(57)【要約】【課題】  異物検査の解析精度を向上させることのできる異物検査装置及び方法を提供すること。【解決手段】  検査対象物Ｗの画像を取得する画像センサ３２と、その画像が表示される表示部３８と、その画像の画像データに基づいて音の大きさ信号が作成される処理部４３と、スピーカ４４と、このスピーカ４４に音を出力させるための信号を供給する発振器４１と、前記処理部４３にて得られる音の大きさ信号に基づいて前記発振器４１からの信号の増幅率が調整されるアンプ４２とを備える。【選択図】        図２
2005140520.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物の画像を取得する画像センサと、
前記画像が表示される表示部と、
前記画像の画像データに基づいて音の大きさ信号が作成される処理部と、
前記音の大きさ信号に基づいた音が出力されるスピーカと、
を備えることを特徴とする異物検査装置。
【請求項２】
前記スピーカは複数個配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の異物検査装置。
【請求項３】
前記スピーカは一定周波数の音を出力し、かつ少なくとも２個のスピーカの間で前記周波数を異ならせる
ことを特徴とする請求項２に記載の異物検査装置。
【請求項４】
前記表示部の画面は複数領域に区分けされ、各領域に個々の前記スピーカが対応付けられ、前記スピーカはそれぞれ対応付けられた前記領域内の画像に応じた音を出力する
ことを特徴とする請求項２に記載の異物検査装置。
【請求項５】
前記処理部で得られる前記音の大きさ信号の入力を受け、前記領域に応じて前記音の大きさ信号を増減して前記領域に対応付けられた前記スピーカに出力するフィルタを備える
ことを特徴とする請求項４に記載の異物検査装置。
【請求項６】
検査対象物の画像を取得する工程と、
前記画像を表示部に表示させる工程と、
前記画像の画像データに基づいて音の大きさ信号を作成する工程と、
前記音の大きさ信号に基づいた音をスピーカから出力させる工程と、
を有することを特徴とする異物検査方法。
【請求項７】
前記音の大きさ信号を前記画像データの種類に応じて複数種類作成し、それぞれの音の大きさ信号に基づいた音を複数個のスピーカから出力させる
ことを特徴とする請求項６に記載の異物検査方法。
【請求項８】
少なくとも２個の前記スピーカの間で周波数を異ならせて、一定周波数の音を前記スピーカから出力させる
ことを特徴とする請求項７に記載の異物検査方法。
【請求項９】
前記表示部の画面を複数領域に区分けし、各領域に個々の前記スピーカを対応付け、前記スピーカからそれぞれ対応付けられた前記領域内の画像に応じた音を出力させる
ことを特徴とする請求項７に記載の異物検査方法。
【請求項１０】
前記音の大きさ信号を、前記領域に応じて前記音の大きさ信号を増減するフィルタを通してから、前記領域に対応付けられた前記スピーカに出力する
ことを特徴とする請求項９に記載の異物検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば半導体ウェーハなどの検査対象物に見つかった異物の画像を表示部に表示して観測者に視認させるようにした異物検査装置及び方法に関し、更に、表示部での画像表示に加えて、異物画像に応じた音をスピーカから出力するようにもした異物検査装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体装置の製造工程において、一連のウェーハ状態でのプロセスの過程でウェーハ表面の欠陥検査が随時行われる。この検査には、ウェーハの被検査領域の表面に光を照射して表面の拡大画像を出力する光学的検査装置が多く用いられている。例えば特許文献１参照。
【特許文献１】特開２００１−７７１６４号公報
【０００３】
観測者は表示部に表示された拡大画像を目視にて観察し、予め設定された基準に基づき製品不良に直結する重大欠陥か軽欠陥かを判断したり、欠陥を欠陥種別に分類する作業などを行う。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記作業は、欠陥の大きさ、色、形、ウェーハ上の位置等の状態を観測者の目によって観察して行うものであり、観測者が欠陥画像からどれだけの情報を読み取るかが重要となる作業である。
【０００５】
このように、欠陥解析において観測者へ視覚で与える情報は重要であるため、色階調が高く解像度の良い高精細モニタが表示部として用いられている。しかし、それを見る観測者自身に、例えば長時間作業等による体調変化によって、判断基準のブレが生じやすく、それが検査精度の低下をきたすことがあった。
【０００６】
本発明は上述の問題に鑑みてなされ、その目的とするところは、観測者の目視観測の負担を軽減して、検査精度を向上させることのできる異物検査装置及び方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の異物検査装置は、検査対象物の画像を取得する画像センサと、その画像が表示される表示部と、その画像の画像データに基づいて音の大きさ信号が作成される処理部と、その音の大きさ信号に基づいた音が出力されるスピーカとを備えることを特徴としている。
【０００８】
また、本発明の異物検査方法は、検査対象物の画像を取得する工程と、その画像を表示部に表示させる工程と、その画像の画像データに基づいて音の大きさ信号を作成する工程と、その音の大きさ信号に基づいた音をスピーカから出力させる工程とを有することを特徴としている。
【０００９】
上記表示部に表示された画像は、その画像の画像データ（各画素の位置座標や濃度値など）を基に、音の大きさの経時変化で示される音の大きさ信号に変換され、この信号に基づいて音の大きさが経時変化する音がスピーカから出力される。
【００１０】
これにより、観測者は表示部画面上に表示された画像の視覚情報に加えて、スピーカからの音出力による聴覚情報によっても画像を認識できるようになる。この結果、異物のあるなし、異物の種類ごとの分類、異物が致命的な欠陥かどうかといった判断に際しての検査精度及び検査効率を向上させることができる。
【００１１】
また、画像データの大きさや濃さなどの種類ごとに対応付けて複数のスピーカを配置すれば、例えば前方のスピーカから聞こえる音と、後方のスピーカから聞こえる音を聞き分けることで、表示部に表示された異物画像の大きさと濃さに関する音情報を識別可能になる。
【００１２】
複数のスピーカは、観測者の周囲に配置してもよいし、観測者の耳を囲むように複数のスピーカを内蔵したサラウンドヘッドホンを観測者が装着するようにしてもよい。
【００１３】
また、スピーカを複数配置した場合に、各スピーカから一定周波数の音を出力、かつ少なくとも２個のスピーカの間で周波数を異ならせるようにすれば、異なる周波数の音を出力するスピーカ間でその音に高低の差がついて、異物の大きさを表す音なのか、濃さを表す音なのかの聞き分けが容易に行える。
【００１４】
また、表示部の画面は複数領域に区分けされ、各領域に個々のスピーカが対応付けられ、スピーカはそれぞれ対応付けられた領域内の画像に応じた音を出力するようにすれば、例えば左方のスピーカから聞こえる音は表示部画面上における左半分の領域に存在する異物に関する音情報であると認識でき、また右方のスピーカから聞こえる音は表示部画面上における右半分の領域に存在する異物に関する音情報であると認識できる。
【００１５】
この結果、異物の表示部画面上における位置や広がり、濃い部分の位置や広がりなどを、画面からの視覚情報に加えて、音からも容易に認識できる。
【００１６】
例えば、画面を複数領域に区分けし、各領域ごとに音の大きさ信号を作成し、それを各領域に対応付けられたスピーカから出力する構成が考えられる。
【００１７】
あるいは、各領域ごとに音の大きさ信号を作成せずに、画面全体での音の大きさ信号を作成した後、それを各領域に応じて音の大きさ信号を増減するフィルタを通して、各領域に対応付けられたスピーカに出力するようにすれば、間単な構成とすることができる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の異物検査装置によれば、表示部における画像表示に加えて、その画像の大きさや濃さ、色などに応じた音を出力するスピーカを設けたので、観測者に視覚情報だけでなく聴覚情報をも与えることができ、この結果、観測者の判断のブレによる検査精度や検査効率の低下を防止できる。
また、本発明の異物検査方法によれば、表示部における画像表示に加えて、スピーカからその画像の大きさや濃さ、色などに応じた音を出力するので、観測者は視覚情報だけでなく聴覚情報も利用することができ、この結果、観測者の判断のブレによる検査精度や検査効率の低下を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
［第１の実施形態］
図１は、本実施形態に係る異物検査装置において、検査対象物の画像を取得し、その画像に基づいて異物があればそれを自動的に検出し、それを表示部３８に拡大表示する機能に係る構成の概略図を示す。図２は、異物画像の画像データに基づいた音を出力する機能に係る構成を示す。
【００２０】
図１及び図２に示した※印は図１と図２との間における信号線の接続箇所を示す。すなわち、図１に示すイメージコンピュータ３６と、図２に示す処理部４３とが接続され、イメージコンピュータ３６の出力が処理部４３に入力されるようになっている。
【００２１】
先ず、図１の構成について説明する。
【００２２】
本実施形態では、検査対象物Ｗとして例えば半導体ウェーハを例にして説明する。検査対象物Ｗは、載台１８に例えば真空チャックあるいは圧電チャック方式にて保持されている。
【００２３】
載台１８はＸステージ１９上に装着されている。Ｘステージ１９はＹステージ２０上に配設されている。Ｘステージ１９はＹステージ２０上をＸ方向に移動自在となっている。Ｙステージ２０は上記Ｘ方向と直交するＹ方向に移動自在となっている。また、これらＸ、Ｙステージ１９、２０には、システムコンピュータ３５からサーボアンプ２１を介して制御信号が送られる。
【００２４】
検査対象物Ｗの被検査領域に光を照射するための光源としてメインランプ１１が設けられ、このメインランプ１１と検査対象物Ｗとの間の光路を構成する光学部品として、ホモジナイザー１２、カラーフィルター１３、ビームスプリッタ１４、ミラー１５、対物レンズ１７ａ、１７ｂを備えたタレット１６が配設されている。
【００２５】
また、オートフォーカス用の部品として、オートフォーカス用発光ダイオード２５、ビームスプリッタ２５、２２、２６、オートフォーカスフォーカスセンサ２８、オートフォーカスノーマルセンサ２７、オートフォーカスソースセンサ２３が配設されている。
【００２６】
検査対象物Ｗからの戻り光を検出するために、倍率レンズ３０ａ、３０ｂを備えたタレット２９、ズームレンズ３１、画像センサ（例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ）３２、同じく画像センサであるＴＤＩ（Time Delayed Integration）センサ３３が配設されている。
【００２７】
これら画像センサ３２、３３の出力はイメージコンピュータ３６に入力される。イメージコンピュータ３６は、主に画像処理に係る制御処理を行い、システムコンピュータ３５はシステム全体の制御処理を行う。システムコンピュータ３５は、上記各構成の各部コントロールアンプ３９、イメージコンピュータ３６、コントロール表示部３７と、信号線を介して接続されている。
【００２８】
イメージコンピュータ３６は、信号線を介して表示部３８と接続されている。この表示部３８は、例えばブラウン管表示部である。
【００２９】
次に、図２を参照して、上記図１のシステムで得られる画像に応じた音を出力する機能に係る構成について説明する。
【００３０】
上記イメージコンピュータ３６は、処理部４３と接続され、この処理部４３は（スピーカ）アンプ４２と接続されている。アンプ４２の入力側には発振器４１が接続され、アンプ４２の出力側にはスピーカ４４が接続されている。
【００３１】
発振器４１からは音信号が出力され、その音信号はアンプ４２にてゲイン調整されてスピーカ４４に入力され、スピーカ４４の振動板（例えばコーン紙）が震わされて音を出力する。
【００３２】
処理部４３は、後述するように、イメージコンピュータ３６から送られる画像データに基づいて、音の大きさ信号を作成する。
【００３３】
次に、以上のように構成される異物検査装置を用いた異物検査方法について説明する。
【００３４】
先ず、図示しない搬送機構により、検査対象物Ｗが載台１８上に搬送される。そして、載台１８が回転して、検査対象物Ｗのオリフラ／ノッチのアライメントが行われる。このアライメントは、載台１８のコントロールアンプと位置センサ（図示せず）を用いて行われる。
【００３５】
オートフォーカス用発光ダイオード２５からの光は、ビームスプリッタ２４で振り分けられて各センサ２７、２８、２３に入光すると同時に検査対象物Ｗにも照射される。検査対象物Ｗに照射されたオートフォーカス用発光ダイオード２５からの光は検査対象物Ｗ表面で反射し、各センサ２７、２８、２３に入光する。
【００３６】
各センサ２７、２８、２３の信号はオートフォーカスコントローラ（図示せず）で演算されてタレット１６またはステージ上下用アンプに出力されてオートフォーカスされる。
【００３７】
メインランプ１１からの光はホモジナイザー１２と呼ばれる光の方向を整える機構を経由した後、カラーフィルター１３やミラー１５、対物レンズ１７ａあるいは１７ｂなどを経由し、検査対象物Ｗ表面に照射される。
【００３８】
検査対象物Ｗに照射されたメインランプ１１からの光は検査対象物Ｗ表面で反射し、各種レンズ３０ａ、３１やビームスプリッタ１４、２２などを経由し、画像センサ３２、３３に入光する。
【００３９】
画像センサ３２、３３からの信号はイメージコンピュータ３６で画像処理され、システムコンピュータ３５に送られる。
【００４０】
システムコンピュータ３５はイメージコンピュータ３６から送られた画像信号をもとに、ＸＹステージ用のサーボアンプ２１に出力し、載台１８を動かして検査対象物Ｗの位置決め（アライメント）を行う。
【００４１】
更に、システムコンピュータ３５の制御により、載台１８を動かして、検査対象物Ｗにおける検査したい領域や、その領域と比較する領域に、メインランプ１１からの照射光を合わせる。検査したい領域と、それと比較する領域としては、例えば隣り合う同一パターンが選択される。
【００４２】
イメージコンピュータ３６は、比較するそれぞれの領域のＴＤＩセンサ３３からの画像をメモリし、それぞれのメモリされたデータを比較演算する。比較した結果の相違点がパターンの相違点、すなわち異物である。イメージコンピュータ３６この異物データをシステムコンピュータ３５に送る。
【００４３】
システムコンピュータ３５は異物のあったＸＹステージ位置やイメージコンピュータ３６からのデータを関連づけて測定データとして保存する。
【００４４】
システムコンピュータ３５に保存された測定データを利用し、載台１８を移動させて、その際の画像センサ３２からの画像をイメージコンピュータ３６経由にて、表示部３８に表示する。
【００４５】
図５は、表示部３８の画面３８ａ上に表示された異物画像の一例を示す。この例では、大きさ及び濃さの異なる２つの異物５１、５２が表示されている。例えば、より色が濃く大きさの小さい異物（液シミや結晶欠陥など）５１を核にして、これより大きく濃さが薄い異物５２が成長して広がって形成された異物を示す。
【００４６】
これら異物５１、５２の画像データ（各画素の位置座標や濃度値など）を基に、図２に示す上記処理部４３は、図６に示すような、異物の大きさに応じて音の大きさが変わる音の大きさ信号を演算する。
【００４７】
図６において横軸は、図５に示される表示部画面３８ａにおけるＸ方向の走査方向に対応する時間軸を示す。
【００４８】
縦軸は、異物５１、５２のＹ方向寸法に対応した音の大きさを示す。実際には、異物５１は異物５２の広がり範囲内に存在するので、上記縦軸は異物５２のＹ方向寸法に対応する。したがって、Ｘ方向に見て異物５２の中央部が最もＹ方向寸法が大きいので、その中央部に対応する時間軸上の位置で最も大きな振幅の音の大きさ信号となっている。
【００４９】
そして、図２に示される発振器４１からは一定周波数の信号が出力され、その信号はアンプ４２に入力されるが、そのアンプ４２での増幅率（ゲイン）が図６に示す音の大きさ信号に基づいて決定され、スピーカ４４からは図６に示される経時変化で音の大きさが変化する一定周波数の音が出力される。
【００５０】
これにより、観測者は表示部画面３８ａ上に表示された異物画像の視覚情報に加えて、スピーカ４４からの音出力による聴覚情報によっても異物の大きさを認識できるようになる。この結果、異物の種類ごとの分類、あるいは異物が致命的な欠陥かどうかといった判断に際しての精度を向上させることができる。
【００５１】
［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。なお、上記第１の実施形態と共通な構成部分は同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００５２】
本実施形態では、図３に示すように、観測者５０の前後にそれぞれ１個ずつの計２個のスピーカ４４Ｆ、４４Ｒを配置している。前方に配置されたスピーカ４４Ｆは、同じく前方に配置された表示部３８の画面の視認を妨げないように画面と重ならない位置、例えば表示部３８の上方、下方、左右の側方に配置されている。
【００５３】
本実施形態では、前方に配置されたスピーカ４４Ｆ（放音面を観測者５０に向けている）からは、上述した図６に示される経時変化で音の大きさが変化する一定周波数の音が出力される。すなわち、異物の大きさに応じた音が出力される。
【００５４】
更に、後方に配置されたスピーカ４４Ｒ（放音面を観測者５０に向けている）からは、図７に示される経時変化で音の大きさが変化する一定周波数の音が出力される。
【００５５】
図７に示す音の大きさ信号は、異物５１、５２の画像データ（各画素の位置座標や濃度値など）を基に、異物の濃さに応じて音の大きさが変わる音の大きさ信号として上記処理部４３によって演算されて得られる。
【００５６】
図７において横軸は、図５に示される表示部画面３８ａにおけるＸ方向の走査方向に対応する時間軸を示す。縦軸は、異物５１、５２のＹ方向上の各画素のうちで、例えば最も濃度値の大きい画素の濃度値に対応した音の大きさを示す。したがって、異物５２よりも濃い異物５１が存在するＸ方向上の位置で（時間軸上で）、最も大きな振幅の音の大きさ信号となっている。
【００５７】
そして、スピーカ４４Ｒに音信号を供給する発振器４１からは一定周波数の信号が出力され、その信号はアンプ４２に入力されるが、そのアンプ４２での増幅率（ゲイン）が図７に示す音の大きさ信号に基づいて決定され、スピーカ４４Ｒからは図７に示される経時変化で音の大きさが変化する一定周波数の音が出力される。
【００５８】
これにより、観測者は表示部画面３８ａ上に表示された異物画像の視覚情報に加えて、スピーカ４４Ｒからの音出力による聴覚情報によっても異物の濃さ認識できるようになる。
【００５９】
以上のことにより、前方のスピーカ４４Ｆから聞こえる音と、後方のスピーカ４４Ｒから聞こえる音を聞き分けることで、異物の大きさと濃さに関する音情報を識別可能になる。この結果、各スピーカ４４Ｆ、Ｒからの音情報に関しても、画面３８ａからの視覚情報と同じように、異物の大きさ判断、濃さの判断が可能になり、異物の種類ごとの分類、あるいは異物が致命的な欠陥かどうかといった判断に際しての精度をよりいっそう向上させることができる。
【００６０】
更に、上記それぞれのスピーカ４４Ｆ、４４Ｒから出力される音の一定の周波数を互いに異ならせるようにすれば、両スピーカ４４Ｆ、４４Ｒからの音に高低の差がついて、異物の大きさを表す音なのか、濃さを表す音なのかの聞き分けが容易に行える。
【００６１】
［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。なお、上記第１、第２の実施形態と共通な構成部分は同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００６２】
上記第１、２の実施形態では、音の鳴り始めからの時間により、異物の画面３８ａ上における位置や広がり、濃い部分の位置や広がりなどの認識は可能であるが、例えば上記図６、７に示す音の大きさ信号では異物のない部分は無音となってしまうので、音の鳴り始め時点が画面３８ａ上のどの位置に対応するのかが分かりにくくなってしまう。
【００６３】
そこで、本実施形態では、図４に示すように、観測者５０の周囲に４個のスピーカ４４ＬＦ、４４ＲＦ、４４ＬＲ、４４ＲＲを配置すると共に、画面３８ａ上における左右位置によって音の大きさ信号のゲインを変えるフィルタ４６ａ、４６ｂ（図８参照）を通った音の大きさ信号を各スピーカ４４ＬＦ、４４ＲＦ、４４ＬＲ、４４ＲＲに振り分けるようにしている。
【００６４】
スピーカ４４ＬＦは、観測者５０の左前方に配置され、その放音面を観測者５０に向けている。スピーカ４４ＲＦは、観測者５０の右前方に配置され、その放音面を観測者５０に向けている。スピーカ４４ＬＲは、観測者５０の左後方に配置され、その放音面を観測者５０に向けている。スピーカ４４ＲＲは、観測者５０の右後方に配置され、その放音面を観測者５０に向けている。
【００６５】
フィルタ４６ｂは、上記処理部４３で得られる音の大きさ信号の入力を受け、画面３８ａ上において右の領域になればなるほど元の信号に対するゲインの程度が大きくなるような音の大きさ信号（図８参照）にする。
【００６６】
フィルタ４６ａは、その逆に、上記処理部４３で得られる音の大きさ信号の入力を受け、画面３８ａ上において右の領域になればなるほど元の信号に対するゲインの程度が小さくなるような音の大きさ信号（図８参照）にする。
【００６７】
上記各フィルタ４６ａ、４６ｂを通されて、図８に示すように、画面３８ａ上の左右位置に応じてゲインが増減された音の大きさ信号に基づいて、アンプ４２でのゲインが決定され、このアンプ４２の出力が各スピーカ４４ＬＦ、４４ＲＦ、４４ＬＲ、４４ＲＲに送られる。
【００６８】
例えば、スピーカ４４ＲＦからは異物の大きさを示す一定周波数の音の大きさ信号（図６に示す信号）の右位置フィルタ４６ｂのかけられた音の大きさ信号に基づく音が出力され、スピーカ４４ＲＲからは異物の濃さを示す一定周波数の音の大きさ信号の右位置フィルタ４６ｂのかけられた音の大きさ信号に基づく音が出力され、スピーカ４４ＬＦからは異物の大きさを示す一定周波数の音の大きさ信号の左位置フィルタ４６ａのかけられた音の大きさ信号に基づく音が出力され、スピーカ４４ＬＲからは異物の濃さを示す一定周波数の音の大きさ信号の左位置フィルタ４６ａのかけられた音の大きさ信号に基づく音が出力される。
【００６９】
前方に配置され異物の大きさに応じた音を出力する両スピーカ４４ＲＦ、４４ＬＦが出力する音の周波数は互いに同じとし、後方に配置され異物の濃さに応じた音を出力する両スピーカ４４ＲＲ、４４ＬＲが出力する音の周波数は互いに同じにし、かつ前方配置のスピーカ４４ＲＦ、４４ＬＦとは周波数を異ならせる。
【００７０】
以上のことにより、観測者５０は、異物の大きさと濃さとを周波数の違い、あるいは前方のスピーカ４４ＬＦ、４４ＲＦからの音か後方のスピーカ４４ＬＲ、４４ＲＲからの音かにより認識でき、なおかつ、左方のスピーカ４４ＬＦ、４４ＬＲから聞こえる音は画面３８ａ上における左半分の領域に存在する異物に関する音情報であると認識でき、更に右方のスピーカ４４ＲＦ、４４ＲＲから聞こえる音は画面３８ａ上における右半分の領域に存在する異物に関する音情報であると認識できる。
【００７１】
この結果、異物の画面３８ａ上における位置や広がり、濃い部分の位置や広がりなどを、画面３８ａからの視覚情報に加えて、音からも容易に認識できる。
【００７２】
［第４の実施形態］
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。なお、上記第１〜第３の実施形態と共通な構成部分は同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００７３】
本実施形態では、図５におけるＹ方向に関しての走査によっても図６、７に示される音の大きさ信号を得るようにし、画面３８ａ上における上下左右領域（図５において２点鎖線で区分けされた４領域）ごとの異物画像データによって音の大きさ信号のゲインを変えるフィルタを設け、それら各フィルタを通った音の大きさ信号を各スピーカ４４ＬＦ、４４ＲＦ、４４ＬＲ、４４ＲＲに振り分けるようにする。
【００７４】
すなわち、上記右位置フィルタ４６ｂ、左位置フィルタ４６ａに加えて、上位置フィルタ、下位置フィルタも用いる。上位置フィルタは、Ｙ方向に関しての走査によって得られる音の大きさ信号の入力を受け、画面３８ａ上において上の領域になればなるほど元の信号に対するゲインの程度が大きくなるような音の大きさ信号にする。下位置フィルタは、Ｙ方向に関しての走査によって得られる音の大きさ信号の入力を受け、画面３８ａ上において下の領域になればなるほど元の信号に対するゲインの程度が大きくなるような音の大きさ信号にする。
【００７５】
例えば、スピーカ４４ＲＦからは、異物の大きさを示す一定周波数の音の大きさ信号と、異物の濃さを示す一定周波数の音の大きさ信号との合成信号の右位置フィルタ及び上位置フィルタのかけられた音の大きさ信号に基づく音が出力される。
【００７６】
スピーカ４４ＲＲからは、異物の大きさを示す一定周波数の音の大きさ信号と、異物の濃さを示す一定周波数の音の大きさ信号との合成信号の右位置フィルタ及び下位置フィルタのかけられた音の大きさ信号に基づく音が出力される。
【００７７】
スピーカ４４ＬＦからは、異物の大きさを示す一定周波数の音の大きさ信号と、異物の濃さを示す一定周波数の音の大きさ信号との合成信号の左位置フィルタ及び上位置フィルタのかけられた音の大きさ信号に基づく音が出力される。
【００７８】
スピーカ４４ＬＲからは、異物の大きさを示す一定周波数の音の大きさ信号と、異物の濃さを示す一定周波数の音の大きさ信号との合成信号の左位置フィルタ及び下位置フィルタのかけられた音の大きさ信号に基づく音が出力される。
【００７９】
以上のことにより、観測者５０は、異物の画面３８ａ上における位置や広がり、濃い部分の位置や広がりなどを、画面３８ａからの視覚情報に加えて、より詳細にかつ容易に、音からも認識できる。
【００８０】
以上、本発明の各実施形態について説明したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【００８１】
本発明は、検出された異物の分類に限らず、異物自体のある無しにも適用できる。例えば、表示部に表示された検査対象物のある領域の画像において、予め設定したしきい値以上の濃度値の画像があれば異物と判断しその濃度値に応じた大きさの音を出力し、上記しきい値以上の画像がなければスピーカからは音が出力されず、これにより異物がないと認識できる。なお、半導体ウェーハの検査に限らず、液晶パネルの検査や、その他製造工程において画像センサを用いた異物検査に適用できる。更には、防犯カメラで撮影された画像に応じて音を出力するなどの応用も可能である。
【００８２】
また、画像がカラー表示される場合には、あるスピーカからは赤色の濃度値に対応した音を出力し、別のスピーカからは青色の濃度値に対応した音を出力するなど、色の濃度値に応じた音出力を行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の実施形態に係る異物検査装置における、検査対象物の画像取得及びその画像の表示機能に係る構成の概略図を示す。
【図２】図１のシステムで得られた画像データに基づいた音を出力する機能に係る構成の概略構成図である。
【図３】本発明の第２の実施形態におけるスピーカの配置を示す図である。
【図４】本発明の第３の実施形態におけるスピーカの配置を示す図である。
【図５】表示部画面上に拡大表示される異物画像の一例を示す図である。
【図６】異物の大きさに応じた音の大きさ信号の波形図である。
【図７】異物の濃さに応じた音の大きさ信号の波形図である。
【図８】本発明の第３の実施形態において、音の大きさ信号の左右配置スピーカへの振り分けを説明する図である。
【符号の説明】
【００８４】
３２…画像センサ、３８…表示部、３８ａ…画面、４１…発振器、４２…アンプ、４３…処理部、４４，４４Ｆ，４４Ｒ，４４ＬＦ，４４ＲＦ，４４ＬＲ，４４ＲＲ…スピーカ、４６ａ，４６ｂ…フィルタ、５１…異物画像、５２…異物画像。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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