(57)【要約】【課題】  検査時間を短縮し、検査精度を向上し、低コストに実施できるようにする。【解決手段】  本発明液晶表示パネルの検査方法は、液晶表示パネルの欠陥絵素の概略座標を特定する段階（ステップＳ５１）と、前記液晶表示パネルにおける前記概略座標に基準座標を設定し、該基準座標の位置を視覚的に表す基準図形を前記液晶表示パネルに表示させる段階（ステップＳ５２）と、前記液晶表示パネルの前記概略座標近傍における前記基準図形及び前記欠陥絵素を撮影する段階（ステップＳ５３）と、撮影した前記液晶表示パネルの画像を画像処理して前記基準座標と前記欠陥絵素との相対座標を求めるとともに、該相対座標及び前記基準座標に基づいて前記欠陥絵素の座標を特定する段階（ステップＳ５４）とを含んでいる。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶表示パネルの欠陥絵素又は欠陥画素の概略座標を特定する段階と、
前記液晶表示パネルにおける前記概略座標又はその近傍に基準座標を設定し、該基準座標の位置を視覚的に表す基準図形を前記液晶表示パネルに表示させる段階と、
前記液晶表示パネルの前記概略座標近傍における前記基準図形及び前記欠陥絵素又は欠陥画素を撮影する段階と、
撮影した前記液晶表示パネルの画像を画像処理して前記基準座標と前記欠陥絵素又は欠陥画素との相対座標を求めるとともに、該相対座標及び前記基準座標に基づいて前記欠陥絵素又は欠陥画素の座標を特定する段階と
を含む液晶表示パネルの検査方法。
【請求項２】
前記基準図形は、前記液晶表示パネルにおける前記絵素又は画素の配列方向に延びる直線的な形を含む請求項１記載の液晶表示パネルの検査方法。
【請求項３】
液晶表示パネルの欠陥絵素又は欠陥画素の概略座標を特定する手段と、
前記液晶表示パネルにおける前記概略座標又はその近傍に基準座標を設定し、該基準座標の位置を視覚的に表す基準図形を前記液晶表示パネルに表示させる手段と、
前記液晶表示パネルの前記概略座標近傍における前記基準図形及び前記欠陥絵素又は欠陥画素を撮影する手段と、
撮影した前記液晶表示パネルの画像を画像処理して前記基準座標と前記欠陥絵素又は欠陥画素との相対座標を求めるとともに、該相対座標及び前記基準座標に基づいて前記欠陥絵素又は欠陥画素の座標を特定する手段と
を含む液晶表示パネルの検査装置。
【請求項４】
前記基準図形は、前記液晶表示パネルにおける前記絵素又は画素の配列方向に延びる直線的な形を含む請求項３記載の液晶表示パネルの検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネルの欠陥画素を検出する検査方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の液晶表示パネルの検査方法及びその装置として、特許文献１記載のものを例示する。この検査方法及び装置では、図１０に示すように、まず、治具２０２にセットされた液晶表示パネル２０１が、スライドテーブル２０７により液晶プロジェクション２１４内に挿入され、液晶表示パネル２０１の映像がスクリーン２１７に拡大表示される。次いで、オペレータがマウス（図示略）を使いレーザ光線発光装置２１８を移動させて、スクリーン２１７に表示された液晶表示パネル２０１における欠陥絵素の概略的な位置を指示する。次いで、液晶表示パネル２０１は、スライドテーブル２０７により液晶プロジェクション２１４から取り出されてＣＣＤカメラ２１２で撮影可能な位置に移動される。次いで、液晶表示パネル２０１はその左上部分がＣＣＤカメラ２１２の視野内に写るように精密ＸＹテーブル２０９によって移動され、ＣＣＤカメラ２１２で撮影される。その映像が画像処理装置（図示略）により分析され、パネル原点としての左上隅の絵素の座標が算出される。次いで、液晶表示パネル２０１は前記欠陥絵素の概略的な位置座標に基づいて液晶表示パネル２０１の欠陥絵素付近がＣＣＤカメラ２１２の視野内に写るように精密ＸＹテーブル２０９によって移動され、ＣＣＤカメラ２１２で撮影される。その映像が前記画像処理装置により分析され、前記パネル原点の座標と、該パネル原点の座標からの精密ＸＹテーブル２０９による液晶表示パネル２０１の移動量とに基づいて欠陥絵素の座標が算出されるようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１４７４１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、精密ＸＹテーブル２０９による液晶表示パネル２０１の機械的な移動量に基づいて欠陥絵素の座標を算出しているので、誤差が生じ易いという課題がある。
【０００５】
また、精密ＸＹテーブル２０９は、機械的精度等の性能が高いものほど価格が高く、丁寧に扱う必要があり、その性能を維持するためのメンテナンスのコストも高くなるという課題もある。さらに、一般に精密ＸＹテーブル２０９の移動速度は遅い（特に精度が高いほど遅い）ので、検査時間が長くなるという課題がある。
【０００６】
その他に、液晶プロジェクション２１４により液晶表示パネル２０１の映像をスクリーンに拡大投影表示するので、広い場所を確保する必要があるという課題がある。また、液晶プロジェクション２１４、レーザ光線発光装置２１８、精密ＸＹテーブル２０９等の特別な装置が必要で、設備コストが掛かるという課題もある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、第一の発明に係る液晶表示パネルの検査方法は、
液晶表示パネルの欠陥絵素又は欠陥画素の概略座標を特定する段階と、
前記液晶表示パネルにおける前記概略座標又はその近傍に基準座標を設定し、該基準座標の位置を視覚的に表す基準図形を前記液晶表示パネルに表示させる段階と、
前記液晶表示パネルの前記概略座標近傍における前記基準図形及び前記欠陥絵素又は欠陥画素を撮影する段階と、
撮影した前記液晶表示パネルの画像を画像処理して前記基準座標と前記欠陥絵素又は欠陥画素との相対座標を求めるとともに、該相対座標及び前記基準座標に基づいて前記欠陥絵素又は欠陥画素の座標を特定する段階と
を含んでいる。
【０００８】
第二の発明に係る液晶表示パネルの検査方法は、前記第一の発明において、前記基準図形は、前記液晶表示パネルにおける絵素又は画素の配列方向に延びる直線的な形を含んでいる態様を例示する。
【０００９】
また、第三の発明に係る液晶表示パネルの検査装置は、
液晶表示パネルの欠陥絵素又は欠陥画素の概略座標を特定する手段と、
前記液晶表示パネルにおける前記概略座標又はその近傍に基準座標を設定し、該基準座標の位置を視覚的に表す基準図形を前記液晶表示パネルに表示させる手段と、
前記液晶表示パネルの前記概略座標近傍における前記基準図形及び前記欠陥絵素又は欠陥画素を撮影する手段と、
撮影した前記液晶表示パネルの画像を画像処理して前記基準座標と前記欠陥絵素又は欠陥画素との相対座標を求めるとともに、該相対座標及び前記基準座標に基づいて前記欠陥絵素又は欠陥画素の座標を特定する手段と
を含んでいる。
【００１０】
第四の発明に係る液晶表示パネルの検査装置は、前記第三の発明において、前記基準図形としては、前記液晶表示パネルにおける絵素又は画素の配列方向に延びる直線的な形を含んでいる態様を例示する。
【００１１】
以上の検査方法又は検査装置において、前記絵素とは、前記液晶表示パネルの表示を構成する最小単位の要素をいう。一般には、カラー液晶表示パネルの絵素は、光の三原色である赤、緑、青をそれぞれ表示する３画素（Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素）で構成されており、モノクロ表示用の絵素は、単一色の１画素で構成されている。前記欠陥絵素又は欠陥画素の欠陥の態様としては、特に限定されないが、絵素又は画素が常時点灯する態様、点滅する態様、常時消灯する態様、正規の明るさが出ていない（いわゆる「半切れ」）の態様等を例示する。前記基準座標としては、前記概略座標と同じ座標に設定することが好ましい。前記基準図形としては、基準座標の位置を視覚的に表す図形であれば特に限定されない。前記撮影する段階では、前記基準図形全体が映るように撮影する必要はないが、少なくとも基準座標が特定可能な範囲が映るように撮影する。
【００１２】
前記第一の発明に係る液晶表示パネルの検査方法及び、前記第三の発明に係る液晶表示パネルの検査装置によれば、前記基準座標は、前記概略座標又はその近傍に設定されるので、前記概略座標又はその近傍に該基準図形が表示され、前記欠陥絵素又は欠陥画素とともに基準座標における基準図形も撮影することができる。従って、前記欠陥絵素又は欠陥画素と前記基準図形との両方が映った画像を得ることができ、該画像を画像処理することにより、前記欠陥絵素又は欠陥画素と基準座標との相対座標を求めることができ、該相対座標及び前記基準座標に基づいて前記欠陥絵素又は欠陥画素の座標を、従来例とは異なり機械的な移動量に基づくことなく、正確に特定することができる。
【００１３】
また、前記第二の発明に係る液晶表示パネルの検査方法及び、前記第四の発明に係る液晶表示パネルの検査装置において、前記「前記液晶表示パネルにおける絵素又は画素の配列方向に延びる直線的な形」とは、特に限定されないが、直線、十字形、矩形等を例示する。例えば、前記基準図形は、前記基準座標にある絵素若しくは画素、又はその周囲の絵素若しくは画素で交差する十字線を含む態様が挙げられる。
【００１４】
前記第二の発明に係る液晶表示パネルの検査方法及び、前記第四の発明に係る液晶表示パネルの検査装置によれば、前記画像処理において、撮影した前記画像における前記直線的な形の傾きを検査することにより、液晶表示パネルにおける絵素又は画素の配列の傾きを検査することができ、この傾きを利用して前記画像の傾きを補正することにより、前記基準座標と前記欠陥絵素又は欠陥画素との相対座標を正確に求めることができる。このため、前記欠陥絵素又は欠陥画素の座標の精度を向上させることができる。
【００１５】
また、前記欠陥絵素又は欠陥画素の前記概略座標を特定する段階（又は手段）としては、特に限定されないが、次の態様を例示する。
（１）前記液晶表示パネルを前記欠陥絵素又は欠陥画素が視認可能な状態にさせておき、前記液晶表示パネルに前記概略座標を指定するためのカーソルを表示させるとともに、入力手段へと入力されるオペレータの移動操作に応じて該カーソルを移動させるとともに、オペレータの確定操作が入力されると、そのときのカーソルの座標に基づいて前記概略座標を特定する態様。
（２）前記液晶表示パネルを前記欠陥絵素又は欠陥画素が視認可能な状態にさせておき、液晶表示パネル全体を撮影し、その撮影した画像を画像処理することにより、前記概略座標を特定する態様。
【００１６】
これらの態様によれば、従来例とは異なり、前記液晶表示パネルの映像をスクリーンに拡大投影表示する必要がないので、広い場所を確保する必要がない。また、液晶プロジェクション、レーザ光線発光装置等の特別な装置が必要ないので、設備コストを低減することができる。
【００１７】
以上において、撮影する手段としては、特に限定されないが、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、ＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide-Semiconductor）イメージャー、ＶＭＩＳ（Threshold Voltage Modulation Image Sensor）素子を利用したカメラを例示する。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る液晶表示パネルの検査方法及び装置によれば、検査時間を短縮し、検査精度を向上し、低コストに実施できるという優れた効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を液晶表示パネルの検査装置１に具体化した第一実施形態について、同装置１を使用して実施する検査方法とともに、図１〜図６を参照して説明する。なお、本例における検査対象の液晶表示パネル２は、カラー表示可能なもので、その各絵素２０は、光の三原色である赤、緑、青をそれぞれ表示するＲ画素２１ｒ、Ｇ画素２１ｇ、Ｂ画素２１ｂで構成されているものとする。また、本例では、液晶表示パネル２における絵素２０の座標は、液晶表示パネル２の左上隅の絵素２０を原点とし、画面のＸ方向と、画面のＹ方向とによる二次元座標をＸ，Ｙ（大文字）で表す。また、本例では、画像データにおける座標は、画像の左上隅を原点とし、画面のＸ方向と、画面のＹ方向とによる二次元座標をｘ，ｙ（小文字）で表す。
【００２０】
本例の検査装置１は、図１及び図２に示すように、検査対象の液晶表示パネル２を所定位置に位置決め支持する支持部３ａを有する作業テーブル３と、該液晶表示パネル２の画面２ａを撮影するカメラとしてのＣＣＤカメラ４と、液晶表示パネル２の画面２ａのＸ方向（本例における左右方向）とＹ方向（本例における上下方向）とにそれぞれ延びるフレーム５ａ，５ｂに沿ってスライド移動可能にＣＣＤカメラ４を支持するカメラスタンド５と、該カメラスタンド５に支持されたカメラ４をＸ方向及びＹ方向にそれぞれ駆動する一対の駆動モータ６，７と、両駆動モータ６，７を制御するカメラスタンド制御部８と、液晶表示パネル２に表示用の信号を与えるテスト画面コントローラ９と、該テスト画面コントローラ９に対する指示をオペレータが入力するための入力手段としてのマウス１０と、ＣＣＤカメラ４、カメラスタンド制御部８、及びテスト画面コントローラ９を制御する制御コンピュータ１１とを備えている。
【００２１】
ＣＣＤカメラ４は、制御コンピュータ１１からの制御信号に応じて液晶表示パネル２の画面２ａを撮影し、その画像データを制御コンピュータ１１へ出力するようになっている。ＣＣＤカメラ４の焦点は、液晶表示パネル２の画面２ａ上に固定されており、液晶表示パネル２の画面２ａに対して平行移動するようにＣＣＤカメラ４がカメラスタンド５によって支持されているので、検査時に焦点を変更する必要はない。ＣＣＤカメラ４の視野４ａの広さは、後述する欠陥絵素２０ｆの概略位置を視野４ａの中心においたときに、視野４ａ内に欠陥絵素２０ｆが入る広さに設定されている。また、ＣＣＤカメラ４の解像度は、液晶表示パネル２における１個の画素２１が、ＣＣＤカメラ４における約１０個以上の画素２１で撮影可能な程度とすることが好ましい。
【００２２】
カメラスタンド制御部８は、制御コンピュータ１１からの制御信号に応じて、駆動モータ６，７を駆動し、ＣＣＤカメラ４の位置をＸ方向及び／又はＹ方向へ移動させる。
【００２３】
テスト画面コントローラ９は、制御コンピュータ１１からの制御信号に応じて、液晶表示パネル２に表示用の信号を与えるためのものであり、本例では、少なくとも次の機能を有している。なお、テスト画面コントローラ９に接続されているマウス１０は、入力手段としての２つのボタン（右ボタン及び左ボタン）を備えているものとするが、これは例示にすぎず、他の入力手段を利用するように構成することもできる。
（ａ）制御コンピュータ１１からの指令に応じて、液晶表示パネル２のＲ画素２１ｒ、Ｇ画素２１ｇ、Ｂ画素２１ｂのいずれかのみ表示した状態にするとともに、その画素２１の輝度を変化させる機能。
（ｂ）（ａ）の状態において、図４（ａ）に示すように、液晶表示パネル２に矩形枠のカーソル１４を表示させるとともに、オペレータに移動操作されるマウス１０の動きに応じてカーソル１４を移動させる機能。
（ｃ）（ｂ）の状態において、欠陥絵素２０ｆの概略座標の確定操作として、オペレータによりマウス１０の左ボタンが押下されると、その旨の情報とともに矩形枠のカーソル１４の中心にある絵素２０の座標を制御コンピュータ１１に出力する機能。
（ｄ）マウス１０の右ボタンが押下されると、その旨の情報を制御コンピュータ１１に出力する機能。
（ｅ）（ａ）の状態において、図４（ｂ）に示すように、制御コンピュータ１１から指定された基準座標の位置を視覚的に表す基準図形１５を表示させる機能。
【００２４】
カーソル１４の矩形枠の大きさは、ＣＣＤカメラ４の視野４ａの範囲に合わせた大きさに設定することが好ましく、本例では、該視野４ａの範囲よりも若干小さくなるように設定している。
【００２５】
基準図形１５は、基準座標にある絵素２０若しくは画素２１、又はその周囲の絵素２０若しくは画素２１で交差する十字線を含むことが好ましく、本例では、基準図形１５は、基準座標にある絵素２０における欠陥画素２１ｆと同じ色の画素２１（以下、「注目画素２１ａ」という。）を視覚的に表すことを介して基準座標の位置を視覚的に表すように、該注目画素２１ａの左右両側の画素２１を通ってＹ方向（上下方向）に延びる一対の直線と、前記注目画素２１ａの上下両側の画素２１を通ってＸ方向（左右方向）に延びる一対の直線とからなっている。前記上下両側の直線は、注目画素２１ａと異なる色の画素２１が表示されるようにしており、上下で互いに異なる色の画素２１が表示されることが好ましい。本具体例では、図５に示すように、上側の直線は注目画素２１ａ（Ｒ画素２１ｒ）の左側の画素２１（Ｂ画素２１ｂ）と同じ色の画素２１を表示させてなっており、下側の直線は注目画素２１ａの右側の画素２１（Ｇ画素２１ｇ）と同じ色の画素２１を表示させてなっている。なお、図５及び図６（後述）において、画素２１を示す矩形枠内に表示されたアルファベットのＲ、Ｇ、Ｂは、それぞれの画素２１がＲ画素２１ｒ、Ｇ画素２１ｇ、Ｂ画素２１ｂであることを示している。また、画素２１の点灯状態は、矩形枠内の背景により表示しており、背景が黒色のものは消灯状態、背景が横縞模様のものは欠陥画素２１ｆの状態（図示例では、欠陥画素２１ｆはＲ画素２１ｒ）、それ以外の背景のものは点灯状態を示している。
【００２６】
制御コンピュータ１１では、ＣＣＤカメラ４、カメラスタンド制御部８、及びテスト画面コントローラ９を制御することにより、本発明の液晶表示パネル２の検査方法を実施する検査処理プログラムが実行される。
【００２７】
次に、本検査装置１を使用して実施される液晶表示パネル２の検査方法について、制御コンピュータ１１の検査処理プログラムにおける処理とともに、図３に示すフローチャートの流れに沿って説明する。検査に際しては、検査対象の液晶表示パネル２を作業テーブル３の支持部３ａに取り付けるとともに、テスト画面コントローラ９の信号ケーブル９ａを液晶表示パネル２に接続しておき、制御コンピュータ１１の検査処理プログラムを起動すると、検査が開始される。
【００２８】
まず、制御コンピュータ１１は、まず、テスト画面コントローラ９を制御して、図４（ａ）に示すように、液晶表示パネル２における、Ｒ画素２１ｒ、Ｇ画素２１ｇ、Ｂ画素２１ｂのいずれかの検査対象画素２１（本例ではＲ画素２１ｒとする。）全てを表示させるとともに、該検査対象画素２１の輝度を時間の経過とともに変化させる。そして、検査対象画素以外の画素２１（本例ではＧ画素２１ｇとする。）により矩形枠のカーソル１４を表示させ、マウス１０の動きに応じてカーソル１４を移動させるようにする。そして、いずれの検査対象画素２１（Ｒ画素２１ｒ）にも欠陥がない場合、オペレータがマウス１０の右ボタンを押下すると、次の画素２１（Ｇ画素２１ｇやＢ画素２１ｂ）の検査へと移行する。しかし、いずれかの検査対象画素２１（Ｒ画素２１ｒ）に欠陥がある場合、オペレータがカーソル１４の枠内に欠陥画素２１ｆが入るようにカーソル１４を移動させ、マウス１０の左ボタンを押下すると、テスト画面コントローラ９は、マウス１０の左ボタンが押下された旨の情報とともに、カーソル１４の中心にある絵素２０の座標を制御コンピュータ１１に対して出力する。制御コンピュータ１１では、その座標を欠陥絵素２０ｆの概略座標として取得（記憶手段に記憶）する。これが本検査方法における欠陥絵素２０ｆの概略座標を特定する段階（ステップＳ５１）であり、本検査装置１におけるこの段階を実現する手段が欠陥絵素２０ｆの概略座標を特定する手段である。
【００２９】
次いで、制御コンピュータ１１は、欠陥絵素２０ｆの概略座標を基準座標（Ｘ０，Ｙ０）として採用し、テスト画面コントローラ９を制御して、図４（ｂ）に示すように、基準座標（Ｘ０，Ｙ０）に基準図形１５を表示させる。これが本検査方法における基準座標（Ｘ０，Ｙ０）の設定と基準図形１５の表示とをさせる段階（ステップＳ５２）であり、本検査装置１におけるこの段階を実現する手段が基準座標（Ｘ０，Ｙ０）の設定と基準図形１５の表示とをさせる手段である。
【００３０】
次いで、制御コンピュータ１１は、カメラスタンド制御部８を制御して、ＣＣＤカメラ４の視野４ａの中心が欠陥絵素２０ｆの概略座標となるようにＣＣＤカメラ４を移動させる。そして、制御コンピュータ１１は、ＣＣＤカメラ４を制御し、概略座標の近傍を撮影し、その画像データ（図５参照）をＣＣＤカメラ４から入力する。これが本検査方法における概略座標の近傍を撮影する段階（ステップＳ５３）であり、本検査装置１におけるこの段階を実現する手段が概略座標の近傍を撮影する手段である。
【００３１】
次いで、制御コンピュータ１１は、入力した画像データを画像処理し、画像上における欠陥画素２１ｆの中心の座標（ｘ１，ｙ１）と、基準図形１５により表された注目画素２１ａの中心座標（ｘ０，ｙ０）とを特定する。このときの画像処理のアルゴリズムとしては、公知のアルゴリズムを適宜採用することができる。特に限定されないが、例えば、画像のＸ方向及びＹ方向について、それぞれ輝度や色のサンプリングを行うことにより欠陥画素２１ｆの中心の座標（ｘ１，ｙ１）と、注目画素２１ａの中心の座標（ｘ０，ｙ０）とを特定する。
【００３２】
そして、次の式（１）、（２）により、両座標の相対座標（Δｘ，Δｙ）を求める。この相対座標は、欠陥絵素２０ｆの中心座標と、基準位置にある絵素２０（注目画素２１ａを含む絵素２０）の中心座標との相対座標となっている。
【００３３】
Δｘ＝ｘ１−ｘ０        …（１）
Δｙ＝ｙ１−ｙ０        …（２）
【００３４】
ここで、液晶表示パネル２の画面２ａとＣＣＤカメラ４との距離は一定に保たれているため、画像上における隣接する絵素２０の間隔は既知である。そこで、Ｘ方向及びＹ方向における絵素２０の間隔をそれぞれΔｘｐ及びΔｙｐで表すものとすると、液晶表示パネル２上における欠陥絵素２０ｆと基準座標との相対座標（ΔＸ，ΔＹ）は、それぞれΔｘ／Δｘｐ及びΔｙ／Δｙｐの小数点以下を四捨五入した整数値となる。そして、実際の液晶表示パネル２上における基準座標（Ｘ０，Ｙ０）は制御コンピュータが設定した既知の座標であるので、結局、実際の液晶表示パネル２上における欠陥絵素２０ｆの座標（Ｘ１，Ｙ１）は、次の式（３）、（４）により算出することができる。
【００３５】
Ｘ１＝Ｘ０＋ΔＸ      …（３）
Ｙ１＝Ｙ０＋ΔＹ      …（４）
【００３６】
これが本検査方法における「基準座標と欠陥絵素２０ｆとの相対座標を求めるとともに、該相対座標及び基準座標に基づいて欠陥絵素２０ｆの座標を特定する段階」（ステップＳ５４）であり、本検査装置１におけるこの段階を実現する手段が「基準図形と欠陥絵素２０ｆとの相対座標を求めるとともに、該相対座標及び基準座標に基づいて欠陥絵素２０ｆの座標を特定する手段」である。
【００３７】
次いで、Ｇ画素２１ｇ、Ｂ画素２１ｂについても、上記Ｒ画素２１ｒと同様に検査する。なお、ステップＳ５１において、Ｒ画素２１ｒ、Ｇ画素２１ｇ、Ｂ画素２１ｂについての欠陥画素２１ｆの概略座標をまとめて特定し、該各欠陥画素２１ｆについて、ステップＳ５２〜Ｓ５４を順次実行するようにしてもよい。また、Ｒ画素２１ｒ、Ｇ画素２１ｇ、Ｂ画素２１ｂの各画素２１に関して、複数の欠陥絵素２０ｆがある場合もこれと同様に、ステップＳ５１において、その複数の欠陥画素２１ｆの概略座標をまとめて特定し、該各欠陥画素２１ｆについて、ステップＳ５２〜Ｓ５４を順次実行するようにしてもよい。
【００３８】
ところで、製造誤差により、液晶表示パネル２のフレームや基板等に対して各画素２１が傾いた状態で配設されていたり、作業テーブル３の支持部３ａの遊びにより液晶表示パネル２が作業台に対して傾いた状態で取り付けられたりすることにより、液晶表示パネル２の各画素２１がＣＣＤカメラ４に対して傾いた状態となることが考えられる。また、温度や湿度等の環境条件や、作業テーブル３の支持部３ａの遊びにより、液晶表示パネル２が所定位置よりも前後へずれた状態で取り付けられたりすることにより、液晶表示パネル２の各画素２１がＣＣＤカメラ４からの所定距離に対して前後に位置ずれした状態となることが考えられる。これら液晶表示パネル２の傾きや前後への位置ずれは、欠陥絵素２０ｆの座標の誤差の原因となる。
【００３９】
そこで、液晶表示パネル２の傾き対策としては、ステップＳ５４において、画像処理により画像上における基準図形１５の傾きを検出し、これに基づいて相対座標（Δｘ，Δｙ）又は（ΔＸ，ΔＹ）を補正することを例示する。
【００４０】
また、液晶表示パネル２の傾きや前後方向の位置ずれ対策としては、ステップＳ５４の次に、算出された欠陥絵素２０ｆの座標（Ｘ１，Ｙ１）に基準図形１５を表示させ、この状態において欠陥図形の座標を再度求めるようにし、基準図形１５における基準座標の位置に欠陥絵素２０ｆが位置してｘ１＝ｘ０、ｙ１＝ｙ０となる（図６の状態）まで、これを繰り返すようにすることを例示する。
【００４１】
以上のように構成された本例の液晶表示パネル２の欠陥検査方法及び装置によれば、基準座標は、概略座標に設定されるので、概略座標に該基準図形１５が表示され、欠陥絵素２０ｆとともに基準座標における基準図形１５も撮影することができる。従って、欠陥絵素２０ｆと基準図形１５との両方が映った画像データを得ることができ、該画像を画像処理することにより、欠陥絵素２０ｆと基準座標（Ｘ０，Ｙ０）との相対座標（ΔＸ，ΔＹ）を求めることができ、該相対座標（ΔＸ，ΔＹ）及び基準座標（Ｘ０，Ｙ０）に基づいて欠陥絵素２０ｆの座標（Ｘ１，Ｙ１）を、従来例とは異なり機械的な移動量に基づくことなく、正確に特定することができる。
【００４２】
また、特別な装置が必要な従来例とは異なり、既存の汎用的な装置を利用して安価に構成することができる。また、本発明では、液晶表示パネル２の画面２ａに対するＣＣＤカメラ４の平行移動については、従来例における精密ＸＹテーブルほどの精度が要求されないので、従来例よりも移動速度を向上させることが可能で、検査時間を短縮することができる。
【００４３】
また、基準図形１５は、液晶表示パネル２における絵素２０又は画素２１の配列方向に延びる直線的な形を含んでいるので、前記画像処理において、撮影した前記画像における前記直線的な形の傾きを検査することにより、液晶表示パネル２における絵素２０又は画素２１の配列の傾きを検査することができ、この傾きを利用して前記画像の傾きを補正することにより、基準座標（Ｘ０，Ｙ０）と欠陥絵素２０ｆとの相対座標（ΔＸ，ΔＹ）を正確に求めることができる。このため、欠陥絵素２０ｆの座標（Ｘ１，Ｙ１）の精度を向上させることができる。
【００４４】
また、液晶表示パネル２の欠陥絵素２０ｆの概略座標を特定する段階及び手段では、液晶表示パネル２を欠陥絵素２０ｆが視認可能な状態にさせておき、液晶表示パネル２に概略座標を指定するためのカーソル１４を表示させるとともに、入力手段としてのマウスへ入力されるオペレータの移動操作に応じて該カーソル１４を移動させるとともに、オペレータの確定操作としてのマウス左ボタンが押下されると、そのときのカーソル１４の座標に基づいて概略座標を特定するようにしている。このため、従来例とは異なり、液晶表示パネル２の映像をスクリーンに拡大投影表示する必要がないので、広い場所を確保する必要がない。また、従来例とは異なり、液晶プロジェクション、レーザ光線発光装置等の特別な装置が必要ないので、設備コストを低減することができる。
【００４５】
次に、図７は本発明を具体化した第二実施形態を示している。この液晶表示パネル２の検査方法及び検査装置６０は、以下に示す点において、主に第一実施形態と相違している。従って、同実施形態と共通する部分については、同一符号を付することにより重複説明を省く（以下に示す他の実施形態についても同様）。
【００４６】
本例のテスト画面コントローラ６１は、第一実施形態におけるマウス１０に代えて、カメラスタンド５に設けられた入力手段としてのカメラ位置センサ６２からＣＣＤカメラ４の位置情報を入力し、そのときのＣＣＤカメラ４の視野４ａの中心に矩形枠状のカーソル１４を表示させるようになっている。そして、ステップＳ５１においては、オペレータが手動でＣＣＤカメラ４の位置を移動させて、矩形枠状のカーソル１４内に欠陥絵素２０ｆが入るようにするとともに、確定操作手段（図示略）を介して確定操作をテスト画面コントローラ６１に入力すると、テスト画面コントローラ６１は、そのときにカーソル１４の中心にある絵素２０の座標を制御コンピュータ１１に対して出力するようになっている。また、ステップＳ５３では、制御コンピュータ１１はＣＣＤカメラ４を制御して、液晶表示パネル２の画面２ａを撮影するが、第一実施形態とは異なり、ＣＣＤカメラ４の視野４ａの中心は既に概略座標に一致しているので、ＣＣＤカメラ４の位置を制御する必要はない。
【００４７】
本例の液晶表示パネル２の検査方法及び装置６０によれば、第一実施形態と同様の効果に加え、第一実施形態における駆動モータ６，７やカメラスタンド制御部８を省くことができ、低コストに構成することができる。
【００４８】
次に、図８及び図９は本発明を具体化した第三実施形態を示している。この液晶表示パネル２の検査方法及び装置７０は、以下に示す点において、主に第一実施形態と相違している。
【００４９】
本例の検査装置７０は、テスト画面コントローラ７１に入力手段としてのマウス１０が接続されていない代わりに、検査対象の液晶表示パネル２全体が視野４ａに入るように調節された概略座標特定用ＣＣＤカメラ７２が制御コンピュータ１１に接続されている。そして、ステップＳ５１においては、制御コンピュータ１１は、まず、テスト画面コントローラ７１により、液晶表示パネル２における、Ｒ画素２１ｒ、Ｇ画素２１ｇ、Ｂ画素２１ｂのいずれかの検査対象画素２１全てを表示させるとともに、検査対象画素２１の輝度を時間の経過とともに変化させる。これとともに、制御コンピュータ１１は、概略座標特定用ＣＣＤカメラ７２により、輝度が異なる複数の表示状態において、液晶表示パネル２の画面２ａ全体を撮影し、各画像データを入力する。その複数の表示状態の画像データを画像処理することにより、画像上における欠陥絵素２０ｆの概略座標を特定する。予め測定しておいた画像の縮尺を基に、その画像上の概略座標を画面２ａ上の座標に座標変換することにより、検査対象画素２１に関する欠陥絵素２０ｆの概略座標を特定する。
【００５０】
なお、概略座標特定用ＣＣＤカメラ７２を省き、１台のＣＣＤカメラ４に制御コンピュータ１１から倍率を制御可能なズームレンズをＣＣＤカメラ４に取り付けるようにしてもよい。そして、欠陥絵素２０ｆの概略座標を特定するためにＣＣＤカメラ４により液晶表示パネル２全体を撮影するときはズームレンズをズームダウンさせ、概略座標の近傍を撮影するときは、ズームレンズをズームアップさせるように制御する。
【００５１】
本例の液晶表示パネル２の検査方法及び装置７０によれば、第一実施形態と同様の効果に加え、オペレータが欠陥絵素２０ｆの概略座標を特定する操作を省くことができ、検査を自動化できるという本例特有の効果を得ることができる。
【００５２】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、例えば以下のように、発明の趣旨から逸脱しない範囲で適宜変更して具体化することもできる。
（１）ＣＣＤカメラ４の位置を固定し、液晶表示パネル２の位置をＣＣＤカメラ４に対して相対移動させるように構成すること。
（２）基準座標として、概略座標とは異なる座標を採用すること
（３）基準図形１５として、前記実施形態とは異なる形状や色の図形を採用すること。
（４）欠陥絵素２０ｆの座標（Ｘ１，Ｙ１）に代えて、欠陥画素２１ｆの座標を求めるように構成すること。
（５）前記実施例では、液晶表示パネル２の画面２ａとＣＣＤカメラ４との距離は一定に保たれており、画像上における隣接する絵素２０のＸ方向及びＹ方向の間隔（Δｘｐ及びΔｙｐ）は既知であるものとしていた。しかし、前述したように、温度や湿度等の環境条件や、作業テーブル３の支持部３ａの遊び等により、液晶表示パネル２の画面２ａとＣＣＤカメラ４との距離は変動し得るものである。そこで、検査対象の液晶表示パネルにおける概略座標の近傍を撮影した画像を画像処理することにより、Δｘｐ及びΔｙｐを検出するようにしてもよい。この場合、ＣＣＤカメラ４は、オートフォーカス機能を備えたものを採用することが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明を具体化した第一実施形態に係る液晶表示パネルの検査装置の斜視図である。
【図２】同検査装置の制御系ブロック図である。
【図３】本発明の検査方法の流れを示すフローチャートである。
【図４】同検査装置による検査対象の液晶表示パネルの画面を示す図である。
【図５】同液晶表示パネルの表示を撮影した画像を示す図である。
【図６】同液晶表示パネルの別の表示を撮影した画像を示す図である。
【図７】本発明を具体化した第二実施形態に係る液晶表示パネルの検査装置の制御系ブロック図である。
【図８】本発明を具体化した第三実施形態に係る液晶表示パネルの検査装置の斜視図である。
【図９】同検査装置の制御系ブロック図である。
【図１０】従来の液晶表示パネルの検査装置を示す平面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１    検査装置
２    液晶表示パネル
２ａ  画面
４    ＣＣＤカメラ
８    カメラスタンド制御部
９    テスト画面コントローラ
１０    マウス
１１    制御コンピュータ
１４    カーソル
１５    基準図形
２０    絵素
２０ｆ  欠陥絵素
２１    画素
２１ｒ  Ｒ画素
２１ｇ  Ｇ画素
２１ｂ  Ｂ画素
２１ｆ  欠陥画素
６０    検査装置
６１    テスト画面コントローラ
６２    カメラ位置センサ
７０    検査装置
７１    テスト画面コントローラ
７２    概略座標特定用ＣＣＤカメラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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