(57)【要約】【課題】  回転数制御可能な電動モータにより回転する液圧ポンプを、低圧大流量の制御と高圧小流量の制御とを可能にする単一の液圧ポンプで構成し、装置全体のコンパクト化を図り得るもの。【解決手段】  回転数を制御可能なサーボモータ２により回転される液圧ポンプ１から吐出する圧液によって複動シリンダ３を駆動し、圧力検出センサ１７からフィードバックされる実際値を目標値に一致するようサーボモータドライバ１６、コントローラ１９でサーボモータ２の回転数を制御し、液圧ポンプ１は、複動シリンダ３に吐出する圧液の圧力が圧力制御弁２２のばね２３力に基づく設定圧力未満で押しのけ容積を最大容積に切換えると共に、複動シリンダ３に吐出する圧液の圧力が設定圧力以上で押しのけ容積を最小容積に切換える。【選択図】    図１
2005140175.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転数を制御可能な電動モータと、この電動モータにより回転され圧液を吐出する液圧ポンプと、この液圧ポンプから吐出する圧液によって駆動される液圧アクチュエータと、この液圧アクチュエータ側からフィードバックされる実際値を目標値に一致するよう前記電動モータの回転数を制御する制御部とを備え、前記液圧ポンプは、押しのけ容積を最も大きくした最大容積と、押しのけ容積を前記最大容積より小さくかつ零より大きくした最小容積とに切換可能に設け、前記液圧アクチュエータに吐出する圧液の圧力が設定圧力未満で押しのけ容積を前記最大容積に切換えると共に、前記液圧アクチュエータに吐出する圧液の圧力が設定圧力以上で押しのけ容積を前記最小容積に切換えることを特徴とする液圧駆動装置。
【請求項２】
前記液圧ポンプを前記設定圧力以上で押しのけ容積を前記最小容積に切換えた状態で、前記液圧アクチュエータ側から圧力若しくは荷重の実際値を前記制御部へフィードバックし、前記制御部は圧力若しくは荷重の実際値を圧力若しくは荷重の目標値に一致するよう前記電動モータの回転数を制御することを特徴とする請求項１に記載の液圧駆動装置。
【請求項３】
前記設定圧力を調整自在に設けたことを特徴とする請求項２に記載の液圧駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転数を制御可能な電動モータにより回転する液圧ポンプから吐出する圧液により液圧アクチュエータを駆動する液圧駆動装置に関し、特に、液圧アクチュエータを高圧小流量と低圧大流量とで制御する液圧駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の液圧駆動装置は、回転数を制御可能な電動モータとしてのサーボモータに正逆回転可能な２個の固定容量形の液圧ポンプを同軸に結合し、一方の液圧ポンプを圧力制御用に充当し、圧力制御用以外の他方の液圧ポンプの吐出口を絞り弁、方向切換弁を介し低圧側としてのタンクへ連通可能としてアンロード手段を構成し、また、他方の液圧ポンプの吐出口を逆止め弁を介して負荷回路に接続し、逆止弁の自由流れの方向を負荷回路方向とすると共に、逆止め弁の出口に圧力制御用とした一方の液圧ポンプの吐出口を接続する。そして、方向切換弁が他方の液圧ポンプの吐出口をタンクへ連通するのを遮断した状態では、両方の液圧ポンプの流量が合流して負荷回路へ流入し、サーボモータの回転数を操作して流量を制御し、この場合が前記低圧大流量で制御する状態となる。また、方向切換弁が他方の液圧ポンプの吐出口をタンクへ連通した状態では、サーボモータは低速で回転して圧力制御用とした一方の液圧ポンプの必要トルクを発生し、この場合が前記高圧小流量で制御する状態となる。このようにして、圧力制御用とした一方の液圧ポンプを押しのけ容積の小さなものにできてサーボモータを出力の小さい小形のものにできる。この液圧駆動装置は、例えば下記の特許文献に開示されている。
【特許文献１】特開平１０−１５９８０６号公報（２−３頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、かかる従来の液圧駆動装置では、高圧小流量の制御で用いる押しのけ容積の小さな一方の液圧ポンプと、低圧大流量の制御で一方の液圧ポンプと共に用いる押しのけ容積の大きな他方の液圧ポンプとを備えなければならず、液圧ポンプが２台となって、装置全体が大型化してしまう問題があった。
【０００４】
本発明の課題は、回転数制御可能な電動モータにより回転する液圧ポンプを、低圧大流量の制御と高圧小流量の制御とを可能にする単一の液圧ポンプで構成し、装置全体のコンパクト化を図り得る液圧駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
かかる課題を達成すべく、本発明は課題を解決するため次の手段をとった。即ち、
回転数を制御可能な電動モータと、この電動モータにより回転され圧液を吐出する液圧ポンプと、この液圧ポンプから吐出する圧液によって駆動される液圧アクチュエータと、この液圧アクチュエータ側からフィードバックされる実際値を目標値に一致するよう前記電動モータの回転数を制御する制御部とを備え、前記液圧ポンプは、押しのけ容積を最も大きくした最大容積と、押しのけ容積を前記最大容積より小さくかつ零より大きくした最小容積とに切換可能に設け、前記液圧アクチュエータに吐出する圧液の圧力が設定圧力未満で押しのけ容積を前記最大容積に切換えると共に、前記液圧アクチュエータに吐出する圧液の圧力が設定圧力以上で押しのけ容積を前記最小容積に切換えることを特徴とする液圧駆動装置がそれである。
【０００６】
この場合、前記液圧ポンプを前記設定圧力以上で押しのけ容積を前記最小容積に切換えた状態で、前記液圧アクチュエータ側から圧力若しくは荷重の実際値を前記制御部へフィードバックし、前記制御部は圧力若しくは荷重の実際値を圧力若しくは荷重の目標値に一致するよう前記電動モータの回転数を制御しても良い。また、前記設定圧力を調整自在に設けても良い。
【発明の効果】
【０００７】
以上詳述したように、請求項１に記載の発明は、回転数を制御可能な電動モータで回転する液圧ポンプとして、液圧アクチュエータに吐出する圧液の圧力が設定圧力未満で押しのけ容積を最大容積に切換えると共に、液圧アクチュエータに吐出する圧液の圧力が設定圧力以上で押しのけ容積を最小容積に切換える液圧ポンプを備えている。このため、前記設定圧力未満の前記最大容積で前記液圧アクチュエータを低圧大流量で制御できると共に、前記設定圧力以上の前記最小容積で前記液圧アクチュエータを高圧小流量で制御できるから、低圧大流量の制御と高圧小流量の制御とを単一の液圧ポンプで可能にできて装置全体のコンパクト化を図ることができる。また、液圧ポンプは設定圧力以上で押しのけ容積を最小容積に切換えるため、従来の高圧小流量の制御で使用する一方の液圧ポンプと比較して、必要トルクを増加することなくでき、液圧ポンプを回転する回転数制御可能な電動モータを大型で高価格なものとすることなく、出力の小さい小型のものを維持できる。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明の効果に加え、液圧アクチュエータ側からフィードバックした圧力若しくは荷重の実際値を圧力若しくは荷重の目標値に一致するよう制御部で電動モータの回転数を制御しているため、液圧アクチュエータを高圧小流量で精度良く圧力制御又は荷重制御することができる。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１及び請求項２に記載の発明の効果に加え、設定圧力を調整自在にしているため、この設定圧力の変更に伴い液圧アクチュエータを高圧小流量制御で圧力制御又は荷重制御を開始する値を自動的に変更することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明を実施するための一実施形態を図面に基づき説明する。
図１において、１は正逆回転可能な液圧ポンプで、一方のポート１Ａと他方のポート１Ｂとを有し、正回転したときには他方のポート１Ｂから吸入した作動液を一方のポート１Ａから圧液として吐出すると共に、逆回転したときには一方のポート１Ａから吸入した作動液を他方のポート１Ｂから圧液として吐出する。２は回転数を制御可能な電動モータとしてのサーボモータで、液圧ポンプ１を回転するよう液圧ポンプ１と結合する。３は液圧アクチュエータとしての複動シリンダで、ピストンロッド３Ａを有し、キャップ側ポート４Ａへの圧液の供給でピストンロッド３Ａを図１下方向へワークＷに向けて駆動し、ピストンロッド３Ａの先端に取付けた図示しない加工具によりワークＷを加圧加工する。また、複動シリンダ３はヘッド側ポート４Ｂへの圧液の供給でピストンロッド３Ａを図１上方向へワークＷから離間する方向に駆動し、原位置に復帰する。
【００１１】
５は第１流路で、複動シリンダ３のキャップ側ポート４Ａと液圧ポンプ１の一方のポート１Ａとを接続する。６は第２流路で、複動シリンダ３のヘッド側ポート４Ｂと液圧ポンプ１の他方のポート１Ｂとを接続する。第１流路５は第１逆止め弁７を介し低圧側としての作動液を貯蔵するタンクＴに接続すると共に、第２流路６は第２逆止め弁８を介しタンクＴに接続する。第１逆止め弁７はタンクＴから第１流路５への流れを許容すると共に第１流路５からタンクＴへの流れを阻止する向きに設ける。第２逆止め弁８はタンクＴから第２流路６への流れを許容すると共に第２流路６からタンクＴへの流れを阻止する向きに設ける。両逆止め弁７、８は接続ロッド９を介して接続し、液圧ポンプ１を正回転して一方のポート１Ａから圧液を吐出した際には第１流路５より第１逆止め弁７に圧液が作用して第１逆止め弁７を閉じると共に第２逆止め弁８を接続ロッド９を介して押圧して開作動し、また、液圧ポンプ１を逆回転して他方のポート１Ｂから圧液を吐出した際には第２流路６より第２逆止め弁８に圧液が作用して第２逆止め弁８を閉じると共に第１逆止め弁７を接続ロッド９を介して押圧して開作動自在に設ける。
【００１２】
１０は第１流路５から分岐してタンクＴに接続する第１排出流路、１１は第２流路６から分岐してタンクＴに接続する第２排出流路である。１２は第１排出流路１０に配設した第１リリーフ弁で、第１流路５の圧力が異常上昇して設定圧力を越えると第１流路５の圧液をタンクＴに排出する。１３は第２排出流路１１に配設した第２リリーフ弁で、設定圧力を第１リリーフ弁１２と同一に設定し、第２流路６の圧力が異常上昇して設定圧力を越えると第２流路６の圧液をタンクＴに排出する。
【００１３】
１４はサーボモータ２の回転数を検出するロータリエンコーダ等の回転数検出センサで、検出したサーボモータ２の実際の回転数をフィードバック配線１５でサーボモータドライバ１６にフィードバックする。１７は第１流路５に配設した圧力検出センサで、複動シリンダ３のキャップ側ポート４Ａに供給する圧液の圧力を検出し、検出した圧力の実際値をフィードバック配線１８でコントローラ１９にフィードバックする。２０は複動シリンダ３のピストンロッド３Ａの位置を検出する位置検出センサで、ここでは位置の変位に応じたパルスを出力するリニアスケールを用い、検出した位置の実際値をフィードバック配線２１でコントローラ１９にフィードバックする。コントローラ１９はフィードバック配線２１よりフィードバックされる位置の実際値を動作指令として入力する位置の目標値に一致するようサーボモータドライバ１６に位置指令（回転数を指令する）を出力すると共に、フィードバック配線１８よりフィードバックされる圧力の実際値を動作指令として入力する圧力の目標値に一致するようサーボモータドライバ１６に圧力指令（回転数を指令する）を出力する。サーボモータドライバ１６はフィードバック配線１５よりフィードバックされるサーボモータ２の回転数がコントローラ１９より入力される位置指令または圧力指令に一致するようサーボモータ２の回転数を制御する。そして、サーボモータドライバ１６とコントローラ１９とで制御部を構成する。
【００１４】
液圧ポンプ１は、ばね１Ｄで最大傾斜角度方向に付勢される斜板１Ｃの傾斜角度を変更自在とし、斜板１Ｃを最大傾斜角度にして押しのけ容積を最も大きくした最大容積と、斜板１Ｃを最小傾斜角度にして押しのけ容積を前記最大容積より小さくかつ零より大きくした最小容積とに切換可能に設けた可変容量形ピストンポンプであり、圧力制御弁２２を備える。圧力制御弁２２は、液圧ポンプ１の正回転で一方のポート１Ａから吐出する圧液の一部をパイロット圧液として斜板１Ｃに作用する第１位置Ａと、斜板１Ｃに作用したパイロット圧液をタンクＴに排出する第２位置Ｂとを有する。圧力制御弁２２は、液圧ポンプ１の一方のポート１Ａから吐出する圧液の圧力と調整自在にしたばね２３のばね力とを対向作用し、液圧ポンプ１の一方のポート１Ａから吐出する圧液の圧力がばね２３のばね力に基づく設定圧力未満で第２位置Ｂに切換ると共に、液圧ポンプ１の一方のポート１Ａから吐出する圧液の圧力がばね２３のばね力に基づく設定圧力以上で第１位置Ａに切換るよう設けている。液圧ポンプ１は圧力制御弁２２の第１位置Ａで斜板１Ｃにパイロット圧液を作用して押しのけ容積を最小容積に切換えると共に、圧力制御弁２２の第２位置Ｂで斜板１Ｃに作用したパイロット圧液をタンクＴに排出して押しのけ容積を最大容積に切換える。
【００１５】
次に、液圧ポンプ１の内部構成を、図２及び図３に基づき説明する。
３０はポンプ本体で、一端面に開口して中空孔３１を穿設し、中空孔３１の開口を閉塞するよう蓋部材３２を複数の締結ボルト３３により一端面に固定する。３４は図１のサーボモータ２に連結する駆動軸で、ポンプ本体３０及び蓋部材３２に軸受を介し回転駆動自在に設け、中間部にはスプラインから成る係合手段３５を介し中空孔３１内へ収装したシリンダブロック３６を一体的に回転するよう支持する。シリンダブロック３６は軸心の周りに間隙を有して複数のシリンダ孔３７を軸方向に貫通して形成し、このシリンダ孔３７にピストン３８を摺動自在に嵌挿してシリンダ室３９を区画形成する。ピストン３８はシリンダブロック３６の軸方向一端面より軸方向に突出し、この突出した先端部にはシュー４０を回転自在に枢支する。シュー４０はリティナ４１で支持され、ピストン３８はシュー４０を介して斜板１Ｃと当接する。シリンダブロック３６は軸方向他端面を蓋部材３２に固定した弁板４２と摺接自在に設け、弁板４２にはシリンダブロック３６の回転でシリンダ室３９が交互に連通するよう一方のポート１Ａと他方のポート１Ｂとを略対向位置に円弧状に貫通形成する。一方のポート１Ａは蓋部材３２に穿設の流路４３Ａを介して図１の第１流路５に接続し、他方のポート１Ｂは蓋部材３２に穿設の流路４３Ｂを介して図１の第２流路６に接続する。
【００１６】
斜板１Ｃは中空孔３１内でシリンダブロック３６と同軸上に一定の角度範囲内において傾斜角度を変更自在にポンプ本体３０に支承し、ピストン３８の往復摺動量を変更自在に設ける。斜板１Ｃを最大傾斜角度方向に付勢するばね１Ｄは、中空孔３１内で斜板１Ｃのシュー４０が当接する面の背面にばね力を付与するよう設ける。４４はばね１Ｄのばね力に抗して斜板１Ｃを最小傾斜角度方向へ押圧可能にする操作ピストンで、蓋部材３２よりポンプ本体３０の中空孔３１内へ突設した軸部４５に外嵌し、背面側に形成した作用室４６へ圧力制御弁２２の第１位置Ａで前記パイロット圧液を導入したり圧力制御弁２２の第２位置Ｂで作用室４６へ導入したパイロット圧液をタンクＴに排出したりして軸方向へ摺動自在に設ける。４７は斜板１Ｃの最大傾斜角度を調整する調整ねじ軸で、蓋部材３２へ液密に螺合し、軸方向一端部を作用室４６内に突出して操作ピストン４４の背面に当接すると共に、軸方向他端部を蓋部材３２より外部に突出し、軸方向他端部の回動操作により軸方向へ進退自在にして斜板１Ｃの最大傾斜角度を調整自在にする。４８は斜板１Ｃの最小傾斜角度を設定する設定部材で、斜板１Ｃの背面と対向して中空孔３１内に設置し、斜板１Ｃ背面の当接により斜板１Ｃの最小傾斜角度を設定する。
【００１７】
圧力制御弁２２は蓋部材３２に備え、蓋部材３２には弁孔４９と弁孔４９より大径のばね孔５０とを連設する。弁孔４９には作用室４６へ接続する負荷流路５１を内周面に開口し、負荷流路５１の開口箇所よりばね孔５０連設側へ離間した軸方向一方側の内周面にタンクＴへ接続する排出流路５２を開口すると共に、負荷流路５１の開口箇所より軸方向他方側に離間した内周面に導入流路５３を開口する。導入流路５３は流路４３Ａを介して一方のポート１Ａに接続し、一方のポート１Ａから吐出する圧液の一部をパイロット圧液として導入する。５４はスプール形状の弁体で、弁孔４９へ軸方向摺動自在に嵌挿し、導入孔５３のパイロット圧液が軸方向一端に作用してばね孔５０側に向けて付勢される。設定圧力を設定するばね２３は、ばね孔５０に収装し、ばね受け５５を介して弁体５４をパイロット圧液の圧力に抗して付勢する。５６はばね２３のばね力を調整自在にする調整ねじで、ばね孔５０に螺合して外部からの回動操作により軸方向へ進退自在にしてばね２３力を調整自在にする。スプール５４は軸方向の略中央にランド部５４Ａを有し、導入路５３より軸方向一端に作用するパイロット圧液の圧力がばね２３のばね力に基づく設定圧力未満では、ランド部５４Ａが負荷流路５１と導入流路５３との間に位置し、負荷流路５１を排出流路５２に切換連通すると共に導入流路５３を遮断する（図１の第２位置Ｂ）。また、スプール５４は軸方向一端に作用するパイロット圧液の圧力がばね２３のばね力に基づく設定圧力以上では、ランド部５４Ａが図４に示す如き、負荷流路５１と排出流路５２との間に位置し、負荷流路５１を導入流路５３に切換連通すると共に排出流路５２を遮断する（図１の第１位置Ａ）。斜板１Ｃは圧力制御弁２２の第１位置Ａで、導入流路５３のパイロット圧液が負荷流路５１より作用室４６へ導入されることで、操作ピストン４４に押圧されて背面が設定部材４８に当接する図５に示す最小傾斜角度となり、シリンダ室３９の押しのけ容積を最小容積に切換える。また、斜板１Ｃは圧力制御弁２２の第２位置Ｂで、作用室４６へ導入したパイロット圧液が負荷流路５１より排出流路５２を流れてタンクＴに排出されることで、ばね１Ｄにより付勢されて図２に示す最大傾斜角度となり、シリンダ室３９の押しのけ容積を最大容積に切換える。
【００１８】
次に、かかる構成の作動を説明する。
複動シリンダ３のピストンロッド３Ａが上方の原位置に停止している図１の状態で、コントローラ１９への動作指令によりサーボモータ２で液圧ポンプ１を正回転すると、液圧ポンプ１は他方のポート１Ｂから吸入した作動液を一方のポート１Ａから圧液として吐出し、この圧液は第１流路５を流れて複動シリンダ３のキャップ側ポート４Ａに供給され、複動シリンダ３はピストンロッド３Ａを下方向へ駆動し、ヘッド側ポート４Ｂの作動液は第２流路６を流れて液圧ポンプ１の他方のポート１Ｂに吸入される。このとき、液圧ポンプ１は、一方のポート１Ａから吐出する圧液の圧力がばね２３のばね力に基づく設定圧力未満で、圧力制御弁２２が第２位置Ｂに位置し、斜板１Ｃがばね１Ｄで付勢されて図２に示す最大傾斜角度であり、シリンダ室３９の押しのけ容積を最大容積に切換えており、図６にＸで示す低圧大流量で複動シリンダ３を制御する。また、ヘッド側ポート４Ｂから排出される作動液量は、キャップ側ポート４Ａに供給される圧液量と比較してピストンロッド３Ａの体積に相当する分少なく、この不足分の作動液は逆止め弁８が接続ロッド９に押圧されて開作動することでタンクＴから補給される。
【００１９】
ピストンロッド３Ａの下方向への駆動で、位置検出センサ２０がピストンロッド３Ａの実際の位置を検出し、コントローラ１９はフィードバック配線２１よりフィードバックされる位置の実際値を位置の目標値に一致させるよう位置指令をサーボモータドライバ１６へ出力し、サーボモータドライバ１６はフィードバック配線１５よりフィードバックされるサーボモータ２の回転数がコントローラ１９より入力される位置指令に一致するようサーボモータ２の回転数を制御する。
【００２０】
ピストンロッド３ＡがワークＷの近傍まで下方に駆動して位置の実際値が位置の目標値に一致すると、ピストンロッド３Ａの位置制御が完了し、引き続き、ピストンロッド３Ａを下方へ駆動する。そして、ピストンロッド３ＡがワークＷに当接すると、一方のポート１Ａから吐出してキャップ側ポート４Ａに供給される圧液の圧力が上昇し、この圧液の圧力がばね２３のばね力に基づく設定圧力以上になると、液圧ポンプ１は、圧力制御弁２２が第１位置Ａに切換り図４に示す状態となり、導入路５３のパイロット圧液が負荷流路５１より作用室４６に導入され、斜板１Ｃが操作ピストン４４で押圧されて設定部材４８に当接する図５に示す最小傾斜角度になり、シリンダ室３９の押しのけ容積を最小容積に切換え、図６にＹで示す高圧小流量で複動シリンダ３を制御する。
【００２１】
そして、複動シリンダ３のキャップ側ポート４Ａに供給する圧液の圧力の実際値を圧力検出センサ１７で検出してフィードバック配線１８よりコントローラ１９にフィードバックし、コントローラ１９は圧力の実際値を圧力の目標値に一致させるよう圧力指令をサーボモータドライバ１６へ出力し、サーボモータドライバ１６はフィードバック配線１５よりフィードバックされるサーボモータ２の回転数がコントローラ１９より入力される圧力指令に一致するようサーボモータ２の回転数を制御し、ピストンロッド３ＡによるワークＷの加圧を圧力制御する。
【００２２】
ワークＷの加圧加工が完了すると、コントローラ１９への動作指令によりサーボモータ２で液圧ポンプ１を逆回転し、液圧ポンプ１は一方のポート１Ａから吸入した作動液を他方のポート１Ｂから圧液として吐出し、この圧液は第２流路６を流れて複動シリンダ３のヘッド側ポート４Ｂに供給され、複動シリンダ３はピストンロッド３Ａを上方へ駆動し、キャップ側ポート４Ａの作動液は第１流路５を流れ、液圧ポンプ１の一方のポート１Ａに吸入される。このとき、液圧ポンプ１は一方のポート１Ａが吸入側となって低圧であるため、圧力制御弁２２がばね２３のばね力で第２位置Ｂに切換り、斜板１Ｃがばね１Ｄで付勢されて図２に示す最大傾斜角度になり、シリンダ室３９の押しのけ容積を最大容積に切換え、低圧大流量で複動シリンダ３を制御する。また、キャップ側ポート４Ａから排出される作動液量は、ヘッド側ポート４Ｂに供給される圧液量と比較してピストンロッド３Ａの体積に相当する分多く、この余分な作動液は逆止め弁７が接続ロッド９に押圧されて開作動することでタンクＴに排出される。
【００２３】
ピストンロッド３Ａを図１の原位置まで復帰すると、コントローラ１９はサーボモータドライバ１６に停止指令を出力して液圧ポンプ１を停止し、ピストンロッド３Ａを図１の原位置で停止する。
【００２４】
かかる作動で、一方のポート１Ａから複動シリンダ３に吐出する圧液の圧力が圧力制御弁２２のばね２３のばね力に基づく設定圧力未満でシリンダ室３９の押しのけ容積を最大容積に切換えると共に、一方のポート１Ａから複動シリンダ３に吐出する圧液の圧力がばね２３のばね力に基づく設定圧力以上でシリンダ室３９の押しのけ容積を最小容積に切換える液圧ポンプ１を備えているため、ばね２３のばね力に基づく設定圧力未満の最大容積で複動シリンダ３を図６にＸで示す低圧大流量で制御できると共に、ばね２３のばね力に基づく設定圧力以上の最小容積で複動シリンダ３を図６にＹで示す高圧小流量で制御できるから、低圧大流量の制御と高圧小流量の制御とを単一の液圧ポンプ１で可能にできて装置全体のコンパクト化を図ることができる。また、液圧ポンプ１はばね２３のばね力に基づく設定圧力以上でシリンダ室３９の押しのけ容積を最小容積に切換えるため、従来の高圧小流量の制御で使用する一方の液圧ポンプと比較して、必要トルクを増加することなくでき、液圧ポンプ１を回転するサーボモータ２を大型で高価格なものとすることなく、出力の小さい小型のものを維持できる。
【００２５】
また、複動シリンダ３側からフィードバックした圧力の実際値を圧力の目標値に一致するようサーボモータドライバ１６、コントローラ１９でサーボモータ２の回転数を制御しているため、複動シリンダ３を高圧小流量で精度良く圧力制御することができる。さらにまた、圧力制御弁２２のばね２３のばね力を調整ねじ５６の回動操作により調整することで設定圧力を調整自在にしているため、この設定圧力の変更に伴い複動シリンダ３を高圧小流量制御で圧力制御を開始する値を自動的に変更することができる。
【００２６】
なお、一実施形態では、回転数を制御可能な電動モータとしてサーボモータ２を用いたが、三相誘導電動モータをインバータ制御で回転数を制御可能としたりインバータモータやステッピングモータを用いたりしても良い。また、一実施形態で設けた圧力検出センサ１７に替えて、ピストンロッド３Ａの先端に圧電式のロードセル等の荷重検出センサを設け、ピストンロッド３ＡでワークＷを加圧加工する際に、荷重検出センサで検出した荷重の実際値をフィードバックして荷重の目標値と一致するようサーボモータ２の回転数を制御する荷重制御としても良い。また、一実施形態で設けた位置検出センサ２０は、用途に応じて適宜設けなくても良い。また、一実施形態では、液圧ポンプ１として可変容量形ピストンポンプを用いたが、複数のベーンを半径方向へ移動自在に備えたロータに対してカムリングを偏移自在に設け、ロータに対するカムリングの偏移量を最大にしてロータ、ベーン、カムリングで区画形成するポンプ室の押しのけ容積を最も大きくした最大容積と、ロータに対するカムリングの偏移量を最小にして押しのけ容積を前記最大容積より小さくかつ零より大きくした最小容積とに切換可能にした可変容量形ベーンポンプとしても良いことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施形態を示し、液圧駆動装置の一部をブロックで示した液圧回路図である。
【図２】本発明の一実施形態で、液圧駆動装置を構成する液圧ポンプの縦断面図である。
【図３】図２の線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図４】図３と異なる作動状態を示す図３に相当する断面図である。
【図５】図２と異なる作動状態を示す図２に相当する縦断面図である。
【図６】本発明の一実施形態を示し、液圧ポンプの圧力−流量特性を示すグラフである。
【符号の説明】
【００２８】
１：液圧ポンプ
１Ａ：一方のポート
１Ｂ：他方のポート
２：サーボモータ（電動モータ）
３：複動シリンダ（液圧アクチュエータ）
１６：サーボモータドライバ（制御部）
１７：圧力検出センサ
１９：コントローラ（制御部）
２２：圧力制御弁
【図１】
2005140175.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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