(57)【要約】      （修正有）【課題】光位置検出器によりボートの位置とウエハ移載機の位置を自動調整できるティーチング方法を提供する。【解決手段】ボートへのウエハ移載機n枚歯において、各歯に対して水平になるよう歯の上位置（ウエハが載る位置）に光線源を設置する。ボート側には光位置検出器を設置し、移載機の歯がボートの溝に収まった際光線源から照射された光から位置、角度を光位置検出器で検出し、 ウエハをロードさせずに移載ポジションの自動調整を可能にする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハ移載機に設けられたウエハを載置・移動する複数の歯に対して水平位置に、かつ前記各歯の上側のウエハが移載される高さ位置に光線源を設け、前記ウエハをキャリアからボートへ移動するウエハ移載機を有することを特徴とする半導体縦型炉装置のウエハ移載ポジション自動調整装置。
【請求項２】
各歯毎に左右中央等間隔に３箇所に光線源を有する請求項1記載のウエハ移載ポジション自動調整装置。
【請求項３】
移載機の各歯がボートの溝に収まった際、各歯の左右中央３箇所に設けられた光線源からの照射光を検出するために光位置検出器を有する請求項２記載のするウエハ移載ポジション自動調整装置。
【請求項４】
請求項３の光位置検出器において、光線源に対してボートを介した背面位置に、かつボートに対して垂直位置に設けられた光位置検出器を有する請求項３記載のウエハ移載ポジション自動調整装置。
【請求項５】
光位置検出器で検出した光線源からの照射光位置角度から、ボートの設置位置やウエハ移載機の各歯の前後軸上下軸および旋回軸が自動調整できる請求項４記載のウエハ移載ポジション自動調整装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体縦型炉装置内へのウエハローディング方法に関するものである。特に、炉装置内にボートの取付けた後における、ウエハ搬送チェックおよび移載ポジション調整作業に間する。即ち、ウエハ・ロードさせずに移載ポジションが自動的に調整できるティーチング方法（作業）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体縦型炉装置における各自動機部位とその動作を図７に示した。図示しないキャリア内にあるウエハは、XYZ軸と回転可能なウエハ移載機７のウエハ移載歯２の上に載せられてボート３に設けられた各溝に順々に移載される。ボート３へのウエハ移載後は、ボートエレベータキャップ４の上下動作によって、ボート３を上部に設置した保温筒カバー５は、反応炉６内の所定位置に入る。
【０００３】
前記の動作を実行するのに必要となる、半導体縦型炉装置におけるローディング治具取付け後の従来のウエハ搬送位置チェック、そしてそのチェックにより所定の位置にウエハを載置するために、ウエハ移載機７の動作を教えるティーチング方法においては、ウエハをロードしてウエハ移載機７でボート３にウエハを移載することでボート３へのウエハ移載ポジション調整をチェックし、オペレータがマニュアル操作にてティーチングを行っている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平１０ −２９４３５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の半導体縦型炉装置におけるウエハ搬送チェックおよびティーチング方法では、ボートへのウエハ移載ポジションが定位置でない場合、オペレータによるマニュアル操作にてボートの各位置における移載ポジションを調整し、再度ウエハをボートに移載してウエハ移載ポジションが定位置になるまで繰り返しティーチングを行わなければならない。また、従来の方法は煩雑であるために移載ポジションの調整に時間を費やしてしまったり、移載機の歯やウエハを割ったり傷つけたり等という問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明における半導体縦型炉装置ティーチング自動調整方法においては、ウエハ移載機に設けられた各歯に対して水平位置に、かつ歯の上側のウエハが移載される高さ位置に光線源を設けたウエハ移載機を有することを特徴とする。また本発明においては、前記ウエハ移載機の各歯毎に左右中央3箇所の光線源を有し、移載機の各歯がボートの溝に収まった際、各歯の左右中央の3箇所に等間隔に設けられた光線源からの照射光を検出するために、光線源に対してボートを介した背面位置かつボートに対して垂直位置に光位置検出器を設けることを特徴とするウエハ移載ポジション自動調整方法である。
【０００６】
さらに本発明においては、前記の光位置検出器で検出した光線源の照射光における位置角度から、ボートの設置位置やウエハ移載機の各歯の前後軸上下軸および旋回軸が自動調整できることを特徴とするウエハ移載ポジション自動調整方法である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、以上説明したように、ウエハ移載機の各歯に設けられた光線源における光位置検出器への照射光位置角度から、ウエハを実際にロードさせずに移載ポジションの自動調整、すなわち自動ティーチング操作が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
発明を実施するための最良の形態を以下の実施例を用いて説明する。
【実施例】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。
【００１０】
図１は本発明における半導体縦型炉装置ティーチング自動調整方法において、光線源を設けたウエハ移載機１とボート３を介してボート３の背面側かつボートに垂直位置に光位置検出器８を設けた半導体縦型炉装置の自動機部位とその動作を示した図である。ウエハをロードさせずにウエハ移載歯２がボート３の溝に収まった際、ウエハ移載歯２の各々の歯の上部について左右中央の等間隔に設けられた３つの光線源からの照射光を、光線源に対してボートを介した背面側かつボートに垂直に設置された光位置検出器で検出し、検出した照射光の位置角度から、ボートの設置位置１５やウエハ移載機の各歯の前後軸１６上下軸１７および旋回軸１８を自動的に調整するウエハ移載ポジション自動調整方法である。
【００１１】
図１における光線源を設けたウエハ移載機１の特徴を図２に示した。図２は、本発明においてウエハ移載機１の各ウエハ移載歯２について左右中央等間隔に３箇所ずつ、かつ各々の歯２に対して水平に光線源９を有するウエハ移載機１を示した図である。本発明におけるウエハ移載機１に設けられた光線源９は、各ウエハ移載歯２毎に左右中央の等間隔に3箇所ずつ有し、各歯に対して水平位置に、かつ歯の上側のウエハが移載される高さ位置に設置されている。光線源９を有するウエハ移載機１の各ウエハ移載歯２がボート３の溝に収まった際、各ウエハ移載歯２の左右中央3箇所に設けられた光線源９から光を照射し、照射された光１０は図１で示した光位置検出器８で検出される。
【００１２】
図１における光位置検出器８は、光線源９に対してボート３を介した背面位置に、かつボート３に対して垂直位置に設けられている。図３は、光位置検出器８において、光線源９からの照射光１０を検出する光位置検出面１１を示した図である。各光位置検出面１１の縦幅２１はボート３の溝幅に合うよう設計されているものとする。また、ボート３の溝と溝の間隔、すなわちボート３へのウエハ移載位置に光位置検出面１１を位置調整するために、マーキング１３を光位置検出器８の背面側１９に有するものとする。
【００１３】
図４に、光位置検出面１１と同じ幅にマーキング１３された光位置検出器８の背面側１９を示す。光位置検出面１１と同じ幅にマーキング１３することで、ボート３の溝の間に光位置検出面１１を確実に設置でき、各ウエハ移載歯２がボート３の溝に収まった際に光線源９から照射される光１０を光位置検出面１１で検出できる。また、光位置検出器８の背面側１９に伸縮自在なアーム１２を設けることで、光位置検出器８をボート３における溝の各位置に自在に調整、合わせることが可能となる。
【００１４】
図５は、ウエハ移載機１における各ウエハ移載歯２がボート３の溝に収まった際、各歯の左右中央の3箇所に等間隔に設けられた光線源９から光を照射し、光線源からの照射光１０を前記の光位置検出面１１で検出する動作を表している。光位置検出面１１上に照射された光１０は光スポット１４として検出され、図５の光位置検出面１１上において、各ウエハ移載歯２に設けられた光線源９からの照射光位置、すなわち照射光スポット１４の状態を図６に示した。
【００１５】
光位置検出面１１上における光スポット１４の位置角度から、装置自体がボートの設置位置やウエハ移載機の各歯の前後軸上下軸および旋回軸を自動調整、すなわちティーチング作業を自動調整する。
例として、図６(a)では、各ウエハ移載歯２における最上歯は、３箇所に等間隔に設けられた光線源９からの光スポット１４が３スポットともx-y-z軸２０とも平行かつ垂直であるのでティーチングの必要はない。一方、図６(b)の中央歯からの３つの光スポット１４の内、左側の光スポットがx軸方向にずれている。光位置検出器８の光スポット１４位置のずれをデータと装置が取りこみ、調節機能を装置に組み込むことで、どの程度歯の上下軸を調整すれば良いのかを装置が自動的に行うことが可能とある。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例の概略斜視図である。
【図２】本発明のウエハ移載機部の斜視図である。
【図３】本発明の光位置検出器の斜視図図である。
【図４】図３の光位置検出器に於ける背面の平面図である。
【図５】本発明のウエハ移載機部の動作を示す斜視図である。
【図６】図３の光位置検出器に於ける背面の平面図である。
【図７】従来例の斜視図である。
【符号の説明】
【００１７】
１  光線源を設けたウエハ移載機
２  ウエハ移載歯
３  ボート
４  ボートエレベータキャップ
５  保温筒カバー
６  反応炉
７  従来のウエハ移載機
８  光位置検出器
９  光線源
１０  光線源からの照射光
１１  光位置検出器
１２  伸縮自在なアーム部位
１３  マーキング
１４  照射光スポット
１５  ボート設置位置
１６  前後軸
１７  上下軸
１８  旋回軸
１９  光位置検出器背面側
２０  x-y-z軸
２１  縦方向軸
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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