(57)【要約】【課題】本発明は誘電体シート上に印刷された内部電極を吸着部材を通して薄層化し、より高容量を有しより小型化された積層セラミックキャパシタを製造できる方法に関するものである。【解決手段】本発明は誘電体シートに内部電極を印刷し、これを複数個積層して積層セラミックキャパシタを製造する方法において、上記誘電体シート上の内部電極の印刷面に吸着部材を接触させ所定厚さの内部電極を吸い取らせ薄層化した後、これを積層してチップ部品を形成する積層セラミックキャパシタの製造方法を提供する。【選択図】図2
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体シートに内部電極を印刷し、これを複数個積層して積層セラミックキャパシタを製造する方法において、
上記誘電体シート上の内部電極の印刷面に吸着部材を接触させ所定厚さの内部電極を吸い取らせ薄層化させた後これを積層してチップ部品を形成する積層セラミックキャパシタの製造方法。 
【請求項２】
薄層化された内部電極の厚さは誘電体シートの厚さより小さいことを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。 
【請求項３】
上記内部電極はCuまたはNiから成ることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。 
【請求項４】
上記内部電極はスクリーンプリンティング法を用いて上記誘電体シートに形成されることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項５】
上記吸着部材は紙であることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項６】
上記吸着部材は誘電体シートであることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項７】
上記誘電体シートは上記内部電極が印刷される誘電体シートと同一な材料から成ることを特徴とする請求項6に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項８】
上記吸着部材は上記内部電極を吸着できる高分子物質が表面にコーティングされた薄膜であることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項９】
上記高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれかであることを特徴とする請求項8に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１０】
上記吸着部材は内部電極を吸着できる高分子物質を含む薄膜であることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１１】
上記高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれかであることを特徴とする請求項10に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１２】
上記吸着部材は所定圧力を加えながら上記内部電極と接触させられるローラであることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１３】
上記ローラの表面は上記内部電極を吸着できる高分子物質がコーティングされることを特徴とする請求項12に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１４】
上記高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれかであることを特徴とする請求項12に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１５】
上記ローラは上記誘電体シートの底面に外接する対応ローラと一対で配されることを特徴とする請求項12に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１６】
上記内部電極を吸着部材に吸着し上記吸着部材を剥がし取り内部電極を薄型化する工程は上記誘電体シートに印刷された内部電極に熱源を与えて内部電極を完全に乾燥させる前に行われることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１７】
上記内部電極を吸着部材に吸着する工程は上記内部電極のスクリーン印刷が終了する次第行われることを特徴とする請求項16に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１８】
上記吸着部材を剥がし取り分離する工程は40ないし60cm/sec速度で行われることを特徴とする請求項16に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項１９】
上記ローラの表面に付いた内部電極の一部はスクレーパで削り上記スクレーパの先端に提供される吸入力で除去されることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項２０】
誘電体シートを設ける段階;
所定個数のメッシュを有するスクリーンを通して上記誘電体シートに所定厚さの内部電極を印刷する段階;
上記誘電体シートの内部電極の印刷面に吸着部材を接触させ所定厚さの内部電極を吸い取らせ薄層化した内部電極を形成する段階;
上記内部電極が印刷された誘電体シートを複数個加圧積層する段階;
積層された誘電体シートをチップ単位で切断する段階; 及び
切断されたチップを加焼及び焼成する段階;
を含む積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項２１】
薄層化した内部電極の厚さは誘電体シートの厚さより小さいことを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項２２】
上記内部電極はCuまたはNiから成ることを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項２３】
上記内部電極はスクリーンプリンティング法を用いて上記誘電体シートに形成されることを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項２４】
上記吸着部材は紙であることを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項２５】
上記吸着部材は誘電体シートであることを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項２６】
上記誘電体シートは上記内部電極が印刷される誘電体シートと同一な材料から成ることを特徴とする請求項25に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項２７】
上記吸着部材は上記内部電極を吸着できる高分子物質が表面にコーティングされた薄膜であることを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項２８】
上記高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれかであることを特徴とする請求項27に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項２９】
上記吸着部材は内部電極を吸着できる高分子物質を含む薄膜であることを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項３０】
上記高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれか一つであることを特徴とする請求項29に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項３１】
上記吸着部材は所定圧力を加えながら上記内部電極と接触させられるローラであることを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項３２】
上記ローラの表面は上記内部電極を吸着できる高分子物質がコーティングされることを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項３３】
上記高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれか一つであることを特徴とする請求項32に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項３４】
上記ローラは上記誘電体シートの底面に外接する対応ローラと一対で配されることを特徴とする請求項31に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項３５】
上記薄層化した内部電極を形成する段階は上記吸着部材を内部電極に接触させ上記内部電極を吸着部材に吸着する段階;及び
上記吸着部材を剥がし取り内部電極の一部を分離し上記誘電体シートに内部電極を残留する段階を含むことを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項３６】
上記薄層化した内部電極を形成する段階は上記誘電体シートに印刷された内部電極に熱源を与えて内部電極を乾燥する前に行われることを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項３７】
上記内部電極を吸着部材に吸着する段階は上記内部電極のスクリーン印刷が終了する次第行われることを特徴とする請求項35に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項３８】
上記吸着部材を剥がし取り分離する段階は40ないし60cm/sec速度で行われることを特徴とする請求項35に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【請求項３９】
上記ローラの表面に付いた内部電極の一部はスクレーパで削り上記スクレーパの先端に提供される吸入力により除去されることを特徴とする請求項20に記載の積層セラミックキャパシタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は誘電体シート上に印刷された内部電極を吸着部材を通して薄層化し、より高容量を有しより小型化された積層セラミックキャパシタを製造できる方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
積層セラミックキャパシタ(Multi Layer Ceramic Capacitor、以下MLCC)はDC信号遮断、バイパッシング(bypassing)、周波数共振などの機能に活用される電子部品である。 MLCCは電子部品の小型化及び軽量化のニーズに応じて使用量が増加しており、最近電子部品のデジタル化及び移動通信市場の拡大につれてその需要が増している。
【０００３】
とりわけ、最近には安定的でありながら超高容量を具現できるMLCCを製造するための研究が続いており、そのために様々な方案が考え出されている。先ず、薄い誘電体層を均一に形成して同一な体積内に積層される誘電体層の層数を増大させる方案が提示される。また、誘電体粉末の誘電率を高める方案が提示されている。上記のような方案と共に、誘電体シート上に印刷される電極層の厚さを減らし、またこれを均一に形成する方法に対する研究が続いている。
とりわけ、BaTiO3系高容量MLCC部分において高容量化と小型化の流れに応じて誘電体シートを約1マイクロメートル以下の厚さに薄層化して製造できる技術が開発された状態である。しかし、薄層化された誘電体層に電極層を形成する場合、電極層の厚さがむしろ薄層化された誘電体層の厚さより厚くなる場合が発生する。これは電極層がスクリーンプリンティング方式により誘電体層に印刷されるからである。
【０００４】
図1はスクリーンプリンティング工程により誘電体シートに電極を形成する工程を示している。図1において、誘電体シート(10)上に内部電極(20)を印刷するために所定の個数のメッシュが具備されたスクリーン(30)を配列する。スクリーン(30)の上部面に内部電極を形成するCuまたはNiペースト(25)を位置させ、これをスクイーズ(40)を通してスクリーンの下部に押し出す。かかる工程を通して誘電体シート(10)に内部電極(20)が印刷される。
【０００５】
上記のようなスクリーンプリンティング方式は電極ペーストの粘度、スクリーンのメッシュ個数などを調節して誘電体シートに形成される電極の厚さを調節することができるが、電極ペーストの粘度及びスクリーンメッシュの調節に限界があるので誘電体シートのように薄層化させ印刷させ難い。
【０００６】
誘電体シートの薄層化の傾向に応じて内部電極の厚さも薄層化されなければならないが、従来の場合内部電極の厚さが誘電体シートに比して厚く誘電体シートの積層個数を増加させ難かった。また、超薄型の誘電体シートを成形し、これに電極を印刷する際電極の厚さが誘電体シートより厚く形成されることがある。この際、電極部の段差により複数枚の誘電体シートを加圧積層する際誘電体シートが破れたり内部電極が短絡しショートが起こるなどとの諸問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記のような問題を解決するためのものとして、積層セラミックキャパシタの誘電体シートに超薄層の内部電極を印刷する積層セラミックキャパシタの製造方法を提供することに目的がある。
【０００８】
また、本発明は同一な体積のセラミックキャパシタに積層される誘電体シートの数を増加させ、高容量を具現できる積層セラミックキャパシタの製造方法を提供することに目的がある。 
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記のような目的を成し遂げるための構成手段として、本発明は誘電体シートに内部電極を印刷し、これを複数個積層して積層セラミックキャパシタを製造する方法において、上記誘電体シート上の内部電極の印刷面に吸着部材を接触させ所定厚さの内部電極を吸い取らせ薄層化させた後、これを積層してチップ部品を形成する積層セラミックキャパシタの製造方法を提供する。
【００１０】
好ましくは、薄層化された内部電極の厚さは誘電体シートの厚さより小さいことを特徴とする。さらに、上記内部電極はCuまたはNiから成ることが好ましい。
【００１１】
さらに好ましくは、上記内部電極はスクリーンプリンティング法を使用して上記誘電体シートに形成される。
【００１２】
好ましくは、上記吸着部材は紙または誘電体シートであることができ、上記内部電極を吸着できる高分子物質が表面にコーティングされた薄膜または内部電極を吸着できる高分子物質を含む薄膜であることもでき、また上記高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれかである。
【００１３】
さらに好ましくは、上記吸着部材は所定の圧力を加えながら上記内部電極と接触させられるローラで、上記ローラの表面は上記内部電極を吸着できる高分子物質がコーティングされ、上記高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれかである。より好ましくは、上記ローラは上記誘電体シートの底面に外接する対応ローラと一対で配される。
好ましくは、上記内部電極を吸着部材に吸着し上記吸着部材を剥がし取り内部電極を薄型化することは上記誘電体シートに印刷された内部電極に熱源を与えて内部電極を完全に乾燥する前に行う。
【００１４】
より好ましくは、内部電極を吸着部材に吸着する工程は上記内部電極のスクリーン印刷が終了する次第行われ、上記吸着部材を剥がし取り分離する工程は40ないし60cm/secの速度で行われる。
【００１５】
さらに好ましくは、上記ローラの表面に付いた内部電極の一部はスクレーパで削られ上記スクレーパの先端に設けられる吸入力により除去される。
【００１６】
また、本発明は誘電体シートを設ける段階、所定個数のメッシュを有するスクリーンを通して上記誘電体シートに所定厚さの内部電極を印刷する段階;上記誘電体シートの内部電極の印刷面に吸着部材を接触させ所定厚さの内部電極を吸い取らせ薄層化した内部電極を形成する段階; 上記内部電極が印刷された誘電体シートを複数個加圧積層する段階; 積層した誘電体シートをチップ単位で切断する段階;及び、切断したチップを加焼及び焼成する段階;を含む積層セラミックキャパシタの製造方法を提供する。 
【００１７】
好ましくは、薄層化した内部電極の厚さは誘電体シートの厚さより小さいことを特徴とする。また、上記内部電極はCuまたはNiから成ることが好ましい。また、好ましくは、上記内部電極はスクリーンプリンティング法を使用して上記誘電体シートに形成される。 
【００１８】
さらに好ましくは、上記吸着部材は紙または誘電体シートになることができ、上記内部電極を吸着できる高分子物質が表面にコーティングされた薄膜または上記吸着部材は内部電極を吸着できる高分子物質を含む薄膜であることができ、より好ましくは上記高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれかである。
【００１９】
また好ましくは、上記吸着部材は所定圧力を加えながら上記内部電極と接触させられるローラであることができ、上記ローラの表面は上記内部電極を吸着できる高分子物質がコーティングされ、上記高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれかである。また好ましくは、上記ローラは上記誘電体シートの底面に外接する対応ローラと一対で配される。
【００２０】
好ましくは、上記薄層化した内部電極を形成する段階は上記吸着部材を内部電極に接触させ上記内部電極を吸着部材に吸着する段階と、上記吸着部材を剥がし取り内部電極の一部を分離し上記誘電体シートに内部電極を残留する段階を含み、上記薄層化した内部電極を形成する段階は上記誘電体シートに印刷された内部電極に熱源を与えて内部電極を乾燥する前に行われることがより好ましく、上記内部電極を吸着部材に吸着する段階は上記内部電極のスクリーン印刷が終了する次第行われることがより好ましく、上記吸着部材を剥がし取り分離する段階は40ないし60cm/secの速度で行われることがより好ましい。
【００２１】
好ましくは、上記ローラの表面に付いた内部電極の一部はスクレーパで削られ上記スクレーパの先端に設けられる吸入力により除去される。
【発明の効果】
【００２２】
以上のように本発明によるとMLCCの誘電体シートに印刷された内部電極を吸着部材により吸着させ誘電体シート上の内部電極層を薄層化し、これにより同一体積のセラミックキャパシタに積層される誘電体シートの数を増加させ、高容量を具現することができる。 
【００２３】
さらに、本発明によると、内部電極層が薄く形成された誘電体シートを複数個積層しMLCCを製造することにより、積層された誘電体層と内部電極の段差による加圧積層時の電極の短絡またはショート発生を防止できる効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の好ましき実施例に対してより詳しく説明する。本発明による積層セラミックキャパシタの製造方法は薄い厚さを有する内部電極を誘電体シートに形成することを特徴とする。そのために下記段階を経る。
【００２５】
先ず、誘電体シート(10)を設ける。そのために誘電体粉末と有機バインダー、溶剤を混合して誘電体スラリーを形成し、これを誘電体シートで成形する。次に、誘電体シート(10)上に所定厚さの内部電極(20)を印刷する。
【００２６】
内部電極(20)を誘電体シート(10)に印刷する工程は従来のようなスクリーンプリンティング方式による。即ち、図2(a)に示したように誘電体シート(10)の上部にスクリーン(30)を配列し、スクリーン上に電極ペースト(25)を位置させた後、これをスクイーズ(40)を利用して押し出しながら誘電体シート(10)上に電極(20)を形成する。内部電極はCuまたはNiペーストを使用して形成することができる。
【００２７】
このように誘電体シート(10)上に内部電極(20)を形成した後、内部電極(20)の厚さを減らし薄型化するために内部電極の印刷面に吸着部材(50)を対応させてから、上記誘電体シート(10)の内部電極の印刷面に上記吸着部材(50)を接触させ上記 内部電極の一部(21)が吸着部材(50)に吸着するようにさせる。
【００２８】
そして、上記吸着部材(50)を上記誘電体シート(10)から遠ざかるよう剥がし取ると、図2(b)に示すように上記吸着部材(50)に吸着された内部電極の一部(21)は上記吸着部材と共に分離されるが、残りの内部電極(20)は誘電体シート(10)に残るようになる。
【００２９】
ここで、上記誘電体シート(10)にスクリーン印刷された内部電極(20)は印刷後ペーストの乾燥が直ぐに進行し、ペーストの乾燥が進むほど電極ペーストを吸着する吸着特性が悪化するので、吸着部材(50)により内部電極の一部を吸着する工程は上記内部電極(20)のスクリーン印刷が終了する次第行われることが好ましい。
【００３０】
また、上記内部電極の一部(21)が吸着された吸着部材(50)を分離する工程は5000ないし20000cpsの粘度を有する電極ペーストのチキソトロピー(thixotropy)特性を考慮して上記吸着部材(50)に内部電極の吸着が終了する次第行われることが好ましい。
【００３１】
一方、上記内部電極(20)を吸着部材(50)に吸着してから上記吸着部材を剥がし取り内部電極を薄型化する工程は上記誘電体シートに印刷された内部電極に熱源を与えて内部電極を完全に乾燥する工程前に行うことが好ましい。
【００３２】
これを工程時間で示すと、内部電極(20)のスクリーン印刷後1秒以内に吸着部材(50)による内部電極の吸着を完了し、吸着部材(50)の分離は40ないし60cm/sec速度で行う。
【００３３】
これは上記吸着部材(50)の分離速度が40cm/secより遅いと誘電体シートに残留する内部電極の表面状態が不良になり、60cm/secより速いと誘電体シートに残留する内部電極の厚さが50%以下と薄くなりすぎ電極の電気的特性を低下させるからである。
【００３４】
上記吸着部材による吸着工程は内部電極と吸着部材同士の吸着圧力を考慮すべきで、上記内部電極の一部を吸着部材に吸着するために外部から印加される圧力は上記吸着部材の自重による最少圧力ないし500g/cm2の最大圧力の間で提供することが好ましく、これは吸着圧力が500g/cm2に上昇すると吸着量も比例して増加するが吸着圧力が500g/cm2以上になると、吸着量の増加が発生しないからである。
【００３５】
上記吸着部材(50)には紙を使用することができる。紙は液体との吸着性が良く、乾燥前のゲル(gel)状の内部電極と接触して内部電極の一部が付いてくるようにできる特徴がある。
【００３６】
また、吸着部材(50)には内部電極を吸着できる誘電体シートを使用できる。これは内部電極(20)が印刷される誘電体シート(10)と同一なものを吸着部材(50)に用いて内部電極(20)が上下の誘電体シートにおいて互いに同一な吸着率で吸着されるようにするためである。 上記内部電極(20)が誘電体シート中吸着部材である誘電体シートに吸着された後上部の誘電体シートを剥がし取ると、内部電極の厚さがほぼ半分に減ることがすぐ分かる。
【００３７】
また、吸着部材(50)は上記紙及び誘電体シートに限定されるものではなく、内部電極を吸着できるよう高分子物質から成るか高分子物質がコーティングされた高分子薄膜を用いることもできる。
【００３８】
こうした高分子物質は電極ペースト材質に主に含まれるセルローズ、ポリエチレンまたはポリビニルブチルを選択的に使用する。 
【００３９】
さらに、吸着部材(50)には紙または誘電体シートのような板状の部材ばかりでなく、ローラを使用することもできる。図3はローラ(60)を吸着部材に用いた場合を示したもので、こうしたローラ(60)は紙または誘電体シートと異なり内部電極を加圧しながら同時に吸着できるようになる。
【００４０】
即ち、上記吸着部材としてローラ(60)を使用する場合、上記ローラは優れた吸着特性を得るためにゴム材質よりは表面粗さが大変低い金属材質が好ましい。
【００４１】
そして、上記ローラ(60)を金属材質で構成する場合、上記金属製ローラはより優れた吸着特性を得るために内部電極と接触する外部面を金属本体と同一な金属材質で構成するよりは高分子物質でコーティングする方がより好ましい。この際、上記高分子コーティング膜を構成する高分子物質はセルローズ、ポリエチレン、ポリビニルブチレン中いずれかを選択して用いる。
【００４２】
また、ローラ(60)の表面に付いた内部電極の一部(22)が異なる内部電極(20)に付いて内部電極がむしろより厚くなることを防止するためにローラの一部には表面に吸着された内部電極物質を除去できるよう少なくとも一つ以上のスクレーパ(61)が設けられる。この際、上記スクレーパ(61)はローラ表面の損傷を最少化しながら吸着された内部電極の除去を容易に行えるよう硬質のゴム素材から成ることが好ましい。
【００４３】
上記ローラ(60)には上記スクレーパ(61)によってローラ表面から除去された電極物質を真空圧で吸入し除去できるよう上記スクレーパ(61)の先端に吸入力を提供する収去手段(63)を具備することが好ましい。
【００４４】
また、矢印A方向へ進行する誘電体シート(10)の下部には上記ローラ(60)から直下方へ与えられる局部的な圧力に耐えられるよう上記誘電体シート(10)の底面に外接する対応ローラ(70)を具備し、上記対応ローラ(70)を上記誘電体シートを挟んで上下一対で配する。  
【００４５】
かかる誘電体シート(10)上に形成された内部電極の厚さを薄くする工程を経た後、図2(c)に示したように、内部電極が形成された誘電体シート(10)を複数個加圧積層する。この際誘電体シート(10)上の内部電極(20)はその厚さが充分に薄くなり内部電極と誘電体シート面の段差が減少した後で、誘電体シートの加圧積層過程において内部電極と誘電体シート面の段差による電極の短絡またはショートなど不良の発生が低減する。
【００４６】
また、従来に比して内部電極の厚さが減るので、同一な体積でより多数の誘電体シートを積層でき、これは積層セラミックキャパシタをより高容量にすることを可能にする。 
【００４７】
加圧積層された誘電体シートらは積層セラミックキャパシタチップ単位で各々切断され分離され、切断されたチップを加焼及び焼成する工程をさらに経て積層セラミックキャパシタを完成する。
【００４８】
＜実施例1＞
ポリビニルブチレンをバインダーとして作製したMLCC用誘電体シートにスクリーンプリンティング法により1.2?ほどの厚さを有する内部電極を形成した後、吸着部材であるポリエチレンフィルムを内部電極に接触させた状態で500g/cm2の吸着圧力を与え、これに内部電極の一部が吸着されるようにする。
そして、上記内部電極の一部を分離するよう吸着部材を剥がし取った後、上記誘電体シート上に残った内部電極の厚さを測定すると0.6μmに薄型化したことが分かった。
【００４９】
＜実施例2＞
ポリビニルブチレンをバインダーとして作製したMLCC用誘電体シートにスクリーンプリンティング法により1.2μmほどの厚さを有する内部電極を形成した後、吸着部材であるエチルセルローズフィルムを内部電極に接触させた状態で500g/cm2の吸着圧力を与え、これに内部電極の一部が吸着されるようにする。
【００５０】
そして、上記内部電極の一部を分離するよう上記吸着部材を剥がし取った後、上記誘電体シート上に残った内部電極の厚さを測定すると0.7μmに薄型化したことが分かった。
【００５１】
＜実施例3＞
ポリビニルブチレンをバインダーとして作製したMLCC用誘電体シートにスクリーンプリンティング法により1.2μmほどの厚さを有する内部電極を形成した後、吸着部材であるポリエチレンフィルムを内部電極に接触させた状態で300g/cm2の吸着圧力を与え、これに内部電極の一部が吸着されるようにする。
そして、上記内部電極の一部を分離するよう上記吸着部材を剥がし取った後、上記誘電体シート上に残った内部電極の厚さを測定すると0.8μmに薄型化したことが分かった。
【００５２】
＜実施例4＞
ポリビニルブチレンをバインダーとして作製したMLCC用誘電体シートにスクリーンプリンティング法により1.2μmほどの厚さを有する内部電極を形成した後、ポリエチレンフィルムが外部面にコーティングされたローラを使用して、これに内部電極の一部を吸着させ、上記ローラに吸着された内部電極はスクレーパで削り取る。
【００５３】
そして、上記誘電体シート上に残った内部電極の厚さを測定すると0.7μmに薄型化したことが分かった。
【００５４】
図4は誘電体シート上に内部電極を従来の工程を通して形成した場合の断面写真で、図5は内部電極を本発明による吸着部材を通して薄型化した場合の断面写真である。
【００５５】
図4において、誘電体層(A)は873nm及び952nmの厚さを有する層となり、誘電体層の間には内部電極層(B)が形成されるが、従来の場合内部電極層(B)が1210nmの厚さを有することがは見られる。図4は一般のスクリーンプリンティング方式を用いて誘電体層に内部電極を形成し、これを加圧積層して積層セラミックキャパシタを形成した場合の断面写真として、内部電極の厚さが誘電体層の厚さよりむしろ厚いことが分かる。
【００５６】
他方、図5は本発明による積層セラミックキャパシタの断面写真として、誘電体層(A)が754nm及び1110nmの厚さで形成される。誘電体層(A)の間には本発明による吸着工程を経た薄型化した内部電極層が位置するが、この際内部電極層(B’)の厚さは635nmであることが見られる。結局、誘電体層(A)より内部電極層(B’)の厚さが小さいことが見られ、従来の場合より約半分ほどの厚さを有することが分かる。
【００５７】
したがって、本発明の場合より薄型化した内部電極を形成できることにより、高容量のMLCCを形成することができる。
【００５８】
本発明は特定の実施例に係わり図示し説明したが、添付の特許請求範囲により具備される本発明の精神や分野を外れない限度内で本発明が多様に改造及び変化され得ることは通常の知識を有する者であれば容易に想到することを明かしておく。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】従来のスクリーンプリンティング工程により誘電体シートに電極を形成する工程を示す図である。
【図２】本発明による積層セラミックキャパシタの製造方法を段階別に示した図である。
【図３】本発明による積層セラミックキャパシタの異なる吸着工程を示す図である。
【図４】従来の積層セラミックキャパシタの断面写真である
【図５】本発明により製造された積層セラミックキャパシタの断面写真である。
【符号の説明】
【００６０】
10  誘電体シート
20  内部電極
25  電極ペースト
30  スクリーン
40  スクイーズ
50  吸着部材
60  ローラ
【図１】
2005175474.tif 000003
【図２】
2005175474.tif 000004
【図３】
2005175474.tif 000005
【図４】
2005175474.tif 000006
【図５】
2005175474.tif 000007