピー機、複製機、及びプリンタが開発されるにつれて、光受容体ベルトに対する電気的及び機械的な性能要件として、より多くの内容が要求されてきている。新しいデジタルカラー及びその他のイメージ作成製品は、アナログ又は「光レンズ」コピー機のような前世代のイメージング装置に対しては許容可能であったような欠陥に耐えることができない。
【０００３】
ある欠陥が多層ベルト光受容体の層の一つ又はそれ以上の層の表面又はその内部に存在すると、これらの高度化した電気的及び機械的性能要件を満足することができない。これらの欠陥は、基材、導電層、オプションのホールブロック層、オプションの接着層、電荷生成層、電荷輸送層、及び／又はオプションの湾曲防止（アンチ・カール；anti-curl）裏打ち層の上にほこりの粒子が存在することによって生じる。これより、例えば、光受容体のような静電写真イメージング部材を形成するためのコーティングの塗布中に無コ−トの又はコートされた基材表面の上に存在しているほこりの粒子（粒子状デブリ）は、先に塗布されたコーティング層の中に気泡又はボイドを形成させることができる。ほこり粒子は、粒子の位置で溶媒の沸騰を開始させる沸騰チップと同様に振舞うと考えられる。この局部的沸騰の問題は、コーティングの堆積中又は乾燥中にコーティング溶液がコーティング溶媒の沸点の近傍に維持されると、より悪化する。コーティングにおける気泡の形成は、光受容体電荷生成層コーティング及び電荷輸送層コーティングにおいて、特に深刻である。また、ほこり粒子は、コーティングの塗布の間に空気をトラップする傾向にあり、このトラップされた空気は乾燥中に膨張して、コーティング内に望まれない気泡を形成する。さらに、電子写真イメージング部材ウエブ基材又はその上のコーティングの一方又は両方の表面の上に存在するほこり粒子はどれも、ウエブがロールに巻き取られると、隣接する表面に悪影響を及ぼす。なぜなら、ほこり粒子が隣接するウエブ表面に圧痕を生じさせるからである。これらの望まれない圧痕は、一つ以上のオーバーラップするウエブ層を通じて反復されることがあるため、コートされたウエブの大きな部分が廃棄されなければならず、この結果は非常に好ましくない。
【０００４】
【特許文献１】米国特許第６５３１７０７Ｂ１号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ウエブがカットされてエンドレスのイメージングベルトに形成される前に、光受容体における欠陥を特定することが非常に望ましい。欠陥が前もって特定されると、欠陥のある領域をウエブから摘出してその部分が仕上がった光受容体ベルトの一部を形成しないようにしたり、その欠陥部分が、欠陥が好ましくない結果をもたらさないようなアプリケーションに使用可能な光受容体を製造するために確実に使用されるようにしたりすることが、しばしば可能である。
【０００６】
ウエブ欠陥を特定しようとして、人間の検査者のみを使用するか、又は自動化されたウエブ検査システムと組み合わせて使用することが、知られている。ひとつの既知のシステムでは、半透明のウエブがライトボックスの上を通過する際に、人間のオペレータが視覚的にウエブを検査する。他の実施形態では、マシンビジョンシステムを使用して通過するウエブのイメージを獲得し、自動化ウエブ検査方法及び装置を提供する目的で、これらのイメージが欠陥特定アルゴリズムにしたがって処理される。このタイプの既知のシステムでは、反射光イメージと透過光イメージとが引き続いて獲得されるが、同時ではない。そのため、従来のウエブ検査スキームによれば、結合された透過光／反射光イメージのリアルタイムの獲得及び分析を実行することはできない。従来のシステムでは、引き続いて獲得されたイメージはオフラインで結合され、それからイメージの検査及び分類のために処理されなければならない。これは特に、ウエブ内の欠陥が検査プロセスから直ぐ下流でマークされるようなシステムにおいて、及び／又は、検査プロセスから直ぐ下流でウエブが最終製品、例えば光受容体ベルトを形成する部位（セクション）にカットされるようなプロセスにおいて、非常に望ましくない。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第1の態様によれば、ウエブ検査方法が、光源から光を投射して、ダウンウエブ方向に動き且つ横方向に延在してクロスウエブ方向に幅を規定するウエブの選択部の上に入射させるステップを含む。前記選択ウエブ部によって反射された前記光源からの反射光が獲得されて、前記反射光のデジタルイメージが生成される。前記反射光の獲得ステップと同時に、前記選択ウエブ部を透過した前記光源からの透過光が獲得されて、前記透過光のデジタルイメージが生成される。前記反射光デジタルイメージと前記透過光デジタルイメージとが合成されて、前記反射光と前記透過光との両方を表す合成イメージデータが生成される。前記合成イメージデータが、前記ウエブにおける欠陥を特定するために使用される。
【０００８】
本発明のその他の態様によれば、ウエブ検査装置が、ダウンウエブ方向に動いている関連ウエブを移動可能に支持する第1及び第2のウエブサポートを備えている。光源が、選択されたフリースパンであって、前記第1及び第2のウエブサポートの間に位置する前記関連ウエブの非支持部の上に入射するように適合された光パターンを出力する。反射光イメージ獲得システムが、前記選択ウエブ部によって反射された前記光源からの光に基づいて前記関連ウエブの前記選択部をイメージングするために設けられる。また、透過光イメージ獲得システムが、前記選択ウエブ部を透過した前記光源からの光に基づいて前記関連ウエブの前記選択部をイメージングするために設けられる。前記反射光イメージ獲得システムは前記透過光イメージ獲得システムと位置合わせされており、前記反射光イメージ獲得システムと前記透過光イメージ獲得システムとが、それぞれ反射光及び透過光に関して前記関連ウエブの前記選択部を同時にイメージングするように適合されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明に従って合成された反射光イメージ及び透過光イメージを使用するリアルタイムウエブ検査方法及び装置を示す図である。ウエブＷ、例えば光受容体ウエブは、上流のサプライロール又はその他のソースＲ１から分配され、ストレジロール又はその他のストレジ位置Ｒ２にて受け取られる。ウエブＷは、このようにサプライロールＲ１からダウンウエブ方向に下流にストレジロールロールＲ２まで、矢印ＤＷによって示されているように動く。ここでは、参照を容易にするために、「クロスウエブ」という用語は、ダウウンウエブ方向ＤＷに垂直な、言い換えれば横切る方向であって、ウエブＷの平面に平行な方向をさすことを意図している。
【００１０】
ウエブＷは、ストレジロールＲ１からウエブクリーニングステーションＳ１を通って移動し、その上側表面ＷＵ及び／又は下側表面ＷＬの上の汚染物を、クリーニングロール及び／又はその他の接触式又は非接触式手段のような従来の手段を介して除去する。ウエブＷは、それからウエブ検査ステーションＳ２を通過し、そこで欠陥の検査が行われる。それから、ウエブマーキングステーションＳ３に移動し、そこでは、ウエブにおけるあらゆる欠陥が、ラベル、インク、又はその他の適当なマーキング手段でマークされる。ある実施形態では、ウエブマーキングステーションＳ３は欠陥摘出ステーションＳ３'で置き換え又は補完され、ここでは、ウエブが最終製品を形成する部位に切断される前に、欠陥がウエブからカットされる。ウエブ検査ステーションＳ２及びウエブマーキングステーションＳ３は、動作可能にイメージ処理ユニットＩＰＵに相互接続されており、このユニットは、ウエブ検査ステーションＳ２からデータを受け取り、データをウエブマーキングステーションＳ３に送って、ウエブＷのマーク又は摘出されるべき部分を示す。破線で示されているように、データはまたオプションとして、動作可能にイメージ処理ユニットＩＰＵから、ウエブ検査ステーションＳ２の制御を行うためにそこにも流れ、及び／又は、ウエブマーキングステーションＳ３からイメージ処理ユニットＩＰＵにフィードバック目的などのためにも流れる。一般に、ウエブ検査ステーションＳ２及びイメージ処理ユニットＩＰＵは協働して、本発明に従って結合された反射光イメージ及び透過光イメージを使用してリアルタイムウエブ検査を実行する。ウエブクリーニングステーションＳ１、マーキングステーションＳ３、及び／又は欠陥摘出ステーションＳ３′はオプションであるが、これらのうちの少なくとも一つは、リアルタイムウエブ検査方法／装置の一部として典型的に設けられ且つ使用される。
【００１１】
図２に関して、ウエブ検査ステーションＳ２は、アイドルロールＩ１、Ｉ２のような第1及び第2のウエブサポート部材を備えており、これらは、それらの間に非支持フリースパンウエブ部ＦＳが延在するようにウエブＷを動作可能に支持する。サプライ及びストレジロールＲ１、Ｒ２（図１）及び／又はウエブサポート部材Ｉ１、Ｉ２は、ウエブＷがダウウンウエブ方向ＤＷに移動する速度を制御し、且つウエブＷが維持される張力を制御する。そのため、ウエブＷのフリースパンＦＳ部は、既知の速度で移動し且つ既知の張力で維持される。ある例では、ウエブＷはダウンウエブ方向ＤＷに分速４０フィート（ｆｐｍ）の速度で移動し、且つ幅のリニアインチあたり１ポンドの一定張力で維持される。例えば、ウエブがクロスウエブ方向ＣＷに１８インチあると（図３）、常に１８ポンドの張力で維持される。そのため、フリースパンウエブ部ＦＳは、たるみ又はその他のあらゆる望ましくない動きを防ぐために十分な張力で維持される。
【００１２】
ウエブ検査ステーションＳ２は、少なくとも一つの光源Ｌ、少なくとも一つの反射光イメージ獲得システムＲＬ、及び少なくとも一つの透過光イメージ獲得システムＴＬを備えている。反射光及び透過光イメージ獲得システムＲＬ、ＴＬは、図示されているように動作可能にイメージ処理ユニットＩＰＵに結合される。また、光源Ｌはオプション的に、動作可能にイメージ処理ユニットＩＰＵに結合されてそれによって制御されるが、必ずしもその必要はない。一般的に言って、光源Ｌは連続した一様な光Ｉを出力し、それがフリースパンウエブ部ＦＳに入射する。反射光イメージ獲得システムＲＬは、フリースパンウエブ部ＦＳから反射された光源Ｉからの光Ｒを受け取って、反射光Ｒを表すデジタルイメージデータ（ここでは反射光イメージデータＲＤと称する）を生成する。一方、透過光イメージ獲得システムＴＬは同時に、フリースパンウエブ部ＦＳを透過した光源Ｉからの光Ｔを受け取って、透過光Ｔを表すデジタルイメージデータ（ここでは透過光イメージデータＴＤと称する）を生成する。図2では、イメージデータＲＤ、ＴＤが、本発明に従ったリアルタイムウエブ欠陥検出及び分類のためにイメージ処理ユニットＩＰＵに入力されることが示されている。
【００１３】
図２は、本発明のリアルタイムウエブ検査方法及び装置の具現化のために、光源Ｌ及びイメージ獲得システムＲＬ、ＴＬの望ましい構成を描いている。より具体的には、光源Ｌからの光Ｉは、垂直平面Ｖに対して角度ｘで、フリースパンウエブ部ＦＳに入射する。反射光イメージ獲得システムＲＬは反射光Ｒを受け取るように配置され、このためウエブＷの同じ側に垂直平面Ｖに対して角度ｙで配置される。ここで、角度ｘ、ｙの一方は正の角度であり、他方は負の角度である。ある好適な実施形態では、「ブライトフィールド」システムを提供するために、角度ｘ及びｙは等しいが符号が逆、すなわちｘ＝−ｙである。あるいは、「トワイライト」システムを提供するために、角度ｙをもっと大きく（もっと負に）することもできる。このときには、反射光イメージ獲得システムＲＬは反射光フィールドＲの中に直接は配置されず、その代わりに、その中には依然として入っているものの、そこからいくらかオフセットされて配置される。透過光イメージ獲得システムＴＬは、反射光イメージ獲得システムＲＬと比較してウエブＷの反対側に配置され、好ましくは、光源Ｌ、より具体的にはそれによって出力された光Ｉに直接的に位置合わせされるように、すなわち、レンズ又は透過光イメージ獲得システムＴＬに入力される他の光が光源Ｌから出力される光Ｉの軸上に直接に位置合わせされるように、垂直平面Ｖに対して角度ｚで配置される。これより、図示されているようにｘ＝ｚであって、透過光イメージ獲得システムＴＬは、光Ｉのうちでフリースパンウエブ部ＦＳを直接に通過する透過部Ｔを受け取るように、光源Ｌ及び入射光Ｉから１８０度に位置する。図2に示されているように、光源Ｌならびにイメージ獲得システムＲＬ、ＴＬは、ｘ＝１５度、ｙ＝−１５度、及びｚ＝１５度になるように配置されているが、本発明をこれらの角度に限定することが意図されているものではない。また、描かれている例では、光源Ｌからの光Ｉがウエブの上側表面ＷＵに入射し、反射光イメージ獲得システムＲＬがウエブの上側表面ＷＵから反射された光Ｒを受け取るように構成されていることを示している。あるいは、光源Ｌは、光Ｉをウエブの下側表面ＷＬに投射するように配置されることができる。そのときには、反射光イメージ獲得システムＲＬは、ウエブの下側表面から反射された光Ｒを獲得するように配置され、透過光イメージ獲得システムＴＬは、透過光Ｔを獲得するようにウエブＷの反対側に位置される。
【００１４】
反射光イメージ獲得システムＲＬ及び透過光イメージ獲得システムＴＬは、それらによってそれぞれ生成されたイメージがお互いに確実に対応するように、すなわちシステムＲＬ，ＴＬがダウンウエブ及びクロスウエブ表現の両方においてフリースパンウエブ部ＦＳの正確に同じ領域のリアルタイムイメージを同時に確実に生成するように、お互いに位置決めされなければならない。この位置決めは、様々な異なった方法で達成されることができる。ある例では、ウエブＷの上に既知のテストパターンが設けられ、システムＲＬ、ＴＬによって出力されたイメージがお互いに位置合わせされたことが分かるようになるまで、イメージ獲得システムＲＬ、ＴＬの一方又は両方の位置が調節される。使用される位置決め方法にかかわらず、イメージ獲得システムがダウンウエブ方向ＤＷ及びクロスウエブ方向ＣＷの両方で、画素毎にお互いに正確に位置決めされることが最も好ましい。ダウンウエブ方向ＤＷ及びクロスウエブ方向ＣＷの両方における１画素のずれは、許容可能な公差範囲内である。画素のサイズがダウンウエブ方向で２５μｍ且つクロスウエブ方向で２５μｍであるようなある実施形態では、反射光イメージ獲得システムＲＬ及び透過光イメージ獲得システムＴＬは、ダウンウエブ方向ＤＷ及びクロスウエブ方向ＣＷの両方において±１度の公差で、お互いに位置決めされる。
【００１５】
図３は、本発明に従ったウエブ検査ステーションＳ２及びウエブ検査方法をダイアグラム的に描いている。反射光イメージ獲得システムＲＬは、少なくとも一つの、好ましくは、クロスウエブ方向ＣＷにウエブＷを横切って横方向に間隔を空けて配置された複数の反射光イメージ獲得カメラＲ１〜Ｒ４を備えている。同様に、透過光イメージ獲得システムＴＬは、少なくとも一つの、好ましくは、クロスウエブ方向ＣＷにウエブＷを横切って横方向に間隔を空けて配置された複数の透過光イメージ獲得カメラＴ１〜Ｔ４を備えている。カメラＲ１〜Ｒ４はそれぞれカメラＴ１〜Ｔ４に対応し、対応するカメラ対Ｒ１；Ｔ１、Ｒ２；Ｔ２、Ｒ３；Ｔ３、Ｒ４；Ｔ４が規定される。各々の対の構成要素は、上述のように、ダウンウエブ及びクロスウエブイメージング位置の両方に関してお互いに位置決めされ、それらは、上記のようにダウンウエブ方向に±１画素及びクロスウエブ方向に±１画素の範囲内で、ウエブＷの正確に同じ位置をイメージングする（イメージデータを生成する）。ウエブＷの全クロスウエブ幅がギャップ無しに確実にイメージングされるように、カメラＲ１〜Ｒ４のイメージングフィールドは典型的にはクロスウエブ方向ＣＷにお互いにオーバーラップしており、且つカメラＴ１〜Ｔ４のイメージングフィールドは典型的にはクロスウエブ方向ＣＷにお互いにオーバーラップしている。カメラＲ１〜Ｒ４及びカメラＴ１〜Ｔ４の各グループは４つのカメラを含むように示されているが、これは、本発明をいかなるようにも限定することを意図したものではなく、より多くの又はより少ないカメラを、必要であれば及び／又は所望されるときには使用することができる。
【００１６】
反射光イメージカメラＲ１〜Ｒ４もまた、好ましくは、それらによって生成されるイメージが一様なダウンウエブ位置を有するウエブＷの全クロスウエブ幅を示すように、お互いに位置決めされる。同様に、透過光イメージカメラＴ１〜Ｔ４もまた、好ましくは、それらによって生成されるイメージが一様なダウンウエブ位置を有するウエブＷの全クロスウエブ幅を示すように、お互いに位置決めされる。描かれた実施形態では、カメラＲ１〜Ｒ４及びカメラＴ１〜Ｔ４はそれぞれラインスキャンＣＤＤカメラであり、位置決め操作が完了すると、カメラＲ１〜Ｒ４及びカメラＴ１〜Ｔ４によって生成されたイメージは１×ｍ列の画素を表す。ここで、ｍは、クロスウエブ方向ＣＷに並んで位置する画素の数である（これは、ウエブＷの実際の幅、カメラの数、及びスキャンの分解能に依存して変わる）。また、光源Ｌが、クロスウエブ方向ＣＷにおけるウエブＷの全幅を横方向に横切るがダウンウエブ方向ＤＷには最小限しか存在しない光パターンＩを出力するライン光によって規定されることも好ましい。一つの適した光源Ｌは、光ファイバライトラインである。
【００１７】
図3を続けて参照すると、イメージ処理ユニットＩＰＵは、各カメラＲ１〜Ｒ４、Ｔ１〜Ｔ４によって生成された反射光イメージデータＲＤ及び透過光イメージデータＴＤを受け取る。ステップ又は手段２０は、各々の対応するカメラ対Ｒ１；Ｔ１、Ｒ２；Ｔ２、Ｒ３；Ｔ３、Ｒ４；Ｔ４に対するカメラ信号をリアルタイムで合成し、各々の合成された反射／透過イメージデータ信号ＲＴ１、ＲＴ２、ＲＴ３、ＲＴ４を出力する。
【００１８】
合成された反射／透過イメージデータ信号ＲＴ１〜ＲＴ４は、欠陥特定ステップ又は手段３０に入力される。好ましくは、合成されていないオリジナルのイメージデータＲＤ及びＴＤもまた、欠陥特定ステップ又は手段３０に入力される。欠陥特定ステップ／手段３０は、入力されたデータ信号ＲＴ１〜ＲＴ４（及び、利用可能であれば合成されていない信号ＲＤ、ＴＤもまた）分析して、データが非欠陥ウエブの既知の範囲から変化していたら、欠陥を表すようにその部分にフラグを付ける。
【００１９】
欠陥特定ステップ／手段３０によって特定されたウエブ欠陥を表している欠陥データＤＤは、欠陥特徴分析ステップ又は手段４０に入力され、これが、データＤＤに表された各ウエブ欠陥に対する欠陥特徴パラメータを生成する。ある例では、欠陥特徴分析ステップ／手段４０は、クロスウエブ寸法、ダウンウエブ寸法、平均輝度、最大及び最小輝度、輝度変化率データ、欠陥形状（例えば、円形、楕円形など）、クロスウエブ位置に関するウエブ内での欠陥位置などのような欠陥特徴のリストを生成する。欠陥特徴分析ステップ／手段４０は、合成されたデータＲＴ１〜ＲＴ４に基づいて、反射データＲＤのみ又は透過データＴＤのみに基づいては生成できない多くの欠陥特徴パラメータを生成することができる。ここで記述された結合された反射／透過光ウエブイメージング方法によれば、一つのライティング構成では同様に見えるが他のライティング構成では異なって見える欠陥を、識別することができる。
【００２０】
データＤＤによって表された各々のウエブ欠陥に対して、欠陥特徴分析ステップ／手段４０は、欠陥特徴データベースステップ又は手段５０に欠陥特徴データＤＦＤを出力する。各ウエブ欠陥に対する欠陥特徴データＤＦＤは欠陥特徴データベース５０に入力されるが、このデータベースは、ルックアップテーブル、ヒストグラムマッチングアルゴリズム、又はその他のデータベースマッチング手段／操作であることができ、欠陥特徴データベース５０は、欠陥を特定のタイプの欠陥、例えば表面のほこり、内部の気泡、ひっかき傷、くぼみ、突起などと記述する欠陥分類出力値６０を出力する。欠陥分類出力値６０は、イメージ処理ユニットＩＰＵによって、ウエブマーキング／欠陥摘出ステーションＳ３、Ｓ３′をタイプ又は欠陥に応じて制御するために使用される。例えば、ウエブＷが高性能アプリケーション用を意図されていると、イメージ処理ユニットはウエブマーキング／欠陥摘出ステーションＳ３、Ｓ３′を制御して、ウエブの該当部を欠陥とマークし、又はウエブの欠陥部を摘出する。一方、ウエブＷが低性能アプリケーション用を意図されており、且つ欠陥値６０が軽微な欠陥を示していたら、イメージ処理ユニットＩＰＵは、ウエブマーキング／欠陥摘出ステーションＳ３、Ｓ３′を、何のアクションも行わないように制御することができる。
【００２１】
イメージ処理ユニットＩＰＵは、専用回路又は特別にプログラムされたパーソナルコンピュータのような、デジタルイメージ処理に適した任意の適当な回路及び／又はプログラムされた計算装置によって設けられる。
【００２２】
ここで使用されているように、「リアルタイム」という用語は、そのオフラインストレジ及びその後の処理のための引き続くデータの検索無しにデータを処理し、合成された反射／透過光データ信号ＲＴ１〜ＲＴ４が、ウエブＷの該当部がウエブマーキング／摘出ステーションＳ３、Ｓ３′を通過する前に直ちに利用可能であることを意味している。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】合成された反射光イメージ及び透過光イメージを使用するリアルタイムウエブ検査方法及び装置の図である。
【図２】図1のウエブ検査ステーションの詳細図である。
【図３】ウエブ検査ステーション及びリアルタイムウエブ欠陥検出のための方法の詳細な図である。
【符号の説明】
【００２４】
Ｒ１  サプライロール、Ｓ１  ウエブクリーニングステーション、Ｓ２  ウエブ検査ステーション、Ｓ３  ウエブマーキングステーション、Ｓ３′  欠陥摘出ステーション、Ｒ２  ストレジロール、ＩＰＵ  イメージ処理ユニット、Ｗ  ウエブ、ＤＷ  ダウンウエブ方向、ＷＵ  ウエブの上側表面、ＷＬ  ウエブの下側表面。
【図１】
2005195583.tif 000003
【図２】
2005195583.tif 000004
【図３】
2005195583.tif 000005