(57)【要約】      （修正有）【課題】  被吐出部上での塗布ムラを少なくすることが可能な液滴吐出装置、さらには液滴吐出方法を提供する。【解決手段】  液滴を吐出可能な吐出ノズル１１８を複数備え、前記吐出ノズル１１８は、被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士が少なくとも重なるように設計されてなり、前記被吐出部に着弾した液滴の最大外径をＲとしたときに、前記吐出ノズルは、前記被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士がそれぞれ重なるように設計されてなる。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴を吐出可能な吐出ノズルを複数備えた液滴吐出装置であって、前記吐出ノズルは、被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士が少なくとも重なるように設計されてなることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
前記被吐出部に着弾した液滴の最大外径をＲとしたときに、前記吐出ノズルは、前記被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士がそれぞれＲ／５〜Ｒ／２だけ重なるように設計されてなることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記吐出ノズルは、前記被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士が少なくとも重なるように、隣接するノズル間の距離が設計されてなることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記被吐出部に着弾した液滴の最大外径をＲとしたときに、隣接するノズル間の距離がＲ／２〜４Ｒ／５に設計されてなることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
液滴を吐出可能な吐出ノズルを複数備えた液滴吐出装置を用いる液滴吐出方法であって、被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士が少なくとも重なるように、隣接する吐出ノズル間の距離を調整して吐出を行うことを特徴とする液滴吐出方法。
【請求項６】
前記被吐出部に着弾した液滴の最大外径をＲとしたときに、前記被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士がそれぞれＲ／５〜Ｒ／２だけ重なるように、前記隣接する吐出ノズル間の距離を調整して吐出を行うことを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出方法。
【請求項７】
前記被吐出部に着弾した液滴の最大外径をＲとしたときに、前記隣接するノズル間の距離をＲ／２〜４Ｒ／５にして液滴を吐出することを特徴とする請求項５又は６に記載の液滴吐出方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来よりインクジェット装置（液滴吐出装置）を用いて、画素毎に区画化された領域に材料を塗布する手法が知られている。例えば、特許文献１には、インクジェット装置を用いてカラーフィルタ基板のフィルタエレメントや、マトリクス型の表示装置においてマトリクス状に配置された発光部を形成する方法が開示されている。
【特許文献１】特開２００３−１２７３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献１においては、画素毎に区画化された領域に材料（例えば着色材料）を塗布する方法が開示されているが、塗布ムラを解消するための好適な条件については開示されておらず、特に隣接する２つの吐出ノズルの構成について、吐出する液滴との関係で好適な条件は述べられていない。本発明は、被吐出部上での塗布ムラを少なくすることが可能な液滴吐出装置、さらには液滴吐出方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出可能な吐出ノズルを複数備えた液滴吐出装置であって、前記吐出ノズルは、被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士が少なくとも重なるように設計されてなることを特徴とする。このような液滴吐出装置によると、被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士が少なくとも重なるように吐出ノズルを設計しているため、塗布ムラが生じ難いものとなる。
【０００５】
ここで、前記被吐出部に着弾した液滴の最大外径をＲとしたときに、前記吐出ノズルは、前記被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士がそれぞれＲ／５〜Ｒ／２だけ重なるように設計されてなるものとすることができる。このように吐出ノズルを設計することで塗布ムラを一層高効率で解消することが可能となる。液滴同士の重なりがＲ／５未満の場合、塗布ムラの解消が不確実となる場合があり、また液滴同士の重なりがＲ／２を超えると、被吐出部に対して吐出される液滴の体積が増大し、ノズル間の吐出量のバラツキが生じ易く塗布ムラが発生する惧れがある。
【０００６】
本発明において、前記被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士が少なくとも重なるように吐出ノズルを設計する手法としては、例えば隣接するノズル間の距離を適宜設計するのが好ましい。隣接するノズル間を適宜設計することで、塗布ムラを解消可能となる。
【０００７】
具体的には、前記被吐出部に着弾した液滴の最大外径をＲとしたときに、隣接するノズル間の距離がＲ／２〜４Ｒ／５に設計されてなるものとすることができる。このようにノズル間距離を設計することで、着弾した液滴がＲ／５〜Ｒ／２だけ重なるように吐出を行えるようになり、塗布ムラを一層高効率で解消することが可能となる。
【０００８】
次に、上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出方法は、液滴を吐出可能な吐出ノズルを複数備えた液滴吐出装置を用いる液滴吐出方法であって、被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士が少なくとも重なるように、隣接する吐出ノズル間の距離を調整して吐出を行うことを特徴とする。このような方法によると、被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士が少なくとも重なるように吐出ノズル間の距離を調整しているため、塗布ムラが生じ難いものとなる。
【０００９】
ここで、前記被吐出部に着弾した液滴の最大外径をＲとしたときに、前記被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士がそれぞれＲ／５〜Ｒ／２だけ重なるように、前記隣接する吐出ノズル間の距離を調整して吐出を行うものとすることができる。このように吐出ノズル間の距離を調整することで塗布ムラを一層高効率で解消することが可能となる。液滴同士の重なりがＲ／５未満の場合、塗布ムラの解消が不確実となる場合があり、また液滴同士の重なりがＲ／２を超えると、被吐出部に対して吐出される液滴の体積が増大し、ノズル間の吐出量のバラツキが生じ易く塗布ムラが発生する惧れがある。
【００１０】
また、前記被吐出部に着弾した液滴の最大外径をＲとしたときに、前記隣接するノズル間の距離をＲ／２〜４Ｒ／５にして液滴を吐出するものとすることができる。このようなノズル間距離にて吐出を行うことで、着弾した液滴がＲ／５〜Ｒ／２だけ重なるようになり、塗布ムラを一層高効率で解消することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
（Ａ．液滴吐出装置の全体構成）
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図１に示すように、本実施の形態のインクジェット装置（液滴吐出装置）１００は、インク（液状物）１１１を貯留するタンク１０１と、チューブ１１０と、チューブ１１０を介してタンク１０１に接続された吐出走査部１０２とを備えている。
【００１２】
吐出走査部１０２は、複数のヘッド１１４（図２参照）を備えたキャリッジ１０３と、キャリッジ１０３の位置を制御する第１位置制御装置１０４と、インクの塗布対象物である基体１０Ａを支持可能なステージ１０６と、ステージ１０６の位置を制御する第２位置制御装置１０８と、制御部１１２とを備えている。キャリッジ１０３に備えられた複数のヘッド１１４（図２参照）とタンク１０１とはチューブ１１０で連結されており、タンク１０１から各ヘッド１１４（図２参照）にインク１１１が圧縮空気によって供給される。
【００１３】
第１位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信号に応じて、キャリッジ１０３をＸ軸方向、及びＸ軸方向に直交するＺ軸方向に沿って移動させる。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸回りでキャリッジ１０３を回転させる機能も有している。本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。
【００１４】
第２位値制御装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、Ｘ軸方向及びＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させる。さらに、第２位置制御装置１０８は、Ｚ軸回りでステージ１０６を回転させる機能も有する。なお、本明細書では、第１位置制御装置１０４及び第２位置制御装置１０８を「走査部」と表記することもある。
【００１５】
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、インクを塗布する対象である被吐出部を有する基体１０Ａをその平面上に固定、又は保持できるように構成されている。
【００１６】
本明細書におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、キャリッジ１０３及びステージ１０６のどちらか一方が他方に対して相対移動する方向に一致している。また、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向を規定するＸＹＺ座標系の仮想的な原点は、インクジェット装置１００の基準部分に固定されている。本明細書において、Ｘ座標、Ｙ座標、及びＺ座標とは、このようなＸＹＺ座標系における座標である。なお、上記の仮想的な原点は、基準部分だけでなく、ステージ１０６に固定されていてもよいし、キャリッジ１０３に固定されていてもよい。
【００１７】
本実施の形態では、キャリッジ１０３は第１位置制御装置１０４によってＹ軸方向に移動可能に構成され、ステージ１０６は第２位置制御装置１０８によってＸ軸方向に移動可能に構成されている。つまり、第１位置制御装置１０４及び第２位置制御装置１０８によって、ステージ１０６に対するヘッド１１４の相対位置が変わる構成となっている。より具体的には、これらの動作によって、キャリッジ１０３は、ステージ１０６上で位置決めされた被吐出部に対して、Ｚ軸方向に所定の距離を保ちながら、Ｙ軸方向に相対的に移動、すなわち相対的に走査する。なお、「相対移動」又は「相対走査」とは、インク１１１を吐出する側と、そこからの吐出物が着弾する側（被吐出部側）の少なくとも一方を他方に対して移動することを含む意味である。
【００１８】
さらに、キャリッジ１０３が相対移動するとは、キャリッジ１０３のステージ１０６に対する相対位置が変わることである。このため、本明細書では、キャリッジ１０３がインクジェット装置１００に対して静止して、ステージ１０６のみが移動する場合であっても、キャリッジ１０３がステージ１６に対して相対移動すると表記する。また、相対走査又は相対移動と材料の吐出との組合せを指して「塗布走査」と表記することもある。キャリッジ１０３及びステージ１０６は、上記以外の平行移動及び回転の自由度をさらに有している。ただし、本実施の形態では、上記自由度以外の自由度に関する記載は説明を平易にする目的で省略されている。
【００１９】
一方、制御部１１２は、インク１１１を吐出すべき相対位置を表す吐出データを例えば外部情報処理装置から受け取るように構成されている。
【００２０】
（Ｂ．キャリッジ）
図２は、キャリッジ１０３をステージ１０６側から観察した図であり、図２の紙面に垂直な方向がＺ軸方向である。また、図２において図示横方向がＸ軸方向であり、図示縦方向がＹ軸方向である。
【００２１】
図２に示すように、キャリッジ１０３は、それぞれほぼ同じ構造を有する複数のヘッド１１４を保持している。本実施の形態では、キャリッジ１０３に保持されるヘッド１１４の数は２４個である。各ヘッド１１４は、インク１１１の吐出口として複数のノズル１１８（図３参照）を底面に有している。また、各ヘッド１１４の底面形状は、２つの長辺と２つの短辺とを有する多角形である。図２に示すように、ヘッド１１４の底面はステージ１０６側を向いており、さらにヘッド１１４の長辺方向と短辺方向とは、それぞれＸ軸方向とＹ軸方向とに平行である。
【００２２】
（Ｃ．ヘッド）
図３は、ヘッド１１４の底面構成を示している。ヘッド１１４は、Ｘ軸方向に並んだ複数のノズル１１８を有している。これら複数のノズル１１８は、Ｘ軸方向に所定のノズル間ピッチＬＮＰを保って形成されている。具体的には、例えば図８に示したように、基体Ａの被吐出部に着弾した液滴Ｑ，Ｒ…の最大外径をＲ（例えば複数の液滴の平均値）としたときに、被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴Ｑ，Ｒ同士がそれぞれ重なり幅Ｗ（具体的な幅は約Ｒ／５〜Ｒ／２）だけ重なるなるように、ノズル間ピッチＬＮＰが設計されており、詳しくはノズル間ピッチＬＮＰ（つまり隣接するノズル１１８，１１８間の距離）がＲ／２〜４Ｒ／５となるように形成されている。
【００２３】
本実施の形態では、ヘッド１１４における複数のノズル１１８は、ともにＸ軸方向に延びるノズル列１１６Ａと、ノズル列１１６Ｂとを構成しており、ノズル列１１６Ａ及びノズル列１１６ＢはＹ軸方向に並んでいる。そして、ノズル列１１６Ａ及びノズル列１１６Ｂのそれぞれにおいて、９０個のノズル１１８が一定間隔ＬＮＰでＸ軸方向に一列に並んでいる。つまり、ノズル列１１６Ａのノズル間ピッチＬＮＰ及びノズル列１１６Ｂのノズル間ピッチＬＮＰは共通の大きさで構成されている。なお、ヘッド１１４が含むノズル列の数は２つだけに限定されない。
【００２４】
ここで、ノズル列１１６Ａ及びノズル列１１６Ｂのそれぞれが９０個のノズルからなるため、１つのヘッド１１４は１８０個のノズルを有する。ただし、ノズル列１１６Ａの両端のそれぞれ５ノズルは「休止ノズル」として設定されている。同様に、ノズル列１１６Ｂの両端のそれぞれ５ノズルも「休止ノズル」として設定されている。そして、これら２０個の「休止ノズル」からはインク１１１が吐出されない。このため、ヘッド１１４における１８０個のノズル１１８のうち、１６０個のノズル１１８を「吐出ノズル」と表記することもある。
【００２５】
なお、１つのヘッド１１４におけるノズル１１８の数は１８０個に限定されない。１つのヘッド１１４に３６０個のノズルが設けられていてもよい。この場合には、ノズル列１１６Ａ及び１１６Ｂのそれぞれが１８０個のノズル１１８からなればよい。また、本発明において吐出ノズルの数は、１６０個に限定されない。１つのヘッド１１４にＰ個の吐出ノズルがあってもよい。ここで、Ｐは２以上の自然数であって、ヘッド１１４における全ノズル数以下であればよい。
【００２６】
また、図４はヘッド１１４の吐出部の構成を示す斜視図（ａ）及び断面図（ｂ）である。図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、ヘッド１１４は、振動板１２６とノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６とノズルプレート１２６との間には、タンク１０１（図１参照）から孔１３１を介して供給されるインク１１１が常に充填される液溜まり１２９が配設されている。
【００２７】
また、振動板１２６とノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が配設されている。そして、振動板１２６とノズルプレート１２８と一対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には一対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液溜まり１２９からインク１１１が供給される。
【００２８】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、振動子１２４が配設されている。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂとを含んで構成されている。この一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８からインク１１１が吐出される。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状の材料が吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。
【００２９】
ここで、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように制御部１１２（図１）を構成するものとしてもよい。つまり、ノズル１１８から吐出されるインク１１１の体積が、制御部１１２からの信号に応じてノズル１１８毎に制御されてもよい。そのような場合には、ノズル１１８のそれぞれから吐出されるインク１１１の体積は、０ｐｌ〜４２ｐｌ（ピコリットル）の間で可変である。また、制御部１１２は、塗布走査の間に吐出動作を行うノズル１１８と、吐出動作を行わないノズル１１８とを設定することもできる。
【００３０】
本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４とを含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つのヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有することとなる。吐出部１２７は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。
【００３１】
（Ｄ．制御部）
次に、制御部１１２の構成を説明する。図５に示すように、制御部１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とを備えている。バッファメモリ２０２と処理部２０４とは、相互に通信可能に接続されている。また、処理部２０４と記憶手段２０２とが相互に通信可能に接続され、処理部２０４と走査駆動部２０６とが相互に通信可能に接続されており、さらに、処理部２０４とヘッド駆動部２０８とが相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、第１位置制御手段１０４及び第２位置制御手段１０８と相互に通信可能に接続されている。同様に、ヘッド駆動部２０８は、複数のヘッド１１４のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
【００３２】
入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置からインク１１１からなる液滴を吐出するための吐出データを受け取る。吐出データは、基体１０Ａ上のすべての被吐出部の相対位置を表すデータと、すべての被吐出部にインク１１１を所望の厚さにまで塗布するのに必要となる相対走査の回数を示すデータと、オンノズルとして機能するノズル１１８を指定するデータと、オフノズルとして機能するノズル１１８を指定するデータとを含む。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶手段２０２に格納する。図５では、記憶手段２０２はＲＡＭである。
【００３３】
処理部２０４は、記憶手段２０２内の吐出データに基づいて、被吐出部に対するノズル１１８の相対位置を示すデータを走査駆動部２０６に与える。走査駆動部２０６は、このデータと、吐出周期ＥＰ（図７参照）とに応じた駆動信号を、第１位置制御手段１０４及び第２位置制御手段１０８に与える。この結果、被吐出部に対してヘッド１１４が相対走査する。一方、処理部２０４は、記憶手段２０２に記憶された吐出データと、吐出周期ＥＰとに基づいて、吐出タイミング毎のノズル１１８のオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、インク１１１の吐出に必要な吐出信号ＥＳをヘッド１１４に与える。この結果、ヘッド１１４における対応するノズル１１８からインク１１１が液滴として吐出される。
【００３４】
制御部１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御部１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御部１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されていてもよい。
【００３５】
次に、制御部１１２におけるヘッド駆動部２０８の構成と機能を説明する。
図６に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有する。また、図７に示すように、駆動信号生成部２０３は駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｐを含む。ここで、吐出波形Ｐは、ノズル１１８から１つの液滴を吐出するために、振動子１２４の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
【００３６】
駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチＡＳのそれぞれは、吐出部１２７のぞれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチＡＳの数と吐出部１２７の数（つまりノズル１１８の数）とは同じである。
【００３７】
処理部２０４は、ノズル１１８のオン・オフを表す選択信号ＳＣ（ＳＣ１、ＳＣ２…）を、アナログスイッチＡＳのそれぞれに与える。ここで、選択信号ＳＣは、アナログスイッチＡＳ毎に独立にハイレベル及びローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４の電極１２４Ａに吐出信号ＥＳ（ＥＳ１、ＥＳ２…）を供給する。具体的には、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、アナログスイッチＡＳは電極１２４Ａに吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを伝播する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、アナログスイッチＡＳが出力する吐出信号ＥＳの電位は基準電位Ｌとなる。振動子１２４の電極１２４Ａに駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズル１１８からインク１１１が吐出される。なお、それぞれの振動子１２４の電極１２４Ｂには基準電位Ｌが与えられている。
【００３８】
図７に示す例では、２つの吐出信号ＥＳ１、ＥＳ２のそれぞれにおいて、吐出周期ＥＰの２倍の周期２ＥＰで吐出波形Ｐが現れるように、２つの選択信号ＳＣ１、ＳＣ２のそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する２つのノズル１１８のそれぞれから、周期２ＥＰでインク１１１が吐出される。また、これら２つのノズル１１８に対応する振動子１２４のそれぞれには、共通の駆動信号生成部２０３からの共通の駆動信号ＤＳが与えられている。このため、２つのノズル１１８から略同じタイミングでインク１１１が吐出される。
【００３９】
以上の構成によって、インクジェット装置１００は、制御部１１２に与えられた吐出データに応じて、インク１１１の塗布走査を行う。
【００４０】
このような本実施の形態のインクジェット装置１００は、図８に示したように、基体Ａの被吐出部に着弾した液滴Ｑ，Ｒ…の最大外径をＲ（例えば複数の液滴の平均値）としたときに、被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴Ｑ，Ｒ同士がそれぞれ重なり幅Ｗ（具体的な幅は約Ｒ／５〜Ｒ／２）だけ重なるなるように、ノズル間ピッチＬＮＰがＲ／２〜４Ｒ／５となるように設計されている。したがって、被吐出部に着弾した液滴のうち隣接する液滴同士が少なくとも重なるようになり塗布ムラが生じ難いものとなる。
【００４１】
以下、上述したインクジェット装置１００をカラーフィルタ基板の製造に適用した例を説明する。図９に示す基体１０Ａは、カラーフィルタ基板製造用の基材であって、マトリクス状に配置された複数の被吐出部１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂを有する。なお、この被吐出部１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂの平面配列は、図３に示したようにストライプ配列となっている。
【００４２】
基体１０Ａは、光透過性を有する支持基板１２と、支持基板１２上に形成されたブラックマトリクス１４と、ブラックマトリクス１４上に形成されたバンク１６とを備えている。ブラックマトリクス１４は遮光性を有する材料にて構成されている。そして、ブラックマトリクス１４とブラックマトリクス１４上のバンク１６とは、支持基板１２上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の画素領域を規定する形にて配設されている。
【００４３】
それぞれの画素領域において、支持基板１２、ブラックマトリクス１４、およびバンク１６で規定される凹部は、各被吐出部１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂに対応する。被吐出部１８Ｒは、赤の波長域の光線のみを透過するフィルタ層が形成される領域であり、被吐出部１８Ｇは、緑の波長域の光線のみを透過するフィルタ層が形成される領域であり、被吐出部１８Ｂは、青の波長域の光線のみを透過するフィルタ層が形成される領域である。
【００４４】
このような各被吐出部１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂに対して、上述したインクジェット装置１００を用いてインク（ここでは各着色材料）を塗布していく。この場合、上述のように塗布ムラの少ない、つまり平面内で色ムラの少ないカラーフィルタ基板を提供することができるようになる。
【００４５】
本実施の形態で示したインク塗布対象である被吐出部のその他の例としては、配線（例えば金属配線）を形成する領域を例示することができる。つまり、本実施の形態のインクジェット装置１００は、液状の配線材料を吐出することで金属配線を製造する配線製造装置に適用することもできる。また、例えばマトリクス型の表示装置を製造する際に、各画素毎に区画化された領域に、各画素の構成要素（例えば発光層形成材料等）を選択塗布する場合にも、本実施の形態のインクジェット装置１００を適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の液滴吐出装置の一例としてインクジェット装置の構成を示す概念図。
【図２】図１のインクジェット装置に備えられたキャリッジの構成を示す底面図。
【図３】キャリッジに備えられたヘッドの構成を示す底面図。
【図４】ヘッドに備えられた吐出部の構成を示す斜視図及び断面図。
【図５】図１のインクジェット装置に備えられた制御部の構成を示すブロック図。
【図６】ヘッド駆動部の構成を示すブロック図。
【図７】ヘッド駆動部における駆動信号、選択信号、及び吐出信号を示すタイミングチャート。
【図８】被吐出部に吐出された液滴の態様を示す平面図。
【図９】カラーフィルタ基板を製造するための基体の構成を示す断面図。
【符号の説明】
【００４７】
１００…インクジェット装置（液滴吐出装置）、１０３…キャリッジ、１０６…ステージ、１１４…ヘッド、１１８…ノズル（吐出ノズル）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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