(57)【要約】【課題】テーブルに掛かる振動や地面の振動を防振することができ、しかも、簡易な操作でレベリング調整を容易にすることができ、特に一箇所での集中操作により、簡易にレベリング調整を可能とすることができる防振兼レベリング装置を提供する。【解決手段】実質的な台座となる固定シリンダ部と、前記固定シリンダ部を塞ぐように配置され上下動可能な移動ピストン部と、前記固定シリンダ部と前記移動ピストン部との間の実質的な摺動位置に介在されたダイヤフラムと、前記固定シリンダ部と前記移動ピストン部と前記ダイヤフラムとにより形成された密封空間に作動流体を送り込むために形成された流体導入口と、前記移動ピストン部の略中央から上部に延びるように組み込まれ、実質的にテーブルに固着される防振機能を有する棒状の防振脚部と、を有してなるように構成される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置され、防振およびレベリング機能を有する防振兼レベリング装置であって、該装置は、
実質的な台座となる固定シリンダ部と、
前記固定シリンダ部を塞ぐように配置され上下動可能な移動ピストン部と、
前記固定シリンダ部と前記移動ピストン部との間の実質的な摺動位置に介在されたダイヤフラムと、
前記固定シリンダ部と前記移動ピストン部と前記ダイヤフラムとにより形成された密封空間に作動流体を送り込むために形成された流体導入口と、
前記移動ピストン部の略中央から上部に延びるように組み込まれ、実質的にテーブルに固着される防振機能を有する棒状の防振脚部と、を有してなることを特徴とする防振兼レベリング装置。
【請求項２】
前記固定シリンダ部の側部には、前記移動ピストン部の浮上高さを測定する変位センサが設置されてなる請求項１に記載の防振兼レベリング装置。
【請求項３】
前記ダイヤフラムは、布入りのゴム製で構成されるとともに折り返し部を有し、移動ピストン部の移動につれてローリング移動できるようになっている請求項１または請求項２に記載の防振兼レベリング装置。
【請求項４】
前記ダイヤフラムは、その外周の一端部が前記固定シリンダ部に固定され、前記ダイヤフラムは、その内周の一端部が前記移動ピストン部に固定されてなる請求項３に記載の防振兼レベリング装置。
【請求項５】
前記棒状の防振脚部は、積層ゴムを含み構成される請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の防振兼レベリング装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の防振兼レベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各防振兼レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各防振兼レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置により個別にレベリング調整を行なうことを特徴とするレベリングシステム。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のいずれかに記載の防振兼レベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各防振兼レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各防振兼レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置を一箇所に集中させ、その一箇所から個別にレベリング調整を行なうことを特徴とするレベリングシステム。
【請求項８】
請求項２ないし請求項５のいずれかに記載の防振兼レベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各防振兼レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、移動ピストン部の浮上高さを測定する変位センサからの測定データ信号に基づき、各防振兼レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置により個別にレベリング調整を行なうことを特徴とするレベリングシステム。
【請求項９】
請求項２ないし請求項５のいずれかに記載の防振兼レベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各防振兼レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各防振兼レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置を一箇所に集中させ、移動ピストン部の浮上高さを測定する変位センサからの測定データ信号に基づき、その一箇所から個別にレベリング調整を行なうことを特徴とするレベリングシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置される防振兼レベリング装置に関し、特に、テーブルに掛かる振動や地面の振動を防振することができ、しかも、テーブルの傾き量の調整を容易にすることができると共に一箇所での集中操作を可能とすることができる防振兼レベリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、半導体製造装置においてメモリ、ＩＣを作る場合、ウエハ基板の上に写真技術を応用して回路を焼き付ける装置を備えるステッパーが用いられる。実際のステッパーの使用に際しては、生産効率を上げるためにウエハ基板や焼き付け装置を所定位置に俊敏かつ精度よく動かして位置決めする必要がある。しかしながら、俊敏な移動および停止を行なおうとすればする程、ステッパーには振動の発生という問題が必然的に生じる。特に、ＩＣの高い集積度が求められている今日の仕様では、たとえ微振動であっても、これを完全に除去しないと、回路の線が二重になったりショートしたりする（回路のダブリの発生）という問題が生じる。このような問題を解決するために従来よりステッパーの微振動を除去する防振機能を備えた装置の提案が種々なされている。
【０００３】
ところで、ＩＣの高い集積度が求められている今日の仕様では、装置を設置する際あるいは設置後のテーブルのレベリング調整が精度よくかつ迅速に行なえることがさらに要望されてきている。
【０００４】
例えば、従来のテーブルのレベリング調整装置として図４に示されるようなフットジャッキと呼ばれるレベリング装置が挙げられる。このものは、床と接して踏ん張る円錐状の支持固定部１１０と、この支持固定部１１０の上方に連接して延びる棒状の脚部１２０とを備えている。そして、テーブル２００の下部に固着して設置された円筒状の脚装着部２１０の内側雌ネジ部２１２と、フットジャッキの脚部１２０の先端の雄ネジ部１２２とが螺合する仕様となっており、この螺合する長さを調整することによって、実質的にフットジャッキの長さ（高さ）を変えることができ、レベリングが調整可能となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、通常、一台のテープルを略均等に支えるために一台のテープルにつき、４箇所ないし６箇所、大型テーブルとなるとそれ以上のレベリング装置機能を備えた脚部が必要である。上記のフットジャッキと呼ばれるレベリング装置を用いた場合では、テーブルの水平度をチェックしながら例えば４箇所ないし６箇所のフットジャッキが設置してある場所に行き、個々の設置場所における移動を繰り返しながら何度も微調整する作業は容易な作業ではなく、多大な時間と労力を要する。
【０００６】
このような実状のもとに本発明は創案されたものであって、その目的は、テーブルに掛かる振動や地面の振動を防振することができ、しかも、簡易な操作でレベリング調整を容易にすることができ、特に一箇所での集中操作により、簡易にレベリング調整を可能とすることができる防振兼レベリング装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の防振兼レベリング装置は、テーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置され、防振およびレベリング機能を有し、該装置は、実質的な台座となる固定シリンダ部と、前記固定シリンダ部を塞ぐように配置され上下動可能な移動ピストン部と、前記固定シリンダ部と前記移動ピストン部との間の実質的な摺動位置に介在されたダイヤフラムと、前記固定シリンダ部と前記移動ピストン部と前記ダイヤフラムとにより形成された密封空間に作動流体を送り込むために形成された流体導入口と、前記移動ピストン部の略中央から上部に延びるように組み込まれ、実質的にテーブルに固着される防振機能を有する棒状の防振脚部と、を有してなるように構成される。
【０００８】
また、本発明の好ましい態様として、前記固定シリンダ部の側部には、前記移動ピストン部の浮上高さを測定する変位センサが設置されてなるように構成される。
【０００９】
また、本発明の好ましい態様として、前記ダイヤフラムは、布入りのゴム製で構成されるとともに折り返し部を有し、移動ピストン部の移動につれてローリング移動できるように構成される。
【００１０】
また、本発明の好ましい態様として、前記ダイヤフラムは、その外周の一端部が前記固定シリンダ部に固定され、前記ダイヤフラムは、その内周の一端部が前記移動ピストン部に固定されてなるように構成される。
【００１１】
また、本発明の好ましい態様として、前記棒状の防振脚部は、積層ゴムを含み構成される。
【００１２】
また、本発明のレベリングシステムは、上記記載の防振兼レベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各防振兼レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各防振兼レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置により個別にレベリング調整を行なうように構成される。
【００１３】
また、本発明のレベリングシステムは、上記防振兼レベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各防振兼レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各防振兼レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置を一箇所に集中させ、その一箇所から個別にレベリング調整を行なうように構成される。
【００１４】
また、本発明のレベリングシステムは、上記記載の防振兼レベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各防振兼レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、移動ピストン部の浮上高さを測定する変位センサからの測定データ信号に基づき、各防振兼レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置により個別にレベリング調整を行なうように構成される。
【００１５】
また、本発明のレベリングシステムは、上記記載の防振兼レベリング装置をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各防振兼レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各防振兼レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置を一箇所に集中させ、移動ピストン部の浮上高さを測定する変位センサからの測定データ信号に基づき、その一箇所から個別にレベリング調整を行なうように構成される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１７】
図１には、テーブルとともに本発明の防振兼レベリング装置１の好適な実施の形態を説明するための断面図が示される。図２には、本発明の防振兼レベリング装置１の好適な実施の形態を説明するための断面図が示される。図３はテーブルに６個の防振兼レベリング装置１を配置した状態、すなわち、防振兼レベリング装置１の配置の一例を示す平面図である。
【００１８】
本発明の防振兼レベリング装置１は、図１や図３に示されるようにテーブル９０の下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置されて使用される。
【００１９】
このような本発明の防振兼レベリング装置１は、図１や図２に示されるように実質的な台座となる有底筒状の固定シリンダ部２０と、この固定シリンダ部２０を塞ぐように配置され上下動可能な略蓋状の移動ピストン部３０とを有している。そして、このような固定シリンダ部２０と移動ピストン部３０との間の実質的な摺動位置にはダイヤフラム４０が介在されている。
【００２０】
さらに、固定シリンダ部２０と移動ピストン部３０とダイヤフラム４０とにより形成された密封空間Ｓに、移動ピストン部３０を上下動させるための作動流体を送り込むための流体導入口２３が形成される。流体導入口２３は本実施の形態の場合、図示のごとく固定シリンダ部２０側に形成されているが、特に、その設置位置は限定されるものではなく、例えば移動ピストン部３０側に形成してもよい。
【００２１】
さらに、移動ピストン部３０の略中央には、実質的にテーブルに固着される棒状の防振脚部５０が上部に延びるように組み込まれており、防振脚部５０の上端部がテーブル９０に固着されている。
【００２２】
防振脚部５０は、積層ゴムを含み構成されることが望ましい。積層ゴムの基本構造はゴムと鋼板を交互に積層した積層本体５３と、この積層本体の上下に設けられた取り付け用のフランジ５１，５５を有するものである。積層本体５３の側面は被覆ゴムによって被覆されているものが一般的である。フランジ５１，５５は、積層本体５３のゴムと一体的に加硫接着された一体型のものであってもよいし、あるいは、別途ボルト等で連結された組み立て体のものであってもよい。図１に示されるごとく本実施の形態では、フランジ５１がテーブルに固定され、フランジ５５が移動ピストン部３０の略中央に固定されている。
【００２３】
本発明で用いられるダイヤフラム４０は、布入りのゴム製で構成されるとともに、図２（Ｂ）に示されるように折り返し部４１を有し、移動ピストン部３０の上下移動につれてローリング移動できるようになっている。つまり、ダイヤフラム４０は、その外周の一端部４８が固定リング３８によって固定シリンダ部３０に固定され、この一方で、ダイヤフラム４０の内周の一端部４９は固定シリンダ部２０の内面に固定リング３９によって固定され、移動ピストン部３０の上下移動に伴い、折り返し部４１の位置がずれていきローリング移動を起こすようになっている。なお、一般に、ダイヤフラム４０は、極めて薄く設計され（例えば、０．２５〜０．９ｍｍ程度の厚さ）構成的には、例えば、強力なポリエステル布等の上にゴムを被覆したものが好適に使用される。
【００２４】
本実施の形態において、固定シリンダ部２０の側部には、移動ピストン部３０の浮上高さを測定する変位センサ７０が設置されている。この変位センサ７０は、例えば、そのセンサ上端部から移動ピストン部３０の外部フランジ３１の内面までの距離（図２（Ｂ）における符号Ｐで示される距離）を非接触で測定することができるようになっている。この浮上位置を検出することにより、例えば変位制御機構との連動により浮上距離の微調整を行なうことができる。微調整は手動操作としてもよいしコンピュータ制御と連動させた自動制御操作としてもよい。
【００２５】
次に、上述してきた防振兼レベリング装置１の動作について説明する。
まず、最初に防振兼レベリング装置１がテーブル下に複数配置される（図１や図２に示される状態）。
【００２６】
次いで、流体導入口２３から移動ピストン部３０を上昇させるために所定圧の作動流体（一般には圧縮空気）が送り込まれる。すると、ダイヤフラム４０の折り返し部４１の位置がずれていきローリング移動するとともに、移動ピストン部３０が上昇する。この上昇距離（変位量）は一般に、作動流体の圧力設定によって決まるので、レギュレータ等による圧力の微調整が必要となる。そして、上昇距離（変位量）が目標値と一致し、レベリング調整が終了した時点でレギュレータ等による圧力を固定する。
【００２７】
このようにしてレベリング調整が完了した防振兼レベリング装置１は、例えば積層ゴムからなる防振脚部５０を備え、さらにこの防振脚部５０を固定している移動ピストン部３０が密封空間Ｓおよびダイヤフラム４０の支えを介して浮上（浮遊）した状態にある。従って、これらの相乗効果によりさらに優れた防振効果が発現するように作用する。なお、所定圧の作動流体は常に必要であるので、作動流体の供給に係る配管系の各部材は設置された状態をそのまま維持しておく。
【００２８】
また、複数の防振兼レベリング装置１をシステム的に効率良く調整するには、以下の手法が好都合である。すなわち、防振兼レベリング装置１をテーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置し、これら各防振兼レベリング装置に対してそれぞれ個別に作動流体を送り込むためのチューブ配管を配設し、各防振兼レベリング装置に対して送り込む作動流体の圧力を調整する調整装置を好ましくは一箇所に集中させ、その一箇所から個別にレベリング調整を行なうようにするのがよい。これにより、オペレータは、一箇所から複数の防振兼レベリング装置を調整することができ、従来のように、各配置場所を何度も動き回ってレベリング調整するといった煩わしさがなくなるとともに、多大な時間と労力の軽減を図ることできる。このような効果は、さらに、移動ピストン部の浮上高さを測定する変位センサからの測定データ信号を利用することにより、さらなる高精度化および省力化を図ることができる。
【００２９】
【発明の効果】
本発明は、テーブルの下部の所定位置にテーブルを支持するように複数配置され、防振およびレベリング機能を有する防振兼レベリング装置であって、該装置は、実質的な台座となる固定シリンダ部と、前記固定シリンダ部を塞ぐように配置され上下動可能な移動ピストン部と、前記固定シリンダ部と前記移動ピストン部との間の実質的な摺動位置に介在されたダイヤフラムと、前記固定シリンダ部と前記移動ピストン部と前記ダイヤフラムとにより形成された密封空間に作動流体を送り込むために形成された流体導入口と、前記移動ピストン部の略中央から上部に延びるように組み込まれ、実質的にテーブルに固着される防振機能を有する棒状の防振脚部と、を有してなるように構成されているので、テーブルに掛かる振動や地面の振動を防振することができ、しかも、簡易な操作でレベリング調整を容易にすることができ、特に一箇所での集中操作により、簡易にレベリング調整を可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、テーブルとともに本発明のレベリング装置の好適な実施の形態を説明するための概略断面図である。
【図２】図２は、本発明のレベリング装置の好適な実施の形態を説明するための断面図である。
【図３】図３は、テーブルに６個のレベリング装置１を配置した状態を示す平面図である。
【図４】図４は、従来例であり、フットジャッキと呼ばれるレベリング装置を説明するための図面である。
【符号の説明】
１…防振兼レベリング装置
２０…固定シリンダ部
２３…流体導入口
３０…移動ピストン部
４０…ダイヤフラム
５０…防振脚部
７０…変位センサ
９０…テーブル
【図１】
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【図２】
2005054808.tif 000004
【図３】
2005054808.tif 000005
【図４】
2005054808.tif 000006