(57)【要約】【課題】煩雑で長時間を要する工程を経ずに液滴噴射装置を製造する。【解決手段】圧電セラミックスのグリーンシート４２をセラミックス基板４１上に形成する。その後、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数に分割する。しかる後、分割されたグリーンシート４２を焼成して圧電セラミックスシートの小片４３ａ、４３ｂを得る。そして、小片４３ａを流路ユニット２上に接着する。【選択図】        図４
2005022127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力室を経てノズルに至る流路が設けられた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、
圧電セラミックスのグリーンシートを基板上に形成するグリーンシート形成工程と、
前記グリーンシートを複数に分割する分割工程と、
前記分割工程で複数領域に分割された前記グリーンシートを焼成して圧電セラミックスシートを得る焼成工程と、
前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記流路ユニットに接着する接着工程とを備えていることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。
【請求項２】
前記接着工程において、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記圧力室と対向するように前記流路ユニットに接着することを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項３】
圧力室を経てノズルに至る流路が設けられ且つ前記圧力室が振動板で覆われた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、
圧電セラミックスのグリーンシートを基板上に形成するグリーンシート形成工程と、
前記グリーンシートを複数に分割する分割工程と、
前記分割工程で複数領域に分割された前記グリーンシートを焼成して圧電セラミックスシートを得る焼成工程と、
前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記振動板に接着する接着工程とを備えていることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。
【請求項４】
前記接着工程において、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記圧力室に対応した範囲からはみ出すことなく前記圧力室と対向するように前記振動板に接着することを特徴とする請求項３に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項５】
前記接着工程が、前記振動板の表面に接着剤を塗布する塗布工程を備えていることを特徴とする請求項３又は４に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項６】
前記接着工程が、前記圧電セラミックスシートの表面に接着剤を塗布する塗布工程を備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項７】
前記接着剤が導電性接着剤であることを特徴とする請求項５又は６に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項８】
前記流路ユニットに接着した前記圧電セラミックスシートを、前記基板から剥離する剥離工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項９】
グリーンシート形成工程において、前記グリーンシートを前記基板と剥離可能にすることを特徴とする請求項８に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項１０】
前記分割工程において、レーザ光線によって前記グリーンシートを複数に分割することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の液滴噴射装置の製造方法
【請求項１１】
前記分割工程において、型を押し付けることによって前記グリーンシートを分割することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被記録媒体に液滴を噴射する液滴噴射装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電素子を用いてインク吐出圧力を発生するインクジェットヘッドは、水系以外の液体を吐出可能、液滴体積を精密にコントロールできるために面積階調を行うことが可能、耐久性が高いなどの利点を有する液滴噴射装置である。特許文献１には、かかるインクジェットヘッドの一種として、圧力室に対応する位置にそれぞれ別体の圧電振動板が配置されたタイプのインクジェットヘッドが記載されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−３１４８３６号（図１、図２）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１に記載されたタイプのインクジェットヘッドを製造するには、ノズル及びこれに連通した圧力室が多数形成された流路ユニットに、多数の圧電振動板を接着するという工程が必要になる。圧電振動板は、セラミックス材料のグリーンシートを焼成することによって得られた圧電シートを、ダイサーなどによって分割することによって得られる。しかしながら、圧電シートをダイサーで分割する工程は、冷却液や潤滑液の散布及び切削屑を除去するための洗浄などの煩雑で長時間を要する工程を含んでいるため、圧電振動板の歩留まりが低くなり、その結果、インクジェットヘッドの製造コストが高くなるという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、煩雑で長時間を要する工程を必要としない液滴噴射装置の製造方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
本発明の液滴噴射装置の製造方法は、圧力室を経てノズルに至る流路が設けられた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、圧電セラミックスのグリーンシートを基板上に形成するグリーンシート形成工程と、前記グリーンシートを複数に分割する分割工程と、前記分割工程で複数領域に分割された前記グリーンシートを焼成して圧電セラミックスシートを得る焼成工程と、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記流路ユニットに接着する接着工程とを備えている（請求項１）。
【０００７】
この構成によると、焼成されていないグリーンシートを分割するので、焼成された圧電セラミックスシートを分割する場合と比較して、分割工程が簡易となって比較的短時間で終了する。しかも、圧電セラミックスシートの歩留まりが向上するので、液滴噴射装置のコストダウンが可能である。さらに、基板に形成された状態の圧電セラミックスシートを流路ユニットに接着するので、圧電セラミックスシートを目的位置に高精度に配置することができる。
【０００８】
この場合、前記接着工程において、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記圧力室と対向するように前記流路ユニットに接着してもよい（請求項２）。これによると、液滴吐出性能が向上する。
【０００９】
別の観点において、本発明の液滴噴射装置の製造方法は、圧力室を経てノズルに至る流路が設けられ且つ前記圧力室が振動板で覆われた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、圧電セラミックスのグリーンシートを基板上に形成するグリーンシート形成工程と、前記グリーンシートを複数に分割する分割工程と、前記分割工程で複数領域に分割された前記グリーンシートを焼成して圧電セラミックスシートを得る焼成工程と、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記振動板に接着する接着工程とを備えている（請求項３）。
【００１０】
この構成によると、焼成されていないグリーンシートを分割するので、焼成された圧電セラミックスシートを分割する場合と比較して、分割工程が簡易となって比較的短時間で終了する。しかも、圧電セラミックスシートの歩留まりが向上するので、液滴噴射装置のコストダウンが可能である。さらに、基板に形成された状態の圧電セラミックスシートを流路ユニットに接着するので、圧電セラミックスシートを目的位置に高精度に配置することができる。また、流路ユニットが振動板を有しているので、圧電セラミックスシートを利用したユニモルフ変形を行うことが可能となり、吐出効率が向上する。
【００１１】
この場合、前記接着工程において、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記圧力室に対応した範囲からはみ出すことなく前記圧力室と対向するように前記振動板に接着してもよい（請求項４）。これによると、液滴吐出性能が向上する。また、このとき、前記接着工程が、前記振動板の表面に接着剤を塗布する塗布工程を備えていてよい（請求項５）。
【００１２】
本発明において、前記接着工程が、前記圧電セラミックスシートの表面に接着剤を塗布する塗布工程を備えていてもよい（請求項６）。この構成によると、短時間で接着剤を塗布することができる。また、前記接着剤が導電性接着剤であってもよい（請求項７）。この構成によると、導電性接着剤が電極として機能するので、圧電セラミックスシートと圧力室との間に別途電極を設ける必要がなくなる。
【００１３】
本発明による液滴噴射装置の製造方法は、前記流路ユニットに接着した前記圧電セラミックスシートを、前記基板から剥離する剥離工程をさらに備えていることが好ましい（請求項８）。これによると、圧電セラミックスシートの変形が基板によって阻害されることがない。この場合、グリーンシート形成工程において、前記グリーンシートを前記基板と剥離可能にすることが好ましい（請求項９）。これによると、剥離工程において、圧電セラミックスシートが破損するおそれが少なくなる。
【００１４】
本発明では、前記分割工程において、レーザ光線によって前記グリーンシートを複数に分割してもよい（請求項１０）。この構成によると、グリーンシートを精度よく分割することができる。また、グリーンシートの分割溝を幅広にしやすくなる。
【００１５】
本発明では、前記分割工程において、型を押し付けることによって前記グリーンシートを分割してもよい（請求項１１）。これによると、高価な装置を用いずにグリーンシートを複数に分割することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１７】
図１は、第１の実施の形態に係る製造方法により製造したインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの概略構成を示す斜視図である。図１に示すインクジェットプリンタ１１０には、被印刷媒体である用紙１０１を搬送する搬送手段としてのプラテンローラ１４０と、プラテンローラ１４０上にセットされる用紙１０１に対してインク液滴を噴射するインクジェットヘッド１が含まれている。
【００１８】
プラテンローラ１４０は、軸１４２によりフレーム１４３に回転可能に取り付けられており、モータ１４４によって回転駆動される。用紙１０１は、インクジェットプリンタ１１０の側方に設けられた給紙カセット（図示せず）から給紙され、プラテンローラ１４０により図中矢印の方向に一定速度で搬送されて、インクジェットヘッド１から噴射されるインク液滴により所定の印刷がなされ、その後、排紙される。なお、図１では、用紙１０１の給紙機構と排紙機構の詳細な図示を省略している。また、図１に描かれたインクジェットプリンタ１１０はモノクロプリンタであってインクジェットヘッド１が１つしか配置されていないが、カラー印刷を行う場合にはイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の少なくとも４つのインクジェットヘッド１が平行に配置される。
【００１９】
インクジェットヘッド１は、用紙１０１に対してインク液滴を噴射するためのものであり、ヘッド本体１００と、基部１１１とを有している。ヘッド本体１００は、ライン状に一方向に延在している。基部１１１は、ヘッド本体１００に対して垂直な方向に伸延しているものであり、ヘッド本体１００を支持するものである。
【００２０】
多数のノズル８（図２参照）が長手方向に沿って一列に形成されたヘッド本体１００のインク噴射面は、プラテンローラ１４０による用紙１０１の搬送面と平行に対向している。そのため、ヘッド本体１００のインク噴射面に形成された各ノズル８から噴射されたインク液滴は、用紙１０１に対して飛翔する。
【００２１】
次に、ヘッド本体１００の詳細な構造について説明する。図２（ａ）は、インク噴射面１０２から見たヘッド本体１００の平面図である。図中の矢印は用紙１０１の搬送方向を示している。図２（ａ）に示すように、ヘッド本体１００において、用紙１０１の搬送方向と直交する方向に沿って、噴射ユニット１３（図中点線部）が一列に並んでいる。各噴射ユニット１３は、１つのインク噴射ユニット１３の拡大図である図２（ｂ）に示すように、１つのノズル８を含んでいる。
【００２２】
図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における、ヘッド本体１００の断面図である。図３に示すように、ヘッド本体１００は、ノズル８に連通した圧力室１０が多数形成された流路ユニット２と、各圧力室１０上に形成された下方電極３６と、下方電極３６上に形成された圧電シート２１と、圧電シート２１上に形成された上方電極３５とを含んでいる。各ノズル８は、圧力室１０を介して共通インク室５と連通している。このようにして、ヘッド本体１００には、共通インク室５の出口から圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路４が圧力室１０ごとに形成されている。
【００２３】
流路ユニット２は、トッププレート２２、キャビティプレート２３、サプライプレート２４、マニホールドプレート２５及びノズルプレート２６の各プレートが積層されることによって形成されている。トッププレート２２は、孔の形成されていない金属プレートであって、図示しない位置において接地されていることによってグランド電位に保たれている。そのため、下方電極３６もグランド電位に保たれている。後述するように、トッププレート２２は、振動板として、圧電シート２１の変形に伴って圧力室１０に向かって凸となるように変形する。
【００２４】
キャビティプレート２３は、圧力室１０に相当する開口が多数設けられた金属プレートである。サプライプレート２４は、圧力室１０から共通インク室５への連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２５は、共通インク室５に相当する孔に加えて、キャビティプレート２３の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート２６は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。これら５枚のプレート２２〜２６は、個別インク流路４が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。
【００２５】
下方電極３６は、接着剤からなる。圧電シート２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。圧電シート２１はその厚み方向に分極している。上方電極３５は、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなるものであり、図示しない信号線により、同じく図示しないドライバＩＣに接続されている。他方、上述のように、下方電極３６は常にグランド電位に保たれている。したがって、上方電極３５の電位をグランド電位より高い電位とすることで、圧電シート２１に対してその分極方向に電界が印加される。電界が印加された圧電シート２１は、活性層として、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、トッププレート２２は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上層の圧電シート２１と下層のトッププレート２２との間で分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、トッププレート２２がキャビティプレート２３に固定されていることと相俟って、圧電シート２１及びトッププレート２２は圧力室１０側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、上方電極３５を下方電極３６と同じ電位に戻すと、圧電シート２１及びトッププレート２２は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクを共通インク室５から吸い込む。
【００２６】
なお、他の駆動方法として、予め上方電極３５を下方電極３６と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに上方電極３５を下方電極３６と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び上方電極３５を下方電極３６と異なる電位にすることもできる。この場合は、上方電極３５と下方電極３６とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート２１及びトッププレート２２が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクが共通インク室５から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び上方電極３５を下方電極３６と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート２１及びトッププレート２２が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。
【００２７】
上述したように、本実施の形態では、ヘッド本体１００が振動板としてのトッププレート２２を流路ユニット２に有しているので、ユニモルフ変形による優れた吐出効率を実現することができる。
【００２８】
次に、上述したインクジェットヘッド１のヘッド本体１００の製造方法について、図４及び図５を参照しつつ説明する。
【００２９】
まず、セラミックス基板４１上に圧電セラミックスの材料であるグリーンシート４２を、厚さが一定となるように一様に形成する（図４（ａ））。グリーンシート４２は、トッププレート２２とほぼ同じ大きさを有している。このとき、セラミックス基板４１と剥離可能にグリーンシート４２を形成している
【００３０】
次に、ＹＡＧレーザ光源（図示せず）から出射されたレーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ａ及び複数の小片４２ｂに分断する（図４（ｂ））。このとき、小片４２ａが、圧力室１０とほぼ同じ形状で、圧力室１０よりもやや小さくなるようにする。小片４２ａと小片４２ｂとの間の溝は、一定幅を有している。
【００３１】
しかる後、グリーンシート４２の小片４２ａ、４２ｂを焼成することによって、圧電セラミックスシートの小片４３ａ、４３ｂを形成する（図４（ｃ））。
【００３２】
また、図４（ａ）〜図４（ｃ）で説明した工程とは別に、互いに位置あわせをして積層された、トッププレート２２、キャビティプレート２３、サプライプレート２４、マニホールドプレート２５及びノズルプレート２６を接着することによって、流路ユニット２を形成する（図４（ｄ））。このとき、各金属プレート２２〜２６には、エッチングなどによって、圧力室１０、ノズル８及び共通インク室５等に相当する孔を予め設けておく。なお、図４（ｄ）以降の図面は、図３のＩＶ―ＩＶ線における断面に相当している。
【００３３】
次に、流路ユニット２のトッププレート２２の圧力室１０と対向する位置に接着剤５０を塗布する（図４（ｅ））。接着剤５０の塗布方法としては、まず、接着剤５０を平面部材（図示せず）に一様に塗布する。このとき接着剤５０の塗布領域は、トッププレート２２に接している全ての圧力室１０が収まるような大きさを有している。そして、小片４３ａと同じ形状の凹部が圧力室１０と同じパターンで配列された型を、一様に塗布した接着剤５０に押し付けて接着剤５０を部分的に除去する。そして、平面部材上に小片４３ａと同じ形状で圧力室１０と同じパターンで残存した接着剤５０を、トッププレート２２の圧力室１０と対向する位置に転写する。このようにしてトッププレート２２に転写された接着剤５０は、下方電極３６として機能する。
【００３４】
その後、圧電セラミックスシートの小片４３ａと圧力室１０とが対向するように、セラミックス基板４１とトッププレート２２とを位置合わせし、小片４３ａ、４３ｂをトッププレート２２に接触させる。このとき、トッププレート２２の圧力室１０に対向する位置には接着剤５０が塗布されているため、小片４３ａは接着剤５０を介してトッププレート２２に接着するが、小片４３ｂはトッププレート２２に接着しない（図５（ａ））。
【００３５】
さらに、次の工程として、圧電セラミックスシートの小片４３ａをセラミックス基板４１から剥離し、セラミックス基板４１を小片４３ｂと共に流路ユニット２から引き離す（図５（ｂ））。しかる後、小片４３上に上方電極３５を形成するなどの工程を経て、図３に示すようなインクジェットヘッド１のヘッド本体１００が完成する。
【００３６】
上述したように、本実施の形態では、焼成されていないグリーンシート４２をレーザ光線４６で分割するので、冷却液や潤滑液の散布及び切削屑を除去するための洗浄などの煩雑で長時間を要する工程洗浄や分割工程が不要である。したがって、比較的短時間でヘッドの製造を終了させることができる。しかも、グリーンシート４２を分割してから焼成しているために圧電セラミックスシートの小片４３ａの歩留まりが向上するので、インクジェットヘッド１のコストダウンが可能である。さらに、セラミックス基板４１上に形成された状態の圧電セラミックスシートの小片４３ａを流路ユニット２のトッププレート２２に接着するので、個々の小片４３ａをそれぞれトッププレート２２に接着する場合よりも、小片４３ａを目的位置に高精度に配置することができる。
【００３７】
また、本実施の形態では、圧電セラミックスシートの小片４３ａを、圧力室１０に対応した範囲からはみ出すことなく圧力室１０と対向するようにトッププレート２２に接着しているので、ノズル８からのインク液滴吐出性能が向上する。
【００３８】
さらに、本実施の形態では、図５（ｂ）に示すように圧電セラミックスシートの小片４３ａをセラミックス基板４１から剥離しているので、小片４３ａの変形がセラミックス基板４１によって阻害されることがない。そして、そのために、図４（ａ）に示すグリーンシート形成工程において、グリーンシート４２をセラミックス基板４１と剥離可能に形成しているので、図５（ｂ）に示す剥離工程において小片４３ａが破損するおそれが少ない。
【００３９】
加えて、本実施の形態では、図４（ｂ）に示すように、レーザ光線４６によってグリーンシート４２を複数に分割している。したがって、グリーンシート４２を精度よく分割して寸法精度の高い小片４３ａを得ることができる。
【００４０】
また、本実施の形態では、接着剤５０としてエポキシ系材料からなる導電性接着剤を用いているために接着剤５０を下方電極３６として機能させることができるので、小片４３ａとトッププレート２２との間に別途電極を設ける必要がなくなる。したがって、製造工程がさらに簡略化される。また、導電性の接着剤５０をトッププレート２２の全面に塗布せず、その一部だけに塗布しているので、トッププレート２２上における配線作業を容易に行うことができる。
【００４１】
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る製造方法は、接着剤を塗布する部材が第１の実施の形態と相違したものである。以下、その相違点を中心に説明することとし、第１の実施の形態と同様の部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
まず、図４（ａ）の工程と同様にして、セラミックス基板４１上に圧電セラミックスの材料であるグリーンシート４２を、厚さが一定となるように一様に形成する（図６（ａ））。次に、図４（ｂ）の工程と同様にして、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ａ及び複数の小片４２ｂに分断する（図６（ｂ））。しかる後、図４（ｃ）の工程と同様にして、グリーンシート４２の小片４２ａ、４２ｂを焼成することによって、圧電セラミックスシートの小片４３ａ、４３ｂを形成する（図４（ｃ））。
【００４３】
次に、小片４３ａの表面だけに接着剤５０を塗布する（図６（ｄ））。接着剤５０の塗布方法は、図４（ｅ）で説明した方法と同様である。その後、圧電セラミックスシートの小片４３ａ、４３ｂを、図４（ｄ）で説明したように作製された流路ユニット２のトッププレート２２に接触させる。このとき、小片４３ａと圧力室１０とが対向するように、セラミックス基板４１とトッププレート２２とを位置合わせする。ところが、小片４３ａ上には接着剤５０が塗布されているものの、小片４３ｂ上には接着剤５０が塗布されていないために、小片４３ａは接着剤５０を介してトッププレート２２に接着するが、小片４３ｂはトッププレート２２に接着しない。しかる後、図５（ｂ）で説明したように、圧電セラミックスシートの小片４３ａをセラミックス基板４１から剥離し、セラミックス基板４１を小片４３ｂと共に流路ユニット２から引き離すなどの工程を経て、図３に示すようなインクジェットヘッド１のヘッド本体１００が完成する。
【００４４】
本実施の形態によっても、上述した第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４５】
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る製造方法は、接着剤を塗布する範囲が第１の実施の形態と相違したものである。以下、その相違点を中心に説明することとし、第１の実施の形態と同様の部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００４６】
まず、図４（ａ）の工程と同様にして、セラミックス基板４１上に圧電セラミックスの材料であるグリーンシート４２を、厚さが一定となるように一様に形成する（図７（ａ））。次に、図４（ｂ）の工程と同様にして、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ｃ及び複数の小片４２ｄに分断する（図７（ｂ））。ここで、小片４２ｃは第１の実施の形態における小片４２ａと同じ大きさであるが、小片４２ｄは第１の実施の形態における小片４２ｂよりも小さい。これにより、小片４２ｄが圧力室１０と重ならないようにしてトッププレート２２の変位を阻害しないようにしていると共に、クロストークによるインク吐出特性の悪化を抑制している。しかる後、図４（ｃ）の工程と同様にして、グリーンシート４２の小片４２ｃ、４２ｄを焼成することによって、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄを形成する（図７（ｃ））。
【００４７】
次に、図４（ｄ）の工程と同様にして、流路ユニット２を作製する（図７（ｄ））。しかる後、トッププレート２２上の全面に接着剤５０を塗布する（図７（ｅ））。
【００４８】
その後、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄを、流路ユニット２のトッププレート２２に接触させる。このとき、小片４３ｃと圧力室１０とが対向するように、セラミックス基板４１とトッププレート２２とを位置合わせする。このとき、トッププレート２２上の全面に接着剤５０が塗布されているために、小片４３ｃ及び小片４３ｄの両方がトッププレート２２に接着する（図８（ａ））。
【００４９】
さらに、次の工程として、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄをセラミックス基板４１から剥離し、セラミックス基板４１を流路ユニット２から引き離す（図８（ｂ））。しかる後、小片４３ｃ上に上方電極３５を形成するなどの工程を経て、図３に示すようなインクジェットヘッド１のヘッド本体が完成する。
【００５０】
本実施の形態によっても、上述した第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。それに加えて、本実施の形態ではトッププレート２２上の全面に接着剤５０を塗布するので、上述した第１及び第２の実施の形態よりも接着剤５０の塗布工程を簡略に行うことができる。
【００５１】
なお、本実施の形態では、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ｃ及び複数の小片４２ｄに分断しているので、小片４２ｃと小片４２ｄとの距離を幅広にしやすい。このようにして製造されたインクジェットヘッドは、小片４３ｄが残存しているものの、小片４３ｄが圧力室１０と重ならないのでトッププレート２２の変位が阻害されず、しかも小片４３ｄの幅が狭いのでクロストークが抑制されたものとなる。
【００５２】
次に、本発明の第４の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る製造方法は、接着剤を塗布する部材が第３の実施の形態と相違したものである。以下、その相違点を中心に説明することとし、第３の実施の形態と同様の部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００５３】
まず、図７（ａ）の工程と同様にして、セラミックス基板４１上に圧電セラミックスの材料であるグリーンシート４２を、厚さが一定となるように一様に形成する（図９（ａ））。次に、図７（ｂ）の工程と同様にして、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ｃ及び複数の小片４２ｄに分断する（図９（ｂ））。しかる後、図７（ｃ）の工程と同様にして、グリーンシート４２の小片４２ｃ、４２ｄを焼成することによって、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄを形成する（図９（ｃ））。
【００５４】
次に、小片４３ｃ、小片４３ｄの表面だけに接着剤５０を塗布する（図９（ｄ））。接着剤５０の塗布方法は、図４（ｅ）で説明した方法と同様である。その後、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄを、図４（ｄ）で説明したように作製された流路ユニット２のトッププレート２２に接触させる。このとき、小片４３ｃと圧力室１０とが対向するように、セラミックス基板４１とトッププレート２２とを位置合わせする。このとき、小片４３ａ及び小片４３ｂの両方の表面に接着剤５０が塗布されているために、小片４３ａ及び小片４３ｂの両方がトッププレート２２に接着する。しかる後、図８（ｂ）で説明したように、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄをセラミックス基板４１から剥離し、セラミックス基板４１を流路ユニット２から引き離すなどの工程を経て、図３に示すようなインクジェットヘッド１のヘッド本体が完成する。
【００５５】
本実施の形態によっても、上述した第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００５６】
次に、本発明の第５の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る製造方法は、圧力室１０を被覆するトッププレート２２を積層しない流路ユニットを作製する点、及び、それに対応して圧力室１０に対向する圧電セラミックスシートの小片が圧力室１０を被覆するような大きさにグリーンシートをレーザ加工する点において第２の実施の形態と相違している。以下、その相違点を中心に説明することとし、第２の実施の形態と同様の部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００５７】
まず、図６（ａ）の工程と同様にして、セラミックス基板４１上に圧電セラミックスの材料であるグリーンシート４２を、厚さが一定となるように一様に形成する（図１０（ａ））。次に、図６（ｂ）の工程と同様にして、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ｅ及び複数の小片４２ｆに分断する（図１０（ｂ））。ここで、小片４２ｅは圧力室１０よりも一回り大きいサイズとする。一方、小片４２ｆは、小片４２ｅと十分な間隔が保てる範囲で任意のサイズとすることができる。しかる後、図６（ｃ）の工程と同様にして、グリーンシート４２の小片４２ｅ、４２ｆを焼成することによって、圧電セラミックスシートの小片４３ｅ、４３ｆを形成する（図１０（ｃ））。次に、小片４３ｅの表面だけに接着剤５０を塗布する（図１０（ｄ））。接着剤５０の塗布方法は、図４（ｅ）で説明した方法と同様である。
【００５８】
また、図１０（ａ）〜図１０（ｄ）で説明した工程とは別に、互いに位置あわせをして積層された、キャビティプレート２３、サプライプレート２４、マニホールドプレート２５及びノズルプレート２６を接着することによって、流路ユニット２ａを形成する（図１０（ｅ））。図１０（ｅ）に示すように、流路ユニット２ａにおいては、圧力室１０がトッププレートによって被覆されておらず、流路が外部に露出している。
【００５９】
その後、圧電セラミックスシートの小片４３ｅ、４３ｆを、図１０（ｅ）で説明したように作製された流路ユニット２ａのキャビティプレート２３に接触させる。このとき、小片４３ｅと圧力室１０とが対向して圧力室１０が小片４３ｅによって被覆されるように、セラミックス基板４１とキャビティプレート２３とを位置合わせする。ところが、小片４３ｅ上に接着剤５０が塗布されているものの小片４３ｆ上には接着剤５０が塗布されていないために、小片４３ｅは接着剤５０を介してキャビティプレート２３に接着するが、小片４３ｆはキャビティプレート２３に接着しない（図１１（ａ））。
【００６０】
しかる後、圧電セラミックスシートの小片４３ｅをセラミックス基板４１から剥離し、セラミックス基板４１を小片４３ｆと共に流路ユニット２から引き離す（図１１（ｂ））などの工程を経てインクジェットヘッド１のヘッド本体が完成する。なお、本実施の形態では、図３に示すヘッド本体１００とは異なり、接着剤５０からなる下方電極をグランド電位とするために、別途配線を行う必要がある。
【００６１】
本実施の形態によっても、上述した第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。ただし、本実施の形態では、流路ユニット２ａがトッププレート２２を有していないために、上述した第１〜第４の実施の形態のようにユニモルフ変形するのではなく、圧電セラミックスシートの小片４３ｅが圧電縦効果によって伸縮することに伴ってノズル８からインクが吐出される。
【００６２】
次に、上述した第１〜第５の実施の形態に適用可能な変形例について説明する。本変形例は、グリーンシートの分割工程に係るものであって、グリーンシートに型を押し付けることによってグリーンシートを複数に分割する。図１２（ａ）に示すように、型４５は、平板部４５ａの下面から複数の凸部４５ｂが突出した部材である。凸部４５ｂは、その高さが圧電セラミックスシートの小片の高さと同じで、凸部４５ｂ同士の間隔が圧電セラミックスシートの小片と同じ間隔になるように形成されている。
【００６３】
そのため、図１２（ｂ）に示すように、型４５をグリーンシート４２に押し付けて、グリーンシート４２を分断すると、凸部４５ｂ間にグリーンシート４２の小片が形成される。
【００６４】
本変形例を採用することにより、第１〜第５の実施の形態で用いたレーザ光源のような高価な装置を用いないでグリーンシートを分割できるために、インクジェットヘッドの製造コストを抑えることができる。
【００６５】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述した第１〜第４の実施の形態において圧電セラミックスシートの小片を、圧力室１０に対応した範囲からはみ出すことなく圧力室１０と対向するようにトッププレート２２に接着しているが、圧電セラミックスシートの小片が部分的に圧力室１０からはみ出してもよい。また、圧電セラミックスシートの小片は圧力室と相似していない形状を有していてもよい。また、接着剤５０として、非導電性接着剤を用いてもよい。
【００６６】
また、上述の実施の形態では、セラミックス基板上に塗布したグリーンシートの形状及び大きさを流路ユニットのトッププレートとほぼ同じにしているが、これに限定されない。
【００６７】
また、インクジェットヘッドはラインヘッドではなくシリアルヘッドであってよく、この場合、用紙搬送方向と直交する方向に往復移動するように制御されてもよい。また、上述した実施の形態で説明した製造方法は、噴射媒体として導電ペーストを用いることにより、微細な電気回路パターンを印刷する液滴噴射装置、或いは、噴射媒体として有機発光体を用いることにより有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（ＯＥＬＤ）などの高精細ディスプレイデバイスを作製する液滴噴射装置などを製造するにも適用可能である。そのほか、上述した実施の形態で説明した製造方法は、ドットを被印刷媒体上に形成する液滴噴射装置を製造する用途であれば、極めて広範に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る製造方法により製造されたインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの概略構成を示す斜視図である
【図２】図２（ａ）は、図１に示すヘッド本体のインク噴射面の平面図である。図２（ｂ）は、１つの噴射ユニットの拡大図である。
【図３】図１に示すヘッド本体の図２（ｂ）に示したＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図１０】本発明の第５の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図１１】本発明の第５の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図１２】本発明の第１〜第５の実施の形態に適用可能なグリーンシートの分割工程の変形例を説明するための断面図である。
【符号の説明】
１    インクジェットヘッド
２    流路ユニット
８    ノズル
１０    圧力室
２１    圧電シート
２２    トッププレート
２３    キャビティプレート
２４    サプライプレート
２５    マニホールドプレート
２６    ノズルプレート
３５    上方電極
３６    下方電極
４１    セラミックス基板
４２    グリーンシート
４３ａ、４３ｂ  圧電セラミックスシートの小片
５０    接着剤
１００  ヘッド本体
【図１】
2005022127.tif 000003
【図２】
2005022127.tif 000004
【図３】
2005022127.tif 000005
【図４】
2005022127.tif 000006
【図５】
2005022127.tif 000007
【図６】
2005022127.tif 000008
【図７】
2005022127.tif 000009
【図８】
2005022127.tif 000010
【図９】
2005022127.tif 000011
【図１０】
2005022127.tif 000012
【図１１】
2005022127.tif 000013
【図１２】
2005022127.tif 000014
【手続補正書】
【提出日】平成16年9月22日(2004.9.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】圧力室を経てノズルに至る流路が設けられた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、
圧電セラミックスのグリーンシートを基板上に形成するグリーンシート形成工程と、
前記グリーンシートを複数に分割する分割工程と、
前記分割工程で複数領域に分割された前記グリーンシートを焼成して圧電セラミックスシートを得る焼成工程と、
前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記流路ユニットに接着する接着工程とを備えていることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。
【請求項２】前記接着工程において、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記圧力室と対向するように前記流路ユニットに接着することを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項３】圧力室を経てノズルに至る流路が設けられ且つ前記圧力室が振動板で覆われた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、
圧電セラミックスのグリーンシートを基板上に形成するグリーンシート形成工程と、
前記グリーンシートを複数に分割する分割工程と、
前記分割工程で複数領域に分割された前記グリーンシートを焼成して圧電セラミックスシートを得る焼成工程と、
前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記振動板に接着する接着工程とを備えていることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。
【請求項４】前記接着工程において、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記圧力室に対応した範囲からはみ出すことなく前記圧力室と対向するように前記振動板に接着することを特徴とする請求項３に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項５】前記接着工程が、前記振動板の表面に接着剤を塗布する塗布工程を備えていることを特徴とする請求項３又は４に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項６】前記接着工程が、前記圧電セラミックスシートの表面に接着剤を塗布する塗布工程を備えていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項７】前記接着剤が導電性接着剤であることを特徴とする請求項５又は６に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項８】前記流路ユニットに接着した前記圧電セラミックスシートを、前記基板から剥離する剥離工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項９】グリーンシート形成工程において、前記グリーンシートを前記基板と剥離可能にすることを特徴とする請求項８に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項１０】前記分割工程において、レーザ光線によって前記グリーンシートを複数に分割することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の液滴噴射装置の製造方法
【請求項１１】前記分割工程において、型を押し付けることによって前記グリーンシートを分割することを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の液滴噴射装置の製造方法。
【請求項１２】圧力室を経てノズルに至る流路を有しプレートが複数枚積層されることによって形成された流路ユニットを備えた液滴噴射装置の製造方法であって、
圧電セラミックスのグリーンシートを基板上に形成するグリーンシート形成工程と、
前記グリーンシートを複数に分割する分割工程と、
前記分割工程で複数領域に分割された前記グリーンシートを焼成して圧電セラミックスシートを得る焼成工程と、
前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記流路ユニットを形成する前記プレートに接着する接着工程とを備えていることを特徴とする液滴噴射装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被記録媒体に液滴を噴射する液滴噴射装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電素子を用いてインク吐出圧力を発生するインクジェットヘッドは、水系以外の液体を吐出可能、液滴体積を精密にコントロールできるために面積階調を行うことが可能、耐久性が高いなどの利点を有する液滴噴射装置である。特許文献１には、かかるインクジェットヘッドの一種として、圧力室に対応する位置にそれぞれ別体の圧電振動板が配置されたタイプのインクジェットヘッドが記載されている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平９−３１４８３６号（図１、図２）
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１に記載されたタイプのインクジェットヘッドを製造するには、ノズル及びこれに連通した圧力室が多数形成された流路ユニットに、多数の圧電振動板を接着するという工程が必要になる。圧電振動板は、セラミックス材料のグリーンシートを焼成することによって得られた圧電シートを、ダイサーなどによって分割することによって得られる。しかしながら、圧電シートをダイサーで分割する工程は、冷却液や潤滑液の散布及び切削屑を除去するための洗浄などの煩雑で長時間を要する工程を含んでいるため、圧電振動板の歩留まりが低くなり、その結果、インクジェットヘッドの製造コストが高くなるという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、煩雑で長時間を要する工程を必要としない液滴噴射装置の製造方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
本発明の液滴噴射装置の製造方法は、圧力室を経てノズルに至る流路が設けられた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、圧電セラミックスのグリーンシートを基板上に形成するグリーンシート形成工程と、前記グリーンシートを複数に分割する分割工程と、前記分割工程で複数領域に分割された前記グリーンシートを焼成して圧電セラミックスシートを得る焼成工程と、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記流路ユニットに接着する接着工程とを備えている（請求項１）。
【０００７】
この構成によると、焼成されていないグリーンシートを分割するので、焼成された圧電セラミックスシートを分割する場合と比較して、分割工程が簡易となって比較的短時間で終了する。しかも、圧電セラミックスシートの歩留まりが向上するので、液滴噴射装置のコストダウンが可能である。さらに、基板に形成された状態の圧電セラミックスシートを流路ユニットに接着するので、圧電セラミックスシートを目的位置に高精度に配置することができる。
【０００８】
この場合、前記接着工程において、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記圧力室と対向するように前記流路ユニットに接着してもよい（請求項２）。これによると、液滴吐出性能が向上する。
【０００９】
別の観点において、本発明の液滴噴射装置の製造方法は、圧力室を経てノズルに至る流路が設けられ且つ前記圧力室が振動板で覆われた流路ユニットを形成する流路ユニット形成工程と、圧電セラミックスのグリーンシートを基板上に形成するグリーンシート形成工程と、前記グリーンシートを複数に分割する分割工程と、前記分割工程で複数領域に分割された前記グリーンシートを焼成して圧電セラミックスシートを得る焼成工程と、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記振動板に接着する接着工程とを備えている（請求項３）。
【００１０】
この構成によると、焼成されていないグリーンシートを分割するので、焼成された圧電セラミックスシートを分割する場合と比較して、分割工程が簡易となって比較的短時間で終了する。しかも、圧電セラミックスシートの歩留まりが向上するので、液滴噴射装置のコストダウンが可能である。さらに、基板に形成された状態の圧電セラミックスシートを流路ユニットに接着するので、圧電セラミックスシートを目的位置に高精度に配置することができる。また、流路ユニットが振動板を有しているので、圧電セラミックスシートを利用したユニモルフ変形を行うことが可能となり、吐出効率が向上する。
【００１１】
この場合、前記接着工程において、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された前記圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記圧力室に対応した範囲からはみ出すことなく前記圧力室と対向するように前記振動板に接着してもよい（請求項４）。これによると、液滴吐出性能が向上する。また、このとき、前記接着工程が、前記振動板の表面に接着剤を塗布する塗布工程を備えていてよい（請求項５）。
【００１２】
本発明において、前記接着工程が、前記圧電セラミックスシートの表面に接着剤を塗布する塗布工程を備えていてもよい（請求項６）。この構成によると、短時間で接着剤を塗布することができる。また、前記接着剤が導電性接着剤であってもよい（請求項７）。この構成によると、導電性接着剤が電極として機能するので、圧電セラミックスシートと圧力室との間に別途電極を設ける必要がなくなる。
【００１３】
本発明による液滴噴射装置の製造方法は、前記流路ユニットに接着した前記圧電セラミックスシートを、前記基板から剥離する剥離工程をさらに備えていることが好ましい（請求項８）。これによると、圧電セラミックスシートの変形が基板によって阻害されることがない。この場合、グリーンシート形成工程において、前記グリーンシートを前記基板と剥離可能にすることが好ましい（請求項９）。これによると、剥離工程において、圧電セラミックスシートが破損するおそれが少なくなる。
【００１４】
本発明では、前記分割工程において、レーザ光線によって前記グリーンシートを複数に分割してもよい（請求項１０）。この構成によると、グリーンシートを精度よく分割することができる。また、グリーンシートの分割溝を幅広にしやすくなる。
【００１５】
本発明では、前記分割工程において、型を押し付けることによって前記グリーンシートを分割してもよい（請求項１１）。これによると、高価な装置を用いずにグリーンシートを複数に分割することができる。
別の観点において、本発明の液滴噴射装置の製造方法は、圧力室を経てノズルに至る流路を有しプレートが複数枚積層されることによって形成された流路ユニットを備えた液滴噴射装置の製造方法であって、圧電セラミックスのグリーンシートを基板上に形成するグリーンシート形成工程と、前記グリーンシートを複数に分割する分割工程と、前記分割工程で複数領域に分割された前記グリーンシートを焼成して圧電セラミックスシートを得る焼成工程と、前記分割工程で複数に分割され且つ前記焼成工程で焼成された圧電セラミックスシートの少なくとも１つを、前記流路ユニットを形成する前記プレートに接着する接着工程とを備えている（請求項１２）。
この構成によると、焼成されていないグリーンシートを分割するので、焼成された圧電セラミックスシートを分割する場合と比較して、分割工程が簡易となって比較的短時間で終了する。しかも、圧電セラミックスシートの歩留まりが向上するので、液滴噴射装置のコストダウンが可能である。さらに、基板に形成された状態の圧電セラミックスシートを流路ユニットを形成するプレートに接着するので、圧電セラミックスシートを目的位置に高精度に配置することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１７】
図１は、第１の実施の形態に係る製造方法により製造したインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの概略構成を示す斜視図である。図１に示すインクジェットプリンタ１１０には、被印刷媒体である用紙１０１を搬送する搬送手段としてのプラテンローラ１４０と、プラテンローラ１４０上にセットされる用紙１０１に対してインク液滴を噴射するインクジェットヘッド１が含まれている。
【００１８】
プラテンローラ１４０は、軸１４２によりフレーム１４３に回転可能に取り付けられており、モータ１４４によって回転駆動される。用紙１０１は、インクジェットプリンタ１１０の側方に設けられた給紙カセット（図示せず）から給紙され、プラテンローラ１４０により図中矢印の方向に一定速度で搬送されて、インクジェットヘッド１から噴射されるインク液滴により所定の印刷がなされ、その後、排紙される。なお、図１では、用紙１０１の給紙機構と排紙機構の詳細な図示を省略している。また、図１に描かれたインクジェットプリンタ１１０はモノクロプリンタであってインクジェットヘッド１が１つしか配置されていないが、カラー印刷を行う場合にはイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の少なくとも４つのインクジェットヘッド１が平行に配置される。
【００１９】
インクジェットヘッド１は、用紙１０１に対してインク液滴を噴射するためのものであり、ヘッド本体１００と、基部１１１とを有している。ヘッド本体１００は、ライン状に一方向に延在している。基部１１１は、ヘッド本体１００に対して垂直な方向に伸延しているものであり、ヘッド本体１００を支持するものである。
【００２０】
多数のノズル８（図２参照）が長手方向に沿って一列に形成されたヘッド本体１００のインク噴射面は、プラテンローラ１４０による用紙１０１の搬送面と平行に対向している。そのため、ヘッド本体１００のインク噴射面に形成された各ノズル８から噴射されたインク液滴は、用紙１０１に対して飛翔する。
【００２１】
次に、ヘッド本体１００の詳細な構造について説明する。図２（ａ）は、インク噴射面１０２から見たヘッド本体１００の平面図である。図中の矢印は用紙１０１の搬送方向を示している。図２（ａ）に示すように、ヘッド本体１００において、用紙１０１の搬送方向と直交する方向に沿って、噴射ユニット１３（図中点線部）が一列に並んでいる。各噴射ユニット１３は、１つのインク噴射ユニット１３の拡大図である図２（ｂ）に示すように、１つのノズル８を含んでいる。
【００２２】
図３は、図２のIII−III線における、ヘッド本体１００の断面図である。図３に示すように、ヘッド本体１００は、ノズル８に連通した圧力室１０が多数形成された流路ユニット２と、各圧力室１０上に形成された下方電極３６と、下方電極３６上に形成された圧電シート２１と、圧電シート２１上に形成された上方電極３５とを含んでいる。各ノズル８は、圧力室１０を介して共通インク室５と連通している。このようにして、ヘッド本体１００には、共通インク室５の出口から圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路４が圧力室１０ごとに形成されている。
【００２３】
流路ユニット２は、トッププレート２２、キャビティプレート２３、サプライプレート２４、マニホールドプレート２５及びノズルプレート２６の各プレートが積層されることによって形成されている。トッププレート２２は、孔の形成されていない金属プレートであって、図示しない位置において接地されていることによってグランド電位に保たれている。そのため、下方電極３６もグランド電位に保たれている。後述するように、トッププレート２２は、振動板として、圧電シート２１の変形に伴って圧力室１０に向かって凸となるように変形する。
【００２４】
キャビティプレート２３は、圧力室１０に相当する開口が多数設けられた金属プレートである。サプライプレート２４は、圧力室１０から共通インク室５への連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２５は、共通インク室５に相当する孔に加えて、キャビティプレート２３の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート２６は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。これら５枚のプレート２２〜２６は、個別インク流路４が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。
【００２５】
下方電極３６は、接着剤からなる。圧電シート２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる。圧電シート２１はその厚み方向に分極している。上方電極３５は、Ａｇ−Ｐｄ系等の金属材料からなるものであり、図示しない信号線により、同じく図示しないドライバＩＣに接続されている。他方、上述のように、下方電極３６は常にグランド電位に保たれている。したがって、上方電極３５の電位をグランド電位より高い電位とすることで、圧電シート２１に対してその分極方向に電界が印加される。電界が印加された圧電シート２１は、活性層として、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、トッププレート２２は、電界の影響を受けないため自発的には縮まないので、上層の圧電シート２１と下層のトッププレート２２との間で分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、トッププレート２２がキャビティプレート２３に固定されていることと相俟って、圧電シート２１及びトッププレート２２は圧力室１０側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、上方電極３５を下方電極３６と同じ電位に戻すと、圧電シート２１及びトッププレート２２は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクを共通インク室５から吸い込む。
【００２６】
なお、他の駆動方法として、予め上方電極３５を下方電極３６と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに上方電極３５を下方電極３６と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び上方電極３５を下方電極３６と異なる電位にすることもできる。この場合は、上方電極３５と下方電極３６とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート２１及びトッププレート２２が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクが共通インク室５から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び上方電極３５を下方電極３６と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート２１及びトッププレート２２が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。
【００２７】
上述したように、本実施の形態では、ヘッド本体１００が振動板としてのトッププレート２２を流路ユニット２に有しているので、ユニモルフ変形による優れた吐出効率を実現することができる。
【００２８】
次に、上述したインクジェットヘッド１のヘッド本体１００の製造方法について、図４及び図５を参照しつつ説明する。
【００２９】
まず、セラミックス基板４１上に圧電セラミックスの材料であるグリーンシート４２を、厚さが一定となるように一様に形成する（図４（ａ））。グリーンシート４２は、トッププレート２２とほぼ同じ大きさを有している。このとき、セラミックス基板４１と剥離可能にグリーンシート４２を形成している
【００３０】
次に、ＹＡＧレーザ光源（図示せず）から出射されたレーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ａ及び複数の小片４２ｂに分断する（図４（ｂ））。このとき、小片４２ａが、圧力室１０とほぼ同じ形状で、圧力室１０よりもやや小さくなるようにする。小片４２ａと小片４２ｂとの間の溝は、一定幅を有している。
【００３１】
しかる後、グリーンシート４２の小片４２ａ、４２ｂを焼成することによって、圧電セラミックスシートの小片４３ａ、４３ｂを形成する（図４（ｃ））。
【００３２】
また、図４（ａ）〜図４（ｃ）で説明した工程とは別に、互いに位置あわせをして積層された、トッププレート２２、キャビティプレート２３、サプライプレート２４、マニホールドプレート２５及びノズルプレート２６を接着することによって、流路ユニット２を形成する（図４（ｄ））。このとき、各金属プレート２２〜２６には、エッチングなどによって、圧力室１０、ノズル８及び共通インク室５等に相当する孔を予め設けておく。なお、図４（ｄ）以降の図面は、図３のIV―IV線における断面に相当している。
【００３３】
次に、流路ユニット２のトッププレート２２の圧力室１０と対向する位置に接着剤５０を塗布する（図４（ｅ））。接着剤５０の塗布方法としては、まず、接着剤５０を平面部材（図示せず）に一様に塗布する。このとき接着剤５０の塗布領域は、トッププレート２２に接している全ての圧力室１０が収まるような大きさを有している。そして、小片４３ａと同じ形状の凹部が圧力室１０と同じパターンで配列された型を、一様に塗布した接着剤５０に押し付けて接着剤５０を部分的に除去する。そして、平面部材上に小片４３ａと同じ形状で圧力室１０と同じパターンで残存した接着剤５０を、トッププレート２２の圧力室１０と対向する位置に転写する。このようにしてトッププレート２２に転写された接着剤５０は、下方電極３６として機能する。
【００３４】
その後、圧電セラミックスシートの小片４３ａと圧力室１０とが対向するように、セラミックス基板４１とトッププレート２２とを位置合わせし、小片４３ａ、４３ｂをトッププレート２２に接触させる。このとき、トッププレート２２の圧力室１０に対向する位置には接着剤５０が塗布されているため、小片４３ａは接着剤５０を介してトッププレート２２に接着するが、小片４３ｂはトッププレート２２に接着しない（図５（ａ））。
【００３５】
さらに、次の工程として、圧電セラミックスシートの小片４３ａをセラミックス基板４１から剥離し、セラミックス基板４１を小片４３ｂと共に流路ユニット２から引き離す（図５（ｂ））。しかる後、小片４３上に上方電極３５を形成するなどの工程を経て、図３に示すようなインクジェットヘッド１のヘッド本体１００が完成する。
【００３６】
上述したように、本実施の形態では、焼成されていないグリーンシート４２をレーザ光線４６で分割するので、冷却液や潤滑液の散布及び切削屑を除去するための洗浄などの煩雑で長時間を要する工程洗浄や分割工程が不要である。したがって、比較的短時間でヘッドの製造を終了させることができる。しかも、グリーンシート４２を分割してから焼成しているために圧電セラミックスシートの小片４３ａの歩留まりが向上するので、インクジェットヘッド１のコストダウンが可能である。さらに、セラミックス基板４１上に形成された状態の圧電セラミックスシートの小片４３ａを流路ユニット２のトッププレート２２に接着するので、個々の小片４３ａをそれぞれトッププレート２２に接着する場合よりも、小片４３ａを目的位置に高精度に配置することができる。
【００３７】
また、本実施の形態では、圧電セラミックスシートの小片４３ａを、圧力室１０に対応した範囲からはみ出すことなく圧力室１０と対向するようにトッププレート２２に接着しているので、ノズル８からのインク液滴吐出性能が向上する。
【００３８】
さらに、本実施の形態では、図５（ｂ）に示すように圧電セラミックスシートの小片４３ａをセラミックス基板４１から剥離しているので、小片４３ａの変形がセラミックス基板４１によって阻害されることがない。そして、そのために、図４（ａ）に示すグリーンシート形成工程において、グリーンシート４２をセラミックス基板４１と剥離可能に形成しているので、図５（ｂ）に示す剥離工程において小片４３ａが破損するおそれが少ない。
【００３９】
加えて、本実施の形態では、図４（ｂ）に示すように、レーザ光線４６によってグリーンシート４２を複数に分割している。したがって、グリーンシート４２を精度よく分割して寸法精度の高い小片４３ａを得ることができる。
【００４０】
また、本実施の形態では、接着剤５０としてエポキシ系材料からなる導電性接着剤を用いているために接着剤５０を下方電極３６として機能させることができるので、小片４３ａとトッププレート２２との間に別途電極を設ける必要がなくなる。したがって、製造工程がさらに簡略化される。また、導電性の接着剤５０をトッププレート２２の全面に塗布せず、その一部だけに塗布しているので、トッププレート２２上における配線作業を容易に行うことができる。
【００４１】
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る製造方法は、接着剤を塗布する部材が第１の実施の形態と相違したものである。以下、その相違点を中心に説明することとし、第１の実施の形態と同様の部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
まず、図４（ａ）の工程と同様にして、セラミックス基板４１上に圧電セラミックスの材料であるグリーンシート４２を、厚さが一定となるように一様に形成する（図６（ａ））。次に、図４（ｂ）の工程と同様にして、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ａ及び複数の小片４２ｂに分断する（図６（ｂ））。しかる後、図４（ｃ）の工程と同様にして、グリーンシート４２の小片４２ａ、４２ｂを焼成することによって、圧電セラミックスシートの小片４３ａ、４３ｂを形成する（図４（ｃ））。
【００４３】
次に、小片４３ａの表面だけに接着剤５０を塗布する（図６（ｄ））。接着剤５０の塗布方法は、図４（ｅ）で説明した方法と同様である。その後、圧電セラミックスシートの小片４３ａ、４３ｂを、図４（ｄ）で説明したように作製された流路ユニット２のトッププレート２２に接触させる。このとき、小片４３ａと圧力室１０とが対向するように、セラミックス基板４１とトッププレート２２とを位置合わせする。ところが、小片４３ａ上には接着剤５０が塗布されているものの、小片４３ｂ上には接着剤５０が塗布されていないために、小片４３ａは接着剤５０を介してトッププレート２２に接着するが、小片４３ｂはトッププレート２２に接着しない。しかる後、図５（ｂ）で説明したように、圧電セラミックスシートの小片４３ａをセラミックス基板４１から剥離し、セラミックス基板４１を小片４３ｂと共に流路ユニット２から引き離すなどの工程を経て、図３に示すようなインクジェットヘッド１のヘッド本体１００が完成する。
【００４４】
本実施の形態によっても、上述した第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００４５】
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る製造方法は、接着剤を塗布する範囲が第１の実施の形態と相違したものである。以下、その相違点を中心に説明することとし、第１の実施の形態と同様の部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００４６】
まず、図４（ａ）の工程と同様にして、セラミックス基板４１上に圧電セラミックスの材料であるグリーンシート４２を、厚さが一定となるように一様に形成する（図７（ａ））。次に、図４（ｂ）の工程と同様にして、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ｃ及び複数の小片４２ｄに分断する（図７（ｂ））。ここで、小片４２ｃは第１の実施の形態における小片４２ａと同じ大きさであるが、小片４２ｄは第１の実施の形態における小片４２ｂよりも小さい。これにより、小片４２ｄが圧力室１０と重ならないようにしてトッププレート２２の変位を阻害しないようにしていると共に、クロストークによるインク吐出特性の悪化を抑制している。しかる後、図４（ｃ）の工程と同様にして、グリーンシート４２の小片４２ｃ、４２ｄを焼成することによって、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄを形成する（図７（ｃ））。
【００４７】
次に、図４（ｄ）の工程と同様にして、流路ユニット２を作製する（図７（ｄ））。しかる後、トッププレート２２上の全面に接着剤５０を塗布する（図７（ｅ））。
【００４８】
その後、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄを、流路ユニット２のトッププレート２２に接触させる。このとき、小片４３ｃと圧力室１０とが対向するように、セラミックス基板４１とトッププレート２２とを位置合わせする。このとき、トッププレート２２上の全面に接着剤５０が塗布されているために、小片４３ｃ及び小片４３ｄの両方がトッププレート２２に接着する（図８（ａ））。
【００４９】
さらに、次の工程として、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄをセラミックス基板４１から剥離し、セラミックス基板４１を流路ユニット２から引き離す（図８（ｂ））。しかる後、小片４３ｃ上に上方電極３５を形成するなどの工程を経て、図３に示すようなインクジェットヘッド１のヘッド本体が完成する。
【００５０】
本実施の形態によっても、上述した第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。それに加えて、本実施の形態ではトッププレート２２上の全面に接着剤５０を塗布するので、上述した第１及び第２の実施の形態よりも接着剤５０の塗布工程を簡略に行うことができる。
【００５１】
なお、本実施の形態では、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ｃ及び複数の小片４２ｄに分断しているので、小片４２ｃと小片４２ｄとの距離を幅広にしやすい。このようにして製造されたインクジェットヘッドは、小片４３ｄが残存しているものの、小片４３ｄが圧力室１０と重ならないのでトッププレート２２の変位が阻害されず、しかも小片４３ｄの幅が狭いのでクロストークが抑制されたものとなる。
【００５２】
次に、本発明の第４の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る製造方法は、接着剤を塗布する部材が第３の実施の形態と相違したものである。以下、その相違点を中心に説明することとし、第３の実施の形態と同様の部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００５３】
まず、図７（ａ）の工程と同様にして、セラミックス基板４１上に圧電セラミックスの材料であるグリーンシート４２を、厚さが一定となるように一様に形成する（図９（ａ））。次に、図７（ｂ）の工程と同様にして、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ｃ及び複数の小片４２ｄに分断する（図９（ｂ））。しかる後、図７（ｃ）の工程と同様にして、グリーンシート４２の小片４２ｃ、４２ｄを焼成することによって、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄを形成する（図９（ｃ））。
【００５４】
次に、小片４３ｃ、小片４３ｄの表面だけに接着剤５０を塗布する（図９（ｄ））。接着剤５０の塗布方法は、図４（ｅ）で説明した方法と同様である。その後、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄを、図４（ｄ）で説明したように作製された流路ユニット２のトッププレート２２に接触させる。このとき、小片４３ｃと圧力室１０とが対向するように、セラミックス基板４１とトッププレート２２とを位置合わせする。このとき、小片４３ａ及び小片４３ｂの両方の表面に接着剤５０が塗布されているために、小片４３ａ及び小片４３ｂの両方がトッププレート２２に接着する。しかる後、図８（ｂ）で説明したように、圧電セラミックスシートの小片４３ｃ、４３ｄをセラミックス基板４１から剥離し、セラミックス基板４１を流路ユニット２から引き離すなどの工程を経て、図３に示すようなインクジェットヘッド１のヘッド本体が完成する。
【００５５】
本実施の形態によっても、上述した第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。
【００５６】
次に、本発明の第５の実施の形態について説明する。本実施の形態に係る製造方法は、圧力室１０を被覆するトッププレート２２を積層しない流路ユニットを作製する点、及び、それに対応して圧力室１０に対向する圧電セラミックスシートの小片が圧力室１０を被覆するような大きさにグリーンシートをレーザ加工する点において第２の実施の形態と相違している。以下、その相違点を中心に説明することとし、第２の実施の形態と同様の部材には同じ符号を付してその説明を省略する。
【００５７】
まず、図６（ａ）の工程と同様にして、セラミックス基板４１上に圧電セラミックスの材料であるグリーンシート４２を、厚さが一定となるように一様に形成する（図１０（ａ））。次に、図６（ｂ）の工程と同様にして、レーザ光線４６によって、グリーンシート４２を複数の小片４２ｅ及び複数の小片４２ｆに分断する（図１０（ｂ））。ここで、小片４２ｅは圧力室１０よりも一回り大きいサイズとする。一方、小片４２ｆは、小片４２ｅと十分な間隔が保てる範囲で任意のサイズとすることができる。しかる後、図６（ｃ）の工程と同様にして、グリーンシート４２の小片４２ｅ、４２ｆを焼成することによって、圧電セラミックスシートの小片４３ｅ、４３ｆを形成する（図１０（ｃ））。次に、小片４３ｅの表面だけに接着剤５０を塗布する（図１０（ｄ））。接着剤５０の塗布方法は、図４（ｅ）で説明した方法と同様である。
【００５８】
また、図１０（ａ）〜図１０（ｄ）で説明した工程とは別に、互いに位置あわせをして積層された、キャビティプレート２３、サプライプレート２４、マニホールドプレート２５及びノズルプレート２６を接着することによって、流路ユニット２ａを形成する（図１０（ｅ））。図１０（ｅ）に示すように、流路ユニット２ａにおいては、圧力室１０がトッププレートによって被覆されておらず、流路が外部に露出している。
【００５９】
その後、圧電セラミックスシートの小片４３ｅ、４３ｆを、図１０（ｅ）で説明したように作製された流路ユニット２ａのキャビティプレート２３に接触させる。このとき、小片４３ｅと圧力室１０とが対向して圧力室１０が小片４３ｅによって被覆されるように、セラミックス基板４１とキャビティプレート２３とを位置合わせする。ところが、小片４３ｅ上に接着剤５０が塗布されているものの小片４３ｆ上には接着剤５０が塗布されていないために、小片４３ｅは接着剤５０を介してキャビティプレート２３に接着するが、小片４３ｆはキャビティプレート２３に接着しない（図１１（ａ））。
【００６０】
しかる後、圧電セラミックスシートの小片４３ｅをセラミックス基板４１から剥離し、セラミックス基板４１を小片４３ｆと共に流路ユニット２から引き離す（図１１（ｂ））などの工程を経てインクジェットヘッド１のヘッド本体が完成する。なお、本実施の形態では、図３に示すヘッド本体１００とは異なり、接着剤５０からなる下方電極をグランド電位とするために、別途配線を行う必要がある。
【００６１】
本実施の形態によっても、上述した第１の実施の形態と同様の効果を得ることができる。ただし、本実施の形態では、流路ユニット２ａがトッププレート２２を有していないために、上述した第１〜第４の実施の形態のようにユニモルフ変形するのではなく、圧電セラミックスシートの小片４３ｅが圧電縦効果によって伸縮することに伴ってノズル８からインクが吐出される。
【００６２】
次に、上述した第１〜第５の実施の形態に適用可能な変形例について説明する。本変形例は、グリーンシートの分割工程に係るものであって、グリーンシートに型を押し付けることによってグリーンシートを複数に分割する。図１２（ａ）に示すように、型４５は、平板部４５ａの下面から複数の凸部４５ｂが突出した部材である。凸部４５ｂは、その高さが圧電セラミックスシートの小片の高さと同じで、凸部４５ｂ同士の間隔が圧電セラミックスシートの小片と同じ間隔になるように形成されている。
【００６３】
そのため、図１２（ｂ）に示すように、型４５をグリーンシート４２に押し付けて、グリーンシート４２を分断すると、凸部４５ｂ間にグリーンシート４２の小片が形成される。
【００６４】
本変形例を採用することにより、第１〜第５の実施の形態で用いたレーザ光源のような高価な装置を用いないでグリーンシートを分割できるために、インクジェットヘッドの製造コストを抑えることができる。
【００６５】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。例えば、上述した第１〜第４の実施の形態において圧電セラミックスシートの小片を、圧力室１０に対応した範囲からはみ出すことなく圧力室１０と対向するようにトッププレート２２に接着しているが、圧電セラミックスシートの小片が部分的に圧力室１０からはみ出してもよい。また、圧電セラミックスシートの小片は圧力室と相似していない形状を有していてもよい。また、接着剤５０として、非導電性接着剤を用いてもよい。
【００６６】
また、上述の実施の形態では、セラミックス基板上に塗布したグリーンシートの形状及び大きさを流路ユニットのトッププレートとほぼ同じにしているが、これに限定されない。
【００６７】
また、インクジェットヘッドはラインヘッドではなくシリアルヘッドであってよく、この場合、用紙搬送方向と直交する方向に往復移動するように制御されてもよい。また、上述した実施の形態で説明した製造方法は、噴射媒体として導電ペーストを用いることにより、微細な電気回路パターンを印刷する液滴噴射装置、或いは、噴射媒体として有機発光体を用いることにより有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（ＯＥＬＤ）などの高精細ディスプレイデバイスを作製する液滴噴射装置などを製造するにも適用可能である。そのほか、上述した実施の形態で説明した製造方法は、ドットを被印刷媒体上に形成する液滴噴射装置を製造する用途であれば、極めて広範に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る製造方法により製造されたインクジェットヘッドを含むインクジェットプリンタの概略構成を示す斜視図である
【図２】図２（ａ）は、図１に示すヘッド本体のインク噴射面の平面図である。図２（ｂ）は、１つの噴射ユニットの拡大図である。
【図３】図１に示すヘッド本体の図２（ｂ）に示したIII−III線に沿った断面図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図７】本発明の第３の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図９】本発明の第４の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図１０】本発明の第５の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図１１】本発明の第５の実施の形態に係る製造方法を工程順に示した断面図である。
【図１２】本発明の第１〜第５の実施の形態に適用可能なグリーンシートの分割工程の変形例を説明するための断面図である。
【符号の説明】
１    インクジェットヘッド
２    流路ユニット
８    ノズル
１０    圧力室
２１    圧電シート
２２    トッププレート
２３    キャビティプレート
２４    サプライプレート
２５    マニホールドプレート
２６    ノズルプレート
３５    上方電極
３６    下方電極
４１    セラミックス基板
４２    グリーンシート
４３ａ、４３ｂ  圧電セラミックスシートの小片
５０    接着剤
１００  ヘッド本体