(57)【要約】【課題】基板の位置決めが必要となる加工装置内への基板の投入及び同装置からの基板の排出にも、加工装置間の基板の搬送にも適した基板収納箱を提供すること。【解決手段】基板を収納する基板収納箱（３００）であって、少なくとも、箱体（３０１）と、該箱体内に配置され、収納される基板の位置決めが可能な剛性を有する中敷体（３０２）とからなり、前記中敷体は位置決め機構（３０４）を備えており、前記箱体（３０１）は前記中敷体（３０２）よりも剛性の低い材料からなることを特徴とする基板収納箱。位置決めを行う中敷体と、輸送環境から内容物を保護する箱体からなるため、低コストはもちろん容易に輸送が行える。更に、工程内の装置に基板収納箱を直接かけることが出来る。【選択図】      図３
2005022707.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する基板収納箱であって、
少なくとも、箱体と、該箱体内に配置され、収納される基板の位置決めが可能な剛性を有する中敷体とからなり、前記中敷体は位置決め機構を備えており、前記箱体は前記中敷体よりも剛性の低い材料からなることを特徴とする基板収納箱。
【請求項２】
前記箱体が、外部の位置決め手段により前記位置決め機構を利用して前記中敷体の位置決めを可能とする位置決め受入機構を有することを特徴とする請求項１記載の基板収納箱。
【請求項３】
前記位置決め機構は第１の穴を有し、前記位置決め受入機構は第２の穴を有し、前記第１の穴の径は前記第２の穴の径より小さく、且つ前記第２の穴は、前記中敷体を前記箱体に収納した時、前記第１の穴と相対する位置にあることを特徴とする請求項２に記載の基板収納箱。
【請求項４】
前記中敷体が、前記箱体に対して箱体内で可動な構造であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の基板収納箱。
【請求項５】
前記箱体が、ポリプロピレン、ポリエチレン、ダンボールから選択される１種以上の材料から構成されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板収納箱。
【請求項６】
前記中敷体が、ＡＢＳ、金属、ＦＲＰ、ガラエポ、セラミックから選択される１種以上の材料から構成されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の基板収納箱。
【請求項７】
前記中敷体が、収納される基板の位置を決めるガイドを有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板収納箱。
【請求項８】
前記ガイドが、前記中敷体と同等の剛性の材質からなることを特徴とする請求項７に記載の基板収納箱。
【請求項９】
基板を収納する基板収納箱であって、
少なくとも、箱体と、該箱体内に配置され、収納される基板の位置決めが可能な剛性を有する中敷体とからなり、前記中敷体には第１の穴を有し、前記箱体には、前記中敷体を収納した時に前記第１の穴に相対する位置に前記第１の穴よりも径の大きな第２の穴を有しており、前記箱体は前記中敷体よりも剛性の低い材料からなることを特徴とする基板収納箱。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれか１項に記載の基板収納箱を用いた基板収納方法。
【請求項１１】
収納する基板が、薄い金属板であることを特徴とする請求項１０に記載の基板収納方法。
【請求項１２】
前記基板は複数枚積層して収納することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の基板収納方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板収納箱に関わる。特に輸送が行えるだけでなく製造工程の生産装置に直接投入できるような位置決め構造を有する基板収納箱に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体基板、電気回路基板、ガラス基板等の基板を収納する基板収納箱は、工場内外で工程間の運送及び在庫ストッカーとして使用する。基板収納箱内には、基板が１枚もしくは複数枚重ねた状態で入れられており、基板収納箱は輸送中の振動や衝撃に耐えうる構成となっている。
【０００３】
図１は従来の基板収納箱の代表的形態の上面図と断面図である。
【０００４】
基板収納箱１００は箱体１０１とガイド１０２から構成されている。箱体１０１は上述のように輸送中の振動や衝撃といった環境に耐える為、耐衝撃性、緩衝性、耐候性が高く、また安価で軽量な方が輸送しやすいといった理由からポリプロピレン製である。ガイド１０２は箱体１０１に収納する基板を箱体内で所望の位置に配置する為のガイドであり、箱体１０１の底面に固定されている。このようなガイドを有する収納箱の先行技術文献としては、特開平９−２２６８４号公報（特許文献１）や特開２００３−３４３６３号公報（特許文献２）があげられる。
【０００５】
図２は従来の基板収納箱への代表的な基板の収納方法を示す模式図である。
【０００６】
２００は半導体基板の製造ラインである。２０１は前工程であり、基板上に半導体膜を成膜する成膜装置である。２０２は後工程であり、半導体膜を成膜した基板上に電極を形成する実装装置である。前工程２０１と後工程２０２は別ラインとなっており、その間は基板収納箱２０３で輸送される。前工程２０１と後工程２０２が遠く離れた拠点にあれば、基板収納箱２０３は梱包されて、トラックや貨物車で輸送される。
【０００７】
前工程２０１の成膜装置には投入側に投入用ストッカー２０４、排出側には排出用ストッカー２０５が備わっている。同様に後工程２０２の実装装置にも投入ストッカー２０６、排出ストッカー２０７が備わっている。投入ストッカー２０４、２０６は装置の所定位置に固定されており、そこに基板をセットすると、毎回、装置内の決まった位置に基板が供給されて処理されて行く。また排出ストッカー２０５、２０７も装置の所定位置に固定されており、装置から順次送り出される基板を位置決めして重ねて収納している。
【０００８】
この様な半導体基板の製造ライン２００は、前工程２０１から後工程２０２へ基板を輸送する時に、前工程２０１の排出用ストッカー２０５から基板を一旦取り出して基板収納箱２０３へ移しかえる必要がある。また同様に後工程２０２へ輸送後、基板収納箱２０３から基板を一旦取り出して、投入用ストッカー２０６に移しかえる必要がある。
【０００９】
【特許文献１】
特開平９−２２６８４号公報
【特許文献２】
特開２００３−３４３６３号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述のように箱体からいちいち投入用あるいは排出用ストッカーに基板を移し代えるのは煩雑であり、製造工程が増えてしまう。
【００１１】
投入あるいは排出用ストッカーを用い、更に輸送時、ストッカーから基板収納箱へ移し代える必要があるのは、以下の理由による。１）従来からの基板収納箱の箱体は、ポリプロピレン樹脂のような安価な射出成型材料から構成されているため、箱体自体の個々の寸法のバラツキがあり位置決め精度が出ない。２）基板収納箱に収納する基板の枚数が多くなると、基板収納箱全体の重量が大きくなり、箱体が変形してしまい位置決め精度がでない。すなわち、基板収納箱そのままではストッカーの代わりに使用できない。
【００１２】
これを解決するには、従来からの基板収納箱の箱体を剛性の高い材料で成形して、装置の所定の位置に基板収納箱を位置あわせしてセットすれば良い。そうすれば、装置内での投入ストッカー、排出ストッカーと同じ様に基板収納箱の装置内での位置が決まり、それと同時に装置内での基板の位置も決まる。
【００１３】
ところが、このような剛性の高い材料で箱体を成型すると、耐衝撃性や緩衝性に難点が生じることとなる。
【００１４】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、基板の位置決めが必要となる加工装置内への基板の投入及び同装置からの基板の排出にも、加工装置間の基板の搬送にも適した基板収納箱を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための発明は、
基板を収納する基板収納箱であって、
少なくとも、箱体と、該箱体内に配置され、収納される基板の位置決めが可能な剛性を有する中敷体とからなり、前記中敷体は位置決め機構を備えており、前記箱体は前記中敷体よりも剛性の低い材料からなることを特徴とする。
【００１６】
本発明は上記発明において、
「前記箱体が、外部の位置決め手段により前記位置決め機構を利用して前記中敷体の位置決めを可能とする位置決め受入機構を有すること」、
「前記位置決め機構は第１の穴を有し、前記位置決め受入機構は第２の穴を有し、前記第１の穴の径は前記第２の穴の径より小さく、且つ前記第２の穴は、前記中敷体を前記箱体に収納した時、前記第１の穴と相対する位置にあること」、
「前記中敷体が、前記箱体に対して箱体内で可動な構造であること」、
「前記箱体が、ポリプロピレン、ポリエチレン、ダンボールから選択される１種以上の材料から構成されること」、
「前記中敷体が、ＡＢＳ、金属、ＦＲＰ、ガラエポ、セラミックから選択される１種以上の材料から構成されること」、
「前記中敷体が、収納される基板の位置を決めるガイドを有すること」、
「前記ガイドが、前記中敷体と同等の剛性の材質からなること」、
をその好ましい態様として含むものである。
【００１７】
また、本発明は、
基板を収納する基板収納箱であって、少なくとも、箱体と、該箱体内に配置され、収納される基板の位置決めが可能な剛性を有する中敷体とからなり、前記中敷体には第１の穴を有し、前記箱体には、前記中敷体を収納した時に前記第１の穴に相対する位置に前記第１の穴よりも径の大きな第２の穴を有しており、前記箱体は前記中敷体よりも剛性の低い材料からなることを特徴とするものを含むものである。
【００１８】
さらに本発明は、上記発明の基板収納箱を用いた基板収納方法をも含むものであり、
「収納する基板が、薄い金属板であること」、
「前記基板は複数枚積層して収納すること」、
をその好ましい態様として含むものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の基板収納箱の一実施形態について図を用いて説明する。
【００２０】
図３は本発明の基板収納箱の一実施形態の上面図及び断面図である。３００は基板収納箱、３０１は箱体、３０２は中敷体、３０３はガイド、３０４は位置決め機構、３０５は位置決め受入機構である。箱体３０１の中に中敷体３０２が配置されている。中敷体３０２は初期成型寸法再現性がとれ、収納される基板の位置決めが可能な剛性が与えられる材料で形成されており、箱体３０１の内で自由に動けるようになっている。ガイド３０３は中敷体３０２に固定されており、中敷体３０２の上に収納される基板の位置を決めるものである。ガイド３０３は中敷体３０２と同様に、初期成型寸法再現性がとれ、収納される基板の位置決めが可能な剛性が与えられる材料で形成されている。位置決め機構３０４は中敷体３０２に設けられており、中敷体３０２が装置に対して位置決めされるようになっている。本実施形態では位置決め機構３０４は穴を用いている。箱体３０１は、中敷体３０２よりも剛性の低い材料からなっており、基板収納箱３００の全体を上記のような中敷体３０２と同様の材料で構成するよりも、輸送中の振動や衝撃の吸収性が高められている。位置決め受入機構３０５は、外部の位置決め手段により位置決め機構３０４を利用して中敷体３０２の位置決めを可能とするもので、本実施形態では穴を用いている。これは、後述の位置決めピン（外部の位置決め手段）を位置決め機構３０４に挿入することにより中敷体３０２の位置決めを可能とするものである。従って、位置決め機構３０４が有する穴（第１の穴）は、位置決め受入機構が有する穴（第２の穴）の径より小さく設定されており、且つ第２の穴は、中敷体３０２を箱体３０１に収納した時、第１の穴と相対する位置にある。
【００２１】
位置決め機構３０４としての穴は本実施形態では４つ穿たれているが、特にこれに限定されるものでは無く、いくつでも構わない。また位置決め受入機構も同様に特にその数に限定されるものではない。
【００２２】
以下に各構成部材について更に詳しく説明する。
【００２３】
（中敷体）
本発明は箱体内に中敷体を有している。中敷体は位置決め機構を有し、位置決めを行う役割をしている。この為、材料としては初期成型寸法再現性が良く、剛性が高く、耐磨耗性の高い材料が好ましい。
【００２４】
具体的な材料としてはＡＢＳ、金属、繊維強化プラスチック（ＦＲＰ）、ガラエポ、セラミックが望ましい。
【００２５】
剛性が高いと、初期成型寸法再現性があり、位置決めする精度が高い。また耐磨耗性が高いと上記のような位置決めピンが中敷体の穴に勘合するような位置決めを繰り返し行っても、この穴が磨耗せず、高い位置決め精度を保つことができる。
【００２６】
さらに摩擦係数は小さい方が好ましい、例えば箱体内で中敷体が自由に動ける構造にした場合、位置決め時にスムーズに中敷体が滑る事ができ、位置決めを容易に行う事が出来る。
【００２７】
そうすると上述のような箱体底面からの位置決めではなく、中敷体の上方から中敷体を押さえるような位置決めを行っても、中敷体が箱体内ですべるように動くことができる。
【００２８】
（位置決め機構）
本発明の位置決め機構は中敷体に設けられており、装置内で中敷体を位置決めする役割をしている。一例として穴による位置決め機構について上述したが特にこれに限定されるものではない。例えば中敷体に穴ではなく凹部を設けておく形態でも良い。また、中敷体にピンを設け、装置側に穴を設けても良い。その他にも中敷体にマーキングを設け、装置側のカメラにより中敷体の位置を認識し、その結果に応じて自動的にロボットハンドの方で位置あわせして、基板を出し入れしても良い。
【００２９】
（ガイド）
本発明のガイドは中敷体に設けられており、中敷体上に重ねて収納する基板の中敷体上での位置を決める役割をしている。ガイドは中敷体と一体となって箱体内を動く為、中敷体が装置に対して位置決めされると、ガイドによって中敷体の決まった位置に収納されている基板は、装置に対して決まった位置となる。
【００３０】
好ましくは中敷体と同様に、材料としては初期成型寸法再現性が良く、剛性が高く、摩擦係数が低い材料から成る。
【００３１】
このような材料を用いる事で、基板の出し入れや輸送を繰り返し行っても、ガイドは変形せず、且つ基板と擦れあっても磨耗しにくく、高い位置決め精度を保つことができる。また摩擦係数が低ければ、例えばガイドに基板が触れた場合でも引っかかることによる基板の損傷が抑えられる。
【００３２】
具体的な材料としては中敷体と同じＡＢＳ、金属、ＦＲＰ、ガラエポ、セラミックが望ましい。
【００３３】
（箱体）
本発明の箱体は外部環境から基板を保護する役割をしている。この為、耐衝撃性に優れ、緩衝性がある材料が好ましく、少なくとも中敷体よりも剛性の低い材料を使用する。更に輸送のことを考慮すれば軽いものである事が好ましい。
【００３４】
具体的な材料としては、ポリプロピレン、ポリエチレン、ダンボールが望ましい。
【００３５】
（位置決め受入機構）
上記箱体には、外部の位置決め手段により前記位置決め機構を利用して前記中敷体の位置決めを可能とする位置決め受入機構が設けられていることが好ましい場合がある。
【００３６】
例えば中敷体の位置決めの方法が、上述のような装置側の位置決めピンを箱体の底面側から中敷体の位置決め機構である穴に挿入する方法の場合には、箱体の底面の穴が位置決め受入機構にあたり、位置決めピンが位置決め手段にあたる。この場合、位置決め機構の穴（第１の穴）の径は位置決め受入機構の穴（第２の穴）の径より小さく、且つ第２の穴は、中敷体を箱体に収納した時、第１の穴と相対する位置にある。また中敷体にマーキングを設ける位置決めについては、そのマーキングが箱体に隠れる様な部分に設けられている場合、カメラでマーキングを認識するために、マーキングがある部分の箱体に透明な窓を設けたり、穴を設ける必要がある。この場合、該窓や該穴が位置決め受入機構に相当し、カメラが位置決め手段に相当する。
【００３７】
但し箱体全体が透明で、中敷体に設けられたマーキングが外から見えるものや、蓋を開けて上方から位置決めピンを中敷体の穴や凹部に勘合して位置決めするような場合は、位置決め受入機構を設ける必要はない。
【００３８】
図４は本発明の基板収納箱への基板の収納方法の一実施形態を示す模式図である。
【００３９】
４００は半導体基板の製造ラインである。４０１は前工程であり、基板上に半導体膜を成膜する成膜装置である。４０２は後工程であり、半導体膜を成膜した基板上に電極を形成する実装装置である。前工程４０１と後工程４０２は別ラインとなっており、その間は基板収納箱４０３で輸送される。前工程４０１と後工程４０２が遠く離れた拠点にあれば、基板収納箱４０３は梱包されて、トラックや貨物車で輸送される。
【００４０】
前工程４０１の成膜装置の投入側及び排出側には基板収納箱４０３が備わっている。同様に後工程４０２の実装装置にも投入側及び排出側に基板収納箱４０３が備わっている。基板収納箱４０３はいずれも、それぞれの装置の投入排出口付近に置くだけで良い。
【００４１】
このように、本発明の基板収納箱を用いた基板収納方法によれば、従来のように投入用ストッカーや排出用ストッカーに基板を移す必要がなくなり、製造工程を少なく抑えることができる。
【００４２】
図５は本発明の基板収納箱の中敷体が装置内で位置決めされる様子を示す上面図と断面図である。５００は基板収納箱、５０１は箱体、５０２は中敷体、５０３はガイド、５０４は位置決め機構、５０５は位置決め受入機構である。
【００４３】
この基板収納箱５００の位置決め機構５０４に、装置の位置決めピン５０６が挿入され、位置決め機構５０４に勘合することで、装置内での中敷体５０２が位置決めされる。
【００４４】
尚、この時、位置決め受入機構５０５の穴は、位置決め機構５０４の穴より、大きくなっており、中敷体５０２を箱体５０１内に入れると、位置決め機構５０４の穴は位置決め受入機構５０５の穴の中に配置される様になっている。
【００４５】
位置決めピン５０６の先端は細く、それからだんだん広がって、一定の径となるようになっており、位置決めピン５０６と位置決め機構５０４の穴にずれがあっても、位置決めピン５０６を上方へ押し上げる事で、位置決めピン５０６の径の中心に位置決め機構５０４の穴の中心が合うように、中敷体５０２が箱体５０１内を動き、位置決めが行われる。
【００４６】
これにより装置内での中敷体５０２の位置がきまり、中敷体５０２の位置が決まれば、おのずと中敷体５０２に設けてあるガイド５０３により、製造装置の投入側では装置内の基板の位置がきまる。同様な方法により装置の排出側では、装置内でのガイド５０３の位置が決まることになる。
【００４７】
上述の場合、４つの位置決め機構５０４のうち対角に位置する２つの位置決め機構５０４が使用されている。
【００４８】
尚、本発明は特に基板は限定されないが、特にはステンレス基板のような厚みが１ｍｍ以下の金属の薄板からなる場合に特に効果が得られる。なぜならこのような基板のエッジは刃物状になっていたり、ステンレス基板の裁断時のバリが端部にあったりする為、基板収納箱への出し入れ時にガイドに当たるとガイドが削れて、中敷体上で基板が決まった位置に位置決めできなくなる。従って、このような基板収納箱への出し入れの回数が減少でき、しかも出し入れが必要な時にはより高い位置決め精度を達成できるので、これによっても基板によるガイドの摩耗を減少することができるため、本発明による効果が大きくなる。
【００４９】
【実施例】
〔実施例１〕
本実施例は、箱体はポリプロピレン樹脂から成り、中敷体及びガイドはＡＢＳ樹脂から成る基板収納箱である。そして中敷体に位置決め機構として穴を設け、箱体にも、中敷体を箱体内に挿入した時に前記位置決め機構の穴に対応する位置に、位置決め受入機構として穴を設けた構成となっている。
【００５０】
図６は実施例１の基板収納箱の上面図と断面図である。６００は基板収納箱、６０１は箱体、６０２は中敷体、６０３はガイド、６０４は位置決め機構、６０５は位置決め受入機構である。箱体６０１は中に中敷体６０２が配置されている。中敷体６０２は箱体６０１に対して固定されていない。
【００５１】
図７は実施例１の箱体の詳細な３面図である。箱体７００の外径寸法は３８４ｍｍ×５９２ｍｍ×９６ｍｍであり、箱体の四隅には位置決め受入機構７０１として直径３５ｍｍの穴を設けた。
【００５２】
図８は実施例１の中敷体の詳細な３面図である。中敷体８００には位置決め機構８０２として直径１２ｍｍの穴を設けた。この位置決め機構８０２の穴の周囲は箱体７００の底面方向に凸部８０３を形成しており、凸部の外の直径は直径２８ｍｍとした。また、ガイド８０１は中敷体８００にビス止めにし、一部のガイド８０１を脱着したり、ねじ穴８０４を利用して取り付け場所を変えたり、取り付け方向を代えることでガイド８０１間の寸法が変化するようにし、収納する基板サイズの変更に対応できる様になっている。
【００５３】
図７の箱体７００の中に図８の中敷体８００を入れて使用するのだが、この場合、前記凸部８０３を箱体の四隅に設けられた位置決め受入機構７０１の中に入れて使用する。中敷体８００は、箱体７００の位置決め受入機構７０１の穴に前記凸部８０３が拘束される為、水平方向の揺れでは、位置決め機構８０２の穴は、位置決め受入機構７０１の穴の中から外れない。また前記凸部が位置決め受入機構７０１の穴の中でしか水平方向に動けないので、中敷体８００が箱体７００に対して一定範囲無内で拘束されるため、中敷体８００は箱体７００の側面の壁に接触せず、外部からの衝撃が伝わりにくい。
【００５４】
図９は実施例１の基板収納箱の中敷体が装置内で位置決めされる様子を示す模式図である。基板収納箱９００は箱体９０１、中敷体９０２、ガイド９０３、位置決め機構９０４、位置決め受入機構９０５から構成される。９０６は装置側の位置決めピン、９０７は装置側の幅寄せガイドである。
【００５５】
蓋を取った基板収納箱９００が装置の排出側に置かれると、幅寄せガイド９０７が箱体９０１を幅寄せし、概略の位置決めが行われる。その後、位置決めピン９０６が下方より上昇してきて中敷体９０２の位置決め機構９０４の穴と勘合する事で位置決めされる。
【００５６】
尚、この時、位置決め受入機構９０５の穴は、位置決め機構９０４の穴より、大きくなっており、中敷体９０２を箱体９０１内に入れると、位置決め機構９０４の穴は位置決め受入機構９０５の穴の中に配置される様になっている。
【００５７】
位置決めピン９０６の先端は細く、それからだんだん広がって一定の径となるようになっており、位置決めピン９０６と位置決め機構９０４の穴にずれがあっても、位置決めピン９０６を上方へ押し上げる事で、位置決めピン９０６の径の中心に位置決め機構９０４の穴の中心が合うように、中敷体９０２が箱体９０１内を動き、位置決めが行われる。
【００５８】
これにより装置内での中敷体９０２の位置がきまり、中敷体９０２の位置が決まれば、おのずと装置内でのガイド９０３の位置が決まる。
【００５９】
次に、自動機により基板を基板収納箱に５０枚収納した。この時、実装済み光起電力素子間に紙を挟んで光起電力素子同士がぶつかる事による傷等を防止する。基板は０．１５ｍｍ厚のステンレス基板に半導体層を積層してなる光起電力素子に集電電極を形成した実装済み光起電力素子である。該光起電力素子のサイズは２３８．８ｍｍ×３５５．６ｍｍとし、実装装置で基板端部に絶縁テープとバスバーが設けられており、端辺が中央部分より凸状態になっている。
【００６０】
以上のように実装済み光起電力素子を５０枚収納後、自動機により基板収納箱を取り出し、別の自動機にセットし前記と同様の方法で基板収納箱の位置決めを行い自動で光起電力素子を１枚づつ取り出して後工程へ投入した。
【００６１】
以上の方法により基板収納箱の位置決めが精度良く行え、自動で且つトラブル無く光起電力素子の出し入れがおこなえた。
【００６２】
この基板収納箱は光起電力素子の運搬にもそのまま使用が可能である。図１０は本発明の実施例１の基板収納箱を用いた光起電力素子の運送を説明する図である。（ａ）は光起電力素子を輸送する為に梱包する状態を表す組立図である。（ｂ）は光起電力素子を輸送する為に梱包する直前の状態を表す側面図である。（ｃ）は梱包に使用する緩衝材の斜視図である。１００１は緩衝材、１００２は蓋、１００３は複数枚重ねられた光起電力素子、１００４はガイド、１００５は中敷体、１００６は位置決め機構、１００７は位置決め受入機構、１００８は箱体である。
【００６３】
緩衝体１００１は輸送中の振動を吸収し、光起電力素子が動かないように加圧する役割を担っている。本実施例では発泡ポリエチを使用している。これにより輸送中に光起電力素子振動してガイド１００４に当り、光起電力素子１００３が変形したり、ガイド１００４が削れたりするのを防ぐ事ができる。緩衝材１００１は光起電力素子の厚みが厚くなっている部分と、中央の撓んでいる部分が加圧できる様に階段状の形状になっており、図に示したように光起電力素子上に２つ配置している。蓋をすることで緩衝材が７ｍｍ圧縮されて、その圧力で光起電力素子を押える。このようにすることで、輸送中の振動に対して光起電力素子の持つ共振周波数を高くすることができ、輸送中の振動による光起電力素子の振動を防止できる。
【００６４】
１００２は蓋であり、外からのゴミの侵入を防いでいる。材料としては箱体１００５と同様のポリプロピレンである。
【００６５】
１００３は光起電力素子であり端辺に絶縁テープとバスバーが設けられている為、複数枚重ねると図のように上の方に重ねられている光起電力素子ほど湾曲している。合紙（不図示）は光起電力素子１枚ごとに挟んでおり、一番下の光起電力素子の下にも配置している。
【００６６】
図１１は、本発明の実施例１の基板収納箱をパレット上に集積、梱包した状態を説明する図である。（ａ）は斜視図である。基板収納箱１１０１をパレット１１０２上に、順番に段積みする。その際、図のように仕切り板１１０３を設ける。仕切り板１１０３の材料にはポリプロピレンを使用している。最上段には金属蓋１１０４を配置し、最上段の基板収納箱の蓋の中央部を面で押えるようにした。これは最上段の基板収納箱の緩衝材の中央部を均一に蓋ごしに加圧する為である。図１１（ｂ）は上記梱包に用いた金属蓋の３面図である。金属蓋は軽量なアルミを使用している。最後にベルト１１０５でパレット全体を縛った後、運搬した。このようにすることで輸送中の振動によるガイド削れは発生しなくなる。ベルトは締め付け可能なアタッチメントがついているものを使用した。
【００６７】
〔実施例２〕
本実施例は、位置決め機構として中敷体の上面に凹部を設け、上側から位置決めピンで位置決めする基板収納箱である。この場合、箱体には位置決め受入機構は必要ない。
【００６８】
図１２は実施例２の中敷体の上面図と側面図である。本例では、箱体の形状、実装済み光起電力素子の基板サイズ及び、中敷体の形状と材質、自動機の位置決め方法以外は実施例１と同様にした。
【００６９】
箱体の形状は実施例１における位置決め受入機構の穴を無くし、実装済み光起電力素子の基板サイズは２３８．８ｍｍ×１７７．８ｍｍとした。実装済み光起電力素子は２枚並べて収納し、それぞれの上に順次重ねて収納する。また位置決め機構１２０１は円柱状の凸の内部に凹部を有する形状である。また中敷体１２００はセラミックを使用した。
【００７０】
図１３は実施例２の基板収納箱が装置内で位置決めされる様子を示す模式図である。中敷体１３０１は上方からの位置決めピン１３０２で位置決めされる。
【００７１】
本実施例においても実施例１と同様の効果が得られる。
【００７２】
〔実施例３〕
本実施例は、位置決め機構として中敷体の下面にマークを設け、箱体底面の外側からカメラでマークを認識し、ロボットハンドで位置決めする基板収納箱である。本例では下記のように箱体全体を透明にしているため、この場合も箱体には位置決め受入機構は必要ない。
【００７３】
図１４は実施例３の中敷体の上面図と側面図である。箱体の形状と色及び、中敷体の形状、自動機の位置決め方法以外は実施例１と同様にした。箱体の形状と色は実施例１における位置決め受入機構を無くし、透明の色とし、中敷体１４００には位置決め機構１４０１としてマークを設けた。
【００７４】
図１５は実施例３の基板収納箱が装置内で位置決めされる様子を示す模式図である。中敷体１５０１は自動機の画像処理用カメラ１５０２により位置が検出され、自動機のオートハンド１５０３がＸＹ方向に自動的に移動し、基板を入れる。
【００７５】
本実施例においても実施例１と同様の効果が得られる。
【００７６】
【発明の効果】
このように本発明は、従来のように箱体に直接ガイドを設けた構成ではなく、中敷体を設けてその中敷体に位置決め機構を設けていることが大きな特徴である。つまり位置決めを行う中敷体と、輸送環境から内容物を保護する箱体からなる基板収納箱であり、低コストはもちろん容易に輸送が行える。更に、工程内の装置に基板収納箱を直接かけることが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の基板収納箱の代表的形態の上面図と断面図である。
【図２】従来の基板収納箱への代表的な基板の収納方法を示す模式図である。
【図３】本発明の基板収納箱の一実施形態の上面図と断面図である。
【図４】本発明の基板収納箱への基板の収納方法の一実施形態を示す模式図である。
【図５】本発明の基板収納箱の中敷体が装置内で位置決めされる様子を示す上面図と断面図である。
【図６】本発明の実施例１の基板収納箱の上面図と断面図である。
【図７】本発明の実施例１の箱体の３面図である。
【図８】本発明の実施例１の中敷体の３面図である。
【図９】本発明の実施例１の基板収納箱の中敷体が装置内で位置決めされる様子を示す模式図である。
【図１０】本発明の実施例１の基板収納箱を用いた光起電力素子の運送を説明する図である。（ａ）は光起電力素子を輸送する為に梱包する状態を表す組立図である。（ｂ）は光起電力素子を輸送する為に梱包する直前の状態を表す側面図である。（ｃ）は梱包に使用する緩衝材の斜視図である。
【図１１】本発明の実施例１の基板収納箱をパレット上に集積、梱包した状態を説明する図である。（ａ）は斜視図である。（ｂ）は梱包に用いた金属蓋の３面図である。
【図１２】本発明の実施例２の中敷体の上面図と側面図である。
【図１３】本発明の実施例２の基板収納箱の中敷体が装置内で位置決めされる様子を示す模式図である。
【図１４】本発明の実施例３の中敷体の上面図と側面図である。
【図１５】本発明の実施例３の基板収納箱の中敷体が装置内で位置決めされる様子を示す模式図である。
【符号の説明】
１００、２０３、３００、４０３、５００、６００、９００、１１０１  基板収納箱
１０１、３０１、５０１、６０１、７００、９０１、１００８  箱体
１０２、３０３、５０３、６０３、８０１、９０３、１００４  ガイド
２００、４００  半導体基板の製造ライン
２０１、４０１  前工程
２０２、４０２  後工程
２０４、２０６  投入用ストッカー
２０５、２０７  排出用ストッカー
３０２、５０２、６０２、８００、９０２、１００５、１２００、１３０１、１４００、１５０１  中敷体
３０４、５０４、６０４、８０２、９０４、１００６、１２０１、１４０１  位置決め機構
３０５、５０５、６０５、７０１、９０５、１００７  位置決め受入機構
５０６、９０６、１３０２  位置決めピン
８０３  凸部
８０４  ねじ穴
９０７  幅寄せガイド
１００１  緩衝材
１００２  蓋
１００３  光起電力素子
１１０２  パレット
１１０３  仕切り板
１１０４  金属蓋
１１０５  ベルト
１５０２  画像処理用カメラ
１５０３  オートハンド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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