(57)【要約】【課題】装置を大型化せずに可動子の動作位置を精度良く検出できる電磁式ポンプを提供する。【解決手段】シリンダの周囲に可動子１０の往復運動を検出する空芯の検出コイル５３が電磁コイル５０ａ、５０ｂと同軸状に嵌め込まれている。【選択図】図２
2005054638.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ内に永久磁石を備えた可動子を収容し、当該シリンダの周囲に嵌め込まれた空芯の電磁コイルへ通電することにより可動子をシリンダ内で軸線方向に往復動させてシリンダ内に形成されるポンプ室より流体を輸送する電磁式ポンプにおいて、
前記シリンダの周囲に可動子の往復運動を検出する空芯の検出コイルが電磁コイルと同軸状に嵌め込まれていることを特徴とする電磁式ポンプ。
【請求項２】
電磁コイルはシリンダの周囲に複数嵌め込まれ、電磁コイルの軸線方向両端面に隣接して検出コイルが嵌め込まれていることを特徴とする請求項１記載の電磁式ポンプ。
【請求項３】
検出コイルの軸線方向両端面、または、両端面及び外周面に磁性材料からなるヨークが設けられていることを特徴とする請求項１記載の電磁式ポンプ。
【請求項４】
検出コイルの誘導電圧の周波数が、可動子の往復運動周波数の２倍であることを特徴とする請求項１記載の電磁式ポンプ。
【請求項５】
検出コイルで検出された誘導電圧を基にしてポンプの流量を検出することを特徴とする請求項１記載の電磁式ポンプ。
【請求項６】
検出コイルで検出された誘導電圧を基に閾値を設定してしてポンプの流量が一定の流量より大きいか否かを検出することを特徴とする請求項１記載の電磁式ポンプ。
【請求項７】
検出コイルで検出された誘導電圧を基にして閾値を設定して可動子が正常に往復運動しているか否かを判定することを特徴とする請求項１記載の電磁式ポンプ。
【請求項８】
検出コイルの誘導電圧に基づいて可動子の駆動制御が行われることを特徴とする請求項１記載の電磁式ポンプ。
【請求項９】
電磁コイルの励磁に起因する誘導電圧の変動が少ない検出範囲で検出コイルの誘導電圧を検出することを特徴とする請求項１乃至請求項８の何れか１項に記載の電磁式ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電磁式ポンプに関し、より詳細には気体、液体等の流体の輸送に使用するコンパクトな電磁式ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
本件出願人は先に固定子側のシリンダ室内に磁性材よりなる可動子を往復動自在に収容し、シリンダの周囲に嵌め込まれた電磁コイルに通電することにより、可動子の移動方向両側面とシリンダの両端面との間に形成されるポンプ室のうち、一方のポンプ室において、外部から第１のバルブを通して流体を吸入し第２のバルブを通して外部へ流体を送り出し、他方のポンプ室も同様のポンプ作用をなす小型化薄型化された電磁式ポンプを提案した。（特許文献１参照）。図１１において、可動子１０１のマグネット１０３のＮ極側より発生した磁束は、固定子１０２側のインナーヨーク１０４ａ、アウターヨーク１０５、インナーヨーク１０４ｂを経てマグネット１０３のＳ極側へ戻る磁気回路が形成される。電磁コイル１０６ａ、１０６ｂへ通電することにより、当該電磁コイル１０６ａ、１０６ｂは上述した磁界から電磁力を受けるが、電磁コイル１０６ａ、１０６ｂは固定子１０２側に固定されているため、反作用として可動子１０１がシリンダの軸線方向（図１１の上下方向）へ移動する。
【特許文献１】特願２００２−２８６１８８号
【０００３】
上記電磁式ポンプにおいて、上フレーム体１０７及び下フレーム体１０８により両端を閉止されたシリンダ部１０９に収容された可動子１０１が正常に動作しているか否か、或いは可動子１０１が適正な可動範囲で動作しているか否か等の可動子の動作を検出する方法には様々な方法が考えられる。この可動子１０１の動作検出方法の一例としては、図１１に示すように、下フレーム体１０８の外側に磁気センサ（ホール素子など）１１０が設けられる。磁気センサ１１０は、可動子１０１のマグネット１０３から発生した漏れ磁束を検出することで可動子１０１の可動位置を検出することができる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図１１に示す磁気センサを用いた可動子の電磁ポンプの構成では、可動子１０１は上下フレーム体１０７、１０８に閉止されたシリンダ部１０９内に収容されているため、可動子１０１の近傍に磁気センサ１１０を配置できない。また、可動子１０１の漏れ磁束は小さいうえに、磁気センサ１１０を可動子１０１から離れた位置に設けると、装置が大型化するうえに、磁気センサ１１０の検出する磁束密度が更に小さくなり磁束密度の変化を検出するのが難しくなる。具体的には、上下フレーム体１０７、１０８の一方側に設けると、磁気センサ１１０の磁束密度の変化は常に同じ方向となるので、可動子１０１の往復動作による極性の反転がないためセンサの感度に限界がある。
【０００５】
また、磁気センサ１１０は、電磁コイル１０６ａ、１０６ｂへの通電により発生する磁界の影響を受け易い。即ち、可動子１０１の往復動の周期は可動子１０１の漏れ磁束の磁束密度変化の周期と同じになる。また、電磁コイルの通電による励磁周期も同じである。従って、磁気センサにより検出された磁束密度の変化は、可動子１０１の往復運動に起因するものか、電磁コイル１０６ａ、１０６ｂへの励磁に起因するものかを判別するのが難しい。
【０００６】
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、その目的とするところは、装置を大型化せずに可動子の動作位置を精度良く検出し、電磁コイルの通電により発生する磁界の影響を受け難い電磁式ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
シリンダ内に永久磁石を備えた可動子を収容し、当該シリンダの周囲に嵌め込まれた空芯の電磁コイルへ通電することにより可動子をシリンダ内で軸線方向に往復動させてシリンダ内に形成されるポンプ室より流体を輸送する電磁式ポンプにおいて、シリンダの周囲に可動子の往復運動を検出する空芯の検出コイルが電磁コイルと同軸状に嵌め込まれていることを特徴とする。
【０００８】
また、電磁コイルはシリンダの周囲に複数嵌め込まれ、電磁コイルの軸線方向両端面に隣接して検出コイルが嵌め込まれていることを特徴とする。
また、検出コイルの軸線方向両端面、または両端面及び外周面に磁性材からなるヨークが設けられていることを特徴とする。
また、検出コイルの誘導電圧の周波数が、可動子の往復運動周波数の２倍であることを特徴とする。
また、検出コイルで検出された誘導電圧を基にしてポンプの流量を検出することを特徴とする。この場合、検出コイルで検出された誘導電圧を基に閾値を設定してしてポンプの流量が一定の流量より大きいか否かを検出しても良いし、検出コイルで検出された誘導電圧を基にして閾値を設定して可動子が正常に往復運動しているか否かを判定するようにしても良いし、検出コイルの誘導電圧に基づいて可動子の駆動制御を行うようにしても良 い。
更には電磁コイルの励磁に起因する誘導電圧の変動が少ない検出範囲で検出コイルの誘導電圧を検出するのが望ましい。
【発明の効果】
【０００９】
上述した電磁式ポンプを用いれば、可動子の漏れ磁束が大きいシリンダの周囲に可動子の往復運動を検出する空芯の検出コイルが電磁コイルと同軸に嵌め込まれているので、可動子の往復運動により検出コイルに発生する誘導電圧が大きくでき、検出精度が向上でき、ポンプを大型化せずに可動子の動作を検出できる。
また、検出コイルの軸線方向両端面及び外周面に磁性材からなるヨークが設けられている場合には、可動子から発生した磁束のうち検出コイルと鎖交する磁束数が増えるので、検出コイルに発生する誘導電圧値を大きくして検出感度を向上することができる。
また、検出コイルの誘導電圧の周波数が、可動子の往復運動の周波数の２倍とすることで、可動子の往復運動と同じ周波数で励磁される電磁コイルから発生する磁界の周波数に対しても２倍となり、可動子の往復運動に起因する磁束密度の変化と電磁コイルの励磁に起因する磁束密度の変化とを分離し易くでき、検出精度を向上できる。
更には、検出コイルの誘導電圧を基に、可動子の往復運動やポンプの流量を検出することができ、可動子の駆動制御も行える。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に係る電磁式ポンプの最良の実施形態について添付図面とともに詳細に説明する。本実施形態の電磁式ポンプはシリンダ内に永久磁石を備えた可動子を収容し、当該シリンダの周囲に嵌め込まれた空芯の電磁コイルへ通電することにより可動子をシリンダ内で軸線方向に往復動させてシリンダ内に形成されるポンプ室より流体を輸送する電磁式ポンプに広く適用可能である。
【００１１】
図１において、電磁式ポンプの代表的な構成について説明する。可動子１０は密閉されたシリンダ内に収容されてシリンダの軸線方向に往復動可能に設けられている。可動子１０は円板状に形成したマグネット１２とマグネット１２を厚さ方向に挟持する一対のインナーヨーク１４ａ、１４ｂとからなる。マグネット１２は一方の面をＮ極、他方の面をＳ極として、厚さ方向（図１の上下方向）に磁化されている永久磁石である。インナーヨーク１４ａ、１４ｂは磁性材によって形成され、各々のインナーヨーク１４ａ、１４ｂは、マグネット１２よりも若干大径に形成された平板部１５ａと、平板部１５ａの周縁部に短筒状に起立したフランジ部１５ｂとを備える。フランジ部１５ｂの外周面はマグネット１２から発生した磁束の可動子１０側の磁束作用面となる。
【００１２】
封止材１６はマグネット１２の外周側面を被覆するプラスチック等の非磁性材である。封止材１６はマグネット１２が錆びたりしないようマグネット１２が外部に露出しないように被覆する作用と、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂとを一体に形成する作用を有する。封止材１６はインナーヨーク１４ａ、１４ｂに挟まれたマグネット１２の外周側面を充填するように設けられているが、封止材１６の外周径はインナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周径よりも若干小径に形成されている。このように封止材１６を形成しておくと、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周面を仕上げ研削する際に、封止材１６が研削刃に接触せず、研削刃を傷めずに作業できるという利点と、封止材１６の熱膨張係数がインナーヨーク１４ａ、１４ｂの熱膨張係数よりも大きい場合に、ポンプを高温状態で使用したとき可動子１０とシリンダ間の空隙が封止材１６の熱膨張によって減少または無くなることを防止し、ポンプを安定して動作させることができるという利点がある。
【００１３】
次に、図１において電磁式ポンプの固定子側の構成について説明する。一対の非磁性材からなる上フレーム体２０ａと下フレーム体２０ｂとを組み合わせて円筒状のシリンダが形成され、このシリンダ内で上述した可動子１０が往復動可能に収容されている。本実施形態においては、下フレーム体２０ｂのフレーム本体２２ｂに円筒状に形成したシリンダ部２４が一体に形成されている。このシリンダ部２４の端部を上フレーム体２０ａのフレーム本体２２ａに設けた嵌合溝２８に嵌合させることにより、一対のフレーム体２０ａ、２０ｂにより軸方向両端面が閉止されたシリンダが形成される。嵌合溝２８のシリンダ部２４の端面が当接する部位にはシール材２９が設けられており、シリンダ部２４の端面をシール材２９に突き当てることにより、シリンダ内が外部からシールされる。なお、上フレーム体２０ａからシリンダ部２４を延出させて下フレーム体２０ｂに嵌合させることもできる。また、シリンダ部２４を上フレーム体２０ａと下フレーム体２０ｂとで別体に形成してもよい。
【００１４】
このように、シリンダの両端面は上フレーム体２０ａと下フレーム体２０ｂによって閉止され、可動子１０の移動方向両側面と上下フレーム体２０ａ、２０ｂの内壁面との間に各々ポンプ室３０ａ、３０ｂが形成される。ポンプ室３０ａ、３０ｂは可動子１０の両端面と上フレーム２０ａのフレーム本体２２ａ、下フレーム２０ｂのフレーム本体２２ｂとの間に形成される空隙部分に相当する。なお、可動子１０はシリンダ部２４の内面に接触した状態で、シリンダ部２４と気密あるいは液密にシールした状態で摺動する。可動子１０の摺動性を良好にするため、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの外周面にフッ素樹脂コーティングやＤＬＣ（ダイヤモンド・ライク・カーボン）コーティング等の潤滑性と防錆力を兼ね備えたコーティングを施す。また、可動子１０が周方向に回ることを防止する回り止めを設けることもできる。
【００１５】
フレーム本体２２ａ、２２ｂの端面（内壁面）にはダンパー３２が取り付けられている。ダンパー３２は可動子１０の移動範囲の終端位置でインナーヨーク１４ａ、１４ｂがフレーム本体２２ａ、２２ｂの端面に当接した際の衝撃を吸収するために設けられている。なお、ダンパー３２はフレーム本体２２ａ、２２ｂの端面に設けるかわりに、インナーヨーク１４ａ、１４ｂの端面であって、フレーム本体２２ａ、２２ｂに当接する面に設けてもよい。
【００１６】
上フレーム２０ａのフレーム本体２２ａ内には、吸入用バルブ３４ａ及び送出用バルブ３６ａがポンプ室３０ａに連通して設けられている。下フレーム２０ｂのフレーム本体２２ｂ内には、吸入用バルブ３４ｂ及び送出用バルブ３６ｂがポンプ室３０ｂに連通して設けられている。
【００１７】
上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂには、吸入用バルブ３４ａ、３４ｂに連通する吸入用流路３８ａ、３８ｂが設けられている。また、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂには、送出用バルブ３６ａ、３６ｂに連通する送出用流路４０ａ、４０ｂが設けられている。上フレーム２０ａの吸入用流路３８ａと下フレーム２０ｂの吸入用流路３８ｂとは連通管４２により連通しており、上フレーム２０ａの送出用流路４０ａと下フレーム２０ｂの送出用流路４０ｂとは連通管４４により連通している。これによって、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂの吸入用流路と送出用流路が各々、一の吸入口３８と一の送出口４０に連通する。
【００１８】
図１において、シリンダの周囲には空芯の電磁コイル５０ａ、５０ｂが嵌め込まれている。電磁コイル５０ａ、５０ｂはシリンダの軸線方向に若干離間させ、シリンダの軸線方向の中心位置に対して均等位置となるように配置されている。電磁コイル５０ａ、５０ｂはインナーヨーク１４ａ、１４ｂのフランジ部１５ｂの可動範囲よりも軸線長を長く設定されている。なお、電磁コイル５０ａと電磁コイル５０ｂとは巻き線方向が逆向きであり、同一電源による通電によって、互いに逆向きの電流が流れるように設定されている。電磁コイル５０ａ、５０ｂの巻き線方向を逆向きにしているのは、マグネット１２の磁束と鎖交する電磁コイル５０ａ、５０ｂに流れる電流に作用する力が重畳して、反力として可動子１０に作用し、この力が推力になるためである。
【００１９】
アウターヨーク５２は、電磁コイル５０ａ、５０ｂの外周囲を囲んで筒状に設けられている。アウターヨーク５２は、磁性材が用いられ、電磁コイル５０ａ、５０ｂに鎖交する磁束数を増やして電磁力を効果的に可動子１０に作用させるために設けられる。また、可動子１０を構成するインナーヨーク１４ａ、１４ｂの周辺部にフランジ部１５ｂを軸線方向に起立して設けられているので、マグネット１２から発生した磁束をインナーヨーク１４ａ、１４ｂからアウターヨーク５２に至る磁気回路の磁気抵抗を下げることができる。これにより、可動子１０から作用する総磁束量を増加させる（磁路を確保する）と共に、マグネット１２が発生した磁束が電磁コイル５０ａ、５０ｂに流れる電流と軸線方向に対して直角に鎖交させることで、可動子１０に軸線方向の推力を効果的に発生させることができる。また、本構成による可動子１０は発生推力に比して質量が軽くなるため、高速応答が可能となり、出力流量も増加できる。
【００２０】
電磁コイル５０ａ、５０ｂおよびアウターヨーク５２は、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂとを組み合わせる際に、上フレーム２０ａと下フレーム２０ｂに設けた嵌合溝２８にアウターヨーク５２を嵌合させることによってシリンダ部２４と同芯に組み付けることができる。
【００２１】
可動子１０は、電磁コイル５０ａ、５０ｂに交番電流を通電することにより、電磁コイル５０ａ、５０ｂによって発生する電磁力の作用により往復駆動（上下動）される。電磁コイル５０ａ、５０ｂによる電磁力は、電磁コイル５０ａ、５０ｂへの通電方向によって可動子１０を一方向と他方向へ押動するから、図示しない制御部により、電磁コイル５０ａ、５０ｂへの通電時間、通電方向を制御することによって可動子１０を適宜ストロークで往復駆動させることができる。可動子１０がフレーム本体２２ａ、２２ｂの内面に当接した際には、ダンパー３２の作用によって衝撃を吸収することができる。
【００２２】
本実施形態の電磁式ポンプのポンプ作用は、電磁コイル５０ａ、５０ｂによって可動子１０を往復動させることにより、ポンプ室３０ａ、３０ｂに交互に流体が吸入され、送出される作用によってなされる。すなわち、図１の状態で、可動子１０が下方に移動すると、一方のポンプ室３０ａには流体が導入され、同時に他方のポンプ室３０ｂからは流体が送出される。また、逆に可動子１０が上方に移動すると、一方のポンプ室３０ａからは流体が送出され、他方のポンプ室３０ｂに流体が導入される。こうして、可動子１０がどちらの側へ移動する際にも流体の吸排がなされ、流体の脈動を抑え、効率的に流体を輸送することが可能となる。
【００２３】
本実施形態の電磁式ポンプは可動子１０に、フランジ部１５ｂを備えたインナーヨーク１４ａ、１４ｂを取り付け、可動子１０の両端面に近接して吸入用バルブ３４ａ、３４ｂと送出用バルブ３６ａ、３６ｂを設けることによって、きわめて薄型で小型のポンプとして提供することが可能となった。実施形態の電磁式ポンプの場合は、高さ１５ｍｍ、幅２０ｍｍ程度の小型ポンプに形成することができる。
【００２４】
また、本実施形態の電磁式ポンプは気体あるいは液体の輸送に使用することができ、流体の種類が限定されるものではない。液体ポンプとして使用する際に、可動子１０が一つでは輸送圧力が不足するような場合には、マグネット１２とインナーヨーク１４ａ、１４ｂからなる同形の単位可動子を複数個連結した多段型の可動子１０を使用すればよい。
単位可動子を多段に連結することによって、大きな推力を備えた可動子とすることができ、所要の輸送圧力を備えた電磁式ポンプとすることができる。
【実施例１】
【００２５】
次に、上述した電磁式ポンプの可動子の往復動作検出部の構成及び検出動作の好適な実施例について図２乃至図５を参照して説明する。図２において、シリンダの周囲に可動子１０の往復運動を検出する空芯の検出コイル５３が電磁コイル５０ａ、５０ｂと同軸に嵌め込まれている。具体的には、検出コイル５３はシリンダの周囲に電磁コイル５０ａと電磁コイル５０ｂの軸線方向両端面に隣接して嵌め込まれている。
【００２６】
可動子１０が往復運動する際の可動子１０の動作位置に応じた検出コイル５３に作用する磁束状態を図３乃至図５に示す。図３は可動子１０が可動範囲で上方に変位した状態を示し、図４は可動子１０が中央部に変位した状態を示し、図５は可動子１０が下方へ変位した状態を示す。検出コイル５３に鎖交する磁束量は、可動子１０が可動範囲の中央に変位したとき（図４の状態）で最大となり、可動子１０が上方又は下方に変位したとき（図３及び図５の状態）で最小となる。可動子１０は図３→図４→図５→図４→図３の順に往復動作を繰り返す。可動子１０が１往復する間に、検出コイル５３を通過する磁束量の増減は２サイクル発生する。従って、検出コイル５３に発生する誘導電圧も２サイクル発生する。尚、検出コイル５３による検出動作は、可動子１０が図３と図４との間を移動する間のみ、若しくは可動子１０が図４と図５との間を移動する間のみで行っても良い。この場合には、可動子１０が１往復する間に検出コイル５３に発生する誘導電圧は１サイクルとなる。また、可動子１０には、インナーヨーク１４ａ、１４ｂが省略されていても良い。
【実施例２】
【００２７】
次に電磁式ポンプの可動子の往復動作検出部の他例について図６を参照して説明する。図２と同一部材には同一番号付して説明を援用するものとする。図６において、検出コイル５３はシリンダの周囲に電磁コイル５０ａと電磁コイル５０ｂの軸線方向両端面に隣接して嵌め込まれている点は同様である。本実施例は検出コイル５３の軸線方向両端面に磁性材からなるヨーク２６ａ、２６ｂ及び検出コイル５３の外周面にアウターヨーク５２が設けられている。これにより、可動子１０から発生した磁束が、ヨーク２６ａ、アウターヨーク５２、ヨーク２６ｂを通過する磁気回路が形成される。これにより、可動子１０から発生した磁束のうち検出コイル５３と鎖交する磁束数が増えるので、検出コイル５２に発生する誘導電圧値を大きくして検出感度を向上することができる。尚、検出コイル５３の軸線方向両端面にヨーク２６ａ、２６ｂが設けられていればアウターヨーク５２は省略することも可能である。
【実施例３】
【００２８】
次に電磁式ポンプの可動子の往復動作検出に基づく応用例について図７及び図８を参照して説明する。図２と同一部材には同一番号付して説明を援用するものとする。本実施例は検出コイル５３で検出された誘導電圧を基にしてポンプの流量を検出することを特徴とする。即ち、ポンプの流量は、可動子１０が往復運動する速度Ｖと可動子１０の断面積Ｓとの積になる。可動子１０が往復運動する速度Ｖが大きくなれば、ポンプの流量が大きくなり検出コイルの誘導電圧も大きくなる。従って、図７において、検出コイル５３に発生した誘導電圧の振幅の大きさにより、ポンプの流量を推量することができる。
【００２９】
また、図８において、検出コイル５３で検出された誘導電圧を基にして閾値を設定して可動子１０が往復運動しているか否かを判定することもできる。即ち、検出コイル５３の誘導電圧に一定の流量に相当する閾値電圧を設定しておく。そして、検出された誘導電圧と閾値電圧とをコンパレータ回路等により比較してパルス出力に変換する。一定の流量より大きい場合にはパルスが発生し、一定の流量より小さい場合にはパルスが発生しない。また、制御部などから電圧、電流、周波数等を一定の条件で電磁コイル５０ａ、５０ｂに通電した場合、可動子１０が正常に動作した場合の検出コイル５３の誘導電圧の振幅範囲の上限若しくは下限を閾値電圧とすることにより、ポンプの可動子１０が正常に動作しているか否かを検出することもできる。
【実施例４】
【００３０】
次に、電磁式ポンプの可動子の往復動作検出に基づく応用例について図９及び図１０を参照して説明する。図２と同一部材には同一番号付して説明を援用するものとする。本実施例は検出コイル５３で検出された誘導電圧に基づいて可動子１０の駆動制御が行われることを特徴とする。即ち、可動子１０が正常に動作するように、図示しない制御部との間でフィードバック制御を行うことにより、電磁コイル５０ａ、５０ｂへの通電量を制御したり、ポンプ流量を制御したり、可動子１０の可動範囲が上下フレーム本体２２ａ、２２ｂに当たらないように制御することができる。
【００３１】
更には、電磁コイル５０ａ、５０ｂの励磁に起因する誘導電圧の変動が少ない検出電圧範囲で検出コイルの誘導電圧を検出するのが望ましい。検出コイル５３の上下には電磁コイル５０ａ、５０ｂがあり、当該電磁コイル５０ａ、５０ｂの電流の変化により検出コイル５３に誘導電圧が発生する。図９に電磁コイル５０ａ、５０ｂの電流変化量による影響を含めた検出コイル５３の誘導電圧のグラフ図を示す。電磁コイル５０ａ、５０ｂの励磁方向を切り換えた直後は、時間に対する電流値の変化量が大きく、検出コイル５３の誘導電圧に及ぼす影響が大きい。そこで、電磁コイル５０ａ、５０ｂの電流変化量が小さいとき、即ち可動子１０の往復運動による発生する誘導電圧が図９において負側のときの誘導電圧波形（図９のグラフ図のＡ部分及びＢ部分）に電圧閾値を設けることで、電磁コイル５０ａ、５０ｂの電流変化による影響を小さくすることができる。図９において、Ａ部及びＢ部の電磁コイル５０ａ、５０ｂの電流変化量が大きい場合には、Ａ部及びＢ部の誘導電圧の平均値を算出したり、Ａ部及びＢ部のパルス幅を検出してその平均値を算出したり、検出コイル５３の誘導電圧の周波数成分（可動子１０の往復運動周波数の２倍成分）だけを検出しても良い。
【００３２】
図９は検出コイル５３の誘導電圧の周波数が可動子１０の往復運動周波数の２倍であるが、周波数が同じ場合を図１０に示す。検出コイル５３の誘導電圧はＣ部及びＤ部でピ−クになるが、いずれも電磁コイル５０ａ、５０ｂの電流変化による影響を同じように受けてしまうので、可動子１０の往復運動が適正か検出することが難しくなる。従って、検出コイル５３の誘導電圧の周波数が可動子１０の往復運動周波数の２倍にすることにより、可動子１０の往復運動の適否を検出し易くなることが分かる。
【００３３】
尚、図１に示す電磁式ポンプは、可動子１０の一方側と他方側に設けられた吸入用流路３８ａ、３８ｂを連通し、可動子１０の一方側と他方側に設けられた送出用流路４０ａ、４０ｂを連通して、いわば、並列的に流路を連通させた例であるが、複数の電磁式ポンプを直列に流路を連通して使用することも可能である。この場合は、送出用流路４０ａを吸入用流路３８ｂに連通するか、送出用流路４０ｂを吸入用流路３８ａに連通させればよい。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係る電磁式ポンプの構成を示す断面図である。
【図２】第１実施例に係る電磁式ポンプの要部構成を示す断面図である。
【図３】可動子の移動により検出コイルに作用する磁束の状態説明図である。
【図４】可動子の移動により検出コイルに作用する磁束の状態説明図である。
【図５】可動子の移動により検出コイルに作用する磁束の状態説明図である。
【図６】第２実施例に係る電磁式ポンプの要部構成を示す断面図である。
【図７】第３実施例に係る電磁式ポンプの流量検出のグラフ図である。
【図８】第３実施例に係る電磁式ポンプの流量検出のグラフ図である。
【図９】第４実施例に係る電磁式ポンプの可動子の動作検出を示すグラフ図である。
【図１０】第４実施例に係る電磁式ポンプの可動子の動作検出を示すグラフ図である。
【図１１】従来の可動子の動作検出を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１０  可動子
１２  マグネット
１４ａ、１４ｂ  インナーヨーク
１５ａ  平板部
１５ｂ  フランジ部
１６  封止材
２０ａ  上フレーム
２０ｂ  下フレーム
２２ａ、２２ｂ  フレーム本体
２４  筒体部
２８  嵌合溝
２９  シール材
３０ａ、３０ｂ  ポンプ室
３２  ダンパー
３４ａ、３４ｂ  吸入用バルブ
３６ａ、３６ｂ  送出用バルブ
３８ａ、３８ｂ  吸入用流路
４０ａ、４０ｂ  送出用流路
４２、４４  連通管
５０ａ、５０ｂ  電磁コイル
５２  アウターヨーク
５３  検出コイル
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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