(57)【要約】【課題】ＰＺＴセンサを持つグライドハイトヘッド（ＧＨヘッド）を試験対象の磁気ディスク面上に浮上させ、ＰＺＴセンサ出力から当該ディスク表面に欠陥突起が有るか否かを検査するにあたり、当該ＰＺＴセンサ出力が突起を検出したことによるハードヒットでの出力か、それ以外の要因によるソフトヒットでの出力かを区分する。【解決手段】ＰＺＴセンサの出力信号をフーリエ変換して得たＧＨヘッド加速度の周波数応答における共振点ωn1、ωn2での強度比｜Ａ（ωn1）*｜／｜Ａ（ωn2）* ｜を所定の閾値と比較し上記ヒットの区分をする。閾値は予め実験で振動パラメータを定めたＧＨヘッド加速度の周波数伝達関数Ｈ（ω）と、作用時間ｔ１の正弦半波と仮定した突起の衝撃力のフーリエ変換Ｆ（ω）とを用いたシミュレーションで計算した衝撃力印加時のＧＨヘッド加速度の周波数応答関数における共振ピーク比｜Ａ（ωn1）｜／｜Ａ（ωn2）｜と作用時間ｔ１との関係から決定する。【選択図】        図１
2005235257.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＰＺＴセンサを備えたグライドハイトヘッドを所定の速度で回転する試験対象の磁気記録媒体の面上に浮上させ、前記ＰＺＴセンサの出力信号から当該の磁気記録媒体の表面に規格値以上の欠陥突起があるか否かを検査する磁気記録媒体表面の検査方法において、
前記ＰＺＴセンサの出力信号をフーリエ変換して得られる前記グライドハイトヘッドの加速度の周波数応答に現れる複数の共振点別の出力強度の中、少なくとも所定の２つの共振点の出力強度同士の比を所定の閾値と比較して当該のＰＺＴセンサの出力信号が当該の磁気記録媒体の表面の突起に起因するものであるか否かを区分し、突起に起因すると区分されたＰＺＴセンサの出力信号から当該の磁気記録媒体に対する前記の検査を行うことを特徴とする磁気記録媒体表面の検査方法。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気記録媒体表面の検査方法において、
前記グライドハイトヘッドを複数Ｎの自由度を持つ線形Ｎ自由度振動系の振動体とみなし、前記グライドハイトヘッドに該グライドハイトヘッドの固有振動周期より充分短い時間幅の衝撃パルスを与えたときの前記ＰＺＴセンサの出力信号をフーリエ変換して得た周波数応答に近似する応答を示すように、各自由度別の振動のパラメータを推定してなる前記線形Ｎ自由度振動系の加速度のインパルス応答の周波数応答関数の解析式を前記グライドハイトヘッドの加速度のインパルス応答の周波数応答関数とし、
試験対象の磁気記録媒体の表面の突起が前記グライドハイトヘッドに衝突して与える衝撃力の時間的変化波形が基底部の時間幅を作用時間とする正弦半波とみなし、この衝撃力としての正弦半波パルスのフーリエ変換と、前記グライドハイトヘッドの加速度のインパルス応答の周波数応答関数から得られる前記グライドハイトヘッドの加速度の周波数伝達関数とから、前記正弦半波パルスの印加に対する前記グライドハイトヘッドの加速度の周波数応答関数を求め、
さらに、該周波数応答関数における前記所定の２つの共振点での該周波数応答関数の絶対値同士の比と前記作用時間との関係を求め、
前記閾値が、該関係に基づいて定められることを特徴とする磁気記録媒体表面の検査方法。
【請求項３】
請求項２に記載の磁気記録媒体表面の検査方法において、
前記グライドハイトヘッドに与えられる衝撃パルスが、予め磁気記録媒体の表面に所定形状の突起を設けてなるバンプディスクを前記試験対象の磁気記録媒体に代わり用いることにより生成されることを特徴とする磁気記録媒体表面の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＰＺＴセンサ（ピエゾ素子センサ）を備えたグライドハイトヘッドを所定の速度で回転する試験対象のハードディスク等の磁気記録媒体の面上に浮上させ、ＰＺＴセンサの出力信号から当該の磁気記録媒体の表面に規格値以上の欠陥突起があるか否かを検査する磁気記録媒体表面の検査方法に関する。
なお、以下各図において同一の符号は同一もしくは相当部分を示す。
【背景技術】
【０００２】
図８はハードディスク（磁気ディスク、さらに一般に磁気記録媒体とも呼ぶ）の断面内の構成例を示す。即ちハードディスク１０は基板１１上に磁性層１２を成膜し、その上に保護層１３を成膜し、さらにその上に潤滑膜１４を塗布して構成されている。
ハードディスク装置は、ハードディスク１０上にヘッドを１０ｎｍ程度浮上させて、データの記録再生を行うものであるから、ハードディスクの表面上に規格値以上の欠陥突起などがあると、ヘッド浮上の変動やヘッドダメージなど深刻なエラーヘと繋がる。このためにハードディスクはその表面にエラーに繋がる突起がないことを検査したうえ出荷される。
従来、ハードディスクの表面欠陥の検査は、グライドハイトヘッド（以下グライドハイトをＧＨとも略記する）を用いた、いわゆるＧＨ試験（浮上特性試験ともいう）により実施されている。図９はＧＨヘッドの構成例を示す斜視図である。即ち、ＧＨヘッド２０は、ハードディスク表面の突起等からＧＨヘッド２０に加わる衝撃力（直接的には加速度）を測定するためのＰＺＴセンサ（ピエゾ素子センサともいう）２１を搭載したスライダ（ヘッドスライダともいう）２２と、スライダ２２を支えるジンバルバネ２３から構成されている。
【０００３】
図１０はＧＨ試験の説明図で、同図（ａ）は水平方向を時間軸とするＰＺＴセンサ２１の出力波形２１ａを示し、同図（ｂ）は同じく水平方向を時間軸とし、バンプディスク１０Ｂ上を浮上走行するＧＨヘッドのスライダ２２とバンプディスク１０Ｂ上の突起１５との相対関係を示す。なお、バンプディスク１０ＢとはＧＨ試験の基準値等を得るために作られたＧＨヘッドへの衝突用のハードディスクである。
即ち、まず、ハードディスク１０の表面にＧＨ試験で不良とするサイズ（例えば高さＨ＝１１ｎｍ）の突起１５を生成したバンプディスク１０Ｂを用意する。そしてバンプディスク１０Ｂを回転することにより、バンプディスク１０ＢとＧＨヘッドのスライダ２２との間に生ずる空気流の浮揚力によりスライダ２２をバンプディスク１０Ｂ上に浮上させ、そのときのＰＺＴセンサ２１の出力信号波形、従ってスライダ２２、従ってＧＨヘッド２０の加速度の時間応答波形２１ａを観測し、スライダ２２が突起１５にヒット（衝突）するか否かを確認する。ヒットすれば図１０（ａ）のような振動波形２１ａが観測される。
【０００４】
ＧＨヘッドの周速（つまりバンプディスク１０Ｂの回転数）を徐々に下げることで、ＧＨヘッドの浮上量を下げながら、スライダ２２が突起１５にヒットするときの周速と振動波形２１ａの振幅を求め、この周速を試験周速の下限とし、この振幅を許容可能な振幅の上限とする。
次に良否判別のための試験の対象となるハードディスク１０上に、上記した試験周速でＧＨヘッドを浮上走行させて、ＰＺＴセンサ２１が捉える衝撃信号２１ａをもとに、ハードディスク表面の欠陥を探索し、ＰＺＴセンサの出力衝撃信号（振動波形）２１ａの振幅が上記の上限値を越えないハードディスク１０を良品としていた。
なお、本出願人の先願発明になる特許文献１には、ＰＺＴセンサの出力信号を周波数範囲が１００ｋＨｚから１ＭＨｚであるバンドパスフィルタに通して出力し、その出力値により不良磁気記録媒体を選別することで、規格値以上の欠陥突起を有する不良媒体を確実に選別しようとする技術が開示されている。
【０００５】
また、特許文献２には磁気記録媒体に対して、ピエゾ素子センサを搭載したヘッドスライダを、磁気記録媒体が搭載される装置のヘッド浮上高の０．８〜２倍のグライドハイトで飛行させ、ピエゾ素子センサからの出力に対する閾値をノイズレベルの１．１〜２倍に設定することにより、磁気記録媒体の表面に形成された異常に高い突起の存在を検出する磁気記録媒体の検査方法及び検査用ヘッドが開示されている。
【特許文献１】特開平９―６３０５０号公報
【特許文献２】特開２０００―５５８８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ＰＺＴセンサの出力振幅を評価基準としている従来例の場合、浮上量が１０ｎｍ以上であれば、ハードディスクの潤滑膜や表面うねりによるスライダ挙動摂動の影響を受けず、ＰＺＴセンサの出力から有害な突起の検出を高い精度で行うことができた。
しかし磁気記録の高密度化に伴い、媒体表面の検査にはスライダの浮上量をより低下させることが求められている。そこで、１０ｎｍを下回る浮上量にすると、潤滑膜１４の一部がスライダ２２に接触しはじめ、またハードディスク表面の微細なうねりによりスライダの姿勢や挙動が乱されるため、機械振動が発生したり、ＰＺＴの電気的ノイズの影響が大きくなり、ヒット現象でないにもかかわらず、ヒットと同等の振幅を観測してしまうという問題がある。
本発明はこの問題を解消し、ヒット現象とヒット以外の現象とを切り分けてハードディスク表面上の有害な突起を確実に検出できる磁気記録媒体表面の検査方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この課題を解決するために請求項１の磁気記録媒体表面の検査方法では、
ＰＺＴセンサ（２１）を備えたグライドハイトヘッド（２０）を所定の速度で回転する試験対象の磁気記録媒体（１０）の面上に浮上させ、前記ＰＺＴセンサの出力信号（２１ａ）から当該の磁気記録媒体の表面に規格値以上の欠陥突起があるか否かを検査する磁気記録媒体表面の検査方法において、
前記ＰＺＴセンサの出力信号をフーリエ変換して得られる前記グライドハイトヘッドの加速度の周波数応答（Ａ（ω）*）に現れる複数の共振点別の出力強度の中、少なくとも所定の２つの共振点（ωn1、ωn2など）の出力強度同士の比（共振ピーク比｜Ａ（ωn1）*｜／｜Ａ（ωn2）* ｜｜）を所定の閾値と比較して当該のＰＺＴセンサの出力信号が当該の磁気記録媒体の表面の突起（１５）に起因するものであるか否かを区分し、突起に起因すると区分されたＰＺＴセンサの出力信号から当該の磁気記録媒体に対する前記の検査を行うようにする。
【０００８】
また請求項２の磁気記録媒体表面の検査方法では、請求項１に記載の磁気記録媒体表面の検査方法において、
前記グライドハイトヘッドを複数Ｎの自由度を持つ線形Ｎ自由度振動系の振動体とみなし、前記グライドハイトヘッドに該グライドハイトヘッドの固有振動周期より充分短い時間幅の衝撃パルスを（バンプディスクなどを介して）与えたときの前記ＰＺＴセンサの出力信号をフーリエ変換して得た周波数応答（ＡI（ω）* ）に近似する応答を示すように、各自由度別の振動のパラメータ（ｋj 、ωnj、ζj （ｊ＝１，・・・Ｎ））を推定してなる前記線形Ｎ自由度振動系の加速度のインパルス応答（インパルスＩ・δ（ｔ）に対する時間応答）の周波数応答関数の解析式（ＡI （ω））を前記グライドハイトヘッドの加速度のインパルス応答の周波数応答関数とし、
試験対象の磁気記録媒体の表面の突起が前記グライドハイトヘッドに衝突して与える衝撃力（ｆ（ｔ））の時間的変化波形が基底部の時間幅を作用時間（ｔ１）とする正弦半波とみなし、この衝撃力としての正弦半波パルスのフーリエ変換（Ｆ（ω））と、前記グライドハイトヘッドの加速度のインパルス応答の周波数応答関数から得られる前記グライドハイトヘッドの加速度の周波数伝達関数（Ｈ（ω））とから、前記正弦半波パルスの印加に対する前記グライドハイトヘッドの加速度の周波数応答関数（Ａ（ω））を求め、
さらに、該周波数応答関数における前記所定の２つの共振点での該周波数応答関数の絶対値同士の比（共振ピーク比｜Ａ（ωn1）｜／｜Ａ（ωn2）｜）と前記作用時間との関係を求め、
前記閾値が、該関係に基づいて定められるようにする。
【０００９】
また請求項３の磁気記録媒体表面の検査方法では、請求項２に記載の磁気記録媒体表面の検査方法において、
前記グライドハイトヘッドに与えられる衝撃パルスが、予め磁気記録媒体の表面に所定形状の突起を設けてなるバンプディスク（１０Ｂ）を前記試験対象の磁気記録媒体に代わり用いることに生成されるようにする。
即ち本発明の作用は、ＰＺＴセンサを備えたグライドハイトヘッドを試験対象の磁気記録媒体の面上に浮上させ、ＰＺＴセンサの出力信号から当該の磁気記録媒体の表面に規格値以上の欠陥突起が有るか否かを検出する試験において、
突起を検出したときのＰＺＴセンサ出力信号をフーリエ変換して得た周波数応答と、潤滑膜やハードディスク表面うねりによるスライダ挙動摂動の影響を受けたときのＰＺＴセンサ出力信号をフーリエ変換して得た周波数応答とが異なり、特にこの周波数応答に現れる所定の２つの共振点での出力強度同士の比（共振ピーク比）に大きな差があることを利用し、この共振ピーク比を検出して当該の周波数応答がハードヒットモード（つまり、突起を検出したモード）の周波数応答であるか、ソフトヒットモード（つまり、潤滑膜やハードディスク表面うねりによるスライダ挙動摂動の影響を受けたモード）の周波数応答であるかを区分し、ハードヒットモードの周波数応答を示した磁気記録媒体を欠陥突起の検出対象とするものである。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ＰＺＴセンサを備えたグライドハイトヘッドを試験対象の磁気記録媒体の面上に浮上させて得たＰＺＴセンサ出力信号をフーリエ変換してなる周波数応答に現れる所定の２つの共振点での出力強度同士の比（共振ピーク比）を求めることで、当該の周波数応答が突起を検出したハードヒットモードの周波数応答か、潤滑膜やハードディスク表面うねりによるスライダ挙動摂動の影響を受けたソフトヒットモードの周波数応答かを区別できるようにしたので、規格値以上の欠陥突起が有る磁気記録媒体を選別することが容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明では、ＰＺＴセンサ２１を備えたグライドハイトヘッド（ＧＨヘッド）２０を試験対象の磁気記録媒体の面上に浮上させ、ＰＺＴセンサの出力信号２１ａから当該の磁気記録媒体の表面に規格値以上の欠陥突起が有るか否かを検出するにあたり、出力信号２１ａをフーリエ変換して得たＧＨヘッドの加速度の周波数応答により、当該の周波数応答が突起を検出したときのハードヒットモードの周波数応答か、潤滑膜やハードディスク表面うねりによるスライダ挙動摂動の影響を受けたときのソフトヒットモードの周波数応答かを区分しようとするものである。
図１は本発明の一実施例としての処理手順を示すフローチャートで、ステップＳ１〜Ｓ５からなる同図（ａ）は主フローチャート、ステップＳ１１〜Ｓ１３からなる同図（ｂ）は同図（ａ）のステップＳ１の詳細フローチャートである。
【００１２】
以下、図１の手順に沿って本発明を説明する。ステップＳ１では予めシミュレーションによりハードディスク上の突起の衝撃力の作用時間ｔ１（後述の図３参照）と、この衝撃力の印加によるＧＨヘッドの加速度の周波数応答関数Ａ（ω）（後述の式（８）参照）における所定の２つの共振点（本実施例では最低位の共振（角）周波数ωn1およびその次位の共振（角）周波数ωn2の点）での絶対値同士の比（共振ピーク比とも呼ぶ）｜Ａ（ωn1）｜／｜Ａ（ωn2）｜との関係を計算する。
このために先ず、インパルスＩ・δ（ｔ）の入力に対するＧＨヘッドの加速度応答の周波数応答関数ＡI （ω）（後述の式（４）参照）、および同じく単位インパルスδ（ｔ）の入力に対するＧＨヘッドの加速度応答の周波数応答関数としての、ＧＨヘッドの加速度の周波数伝達関数Ｈ（ω）（後述の式（５）参照）を以下のように求めて行く。
【００１３】
ＧＨヘッドは実際上、複数個Ｎの共振点を持つ線形Ｎ自由度系の振動体とみなすことができるが、これを考える前にず図７に示すようなダンパー（粘性減衰作用をもたらす手段）を持つ線形１自由度系のバネ・質点系を考える。なお、ｍは質点（この場合振動体）の質量、ｋはバネの定数、ｃはダンパーの定数（粘性減衰係数）である。
いま、ｔ＝０において静止していた質点ｍにインパルス（力積）Ｉ・δ（ｔ）が加わったとする。但しδ（ｔ）は単位インパルス関数（デルタ関数ともいう）である。このとき、線形１自由度系の質点ｍの静止位置（ｘI1＝０）からの変位ｘI1の時間応答ｘI1（ｔ）と加速度ａI1の時間応答ａI1（ｔ）は、それぞれ下式（１）、（２）で表される（機械工学便覧Ａ３，力学・機械力学，日本機械学会編参照）。
【００１４】
【数１】
2005235257.tif 000003
加速度の時間応答ａI1（ｔ）を表す（２）式をフーリエ変換すると、角振動数（角周波数あるいは角速度ともいう）ω（＝２πｆ、但しｆ：周波数）を変数（横軸）とする次式（３）に示される加速度の周波数応答関数ＡI1（ω）が得られる。
【００１５】
【数２】
2005235257.tif 000004
前述のようにＧＨヘッドは複数個Ｎの共振点を持つ線形Ｎ自由度系の振動体とみなすことができるので、この線形Ｎ自由度系の加速度の周波数応答関数は各共振点別の固有角振動数ωnj（ｊ＝１，・・・Ｎ）をそれぞれ持つ各１自由度系の加速度の周波数応答関数の重ね合わせで得られる。従ってＧＨヘッドにインパルスＩ・δ（ｔ）が加わった時の、加
速度のフーリエ変換ＡI （ω）は、次式（４）で表される。
【００１６】
【数３】
2005235257.tif 000005
この（４）式内の各自由度系別の振動のパラメータｋj 、ωnj、ζj （ｊ＝１，・・・Ｎ）、は以下の実験により求めることができる。
即ち、ＧＨヘッド２０にインパルスＩ・δ（ｔ）に相当する衝撃パルスを加えるバンプディスク（以下便宜上、インパルスバンプディスクとも呼ぶ）、つまりハードディスク表面に、ＧＨヘッド２０の固有振動周期（つまり共振周波数の周期）より十分短い（１／５以下）の時間で通過する幅の突起を生成したバンプディスク１０Ｂを用意する。例えばＧＨヘッドの周速を６ｍ／ｓ、同定したいＧＨヘッドの固有振動周波数（共振周波数）を８００ｋＨｚとすると、上記突起の幅を１．５μｍ以下とすることが必要である。
【００１７】
前記インパルスバンプディスク上にＧＨヘッド２０を浮上させ、突起にヒットしたときのＰＺＴセンサ２１の出力信号波形（つまりＧＨヘッドの加速度の時間応答波形）を記録し、これをフーリエ変換してＧＨヘッドの加速度の周波数応答関数ＡI （ω）の実験データＡI （ω）* を得る（ステップＳ１１）。
（４）式の振動のパラメータｋj 、ωnj、ζj （ｊ＝１，・・・Ｎ）、は（４）式の周波数応答関数ＡI （ω）の実部および虚部と、実験データＡI（ω）* の実部および虚部との実部同士の差の二乗和および虚部同士の差の二乗和が共に最小になるように決める。
従って、単位インパルスδ（ｔ）の入力に対するＧＨヘッドの加速度応答の周波数応答関数（以下ＧＨヘッドの加速度の周波数伝達関数と呼ぶ）Ｈ（ω）は次式（５）で与えられる（ステップＳ１２）。
【００１８】
（数４）
ＧＨヘッドの加速度の周波数伝達関数Ｈ（ω）：
Ｈ（ω）  ＝ＡI （ω）／Ｉ                            ・・・（５）
但し、上式（５）におけるＩ（つまり、上記インパルスバンプディスクがＧＨヘッドに与えるインパルスＩ・δ（ｔ）の大きさ）は、このステップＳ１でのシミュレーションの場合、後述するステップＳ１３（図１（ｂ））にて突起の衝撃力ｆ（ｔ）の印加に対するＧＨヘッドの加速度の周波数応答関数Ａ（ω）（  式（８））から最終的に求める共振ピーク比｜Ａ（ωn1）｜／｜Ａ（ωn2）｜において、分母と分子で相殺されるため、いかなる値でもよく、ここでは簡単のためＩ＝１（＝壱）とする。
【００１９】
次に、試験対象となるハードディスク上において、突起から衝撃力ｆ（ｔ）を受けたときのＧＨヘッドの加速度をａ（ｔ）とし、加速度の単位インパルス応答関数をｈ（ｔ）とする。
この単位インパルス応答関数ｈ（ｔ）は、ＧＨヘッドに単位インパルスδ（ｔ）が印加されたときの加速度の時間応答を意味し、（５）式のＨ（ω）、つまり単位インパルスδ（ｔ）の入力に対するＧＨヘッドの加速度応答の周波数応答関数としてのＧＨヘッドの加速度の周波数伝達関数、に対応する加速度の時間応答に相当する。
つまり、次式（６）に示すようにＧＨヘッドの加速度の単位インパルス応答関数ｈ（ｔ）のフーリエ変換がＧＨヘッドの加速度の周波数伝達関数Ｈ（ω）である。
【００２０】
【数５】
2005235257.tif 000006
さて、ハードディスク上の突起から衝撃力ｆ（ｔ）を受けたときＧＨヘッドの加速度ａ（ｔ）は次式（７）で表される。
【００２１】
【数６】
2005235257.tif 000007
この（７）式をフーリエ変換すると次式（８）の関係が得られる。
【００２２】
【数７】
2005235257.tif 000008
即ち、Ａ（ω）はＧＨヘッドの加速度ａ（ｔ）のフーリエ変換、Ｆ（ω）は突起の衝撃力ｆ（ｔ）のフーリエ変換である。従って、この式（８）により突起の衝撃力ｆ（ｔ）のフーリエ変換と、ＧＨヘッドの加速度の周波数伝達関数Ｈ（ω）（式（５））とから、衝撃力ｆ（ｔ）の印加に対するＧＨヘッドの加速度の周波数応答関数Ａ（ω）が計算できることになる。
次に、突起の衝撃力ｆ（ｔ）のフーリエ変換を計算するにあたり、衝撃力ｆ（ｔ）の波形が、図３のように振幅をＦ0 、基底部の時間幅を作用時間ｔ１とし、角振動数ω0 で変化する半周期の正弦半波と考える。この衝撃力ｆ（ｔ）は次式（９）で示される。
【００２３】
（数８）
ｆ（ｔ）＝Ｆ0 ・ｓｉｎω0 ｔ                            ・・・（９）
但し、    ω0 ＝π／ｔ１
なお、この式（９）における衝撃力ｆ（ｔ）の振幅Ｆ0 の大きさも、前述の式（５）におけるインパルスの大きさＩと同様、後述するステップＳ１３（図１（ｂ））にて最終的に求める共振ピーク比｜Ａ（ωn1）｜／｜Ａ（ωn2）｜において、分母と分子で相殺されるため、任意の値としてよい。
ここで、ハードヒットとソフトヒットの衝撃力f(ｔ）の作用時間ｔ１を、ハードヒットの方がソフトヒットより充分短いと仮定して、
ｔ１＝５μｓ、２．５μｓ、１μｓ、０．５μｓ
の４条件としたときの式（９）のフーリエ変換Ｆ（ω）と、
ＧＨヘッドを自由度Ｎ＝２（つまり共振点の個数＝２）で、各自由度系別の振動のパラメータ；
ωn1＝２π×２００ｋＨｚ，ζ1 ＝０．０６，ｋ1 ＝１３、
ωn2＝２π×８００ｋＨｚ，ζ2 ＝０．０７，ｋ2 ＝１６、
を持つ線形２自由度系の振動体であるとして得たＧＨヘッドの加速度の周波数伝達関数Ｈ（ω）（式（５））とを式（８）にあてはめるシミュレーションにより、衝撃力f(ｔ）の印加に対するＧＨヘッドの加速度の周波数応答関数Ａ（ω）を計算すると図４のａ）〜ｄ）のような周波数応答曲線を得る。
【００２４】
この図４より、２つの共振点ωn1＝２π×２００ｋＨｚ、ωn2＝２π×８００ｋＨｚにおける周波数応答関数Ａ（ω）の絶対値同士の比としての共振ピーク比｜Ａ（ωn1）｜／｜Ａ（ωn2）｜を求め、衝撃力f(ｔ）の作用時間ｔ１との関係を図示すると図２が得られる（ステップＳ１３）。
図２から分かるように、衝撃力f(ｔ）の作用時間ｔ１と周波数応答関数Ａ（ω）の共振ピーク比｜Ａ（ωn1）｜／｜Ａ（ωn2）｜は正の相関関係があり、当該の衝撃力f(ｔ）の衝撃がハードヒットかソフトヒットかを区分することができる。次に、このような区分が可能である例を示す。
先ず、ハードディスク上に潤滑剤が厚くなる部分を作る。その上にＧＨヘッドを浮上させ、潤滑剤が厚い箇所でのＰＺＴセンサ出力信号から得た周波数応答Ａ（ω）*（つまり前記の周波数応答関数Ａ（ω）に対応する実測値）を求めると図５のような結果を得る。また別にＧＨヘッドが突起にヒットした時のＰＺＴセンサ出力信号から得た周波数応答Ａ（ω）* を求めると図６のような結果を得る。
【００２５】
そこで、図５、図６のそれぞれの周波数応答Ａ（ω）*における、２つの共振点ωn1＝２π×２００ｋＨｚ、ωn2＝２π×８００ｋＨｚでの出力強度の比としての共振ピーク比｜Ａ（ωn1）* ｜／｜Ａ（ωn2）* ｜を計算すると、次のような結果を得る。
潤滑剤による共振ピーク比：｜Ａ（ωn1）* ｜／｜Ａ（ωn2）* ｜＝７．７
突起による共振ピーク比  ：｜Ａ（ωn1）* ｜／｜Ａ（ωn2）* ｜＝０．１１
この結果を図２に当てはめて衝撃力の作用時間ｔ１を求めると、それぞれ次の結果を得る。
潤滑剤による衝撃力の作用時間：ｔ１＝１８．５１μｓ
突起による衝撃力の作用時間  ：ｔ１＝０．６１μｓ
即ち、突起による衝撃力の作用時間は、潤滑剤による衝撃力の作用時間より充分に短く、ハードヒットとソフトヒットの区分が可能である。
【００２６】
よって、試験対象のハードディスクの表面における欠陥突起の有無を検査するには、ＧＨ試験によりＰＺＴセンサの出力を取得し（ステップＳ２）、このＰＺＴセンサの出力信号をフーリエ変換して得たＧＨヘッドの加速度の周波数応答Ａ（ω）*より共振ピーク比｜Ａ（ωn1）* ｜／｜Ａ（ωn2）* ｜を求める（ステップＳ３）。
そして、ステップＳ３で求めた共振ピーク比｜Ａ（ωn1）*｜／｜Ａ（ωn2）* ｜を図２の関係と比較して当該の衝撃力f(ｔ）の作用時間ｔ１を推定し、この推定結果を所定の閾値と比較して、ＧＨヘッドが当該の試験対象のハードディスクから受けた衝撃力f(ｔ）がハードヒットに該当するかソフトヒットに該当するかを区分する（ステップＳ４）。
そして、ハードヒットに該当すれば当該の試験対象のハードディスクについてのＰＺＴセンサの出力信号２１ａから欠陥突起の有無を検査する（ステップＳ５）。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の一実施例としての手順を示すフローチャート
【図２】本発明に基づくシミュレーションにより計算されたハードディスク上の突起の衝撃力の作用時間と、これに対するＧＨヘッドの加速度の周波数応答関数における共振ピーク比との関係の実施例を示す図
【図３】本発明に基づくシミュレーションにおいて仮定したハードディスク上の突起の衝撃力の時間的変化を示す波形図
【図４】本発明に基づくシミュレーションにより計算された、ハードディスク上の突起の衝撃力の作用時間別のＧＨヘッド加速度の周波数応答関数の曲線の実施例を示す図
【図５】ハードディスク上の潤滑剤から受けるＧＨヘッドの加速度の周波数応答の例を示す図
【図６】ハードディスク上の突起から受けるＧＨヘッドの加速度の周波数応答の例を示す図
【図７】線形１自由度振動系の模式図
【図８】ハードディスクの構成例を示す断面図
【図９】ＧＨヘッドの構成例を示す斜視図
【図１０】バンプディスク上の突起と、その衝撃に基づくＧＨヘッド上のＰＺＴセンサの出力との関係の例を示す模式図
【符号の説明】
【００２８】
Ａ（ω）      突起の衝撃力の印加に対するＧＨヘッド加速度の周波数応答関数
Ａ（ω）*     周波数応答関数Ａ（ω）に対応する周波数応答（実測値）
ＡI （ω）    ＧＨヘッド加速度のインパルス応答の周波数応答関数
ＡI （ω）*   周波数応答関数ＡI （ω）に対応する周波数応答（実測値）
Ｈ（ω）      ＧＨヘッド加速度の単位インパルス応答の周波数応答関数
（ＧＨヘッド加速度の周波数伝達関数）
ｆ（ｔ）      突起の衝撃力の時間的変化
ｔ１          突起の衝撃力の作用時間
ωn1、ωn2    ＧＨヘッドの固有角振動数
｜Ａ（ωn1）｜／｜Ａ（ωn2）｜        共振ピーク比
｜Ａ（ωn1）*｜／｜Ａ（ωn2）* ｜    共振ピーク比（実測値）
１０          ハードディスク（磁気記録媒体）
１０Ｂ        バンプディスク
１１          基板
１２          磁性膜
１３          保護層
１４          潤滑膜
１５          突起
２０          グライドハイトヘッド（ＧＨヘッド）
２１          ＰＺＴセンサ
２１ａ        ＰＺＴセンサ出力
２２          スライダ
２３          ジンバルバネ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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