(57)【要約】【課題】  幅寸法を小さくしつつ、ミラーの可動範囲を大きくすることができる可動ミラーデバイス及び分散補償器を提供する。【解決手段】  可動ミラーデバイス１は、ミラー２の前面２ａにおけるミラー２の幅方向の一端部に結合された可動電極端子６と、ミラー２の後面２ｂにおけるミラー２の幅方向の他端部に結合された可動電極端子７と、可動電極端子６と対向するように基板４に固定された固定電極端子８Ａ，８Ｂと、可動電極端子７と対向するように基板４に固定された固定電極端子９Ａ，９Ｂとを有している。固定電極端子８Ａ，８Ｂには、可動電極端子６と固定電極端子８Ａ，８Ｂとの間に静電気力が発生させて可動電極端子６を動かすための電圧源が接続され、固定電極端子９Ａ，９Ｂには、可動電極端子７と固定電極端子９Ａ，９Ｂとの間に静電気力が発生させて可動電極端子７を動かすための電圧源が接続されている。【選択図】  図１
2005107022.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形自在なミラーと、
前記ミラーの前面に結合された第１可動電極端子と、
前記ミラーの後面に結合された第２可動電極端子と、
前記第１可動電極端子と対向するように配置された第１固定電極端子と、
前記第２可動電極端子と対向するように配置された第２固定電極端子と、
前記第１可動電極端子と前記第１固定電極端子との間に静電気力を発生させて、前記第１可動電極端子を動かす第１駆動手段と、
前記第２可動電極端子と前記第２固定電極端子との間に静電気力を発生させて、前記第２可動電極端子を動かす第２駆動手段とを備えることを特徴とする可動ミラーデバイス。
【請求項２】
前記第１可動電極端子は、前記ミラーの前面における前記ミラーの幅方向の一側部分に結合されていると共に、前記ミラーの前方に延在しており、
前記第２可動電極端子は、前記ミラーの後面における前記ミラーの幅方向の他側部分に結合されていると共に、前記ミラーの後方に延在していることを特徴とする請求項１記載の可動ミラーデバイス。
【請求項３】
前記第１固定電極端子及び前記第２固定電極端子は各々少なくとも２つ有し、
前記２つの第１固定電極端子は、前記第１可動電極端子を挟んで互いに対向するように前記第１可動電極端子の両側に配置されており、
前記２つの第２固定電極端子は、前記第２可動電極端子を挟んで互いに対向するように前記第２可動電極端子の両側に配置されていることを特徴とする請求項２記載の可動ミラーデバイス。
【請求項４】
前記第１可動電極端子及び前記第２可動電極端子は、前記ミラーの中心側に延びる部分を有していることを特徴とする請求項３記載の可動ミラーデバイス。
【請求項５】
前記第１固定電極端子は、前記第１可動電極端子の片側に配置されており、
前記第２固定電極端子は、前記第２可動電極端子の片側であって前記第１固定電極端子と同じ側に配置されていることを特徴とする請求項２記載の可動ミラーデバイス。
【請求項６】
前記第１可動電極端子は、前記ミラーの前記他側部分側に延びる部分を有し、
前記第１固定電極端子及び前記第２固定電極端子は、前記第１可動電極端子及び前記第２可動電極端子に対して、前記ミラーの前記一側部分側に配置されていることを特徴とする請求項５記載の可動ミラーデバイス。
【請求項７】
前記ミラーは、予め前記ミラーの前面に対して凹状に形成されていることを特徴とする請求項５または６記載の可動ミラーデバイス。
【請求項８】
前記第２可動電極端子は、前記ミラーの前記一側部分側に延びる部分を有し、
前記第１固定電極端子及び前記第２固定電極端子は、前記第１可動電極端子及び前記第２可動電極端子に対して、前記ミラーの前記他側部分側に配置されていることを特徴とする請求項５記載の可動ミラーデバイス。
【請求項９】
前記ミラーは、予め前記ミラーの前面に対して凸状に形成されていることを特徴とする請求項５または８記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１０】
前記第１可動電極端子及び前記第２可動電極端子は、前記ミラーの高さ方向の中心部に結合されていると共に、前記ミラーの高さ方向に延びる部分を有していることを特徴とする請求項２〜９のいずれか一項記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１１】
前記第１可動電極端子は、前記ミラーの前面における前記ミラーの幅方向の両側部分に結合されており、
前記第２可動電極端子は、前記ミラーの後面における前記ミラーの幅方向の両側部分に結合されており、
前記第１固定電極端子は、前記第１可動電極端子を挟んで前記ミラーと対向しており、
前記第２固定電極端子は、前記第２可動電極端子を挟んで前記ミラーと対向していることを特徴とする請求項１記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１２】
前記第１可動電極端子は、前記ミラーの前面における前記ミラーの幅方向の中心部分に結合されており、
前記第２可動電極端子は、前記ミラーの後面における前記ミラーの幅方向の中心部分に結合されており、
前記第１固定電極端子は、前記第１可動電極端子を挟んで前記ミラーと対向しており、
前記第２固定電極端子は、前記第２可動電極端子を挟んで前記ミラーと対向していることを特徴とする請求項１記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１３】
信号光に位相シフトを与えて前記信号光の分散を補償する分散補償器であって、
前記信号光を波長毎に分波させる光分波手段と、
前記光分波手段で分波された信号光をそれぞれ入力する複数の請求項１〜１２のいずれか一項記載の可動ミラーデバイスとを備えることを特徴とする分散補償器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、波長多重光通信等で用いられる可動ミラーデバイス及び分散補償器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の可動ミラーデバイスとしては、例えば特許文献１に記載されているものが知られている。特許文献１に記載の可動ミラーデバイスは、可変分散補償器に備えられたものであり、可動反射ミラーの光反射位置が所望の位置となるように、例えば可動反射ミラーの反射面の曲面形状を変形させる。
【特許文献１】特開２００２−３０３８０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記従来技術のような可変分散補償器では、各反射ミラーの配列ピッチを狭くするために、可動ミラーデバイスの幅寸法を小さくする必要がある。また、大きな分散補償量を与えるためには、反射ミラーの可動範囲を大きくする必要がある。
【０００４】
本発明の目的は、幅寸法を小さくしつつ、ミラーの可動範囲を大きくすることができる可動ミラーデバイス及び分散補償器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の可動ミラーデバイスは、変形自在なミラーと、ミラーの前面に結合された第１可動電極端子と、ミラーの後面に結合された第２可動電極端子と、第１可動電極端子と対向するように配置された第１固定電極端子と、第２可動電極端子と対向するように配置された第２固定電極端子と、第１可動電極端子と第１固定電極端子との間に静電気力を発生させて、第１可動電極端子を動かす第１駆動手段と、第２可動電極端子と第２固定電極端子との間に静電気力を発生させて、第２可動電極端子を動かす第２駆動手段とを備えることを特徴とするものである。
【０００６】
このような可動ミラーデバイスにおいては、第１駆動手段及び第２駆動手段の少なくとも一方を動作させることで、例えば撓みの無い平らなミラーを湾曲状に変形させることができる。このとき、ミラーを変形させるための第１可動電極端子及び第２可動電極端子はミラーの前面側及び後面側にそれぞれ設けられているので、第１可動電極端子と第１固定電極端子との間に所望の間隔を確保し、第２可動電極端子と第２固定電極端子との間に所望の間隔を確保した場合でも、ミラーの幅方向に十分に大きなスペースをとられることは無い。これにより、可動ミラーデバイスの幅寸法を小さくすることが可能となる。また、第１可動電極端子と第１固定電極端子との間、第２可動電極端子と第２固定電極端子との間に所望の間隔を確保した場合は、第１可動電極端子及び第２可動電極端子の可動範囲を大きくできるため、結果的にミラーの可動範囲を大きくすることが可能となる。
【０００７】
好ましくは、第１可動電極端子は、ミラーの前面におけるミラーの幅方向の一側部分に結合されていると共に、ミラーの前方に延在しており、第２可動電極端子は、ミラーの後面におけるミラーの幅方向の他側部分に結合されていると共に、ミラーの後方に延在している。この場合には、第１駆動手段及び第２駆動手段の両方を動作させることで、例えば撓みの無い平らなミラーを容易に且つ確実に湾曲状に変形させることができる。
【０００８】
この場合、好ましくは、第１固定電極端子及び第２固定電極端子は各々少なくとも２つ有し、２つの第１固定電極端子は、第１可動電極端子を挟んで互いに対向するように第１可動電極端子の両側に配置されており、２つの第２固定電極端子は、第２可動電極端子を挟んで互いに対向するように第２可動電極端子の両側に配置されている。このような構成では、第１可動電極端子と一方側の第１固定電極端子との間に静電気力を発生させると共に、第２可動電極端子と一方側の第２固定電極端子との間に静電気力を発生させることで、ミラーを凹状に変形させることができる。また、第１可動電極端子と他方側の第１固定電極端子との間に静電気力を発生させると共に、第２可動電極端子と他方側の第２固定電極端子との間に静電気力を発生させることで、ミラーを凸状に変形させることができる。従って、本発明の可動ミラーデバイスを例えば分散補償器に適用した場合には、正分散及び負分散の両方を補償することが可能となる。
【０００９】
このとき、第１可動電極端子及び第２可動電極端子は、ミラーの幅方向の中心側に延びる部分を有していることが好ましい。これにより、可動ミラーデバイスの幅寸法をより小さくすることが可能となる。
【００１０】
また、好ましくは、第１固定電極端子は、第１可動電極端子の片側に配置されており、第２固定電極端子は、第２可動電極端子の片側であって第１固定電極端子と同じ側に配置されている。このような構成では、ミラーを凹状または凸状に十分に変形させることができる。従って、本発明の可動ミラーデバイスを例えば分散補償器に適用した場合には、大きな正分散または大きな負分散を補償することが可能となる。
【００１１】
この場合、好ましくは、第１可動電極端子は、ミラーの他側部分側に延びる部分を有し、第１固定電極端子及び第２固定電極端子は、第１可動電極端子及び第２可動電極端子に対して、ミラーの一側部分側に配置されている。これにより、可動ミラーデバイスの幅寸法をより小さくしつつ、例えば撓みの無い平らなミラーを凸状に変形させることができる。
【００１２】
例えばこの場合、好ましくは、ミラーは、予めミラーの前面に対して凹状に形成されている。これにより、固定電極端子を可動電極端子の片側だけに設けた場合でも、ミラーを凹状及び凸状に変形させることができる。
【００１３】
また、第２可動電極端子は、ミラーの一側部分側に延びる部分を有し、第１固定電極端子及び第２固定電極端子は、第１可動電極端子及び第２可動電極端子に対して、ミラーの他側部分側に配置されている構成であってもよい。これにより、可動ミラーデバイスの幅寸法をより小さくしつつ、例えば撓みの無い平らなミラーを凹状に変形させることができる。
【００１４】
例えばこの場合、好ましくは、ミラーは、予めミラーの前面に対して凸状に形成されている。これにより、固定電極端子を可動電極端子の片側だけに設けた場合でも、ミラーを凹状及び凸状に変形させることができる。
【００１５】
さらに、好ましくは、第１可動電極端子及び第２可動電極端子は、ミラーの高さ方向の中心部に結合されていると共に、ミラーの高さ方向に延びる部分を有している。これにより、例えば第１可動電極端子及び第２可動電極端子がミラーの幅方向の中心側に延びる部分を有している場合であっても、ミラーの前面において光反射領域として使用すべき有効面積を大きくとれると共に、ミラーの幅方向の両側部分でミラーが対称に変形するようになる。
【００１６】
また、好ましくは、第１可動電極端子は、ミラーの前面におけるミラーの幅方向の両側部分に結合されており、第２可動電極端子は、ミラーの後面におけるミラーの幅方向の両側部分に結合されており、第１固定電極端子は、第１可動電極端子を挟んでミラーと対向しており、第２固定電極端子は、第２可動電極端子を挟んでミラーと対向している構成とする。この場合には、第１駆動手段を動作させることで、例えば撓みの無い平らなミラーを容易に且つ確実にミラーの前面に対して凹状に変形させることができ、第２駆動手段を動作させることで、例えば撓みの無い平らなミラーを容易に且つ確実にミラーの前面に対して凸状に変形させることができる。
【００１７】
また、第１可動電極端子は、ミラーの前面におけるミラーの幅方向の中心部分に結合されており、第２可動電極端子は、ミラーの後面におけるミラーの幅方向の中心部分に結合されており、第１固定電極端子は、第１可動電極端子を挟んでミラーと対向しており、第２固定電極端子は、第２可動電極端子を挟んでミラーと対向している構成であってもよい。この場合には、第１駆動手段を動作させることで、例えば撓みの無い平らなミラーを容易に且つ確実にミラーの前面に対して凸状に変形させることができ、第２駆動手段を動作させることで、例えば撓みの無い平らなミラーを容易に且つ確実にミラーの前面に対して凹状に変形させることができる。
【００１８】
また、本発明は、信号光に位相シフトを与えて信号光の分散を補償する分散補償器であって、信号光を波長毎に分波させる光分波手段と、光分波手段で分波された信号光をそれぞれ入力する複数の上記可動ミラーデバイスとを備えることを特徴とするものである。
【００１９】
このように上述した幅寸法の小さい可動ミラーデバイスを設けることにより、各可動ミラーデバイスのミラーを狭ピッチで配列することができる。また、上述したように各ミラーの可動範囲が広くなるため、分散補償量を大きくすることができる。これにより、高精度な分散補償を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、ミラーの前面に第１可動電極端子を結合し、ミラーの後面に第２可動電極端子を結合し、第１可動電極端子と対向するように第１固定電極端子を配置し、第２可動電極端子と対向するように第２固定電極端子を配置する構成としたので、幅寸法を小さくしつつ、ミラーの可動範囲を大きくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明に係る可動ミラーデバイス及び分散補償器の好適な実施形態について図面を参照して説明する。
【００２２】
図１は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第１の実施形態を示す斜視図である。同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス１は、例えばＭＥＭＳ（Micro-Electro-Mechanical-System）技術を用いて製作された構造体である。
【００２３】
可動ミラーデバイス１は、信号光を反射させる矩形板状のミラー２と、このミラー２を湾曲状に変形させる駆動部３とを備えている。ミラー２の後面（光反射面２ａと反対側の面）２ｂにおけるミラー２の幅方向の中心部には、基板４の上面に固定されミラー２の高さ方向に延びるアンカー部５が結合されている。これにより、ミラー２は、その中心部Ｇを回転軸として湾曲状に変形自在となる（図２参照）。なお、ミラー２の高さ方向は、基板４の上面に対して垂直な方向を指し、ミラー２の幅方向は、ミラー２の高さ方向及び厚さ方向に垂直な方向を指す。
【００２４】
駆動部３は、ミラー２の前面（光反射面）２ａにおけるミラー２の幅方向の一側部（以下、前面２ａ側から見てミラー２の左端部という）に結合された可動電極端子６と、ミラー２の後面２ｂにおけるミラー２の幅方向の他側部（以下、前面２ａ側から見てミラー２の右端部という）に結合された可動電極端子７と、ミラー２の前面２ａ側において可動電極端子６と対向するように基板４の上面に固定された１対の固定電極端子８Ａ，８Ｂと、ミラー２の後面２ｂ側において可動電極端子７と対向するように基板４の上面に固定された１対の固定電極端子９Ａ，９Ｂとを有している。これらの可動電極端子６，７及び固定電極端子８Ａ〜９Ｂは、いずれも板状を有している。
【００２５】
可動電極端子６は、ミラー２の前面２ａに結合され、ミラー２の幅方向の中心部に向けて折れ曲がった構造をもった結合部１０と、この結合部１０と一体化され、ミラー２の前方に延在する電極部１１とを有している。可動電極端子７は、ミラー２の後面２ｂに結合され、ミラー２の幅方向の中心部に向けて折れ曲がった構造をもった結合部１２と、この結合部１２と一体化され、ミラー２の後方に延在する電極部１３とを有している。結合部１０，１２は、ミラー２の前面２ａ及び後面２ｂの下側部分にそれぞれ結合されている。これにより、ミラー２の前面２ａの上側部分が光反射領域となっている。また、電極部１１，１３は、実質的に一直線上に延在するように構成されている。
【００２６】
なお、結合部１０，１２としては、上記のように屈曲した構造に限らず、ミラー２の幅方向の中心部に向かうようにミラー２の前面２ａ及び後面２ｂに対して斜めに延びたものであってもよい。
【００２７】
固定電極端子８Ａ，８Ｂは、電極部１１を挟んで互いに対向するように電極部１１の両側に配置されている。固定電極端子９Ａ，９Ｂは、電極部１３を挟んで互いに対向するように電極部１３の両側に配置されている。そして、固定電極端子８Ａ，９Ａは、実質的に一直線上に延在するように構成され、固定電極端子８Ｂ，９Ｂは、実質的に一直線上に延在するように構成されている。
【００２８】
電極部１１の両側面には櫛歯１４が設けられ、電極部１３の両側面には櫛歯１５が設けられている。固定電極端子８Ａ，８Ｂにおける電極部１１と対向する側の側面には櫛歯１６が設けられ、固定電極端子９Ａ，９Ｂにおける電極部１３と対向する側の側面には櫛歯１７が設けられている。
【００２９】
このような可動ミラーデバイス１は、例えばシリコン基板等に異方性エッチング等を施すことにより製作されるものである。なお、ミラー２の表面には、光反射率を高めるべく、金等がコーティングされている。
【００３０】
また、図２（ａ）に示すように、可動電極端子６，７は、ミラー２及びアンカー部５を介して接地されている。固定電極端子８Ａ，８Ｂには、可動電極端子６と固定電極端子８Ａ，８Ｂとの間に静電気力が発生させるための可変電圧源１８Ａ，１８Ｂが接続され、固定電極端子９Ａ，９Ｂには、可動電極端子７と固定電極端子９Ａ，９Ｂとの間に静電気力が発生させるための可変電圧源１９Ａ，１９Ｂが接続されている。可変電圧源１８Ａ〜１９Ｂの印加電圧がゼロである初期状態では、図２（ａ）に示すように、ミラー２は撓みの無い平らな状態となっている。
【００３１】
可変電圧源１８Ｂにより固定電極端子８Ｂに電圧を印加すると共に、可変電圧源１９Ｂにより固定電極端子９Ｂに電圧を印加すると、図２（ｂ）に示すように、可動電極端子６と固定電極端子８Ｂとの間に生じる静電気力によって可動電極端子６が固定電極端子８Ｂ側に引き寄せられると共に、可動電極端子７と固定電極端子９Ｂとの間に生じる静電気力によって可動電極端子７が固定電極端子９Ｂ側に引き寄せられる。これにより、ミラー２がその前面２ａに対して凹状に撓むようになる。このとき、可変電圧源１８Ｂ，１９Ｂの印加電圧を変えることで、ミラー２の撓み量が変化する。
【００３２】
一方、可変電圧源１８Ａにより固定電極端子８Ａに電圧を印加すると共に、可変電圧源１９Ａにより固定電極端子９Ａに電圧を印加すると、図２（ｃ）に示すように、可動電極端子６と固定電極端子８Ａとの間に生じる静電気力によって可動電極端子６が固定電極端子８Ａ側に引き寄せられると共に、可動電極端子７と固定電極端子９Ａとの間に生じる静電気力によって可動電極端子７が固定電極端子９Ａ側に引き寄せられる。これにより、ミラー２がその前面２ａに対して凸状に撓むようになる。このとき、可変電圧源１８Ａ，１９Ａの印加電圧を変えることで、ミラー２の撓み量が変化する。
【００３３】
以上のように本実施形態にあっては、ミラー２の前面２ａ及び後面２ｂに可動電極端子６，７をそれぞれ結合したので、可動電極端子６，７の可動範囲を大きくするために可動電極端子６と固定電極端子８Ａ，８Ｂとの間、可動電極端子７と固定電極端子９Ａ，９Ｂとの間に所望の間隔を確保しても、ミラー２の幅方向に十分に大きなスペースをとられることは無い。これにより、可動ミラーデバイス１（駆動部３）の幅寸法Ｗ（図２参照）を小さくしつつ、ミラー２を平らな状態から凸状及び凹状の双方向に広い範囲で変形させることができる。このとき、可動電極端子６，７の一部をミラー２の幅方向の中心部に向けて折れ曲げた構成としたので、可動ミラーデバイス１の幅寸法Ｗをより小さくできると共に、可動電極端子６，７を効率的に動かすことが可能となる。
【００３４】
また、初期状態ではミラー２の形状が平らであるため、ミラー２を変形駆動させる時に発生させる応力が小さくて済むと共に、ミラー２を容易に製作することができる。
【００３５】
さらに、可動電極端子６，７及び固定電極端子８Ａ〜９Ｂは、いずれも櫛歯型構造となっているので、可動電極端子６と固定電極端子８Ａ，８Ｂとの間に生じる静電気力、可動電極端子７と固定電極端子９Ａ，９Ｂとの間に生じる静電気力が増大する。従って、その分だけ可動電極端子６，７を低電圧で駆動させることができるため、省電力化を図ることが可能となる。
【００３６】
図３は、上記の可動ミラーデバイス１を応用した可動ミラーデバイスアレイを示す斜視図である。図中、上記の可動ミラーデバイス１と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００３７】
同図において、可動ミラーデバイスアレイ２０は、１枚の基板２１上に一次元的に配列されたミラー２及び駆動部３を複数組有している。ここで、各ミラー２の配列間隔を狭めるためには、駆動部３の幅寸法Ｗ１をミラー２の幅寸法Ｗ２の１．５倍以下にするのが好ましく、特に後述する分散補償器等に適用する場合には、各ミラー２を光の波長間隔に合わせて殆ど隙間無く配列すべく、駆動部３の幅寸法Ｗ１をミラー２の幅寸法Ｗ２よりも小さくするのがより好ましい。
【００３８】
図４は、上記の可動ミラーデバイスアレイを備えた分散補償器を示す構成図である。同図において、分散補償器２２は、信号光に位相シフトを与えて信号光の分散を補償する光通信用デバイスである。
【００３９】
分散補償器２２は、回折格子２３と、上記の可動ミラーデバイスアレイ２０と、回折格子２３と可動ミラーデバイスアレイ２０との間に配置されたレンズ２４とを有している。回折格子２３は、分散補償用光伝送路２５からの信号光を波長毎に分波（分光）させる。可動ミラーデバイスアレイ２０の各ミラー２は、回折格子２３で波長毎に分波された信号光をそれぞれ反射させる。分散補償用光伝送路２５は、光サーキュレータ２６を介して入力用光伝送路２７及び出力用光伝送路２８と接続されている。
【００４０】
このような分散補償器２２において、入力用光伝送路２７に入力された信号光は、光サーキュレータ２６を通って分散補償用光伝送路２５から出射され、回折格子２３において波長毎に分波される。そして、この分波された信号光は、レンズ２４を介して可動ミラーデバイスアレイ２０まで伝搬され、各ミラー２で反射される。このとき、各ミラー２は、波長毎に分波された信号光に対して所望の位相差を与えて分散を補償するように、撓み量が制御されている。各ミラー２で反射された信号光は、再びレンズ２４を介して回折格子２３まで伝搬され、この回折格子２３において合波される。そして、その合波された信号光は、分散補償用光伝送路２５、光サーキュレータ２６及び出力用光伝送路２８を通って出力される。
【００４１】
ここで、ミラー２は、上述したように凸状にも凹状にも変形可能であるので、正分散及び負分散のいずれも確実に補償することができる。従って、各波長毎の分散補償の制御性が良好になり、分散補償を高精度に行うことができる。
【００４２】
図５は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第２の実施形態を示す斜視図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００４３】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス３０は、ミラー２を湾曲状に変形させる駆動部３１を備えている。駆動部３１は、ミラー２の前面２ａにおける前面２ａ側から見てミラー２の左端部に結合された可動電極端子３２と、ミラー２の後面２ｂにおける前面２ａ側から見てミラー２の右端部に結合された可動電極端子３３と、ミラー２の前面２ａ側において可動電極端子３２と対向するように基板４の上面に固定された１対の固定電極端子３４Ａ，３４Ｂと、ミラー２の後面２ｂ側において可動電極端子３３と対向するように基板４の上面に固定された１対の固定電極端子３５Ａ，３５Ｂとを有している。これらの可動電極端子３２，３３及び固定電極端子３４Ａ〜３５Ｂは、いずれも断面矩形の棒状を有している。
【００４４】
可動電極端子３２は、ミラー２の前面２ａに結合された結合部３６と、この結合部３６と一体化されミラー２の前方に延在する電極部３７とを有している。結合部３６は、ミラー２の前面２ａにおいて、前面２ａ側から見てミラー２の左端部におけるミラー２の高さ方向の中心部に結合されていると共に、基板４に向けて下方に折れ曲がり、更にミラー２の幅方向の中心部に向けて折れ曲がった構造を有している。可動電極端子３３は、ミラー２の後面２ｂに結合された結合部３８と、この結合部３８と一体化されミラー２の後方に延在する電極部３９とを有している。結合部３８は、ミラー２の後面２ｂにおいて、前面２ａ側から見てミラー２の右端部におけるミラー２の高さ方向の中心部に結合されていると共に、基板４に向けて下方に折れ曲がり、更にミラー２の幅方向の中心部に向けて折れ曲がった構造を有している。
【００４５】
固定電極端子３４Ａ，３４Ｂは、電極部３７を挟んで互いに対向するように電極部３７の両側に配置されている。固定電極端子３５Ａ，３５Ｂは、電極部３９を挟んで互いに対向するように電極部３９の両側に配置されている。
【００４６】
電極部３７の両側面には櫛歯４０が設けられ、電極部３９の両側面には櫛歯４１が設けられている。固定電極端子３４Ａ，３４Ｂにおける電極部３７と対向する側の側面には櫛歯４２が設けられ、固定電極端子３５Ａ，３５Ｂにおける電極部３９と対向する側の側面には櫛歯４３が設けられている。
【００４７】
本実施形態においては、可動電極端子３２，３３を棒状とし、その可動電極端子３２，３３を上記のように折り曲げた構成としたので、ミラー２の有効面積が大きくなり、ミラー２の前面２ａの大部分を光反射領域として使用することができる。また、可動電極端子３２，３３をミラー２の高さ方向の中心部に結合したので、ミラー２の幅方向の中心部を回転軸としてミラー２を左右対称に変形させることができる。
【００４８】
図６は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第３の実施形態を示す斜視図である。図中、第２の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００４９】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス５０は、ミラー２を湾曲状に変形させる駆動部５１を備えている。ミラー２の下部には、図６及び図７に示すように、基板５２の上面に固定されたアンカー部５３が設けられている。基板５２は、ミラー２の前面２ａ側における上面高さ位置に対してミラー２の後面２ｂ側における上面高さ位置が高くなるように段状に形成されている。
【００５０】
駆動部５１は、第２の実施形態における可動電極端子３２，３３の代えて、可動電極端子５４，５５を有している。可動電極端子５４は、ミラー２の前面２ａにおける前面２ａ側から見てミラー２の左端下部に結合された結合部５６と、この結合部５６と一体化された電極部３７とを有している。可動電極端子５５は、ミラー２の後面２ｂにおける前面２ａ側から見てミラー２の右端上部に結合された結合部５７と、この結合部５７と一体化された電極部３９とを有している。その他の構成は、第２の実施形態における駆動部３１と同様である。
【００５１】
本実施形態においても、ミラー２の有効面積が大きくなり、ミラー２の前面２ａの大部分を光反射領域として使用することができる。また、可動電極端子５４，５５の結合部５６，５７に存在する折り曲げ部分は１ヶ所であるため、ＭＥＭＳ技術を用いた可動ミラーデバイスの製造プロセスを簡略化することができる。
【００５２】
図８は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第３の実施形態の変形例を示す斜視図である。可動ミラーデバイス５０Ａは、可動電極端子５４，５５の高さ位置が同じになるように、可動電極端子５５をミラー２の後面２ｂにおける前面２ａ側から見てミラー２の右端下部に結合させたものである。また、ミラー２は、図９に示すように、平板状の基板４の上面にアンカー部５３を介して固定されている。
【００５３】
図１０は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第４の実施形態を示す斜視図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００５４】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス６０は、ミラー２を湾曲状に変形させる駆動部６１を備えている。駆動部６１は、ミラー２の前面２ａに結合された可動電極端子６２と、ミラー２の後面２ｂに結合された可動電極端子６３と、ミラー２の前面２ａ側において可動電極端子６２と対向するように基板４の上面に固定された固定電極端子６４と、ミラー２の後面２ｂ側において可動電極端子６３と対向するように基板４の上面に固定された固定電極端子６５とを有している。
【００５５】
可動電極端子６２は、ミラー２の前面２ａにおける前面２ａ側から見てミラー２の左端部に結合され、ミラー２の右端部に向けて折れ曲がった構造をもった結合部６６と、この結合部６６と一体化され、ミラー２の前方に延在する電極部６７とを有している。可動電極端子６３は、ミラー２の後面２ｂにおける前面２ａ側から見てミラー２の右端部に結合され、ミラー２の後方に延在している。可動電極端子６２の電極部６７と可動電極端子６３は、実質的に一直線上に延在するように構成されている。
【００５６】
固定電極端子６４，６５は、可動電極端子６２の電極部６７と可動電極端子６３に対して、前面２ａ側から見てミラー２の左端側に配置されている。固定電極端子６４，６５は、実質的に一直線上に延在するように構成されている。
【００５７】
可動電極端子６２の電極部６７における固定電極端子６４と対向する側の側面には櫛歯６８が設けられ、可動電極端子６３における固定電極端子６５と対向する側の側面には櫛歯６９が設けられている。固定電極端子６４における電極部６７と対向する側の側面には櫛歯７０が設けられ、固定電極端子６５における可動電極端子６３と対向する側の側面には櫛歯７１が設けられている。
【００５８】
また、図１１（ａ）に示すように、可動電極端子６２，６３は、ミラー２及びアンカー部５を介して接地されている。固定電極端子６４には、可動電極端子６２と固定電極端子６４との間に静電気力が発生させるための可変電圧源７２が接続され、固定電極端子６５には、可動電極端子６３と固定電極端子６５との間に静電気力が発生させるための可変電圧源７３が接続されている。可変電圧源７２，７３の印加電圧がゼロである初期状態では、図１１（ａ）に示すように、ミラー２は撓みの無い平らな状態となっている。
【００５９】
可変電圧源７２により固定電極端子６４に電圧を印加すると共に、可変電圧源７３により固定電極端子６５に電圧を印加すると、図１１（ｂ）に示すように、可動電極端子６２と固定電極端子６４との間に生じる静電気力によって可動電極端子６２が固定電極端子６４側に引き寄せられると共に、可動電極端子６３と固定電極端子６５との間に生じる静電気力によって可動電極端子６３が固定電極端子６５側に引き寄せられる。これにより、ミラー２がその前面２ａに対して凸状に撓むようになる。
【００６０】
以上のように本実施形態にあっては、ミラー２の前面２ａ及び後面２ｂに可動電極端子６２，６３をそれぞれ結合したので、可動電極端子６２，６３の可動範囲を大きくするために可動電極端子６２と固定電極端子６４との間、可動電極端子６３と固定電極端子６５との間に所望の間隔を確保しても、ミラー２の幅方向に十分に大きなスペースをとられることは無い。これにより、可動ミラーデバイス６０（駆動部６１）の幅寸法Ｗを小さくしつつ、ミラー２を平らな状態から凸状に大きく変形させることができる。従って、本可動ミラーデバイス６０を図４に示すような分散補償器に適用した場合に、大きな正分散を補償することができる。
【００６１】
図１２は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第５の実施形態を示す概略構成図である。図中、第４の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００６２】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス７５は、第４の実施形態におけるミラー２に代えて、ミラー７６を備えている。ミラー７６は、図１２（ａ）に示すように、その前面（光反射面）７６ａ側に対して予め凹状に撓ませた構成となっている。その他の構成は、第４の実施形態と同様である。
【００６３】
可変電圧源７２により固定電極端子６４に電圧を印加すると共に、可変電圧源７３により固定電極端子６５に電圧を印加すると、図１２（ｂ）に示すように、可動電極端子６２が固定電極端子６４側に引き寄せられると共に可動電極端子６３が固定電極端子６５側に引き寄せられ、これに伴ってミラー７６が撓みの無い平らな状態となる。そして、可変電圧源７２，７３の印加電圧を更に上げると、図１２（ｃ）に示すように、可動電極端子６２が更に固定電極端子６４側に引き寄せられると共に可動電極端子６３が更に固定電極端子６５側に引き寄せられ、これに伴ってミラー７６がその前面７６ａ側に対して凸状に撓むようになる。
【００６４】
このように本実施形態においては、固定電極端子６４，６５を可動電極端子６２，６３の片側のみに配置した簡単な構成であっても、ミラー７６を凹状及び凸状に変形させることができる。この場合には、ミラー７６を一方向に動かすだけでよいので、固定電極端子６４，６５に電圧を印加する際の制御が簡単に行える。
【００６５】
図１３は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第６の実施形態を示す斜視図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００６６】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス８０は、ミラー２を湾曲状に変形させる駆動部８１を備えている。駆動部８１は、ミラー２の前面２ａに結合された可動電極端子８２と、ミラー２の後面２ｂに結合された可動電極端子８３と、ミラー２の前面２ａ側において可動電極端子８２と対向するように基板４の上面に固定された固定電極端子８４と、ミラー２の後面２ｂ側において可動電極端子８３と対向するように基板４の上面に固定された固定電極端子８５とを有している。
【００６７】
可動電極端子８２は、ミラー２の前面２ａにおける前面２ａ側から見てミラー２の左端部に結合され、ミラー２の前方に延在している。可動電極端子８３は、ミラー２の後面２ｂにおける前面２ａ側から見てミラー２の右端部に結合され、ミラー２の左端部に向けて折れ曲がった構造をもった結合部８６と、この結合部８６と一体化され、ミラー２の後方に延在する電極部８７とを有している。可動電極端子８２と可動電極端子８３の電極部８７とは、実質的に一直線上に延在するように構成されている。
【００６８】
固定電極端子８４，８５は、可動電極端子８２，８３に対して、前面２ａ側から見てミラー２の右端側に配置されている。固定電極端子８４，８５は、実質的に一直線上に延在するように構成されている。
【００６９】
可動電極端子８２における固定電極端子８４と対向する側の側面には櫛歯８８が設けられ、可動電極端子８３の電極部８７における固定電極端子８５と対向する側の側面には櫛歯８９が設けられている。固定電極端子８４における可動電極端子８２と対向する側の側面には櫛歯９０が設けられ、固定電極端子８５における電極部８７と対向する側の側面には櫛歯９１が設けられている。
【００７０】
また、図１４（ａ）に示すように、可動電極端子８２，８３は、ミラー２及びアンカー部５を介して接地されている。固定電極端子８４には、可動電極端子８２と固定電極端子８４との間に静電気力が発生させるための可変電圧源９２が接続され、固定電極端子８５には、可動電極端子８３と固定電極端子８５との間に静電気力が発生させるための可変電圧源９３が接続されている。可変電圧源９２，９３の印加電圧がゼロである初期状態では、図１４（ａ）に示すように、ミラー２は撓みの無い平らな状態となっている。
【００７１】
可変電圧源９２により固定電極端子８４に電圧を印加すると共に、可変電圧源９３により固定電極端子８５に電圧を印加すると、図１４（ｂ）に示すように、可動電極端子８２と固定電極端子８４との間に生じる静電気力によって可動電極端子８２が固定電極端子８４側に引き寄せられると共に、可動電極端子８３と固定電極端子８５との間に生じる静電気力によって可動電極端子８３が固定電極端子８５側に引き寄せられる。これにより、ミラー２がその前面（光反射面）２ａに対して凹状に撓むようになる。
【００７２】
本実施形態においては、上記のように構成したので、可動ミラーデバイス８０（駆動部８１）の幅寸法Ｗを小さくしつつ、ミラー２を平らな状態から凹状に大きく変形させることができる。従って、本可動ミラーデバイス８０を図４に示すような分散補償器に適用した場合に、大きな負分散を補償することができる。
【００７３】
図１５は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第７の実施形態を示す概略構成図である。図中、第６の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００７４】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス９５は、第６の実施形態におけるミラー２に代えて、ミラー９６を備えている。ミラー９６は、図１５（ａ）に示すように、その前面（光反射面）９６ａ側に対して予め凸状に撓ませた構成となっている。
【００７５】
可変電圧源９２により固定電極端子８４に電圧を印加すると共に、可変電圧源９３により固定電極端子８５に電圧を印加すると、図１５（ｂ）に示すように、可動電極端子８２が固定電極端子８４側に引き寄せられると共に可動電極端子８３が固定電極端子８５側に引き寄せられ、これに伴ってミラー９６が撓みの無い平らな状態となる。そして、可変電圧源９２，９３の印加電圧を更に上げると、図１５（ｃ）に示すように、可動電極端子８２が更に固定電極端子８４側に引き寄せられると共に可動電極端子８３が更に固定電極端子８５側に引き寄せられ、これに伴ってミラー９６がその前面９６ａ側に対して凹状に撓むようになる。
【００７６】
このように本実施形態においては、固定電極端子８４，８５を可動電極端子８２，８３の片側のみに配置した簡単な構成であっても、ミラー９６を凹状及び凸状に変形させることができる。
【００７７】
図１６は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第８の実施形態を示す概略構成図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００７８】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス１００は、ミラー１０１と、このミラー１０１を湾曲状に変形させる駆動部１０２とを備えている。ミラー１０１の下面におけるミラー１０１の幅方向の中心部には、基板（図示せず）に固定されたアンカー部（図示せず）が設けられている。これにより、ミラー１０１は、その幅方向の中心部Ｇを固定点として湾曲状に変形自在となる。
【００７９】
駆動部１０２は、ミラー１０１の前面１０１ａにおけるミラー１０１の左端部及び右端部に結合されたＵ字型の可動電極端子１０３と、ミラー１０１の後面１０１ｂにおけるミラー１０１の左端部及び右端部に結合されたＵ字型の可動電極端子１０４と、可動電極端子１０３と対向するように基板（図示せず）に固定された固定電極端子１０５と、可動電極端子１０４と対向するように基板（図示せず）に固定された固定電極端子１０６とを有している。
【００８０】
可動電極端子１０３は、ミラー１０１の前面１０１ａにおける光反射領域を確保するために、例えばミラー１０１の前面１０１ａの下側部分に結合され、可動電極端子１０４は、それに対応してミラー１０１の後面１０１ｂの下側部分に結合されている。固定電極端子１０５は、可動電極端子１０３を挟んでミラー１０１と対向しており、固定電極端子１０６は、可動電極端子１０４を挟んでミラー１０１と対向している。
【００８１】
可動電極端子１０３における固定電極端子１０５と対向する側の面には櫛歯１０７が設けられ、可動電極端子１０４における固定電極端子１０６と対向する側の面には櫛歯１０８が設けられている。固定電極端子１０５における可動電極端子１０３と対向する側の面には櫛歯１０９が設けられ、固定電極端子１０６における可動電極端子１０４と対向する側の面には櫛歯１１０が設けられている。
【００８２】
また、可動電極端子１０３，１０４は、ミラー１０１及びアンカー部（図示せず）を介して接地されている。固定電極端子１０５には、可動電極端子１０３と固定電極端子１０５との間に静電気力が発生させるための可変電圧源１１１が接続され、固定電極端子１０６には、可動電極端子１０４と固定電極端子１０６との間に静電気力が発生させるための可変電圧源１１２が接続されている。
【００８３】
可変電圧源１１１により固定電極端子１０５に電圧を印加すると、可動電極端子１０３と固定電極端子１０５との間に生じる静電気力によって可動電極端子１０３が固定電極端子１０５側に引き寄せられる。これにより、撓みの無い平らなミラー１０１が、その前面１０１ａ側に対して凹状に変形する。一方、可変電圧源１１２により固定電極端子１０６に電圧を印加すると、可動電極端子１０４と固定電極端子１０６との間に生じる静電気力によって可動電極端子１０４が固定電極端子１０６側に引き寄せられる。これにより、撓みの無い平らなミラー１０１が、その前面１０１ａ側に対して凸状に変形する。
【００８４】
以上のように本実施形態にあっては、ミラー１０１の前面１０１ａ及び後面１０１ｂに可動電極端子１０３，１０４をそれぞれ結合したので、可動電極端子１０３，１０４の可動範囲を大きくするために可動電極端子１０３と固定電極端子１０５との間、可動電極端子１０４と固定電極端子１０６との間に所望の間隔を確保しても、ミラー１０１の幅方向に十分に大きなスペースをとられることは無い。これにより、可動ミラーデバイス１００（駆動部１０２）の幅寸法Ｗを小さくしつつ、ミラー１０１を平らな状態から凹状及び凸状の双方向に変形させることができる。従って、本可動ミラーデバイス１００を図４に示すような分散補償器に適用した場合に、正分散及び負分散の両者を補償することができる。
【００８５】
図１７は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第９の実施形態を示す概略構成図である。図中、第８の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００８６】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス１２０は、ミラー１０１を変形させる駆動部１２１を備えている。ミラー１０１の下面におけるミラー１０１の幅方向の両端部には、基板（図示せず）に固定されたアンカー部（図示せず）がそれぞれ設けられている。これにより、ミラー１０１は、その幅方向の両端部Ｅを固定点として湾曲状に変形自在となる。
【００８７】
駆動部１２１は、第８の実施形態における可動電極端子１０３，１０４に代えて、Ｔ字型の可動電極端子１２２，１２３を有している。可動電極端子１２２は、ミラー１０１の前面１０１ａにおけるミラー１０１の幅方向の中心部に結合され、可動電極端子１２３は、ミラー１０１の後面１０１ｂにおけるミラー１０１の幅方向の中心部に結合されている。可動電極端子１２２における固定電極端子１０５と対向する側の面には櫛歯１２４が設けられ、可動電極端子１２３における固定電極端子１０６と対向する側の面には櫛歯１２５が設けられている。可動電極端子１２２，１２３は、ミラー１０１及びアンカー部（図示せず）を介して接地されている。
【００８８】
可変電圧源１１１により固定電極端子１０５に電圧を印加すると、可動電極端子１２２と固定電極端子１０５との間に生じる静電気力によって可動電極端子１２２が固定電極端子１０５側に引き寄せられる。これにより、撓みの無い平らなミラー１０１が、その前面１０１ａ側に対して凸状に変形する。一方、可変電圧源１１２により固定電極端子１０６に電圧を印加すると、可動電極端子１２３と固定電極端子１０６との間に生じる静電気力によって可動電極端子１２３が固定電極端子１０６側に引き寄せられる。これにより、撓みの無い平らなミラー１０１が、その前面１０１ａ側に対して凹状に変形する。
【００８９】
本実施形態においても、可動ミラーデバイス１２０（駆動部１２１）の幅寸法Ｗを小さくしつつ、ミラー１０１を平らな状態から凹状及び凸状の双方向に変形させることができる。
【００９０】
以上、本発明の好適な実施形態について幾つか説明してきたが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明に係わる可動ミラーデバイスは、分散補償器以外の光デバイスにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明に係わる可動ミラーデバイスの第１の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す可動ミラーデバイスの動作を示す図である。
【図３】図１に示す可動ミラーデバイスを応用した可動ミラーデバイスアレイを示す斜視図である。
【図４】図３に示す可動ミラーデバイスアレイを備えた分散補償器を示す構成図である。
【図５】本発明に係わる可動ミラーデバイスの第２の実施形態を示す斜視図である。
【図６】本発明に係わる可動ミラーデバイスの第３の実施形態を示す斜視図である。
【図７】図６に示す可動ミラーデバイスの側面図である。
【図８】本発明に係わる可動ミラーデバイスの第３の実施形態の変形例を示す斜視図である。
【図９】図８に示す可動ミラーデバイスの側面図である。
【図１０】本発明に係わる可動ミラーデバイスの第４の実施形態を示す斜視図である。
【図１１】図１０に示す可動ミラーデバイスの動作を示す図である。
【図１２】本発明に係わる可動ミラーデバイスの第５の実施形態を示す概略構成及びその動作を示す図である。
【図１３】本発明に係わる可動ミラーデバイスの第６の実施形態を示す斜視図である。
【図１４】図１３に示す可動ミラーデバイスの動作を示す図である。
【図１５】本発明に係わる可動ミラーデバイスの第７の実施形態を示す概略構成及びその動作を示す図である。
【図１６】本発明に係わる可動ミラーデバイスの第８の実施形態を示す概略構成図である。
【図１７】本発明に係わる可動ミラーデバイスの第９の実施形態を示す概略構成図である。
【符号の説明】
【００９２】
１…可動ミラーデバイス、２…ミラー、２ａ…前面、２ｂ…後面、６…可動電極端子（第１可動電極端子）、７…可動電極端子（第２可動電極端子）、８Ａ，８Ｂ…固定電極端子（第１固定電極端子）、９Ａ，９Ｂ…固定電極端子（第２固定電極端子）、１０…結合部、１１…電極部、１２…結合部、１３…電極部、１８Ａ，１８Ｂ…可変電圧源（第１駆動手段）、１９Ａ，１９Ｂ…可変電圧源（第２駆動手段）、２０…可動ミラーデバイスアレイ、２２…分散補償器、２３…回折格子（光合波手段）、３０…可動ミラーデバイス、３２…可動電極端子（第１可動電極端子）、３３…可動電極端子（第２可動電極端子）、３４Ａ，３４Ｂ…固定電極端子（第１固定電極端子）、３５Ａ，３５Ｂ…固定電極端子（第２固定電極端子）、３６…結合部、３７…電極部、３８…結合部、３９…電極部、５０…可動ミラーデバイス、５４…可動電極端子（第１可動電極端子）、５５…可動電極端子（第２可動電極端子）、５６…結合部、５７…結合部、５０Ａ…可動ミラーデバイス、６０…可動ミラーデバイス、６２…可動電極端子（第１可動電極端子）、６３…可動電極端子（第２可動電極端子）、６４…固定電極端子（第１固定電極端子）、６５…固定電極端子（第２固定電極端子）、６６…結合部、６７…電極部、７２…可変電圧源（第１駆動手段）、７３…可変電圧源（第２駆動手段）、７５…可動ミラーデバイス、７６…ミラー、７６ａ…前面、７６ｂ…後面、８０…可動ミラーデバイス、８２…可動電極端子（第１可動電極端子）、８３…可動電極端子（第２可動電極端子）、８４…固定電極端子（第１固定電極端子）、８５…固定電極端子（第２固定電極端子）、８６…結合部、８７…電極部、９２…可変電圧源（第１駆動手段）、９３…可変電圧源（第２駆動手段）、９５…可動ミラーデバイス、９６…ミラー、９６ａ…前面、９６ｂ…後面、１００…可動ミラーデバイス、１０１…ミラー、１０１ａ…前面、１０１ｂ…後面、１０３…可動電極端子（第１可動電極端子）、１０４…可動電極端子（第２可動電極端子）、１０５…固定電極端子（第１固定電極端子）、１０６…固定電極端子（第２固定電極端子）、１１１…可変電圧源（第１駆動手段）、１１２…可変電圧源（第２駆動手段）、１２０…可動ミラーデバイス、１２２…可動電極端子（第１可動電極端子）、１２３…可動電極端子（第２可動電極端子）。
【図１】
2005107022.tif 000003
【図２】
2005107022.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
2005107022.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
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