(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドのノズル面における機能液の払拭動作を良好に行うことができ、もって液滴吐出ヘッドの吐出性能を、ヘッドの洗浄直後から長期間に渡り良好に維持することができる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッド３１とワイピングユニット９２とを備えた液滴吐出装置であって、ワイピングユニット９２に、洗浄液を含浸された状態のワイピングシート１３０を押圧ローラ１６３により液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４に押圧する払拭動作と、乾燥状態のワイピングシート１３０を押圧ローラ１６３によりノズル面４４に押圧する払拭動作とを順次実行する制御手段２００が備えられた構成とした。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドのノズル面に清掃部材を押圧して該ノズル面の払拭動作を行うワイピングユニットとを具備した液滴吐出装置であって、
前記ワイピングユニットが、前記清掃部材に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記ノズル面に前記清掃部材を押圧する押圧手段とを備えるとともに、
前記洗浄液を含浸された状態の前記清掃部材を前記押圧手段により前記ノズル面に押圧する払拭動作と、乾燥状態の前記清掃部材を前記押圧手段により前記ノズル面に押圧する払拭動作とを順次実行する制御手段を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記洗浄液を含浸された状態にて前記ノズル面に押圧される清掃部材と、前記乾燥状態にて前記ノズル面に押圧される清掃部材とが、互いに独立な部材として設けられたことを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記押圧手段を経由して前記清掃部材を搬送する清掃部材供給手段を備え、
前記洗浄液供給手段が、前記清掃部材供給手段により搬送される前記清掃部材に対して、前記洗浄液を間欠的又は連続的に供給可能とされたことを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記洗浄液が、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノールから選ばれる１又は複数の有機溶剤を含有する水溶液であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記洗浄液に含まれる前記有機溶剤が、エタノール、メタノール、又はエタノールとメタノールの混合物であることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記洗浄液が、１種類又は複数種類の界面活性剤を含有することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記洗浄液に含まれる界面活性剤が、アセチレングリコール系界面活性剤又はポリオキシエチレン基を有するアニオン性界面活性剤であることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
液滴吐出ヘッドのノズル面に対して、清掃部材を押圧することにより該ノズル面の払拭動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、
前記清掃部材に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記ノズル面に前記清掃部材を押圧する押圧手段とを備えるとともに、
前記洗浄液を含浸された状態の前記清掃部材を前記押圧手段により前記ノズル面に押圧する払拭動作と、乾燥状態の前記清掃部材を前記押圧手段により前記ノズル面に押圧する払拭動作とを順次実行する制御手段を備えたことを特徴とする液滴吐出ヘッドのワイピングユニット。
【請求項９】
液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドのノズル面に清掃部材を押圧して該ノズル面の払拭動作を行うワイピングユニットとを具備した液滴吐出装置を用いた液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記液滴吐出ヘッドのノズル面に対して、洗浄液を含浸した清掃部材を押圧する前記ノズル面の払拭動作と、前記ノズル面に対して乾燥状態の前記清掃部材を押圧する前記ノズル面の払拭動作とを、順次行うことを特徴とする液滴吐出ヘッドのクリーニング方法。
【請求項１０】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項１ないし７のいずれか１項に記載の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドのワイピングユニット、液滴吐出ヘッドのクリーニング方法、電気光学装置、及び電気光学装置の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
インクジェットプリンタ等のインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴（液滴）をドット状に精度良く吐出することができることから、例えば吐出液に特殊なインクや感光性の樹脂等の機能液を用いることにより、各種製品の製造分野への応用が期待されている。
例えば、液滴吐出ヘッドを搭載して成るヘッドユニットを用い、カラーフィルタの基板といったワークに対しヘッドユニットを相対移動させつつ、液滴吐出ヘッドの下向きのノズル面に開設した吐出ノズルからワークに向けて液滴を吐出することにより、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等のカラーフィルタを製造することが考えられている。
この液滴吐出ヘッドを搭載したユニットを用いて、ワークに向けて液滴を吐出する為に、機能液を初期充填する際や、ゴミの付着等により吐出不良ノズルが発生した際に、吸引ユニットにより、機能液を吸引し、多く気泡を含んだ機能液を除去し、吸い出された機能液でノズル面が汚れるため、吸引後にノズル面を払拭して汚れを除去することが望まれる。
そのため、従来、インク溶剤を含浸した拭き取り部材を用いてノズル面の拭き取りを行う機能を備えた液滴吐出装置（特許文献１参照）や、ノズル面にワイピングシート（清掃部材）を下方から相対的に押しつける押圧部材を搭載した拭き取りユニットと、押圧部材を経由させてワイピングシートを送るシート供給ユニットとを備え、ワイピングシートをノズル面に押しつけた状態で、ワイピングシートを送りつつ拭き取りユニットをシート供給ユニットと一体にノズル面に平行な所定の払拭方向に移動させて、ノズル面をワイピングシートで払拭するようにしたワイピングユニットが知られている（特許文献２参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−２４６２５号公報
【特許文献２】
特開２００１−１７１１３５号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献１に記載の装置では、洗浄液としてインク溶剤を用いている。上記特許文献２に記載のワイピングユニットでは、エタノールやアセトンのような浸透性の高い洗浄液を用いている。そのため、洗浄液の揮発性や拭き取り性が十分に得られず、ノズル面に洗浄液やインクが残り、液滴吐出ヘッドを洗浄した後吐出性能が低下するという問題がある。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために成されたものであって、液滴吐出ヘッドのノズル面における機能液の払拭動作を良好に行うことができ、もって液滴吐出ヘッドの吐出性能を、液滴吐出ヘッドの洗浄直後から長期間に渡り良好に維持することができる液滴吐出装置を提供することを目的としている。
また本発明は、液滴吐出ヘッドのノズル面における機能液の払拭動作を良好に行うことができる液滴吐出ヘッドのワイピングユニット、並びにクリーニング方法を提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出装置は、上記課題を解決するために、液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドのノズル面に清掃部材を押圧して該ノズル面の払拭動作を行うワイピングユニットとを具備した液滴吐出装置であって、前記ワイピングユニットが、前記清掃部材に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記ノズル面に前記清掃部材を押圧する押圧手段とを備えるとともに、前記洗浄液を含浸された状態の前記清掃部材を前記押圧手段により前記ノズル面に押圧する払拭動作と、乾燥状態の前記清掃部材を前記押圧手段により前記ノズル面に押圧する払拭動作とを実行する制御手段を備えたことを特徴とする。
上記構成の液滴吐出装置は、上記ワイピングユニットが、その制御手段により、洗浄液を含浸した清掃部材による払拭動作を行った後、洗浄液を含浸していない清掃部材による払拭動作を行うように制御されるので、洗浄液を用いたノズル面の拭き取りにより、係るノズル面の汚れを除去するとともに、この洗浄液を用いたノズル面の払拭動作においてノズル面や吐出ノズル内部に付着した洗浄液を、その後に行われる乾燥状態の清掃部材を用いた払拭動作により拭き取ることができる。これにより、上記払拭動作を行った直後から、各吐出ノズルにて良好に液滴吐出動作を行うことが可能になり、もって長期間に渡り良好な吐出性能を維持でき、極めて効率よく液滴吐出動作を行える液滴吐出装置を提供することができる。
【０００７】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液を含浸された状態にて前記ノズル面に押圧される清掃部材と、前記乾燥状態にて前記ノズル面に押圧される清掃部材とが、互いに独立な部材として設けられた構成とすることもできる。この構成によっても、液滴吐出ヘッドのノズル面に付着した機能液や洗浄液を確実に拭き取ることができ、先の構成と同様の効果を得ることができる。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置は、前記押圧手段を経由して前記清掃部材を搬送する清掃部材供給手段を備え、前記洗浄液供給手段が、前記清掃部材供給手段により搬送される前記清掃部材に対して、前記洗浄液を間欠的又は連続的に供給可能とされた構成とすることもできる。この構成によれば、清掃部材を連続的に搬送しつつ清掃部材への洗浄液の含浸、並びに清掃部材によるノズル面の払拭動作を行うことが可能になるので、清掃部材によるノズル面の拭き取り動作に際して、拭き取ったインク等がノズル面に再付着するのを効果的に防止できる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液が、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノールから選ばれる１又は複数の有機溶剤を含有する水溶液である構成とすることが好ましい。この構成によれば、洗浄液を含浸した清掃部材によるノズル面の拭き取りを効果的に行うことができるとともに、乾燥状態の清掃部材による拭き取りにおいて、容易かつ確実に拭き取ることができ、ノズル面のクリーニング効果をより一層高めることができる。
【００１０】
上記構成の液滴吐出装置では、前記洗浄液に含まれる有機溶剤が、エタノール、メタノール、又はエタノールとメタノールの混合物であることが好ましい。係る構成の洗浄液を用いることで、乾燥状態の清掃部材による洗浄液の除去をさらに効果的に行うことができる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液が、１種類又は複数種類の界面活性剤を含有する構成とすることもできる。係る構成によっても、先の有機溶剤を含む洗浄液を用いた場合と同様、優れたクリーニング効果を得ることができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置では、前記洗浄液に含まれる界面活性剤が、アセチレングリコール系界面活性剤又はポリオキシエチレン基を有するアニオン性界面活性剤であることが好ましい。係る構成の洗浄液を用いることで、乾燥状態の清掃部材による洗浄液の除去をさらに効果的に行うことができる。
【００１３】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドのワイピングユニットは、液滴吐出ヘッドのノズル面に対して、清掃部材を押圧することにより該ノズル面の払拭動作を行う液滴吐出ヘッドのワイピングユニットであって、前記清掃部材に対して洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記ノズル面に前記清掃部材を押圧する押圧手段とを備えるとともに、前記洗浄液を含浸された状態の前記清掃部材を前記押圧手段により前記ノズル面に押圧する払拭動作と、乾燥状態の前記清掃部材を前記押圧手段により前記ノズル面に押圧する払拭動作とを順次実行する制御手段を備えたことを特徴とする。
上記構成のワイピングユニットでは、洗浄液を用いてノズル面の拭き取りを行うことによる高いクリーニング効果に加え、乾燥状態の清掃部材による払拭動作により、ノズル面や吐出ノズル内部に付着した洗浄液の除去も確実に行うことが可能になっている。従って、係る構成によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面の汚れを確実に拭き取ることができるワイピングユニットを提供することができる。
【００１４】
次に、本発明の液滴吐出ヘッドのクリーニング方法は、液滴吐出ヘッドと、該液滴吐出ヘッドのノズル面に清掃部材を押圧して該ノズル面の払拭動作を行うワイピングユニットとを具備した液滴吐出装置を用いた液滴吐出ヘッドのクリーニング方法であって、前記液滴吐出ヘッドのノズル面に対して、洗浄液を含浸した清掃部材を押圧する前記ノズル面の払拭動作と、前記ノズル面に対して乾燥状態の前記清掃部材を押圧する前記ノズル面の払拭動作とを、順次行うことを特徴とする。
上記クリーニング方法によれば、洗浄液を用いた払拭動作と、乾燥状態の清掃部材を用いた払拭動作とにより、液滴吐出ヘッドのノズル面の汚れの拭き取りのみならず、ノズル面や吐出ノズル内部に付着した洗浄液の除去も行うことができ、係るクリーニング方法を液滴吐出装置に適用することで、液滴吐出ヘッドのノズル面を、長期間に渡り清浄に保持することが可能である。
【００１５】
次に、本発明の電気光学装置は、先に記載の本発明の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成したことを特徴とする。
次に、本発明の電気光学装置の製造方法は、先に記載の本発明の液滴吐出装置を用い、前記液滴吐出ヘッドからワーク上に機能液滴を吐出して成膜部を形成することを特徴とする。
これらの電気光学装置、及びその製造方法によれば、液滴吐出ヘッドのノズル面が清浄に管理された液滴吐出装置を用いてその製造が成されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。尚、電気光学装置としては、液晶装置、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）装置、ＦＥＤ（フィールドエミッションデバイス）装置、ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）装置等を例示できる。さらに、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成、光拡散体形成等に先の液滴吐出装置を用いた電気光学装置、及びその製造方法であってもよい。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の液滴吐出装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る液滴吐出装置の主要部を成すワイピングユニット９２と、液滴吐出ヘッド３１とを模式的に示す構成図である。
図１に示すワイピングユニット９２は、液滴吐出ヘッド３１の吸引等により機能液が付着して汚れたノズル面４４をワイピングシート（清掃部材）１３０を用いて拭き取るものであり、拭き取りユニット（ヘッド清掃手段）１３２と、シート供給ユニット（清掃部材供給手段）１３１とを主体として構成されている。また、ワイピングユニット９２には、上記ノズル面４４の払拭動作を所定動作にて行うべくシート供給ユニット１３１並びに拭き取りユニット１３２を制御する制御手段２００が接続されている。
ワイピングユニット９２は、液滴吐出ヘッドから機能液を強制吸引する吸引ユニット等とともに、液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドのメンテナンス手段を成すものであり、液滴吐出動作の休止時にメンテナンス位置に移動された液滴吐出ヘッド３１と対向配置可能に設けられる。
【００１７】
拭き取りユニット１３２は、液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４に対して進退自在に設けられ、紙面垂直の軸周りに回転自在に支持された押圧ローラ（押圧手段）１６３と、この押圧ローラ１６３に送り込まれるワイピングシート１３０に対して洗浄液を供給する洗浄液吐出ヘッド（洗浄液供給手段）１６５とを備えている。このワイピングシート１３０には、ポリエステル繊維やポリプロピレン繊維からなるシートや綿布、あるいはポリエステルとポリアミドとが積層された構造を有する繊維からなるシート等を用いることができる。特に、ポリエステルとポリアミドとの積層構造を有する繊維からなる織布をワイピングシート１３０に用いるならば、洗浄液を用いた払拭動作において良好にノズル面４４の汚れを拭き取ることができるのに加え、ノズル面４４に洗浄液が付着し難くなり、ノズル面４４の清浄度を向上できるという利点が得られる。
【００１８】
シート供給ユニット１３１は、いずれも紙面垂直の軸に回転自在に支持された繰出しリール１４２及び巻取りリール１４３と、ガイドローラ１４７とを主体として構成されている。
液滴吐出ヘッド３１は、下向きのノズル面４４を備えて構成されており（例えば図８参照）、このノズル面４４に配列形成された複数のノズル（図１では省略）から機能液滴を吐出するものとされる。そして、係る動作によってワーク上にて機能液（インク）による描画や成膜を行う液滴吐出装置（例えば図２〜図４参照）の主要部を成すものである。尚、係る液滴吐出装置の具体的な構成例については、後述の実施例に記載している。
【００１９】
上記構成を備えたワイピングユニット９２は、制御手段２００から供給される動作指示情報に基づき液滴吐出ヘッド３１のワイピング動作を行う。すなわち、シート供給ユニット１３１の繰出しリール１４２から送出されたワイピングシート１３０を、拭き取りユニット１３２の押圧ローラ１６３を経由して搬送し、巻取りリール１４３に収容する搬送動作を行うとともに、押圧ローラ１６３をノズル面４４に向けて前進させ、押圧ローラ１６３に周回するワイピングシート１３０をノズル面４４に押圧、摺動することにより、ノズル面４４の払拭動作を行うようになっている。また、制御手段２００は、押圧ローラ１６３のシート送り込み側に設けられた洗浄液吐出ヘッド１６５を必要に応じて動作させ、ワイピングシート１３０に洗浄液を含浸させた状態でノズル面４４の払拭動作を行うようになっている。
【００２０】
そして、本実施形態に係るワイピングユニット９２によるノズル面４４の払拭手順は、以下のように行われる。まず、洗浄液吐出ヘッド１６５から洗浄液をワイピングシート１３０に向けて吐出し、この洗浄液を含浸された部位を押圧ローラ１６３により液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４上で摺動して、ノズル面４４に付着した機能液滴を払拭する（第１の払拭動作）。次いで、洗浄液吐出ヘッド１６５からの洗浄液の供給を停止し、シート供給ユニット１３１によりワイピングシート１３０を送ることで押圧ローラ１６３に、乾燥状態（洗浄液を含浸されていない状態）のワイピングシート１３０を配置する。そして、この乾燥状態のワイピングシート１３０を前記ノズル面４４上で摺動させて払拭を行う（第２の払拭動作）。
【００２１】
このように、本実施形態のワイピングユニット９２は、液滴吐出ヘッド３１のクリーニングを行うに際して、洗浄液を用いた第１の払拭動作と、ワイピングシート１３０のみによる第２の払拭動作とを順次行うようになっているので、第１の払拭動作においてノズル面４４や吐出ノズル内部に洗浄液が付着した場合にも、第２の払拭動作により、液滴吐出ヘッド３１に残った洗浄液を吸着、除去することができ、もって液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を確実に清掃することができる。従って、本実施形態に係るワイピングユニット９２を備えた液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を、長期間に渡り清浄に維持することができ、良好な吐出性能を維持することが可能である。
【００２２】
ワイピングシート１３０に含浸して使用する洗浄液としては、エタノール、メタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノールから選ばれる１種または２種以上の有機溶剤を含有する水溶液、あるいは、界面活性剤を含有する水溶液を用いることが好ましい。また、上記有機溶剤として、エタノール、メタノール、あるいはエタノールとメタノールの混合物を用いることがより好ましく、上記界面活性剤として、アセチレングリコール系界面活性剤又はポリオキシエチレン基を有するアニオン性界面活性剤を用いることがより好ましい。
【００２３】
尚、上記実施の形態では、同一のワイピングシート１３０に対して間欠的に洗浄液を吐出し、洗浄液により含浸された部位と、洗浄液を含浸されていない部位とを順次ノズル面４４に押圧してノズル面４４の払拭動作を行う構成としたが、上記ワイピングシート１３０を互いに独立の部材として複数設け、上記第１の払拭工程と、第２の払拭工程とを別々のワイピングシートにより行う構成とすることもできる。係る構成を例示するならば、図１に示したワイピングユニット９２を複数備えた構成の液滴吐出装置、あるいは、共通のシート供給ユニット１４３から複数のワイピングシート１３０を送出可能に構成するとともに、互いに独立に動作可能に複数の押圧ローラ１６３を設け、上記複数のワイピングシート１３０が、異なる押圧ローラ１６３を経由して搬送されるように構成した液滴吐出装置を挙げることができる。このように複数のワイピングシート１３０を設ける場合、第１の払拭工程に供されるワイピングシート１３０に対してのみ洗浄液を供給するべく洗浄液吐出ヘッド１６５を配置すればよい。
【００２４】
【実施例】
（吐出試験）
本例では、上記実施の形態のワイピングユニットを用いて液滴吐出ヘッドのワイピングを行い、ワイピング直後における液滴吐出ヘッドの吐出性能を検証した。
液滴吐出装置としては、液滴吐出ヘッド、及びそのクリーニング機構（インク吸引機構）を備えた描画装置に、図１に示した構成を基本構成とするワイピングユニットを設けたものを用いた。本実施例において、洗浄液に２０％エタノール水溶液を用い、ワイピングシート１３０として、ポリエステル織布のＭＫクリーンクロス（商品名、東レ社製）を用いた。
【００２５】
まず、（１）液滴吐出装置に備えられた吸引ユニットを用いて、液滴吐出ヘッドの吸引を行い、次いで、（２）ワイピングユニットを動作させ、種々の洗浄液を含浸したワイピングシートによるノズル面の払拭動作を行い、その後、（３）洗浄液を含浸していないワイピングシートによるノズル面の払拭動作を行った。次に、（４）液滴吐出ヘッド３１を用いて、全ノズルから６回ずつの吐出を行い、各ノズルの吐出状態を観察、評価した。具体的には、描画した全ドットの顕微鏡観察を行い、その大きさや形状の異常や、ドット抜けの有無について評価を行った。
【００２６】
次に、比較のために、上記試験工程のうち、（３）洗浄液を含浸していないワイピングシートによる払拭動作を省略した以外は、同様の工程として試験を行った。そして、描画したドットについて、上記と同様の観察、評価を行った。
【００２７】
以上の試験の結果、本発明に係る液滴吐出ヘッドのクリーニング方法を適用し、洗浄液を含浸したワイピングシートによる払拭動作の後、乾燥状態のワイピングシートによる払拭動作を行うようにして液滴吐出ヘッドのクリーニングを行った場合、クリーニング直後の１回目の液滴吐出動作から良好な吐出性能が得られ、描画したドットの大きさや形状に異常は観察されず、またドット抜けも皆無であった。これに対して、洗浄液を含浸していないワイピングシートによる拭き取りを省略した場合には、クリーニング直後１回目の液滴吐出動作において、描画したドットの一部に大きさや形状の異常が観察された。
このように、ノズル面のクリーニングに際して、洗浄液を含浸したワイピングシートによる拭き取りの後、乾燥状態のワイピングシートによる拭き取りを行うならば、液滴吐出ヘッドのノズル面における機能液や洗浄液の除去を効果的に行うことができ、クリーニング直後から良好に液滴吐出動作を行うことが可能である。
【００２８】
（液滴吐出装置の具体例）
以下、本発明に係る液滴吐出装置の実施例として描画装置を挙げ、図面を参照して説明する。但し、以下の構成例は、本発明の技術範囲を限定するものではない。
図２は、本発明を適用した描画装置の外観斜視図、図３は、同、描画装置の正面図、図４は、同、描画装置の右側面図、図５は、同、描画装置の一部を省略した平面図である。詳細は後述するが、この描画装置１は、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を液滴吐出ヘッド３１に導入して、基板等のワークＷに液滴による成膜部を形成するものである。
【００２９】
図２ないし図５に示すように、描画装置（液滴吐出装置）１は、液滴吐出ヘッド３１をワークＷに対し相対移動させつつ機能液を吐出するための描画手段２と、液滴吐出ヘッド３１のメンテナンスを行うメンテナンス手段３と、液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給すると共に機能液を回収する機能液供給回収手段４と、各手段を駆動・制御するための圧縮エアーを供給するエアー供給手段５と、を備えている。そして、これらの各手段は、図外の装置制御手段により、相互に関連付けられて制御されている。図示は省略したが、この他にも、ワークＷの位置を認識するワーク認識カメラや、描画手段２のヘッドユニット２１（後述する）の位置確認を行うヘッド認識カメラ、各種インジケータ等の付帯装置が設けられており、これらも装置制御手段によりコントロールされている。
【００３０】
描画手段２は、アングル材を方形に組んで構成した架台１１の上部に固定した石定盤１２の上に配設されており、機能液供給回収手段４およびエアー供給手段５の大部分は、架台１１に添設された機台１３に組み込まれている。機台１３には、大小２つの収容室１４、１５が形成されており、大きいほうの収容室１４には機能液供給回収手段４のタンク類が収容され、小さいほうの収容室１５にはエアー供給手段５の主要部が収容されている。また、機台１３上には、図６に示す如く、モータ１６によりボールねじ１７を介して機台１３の長手方向（すなわちＸ軸方向）に移動される移動テーブル１８が設けられており、移動テーブル１８上には、メンテナンス手段３の構成ユニットである後述の吸引ユニット９１、ワイピングユニット９２、ドット抜け検出ユニット９３および機能液の吐出量測定のための液滴受けユニット９４を載置する共通ベース１９が固定されている。
【００３１】
この描画装置１は、描画手段２の液滴吐出ヘッド３１をメンテナンス手段３で保守させながら、機能液供給回収手段４から液滴吐出ヘッド３１に機能液を供給すると共に、液滴吐出ヘッド３１からワークＷに機能液を吐出させるものである。なお、機能液は、収納室１４に収納した加圧タンク２０１から機台１３上に配置した給液タンク２０２を介して液滴吐出ヘッド３１に供給される。以下、各手段について説明する。
【００３２】
描画手段２は、図２に示すように、機能液を吐出する液滴吐出ヘッド３１を複数搭載した後述（図７参照）のヘッドユニット２１と、ヘッドユニット２１を支持するメインキャリッジ２２と、ヘッドユニット２１をワークＷに対し主走査方向（Ｘ軸方向）とこれに直交する副走査方向（Ｙ軸方向）との２つの走査方向に相対移動させるＸ・Ｙ移動機構２３と、を有している。
【００３３】
図７のヘッドユニット２１の平面図に示すように、ヘッドユニット２１は、複数（１２個）の液滴吐出ヘッド３１と、これら液滴吐出ヘッド３１を搭載するサブキャリッジ５１と、各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を下面に突出させてサブキャリッジ５１に取り付けるためのヘッド保持部材５２と、から構成されている。１２個の液滴吐出ヘッド３１は、サブキャリッジ５１に、６個宛の二つのヘッド列３０Ｌ，３０Ｒに分けて主走査方向（Ｘ軸方向）に離間配置されている。また、各液滴吐出ヘッド３１は、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保するために所定角度傾けて配設されている。更に、一方のヘッド列３０Ｌと他方のヘッド列３０Ｒの各液滴吐出ヘッド３１は、副走査方向（Ｙ軸方向）に対して相互に位置ずれして配設され、副走査方向において各液滴吐出ヘッド３１の吐出ノズル４２が連続（一部重複）するようになっている。なお、液滴吐出ヘッド３１を専用部品で構成するなどして、ワークＷに対して機能液の十分な塗布密度を確保できる場合は、液滴吐出ヘッド３１をあえて傾けてセットする必要はない。
【００３４】
図８の液滴吐出ヘッド３１の斜視図（（ａ）図）、要部断面図（（ｂ）図）に示すように、液滴吐出ヘッド３１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針３３を有する機能液導入部３２と、機能液導入部３２に連なる２連のヘッド基板３４と、機能液導入部３２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体３５と、を備えている。各接続針３３は、配管アダプタ３６を介して機能液供給回収手段４の給液タンク２０２に接続されており、機能液導入部３２は、各接続針３３から機能液の供給を受けるようになっている。ヘッド本体３５は、２連のポンプ部４１と、多数の吐出ノズル４２を形成したノズル面４４を有するヘッドプレート４３と、を有しており、液滴吐出ヘッド３１では、ピエゾ素子を備えた部分４１の作用により吐出ノズル４２から液滴を吐出するようになっている。なお、ノズル面４４には、多数の吐出ノズル４２から成る２列の吐出ノズル列が形成されている。
【００３５】
図７に示すように、サブキャリッジ５１は、一部が切り欠かれた本体プレート５３と、本体プレート５３の長辺方向の中間位置に設けた左右一対の基準ピン５４と、本体プレート５３の両長辺部分に取り付けた左右一対の支持部材５５と、を備えている。一対の基準ピン５４は、画像認識を前提として、サブキャリッジ５１（ヘッドユニット２１）をＸ軸、Ｙ軸、およびθ軸方向に位置決め（位置認識）するための基準となるものである。支持部材５５は、ヘッドユニット２１をメインキャリッジ２２に固定する際の固定部位となる。また、サブキャリッジ５１には、各液滴吐出ヘッド３１と給液タンク２０２を配管接続するための配管ジョイント５６が設けられている。配管ジョイント５６は、一端に各液滴吐出ヘッド３１（の接続針３３）と接続した配管アダプタ３６からのヘッド側配管部材を接続し、もう一端には給液タンク２０２からの装置側配管部材を接続するための１２個のソケット５７を有している。
【００３６】
図４に示すように、メインキャリッジ２２は、後述するブリッジプレート８２に下側から固定される外観「Ｉ」形の吊設部材６１と、吊設部材６１の下面に取り付けたθテーブル６２と、θテーブル６２の下方に吊設するよう取り付けたキャリッジ本体６３と、で構成されている。キャリッジ本体６３には、ヘッドユニット２１を遊嵌するための方形の開口を有しており、ヘッドユニット２１を位置決め固定するようになっている。
【００３７】
Ｘ・Ｙ移動機構２３は、図２及び図３に示すように、上記した石定盤１２に固定され、ワークＷを主走査（Ｘ軸方向）させると共にメインキャリッジ２２を介してヘッドユニット２１を副走査（Ｙ軸方向）させるものである。Ｘ・Ｙ移動機構２３は、石定盤１２の長辺に沿う中心線に軸線を合致させて固定されたＸ軸テーブル７１と、Ｘ軸テーブル７１を跨いで、石定盤１２の短辺に沿う中心線に軸線を合致させたＹ軸テーブル８１と、を有している。
【００３８】
Ｘ軸テーブル７１は、ワークＷをエアー吸引により吸着セットする吸着テーブル７２と、吸着テーブル７２を支持するθテーブル７３と、θテーブル７３をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸エアースライダ７４と、θテーブル７３を介して吸着テーブル７２上のワークＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸エアースライダ７４に併設したＸ軸リニアスケール７５とで構成されている。液滴吐出ヘッド３１の主走査は、Ｘ軸リニアモータの駆動により、ワークＷを吸着した吸着テーブル７２およびθテーブル７３が、Ｘ軸エアースライダ７４を案内にしてＸ軸方向に往復移動することにより行われる。
【００３９】
Ｙ軸テーブル８１は、図２ないし図４に示すように、メインキャリッジ２２を吊設するブリッジプレート８２と、ブリッジプレート８２を両持ちで且つＹ軸方向にスライド自在に支持する一対のＹ軸スライダ８３と、Ｙ軸スライダ８３に併設したＹ軸リニアスケール８４と、一対のＹ軸スライダ８３を案内にしてブリッジプレート８２をＹ軸方向に移動させるＹ軸ボールねじ８５と、Ｙ軸ボールねじ８５を正逆回転させるＹ軸モータ（図示省略）とを備えている。Ｙ軸モータはサーボモータで構成されており、Ｙ軸モータが正逆回転すると、Ｙ軸ボールねじ８５を介してこれに螺合しているブリッジプレート８２が一対のＹ軸スライダ８３を案内にしてＹ軸方向に移動する。すなわち、ブリッジプレート８２の移動に伴い、メインキャリッジ２２（ヘッドユニット２１）がＹ軸方向の往復移動を行い、液滴吐出ヘッド３１の副走査が行われる。なお、図５では、Ｙ軸テーブル８１とθテーブル７３とを省略している。
【００４０】
ここで、描画手段２の一連の動作を簡単に説明する。まず、ワークＷに向けて機能液を吐出する描画作業前の準備として、ヘッド認識カメラによるヘッドユニット２１の位置補正が行われた後、ワーク認識カメラによって、吸着テーブル７２にセットされたワークＷの位置補正がなされる。次に、ワークＷをＸ軸テーブル７１により主走査（Ｘ軸）方向に往復動させると共に、複数の液滴吐出ヘッド３１を駆動させてワークＷに対する液滴の選択的な吐出動作が行われる。そして、ワークＷを復動させた後、ヘッドユニット２１をＹ軸テーブル８１により副走査（Ｙ軸）方向に移動させ、再度ワークＷの主走査方向への往復移動と液滴吐出ヘッド３１の駆動が行われる。なお、本実施形態では、ヘッドユニット２１に対して、ワークＷを主走査方向に移動させるようにしているが、ヘッドユニット２１を主走査方向に移動させる構成であってもよい。また、ワークＷを固定とし、ヘッドユニット２１を主走査方向および副走査方向に移動させる構成であってもよい。
【００４１】
次に、メンテナンス手段３の各構成ユニットについて説明する。メンテナンス手段３は、上述した共通ベース１９上の吸引ユニット９１、ワイピングユニット９２、ドット抜け検出ユニット９３および液滴受けユニット９４で概略構成されている。ヘッドユニット２１は、描画作業の休止時に機台１３の上方のメンテナンス位置に移動され、この状態で移動テーブル１８を介して共通ベース１９を移動することにより、吸引ユニット９１とワイピングユニット９２と液滴受けユニット９４とを選択的にヘッドユニット２１の直下部に臨ませる。
【００４２】
吸引ユニット９１は、液滴吐出ヘッド３１から機能液を強制的に吸引すると共に、液滴吐出ヘッド３１からの機能液の吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。吸引ユニット９１は、共通ベース１９（移動テーブル１８）がホーム位置（図５，図６に示す位置）に存するときに、メンテナンス位置に存するヘッドユニット２１の直下部に臨む昇降自在なキャップユニット１０１を備えている。
【００４３】
キャップユニット１０１は、図５及び図６に示すように、ヘッドユニット２１に搭載された１２個の液滴吐出ヘッド３１の配置に対応させて、１２個のキャップ１０２をキャップベース１０３に配設したものであり、対応する各液滴吐出ヘッド３１に各キャップ１０２を密着可能に構成されている。
【００４４】
ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド３１に機能液の充填を行う場合や、液滴吐出ヘッド３１内で増粘した機能液を除去する場合には、各キャップ１０２を各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４に密着させて、ポンプ吸引を行い、吸引した機能液を収納室１４に配置した再利用タンク２０３に回収する。また、装置の非稼働時には、各キャップ１０２を各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４に密着させて、液滴吐出ヘッド３１の保全（機能液の乾燥防止等）を行う。さらに、ワーク交換などで描画作業を休止するときには、各キャップ１０２を各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４から僅かに離間させておいて、フラッシング（予備吐出）を行うようにしている。
【００４５】
ところで、液滴吐出ヘッド３１のフラッシング動作（予備吐出）は、描画作業中にも行われる。そのために、Ｘ軸テーブル７１のθテーブル７３に、吸着テーブル７１を挟むようにして固定した１対のフラッシングボックス９５ａを有するフラッシングユニット９５を設けている（図５参照）。フラッシングボックス９５ａは、θテーブル７３と共に主走査時に移動するので、ヘッドユニット２１等をフラッシング動作のために移動させることがない。すなわち、フラッシングボックス９５ａはワークＷと共にヘッドユニット２１へ向かって移動していくので、フラッシングボックス９５ａに臨んだ液滴吐出ヘッド３１の吐出ノズル４２から順次フラッシング動作を行うことができる。なお、フラッシングボックス９５ａで受けた機能液は、収納室１４に配置した廃液タンク２０４に貯留される。また、石定盤１２の機台１３とは反対側の側部には、ヘッドユニット２１の２つのヘッド列３０Ｌ，３０Ｒに対応する一対のフラッシングボックス９６ａを有する予備のフラッシングユニット９６が配置されている。
【００４６】
ドット抜け検出ユニット９３は、液滴吐出ヘッド３１の全吐出ノズル４２から液滴が確実に吐出されているか否か、すなわち各液滴吐出ヘッド３１にノズル詰まり等が生じているか否かを検出するものである。ドット抜け検出ユニット９３は、ヘッドユニット２１の２つのヘッド列３０Ｌ，３０Ｒに対応して設けた一対の光学式検出器１１１Ｌ，１１１Ｒで構成されている。各検出器１１１Ｌ，１１１Ｒは、例えば、レーザーダイオード等の発光素子１１２と受光素子１１３とを対向配置し、両素子１１２，１１３間の光路を吐出した液滴が遮断するか否かで、ドット抜け（吐出不良）を検出するものを適用できる。そして、ヘッドユニット２１を各ヘッド列３０Ｌ，３０Ｒの液滴吐出ヘッド３１が各検出器１１１Ｌ，１１１Ｒの直上部を通るようにＹ軸方向に移動させつつ、各吐出ノズル４２から順に液滴を吐出させて、ドット抜けの検査を行う。
【００４７】
液滴受けユニット９４は、液滴の吐出量（重量）を液滴吐出ヘッド２１単位で測定するために使用するものであり、共通ベース１９をホーム位置から図５，図６で左方に移動させたときに、メンテナンス位置に存するヘッドユニット２１の直下部に臨むように配置した載置台１２１と、載置台１２１上にヘッドユニット２１の１２個の液滴吐出ヘッド３１に合わせて載置した１２個の受け容器１２２とを備えている。液滴の吐出量測定に際しては、各液滴吐出ヘッド３１から各受け容器１２２に向けて所定回数液滴を吐出させ、各受け容器１２２を図外の電子天秤に移載して、各受け容器１２２内の液滴の重量を測定する。
【００４８】
ワイピングユニット９２は、図１に模式的に示した構成を主体としてなり、液滴吐出ヘッド３１の吸引（クリーニング）等により機能液が付着して汚れた各液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を、ワイピングシート１３０（清掃部材、図１及び図１５参照）を用いて拭き取るものであり、別個独立に構成されたシート供給ユニット（清掃部材供給手段）１３１と拭き取りユニット１３２とを備える。これらシート供給ユニット１３１と拭き取りユニット１３２とは、共通ベース１９上に、拭き取りユニット１３２を吸引ユニット９１側に位置させた状態でＸ軸方向に並べて配置されており、メンテナンス位置に存するヘッドユニット２１に向けて移動テーブル１８の動きにより拭き取りユニット１３２がシート供給ユニット１３１と一体に払拭方向たるＸ軸方向一方（図５，図６の右方）に移動し、ヘッドユニット２１の１２個全ての液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を払拭する。
【００４９】
図９は、シート供給ユニット１３１の斜視図、図１０は、同、平面図、図１１は、同、Ｘ方向から見た正面図である。図９ないし図１１に示すように、シート供給ユニット１３１は、Ｙ軸方向片側に立設したフレーム１４１に片持ち状態で着脱自在に軸支した上側の繰出しリール１４２および下側の巻取りリール１４３と、巻取りリール１４３を巻取り回転させる巻取りモータ１４４とを備えている。また、フレーム１４１の上側部にはサブフレーム１４５が固定されており、このサブフレーム１４５には、繰出しリール１４２の先方に位置するように速度検出ローラ１４６およびガイドローラ１４７が、両持ちで支持されている。さらに、これら構成部品の下側には、洗浄液を受ける洗浄液パン１４８が配設されている。
【００５０】
繰出しリール１４２には、ロール状のワイピングシート１３０が挿填され、繰出しリール１４２から繰り出されたワイピングシート１３０は、速度検出ローラ１４６およびガイドローラ１４７を介して拭き取りユニット１３２に送り込まれる。巻取りリール１４３と巻取りモータ１４４との間にはタイミングベルト１４９が掛け渡され、巻取りリール１４３は巻取りモータ１４４により回転してワイピングシート１３０を巻き取る。
【００５１】
詳細は後述するが、拭き取りユニット１３２にもワイピングシート１３０を送るモータ（送り込みモータ１６４）が設けられており、繰出しリール１４２は、これに設けたトルクリミッタ１５０により、送り込みモータ１６４に抗するように制動回転する。速度検出ローラ１４６は、自由回転する上下２つのローラ１４６ａ，１４６ｂから成るグリップローラであり、これに設けた速度検出器１５１により、巻取りモータ１４４を制御する。すなわち、繰出しリール１４２は、ワイピングシート１３０を張った状態で送り出し、巻取りリール１４３は、ワイピングシート１３０を弛みが生じないように巻き取る。
【００５２】
また、繰出しリール１４２と速度検出ローラ１４６との間のシート走行路部分の下方に光学式のシート検出器１５２を配置し、繰出しリール１４２から繰り出されるワイピングシート１３０の端末が通過したことをシート検出器１５２で検出したとき、繰出しリール１４２および巻取りリール１４３の交換指令を出すようにしている。
【００５３】
図１２は、拭き取りユニット１３２の斜視図、図１３は、同、平面図、図１４は、図１３に示すＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。図１２ないし図１４に示すように、拭き取りユニット１３２は、Ｙ軸方向両側に立設した一対のスタンド１６１，１６１間に昇降自在に支持される昇降枠１６２と、昇降枠１６２上に両持ちで回転自在に支持される押圧ローラ（押圧手段）１６３と、押圧ローラ１６３を回転させる送り込みモータ１６４と、押圧ローラ１６３に送り込まれるワイピングシート１３０に機能液の溶剤から成る洗浄液を供給する洗浄液吐出ヘッド（洗浄液吐出手段）１６５とを備えている。
【００５４】
昇降枠１６２のＹ軸方向両側には一対の脚片１６６が垂設されており、各脚片１６６を各スタンド１６１の内側面に取り付けたガイド１６７に上下動自在に係合させている。そして、各スタンド１６１のベース部にエアーシリンダ１６８を立設し、そのピストンロッド１６８ａを各脚片１６６に連結して、エアーシリンダ１６８の作動により、昇降枠１６２およびこれに支持された押圧ローラ１６３や洗浄液吐出ヘッド１６５等が昇降されるようになっている。
【００５５】
押圧ローラ１６３は、送り込みモータ１６４によりタイミングベルト１６９を介して回転駆動されるようになっている。また、昇降枠１６２には、押圧ローラ１６３の下側に沿わせてピンチローラ１７０が軸支されており、図１５（ａ）に示す如く、押圧ローラ１６３から巻取りリール１４３に向けて送り出されるワイピングシート１３０の部分をピンチローラ１７０との間に挟み込んで、ワイピングシート１３０が押圧ローラ１６３に対しスリップしないようにし、押圧ローラ１６３の回転でワイピングシート１３０が押圧ローラ１６３に確実に送り込まれるようにしている。
【００５６】
押圧ローラ１６３は、軸部１６３ａの外周にゴム等の弾性体１６３ｂを装着した弾性ローラで構成されている。そして、拭き取りユニット１３２（昇降枠１６２）を上昇端位置に上昇させた状態では、押圧ローラ１６３に周回するワイピングシート１３０の最上部の位置がヘッドユニット２１に搭載した液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４の位置より若干高くなるようにし、拭き取りユニット１６３のＸ軸方向一方への往動で押圧ローラ１６３がノズル形成面４４の直下部を横切るとき、ワイピングシート１３０および押圧ローラ１６３が下方に圧縮されて、その弾性復元力によりワイピングシート１３０がノズル面４４に押しつけられるようになっている（図１５（ｂ）参照）。
【００５７】
洗浄液吐出ヘッド１６５は、押圧ローラ１６３に対するワイピングシート１３０の送り込み側に位置して押圧ローラ１６３に近接対向するように配置されている。そして、図１４（ａ）に示す如く、上記ガイドローラ１４７を経由して送られてくるワイピングシート１３０を下方から押圧ローラ１６３と洗浄液吐出ヘッド１６５との間の隙間を通して押圧ローラ１６３に送り込んでいる。ここで、洗浄液吐出ヘッド１６５の押圧ローラ１６３側を向く前面部分には、ノズル穴（図示せず）がワイピングシート１３０の幅に合わせて横並びに多数設けられており、一方、洗浄液吐出ヘッド１６５の後面には、配管用の複数のコネクタ１７１が設けられている。
【００５８】
また、収納室１４に洗浄液タンク２０５を収納すると共に、共通ベース１９上に、シート供給ユニット１３１の前部側方に位置する配管用の分配盤１７２（図５参照）を配置している。そして、洗浄液タンク２０５から分配盤１７２とコネクタ１７１とを介して洗浄液吐出ヘッド１６５に洗浄液を供給し、押圧ローラ１６３と洗浄液吐出ヘッド１６５との間の隙間を通過するワイピングシート１３０に向けて洗浄液吐出ヘッド１６５のノズル穴から洗浄液を吐出させている。
【００５９】
図１５に示すように、本実施形態では、押圧ローラ１６３と洗浄液吐出ヘッド１６５との間の隙間に下方からワイピングシート１３０を通過させるようなっており、洗浄液吐出ヘッド１６５にワイピングシート１３０の表面が対向配置され、洗浄液吐出ヘッド１６５から吐出された洗浄液がワイピングシート１３０の表面に直接塗布される。そのため、洗浄液吐出ヘッド１６５を押圧ローラ１６３の可及的近傍に配置しても、ワイピングシート１３０の表面に洗浄液を行き渡らせて、ノズル面４４の汚れを効果的に払拭できるようになっている。その結果、ワイピングシート１３０の空送り長さ（洗浄液吐出ヘッド１６５で洗浄液を塗布したワイピングシート１３０の部分が押圧ローラ１６３の最上部に到達するまでの送り長さ）を可及的に短縮でき、ワイピングシート１３０の消費量の削減を図れる。
【００６０】
なお、洗浄液吐出ヘッド１６５は、ノズル面４４に干渉しないように、ノズル面４４にワイピングシート１３０を押しつけた状態でノズル面４４に合致する水平面Ｈ（図１４（ｂ）参照）より下方に配置されている。また、押圧ローラ１６３の下方に位置して、昇降枠１６２にも洗浄液パン１７３が設けられており、シート供給ユニット１３１の洗浄液パン１４８と共に、ワイピングシート１３０から滴る洗浄液を受け得るようになっている。
【００６１】
以下、本描画装置に備えられたワイピングユニット９２によるノズル面４４の払拭作業手順を示す。ヘッドユニット２１の液滴吐出ヘッド３１の吸引ユニット９１による吸引が完了すると、移動テーブル１８用のモータ１６の作動で拭き取りユニット１３２をシート供給ユニット１３１と一体に、ホーム位置からメンテナンス位置に存するヘッドユニット２１に向けてＸ軸方向一方に往動させる。押圧ローラ１６３がヘッドユニット２１の一方のヘッド列３０Ｌの液滴吐出ヘッド３１の直前まで移動したら、拭き取りユニット１３２の往動を一旦停止し、エアーシリンダ１６８の作動で拭き取りユニット１３２を上昇端位置に上昇させる。
【００６２】
上昇後、拭き取りユニット１３２の往動を再開し、同時に、巻取りモータ１４４および送り込みモータ１６４を駆動して、ワイピングシート１３０の送りを開始すると共に、洗浄液吐出ヘッド１６５からの洗浄液の吐出を開始する。係るタイミングで動作させることで、押圧ローラ１６３がヘッド列３０Ｌの液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４に到達する時点までにワイピングシートの空送りが完了し、表面に洗浄液が行き渡った状態でワイピングシート１３０がノズル面４４に押しつけられ、ノズル面４４の払拭が開始される。以後、押圧ローラ１６３がノズル面４４に沿ってこれを横切るように進行すると共に、ワイピングシート１３０の送りによりノズル面４４に対する接触部に常に新たなシート部分が供給され、ノズル面４４の汚れが効率良く払拭される。
【００６３】
押圧ローラ１６３がヘッド列３０Ｌに属する全ての液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を横切り終わったならば、拭き取りユニット１３２の往動を継続したまま、ワイピングシート１３０の送りと洗浄液の吐出とを一旦停止し、その後、押圧ローラ１６３がヘッドユニット２１の他方のヘッド列３０Ｒの液滴吐出ヘッド３１の直前まで移動したとき、ワイピングシート１３０の送りと洗浄液の吐出とを再開して、押圧ローラ１６３がヘッド列３０Ｒの液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４に到達する時点までにワイピングシートの空送りを完了し、上記と同様にヘッド列３０Ｒの液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を払拭する。このようにすれば、一方のヘッド列３０Ｌと他方のヘッド列３０Ｒとの間に位置する拭き取りユニット１３２の移動区間では、ワイピングシート１３０の送りと洗浄液の吐出とが休止され、ワイピングシート１３０および洗浄液が無駄に消費されることが防止される。
【００６４】
押圧ローラ１６３がヘッド列３０Ｒに属する全ての液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４を横切り、ヘッドユニット２１の全ての液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４の払拭が完了したならば、ワイピングシート１３０の送りと洗浄液の吐出とを停止すると共に、拭き取りユニット１３２の往動を停止して、拭き取りユニット１３２を下降させる。そして、下降後、拭き取りユニット１３２をＸ軸方向他方に復動させ、ホーム位置に復帰させる。このように、拭き取りユニット１３２を下降させた状態で復動させるため、復動時にワイピングシート１３０はノズル面４４に接触せず、拭き取った汚れがノズル面４４に再付着するのを防止できる。
【００６５】
以上の、洗浄液を含浸したワイピングシート１３０によるノズル面４４の払拭動作が終了したならば、続いて、乾燥状態のワイピングシート１３０によるノズル面４４の払拭動作を開始する。この乾燥状態のワイピングシート１３０による払拭動作は、上述の払拭手順を、洗浄液吐出ヘッド１６５を停止した状態とする以外は同様に繰り返し行えば良いので、その詳細な手順は省略する。
このように、本描画装置１においては、液滴吐出ヘッド３１のワイピング動作に際して、洗浄液を滴下したワイピングシート１３０による払拭動作を行った後、乾燥状態のワイピングシート１３０による払拭動作を行うようになっているため、ノズル面４４に付着したり、吐出ノズル４２内に入り込んだ洗浄液やインク残り等を確実に拭き取ることができ、クリーニング動作後に吐出不良が生じるのを効果的に防止できるようになっている。特に、洗浄液として先の実施形態に挙げたものを用いるならば、より顕著なクリーニング効果を得ることができる。
尚、本描画装置１においても、先の実施形態で説明したように、洗浄液を含浸して払拭動作を行うワイピングシートと、乾燥状態で払拭動作を行うワイピングシートを、独立に動作可能に設けた構成とすることができるのは勿論である。
【００６６】
（電子機器製造への適用例）
次に、上記の描画装置１を液晶表示装置の製造に適用した場合について、説明する。図１６は、液晶表示装置３０１の断面構造を表している。同図に示すように、液晶表示装置３０１は、ガラス基板３２１を主体として対向面に透明導電膜（ＩＴＯ膜）３２２および配向膜３２３を形成した上基板３１１および下基板３１２と、この上下両基板３１１，３１２間に介設した多数のスペーサ３３１と、上下両基板３１１，３１２間を封止するシール材３３２と、上下両基板３１１，３１２間に充填した液晶３３３とで構成されると共に、上基板３１１の背面に位相基板３４１および偏光板３４２ａを積層し、且つ下基板３１２の背面に偏光板３４２ｂおよびバックライト３４３を積層して、構成されている。
【００６７】
通常の製造工程では、それぞれ透明導電膜３２２のパターニングおよび配向膜３２３の塗布を行って上基板３１１および下基板３１２を別々に作製した後、下基板３１２にスペーサ３３１およびシール材３３２を作り込み、この状態で上基板３１１を貼り合わせる。次いで、シール材３３２の注入口から液晶３３３を注入し、注入口を閉止する。その後、位相基板３４１、両偏光板３４２ａ，３４２ｂおよびバックライト３４３を積層する。
【００６８】
実施形態の描画装置１は、例えば、スペーサ３３１の形成や、液晶３３３の注入に利用することができる。具体的には、機能液としてセルギャップを構成するスペーサ材料（例えば、紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂）や液晶を導入し、これらを所定の位置に均一に吐出（塗布）させていく。先ずシール材３３２を環状に印刷した下基板３１２を吸着テーブルにセットし、この下基板３１２上にスペーサ材料を粗い間隔で吐出し、紫外線照射してスペーサ材料を凝固させる。次に、下基板３１２のシール材３３２の内側に、液晶３３３を所定量だけ均一に吐出して注入する。その後、別途準備した上基板３１１と、液晶を所定量塗布した下基板３１２を真空中に導入して貼り合わせる。
【００６９】
このように、上基板３１１と下基板３１２とを貼り合わせる前に、液晶３３３をセルの中に均一に塗布（充填）するようにしているため、液晶３３３がセルの隅など細部に行き渡らない等の不具合を解消することができる。
【００７０】
なお、機能液（シール材用材料）として紫外線硬化樹脂或いは熱硬化樹脂を用いることで、上記のシール材３３２の印刷をこの描画装置１で行うことも可能である。同様に、機能液（配向膜材料）としてポリイミド樹脂を導入することで、配向膜３２３を描画装置１で作成することも可能である。また、実施形態の描画装置１を用いて、透明導電膜３２２を形成することも可能である。
【００７１】
このように、液晶表示装置３０１の製造に上記した描画装置１を使用した場合、液滴吐出ヘッド３１のノズル面４４の汚れを確実に拭き取ることができるとともに、係る払拭動作によりノズル面４４やノズル４２内部に付着した洗浄液をも確実に拭き取ることができるため、ノズル形成面４４の汚れがワークに落下するのを防止でき、かつ液滴吐出ヘッド３１のクリーニング直後から良好な吐出状態にて機能液の吐出を行うことができる。これにより、液晶表示装置の製造歩留まり、及び製造効率の向上を実現できる。
【００７２】
ところで、上記した描画装置１は、携帯電話やパーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される上記の液晶表示装置３０１の他、各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることが可能である。すなわち、有機ＥＬ装置、ＦＥＤ装置、ＰＤＰ装置および電気泳動表示装置等の製造に適用することができる。
【００７３】
有機ＥＬ装置の製造に、上記した描画装置１を応用した例を簡単に説明する。図１７に示すように、有機ＥＬ装置４０１は、基板４２１、回路素子部４２２、画素電極４２３、バンク部４２４、発光素子４２５、陰極４２６（対向電極）、および封止用基板４２７から構成された有機ＥＬ素子４１１に、フレキシブル基板（図示省略）の配線および駆動ＩＣ（図示省略）を接続したものである。回路素子部４２２は基板４２１上に形成され、複数の画素電極４２３が回路素子部４２２上に整列している。そして、各画素電極４２３間にはバンク部４２４が格子状に形成されており、バンク部４２４により生じた凹部開口４３１に、発光素子４２５が形成されている。陰極４２６は、バンク部４２４および発光素子４２５の上部全面に形成され、陰極４２６の上には、封止用基板４２７が積層されている。
【００７４】
有機ＥＬ装置４０１の製造工程では、予め回路素子部４２２上および画素電極４２３が形成されている基板４２１（ワークＷ）上の所定の位置にバンク部４２４が形成された後、発光素子４２５を適切に形成するためのプラズマ処理が行われ、その後に発光素子４２５および陰極４２６（対向電極）を形成される。そして、封止用基板４２７を陰極４２６上に積層して封止して、有機ＥＬ素子４１１を得た後、この有機ＥＬ素子４１１の陰極４２６をフレキシブル基板の配線に接続すると共に、駆動ＩＣに回路素子部４２２の配線を接続することにより、有機ＥＬ装置４０１が製造される。
【００７５】
描画装置１は、発光素子４２５の形成に用いられる。具体的には、液滴吐出ヘッド３１に発光素子材料（機能液）を導入し、バンク部４２４が形成された基板４２１の画素電極４２３の位置に対応して、発光素子材料を吐出させ、これを乾燥させることで発光素子４２５を形成する。なお、上記した画素電極４２３や陰極４２６の形成等においても、それぞれに対応する液体材料を用いることで、描画装置１を利用して作成することも可能である。
【００７６】
また例えば、電子放出装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、電極上に多数の蛍光体を形成する。
ＰＤＰ装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１にＲ、Ｇ、Ｂ各色の蛍光材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、蛍光材料を選択的に吐出して、背面基板上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。
電気泳動表示装置の製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１に各色の泳動体材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、泳動体材料を選択的に吐出して、電極上の多数の凹部にそれぞれ蛍光体を形成する。なお、帯電粒子と染料とからなる泳動体は、マイクロカプセルに封入されていることが好ましい。
【００７７】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられ、本実施形態の液滴吐出装置は、これらの各種製造方法にも、適用可能である。
例えば、金属配線形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１に液状金属材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、液状金属材料を選択的に吐出して、基板上に金属配線を形成する。例えば、上記の液晶表示装置におけるドライバと各電極とを接続する金属配線や、上記有機ＥＬ装置におけるＴＦＴ等と各電極とを接続する金属配線に適用してこれらのデバイスを製造することができる。また、この種のフラットパネルディスプレイの他、一般的な半導体製造技術に適用できることは言うまでもない。
【００７８】
レンズの形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１にレンズ材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、レンズ材料を選択的に吐出して、透明基板上に多数のマイクロレンズを形成する。例えば、上記ＦＥＤ装置におけるビーム収束用のデバイスを製造する場合に適用可能である。また、各種光デバイスの製造技術にも適用可能である。
レンズの製造方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１に透光性のコーティング材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、コーティング材料を選択的に吐出して、レンズの表面にコーティング膜を形成する。
レジスト形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１にレジスト材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、レジスト材料を選択的に吐出して、基板上に任意形状のフォトレジストを形成する。例えば、上記の各種表示装置におけるバンクの形成はもとより、半導体製造技術の主体をなすフォトリソグラフィー法において、フォトレジストの塗布に広く適用可能である。
光拡散体形成方法では、複数の液滴吐出ヘッド３１に光拡散材料を導入し、複数の液滴吐出ヘッド３１を主走査および副走査し、光拡散材料を選択的に吐出して、基板上に多数の光拡散体を形成する。この場合も、各種光デバイスに適用可能であることはいうまでもない。
【００７９】
このように、描画装置１には、多種の機能液が導入される可能性があるが、上記した描画装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、電気光学装置を精度良く且つ安定に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、実施形態の液滴吐出装置に備えられたワイピングユニットの模式構成図。
【図２】図２は、実施例の描画装置の外観斜視図。
【図３】図３は、同、正面図。
【図４】図４は、同、右側面図。
【図５】図５は、同、部分平面図。
【図６】図６は、実施例に係るワイピングユニットを含むメンテナンス手段の斜視図。
【図７】図７は、実施例に係るヘッドユニットの平面図。
【図８】図８（ａ）は、実施例に係る液滴吐出ヘッドの斜視図、図８（ｂ）は、同、要部の断面図。
【図９】図９は、実施例に係るシート供給ユニットの斜視図。
【図１０】図１０は、同、平面図。
【図１１】図１１は、同、正面図。
【図１２】図１２は、実施例に係る拭き取りユニットの斜視図。
【図１３】図１３は、同、正面図。
【図１４】図１４は、図１３のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図。
【図１５】図１５（ａ）は、実施例に係る拭き取りユニットの模式構成図、図８（ｂ）は、同、ノズル面に対する押圧ローラ及び洗浄液吐出ヘッドの位置関係を示す図。
【図１６】図１６は、実施例の描画装置により製造できる液晶表示装置の断面図。
【図１７】図１７は、同、有機ＥＬ装置の断面図。
【符号の説明】
１…描画装置（液滴吐出装置）、２１…ヘッドユニット、３１…液滴吐出ヘッド、４２…吐出ノズル、１３０…ワイピングシート（清掃部材）、１３１…シート供給ユニット、１３２…拭き取りユニット、１６３…押圧ローラ（押圧手段）、１６５…洗浄液吐出ヘッド（洗浄液吐出手段）、２００…制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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