(57)【要約】    【課題】  デュアルトラック型のトランスバーサル型弾性表面波フィルタであって、シミュレーション時の特性とは異なる所望でないリップルが通過帯域内に現れることを抑制でき、それによって通過帯域内偏差の改善を図ることができるトランスバーサル型弾性表面波フィルタを提供する。    【解決手段】  圧電基板２上において、並列に接続された第１，第２のチャネルを備え、第１のチャネルが、第１の入力変換器３及び第１出力変換器４を有し、第２チャネルが、第２入力変換器５及び第２出力変換器６を有し、入出力変換器３〜６の少なくとも一つが、その内部において弾性表面波の音速が異なる部分を有しており、第１入力変換器３−第１出力変換器４の電極指中心間距離Ｌ1と、第２入力変換器−第２出力変換器６の電極指中心間距離Ｌ2とが、表面波の波長λとしたときに、０．０１５λ〜０．０３５λ異ならされている、トランスバーサル型弾性表面波フィルタ１。【選択図】    図１
2005102119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電基板と、
圧電基板上に形成された第１，第２のチャネルとを備え、
前記第１チャネルが、第１の入力変換器と第１の出力変換器とを有し、第１の入力変換器及び第１の出力変換器により第１の伝達関数を有するように重み付けされており、前記第２のチャネルが、第２の入力変換器と第２の出力変換器とを有し、第２の入力変換器及び第２の出力変換器により第２の伝達関数を有するように重み付けされており、
第１，第２の入力変換器が電気的に接続されており、第１，第２の出力変換器が電気的に接続されているトランスバーサル型弾性表面波フィルタにおいて、
前記入力変換器及び出力変換器の少なくとも一方がＳＰＵＤＴからなり、入力変換器の電極指のうち最も出力変換器側の電極指の中心と、出力変換器の電極指のうち最も入力変換器側の電極指の中心との距離が、表面波の波長をλとしたときに、第１のチャネルと第２のチャネルとにおいて０．０１５λ〜０．０３５λ異なっていることを特徴とする、トランスバーサル型弾性表面波フィルタ。
【請求項２】
入力変換器の電極指のうち最も出力変換器側の電極指の中心と、出力変換器の電極指のうち最も入力変換器側の電極指の中心との距離が、第１のチャネルと、第２のチャネルとにおいて、０．０２λ〜０．０３λ異ならされている請求項１に記載のトランスバーサル型弾性表面波フィルタ。
【請求項３】
前記第１及び第２のチャネルの少なくとも一方において、入力変換器及び出力変換器の少なくとも一方が、単位波長区間に３本あるいは４本の電極指を有する一方向性電極で構成されている、請求項１または２に記載のトランスバーサル型弾性表面波フィルタ。
【請求項４】
前記複数種の電極指幅の電極指を有する入力及び／または出力変換器において、電極指幅が表面波伝搬方向に沿って異なる部分における電極指ピッチが、電極指幅が表面波伝搬方向において変わらない部分の電極指ピッチに対して異ならされている、請求項３に記載のトランスバーサル型弾性表面波フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１，第２のチャネルが並列に接続された構造を有するデュアルトラック型のトランスバーサル型弾性表面波フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、第１，第２のチャネルが並列接続されたデュアルトラック型のトランスバーサル型の弾性表面波フィルタが知られている。例えば、下記の特許文献１には、図９に示す弾性表面波フィルタが開示されている。弾性表面波フィルタ１０１では、第1の入力変換器Ｔ１Ｕ及び第１の出力変換器Ｔ２Ｕからなる第１のチャネルと、第２出力変換器Ｔ１Ｌ及び第２の出力変換器Ｔ２Ｌを有する第２のチャネルとが構成されている。第１入力変換器Ｔ１Ｕ及び第２入力変換器Ｔ１Ｌは電気的に接続されており、第１出力変換器Ｔ２Ｕ及び第２出力変換器Ｔ２Ｌが電気的に接続されている。すなわち、第１，第２チャネルは、それぞれが、トランスバーサル型弾性表面波フィルタにより構成されており、かつ第１，第２チャネルが並列に接続されている。
【０００３】
この弾性表面波フィルタでは、第１，第２のチャネルの伝達関数が、フィルタの通過帯域では同相であり、阻止帯域では逆相とされている。それによって、弾性表面波フィルタの寸法を減少させることができ、かつ阻止域における減衰量の拡大が図られる。
【０００４】
また、下記の特許文献２にも同様の構成を備えた弾性表面波フィルタが開示されている。
【特許文献１】特開２０００−７７９７４号公報
【特許文献２】特開２００１−０５３５８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ＣＤＭＡ方式などの携帯電話やデジタル衛星ラジオ用チューナーのＩＦ用フィルタでは、小型であり、かつ選択度が優れていることが強く求められている。特許文献１，２に記載のような第１，第2のチャネルを並列してなるデュアルトラック型の弾性表面波フィルタでは、小型化及び選択度の向上を図り得るとされている。
【０００６】
しかしながら、この種のデュアルトラック型弾性表面波フィルタを実際に試作すると、シミュレーション時には認められなかったリップルが通過帯域内に生じるという問題があった。本願発明者は、このようなリップルの原因について検討した結果、デュアルトラック型弾性表面波フィルタにおいては、第１，第２のチャネル単独の特性に現れるリップルの位置が、シミュレーション時と実際に製作されたデュアルトラック型弾性表面波フィルタとでは異なることを見出した。
【０００７】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解決し、第１，第２のチャネルが並列接続された構成を有するトランスバーサル型弾性表面波フィルタにおいて、小型でありかつ選択度に優れているだけでなく、通過帯域内に現れる所望でないリップルの発生を抑制することができ、良好な帯域内特性を得ることを可能とするトランスバーサル型弾性表面波フィルタを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、第１，第２チャネルが並列接続されたデュアルトラック型のトランスバーサル型弾性表面波フィルタに関する。すなわち、本発明は、圧電基板と、圧電基板上に形成された第１，第２のチャネルとを備え、前記第１チャネルが、第１の入力変換器と第１の出力変換器とを有し、第１の入力変換器及び第１の出力変換器により第１の伝達関数を有するように重み付けされており、前記第２のチャネルが、第２の入力変換器と第２の出力変換器とを有し、第２の入力変換器及び第２の出力変換器により第２の伝達関数を有するように重み付けされており、第１，第２の入力変換器が電気的に接続されており、第１，第２の出力変換器が電気的に接続されているトランスバーサル型弾性表面波フィルタにおいて、前記入力変換器及び出力変換器の少なくとも一方がＳＰＵＤＴからなり、入力変換器の電極指のうち最も出力変換器側の電極指の中心と、出力変換器の電極指のうち最も入力変換器側の電極指の中心との距離が、表面波の波長をλとしたときに、第１のチャネルと第２のチャネルとにおいて０．０１５λ〜０．０３５λ異なっていることを特徴とする、トランスバーサル型弾性表面波フィルタを特徴とする。
【０００９】
本発明に係るトランスバーサル型弾性表面波フィルタのある特定の局面では、入力変換器の電極指のうち最も出力変換器側の電極指の中心と、出力変換器の電極指のうち最も入力変換器側の電極指の中心との間隔が、第１のチャネルと、第２のチャネルとにおいて、０．０２λ〜０．０３λ異ならされている。
【００１０】
本発明に係るトランスバーサル型弾性表面波フィルタの他の特定の局面では、前記第１及び第２のチャネルの少なくとも一方において、入力変換器及び出力変換器の少なくとも一方が、単位波長区間に３本あるいは４本の電極指を有する一方向性電極で構成されている。
【００１１】
本発明に係るトランスバーサル型弾性表面波フィルタのさらに別の特定の局面では、前記複数種の電極指幅の電極指を有する入力及び／または出力変換器において、電極指幅が表面波伝搬方向に沿って異なる部分における電極指ピッチが、電極指幅が表面波伝搬方向において変わらない部分の電極指ピッチに対して異ならされている。
【発明の効果】
【００１２】
本発明に係るトランスバーサル型弾性表面波フィルタでは、第１，第２のチャネルが並列に接続されたデュアルトラック型の構成において、入力変換器−出力変換器の電極指中心間距離が、第１のチャネルと第２のチャネルとの間で異ならされており、その電極指中心間距離の差が０．０１５λ〜０．０３５λとされているため、変換器中に表面波の音速が異なる部分の存在による音速差が補正される。従って、実際に製作されたデュアルトラック型のトランスバーサル型弾性表面波フィルタにおいて、シミュレーション時と異なる所望でないリップルを抑圧することができ、通過帯域内偏差が改善される。よって、良好なフィルター特性を確実に得ることが可能となる。
【００１３】
上記入力変換器の電極指のうち最も出力変換器側の電極指の中心と、出力変換器の電極指のうち最も入力変換器側の電極指の中心との間隔が、第１のチャネルと第２のチャネルとにおいて、０．０２λ〜０．０３λ異ならされている場合には、本発明に従って、より一層効果的に帯域内偏差を改善することができる。
【００１４】
第１及び第２のチャネルの少なくとも一方において、入力変換器及び出力変換器の少なくとも一方が、単位波長区間に３本あるいは４本の電極指を有する一方向性電極で構成されている場合には、電極指幅が異なる部分において表面波の音速差が生じるが、本発明に従って、上記音速差による影響が補正され、帯域内偏差が改善される。
【００１５】
また、複数種の電極指幅の電極指を有する入力及び／又は出力変換器において、電極指幅が表面波伝搬方向に沿って異なる部分における電極指ピッチが、電極指が表面波伝搬方向において変わらない部分の電極指ピッチに対して異ならされている場合には、該電極指ピッチの異ならせ方によっても音速差が補正される。また、電極指ピッチを異ならせることによる音速差の補正に誤差が生じている場合であっても、本発明に従って、音速差による影響を低減でき、より一層通過帯域内における所望でないリップルの発生を抑制し、良好な帯域内特性を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１７】
図１は、本発明の一実施形態に係るトランスバーサル型弾性表面波フィルタの平面図である。
【００１８】
トランスバーサル型弾性表面波フィルタ１は、矩形板上の圧電基板２を有する。圧電基板２は、例えば、ＬｉＴａＯ3などの圧電端結晶または圧電セラミックスにより構成される。圧電基板２上には、第１入力変換器３と、第１入力変換器３と表面波伝搬方向に隔てられた第１出力変換器４とが形成されており、第１入力変換器３及び第１出力変換器４により第１チャネルが構成されている。また、圧電基板２上には、第１のチャネル２の側方において、第２のチャネルが構成されている。第２のチャネルは、第２の入力変換器５と、第２の入力変換器５と表面波伝搬方向に隔てられて設けられた第２出力変換器６とを有する。
【００１９】
第１のチャネルは、第１入力変換器３及び第１出力変換器４により第１の伝達関数を有するように重み付けされており、他方、第２のチャネルは、第２入力変換器５及び第２出力変換器６により、第１の伝達関数と異なる第２の伝達関数を有するように重み付けされている。
【００２０】
すなわち、第１，第２のチャネルは、それぞれ、トランスバーサル型弾性表面波フィルタとして構成されている。また、本実施形態では、第１入力変換器３と第２入力変換器５の各一方のバスバーが共通化されている。そして、第１入力変換器３の他方のバスバーと、第２入力変換器５の他方のバスバーとが共通接続されている。すなわち、第１，第２入力変換器３，５が電気的に接続されている。同様に、第１出力変換器４と第２出力変換器６も電気的に接続されている。
【００２１】
従って、第１，第２チャネルは並列接続されている。
【００２２】
本実施形態の弾性表面波フィルタは、上記のように並列接続された第１，第２チャネルを有するデュアルトラック型のトランスバーサル型弾性表面波フィルタである。
【００２３】
第１入力変換器３、第１出力変換器４、第２入力変換器５及び第２出力変換器６は、いずれも数本の電極指を有するインターデジタルトランスデューサー（ＩＤＴ）により構成されている。
【００２４】
また、第１入力変換器３、第１出力変換器４及び第２入力変換器５及び第２出力変換器６は、いずれも、ＳＰＵＤＴにより構成されている。もっとも、本発明においては、第１入力変換器３、第１出力変換器４、第２入力変換器５及び第２出力変換器６のうち少なくとも１つがＳＰＵＤＴにより構成されていればよい。
【００２５】
上記第１入力変換器３は、より具体的には、図２（ａ）及び（ｂ）に示す電極構造３Ａ，３Ｂを備えるＥＷＣ型（Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ  Ｗｉｄｔｈ  Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｄ）のＳＰＵＤＴ（Ｓｉｎｇｌｅ  Ｐｈａｓｅ  Ｕｎｉｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ  Ｔｒａｎｓｄｕｓｅｒ）により構成されている。また、第１出力変換器４、第２入力変換器５及び第２出力変換器６も、同様に、ＥＷＣ型のＳＰＵＤＴにより構成されている。
【００２６】
図２（ａ）に示す電極構造３Ａは、単位波長区間に３本の電極指１１〜１３を有する。電極指１１の幅は３λ／８、電極指１２，１３の幅及び電極指間ギャップはλ／８とされている。もっとも、ＥＷＣ型ＳＰＵＤＴにおける電極指の幅や電極指間ギャップは、上記特定の値に限定されるものではなく適宜変更し得るものである。
【００２７】
ＥＷＣ型ＳＰＵＤＴは、他のＳＰＵＤＴの場合と同様に、ＳＰＵＤＴの中心と、反射中心とが異なる、一方向性のＩＤＴである。
【００２８】
第１入力変換器３は、図２（ａ）で示す一方向性の電極構造３Ａを有するだけでなく、図２（ｂ）に示す方向性を有しない電極構造３Ｂをも含む。なお、図２（ｂ）に示す、方向性を有しない電極構造３Ｂでは、単位波長区間に、複数本の電極指１４〜１７が配置されている。電極指１４〜１７の電極指の幅はいずれもλ／８、電極指間ギャップはλ／８とされている。
【００２９】
図１に戻り、本実施形態の弾性表面波フィルタ１では、第１入力変換器３と第１出力変換器４との間、及び第２入力変換器５と第２出力変換器６との間の圧電基板２上において、シールド電極７が形成されている。
【００３０】
なお、上記各変換器３〜６及びシールド電極は、例えばＡｌなどの適宜の金属材料により構成される。
【００３１】
さらに、圧電基板２上においては、表面波伝搬方向外側に、ダンピング材８，９が形成されている。
【００３２】
本実施形態の弾性表面波フィルタ１の特徴は、第１入力変換器３と、第１出力変換器４との電極指中心間距離をＬ1、第２の入力変換器５と第２出力変換器６との電極指中心間距離をＬ2としたときに、Ｌ1とＬ2とが、表面波の波長をλとしたときに０．０１５λ〜０．０３５λ異なっていることにある。
【００３３】
なお、距離Ｌ1，Ｌ2は、隣接し合う電極指中心間距離である。すなわち、距離Ｌ1を例にとると、第１入力変換器３の複数本の電極指のうち、最も第１の出力変換器４に近い側の２本の電極指の中心と、第１出力変換器４の複数本の電極指のうち、最も第１入力変換器３に近い側の２本の電極指の中心との間の距離である。
【００３４】
本実施形態の弾性表面波フィルタ１では、第１，第２のチャネルにおける上記電極指中心間距離Ｌ1と、電極指中心間距離Ｌ2とが０．０１５λ〜０．０３５λ異なっているため、帯域内における所望でないリップルを効果的に抑制することができる。
【００３５】
次に、具体的な実験例に基づき、第１のチャネルにおける電極指中心間距離Ｌ1と、第２のチャネルにおける電極指中心間距離Ｌ2とが０．０１５λ〜０．０３５λ異ならされていることにより、帯域内における所望なリップルを抑圧し得ることを説明する。
【００３６】
本実験例においては、第１，第２入力変換器３，５の電極指の対数を１６３．５対とし、第１出力変換器４及び第２出力変換器の電極指の対数をいずれも１４９．５対とした。また、図２（ａ）に示した方向性を有する電極構造３Ａが、第１入力変換器中には８７ヶ所、第１出力変換器中には、６５ヶ所構成し、すなわち、第１のチャネルでは合計１５２ヶ所に構成した。他方、第２入力変換器５中には、３１ヶ所、第２出力変換器６中には、６０ヶ所設け、第２チャネルにおいては、方向性を有する電極構造を合計９１ヶ所構成した。但し、出力変換器４，６中の方向性を有する電極構造の方向性は、入力変換器３，５の中の方向性を有する電極構造の方向性とは逆方向とした。
【００３７】
また、図２（ａ）に示した方向性を有する電極構造３Ａと、図２（ｂ）に示した方向性を有しない電極構造３Ｂとの音速の違いを補正するために、方向性を有する電極構造の単位波長区間の長さは、方向性を有しない電極構造の単位波長区間の長さの０．１１％大きくした。
【００３８】
圧電基板２としては、Ｘカット１１１２°Ｙ伝搬ＬｉＴａＯ3基板を用い、該圧電基板上に、Ａｌを主成分とした金属薄膜を形成した後パターニングすることにより、上述した電極構造を形成した。さらにその上からＳｉＯ2薄膜を７２０ｎｍの厚みで形成した。
【００３９】
なお、上記シールド電極７の表面波伝搬方向に沿う寸法は３００μｍとした。
【００４０】
上記のような弾性表面波フィルタ１において、電極指中心間距離Ｌ1と電極指中心間距離Ｌ2との差ΔＬ＝Ｌ2−Ｌ1を種々異ならせ、複数種の弾性表面波フィルタを作成し、通過帯域内におけるリップルの有無を評価した。
【００４１】
図３では、ΔＬが０の場合、０．０２λの場合及び０．０４λの場合が示されている。図３から明らかなように、ΔＬが０．０２λの場合には、ΔＬ＝０及びΔＬ＝０．０４λの場合に比べて、通過帯域内偏差、すなわち、リップルの谷部分と山部分との減衰量差が小さいことが分かる。
【００４２】
そこで、ΔＬが０．０２λの場合に通過帯域内偏差が低減される理由を検討した。これを図４〜図６を参照して説明する。
【００４３】
まず、電極指中心間距離Ｌ1＝Ｌ2＝３５．０λとした場合の上記弾性表面波フィルタにおける第１チャネル単独の振幅特性及び第２チャネル単独の振幅特性をシミュレーションにより求めた。結果を図４及び図５に破線で示す。そして、実際に試作された弾性表面波装置における第１チャネル単独の振幅特性及び第２チャネルの単独の振幅特性を測定した。結果を図４及び図５に実線で示す。
【００４４】
図５に示すように、第２チャネルでは、帯域内リップルの山谷の周波数位置は、シミュレーション値と実測値との間であまり差がなかった。これに対して、図４に示すように、第１チャネルについては、シミュレーションにより得られた帯域内偏差と、実測による帯域内偏差とに差があることが分かった。
【００４５】
図４に示したように、実測された第１チャネル単独の特性上のリップルと、シミュレーションにより得られた特性上のリップルとがずれているため、シミュレーションの条件を検討した。そして、両者のリップルの周波数位置を合致させる条件を求めたところ図６に示すように、Ｌ1＝３５．０２λとすればよいことが分かった。なお、図６の実線は、第１のチャネル単独の実測された特性を示し、破線は、Ｌ1＝３５．０２λとしてシミュレーションを行なった場合の第１のチャネル単独の特性を示す。
【００４６】
つまり、何らかの理由により、Ｌ1＝３５．００λで設計したはずの第１のチャネルがシミュレーション上はＬ1＝３５．０２λとした場合と同等な特性を示している。このため、この差を打ち消すようにＬ1＝３４．９８λ（ΔＬ＝０．０２λ）としてパターニングした場合に、図３に示すように最もリップルが小さくなったものと考えられる。
【００４７】
すなわち、第１，第２のチャネルが並列に接続された上記弾性表面波フィルタ１では、電極指中心間距離Ｌ1と電極指中心間距離Ｌ2とを異ならせることにより、第1のチャネルにおける第１チャネル単独のシミュレーション特性と実測特性との帯域内偏差との差を抑制し得ることが分かる。そこで、本願発明者は、図３とは別用途用のフィルタに対しても、上記電極指中心間距離Ｌ1と電極指中心間距離Ｌ2との差ΔＬを種々異ならせ、同様にして複数種の弾性表面波フィルタ１を作成し、実測された各特性における帯域内偏差を求めた。結果を図７に示す。
【００４８】
図７から明らかなように、電極指中心間距離の差ΔＬが０．０１５λ〜０．０３５λの範囲で、帯域内偏差は極小値を示し、良好なフィルター特性の得られることが分かる。
【００４９】
上記のように、シミュレーション特性と実測特性において、帯域内偏差が異なる理由、すなわち、第１チャネルにおけるリップルの山と谷との差が異なる理由は、以下の通りと考えられる。リップルの山の部分の周波数と、谷の部分の周波数は、入力変換器内の励振が最も密な部分と、出力変換器内の励振が最も密な部分との間隔により支配される。第１チャネルと第２チャネルとの間で、電極構造による音速差が全く存在しない場合には、２つのチャネルにおいて表面波の位相がずれない。従って、ΔＬ＝０とすれば、シミュレーション特性通りに、リップルの小さな特性が得られるはずである。
【００５０】
しかしながら、本実施形態の弾性表面波フィルタ１では、方向性を有する電極構造と、方向性を有しない電極構造とを有し、両者の間で音速が異なっている。このような場合、第１，第２のチャネルの重み付けが異なっていると、入力変換器の出力変換器側端部における表面波の位相が第１のチャネルと第２のチャネルとで異なることになる。そのため、ΔＬ＝０として実際に弾性表面波フィルタ１を製作した場合、シミュレーションにより得られた特性とは異なる特性が得られることになる。
【００５１】
もっとも、上記実施形態の弾性表面波フィルタ１では、図２（ａ）及び（ｂ）に示す電極構造間の音速差を補正するように、前述したように電極指ピッチが異ならされている。この音速差の補正が完全であれば、第１，第２のチャネル間の表面波の位相差は生じない。従って、ΔＬ＝０とした場合、シミュレーション特性と同様の良好な特性が得られるはずである。
【００５２】
しかしながら、音速補正を完全に行なうことは困難であり、特に、上記実施形態の弾性表面波フィルタ１のように、第１，第２のチャネルにおいて、音速差のある電極構造の割合が大きく異なる場合には、音速補正の僅かな誤差が累積される。その結果、第１，第２のチャネル内において表面波の位相差が生じることとなる。この表面波の位相差は、リップルの周波数位置の変化に対応している。従って、上記のようなリップルのずれが生じ、シミュレーション通りの特性が得られていないと考えられる。
【００５３】
これに対して、本実施形態の弾性表面波フィルタ１では、上記のような音速補正の僅かな誤差の累積が、電極指中心間距離Ｌ1と電極指中心間距離Ｌ2とを異ならせることにより、特にΔＬを０．０１５λ〜０．０３５λとすることにより効果的に補正されており、それによって、通過帯域内偏差の改善が図られている。
【００５４】
なお、上記実施形態では、ＥＷＣ型のＳＰＵＤＴを用いたが、本発明においては、他の形式のＳＰＵＤＴを用いて入力変換器を構成してもよい。すなわち、入力変換器及び／又は出力変換器中に、電極構造の異なる複数の部分が設けられており、それによって音速差が生じている構造の場合には、本発明に従って、同様に音速差を補正でき、良好な帯域内特性を得ることができる。
【００５５】
他のＳＰＵＤＴ電極構造の一形態として、図８にＨｕｎｓｉｎｇｅｒ型ＳＰＵＤＴの電極構造を示す。図８（ａ）に示す構造は、単位波長区間に４本の電極指２１〜２４を有する。電極指２１，２３の幅はλ／１６，電極指２２，２４の幅は３λ／１６で、電極指間ギャップはλ／８とされている。もっとも、電極指の幅や電極指間ギャップは上記特定の値に限定されるものではなく、適宜変更し得るものである。一方、図８（ｂ）に示されている電極構造は、方向性を有しない通常のスプリット電極である。
【００５６】
なお、前記のような表面波の音速差が生じる変換器は、第１入力変換器３、第１出力変換器４、第２入力変換器及び第２出力変換器６の少なくとも１つであればよく、それぞれの変換器において、音速差が異なる部分が設けられている必要は必ずしもない。
【００５７】
なお、上記実施形態では、ＬｉＴａＯ3基板により圧電基板２を構成したが、水晶基板、ＬｉＮｂＯ3基板あるいはＬＢＯ（Ｌｉ2Ｂ4Ｏ7）などの他の圧電単結晶基板を用いてもよい。もっとも基板の種類や電極の膜厚によっては電極構造による音速変化の符号は逆となることも考えられる。しかしながら、その様な場合であっても、音速差を補正するように、ΔＬを０．０１５λ〜０．０３５λの範囲とすることにより、上記実施形態と同様に、通過帯域内偏差を効果的に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の一実施形態に係るトランスバーサル型弾性表面波フィルタを示す平面図。
【図２】（ａ），（ｂ）は、図１に示した実施形態において、第１入力変換器内の方向性を有する電極構造と、方向性を有しない電極構造とを示す各模式的平面図。
【図３】弾性表面波フィルタにおいて、ΔＬを０．０２λ及び０．０４λとした場合のシミュレーション特性の実測値を示す図。
【図４】ΔＬ＝０の場合の第１のチャネル単独の振幅特性のシミュレーション特性及び実測特性を示す図。
【図５】ΔＬ＝０の場合の第２のチャネル単独の振幅特性のシミュレーション特性及び実測特性を示す図。
【図６】Δ＝０．００２λ、すなわち、第１のチャネルにおける電極指中心間距離Ｌ1を３５．０２λとした場合の第１チャネルの単独の振幅特性のシミュレーション特性と実測特性とを示す図。
【図７】ΔＬを種々異ならせた場合の帯域内偏差の変化を示す図。
【図８】本発明で用いられる変換器の変形例として、（ａ），（ｂ）は単位波長区間に４本の電極指を備える、第１入力変換器内の方向性を有する電極構造と、方向性を有しない電極構造を示す各模式的平面図。
【図９】従来の弾性表面波フィルタの構成を説明するためのブロック図。
【符号の説明】
【００５９】
１…弾性表面波フィルタ
２…圧電基板
３…第１入力変換器
４…第１出力変換器
５…第２入力変換器
６…第２出力変換器
７…シールド電極
８，９…ダンピング材
１１〜１７，２１〜２４…電極指
【図１】
2005102119.tif 000003
【図２】
2005102119.tif 000004
【図３】
2005102119.tif 000005
【図４】
2005102119.tif 000006
【図５】
2005102119.tif 000007
【図６】
2005102119.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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