(57)【要約】【課題】管理図の作成に使用するデータとして選択したデータが表示されたときに、直感的にわかり易い管理図データ処理装置を提供する。【解決手段】管理図データ処理装置は、製造工程において製造された製品の品質特性値のデータを、表形式で表示手段に表示する表形式表示手段と、表形式データの中から行及び列のセルを指定させる行列指定手段とを有する。さらに、行列指定手段によって指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更する第１表示形態変更手段と、行列指定手段によって指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更する第２表示形態変更手段と、行列指定手段によって指定された行と指定された列の両方において指定されたセルを、第１の表示形態と第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更する第３表示形態変更手段とを有する。【選択図】図５
2005275766.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理する管理図データ処理装置であって、
前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示する表形式表示手段と、
該表形式表示手段によって表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させる行列指定手段と、
該行列指定手段によって前記指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更する第１表示形態変更手段と、
前記行列指定手段によって前記指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更する第２表示形態変更手段と、
前記行列指定手段によって前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更する第３表示形態変更手段と、
前記行列指定手段によって前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力する出力手段とを有することを特徴とする管理図データ処理装置。
【請求項２】
前記第１、前記第２及び前記第３表示形態変更手段は、前記セルのフォント、又は前記セルの背景の色を変更することによって、前記第１、前記第２及び前記第３表示形態を変更することを特徴とする請求項１に記載の管理図データ処理装置。
【請求項３】
前記第３表示形態変更手段によって変更された前記色は、前記第１及び前記第２表示形態変更手段によってそれぞれ変更された前記色を混合したときの色であることを特徴とする請求項２に記載の管理図データ処理装置。
【請求項４】
製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理する管理図データ処理方法であって、
前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示し、
表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させ、
指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更し、
指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更し、
前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更し、
前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力することを特徴とする管理図データ処理方法。
【請求項５】
製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理するためのプログラムであって、
前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示する機能と、
表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させる機能と、
指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更する機能と、
指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更する機能と、
前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更する機能と、
前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力する機能とをコンピュータに実現させるためのプログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、管理図データ処理装置、管理図データ処理方法及びプログラムに関し、特に、製造工程から得られる製品又は半製品の管理図用データを処理する管理図データ処理装置、管理図データ処理方法及びプログラムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、製品の製造工程を管理するために、管理図が利用されている。管理図としては、例えば、平均値範囲管理図、平均値標準偏差管理図がある。製造工程を管理する者は、製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の管理図を作成することによって、その製造工程の状態は、安定状態にあったのか、非安定状態にあったのか、の判断をすることができる。非安定状態にあった場合、非安定状態となった原因を追究し、その原因を取り除く対策をとることによって、その製造工程を再び安定状態にすることができる。
【０００３】
安定状態の工程から製造される製品等は、所望の品質が維持された製品等となるため、管理図の作成を行う種々の装置の提案がなされている（例えば、特許文献１参照）。  
製造工程を管理する者は、製造された製品あるいは半製品の複数のサンプルについての所定の品質特性値のデータから、群という単位で複数のデータを処理して、平均値範囲管理図、平均値標準偏差管理図等の管理図を作成する。このとき、複数のサンプルについて測定された多くの品質特性値のデータの中から、管理図の作成に使用するデータと使用しないデータの選別が行われる。これは、例えば、管理図における限界線の値は、サンプル数によって変化するため、得られたデータの中から適切な管理図が作成されるように、偏ったデータが管理図作成に使用されないようにするためである。
【特許文献１】特開平9-330858号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、従来、測定された多くの品質特性値のデータの中から、管理図の作成に使用するデータと使用しないデータを選別するとき、製造工程を管理する者にとって、大量のデータの中から使用するデータを選択する作業は、極めて煩雑なものであった。例えば、表計算ソフトウエアを用いて、コンピュータのモニタの画面上に表形式で複数のデータを表示させ、表示された表形式のデータの中から、使用するデータを特定し選択するが、モニタの画面上には大量のデータが表示されるため、データの選択操作をするオペレータには、モニタ上で選択されたデータと、選択されていないデータの区別がし難かったという問題があった。特に、表形式のデータの行と列の両方を指定することによって、使用するデータを特定し選択するため、表形式のデータの中でどのセルが選択されているのかを識別し難かった。
【０００５】
そこで、本発明は、管理図の作成に使用するデータとして選択したデータが表示されたときに、直感的にわかり易い管理図データ処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の管理図データ処理装置は、製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理する管理図データ処理装置であって、前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示する表形式表示手段と、該表形式表示手段によって表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させる行列指定手段と、該行列指定手段によって前記指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更する第１表示形態変更手段と、前記行列指定手段によって前記指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更する第２表示形態変更手段と、前記行列指定手段によって前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更する第３表示形態変更手段と、前記行列指定手段によって前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力する出力手段とを有する。
【０００７】
本発明の管理図データ処理方法は、製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理する管理図データ処理方法であって、前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示し、表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させ、指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更し、指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更し、前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更し、前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力する。
【０００８】
このような構成によれば、管理図の作成に使用するデータとして選択したデータが表示されたときに、直感的にわかり易い。
【０００９】
本発明のプログラムは、製造工程から得られる製品又は半製品の品質特性値の変動に基づいて、前記製造工程が安定状態にあるか否かを判断するための管理図のデータを処理するためのプログラムであって、前記製造工程において製造された前記製品又は半製品の前記品質特性値のデータを、行と列からなる表形式で表示手段に表示する機能と、表示された表形式データの中から行及び列のセルを指定させる機能と、指定された行のセルを、指定されていない行のセルとは異なる第１の表示形態に変更する機能と、指定された列のセルを、指定されていない列のセルとは異なる第２の表示形態に変更する機能と、前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルを、前記第１の表示形態と前記第２の表示形態とは異なる第３の表示形態に変更する機能と、前記指定された行と前記指定された列の両方において指定されたセルのデータを出力する機能とをコンピュータに実現させるプログラムである。
【００１０】
このような構成によれば、管理図の作成に使用するデータとして選択したデータが表示されたときに、直感的にわかり易い管理図データ処理装置を容易に実現することができる。
【００１１】
また、本発明の管理図データ処理装置において、前記第１、前記第２及び前記第３表示形態変更手段は、前記セルのフォント、又は前記セルの背景の色を変更することによって、前記第１、前記第２及び前記第３表示形態を変更することが望ましい。
【００１２】
このような構成によれば、色によって選択されたセルと選択されていないセルとの区別がし易い。
【００１３】
また、本発明の管理図データ処理装置において、前記第３表示形態変更手段によって変更された前記色は、前記第１及び前記第２表示形態変更手段によってそれぞれ変更された前記色を混合したときの色であることが望ましい。
【００１４】
このような構成によれば、行と列の両方において選択されたセルは、行の色と列の色とを混ぜた色なので、認識し易い。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。  
まず図１に基づき、本実施の形態に係わるシステムの構成を説明する。図１は、本実施の形態に係わる管理図データ処理装置が処理する管理図データに係わる製造工程の構成を示す構成図である。本実施の形態では、基板の製造工程を例として説明する。その基板は、例えば、半導体装置のウエハ、液晶装置の素子基板、液晶装置のカラーフィルタ基板等である。
【００１６】
図１において、ウエハ等の基板１は、複数の処理装置２−１、２−２、２−３、・・２−ｎ（以下、複数のあるいは一つの処理装置を、単に処理装置２ということもある）に順番に搭載されて処理されていく。処理装置２は、例えば、枚葉式の処理装置であり、基板が一枚ずつ搭載されて一枚ずつ処理される。処理装置２−１、２−２、２−３、・・２−ｎには、それぞれ管理図において必要な品質特性値のデータを取得するデータ取得装置３−１、３−２、３−３、・・３−ｎ（以下、複数のあるいは一つのデータ取得装置を、単にデータ取得装置３ということもある）が、それぞれ設けられている。データ取得装置３は、品質特性値として、例えば処理装置２において形成された配線の寸法、薄膜の厚さ等のデータを測定する測定手段としてのセンサからの信号を得ることによって、サンプルである基板１の品質特性値のデータを取得する。なお、データ取得装置３は、オペレータが基板１上に形成された配線の寸法等の品質特性値を測定して、その測定値を入力することによって、測定対象であるサンプルのデータを取得するものであってもよい。また、データ取得装置３は、処理装置２毎に設けられていなくてもよい。
【００１７】
データ取得装置３は、通信ライン４を介して、管理図データ処理装置であるセンタ装置５に、接続されている。センタ装置５には、記憶装置６が接続されている。記憶装置６には、処理装置２毎における各品質特性値のデータ、後述する管理図データ処理プログラムが記憶されている。なお、本実施の形態に係る記憶装置６は、管理図作成用プログラムも記憶されている。センタ装置５は、管理図作成用のデータを選択するときに使用されるモニタ５ａを有している。管理図は、例えば処理装置２毎に作成されるので、センタ装置５は、処理装置２毎の予め決められた品質特性値データを表示させ、表示させた品質特性値データに対して、選択操作等の処理をすることができるようになっている。
【００１８】
図２は、本実施の形態に係わるセンタ装置５の構成例を示す構成図である。センタ装置５は、表示装置であるモニタ５ａと、記憶装置６と、中央処理装置（以下、CPUという）を有するコンピュータ本体７と、キー入力装置であるキーボード８と、ポインティングデバイスであるマウス９とを含む。コンピュータ本体７に、モニタ５ａ、記憶装置６、キーボード８及びマウス９が接続されている。オペレータは、モニタ５ａ上に全ての品質特性値データを表形式で表示させて、センタ装置５に接続されたキーボード８とマウス９を操作して、後述するように管理図作成用データを選択することができる。
【００１９】
センタ装置５には、上述したようにデータ取得装置３から通信ライン４を介して全ての品質特性値データが送信され、記憶装置６に記憶される。あるいは、オペレータが各処理装置２において処理された基板における品質特性値を測定して、その全ての測定データをセンタ装置５に入力することによって、記憶装置６に記憶される。以下、各処理装置について得られ、記憶装置６に記憶された全ての品質特性値データを、原始データという。
【００２０】
図３は、オペレータが、センタ装置５のモニタ５ａの表示画面１１上に、原始データを表示させた場合の表示画面の例を示す図である。図３に示す表示画面には、原始データＤ０が、行と列からなる表形式で表示されている。
【００２１】
例えば、処理装置２が枚葉式の処理装置であれば、ある処理装置２において処理された基板１について所定の複数の位置における寸法等の品質特性値データが測定される。図３に示す表形式のデータは、１枚の基板１上の複数の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、・・における品質特性値データが、グループＧ１、Ｇ２、G３、・・の夫々に対応して表示されている。
【００２２】
例えば、枚葉処理毎に測定される１枚の基板１上の複数の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、・・における配線パターンの位置の寸法が測定される場合、１回の枚葉処理で得られるデータが、一つのグループとなる。その結果、各枚葉処理を一つのグループとして、１枚の基板１上の複数の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、・・における品質特性値データが得られる。そして、各グループの全てのデータ、すなわち全ての枚葉処理におけるデータが、センタ装置５の記憶装置６に記憶される。
【００２３】
あるいは、バッチ処理される複数の基板１上の複数の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、・・における配線パターンの位置の寸法が測定される場合、１回のバッチ処理で得られるデータが、一つのグループとなる。その結果、各バッチ処理を一つのグループとして、複数の基板１上の複数の位置Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、・・における品質特性値データが得られる。そして、各グループのデータがセンタ装置５の記憶装置６に全て記憶される。  
さらにあるいは、複数の枚葉処理、あるいは複数のバッチ処理を纏めて一つのロットとして、一つのロットのデータを、図３における一つのグループとしてもよい。従って、どの範囲のデータを一つのグループとするかは、作成する管理図に応じて決定される。
【００２４】
図３に示す原始データＤ０は、行と列からなる表形式のデータとして表示される。行方向のデータは、同じ位置におけるデータである。列方向のデータは、同じグループのデータである。オペレータは、表形式データを処理できる表形式データ処理プログラム、例えばＥＸＣＥＬ（商品名）を利用することによって、モニタ５ａの画面上に原始データＤ０を表示させて、記憶装置６に記憶されたデータの中から、どの行のデータとどの列のデータを管理図の作成に使用するかを、マウス９を用いて選択し指定することができる。すなわち、オペレータは、モニタ５ａの表示画面１１上にされた原始データＤ０に対して、マウス９を用いて、管理図に使用するデータを選択し指定する操作を行うことができる。
【００２５】
図３に示すように、オペレータが、マウス９を使うことによって、管理図の作成に使用するデータとして、位置Ｐ１に対応する行を選択したとすると、その行の各セルは、選択された行である旨を示す表示状態となる。なお、図３では、選択された範囲を点線ＤＲ１で示す。選択された行である旨を示す表示状態とは、後述するように、予め決められた色表示の状態である。ここでは、選択された行であることを示す色は、黄色である。同様に、オペレータが、管理図の作成に使用するデータとして、位置Ｐ３、Ｐ５等の行も追加して選択したとすると、点線ＤＲ２、ＤＲ３等で示された行もそれぞれ選択された状態を示す色、すなわち黄色になる。
【００２６】
さらに、図３に示すように、オペレータが、管理図の作成に使用するデータとして、グループＧ１に対応する列を選択したとすると、その列の各セルは、選択された列であることを示す表示状態となる。なお、図３では、選択された範囲を点線ＤＣ１で示す。選択された列であることを示す表示状態とは、後述するように、予め決められた色表示の状態である。ここでは、選択された列であることを示す色は、青色である。同様に、オペレータが、管理図の作成に使用するデータとして、グループＧ３、Ｇ４、Ｇ５、Ｇ７等の列も追加して選択したとすると、点線ＤＣ２、ＤＣ３等で示された列もそれぞれ選択された状態を示す色、すなわち青色になる。
【００２７】
なお、本明細書において、選択された行あるいは列の各セルの表示状態の変更とは、表示されているデータ自体の形態の変更でもよいし、表示されているデータのセルの背景のパターン、色等の形態の変更でもよい。
【００２８】
オペレータが、管理図用のデータとして、行の選択だけを行った場合は、選択された行の各セルは、全て黄色に表示状態が変更される。同様に、オペレータが、管理図用のデータとして、列の選択だけを行った場合は、選択された列の各セルは、全て青色に表示状態が変更される。
【００２９】
また、オペレータが、管理図の作成に使用するデータとして、行と列の両方の選択を行った場合は、選択された行と列の両方において選択されたセルは、行と列の両方により選択されていることを示す表示状態になる。なお、図３では、行と列の両方により選択された範囲を点線ＤＢで示す。行と列の両方が選択されたことを示す表示状態とは、後述するように、予め決められた色表示の状態である。ここでは、行と列の両方が選択されたセルであることを示す色は、緑色である。このような構成によれば、色によって選択されたセルと選択されていないセルとの区別がし易い。
【００３０】
本実施の形態では、選択された行と列の両方において選択されたセルは、選択された行のセルを示す黄色と、選択された列のセルを示す青色とが混ざった色である緑になっている。行と列の両方において選択されたセルについて、行の色と列の色とを混ぜた色、すなわち混色を使用すると、オペレータに認識し易い。
【００３１】
図３において選択された品質特性値データは、管理図作成用データＤ１として指定されて、記憶装置６に記憶され、管理図作成のために管理図作成プログラムによって使用される。
【００３２】
オペレータは、記憶装置６に記憶された管理図作成用データＤ１をモニタ５ａの画面上に表示させることができる。図４は、オペレータが、センタ装置５のモニタ５aの表示画面１１上に、管理図作成用データＤ１を表示させた場合の表示画面の例を示す図である。図４に示す表示画面１１には、オペレータによって選択された行と列の両方で指定されたセルの品質特性値データが、行と列からなる表形式で表示されている。具体的には、図４に示されたセルのデータは、図３において、行と列の両方により選択され指定された、点線ＤＢで示された範囲のデータである。
【００３３】
次に、管理図用データを指定する処理について説明する。図５は、センタ装置５における管理図データの指定処理の流れの例を示すフローチャートである。なお、図５に示す処理は、センタ装置５のＣＰＵが記憶装置６に記憶された管理図データ処理プログラムを読み出して実行することによってなされる。  
オペレータが、記憶装置６に記憶されている原始データＤ０を、センタ装置５のモニタ５ａの画面上に表示させるコマンドを指示すると、センタ装置５は、原始データＤ０を、センタ装置５のモニタ５ａの画面上に表示させる（ステップ（以下、Sと略す）１）。
【００３４】
オペレータは、表示された原始データの中から、マウス９等を利用して管理図作成用のデータを選択し、指定するための指定処理が行われる（S2）。S2の処理については、後で図６を用いて詳述する。
【００３５】
指定操作が終了して、オペレータが、管理図作成用のデータを確定する旨のコマンドを入力したか否かが判断される（S3）。オペレータが、管理図作成用のデータを確定する旨のコマンドを入力した場合は、S3でYESとなって、ＣＰＵは、選択されたセルのデータだけを、管理図作成用データＤ１として記憶装置６のデータベースに出力し（S4）、記憶装置６のデータベースが更新される。このとき、モニタ５ａの表示画面は、図３の画面から図４の画面に切り替わる。出力された管理図作成用データＤ１に基づいて、管理図が作成される。
【００３６】
図６は、図５における管理図用データの指定処理の流れの例を示すフローチャートである。  
オペレータは、上述したように、表示された原始データＤ０の中から、マウス９等を利用して管理図作成用のデータを、図３に示すように選択する。従って、まず、ＣＰＵは、オペレータがマウス９を操作することによって、行の選択が行われたか否かの判断を行う（S11）。行の選択が行われたと判断されると、S11でYESとなって、行選択処理が行われる（S12）。行選択処理は、オペレータによって選択された行の複数のセルについて、行選択されたセルであることを示すフラグデータ等の行選択コードを、記憶させる処理である。
【００３７】
行の選択が行われなかった場合、及び行選択処理が行われた後に、ＣＰＵは、オペレータがマウス９を操作することによって、列の選択が行われたか否かの判断を行う（S13）。列の選択が行われたと判断されると、S13でYESとなって、列選択処理が行われる（S14）。列選択処理は、オペレータによって選択された列の複数のセルについて、列選択されたセルであることを示すフラグデータ等の列選択コードを、記憶させる処理である。
【００３８】
また、行と列の両方の選択がされたセルについては、両方のフラグデータ等、すなわち行選択コードと列選択コードが、記憶される。以上のように、表形式で表示された原始データの中で、選択された行及び列のセル毎に、行のみの選択がされたセルか、列のみの選択がされたセルか、あるいは行と列の両方の選択がされたセルか、が判別できるような識別コードのデータが記憶される。
【００３９】
列の選択が行われなかった場合、及び列選択処理が行われた後に、センタ装置５は、表示処理を行う（S15）。表示処理の内容については、図７を用いて詳述する。表示処理の後に、オペレータが管理図作成用のデータの選択処理を終了する旨のコマンドを指示したか否かの判断される（S16）。オペレータが管理図作成用のデータの選択処理を終了する旨のコマンドを指示しなければ、処理は、S11の処理に戻り、そのコマンドの指示があれば、処理は終了する。
【００４０】
図７は、図６の表示処理の流れの例を示すフローチャートである。まず、センタ装置５のＣＰＵは、各セルについて、行のみの選択がされたセルであるか否かを判断する（S21）。行のみの選択がされたセルであるか否かを判断は、上述した場合であれば、そのセルに行選択コードのみが記憶されているか否かによって行われる。行のみの選択がされたセルについては、表示状態を、行のみ、列のみ、及び両方の、いずれの選択もされていないセルの表示状態とは異ならせるように変更する。ここでは、具体的には、行のみ、列のみ、及び両方の、いずれの選択もされていないセルの表示状態を無色とし、上述したように、行のみの選択がされたセルの表示状態としてセルの色を黄色に変更する場合は、セルのフォントの色指定データ、あるいはセルの背景のパターンの色指定データを黄色にするように変更され（S22）、処理は終了する。
【００４１】
ＣＰＵは、S21でNOの場合、すなわち各セルについて、行のみの選択がされたセルでないと判断された場合は、各セルについて、列のみの選択がされたセルであるか否かを判断する（S23）。列のみの選択がされたセルであるか否かを判断は、上述した場合であれば、そのセルに列選択コードのみが記憶されているか否かによって行われる。列のみの選択がされたセルについては、表示状態を、行のみ、列のみ、及び両方の、いずれの選択がされていないセルの表示状態とは異ならせるように変更する。さらに、行のみ選択されたセルの表示状態とも異ならせるように、セルの表示状態が変更させる。ここでは、具体的には、上述したように、列のみの選択がされたセルの表示状態としてセルの色を青色に変更する場合は、セルのフォントの色指定データ、あるいはセルの背景のパターンの色指定データを青色にするように変更され（S24）、処理は終了する。
【００４２】
ＣＰＵは、S23でNOの場合、すなわち各セルについて、行のみの選択がされたセルでも、列のみの選択がされたセルでないと判断された場合は、各セルについて、行と列の両方の選択がされたセルか否かを判断する（S25）。行と列の両方の選択がされたセルについては、行と列の両方の選択がされたセルの表示状態を、行のみ、列のみ、及び両方の、いずれの選択がされていないセルの表示状態とは異ならせるように変更する。さらに、行のみ選択されたセル及び列のみ選択されたセルの表示状態とも異ならせるように、セルの表示状態が変更させる。ここでは、具体的には、上述したように、行と列の両方の選択がされたセルの表示状態としてセルの色を緑色に変更する場合は、セルのフォントの色指定データ、あるいはセルの背景のパターンの色指定データを緑色にするように変更され（S26）、処理は終了する。
【００４３】
従って、図５から図７の処理によれば、表形式で表示された原始データＤ０の中から、管理図作成用のデータを選択するとき、選択された行と列のセルが、それぞれ他のセルと異なる表示状態、ここでは異なる色によって表示され、かつ、選択された行と選択された列の両方に係るセルについても、行のみ選択されたセルと、列とのみ選択されたセルとも異なる色によって表示される。よって、オペレータは、原始データＤ０の中から、管理図に使用するデータを選択するときに、選択されたデータを視認し易くなるので、管理図用データを指定する操作効率が向上する。
【００４４】
最後に、センタ装置５は、記憶装置６に記憶された管理図作成用プログラムを実行することによって、選択された管理図用データＤ１を用いて、各種管理図を作成する。図８は、センタ装置５のモニタ５ａ上に表示された３つの管理図のグラフの例を示す図である。センタ装置５は、図８に示すように、作成された３つの管理図のグラフを、モニタ５ａの表示画面１１上に表示する。図８において、品質特性値の時間的な変動値に基づく平均値管理図１２、品質特性値の時間的な変動値に基づく範囲管理図１３、及び品質特性値の空間的な変動値に基づく範囲管理図１４が、それぞれの時間軸を横方向にして、縦方向において時間が一致するように並べて表示されている。
【００４５】
平均値管理図１２には、品質特性値としての配線の幅長の平均値Ｘｂａｒ（ｔ）のデータがプロットされた折れ線グラフ１２−１が表示される。平均値管理図１２には、さらに、平均値Ｘｂａｒ（ｔ）の平均値を示す線１２−２と、上下の限界値を示す点線１２−３，１２−４も表示されている。従って、製造工程を管理する者は、平均値管理図１２においてプロットされる平均値Ｘｂａｒ（ｔ）の値、バラツキ等をみることによって、製造工程の状態を判断することができる。
【００４６】
範囲管理図１３には、品質特性値としての配線の幅長の範囲Ｒ（ｔ）のデータがプロットされた折れ線グラフ１３−１が表示される。範囲管理図１３には、さらに、範囲Ｒ（ｔ）の平均値を示す線１３−２と、限界値を示す点線１３−３も表示されている。従って、製造工程を管理する者は、範囲管理図１３においてプロットされる範囲Ｒ（ｔ）の値、バラツキ等をみることによって、製造工程の状態を判断することができる。
【００４７】
範囲管理図１４には、品質特性値としての配線の幅長の範囲Ｒ（ｓ）のデータがプロットされた折れ線グラフ１４−１が表示される。範囲管理図１４には、さらに、範囲Ｒ（ｓ）の平均値を示す線１４−２と、上下の限界値を示す点線１４−３，１４−４も表示されている。従って、製造工程を管理する者は、範囲管理図１４においてプロットされる範囲Ｒ（ｓ）の値、バラツキ等をみることによって、製造工程の状態を判断することができる。  
これらの管理図の作成において、原始データＤ０の中から選択された管理図作成用データＤ１が使用されているので、各管理図における各限界線の値は、適切な値となっている。
【００４８】
以上説明したように、本実施の形態によれば、原始データの中から、管理図の作成に使用するデータと使用しないデータを選別するとき、オペレータには、モニタ上で選択されたデータと、選択されていないデータの表示形態が異なるために、選択されたデータの識別がし易くなる。特に、表形式のデータの行と列の両方を指定することによって、使用するデータを特定し選択するため、表形式のデータの中でどのセルが選択されているのかを直感的に識別し易くなる。
【００４９】
本明細書における各処理内容は、実施の形態の各機能に対応する概念的なもので、必ずしも特定のハードウエアやソフトウエア・ルーチンに１対１には対応しない。また、本実施の形態における各手順の各ステップは、その性質に反しない限り、実行順序を変更し、複数同時に実行し、あるいは実行毎に異なった順序で実行してもよい。
【００５０】
なお、以上説明した動作を実行するプログラムは、フロッピー（登録商標）ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体や、ハードディスク等の記憶装置等に、その全体あるいは一部が記録され、あるいは記憶されている。そのプログラムがコンピュータにより読み取られて、動作の全部あるいは一部が実行される。あるいは、そのプログラムの全体あるいは一部を通信ネットワークを介して流通または提供することができる。利用者は、通信ネットワークを介してそのプログラムをダウンロードしてコンピュータにインストールしたり、あるいは記録媒体からコンピュータにインストールすることで、容易に本発明の管理図データ処理装置を実現することができる。
【００５１】
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本実施の形態に係わる製造工程の構成を示す構成図。
【図２】本実施の形態に係わるセンタ装置５の構成例を示す構成図。
【図３】モニタの表示画面上に、原始データを表示させた場合の表示画面の例を示す図。
【図４】モニタの表示画面上に、管理図作成用データを表示させた場合の例を示す図。
【図５】センタ装置における管理図データの指定処理の流れの例を示すフローチャート。
【図６】図５における管理図用データの指定処理の流れの例を示すフローチャート。
【図７】図６の表示処理の流れの例を示すフローチャート。
【図８】センタ装置のモニタ上に表示された３つの管理図のグラフの例を示す図。
【符号の説明】
【００５３】
１  基板、２  処理装置、３  データ取得装置、４  通信ライン、５  センタ装置、５ａモニタ、６  記憶装置、７  本体、８  キーボード、９  マウス
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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