(57)【要約】【課題】  複数の信号線間におけるクロストークを抑制して安定した磁気情報の書込および読出を可能とするトレースサスペンションアセンブリを提供する。【解決手段】  ＴＳＡ１は、一端部がスライダ１０とそれぞれ接続され、かつ、互いに交差すると共に他端部と接続されたプリアンプ回路６０によって制御される第１および第２の読出線３６０，３７０と、一端部がスライダ１０とそれぞれ接続されて第１および第２の読出線３６０，３７０に沿って延在すると共に他端部と接続されたプリアンプ回路６０によって制御される第１および第２の書込線３４０，３５０とをサスペンション２０上に備える。これにより、第１および第２の書込線３４０，３５０と第１および第２の読出線３６０，３７０との間に生じる静電容量Ｅ１〜Ｅ４と静電容量Ｄ１〜Ｄ４とを互いにキャンセルさせ、全体としてクロストークを抑制することができる。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気記録媒体への情報書込および前記磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダが一端に設けられたサスペンションと、
一端部が前記スライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続され、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するように前記サスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された外部のプリアンプ回路によって制御される一対の書込線と、
一端部が前記スライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続されて前記一対の書込線に沿って延在するように前記サスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された前記プリアンプ回路によって制御される一対の読出線と
を備えたことを特徴とするトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項２】
前記一対の書込線は、前記プリアンプ回路と前記スライダの磁気ヘッドとの中間位置において互いに交差している
ことを特徴とする請求項１に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項３】
前記一対の書込線は、互いに交差する部分において、一方が絶縁層を介して他方とは異なる階層に配置された金属層を含むように構成されている
ことを特徴とする請求項１に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項４】
前記一対の書込線は、前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークおよび電磁放射線（ＥＭＥ）の時間遅延成分を相殺するように、複数の箇所において互いに交差している
ことを特徴とする請求項１に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項５】
前記一対の書込線は、前記一対の読出線との間に寄生容量を有している
ことを特徴とする請求項１に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項６】
前記寄生容量は、前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークを除去するように機能する
ことを特徴とする請求項５に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項７】
磁気記録媒体への情報書込および前記磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダが一端に設けられたサスペンションと、
一端部が前記スライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続され、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するように前記サスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された外部のプリアンプ回路によって制御される一対の読出線と、
一端部が前記スライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続されて前記一対の読出線に沿って延在するように前記サスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された前記プリアンプ回路によって制御される一対の書込線と
を備えたことを特徴とするトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項８】
前記一対の読出線は、前記プリアンプ回路と前記スライダの磁気ヘッドとの中間位置にいて互いに交差している
ことを特徴とする請求項７に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項９】
前記一対の読出線は、互いに交差する部分において、一方が絶縁層を介して他方とは異なる階層に配置された金属層を含むように構成されている
ことを特徴とする請求項７に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項１０】
前記一対の読出線は、前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークおよび電磁放射線（ＥＭＥ）の時間遅延成分を相殺するように、複数の箇所において互いに交差している
ことを特徴とする請求項７に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項１１】
前記一対の読出線は、前記一対の書込線との間に寄生容量を有している
ことを特徴とする請求項７に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項１２】
前記寄生容量は、前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークを除去するように機能する
ことを特徴とする請求項１１に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項１３】
磁気記録媒体への情報書込および前記磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダが一端に設けられたサスペンションと、
一端部が前記スライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続され、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するように前記サスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された外部のプリアンプ回路によって制御される一対の読出線と、
一端部が前記スライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続されて前記一対の読出線に沿って延在し、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するように前記サスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された前記プリアンプ回路によって制御される一対の書込線と
を備えたことを特徴とするトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項１４】
前記一対の書込線および一対の読出線は、それぞれ、前記プリアンプ回路と前記スライダの磁気ヘッドとの中間位置に互いの交差点を有している
ことを特徴とする請求項１３に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項１５】
前記一対の読出線および一対の書込線は、それぞれ、互いに交差する部分において、一方が絶縁層を介して他方とは異なる階層に配置された金属層を含むように構成されている
ことを特徴とする請求項１３に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項１６】
前記一対の読出線および一対の書込線は、それぞれ、前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークおよび電磁放射線（ＥＭＥ）の時間遅延成分を相殺するように、複数の箇所において互いに交差している
ことを特徴とする請求項１３に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項１７】
前記一対の読出線および一対の書込線は、相互間において寄生容量を有している
ことを特徴とする請求項１３に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項１８】
前記寄生容量は、前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークを除去するように機能する
ことを特徴とする請求項１７に記載のトレースサスペンションアセンブリ。
【請求項１９】
サスペンション上の一端に、磁気記録媒体への情報書込および前記磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダを形成する工程と、
読出電流が供給される一対の読出線を、それぞれの一端部が前記磁気ヘッドと連結するように前記サスペンション上に形成する工程と、
書込電流が供給される一対の書込線を、それぞれの一端部が前記磁気ヘッドと連結して前記一対の読出線に沿って延在すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するように前記サスペンション上に形成する工程と
を含むことを特徴とするトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項２０】
前記磁気ヘッドと連結された一端部と、この一端部と反対の他端部との中間位置において互いに交差するように前記一対の書込線を形成する
ことを特徴とする請求項１９に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項２１】
互いに交差する部分においては、絶縁層を介して互いに異なる階層に金属層を配置することにより前記一対の書込線を形成する
ことを特徴とする請求項１９に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項２２】
前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークおよび電磁放射線（ＥＭＥ）の時間遅延成分を相殺するように、前記一対の書込線を複数の箇所において互いに交差させる
ことを特徴とする請求項１９に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項２３】
前記一対の読出線との間に寄生容量を有するように前記一対の書込線を形成する
ことを特徴とする請求項１９に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項２４】
前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークを除去可能な程度の前記寄生容量となるように前記一対の書込線を形成する
ことを特徴とする請求項２３に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項２５】
サスペンション上の一端に、磁気記録媒体への情報書込および前記磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダを形成する工程と、
読出電流が供給される一対の読出線を、それぞれの一端部が前記磁気ヘッドと連結すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するように前記サスペンション上に形成する工程と、
書込電流が供給される一対の書込線を、それぞれの一端部が前記磁気ヘッドと連結して前記一対の読出線に沿って延在するように前記サスペンション上に形成する工程と
を含むことを特徴とするトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項２６】
前記磁気ヘッドと連結された一端部と、この一端部と反対の他端部との中間位置において互いに交差するように前記一対の読出線を形成する
ことを特徴とする請求項２５に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項２７】
互いに交差する部分においては、絶縁層を介して互いに異なる階層に金属層を配置することにより前記一対の読出線を形成する
ことを特徴とする請求項２５に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項２８】
前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークおよび電磁放射線（ＥＭＥ）の時間遅延成分を相殺するように、前記一対の読出線を複数の箇所において互いに交差させる
ことを特徴とする請求項２５に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項２９】
前記一対の書込線との間に寄生容量を有するように前記一対の読出線を形成する
ことを特徴とする請求項２５に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項３０】
前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークを除去可能な程度の前記寄生容量となるように前記一対の読出線を形成する
ことを特徴とする請求項２９に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項３１】
サスペンション上の一端に、磁気記録媒体への情報書込および前記磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダを形成する工程と、
読出電流が供給される一対の読出線を、それぞれの一端部が前記磁気ヘッドと連結すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するように前記サスペンション上に形成する工程と、
書込電流が供給される一対の書込線を、それぞれの一端部が前記磁気ヘッドと連結して前記一対の読出線に沿って延在すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するように前記サスペンション上に形成する工程と
を含むことを特徴とするトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項３２】
前記磁気ヘッドと連結された一端部と、この一端部と反対の他端部との中間位置において互いに交差するように前記一対の読出線および一対の書込線をそれぞれ形成する
ことを特徴とする請求項３１に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項３３】
互いに交差する部分においては、絶縁層を介して互いに異なる階層に金属層を配置することにより前記一対の読出線および一対の書込線をそれぞれ形成する
ことを特徴とする請求項３１に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項３４】
前記一対の書込線および一対の読出線の相互間に生ずるクロストークおよび電磁放射線（ＥＭＥ）の時間遅延成分を相殺するように、前記一対の読出線および一対の書込線をそれぞれ複数の箇所において互いに交差させる
ことを特徴とする請求項３１に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項３５】
相互間において寄生容量を有するように前記一対の読出線および一対の書込線を形成する
ことを特徴とする請求項３１に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【請求項３６】
相互間に生ずるクロストークを除去可能な程度の前記寄生容量となるように前記一対の読出線および一対の書込線を形成する
ことを特徴とする請求項３５に記載のトレースサスペンションアセンブリの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の信号線を有するトレースサスペンションアセンブリおよびその製造方法に関する。本発明のトレースサスペンションアセンブリは、例えば、磁気ディスク装置に搭載され、磁気ディスクへの情報記録および磁気ディスクからの情報読出を行う際に用いられるものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、磁気情報（以下、単に情報という）が格納される記録トラックを有する磁気ディスクと、この記録トラックへの情報の記録および記録トラックに格納された情報の読出を行う磁気ヘッドとを搭載した磁気ディスク装置が用いられている。一般に、磁気ディスクは、筐体に固定されたスピンドルモータの回転軸に支持され、これを中心として回転するようになっている。一方、磁気ヘッドは、サスペンションの一端に設けられた磁気ヘッドスライダ（以下、単にスライダという。）の一側面に形成されており、磁気ディスクと対向する記録媒体対向面（ＡＢＳ；Air Bearing Surface）を有する磁気記録素子および磁気再生素子を含んで構成されている。特に、磁気再生素子としては、磁気抵抗（ＭＲ：Magnetoresistive）効果を示すＭＲ素子が一般的に用いられる。サスペンションの他端は、筐体内部に立設した固定軸に回動可能に支持されたアームの先端に取り付けられている。
【０００３】
図６は、一般的なトレースサスペンションアセンブリの構成を表している。このトレースサスペンションアセンブリは、スライダ１１０と、このスライダ１１０が一端に設けられたサスペンション１２０と、このサスペンション１２０の上に形成されたトレース１３０とを備えている。トレース１３０は例えば２本の読出線１４０と２本の書込線１５０とによって構成されており、各々の一端がスライダ１１０と接続されている。磁気ディスク装置において記録および読出動作を行うにあたっては、磁気ディスクが回転すると共に、スライダ１１０上に形成された磁気ヘッドが磁気ディスクにおける所望の記録トラック上に正確に位置決めされるようになっている。位置決めは、マイクロアクチュエータを用いてサスペンション１２０を支持するアームを回転するようにして行う。
【０００４】
近年、磁気ディスクの高記録密度化（大容量化）が進んでいることから、記録トラックが、より狭い領域内において互いに接近して設けられるようになってきている。トレースサスペンションアセンブリは、磁気ヘッドを所望の記録トラックに対応した位置へ的確かつ瞬時に移動させる必要があるので、記録トラックの狭小化に伴い、より複雑な設計を要するものとなっている。
【０００５】
所望の記録トラック上に磁気ヘッドを移動させるために、マイクロアクチュエータを駆動してトレースサスペンションアセンブリをスイングさせるには、比較的大きな（例えば３０Ｖ程度）の電圧が必要となる。これは、磁気ヘッドのスライディング制御に消費される電圧（数ｍＶ程度）と比べて非常に大きい。
【０００６】
このような比較的大きな磁気活性化信号（magnetized microactivaor signals）は、図６に示したように互いに近接配置された磁気ヘッドスライダの信号線と容量結合し、結果としてクロストークが発生することとなる。このように生じた容量性の漏話結合（crosstalk coupling）は、より高い記録密度を有する磁気ディスク装置の設計を複雑化する要因となる。以下、関連する３つの従来技術を示す。
【０００７】
Griesbachは、漏話減衰コンダクタを有するヘッドサスペンションについて言及している（特許文献１参照）。このヘッドサスペンションは、ロードビームの先端に設けられており、漏話干渉を低減する漏話減衰信号を導くように構成されている。
【特許文献１】米国特許第６２５６１７２号明細書
【０００８】
Jolivetは、漏洩補正機能を有する電気制御デバイスについて開示している（特許文献２参照）。このデバイスは、リミットレジスタによって各々電気制御された複数の素子を含むように構成されている。
【特許文献２】米国特許第６００８７１９号明細書
【０００９】
Nishimura等は、書込用コイルによって既に記録されたデータを消去するための消去用コイルと並行に接続された漏洩防止手段について言及している（特許文献３参照）。この漏洩防止手段によって、漏洩磁束を打ち消すためのキャンセル磁束を発生させ、Ｓ／Ｎ比を改善するようにしている。
【特許文献３】米国特許第５１９５００３号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、最近では、磁気ディスクのさらなる高記録密度化（大容量化）が進んでいることから、記録トラック同士の間隔がますます狭小化しつつある。これに伴い、磁気ヘッドの寸法も縮小化し、各信号線同士の間隔も狭まる傾向にある。このため、上記のような各種の技術を適用しても、今後、クロストークを十分に抑制することが次第に困難となると予想される。
【００１１】
図７は、図６のトレースサスペンションアセンブリにおける電気的な接続関係を表した概略図である。図７では、第１の書込線２４０、第２の書込線２５０、第１の読出線２６０および第２の読出線２７０における各一端が、各接続点Ｐ１０１〜Ｐ１０４においてスライダ１１０とそれぞれ接続されている。これらの書込線および読出線の相互間においては、静電結合（capacitive coupling）が形成される。具体的には、第１の書込線２４０と第１の読出線２６０との静電結合として、静電容量Ｃ１を有するキャパシタ２８０が形成される。以下同様に、第１の書込線２４０と第２の読出線２７０との静電結合として静電容量Ｃ２を有するキャパシタ２９０が形成され、第２の書込線２５０と第１の読出線２６０との静電結合として静電容量Ｃ３を有するキャパシタ２８５が形成され、さらに、第２の書込線２５０と第２の読出線２７０との静電結合として静電容量Ｃ４を有するキャパシタ２９５が形成される。
【００１２】
第１の書込線２４０，第２の書込線２５０，第１の読出線２６０および第２の読出線２７０における各接続点Ｐ１０１〜Ｐ１０４と反対側の他端部は、それぞれ、接続点Ｋ１０１〜Ｋ１０４においてプリアンプ回路１６０と接続されている。プリアンプ回路１６０は、第１の書込線２４０，第２の書込線２５０，第１の読出線２６０および第２の読出線２７０をそれぞれ制御し、書込電流または読出電流を流すように機能するものである。図７には、さらに、第１のインピーダンス（ＺＲ１）２１０および第２のインピーダンス（ＺＲ２）２２０が示されており、それぞれ、アース２３１，２３２に接地されている。第１のインピーダンス２１０におけるアース２３１と反対側の端部は、第１の読出線２６０と接続され、第２のインピーダンス２２０におけるアース２３２と反対側の端部は、第２の読出線２７０と接続されるようになっている。
【００１３】
ここで、第１および第２の書込線２４０，２５０に印加される電圧をそれぞれＷ+およびＷ-とし、キャパシタ２８０，２８５，２９０，２９０とそれぞれ付随するインピーダンスをＺ１〜Ｚ４とすると、第１および第２の読出線２６０，２７０にそれぞれ生じる誘導電圧ＶＲ+，ＶＲ-は、それぞれ、
ＶＲ+＝Ｗ+（ＺＲ１//Ｚ３）／（Ｚ１＋ＺＲ１//Ｚ３）＋Ｗ-（ＺＲ１//Ｚ１）／（Ｚ３＋ＺＲ１//Ｚ１）  ……（１ａ）
ＶＲ-＝Ｗ+（ＺＲ２//Ｚ４）／（Ｚ２＋ＺＲ２//Ｚ４）＋Ｗ-（ＺＲ２//Ｚ２）／（Ｚ４＋ＺＲ２//Ｚ２）  ……（２ａ）
となる。ここで、「//」は、互いに並列接続された状態であることを示す。特に、ＺＲ１，ＺＲ２＜＜Ｚ１〜Ｚ４の場合、上記の誘導電圧ＶＲ+，ＶＲ-は、それぞれ
ＶＲ+＝Ｗ+ＺＲ１／（Ｚ１＋ＺＲ１）＋Ｗ-ＺＲ１／（Ｚ３＋ＺＲ１）  ……（１ｂ）
ＶＲ-＝Ｗ+ＺＲ２／（Ｚ２＋ＺＲ２）＋Ｗ-ＺＲ２／（Ｚ４＋ＺＲ２）  ……（２ｂ）
となる。さらに、ＺＲ１＝ＺＲ２＝ＺＲであると共にＺＲ＜＜Ｚ１〜Ｚ４である場合には、以下の式（３ａ）で表される誘導電圧ＶＲ+と誘導電圧ＶＲ-との差分に応じた信号が検出される。
ＶＲ+−ＶＲ-
＝ｊｗ（Ｗ+ＺＲ１*Ｃ１−Ｗ+ＺＲ２*Ｃ２＋Ｗ-ＺＲ１*Ｃ３−Ｗ-ＺＲ２*Ｃ４）
＝ｊｗ（Ｗ+ＺＲ*Ｃ１−Ｗ+ＺＲ*Ｃ２＋Ｗ-ＺＲ*Ｃ３−Ｗ-ＺＲ*Ｃ４）  ……（３ａ）
ここで、「ｗ」はクロストークの角周波数である。
【００１４】
さらに、近似のため、静電容量Ｃ１，Ｃ４がいずれも静電容量Ｃ２よりも大きく、かつ、静電容量Ｃ３よりも小さいと仮定する。また、Ｗ+＝−Ｗ-と仮定する。この場合式（３ａ）は、
ＶＲ+−ＶＲ-
＝ｊｗ（Ｗ+ＺＲ*Ｃ１−Ｗ+ＺＲ*Ｃ３＋Ｗ+ＺＲ*Ｃ１）
＝Ｗ+ｊｗ*ＺＲ（２Ｃ１−Ｃ３）  ……（３ｂ）
となる。
【００１５】
このように表される誘導電圧の差分により、磁気ヘッドを通過する誘導電流が生じることとなる。この誘導電流は、磁気ヘッドの抵抗ＭＲＲに反比例する一方、角周波数ｗや静電容量Ｃ１と比例して増大する。一般には、静電容量は、書込線と読出線との間隔が減少するほど増加する傾向にある。このため、高密度化が進むほど信号線間のクロストークの増大を招くこととなる。
【００１６】
本発明はかかる問題に鑑みてなされたもので、その目的は、複数の信号線間におけるクロストークを抑制して安定した磁気情報の書込および読出を可能とするトレースサスペンションアセンブリおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明の第１のトレースサスペンションアセンブリは、以下の（Ａ１）〜（Ａ３）の各構成要件を含むようにしたものである。
（Ａ１）磁気記録媒体への情報書込および磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダが一端に設けられたサスペンション。
（Ａ２）一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続され、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された外部のプリアンプ回路によって制御される一対の書込線。
（Ａ３）一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続されて一対の書込線に沿って延在するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続されたプリアンプ回路によって制御される一対の読出線。
【００１８】
本発明の第２のトレースサスペンションアセンブリは、以下の（Ｂ１）〜（Ｂ３）の各構成要件を含むようにしたものである。
（Ｂ１）磁気記録媒体への情報書込および磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダが一端に設けられたサスペンション。
（Ｂ２）一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続され、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された外部のプリアンプ回路によって制御される一対の読出線。
（Ｂ３）一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続されて一対の読出線に沿って延在するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続されたプリアンプ回路によって制御される一対の書込線。
【００１９】
本発明の第３のトレースサスペンションアセンブリは、以下の（Ｃ１）〜（Ｃ３）の各構成要件を含むようにしたものである。
（Ｃ１）磁気記録媒体への情報書込および磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダが一端に設けられたサスペンション。
（Ｃ２）一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続され、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された外部のプリアンプ回路によって制御される一対の読出線。
（Ｃ３）一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続されて一対の読出線に沿って延在し、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続されたプリアンプ回路によって制御される一対の書込線。
【００２０】
本発明における第１のトレースサスペンションアセンブリの製造方法は、以下の（Ｄ１）〜（Ｄ３）の各工程を含むようにしたものである。
（Ｄ１）サスペンション上の一端に、磁気記録媒体への情報書込および磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダを形成する工程。
（Ｄ２）読出電流が供給される一対の読出線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結するようにサスペンション上に形成する工程。
（Ｄ３）書込電流が供給される一対の書込線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結して一対の読出線に沿って延在すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に形成する工程。
【００２１】
本発明における第２のトレースサスペンションアセンブリの製造方法は、以下の（Ｅ１）〜（Ｅ３）の各工程を含むようにしたものである。
（Ｅ１）サスペンション上の一端に、磁気記録媒体への情報書込および磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダを形成する工程。
（Ｅ２）読出電流が供給される一対の読出線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に形成する工程。
（Ｅ３）書込電流が供給される一対の書込線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結して一対の読出線に沿って延在するようにサスペンション上に形成する工程。
【００２２】
本発明における第３のトレースサスペンションアセンブリの製造方法は、以下の（Ｆ１）〜（Ｆ３）の各工程を含むようにしたものである。
（Ｆ１）サスペンション上の一端に、磁気記録媒体への情報書込および磁気記録媒体からの情報読出をおこなう磁気ヘッドを有するスライダを形成する工程。
（Ｆ２）読出電流が供給される一対の読出線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に形成する工程。
（Ｆ３）書込電流が供給される一対の書込線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結して一対の読出線に沿って延在すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に形成する工程。
【００２３】
本発明の第１のトレースサスペンションアセンブリおよび第１のトレースサスペンションアセンブリの製造方法では、一対の書込線どうしが、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられるので、一対の書込線における位相差が約１８０°をなしている場合に、一対の読出線と一対の書込線との間に生じる各々の静電結合の寄生容量が互いにキャンセルしあうこととなる。
【００２４】
本発明の第２のトレースサスペンションアセンブリおよび第２のトレースサスペンションアセンブリの製造方法では、一対の読出線どうしが、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられるので、一対の読出線と一対の書込線との間に生じる各々の静電結合の寄生容量が互いにキャンセルしあうこととなる。
【００２５】
本発明の第３のトレースサスペンションアセンブリおよび第３のトレースサスペンションアセンブリの製造方法では、一対の書込線どうしおよび一対の読出線どうしが、それぞれ、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられるので、一対の読出線と一対の書込線との間に生じる各々の静電結合の寄生容量が互いにキャンセルしあうこととなる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の第１のトレースサスペンションアセンブリによれば、磁気ヘッドを有するスライダが一端に設けられたサスペンションと、一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続され、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された外部のプリアンプ回路によって制御される一対の書込線と、一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続されて一対の書込線に沿って延在するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続されたプリアンプ回路によって制御される一対の読出線とを備えるようにしたので、一対の書込線における位相差が１８０°をなしている場合に、一対の読出線と一対の書込線との間に生じる各々の静電結合の寄生容量を互いにキャンセルさせ、全体としてクロストークを抑制することができる。よって、磁気情報の書込および読出動作を安定して行うことが可能となる。
【００２７】
本発明の第２のトレースサスペンションアセンブリによれば、磁気ヘッドを有するスライダが一端に設けられたサスペンションと、一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続され、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された外部のプリアンプ回路によって制御される一対の読出線と、一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続されて一対の読出線に沿って延在するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続されたプリアンプ回路によって制御される一対の書込線とを備えるようにしたので、一対の読出線と一対の書込線との間に生じる各々の静電結合の寄生容量を互いにキャンセルさせ、全体としてクロストークを抑制することができる。よって、磁気情報の書込および読出動作を安定して行うことが可能となる。
【００２８】
本発明の第３のトレースサスペンションアセンブリによれば、磁気ヘッドを有するスライダが一端に設けられたサスペンションと、一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続され、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続された外部のプリアンプ回路によって制御される一対の読出線と、一端部がスライダの磁気ヘッドとそれぞれ接続されて一対の読出線に沿って延在し、かつ、少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に設けられると共に、他端部と接続されたプリアンプ回路によって制御される一対の書込線とを備えるようにしたので、一対の読出線と一対の書込線との間に生じる各々の静電結合の寄生容量を互いにキャンセルさせ、全体としてクロストークを抑制することができる。よって、磁気情報の書込および読出動作を安定して行うことが可能となる。
【００２９】
本発明の第１のトレースサスペンションアセンブリの製造方法によれば、サスペンション上の一端に、磁気ヘッドを有するスライダを形成する工程と、読出電流が供給される一対の読出線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結するようにサスペンション上に形成する工程と、書込電流が供給される一対の書込線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結して一対の読出線に沿って延在すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に形成する工程とを含むようにしたので、一対の書込線における位相差が１８０°をなしている場合に、一対の読出線と一対の書込線との間に生じる各々の静電結合の寄生容量を互いにキャンセルさせ、全体としてクロストークを抑制することができる。よって、磁気情報の書込および読出動作を安定して行うことが可能となる。
【００３０】
本発明の第２のトレースサスペンションアセンブリの製造方法によれば、サスペンション上の一端に、磁気ヘッドを有するスライダを形成する工程と、読出電流が供給される一対の読出線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に形成する工程と、書込電流が供給される一対の書込線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結して一対の読出線に沿って延在するようにサスペンション上に形成する工程とを含むようにしたので、一対の読出線と一対の書込線との間に生じる各々の静電結合の寄生容量を互いにキャンセルさせ、全体としてクロストークを抑制することができる。よって、磁気情報の書込および読出動作を安定して行うことが可能となる。
【００３１】
本発明の第３のトレースサスペンションアセンブリの製造方法によれば、サスペンション上の一端に、磁気ヘッドを有するスライダを形成する工程と、読出電流が供給される一対の読出線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に形成する工程と、書込電流が供給される一対の書込線を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結して一対の読出線に沿って延在すると共に少なくとも１箇所において互いに交差するようにサスペンション上に形成する工程とを含むようにしたので、一対の読出線と一対の書込線との間に生じる各々の静電結合の寄生容量を互いにキャンセルさせ、全体としてクロストークを抑制することができる。よって、磁気情報の書込および読出動作を安定して行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００３３】
まず、図１を参照して、本発明における第１の実施の形態としてのトレースサスペンションアセンブリの構成について説明する。
【００３４】
図１は、本実施の形態のトレースサスペンションアセンブリ（ＴＳＡ；trace suspension assembly ）１の概略構成を表すものである。ＴＳＡ１は、例えば磁気ディスク装置に搭載され、磁気ディスクへの磁気情報の書込および磁気ディスクからの磁気情報の読出をおこなう際に用いられるデバイスである。ＴＳＡ１は、図１に示したように、スライダ１０と、このスライダ１０が表面の一端に設けられ、矩形状の薄板からなるサスペンション２０と、このサスペンション２０上にそれぞれ延在する一対の書込線３４０，３５０および一対の読出線３６０，３７０とを備えるようにしたものである。
【００３５】
スライダ１０は、アルティックなどの絶縁材料からなる基体上に磁気ヘッドが形成されたものである。この磁気ヘッドは磁気情報の書き込みや読み出しを行うデバイスであり、接続点Ｐ１〜Ｐ４において、一対の書込線３４０，３５０および一対の読出線３６０，３７０とそれぞれ電気的に接続されている。第１および第２の書込線３４０，３５０ならびに第１および第２の読出線３６０，３７０は、サスペンション２０上において互いにほぼ平行をなすように延在しており、スライダ１０との反対側の端部がプリアンプ回路６０と接続されている。プリアンプ回路６０はリード回路６１およびライト回路６２を備えており、第１および第２の読出線３６０，３７０ならびに第１および第２の書込線３４０，３５０をそれぞれ制御して、書込電流または読出電流を流すように機能する。
【００３６】
第１および第２の読出線３６０，３７０は、各々の一端部が接続点Ｐ３，Ｐ４においてスライダ１０の磁気ヘッドと接続されており、他端部が接続点Ｋ４，Ｋ３においてリード回路６１と接続されている。したがって、読出動作をおこなう際には、リード回路６１からの読出電流が、第１および第２の読出線３６０，３７０を経由して磁気ヘッドへ達することとなる。磁気ヘッドによって再生された信号は増幅器などで増幅されたのち、復調回路等で復調されるようになっている。さらに、第１および第２の読出線３４０，３５０は、リード回路６１とスライダ１０の磁気ヘッドとの中間位置、すなわち、接続点Ｐ３，Ｐ４と接続点Ｋ４，Ｋ３との中間位置である交差点３２５において互いに交差するように形成されている。第１および第２の読出線３６０，３７０は、交差点３２５において、いずれか一方が絶縁層を介して他方とは異なる階層に配置された金属層を含むように構成されており、互いに立体交差するようになっている。また、リード回路６１には、一端が第１および第２の読出線３６０，３７０とそれぞれ接続されると共に他端がアース３３１，３３２とそれぞれ接続されたインピーダンス３１０，３２０が設けられている。
【００３７】
第１および第２の書込線３４０，３５０は、各々の一端部が接続点Ｐ１，Ｐ２においてスライダ１０の磁気ヘッドと接続されており、他端部がライト回路６２と接続されている。したがって、書込動作をおこなう際には、ライト回路６２からの書込電流が一対の書込線３４０，３５０を経由して磁気ヘッドへ供給されることとなる。よって、磁気ヘッドに設けられた書込コイルが磁束を形成することで、磁気ディスク等への情報記録が行われる。
【００３８】
また、このような構成のＴＳＡ１は、例えば以下のようにして製造する。まず、サスペンション２０を用意し、磁気ヘッドが形成されたスライダ１０を、サスペンション２０上の一端に形成する。次に、読出電流が供給されることとなる第１および第２の読出線３６０，３７０を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結すると共に交差点３２５を形成するようにサスペンション２０上に形成する。この際、絶縁層を介して互いに異なる階層に金属層を形成することにより交差点３２５を形成する。最後に、書込電流が供給されることとなる第１および第２の書込線３４０，３５０を、それぞれの一端部が磁気ヘッドと連結して第１および第２の読出線に沿って延在するようにサスペンション２０上に形成する。
【００３９】
これらの書込線および読出線の相互間においては、静電結合が形成される。具体的には、書込線３４０と読出線３６０との静電結合として、静電容量Ｅ１を有するキャパシタ３８０および静電容量Ｄ２を有するキャパシタ３６５が形成される。以下同様に、書込線３４０と読出線３７０との静電結合として静電容量Ｅ２を有するキャパシタ３９０および静電容量Ｄ１を有するキャパシタ３７５が形成され、書込線３５０と読出線３６０との静電結合として静電容量Ｅ３を有するキャパシタ３８５および静電容量Ｄ４を有するキャパシタ３４５が形成され、さらに、書込線３５０と読出線３７０との静電結合として静電容量Ｅ４を有するキャパシタ３９５および静電容量Ｄ３を有するキャパシタ３５５が形成される。なお、静電容量Ｅ１〜Ｅ４，Ｄ１〜Ｄ４は寄生容量（parasitic capacitance）である。
【００４０】
すでに述べたように、図７に示した従来のＴＳＡでは、式（３ａ）で表される誘導電圧ＶＲ+と誘導電圧ＶＲ-との差分に応じた信号（誘導電流）が検出され、この誘導電流が、静電容量の増加をさせ、クロストークノイズの増大を招くこととなっていた。ところが、本実施の形態のＴＳＡ１では、静電容量Ｅ１〜Ｅ４，Ｄ１〜Ｄ４が生ずることにより、第１および第２の書込線３４０，３５０ならびに第１および第２の読出線３６０，３７０の相互間に生ずるクロストークノイズを全体として相殺することができる。ここで、静電容量Ｅ１〜Ｅ４，Ｄ１〜Ｄ４の大きさは、それぞれ静電容量Ｃ１〜Ｃ４の半分である。
【００４１】
ここで、誘導電圧ＶＲ+と誘導電圧ＶＲ-との差分は、以下の式（３ｃ）のように表現される。
ＶＲ+−ＶＲ-
＝ｊｗ（Ｗ+ＺＲ＊Ｅ１−Ｗ+ＺＲ＊Ｅ２＋Ｗ-ＺＲ＊Ｅ３−Ｗ-ＺＲ＊Ｅ４）
−ｊｗ（Ｗ+ＺＲ＊Ｄ１−Ｗ+ＺＲ＊Ｄ２＋Ｗ-ＺＲ＊Ｄ３−Ｗ-ＺＲ＊Ｄ４）  ……（３ｃ）
よって、式（３ｃ）において、伝送線路による影響がなく、静電容量Ｄ１〜Ｄ４が静電容量Ｅ１〜Ｅ４と完全にマッチングしているものと仮定すれば、ＶＲ+−ＶＲ-＝０となり、クロストークノイズを完全に相殺することができる。このような読出線同士を交差させる構造は、非差動型の書込制御ドライバである場合に適用される。
【００４２】
以上、説明したように、本実施の形態のＴＳＡ１によれば、第１および第２の書込線３６０，３７０を、交差点３２５において互いに交差するようにサスペンション２０上に設けるようにしたので、第１および第２の書込線３４０，３５０と第１および第２の読出線３６０，３７０との間に生じる静電容量Ｅ１〜Ｅ４と静電容量Ｄ１〜Ｄ４を互いにキャンセルさせることができる。よって、全体としてのクロストークを低減することができ、安定した磁気情報の書込動作および読出動作の実施が可能となる。
【００４３】
＜変形例＞
第１の書込線３４０と第２の書込線３５０との位相差が約１８０°をなしている（すなわち、Ｗ+＝−Ｗ-）場合には、図４に示したような書込線どうしの交差が有効となる。こうすることにより、一方の書込線の一部分が、位相ずれ信号を伝達する他方の書込線の一部と置き換えられるので、第１および第２の書込線３４０，３５０の各々によって誘導される容量性の（capacitive ）クロストークノイズが相殺されることとなる。
【００４４】
図２は、本実施の形態の第１の変形例（変形例１）としてのＴＳＡ１Ａの構成を表す概略図である。図１のＴＳＡ１では、第１および第２の読出線３６０，３７０が交差点３２５において互いに交差するように構成したが、本変形例では、第１および第２の書込線３４０，３５０が交差点４２５において互いに交差するように構成している。この場合には、誘導電圧ＶＲ+と誘導電圧ＶＲ-との差分は、以下の式（３ｄ）のように表現される。
ＶＲ+−ＶＲ-
＝ｊｗ（Ｗ+ＺＲ＊Ｅ１−Ｗ+ＺＲ＊Ｅ２＋Ｗ-ＺＲ＊Ｅ３−Ｗ-ＺＲ＊Ｅ４）
＋ｊｗ（Ｗ-ＺＲ＊Ｄ１−Ｗ-ＺＲ＊Ｄ２＋Ｗ+ＺＲ＊Ｄ３−Ｗ+ＺＲ＊Ｄ４）  ……（３ｄ）
よって、式（３ｄ）において、Ｗ+＝−Ｗ-であると共に静電容量Ｄ１〜Ｄ４が静電容量Ｅ１〜Ｅ４と完全にマッチングしているものと仮定すればＶＲ+−ＶＲ-＝０となるので、クロストークノイズを完全に相殺することができる。このような書込線同士を交差させる構造は、差動増幅型の書込制御ドライバである場合に適用される。この場合、電磁放射線（ＥＭＥ；electromagnetic emission）の低減を図ることもできる。
【００４５】
このように、本変形例においても第１および第２の書込線３４０，３５０と第１および第２の読出線３６０，３７０との間に生じる各々の静電結合を互いにキャンセルさせることができる。よって、全体としてのクロストークを抑制することができ、安定した磁気情報の書込動作および読出動作の実施が可能となる。
【００４６】
以上、実施の形態およびその変形例を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記実施の形態および変形例に限定されず、種々の変形が可能である。すなわち当技術分野を熟知した当業者であれば理解できるように、上記実施の形態および変形例は本発明の一具体例であり、本発明は、上記の内容に限定されるものではない。製造方法、構造および寸法などの修正および変更は、本発明と一致する限り、好ましい具体例に対応して行われる。
【００４７】
例えば、上記実施の形態および変形例では、一対の書込線または一対の読出線が互いに１箇所において交差する場合について説明したが、これに限定されず、例えば、図３に示した第２の変形例（変形例２）としてのＴＳＡ１Ｂまたは図４に示した第３の変形例（変形例３）としてのＴＳＡ１Ｃのように、複数の交差点を設けるようにしてもよい。
【００４８】
動作周波数が高くなると、伝送線路効果（transmission line effects）が増大するので、このような場合には、図３または図４のように書込線どうしまたは読出線どうしの複数の交差点４２５Ａ〜４２５Ｃ，３２５Ａ〜３２５Ｃを設けることにより、伝送線路効果の増大によって生ずるクロストークノイズの時間遅延成分をさらに低減することができる。これらの複数の交差点４２５Ａ〜４２５Ｃ，３２５Ａ〜３２５Ｃは、接続点Ｐ１〜Ｐ４と接続点Ｋ１〜Ｋ４との距離を１としたとき、その間における分数（例えば、１／４，２／４，３／４または１／８，２／８，３／８など）によって表される位置に配置されることが望ましい。すなわち、接続点Ｐ１〜Ｐ４と接続点Ｋ１〜Ｋ４との距離を、各交差点４２５Ａ〜４２５Ｃ，３２５Ａ〜３２５Ｃによって、偶数個の区域に等分割するような構成とすることが望ましい。
【００４９】
さらに、上記実施の形態および変形例１〜３では、一対の書込線または一対の読出線のいずれか一方のみが互いに交差するような構成としたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば図５に示した第４の変形例（変形例４）としてのＴＳＡ１Ｄのように、一対の書込線および一対の読出線の双方が、それぞれ交差点を有するようにしてもよい。この場合、等分割された偶数個の区域をそれぞれ有すると共に交差点の数が互いに異なるようにすることが望ましい。たとえば、一対の書込線および一対の読出線のうちのいずれか一方を２n個の区域に等分割し、他方を２n-1個の区域に等分割すればよい。こうすることで、クロストークの発生をよりいっそう抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の一実施の形態に係るトレースサスペンションアセンブリの構成を表す概略図である。
【図２】図１に示したトレースサスペンションアセンブリにおける第１の変形例としての構成を表す概略図である。
【図３】図１に示したトレースサスペンションアセンブリにおける第２の変形例としての構成を表す概略図である。
【図４】図１に示したトレースサスペンションアセンブリにおける第３の変形例としての構成を表す概略図である。
【図５】図１に示したトレースサスペンションアセンブリにおける第４の変形例としての構成を表す概略図である。
【図６】従来のトレースサスペンションアセンブリの構成を表す概略図である。
【図７】従来のトレースサスペンションアセンブリの構成を表す他の概略図である。
【符号の説明】
【００５１】
１…トレースサスペンションアセンブリ（ＴＳＡ）、１０…スライダ、２０…サスペンション、３４０…第１の書込線、３５０…第２の書込線、３６０…第１の読出線、３７０…第２の読出線、Ｄ１〜Ｄ４，Ｅ１〜Ｅ４…静電容量。
【図１】
2005235383.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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