(57)【要約】【課題】  ウエハリング上のチップの傾きをより適切に補正することができるウエハトレイにおけるθ補正方法及び装置を提供する。【解決手段】  第Ｎ番目のチップの画像をカメラで取得し（Ｓ２）、チップの傾きθを求める（Ｓ３）。この傾きθを「Ｓ」に加算し（Ｓ４）、「Ｎ」に「１」を加算する（Ｓ５）。この「Ｎ」が予め設定された設定値−１であるか否かを判断し（Ｓ６）、「Ｎ」が「設定値−１」に達していない場合には、各ステップを繰り返し、第１番目のチップから第１５番目のチップにおける総ての傾きθの値を加算した「Ｓ」を求めた後、この「Ｓ」の値を設定値で除算することで各チップの傾きθの平均値を演算して補正量θとする（Ｓ７）。この補正量θ分ウエハリングを回動し、ウエハリング上の各チップの傾きに応じた補正を行う（Ｓ８）。【選択図】        図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハリングを保持するウエハトレイを回転して前記ウエハリングに支持されたチップの傾きを補正するウエハトレイにおけるθ補正方法において、
前記ウエハリングに支持された複数のチップのθ方向の傾きをそれぞれの検出して平均化し、平均化された値を補正値とするとともに、該補正値に基づいて前記ウエハトレイを回動することを特徴としたウエハトレイにおけるθ補正方法。
【請求項２】
ウエハリングを保持するウエハトレイを回転して前記ウエハリングに支持されたチップの傾きを補正するウエハトレイにおけるθ補正装置において、
前記ウエハリングに支持された前記チップの画像を取得する画像取得手段と、
該画像取得手段で取得した画像から複数のチップの傾きを各々求める個別傾き取得手段と、
求められた各チップの傾きを平均化して補正値を算出する補正値演算手段と、
算出された前記補正値に基づいて前記ウエハトレイを回動する回動手段と、
を備えたことを特徴とするウエハトレイにおけるθ補正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップが設けられたウエハリングを保持するウエハトレイにおけるθ補正方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、図４に示すように、ダイボンダで用いるウエハ１０１は、通常樹脂製のウエハシート１０２に貼着されており、該ウエハシート１０２は、ウエハリング１０３に支持されている。
【０００３】
このウエハ１０１は、前記ウエハリング１０３に対してθ方向にずれて貼着されることがある。また、ウエハセット時には、ウエハシート１０２を全方向から引っ張って伸ばすが、この時にもウエハ１０１がダイシングされてなる個々のチップ１１１，・・・が傾くことがある。このため、前記ウエハリング１０３を保持するウエハトレイには、θ回転機構が設けられており、ウエハリング１０３の回転方向の傾きを補正できるように構成されている。
【０００４】
すなわち、前記ウエハリング１０３の回転方向の傾きを補正する際には、図５に示すように、ウエハ１０１の中心にあるチップ１１１ａと該チップ１１１ａの並び方向にあるチップ１１１ｂとの間のＸ方向及びＹ方向の距離をカメラで認識して傾きθを演算するとともに、演算された傾きθ分前記ウエハリング１０３を回転してθ方向の傾きを補正していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような補正方法にあっては、同列内のチップが個々に傾いていた場合、図５の（ｂ）に示すように、補正を行うことができなかった。
【０００６】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、ウエハリング上のチップの傾きをより適切に補正することができるウエハトレイにおけるθ補正方法及び装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために本発明のウエハトレイにおけるθ補正方法にあっては、ウエハリングを保持するウエハトレイを回転して前記ウエハリングに支持されたチップの傾きを補正するウエハトレイにおけるθ補正方法において、前記ウエハリングに支持された複数のチップのθ方向の傾きをそれぞれの検出して平均化し、平均化された値を補正値とするとともに、該補正値に基づいて前記ウエハトレイを回動する。
【０００８】
すなわち、ウエハリング上のチップの傾きを補正する際には、前記ウエハリングに支持された複数のチップのθ方向の傾きをそれぞれの検出し、これらを平均化する。そして、平均化された値を補正値とするとともに、この補正値に基づいて前記ウエハリングを保持した前記ウエハトレイを回動する。
【０００９】
これにより、前記ウエハリング上の各チップの傾きに応じた補正が行われる。
【００１０】
また、本発明のウエハトレイにおけるθ補正装置にあっては、ウエハリングを保持するウエハトレイを回転して前記ウエハリングに支持されたチップの傾きを補正するウエハトレイにおけるθ補正装置において、前記ウエハリングに支持された前記チップの画像を取得する画像取得手段と、該画像取得手段で取得した画像から複数のチップの傾きを各々求める個別傾き取得手段と、求められた各チップの傾きを平均化して補正値を算出する補正値演算手段と、算出された前記補正値に基づいて前記ウエハトレイを回動する回動手段と、を備えている。
【００１１】
すなわち、ウエハリングに支持されたチップの傾きを補正する際には、前記ウエハリングに支持された前記チップの画像を取得し、この取得した画像から複数のチップの傾きを各々求める。そして、求められた各チップの傾きを平均化して補正値を算出するとともに、この補正値に基づいて、前記ウエハリングを保持するウエハトレイを回動する。
【００１２】
これにより、前記ウエハリング上の各チップの傾きに応じた補正が行われる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように本発明のウエハトレイにおけるθ補正方法及びθ補正装置にあっては、ウエハリング上の各チップの傾きに応じてウエハトレイを回動することで、該ウエハトレイに保持されたウエハリングを、当該ウエハリング上の各チップの傾きに応じて補正することができる。このため、同列上に配置されたチップ間のＸ及びＹ方向の距離からウエハ全体の傾きθを演算するとともに、このウエハの傾きに基づいてウエハリングの傾きを補正する従来と比較して、チップの傾き基づく補正を行うことができる。
【００１４】
したがって、ウエハリング上のチップの傾きをより適切に補正することができ、ボンディング時の認識画像におけるチップの傾きのズレ量を減少することができる。これにより、ボンディングされたチップの傾きのバラツキを小さくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるウエハトレイにおけるθ補正装置１を示す模式図であり、該θ補正装置１は、ウエハリング２に張設されたウエハシート３上のウエハ４がダイシングされてなるチップ５，・・・をボンディングポイントへ移送してボンディングするダイボンダに設けられている。
【００１６】
すなわち、このダイボンダには、前記ウエハリング２を保持するウエハトレイ１１が設けられており、該ウエハトレイ１１は、Ｘ方向駆動機構１２及びＹ方向駆動機構１３によってＸ方向及びＹ方向へ駆動されるように構成されている。前記Ｙ方向駆動機構１３と前記ウエハトレイ１１との間には、回転機構が設けられており（図示省略）、前記ウエハトレイ１１に保持されたウエハリング２をθ方向へ回転できるように構成されている。
【００１７】
前記ウエハトレイ１１の上部には、カメラ２１が設けられており、該カメラ２１によって前記ウエハトレイ１１に保持されたウエハリング２の各チップ５，・・・の画像を取得できるように構成されている。このカメラ２１は、マイコンを中心に構成された制御部２２に接続されており、該制御部２２では、前記カメラ２１からの画像を処理して、前記各機構１２，１３を制御できるように構成されている。
【００１８】
以上の構成にかかる本実施の形態の動作を、図２に示したフローチャートに従って説明する。
【００１９】
すなわち、前記制御部２２は、メインルーチンよりθ補正処理を呼び出して実行すると、マイコン内蔵のメモリに確保された「Ｎ」及び「Ｓ」を「０」にクリアし（Ｓ１）、図３に示すように、ウエハ４の中心に設定された第Ｎ番目のチップ５ａの画像をカメラ２１で取得する（Ｓ２）。このとき、第１番目のチップ５ａの位置は、ウエハ４の中心に設定されており、第１番目以降のチップ５ｂ，ｃ，・・・の位置は、第１番目のチップ５ａを中心として時計回り方向へ外側に広がるように設定されているものとする。
【００２０】
この取得した画像におけるチップ５ａの形状から当該チップ５ａの基準に対する傾きθを求め（Ｓ３）、この傾きθをメモリに確保された「Ｓ」に加算するとともに（Ｓ４）、メモリに確保された「Ｎ」に「１」と加算し（Ｓ５）、この「Ｎ」が予め設定された設定値−１であるか否かを判断する（Ｓ６）。ここで、本実施の形態では、前記設定値として「１５」が設定されているものとする。
【００２１】
このステップＳ６において、前記「Ｎ」が「設定値−１」に達していない場合には、前記ステップＳ２へ分岐して各ステップを繰り返し、第１番目のチップ５ａから第１５番目のチップ５ｏにおける総ての傾きθの値を加算した「Ｓ」を求める。前記ステップＳ６において、前記「Ｎ」が「設定値−１」に達した場合には、第１番目のチップ５ａから第１５番目のチップ５ｏにおける総ての傾きθの加算値が「Ｓ」として求められたので、この「Ｓ」の値を、前記設定値で除算することで第１〜１５番目のチップの各傾きθの平均値を演算して、これを補正量θとする（Ｓ７）。
【００２２】
そして、この補正量θ分、回動機構によってウエハトレイ１１を回転駆動することによって該ウエハトレイ１１に保持されたウエハリング２を回動し、該ウエハリング２上の各チップ５，・・・の傾きに応じた補正を行って（Ｓ８）、メインルーチンへ戻る。
【００２３】
このように、前記ウエハリング２上の各チップ５，・・・の傾きに応じてウエハトレイ１１を回動することで、該ウエハトレイ１１に保持されたウエハリング２を、当該ウエハリング２上の各チップ５，・・・の傾きに応じて補正することができる。このため、同列上に配置されたチップ間のＸ及びＹ方向の距離からウエハ全体の傾きθを演算するとともに、このウエハの傾きに基づいてウエハリングの傾きを補正する従来と比較して、各チップ５，・・・の傾きθに基づく補正を行うことができる。
【００２４】
したがって、ウエハリング２上のチップ５，・・・の傾きθをより適切に補正することができ、ボンディング時の認識画像におけるチップ５の傾きのズレ量を減少することができる。これにより、ボンディングされたチップ５の傾きのバラツキを小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の一実施の形態を示す模式図である。
【図２】同実施の形態の動作を示すフローチャートである。
【図３】同実施の形態の動作を示す説明図である。
【図４】従来例で用いるウエハリングを示す図で、（ａ）は分解斜視図であり、（ｂ）は平面図である。
【図５】従来例を示す図で、（ａ）は補正方法を示す説明図であり、（ｂ）は補正した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００２６】
１    θ補正装置
２    ウエハリング
３    ウエハシート
４    ウエハ
５    チップ
２１    カメラ
２２    制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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