(57)【要約】【課題】本発明の目的は、長期間にわたって金属膜が剥がれにくく、電磁波遮蔽能力に優れる電磁波遮蔽ガラス板を提供することである。【解決手段】本発明の電磁波遮蔽ガラス板は、ガラス基板上にメッシュ状のクロムからなる金属膜が形成されてなることを特徴とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板上にメッシュ状のクロムからなる金属膜が形成されてなることを特徴とする電磁波遮蔽ガラス板。
【請求項２】
クロムからなる金属膜がスパッタ法によって形成されてなることを特徴とする請求項１に記載の電磁波遮蔽ガラス板。
【請求項３】
クロムのメッシュが、導電性の高い金属によって被覆されてなることを特徴とする請求項１または２に記載の電磁波遮蔽ガラス板。
【請求項４】
導電性の高い金属が、金、銀または銅であることを特徴とする請求項３に記載の電磁波遮蔽ガラス板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電磁波遮蔽ガラス板、特に電子レンジの窓材に使用される電磁波遮蔽ガラス板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子レンジの窓材には、電磁波を漏洩させないための高い電磁波遮蔽能力と、電子レンジの内部（調理部）を充分に観察できる視認性とが求められる。
【０００３】
従来、電子レンジの窓材には、二枚のガラス板の間にパンチングメタルが挟まれた複層ガラスが主に使用されている。電子レンジがオーブン機能を有する場合は、上記ガラス板として耐熱性が要求されるため風冷強化されたガラス板が使用されている。
【０００４】
しかし、このパンチングメタルは開口率が低いため電子レンジの内部の様子が見にくいという問題を有していた。そこで、ガラス基板上に金属層（例えばニッケル）を形成し、レジスト処理およびエッチング処理してメッシュ状に金属膜を加工した電磁波遮蔽ガラス板が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平９−２９３９８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されている電磁波遮蔽ガラス板は、ガラス基板上に形成されたメッシュ状のニッケル膜がガラス基板との接着力が低いため、ニッケル膜が剥がれやすいという問題を有していた。
【０００６】
本発明の目的は、長期間にわたって金属膜が剥がれにくく、電磁波遮蔽能力に優れる電磁波遮蔽ガラス板を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の電磁波遮蔽ガラス板は、ガラス基板上にメッシュ状のクロムからなる金属膜が形成されてなることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の電磁波遮蔽ガラス板は、ガラス基板上にメッシュ状のクロムからなる金属膜が形成されてなるため、長期間にわたって金属膜が剥がれにくく、高い電磁波遮蔽能力を維持することができる。
【０００９】
すなわち、ガラス基板とクロムとは接着性が高いため長期間にわたって剥離しにくく、また、クロムは電気抵抗が小さいため高い電磁波遮蔽能力を有する。そのため長期間にわたって高い電磁波遮蔽能力を維持できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の電磁波遮蔽ガラス板は、どのようなガラスを用いてもよいが、ホウケイ酸ガラス、低膨張透明結晶化ガラス、風冷強化ガラス等の耐熱性の優れるガラスであると、オーブンレンジ機能を有する電子レンジの窓材にも使用できるため好ましい。
【００１１】
本発明の電磁波遮蔽ガラス板は、メッシュ状の金属膜が、クロムの周りをクロムよりも導電性の高い金属によって被覆されてなると、電磁波遮蔽能力をさらに高めることができるため好ましい。
【００１２】
導電性の高い金属としては、金、銀または銅が使用可能である。また、これらの金属は導電性が高いとともに化学的安定性が高いため腐食しにくく、長期間にわたって高い電磁波遮蔽能力を維持できる。
【００１３】
金属膜のメッシュパターンは、格子状、ハニカム状、ラダー状、逆水玉模様であっても良い。
【００１４】
本発明の電磁波遮蔽ガラス板は、メッシュ状の金属膜の線幅が２〜１５μｍであると好ましい。２μｍよりも細いと、電気抵抗が高くなり電磁波遮蔽能力が低くなる。また、１５μｍよりも太いと、内部の様子を観察する際に目障りになる。メッシュ状の金属膜の線幅の好ましい範囲は４〜１４μｍ、より好ましい範囲は５〜１３μｍである。
【００１５】
本発明の電磁波遮蔽ガラス板は、メッシュ状の金属膜の開口率が７０〜９３％であると好ましい。メッシュ状の金属膜の開口率が７０％よりも小さいと内部を充分に観察出来ない場合があり、９３％よりも大きいと電磁波を充分に遮蔽できない場合がある。メッシュ状の金属膜の開口率の好ましい範囲は７３〜９０％、より好ましい範囲は７５〜８８％である。
【００１６】
以下、本発明の電磁波遮蔽ガラス板の製造方法について説明する。
【００１７】
まず、ガラス基板上にメッシュ状のクロムからなる金属膜を作製する方法について説明する。
【００１８】
メッシュ状のクロムからなる金属膜が形成された電磁波遮蔽ガラス板は、以下の２種類の方法で作製する。
【００１９】
第一の方法は、最初にガラス基板の表面に均一な厚さでクロムの薄膜を形成した後、クロム薄膜の上にフォトレジスト層を形成し、フォトマスクを用いて露光する。
【００２０】
次に、露光して硬化したフォトレジスト層を残して、未硬化のフォトレジスト層を洗い流した後、エッチング液に浸してフォトレジスト層に覆われていない部分のクロム薄膜をエッチングにより除去する。
【００２１】
最後に、硬化したフォトレジスト層を２質量％の水酸化カリウム水溶液を用いて除去し、ガラス基板上にメッシュ状のクロムからなる金属膜が形成された電磁波遮蔽ガラス板を作製する。
【００２２】
第二の方法は、最初にガラス基板の表面にフォトレジスト層を形成し、フォトマスクを用いて露光する。
【００２３】
次に、露光して硬化したフォトレジスト層を残して、未硬化のフォトレジスト層を洗い流した後、クロム薄膜をフォトレジスト層の上から成膜する。
【００２４】
最後に、硬化したフォトレジスト層をフォトレジスト層の上に成膜されたクロム薄膜とともに２質量％の水酸化カリウム水溶液を用いて除去し、ガラス基板上にメッシュ状のクロムからなる金属膜が形成された電磁波遮蔽ガラス板を作製する。
【００２５】
クロム薄膜は、膜厚１０〜５００ｎｍで成膜される。成膜方法はスパッタ法、化学蒸着法、物理蒸着法、イオンプレーティング法が使用可能であるが、特にスパッタ法であると平滑で緻密な膜が形成できるためガラス基板から膜が剥離しにくくなるため好ましい。
【００２６】
フォトレジスト層は、あらかじめシート状にされたドライフィルムを用いても、フォトレジストを溶媒に溶解させたペーストをドクターブレード法等で均一な厚さにした後、溶媒を除去して作製しても良い。
【００２７】
上記の方法によって作製されたガラス基板上にメッシュ状のクロムからなる金属膜が形成された電磁波遮蔽ガラス板を電解メッキまたは無電解メッキすることによってクロムを導電性の高い金、銀または銅を被覆する。
【実施例】
【００２８】
以下に、本発明の電磁波遮蔽ガラス板を実施例を用いて詳細に説明する。
【００２９】
図１は、本発明の電磁波遮蔽ガラス板を示す断面図である。
【００３０】
図１に示すように、電磁波遮蔽ガラス板１（２２０×３２０×２ｍｍ）は、ホウケイ酸ガラスからなるガラス基板２の表面２ａにクロム薄膜３が格子状に形成されており、クロム薄膜３は銅からなるメッキ層４に被覆されている。なお、クロム薄膜３とメッキ層４からなる金属膜５の線幅Ｗは１０μｍであり、金属膜５の目間隔Ｄは１２５μｍであるため、開口率は８６％であった。
【００３１】
ホウケイ酸ガラスの組成は、質量％でＳｉＯ2  ７０．２％、Ａｌ2Ｏ3  ５．４％、Ｂ2Ｏ3  １３．５％、ＣａＯ  ０．５％、Ｎａ2Ｏ  ６．７％、Ｋ2Ｏ  ２．２％の組成を有する。
【産業上の利用可能性】
【００３２】
以上のように、本発明の電磁波遮蔽ガラス板は、長期間にわたって優れた電磁波遮蔽能力を維持できるため電子レンジの窓材に好適である。また、耐熱性ガラス板が使用されているとオーブンレンジ機能を有する電子レンジの窓材に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の電磁波遮蔽ガラス板を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１    電磁波遮蔽ガラス板
２    ガラス基板
２ａ    表面
３    クロム薄膜
４    メッキ層
５    金属膜
Ｄ    目間隔
Ｗ    線幅
【図１】
2005175335.tif 000003