(57)【要約】  【課題】  レーザー光の光路調整が容易に行える走査光学装置を提供する。  【解決手段】  走査光学装置は外形が光学箱１で構成され、この光学箱内には、可視領域の各レーザー光ＬＹ〜ＬＢを発する光源器２と、この光源器からの各レーザー光を主走査方向に偏向する光偏向器３と、この光偏向器からの各レーザー光を各感光体１０Ｙ〜１０Ｂ上に導く光学系とが取り付けられる。光学箱には、光偏向器からの各レーザー光を副走査方向に反射する第１ミラー６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｂの背後に、この第１ミラーを取り外した状態で光偏向器からの各レーザー光を受ける壁面２０Ｙ〜２０Ｂが形成され、この壁面には、そのレーザー光が副走査方向で規定範囲内にあるか否かを示す目印２１Ｙ〜２１Ｂが形成されている。壁面に映ったレーザー光と目印とを視覚的に照合して規定範囲内にあるか否かを判定し、この判定結果に基づき光源器の光軸高さや光軸角度を調整する。【選択図】      図２
2005195924.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源器と、この光源器からの光ビームを主走査方向に偏向する光偏向器と、この光偏向器からの光ビームを被走査面上に導く光学系と、が光学箱内に取り付けられてなる走査光学装置において、
前記光学系は前記光偏向器からの光ビームを副走査方向に反射するミラーを少なくとも有していて、前記ミラー背後における前記光学箱の壁面には、前記光偏向器からの光ビームが副走査方向で規定範囲内にあるか否かを示す目印が形成されていることを特徴とする走査光学装置。
【請求項２】
前記目印が前記光偏向器からの光ビームの副走査方向に刻まれた目盛であることを特徴とする請求項１に記載の走査光学装置。
【請求項３】
前記目印が前記光偏向器からの光ビームの少なくとも主走査域の中心に形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の走査光学装置。
【請求項４】
前記光ビーム、前記光学系、及び前記被走査面を複数組有することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の走査光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複写機やプリンタやファクシミリといった画像形成装置に搭載され、感光体の表面を光ビーム（例えばレーザー光）で露光走査するための走査光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来一般の走査光学装置は、射出成型されてなる安価で軽量なプラスチック製の光学箱で外形が構成される。この光学箱内には、概略、所定の画像信号に基づく例えばレーザー光を発する光源器と、この光源器からのレーザー光を主走査方向に偏向する光偏向器と、この光偏向器からのレーザー光を導き最終的に被走査面上に向けて出射させる光学系と、を備える。
【０００３】
このような走査光学装置から出射されたレーザー光は、画像形成装置内に配設されている感光体の表面すなわち被走査面上を走査しながら露光し、その感光体上に所定の静電潜像を形成する。そして、この静電潜像に現像器からトナーが与えられてトナー像が現像され、続いてこのトナー像が転写器によって用紙に転写された後、その用紙は定着器で加圧・加熱されることで転写のトナー像が用紙上に定着され、画像形成装置の外部へ排出される。なお、感光体上のトナー像は、中間転写ベルトへの転写を経た後、用紙に再転写される場合もある。
【０００４】
特に近年では、カラー画像の形成が可能な画像形成装置が著しく普及している。この画像形成装置としては、用紙の搬送される方向に沿って、複数色、一般にはイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｂ）の４色のそれぞれに対応した４つ感光体が順に配設されたいわゆるタンデム型のものが挙げられる。このタンデム型の画像形成装置では、走査光学装置から出射されたレーザー光によって各感光体上に各色に対応の静電潜像が形成され、各色に対応のトナー像が現像された後、これらのトナー像が用紙上に順次重なるように転写されてカラー画像が形成される。
【０００５】
このようなタンデム型の画像形成装置に搭載される従来の走査光学装置について、その一例を図７を参照しながら説明する（例えば、特許文献１、２参照）。図７は従来の走査光学装置の概略構成を示す縦断面図である。この走査光学装置は、４色各々に対応したイエロー用のレーザー光ＬＹ、マゼンタ用のレーザー光ＬＭ、シアン用のレーザー光ＬＣ、ブラック用のレーザー光ＬＢを一つの光源器（不図示）及び光偏向器３で賄ういわゆるマルチビーム方式のものであって、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢでそれぞれイエロー用の感光体１０Ｙ、マゼンタ用の感光体１０Ｍ、シアン用の感光体１０Ｃ、ブラック用の感光体１０Ｂを露光走査するものである。なお、図７中、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢの光路を一点鎖線で示す。
【０００６】
走査光学装置の外形を構成する光学箱１内の一端の付近には、光源器、及び光偏向器３を構成するポリゴンミラー３ａやこれを軸回転駆動するモータ３ｂが取り付けられる。光源器は、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢを発するために互いに独立した４つの光源、例えばレーザーダイオードを備え、各レーザーダイオードが発する発散光を平行光すなわちレーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢにするためのコリメートレンズや、シリンダレンズ等を備える。
【０００７】
光源器から出射された各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢは、互いに極微小角度ずつずれつつ束になった状態で、モータ３ｂの駆動によって軸回転しているポリゴンミラー３ａに達し、このポリゴンミラー３ａで主走査方向に偏向され、光学箱１の他端に向けて出射される。ポリゴンミラー３ａからの各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢは、副走査方向に極微小角度ずつずれた状態となっており、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢを外部の各感光体１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｂへ導くための光学系の構成要素の一つである共用の第１ｆθレンズ５に入射する。この第１ｆθレンズ５では、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢが主走査方向で等速度に変換されるとともに、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢの互いの副走査方向の角度が若干広げられる。第１ｆθレンズ５を経た各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢは、続く光学系を通じて被走査面上へ導かれて出射され、各感光体１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｂに達する。
【特許文献１】特開２０００−９８２７９号公報
【特許文献２】特開２０００−１６２５２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、このような走査光学装置から出射される各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢの位置精度は、各感光体１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｂに形成される静電潜像、ひいては用紙上のカラー画像の品位に影響することから重要である。そのため、走査光学箱１内においては、近年の走査光学装置そのものの小型化への要求とあいまって、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢが狭いスペースにおいて複数回折り返されつつ正確に導かれるように、光源器や光偏向器３や光学系（各ｆθレンズ及び各ミラー）といった各種部品を取り付けるとともに、これらを調整、すなわち光路調整する必要がある。
【０００９】
しかし、従来の走査光学装置では、一旦全ての部品の取り付けを終えた状態で、初めて各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢが被走査面上の規定範囲内に出射されているか否かを検査していたため、検査結果がＮＧ、例えば、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢが出射されなかったり、出射されたとしても規定範囲を外れていたりした場合、いずれの部品により光路が変化したのか特定できないまま光路調整を行っていた。そのため、煩雑な調整作業が強いられ、その調整作業に長時間を費やさざるを得ない状況であった。
【００１０】
なお、このような光路調整の調整作業は、走査光学装置の製造段階のみならず、完成品として画像形成装置に搭載されてある程度使用された後のメンテナンス段階でも行われる場合があるが、このメンテナンス段階でも事情は同じである。
【００１１】
そこで本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、光ビーム（例えばレーザー光）の光路調整が容易に行える走査光学装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため、本発明は、光源器と、この光源器からの光ビームを主走査方向に偏向する光偏向器と、この光偏向器からの光ビームを被走査面上に導く光学系と、が光学箱内に取り付けられてなる走査光学装置において、前記光学系は前記光偏向器からの光ビームを副走査方向に反射するミラーを少なくとも有していて、前記ミラー背後における前記光学箱の壁面には、前記光偏向器からの光ビームが副走査方向で規定範囲内にあるか否かを示す目印が形成されている。
【００１３】
これにより、光ビーム（例えばレーザー光）の光路調整の際、先ず、光学箱内に、光源器及び光偏向器を取り付けた状態で、且つ光学系のうち偏向器からのレーザー光を副走査方向に反射するミラーを少なくとも取り外した状態にし、次いで、光源器からレーザー光を発して光偏向器からのレーザー光を壁面で受け、その結果、壁面に映ったレーザー光と目印とを視覚的に照合できる。つまり、光源器から発せられ光偏向器を経たレーザー光が、副走査方向への反射に至る間で、副走査方向で規定範囲内にあるか否かを判定できる。そして、この判定結果が規定範囲内でない場合は、光源器の発するレーザー光の光偏向器に対しての少なくとも光軸高さ又は光軸角度を調整することで、副走査方向への反射に至るまでに取り付けられている光源器及び光偏向器の位置や姿勢が問題のない状態に定まり、一方判定結果が規定範囲内である場合は、その光源器及び光偏向器の位置や姿勢について問題のないことが明らかになる。そうすると、レーザー光の光路調整の際、先ず、光路の上流側に関わる部品の位置や姿勢について問題のない状態にできるため、引き続き、これ以外の光路の下流側に関わる部品である光学系に特化して光路調整が行える。
【００１４】
ここで、壁面に映ったレーザー光と目印との視覚的な照合を容易且つ確実に行えるように、前記目印が前記光偏向器からのレーザー光の副走査方向に刻まれた目盛であることが好ましい。
【００１５】
また、主走査方向全域に亘っての光路調整を代表的に精度良く行う観点から、前記目印が前記光偏向器からのレーザー光の少なくとも主走査域の中心に形成されていることが好ましい。
【００１６】
また、マルチビーム方式の走査光学装置にも勿論適用可能であり、これを実現すべく、前記レーザー光、前記光学系、及び前記被走査面を複数組有するとよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明の走査光学装置によれば、光ビームの光路調整の際、先ず、光路の上流側に関わる部品の位置や姿勢について問題のない状態にできるため、引き続き、これ以外の光路の下流側に関わる部品である光学系に特化して調整が行えることから、その調整作業は全体として容易になり、費やす時間の短縮も可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に、本発明のレーザー光源を有する走査光学装置の一実施形態について、図面を参照しながら詳述する。図１は本発明の一実施形態である走査光学装置の概略構成を示す縦断面図、図２はその走査光学装置におけるレーザー光の光路調整時の一過程を示す縦断面図、図３はその斜視図、図４はその走査光学装置の要部を示す拡大平面図、図５はその走査光学装置でのレーザー光の光路調整の手順を示すフローチャートである。なお、これらの図中で図７と同じ名称で同じ機能を果たす部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００１９】
図１〜図４に示すように、光学箱１内の一端付近には、光源器２、及び光偏向器３（ポリゴンミラー３ａ、モータ３ｂ）が取り付けられる。特に本実施形態では、光源器２は、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢとして、可視領域のレーザー光、例えば６７０ｎｍ（ナノメートル）程度のレーザー光を出射する仕様となっている。光源器２から出射された各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢは、ポリゴンミラー３ａで主走査方向に偏向されて、続く第１ｆθレンズ５に入射し、互いに副走査方向に微小角度ずつ（例えば２°程度ずつ）ずれた状態で光学箱１の他端に向けて出射される。そして、第１Ｆθレンズ５から出射された各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢは、ブラック用のレーザー光ＬＢのみ更に第２Ｆθレンズ９Ｂを経るが、各第１ミラー６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｂで副走査方向に反射して折り返される。
【００２０】
ここで光学箱１には、各第１ミラー６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｂの背後、すなわち各第１ミラー６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｂが取り外されていると仮定した場合の各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢの延長上に、それぞれ壁面２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂが形成されている。従って、これらの各壁面２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂは、各第１ミラー６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｂを取り外した状態で、ポリゴンミラー３ａからの各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢ（厳密には、第１Ｆθレンズ５や第２Ｆθレンズ９Ｂを経た各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢ）を受けることになる。但し、これらの各壁面２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂは、自己が受けるべき各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢ以外を遮らないように、例えばイエロー用の壁面２０Ｙはイエロー用のレーザー光ＬＹ以外の各レーザー光ＬＭ、ＬＣ、ＬＢを遮らないように、順に高くなっている。
【００２１】
更に、各壁面２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂには、ポリゴンミラー３ａからの各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢが副走査方向で規定範囲内にあるか否かを示す目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂが形成されている。特に本実施形態では、各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂは、いずれも各壁面２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂにおいて、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢの少なくとも主走査域の中心に形成されている。勿論、目印の形成が煩雑とはなるが、各目印は、主走査域の両端部から主走査域の中心にかけて形成されている方が精度は向上する。また、各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂとして、副走査方向に沿って目盛が刻まれている（図４参照）。なお、各壁面２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂ上でのレーザー光束は、主走査方向の径が２〜４ｍｍ、副走査方向の径が１〜２ｍｍの略楕円形であり、目盛間隔は０．２〜０．５ｍｍ程度が好ましく、主走査域中心に設けられた場合の目盛線の全長は少なくとも４〜８ｍｍ程度必要である。
【００２２】
これらの各壁面２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂや各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂは、光学箱１と一体に射出成型することで、簡単に得られる。
【００２３】
このような構成の走査光学装置の製造段階での各レーザー光の光路調整の具体的な手順について、図５を参照しながら説明する。先ずステップ＃５で、作業台２５上に設けられた専用治具に空の光学箱１をセットする。続いてステップ＃１０で、この光学箱１内に、予め組み立てられて各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢの出射性能が調整された光源器２を取り付け、更に、光偏向器３の構成要素であるポリゴンモータ３ａ及びモータ３ｂを取り付ける。次いでステップ＃１５で、光学箱１内に、光学系の構成要素のうち、各第１ミラー６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｂよりも光路の上流側を構成する第１ｆθレンズ５、及びブラック用の第２ｆθレンズ９Ｂを取り付ける。このようにして、先ず、光学箱１内に、光源器２及び光偏向器３を取り付けた状態で、且つ光学系のうち、偏向器３からの各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢを副走査方向に反射する第１ミラー６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｂを少なくとも取り外した状態にする（図２、図３参照）。
【００２４】
続いてステップ＃２０で、光源器２にこれを駆動する専用の光源駆動器を接続する。その後ステップ＃２５で、光源駆動器からの指令によって光源器２から各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢを発し、これらの各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢが、ポリゴンミラー３ａの一反射面を通じて（厳密には、第１Ｆθレンズ５や第２Ｆθレンズ９Ｂを経て）、各壁面２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂの各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂ付近に、レーザー光束が映るように、ポリゴンミラー３ａを軸回転させながら所定角度に調整する。これは、本実施形態においては各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢが可視領域であるため、視覚的に行える。なお、レーザー光の波長域が赤外にある場合には、例えば、可視域の光をカットするようなフィルターレンズを備える特殊な眼鏡等を装着して目視できるようにしてもよいし、可視域の光をカットするようなフィルター材料を壁面に塗布又は貼付して、その上に目盛を形成して目視するようにしてもよい。
【００２５】
そしてステップ＃３０で、各壁面２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂに映った各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢと、各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂとを視覚的に照合し、ステップ＃３５で、各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂを基準に各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢが副走査方向で規定範囲内にあるか否かを判定する。この判定結果が規定範囲内である場合は、副走査方向への反射に用いられる各第１ミラー６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｂに至るまでに取り付けられている光源器２及び光偏向器３（厳密には、第１Ｆθレンズ５や第２Ｆθレンズ９Ｂを含む）の位置や姿勢について問題のないことが明らかになり、ステップ＃５０に進む。
【００２６】
一方、ステップ＃３５での判定結果が規定範囲内でない場合は、ステップ＃４０で、光源器２の取付け高さや傾きを調整したり、光源器２内の光源であるレーザーダイオードとコリメートレンズとの相対位置を調整したりして、光源器２の発する各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢの光偏向器３に対しての少なくとも光軸高さ又は光軸角度を調整する。これをステップ＃３５での判定結果が規定範囲内になるまで繰り返す。こうして、光源器２及び光偏向器３の位置や姿勢が問題のない状態に定まる。
【００２７】
そしてステップ＃５０で、光学箱１内に、各第１ミラー６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｂを含む光路の下流側を構成する残りの光学系を取り付ける。このように、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢの製造段階での光路調整の際、先ず、光路の上流側に関わる部品の位置や姿勢について問題のない状態にできるため、引き続き、これ以外の光路の下流側に関わる部品である光学系に特化して光路調整が行える。従って、その調整作業は全体として容易になり、費やす時間の短縮も可能になる。なお、こうした光路調整の際には、特に各壁面２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂに映った各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢと、各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂとの照合や判定を作業者の目視に頼るため、目（網膜）を保護する観点から、保護眼鏡を掛けての作業が望ましい。
【００２８】
また、本実施形態では、各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂが目盛であることから、壁面に映った各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢと各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂとの視覚的な照合を容易且つ確実に行える。但し、各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂとしては、各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢが副走査方向で規定範囲内にあるか否かを示し得る限り限定はなく、目盛に比較して光路の調整精度は低下するが、例えば図６に示すように、その範囲の上下限を三角形の突起で明示したものであってもよい。この場合、目印の形成が目盛に比較して非常に容易となる。また、前述のようにレーザー光束は、主走査方向の径が２〜４ｍｍ、副走査方向の径が１〜２ｍｍの略楕円形であり、副走査方向のズレ量は±０．５ｍｍ程度に調整する必要があるため、三角形の突起の副走査方向での規定範囲は２〜３ｍｍ程度が好ましい。
【００２９】
また、本実施形態では、各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂが各レーザー光ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢの主走査域の中心に形成されているため、主走査方向全域に亘っての光路調整を代表的に精度良く行える。但し、各目印２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂが副走査方向で規定範囲内にあるか否かを示し得る限り、主走査域内であれは何処に形成されてもよい。
【００３０】
その他本発明は上記の実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。例えば、上記の実施形態では、各レーザー光を一つの光源器及び光偏向器で賄うマルチビーム方式の走査光学装置、すなわちレーザー光、光学系、及び被走査面である感光体を複数組有するものについて説明したが、レーザー光毎の光源器及び光偏向器を有するいわゆるシングルビーム方式の走査光学装置にも勿論適用が可能である。また、上記したようなレーザー光の光路調整は、走査光学装置の製造段階のみならず、メンテナンス段階にも勿論活用できる。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明は、走査光学装置の光路調整に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の走査光学装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】本発明の走査光学装置におけるレーザー光の光路調整時の一過程を示す縦断面図である。
【図３】本発明の走査光学装置におけるレーザー光の光路調整時の一過程を示す斜視図である。
【図４】本発明の走査光学装置の要部を示す拡大平面図である。
【図５】本発明の走査光学装置でのレーザー光の光路調整の手順を示すフローチャートである。
【図６】本発明の走査光学装置の要部の変形例を示す拡大平面図である。
【図７】従来の走査光学装置の概略構成を示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１    光学箱
２    光源器
３    光偏向器
３ａ    ポリゴンミラー
３ｂ    モータ
５    第１ｆθレンズ
６Ｙ、６Ｍ、６Ｃ、６Ｂ    第１ミラー
７Ｃ、７Ｂ    第２ミラー
８Ｙ、８Ｍ、８Ｃ、８Ｂ    最終ミラー
９Ｙ、９Ｍ、９Ｃ、９Ｂ    第２ｆθレンズ
１０Ｙ、１０Ｍ、１０Ｃ、１０Ｂ    感光体
２０Ｙ、２０Ｍ、２０Ｃ、２０Ｂ    壁面
２１Ｙ、２１Ｍ、２１Ｃ、２１Ｂ    目印
ＬＹ、ＬＭ、ＬＣ、ＬＢ    レーザー光
【図１】
2005195924.tif 000003
【図２】
2005195924.tif 000004
【図３】
2005195924.tif 000005
【図４】
2005195924.tif 000006
【図５】
2005195924.tif 000007
【図６】
2005195924.tif 000008
【図７】
2005195924.tif 000009