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(57)【要約】【課題】大口径の燃焼室においても、可燃ガスと２次空気の良好な攪拌、混合性が維持されて、燃焼性を向上させることができる廃棄物溶融設備の燃焼室を提供する。【解決手段】廃棄物溶融炉で発生した可燃ガスを１次空気で燃焼させるメインバーナ８と、２次空気を吹き込む２次空気用ノズル９を備えた、廃棄物溶融設備の燃焼室２において、２次空気用ノズル９を、２次空気を吹き込む外管と、高圧の空気あるいは蒸気を高流速で吹き込む内管とからなる２重管構造とした。【選択図】    図１
2005003285.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
廃棄物溶融炉で発生した可燃ガスを１次空気で燃焼させるメインバーナと、２次空気を吹き込む２次空気用ノズルを備えた、廃棄物溶融設備の燃焼室において、
前記２次空気用ノズルを、２次空気を吹き込む外管と、高圧の空気あるいは蒸気を高流速で吹き込む内管とからなる２重管構造としたことを特徴とする廃棄物溶融設備の燃焼室。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、廃棄物を廃棄物溶融炉で発生した可燃ガスを燃焼させる廃棄物溶融設備の燃焼室に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般廃棄物、産業廃棄物等の廃棄物を廃棄物溶融炉で乾燥、熱分解、燃焼、溶融してスラグとメタルにする廃棄物溶融処理において、溶融炉で発生した可燃ガスは排ガス処理設備で熱回収、無害化処理される。
【０００３】
図４は従来の廃棄物溶融処理設備の排ガス処理の系統図で、廃棄物溶融炉１、燃焼室２、廃熱ボイラ３、排ガス温度調節器４、集じん器５が順次接続されている。廃棄物溶融炉１で発生した可燃ガスは燃焼室２へ送って燃焼させ、燃焼により発生した燃焼排ガスは廃熱ボイラ３に送られて熱回収され、排ガス温度調節器４で排ガス温度を調整し、集じん器５で集じんし、誘引送風機６を通って煙突７から放出される。
【０００４】
図５は従来の燃焼室の縦断面図である。燃焼室２は、溶融炉で発生した可燃ガスを１次空気で燃焼させるメインバーナ８と希釈・混合用の２次空気が吹き込まれる２次空気用ノズル９を備えている。１次空気及び２次空気は、燃焼空気送風機１０で、廃棄物ピット内の空気を吸引・昇圧して送風している（特許文献１参照）。なお、パイロットバーナ１１にはパイロットバーナファン１２で空気が送られる。
【０００５】
燃焼室では、メインバーナ部温度の調整が可能なように、空気を２段に吹き込みメインバーナ部の温度を極力上げ、さらに、１次、２次空気部で２段旋回・撹拌させることで、燃焼性の向上を図るようにしている。
【０００６】
２次空気用ノズルは、接線方向に２次空気が吹き込まれるように燃焼室の外周に複数個配置され、流速は一般に２０〜３０ｍ／ｓで吹き込んで旋回させ、可燃ガスと空気の攪拌・混合を図っている（特許文献１参照）。
【０００７】
【特許文献１】
特開平８−１２１７２８号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、燃焼室が大口径になると、前記の流速（２０〜３０ｍ／ｓ）では内部への貫通力が不足し、攪拌・混合性も悪くなり、高い燃焼性を維持できなくなって、未燃分が燃焼室の外へ出て行く。また、燃焼空気送風機の容量（全圧力）を大きくして２次空気の流速を高流速にすることは、コスト高となって経済的な手法ではない。
【０００９】
そこで本発明は、大口径の燃焼室においても、可燃ガスと２次空気の良好な攪拌、混合性が維持されて、燃焼性を向上させることができる廃棄物溶融設備の燃焼室を提供するものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、廃棄物溶融炉で発生した可燃ガスを１次空気で燃焼させるメインバーナと、２次空気を吹き込む２次空気用ノズルを備えた、廃棄物溶融設備の燃焼室において、前記２次空気用ノズルを、２次空気を吹き込む外管と、高圧の空気あるいは蒸気を高流速で吹き込む内管とからなる２重管構造としたことを特徴とする。
【００１１】
本発明は、２次空気用ノズルを２重管構造にし、外管に撹拌・混合用の２次空気、内管に比較的高圧の空気あるいは蒸気を高流速で吹き込むことにより、空気をより内部まで随伴させ、燃焼性を向上させることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の燃焼室の縦断面図である。図１において、燃焼室２には、廃棄物溶融炉で発生した可燃ガスを燃焼用の１次空気により燃焼させるメインバーナ８が設けられている。メインバーナ８の上部には、図２に示すように、希釈・混合用の２次空気を吹き込む複数の２次空気用ノズル９が、接線方向に２次空気が吹き込まれて旋回するように燃焼室２の外周に設けれれている。１次空気と２次空気は、燃焼空気送風機１０により廃棄物ピット内の空気を吸引・昇圧して、約５０：５０の割合でメインバーナ８と２次空気用ノズルから吹き込まれる。パイロットバーナ１１にはパイロットバーナファン１２で空気が送られる。
【００１３】
図３は本発明で使用する２次空気用ノズルの縦断面図である。２次空気用ノズル９は２重管構造とし、外管１３に２次空気が供給され、内管１４に比較的高圧の空気又は蒸気が供給される。
【００１４】
たとえば、内管１４には既設のパイロットバーナーファン１２により比較的高圧のパイロットバーナ用空気を高流速（７５〜１００ｍ／ｓ）で吹き込むことで、外管１３に中流速（２０〜３０ｍ／ｓ）で吹き込んだ２次空気をエゼクト効果により遠くまで随伴することができ、可燃性ガスと空気の攪拌・混合性が増し、燃焼性の向上につながる。あるいはパイロットバーナーファン１２に換えてコンプレッサーを別途設けて供給してもよい。外管１３の２次空気と内管１４の高流速の空気の割合は、５０：１程度にする。
【００１５】
内管１４の高流速の空気に大容量の空気を必要とする場合は、高圧の空気の代わりに蒸気を使用してもよく、蒸気を高流速で吹き込んでも同様のエジェクタ作用が働き、撹拌・混合効果が得られる。蒸気は燃焼室の次段に配置されているボイラから蒸気の一部を抜き出してそのまま供給することができる。
【００１６】
【発明の効果】
本発明は、２次空気を比較的高圧の空気あるいは蒸気を高流速で吹き込み空気をより内部まで随伴させ、可燃ガスと燃焼空気の攪拌、混合を強化し、燃焼性を向上させることができる。
【００１７】
特に大口径の燃焼室には燃焼空気送風機の容量を大きくすることなく、既設のパイロットバーナーファンや、ボイラを利用できるので、コストを低くして撹拌・混合効果を上げて燃焼性の向上に寄与できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の燃焼室の縦断面図である。
【図２】２次空気用ノズルの配置を示す図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】本発明で使用する２次空気用ノズルの縦断面図である。
【図４】廃棄物溶融処理設備の排ガス処理の系統図である。
【図５】従来の燃焼室の縦断面図である。
【符号の説明】
１：廃棄物溶融炉１、
２：燃焼室
３：廃熱ボイラ
４：排ガス温度調節器
５：集じん器
６：誘引送風機
７：煙突
８：メインバーナ
９：２次空気用ノズル
１０：燃焼空気送風機
１１：パイロットバーナ
１２：パイロットバーナファン
１３：外管
１４：内管
【図１】
2005003285.tif 000003
【図２】
2005003285.tif 000004
【図３】
2005003285.tif 000005
【図４】
2005003285.tif 000006
【図５】
2005003285.tif 000007
(57)【要約】【課題】フィルタ付光導波路においてフィルタ部分の損失を低減する手段を提供する。【解決手段】誘電体多層膜フィルタを有する光導波路において、フィルタを挟む光導波路対の光軸が、それぞの延長線上にない誘電体多層膜フィルターを有する光導波路であって、フィルタを挟む光導波路対の光軸がそれぞれの延長線から１μｍ以上のずれを持つ構造とする。Ｙ型分岐部に誘電体多層膜フィルタを有する光導波路においても、フィルタを挟み対応する光導波路対が、それぞれの延長線上よりずれをもつ構造とする。【選択図】  なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体多層膜フィルタを光路内に有する光導波路において、フィルタを挟む光導波路対の光軸がそれぞれの延長線上からずれていることを特徴とする光導波路。
【請求項２】
誘電体多層膜フィルタを挟む光導波路対の光軸が、それぞれの延長線から１μｍ以上のずれを持つことを特徴とする請求項１に記載の光導波路。
【請求項３】
請求項１、請求項２のいずれかに記載の光導波路を含む光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光信号の合分波に使用される誘電体多層膜フィルタを有する光導波路に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
光通信において、光導波路中の伝搬光の波長成分や偏光成分を選択分離したり、或いは不要な波長の光や偏光成分を除去するには、誘電体多層膜フィルタが用いられている。誘電体多層膜フィルタの設置方法としては、光導波路を横断する溝を設けて、その溝に誘電体多層膜フィルタを挿入する方法がとられている。
【０００３】
誘電体多層膜フィルタを挿入する溝は導波路パターンを形成後加工され、溝前後の導波路は連続した直線、あるいは曲線の一部分を構成している。（特許文献１、２参照）
光通信には伝送路の低損失化が強く求められており、フィルタ付光導波路では、光の回折、反射などが発生するフィルタ部分での損失が大きいため、その低減化が求められていた。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−４７０４３号公報
【特許文献２】
特開２０００−１９９８２６号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、誘電体多層膜フィルタ付光導波路における上述の問題点を解消し、低損失のフィルタ付光導波路を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
誘電体多層膜フィルタを有する光導波路において、フィルタを挟む光導波路対の光軸が、それぞれの延長線上からずれている誘電体多層膜フィルタを有する光導波路であって、フィルタを挟む光導波路対の光軸がそれぞれの延長線から１μｍ以上のずれを持つことを特徴とする。
【０００７】
また、二波長以上の光信号の送受信を行う光送受信モジュールなどの光モジュールにおいて、フィルタを挟む光導波路対の各々の光軸の延長線が１μｍ以上のずれを持つことを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明者らは、フィルタ付光導波路デバイスの低損失化を図る方法を見いだし、本発明に到達したものである。
【０００９】
光を合分波する誘電体多層膜フィルタを有する光導波路は、小型の合分波機能を有する光モジュールとして利用され、主たるな用途として、光双方向通信用部品である光送受信モジュールがある。これは、異なる波長の光信号を１本の光ファイバを用いて双方向に送るものであり、入出力信号を同時に送受信できるシステムである。図１はこのような、光送受信モジュールの構成である。
【００１０】
この図で、例えば外部からの入力信号はＡ導波路１より入力され、誘電体多層膜フィルタ４により反射され、Ｂ導波路２を通って処理される。出力信号はＣ導波路３よりフィルタ４、を通過してＡ導波路１より外部に出力される。
【００１１】
あるいは、入力信号がＡ導波路１からフィルタ４を通過してＣ導波路３を通って処理され、出力信号がＢ導波路２よりフィルタ４で反射されＡ導波路１より外部に出力される経路を取ることも可能である。
【００１２】
この図１においてＡ導波路１とＣ導波路３がフィルタ４を挟む光導波路対であるが、Ａ導波路１とＣ導波路３の光軸の延長線にずれを設けることで、損失を低下できるものである。
【００１３】
図２はフィルタ部の拡大図であり、Ａ導波路１の光軸の延長線とＣ導波路３の光軸が５から５’の方向にずれ量を持つことにより、損失を低下させることが可能となる。損失を低減させるずれ量は、フィルタ仕様や、入射角６によって変化する。
【００１４】
すなわち、Ｃ導波路３はＡ導波路１の延長線上からＡ導波路１より単調に遠ざかる方向にずれ量を増加させることで、損失が低下する位置を見出すことが出来る。
【００１５】
光軸光導波路は、樹脂製、石英製などで製造されるが、本発明は導波路の材質に限定されない。
【００１６】
【実施例】
図１のモジュールでシリカ／五酸化タンタルで作成された誘電体多層膜フィルタで、光波長１．４９μｍを透過し、１．３μｍを反射するものを使用した。導波路はポリイミド製の樹脂光導波路を使用しその大きさは一辺が８μｍの正方形であり、全体の大きさは、長さ１２ｍｍ、幅３ｍｍである。
【００１７】
光波長１．４９μｍの信号をＡ導波路１から入射角を変えて入力し、Ｃ導波路３出口での損失を測定した。表１に測定値を示す。
【００１８】
すなわち、フィルタを挟む導波路対の光軸のそれぞれの延長線上からのずれ量を調整することで、損失量を低減することが出来た。
【００１９】
【表１】
2005003891.tif 000002
【００２０】
【発明の効果】
本発明の方法によれば、低損失であるフィルタ付光導波路デバイスを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、フィルタ付導波路の構成を示す図である。
【図２】図２はフィルタ部での導波路対のずれを示す図である。
【符号の説明】
１  Ａ導波路
２  Ｂ導波路
３  Ｃ導波路
４  多層膜フィルタ
５  Ａ導波路光軸延長線上のフィルタ上の位置
５’損失の少ないＣ導波路のフィルタ上の位置
６  入射角
【図１】
2005003891.tif 000003
【図２】
2005003891.tif 000004
(57)【要約】【課題】  本発明は、製氷皿の貯水形状を円錐状にし、且つ製氷時の水の膨張−収縮変化を利用し氷を製氷皿より浮かせ、製氷皿からの離氷を容易にした製氷皿を提供することを課題としている。【解決手段】  貯水形状を円錐状にすることにより、製氷時の水の膨張力により、氷が製氷皿から浮き上がるため、無理に製氷皿を捻る必要がなくなり、製氷皿へのストレスによる破損等の懸念が回避される。また、加熱等も不要のため、消費電力の抑制が可能となる。更に氷が製氷皿から自然に浮き上がるため、氷が欠けて製氷皿に残る等の問題も無くなる。【選択図】図１
2005195232.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
製氷皿の貯水形状を円錐状にし、且つ製氷時の水の膨張−収縮変化を利用し氷を製氷皿より浮かせ、製氷皿からの離氷を容易にすることを特徴とした製氷皿。
【請求項２】
円錐の先端部にＲをつけ、離氷を容易とすることを特徴とした請求項１に記載の製氷皿。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動製氷装置などに利用され、特に離氷を容易した製氷皿の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在の自動製氷器では皿の貯水部分が四角く、側面がほぼ垂直になっているため氷が皿から容易に離氷しない。そのために製氷皿を捻ったり、熱を加えたりして、無理に氷を皿から剥がず必要があった。また従来の四角い貯水形状では、離氷時に皿の隅に挟まった氷が欠けて残ってしまい、所望の容量の氷が得られない等の問題もあった。
【０００３】
【特許文献１】特開２０００−２９２０４２号公報
【特許文献２】特開平０６−０５８６５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
解決しようとする問題点は、従来例の製氷皿に観られる離氷性の悪さから、離氷時に製氷皿へ捻りなどの無理なストレスを加えるために製氷皿の寿命に問題がを生じることや所望の容量の氷を得られないこと、更に離氷用の加熱を与えるために消費電力を浪費する等の点である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
このような課題を解決するため、本発明からなる製氷皿は、貯水形状を円錐状にすることにより貯水部側面が鈍角になり、また製氷時の水の膨張−収縮力が円錐ゆえに氷に均等に加わり、この力により氷が製氷皿から自然に離れることから、製氷皿の貯水部分の形状を改良したことを主な特徴としている。
【発明の効果】
【０００６】
この結果、離氷時に無理に製氷皿を捻る必要がなくなり、製氷皿へのストレスによる破損等の懸念が回避できるし、加熱等も不要のため、消費電力の抑制が可能となる。更に氷が皿から自然に浮き上がるため、氷が欠けて皿に残る等の問題も無くなる。更に、製氷皿の底にあたる円錐の頂点は、離氷しやすいようにＲをつけると更に離氷性が改善される。従って、信頼性が高く、低消費電力の自動製氷装置を簡素な構成で提供できるという利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
氷結した氷を製氷皿から簡単に離氷するという目的を、製氷皿の貯水部分の形状を改良することによって特殊な操作や加熱装置の付加を排除し、離氷機能を簡素な構成で実現した。
【実施例１】
【０００８】
以下図面によって本発明の実施例を説明する。図１は本発明に成る一実施例を示すが、円錐状の製氷皿貯水部２に水を注水し、約−２０℃の冷凍室に設置することにより図３に示す形状の氷３を生成する。注水された水は製氷の過程において０℃で氷になるが、その時に体積が９％膨張する。その後固体となった氷は、−２０℃の周囲温度により冷やされ収縮を始める。図２は水が氷になる時の氷に働く力を示す。これによると、円錐部の任意の点４には、水の膨張による皿への反力５、６及び、氷の収縮力７が加わる。、また貯水部が円錐形状のため各面に力が均等に加わり、氷が皿から自動的に浮き上がる。
【０００９】
しかし、底の部分は氷と製氷皿が付着し易い性質があるので、円錐の頂点の形状には種々の変形が望ましい場合がある。このため発明者らは、頂点の形状による離氷効果を調べるため、鋭角の頂点、平面の頂点、Ｒ形状の頂点、についてコンピュータシミュレーションを実施してその効果を確認した。その結果、氷３に対する押し出し力は、氷３の円錐斜面直線部分１０の長さに依存することが分かったが、実験的な観察では、円錐の頂点４はＲを付けて形状を滑らかにすることによって、離氷を更に容易にすることも可能である。
【００１０】
尚，製氷皿の貯水部分の形状は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であることは明らかであり、材質についても、ゴム材、プラスチック材を含め種々の材料を用いて実施できることも自明である。
【産業上の利用可能性】
【００１１】
冷蔵庫内で自動的に製氷と排氷を繰り返し実行する自動製氷装置に利用可能であり、また、製氷皿の貯水部分へ貯水した製氷皿のみを冷蔵庫庫内製氷室へ放置し、氷結後に手動で氷を取り出す手動式製氷装置でも、その離氷作業の簡便性から本発明を利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】製氷皿形状
【図２】製氷時に水に加わる力
【図３】氷結した氷の形状
【符号の説明】
【００１３】
１    製氷皿
２    製氷皿貯水部氷
３    氷
４    製氷皿底
５    任意の作用点
６    膨張時の水の反力方向
７    膨張時の水の反力方向
８    氷の膨張力方向
９    製氷皿の収縮力
１０    円錐部の斜面直線部分
【図３】
2005195232.tif 000003
【図１】
2005195232.tif 000004
【図２】
2005195232.tif 000005
(57)【要約】【課題】  従来のコンロ五徳は鍋等を乗せる機能を持っているが、蓄熱・保温効果は少ない。ガスコンロの場合、熱効率５０％程度であり、五徳に蓄熱効果を持つ構造にする事により、蓄熱・保温力を向上させる事が出来、省エネとなる。【解決手段】  五徳の素材を金属・陶器・セラミック等の熱効率の良い材質とし、空隙・貫通孔等を設け、熱流を長くする事により、消炎後も鍋等の煮炊き、保温を促進する事が出来る蓄熱五徳。蓄熱五徳形状は図２に示す丸型にこだわらず用途に合う形状が提供できる。【選択図】  図１
2005195205.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本発明は炎温度１，５００℃と鍋との間に通気蓄熱五徳を設ける事により、炎の通過時間を長くする事が出来る。この効果により熱効率が向上し、蓄熱温度の上がる事により消炎後も鍋を煮炊き、保温する事が出来る蓄熱五徳。    
【請求項２】
本発明は炎を外部に逃さなくする為に蓄熱五徳の外周にスカートを設け、炎全体を蓄熱五徳に通す構造とする。この事により五徳温度が早く上昇し、省エネ度が向上する蓄熱五徳。    
【請求項３】
本発明は蓄熱部分だけの構造としても機能し、従来の五徳の上に置き蓄熱・保温材としての使用が出来る事を特徴とする蓄熱五徳。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はガスコンロに蓄熱五徳を設け炎の熱効率を向上させ、蓄熱効果による消炎後の煮炊き、保温の提供を特徴とする装置。
【背景技術】
【０００２】
従来のガスコンロは図４に示す構造となっており、炎は鍋の底を滞留することなく通って行く。この構造に依り、炎の熱効果はガスメーカー資料によれば５０％であり、熱効果が悪い。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来のガスコンロの熱効率は５０％程度でロスが多く、経済性が悪い。現在、地球温暖化等に代表される様に世界的排熱作用が問題となっており、熱効率についても向上を図る必要がある。本発明は炎の通過時間を長くする事により熱効率を向上させ蓄熱性を持つ蓄熱五徳を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
請求項１の発明は実施例図１に形体を示し、蓄熱材質は金属・陶器・セラミック等熱効率の高い材質を用いＡ断面に示す空隙のある構造、Ｂ断面に示す貫通孔の効果により炎の通過時間が長くなり熱効率を向上する事が出来る。消炎後、五徳に蓄熱された熱が鍋に伝わり保温する事が出来、省エネ効果が向上する。    
【０００５】
請求項２の発明は実施例図１・図２に形体を示し、４スカート部分を設ける事により、図４に形体を示す炎の外周に流れる事を防ぐことが可能となり、炎を蓄熱部分に通す事が出来る。この効果により短時間で熱交換を行い、蓄熱効果を向上する事が出来る。    
【０００６】
請求項３の発明は実施例図４に形体を示し、従来の８五徳の上に蓄熱部分を設置する事により、蓄熱五徳としての機能を提供出来る。単体として移設の使用が容易である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】Ａ．断面図  Ｂ．断面図  ２実施例
【図２】Ａ．平面図  Ｂ．平面図  ２実施例
【図３】Ａ．側面図  Ｂ．側面図  ２実施例
【図４】従来側面図  蓄熱五徳実施例
【符号の説明】
【０００８】
１  通気性蓄熱部２  貫通蓄熱部３  貫通孔４  スカート部分５  熱流方向６  支脚７  排熱溝８  五徳
【図１】
2005195205.tif 000003
【図２】
2005195205.tif 000004
【図３】
2005195205.tif 000005
【図４】
2005195205.tif 000006
(57)【要約】 【課題】  移動体装置に使用される静圧軸受けは高速に且つ精密に動作することが求められており、使用される部材は軽量化と高剛性化が望まれている。本発明により、軽量で高剛性であり、高速移動が可能な移動体装置に使用される静圧軸受けを提供する。【解決手段】  ＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなるハニカム構造体を含み、かつ、該ハニカム構造体の上下にＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなる平板が接合されてなる部材をガイド軸として用いることを特徴とする静圧軸受け。さらに、前記複合材料のＳｉＣの含有率が40〜80体積％であることが好ましく、これにより、軽量で高剛性であり、高速移動が可能な移動体装置に使用される静圧軸受けが得られる。【選択図】        なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなるハニカム構造体を含み、かつ、該ハニカム構造体の上下にＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなる平板が接合されてなる部材をガイド軸用部材として用いることを特徴とする静圧軸受け。
【請求項２】
前記複合材料のＳｉＣの含有率が40〜80体積％であることを特徴とする請求項１記載の静圧軸受け。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、静圧軸受けに関するものであって、特に、軽量で剛性の高いガイド軸用部材を構成部材として用いた静圧軸受けに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、移動体装置に使用される静圧軸受けは高速に且つ精密に動作することが求められており、使用される部材は軽量化と高剛性化が望まれている。
このような要求に対して、高比剛性の構成材料を移動体装置の構成部分として用いることが開示されている（例えば、特許文献1参照）。
【特許文献１】特開２００１−３４２０６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前記の移動体装置は、剛性は高いものの軽量でないため、高速に移動できないという課題があった。
【０００４】
したがって、本発明の目的は、軽量で高剛性であり、高速移動が可能な移動体装置に使用される静圧軸受けを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記課題に鑑み鋭意研究した結果、金属Ｓｉマトリックス中にＳｉＣ強化材が複合されたＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなるハニカム構造体を含むガイド軸用部材を静圧軸受けの構成部材とすることで軽量化が可能なことと、高剛性であるため高速に動作に好適であることを見出して本発明を完成した。
即ち本発明の目的は、下記する手段により達成される。
（１）ＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなるハニカム構造体を含み、かつ、該ハニカム構造体の上下にＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなる平板が接合されてなる部材をガイド軸用部材として用いることを特徴とする静圧軸受け。
（２）前記複合材料のＳｉＣの含有率が40〜80体積％であることを特徴とする（１）に記載の静圧軸受け。
【発明の効果】
【０００６】
以下に詳細に説明する通り、本発明の静圧軸受けによれば、軽量で高剛性であるため、被搬送物の高速移動が可能であり、歪による位置決め精度の低下を防ぐ果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の静圧軸受けについて、更に詳しく説明する。
上記で述べたように本発明の静圧軸受けは、ＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなるハニカム構造体を含み、かつ、該ハニカム構造体の上下にＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなる平板が接合されてなる部材をガイド軸用部材として用いることを特徴としている。（請求項１）
【０００８】
ここで、本発明でＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなるハニカム構造体を用いた理由は、従来の密充填のセラミックスでは重たくて高速移動ができないという課題を解決するためであって、内部にハニカム構造体による中空部を形成することにより軽量化が可能としたものである。また、ハニカム構造体は、単に同体積の空孔を形成した多孔体と比較して強度や剛性面で優れているという作用がある。
また、本発明でＳｉ金属マトリックス中にＳｉＣ強化材が複合されたＳｉＣ−Ｓｉ複合材料を用いた理由は、ＳｉＣ−Ｓｉ複合材料は、熱伝導率が約170W／mKと高く、均熱性・放熱性に優れており、熱歪による精度低下を防ぐ作用を持つからである。
【０００９】
次に、本発明の静圧軸受けは、前記複合材料のＳｉＣの含有率が40〜80体積％であることを特徴ととしている。（請求項２）
ここで、強化材であるＳｉＣの含有率を40〜80体積％に限定したのは、ＳｉＣ含有率が40体積％より少ないと場合では、ＳｉＣ−Ｓｉ複合材料の剛性が低下するため歪が発生しやすくなり好ましくないからである。また、ＳｉＣ含有率を80体積％以下とする理由は、これよりＳｉＣ含有率が多いと緻密なＳｉＣ−Ｓｉ複合材料が得られなくなるからである。
【００１０】
以下、本発明に係るガイド軸用部材を静圧軸受けの構成部材として用いた実施例により具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
〔実施例〕
ＳｉＣ粉末100質量部にメチルセルロース10質量部、水20質量部を混練、押し出し成形しＳｉＣハニカムを作製した。
平均粒形100μmのＳｉＣ粉末100重量部とアクリルバインダー10質量部およびエタノール20質量部を混練した接合剤を、静圧軸受け形状に切り出した２枚の多孔質カーボン平板のハニカム構造体との接合面に塗布し、その２枚の塗布面の間に上記ＳｉＣハニカムを配置し、ハニカムサンドイッチ構造体を作製した。さらに別の２枚の多孔質カーボン板を、ハニカムサンドイッチ構造体側面にフェノール樹脂を用いて接合した。次に得られたハニカムサンドイッチ構造体を金属ＳｉとともにArガス雰囲気中で1600℃に加熱した。得られたＳｉＣハニカムサンドイッチ構造体を仕上げ加工してガイド軸用部材とした。
その結果、ＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなるハニカム構造体の両側にＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなる平板が配置され、それらの間にＳｉＣ強化材と金属Ｓｉとの複合材料による接合層を有し、この接合層によりＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなるハニカム構造体と両側にＳｉＣ−Ｓｉ複合材料からなる平板が強固に接合されたガイド軸用部材を得た。ここで、得られた複合材料の強化材ＳｉＣの含有率は、５０体積％であった。
【００１１】
次に、このようにして得られたガイド軸用部材のかさ密度を測定したところ、1.08g/cm3と軽量であった。また、得られたガイド軸用部材と同様な方法で得られた試料から400mm×400mm×H40mmの試験体を切り出し、4隅を固定し、中心部にφ50mmの棒で0.1MPaの荷重をかけるという「たわみ試験」を行った。その結果、たわみ量は2.5μmと小さく、高い剛性を示した。
次に、このようにして得られたガイド軸用部材から大きさ5mm×5mm×1mmの試験体を切り出し、レーザーフラッシュ法熱物性測定装置により熱伝導率を測定したところ、170W／mKと大きく、放熱性は十分であることが分かった。
したがって、本発明のガイド軸用部材を静圧軸受けの構成部材として用いれば、軽量で高剛性であるため、被搬送物の高速移動が可能であり、歪による位置決め精度の低下を防ぐ効果があることが分かった。
(57)【要約】【課題】  従来のゴム緩衝材は、製品が重く取り扱いが重労働であり、現地加工が難しくアンカーで固定するため、熟練者を必要とし、手直し、取替えが難しかった。【解決手段】  繊維マット２の表面にポリウレア樹脂やポリウレタン樹脂１を加工し、裏面にマジックテープを貼り付けた製品は軽量で取り扱いが簡単であり、加工もカッターナイフ・鋸等で切断が可能である。壁面５にマジックテープ３を接着剤４で固定して繊維マット２を取り付けるため、壁面５に穴を空けずに壁面５に連続してまたは間隔をあけて取り付けられる。しかも着脱可能であり、どの箇所においても補修、取替えが出来る。【選択図】図１
2005195163.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾力性のある繊維マットに、ポリウレア樹脂やポリウレタン樹脂加工した緩衝材を、壁面に連続してまたは間隔をあけて取り付ける自動車衝突緩衝材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、壁面への自動車衝突緩衝材に関する。
【背景技術】
【０００２】  従来の緩衝材にはゴム等の弾性材料がある。（例えば、非特許文献１参照）
【非特許文献１】「西武ポリマ化成  カーストッパーチラシ」西武ポリマ化成株式会社  図３において、イは緩衝ゴム本体で、ロは固定用アンカー、ハは壁面である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  以上に述べた従来の自動車が壁面に衝突した際のゴム製緩衝材は、▲１▼製品が重いため取り扱いが重労働であった。▲２▼アンカーでの固定に熟練者が必要であった。▲３▼現地での加工が難しい。▲４▼取り付け後の手直し・補修が難しい製品であった。【０００４】  本発明は、このような従来の製品が有していた問題を解決しようとするものであり、軽量で強度があり衝撃吸収が大きく、取り付けが簡単である事を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  そして、本発明は上記目的を達成するために、繊維マットの表面にポリウレア樹脂やポリウレタン樹脂を塗布し裏面にマジックテープを取り付けた構造体である。▲１▼繊維マットは軽量で衝突時の衝撃（圧縮力）による変形が生じても潰れることなく再度復元し得る強度がある。▲２▼取り扱いが簡単で熟練者を必要としない。▲３▼現地での加工は、カッターナイフ・鋸等で簡単に切断できる。▲４▼軽量で着脱可能なため、どの箇所でも補修、取替えが可能である。▲５▼構造物にアンカーを打ち付けないため、構造物に傷やひび割れを発生させない。アンカーを用いずにマジックテープを壁面に接着剤で固定して、繊維マットを壁面に取り付けるため、誰にでも簡単に連続してまたは間隔をあけて取り付けることが出来る。
【発明の効果】
【０００６】  上述したように本発明の緩衝材は、軽量で取り付けが簡単であり、トラックや台車が壁面に衝突した場合に充分な衝撃吸収や緩衝力が大きく、壁面や自動車の破損防止と運転手の安全確保が可能で、壁面に傷をつけない製品である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】以下、本発明の実施の形態を図１〜図２に基づいて説明する。
【実施例】
【０００８】  図においては、１は表面側の強度ある樹脂、２は衝撃を吸収する繊維マットであり、３は繊維マットの裏面に取り付けるマジックテープと５の壁面に取り付けるマジックテープであり、４は３の繊維マットに塗る接着剤と５の壁面に塗る接着剤、５は壁面である。５の壁面に固定した３のマジックテープに２の繊維マットの裏面に貼り付けた３のマジックテープをお互い噛み合わせて取り付ける。
【図面の簡単な説明】
【００９】
【図１】「本発明の緩衝材を示したＡ−Ａ断面図である。」
【図２】「同緩衝材を示した正面図である。」
【図３】「従来のゴム緩衝材の断面図である。」
【符号の説明】
【００１０】  １  樹脂
２  繊維マット
３  マジックテープ
４  接着剤
６  壁面
【図１】
2005195163.tif 000003
【図２】
2005195163.tif 000004
【図３】
2005195163.tif 000005
(57)【要約】  【課題】  回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させる機構において、構造を複雑にし重量を重くし装置を大型にしてしまう動力が無くても、回転軸を容易に移動させ、さらに、回転体を任意の位置にて容易に固定することができる可動機構を提供する。【解決手段】  回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させる機構において、回転軸の軸受けを真円以外の形状にする。  また、さらに、回転軸或いは回転軸廻りの回転体を任意の位置にて固定するための突起を回転体の支え部材に設ける。  【選択図】  図３2005195136.tif 000003
2005195136.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させる機構において、回転軸の軸受けを真円以外の形状にすることにより回転軸を移動させることを特徴とする可動機構。
【請求項２】
さらに、回転軸或いは回転軸廻りの回転体を任意の位置にて固定するための突起を回転体の支え部材に設けることを特徴とする請求項１に記載の可動機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させる機構において、回転軸の軸受けを真円以外の形状にすることにより回転軸を移動させることを特徴とする可動機構に関するものである。
【０００２】
例えば、トラックのあおりのように、通常は垂直に立てて使用するが、荷物を積み下ろしする際には水平或いは斜めに傾けて使用する機構のものに適用できる可動機構に関する発明である。
【背景技術】
【０００３】
従来の回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させる機構は回転軸の軸受けが真円であるため、回転軸廻りの回転体は回転軸と同心円となる動きしかできなく、それ以外の動きを回転軸廻りの回転体にさせるには軸受けを何らかの外力にて移動させるしか方法はなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、回転軸の軸受けを動かすには、回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させる動力の他に回転軸を移動させる動力が必要になり、構造が複雑な上に、重量が重くなり、装置が大型になるという問題があった。
【０００５】
さらに、回転軸或いは回転軸廻りの回転体を任意の位置にて固定するためには、回転軸或いは回転軸廻りの回転体に付加される回転外力を超える動力を回転軸或いは回転軸廻りの回転体に付加しなければならず、さらに高出力の動力が必要になり、重量が重くなり、装置が大型になるという問題があった。
【０００６】
本願発明はこのような従来の回転軸或いは回転軸廻りの回転体の可動機構の問題点を解決するためのもので、回転軸を容易に移動させ、さらに、回転体を任意の位置にて容易に固定することができる可動機構を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明者らは、回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させる機構について研究を重ねた結果、回転軸の軸受けを真円以外の形状にすることにより回転軸を移動させることを特徴とする可動機構を考案した。さらに、回転軸或いは回転軸廻りの回転体を任意の位置にて固定することを特徴とする可動機構を考案した。
【０００８】
すなわち請求項１記載の発明は、回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させる機構において、回転軸の軸受けを真円以外の形状にすることにより回転軸を移動させることを特徴とする可動機構である。
【０００９】
また、請求項２記載の発明は、請求項１の発明に付加して、さらに、回転軸或いは回転軸廻りの回転体を任意の位置にて固定するための突起を回転体の支え部材に設けることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させる機構において、回転軸の軸受けを真円以外の形状にすることにより回転軸を容易に移動させることができるようになり、さらに、回転軸或いは回転軸廻りの回転体を任意の位置にて容易に固定することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
例として、図１に示すようなアクチュエータにより回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させる機構について説明する。
【００１２】
アクチュエータの動力により図１から図３のような回転の動きが可能である。なお、この場合には重力により回転軸は軸受けの下端にあり、回転軸の移動は起こらないが、図３から図４への移行の際には回転体が回転体固定のための突起に接触するため、アクチュエータによる外力が回転軸或いは回転軸廻りの回転体を回転させながら、回転軸を軸受けの斜め上方に移動させるため、図４の状態となる。
このように回転軸の軸受けを真円以外の形状にすることにより、軸受けを何らかの外力にて移動させることなく、回転軸を移動させることが可能である。
【００１３】
また、図３や図４の状態では、回転体の上に荷重が付加されても、回転軸或いは回転軸廻りの回転体の回転を抑えるアクチュエータによる力の他に、回転体の支え部材に設けた回転体固定のための突起による回転軸或いは回転軸廻りの回転体の回転を抑える力が加わるため、過大なアクチュエータを使用しなくても回転軸或いは回転軸廻りの回転体の回転を抑えることが可能である。
【００１４】
ここでは回転軸の軸受けを楕円にした例を説明したが、軸受けの形状を種々変化させることにより回転軸の移動軌跡を任意に変化させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の可動機構を模式的に示す側面図である。
【図２】本発明の可動機構を模式的に示す側面図である。
【図３】本発明の可動機構を模式的に示す側面図である。
【図４】本発明の可動機構の回転軸が移動した場合を模式的に示す側面図である。  うち、添字（ａ）の図は全体を、添字（ｂ）の図は拡大した回転軸周辺部分を示す。
【符号の説明】
【００１６】
１  回転軸
２  回転体
３  軸受け
４  回転体の支え部材
５  回転体固定のための突起
６  アクチュエータ
７  アクチュエータのアーム
【図１】
2005195136.tif 000004
【図２】
2005195136.tif 000005
【図３】
2005195136.tif 000006
【図４】
2005195136.tif 000007
(57)【要約】      （修正有）【課題】  複数原料を混合する樹脂シート製造において、従来配合時の計量ミス等による原料配合変化が多々起こっていたが、オフラインの成分分析などでしか確認できなかった。この問題点を解決するため、インラインで簡便に原料配合変化を発見するための方法を提供する。【解決手段】  放射線厚み計測定原理により、樹脂シート生産時に実測厚みが変化せずに放射線測定厚みが変化すればシート材密度が変化したことになる。すなわち、原料配合変化によりシート材密度が変化したことになり、インラインでの原料配合変化を発見することが可能な方法である。【選択図】図１
2005195392.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
放射線を用いた厚み測定方法を利用することを特徴とするインライン原料配合変化発見方法
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の原料を混合して樹脂シートを製造する場合において、インラインでの原料配合変化発見方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の原料を混合する樹脂シート製造において、配合時の計量ミスや混合原料の輸送時の分級による原料配合変化の異常が多々起こっていた。しかし、そのような異常が発生しても、外見的にほとんど変化が見られず、オフラインの密度測定や成分分析装置でしか確認できず、インラインで原料配合変化を見つけることが難しかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、従来原料配合変化の確認がオフラインでしか確認できない、という問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、インラインで簡便に原料配合変化を発見するための方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、放射線を用いた厚み測定方法を利用することを特徴とするインライン原料配合変化発見方法である。
【発明の効果】
【０００５】
本説明の方法に従うと、複数の原料を混合する樹脂シートを製造する際、インラインで簡便に原料配合変化を発見でき、オフラインの分析装置で確認するのに比べて大幅な不良品の減少・品質の維持向上・オフラインの検査工数削減が見込まれる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明において用いられる放射線厚み測定の原理を説明する。図１に示すように、厚み測定は、シートが無い場合の線源強度(Ｉ０)とある場合の線源強度(Ｉ)を比較することにより行われる。一般に、Ｉ＝Ｉ０・ＥＸＰ(−ａｄ)の関係が成り立つ。ここで、ｄはシート厚み、ａはシート材密度による固有係数である。オフラインのサンプル測定でａが決まっていれば、Ｉ及びＩ０の測定によりシート厚みｄが導き出される。
そこで、実測厚みが変化せずに放射線測定厚みが上下に変化すれば、関係式のａが変化したことになる。すなわち、原料配合変化によりシート材密度が変化したことになり、インラインでの原料配合変化を発見することが可能となる。
【実施例】
【０００７】
厚み６００μｍのＰＶＣシート生産時、原料配合変化が起こったときのマイクロメーターによる厚み実測値、放射線厚み計測定値及びサンプルシートによるオフライン密度測定の結果を表１に示す。３回の原料配合変化で、厚み実測値では６００±１０μｍ範囲内であるが、シート材密度が下がったとき放射線厚み計の測定値が大きく減少した。
この結果、厚み実測値と放射線厚み計測定値に差が出た時にシート材密度が変化することが明らかであることから、放射線厚み計により原料配合変化を発見できた。
【０００８】
【表１】
2005195392.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【０００９】
本発明に従うと、樹脂シート製造だけでなく、複数の原料を使用したシート状物の製造時に、インラインで原料配合変化を発見でき、大幅なコストダウンにつながる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】放射線厚み計測定原理の説明図である。
【図１】
2005195392.tif 000004
(57)【要約】【課題】  セメント、石灰焼成用ロータリーキルンの耐火物に穴を開けることなく、かつ容易に内張り耐火物の厚さを測定するための装置と測定方法の提供。【解決手段】  ロータリーキルン内の内張り耐火物の厚さを測定するために、レーザー光線の非拡散性直進性を利用し、ロータリーキルン口元にレーザー光線照射装置をキルン軸方向に対して平行になるよう据付け、レーザー光線から耐火物までの寸法を測定することで、耐火物の厚さを求めることが可能となる。この結果、厚さ測定時間の短縮、測定労力の減少が可能となる。【効果】  セメント、石灰焼成用ロータリーキルンの耐火物に穴を開けることなく耐火物の厚さを測定できる為、厚さ測定時間の短縮、測定労力の減少、及び耐火物を継続して使用する場合に耐火物の延命に効果がある。【選択図】  図２
2005195380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザー光線を一方の測定端とすることを特徴とする寸法測定法。
【請求項２】
ロータリーキルンの軸方向に照射したレーザー光線とシェルまでの寸法を測定基準とする事を特徴とするロータリーキルンのシェル内側に施工された耐火物の厚みを測定する方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、耐火物の厚みを測定する方法に係り、特にセメント、石灰焼成用ロータリーキルンにおいて、シェルに内張りされた耐火物の厚さを迅速に測定する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  セメント、石灰焼成用ロータリーキルンにおいて、シェルの内側には通常、耐火物が施工されている。操業中においては耐火物は非常に高温下でセメント、石灰原料に接触しているため、操業の経過に伴い徐々に損耗されて厚さが薄くなっていく。従って、キルン休転時には耐火物の厚さを測定し、厚さが薄くなった箇所の耐火物の更新をすることになる。【０００３】  ロータリーキルンの内張り耐火物の厚さを測定する従来の技術としては、測定したい箇所の耐火物にドリルで穴を開け、その穴内に測定ゲージをキルンシェルに当たるまで挿し込んで、ゲージの挿し込まれた長さをもって耐火物の厚さとする方法がある。【０００４】  或いはキルン軸方向に数メートル間隔で耐火物にドリルで穴を開けて、複数の穴にキルンシェルに当たるまで基準棒を挿し込み、シェル面からの位置が同一になるよう基準棒間に糸を引き、引いた糸から耐火物までの寸法を測定することで耐火物の厚さを計算により求める方法もある。【０００５】  しかしながら、これらの方法では耐火物に穴を開けながら作業を進めていくため、測定に多くの労力や資材を要するばかりでなく、耐火物自体にも傷をつけることになるので、穴開け後も継続して運転する場合には耐火物の損耗にも悪い影響を与える。
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】  本発明は耐火物に穴を開けることなく、かつ容易に耐火物の厚さを測定することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】  本発明において、レーザー光線をロータリーキルンの口元側からキルン軸方向にキルンと平行に照射し、レーザー光線から耐火物までの寸法を測定することにより課題を解決できることが判明した。つまり、レーザー光線の非拡散かつ直進する性質を利用し、レーザー光線を測定基凖とすることで、耐火物に穴を開けることなく、かつ従来の穴あけ後に測定ゲージを挿し込んで厚さを測定したり、穴あけ後に挿し込んだ基準棒間に糸を引いて厚さを測定することなく、耐火物の厚さを測定できることを見出した。
【作用】
【０００８】  本発明のレーザー光線の波長は特に指定ないが、可視光であることが望ましい。光線径としては３０ミリメートル以下が望ましい。光線径が３０ミリメートルより大きくなると測定誤差が大きくなるので不都合を生じる。レーザー光線照射装置としては、２軸可動の架台にレーザー光源を搭載したものである。２軸とはロータリーキルンの軸方向に対して水平方向と垂直方向である。
【０００９】  本発明のレーザー光線照射装置をロータリーキルンの口元に据え、架台の２軸を微調整し、キルンの軸方向に対してキルンに平行にレーザー光線が照射するよう調整する。このときキルンの既知の金物などの高さからキルンシェル面からレーザー光線までの寸法が分かるようにしておく。調整が完了したら耐火物の厚さを測定したい箇所の、レーザー光線から耐火物までの寸法を測定し、キルンシェル面からレーザー光線までの寸法から測定寸法を差し引いて耐火物の厚さを計算により求める。
【００１０】  ロータリーキルンの内径が途中で変わる場合では、本発明のレーザー光線照射装置の架台位置をあらかじめ高く調整しておくことで、窯尻までレーザー光線が届くため、測定が可能となる。
【実施例】
【００１１】  以下に実施例を示し、本発明の特徴とするところをよりいっそう明確にする。【００１２】  まず、レーザー光線照射装置としては図１に示すものを用いた。【００１３】  次に、レーザー光線照射装置１をロータリーキルンの口元側８への据付状況を図２に示す。架台の可動軸３を水平垂直方向調整ハンドル４を用いて微調整して、レーザー光線１０がロータリーキルンの軸方向に対して平行になるよう調整する。【００１４】  調整が完了したら、厚さを測定したい耐火物６の位置でレーザー光線１０から耐火物までの寸法（Ｂ）をメジャー等で測定する。レーザー光線１０からロータリーキルンシェル面７までの寸法（Ａ）から測定寸法（Ｂ）を差し引くと、耐火物６の厚さを計算により求めることができる。
【発明の効果】
【００１５】  以上のように本発明では耐火物に穴を開けることなく耐火物の厚さを測定することが可能であるため、従来の方法と比較して測定時間の大幅な短縮、及び測定労力の大幅な減少が実現できる。また、耐火物に穴を開けないため、耐火物を継続して使用する場合には、耐火物の物理的な損傷を伴わないので、耐火物の耐用延命が期待できる。
なお、本発明は耐火物の厚さ測定だけでなく各種の測定に使用可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に使用するレーザー光線照射装置の見取り図。
【図２】レーザー光線照射装置のロータリーキルンの口元への据付状況を示す説明図。
【符号の説明】
１  レーザー光線照射装置
２  レーザー光線照射機
３  可動軸（水平、垂直）架台
４  水平垂直方向調整ハンドル
５  三脚
６  耐火物
７  ロータリーキルン  シェル面
８  ロータリーキルン  口元側
９  ロータリーキルン  窯尻側
１０  レーザー光線
（Ａ）  レーザー光線からロータリーキルンシェル面までの寸法
（Ｂ）  レーザー光線から耐火物までの測定寸法
【図１】
2005195380.tif 000003
【図２】
2005195380.tif 000004
(57)【要約】【課題】  従来のＳＩＭＳと薄片切り出し・燃焼法の測定可能深さ領域の間の境領域を埋める新しいトリチウムの深さ分布測定方法を提供し、例えば共堆積層ではその５０μｍ程度の厚みの全領域におけるトリチウムの深さ方向分布の測定法を提供する。【解決手段】  材料表面を紫外線レーザー照射し削り取りながらパージガス中のトリチウムを測定する。【選択図】  図２
2005195359.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料表面に紫外線レーザーを照射し削り取りながら、パージガス中に放出されるトリチウムを測定することを特徴とする材料表面近傍のトリチウム深さ分布測定方法。
【請求項２】
パージガス中に放出されるトリチウムを通気式トリチウムモニターで測定することを特徴とする材料表面近傍のトリチウム深さ分布測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この出願の発明は、材料表面近傍のトリチウム深さ分布測定方法に関するものである。さらに詳しくは、紫外線レーザーアブレーションで短時間可能とした、新しい材料表面近傍のトリチウム深さ分布測定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の２次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ）では数ｋｅＶの１次イオンで材料表面をスパッタリングで削り取りながら放出した２次イオンを測定するため、例えばプラズマ対向壁上の共堆積層では６０００秒のスパッタリングで測定できた深さはわずか１．７μｍ程度であった（非特許文献１）。一方、従来の薄片切り出し・燃焼法では、試料作製上１ｍｍ厚程度以上の情報しか得られなかった（非特許文献２）。
【０００３】
しかしながら、例えば共堆積層ではその５０μｍ程度の厚みの全領域にわたるトリチウムの深さ分布が重要であり、ＳＩＭＳと薄片切り出し・燃焼法の測定可能深さ領域の間の境領域を埋める新しい方法の開発が必要であった。
【非特許文献１】Journal of Naclear Materals 313-316(2003)209-213
【非特許文献２】Journal of Naclear Materals 313-316(2003)501-506
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
そこで、この出願の発明は、上記のような従来の問題点を解消し、ＳＩＭＳと薄片切り出し・燃焼法の測定可能深さ領域の間の境領域を埋める新しいトリチウムの深さ分布測定方法を提供すること、例えば共堆積層ではその５０μｍ程度の厚みの全領域におけるトリチウムの深さ方向分布の測定方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この出願の発明は、上記の課題を解決するものとして、第１には、材料表面に紫外線レーザーを照射し削り取りながら、パージガス中に放出されるトリチウムを測定することを特徴とする材料表面近傍のトリチウム深さ分布測定方法を提供する。
【０００６】
第２には、パージガス中に放出されるトリチウムを通気式トリチウムモニターで測定することを特徴とする方法を提供する。
【発明の効果】
【０００７】
この出願の発明によって、これまで測定し得なかった材料表面近傍の深さ領域（例えば共堆積層では数μｍ〜数十μｍ程度）におけるトリチウムの深さ方向分布を測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
この出願の発明は上記のとおりの特徴をもつものであるが、以下にその実施の形態について説明する。
【０００９】
上記のとおりの、この出願の発明は、紫外線レーザーによって材料表面を削り取っていくことを特徴とする。紫外線レーザーは波長が短いため、材料への侵入深さが浅く、ごく表面層のみを強く加熱してアブレーションにより削り取ることができる。紫外線レーザーが削り取る材料表面の厚さは、材料の性質によって変わり、また紫外線レーザの波長、フルエンス及び照射パルス数によって変えることができるが、例えば共堆積層では、１パルスあたり０．１〜１．０μｍ程度に制御することができ、ＳＩＭＳと薄片切り出し・燃焼法の測定可能深さ領域の間の境領域を十分カバーする。また、紫外線レーザーは光子エネルギーが高いため、アブレーションができ、パージガスで通気式トリチウムモニターに導くことによってトリチウムの量を測定することができる。この、一定の深さを削り取ってその中のトリチウム量の測定を行うことを繰り返すことによってトリチウムの深さ方向の分布を知ることができる。
【実施例】
【００１０】
添付した図１は、この出願の発明の方法のための実施システムを例示したものである。この実施システムは、紫外線レーザー発生装置、集光レン、試料チャンバー、不活性ガス供給装置、トリチウムモニター、ポンプ、ガスタンクによって構成されている。
【００１１】
紫外線レーザー発生装置はエネルギーを制御した紫外線レーザー光を発生する。集光レンズは試料チャンバーに設置した被測定試料に照射する紫外線レーザーの照射面積、フルエンスを制御する。試料チャンバーはその内部に被測定試料を内包すると共に試料に照射するレーザー光を受け入れる窓を有する。チャンバー内は不活性ガスで満たされている。この不活性ガスは連続的に不活性ガス供給装置から供給され、レーザー照射された試料から放出されるトリチウムと共にポンプによってトリチウムモニターを経由してガスタンクに貯留される。トリチウムモニターはチャンバーから排出されてくる不活性ガス中のトリチウム濃度を連続的に計測し、レーザー照射によって削り取った試料の部分に含まれていたトリチウを知る。
【００１２】
この発明した方法を適用し、これまでに測ることのできなかった５０μｍ厚みまでの共堆積層中のトリチウムの深さ方向分布を測定することができた。
【００１３】
図２はその結果を例示したものである。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】この発明の実施システムの構成を例示した図である。
【図２】実施例の結果を例示した図である。
【図１】
2005195359.tif 000003
【図２】
2005195359.tif 000004