(57)【要約】【課題】  小型且つ低コストとしつつ小さな加速度が検出可能な慣性センサを得る。【解決手段】  蓋材１２Ｂに弾性変形し得るゴム材１６の基端側が連結されて、ケース１２Ａ内にこのゴム材１６が配置される。ゴム材１６の先端側に直方体状に形成された重り１８が接着され、重り１８がゴム材１６の弾性変形に伴って変位可能となる。磁場を生じさせる磁場発生部材２０が、重り１８の端面１８Ａに塗布されることで配置される。パッケージ２４がケース１２Ａの他端に固定されることで、磁場発生部材２０と対向した位置に、磁場発生部材２０の磁束方向の変化を検出し得るスピンバルブ型ＧＭＲ素子２２の感応部２２Ａが配置される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
重りが一端側に取り付けられた弾性体と、
この弾性体の他端側が連結されることで重りを内部に配置した筐体と、
重りの表面に配置され且つ、磁極の存在に伴って周囲に磁場を生じさせる磁場発生部材と、
磁場発生部材と対向した形で筐体に配置された磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする慣性センサ。
【請求項２】
重りに塗布された形の磁場発生部材が重りの表面に配置されることを特徴とする請求項１記載の慣性センサ。
【請求項３】
磁場発生部材が薄膜として重りの表面に配置されることを特徴とする請求項１記載の慣性センサ。
【請求項４】
重りが非磁性体材料により形成されることを特徴とする請求項１から請求項３の何れかに記載の慣性センサ。
【請求項５】
筐体の外側或いは内側に、磁気を遮断する磁気シールド部材を配置したことを特徴とする請求項１から請求項４の何れかに記載の慣性センサ。
【請求項６】
磁化方向感応素子が、スピンバルブ型ＧＭＲ素子の感応部とされたことを特徴とする請求項１記載の慣性センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、小型且つ低コストとしつつ小さな加速度を検出可能な慣性センサに関し、特に携帯電話やノート型パーソナルコンピュータ等の携帯用機器に好適なものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば携帯電話やノート型パーソナルコンピュータ等の携帯用機器では、ハードディスクドライブ（以下ＨＤＤと言う）が記憶装置として近年内蔵されるようになった。しかし、携帯用機器中のＨＤＤは、携帯用機器が手振れなどで揺動したり、或いは落下した場合等に故障することがあるので、この時の加速度を初期段階で検出し、ＨＤＤの磁気ヘッドの退避や磁気ヘッドに加わる衝撃を打ち消す制御を行なう必要がある。従って、この携帯用機器に加わる加速度を初期段階で検出する為に小さな加速度を検出し得る慣性センサが必要となるが、以下に慣性センサの従来例を具体的に挙げて、背景技術を説明する。
【０００３】
第１の従来例の慣性センサとして、特許文献１に記載されているように角速度が加わるのに伴って、それぞれコイルバネとされる４つの支持部に支持された振動質量がこれら支持部の変形で移動する構造として、この振動質量の変位を駆動電極及び検出電極等で検知するものがあった。
【０００４】
第２の従来例の慣性センサとして、特許文献２に記載されているように加速度が加わるのに伴って、シリコン基板の中央に配置された中央厚肉部が変位する構造とし、この中央厚肉部の変位を電極膜が接点に接触することで、検出するものがあった。
【特許文献１】特開平９−４２９７３号公報
【特許文献２】特開２０００−１０６０７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば、携帯用機器に内蔵されるＨＤＤに慣性センサを取り付けて小さな加速度を検出するには、慣性センサの取り付け空間が余り無い為、２ｍｍ×３ｍｍ×１ｍｍ程度の大きさにまでこの慣性センサを小型化することが要求される。
【０００６】
しかし、第１の従来例では、小型化するのに伴って振動質量が軽量になる為、コイルバネとされる支持部が変形し難くなる結果、この振動質量の変位を確実に検出するのは困難であった。また、支持部が４つ必要なこと等から部品点数が多く製造コストを低減することも困難であった。
【０００７】
さらに、第２の従来例でも、支持部分の剛性が高いので、小型化に伴って中央厚肉部が変位し難くなる結果、電極膜が接点に接触することでこの中央厚肉部の変位を確実に検出するのは困難であった。
【０００８】
つまり、これら第１及び第２の従来例は、小型且つ低コストとしつつ小さな加速度の検出を可能にするには不向きな構造となっていた。
本発明は上記事実を考慮し、小型且つ低コストとしつつ小さな加速度が検出可能な慣性センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１による慣性センサは、重りが一端側に取り付けられた弾性体と、
この弾性体の他端側が連結されることで重りを内部に配置した筐体と、
重りの表面に配置され且つ、磁極の存在に伴って周囲に磁場を生じさせる磁場発生部材と、
磁場発生部材と対向した形で筐体に配置された磁化方向感応素子と、
を有したことを特徴とする。
【００１０】
請求項１に係る慣性センサでは、一端側に重りが取り付けられた弾性体の他端側が筐体に連結されていて、これに伴って筐体の内部にこの重りが配置された構造になっている。また、磁極の存在に伴って周囲に磁場を生じさせる磁場発生部材が、この重りの表面に配置されており、磁化方向感応素子がこの磁場発生部材と対向した形で、筐体に配置された構造にもなっている。
【００１１】
つまり、本請求項では、片持ち状に弾性体が支持されて変形し易い構造になっているので、所定の質量を有する重りに微小な加速度が加わった場合でも、重りの重量との関係で生じることになる力によって、容易に弾性体が弾性変形するのに伴い、重り及びこの重りの表面に配置される磁場発生部材が変位する。また、磁極間を繋ぐ磁束を有するのに伴ってこの磁場発生部材が、その周囲に磁場を生じさせるが、この磁場発生部材と対向して配置された磁化方向感応素子が、これら重り及び磁場発生部材の変位に伴う磁場発生部材の磁束方向の変化を検出できるようになる。
【００１２】
以上より、本請求項によれば、単に、磁場発生部材を表面に有する重り、弾性体、磁化方向感応素子及び筐体のみの簡単な構造の慣性センサにより、磁束方向の変化の形で微小な加速度を検出できるので、慣性センサを小型化できると共に低コストで製作できるだけでなく、この慣性センサにより小さな加速度を検出可能になる。
【００１３】
ここで、慣性センサの小型化を可能とする磁化方向感応素子としてスピンバルブ巨大磁気抵抗素子（以下、スピンバルブ型ＧＭＲ素子という）を用いることが考えられる。つまり、このスピンバルブ型ＧＭＲ素子は、磁気の強弱を検出する他の素子とは違って、微少な磁束方向の角度変化でインピーダンスが変化する素子である。そして、この微少な磁束方向の角度変化によりインピーダンスが変化する特性を応用し、磁場発生部材の磁束方向の変化を捕らえられる位置関係で、このスピンバルブ型ＧＭＲ素子の感応部を適切に配置することにより、磁場発生部材の微少変位をも検出可能となる。
【００１４】
請求項２に係る慣性センサによれば、請求項１の慣性センサと同様の構成の他に、重りに塗布された形の磁場発生部材が重りの表面に配置されるという構成を有している。
従って、本請求項によれば、微小な磁性体を分散した形で含んだバインダを単に塗布して乾燥するだけで、重りの表面に磁場発生部材を配置可能となるので、慣性センサの製造が容易となって慣性センサの製造コストがより低減される結果として、請求項１の作用効果がより確実に達成できるようになる。
【００１５】
請求項３に係る慣性センサによれば、請求項１の慣性センサと同様の構成の他に、磁場発生部材が薄膜として重りの表面に配置されるという構成を有している。従って、本請求項によれば、蒸着やスパッタリング等によって薄膜とされる磁場発生部材を重りの表面に配置したことで、この磁場発生部材を不必要に大きくしなくとも必要な強さの磁場を確保できるようになる。そしてこの結果として、慣性センサの小型化をより一層図ることが可能となるのに伴って、請求項１の作用効果がより確実に達成できるようになる。
【００１６】
請求項４に係る慣性センサによれば、請求項１から請求項３の慣性センサと同様の構成の他に、重りが非磁性体材料により形成されるという構成を有している。従って、マグネット等を形成する材料と性質の異なる非磁性体材料によって重りが形成されたことで、筐体内を外部の磁気から遮断する為に一般に強磁性を有する磁気シールド部材を筐体の外側に配置した場合であっても、重り自身による磁気の影響を受けず、加わる加速度に合わせて弾性体が弾性変形して重りが確実に変位することになる。これに伴って、本請求項によれば、磁場発生部材と磁化方向感応素子との間の相対変位による磁束の向きの変化をより正確に検出可能となる。
【００１７】
請求項５に係る慣性センサによれば、請求項１から請求項４の慣性センサと同様の構成の他に、筐体の外側或いは内側に、磁気を遮断する磁気シールド部材を配置したという構成を有している。従って、磁気シールド部材が筐体の外側或いは内側に配置されたことで、慣性センサが外部の磁気による影響を受け難くなって、請求項４と同様に、磁場発生部材と磁化方向感応素子との間の相対変位による磁束の向きの変化をより正確に検出可能となる。
【００１８】
請求項６に係る慣性センサによれば、請求項１の慣性センサと同様の構成の他に、磁化方向感応素子が、スピンバルブ型ＧＭＲ素子の感応部とされるという構成を有している。従って、本請求項によれば、磁化方向感応素子がスピンバルブ型ＧＭＲ素子の感応部とされたことで、磁場発生部材の変位に伴う磁束方向の変化を確実に検出可能となり、請求項１の作用効果がより確実に達成できるようになる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、小型且つ低コストとしつつ小さな加速度が検出可能な慣性センサが得られることになる。例えば慣性センサの中でも携帯用機器の揺動又は落下を検出する慣性センサは、±１Ｇ程度の小さな加速度を検出しなければならない。つまり、加速度が小さいのに伴って可動部の変位が非常に少ない上、小さな空間内に配置して使用しなければならない為に重りの重量が軽量になるが、本発明によればこれらの問題点を解決することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る慣性センサの一実施の形態を図１から図５に示し、これらの図面に基づきこの一実施の形態を説明する。
本実施の形態に係る慣性センサ１０の外枠部分は、角筒状に形成されたケース１２Ａが構成されており、内部に空間を有したこのケース１２Ａの一端には、板状に形成された蓋材１２Ｂが取り付けられている。そして、これら慣性センサ１０の筐体１２を構成するケース１２Ａ及び蓋材１２Ｂは、それぞれ合成樹脂材により形成されていて、図１に示すように、例えばこの筐体１２の長さ寸法Ｌは約２．３ｍｍとされ、縦寸法Ｗは約１ｍｍとされ、横寸法Ｈは約２．２ｍｍとされている。
【００２１】
さらに、この蓋材１２Ｂには、弾性変形し得る弾性体であるゴム材１６の基端側が連結されて、ケース１２Ａ内にこのゴム材１６が配置されている。このゴム材１６は、例えばＪＩＳ−Ａのゴム硬度を２以下としたシリコンゴム製とされ、大きさを例えば長さ寸法Ｌ１が０．４ｍｍとされ、縦寸法Ｗ１が０．５ｍｍとされ、横寸法Ｈ１が０．４ｍｍとされた直方体状に形成されている。
【００２２】
このゴム材１６の先端側には、黄銅等の非磁性体材料により直方体状に形成された重り１８が接着されている。つまり、蓋材１２Ｂに片持ち状に連結されたゴム材１６の先端側に、周囲をゴム材１６により包まれる形で接着された重り１８が取り付けられていて、このゴム材１６の弾性変形に伴い、図１に示すゴム材１６の長手方向Ｚに対して直交する方向に沿って、この重り１８が変位可能となっている。
【００２３】
また、この重り１８は、大きさを例えば長さ寸法Ｌ２が０．５ｍｍとされ、縦寸法Ｗ２が０．５ｍｍとされ、横寸法Ｈ２が１．０ｍｍとされた直方体状に形成されている。そして、この重り１８の比重は７〜９程度とされると共に上記の寸法との関係から、本実施の形態の重り１８の重量は１ミリグラム程度となる。
【００２４】
この重り１８の一端側の表面となる図１及び図２における下の端面１８Ａには、磁場を生じさせる磁場発生部材２０が、重り１８に塗布されることで配置されている。この一方、磁場発生部材２０から生じる磁束の向きの変化を検出し得る磁化方向感応素子とされるスピンバルブ型ＧＭＲ素子２２の感応部２２Ａが、図３に示すように基板２２Ｂに搭載された形で設けられている。この感応部２２Ａは、基板２２Ｂ上を等間隔でジグザグに延びる形となっていて、一対の端子２２Ｃがこの感応部２２Ａにそれぞれ繋がった構造になっている。
【００２５】
さらに、図１及び図２に示すように、このスピンバルブ型ＧＭＲ素子２２は、合成樹脂製のパッケージ２４内に封入されると共に、基板２２Ｂ上の一対の端子２２Ｃと一対のリードフレーム２６との間が配線２８を介して繋がった形で、これらリードフレーム２６に接続されるような構造とされている。
【００２６】
そして、図１に示すようにこのパッケージ２４がケース１２Ａの他端に取り付けられて固定されることで、この重り１８の下側の端面１８Ａに配置される磁場発生部材２０と空隙を有しつつ対向して、このスピンバルブ型ＧＭＲ素子２２の感応部２２Ａが筐体１２に配置されている。
【００２７】
以上より、感応部２２Ａにそれぞれ繋がる一対の端子２２Ｃが一対のリードフレーム２６を介して外部の図示しない回路に接続されることになり、これに伴い必要な検出データがこれらリードフレーム２６を介して取り出せるようになっている。また、これらパッケージ２４及び筐体１２の外側には、外部の磁気を遮断する為に、例えばアモルファス材或いはパーマロイ材により箱状に形成された磁気シールド部材１４が配置されている。
【００２８】
また、本実施の形態では、微少な磁束方向の角度変化でインピーダンスが変化するスピンバルブ型ＧＭＲ素子２２の感応部２２Ａが磁化方向感応素子とされているが、この感応部２２Ａの特に磁束方向の変化に敏感な方向が、図１（Ｃ）の矢印Ａで示す方向とされている。つまり、加速度の検出が本来必要な２軸である相互に直交するＸ軸方向及びＹ軸方向それぞれに対して４５°の角度で傾くように、磁束方向の変化に敏感な方向が向く形で感応部２２Ａは配置されている。
【００２９】
尚、図３に示すスピンバルブ型ＧＭＲ素子２２の感応部２２Ａは、図４（Ａ）に示すように、磁化方向が固定されている強磁性体のピン層３１、非磁性体の中間層３２及び、磁化方向がその面内で自由に変化する強磁性体のフリー層３３が、積層されて形成されている。
【００３０】
そして、このフリー層３３の磁化方向Ｅは外部の磁化方向に合わせて変化するようになっていて、図４（Ｂ）に示すようにピン層３１の磁化方向Ｄに対してフリー層３３の磁化方向Ｅが逆向きとなるようにフリー層３３の面内で変化した場合には、抵抗が最大となり、また、図４（Ｃ）に示すようにピン層３１の磁化方向Ｄに対してフリー層３３の磁化方向Ｅが一致するようにフリー層３３の面内で変化した場合には、抵抗が最小となる。このことから、スピンバルブ型ＧＭＲ素子２２の感応部２２Ａが、周囲の磁化方向の変化を検出できるようになる。
【００３１】
他方、この慣性センサ１０を組み立てる際には、予めスピンバルブ型ＧＭＲ素子２２を作製して図２に示すようにパッケージ２４内に封入する。この一方、重り１８、蓋材１２Ｂ及びケース１２Ａ等を形成し、さらに磁性体を含んだバインダをこの重り１８に塗布することで、磁場発生部材２０を重り１８の表面に配置することにする。次に、図示しない成形金型内にこれらの内の磁場発生部材２０を有した重り１８及び蓋材１２Ｂを入れて、一体成形によって重り１８と蓋材１２Ｂとの間に配置する形で、図２に示すゴム材１６を形成する。
【００３２】
最後に、このようにゴム材１６及び重り１８が取り付けられた蓋材１２Ｂをケース１２Ａの一端に取り付けると共に、スピンバルブ型ＧＭＲ素子２２が内蔵されたパッケージ２４をケース１２Ａの他端に取り付けることで、図１に示すように慣性センサ１０が完成する。
【００３３】
次に、本実施の形態に係る慣性センサ１０の作用を説明する。
本実施の形態に係る慣性センサ１０では、小さな加速度でも弾性変形し得るようにＪＩＳ−Ａのゴム硬度を２以下とした物性を有するゴム材１６が用いられており、一端側に重り１８が取り付けられたこのゴム材１６の他端側が、筐体１２の一部を構成する蓋材１２Ｂに連結されていて、これに伴って筐体１２内にこの重り１８が配置された構造になっている。
【００３４】
さらに、本実施の形態では、磁極Ｎ，Ｓの存在に伴って周囲に磁場を生じさせる磁場発生部材２０が、この重り１８の表面に塗布されて配置されることで、この磁場発生部材２０が筐体１２に内蔵されている。また、一端側に蓋材１２Ｂが取り付けられたケース１２Ａの他端側に、スピンバルブ型ＧＭＲ素子２２が内蔵されたパッケージ２４がはめ込まれて取り付けられることで、このスピンバルブ型ＧＭＲ素子２２の感応部２２Ａが、磁場発生部材２０と空隙を有しつつ対向した形で、筐体１２に配置されている。
【００３５】
つまり、本実施の形態では、片持ち状にゴム材１６が支持されて変形し易い構造になっているので、所定の質量を有する重り１８に微小な加速度が加わった場合でも、重り１８の重量との関係で生じることになる力によって、容易にゴム材１６が弾性変形するようになる。そしてこれに伴い、重り１８及びこの重り１８の表面に配置される磁場発生部材２０が、ゴム材１６の長手方向Ｚに対して直交する方向である図１（Ｃ）においてＸ軸方向及びＹ軸方向に変位する。
【００３６】
この結果として、その周囲に磁場を生じさせるこの磁場発生部材２０と空隙を有しつつ対向して配置されたスピンバルブ型ＧＭＲ素子２２の感応部２２Ａが、これら重り１８及び磁場発生部材２０のＸ、Ｙ軸方向への変位に伴う磁場発生部材２０の磁束方向の変化を検出できるようになる。
【００３７】
以上より、本実施の形態によれば、単に、磁場発生部材２０を表面に有する小型の重り１８、ゴム材１６、スピンバルブ型ＧＭＲ素子２２及び筐体１２のみの簡単な構造の慣性センサ１０により、それぞれ磁束方向の変化の形でＸ軸方向及びＹ軸方向の微小な加速度を検出できるようになる。この為、慣性センサ１０を小型化できると共に低コストで製作できるだけでなく、この慣性センサ１０によって小さな加速度を２軸方向に沿って検出可能になる。
【００３８】
一方、本実施の形態では、重り１８に磁場発生部材２０が塗布されることで、重り１８の表面にこの磁場発生部材２０が配置された構造になっている。つまり、微小な磁性体を分散した形で含んだバインダを単に塗布して配向乾燥するだけで、磁場発生部材２０を重り１８の表面に配置可能となるので、本実施の形態によれば、慣性センサ１０の製造が容易となって慣性センサ１０の製造コストがより低減されるようになる。
【００３９】
また、本実施の形態では、磁気を遮断する磁気シールド部材１４が筐体１２の外側に配置されているだけでなく、非磁性体材料により重り１８が形成された構造になっている。従って、磁気シールド部材１４が筐体１２の外側に配置された結果として、慣性センサ１０が外部の磁気による影響を受け難くなって、磁場発生部材２０と感応部２２Ａとの間の相対変位による磁束の向きの変化をより正確に検出可能になる。
【００４０】
さらに、マグネット等の強磁性体と性質の異なる非磁性体材料によって重り１８が形成されたことで、上記のように一般に強磁性を有する磁気シールド部材１４を筐体１２の外側に配置した場合であっても、重り１８自身による磁気の影響を受けず、加わる加速度に合わせてゴム材１６が弾性変形して重り１８が確実に変位することになる。
【００４１】
他方、上記実施の形態では、弾性体をシリコンゴム製のゴム材１６としたが、具体的にはポッティング用液状シリコンゴムの内のＪＩＳ−Ａのゴム硬度を２以下としたＴＳＥ３２５４（東芝シリコン社製）や、shore Ｃ硬度１１程度のＹＥ５６２３（東芝シリコン社製）が考えられる。この一方、弾性体をポリウレタン樹脂とし、このポリウレタン樹脂の内のＪＩＳ−Ａのゴム硬度が２以下に相当するshore Ｃの硬度が２７のエイムフレックスＨ−７７６７（第一工業製薬社製）を採用しても良い。さらに、弾性体は、シリコンゴム以外のゴム材や、ポリウレタン樹脂以外の樹脂材料であっても良く、またゲル状のゴム材や樹脂材料であっても良い。
【００４２】
次に、上記実施の形態の慣性センサ１０の構造で、弾性体としてエイムフレックスＨ−７７６７のポリウレタン樹脂を採用した場合と、弾性体としてポッティング用液状シリコンゴムの内のＴＳＥ３２５４を採用した場合とに関し、加速度と出力特性との関係を比較した試験結果を図５のグラフに基づき説明する。
【００４３】
つまり、この図５に示すグラフよりＨ−７７６７及びＴＳＥ３２５４は、１Ｇ以下の微小な加速度であっても、スピンバルブ型ＧＭＲ素子２２の感応部２２Ａが加速度を検出してそれぞれ出力の変化が得られるが、特にＨ−７７６７の出力の変化が大きいことが理解できる。尚、この図５に示すグラフにおいて、横軸は加速度であり、縦軸は出力電圧の最大幅の値であり、また加速度の周波数は２Ｈｚとした。
【００４４】
この一方、上記実施の形態のように磁場発生部材２０を重り１８に塗布する替わりに、蒸着やスパッタリング等によって薄膜とされる磁場発生部材２０を重り１８の表面に配置する構造にしても良い。このように、蒸着やスパッタリング等によって薄膜とした磁場発生部材２０を重り１８の表面に配置することにより、この磁場発生部材２０を不必要に大きくしなくとも必要な強さの磁場を確保できるようになる。つまりこの結果として、慣性センサ１０の小型化をより一層図ることが可能となる。
【００４５】
さらに、上記実施の形態と異なって、磁場発生部材２０が塗布されたテープ或いは、薄膜とされる磁場発生部材２０を有したテープを、接着剤等により重り１８に貼り付けることで、磁場発生部材２０を重り１８の表面に配置する構造にしても良い。
【００４６】
また、上記実施の形態では、筐体１２の外側に磁気シールド部材１４を配置した構造としたが、筐体１２の内側にこの磁気シールド部材１４を配置しても上記実施の形態と同様の作用効果が得られるので、筐体１２の内側にこの磁気シールド部材１４を配置した構造としても良い。
【００４７】
尚、上記実施の形態においては、一体成形によって弾性体が重りと蓋材との間に形成されているが、磁化方向感応素子をケースと一体成形するような構造として、構造を一層簡素化して慣性センサの製造コストを低減するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の一実施の形態に係る慣性センサを示す図であって、（Ａ）は正面から見た断面図であり、（Ｂ）は側面から見た断面図であり、（Ｃ）は（Ａ）の１Ｃ−１Ｃ矢視線断面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る慣性センサを示す分解断面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に適用されるスピンバルブ型ＧＭＲ素子を示す平面図である。
【図４】本発明の一実施の形態に適用されるスピンバルブ型ＧＭＲ素子の感応部の構造を示す説明図であって、（Ａ）は積層構造を示す説明図であり、（Ｂ）はピン層の磁化方向に対してフリー層の磁化方向が逆向きとされた状態を示す説明図であり、（Ｃ）はピン層の磁化方向に対してフリー層の磁化方向が一致する状態を示す説明図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係る慣性センサの構造で弾性体の材質を変えて試験した結果を表すグラフを示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１０    慣性センサ
１２    筐体
１２Ａ  ケース
１２Ｂ  蓋材
１４    磁気シールド部材
１６    ゴム材（弾性体）
１８    重り
２０    磁場発生部材
２２    スピンバルブ型ＧＭＲ素子
２２Ａ  感応部（磁化方向感応素子）
【図１】
2005201699.tif 000003
【図２】
2005201699.tif 000004
【図３】
2005201699.tif 000005
【図４】
2005201699.tif 000006
【図５】
2005201699.tif 000007