(57)【要約】【課題】  スロットダイの溝幅、真直性等、スロットダイの長手方向の位置に伴い変化する特性を容易かつ正確に測定すること。【解決手段】  定盤１２と、該定盤１２に設けられたガイドレール１４と、該ガイドレール１４上に走行自在に設けられたスライダ１６と、該スライダ１６に設けられたコラム１８とを備え、前記定盤１２上にスロットダイ１００を前記ガイドレール１４の延長する方向に沿って設置し、前記スライダ１６を前記スロットダイ１００に沿って移動させ、前記コラム１８に搭載した測定器３０により前記スロットダイ１００の長手方向の位置に伴い変化する特性を測定するスロットダイ測定装置１０において、前記定盤１２、コラム１８、ガイドレール１４、スライダ１６が低膨張材料より形成され、該ガイドレール１４に対して該スライダ１６を摺動可能に浮上させる手段と移動手段が設けられていることを特徴とする。【選択図】        図３
2005221305.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤と、
該定盤に設けられた一方向に延在するガイドレールと、
該ガイドレール上において走行自在に設けられたスライダと、
該スライダに設けられたコラムとを備え、
前記定盤上に一方向に延在する溝を有するスロットダイを前記ガイドレールの延長する方向に沿って設置し、
前記コラム及びスライダを前記スロットダイに沿って移動させ、前記コラムに搭載した測定器により前記スロットダイの溝幅、真直性等、スロットダイの長手方向の位置に伴い変化する特性を測定するスロットダイ測定装置において、
前記定盤、コラム、ガイドレール、スライダが、鉄よりも熱膨張率が低い低膨張材料より形成され、
前記スライダ、ガイドレールのいずれか一方又は双方に該ガイドレールに対して該スライダを摺動可能に浮上させる非接触摺動手段が設けられ、
前記コラム及びスライダを前記ガイドレール上で移動させる移動手段が設けられていることを特徴とするスロットダイ測定装置。
【請求項２】
請求項１記載のスロットダイ測定装置において、
前記非接触摺動手段は、前記定盤上に設けられた断面略Ｔ字型の前記ガイドレールと、
前記ガイドレール上部の水平方向に張り出した頭部の上下左右側の面を囲むように形成された前記スライダと、
前記スライダに、これらスライダとガイドレールとの互いに上下に対向する壁面間及び互いに左右に対向する壁面間に設けられたエアパッドとを備えてなることを特徴とするスロットダイ測定装置。
【請求項３】
請求項1又は請求項２記載のスロットダイ測定装置において、
前記コラム及びスライダの移動手段は、前記ガイドレールと前記スライダに設けられたリニアモーターであることを特徴とするスロットダイ測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、スロットダイ測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、一方向に走行する可撓性帯状支持体等に塗布液を塗布する際に使用される図８に示すようなスロットダイ１００は、内部に塗布液の液溜めとされるマニホールド１０２を備え、このマニホールド１０２から通じる塗布幅方向に伸びた溝部１０３から塗布液が吐出されることで、ダイヘッドの塗布表面１０１上を移動する基材に塗布液を連続的に塗布するものであり、特に長尺の基材に対して均一な塗布厚さの塗布面を形成するために、塗布液が吐出される溝部１０３の溝幅や溝部１０３をなす２つの対向面（溝面）１０３Ａ，１０３Ｂの平面度等の溝面形状が精度良く形成される必要がある。
そのため、例えば塗布幅方向に伸びる溝部１０３の長さ（例えば、数ｍ等）に比べて、相対的に小さい溝幅（例えば、数１０〜数１００μｍ等）を有する溝部１０３の溝幅を精度良く測定する必要がある。
【０００３】
従来、スロットダイ１００の溝部１０３の溝幅測定では、例えば図８に示すように、隙間ゲージ１０５を用いて測定する方法や、被測定対象物の上方に配置したＣＣＤカメラ等の撮像装置により被測定対象物のエッジ部１０３ａを撮像して、この撮像により得られた画像からエッジ部１０３ａの位置を検出する非接触式の検出装置が知られている。（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２０００−３０４５１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、このように溝部１０３のエッジ部１０３ａにテーパゲージ１０５等の測定器を接触させる接触式の測定方法では、測定器やエッジ部１０３ａに摩耗や損傷等が生じる虞があると共に、溝部１０３の長さが相対的に長い場合には、溝幅の検出精度を向上させるために、この長さ方向における測定位置の設定数を増大させる必要があるため、測定に要する煩雑な手間が嵩むという問題があった。また、例えば、ＣＣＤカメラ等の撮像機器を溝部１０３の伸びる方向に対して相対的に移動させ、被測定対象物の溝部１０３のエッジ部１０３ａを上方から撮像して、検出装置によってスロットダイ等の溝部１０３の溝幅を測定する場合には、この相対移動に係る運動誤差が含まれており、特に撮像方向における撮像装置と被測定対象物との相対位置が変化すると、焦点が変動し、撮像により得られる画像がぼやける場合がある。その結果、得られた画像の画像処理によって検出される溝幅の誤差が増大したり、検出される溝幅が実際の溝幅と異なる虞があった。
【０００５】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、スロットダイの溝幅、真直性等、スロットダイの長手方向の位置に伴い変化する特性を容易かつ精度良く測定することが可能なスロットダイ測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、該定盤に設けられた一方向に延在するガイドレールと、該ガイドレール上において走行自在に設けられたスライダと、該スライダに設けられたコラムとを備え、前記定盤上に一方向に延在する溝部１０３を有するスロットダイを前記ガイドレールの延長する方向に沿って設置し、前記コラム及びスライダを前記スロットダイに沿って移動させ、前記コラムに搭載した測定器により前記スロットダイの溝幅、真直性等、スロットダイの長手方向の位置に伴い変化する特性を測定するスロットダイ測定装置において、前記定盤、コラム、ガイドレール、スライダが、鉄よりも熱膨張率が低い低膨張材料より形成され、前記スライダ、ガイドレールのいずれか一方又は双方に該ガイドレールに対して該スライダを摺動可能に浮上させる非接触摺動手段が設けられ、前記コラム及びスライダを前記ガイドレール上で移動させる移動手段が設けられていることを特徴とする。
【０００７】
請求項１に係る発明によれば、定盤上にガイドレールが設けられ、そのガイドレール上にスライダ及びコラムが設けられているため、コラムに設けられた測定機器はガイドレールに沿ってスムースに安定して走行する。従って、ガイドレールと同方向に延在するスロットダイの溝幅や真直性等、スロットダイの長手方向の位置に伴い変化する特性の測定精度が高い。
また、定盤、コラム、ガイドレール、スライダが、低膨張材料より形成されているので、定盤面に温度ばらつきがある場合であっても熱膨張による伸縮や変形が、鉄等の金属で製作された定盤を使用する場合に比較して、小さく測定することができる。低膨張材料としては、火成岩、例えば石英、雲母、長石から構成される花崗岩の場合、熱膨張率が鉄の約２分の１、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム等のセラミックスにおいては、鉄の約３分の１から４分の１と小さく好適である。
【０００８】
また、ガイドレールに対してスライダを摺動可能に浮上させる非接触摺動手段が設けられているので、安定した走行が可能であり、摺動による摩耗も生じない。浮上手段としては、エアパッドによる浮上、油圧の静圧浮上が好適である。
また、スライダがガイドレール上で浮上状態にて駆動されるので、測定機器を安定して移動することができる。また、駆動に際しては、振動が小さい点でリニアモーター等が好適である。
【０００９】
請求項２に係る発明は、請求項１記載のスロットダイ測定装置において、前記非接触摺動手段は、前記定盤上に設けられた断面略Ｔ字型の前記ガイドレールと、前記ガイドレール上部の水平方向に張り出した頭部の上下左右側の面を囲むように形成された前記スライダと、前記スライダに、これらスライダとガイドレールとの互いに上下に対向する壁面間及び互いに左右に対向する壁面間に設けられたエアパッドとを備えてなることを特徴とする。
【００１０】
請求項２に係る発明によれば、ガイドレールがＴ字型に形成され、スライダがガイドレール上部の水平方向に張り出した頭部を上下左右側の面を囲むように形成されているので、ガイドレールの剛性が高く、振動も発生し難く、スライダの移動がスムースである。また、スライダとガイドレールの対向する壁面間にエアパッドが設けられ、加圧エアでスライダが浮上した状態となっているので走行がスムースで、また摩耗が生じない。
【００１１】
請求項３に係る発明は、請求項1又は請求項２記載のスロットダイ測定装置において、前記コラム及びスライダの移動手段は、前記ガイドレールと前記スライダに設けられたリニアモーターであることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る発明によれば、コラム及びスライダが、ガイドレールとスライダに設けられたリニアモーターにより移動するため、振動が小さく、熱膨張の影響や変形等の小さい定盤、ガイドレールとあいまって長い区間を精度よく測定できる。
【発明の効果】
【００１３】
この発明に係るスロットダイ測定装置によれば、測定装置の摺動部分に摩耗が発生せず、振動のないスムースな動作が得られるので、長手方向の寸法が大きいスロットダイの溝幅、真直性等、スロットダイの長手方向の位置に伴い変化する特性を容易に精度よく測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明のスロットダイ測定装置の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
図１は、この発明の一実施形態に係るスロットダイの測定状態を示す斜視図であり、図２は、スロットダイ測定装置の正面図、図３は側面図、図４は平面図である。
これらの図において、符号１０はスロットダイ測定装置を示す。
スロットダイ測定装置１０は、定盤１２と、ガイドレール１４と、スライダ１６と、コラム１８とを備えており、定盤１２、ガイドレール１４、スライダ１６、コラム１８は、それぞれ花崗岩（石英、長石、雲母からなる火成岩、低膨張材料）を材料として削り出して形成されている。
【００１５】
定盤１２は、全長３３００ｍｍ、巾９２０ｍｍ、高さ約６００ｍｍの花崗岩（低膨張材料）を材料として断面視してＬ字型に形成されており、その底面から約６００ｍｍの高さに位置し測定用テーブルとされる巾３２０ｍｍの第１のテーブル面と、底面から３００ｍｍの高さに位置する巾６００ｍｍの第２のテーブル面を備えている。
また、定盤１２のＬ字型を形成する相対する面及び端面はそれぞれ平行に形成され、各平面は表面が鏡面仕上げされている。特に、第１のテーブル面上の被測定物を載置する２４００ｍｍ×２１０ｍｍの範囲は、平面度３μｍ以下に仕上げられている。
ガイドレール１４は、花崗岩（低膨張材料）を材料として断面視してＴ字型に形成され、定盤１２の第２のテーブル面１２ｂ上に定盤１２の全長に亘って延在し、図示しないボルトによって取り付けられている。
【００１６】
スライダ１６は、Ｔ字型のガイドレール１４の水平方向に張り出した頭部の頂面と対向する天板１６ａと、頭部の下側及び左側の面に対向するようにＬ字型に形成された第１のスライド部１６ｂと、頭部の下側及び右側の面に対向するようにＬ字型に形成された第２のスライド部１６ｃとを備えており、図３に示すように、第１のスライド部１６ｂと第２のスライド部１６ｃが底面に位置する水平に張り出した部分を対向させるとともに、第１のスライド部１６ｂと第２のスライド部１６ｃの上面に天板１６ａが図示しないボルトで固定され、Ｔ字型ガイドレール１４の脚部を除いた頭部の上下左右側の面を囲むように配置されている。
【００１７】
図５は、スライダ１６に設けられたエアパッドの配置を示したものであり、スライダ１６には、ガイドレール１４に対向する面にエアパッド６１〜６９が設けられ、エアパッド６１〜６９は中央の空気孔から加圧エアが放出されるようになっており、スライダ１６をガイドレール１４上に浮上可能としている。
図５に示すように、ガイドレール１４の頂面と、左右の面と、下側の面とに、それぞれ３個のエアパッドが配置され、頂面においてはコラム１８が配置される側に２個（エアパッド６１、６２）、その反対側に１個（エアパッド６３）、下側の面においては、頂面で２個配置されたコラム１８が配置された側に１個（エアパッド６７）、その反対側に２個（エアパッド６８、６９）、左右の側面においてはコラム１８が配置される側の面に２個（エアパッド６４、６５）、反対側の面に１個（エアパッド６６）が配置され、コラム１８の荷重によりスライダ１６に生じたモーメントを打ち消すようになっている。
【００１８】
また、スライダ１６の下面にはリニアモーター（移動手段）２９の移動側ユニット（図示せず）が設けられ、ガイドレール１４の上面には溝部が設けられるとともにリニアモーター２９の固定側ユニットが配置され、コラム１８は、２点鎖線の位置１８´までの間で移動できるようになっている。また、天板１６ａの上面は平滑に形成されるとともにコラム１８が配置され、コラム１８にはＣＣＤカメラ等の測定機器３０を載置するとともに、必要に応じて測定機器の位置が調整可能な測定機器取り付け機構２７が設けられている。
スロットダイ測定装置１０には、図示しないリニアスケールが設けられ、スロットダイ測定装置１０の長手方向におけるスライダ１６及びコラム１８の位置信号を出力し、図７で後述する制御部３５によりリニアモーター２９が駆動制御されるようになっている。
【００１９】
非接触摺動手段は、定盤１２上に設けられた断面略Ｔ字型のガイドレール１４と、Ｔ字型ガイドレール１４上部の水平方向に位置する頭部の上下左右側の面を囲むように形成されたスライダ１６と、これらスライダ１６とガイドレール１４の互いに上下に対向する壁面間及び互いに左右に対向する壁面間に加圧エアを放出するためのエアパッド６１〜６９（非接触摺動手段）がスライダ１６に設けられている。
その結果、スライダ１６とガイドレール１４との間には、エアパッド６１〜６９から加圧エアが放出され、スライダ１６がガイドレール１４に対して浮上した状態にて載置されているので、摺動摩擦がなく安定して走行できるようになっている。
エアパッドとは、所定の厚さに形成された樹脂製の平板であって、略中央に加圧エアを放出するための空気孔が設けられ、空気孔から加圧エアを放出することで対向する壁部との間に空気層を作り、エアパッドと壁部が直接接触するのを防止するものである。
【００２０】
図６に示したのは、非接触摺動手段を制御するためのエア制御回路である。
このエア制御回路５０は、エア元バルブ５１と、エアフィルタ５２と、ルブリケータ−５３と、第１の減圧弁５４と、圧力スイッチ５７と、レシーバタンク５８とを備えており、エア制御回路５０は第１の減圧弁でライン圧力が０．４５ＭＰａに調整されるとともに、エア制御回路５０は末端で分岐され、分岐された側の回路は第２の減圧弁５９が設けられるとともに第２の減圧弁５９でそれより下流の圧力を０．１５ＭＰａまで減圧されている。そして、０．４５ＭＰａの経路の末端には７個のエアパッド６１〜６７が設けられており、０．１５ＭＰａの経路の末端には、２個のエアパッド６８、６９が設けられている。
この２個のエアパッド６８、６９は、コラム１８がない側の下側の面に配置されている。
【００２１】
図７は、スロットダイ測定装置１０とデータを処理するためのデータ処理部から構成されるスロットダイ測定システム１である。スロットダイ測定システム１は、スロットダイ測定装置１０と、ＣＣＤカメラ等の測定機器３０と、測定機器３０から出力される画像データを処理する画像処理装置４０と、制御部３５と、制御部３５により制御されスロットダイ１００と測定機器３０とを相対移動させる駆動部１５とを備えている。この図において、符号ｈは溝幅を示している。
【００２２】
ＣＣＤカメラ等をなす測定機器３０は、ダイヘッド１０１の塗布表面１０１Ａの上方の位置、つまり高さ方向にテーブル１２ａの表面上から所定の距離だけ離間した位置において、ダイヘッド１０１の溝部１０３を含む塗布表面１０１Ａを上方から撮像し、撮像により得られた画像データを画像処理装置４０へ出力するようになっている。
画像処理装置４０は、例えば、画像データ取得部４１と、二値化処理部４２と、境界部検出部４３と、溝幅算出部４４と、高さ方向距離変更部４５と、二値化閾値変更部４６と、位相差法処理部４７とを備えている。
【００２３】
次に、このスロットダイ測定装置１０を用いてスロットダイ１００の開口部の溝部１０３の溝幅の距離を、測定機器３０として、例えばＣＣＤカメラを用いて測定する場合の作用について説明する。
まず、スロットダイ１００の溝部１０３を上側にして、測定用の固定具により第１のテーブル上にスロットダイ１００を固定する。
ＣＣＤカメラを、ダイヘッド１０１の塗布表面１０１Ａの上方の位置にテーブル１２ａの表面から所定の距離だけ離間した位置に配置され、測定機器３０の焦点を溝部１０３が測定できる位置に調整する。
【００２４】
次いで、エア制御回路５０のエア元バルブ５１を「開」にして、エアパッド６１〜６７から０．４５ＭＰａの加圧エアが放出され、エアパッド６８、６９から０．１５ＭＰａの加圧エアが放出する。エアパッド６１〜６９から加圧エアが放出されることにより、コラム１８の重量でスライダ１６に生じたモーメントを打ち消すように、スライダ１６にモーメントがかかりスライダ１８を略水平に維持される。
続いて、リニアモーター２９を作動させて、測定機器３０をスライダ１６及びコラム１８とともに定盤１２の長手方向に移動する。
また、定盤１２の長手方向の位置に応じた測定機器３０の位置情報は、図示しないリニアスケールから制御部３５に入力されるとともに、測定機器３０からの画像データ情報を、画像データ取得部４１に出力する。
【００２５】
画像データ取得部４１は、測定機器３０から出力される画像データを取得し、記憶部（図示略）に格納する。
二値化処理部４２は、記憶部に格納された画像データを読み込み、二値化閾値に基づいて二値化処理を行い、相対的に輝度値が小さい溝部１０３と、光が反射されることで相対的に輝度値が大きくなる塗布表面１０１Ａとの境界位置が設定される。
境界部検出部４３は、二値化処理後の画像データ上において境界位置を抽出し、境界位置に対して最小二乗法を用いた直線近似を行い、溝部１０３と塗布表面１０１Ａとの間の２つの境界部を検出し、溝幅算出部４４へ出力する。
【００２６】
溝幅算出部４４は、直線近似された２つの境界部間の距離を算出し溝幅として高さ方向距離変更部４５および二値化閾値変更部４６および位相差法処理部４７へ出力する。
高さ方向距離変更部４５は、例えば二値化閾値設定処理等において、測定機器３０とダイヘッド１０１の塗布表面１０１Ａとの間の高さ方向距離に応じた溝幅の変化に基づき、高さ方向距離の変更を指示する高さ方向距離指令値を制御部３５へ出力する。
二値化閾値変更部４６は、例えば二値化閾値設定処理等において、二値化処理部４２での二値化処理において参照される二値化閾値を変更する。
【００２７】
制御部３５は、測定機器３０および駆動部１５の動作を制御しており、例えば二値化閾値設定処理等においては、画像処理装置４０から入力される高さ方向距離指令値に基づき、スロットダイ１００が載置されるテーブル２４を高さ方向に変位させることで、測定機器３０とダイヘッド１０１の塗布表面１０１Ａとの間の高さ方向距離を変更する。そして、変位後における高さ方向距離の情報を画像処理装置４０の二値化閾値変更部４６へ出力する。
また、制御部３５は、例えば図７に示すように、スロットダイ１００に対して測定機器３０が載置されるコラム１８を駆動部１５により長手方向に移動させることで、測定機器３０がスロットダイ１００の溝部１０３を長さ方向に走査するように設定する。
すなわち、この走査時には溝部１０３の長手方向の撮像を行うように測定機器３０を制御し、撮像により得られる画像データを画像処理装置４０へ出力させる。そして、移動後あるいは移動中の所定時点における測定機器３０の走行方向の変位（走行方向距離）の情報を画像処理装置４０の位相差法処理部４７へ出力する。
【００２８】
また、制御部３５は、例えば位相差法による検出処理においては、先ず、第１回目の測定時において、測定機器３０と溝部１０３を走行方向における所定相対位置に設定し、この所定相対位置から溝部１０３を駆動部１５により走行方向に移動させると共に、測定機器３０により溝部１０３を撮像させ、撮像により得られた画像データを画像処理装置４０へ出力させる。
次に、第２回目の測定時において、測定機器３０と溝部１０３を走行方向における所定相対位置から走行方向に所定距離だけ変位した相対位置に設定し、この相対位置から溝部１０３を駆動部１５により走行方向に移動させると共に、測定機器３０により溝部１０３を撮像させ、撮像により得られた画像データを画像処理装置４０へ出力させる。      
【００２９】
この実施の形態のスロットダイ測定装置１０によれば、定盤１２、ガイドレール１４、スライダ１６、コラム１８等の主要部材が、石英、雲母、長石からなる花崗岩（低膨張材料）により形成されており、その熱膨張係数は常温で約５０×１０−７℃―１と、鉄の熱膨張係数の約２分の１と小さく、スロットダイ測定装置１０の温度分布による膨張の影響を抑制することができる。
また、これら主要部材が花崗岩により製作され化学的に安定であるため、スロットダイ１００にアルカリ性又は酸性の液が残留していた場合であっても、スロットダイ測定装置１０が化学反応によって腐食又は錆びたりすることがなく、長期間に亘って高い精度を維持することができる。
【００３０】
また、モース硬度が約５．５と、金属（チタン  ４．０、鉄  ４．５）と比較して硬いため、傷がつきにくく測定面の精度を維持し易いうえ、物が落下したような場合も変形が凸方向に形成されず凹方向となるので測定誤差が生じ難い。
また、定盤の断面形状をＬ字型に構成し、スライダ１６及びガイドレール１４が測定用テーブル１２ａよりも低く位置しているため、コラム１８の小型化および剛性アップを図り、移動中の振動、ブレを抑制できる。
また、スライダ１６及びコラム１８は、リニアモーター２９により移動するため、振動がなく真直度３μｍ以下の安定した走行をすることができる。また、測定時の速度を０．０１ｍｍ／分から３６００ｍｍ／分まで自在に選択可能であり、重点的に測定するべき部分だけを微速度で駆動することもできる。また、早送り時の速度を、５０００ｍｍ／分まで早くすることも可能であり、その場合でも、振動等を生じることがない。
【００３１】
ガイドレール１４はその断面がＴ字型とされているので、剛性が高く、またスライダ１６と浮上手段によって非接触とされているので、スライダ１６の作動に関して振動がなくスムースにコラム１８の移動をすることができ、また、それぞれの部材が摺動により摩耗することがない。また、Ｖ−Ｖ、Ｖ−Ｈ型のガイドに比較して、調整が容易でかつ摩耗による精度への影響を小さくすることができる。
【００３２】
スロットダイ測定システム１によれば、スロットダイ測定装置１０の温度分布等にともなう誤差や測定にともなう振動がほとんど発生することがなく、さらに、測定機器３０と、スロットダイ溝部１０３との相対移動に係る誤差が、いわゆる位相差法によって
相殺され、相対運動に係る誤差を補正した後の複数の溝幅ｈを算出することができる。
【００３３】
なお、上記実施の形態においては、低膨張材料として花崗岩を使用した場合について説明したが、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウムを用いてもよい。この場合は、熱膨張率は鉄の約３分の１から４分の１と小さくなり、さらに好適である。
また、上記の実施形態において、定盤１２の周囲に温度管理した液体を流すことによって、定盤の温度を一定に保つようにしてもよい。
また、上記実施の形態においては、スライダ１６の非接触摺動手段としてエアパッド６１〜６９による浮上について説明したが、油圧の静圧による方法や磁気浮上によって浮上させてもよい。また、上記実施の形態において、スライダ１６がガイドレール１４に沿って移動する駆動源として、リニアモーター２９を採用した場合について説明したが、油圧シリンダーをはじめとする油圧アクチュエータ、ボールネジ等に防振機構を取り付けてスライダ１６を移動させてもよい。
また、上記実施の形態においては、スロットダイ測定装置１０を溝幅ｈの測定に用いる場合について説明したが、スロットダイの真直性、溝部の溝面形状等の測定に用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係るスロットダイ測定装置の一実施形態を示す斜視図である。
【図２】本発明に係るスロットダイ測定装置の一実施形態を示す正面図である。
【図３】本発明に係るスロットダイ測定装置の一実施形態を示す側面図である。
【図４】本発明に係るスロットダイ測定装置の一実施形態を示す平面図である。
【図５】本発明に係るスライダの浮上手段を構成する一実施形態を示す斜視図である。
【図６】本発明に係るスライダの浮上手段を構成する一実施形態を示すエア回路図である。
【図７】本発明のスロットダイ測定装置の一実施形態に係るスロットダイ溝幅測定システムの構成図である。
【図８】従来技術の一例によるスロットダイの溝部の溝幅測定におけるスロットダイと隙間ゲージとの配置状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０  スロットダイ測定装置
１２  定盤
１４  ガイドレール
１６  スライダ
１８  コラム
２９    リニアモーター（移動手段）
６１〜６９  エアパッド
ｈ  溝幅
【図１】
2005221305.tif 000003
【図２】
2005221305.tif 000004
【図３】
2005221305.tif 000005
【図４】
2005221305.tif 000006
【図５】
2005221305.tif 000007
【図６】
2005221305.tif 000008
【図７】
2005221305.tif 000009
【図８】
2005221305.tif 000010