(57)【要約】【課題】簡単な構成で、対物レンズに対する観察試料の位置に関係なく、安定して観察試料を保持できると共に、対物レンズと観察試料の相対位置の調整を精度よく行うことができる試料支持装置を提供する。【解決手段】対物レンズ６の外周に設けられ、ステージ１２とともに試料を対物レンズ６の光軸方向に移動可能にした位置調整手段として、対物レンズ６が固定されるとともに、対物レンズ６の光軸方向に沿ってネジ部５０８が形成されたレボルバアダプタ５と、ステージ１２が保持されるとともに対物レンズ６の光軸方向に沿ってネジ部１００３が形成された粗動ツマミ１０と、これらレボルバアダプタ５と粗動ツマミ１０のそれぞれのネジ部５０８、１００３に螺装され、その回転操作により粗動ツマミ１０を対物レンズ６の光軸方向に移動させ試料と対物レンズ６との相対位置を調整する差動ツマミ９とを具備する。【選択図】    図１
2005003992.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対物レンズと、
前記対物レンズの外周に設けられるとともに、観察試料を載置するステージを保持し、前記対物レンズの光軸方向に前記ステージとともに前記観察試料を移動可能にした位置調整手段と
を具備したことを特徴とする試料支持装置。
【請求項２】
前記位置調整手段は、
前記対物レンズが固定されるとともに、前記対物レンズの光軸方向に沿ってネジ部が形成された対物レンズ保持手段と、
前記ステージが保持されるとともに前記対物レンズの光軸方向に沿ってネジ部が形成されたステージ保持手段と、
前記対物レンズ保持手段とステージ保持手段のそれぞれのネジ部に螺装され、その回転操作により前記ステージ保持手段を前記対物レンズの光軸方向に移動させ前記観察試料と前記対物レンズとの相対位置を調整する操作環と
を具備したことを特徴とする請求項１記載の試料支持装置。
【請求項３】
前記対物レンズ保持手段およびステージ保持手段のそれぞれのネジ部は、それぞれ異なるピッチで構成されており、
それぞれのネジ部で異なるピッチの差分が前記操作環の回転操作による移動量となるように前記観察試料と前記対物レンズとの相対位置を調整可能にしたことを特徴とする請求項２記載の試料支持装置。
【請求項４】
前記ステージは、前記観察試料を保持する保持手段を有し、該保持手段は、前記観察試料を前記ステージの面方向に沿って互いに異なる２方向に直線往復移動させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の試料支持装置。
【請求項５】
前記保持手段は、前記観察試料に対しＸ軸方向へ移動させるための押圧力を作用するカム手段と、Ｙ軸方向へ移動させるための押圧力を作用するカム手段を有し、これらカム手段は、前記観察試料との当接部に該観察試料の落下を防止する段部を有することを特徴とする請求項４記載の試料支持装置。
【請求項６】
前記ステージは、前記観察試料を保持する保持手段として、板バネの弾性力を用いることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の試料支持装置。
【請求項７】
板バネは、磁気力により前記ステージ上に固定されることを特徴とする請求項６記載の試料支持装置。
【請求項８】
前記ステージは、前記観察試料を保持する保持手段として、真空吸着力を用いることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の試料支持装置。
【請求項９】
前記ステージは、前記観察試料を保持する保持手段として、座金を有するネジまたはフランジ部を有するネジを用い、これら座金またはフランジ部と前記ステージとの間で前記観察試料の周縁部を挟持すること特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の試料支持装置。
【請求項１０】
前記ステージは、前記試料を保持する保持手段として、
前記ステージ面と対向する面に溝部を形成した被せ板を有し、
前記溝部に前記観察試料を挿入した状態で、前記ステージと被せ板との間で前記観察試料を挟持すること特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の試料支持装置。
【請求項１１】
前記ステージは、前記試料を保持する保持手段として、
前記ステージ面と対向する面に透孔を有すると共に、該透孔の周縁部に沿って段部を形成した被せ板を有し、
前記ステージと前記透孔周縁部の段部と間で前記観察試料の端部を挟持すること特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の試料支持装置。
【請求項１２】
観察試料を載置するステージと、
レボルバと対物レンズとの間に介在されるアダプタ本体と、
前記ステージを前記対物レンズの光軸方向に案内する案内部材と、
前記対物レンズに対する前記ステージの位置を前記対物レンズの光軸方向に調整可能にした位置調整手段と
を具備したことを特徴とする試料支持装置。
【請求項１３】
前記ステージと前記アダプタ本体との間には、
前記位置調整手段に対して前記対物レンズの光軸方向で前記ステージと前記アダプタ本体が近づく方向または離間する方向に付勢力を加える付勢力材料が設けられていることを特徴とする請求項１２記載の試料支持装置。
【請求項１４】
前記付勢力材料は、
弾性部材であることを特徴とする請求項１３記載の試料支持装置。
【請求項１５】
前記試料支持装置は、正立顕微鏡に適用されることを特徴とする請求項１乃至１４のいずれかに記載の試料支持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡観察に用いられる試料を支持する試料支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、顕微鏡を使用した試料観察は、顕微鏡ステージ上に載置された試料に対して対物レンズを接近させ、試料上の観察要部を拡大することで行うようにしている。この場合、試料に近接される対物レンズは、倍率が高くなるほど焦点深度が小さくなるため、対物レンズと観察試料との位置合わせが難しくなるとともに、対物レンズと試料との間の距離の微小の変化にも観察像が大きく劣化してしまう。
【０００３】
一方、対物レンズと観察試料との見かけ上の位置は、非常に近接しているが、これらの機械的結合長さは、顕微鏡フレーム、対物レンズ移動機構、レボルバなどの多数の機械部品が介在するため非常に大きい。これらの機械部品は、温度変化によりその形状が変化しやすいことから、これら機械部品の数が多くなるほど寸法変化量が大きくなり、対物レンズと観察試料との相対位置が変化してしまう。
【０００４】
そこで、例えば、特許文献１に開示されるように、対物レンズに、固定台、操作環および試料保持台により構成される位置調整手段を設け、この位置調整手段の操作環の回転操作により、試料保持台を回り止めピンが挿通されているガイド孔に沿って対物レンズの光軸方向に移動させ、対物レンズと観察試料の相対位置を調整するようにしたものがある。
【０００５】
【特許文献１】
特願２００１−１１０４６９号明細書
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、特許文献１に開示されたものは、操作環の回転操作により試料保持台を、ガイド孔に沿って対物レンズの光軸方向に押上げるようになっているため、例えば、正立型顕微鏡のように対物レンズの下側に観察試料が配置されているような場合、操作環の回転操作に関係なく試料保持台が自重により下がったままとなり、対物レンズと観察試料の相対位置の調整ができなくなるという問題を生じる。また、試料保持台上に観察試料が載置されているため、対物レンズの下側に観察試料が配置される構成では、試料が落下してしまうという問題もあった。
【０００７】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、簡単な構成で、対物レンズに対する観察試料の位置に関係なく、安定して観察試料を保持できると共に、対物レンズと観察試料の相対位置の調整を精度よく行うことができる試料支持装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、対物レンズと、前記対物レンズの外周に設けられるとともに、観察試料を載置するステージを保持し、前記対物レンズの光軸方向に前記ステージとともに前記観察試料を移動可能にした位置調整手段とを具備したことを特徴としている。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記位置調整手段は、前記対物レンズが固定されるとともに、前記対物レンズの光軸方向に沿ってネジ部が形成された対物レンズ保持手段と、前記ステージが保持されるとともに前記対物レンズの光軸方向に沿ってネジ部が形成されたステージ保持手段と、前記対物レンズ保持手段とステージ保持手段のそれぞれのネジ部に螺装され、その回転操作により前記ステージ保持手段を前記対物レンズの光軸方向に移動させ前記前記観察試料と前記対物レンズとの相対位置を調整する操作環とを具備したことを特徴としている。
【００１０】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の発明において、前記対物レンズ保持手段およびステージ保持手段のそれぞれのネジ部は、それぞれ異なるピッチで構成されており、それぞれのネジ部で異なるピッチの差分が前記操作環の回転操作による移動量となるように前記観察試料と前記対物レンズとの相対位置を調整可能にしたことを特徴としている。
【００１１】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記ステージは、前記観察試料を保持する保持手段を有し、該保持手段は、前記観察試料を前記ステージの面方向に沿って互いに異なる２方向に直線往復移動させることを特徴としている。
【００１２】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記保持手段は、前記観察試料に対しＸ軸方向へ移動させるための押圧力を作用するカム手段と、Ｙ軸方向へ移動させるための押圧力を作用するカム手段を有し、これらカム手段は、前記観察試料との当接部に該観察試料の落下を防止する段部を有することを特徴としている。
【００１３】
請求項６記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記ステージは、前記観察試料を保持する保持手段として、板バネの弾性力を用いることを特徴としている。
【００１４】
請求項７記載の発明は、請求項６記載の発明において、板バネは、磁気力により前記ステージ上に固定されることを特徴としている。
【００１５】
請求項８記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記ステージは、前記観察試料を保持する保持手段として、真空吸着力を用いることを特徴としている。
【００１６】
請求項９記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記ステージは、前記観察試料を保持する保持手段として、座金を有するネジまたはフランジ部を有するネジを用い、これら座金またはフランジ部と前記ステージとの間で前記観察試料の周縁部を挟持すること特徴としている。
【００１７】
請求項１０記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記ステージは、前記試料を保持する保持手段として、前記ステージ面と対向する面に溝部を形成した被せ板を有し、前記溝部に前記観察試料を挿入した状態で、前記ステージと被せ板との間で前記観察試料を挟持すること特徴としている。
【００１８】
請求項１１記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、前記ステージは、前記試料を保持する保持手段として、前記ステージ面と対向する面に透孔を有すると共に、該透孔の周縁部に沿って段部を形成した被せ板を有し、前記ステージと前記透孔周縁部の段部と間で前記観察試料の端部を挟持すること特徴としている。
【００１９】
請求項１２記載の発明は、観察試料を載置するステージと、レボルバと対物レンズとの間に介在されるアダプタ本体と、前記ステージを前記対物レンズの光軸方向に案内する案内部材と、前記対物レンズに対する前記ステージの位置を前記対物レンズの光軸方向に調整可能にした位置調整手段とを具備したことを特徴としている。
【００２０】
請求項１３記載の発明は、請求項１２記載の発明において、前記ステージと前記アダプタ本体との間には、前記位置調整手段に対して前記対物レンズの光軸方向で前記ステージと前記アダプタ本体が近づく方向または離間する方向に付勢力を加える付勢力材料が設けられていることを特徴としている。
【００２１】
請求項１４記載の発明は、請求項１３記載の発明において、前記付勢力材料は、弾性部材であることを特徴としている。
【００２２】
請求項１５記載の発明は、請求項１乃至１４のいずれかに記載の発明において、前記試料支持装置は、正立顕微鏡に適用されることを特徴としている。
【００２３】
この結果、本発明によれば、対物レンズの外周に設けられた位置調整手段によりステージとともに観察試料を対物レンズの光軸方向に移動できるので、簡単な構成により、ステージ上の観察試料と対物レンズの相対位置の調整を精度よく行うことができる。
【００２４】
また、本発明によれば、操作環を回転操作することで、操作環に対して異なるピッチで、ネジ方向が逆になっている対物レンズ保持手段とステージ保持手段を相反方向に移動させることができるので、これらネジピッチ差によりステージ保持手段を微小距離移動させることができ、ステージ上の観察試料と対物レンズの相対位置の調整を精度よく行うことができる。
【００２５】
さらに、本発明によれば、位置調整手段は、対物レンズが固定されるとともに、対物レンズの光軸方向に沿ってネジ部が形成された対物レンズ保持手段と、ステージが保持されるとともに対物レンズの光軸方向に沿ってネジ部が形成されたステージ保持手段と、これら対物レンズ保持手段とステージ保持手段のそれぞれのネジ部に螺装され、その回転操作によりステージ保持手段を対物レンズの光軸方向に移動させる操作環により構成されているので、例え、正立型顕微鏡のようにステージが対物レンズの下方に位置していても、ステージ上の観察試料と対物レンズの位置合わせを正確に行うことができる。
【００２６】
さらにまた、、本発明によれば、観察試料をステージ上に確実に保持できると共に、観察試料を対物レンズに対応させて精度よく位置決めすることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【００２８】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の試料支持装置を適用した正立型顕微鏡の概略構成を示している。
【００２９】
図１において、１は顕微鏡本体で、この顕微鏡本体１には、ベース部１ａが設けられている。このベース部１ａには、直立して胴部１ｂが設けられ、この胴部１ｂの先端には、ベース部１ａと平行に配置されるアーム部１ｃが設けられている。
【００３０】
顕微鏡本体１の下側背部には、光源２が設けられている。光源２は、透過観察用の照明光を発するものである。この照明光は、ベース部１ａ内部に配置された図示しない照明光学系を通り、アーム部１ｃ側に向けて出射するようになっている。
【００３１】
アーム部１ｃの先端部下側には、レボルバ３が設けられている。レボルバ３には、本発明の試料支持装置４が設けられている。
【００３２】
図示例では、レボルバ３に試料支持装置４が１個のみ設けられているが、複数の試料支持装置４が設けられてもよい。この場合、レボルバ３を回転操作することで、所望する試料支持装置４が照明光の光軸上に位置されるようになる。
【００３３】
図２は、試料支持装置４の概略構成を示している。
【００３４】
図において、５は対物レンズ保持手段としてのレボルバアダプタで、このレボルバアダプタ５は、中空円板状のアダプタ本体５０１を有している。このアダプタ本体５０１は、一方板面の中心部を肉厚にして、小径の突出部５０２が形成されている。突出部５０２の周面には、対物ネジ部５０３が形成されている。この対物ネジ部５０３は、図１に示すレボルバ３の図示しない対物取付け穴部にねじ込まれるものである。また、アダプタ本体５０１の中心部を貫く孔部５０４は、突出部５０２と反対側の開口部内周面に、ネジ部５０５が形成されている。このネジ部５０５には、対物レンズ６の対物ネジ６０１がねじ込まれ、この状態で、対物レンズ６をレボルバアダプタ５の中心軸線上に一体に固定するようになっている。
【００３５】
アダプタ本体５０１には、孔部５０４の開口部周囲に沿って環状の溝部５０６が形成されている。この溝部５０６には、案内部材としての円筒状のスプラインスリーブ７の一方端部が嵌入されている。スプラインスリーブ７は、その中空部に対物レンズ６が収容されるもので、対物レンズ６の長さ寸法より僅かに短い程度の長さ寸法を有している。また、スプラインスリーブ７は、外周面の円周方向に沿って、スプラインスリーブ７の軸方向に延びる図示しない溝部が複数本形成されている。
【００３６】
アダプタ本体５０１の周縁部には、円周方向に沿って突壁５０７が一体に形成されている。この突壁５０７は、スプラインスリーブ７と同心円上に位置されるものである。突壁５０７の内周面には、対物レンズ６の光軸方向に沿ってネジ部５０８が形成されている。また、アダプタ本体５０１の周面には、円周方向に沿って等間隔で複数のネジ穴５０９が形成されている。これらネジ穴５０９は、溝部５０６まで貫通したものである。これらネジ穴５０９には、スリーブ固定ネジ８がねじ込まれている。スリーブ固定ネジ８は、先端をスプラインスリーブ７の周面に押し当てることで、スプラインスリーブ７を溝部５０６内に固定するようにしている。
【００３７】
なお、スプラインスリーブ７としては、円筒状以外の柱状部材であってもよい。また、スプラインスリーブ７の理想の材料は、対物レンズ６周囲に設けられる筒体と同じ材質のものを用いるのが好ましい。
【００３８】
突壁５０７内周面のネジ部５０８には、操作環として差動ツマミ９が設けられている。この差動ツマミ９は、径の小さい筒体９０１に中空部を連通させて径の大きな筒体９０２を一体に形成したものである。径の小さい筒体９０１の外周面には、ネジ部９０３が形成されている。このネジ部９０３は、アダプタ本体５０１の突壁５０７内周面のネジ部５０８にねじ込まれるものである。この場合、これらネジ部９０３、５０８は、右回りにねじ込む、いわゆる右ネジからなっている。また、径の大きな筒体９０２の内周面には、ネジ部９０４が形成されている。
【００３９】
差動ツマミ９には、ステージ保持手段としての粗動ツマミ１０が設けられている。粗動ツマミ１０は、中空円板状のツマミ本体１００１を有している。このツマミ本体１００１は、一方板面の中心部を肉厚にして、小径の突出部１００２が形成されている。突出部１００２の周面には、対物レンズ６の光軸方向に沿ってネジ部１００３が形成されている。このネジ部１００３は、差動ツマミ９のネジ部９０４にねじ込まれるものである。この場合、これらネジ部１００３、９０４は、左回りにねじ込む、いわゆる左ネジからなっている。
【００４０】
ツマミ本体１００１の中心部を貫く孔部１００４には、スプラインスリーブ７が挿通されている。これにより、粗動ツマミ１０は、スプラインスリーブ７を中心に回転できるようになっている。
【００４１】
ツマミ本体１００１の孔部１００４には、突出部１００２と反対側の開口部に、突壁部１００６が形成されている。この突壁部１００６は、孔部１００４の中心軸方向に突出したものである。そして、この突壁部１００６とレボルバアダプタ５のアダプタ本体５０１との間には、付勢力材料として、弾性材料である圧縮コイルばね１３が配置されている。この圧縮コイルばね１３は、スプラインスリーブ７と対物レンズ６との間の空間に沿って配置されるもので、レボルバアダプタ５に対して粗動ツマミ１０を光軸方向に引き離すような弾性力を作用させるようになっている。
【００４２】
ツマミ本体１００１の周面には、ネジ穴１００５が形成されている。このネジ穴１００５は、ツマミ本体１００１の孔部１００４まで貫通したものである。また、ネジ穴１００５には、ガイドネジ１１がねじ込まれている。ガイドネジ１１は、粗動ツマミ１０の回転位置によって、先端をスプラインスリーブ７周面の溝部に入り込むことができるようになっている。
【００４３】
粗動ツマミ１０には、ステージ１２が設けられている。ステージ１２は、観察試料を載置するもので、粗動ツマミ１０に対して図示しない、ネジなどにより取り外し可能に設けられている。
【００４４】
図１に戻って、顕微鏡本体１は、アーム部１ｃの先端部上方に鏡筒１４が設けられている。鏡筒１４には、接眼レンズ１５および撮影装置取付部１６が設けられている。接眼レンズ１５は、試料支持装置４の対物レンズ６を介して顕微鏡本体１内部の図示しない観察光学系に投影される試料の観察像を目視観察するものである。撮影装置取付部１６は、図示しない撮像手段、例えばデジタルカメラなどが設けられ、接眼レンズ１５で目視される観察像を撮影可能にしている。
【００４５】
次に、このように構成した実施の形態の動作を説明する。
【００４６】
この場合、右ネジを構成するネジ部９０３、５０８のネジピッチを０．５、左ネジを構成するネジ部１００３、９０４のネジピッチを０．６としている。
【００４７】
まず、ガイドネジ１１のねじ込みを緩めて、ガイドネジ１１先端をスプラインスリーブ７周面の溝部より脱出させておく。
【００４８】
この状態で、差動ツマミ９を手で抑えて、粗動ツマミ１０を回転させると、この回転量に応じて粗動ツマミ１０は、光軸方向に移動する。この場合、ネジ部１００３、９０４のネジピッチは０．６になっているので、粗動ツマミ１０を１回転すると、６００μｍだけ移動する。
【００４９】
ガイドネジ１１の先端がスプラインスリーブ７の溝部に対応する位置になったところで、ガイドネジ１１の先端が溝部の中に入った状態になるまでねじ込む。この場合、ガイドネジ１１がスプラインスリーブ７を強く押すまでに締め付けず、ガイドネジ１１先端で溝部底面を擦りながら粗動ツマミ１０が光軸方向に移動できる状態にしておく。ここで、ガイドネジ１１に、例えば、頭部分を六角ボルト状にしておけば、この頭部分の回転方向から最終的な締付け移動量を制限することができる。
【００５０】
この状態から、差動ツマミ９を回転させる。すると、差動ツマミ９側のネジ部９０３とレボルバアダプタ５側のネジ部５０８は、右回りにねじ込む、いわゆる右ネジになっているのに対し、差動ツマミ９側のネジ部９０４と粗動ツマミ１０側のネジ部１００３は、左回りにねじ込む、いわゆる左ネジからなっているので、例えば差動ツマミ９を右回りに回転させると、右ネジになっているネジ部９０３と５０８により、差動ツマミ９がレボルバアダプタ５に対して上方向にピッチ０．５に応じた量だけ移動し、一方、左ネジになっているネジ部９０４と１００３により粗動ツマミ１０が下方向にピッチ０．６に応じた量だけ移動する。逆に、差動ツマミ９を左回りに回転させると、右ネジになっているネジ部９０３と５０８により、差動ツマミ９が、レボルバアダプタ５に対して下方向にピッチ０．５に応じた量だけ移動し、一方、左ネジになっているネジ部９０４と１００３により粗動ツマミ１０が上方向にピッチ０．６に応じた量だけ移動する。これにより、差動ツマミ９を１回転させると、これら右ネジと左ネジのピッチ差、つまり０．６−０．５＝０．１だけ粗動ツマミ１０を光軸方向に移動できることとなる。具体的には、差動ツマミ９を１回転させると、粗動ツマミ１０を１００μｍの微小距離だけ移動させることができる。
【００５１】
この場合、粗動ツマミ１０とレボルバアダプタ５との間に、圧縮コイルばね１３が配置され、レボルバアダプタ５に対して粗動ツマミ１０を光軸方向に引き離すような弾性力を作用させることで、ネジ部９０３と５０８およびネジ部９０４と１００３にも光軸方向の力を作用させるようにしているので、それぞれのネジ溝でのガタによる影響を無くすことができる。また、粗動ツマミ１０の粗動ツマミ１０のガイドネジ１１の先端がスプラインスリーブ７の溝部に挿入されているので、粗動ツマミ１０は、回転することなく、スプラインスリーブ７の溝部にガイドされて光軸方向に移動する。
【００５２】
そして、粗動ツマミ１０の移動と共に、ステージ１２も回転することなく、光軸方向に移動するようになるので、差動ツマミ９を回転操作するのみで、ステージ１２上の観察試料と対物レンズ６の位置合わせのための操作を精度よく行うことができる。
【００５３】
従って、このようにすれば、差動ツマミ９を回転操作することで、差動ツマミ９に対し右ネジになっているレボルバアダプタ５と、左ネジになっている粗動ツマミ１０を相反方向に移動させることができ、これら右ネジと左ネジのピッチ差により粗動ツマミ１０を微小距離移動させることができるので、簡単な構成で、ステージ１２上の観察試料と対物レンズ６の相対位置の調整を精度よく行うことができる。
【００５４】
また、対物レンズ６の外周に設けられ、ステージ１２とともに試料を対物レンズ６の光軸方向に移動可能にした位置調整手段は、対物レンズ６が固定されるとともに、対物レンズ６の光軸方向に沿ってネジ部５０８が形成されたレボルバアダプタ５と、ステージ１２が保持されるとともに対物レンズ６の光軸方向に沿ってネジ部１００３が形成された粗動ツマミ１０と、これらレボルバアダプタ５と粗動ツマミ１０のそれぞれのネジ部５０８、１００３に螺装され、その回転操作により粗動ツマミ１０を対物レンズ６の光軸方向に移動させる差動ツマミ９により構成されているので、正立型顕微鏡のようにステージ１２が対物レンズ６の下方に位置していても、ステージ１２上の観察試料と対物レンズ６の位置合わせを正確に行うことができる。勿論、倒立型顕微鏡に適用しても同様な効果を期待することもできる。
【００５５】
なお、ネジ部９０３と５０８およびネジ部９０４と１００３のピッチを小さくするほど、差動ツマミ９の回転操作によるステージ１２の移動量を微小にできるので、高倍率の対物レンズ６を使用する場合、ネジ部９０３と５０８およびネジ部９０４と１００３のそれぞれのねじピッチを小さくすれば、観察試料と対物レンズの位置合わせのための調整を行いやすくできる。
【００５６】
また、試料支持装置４に大きな熱量の流入が予想される場合は、図２で説明した各構成部品の材料を、例えばスーパーインバーや、セラミック含有入りアルミ、シリコンカーバイト、ニレジスト鋳鉄などの低熱膨張材料とすることができる。
【００５７】
さらに、図２で説明した各構成部品の温度が環境温度に大きく依存するような場合は、これら部品を対物レンズ６周囲に設けられる筒体と同じ材質とするとよい。
【００５８】
さらに、上述では、アダプタ本体５０１側に案内部材であるスプラインスリーブ７を設けたが、ステージ１２を保持している側に案内部材を設け、アダプタ本体５０１側を案内するようにしてもよい。  さらに、上述では、付勢力材料として、圧縮コイルばね１３を用いたが、ばね（コイルばね（伸びるタイプと縮むタイプのどちらでもよい。）、板ばね）の他、ゴム材なども考えられる。なお、これらの付勢力材料は、必ずしも必須の構成要件ではない。すなわち、正立顕微鏡の場合は、ステージ部分の自重で位置調整手段であるねじのガタツキを解消できるからである。
【００５９】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。
【００６０】
図３（ａ）は、第１の実施の形態で述べた試料支持装置４に適用されるステージの概略構成を示すもので、ここでは、試料が自重により載置されるテージを示している。
【００６１】
図において、２１はステージで、このステージ２１は、観察試料として、試料（プレパラート）２２が載置される載置面に溝部２１０１が形成されている。また、溝部２１０１底面には、透孔２１０２が形成されている。
【００６２】
試料（プレパラート）２２は、長方形状をなすものである。そして、観察試料を保持する保持手段として、試料（プレパラート）２２の短い寸法の側縁部側には、カム手段としてＸ軸方向の押圧力を作用する微調整用カム２３が配置されている。微調整用カム２３は、先端部を試料（プレパラート）２２の側縁部に当接されている。この場合、微調整用カム２３は、図３（ｂ）に示すように先端部に段部２３ａが設けられ、この段部２３ａが試料（プレパラート）２２の側縁部に当接するようになっている。微調整用カム２３は、基端部に軸部２３０１が設けられている。軸部２３０１は、図４（図３中矢印Ａ方向より見た図）に示すようにステージ２１に直立して設けられた孔部２１０３に回転可能に挿通されている。軸部２３０１は、中間部をテーパ部２３０２を介して小径部に形成されている。
【００６３】
そして、このテーパ部２３０２には、ステージ２１の側面からねじ込まれたネジ部２４の先端が当接され、軸部２３０１に対して所定の摩擦力を与えるようになっている。軸部２３０１は、先端に微動ツマミ２５が設けられている。この微動ツマミ２５は、摩擦力が与えられている軸部２３０１を回転させるもので、この回転により微調整用カム２３を回転させて、試料（プレパラート）２２をＸ軸方向に移動させるようにしている。勿論、軸部２３０１に対する摩擦力は、微動ツマミ２５を指先で回すのに何ら支障のない設定となっている。
【００６４】
試料（プレパラート）２２の微調整用カム２３が当接される側縁部と対向する側縁部には、押し付けローラ２６が配置されている。このローラ２６は、基端部が回転可能に支持された回動棒２７の先端に設けられている。回動棒２７の中間部には、引張りバネ２８が設けられている。この場合、引張りバネ２８と回動棒２７を一直線上に位置させた状態で、回動棒２７を僅かに時計方向に回動させると、回動棒２７は、引張りバネ２８の弾性力によりローラ２６を試料（プレパラート）２２の側縁部に当接させ、逆に、回動棒２７を僅かに反時計方向に回動させると、回動棒２７は、引張りバネ２８の弾性力により図示破線位置まで移動するようになっている。なお、引張りバネ２８の弾性力によりローラ２６が試料（プレパラート）２２側縁部に作用する押圧力は、微調整用カム２３を回動させる際の摩擦力より小さく設定されている。
【００６５】
一方、試料（プレパラート）２２の長い寸法の側縁部側には、カム手段としてＹ軸方向の押圧力を作用する微調整用カム２９、３０が並んで配置されている。これら微調整用カム２９、３０は、連結棒３０１により連結され、それぞれの先端部を試料（プレパラート）２２の側縁部に当接されている。この場合、微調整用カム２９、３０は、上述した微調整用カム２３と同様に、それぞれの先端部に試料（プレパラート）２２の側縁部に当接される段部（不図示）が形成されている。また、基端部に軸部２９０１、３００１が設けられ、これら軸部２９０１、３００１を介してステージ２１に回転可能に支持されている。このうち微調整用カム２９の軸部２９０１は、図示しないが、図４に示した微調整用カム２３の軸部２３０１と同様に、中間部をテーパ部を介して小径部に形成され、このテーパ部に、ステージ２１の側面からねじ込まれたネジ部の先端が当接され、軸部２９０１に対して所定の摩擦力を与えるようになっている。また、軸部２９０１は、先端に微動ツマミ３１が設けられている。この微動ツマミ３１は、摩擦力が与えられている軸部２９０１を回転させるもので、この回転により微調整用カム２９とともに微調整用カム３０を回転させて、試料（プレパラート）２２をＹ軸方向に移動させるようにしている。勿論、軸部２９０１に対する摩擦力は、微動ツマミ３１を指先で回すのに何ら支障のない設定となっている。
【００６６】
試料（プレパラート）２２の微調整用カム２９、３０が当接される側縁部と対向する側縁部には、押し付けローラ３２が配置されている。このローラ３２は、基端部が回転可能に支持された回動棒３３の先端に設けられている。回動棒３３の中間部には、引張りバネ３４が設けられている。この場合、引張りバネ３４と回動棒３３を一直線上に位置させた状態で、回動棒３３を僅かに時計方向に回動させると、回動棒３３は、引張りバネ３４の弾性力によりローラ３２を試料（プレパラート）２２の側縁部に当接させ、逆に、回動棒３３を僅かに反時計方向に回動させると、回動棒３３は、引張りバネ３４の弾性力により図示破線位置まで移動するようになっている。なお、引張りバネ３４の弾性力によりローラ３２が試料（プレパラート）２２側縁部に作用する押圧力は、微調整用カム２９を回動させる際の摩擦力より小さく設定されている。
【００６７】
このような構成において、ステージ２１上に試料（プレパラート）２２を載置するには、まず、回動棒２７、３３をそれぞれ図示破線位置まで回動させて、押し付けローラ２６、３２を退避させておく。
【００６８】
次に、微動ツマミ２５、３１の操作により微調整用カム２３、２９、３０を回転させて、それぞれの位置を仮に決めておく。
【００６９】
次に、試料（プレパラート）２２をステージ２１上に載せて、短い寸法の側縁部側を微調整用カム２３の先端に当接させ、長い寸法の側縁部側を微調整用カム２９、３０の先端に当接させる。また、回動棒２７を時計方向に回動させて、引張りバネ２８の弾性力によりローラ２６を試料（プレパラート）２２の側縁部に当接させ、同様にして、回動棒３３を時計方向に回動させて、引張りバネ３４の弾性力によりローラ３２を試料（プレパラート）２２の側縁部に当接させる。
【００７０】
この状態から、微動ツマミ２５を回して、微調整用カム２３を回転させると、試料（プレパラート）２２は、引張りバネ２８の弾性力に抗してＸ軸方向に移動し、同様に微動ツマミ３１を回して、微調整用カム２９、３０を連動して回転させると、試料（プレパラート）２２は、引張りバネ３４の弾性力に抗してＹ軸方向に移動する。これにより、これら微動ツマミ２５、３１の回転操作を適宜行うことで、試料（プレパラート）２２は、ステージ２１上での位置の微調整が行われ、最終的に所定の位置に設定される。
【００７１】
従って、このようにすれば、ステージ２１上に載置された試料（プレパラート）２２を微動ツマミ２５、３１の操作により微調整用カム２３、２９、３０を回転させてることで、ステージ２１の面方向に沿って互いに直交するＸＹ軸方向に直線的に移動させることができるので、ステージ２１上に確実に保持できると共に、試料（プレパラート）２２の所望位置を、対物レンズに対応させて精度よく位置決めすることができる。
【００７２】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施の形態を説明する。
【００７３】
図５、図６は、第１の実施の形態で述べた試料支持装置４に適用されるステージの概略構成を示すもので、図３、図４と同一部分には、同符号を付している。
【００７４】
この場合、試料（プレパラート）２２の短い寸法の側縁部側に配置される微調整用カム２３は、図６に示すように先端部に段部２３ａが形成され、この段部２３ａとステージ２１との間で試料（プレパラート）２２を挟み込むようになっている。また、押し付けローラ２６についても周縁部に段部２６ａが形成され、この段部２６ａとステージ２１との間で試料（プレパラート）２２を挟み込むようになっている。
【００７５】
同様にして、試料（プレパラート）２２の長い寸法の側縁部側に配置される微調整用カム２９，３０についても、図６に示すように先端部に段部２９ａ、３０ａが形成され、これら段部２９ａ、３０ａとステージ２１との間で試料（プレパラート）２２を挟み込むようになっている。また、押し付けローラ３２についても周縁部に段部３２ａが形成され、この段部３２ａとステージ２１との間で試料（プレパラート）２２を挟み込むようになっている。
【００７６】
このような構成とすれば、試料（プレパラート）２２は、周縁部を微調整用カム２３、２９、３０のそれぞれの段部２３ａ、２９ａ、３０ａによりステージ２１との間で挟持されるとともに、押し付けローラ２６、３２についても段部２６ａ、３２ａによりステージ２１との間で挟持されるようになっているので、試料支持装置４をどのような方向に向けても、試料（プレパラート）２２は、動くことなく安定してステージ２１上に載置することができる。
【００７７】
（第４の実施の形態）
次に、本発明の第４の実施の形態を説明する。
【００７８】
図７は、第１の実施の形態で述べた試料支持装置４に適用されるステージの概略構成を示すものである。
【００７９】
図において、４１はステージで、このステージ４１は、中央部に透孔４１０１が形成されている。ステージ４１上には、所定の間隔をおいて板バネ取付部材４２、４３が配置されている。これら板バネ取付部材４２、４３には、観察試料の保持手段として、それぞれ板バネ４４、４５の基端部が設けられている。これら板バネ４４、４５は、ステージ４１面を押す方向の弾性力を有するもので、この弾性力によりステージ４１の透孔４１０１上に載置される試料（プレパラート）４６の両端部を押圧保持するようになっている。
【００８０】
このようにしても、板バネ４４、４５の弾性力により試料（プレパラート）４６をステージ４１上に保持できるので、試料支持装置４をどのような方向に向けても、試料（プレパラート）４６を、動くことなく安定してステージ４１上に載置することができる。
【００８１】
（変形例１）
図７において、ステージ４１を着磁性のある例えば鉄やＳＵＳ３０３で構成し、板バネ取付部材４２、４３を磁石とする構成としてもよい。ここで、ステージ４１に鉄を用いる場合は、防錆処理を施すことが望ましい。また、ステージ４１が磁石で、板バネ取付部材４２、４３が着磁性のあるものでもよく、ステージ４１と板バネ取付部材４２、４３の両方が磁石であってもよい。
【００８２】
このようにすれば、板バネ取付部材４２、４３の位置を試料（プレパラート）４６の形状に応じて最適な位置に簡単に移動させることができる。
【００８３】
（変形例２）
図７において、板バネ取付部材４２、４３を電磁石で構成することもできる。
【００８４】
このようにすれば、電磁石への電流の切替のみでステージ４１への板バネ取付部材４２、４３の着脱を行うことができる。
【００８５】
（第５の実施の形態）
次に、本発明の第５の実施の形態を説明する。
【００８６】
図８、図９は、第１の実施の形態で述べた試料支持装置４に適用されるステージの概略構成を示すものである。
【００８７】
図において、５１はステージで、このステージ５１は、中央部に透孔５１０１が形成されている。ステージ５１には、試料（プレパラート）５２の載置面上に所定の間隔をおいて吸着座ぐり部５３、５４が形成されている。これら吸着座ぐり部５３、５４には、それぞれステージ５１側面に貫通する空気孔５５、５６が連通されている。そして、空気孔５５、５６には、継手５７，５８を介してエアチューブ５９，６０が接続されている。これらエアチューブ５９，６０には、正圧または負圧のエアが供給され、エアチューブ５９，６０のエアが負圧になると、吸着座ぐり部５３、５４を介してステージ５１上の試料（プレパラート）５２を吸着保持し、正圧になると、試料（プレパラート）５２を吸着を解除するようになっている。
【００８８】
このようにすれば、エアチューブ５９，６０に供給されるエアを負圧または正圧に切替えるのみで、ステージ５１上に載置された試料（プレパラート）５２を吸着保持または開放することができるので、この場合も、試料支持装置４をどのような方向に向けても、試料（プレパラート）５２を動くことなく、安定してステージ５１上に載置することができる。
【００８９】
（第６の実施の形態）
次に、本発明の第６の実施の形態を説明する。
【００９０】
図１０（ａ）（ｂ）は、第１の実施の形態で述べた試料支持装置４に適用されるステージの概略構成を示すものである。
【００９１】
図において、６１はステージで、このステージ６１は、中央部に透孔６１０１が形成されている。ステージ６１には、座金６２を挿通した押えネジ６３が設けられている。この場合、押えネジ６３は、ステージ６１上に載置される試料（プレパラート）６４の各隅部に対応させて４本配置され、これら押えネジ６３をねじ込むことで、座金６２とステージ６１の間で試料（プレパラート）６４の隅部を挟持するようになっている。
【００９２】
このようにすれば、ステージ６１の透孔６１０１上に試料（プレパラート）６４を載置し、それぞれの押えネジ６３をねじ込むだけで、座金６２とステージ６１の間で試料（プレパラート）６４の各隅部を挟持することができるので、この場合も、試料支持装置４をどのような方向に向けても、試料（プレパラート）６４は、動くことなく安定してステージ６１上に載置することができる。また、押えネジ６３のねじ込みを緩め、座金６２とステージ６１の間により試料（プレパラート）６４の各隅部の挟持を解除することにより、簡単に試料（プレパラート）６４を取外すこともできる。
【００９３】
なお、上述では、座金６２を挿通した押えネジ６３を用いる場合を述べたが、フランジ部を有するネジを用いても、上述したと同様な効果を期待できる。
【００９４】
（第７の実施の形態）
次に、本発明の第７の実施の形態を説明する。
【００９５】
図１１（ａ）（ｂ）は、第１の実施の形態で述べた試料支持装置４に適用されるステージの概略構成を示すものである。
【００９６】
図において、７１はステージで、このステージ７１は、中央部に透孔７１０１が形成されている。
【００９７】
ステージ７１には、観察試料の保持手段として被せ板７２が設けられている。この被せ板７２は、ステージ７１上面を覆うように設けられ、複数の止めネジ７３によりステージ７１上に一体に固定されている。
【００９８】
被せ板７２は、ステージ７１の透孔７１０１に対応する位置に透孔７２０１が形成されている。また、被せ板７２は、ステージ７１上面と対向する面に溝部７２０２が一体に形成されている。溝部７２０２は、試料（プレパラート）７４の長さ寸法よりやや大きい幅寸法で、透孔７１０１より奥まで達するような長さ寸法を有し、また、被せ板７２側面側に、開口部７２０３が形成されている。
【００９９】
このようにすれば、被せ板７２側面の開口部７２０３より溝部７２０２に沿って試料（プレパラート）７４を挿入し、ステージ７１の透孔７１０１上に位置させれば、ステージ７１と被せ板７２との間の空間で試料（プレパラート）７４を挟持することができるようになり、試料（プレパラート）７４は、動くことなく安定してステージ７１上に載置することができる。
【０１００】
（変形例）
例えば、図１２（ａ）（ｂ）に示すように、被せ板７２の溝部７２０２の奥部に、板バネ７５が配置されている。板バネ７５は、開口部７２０３より溝部７２０２に沿って挿入され、ステージ７１の透孔７１０１上に位置させた試料（プレパラート）７４を、弾性力により保持するようにしたものである。その他、図１２は、図１１と同一部分には、同符号を付している。
【０１０１】
このようにすれば、被せ板７２の溝部７２０２に挿入され、ステージ７１の透孔７１０１上に位置さた試料（プレパラート）７４の保持状態をさらに確実なものにすることができる。
【０１０２】
（第８の実施の形態）
次に、本発明の第８の実施の形態を説明する。
【０１０３】
図１３（ａ）（ｂ）は、第１の実施の形態で述べた試料支持装置４に適用されるステージの概略構成を示すものである。
【０１０４】
図において、８１はステージで、このステージ８１は、中央部に透孔８１０１が形成されている。
【０１０５】
ステージ８１上には、観察試料の保持手段として被せ板８２が設けられている。被せ板８２は、ステージ８１上面を覆うように設けられ、複数の止めネジ８３によりステージ８１上に一体に固定されている。
【０１０６】
被せ板８２には、ステージ８１の透孔８１０１に対応する位置に試料（プレパラート）８４の長さ寸法よりやや小さい直径の透孔８２０１が形成されている。また、被せ板８２は、ステージ８１上面と対向する面の透孔８２０１周縁部に沿って段部８２０２が形成され、さらに、透孔８２０１周縁部には、透孔８２０１の中心を挟んだ位置に一対の切り欠き部８２０３が形成されている。これら切り欠き部８２０３は、試料（プレパラート）８４を透孔８２０１周縁部の段部８２０２内に挿入するところである。
【０１０７】
このような構成とすれば、透孔８２０１の周縁部に形成された切り欠き部８２０３を利用して図示破線状態で、試料（プレパラート）８４を挿入し、その後、図示実線位置に回転移動させることで、ステージ８１と透孔８２０１周縁部の段部８２０２と間で試料（プレパラート）８４の両端部を挟持することができるようになり、試料（プレパラート）８４は、動くことなく安定してステージ８１上に載置することができる。
【０１０８】
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【０１０９】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【０１１０】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、簡単な構成で、対物レンズに対する観察試料の位置に関係なく、安定して観察試料を保持できると共に、対物レンズと観察試料の相対位置の調整を精度よく行うことができる試料支持装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態が適用される正立型顕微鏡の概略構成を示す図。
【図２】第１の実施の形態の概略構成を示す図。
【図３】本発明の第２の実施の形態に適用されるステージの概略構成を示す図。
【図４】第２の実施の形態に適用されるステージの要部の概略構成を示す図。
【図５】本発明の第３の実施の形態に適用されるステージの概略構成を示す図。
【図６】第３の実施の形態に適用されるステージの要部の概略構成を示す図。
【図７】本発明の第４の実施の形態に適用されるステージの概略構成を示す図。
【図８】本発明の第５の実施の形態に適用されるステージの概略構成を示す図。
【図９】第５の実施の形態に適用されるステージの要部の概略構成を示す図。
【図１０】本発明の第６の実施の形態に適用されるステージの概略構成を示す図。
【図１１】本発明の第７の実施の形態に適用されるステージの概略構成を示す図。
【図１２】第７の実施の形態のステージの変形例の概略構成を示す図。
【図１３】本発明の第８の実施の形態に適用されるステージの概略構成を示す図。
【符号の説明】
１…顕微鏡本体
１ａ…ベース部、１ｂ…胴部、１ｃ…アーム部、２…光源、３…レボルバ、
４…試料支持装置、５…レボルバアダプタ、５０１…アダプタ本体、
５０２…突出部、５０３…対物ネジ部、５０４…孔部、５０５…ネジ部、
５０６…溝部、５０７…突壁、５０８…ネジ部、５０９…ネジ穴、
６…対物レンズ、６０１…対物ネジ、７…スプラインスリーブ、
８…スリーブ固定ネジ、９…差動ツマミ、９０１…筒体、９０２…筒体
９０３…ネジ部、９０４…ネジ部、１０…粗動ツマミ、１００１…ツマミ本体、
１００２…突出部、１００３…ネジ部、１００３．９０４…ネジ部、
１００４…孔部、１００５…ネジ穴、１００６…突壁部、１１…ガイドネジ
１２…ステージ、１３…圧縮コイルばね、１４…鏡筒、１５…接眼レンズ
１６…撮影装置取付部、２１…ステージ、２１０１…溝部、
２１０２、２１０３…透孔、２２…試料（プレパラート）、
２３．２９、３０…微調整用カム、２３ａ．２９ａ、３０ａ…段部
２３０１…軸部、２３０２…テーパ部、２４…ネジ部、２５．３１…微動ツマミ
２６．３２…ローラ、２６ａ．３２ａ…段部、２７．３３…回動棒
２８…引張りバネ、２９０１．３００１…軸部、３０１…連結棒、３２…ローラ
３２ａ…段部、３３…回動棒、３４…引張りバネ、４１…ステージ、
４１０１…透孔、４２．４３…板バネ取付部材、４４．４５…板バネ
５１…ステージ、５１０１…透孔、５２…試料（プレパラート）
５３、５４…吸着座ぐり部、５５．５６…空気孔、５７．５８…継手
５９．６０…エアチューブ、６１…ステージ、６１０１…透孔、６２…座金
６３…ネジ、７１…ステージ、７１０１…透孔、７２…被せ板
７２０１…透孔、７２０２…溝部、７２０３…開口部、７３…ネジ
７４…試料（プレパラート）、７５…板バネ、８１…ステージ、８１０１…透孔
８２…被せ板、８２０１…透孔、８２０２…段部、８２０３…切り欠き部
８３…ネジ
【図１】
2005003992.tif 000003
【図２】
2005003992.tif 000004
【図３】
2005003992.tif 000005
【図４】
2005003992.tif 000006
【図５】
2005003992.tif 000007
【図６】
2005003992.tif 000008
【図７】
2005003992.tif 000009
【図８】
2005003992.tif 000010
【図９】
2005003992.tif 000011
【図１０】
2005003992.tif 000012
【図１１】
2005003992.tif 000013
【図１２】
2005003992.tif 000014
【図１３】
2005003992.tif 000015