(57)【要約】【課題】  単純な形状構成で安価なのは勿論のこと、安定した信号が得られるコリオリ流量計を提供する。【解決手段】  フローチューブ３を回転方向に交番駆動する駆動装置４をコリオリ流量計１の垂直軸上に配置する。また、フローチューブ３を回転方向に交番駆動する一対の第二駆動装置５、５を備えて、その一対の第二駆動装置５、５を駆動装置４の左右両側の対称位置に配置する。一対の第二駆動装置５、５同士を同相で駆動するとともに、駆動装置４と一対の第二駆動装置５、５とを逆相で駆動する。フローチューブ３に作用するコリオリの力に比例した位相差を検出する一対の振動検出センサ６、６を、各々駆動装置４と第二駆動装置５、５との間に配置する。【選択図】    図１
2005164374.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一軸に対して対称形状となる湾曲管からなり且つ流出入口が形成される両端部で支持される少なくとも一本のフローチューブと、
支持位置を結ぶ第二軸を中心に前記フローチューブを回転方向に交番駆動する駆動装置と、
該駆動装置の左右両側の対称位置に取り付けられて前記フローチューブに作用するコリオリの力に比例した位相差を検出する一対の振動検出センサと、
を備えたコリオリ流量計であって、
前記駆動装置を前記第一軸上に配置するとともに、前記フローチューブを前記回転方向に交番駆動する一対の第二駆動装置を更に備えて該一対の第二駆動装置を前記駆動装置の左右両側の対称位置に配置し、且つ、
前記一対の第二駆動装置同士を同相で駆動するとともに、前記駆動装置と前記一対の第二駆動装置とを逆相で駆動するようにした
ことを特徴とするコリオリ流量計。
【請求項２】
請求項１に記載のコリオリ流量計において、
前記振動検出センサを前記駆動装置と前記第二駆動装置との間に配置した
ことを特徴とするコリオリ流量計。
【請求項３】
請求項１に記載のコリオリ流量計において、
前記振動検出センサを前記第二駆動装置と前記流出入口との間に配置した
ことを特徴とするコリオリ流量計。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３いずれか記載のコリオリ流量計において、
前記フローチューブを直線部と該直線部の両端に連続する一対の脚部とを有する門型形状に形成するとともに、前記駆動装置と前記第二駆動装置とを前記直線部に沿って配置した
ことを特徴とするコリオリ流量計。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４いずれか記載のコリオリ流量計において、
前記振動検出センサをコイルとマグネットとを備えて構成するとともに、前記コイルを前記フローチューブに対して平行な静止部材に配置し、さらには前記マグネットを前記フローチューブに配置した
ことを特徴とするコリオリ流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コリオリ流量計に関し、特に、湾曲管からなる少なくとも一本のフローチューブを備えて構成したコリオリ流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
コリオリ流量計は、被測定流体の流通する流管の一端又は両端を支持し、その支持点回りに流管の流れ方向と垂直な方向に振動を加えたときに、流管（以下、振動が加えられるべき流管をフローチューブという）に作用するコリオリの力が質量流量に比例することを利用した質量流量計である。コリオリ流量計は周知のものであり、コリオリ流量計におけるフローチューブの形状は直管式と湾曲管式とに大別されている。
【０００３】
直管式のコリオリ流量計は、両端が支持された直管の中央部直管軸に垂直な方向の振動を加えたとき、直管の支持部と中央部との間でコリオリの力による直管の変位差、すなわち位相差信号が得られ、その位相差信号に基づいて質量流量を検知するように構成されている。このような直管式のコリオリ流量計は、シンプル、コンパクトで堅牢な構造を有している。しかしながら、高い検出感度を得ることができないという問題点もあわせ持っている。
【０００４】
これに対して、湾曲管式のコリオリ流量計は、コリオリの力を有効に取り出すための形状を選択できる面で、直管式のコリオリ流量計よりも優れており、実際、高感度の質量流量を検出することができている。尚、湾曲管式のコリオリ流量計としては、一本のフローチューブを備えるもの（例えば特許文献１参照）や、並列二本のフローチューブを備えるもの（例えば特許文献２参照）、或いは一本のフローチューブをループさせた状態に備えるもの（例えば特許文献３参照）などが知られている。
【特許文献１】特公平４−５５２５０号公報
【特許文献２】特許第２９３９２４２号公報
【特許文献３】特許第２９５１６５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、湾曲管式のコリオリ流量計のうち、一本のフローチューブを備えるものにあっては、最も単純な形状構成で安価に質量流量計を提供することができるという利点を有する反面、次のような問題点もあわせ持っている。すなわち、フローチューブが一本であることから、二本の場合のような振動バランスを確保することができず、安定した信号が得られないという問題点を有している。
【０００６】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされるもので、単純な形状構成で安価なのは勿論のこと、安定した信号が得られるコリオリ流量計を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するためなされた請求項１記載の本発明のコリオリ流量計は、第一軸に対して対称形状となる湾曲管からなり且つ流出入口が形成される両端部で支持される少なくとも一本のフローチューブと、支持位置を結ぶ第二軸を中心に前記フローチューブを回転方向に交番駆動する駆動装置と、該駆動装置の左右両側の対称位置に取り付けられて前記フローチューブに作用するコリオリの力に比例した位相差を検出する一対の振動検出センサと、を備えたコリオリ流量計であって、前記駆動装置を前記第一軸上に配置するとともに、前記フローチューブを前記回転方向に交番駆動する一対の第二駆動装置を更に備えて該一対の第二駆動装置を前記駆動装置の左右両側の対称位置に配置し、且つ、前記一対の第二駆動装置同士を同相で駆動するとともに、前記駆動装置と前記一対の第二駆動装置とを逆相で駆動するようにしたことを特徴としている。
【０００８】
このような特徴を有する本発明によれば、駆動装置と一対の第二駆動装置とが駆動すると、その駆動によりフローチューブが三次振動モードの振動ビームになる。すなわち、一対の第二駆動装置同士は同相で駆動し、駆動装置と一対の第二駆動装置は逆相で駆動することから、フローチューブが三次振動モードの振動ビームになる。フローチューブは、本発明で用いる一対の第二駆動装置が存在しないような駆動装置のみの場合と比べると、振動が格段に安定し、その結果、一対の振動検出センサを介して得られる信号も安定する。本発明のコリオリ流量計は、上記構成からも分かるように、単純な形状構成であって比較的安価になる質量流量計である。
【０００９】
請求項２記載の本発明のコリオリ流量計は、請求項１に記載のコリオリ流量計において、前記振動検出センサを前記駆動装置と前記第二駆動装置との間に配置したことを特徴としている。また、請求項３記載の本発明のコリオリ流量計は、請求項１に記載のコリオリ流量計において、前記振動検出センサを前記第二駆動装置と前記流出入口との間に配置したことを特徴としている。このような特徴を有する本発明によれば、一対の振動検出センサの配置が選択可能になる。フローチューブに作用するコリオリの力に比例した位相差がよりよい位置で検出される。
【００１０】
請求項４記載の本発明のコリオリ流量計は、請求項１ないし請求項３いずれか記載のコリオリ流量計において、前記フローチューブを直線部と該直線部の両端に連続する一対の脚部とを有する門型形状に形成するとともに、前記駆動装置と前記第二駆動装置とを前記直線部に沿って配置したことを特徴としている。このような特徴を有する本発明によれば、フローチューブの振動がより安定した状態になる。
【００１１】
請求項５記載の本発明のコリオリ流量計は、請求項１ないし請求項４いずれか記載のコリオリ流量計において、前記振動検出センサをコイルとマグネットとを備えて構成するとともに、前記コイルを前記フローチューブに対して平行な静止部材に配置し、さらには前記マグネットを前記フローチューブに配置したことを特徴としている。このような特徴を有する本発明によれば、配線の必要なコイルがフローチューブに取り付けられないことから、フローチューブの振動に及ぼす影響が極力軽減される。
【発明の効果】
【００１２】
請求項１に記載された本発明によれば、フローチューブの振動ビームを三次振動モードにすることから、フローチューブの振動を従来よりも格段に安定させることができる。従って、振動検出センサを介して安定した信号が得られるコリオリ流量計を提供することができるという効果を奏する。また、湾曲管からなる少なくとも一本のフローチューブを備えるコリオリ流量計であることから、単純な形状構成であって比較的安価な提供を実現することができるという効果を奏する。
【００１３】
請求項２、３に記載された各本発明によれば、振動検出センサの配置を駆動装置と第二駆動装置との間、又は第二駆動装置と流出入口との間にすることから、フローチューブに作用するコリオリの力に比例した位相差を、よりよい位置で検出することができるという効果を奏する。
【００１４】
請求項４に記載された本発明によれば、門型のフローチューブでその直線部に沿って駆動装置と第二駆動装置とを配置することから、フローチューブの振動をより安定した状態にすることができるという効果を奏する。
【００１５】
請求項５に記載された本発明によれば、フローチューブに平行な静止部材に配線の必要なコイルを配置し、フローチューブにはマグネットを配置することから、フローチューブの振動に及ぼす影響を極力軽減することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照しながら説明する。図１は本発明によるコリオリ流量計の一実施の形態を示す斜視図である。
【００１７】
図１において、第一実施形態となる本発明のコリオリ流量計１は、筐体２と、その筐体２内に収納される一本のフローチューブ３と、フローチューブ３を駆動するための駆動装置４及び一対の第二駆動装置５、５と、フローチューブ３に作用するコリオリの力に比例した位相差を検出する一対の振動検出センサ６、６とを備えて構成されている。以下、各構成部材について説明する。
【００１８】
上記筐体２は、曲げやねじれに強固な構造を有している。また、筐体２は、フローチューブ３と、そのフローチューブ３自身が形成する面に対して平行に配置される静止部材７とを収納することができる大きさに形成されている。さらに、筐体２は、フローチューブ３等の流量計要部を保護することができるように形成されている。このような筐体２の内部には、アルゴンガス等の不活性ガスが充填されている。不活性ガスの充填により、フローチューブ３等への結露が防止されるようになっている。静止部材７は、例えば平面視矩形状であって図示のような平板状に形成されている。また、静止部材７は、その一部が筐体２に対して固着されている。静止部材７には、フローチューブ３を支持固定するためのブロック形状の支持部８、８が取り付け固定されている。本発明のコリオリ流量計１は、外乱振動を増幅させたりせず、また、支持部８、８を介してのフローチューブ３への振動伝達が起こり難い構造になっている。
【００１９】
上記フローチューブ３は、図１中のＳ１で示される第一軸（コリオリ流量計１の垂直軸に一致する）に対して対称形状となる湾曲管からなり、流入口側及び流出口側が支持部８、８に支持、固着されている。フローチューブ３は、門型形状に形成されており、直線部９と、その直線部９の両端に連続する一対の脚部１０、１０とを有している。フローチューブ３の材質は、ステンレス、ハステロイ、チタン合金等のこの技術分野において通常のものが用いられている。フローチューブ３の上記流出入口には、流入口側接続部１１及び流出口側接続部１２が取り付けられている。図１中の矢線ＩＮ方向から流入口側接続部１１及び流入口を介してフローチューブ３に流入した測定流体は、順に流入口側の脚部１０、直線部９、流出口側の脚部１０を流通し、流出口及び流出口側接続部１２に流出（矢線ＯＵＴ参照）するようになっている。
【００２０】
上記駆動装置４は、特に図示しないが、コイルとマグネットとを備えて構成されている。また、駆動装置４は、上記第一軸Ｓ１上に配置、具体的にはフローチューブ３の直線部９の中央位置、且つ流路中心軸に沿って配置されている。駆動装置４のコイルは、静止部材７に取り付けられている。駆動装置４のマグネットは、フローチューブ３に取り付けられている。駆動装置４において吸引作用が生じると、マグネットがコイルに差し込まれるような状態になり、その結果、フローチューブ３が静止部材７に対して近接するようになる。これに対し、反発作用が生じると、フローチューブ３が静止部材７に対して離間するようになる。駆動装置４は、フローチューブ３が支持部８、８に固着されていることから、そのフローチューブ３を、支持部８、８を結ぶ第二軸Ｓ２（水平軸に平行な軸）を中心にして回転方向に交番駆動させるように構成されている。
【００２１】
上記第二駆動装置５、５は、駆動装置４と同様に、それぞれコイルとマグネットとを備えて構成されている。また、第二駆動装置５、５は、駆動装置４の左右両側の対称位置に配置されている。第二駆動装置５、５は、本形態において、フローチューブ３の直線部９の立ち上がり部分及び立ち下がり部分の頂点付近、且つフローチューブ３の流路中心軸に沿って配置されている。第二駆動装置５、５及び駆動装置４は、フローチューブ３の直線部９に沿って横一列に配置されている。また、これらは、所定の間隔をあけて配置されている。第二駆動装置５、５の各コイルは、静止部材７に取り付けられている。第二駆動装置５、５の各マグネットは、フローチューブ３に取り付けられている。
【００２２】
第二駆動装置５、５同士は、同相で駆動するように設定されている。また、第二駆動装置５、５と駆動装置４は、逆相で駆動するように設定されている。第二駆動装置５、５において吸引作用が生じると、マグネットがコイルに差し込まれるような状態になり、その結果、フローチューブ３が静止部材７に対して近接するようになる（この時、駆動装置５では反発作用が生じる）。これに対し、反発作用が生じると、フローチューブ３が静止部材７に対して離間するようになる（この時、駆動装置５では吸引作用が生じる）。第二駆動装置５、５は、駆動装置４と同様に、フローチューブ３を上記回転方向に交番駆動するように構成されている。
【００２３】
振動検出センサ６、６は、上述の如く、フローチューブ３に作用するコリオリの力に比例した位相差を検出するセンサであって、それぞれコイルとマグネットとを備えて構成されている（速度検出方式の構成）。また、振動検出センサ６、６は、駆動装置４の左右両側の対称位置に配置されている。振動検出センサ６、６は、本形態において、流入口側の第二駆動装置５と駆動装置４との間、及び流出口側の第二駆動装置５と駆動装置４との間に配置されている（この限りではないものとする）。また、振動検出センサ６、６は、本形態において、フローチューブ３を振動させたときに、流入口側の第二駆動装置５に対応する部分と駆動装置４に対応する部分との間に生じる節、及び流出口側の第二駆動装置５に対応する部分と駆動装置４に対応する部分との間に生じる節からずれた位置に配置されている。振動検出センサ６、６の各コイルは、静止部材７に取り付けられている。振動検出センサ６、６の各マグネットは、フローチューブ３に取り付けられている。
【００２４】
第二駆動装置５、５、駆動装置４、及び振動検出センサ６、６の各コイルは、適度な重量があり図示しないＦＰＣ（フレキシブル・プリント・サーキット）の配線（配線系の図示は省略する）も必要であることから、静止部材７の所定位置に取り付けられている。本発明においては、フローチューブ３の振動に及ぼす影響が極力軽減されている。尚、本発明においては、コイルとマグネットの取り付けを逆にしたり（コイルをフローチューブ３に取り付け、マグネットを静止部材７に取り付ける）、交互にしたり（例えば駆動装置４のコイルを静止部材７に取り付けるとともに、駆動装置４のマグネットをフローチューブ３に取り付け、これとは逆に、第二駆動装置５、５のコイルをフローチューブ３に取り付けるとともに、第二駆動装置５、５のマグネットを静止部材７に取り付ける等）することを妨げないものとする。マグネットのフローチューブ３への取り付けに関しては、特に図示しないが、専用の取付具が用いられているものとする。
【００２５】
本発明のコリオリ流量計１の作用については、第二実施形態となるコリオリ流量計２１と共に後述する。
【００２６】
次に、図２ないし図４を参照しながらコリオリ流量計の他の一実施の形態を説明する。図２は他の一実施の形態を示す図であり、一本の湾曲管タイプのフローチューブを垂直面内に取り付けて、その正面から見た図である。また、図３は図２に示すコリオリ流量計を上側から見た図、図４は図２に示すコリオリ流量計を中央付近で切断した断面図である。
【００２７】
図２ないし図４において、第二実施形態となる本発明のコリオリ流量計２１は、筐体を形成する本体２２及び耐圧ケース２３と、筐体内に収納される一本のフローチューブ２４と、そのフローチューブ２４を駆動するための駆動装置２５及び一対の第二駆動装置２６、２６と、フローチューブ２４に作用するコリオリの力に比例した位相差を検出する一対の振動検出センサ２７、２７とを備えて構成されている。以下、各構成部材について説明する。
【００２８】
上記本体２２は、上面が開口するとともに断面がＵ字状となる略船底形状に形成されている。このような形状の本体２は、曲げやねじれに強固な構造を有しており、その長手方向（図２を見た場合、図２の左右方向に一致する）の両端部には、流入口側接続部２８と流出口側接続部２９とが連成されている。流入口側接続部２８及び流出口側接続部２９は、それぞれ本体２２の内外を連通するように形成されている。また、流入口側接続部２８及び流出口側接続部２９は、円弧の部分を有しており、その円弧の部分によって測定流体の流れの向きを９０度変えることができるように形成されている。流入口側接続部２８及び流出口側接続部２９には、本体２２の外側において、測定流体を流す外部流管を結合するためのフランジ３０、３０が取り付けられている。尚、本形態では、測定流体が図２の左側から流入して右側から流出するものと仮定する。本体２２の内側であって上記上面近傍には、ベースプレート３１が設けられている。
【００２９】
上記耐圧ケース２３は、本体２２の上面に取り付けられる開口部を有しており、断面が図示のようなＵ字状となる形状に形成されている。また、耐圧ケース２３は、薄肉であって全ての外周が円弧形状になるように形成されている。このような形状の耐圧ケース２３は、薄肉でも非常に高い耐圧性が確保されており、フローチューブ２４が万が一破損するようなことがあっても、フローチューブ２４を流れる測定流体が筐体を形成する本体２２及び耐圧ケース２３から外部へ流れ出ないように配慮されている。耐圧ケース２３は、溶接等の適宜手段で本体２２に対して固着されている。本体２２及び耐圧ケース２３で構成された筐体は、フローチューブ２４等の流量計要部を保護することができるようになっている。また、本体２２及び耐圧ケース２３で構成された筐体内には、アルゴンガス等の不活性ガスが充填されている。不活性ガスの充填により、フローチューブ２４等への結露が防止されるようになっている。
【００３０】
上記フローチューブ２４は、第一軸Ｓ１（図２を見た場合、図２の垂直軸に一致する）に対して対称形状となる湾曲管からなり、流入口側接続部２８及び流出口側接続部２９に支持、固着される二つの開口部、すなわち流出入口を有している。もう少し具体的に説明すると、フローチューブ２４は、直線部３２と、その直線部３２の両端に連続する一対の脚部３３、３３とを有する門型形状に形成されており、上記流出入口を介して流入口側接続部２８及び流出口側接続部２９に固着されている。フローチューブ２４の材質は、ステンレス、ハステロイ、チタン合金等のこの技術分野において通常のものが用いられている。
【００３１】
流入口側接続部２８を介して図２の左側の流入口からフローチューブ２４に流入した測定流体は、順に左側の脚部３３、直線部３２、右側の脚部３３を流通し、右側の流出口を介して流出口側接続部２９に流出するようになっている。流入口側接続部２８の流路断面積は、連続的に減少してフローチューブ２４の断面積に一致するようになっている。また、流出口側接続部２９の流路断面積は、フローチューブ２４の断面積に一致する部分から連続的に増大して外部流管断面積に一致するようになっている。
【００３２】
上記駆動装置２５は、コイル３４とマグネット３５とを備えて構成されており、上記第一軸Ｓ１上に配置されている。すなわち、駆動装置２５は、フローチューブ２４の直線部３２の中央位置、且つ流路中心軸に沿って配置されている。コイル３４は、フローチューブ２４自身が形成する面に対して平行に配置される静止部材３６に取り付けられている。コイル３４からは、特に図示しないが、ＦＰＣ（フレキシブル・プリント・サーキット）が引き出されており、後述する支柱３７の所定位置に固定される基板（不図示）に接続されている。マグネット３５は、フローチューブ２４に取り付けられている。
【００３３】
駆動装置２５において吸引作用が生じると、マグネット３５がコイル３４に差し込まれるような状態になり、その結果、フローチューブ２４が静止部材３６に対して近接するようになる。これに対し、反発作用が生じると、フローチューブ２４が静止部材３６に対して離間するようになる。駆動装置２５は、フローチューブ２４が流入口側接続部２８及び流出口側接続部２９に固着されていることから、そのフローチューブ２４を、流入口側接続部２８及び流出口側接続部２９を結ぶ第二軸Ｓ２（図２を見た場合、図２の水平軸に平行な軸）を中心にして回転方向に交番駆動するように構成されている。
【００３４】
静止部材３６が取り付けられる支柱３７は、駆動装置２５、第二駆動装置２６、２６、振動検出センサ２７、２７、及び温度センサ（不図示）への配線のためのものであって、コリオリ流量計２１の垂直軸上に配設されている。また、支柱３７は、上記筐体の内外を跨るように配設されている。このような支柱３７には、中空の支柱本体３８と、その支柱本体３８の端部に取り付けられる基板固定部３９とが形成されている。基板固定部３９には、上記基板（不図示）が固定されており、上記基板（不図示）に接続されたワイヤハーネス（不図示）が支柱本体３８内を通って引き出されている。ワイヤハーネス（不図示）と支柱本体３８内の一部は、樹脂モールド等で封止されている。静止部材３６は、特に限定するものではないが、板状に形成されており、基板固定部３９の例えば上部に固着されている。静止部材３６は、駆動装置２５、第二駆動装置２６、２６、及び振動検出センサ２７、２７の配置に応じてその形状が適宜設計されている。図示の形状は一例であるものとする。尚、静止部材３６は、支柱３７に限らず本体２に直接取り付けてもよいものとする。
【００３５】
上記第二駆動装置２６、２６は、駆動装置２５と同様に、それぞれコイル４０とマグネット４１とを備えて構成されている。また、第二駆動装置２６、２６は、駆動装置２５の左右両側の対称位置に配置されている。第二駆動装置２６、２６は、本形態において、フローチューブ２４の直線部３２の立ち上がり部分及び立ち下がり部分の頂点付近、且つフローチューブ２４の流路中心軸に沿って配置されている。第二駆動装置２６、２６及び駆動装置２５は、フローチューブ２４の直線部３２に沿って横一列に配置されている。また、これらは、所定の間隔をあけて配置されている。コイル４０は、静止部材３６に取り付けられている。コイル４０からは、特に図示しないが、ＦＰＣ（フレキシブル・プリント・サーキット）が引き出されており、上記基板（不図示）に接続されている。マグネット４１は、フローチューブ２４に取り付けられている。
【００３６】
第二駆動装置２６、２６同士は、同相で駆動されるように設定されている。また、第二駆動装置２６、２６と駆動装置２５は、逆相で駆動されるように設定されている。第二駆動装置２６、２６において吸引作用が生じると、マグネット４１がコイル４０に差し込まれるような状態になり、その結果、フローチューブ２４が静止部材３６に対して近接するようになる（この時、駆動装置２５では反発作用が生じる）。これに対し、第二駆動装置２６、２６において反発作用が生じると、フローチューブ２４が静止部材３６に対して離間するようになる（この時、駆動装置２５では吸引作用が生じる）。第二駆動装置２６、２６は、駆動装置２５と同様に、フローチューブ２４を上記回転方向に交番駆動するように構成されている。
【００３７】
振動検出センサ２７、２７は、上述の如く、フローチューブ２４に作用するコリオリの力に比例した位相差を検出するセンサであって、それぞれコイル４２とマグネット４３とを備えて構成されている（速度検出方式の構成）。また、振動検出センサ２７、２７は、駆動装置２５の左右両側の対称位置に配置されている。振動検出センサ２７、２７は、本形態において、左側の第二駆動装置２６と駆動装置２５との間、及び右側の第二駆動装置２６と駆動装置２５との間に配置されている。また、振動検出センサ２７、２７は、本形態において、フローチューブ２４の流路中心軸に沿って配置されている。さらに、振動検出センサ２７、２７は、本形態において、フローチューブ２４を振動させたときに、左側の第二駆動装置２６に対応する部分と駆動装置２５に対応する部分との間に生じる節、及び右側の第二駆動装置２６に対応する部分と駆動装置２５に対応する部分との間に生じる節からずれた位置に配置されている。
【００３８】
コイル４２は、静止部材３６に取り付けられている。コイル４２からは、特に図示しないが、ＦＰＣ（フレキシブル・プリント・サーキット）が引き出されており、上記基板（不図示）に接続されている。マグネット４３は、フローチューブ２４に取り付けられている。
【００３９】
第二駆動装置２６、２６、駆動装置２５、及び振動検出センサ２７、２７の各コイル３４、４０、４２は、適度な重量がありＦＰＣの配線も必要であることから、静止部材３６の所定位置に取り付けられている。本発明においては、フローチューブ２４の振動に及ぼす影響が極力軽減されている。尚、本発明においては、コイルとマグネットの取り付けを逆にしたり（コイルをフローチューブ２４に取り付け、マグネットを静止部材３６に取り付ける）、交互にしたり（例えば駆動装置２５のコイルを静止部材３６に取り付けるとともに、駆動装置２５のマグネットをフローチューブ２４に取り付け、これとは逆に、第二駆動装置２６、２６のコイルをフローチューブ２４に取り付けるとともに、第二駆動装置２６、２６のマグネットを静止部材３６に取り付ける等）することを妨げないものとする。マグネットのフローチューブ２４への取り付けに関しては、特に図示しないが、専用の取付具が用いられているものとする。
【００４０】
温度センサ（不図示）は、フローチューブ２４に取り付けられている。具体的には、例えば流入口側接続部２８に固着された部分の付近に取り付けられている。温度センサから引き出されたＦＰＣ（フレキシブル・プリント・サーキット）又は電線は、上記基板に接続されている。
【００４１】
上記第一実施形態及び上記第二実施形態の構成において、フローチューブ３（フローチューブ２４）に測定流体を流し、吸引・反発作用が連続して交互に繰り返されるように駆動装置４及び第二駆動装置５、５（駆動装置２５及び第二駆動装置２６、２６）を駆動すると、第二駆動装置５、５（第二駆動装置２６、２６）同士は同相、第二駆動装置５、５（第二駆動装置２６、２６）と駆動装置４（駆動装置２５）は逆相で駆動することから、フローチューブ３（フローチューブ２４）は、図５の実線及び破線で示される如く、三次振動モードの振動ビームで曲げ振動する。図５中、Ｄｒ１の点は駆動装置４（駆動装置２５）の配置、Ｄｒ２〜３の点は第二駆動装置５、５（第二駆動装置２６、２６）の配置、ＰＯ１〜２の点は振動検出センサ６、６（振動検出センサ２７、２７）の配置を示している。また、０′、０″の点は振動の節を示している。
【００４２】
このようなフローチューブ３（フローチューブ２４）の上記振動状態において、図６（ａ）には曲げ振動速度が示されている。また、図６（ｂ）には図６（ａ）に対応するようにＰＯ１〜２の点でのコリオリの力が矢印で示されている。尚、ＰＯ１〜２の点でのコリオリの力の差分（ＰＯ１−ＰＯ２）により質量流量が算出されるものとする（振動検出センサ６、６（振動検出センサ２７、２７）の出力信号を、図示しない変換器により位置信号に変換して位相差を求め、質量流量を表示する）。
【００４３】
以上、図１ないし図６を参照しながら説明してきたように、本発明のコリオリ流量計１、２１は、単純な形状構成であって比較的安価に提供することができ、三次振動モードで駆動させるため、外乱振動に対しても強いという利点を有している。また、本発明のコリオリ流量計１、２１は、本発明で用いる一対の第二駆動装置５、５（第二駆動装置２６、２６）が存在しないような駆動装置のみの質量流量計（従来タイプの質量流量計）と比べると、フローチューブ３（フローチューブ２４）の振動を格段に安定させることができるという利点を有している。従って、一対の振動検出センサ６、６（振動検出センサ２７、２７）を介して安定した信号を得ることができるという利点を有している。
【００４４】
続いて、図７を参照しながらコリオリ流量計の更に他の一実施の形態を説明する。図７は更に他の一実施の形態を示す図であり、一本の湾曲管タイプのフローチューブを垂直面内に取り付けて、その正面から見た図である。
【００４５】
図７において、第三実施形態となる本発明のコリオリ流量計２１′は、上述の第二実施形態のコリオリ流量計２１に対して一対の振動検出センサ２７、２７の配置のみが異なっている。すなわち、振動検出センサ２７、２７は、左側の第二駆動装置２６と、フローチューブ２４の左側の流入口との間、及び右側の第二駆動装置２６と、フローチューブ２４の右側の流出口との間に配置されている。振動検出センサ２７、２７の各コイルは、例えば基板固定部３９に固着される静止部材３６′に取り付けられている。コイルから引き出されたＦＰＣは基板に接続されている。振動検出センサ２７、２７の各マグネットは、取付具を介してフローチューブ２４に取り付けられている。このようなコリオリ流量計２１′も上述のコリオリ流量計１、２１と同じく、単純な形状構成であって比較的安価に提供することができるという利点を有している。また、安定した信号を得ることができるという利点を有している。
【００４６】
その他、本発明は本発明の主旨を変えない範囲で種々変更実施可能なことは勿論である。
【００４７】
尚、上述の説明では、フローチューブ３、２４の形状を門型形状にしているが、これに限らずＵ字型等の任意の形状の湾曲管にすることが可能であるものとする。また、フローチューブ３、２４の数を一本にしているが、これに限らず並列二本にしてもよいものとする。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明によるコリオリ流量計の一実施の形態を示す斜視図である。
【図２】本発明によるコリオリ流量計の他の一実施の形態を示す図であり、一本の湾曲管タイプのフローチューブを垂直面内に取り付けて、その正面から見た図である。
【図３】図２に示すコリオリ流量計を上側から見た図である。
【図４】図２に示すコリオリ流量計を中央付近で切断した断面図である。
【図５】フローチューブを模式的に示した作用説明図である。
【図６】（ａ）は図５のフローチューブの曲げ振動の速度を示す図、（ｂ）はコリオリの力を示す図である。
【図７】本発明によるコリオリ流量計の更に他の一実施の形態を示す図であり、一本の湾曲管タイプのフローチューブを垂直面内に取り付けて、その正面から見た図である。
【符号の説明】
【００４９】
Ｓ１  第一軸
Ｓ２  第二軸
１  コリオリ流量計
２  筐体
３  フローチューブ
４  駆動装置
５  第二駆動装置
６  振動検出センサ
７  静止部材
８  支持部
９  直線部
１０  脚部
１１  流入口側接続部
１２  流出口側接続部
２１  コリオリ流量計
２２  本体
２３  耐圧ケース
２４  フローチューブ
５５  駆動装置
２６  第二駆動装置
２７  振動検出センサ
２８  流入口側接続部
２９  流出口側接続部
３０  フランジ
３１  ベースプレート
３２  直線部
３３  脚部
３４、４０、４２  コイル
３５、４１、４３  マグネット
３６  静止部材
３７  支柱
３８  支柱本体
３９  基板固定部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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