(57)【要約】【課題】透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）用試料を、補助板などに装着固定することなく試料ホルダーへの装着を行うことが出来、かつＴＥＭ試料の挿入長を一定にすることが容易な試料装着方法を提供する。【解決手段】試料台に側部保持部材と裏面保持部材とを有する試料ホルダーを備える透過電子顕微鏡において、試料ホルダーの側部保持部材と裏面保持部材との間に、前記試料の表面が当接する当接部を備えることを特徴とする試料ホルダーを提供する。この当接部３０２ａと側面保持部材３０２ｂと裏面部保持部材３０３により試料が固定され、位置決めストッパーとしての役割を果たすので、ＴＥＭ用試料１０３の挿入長を一定にすることができる。【選択図】  図７
2005026042.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料台に側部保持部材と裏面保持部材とを有する試料ホルダーを備える透過電子顕微鏡において、
前記資料ホルダーの前記側部保持部材と前記裏面保持部材との間に、前記試料の表面が当接する当接部を備えることを特徴とする試料ホルダー。
【請求項２】
前記試料は、そのまま試料ホルダーに装着できることを特徴とする、請求項１に記載の試料ホルダー。
【請求項３】
前記試料ホルダーは、二軸傾斜可能な試料ホルダーであって、前記試料ホルダーの試料台には、前記側部保持部材と前記裏面保持部材がそれぞれ通ることができるような空洞を備えた平坦な金属板から形成されていることを特徴とする、請求項１記載の試料ホルダー。
【請求項４】
前記当接部は、前記側部保持部材に対して垂直に形成され、前記側部保持部材よりも一段突き出て形成されていることを特徴とする、請求項１記載の試料ホルダー。
【請求項５】
前記側部保持部材と前記裏面保持部材は、それぞれ試料に接する面と反対の面にバネを備えていることを特徴とする、請求項１記載の試料ホルダー。
【請求項６】
試料台に側部保持部材と裏面保持部材とを有する試料ホルダーを備える透過電子顕微鏡において、
試料をホルダー載置部に設置する工程と、
前記ホルダー載置部を前記裏面保持部へ接触させる工程と、
前記側部保持部材により前記ホルダー載置部を固定する工程とを備え、
試料を前記ホルダー載置部に設置する前に、前記ホルダー載置部と前記試料ホルダーにおける試料台の高さがほぼ同一になるように調整する工程を備えることを特徴とする、試料装着方法。
【請求項７】
前記載置部は、前記試料装着用治具の試料挿入部の高さが、試料挿入部の最高部が試料ホルダー載置部よりも低い位置から前記試料台の高さまで調整できることを特徴とする請求項６に記載の試料装着方法。
【請求項８】
前記試料挿入部には、前記透過電子顕微鏡用試料の挿入方向と垂直方向に沿って前記試料ホルダーの側部保持部材が通れるような幅を持つ溝が形成されており、その溝に前記透過電子顕微鏡用試料を載せることを特徴とする請求項６に記載の試料装着方法。
【請求項９】
前記試料挿入部の先端には、前記透過電子顕微鏡用試料を挿入するに従って、前記試料ホルダーの裏面保持部材と側部保持部材を広げていくための、金属材からなる半円型の突起が形成されていることを特徴とする請求項９に記載の試料装着方法。
【請求項１０】
前記試料挿入部を挿入していく際に、前記試料挿入部の溝が前記試料ホルダーの側部保持部材の位置まで来ると、側部保持部材が前記溝を伝って前記側面当接部と前記透過電子顕微鏡用試料との間隔を狭めていき、前記透過電子顕微鏡用試料の側部に当接することによって前記透過電子顕微鏡用試料の側部を挟むことを特徴とする請求項９に記載の試料装着方法。
【請求項１１】
前記透過電子顕微鏡用試料の側部を挟んだあとに、試料保持台の高さを下げることにより、前記試料挿入部の突起により前記試料ホルダーの裏面保持部材と前記透過電子顕微鏡用試料の裏面との間隔を徐々に狭め、完全に試料保持台の高さを下げると、前記裏面保持部材が前記透過電子顕微鏡用試料の裏面に当接して押し進め、前記透過電子顕微鏡用試料の表面が前記側部保持部材の位置決めストッパーとしての当接部に当接することによって、前記透過電子顕微鏡用試料を常に同一位置で保持することを特徴とする試料装着方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料ホルダーと試料の試料ホルダーへの装着方法に関するものであり、特に透過電子顕微鏡用試料を切欠きメッシュに装着固定することなく透過電子顕微鏡用試料を直接試料ホルダーに装着可能な集束イオンビーム加工装置および透過電子顕微鏡共用の二軸傾斜可能な試料ホルダーであり、かつ透過電子顕微鏡用試料に損傷を与えることなく試料を試料ホルダーへの容易な装着が可能な、試料ホルダーへの試料装着方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ダイサーで切り出した試料を集束イオンビーム（以下ＦＩＢと記す）を加工して透過電子顕微鏡（以下ＴＥＭと記す）用試料を作製するための従来の試料台１０１および試料ホルダーＨＬ１を図１に示す。第１の従来技術において、試料ホルダーＨＬ１の試料台１０１は、切欠きメッシュ固定部１０２を備えて構成されていた。試料ホルダーＨＬ１はＦＩＢ−ＴＥＭ共用二軸傾斜試料ホルダーである。また、試料台の切欠きメッシュ固定部１０２は、ＦＩＢの入射領域を確保するために一部を切り欠いた平坦な金属製版からなる部材であった。次に、この図１に示した試料ホルダーへのＴＥＭ用試料の装着方法について、試料台１０１を抜粋して次の図２（ａ）〜（ｄ）を用いて、第１の従来技術における試料の装着方法を説明する。ここで、（ａ）（ｃ）は上面図、（ｂ）（ｄ）は断面図を示している。図２（ａ）に示すように、ＴＥＭ用試料１０３は、直径３ｍｍの単孔メッシュを切り欠いた切欠きメッシュ１０４に接着固定されることにより形成されていた。図２（ａ）〜（ｄ）に示すように、これら切欠きメッシュ固定部１０２とリングバネ１０５によりＴＥＭ用試料１０３を接着固定している切欠きメッシュ１０４の一部を挟んで、試料台１０１に装着している。この切欠き部の方向からイオンビームを入射させ、ＦＩＢ加工を実施していた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
しかし、図２に示す第１の従来技術の試料ホルダーＨＬ１に備えた試料台１０１を用いる場合、ＴＥＭ用試料１０３を接着固定した切欠きメッシュ１０４をピンセットＰで摘み上げるため、ＴＥＭ用試料１０３が破損したり、切欠きメッシュ１０４からＴＥＭ用試料１０３がはずれたりしてしまう場合があった。特に、ダイサーで切り出したＴＥＭ用試料１０３の長手方向が切欠きメッシュ１０４の単孔の大きさに満たない場合は片貼りをするため、ＴＥＭ用試料１０３が切欠きメッシュ１０４からはずれる危険性が高かった。そのうえ、試料台１０１が切欠きメッシュ固定部１０２とリングバネ１０５を合わせる形で構成しているため、ＴＥＭ用試料１０３の装着位置の再現が困難であった。装着のたびに試料台１０１からＴＥＭ用試料１０３の試料表面までの挿入長Ｘ１が異なっていると、後の作業であるＦＩＢ加工における作業が煩雑になるという問題があった。
【０００４】
そこで、図３に示すように、第２の従来技術における試料台２０１を備えたＦＩＢ−ＴＥＭ共用二軸傾斜試料ホルダーＨＬ２は、その試料台２０１に上部保持部材２０２と下部保持部材２０３とこれら上下保持部材を締め付けるスプリングＳＰを設けた締め付け具２０４を備えて構成されていた。ここで図３（ａ）は試料ホルダーＨＬ２の上面図、図３（ｂ）は試料ホルダーＨＬ２の試料台２０１の断面図を示している。次に、図４、図５において、試料台２０１を抜粋して、第２の従来技術におけるＴＥＭ用試料の試料ホルダーへの装着方法を説明する。ここで、図４（ａ）は上面図、図４（ｂ）は断面図を示している。図４に示すように、下部保持部材２０３に、前記ＴＥＭ用試料１０３を装着固定した切欠きメッシュ１０４を治具Ｊ１の試料挿入部Ｊ１ａに載せて前記下部保持部材２０３と前記上部保持部材２０２との間に挿入する際に、前記切欠きメッシュ１０４が当接して位置決めストッパーとしての役割を有する当接部２０５を備える。これら下部保持部材２０３と上部保持部材２０２との間に、切欠きメッシュ１０４に接着固定されたＴＥＭ用試料１０３を挿入して、図５（ａ）、（ｂ）に示すように締め付け具２０４で前記下部保持部材２０３と前記上部保持部材２０２とを締め付けて前記切欠きメッシュ１０４を挟むことにより、前記ＴＥＭ用試料１０３を試料台２０１に装着している。
【０００５】
そのため、第２の従来技術における試料ホルダーＨＬ２により、切欠きメッシュ１０４の先端を毎回ほぼ同じ挿入長Ｘ３に挟んで保持することが出来る。この第２の従来技術により、第１の従来技術におけるＴＥＭ用試料１０３を直接ピンセットＰで扱うことによる破損の回避と、切欠きメッシュ１０４の挿入長Ｘ３を一定にする課題を解決することが出来た（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
【特許文献１】
特開平−８７９７２号公報（第３−４頁、第１図）
【特許文献２】
特開平１１−６７１３１号公報（第２−６頁、第２図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、切欠きメッシュ１０４に接着固定したＴＥＭ用試料１０３を試料ホルダーに装着する形式をとるこれらの第１、第２の従来技術では解決できない下記に示す課題があった。これらの第１、第２の従来技術を用いた試料ホルダーを用いる場合は、ＴＥＭ用試料１０３が必ず切欠きメッシュ１０４に装着固定されることが必須条件であるが、ＴＥＭ用試料１０３をピンセットＰで移動させて切欠きメッシュ１０４に接着固定する接着固定位置の再現は非常に困難であるため、第２の従来技術により切欠きメッシュの挿入長Ｘ２を一定にすることは出来ても、試料台からＴＥＭ用試料の試料表面までの挿入長Ｘ３の再現が困難であった。このため、装着の都度、同じ程度のＴＥＭ用試料の挿入長にすることが困難であった。装着のたびにＴＥＭ用試料の挿入長が異なっていると、後の作業であるＦＩＢ加工における作業が煩雑になるという問題が依然として残っていた。
【０００８】
そのうえ、ＴＥＭ用試料１０３を切欠きメッシュ１０４に接着固定する際に、試料の長手方向の大きさが不十分な場合には試料の片側のみを切欠きメッシュに接着固定するため、ＴＥＭ用試料１０３の切欠きメッシュ１０４の一部を試料ホルダーＨＬ２の下部保持部材２０３と上部保持部材２０２とで挟んで保持していても、ＦＩＢ加工及びＴＥＭ観察の際にＴＥＭ用試料１０３が切欠きメッシュ１０４からはずれる危険性は依然として高かった。また、ＴＥＭ用試料１０３を装着固定する切欠きメッシュにコストがかかっていた。
【０００９】
そこで本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、ＴＥＭ用試料１０３の装着位置の再現が容易な、試料台を備えた試料ホルダーと試料装着方法を提供することを目的とする。すなわち、ＴＥＭ用試料１０３を切欠きメッシュ１０４に装着固定することなく、また、ＴＥＭ用試料１０３を破損および紛失することなく、ＴＥＭ用試料１０３の試料台からＴＥＭ試料表面までの距離である装着位置を一定にできるような試料台を備えた、ＦＩＢ−ＴＥＭ共用二軸傾斜試料ホルダーを提供することを目的とする。さらに、ＴＥＭ用試料１０３に損傷を与えることなく、試料装着用治具を用いて、このＴＥＭ用試料１０３を試料ホルダーの試料台に容易に装着することの出来る試料装着方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明に関わる試料台を備えた試料ホルダー及び試料装着方法は、試料台に取り付けられた、一対の側部保持部材と、裏面部保持部材との間に、試料装着用治具上に置いたＴＥＭ用試料１０３を切欠きメッシュに装着固定することなく挿入して、ＴＥＭ用試料１０３の長手方向の両端側面部２点をそれに当接する前記側部保持部材で挟み、さらにＴＥＭ用試料の長手方向の両端側面部２点を前記側部保持部材により挟まれたＴＥＭ用試料１０３の裏面部と当接する前記裏面部保持部材で挟んでＴＥＭ用試料１０３の合計３点を前記側部保持部材および裏面部保持部材で挟むことにより、前記ＴＥＭ用試料１０３を保持するための試料ホルダーであって、前記ＴＥＭ用試料１０３を試料ホルダーの試料台に挿入する際に、前記ＴＥＭ用試料１０３の表面に当接する側部保持部材に備えた表面当接部と前記試料裏面部に当接する裏面保持部材で前記ＴＥＭ用試料１０３を挟むことにより、前記側部保持部材の表面当接部がＴＥＭ用試料１０３の表面の端部に当接して位置決めストッパーとしての役割を有し、ＴＥＭ用試料１０３の装着位置を一定にすることを備えることを特徴とするものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】
（第１の実施形態）
以下、本発明の実施形態を図６〜図１３の図面を参照しながら説明する。本発明の実施形態に関わる試料ホルダーは、ＦＩＢ−ＴＥＭ共用二軸傾斜試料ホルダーに備えた試料台において、側部保持部材と裏面保持部材を設けてＴＥＭ用試料１０３を切欠きメッシュに装着固定せずに装着できるようにし、さらに、ＴＥＭ用試料１０３を試料台へ挿入する際におけるＴＥＭ用試料１０３の挿入長を一定にするための位置決めストッパーとしての当接部を、試料台に設けられたＴＥＭ用試料１０３の側部と当接する側部保持部材に設けることにより、試料台３０１からＴＥＭ用試料１０３表面までの挿入長が一定になるようにするとともに、試料装着用治具を用いることによりＴＥＭ用試料１０３の装着作業が容易になるようにしたものである。
【００１２】
図６は、本発明の実施形態に関わる試料ホルダーＨＬ３を示す図であり、図６（ａ）はその上面図、図６（ｂ）は試料台３０１の拡大図である。
【００１３】
図６（ａ）からわかるように、本実施形態においては、試料ホルダーＨＬ３の試料台３０１はコの字型の平坦な金属材によって形成され、この試料台３０１に、試料挿入方向ｖと垂直方向に向かい合って形成された１対の側部保持部材３０２と、試料挿入方向ｖと平行方向に形成された裏面保持部材３０３と、前記側部保持部材３０２と裏面保持部材３０３が伸縮できる空間３０１ａ、空間３０１ｂとを備えて構成されている。ＴＥＭ用試料１０３が挿入されていない場合は、側部保持部材３０２の表面当接部３０２ａと裏面保持部材３０３の裏面当接部３０３ａが、側部保持部材３０２の側面当接部３０２ｂと裏面保持部材の面３０３ｂが当接した状態になっている。ここで、試料挿入方向ｖは、挿入側がＴＥＭ用試料１０３の裏面、挿入方向と反対側がＴＥＭ用試料１０３の表面とする。
【００１４】
図６（ｂ）に示すように、この試料台３０１の、コの字型の平坦な金属板台には、側部保持部材３０２が通るような直方体の空間３０１ａ、裏面保持部材３０３が通るような直方体の空間３０１ｂが形成されている。本実施形態において空間３０１ｂは直方体で示しているが、裏面保持部材３０３の形状が円柱であれば空間３０１ｂの形状も円柱状でよい。この試料台３０１におけるコの字の切り出し部分における間隔は、ＴＥＭ観察領域である直径３ｍｍφを充分に満たした大きさである。
【００１５】
次に、図６（ｂ）に示すように、側部保持部材３０２は、試料挿入方向ｖと垂直方向に対向して形成され、側面当接部３０２ｂと試料表面との表面当接部３０２ａとを備えた金属部材と試料台３０１との空間３０１ａにバネ３０４を備えて構成される。この側面保持部材は、その先端の面３０２ａ、３０２ｂでＴＥＭ用試料１０３の側部両端を挟んで保持する部分である。前記側部保持部材３０２の側面当接部３０２ｂと試料表面との表面当接部３０２ａは、それぞれ当接面が平坦かつ十分な強度をもつ金属材から形成されており、側面当接部３０２ｂと試料表面との表面当接部３０２ａは互いに垂直に形成されている。側部保持部材３０２の側面当接部３０２ｂは、ダイサーで切り出されたＴＥＭ用試料１０３の側面の大きさに対して充分な表面積をもつため、試料側面を密接して挟めるようになっている。また、本実施形態では、試料表面との表面当接部３０２ａは、各々側面当接部３０２ｂから１００μｍ程度突き出しているものとし、側部保持部材３０２は、空間３０１ａとほぼ同一の幅を持つものとする。そのため、側部保持部材３０２は試料台３０１の空間３０１ａを通り、試料挿入方向ｖと垂直方向にのみ伸縮運動をする。また、本実施形態において、対向する一対の側部保持部材３０２に備えたバネ３０４は、同じ伸縮強度を持ち、同じ荷重で試料側面を保持する。
【００１６】
一方、図６（ｂ）に示すように、裏面保持部材３０３は、試料裏面と当接する裏面当接部３０３ａを備えた金属部材と試料台３０１との間にバネ３０５を設けて構成される。試料裏面との裏面当接部３０３ａは平坦かつ十分な強度をもつ金属材から形成されており、試料裏面との裏面当接部３０３ａは、その平坦な面でＴＥＭ用試料１０３の裏面と当接し、裏面保持部材３０３の裏面当接部３０３ａと前記側部保持部材３０２の試料表面との当接面３０２ａでＴＥＭ用試料１０３の表面と裏面とを挟んで保持する部分である。裏面保持部材３０３は、試料台３０１の空間３０１ｂを通って試料挿入方向ｖと平行方向にのみ伸縮運動を行う。
【００１７】
次に、試料装着に用いる試料装着用治具Ｊ２について図７を用いて説明する。図７は、上述した試料ホルダーＨＬ３を試料装着用治具Ｊ２上に載せた状態を示す図、つまり試料装着方法を示す図であり、（ａ）はその上面図、（ｂ）はその側面図である。
【００１８】
特に図７（ｂ）からわかるように、試料装着用治具Ｊ２は、試料挿入部３０６とホルダー載置部３０７とを備えて構成されている。ホルダー載置部３０７は、高さを調整できるネジ３０８を下部に備えている。試料装着用治具Ｊ２の高さは、試料挿入部３０６の半円型突起の最上部が試料ホルダーＨＬ３の下部以下である高さから、ホルダー載置部３０７が試料ホルダーＨＬ３と同等の高さになるまで、調整が出来る。すなわち、ホルダー載置部３０７の高さを試料ホルダーＨＬ３の高さに合わせると、ホルダー載置部３０７の上側の面には、試料ホルダーＨＬ３が載置される。試料挿入部３０６は、半円型の突起と、ダイサーで切り出されたＴＥＭ用試料１０３を載せられる溝３１０とから構成され、試料ホルダーＨＬ３へ挿入するための部分である。ＴＥＭ用試料１０３を載せられる溝３１０は、ＴＥＭ用試料１０３を載せるだけの十分な深さと、側部保持部材３０２が動ける充分な幅を持つ。すなわち、試料挿入部３０６の溝３１０には、試料挿入方向ｖに対して垂直に、挿入側にＴＥＭ用試料１０３の裏面を向けて一旦置く。この試料挿入部３０６は、ホルダー載置部３０７よりも一段高く形成されている。すなわち、試料挿入部３０６は試料ホルダーＨＬ３の試料台３０１と同じ高さとなる。また、試料挿入部３０６の半円型突起は試料ホルダーＨＬ３の試料台３０１の空間内に収まる大きさであり、側部保持部材３０２または裏面保持部材３０３を押し縮める際に充分な強度を持つ金属材料で形成されている。本実施形態において、前記試料装着用治具Ｊ２に備えた試料挿入部３０６の溝３１０の深さは１００ｎｍ程度とする。
【００１９】
また、図７（ｂ）に示すように、前記試料装着用治具Ｊ２に試料ホルダーＨＬ３を載置した場合、前述した、試料装着用治具Ｊ２の試料挿入部３０６に備えられた溝３１０の底部と、試料ホルダーＨＬ３の側部保持部材３０２と裏面保持部材３０３との下部面とが、ほぼ同じ高さになるようになっている。すなわち、試料装着用治具Ｊ２の試料挿入部３０６と、試料ホルダーＨＬ３の試料台３０１とは、ほぼ同じ高さの垂直に立つ面として、構成されている。このため、試料装着用治具Ｊ２の半円型突起部３０９と、試料ホルダーＨＬ３の側部保持部材３０２、裏面保持部材３０３の当接部３０３ａとが、ほぼ同一の高さになるようになっており、試料挿入部３０６の半円型突起部３０９で裏面保持部材３０３、側部保持部材３０２を押し縮めながら、スムーズに試料台３０１の切り出した空間部に試料挿入部３０６を挿入することができるようになっている。
【００２０】
本実施形態において、ＴＥＭ用試料１０３は、ＴＥＭ観察が行える３ｍｍ以下である必要があるため、試料の長手方向の大きさは、３ｍｍ以下の大きさにし、加工および観察したい箇所が出来るだけ中心になるようにダイサーで切り出す。本実施形態に関わるＴＥＭ用試料１０３の長手方向の大きさは、２ｍｍ±０．２ｍｍ程度とする。
【００２１】
（第２の実施形態）
以下、本発明に関わる試料ホルダーＨＬ３及び試料装着方法について説明する。
【００２２】
図７に示すように、試料ホルダーＨＬ３を試料装着用治具Ｊ２のホルダー載置部３０７上に載置する。このとき、試料ホルダーＨＬ３の試料台３０１が、試料装着用治具Ｊ２の試料挿入部３０６の半円型突起３０９側に位置するように載置する。また、試料台３０１と反対方向に試料挿入部３０６を引いておく。
【００２３】
次に、図８に示すように、ピンセットＰ等を用いて、ＴＥＭ用試料１０３を試料装着用治具Ｊ２の試料挿入部３０６の溝３１０に載せる。そして、ＴＥＭ用試料１０３を載せた試料挿入部３０６を、ピンセットＰ等を用いて試料挿入方向ｖへ押すことにより、試料挿入部３０６を滑らすようにして、試料ホルダーＨＬ３の試料台３０１へ挿入される。すると、試料挿入部３０６の半円型突起が側部保持部材３０２を試料挿入方向ｖと垂直方向へ、裏面保持部材３０３を試料挿入方向ｖへ押し縮め、試料挿入部３０６の半円型突起が試料台３０１の空間に挿入される。そして、図９に示すように、試料挿入部３０６の半円型突起部３０９の面が試料台３０１の裏面当接部３０３ａに届き、試料挿入部３０６の溝３１０が、側部保持部材３０２の位置まで来るように挿入する。
【００２４】
図１０に示すように、それまで押し縮められていた側部保持部材３０２が試料側面部に向かってゆっくりと伸び、側面当接部３０２ｂがＴＥＭ用試料の側面と当接して止まる。すなわち、試料の観察したい部分が試料台３０１中心位置になった時点で、試料両端の面と側部保持部材３０２の面３０２ｂとが当接して自然に止まる。
【００２５】
次に、図１１に示すように、試料挿入部３０６を含めた試料装着用治具Ｊ２の高さを徐々に下げていくと、それまで半円型突起３０９により押されていた裏面保持部材３０３の裏面当接部３０３ａが半円型突起３０９の面を押し返すため、半円型突起３０９部の面に沿って、徐々に試料裏面と裏面当接部３０３ａとの間隔を狭めていく。
【００２６】
図１２に示すように、ホルダー載置部３０７を下げるとＴＥＭ用試料１０３の側面は側部保持部材３０２で挟まれた状態を保持しながら、完全に裏面保持部材３０３の裏面当接部３０３ａが試料裏面に当接し、その裏面を当接した状態でＴＥＭ試料１０３を試料挿入方向ｖと反対方向に押し進め、試料表面と側部保持部材３０２の表面当接部３０２ａとの間隔を狭めていく。そして、完全にホルダー載置部３０７を下げると、裏面部保持部材３０２が試料挿入方向ｖと反対方向に試料裏面を押し進め、図１３に示すように、試料を側部保持部材３０２の表面当接部３０２ａと裏面保持部材３０３の裏面当接部３０３ａとで挟んで保持するようになる。つまり、これら側部保持部材３０２の表面当接部３０２ａと裏面保持部材３０３の裏面当接部３０３ａとで挟むことにより、ＴＥＭ用試料１０３の挿入長Ｘ４を一定位置に保持するようになる。
【００２７】
以上のように、本実施形態に関わる試料ホルダーＨＬ３によれば、側部保持部材３０２の表面当接部３０２ａ、側面当接部３０２ｂと裏面保持部材３０３の裏面当接部３０３ａで当接する３点によってダイサーで切り出したＴＥＭ用試料１０３を保持するために、ＴＥＭ用試料１０３を切欠きメッシュに接着固定することなく試料ホルダーＨＬ３に装着することができ、試料ホルダーＨＬ３の側部保持部材３０２に位置決めストッパーとしての働きを有する当接部を設けたので、ＴＥＭ用試料１０３を容易に同じ挿入長Ｘ４で取り付けることができる。すなわち、ＴＥＭ用試料１０３を試料台３０１の間へ挿入する際に、試料表面が当接部３０２ａと当接するので、この試料の挿入長Ｘ４を一定にすることができる。このため、ＴＥＭ用試料１０３、試料ホルダーＨＬ３の奥まで入り込んだり、手前で止まってしまったりすることがなくなる。このため、毎回の操作においてＴＥＭ用試料１０３の装着位置の再現性をとることができる。
【００２８】
さらに、本実施形態に関わる試料装着方法によれば、試料装着用治具Ｊ２に、ＴＥＭ用試料１０３を載せて滑らすための試料挿入部３０６と、試料ホルダーＨＬ３を載置するためのホルダー載置部３０７とを設けるとともに、このホルダー載置部３０７に試料ホルダーＨＬ３を載置した場合に、試料挿入部３０６と試料台３０１とがほぼ同等の高さになるようにしたので、ピンセットＰ等でＴＥＭ用試料１０３を滑らせて容易に試料ホルダーＨＬ３に挿入することができる。したがって、ＴＥＭ用試料１０３をピンセットＰで摘み上げる必要がなくなり、このＴＥＭ用試料１０３を破損してしまうおそれや紛失してしまうおそれを極めて少なくすることができる。しかも、ピンセットＰを用いてＴＥＭ用試料１０３を試料ホルダーＨＬ３における試料台３０１の間へ挿入する操作と、試料台３０１に備えた保持部材３０２、３０３とで保持する操作とを、必ずしも同時に行う必要がなくなるため、ＴＥＭ用試料１０３の装着が極めて容易になる。
【００２９】
しかも、試料装着用治具Ｊ２に側部保持部材３０２と裏面保持部材３０３の当接部である半円型突起３０９を設けたので、側部保持部材３０２と裏面部保持部材３０３を自然に広がるようにすることができる。このため、ＴＥＭ用試料１０３の試料ホルダーＨＬ３への装着作業を、より一層容易にすることができる。
【００３０】
【発明の効果】
以上のように、本発明の試料ホルダーは、その試料台に側部保持部材と裏面保持部材を設けてこれらでＴＥＭ用試料を挟んで保持することにより、切欠きメッシュへの試料の装着固定の工程を省略することが出来、切欠きメッシュ分のコスト低減と、接着剤によるコンタミを防止することが出来る。
【００３１】
また、本発明によれば、試料挿入部を備えた試料装着用治具を用いて、ＴＥＭ用試料を試料ホルダーに装着する際に、この試料装着用治具の試料挿入部の先端に備えた半円型突起部が試料ホルダーの側部保持部材と裏面保持部材とに当接してスムーズにこれらの側部保持部材および裏面保持部材を動かすことにより、試料の装着作業を容易にすることができる。また、試料装着用治具に、試料ホルダーの裏面保持部材に当接してストッパーとしての役割を有する当接部を試料挿入部に設け、さらに試料ホルダーに、試料表面側の両端に当接してストッパーとしての役割を有する当接部をバネに設けることにより、ＴＥＭ用試料を毎回ほぼ同じ挿入長に挟んで保持することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の従来技術における試料ホルダーの概要図
【図２】第１の従来技術における試料ホルダーの試料台および試料装着方法を示した上面図（ａ）（ｃ）と断面図（ｂ）（ｄ）
【図３】第２の従来技術における試料ホルダーの概要図
【図４】第２の従来技術における試料ホルダーの試料台および試料装着方法を示した上面図（ａ）と断面図（ｂ）
【図５】第２の従来技術における試料ホルダーの試料台および試料装着方法を示した正面図（ａ）と断面図（ｂ）
【図６】本発明の実施形態における試料ホルダーの概要図と試料ホルダーの試料台を説明する拡大図
【図７】本発明の実施形態における試料装着方法の、試料装着用治具に試料を載せた状態を説明する試料ホルダーおよび試料装着用治具の正面図（ａ）と断面図（ｂ）
【図８】本発明の実施形態における試料装着方法の、試料装着用治具の試料挿入部を挿入した途中段階の状態を説明する試料ホルダーおよび試料装着用治具の正面図（ａ）と断面図（ｂ）
【図９】本発明の実施形態における試料装着方法の、試料装着用治具の試料挿入部を挿入した途中段階を説明する試料ホルダーおよび試料装着用治具の正面図（ａ）と断面図（ｂ）
【図１０】本発明の実施形態における試料装着方法の、試料側部を挟んだ状態を説明する試料ホルダーおよび試料装着用治具の正面図（ａ）と断面図（ｂ）
【図１１】本発明の実施形態における試料装着方法の、試料装着用治具を下げた途中段階の状態を説明する試料ホルダーおよび試料装着用治具の正面図（ａ）と断面図（ｂ）
【図１２】本発明の実施形態における試料装着方法の、裏面保持部材が試料裏面に当接した状態を説明する試料ホルダーおよび試料装着用治具の正面図（ａ）と断面図（ｂ）
【図１３】本発明の実施形態における試料装着方法の、試料装着用治具を用いた試料ホルダーへの試料装着が完了した状態を説明する正面図（ａ）と断面図（ｂ）
【符号の説明】
１０１  試料台
１０２  切欠きメッシュ固定部
１０３  ＴＥＭ用試料
１０４  切欠きメッシュ
１０５  リングバネ
２０１  試料台
２０２  上部保持部材
２０３  下部保持部材
２０４  締め付け具
２０５  当接部
３０１  試料台
３０１ａ  空間
３０１ｂ  空間
３０２  側部保持部材
３０２ａ  表面当接部
３０２ｂ  側面当接部
３０３  裏面保持部材
３０３ａ  裏面当接部
３０３ｂ  裏面保持部材の面
３０４  バネ
３０５  バネ
３０６  試料挿入部
３０７  ホルダー載置部
３０８  ネジ
３０９    半円型突起部
３１０  溝
ＨＬ１  試料ホルダー
ＨＬ２  試料ホルダー
ＨＬ３  試料ホルダー
Ｊ１  治具
Ｊ１ａ  試料挿入部
Ｊ２  試料装着用治具
Ｐ  ピンセット
Ｘ１  挿入長
Ｘ２  挿入長
Ｘ３  挿入長
Ｘ４  挿入長
ＳＰ  スプリング
【図１】
2005026042.tif 000003
【図２】
2005026042.tif 000004
【図３】
2005026042.tif 000005
【図４】
2005026042.tif 000006
【図５】
2005026042.tif 000007
【図６】
2005026042.tif 000008
【図７】
2005026042.tif 000009
【図８】
2005026042.tif 000010
【図９】
2005026042.tif 000011
【図１０】
2005026042.tif 000012
【図１１】
2005026042.tif 000013
【図１２】
2005026042.tif 000014
【図１３】
2005026042.tif 000015