(57)【要約】【課題】  ミラーの可動範囲を大きくすることができる可動ミラーデバイス及び分散補償器を提供する。【解決手段】  可動ミラーデバイス１の駆動部３は、ミラー２の両端部に結合された２つの可動電極端子５Ａ，５Ｂと、２つの固定電極端子６Ａ，６Ｂ及び固定電極端子７とを有している。固定電極端子７は、可動電極端子５Ａ，５Ｂ間に配置されている。固定電極端子６Ａは、可動電極端子５Ａを挟んで固定電極端子７と対向し、固定電極端子６Ｂは、可動電極端子５Ｂを挟んで固定電極端子７と対向している。固定電極端子７に電圧を印加すると、可動電極端子５Ａ，５Ｂが固定電極端子７側に引き寄せられ、ミラー２が凸状に撓む。固定電極端子６Ａ，６Ｂに電圧を印加すると、可動電極端子５Ａ，５Ｂが固定電極端子６Ａ，６Ｂ側に引き寄せられ、ミラー２が凹状に撓む。【選択図】  図１
2005107486.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形自在なミラーと、
前記ミラーを凹状に変形させると共に前記ミラーを凸状に変形させる駆動部とを備えることを特徴とする可動ミラーデバイス。
【請求項２】
前記駆動部は、前記ミラーに結合された可動電極端子と、前記可動電極端子と対向するように配置された固定電極端子とを有し、前記可動電極端子と前記固定電極端子との間に静電気力を発生させることにより、前記可動電極端子を動かして前記ミラーを変形させることを特徴とする請求項１記載の可動ミラーデバイス。
【請求項３】
前記可動電極端子は２つ有し、前記２つの可動電極端子は、前記ミラーの両側部分に結合されており、
前記固定電極端子は、前記各可動電極端子間に配置された第１固定電極端子と、前記各可動電極端子を挟んで、前記第１固定電極端子と対向する少なくとも２つの第２固定電極端子とを有することを特徴とする請求項２記載の可動ミラーデバイス。
【請求項４】
前記可動電極端子は２つ有し、前記２つの可動電極端子は、前記ミラーの両側部分に結合されると共に上下方向に配置されており、
前記固定電極端子は、前記２つの可動電極端子の一方を挟んで対向する少なくとも２つの第１固定電極端子と、前記２つの可動電極端子の他方を挟んで対向する少なくとも２つの第２固定電極端子とを有することを特徴とする請求項２記載の可動ミラーデバイス。
【請求項５】
前記ミラーと前記可動電極端子との結合部分の剛性が、前記ミラーの中心側部分の剛性よりも大きいことを特徴とする請求項３または４記載の可動ミラーデバイス。
【請求項６】
前記可動電極端子は、前記ミラーの中心側に折り曲げられていることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項記載の可動ミラーデバイス。
【請求項７】
前記可動電極端子は、前記ミラーに対して前記ミラーの中心側に斜めに延びていることを特徴とする請求項２〜５のいずれか一項記載の可動ミラーデバイス。
【請求項８】
前記固定電極端子は基板に固定されており、
前記ミラーは、その中心部のみが前記基板に支持されていることを特徴とする請求項３〜７のいずれか一項記載の可動ミラーデバイス。
【請求項９】
前記固定電極端子は基板に固定されており、
前記基板上には、前記２つの可動電極端子を前記固定電極端子に対して可動に支持する２つの支持手段が設けられていることを特徴とする請求項３〜７のいずれか一項記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１０】
前記支持手段は、前記基板に固定された固定部と、前記可動電極端子と前記固定部とを接続する弾性部材とを有することを特徴とする請求項９記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１１】
変形自在なミラーと、
前記ミラーを凹状及び凸状のいずれか一方の状態から他方の状態に変形させる駆動部とを備えることを特徴とする可動ミラーデバイス。
【請求項１２】
前記駆動部は、前記ミラーに結合された可動電極端子と、前記可動電極端子と対向するように配置された固定電極端子とを有し、前記可動電極端子と前記固定電極端子との間に静電気力を発生させることにより、前記可動電極端子を動かして前記ミラーを変形させることを特徴とする請求項１１記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１３】
前記ミラーは、予め凹状に形成されており、
前記可動電極端子は２つ有し、前記２つの可動電極端子は、前記ミラーの両側部分に結合されており、
前記固定電極端子は、前記各可動電極端子間に配置されていることを特徴とする請求項１２記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１４】
前記ミラーは、予め凸状に形成されており、
前記可動電極端子は２つ有し、前記２つの可動電極端子は、前記ミラーの両側部分に結合されており、
前記固定電極端子は少なくとも２つ有し、前記２つの固定電極端子は、前記２つの可動電極端子を挟んで対向していることを特徴とする請求項１２記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１５】
前記ミラーと前記可動電極端子との結合部分の剛性が、前記ミラーの中心側部分の剛性よりも大きいことを特徴とする請求項１３または１４記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１６】
前記固定電極端子は基板に固定されており、
前記ミラーは、その中心部のみが前記基板に支持されていることを特徴とする請求項１３〜１５のいずれか一項記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１７】
前記固定電極端子は基板に固定されており、
前記基板上には、前記２つの可動電極端子を前記固定電極端子に対して可動に支持する２つの支持手段が設けられていることを特徴とする請求項１３〜１５のいずれか一項記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１８】
前記支持手段は、前記基板に固定された固定部と、前記可動電極端子と前記固定部とを接続する弾性部材とを有することを特徴とする請求項１７記載の可動ミラーデバイス。
【請求項１９】
前記ミラーは、予め凹状に形成されており、
前記可動電極端子は、前記ミラーの両側部分に結合されており、
前記固定電極端子は、前記可動電極端子を挟んで前記ミラーと対向していることを特徴とする請求項１２記載の可動ミラーデバイス。
【請求項２０】
前記ミラーは、予め凸状に形成されており、
前記可動電極端子は、前記ミラーの中心部分に結合されており、
前記固定電極端子は、前記可動電極端子を挟んで前記ミラーと対向していることを特徴とする請求項１２記載の可動ミラーデバイス。
【請求項２１】
信号光に位相シフトを与えて前記信号光の分散を補償する分散補償器であって、
前記信号光を波長毎に分波させる光分波手段と、
前記光分波手段で分波された信号光をそれぞれ入力する複数の請求項１〜２０のいずれか一項記載の可動ミラーデバイスとを備えることを特徴とする分散補償器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光路差調整に好適な可動ミラーデバイス及び波長多重光通信等で用いられる分散補償器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の可動ミラーデバイスとしては、例えば特許文献１に記載されているものが知られている。特許文献１に記載の可動ミラーデバイスは、可変分散補償器に備えられたものであり、可動反射ミラーの光反射位置が所望の位置となるように、例えば可動反射ミラーの反射面の曲面形状を変形させる。
【特許文献１】特開２００２−３０３８０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記従来技術においては、可動反射ミラーを一方向のみにしか変形させることができない。このため、可動反射ミラーの可動範囲が小さくならざるを得ず、高精度な分散補償を行うことが困難であった。
【０００４】
本発明の目的は、ミラーの可動範囲を大きくすることができる可動ミラーデバイス及び分散補償器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の可動ミラーデバイスは、変形自在なミラーと、ミラーを凹状に変形させると共にミラーを凸状に変形させる駆動部とを備えることを特徴とするものである。
【０００６】
このような駆動部を設けることにより、初期状態におけるミラーの形状が撓みの無い平らな場合であっても、ミラーを凹状及び凸状の双方向に変形させることができる。これにより、ミラーの可動範囲が広くなると共に、ミラーに入射する光の位置に応じて一つのミラーで異なる光路差を与えることができる。従って、本発明の可動ミラーデバイスを例えば分散補償器に適用した場合には、正分散も負分散も補償することが可能となる。また、上記のようにミラーを平らな状態から双方向に変形させる構成では、ミラーに発生させる応力をより小さくできると共に、ミラーの製作が容易に行える。
【０００７】
好ましくは、駆動部は、ミラーに結合された可動電極端子と、可動電極端子と対向するように配置された固定電極端子とを有し、可動電極端子と固定電極端子との間に静電気力を発生させることにより、可動電極端子を動かしてミラーを変形させる。このように静電気力を利用してミラーを変形させることにより、殆ど電流を流さずに済むため、省電力化を図ることができる。
【０００８】
この場合、好ましくは、可動電極端子は２つ有し、２つの可動電極端子は、ミラーの両側部分に結合されており、固定電極端子は、各可動電極端子間に配置された第１固定電極端子と、各可動電極端子を挟んで、第１固定電極端子と対向する少なくとも２つの第２固定電極端子とを有する。このような構成では、各可動電極端子と各第１固定電極端子との間に電圧を印加することで、各可動電極端子が静電気力によって各第１固定電極端子に引き寄せられ、これに伴ってミラーが凸状に変形する。また、各可動電極端子と第２固定電極端子との間に電圧を印加することで、各可動電極端子が静電気力によって第２固定電極端子に引き寄せられ、これに伴ってミラーが凹状に変形する。
【０００９】
また、可動電極端子は２つ有し、２つの可動電極端子は、ミラーの両側部分に結合されると共に上下方向に配置されており、固定電極端子は、２つの可動電極端子の一方を挟んで対向する少なくとも２つの第１固定電極端子と、２つの可動電極端子の他方を挟んで対向する少なくとも２つの第２固定電極端子とを有する構成であってもよい。このような構成では、一方の可動電極端子と一方の第１固定電極端子との間に電圧を印加すると共に、他方の可動電極端子と一方の第２固定電極端子との間に電圧を印加することで、各可動電極端子が静電気力によって当該第１固定電極端子及び当該第２固定電極端子にそれぞれ引き寄せられ、これに伴ってミラーが凸状に変形する。また、一方の可動電極端子と他方の第１固定電極端子との間に電圧を印加すると共に、他方の可動電極端子と他方の第２固定電極端子との間に電圧を印加することで、各可動電極端子が静電気力によって当該第１固定電極端子及び当該第２固定電極端子にそれぞれ引き寄せられ、これに伴ってミラーが凹状に変形する。
【００１０】
このとき、好ましくは、ミラーと可動電極端子との結合部分の剛性が、ミラーの中心側部分の剛性よりも大きい。これにより、可動電極端子を固定電極端子に対して動かすときに、これに伴ってミラーが凹状及び凸状に変形しやすくなる。
【００１１】
また、好ましくは、可動電極端子は、ミラーの中心側に折り曲げられている。この場合には、駆動部の幅寸法を小さくすることができる。従って、複数のミラーを並べてアレイ構造の可動ミラーデバイスを形成する場合に、容易に各ミラーの狭ピッチ化を図ることができる。
【００１２】
また、可動電極端子は、ミラーに対してミラーの中心側に斜めに延びていてもよい。この場合も、駆動部の幅寸法を小さくすることができる。従って、複数のミラーを並べてアレイ構造の可動ミラーデバイスを形成する場合に、容易に各ミラーの狭ピッチ化を図ることができる。
【００１３】
さらに、好ましくは、固定電極端子は基板に固定されており、ミラーは、その中心部のみが基板に支持されている。これにより、可動電極端子を固定電極端子に対して動かすと、ミラーの中心部を支点としてミラーが凹状及び凸状に変形するようになる。
【００１４】
また、固定電極端子は基板に固定されており、基板上には、２つの可動電極端子を固定電極端子に対して可動に支持する２つの固定手段が設けられていてもよい。これにより、ミラーの中心部を基板に支持させなくても、可動電極端子を固定電極端子に対して動かし、ミラーの中心部を支点としてミラーを凹状及び凸状に変形させることができる。この構成は、例えばミラーの中心部のみが基板に支持された構造体を形成するのが困難な場合に効果的である。
【００１５】
このとき、支持手段は、基板に固定された固定部と、可動電極端子と固定部とを接続する弾性部材とを有することが好ましい。これにより、可動電極端子を固定電極端子に対して動かすときに、可動電極端子の動きが制限されることを防止できる。
【００１６】
また、本発明の可動ミラーデバイスは、変形自在なミラーと、ミラーを凹状及び凸状のいずれか一方の状態から他方の状態に変形させる駆動部とを備えることを特徴とするものである。
【００１７】
このような駆動部を設けることにより、ミラーが初期状態で凹状に撓んでいる場合には、ミラーを凸状に変形させることができ、ミラーが初期状態で凸状に撓んでいる場合には、ミラーを凹状に変形させることができる。これにより、ミラーの可動範囲が広くなる。従って、本発明の可動ミラーデバイスを例えば分散補償器に適用した場合には、正分散も負分散も補償することが可能となる。また、上記のように予め撓んでいるミラーを変形させる構成では、ミラーを一方向にのみ変形させるだけでよいので、駆動部の構造やミラーを変形させる時の制御を簡単にすることができる。
【００１８】
好ましくは、駆動部は、ミラーに結合された可動電極端子と、可動電極端子と対向するように配置された固定電極端子とを有し、可動電極端子と固定電極端子との間に静電気力を発生させることにより、可動電極端子を動かしてミラーを変形させる。このように静電気力を利用してミラーを変形させることにより、殆ど電流を流さずに済むため、省電力化を図ることができる。
【００１９】
この場合、好ましくは、ミラーは、予め凹状に形成されており、可動電極端子は２つ有し、２つの可動電極端子は、ミラーの両側部分に結合されており、固定電極端子は、各可動電極端子間に配置されている。このような構成では、各可動電極端子と固定電極端子との間に電圧を印加することで、各可動電極端子が静電気力によって固定電極端子に引き寄せられ、これに伴ってミラーが凹状から凸状に変形する。
【００２０】
また、ミラーは、予め凸状に形成されており、可動電極端子は２つ有し、２つの可動電極端子は、ミラーの両側部分に結合されており、固定電極端子は少なくとも２つ有し、２つの固定電極端子は、２つの可動電極端子を挟んで対向している構成であってもよい。このような構成では、各可動電極端子と各固定電極端子との間に電圧を印加することで、各可動電極端子が静電気力によって各固定電極端子に引き寄せられ、これに伴ってミラーが凸状から凹状に変形する。
【００２１】
このとき、好ましくは、ミラーと可動電極端子との結合部分の剛性が、ミラーの中心側部分の剛性よりも大きい。これにより、可動電極端子を固定電極端子に対して動かすときに、これに伴ってミラーが凹状及び凸状に変形しやすくなる。
【００２２】
また、好ましくは、固定電極端子は基板に固定されており、ミラーは、その中心部のみが基板に支持されている。これにより、可動電極端子を固定電極端子に対して動かすと、ミラーの中心部を支点としてミラーが凹状及び凸状に変形するようになる。
【００２３】
また、固定電極端子は基板に固定されており、基板上には、２つの可動電極端子を固定電極端子に対して可動に支持する２つの固定手段が設けられていてもよい。これにより、ミラーの中心部を基板に支持させなくても、可動電極端子を固定電極端子に対して動かし、ミラーの中心部を支点としてミラーを凹状及び凸状に変形させることができる。この構成は、例えばミラーの中心部のみが基板に支持された構造体を形成するのが困難な場合に効果的である。
【００２４】
このとき、支持手段は、基板に固定された固定部と、可動電極端子と固定部とを接続する弾性部材とを有することが好ましい。これにより、可動電極端子を固定電極端子に対して動かすときに、可動電極端子の動きが制限されることを防止できる。
【００２５】
さらに、ミラーは、予め凹状に形成されており、可動電極端子は、ミラーの両側部分に結合されており、固定電極端子は、可動電極端子を挟んでミラーと対向している構成であってもよい。このような構成では、可動電極端子と固定電極端子との間に電圧を印加することで、可動電極端子が静電気力によって固定電極端子に引き寄せられ、これに伴ってミラーが凹状から凸状に変形する。
【００２６】
また、ミラーは、予め凸状に形成されており、可動電極端子は、ミラーの中心部分に結合されており、固定電極端子は、可動電極端子を挟んでミラーと対向している構成であってもよい。このような構成では、可動電極端子と固定電極端子との間に電圧を印加することで、可動電極端子が静電気力によって固定電極端子に引き寄せられ、これに伴ってミラーが凸状から凹状に変形する。
【００２７】
さらに、本発明は、信号光に位相シフトを与えて信号光の分散を補償する分散補償器であって、信号光を波長毎に分波させる光分波手段と、光分波手段で分波された信号光をそれぞれ入力する複数の上記可動ミラーデバイスとを備えることを特徴とするものである。
【００２８】
このように上記の可動ミラーデバイスを設けることにより、上述したように、正分散も負分散も補償することができる。このため、高精度な分散補償を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、ミラーを凹状に変形させると共にミラーを凸状に変形させる駆動部を設けたので、ミラーの可動範囲を大きくすることができる。
【００３０】
また、本発明によれば、ミラーを凹状及び凸状のいずれか一方の状態から他方の状態に変形させる駆動部を設けたので、ミラーの可動範囲を大きくすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明に係る可動ミラーデバイス及び分散補償器の好適な実施形態について図面を参照して説明する。
【００３２】
図１は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第１の実施形態を示す斜視図である。同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス１は、例えばＭＥＭＳ（Micro-Electro-Mechanical-System）技術を用いて製作された構造体である。
【００３３】
可動ミラーデバイス１は、信号光を反射させる板状のミラー２と、このミラー２を変形させる駆動部３とを備えている。ミラー２の中心部は、基板２００上に設けられた固定部４に結合されている。これにより、ミラー２の中心部のみが基板２００に支持・固定された構造となるため、ミラー２は、その中心を支点として湾曲状に変形自在となる（図２参照）。
【００３４】
駆動部３は、ミラー２の両端部に結合され、ミラー２の後側（光反射面の反対側）に延びる２つの可動電極端子５Ａ，５Ｂと、可動電極端子５Ａ，５Ｂと対向するように基板２００に固定された２つの固定電極端子６Ａ，６Ｂ及び固定電極端子７とを有している。
【００３５】
可動電極端子５Ａ，５Ｂは、基板２００に固定されずに、基板２００に対して浮いた状態となっている。固定電極端子７は、可動電極端子５Ａ，５Ｂ間に配置されている。固定電極端子６Ａは、可動電極端子５Ａを挟んで固定電極端子７と対向し、固定電極端子６Ｂは、可動電極端子５Ｂを挟んで固定電極端子７と対向している。可動電極端子５Ａ，５Ｂの両側面には櫛歯８が設けられ、固定電極端子６Ａ，６Ｂの一側面（可動電極端子５Ａ，５Ｂ側の側面）には櫛歯９が設けられ、固定電極端子７の両側面には櫛歯１０が設けられている。
【００３６】
このようなミラー２及び駆動部３は、例えば一部に酸化膜（絶縁体）を含むシリコン基板に異方性エッチング等を施すことにより形成される。なお、ミラー２の表面には、光反射率を高めるべく、金等がコーティングされている。ミラー２及び駆動部３の形成方法の一例を図２に示す。
【００３７】
まず、図２（ａ）に示すようなシリコン基板２０１を用意する。シリコン基板２０１は、下部シリコン層２０２、酸化膜層２０３、上部シリコン層２０４からなる３層構造を有している。
【００３８】
このようなシリコン基板２０１について、まず上部シリコン層２０４をエッチングすることにより、ミラー２と可動電極端子５Ａ，５Ｂ及び固定電極端子６Ａ，６Ｂ，７とを有する構造体を形成する。そして、可動電極端子５Ａ，５Ｂ下の酸化膜層２０３と、ミラー２の中心部を除くミラー２下の酸化膜層２０３とをエッチングすることにより、図２（ｂ），（ｃ）に示すように、上記のような基板２００上にミラー２及び駆動部３が形成された構造体が得られる。なお、図２（ｂ）は、可動ミラーデバイス１を図１のＡ方向から見た図であり、ミラー２及び櫛歯８〜１０を省略している。図２（ｃ）は、可動ミラーデバイス１を図１のＢ方向から見た図であり、駆動部３を省略している。
【００３９】
また、図３（ａ）に示すように、可動電極端子５Ａ，５Ｂは、ミラー２及び固定部４を介して接地されている。固定電極端子６Ａ，６Ｂには可変電圧源１１が接続され、固定電極端子７には可変電圧源１２が接続されている。可変電圧源１１，１２の印加電圧がゼロである初期状態では、図３（ａ）に示すように、ミラー２は撓みの無い平らな状態となっている。
【００４０】
可変電圧源１２により固定電極端子７に電圧を印加すると、図３（ｂ）に示すように、可動電極端子５Ａ，５Ｂと固定電極端子７との間に静電気力（静電引力）が発生し、その静電気力によって可動電極端子５Ａ，５Ｂが固定電極端子７側に引き寄せられ、これに伴ってミラー２がその前面（光反射面）に対して凸状に撓むようになる。一方、可変電圧源１１により固定電極端子６Ａ，６Ｂに電圧を印加すると、図３（ｃ）に示すように、可動電極端子５Ａ，５Ｂと固定電極端子６Ａ，６Ｂとの間に静電気力が発生し、その静電気力によって可動電極端子５Ａ，５Ｂが固定電極端子６Ａ，６Ｂ側に引き寄せられ、これに伴ってミラー２がその前面に対して凹状に撓むようになる。このとき、可変電圧源１１，１２の印加電圧を変えることで、ミラー２の撓み量（曲率）が変化する。
【００４１】
可動電極端子５Ａ，５Ｂ及び固定電極端子６Ａ，６Ｂ，７は、いずれも櫛歯型構造となっているので、可動電極端子５Ａ，５Ｂと固定電極端子６Ａ，６Ｂ，７との間に生じる静電気力が増大する。従って、その分だけ可動電極端子５Ａ，５Ｂを低電圧で駆動させることができるため、省電力化を図ることが可能となる。
【００４２】
ここで、ミラー２と可動電極端子５Ａ，５Ｂとの結合部分の剛性がミラー２の中心側部分の剛性に比べて小さ過ぎる場合には、固定電極端子６Ａ，６Ｂ及び固定電極端子７に電圧を印加しても、図４に示すように、ミラー２と可動電極端子５Ａ，５Ｂとの角度が変わるだけで、ミラー２の変形が得られず、ミラー２が平らな状態のままになる可能性がある。
【００４３】
このため、ミラー２と可動電極端子５Ａ，５Ｂとの結合部分の剛性は、ミラー２の中心側部分の剛性よりも大きいことが好ましい。このとき、ミラー２と可動電極端子５Ａ，５Ｂとの結合部分の剛性としては、ミラー２と可動電極端子５Ａ，５Ｂとのなす角度が印加電圧ゼロ時の状態（図２では９０度）を維持できる程度に高くするのが特に好ましい。これにより、固定電極端子６Ａ，６Ｂ及び固定電極端子７に電圧を印加して、可動電極端子５Ａ，５Ｂを固定電極端子６Ａ，６Ｂ及び固定電極端子７に対して動かしたときに、ミラー２が湾曲状に変形しやすくなるため、ミラー２をスムーズに効率よく変形させることができる。
【００４４】
以上のように本実施形態にあっては、ミラー２が平らな状態から凸状にも凹状にも双方向に変形可能である。これにより、ミラー２の可動範囲が広くなる。
【００４５】
また、初期状態ではミラー２の形状が平らであるため、ミラー２を動かす時にミラー２に大きな応力を発生させることは無い。これにより、ミラー２を安定して変形させることができる。また、ミラー２を容易に製作することができる。
【００４６】
図５は、本実施形態の可動ミラーデバイス１の変形例を示したものである。この可動ミラーデバイス１は、ミラー２の中心部を、上記の固定部４よりも大きな固定領域を有する固定部４ａを介して基板２００に支持・固定したものである。固定部４ａは、基板２００上におけるミラー２の後側（光反射面の反対側）に設けられ、ミラー２の高さ方向（基板２００に対する上下方向）に延びている。そして、ミラー２の後面（光反射面とは反対側の面）の中心部が、固定部４ａに結合されている。
【００４７】
図２に示す形成工程では、ミラー２下に酸化膜層２０３が僅かに残るように酸化膜層２０３をエッチングすることが困難な場合がある。本変形実施形態の構造体を形成する際には、ミラー２下の酸化膜層２０３が無くなっても、固定部４ａを形成する酸化膜層２０３が残るため、ミラー２の中心部を基板２００に支持するための構造を容易に形成することができる。
【００４８】
図６は、本実施形態の可動ミラーデバイス１の他の変形例を示したものである。この可動ミラーデバイス１は、固定電極端子７に代えて、可動電極端子５Ａ，５Ｂ間に配置された固定電極端子７Ａ，７Ｂを有している。固定電極端子７Ａは、可動電極端子５Ａを挟んで固定電極端子６Ａと対向し、固定電極端子７Ｂは、可動電極端子５Ｂを挟んで固定電極端子６Ｂと対向している。固定電極端子７Ａ，７Ｂには、可変電圧源１２がそれぞれ接続されている。この場合には、可動電極端子５Ａの動作と可動電極端子５Ｂの動作を完全に独立に制御することができる。
【００４９】
図７は、上記の可動ミラーデバイス１を応用した可動ミラーデバイスアレイを示したものである。図中、上記の可動ミラーデバイス１と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００５０】
同図において、可動ミラーデバイスアレイ１３は２つのミラーアレイチップ１４，１５を備え、ミラーアレイチップ１４，１５は、各々１枚の基板（図示せず）上に配列されたミラー２及び駆動部３を複数組有している。なお、図７では、可動電極端子５Ａ，５Ｂ及び固定電極端子６Ａ，６Ｂ，７の櫛歯を省略してある。駆動部３の高さ寸法は、ミラー２の高さ寸法の１／２となっている。
【００５１】
可動ミラーデバイスアレイ１３は、ミラーアレイチップ１４の隣り合うミラー間２にミラーアレイチップ１５のミラー２が入り込んで、ミラーアレイチップ１４，１５の駆動部３同士が向かい合うように、ミラーアレイチップ１４，１５を組み合わせた構成となっている。つまり、複数のミラー２は一次元的に配列され、複数の駆動部３は二次元的に配列されている。
【００５２】
これにより、駆動部３の幅寸法Ｗ１がミラー２の幅寸法Ｗ２よりも大きい場合であっても、複数のミラー２を殆ど隙間無く配列することができる。従って、信号光に位相シフトを与えて信号光の分散を補償する分散補償器に、可動ミラーデバイスアレイ１３を使用することが可能となる。
【００５３】
図８は、上記の可動ミラーデバイスアレイ１３を備えた分散補償器の一例を示す構成図である。
【００５４】
同図において、分散補償器１６は、回折格子１７と、上記の可動ミラーデバイスアレイ１３と、回折格子１７と可動ミラーデバイスアレイ１３との間に配置されたレンズ１８とを有している。回折格子１７は、分散補償用光伝送路１９からの信号光を波長毎に分波（分光）させる。可動ミラーデバイスアレイ１３の各ミラー２は、回折格子１７で波長毎に分波された信号光をそれぞれ反射させる。分散補償用光伝送路１９は、光サーキュレータ２０を介して入力用光伝送路２１及び出力用光伝送路２２と接続されている。
【００５５】
このような分散補償器１６において、入力用光伝送路２１に入力された信号光は、光サーキュレータ２０を通って分散補償用光伝送路１９から出射され、回折格子１７において波長毎に分波される。そして、この信号光は、レンズ１８を介して可動ミラーデバイスアレイ１３まで伝搬され、各ミラー２で反射される。
【００５６】
回折格子１７により波長毎に異なる角度に回折された信号光は、レンズ１８によって各チャンネル（中心波長λ１〜λ６）に対応するミラー２上に集光される。このとき、各ミラー２は、波長毎に分波された信号光に対して所望の位相差を与えて分散を補償するように、撓み量が制御されている。各ミラー２上では、対応する各チャンネルの帯域内波長成分が、それぞれ異なる位置に連続的に集光されるため、ミラー２が曲率を有すると波長間で位相差が生じ、分散を付加することができる。このため、各ミラー２の曲率を調整することにより、チャンネル毎に異なる補償量で分散補償することができる。
【００５７】
各ミラー２で反射された信号光は、再びレンズ１８を介して回折格子１７まで伝搬され、この回折格子１７において合波される。そして、その合波された信号光は、分散補償用光伝送路１９、光サーキュレータ２０及び出力用光伝送路２２を通って出力される。
【００５８】
ここで、ミラー２は、上述したように凸状にも凹状にも変形可能であるので、正分散及び負分散のいずれも確実に補償することができる。従って、各波長毎の分散補償の制御性が良好になり、分散補償を高精度に行うことができる。
【００５９】
なお、図８において、回折格子１７の周期を１μｍ、レンズ１８の焦点距離を１００ｍｍとすると、信号光のチャンネル間隔１００ＧＨｚの場合、可動ミラーデバイスアレイ１３のミラー２の幅寸法Ｗ２は１２０μｍ程度が好ましい。また、このとき、例えば分散補償量の範囲を±８００ｐｓ／ｎｍとすると、必要な最大ミラー変位量として、ミラー２の端が初期位置（ミラー２が平面な状態）に比べて、約６μｍ前進あるいは後退する。この時のミラー２の曲率半径の絶対値は、０．２５ｍｍ程度である。
【００６０】
また、ここでは、上記の可動ミラーデバイスアレイ１３を分散補償器に用いたが、例えばＤＶＤのピックアップ素子や、ディスプレイ等に用いて、光の位相や波面の乱れを補正することにより、画像等の品質を向上させることができる。
【００６１】
図９は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第２の実施形態を示す概略構成図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００６２】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス３０は、ミラー２を変形させる駆動部３１を備え、この駆動部３１は、ミラー２の両端部に結合された２つの可動電極端子３２Ａ，３２Ｂを有している。各可動電極端子３２Ａ，３２Ｂは、ミラー２の中心側に屈曲した状態でミラー２の後側に延びている。可動ミラーデバイス３０の他の構成及び動作については、第１の実施形態における可動ミラーデバイス１と同様である。なお、図５では、可動電極端子３２Ａ，３２Ｂ及び固定電極端子６Ａ，６Ｂ，７の櫛歯を省略してある。
【００６３】
本実施形態では、可動電極端子３２Ａ，３２Ｂをミラー２の中心側に折り曲げる構成としたので、駆動部３１の幅寸法Ｗ１を小さくすることができる。ここで、小型化を図る観点からは、駆動部３１の幅寸法Ｗ１をミラー２の幅寸法Ｗ２の１．５倍よりも小さくするのが好ましく、特に図８に示すような分散補償器１６等に適用する場合には、駆動部３１の幅寸法Ｗ１をミラー２の幅寸法Ｗ２よりも小さくするのがより好ましい。
【００６４】
これにより、可動ミラーデバイス３０をアレイ化する場合には、各駆動部３１を一次元的に配列しつつ、各ミラー２の配列ピッチを狭くすることができる。従って、小型の可動ミラーデバイスアレイを容易に製作できるため、低コスト化を図ることが可能となる。
【００６５】
図１０は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第３の実施形態を示す概略構成図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００６６】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス４０は、ミラー２を変形させる駆動部４１を備えている。駆動部４１は、ミラー２の両端部に結合された２つの可動電極端子４２Ａ，４２Ｂと、基板（図示せず）に固定された２つの固定電極端子４３Ａ，４３Ｂ及び２つの固定電極端子４４Ａ，４４Ｂとを有している。可動電極端子４２Ａ，４２Ｂは、両者間の間隔がミラー２の後方に向かうに従って狭くなるように、ミラー２に対してミラー２の中心側に斜めに延びている。固定電極端子４４Ａ，４４Ｂは、可動電極端子４２Ａ，４２Ｂ間に配置されている。固定電極端子４３Ａは、可動電極端子４２Ａを挟んで固定電極端子４４Ａと対向し、固定電極端子４３Ｂは、可動電極端子４２Ｂを挟んで固定電極端子４４Ｂと対向している。電極端子４２Ａ〜４４Ｂには、図示はしないが、上述した電極端子と同様の櫛歯が設けられている。
【００６７】
可動電極端子４２Ａ，４２Ｂは、図示はしないが、ミラー２及び固定部４ａを介して接地されている。固定電極端子４３Ａ，４３Ｂには可変電圧源４５が接続され、固定電極端子４４Ａ，４４Ｂには可変電圧源４６が接続されている。
【００６８】
このような可動ミラーデバイス４０の動作については、第１の実施形態における可動ミラーデバイス１と同様である。なお、固定電極端子４４Ａ，４４Ｂに同じ電圧をかける場合は、各可動電極端子４２Ａ，４２Ｂ間に配置される固定電極端子の数は１つであっても良い。
【００６９】
本実施形態では、可動電極端子４２Ａ，４２Ｂをミラー２に対して中心側に傾斜させる構成としたので、駆動部４１の幅（最大幅）寸法Ｗ１を小さくすることができる。これにより、可動ミラーデバイス４０をアレイ化する場合に、各駆動部４１を一次元的に配列しつつ、各ミラー２の配列ピッチを狭くして小型化を図ることが可能となる。
【００７０】
図１１は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第４の実施形態を示す斜視図であり、図１２は、その可動ミラーデバイスの背面図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００７１】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス５０は、ミラー２を湾曲状に変形させる駆動部５１を備えている。駆動部５１は、ミラー２の両端部に結合され、ミラー２の後側に延びる２つの可動電極端子５２Ａ，５２Ｂと、可動電極端子５２Ａと対向するように上基板（図示せず）に固定された２つの固定電極端子５３，５４と、可動電極端子５２Ｂと対向するように下基板２００に固定された２つの固定電極端子５５，５６とを有している。上基板（図示せず）は、例えば複数本の柱等を介して下基板２００と連結されている。可動電極端子５２Ａ，５２Ｂは、下基板２００に対して上下方向に配置されており、可動電極端子５２Ａはミラー２の一端部の上側部分に結合され、可動電極端子５２Ｂはミラー２の他端部の下側部分に結合されている。固定電極端子５３，５４は、上側の可動電極端子５２Ａを挟んで対向し、下側の固定電極端子５５，５６は、可動電極端子５２Ｂを挟んで対向している。
【００７２】
可動電極端子５２Ａ，５２Ｂは、ミラー２の中心側に屈曲した状態でミラー２の後側に延びている。そして、ミラー２の初期状態では、可動電極端子５２Ｂの後側（ミラー２の光反射面の反対側）部分は、可動電極端子５２Ａの後側部分の真下位置に所定の間隔をもって配置されている。固定電極端子５３〜５６は、プロセスの簡略化等のために、全て同じ形状を有している。固定電極端子５５は、固定電極端子５３の真下位置に所定の間隔をもって配置され、固定電極端子５６は、固定電極端子５４の真下位置に所定の間隔をもって配置されている。
【００７３】
可動電極端子５２Ａの両側面には櫛歯５７が設けられ、可動電極端子５２Ｂの両側面には櫛歯５８が設けられている。また、固定電極端子５３，５４の一側面（可動電極端子５２Ａ側の側面）には櫛歯５９が設けられ、固定電極端子５５，５６の一側面（可動電極端子５２Ｂ側の側面）には櫛歯６０が設けられている。
【００７４】
このような上下に構造体を有する可動ミラーデバイス５０は、例えばウェハの張り合わせ技術により製作することができる。
【００７５】
また、可動電極端子５２Ａ，５２Ｂは、ミラー２及び固定部４ａを介して接地されている。固定電極端子５３には可変電圧源６１が接続され、固定電極端子５４には可変電圧源６２が接続され、固定電極端子５５には可変電圧源６３が接続され、固定電極端子５６には可変電圧源６４が接続されている。
【００７６】
可変電圧源６１〜６４の印加電圧がゼロである初期状態では、図１３（ａ）に示すように、可動電極端子５２Ａ，５２Ｂの後側部分は所定の間隔をもって重なり合っており、ミラー２は撓みの無い平らな状態となっている。
【００７７】
可変電圧源６１により固定電極端子５３に電圧を印加すると共に、可変電圧源６４により固定電極端子５６に電圧を印加すると、図１３（ｂ）に示すように、可動電極端子５２Ａと固定電極端子５３との間に生じる静電気力によって可動電極端子５２Ａが固定電極端子５３側に引き寄せられると共に、可動電極端子５２Ｂと固定電極端子５６との間に生じる静電気力によって可動電極端子５２Ｂが固定電極端子５６側に引き寄せられる。これにより、ミラー２が凹状に撓むようになる。
【００７８】
可変電圧源６２により固定電極端子５４に電圧を印加すると共に、可変電圧源６３により固定電極端子５５に電圧を印加すると、図１３（ｃ）に示すように、可動電極端子５２Ａと固定電極端子５４との間に生じる静電気力によって可動電極端子５２Ａが固定電極端子５４側に引き寄せられると共に、可動電極端子５２Ｂと固定電極端子５５との間に生じる静電気力によって可動電極端子５２Ｂが固定電極端子５５側に引き寄せられる。これにより、ミラー２が凸状に撓むようになる。
【００７９】
以上のように本実施形態においても、ミラー２が平らな状態から凸状及び凹状に変形可能であるため、ミラー２の可動範囲が大きくなる。
【００８０】
また、可動電極端子５２Ａ，５２Ｂをミラー２の中心側に折り曲げ、可動電極端子５２Ａ，５２Ｂの後側部分が所定の間隔をもって重なり合うような構成としたので、ミラー２の可動範囲を効率良く稼ぐことができる。また、駆動部５１の幅寸法を小さくすることができるので、可動ミラーデバイス５０をアレイ化する場合に、各駆動部５１を一次元的に配列した状態で、各ミラー２の配列ピッチを狭くすることが可能となる。
【００８１】
なお、本実施形態では、可動電極端子５２Ａ，５２Ｂをミラー２の中心側に折り曲げる構成としたが、例えば可動電極端子５２Ａ，５２Ｂをミラー２に対してミラー２の中心側に斜めに延ばすような構成とし、それに合わせて固定電極端子５３〜５６の配置構成を適宜設定してもよい。
【００８２】
図１４は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第５の実施形態を示す構成図である。図中、第１の実施形態と同一または同等の部材には同じ符号を付し、その説明を省略する。
【００８３】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス６６は、上記の基板２００（図示せず）における可動電極端子５Ａ，５Ｂの先端側（ミラー２との結合部分の反対側）に固定された２つの固定部６７Ａ，６７Ｂを有している。固定部６７Ａ，６７Ｂと可動電極端子５Ａ，５Ｂの先端とは、例えばバネ状の弾性部材６８Ａ，６８Ｂで接続されている。固定部６７Ａ，６７Ｂ及び弾性部材６８Ａ，６８Ｂは、可動電極端子５Ａ，５Ｂを固定電極端子６Ａ，６Ｂ及び固定電極端子７Ａ，７Ｂに対して可動に支持する２つの支持手段を構成するものである。可動電極端子５Ａ，５Ｂは、上記の各支持手段を介して接地されている。
【００８４】
可変電圧源１１により固定電極端子６Ａ，６Ｂに電圧を印加すると、図１５（ｂ）に示すように、弾性部材６８Ａ，６８Ｂが固定電極端子６Ａ，６Ｂ側に弾性変形しながら、可動電極端子５Ａ，５Ｂが固定電極端子６Ａ，６Ｂ側に引き寄せられ、ミラー２が凹状に撓む。一方、可変電圧源１２により固定電極端子７Ａ，７Ｂに電圧を印加すると、図１５（ｂ）に示すように、弾性部材６８Ａ，６８Ｂが固定電極端子７Ａ，７Ｂ側に弾性変形しながら、可動電極端子５Ａ，５Ｂが固定電極端子７Ａ，７Ｂ側に引き寄せられ、ミラー２が凸状に撓む。
【００８５】
このように本実施形態においても、ミラー２の中心部を支点として、ミラー２を湾曲状に変形させることが可能であるため、ミラー２の中心部を基板に固定させなくて済む。これにより、ミラー２及び駆動部３を容易に基板上に形成することができる。また、そのようにミラー２の中心部には固定部分がないため、ミラー２を湾曲状に撓ませたときに、ミラー２の光反射面の面形状が全体的に滑らかになる。
【００８６】
さらに、可動電極端子５Ａ，５Ｂは弾性部材６８Ａ，６８Ｂを介して固定部６７Ａ，６７Ｂに支持されているので、可動電極端子５Ａ，５Ｂの動きが規制されることを防止できる。
【００８７】
図１６は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第６の実施形態を示す斜視図である。
【００８８】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス７０は、信号光を反射させる板状のミラー７１と、このミラー７１を変形させる駆動部７２とを備えている。ミラー７１は、初期状態では、ミラー７１の前面（光反射面）側に対して予め凹状に撓ませた構成となっている。ミラー７１の後面の中心部には、基板２００に固定された固定部７３が結合されている。
【００８９】
駆動部７２は、ミラー７１の両端部に結合され、ミラー７１の後側に延びる２つの可動電極端子７４Ａ，７４Ｂと、可動電極端子７４Ａ，７４Ｂと対向するように基板２００に固定された固定電極端子７５とを有している。固定電極端子７５は、可動電極端子７４Ａ，７４Ｂ間に配置されている。可動電極端子７４Ａ，７４Ｂの一側面（固定電極端子７５側の側面）には櫛歯７６が設けられ、固定電極端子７５の両側面には櫛歯７７が設けられている。ミラー７１と可動電極端子７４Ａ，７４Ｂとの結合部分の剛性は、好ましくはミラー７１の中心側部分の剛性よりも大きくなっている。
【００９０】
また、可動電極端子７４Ａ，７４Ｂは、図示はしないが、ミラー７１及び固定部７３を介して接地されている。固定電極端子７５には可変電圧源７８が接続されている。可変電圧源７８の印加電圧がゼロである初期状態では、図１７（ａ）に示すように、ミラー７１は凹状に撓んだ状態となっている。
【００９１】
可変電圧源７８により固定電極端子７５に電圧を印加すると、図１７（ｂ）に示すように、可動電極端子７４Ａ，７４Ｂと固定電極端子７５との間に生じる静電気力によって可動電極端子７４Ａ，７４Ｂが固定電極端子７５側に引き寄せられ、これに伴ってミラー７１が撓みの無い平らな状態となる。そして、可変電圧源７８により固定電極端子７５に印加する電圧を更に上げると、図１７（ｃ）に示すように、可動電極端子７４Ａ，７４Ｂが更に固定電極端子７５側に引き寄せられ、これに伴ってミラー７１が凸状に撓むようになる。なお、図１７では、櫛歯７６，７７を省略してある。
【００９２】
以上のように本実施形態にあっては、ミラー７１が凹状に撓んだ状態から凸状に撓んだ状態に変形可能であるため、ミラー７１の可動範囲が大きくなる。
【００９３】
また、使用する固定電極端子の数が少なくて済むため、駆動部７２の構造が簡素化され、コスト削減を図ることができる。また、ミラー７１を一方向に動かすだけでよいので、固定電極端子７５に電圧を印加する際の制御が簡単になる。
【００９４】
さらに、固定電極端子７５が可動電極端子７４Ａ，７４Ｂ間だけに配置されるので、駆動部７２の幅寸法を小さくすることができる。
【００９５】
なお、本実施形態では、ミラー７１の中心部を基板２００に支持する構成としたが、第５の実施形態のように、可動電極端子７４Ａ，７４Ｂの先端部を、弾性部材等を介して基板２００に支持させてもよい。
【００９６】
図１８は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第７の実施形態を示す構成図である。
【００９７】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス８０は、信号光を反射させる板状のミラー８１と、このミラー８１を変形させる駆動部８２とを備えている。ミラー８１は、初期状態では、ミラー８１の前面（光反射面）側に対して予め凸状に撓ませた構成となっている。ミラー８１の後面の中心部には、上記の基板２００（図示せず）に固定された固定部８５が結合されている。
【００９８】
駆動部８２は、ミラー８１の両端部に結合され、ミラー８１の後側に延びる２つの可動電極端子８３Ａ，８３Ｂと、可動電極端子８３Ａ，８３Ｂと対向するように基板（図示せず）に固定された２つの固定電極端子８４Ａ，８４Ｂとを有している。固定電極端子８４Ａ，８４Ｂは、可動電極端子８３Ａ，８３Ｂを挟んで対向するように配置されている。可動電極端子８３Ａ，８３Ｂは、初期状態では、ミラー８１に対してミラー８１の中心側に斜めに延びている。可動電極端子８３Ａ，８３Ｂの一側面（固定電極端子８４Ａ，８４Ｂ側の側面）には櫛歯８７が設けられ、固定電極端子８４Ａ，８４Ｂの一側面（可動電極端子８３Ａ，８３Ｂ側の側面）には櫛歯８８が設けられている。
【００９９】
また、可動電極端子８３Ａ，８３Ｂは、ミラー８１及び固定部８５を介して接地されている。固定電極端子８４Ａ，８４Ｂには可変電圧源８６が接続されている。
【０１００】
可変電圧源８６の印加電圧がゼロである初期状態では、図１９（ａ）に示すように、ミラー８１は凸状に撓んだ状態となっている。可変電圧源８６により固定電極端子８４Ａ，８４Ｂに電圧を印加すると、図１９（ｂ）に示すように、可動電極端子８３Ａ，８３Ｂと固定電極端子８４Ａ，８４Ｂとの間に生じる静電気力によって可動電極端子８３Ａ，８３Ｂが固定電極端子８４Ａ，８４Ｂ側に引き寄せられ、これに伴ってミラー８１が撓みの無い平らな状態となる。そして、可変電圧源８６により固定電極端子８４Ａ，８４Ｂに印加する電圧を更に上げると、図１９（ｃ）に示すように、可動電極端子８３Ａ，８３Ｂが更に固定電極端子８４Ａ，８４Ｂ側に引き寄せられ、これに伴ってミラー８１が凹状に撓むようになる。なお、図１９では、櫛歯８７，８８を省略してある。
【０１０１】
以上のように本実施形態にあっては、ミラー８１が凸状に撓んだ状態から凹状に撓んだ状態に変形可能であるので、ミラー８１の可動範囲が大きくなる。また、第６の実施形態と同様に、駆動部８２の構造が簡素化されると共に、固定電極端子８４Ａ，８４Ｂに電圧を印加する際の制御が簡単になる。
【０１０２】
図２０は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第８の実施形態を示す構成図である。
【０１０３】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス９０は、信号光を反射させるミラー９１と、このミラー９１を変形させる駆動部９２とを備えている。ミラー９１は、その前面（光反射面）側に対して予め凹状に撓ませた構成となっている。ミラー９１の中心部には、基板（図示せず）に固定された固定部９３が結合されている。
【０１０４】
駆動部９２は、ミラー９１の両端部に結合されたＵ字型の可動電極端子９４と、可動電極端子９４と対向するように基板（図示せず）に固定された固定電極端子９５とを有している。固定電極端子９５は、可動電極端子９４を挟んでミラー９１と対向している。可動電極端子９４の一側面（固定電極端子９５側の側面）には櫛歯９６が設けられ、固定電極端子９５の一側面（可動電極端子９４側の側面）には櫛歯９７が設けられている。
【０１０５】
また、可動電極端子９４は、ミラー９１及び固定部９３を介して接地されている。固定電極端子９５には可変電圧源９８が接続されている。この可変電圧源９８により固定電極端子９５に電圧を印加すると、可動電極端子９４と固定電極端子９５との間に生じる静電気力によって可動電極端子９４が固定電極端子９５側に引き寄せられ、これに伴ってミラー９１が凹状から凸状に変形する。従って、ミラー９１の可動範囲を大きくすることができる。
【０１０６】
また、使用する可動電極端子及び固定電極端子がいずれも１つで済むため、駆動部９２の構造が簡素化され、コスト削減を図ることができる。また、ミラー９１を一方向に動かすだけでよいので、固定電極端子９５に電圧を印加する際の制御が簡単になる。
【０１０７】
図２１は、本発明に係る可動ミラーデバイスの第９の実施形態を示す構成図である。
【０１０８】
同図において、本実施形態の可動ミラーデバイス１００は、信号光を反射させるミラー１０１と、このミラー１０１を変形させる駆動部１０２とを備えている。ミラー１０１は、その前面（光反射面）側に対して予め凸状に撓ませた構成となっている。ミラー１０１の両端部には、基板（図示せず）に固定された固定部１０３が結合されている。これにより、ミラー１０１は、その両端部を固定点として湾曲状に変形自在となる。
【０１０９】
駆動部１０２は、ミラー１０１の中心部に結合されたＴ字型の可動電極端子１０４と、可動電極端子１０４と対向するように基板（図示せず）に固定された固定電極端子１０５とを有している。固定電極端子１０５は、可動電極端子１０４を挟んでミラー１０１と対向している。可動電極端子１０４の一側面（固定電極端子１０５側の側面）には櫛歯１０６が設けられ、固定電極端子１０５の一側面（可動電極端子１０４側の側面）には櫛歯１０７が設けられている。
【０１１０】
また、可動電極端子１０４は、ミラー１０１及び固定部１０３を介して接地されている。固定電極端子１０５には可変電圧源１０８が接続されている。この可変電圧源１０８により固定電極端子１０５に電圧を印加すると、可動電極端子１０４と固定電極端子１０５との間に生じる静電気力によって可動電極端子１０４が固定電極端子１０５側に引き寄せられ、これに伴ってミラー１０１が凸状から凹状に変形する。従って、ミラー１０１の可動範囲を大きくすることができる。また、第８の実施形態と同様に、駆動部１０２の構造が簡素化されると共に、固定電極端子１０５に電圧を印加する際の制御が簡単になる。
【０１１１】
以上、本発明の好適な実施形態について幾つか説明してきたが、本発明の可動ミラーデバイスは、ミラーに入射する光の位置に応じて一つのミラーで異なる光路差を与えると共に、ミラーの可動範囲を広くする必要がある用途であれば、分散補償器に限らず、上述したピックアップ素子等といった曲面状のミラーでの反射を必要となる他の機器にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１２】
【図１】本発明に係る可動ミラーデバイスの第１の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す可動ミラーデバイスの形成方法の一例を示す図である。
【図３】図１に示す可動ミラーデバイスの動作を示す図である。
【図４】図１に示すミラーと可動電極端子との結合部分の剛性がミラーの中心側部分の剛性よりも小さい場合に、可動電極端子を動かした時の状態を示す図である。
【図５】本発明に係る可動ミラーデバイスの第１の実施形態の変形例を示す斜視図である。
【図６】本発明に係る可動ミラーデバイスの第１の実施形態の他の変形例を示す構成図である。
【図７】図５に示す可動ミラーデバイスを応用した可動ミラーデバイスアレイを示す分解斜視図である。
【図８】図７に示す可動ミラーデバイスアレイを備えた分散補償器の一例を示す構成図である。
【図９】本発明に係る可動ミラーデバイスの第２の実施形態の概略構成及び動作を示す図である。
【図１０】本発明に係る可動ミラーデバイスの第３の実施形態の概略構成及び動作を示す図である。
【図１１】本発明に係る可動ミラーデバイスの第４の実施形態を示す斜視図である。
【図１２】図１１に示す可動ミラーデバイスの背面図である。
【図１３】図１１に示す可動ミラーデバイスの動作を示す図である。
【図１４】本発明に係る可動ミラーデバイスの第５の実施形態を示す構成図である。
【図１５】図１４に示す可動ミラーデバイスの動作を示す図である。
【図１６】本発明に係る可動ミラーデバイスの第６の実施形態を示す斜視図である。
【図１７】図１６に示す可動ミラーデバイスの動作を示す図である。
【図１８】本発明に係る可動ミラーデバイスの第７の実施形態を示す構成図である。
【図１９】図１８に示す可動ミラーデバイスの動作を示す図である。
【図２０】本発明に係る可動ミラーデバイスの第８の実施形態を示す構成図である。
【図２１】本発明に係る可動ミラーデバイスの第９の実施形態を示す構成図である。
【符号の説明】
【０１１３】
１…可動ミラーデバイス、２…ミラー、３…駆動部、４，４ａ…固定部、５Ａ，５Ｂ…可動電極端子、６Ａ，６Ｂ…固定電極端子（第２固定電極端子）、７，７Ａ，７Ｂ…固定電極端子（第１固定電極端子）、１３…可動ミラーデバイスアレイ、１６…分散補償器、１７…回折格子（光合波手段）、３０…可動ミラーデバイス、３１…駆動部、３２Ａ，３２Ｂ…可動電極端子、４０…可動ミラーデバイス、４１…駆動部、４２Ａ，４２Ｂ…可動電極端子、４３Ａ，４３Ｂ…固定電極端子（第２固定電極端子）、４４Ａ，４４Ｂ…固定電極端子（第１固定電極端子）、５０…可動ミラーデバイス、５１…駆動部、５２Ａ，５２Ｂ…可動電極端子、５３，５４…固定電極端子（第１固定電極端子）、５５，５６…固定電極端子（第２固定電極端子）、６６…可動ミラーデバイス、６７Ａ，６７Ｂ…固定部（支持手段）、６８Ａ，６８Ｂ…弾性部材（支持手段）、７０…可動ミラーデバイス、７１…ミラー、７２…駆動部、７３…固定部、７４Ａ，７４Ｂ…可動電極端子、７５…固定電極端子、８０…可動ミラーデバイス、８１…ミラー、８２…駆動部、８３Ａ，８３Ｂ…可動電極端子、８４Ａ，８４Ｂ…固定電極端子、８５…固定部、９０…可動ミラーデバイス、９１…ミラー、９２…駆動部、９４…可動電極端子、９５…固定電極端子、１００…可動ミラーデバイス、１０１…ミラー、１０２…駆動部、１０４…可動電極端子、１０５…固定電極端子、２００…基板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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