(57)【要約】【課題】  小型化、薄型化を効果的に図るとともに、長寿命で安定して使用できる信頼性の高い電磁式ポンプを提供する。【解決手段】  一対のフレーム体２０ａ、２０ｂにより両端面が閉止されたシリンダ内に、前記各々のフレーム体の端面との間をポンプ室３０ａ、３０ｂとして摺動可能に可動子１０を設け、前記シリンダの外周囲に空芯の電磁コイル５０ａ、５０ｂを配置し、電磁コイルに通電して前記可動子１０をシリンダの軸線方向に往復駆動することにより流体を輸送する電磁式ポンプであって、前記可動子１０の外面の全面がニッケルめっき被膜によって被覆されていることを特徴とする。【選択図】          図１
2005054636.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対のフレーム体により両端面が閉止されたシリンダ内に、前記各々のフレーム体の端面との間をポンプ室として摺動可能に可動子を設け、前記シリンダの外周囲に空芯の電磁コイルを配置し、電磁コイルに通電して前記可動子をシリンダの軸線方向に往復駆動することにより流体を輸送する電磁式ポンプであって、
前記可動子の外面の全面がニッケルめっき被膜によって被覆されていることを特徴とする電磁式ポンプ。
【請求項２】
前記可動子は、シリンダの軸線方向に磁化したマグネットを一対のインナーヨークにより挟持して形成され、
前記電磁コイルは、シリンダの周囲に複数嵌装され、軸線方向の両端面に磁性材料からなるヨークが設けられていることを特徴とする請求項１記載の電磁式ポンプ。
【請求項３】
前記インナーヨークは、マグネットを挟持する平板部の周縁に、電磁コイルに対向する配置に、シリンダの内面に摺接する短筒状のフランジ部が設けられ、
該フランジ部の内側に形成される凹部内に、シリンダの端面領域内に前記ポンプ室と外部とを連通して設けられた吸入用バルブおよび送出用バルブが配置されていることを特徴とする請求項２記載の電磁式ポンプ。
【請求項４】
前記可動子の外面を被覆するニッケルめっき被膜が磁性体に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の電磁式ポンプ。
【請求項５】
前記可動子を構成する構成部品であるマグネットとインナーヨークの表面が、構成部品ごとにニッケルめっき被膜によって被覆され、
前記ニッケルめっき被膜によって被覆された構成部品が固着されて可動子が形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の電磁式ポンプ。
【請求項６】
前記可動子を構成する全ての構成部品、または一部の構成部品を被覆するニッケルめっき被膜が磁性体に形成されていることを特徴とする請求項５記載の電磁式ポンプ。
【請求項７】
前記可動子の、シリンダの内周面に摺接する面が、金属の炭化物あるいは金属の酸化物の微粉末、または樹脂の微粉末を含む複合めっきからなる金属めっき被膜により被覆されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項記載の電磁式ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電磁式ポンプに関し、より詳細には気体、液体等の流体の輸送に使用する電磁式ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
シリンダの内部にピストンを往復動自在に配置し、吸排弁を介してシリンダ室と外部とを連通させ、シリンダ内でピストンを往復動させることによって、気体あるいは液体をポンプ作用により吸排することができる。このようなポンプ作用をなす装置として、ピストンにマグネットを装着し、シリンダの外部に電磁コイルを配置して、電磁コイルの電磁力をピストンに作用させることによりピストンを往復動させるように構成した装置（特許文献１参照）、また、シリンダを二重管構造とし、シリンダを対向させて２段に接合した構成としたポンプ装置（特許文献２参照）が提案されている。
【特許文献１】実開平７−４８７５号公報
【特許文献２】特開平６−１５９２３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
シリンダの内部に配置したピストンにシリンダの外部から電磁力を作用させてピストンを往復駆動する従来装置においては、シリンダを軸線方向の細長い形状に設け、ピストンの移動ストロークを比較的大きくとって吸排する構成とされている。このため、従来装置では小型化が難しく、ノートパソコン等の小型の電子機器に使用するような場合には不適であるという課題があった。また、ピストンを往復動させることから、駆動時に振動および騒音が発生しやすく、電子機器等においては、振動低減、静音化が求められるという課題もあった。
【０００４】
また、ポンプ装置ではピストン等の可動部に、気体や液体といった流体がじかに接触することになるから、これらの流体と接触しても侵食されないように、可動部は所定の耐蝕性、耐摩耗性を備えている必要がある。金属材に対する耐蝕処理、耐摩耗性処理としては、塗装や金属めっきが知られている。しかしながら、たとえば高温のアルカリ性の液体などによって塗装は侵食されやすく、耐蝕処理によって高い信頼性の耐蝕性、耐摩耗性を維持することが難しいという課題があった。
また、電磁式ポンプで可動部に磁性体を使用しているような場合に、磁性体に耐蝕性を向上させる塗装や表面処理を施すと、その耐蝕処理層の部分は磁性回路としては空隙に相当することになり、電磁式ポンプの特性を阻害することになるという課題もあった。
【０００５】
そこで、本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、小型化、薄型化を効率的に図ることができるとともに、気体や液体に侵食されにくく、長時間にわたっての安定使用が可能で、好適な性能を維持することができる電磁式ポンプを提供するにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
すなわち、一対のフレーム体により両端面が閉止されたシリンダ内に、前記各々のフレーム体の端面との間をポンプ室として摺動可能に可動子を設け、前記シリンダの外周囲に空芯の電磁コイルを配置し、電磁コイルに通電して前記可動子をシリンダの軸線方向に往復駆動することにより流体を輸送する電磁式ポンプであって、前記可動子の外面の全面がニッケルめっき被膜によって被覆されていることを特徴とする。
また、前記可動子は、シリンダの軸線方向に磁化したマグネットを一対のインナーヨークにより挟持して形成され、前記電磁コイルは、シリンダの周囲に複数嵌装され、軸線方向の両端面に磁性材料からなるヨークが設けられていることを特徴とする。
また、前記インナーヨークは、マグネットを挟持する平板部の周縁に、電磁コイルに対向する配置に、シリンダの内面に摺接する短筒状のフランジ部が設けられ、該フランジ部の内側に形成される凹部内に、シリンダの端面領域内に前記ポンプ室と外部とを連通して設けられた吸入用バルブおよび送出用バルブが配置されていることを特徴とする。
また、前記可動子の外面を被覆するニッケルめっき被膜が磁性体に形成されていることにより、特性を阻害させない構造の電磁式ポンプとすることができる。
【０００７】
また、前記可動子を構成する構成部品であるマグネットとインナーヨークの表面が、構成部品ごとにニッケルめっき被膜によって被覆され、前記ニッケルめっき被膜によって被覆された構成部品が固着されて可動子が形成されていることを特徴とする。
また、前記可動子を構成する全ての構成部品、または一部の構成部品を被覆するニッケルめっき被膜が磁性体に形成されていることを特徴とする。
また、前記可動子の、シリンダの内周面に摺接する面が、金属の炭化物あるいは金属の酸化物の微粉末、または樹脂の微粉末を含む複合めっきからなる金属めっき被膜により被覆されていることを特徴とする。可動子を構成する構成部品が、各々ニッケルめっき被膜によって外面が被覆されている場合は、インナーヨークの、シリンダの内周面に摺接する面にのみ金属めっき被膜を設けるようにしてもよい。シリンダの内周面に摺接する可動子の外周面を金属めっき被膜によって被覆することにより、可動子の摺動性、耐摩耗性を効果的に向上させることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明による電磁式ポンプは、外面がニッケルめっき被膜によって被覆された可動子を用いたことにより、可動子が気体や液体等の流体と接触した際に侵食されることを効果的に防止することができ、電磁式ポンプの長寿命化を図ることができるとともに、信頼性が高く、安定して使用できる製品として提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面とともに詳細に説明する。  図１は本発明に係る電磁式ポンプの全体構成を示す断面図である。
本実施形態の電磁式ポンプは円筒状に形成したシリンダ内にマグネット（永久磁石）を備えた可動子をシリンダの軸線方向に摺動可能に配置し、シリンダの外周に配置した電磁コイルの電磁力を可動子に作用させ、可動子を往復動させることによってポンプ作用をなすように構成したものである。
【００１０】
図１で、１０はシリンダの軸線方向に往復動可能に配置した可動子である。可動子１０は円板状に形成したマグネット１２とマグネット１２を厚さ方向に挟持する一対のインナーヨーク１４ａ、１４ｂとからなる。マグネット１２は一方の面をＮ極、他方の面をＳ極として、厚さ方向に磁化されている永久磁石である。インナーヨーク１４ａ、１４ｂは軟磁性材によって形成され、各々のインナーヨーク１４ａ、１４ｂは、マグネット１２よりも若干大径に形成された平板部１５ａと、平板部１５ａの周縁部に短筒状に起立したフランジ部１５ｂとを備える。
【００１１】
図２に、インナーヨーク１４ａ、１４ｂによってマグネット１２が挟持され、可動子１０が円柱状体に形成された状態の斜視図を示す。インナーヨーク１４ａ、１４ｂは、周縁部にフランジ部１５ｂを起立させて形成しているから、可動子１０の軸線方向の両端面には凹部１０ａが形成されている。本実施形態の電磁式ポンプは可動子１０の両端面に凹部１０ａを設けることによって、電磁式ポンプを薄型に形成することができ、フランジ部１５ｂの作用によって可動子１０の往復動作を的確に行わせることが可能となる。
【００１２】
可動子１０はシリンダ内で往復動するが、本実施形態では、一対のフレームを組み合わせて円筒状のシリンダを形成し、このシリンダ内に可動子１０を配置している。
図１で、２０ａ、２０ｂがシリンダを形成する非磁性材からなる一対のフレーム体であり、２０ａが上フレーム、２０ｂが下フレームである。本実施形態においては、下フレーム２０ｂの本体から、円筒状に形成した筒体部２４を延出させ、筒体部２４の端部を上フレーム２０ａの本体に設けた嵌合溝２８に嵌合させて可動子１０を収容するシリンダを構成している。嵌合溝２８の筒体部２４の端面が当接する部位にはシール材２９が設けられており、筒体部２４の端面をシール材２９に突き当てることにより、シリンダ内が外部からシールされる。なお、上フレーム２０ａから筒体部を延出させて下フレームに嵌合させることもできる。また、筒体部２４を上フレーム２０ａおよび下フレーム２０ｂと別体に形成することもできる。
【００１３】
このように、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂとを組み合わせて形成されたシリンダの両端面は上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂとによって閉止され、可動子１０の両端面にそれぞれポンプ室３０ａ、３０ｂが形成される。
なお、可動子１０は筒体部２４の内面に摺接した状態で、筒体部２４と気密あるいは液密にシールして摺動する。可動子１０の摺動性を良好にするため、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周面に摺動性を良好にする処理がなされる。摺動性を良好にする処理としては、フッ素樹脂コーティングやＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）コーティング等がなされる。本実施形態においては摺動性を良好にする金属めっきを施している。
【００１４】
ポンプ室３０ａ、３０ｂは可動子１０の両端面と上フレーム２０ａ、下フレーム２０ｂの端面との間に形成される空隙部分に相当する。本実施形態では、上フレーム２０ａの中央部分が可動子１０の一方の端面に形成された凹部１０ａ内に突出するように形成され、下フレーム２０ｂの中央部分が可動子１０の他方の端面に形成された凹部１０ａ内に突出するように形成され、ポンプ室３０ａ、３０ｂは断面形状で屈曲した空間となっている。
【００１５】
３２はフレーム体の端面に取り付けたダンパーである。ダンパー３２は可動子１０の移動範囲の終端位置でインナーヨーク１４ａ、１４ｂが上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂの端面に当接した際の衝撃を吸収するために設けられている。
なお、ダンパーは上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂの端面に設けるかわりに、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの端面に設けてもよい。
【００１６】
３４ａはポンプ室３０ａに連通して上フレーム２０ａに設けられた吸入用バルブ、３６ａはポンプ室３０ａに連通して設けられた送出用バルブである。３４ｂはポンプ室３０ｂに連通して下フレーム２０ｂに設けられた吸入用バルブ、３６ｂはポンプ室３０ｂに連通して設けられた送出用バルブである。
本実施形態では、可動子１０の凹部１０ａ内に吸入用バルブ３４ａ、３４ｂと送出用バルブ３６ａ、３６ｂを設けることにより、吸入用バルブ３４ａ、３４ｂと送出用バルブ３６ａ、３６ｂをシリンダの長さ範囲内に収容して、ポンプ装置の薄型化を図っている。
【００１７】
３８ａ、３８ｂは吸入用バルブ３４ａ、３４ｂに連通させて、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂに設けた吸入用流路である。４０ａ、４０ｂは送出用バルブ３６ａ、３６ｂに連通させて、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂに設けた送出用流路である。
４２は上フレーム２０ａの吸入用流路３８ａと下フレーム２０ｂの吸入用流路３８ｂとを連通する連通管、４４は上フレーム２０ａの送出用流路４０ａと下フレーム２０ｂの送出用流路４０ｂとを連通する連通管である。これによって、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂの吸入用流路と送出用流路が、一つの吸入口３８と送出口４０に連通する。
【００１８】
図１で、５０ａ、５０ｂは筒体部２４、すなわちシリンダの外周囲を囲むように配置した空芯の電磁コイルである。電磁コイル５０ａ、５０ｂはシリンダの軸線方向に若干離間させ、シリンダの軸線方向の中心位置に対して均等位置となるように配置されている。電磁コイル５０ａ、５０ｂはインナーヨーク１４ａ、１４ｂのフランジ部１５ｂの可動範囲よりも軸線長を長く設定されている。
なお、電磁コイル５０ａと電磁コイル５０ｂとは巻き線方向が逆向きであり、同一電源による通電によって、互いに逆向きの電流が流れるように設定されている。電磁コイル５０ａ、５０ｂの巻き線方向を逆向きにしているのは、マグネット１２の磁束と鎖交する電磁コイル５０ａ、５０ｂに流れる電流に作用する力を重畳させて、反力として可動子１０に作用させ、この力を推力とするためである。
【００１９】
５２は電磁コイル５０ａ、５０ｂの外周囲を囲む筒状に形成した、磁性材からなるアウターヨークである。アウターヨーク５２により電磁コイル５０ａ、５０ｂの外周囲を囲むことにより、電磁力を効果的に可動子１０に作用させることができる。
また、各々の電磁コイル５０ａ、５０ｂの軸線方向の両端面にヨーク５４、５５を配置することによって磁束の漏れを抑え、より効果的に可動子１０に電磁力を作用させることが可能となる。
図２に、可動子１０の構成とともに、電磁コイル５０ａ、５０ｂおよびアウターヨーク５２の配置をあわせて示す。
【００２０】
可動子１０は、電磁コイル５０ａ、５０ｂに交番電流を通電することにより、電磁コイル５０ａ、５０ｂによって発生する電磁力の作用により往復駆動（上下動）される。電磁コイル５０ａ、５０ｂによる電磁力は、電磁コイル５０ａ、５０ｂへの通電方向によって可動子１０を一方向と他方向へ押動するから、制御装置により、電磁コイル５０ａ、５０ｂへの通電時間、通電方向を制御することによって可動子１０を適宜ストロークで往復駆動させることができる。
本実施形態の電磁式ポンプでは可動子１０の移動ストロークが比較的小さいがポンプ室３０ａ、３０ｂは比較的広い面積を確保することができるから、可動子１０を高速で往復動させることによって一定の流量を確保することが可能である。
【００２１】
本実施形態の電磁式ポンプのポンプ作用は、電磁コイル５０ａ、５０ｂによって可動子１０を往復動させることにより、ポンプ室３０ａ、３０ｂに交互に流体が吸入され、送出される作用によってなされる。すなわち、図１の状態で、可動子１０が下方に移動すると、一方のポンプ室３０ａには流体が導入され、同時に他方のポンプ室３０ｂからは流体が送出される。また、逆に可動子１０が上方に移動すると、一方のポンプ室３０ａからは流体が送出され、他方のポンプ室３０ｂに流体が導入される。こうして、可動子１０がどちらの側へ移動する際にも流体の吸排がなされ、流体の脈動を抑え、効率的に流体を輸送することが可能となる。
【００２２】
本実施形態の電磁式ポンプでは、ポンプ作用によって流体を吸排する際に流体にじかに接触する可動子１０が、十分な耐蝕性および耐久性を備えたものとして形成されていることが特徴的である。
図３は本実施形態の電磁式ポンプで使用される可動子１０の構造を拡大して示す断面図である。すなわち、図３に示す可動子１０は、インナーヨーク１４ａ、１４ｂにマグネット１２を固着して組み立てたものであり、組み立て後、可動子１０の外面にニッケルめっきを施したものである。１６が可動子１０の外面に設けられたニッケルめっき被膜である。本実施形態の可動子１０はインナーヨーク１４ａ、１４ｂとマグネット１２から可動子１０を組み立てた後にニッケルめっきを施しているから、可動子１０の外面がニッケルめっき被膜１６によって被覆されたものとなっている。
【００２３】
可動子１０にニッケルめっきを施す方法としては、下地処理としてストライクニッケルめっきを施し、次いで無電解ニッケルめっきを施す方法等が利用できる。ニッケルめっき被膜１６の厚さは１０μｍ程度以上、好ましくは２０μｍ以上あればよい。後述するように、外面をニッケルめっき被膜１６によって被覆した可動子１０は、優れた耐蝕性を有するものとなる。
図３において、１２ａはマグネット１２を表面処理した際にマグネット１２の表面に形成された表面処理層を示す。マグネットの表面処理はマグネット１２の防錆を行う目的でなされるが、マグネットの表面処理は必ずしも必要とするものではない。
【００２４】
１８は可動子１０のシリンダとの摺動面（外周面）を被覆するように設けた金属めっき被膜である。この金属めっき被膜１８は複合めっき（たとえば炭化シリコンや酸化アルミニウムなどの微粒子をニッケルめっき中に共析させる方法等）によって形成することができる。実施形態ではPTFE等のフッ素樹脂の微粉末をニッケルめっき中に分散させて金属めっき被膜１８を形成した。この金属めっき被膜１８はニッケルめっき被膜１６を下地として施されているもので、可動子１０のシリンダとの摺動面ではこの金属めっき被膜１８が露出する。金属めっき被膜１８は可動子１０の摺動性、耐摩耗性を向上させるために設けられているものである。この金属めっき被膜１８は潤滑塗装などと比較して、可動子１０との密着性が良好で、優れた摺動性を得ることができるものである。
【００２５】
このように、図３に示す可動子１０は、その外面、とくに流体と接する外面がニッケルめっき被膜１６によって被覆されていることにより、高温のアルカリ性の液体などに対しても十分な耐蝕性、耐久性を備えたものとなる。
図３に示す可動子１０では、マグネット１２の表面に形成された表面処理層１２ａがインナーヨーク１４ａ、１４ｂとは異種金属からなる場合でも、ニッケルめっき被膜１６および金属めっき被膜１８によってマグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂとの界面が外部から遮断されているから、電解質溶液からなる液体を輸送するような場合でも、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂとの界面に電解質溶液が入り込むことを防止し、インナーヨーク材と表面処理層１２ａとの界面で電池腐蝕が生じることを防止することができる。
【００２６】
図４は、電磁式ポンプに使用する可動子１０の他の構成例を示す。この図４に示す可動子１０は、可動子１０を組み立てる前の部品の段階でインナーヨーク１４ａ、１４ｂとマグネット１２にニッケルめっきを施し、ニッケルめっきが施されたインナーヨーク１４ａ、１４ｂとマグネット１２とを固着して可動子１０を組み立てたものである。
したがって、この場合には、図４に示すように、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの外面の全面が、マグネット１２に固着される面を含めてニッケルめっき被膜１６によって被覆されている。また、マグネット１２もインナーヨーク１４ａ、１４ｂに固着される面を含めてその外面の全面がニッケルめっき被膜１６によって被覆されている。
【００２７】
また、可動子１０のシリンダの内周面に摺接する面が、可動子１０の摺動性および耐食性を向上させる金属めっき被膜１８によって被覆されていることも図３に示す実施形態と同様である。可動子１０を組み立てた後に金属めっきを施して、金属めっき被膜１８を可動子１０の摺動面の全体に設けることも可能であるが、図４では、インナーヨーク１４ａ、１４ｂにニッケルめっきを施した後、インナーヨーク１４ａ、１４ｂのフランジ部１５ｂの外側面に金属めっき被膜１８を設けた後、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂとを固着して可動子１０を形成した場合を示す。
【００２８】
図４に示す可動子１０の場合も、可動子１０の外面、とくに流体と接触する外面がニッケルめっき被膜１６によって被覆されていることにより、可動子１０は十分な耐食性、耐久性を有するものとなる。
また、図４に示す可動子１０の場合は、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂとの界面がともにニッケルめっき被膜１６からなるから、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂとの界面が異種金属となることがなく、電池腐蝕の問題は生じない。したがって、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂとの界面を外部から遮断するめっきを施すといった必要がない。
図４に示す可動子１０の構成は、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂとから可動子１０を組み立てた後に、可動子１０の全体にニッケルめっきを施すことが難しい製品の場合に有効である。
【００２９】
なお、可動子１０あるいは可動子１０の構成部品に無電解ニッケルめっきを施した状態では、無電解ニッケルめっき被膜１６は非磁性であるが、無電解ニッケルめっきを施した後、熱処理を行うとニッケルめっき被膜１６が磁性を生じるようになる。熱処理としては、たとえば４００℃以上に可動子１０の全体あるいは可動子１０の構成部品を加熱すればよい。構成部品について熱処理した場合は、可動子１０のニッケルめっき被膜１６が部分的に磁性体となる。このように、ニッケルめっき被膜１６を熱処理して磁性体とすると、ニッケルめっき被膜１６が磁気回路内で空隙とならず、磁路として作用することになり、可動子１０にニッケルめっきを施したことによって磁気回路が阻害される問題を回避することができる。
【００３０】
表１は、外面をニッケルめっき被膜によって被覆した可動子１０について耐蝕試験を行った試験結果を示す。耐蝕試験で使用した試料は、マグネットをインナーヨークで挟持した形態の基材に無電解ニッケルめっきを施して外面を無電解ニッケルめっき被膜によって被覆したもの（実施例１）、前記基材の外面にポリアミドイミド系塗料を塗布したもの、（比較例１）、前記基材の外面にエポキシ系塗料を塗布したもの（比較例２）、前記基材の外面に無機系塗料を塗布したもの（比較例３）の４種である。実施例１の無電解ニッケルめっき被膜の厚さは２０μｍ、比較例１〜３の塗膜の厚さは何れも２０μｍである。
【００３１】
耐食性試験は、アルカリ性の液体であるプロピレングリコール系不凍液を９０℃に加熱し、この液体に上記試料を浸漬して、試料の表面状態が浸漬時間とともにどのように変化するかを観察することによって行った。表１は観察結果を時間経過とともに表している。○記号は、基材表面の被膜が変質せず問題ない状態であること、△記号は基材表面の被膜が軟化したこと、×記号は基材から被膜が剥離したことを示す。
【表１】
2005054636.tif 000003
【００３２】
表１の試験結果は、基材の表面に無電解ニッケルめっきを施した実施例１の試料については、１０００時間経過時まで被膜には変化が生じなかったのに対して、比較例１の試料は２００時間経過時に被膜が剥離し、比較例２の試料は１０００時間経過時に被膜が軟化し、比較例３の試料は５０時間経過時から被膜が剥離した。この試験結果は基材表面に無電解ニッケルめっきを施すことによって優れた耐蝕性、耐久性が得られることを示すものである。
すなわち、気体や液体にじかに接触する電磁式ポンプの可動子１０として、外面にニッケルめっきを施した可動子は、アルカリ性の液体のような浸透力が高く、被膜を劣化、剥離する液体に対しても十分な耐蝕性を備えるものであり、電磁式ポンプを長寿命とすることができ、十分に実用に耐えることができるものとなる。
【００３３】
なお、可動子を用いた電磁式ポンプの構成として、上述した図１、２に示す電磁式ポンプは効果的に小型化ができるという特徴を有するものであるが、電磁式ポンプの構成は上記実施形態のものに限定されるものではなく、上述した可動子は種々の電磁式ポンプに使用することが可能であり、これにより電磁式ポンプの長寿命化を図ることができ、電磁式ポンプの設計を変えることなくその特性を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】電磁式ポンプの一実施形態の全体構成を示す断面図である。
【図２】可動子と、電磁コイルおよびアウターヨークの配置を示す説明図である。
【図３】可動子の構成を拡大して示す説明図である。
【図４】可動子の他の構成を拡大して示す説明図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０  可動子
１０ａ  凹部
１２  マグネット
１２ａ  表面処理層
１４ａ、１４ｂ  インナーヨーク
１５ａ  平板部
１５ｂ  フランジ部
１６  ニッケルめっき被膜
１８  金属めっき被膜
２０ａ  上フレーム
２０ｂ  下フレーム
２４  筒体部
３０ａ、３０ｂ  ポンプ室
３４ａ、３４ｂ  吸入用バルブ
３６ａ、３６ｂ  送出用バルブ
５０ａ、５０ｂ  電磁コイル
５２  アウターヨーク
【図１】
2005054636.tif 000004
【図２】
2005054636.tif 000005
【図３】
2005054636.tif 000006
【図４】
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