(57)【要約】【課題】構造体の移動に伴う残留振動を効果的に減衰し、測定の高速化および高精度化を共に実現できる測定機を提供することである。また、本発明の他の目的は、製造効率の良い構造体を備えた測定機を提供すること。【解決手段】測定機を構成する複数の構造体のうち、可動部材または可動部材の移動を案内するガイド部材３２の少なくとも１つの構造体は、密閉空間３２２を備えている。この密閉空間３２２には、充填物が充填されている。この構成によれば、可動部材またはガイド部材３２の剛性を高めることができる。また、可動部材の移動に伴って発生する残留振動を効果的に減衰することができる。【選択図】      図２
2005003523.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の構造体を備え、少なくとも１つの構造体が可動部材または可動部材の移動を支持するガイド部材として構成された測定機であって、
前記可動部材または前記ガイド部材として構成された少なくとも１つの構造体は、密閉された空間を備え、
前記空間には、充填物が充填されていることを特徴とする測定機。
【請求項２】
略垂直に起立された２本のコラムと、前記コラム間に略水平に掛け渡された横梁と、この横梁に沿って進退自在に取り付けられた測定子とを備えた測定機であって、
前記横梁は、密閉された空間を備え、
前記空間には、充填物が充填されていることを特徴とする測定機。
【請求項３】
請求項２に記載の測定機において、
前記横梁は、リブを備えた鋳物材で形成されていることを特徴とする測定機。
【請求項４】
ベースと、このベース上に形成されたガイド部材と、前記ガイド部材に案内され前記ベース上を摺動するテーブルとを備えた測定機であって、
前記テーブルは、密閉された空間を備え、
前記空間には、充填物が充填されていることを特徴とする測定機。
【請求項５】
請求項４に記載の測定機において、
前記テーブルは、底面側にリブを備えた鋳物材で形成されていることを特徴とする測定機。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の測定機において、
前記空間は、前記テーブルにおいて前記ガイド部材に対向される部分に形成されていることを特徴とする測定機。
【請求項７】
請求項３、請求項５または請求項６に記載の測定機において、
前記充填材は、前記鋳物材の鋳造において前記空間の形成に使用した中子砂であることを特徴とする測定機。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定機に関する。詳しくは、複数の構造体を備え、少なくとも１つの構造体が可動部材または可動部材の移動を支持するガイド部材として構成された測定機に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来、被測定物の寸法や形状等の三次元データを測定する三次元測定機（例えば特許文献１参照）が知られている。このような三次元測定機は、測定子およびテーブルを互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸の３軸方向に相対移動可能に構成するとともに、テーブル上に載置された被測定物に測定子が接触したときの各軸の移動変位量から、被測定物の寸法や形状等の三次元データを測定する。
【０００３】
現在、このような三次元測定機においては、測定の高速化および高精度化が図られている。しかしながら、測定の高速化および高精度化が進むに伴って、測定子とテーブルとの相対移動時に発生する振動が無視できなくなっている。このような振動に対する振動減衰機構として、弾性ゴムやスプリング等を三次元測定機の本体に設けることにより、能動的に振動を減衰させる機構が採用されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−６５５６１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような振動減衰機構では、振動の減衰に限界があり、さらなる三次元測定機の高速化および高精度化を図る上で、新たな振動抑制方法が熱望されていた。
【０００６】
ところで、測定子の移動を案内するガイド部や、被測定物を載置するテーブルには、剛性や経年安定性を確保するために、内部にリブを有する鋳物材が用いられている。このような鋳物材の鋳造に際しては、中子を用いてリブを形成するので、鋳造時に使用した中子砂を除去するための開口を、鋳物材に設ける必要があり、さらに鋳物材から中子砂を除去する必要がある。そのため、ガイド部やテーブルの鋳造には多くの工数がかかり、鋳物材製作の効率が悪いと言う問題がある。
【０００７】
本発明の目的は、構造体の移動に伴う残留振動を効果的に減衰し、測定の高速化および高精度化を共に実現できる測定機を提供することである。また、本発明の他の目的は、製造効率の良い構造体を備えた測定機を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の測定機は、複数の構造体を備え、少なくとも１つの構造体が可動部材または可動部材の移動を支持するガイド部材として構成された測定機であって、前記可動部材または前記ガイド部材として構成された少なくとも１つの構造体は、密閉された空間を備え、前記空間には、充填物が充填されていることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、可動部材または可動部材の移動を支持するガイド部材を構成する構造体のうち、少なくとも１つの構造体には、充填物が充填された密閉空間が形成されているから、一般的なリブ構造の構造体に比べ、剛性を高めることができ、しかも、振動減衰機能も向上させることができる。すなわち、剛性が高まることによって、発生する残留振動を低減でき、しかも、密閉空間の内部に充填物が充填されているので、発生した残留振動をより早く減衰させることができる。そのため、高精度化のために、残留振動が減衰してから測定を行う場合でも、測定待機時間の短縮を図ることができるから、測定の高速化および高精度化を共に実現することができる。
【００１０】
また、本発明の測定機は、略垂直に起立された２本のコラムと、前記コラム間に略水平に掛け渡された横梁と、この横梁に沿って進退自在に取り付けられた測定子とを備えた測定機であって、前記横梁は、密閉された空間を備え、前記空間には、充填物が充填されていることを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、前述の測定機と略同様の効果を奏することができる。すなわち、横梁は、内部に充填物が充填された密閉空間を備えているから、一般的なリブ構造を有する構造体によって形成される横梁に比べ、剛性を高めることができる。また、これとともに内部に充填物が充填されていることにより、測定子の進退に伴って発生する残留振動をより早く減衰させることができる。そのため、高精度化のために、残留振動が減衰してから測定を行う場合でも、測定待機時間の短縮を図ることができるから、測定の高速化および高精度化を共に実現することができる。
【００１２】
本発明では、前記横梁は、リブを備えた鋳物材で形成されていることが好ましい。
この発明によれば、横梁はリブを備えているので、前述の横梁の密閉構造と合わせて、一層剛性を向上することができる。また、充填物として、鋳物材よりも比重の軽い充填物を使用すれば、鋳物材により形成された略密実な横梁に比べ、軽量化を図ることができる。さらに、横梁は、鋳物材によって形成されているので、横梁の経年変化を抑えることができ、測定子の進退の経年安定性を確保することができる。
【００１３】
また、本発明の測定機は、ベースと、このベース上に形成されたガイド部材と、前記ガイド部材に案内され前記ベース上を摺動するテーブルとを備えた測定機であって、前記テーブルは、密閉された空間を備え、前記空間には、充填物が充填されていることを特徴とする。
【００１４】
この発明によれば、前述の測定機および横梁における効果と同様な効果を奏することができる。すなわち、テーブルは、内部に充填物が充填された密閉空間を備えているから、底面側にリブ構造で仕切られた多数の凹部を有するテーブルと比較して、剛性が高いという効果を奏することができる。また、この効果とともに、密閉空間には充填物が充填されていることから、テーブルの摺動の際に発生する残留振動を、より早く減衰させることができる。そのため、残留振動が減衰してから測定を行う場合でも、測定待機時間を短縮することができるので、測定における高速化および高精度化を図ることができる。
【００１５】
本発明では、前記テーブルは、底面側にリブを備えた鋳物材で形成されていることが好ましい。
この発明によれば、前述の横梁と同様の効果を奏することができる。すなわち、テーブルは、リブを備えた鋳物材で形成されているので、前述の密閉構造と合わせて、一層剛性を向上することができる。また、充填物として、鋳物材より比重の軽い充填物をテーブルの密閉空間に充填すれば、鋳物材によって形成された略密実なテーブルと比較して、テーブルを軽量化することができる。さらに、テーブルは鋳物材で形成されているので、テーブルの経年変化を抑えることができる。
【００１６】
本発明では、前記空間は、前記テーブルにおいて前記ガイド部材に対向される部分に形成されていることが好ましい。
この発明によれば、テーブルの密閉空間は、テーブルの摺動を案内するガイド部材に対向する部分に形成されるので、密閉空間の形成を、残留振動の減衰における必要最小限に抑えることができる。これにより、テーブル全体を密閉化した場合に比べ、テーブルの移動質量を軽減することができる。従って、テーブルの摺動に伴って発生する残留振動の減衰を図りつつ、テーブルの軽量化を図ることができる。
【００１７】
本発明では、前記充填材は、前記鋳物材の鋳造において前記空間の形成に使用した中子砂であることが好ましい。
この発明によれば、横梁およびテーブルの密閉空間には、該密閉空間の形成に用いられた中子砂が充填されているから、該密閉空間においては、横梁およびテーブルの製造時における中子砂の除去工程を省略することができる。また、これに伴い、新たに別の充填物を該密閉空間に充填する工程を省略することができる。従って、横梁およびテーブルの製造工程を削減でき、製造効率を向上させることができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１には、本実施形態の三次元測定機が示されている。
図１において、三次元測定機１は、ベース２と、門型コラム３と、スライダ４と、テーブル５とを備えている。
【００１９】
ベース２は、三次元測定機１の土台となるものであり、鋳物材で製造されている。このベース２の上面には、Ｙ軸ガイド部２１が設けられている。このＹ軸ガイド部２１は、三次元測定機１の長手方向、すなわち、図１中Ｙで示したＹ軸方向へのテーブル５の摺動を案内する。Ｙ軸ガイド部２１は、ベース２の長手方向に沿って互いに略平行に形成された２つの略凸状のガイド部材であるレール２１１を備えている。レール２１１の上面には、テーブル５の摺動を案内する案内面２１２が形成されている。
【００２０】
門型コラム３は、ベース２の上面から起立して形成されている。この門型コラム３は、三次元測定機１の幅方向、すなわち図１中Ｘで示すＸ軸方向へスライダ４を進退させるためのものであり、２本のコラム３１と、Ｘ軸ガイド部３２と、スライダ駆動機構３３とを備えている。
【００２１】
２本のコラム３１は、門型コラム３の脚部を形成するものであり、ベース２の上面における長手方向略中央で幅方向両端部から略垂直に起立されて形成されている。これらコラム３１の上端には、横梁としてのＸ軸ガイド部３２が、２本のコラム３１間に略水平に架け渡されるように配置されている。このＸ軸ガイド部３２は、スライダ４のＸ軸方向への進退を案内するものであり、幅方向（Ｘ軸方向）の寸法が高さ方向（Ｚ軸方向）の寸法よりも長い略矩形状の鋳物材により形成されている。なお、Ｘ軸ガイド部３２の構造については、後に詳述する。
【００２２】
Ｘ軸ガイド部３２の上面には、スライダ４をＸ軸方向に進退させるスライダ駆動機構３３が設けられている。このスライダ駆動機構３３は、図示しない駆動機構（モータ、プーリ、ベルト等）と、Ｘ軸ガイド軸３３１と、固定部３３２とを備えている。Ｘ軸ガイド軸３３１は、駆動機構からの駆動力をスライダ４に伝達するためのものであり、固定部３３２は、このＸ軸ガイド軸３３１を軸方向回転自在に支持するためのものである。
【００２３】
スライダ４は、図示しないプローブを含んで構成されており、プローブを高さ方向、すなわち、図１中Ｚで示すＺ軸方向に進退させる。スライダ４は、プローブの他に、スライダ本体４１と、スピンドル４２と、プローブヘッド４３とを備えている。
【００２４】
スライダ本体４１は、鋼製のケースによって覆われている。このスライダ本体４１の下端には、スピンドル４２が、図示しない駆動機構とともに、Ｚ軸方向に進退自在に取り付けられている。スピンドル４２の先端部には、スピンドル４２にプローブを取り付けるプローブヘッド４３が設けられている。このプローブヘッド４３は、様々なプローブが取り付けられるように構成されている。また、プローブヘッド４３に関しても、交換が可能なように着脱自在に取り付けられている。なお、プローブとしては、接触式および非接触式のどちらでも取り付けることが可能である。
【００２５】
図２には、Ｘ軸ガイド部３２の構造が示されている。
Ｘ軸ガイド部３２は、前述のように鋳物材によって形成され、全体が密閉された密閉構造体である。Ｘ軸ガイド部３２の内部には、格子状のリブ３２１と、このリブ３２１によって仕切られた中空空間３２２とが形成されている。
【００２６】
中空空間３２２には、中子砂が充填されている。この中子砂は、Ｘ軸ガイド部３２の鋳造過程において中空空間３２２の形成に使用されたものである。すなわち、一般的な鋳物材の鋳造では、内部に中空を形成するために使用された中子砂は除去される。しかしながら、本実施形態のＸ軸ガイド部３２の鋳造においては、中子砂は除去されず、内部に充填されたまま、Ｘ軸ガイド部３２は密閉されている。なお、Ｘ軸ガイド部３２の鋳造過程において、中子砂の巾木（軸）が挿通した孔３２３には、図示しない栓が施されている。この栓は、孔３２３からＸ軸ガイド部３２内部に充填した中子砂が漏出しないようにするためのものである。
【００２７】
図３には、テーブル５が示されている。
テーブル５は、前述のように、ベース２上に形成されたＹ軸ガイド部２１に沿ってＹ軸方向に摺動する。テーブル５は、底面側にリブ（図４参照）を備えた略矩形状の鋳物製部材であり、上方から見て左右対称構造となっている。このテーブル５は、テーブル５の上面に形成され被測定物を載置する載物面５１と、この載物面５１の幅方向（Ｘ軸方向）両端部から略垂下する側面５２と、載物面５１の長手方向（Ｙ軸方向）両端部から略垂下する側面５３とを備えている。
【００２８】
側面５２には、図示しない栓によって塞がれた孔５２１が設けられている。図３に示される側面５２の反対側の面にも、同様の孔５２１が設けられている。この孔５２１は、テーブル５の鋳造の際に、テーブル５内部に中空空間を形成するための中子の巾木の位置に相当するものである。通常は、孔５２１から中子砂は除去されるが、本実施形態では、孔５２１に栓をすることにより、テーブル５内部に中子砂が充填されたままとされている。
側面５３は、テーブル５をベース２上に設置した際に、ベース２の長手方向（Ｙ軸方向）に対して略直交する面である。この側面５３は、中央部分が下方に延出した略Ｔ字状をしている。
【００２９】
図４には、テーブル５の底面５４が示されている。
テーブル５の底面５４には、底面５４の中央に形成された突出部５４１と、突出部５４１を挟むように両端に形成された密閉部５４２とを備えている。
【００３０】
突出部５４１は、テーブル５をベース２上に配置した際に、下方に突出した部分として形成され、ベース２上に形成されたＹ軸ガイド部２１のレール２１１に挟まれるように配置される。この配置により、テーブル５の摺動時における揺動が抑制される。この突出部５４１には、格子状のリブ５４１Ａが形成されている。これらのリブ５４１Ａによって仕切られた空間５４１Ｂは、下方に向かって開口している。
【００３１】
密閉部５４２は、底面５４において、図１に示したＹ軸方向に対する略直交方向の両端部、すなわち、図３中の上下両端部に形成された密閉空間である。この密閉部５４２の内部には、Ｘ軸ガイド部３２と同様に、図示しないリブおよび中空空間が形成されている。この中空空間には、テーブル５の鋳造時において、該中空空間を形成するために使用した中子砂が、除去されずに充填されている。
【００３２】
密閉部５４２の下面は、テーブル５をベース２上に配置する際に、ベース２上に形成されたＹ軸ガイド部２１の案内面２１２に対向する面である。この下面には、図示しないエアベアリングが配置されている。これにより、テーブル５は、ベース２上をＹ軸ガイド部２１の案内面２１２に沿って円滑に摺動する。
【００３３】
従って、本実施形態によれば、Ｘ軸ガイド部３２は、全体が密閉化された密閉構造体であり、Ｘ軸ガイド部３２の内部には、中子砂が充填された密閉空間が形成されている。これによれば、リブ構造を有し、リブ構造が露出した構造体によって形成される場合に比べ、剛性を高めることができる。また、スライダ４およびスピンドル４２の進退に伴って発生する残留振動をより早く減衰させることができる。
【００３４】
図５には、一般的な三次元測定機および本実施形態の三次元測定機における、スライダ移動時の振動減衰波形が示されている。図５において、（Ａ）には、充填物の充填されていない鋳物材によって形成されたＸ軸ガイド部を用いた一般的な三次元測定機においての振動減衰波形が示されている。また、（Ｂ）には、本実施形態の三次元測定機においての振動減衰波形が示されている。
図５（Ａ）に示すように、一般的な三次元測定機では、振動発生後、振幅最大値の１／１０の振幅に減衰するのに、約３００ｍＳｅｃかかっている。しかしながら、図５（Ｂ）に示すように、本実施形態の三次元測定機では、振幅最大値の１／１０の振幅に減衰するのに、約５０ｍＳｅｃしかかからなかった。
従って、本実施形態の三次元測定機は、一般的な三次元測定機に比べて、残留振動の収束に要する時間を非常に短くすることができる。このため、高精度化のために振動の収束を待って測定する場合でも、測定待機の時間を短くすることができるから、測定の高速化および高精度化を共に実現することができる。
【００３５】
また、Ｘ軸ガイド部３２は、内部にリブ３２１を備えているので、前述のＸ軸ガイド部３２の密閉構造と合わせて、一層剛性を向上することができる。また、充填物として中子砂を用いているので、鋳物材により形成された略密実なＸ軸ガイド部に比べ、Ｘ軸ガイド部３２の軽量化を図ることができる。さらに、Ｘ軸ガイド部３２は、鋳物材によって形成されているので、Ｘ軸ガイド部３２の経年変化を抑えることができる。従って、経年使用によるスライダ４の進退における安定性を確保することができる。
【００３６】
また、テーブル５には、内部に中子砂が充填された密閉部５４２が形成されているので、密閉された空間を持たないテーブルと比べて、テーブル５の剛性を高めるという効果を奏することができる。また、この効果とともに、密閉空間には中子砂が充填されていることから、前述のＸ軸ガイド部３２と同様の効果を奏することができる。すなわち、テーブル５の摺動の際に発生する残留振動を、密閉空間がない、または、中子砂のような充填物が充填されていない密閉構造を有するテーブルより早く減衰させることができる。従って、測定における高速化および高精度化を共に実現することができる。
【００３７】
また、テーブル５の密閉部５４２は、図示しないリブ構造を備えているので、前述の密閉構造と合わせて、一層剛性を向上することができる。また、鋳物材より比重の軽い中子砂を充填物として用いることにより、鋳物材によって形成された略密実なテーブルと比較して、テーブル５の軽量化を図ることができる。さらに、テーブル５は鋳物材で形成されているので、テーブル５の経年変化を抑えることができる。
【００３８】
また、テーブル５の密閉部５４２は、案内面２１２に対向するテーブル５の両端部に形成されるので、密閉空間の形成を、残留振動の減衰に必要な最小限に抑えることができる。これにより、テーブル５全体を密閉化した場合に比べ、テーブル５の移動質量を軽減することができるので、テーブル５の摺動に伴って発生する残留振動の減衰を図りつつ、テーブル５の軽量化を図ることができる。
【００３９】
また、Ｘ軸ガイド部３２の中空空間３２２およびテーブル５の密閉部５４２内部には、中子砂が充填されているから、中空空間３２２および密閉部５４２内においては、中子砂を除去する必要がない。また、これに伴い、別の充填物を各部材に充填する必要がない。そのため、Ｘ軸ガイド部３２およびテーブル５の製造工程を削減でき、製造効率を向上させることができる。
【００４０】
なお、本発明は前述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【００４１】
前記実施形態では、測定機として三次元測定機を例示したが、本発明はこれに限らない。例えば、ロール径寸法や形状を測定する測定機、表面粗さを測定する表面粗さ測定機、表面粗さ・輪郭形状測定機、輪郭を測定する輪郭測定機、真円度・円筒形状測定機等の測定機に本発明を採用することができる。すなわち、可動部材と、ガイド部材を備えた測定機に、本発明を採用することができる。
【００４２】
前記実施形態では、充填物として中子砂を例示したが、本発明はこれに限らない。すなわち、金属等の粒状物質を充填して、構造体の摺動時の残留振動を減衰させるような構成としてもよい。
【００４３】
前記実施形態では、Ｘ軸ガイド部３２の孔３２３およびテーブル５の孔５２１は、栓によって塞がれるとしたが、本発明ではこれに限らず、板体等で塞ぐようにしてもよい。また、それぞれの製造段階で、孔を形成しないように製造し、密閉状態としてもよい。なお、栓によって孔３２３、５２１を塞ぐようにすれば、Ｘ軸ガイド部３２およびテーブル５の製造を行った上で、容易に孔３２３、５２１を塞ぐことができる。
【００４４】
前記実施形態では、テーブル５の側面５３は略Ｔ字状としたが、本発明はこれに限らない。すなわち、Ｙ軸ガイド部２１によってテーブル５の摺動が案内される形状であれば、下方に開口した凹部を少なくとも１つ備えた形状であってもよい。この場合、開口した凹部にレール２１１を係合させ、テーブル５の摺動を案内するような構成が考えられる。
【００４５】
前記実施形態では、ベース２、テーブル５およびＸ軸ガイド部３２は、鋳物材によって製造されるとしたが、本発明はこれに限らず、鋼製部材やはんれい岩等を用いてもよい。この場合、ベース２、テーブル５およびＸ軸ガイド部３２を箱型に形成し、内部に砂や金属等の粒状物質を充填するような構成とすればよい。なお、鋳物材によってベース２、テーブル５およびＸ軸ガイド部３２を製造すれば、充填物として各部材の鋳造時に用いた中子砂を利用できるので、各部材の製造効率を向上できる。さらに、鋳物材は経年による変形が少ないので、各部材の経年使用による変形を防ぐことができ、また、スライダ４およびテーブル５の摺動の経年安定性を確保できる。
【００４６】
前記実施形態では、テーブル５の密閉部５４２は、底面５４の幅方向（Ｘ軸方向）両端部に形成したが、長手方向（Ｙ軸方向）両端部に形成してもよい。また、本発明では、これに限らず、テーブル５全体を密閉鋳物材によって構成するものでもよい。なお、底面５４の幅方向両端部に密閉部５４２を形成すれば、テーブル５の摺動に伴う残留振動を効果的に抑制しつつ、テーブル５の軽量化を図ることができる。
【００４７】
前記実施形態では、被測定物のＹ軸方向の測定は、被測定物が載置されたテーブル５をＹ軸方向へ摺動させることにより行われるとしたが、本発明ではこれに限らない。例えば、テーブル５は固定とし、門型コラム３がＹ軸方向に摺動することで測定が行われるように構成してもよい。この場合、門型コラム３がベース２に設けられたＹ軸ガイド部２１に沿って摺動するようにすればよく、Ｙ軸ガイド部２１を密閉鋳物材によって構成するようにしてもよい。また、ベース２自体を密閉鋳物材によって構成してもよい。なお、Ｙ軸方向へはテーブル５が進退するように構成すれば、質量の大きい門型コラム３が進退するよりも測定時の振動や誤差を抑えることができる。
【００４８】
前記実施形態では、三次元測定機１は、門型コラム３を備えるとしたが
本発明はこれに限らず、シングルアームのコラムを備えた三次元測定機等にも採用することができる。
【００４９】
前記実施形態では、三次元測定機１は、コンピュータ等に接続され、このコンピュータ等によって、被測定物の測定が制御されるような構成としてもよい。
【００５０】
【発明の効果】
本発明によれば、可動部材または可動部材の移動を支持するガイド部材を構成する構造体のうちの少なくとも１つの構造体が、充填物が充填された密閉空間を備えるから、可動部材の移動に伴う残留振動を減衰させることができ、測定の高速化および高精度化を共に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかる三次元測定機を示す斜視図。
【図２】前記実施形態のＸ軸ガイド部の一部を破断させた斜視図。
【図３】前記実施形態のテーブルを示す斜視図。
【図４】前記実施形態のテーブルの底面を示す斜視図。
【図５】（Ａ）従来の三次元測定機の振動減衰波形を示す図。
（Ｂ）前記実施形態の三次元測定機の振動減衰波形を示す図。
【符号の説明】
１…三次元測定機（測定機）
２…ベース
４…スライダ（測定子）
５…テーブル（移動体）
３１…コラム
３２…Ｘ軸ガイド部（横梁）
３２１…リブ
３２２…中空空間（密閉空間）
２１１…レール（ガイド部材）
５４２…密閉部（密閉空間）
５４１Ａ…リブ
【図１】
2005003523.tif 000003
【図２】
2005003523.tif 000004
【図３】
2005003523.tif 000005
【図４】
2005003523.tif 000006
【図５】
2005003523.tif 000007