(57)【要約】【課題】本発明は、操作性を損なうことなく、観察者の作業スペースの拡大を実現可能とし、観察者が発した息や空気中のゴミ、塵等が標本に付着するのを防止できるブレスシールドを備えた光学顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の光学顕微鏡は、顕微鏡本体におけるステージ８の端部と接眼部近傍との間に配置され、前記ステージ８と接眼部との相対的な位置が前後に動くとき、その前後方向の動きに連動して観察者側とステージ側とを変形により遮り、且つ透過性を有したブレスシールドＢ１を具備したことを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステージ端部と接眼部近傍との間に配置され、前記ステージと接眼部との相対的な位置が前後に動くとき、その前後方向の動きに連動して観察者側とステージ側とを変形により遮り、且つ透過性を有したブレスシールドを具備したことを特徴とする光学顕微鏡。
【請求項２】
前記ステージ端部と接眼部近傍との間に観察者側とステージ側とを遮る状態で配置した前記ブレスシールドは、シート状部材であることを特徴とする請求項１記載の光学顕微鏡。
【請求項３】
前記ブレスシールドに対して、前記ステージに抗した方向に付勢力を与える付勢手段をさらに備えたことを特徴とする請求項２記載の光学顕微鏡。
【請求項４】
前記ステージと接眼部との相対的な位置が前後に動くのに連動して前記ブレスシールドの長さが最短距離となるように出し入れする機構をさらに備えたことを特徴とする請求項２記載の光学顕微鏡。
【請求項５】
前記ステージ端部と接眼部近傍との間に観察者側とステージ側とを遮る状態で配置した前記ブレスシールドは、複数枚の板状部材と、前記板状部材を連結する可動部材とで構成したことを特徴とする請求項１記載の光学顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学顕微鏡に関し、詳しくは、ブレスシールドを備えた光学顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の光学顕微鏡におけるブレスシールドの先行技術としては、例えば非特許文献１に開示されたものがあり、図１６に示すような構成になっている。
図１６に示す従来の光学顕微鏡は、顕微鏡本体５４に対して、光源５５、投光光学系５６、ハーフミラー５７、対物レンズレボルバ５８、対物レンズ５９、ステージ６０、鏡筒６１、接眼レンズ６２を組み込んで構成している。図１６中、６３は検鏡時のアイポイント、６４は標本（半導体ウェハ、液晶、細胞等）７０を直視するときのアイポイントを示している。
【０００３】
ここで、６５はアイポイント６４から標本７０を直視した際の光路を示しており、該光路６５上の観察者と標本７０との間には、光透過性を有する材料、例えば半透明な材料で構成されるブレスシールド（Ｂｒｅａｔｈ  Ｓｈｉｅｌｄ）６６が設けられている。
【０００４】
このブレスシールド６６は、観察者が発する息や空気中のゴミ、塵が標本７０に付着することを防ぎ、且つ、光源５５から発せられた照明光により標本７０で反射した光に対する防眩を目的として使用する。このブレスシールド６６の一端は、図示しないネジ等により顕微鏡本体５４のアーム部先端に着脱可能に取り付けられている。
【０００５】
また、このように従来の光学顕微鏡に取り付けられているブレスシールドは、観察者が発する息や空気中のゴミ、塵等が標本７０に付着するのを防止するために、ステージ６０に対して前方向の可動範囲を覆えるよう観察者側に突出した形状をなしている。
【０００６】
また、これらの構成によれば、ブレスシールド６６（以下、固定型ブレスシールドと称する。）は、着脱可能ではあるものの検鏡時には固定して使用するものとなっている。
【０００７】
【非特許文献１】
公開技法番号９５−８０９４号
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、標本、特に半導体ウェハ等の大型化に伴い、金属検査用顕微鏡、特に半導体検査装置用顕微鏡も大型化傾向にあり、そのためステージの大型化も望まれる。図１６に示す従来の固定型ブレスシールド６６を利用し、大型化ステージに対応しようとした場合、固定型ブレスシールド６６をより観察者側に突出させた形状にしなければならなくなる。
【０００９】
しかしながら、固定型ブレスシールド６６をより観察者側に突出させた形状にすると、観察者の作業スペース及び操作性を損なってしまうという新たな問題が考えられる。
【００１０】
また、顕微鏡本体５４の一端に着脱可能に取り付けられている固定型ブレスシールド６６は、光学顕微鏡のステージ６０との干渉を回避するために、固定型ブレスシールド６６の他端とステージ６０との間に隙間を設ける必要があるので、完全には観察者の息や空気中のゴミ、塵等の標本７０への付着を防ぎきれていないという問題点も考えられる。
【００１１】
本発明は、上記実情を鑑みてなされたものであり、操作性を損なうことなく、観察者の作業スペースの拡大を実現可能とし、観察者が発した息や空気中のゴミ、塵等が標本に付着するのを防止できるブレスシールドを備えた光学顕微鏡を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
本発明の光学顕微鏡は、ステージ端部と接眼部近傍との間に配置され、前記ステージと接眼部との相対的な位置が前後に動くとき、その前後方向の動きに連動して観察者側とステージ側とを変形により遮り、且つ透過性を有したブレスシールドを具備ている。
【００１３】
また、本発明の光学顕微鏡のステージ端部と接眼部近傍との間に観察者側とステージ側とを遮る状態で配置した前記ブレスシールドは、シート状部材であることが好ましい。
【００１４】
また、本発明の光学顕微鏡のブレスシールドに対して、前記ステージに抗した方向に付勢力を与える付勢手段をさらに備えたことが好ましい。
【００１５】
また、本発明の光学顕微鏡のステージと接眼部との相対的な位置が前後に動くのに連動して前記ブレスシールドの長さが最短距離となるように出し入れする機構をさらに備えたことが好ましい。
【００１６】
また、本発明の光学顕微鏡のステージ端部と接眼部近傍との間に観察者側とステージ側とを遮る状態で配置した前記ブレスシールドは、複数枚の板状部材と、前記板状部材を連結する可動部材とで構成したことが好ましい。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【００１８】
（実施の形態１）
図１乃至図３を参照して、本発明の実施の形態１の構成について説明する。
図１は本実施の形態１の半導体検査用の光学顕微鏡の側面図、図２は同光学顕微鏡の平面図、図３は同光学顕微鏡の正面図を各々示すものである。
【００１９】
この光学顕微鏡は、ゴム足１１を備えた顕微鏡本体を構成する本体ベース１３上に、本体アーム４及びステージ受け１２により支持された半導体ウェハ等の標本Ｗを載置するステージ８を配置している。
【００２０】
ステージ８は、準焦ハンドル１０の回動操作によりステージ受け１２を介して上下動可能であると共に、ＸＹハンドル９の操作によりＸ方向（左右方向），Ｙ方向（前後方向）に移動可能となっている。
【００２１】
本体アーム４に対しては、鏡筒３、接眼レンズ２、投光光学系４ａ、ランプハウス５が組み込まれていると共に、鏡筒３の下方位置に前記半導体ウェハ等の標本Ｗと対峙する位置に倍率の異なる複数の対物レンズ７を回動可能に支持するレボルバ６が組み込まれている。
【００２２】
また、ステージ８に対しては、ＸＹハンドル９、グリップクラッチ９ａを組み込むと共に、ステージ８の前側（観察者側）にブレスシールドＢ１の一端を保持するホルダ１５が取り付けられている。
【００２３】
また、ブレスシールドＢ１の他端は、本体アーム４側に取り付けられ、結果、本体アーム４側とステージ８前側との間に隙間無くブレスシールドＢ１が取り付けられる。
【００２４】
本実施形態におけるブレスシールドＢ１は、柔軟性と静電気防止機能を備え、試料が十分に確認できる程度に透明なシート状の部材、例えばメタクリル樹脂からなるシート状の部材からなり、その両端はステージ８前側に配置したホルダ１５の軸部Ｊ１及び本体アーム４側に配置した軸部Ｊ２により支持されている。
【００２５】
なお、静電気防止機能を実現するために、接着及び金属との接合は、導電接着剤や導電シーリング剤を用いる。
【００２６】
また、除電効果を高めるために、ブレスシールドＢ１を構成する部材に穴をあけ、アース用コード等をボルト・ナットで固定し、アースを取るようにすることも好ましい。
【００２７】
ここで、ホルダ１５に設けられた軸部Ｊ１は、ステージ８の前後方向の動きに連動して（ステージ８の前後方向の動きに対して一体となって）移動可能で、且つブレスシールドＢ１の端部を矢印Ｒ１方向に回動可能に支持している。
【００２８】
また、ホルダ１５は、軸部Ｊ１に図示していないバネ機構を備えており、ブレスシールドＢ１に対して常にステージに抗する方向（矢印Ｒ１方向）に一定の付勢力を付与するようにしている。但し、バネ機構による付勢力は、ステージ８を動かすほど大きくは無い範囲に設定しているものとする。
【００２９】
なお、ブレスシールドを支持するホルダ１５にバネ機構を備えたものに限られるものではなく、例えば、ブレスシールド自体にバネ部材を付加したり、素材の弾性力を利用してステージに抗する方向に付勢力を与えるようにしてもよい。
【００３０】
一方、本体アーム４側の軸部Ｊ２は、着脱可能なセットビスＳによりブレスシールドＢ１の他端を固定可能に構成しており、ブレスシールドＢ１の他端は、ステージに抗する方向（矢印Ｒ２方向）に回動可能に支持している。
【００３１】
ここでもまた、軸部Ｊ２に図示していないバネ機構を具備することで、ブレスシールドＢ１に対して矢印Ｒ２方向に一定の付勢力を付与するようにしてもよい。
なお、図１中、１は接眼レンズ２を覗くアイポイントである。
【００３２】
以下に、以上のような構成の本実施の形態１の作用を説明する。
【００３３】
本実施の形態１の半導体検査用の光学顕微鏡は、従来からある光学顕微鏡を基本としているため、従来の光学顕微鏡と同様の部分の作用については省略し、異なる部分についてのみ詳述する。
【００３４】
本実施の形態１の半導体検査用の光学顕微鏡において、ステージ８が観察者側である前方（図１，２中二点鎖線で示されるステージ８’の位置）に移動した時、前記ブレスシールドＢ１は、両端で固定される軸部Ｊ１及び軸部Ｊ２を支軸としながら図１，２中二点鎖線で示されるブレスシールドＢ１’の状態に変形する。逆にステージ８’の位置から当初のステージ８の位置に移動する時には、軸部Ｊ１及び軸部Ｊ２に加わっている付勢力により、前記ブレスシールドＢ１’が常に観察者の方向に凸状になるように変形しつつ、当初のブレスシールドＢ１の状態に戻る。
【００３５】
同様にステージ８が観察者に対して後方（図１，２中二点鎖線で示されるステージ８”の位置）に移動する時、ブレスシールドＢ１の状態からさらに凸状になり、図１，２中二点鎖線で示されるブレスシールドＢ１”の状態まで変形し、また逆にステージ８”が当初の位置（ステージ８の位置）に戻る時には、ブレスシールドＢ１”は当初のブレスシールドＢ１の状態に戻る。
【００３６】
なお、ブレスシールドＢ１は、柔軟性と静電気防止機能を実現しているため、前述したような形状に変化したとしても、半導体ウェハ等の標本Ｗに対する静電気による影響は防止される。
【００３７】
次いで、本実施の形態１を備えたステージを移動させる際の動きを図４乃至図７を用いて説明する。図４は本実施の形態１の光学顕微鏡のステージ部分を正面から見た図であり、（ａ）は基準位置にステージが位置している場合とし、（ｂ）は（ａ）の位置から上ステージをＸ方向（矢印方向）に移動させた場合を示している。
【００３８】
図５は図４中矢印Ａ方向からステージ部分を見た側面図であり、（ａ）は基準位置にステージが位置している場合とし、（ｂ）は（ａ）の位置から中間ステージをＹ方向（矢印方向）に移動させた場合を示しており、（ｃ）は図中の（Ｘ軸）ガイドの部分断面図を示している。
【００３９】
図６は図４中矢印Ｂ方向からステージ部分を見た側面図であり、（ａ）は基準位置にステージが位置している場合とし、（ｂ）は（ａ）の位置から中間ステージをＹ方向（矢印方向）に移動させた場合を示している。
【００４０】
図７は図４中矢印Ｃ方向からステージ部分を見た底面図であり、（ａ）は基準位置にステージが位置している場合とし、（ｂ）は（ａ）の位置から上ステージをＸ方向（矢印方向）に移動させた場合を示しており、（ｃ）は（ｂ）の位置から中間ステージをＹ方向（矢印方向）に移動させた場合を示している。
【００４１】
ここで、ブレスシールドＢ１を保持するホルダ１５とステージ８との関係を説明する。
【００４２】
ステージ９は、ステージ受け１２（本体側）に固定される下ステージ８ａと、該下ステージ８ａに対してＹ軸方向に移動する中間ステージ８ｂと、該中間ステージ８ｂに対してＸ軸方向に移動する上ステージ８ｃとから構成されている。
【００４３】
中間ステージ８ｂは、下ステージ８ａに対してＹ軸方向に移動するために（Ｙ軸）ガイド８ｄを両端底面に備え、この（Ｙ軸）ガイド８ｄで下ステージ８ａの両側端を、ボールを介して挟持するように構成されている。
【００４４】
次いで、上ステージ８ｃは、中間ステージ８ｂに対してＸ軸方向に移動するために（Ｘ軸）ガイド８ｅを両端底面に備え、この（Ｘ軸）ガイド８ｅで図５（ｃ）に示すように中間ステージ８ｂの両側端をボールを介して挟持するように構成されている。
【００４５】
本実施の形態のホルダ１５は、中間ステージ８ｂ及び中間ステージ８ｂと共に固定されている（Ｙ軸）ガイド８ｄとに固定されているため、図４乃至図７に示すようにステージ８をＹ方向又はＸ方向に移動したとしてもブレスシールドＢ１がよじれるようなこと無く、ステージ８（上ステージ８ｃ）の前後方向の移動に連動する。
【００４６】
以上のような本実施の形態の光学顕微鏡によれば以下の効果が得られる。
【００４７】
ブレスシールドＢ１がステージ８の前後方向の動きに連動するように構成できるため、従来の固定型ブレスシールドであれば占有していたはずのスペースを作業スペースとして有効に利用することが可能となる。これにより、作業性を向上させた光学顕微鏡を提供することができる。
【００４８】
また、ホルダ１５の軸部Ｊ１から本体アーム４側に固定された軸部Ｊ２に亘ってブレスシールドＢ１を隙間無く連結することができるため、観察者が発した息や空気中のゴミ、塵等が標本Ｗに付着することをブレスシールドＢ１により確実に防止することができる。
【００４９】
更に、静電気帯電防止機能を有する材料、又は除電対策を取ることで、標本に悪影響を及ぼす可能性のある静電気の帯電を防ぐことができる。
【００５０】
なお、前記軸部Ｊ１及び軸部Ｊ２の回動機構としては、ブレスシールドＢ１がステージ８の前後方向の動きに連動し、常に再現性のある形状変化をもたらす機構であれば、上述した実施形態のものに限られるものではなく、モータによる回転機構やステージと連動したタイミングベルト機構等を適用することもできる。
【００５１】
また、前記軸部Ｊ１及び軸部Ｊ２の配置は、ブレスシールドＢ１がステージ８の前後方向の動きに連動し、常に再現性のある形状変化をもたらす位置であれば必ずしも上述した実施の形態で示した配置にこだわる必要は無く、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更しても良い。
【００５２】
また、本実施の形態１では、半導体検査用の光学顕微鏡について説明したが、これに限られるものではなく、生物顕微鏡、金属顕微鏡等の各種の光学顕微鏡、また顕微鏡に限らず検査装置であっても、本発明は適用することができる。例えば、上述した顕微鏡では、接眼部が顕微鏡本体のアーム部に設けられていたが、これに限られるものではなく、対物レンズと接眼鏡筒とを一体に備えた観察部本体を、大型の標本上に架橋されたアームに保持した検査装置であっても、実施の形態１のようなブレスシールドＢ１の一端を保持するホルダを、Ｘ軸方向に移動可能なガイドを介して観察部本体に設けると共に、検査装置本体側にブレスシールドＢ１の他端を固定するようにすれば上述した実施の形態と同じように用いることが可能である。
【００５３】
（実施の形態２）
次に、図８乃至図１１を参照して、本発明の実施の形態２について説明する。
図８は本実施の形態２の半導体検査用の光学顕微鏡の側面図、図９は同光学顕微鏡の平面図、図１０は同光学顕微鏡の正面図を各々示すものである。
【００５４】
この実施の形態２の光学顕微鏡は、実施の形態１の光学顕微鏡の構成と基本的に同様な構成であるため、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略し、本実施の形態２特有部分について詳述する。
【００５５】
本実施の形態２の光学顕微鏡は、実施の形態１の光学顕微鏡におけるブレスシールドＢ１に代わり、図１１に示すブレスシールドＢ２を採用したことが特徴であり、この他の構成は実施の形態１の光学顕微鏡の場合と同様である。
【００５６】
本実施の形態２におけるブレスシールドＢ２は、静電気防止機能を備え、試料が十分に確認できる程度に透明な材料、例えばメタクリル樹脂からなる複数枚の長方形状の板１８と、これら各板１８同士を連結し、折り曲げ可能にするための柔軟部材若しくは蝶番等からなる可動部材とから構成されており（図１１（ａ）（ｂ）参照）、その前後の両端はステージ８前側に配置したホルダ１５の軸部Ｊ１及び本体アーム４側に配置した軸部Ｊ２により支持されている。
【００５７】
なお、静電気防止機能を実現するために、接着及び金属との接合は、導電接着剤や導電シーリング剤を用いる。
【００５８】
また、除電効果を高めるために、ブレスシールドＢ２を構成する部材に穴をあけ、アース用コード等をボルト・ナットで固定し、アースを取るようにすることも好ましい。
【００５９】
ここで、ホルダ１５に設けられた軸部Ｊ１は、ステージ８の前後方向の動きに連動して（ステージ８の前後方向の動きに対して一体となって）移動可能で、且つブレスシールドＢ２の端部を矢印Ｒ１方向に回動可能に支持している。
【００６０】
また、ホルダ１５は、軸部Ｊ１に図示していないバネ機構を備えており、ブレスシールドＢ２に対して常にステージに抗する方向（矢印Ｒ１方向）に一定の付勢力を付与するようにしている。
【００６１】
ここで、この可動部材により各板１８は、各々ブレスシールドＢ２がステージに抗する方向（観察者の方向）に常に凸状になるように０度乃至１８０度に亘って折り曲がる構造となっている。但し、バネ機構による付勢力は、ステージ８を動かすほど大きくは無い範囲に設定しているものとする。
【００６２】
一方、本体アーム４側の軸部Ｊ２は、着脱可能なセットビスＳによりブレスシールドＢ２の他端を固定可能に構成しており、ブレスシールドＢ２の他端は、ステージ８に抗する方向（矢印Ｒ２方向）に回動可能に支持している。
ここでもまた、軸部Ｊ２に図示していないバネ機構を具備することで、ブレスシールドＢ２に対して矢印Ｒ２方向に一定の付勢力を付与するようにしてもよい。
【００６３】
また、前記各板１８を連結する可動部材の折り曲げ部分は、粉塵等が発生し、ステージ８上に散乱することも考えられるため、そのようなことが無いよう図１１（ａ）に示すようにビニールシート等からなる防塵用シート１８ａを貼着しておくことが好ましい。
【００６４】
本実施の形態２の光学顕微鏡によれば、以下のような作用が得られる。
ステージ８が観察者側である前方（図８，９中二点鎖線で示されるステージ８’の位置）に移動した時、前記ブレスシールドＢ２の各板１８は、固定されるホルダ１５の軸部Ｊ１及び軸部Ｊ２を支軸としながら図８，９中二点鎖線で示されるブレスシールドＢ２’の状態に変形する。逆に、ステージ８’の位置から当初のステージ８の位置に移動する時には、軸部Ｊ１及び軸部Ｊ２に加わっている付勢力により、前記ブレスシールドＢ２’が常に観察者の方向に凸状になるように変形しつつ、当初のブレスシールドＢ２の状態に戻る。
【００６５】
同様にステージ８が観察者に対して後方（図８，９中二点鎖線で示されるステージ８”の位置）に移動する時、ブレスシールドＢ２の状態からさらに凸状になり、図８，９中二点鎖線で示されるブレスシールドＢ２”の状態まで変形し、また逆にステージ８”が当初の位置（ステージ８の位置）に戻る時には、ブレスシールドＢ２”は当初のブレスシールドＢ２の状態に戻る。
【００６６】
以上のような本実施の形態２の光学顕微鏡によれば、実施の形態１の光学顕微鏡の場合と同様、作業性を向上させることができる上に、観察者が発した息や空気中のゴミ、塵等が標本Ｗに付着することをブレスシールドＢ２により遮ることができる。
【００６７】
なお、前記ブレスシールドＢ２は、上述した他、伸縮可能な部材を利用したものや、スライド機構を利用して伸縮可能にしたもの、又はシート状の柔軟部材とワイヤー等を組合わせて剛性を持たせても良い。
【００６８】
（実施の形態３）
図１２乃至図１５を参照して、本発明の実施の形態３について説明する。
図１２は本実施の形態３の半導体検査用の光学顕微鏡の側面図、図１３は同光学顕微鏡の平面図、図１４は同光学顕微鏡の正面図、図１５はホルダ部分の断面図を示したものである。
【００６９】
本実施の形態３の光学顕微鏡は、実施の形態１の光学顕微鏡の構成と基本的に同様な構成であるため、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略し、本実施の形態３特有部分について詳述する。
【００７０】
本実施の形態３の光学顕微鏡は、実施の形態１の光学顕微鏡におけるブレスシールドＢ１の代わりにブレスシールドＢ３を採用すると共に、実施の形態１の軸部Ｊ１を軸部Ｋ１に、軸部Ｊ２を軸部Ｋ２に代え、ホルダにシート状の柔軟性を有するブレスシールドを出し入れ可能なように、ここでは巻き取り機構を備えたホルダ２０とした他は、実施の形態１の場合と同様である。
【００７１】
本実施の形態３におけるブレスシールドＢ３は、柔軟性と静電気防止機能を備え、試料が十分に確認できる程度に透明なシート状の部材、例えばメタクリル樹脂から構成されており、一端がホルダ２０の軸部Ｋ１に取り付けられ、他端が軸部Ｋ２に支持される。
【００７２】
ステージ８前側に取り付けられたホルダ２０の軸部Ｋ１は、ステージに抗する方向（矢印Ｒ１方向）に回動可能に支持されている。
【００７３】
ブレスシールドＢ３は、図１５に示すようにバネ２０ａの付勢力で金属製のローラー２０ｂで挟持した状態で巻き取られる構造となっているので、巻き取り機構特有の摩擦による静電気は、金属製のアースの取れるローラー２０ｂを介して除電することができる。この時、接着及び金属との接合は、導電接着剤や導電シーリング剤を用いると更に効果的である。
【００７４】
また、除電効果を高めるために部材に穴をあけ、アース用コードをボルト・ナットで固定し、アースを取ることも好ましい。
【００７５】
なお、本実施形態におけるブレスシールドＢ３は、ステージ８の前後方向の動きに十分追随できるように十分な長さであることが望まれる。
【００７６】
一方、他方の軸部Ｋ２は、セットビスＳにより本体アーム４に着脱可能に固定されているものとする。
【００７７】
本実施の形態３の光学顕微鏡によれば、ステージ８が観察者側である前方（図１２，１３中二点鎖線で示されるステージ８’の位置）に移動した時、前記ブレスシールドＢ３は、軸部Ｋ２に固定された部分を固定端としてホルダ２０内に巻き取られた部分を開放しながら図１２，１３中８二点鎖線で示されるブレスシールドＢ３’の状態にする。逆に、ステージ８’の位置から当初のステージ８の位置に移動する時には、ブレスシールドＢ３は、軸部Ｋ２を固定端として軸部Ｋ１よりホルダ２０内部に巻き取られながらブレスシールドＢ３の状態に戻る。
【００７８】
同様にステージ８が観察者に対して後方（図１２，１３中二点鎖線で示されるステージ８”の位置）に移動する時、ブレスシールドＢ３はブレスシールドＢ３”の状態までホルダ２０内に巻き取られ、また逆にステージ８”が当初の位置（ステージ８の位置）に戻る時には、ブレスシールドＢ３”は当初のブレスシールドＢ３の状態に戻る。
【００７９】
なお、着脱可能なセットビスＳを本体アーム４から外し、軸部Ｋ２の固定端を解放すれば軸部Ｋ１に設けられている巻き取り機構によりブレスシールドＢ３及び軸部Ｋ２をホルダ２０の内部に全て収納することもできる。
【００８０】
本実施の形態３の光学顕微鏡によれば、実施の形態１の場合と同様な効果を奏すると共に、ホルダ２０の巻き取り機構により、ブレスシールドＢ３は常に軸部Ｋ１と軸部Ｋ２の間を隙間無く遮っているにも係わらず、最短距離で結ぶことができるため、実施の形態１及び実施の形態２の場合よりも観察者の作業用スペースをより大きくすることを可能とし、一段と作業性及び操作性の向上した光学顕微鏡を提供することができる。
【００８１】
また、ブレスシールドＢ３の光学顕微鏡に対する着脱が容易であるため、作業に合わせて選択的に使用することが可能となり、使い勝手の良い汎用性に富んだ光学顕微鏡を提供することができる。
【００８２】
なお、前記軸部Ｋ１の巻き取り機構は、バネ機構やモータ等により実現できる上に、ステージと連動したタイミングベルト機構等であっても良いことは実施の形態１の場合と同様である。
【００８３】
また、上述した実施の形態で挙げたように、本発明は光学顕微鏡に限定されるものではなく、検査装置等にも適用することができる。
【００８４】
また、ホルダが設けられる側と該ホルダに対してブレスシールドの他端を設ける側とは、ステージ側と接眼部側のどちらに設けるようにしても良い。
【００８５】
また、標本を頻繁に交換するような場合には、ブレスシールドの着脱が容易であることが好ましいので、その場合は、セットビスによる着脱ではなく、ブレスシールド側と該ブレスシールドが取り付けられる本体側とにカギ爪状の引掛り手段を設けるようにしてもよい。
【００８６】
以上説明した本発明によれば、以下の構成を付記できる。
【００８７】
（１）  静電気防止機能を有する柔軟部材により構成され、顕微鏡本体におけるステージ端部と接眼部近傍との間に取り付けられる光学顕微鏡用のブレスシールドであって、前記ステージの前後方向の動きに連動して観察者側とステージ側とを遮りつつ変形する構造としたことを特徴とする光学顕微鏡用のブレスシールド。
【００８８】
この構成によれば、顕微鏡本体におけるステージ端部と接眼部近傍との間に取り付けられることによって、観察者が発した息や空気中のゴミ、塵等が標本へ付着するのを確実に防止できると共に、従来の固定型ブレスシールドに比べ観察者の作業スペースの拡大が実現できる上、標本に悪影響を及ぼす可能性のある静電気の帯電をも抑えることができる光学顕微鏡用のブレスシールドを提供することができる。
【００８９】
（２）  顕微鏡本体におけるステージ端部と接眼部近傍との間に取り付けられる光学顕微鏡用のブレスシールドであって、前記ステージの前後方向の動きに連動して平坦状態から観察者側に膨らむ折曲状態に亘って変形する複数の板の連結構造からなることを特徴とする光学顕微鏡用のブレスシールド。
【００９０】
このブレスシールドによれば、顕微鏡本体におけるステージ端部と接眼部近傍との間に取り付けるとによって、観察者が発した息や空気中のゴミ、塵等が標本へ付着することを確実に防止できると共に、従来の固定型ブレスシールドに比べ観察者の作業スペースの拡大を実現することができる光学顕微鏡用のブレスシールドを提供することができる。
【００９１】
【発明の効果】
本発明は、操作性を損なうことなく、観察者の作業スペースの拡大を実現可能とし、観察者が発した息や空気中のゴミ、塵等が標本に付着するのを防止できるブレスシールドを備えた光学顕微鏡を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１の光学顕微鏡の側面図である。
【図２】本発明の実施の形態１の光学顕微鏡の平面図である。
【図３】本発明の実施の形態１の光学顕微鏡の正面図である。
【図４】（ａ），（ｂ）本発明の実施の形態１のステージ部分の正面図である。
【図５】（ａ），（ｂ）図４に示すステージの矢印Ａ方向から見た側面図、（ｃ）（ａ）に示すガイドの部分断面図である。
【図６】（ａ），（ｂ）図４に示すステージの矢印Ｂ方向から見た側面図である。
【図７】（ａ），（ｂ），（ｃ）図４に示すステージの矢印Ｃ方向から見た底面図である。
【図８】本発明の実施の形態２の光学顕微鏡の側面図である。
【図９】本発明の実施の形態２の光学顕微鏡の平面図である。
【図１０】本発明の実施の形態２の光学顕微鏡の正面図である。
【図１１】（ａ），（ｂ）ブレスシールドＢ２の構成図である。
【図１２】本発明の実施の形態３の光学顕微鏡の側面図である。
【図１３】本発明の実施の形態３の光学顕微鏡の平面図である。
【図１４】本発明の実施の形態３の光学顕微鏡の正面図である。
【図１５】ホルダの断面図である。
【図１６】従来の光学顕微鏡の側面図である
【符号の説明】
１  アイポイント
２  接眼レンズ
３  鏡筒
４  本体アーム
４ａ  投光光学系
５  ランプハウス
６  レボルバ
７  対物レンズ
８  ステージ
８ａ  下ステージ
８ｂ  中間ステージ
８ｃ  上ステージ
８ｄ  （Ｙ軸）ガイド
８ｅ  （Ｘ軸）ガイド
９  ＸＹハンドル
９ａ  グリップクラッチ
１０  準焦ハンドル
１２  ステージ受け
１５  ホルダ
１８  板
１８ａ  防塵用シート
２０  ホルダ
２０ａ  バネ
２０ｂ  ローラー
Ｂ１  ブレスシールド
Ｂ２  ブレスシールド
Ｂ３  ブレスシールド
Ｊ１  軸部
Ｊ２  軸部
Ｋ１  軸部
Ｋ２  軸部
Ｓ  セットビス
Ｗ  標本
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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