(57)【要約】【課題】  簡単な装着作業で、シート状の試料に撓みのない試料面を形成し、精度のよい蛍光Ｘ線分析を行うことのできる蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダを提供する。【解決手段】  第１のホルダ部材２１に開口するＸ線照射窓２３の周部に設定された第１の当接平面２４と、第１の当接平面２４に対向して第２のホルダ部材２２に設定された第２の当接平面２８との間に、シート状の試料１０の各面をそれぞれ当接させ、ネジ部材３０の締結によって第１，第２のホルダ部材２１，２２を互いに連結固定することにより、簡単な装着作業で、Ｘ線照射窓２３から露呈する試料１０に撓みのない試料面を形成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状の試料をＸ線源側に露呈するＸ線照射窓が開口され、その周部に上記試料の一方の面が当接する第１の当接平面を有する第１のホルダ部材と、
上記第１の当接平面に対向して上記試料の他方の面が当接する第２の当接平面を有し、上記第１のホルダ部材との間に上記試料を挟持する第２のホルダ部材と、
上記試料に上記第１，第２の当接平面を圧接させた状態で上記第１，第２のホルダ部材を互いに連結固定する固定部材とを備えたことを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダ。
【請求項２】
上記第２のホルダ部材は、上記Ｘ線照射窓に対向して開口する窓部を有することを特徴とする請求項１記載の蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダ。
【請求項３】
少なくとも上記第２のホルダ部材を、Ｘ線に対して中性な材料で構成したことを特徴とする請求項１記載の蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダ。
【請求項４】
上記Ｘ線照射窓を囲繞する位置で上記第１の当接平面或いは上記第２の当接平面の何れか一方の当接平面に凹設された凹溝と、
上記凹溝に対向して他方の当接平面に凸接された凸条とを備えたことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダ。
【請求項５】
Ｘ線窓が開口された試料テーブル上に載置される蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダであって、
上記第１のホルダ部材或いは上記第２のホルダ部材の何れか一方を、上記Ｘ線窓内に収容可能な形状に形成したことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れかに記載の蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダ。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４の何れかに記載の上記試料ホルダを支持する試料テーブルを備えたことを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項７】
上記試料テーブルは、上記第１のホルダ部材或いは上記第２のホルダ部材の何れか一方を収容する凹部を上面に備えたことを特徴とする請求項６記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項８】
上記凹部は上記第１のホルダ部材を収容する凹部であって、当該凹部の深さは、上記第１のホルダ部材の厚さと一致する深さに設定されていることを特徴とする請求項７記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項９】
請求項５記載の上記試料ホルダを載置する上記試料テーブルを備えたことを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状の試料を分析するに好適な蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダ、及びこれを用いた蛍光Ｘ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、蛍光Ｘ線分析装置を用いて精度のよい元素分析等を行うためには、Ｘ線の照射位置に、試料を平坦な状態で正しくセットすることが要求される。従って、一定形状を持たない試料等は、通常、試料ホルダを用いて平坦な試料面が形成された状態で試料テーブル上にセットされる。例えば、粘着性試料を試料テーブル上にセットするための技術として、特許文献１には、筒状支持体の一端部に気密性フィルムを張着し、この気密性フィルムの内面に粘着性試料を付着させることにより、Ｘ線の照射位置に平坦な試料面を形成する技術が開示されている。
【０００３】
また、粘着性試料等の他に、特に、試料面の平坦化が必要とされる試料としては、可撓性を有するシート状の試料がある。すなわち、例えば、液晶装置に用いられる偏光板フィルムやバックライトフィルム等のようなシート状の試料を元素分析する場合、当該試料を撓みのない状態で試料テーブル上にセットする必要がある。この場合、例えば、上述の筒状支持体等を試料ホルダとして用い、この筒状支持体等の一端部にシート状の試料を張着することで、Ｘ線の照射位置に平坦な試料面を形成することが考えられる。
【特許文献１】特開２００２−２４３６７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、分析対象となるシート状の試料が薄い場合、照射したＸ線の大半が試料を透過するため、単一枚数の試料では十分な蛍光Ｘ線を得ることが困難となる場合がある。これに対処し、複数枚の試料を筒状支持体等の試料ホルダに重畳して張着することも考えられるが、このような張着作業は煩雑であり、しかも、重畳して張着された試料間に空隙が発生し易いため分析精度が低下する虞がある。
【０００５】
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、簡単な装着作業で、シート状の試料に撓みのない試料面を形成し、精度のよい蛍光Ｘ線分析を行うことのできる蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダ、及びこれを用いた蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダは、シート状の試料をＸ線源側に露呈するＸ線照射窓が開口され、その周部に上記試料の一方の面が当接する第１の当接平面を有する第１のホルダ部材と、上記第１の当接平面に対向して上記試料の他方の面が当接する第２の当接平面を有し、上記第１のホルダ部材との間に上記試料を挟持する第２のホルダ部材と、上記試料に上記第１，第２の当接平面を圧接させた状態で上記第１，第２のホルダ部材を互いに連結固定する固定部材とを備えたことを特徴とする。
【０００７】
このような構成によれば、第１，第２のホルダ部材に設けられた第１，第２の当接平面によってシート状の試料を挟持し、連結部材による第１，第２のホルダ部材の連結固定によって試料に第１，第２の当接平面を圧接させるだけの簡単な装着作業により、Ｘ線照射窓から露呈する試料に撓みのない試料面を形成することができる。
【０００８】
また、上記第２のホルダ部材は、上記Ｘ線照射窓に対向して開口する窓部を有することを特徴とする。
【０００９】
このような構成によれば、Ｘ線源から照射された一次Ｘ線の一部が試料を透過した場合にも、第２のホルダ部材からの蛍光Ｘ線の発生を防止することができる。
【００１０】
また、少なくとも上記第２のホルダ部材を、Ｘ線に対して中性な材料で構成したことを特徴とする。
【００１１】
このような構成によれば、Ｘ線源から照射された一次Ｘ線の一部が試料を透過した場合にも、第２のホルダ部材からの蛍光Ｘ線の発生を防止することができる。
【００１２】
また、上記Ｘ線照射窓を囲繞する位置で上記第１の当接平面或いは上記第２の当接平面の何れか一方の当接平面に凹設された凹溝と、上記凹溝に対向して他方の当接平面に凸接された凸条とを備えたことを特徴とする。
【００１３】
このような構成によれば、試料に対する第１，第２の当接平面の圧接時に、凹溝及び凸条の作用によって試料に張力が発生するので、Ｘ線照射窓から露呈する試料面をより効果的に平坦化することができる。
【００１４】
また、Ｘ線窓が開口された試料テーブル上に載置される蛍光Ｘ線分析装置の試料ホルダであって、上記第１のホルダ部材或いは上記第２のホルダ部材の何れか一方を、上記Ｘ線窓内に収容可能な形状に形成したことを特徴とする。
【００１５】
このような構成によれば、Ｘ線窓に収容されたホルダ部材によって試料テーブルに対する試料ホルダの位置決めを精度よく行うことができ、さらにＸ線照射窓から露呈する試料面を試料テーブルと同一平面上にセットすることができる。
【００１６】
また、本発明に係る蛍光Ｘ線分析装置は、上記試料ホルダを支持する試料テーブルを備えたことを特徴とする。
【００１７】
このような構成によれば、平坦な試料面が形成されたシート状の試料が試料テーブル上にセットして精度のよい蛍光Ｘ線分析を行うことができる。
【００１８】
また、上記試料テーブルは、上記第１のホルダ部材或いは上記第２のホルダ部材の何れか一方を収容する凹部を上面に有し、上記凹部の深さを、収容する上記ホルダ部材の厚さと一致する深さに設定したことを特徴とする。
【００１９】
このような構成によれば、凹部によ収容されたホルダ部材によって試料テーブルに対する試料ホルダの位置決めを精度よく行うことができる。
【００２０】
また、上記凹部は上記第１のホルダ部材を収容する凹部であって、当該凹部の深さは、上記第１のホルダ部材の厚さと一致する深さに設定されていることを特徴とする。
【００２１】
このような構成によれば、Ｘ線照射窓から露呈する試料面を試料テーブルと同一平面上にセットすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照して本発明の形態を説明する。図１乃至図４は本発明の第１の形態に係わり、図１は試料ホルダの分解斜視図、図２はシート状の試料を保持して試料テーブル上に載置された試料ホルダの要部断面図、図３は蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図、図４は試料ホルダの変形例を示す分解斜視図である。
【００２３】
先ず、図３を参照して、蛍光Ｘ線分析装置の概略構成について説明する。  
図３において符号１は蛍光Ｘ線分析装置を示す。この蛍光Ｘ線分析装置１は、試料テーブル２上にセットされた試料１０に対して一次Ｘ線Ｂ１を照射するＸ線源としてのＸ線管３と、試料への一次Ｘ線の照射によって発生する蛍光Ｘ線Ｂ２が視野制限スリット４及び第１のソーラスリット５介して入射される分光結晶６と、分光結晶６で回折された所定波長の蛍光Ｘ線Ｂ２が第２のソーラスリット７を介して入射されるＸ線検出器８と、Ｘ線検出器８で検出される蛍光Ｘ線Ｂ２の解析を行う解析装置９とを有して構成されている。
【００２４】
そして、解析装置９では、例えば、Ｘ線検出器８で検出された蛍光Ｘ線Ｂ２の波長解析を行うことで試料１０の構成元素を特定する（定性分析）とともに、各波長の強度解析を行うことで各構成元素の含有量を特定する（定量分析）。
【００２５】
ここで、試料テーブル２は、例えば、１方向の直線移動と回転移動が可能なＲθテーブルまたは２方向の直線移動が可能なＸＹテーブルで構成され、この試料テーブル２の移動によって、１次Ｘ線の照射位置に対する試料１０の位置調整が行われるようになっている。また、本形態において、試料テーブル２の略中央には上下方向に開口するＸ線窓２ａが開口されており（図１，２参照）、試料１０は、後述するホルダ２０に保持された状態で、試料テーブル２上のＸ線窓２ａに一致する位置にセット（支持）される。
【００２６】
次に、試料ホルダ２０の詳細な構成について説明する。  
図１，２に示す試料ホルダ２０は、例えば液晶装置に用いられる偏光板フィルムやバックライトフィルム等の可撓性を有するシート状の試料１０を保持するホルダであり、この試料ホルダ２０は、互いに対向する一対のホルダ部材（第１，第２のホルダ部材）２１，２２と、これらホルダ部材２１，２２を互いに連結固定する固定部材としての複数（例えば、４個）のネジ部材３０とを有して構成されている。
【００２７】
第１のホルダ部材２１は、例えば矩形の平板部材で構成され、その中央部には、例えば円形のＸ線照射窓２３が開口されている。また、第１のホルダ部材２１の第２のホルダ部材２２との対向面上において、少なくともＸ線照射窓２３の周部には、試料１０の一方の面と当接可能な第１の当接平面２４が設定されている。すなわち、第１のホルダ部材２１は、第２のホルダ部材２２との対向面上に、Ｘ線照射窓２３を囲繞する平坦面を有し、この平坦面が第１の当接平面２４として設定されている。
【００２８】
第２のホルダ部材２２は、矩形の平板部材で構成され、その中央部には、Ｘ線照射窓２３に対向する窓部２７が開口されている。また、第２のホルダ部材２２の第１のホルダ部材２１との対向面上において、少なくとも窓部２７の周部には、試料１０の他方の面と当接可能な第２の当接平面２８が設定されている。すなわち、第２のホルダ部材２２は、少なくとも第１のホルダ部材２１との対向面上に、窓部２７を囲繞する平坦面を有し、この平坦面が第２の当接平面として設定されている。
【００２９】
また、第１のホルダ部材２１の適所（例えば、第１のホルダ部材２１上の四隅）には、ネジ部材３０と螺合可能な複数（例えば、４個）のネジ孔２５が穿設され、第２のホルダ部材２２には、各ネジ孔２５にそれぞれ対向する位置に、ネジ部材３０と螺合可能なネジ孔２９が穿設されている。そして、互いに対向する各ネジ孔２５，２９にそれぞれ各ネジ部材３０が螺合されることにより、第１，第２のホルダ部材２１，２２は互いに連結固定可能となっている。
【００３０】
次に、上述の試料ホルダ２０を用いることにより、シート状の試料１０は、例えば、以下の手順で試料テーブル２上にセットされる。  
すなわち、先ず、用意された試料１０は、その中央部がＸ線照射窓２３に略一致するよう位置決めされた状態で、一方の面が第１のホルダ部材２１の第１の当接平面２４に当接される。
【００３１】
次に、試料１０の他方の面に第２のホルダ部材２２の第２の当接平面２８が当接され、第１，第２のホルダ部材２１，２２間で、対応する各ネジ孔２５，２９の位置合わせが行われる。
【００３２】
そして、位置合わせされた各ネジ孔２５，２９に各ネジ部材３０がそれぞれ螺合されることにより、第１，第２のホルダ部材２１，２２は、試料１０を挟持した状態で互いに連結される。その際、各ネジ孔２５，２９に対する各ネジ部材３０の締結トルクによって試料１０には第１，第２の当接平面２５，２９が圧接され、これにより、試料１０は、Ｘ線照射窓２３を通じて外部に露呈された部位（試料面）が撓むことなく試料ホルダ２０に保持される。
【００３３】
このように試料１０を保持した試料ホルダ２０は、Ｘ線照射窓２３がＸ線管３側に臨まされた状態で試料テーブル２上に載置され、その後、Ｘ線照射窓２３とＸ線窓２ａとの位置合わせが行われる（図２参照）。
【００３４】
そして、試料テーブル２の位置調整が行われることにより、試料１０は、Ｘ線照射窓２３から露呈する平坦な試料面が、Ｘ線管３から出射される一次Ｘ線Ｂ１の照射位置に位置決めされた状態で保持される。
【００３５】
このような形態によれば、第１のホルダ部材２１に開口するＸ線照射窓２３の周部に設定された第１の当接平面２４と、第１の当接平面２４に対向して第２のホルダ部材２２に設定された第２の当接平面２８との間に、シート状の試料１０の各面をそれぞれ当接させ、ネジ部材３０の締結によって第１，第２のホルダ部材２１，２２を互いに連結固定することにより、簡単な装着作業で、Ｘ線照射窓２３から露呈する試料１０に撓みのない試料面を形成することができる。すなわち、試料ホルダ２０は、Ｘ線照射窓２３を囲繞する平坦な第１の当接平面２４を有する第１のホルダ部材２１と、第１の当接平面２４に対向する平坦な第２の当接平面２８を有する第２のホルダ部材２２との間に試料１０を圧接させた状態で挟持する構成であるため、簡単な装着作業で、Ｘ線照射窓２３から露呈する試料１０に撓みのない試料面を形成することができる。
【００３６】
そして、このような試料ホルダ２０によって撓みのない試料面が形成された試料１０を、試料テーブル２上にセットすることにより、蛍光Ｘ線分析装置１による精度のよい試料分析を行うことができる。
【００３７】
ここで、分析対象となる試料１０が薄い場合には、図１に示すように、複数枚の試料１０を重ねた状態で試料ホルダ２０に保持させることも可能である。この場合においても、単一枚数の試料１０を保持する場合と同様に、簡単な装着作業で、Ｘ線照射窓２３から露呈する部位に撓みのない試料面を形成することができ、さらに、重畳された複数枚の試料１０は第１，第２のホルダ部材２１，２２間に圧接された状態で挟持させるものであるため、各試料１０間に空隙等が発生することを的確に防止することができる。
【００３８】
また、Ｘ線照射窓２３に対向して開口する窓部２７を第２のホルダ部材２２に開口することにより、分析時に一次Ｘ線の一部が試料１０を透過した場合にも、この透過Ｘ線によって第２のホルダ部材２２から蛍光Ｘ線が発生することを防止でき、試料１０の分析精度をより向上することができる。
【００３９】
ここで、本形態において、少なくとも第２のホルダ部材２２を、例えばポリカーボネイト等のＸ線に対して中性な材料で構成することにより、図４に示すように、第２のホルダ部材２２に開口する窓部を省略した構成とすることも可能である。
【００４０】
このような構成とすることにより、第２のホルダ部材２２に設定される第２の当接平面２８をＸ線照射窓２３に対向する部位まで延長することができ、試料１０に形成される試料面の平坦化をより効果的に実現することができる。
【００４１】
なお、図３には、試料テーブル２上にセットされた試料に対して上方から一次Ｘ線を照射することで試料１０の元素分析を行うＸ線分析装置１の一例について示しているが、本発明が適用されるＸ線分析装置は、例えば、Ｘ線窓２ａを通じて試料テーブル２の下方から一次Ｘ線を照射することにより試料１０の元素分析を行うものであってもよい。この場合、試料ホルダ２０は、第１のホルダ部材２１が試料テーブル２側に位置する状態で試料テーブル２上にセットされる。
【００４２】
次に、図５，６は本発明の第２の形態に係わり、図５は試料ホルダの分解斜視図、図６はシート状の試料を保持して試料テーブル上に載置された試料ホルダの要部断面図である。なお、本形態では、蛍光Ｘ線分析装置１の試料テーブル２上に凹部２ｂを設けた点が、上述の第１の形態と異なる。その他、第１の形態と同様の構成については、同符号を付して説明を省略する。
【００４３】
ここで、本形態は、試料テーブル２の下方から一次Ｘ線を照射して試料１０の分析を行う場合に特に有用なものである。
【００４４】
図５，６に示すように、試料テーブル２の上面には、第１のホルダ部材２１を収容可能な凹部２ｂが設けられている。本形態において、凹部２ｂは、第１のホルダ部材２１の縁部に沿った矩形の凹部で構成され、その深さが第１のホルダ部材２１と一致する深さに設定されている。また、この凹部２ｂの配設位置は、第１のホルダ部材２１を収容した際に、Ｘ線照射窓２３をＸ線窓２ａに一致させる位置に設定されている。
【００４５】
このような形態によれば、凹部２ｂに第１のホルダ部材２１を収容させた状態で、試料ホルダ２０を試料テーブル２上に載置することにより、試料テーブル２に対する試料ホルダ２０の位置決めを精度よく行うことができる。
【００４６】
また、凹部２ｂの深さを第１のホルダ部材２１の厚さと一致させることにより、試料ホルダ２０に保持された試料１０の試料面を試料テーブル２の上面と同一面上に位置させることができ、一次Ｘ線Ｂ１に対する試料面の位置決め時の試料テーブル２の位置調整作業を簡素化することができる。また、Ｘ線照射窓２３から露呈する試料面の位置を試料テーブル２に対して常に一定に保つことができるため、例えば、厚さの異なる試料１０等を繰り返し分析する際等にも、試料テーブル２の位置調整作業を繰り返し行うことなく、常に、試料面を一次Ｘ線Ｂ１の照射位置に位置させることができる。
【００４７】
なお、本形態においては、上述の凹部２ｂに代えて、第２のホルダ部材２２を収容可能な凹部を試料テーブル２の上面に凹設とすることも可能であり、また、第１，第２のホルダ部材２１，２２を同一形状として単一の凹部に何れかのホルダ部材を選択的に収容可能とすることも可能である。
【００４８】
このような構成とすることにより、本形態の試料ホルダ２０及び蛍光Ｘ線分析装置１を、試料テーブル２の上方から一次Ｘ線Ｂ１を照射する場合の分析にも適用することができ、この場合においても、試料テーブル２に対する試料ホルダ２０の位置決めを精度よく行うことができる。
【００４９】
次に、図７，８は本発明の第３の形態に係わり、図７は試料ホルダの分解斜視図、図８はシート状の試料を保持して試料テーブル上に載置された試料ホルダの要部断面図である。なお、本形態では、第２のホルダ部材を、試料テーブル２に開口するＸ線窓２ａ内に収容可能とした点が、上述の第１の形態と異なる。その他、第１の形態と同様の構成については、同符号を付して説明を省略する。
【００５０】
ここで、本形態は、試料テーブル２の上方から一次Ｘ線を照射して試料１０の分析を行う場合に特に有用なものである。
【００５１】
図７，８に示すように、本形態において、第２のホルダ部材３５は、Ｘ線窓２ａよりも小径の円盤部材で構成され、その中央部には、Ｘ線照射窓２３に対向する窓部２７が開口されている。また、第２のホルダ部材３５の第１のホルダ部材２１との対向面上において、少なくとも窓部２７の周部には、試料１０の他方の面と当接可能な第２の当接平面２８が設定されている。また、第２のホルダ部材３５には、第１のホルダ部材２１の各ネジ孔２５にそれぞれ対応する位置に、ネジ部材３０と螺合可能なネジ孔２９が穿設されている。
【００５２】
このような形態によれば、Ｘ線窓２ａに第２のホルダ部材３５を収容させた状態で、試料ホルダ２０を試料テーブル２上に載置することにより、試料テーブル２に対する試料ホルダ２０の位置決めを精度よく行うことができる。
【００５３】
また、試料ホルダ２０に保持された試料１０の試料面を試料テーブル２の上面と同一面上に位置させることができ、一次Ｘ線Ｂ１に対する試料面の位置決め時の試料テーブル２の位置調整作業を簡素化することができる。また、Ｘ線照射窓２３から露呈する試料面の位置を試料テーブル２に対して常に一定に保つことができるため、例えば、厚さの異なる試料１０等を繰り返し分析する際等にも、試料テーブル２の位置調整作業を繰り返し行うことなく、常に、試料面を一次Ｘ線Ｂ１の照射位置に位置させることができる。
【００５４】
なお、本形態においては、第２のホルダ部材に代えて、第１のホルダ部材をＸ線窓２ａ内に収容可能な構成とすることも可能である。
【００５５】
このような構成とすることにより、本形態の試料ホルダ２０及び蛍光Ｘ線分析装置１を、試料テーブル２の下方から一次Ｘ線Ｂ１を照射する場合の分析にも適用することができ、この場合においても、試料テーブル２に対する試料ホルダ２０の位置決めを精度よく行うことができる。
【００５６】
次に、図９は本発明の第４の形態に係わり、図９はシート状の試料を保持して試料テーブル上に載置された試料ホルダの要部断面図である。なお、本形態においては、試料ホルダ２０の各当接平面に凹溝４０及び凸条４１を付加した点が、上述の第１の形態と異なる。その他、第１の形態と同様の構成については同符号を付して説明を省略する。
【００５７】
図９に示すように、本形態において、第１のホルダ部材２１の第１の当接平面２４上には、Ｘ線照射窓２３を囲繞する環状の凹溝４０が周設されており、一方、第２のホルダ部材２２の第２の当接平面２８上には、凹溝４０に対向する環状の凸条４１が周設されている。
【００５８】
このような構成によれば、試料１０に対する第１，第２の当接平面２４，２８の圧接時に、凹溝４０及び凸条４１の作用によってこれらの内周側で試料１０に張力が発生し、Ｘ線照射窓２３から露呈する試料面がより効果的に平坦化される。
【００５９】
ここで、図示の例では、第１の当接平面２４側に凹溝４０を設け、第２の当接平面２８側に凸条４１を設けた一例について説明したが、逆に、第１の当接平面２４側に凸条４１を設け、第２の当接平面２８側に凹溝４０を設けてもよいことは勿論である。
【００６０】
なお、上述の各形態においては、第１，第２のホルダ部材を連結固定する固定部材としてネジ部材を適用した一例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、第１，第２のホルダ部材を所定の付勢力で挟み込むクリップ部材等を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第１の形態に係わり、試料ホルダの分解斜視図
【図２】同上、シート状の試料を保持して試料テーブル上に載置された試料ホルダの要部断面図
【図３】同上、蛍光Ｘ線分析装置の概略構成図
【図４】同上、試料ホルダの変形例を示す分解斜視図
【図５】本発明の第２の形態に係わり、試料ホルダの分解斜視図
【図６】同上、シート状の試料を保持して試料テーブル上に載置された試料ホルダの要部断面図
【図７】本発明の第３の形態に係わり、試料ホルダの分解斜視図
【図８】同上、シート状の試料を保持して試料テーブル上に載置された試料ホルダの要部断面図
【図９】本発明の第４の形態に係わり、シート状の試料を保持して試料テーブル上に載置された試料ホルダの要部断面図
【符号の説明】
【００６２】
１…蛍光Ｘ線分析装置、２…試料テーブル、２ａ…Ｘ線窓、２ｂ…凹部、１０…試料（シート状の試料）、２０…試料ホルダ、２１…第１のホルダ部材、２２…第２のホルダ部材、２３…Ｘ線線照射窓、２４…第１の当接平面、２７…窓部、２８…第２の当接平面、３０…ネジ部材（固定部材）、３５…第２のホルダ部材、４０…凹溝、４１…凸条
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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