(57)【要約】【課題】  スラストプレート部のシャフト部に対する位置決めを容易にし、流体動圧軸受の組み立て工程を簡単にする。【解決手段】  流体動圧軸受システムは、シャフト部１２とスラストプレート部１４とを有するスラストプレート／シャフト一体型部材２０を備えている。スラストプレート／シャフト一体型部材２０は、射出成形により形成されている。シャフト部１２とスラストプレート部１４とが一体に形成されているため、流体動圧軸受システム及びスピンドルモータの組み立て工程においてシャフト部１２とスラストプレート部１４との相対位置関係が変化せず、これらの直角度及び同軸度が一定に保たれる。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シャフト部とスラストプレート部とを有するスラストプレート／シャフト一体型部材を備え、
前記スラストプレート／シャフト一体型部材が、射出成形により形成されていることを特徴とする流体動圧軸受システム。
【請求項２】
円筒状の孔部を有するスリーブをさらに備え、
前記スラストプレート／シャフト一体型部材が、前記スリーブの前記円筒状の孔部の内側に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の流体動圧軸受システム。
【請求項３】
前記スラストプレート／シャフト一体型部材の前記スラストプレート部が、前記シャフト部の軸方向一端に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の流体動圧軸受システム。
【請求項４】
前記スラストプレート／シャフト一体型部材の前記スラストプレート部が、薄型のスラストプレートであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の流体動圧軸受システム。
【請求項５】
前記スラストプレート／シャフト一体型部材の前記スラストプレート部が、前記シャフト部の軸方向における略中央部に形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の流体動圧軸受システム。
【請求項６】
前記スラストプレート／シャフト一体型部材が、回転部材であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の流体動圧軸受システム。
【請求項７】
前記スラストプレート／シャフト一体型部材が、固定部材であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の流体動圧軸受システム。
【請求項８】
流体動圧軸受システムを備えたスピンドルモータであって、
前記流体動圧軸受システムが、シャフト部とスラストプレート部とを有するスラストプレート／シャフト一体型部材を備え、
前記スラストプレート／シャフト一体型部材が、射出成形により形成されていることを特徴とするスピンドルモータ。
【請求項９】
円筒状の孔部を有するスリーブをさらに備え、
前記スラストプレート／シャフト一体型部材が、前記スリーブの前記円筒状の孔部の内側に配置されていることを特徴とする請求項８に記載のスピンドルモータ。
【請求項１０】
前記スラストプレート／シャフト一体型部材の前記スラストプレート部が、前記シャフト部の軸方向一端に形成されていることを特徴とする請求項８又は９に記載のスピンドルモータ。
【請求項１１】
前記スラストプレート／シャフト一体型部材の前記スラストプレート部が、薄型のスラストプレートであることを特徴とする請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のスピンドルモータ。
【請求項１２】
前記スラストプレート／シャフト一体型部材の前記スラストプレート部が、前記シャフト部の略中央部に形成されていることを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか１項に記載のスピンドルモータ。
【請求項１３】
前記スラストプレート／シャフト一体型部材が、前記流体動圧軸受システムにおける回転部材であることを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか１項に記載のスピンドルモータ。
【請求項１４】
前記スラストプレート／シャフト一体型部材が、前記流体動圧軸受システムにおける固定部材であることを特徴とする請求項８乃至１２のいずれか１項に記載のスピンドルモータ。
【請求項１５】
素鋼を破砕して微粒子とする工程と、
前記微粒子とバインダとを混合し、混練する工程と、
スラストプレート部とシャフト部とを有するスラストプレート／シャフト一体型部材を射出成形する工程と、
前記スラストプレート／シャフト一体型部材を研削及び切削し、前記スラストプレート部及び前記シャフト部の所定の特性を得る工程と、
前記所定の特性を変化させることなく前記スラストプレート／シャフト一体型部材を組み付けることにより、流体動圧軸受システムを組み立てる工程と
を含むことを特徴とする流体動圧軸受システムの製造方法。
【請求項１６】
前記所定の特性が、前記スラストプレート部と前記シャフト部との直角度であることを特徴とする請求項１５に記載の流体動圧軸受システムの製造方法。
【請求項１７】
前記所定の特性が、前記スラストプレート部と前記シャフト部との同軸度であることを特徴とする請求項１５に記載の流体動圧軸受システムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンドルモータ及びその流体動圧軸受システム、並びに流体動圧軸受システムの製造方法に関し、より詳細には、スピンドルモータの組み立て効率を向上するための構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
コンピュータその他の電子機器では、デジタル情報を記憶するためのディスクドライブシステムが用いられている。情報は、磁気ディスク媒体（以下、磁気ディスクと称する。）に同心状に形成された記録トラックに記録され、磁気的相転移の形で蓄積されている。磁気ディスクは、シャフトすなわちスピンドルに回転可能に取り付けられている。揺動アームに取り付けられた変換素子が磁気ディスクの面に沿って移動することにより、情報へのアクセスが行われる。情報の正確な書き込み／読み出しを行うためには、書き込み／読み出し用ヘッドすなわち変換素子を、磁気ディスクの記録トラックに対して正確に位置決めしなければならず、そのためには磁気ディスクの回転が安定していなければならない。
【０００３】
ディスクドライブシステムでは、磁気ディスクを回転させるために、スピンドルモータが用いられている。スピンドルモータは、固定シャフトと回転スリーブとを有し、又は、固定スリーブと回転シャフトとを有している（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−５３０２２公報（段落００１４〜００１９、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ディスクドライブシステム用の公知のスピンドルモータの一例を図６に示す。このスピンドルモータ１１０は、ロータ部とステータ部とを有している。図６に示した例では、ロータ部は、回転シャフト１１２を有し、その回転シャフト１１２の上部にはハブ１１１が固定されている。磁気ディスク（図示せず）は、ハブ１１１の上部において保持され、回転シャフト１１２と共に回転する。ハブ１１１のヨーク部１２７には、永久磁石１１７が固定されている。ステータ部は、フレーム１１９と、このフレーム１１９に取り付けられたスリーブ１１３とを有しており、回転シャフト１１２がスリーブ１１３に挿入されて回転し得るようになっている。フレーム１１９の筒状の延在部１１９ａの外周面には、コイル１１５を備えたステータコア１１６が、ロータ部の永久磁石１１７と対向するように固定されている。回転シャフト１１２の外周面には、半径方向の圧力を発生するための複数の溝１１８が形成されている。回転シャフト１１２の外周面とスリーブ１１３の内周面との隙間には、潤滑剤が注入されている。スピンドルモータ１１０の動作時には、溝１１８により潤滑剤中に圧力勾配が生じ、これにより、回転シャフト１１２がスリーブ１１３内でスリーブ１１３内周面に接触しないように懸架支持された状態で回転する。
【０００６】
回転シャフト１１２の下端には、スラストプレート１１４が固定されている。スラストプレート１１４の下面又は上面には、軸方向（スラスト方向）の圧力を発生するための図示しない溝を設けることができる。スピンドルモータ１１０の動作時には、この溝により潤滑剤中に軸方向の圧力勾配が生じ、これによりシャフトがその軸方向に懸架支持される。現在の技術水準では、スラストプレート１１４は回転シャフト１１２の下端に、圧入により固定されている。スピンドルモータ１１０の所望の機能を実現するためには、圧入工程における各パラメータを慎重に制御する必要がある。特に、圧入時に加える力を正確に計算することにより、スラストプレート１１４と回転シャフト１１２との直角度を高い精度で実現しなければならない。しかしながら、現在行われているスラストプレートの圧入方法では、その実現は難しい。
【０００７】
また、流体動圧軸受を備えたスピンドルモータの新しい構成例として、非常に薄いスラストプレート（薄型のスラストプレート）を用いたものがある。このような薄型のスラストプレートを備えたスピンドルモータでは、圧入時に加える押圧力を正確に計算して構成要素間の直角度を高い精度で実現することはさらに難しくなる。スラストプレートが薄いほど曲がりが生じ易く、圧入の際に、スラストプレートがスピンドルモータの他の構成要素に対して位置ずれし易いからである。
【０００８】
流体動圧軸受を備えたスピンドルモータの他の新しい構成例として、シャフトの略中央部にスラストプレートが形成されたものがある。この場合、スラストプレートをシャフトに圧入により固定する際、所望の直角度及び同軸度を達成するために必要なスラストプレートの正確な押圧力の計算がさらに難しくなる。また、流体動圧軸受システムに他の構成要素を組み込む場合には、工程がさらに複雑になる。そこで、スラストプレートのシャフトに対する位置決めを容易にし、流体動圧軸受の組み立て工程を簡単にする技術の開発が強く望まれている。
【０００９】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、スラストプレートのシャフトに対する位置決めを容易にし、流体動圧軸受システムの組み立て工程を簡単にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一態様によれば、シャフト部とスラストプレート部とを有するスラストプレート／シャフト一体型部材を備え、前記スラストプレート／シャフト一体型部材が射出成形により形成された流体動圧軸受システムが提供される。
【００１１】
本発明の他の態様によれば、シャフト部とスラストプレート部とを有するスラストプレート／シャフト一体型部材を備え、前記スラストプレート／シャフト一体型部材が射出成形により形成された流体動圧軸受システムを有するスピンドルモータが提供される。
【００１２】
本発明のさらに他の態様によれば、流体動圧軸受システムの製造方法が提供される。この流体動圧軸受システムの製造方法は、素鋼を破砕して微粒子とする工程と、前記微粒子にバインダを混合して混練する工程と、スラストプレート部とシャフト部とを有するスラストプレート／シャフト一体型部材を射出成形する工程と、前記スラストプレート／シャフト一体型部材を研削及び切削し、前記スラストプレート部及び前記シャフト部の所定の特性を得る工程と、前記所定の特性を変化させることなく前記スラストプレート／シャフト一体型部材を組み付けることにより流体動圧軸受システムを組み立てる工程とを含むものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、シャフト部とスラストプレート部とが一体形成されているため、流体動圧軸受システム及びスピンドルモータの組み立て工程においてシャフト部とスラストプレート部との相対位置関係を一定に保つことができる。その結果、スラストプレートのシャフトに対する位置決めを容易に行うことができ、流体動圧軸受システムの組み立て工程が簡単になる。
【００１４】
上述した態様、効果及び特徴は、本発明の代表的な実施の形態によるものに過ぎない。本発明の更なる特徴及び更なる利点は、以下の説明、図面及び特許請求の範囲により明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の実施の形態につき、図面を参照して詳細に説明する。図１は、第１の実施の形態に係るスラストプレート／シャフト一体型部材２０を示す側面図である。図１に示すように、スラストプレート／シャフト一体型部材２０は、シャフト部１２の軸方向一端に、例えば略円板状のスラストプレート部１４が一体に形成されたものである。
【００１６】
スラストプレート／シャフト一体型部材２０は、好ましくは、射出成形により形成される。この射出成形は、素鋼を破砕して微粒子とする工程と、微粒子にバインダを混合してこれらを混練する工程とを経て行う。その結果得られた材料（バインダと微粒子とが混合及び混練されたもの）を加熱溶融し、シャフト部１２とスラストプレート部１４とが一体となった形状のダイの中で射出成形する。成形体を焼成することにより、スラストプレート／シャフト一体型部材２０の最終形状にほぼ近い形状が得られる。次いで、スラストプレート／シャフト一体型部材２０の各部の研削及び切削を行い、単一の工程で、シャフト部１２とスラストプレート部１４との所望の直角度及び同軸度を得る。その結果、他の工程を経ることなく、シャフト部１２とスラストプレート部１４との所望の直角度及び同軸度を得ることができる。このようにして得られた直角度及び同軸度は、後述する流体動圧軸受システム及びスピンドルモータの組み立て工程においても変化することはない。シャフト部１２とスラストプレート部１４とは一体に形成されており、これらの相対位置関係は変化しないからである。なお、スラストプレート部１４には、貫通孔１４ａが形成されているが、これは潤滑剤を循環させるためのものである。
【００１７】
図２は、第２の実施の形態に係るスラストプレート／シャフト一体型部材３０を示す側面図である。上述した射出成形プロセスは、図２に示すように、薄型のスラストプレート部１６とシャフト部１８とを有するスラストプレート／シャフト一体型部材３０の形成にも利用することができる。このスラストプレート／シャフト一体型部材３０は、薄型のスラストプレート部１６がシャフト部１８の軸方向一端に形成されたものである。なお、薄型のスラストプレート部とは、ここでは、厚さがシャフト部１８の直径の１／２未満のものをいい、通常のスラストプレート部（厚さがシャフト部の直径未満）と区別して説明する。このスラストプレート／シャフト一体型部材３０は、上述したスラストプレート／シャフト一体型部材２０（図１）と同様の射出成形により形成することができる。スラストプレート／シャフト一体型部材３０の研削及び切削によりシャフト部１８とスラストプレート部１６との所望の直角度及び同軸度が得られる。このようにして得られた直角度及び同軸度は、後述する流体動圧軸受システム及びスピンドルモータの組み立て工程においても変化することはない。なお、シャフト部１８の軸方向一端に形成されたネジ穴１８ａは、ディスクを保持するためのクランパ（図示せず）を固定するネジが螺合する部分である。
【００１８】
図３は、第３の実施の形態に係るスラストプレート／シャフト一体型部材４０を示す側面図である。このスラストプレート／シャフト一体型部材４０は、シャフト部２２の軸方向の略中央部にスラストプレート部２４が一体に形成されたものである。当業者であれば、スラストプレート部２４が、シャフト部２２の略中央部のみならず軸方向のどの位置にも形成できることが理解されるであろう。スラストプレート／シャフト一体型部材４０は、射出成形により形成される。実施の形態１のスラストプレート／シャフト一体型部材２０（図１）に関して説明したように、射出成形は、好ましくは、素鋼を破砕して微粒子とする工程と、微粒子にバインダを混合して混練する工程とを経て行う。その結果得られた材料を加熱溶融し、シャフト部２２とスラストプレート部２４とが一体となった形状のダイの中で射出成形する。成形体を焼成することにより、スラストプレート／シャフト一体型部材４０の最終形状にほぼ近い形状が得られる。次いで、スラストプレート／シャフト一体型部材４０の各部の研削及び切削を行い、単一の工程で、シャフト部２２とスラストプレート部２４との所望の直角度及び同軸度を得る。その結果、他の工程を経ることなく、シャフト部２２とスラストプレート部２４との所望の直角度及び同軸度を得ることができる。このようにして得られた直角度及び同軸度は、後述する流体動圧軸受システム及びスピンドルモータの組み立て工程においても変化することはない。シャフト部２２とスラストプレート部２４との相対位置関係は変化しないからである。また、シャフト部２２とスラストプレート部２４とを一体形成することにより、両者を圧入により固定する場合に生じうるシャフト部２２の外周面の損傷を防止できるという効果もある。なお、シャフト部２２の軸方向一端に形成されたネジ穴２２ａは、クランパを固定するネジが螺合する部分である。
【００１９】
図４は、スラストプレート／シャフト一体型部材２０（図１）を有する流体動圧軸受システムを備えたスピンドルモータ１０を示す側断面図である。図４に示すように、スピンドルモータ１０は、ロータ部２６とステータ部２８とを有している。ロータ部２６は、回転可能なスラストプレート／シャフト一体型部材２０を有している。このスラストプレート／シャフト一体型部材２０は、上述したシャフト部１２とスラストプレート部１４とを有している。シャフト部１２の上部には、ハブ１１が固定されている。図示しない磁気ディスクは、ハブ１１の上部において保持され、スラストプレート／シャフト一体型部材２０と共に回転する。ハブ１１の下端部には、ヨーク部２７が固定されている。ステータ部２８は、フレーム１９と、このフレーム１９に取り付けられたスリーブ１３とを有している。スリーブ１３は、円筒状の孔部を有し、その内側にスラストプレート／シャフト一体型部材２０が挿入されて回転可能に保持されている。スリーブ１３の下端部の開口は、カウンタプレート２５により塞がれている。フレーム１９の筒状の延在部１９ａの外周面には、コイル１５を備えたステータコア２１が固定されており、ステータコア２１とロータ部２６の永久磁石１７とが対向している。シャフト部１２の外周面には、複数の溝２３が形成されている。潤滑剤は、回転するスラストプレート／シャフト一体型部材２０の外周面とスリーブ１３の内周面との間の軸受ギャップに充填されている。スピンドルモータ１０の動作時には、溝２３により潤滑剤中に半径方向の圧力勾配が生じ、その結果生じる半径方向の力により、スラストプレート／シャフト一体型部材２０がスリーブ１３の内周面に接触しないよう懸架支持された状態で回転する。
【００２０】
図４に示す実施の形態では、スラストプレート部１４は、シャフト部１２の下端部に形成されている。スラストプレート部１４の下面若しくは上面又はその両方には、軸方向（スラスト方向）の圧力を発生させるための図示しない溝を形成することができる。この軸方向の圧力を発生させるための溝は、カウンタプレート２５の上面に形成してもよい。スピンドルモータ１０の動作時には、この溝により潤滑剤中に軸方向の圧力勾配が生じ、その結果生じる軸方向の力により、スラストプレート／シャフト一体型部材２０が軸方向に懸架支持される。
【００２１】
図４に示したスピンドルモータ１０を組み立てる際には、スリーブ１３に、スラストプレート／シャフト一体型部材２０のシャフト部１２を挿入し、次いで、スリーブ１３の底にカウンタプレート２５を固定する。そののち、スラストプレート／シャフト一体型部材２０とスリーブ１３との間に潤滑剤を充填する（これにより流体動圧軸受システムが完成する）。次いで、スリーブ１３をフレーム１９の円筒状の孔内（すなわち、上述した延在部１９ａの内側）に挿入し、固定する。最後に、スラストプレート／シャフト一体型部材２０の上部にハブ１１を固定することにより、ロータ部２６がフレーム１９に組み付けられ、スピンドルモータ１０の組み立てが完了する。組み立ての間、スラストプレート／シャフト一体型部材２０のスラストプレート部１４とシャフト部１２との相対位置関係が変化することがないため、これらの直角度及び同軸度が変化するおそれはない。
【００２２】
図５は、スラストプレート／シャフト一体型部材４０（図３）を有する流体動圧軸受システムを備えたスピンドルモータ５０を示す側断面図である。図５に示すように、スピンドルモータ５０は、ロータ部３６とステータ部３８とを有している。ロータ部３６は、ハブ３１を有しており、このハブ３１に形成された空洞部３１ａの内側にはブシュ３３が固定されている。図示しない磁気ディスクは、ハブ３１の上部において保持され、ハブ３１と共に回転する。ハブ３１の下端部には、ヨーク部４７が固定されており、このヨーク部４７には永久磁石３７が固定されている。ステータ部３８は、フレーム３９と、このフレーム３９に固定されたスラストプレート／シャフト一体型部材４０とを有している。スラストプレート／シャフト一体型部材４０は、ブシュ３３の円筒状の孔部の内側に挿入された状態で、フレーム３９に固定されている。固定部材であるスラストプレート／シャフト一体型部材４０は、上述したようにシャフト部２２とスラストプレート部２４とを有しており、シャフト部２２の下端部はフレーム３９の孔部３９ａに固定され、シャフト部２２の上端部はトップカバー（図示せず）に固定されている。スラストプレート部２４は、ブシュ３３の上側部分３３ｂと下側部分３３ａとの間に固定されている。フレーム３９には、コイル４５を備えたステータコア４１が固定され、ステータコア４１とロータ部３６の永久磁石３７とが対向している。シャフト部２２の外周面には、半径方向圧力を発生するための複数の溝４３が形成されている。潤滑剤は、固定されたスラストプレート／シャフト一体型部材４０の外周面とブシュ３３の内周面との間の軸受ギャップに充填されている。スピンドルモータ５０の動作時には、溝４３により、潤滑剤中に半径方向の圧力勾配が生じ、その結果生じる半径方向の力によりハブ３１及びブシュ３３が、スラストプレート／シャフト一体型部材４０の周りをその外周面に接触しないよう懸架支持された状態で回転する。
【００２３】
図５に示す実施の形態では、スラストプレート部２４は、シャフト部２２の略中央部に形成されている。スラストプレート部２４の下面若しくは上面又はその両方には、軸方向（スラスト方向）の圧力を発生させるための図示しない溝を形成することができる。この軸方向の圧力を発生させるための溝は、ブシュ３３の上部若しくは下部又はその両方に形成してもよい。スピンドルモータ５０の動作時には、この溝により潤滑剤中に軸方向の圧力勾配が生じ、その結果生じる軸方向の力によりハブ３１及びブシュ３３が軸方向に懸架支持される。
【００２４】
図５に示した流体動圧軸受システムを組み立てる際には、ブシュ３３の下側部分３３ａを、スラストプレート／シャフト一体型部材４０のスラストプレート部２４より下側の部分に取り付け、さらに、ブシュ３３の上側部分３３ｂを、スラストプレート／シャフト一体型部材４０のスラストプレート部２４より上側の部分に取り付ける。スラストプレート／シャフト一体型部材４０とブシュ３３との間に潤滑剤を充填する（これにより流体動圧軸受システムが完成する）。次いで、ブシュ３３をハブ３１の円筒状の空洞部３１ａに挿入し、固定する。最後に、スラストプレート／シャフト一体型部材４０のシャフト部２２の下端をフレーム３９の孔部３９ａに固定することにより、ロータ部３６がフレーム３９に組み付けられ、スピンドルモータ５０の組み立てが完了する。組み立ての間、スラストプレート／シャフト一体型部材４０のスラストプレート部２４とシャフト部２２との相対位置関係が変化することがないため、直角度及び同軸度が変化するおそれはない。
【００２５】
上記の説明では、実施可能な全ての形態の中の代表例（すなわち、発明の趣旨を教示し、実施しようとするベストモードを示す例）について重点的に説明した。ここでは、膨大な数にのぼる可能な変形例の全ては列挙しないが、上述した実施の形態以外の変形や改変が可能であることは言うまでもない。例えば、複数の実施の形態が説明されていることから、異なる実施の形態を組み合わせ、あるいは、いずれかの実施の形態で説明された構成要素を特に説明されていない他の変形例又は改変形と組み合わせることできる場合が多いであろう。これら説明されていない変形例及び改変形は、文言上、特許請求の範囲に記載した発明の範囲に含まれるものが多く、それ以外は、特許請求の範囲に記載した発明の均等の範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】シャフト部の一端にスラストプレート部が形成されたスラストプレート／シャフト一体型部材を示す側面図である。
【図２】シャフト部の一端に薄型のスラストプレート部が形成されたスラストプレート／シャフト一体型部材を示す側面図である。
【図３】シャフト部の略中央部にスラストプレート部が形成されたスラストプレート／シャフト一体型部材を示す側面図である。
【図４】シャフト部の一端にスラストプレート部が形成されたスラストプレート／シャフト一体型部材を有する流体動圧軸受システムを備えたスピンドルモータを示す側断面図である。
【図５】シャフト部の略中央部にスラストプレート部が形成されたスラストプレート／シャフト一体型部材を有する流体動圧軸受システムを備えたスピンドルモータを示す側断面図である。
【図６】従来の方法で製造されたスラストプレート及びシャフトを備えたスピンドルモータを示す側断面図である。
【符号の説明】
【００２７】
１０，５０  スピンドルモータ
１１，３１  ハブ
１２，１８，２２  シャフト部
１３  スリーブ
１４，１６，２４  スラストプレート部
１５，４５  コイル
２６，３６  ロータ部
１７  永久磁石
２８，３８  ステータ部
１９，３９  フレーム
２０，３０，４０  スラストプレート／シャフト一体型部材
２１，４１  ステータコア
２３，４３  溝
２５  カウンタプレート
２７，４７  ヨーク部
３３  ブシュ
【図１】
2005054991.tif 000003
【図２】
2005054991.tif 000004
【図３】
2005054991.tif 000005
【図４】
2005054991.tif 000006
【図５】
2005054991.tif 000007
【図６】
2005054991.tif 000008