(57)【要約】【課題】被処理物の処理完了から、次に処理される被処理物が降載されるまでの処理装置の待ち時間を短縮することが可能な懸垂型搬送台車およびその制御方法ならびに搬送システムを提供する。【解決手段】懸垂型搬送台車は、軌道２３上を走行するＯＨＴ搬送台車１と、搬送台車１に取り付けられ、被処理物を格納するキャリア２０（２０ａ，２０ｂ）を把持する複数の積載手段としてのフィンガ機構１８（１８ａ，１８ｂ）と、フィンガ機構１８を昇降させる昇降手段としての昇降機１４および昇降ベルト１６とを備え、フィンガ機構１８によりキャリア２０の積込みおよび積下ろしを個別に行なう。【選択図】        図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軌道上を走行する走行台車と、
前記走行台車に取り付けられ、被処理物を格納するキャリアを把持する複数の積載手段と、
前記積載手段を昇降させる昇降手段とを備え、
前記積載手段により前記キャリアの積込みおよび積下ろしを個別に行なう懸垂型搬送台車。
【請求項２】
前記昇降手段は複数の前記積載手段ごとに独立して動作可能である、請求項１に記載の懸垂型搬送台車。
【請求項３】
前記積載手段間で、前記キャリアを搬送方向に持ち換える持ち換え機構をさらに備えた、請求項１または請求項２に記載の懸垂型搬送台車。
【請求項４】
被処理物の処理装置または被処理物のストッカを有する複数の処理領域と、
前記処理領域内および複数の前記処理領域間に延在する軌道と、
前記軌道上を走行し、前記被処理物を格納するキャリアを積載する積載手段を有する搬送台車と、
前記処理装置における残留処理時間を検知する検知手段と、
前記検知手段の検知結果に基づき、前記処理装置までの前記キャリアの搬送に要する搬送時間よりも前記残留処理時間が短くなったか否かを判断し、前記搬送時間よりも前記残留処理時間が短くなったことに応じて前記搬送台車の移動を開始させるコントロ−ラとを備えた搬送システム。
【請求項５】
前記搬送台車は前記積載手段を昇降する昇降手段を含み、
前記処理装置または前記ストッカに設置され、前記昇降手段によって前記積載手段が降下される位置にスライド移動可能なスライドテ−ブルをさらに備えた、請求項４に記載の搬送システム。
【請求項６】
軌道上を走行する走行台車と、前記走行台車に取り付けられ、被処理物を格納するキャリアを把持する複数の積載手段と、前記積載手段を昇降させる昇降手段とを備えた懸垂型搬送台車の制御方法であって、
処理装置での処理が終了間近であることを検知したのに応じて、前記処理装置に向かって未処理の被処理物を搬送させ、前記処理装置によって処理された被処理物を回収し、前記未処理の被処理物を前記処理装置に降載するように前記走行台車の動作を制御する懸垂型搬送台車の制御方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、懸垂型搬送台車およびその制御方法ならびに搬送システムに関し、特に、半導体製造工程、液晶製造工程、ＦＡ（Ｆａｃｔｏｒｙ  Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ）などにおいて、軌道上を走行して荷物を搬送させる懸垂型搬送台車およびその制御方法ならびに搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程、液晶製造工程、ＦＡなどにおける搬送手段としては、ＯＨＴ（Ｏｖｅｒ  Ｈｅａｄ  Ｈｏｉｓｔ  Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ）やＯＨＳ（ＯｖｅｒＨｅａｄ  Ｓｈｕｔｔｌｅ）など、軌道上を走行する台車による無人搬送システムが主流となっている。
【０００３】
天井から吊り下げられた軌道上を走行する搬送手段は、作業者とは隔絶された異なる作業空間に設置されるので、無軌道で床上を走る無人搬送手段に比べて高速走行が可能といった利点を有している。
【０００４】
また、これらの搬送システムにおいては、一つの処理領域（ベイ）内の工程内搬送と、複数のベイ間にまたがる工程間搬送を区別する必然がなく、生産効率を高めるため工程間、工程内に拘束されない搬送システムが実現される。
【０００５】
ＯＨＴ搬送台車の基本構造としては、図１に示すような構造が一般的である。
図１に示す搬送台車は、走行軌道３上を走行する台車であって、搬送台車１はリニアモ−タ機構１２と、台車位置調整機構１３と、昇降機１４と、（コントロ−ラ内臓の）カバ−部１５とを含み、昇降ベルト１６を介して、キャリア２０を把持するグリップ機構１７とフィンガ−機構１８とが接続されている。また該台車は、通信手段１９を介してシステムコントローラ４０に接続され、該コントローラ４０によって動作制御されている。
【０００６】
図１は、処理装置２の処理装置ポート８において、キャリア２０を積載または降載している状態を示す。
【０００７】
また、搬送台車１の移動中は、昇降ベルト１６が巻き上げられ、サポートバー５５によって、キャリア２０の重量を支持しながら、該キャリアを搬送する。
【０００８】
上述した天井走行型搬送手段の従来の例としては、たとえば、特開平１１−３４９２８０号公報（従来例１）、または特開２０００−１５０６２２号公報（従来例２）に記載されたものなどが挙げられる。
【０００９】
従来例１においては、ハンド部にＬＥＤを、載置台側に集光レンズと半導体位置検出素子（ＰＳＤ）とよりなる位置検出部をそれぞれ設け、該位置検出部で得られた載置台に対するハンド部の相対位置に基づいて、現在の停止位置と所定の停止位置とのずれ量を検出し、移動台車に無線などによって教示する教示部を備えた懸垂式搬送装置が開示されている。
【００１０】
また、従来例２においては、天井に設置したレールに沿って走行する搬送車と、床上に設置されたプロセス装置との間で、ウエハを格納したキャリアを受け渡しするホイスト式搬送装置において、レールとプロセス装置との位置関係を監視する監視装置を設け、この監視装置を床基準に設置されたレーザ投光器と、天井基準に設置されたレーザ受光器とから構成した搬送装置が開示されている。
【００１１】
【特許文献１】
特開平１１−３４９２８０号公報
【００１２】
【特許文献２】
特開２０００−１５０６２２号公報
【００１３】
【特許文献３】
特開平５−２５９２６０号公報
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような搬送装置においては、以下のような問題があった。
【００１５】
図１に示すＯＨＴ搬送装置では、ＯＨＴ搬送台車が搭載可能なキャリアは１つだけである。したがって、処理装置から処理済の被処理物の収納されているキャリアを運び出す台車と、次にその処理装置に未処理の被処理物の収納されたキャリアを配給する台車とは、それぞれ別のＯＨＴ搬送台車となる。ここで、処理装置での処理が終了し、次に処理する被処理物が降載（配給）されるまでの時間は、処理装置の待ち時間となる。
【００１６】
上記の待ち時間について分析すると、処理装置での処理が終了後、回収用の台車が到着するまでの待ち時間と、回収用の台車の出発後、次に処理するワ−クが別のＯＨＴ搬送台車により処理装置に配給されるまでの待ち時間との合計となる。
【００１７】
このような待ち時間を短縮させ、処理装置の稼働率を上げることは、短納期対応、およびコストダウンの両面から極めて重要である。
【００１８】
ところで、特開平５−２５９２６０号公報（従来例３）においては、１つのバッチの処理が終了すると同時に処理済のバッチのカセットと処理前のバッチのカセットを交換するバッチカセット交換機能、カセットの交換終了と同時に次のバッチ処理を開始する処理制御機能、およびバッチ毎に異なるウエハ処理手順を各バッチに対応づけるためにウエハ処理手順名称をメモリ内に記憶するプロセスレシピ予約機能を具備せしめることにより、複数のバッチをウエハ処理手順により連続的に処理する縦型炉の制御方法が開示されている。
【００１９】
しかしながら、従来例３においては、１つの搬送機構において複数の積載手段が個別にキャリアの積込み／積下ろしを個別に行なう思想は開示されておらず、本発明とは異なるものである。
【００２０】
本発明は上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、被処理物の処理完了から、次に処理される被処理物が降載されるまでの処理装置の待ち時間を短縮することが可能な懸垂型搬送台車およびその制御方法ならびに搬送システムを提供することにある。
【００２１】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る懸垂型搬送台車は、軌道上を走行する走行台車と、走行台車に取り付けられ、被処理物を格納するキャリアを把持する複数の積載手段と、積載手段を昇降させる昇降手段とを備え、積載手段によりキャリアの積込みおよび積下ろしを個別に行なう。
【００２２】
これにより、搬送台車が少なくとも２つ以上のキャリアを搭載可能であるので、処理前の被処理物を収納したキャリア１つを搭載して処理装置にアクセスし、まず処理装置から処理済み被処理物の収納されたキャリアを回収し、続けて処理装置の空いたテーブルに、搬送してきたキャリアを降載することで、１回の昇降動作で被処理物の回収と降載ができる。この結果、被処理物の処理完了から、次に処理される被処理物が降載されるまでの待ち時間を短縮することが可能となる。
【００２３】
昇降手段は複数の積載手段ごとに独立して動作可能であることが好ましい。
これにより、装置としての自由度が高くなり、複数個の積載手段を、他の積載手段の昇降に影響されず自在に動作させることができる。
【００２４】
積載手段間で、キャリアを搬送方向に持ち換える持ち換え機構をさらに備えることが好ましい。
【００２５】
これにより、ある処理装置において回収したキャリアを、キャリアの搬送中に他の積載手段に移動させることができる。この結果、複数の処理装置間にまたがる搬送プロセスにおいて、搬送効率を向上させることができる。
【００２６】
本発明に係る搬送システムは、被処理物の処理装置または被処理物のストッカを有する複数の処理領域と、処理領域内および複数の処理領域間に延在する軌道と、軌道上を走行し、被処理物を格納するキャリアを積載する積載手段を有する搬送台車と、処理装置における残留処理時間を検知する検知手段と、検知手段の検知結果に基づき、処理装置までのキャリアの搬送に要する搬送時間よりも残留処理時間が短くなったか否かを判断し、搬送時間よりも残留処理時間が短くなったことに応じて搬送台車の移動を開始させるコントロ−ラとを備える。
【００２７】
ここで、処理装置における残留処理時間とは、その処理装置において、被処理物の処理が完了するまでに要する残り時間を意味する。
【００２８】
これにより、被処理物の処理完了から、次に処理される被処理物が降載されるまでの待ち時間を短縮することが可能となる。
【００２９】
上記の搬送システムにおいて、搬送台車は積載手段を昇降する昇降手段を含み、処理装置またはストッカに設置され、昇降手段によって積載手段が降下される位置にスライド移動可能なスライドテ−ブルがさらに備えられていることが好ましい。
【００３０】
この構成により、キャリアの回収または降載の際に、位置合わせのために、積載手段を降下させたまま、台車を軌道方向に移動させる必要がない。したがって、積載手段を降下させたまま移動する時に発生する振動が問題になることがない。
【００３１】
本発明に係る懸垂型搬送台車の制御方法においては、軌道上を走行する走行台車と、走行台車に取り付けられ、被処理物を格納するキャリアを把持する複数の積載手段と、積載手段を昇降させる昇降手段とを備えた懸垂型搬送台車の制御方法であって、処理装置での処理が終了間近であることを検知したのに応じて、処理装置に向かって未処理の被処理物を搬送させ、処理装置によって処理された被処理物を回収し、未処理の被処理物を処理装置に降載するように走行台車の動作を制御する。
【００３２】
これにより、被処理物の処理完了から、次に処理される被処理物が降載されるまでの待ち時間を短縮することが可能となる。
【００３３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態に係る懸垂型搬送台車およびその制御方法ならびに搬送システムについて図２から図１０を用いて説明する。
【００３４】
（実施の形態１）
図２は、実施の形態１に係るＯＨＴ搬送システムを示す図である。
【００３５】
本実施の形態に係る搬送システムは、図２に示すように、被処理物の処理装置２（２ａ，２ｂ，・・・２ｎ）またはストッカ６（６ａ，６ｂ，・・・６ｎ）を有する複数の処理領域としてのベイ７（７ａ，７ｂ，・・・，７ｎ）と、処理領域内に延在する工程内搬送軌道３（３ａ，３ｂ，・・・，３ｎ）と、複数の処理領域間に延在する工程間搬送軌道４と、軌道３，４上を走行し、被処理物を格納するキャリアを積載するフィンガ機構（積載手段）とを有するＯＨＴ搬送台車１（１ａ−１，１ａ−２，・・・，１ｎ−１，１ｎ−２）と、処理装置２における残留処理時間を検知する検知手段と、検知手段の検知結果に基づき、処理装置２までのキャリアの搬送に要する搬送時間よりも残留処理時間が短くなったか否かを判断し、搬送時間よりも残留処理時間が短くなったことに応じてＯＨＴ搬送台車１の移動を開始させるシステムコントロ−ラ４０とを備える。
【００３６】
本システムは、たとえば、半導体、液晶工場などにおいて採用される。各々のベイは、工程内搬送軌道３と工程間搬送軌道４とを連結する分岐軌道５（５ａ，５ｂ，・・・，  ５ｎ）により全体システムにまとめられている。ベイ７には各種の処理装置としての処理装置２が設置され、たとえば半導体製造プロセスであれば、該プロセスの段階に応じて、薄膜形成、フォトリソグラフィ、洗浄、エッチング、検査など各種の処理が各々のベイにおいて実施される。
【００３７】
被処理物としてのワ−ク（中間製品）はＯＨＴ搬送台車１により、上記の各処理装置２間を順次受け渡され、各々の処理装置において、必要な処理が施される。ＯＨＴ搬送台車１は、処理装置２の処理装置ポート８（８ａ，８ｂ，・・・８ｎ）において、処理が完了したワ−クを回収しながら、次に処理するワ−クを該ポートに降載する使命を担っている。
【００３８】
また、各々のベイ７には、ワークを一時的に格納するストッカ６が備えられている。各々のストッカ６には、ストッカポート（搬入用）９と、ストッカポート（搬出用）１０とが備えられている。
【００３９】
なお、図２においては、ベイ７ａ，７ｂ，・・・７ｎには、それぞれ複数のＯＨＴ搬送台車（たとえばベイ７ａにおいては、搬送台車１ａ−１，１ａ−２）が備えられているが、この搬送台車の台数は、それぞれのベイごとに任意の台数を選択可能である。
【００４０】
次に、上記の搬送システムにおける搬送台車の構造について説明する。
図３は本実施の形態に係るＯＨＴ搬送台車１の構造を示した図である。
【００４１】
本実施の形態に係る懸垂型搬送台車は、図３に示すように、軌道２３上を走行するＯＨＴ搬送台車１と、搬送台車１に取り付けられ、被処理物を格納するキャリア２０（２０ａ，２０ｂ）を把持する複数の積載手段としてのフィンガ機構１８（１８ａ，１８ｂ）と、フィンガ機構１８を昇降させる昇降手段としての昇降機１４および昇降ベルト１６とを備え、フィンガ機構１８によりキャリア２０の積込みおよび積下ろしを個別に行なう。
【００４２】
ＯＨＴ搬送台車１は、軌道２３を介して天井２２に取り付けられている。軌道２３の内部には、一次側電源線２６および二次側コイル３６と、ガイドレ−ル２４と、ローラ３１（走行ロ−ラ３２、ガイドロ−ラ３３、分岐ロ−ラ３４）とが含まれており、その下方に、台車位置調整機構１３と、コントロ−ラを内臓したカバ−部１５とが位置する。
【００４３】
キャリア２０は、フランジ部２７と格納部２８とを有し、該フランジ部２７がフィンガ機構１８に把持（積載）されている。フィンガ機構１８は、グリップ機構１７を介して昇降手段（昇降機１４および昇降ベルト１６）に接続されている。
【００４４】
また、搬送台車１の移動中は、昇降ベルト１６が巻き上げられ、サポートバー５５によってキャリアの重量を支持しながら、該キャリアを搬送する。
【００４５】
一次側電源線２６に印加された高周波電力は、二次側コイル３６に誘導され、非接触で電力伝達が行なわれる。ＯＨＴ搬送台車１に必要な電力はすべてこの非接触給電によって供給される。
【００４６】
搬送台車１の走行に必要な推進力は、以下のようにして供給される。
まず、二次側コイル３６に誘導された高周波電流を、全波整流により直流電流に変換し、さらに電源コントロ−ラでＰＷＭ方式の３相交流電流に変換し、リニアモ−タの一次側コイル３７に供給する。
【００４７】
リニアモ−タを構成する一次側コイル３７に、ＰＷＭ方式で作られた３相交流電流が供給されると、一次側コイル３７には、直線状に移動する進行磁界が発生し、該コイル３７と対向配置されている永久磁石２５との間の磁気作用で推進力が発生する。
【００４８】
この結果、一次側コイル３７と永久磁石２５との間は、走行ロ−ラ３２によって一定間隔に保持されながら、搬送台車１は、上記の推進力によって軌道２３上を走行する。なお、非接触給電を構成する一次側電源線２６は、後述する動作制御において、システムコントロ−ラ４０とＯＨＴ搬送台車１との間の通信線としても使われている。
【００４９】
本実施の形態おいては、処理装置２またはストッカ６に設置され、積載手段に把持されたキャリア２０が降下される位置にスライド移動可能なスライドテ−ブルとしての荷受テ−ブル４６が備えられている。
【００５０】
搬送台車１と処理装置２とのキャリア２０の授受は処理装置ポ−ト８上で実施される。荷受テ−ブル４６は、保持部品４４を介してボ−ルネジ４１に連結されている。保持部品４４には、ボ−ルネジ４１に勘合するネジが形成されており、ボ−ルネジ４１の回転方向に連動して、保持部品４４および荷受テ−ブル４６がスライドする。ボ−ルネジ４１は減速ギアユニット４３を介して駆動モ−タ４２と連結している。また、減速ギアユニット４３は、処理装置ポ−ト８に固定されており、駆動モ−タ４２の正逆回転により、保持部品４４および荷受テ−ブル４６はスライド駆動される。
【００５１】
次に、荷受テ−ブル４６上に載置されたキャリア２０内の被処理物（たとえばウエハ）を、処理装置２内へと移載する手段について説明する。
【００５２】
図４は、上記の移載手段であるロ−ドポ−ト２１を示した詳細図である。
ロ−ドポ−ト２１に装着されたシャッタ機構３９は、処理装置２に搬送されたキャリア２０のシャッタ３８を開ける。ロ−ドポ−ト２１には被処理物としてのウエハ２９を移載するロボット１１が装備されており、該ロボット１１はキャリア内部まで腕（ハンド５２）を伸ばし、キャリア２０内に保管されているウエハ２９を該ハンド５２ですくい上げる。その後、その腕を一旦縮めた後、反対側に伸ばして処理装置２内の載置位置にウエハを載置する。
【００５３】
処理装置２はウエハ２９に必要な処理を施し、該装置２への搬入手順とは逆の手順で、処理済のウエハ２９をキャリア２０内に戻す。
【００５４】
キャリア２０内には、複数のウエハ２９が格納されている。ここで、全てのウエハの処理が終了した時点が、このキャリア２０の処理の終了時点となる。なお、後述する通り、この終了時点の予測の情報はキャリア終了時点以前にシステムコントローラ４０に向けて発信される。
【００５５】
全てのウエハの処理が終了した後、キャリア２０はそのシャッタ３８を閉じられ、処理装置２の荷受けテ−ブル４６上に載置され、回収準備が整えられる。
【００５６】
次に、上記の搬送システムにおける搬送台車の動作制御について説明する。
システムコントロ−ラ４０は、該装置の工程進捗状況を把握するためのサンプリング調査を、通信インタフェイス５０，５１などを介して一定時間間隔で行ない、その結果に基づいて搬送台車１の動作制御を行なう。
【００５７】
図５は、本実施の形態における搬送台車の動作制御フローを示した図である。
本実施の形態に係る懸垂型搬送台車の制御方法においては、図５に示すように、処理装置２での処理が終了間近であることを検知したのに応じて、処理装置２に向かって未処理のワーク（被処理物）を搬送させ、処理装置２によって処理されたワークを格納したキャリア２０を回収し、未処理のワークを格納したキャリア２０を処理装置２に降載するように走行台車の動作を制御している。
【００５８】
以下に、上記の動作制御の流れについて、より具体的に説明する。
まず、搬送台車１がストッカ６からキャリア２０を出庫し、処理装置２にまで搬送するに要する時間を計算し、該時間をＴ１とする（ステップ７０）。
【００５９】
次に、処理装置２の処理プロセスの開始から完了までに要する時間を計算する（ステップ７１）。
【００６０】
処理装置２に対し、通信インタフェイス５０を介して、現在実行中の処理作業の進捗状況をサンプリングする（ステップ７２）。
【００６１】
処理装置２において、現在処理作業中の作業が終了するまでの時間（残留処理時間）を推定し、該時間をＴ２とする（ステップ７３）。
【００６２】
Ｔ１＞Ｔ２の関係が成立するかどうかチェックする。成立しない場合はステップ７３にもどる。成立する場合はステップ７５に進む（ステップ７４）。
【００６３】
システムコントロ−ラ４０は、ストッカ６の近傍を巡回待機している搬送台車１に対し、処理装置２から処理済の被処理物の回収と、次に処理する被処理物の配給の命令を出し、これと並行して、ストッカ６からのキャリア出庫作業を指示する（ステップ７５）。
【００６４】
搬送台車１は、キャリア２０の回収と配給動作を実行する（ステップ７６）。
上記のステップ７５およびステップ７６における、ストッカ６および搬送台車１の動作について説明する。
【００６５】
たとえば、処理装置２において、あるワークの残留処理時間が短くなると、該処理装置２は、システムコントローラ４０に対して、処理済のワ−クの収納されたキャリア２０ａと次に処理すべきキャリア２０ｂとを入れ替えるよう要請する信号を発信する。この信号を受けたシステムコントローラ４０は、ＯＨＴ搬送台車１に、ストッカ６において未処理のワークを回収し、そのワークを上記の処理装置２に搬送するように指示する。
【００６６】
また、システムコントロ−ラ４０は、ＯＨＴ搬送台車１への指令と並行して、ストッカ６内のスタッカロボットに、要求のあった未処理のワ−クが収納されているキャリア２０ｂをストッカポ−ト（搬出用）１０まで持出すよう指令する。スタッカロボットは、該キャリア２０ｂが収納されているストッカ棚にアクセスし、指定されたキャリア２０ｂを棚から取出し、ストッカポ−ト１０まで運搬し、該ポ−ト１０上に載置する。
【００６７】
通信インタフェイス５１を介して搬送指令を受けた搬送台車１は、ストッカポ−ト１０まで走行し、荷物移載位置に停止し、台車位置調整機構１３を動作させて位置決めを行ない、昇降機１４を作動させ、昇降ベルト１６を伸ばしてグリップ機構１７を降下させる。グリップ機構１７がキャリア２０ｂに到達すると、グリップ機構１７の先端に装備されたフィンガ−機構１８が動作し、キャリア２０ｂのフランジ部２７を把持し、昇降ベルト１６を巻き上げて持ち上げる。そして、搬送台車１は、工程内搬送軌道３上を、処理装置２までキャリア２０ｂを保持したまま走行する。
【００６８】
一方、処理装置２は、処理の完了したしたワ−クが収納されているキャリア２０ａを荷受テ−ブル４６上に載置した状態で、搬送台車１の到着まで待機する。
【００６９】
搬送台車１が処理装置２に到着すると、処理装置ポ−ト８の荷物移載位置に停止し、グリップ機構１７のＡ側（図３参照）について、キャリア２０ａの位置に位置合わせする。そして、昇降機１４を作動させ、グリップ機構１７を降下させる。
【００７０】
そして、グリップ機構１７の先端に装着されているフィンガ−機構１８ａによってキャリア２０ａを把持し、荷受けテ−ブル４６からキャリア２０ａが数センチメ−トル浮き上るまで昇降装置のベルト１６を巻き上げ、その位置で停止させる。
【００７１】
次に、処理装置ポ−ト８の荷受テ−ブル４６をスライド駆動させるモ−タ４２を駆動させ、荷受テ−ブル４６をＢ側（図３参照）のグリップ機構１７の直下にスライドさせる。そして、グリップ機構１７のＢ側について、キャリア２０ｂと位置合わせする。
【００７２】
そして、昇降機１４を作動させ、キャリア２０ｂを処理装置の荷受けテ−ブル４６上に載置する。この際、キャリア２０ｂの底面が荷受テ−ブル４６に着床したことを、フィンガ機構１８ｂに実装されたセンサと、荷受け台４６に装着されたセンサとで確認する。
【００７３】
キャリア２０ｂの降載後、グリップ機構１７が最上部に達するまで昇降ベルト１６を巻き上げる。
【００７４】
なお、未処理のワークを格納し、ポ−ト８上に降載されたキャリア２０ｂは、処理装置２に付設されている移載機構（ロードポート２１）により処理装置内部に取り込まれる。
【００７５】
また、処理済のワークを格納し、処理装置２から搬出されたキャリア２０ａは、他の必要なプロセスを経て、ストッカポ−ト（搬入用）９に搬送され、ストッカ６に一時的に格納される。
【００７６】
本実施の形態においては、上述した通り、処理前のワークを収納したキャリア２０ｂを搭載して処理装置にアクセスし、まず処理装置から処理済み被処理物の収納されたキャリア２０ａを回収し、続けて空いたテーブルに搬送してきたキャリア２０ｂを降載している。したがって、１回の昇降動作でワークの回収と降載ができる。この結果、被処理物の処理完了から、次に処理される被処理物が降載されるまでの待ち時間を短縮することが可能となる。
【００７７】
また、荷受テーブル４６がスライドすることで、キャリアの回収または降載の際に、積載手段を降下させたまま、台車を軌道方向に移動させる必要がない。積載手段を降下させたまま移動する際には、キャリアが揺れることによって発生する振動を抑制制御しなければならない場合があるが、本実施の形態においてはそのような必要がない。
【００７８】
（実施の形態２）
図６は、実施の形態２に係るＯＨＴ搬送台車１の構造を示した図である。
【００７９】
本実施の形態に係る懸垂型搬送台車は、実施の形態１の変形例であって、図６に示すように、処理装置ポート３０がスライド機構を備えていない点において実施の形態１と異なる。
【００８０】
本実施の形態における、未処理のワークを格納したキャリア２０ｂの降載プロセスについて以下に説明する。
【００８１】
処理済のワークを格納したキャリア２０ａを、フィンガ機構１８ａによって把持した後、昇降機１４を作動させて、該キャリア２０ａの底面を処理装置ポート３０から数センチ浮かせる。そして、キャリア２０ｂを把持した状態のままで、搬送台車１を（図６中の右方向に）走行させる。
【００８２】
次に、台車位置調整機構１３を動作させ、キャリア２０ｂを把持しているフィンガ機構１８ｂを、処理装置２のポ−ト３０に位置合せする。
【００８３】
そして、昇降機構１４を作動させ、キャリア２０ｂを保持したフィンガ機構１８ｂを降下させ、キャリア２０ｂの底面が、処理装置ポ−ト３０に着床したことを確認して、キャリア２０ｂを処理装置の荷受けテ−ブル上に載置する。
【００８４】
最後に、グリップ機構１７が最上部に達するまで昇降ベルト１６を巻き上げる。
【００８５】
なお、その他の事項については、実施の形態１と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００８６】
本実施の形態においても、以上のプロセスにより、実施の形態１と同様に、１回の昇降動作で、処理済キャリアの回収と、未処理キャリアの降載を終了させることができる。
【００８７】
また、スライドテーブルを省略することにより、装置構成をシンプルなものにすることができる。
【００８８】
（実施の形態３）
図７は、実施の形態３に係るＯＨＴ搬送台車１の構造を示した図である。
【００８９】
本実施の形態に係る懸垂型搬送台車は、実施の形態１の変形例であって、図７に示すように、昇降手段（昇降機１４、昇降ベルト１６）を複数の積載手段ごとに独立して動作可能な状態で備えている点で実施の形態１と異なる。
【００９０】
本実施の形態に係るキャリア２０の回収／降載プロセスにおいては、昇降手段をそれぞれ独立して動作させる。
【００９１】
なお、その他の事項については、実施の形態１と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００９２】
上記の構造により、昇降手段の動作時に、装置としての自由度が高くなり、複数個の積載手段を、他の積載手段の昇降に影響されないで、自在に動作させることができる。その結果、位置合わせが容易となり、搬送効率が向上する。
【００９３】
本実施の形態の構成によっても、実施の形態１または実施の形態２と同様に、１回の昇降動作で、処理済キャリアの回収と、未処理キャリアの降載を終了させることができる。
【００９４】
（実施の形態４）
図８は、実施の形態４に係るＯＨＴ搬送台車１の構造を示した図である。
【００９５】
本実施の形態に係る懸垂型搬送台車は、実施の形態２の変形例であって、図８に示すように、昇降手段（昇降機１４、昇降ベルト１６）を複数の積載手段ごとに独立して動作可能な状態で備えている点で実施の形態２と異なる。
【００９６】
本実施の形態に係るキャリア２０の回収／降載プロセスにおいては、昇降手段をそれぞれ独立して動作させる。
【００９７】
なお、その他の事項については、実施の形態１から実施の形態３と同様であるので、ここでは説明を省略する。
【００９８】
本実施の形態の構成によっても、実施の形態１から実施の形態３と同様に、１回の昇降動作で、処理済キャリアの回収と、未処理キャリアの降載を終了させることができる。
【００９９】
また、スライドテーブルを省略することにより、実施の形態２と同様に、装置構成をシンプルなものにすることができる。
【０１００】
（実施の形態５）
図９は、実施の形態５に係る搬送台車における、搬送中のキャリアがどのフィンガ機構１８に把持されているかについて示した図である。
【０１０１】
本実施の形態に係るＯＨＴ搬送台車１は、図９に示すように、フィンガ機構１８（積載手段）間で、キャリアを搬送方向に持ち換える持ち換え機構を備える。
【０１０２】
これにより、ある処理装置２において回収したキャリア２０を、キャリア２０の搬送中に他のフィンガ機構に持ち換えることができる。
【０１０３】
図９に示す持ち換え機構の動作制御について、以下に説明する。
図９において、ＯＨＴ搬送台車は、移動プロセス１を経て「装置１」に達し、その後、移動プロセス２を経て「装置２」に達する。該搬送台車は、一方向巡回方式で運行されるので、逆方向走行は禁止される。
【０１０４】
図９中の黒印は、フィンガ機構１８（図９中のＡまたはＢ）がキャリアを積載している状態であることを示し、白印はキャリアを積載していない（空）状態であることを示す。
【０１０５】
図９に示すのは、２つのキャリアを搭載可能なＯＨＴ搬送台車であって、移動プロセス１の状態（ステップ８０）では、フィンガ機構Ａが空、Ｂに未処理キャリアを積載している。
【０１０６】
搬送台車が「装置１」に達すると、該台車は、「装置１」において前方のフィンガ機構であるＡに、処理済のワークを格納するキャリアを積み込み（ステップ８１）、台車を少し前進させて、後方のフィンガ機構であるＢから、未処理のワークを格納するキャリアを「装置１」に降載する（ステップ８２）。
【０１０７】
次に、搬送台車が「装置２」に向かう移動プロセス２において、処理済のワークを格納するキャリアを、Ａ側のフィンガ機構からＢ側のフィンガ機構に持ち換える（ステップ８３）。
【０１０８】
搬送台車が「装置２」に達すると、該台車は、「装置２」において前方のフィンガ機構であるＡに処理済のワークを格納するキャリアを積み込み（ステップ８４）、台車を少し前進させて、後方のフィンガ機構であるＢに把持された未処理のワークを格納するキャリアを「装置２」に下ろす（ステップ８５）。ここで、Ｂ側のフィンガ機構に積載されていたキャリアに含まれるワークは、「装置１」におけるプロセスについては処理済みであるが、「装置２」におけるプロセスについては未処理である。したがって、該ワークは、「装置２」においては、未処理のワークとなる。
【０１０９】
ところで、ステップ８３の持ち換えプロセスを行なわない場合について考えると、ステップ８４において、処理済のワークを格納するキャリアが前方のフィンガ機構であるＡに把持されていることになる。ここで、処理装置のスライドテーブルが省略されている場合、後方のフィンガ機構Ｂによって未処理のワークを回収（ステップ８４）した後、未処理のワークを降載するために搬送台車を後進させることを余儀なくされる。ここで、上述のとおり、搬送台車の後進は禁止されており実行は不可能である。したがって、搬送台車は一度ストッカに戻り、処理済のワークを降載する必要が生じる。
【０１１０】
これに対し、本実施の形態においては、上述した持ち換え機構を備えることで、スライドテーブルを省略した場合においても、１回ごとにストッカに戻る必要がない。この結果、複数の処理装置間にまたがる搬送プロセスにおいて、搬送効率を向上させることができる。
【０１１１】
図１０に、上記の持ち換え機構の構造の一例を示す。
なお、図１０におけるＡ，Ｂは、上述したＡ側，Ｂ側のフィンガ機構に対応する。
【０１１２】
キャリアは、該キャリアの重量を支える面に回転自在に取り付けられた底部ロ−ラ５６上を滑りながら持ち換えられる。持ち換えロ−ラ５７は、ローラプーリ５８と軸受け５９と接触ローラ６０とからなり、軸受け５９は、サポ−トバ−５５に対してほぼ垂直に回転自在に取り付けられ、接触ロ−ラ６０は、圧縮バネ６３によってキャリアの両側面に押し付けられる。持ち換えロ−ラ５７の中間に設けられたロ−ラプ−リ５８は、ベルト６１を介して駆動モ−タ６２に連結されている。フォトセンサ６７ａは、Ａの位置におけるキャリアの存在の有無を検知し、フォトセンサ６７ｂは、Ｂの位置におけるキャリアの存在の有無を検知する。駆動モ−タ６５は、サポートバー５５をキャリアを挟み込む方向に移動させ、該モータを動作させて、接触ローラ６０をキャリアに押し付けたり離したりすることで、キャリアの積載／降載を行なうことができる。
【０１１３】
次に、図１０に示す持ち換え機構の動作について説明する。
上述したステップ８３において、まず、駆動モ−タ６２を回転させると、該モ−タの動きに連動して、ベルト６１、ロ−ラプ−リ５８、接触ロ−ラ６０が回転する。この結果、Ａの位置に積載されたキャリアは、Ｂの位置に向かって移動する。そして、フォトセンサ６７ｂによって検地される位置に到達した時点で、駆動モ−タ６２は停止する。以上の動作により、積載手段（Ａ，Ｂ）間におけるキャリアの持ち換え動作が完了する。
【０１１４】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【０１１５】
【発明の効果】
本発明によれば、搬送台車が複数の積載手段を備え、該積載手段がキャリアの積込みおよび積下ろしを個別に行なうことで、処理装置における被処理物の処理完了から、次に処理される被処理物が降載されるまでの待ち時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来のＯＨＴ搬送台車を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る搬送システムを示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る懸垂型搬送台車を示す図である。
【図４】処理装置のロードポートにおける被処理物の移送の形態を示す図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る懸垂型搬送台車の制御方法を示す図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る懸垂型搬送台車を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態３に係る懸垂型搬送台車を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態４に係る懸垂型搬送台車を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態５に係る懸垂型搬送台車の持ち換え機構の動作を示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態５に係る懸垂型搬送台車の持ち換え機構の構造を示す図である。
【符号の説明】
１  ＯＨＴ搬送台車、２  処理装置、３  工程内搬送軌道、４  工程間搬送軌道、５  分岐軌道、６  ストッカ、７  ベイ、８，３０  処理装置ポ−ト、９  ストッカポ−ト（搬入用）、１０  ストッカポ−ト（搬出用）、１１  ロボット、１２  リニアモータ機構、１３  台車位置調整機構、１４  昇降機、１５  カバ−部、１６  昇降ベルト、１７  グリップ機構、１８  フィンガ機構、１９  通信手段、２０  キャリア、２１  ロードポート、２２  天井、２３  軌道、２４  ガイドレール、２５  永久磁石、２６  １次側電源線、２７  フランジ部、２８  格納部、２９  ウエハ、３１  ローラ、３２  走行ローラ、３３  ガイドローラ、３４  分岐ローラ、３６  二次側コイル、３７  一次側コイル、３８  シャッタ、３９  シャッタ機構、４０  システムコントローラ、４１  ボールネジ、４２  駆動モータ、４３  減速ギアユニット、４４  保持部品、４６  荷受けテ−ブル、５０，５１  通信インターフェイス、５２  ハンド、５５  サポ−トバ−、５６  底部ローラ、５７  持ち換えローラ、５８  ローラプーリ、５９軸受け、６０  接触ローラ、６１  ベルト、６２  駆動モータ、６３  圧縮バネ、６５  駆動モータ、６７  フォトセンサ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005022539.tif 000009
【図８】
2005022539.tif 000010
【図９】
2005022539.tif 000011
【図１０】
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