(57)【要約】【課題】電子部品吸着装置の作業時間を短縮すること。【解決手段】電子部品吸着装置において、ノズル保持部がノズル移動手段により移動されて、ノズル保持部に備えられる吸着ノズルが電子部品を吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に、圧力検出手段は、少なくとも１回、吸着ノズル内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出する構成にし、吸着ノズルが電子部品を吸着することができる所定の吸着圧力に達したことを検出した後に電子部品の吸着を行うようにした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
先端部で電子部品を吸着する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルを備えるノズル保持部と、
前記ノズル保持部を移動させるノズル移動手段と、
前記吸着ノズル内の圧力が所定の吸着圧力に達したか否かを検出する圧力検出手段と、を備える電子部品吸着装置であって、
前記圧力検出手段は、前記吸着ノズルが前記電子部品を吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に、少なくとも１回、前記吸着ノズル内の圧力の検出を行うことを特徴とする電子部品吸着装置。
【請求項２】
前記圧力検出手段は、前記吸着ノズルが前記電子部品を吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に行った圧力の検出後、所定の間隔で複数回の圧力の検出を行うことを特徴とする請求項１に記載の電子部品吸着装置。
【請求項３】
前記圧力検出手段が、前記吸着ノズルが前記電子部品を吸着することができる所定の吸着圧力を検出しなかった場合に、吸着異常であるとの判断を行う判断手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の電子部品吸着装置。
【請求項４】
先端部で電子部品を吸着する吸着ノズルと、
前記吸着ノズルを着脱可能に吸着保持するノズル保持部と、
前記ノズル保持部を移動させるノズル移動手段と、
前記ノズル保持部内の圧力が所定の吸着圧力に達したか否かを検出する圧力検出手段と、を備える電子部品吸着装置であって、
前記圧力検出手段は、前記ノズル保持部が前記吸着ノズルを吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に、少なくとも１回、前記ノズル保持部内の圧力の検出を行うことを特徴とする電子部品吸着装置。
【請求項５】
前記圧力検出手段は、前記ノズル保持部が前記吸着ノズルを吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に行った圧力の検出後、所定の間隔で複数回の圧力の検出を行うことを特徴とする請求項４に記載の電子部品吸着装置。
【請求項６】
前記圧力検出手段が、前記ノズル保持部が前記吸着ノズルを吸着することができる所定の吸着圧力を検出しなかった場合に、吸着異常であるとの判断を行う判断手段を備えることを特徴とする請求項４又は５に記載の電子部品吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を吸着保持する電子部品吸着装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、チップマウンタなどのように、吸着ノズルの先端部に電子部品を真空吸着することで保持し、その吸着ノズルを備えた吸着ヘッドを移動させることにより、所定の基板やステージ上に電子部品を搬送する電子部品吸着装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
このような電子部品吸着装置において、より確実に電子部品の搬送を行うため、吸着ノズルの先端部に電子部品が吸着保持されているか否かを判定することが行われる。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−５９１００号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献１の場合、電子部品吸着装置において、吸着ノズルの先端部に電子部品を吸着したか否かを判定する際は、吸着ノズルが電子部品を吸着保持する動作を行った後に、吸着ノズルにおける貫通孔内の圧力を検出し、所定の負圧（真空圧）になっているか否かを確認することで行われる。
そのため、所定の負圧（真空圧）になっておらず、吸着ノズルの先端部に電子部品が吸着保持されていないと判定された場合は、再度吸着ノズルが電子部品を吸着保持する動作を行うことになるので、電子部品の搬送に関する作業時間はその分長くなってしまうという問題があった。
また、吸着ノズルの先端部に電子部品を吸着する動作を行う際には、吸着ノズルが電子部品を吸着することができる状態に貫通孔内の圧力がより減圧されているようにするために、その動作時間（タクトタイム）を長めにする必要があるので、作業時間は長くなる問題があった。
【０００５】
本発明の課題は、作業時間を短縮することができる電子部品吸着装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するため、請求項１記載の発明は、先端部で電子部品（Ｔ）を吸着する吸着ノズル（１）と、吸着ノズルを備えるノズル保持部（２）と、ノズル保持部を移動させるノズル移動手段（例えば、Ｚ軸昇降機構部５）と、吸着ノズル内の圧力が所定の吸着圧力に達したか否かを検出する圧力検出手段（例えば、圧力検出部７）と、を備える電子部品吸着装置（１００）であって、圧力検出手段は、吸着ノズルが電子部品を吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に、少なくとも１回、吸着ノズル内の圧力の検出を行うことを特徴とする。
【０００７】
請求項１記載の発明によれば、電子部品吸着装置において、ノズル保持部がノズル移動手段により移動されて、ノズル保持部に備えられる吸着ノズルが電子部品を吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に、圧力検出手段は、少なくとも１回、吸着ノズル内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出する。
つまり、吸着ノズルが電子部品を吸着するために、所定の吸着高さに下がる移動を行うまでに、吸着ノズル内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出することができるので、所定の吸着圧力に達したことを確認した後に電子部品の吸着を行うことができる。
ここで、所定の吸着圧力とは、吸着ノズルが電子部品を吸着するために必要な圧力（負圧）のことである。
よって、吸着ノズルが電子部品を吸着するために必要な所定の吸着圧力に達したことが確認された状態で、より確実に吸着ノズルが電子部品の吸着を行うことができることとなるので、吸着圧力不良（圧力不足）による電子部品の吸着を失敗することがなくなる。そして、電子部品の吸着を失敗したことにより吸着動作をやり直し、吸着動作を繰り返すことがなくなる。従って、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【０００８】
また、所定の吸着圧力に達したことが確認できなければ、吸着動作は行えないものと判断し、所定の処理動作（例えば、所定の吸着圧力に達するまでの待機動作やエラー発生警告動作）を行うことにより、電子部品の吸着動作ミスを防ぐことができる。よって、吸着ノズルが電子部品の吸着を失敗したために、その吸着動作を繰り返すことがなくなり、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【０００９】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の電子部品吸着装置において、圧力検出手段は、吸着ノズルが電子部品を吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に行った圧力の検出後、所定の間隔で複数回の圧力の検出を行うことを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の発明によれば、請求項１に記載の発明と同様の作用を奏するとともに、圧力検出手段は、吸着ノズルが電子部品を吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に行った圧力の検出後、吸着ノズル内の圧力の検出を所定の間隔で複数回行うことができる。
よって、吸着ノズル内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出し、確認することを複数回行うことにより、より確実に吸着ノズル内の圧力を確認することができる。従って、より確実に吸着ノズルが電子部品の吸着を行うことができる。
【００１１】
請求項３記載の発明は、請求項１又は２に記載の電子部品吸着装置において、前記圧力検出手段が、前記吸着ノズルが前記電子部品を吸着することができる所定の吸着圧力を検出しなかった場合に、吸着異常であるとの判断を行う判断手段（例えば、制御部１０）を備えることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明と同様の作用を奏するとともに、圧力検出手段が、吸着ノズルが電子部品を吸着することができる所定の吸着圧力を検出しなかった場合に、吸着異常であるとの判断を行う判断手段を備えているので、その吸着異常に対して対処を行いやすい。
つまり、判断手段が吸着異常であると判断し、吸着動作は行えないものと判断した場合は、所定の処理動作（例えば、所定の吸着圧力に達するまでの待機動作やエラー発生警告動作）を行うなどし、吸着動作は行わないようにすることができ、電子部品の吸着動作ミスを未然に防ぐことができる。よって、吸着ノズルが電子部品の吸着を失敗したために、その吸着動作を繰り返すことがなくなり、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【００１３】
請求項４記載の発明は、先端部で電子部品（Ｔ）を吸着する吸着ノズル（１）と、吸着ノズルを着脱可能に吸着保持するノズル保持部（２）と、ノズル保持部を移動させるノズル移動手段（例えば、Ｚ軸昇降機構部５）と、ノズル保持部内の圧力が所定の吸着圧力に達したか否かを検出する圧力検出手段（例えば、圧力検出部７）と、を備える電子部品吸着装置（１００）であって、圧力検出手段は、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に、少なくとも１回、ノズル保持部内の圧力の検出を行うことを特徴とする。
【００１４】
請求項４記載の発明によれば、電子部品吸着装置において、ノズル保持部がノズル移動手段により移動されて、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に、圧力検出手段は、少なくとも１回、ノズル保持部内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出する。
つまり、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着するために、所定の吸着高さに下がる移動を行うまでに、ノズル保持部内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出することができるので、所定の吸着圧力に達したことを確認した後に吸着ノズルの吸着を行うことができる。
ここで、所定の吸着圧力とは、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着するために必要な圧力（負圧）のことである。
よって、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着するために必要な所定の吸着圧力に達したことが確認された状態で、より確実にノズル保持部が吸着ノズルの吸着を行うことができることとなるので、吸着圧力不良（圧力不足）による吸着ノズルの吸着を失敗することがなくなる。そして、吸着ノズルの吸着を失敗したことにより吸着動作をやり直し、吸着動作を繰り返すことがなくなる。従って、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【００１５】
また、所定の吸着圧力に達したことが確認できなければ、吸着動作は行えないものと判断し、所定の処理動作（例えば、所定の吸着圧力に達するまでの待機動作やエラー発生警告動作）を行うことにより、吸着ノズルの吸着動作ミスを防ぐことができる。よって、ノズル保持部が吸着ノズルの吸着を失敗したために、その吸着動作を繰り返すことがなくなり、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【００１６】
請求項５記載の発明は、請求項４に記載の電子部品吸着装置において、圧力検出手段は、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に行った圧力の検出後、所定の間隔で複数回の圧力の検出を行うことを特徴とする。
【００１７】
請求項５記載の発明によれば、請求項４に記載の発明と同様の作用を奏するとともに、圧力検出手段は、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に行った圧力の検出後、ノズル保持部内の圧力の検出を所定の間隔で複数回行うことができる。
よって、ノズル保持部内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出し、確認することを複数回行うことにより、より確実にノズル保持部内の圧力を確認することができる。従って、より確実にノズル保持部が吸着ノズルの吸着を行うことができる。
【００１８】
請求項６記載の発明は、請求項４又は５に記載の電子部品吸着装置において、前記圧力検出手段が、前記ノズル保持部が前記吸着ノズルを吸着することができる所定の吸着圧力を検出しなかった場合に、吸着異常であるとの判断を行う判断手段（例えば、制御部１０）を備えることを特徴とする。
【００１９】
請求項６記載の発明によれば、請求項４又は５に記載の発明と同様の作用を奏するとともに、圧力検出手段が、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着することができる所定の吸着圧力を検出しなかった場合に、吸着異常であるとの判断を行う判断手段を備えているので、その吸着異常に対して対処を行いやすい。
つまり、判断手段が吸着異常であると判断し、吸着動作は行えないものと判断した場合は、所定の処理動作（例えば、所定の吸着圧力に達するまでの待機動作やエラー発生警告動作）を行うなどし、吸着動作は行わないようにすることができ、吸着ノズルの吸着動作ミスを未然に防ぐことができる。よって、ノズル保持部が吸着ノズルの吸着を失敗したために、その吸着動作を繰り返すことがなくなり、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図１から図４に基づいて説明する。
本実施の形態における電子部品吸着装置は、部品供給部（電子部品フィーダ）により供給される電子部品を、吸着ノズルで吸着して保持し、基板の所定の位置に移動して搭載する装置である。なお、本発明の電子部品実装装置の構成を説明するにあたって、本実施形態では、図中に示したＸＹＺ軸によりそれぞれの方向を定める。Ｘ軸方向は、例えば、基板が前工程から後工程に搬送される方向と平行な方向であって、Ｚ軸方向は、Ｘ軸方向と直交し且つ吸着ノズル１が上下動する方向である。Ｙ軸方向は、Ｘ軸、Ｚ軸方向と直交する方向である。
【００２１】
図１に示されるように、電子部品吸着装置１００は、電子部品フィーダＦにより供給される電子部品Ｔを吸着する吸着ノズル１と、吸着ノズル１を保持するノズル保持部２と、ノズル保持部２を備える搭載ヘッド３と、搭載ヘッド３をＸ、Ｙ軸の各方向に移動するＸＹ駆動機構部４と、ノズル保持部２をＺ軸方向に移動するノズル移動手段としてのＺ軸昇降機構部５と、ノズル保持部２内部の貫通孔２ａや吸着ノズル１内部の貫通孔１ａ内の圧力を減圧する真空発生器６と、吸着ノズル１やノズル保持部２内の圧力を検出する圧力検出手段としての圧力検出部７と、電子部品フィーダＦを駆動する部品供給部８と、上記各部の動作制御を行う制御部１０と、を有している。
【００２２】
搭載ヘッド３は、図示しない支持部材のレール部材に支持されて備えられており、下方に突出する所定数のノズル保持部２を備えている。
搭載ヘッド３が備えられる図示しない支持部材はＸ軸方向、Ｙ軸方向にそれぞれ延在しており、これら支持部材のレール部材に支持されている搭載ヘッド３は、図示しない駆動手段により支持部材のレール部材に沿ってＸ軸方向やＹ軸方向に移動可能となっている。この駆動手段としては、例えば、リニアモータ、サーボモータとベルトの組み合わせ、サーボモータとボールネジの組み合わせ、等を適用することができる。
なお、この支持部材（レール部材）と駆動手段とにより、ヘッド移動手段としてのＸＹ駆動機構部４が構成されている。
【００２３】
また、搭載ヘッド３には、ノズル保持部２をＺ軸方向に移動するＺ軸昇降機構部５が備えられている。
Ｚ軸昇降機構部５は、ノズル保持部２を上下に移動させる機構部である。Ｚ軸昇降機構部５としては、例えば、サーボモータとベルトの組み合わせ、サーボモータとボールネジの組み合わせ、等を適用することができる。
【００２４】
ノズル保持部２は、その内部に貫通孔２ａを有しており、後述する真空発生器６と接続管６ａを介して接続されている。この真空発生器６が接続管６ａ内にバキュームエアを通すことにより、ノズル保持部２内部の貫通孔２ａ内を減圧することができ、ノズル保持部２の先端部に吸着ノズル１を真空吸着し保持することができる。
【００２５】
吸着ノズル１は、その内部に貫通孔１ａを有している。吸着ノズル１は、ノズル保持部２に保持される際に、ノズル保持部２の貫通孔２ａのうちノズル用貫通孔２ｂと吸着ノズル１の貫通孔１ａとが接続するようになっている。そして、ノズル保持部２を介して真空発生器６により吸着ノズル１内部の貫通孔１ａ内の圧力が減圧されることにより、吸着ノズル１の下端先端部に電子部品Ｔを吸着保持することを可能としている。
【００２６】
真空発生器６は、例えば、エジェクタや真空ポンプ等により構成されている。真空発生器６には、図示しない電磁弁が備えられており、その電磁弁によりバキュームエアの通気の切り替えが可能であり、真空発生器６の空気吸引状態と大気開放状態とを切り替える。この空気吸引状態と大気開放状態との切り替えにより接続管６ａ内の圧力（減圧と大気圧）が切り替えられる。つまり、空気吸引状態としたときにバキュームエアを接続管６ａに通して吸着ノズル１の先端部に電子部品Ｔを吸着可能とし、大気開放状態としたときに吸着ノズル１の貫通孔１ａ内を大気圧状態とし、吸着した電子部品Ｔの吸着を解除する。
【００２７】
圧力検出部７は、接続管６ａ内の圧力を検出する圧力検出センサであり、検出した圧力値を後述する制御部１０に出力する。なお、圧力検出部７により検出される接続管６ａ内の圧力に基づき、後述する制御部１０は、吸着ノズル１の貫通孔１ａ内や、ノズル保持部２の貫通孔２ａ内の圧力の状態、程度を間接的に認識し、検出するようになっている。
【００２８】
部品供給部８は、例えば、図示しないフィーダバンクに配設された複数の電子部品フィーダＦを駆動することにより、電子部品Ｔを吸着ノズル１が吸着する所定の位置に搬送し、供給する。
【００２９】
制御部１０は、例えば、図示しないＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えている。
制御部１０のＣＰＵは、制御部１０のＲＯＭに格納された電子部品吸着装置用の制御プログラムに従って、各種の制御動作を実行する。
制御部１０のＲＯＭには、電子部品吸着装置１００を制御するための制御プログラムや制御データが書き込まれ、格納されている。この制御データとしては、例えば、圧力検出部７が検出する接続管６ａ内の圧力値と、その圧力値を検出した際の電子部品吸着装置１００の動作状態や、吸着ノズル１の貫通孔１ａ内やノズル保持部２の貫通孔２ａ内の圧力状態（所定の吸着圧力）とが対応つけられた吸着制御データが格納されている。
制御部１０のＲＡＭには、種々のワークメモリやカウンタなどが設けられており、制御部１０のＣＰＵが上記制御プログラムを実行する際のワークエリアとして使用される。
【００３０】
制御部１０は、圧力検出部７に接続管６ａ内の圧力値を検出させる制御を行う。特に、吸着ノズル１の先端部が、電子部品Ｔを吸着する所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に到達する前、また、ノズル保持部２の先端部が、吸着ノズル１を吸着する所定の吸着高さ（ノズル吸着高さ）に到達する前に少なくとも１回、圧力検出部７に接続管６ａ内の圧力値を検出させる制御を行う。そして制御部１０は、検出した接続管６ａ内の圧力値に基づき、吸着ノズル１やノズル保持部２内の圧力を認識し、検出する制御を行う。
【００３１】
また、制御部１０は、ＲＯＭに格納されている吸着制御データに基づき、圧力検出部７が検出した接続管６ａ内の圧力値が、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができる所定の吸着圧力になったか否かを判断する制御を行う。そして、吸着ノズル１の先端部に電子部品Ｔを吸着することができるか否かの判断を行う。
また、制御部１０は、ＲＯＭに格納されている吸着制御データに基づき、圧力検出部７が検出した接続管６ａ内の圧力値が、ノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着して保持することができる所定の吸着圧力になったか否かを判断する制御を行う。そして、ノズル保持部２の先端部に吸着ノズル１を吸着して保持することができるか否かの判断を行う。
【００３２】
また、制御部１０は、圧力検出部７が検出した接続管６ａ内の圧力値が、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着したり、ノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着して保持したりすることができる所定の吸着圧力であると判断するまで、圧力検出部７に接続管６ａ内の圧力値の検出を、図示しない操作部において予め入力設定された所定の回数あるいはＲＯＭに予め記憶設定された所定回数、所定の間隔で繰り返し行わせる制御を行う。
また、制御部１０は、圧力検出部７が所定の回数、接続管６ａ内の圧力値を検出しても、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着したり、ノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着して保持したりすることができる所定の吸着圧力を検出しない場合、吸着異常であるとの判断を行う判断手段としての制御を行う。
【００３３】
次に、電子部品吸着装置１００が電子部品Ｔを吸着し保持する際の動作について、図２に示されるタイミングチャートに基づいて説明する。
電子部品吸着装置１００における、電子部品Ｔを吸着する動作制御に基づき、タイミングｔ１において、Ｚ軸昇降機構部５がノズル保持部２を下降させることにより、ノズル保持部２に備えられた吸着ノズル１の下降を開始する。
【００３４】
次いで、吸着ノズル１の先端部が、電子部品Ｔを吸着する所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に到達する前の所定のタイミングｔ２において、真空発生器６の電磁弁がＯＦＦからＯＮに切り替えられて、真空発生器６が空気吸引状態となる。そして、真空発生器６は、接続管６ａを介して吸着ノズル１内部の貫通孔１ａ内が負圧になるように減圧を開始する。
【００３５】
次いで、真空発生器６の電磁弁がＯＦＦからＯＮに切り替えられた後、吸着ノズル１の先端部が電子部品Ｔを吸着する所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に到達する前の所定のタイミングｔ３において、圧力検出部７が接続管６ａ内の圧力を検出する。
制御部１０が、接続管６ａ内の圧力値が、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができる所定の吸着圧力（吸着可能負圧）になったと判断すると、制御部１０は、電子部品吸着装置１００の電子部品Ｔを吸着する動作制御を継続し、ノズル保持部２に備えられた吸着ノズル１の下降を続ける。
そして、タイミングｔ４において、吸着ノズル１の先端部が所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に到達する。
【００３６】
そして、吸着ノズル１の先端部の高さ（の位置）を、その部品吸着高さにタイミングｔ５まで（図２に示される矢印ａの間隔）維持する。そして、タイミングｔ４からタイミングｔ５の間に、吸着ノズル１は電子部品Ｔを吸着する。
ここで、接続管６ａ内の圧力値は、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができる所定の吸着圧力（吸着可能負圧）であることが、制御部１０により判断されて、確認されているので、タイミングｔ４からタイミングｔ５の間で、電子部品Ｔは確実に吸着ノズル１の先端部に吸着されて保持される。
【００３７】
次いで、電子部品Ｔを搬送する動作制御に基づき、タイミングｔ５において、Ｚ軸昇降機構部５がノズル保持部２の上昇を開始し、ノズル保持部２に備えられた吸着ノズル１が吸着し保持する電子部品Ｔも上昇する。
なお、このノズル保持部２の上昇とともに、ＸＹ駆動機構部４が搭載ヘッド３を移動させることにより、ノズル保持部２に備えられた吸着ノズル１が吸着し保持する電子部品Ｔを、所定の基板に搬送する。
そして、基板における所定位置において、Ｚ軸昇降機構部５がノズル保持部２を下降させ、真空発生器６の電磁弁がＯＮからＯＦＦに切り替えられることにより、吸着ノズル１が電子部品Ｔの吸着を解除し、基板に電子部品Ｔを搭載する。
【００３８】
このように、本発明の電子部品吸着装置１００においては、吸着ノズル１の先端部が電子部品Ｔを吸着する所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に到達する前に、圧力検出部７が接続管６ａ内の圧力を検出することにより、吸着ノズル１の貫通孔１ａ内の圧力を検知することができる。そして、その検出、検知した圧力に基づき、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができるか否か判断することができる。
つまり、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着する動作（例えば、吸着ノズル１の先端部が電子部品Ｔを吸着する所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に移動する動作や、吸着ノズル１の先端部をその部品吸着高さに維持する動作）を行う前に、その吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができるか否か判断することができる。
よって、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができると判断された後に、所定の時間、吸着ノズル１の先端部をその部品吸着高さに維持することにより、確実に電子部品Ｔを吸着ノズル１に吸着して保持することができる。
【００３９】
このように、予め吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができると判断した後、確実に電子部品Ｔを吸着ノズル１に吸着して保持するので、電子部品Ｔの吸着を失敗したために、その吸着動作を繰り返すことがなくなる。
よって、動作ミス、作業ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
従って、作業時間の短縮による実効タクトタイムの向上や、吸着を失敗してしまった電子部品Ｔの廃棄率の低減により、生産効率の向上やコストダウンを図ることができる。
【００４０】
特に、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着するために、吸着ノズル１の先端部を部品吸着高さに維持する際は、圧力検出部７が検出、検知した圧力に基づき、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができると判断されているので、その吸着ノズル１の先端部を部品吸着高さに維持する時間を短縮することができる。よって、作業時間の短縮をさらに図ることができる。
【００４１】
次に、電子部品吸着装置１００が電子部品Ｔを吸着し保持する際の別の動作について、図３に示されるタイミングチャートに基づいて説明する。
電子部品吸着装置１００における、電子部品Ｔを吸着する動作制御に基づき、タイミングｔ１１において、Ｚ軸昇降機構部５がノズル保持部２を下降させることにより、ノズル保持部２に備えられた吸着ノズル１の下降を開始する。
【００４２】
次いで、吸着ノズル１の先端部が、電子部品Ｔを吸着する所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に到達する前の所定のタイミングｔ１２において、真空発生器６の電磁弁がＯＦＦからＯＮに切り替えられて、真空発生器６が空気吸引状態となる。そして、真空発生器６は、接続管６ａを介して吸着ノズル１内部の貫通孔１ａ内が負圧になるように減圧を開始する。
【００４３】
次いで、真空発生器６の電磁弁がＯＦＦからＯＮに切り替えられた後、吸着ノズル１の先端部が電子部品Ｔを吸着する所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に到達する前の所定のタイミングｔ１３において、圧力検出部７が接続管６ａ内の圧力を検出する。
制御部１０が、接続管６ａ内の圧力値が、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができる所定の吸着圧力（吸着可能負圧）に達していないと判断すると、制御部１０は、所定の間隔（図３に示される矢印ｂの間隔）後に再度圧力検出部７に接続管６ａ内の圧力を検出させる。
なお、圧力検出部７による接続管６ａ内の圧力の検出は、予め設定された所定回数（例えば、１０回）繰り返すようになっており、制御部１０が、接続管６ａ内の圧力値が、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができる所定の吸着圧力（吸着可能負圧）に達したと判断するまで、その検出を繰り返す。
また、予め設定された所定回数（例えば、１０回）の圧力の検出を繰り返しても、所定の吸着圧力（吸着可能負圧）の検出を行えず、吸着可能負圧に達していないと判断されると、吸着異常（例えば、吸着ノズル１の貫通孔１ａ内に異物があり、吸着可能負圧に減圧できない）であると判断し、所定のエラー警告を行ったり、装置の動作停止を行ったりする。
【００４４】
そして、圧力検出部７による接続管６ａ内の圧力の検出を繰り返しつつ、ノズル保持部２に備えられた吸着ノズル１は下降を続けて、吸着ノズル１の先端部は所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に到達する。なおも所定の吸着圧力（吸着可能負圧）の検出が行われないと、吸着ノズル１の先端部は所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に維持されつつ、圧力検出部７による接続管６ａ内の圧力の検出を繰り返す。
【００４５】
そして、タイミングｔ１４において、制御部１０が、接続管６ａ内の圧力値が、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができる所定の吸着圧力（吸着可能負圧）になったと判断すると、吸着ノズル１の先端部の高さ（の位置）を、その部品吸着高さにタイミングｔ１５まで（図３に示される矢印ａの間隔）維持する。そして、タイミングｔ１４からタイミングｔ１５の間に、吸着ノズル１は電子部品Ｔを吸着する。
ここで、接続管６ａ内の圧力値は、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができる所定の吸着圧力（吸着可能負圧）であることが、制御部１０により判断されて、確認されているので、タイミングｔ１４からタイミングｔ１５の間で、電子部品Ｔは確実に吸着ノズル１の先端部に吸着されて保持される。
【００４６】
次いで、電子部品Ｔを搬送する動作制御に基づき、タイミングｔ１５において、Ｚ軸昇降機構部５がノズル保持部２の上昇を開始し、ノズル保持部２に備えられた吸着ノズル１が吸着し保持する電子部品Ｔも上昇する。
なお、このノズル保持部２の上昇とともに、ＸＹ駆動機構部４が搭載ヘッド３を移動させることにより、ノズル保持部２に備えられた吸着ノズル１が吸着し保持する電子部品Ｔを、所定の基板に搬送する。
そして、基板における所定位置において、Ｚ軸昇降機構部５がノズル保持部２を下降させ、真空発生器６の電磁弁がＯＮからＯＦＦに切り替えられることにより、吸着ノズル１が電子部品Ｔの吸着を解除し、基板に電子部品Ｔを搭載する。
【００４７】
このように、本発明の電子部品吸着装置１００においては、吸着ノズル１の先端部が電子部品Ｔを吸着する所定の吸着高さ（部品吸着高さ）に到達する前に、圧力検出部７が接続管６ａ内の圧力の検出を行うとともに、その検出、検知した圧力が、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができる圧力であると判断するまで、圧力の検出を所定の間隔で繰り返すことができる。
つまり、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することができる状態であると判断された後に、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着することになるので、より確実に電子部品Ｔを吸着ノズル１に吸着して保持することができる。
また、予め設定された所定回数の圧力の検出を繰り返しても、所定の吸着圧力（吸着可能負圧）の検出を行えない場合は、吸着異常であると判断し、所定のエラー警告や、装置の動作停止を行うことにより、所定の吸着圧力（吸着可能負圧）に達していない状態で、電子部品Ｔの吸着は行われないので、電子部品Ｔの吸着を失敗することや、その吸着ミスのために吸着動作を繰り返すことがなくなる。
よって、作業時間の短縮による実効タクトタイムの向上や、吸着を失敗してしまった電子部品Ｔの廃棄率の低減により、生産効率の向上やコストダウンを図ることができる。
【００４８】
また、本発明の電子部品吸着装置１００において、ノズル保持部２は吸着ノズル１を真空吸着して保持しており、ノズル保持部２は吸着ノズル１を着脱自在に備えている。そして、吸着ノズル１が吸着して所定の基板へ搬送する電子部品Ｔの種類や大きさに応じて、電子部品吸着装置１００はノズル保持部２が保持する吸着ノズル１を交換することができるようになっている。
【００４９】
図４に示されるように、電子部品吸着装置１００が、ノズル保持部２が保持する吸着ノズル１を交換する場合は、ノズル保持部２が吸着ノズル１の保持を解除し、吸着ノズル１を所定の吸着ノズル収容部Ｈに収容した後、異なる吸着ノズル１を、ノズル保持部２がその吸着ノズル収容部Ｈから、真空吸着して保持する。
ノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着する場合、ノズル保持部２は、所定の吸着ノズル収容部Ｈに収容された吸着ノズル１を吸着する所定の吸着高さ（ノズル吸着高さ）に下降し、吸着ノズル１を吸着して保持する動作を行う。
なお、図４において、部品供給部８（電子部品フィーダＦ）の図示を省略している。
【００５０】
このノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着する動作は、前述の吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着する動作と同様である。
つまり、ノズル保持部２がＺ軸昇降機構部５により、所定のノズル吸着高さに下降する間に、真空発生器６が接続管６ａを介してノズル保持部２の貫通孔２ａ内を減圧するとともに、圧力検出部７が接続管６ａ内の圧力を検出することにより、ノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着し保持することができる所定の吸着圧力であるか否か判断した後に、ノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着するようになっている。
なお、電子部品吸着装置１００のノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着し保持する際の動作やタイミングに関しては、前述の電子部品吸着装置１００の吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着し保持する際の動作と同様であるので、詳述しない。
【００５１】
このように、本発明の電子部品吸着装置１００においては、ノズル保持部２の先端部が吸着ノズル１を吸着する所定の吸着高さ（ノズル吸着高さ）に到達する前に、圧力検出部７が接続管６ａ内の圧力を検出することにより、ノズル保持部２の貫通孔２ａ内の圧力を検知することができる。そして、その検出、検知した圧力に基づき、ノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着することができるか否か判断することができる。
つまり、ノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着する動作（例えば、ノズル保持部２の先端部が吸着ノズル１を吸着する所定の吸着高さ（ノズル吸着高さ）に移動する動作や、ノズル保持部２の先端部をそのノズル吸着高さに維持する動作）を行う前に、そのノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着することができるか否か判断することができる。
よって、ノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着することができると判断された後に、所定の時間、ノズル保持部２の先端部をそのノズル吸着高さに維持することにより、確実に吸着ノズル１をノズル保持部２に吸着して保持することができる。
【００５２】
このように、予めノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着することができると判断した後、確実に吸着ノズル１をノズル保持部２に吸着して保持するので、ノズル保持部２の吸着を失敗したために、その吸着動作を繰り返すことがなくなる。よって、動作ミス、作業ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【００５３】
なお、以上の実施の形態においては、ノズル保持部２を上下動させるＺ軸昇降機構部５を備える構成について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ＸＹ駆動機構部４にＺ軸方向の移動、駆動機構を備えて、ＸＹＺ駆動機構部とし、搭載ヘッド３がＺ軸方向に上下動することにより、ノズル保持部２を上下動させるようにしてもよい。
【００５４】
また、吸着ノズル１が電子部品Ｔを吸着する際と、ノズル保持部２が吸着ノズル１を吸着する際における接続管６ａ内の減圧度は一般的に異なる。例えば、ノズル保持部２が吸着ノズル１を保持するために、常に接続管６ａ内は所定の減圧が生じているように真空発生器６の電磁弁は調整されている。そして、吸着ノズル１が電子部品Ｔの吸着を解除する際に、ノズル保持部２が吸着ノズル１の吸着を解除してしまうようなことはない。
【００５５】
また、圧力検出部７が、接続管６ａ内の圧力の検出を複数回行う場合、所定の吸着圧力を１回検出したことにより吸着可能と判断することに限らず、所定の吸着圧力を所定の回数検出したことにより吸着可能と判断するようにしてもよい。
【００５６】
また、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
【００５７】
【発明の効果】
請求項１記載の発明によれば、電子部品吸着装置において、吸着ノズルが電子部品を吸着するために、所定の吸着高さに下がる移動を行うまでに、吸着ノズル内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出することができるので、所定の吸着圧力に達したことを確認した後に電子部品の吸着を行うことができる。
よって、吸着ノズルが電子部品を吸着するために必要な所定の吸着圧力に達したことが確認された状態で、より確実に吸着ノズルが電子部品の吸着を行うことができることとなるので、吸着圧力不良（圧力不足）による電子部品の吸着を失敗することがなくなる。そして、電子部品の吸着を失敗したことにより吸着動作をやり直し、吸着動作を繰り返すことがなくなる。従って、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
また、所定の吸着圧力に達したことが確認できなければ、吸着動作は行えないものと判断し、所定の処理動作（例えば、所定の吸着圧力に達するまでの待機動作やエラー発生警告動作）を行うことにより、電子部品の吸着動作ミスを防ぐことができる。よって、吸着ノズルが電子部品の吸着を失敗したために、その吸着動作を繰り返すことがなくなり、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【００５８】
請求項２記載の発明によれば、請求項１に記載の発明と同様の作用を奏するとともに、圧力検出手段は、吸着ノズルが電子部品を吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に行った圧力の検出後、吸着ノズル内の圧力の検出を所定の間隔で複数回行うことができる。
よって、吸着ノズル内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出し、確認することを複数回行うことにより、より確実に吸着ノズル内の圧力を確認することができる。従って、より確実に吸着ノズルが電子部品の吸着を行うことができる。
【００５９】
請求項３記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明と同様の作用を奏するとともに、圧力検出手段が、吸着ノズルが電子部品を吸着することができる所定の吸着圧力を検出しなかった場合に、吸着異常であるとの判断を行う判断手段を備えているので、その吸着異常に対して対処を行いやすい。
つまり、判断手段が吸着異常であると判断し、吸着動作は行えないものと判断した場合は、所定の処理動作（例えば、所定の吸着圧力に達するまでの待機動作やエラー発生警告動作）を行うなどし、吸着動作は行わないようにすることができ、電子部品の吸着動作ミスを未然に防ぐことができる。よって、吸着ノズルが電子部品の吸着を失敗したために、その吸着動作を繰り返すことがなくなり、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【００６０】
請求項４記載の発明によれば、電子部品吸着装置において、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着するために、所定の吸着高さに下がる移動を行うまでに、ノズル保持部内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出することができるので、所定の吸着圧力に達したことを確認した後に吸着ノズルの吸着を行うことができる。
よって、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着するために必要な所定の吸着圧力に達したことが確認された状態で、より確実にノズル保持部が吸着ノズルの吸着を行うことができることとなるので、吸着圧力不良（圧力不足）による吸着ノズルの吸着を失敗することがなくなる。そして、吸着ノズルの吸着を失敗したことにより吸着動作をやり直し、吸着動作を繰り返すことがなくなる。従って、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
また、所定の吸着圧力に達したことが確認できなければ、吸着動作は行えないものと判断し、所定の処理動作（例えば、所定の吸着圧力に達するまでの待機動作やエラー発生警告動作）を行うことにより、吸着ノズルの吸着動作ミスを防ぐことができる。よって、ノズル保持部が吸着ノズルの吸着を失敗したために、その吸着動作を繰り返すことがなくなり、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【００６１】
請求項５記載の発明によれば、請求項４に記載の発明と同様の作用を奏するとともに、圧力検出手段は、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着する所定の吸着高さまで下がる移動を行う間に行った圧力の検出後、ノズル保持部内の圧力の検出を所定の間隔で複数回行うことができる。
よって、ノズル保持部内の圧力が所定の吸着圧力に達したか検出し、確認することを複数回行うことにより、より確実にノズル保持部内の圧力を確認することができる。従って、より確実にノズル保持部が吸着ノズルの吸着を行うことができる。
【００６２】
請求項６記載の発明によれば、請求項４又は５に記載の発明と同様の作用を奏するとともに、圧力検出手段が、ノズル保持部が吸着ノズルを吸着することができる所定の吸着圧力を検出しなかった場合に、吸着異常であるとの判断を行う判断手段を備えているので、その吸着異常に対して対処を行いやすい。
つまり、判断手段が吸着異常であると判断し、吸着動作は行えないものと判断した場合は、所定の処理動作（例えば、所定の吸着圧力に達するまでの待機動作やエラー発生警告動作）を行うなどし、吸着動作は行わないようにすることができ、吸着ノズルの吸着動作ミスを未然に防ぐことができる。よって、ノズル保持部が吸着ノズルの吸着を失敗したために、その吸着動作を繰り返すことがなくなり、吸着動作ミスに基づく作業の繰り返しを低減することができるので、作業時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる電子部品吸着装置の要部構成を示す説明図であり、部品供給部が含まれる図である。
【図２】電子部品吸着装置が電子部品を吸着する際の吸着ノズルの高さや、吸着ノズル内の負圧の相関を示すタイミングチャートである。
【図３】電子部品吸着装置が電子部品を吸着する際の吸着ノズルの高さや、吸着ノズル内の負圧の相関を示すタイミングチャートである。
【図４】本発明にかかる電子部品吸着装置の要部構成を示す説明図であり、吸着ノズル収容部が含まれる図である。
【符号の説明】
１      吸着ノズル
１ａ    貫通孔
２      ノズル保持部
２ａ    貫通孔
２ｂ    ノズル用貫通孔
３      搭載ヘッド
４      ＸＹ駆動機構部
５      Ｚ軸昇降機構部（ノズル移動手段）
６      真空発生器
６ａ    接続管
７      圧力検出部（圧力検出手段）
８      部品供給部
１０    制御部（判断手段）
１００  電子部品吸着装置
Ｔ      電子部品
Ｆ      電子部品フィーダ
Ｈ      吸着ノズル収容部
【図１】
2005050858.tif 000003
【図２】
2005050858.tif 000004
【図３】
2005050858.tif 000005
【図４】
2005050858.tif 000006