(57)【要約】【課題】  光学バンドパスフィルタにおいて、透過帯域が平坦でリップルが抑制された良好な特性を実現するフィルタ構造を提供すること。【解決手段】  本発明にかかる光学バンドパスフィルタは、光学基板１上にキャビティ８をＮ段備え、キャビティ８は高屈折率と低屈折率の屈折率の異なる光学薄膜４、５をスペーサ層２の両側に交互に配置している。このとき、透過帯域の中心波長をλとしたときに、スペーサ層２の厚みがλ／２の整数倍である。各キャビティ８間に低屈折率膜からなる結合層３を有する。光学基板１の屈折率は低屈折率層５よりも高く、かつ、高屈折率層４より低くした。さらに、光学基板１の直上の層を低屈折率層５とし、光学基板１から数えて３〜Ｎ−２段目のスペーサ層２の厚さは２種類からなり、偶数段目に位置するスペーサ層２の膜厚が奇数段目に位置するスペーサ層２よりも０．５λ以上厚くした。【選択図】  図１
2005195732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学基板上にキャビティをＮ段備え、
前記キャビティは高屈折率と低屈折率の屈折率の異なる光学薄膜をスペーサ層の両側に交互に配置してなり、
透過帯域の中心波長をλとしたときに、前記スペーサ層の厚みがλ／２の整数倍であり、
前記各キャビティ間に低屈折率膜からなる結合層を有する光学バンドパスフィルタにおいて、
前記光学基板の屈折率は低屈折率層よりも高く、かつ、高屈折率層より低く、
前記光学基板の直上の層は低屈折率層であり、
前記光学基板から数えて３〜Ｎ−２段目のスペーサ層の厚さは２種類からなり、３〜Ｎ−２段目のスペーサ層において偶数段目に位置するスペーサ層の膜厚が奇数段目に位置するスペーサ層の膜厚よりも０．５λ以上厚いことを特徴とする光学バンドパスフィルタ。
【請求項２】
Ｎは７以上の奇数であることを特徴とする請求項１記載の光学バンドパスフィルタ。
【請求項３】
前記光学基板から数えて２段目のスペーサ層の膜厚とＮ−１段目のスペーサ層の膜厚が等しいことを特徴とする請求項２記載の光学バンドパスフィルタ。
【請求項４】
Ｎは６以上の偶数であることを特徴とする請求項１記載の光学バンドパスフィルタ。
【請求項５】
前記光学基板から数えて２段目のスペーサ層の膜厚がＮ−１段目のスペーサ層の膜厚よりも０．５λ以上厚いことを特徴とする請求項４記載の光学バンドパスフィルタ。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれかに記載の光学バンドパスフィルタにおいて、
前記結合層の厚さをＣとし、ＰおよびＱを０以上の整数としたとき、少なくとも２層の前記結合層の厚さが０．１λ＋０．５・Ｐ≦Ｃ≦０．２４λ＋０．５・Ｐ、または、０．２６λ＋０．５・Ｑ≦Ｃ≦０．４λ＋０．５・Ｑであることを特徴とする光学バンドパスフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘電体多層膜からなる光学バンドパスフィルタにおいて、良好な透過帯域の特性を実現できるマルチキャビティフィルタの構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信等に用いられる誘電体多層膜からなる光学バンドパスフィルタは、例えば、下記非特許文献１のｐ．２８８に記載されている全誘電体ファブリーペローエタロンを多重に結合した構成をとる。その構造は、図２に示すように光学基板３１上に光学路長がλ／２の整数倍のスペーサ層３２の両側に光学路長がλ／４の屈折率の異なる層３４、３５を交互に積層したミラー層３６を重ねた構造のキャビティ３８を基本構造とし、このキャビティ３８間に結合層３３を配置し、これを複数段重ねたものからなる。
【０００３】
ここで、スペーサ層３２の上下のミラー層３６において、各屈折率膜は対称になるように配置されているため、スペーサ層３２を高屈折率膜とする場合には、それに隣接する層は低屈折率膜を、スペーサ層３２を低屈折率膜とする場合には、それに隣接する層は高屈折率膜を用いて積層している。またミラー層３６の構成としては、隣接する層を含めて高屈折率膜と低屈折率膜の対とするか、ミラー層３６に隣接する層は一層分多めに配置して残りの層について対とした、積層数２ｎ層もしくは２ｎ＋１層（ｎは１以上の整数であり、各屈折率膜を意味する）としているため、前記スペーサ層３２の屈折率膜の種類と合わせて、膜構造としては４種の形態が考えられる。そして、フィルタの最上層には１ないし複数層からなる入射媒質への整合層３７を配置している。
【０００４】
近年、近・中距離の伝送を低コストで行う通信方式として、透過帯域の幅を広くすることによりレーザ光源の温度管理を不要としたＣＷＤＭ（Coarse Wavelength Division Multiplexing）方式が注目されている。ＣＷＤＭ方式において使用するフィルタは、透過帯域幅が１０ｎｍ以上と広く、透過帯域から阻止帯域への急峻な遷移幅を実現するために６以上のキャビティを積層したバンドパスフィルタが使用される。
【０００５】
このようなバンドパスフィルタを設計する場合、透過帯域は広いものの、６キャビティ以上という高次のバンドパスフィルタとなるため、リップルが発生しやすくなり、良好な透過帯域特性を実現できる膜構成は大きな制約を受ける。更に、透過帯域幅が１０ｎｍ以上と広いため、その制約の中でバンド幅を広げようと膜構成を変更するとバンド幅の変化が大きくなるために、要求されるバンド幅のフィルタの設計が難しい場合が発生していた。
【非特許文献１】H．A．Macleod著、小倉繁太郎等訳「光学薄膜」１９８９年１１月３０日、日刊工業新聞社発行、ｐ．２８８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
光学バンドパスフィルタを設計する場合、バンド幅の調整は主にスペーサ層の膜厚を変更することにより行うが、その膜厚は通常０．５λの整数倍単位という離散的な値で変化させることしかできない。一方６キャビティ以上のバンドパスフィルタにおいては、リップルが抑制された良好な透過特性を実現するスペーサ層の組み合わせには大きな制約がある。従ってバンド幅の調整単位も離散的な値をとることになるため、要求されたバンド幅のフィルタの設計が難しい場合が発生する。
【０００７】
従来、６段以上のキャビティを有するバンドパスフィルタのキャビティ数をＮとしたとき、３〜Ｎ−２段目キャビティのスペーサ層には同じ膜厚を使用することが多かった。一部のスペーサ層の膜厚を０．５λ増減させるとバンド幅を少し変化させることはできるが、多くの場合透過帯域の特性は大きく劣化してしまうため、良好な透過帯域の特性を有するフィルタのバンド幅の調整は難しく、透過帯域の特性の劣化が少ないスペーサ層の組み合わせを試行錯誤で調べていた。
【０００８】
膜の屈折率を自由に制御することが可能ならバンド幅の調整は可能ではあるが、一方で安定した品質のフィルタを継続的に提供するためには、フィルタ製造時の成膜条件は一定に保つ必要があるため、膜の屈折率を自由に制御することは難しい。
【０００９】
本発明は、以上のような問題点を解決するためになされたものであり、光学基板の直上の層が低屈折率層の場合において、３〜Ｎ−２段目のキャビティの隣接するスペーサ層の膜厚を異なる組み合わせとしても透過帯域の特性の劣化が少ないフィルタ構造を提供することにより、光学バンドパスフィルタのバンド幅の設計の自由度を高めることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、光学基板上にキャビティをＮ段備え、前記キャビティは高屈折率と低屈折率の屈折率の異なる光学薄膜をスペーサ層の両側に交互に配置してなり、透過帯域の中心波長をλとしたときに、前記スペーサ層の厚みがλ／２の整数倍であり、前記各キャビティ間に低屈折率膜からなる結合層を有する光学バンドパスフィルタにおいて、前記光学基板の屈折率は低屈折率層よりも高く、かつ、高屈折率層より低く、前記光学基板の直上の層は低屈折率層であり、前記光学基板から数えて３〜Ｎ−２段目のスペーサ層の厚さは２種類からなり、３〜Ｎ−２段目のスペーサ層において偶数段目に位置するスペーサ層の膜厚が奇数段目に位置するスペーサ層の膜厚よりも０．５λ以上厚いことを特徴とするものである。
【００１１】
好適な実施の形態において、上記Ｎは７以上の奇数であり、特に、光学基板から数えて２段目のスペーサ層の膜厚とＮ−１段目のスペーサ層の膜厚が等しいことが望まれる。
【００１２】
また、Ｎは６以上の偶数であり、特に、光学基板から数えて２段目のスペーサ層の膜厚をＮ−１段目のスペーサ層の膜厚よりも０．５λ以上厚くしてもよい。
【００１３】
さらに、上述の光学バンドパスフィルタにおいて、前記結合層の厚さをＣとし、ＰおよびＱを０以上の整数としたとき、少なくとも２層の前記結合層の厚さが０．１λ＋０．５・Ｐ≦Ｃ≦０．２４λ＋０．５・Ｐ、または、０．２６λ＋０．５・Ｑ≦Ｃ≦０．４λ＋０．５・Ｑであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、光学バンドパスフィルタにおいて、透過帯域が平坦でリップルが抑制された良好な特性を実現するフィルタ構造を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を具体的に説明する。本発明では、特に光学基板の直上の層が低屈折率層である。
【００１６】
（実施の形態１）
図１は本発明の光学バンドパスフィルタの一例を示すものであり、Ｎ段のキャビティ構成による光学バンドパスフィルタの基本構造を示す図である。キャビティ８は光学膜厚がλ／２の整数倍の低屈折率膜からなるスペーサ層２と、スペーサ層２の両側に光学膜厚がλ／４の奇数倍の高層折率膜４と低屈折率膜５を交互に配置したミラー層６を対称に組み合わせた構造で構成されている。なお、図１は本発明を分かりやすくするために表した模式図であり、そのサイズ等は実際とは異なったものとしている。
【００１７】
この光学バンドパスフィルタは、光学基板１上にＮ個のキャビティ８を低屈折率膜からなるＮ−１個の結合層３を用いて連結して構成されている。
【００１８】
図１に示すようにキャビティ８は、光学基板１の直上を１段目キャビティ、その上を２段目キャビティ、最終段をＮ段目キャビティが積層されて構成されている。また、各キャビティ８を連結するのが結合層３である。なお、Ｎ段目キャビティ８の直上には、１ないし複数層からなる入射媒質への整合層７を含んでいても良い。
【００１９】
キャビティ８は、少なくとも２種類以上の異なる構造を有する。ここで、異なる構造には、例えば、スペーサ層２の厚さが異なる場合、ミラー層６を構成する各層の数が異なる場合、キャビティ８を構成する各層の材料が異なる場合があるが、好ましくはスペーサ層２の厚さまたはその材料が異なる場合に関する。スペーサ層２は、λ／２の整数倍の単位で厚さを異ならせることができ、その膜厚の精度は±２％以下が好ましい。また、キャビティ８は、全てのキャビティ８が互いに異なる構造を有してもよく、また一部のキャビティ８が他のキャビティ８と異なる構造を有するようにしてもよい。
【００２０】
本発明のミラー層６は、上記のように低屈折率膜からなるスペーサ層２の両側に高屈折率膜４を隣接させ、各キャビティ８の最上層及び最下層も高屈折率膜４としている。そして、基板直上と最下層のキャビティとの間には、低屈折率層を配している。従って、各ミラー層６の片側において積層数は２ｍ＋１層（ｍは１以上の整数）となっている。そして結合層３には低屈折率膜を配置した形態としていて、結合層３に隣接する層には高屈折率膜４が配置されている。また、結合層３を低屈折率膜とするため、ミラー層６の積層数を２ｍ層とし、スペーサ層２に高屈折率膜とする形態も可能である。
【００２１】
本発明のフィルタは上記の構造を基本とするが、これは従来のように高屈折率膜をスペーサ層２に用いて、２ｍ＋１層の積層形態をとると結合層３も高屈折率膜となるが、この場合にはキャビティ８の対称性が崩れるため挿入損失が発生し、狭帯域で利用される光学バンドパスフィルタには適さないことが分かっている。
【００２２】
なお、本発明においてミラー層６を構成する各屈折率膜の光学膜厚はλ／４の奇数倍を基本とするが、他の特性との関係でこれらを変更することも可能である。特に整合層７と接するキャビティ８最上部の複数層について膜厚をλ／４からずらすことにより調整を図ることも可能である。
【００２３】
上述の構造を基本とする光学バンドパスフィルタにおいて、６キャビティ以上を積層した構成においては、３〜Ｎ−２段目のキャビティのスペーサ層を同じ厚さにすると良好な透過帯域の特性が得られると考えられている。これは、３〜Ｎ−２段目のキャビティのアドミッタンスをできるだけ一定に保っておくと、良好な透過帯域の特性が得られやすいのではないかとの推定に基づくものである。
【００２４】
一方、上記光学バンドパスフィルタの第３および第４キャビティのスペーサ層のアドミッタンス図を描くと図３に示すように第３キャビティのスペーサ層２の直径が偶数段目の第４キャビティのスペーサ層２の直径よりも大きくなっている。
【００２５】
このように、光学基板１の直上に成膜する膜がλ／４の低屈折率膜であり、光学基板１の屈折率が低屈折率膜５よりも高く高屈折率膜４より低い場合には、同じ層数のミラー層６を積層しても、奇数段目キャビティのスペーサ層２の方が偶数段目と比較してアドミッタンス図の軌跡の直径は大きくなっていることがわかる。
【００２６】
そこで本発明者らは、アドミッタンス図の直径が大きい方が、単独のバンドパスとして使用した場合、バンド幅を狭くすることができるので、偶数段目のスペーサ層２を奇数段目よりも０．５λ厚い構成としても両者の実効的なアドミッタンスの差を小さく抑えることができるため、３〜Ｎ−２段目のキャビティのアドミッタンスの変化を小さく保つことが可能となり、透過帯域の特性の劣化を抑えることができるのではないかと考えた。
【００２７】
具体的に各キャビティのスペーサ層２の厚さについて種々の検討を行った結果、光学基板１から数えて３〜Ｎ−２段目のスペーサ層２の厚さを２種類とし、偶数段目に位置するスペーサ層２の膜厚を奇数段目に位置するスペーサ層２よりも０．５λ以上厚くした。なお、スペーサ層２の厚さは、λ／２の整数倍であるので、その差もλ／２の整数倍となり、０．５λ以上が好ましく、基板と低屈折率膜の屈折率差を考慮すると４λ以下とするのがよく、０．５λ以上２λ以下がより好ましい。
【００２８】
さらに、Ｎが７以上の奇数である場合には、光学基板１から数えて２段目のスペーサ層２の膜厚とＮ−１段目のスペーサ層の膜厚が等しくすると、さらに良好な通過帯域の特性が得られた。また、Ｎが６以上の偶数である場合には、光学基板１から数えて２段目のスペーサ層２の膜厚をＮ−１段目のスペーサ層２の膜厚よりも０．５λ以上厚くすることにより、良好な通過帯域の特性が得られた。
【００２９】
さらに、結合層３の厚さをＣとし、ＰおよびＱを０以上の整数としたとき、少なくとも２層の結合層３の厚さが０．１λ＋０．５・Ｐ≦Ｃ≦０．２４λ＋０．５・Ｐ、または、０．２６λ＋０．５・Ｑ≦Ｃ≦０．４λ＋０．５・Ｑであることが好ましいことが判った。また、前記結合層３と隣接するキャビティの高屈折率層の厚さを同様の範囲で調整することがさらに好ましい。
【００３０】
なお、光学基板１と低屈折率膜５の屈折率差が大きいときは、アドミッタンス図において偶数段目と奇数段目のスペーサ層の軌跡の直径の差は大きくなるため、スペーサ層２の厚さの差は０．５λより大きくした方がよい。
【００３１】
本発明においては、キャビティ８の段数は少なくとも６段以上必要であり、好ましくは６段〜２０段である。より好ましくは６段〜１３段である。
【００３２】
本発明の高屈折率膜の材料としては、TaxOy、TiOx、ZnS、ZnSe、GaP、InP、Si、Ge、SiGex、SiNx、SiCx、ZrOx、NbOx、YOx、CeOx、HfOx、ZrOx、およびこれらの混合材から選ばれる少なくとも１種が、低屈折率膜の材料としてはSiOx、MgF2、AlOx、SiOxCy、SiOxＮy、MgOx、およびこれらの混合材から選ばれる少なくとも１種がある。なお、各屈折率膜は同種のものを用いることが好ましいが、屈折率が近似した材料であれば、一部を他の材料からなる屈折率膜に置換することも可能である。この意味で、本発明のミラー層６は３種類上の屈折率膜にも適用することができる。
【００３３】
スペーサ層２、ミラー層６、結合層３のそれぞれの材料は異なっていても良い。光学基板１としては、ガラスが主に用いられるが、透明プラスチックも使用できる。光学基板１には対称性の点から低屈折率材料が好ましい。
【００３４】
本発明の誘電体多層薄膜フィルタは、真空成膜法で作製される。真空成膜法には、真空蒸着法、スパッタ法、化学気相成長法、レーザブレイション法など各種成膜法を用いることができる。真空蒸着法を用いる場合、膜質を改善するため蒸気流の一部をイオン化するとともに基板側にバイアスを印加するイオンプレーティング法、クラスタイオンビーム法、別イオン銃を用いて基板にイオンを照射するイオンアシスト蒸着法を用いると有効である。スパッタ法としては、ＤＣ反応性スパッタ法、ＲＦスパッタ法、イオンビームスパッタ法などがある。また、化学的気相法としては、プラズマ重合法、光アシスト気相法、熱分解法、有機金属化学気相法などがある。なお、各屈折率膜の膜厚は膜形成時の蒸着時間等を変えることで、所望の膜厚とすることができる。
【実施例１】
【００３５】
以下実施例を挙げて本発明を説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。なお、以下の説明では設定した入射角度においてバンドパスフィルタの透過帯域の中心波長が１５５０ｎｍとなるようにした。なお、Ｈは光学膜原λ／４の高屈折率膜、Ｌは光学膜厚λ／４の低屈折率膜を示す。実施例および比較例で説明するフィルタに用いる材料の屈折率には、Ｈ＝２．１、Ｌ＝１．４４５、空気＝１、基板＝１．５を用いた。
【００３６】
（実施例１）
構造式１は、基板直上に低屈折率膜を配置した９段のキャビティからなるバンドパスフィルタの基本となる構造式である。
【００３７】
構造式１：基板／L(HL)^2 10H (LH)^2 L (HL)^3 10H (LH)^3 L ((HL)^3 14H (LH)^3 L)^5 (HL)^3 10H (LH)^3 L (HL)^2 12H (LH)^2 L
【００３８】
入射角２度での中心波長を１５５０ｎｍにするため、入射角度０度では、中心波長は１５５０．２ｎｍとした。上記構造の光学バンドパスフィルタにおいて、バンド幅を広くするために３〜７段目キャビティのスペーサ層を１２Ｈと１４Ｈの組み合わせにし、整合層を調整した結果、構造式２を得た。
【００３９】
構造式２：基板／L (HL)^2 10H (LH)^2 L(HL)^3 10H (LH)^3 L((HL)^3 12H (LH)^3 L (HL)^3 14H (LH)^3 L)^2 (HL)^3 12H (LH)^3 L (HL)^3 10H (LH)^3 L (HL)^2 12H (LH)^2 0.293H 1.381L
表１に示すように、構造式２の各スペーサ層の厚みは基板側から順に１０Ｈ、１０Ｈ、１２Ｈ、１４Ｈ、１２Ｈ、１４Ｈ、１２Ｈ、１０Ｈ、１２Ｈである。そのときの透過帯域でのＰ偏光の分光特性を図４の太線で示す。
【００４０】
（比較例１−１）
実施例１において、５・６段目キャビティのスペーサ層をそれぞれ１４Ｈ・１２Ｈに変更し、各キャビティのスペーサ層の膜厚を表１に示す値とした。この光学バンドパスフィルタの透過帯域でのＰ偏光の分光特性を図４の細線で示す。
【００４１】
（比較例１−２）
実施例１において、３〜７段目キャビティのスペーサ層をそれぞれ１４Ｈ・１２Ｈ・１４Ｈ・１２Ｈ・１４Ｈに変更し、各キャビティのスペーサ層の膜厚を表３に示す値とした。この光学バンドパスフィルタの透過帯域でのＰ偏光の分光特性を図４の点線で示す。
【００４２】
【表１】
2005195732.tif 000003
【００４３】
図４において本発明の実施例１と比較例１の透過帯域の分光特性を比較すると、比較例１−１、１−２と比較して３〜７段目キャビティのスペーサ層の膜厚に奇数段目を１２Ｈ、偶数段目を１４Ｈとし、２・８段目のスペーサ層を同じ膜厚にした実施例１の方が、明らかに良好な透過帯域特性が得られていることが分かる。
【００４４】
（実施例２）
構造式３は、基板直上に低屈折率膜を配置した６段のキャビティからなるバンドパスフィルタの基本となる構造式である。
【００４５】
構造式３：基板／L (HL)^7 H 8L H (LH)^7 L (HL)^8 H 6L H (LH)^8 L ((HL)^8 H 8L H (LH)^8 L)^2 (HL)^8 H 6L H (LH)^8 L (HL)^8 H 2L H (LH)^8 L
【００４６】
入射角０度での中心波長を１５５０ｎｍとした。上記構造の光学バンドパスフィルタにおいて、バンド幅を狭くするために３・４段目キャビティのスペーサ層を１０Ｌと８Ｌの組み合わせに、２段目のスペーサ層を８Ｌに変更し、整合層を調整した結果、構造式４を得た。
【００４７】
構造式４：基板／L (HL)^7 H 8L H (LH)^7 L ((HL)^8 H 8L H (LH)^8 L)^2 (HL)^8 H 10L H (LH)^8 L (HL)^8 H 6L H (LH)^8 L (HL)^8 H 2L H (LH)^8 0.356H 1.260L
【００４８】
表２に示すように、構造式４の各スペーサ層の厚みは基板側から順に８Ｌ、８Ｌ、８Ｌ、１０Ｌ、６Ｌ、２Ｌである。そのときの透過帯域でのＰ偏光の分光特性を図５の太線で示す。
【００４９】
（比較例２）
実施例２において、３・４段目キャビティのスペーサ層をそれぞれ１０Ｌ・８Ｌに変更し、各キャビティのスペーサ層の膜厚を表４に示す値とした。この光学バンドパスフィルタの透過帯域でのＰ偏光の分光特性を図５の細線で示す。
【００５０】
【表２】
2005195732.tif 000004
【００５１】
本実施例は、図５に示すように５０ＧＨｚの狭帯域の光学バンドパスフィルタであり、図５において本発明の実施例２と比較例２の透過帯域の分光特性を比較すると、比較例２と比較して３・４段目キャビティのスペーサ層の膜厚に奇数段目を１０Ｌ、偶数段目を８Ｌとし、２段目のスペーサ層が５段目より２Ｌ（０．５λ）厚くした実施例２の方が、明らかに良好な透過帯域特性が得られていることが分かる。
【００５２】
（実施例３）
実施例１において、入射角２度、中心波長１５５０．２ｎｍとし、各段の結合層とそれに隣接する高屈折率層の内３層の計１１層と９段目キャビティの最上層、空気への整合層を膜厚変更可能な調整層として選択し、選択した各層の初期膜厚を基板側から順に、λ／４、λ／４、λ／４、λ／４、λ／４、λ／４、５λ／４、λ／４、λ／４、λ／４、λ／４、λ／４、３λ／４に設定し、前記以外のミラー層を構成する各膜の膜厚をλ／４に設定した。選択した各調整層は、目標特性を１５４３〜１５５７ｎｍの波長範囲において透過率１００％とし、膜厚を調整した。選択した各結合層の厚みの調整方法として、目標特性を１５４８〜１５５２ｎｍの波長範囲において透過率１００％とし、Essential Macleod等の改良法による自動設計機能を有する市販の光学薄膜設計プログラムで膜厚を調整した。その結果、表３に示す各膜厚を得た。表３に示すように、各結合層の膜厚は基板側から順に０．９１７Ｌ（０．２２９λ）、０．８５９Ｌ（０．２１５λ）、１．０５５Ｌ（０．２６４λ）、０．９５０Ｌ（０．２３７λ）、５．０４８Ｌ（１．２６２λ）、０．９５１Ｌ（０．２３８λ）、１．０４１Ｌ（０．２６０λ）及び２．７２１Ｌ（０．６８０λ）である。なお、この時の高屈折率膜である９段目キャビティの最上部の膜厚は１．５２１Ｈであり、低屈折率膜である整合層の厚みは１．３２７Ｌであった。その時のｐ偏光の分光特性を図６に示す。
【００５３】
図４の太線である実施例１と比較して、０．１λ＋０．５・Ｐ≦Ｃ≦０．２４λ＋０．５・Ｐ、または、０．２６λ＋０．５・Ｑ≦Ｃ≦０．４λ＋０．５・Ｑとなる層を２層以上含む実施例３の方が透過帯域のリップルが低減されており、実施例１より更に良好な透過帯域特性が得られていることが分かる。
【００５４】
【表３】
2005195732.tif 000005
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の形態における光学バンドパスフィルタを示す断面図である。
【図２】従来の光学バンドパスフィルタを示す断面図である。
【図３】基板直上が低屈折率膜の場合の、第３および第４キャビティのスペーサ層のアドミッタンス図である。
【図４】本発明の実施の形態における光学バンドパスフィルタの透過帯域での分光特性を示すグラフである。
【図５】本発明の実施の形態における光学バンドパスフィルタの透過帯域での分光特性を示すグラフである。
【図６】本発明の実施の形態における光学バンドパスフィルタの透過帯域での分光特性を示すグラフである。
【符号の説明】
【００５６】
１、３１  光学基板
２、３２  スペーサ層
３、３３  結合層
４、３４  高屈折率膜
５、３５  低屈折率膜
６、３６  ミラー層
７、３７  整合層
８、３８  キャビティ
【図１】
2005195732.tif 000006
【図２】
2005195732.tif 000007
【図３】
2005195732.tif 000008
【図４】
2005195732.tif 000009
【図５】
2005195732.tif 000010
【図６】
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