(57)【要約】【課題】１台の測定器でも被測定集積回路を識別して検査し、被測定出力を検出して、良品／不良の判定と複数個の集積回路の同時測定を行う。【解決手段】信号源１の入力信号を第１，第２集積回路６，７に供給し、検査条件に合った入出力ピンを第１集積回路６は第１入力切換リレー４と第１出力切換リレー１０、第２集積回路７は第２入力切換リレー５と第２出力切換リレー１１で設定する。被測定出力切換リレー１４を介して、第１，第２集積回路６，７の出力を１台の測定器１５で２個の集積回路を同時測定する。第１集積回路６には第１電圧源８を、第２集積回路７には第２電圧源９を追加し、この出力が第１出力切換リレー１０と第３バッファ１２及び第２出力切換リレー１１と第４バッファ１３を経て、被測定出力切換リレー１４を通して測定器１５に入力する。第１電圧源８と第２電圧源９の異なる設定電圧を測定して、第１集積回路６と第２集積回路７とを識別する。【選択図】図１
2005181202.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の被測定集積回路を同時測定する検査回路における、前記被測定集積回路より少ない台数の測定器によって同時測定を行う集積回路の検査方法であって、前記検査回路に設けた前記被測定集積回路毎に複数の出力信号ピンを切り換える第１切換手段からの出力信号の１つに前記被測定集積回路を識別する信号を加え、複数個の前記第１切換手段からの出力信号を切り換える第２切換手段の出力を接続した前記測定器によって、前記被測定集積回路を識別する信号を測定して前記被測定集積回路を識別し、かつ複数個の前記被測定集積回路に対して同時測定を行うことを特徴とする集積回路の検査方法。
【請求項２】
前記被測定集積回路を識別する信号として、電圧発生器により発生した前記被測定集積回路毎に異なる電圧を用いることを特徴とする請求項１記載の集積回路の検査方法。
【請求項３】
前記被測定集積回路を識別する信号として、減衰器により減衰量を変えた前記被測定集積回路毎に異なる減衰量の信号を用いることを特徴とする請求項１記載の集積回路の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数個の集積回路に対して同時測定を行う集積回路の検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図３は、従来例における集積回路を検査する検査回路の概略図であり、例として１台の測定器で被測定集積回路を２個同時に測定する場合を示している。
【０００３】
図３において、１は信号源、２は第１バッファ、３は第２バッファ、４は入力信号の切り換えを行う第１入力切換リレー、５は第２入力切換リレー、６は被測定の集積回路である第１集積回路、７は第２集積回路、１０は出力信号の切り換えを行う第１出力切換リレー、１１は第２出力切換リレー、１２は第３バッファ、１３は第４バッファ、１４は被測定の集積回路からの出力を切り換える被測定出力切換リレー、１５は測定器である。
【０００４】
１台しかない測定器で測定する検査回路では第１集積回路６及び第２集積回路７の出力を連続して順番に測定する。信号源１の入力信号を第１集積回路６と第２集積回路７との間で干渉するのを避けるため第１バッファ２及び第２バッファ３を通して第１集積回路６及び第２集積回路７に供給する。
【０００５】
該当の検査条件に合った入力ピン及び出力ピンを、第１集積回路６には第１入力切換リレー４及び第１出力切換リレー１０により、第２集積回路７には第２入力切換リレー５及び第２出力切換リレー１１で設定し、テスタの測定器１５までの配線による浮遊容量の影響を排除するため第１集積回路６及び第２集積回路７の出力信号は第３バッファ１２及び第４バッファ１３を通し、次段の被測定出力切換リレー１４により、第１集積回路６及び第２集積回路７の出力を連続して順番に測定器１５で測定する。これにより、１台の測定器１５で２個の集積回路の同時測定を実現する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、このような構成の従来技術の検査方法では、第１集積回路６及び第２集積回路７の出力を連続して順番に測定する検査時間を短縮するため、第１集積回路６と第２集積回路７の検査条件を同時に設定し、周辺回路を含めた第１集積回路６及び第２集積回路７の応答を並列動作させ、それぞれの出力信号のみ被測定出力切換リレー１４で切り換え連続して順番に測定器１５で測定する必要がある。
【０００７】
前述した条件下で被測定出力切換リレー１４もしくはその制御回路が故障した場合、特定の集積回路の出力のみが測定器１５に接続される可能性がある。仮に、第１集積回路６の出力が測定器１５に接続されたままの状態となった場合、各切換リレーを制御して第２集積回路７の出力を測定しているつもりでも、実際には第１集積回路６の出力を測定してしまうという問題があった。
【０００８】
これは、第１集積回路６が良品で第２集積回路７が不良の場合、不良の第２集積回路７を良品判定してしまうことを意味し、また、第１集積回路６が不良で第２集積回路７が良品の場合、良品の第２集積回路７を不良判定してしまうことを意味している。
【０００９】
本発明は、前記従来技術の問題を解決することに指向するものであり、簡単なハードウエアの追加により１台しかない測定器であっても被測定の集積回路を識別しながら検査することを可能とし、被測定出力切換リレーもしくはその制御回路が故障した場合にはそれを検出し、良品／不良品の判定を間違うことなく、かつ複数個の集積回路に対して同時測定ができる集積回路の検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するために、本発明に係る集積回路の検査方法は、複数個の被測定集積回路を同時測定する検査回路における、被測定集積回路より少ない台数の測定器によって同時測定を行う集積回路の検査方法であって、検査回路に設けた被測定集積回路毎に複数の出力信号ピンを切り換える第１切換手段からの出力信号の１つに被測定集積回路を識別する信号を加え、複数個の第１切換手段からの出力信号を切り換える第２切換手段の出力を接続した測定器によって、被測定集積回路を識別する信号を測定して被測定集積回路を識別し、かつ複数個の被測定集積回路に対して同時測定を行うこと、また、被測定集積回路を識別する信号として、電圧発生器により発生した被測定集積回路毎に異なる電圧を用いること、さらに、減衰器により減衰量を変えた被測定集積回路毎に異なる減衰量の信号を用いることを特徴とする。
【００１１】
前記の検査方法によれば、従来の検査回路に加え、被測定の集積回路を識別するために集積回路毎に異なる信号発生回路を設け、その出力を集積回路毎の第１切換手段を通し、さらに被測定信号の出力を切り換える第２切換手段を通して最終的に測定器で測定する構成として、さらに、被測定の集積回路を識別する集積回路毎に異なる信号を発生させる電圧源により異なった電圧を発生させること、または、減衰器を通すことにより異なる減衰量とした信号を用いた構成により、検査回路にて、第１切換手段から集積回路毎に集積回路を識別する異なる信号を出力して、さらに複数の集積回路毎に有する第１切換手段からの出力を切り換える第２切換手段の出力を測定器に入力して、これにより被測定の集積回路を識別した検査を行って、当該の集積回路を確実に識別して複数個の集積回路に対して同時測定を実現できる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、１台しかない測定器によって複数個の被測定の集積回路を同時測定する場合、被測定の集積回路毎の識別信号を測定することにより、当該の集積回路を識別して複数個の集積回路に対して同時測定を実現できるため、被測定出力切換リレーもしくはその制御回路が故障している場合、その故障を検出でき、検査において不良を良品、あるいは良品を不良と誤判定することがなく、量産検査において、不良を良品、あるいは良品を不良に混入することの防止に極めて有用な効果があり、また、検出した故障をオペレータにフィードバックして、迅速な検査装置の修理が可能となり、ロスを最小限に抑えることができるという効果奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
【００１４】
図１は本発明の実施の形態１における集積回路を検査する検査回路の概略図であり、例として１台の測定器で被測定の集積回路を２個同時に測定する構成を示すものである。ここで、前記従来例を示す図３において説明した構成部材に対応し実質的に同等の機能を有するものには同一の符号を付してこれを示し、以下の図においても同様とする。
【００１５】
図１において、１は信号源、２は第１バッファ、３は第２バッファ、４は第１入力切換リレー、５は第２入力切換リレー、６は第１集積回路、７は第２集積回路、８は第１電圧源、９は第２電圧源、１０は複数個の中の１つである第１切換手段の第１出力切換リレー、１１は第２出力切換リレー、１２は第３バッファ、１３は第４バッファ、１４は被測定出力切換リレー、１５は測定器である。
【００１６】
本実施の形態１は、前述した従来例と同様に信号源１の入力信号を第１集積回路６と第２集積回路７との間で干渉するのを避けるため第１バッファ２及び第２バッファ３を通して第１集積回路６及び第２集積回路７に供給し、該当の検査条件に合った入力ピン及び出力ピンを第１集積回路６には第１入力切換リレー４及び第１出力切換リレー１０により、第２集積回路７には第２入力切換リレー５及び第２出力切換リレー１１で設定する。
【００１７】
また、テスタの測定器１５までの配線による浮遊容量の影響を排除するため第１集積回路６及び第２集積回路７の出力信号は第３バッファ１２及び第４バッファ１３を通し、次段の被測定出力切換リレー１４により、第１集積回路６及び第２集積回路７の出力を連続して順番に測定器１５で測定する。これにより、１台の測定器１５で２個の被測定集積回路の同時測定を実現することができる。
【００１８】
なお、従来例との違いは、被測定の集積回路を識別するため、第１集積回路６には第１電圧源８が、第２集積回路７には第２電圧源９が追加され、それぞれの出力信号が第１出力切換リレー１０と第３バッファ１２、及び第２出力切換リレー１１と第４バッファ１３を経て、後段の被測定出力切換リレー１４を通し測定器１５に入力されている。第１電圧源８と第２電圧源９に異なる電圧を設定し、それぞれの電圧を測定することで第１集積回路６と第２集積回路７を識別することができる。
【００１９】
これにより、被測定出力切換リレー１４もしくはその制御回路が故障し、仮に、第１集積回路６の出力が測定器１５に接続されたままの状態となった場合、切換リレーを制御して第２集積回路７の出力を測定しているつもりでも、実際には第１集積回路６の出力を測定してしまうが、第２電圧源９の電圧を測定したときに期待する電圧値を持たない第１電圧源８の電圧を測定することになり、被測定出力切換リレー１４もしくはその制御回路が故障していることを検出できる。
【００２０】
図２は本発明の実施の形態２における集積回路を検査する検査回路の概略図であり、例として１台の測定器で被測定の集積回路を２個同時に測定する構成を示すものである。図２において、１は信号源、２は第１バッファ、３は第２バッファ、４は第１入力切換リレー、５は第２入力切換リレー、６は第１集積回路、７は第２集積回路、１０は第１出力切換リレー、１１は第２出力切換リレー、１２は第３バッファ、１３は第４バッファ、１４は被測定出力切換リレー、１５は測定器、１６は第１減衰器、１７は第２減衰器である。
【００２１】
本実施の形態２と前述した実施の形態１との違いは、被測定の集積回路を識別するための信号発生回路にある。第１集積回路６には第１減衰器１６を、第２集積回路７には第２減衰器１７を追加している。入力信号が第１入力切換リレー４及び第２入力切換リレー５を通して第１減衰器１６及び第２減衰器１７に接続され、それぞれの出力信号が第１出力切換リレー１０と第３バッファ１２、及び第２出力切換リレー１１と第４バッファ１３を経て、後段の被測定出力切換リレー１４を通して測定器１５に入力している。
【００２２】
第１減衰器１６と第２減衰器１７に異なる減衰率を設定し、それぞれの出力信号の振幅を測定することにより第１集積回路６と第２集積回路７を識別することができる。これにより、被測定出力切換リレー１４もしくはその制御回路が故障し、仮に、第１集積回路６の出力が測定器１５に接続されたままの状態となった場合、切換リレーを制御して第２集積回路７の出力信号を測定しているつもりでも、実際には第１集積回路６の出力信号を測定してしまうが、第２減衰器１７の出力信号の振幅を測定したときに、期待する振幅値を持たない第１減衰器１６の出力信号の振幅を測定することから、被測定出力切換リレー１４もしくはその制御回路が故障していることを検出できる。
【００２３】
前述した実施の形態１，２において、各電圧源，減衰器からの識別信号の測定による被測定集積回路の識別は、集積回路の同時測定を行う個数に依存することはない。全ての集積回路に対応した値の異なる識別信号を設定することにより、被測定の集積回路を同時に測定が可能な個数を簡単に拡張することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明に係る集積回路の検査方法は、１台しかない測定器によって複数個の被測定の集積回路を同時測定する場合、被測定の集積回路毎の識別信号を測定して当該の集積回路を識別して、複数個の集積回路に対して同時測定ができ、複数個の集積回路の同時測定に対する検査方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明の実施の形態１における集積回路を検査する検査回路の概略図
【図２】本発明の実施の形態２における集積回路を検査する検査回路の概略図
【図３】従来の集積回路を検査する検査回路の概略図
【符号の説明】
【００２６】
１  信号源
２  第１バッファ
３  第２バッファ
４  第１入力切換リレー
５  第２入力切換リレー
６  第１集積回路
７  第２集積回路
８  第１電圧源
９  第２電圧源
１０  第１出力切換リレー
１１  第２出力切換リレー
１２  第３バッファ
１３  第４バッファ
１４  被測定出力切換リレー
１５  測定器
１６  第１減衰器
１７  第２減衰器
【図１】
2005181202.tif 000003
【図２】
2005181202.tif 000004
【図３】
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