(57)【要約】【課題】ガラス材料をプレス成形することにより光学素子を成形する場合に、高精度な光学素子を成形できるようにする。【解決手段】光学素子４０を複数個成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に、光学素子の設計形状に対する形状ズレのバラツキが許容範囲内で安定して形成されるように成形条件を設定する第１の工程と、第１の工程で設定された成形条件で複数個の光学素子を成形する第２の工程と、第２の工程で成形された複数個の光学素子それぞれの形状ズレを平均して光学素子の設計形状からの形状ズレの平均値を求める第３の工程と、形状ズレの平均値に基づいて、成形用型部材１６，１８の成形面の表面形状を一定の形状ズレをキャンセルするような形状に再加工する第４の工程と、第４の工程で再加工された成形用型部材を用いて光学素子の成形を行う第５の工程とを具備する。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該成形用型部材の表面形状を前記ガラス素材の表面に転写するようにした光学素子の成形方法において、
前記光学素子を複数個成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に、前記光学素子の設計形状に対する形状ズレのバラツキが許容範囲内で安定して形成されるように成形条件を設定する第１の工程と、
該第１の工程で設定された成形条件で複数個の前記光学素子を成形する第２の工程と、
該第２の工程で成形された前記複数個の前記光学素子それぞれの前記形状誤差ズレを平均して前記光学素子の設計形状からの形状ズレの平均値を求める第３の工程と、
前記形状ズレの平均値に基づいて、前記成形用型部材の成形面の表面形状を前記一定の形状ズレをキャンセルするような形状に再加工する第４の工程と、
該第４の工程で再加工された前記成形用型部材を用いて光学素子の成形を行う第５の工程と、
を具備することを特徴とする光学素子の成形方法。
【請求項２】
前記光学素子を形状測定装置によって測定することにより得られた座標データにフィットする数式の係数を数値計算によって求め、その係数の平均値を算出することによって、前記光学素子の形状ズレの平均値を求めることを特徴とする請求項１に記載の光学素子の成形方法。
【請求項３】
前記第２の工程では、同一形状に加工した複数の型を用いて、前記複数個の光学素子を成形することを特徴とする請求項１に記載の光学素子の成形方法。
【請求項４】
加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材をプレス成形して光学素子を成形する場合に用いられる成形型を作成する方法であって、
前記光学素子を複数個成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に、前記光学素子の設計形状に対する形状ズレのバラツキが許容範囲内で安定して形成されるように成形条件を設定する第１の工程と、
該第１の工程で設定された成形条件で複数個の前記光学素子を成形する第２の工程と、
該第２の工程で成形された前記複数個の前記光学素子それぞれの前記形状ズレを平均して前記光学素子の設計形状からの形状ズレの平均値を求める第３の工程と、
前記形状ズレの平均値に基づいて、前記成形型の成形面の表面形状を前記一定の形状ズレをキャンセルするような形状に再加工する第４の工程と、
を具備することを特徴とする成形型の作成方法。
【請求項５】
前記光学素子を形状測定装置によって測定することにより得られた座標データにフィットする数式の係数を数値計算によって求め、その係数の平均値を算出することによって、前記光学素子の形状ズレの平均値を求めることを特徴とする請求項４に記載の成形型の作成方法。
【請求項６】
前記第２の工程では、同一形状に加工した複数の型を用いて、前記複数個の光学素子を成形することを特徴とする請求項４に記載の成形型の作成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、ガラス材料をプレス成形することにより光学素子を高精度に製造する技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、光学機器の小型化、軽量化にともない、光学系に使用されるガラスレンズの枚数を減らすことが望まれている。これを実現する一つの手段として、レンズの枚数を少なくしても収差の補正が可能な非球面形状のレンズを使用することが挙げられる。また、非軸対象の非球面（自由曲面）を組み合わせた複雑な光学素子の需要も出てきた。このような非球面形状を有するレンズの製造方法としては、所定の表面精度を有する成形用型部材の間にガラス材料を挟み、プレス成形する方法が知られている。
【０００３】
このようにプレス成形により光学素子を成形する従来の方法としては、特公昭６１−３２２６３号公報（特許文献１）に開示されているような方法が挙げられる。この方法は、光学素子の完成形状の理想形に正確に対応する面形状に仕上げられた成形面を有する一対の型部材の間に、ガラス素材を挟み込み、このガラス素材の粘度が１０８  〜５×１０１０ポアズとなるような温度範囲において、プレス成形を行うものである。その後、ガラス素材と型部材の温度差が少なくとも２０℃以上にならないように冷却を行い、ガラス素材の粘度が１０１２ポアズよりも大きくなる温度域において、成形された光学素子を型部材から取り出す。このような方法により高精度な光学素子を加工しようとするものである。
【０００４】
しかしながら、上記の従来例においては、例えば、表面の曲率半径の大きい凹レンズや、メニスカスレンズ、自由曲面レンズなどのように、面精度を出しにくい形状の光学素子を加工しようとした場合には、種々の成形条件を最適なものに設定したとしても、要求される面精度（例えばニュートンリング１本以下といった高精度な値）を満足することができない場合がある。
【０００５】
また、完成した光学素子の面精度を少しでも向上させるためには、例えば、成形後の冷却時におけるプレス圧を厳密に管理する必要があり、また、このようにプレス圧を厳密に制御することは困難を極めるものである。また、その他の成形条件に関しても、微妙な変化が面精度を低下させることに繋がる。更には、光学素子の面精度を向上させるために、補助的な装置を必要とする場合があり、加工装置のコストを上昇させ、それに伴って、光学素子自体の高コスト化を招くという問題点もある。
【０００６】
上述した課題を解消するために、成形条件を制御したり、補助的な装置を用意したりしなくとも、型修正によって、高精度な面精度を有する光学素子、例えば、非球面形状のレンズを加工することができる光学素子の成形方法が、既に提案されている（特開平８−３３７４２６号公報（特許文献２）、特開２００１−６２８４１号公報（特許文献３））。
【０００７】
この光学素子の成形方法は、加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該型部材の成形面の表面形状が転写された光学機能面を前記ガラス素材の表面に形成するようにした光学素子の成形方法において、複数個の前記光学素子を成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に一定のクセが安定して形成されるように成形条件を設定する第１の工程と、前記成形面の表面形状が前記一定のクセをキャンセルするような形状に加工された成形用型部材を用いて光学素子の成形を行う第２の工程とを具備することを特徴としている。
【０００８】
特に、この光学素子の成形方法では、前記成形条件は、少なくとも、前記一対の成形用型部材の温度差と、冷却速度と、冷却時において前記ガラス素材に印加される圧力と、離型させる温度とにより規定される。
【０００９】
また、この光学素子の成形方法は、加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該型部材の表面形状を前記ガラス素材の表面に転写するようにした光学素子の成形方法において、所定の形状の光学素子の表面形状に対応した成形面形状を有する第１次の型部材を用いて、ガラス素材を、所定の加熱温度、型部材温度、加圧圧力、加圧時間、冷却速度等の成形条件に基づいて成形する第１の成形工程と、該第１の成形工程において成形した光学素子の表面形状を測定する測定工程と、該測定工程において得られた測定データと、光学素子の最終希望形状のデータとのズレを算出する算出工程と、前記算出工程において得られた結果に基づいて前記第１次の型部材の成形面を補正加工して第２次の型部材を加工する補正加工工程と、前記第２次の型部材を用いて、ガラス素材を前記第１の成形工程と同じ成形条件でプレス成形する第２の成形工程とを具備することを特徴としている。
【００１０】
【特許文献１】
特公昭６１−３２２６３号公報
【特許文献２】
特開平８−３３７４２６号公報
【特許文献３】
特開２００１−６２８４１号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら従来は、測定技術、計算技術の制限が多くあったため、フィゾー式干渉計等を用いて、成形品の形状が安定していることを確認すると、その中のある１つの成形品を選んで型補正用のデータとしていた。
【００１２】
上記の方法では、成形品の形状安定度が考慮されていないため、補正形状作成に選んだ成形品の形状によっては、良好な結果が得られない場合があった。
【００１３】
従って、本発明は上述した課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、ガラス材料をプレス成形することにより光学素子を成形する場合に、高精度な光学素子を成形できるようにすることである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係わる光学素子の成形方法は、加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材を、一対の成形用型部材を用いてプレスし、該成形用型部材の表面形状を前記ガラス素材の表面に転写するようにした光学素子の成形方法において、前記光学素子を複数個成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に、前記光学素子の設計形状に対する形状ズレのバラツキが許容範囲内で安定して形成されるように成形条件を設定する第１の工程と、該第１の工程で設定された成形条件で複数個の前記光学素子を成形する第２の工程と、該第２の工程で成形された前記複数個の前記光学素子それぞれの前記形状ズレを平均して前記光学素子の設計形状からの形状ズレの平均値を求める第３の工程と、前記形状ズレの平均値に基づいて、前記成形用型部材の成形面の表面形状を前記一定の形状ズレをキャンセルするような形状に再加工する第４の工程と、該第４の工程で再加工された前記成形用型部材を用いて光学素子の成形を行う第５の工程と、を具備することを特徴とする。
【００１５】
また、この発明に係わる光学素子の成形方法において、前記光学素子を形状測定装置によって測定することにより得られた座標データにフィットする数式の係数を数値計算によって求め、その係数の平均値を算出することによって、前記光学素子の形状ズレの平均値を求めることを特徴とする。
【００１６】
また、この発明に係わる光学素子の成形方法において、前記第２の工程では、同一形状に加工した複数の型を用いて、前記複数個の光学素子を成形することを特徴とする。
【００１７】
また、本発明に係わる成形型の作成方法は、加熱されることにより軟化状態となっているガラス素材をプレス成形して光学素子を成形する場合に用いられる成形型を作成する方法であって、前記光学素子を複数個成形するにあたり、各光学素子の光学機能面に、前記光学素子の設計形状に対する形状ズレのバラツキが許容範囲内で安定して形成されるように成形条件を設定する第１の工程と、該第１の工程で設定された成形条件で複数個の前記光学素子を成形する第２の工程と、該第２の工程で成形された前記複数個の前記光学素子それぞれの前記形状ズレを平均して前記光学素子の設計形状からの形状ズレの平均値を求める第３の工程と、前記形状ズレの平均値に基づいて、前記成形型の成形面の表面形状を前記一定の形状ズレをキャンセルするような形状に再加工する第４の工程と、を具備することを特徴とする。
【００１８】
また、この発明に係わる成形型の作成方法において、前記光学素子を形状測定装置によって測定することにより得られた座標データにフィットする数式の係数を数値計算によって求め、その係数の平均値を算出することによって、前記光学素子の形状ズレの平均値を求めることを特徴とする。
【００１９】
また、この発明に係わる成形型の作成方法において、前記第２の工程では、同一形状に加工した複数の型を用いて、前記複数個の光学素子を成形することを特徴とする。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な一実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２１】
図１は本発明の一実施形態において成形される多面体自由曲面レンズの斜視図である。このような複雑な形状の型補正をする場合、全面的に安定した成形結果を得ることが難しいため、本発明は特に有効である。
【００２２】
図２は、一実施形態の多面体自由曲面レンズを成形加工するために採用された成形用型１２の構成を示す図である。なお、図２は、上型部材１６と下型部材１８とによる、ガラス素材４０のプレス動作が終了し、ガラスレンズの成形が略完了した状態を示している。
【００２３】
図２において、成形用型１２の外殻部を構成する胴型１４は、支持基板２０を介して、光学素子の成形装置本体１０上に載置されている。胴型１４は、上面視で、略正方形の角柱状に形成されており、その中心軸上には、この胴型１４を上下に貫通した状態で、貫通穴１４ａ、１４ｂが形成されている。これらの貫通穴のうち、上側の貫通穴１４ａには、断面矩形状に形成された上型部材１６が、嵌合した状態で、上下方向に摺動可能に挿入されている。上型部材１６は、その上端部にフランジ部１６ａが形成されており、このフランジ部１６ａの下面が胴型１４の上面１４ｃに、上方から当接することにより、それ以上、下方に移動することを防止されており、これによって、上型部材１６の、下方へのプレスストロークが規定されている。また、上型部材１６の下面には、ガラス素材４０を押圧して、その表面に所望の形状を転写して、光学機能面を形成するために、成形面１６ｂが形成されている。
【００２４】
なお、胴型１４の側面には、ガラス素材搬入及びレンズ搬出用のオートハンドが出入りするための穴１４ｄが形成されている。また、上型部材１６の上方には、ガラス素材４０に印加するプレス圧を発生させるための油圧シリンダ２２が、支持部材（図示せず）により支持された状態で、配置されている。油圧シリンダ２２の下方には、上下方向に沿ってピストンロッド２２ａが配置されており、このピストンロッド２２ａの下端部は、上型１６の上端面に接続されている。したがって、油圧シリンダ２２が動作されて、ピストンロッド２２ａが下方に向けて押し出し動作されることにより、ガラス素材４０にプレス圧Ｐ１が印加される。
【００２５】
一方、下側の貫通穴１４ｂには、上型部材１６と同様に、断面矩形状に形成された下型部材１８が、嵌合した状態で、上下方向に摺動可能に挿入されている。下型部材１８の下部には、フランジ部１８ａが形成されており、このフランジ部１８ａの下面１８ｃは、胴型１４が載置されている支持基板２０の上面に当接している。そして、支持基板２０により、上型部材１６からガラス素材４０を介して下型部材１８に加えられる、下方へのプレス圧Ｐ１が受けられる。下型部材１８の上端面には、ガラス素材４０の下面に所望の形状を転写して、光学機能面を形成するための成形面１８ｂが形成されている。
【００２６】
したがって、ガラス素材４０には、その上面に、上型部材１６の成形面１６ｂの表面形状が転写されて、光学機能面４０ａが形成され、また、その下面に、下型部材１８の成形面１８ｂの表面形状が転写されて、光学機能面４０ｂが形成されることとなる。
【００２７】
また、成形された多面体自由曲面レンズ（ガラス素材４０）の厚みは、上述したように、上型部材１６のフランジ部１６ａの下面が、胴型１４の上面１４ｃに当接することにより規定され、プレス成形加工の都度、多面体自由曲面レンズ（４０）の厚みが変化しないようになされている。
【００２８】
なお、成形装置本体１０の下面には、油圧シリンダ２４が固定されており、この油圧シリンダ２４のピストンロッド２４ａは、成形装置本体１０に形成された貫通穴１０ａと、支持基板２０に形成された貫通穴２０ａとを順次介して、下型部材１８の下面１８ｃに接続されている。この油圧シリンダ２４は、多面体自由曲面レンズ（ガラス素材４０）の成形動作が終了した後の冷却過程において、その多面体自由曲面レンズ（４０）の形が崩れることを防止するために、下型部材１８を上方に押し上げて、多面体自由曲面レンズ（４０）に圧力Ｐ２を作用させるためのものである。
【００２９】
一方、胴型１４の側面には、開口穴１４ｄが形成されており、ガラス素材４０が、この開口穴１４ｄを介して、成形用型１２の内部に供給されると共に、成形の完了した多面体自由曲面レンズ（４０）が、成形用型１２の内部から取り出される。
【００３０】
なお、胴型１４内には、その四隅に位置した状態で、この胴型１４、上型部材１６、下型部材１８を加熱すると共に、これら胴型１４、上型部材１６、下型部材１８を介して、ガラス素材４０を加熱するためのヒータ２６が配置されている。
【００３１】
次に、上記のように構成された成形用型１２により、多面体自由曲面レンズ（３６ｍｍ×１６ｍｍ、中心厚９ｍｍ）を成形する手順について説明する。
【００３２】
まず、図３に示したように、油圧シリンダ２２のピストンロッド２２ａを引き込み動作させて、上型部材１６を、胴型１４に対して上方にスライドさせ、下型部材１８から逃がしておく。この状態において、胴型１４の開口穴１４ｄを介して、オートハンドなどにより、所定の高温に加熱されたガラス素材４０を下型部材１８の成形面１８ｂ上に供給する。この時に供給されるガラス素材４０は、多面体自由曲面レンズを成形する場合には、四角柱状に形成されているか、あるいは、多面体自由曲面レンズの完成形状に近い形状に予め形成されている。また、胴型１４、上型部材１６、下型部材１８は、所定の成形条件に対応した温度に加熱されている。
【００３３】
ガラス素材４０が、下型部材１８の成形面１８ｂ上に供給された後、油圧シリンダ２２のピストンロッド２２ａを押し出し動作させて、ガラス素材４０の上面に上型部材１６の成形面１６ｂを当接させ、ガラス素材４０にプレス圧Ｐ１を印加させる。プレス圧Ｐ１が印加されて、上型部材１６が徐々に下方に移動すると、ガラス素材４０は、次第に水平方向に押しつぶされて、最終的には、図２に示したような状態となる。この状態においては、ガラス素材４０の上下には、上型部材１６の成形面１６ｂと、下型部材１８の成形面１８ｂの形状が転写された光学機能面４０ａ，４０ｂが形成されており、また、ガラス素材４０の厚みは、所望の厚みにプレス成形されている。
【００３４】
この後、成形された多面体自由曲面レンズ（ガラス素材４０）は徐々に冷却される。この冷却過程においては、成形された多面体自由曲面レンズ（４０）の形状が崩れないように、油圧シリンダ２４が作動され、下型部材１８が押し上げられ、多面体自由曲面レンズ（４０）に圧力Ｐ２が印加される。そして、所定の温度まで温度が低下した時に、油圧シリンダ２２が引き込み動作されて、上型部材１６が上方に移動し、その後、多面体自由曲面レンズは、オートハンドなどにより、胴型１４の開口穴１４ｄを介して、外部に取り出される。
【００３５】
上記のような一連の動作により、多面体自由曲面レンズ（４０）が成形加工されるわけであるが、この成形加工の途中において、多面体自由曲面レンズ（４０）の光学機能面４０ａおよび４０ｂの面精度に大きく影響を与えると考えられる成形条件は、以下の通りである。
【００３６】
（１）冷却過程におけるプレス圧Ｐ２
（２）冷却中の上下の型部材１６，１８の温度差
（３）冷却速度
すなわち、冷却過程におけるプレス圧Ｐ２が小さすぎると、冷却中のレンズが未だ変形可能な温度域で、型からレンズが剥がれてしまい、転写性が悪化する。しかも、剥がれる温度が一定となる保証がないので、発生するクセの形状が一定とならない。
【００３７】
一方、プレス圧Ｐ２が高すぎる場合にも、実験的には、面精度が悪化することが解っている。例えば、本実施形態のレンズ形状では、プレス圧Ｐ２を適当に変えることにより、一定のクセの発生した面を得ることが可能であったが、クセの無い面を得ることはできなかった。
【００３８】
また、冷却中の上下の型部材１６，１８の温度差があり過ぎる場合には、面精度が悪化するとともに、本実施形態のように、胴型側面に穴の開いた型では、レンズ内の温度分布にバラツキが発生し、アス、クセが生じる。この場合、本実施形態のレンズ形状では、型部材１６，１８の温度差を適当に変えることで、一定のクセ（アスを含む）の発生した面を得ることができたが、クセの無い面を得ることはできなかった。
【００３９】
以上のことから、本実施形態においては、離型性の良さと面精度の良さのバランスをとるための最良点を捜すのではなく、仮に、若干面精度が低下しても、確実に離型不良を防止できるようなプレス圧Ｐ２を選択することにした。ただし、面精度は、或る程度設計値よりもズレて構わないが、複数個のレンズを成形した時に、レンズの光学機能面が許容範囲内のバラツキ（例えば、成形品間のバラツキがＰＶ１５０ｎｍ）で再現性良く形成され、ほぼ同じような大きなアス・クセ、収縮率を持った安定した形状に仕上がることが重要である。このように、成形する毎に、ほぼ同じアス・クセ、収縮率を持った安定した形状にレンズが加工されるのであれば、まず収縮率のズレを補正し、そこで補正しきれなかった残りの形状（アス・クセ）をキャンセルするように、型部材１６，１８の成形面の形状を決めれば、理論的には、この型部材で、同じ条件の成形加工を行ったとき、ほぼ、大きなアス・クセのないレンズができ上がることになる。
【００４０】
そのため、本実施形態においては、成形されるレンズのアス・クセ、収縮率が、成形を繰り返しても、一定となるように、Ｐ２の値として３００ｋｇｆを選択し、冷却速度として２０℃／分を選択した。即ち、この成形条件ならば、光学機能面の面精度は若干低下するものの、光学機能面のアス・クセ形状及び収縮率の再現性が良好となる。
【００４１】
本実施形態においては、上記の成形プロセスによって、２０回、多面体自由曲面レンズの成形を行い、２０個の成形品を得た。
【００４２】
図４は、ある一つの成形品の設計形状と、成形品形状を３次元則定機で測定した形状（Ｘ，Ｙ，Ｚのポイントデータ）とのズレを拡大して表示した図である。
【００４３】
そして、成形品の設計値からのズレ分の形状データ（Ｘ，Ｙ，Ｚのポイントデータ）を式（１）に最小二乗法を用いて当てはめ、測定データにできる限りフィットする係数Ｃを求めた。今回の形状では６次までの乗数を用いれば、形状をトレースできることが分かったので、次数は６次とした。
【００４４】
【数１】
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あるサンプルの１面の形状を図５に、そのデータをフィットさせた数式の形状を図６に示す。
【００４５】
この作業を２０個すべての素子について行った。その結果、成形品の形状バラツキは、測定誤差も含めてＰＶ値で１００ｎｍ程度あることが分かった。
【００４６】
上記の式（１）は係数が独立した多項式であるので、複数の成形品において求められた同じ次数の係数をすべて加えて、その数で割って平均することによって、平均的な形状を得ることができる。本実施形態では２０個の成形品のＣ００からＣ６６までの４９個の係数の平均を求め、成形品の平均形状を得た。
【００４７】
これによって、成形プロセス、測定誤差等をすべて含むバラツキを平均化した成形品形状を得ることができた。
【００４８】
そこで、上記方法によって求めた形状を用いて、設計値からのズレ量を設計値を基準にして反転させた形状を算出し、型の成形面を再加工して、アス・クセをキャンセルする形状を作成した（図７）。
【００４９】
上記の方法によって補正された形状の型部材を用いて、連続的に多面体自由曲面レンズを成形した結果、全てのレンズが、アス、クセ共にニュートンリング１本以下に納まっていた。
【００５０】
また、軸対称の非球面レンズも同様の方法を用いることで、同様に不良率が下がった。
【００５１】
（他の実施形態）
上記の第１の実施形態においては、同一の金型による成形品の形状を平均化して型補正に用いたが、この他の実施形態では、同一の設計値の金型を複数個製作し、それらの金型で同一プロセスで成形した成形品を全て平均化した形状によって型を補正した。
【００５２】
この方法によって、型の製作バラツキも平均化されたので、量産時に大量の金型を製作した場合に、規格外の不良品が出る率が減少した。
【００５３】
以上説明したように、上記の実施形態によれば、補正型の形状を成形バラツキの中間的な形状に最適化できるので、設計値に近い高精度な面形状を有する成形品を成形できるようになる。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ガラス材料をプレス成形することにより光学素子を成形する場合に、高精度な光学素子を成形できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態において製作される光学素子の斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係わる成形用型の構成図である。
【図３】図２において上型部材が上方に逃げた状態を示した図である。
【図４】成形型の断面形状とその型で成形された光学素子の断面形状を比較した図である。
【図５】成形品のある１面の設計値からのズレ量を測定した結果を示す図である。
【図６】成形品のある１面の設計値からのズレ量を測定し、フィットした数式の形状を示す図である。
【図７】アス・クセをキャンセルする形状補正方法を模式的に示した図である。
【符号の説明】
１０  成形装置本体
１２  成形用型
１４  胴型
１６  上型部材
１８  下型部材
２０  支持基板
２２，２４  油圧シリンダ
２６  ヒータ
４０  ガラス素材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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