(57)【要約】【課題】  電気光学装置の検査精度を向上させる。【解決手段】  一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる投射型表示用の電気光学装置を検査する検査装置であって、電気光学装置に光を照射する光源手段と、電気光学物質層から出射された光をスクリーン上に投射する投射レンズを含む投射光学系とを備えており、投射レンズは、電気光学物質層に対応する焦点深度を有しており、投射光学系は、投射レンズの焦点深度を、電気光学装置における電気光学物質層から基板の外側表面に至る部分に対応するまで深くすることが可能な可変絞り又は交換可能絞りを更に含む。【選択図】      図５
2005107402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる投射型表示用の電気光学装置を検査する検査装置であって、
前記電気光学装置に光を照射する光源手段と、
前記電気光学物質層から出射された光をスクリーン上に投射する投射レンズを含む投射光学系と
を備えており、
前記投射レンズは、前記電気光学物質層に対応する焦点深度を有しており、
前記投射光学系は、前記投射レンズの焦点深度を、前記電気光学装置における前記電気光学物質層から前記基板の外側表面に至る部分に対応するまで深くすることが可能な可変絞り又は交換可能絞りを更に含むこと
を特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項２】
前記光源手段は、光源と、該光源から出射された光を前記電気光学装置に集光する集光手段とを含むこと
を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項３】
前記電気光学装置における画像表示領域に所定の検査パターンを表示させるべく前記前記電気光学装置に対して検査用駆動信号を印加可能な検査用駆動手段を更に備えたこと
を特徴とする請求項１又は２に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項４】
前記基板の外側表面には、透明板部材が貼り合わせられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項５】
前記透明板部材は、防塵ガラス又はカバーガラスを含むことを特徴とする請求項４に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項６】
前記交換可能絞りは、相異なる開口径を有する複数の絞りであってそれらのうち一つが選択されて前記投射光学系内における前記光の光路に配置可能に構成されていること
を特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項７】
一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる投射型表示用の電気光学装置を検査する検査方法であって、
前記電気光学装置に照射され且つ前記電気光学物質層を介して出射される光を、投射レンズによって、前記投射レンズの焦点深度を前記電気光学物質層に対応させた状態で、スクリーン上へ投射する工程と、
可変絞り又は交換可能絞りによって前記電気光学装置における前記電気光学物質層から前記基板の外側表面に至る部分に対応するまで前記投射レンズの焦点深度を深くさせた状態で、前記出射される光を前記投射レンズによって前記スクリーン上へ投射する工程と
を含むことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項８】
請求項７に記載の検査方法を用いて電気光学装置を検査する工程を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶プロジェクタ等の投射型表示装置にライトバルブとして用いられる液晶パネル等の電気光学装置の検査装置及び検査方法、並びに該検査方法を含む電気光学装置の製造方法の技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置によれば、一対の基板間に電気光学物質層を挟持してなる電気光学装置によって表示された検査パターンをスクリーン上に映して確認することにより、検査が行われる。このような検査装置を用いれば、電気光学装置を実際に投射型表示装置に組み込んだ状態と同様の状態において検査することが可能となる。
【０００３】
検査装置には、スクリーン上に検査パターンを表示するために、投射型表示装置で用いられるもの（例えば特許文献１参照）と同様の投射光学系が設けられている。この投射光学系には投射レンズが含まれる。また、電気光学装置において、一対の基板の各々の電気光学物質層に面する側と反対側の表面には、防塵ガラス等が貼り合わされて設けられている。
【０００４】
検査パターンの確認は、まず、投射光学系の投射レンズの焦点を電気光学装置における電気光学物質層内の所定位置に合わせることによって行われる。このとき、投射レンズの焦点深度は、該投射レンズの焦点が電気光学物質層内に合う程度に浅いため、その後、投射レンズの焦点を、電気光学装置における電気光学物質層から防塵ガラス等の貼り合わせ面にずらすことで、該貼り合わせ面に存在するゴミやキズの確認を行うことが可能になる。検査パターンの確認は、投射レンズの焦点を電気光学物質層内に合わせた状態と、前記貼り合わせ面に合わせた状態とで、スクリーン上の表示画面を比較することによって行われる。
【０００５】
【特許文献１】特開平５−１８８３４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような検査装置では、例えば手動で投射レンズの焦点をずらして電気光学装置の検査が行われる。
【０００７】
よって、投射レンズの焦点合わせを正確に行うことは困難であり、電気光学装置における前記貼り合わせ面のゴミやキズを検出し損う恐れがある。特に、投射レンズの焦点深度は、上述の如く比較的浅いため、焦点深度に含まれないゴミやキズを検出し損なう可能性は総じて高くなってしまう。その結果、電気光学装置の検査精度が低下するという問題が生じる。
【０００８】
本発明は、上記問題点に鑑み成されたものであり、液晶パネル等の電気光学装置の検査を精度良く行うことが可能な電気光学装置の検査装置及び検査方法、並びに該検査方法を含む電気光学装置の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の電気光学装置の検査装置は上記課題を解決するために、一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる投射型表示用の電気光学装置を検査する検査装置であって、前記電気光学装置に光を照射する光源手段と、前記電気光学物質層から出射された光をスクリーン上に投射する投射レンズを含む投射光学系とを備えており、前記投射レンズは、前記電気光学物質層に対応する焦点深度を有しており、前記投射光学系は、前記投射レンズの焦点深度を、前記電気光学装置における前記電気光学物質層から前記基板の外側表面に至る部分に対応するまで深くすることが可能な可変絞り又は交換可能絞りを更に含む。
【００１０】
本発明の電気光学装置の検査装置では、電気光学装置に照射された光は、例えば、電気光学物質層を介して透過光として、該電気光学物質層から出射される。尚、電気光学物質層から出射される光は透過光に限定されず、例えば反射型の電気光学装置を用いるとすれば、電気光学物質層を介して反射光として出射される。
【００１１】
ここに、電気光学装置における「基板の外側表面」とは、電気光学物質層に面する側と反対側の表面を意味する。係る外側表面には、例えば防塵ガラスやカバーガラス、防熱ガラス等が貼り合わされて設けられる。よって、該外側表面は、貼り合わせ界面とされる。
【００１２】
投射光学系には、投射レンズに対して可変絞り又は交換可能絞りが設けられる。本発明に係る「可変絞り」とは、投射レンズに対して、絞りなしの状態をとることも可能である、例えばカメラの絞りの如く、開口径を可変な絞りを意味する。また、本発明に係る「交換可能絞り」とは、投射レンズに対して絞りなしの状態をとることも可能である、交換可能な絞りを意味し、一種類又は複数種類の開口径の絞りを含んでなる。以下、可変絞り又は交換可能絞りを単に絞りと称することもある。
【００１３】
本発明の検査装置では、絞りなしの状態から絞りを絞った状態とすることにより、投射レンズの焦点深度を変化させる。絞りなしの状態では、投射レンズの焦点深度は電気光学装置において電気光学物質層に対応する、即ち電気光学物質層に焦点が合った状態となる。また、絞りなしの状態では、投射レンズの焦点は電気光学物質層内の所定位置に合わせる。
【００１４】
他方、絞りを絞った状態では、投射レンズの焦点を電気光学物質層内の所定位置に合わせたまま、投射レンズの焦点深度は電気光学物質層から前記基板の外側表面に至る部分に対応する、即ち電気光学物質層から前記基板の外側表面に至る部分にまで焦点が合った状態となる。尚、可変絞りでは、絞りなしの状態より開口径を小さくすることによって、絞りを絞った状態を実現する。また、交換可能絞りでは、絞りなしの状態で用いた一の絞りに換えて、該一の絞りより開口径の小さい他の絞りを用いることによって、絞りを絞った状態が実現される。
【００１５】
よって、電気光学装置において所定の検査パターンを表示させるとすれば、絞りなしの状態では、スクリーン上には電気光学装置における表示画像が投射される。この状態では、焦点深度が浅く、即ち電気光学物質層の層厚に対応しているので、スクリーン上の表示画面を確認することにより、電気光学物質層に係る検査、例えば点欠陥等について検査を行うことが可能となる。
【００１６】
他方、絞りを絞った状態では、焦点深度が深く、即ち基板の外側表面を含む電気光学物質層及び一対の基板の合計層厚に対応しているので、スクリーン上には前述の表示画像の他、前記基板の外側表面に存在するゴミやキズが、例えばその形状に応じた影として投射されることになる。よって、スクリーン上の表示画面において、前記ゴミやキズを視認することができる。従って、絞りを絞った状態では、スクリーン上の画像表示に影響を与える程度のゴミやキズが前記基板の外側表面にあるか否かについての検査を行うことが可能である。
【００１７】
このように、本発明の検査装置によれば、投射光学系の投射レンズの焦点を電気光学層内に合わせた状態で、絞りを絞ったり開いたりして投射レンズの焦点深度を変化させる。絞りの開口径を変化させることにより、絞りを開く即ち絞りなしの状態、及び絞りを絞った状態を容易に切り替えて実現することができる。また、上述した２種の検査を切り替えて行う場合に、焦点合わせを容易且つ正確に行うことができるため、電気光学装置において基板の外側表面に存在するゴミやキズを見落とす事態を防ぐことが可能となる。
【００１８】
以上の結果、本発明の検査装置を用いて電気光学装置の検査を行った場合、基板の外側表面に、絞りなしの状態では見落としてしまうようなゴミやキズが存在する電気光学装置を確実に検出することができる。従って、本発明の検査装置では、電気光学装置の検査における検査精度を向上させることができる。
【００１９】
本発明の電気光学装置の検査装置の一態様では、前記光源手段は、光源と、該光源から出射された光を前記電気光学装置に集光する集光手段とを含む。
【００２０】
この態様によれば、集光手段を用いることにより、光源から出射する光を効率良く電気光学装置に照射させることが可能となる。
【００２１】
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記電気光学装置における画像表示領域に所定の検査パターンを表示させるべく前記前記電気光学装置に対して検査用駆動信号を印加可能な検査用駆動手段を更に備える。
【００２２】
この態様において、電気光学装置には、好ましくは駆動信号が供給される外部回路接続用端子又は検査用の端子が設けられており、検査用駆動手段には例えばプローブが設けられている。そして、該プローブを介して、電気光学装置における外部回路接続用端子又は検査用の端子に検査用駆動信号が供給される。電気光学装置では、検査用駆動信号に基づいて、画像表示領域に所定の検査パターンが表示される。
【００２３】
電気光学装置では所定の検査パターンの表示は、例えば全白表示として行われる。検査パターンの表示が全白表示として行われると、電気光学装置における前記基板の外側表面に存在するゴミやキズは、スクリーン上の表示画面において例えばゴミやキズの形状に応じた影として表示される。また、検査パターンの表示が全黒表示として行われると、スクリーン上の表示画面において例えば前記基板の外側表面に存在するゴミやキズが白く光って表示される。よって、スクリーン上の表示画面において、前記基板の外側表面に存在するゴミやキズを目視により容易に確認することが可能となる。
【００２４】
更に、検査パターンの表示において、所定の画素によって比較用表示が行われてもよい。該比較用表示は、例えば全白表示では黒表示として行われ、全黒表示では白表示として行われる。このようにすれば、比較用表示によって、上述のようにスクリーン上に表示されたゴミやキズの実際の大きさを測ることが可能となる。例えば、比較用表示を一画素で行い、該一画素の大きさと、スクリーン上に表示されたゴミやキズの大きさとを比較することにより、画像表示領域を平面的に見た場合における一画素分の大きさに対する、前述のゴミやキズの実際の相対的な大きさを測ることが可能となる。よって、この態様によれば、電気光学装置に基板の外側表面に存在するゴミやキズの大きさを特定することが可能となる。
【００２５】
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記基板の外側表面には、透明板部材が貼り合わせられている。
【００２６】
この態様において、透明板部材は、例えば防塵ガラスやカバーガラスとして構成される。ここに、電気光学装置の製造工程において、電気光学装置の前記基板の外側表面は、防塵ガラス等の貼り合わせ界面となる。そして、該貼り合わせ界面に付着した埃や塵等は、防塵ガラス等の貼り合わせ工程の後にクリーニングを行っても除去することはほぼ不可能である。
【００２７】
例えば、透明板部材を防塵ガラスとして構成すれば、当該透明板部材の貼り合わせ界面、即ち前記基板の外側表面に付着した埃や塵が、スクリーン上の表示画面に表示されるのを防止する、デフォーカス作用を得られる。このデフォーカス作用によれば、絞りなしの状態ではスクリーン上の表示画面に、前記基板の外側表面に付着した埃や塵は、ぼけた状態で表示される。
【００２８】
この態様によれば、このように絞りなしの状態ではスクリーン上の表示画面で視認が困難となる埃や塵が前記基板の外側表面に付着しているか否かについて確実に検査することができるようになる。
【００２９】
この透明板部材が貼り合わせられる態様では、前記透明板部材は、防塵ガラス又はカバーガラスを含むように構成してもよい。
【００３０】
このように構成すれば、電気光学装置の前記基板の外側表面に防塵ガラスが貼り合わせられ、更に防塵ガラスにおける前記貼り合わせ面と反対側の表面にカバーガラスが貼り合わされて設けられている場合も、各貼り合わせ界面に存在するゴミやキズについて検査することが可能となる。より具体的には、投射光学系において絞りを絞って、投射レンズの焦点深度を深くして、即ち電気光学装置における電気光学物質層から前記基板の外側表面に至る部分、更には電気光学物質層から防塵ガラスとカバーガラスとの貼り合わせ界面に至る部分に対応させて、スクリーン上の表示画面を確認することにより、各貼り合わせ界面に存在するゴミやキズについて検査することが可能となる。
【００３１】
本発明の電気光学装置の検査装置の他の態様では、前記交換可能絞りは、相異なる開口径を有する複数の絞りであってそれらのうち一つが選択されて前記投射光学系内における前記光の光路に配置可能に構成されている。
【００３２】
この態様によれば、複数種類の電気光学装置の検査を行う際、電気光学装置の種類に応じて交換可能絞りを交換して異なる開口径として、投射レンズの焦点深度を変化させることが可能となる。また、開口の形状の異なる複数種類の交換可能絞りを交換して用いることにより、投射レンズから出射させる光を、開口の形状に応じて制限することができる。よって、実際の投射型表示装置の構成に応じて当該検査装置における交換可能絞りの形状を変化させることが可能となり、実際の投射型表示装置において行われる表示に近い画像表示を、スクリーン上にて行うことが可能となる。
【００３３】
本発明の電気光学装置の検査方法は上記課題を解決するために、一対の基板間に電気光学物質層が挟持されてなる投射型表示用の電気光学装置を検査する検査方法であって、前記電気光学装置に照射され且つ前記電気光学物質層を介して出射される光を、投射レンズによって、前記投射レンズの焦点深度を前記電気光学物質層に対応させた状態で、スクリーン上へ投射する工程と、可変絞り又は交換可能絞りによって前記電気光学装置における前記電気光学物質層から前記基板の外側表面に至る部分に対応するまで前記投射レンズの焦点深度を深くさせた状態で、前記出射される光を前記投射レンズによって前記スクリーン上へ投射する工程とを含む。
【００３４】
本発明の電気光学装置の検査方法では、前述した本発明の検査装置と同様に、基板の外側表面に、絞りなしの状態では見落としてしまうようなゴミやキズが存在する電気光学装置を確実に検出することができる。従って、電気光学装置の検査における検査精度を向上させることができる。
【００３５】
本発明の電気光学装置の製造方法では、前記検査方法を用いて電気光学装置を検査する工程を含むことを特徴とする。
【００３６】
本発明の電気光学装置の製造方法によれば、電気光学装置の検査工程における検査精度が向上されるので、後工程に送品される電気光学装置の良品率が向上し、無駄となる工数を省くことができる。あるいは、出荷される製品の良品率が向上し、信頼性の向上に効果がある。
【００３７】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下では、本発明の実施の形態を図を参照しつつ説明する。本実施形態では、投射型の電気光学装置として投射型液晶装置の検査を行うものとする。
【００３９】
＜１：電気光学装置の構成＞
まず、本実施形態に係る電気光学装置の構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに、図１は、ＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た電気光学パネルの平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【００４０】
ここでは、電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。この液晶装置は、液晶プロジェクタ等の投射型表示装置においてライトバルブとして用いられる。
【００４１】
図１及び図２において、本実施形態に係る電気光学装置では、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【００４２】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。即ち、本実施形態の電気光学装置は、プロジェクタのライトバルブ用として小型で拡大表示を行うのに適している。
【００４３】
シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。
【００４４】
画像表示領域１０ａの周辺に広がる領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。また、走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。更に、このように画像表示領域１０ａの両側に設けられた二つの走査線駆動回路１０４間をつなぐため、ＴＦＴアレイ基板１０の残る一辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして複数の配線１０５が設けられている。尚、外部回路接続端子１０２と別に後述する検査用駆動信号が印加される検査用の端子（図示省略）が設けられてもよい。
【００４５】
また、対向基板２０の４つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材１０６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。
【００４６】
図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板２０上には、対向電極２１の他、格子状又はストライプ状の遮光膜２３、更には最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。更に、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の対向面の背面側には配向方向に応じた偏光板（図示省略）が設けられる。
【００４７】
なお、図１及び図２に示したＴＦＴアレイ基板１０上には、これらのデータ線駆動回路１０１、走査線駆動回路１０４等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
【００４８】
＜２：画素部における構成＞
以下では、本実施形態における電気光学装置の画素部における構成について、図３を参照して説明する。ここに図３は、電気光学装置の画像表示領域１０ａを構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路である。
【００４９】
図３において、本実施形態における電気光学装置の画像表示領域１０ａを構成するマトリクス状に形成された複数の画素には、それぞれ、画素電極９ａと当該画素電極９ａをスイッチング制御するためのＴＦＴ３０とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線６ａが当該ＴＦＴ３０のソースに電気的に接続されている。データ線６ａに書き込む画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線６ａ同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
【００５０】
また、ＴＦＴ３０のゲートにゲート電極３ａが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線１１ａ及びゲート電極３ａにパルス的に走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極９ａは、ＴＦＴ３０のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるＴＦＴ３０を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線６ａから供給される画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定のタイミングで書き込む。
【００５１】
画素電極９ａを介して電気光学物質の一例としての液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎは、対向基板に形成された対向電極との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射する。
【００５２】
ここで保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極９ａと対向電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量７０を付加する。この蓄積容量７０は、走査線１１ａに並んで設けられ、固定電位側容量電極を含むとともに定電位に固定された容量電極３００を含んでいる。
【００５３】
図１において、走査線駆動回路１０４は、上述の如く走査信号Ｇ１、Ｇ２、…、Ｇｍを所定タイミングで走査線３ａに供給し（図３参照）、データ線駆動回路１０１は、上述の如く画像信号Ｓ１、Ｓ２、…、Ｓｎを所定タイミングでデータ線６ａに供給する（図３参照）。
【００５４】
＜３：電気光学装置のモジュール構成＞
本実施形態では、モジュール化された電気光学装置が用いられる。次に、このようなモジュールの構成について図４を参照して説明する。図４には、電気光学装置のモジュールにおける一部分の構成を斜視図として概略的に示してある。
【００５５】
図４に示すように、図１及び図２に示した電気光学装置において、その外部回路接続端子１０２又は検査用の端子にはフレキシブルコネクタ４０１が接続される。また、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面、即ち液晶層５０に面する側と反対側の表面に、防塵ガラス４０２を貼り合わせて設けてある。即ち、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面は、防塵ガラス４０２の貼り合わせ界面となる。
【００５６】
そして、電気光学装置は、フレキシブルコネクタ４０１及び防塵ガラス４０２が設けられた状態で、更に図４には図示しない実装ケースに収容される。尚、偏光板や位相差板は後述する検査装置における光学系に備えるようにしてもよいし、防塵ガラス４０２のＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０いずれかに対する貼り合わせ面と反対側の表面に重ねてもよい。
【００５７】
＜４：検査装置の構成＞
図５を参照して、検査装置の構成について説明する。図５には、検査装置の構成を概略的に示してある。
【００５８】
図５において、検査装置５００は、主要部として、光源５０２及び入射側光学系５０４、並びに投射レンズを含む投射光学系５０８を備えている。入射側光学系５０４は本発明に係る「集光手段」に相当し、光源５０２及び入射側光学系５０４によって本発明に係る「光源手段」が構成される。図５には、検査装置５００において、各光学系が共通の光軸５２０を有する構成について示してあるが、入射側光学系５０４の光軸に対して投射光学系５０８の光軸が相対的に上側に配置されるようにしてもよい。
【００５９】
検査装置５００において、電気光学装置５０６は入射側光学系５０４及び投射光学系５０８の間に設けられる。更に検査装置５００には、電気光学装置５０６に対して検査用駆動信号を供給するための、検査用駆動手段５５０が設けられる。検査用駆動手段５５０は例えば、検査用駆動信号Ｓｄを、電気光学装置の外部回路接続用端子に印加するためのプローブや、フレキシブルコネクタを介して印加するための接続部を有する。
【００６０】
入射側光学系５０４は、２種のマルチレンズ５１０ａ及び５１０ｂ、偏光変換素子５１２、及び集光レンズ５１４を用いて構成される。そして、入射側光学系５０４は、光源５０２から２種のマルチレンズ５１０ａ及び５１０ｂに入射された光を偏光変換素子５１２を介して集光レンズ５１４によって集光して、電気光学装置５０６の画像表示領域１０ａに照射する。よって、入射側光学系５０４を設けることにより、光源５０２からの出射光を効率良く電気光学装置５０６に照射させることが可能となる。
【００６１】
ここに、図５にはモジュール化された電気光学装置５０６の主要部の構成として、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０、該ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０に挟持された液晶層５０並びに防塵ガラス４０２を示し、その他、実装ケース等の各種構成要素の図示を省略してある。検査装置５００において、電気光学装置５０６は、対向基板２０側から光が入射されＴＦＴアレイ基板１０側から透過光が出射されるように設けられている。
【００６２】
投射光学系５０８において、投射レンズは２枚のレンズ５１６ａ及び５１６ｂによって構成されると共に、該投射レンズに対して可変絞り５１８が設けられている。投射光学系５０８において、可変絞り５１８は２枚のレンズ５１６ａ及び５１６ｂ間に設けられる。電気光学装置５０６における透過光は投射光学系５０８に入射され、２枚のレンズ５１６ａ及び５１６ｂによって図５には図示しないスクリーン上に投射される。
【００６３】
尚、検査装置５００には投射光学系５０８から出射される光の光路を調整するために、図５には図示しない所定の位置にミラーが配置されてもよい。
【００６４】
以上説明した検査装置５００の構成によれば、各光学系を実際の投射型表示装置と概ね同様の構成となるように配置して設けることで、電気光学装置５０６を実際に投射型表示装置に組み込んだ状態と同様の状態において検査することが可能となる。
【００６５】
＜５：電気光学装置の検査＞
次に、図５の他、図６及び図７を参照して、検査装置５００によって行われる電気光学装置５０６の検査について説明する。図６（ａ）及び図６（ｂ）は、電気光学装置５０６の検査における投射レンズの焦点深度について説明するための模式図であり、図７（ａ）及び図７（ｂ）は、スクリーン上に拡大投射された画像の一例を概略的に示す図である。
【００６６】
検査時、検査用駆動手段５５０から検査用駆動信号Ｓｄが出力される。電気光学装置５０６では、供給された検査用駆動信号Ｓｄに基づいて、走査線駆動回路１０４及びデータ線駆動回路１０１より出力される走査信号Ｇ１、Ｇ２、・・・、Ｇｍ及び画像信号Ｓ１、Ｓ２、・・・、Ｓｎが各画素部に供給されることによって、画像表示領域１０ａに所定の検査パターンが表示される。本実施形態では、画像表示領域１０ａにおいて、所定の検査パターンの表示は好ましくは全白表示又は全黒表示として行われる。尚、ノーマリーホワイトモードの電気光学装置であれば、検査用駆動信号Ｓｄが印加されていない状態で、全白表示の検査を行なうことも可能であり、ノーマリーブラックモードの電気光学装置であれば、検査用駆動信号Ｓｄが印加されていない状態で、全黒表示の検査を行なうことも可能である。
【００６７】
そして、投射光学系５０８において、可変絞り５１８を絞ったり開いたりして投射レンズの焦点深度を変化させて、スクリーン上に、電気光学装置５０６において表示された所定の検査パターンを投射させる。
【００６８】
可変絞り５１８を完全に開くと絞りなしの状態と同等の状態となる。図６（ａ）において、絞りなしの状態では、投射レンズの焦点６０１は、液晶層５０内における光軸５２０に沿った位置に合った状態となり、焦点深度ｄ１は液晶層５０に対応する深さを有する。即ち絞りなしの状態では、投射レンズの焦点は、液晶層５０に合った状態となる。
【００６９】
他方、図６（ｂ）において、可変絞り５１８を絞った状態では、投射レンズの焦点６０１が上述した位置に合った状態のまま、焦点深度ｄ２が、液晶層５０からＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面に至る部分に対応する深さを有するように変化する。即ち可変絞り５１８を絞った状態では、液晶層５０からＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面に至る部分にまで投射レンズの焦点が合った状態となる。
【００７０】
ここに、図７（ａ）には絞りなしの状態における、スクリーン上の表示画面の一例を示してあり、図７（ｂ）には可変絞り５１８を絞った状態における、スクリーン上の表示画面の一例を示してある。尚、図７（ａ）及び図７（ｂ）には、電気光学装置５０６において検査パターンとして全黒表示を行った場合の、スクリーン上の表示画面を示す。
【００７１】
図７（ａ）において、防塵ガラス４０２の貼り合わせ界面に前述したように付着したゴミが存在する場合、このゴミは、防塵ガラス４０２のデフォーカス作用により、スクリーン上の表示画面７０２ａに、焦点ぼけした状態で表示される。よって、スクリーン上の表示画面７０２ａは、電気光学装置５０６によって表示された検査パターンが投射されたものとなる。このような表示画面７０２ａを確認することにより、例えば点欠陥等について検査が行われる。
【００７２】
他方、図７（ｂ）では、防塵ガラス４０２の貼り合わせ界面に付着したゴミは、表示画面７０２ｂの中央付近に鮮明に白く光って表示される。よって、このような表示画面７０２ｂにおいて、防塵ガラス４０２の貼り合わせ界面に付着したゴミを視認することが可能となる。よって、スクリーン上の表示画面７０２ｂを確認することにより、スクリーン上の画像表示に影響を与える程度のゴミやキズが防塵ガラス４０２の貼り合わせ界面にあるか否かについての検査を行うことが可能となる。
【００７３】
以上説明したように本実施形態によれば、投射光学系５０８の投射レンズの焦点を液晶層５０内に合わせた状態で、可変絞り５１８を絞ったり開いたりして投射レンズの焦点深度を変化させる。可変絞り５１８の開口径を変化させることにより、絞りなしの状態、及び絞りを絞った状態を容易に切り替えて実現することができる。また、上述した２種の検査を切り替えて行う場合に、焦点合わせを正確に行うことができるため、電気光学装置において基板の外側表面に存在するゴミやキズを見落とす事態を防ぐことが可能となる。
【００７４】
よって、本発明の検査装置を用いて電気光学装置の検査を行った場合、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面に、絞りなしの状態では見落としてしまうようなゴミやキズが存在する電気光学装置を確実に検出することができる。従って、本実施形態では、電気光学装置の検査における検査精度を向上させることができる。
【００７５】
ここで、電気光学装置の製造工程において、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面、即ち防塵ガラス４０２の貼り合わせ工程で、防塵ガラス４０２の貼り合わせ界面に埃や塵等が付着した場合は、貼り合わせ面の接着剤等が硬化する前に本検査を導入することで、再貼り合わせによる再生が可能になる。
【００７６】
＜６：変形例＞
次に、本実施形態に係る変形例について説明する。投射光学系５０８において、可変絞り５１８に換えて又は加えて交換可能絞りを用いてもよい。交換可能絞りを可変絞り５１８に換えて用いる場合は、少なくとも開口径の異なる２種類の絞りを手動により、又は自動的に交換して、絞りなしの状態と絞りを絞った状態が実現される。
【００７７】
また、交換可能絞りを用いる場合、相異なる開口径を有する複数の絞りであってそれらのうち一つが手動により又は自動的に選択されて、投射光学系５０８内における光の光路に配置するようにしてもよい。このように構成すれば、複数種類の電気光学装置の検査を行う際、電気光学装置の種類に応じて交換可能絞りを交換して異なる開口径として、投射レンズの焦点深度を変化させることが可能となる。
【００７８】
ここに、投射型表示装置では、スクリーン上における画像の表示位置を調整するため、投射レンズは電気光学装置に対して相対的に上方に配置される。更に前述した調整のため、投射レンズの断面形状を変化させて入射される電気光学装置からの透過光を制限することにより、投射レンズの出射光を調整することがある。このような構成に鑑み、検査装置５００でも投射光学系５０８において、開口の形状の異なる複数種類の交換可能絞りを交換して用いることにより、投射レンズから出射させる光を、開口の形状に応じて制限することができる。よって、実際の投射型表示装置において行われる表示に近い画像表示を、スクリーン上にて行うことが可能となる。
【００７９】
更に、防塵ガラス４０２に換えて又は加えて透明板部材としてカバーガラスや防熱ガラスが、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面に貼り合わせて設けられてもよい。また、透明板部材は、偏光板、位相差板、位相差フィルムなど、その他の光学部材であってもよい。
【００８０】
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、本変形例における投射レンズの焦点深度について説明するための模式図である。図８（ａ）及び図８（ｂ）には、防塵ガラス４０２及びカバーガラス８０２によって構成される透明板部材が、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面に貼り合わせて設けられた電気光学装置について示してある。より具体的には、電気光学装置において、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面に防塵ガラス４０２が貼り合わせられ、更に防塵ガラス４０２における前記貼り合わせ面と反対側の表面にカバーガラス８０２が貼り合わされて設けられている。即ち、防塵ガラス４０２における前記貼り合わせ面と反対側の表面は、カバーガラス８０２の貼り合わせ界面となる。
【００８１】
図８（ａ）は図６（ｂ）と同様の状態、即ち可変絞り５１８を絞った状態で、投射レンズの焦点８０４が液晶層５０内に合った状態にあり、且つ焦点深度ｄ２は液晶層５０からＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面に至る部分に対応する状態が示されている。この状態で、スクリーン上の表示画面を確認することにより、防塵ガラス４０２の貼り合わせ界面にゴミ等が存在するか否かについて検査を行うことが可能である。
【００８２】
また、図８（ｂ）には、図８（ａ）に示す状態から、更に可変絞り５１８を絞って、投射レンズの焦点８０４が液晶層５０内に合った状態のまま、焦点深度ｄ３が、液晶層５０からカバーガラス８０２の貼り合わせ界面に至る部分に対応する状態を示してある。この状態では、スクリーン上の表示画面を確認することにより、更にカバーガラス８０２の貼り合わせ界面にゴミ等が存在するか否かについて検査を行うことが可能となる。
【００８３】
更に、電気光学装置５０６は所定の検査パターンの表示において、比較用表示を行ってもよい。該比較用表示は、電気光学装置５０６の画像表示領域１０ａにおける複数の画素部のうち、所定の画素部によって行われる。図９を参照して、所定の検査パターンにおいて行われる比較用表示について説明する。図９には、比較用表示が行われる場合のスクリーン上の表示画面の一例を示してある。
【００８４】
ここでは、電気光学装置５０６において検査パターンとして全白表示が行われると共に、画像表示領域１０ａにおける一つの画素部によって、比較用表示が黒表示として行われるとする。
【００８５】
図９には、図６（ｂ）と同様の状態、即ち投射光学系５０８において可変絞り５１８を絞って、液晶層５０からＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面に至る部分にまで投射レンズの焦点が合った状態での、スクリーン上の表示画面の一例を示してある。
【００８６】
図９において、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面にゴミが付着している場合、表示画面９０２には比較用表示９０４及びゴミの形状に応じた影９０６が表示される。比較用表示９０４の大きさは一画素の大きさに相当する。
【００８７】
そして、表示画面９０２において、比較用表示９０４の大きさと影９０６の大きさとを比較することにより、画像表示領域１０ａを平面的に見た場合における一画素分の大きさに対する、前述のゴミの実際の相対的な大きさを測ることが可能となる。表示画面９０２では、影９０６の大きさは比較用表示９０４の大きさより一回り大きいことが確認できるため、実際のゴミの大きさは画像表示領域１０ａにおける一画素分の大きさと同等であることが分かる。
【００８８】
よって、電気光学装置５０６において、ＴＦＴアレイ基板１０及び対向基板２０の各々の外側表面に付着したゴミの大きさを特定することが可能となる。
【００８９】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置の検査装置及び検査方法、該検査方法を含む電気光学装置の製造方法もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】電気光学パネルの全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【図３】電気光学パネルの画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素部における各種素子、配線等の等価回路である。
【図４】電気光学装置のモジュールにおける一部分の構成を概略的に示す斜視図である。
【図５】検査装置の構成を概略的に示す図である。
【図６】図６（ａ）及び図６（ｂ）は、電気光学装置の検査における投射レンズの焦点深度について説明するための模式図である。
【図７】図７（ａ）及び図７（ｂ）は、スクリーン上に拡大投射された画像の一例を概略的に示す図である。
【図８】図８（ａ）及び図８（ｂ）は、変形例における投射レンズの焦点深度について説明するための模式図である。
【図９】スクリーン上の表示画面の一例を概略的に示す図である。
【符号の説明】
【００９１】
５００…検査装置
５０２…光源
５０４…入射側光学系
５０６…電気光学装置
５０８…投射光学系
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005107402.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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