(57)【要約】【課題】積層して形成された層を有する電極にエッジカールが発生することを抑制し、優れた品質を有するプラズマディスプレイパネルを提供する。【解決手段】第１の電極層となる第１の感光性組成物層２８を前面基板４上に形成した後、第１の開口部を有するマスク２９を用いて第１の感光性組成物層２８を露光し、次に、第２の電極層となる第２の感光性組成物層３０を第１の感光性組成物層２８の上に形成した後、第１の開口部よりも幅の狭い第２の開口部を有するマスク３１を用いて第２の感光性組成物層３０を露光し、その後、第１の感光性組成物層２８および第２の感光性組成物層３０を現像した後、焼成する。また、第２の開口部の幅は、第１の開口部の幅よりも１０μｍ以上狭い。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、第１の電極層およびその上に形成された第２の電極層を有する電極が複数個形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法において、第１の電極層となる第１の感光性組成物層を基板上に形成した後、第１の開口部を有するマスクを用いて前記第１の感光性組成物層を露光し、次に、第２の電極層となる第２の感光性組成物層を前記第１の感光性組成物層の上に形成した後、前記第１の開口部よりも幅の狭い第２の開口部を有するマスクを用いて前記第２の感光性組成物層を露光し、その後、前記第１の感光性組成物層および前記第２の感光性組成物層を現像した後、焼成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
基板上に、第１の電極層およびその上に形成された第２の電極層を有する電極が複数個形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法において、第１の電極層となる第１の感光性組成物層を基板上に形成した後、第１の開口部を有するマスクを用いて前記第１の感光性組成物層を露光し、次に、第２の電極層となる第２の感光性組成物層を前記第１の感光性組成物層の上に形成した後、前記第１の開口部よりも１０μｍ以上幅の狭い第２の開口部を有するマスクを用いて前記第２の感光性組成物層を露光し、その後、前記第１の感光性組成物層および前記第２の感光性組成物層を現像した後、焼成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
第１の電極層が外光反射を抑制する反射抑制層であり、第２の電極層が前記第１の電極層よりも低抵抗の導電層であることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
第１の感光性組成物層が黒色顔料を含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
第２の感光性組成物層が銀を含むことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大画面で、薄型、軽量のディスプレイ装置として知られているプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年、ＰＤＰは、視認性に優れた表示パネル（薄型表示デバイス）として注目されており、高精細化および大画面化が進められている。
【０００３】
このＰＤＰには、大別して、駆動的にはＡＣ型とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便性から、現状では、ＡＣ型で面放電型のＰＤＰが主流を占めるようになってきている。
【０００４】
図５は従来のＡＣ型のＰＤＰの一部構成を示す斜視図である。このＰＤＰは、前面パネル１と背面パネル２とを対向配置して周囲をシール剤により貼り合わせて構成されており、前面パネル１と背面パネル２との間に形成される放電空間３にネオンおよびキセノンなどからなる放電ガスを封入している。
【０００５】
前面パネル１は次のような構成である。すなわち、ガラス製の基板である前面基板４上に、ストライプ状の走査電極５とストライプ状の維持電極６とからなる表示電極７を複数形成し、表示電極７を覆うように誘電体層８を形成し、誘電体層８上に保護層９を形成している。なお、走査電極５および維持電極６はそれぞれ、透明電極１０とその上に形成された低抵抗の導電層１１とにより構成されている。
【０００６】
また、背面パネル２は次のような構成である。すなわち、ガラス製の基板である背面基板１２上に、走査電極５および維持電極６と直交するようにストライプ状のアドレス電極１３を複数形成し、アドレス電極１３を覆うように絶縁体層１４を形成している。そして、この絶縁体層１４上であってアドレス電極１３の間に位置するように、アドレス電極１３と平行な隔壁１５を設け、隔壁１５の間に蛍光体層１６を形成している。
【０００７】
走査電極５および維持電極６とアドレス電極１３とが交差する部分には放電セルが形成される。そして、走査電極５、維持電極６およびアドレス電極１３にそれぞれ所定の電圧を印加して各放電セルで放電を発生させ、その放電で発生する紫外線を受けて蛍光体層１６が可視光発光することにより、前面パネル１側に画像が表示される。
【０００８】
ここで、低抵抗の導電層１１は、高抵抗である透明電極１０の電気伝導性を補助するために設けられるものであり、銀（Ａｇ）のような電気抵抗値の低い導電性材料を用いて形成されるが、Ａｇのような低抵抗の材料を用いて形成した導電層は略白色であり、この略白色の導電層によって外光反射が起こり、コントラストが悪下する。このため、導電層１１を、黒色顔料を含む材料を用いて形成した黒色の第１の導電層と低抵抗の材料を用いて形成した略白色の第２の導電層とにより構成し、透明電極１０と略白色の第２の導電層との間に略黒色の第１の導電層が配置されるようにすることによって外光反射を抑制しコントラストが悪下することを防止している（例えば特許文献１参照）。
【０００９】
【特許文献１】
特開平１１−２７３５７８号公報
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、黒色の第１の導電層および略白色の第２の導電層は次のようにして形成される。すなわち、図６（ａ）に示すように、黒色顔料を含む感光性導電性ペーストを、透明電極１０を覆うように前面基板４上に塗布して乾燥させ、第１のペースト層１７を形成する。続いて、図６（ｂ）に示すように、銀を含む感光性導電性ペーストを第１のペースト層１７上に塗布して乾燥させることにより第２のペースト層１８を形成する。次に、図６（ｃ）に示すように、ストライプ状の開口部を有するマスク１９を用いて第１のペースト層１７および第２のペースト層１８を露光する。次に、現像して未露光部分を除去した後、焼成することにより、第１の導電層および第２の導電層が透明電極１０上に形成される。
【００１１】
しかしながら、上記のような方法を用いて第１の導電層および第２の導電層を形成した場合、図７に示すように透明電極１０上に第１の導電層２０および第２の導電層２１が形成されるが、第２の導電層２１の両端が反り上がった状態になり、いわゆるエッジカール２２が形成されていた。すなわち、第１のペースト層１７および第２のペースト層１８を一括して露光するとき、上層である第２のペースト層１８の紫外線遮断により下層である第１のペースト層１７の架橋が不十分になることから、現像するときに、上層である第２のペースト層１８よりも下層である第１のペースト層１７の侵食が進むため、現像後の形状が図８に示す状態になる。そして、このような状態で焼成すると、焼成中に発生する内部応力により、第１のペースト層１７と密着の無い第２のペースト層１８のエッジ部分が反り上がることにより、図７に示すようなエッジカール２２が発生する。
【００１２】
このようなエッジカール２２が形成された状態でパネルを作製し、画像表示を行うと、エッジカール２２の大きい電極ではエッジカール２２の先端における電界が強くなり、電極を覆うように形成された誘電体層８の絶縁破壊が発生しやすくなる。また、黒色である第１の導電層２０に比べて略白色である第２の導電層２１の幅が広くなるので、第２の導電層２１の両端部において外光反射するようになりコントラストが低下する。
【００１３】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、積層して形成された層を有する電極にエッジカールが発生することを抑制し、優れた品質を有するプラズマディスプレイパネルを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、第１の電極層となる第１の感光性組成物層を基板上に形成した後、第１の開口部を有するマスクを用いて前記第１の感光性組成物層を露光し、次に、第２の電極層となる第２の感光性組成物層を前記第１の感光性組成物層の上に形成した後、前記第１の開口部よりも幅の狭い第２の開口部を有するマスクを用いて前記第２の感光性組成物層を露光し、その後、前記第１の感光性組成物層および前記第２の感光性組成物層を現像した後、焼成することを特徴とする。また、第２の開口部の幅は、第１の開口部の幅よりも１０μｍ以上狭い。
【００１５】
【発明の実施の形態】
すなわち、本発明の請求項１に記載の発明は、基板上に、第１の電極層およびその上に形成された第２の電極層を有する電極が複数個形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法において、第１の電極層となる第１の感光性組成物層を基板上に形成した後、第１の開口部を有するマスクを用いて前記第１の感光性組成物層を露光し、次に、第２の電極層となる第２の感光性組成物層を前記第１の感光性組成物層の上に形成した後、前記第１の開口部よりも幅の狭い第２の開口部を有するマスクを用いて前記第２の感光性組成物層を露光し、その後、前記第１の感光性組成物層および前記第２の感光性組成物層を現像した後、焼成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【００１６】
本発明の請求項２に記載の発明は、基板上に、第１の電極層およびその上に形成された第２の電極層を有する電極が複数個形成されたプラズマディスプレイパネルの製造方法において、第１の電極層となる第１の感光性組成物層を基板上に形成した後、第１の開口部を有するマスクを用いて前記第１の感光性組成物層を露光し、次に、第２の電極層となる第２の感光性組成物層を前記第１の感光性組成物層の上に形成した後、前記第１の開口部よりも１０μｍ以上幅の狭い第２の開口部を有するマスクを用いて前記第２の感光性組成物層を露光し、その後、前記第１の感光性組成物層および前記第２の感光性組成物層を現像した後、焼成することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【００１７】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、第１の電極層が外光反射を抑制する反射抑制層であり、第２の電極層が前記第１の電極層よりも低抵抗の導電層であることを特徴とする。
【００１８】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、第１の感光性組成物層が黒色顔料を含むことを特徴とする。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、第２の感光性組成物層が銀を含むことを特徴とする。
【００２０】
以下、本発明の一実施の形態について図１〜図４の図面を用いて説明する。なお、図１〜図４において、図５〜図８に示す部分と同一部分については同一番号を付している。
【００２１】
図１は、本発明の一実施の形態によるＰＤＰの一部を示す断面図である。このＰＤＰは、前面パネル２３と背面パネル２とを対向配置して周囲をシール剤（図示せず）により貼り合わせて構成されており、前面パネル２３と背面パネル２との間に形成される放電空間３にネオンおよびキセノンなどからなる放電ガスを封入している。本実施の形態によるＰＤＰにおける背面パネル２の構成は、図５に示した従来のＰＤＰのものと同じであるため、その説明を省略する。
【００２２】
本実施の形態のＰＤＰにおいて、前面パネル２３は次のような構成である。すなわち、間に放電空間３を形成するように対向配置した一対のガラス基板である前面基板４と背面基板１２のうち、表示面側の基板である前面基板４上に、ストライプ状の走査電極２４とストライプ状の維持電極２５とからなる表示電極を、アドレス電極１３と直交する方向に複数形成している。そして、走査電極２４および維持電極２５を覆うように誘電体層８を形成し、誘電体層８上に保護層９を形成している。保護層９は、放電空間３で発生する放電による衝撃から誘電体層８を保護するためのものであり、例えば酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により形成される。
【００２３】
走査電極２４および維持電極２５はそれぞれ、透明電極１０と、透明電極１０上に形成された第１の電極層２６と、第１の電極層２６上に形成された第２の電極層２７とにより構成されている。第１の電極層２６は黒色顔料を含む導電性材料を用いて形成され、第２の電極層２７はＡｇのような低抵抗の導電性材料を用いて形成されている。このため、第１の電極層２６は黒色であり、第２の電極層２７は略白色であり、第１の電極層２６は第２の電極層２７よりも光の反射率が低く、第１の電極層２６は外光反射を抑制する反射抑制層である。また、第２の電極層２７は第１の電極層２６よりも低抵抗の導電層であり、第１の電極層２６に比べて幅を狭くしている。
【００２４】
図２は図１に示したＰＤＰの電極配列を示しており、行方向にはＭ行の走査電極ＳＣＮ１〜ＳＣＮＭおよび維持電極ＳＵＳ１〜ＳＵＳＭが配列され、列方向にはＮ列のアドレス電極Ｄ１〜ＤＮが配列されている。そして、走査電極ＳＣＮｉおよび維持電極ＳＵＳｉ（ｉ＝１〜Ｍ）とアドレス電極Ｄｊ（ｊ＝１〜Ｎ）とが立体交差する部分には放電セルが形成され、Ｍ行×Ｎ列の放電セルがマトリックス状に形成されている。
【００２５】
そして、このようなＰＤＰを用いて構成した画像表示装置では、アドレス電極１３と走査電極２４との間に書き込みパルスを印加することにより、アドレス電極１３と走査電極２４との間でアドレス放電を行い、放電セルを選択した後、走査電極２４と維持電極２５との間に、交互に反転する周期的な維持パルスを印加することにより、走査電極２４と維持電極２５との間で維持放電を行い、この維持放電によって蛍光体層１６が発光し、その光が前面パネル２３を透過して表示面側に放射されることにより、カラー画像が表示される。
【００２６】
次に、走査電極２４および維持電極２５を形成する方法について図３を用いて説明する。
【００２７】
まず、図３（ａ）に示すように、前面基板４上に、インジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）などからなる透明電極１０を所定のパターン形状に形成する。
【００２８】
次に、図３（ｂ）に示すように、黒色顔料を含む感光性導電性ペーストを、透明電極１０を覆うように前面基板４上に塗布して乾燥させることにより、第１のペースト層（第１の感光性組成物層）２８を形成する。この第１のペースト層２８は第１の電極層２６になる層である。ここで用いる黒色顔料を含む感光性導電性ペーストは、黒色顔料、感光性樹脂成分および無機バインダーを含み、黒色顔料として例えば、酸化ルテニウムやルテニウム複合酸化物のような導電性材料を用いることができる。導電性のない黒色顔料を用いる場合には、さらにＡｇなどの導電性材料を含ませればよい。また、無機バインダーとして例えばガラスフリットを使用することができる。なお、黒色顔料を含む感光性導電性ペーストのかわりに、感光性シートを用いてもよい。
【００２９】
続いて、図３（ｃ）に示すように、幅がａ（例えば１００μｍ）であるストライプ状の開口部を有するマスク２９を用いて第１のペースト層２８を紫外線で露光する。紫外線で露光された部分を符号２８ａで示している。
【００３０】
その後、図３（ｄ）に示すように、感光性導電性ペーストを、第１のペースト層２８上に塗布して乾燥させることにより、第２のペースト層（第２の感光性組成物層）３０を形成する。この第２のペースト層３０は第２の電極層２７になる層である。ここで用いる感光性導電性ペーストは、例えば、Ａｇなどの導電性材料、感光性樹脂成分および無機バインダーを含むものである。無機バインダーとして例えばガラスフリットを使用することができる。なお、感光性導電性ペーストのかわりに、感光性シートを用いてもよい。
【００３１】
続いて、図３（ｅ）に示すように、幅がｂ（例えば８０μｍ）であるストライプ状の開口部を有するマスク３１を用いて第２のペースト層３０を紫外線で露光する。マスク３１は、その開口部が第１のペースト層２８の露光された部分２８ａ上の範囲内に位置するように配置される。第２のペースト層３０の紫外線で露光された部分を符号３０ａで示している。なお、マスク３１の開口部の幅ｂは、マスク２９の開口部の幅ａよりも狭くなっている。
【００３２】
次に、図３（ｆ）に示すように、現像液を用いて現像することにより未露光部分を除去する。その後、焼成することにより、透明電極１０上に第１の電極層２６および第２の電極層２７が積層して形成される。
【００３３】
上記のように、本実施の形態では、第１のペースト層２８と第２のペースト層３０とを一括して露光するのではなく、別々に露光するとともに、第２のペースト層３０を露光するときに使用するマスク３１の開口部の幅ｂを、第１のペースト層２８を露光するときに使用するマスク２９の開口部の幅ａよりも狭くしている。このため、現像によって未露光部を除去したときの第１のペースト層２８および第２のペースト層３０の形状が、図８に示したのと同様の形状、すなわち、第１のペースト層２８が第２のペースト層３０に比べて幅が狭い形状となることを防ぐことができるので、第２の電極層２７にエッジカールが形成されることを抑制することができる。
【００３４】
さらに、マスク３１の開口部の幅ｂは、マスク２９の開口部の幅ａよりも１０μｍ以上狭いことが好ましい。すなわち、マスク２９およびマスク３１をそれぞれ所定の位置に位置合わせしているが、この位置合わせを行う際に多少なりとも位置ずれが発生する。例えば、マスク２９の開口部の幅ａとマスク３１の開口部の幅ｂとの差がごくわずかであって、図３（ｃ）で示す工程において、マスク２９が所定の位置よりも右側にずれて位置合わせされた状態で露光され、さらに、図３（ｅ）で示す工程において、マスク３１が所定の位置よりも左側にずれて位置合わせされた状態で露光された場合、現像後の形状が図４に示すようになることがある。すなわち、第２のペースト層３０の所定部分を露光する際、その所定部分の下に位置する第１のペースト層２８も同時に露光されるものの架橋が不十分となり、現像するときに、第２のペースト層３０よりも第１のペースト層２８の侵食が進むことよるものである。図４のような状態で焼成すると、第２のペースト層３０の左側の部分で大きなエッジカールが発生することになる。このようなマスク２９、３１の位置合わせの精度を考慮すると、マスク３１の開口部の幅ｂを、マスク２９の開口部の幅ａよりも１０μｍ以上狭く設定することにより、第２の電極層２７にエッジカールが発生することを抑制することができる。
【００３５】
以上のように本実施の形態では、第１のペースト層２８および第２のペースト層３０を現像した後の形状は、下層である第１のペースト層２８が上層である第２のペースト層３０よりも幅広なテーパー形状となり、焼成後にエッジカールが発生することを抑制できる。このため、パネルを作製してそのパネルで画像表示を行うとき、誘電体層８の絶縁破壊が発生しやすくなることがなく、また、表示面側から見たとき略白色の第２の電極層２７は黒色の第１の電極層２６によって隠れてしまうので、第２の電極層２７による外光反射が抑制される。
【００３６】
なお、上記実施の形態では、透明電極１０上に第１の電極層２６および第２の電極層２７を形成した場合について説明したが、透明電極１０が無く、基板上に第１の電極層２６および第２の電極層２７を順次形成することにより電極を形成したＰＤＰについても、本発明を適用することにより同様の効果を得ることができる。また、上記実施の形態のような第１の電極層２６が反射抑制層である場合に限られることなく、第１の電極層およびその上に形成された第２の電極層を有する電極が基板上に形成されたＰＤＰにおいて、第１の電極層および第２の電極層を形成する際に本発明を適用することにより、エッジカールの発生を抑制することができる。
【００３７】
また、上記の説明で用いた「黒色」という用語は、必ずしも濃淡の全くない黒に限定されるものではなく、白色の背景に対して視覚的にコントラストを示すような黒い色または暗色も含むものである。
【００３８】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、積層して形成された層を有する電極にエッジカールが発生することを抑制することができ、優れた品質を有するプラズマディスプレイパネルを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態によるプラズマディスプレイパネルの一部を示す断面図
【図２】同プラズマディスプレイパネルの電極配列を示す概略図
【図３】（ａ）〜（ｆ）は同プラズマディスプレイパネルの製造方法を説明するための断面図
【図４】マスクの位置がずれたときの現像後の状態を表す断面図
【図５】従来のプラズマディスプレイパネルの一部を示す斜視図
【図６】（ａ）〜（ｃ）は従来のプラズマディスプレイパネルの製造方法を説明するための断面図
【図７】同製造方法によって形成された電極の断面図
【図８】同製造方法において現像した後の状態を表す断面図
【符号の説明】
４  前面基板
１０  透明電極
２６  第１の電極層
２７  第２の電極層
２８  第１のペースト層（第１の感光性組成物層）
２９  マスク
３０  第２のペースト層（第２の感光性組成物層）
３１  マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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