(57)【要約】【課題】ウェハーとテープの間に空気を残留させずに貼り付け作業を実施できるようにする。【解決手段】基台１の上蓋２側に取り付けられて気密空間Ａ３を形成し、ウェハー６を載置するための弾性体のゴムシート７と、ゴムシート５と上蓋２の間にもうけられた気密空間Ｂ４と、ウェハー４に貼り付けるダイシング用テープ９と、ダイシング用テープ９をウェハー４から所定距離を隔てるようにフレーム１０を載置するためのフレーム台１１と、気密空間Ａ３及びＢ４をそれぞれ真空にする弁Ａ１２及びＢ１３と、ゴムシート５の気密空間Ｂ６側の中央部に設けられ、載置するウェハー４のずれを防止するウェハーガード１６とを備え、気密空間Ａ３及びＢ４を真空にした後、気密空間Ａ３のみ大気圧に戻してゴムシート７を変形させ、これによりウェハー６をダイシング用テープ９に貼り付ける。【選択図】      図１
2005026377.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に気密空間を有する基台と、前記気密空間を第１及び第２の気密空間に仕切り、当該第１の気密空間側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体の弾性シートと、当該弾性シートに載置された前記部品から所定距離隔てるように前記基台に取り付けられるテープと、前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空にさせる第１及び第２の真空ポンプとを備えることを特徴とする真空テープ貼付装置。
【請求項２】
前記テープには、その中央部に前記部品を位置決めするために位置決め部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の真空テープ貼付装置。
【請求項３】
前記テープには、当該テープに歪みやシワが生じないようにフレームが取り付けられており、前記テープは、前記フレームを介して前記基台に取り付けられることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空テープ貼付装置。
【請求項４】
前記基台及び前記フレームの何れか一方又は双方に、前記テープで隔てられた前記第１の気密空間を通気可能とするための通気部を有することを特徴とする請求項１〜３の何れか１に記載の真空テープ貼付装置。
【請求項５】
前記基台は、外部から前記弾性シートに前記部品を載置できるように、前記第１の気密空間を分離可能とすることを特徴とする請求項１〜４の何れか１に記載の真空テープ貼付装置。
【請求項６】
内部に気密空間を有する基台と、前記気密空間を第１及び第２の気密空間に仕切り、当該第１の気密空間側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体の弾性シートと、当該弾性シートに載置された前記部品から所定距離隔てるように前記基台に取り付けられるテープと、前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空にさせる第１及び第２の真空ポンプとを備える真空テープ貼付装置において、
前記第１及び第２の真空ポンプが前記第１及び第２の気密空間を真空にする第１のステップと、前記第２の気密空間に空気を流入する第２のステップとを有することを特徴とする真空テープ貼付方法。
【請求項７】
前記テープには、その中央部に前記部品を位置決めするために位置決め部材が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の真空テープ貼付方法。
【請求項８】
前記テープには、当該テープに歪みやシワが生じないようにフレームが取り付けられており、前記テープは、前記フレームを介して前記基台に取り付けられることを特徴とする請求項６又は７に記載の真空テープ貼付方法。
【請求項９】
前記基台及び前記フレームの何れか一方又は双方に、前記テープで隔てられた前記第１の気密空間を通気可能とするための通気部を有することを特徴とする請求項６〜８の何れか１に記載の真空テープ貼付方法。
【請求項１０】
前記基台は、外部から前記弾性シートに前記部品を載置できるように、前記第１の気密空間を分離可能とすることし、
前記第１のステップの前に、前記基台を分離させて前記弾性シートにウェハーを載置するステップを有することを特徴とする請求項６〜９の何れか１に記載のウェハー用真空テープ貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テープの貼り付けに関し、特に、真空を利用したテープの貼り付けに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のウェハー用テープ貼付装置は、図に示すように、ローラの圧着によりダイシング用テープをウェハーに貼り付けていた。
【０００３】
しかし、この様なウェハー用テープ貼付装置ではウェハーとダイシング用テープの間に空気が残留するため、次行程のチップ分割を実施すると、チップ分割中にチップの割れや欠けが生じ、歩留まりを悪化させていた。
【０００４】
そこで、特開２００３−００７８０８号公報に記載されるような、真空を用いたウェハー用テープ貼付装置が考えられた。
【０００５】
特開２００３−００７８０８号公報に記載のウェハー用テープ貼付装置は、図及び図に示すように、ウェハーとダイシング用テープの付いたシートリングを装置内に配置し、装置本体側の部屋と上蓋側の部屋をそれぞれ大気圧から真空に切り換えるように弁Ａ及び弁Ｂを備え、弁Ａ及び弁Ｂでそれぞれの部屋を高真空圧で保持したまま、上蓋側の部屋の弁Ａを真空から大気圧に切り換えることにより、上蓋側の部屋と装置本体側の部屋の差圧を発生させ、上蓋のゴムシートが本体側へ膨らみ、ダイシング用テープを下方に押してウェハーに貼り付けるようになっている。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００３−００７８０８号公報
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特開２００３−００７８０８号公報に記載のウェハー用テープ貼付装置であっても、上蓋の部屋の大気開放弁を一気に大気開放することで、ゴムシートの膨らみ方によってはウェハーの外周部からダイシング用テープが貼り付けられ、これによりウェハー中央部に空気が残留することがある。
【０００８】
従って、次行程のチップ分割でチップの割れや欠けを防止するため、作業者がウェハーとダイシング用テープの間の残留空気を取り除く必要があり、多大な作業工数がかかっていた。
【０００９】
また、この従来のウェハー用テープ貼付装置では、ダイシング用テープの伸びを利用して貼り付けているため、伸縮性の無いフィルムテープや樹脂をウェハーに貼り付けることができないという問題もあった。
【００１０】
そこで本発明はかかる問題に鑑み、ウェハーとテープ（フィルムテープや樹脂等）の間に空気を残留させずに貼り付け作業を実施できるようにし、次行程のチップ分割でチップの割れや欠けを防止すると共に、この残留空気を除去する作業を無くすことで生産性向上を図ることを目的とする。
【００１１】
また、ウェハー以外の基板や製品等にも同様にテープ（フィルムテープや樹脂等）を貼り付けられるテープ貼付装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため本発明にかかる真空テープ貼付装置は、内部に気密空間を有する基台と、前記気密空間を第１及び第２の気密空間に仕切り、当該第１の気密空間側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体の弾性シートと、当該弾性シートに載置された前記部品から所定距離隔てるように前記基台に取り付けられるテープと、前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空にさせる第１及び第２の真空ポンプとを備えることとする。
【００１３】
この場合、前記テープには、その中央部に前記部品を位置決めするために位置決め部材が設けられていることが望ましい。また、前記テープには、当該テープに歪みやシワが生じないようにフレームが取り付けられており、前記テープは、前記フレームを介して前記基台に取り付けられることが望ましい。
【００１４】
更に、前記基台及び前記フレームの何れか一方又は双方に、前記テープで隔てられた前記第１の気密空間を通気可能とするための通気部を有することが望ましい。また、前記基台は、外部から前記弾性シートに前記部品を載置できるように、前記第１の気密空間を分離可能とすることが望ましい。
【００１５】
一方、本発明にかかる真空テープ貼付方法は、内部に気密空間を有する基台と、前記気密空間を第１及び第２の気密空間に仕切り、当該第１の気密空間側にテープを貼り付ける部品を載置する弾性体の弾性シートと、当該弾性シートに載置された前記部品から所定距離隔てるように前記基台に取り付けられるテープと、前記第１及び第２の気密空間をそれぞれ真空にさせる第１及び第２の真空ポンプとを備える真空テープ貼付装置において、前記第１及び第２の真空ポンプが前記第１及び第２の気密空間を真空にする第１のステップと、前記第２の気密空間に空気を流入する第２のステップとを有することとする。
【００１６】
この場合、前記テープには、その中央部に前記部品を位置決めするために位置決め部材が設けられていることが望ましい。また、前記テープには、当該テープに歪みやシワが生じないようにフレームが取り付けられており、前記テープは、前記フレームを介して前記基台に取り付けられることが望ましい。
【００１７】
更に、前記基台及び前記フレームの何れか一方又は双方に、前記テープで隔てられた前記第１の気密空間を通気可能とするための通気部を有することが望ましい。また、前記基台は、外部から前記弾性シートに前記部品を載置できるように、前記第１の気密空間を分離可能とすることし、前記第１のステップの前に、前記基台を分離させて前記弾性シートにウェハーを載置するステップを有することが望ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１９】
図１は本発明にかかるウェハー用テープ貼付装置の構成を示しており、基台１と、上蓋２と、基台１の上蓋２側に取り付けられて気密空間Ａ３を形成し、ウェハー６を載置するための弾性体のゴムシート７と、ゴムシート５と上蓋２の間に気密空間Ｂ４を形成するために、基台１と上蓋２が接合したときに気密状態にするリング８と、ウェハー４に貼り付けるダイシング用テープ９と、基台１に設けられダイシング用テープ９に歪みやシワが生じないようにダイシング用テープ９に取り付けられるフレーム１０と、ダイシング用テープ９をウェハー４から所定距離を隔てるようにフレーム１０を載置するためのフレーム台１１と、気密空間Ａ３及びＢ４をそれぞれ真空にする弁Ａ１２及びＢ１３と、気密空間Ａ３及びＢ４から弁Ａ１１及びＢ１２にそれぞれ接続する真空開口Ａ１４及びＢ１５と、ゴムシート５の気密空間Ｂ６側の中央部に設けられ、載置するウェハー４のずれを防止するウェハーガード１６と、を備えている。なお、真空開口Ｂ１５は図面では気密空間Ｂ４の中央部に設けられているが、これは分かり易くするために中央部に設けたものであり、実際にはダイシング用テープ９と干渉しない気密空間Ｂ４の周辺部に設けられており、上蓋２のダイシング用テープ９に対峙する部分は平面状となっている。
【００２０】
なお、気密空間Ｂ６の内、ゴムシート５とダイシング用テープ８の間を気密空間Ｃ５とし、この気密空間Ｂ４と気密空間Ｃ５は後述するように通気可能となっている。また、ダイシング用テープ９とフレーム１０は、貼り付けられるだけに限られず、ダイシング用テープ９を表裏から挟み込むように取り付けても良く、ダイシング用テープ９に歪みやシワが生じないようにする構成であればどの様な構成であってもよい。更に、フレーム１０とフレーム台１１は、単に載置するだけに限られず、嵌合等による固定、接着等でも良い。
【００２１】
図２を参照して、ウェハー６、ゴムシート７、フレーム台１１、ウェハーガード１６の構成を詳細に説明する。ゴムシート７には載置するウェハー６の位置決めの為に、載置されるウェハー６を囲むようにウェハーガード１６が貼り付けられている。一方、ダイシング用テープ９に貼り付けられてフレーム台１１に載置するフレーム台１１には、気密空間Ｂ５と気密空間Ｃ６とを通気するための溝１７が複数設けられている。
【００２２】
なお、この溝１７はフレーム１０に設けても良く、また、気密空間Ｂ５と気密空間Ｃ６が元々通気しているのであれば、別途溝を設けなくても良い。
【００２３】
次に、本発明の動作について図３及び図４をも参照して説明する。
【００２４】
まず、上蓋２を基台１から取り外してゴムシート７を表出させ、ゴムシート７のウェハーガード１６に囲まれた内側に、ダイシング用テープ９を貼り付けるウェハー６を載置する。そして、ダイシング用テープ９が貼り付けられたフレーム１０を基台１のフレーム台１１に載置し、基台１に上蓋２を被せる。この時、基台１と上蓋２により気密空間Ｂ４の気密を確実なものとするため、基台１と上蓋２の間に気密保持用のリング８を挟み込む。
【００２５】
これにより、ゴムシート７と基台１の間に気密空間Ａ３が形成され、ゴムシート７と上蓋２の間に気密空間Ｂ４が形成され、この気密空間Ｂ４は更に、ゴムシート７とダイシング用テープ９の間に気密空間Ｃ５が形成される。但し、気密空間Ｂ４と気密空間Ｃ５の間は、フレーム台１１に設けられた溝１７により通気となっており、両空間の気圧は一定となっている。
【００２６】
その後、弁Ａ１２及び弁Ｂ１３により、気密空間Ａ３、Ｂ４及びＣ５を大気圧から真空にする。この時の状態を図３に示す。なお、図において斜線部分は真空であることを示している。
【００２７】
気密空間Ａ３、Ｂ４及びＣ５が真空になると、弁Ａ１２により、気密空間Ａ３に空気を流入させて大気圧に戻す。この時の状態を図４に示す。
【００２８】
ゴムシート７は、気密空間Ａ３と気密空間Ｂ４及びＣ５との気圧差により気密空間Ｂ４及びＣ５の方に押し上げられ、これに伴い、ゴムシート７に載置されたウェハー６は押し上げられてダイシング用テープ９に接合し、これに貼り付けられる。そしてウェハー６がダイシング用テープ９に貼り付けられた後も更に押し上げられ、ウェハー６とダイシング用テープ９は、上蓋２とゴムシート７により圧着される。
【００２９】
つまり、気密空間Ｂ４及びＣ５は真空状態であるから、ウェハー６とダイシング用テープ９の間には残留する空気は存在しない。もし完全な真空でない場合であっても、貼り付けるそのもの（本発明ではウェハー６及びダイシング用テープ９）を変形させるのではなく、ウェハー６を載置するゴムシート７を変形させており、また、ウェハー６はウェハーガード１６により中央に固定されているため、ダイシング用テープ９の中央部に残留空気を入れずにウェハー６を貼り付けることができる。
【００３０】
なお、本実施例では貼り付け対象をウェハーとしたがこれに限定されるものではなく、フィルムテープや樹脂等を貼り付けるウェハー以外の基板や製品等であっても同様の構成により同様の作用効果を奏することができる。
【００３１】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、弾性体であるゴムシートの中央部にウェハーを固定載置し、真空と大気圧との気圧差を利用して当該ゴムシートを変形させ、テープにウェハーを貼り付けるように構成したことにより、テープの中央部にウェハーを貼り付けることができ、これによりウェハーとテープとの間に空気を残留させないようにすることができる。
【００３２】
このようにウェハー全体に残留空気のない均一な状態で貼り付けることができるため、残留空気を除去する工数が削減でき、次行程のチップ分割においてもチップ割れや欠け等のトラブルを削減でき、製品の歩留まりを向上することができる。
【００３３】
また、本発明によればゴムシートを変形させて貼り付けるため、伸縮性の無いフィルムテープや樹脂であってもウェハーに貼り付けることができ、更にウェハー以外の基板や製品等にフィルムテープや樹脂等を貼り付けることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかるウェハー用真空テープ貼付装置の構成を示した図。
【図２】ウェハー周りの詳細図。
【図３】気密空間を真空にした状態を示した図。
【図４】気密空間Ａ３を大気圧にした状態を示した図。
【図５】従来のローラを使用したウェハー用真空テープ貼付装置の構成を示した図。
【図６】特開２００３−００７８０８号に記載のウェハー用真空テープ貼付装置。
【図７】特開２００３−００７８０８号に記載のウェハー用真空テープ貼付装置。
【符号の説明】
１  基台
２  上蓋
３  気密空間Ａ
４  気密空間Ｂ
５  気密空間Ｃ
６  ウェハー
７  ゴムシート
８  リング
９  ダイシング用テープ
１０  フレーム
１１  フレーム台
１２  弁Ａ
１３  弁Ｂ
１４  真空開口Ａ
１５  真空開口Ｂ
１６  ウェハーガード
１７  溝
【図１】
2005026377.tif 000003
【図２】
2005026377.tif 000004
【図３】
2005026377.tif 000005
【図４】
2005026377.tif 000006
【図５】
2005026377.tif 000007
【図６】
2005026377.tif 000008
【図７】
2005026377.tif 000009