(57)【要約】【課題】  薄型化・軽量化・耐衝撃性・フレキシブル性・低熱膨張特性・絶縁性・平滑性を兼ね備えたシートディスプレイ用基板を提供する。【解決手段】  金属薄板表面上に樹脂層が形成されてなるシートディスプレイ用基板であり、好ましくは、前記金属薄板の表面粗さがＲａ：０．１５μｍ以下、Ｒｙ：５．０μｍ以下であり、前記金属薄板の表面に存在する非金属介在物の面積率が０．２％以下、かつ、前記非金属介在物の最大長が１０μｍ以下であるシートディスプレイ用基板である。  更に好ましくは、金属薄板の３０℃〜３００℃迄の熱膨張係数が１〜１１×１０−６／℃であるシートディスプレイ用基板である。【選択図】      図１
2005195771.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属薄板表面上に樹脂層が形成されてなることを特徴とするシートディスプレイ用基板。
【請求項２】
金属薄板の表面粗さがＲａ：０．１５μｍ以下、Ｒｙ：５．０μｍ以下であり、前記金属薄板の表面に存在する非金属介在物の面積率が０．２％以下、かつ、前記非金属介在物の最大長が１０μｍ以下であることを特徴とする、請求項１に記載のシートディスプレイ用基板。
【請求項３】
金属薄板の３０℃〜３００℃迄の熱膨張係数が１〜１１×１０−６／℃であることを特徴とする請求項１または２に記載のシートディスプレイ用基板。
【請求項４】
金属薄板は鉄−ニッケル系合金薄板であることを特徴とする請求項３に記載のシートディスプレイ用基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄型で携帯可能かつ曲げ変形が可能なフレキシブル性を有する表示装置であり、その表示方式として、フィールドエミッションディスプレイ（以下ＦＥＤと略記する）、有機ＥＬディスプレイ、液晶ディスプレイ（以下ＬＣＤと略記する）、プラズマディスプレイ（以下ＰＤＰと略記する）等の所謂ブラウン管を用いない方式を採用した表示装置であるシートディスプレイ（別名：電子ペーパー、フレキシブルディスプレイ）に使用される基板に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、ＬＣＤや有機ＥＬディスプレイに代表される薄型の表示装置においては、これらの表示装置を携帯する需要の増大に伴い、表示装置のさらなる薄型化・軽量化が求められている。さらに今後は、例えば携帯時の落下等で想定される衝撃荷重が発生しても容易に破壊しない耐衝撃性や、曲げ変形可能なフレキシブル性が要求されている。これら薄型化・軽量化・耐衝撃性・フレキシブル性を兼備した表示装置を本発明ではシートディスプレイと呼び、それに使用される基板をシートディスプレイ用基板と呼ぶ。なおシートディスプレイは一般に、電子ペーパー、フレキシブルディスプレイと呼ばれることもある。従来、ＬＣＤや有機ＥＬディスプレイ等の薄型の表示装置にはガラス基板が使用されているが、シートディスプレイとして適用する場合、その基板にも前述した薄型化・軽量化・耐衝撃性・フレキシブル性の特性が必要となる。そこでガラス基板を利用する場合には、材質的に強化する検討が進められている。また、ガラス基板以外の基板を使用する検討も行われている。
例えば電子ペーパー用基板として、ＰＥＴ（ポリエチレン  テレフタレート）か、ホウ素ケイ酸ガラスを使用することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。ＰＥＴを用いる場合は耐衝撃性・フレキシブル性に優れ、ホウ素ケイ酸ガラスを用いる場合は、薄型化・軽量化に有効である。
【０００３】
他にもフレキシブルディスプレイ基板として、透明樹脂基板の表面に透明ガスバリア層を設けた基板が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１６９１９０号公報（第５ページ）
【特許文献２】特開２０００−３３８９０１号公報（第２ページ）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上述した従来技術のうちガラス基板を用いるものでは、薄型化・軽量化・耐衝撃性・フレキシブル性の特性を十分に満足できない問題があった。
ガラスは一般に剛直であり、かつ衝撃荷重により容易に破壊する。よって、フレキシブル性を得ることが困難であり、耐衝撃性を確保するためには厚くならざるを得ず、必然的に薄型化、軽量化が困難になる。
一方、ガラス基板を用いないものでは、ガラス基板が有している低熱膨張特性・絶縁性・平滑性を確保することは不十分であった。
【０００６】
具体的には、特許文献１に示される方式であるＰＥＴ基板を使用する場合、ＰＥＴのガラス転移温度が低く熱膨張が大きい問題がある。
シートディスプレイの製造工程には、基板上に電極やトランジスタ、配線等の表示素子を形成するために、１５０〜３００℃の加熱工程が含まれる。この加熱工程においてＰＥＴが極度に軟化し、寸法変化も過大なため、表示素子の位置ずれが大きくなり、基板サイズが大きくなるほど製造が困難となる。
また、ホウ素ケイ酸ガラスを基板に用いて薄型化を進めると、日常の使用における曲げ変形により割れ易くなるという欠点がある。
【０００７】
また、樹脂単体を基板として使用する場合では、特許文献２に示される方式のようなガスバリア層として、例えば金属酸化物を真空中で形成する必要があり、量産性に優れた方式ではない。
上述したように、シートディスプレイ用基板としては、薄型化・軽量化・耐衝撃性・フレキシブル性・低熱膨張特性・絶縁性・平滑性の７つの特性を兼備することが求められるが、有効な解決方法は未だ提案されていない。
本発明の目的は、これら７つの特性を兼ね備えたシートディスプレイ用基板を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は、上述した７つの特性全てを満足させるため、種々の検討を行った結果、金属薄板表面に樹脂層を形成し、その金属薄板表面の粗さおよび非金属介在物の頻度を管理することにより、上述した問題を解決できることを見出し、本発明に到達した。
即ち本明は、金属薄板表面上に樹脂層が形成されてなるシートディスプレイ用基板である。
好ましくは、前記金属薄板の表面粗さがＲａ：０．１５μｍ以下、Ｒｙ：５．０μｍ以下であり、前記金属薄板の表面に存在する非金属介在物の面積率が０．２％以下、かつ、前記非金属介在物の最大長が１０μｍ以下であるシートディスプレイ用基板である。
【０００９】
好ましくは、金属薄板の３０℃〜３００℃迄の熱膨張係数が１〜１１×１０−６／℃であるシートディスプレイ用基板である。
さらに好ましくは、金属薄板は鉄−ニッケル系合金薄板であるシートディスプレイ用基板である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明では、シートディスプレイ用基板として、樹脂層を表面に形成した金属薄板を用いることにより、従来の薄型ディスプレイ用基板として用いられてきたガラス基板と比較して薄型化が可能であり、これに伴い軽量化が可能であり、さらには落下等の衝撃荷重に耐える耐衝撃性および曲げ変形可能なフレキシブル性を達成できる。また、本発明で用いる金属薄板は、その材質を選定することで基板の低熱膨張特性を達成することができ、その表面粗さを特定の値以下、かつ、表面に存在する非金属介在物の頻度および大きさを特定の値以下に調整することで、金属薄板表面上に形成された樹脂層の厚さが数μｍ〜数十μｍと薄い場合でも、樹脂層における絶縁性、樹脂層表面の平滑性を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の重要な特徴は、金属薄板表面上に樹脂層が形成されてなる基板を、シートディスプレイ用基板としたことである。
金属薄板表面上に形成された樹脂層は、金属薄板と対向した樹脂層表面側に形成される表示素子の下地を形成し、かつ表示素子と金属薄板を電気的に絶縁するための絶縁層として機能する。
また、従来の薄型ディスプレイに使用されるガラス基板は、衝撃荷重や曲げ変形により容易に破壊するが、本発明は弾性変形可能な金属と樹脂の複合材であるため、衝撃荷重や曲げ変形により脆性的に破壊する恐れはなく、耐衝撃性とフレキシブル性を有する。
【００１２】
本発明で用いる金属薄板の厚さは、薄型化・軽量化のために薄いほど好ましく、１０００μｍ以下（０は含まない）が好ましい。ただし過度に薄い場合、曲げ強度低下で保持が困難であるため、より好ましい金属薄板の厚さは２０〜５００μｍである。
また、過度に厚い樹脂層を金属薄板表面に形成した場合、樹脂層の熱膨張により基板全体の熱膨張が大きくなる問題が生じ、さらには曲げ変形時に界面での剥離が生じる恐れがあり、薄型化の点でも好ましくない。これらの点を考慮して、本発明で用いる樹脂層の厚さは５０μｍ以下が好ましい。
ただし過度に薄い場合、樹脂層表面に金属薄板の表面粗さが反映されて、樹脂層表面に表示素子を形成するために必要な平滑性が得られない恐れがある。また、樹脂層の厚さ変動およびピンホール等の不具合により、絶縁性が確保できない恐れがある。よって、より好ましい樹脂層の厚さは２〜３０μｍである。
【００１３】
本発明で用いる樹脂層の材質としては、シートディスプレイの製造工程上、１５０〜３００℃に加熱される場合が多く、耐熱性を有する樹脂を使用することが好ましい。具体的には、ポリイミドを主体とする樹脂、ポリアミドイミドを主体とする樹脂、ポリアミドを主体とする樹脂、全芳香族ポリエステルを主体とする樹脂、およびこれらの樹脂の複合体が挙げられる。
これらの樹脂層は、前述した樹脂もしくはその前駆体を溶剤に溶かしてワニス（液状樹脂）とし、このワニスを金属薄板上に塗布した後、加熱により乾燥もしくは硬化させることにより、樹脂層を金属薄板上に効率良く形成することが可能である。
【００１４】
具体的には、一般にスピンコータと呼ばれる装置を使用し、金属薄板上にワニスを滴下した後、金属薄板の平面上の中心点を軸として回転させ、遠心力によりワニスを塗り伸ばすことが可能である。また、金属薄板の幅方向に渡した棒により、金属薄板上に滴下したワニスを塗り伸ばす方式がある。
ここで金属薄板の幅方向に渡した棒とは、その断面形状が例えば円形、多角形、くさび形、およびそれらを組み合わせた断面形状を持つ棒であり、さらに丸棒にワイヤーを巻きつけた複合タイプも挙げられる。
この方式は、金属薄板を帯の状態で供給することにより、連続して塗布することが可能なため、さらに量産性に優れる利点がある。なお本発明では上述した方式に限らず、ワニスを金属薄板上に塗布して樹脂層を形成する工程をコーティングと呼び、本発明はこれらの方式に限定されるものではない。
【００１５】
また、前述した樹脂をフィルム状に成形した樹脂フィルムを金属薄板上に積層して、樹脂層を形成しても良い。
具体的には、樹脂フィルムを金属薄板上に積層した状態で、プレス機を用いて両者を面状に加圧し、必要に応じて加熱しながら両者を接合する。もしくは一般にラミネータと呼ばれる装置を使用し、樹脂フィルムと金属薄板を重ね合わせながらロール間で両者を加圧し、必要に応じてロールを加熱しながら接合する。
この方式は、樹脂フィルムおよび金属薄板を帯の状態で供給することにより、連続して接合することが可能なため、さらに量産性に優れる利点がある。
なお本発明では上述した方式に限らず、樹脂フィルムを金属薄板上に接合して樹脂層を形成する工程をラミネートと呼び、本発明はこれらの方式に限定されるものではない。
【００１６】
また本発明は、金属薄板の表面粗さがＲａ：０．１５μｍ以下、Ｒｙ：５．０μｍ以下であり、金属薄板の表面に存在する非金属介在物の面積率が０．２％以下、かつ、非金属介在物の最大長が１０μｍ以下であることが好ましい。以下にこの理由を説明する。
本発明のシートディスプレイ用基板を使用した構造例の模式図を、図１に示す。本発明であるシートディスプレイ用基板は、金属薄板１とその表面上に形成された樹脂層２からなり、樹脂層２の表面上には、表示素子用の電極３およびトランジスタを構成する薄膜部材４が、およそ数十ｎｍ〜数百ｎｍの厚さで形成される。よって樹脂層は、金属薄板を絶縁被覆する目的の他に、金属薄板表面の粗さを覆い、前述の薄い電極３および薄膜部材４を精度良く形成するための下地を形成する役割も有する。
【００１７】
ここで金属薄板の表面粗さが過度に大きい場合、その表面上に形成される樹脂層が平滑に形成されず、前述の表示素子用部材を精度良く形成することに支障が生じる場合がある。よって本発明では、金属薄板表面の凹凸の平均高さを示す算術平均粗さＲａを０．１５μｍ以下、凹から凸までの最大値を示す最大高さＲｙを５．０μｍ以下とすることが好ましい。
これらの値を超える表面粗さの場合、金属薄板の凸部と表示素子用部材間が、厚さ数μｍ〜数十μｍ程度の薄い樹脂層を挟んで局所的に接近し、短絡の危険性が高くなる。逆に金属薄板の凹部では、樹脂層表面の凹み不良や、樹脂層形成後に空隙を残す問題が生じる。より好ましいＲａは０．１２μｍ以下、Ｒｙは４．８μｍ以下である。
【００１８】
本発明の金属薄板は一般に圧延加工によって製造される。
金属薄板の表面粗さの要因としては、圧延ロールによる圧延疵の他に、金属薄板表面に露出した非金属介在物の存在による表面での割れが挙げられる。このような割れ内部には、シリコン、アルミニウム、マグネシウム、カルシウム等との酸化物、炭化物、マンガン等との硫化物、さらにこれらの混合物からなる非金属介在物が存在する。
このような割れおよび非金属介在物が、金属薄板表面上に過度に存在する場合、その上に形成される樹脂層の平滑性を損なうだけでなく、樹脂層と金属薄板の密着不良、樹脂層厚さの変動が発生する恐れがある。そこで本発明では、金属薄板の表面に存在する非金属介在物の面積率が０．２％以下、かつ、前記非金属介在物の最大長が１０μｍ以下と規定した。
【００１９】
例えば液状樹脂を金属薄板表面にコーティングして、金属薄板表面上に樹脂層を形成する場合、上述した非金属介在物の面積率が０．２％を超えると、非金属介在物およびその周囲の割れで液状樹脂がはじかれ、樹脂層厚さが局所的に薄くなる確率が高くなる。
このような樹脂層厚さの変動が生じると、その上面に前述の薄い表示素子用部材を精度良く形成することが、非常に困難となる。非金属介在物の面積率は、より好ましくは０．１％以下である。
【００２０】
一方、面積率が０．２％以下であっても、最大長が１０μｍを超えるような大きな非金属介在物が散発的に存在すると、これに伴う割れの深さも大きくなり、その上面に形成された樹脂層に大きな凹みが生じるため、前述の薄い表示素子用部材を形成する際に、厚さ方向の精度が得られない問題が生じる。
また、樹脂フィルムを金属薄板表面にラミネートして、金属薄板表面上に樹脂層を形成する場合、最大長が１０μｍを超えるような大きな非金属介在物に伴う深い割れにおいて、金属薄板と樹脂フィルムの間に空隙が生じ、シートディスプレイ製造時の加熱工程で膨れる不具合が生じる場合がある。非金属介在物の最大長は、好ましくは５．０μｍ以下である。
【００２１】
ここで、本発明における金属薄板の表面に存在する非金属介在物の面積率とは、金属薄板表面を鏡面に研磨した後、光学顕微鏡や電子顕微鏡等を用いてその表面を拡大観察し、ある視野面積に対して非金属介在物が占める面積の割合を算出した値である。
なお、鏡面に研磨する場合には、金属薄板表面の凸部が削れる程度で良く、例えば研磨の砥粒には３μｍ以下のダイヤモンド粒子を研磨剤として用いれば良い。
そして、非金属介在物と母相金属の判別が困難な場合、適切な腐蝕液を用いて介在物を着色しても良い。また、本発明における非金属介在物の最大長とは、前述の方法で観察された非金属介在物の大きさを指す値であり、ある非金属介在物の外形の端から端までを測定した場合に最も大きくなる測定長を指す。
【００２２】
本発明で用いる金属薄板は、低熱膨張特性を有することが好ましい。
シートディスプレイの製造工程上、１５０〜３００℃に加熱される場合が多く、熱膨張の大きな基板を用いた場合は表示素子用の電極やトランジスタ、配線等の位置ずれが大きくなり、大画面になるほど製造が困難となる。
よって、低熱膨張特性（一般的に４〜９×１０−６／℃）を有するガラス基板がこれまで用いられてきたが、本発明においても同じ理由から低熱膨張特性が要求されるため、金属薄板の３０℃〜３００℃迄の熱膨張係数を１〜１１×１０−６／℃と規定する。より好ましくは、３〜９×１０−６／℃である。
【００２３】
前述した範囲の熱膨張係数を有する金属材料には、例えばタングステン、モリブデン、タンタル、鉄−ニッケル系合金等の金属があるが、軽量化・フレキシブル性および比較的安価な点で優れる鉄−ニッケル系合金を用いるのが好ましい。
この合金は、ニッケル含有量で熱膨張係数の調整が可能であり、前述した範囲の熱膨張係数を得るためには、ニッケル量を２７〜５２質量％含み、残部を実質的に鉄とするか、またはニッケルを２０質量％以下のコバルトまたは７質量％以下のクロムで置換するとよい。
【００２４】
これら鉄を含んだ合金を金属薄板として使用する場合、その表面に防錆層を設けても良い。ここで防錆層には、耐熱性を有する点で金属であることが好ましく、具体的にはクロム、ニッケル、チタン等、発錆し難い純金属もしくは合金が適用できる。
このような防錆層の厚さは１μｍ程度あれば十分であり、防錆層により金属薄板の表面粗さ、非金属介在物による欠陥が被覆されるものではない。よって防錆層を設けた場合でも、本発明で規定する金属薄板の表面粗さ、金属薄板の表面に存在する非金属介在物の面積率および最大長を有することが重要であることに変わりない。なお本発明では、上述した防錆層を含めて金属薄板と称する。
【００２５】
上述の鉄−ニッケル系合金を具体的に例示すると、鉄−３６質量％ニッケル合金、鉄−４２質量％ニッケル合金、鉄−４７質量％ニッケル合金、鉄−５０質量％ニッケル合金等がある。また、ニッケル以外の元素を含む鉄−ニッケル系合金として、鉄−４２質量％ニッケル−６質量％クロム合金等の鉄−ニッケル−クロム系合金、鉄−３１質量％ニッケル−５質量％コバルト合金、鉄−２９質量％ニッケル−１７質量％コバルト合金等の鉄−ニッケルーコバルト系合金がある。さらにはこれらの合金に強度を向上させる元素を適宜添加した合金を、金属薄板の素材として用いても良い。
これらの鉄−ニッケル系合金は、冷間圧延によって容易に薄くできることから、薄型化が可能であり、軟化焼鈍や圧延率によって硬度の調整が容易であることから、耐衝撃性、フレキシブル性を有する金属薄板として好適である。
【実施例】
【００２６】
以下の実施例で本発明をさらに詳しく説明する。
金属薄板用の素材として、４２質量％のニッケルを含み、残部が実質的に鉄からなるインゴットを、溶解により作製した。
ここで、金属薄板の表面に存在する非金属介在物の面積率および最大長を本発明で規定する値にするため、約１０−１Ｐａの真空中で溶解を行ない、酸素を０．００７１質量％、窒素を０．００２２質量％まで低減した。
作製したインゴットは、熱間圧延により厚さ２．５５ｍｍの板材に加工した。続いてこの板材を、冷間圧延により厚さ０．８５ｍｍに加工した後、水素を用いた還元雰囲気中で８５０℃の焼鈍を行ない、さらに冷間圧延により厚さ１５０μｍ、幅４００ｍｍの金属薄板に加工した。
ここで、金属薄板の表面粗さを本発明で規定する値にするため、最終の冷間圧延速度を毎分１２０ｍに管理した。最終冷間圧延後の金属薄板は、水素を用いた還元雰囲気中で６５０℃の加熱を行ない、圧延加工による歪を除去した。
【００２７】
上述した手法により作製した金属薄板の３０℃〜３００℃迄の熱膨張係数を、熱機械分析装置を用いて測定した値は、４．０×１０−６／℃であった。
この金属薄板について、樹脂層を設ける面側の表面粗さＲａおよびＲｙを、ＪＩＳ  Ｂ０６０１に準じてレーザ走査顕微鏡を用いて測定した。測定は金属薄板の幅４００ｍｍ方向について、幅端から１／４幅毎の位置で計５箇所において行なった。
各測定位置において、測定視野は２６４×３５２μｍとし、視野を変えて各３点ずつ測定した。測定結果を表１および表２に示す。
全１５点の測定値において、Ｒａは最大０．１１９μｍ、Ｒｙは最大４．０６９μｍであった。
【００２８】
【表１】
2005195771.tif 000003
【００２９】
【表２】
2005195771.tif 000004
【００３０】
また、この金属薄板の幅４００ｍｍ方向について、幅端から１／４幅毎の位置で計５箇所の表面観察用試料を採取し、バフ布を用いて表面観察用試料の表面を鏡面に研磨した。鏡面研磨の砥粒は３μｍのダイヤモンド粒子を研磨剤として用い、最後に１μｍ以下のダイヤモンド粒子を研磨剤として用いた。
その後、研磨面を１０％ナイタール（１０％硝酸＋アルコール）で５秒間腐蝕し、非金属介在物を黒色に着色した。続いて、光学顕微鏡を用いて腐蝕した鏡面を観察し、観察視野面積５９４０６μｍ２における非金属介在物の最大長別個数および面積率を、画像解析による２値化を用いて測定した。測定結果を表３に示す。
【００３１】
【表３】
2005195771.tif 000005
【００３２】
表３に示すように、全観察視野面積２９７０３２μｍ２において、最大長８〜９μｍの非金属介在物が２点観察された。また、全観察視野面積における非金属介在物の面積率は、０．０８５％であった。
次に、上記金属薄板を１５０×１５０ｍｍのサイズに切断し、アルカリ性脱脂液および希塩酸により洗浄した後、スピンコーターにセットし、Ｎメチルー２ピロリドンで希釈したポリアミドイミド系ワニスを合金薄板上に滴下した。
続いて、毎分８００回転で金属薄板を回転させ、前記ワニスが均一な厚さになるよう塗り広げた後、１５０℃で１時間の加熱処理により乾燥および硬化を行ない、さらに窒素雰囲気中、３００℃で１時間の加熱処理を行ない、本発明のシートディスプレイ用基板を作製した。
【００３３】
上述の通り作製したシートディスプレイ用基板について、曲率半径５０ｍｍの曲げ変形を、樹脂層を曲げの外側および内側にして交互に５回付与した。その後、断面観察により金属薄板と樹脂層の界面を観察したが、界面剥離および樹脂層の破壊は見られなかった。
この樹脂層の厚さを断面観察により測定したところ約９μｍであり、樹脂層の表面観察により、樹脂層にピンホール等の欠陥が無いことを確認した。
よって本発明のシートディスプレイ用基板は、シートディスプレイ用基板として求められるフレキシブル性を有すると判断できる。また、弾性変形可能な金属と樹脂の組み合わせからなるため、衝撃荷重により脆性的に破壊する恐れはなく、耐衝撃性も有すると判断できる。
【００３４】
また、熱機械分析装置を用いて測定した３０℃〜３００℃迄の熱膨張係数の値は、４．０×１０−６／℃であった。この値は樹脂層形成前の金属薄板単体と同じであり、本発明で形成する数μｍ〜数十μｍの樹脂層厚さであれば、樹脂層の熱膨張により基板としての熱膨張が極端に大きくなる恐れはない。
またこの値は、薄型ディスプレイ用基板として一般に使用されているガラス基板の熱膨張と同等であり、このことから本発明のシートディスプレイ用基板は、必要な熱膨張特性を備えていると判断できる。
【００３５】
続いて、作製したシートディスプレイ用基板の絶縁破壊電圧を測定した。
ここで絶縁破壊電圧とは、金属球からなる電極を樹脂層に接触させ、樹脂層を挟んで対向した金属球と金属薄板間に電圧を印加し、絶縁破壊が生じた電圧値を樹脂厚さで除した値である。絶縁破壊電圧は１４４〜２８７Ｖ／μｍであり、シートディスプレイ用基板に求められる絶縁性を十分に有することが確認された。
【００３６】
また、この樹脂層の表面粗さを前述のレーザー走査顕微鏡で測定したところ、Ｒａ：０．０４２９４μｍ、Ｒｙ：０．８６３２μｍであった。
なお、薄型ディスプレイ用基板として一般に使用されている厚さ６９７μｍのガラス基板を準備し、その表面粗さを前述のレーザー走査顕微鏡で測定したところ、Ｒａ：０．０５１７２μｍ、Ｒｙ：０．８０７０μｍであった。よって、本発明であるシートディスプレイ用基板は、従来用いられているガラス基板と同等の表面粗さを有し、微細な表示素子用の薄膜部材を形成するために必要とされる平滑性を有することが確認された。
【００３７】
以上に述べた通り本発明では、シートディスプレイ用基板として金属薄板を用いたことにより、従来基板として用いられてきたガラス基板と比較して薄型化、軽量化が可能となり、さらにはガラス基板よりも優れた耐衝撃性および曲げ変形可能なフレキシブル性を達成できた。
また本発明は、金属薄板の材質を選定したことで低熱膨張特性を達成することができ、その表面形態を調整したことで、金属薄板表面上に形成された樹脂層の絶縁性、平滑性を達成することができ、シートディスプレイ用基板として求められる特性全てを満足する。
【産業上の利用可能性】
【００３８】
本発明を用いることにより、薄型化・軽量化・耐衝撃性・フレキシブル性・低熱膨張特性・絶縁性・平滑性を兼ね備えた薄型ディスプレイ用基板が得られるため、今後、需要の増大が予想される耐衝撃性・フレキシブル性を兼備したディスプレイにとって、欠くことのできない技術となる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明のディスプレイ用基板を使用した構造例の模式図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  金属薄板
２  樹脂層
３  電極
４  薄膜部材
【図１】
2005195771.tif 000006