(57)【要約】【課題】  電気光学装置の検査時に、電気光学装置に静電気によって帯電した電荷の放電により、電気特性に影響が及ぶことを低減できる電気光学装置の検査装置及び検査方法を実現する。【解決手段】  液晶表示装置１０の画素電極に駆動電圧を印加して画素の点灯を検査するために第１端子２４，第２端子２６に導通接触させる第１給電端子８４，第２給電端子８５を備え、先に、液晶表示装置１０の回路のうち耐電圧が高い第２回路に導通する第２端子２６に第２給電端子８５を導通接触させ、次に、耐電圧が低い第１回路に導通する第１端子２４に第１給電端子８４を導通接触させる手段を備えた液晶表示装置１０の検査装置及び検査方法である。【選択図】  図８
2005107453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する一対の基板を備え、
一方の前記基板は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、前記第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の端子と、を有し、
他方の前記基板は、導通部を介して前記第２の端子に電気的に接続されてなる第２の電極と、を有する電気光学装置の検査装置であって、
前記第１の端子に接触させる第１の検査端子と、
前記第２の端子に接触させる第２の検査端子とを備え、
前記第２の検査端子が前記第２の端子に接触した後に、前記第１の検査端子が前記第１の端子に接触することを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項２】
対向する一対の基板を備え、
一方の前記基板は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、を有し、
他方の前記基板は、導通部を介して前記第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の電極と、前記第２の電極と電気的に接続されてなる第２の端子と、を有する電気光学装置の検査装置であって、
前記第１の端子に接触させる第１の検査端子と、
前記第２の端子に接触させる第２の検査端子とを備え、
前記第２の検査端子が前記第２の端子に接触した後に、前記第１の検査端子が前記第１の端子に接触することを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電気光学装置の検査装置であって、
前記スイッチング素子が、薄膜ダイオードであることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置であって、
前記第１の検査端子と前記第２の検査端子とを並べて配置し、
前記第１の検査端子は、前記第２の検査端子より高さが低いことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項５】
請求項４に記載の電気光学装置の検査装置であって、
複数の前記第２の検査端子に挟まれる位置に前記第１の検査端子を配置したことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査装置であって、
前記第１の検査端子及び前記第２の検査端子を備え、前記電気光学装置と対向するテーブルを有し、
前記テーブル及び前記一対の基板を相対的に移動可能である移動機構を有し、
前記移動機構により、前記テーブルと前記一対の基板を接近させ、前記第２の端子と前記第２の検査端子を接触させ、
前記テーブルと前記一対の基板をさらに接近させ、前記第１の端子と前記第１の端子を接触させることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項７】
請求項６に記載の電気光学装置の検査装置であって、
前記第２の検査端子は弾性を有し、
前記第２の端子と前記第２の検査端子が接触した状態で、前記第１の端子と前記第１の検査端子とは間隔を有し、
前記移動機構による押圧を受けて前記第２の検査端子が圧縮し、前記第１の端子と前記第１の検査端子が接触することを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項８】
請求項５又は６に記載の電気光学装置の検査装置であって、
前記第１の検査端子と前記第２の検査端子は、同じ厚みの弾性部材から形成され、
前記テーブルに凹部を設け、
当該凹部に前記第１の検査端子を設置したことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項９】
対向する一対の基板を備え、
一方の前記基板は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、前記第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、を有し、
他方の前記基板は、第２の電極と、前記第２の電極に電気的に接続されてなる第２の端子と、を有する電気光学装置の検査装置であって、
前記第１の端子に接触させる第１の検査端子と、
前記第２の端子に接触させる第２の検査端子とを備え、
前記第２の検査端子が前記第２の端子に接触した後に、前記第１の検査端子が前記第１の端子に接触することを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の電気光学装置の検査装置であって、
前記スイッチング素子が、薄膜ダイオードであることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項１１】
前記電気光学装置は更に、
前記一方の基板に形成された前記第１の端子は、前記他方の基板から張り出した第１の張り出し領域に形成され、
前記他方の基板に形成された前記第２の端子は、前記一方の基板から張り出した第２の張り出し領域に形成され、
前記電気光学装置の検査装置は更に、
対向する一対のテーブルと、
前記一対のテーブルを相対的に移動可能である移動機構と、を備え、
前記第１の端子に対向する前記第１の検査端子と、
弾性を有し、且つ他方の基板に対向する位置に設けられた当接部材とが、ともに前記一方のテーブルに設けられ、
前記第２の端子に対向する前記第２の検査端子は、他方のテーブルに設けられ、
前記当接部材と前記他方の基板が接触し、前記第２の端子と前記第２の検査端子が接触した状態で、前記第１の端子と前記第１の検査端子とは間隔を有し、
前記移動機構により、前記一方のテーブルと前記他方のテーブルが接近して前記当接部材を圧縮し、前記第１の端子と前記第１の検査端子とを接触させることを特徴とする請求項９又は１０に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項１２】
対向する一対の基板を備え、
一方の前記基板は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、前記第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の端子と、を有し、
他方の前記基板は、導通部を介して前記第２の端子に電気的に接続されてなる第２の電極と、を有する電気光学装置の検査方法であって、
前記第２の端子に第２の検査端子を接触させる第１の工程と、
前記第１の工程の後に、前記第１の端子に第１の検査端子を接触させる第２の工程と、を備えることを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項１３】
対向する一対の基板を備え、
一方の前記基板は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、を有し、
他方の前記基板は、導通部を介して前記第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の電極と、前記第２の電極と電気的に接続されてなる第２の端子と、を有する電気光学装置の検査方法であって、
前記第２の端子に第２の検査端子を接触させる第１の工程と、
前記第１の工程の後に、前記第１の端子に第１の検査端子を接触させる第２の工程と、を備えることを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項１４】
対向する一対の基板を備え、
一方の前記基板は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、前記スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、前記第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、を有し、
他方の前記基板は、第２の電極と、前記第２の電極に電気的に接続されてなる第２の端子と、を有する電気光学装置の検査装置であって、
前記第２の端子に第２の検査端子を接触させる第１の工程と、
前記第１の工程の後に、前記第１の端子に第１の検査端子を接触させる第２の工程と、を備えることを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項１５】
請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の電気光学装置の検査方法を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置などの電気光学装置の検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶などの電気光学物質の電気光学的な変化を利用して表示を行う電気光学装置（例えば液晶表示装置）は、行方向に延在して形成される走査線と、列方向に延在して形成されるデータ線との交差部分に対応して、画素がマトリックス状に配置されている。各画素に形成された画素電極と対向電極とに信号電圧を印加して、画素電極と対向電極との間の電気光学物質に電気光学的な変化を生じさせている。このような、電気光学装置の外部電極に検査装置の給電端子を接続し、画素電極と対向電極とに信号電圧を印加して、電気光学装置の検査が行われていた。電気光学装置と検査装置とが接続されると、電気光学装置に蓄電した静電気が電気光学装置の配線、及び検査装置を介して放電され、電気光学装置の回路が破損し電気光学装置の電気特性に影響を及ぼすことがあった。これを防止するために、検査前に除電するなどの方法がとられてきた（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−１５５２９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、近年の高画質および高解像度化に伴って素子や配線が微細化したものについては、静電気で帯電した電荷を放電するだけでも、スイッチング素子や配線を破壊するという問題が生じてきた。更に、スイッチング素子の破壊により、検査工程における製造歩留まりが悪いという問題が起きていることから、静電気は深刻な問題となっていた。特許文献１の従来の検査装置では、プローブ部の構造から採用可能なピッチに制約があり、微細ピッチの電極端子を有する電気光学装置の検査用として採用出来ず、上記問題を解決するものではなかった。
【０００４】
そこで、本発明は、電気光学装置の検査時に、静電気によって電気光学装置に帯電した電荷の放電により、電気光学装置の電気特性に影響が及ぶことを低減できる電気光学装置の検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の電気光学装置の検査装置は、対向する一対の基板を備え、一方の基板は、画素電極と、画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の端子と、を有し、他方の基板は、導通部を介して第２の端子に電気的に接続されてなる第２の電極と、を有する電気光学装置の検査装置であって、第１の端子に接触させる第１の検査端子と、第２の端子に接触させる第２の検査端子とを備え、第２の検査端子が第２の端子に接触した後に、第１の検査端子が前記第１の端子に接触することを特徴とする。
【０００６】
本発明の電気光学装置の検査装置は、対向する一対の基板を備え、一方の基板は、画素電極と、画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、を有し、他方の基板は、導通部を介して第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の電極と、第２の電極と電気的に接続されてなる第２の端子と、を有する電気光学装置の検査装置であって、第１の端子に接触させる第１の検査端子と、第２の端子に接触させる第２の検査端子とを備え、第２の検査端子が第２の端子に接触した後に、第１の検査端子が前記第１の端子に接触することを特徴とする。
【０００７】
本発明の電気光学装置の検査装置は、対向する一対の基板を備え、一方の基板は、画素電極と、画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、を有し、他方の前記基板は、第２の電極と、第２の電極に電気的に接続されてなる第２の端子と、を有する電気光学装置の検査装置であって、第１の端子に接触させる第１の検査端子と、第２の端子に接触させる第２の検査端子とを備え、第２の検査端子が第２の端子に接触した後に、第１の検査端子が前記第１の端子に接触することを特徴とする。
【０００８】
本発明の電気光学装置の検査方法は、対向する一対の基板を備え、一方の基板は、画素電極と、画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の端子と、を有し、他方の基板は、導通部を介して第２の電極に電気的に接続されてなる第２の端子と、を有する電気光学装置の検査方法であって、第２の端子に第２の検査端子を接触させる第１の工程と、第１の工程の後に、第１の端子に第１の検査端子を接触させる第２の工程と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
本発明の電気光学装置の検査方法は、対向する一対の基板を備え、一方の基板は、画素電極と、画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、を有し、他方の基板は、導通部を介して第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、第２の電極と、第２の電極と電気的に接続されてなる第２の端子と、を有する電気光学装置の検査方法であって、第２の端子に第２の検査端子を接触させる第１の工程と、第１の工程の後に、第１の端子に第１の検査端子を接触させる第２の工程と、を備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明の電気光学装置の検査方法は、対向する一対の基板を備え、一方の基板は、画素電極と、画素電極に対応して設けられてなるスイッチング素子と、スイッチング素子に電気的に接続されてなる第１の電極と、第１の電極に電気的に接続されてなる第１の端子と、を有し、他方の基板は、第２の電極と、第２の電極に電気的に接続されてなる第２の端子と、を有する電気光学装置の検査装置であって、第２の端子に第２の検査端子を接触させる第１の工程と、第１の工程の後に、第１の端子に第１の検査端子を接触させる第２の工程と、を備えることを特徴とする。
【００１１】
これらの検査装置の構成および検査方法によれば、電気光学装置に帯電した静電気は、最初に導通接続された第２の端子を通って除電される。スイッチング素子に導通する第１の端子を介して、静電気が除電されることがないため、耐電圧が低いスイッチング素子を介して、静電気が除電されることがなく、スイッチング素子が破損することを防止することができ、検査時の静電気の放電に起因して電気光学装置の電気特性に影響を及ぼす可能性を著しく低下させることができる。
【００１２】
この場合、電気光学装置に設けられたスイッチング素子が、薄膜ダイオードであることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、電気光学装置に帯電した静電気は、最初に導通接続された第２の端子を通って除電される。薄膜ダイオードに導通する第１の端子を介して、静電気が除電されることがないため、耐電圧が低い薄膜ダイオードを介して、静電気が除電されることがなく、薄膜ダイオードが破損することを防止することができ、検査時の静電気の放電に起因して電気光学装置の電気特性に影響を及ぼす可能性を著しく低下させることができる。
【００１４】
この場合、第１の検査端子と第２の検査端子とを並べて配置し、記第１の検査端子は、第２の検査端子より高さが低いことが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、第１の検査端子と第２の検査端子とを並べて配置し、第１の検査端子の高さを第２の検査端子の高さより低くしたため、最初に第２の端子に第２の検査端子が導通接触する。そのとき、第１の端子と第１の検査端子とは接触していない。電気光学装置に帯電した静電気は、第２の端子及び第２の検査端子を介して除電される。第１の端子と第１の検査端子とが導通接触したときには、除電は完了しており、静電気の電荷が第１の端子やそれに電気的に導通するスイッチング素子を流れることはない。
【００１６】
また、この場合、複数の第２の検査端子に挟まれる位置に第１の検査端子を配置したことが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、高さが低い第１の検査端子が、高さが高い第２の検査端子に挟まれているため、確実に第２の検査端子のほうが先に対応する第２の端子に導通接触する。
【００１８】
また、この場合、第１の検査端子及び第２の検査端子を備え、電気光学装置と対向するテーブルを有し、記テーブル及び一対の基板を相対的に移動可能である移動機構を有し、移動機構により、テーブルと一対の基板を接近させ、第２の端子と第２の検査端子を接触させ、テーブルと一対の基板をさらに接近させ、第１の端子と前記第１の端子を接触させることが好ましい。
【００１９】
これらの構成によれば、電気光学装置の第２の端子に第２の検査端子が導通接触したとき、第１の端子と第１の検査端子とは接触していない。電気光学装置に帯電した静電気は、第２の端子及び第２の検査端子を介して除電される。第１の端子と第１の検査端子とが導通接触したときには、除電は完了しており、静電気の電荷が第１の端子やそれに電気的に導通するスイッチング素子を流れることはない。
【００２０】
また、この場合、第２の検査端子は弾性を有し、第２の端子と第２の検査端子が接触した状態で、第１の端子と第１の検査端子とは間隔を有し、移動機構による押圧を受けて第２の検査端子が圧縮し、第１の端子と第１の検査端子が接触することが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、電気光学装置の第２の端子に第２の検査端子が導通接触したとき、第１の端子と第１の検査端子とは接触していない。電気光学装置に帯電した静電気は、第２の端子及び第２の検査端子を介して除電される。第１の端子と第１の検査端子とが導通接触したときには、除電は完了しており、静電気の電荷が第１の端子やそれに電気的に導通するスイッチング素子を流れることはない。さらに、第２の検査端子が、第２の検査端子と第２の端子との圧接力で圧縮変形して、第１の端子と第１の検査端子とが導通接触できるようになるため、確実に第２の検査端子と第２の端子との導通接触が為された後、第１の端子と第１の検査端子とが導通接触する。
【００２２】
また、この場合、第１の検査端子と第２の検査端子は、同じ厚みの弾性部材から形成され、テーブルに凹部を設け、凹部に第１の検査端子を設置したことが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、同じ厚みの弾性部材を使用しても、第１の検査端子の高さを低くすることができ、使用する弾性部材を共通にすることができる。
【００２４】
また、この場合、一方の基板に形成された第１の端子は、他方の基板から張り出した第１の張り出し領域に形成され、他方の基板に形成された第２の端子は、一方の基板から張り出した第２の張り出し領域に形成され、電気光学装置の検査装置は更に、対向する一対のテーブルと、一対のテーブルを相対的に移動可能である移動機構と、を備え、第１の端子に対向する第１の検査端子と、弾性を有し、且つ他方の基板に対向する位置に設けられた当接部材とが、ともに一方のテーブルに設けられ、記第２の端子に対向する前記第２の検査端子は、他方のテーブルに設けられ、当接部材と他方の基板が接触し、第２の端子と第２の検査端子が接触した状態で、第１の端子と第１の検査端子とは間隔を有し、移動機構により、一方のテーブルと他方のテーブルが接近して当接部材を圧縮し、第１の端子と第１の検査端子とを接触させることが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、電気光学装置の第２の端子に第２の検査端子が導通接触したとき、第１の端子と第１の検査端子とは接触していない。電気光学装置に帯電した静電気は、第２の端子及び第２の検査端子を介して除電される。第１の端子と第１の検査端子とが導通接触したときには、除電は完了しており、静電気の電荷が第１の端子やそれに電気的に導通するスイッチング素子を流れることはない。さらに、当接部材が、第２の検査端子と第２の端子との圧接力で圧縮変形して、第１の端子と第１の検査端子とが導通接触できるようになるため、確実に第２の検査端子と第２の端子との導通接触が為された後、第１の端子と第１の検査端子とが導通接触する。
【００２６】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した電気光学装置の検査方法を含むことを特徴とする。
【００２７】
この方法によれば、電気光学装置に帯電した静電気は、最初に導通接続された第２の端子を通って除電される。スイッチング素子に導通する第１の端子を介して、静電気が除電されることがないため、耐電圧が低いスイッチング素子を介して、静電気が除電されることがなく、スイッチング素子が破損することを防止することができ、検査時の静電気の放電に起因して電気光学装置の電気特性に影響を及ぼす可能性を著しく低下させることができる。従って、検査時の静電気の放電に起因して電気光学装置の電気特性に影響を及ぼすことによる製造歩留まりの低下を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に、添付図面を参照して本発明に係る電気光学装置の検査装置及び検査方法の実施形態について詳細に説明する。以下に説明する実施形態は、電気光学装置の一種である液晶表示装置に関するものであるが、本発明は、液晶表示装置に限らず、エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、フィールドエミッション表示装置などの各種の電気光学装置の検査装置及び検査方法に用いることができるものである。
【００２９】
（第１の実施形態）
最初に、本発明の検査装置及び検査方法によって検査される電気光学装置の一例である液晶表示装置の構成について説明する。図１は液晶表示装置の分解斜視図であり、図２は液晶表示装置の全体配線を示す平面透視図である。なお、図１及び図２においては、本発明と直接関らない偏光板や照明装置などの構成は省略してある。
【００３０】
図１及び図２に示すように、液晶表示装置１０は、第１基板１２と、第２基板１４とをシール材１６を介して貼り合せ、第１基板１２、第２基板１４及びシール材１６によって囲まれた空間内に電気光学物質である液晶（図示省略）を封入したものである。液晶表示装置１０には、中央に表示領域Ｄ（液晶駆動領域）（図２に示す）が設けられ、また、その周囲外側に周辺領域Ｅが設けられている。表示領域Ｄ内には、列方向に延在して形成されるデータ線１７と行方向に延在して形成される走査線１８との交差部分に対応して、画素１９（図４参照）がマトリックス状に配置されている。
【００３１】
図１に示すように、第１基板１２は、第２基板１４の外形よりも張り出した基板張出部２０を有し、この基板張出部２０の表面上に液晶駆動回路などを内蔵した電子部品（半導体ＩＣチップ）であるＸドライバＩＣ２１，ＹドライバＩＣ２２，２２が実装されている。これらのＸドライバＩＣ２１，ＹドライバＩＣ２２，２２の図示しない複数の端子は、基板張出部２０上に設けられた第１端子２４及び第２端子２６に導電接続されている。第１端子２４は、第１配線２８及び第１入力端子３２に、第２端子２６は、第２配線３０及び第２入力端子３４に、それぞれ導電接続されている。これらの第１入力端子３２、及び第２入力端子３４はフレキシブル配線基板（図示省略）などの配線部材が接続されることにより、外部の表示制御手段から制御信号や表示データなどを入力可能とするためのものである。
【００３２】
図１及び図２に示すように、第１基板１２においては、ガラスやプラスチックなどの透明材料で構成される第１基板体１２Ａの表面（第２基板１４と対向する側の面）上に、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）などで構成された導体パターンが形成されている。この導体パターンには、シール材１６の内側に設定された表示領域Ｄ内に配置され、ストライプ状に形成された複数のデータ線１７や、上記した第１端子２４、第２端子２６、第１配線２８、第２配線３０、第１入力端子３２及び第２入力端子３４などが含まれる。複数のデータ線１７の一端は、上記第１配線２８に導電接続して、表示領域Ｄから第１基板張出部２０の表面上に引き出されている。
【００３３】
また、表示領域Ｄの外側に設けられた周辺領域Ｅには第１基板体１２Ａ上に複数の上記した第２配線３０が形成されており、上記したように一端が第２電極２６に導電接続されている。第２配線３０の他の一端は、周辺領域Ｅの表示領域Ｄとの境界線に沿って配設された第１接続パッド４２に導電接続されている。
【００３４】
第２基板１４においては、ガラスやプラスチックなどの透明材料で構成される第２基板体１４Ａの表面（第１基板１２と対向する内面）上に、ＩＴＯなどで構成された導体パターンが形成されている。この導体パターンには、ストライプ状に形成された複数の走査線１８などが含まれる。図４に示すように、走査線１８は、上記したデータ線１７と直行する方向に延びており、複数のデータ線１７と走査線１８との交点近傍の第１基板体１２Ａ上に、薄膜ダイオード（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｄｉｏｄｅ）（以降ＴＦＤという）３６および画素電極３８が形成されている。表示領域Ｄ内の走査線１８は、複数の画素電極３８と対向している。画素電極３８と走査線１８との間に印加する電圧によって、画素電極３８と走査線１８との間に在る液晶を操作（駆動）する。
【００３５】
走査線１８は、表示領域Ｄから外側に向けて延び、周辺領域Ｅまで延在している。より詳しくは、図２において上から奇数番目の走査線１８は図２の左側の周辺領域Ｅまで延在しており、図２において上から偶数番目の走査線１８は図２の右側の周辺領域Ｅまで延在している。第２基板体１４Ａの周辺領域Ｅには、第１接続パッド４２と対向する位置に第２接続パッド４６が形成されており、走査線１８の一端が、導電接続されている。第２接続パッド４６は、シール材１６を介して第１接続パッド４２に接続されている。シール材１６には、樹脂基材中に多数の微小な導電粒子が分散配置されている。これらの導電粒子は、第１基板１２と第２基板１４とがシール材１６を介して貼り合わされ、加圧された状態でシール材１６が硬化されたとき、第１接続パッド４２と第２接続パッド４６とを導電接続するように構成されている。より具体的には、上記構成によりシール材１６は導電異方性を有するので、複数の第１接続パッド４２と複数の第２接続パッド４６とは、このシール材１６を介して相互に対向するもの同士のみが導電接続される。
【００３６】
次に、画素１９付近の詳細な構造について説明する。図３は画素の平面構造を示す拡大図である。各画素１９において、データ線１７に対してスイッチング素子であるＴＦＤ３６が接続され、このＴＦＤ３６は画素電極３８に接続されている。
【００３７】
より詳細には、ＴＦＤ３６は、第１のＴＦＤ３６ａおよび第２のＴＦＤ３６ｂからなり、タンタルタングステンなどからなり、島状の第１金属膜３６Ｂと、この第１金属膜３６Ｂの表面を陽極酸化することによって形成された絶縁膜と、この表面に形成されて相互に離間した第２金属膜３６Ａ、３６Ｃとを有する。このうち、第２金属膜３６Ａ、３６Ｃは、クロム等の同一導電膜をパターニングしたものであり、前者の第２金属膜３６Ａは、データ線１７からＴ字状に分岐したものが用いられる一方、後者の第２金属膜３６Ｃは、ＩＴＯ等の画素電極３８に接続するために用いられる。
【００３８】
ここで、ＴＦＤ３６のうち、第１のＴＦＤ３６ａは、データ線１７の側からみると順番に、第２金属膜３６Ａ／絶縁膜／第１金属膜３６Ｂとなって、金属／絶縁体／金属の構造を採るため、その電流−電圧特性は正負双方向にわたって非線形となる。一方、第２のＴＦＤ３６ｂは、データ線３１４の側からみると順番に、第１金属膜３６Ｂ／絶縁膜／第２金属膜３６Ｃとなって、第１のＴＦＤ３６ａとは逆向きの構造を採る。このため、第２のＴＦＤ３６ｂの電流−電圧特性は、第１のＴＦＤ３６ａの電流−電圧特性を、原点を中心に点対称化したものとなる。結局、ＴＦＤ３６は、２つのＴＦＤを互いに逆向きに直列接続した形となるため、１つの素子を用いる場合と比べると、電流−電圧の非線形特性が正負双方向にわたって対称化されることになる。
【００３９】
次に、液晶表示装置の電気的構成について説明する。図４は液晶表示装置の電気的構成を示すブロック図である。Ｘ方向に延在する複数の走査線１８と、Ｙ方向に延在する複数のデータ線１７と、走査線１８とデータ線１７との各交差点に設けられた画素１９とを有している。上述したように、図２において上から奇数番目の走査線１８は図２の左側の周辺領域Ｅ１に延在して、左側の第２電極２６を介して左側のＹドライバＩＣ２２に接続され、図２において上から偶数番目の走査線１８は図２の右側の周辺領域Ｅ２に延在して、右側の第２電極２６を介して右側のＹドライバＩＣ２２に接続されている。そして、各走査線１８には、各ＹドライバＩＣ２２によって生成された走査信号が供給される。また、各データ線１７は、第１電極２４を介してＸドライバＩＣ２１に接続されており、各データ線１７には、ＸドライバＩＣ２１によって生成されたデータ信号が供給される。一方、マトリックス状に配列する複数の画素１９の各々は、対向画素電極４４と画素電極３８とからなる容量と、ＴＦＤ３６とが直列接続された構成となっている。
【００４０】
データ線１７が、特許請求の範囲に記載の第１の電極であり、走査線１８が、特許請求の範囲に記載の第２の電極であり、第１接続パッド４２と、シール材１６の導電粒子を介して第１接続パッド４２と接続された第２接続パッド４６とが、特許請求の範囲に記載の導通部である。また、第１端子２４，第２端子２６が、特許請求の範囲に記載の第１の端子，第２の端子である。
【００４１】
本実施例においては、少なくとも第１端子２４と、第１配線２８と、データ線１７と、ＴＦＤ３６と、画素電極３８とを含む回路を第１回路と呼ぶ。また、少なくとも第２端子２６と、第２配線３０と、第１接続パッド４２と、シール材１６の導電粒子を介して第１接続パッドと接続された第２接続パッド４６と、走査線１８とを含む回路を第２回路と呼ぶ。第１回路はスイッチング素子であるＴＦＤ３６を含み、ＴＦＤ３６と電気的に導通しているため、耐電圧が低い。一方、第２回路は、ＴＦＤ３６とは電気的に絶縁していおり、第１回路に比べて耐電圧が高い。
【００４２】
次に、液晶表示装置１０の検査の概要を説明する。検査の一例である全点灯検査は、ＸドライバＩＣ２１とＹドライバＩＣ２２とが実装されていない状態の液晶表示装置１０について実施する。ＸドライバＩＣ２１，ＹドライバＩＣ２２が実装される第１端子２４，第２端子２６に、各々後述する第１給電端子８４，第２給電端子８５（図６、図７参照）を導通接触させ、液晶表示装置１０の各回路を介して、駆動信号に相当する電圧を各画素１９に印加し、各画素１９の点灯状態を画面の輝度ムラとして検査する。
【００４３】
次に、液晶表示装置１０の検査に用いられる検査装置５０について説明する。図５は検査装置の概要を示す模式図であり、図６は給電端子と後述する電源装置の関係を示す模式図であり、図７は第１端子２４，第２端子２６に導通接触する給電端子の斜視図であり、図８（ａ）は給電端子の位置を示す平面図であり、図８（ｂ）及び図８（ｃ）は給電端子と第１端子２４，第２端子２６とが圧接する時の様子を示す模式側面図である。なお、図８（ｂ）及び図８（ｃ）においては、主要な部材については区別しやすいように模様を付している。
【００４４】
図５及び図６に示すように、検査装置５０は、液晶表示装置１０を載置するとともに、給電端子を液晶表示装置１０に導通接触させる機構を備えた検査台５２と、液晶表示装置１０に印加する電気信号を供給する電源装置５４と、電源装置５４と検査台５２とを電気的に接続して電気信号を伝達する第１信号線５６および第２信号線５７，５７とで構成されている。
【００４５】
電源装置５４は、液晶表示装置１０に印加する信号を発生し、検査台５２を介して液晶表示装置１０に供給するものであって、電源装置５４の電源を切断・接続する電源スイッチ６０と、液晶表示装置１０に印加する信号の電圧を変えるボリューム６２と、電源装置５４をアース接続する接地端子６３とを備えている。
【００４６】
検査台５２は、液晶表示装置１０を載置する基板プレート７０と、基板プレート７０を取付ける基板ホルダ７１と、基板ホルダ７１などを支える基台７２と、基板プレート７０に対する高さを変更させるように昇降可能に設けられた上ホルダ７３と、上ホルダ７３に取付けられた上ホルダプレート７４と、上ホルダ７３を昇降させる昇降機構７６とを備えている。
【００４７】
昇降機構７６は、上ホルダ７３と一体に設けられたガイドポスト７７と、ガイドポスト７７が摺動自在に係合するとともに基台７２に立設されたガイド軸７８と、昇降操作を行うための操作レバー７９と、操作レバー７９に固定されており、操作レバー７９に加えられた操作力を伝えるレバー軸８０と、レバー軸８０の回転動作を上ホルダ７３の昇降動作に変換する連結機構部８１とから成っている。
【００４８】
図８に示すように、基板プレート７０には、載置された液晶表示装置１０を支持する支え部材８２と、給電端子基板８３と、給電端子基板８３上に設置された１個の第１給電端子８４と、２個の第２給電端子８５と、載置された液晶表示装置１０の平面方向（図８（ａ）の紙面と平行な方向）の位置を規制する３個の位置決め部材８６，８６，８６とが設置されている。基板プレート７０において、３個の位置決め部材８６，８６，８６で規定される位置に載置された液晶表示装置１０の表示領域Ｄに対向する部分には、光源穴８９が設けられており、光源穴８９を覆う偏光板（図示省略）が設けられており、光源穴８９を介して光を液晶表示装置１０に当てられるように光源（図示省略）が設けられている。第１給電端子８４と、２個の第２給電端子８５とは、それぞれ給電端子基板８３の配線（図示省略）と、第１信号線５６，第２信号線５７とを介して、電源装置５４と導通接続されている（図６参照）。第１給電端子８４は第１電極２４と、２個の第２給電端子８５は２個の第２電極２６と、それぞれ接触できる位置関係に配置されている。また、第１給電端子８４は、２個の第２給電端子８５の間に配置され、第１給電端子８４の高さは、２個の第２給電端子８５より低くなっている。さらに、第１給電端子８４と第２給電端子８５とは、弾性変形可能な導電ゴムで形成されている。
【００４９】
より詳しくは、図７に示すように、給電端子基板８３に凹部８７を設け、凹部８７に第１給電端子８４を設置している。第１給電端子８４は、２個の第２給電端子８５と同じ高さの端子部品であるが、給電端子基板８３に設けられた凹部８７に設置されているため、第１給電端子８４の接触部の高さは、第２給電端子８５の接触部の高さより低くなっている。
【００５０】
図８に示すように、上ホルダプレート７４には、基板プレート７０に載置された液晶表示装置１０に当接して、第１電極２４，第２電極２６と、第１給電端子８４，第２給電端子８５とを圧接させる押え部材８８が固定されている。上ホルダプレート７４において、基板プレート７０上の３個の位置決め部材８６，８６，８６で規定される位置で基板プレート７０に載置された液晶表示装置１０の表示領域Ｄに対向する部分には、点灯観察用の観察窓（図示省略）が設けられており、観察窓を覆う偏光板（図示省略）が設けられている。
【００５１】
本実施形態の第１給電端子８４，第２給電端子８５が、特許請求の範囲に記載の第１の検査端子，第２の検査端子である。また、基板プレート７０と給電端子基板８３とが、特許請求の範囲に記載のテーブルに相当し、昇降機構７６が、移動機構に相当する。
【００５２】
液晶表示装置１０の検査は、図８（ｂ）および（ｃ）に示したように、以下のように行う。まず、３個の位置決め部材８６で規制される位置（図８（ａ）における二点鎖線の位置）に液晶表示装置１０をセットする。このとき、液晶表示装置１０の明視方向である第１基板１２側が上側（上ホルダプレート７４側）になるように液晶表示装置１０は載置され、第１端子２４及び第２端子２６は、第１給電端子８４及び第２給電端子８５と対向している。載置された状態の液晶表示装置１０の位置で、第２給電端子８５が第２電極端子に接触しており、第１端子２４と第１給電端子８４とは接触していない。次に、操作レバー７９を手前に引き、上ホルダプレート７４が固定された上ホルダ７３を下降させて、上ホルダプレート７４に設けられた押え部材８８を液晶表示装置１０の上面に当接させ、液晶表示装置１０に押圧力を加える。支え部材８２が圧縮されてたわみ、液晶表示装置１０の第２端子２６が第２給電端子８５に圧接され、第２端子２６と第２給電端子８５とが導通接続されるとともに、走査線１８を含む第２回路が電源装置５４と導通接続される（図８（ｂ）参照）。液晶表示装置１０に帯電していた静電気は、このとき、第２回路を経由して除電される。さらに、液晶表示装置１０に押圧力を加えると、液晶表示装置１０の第２端子２６に押圧された第２給電端子８５が圧縮して、第１端子２４と第１給電端子８４とが圧接され、第１端子２４と第１給電端子８４とが導通接続されるとともに、データ線１７とＴＦＤ３６と画素電極３８とを含む第１回路が電源装置５４と導通接続される（図８（ｃ）参照）。液晶表示装置１０の全画素１９に電源装置５４からの信号電圧が印加されて、液晶表示装置１０は正常であれば全面点灯する。液晶表示装置１０の下面には、図示省略した光源からの光が図示省略した偏光板を介して照射されており、正常な画素１９は光が透過し点灯する。観察用窓に設けられた偏光板を介して目視で確認し、点灯状態を検査する。
【００５３】
この第１の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）第１給電端子８４の高さは、２個の第２給電端子８５より低くなっているため、第１給電端子８４と第１端子２４とが接触する前に、第２給電端子８５と第２端子２６とを導通接触させることができ、第２端子２６と導通接続しているとともに、耐電圧が第１回路より高い第２回路を介して、液晶表示装置１０に帯電した静電気を除電することができる。よって、第１実施形態の検査装置５０によれば、液晶表示装置１０の点灯検査をする際に、液晶表示装置１０に帯電した静電気に起因して給電端子を電極に接触させた際に起こりうるＴＦＤ３６の破壊を低減することができ、ひいては液晶表示装置１０の製造歩留まりの向上に寄与することができる。
【００５４】
（２）高さが第２給電端子８５より低い第１給電端子８４を、２個の第２給電端子８５の間に設けたため、より確実に第１給電端子８４と第１端子２４とが接触する前に、第２給電端子８５と第２端子２６とを導通接触させることができる。
【００５５】
（３）給電端子基板８３に凹部８７を設け、凹部８７に第１給電端子８４を設置部しているため、第１給電端子８４と第２給電端子８５とを同一の基材から形成しても、第１給電端子８４の高さを、２個の第２給電端子８５より低くすることができる。給電端子に適する素材のひとつである導電ゴムは、長い基材を適当な長さに切断して、接触端子（本実施形態の給電端子）とするのが一般的であるが、凹部８７を設けた給電端子基板８３を用いることにより、第１給電端子８４と第２給電端子８５とを同一の基材から形成することができる。
【００５６】
（第２の実施形態）
次に、本発明の検査装置及び検査方法の第２の実施形態について説明する。本実施形態は、第１の実施形態の検査対象であった液晶表示装置と異なる、いわゆる２方向タイプの液晶表示装置を検査対象とする実施形態である。最初に、本実施形態の検査装置及び検査方法によって検査されるいわゆる２方向タイプの液晶表示装置の構成について説明する。図９は液晶表示装置の斜視図であり、図１０（ａ）は液晶表示装置の第１基板の平面図であり、図１０（ｂ）は液晶表示装置の第２基板の平面図である。なお、図９及び図１０においては、本発明と直接関らない偏光板や照明装置などの構成は省略してある。
【００５７】
液晶表示装置１００は、第１基板２１２と、第２基板２１４とをシール材２１６を介して貼り合せ、第１基板２１２、第２基板２１４及びをシール材２１６によって囲まれた空間内に電気光学物質である液晶（図示省略）を封入したものである。液晶表示装置１００には、中央に表示領域Ｄ２（液晶駆動領域）が設けられ、また、その周囲外側に周辺領域Ｅ２２が設けられている。表示領域Ｄ２内には、列方向に延在して形成されるデータ線２１７と行方向に延在して形成される走査線２１８との交差部分に対応して、画素１９（図４参照）がマトリックス状に配置されている。図４とは電極の配置位置が異なるものの、表示領域内の回路構成は基本的に同じである。
【００５８】
第１基板２１２は、第２基板２１４の外形よりも張り出した第１基板張出部２２０を有し、この第１基板張出部２２０の表面上に液晶駆動回路などを内蔵した電子部品（半導体ＩＣチップ）であるＸドライバＩＣ２１が実装されている。第２基板２１４は、第１基板２１２の外形よりも張り出した第２基板張出部２２３を有し、この第２基板張出部２２３の表面上に液晶駆動回路などを内蔵した電子部品（半導体ＩＣチップ）であるＹドライバＩＣ２２２が実装されている。
【００５９】
図１０（ａ）は液晶表示装置の第１基板の平面図、図１０（ｂ）は液晶表示装置の第２基板の平面図をそれぞれ示す。ＸドライバＩＣ２１，ＹドライバＩＣ２２２の図示しない複数の端子は、図１０に示すように、それぞれ第１基板張出部２２０，第２基板張出部２２３上に設けられた第１端子２２４、第２端子２２６に導電接続されている。第１端子２２４は、第１配線２２８及び第１入力端子２３２（それぞれ図１０（ａ）に示す）に、第２端子２２６は、第２配線２３０及び第２入力端子２３４（それぞれ図１０（ｂ）に示す）に、それぞれ導電接続されている。これらの第１入力端子２３２及び第２入力端子２３４はフレキシブル配線基板（図示省略）などの配線部材が接続されることにより、外部の表示制御手段から制御信号や表示データなどを入力可能とするためのものである。
【００６０】
第１基板２１２においては、ガラスやプラスチックなどの透明材料で構成される第１基板体２１２Ａの表面（第２基板２１４と対向する側の面）上に、ＩＴＯなどで構成された導体パターンが形成されている。この導体パターンには、シール材２１６の内側に設定された表示領域Ｄ２内に配置され、ストライプ状に形成された複数のデータ線２１７や、上記した第１電極２２４、第１配線２２８、及び第１入力端子２３２などが含まれる。複数のデータ線２１７の一端は、上記第１配線２２８に導電接続して、表示領域Ｄ２から上記第１基板張出部２２０の表面上に引き出されている。
また、上記した複数の第１配線２２８は、第１基板２１２の表示領域Ｄ２の外側に設けられた周辺領域Ｅ２２に形成されており、上記したように一端が第１端子２２４に導電接続されており、もう一端は、データ線２１７に導電接続されている。
【００６１】
第２基板２１４においては、ガラスやプラスチックなどの透明材料で構成される第２基板体２１４Ａの表面（第１基板２１２と対向する内面）上に、ＩＴＯなどで構成された導体パターンが形成されている。この導体パターンには、ストライプ状に形成された複数の走査線２１８などが含まれる。走査線２１８は、上記したデータ線２１７と直行する方向に延びており、複数のデータ線２１７と走査線２１８との交点近傍の第１基板体２１２Ａ上に、図４の回路図に示されるものと同様なＴＦＤ３６および画素電極３８が形成されている。表示領域Ｄ２内の走査線２１８は、複数の画素電極３８と対向している。画素電極３８と走査線２１８の間に印加する電圧によって、画素電極３８と走査線２１８との間に在る液晶を操作（駆動）する。
【００６２】
図１０（ｂ）に示すように、走査線２１８は、表示領域Ｄ２から外側に向けて延び、周辺領域Ｅ２２まで延在している。この周辺領域Ｅ２２には第２基板体２１４Ａ上に複数の第２配線２３０が形成されており、一端が第２端子２２６に導電接続されており、もう一端は、走査線２１８に導電接続されている。
【００６３】
データ線２１７，走査線２１８が、特許請求の範囲に記載の第１の電極，第２の電極であり、第１端子２２４，第２端子２２６が、特許請求の範囲に記載の第１の端子，第２の端子である。また、第１基板張出部２２０，第２基板張出部２２３が、特許請求の範囲に記載第１の張り出し領域，第２の張り出し領域に相当する。
【００６４】
本実施例においては、少なくとも第１端子２２４と、第１配線２２８と、データ線２１７と、ＴＦＤ３６と、画素電極３８とを含む回路を第１回路と呼ぶ。また、少なくとも第２端子２２６と、第２配線２３０と、走査線２１８とを含む回路を第２回路と呼ぶ。第１回路はスイッチング素子であるＴＦＤ３６を含み、ＴＦＤ３６と電気的に導通しているため、耐電圧が低い。一方、第２回路は、ＴＦＤ３６とは電気的に絶縁していおり、第１回路に比べて耐電圧が高い。
【００６５】
画素１９付近の詳細な構造や液晶表示装置１００の電気的構成は、図３及び図４に示した第１の実施形態の液晶表示装置１０と基本的に同様である。
【００６６】
次に、液晶表示装置１００の検査に用いられる検査装置５０について説明する。図１１（ａ）、図１１（ｂ）は給電端子の配置を示す平面図であり、図１１（ｃ）は給電端子の配置を示す模式側面図である。図１１（ａ）は、図１１（ｃ）のＡ−Ａの面から見た平面図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ｃ）のＢ−Ｂの面から見た平面図である。図１２（ａ），（ｂ）は給電端子と第１端子，第２端子とが圧接する時の様子を示す側面図である。なお、図１２においては、主要な部材については区別しやすいように模様を付している。検査装置５０は、第１の実施形態と基本的に同様の構成であり、給電端子及び位置決め部材等の配置のみが異なる。
【００６７】
図１１（ｂ），（ｃ）及び図１２に示すように、基板プレート７０（図１１（ｃ）のみに図示）には、載置された液晶表示装置１００を支持する支え部材２８２と、給電端子基板２８３と、給電端子基板２８３上に設置された１個の第１給電端子２８４と、載置された液晶表示装置１００の平面方向（図１１（ｂ）の紙面と平行な方向）の位置を規制する位置決め部材２８６，２８６とが設置されている。第１給電端子２８４は、給電端子基板２８３（図１１（ｃ）のみに図示）の配線（図示省略）と第１信号線５６とを介して、電源装置５４（それぞれ図６参照）と導通接続されている。第１給電端子２８４は、位置決め部材２８６，２８６によって平面方向の位置を定められた液晶表示装置１００の第１電極２２４と、接触できる位置関係に配置されている。支え部材２８２のうちの１個の平面方向の位置は、位置決め部材２８６，２８６によって平面方向の位置を定められた液晶表示装置１００を、第２電極２２６の裏面で支える位置（後述する第２給電端子２８５と対向する位置）に配置されている。基板プレート７０において、２個の位置決め部材２８６，２８６で規定される位置に載置された液晶表示装置１００の表示領域Ｄ２に対向する部分には、光源穴（図示省略）が設けられており、光源穴を覆う偏光板（図示省略）が設けられている。
【００６８】
また、第１給電端子２８４の高さは、３個の支え部材２８２より低くなっている。より詳しくは、第１給電端子２８４と支え部材２８２との高さ関係は、３個の支え部材２８２の上に、第２基板２１４が下になるようにし、位置決め部材２８６，２８６で位置決めして、液晶表示装置１００を載置したときに、第１基板２１２の下面にある第１電極２２４と第１給電端子２８４とは、対向しているが接触していないようになる高さ関係になっている。さらに、支え部材２８２は弾性変形可能なゴムで形成されており、第１給電端子２８４は、弾性変形可能な導電ゴムで形成されている。
【００６９】
図１１（ａ），（ｃ）及び図１２に示すように、上ホルダプレート７４（図１１（ｃ）のみに図示）には、基板プレート７０に載置された液晶表示装置１００に当接して第１電極２２４と第１給電端子２８４とを圧接させるための押え部材２８８と、給電端子基板２８７と、給電端子基板２８７上に設置された１個の第２給電端子２８５とが設置されている。第２給電端子２８５は、給電端子基板２８７の配線（図示省略）と、第２信号線５７とを介して、電源装置５４（それぞれ図６参照）と導通接続されている。第２給電端子２８５は、位置決め部材２８６，２８６によって平面方向の位置を定められた液晶表示装置１００の第２電極２２６と、導通接触できる位置に配置されている。押え部材２８８のうち１個の平面方向の位置は、位置決め部材２８６，２８６によって平面方向の位置を定められた液晶表示装置１００を、第１電極２２４の裏面を上から押圧する位置（第１給電端子２８４と対向する位置）に配置されている。上ホルダプレート７４において、基板プレート７０上の２個の位置決め部材２８６，２８６で規定される位置で基板プレート７０に載置された液晶表示装置１００の表示領域Ｄ２に対向する部分には、点灯観察用の観察窓（図示省略）が設けられており、観察窓を覆う偏光板（図示省略）が設けられている。
【００７０】
また、上ホルダプレート７４に対する第２給電端子２８５の高さ（下方向への突出量）は、上ホルダプレート７４に対する２個の押え部材２８８の高さより高くなっている。より詳しくは、第２給電端子２８５と押え部材２８８との高さ関係は、３個の支え部材２８２の上に、第２基板２１４が下になるようにし、位置決め部材２８６，２８６で位置決めして載置した液晶表示装置１００に対して、上ホルダプレート２７４を下降させて、第２給電端子２８５及び押え部材２８８を第２電極２３４及び第１基板２１２に当接させるとき、最初に第２給電端子２８５が第２電極２３４に当接し、次に押え部材２８８が第１基板２１２に当接するような高さ関係になっている。さらに、第２給電端子２８５は、弾性変形可能な導電ゴムで形成されており、押え部材２８８は弾性変形可能なゴムで形成されている。
【００７１】
本実施形態の第１給電端子２８４と第２給電端子２８５とが、特許請求の範囲に記載の第１の検査端子と第２の検査端子である。また、基板プレート７０と給電端子基板２８３とが、特許請求の範囲に記載のテーブルに相当し、上ホルダプレート７４が他方のテーブルに相当し、支え部材２８２が当接部材に相当し、昇降機構７６が移動機構に相当する。
【００７２】
液晶表示装置１００の検査は、以下のように行う。まず、２個の位置決め部材２８６，２８６で規制される位置に液晶表示装置１００をセットする。具体的には、２個の位置決め部材２８６，２８６に、液晶表示装置１００の第１基板張出部２２０及び第２基板張出部２２３が形成されていない２辺を当接させるようにして、液晶表示装置１００をセットする。このとき、液晶表示装置１００の明視方向である第１基板２１２側が上側（上ホルダプレート２７４側）になるように液晶表示装置１００は載置され、第１端子２２４は第１給電端子２８４と対向しており、第２端子２２６は、第２給電端子２８５と対向している。セットされた状態の液晶表示装置１００は３個の支え部材２８２によって支持されており、第１端子２２４と第１給電端子２８４とは接触していない。次に、操作レバー７９を手前に引き、上ホルダプレート７４が固定された上ホルダ７３を下降させて、上ホルダプレート７４に設けられた第２給電端子２８５を第２端子２２６に接触させ、さらに上ホルダ７３を下降させて、押え部材２８８を液晶表示装置１００の上面（第１基板２１２の上面）に当接させる（図１２（ａ）参照）。このとき、液晶表示装置１００の第２電極２２６が第２給電端子２８５に圧接され、第２電極２２６と第２給電端子２８５とが導通接続されるとともに、走査線２１８を含む第２回路が電源装置５４と導通接続され、液晶表示装置１００に帯電していた静電気は、第２回路を経由して除電される。さらに、液晶表示装置１００に押圧力を加えると、液晶表示装置１００を支えている支え部材２８２が圧縮され、第１端子２２４と第１給電端子２８４とも圧接され、第１端子２２４と導通接続されるとともにデータ線２１７とＴＦＤ３６と画素電極５２とを含む第１回路が、電源装置５４と導通接続される（図１２（ｂ）参照）。液晶表示装置１００の全画素１９に電源装置５４からの信号電圧が印加されて、液晶表示装置１００は正常であれば全面点灯する。液晶表示装置１０の下面には、図示省略した光源からの光が図示省略した偏光板を介して照射されており、正常な画素１９は光が透過し点灯する。観察用窓に設けられた偏光板を介して目視で確認し、点灯状態を検査する。
【００７３】
この第２の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）上ホルダプレート７４に、押え部材２８８と導電ゴムで形成された第２給電端子２８５とを設け、基板プレート７０に、ゴムで形成された支え部材２８２と第１給電端子２８４とを設け、第２給電端子２８５と押え部材２８８との高さ関係は、液晶表示装置１００に対して、上ホルダプレート７４を下降させて、第２給電端子２８５及び押え部材２８８を第２端子２２４及び第１基板２１２に当接させるとき、最初に第２給電端子２８５が第２端子２２４に当接し、次に押え部材２８８が第１基板２１２に当接するような高さ関係になっており、第１給電端子２８４と支え部材２８２との高さ関係は、３個の支え部材２８２の上に、液晶表示装置１００を載置したときに、第１基板２１２の下面にある第１電極と第１給電端子２８４とは、対向しているが接触していないようになる高さ関係にした。このため、第１給電端子２８４と第１端子２２４とが接触する前に、第２給電端子２８５と第２端子２２６とを導通接触させることができ、第２端子２２６と導通接続しているとともに、耐電圧が第１回路より高い第２回路を介して、液晶表示装置１００に帯電した静電気を除電することができる。よって、第２実施形態の検査装置５０によれば、液晶表示装置１００の点灯検査をする際に、液晶表示装置１００に帯電した静電気に起因して給電端子を電極に接触させた際に起こりうるＴＦＤ３６の破壊を低減することができ、ひいては液晶表示装置１００の製造歩留まりの向上に寄与することができる。
【００７４】
（第３の実施形態）
次に、本発明の検査装置及び検査方法の第３の実施形態について説明する。本実施の形態は、スイッチング素子として、薄膜トランジスタ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）（以降ＴＦＴという）を備えた液晶表示装置を検査対象とする実施の形態である。最初に、本実施形態の検査装置及び検査方法によって検査される液晶表示装置の構成について説明する。図１３は液晶表示装置の分解斜視図、図１４は液晶表示装置の電気的構成を示すブロック図である。なお、図１３においては、本発明と直接関らない偏光板や照明装置などの構成は省略してある。
【００７５】
図１３に示すように、液晶表示装置４００は、第１基板４１２と、第２基板４１４とをシール材４１６を介して貼り合せ、第１基板４１２、第２基板４１４及びシール材４１６によって囲まれた空間内に電気光学物質である液晶（図示省略）を封入したものである。液晶表示装置４００には、中央に表示領域（液晶駆動領域）が設けられ、また、その周囲外側に周辺領域が設けられている。表示領域内には、列方向に延在して形成されるデータ線４１７と行方向に延在して形成される走査線４１８との交差部分に対応して、画素４１９（図１４参照）がマトリックス状に配置されている。
【００７６】
第１基板４１２は、第２基板４１４の外形よりも張り出した基板張出部４２０を有し、この基板張出部４２０の表面上に液晶駆動回路などを内蔵した電子部品（半導体ＩＣチップ）であるＸドライバＩＣ４２１，ＹドライバＩＣ４２２，４２２が実装されている。これらのＸドライバＩＣ４２１，ＹドライバＩＣ４２２，４２２の図示しない複数の端子は、基板張出部４２０上に設けられた第１端子４２４及び第１走査端子４２６に導電接続されている。第１端子４２４は、第１配線４２８及び第１入力端子４３２に、第１走査端子４２６は、第２配線４３０及び第２入力端子４３４に、それぞれ導電接続されている。また、後述する対向電極４４４に第３配線４３１を介して導電接続されている第３端子４３５が設けられている。これらの第１入力端子４３２、第２入力端子４３４及び第３端子４３５はフレキシブル配線基板（図示省略）などの配線部材が接続されることにより、外部の表示制御手段から制御信号や表示データなどを入力可能とするためのものである。
【００７７】
第１基板４１２においては、ガラスやプラスチックなどの透明材料で構成される第１基板体４１２Ａの表面（第２基板４１４と対向する側の面）上に、ＩＴＯなどで構成された導体パターンが形成されている。この導体パターンには、シール材４１６の内側に設定された表示領域内に配置され、ストライプ状に形成された複数のデータ線４１７や、データ線４１７と直行する方向に延びる走査線４１８や、上記した第１端子４２４、第１走査端子４２６、第１配線４２８、第２配線４３０、第１入力端子４３２、第２入力端子４３４、第３配線４３１及び第３端子４３５などが含まれる。もちろん、直交するデータ線４１７と走査線４１８とは、絶縁層を介して直交しており、お互いに電気的に絶縁されている。
【００７８】
図１４に示すように、複数のデータ線４１７は、スイッチング素子である複数のＴＦＴ４３６のソース端子に接続されている。データ線１７の一端は、上記第１配線４２８に導電接続して、表示領域から第１基板張出部４２０の表面上に引き出されている。複数の走査線４１８は、複数のＴＦＴ４３６のゲート端子に接続されている。走査線４１８の一端は、上記第２配線４３０に導電接続して、表示領域から第１基板張出部４２０の表面上に引き出されている。ＴＦＴ４３６のドレイン端子には、画素電極４３８及び蓄積容量４３９が接続されている。
【００７９】
また、表示領域の外側に設けられた周辺領域には第１基板体４１２Ａ上に上記した第３配線４３１が形成されており、上記したように一端が第３端子４３５に導電接続されている。第３配線４３１の他の一端は、周辺領域の表示領域との境界線付近に設けられた第１接続パッド４４２に導電接続されている。
【００８０】
第２基板４１４においては、ガラスやプラスチックなどの透明材料で構成される第２基板体４１４Ａの表面（第１基板４１２と対向する内面）上に、表示領域の全面を覆い、周辺領域まで延在し、ＩＴＯで構成された導体パターンである対向電極４４４が形成されている。対向電極４４４の第１接続パッド４４２と対向する位置には、第２接続パッド４４６が形成されており、液晶表示装置１０の場合と同様に、第２接続パッド４４６は、シール材４１６を介して第１接続パッド４４２に導通接続されている。
【００８１】
データ線４１７と走査線４１８とが、特許請求の範囲に記載の第１の電極であり、対向電極４４４が、特許請求の範囲に記載の第２の電極であり、第１接続パッド４４２と、シール材４１６の導電粒子を介して第１接続パッドと接続された第２接続パッド４４６とが、特許請求の範囲に記載の導通部である。また、第１端子４２４と第１走査端子４２６とが、特許請求の範囲に記載の第１の端子であり、第３端子４３５が第２の端子である。
【００８２】
本実施例においては、少なくとも第１端子４２４と、第１配線４２８と、データ線４１７と、第１走査端子４２６と、第２配線４３０と、走査線４１８と、ＴＦＴ４３６と、蓄積容量４３９と、画素電極４３８とを含む回路を第１回路と呼ぶ。また、少なくとも第３端子４３５と、第３配線４３１と、第１接続パッド４４２と、シール材４１６の導電粒子を介して第１接続パッド４４２と接続された第２接続パッド４４６とを含む回路を第２回路と呼ぶ。第１回路はスイッチング素子であるＴＦＴ４３６を含み、ＴＦＴ４３６と電気的に導通しているため、耐電圧が低い。一方、第２回路は、ＴＦＴ４３６とは電気的に絶縁していおり、第１回路に比べて耐電圧が高い。
【００８３】
次に、液晶表示装置の電気的構成について説明する。複数の走査線４１８と、走査線４１８と直交する複数のデータ線４１７とが配線され、走査線４１８とデータ線４１７とで区画された領域に画素４１９がマトリックス状に配設されている。そして、走査線４１８とデータ線４１７との各交差部分に対応してＴＦＴ４３６が設けられ、ＴＦＴ４３６のソース端子とデータ線４１７、ＴＦＴ４３６のゲート端子と走査線４１８、ＴＦＴ４３６のドレイン端子と画素電極４３８とが接続されている。対向電極４４４と画素電極４３８とからなる容量と、ＴＦＴ４３６とが直列接続された構成となっている。ＴＦＴ４３６は走査線４１８のＯＮ信号でオン状態となり、データ線４１７に供給された信号が画素電極４３８に供給される。この画素電極４３８と対向電極４４４との間の電圧が、画素電極４３８と対向電極４４４との間の液晶に印加される。また、画素電極４３８と並列に蓄積容量４３９が設けられており、蓄積容量４３９によって、画素電極４３８に印加された電圧の保持特性が向上する。
【００８４】
液晶表示装置４００の検査に用いられる検査装置５０は、第１の実施形態と基本的に同様の構成であり、第１給電端子の構成のみが異なる。図１５（ａ）は給電端子の位置を示す平面図であり、図１５（ｂ），図１５（ｃ）は給電端子と第１端子，第１走査端子及び第３端子とが圧接する時の様子を示す側面図である。
【００８５】
第１データ給電端子４８３は、第１端子４２４に導通接触させて、データ線４１７とＴＦＴ４３６とを介して画素電極４３８に信号電圧を供給するためのものである。第１走査給電端子４８４は、第１走査端子４２６に導通接触させて、走査線４１８を介してＴＦＴ４３６にＴＦＴ４３６のＯＮ信号を送るためのものである。第１データ給電端子４８３と第１走査給電端子４８４とが、第１実施形態の検査装置５０の第１給電端子８４に相当する。第２給電端子４８５は、第３端子４３５に導通接触させて対向電極４４４の電位を所定電位にするためのもので、第１実施形態の検査装置５０の第２給電端子８５に相当する。給電端子基板４８６は、第１データ給電端子４８３と、第１走査給電端子４８４と、第２給電端子４８５とを設置する基板で、第１実施形態の検査装置５０の給電端子基板８３に相当する。
【００８６】
本実施形態の第１データ給電端子４８３と第１走査給電端子４８４とが、特許請求の範囲に記載の第１の検査端子であり、第３端子４３５が、第２の検査端子である。また、基板プレート７０と給電端子基板４８６とが、特許請求の範囲に記載のテーブルに相当し、昇降機構７６が、移動機構に相当する。
【００８７】
液晶表示装置４００の検査において、第１実施形態と同様にして、最初に液晶表示装置４００の第３端子４３５が第２給電端子４８５に圧接され、第２給電端子４８５と第３端子４３５とが導通接続され、第２回路が、電源装置５４と導通接続される（図１５（ｂ）参照）。液晶表示装置４００に帯電していた静電気は、このとき、第２回路を経由して除電される。次に、第１データ給電端子４８３と第１端子４２４と、及び、第１走査給電端子４８４と第１走査端子４２６とが圧接されて導通接続され、第１回路が電源装置５４と導通接続される（図１５（ｃ）参照）。液晶表示装置４００の全画素４１９に電源装置５４からの信号電圧が印加されて、液晶表示装置４００は正常であれば全面点灯する。液晶表示装置４００の下面には、図示省略した光源からの光が図示省略した偏光板を介して照射されており、正常な画素４１９は光が透過し点灯する。観察用窓に設けられた偏光板を介して目視で確認し、点灯状態を検査する。
【００８８】
以上のように、本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００８９】
（第４の実施形態）
次に、本発明の検査装置及び検査方法の第４の実施形態について説明する。本実施形態は、スイッチング素子と第１の端子とが異なる基板上に形成されており、第１の端子が導通部を介して第１の電極に接続されている液晶表示装置を検査対象とする実施形態である。最初に、本実施形態の検査装置及び検査方法によって検査される液晶表示装置の構成について、第１の実施形態と異なる部分について説明する。図１６は液晶表示装置の配線を示す要部の平面透視図である。なお、図１６においては、本発明と直接関らない偏光板や照明装置などの構成は省略してある。
【００９０】
液晶表示装置５００は、図１及び図２に示した第１の実施形態の液晶表示装置１０と同様に、第１基板５１２と、第２基板５１４とをシール材５１６を介して貼り合せ、第１基板５１２、第２基板５１４及びシール材５１６によって囲まれた空間内に電気光学物質である液晶（図示省略）を封入したものである。液晶表示装置５００には、中央に表示領域５Ｄ（液晶駆動領域）（図２に示す）が設けられ、また、その周囲外側に周辺領域５Ｅが設けられている。表示領域５Ｄ内には、列方向に延在して形成されるデータ線５１７と行方向に延在して形成される走査線５１８との交差部分に対応して、画素１９（図４参照）がマトリックス状に配置されている。
【００９１】
第１の実施形態の液晶表示装置１０と同様に、第１基板５１２は、第２基板５１４の外形よりも張り出した基板張出部５２０を有し、この基板張出部５２０の表面上に液晶駆動回路などを内蔵した電子部品（半導体ＩＣチップ）であるＸドライバＩＣ２１，ＹドライバＩＣ２２，２２が実装されている（図１参照）。これらのＸドライバＩＣ２１，ＹドライバＩＣ２２，２２の図示しない複数の端子は、基板張出部５２０上に設けられた第１端子５２４及び第２端子５２６に導電接続されている。第１端子５２４は、第１配線５２８及び第１入力端子５３２に、第２端子５２６は、第２配線５３０及び第２入力端子５３４に、それぞれ導電接続されている。これらの第１入力端子５３２、及び第２入力端子５３４はフレキシブル配線基板（図示省略）などの配線部材が接続されることにより、外部の表示制御手段から制御信号や表示データなどを入力可能とするためのものである。
【００９２】
第１基板５１２においては、ガラスやプラスチックなどの透明材料で構成される第１基板体５１２Ａの表面（第２基板５１４と対向する側の面）上に、ＩＴＯなどで構成された導体パターンが形成されている。この導体パターンには、シール材５１６の内側に設定された表示領域５Ｄ内に配置されストライプ状に形成された複数の走査線５１８や、周辺領域５Ｅに配置された第１配線５２８、第２配線５３０、上記した第１端子５２４、第２端子５２６、第１入力端子５３２及び第２入力端子５３４などが含まれる。複数の走査線５１８の一端は、上記第２配線５３０に導電接続して、表示領域５Ｄから第１基板張出部５２０の表面上に引き出されている。
【００９３】
また、周辺領域５Ｅには第１基板体５１２Ａ上に複数の上記した第１配線５２８が形成されており、上記したように一端が第１電極５２４に導電接続されている。第１配線５２８の他の一端は、周辺領域５Ｅの表示領域５Ｄとの境界線に沿って配設された第１接続パッド５４２に導電接続されている。
【００９４】
第２基板５１４においては、ガラスやプラスチックなどの透明材料で構成される第２基板体５１４Ａの表面（第１基板５１２と対向する内面）上に、ＩＴＯなどで構成された導体パターンが形成されている。この導体パターンには、ストライプ状に形成された複数のデータ線５１７などが含まれる。
【００９５】
データ線５１７は、上記した走査線５１８と直行する方向に延びており、複数のデータ線５１７と走査線５１８との交点近傍の第２基板体５１４Ａ上に、薄膜ダイオード（ＴＦＤ）３６および画素電極３８が形成されている。表示領域５Ｄ内の第１基板体５１２Ａ上に形成された走査線５１８は、複数の画素電極３８と対向している。画素電極３８と走査線５１８との間に印加する電圧によって、画素電極３８と走査線５１８との間に在る液晶を操作（駆動）する。
【００９６】
画素電極３８を含む画素１９付近の詳細な構造についは、第１の実施形態の液晶表示装置１０と全く同様である（図３参照）。
【００９７】
データ線５１７は、表示領域５Ｄから外側の基板張出部５２０の方に向けて延び、周辺領域５Ｅまで延在している。第２基板体５１４Ａの周辺領域５Ｅには、第１接続パッド５４２と対向する位置に第２接続パッド５４６が形成されており、データ線５１７の一端が、導電接続されている。第２接続パッド５４６は、シール材５１６を介して第１接続パッド５４２に接続されている。シール材５１６には、樹脂基材中に多数の微小な導電粒子が分散配置されている。これらの導電粒子は、第１基板５１２と第２基板５１４とがシール材５１６を介して貼り合わされ、加圧された状態でシール材５１６が硬化されたとき、第１接続パッド５４２と第２接続パッド５４６とを導電接続するように構成されている。より具体的には、上記構成によりシール材５１６は導電異方性を有するので、複数の第１接続パッド５４２と複数の第２接続パッド５４６とは、このシール材５１６を介して相互に対向するもの同士のみが導電接続される。
【００９８】
液晶表示装置５００の電気的構成は、図４にブロック図で示した第１の実施形態の液晶表示装置１０の電気的構成と同様である。
【００９９】
データ線５１７が、特許請求の範囲に記載の第１の電極であり、走査線５１８が、特許請求の範囲に記載の第２の電極であり、第１接続パッド５４２と、シール材５１６の導電粒子を介して第１接続パッド５４２と接続された第２接続パッド５４６とが、特許請求の範囲に記載の導通部である。また、第１端子５２４，第２端子５２６が、特許請求の範囲に記載の第１の端子，第２の端子である。
【０１００】
本実施例においては、少なくとも第１端子５２４と、第１配線５２８と、第１接続パッド５４２と、シール材５１６の導電粒子を介して第１接続パッドと接続された第２接続パッド５４６と、データ線５１７と、ＴＦＤ３６と、画素電極３８とを含む回路を第１回路と呼ぶ。また、少なくとも第２端子５２６と、第２配線５３０と、走査線５１８とを含む回路を第２回路と呼ぶ。第１回路はスイッチング素子であるＴＦＤ３６を含み、ＴＦＤ３６と電気的に導通しているため、耐電圧が低い。一方、第２回路は、ＴＦＤ３６とは電気的に絶縁していおり、第１回路に比べて耐電圧が高い。
【０１０１】
液晶表示装置５００の検査に用いられる検査装置５０は、第１の実施形態に記載した検査装置５０と全く同様の構成である。液晶表示装置５００の検査は、第１の実施形態に記載した液晶表示装置１０の検査と全く同様に実施できる。
【０１０２】
以上のように、本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【０１０３】
本発明の実施形態は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
【０１０４】
（変形例１）各給電端子の素材として弾性素材である導電ゴムを用いているが、給電端子は剛性の高い材質（例えば金属）で形成し、弾性部材（例えば導電ゴム）を介して給電端子を設置し、給電端子全体が弾性変位できるようにしてもよい。
【０１０５】
（変形例２）各支え部材の素材として弾性素材であるゴムを用いているが、支え部材は剛性の高い材質（例えばプラスチック）で形成し、弾性部材（例えば導電ゴム）を介して支え部材を設置し、支え部材全体が弾性変位できるようにしてもよい。
【０１０６】
（変形例３）各押え部材の素材として弾性素材であるゴムを用いているが、押え部材は剛性の高い材質（例えばプラスチック）で形成し、弾性部材（例えば導電ゴム）を介して押え部材を設置し、押え部材全体が弾性変位できるようにしてもよい。
【０１０７】
（変形例４）各支え部材及び押え部材の弾性素材としてゴムを用いているが、弾性素材はゴムに限らず、発砲ウレタンや導電ゴムなどを適宜用いることができる。
【０１０８】
（変形例５）第１及び第３の実施形態における液晶表示装置１０及び４００では、第２端子２４及び第３端子４３５が２箇所であったが、小型の表示装置などで走査線の数が少ない場合や、対向電極の面積が小さい場合には、第２回路に導通接続する端子が１箇所のものもある。その場合の検査装置は、第２給電端子も１箇所となるが、上ホルダプレートは水平を保って液晶表示装置を押圧するため、液晶表示装置も水平を保って第２給電端子に押圧され、第１及び第３の実施形態と同様に、第２給電端子と第２端子（第２回路側）が導通接触し、次に、第１給電端子と第１端子（第１回路側）とが導通接触するという接触順番が実現できる。
【０１０９】
（変形例６）第１及び第３の実施形態における液晶表示装置１０及び４００では、明視方向が第１基板側であって、被検査状態の液晶表示装置の第１基板の端子は、下向きになっている。従って、検査装置の給電端子は、基板プレート上に設置してあった。ところで、第２基板側が明視方向の場合には、被検査状態の液晶表示装置の第１基板の端子は、上向きになるが、このような液晶表示装置の検査装置では、給電端子を上ホルダプレートに設けることによって、第１及び第３の実施の形態と同様の作用効果が実現できる。
【０１１０】
（変形例７）第２の実施の形態における液晶表示装置１００は、明視方向が第１基板側であったが、液晶表示装置１００と同様の２方向タイプの液晶表示装置であって、第２基板側が明視方向であるような液晶表示装置の検査装置では、第１給電端子を上ホルダプレートに、第２給電端子を基板プレートにそれぞれ設け、第２給電端子の高さを支え部材の高さより高くするとともに、第１給電端子の高さを押え部材の高さより低くすることで、第２の実施形態と同様の作用効果が実現できる。より詳しくは、第２給電端子と支え部材との高さ関係は、３個の支え部材の上に、第１基板が下になるようにし、位置決め部材で位置決めして、液晶表示装置を載置したときに、第２基板の下面にある第２端子と第２給電端子とは、必ず接触しているような高さ関係になっている。また、上ホルダプレートに対する、第１給電端子と押え部材との高さ関係は、３個の支え部材の上に、第１基板が下になるようにし、位置決め部材で位置決めして載置した液晶表示装置に対して、上ホルダプレートを下降させて、第１給電端子及び押え部材を第１端子及び第２基板に当接させるとき、最初に押え部材が第２基板に当接し、次に第１給電端子が第１端子に当接するような高さ関係になっている
【０１１１】
（変形例８）第２の実施形態に示す検査対象である２方向タイプの液晶表示装置１００は、ＴＦＤを用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示装置であるが、ＴＦＴを用いた２方向タイプの液晶表示装置であってもよい。この場合、第１回路は、第３の実施の形態に記載した第１端子と、第１配線と、データ線と、第１走査電極と、第２配線と、走査線と、ＴＦＴと、蓄積容量と、画素電極とを含んでおり、第２回路は、第３の実施の形態に記載した対向電極と、第３端子と、第３配線とを含んでいる。そして、第１回路は第１基板上に、第２回路は第２基板上に形成されている。
【０１１２】
（変形例９）第２の実施形態では押え部材は必須ではない。第２給電端子を第２端子に圧接する力で液晶表示装置を押圧し、第１端子を第１給電端子に圧接してもよい。
【０１１３】
（変形例１０）上記各実施形態における給電端子は、導電ゴムのような弾性体ではなく、例えばポリイミドからなるテープ状の基材に、電極における配線ピッチに応じた所定のピッチで導線（プローブ導線）が露出する形態の給電端子であってもよい。
【０１１４】
（変形例１１）弾性部材を用いない手段によって、給電端子を順次、第２端子、第１端子に接触させる構成を採用することもできる。例えば、第１給電端子と第２給電端子を個別に移動可能に構成して、第２給電端子、第１給電端子の順で対応する各端子に接触させるような手段を設けてもよい。
【０１１５】
（変形例１２）上記各実施形態に示す検査対象である液晶表示装置は、ＴＦＤやＴＦＴを用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示装置であるが、スイッチング素子を有しないパッシブ方式の液晶表示装置にも適用することができる。
【０１１６】
（変形例１３）上記各実施形態に示す検査対象である液晶表示装置は、ＩＣチップを表示装置の基板上に直接実装する所謂ＣＯＧ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｇｌａｓｓ）タイプの構造を有しているが、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ  Ｏｎ  Ｆｉｌｍ）タイプなど他の方法でＩＣチップを実装し、電気回路を介して液晶表示装置と結合するような液晶表示装置であっても構わない。
【０１１７】
（変形例１４）上記各実施形態に示す検査対象の電気光学装置は液晶表示装置であるが、電気光学装置としては液晶表示装置に限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ）装置などの各種電気光学装置の検査装置及び検査方法に適用できる。
【０１１８】
上記実施の形態および変形例から把握される技術的思想を以下に記載する。
（技術的思想１）  本発明による電気光学装置の検査装置であって、前記弾性変位手段は、前記第２給電端子を支持する給電端子支持部材を設け、当該給電端子支持部材を弾性体で構成することで実現されていることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【０１１９】
（技術的思想２）  本発明による記載の電気光学装置の検査装置であって、支持位置が弾性変位可能な支え部材は、当該支え部材を弾性体で構成することで実現されていることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【０１２０】
（技術的思想３）  本発明による電気光学装置の検査装置であって、当接位置が弾性変位可能な当接部材は、当該当接部材を弾性体で構成することで実現されていることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【０１２１】
（技術的思想４）  本発明による電気光学装置の検査装置であって、支持位置が弾性変位可能な支え部材は、前記支え部材を支持する支え支持部材を設け、当該支え支持部材を弾性体で構成することで実現されていることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【０１２２】
（技術的思想５）  本発明による電気光学装置の検査装置であって、当接位置が弾性変位可能な当接部材は、前記当接部材を支持する当接支持部材を設け、当該当接支持部材を弾性体で構成することで実現されていることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【０１２３】
（技術的思想６）  本発明による電気光学装置の検査装置であって、先に、前記第２端子に前記給電端子を接触させ、次に、前記第１端子に前記給電端子を接触させる手段は、第１給電端子と第２給電端子とを個別に移動可能に構成して、第２給電端子、第１給電端子の順で各電極に接触させるように構成することで実現されていることを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【０１２４】
（技術的思想７）  本発明による電気光学装置の検査装置であって、前記電気光学装置を支持可能に設けられ、支持位置が弾性変位可能な支え部材と、前記電気光学装置に対して、前記支え部材と同方向から前記第１端子に接触可能な第１給電端子と、前記支え部材に支持された状態の前記電気光学装置の前記第２端子に対して、離接可能に設けられた第２給電端子と、前記支え部材に支持された状態の前記電気光学装置に対して、第２給電端子と同方向から前記電気光学装置に離接可能に設けられた押え部材とを備え、前記第１給電端子の前記第２給電端子の離接方向の高さと、前記支え部材の前記離接方向の高さとの高さ関係を、前記支え部材に支持された状態の前記電気光学装置の前記第１端子と、前記第１給電端子とが接触しないような高さ関係にするとともに、前記第２給電端子の前記離接方向の高さと、前記押え部材の前記離接方向の高さとの高さ関係を、前記支え部材に支持された状態の前記電気光学装置に対して前記第２給電端子及び前記押え部材を接触させるとき、先に前記第２給電端子が前記第２端子に接触し、次に前記押え部材が前記電気光学装置に接触するような高さ関係にしたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】第１の実施形態における液晶表示装置の分解斜視図。
【図２】液晶装置の全体配線を示す平面透視図。
【図３】画素の平面構造を示す拡大図。
【図４】ＴＦＤ液晶表示装置の電気的構成を示すブロック図。
【図５】図５（ａ）検査装置の概要を示す模式正面図。図５（ｂ）検査装置の概要を示すＡ−Ａ断面図。
【図６】給電端子と電源装置の関係を示す模式図。
【図７】検査装置の給電端子の斜視図。
【図８】図８（ａ）給電端子の位置関係を示す平面図。図８（ｂ），図８（ｃ）給電端子と端子とが圧接する時の様子を示す模式側面図。
【図９】第２の実施形態における２方向タイプ液晶表示装置の斜視図。
【図１０】図１０（ａ）液晶表示装置の第１基板の平面図。図１０（ｂ）液晶表示装置の第２基板の平面図。
【図１１】図１１（ａ），図１１（ｂ）給電端子の位置関係を示す平面図。図１１（ｃ）給電端子の位置関係を示す模式側面図。
【図１２】図１２（ａ），図１２（ｂ）給電端子と端子とが圧接する時の様子を示す模式側面図。
【図１３】第３の実施形態におけるＴＦＴ液晶表示装置の分解斜視図。
【図１４】ＴＦＴ液晶表示装置の電気的構成を示すブロック図。
【図１５】図１５（ａ）給電端子の位置関係を示す平面図。図１５（ｂ），図１５（ｃ）給電端子と端子とが圧接する時の様子を示す模式側面図。
【図１６】第４の実施形態における液晶表示装置の配線を示す要部の平面透視図。
【符号の説明】
【０１２６】
１０，１００，４００，５００・・電気光学装置の一例である液晶表示装置、１２，２１２，４１２，５１２・・一対の基板の一方の基板としての第１基板、１４，２１４，４１４，５１４・・一対の基板のもう一方の基板としての第２基板、１６，４１６・・第２回路を構成するシール材、１７，２１７，４１７・・第１回路を構成するとともに第１の電極としてのデータ線、１８，２１８・・第２回路を構成するとともに第２の電極としての走査線、１９，４１９・・第２回路を構成する画素、２４，２２４，５２４・・第１回路を構成するとともに第１の端子としての第１端子、２６，２２６，５２６・・・第２回路を構成するとともに第２の端子としての第２端子、３６・・・第１回路を構成するとともにスイッチング素子である薄膜ダイオード（ＴＦＤ）、３８・・画素電極、４２・・第２回路を構成する第１接続パッド、４６・・第２回路を構成する第２接続パッド、５０・・検査装置、５２・・検査台、５４・・電源装置、５６・・第１信号線、５７・・第２信号線、７０・・変位接触手段及び変位機構を構成する基板プレート、７４・・変位接触手段及び変位機構を構成する上ホルダプレート、８２，２８２・・当接部材であるとともに弾性手段としての支え部材、８３，４８６・・給電端子基板、８４，２８４・・第１の検査端子としての第１給電端子、８５、２８５，４８５・・変位接触手段及び接触手段を構成するとともに弾性手段及び第２の検査端子としての第２給電端子、８６，２８６・・位置決め部材、８７・・凹部、８８，２８８・・押え部材、４１８・・第１回路を構成するとともに第１の電極としての走査線、４２４・・・第１回路を構成する第１端子、４２６・・第１回路を構成するとともに第１の端子としての第１走査端子、４３６・・・第１回路を構成するとともにスイッチング素子である薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）、４４４・・第２回路を構成する対向電極、４８３・・第１の検査端子としての第１データ給電端子、４８４・・第１の検査端子としての第１走査給電端子、５１６・・第１回路を構成するシール材、５４２・・第１回路を構成する第１接続パッド、５４６・・第１回路を構成する第２接続パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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