(57)【要約】【課題】搬送部材にクリーニングシートを貼り合わせて、このシートを搬送部材の形状に裁断加工して、クリーニング機能付搬送部材を製造するにあたり、裁断加工時に搬送部材にダメージを与えるのを防ぎ、また異物などの発生による汚染を防止することを目的とする。【解決手段】クリーニング層を有するクリーニングシートを、搬送部材に貼り合わせたのち、レーザー光を用いて、上記シートを搬送部材の形状に裁断加工することを特徴とするクリーニング機能付搬送部材の製造方法、とくにレーザー光として、エキシマレーザー、ＹＡＧレーザー、フェムト秒レーザーまたは炭酸ガスレーザーを用いる上記構成のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
クリーニング層を有するクリーニングシートを、搬送部材に貼り合わせたのち、レーザー光を用いて、上記シートを搬送部材の形状に裁断加工することを特徴とするクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
【請求項２】
クリーニングシートは、支持体の片面にクリーニング層を、他面に粘着剤層を有してなり、この粘着剤層を介して搬送部材に貼り合わされる請求項１に記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
【請求項３】
クリーニングシートは、クリーニング層上に離型性を有する保護フィルムが貼り合わされており、この保護フィルムも一体に裁断加工する請求項１または２に記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
【請求項４】
レーザー光として、エキシマレーザー、ＹＡＧレーザー、フェムト秒レーザーまたは炭酸ガスレーザーを用いる請求項１〜３のいずれかに記載のクリーニング機能付搬送部材の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う各種の基板処理装置をクリーニングするために用いられるクリーニング機能付搬送部材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーニング機能付搬送部材は、従来より、クリーニング層を有するクリーニングシートを用い、これを基板処理装置内に搬送する搬送部材に貼り合わせたのち、上記シートを搬送部材の形状に裁断加工することにより、製造されている。ここで、上記の裁断加工には、ダイレクトカット方式として、通常、カッター刃を使用して裁断加工する方法が採られている（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２００２−１５８１９９号公報（第２〜４頁）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、カッター刃による裁断加工では、シリコンウエハなどの搬送部材にカッター刃が直接接触することがあり、この接触にて搬送部材にダメージ（損傷）を与えるおそれがあった。また、上記接触にて搬送部材またはカッター刃自体が破損して異物が発生し、さらにクリーニングシートの裁断くずも発生しやすく、これらのことが原因で、得られるクリーニング機能付搬送部材が汚染され、基板処理装置のクリーニング機能に支障をきたすおそれがあった。
【０００５】
本発明は、このような事情に照らし、搬送部材にクリーニングシートを貼り合わせて、このシートを搬送部材の形状に裁断加工して、クリーニング機能付搬送部材を製造するにあたり、裁断加工時に搬送部材にダメージを与えるのを防ぎ、また異物などの発生による汚染を防止することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記の目的を達成するため、鋭意検討した結果、搬送部材に貼り合わせたクリーニングシートを搬送部材の形状に裁断加工するにあたり、レーザー加工方式として、搬送部材にダメージを与えない程度のレーザー光を用いて裁断加工することにより、上記シートのみを搬送部材の形状と同等または多少小さい程度の大きさに容易に裁断加工でき、これにより搬送部材にダメージを与えるおそれがなくなり、また搬送部材などに由来する異物の発生がなくなり、さらにクリーニングシートの裁断くずも発生しにくく、汚染の少ないクリーニング機能付搬送部材が得られることを知り、本発明を完成した。
【０００７】
すなわち、本発明は、クリーニング層を有するクリーニングシートを、搬送部材に貼り合わせたのち、レーザー光を用いて、上記シートを搬送部材の形状に裁断加工することを特徴とするクリーニング機能付搬送部材の製造方法に係るものであり、とくに、上記レーザー光として、エキシマレーザー、ＹＡＧレーザー、フェムト秒レーザーまたは炭酸ガスレーザーを用いる上記構成のクリーニング機能付搬送部材の製造方法に係るものである。
【０００８】
また、本発明は、上記のクリーニングシートが、支持体の片面にクリーニング層を、他面に粘着剤層を有してなり、この粘着剤層を介して搬送部材に貼り合わされる上記構成のクリーニング機能付搬送部材の製造方法と、さらに上記のクリーニングシートが、クリーニング層上に離型性を有する保護フィルムが貼り合わされており、この保護フィルムも一体に裁断加工する上記構成のクリーニング機能付搬送部材の製造方法を、提供できるものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明において、クリーニングシートを構成するクリーニング層は、とくに限定されないが、引っ張り弾性率（試験法：ＪＩＳ  Ｋ７１２７）が１０ＭＰａ以上、好ましくは１０〜２，０００ＭＰａであるのがよい。
引っ張り弾性率が１０ＭＰａ以上であると、ラベル切断時のクリーニング層のはみ出しや裁断不良が抑えられ、プリカット方式で汚染のないクリーニング機能付ラベルシートを製造でき、また搬送時に装置内の接触部位に接着して搬送トラブルを引き起こすおそれがない。また、引っ張り弾性率が２，０００ＭＰａ以下であると、搬送系の付着異物の除去性に好結果が得られる。
【００１０】
このようなクリーニング層は、その材質などにとくに限定はないが、紫外線や熱などの活性エネルギー源によって重合硬化した樹脂層から構成されているのが望ましい。これは、上記の重合硬化により分子構造が三次元網状化して実質的に粘着性がなくなり、搬送時に装置接触部と強く接着せず、基板処理装置内を確実に搬送できるクリーニング部材が得られるからである。
【００１１】
上記重合硬化した樹脂層としては、たとえば、感圧接着性ポリマーに分子内に不飽和二重結合を１個以上有する化合物（以下、重合性不飽和化合物という）および重合開始剤と、必要により架橋剤などを含ませた硬化型の樹脂組成物を、活性エネルギー源とくに紫外線により硬化したものが挙げられる。
【００１２】
感圧接着性ポリマーには、たとえば、（メタ）アクリル酸および／または（メタ）アクリル酸エステルを主モノマーとしたアクリル系ポリマーが挙げられる。このアクリル系ポリマーの合成にあたり、共重合モノマーとして分子内に不飽和二重結合を２個以上有する化合物を用いたり、合成後のアクリル系ポリマーに分子内に不飽和二重結合を有する化合物を官能基間の反応で化合結合させるなどして、アクリル系ポリマーの分子内に不飽和二重結合を導入してもよく、この導入でアクリル系ポリマー自体も重合硬化反応に関与させることができる。
【００１３】
重合性不飽和化合物としては、不揮発性でかつ重量平均分子量が１０，０００以下の低分子量体であるのがよく、とくに硬化時の三次元網状化が効率よくなされるように、５，０００以下の分子量を有しているのが好ましい。
このような重合性不飽和化合物としては、たとえば、フェノキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ε−カプロラクトン（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールへキサ（メタ）アクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、オリゴエステル（メタ）アクリレートなどが挙げられ、これらの中から、１種または２種以上が用いられる。
【００１４】
重合開始剤としては、とくに限定されず、公知のものを使用できる。
たとえば、活性エネルギー源に熱を用いる場合は、ベンゾイルパーオキサイド、アゾビスイソブチロニトリルなどの熱重合開始剤、また光を用いる場合は、ベンゾイル、ベンゾインエチルエーテル、シベンジル、イソプロピルベンゾインエーテル、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトンクロロチオキサントン、ドデシルチオキサントン、シメチルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケタール、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロヒキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシメチルフェニルプロパン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノンなどの光重合開始剤が挙げられる。
【００１５】
上記のクリーニング層は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力（ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じて測定）が０．２Ｎ／１０ｍｍ幅以下、好ましくは０．０１〜０．１Ｎ／１０ｍｍ幅程度であるのがよい。このような低粘着ないし非粘着とすることにより、搬送時に装置内の被接触部と接着することがなく、搬送トラブルを引き起こすおそれがない。
【００１６】
本発明におけるクリーニングシートは、上記のクリーニング層単独から構成されていてもよいが、より好ましくは、支持体を使用し、この支持体の片面にクリーニング層を、他面に粘着剤層を有する構成とされているのがよい。後者の構成において、各層の厚さはとくに限定さないが、通常は、支持体が５〜１００μｍ程度、クリーニング層が１〜１００μｍ程度、さらに粘着剤層が１〜１００μｍ程度、とくに好ましくは５〜５０μｍ程度であるのがよい。
【００１７】
支持体としては、とくに限定はなく、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィンや、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン・酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどから選択される１種または２種以上のプラスチックフィルムが用いられる。これらの支持体は、片面または両面にコロナ処理などの表面処理を施したものであってもよい。
【００１８】
粘着剤層は、シリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力が、０．０１〜１０Ｎ／１０ｍｍ幅、好ましくは０．０５〜５Ｎ／１０ｍｍ幅であるのがよい。粘着力が低すぎると、シリコンウエハなどの搬送部材に貼り付けたときの接着力が不足し、また高すぎると、クリーニングシートを搬送部材から剥離除去する際に、支持体が裂けるおそれがある。
【００１９】
このような粘着剤層は、その材料構成について、とくに限定されず、アクリル系やゴム系などの通常の粘着剤がいずれも使用できる。これらの中でも、アクリル系の粘着剤として、重量平均分子量が１０万以下の成分が１０重量％以下であるアクリル系ポリマーを主剤としたものが、とくに好ましく用いられる。
上記のアクリル系ポリマーは、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、これに必要により共重合可能な他のモノマーを加えたモノマー混合物を、重合反応させることにより、合成できるものである。
【００２０】
本発明におけるクリーニングシートは、通常、クリーニング層上に離型性を有する保護フィルムが貼り合わされる。また、支持体の片面にクリーニング層を、他面に粘着剤層を有するクリーニングシートは、クリーニング層上だけでなく、粘着剤層上にも離型性を有する保護フィルムが貼り合わされる。この保護フィルムの厚さは、通常５〜１００μｍであるのがよい。
【００２１】
離型性を有する保護フィルムとしては、その材質などにとくに限定はなく、たとえば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、脂肪酸アミド系、シリカ系の剥離剤などで剥離処理された、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテンなどのポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリウレタン、エチレン・酢酸ビニル共重合体、アイオノマー樹脂、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネートなどからなるプラスチックフィルムが挙げられる。また、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィンからなるプラスチックフィルムでは、剥離剤を用いなくても、離型性を有するため、これ単独を保護フィルムとして使用することかできる。
【００２２】
本発明においては、上記構成のクリーニングシートを、搬送部材上に貼り合わせる。その際、支持体の片面にクリーニング層を、他面に粘着剤層を有するクリーニングシートでは、粘着剤層上の離型性を有する保護フィルムを剥離した上でこの粘着剤層を介して、搬送部材上に貼り合わせる。また、クリーニングシートがクリーニング層単独からなるものでは、アクリル系やゴム系などの通常の粘着剤を使用して、搬送部材上に貼り合わせればよい。
【００２３】
このように貼り合わせたのち、レーザー加工によるダイレクトカット方式で、クリーニングシートを搬送部材の形状に裁断加工する。その際、クリーニング層上に貼り合わされている保護フィルムも、一体に裁断加工する。この方式では、搬送部材にダメージを与えない程度のレーザー光を用い、クリーニングシートのみ（上記保護フィルムを含む）を搬送部材の形状と同等または多少小さい程度の大きさに裁断できるものであり、これにより搬送部材にダメージを与えるおそれがなく、また搬送部材などに由来する異物の発生がなく、さらにクリーニングシートの裁断くずが発生することもない。このため、高品質で汚染の少ないクリーニング機能付搬送部材を製造することができる。
【００２４】
レーザー加工方式において、レーザー装置の波長にはとくに限定はなく、クリーニングシートの構成材料の吸収波長を考慮し、上記構成材料の吸収波長を満足するものであれば、とくに問題なく使用できる。たとえば、ＵＶ−ＹＡＧレーザー（ＥＳＩ社製の「５３１０」）のレーザー波長３５５ｎｍを使用して、この領域に吸収波長を持つ材料構成のクリーニングシートを問題なく加工することができる。レーザー光としては、上記ＹＡＧレーザーのほか、エキシマレーザー、フェムト秒レーザーまたは炭酸ガスレーザーが挙げられる。
【００２５】
本発明において、クリーニングシートを貼り合わせる搬送部材としては、とくに限定はなく、たどえば、半導体ウエハ、ＬＣＤ、ＰＤＰなどのフラットパネルディスプレイ用基板、その他コンパクトディスク、ＭＲヘッドなどの基板が挙げられる。これらの基板の形状に沿い、クリーニングシートを上記方式で裁断加工することにより、所望のクリーニング機能付搬送部材が得られる。
【００２６】
このように製造されるクリーニング機能付搬送部材によれば、これをクリーニングを行う基板処理装置内に搬送して、装置内に付着した異物をクリーニング層に吸着させることにより、クリーニングする。上記の基板処理装置には、とくに限定はなく、たとえば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの回路形成用の装置、とくに露光照射装置、レジスト塗布装置、スパッタリング装置、イオン注入装置、ドライエッチング装置、ウエハプローバなどの製造装置や検査装置など、異物を嫌う各種の装置などが挙げられる。
【００２７】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。なお、以下、部とあるのは重量部を意味するものとする。
【００２８】
実施例１
アクリル酸２−エチルへキシル７５部、アクリル酸メチル２０部およびアクリル酸５部からなるモノマー混合液から得たアクリル系ポリマー（重量平均分子量７０万）１００部に、ポリエチレングリコール２００ジメタクリレート（新中村化学社製の商品名「ＮＫエステル４Ｇ」）２００部、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業社製の商品名「コロネートＬ」）３部および光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール（チバ・スペシヤリティケミカルズ社製の商品名「イルガキュアー６５１」）３部を、均一に混合して、紫外線硬化型の樹脂組成物を調製した。
【００２９】
これとは別に、温度計、攪拌機、窒素導入管および還流冷却管を備えた内容量が５００ｍｌの３つ口フラスコ型反応器内に、アクリル酸２−エチルへキシル７３部、アクリル酸ｎ−ブチル１０部、Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド１５部およびアクリル酸５部からなるモノマー混合物、重合開始剤として２，２′−アゾビスイソブチロニトリル０．１５部、酢酸エチル１００部を、全体が２００ｇになるように配合して投入し、窒素ガスを約１時間導入しながら撹拌し、内部の空気を窒素で置換した。その後、内部の温度を５８℃にし、この状態で約４時間保持して重合を行い、粘着剤ポリマー溶液を得た。このポリマー溶液１００部に、ポリイソシアネート化合物（日本ポリウレタン工業社製の商品名「コロネートＬ」）３部を均一に混合し、粘着剤溶液を得た。
【００３０】
片面がシリコーン系剥離剤にて処理された長尺ポリエステルフィルム（厚さが３８μｍ、幅が２５０ｍｍ）からなる保護フィルムの剥離処理面に、上記の粘着剤溶液を、乾燥後の厚さが７μｍとなるように塗布し、その粘着剤層上に、支持体として、長尺ポリエステルフィルム（厚さが２５μｍ、幅が２５０ｍｍ）を積層した。さらに、そのフィルム上に、上記の紫外線硬化型の樹脂組成物を、乾燥後の厚さが１５μｍとなるように塗布して、樹脂層を設けるとともに、その表面に前記と同様の保護フィルムの剥離処理面を貼り合せて、積層シートとした。
【００３１】
この積層シートに、中心波長３６５ｎｍの紫外線を積算光量１，０００ｍＪ／ｃｍ２  照射して、重合硬化した樹脂層からなるクリーニング層を有するクリーニングシートを得た。このクリーニングシートのクリーニング層側の保護フィルムを剥がし、シリコンウェハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力（ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準じて測定）を測定したところ、０．０６Ｎ／１０ｍｍ幅であった。また、このクリーニング層の引張り強さは、４４０Ｍｐａであった。引張り強さは、試験法ＪＩＳ  Ｋ７１２７に準じて測定した。
【００３２】
つぎに、このクリーニングシートを、粘着剤層側の保護フィルムを剥がして、８インチシリコンウエハのミラー面にハンドローラで貼り合わせた。粘着剤層のシリコンウエハ（ミラー面）に対する１８０度引き剥がし粘着力は、１．５Ｎ／１０ｍｍ幅であった。貼り合わせ後、ＵＶ−ＹＡＧレーザー（ＥＳＩ社製の「５３１０」）を用いたダイレクトカット方式で、クリーニングシートを８インチシリコンウエハの形状に裁断加工し、クリーニング機能付搬送部材を作製した。その際、シリコンウエハへのダメージはなく、クリーニングシートのみを裁断加工できた。このときのエネルギー密度は０．９ｍＪ／ｃｍ２  であった。
【００３３】
比較例１
クリーニングシートをシリコンウエハに貼り合わせたのち、カッター刃（日東精機社製の「ＮＥＬ−ＤＲ３０００」）を用いたダイレクトカット方式で、裁断加工した以外は、実施例１と同様にして、クリーニング機能付搬送部材を作製した。しかし、上記の加工時にクリーニングシート裁断面に糊ダマが発生し、かつカッター刃も１０回の繰り返し加工で刃ころびが確認され、汚染の原因となり、実用可能なクリーニング機能付搬送部材を製造できなかった。
【００３４】
【発明の効果】
以上のように、本発明においては、クリーニングシートをシリコンウエハなどの搬送部材へ貼り合わせたのち、上記シートを搬送部材の形状に裁断加工するにあたり、レーザーカット方式を採用したことにより、クリーニングシートのみを裁断加工することができ、シリコンウエハなどの搬送部材へのダメージをなくせるとともに、汚染の少ないクリーニング機能付搬送部材を製造できる。