(57)【要約】【課題】  金属製真空形生体の真空排気時、排気孔断面積を大にして排気を良好にし、封止時、排気孔断面積を小にして封止ブレージング溶接を良好、確実にする。この際、真空内残留発生ガス吸着材、ゲッターの活性化を効率よく、有効活用を行う。【解決手段】真空排気封止において、真空排気封止孔内で断面積大部分と小部分を設け、排気時、真空封止部品を断面積大部分に位置させて排気を良好にし、封止時、真空封止部品を断面積小部分に位置させてブレージング溶接を良好確実にする。この際、真空内残留発生ガス吸着材、ゲッターを熱効率よく加熱、ゲッター放出ガスを良好に排気する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製パイプ状またはパネル状の真空断熱体等および容器状等の真空形成体において真空排気時の排気孔断面積を大にして排気を良好にし、排気孔を封じるとき、排気孔断面積を小にして、銀ろう付け銅ろう付け等ブレージング溶接等による排気孔封止を良好に、かつ正確に行う装置。
【請求項２】
請求項１の装置において、真空内残留発生がス吸着材、ゲッターを排気孔近くに配置し、真空排気孔封止時のブレージング加熱時に同時にゲッター活性化のための加熱を行い、その際ゲッターが放出するガスを急速に排気し、良好な真空を保たせ得る装置。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【発明の所属する技術分野】
【０００１】  本発明は、金属製パイプ状またはパネル状、容器状等の真空形成体において真空排気封止に用いる装置、および真空内残留発生がス吸着材のゲッターの有効活用に用いる装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来の真空排気封止に用いる装置は、（１）銅製のパイプを用いて排気し、封止のときには、銅パイプを圧接切断する。（２）真空排気封止孔を良好なブレージング溶接が行えるように小にして排気し、ブレージング溶接により排気孔を封止る。（３）真空形成体の溶接接合部の一部に隙間を造って排気し、封止に際して隙間を溶接して封じる、（４）排気孔封止用にテフロン製等のＯリングを用いた弁を用いて排気し、テフロン等のＯリングにより封じるなどの方法がある。
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の方法（１）においては、圧接切断した銅パイプ先端が破損しないように、また、鋭利な切断先で負傷しないように覆うなどの必要があり、（２）においては、排気孔が微小なため排気抵抗が大きく排気時間が長くなる。（３）においても、溶接隙間を小にしておかなければならない点で排気時間が長くなり、その上、特異な溶接方法を行う必要がある。（４）においては、真空封止は、テフロン製等のＯリングを用いた弁であるため、金属製真空形生体からのガス放出を少なくするための加熱処理、たとえば３００度以上の加熱処理を行うことができず、したがって金属からのガス放出処理をするために真空排気時間が長くなる。なお、加熱活性化が必要なゲッターを用いるとき、テフロン等のＯリングの耐熱温度以上の温度、たとえば４５０度以上での加熱が必要なとき、ゲッター活性化時の放出ガスを迅速に排気するために真空排気孔近くにゲッターを配置できなくなる。
【課題を解決するための手段】
【０００３】  請求項１の発明の金属製パイプ状またはパネル状の真空断熱体等および容器状等の真空形成体において真空排気時の排気孔断面積を大にして排気を良好にし、排気孔を封じるとき、排気孔断面積を小にして、銀ろう付け銅ろう付け等ブレージング溶接等による排気孔封止を良好にし、かつ封止を正確に行う。この際、ブレージング溶接材は４００度以上の加熱により溶接できる材を使用し、金属製真空形生体のガス放出抑制処理温度を高くし処理効果を上げることを可能にする。
請求項１の装置において、真空内残留発生がス吸着材のゲッターを排気孔近くに配置し、真空排気孔封止時のブレージング加熱時に同時にゲッターを加熱活性化を行い、その際ゲッターが放出するガスを急速に排気し、良好な真空を保たせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００４】  発明の実施の形態を実施例に基づき図面を参照して説明する。図１、図２、図３、図４は、本発明の実施例を示すものである。
下方の真空形生体外壁１に真空排気封止孔を設けた真空排気封止部品４を取り付け、内部に真空封止部品５とブレージング溶接材６を装着する。真空排気封止部品の上部に真空排気パイプ９をとりつけ、パイプの上部に下方真空気密保持Ｏリング１２を装着し、１０の下方Ｏリング締め付けナット、１１の下方Ｏリング用座金、１３のＯリング締め付けねじ筒によりＯリングを真空排気パイプに密着させて気密性を保持する。Ｏリング締め付けねじ筒１３の上部内部に１７の真空排気封止操作棒を配し、外周に１５の上方真空気密保持Ｏリングを配置し、１３のＯリング締め付けねじ筒、１６の上方Ｏリング用座金、１４の上方Ｏリング締め付けナットにより１５の上方真空気密保持Ｏリングを１７の真空排気封止操作棒に密着させて真空気密性を保持する。【０００５】  真空排気封止操作棒１７の下端中心に７の真空封止部品操作ねじ棒を取り付け、真空封止部品操作ねじ棒の下端に５の真空封止部品を取り付け、真空封止部品の上部に６のブレージング溶接材を配置する。この際、１８の真空封止部品操作ねじ棒固定ナットにより真空封止部品操作ねじ棒を定位置に固定し、２４の真空封止部品操作棒定位置決めカラーにより１７の真空排気封止操作棒を定位置に固定する。４の真空排気封止部品内部の真空排気孔２５の下部孔は小直径細孔で上部孔は下部細孔より大直径である。【０００６】  真空ポンプにより１９の排気パイプと真空排気封止装置を介して２の真空部を排気するとき、図２に示すとおり、５の真空封止部品を２５の真空排気孔の大直径の部分に配置し真空排気孔断面積を大にして排気を良好にする。この際、７の真空封止部品操作ねじ棒、１７の真空封止部品操作棒、１８の真空封止部品操作ねじ棒固定ナット、２４の真空封止部品操作棒定位置決めカラーにより５の真空封止部品を所定の位置に保つ。真空部２の真空度が所定の真空に達し、排気封止にかかるとき、排気封止に先だって高周波加熱等により、真空形生体外部から２３のゲッターの加熱活性化を行う。この際、ゲッターを真空排気孔の近くに配置しているためい、ゲッター活性化時にゲッターが放出するガスをすばやく排気することができる。続いて、図３に示すとおり、２４の真空封止部品操作棒定位置決めカラーを取り除いて１７の真空封止部品操作棒を押し下げ、５の真空封止部品を押し下げて２５の真空排気孔の小直径細孔部に押し当て、真空排気孔断面積を小にしてブレージング溶接が良好に行えるようにし、真空排気封止部品４の外部から高周波加熱等によりブレージング溶接材の溶接温度に加熱し２５の真空排気孔を溶接して封じる。【０００７】  真空排気封止が完了したとき、８の真空排気封止部品切断部表示線の位置において真空排気封止部品を切断し、真空形生体に固定残存する真空排気封止部品を小にする。切断後、切断した上部は次回真空排気封止に繰り返し使用することができる。
【発明の効果】
本発明の真空排気封止装置を用い真空排気封止を行うとき、排気時、真空排気孔断面積を大きく保って排気を良好にし、しかも、比較的迅速に行い、真空封止時、真空排気孔断面積を小にしてブレージング溶接を良好に、正確に行う。この際、真空内残留発生ガス吸着材ゲッターを排気孔近くに配置し、ゲッター活性化によるゲッターからの放出ガスを急速良好に排気する。なお、真空封止時ゲッター活性化加熱に引き続いて真空排気孔封止ブレージング溶接加熱を行い熱効率良好にしてに両加工を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】真空排気封止装置の上面図である。
【図２】真空排気封止装置の実施例を示す断面図で、真空排気時の図である。
【図３】真空排気封止装置の実施例を示す断面図で、真空封止時の図である。
【図４】真空内残留発生ガス吸着材ゲッターとゲッターホルダーの図である。
【符号の説明】
１    金属製真空形成体外壁
２    真空部
３    ゲッターホルダー
４    真空排気封止部品
５    真空封止部品
６    ブレージング溶接材
７    真空封止部品操作ねじ棒
８    真空排気封止後装置切断部表示線
９    真空排気パイプ
１０  下方Ｏリング締め付けナット
１１  下方Ｏリング用座金
１２  下方真空気密保持Ｏリング
１３  Ｏリング締め付けねじ筒
１４  上方Ｏリング締め付けナット
１５  上方真空気密保持Ｏリング
１６  上方Ｏリング用座金
１７  真空封止部品操作棒
１８  真空封止部品操作ねじ棒固定ナット
１９  排気パイプ
２０  真空ポンプ
２１  真空封止部品操作棒回転表示矢印
２２  真空封止部品操作棒上下動表示矢印
２３  真空内残留発生ガス吸着材  ゲッター
２４  真空封止部品操作棒定位置決めカラー
２５  真空排気孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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