(57)【要約】【課題】Ｘ線ラインセンサの複数画素の一部が故障したときにもＸ線ラインセンサを交換するまで検査が継続できるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】Ｘ線検査装置は、Ｘ線照射器１３と、Ｘ線照射器１３からのＸ線を受光するＸ線ラインセンサ１４と、Ｘ線を画像処理する画像処理ルーチン２８と、Ｘ線画像に基づき商品を検査する検査判定処理ルーチン２９と、画素故障判断処理部２７と、モニタ３０とを備える。画素故障判断処理部２７は、Ｘ線ラインセンサ１４の複数の画素それぞれについて、故障か否かを判断する。タッチパネル式のモニタ３０は、少なくとも１つの画素が故障している場合に、運転中止か運転続行かを入力させる。【選択図】        図５
2005003509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線を照射するＸ線源と、
複数の素子から構成され、前記Ｘ線源からのＸ線を受光するＸ線受光部と、
前記Ｘ線受光部で受光したＸ線を画像処理する画像処理部と、
前記画像処理部で処理された画像に基づき、前記Ｘ線源と前記Ｘ線受光部との間を通る検体を検査する検査部と、
前記Ｘ線受光部の複数の素子それぞれについて使用に適した状態か否かを判断する素子状態判断部と、
前記素子状態判断部が前記複数の素子の少なくとも１つが使用に適した状態でない不適素子であると判断した場合に運転中止か運転続行かを入力させる入力部と、
を備えたＸ線検査装置。
【請求項２】
前記画像処理部は、前記複数の素子の少なくとも１つが前記不適素子であると前記素子状態判断部が判断した場合に、前記不適素子に対応する不適データを、前記不適素子以外の正常素子に対応する正常データから推定した代替データにより置き替える、
請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
前記画像処理部は、前記不適素子に対応する不適データを、前記不適素子に隣接する複数の前記正常素子に対応する正常データから推定した代替データにより置き替える、
請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
前記画像処理部は、前記代替データの推定において、前記不適データおよび前記正常データを画像として２次元に配列したときに前記各不適データを中心として放射状に並ぶ連続した正常データ群それぞれから仮代替データを決定し、複数の前記仮代替データから前記代替データを推定する、
請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
前記画像処理部で処理された検体の画像および前記検査部における検体の検査結果のうちの少なくとも一方である検体情報を表示する表示部と、
前記検体情報を記憶する記憶部と、
前記入力部において運転続行が入力され、前記素子状態判断部が前記複数の素子の少なくとも１つが前記不適素子であると判断した後に運転が続行されている状態において、前記不適素子が存在する状態で運転が続行されていることを、前記検体情報とともに前記表示部に表示する又は前記検体情報とともに前記記憶部に記憶する運転続行明示部と、
をさらに備えた請求項１から４のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項６】
前記画像処理部で処理された検体の画像を表示する表示部と、
前記画像処理部で処理された検体の画像を記憶する記憶部と、
前記画像処理部が前記不適素子に対応する前記不適データを前記代替データに置き替えたときに、前記画像処理部で処理された検体の画像に前記不適素子の位置を示す印を付加する不適素子位置付加部と、
をさらに備えた請求項２から４のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項７】
前記入力部において運転を続行することが入力され、前記素子状態判断部が前記複数の素子の少なくとも１つが前記不適素子であると判断した後に運転が続行されている状態において、前記検査部は、前記素子状態判断部が前記複数の素子の全てを前記不適素子ではないと判断している場合に較べて厳しい基準で前記検体を検査する、
請求項１から６のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項８】
前記入力部において運転を続行することが入力され、前記素子状態判断部が前記複数の素子の少なくとも１つが前記不適素子であると判断した後に運転が続行されている状態において、前記検査部は、前記画像処理部で処理された画像のうち前記不適素子の近傍の第１部分に対しては第１基準により前記検体を検査し、前記画像処理部で処理された画像のうち前記第１部分以外の第２部分に対しては第２基準により前記検体を検査し、
前記第１基準は、前記第２基準よりも厳しい検査基準である、
請求項１から６のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【請求項９】
前記入力部は、前記素子状態判断部が所定数以上連続して並ぶ複数の素子が前記不適素子であると判断した場合には、運転続行の入力を受けつけない、
請求項１から８のいずれかに記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線検査装置、特に、複数の素子から構成されＸ線源からのＸ線を受光するＸ線受光部を備えたＸ線検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
食品などの商品の生産ラインにおいては、商品への異物混入や商品の割れ欠けがある場合にそのような商品を出荷しないために、Ｘ線検査装置により検査が為されることがある。このＸ線検査装置では、連続搬送されてくる検体に対してＸ線を照射し、そのＸ線の透過状態をＸ線受光部で検出して、検体中に異物が混入していないか、あるいは検体に割れ欠けが生じていたり検体内の単位内容物の数量が不足していたりしないかを判別する。また、Ｘ線検査装置によって、検体内の単位内容物の数量を数える検査が行われることもある。
【０００３】
このようなＸ線検査装置として、例えば特許文献１に示すようなものが提案されている。ここに開示されているＸ線検査装置では、Ｘ線ラインセンサ（Ｘ線受光部）の寿命を検出もしくは推定して早めに警告を出し、使用者に交換を促す。これにより、Ｘ線検査の作業を長期にわたって休止せざるを得ない状況の発生を回避するようにしている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−１４８２１１号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特許文献１のＸ線検査装置であっても、予測よりも短寿命で不意にＸ線ラインセンサが故障した場合には、Ｘ線検査の作業を長く休止することになる。予測よりも短寿命でＸ線ラインセンサが故障した場合、その故障は、Ｘ線ラインセンサを構成する多くの素子の大半が寿命を迎えたわけではなく、一部の素子が壊れることであるケースが多いと思われる。このように一部の素子が壊れたケースであっても、その素子に対応する部分の画像データが検体の検査を妨げるため、従来においてはＸ線ラインセンサを交換するまではＸ線検査装置が作動しなくなっている。
【０００６】
本発明の課題は、複数の素子から構成されるＸ線受光部の一部の素子が使用に適さなくなった（故障した）ときにＸ線受光部を交換するまで検査ができなくなることを回避可能なＸ線検査装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
請求項１に係るＸ線検査装置は、Ｘ線を照射するＸ線源と、Ｘ線受光部と、画像処理部と、検査部と、素子状態判断部と、入力部とを備えている。Ｘ線受光部は、複数の素子から構成されており、Ｘ線源からのＸ線を受光する。画像処理部は、Ｘ線受光部で受光したＸ線を画像処理する。検査部は、画像処理部で処理された画像に基づき、Ｘ線源とＸ線受光部との間を通る検体を検査する。素子状態判断部は、Ｘ線受光部の複数の素子それぞれについて、使用に適した状態か否かを判断する。入力部は、素子状態判断部が複数の素子の少なくとも１つが使用に適した状態でない不適素子であると判断した場合に、運転中止か運転続行かを入力させる。
【０００８】
ここでは、Ｘ線源からのＸ線は、検体が存在するときには検体を透過して、それ以外のときには直接、Ｘ線受光部に届く。このＸ線を受光したＸ線受光部の各素子の情報を受け、画像処理部が画像処理を行う。ここで画像処理された画像に基づき、検査部が、検体の内部に異物が混入していないか、検体の形状が異常でないか、あるいは検体中の単位内容物の数量が正常かといった検査を行う。
【０００９】
そして、ここでは、複数の素子の少なくとも１つが使用に適した状態でない不適素子であると素子状態判断部が判断した場合に、すなわちＸ線受光部の一部の素子が使えなくなったときに、使用者は、入力部から運転中止か運転続行かを入力することができるようになっている。従来では、一部でも素子が使えなくなればＸ線受光部を交換するまで運転ができないのに対し、本発明のＸ線検査装置では、入力部から運転続行の入力をすることができ、Ｘ線受光部を交換するまでのあいだ検査ができなくなってしまうことを回避できる。
【００１０】
なお、使えなくなった不適素子の存在でＸ線検査に大きな悪影響が出ることを抑えるため、画像処理において不適素子からのデータを無視したり画像処理において不適素子からのデータを別の代替データで置き換えたりすることが望ましい。
請求項２に係るＸ線検査装置は、請求項１に記載のＸ線検査装置であって、画像処理部は、複数の素子の少なくとも１つが不適素子であると素子状態判断部が判断した場合に、不適素子に対応する不適データを、不適素子以外の正常素子に対応する正常データから推定した代替データにより置き替える。
【００１１】
ここでは、不適素子に対応する不適データを単に排除するのではなく、正常素子に対応する正常データから推定した代替データにより不適データを置き換えるので、検査部における検査の精度の劣化が小さくなる。これにより、一部の素子が使用に適さなくなったにもかかわらず運転続行を入力して検査を継続させた場合にも、比較的正しい検査結果が得られるようになる。
【００１２】
請求項３に係るＸ線検査装置は、請求項２に記載のＸ線検査装置であって、画像処理部は、不適素子に対応する不適データを、不適素子に隣接する複数の正常素子に対応する正常データから推定した代替データにより置き替える。
ここでは、例えば、不適素子に隣接する複数の正常素子に対応する正常データの平均をとることで、代替データを生成する。
【００１３】
請求項４に係るＸ線検査装置は、請求項２に記載のＸ線検査装置であって、画像処理部は、代替データの推定において、不適データおよび正常データを画像として２次元に配列したときに各不適データを中心として放射状に並ぶ連続した正常データ群それぞれから、仮代替データを決定する。正常データ群は、各不適データを中心に横に延びるものや斜めに延びるものなど、複数が利用される。そして、画像処理部は、各正常データ群から決定されてきた複数の仮代替データを基にして、代替データを推定する。例えば、画像処理部は、複数の正常データ群から求まる仮代替データの平均をとったり、複数の仮代替データの順列の中間に位置する値をとったりすることで、最終的な代替データを推定する。
【００１４】
ここでは、代替データの推定において、まず複数の正常データ群それぞれから仮代替データを決定し、それらの仮代替データを平均するなどして最終的な代替データを推定している。このため、代替データが不適切な値に推定されてしまう可能性が非常に小さくなり、代替データを用いた場合にも検査の精度を高く保持することができる。
【００１５】
請求項５に係るＸ線検査装置は、請求項１から４のいずれかに記載のＸ線検査装置であって、表示部と、記憶部と、運転続行明示部とをさらに備えている。表示部は、画像処理部で処理された検体の画像および検査部における検体の検査結果のうちの少なくとも一方である検体情報を表示する。記憶部は、画像処理部で処理された検体の画像および検査部における検体の検査結果のうちの少なくとも一方である検体情報を記憶する。運転続行明示部は、入力部において運転続行が入力され、素子状態判断部が複数の素子の少なくとも１つが不適素子であると判断した後に運転が続行されている状態において、不適素子が存在する状態で運転が続行されていることを、検体情報とともに表示部に表示する又は検体情報とともに記憶部に記憶する。
【００１６】
ここでは、不適素子が存在するにもかかわらず運転続行を選んだ場合において、そのことが検査の結果を示す検体情報に付属する形で表示部に表示されたり記憶部に記憶されたりする。このため、Ｘ線検査装置の管理者や使用者などは、検査中に表示部を見たり検査後に記憶部にある情報を呼び出して見たりするときに、その検査に関する検体情報が不適素子の存在する状態で運転続行しているときのものだということを容易に確認することができる。
【００１７】
請求項６に係るＸ線検査装置は、請求項２から４のいずれかに記載のＸ線検査装置であって、表示部と、記憶部と、不適素子位置付加部とをさらに備えている。表示部は、画像処理部で処理された検体の画像を表示する。記憶部は、画像処理部で処理された検体の画像を記憶する。不適素子位置付加部は、画像処理部が不適素子に対応する不適データを代替データに置き替えたときに、画像処理部で処理された検体の画像に不適素子の位置を示す印を付加する。
【００１８】
ここでは、不適素子が存在するにもかかわらず運転続行を選んだ場合に、画像処理部で処理された検体の画像に不適素子の位置を示す印が付く。これにより、Ｘ線検査装置の管理者や使用者などは、検査中に表示部を見たり検査後に記憶部にある画像を呼び出して見たりするときに、その検査に関する画像が不適素子の存在する状態で運転続行しているときのものだということを容易に確認することができる。また、それとともに、不適素子の位置を把握して、不適素子が検査結果に悪い影響を与えていないか否かを判断することも可能になる。例えば、検体内に異物が混入している画像がある場合に、その異物の位置と不適素子との位置を見比べ、異物が不適素子の位置と近い位置にあれば検査結果を注意して確認するというようなことが可能になる。
【００１９】
請求項７に係るＸ線検査装置は、請求項１から６のいずれかに記載のＸ線検査装置であって、検査部は、入力部において運転を続行することが入力され、素子状態判断部が複数の素子の少なくとも１つが不適素子であると判断した後に運転が続行されている状態において、素子状態判断部が複数の素子の全てを不適素子ではないと判断している場合に較べて厳しい基準で検体を検査する。
【００２０】
複数の素子の少なくとも１つが使用に適した状態でない不適素子である場合には、運転続行はできても、不適素子が全くない場合に較べ、検査で異常と判断されるべき検体が誤って正常と判断される可能性が若干高くなってしまうことも想定される。このようなことを考慮して、ここでは、不適素子が全くない場合に較べて、不適素子であると判断した後に運転が続行されている場合の検査の基準を厳しく設定している。これにより、本来は正常と判断されるべき検体に異常という検査結果が出てしまうデメリットは生じると考えられるが、本来異常と判断されるべき検体が正常と判断されるケースが低減し、異常がある検体を見抜けないという不具合を抑えることができる。
【００２１】
なお、厳しい基準で検体を検査するとは、例えば検体内に混入している異物をＸ線検査でチェックする場合においては、Ｘ線画像における陰影の濃淡が比較的淡く通常であれば異物であると判断しないようなときにも、それを異物と判断して検体を不良とすることである。
請求項８に係るＸ線検査装置は、請求項１から６のいずれかに記載のＸ線検査装置であって、検査部は、入力部において運転を続行することが入力され、素子状態判断部が複数の素子の少なくとも１つが不適素子であると判断した後に運転が続行されている状態において、画像処理部で処理された画像のうち不適素子の近傍の第１部分に対しては第１基準により検体を検査し、画像処理部で処理された画像のうち第１部分以外の第２部分に対しては第２基準により検体を検査する。第１基準は、第２基準よりも厳しい検査基準である。
【００２２】
複数の素子の少なくとも１つが使用に適した状態でない不適素子である場合には、運転続行はできても、不適素子が全くない場合に較べ、検査で異常と判断されるべき検体が誤って正常と判断される可能性が高くなってしまうことも考えられる。特に、不適素子の近傍の部分においては画像の正確性が落ちるため、検体の異常を正しく検査部が認識できない恐れもある。
【００２３】
これに鑑み、ここでは、画像の不適素子の近傍の第１部分に対しては第１基準により、画像のうち第１部分以外の第２部分に対しては第２基準により検体を検査することとし、第１基準を第２基準よりも厳しいものとしている。これにより、本来は正常と判断されるべき検体に異常という検査結果が出るデメリットは生じてしまうと考えられるが、本来異常と判断されるべき検体が正常と判断されるケースが低減し、異常がある検体を見抜けないという不具合を抑えることができる。
【００２４】
なお、第１基準が第２基準よりも厳しいとは、例えば検体内に混入している異物をＸ線検査でチェックする場合においては、Ｘ線画像における陰影の濃淡が比較的淡く第２基準であれば異物であると判断しないようなときにも、第２基準ではそれを異物と判断して検体を不良とすることである。
請求項９に係るＸ線検査装置は、請求項１から８のいずれかに記載のＸ線検査装置であって、入力部は、素子状態判断部が所定数以上連続して並ぶ複数の素子が不適素子であると判断した場合には、運転続行の入力を受けつけない。
【００２５】
本願発明者によるＸ線検査装置の試験により、連続する不適素子の数が少なければ、例えば１つであれば、運転続行をさせても検査の精度が許容できるレベルに入ることが確認されている。しかし、連続して所定数以上の素子が不適素子になると、代替データで補完するなどの対策を採っても検査の精度が十分に確保できなくなってしまう。
【００２６】
このような知見に基づき、ここでは、Ｘ線検査装置の管理者や使用者などが望んだとしても、不適素子が所定数以上連続して並ぶ部分がＸ線受信部に存在する場合には、運転続行の入力を受けつけないこととしている。これにより、検査の精度が確保されない状態でＸ線検査が継続されてしまうという不具合が抑えられる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の外観を、図１に示す。このＸ線検査装置１０は、食品等の商品の生産ラインにおいて品質検査を行う装置の１つであって、連続的に搬送されてくる商品に対してＸ線を照射して、商品を透過したＸ線量を基に商品の不良判断を行う装置である。
【００２８】
Ｘ線検査装置１０の検体である商品Ｇは、図４に示すように、前段コンベア６０によりＸ線検査装置１０に運ばれてくる。商品Ｇは、Ｘ線検査装置１０において異物混入の有無が判断される。このＸ線検査装置１０での判断結果は、Ｘ線検査装置１０の下流側に配置される振分機構７０に送られる。振分機構７０は、商品ＧがＸ線検査装置１０において良品と判断された場合には商品Ｇを正規のラインコンベア８０へと送り、商品ＧがＸ線検査装置１０において不良品と判断された場合には商品Ｇを不良品貯留コンベア９０へと振り分ける。
【００２９】
＜Ｘ線検査装置の構成＞
Ｘ線検査装置１０は、図１及び図２に示すように、主として、シールドボックス１１と、コンベア１２と、Ｘ線照射器（Ｘ線源）１３と、Ｘ線ラインセンサ（Ｘ線受光部）１４と、タッチパネル機能付きのモニタ３０と、制御コンピュータ２０（図５参照）とから構成されている。
【００３０】
〔シールドボックス〕
シールドボックス１１は、両側面に、商品を搬出入するための開口１１ａを有している。このシールドボックス１１の中に、コンベア１２、Ｘ線照射器１３、Ｘ線ラインセンサ１４、制御コンピュータ２０などが収容されている。
なお、図１には図示していないが、開口１１ａは、シールドボックス１１の外部へのＸ線の漏洩を抑えるための遮蔽ノレンにより塞がれている。この遮蔽ノレンは、鉛を含むゴムから成形されるもので、商品が搬出入されるときには商品により押しのけられる。
【００３１】
また、シールドボックス１１の正面上部には、モニタ３０の他、キーの差し込み口や電源スイッチが配置されている。
〔コンベア〕
コンベア１２は、シールドボックス１１内において商品を搬送するものであり、図５に示すコンベアモータ１２ａにより駆動する。コンベア１２による搬送速度は、使用者が入力した設定速度になるように、制御コンピュータ２０によるコンベアモータ１２ａのインバータ制御によって細かく制御される。
【００３２】
〔Ｘ線照射器〕
Ｘ線照射器１３は、図２に示すように、コンベア１２の上方に配置されており、下方のＸ線ラインセンサに向けて扇状のＸ線（図２の斜線範囲Ｘを参照）を照射する。
〔Ｘ線ラインセンサ〕
Ｘ線ラインセンサ１４は、コンベア１２の下方に配置されており、商品Ｇやコンベア１２を透過してくるＸ線を検出する。このＸ線ラインセンサ１４は、図３に示すように、多くの画素１０１，１０２，１０３，・・・，１２１〜１２７，・・・を有している。これらの画素１０１等は、コンベア１２による搬送方向に直交する向きに一直線に配置されており、配設ピッチが０．４ｍｍである。
【００３３】
このＸ線ラインセンサ１４として、ここでは、フォトダイオードアレイ（ＰＤＡ）が使用されている。フォトダイオードアレイでは、画素ごとにオフセットと感度とが異なっている。
〔ＬＣＤモニタ〕
モニタ３０は、フルドット表示の液晶ディスプレイである。また、モニタ３０は、タッチパネル機能を有しており、初期設定や不良判断に関するパラメータ入力などを促す画面の表示も行う。
【００３４】
〔制御コンピュータ〕
制御コンピュータ２０は、ＣＰＵ２１において、制御プログラムに含まれる画素故障判断処理ルーチン２７、画像処理ルーチン２８、検査判定処理ルーチン２９、検査結果付記処理ルーチン５１、画像付記処理ルーチン５２などを実行し、Ｘ線検査中の判定画像や検査結果の表示を行わせる。また、制御コンピュータ２０は、ＨＤＤ２５等の記憶部に、不良商品について判定に使った画像や検査結果を保存蓄積する。各ルーチンの詳細については後述する。
【００３５】
具体的な構成として、制御コンピュータ２０は、図５に示すように、ＣＰＵ２１を搭載するとともに、このＣＰＵ２１が制御する主記憶部としてＲＯＭ２２、ＲＡＭ２３、及びＨＤＤ（ハードディスク）２５を搭載している。ＨＤＤ２５には、しきい値ファイル２５ａや検査結果ログファイル２５ｂなどが収納されている。また、制御コンピュータ２０は、フレキシブルディスクとの入出力を行うＦＤＤ（フレキシブルディスクドライブ）２４も有している。
【００３６】
さらに、制御コンピュータ２０は、モニタ３０に対するデータ表示を制御する表示制御回路、モニタ３０のタッチパネルからのキー入力データを取り込むキー入力回路、図示しないプリンタにおけるデータ印字の制御等を行うためのＩ／Ｏポート等を備えている。
そして、ＣＰＵ２１、ＲＯＭ２２、ＲＡＭ２３、ＦＤＤ２４、ＨＤＤ２５などは、アドレスバス，データバス等のバスラインを介して相互に接続されている。
【００３７】
また、制御コンピュータ２０は、コンベアモータ１２ａ、ロータリエンコーダ１２ｂ、光電センサ１５、Ｘ線照射器１３、Ｘ線ラインセンサ１４等と接続されている。
ロータリエンコーダ１２ｂは、コンベアモータ１２ａに装着され、コンベア１２の搬送速度を検知して制御コンピュータ２０に送る。
【００３８】
光電センサ１５は、検体である商品ＧがＸ線ラインセンサ１４の位置にくるタイミングを検知するための同期センサであり、コンベアを挟んで配置される一対の投光器及び受光器から構成されている。
＜制御コンピュータによる商品不良の判断＞
〔Ｘ線画像作成〕
制御コンピュータ２０のＣＰＵ２１で実行される画像処理ルーチン２８は、光電センサ１５からの信号を受けて、商品Ｇが扇状のＸ線照射部（図２参照）を通過するときに、Ｘ線ラインセンサ１４によるＸ線透視像信号（図３参照）を細かい時間間隔で取得して、それらのＸ線透視像信号を基にして商品ＧのＸ線画像を作成する。すなわち、Ｘ線ラインセンサ１４の各画素１０１等から細かい時間間隔をあけて各時刻のデータを得て、それらのデータから２次元画像が作成される。この２次元画像は、例えば図８に示す画像２０１である。
【００３９】
〔商品不良判断〕
そして、制御コンピュータ２０は、得られたＸ線画像を画像処理して、複数の判断方式によって商品の良・不良を判断する。判断方式には、例えば、トレース検出方式、２値化検出方式、マスク２値化検出方式などがある。これらの判断方式で判断した結果、１つでも不良と判断するものがあれば、その商品Ｇは不良品と判断される。
【００４０】
トレース検出方式及び２値化検出方式は、画像のマスクされていない領域に対して判断を行う。一方、マスク２値化方式は、画像のマスクされている領域に対して判断を行う。マスクは、商品Ｇの容器部分などに対して設定される。
トレース検出方式は、被検出物の大まかな厚さに沿って基準レベル（しきい値）を設定し、像がそれよりも暗くなったときに商品Ｇ内に異物が混入していると判断する方式である。この方式では、比較的小さな異物を検出することができる。
【００４１】
２値化検出方式及びマスク２値化方式は、一定の明るさに基準レベルを設定し、像がそれよりも暗くなったときに商品Ｇ内に異物が混入していると判断する方式である。この２値化検出方式は、比較的大きい異物を検出するために設定されている。
各判断方式における基準レベルやマスク領域については、モニタ３０のタッチパネル機能を使った使用者からの入力によって、設定及び変更が為される。
【００４２】
〔表示制御〕
制御コンピュータ２０は、通常の検査が行われているときには、得られた商品ＧのＸ線画像及び各判断方式による判断に関する情報をモニタ３０に表示させる。また、初期設定時やテスト時には、商品の特定や検査パラメータの入力画面などをモニタ３０に表示させる。
【００４３】
〔記憶制御〕
制御コンピュータ２０は、通常の検査中においては、不良商品のＸ線画像及び各判断方式による判断に関する情報を、ＨＤＤ２５の検査結果ログファイル２５ｂに保存蓄積する。また、テスト時には、テストピースの全ての検査結果をＨＤＤ２５の検査結果ログファイル２５ｂに保存蓄積する。
【００４４】
＜一部の画素が故障しているときの制御コンピュータによる制御＞
次に、Ｘ線ラインセンサ１４の一部の画素が故障したときの制御コンピュータ２０の挙動について説明する。
〔電源投入時〕
Ｘ線検査装置１０の電源投入時には、制御コンピュータ２０がＸ線の検出レベルの診断テスト（キャリブレーション）を行う。この診断テストでは、Ｘ線照射器１３からＸ線を照射していない状態においてＸ線ラインセンサ１４の検出レベル（ダークレベル）を測定するダークレベル測定と、コンベア１２に何も載せない状態でＸ線照射器１３からＸ線を照射してＸ線ラインセンサ１４の検出レベル（ブライトレベル）を測定するブライトレベル測定とが行われる。また、ブライトレベルとダークレベルとの差も演算される。
【００４５】
このような診断テストの結果を用いて、制御コンピュータ２０の画素故障判断処理ルーチン２７は、Ｘ線ラインセンサ１４のそれぞれの画素１０１等について、正常であるか故障しているかを判断する。具体的には、注目画素の信号振幅が両隣の振幅の３分の１以下または１．５倍以上であること、信号振幅を何度か測定すると信号振幅が５％以上ゆらぐこと、あるいは信号振幅が前回Ｘ線検査装置１０を使用したときと較べて１０％以上差があることが検知されれば、その注目画素を故障していると判断する。
【００４６】
そして、画素故障判断処理ルーチン２７は、使用に適しない故障画素が存在する場合には、図６に示すウィンドウ４１をモニタ３０に表示させる。ウィンドウ４１では、Ｘ線検査装置１０の使用者に対して故障画素が存在することを通知し、運転を中止するか続行するかを選択入力させる。ここで運転中止ボタン４１ａが押されれば、Ｘ線ラインセンサ１４を交換するまではＸ線検査装置１０でのＸ線検査ができなくなる。一方、ここで運転続行ボタン４１ｂが押されれば、制御コンピュータ２０は、故障画素の位置情報などをＲＡＭ２３に書き込み、その情報を生かしながらＸ線検査の制御を行う。
【００４７】
但し、ウィンドウ４１で運転続行ボタン４１ｂが押された場合であっても、画素故障判断処理ルーチン２７が故障していると判断した画素が３つ以上あり且つそれらの画素が連続して並んでいる場合には、運転続行を受けつけない。このときには、故障画素の数およびその配置から正常なＸ線検査が困難で運転続行ができない旨をモニタ３０に表示し、Ｘ線ラインセンサ１４の交換の必要性をＸ線検査装置１０の使用者に通知する。
【００４８】
〔画像処理時〕
故障画素が存在するときには、制御コンピュータ２０の画像処理ルーチン２８は、各画素１０１等からの各時刻でのＸ線透視像信号を基にしてＸ線画像を作成する際に、故障画素に対応するデータの修復処理を行う。
この修復処理について、図７に示す模式図を参照して説明を行う。
【００４９】
ここでは、画素１２１〜１２３，１２５〜１２７が正常画素であり、画素１２４が故障画素であると想定する。これらの画素１２１〜１２７が各時刻において出力したＸ線透視像信号による画素データをＸＹ座標上に２次元に配列したものを、図７の下部に示す。画素１２４が故障しているため、これらのうちＸ座標が４である７つのデータが修復を必要とする不適データである。このうち、不適データ（４，４）を例にとって、修復の方法について説明する。
【００５０】
基本的には、不適データ（４，４）の周囲にある正常画素１２１〜１２３，１２５〜１２７による正常データから、不適データ（４，４）に置き換わる推定値（代替データ）を算出する。具体的には、ここでは、不適データ（４，４）を中心として放射状に並ぶ連続した正常データ群Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆそれぞれから仮代替データを決定し、それら６つの仮代替データの平均値あるいは中間値を最終代替データとして、不適データ（４，４）に置き換えるものとする。
【００５１】
より詳細に説明すると、正常データ群Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆは、それぞれ、３つの正常データから構成されている。正常データ群Ａは、正常データ（１，１）、（２，２）、（３，３）から、正常データ群Ｂは、正常データ（１，４）、（２，４）、（３，４）から、正常データ群Ｃは、正常データ（１，７）、（２，６）、（３，５）から、正常データ群Ｄは、正常データ（７，１）、（６，２）、（５，３）から、正常データ群Ｅは、正常データ（７，４）、（６，４）、（５，４）から、正常データ群Ｆは、正常データ（７，７）、（６，６）、（５，５）から、それぞれ構成されている。各正常データ群Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆから仮代替データを求める際には、不適データ（４，４）に近づくにしたがって正常データの数値がどのように推移しているのかという傾斜も考慮に入れた計算を行う。正常データ（１，４）、（２，４）、（３，４）から成る正常データ群Ｂを例にとると、それらの正常データから２次までのテイラー展開で仮代替データＤ２を求める場合、次式のようになる。
【００５２】
【数１】
2005003509.tif 000003
【００５３】
具体的には、次式により演算することができる。
【００５４】
【数２】
2005003509.tif 000004
【００５５】
同様にして、正常データ群Ａから仮代替データＤ１を、正常データ群Ｃから仮代替データＤ３を、正常データ群Ｄから仮代替データＤ４を、正常データ群Ｅから仮代替データＤ５を、正常データ群Ｆから仮代替データＤ６を求めると、次式によって最終代替データｇ（ｘ，ｙ）が仮代替データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６の平均値として求まる。
【００５６】
【数３】
2005003509.tif 000005
【００５７】
このようにして求まった最終代替データｇ（ｘ，ｙ）を故障画素に対応する不適データの代わりとすれば、Ｘ線画像を修復することができる。
〔検査判定処理時〕
上記のように、故障画素に対応する不適データがある場合にも制御コンピュータ２０の画像処理ルーチン２８がＸ線画像を修復するので、故障画素の有無にかかわらず同じ基準でＸ線検査を行うことは不可能ではない。
【００５８】
しかし、ここでは、故障画素の存在により万が一にも不良商品が誤って正常と判定されてしまうことを防止するために、制御コンピュータ２０の検査判定処理ルーチン２９は、故障画素が存在するにもかかわらす図６に示すウィンドウ４１で運転続行ボタン４１ｂが押されてＸ線検査を続行している場合に、通常の基準（第２基準）よりも厳しい基準（第１基準）で商品を検査判定する。具体的には、Ｘ線画像における異物と疑われるものの陰影の濃淡が比較的淡く通常であれば異物であると判定しないようなときにも、それを異物と判定して商品を不良と認定する。
【００５９】
〔モニタ表示処理時および検査結果保存時〕
制御コンピュータ２０は、Ｘ線検査中の判定画像や検査結果のモニタ３０への表示を制御するとともに、不良商品について判定に使った画像や検査結果をＨＤＤ２５等の記憶部に保存蓄積するが、故障画素が存在する場合には、モニタ３０への表示やＨＤＤ２５等への保存の前に、故障画素がありながらＸ線検査を続行していることを検査結果に付け足し、故障画素がある旨を画像に付加する。
【００６０】
制御コンピュータ２０の検査結果付記処理ルーチン５１は、故障画素があるときに、Ｘ線検査中においてモニタ３０に目立つように「故障画素あり」という文字を表示させるとともに、図１７に示すようにモニタ３０に表示するＸ線画像３０１の左上部分に故障画素の数を示す文字表記を付ける。また、検査結果付記処理ルーチン５１は、故障画素の存在を示すフラグを立てて、不良商品の検査結果をＨＤＤ２５等に保存する。このようにしなければ、修復されたＸ線画像を見ても故障画素の有無を判断できないことが多いからである。但し、修復前のＸ線画像をＨＤＤ２５等に保存する場合には、一目で故障画素の存在を把握できることが多いので、Ｘ線画像に故障画素の存在を示す文字表記は必須ではない。
【００６１】
さらに、制御コンピュータ２０の画像付記処理ルーチン５２は、画像処理において故障画素に対応する不適データを代替データに置き替えたときには、修復後のＸ線画像に故障画素の位置を示す印３１２，３１３を付け加える（図１７参照）。これも、修復前のＸ線画像をＨＤＤ２５等に保存したりモニタ３０に表示したりする場合には、一目で故障画素の存在を把握できることが多いので、必須ではない。
【００６２】
＜Ｘ線検査装置の主な特徴＞
（１）
従来から、Ｘ線検査装置において、Ｘ線ラインセンサの１画素あるいは数画素が故障して信号が取り出せなくなることはしばしばある。このようなときに、従来のＸ線検査装置では、モニタ等により故障したことをオペレータに通知し、Ｘ線検査を行うことができない状態にしている。すなわち、従来のＸ線検査装置は、１画素あるいは数画素が故障するとＸ線ラインセンサを交換するまでは使用不能になる。
【００６３】
これに対し、本装置１０では、複数の画素１０１等の少なくとも１つが故障して使用に適した状態でない故障画素になっていると画素故障判断処理ルーチン２７で判断された場合に、モニタ３０に図６に示すウィンドウ４１が表示され、Ｘ線検査装置１０の使用者に対して故障画素が存在することを通知するとともに、運転を中止するか続行するかを選択入力できるようにしている。したがって、Ｘ線検査装置１０の使用者は、タッチパネル式のモニタ３０から運転中止か運転続行かを選ぶことができる。そして、運転続行を選べば、基本的には、Ｘ線検査装置１０によるＸ線検査を続行させることができる。このように、本装置１０では、３つ以上の連続した画素が故障しない限り、１〜数個の画素が故障した場合においても、Ｘ線ラインセンサ１４を交換するまでの間、商品のＸ線検査を続行することができる。
【００６４】
なお、Ｘ線検査の精度を確保するために、ここでは、故障画素に対応する不適データを単に排除してしまうのではなく、正常画素に対応する正常データから推定した代替データによって不適データを置き換えている。これにより、Ｘ線検査の精度の劣化が小さくなっている。
（２）
本装置１０では、制御コンピュータ２０の画像処理ルーチン２８が、各画素１０１等からの各時刻でのＸ線透視像信号を基にしてＸ線画像を作成する際に、故障画素に対応する不適データの修復処理を行う。そして、修復処理における故障画素に対応する不適データの代替データの推定において、まず複数の正常データ群Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆそれぞれから仮代替データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６を決定し、それらの仮代替データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６を平均して最終代替データｇ（ｘ，ｙ）を求めている。このように、不適データに近づくにしたがって正常データの数値がどのような推移をしているのかという傾斜も考慮に入れた計算を行っているため、それぞれの仮代替データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６が不適切な値に推定される可能性が非常に小さい。そして、さらに複数の仮代替データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６から最終代替データｇ（ｘ，ｙ）を求めているため、修復処理後のＸ線画像に基づく商品への異物混入の判定が故障画素の存在しない場合とほぼ同様に高い精度で行われるようになっている。
【００６５】
このような上記の修復処理について、以下に示すような検証を行った。
図８は、箱に入ったレトルトカレーが商品であり且つ内部に大小２つの異物Ｆ１，Ｆ２が混入している場合の商品のオリジナルのＸ線画像を示す。異物Ｆ１は、０．４ｍｍ×１．０ｍｍ程度の大きさのステンレス鋼であり、異物Ｆ２は、２ｍｍ角程度の大きさの塩化ビニルである。そして、この図８における異物混入部分の拡大図ＩＸを、図９に示す。図９に示す拡大画像２０２において、異物Ｆ１，Ｆ２は、それぞれ他の部分よりも濃く映っている。図９の下部のグラフ２０３は、各画素のデータの変化を表している。図８および図９は、全ての画素が正常であるときの画像である。
【００６６】
次に、２つの異物Ｆ１，Ｆ２の画像上最も暗い部分にある画素が故障していると仮定した場合の画像処理について検証を行う。図１０，図１２，図１４では、故障画素による不適データが映像として真っ暗に映ると仮定している。
図１０は、白抜き矢印Ａ１１で示す異物Ｆ１の中心付近の部分のデータが１つの画素の故障により黒くなり、白抜き矢印Ａ１２で示す異物Ｆ２の中心付近の部分のデータが１つの画素の故障により黒くなったときの画像２１２を示す。この画像２１２における故障画素の不適データを上記の数式による代替データに置き換えた画像２１２ａを、図１１に示す。画像２１２ａでは、異物Ｆ１，Ｆ２それぞれについて、サイズもコントラストも良く修復・再現されている。この再現のレベルは、後述する変形例（Ａ）の数式で故障画素の不適データを代替データに置き換えた場合に較べて高くなっている。図１１の下部のグラフ２１３に示す異物Ｆ１，Ｆ２の位置でのデータの変化も、概ね故障画素がない場合のもの（図９の下部のグラフ２０３参照）に近く、制御コンピュータ２０の検査判定処理ルーチン２９による検査判定処理に支障を来すものではない。
【００６７】
図１２は、白抜き矢印Ａ２１で示す異物Ｆ１の中心付近の部分のデータが連続する２つの画素の故障により黒くなり、白抜き矢印Ａ２２で示す異物Ｆ２の中心付近の部分のデータが連続する２つの画素の故障により黒くなったときの画像２２２を示す。この画像２２２における故障画素の不適データを上記の数式による代替データに置き換えた画像２２２ａを、図１３に示す。画像２２２ａの生成では、画像２１２ａのように６方向からの６つの仮代替データを基に最終代替データを算出するのではなく、正常なデータが得られる片側３方向からの３つの仮代替データを基に故障画素の不適データの代わりとなる代替データを算出する。しかし、この画像２２２ａでも、異物Ｆ１，Ｆ２それぞれについて、サイズもコントラストも良く再現されている。図１３の下部のグラフ２２３に示す画素のデータの変化も、故障画素がない場合のもの（図９の下部のグラフ２０３参照）に近く、制御コンピュータ２０の検査判定処理ルーチン２９による検査判定処理に支障を来すものではない。
【００６８】
図１４は、白抜き矢印Ａ３１で示す異物Ｆ１の中心付近の部分のデータが連続する３つの画素の故障により黒くなり、白抜き矢印Ａ３２で示す異物Ｆ２の中心付近の部分のデータが連続する３つの画素の故障により黒くなったときの画像２３２を示す。この画像２３２における故障画素の不適データを上記の数式による代替データに置き換えた画像２３２ｂを、図１６に示す。画像２３２ｂの生成では、連続故障画素のうち中央の画素については両隣に正常データがないため、多段の修復処理を行う必要がある。すなわち、ここでは、連続故障画素の両端の画素のデータを正常なデータが得られる３方向からの３つの仮代替データを基に算出する。これにより、画像２３２から、まず図１５に示す画像２３２ａが得られる。そして、さらにこの画像２３２ａを基に、連続故障画素のうち中央の画素についても代替データによる故障画素の不適データの置き換えを施し、最終的に図１６に示す画像２３２ｂを得る。この画像２３２ｂでは、異物Ｆ２についてはかろうじて周りの部分から区別できる程度に再現できたものの、小さいほうの異物Ｆ１は修復・再現できていない。さらに、画像２３２ｂでは、故障画素の不適データがあった部分に修復の痕跡が見えている。したがって、画素のピッチ（ここでは０．４ｍｍ）や検出すべき異物のサイズ（異物Ｆ１が０．４ｍｍ×１．０ｍｍ、異物Ｆ２が２ｍｍ角）にもよるが、故障画素が３つ以上連続する場合には、異物が商品に混入していても制御コンピュータ２０の検査判定処理で検出できなくなってしまう恐れが高くなる。
【００６９】
このような検証に鑑み、本装置１０では、図６に示すウィンドウ４１で運転続行ボタン４１ｂが押された場合であっても、画素故障判断処理ルーチン２７が故障していると判断した画素が３つ以上あり且つそれらの画素が連続して並んでいる場合には、運転続行を受けつけないこととしている。
（３）
本装置１０では、故障画素が存在するにもかかわらず運転続行を選んだ場合において、そのことが検査結果に付属する形でモニタ３０に表示され、ＨＤＤ２５等に記憶保存される。さらに、Ｘ線画像には、図１７に示すように、故障画素の位置を示す印３１２，３１３が付け加わる。
【００７０】
このため、Ｘ線検査装置１０の管理者や使用者などは、検査中にモニタ３０を見たり検査後にＨＤＤ２５等にある不良商品の記録を呼び出して見たりするときに、その検査が故障画素の存在する状態で運転続行しているときのものだということを容易に確認することができる。
（４）
本装置１０では、故障画素が存在するにもかかわらず運転続行を選んだ場合に、制御コンピュータ２０の画像処理ルーチン２８で処理された商品のＸ線画像３０１に故障画素の位置を示す印３１２，３１３が付く（図１７参照）。
【００７１】
このため、この画像３０１を見る者は、故障画素の位置を把握して、故障画素が検査結果に悪い影響を与えていないか否かを判断することも可能になる。例えば、商品内に異物が混入している画像を見るときに、その異物の位置と故障画素との位置を見比べ、異物が故障画素の位置と近い位置にあれば検査結果を注意して確認するということが可能になる。
【００７２】
（５）
故障画素が存在する場合、運転続行ができても、故障画素が全くない場合に較べ、制御コンピュータ２０の検査判定処理ルーチン２９による判定において異常と判断されるべき不良商品が誤って正常と判断される可能性が高くなることも考えられる。このようなことを考慮して、本装置１０では、故障画素が全くない場合の通常の基準（第２基準）に較べて、故障画素が存在するときに運転を続行させている場合に用いるＸ線検査の基準（第１基準）を厳しく設定している。これにより、本来は正常と判断されるべき商品に異常という検査結果が出てしまうデメリットは生じると考えられるが、本来異常と判断されるべき商品が誤って正常と判断されるケースが低減する。
【００７３】
＜変形例＞
（Ａ）
上記実施形態では、制御コンピュータ２０の画像処理ルーチン２８は、正常データ群Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆそれぞれから仮代替データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６を求め、さらに６つの仮代替データＤ１，Ｄ２，Ｄ３，Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６の平均値を取って最終代替データｇ（ｘ，ｙ）としている。
【００７４】
これに代えて、故障画素に隣接する左右の正常画素の正常データの積を２で割り、それを故障画素の不適データの代わりとすることも可能である。図７に示す例でいえば、故障画素１２４の所定時刻の不適データ（４，４）を、左隣の正常画素１２３の同時刻の正常データ（３，４）と右隣の正常画素１２５の同時刻の正常データ（５，４）との平均値で置き換えてもよい。数式で表すと、置き換えのための代替データｇ（ｘ，ｙ）は、次のようになる。
【００７５】
【数４】
2005003509.tif 000006
【００７６】
このような簡易な置き換えを行った場合でも、故障画素が１つの場合には、かなり精度よくＸ線画像が修復・再現され、制御コンピュータ２０の検査判定処理ルーチン２９による検査判定処理も問題なく行うことができる。
このような修復方法は、図１８（ａ）に示すウェイトテンプレートＰ１をＸ線画像に重ね合わせて近傍の正常データの積和を計算して所定数で割っていることになる。
【００７７】
さらに、もう少しきめ細やかに代替データを求めたい場合には、図１８（ｂ）に示すウェイトテンプレートＰ２をＸ線画像に重ね合わせて近傍の正常データの積和を計算して所定数で割るようにしてもよい。
（Ｂ）
上記実施形態や上記変形例（Ａ）では、故障画素の不適データを代替データで置き換えている。しかし、画素のピッチや検出すべき異物のサイズによっては、１つの画素が故障した程度のときならば故障画素の不適データを無視して制御コンピュータ２０の検査判定処理ルーチン２９による検査判定処理を行うことも可能である。
【００７８】
（Ｃ）
上記実施形態では、制御コンピュータ２０の検査判定処理ルーチン２９は、故障画素が存在するにもかかわらす図６に示すウィンドウ４１で運転続行ボタン４１ｂが押されてＸ線検査を行っている場合に、修復されたＸ線画像の全部分について通常の基準（第２基準）よりも厳しい基準（第１基準）で商品を検査判定している。
【００７９】
このように、故障画素が存在するときに一律に厳しい基準（第１基準）を用いるのではなく、Ｘ線画像のうち故障画素の近傍の部分に対しては厳しい第１基準により商品を検査判定し、それ以外の部分に対しては通常の第２基準により商品を検査判定するようにしてもよい。
（Ｄ）
上記実施形態では、ウィンドウ４１で運転続行ボタン４１ｂが押された場合であっても、画素故障判断処理ルーチン２７により故障していると判断された画素が３つ以上あって且つそれらの画素が連続して並んでいる場合には、運転続行を受けつけないことにしている。
【００８０】
これに加えて、１つ飛ばしで連続して３つ以上の故障画素が存在する場合や、その他これに類する複数の故障画素が存在するときにも、運転続行を受けつけないようにすることが考えられる。運転続行を受けつけない条件については、画素のピッチや検出すべき異物のサイズを考慮して設定することが求められる。
（Ｅ）
上記実施形態では、Ｘ線検査装置１０の電源投入時に行われるＸ線の検出レベルの診断テストを利用して、制御コンピュータ２０の画素故障判断処理ルーチン２７が各画素１０１等について正常か故障かを判断している。
【００８１】
これに加え、制御コンピュータ２０の画素故障判断処理ルーチン２７に、通常運転中において各画素１０１等の正常／故障を判断させることも可能である。例えば、運転中にいずれかの画素が故障すると検査対象である商品の大半が異物混入と判定されることになるため、このような現象を検知し、画素故障判断処理ルーチン２７が、商品の非通過時における各画素１０１等のデータを用いて各画素１０１等の正常／故障を判断することが可能である。
【００８２】
このように運転中に故障画素が発見された場合にも、制御コンピュータ２０の画素故障判断処理ルーチン２７は、図６に示すウィンドウ４１をモニタ３０に表示させ、Ｘ線検査装置１０の使用者に対して故障画素が存在することを通知し、運転を中止するか続行するかを選択入力させればよい。
【００８３】
【発明の効果】
本発明では、複数の素子の少なくとも１つが使用に適した状態でない不適素子であると素子状態判断部が判断した場合に、すなわちＸ線受光部の一部の素子が使えなくなったときに、使用者は、入力部から運転中止か運転続行かを入力することができる。従来では、一部でも素子が使えなくなればＸ線受光部を交換するまで運転ができないのに対し、本発明のＸ線検査装置では、入力部から運転続行の入力をすることができ、Ｘ線受光部を交換するまでのあいだ検査ができなくなってしまうことを回避できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置の外観斜視図。
【図２】Ｘ線検査装置のシールドボックス内部の簡易構成図。
【図３】Ｘ線検査の原理を示す模式図。
【図４】Ｘ線検査装置の前後の構成を示す図。
【図５】制御コンピュータのブロック構成図。
【図６】故障画素の存在を通知し、運転中止か続行かを選択入力させるウィンドウ。
【図７】Ｘ線画像の修復処理の方法を示す模式図。
【図８】商品のオリジナルのＸ線画像の一例を示す図。
【図９】図８のＩＸ部分の拡大図。
【図１０】故障画素の修復処理の検証を説明するための図９に相当する図。
【図１１】故障画素の修復処理の検証を説明するための図９に相当する図。
【図１２】故障画素の修復処理の検証を説明するための図９に相当する図。
【図１３】故障画素の修復処理の検証を説明するための図９に相当する図。
【図１４】故障画素の修復処理の検証を説明するための図９に相当する図。
【図１５】故障画素の修復処理の検証を説明するための図９に相当する図。
【図１６】故障画素の修復処理の検証を説明するための図９に相当する図。
【図１７】故障画素位置および故障画素数を示す表示が付加されたＸ線画像。
【図１８】変形例におけるＸ線画像の修復処理に用いるウェイトテンプレートを示す図。
【符号の説明】
１０    Ｘ線検査装置
１３    Ｘ線照射器（Ｘ線源）
１４    Ｘ線ラインセンサ（Ｘ線受光部）
２０    制御コンピュータ
２７    画素故障判断処理ルーチン（素子状態判断部；入力部）
２８    画像処理ルーチン（画像処理部）
２９    検査判定処理ルーチン（検査部）
３０    モニタ（入力部）
５１    検査結果付記処理ルーチン（運転続行明示部）
５２    画像付記処理ルーチン（不適素子位置付加部）
１０１，１０２，１０３，・・・，１２１〜１２７，・・・    画素
１２１〜１２３，１２５〜１２７    正常画素
１２４    故障画素
【図１】
2005003509.tif 000007
【図２】
2005003509.tif 000008
【図３】
2005003509.tif 000009
【図４】
2005003509.tif 000010
【図５】
2005003509.tif 000011
【図６】
2005003509.tif 000012
【図７】
2005003509.tif 000013
【図８】
2005003509.tif 000014
【図９】
2005003509.tif 000015
【図１０】
2005003509.tif 000016
【図１１】
2005003509.tif 000017
【図１２】
2005003509.tif 000018
【図１３】
2005003509.tif 000019
【図１４】
2005003509.tif 000020
【図１５】
2005003509.tif 000021
【図１６】
2005003509.tif 000022
【図１７】
2005003509.tif 000023
【図１８】
2005003509.tif 000024