(57)【要約】【課題】半透過型液晶表示装置用カラーフィルタで、表面が平坦で、着色層の透明部と着色層部分の位置精度の優れたカラーフィルタを廉価に製造する、また、透明部上方に柱状スペーサーを設けても、基板間のギャップ精度が悪化しない半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ及び製造方法を提供すること。【解決手段】光透過領域の着色層と、光反射領域の、透明部を有する着色層とで構成されるカラーフィルタで、透明部２７がガラス基板の表面をエッチングで形成された透明部。ガラス基板２１の表面にエッチングによって透明部を形成する工程、ブラックマトリックス１２、着色層２３、透明導電膜１４、透明部上方の透明導電膜上に柱状スペーサー１８を形成する工程を具備する。【選択図】図１
2005140886.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタであって、該透明部がガラス基板の表面をエッチングすることによって形成された透明部であることを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ。
【請求項２】
一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、
１）ガラス基板の表面にエッチングによって透明部を形成する工程、
２）該透明部が形成されたガラス基板上にブラックマトリックス、着色層、透明導電膜を順次に形成する工程、
３）該透明部上方の透明導電膜上に柱状スペーサーを形成する工程、
を具備することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタに関するものであり、特に、一画素中の着色画素が、一画素中の光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成されるカラーフィルタを精度よく、廉価に製造することのできる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ、及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置は自発光型の表示装置ではないので、その表示には他からの光を必要とし、例えば、その後方にバックライトを設け、後方からの光によって表示を行っている。このような液晶表示装置は透過型液晶表示装置と称され、主に屋内のような暗い環境下で用いられる。
また、例えば、その後方に光反射層を設け、液晶表示装置を観視する際の周囲からの外光によって表示を行う液晶表示装置がある。このような液晶表示装置は反射型液晶表示装置と称され、主に屋外のような周囲が明るい環境下で用いられる。
【０００３】
上記透過型液晶表示装置においては、その後方に設けられたバックライトからの光はカラーフィルタの着色画素を透過し、液晶表示装置が観視される前方の外部へ射出されるようになっている。
この際の着色画素の分光透過率は、例えば、図５における実線で示すように、赤色の着色画素の分光透過率は波長４００〜６００ｎｍにおいては透過率が低く、波長６００〜７００ｎｍにおいては透過率が高いものが好ましいものである。
【０００４】
図６は、従来法の反射型液晶表示装置の一例を断面で示す説明図であるが、図６に示すように、反射型液晶表示装置（６０）は、対向基板（６８）、液晶（６５）、カラーフィルタ（６９）などで構成されている。図６において、対向基板（６８）は、画素表示に必要な駆動素子（図示せず）や光拡散反射性の電極層（６６）などが基板（６７）上に形成されたもので構成されている。
また、カラーフィルタ（６９）は、ガラス基板（６１）、着色画素（６２）、オーバーコート層（６３）、透明電極層（６４）などで構成されている。
【０００５】
図６において、外光（Ｌ１）は着色画素（６２）を通過し色光となり、光拡散反射性の電極層（６６）にて反射され、再び着色画素（６２）を通過して、外部へ反射光（Ｌ２）として射出されるようになっている。
このような反射型液晶表示装置用カラーフィルタの着色画素（６２）の色濃度は、透過型液晶表示装置用カラーフィルタのカラーフィルタ画素の色濃度より低い色濃度のものである。
【０００６】
これは、上記のように外部からの光は、入射の際と反射の際の２回にわたり赤色の着色画素を透過し、外部へ射出されるので、例えば、図５における点線で示すように、赤色の着色画素の分光透過率は波長４００〜６００ｎｍにおいて透過率がやや高く、波長６００〜７００ｎｍにおいても透過率がやや高いものを用いることにより、実線で示す透過型に用いられる赤色の着色画素の分光透過率と同様の効果が得られるようにしているものである。
そして、このような点線で示すような分光透過率を有する着色画素の形成は、例えば、着色画素に含まれる顔料の含有量を少なくすることにより行われている。
【０００７】
さて、液晶表示装置用カラーフィルタの着色画素の形成は、種々な方法により行われて
いるが、感光性樹脂組成物に顔料を分散させた感光性着色樹脂組成物（着色フォトレジスト）を材料として用い、フォトリソグラフィー法により着色画素を形成する顔料分散法が広く採用されている。
【０００８】
この顔料分散法、すなわち、着色フォトレジストを用いフォトリソグラフィー法により、上記のような反射型液晶表示装置用カラーフィルタの着色画素を形成する場合には、画素の色濃度を低くするため、その着色画素に含まれる顔料の含有量を少なくしたり、または、着色画素の厚さを薄く形成する手段が用いられている。
【０００９】
上記透過型液晶表示装置は、主に屋内のような暗い環境下で用いられるものであり、屋外のような周囲が明るい環境下では、その表示が見にくいといった欠点がある。また、上記反射型液晶表示装置は、主に屋外のような周囲が明るい環境下で用いられるものであり、屋内のような暗い環境下では、その表示が見にくいといった欠点がある。
【００１０】
このような透過型液晶表示装置、反射型液晶表示装置に対し、半透過型液晶表示装置と称される液晶表示装置は、１基の液晶表示装置において透過型と反射型の両機能を兼ね備えた液晶表示装置である。
この半透過型液晶表示装置は、屋外のような非常に明るい環境下でも、屋内のような暗い環境下でも用いることができるものであり、モバイル機器に用いられる液晶表示装置として期待されている液晶表示装置である。
【００１１】
図３は、半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を示したものであり、一画素に対応する部位を拡大して示す平面図である。また、図４は、図３に示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを用いた半透過型液晶表示装置の一画素の部分を示す断面説明図である。図３におけるＸ−Ｘ’線の断面が、図４に示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ（３０）の断面に相当する。
【００１２】
図３、及び図４に示すように、この半透過型液晶表示装置は、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ（３０）、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ上に形成された透明電極（１４）、液晶（５０）、ＴＦＴ素子（図示せず）などが形成されたＴＦＴ基板（４０）、ＴＦＴ基板上に形成された透明電極（４１）及び反射電極（４２）で構成されている。
【００１３】
半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ（３０）は、ガラス基板（１１）上にブラックマトリックス（１２）、着色画素（１３）が形成されたものである。また、透明電極（４１）及び反射電極（４２）はＴＦＴ素子のドレイン電極と接続されている。
１画素の領域（Ｐｘ）はブラックマトリックス（１２）を除くと、光透過領域（Ｔｒ）と光反射領域（Ｒｅ）とで構成されている。
【００１４】
光透過領域（Ｔｒ）は、透過型液晶表示装置として機能する領域であり、光反射領域（Ｒｅ）は、反射型液晶表示装置として機能する領域である。
【００１５】
１画素の領域（Ｐｘ）内の着色層（１５）及び透明部を有する着色層（１６）は、同一の着色層形成材料を用いて設けられた同一厚さの着色層である。図４にては、説明上、左斜線と右斜線で表記してある。また、図４中、反射電極（４２）の両端の上方が着色層（１５）と透明部を有する着色層（１６）との境界であり、鎖線で表記してある。
着色画素（１３）の光透過領域（Ｔｒ）には、その全領域に厚さＤ１の均一な着色層（１５）が形成され、また、光反射領域（Ｒｅ）には、外光が入反射する透明部（１７）を有する着色層（１６）が形成されている。
【００１６】
すなわち、１画素の領域（Ｐｘ）内では、光透過領域（Ｔｒ）の均一な着色層（１５）と、光反射領域（Ｒｅ）の透明部を有する着色層（１６）とで着色画素（１３）が構成されている。
そして、この透明部を有する着色層（１６）の厚さは、その平均厚さ（Ｄ２）で表される。尚、平坦性をもたせるため着色層（１６）の透明部（１７）には、無色透明な樹脂を充填するのが一般的である。
【００１７】
図４に示す、厚さＤ１を有する均一な着色層（１５）の分光透過率は図５に実線で示すような、例えば、赤色の着色画素の分光透過率は波長４００〜６００ｎｍにおいては透過率が低く、波長６００〜７００ｎｍにおいては透過率が高い透過型液晶表示装置に好適な分光透過率を有する。
【００１８】
光透過領域（Ｔｒ）においては白太矢印（Ａ）で示すバックライトからの白色光が、ＴＦＴ基板（４０）、透明電極（４１）、液晶（５０）、透明導電膜（１４）を経て着色画素（１３）の光透過領域（Ｔｒ）の着色層（１５）を通過し色光となり白細矢印（ａ）で示すように、外部へ射出するようになっている。
【００１９】
従って、この半透過型液晶表示装置のバックライトを点灯し透過型液晶表示装置として使用した際には、透過型液晶表示装置として優れた明度、彩度を有する透過カラー表示をする。
【００２０】
また、この半透過型液晶表示装置のバックライトを消灯し、屋外のような非常に明るい環境下で反射型液晶表示装置として使用した際には、光反射領域（Ｒｅ）において、斜線太矢印（Ｂ）で示す周囲からの外光が、ガラス基板（１１）、平均厚さ（Ｄ２）の、透明部を有する着色層（１６）を通過し色光となり反射電極（４２）にて反射され、斜線細矢印（ｂ）で示すように、再び外部へ射出するようになっている。
【００２１】
この際の反射光は、平均厚さ（Ｄ２）の透明部を有する着色層（１６）を２回にわたり通過しているので、例えば、図５に点線で示すような、赤色の着色画素の分光透過率は波長４００〜６００ｎｍにおいて透過率がかなり高く、波長６００〜７００ｎｍにおいても透過率が高いものを用いることにより、実線で示す透過型液晶表示装置に用いられる赤色の着色画素の分光透過率と同様の分光透過率を有するものとなる。
【００２２】
このような半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを用いることにより、透過型液晶表示装置としての優れた明度、彩度を有する透過カラー表示をし、また、反射型液晶表示装置として暗くならず、優れた明度、彩度を有する反射カラー表示をすることが可能となる。
【００２３】
図７は、上述した半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する従来の方法の一例の説明図である。この方法は、先ず、ブラックマトリックス（１２）が形成されたガラス基板（１１）上に、ネガ型無色透明フォトレジスト（７８）を塗布し、透明部（１７）を光透過させるフォトマスク（ＰＭ１）を介して露光（Ｃ）、現像処理を行い、透明部（１７）を形成する。（図７（ａ）〜（ｃ））
次に、透明部が形成されたガラス基板（１１）上に、ネガ型着色フォトレジスト（７９）を塗布し、着色層の部分を光透過させるフォトマスク（ＰＭ２）を介して露光（Ｃ）、現像処理を行い、均一な着色層（１５）と透明部を有する着色層（１６）とで構成される着色画素（１３）を形成するといった方法である。（図７（ｄ）〜（ｆ））
この方法によれば、透明部（１７）の厚さと着色層（１５）の厚さが同一で窪みのない、表面が面一な、すなわち、表面が平坦な着色画素を有するカラーフィルタが得られる。
【００２４】
しかし、この方法は、透明部の形成、及び赤色、緑色、青色の３色の着色層の形成、合計４回のフォトリソグラフィー工程によって製造されるので、基本的にコストの高い製造方法である。
【００２５】
加えて、透明部の部分を光透過させるフォトマスク（ＰＭ１）と着色層の部分を光透過させるフォトマスク（ＰＭ２）の２枚のフォトマスクを使用するので、カラーフィルタを製造する際のガラス基板が大型の場合などには、透明部（１７）と着色層部分の境界（Ｅ）の位置関係を精度よく合わせて製造するのは困難である。境界（Ｅ）にて、着色層部分が透明部に重なった角（ツノ）や隙間が発生すると、液晶の配向に悪影響を及ぼすのでカラーフィルタは不良品となる。すなわち、カラーフィルタの収率が悪化する。
【００２６】
また、この方法では、赤色、緑色、青色の各着色画素に設けられる透明部（１７）の大きさが異なる場合、着色層の部分を光透過させるフォトマスク（ＰＭ２）は、赤色、緑色、青色の各着色画素毎に異なる３枚のフォトマスクを用いて各着色画素を形成することとなり、コストの高いものとなる。
【００２７】
また、従来の液晶表示装置に於いては、基板間にギャップを形成するために、画素の全面にスペーサーと呼ばれるガラス又は合成樹脂の透明球状体粒子（ビーズ）を散布している。このスペーサーは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサーが入っていると、黒色表示時にスペーサーを介して光がもれてしまい、また、液晶材料が封入されている基板間にスペーサーが存在することによって、スペーサー近傍の液晶分子の配列が乱され、この部分で光もれを生じ、コントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼす、などの問題を有していた。
【００２８】
このような問題を解決する技術として、スペーサー機能を有する柱状スペーサー（突起部）をカラーフィルタ上に形成する方法が開発された。
【００２９】
図２に示す、このような液晶表示装置用カラーフィルタの一例では、透明部（１７）上方の透明導電膜（１４）上にスペーサー機能を有する突起部としての柱状スペーサー（１８）が形成されている。
この液晶表示装置用カラーフィルタを用いた液晶表示装置には、柱状スペーサー（１８）が画素内の一部分にのみ形成されているので、上記コントラストの改善がみられる。
【００３０】
しかし、図２に示すような柱状スペーサー（１８）が透明部（１７）上方に設けられた液晶表示装置用カラーフィルタを用い、対向基板との圧着貼り合わせにより液晶パネルとして組み付けると、透明部（１７）が弾性体であるために基板間のギャップ精度が悪化するといった問題が発生する。
【特許文献１】特願２００３−１８６８号公報
【特許文献２】特願２００３−１６６１３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３１】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、着色画素が光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、表面が平坦で、透明部と着色層部分の位置精度の優れたカラーフィルタを廉価に製造することのできる、また、透明部上方に柱状スペーサーを設けても、液晶パネルとして組み付けた際に基板間のギャップ精度が悪化することのない半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを提供することを課題とするものである。
【００３２】
また、上記半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００３３】
本発明は、一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタであって、該透明部がガラス基板の表面をエッチングすることによって形成された透明部であることを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタである。
【００３４】
また、本発明は、一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、
１）ガラス基板の表面にエッチングによって透明部を形成する工程、
２）該透明部が形成されたガラス基板上にブラックマトリックス、着色層、透明導電膜を順次に形成する工程、
３）該透明部上方の透明導電膜上に柱状スペーサーを形成する工程、
を具備することを特徴とする半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００３５】
本発明は、一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、透明部がガラス基板の表面をエッチングすることによって形成された透明部であるので、表面が平坦で、着色層中の透明部と着色層部分の位置精度の優れたカラーフィルタを廉価に製造することのできる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
また、透明部上方に柱状スペーサーを設けても、液晶パネルとして組み付けた際に基板間のギャップ精度が悪化することのない半透過型液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
【００３６】
また、本発明は、一画素中の着色画素が、光透過領域に形成された着色層と、光反射領域に形成され、透明部を有する着色層とで構成される半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、１）ガラス基板の表面にエッチングによって透明部を形成する工程、２）該透明部が形成されたガラス基板上にブラックマトリックス、着色層、透明導電膜を順次に形成する工程、３）該透明部上方の透明導電膜上に柱状スペーサーを形成する工程を具備するので、表面が平坦で、着色層中の透明部と着色層部分の位置精度の優れたカラーフィルタを廉価に製造することのできる半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法となる。
また、透明部上方に柱状スペーサーを設けても、液晶パネルとして組み付けた際に基板間のギャップ精度が悪化することのない半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下に本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを、その一実施形態に基づいて説明する。
図１（ｅ）は、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一実施例を示したものであり、一画素に対応する部位を拡大して示す断面図である。
【００３８】
一実施例として示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、ガラス基板（２１）上にブラックマトリックス（１２）、着色画素（２３）、透明導電膜（１４）、及び柱状スペーサー（１８）が形成されたものである。
【００３９】
ガラス基板（２１）の表面には、ガラス基板の表面をエッチングすることによって形成
された透明部（２７）が設けられている。１画素の領域（Ｐｘ）はブラックマトリックス（１２）を除くと、光透過領域（Ｔｒ）と光反射領域（Ｒｅ）とで構成されている。
【００４０】
１画素の領域（Ｐｘ）内の着色層（１５）及びガラス基板の表面をエッチングすることによって形成された透明部（２７）を有する着色層（２６）は、同一の着色層形成材料を用いて設けられた同一厚さの着色層である。
【００４１】
また、図１（ｅ）中、光透過領域（Ｔｒ）の着色層（１５）と透明部（２７）を有する着色層（２６）との境界を点線で表記してある。
着色画素（２３）の光透過領域（Ｔｒ）には、その全領域に厚さの均一な着色層（１５）が形成され、また、光反射領域（Ｒｅ）には、外光が入反射する透明部（２７）を有する着色層（２６）が形成されている。
【００４２】
すなわち、１画素の領域（Ｐｘ）内では、光透過領域（Ｔｒ）の均一な着色層（１５）と、光反射領域（Ｒｅ）の透明部（２７）を有する着色層（２６）とで着色画素（２３）が構成されている。
図１（ｅ）に示す、着色層（１５）の分光透過率は図５に実線で示すような、例えば、赤色の着色画素の分光透過率は波長４００〜６００ｎｍにおいては透過率が低く、波長６００〜７００ｎｍにおいては透過率が高い透過型液晶表示装置に好適な分光透過率を有する。
【００４３】
また、透明部（２７）を有する着色層（２６）の分光透過率は図５に点線で示すような、赤色の着色画素の分光透過率は波長４００〜６００ｎｍにおいて透過率がかなり高く、波長６００〜７００ｎｍにおいても透過率が高い、すなわち、反射型液晶表示装置の分光透過率として好適な分光透過率を有する。
このような半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを用いることにより、透過型液晶表示装置としての優れた明度、彩度を有する透過カラー表示をし、また、反射型液晶表示装置として暗くならず、優れた明度、彩度を有する反射カラー表示をすることが可能となる。
【００４４】
図１（ｅ）に示す、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、その透明部（２７）が予めガラス基板の表面をフォトエッチングすることによって形成された透明部であるが、着色層のフォトリソグラフィー工程としては赤色、緑色、青色の３色の着色層の形成、すなわち、合計３回のフォトリソグラフィー工程によって製造されるので（柱状スペーサー（１８）の形成を除く）、基本的に廉価なものとなる。
【００４５】
また、この半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、着色層の部分を光透過させる１枚のフォトマスクを使用し、予め透明部（２７）が形成されたガラス基板（２１）上に着色層を形成するので、カラーフィルタを製造する際のガラス基板が大型の場合などでも、透明部（２７）と着色層部分の境界の位置関係を精度よく合わせて製造することが容易なものとなり、境界には、着色層部分が透明部に重なった角（ツノ）や隙間が発生することはなく、カラーフィルタの収率が向上する。
【００４６】
更に、本発明における透明部（２７）は、無色透明な樹脂を用いて形成されたものではなく、ガラス基板の表面をエッチングすることによって形成されたもの、すなわち、ガラスを材料とした透明部（２７）であるので、透明部（２７）が形成されたガラス基板として再利用することができる。
【００４７】
例えば、図１（ｅ）に示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの完成品、或いは中間製品において、何らかの欠陥によって不良品となった際、ガラス基板（２１）上に形成された樹脂型ブラックマトリックス、着色層（２３）、透明導電膜（１４）、柱状スペーサー（１８）を除去することにより、透明部（２７）が形成されたガラス基板（２１）と
して再利用することができ、コスト低減に寄与することができる。
【００４８】
図１（ａ）〜（ｅ）は、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一実施例を示す断面図である。
図１に示すように、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法は、エッチングによって透明部（２７）が形成されたガラス基板（２１）上に、ブラックマトリックス（１２）、光透過領域に形成される着色層（１５）と、光反射領域に形成され透明部（２７）を有する着色層（２６）とで構成される着色画素（２３）、透明導電膜（１４）、柱状スペーサー（１８）を有するカラーフィルタを製造する方法である。
【００４９】
図１（ａ）は、透明部（２７）が形成された段階のものである。この透明部（２７）はガラス基板（２１）の表面をエッチングすることによって形成されたものである。透明部（２７）の厚さ（Ｄ３）は、着色層（１５）の厚さと等しい厚さであり、０．７μｍ〜２．０μｍ程度である。
次に、図１（ｂ）に示すように、透明部（２７）が形成されたガラス基板（２１）上にブラックマトリックス（１２）を形成する。
【００５０】
次に、図１（ｃ）に示すように、ブラックマトリックス（１２）が形成されたガラス基板（２１）上に着色フォトレジストを塗布する。
次に、フォトマスク（図示せず）を介した露光を行う。図１は、例えば、赤色の一画素を拡大して示したものであり、この一画素内にはフォトマスクを介した均一な露光がなされ、緑色、青色などが続いて形成される他色の着色画素の部分はフォトマスクによって遮光されている。すなわち、このフォトマスクは、緑色、青色など他色の着色画素が形成される部分を遮光し、赤色の着色画素内を露光する。
【００５１】
次に、露光した着色フォトレジストに現像を行い赤色の着色画素を形成する。この際、ガラス基板（２１）上には既にＤ３で示す厚さを有する透明部（２７）が形成されており、着色画素の厚さは、透明部（２７）の厚さと等しい厚さに形成する。得られた着色画素（２３）は、透明部（２７）の表面と着色層（１５）の表面とが面一で平坦なものであり、また、境界には、着色層部分が透明部に重なった角（ツノ）や隙間が生じていない。
【００５２】
次に、着色画素（２３）が形成されたガラス基板（２１）上に透明導電膜（１４）を形成し、続いて柱状スペーサー（１８）を形成し、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを得る。
【００５３】
本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタは、透明部（２７）がガラス基板（２１）の表面をエッチングすることによって形成された透明部、すなわち、透明部の材料がガラスであるので、透明部（２７）上方に柱状スペーサー（１８）が設けられていても、対向基板との圧着貼り合わせにより液晶パネルとして組み付けた際に、基板間のギャップ精度が悪化することはない。
【００５４】
また、図２に示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの一例においては、ガラス基板（１１）上に、無色透明な樹脂を材料とする透明部（１７）及び柱状スペーサー（１８）が２回のフォトリソグラフィー工程によって形成されている。
【００５５】
一方、図１（ｅ）に示す、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、ガラス基板（２１）上に、柱状スペーサー（１８）が１回のフォトリソグラフィー工程によって形成されているので、ガラス基板から柱状スペーサー（１８）の上部までの高さの精度は向上したものとなる。
すなわち、対向基板との圧着貼り合わせ前の段階における柱状スペーサー（１８）の高さ
の精度にすぐれた半透過型液晶表示装置用カラーフィルタが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】（ａ）〜（ｅ）は、本発明による半透過型液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法の一実施例を示す断面図である。
【図２】透明部上方の透明導電膜上に柱状スペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタの一例の説明図である。
【図３】半透過型液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を示したものであり、一画素に対応する部位を拡大して示す平面図である。
【図４】図３に示す半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを用いた半透過型液晶表示装置の一画素の部分を示す断面説明図である。
【図５】透過型液晶表示装置用及び反射型液晶表示装置用カラーフィルタの赤色の着色画素の分光透過率を示した説明図である。
【図６】従来法における反射型液晶表示装置の一例を断面で示す説明図である。
【図７】（ａ）〜（ｆ）は、半透過型液晶表示装置用カラーフィルタを製造する方法の一例の説明図である。
【符号の説明】
【００５７】
１１、２１…ガラス基板
１２…ブラックマトリックス
１３、２３、６２…着色画素
１４…透明導電膜
１５…光透過領域の均一な着色層
１６、２６…光反射領域の透明部を有する着色層
１７…透明部
１８…柱状スペーサー
２７…本発明における透明部
３０…半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ
４０…ＴＦＴ素子などが形成されたＴＦＴ基板
４１…ＴＦＴ基板上に形成された透明電極
４２…ＴＦＴ基板上に形成された反射電極
５０、６５…液晶
６０…反射型液晶表示装置の一例
６１…ガラス基板
６３…オーバーコート層
６４…透明電極層
６６…光拡散反射性の電極層
６７…基板
６８…対向基板
６９…カラーフィルタ
７８…ポジ型無色透明フォトレジスト
７９…ネガ型着色フォトレジスト
Ａ…バックライトからの白色光
Ｂ…周囲からの外光
Ｌ１…外光
Ｌ２…反射光
ＰＭ１…透明部の部分を光透過させるフォトマスク
ＰＭ２…着色層の部分を光透過させるフォトマスク
Ｄ１…着色層の厚さ
Ｄ２…透明部を有する着色層の平均厚さ
Ｄ３…本発明における透明部の厚さ
Ｅ…透明部と着色層との境界
Ｐｘ…１画素の領域
Ｒｅ…光反射領域
Ｔｒ…光透過領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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