(57)【要約】【課題】  ポンプの圧縮性能を制御できる真空ポンプを提供する。【解決手段】  下部ケーシング１には気体が流れ得る通路Ｒ１が形成されている。この通路Ｒ１はリング状の空間部Ａおよび排気孔７Ｈに連通している。この通路Ｒ１の開口部における下部ケーシング１の外周にはブロック１２が着脱可能に取り付けられる。ブロック１２の内方には前記通路Ｒ１に連通される通路Ｒ２が形成され、通路Ｒ２上には気体の流量を調節する調節弁１５が介設され、さらにその前後にフィルタ１３、１４が介設されている。このブロック１２の通路Ｒ２の他方開口部は真空ポンプのスペーサＳとケーシング５との間の間隙部空間Ｒ４に導通する通路Ｒ３に連通されている。これら通路Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、そして間隙部空間Ｒ４と流通孔ＳＨによって気体が逆流できる流通路が形成される。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持されモータによって回転駆動される回転体と、この回転体の外周部に複数段の回転翼を取り付けるとともにこの複数段の回転翼に対応してケーシング内に配置された複数段の固定翼を配置しこの両者の組合わせによるターボ機構を設け、このターボ機構の作動によってケーシングの一方側開口部の吸気口からの気体を圧縮し他方側開口部の排気口から排気する真空ポンプにおいて、排気口側の気体を吸気口側に流通させる流通路を設けるとともにこの流通路の気体の流量を調節する調節弁を設けたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項２】
円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持された回転体と、前記ケーシング内周側に配置されたステータリングと、回転体を高速回転させるモータを備え、回転体の外周面とステータリングの内周面を近接配置させて両者間にねじポンプ機構を構成し、ケーシングの一方側開口部の吸気口からの気体を圧縮し他方側開口部の排気口から排気を行う真空ポンプにおいて、前記ケーシングの排気口側の気体を吸気口側に流通させる流通路を設けるとともに、この流通路の気体の流量を調節する調節弁を設けたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項３】
円筒状のケーシング内に軸受を介して回転自在に保持されモータによって回転駆動される回転体と、この回転体の外周部に複数段の回転翼を取り付けるとともに、この複数段の回転翼に対応してケーシング内に配置された複数段の固定翼を配置したこの両者の組み合わせによるターボ機構と、前記回転体の一部を前記ケーシング内周側に配置されたステータリングの内周面に近接配置し、この回転体の一部とステータリングのそれぞれの対応面の少なくともいずれかにねじ溝を形成してなるねじ溝機構とを有し、このターボ機構とねじ溝機構の作動によりケーシングの一方側開口部の吸気口からの気体を圧縮し他方側開口部の排気口から排気を行う真空ポンプにおいて、前記ターボ機構もしくはねじ溝機構の排気口側の気体を吸気口側に流通させる流通路を設けるとともに、この流通路の気体の流量を調節する調節弁を設けたことを特徴とする真空ポンプ。
【請求項４】
気体の流量を調節する調節弁の前後少なくとも一方側の流通路にフィルタを設けたことを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３の真空ポンプ。
【請求項５】
流通路の排気口側開口部をねじポンプ機構の中間部位もしくは入口部位に設置し、吸気口側開口部をターボ機構の中間部位に設置したことを特徴とする請求項３の真空ポンプ。
【請求項６】
調節弁の開度を制御する機構を設けたことを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３の真空ポンプ。
【請求項７】
真空ポンプの外部に着脱可能に取り付けできるユニットに流通路と調節弁を設けたことを特徴とする請求項１または請求項２または請求項３の真空ポンプ。
【請求項８】
調節弁またはフィルタの少なくとも一方を加熱する手段を設けたことを特徴とする請求項４の真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体製造装置や分析装置等において中真空から超高真空にわたる圧力範囲で真空排気に使用される真空ポンプ、具体的にはたとえばターボ分子ポンプ、あるいはねじ溝ポンプに代表されるモレキュラードラッグポンプなどに関する。
【背景技術】
【０００２】
このような真空ポンプにおいて、その代表的なターボ分子ポンプは、その主体をなすターボ機構が円筒状のケーシング内に回転自在に保持され、このケーシングの一方側開口部の吸気口から分子、ガス等の気体を吸気し、圧縮してケーシングの他方側開口部の排気口から排気する構成をなしている。すなわち、ターボ機構はケーシングの中央部位の軸芯に配置された回転体が、ケーシングに架設された上下の軸受にて回転自在に保持されるとともに、この回転体は同じくケーシングに架設されたモータにて高速回転されるよう連結されている。そして、このターボ機構は回転体の外周部に複数段固定された回転翼とケーシング側に固定された複数段の固定翼との組合わせで構成され、この中で回転翼がモータにて高速回転、具体的には１分間に数万回転という回転速度で駆動され、気体を圧縮して排気する（例えば特許公報１参照。）。
【０００３】
このような従来におけるターボ分子ポンプＴＰの一例を示すと図６に示すとおりである。以下このターボ分子ポンプＴＰについてその主体であるターボ機構ＴＫについて説明すると、回転軸３の上方部には一体的に円筒体が形成されていて、この円筒体には外周に複数段（具体的には５段）の回転翼Ｂ１〜Ｂ５（図面には最上段の回転翼Ｂ１と最下段の回転翼Ｂ５のみ符号を付しその他の符号は付記を省略している）が延設されている。この回転翼Ｂ１〜Ｂ５は軸芯方向に一定の間隔を有して配置されている。この回転軸３と回転翼Ｂ１〜Ｂ５などは一体的であり、回転体４を構成している。他方、上方に吸気口６が形成されたケーシング５の内周側からは、固定翼Ｔ１〜Ｔ５（図面には最上段の固定翼Ｔ１と最下段の固定翼Ｔ５のみ符号を付してその他の付記は省略している）が各回転翼Ｂ１〜Ｂ５と交互に設けられターボ機構が構成されている。なお、図６においてＳは各固定翼Ｔ１〜Ｔ５を一定の間隔で保持するためのスペーサである。７は排気口である。
【０００４】
この回転軸３は下部ケーシング１に架設された上下の磁気軸受８Ａ、８Ｒにて回転自在に保持されるとともに、モータ２と結合されている。磁気軸受８Ａ、８Ｒはアキシャル方向とラジアル方向の軸受機能を有し、これらにより回転軸３を確実に軸受している。他方、モータ２の一方を構成する回転子２Ｍがこの回転軸３に内設され一体的に取付られている。この回転子２Ｍは下部ケーシング１に架設されたモータステータのコイル１Ｋと協働しモータ２を構成する。このモータ２にはインバータ（図示せず）から電気エネルギーが供給され、回転軸３を高速で回転駆動する。
【０００５】
そして、さらに回転体４の一部すなわち具体的には下方には円筒部４Ｎが一体的に形成され、しかもこの円筒部４Ｎの外周は機台を兼ねたケーシング５の内周に接合されたステータリング９の内周面に近接して対応している。このステータリング９の内周面にはねじ溝Ｎが形成されている。このねじ溝Ｎは下方になるにつれて溝の深さが浅く形成されている。このステータリング９と前記円筒部４Ｎとの組合わせによってねじ溝ポンプＮＰが構成されている。このねじ溝ポンプＮＰはドラッグポンプ（ホルベックポンプ）として機能し、粘性流領域における分子を引き込んで排気する。
【０００６】
このようなターボ分子ポンプＴＰは、ターボ機構ＴＫによるターボポンプ機能とねじ溝ポンプＮＰによるねじ溝ポンプ機能を有機的に結合したものであり、通常ハイブリッド形ターボ分子ポンプと称されている。ターボ分子ポンプＴＰとしては、このようなハイブリッド形のものが排気特性が良く、よく利用されている。なお、分子ポンプとしてはターボ機構ＴＫのみを採用するものと、上記したステータリング９と外周にねじ溝Ｎが形成された回転体（円筒体）４との組合わせのみからなるねじ溝ポンプＮＰすなわちドラッグポンプなどがある。
【特許文献１】特開２００２−５４５９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
近年、ターボ分子ポンプは被排気室等の大型化に伴って大型化し、気体の流入側に使用されるスロットル弁（可変コンダクタンス弁）も大口径のものが使用されるようになってきている。すなわち、従来の真空ポンプたとえばターボ分子ポンプが使用される典型的な排気系は図７に示すとおりである。図７において１６は被排気室のチャンバであり、１７は真空計、１８はスロットル弁（可変コンダクタンスバルブ）、そしてＴＰがターボ分子ポンプである。１９は補助ポンプ、２０はバルブの開度を制御する制御手段、２１はマスフローコントローラである。
【０００８】
このようなターボ分子ポンプＴＰにおいては、このマスフローコントローラ２１からの信号によってスロットル弁１８は作動するが、このスロットル弁１８は大形、大容量であるため開閉速度の応答性は低い。また、このスロットル弁１８からパーティクルが発生するという問題がある。さらに、このスロットル弁１８は高価であるという問題もある。本発明はこのスロットル弁を不要とするような排気性能を制御する機能を有し、かつ真空排気系全体のコストを低減できる真空ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明が提供する真空ポンプは、上記課題を解決するために、真空ポンプの気体の圧縮行程における下流側からそれより上流側に気体を流通し得る（すなわち逆流させる）流通路を設けるとともに、その気体の流量を調節しうるように開度の調節できる調節弁を設けたものである。具体的にはケーシングの一方側開口部の吸気口からの気体を圧縮し他方側開口部の排気口から排気する真空ポンプにおいて、この排気口から逆方向の吸気口に向けて気体を流通させる流通路を設ける。そしてさらにこの流通路に気体の流量を調節する調節弁を設けたものである。さらに、本発明が提供する真空ポンプは、この流通路上でかつ調節弁の前後少なくとも一方にフィルタを設ける。本発明はさらに調節弁の開度を外部からの開度信号もしくは、目標圧力信号と測定圧力信号の組合せに応じて制御する機構を有する。
【００１０】
したがって、排気する気体の一部を真空ポンプの下流側から上流側に戻すことにより、真空ポンプの中間の段の圧縮作用を１００％発揮させ、あるいは圧縮しない状態まで変化させたりすることができる。これにより真空ポンプの圧縮性能を下げることができる。この逆流の流量を調節することにより、真空ポンプの圧縮性能を制御することができる。排気する気体をポンプの吸気口や被真空容器に直接戻すわけではないので、ポンプ内部で発生したパーティクルはポンプ内部に封じ込めることができる。またこの逆流通路上のフィルタもパーティクルの封じ込めに機能する。
【発明の効果】
【００１１】
ターボ分子ポンプの吸気口側に取り付ける可変コンダクタンスバルブを省略でき、排気系のコスト削減が図られる。また、ターボ分子ポンプの吸気口側に取り付ける可変コンダクタンスバルブは一般に大口径で開閉応答速度が遅いが、本発明の調節弁は流路小径で小形なものとすることができ、迅速な応答が可能となる。パーティクルの封じ込めで流通路上の調節弁の作用を円滑にする。
調節弁とフィルタの設置を真空ポンプのケーシングに対して外付けの着脱可能なユニットで行うようにする場合、バルブとフィルタが詰まったとき現場にてユニットを交換することによってポンプの復旧作業を迅速に行うことができる利点も有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明が提供する真空ポンプの最良の形態は、ターボ機構とねじ溝機構の組合わせを基本とする構成である。これは排気特性が良好であるためである。すなわち、円筒状のケーシングの内部には回転体が軸受により支持され、この回転体の上方部にターボ機構が配置され、下方部にはドラックポンプとしてのねじ溝ポンプが配置される。具体的には、回転体の上部はターボ機構を構成する回転翼が複数段固設されており、この回転翼と交互に配置される形で固定翼がケーシングの内周側に設けられる。他方、前記したとおり回転体の下方部にはドラッグポンプ部が構成されている。具体的には、回転体の下方位に位置する円筒部の外周面が、内周面にねじ溝が形成されたステータリングのその内周面に近接対応するよう配置されている。
【００１３】
本発明が提供する真空ポンプは以上の構成において、排気口に近い空間における気体を吸気口側に流通させる流通路を形成したものである。この流通路は具体的には排気口に近い空間を外部に連通すべくケーシングに形成した通路と、ケーシングの内周面とターボ機構との間隙部に形成された間隙路、そしてターボ機構を構成する固定翼を所定間隔で配置するためのスペーサに穿設された流通孔、そして前記通路の外部開口部と間隙部を連結する通路が穿設されたユニットで構成される。このユニットは理想的には真空ポンプのケーシングに対して着脱自在に取り付けられるブロック体または箱体で形成される。そしてこのユニットには、その内方の通路に上記した気体の流通する流量を調節するための調節弁が介設されている。さらにこの調節弁の前後の通路にはその少なくとも一方側にフィルタが介設されている。さらに好ましくは、調節弁またはフィルタの少なくとも一方を加熱する手段たとえばヒータが設置される。
【実施例１】
【００１４】
図１は本発明を実施したハイブリッド形の分子ポンプの縦断面が示されている。すなわち図１において、Ｂ１〜Ｂ８（図面には最上段の回転翼Ｂ１と最下段の回転翼Ｂ８のみ符号を付しその他の符号は付記を省略している）は回転翼、Ｔ１〜Ｔ７（図面には最上段の固定翼Ｔ１と最下段の固定翼Ｔ７のみ符号を付してその他の付記は省略している）は固定翼であり、その下流側にモレキュラードラッグポンプ段が連接されている。９と１０はケーシング５を固定架設した下部ケーシング１に配設されたステータリングである。ステータリング９は下部ケーシング１の上方部に固定ねじを介して架設された円筒体で内周面は３段階の内径を有し、内周面にねじ溝Ｎ１が形成されている。他方のステータリング１０は下部ケーシング１の中段部に固定ねじを介して垂設された円筒体で外周面にねじ溝Ｎ２が形成されている。この外周面が回転体４の円筒部４Ｎに近接対応している。
【００１５】
固定翼Ｔ１〜Ｔ７はリング状のスペーサＳで挟み込まれて固定されている。このスペーサＳ自身も隙間なく積層され、かつスペーサＳの内外間にはガス（気体）が流れないようになっている。ステータリング９と１０には回転体４の円筒部４Ｎとの対抗面に螺旋溝が彫ってあり、排気機能を発揮し得るよう構成されている。回転翼Ｂ１〜Ｂ８は回転軸３と一体の回転体４に設けられていて、これらは磁気軸受８Ａ、８Ｒに支えられている。ポンプが排気する気体は吸気口６を通ってポンプ内に入り、回転翼Ｂ１〜Ｂ８と固定翼Ｔ１〜Ｔ７で圧縮され、続いてステータリング９と円筒部４Ｎとの作用でさらに圧縮され、最後にはステータリング９と円筒部４Ｎとの作用でさらに圧縮されリング状の空間部Ａを流れ、排気孔７Ｈを経て排気口７から排出されるよう構成されている。
【００１６】
本発明は以上の構成において、気体の圧縮機構の内方に気体を逆流させる流通路を形成したもので、その構成はつぎのとおりである。まず、下部ケーシング１には気体が流れ得る通路Ｒ１が形成されている。この通路Ｒ１はリング状の空間部Ａおよび排気孔７Ｈに連通し、さらに両方のステータリング９、１０による圧縮部にも連通している。この通路Ｒ１の他端は下部ケーシング１の外周部に開口している。この通路Ｒ１の開口部における下部ケーシング１の外周にはブロック１２が着脱可能に取り付けられ、このブロック１２の内方には前記通路Ｒ１に連通される通路Ｒ２が形成されている。
【００１７】
この通路Ｒ２上には気体の流量を調節する手段として開度の調節できる調節弁１５が介設され、さらにその前後にフィルタ１３、１４が介設されている。このブロック１２の通路Ｒ２の他方開口部は真空ポンプのスペーサＳとケーシング５との間の間隙部空間Ｒ４に導通する通路Ｒ３に連通されている。この通路Ｒ３も下部ケーシング１上に形成されている。さらに多段に配列されているスペーサＳの１個には流通孔ＳＨが穿設されている。これら通路Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、そして間隙部空間Ｒ４と流通孔ＳＨによって気体が逆流できる流通路が形成されている。
【００１８】
一般に気体は高圧側から低圧側に流れるので、排気口側からの気体は通路Ｒ１、フィルタ１３、調節弁１５、通路Ｒ２、フィルタ１４の順に流れ、通路Ｒ３、そして間隙部空間Ｒ４に流れ、この間隙部空間Ｒ４からスペーサＳの流通孔ＳＨを通って、上流側低圧部すなわちターボ機構ＴＫによる排気部に至る。調節弁１５の開度の調節によって、この通路Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３等を流れる気体の流量を調節することにより、前記排気部の流通孔ＳＨ付近の圧力を変化させることができる。流通孔ＳＨ付近の圧力とポンプの吸気口６の圧力とは比例関係にあるので、ポンプの吸気口６の圧力を調節できることになる。ポンプのターボ機構ＴＫによる圧縮機構部特に下流側のねじ溝ポンプＮＰの部位には、排気中の気体が凝縮してできたパーティクルなどが発生する場合があるが、フィルタ１３、１４が機能しこのパーティクルの逆流と調節弁１５の詰まりを防止する。なお、図1において２はモータである。
【００１９】
ところで、この逆流のための流通路についての入口側と出口側の設置位置は、つぎの諸条件が考慮されて決定される。
（１）分子量の軽い気体たとえば水素などの逆流が少ないこと
（２）調節弁１５の開閉に吸気口６の圧力が素早く反応すること
（３）調節弁１５の開閉になるべくリニアに吸気口６の圧力が変化すること
（４）吸気口６の圧力の制御範囲が広く取れること
（５）ポンプ内部の圧力を低圧に保ち、回転体４の回転による気体の抵抗の増大をできる限り避けること
（６）パーティクルの逆流がないこと
これらの条件は、種々の条件により変化する場合もあり、必ずしもこの条件に限定されるというものではない。
【００２０】
上記（１）の条件から、ポンプ圧縮機構内でも比較的に水素ガスに対する圧縮能力の低いところに、その逆流の流通路の入口と出口をなるべく接近して設置するのが望ましい。また、上記（２）の条件からは、逆流の流通路についての内容積を小さく、かつ、特に調節弁１５から出口までのコンダクタンスを大きく設定するのが望ましい。さらに、上記（３）の条件からは、逆流の流通路の出口はターボ機構ＴＫの排気部位もしくはターボ機構ＴＫの排気部位とねじ溝ポンプＮＰとの間に設置するのが望まれる。また、上記（４）の条件からは、逆流の流通路の入口と出口の間隔（距離）を大きくしたほうが望まれる。そして、上記（５）の条件からは、逆流の流通路の入口はなるべく吸気口６に近い位置に設置するのが望ましく、最後に上記（６）の条件からは、逆流の流通路の出口はなるべく排気口７に近い位置に設置するのが望ましいことになる。
【００２１】
以上の検討から、圧縮行程域の下流側すなわち排気口７からそれより上流側に気体が流れるすなわち逆流する流通路については、入口をねじ溝ポンプＮＰの部位の中間位置もしくは入口近傍の位置に設置し、出口についてはターボ機構ＴＫの部位の中間位置に設置するのが最も効果的であると考えられる。
【００２２】
以上詳述した本発明による真空ポンプを使用する場合の典型的な排気系は図４に示すとおりである。図４において１６はチャンバであり、１７は真空計、１９は補助ポンプ、２１はマスフローコントローラでこれらは従来と共通である。本発明による真空ポンプすなわちターボ分子ポンプＴＰでは、吸気口６の側には可変コンダクタンスバルブが不要になる。代わりに調節弁１５が設けられ、この開度を自動調整できる機構となっている。調節弁１５の開度は、真空計１７の圧力信号と、別途設定される設定圧力と比較し、チャンバ圧力が設定圧力に近付くように制御される。Ｒ２は流通路の一部を構成している通路である。
【００２３】
このような機能を有する真空ポンプ具体的には分子ポンプにおいては、従来からの分子ポンプと可能な限り多くの共通な部品を使用することが、生産上そしてコスト上からも望ましい。このような観点から本発明を効果的、機能的に発揮できるよう構成された実施例を示すと図２のとおりである。図２は流通路とブロック１２の具体的な実施例を示している。１２は下部ケーシング１の外周面に着脱可能に取り付けられたブロックで、このブロック１２には通路Ｒ１に連接される通路Ｒ２が形成されている。このブロック１２はボルト（図示せず）等で着脱可能に固定される。図２から明らかなようにこのブロック１２には、ほぼコ字形の通路Ｒ２が形成され、コ字の両角部にはそれぞれ所定の容積を有する室Ｋ１、Ｋ２が形成されている。
【００２４】
一方の室Ｋ１にはフィルタ１３が取り付けられている。２２はこのフィルタ１３の固定用のねじ環である。他方の室Ｋ２には弁枠２３が螺合されている形で、その先端にフィルタ１４が固定されている。弁枠２３には調節弁１５が弾設され通路Ｒ２の開度を調節する。弁軸２４の他端側にはねじ２４Ｎが設けられ、このねじ２４Ｎにナット２５が螺合されている。ナット２５の回転により弁軸２４が変位し流量調節が行われる。２６は下部ケーシング１とブロック１２の接合面に介在されたシール部材（リング状）で気体の外部への漏れを防止する。２９は室Ｋ１の開閉板である。このブロック１２を取り外したときは通路Ｒ１、Ｒ３が開口することになるが、この場合は図３に示すように閉塞板２７を接合するよう取り付ける。閉塞板２７の取り付けにより、通路Ｒ１、Ｒ３を閉塞でき、従来の分子ポンプと同等の使用を実現することができる。
【００２５】
本発明による真空ポンプとしての分子ポンプのメンテナンスサイクルを決める要素としては、排気気体が凝縮してできたパーティクルによるフィルタ１３、１４、調節弁１５における詰まり状態を挙げることができる。この場合、気体の通路を加熱することで、気体が凝縮してパーティクルが発生するのを防止し、メンテナンスサイクルを延長することができる。たとえば、図２において明示したように下部ケーシング１はヒータ３０に埋設されており、したがってこのヒータ３０で加熱することができるが、このヒータ３０の設定温度はポンプ自体の許容温度に制限されることなく、独立に設定できるので、ポンプより高い温度を設定して、パーティクルが発生するのを減少させることができる。
【００２６】
図１、図２に示す実施例は、本発明を効果的にしてかつ経済的なものであるが、特に逆流を調節可能にして経済的な面から簡略な実施例として図５を挙げることもできる。図５は図６の従来例と同様の形を示すもので、ケーシング５と下部ケーシング１の両者間に簡略な逆流調節機構を実現したものである。図５において、図６および図１から図４における符号と同一の符号で示す部品については、これらの図における符号の部品と同様の機能を有するものであり、詳細な説明は省略する。
図５においては、ケーシング５と下部ケーシング１の接合部間にブロック２８が着脱可能に取り付けられている。ただこのブロック２８は小形で内方の通路Ｒ２に介設されるフィルタ１３、１４も小形である。調節弁１５としては弁軸方向に進退して流量調節を行うニードルバルブや蝶形弁などが適用される。このブロック２８は小形であり、場合によってはケーシング５と下部ケーシング１の内方に介設させることもできる。この場合でも通路Ｒ１の入口側位置の設定は適正位置に設けることは可能である。また特に下部ケーシング１にヒータを埋設することもできる。
【００２７】
本発明は上述したとおりターボ分子ポンプとドラッグポンプを結合させたポンプについて説明したが、ターボ分子ポンプのみで構成される分子ポンプやドラッグポンプのみで構成される分子ポンプにも適用できる。特にドラッグポンプの場合、ステータリングを１個設ける例と２個設ける例を示し、しかもこれらにねじ溝を形成する例を示した。しかし、ねじ溝は回転体の一部の円筒部の外周面または外周面に形成することもできる。また、ステータリングのケーシングに対する設置の仕方も図示例には限定されない。
また、本実施例では、磁気軸受型のターボ分子ポンプで説明したが、玉軸受形の分子ポンプでも同様の効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明をハイブリッド形分子ポンプに適用した場合の真空ポンプの構成を縦断面して示す図である。
【図２】本発明の要部の構成を縦断面して示す図である。
【図３】本発明の要部の構成を縦断面して示す図である。
【図４】本発明による真空ポンプの排気系統を示す図である。
【図５】本発明の変形実施例を示す図である。
【図６】従来における真空ポンプの代表的な分子ポンプの構成を縦断面して示す図である。
【図７】従来における真空ポンプの排気系統を示す図である。
【符号の説明】
【００２９】
１  下部ケーシング
１Ｋ  コイル
２  モータ
２Ｍ  回転子
３  回転軸
４  回転体
４Ｎ  円筒部
５  ケーシング
６  吸気口
７  排気口
７Ｈ  排気孔
８Ａ、８Ｒ  磁気軸受
９、１０  ステータリング
１２  ブロック
１３、１４  フィルタ
１５  調節弁
１６  チャンバ
１７  真空計
１８  スロットル弁
１９  補助ポンプ
２０  制御手段
２１  マスフローコントローラ
２２  ねじ環
２３  弁枠
２４  弁軸
２４Ｎ  ねじ
２５  ナット
２６  シール部材
２７  閉塞板
２８  ブロック
２９  開閉板
３０  ヒータ
Ａ  空間部
Ｂ１〜Ｂ８  回転翼
Ｋ１、Ｋ２  室
Ｎ、Ｎ１、Ｎ２  ねじ溝
ＮＰ  ねじ溝ポンプ
Ｒ１〜Ｒ３  通路
Ｒ４  間隙部空間
Ｓ  スペーサ
ＳＨ  流通孔
Ｔ１〜Ｔ７  固定翼
ＴＫ  ターボ機構
ＴＰ  ターボ分子ポンプ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2005140079.tif 000006
【図５】
2005140079.tif 000007
【図６】
2005140079.tif 000008
【図７】
2005140079.tif 000009