(57)【要約】【課題】  本発明は、半導体静電モータの従来の駆動方法における回転方向を制御できないという問題に加え回転むらの問題点を解決しようとするものである。【解決手段】  外部の電荷又は電圧によって作用する電荷を保有する可動体１と、電圧によって作用する固定子２と、固定子２と相対する可動体１の表面に配置された複数個の可動体の不純物添加部１ｂと、可動体１と相対する固定子２の表面に配置された前可動体の不純物添加部１ｂの遇数倍の電極部２ｂを有する半導体静電モータにおいて、回転動作を始める前に電極部２ｂに対して一つおきに正の電位を印加して、正の電位を印加した電極部２ｂと相対する位置に可動体の不純物添加部１ｂを移動させた後に、可動体１を回転させたい方向に駆動する。本発明により回転方向を制御でき高速にしかも均一に回転する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部の電荷又は電圧によって作用する電荷を保有する可動体と、電圧によって作用する固定子と、該固定子と相対する前記可動体の表面に配置された複数個の可動体の不純物添加部と、前記可動体と相対する前記固定子の表面に配置された複数の電極部を有する半導体静電モータにおいて、回転動作を始める前に少なくとも一つの前記電極部に対して正の電位を印加して、前記正の電位を印加した電極部と相対する位置に前記可動体の不純物添加部を移動させた後に、前記可動体を回転させたい方向に駆動することを特徴とする半導体静電モータの駆動方法。
【請求項２】
回転動作を始める前に、正の電位を印加した残りの電極部に対して負の電位を印加することを特徴とする請求項１記載の半導体静電モータの駆動方法。
【請求項３】
前記相対する位置に不純物添加部を移動させた後に、第1ステップとして前記正の電位を印加した電極部の一つと該電極部と隣合う回転させたい方向の電極部に正の電位を印加し、回転させたい方向の次の二つの電極部には電位を印加しないことにより、可動体を回転させたい方向に回転させ、第2ステップとして、前記正の電位を印加した二つの電極部のうち、回転させたい方向とは逆方向の電極部に負の電位を印加して更に前記可動体を回転させたい方向に回転させ、第３ステップとして、前記正の電位を印加した電極部と該電極部と隣合う回転させたい方向の電極部の二つの電極に正の電位を印加し、残りのの電極部には電位を印加しないことにより更に前記可動体を回転させたい方向に回転させることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体静電モータの駆動方法。
【請求項４】
前記不純物添加部の個数は4個であり、前記電極部の個数は8個であることを特徴とする請求項1乃至請求項3記載の半導体静電モータの駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電荷に働くクーロン力を利用した回転型の半導体静電モータの駆動方法であって、半導体静電モータを回転させたい方向に、回転むらなく高速回転するものである。
【背景技術】
【０００２】
微細加工の進歩に伴ないマイクロアクチュエータとして半導体静電モータを利用する研究が活発に行なわれている。半導体静電モータはそれぞれ電極部あるいは不純物添加部を有する可動体と固定子からなり、それぞれの不純物添加部内の電荷間あるいは、不純物添加部内の電荷と電極部間に働くクーロン力を利用して超高速で駆動するものである（例えば、非特許文献1参照。）。
【０００３】
図８は従来の半導体静電モータの例を説明するための回転中心を通る縦断面図である（例えば、非特許文献1、特許文献1参照。）。以下、半導体静電モータの構造と動作並びに従来の駆動方法について説明する。
【０００４】
半導体静電モータは、真性半導体からなる半導体基板を加工した円板状の可動体１、固定子の絶縁体部２ａと固定子の電極部２ｂによる同心円状の固定子２、絶縁物であるガラス基板など電荷が流入及び流出しにくい材料による下側軸受け３と上側軸受け４、鋼の円柱状の軸５、絶縁物であるモールド部６、絶縁物７で構成されている。固定子２は絶縁物である貝殻などによる同心円状の固定子の絶縁体部２ａと、この絶縁体部の表面に設けられた導体である固定子の電極部２ｂとで構成されている。          
【０００５】
円板状の可動体１の中心に円柱状の軸５が埋め込まれ、両者はコマ型に一体化されており、軸５は下側軸受け３に支えられ、上側軸受け４の中央には軸５の直径より大きい穴が空けられており、軸５の上部がこの穴の中に位置されている。上側軸受け４と下側軸受け３の間には円板状の可動体１を取り囲むように同心円状に固定子２が配置されており、固定子２と上側軸受け４の間は、モールド部６により接着されている。
【０００６】
軸５は下側軸受け３との接触抵抗を少なくするために下側を円錐状にすることが多い。
また、可動体１の円板の外周面部分にはｎ型高濃度層による可動体の不純物添加部１ｂが等間隔で複数個配置されている。
【０００７】
固定子の電極部２ｂは可動体の第１の不純物添加部１ｂに対応する固定子の絶縁体部２ａの内周側面とその中間に等間隔に配置されている。即ち固定子の電極部２ｂは可動体の不純物添加部１ｂの２倍の数である（例えば、特許文献１参照。）。  
【０００８】
図４、５、６、７は半導体静電モータの従来の駆動方法を説明するための図である。これらは図８の可動体１と固定子の電極部２ｂを上面から見た模式図である。以下、これらの図面に基づき、可動体の不純物添加部１ｂがｎ型の高濃度層である場合における半導体静電モータの回転動作について説明する。
【０００９】
各図の＋の記号はその固定子の電極部２ｂに正の電位を加えることを示し、−の記号はその固定子の電極部に負の電位を加えることを示す。各固定子の電極部２ｂには、電位の印加状態を明確に示すため、時計の１２時の位置を２１ｂとして以下時計周りの方向に２２ｂから２８ｂまでの符号を付けた（図4（ｂ）参照。）。また基準となる各図の可動体の不純物添加部１ｂを黒く塗りつぶして、他の可動体の不純物添加部１ｂと区別した。
【００１０】
まず、図４（ａ）に示す初期状態から駆動する例について説明する。固定子の電極部２ｂに対して固定子の電極部２２ｂから一つおきに正の電位、その間の固定子の電極部２ｂに負の電位を印加する。正の電位を加えた固定子の電極部２ｂの位置からその左側の次の固定子の電極部２ｂとの間に不純物添加部が位置している。ｎ型の高濃度層による可動体の不純物添加部１ｂの多数キャリアである電子群は負の電位の固定子の電極部２ｂから斥力を受けると同時に正の電位の固定子の電極部２ｂから引力を受けるので可動体１は時計回りの方向に回転する。
【００１１】
ｎ型の高濃度層による可動体の不純物添加部１ｂの多数キャリアである電子群は正の電位の固定子の電極部２ｂ（２２ｂ、２４ｂ、２６ｂ、２８ｂ）の方向に偏る。可動体の不純物添加部１ｂのイオン化したアクセプタ即ちイオン化したｎ型の拡散不純物(例えば燐)は固定電荷であるため、位置が固定されており、この負の電位の電極方向に動けない。
【００１２】
従って、多数キャリアの電子群に働くクーロン力は、イオン化したアクセプタ原子群に働くクーロン力より大きくなるので、ｎ型高濃度層による可動体の不純物添加部１ｂ全体は正電位の電極側に電気的に引き寄せられる。
【００１３】
この後、図４（ｂ）に示すように、可動体の不純物添加部１ｂが最初正の電位に印加した固定子の電極部２ｂ（２２ｂ、２４ｂ、２６ｂ、２８ｂ）の正面を通過するまで、全ての固定子の電極部２ｂに電圧を加えない。可動体１は引き続き慣性により回転方向、時計回りの方向に回転する。
【００１４】
可動体１が回転方向における最初の固定子の電極部２ｂの正面を通過した後、図５（ｃ）に示すように、各固定子の電極部２ｂに上記図４（ａ）の電位と逆の電位を加える。この電圧極性の変更により、可動体１は上記時計回りの回転方向に更に回転する。
【００１５】
更に図５（ｄ）に示すように可動体の不純物添加部１ｂが図５（ｃ）において正の電位に印加した固定子の電極部２ｂ（２１ｂ、２３ｂ、２５ｂ、２７ｂ）の正面を通過するまで、全ての固定子の電極部２ｂに電圧を加えない。可動体１は引き続き慣性により回転方向、時計回りの方向に回転する。図４（ａ）、図４（ｂ）、図５（ｃ）、図５（ｄ）の印加状態を繰り返すことにより時計回りに回転し続けることになる。
【００１６】
初期状態としては、もう一つ、図６（ａ）に示す初期状態から駆動する例がある。前記、図４（ａ）の場合、正の電位を加えた固定子の電極部２ｂの位置からその左側の次の固定子の電極部２ｂとの間に不純物添加部が位置しているのに対して、前記、図６（ａ）の場合、正の電位を加えた固定子の電極部２ｂの位置からその右側の次の固定子の電極部２ｂとの間に不純物添加部が位置している。
【００１７】
図６（ａ）に示すように、固定子の電極部２ｂに対して固定子の電極部２２ｂから一つおきに正の電位、その間の固定子の電極部２ｂに負の電位を印加する。ｎ型の高濃度層による可動体の不純物添加部１ｂの多数キャリアである電子群は負の電位の固定子の電極部２ｂ（２１ｂ、２３ｂ、２５ｂ、２７ｂ）から斥力を受けると同時に正の電位の固定子の電極部２ｂ（２２ｂ、２４ｂ、２６ｂ、２８ｂ）から引力を受けるので可動体１は反時計回りの方向に回転する。
【００１８】
この後、図６（ｂ）に示すように、可動体の不純物添加部１ｂが最初正の電位に印加した固定子の電極部２ｂ（２２ｂ、２４ｂ、２６ｂ、２８ｂ）の正面を通過するまで、全ての固定子の電極部２ｂに電圧を加えない。可動体１は引き続き慣性により回転方向、反時計回りの方向に回転する。
【００１９】
可動体１が回転方向における最初の固定子の電極部２ｂの正面を通過した後、図７（ｃ）に示すように、各固定子の電極部２ｂに上記図６（ａ）の電位と逆の電位を加える。この電圧極性の変更により、可動体１は上記反時計回りの回転方向に更に回転する。
【００２０】
更に図７（ｄ）に示すように可動体の不純物添加部１ｂが最初正の電位に印加した固定子の電極部２ｂ（２１ｂ、２３ｂ、２５ｂ、２７ｂ）の正面を通過するまで、全ての固定子の電極部２ｂに電圧を加えない。可動体１は引き続き慣性により回転方向、反時計回りの方向に回転する。図６（ａ）、図６（ｂ）、図７（ｃ）、図７（ｄ）の印加状態を繰り返すことにより反時計回りに回転し続けることになる。
【００２１】
従来の方法では、上記の如く、時計回りの方向にそって正電位の固定子の電極部２ｂと負電位の固定子の電極部２ｂがあり、その間に可動体の不純物添加部１ｂがあれば可動体１は負電位から正電位の電極方向、反時計回りに回転する。反時計周りの方向にそって正電位の固定子の電極部２ｂと負電位の固定子の電極２ｂがあり、その間に可動体の第１の不純物添加部１ｂがあれば可動体１は負電位から正電位の電極方向、時計回りに回転する。
【００２２】
したがって、回転方向を一定にするためには、正電位の固定子の電極部２ｂ、負電位の固定子の電極部２ｂとその間にある可動体の第１の不純物添加部１ｂの位置関係を回転の開始前に確認調整する必要がある。
【００２３】
可動体１が回転方向における最初の固定子の電極部２ｂの正面を通過した後、図５（ｃ）、図７（ｃ）に示すように、各固定子の電極部２ｂに上記図４（ａ）あるいは上記図６（ａ）の電位と逆の電位を加える、この電圧極性の変更により、可動体１は直前の回転方向に更に回転する動作を意図しているわけであるが、しかしながら、最初の固定子の電極部２ｂの正面を通過した時点を検出しているわけではない。このため、タイミングが大きく狂うと、逆回転することや、ブレーキが掛かってしまうことも考えられる。
【００２４】
このように半導体静電モータの従来の駆動方法では、どちらに回転するか制御できないという問題に加え、回転むらの問題があった。
【００２５】
従来の方法に加え、特別なセンサーを用いて、固定子の電極部２ｂと可動体の不純物添加部１ｂの位置関係を検出しながら制御する方法も考えられるが、装置が複雑になり、全体として大きくなり、小型化を目的とする半導体静電モータにそぐわない。
【００２６】
また、静電モータにおいて、可動体の不純物添加部１ｂと固定子の電極部２ｂの個数の比率が遇数倍でなく、１．５倍、あるいは３倍といった特殊な比率としたり、特殊な形状を利用し、一定方向に回転させる方式もあるが、このような方式では静電力が非常に小さいため静電モータのトルクが小さいという問題点があった。（特許文献２、特許文献３参照。）。
【００２７】
また、静電モータにおいて、可動体１の負の電荷をためる部分（可動体の不純物添加部１ｂ）と正の電荷をためる部分の双方を作り、可動体の不純物添加部１ｂ相当部分と固定子の電極部２ｂとの比率を４倍とするものもあるが、半導体静電モータにこの方式を適用すると、固定子の電極部２ｂを従来の構造の２倍にしなければならず、装置の小型化ができない（特許文献３参照。）。
【００２８】
【特許文献１】特開昭６３−２６５５７２号公報
【特許文献２】特開２０００−３７０８４号公報
【特許文献３】特開平６−３１１７６３号公報
【非特許文献１】「不純物半導体を用いたパルスモータ」、静電気学会誌、第１５巻、第５号、１９９１年、ｐ．３８１−ｐ．３８２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２９】
本発明は、半導体静電モータの従来の駆動方法における回転方向を制御できないという問題に加え回転むらの問題点を解決しようとするものである。新しい駆動方法により、回転方向を制御し、高速にしかも均一に回転する半導体静電モータを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００３０】
上記の課題を解決するための手段として、回転動作を始める前に、固定子の電極部と可動体の不純物添加部の位置関係を適切な位置に固定してから、半導体静電モータ駆動する駆動方法である。
請求項１記載の発明は、外部の電荷又は電圧によって作用する電荷を保有する可動体と、電圧によって作用する固定子と、該固定子と相対する前記可動体の表面に配置された複数個の可動体の不純物添加部と、前記可動体と相対する前記固定子の表面に配置された前記可動体の不純物添加部の遇数倍の電極部を有する半導体静電モータにおいて、回転動作を始める前に前記電極部に対して一つおきに正の電位を印加して、前記正の電位を印加した電極部と相対する位置に前記可動体の不純物添加部を移動させた後に、可動体を回転させたい方向に駆動することを特徴とする半導体静電モータの駆動方法である。
請求項２記載の発明は、回転動作を始める前に、正の電位を印加した残りの電極部に対して負の電位を印加することを特徴とする請求項１記載の半導体静電モータの駆動方法である。
請求項３記載の発明は、前記相対する位置に不純物添加部を移動させた後に、第1ステップとして前記正の電位を印加した電極部の一つと該電極部と隣合う回転させたい方向の電極部に正の電位を印加し、回転させたい方向の次の二つの電極部には電位を印加しないことにより、可動体を回転させたい方向に回転させ、第2ステップとして、前記正の電位を印加した二つの電極部のうち、回転させたい方向とは逆方向の電極部に負の電位を印加して更に可動体を回転させたい方向に回転させ、第３ステップとして、前記正の電位を印加した電極部と該電極部と隣合う回転させたい方向の電極部の二つの電極に正の電位を印加し、残りのの電極部には電位を印加しないことにより更に可動体を回転させたい方向に回転させることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の半導体静電モータの駆動方法である。
請求項４記載の発明は、前記不純物添加部の個数は4個であり、前記電極部の個数は8個であることを特徴とする請求項1乃至請求項3記載の半導体静電モータの駆動方法である。
【発明の効果】
【００３１】
本発明による半導体静電モータの新しい駆動方法により、半導体静電モータの回転方向を制御することが可能となり、高速にしかも均一に回転させることができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明の実施例１は、図８に示した半導体静電モータ対する駆動方法であって、回転動作を始める前に、固定子の電極部２ｂと可動体の不純物添加部１ｂの位置関係を適切な位置に固定してから、半導体静電モータ駆動することに特徴がある。
【実施例１】
【００３３】
本発明が駆動の対象としている半導体静電モータの縦断面構造は図８に示した構造である。図１、２、３は上面から見た模試図である。可動体の不純物添加部１ｂは４個であり、固定子の電極部２ｂは８個であり、その比率は１：２である。
【００３４】
図３（ａ）は可動体の不純物添加部１ｂと固定子の電極部２ｂの位置関係の第１の例である。
また、図３（ｂ）は可動体の不純物添加部１ｂと固定子の電極部２ｂの位置関係の第２の例である。図３（ａ）に示すように、８個の固定子の電極部２ｂに２１ｂから２８ｂの符号を付けた。図１、２、３の各図においても同一符号がつけられているものとして説明する。  
【００３５】
回転駆動する前の状態としては、図３（ａ）の可動体の不純物添加部１ｂと固定子の電極部２ｂの位置関係の第１の例の状態と、同（ｂ）の可動体の不純物添加部１ｂと固定子の電極部２ｂの位置関係の第２の例がある。回転を再現よく、同一方向に行うために、回転開始前の状態を常に同じにする。
【００３６】
まず、回転動作を始める前に、固定子の電極部２ｂと可動体の不純物添加部１ｂの位置関係を適切な位置に固定する。図１（ａ）は本発明の駆動方法を説明するための図である。この図を用いて、固定する方法について説明する。図の＋の記号はその固定子の電極部２ｂに正の電位を加えることを示し、−の記号はその固定子の電極部に負の電位を加えることを示す。他の図においても同様である。各図において、注目する可動体の不純物添加部１ｂを黒く塗りつぶしてある。
【００３７】
図３（ａ）の可動体の不純物添加部１ｂと固定子の電極部２ｂの位置関係の第１の例の状態と、同（ｂ）の可動体の不純物添加部１ｂと固定子の電極部２ｂの位置関係の第２の例のどちらであっても、固定子の電極部２ｂの一つである固定子の電極部２１ｂに正の電位を印加し、一つおきに残りの固定子の電極部２ｂ（２３ｂ、２５ｂ、２７ｂ）に正の電位を掛ける。その間の固定子の電極部２ｂ（２２ｂ、２４ｂ、２６ｂ、２８ｂ）には負の電位を掛ける。
【００３８】
不純物添加部１ｂは電子の電荷を持つ領域であるため、負電位の固定子の電極部２ｂ（２２ｂ、２４ｂ、２６ｂ、２８ｂ）に反発し、正電位の固定子の電極部２ｂ（２１ｂ、２３ｂ、２５ｂ、２７ｂ）に引き寄せられる。従って、図３（ａ）の可動体の不純物添加部１ｂと固定子の電極部２ｂの位置関係の第１の例の状態と、同（ｂ）の可動体の不純物添加部１ｂと固定子の電極部２ｂの位置関係の第２の例のどちらの位置関係にあっても、図１（ａ）の位置に固定され、この後の安定した回転につながる。
【００３９】
次に第１のステップに移る。図１（ｂ）は本発明の駆動方法を説明するための図である。この図を用いてこのステップを説明する。このステップで、図１(ａ)の固定子の電極部２ｂに印加されている電位を図１（ｂ）の電位に変える。即ち、固定子の電極部２ｂのうちの２１ｂ、２２ｂ、２５ｂ、２６ｂに正の電位を印加し、他の電極部には電位を与えない。
【００４０】
固定子の電極部２ｂのうちの２１ｂ、２２ｂは正の電位を持つため、２１ｂに対応する位置にあった、不純物添加部１ｂは両電極の間に対応する位置まで動く。可動体１はこの分２２．５度時計回りの回転方向に回転したことになる。固定子の電極部２ｂのうちの２１ｂ、２２ｂしか正の電位を持っていないため、注目している不純物添加部１ｂが図１（ａ）において対応する固定子の電極部２１ｂに対して、若干ずれていても逆方向に動いてしまうことはない。  
【００４１】
次に第２のステップに移る。図２（ｃ）は本発明の駆動方法を説明するための図である。この図を用いてこのステップを説明する。このステップで、図１(ｂ)の固定子の電極部２ｂに印加されている電位を図２（ｃ）の電位に変える。即ち、固定子の電極部２ｂのうちの２２ｂ、２６ｂの正の電位をそのままとし、２１ｂ、２５ｂの正の電位を負の電位に切り換える。他の電極部には電位を与えない。
【００４２】
固定子の電極部２ｂのうちの２１ｂ、２５ｂは負の電位を持つため、不純物添加部１ｂはこの電極から反発力を受ける。また、固定子の電極部２ｂのうちの２２ｂ、２６ｂは正の電位を持つため、不純物添加部１ｂはこの電極に引き寄せられる。この双方の力により、注目している不純物添加部１ｂは素早く、固定子の電極部２ｂのうちの２２ｂに対応する位置、図２(ｃ)の位置まで動く。この場合も半時計回りの方向に動くことはない。可動体１は先ほど同様２２．５℃時計回りの方向に動いたことになる。
【００４３】
次に第３のステップに移る。図２（ｄ）は本発明の駆動方法を説明するための図である。この図を用いてこのステップを説明する。このステップで、図２(ｃ)の固定子の電極部２ｂに印加されている電位を図２（ｄ）の電位に変える。即ち、固定子の電極部２ｂのうちの２２ｂ、２６ｂの電位を正のままとし、２３ｂ、２７ｂに正の電位を印加する。他の電極部には電位を与えない。
【００４４】
固定子の電極部２ｂのうちの２３ｂ、２７ｂは正の電位を持つため、不純物添加部１ｂはこの電極に引き寄せられる。また、固定子の電極部２ｂのうちの２２ｂ、２６ｂは正の電位を持ったままの状態のため、不純物添加部１ｂはこの電極の影響も受ける。この双方の力により、注目している不純物添加部１ｂは、固定子の電極部２ｂのうちの２２ｂと２３ｂの中間の位置に対応する位置まで動く。可動体１は先ほど同様２２．５度時計回りの方向に動いたことになる。
【００４５】
この状態は４５度回転を戻すと図１(ｂ)の状態になっている。このため、さらに、図１(ｂ)、図２(ｃ)、図２(ｄ)のステップのように、各電極の電位を変えていくステップを繰り返していけば、可動体は、回転させたい方向、即ち、時計回りの方向に回転しつづける。また、電位を変えないことにより、急激に減速し、停止することも可能となる。
【００４６】
以上の説明では、電位の変化を、時計回りにして、可動体１を時計回りの方向に回転させたが、電位の変化を、反時計回りにして、可動体１を反時計回りの方向に回転させることもできる。本発明の駆動方法によれば、駆動したい方向に制御できる。可動体１の回転駆動と、固定とを繰り返すので、反対方向に逆回転することもなく、安定して回転する。
【００４７】
本発明が駆動の対象としているの半導体静電モータの縦断面構造は図８に示した構造である。上面から見た模試図は図１などに示した。必ずしもこの構造に限定されるわけではなく、可動体の不純物添加部１ｂは４個でなくても、遇数個であればよく、固定子の電極部２ｂは不純物添加部１ｂの２倍の場合について説明したが、１．５倍や３倍であっても本発明は適用できる。電極が多くなると、電極間の絶縁が取れなくなり、微細化も困難なため、半導体静電モータにおいては固定子の電極部２ｂは不純物添加部１ｂの２倍が望ましい。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は、新しい駆動方法により、回転方向を制御でき、高速にしかも均一に回転する小型軽量の半導体静電モータを提供する。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】（ａ）：本発明の駆動方法を説明するための図である。（ｂ）：本発明の駆動方法を説明するための図である。
【図２】（ｃ）：本発明の駆動方法を説明するための図である。（ｄ）：本発明の駆動方法を説明するための図である。
【図３】（ａ）：可動体の不純物添加部と固定子の電極部の位置関係の第１の例である。（ｂ）：可動体の不純物添加部と固定子の電極部の位置関係の第２の例である。
【図４】（ａ）：従来の駆動方法を説明するための図である。（ｂ）：従来の駆動方法を説明するための図である。
【図５】（ｃ）：従来の駆動方法を説明するための図である。（ｄ）：従来の駆動方法を説明するための図である。
【図６】（ａ）：従来の駆動方法を説明するための図である。（ｂ）：従来の駆動方法を説明するための図である。
【図７】（ｃ）：従来の駆動方法を説明するための図である。（ｄ）：従来の駆動方法を説明するための図である。
【図８】半導体静電モータの構造を説明するための回転中心を通る縦断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
１    可動体
１ａ  可動体の半導体基板部
１ｂ  可動体の不純物添加部
２    固定子
２ａ  固定子の絶縁体部
２ｂ  固定子の電極部
３    下側軸受け
４    上側軸受け
５    軸
６    モールド部
７    絶縁物
【図１】
2005110392.tif 000003
【図２】
2005110392.tif 000004
【図３】
2005110392.tif 000005
【図４】
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【図５】
2005110392.tif 000007
【図６】
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【図７】
2005110392.tif 000009
【図８】
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