(57)【要約】【課題】被駆動体を微少（微動）送りすることができ、かつ大きな駆動力を得ることができる駆動装置を提供する。【解決手段】駆動装置１は、振動体２を有している。振動体２は、屈曲可能な本体部２１と、本体部２１の中心軸（対称軸）３１上に設けられ、被駆動体Ｐに当接する接触部２３と、本体部２１の中心軸３１上から外れた位置に、中心軸３１を介して対称に設けられ、電圧を印加することにより変形する励振部２２ａと、励振部２２ｂとを有している。振動体２は、励振部２２ａ、２２ｂの一方のみを励振することにより、その一方の変形による応力、すなわち、駆動力と、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力との釣り合いによって屈曲変位し、この屈曲変位により接触部２３を介して被駆動体Ｐを駆動する。【選択図】図１
2005102368.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
屈曲可能な本体部と、前記本体部の対称軸上に設けられ、被駆動体に当接する接触部と、前記本体部の対称軸上から外れた位置に設けられ、電圧を印加することにより変形する複数の励振部とを有する振動体を備える駆動装置であって、
前記複数の励振部のうちの少なくとも１つの励振部を駆動せずに、この他の励振部を駆動して駆動力を与えることにより、前記振動体は、前記接触部が前記被駆動体から受ける反力との釣り合いによって屈曲変位し、この屈曲変位により前記接触部を介して前記被駆動体を駆動することを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
前記駆動しない励振部と前記駆動する励振部との組合せを変更することにより、前記被駆動体の駆動方向を変更するよう構成されている請求項１に記載の駆動装置。
【請求項３】
前記駆動しない励振部が接地されるよう構成されている請求項１または２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記駆動しない励振部が、前記振動体の振動を検出する検出回路に接続されるよう構成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項５】
屈曲可能な本体部と、前記本体部の対称軸上に設けられ、被駆動体に当接する接触部と、前記本体部の対称軸上から外れた位置に設けられ、電圧を印加することにより変形する複数の励振部とを有する振動体を備える駆動装置であって、
前記複数の励振部のうちの少なくとも１つの励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせることにより、前記振動体は、屈曲変位し、この屈曲変位により前記接触部を介して前記被駆動体を駆動することを特徴とする駆動装置。
【請求項６】
前記歪み量を異ならせる励振部の組合せを変更することにより、前記被駆動体の駆動方向を変更するよう構成されている請求項５に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記複数の励振部をすべて駆動して前記被駆動体を駆動するよう構成されている請求項５または６に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記励振部へ印加する電圧値を調整することにより、対応する励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせるよう構成されている請求項５ないし７のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項９】
前記励振部の変位方向が、前記被駆動体の移動方向に対して略垂直である請求項１ないし８のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記励振部が、縦振動の共振周波数と略等しい周波数にて駆動されるよう構成されている請求項１ないし９のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１１】
前記本体部の対称軸が、前記被駆動体の移動方向に対して略垂直である請求項１ないし１０のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１２】
前記複数の励振部のうちの少なくとも１対の励振部が、前記本体部の対称軸を間に介在させて配置されている請求項１ないし１１のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１３】
前記複数の励振部のうちの少なくとも１対の励振部が、前記本体部の対称軸に対して対称に配置されている請求項１ないし１１のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１４】
前記１対の励振部は、前記本体部を前記被駆動体の移動方向から挟み込むように設けられている請求項１２または１３に記載の駆動装置。
【請求項１５】
前記１対の励振部の間にスリットが設けられている請求項１２ないし１４のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１６】
前記本体部は、略多角柱状の部分を有しており、前記本体部の各側面にそれぞれ前記励振部が設けられている請求項１ないし１３のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１７】
前記本体部は、略円柱状の部分を有しており、前記複数の励振部は、前記本体部を側面から囲むように設けられている請求項１ないし１３のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１８】
前記振動体を少なくとも３つ有し、該複数の振動体により、共通の被駆動体を駆動するよう構成されている請求項１ないし１７のいずれかに記載の駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の駆動装置には、特許文献１に記載される技術が知られている。従来の駆動装置では、励振部により振動体を直接的に屈曲変位させ、これにより、接触部を介して被駆動体を駆動していた。
しかしながら、前記励振部により振動体を直接的に屈曲変位させて駆動する方式、特に、縦振動と屈曲振動とを併用し、これらを同時に共振させる方式の従来の駆動装置では、その駆動にかかる制御や配線パターンが煩雑となり、また、縦振動と屈曲振動の振動特性が駆動条件や環境条件の影響を受け、駆動特性のバラツキが大きかった。
また、振動体で大きな駆動力を得るには、振動体の振幅を大きくする必要があり、これによって駆動量が大きくなってしまい、被駆動体を微少（微動）送りするのが困難であった。
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２３５０６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、被駆動体を微少（微動）送りすることができ、かつ大きな駆動力を得ることができる駆動装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の駆動装置は、屈曲可能な本体部と、前記本体部の対称軸上に設けられ、被駆動体に当接する接触部と、前記本体部の対称軸上から外れた位置に設けられ、電圧を印加することにより変形する複数の励振部とを有する振動体を備える駆動装置であって、
前記複数の励振部のうちの少なくとも１つの励振部を駆動せずに、この他の励振部を駆動して駆動力を与えることにより、前記振動体は、前記接触部が前記被駆動体から受ける反力との釣り合いによって屈曲変位し、この屈曲変位により前記接触部を介して前記被駆動体を駆動することを特徴とする。
【０００６】
この発明によれば、励振部の駆動力と、接触部が被駆動体から受ける反力との釣り合いによって振動体を間接的に屈曲変位させ、この屈曲変位により接触部を介して被駆動体を駆動する。これにより、励振部により振動体を直接的に屈曲変位させる場合と比較して、振動体の駆動系を簡素化することができる。
また、大きな駆動力が得られるとともに、被駆動体を微少（微動）送りすることができる。
また、少なくとも１対の励振部を本体部の対称軸（中心軸）を間に介在させて配置することにより、対称軸に対して、振動体を正逆両方向に屈曲させ得るので、被駆動体を正逆両方向に駆動することができる。
【０００７】
本発明の駆動装置では、前記駆動しない励振部と前記駆動する励振部との組合せを変更することにより、前記被駆動体の駆動方向を変更するよう構成されているのが好ましい。
これにより、容易に被駆動体の駆動方向を変更することができる。
本発明の駆動装置では、前記駆動しない励振部が接地されるよう構成されているのが好ましい。
これにより、電荷の蓄積による励振部の硬化が抑制（防止）され、振動体が変形し易くなり、振動体の振動効率が向上する。
本発明の駆動装置では、前記駆動しない励振部が、前記振動体の振動を検出する検出回路に接続されるよう構成されているのが好ましい。
これにより、振動体の振動を検出することができる。
【０００８】
本発明の駆動装置は、屈曲可能な本体部と、前記本体部の対称軸上に設けられ、被駆動体に当接する接触部と、前記本体部の対称軸上から外れた位置に設けられ、電圧を印加することにより変形する複数の励振部とを有する振動体を備える駆動装置であって、
前記複数の励振部のうちの少なくとも１つの励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせることにより、前記振動体は、屈曲変位し、この屈曲変位により前記接触部を介して前記被駆動体を駆動することを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、励振部の歪み量（伸縮量）の偏り（違い）により、振動体を屈曲変位させ（振動体に屈曲変位を誘発し）、この屈曲変位により接触部を介して被駆動体を駆動する。これにより、より大きな駆動力が得られるとともに、被駆動体を微少（微動）送りすることができる。また、振動体の駆動系を簡素化することができる。
また、少なくとも１対の励振部を本体部の対称軸（中心軸）を間に介在させて配置することにより、対称軸に対して、振動体を正逆両方向に屈曲させ得るので、被駆動体を正逆両方向に駆動することができる。
【００１０】
本発明の駆動装置では、前記歪み量を異ならせる励振部の組合せを変更することにより、前記被駆動体の駆動方向を変更するよう構成されているのが好ましい。
これにより、容易に被駆動体の駆動方向を変更することができる。
本発明の駆動装置では、前記複数の励振部をすべて駆動して前記被駆動体を駆動するよう構成されているのが好ましい。
これにより、さらに高い駆動力を得ることができる。
【００１１】
本発明の駆動装置では、前記励振部へ印加する電圧値を調整することにより、対応する励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせるよう構成されているのが好ましい。
これにより、容易に、励振部の歪み量を調整（調節）することができ、対応する励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせることができる。
本発明の駆動装置では、前記励振部の変位方向が、前記被駆動体の移動方向に対して略垂直であるのが好ましい。
これにより、接触部と被駆動体との間の摩擦力を高めることができ、効率的な駆動を実現することができる。
【００１２】
本発明の駆動装置では、前記励振部により縦振動を励振するよう構成されているのが好ましい。
これにより、屈曲振動や、縦振動と屈曲振動の合成振動を振動体に直接的に励起する場合と比較して、屈曲方向（横方向）にかかる接触部の変位量を抑制でき、被駆動体を微少送りすることができる。
【００１３】
本発明の駆動装置では、前記励振部が、縦振動の共振周波数と略等しい周波数にて駆動されるよう構成されているのが好ましい。
これにより、屈曲振動や、縦振動と屈曲振動の合成振動を振動体に直接的に励起する場合と比較して、屈曲方向（横方向）にかかる接触部の変位量を抑制でき、被駆動体を微少送りすることができ、また、駆動効率を高めることができる。
【００１４】
本発明の駆動装置では、前記本体部の対称軸が、前記被駆動体の移動方向に対して略垂直であるのが好ましい。
これにより、接触部と被駆動体との間の摩擦力を高めることができ、効率的な駆動を実現することができる。
本発明の駆動装置では、前記複数の励振部のうちの少なくとも１対の励振部が、前記本体部の対称軸を間に介在させて配置されているのが好ましい。
これにより、対称軸に対して、振動体を正逆両方向に屈曲させ得るので、被駆動体を正逆両方向に駆動することができる。
【００１５】
本発明の駆動装置では、前記複数の励振部のうちの少なくとも１対の励振部が、前記本体部の対称軸に対して対称に配置されているのが好ましい。
これにより、対称軸に対して、振動体を正逆両方向に対称に屈曲させ得るので、被駆動体を正逆両方向に対称に駆動することができる。
本発明の駆動装置では、前記１対の励振部は、前記本体部を前記被駆動体の移動方向から挟み込むように設けられているのが好ましい。
【００１６】
本発明の駆動装置では、前記１対の励振部の間にスリットが設けられているのが好ましい。
これにより、各励振部間の拘束が抑制され、振動体の駆動効率を高めることができる。
本発明の駆動装置では、前記本体部は、略多角柱状の部分を有しており、前記本体部の各側面にそれぞれ前記励振部が設けられているのが好ましい。
これにより、本体部（振動体）を任意の方向に屈曲変位させることができる。
【００１７】
本発明の駆動装置では、前記本体部は、略円柱状の部分を有しており、前記複数の励振部は、前記本体部を側面から囲むように設けられているのが好ましい。
これにより、本体部（振動体）を任意の方向に屈曲変位させることができる。
本発明の駆動装置では、前記励振部は、圧電素子を有するのが好ましい。
本発明の駆動装置では、前記振動体を複数有し、該複数の振動体により、共通の被駆動体を駆動するよう構成されているのが好ましい。
これにより、被駆動体の動きを、任意に設定（調整）することができる。
本発明の駆動装置では、前記振動体を少なくとも３つ有し、該複数の振動体により、共通の被駆動体を駆動するよう構成されているのが好ましい。
これにより、被駆動体の動きを、任意に設定（調整）することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の駆動装置を添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図、図２は、図１に記載した駆動装置を示す構成図である。
これらの図に示すように、駆動装置１は、振動体２と、駆動回路および検出回路を有する制御系とを備えている。駆動装置１は、交流電圧（高周波電圧）の印加により振動体２を振動させ、この振動を被駆動体（移動体）Ｐに伝達して被駆動体Ｐを駆動する（移動させる）超音波アクチュエータである。この駆動装置１は、被駆動体Ｐの駆動方向（移動方向）にかかる振動体２の振動成分が抑制されることによって、被駆動体Ｐを微少変位、すなわち、微少（微動）送りさせ得る点に特徴を有する。
【００１９】
振動体２は、屈曲可能な本体部（補強板）２１と、第１の励振部２２ａと、第２の励振部２２ｂと、接触部（凸部）２３と、１対の支持部（腕部）２４とを有している。以下、第１の励振部、第２の励振部を、それぞれ、単に、「励振部」とも言う。
本体部２１は、略長方形の板状構造を有し、例えば、ステンレス鋼、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、銅、銅系合金その他の金属材料で構成される。ただし、本体部２１の形状および構成材料は、これに限定されない。本体部２１は、振動体２を補強する機能を有し、過振幅や外力等による振動体２の損傷を防止する。また、本体部２１は、後述する１対の変形素子（電気／機械変換素子）２５に対する共通の電極として機能する。
【００２０】
各励振部２２ａ、２２ｂは、それぞれ、変形素子２５と、電極２６とで構成され、振動体２の振動を励起（励振）する機能を有する。具体的には、変形素子２５の部分のうち、電圧の印加により伸縮（伸縮振動）する部分および電極２６が、それぞれ、励振部２２ａ、２２ｂの主要部となる。すなわち、この駆動装置１では、変形素子２５の部分のうち、電極２６、２６が配置された部分（電極２６、２６に対応する部分）および対応する電極２６が、それぞれ、励振部２２ａ、２２ｂの主要部を構成する。
【００２１】
ここで、「変形素子」とは、電気エネルギーの供給により変形する部材もしくは部分を有する素子をいうものとする。かかる変形素子としては、例えば、圧電素子、形状記憶素子、磁歪素子、人工筋肉等が挙げられ、これらのうちでは、圧電素子が好ましい。この駆動装置１では、変形素子２５として、圧電素子を採用する。
圧電素子の構成材料としては、特に限定されず、例えば、チタン酸ジルコニウム酸鉛（ＰＺＴ）、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛、スカンジウムニオブ酸鉛等の各種のものを用いることができる。圧電素子に、交流電圧を印加することにより、所定方向に伸長・収縮する。また、印加電圧の大きさや周波数の調整（調節）により、その伸縮変位を容易に、任意に制御することができる。これにより、変形素子２５の変形を容易かつ的確に制御することができる。
【００２２】
また、変形素子２５は、本体部２１と略合同な長方形の板状構造を有する。変形素子２５は、一対を１組として構成されており、互に対向して本体部２１を表裏から挟み込むように、本体部２１に対して平面的に揃えて積層されている（図１参照）。また、変形素子２５、２５は、本体部２１に対して固着されている。これにより、振動体２の強度を向上できる利点がある。
【００２３】
電極２６は、短冊状（長方形）の板状部材で構成されており、変形素子２５上の長辺側の縁部に沿って、一方の変形素子２５上に、２枚を１組として設置されている。設置された電極２６、２６の一方は、第１の励振部２２ａに含まれ、他方は、第２の励振部２２ｂに含まれる。
また、各電極２６は、それぞれ、振動体２（本体部２１）の長手方向の中心軸（対称軸）３１から外れた位置に設けられ、この中心軸３１に対して略平行に配置されている（図１および図２参照）。これにより、後述する作用により、振動体２に屈曲振動が励起（励振）される。
【００２４】
また、両電極２６、２６は、中心軸３１を介して対称に配置されている（図１および図２参照）。すなわち、振動体２上には、第１の励振部２２ａと第２の励振部２２ｂとが中心軸３１を間に挟んで対称に設けられている。これにより、第１の励振部２２ａが駆動された場合と、第２の励振部２２ｂが駆動された場合とで、振動体２には互に対称な振動が励起される。
また、電極２６は、表裏の変形素子２５、２５に対して、それぞれ２枚ずつ、合計４枚が設置されている。これにより、振動体２には、表裏に前記第１の励振部２２ａおよび第２の励振部２２ｂがそれぞれ形成される。但し、図面に現れない裏面側の第１の励振部２２ａおよび第２の励振部２２ｂの図示は、省略する。
【００２５】
この駆動装置１では、振動体２が、表裏に合計４つの励振部２２ａ、２２ａ、２２ｂ、２２ｂを有するが、これは、片側面のみに励振部２２ａ、２２ｂを有する場合と比較して、より強い駆動力を得られる点で好ましい。
しかし、これに限らず、振動体２の片側面のみに励振部２２ａ、２２ｂを有していても良い。これにより、振動体２（駆動装置１）を薄型化および軽量化することができる。
【００２６】
また、表裏の第１の励振部２２ａ、２２ａの電極２６、２６同士、並びに、表裏の第２の励振部２２ｂ、２２ｂの電極２６、２６同士は、それぞれ、導通線（導線）によって互に電気的に接続されている（図１および図２参照）。
また、各励振部２２ａ、２２ｂの電極２６、２６は、それぞれ、振動体２の駆動回路および検出回路（図示省略）に接続される（図１および図２参照）。駆動回路は、励振部２２ａ、２２ｂに交流電圧を印加して励振部２２ａ、２２ｂを高速で伸縮変位させ、印加電圧の調整、すなわち、印加電圧の大きさや周波数の調整により励振部２２ａ、２２ｂの伸縮変位を自在に制御する。この場合、第１の励振部２２ａと、第２の励振部２２ｂとのいずれか一方のみを駆動する（通電する）。これにより、駆動回路は、振動体２に振動を励起すると共に、その振動を制御する。
【００２７】
また、検出回路は、非駆動側（通電されていない側）の励振部から電圧を検出して、振動体２の振動周波数（振動）を検出する。検出回路側は、かかる電圧を検出するたの、検出用の抵抗（検出抵抗）を介して接地されている（グランドに接続されている）（図２参照）。
また、この駆動装置１では、振動体２と、駆動回路および検出回路との間にスイッチ（切り換えスイッチ）Ｓが設けられる。スイッチＳは、第１の励振部２２ａと、第２の励振部２２ｂとのいずれか一方のみが、駆動回路に接続され、駆動回路によって駆動されるように、励振部２２ａ、２２ｂと、駆動回路および検出回路との接続を切り換える。非駆動側の励振部は、このスイッチＳの切り換えにより検出回路に接続されて、上記のように電圧の検出、すなわち振動体２の振動周波数の検出に供される。なお、このスイッチＳには、任意の構成が採用可能である。
【００２８】
また、この駆動装置１では、検出回路側（非駆動側）の励振部の電極が接地されるが（図２参照）、これは、電荷の蓄積による変形素子２５の硬化を抑制して、変形素子２５の柔軟性を高め、振動体２の振動効率を向上させることができる点で好ましい。
接触部２３は、振動体２の短辺の中央部、すなわち長手方向の先端部の中央部に設けられている。また、接触部２３は、振動体２の中心軸３１上に配置され、この中心軸３１の方向に突出して、被駆動体Ｐに対して略垂直に当接する（図１および図２参照）。また、接触部２３は、本体部２１に対して一体的に形成されている（本体部２１と接触部２３とが一部材で形成されている）。これにより、接触部２３を本体部２１（振動体２）に対して強固に設置できる利点がある。特に、この駆動装置１では、駆動時にて、接触部２３が振動体２の振動により、高速かつ反復的に高い押圧力にて被駆動体Ｐに衝突する。したがって、かかる構成により、接触部２３の耐久性を高め得る利点がある。
【００２９】
また、接触部２３は、本実施形態では、略半円形状の先端部を有する（図１および図２参照）。かかる接触部２３は、角形の先端部を有する場合と比較して、被駆動体Ｐの側面に安定的に摩擦接触する。これにより、振動体２の作用方向が多少ずれた場合にも、振動体２からの押圧力を確実に被駆動体Ｐに伝達できる利点がある。なお、接触部２３の形状は、半円形状に限定されず、他の形状であっても良い。
【００３０】
ここで、励振部２２ａ、２２ｂと、接触部２３との位置関係について説明する。この駆動装置１では、励振部２２ａ、２２ｂと、接触部２３とが、それぞれ、励振部２２ａ、２２ｂの伸縮によって、間接的に振動体２内に屈曲振動が誘発される位置に設けられる。具体的には、上記のように、各励振部２２ａ、２２ｂは、それぞれ、振動体２の中心軸３１から外れた位置に設けられ、この中心軸３１に対して略平行に、かつ、中心軸３１を介して対称に配置される（図１および図２参照）。
【００３１】
一方、接触部２３は、振動体２の中心軸３１上に配置され、この中心軸３１の方向に突出して、被駆動体Ｐに対して略垂直に当接する。
かかる配置では、駆動装置１の非駆動（静止）状態にて、励振部２２ａ、２２ｂの長手方向、すなわち伸縮方向の延長線が、接触部２３と被駆動体Ｐとの接点（接触点）を通らない。したがって、かかる構成では、後述するように、励振部２２ａまたは２２ｂの伸縮による応力と、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力とが、振動体２に対して作用し、振動体２に屈曲運動（屈曲振動）が誘発される。これにより、振動体２に微少な屈曲振動を励起できる利点がある。また、例えば、励振部２２ａ、２２ｂへの印加電圧の調整や、励振部２２ａ、２２ｂと接触部２３との位置関係の調整等により、振動体２に励起される屈曲振動を微少量にて調整できる利点がある。屈曲振動の調整は、具体的には、例えば、印加電圧の増減（変更）、周波数の増減、励振部２２ａ、２２ｂと振動体２の中心軸３１との距離の増減等により、なし得る。
【００３２】
各支持部２４は、それぞれ、振動体２の対応する長辺の中央部、すなわち長手方向の側部中央部に、長辺に対して略垂直に突出して設けられている。各支持部２４は、本体部２１に対して一体的に形成されている（本体部２１と各支持部２４とが一部材で形成されている）。これにより、支持部２４を本体部２１（振動体２）に対して強固に設置できる利点がある。各支持部２４は、先端に設けられた孔に、例えばボルト、ネジその他の固定手段（図示省略）が挿通され、この固定手段を介して図示しない筐体（ベース）に固定設置される。また、各支持部２４は、振動体２を筐体の壁面（図示省略）から離間させた（壁面に対して浮上させた）状態で支持する。かかる構成では、振動体２と筐体の壁面との間に摩擦が生じないので、振動体２の振動が拘束され難く、振動体２の自由な振動を実現できる利点がある。
【００３３】
また、各支持部２４は、弾性を有しており、この弾性力（復元力）によって、振動体２を被駆動体Ｐ側に付勢し、この付勢力により、振動体２の接触部２３は、被駆動体Ｐの側面へ押圧される（押し付けられる）。なお、本体部２１は、例えば、この支持部２４を介して接地される。
ここで、支持部２４は、振動体２の側方であって、振動体２の振動の節となる位置に設けられる。この位置は、振動解析その他公知の手法により求めることができる。例えば、この駆動装置１のように、電極２６、２６が、振動体２の長手方向および幅方向に対称に設けられる場合（図１および図２参照）には、この振動体２の長手方向の略中央付近が振動の節となる。そこで、この駆動装置１では、支持部２４を振動体２の長辺の略中央に設ける。このようにすると、振動体２の振動時において、支持部２４が振動体２の振動を阻害しないので、支持部２４から外部への振動エネルギーの消散を抑制できる。これにより、駆動装置１を効率的に駆動できる利点がある。
【００３４】
被駆動体Ｐは、この第１実施形態では、スライダであり、振動体２の中心軸３１に対して垂直な方向（図１および図２中のｘ軸方向）にスライド可能（移動可能）に設置されている。
なお、本発明では、被駆動体Ｐの構成は、これに限らず、被駆動体Ｐは、例えば、板状体、線状体、棒状体、柱状体、筒状態、ロータ（回転体）、環状体、球状体等であってもよく、また、被駆動体Ｐは、例えば、回転可能、または、所定の支点を中心に揺動可能に設けられていてもよい。
【００３５】
図３は、図１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。図３ａ〜図３ｃは、被駆動体Ｐが図中の右方向にスライドする場合を示し、図３ｄは、逆に、被駆動体Ｐが図中の左方向にスライドする場合を示している。
この駆動装置１では、被駆動体Ｐを図３中の右側に駆動する（スライドさせる）場合において、振動体２は、駆動回路（図示省略）から、所定の周波数（高周波数）の交流電圧を第１の励振部２２ａに印加される。このとき、第２の励振部２２ｂは、スイッチＳにより、検出回路側に接続される。これにより、第１の励振部２２ａ（具体的には、電極２６が配置された部分の変形素子２５）が、この交流電圧の印加によって高速かつ反復的に長手方向に伸縮変位する。この第１の励振部２２ａ自体の伸縮変位（振動）は、屈曲を伴わない縦振動である。また、このとき、第２の励振部２２ｂ側は、伸縮変位しないか、若しくは、第１の励振部２２ａの伸縮変位により極めて微少な伸縮変位を行う。
【００３６】
まず、振動体２が変形していない初期状態（図３（ａ）参照）から、第１の励振部２２ａが長手方向に伸張する。この際、第１の励振部２２ａの伸張により生ずる応力と、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力とが、振動体２内にて作用し、振動体２は、中心軸３１が図中左側が凸となるように湾曲する方向に屈曲する（図３（ｂ）参照）。接触部２３が被駆動体Ｐに及ぼす押圧力（接触部２３の変位）Ｌは、被駆動体Ｐの移動方向に対し垂直な方向（垂直方向）に対して傾斜した方向に作用し、被駆動体Ｐの移動方向にかかる押圧成分（接触部２３の変位における被駆動体Ｐの移動方向の成分）Ｌｘを生ずる。一方、この押圧力Ｌの垂直方向にかかる押圧成分（接触部２３の変位における垂直方向の成分）Ｌｚは、接触部２３と被駆動体Ｐとの間に摩擦力を生じさせる。これにより、被駆動体Ｐは、接触部２３から与えられる、移動方向の押圧成分Ｌｘと、垂直方向の押圧成分Ｌｚとによって、図３（ｂ）中の右方向にスライドする。
【００３７】
次に、第１の励振部２２ａが収縮し、振動体２は、前記と反対方向に屈曲する（図３（ｃ）参照）。この際、接触部２３は、被駆動体Ｐから瞬時に離間し、被駆動体Ｐの右方向へのスライドを阻害することや被駆動体Ｐを左方向へスライドさせてしまうことはない。
振動体２における前記第１の励振部２２ａの伸縮を繰り返すことにより、振動体２は、図３（ｂ）および図３（ｃ）の状態を交互に繰り返す。これにより、振動体２には、結果として（間接的に）屈曲振動が誘発され、接触部２３が図中反時計回りの楕円軌道にて微少な回転運動を行う。そして、この接触部２３からの押圧力Ｌによって、被駆動体Ｐが図中の右方向に送られる。上記のように、この駆動装置１では、第１の励振部２２ａによって励振する縦振動と、この縦振動により接触部２３が受ける反力によって、振動体２に間接的に屈曲振動を誘発し、これにより被駆動体Ｐを駆動する。
【００３８】
駆動されていない第２の励振部２２ｂの電極２６は、第１の励振部２２ａの駆動時にて検出電極として機能し、振動体２の振動を検出する。そして、駆動回路は、この検出結果に基づいて第１の励振部２２ａへの印加電圧を調整し、振動体２の振動をフィードバック制御する。これにより、被駆動体Ｐの移動量や移動速度などを好適に制御できる利点がある。
【００３９】
ここで、振動体２の駆動周波数は、その縦振動の共振周波数とすることが好ましい。これにより、駆動効率の向上や、より大きな駆動力を得られる利点がある。なお、共振周波数は、振動体２の形状、構造、材質その他の要素に基づき、適宜決定し得る。
一方、上記の場合とは逆に、スイッチＳを切り換えて、第２の励振部２２ｂ側を駆動回路に接続し、第１の励振部２２ａ側を検出回路に接続すれば、被駆動体Ｐを上記と反対方向（図中左方向）に駆動できる（図３（ｄ）参照）。このとき、振動体２の接触部２３は、図中時計回りの楕円軌道にて微少な回転運動を行う。そして、この接触部２３からの押圧力によって、被駆動体Ｐが図中の左方向に送られる。
【００４０】
このようにして、被駆動体Ｐを正逆両方向（図中左右両方向）に任意に駆動することができる。すなわち、スイッチＳを切り換えて、駆動する励振部（駆動しない励振部と駆動する励振部との組合せ）を変更することにより、被駆動体Ｐの移動方向を変更することができ、被駆動体Ｐを正方向と、逆方向とのいずれの方向へも移動させることができる。
また、この駆動装置１では、励振部２２ａ、２２ｂが、振動体２の中心軸３１に対して対称に形成されている。これにより、第１の励振部２２ａが駆動された場合と、第２の励振部２２ｂが駆動された場合とで、振動体２には互に対称な屈曲振動が励起されるので、被駆動体Ｐを正逆均等に移動させ得る利点がある。
【００４１】
以上説明したように、この駆動装置１では、第１の励振部２２ａの伸縮により生ずる応力、すなわち、第１の励振部２２ａの駆動力と、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力との釣り合いによって、振動体２に間接的に屈曲振動を誘発し、被駆動体Ｐの移動方向にかかる押圧成分Ｌｘを発生（形成）する。したがって、従来の駆動装置のように、励振部に屈曲振動を励起して振動体に直接的に屈曲振動を生じさせる場合と比較して、移動方向の押圧成分Ｌｘを微少量に抑制できる利点がある。また、この移動方向の押圧成分Ｌｘは、励振部２２ａ、２２ｂへの印加電圧の調整や、励振部２２ａ、２２ｂと接触部２３との位置関係の調整により、任意に調整可能である。これにより、被駆動体Ｐを微少量にて変位、すなわち、微少（微動）送りすることができる。また、被駆動体Ｐの変位量を微少単位にて調整することができる。
【００４２】
また、この駆動装置１では、振動体２の構成が簡素であり、駆動装置１を小型化かつ軽量化することができる。
また、この駆動装置１では、励振部２２ａ、２２ｂ（すなわち変形素子２５）自身には縦振動を励起し、この縦振動による駆動力と、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力との釣り合いによって、間接的に振動体２に屈曲振動を誘発する。したがって、励振部に直接的に屈曲振動を励起する場合と比較して、被駆動体Ｐの移動方向に対して垂直な方向の押圧成分Ｌｚが大きい。これにより、接触部２３と被駆動体Ｐとの間に大きな摩擦力が得られ、被駆動体Ｐの駆動力を高くすることができる。
【００４３】
特に、従来の駆動装置では、励振部に直接的に屈曲振動を励起して被駆動体を駆動しているので、被駆動体を微少送りするためには、屈曲振動の振幅を小さくして移動方向の押圧成分Ｌｘを抑制する必要があった（図４（ｂ）参照）。このため、従来の駆動装置では、垂直方向の押圧成分Ｌｚが小さくなり、接触部と被駆動体との摩擦力が低下して、大きな駆動力が得られないという問題点があった。この点において、この駆動装置１では、励振部２２ａに縦振動を励起して、間接的に振動体２に屈曲振動を誘発するので、上記と同等の移動方向の押圧成分Ｌｘを得る場合にも、垂直方向の押圧成分Ｌｚを大きくすることができる（図４（ａ）参照）。これにより、大きな駆動力が得られるとともに、被駆動体Ｐを微少送りすることができ、高精度での位置決めが可能となる利点がある。
【００４４】
また、この駆動装置１では、励振部２２ａ、２２ｂに縦振動を励起するので、屈曲振動（もしくは、屈曲振動と縦振動の合成振動）を直接励起する場合と比較して、駆動回路や検出回路などの制御系の構成を簡素化することができる。また、振動体２の接触部２３は、励振部２２ａ、２２ｂの縦振動により、垂直方向（被駆動体Ｐの被接触面に対する高さ方向）に大きく変位することができる。したがって、例えば、被駆動体Ｐの表面粗さが大きい場合にも、接触部２３がその凹凸を容易に乗り越えることができ、これにより、安定した駆動を実現することができる。
【００４５】
また、この駆動装置１では、振動体２が、その励振部２２ａ、２２ｂの振動方向（変位方向）を、被駆動体Ｐの移動方向に対して、略垂直に向けて配置される（図１および図２参照）。したがって、振動方向が被駆動体に対して傾斜するように振動体を配置する構成と比較して、被駆動体Ｐの移動方向の押圧成分Ｌｚを小さくできると共に、より大きな駆動力（高駆動力）を得ることができる。
【００４６】
また、従来の駆動装置では、縦振動と屈曲振動との合成振動を直接励起して振動体を駆動していた。しかしながら、縦振動の共振周波数と、屈曲振動の共振周波数との両方を考慮して適切な駆動周波数を設定するのは難しく、効率的な駆動が困難であり、また、縦振動と屈曲振動とは、振動特性が駆動条件や環境条件等の影響を受けてばらつくため、その調整が困難である。この点において、この駆動装置１では、振動体２の励振部２２ａ、２２ｂは、いずれも縦振動により駆動されるので、縦振動の共振周波数と略等しい周波数を駆動周波数とすることにより、振動体２を効率的に駆動することができる。また、上記のような縦振動と屈曲振動との調整も不要であり、また、駆動パターンや導通配線も簡素化することができる。
【００４７】
また、この駆動装置１では、接触部２３を振動体２の中心軸３１上に配置し、かつ、この中心軸３１に対して対称に励振部２２ａ、２２ｂを配置する。そして、スイッチＳにより駆動される励振部２２ａ、２２ｂを切り換えて、屈曲振動の誘発方向を切り換えるので、正逆両方向に、対称に被駆動体Ｐを移動させることができる。すなわち、正逆（左右）対称になるので、正方向の駆動特性と逆方向の駆動特性とを略等しくすることができる。
【００４８】
また、この駆動装置１の用途は、特に限定されないが、駆動装置１は、上記のように、大きな駆動力にて被駆動体Ｐを微少送りできる特性を有しているので、大きな駆動力と、微少送りとを必要とする稼動装置（制御装置）や電子機器に好適に用いることができる。この具体例としては、例えば、電動ステージ、撮像装置（カメラ）の回転台等が挙げられる。
【００４９】
なお、本実施形態では、図２に示すように、検出回路側が検出用の抵抗を介して接地されているが、これに限らず、例えば、検出回路側が接地されていなくてもよい。検出回路側を接地しない場合には、検出用の抵抗を省略しても、非駆動側の励振部から電圧を検出して、振動体２の振動を検出することができる。
また、例えば、振動体２の振動を検出しない場合（非駆動側の励振部を検出回路に接続しない場合）には、前記検出用の抵抗を省略して、非駆動側の励振部が接地されるように構成してもよい。非駆動側の励振部が接地されることにより、上記のように、電荷の蓄積による変形素子２５の硬化が抑制され、変形素子２５の柔軟性が高まり、振動体２の振動効率を向上させることができる。
【００５０】
（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。
図５は、本発明の第２実施形態にかかる駆動装置を示す構成図である。
以下、第２実施形態の駆動装置１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
同図に示すように、第２実施形態では、第１の励振部２２ａおよび第２の励振部２２ｂの双方を駆動回路に接続し、これらの双方に交流電圧を印加して駆動する。なお、この駆動装置１では、第１の励振部２２ａおよび第２の励振部２２ｂの双方が駆動回路に接続させるので、検出回路が省略される。
【００５１】
また、この駆動装置１では、振動体２と、駆動回路との間にスイッチ（切り換えスイッチ）Ｓが設けられる。スイッチＳは、第１の励振部２２ａと、第２の励振部２２ｂとのいずれか一方が、駆動回路の高い（Ｈｉｇｈ）交流電圧側に接続され、他方が、駆動回路の低い（Ｌｏｗ）交流電圧側に接続され、これら励振部２２ａ、２２ｂが互いに異なる大きさの交流電圧で駆動されるように、励振部２２ａ、２２ｂと、駆動回路の高い交流電圧側、低い交流電圧側との接続を切り換える。駆動回路の高い交流電圧と、低い交流電圧とは、同じ周波数で、かつ同じ位相の交流電圧とされる。
【００５２】
図６は、図５に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
第１の励振部２２ａ側に高い交流電圧を印加し、第２の励振部２２ｂ側に低い交流電圧を印加すると、図６に示すように、これらの励振部２２ａ、２２ｂは、いずれも長手方向に伸縮して縦振動する。しかし、第１の励振部２２ａの方が第２の励振部２２ｂよりも印加される電圧が大きいので、第１の励振部２２ａの方が第２の励振部２２ｂよりも変形量、すなわち伸縮量（歪み量）が大きくなり、その伸縮量の偏り（違い）によって、振動体２が屈曲振動する。そして、接触部２３からの押圧力Ｌによって、被駆動体Ｐが図中の右方向に送られる。
【００５３】
一方、上記の場合とは逆に、スイッチＳを切り換えて、第１の励振部２２ａ側に低い交流電圧を印加し、第２の励振部２２ｂ側に高い交流電圧を印加すると、被駆動体Ｐを上記と反対方向（図中左方向）に駆動できる。
なお、前記低い交流電圧を印加したときの励振部の歪み量と、前記高い交流電圧を印加したときの励振部の歪み量とのいずれを、基準の歪み量として設定してもよい。また、前記低い交流電圧を印加したときの励振部の歪み量と、前記高い交流電圧を印加したときの励振部の歪み量との間の任意の歪み量を基準の歪み量として設定してもよい。
【００５４】
このように、励振部２２ａ、２２ｂに印加する交流電圧の大きさ（電圧値）を調整することにより、対応する励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせるので、容易に、励振部２２ａ、２２ｂの歪み量を調整（調節）することができ、対応する励振部の歪み量を基準の歪み量と異ならせることができる。すなわち、容易に、第１の励振部２２ａの歪み量を第２の励振部２２ｂの歪み量より大きくしたり、また、第２の励振部２２ｂの歪み量を第１の励振部２２ａの歪み量より大きくすることができる。そして、スイッチＳを切り換えて、歪み量の大きい（小さい）励振部（歪み量を異ならせる励振部の組合せ）を変更することにより、被駆動体Ｐの移動方向を変更することができ、被駆動体Ｐを正方向と、逆方向とのいずれの方向へも移動させることができる。
【００５５】
この駆動装置１によれば、前述した第１実施形態の駆動装置１と同様の効果が得られる。
そして、この駆動装置１では、複数の励振部２２ａ、２２ｂ（すべての励振部）を駆動（励振）して屈曲振動を誘発するので、第１実施形態の駆動装置１と比較して、より大きな駆動力を得ることができる。
【００５６】
また、この駆動装置１では、振動体２の屈曲の大きさ（屈曲率）が、第１の励振部２２ａに印加される電圧と、第２の励振部２２ｂに印加される電圧との差（励振部２２ａ、２２ｂ間の電圧差）により規制される。したがって、励振部２２ａ、２２ｂ間の電圧差を調整することにより、容易に、振動体２の１回の振動による被駆動体Ｐの移動量を調整することができる。
【００５７】
また、励振部２２ａ、２２ｂ間の電圧差を小さくして振動体２の１回の振動による被駆動体Ｐの移動量を微少としても、各励振部２２ａ、２２ｂ自体には、大きな交流電圧を印加することができるので、垂直方向にかかる押圧成分Ｌｚを大きくすることができる。したがって、接触部２３と被駆動体Ｐとの間に十分に大きな摩擦力を与えることができ、より大きな駆動力が得られ、また、被駆動体Ｐの駆動効率をより高くすることができる。
【００５８】
図７は、図５に記載した駆動装置の変形例を示す構成図である。
同図に示すように、この駆動装置１では、振動体２と駆動回路との間に、スイッチ（切り換えスイッチ）Ｓと、駆動回路の出力電圧を減圧（降圧）する、減圧（降圧）用の抵抗とが設けられる。第１の励振部２２ａおよび第２の励振部２２ｂは、駆動回路の共通の出力部に接続される。
【００５９】
スイッチＳは、第１の励振部２２ａと、第２の励振部２２ｂとのいずれか一方が、駆動回路の出力部に前記減圧用の抵抗を介さずに接続され、高い（Ｈｉｇｈ）交流電圧が印加され、他方が、駆動回路の出力部に前記減圧用の抵抗を介して接続され、低い（Ｌｏｗ）交流電圧が印加され、これら励振部２２ａ、２２ｂが互いに異なる大きさの交流電圧で駆動されるように、励振部２２ａ、２２ｂと、高い交流電圧側、低い交流電圧側との接続を切り換える。
【００６０】
かかる構成では、第１の励振部２２ａを駆動回路の出力部に減圧用の抵抗を介さずに接続し、第２の励振部２２ｂを駆動回路の出力部に減圧用の抵抗を介して接続すると、第２の励振部２２ｂ側は、第１の励振部２２ａ側より、その減圧用の抵抗によって印加電圧が小さくなり、その伸縮量（歪み量）が小さくなる。これにより、第１の励振部２２ａと第２の励振部２２ｂとの間に伸縮量の偏り（違い）が生じ、上記と同様の作用によって、振動体２に屈曲振動が誘発される。なお、スイッチＳを切り換えた場合も同様である。
この構成によれば、駆動回路その他の制御系の構成をより簡素化することができる。
なお、この第２実施形態は、各実施形態に適用することができる。
【００６１】
（第３実施形態）
次に、第３実施形態について説明する。
図８は、本発明の第３実施形態にかかる駆動装置の振動体を示す構成図である。
以下、第３実施形態の駆動装置１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６２】
同図に示すように、第３実施形態では、振動体２がスリット２７を有している。スリット２７は、第１の励振部２２ａと第２の励振部２２ｂとの間、すなわち、振動体２の中心軸３１上に設けられており、このスリット２７により、本体部２１および変形素子２５が切り欠かれたようになっている。すなわち、スリット２７により、第１の励振部２２ａと、第２の励振部２２ｂとが、振動体２上にて分離されている。
【００６３】
この場合、スリット２７は、図８（ａ）に示すように、振動体２の接触部２３と反対側（図中上側）の端部において開放していてもよく、また、図８（ｂ）に示すように、開放していなくてもよい。
この駆動装置１によれば、前述した第１実施形態の駆動装置１と同様の効果が得られる。
【００６４】
そして、この駆動装置１では、電圧が印加された励振部２２ａ、２２ｂは、いずれも他方の励振部に拘束されることなく、ほぼ独立して伸縮変位する。すなわち、各励振部２２ａ、２２ｂ間の干渉が抑制され、電圧が印加された励振部２２ａ、２２ｂは、いずれも伸縮し易くなり、これにより、振動体２の駆動効率が向上する。
なお、この第３実施形態は、各実施形態に適用することができる。
【００６５】
（第４実施形態）
次に、第４実施形態について説明する。
図９は、本発明の第４実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図、図１０は、図９に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
以下、第４実施形態の駆動装置１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
これらの図に示すように、第４実施形態では、第１実施形態の駆動装置１と比較して、より厚みのある本体部２１を有し、この本体部２１の片面に第１の励振部２２ａを有し、他の片面に第２の励振部２２ｂを有する。
【００６６】
この駆動装置１では、励振部２２ａ、２２ｂが、被駆動体Ｐの移動方向（図９中のｘ軸方向）から本体部２１を挟み込むように、本体部２１の対向する側面にそれぞれ設置されている。また、励振部２２ａ、２２ｂは、本体部２１の厚みによって、振動体２の中心軸３１から被駆動体Ｐの移動方向に外れた位置に配置される。言い換えると、励振部２２ａ、２２ｂは、本体部２１の側面のうち被駆動体Ｐの移動方向側にかかる面上に、互に対向して設置される。
【００６７】
この振動体２は、その長手方向の後端側（接触部２３が設けられていない側）にて、固定手段（図示省略）を介して、若しくは直接的に、筐体（図示省略）に対して固定される。なお、振動体２は、励振部２２ａ、２２ｂが形成されていない側の側面にて、固定されてもよい。
この駆動装置１において、第１の励振部２２ａに交流電圧が印加されて、第１の励振部２２ａが伸縮変位すると、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力によって、振動体２に屈曲振動が誘発される。そして、接触部２３からの押圧力Ｌによって、被駆動体Ｐが図中の右方向に送られる。なお、第２の励振部２２ｂに交流電圧が印加された場合には、同様にして、被駆動体Ｐが図中の左方向に送られる。
この駆動装置１によれば、前述した第１実施形態の駆動装置１と同様の効果が得られる。
【００６８】
（第５実施形態）
次に、第５実施形態について説明する。
図１１は、本発明の第５実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図、図１２は、図１１に記載した駆動装置を示す構成図である。
以下、第５実施形態の駆動装置１について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００６９】
これらの図に示すように、第５実施形態では、振動体２が立体的に配置された励振部２２ａ〜２２ｂを有し、これにより、被駆動体Ｐを平面方向に任意に駆動し得るようになっている。
この駆動装置１では、本体部２１は、断面形状が正方形（四角形）の柱状（四角柱状）をなしている。本体部２１の４つの側面には、第１の励振部２２ａ〜第４の励振部２２ｄが、それぞれ設けられている。これらの励振部２２ａ〜２２ｄは、本体部２１の厚みによって、いずれも振動体２の中心軸３１から外れた位置に設けられ、かつ、中心軸３１に対して略平行に設けられている。なお、この駆動装置１では、第１の励振部２２ａと第２の励振部２２ｂとが互に対向し、第３の励振部２２ｃと第４の励振部２２ｄとが互に対向するように配置されている（図１２参照）。
【００７０】
これらの励振部２２ａ〜２２ｄは、駆動回路および検出回路に接続され、スイッチＳの切り換えにより接続が切り換えられる。
本体部２１の先端側の面には、接触部２３が設けられている。接触部２３は、振動体２の中心軸３１の方向に突出し、被駆動体Ｐに当接している。
また、振動体２は、その中心軸３１を被駆動体Ｐに対して略垂直に立てて設置されている。この振動体２は、その長手方向の後端側（接触部２３が設けられていない側）にて、固定手段（図示省略）を介して、若しくは直接的に、筐体（図示省略）に対して固定される。
【００７１】
図１３〜図１６は、図１１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
この駆動装置１において、図１３に示すように、第１の励振部２２ａ、第２の励振部２２ｂおよび第３の励振部２２ｃに電圧を印加してこれらを駆動すると、これらの励振部２２ａ〜２２ｃと非駆動の励振部２２ｄとによって振動体２内の伸縮量に偏りが生じる。そして、振動体２には、この駆動力と、接触部２３が被駆動体Ｐから受ける反力との釣り合いによって、屈曲振動が誘発される（図１４参照）。これにより、接触部２３が楕円軌道にて回転運動して、被駆動体Ｐが、ｘｙ平面（振動体２の中心軸３１の方向をｚ軸方向として、このｚ軸に垂直な平面（図１０参照））内の所定の方向に送られる。具体的には、第１〜第３の励振部２２ａ〜２２ｃを駆動した場合には、被駆動体Ｐは、第３の励振部２２ｃから第４の励振部２２ｄに向かう方向（図１３および図１４中の左方向）に送られる。
【００７２】
また、第１、第２、第４の励振部２２ａ、２２ｂ、２２ｄを駆動した場合には、被駆動体Ｐは、第４の励振部２２ｄから第３の励振部２２ｃに向かう方向（図１３および図１４中の右方向）に送られる。
また、第１、第３、第４の励振部２２ａ、２２ｃ、２２ｄを駆動した場合には、被駆動体Ｐは、第１の励振部２２ａから第２の励振部２２ｂに向かう方向（図１３中の下方向）に送られる。
【００７３】
また、第２、第３、第４の励振部２２ｂ、２２ｃ、２２ｄを駆動した場合には、被駆動体Ｐは、第２の励振部２２ｂから第１の励振部２２ａに向かう方向（図１３中の上方向）に送られる。
この駆動装置１によれば、第１実施形態の駆動装置１と比較して、励振部２２の数が多いので、より強い駆動力にて被駆動体Ｐを駆動できる利点がある。
【００７４】
なお、第３の励振部２２ｃのみを駆動しても、第１〜第３の励振部２２ａ〜２２ｃを駆動した場合と同じ方向に被駆動体Ｐを駆動できる。他の励振部の場合も同様である。
また、この駆動装置１において、図１５に示すように、第１の励振部２２ａおよび第３の励振部２２ｃを駆動した場合には、これらの励振部２２ａ、２２ｃから非駆動の励振部２２ｂ、２２ｄに向かって（図１５中の左下方向に）屈曲する屈曲振動が誘発され、この方向（図１５中の左下方向）に被駆動体Ｐが送られる。
【００７５】
また、図１６に示すように、第１の励振部２２ａおよび第４の励振部２２ｄを駆動した場合には、これらの励振部２２ａ、２２ｄから非駆動の励振部２２ｂ、２２ｃに向かって（図１６中の右下方向に）屈曲する屈曲振動が誘発され、この方向（図１６中の右下方向）に被駆動体Ｐが送られる。
また、第２の励振部２２ｂおよび第４の励振部２２ｄを駆動した場合には、これらの励振部２２ｂ、２２ｄから非駆動の励振部２２ａ、２２ｃに向かって（図１５中の右上方向に）屈曲する屈曲振動が誘発され、この方向（図１５中の右上方向）に被駆動体Ｐが送られる。
【００７６】
また、第２の励振部２２ｂおよび第３の励振部２２ｃを駆動した場合には、これらの励振部２２ｂ、２２ｃから非駆動の励振部２２ａ、２２ｄに向かって（図１６中の左上方向に）屈曲する屈曲振動が誘発され、この方向（図１６中の左上方向）に被駆動体Ｐが送られる。
なお、本実施形態では、本体部２１は、四角柱状をなしているが、これに限らず、例えば、三角柱状、五角柱状、六角柱状等、断面形状が多角形の多角柱状をなしていてもよい。また、その他任意の幾何学的形状をなしていてもよい。
また、本実施形態では、各側面に、１つの励振部が設けられているが、これに限らず、例えば、各側面に、複数の励振部が設けられていてもよい。
【００７７】
（第６実施形態）
次に、第６実施形態について説明する。
図１７は、本発明の第６実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図である。
以下、第６実施形態の駆動装置１について、前述した第５実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００７８】
同図に示すように、第６実施形態の駆動装置１は、それを電動ステージに適用したものである。この駆動装置１は、ベース１１と、板状のステージである被駆動体Ｐと、第５実施形態の複数（本実施形態では３つ）の振動体２とを有している。被駆動体Ｐは、各振動体２の共通の被駆動体である。
各振動体２は、接触部２３を真上（図中上側）に向けつつ、ベース１１上に、その中心軸３１を垂直に立てて、その長手方向の後端側（接触部２３が設けられていない側）にて固定されている。これら振動体２は、各接触部２３が直線状に並ばず、三角形の頂点に位置するように配置されている。
【００７９】
被駆動体Ｐは、このように配列された各振動体２の接触部２３上に乗り、かつ変位し得るように設置されている。すなわち、被駆動体Ｐの底面は、各振動体２の接触部２３により点支持されている。
図１８は、図１７に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
同図に示すように、この駆動装置１では、各振動体２の駆動を制御することにより、被駆動体Ｐを、ｘｙ平面上にて、例えば、任意の方向に直線移動させたり（図１８（ａ）参照）、回転移動させたり（図１８（ｂ）参照）、直線移動と回転移動とを同時にさせたり等、任意の動きをさせることができる。
【００８０】
このように、この駆動装置１によれば、被駆動体Ｐをｘｙ平面内にて任意に、大きい駆動力で、かつ、微少送りにて駆動することができる。
また、この駆動装置１において、各振動体２の各励振部２２ａ〜２２ｄをすべて駆動することにより、接触部２３と被駆動体Ｐとの間の摩擦抵抗が実質的になくなり（極めて小さくなり）、被駆動体Ｐのｘｙ平面方向の拘束力をなくすことができる。これにより、被駆動体Ｐをｘｙ平面方向に容易に移動させることができる。
【００８１】
また、この駆動装置１において、各振動体２の各励振部２２ａ〜２２ｄをすべてゆっくり収縮させた後、急激に伸張させることにより、被駆動体Ｐをｚ軸方向（図１７参照）に打ち上げることも可能である。
なお、この第６実施形態では、被駆動体Ｐが、平板状のステージであるが、これに限らず、被駆動体Ｐの形状を、例えば、球状や、円柱状としてもよい。
【００８２】
（第７実施形態）
次に、第７実施形態について説明する。
図１９は、本発明の第７実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図である。
以下、第７実施形態の駆動装置１について、前述した第５実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
【００８３】
同図に示すように、第７実施形態では、振動体２の本体部２１が、円柱形状をなしている。この駆動装置１では、本体部２１の周面（側面）に同一形状を有する８つの励振部２２ａ〜２２ｈが等間隔（等角度間隔）で設けられている。すなわち、励振部２２ａ〜２２ｈは、本体部２１の周面を取り囲むように設けられている。なお、励振部の数は、８つに限定されないことは、言うまでもない。
【００８４】
また、本体部２１の先端側の面には、接触部２３が設けられている。接触部２３は、振動体２の中心軸３１の方向に突出し、被駆動体Ｐに当接している。被駆動体Ｐは、この駆動装置１では、球体である（球状をなしている）。
また、振動体２は、その長手方向の後端側（接触部２３が設けられていない側）にて、固定手段（図示省略）を介して、若しくは直接的に、筐体（図示省略）に対して固定される。
【００８５】
この駆動装置１では、いずれの励振部２２ａ〜２２ｈを駆動するかによって、振動体２に中心軸３１の方向に対する任意の屈曲振動を励起できる。これにより、被駆動体Ｐを、大きい駆動力で、任意の方向に微少回転（微少変位）させることができる。
以上、本発明の駆動装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図である。
【図２】図１に記載した駆動装置を示す構成図である。
【図３】図１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図４】図１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図５】本発明の第２実施形態にかかる駆動装置を示す構成図である。
【図６】図５に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図７】図５に記載した駆動装置の変形例を示す構成図である。
【図８】本発明の第３実施形態にかかる駆動装置の振動体を示す構成図である。
【図９】本発明の第４実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図である。
【図１０】図９に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図１１】本発明の第５実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図である。
【図１２】本発明の第５実施形態にかかる駆動装置を示す構成図である。
【図１３】図１１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図１４】図１１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図１５】図１１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図１６】図１１に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図１７】本発明の第６実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図である。
【図１８】図１７に記載した駆動装置の作用を示す説明図である。
【図１９】本発明の第７実施形態にかかる駆動装置を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８７】
１…駆動装置  ２…振動体  １１…ベース  ２１…本体部  ２２ａ〜２２ｈ…励振部  ２３…接触部  ２４…支持部  ２５…変形素子  ２６…電極  ２７…スリット  ３１…中心軸  Ｌ…押圧力  Ｌｘ…押圧成分  Ｌｚ…押圧成分  Ｐ…被駆動体  Ｓ…スイッチ
【図１】
2005102368.tif 000003
【図２】
2005102368.tif 000004
【図３】
2005102368.tif 000005
【図４】
2005102368.tif 000006
【図５】
2005102368.tif 000007
【図６】
2005102368.tif 000008
【図７】
2005102368.tif 000009
【図８】
2005102368.tif 000010
【図９】
2005102368.tif 000011
【図１０】
2005102368.tif 000012
【図１１】
2005102368.tif 000013
【図１２】
2005102368.tif 000014
【図１３】
2005102368.tif 000015
【図１４】
2005102368.tif 000016
【図１５】
2005102368.tif 000017
【図１６】
2005102368.tif 000018
【図１７】
2005102368.tif 000019
【図１８】
2005102368.tif 000020
【図１９】
2005102368.tif 000021