(57)【要約】【課題】ポンプの流体の流路を確実にシールして小型化薄型化を図り信頼性や組立性を向上させたポンプのシール構造を提供する。【解決手段】流体が流れるポンプ室３０ａ、３０ｂ及び該ポンプ室３０ａ、３０ｂに連通する吸入用流路３８ａ、３８ｂ及び送出用流路４０ａ、４０ｂが、熱可塑性樹脂材どうしで発熱体２８を挟圧して当該発熱体２８を発熱させて一体に熱線溶着されている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を外部から吸入用流路を経てポンプ室に吸入し当該ポンプ室から送出用流路を経て外部へ送り出すポンプのシール構造において、
前記流体が流れるポンプ室及び該ポンプ室に連通する吸入用流路及び送出用流路が、熱可塑性樹脂材どうしで発熱体を挟圧して当該発熱体を発熱させて一体に熱線溶着されていることを特徴とするポンプのシール構造。
【請求項２】
前記発熱体は溶着部が閉じた連続形状をしていることを特徴とする請求項１記載のポンプのシール構造。
【請求項３】
前記熱可塑性樹脂材は、同種の樹脂材であって充填材の配合比率が異なる樹脂材どうし、若しくは異種の樹脂材どうしが用いられることを特徴とする請求項１記載のポンプのシール構造。
【請求項４】
前記発熱体を挟圧する熱可塑性樹脂材の溶着面どうしが平行面に形成されていないことを特徴とする請求項１記載のポンプのシール構造。
【請求項５】
前記ポンプは、熱可塑性樹脂材により閉止されるシリンダ内に可動子を収容し、当該シリンダの周囲に嵌め込まれた空芯の電磁コイルへ通電することにより可動子をシリンダ内で軸線方向に往復動させてシリンダ内に形成されるポンプ室より流体を輸送する電磁式ポンプであることを特徴とする請求項１記載のポンプのシール構造。
【請求項６】
流体を外部から吸入用流路を経てポンプ室に吸入し当該ポンプ室から送出用流路を経て外部へ送り出すポンプをシールするポンプのシール方法において、
前記流体が流れるポンプ室及び該ポンプ室に連通する吸入用流路及び送出用流路が形成された熱可塑性樹脂材どうしで発熱体を挟圧したまま当該発熱体に通電することにより発熱させて熱可塑性樹脂材を溶融させて一体に熱線溶着することを特徴とするポンプのシール方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はポンプのシール構造及びシール方法に関し、より詳細には気体、液体等の流体の輸送に使用するコンパクトなポンプのシール構造及びシール方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
本件出願人は先に固定子側のシリンダ室内に磁性材料よりなる可動子を往復動自在に収容し、シリンダの周囲に嵌め込まれた電磁コイルに通電することにより、可動子の移動方向両側面とシリンダの両端面との間に形成されるポンプ室のうち、一方のポンプ室へ外部から流体を吸入し他方のポンプ室から外部へ流体を送り出すことによってポンプ作用をなす小型化薄型化された電磁式ポンプを提案した。（特許文献１参照）。また、シリンダ内に磁性体を備えたピストンを往復動可能に収容し、シリンダの外周に嵌め込まれた電磁コイルに通電することによりピストンを往復動させる電磁ポンプも提案されている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特願２００２−２８６１８８５号
【特許文献２】実開平７−４８７５号
【０００３】
上記電磁式ポンプにおいて、流体を吸入排出するポンプ室が形成される円筒状のシリンダは、上フレーム体及び下フレーム体などにより両端側がシールされている。このシール構造としては、一般にシリンダの接合端面にＯリングを嵌め込んだりシール材を隙間に充填したり、超音波溶着するなどの方法が採用されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のシリンダのシール構造では以下に述べる課題があった。Ｏリングを用いた場合、シリンダ壁面の径高方向の厚さが薄く、小径サイズであるため、このようなシリンダ端面をＯリングによりシールするのには限界がある。
また、シール材を隙間に充填する場合には、小型部品であるため作業性が悪いうえに製品毎の信頼性が確保できないという課題がある。また、超音波溶着する場合には溶着する面どうしの高い平行度が必要とされるため、成形部品間の高精度な成形品質が要求される。
【０００５】
これに対して、成形部品の端面に通電可能な発熱体（ワイヤ）を介在させて熱線溶着するシール方法は上述した課題が存在しない。 シリンダのように円筒形の成形部品を溶着する場合には、図７において半円状の円弧部１０２ａ、１０２ｂを含む一対の発熱体１０１ａ、１０１ｂをシールする成形品（例えばフレーム本体）の凹凸部で挟み込んで通電すると、発熱体１０１ａ、１０１ｂが発熱して熱可塑性樹脂が溶融して溶着するようになっている。しかしながら、図８に示すように発熱体１０１ａ、１０１ｂの円弧部１０２ａ、１０２ｂの両側に連続する掌合部１０３ａ、１０３ｂどうしの隙間１０４が生じ易く、熱線溶着が不完全になり易い。この隙間１０４に溶融した熱可塑性樹脂を充填するため、成形品側に掌合部１０３ａ、１０３ｂどうしを嵌め込む凹溝１０５と該凹溝１０５に進入して溶融する凸部１０６とを設けておくことも考えられる。しかしながら、図示しない電磁コイルをシリンダの周囲に嵌め込む構造ではシリンダの周囲に凸部１０６を形成することが困難である。
また、シリンダ内に収容された可動子を電磁コイルへの通電により往復動させて流体を吸入及び送出を行う電磁式ポンプにおいては、シリンダの組立精度が要求される。一般に熱可塑性樹脂材で成形品の精度が出し易い材料は溶着性が低く、逆に溶着性が高い材料は成形品の精度が出し難いという課題があった。
更には、電磁式ポンプに小型化、薄型化が要求されると言う課題もある。
【０００６】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、ポンプの流体の流路を確実にシールして小型化薄型化を図り信頼性や組立性を向上させたポンプのシール構造及びポンプのシール方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
流体を外部から吸入用流路を経てポンプ室に吸入し当該ポンプ室から送出用流路を経て外部へ送り出すポンプのシール構造において、流体が流れるポンプ室及び該ポンプ室に連通する吸入用流路及び送出用流路が、熱可塑性樹脂材どうしで発熱体を挟圧して当該発熱体を発熱させて一体に熱線溶着されていることを特徴とする。
また、発熱体は溶着部が閉じた連続形状をしていることを特徴とする。
また、熱可塑性樹脂材は、同種の樹脂材であって充填材の配合比率が異なる樹脂材どうし、若しくは異種の樹脂材どうしが用いられることを特徴とする。
また、発熱体を挟圧する熱可塑性樹脂材の溶着面どうしが平行面に形成されていないことを特徴とする。
また、ポンプは、熱可塑性樹脂材により閉止されるシリンダ内に可動子を収容し、当該シリンダの周囲に嵌め込まれた空芯の電磁コイルへ通電することにより可動子をシリンダ内で軸線方向に往復動させてシリンダ内に形成されるポンプ室より流体を輸送する電磁式ポンプであることを特徴とする。
【０００８】
流体を外部から吸入用流路を経てポンプ室に吸入し当該ポンプ室から送出用流路を経て外部へ送り出すポンプをシールするポンプのシール方法において、流体が流れるポンプ室及び該ポンプ室に連通する吸入用流路及び送出用流路が形成された熱可塑性樹脂材どうしで発熱体を挟圧したまま当該発熱体に通電することにより発熱させて熱可塑性樹脂材を溶融させて一体に熱線溶着することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
上述したポンプのシール構造を用いれば、ポンプに形成される流体の流路を形成する部品どうしのシールを確実に行うことができ、小型化薄型化を図ったポンプの信頼性や組立性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係るポンプのシール構造及びシール方法の最良の実施形態について添付図面とともに詳細に説明する。本実施形態のポンプのシール構造及びシール方法は、流体を外部から吸入用流路を経てポンプ室に吸入し当該ポンプ室から送出用流路を経て外部へ送り出すポンプについて広く適用可能である。以下では、このポンプの代表例としてシリンダ内に永久磁石を備えた可動子を収容し、当該シリンダの周囲に嵌め込まれた空芯の電磁コイルへ通電することにより可動子をシリンダ内で軸線方向に往復動させてシリンダ内に形成されるポンプ室より流体を輸送する電磁式ポンプについて説明する。
【００１１】
図１において、電磁式ポンプの代表的な構成について説明する。可動子１０は密閉されたシリンダ内に収容されてシリンダの軸線方向に往復動可能に設けられている。可動子１０は円板状に形成したマグネット１２とマグネット１２を厚さ方向に挟持する一対のインナーヨーク１４ａ、１４ｂとからなる。マグネット１２は一方の面をＮ極、他方の面をＳ極として、厚さ方向（図１の上下方向）に磁化されている永久磁石である。インナーヨーク１４ａ、１４ｂは軟磁性材によって形成され、各々のインナーヨーク１４ａ、１４ｂは、マグネット１２よりも若干大径に形成された平板部１５ａと、平板部１５ａの周縁部に短筒状に起立したフランジ部１５ｂとを備える。フランジ部１５ｂの外周面はマグネット１２から発生した磁束の可動子１０側の磁束作用面となる。
【００１２】
封止材１６はマグネット１２の外周側面を被覆するプラスチック等の非磁性材である。封止材１６はマグネット１２が錆びたりしないようマグネット１２が外部に露出しないように被覆する作用と、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂとを一体に形成する作用を有する。封止材１６はインナーヨーク１４ａ、１４ｂに挟まれたマグネット１２の外周側面を充填するように設けられているが、封止材１６の外周径はインナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周径よりも若干小径に形成されている。このように封止材１６を形成しておくと、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周面を仕上げ研削する際に、封止材１６が研削刃に接触せず、研削刃を傷めずに作業できるという利点と、封止材１６の熱膨張係数がインナーヨーク１４ａ、１４ｂの熱膨張係数よりも大きい場合に、ポンプを高温状態で使用したとき可動子１０とシリンダ間の空隙が封止材１６の熱膨張によって減少または無くなることを防止し、ポンプを安定して動作させることができるという利点がある。
【００１３】
次に、図１において電磁式ポンプの固定子側の構成について説明する。一対の熱可塑性樹脂材（例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）等）からなる上フレーム体２０ａと下フレーム体２０ｂとを組み合わせて円筒状のシリンダが形成され、このシリンダ内で上述した可動子１０が往復動可能に収容されている。本実施形態においては、下フレーム体２０ｂのフレーム本体２２ｂに円筒状に形成したシリンダ部２４が一体に形成されている。このシリンダ部２４の端部を上フレーム体２０ａのフレーム本体２２ａに設けた嵌合溝に発熱体２８に嵌合させて、シリンダ部２４の端面と挟圧したまま発熱体２８に通電することにより、一対のフレーム体２０ａ、２０ｂにより軸方向両端面が閉止されたシリンダが形成される。発熱体２８を発熱させることにより、熱可塑性樹脂材が溶融してシリンダ内が外部からシールされる。なお、上フレーム体２０ａからシリンダ部２４を延出させて下フレーム体２０ｂに嵌合させることもできる。また、シリンダ部２４を上フレーム体２０ａと下フレーム体２０ｂとで別体に形成してもよい。
【００１４】
このように、シリンダの両端面は上フレーム体２０ａと下フレーム体２０ｂによって閉止され、可動子１０の移動方向両側面と上下フレーム体２０ａ、２０ｂの内壁面との間に各々ポンプ室３０ａ、３０ｂが形成される。ポンプ室３０ａ、３０ｂは可動子１０の両端面と上フレーム２０ａのフレーム本体２２ａ、下フレーム２０ｂのフレーム本体２２ｂとの間に形成される空隙部分に相当する。なお、可動子１０はシリンダ部２４の内面に接触した状態で、シリンダ部２４と気密あるいは液密にシールした状態で摺動する。可動子１０の摺動性を良好にするため、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周面にフッ素樹脂コーティングやＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）コーティング等の潤滑性と防錆力を兼ね備えたコーティングを施す。また、可動子１０が周方向に回ることを防止する回り止めを設けることもできる。
【００１５】
フレーム本体２２ａ、２２ｂの端面（内壁面）にはダンパー３２が取り付けられている。ダンパー３２は可動子１０の移動範囲の終端位置でインナーヨーク１４ａ、１４ｂがフレーム本体２２ａ、２２ｂの端面に当接した際の衝撃を吸収するために設けられている。なお、ダンパー３２はフレーム本体２２ａ、２２ｂの端面に設けるかわりに、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの端面であって、フレーム本体２２ａ、２２ｂに当接する面に設けてもよい。
【００１６】
上フレーム２０ａのフレーム本体２２ａ内には、吸入用バルブ３４ａ及び送出用バルブ３６ａがポンプ室３０ａに連通して設けられている。下フレーム２０ｂのフレーム本体２２ｂ内には、吸入用バルブ３４ｂ及び送出用バルブ３６ｂがポンプ室３０ｂに連通して設けられている。
【００１７】
上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂには、吸入用バルブ３４ａ、３４ｂに連通する吸入用流路３８ａ、３８ｂが設けられている。また、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂには、送出用バルブ３６ａ、３６ｂに連通する送出用流路４０ａ、４０ｂが設けられている。上フレーム２０ａの吸入用流路３８ａと下フレーム２０ｂの吸入用流路３８ｂとは連通管４２により連通しており、上フレーム２０ａの送出用流路４０ａと下フレーム２０ｂの送出用流路４０ｂとは連通管４４により連通している。これによって、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂの吸入用流路と送出用流路が各々、一の吸入口３８と一の送出口４０に連通する。
【００１８】
図１において、シリンダの周囲には空芯の電磁コイル５０ａ、５０ｂが嵌め込まれている。電磁コイル５０ａ、５０ｂはシリンダの軸線方向に若干離間させ、シリンダの軸線方向の中心位置に対して均等位置となるように配置されている。電磁コイル５０ａ、５０ｂはインナーヨーク１４ａ、１４ｂのフランジ部１５ｂの可動範囲よりも軸線長を長く設定されている。なお、電磁コイル５０ａと電磁コイル５０ｂとは巻き線方向が逆向きであり、同一電源による通電によって、互いに逆向きの電流が流れるように設定されている。電磁コイル５０ａ、５０ｂの巻き線方向を逆向きにしているのは、マグネット１２の磁束と鎖交する電磁コイル５０ａ、５０ｂに流れる電流に作用する力が重畳して、反力として可動子１０に作用し、この力が推力になるためである。
【００１９】
アウターヨーク５２は、電磁コイル５０ａ、５０ｂの外周囲を囲んで筒状に設けられている。アウターヨーク５２は、軟磁性材（例えばステンレススチール）が用いられ、電磁コイル５０ａ、５０ｂに鎖交する磁束数を増やして電磁力を効果的に可動子１０に作用させるために設けられる。また、可動子１０を構成するインナーヨーク１４ａ、１４ｂの周辺部にフランジ部１５ｂを軸線方向に起立して設けられているので、マグネット１２から発生した磁束をインナーヨーク１４ａ、１４ｂからアウターヨーク５２に至る磁気回路の磁気抵抗を下げることができる。これにより、可動子１０から作用する総磁束量を増加させる（磁路を確保する）と共に、マグネット１２が発生した磁束が電磁コイル５０ａ、５０ｂに流れる電流と軸線方向に対して直角に鎖交させることで、可動子１０に軸線方向の推力を効果的に発生させることができる。また、本構成による可動子１０は発生推力に比して質量が軽くなるため、高速応答が可能となり、出力流量も増加できる。
【００２０】
電磁コイル５０ａ、５０ｂおよびアウターヨーク５２は、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂとを組み合わせる際に、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂに設けた嵌合溝２８にアウターヨーク５２を嵌合させることによってシリンダ部２４と同芯に組み付けることができる。
【００２１】
可動子１０は、電磁コイル５０ａ、５０ｂに交番電流を通電することにより、電磁コイル５０ａ、５０ｂによって発生する電磁力の作用により往復駆動（上下動）される。電磁コイル５０ａ、５０ｂによる電磁力は、電磁コイル５０ａ、５０ｂへの通電方向によって可動子１０を一方向と他方向へ押動するから、図示しない制御部により、電磁コイル５０ａ、５０ｂへの通電時間、通電方向を制御することによって可動子１０を適宜ストロークで往復駆動させることができる。可動子１０がフレーム本体２２ａ、２２ｂの内面に当接した際には、ダンパー３２の作用によって衝撃を吸収することができる。
【００２２】
なお、シリンダ内における可動子１０の移動位置を検出するセンサを設けておき、センサの検知信号に基づいて可動子１０の往復動を制御することもできる。可動子１０の移動位置を検知する方法としては、シリンダの外部に可動子１０の移動位置を検知する磁気検知センサを設ける方法、ダンパー３２に感圧センサを設けて、可動子１０がダンパー３２に接触した時点を検知する方法等が可能である。本実施形態の電磁式ポンプでは可動子１０の移動ストロークが比較的小さいがポンプ室３０ａ、３０ｂは比較的広い面積を確保することができるから、可動子１０を高速で往復動させることによって一定の流量を確保することが可能である。
【００２３】
本実施形態の電磁式ポンプのポンプ作用は、電磁コイル５０ａ、５０ｂによって可動子１０を往復動させることにより、ポンプ室３０ａ、３０ｂに交互に流体が吸入され、送出される作用によってなされる。すなわち、図１の状態で、可動子１０が下方に移動すると、一方のポンプ室３０ａには流体が導入され、同時に他方のポンプ室３０ｂからは流体が送出される。また、逆に可動子１０が上方に移動すると、一方のポンプ室３０ａからは流体が送出され、他方のポンプ室３０ｂに流体が導入される。こうして、可動子１０がどちらの側へ移動する際にも流体の吸排がなされ、流体の脈動を抑え、効率的に流体を輸送することが可能となる。
【００２４】
本実施形態の電磁式ポンプは可動子１０に、フランジ部１５ｂを備えたインナーヨーク１４ａ、１４ｂを取り付け、可動子１０の両端面に近接して吸入用バルブ３４ａ、３４ｂと送出用バルブ３６ａ、３６ｂを設けることによって、きわめて薄型で小型のポンプとして提供することが可能となった。実施形態の電磁式ポンプの場合は、高さ１５ｍｍ、幅２０ｍｍ程度の小型ポンプに形成することができる。
【００２５】
また、本実施形態の電磁式ポンプは気体あるいは液体の輸送に使用することができ、流体の種類が限定されるものではない。液体ポンプとして使用する際に、可動子１０が一つでは輸送圧力が不足するような場合には、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂからなる同形の単位可動子を複数個連結した多段型の可動子１０を使用すればよい。
単位可動子を多段に連結することによって、大きな推力を備えた可動子とすることができ、所要の輸送圧力を備えた電磁式ポンプとすることができる。
【００２６】
次に、上述した電磁式ポンプのシール構造及びシール方法について図２乃至図４を参照して具体的に説明する。図２において、上フレーム本体２２ａの内壁面と下フレーム本体２２ｂに起立形成されたシリンダ部２４の端面とは発熱体２８を介して一体に熱線溶着され、両端が閉止されたシリンダが形成される。また、上フレーム体２０ａと上カバー５３ａとは発熱体２８を介して一体に熱線溶着され、シールされた吸入用流路３８ａ、送出用流路４０ａが形成される。また、下フレーム体２０ｂと下カバー５３ｂとは発熱体２８を介して一体に熱線溶着され、シールされた吸入用流路３８ｂ、送出用流路４０ｂが形成される。
【００２７】
また、発熱体２８は溶着部２８ａが閉じた連続形状をしている。この発熱体２８は、例えば金属板をプレスにより打ち抜き加工若しくはエッチングなどにより閉じた形状に形成される。発熱体２８の断面形状は、任意であるが、多角形状に形成される。これにより、図４において、円筒状のシリンダ部２４の端面を隙間無く熱線溶着することができる。発熱体２８を挟持して溶着可能な熱可塑性樹脂材どうしの間には溶融樹脂の隙間としておよそ１．２ｍｍ〜１．５ｍｍ程度の凹凸（溝）があれば溶着可能である。尚、溶着部２８ａの形状は、溶着端面の形状に合わせて様々な閉じた形状とすることができる。また、溶着部２８ａに連続する延設部２８ｂは通電用の電極部として用いられ、溶着後突出部分についてはニッパ等で切断される。
【００２８】
ここで、上下フレーム本体２２ａ、２２ｂ、上下カバー５３ａ、５３ｂとして用いられる熱可塑性樹脂材の一例について説明する。熱可塑性樹脂材としては例えば、具体的にはＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）、ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）、ＰＰＯ（ポリフェニレンオキサイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＬＣＤ（液晶ポリマー）、ＵＨＰＥ（超高分子量ポリエチレン）等が好適に用いられる。
【００２９】
また、同種の樹脂材であって充填材の配合比率が異なるものとしては、樹脂成分としてＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）を３０％〜６０％（試験値は５０％）含有し充填材成分（ガラス繊維、炭素繊維、ガラス粉末等のフィラーなど）を７０％〜４０％含有する第１の樹脂材（精度が出し易いが溶着性が悪い樹脂材）と、樹脂成分としてＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）を５０％〜１００％（試験値は６０％）含有し充填材成分（ガラス繊維、炭素繊維、ガラス粉末等のフィラーなど）を０％〜５０％を含有する第２の樹脂材（精度が出し難いが溶着性が良い樹脂材）とを組み合わせて熱線溶着する。
【００３０】
また、熱可塑性樹脂材として異種の樹脂材どうしの樹脂材、例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）とＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）若しくはＰＰＯ（ポリフェニレンオキサイド）とを組み合わせて熱線溶着するようにしても良い。
【００３１】
また、発熱体２８を挟圧する熱可塑性樹脂材の溶着面どうしが平行面に形成されていない。図５において発熱体２８を挟圧する第１の樹脂材５４の先端形状が楔状のテーパー面５４ａが形成されており、発熱体２８と第２の樹脂材５５との隙間５６に優先的に溶融樹脂を充填するようになっている。また、図６において、発熱体２８を挟圧する第２の樹脂材５５の先端形状がＲ面５５ａに形成されており、発熱体２８と第２の樹脂材５５との両側に形成される隙間５６に溶融樹脂を充填するようになっている。
これにより、発熱体２８の放熱特性を改善し、溶着が最低限必要な部位に優先的に熱が伝わるようにすることで、熱線溶着の信頼性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明に係る電磁式ポンプの全体構成を示す断面図である。
【図２】ポンプのシール構造を示す断面図である。
【図３】発熱体の形状を例示する説明図である。
【図４】熱可塑性樹脂材どうしを熱線溶着した部分説明図である。
【図５】発熱体を挟圧する第１の樹脂材及び第２の樹脂材の端面形状の説明図である。
【図６】発熱体を挟圧する第１の樹脂材及び第２の樹脂材の端面形状の説明図である。
【図７】従来の熱線溶着を行う発熱体の説明図である。
【図８】図７の発熱体を用いて熱線溶着を行った際の課題を示す説明図である。
【図９】従来技術の課題についての説明図である。
【符号の説明】
【００３３】
１０  可動子
１２  マグネット
１４ａ、１４ｂ  インナーヨーク
１５ａ  平板部
１５ｂ  フランジ部
１６  封止材
２０ａ  上フレーム
２０ｂ  下フレーム
２２ａ、２２ｂ  上下フレーム本体
２４  シリンダ部
２８  発熱体
２８ａ  溶着部
２８ｂ  延設部
３０ａ、３０ｂ  ポンプ室
３２  ダンパー
３４ａ、３４ｂ  吸入用バルブ
３６ａ、３６ｂ  送出用バルブ
３８ａ、３８ｂ  吸入用流路
４０ａ、４０ｂ  送出用流路
４２、４４  連通管
５０ａ、５０ｂ  電磁コイル
５２  アウターヨーク
５３ａ、５３ｂ  上下カバー
５４  第１の樹脂材
５５  第２の樹脂材
５６  隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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