(57)【要約】【課題】  滴下貼合せ方式で液晶表示パネルを製造しようとする際の、減圧下での液晶の泡立ちの問題を解消する。【解決手段】  液晶滴下装置は、液晶表示パネルを構成するために互いに貼り合わせられるべき２枚の基板のうち１枚である基板の表面に液晶を滴下するための液晶滴下装置であって、内部に液晶１８を保持するためのシリンジ１１と、シリンジ１１内部を気体によって加圧するための加圧手段と、シリンジ１１内部を減圧するための減圧手段とを備える。加圧手段には加圧弁１４が含まれ、減圧手段には排気弁１５が含まれる。この液晶滴下装置は、好ましくは、定期的に減圧手段によってシリンジ１１内部を減圧するように構成されている。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示パネルを構成するために互いに貼り合わせられるべき２枚の基板のうち１枚である基板の表面に液晶を滴下するための液晶滴下装置であって、
内部に前記液晶を保持するためのシリンジと、
前記シリンジ内部を気体によって加圧するための加圧手段と、
前記シリンジ内部を減圧するための減圧手段とを備える、液晶滴下装置。
【請求項２】
前記加圧手段および前記減圧手段は、一方の作動を停止した状態でなければ他方を作動させることができないように構成されている、請求項１に記載の液晶滴下装置。
【請求項３】
定期的に前記減圧手段によって前記シリンジ内部を減圧するように構成されている、請求項１または２に記載の液晶滴下装置。
【請求項４】
前記液晶の滴下作業時以外は前記減圧手段によって前記シリンジ内部を減圧するように構成されている、請求項１または２に記載の液晶滴下装置。
【請求項５】
前記シリンジは、ニードルを前記シリンジの内側から押し当てることによって閉鎖可能な吐出口と、
前記減圧手段の作動を停止し、かつ前記加圧手段が作動している状態において、滴下のために所定時間だけ前記吐出口を開放するように制御するための制御部とを備える、請求項１から４のいずれかに記載の液晶滴下装置。
【請求項６】
２枚の基板のうち一方の基板に対して、シリンジ内部に保持した液晶を吐出口から滴下する方式の液晶滴下装置を用いて液晶を滴下する工程と、
前記一方の基板を前記２枚の基板のうち他方の基板と貼り合せる工程とを含み、
前記液晶を滴下する工程においては、定期的に前記シリンジ内部を減圧した状態とする、液晶表示パネルの製造方法。
【請求項７】
２枚の基板のうち一方の基板に対して、シリンジ内部に保持した液晶を開閉自在の吐出口から滴下する方式の液晶滴下装置を用いて液晶を滴下する工程と、
前記一方の基板を前記２枚の基板のうち他方の基板と貼り合せる工程とを含み、
前記液晶を滴下する工程は、前記吐出口の開放および閉鎖を交互に繰返す作業モードと、前記吐出口を閉鎖したまま待機する脱泡モードとを含み、前記作業モードの間は前記シリンジ内部を加圧した状態とし、前記脱泡モードの間は前記シリンジ内部を減圧した状態とする、液晶表示パネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、滴下貼合せ方式で液晶表示パネルを製造しようとするときに用いられる液晶滴下装置に関するものである。また、液晶表示パネルの製造方法にも関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルは、薄くて軽量であり、消費電力が小さいという特徴を有するため、テレビジョン受像機、モバイル機器などの各種電子機器に広く使用されている。一般的な液晶表示パネルは、２枚の基板を備える。一方の基板は、マトリックス状に画素電極を配置した基板であり、他方の基板は、画素電極に対応するように赤色、緑色、青色の３色のカラーフィルタとコモン電極が配置された基板である。これら２枚の基板は一定の間隙をなすように離隔した状態で貼り合わせられており、この間隙の内部に液晶が封入されている。
【０００３】
このような構造を得るために、従来は、以下の方法によっていた。
【０００４】
一方の基板に液晶表示領域を囲むようにシール材を塗布する。ただし、このとき、後工程で液晶を注入できるように、シール材は完全な閉ループ状に塗布するのではなく、切れ目のあるループ状に塗布する。この切れ目はのちに液晶の注入口とするためのものである。また、基板間の距離を一定に保つためのスペーサをどちらか一方の基板に設ける。スペーサを設置する方法としては、ビーズを散布する方法や、フォトレジストを現像する方法などがある。その後、基板同士を位置合わせし、貼り合せた状態でシール材を硬化させ、パネルの形状に分断する。本明細書ではこれを以下「空パネル」というものとする。空パネルを排気チャンバの中に入れ、空パネル内の空気を排気する。空パネルにはシール材の切れ目である液晶の注入口があいているため、基板間の間隙にあった空気も排気される。その後、液晶を注入口に接触させ、チャンバ内を大気圧に戻す。こうすることにより、大気圧による押し上げと毛細管現象とによって空パネル内に液晶が充填される。その後、注入口を封止する。こうして、液晶表示パネルが得られる。
【０００５】
このように注入口から液晶を注入する方法では、複数の空パネルを真空チャンバー内に入れて同時に並行して処理できるため、排気にかける時間を長くとることができるが、液晶パネルのサイズ、セルギャップ、液晶の粘度、液晶の配向によって、充填に必要な時間が大きく変化し、工程１回当たりの所要時間が安定しない。
【０００６】
近年、これらの欠点を改善するために、「液晶滴下注入法」が提案されている。液晶滴下注入法とは、２枚のうち一方の基板に液晶表示領域を囲むように閉ループ状にシール材を塗布し、液晶をこの基板の液晶表示領域内またはもう１枚の基板の液晶表示領域内に滴下させ、これら２枚の基板を排気チャンバ内で貼り合せるという方法である。
【０００７】
液晶滴下注入法は、液晶の充填時間を一定にできるという利点があるが、１組ずつ排気チャンバ内で貼り合せ処理を行なうため、急激に排気せざるを得ない。そのため、液晶に溶け込んでいるガスを除去する、すなわち、脱泡するための時間も短くなる。その結果、液晶の脱泡が不十分なまま排気チャンバ内を減圧することとなり、液晶が泡立ちやすくなる。液晶が泡立つことによって、液晶の一部がはじけ飛んで液晶表示領域外に出てしまい、シール材内部に封入されるべき液晶の量が不正確になったり、液晶が飛び散ることでチャンバー内を汚染したりする原因となる。
【０００８】
液晶滴下注入法に用いられる従来の液晶滴下装置の例として、実開平４−９６１号公報（特許文献１）に開示されるものがある。この液晶滴下装置では、円筒容器内に溜めた液晶に対して上方から常時加圧している。円筒容器の下端にある吐出口は円筒容器内部からロッドを押し当てることによって普段は閉鎖している。液晶の滴下時には、ロッドを微小時間だけ上げてから下げることによって、吐出口から液晶が液滴として打ち出される。
【０００９】
図５に、この液晶滴下装置１０１を使用して滴下を行なっている様子を示す。液晶滴下装置１０１にはエア・コンプレッサ１０９が接続されており、内部の液晶に対しては常時空気による圧力が加えられている。液晶滴下装置１０１は、基板２の表面に塗布されたシール材５の内部領域に向けて液晶を液滴１０４として吐出する。液滴１０４は、基板２上に液晶１０３として載る。
【特許文献１】実開平４−９６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
この液晶滴下装置１０１を用いる場合、上述のような液晶の脱泡不足による泡立ちの問題をなるべく回避するために、使用開始前に脱泡処理に行なうことが考えられている。すなわち、使用開始前に液晶の入った円筒容器を、上側を開放した状態で真空チャンバ内に設置し、一定時間の間、真空下に放置することによって脱泡を行なう。しかし、使用開始前にたとえ液晶の脱泡が十分になされたとしても、この液晶滴下装置１０１では実際の使用時には円筒容器内に溜められた液晶に対して圧縮空気で常時加圧することとなるため、長時間使用しているうちに液晶に再びガスが溶け込み、脱泡前と同じ状態となってしまう。このようなガスの溶け込んだ液晶が滴下されることによって、従来同様に泡立ちの問題が生じてしまう。すなわち、図６に示すように、真空チャンバ４１内で基板２，８間の貼り合せを行なおうとしたときに、液晶１０６が泡立ち、一部がはじけ飛んで液晶表示領域外に出てしまい、漏れ液晶１０７となってしまう。
【００１１】
そこで、本発明は、減圧時の液晶の泡立ちの問題を解消できる液晶滴下装置および液晶表示パネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に基づく液晶滴下装置は、まず、液晶表示パネルを構成するために互いに貼り合わせられるべき２枚の基板のうち１枚である基板の表面に液晶を滴下するための液晶滴下装置である。上記目的を達成するため、この液晶滴下装置は、内部に上記液晶を保持するためのシリンジと、このシリンジ内部を気体によって加圧するための加圧手段と、上記シリンジ内部を減圧するための減圧手段とを備える。この構成を採用することにより、シリンジ内部の液晶を吐出するために加圧したり脱泡するために減圧したりすることができる。
【００１３】
上記発明において好ましくは、上記加圧手段および上記減圧手段は、一方の作動を停止した状態でなければ他方を作動させることができないように構成されている。この構成を採用することにより、加圧手段と減圧手段とが同時に作動してしまってシリンジ内が正常に加圧できなかったり正常に減圧できなかったりするような事態を避けることができる。
【００１４】
上記発明において好ましくは、定期的に上記減圧手段によって上記シリンジ内部を減圧するように構成されている。この構成を採用することにより、シリンジ内部の液晶を定期的に脱泡することができる。
【００１５】
上記発明において好ましくは、上記液晶の滴下作業時以外は上記減圧手段によって上記シリンジ内部を減圧するように構成されている。この構成を採用することにより、シリンジ内部の液晶を可能な限り脱泡した状態に維持することができる。
【００１６】
上記発明において好ましくは、上記シリンジは、ニードルを上記シリンジの内側から押し当てることによって閉鎖可能な吐出口と、上記減圧手段の作動を停止し、かつ上記加圧手段が作動している状態において、滴下のために所定時間だけ上記吐出口を開放するように制御するための制御部とを備える。この構成を採用することにより、液晶を少量ずつ吐出することができ、また、吐出口の開放時間を適宜設定することによって吐出する液晶の量を微調整できる。
【００１７】
上記目的を達成するため、本発明に基づく液晶表示パネルの製造方法は、２枚の基板のうち一方の基板に対して、シリンジ内部に保持した液晶を吐出口から滴下する方式の液晶滴下装置を用いて液晶を滴下する工程と、上記一方の基板を上記２枚の基板のうち他方の基板と貼り合せる工程とを含み、上記液晶を滴下する工程においては、定期的に上記シリンジ内部を減圧した状態とする。この方法を採用することにより、シリンジ内の液晶に溶け込むガスの量を常にある程度以下に維持することができる。
【００１８】
上記発明において好ましくは、２枚の基板のうち一方の基板に対して、シリンジ内部に保持した液晶を開閉自在の吐出口から滴下する方式の液晶滴下装置を用いて液晶を滴下する工程と、上記一方の基板を上記２枚の基板のうち他方の基板と貼り合せる工程とを含み、上記液晶を滴下する工程は、上記吐出口の開放および閉鎖を交互に繰返す作業モードと、上記吐出口を閉鎖したまま待機する脱泡モードとを含み、上記作業モードの間は上記シリンジ内部を加圧した状態とし、上記脱泡モードの間は上記シリンジ内部を減圧した状態とする。この方法を採用することにより、作業モードには吐出作業を効率良く行なうことができ、脱泡モードには液晶の脱泡を効率良く行なうことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、シリンジ内に液晶を保持して滴下作業を行なっている合間にでも適宜シリンジ内を減圧して液晶の脱泡を行なうことができるので、液晶中に溶け込んだガスの量を常にある程度以下に維持することができる。したがって、貼合せのために真空下にさらしても泡立ちや飛散を起こさないような液晶を安定して滴下することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（実施の形態１）
（構成）
図１〜図４を参照して、本発明に基づく実施の形態１における液晶滴下装置について説明する。この液晶滴下装置１は、液晶表示パネルを構成するために互いに貼り合わせられるべき２枚の基板のうち１枚である基板の表面に液晶を滴下するための液晶滴下装置である。液晶滴下装置１は、内部に液晶を保持するためのシリンジ１１を備える。図１では、シリンジ１１内に液晶１８が入っている状態を示している。シリンジ１１の上部を塞ぐ部分には少なくとも２本の管が接続されており、一方には加圧弁１４、他方には排気弁１５が設けられている。加圧弁１４のある側の管の先にはエア・コンプレッサ（図示せず）が接続されており、加圧弁１４を開くことによってシリンジ１１内の液晶１８上部の隙間に対して加圧を行なうことができる。すなわち、加圧弁１４が設けられている側の管は、シリンジ内部を気体によって加圧するための加圧手段を構成している。排気弁１５がある側の管の先には真空ポンプが接続されており、排気弁１５を開くことによってシリンジ１１内の液晶１８上部の隙間を減圧することができる。すなわち、排気弁１５が設けられている側の管は、減圧手段を構成している。加圧弁１４および排気弁１５の開閉は、制御部１７によって制御されている。加圧手段および前記減圧手段は、一方の作動を停止した状態でなければ他方を作動させることができないように構成されている。言い換えれば、加圧弁１４は排気弁１５が閉じている状態でしか開けることができず、なおかつ、排気弁１５は加圧弁１４が閉じている状態でしか開けることができないような仕組みになっている。
【００２１】
シリンジ１１の下端には吐出口１６が開口しており、この吐出口１６は、ニードル１２をシリンジ１１の内側から押し当てることによって塞がれる形となっている。ニードル１２の上端はソレノイド１３に接続されており、ソレノイド１３の動作によってニードル１２が上下方向に移動するようになっている。ニードル１２を上げたときには吐出口１６は開放され、ニードル１２を下げたときには吐出口１６は閉鎖される。したがって、吐出口１６の開閉は、ソレノイド１３の動作によって自在に行なうことができる。
【００２２】
ソレノイド１３は制御部１７によって制御されている。制御部１７は、減圧手段の作動を停止し、かつ加圧手段が作動している状態において、液晶の滴下のために所定時間だけ吐出口１６を開放するように制御するためのものでもある。
【００２３】
この液晶滴下装置１は、原則として液晶の滴下作業時以外は、減圧手段によってシリンジ１１内部を減圧するように構成されている。
【００２４】
（動作例）
液晶滴下装置１の動作について説明する。まず、２０ｐｐｍ程度の水分を含む液晶をシリンジ１１内に充填し、上部を開放した状態で真空チャンバ内に置き、１００Ｐａ程度に減圧して３０分間にわたって放置した。これが使用開始前の液晶の脱泡処理に該当する。この後、図２に示すように、大気圧中にあるｘ−ｙテーブル（図示せず）にこの液晶滴下装置１を設置した。既に表面に駆動素子が形成された基板２に対して吐出口１６が対向している。基板２表面の複数の液晶封入予定領域に向けて、液晶滴下装置１によって次々と液晶の滴下を行なった。
【００２５】
液晶の滴下作業は図３に示すサイクルで行なわれる。まず、この液晶滴下装置は、ステップＳ１に入る前の液晶脱泡状態として、ニードル１２によって吐出口１６が閉じられ、加圧弁１４が閉じ、排気弁１５が開いた状態にある。この状態では、シリンジ１１内の液晶１８の上側の空間は排気弁１５を通じて３ｋＰａに減圧されており、液晶１８は脱泡され続ける、あるいは、新たな脱泡を施すほどではないにしても、ある程度脱泡された状態から脱泡前の状態に戻ってしまうことを抑制し続けることができる。
【００２６】
この状態で、ステップＳ１として、排気弁１５が閉じられる。こうしてシリンジ１１内の減圧が停止する。ステップＳ２として、加圧弁１４が開けられる。こうして図示しない加圧手段によりシリンジ１１内の圧力は０．３ＭＰａにまで高まる。この状態でステップ３としてソレノイド１３が動作することによってニードル１２が上昇し、吐出口１６が開放される。シリンジ１１内は前述したように既に圧力が高まっているのでステップＳ４として吐出口１６からは液晶１８が飛び出す。ただし、ニードル１２は上昇して数十ミリ秒後には下降し、ステップＳ５として吐出口１６はニードル１２によって再び塞がれる。この吐出口１６が開放されていた数十ミリ秒の間に飛び出した液晶は図２に示すように液滴４となって基板２に向かって飛んでいく。液晶の液滴４は基板２に衝突し、図２に示す液晶３のように基板２上の所望箇所に付着して留まる。
【００２７】
ここで図３に示すように、ステップＳ６として、加圧弁１４が閉じられ、シリンジ１１内への加圧が停止する。その後、ステップＳ７として排気弁１５が開かれ、再び当初と同じ液晶脱泡状態に戻る。ステップＳ２の後には０．３ＭＰａにまで高まっていたシリンジ１１内の圧力は、ステップＳ７で排気弁１５が開くことによって低下し、再び３ｋＰａになるまで減圧される。
【００２８】
１枚の基板２表面の複数の液晶封入予定領域に向けて、液晶滴下装置１によって次々と液晶の滴下を行なう場合などのように、液晶の滴下自体が短い周期で続けて行なわれる場合は、必ずしもステップＳ１〜Ｓ７を繰返す必要はない。たとえば、このような場合を「作業モード」として、図３に示すようにステップＳ３からステップＳ５までだけを繰返すこととしてもよい。この場合、１回の滴下毎に排気弁１５を開けてシリンジ１１内を減圧していては時間がかかること、１回の滴下から次の滴下までの時間が元々短いのでシリンジ１１内を加圧したままにしておいても液晶にガスが溶け込む程度がさほど大きくないことなどを考慮して、位置合わせとニードル１２の開閉だけを行なうものである。
【００２９】
複数の基板２にわたって作業を行なう場合であっても、たとえば、１つのロットが連続して生産ラインを流れている場合のように、滴下の作業自体が連続的に繰返し行なわれる場合は、作業モードとして続けて行なってもよい。ただし、ロットの切れ目や生産ラインの段取り変えなどのために、滴下の作業がしばらく必要なくなる場合には、液晶滴下装置１は吐出口１６が閉鎖されたまま待機することとなるので、この機会に液晶滴下装置１を「脱泡モード」とする。脱泡モードでは、ステップＳ６，Ｓ７が行なわれ、液晶滴下装置１は液晶脱泡状態に至る。再び脱泡モードから作業モードに切り替わるときには、ステップＳ１，Ｓ２を行なってから作業モードに入る。
【００３０】
あるいは、１つのロットがまとまって生産ラインを流れている場合や、１枚の基板２の表面の複数の領域に対して続けて滴下を行なうべき場合においても、一定時間ごと、一定滴下回数ごと、または、一定処理枚数ごとなどといった具合で、定期的に作業モードを止めて自主的に脱泡モードに入ることとしてもよい。この場合、滴下作業は一旦中断され、液晶滴下装置１は、ステップＳ６，Ｓ７を経て液晶脱泡状態に至り、必要な時間だけその状態を保持する。その後、再び、ステップＳ１，Ｓ２を経て作業モードに入り、滴下作業を再開する。この脱泡モードに入るかどうかの基準は、単に定期的に行なうこととしてもよいが、液晶内のガス混入量を何らかの検出手段で検出して、一定の基準量を超えた場合にのみ脱泡モードに入ることにしてもよい。
【００３１】
（結果の検証）
紫外線と熱とで硬化するタイプのシール材５を表面に配置し、本実施の形態における液晶滴下装置１によって液晶の滴下を行なった基板２を、図４に示すように、真空チャンバ４１内の下テーブル（図示せず）に設置した。対向基板８を基板２と対向するように、上テーブル（図示せず）に設置した。排気口４６を介して、真空チャンバ４１内を１００Ｐａ以下に排気し、上下の基板同士の位置合わせを行なった。このように排気された状態では、滴下されて基板２上に載っている液晶が脱泡不十分な状態であれば、図６に示したように泡立ちが生じ、飛散による液晶漏れが起こるところであるが、本実施の形態では、真空チャンバ４１内を１００Ｐａ以下に排気しても、図４に示すように、液晶３には特に顕著な変化は見られず、泡立ちや飛散も起こらなかった。
【００３２】
この状態で、上テーブルを下降させ、１ｋＮの力で貼合せを行ない、液晶表示パネルとして影響のないダミーシールパターン部の任意位置に紫外線をスポット照射し、仮固定を行なった。その後、上テーブルを上昇させる。対向基板８は基板２に対して既に仮固定されているので、上テーブルは対向基板８を下テーブル上に残して上昇する。この後、真空チャンバ４１内を大気開放する。真空チャンバ４１内を大気開放すれば、液晶封入領域の内圧と大気圧との差により、仮固定済みの両基板はプレスされ、セルギャップを均一にすることができる。さらに、これらの２枚の基板のうち、駆動素子を有する基板の方を上側にして、上方から紫外線を３０００ｍＪ以上の照射量で照射し、その後、ＩＲ（赤外線）炉で１２０℃での焼成を行なった。その結果、シール材の本硬化が完了し、液晶が正確に封入された液晶パネルを得ることができた。
【００３３】
本実施の形態における液晶滴下装置によって、滴下作業の合間に定期的に液晶脱泡状態とする時間を設けつつ液晶滴下を続けることとして、液晶滴下後の基板をそれぞれ貼合せ作業に送り込んだ。このようにして、液晶表示パネルを１００枚以上生産しても、貼合せ時の泡立ちは発生せず、気泡や液晶漏れのない液晶表示パネルを安定して製造することができた。
【００３４】
なお、この例では、液晶を滴下する基板２自体にシール材を配置しておいてから対向基板８を貼り合せることとしたが、液晶を滴下する基板２ではなく、対向基板８の側にシール材を配置しておいて基板２に対して対向基板８を貼り合せることとしてもよい。
【００３５】
（作用・効果）
本実施の形態では、シリンジ１１内に液晶１８を保持して滴下作業を行なっている合間にシリンジ１１内を減圧して、液晶脱泡状態とすることができる。したがって、シリンジ１１内での液晶１８の保持が長時間にわたり、その間に吐出のための加圧が何度も繰返されたとしても、液晶脱泡状態としてその間に液晶の脱泡を行なうことができる。よって、基板貼合せのために真空チャンバ内で減圧下にさらされても泡立つことのない、十分に脱泡された液晶を滴下し続けることができる。
【００３６】
ただし、本実施の形態では、液晶脱泡状態ではシリンジ１１内の圧力が３ｋＰａとなるように減圧したが、この圧力があまりに低くなりすぎると、ニードル１２で閉鎖している吐出口１６の隙間からシリンジ１１内に空気が侵入してくるので好ましくない。逆に、このシリンジ１１内の圧力が高すぎると、脱泡の効果があまり得られないので好ましくない。
【００３７】
発明者らが実験したところでは、液晶脱泡状態での圧力値を３ｋＰａの代わりに１０ｋＰａとした場合、その条件で液晶滴下を行なって製造する液晶パネルのうち数十枚目で液晶が貼合せ時に泡立つようになった。そして、シール材の外側への液晶の飛散が生じた。また、液晶漏れによるセル内での液晶不足が生じた。したがって、１０ｋＰａでは圧力が高すぎることがわかった。よって、この液晶滴下装置における液晶脱泡状態としては、３ｋＰａを含む一定の範囲内の圧力とすることが好ましいといえる。
【００３８】
なお、本実施の形態では、シリンジの吐出口の開閉は、ニードルの上下移動によって行なうこととしたが、吐出口の開閉は、このような方式だけでなく、他の方式によるものであってもよい。本発明は、シリンジを用いた構造の液晶滴下装置全般に適用することができる。
【００３９】
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明に基づく実施の形態１における液晶滴下装置の概念図である。
【図２】本発明に基づく実施の形態１における液晶滴下装置によって滴下作業を行なっている様子の説明図である。
【図３】本発明に基づく実施の形態１における液晶滴下装置における滴下作業のフローチャートである。
【図４】本発明に基づく実施の形態１における液晶滴下装置によって滴下を行なった基板に対して貼合せを行なっている様子の説明図である。
【図５】従来技術に基づく液晶滴下装置によって滴下作業を行なっている様子の説明図である。
【図６】従来技術に基づく液晶滴下装置によって滴下を行なった基板に対して貼合せを行なっている様子の説明図である。
【符号の説明】
【００４１】
１，１０１  液晶滴下装置、２  基板、３，１０３  （基板上に滴下された）液晶、４，１０４  （液晶の）液滴、５  シール材、８  対向基板、１１  シリンジ、１２  ニードル、１３  ソレノイド、１４  加圧弁、１５  排気弁、１６  吐出口、１７  制御部、１８  （シリンジ内に保持された）液晶、４１  真空チャンバ、４６  排気口、１０６  （泡立った）液晶、１０７  漏れ液晶、１０９  エア・コンプレッサ。
【図１】
2005107183.tif 000003
【図２】
2005107183.tif 000004
【図３】
2005107183.tif 000005
【図４】
2005107183.tif 000006
【図５】
2005107183.tif 000007
【図６】
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