(57)【要約】【課題】  リンキングや焼き付きの発生を防いでセラミックスの破損を防止できるとともに、安定した回転を実現できるセラミックス製動圧軸受を提供すること。【解決手段】  外筒７の上下方向の両端面動圧発生部７ａ，７ｂの平面度は、３μｍ以下の範囲に設定されている。また、上側のスラスト板２１の下方の端面動圧発生部２１ａ及び下側のスラスト板２３の上方の端面動圧発生部２３ｂの平面度も、３μｍ以下の範囲に設定されている。更に、外筒７は、上下の端面動圧発生部７ａ，７ｂにおいて、最外周部７ｃよりも内周部７ｄの方が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で高くされている。一方、両スラスト板２１，２３は平板であり、内周部と最外周部とで高さの差はない。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部の平面度が、３μｍ以下であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項２】
固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記スラスト板の前記外筒に面する端面動圧発生部の平面度が、３μｍ以下であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項３】
固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部の平面度と、該外筒の端面動圧発生部に面する前記スラスト板の端面動圧発生部の平面度との合計が、３μｍ以下であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項４】
固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項５】
固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記スラスト板の前記外筒に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項６】
固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記外筒及び前記スラスト板にて、互いに面する端面動圧発生部の最外周部同士の間隔が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項７】
前記請求項１に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項８】
前記請求項１に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記スラスト板の前記外筒に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項９】
前記請求項１に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒及び前記スラスト板にて、互いに面する端面動圧発生部の最外周部同士の間隔が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項１０】
前記請求項２に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項１１】
前記請求項２に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記スラスト板の前記外筒に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項１２】
前記請求項２に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒及び前記スラスト板にて、互いに面する端面動圧発生部の最外周部同士の間隔が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項１３】
前記請求項３に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項１４】
前記請求項３に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記スラスト板の前記外筒に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【請求項１５】
前記請求項３に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒及び前記スラスト板にて、互いに面する端面動圧発生部の最外周部同士の間隔が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転時には、外筒と内筒とが非接触となるとともに外筒とスラスト板とが非接触となって、外筒が回転するセラミックス製動圧軸受に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、高速回転する高精度モータには、高速回転時の優れた軸受性能を得るためや、低回転ムラの発生の防止等のために、空気等の気体を媒体とした動圧軸受が用いられている。
【０００３】
この動圧軸受とは、外筒が回転する場合には、回転時に外筒が内筒の軸受面と非接触で支持されて回転するものであり、この内筒及び外筒の材料には、ステンレス等の金属もしくはこれらに窒化物や樹脂等のコーティングを施したものが一般的に用いられている。
【０００４】
また、これとは別に、近年では、焼き付きが生じにくくしかも耐摩耗性に優れている等の理由で、一部又は全体にアルミナ等のセラミックス製の動圧部品を用いたセラミックス製動圧軸受が開発されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、この様なセラミックス製動圧軸受の場合でも、固定部である内筒と回転部である外筒からなる軸受部を、２枚の円板状のスラスト板が挟み込む構造を有する動圧軸受においては、起動時及び停止時などに問題が生じることがあった。
【０００６】
具体的には、動圧軸受の起動時や停止時に、外筒とスラスト板とが接触する際に、リンキング（即ち隙間が真空状になって部材同士が密着する現象）や焼き付きが発生し、最悪の場合には、外筒やスラスト板等のセラミックス部材に破損が生じることがあった。
【０００７】
また、これとは別に、動圧軸受の回転時に、外筒が振動して回転が安定しないという問題が生ずることがあった。本発明は、前記課題を解決するためになされたものであり、リンキングや焼き付きの発生を防いでセラミックスの破損を防止できるとともに、安定した回転を実現できるセラミックス製動圧軸受を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（１）前記目的を達成するための請求項１の発明は、固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部の平面度が、３μｍ以下であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【０００９】
本発明では、外筒のスラスト板に面する端面動圧発生部の平面度が、３μｍ以下であるので、外筒が回転する際に、外筒端面とスラスト板の間隔が円周方向に一定になり、発生した動圧も回転によるムラが少なくなる。そのため、外筒に振動が発生することを防止できるので、動圧軸受の回転動作を安定させることができる。また、外筒の振動を防止できるので、外筒等のセラミックス製の部材が周囲に接触して破損することも防止できる。
【００１０】
この様に、本発明によれば、前記平面度が３μｍ以下となるように加工すれば、振動の発生を抑制できることがわかるので、加工不足による振動の発生等を防止できるとともに、過度の加工による無駄を排除することができ、実際の工業製品の製造において、その効果は大きなものである。
【００１１】
また、本発明では、外筒の板厚方向（回転軸の軸方向）の両側（上下両側）に、動圧が発生する端面動圧発生部が形成されているが、上述した平面度の規定は、一方の側の端面動圧発生部だけでなく、両側にて満足することが望ましい。尚、本発明において、平面度とは、ＪＩＳ  Ｂ  ０６２１に規定される様に、平面形体を幾何学的平行二平面で挟んだとき、平行二平面の間隔が最小となる場合の二平面の間隔で表すものであり、平面度何ｍｍ又は何μｍと表示する。
【００１２】
（２）請求項２の発明は、固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記スラスト板の前記外筒に面する端面動圧発生部の平面度が、３μｍ以下であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００１３】
本発明では、スラスト板の外筒に面する端面動圧発生部の平面度が、３μｍ以下であるので、外筒が回転する際に、外筒端面とスラスト板の間隔が円周方向に一定になり、発生した動圧も回転によるムラが少なくなる。そのため、外筒に振動が発生することを防止できるので、動圧軸受の回転動作を安定させることができる。また、外筒の振動を防止できるので、外筒等のセラミックス製の部材が周囲に接触して破損することも防止できる。
【００１４】
この様に、本発明によれば、前記平面度が３μｍ以下となるように加工すれば、振動の発生を抑制できることがわかるので、加工不足による振動の発生等を防止できるとともに、過度の加工による無駄を排除することができ、実際の工業製品の製造において、その効果は大きなものである。
【００１５】
また、本発明では、両スラスト板の板厚方向（回転軸の軸方向）において、その内側（外筒に面する側）に、動圧が発生する端面動圧発生部が形成されているが、上述した平面度の規定は、一方のスラスト板の端面動圧発生部だけでなく、両スラスト板にて満足することが望ましい。
【００１６】
（３）請求項３の発明は、固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部の平面度と、該外筒の端面動圧発生部に面する前記スラスト板の端面動圧発生部の平面度との合計が、３μｍ以下であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００１７】
本発明は、外筒とスラスト板にて、互いに向き合う各端面動圧発生部の平面度の関係を示したものであり、両端面動圧発生部の平面度の合計が３μｍ以下の場合には、前記請求項１及び請求項２の発明と同様に、外筒の振動の防止、セラミックスの破損防止が得られる。
【００１８】
この様に、本発明によれば、前記平面度の合計が３μｍ以下となるように加工すれば、振動の発生を抑制できることがわかるので、加工不足による振動の発生等を防止できるとともに、過度の加工による無駄を排除することができ、実際の工業製品の製造において、その効果は大きなものである。
【００１９】
（４）請求項４の発明は、固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００２０】
本発明では、外筒のスラスト板に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であるので、起動時や停止時に、リンキング及び焼き付きの発生を防止でき、それにより、セラミックスの破損を防止できる。
【００２１】
つまり、本発明では、外筒の最外周部では、外筒とスラスト板との距離が内周部より前記所定の範囲内で離れているので、起動時や停止時の様に、外筒が下方のスラスト板に着座する状態であっても、最外周部はスラスト板に接触し難い。そのため、起動時には、リンキング及び焼き付きを起こすことなくスムーズに回転を開始するとともに、停止時には、最外周部がスラスト板に密着しリンキング及び焼き付きにより急停止することがない。
【００２２】
尚、凸の範囲が２．５μｍを上回る場合は、動圧の発生が安定せず、振動が大きくなるので、好ましくない（以下同様）。また、本発明では、外筒の板厚方向（回転軸の軸方向）の両側（上下両側）に、動圧が発生する端面動圧発生部が形成されているが、上述した凸となる寸法の規定は、一方の側（特に下方）の端面動圧発生部だけでなく、両側にて満足することが望ましい。
【００２３】
（５）請求項５の発明は、固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記スラスト板の前記外筒に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００２４】
本発明では、スラスト板の外筒に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であるので、前記請求項４と同様に、起動時や停止時に、リンキング及び焼き付きの発生を防止でき、それにより、セラミックスの破損を防止できる。
【００２５】
また、本発明では、両スラスト板の板厚方向（回転軸の軸方向）において、その内側（外筒に面する側）に、動圧が発生する端面動圧発生部が形成されているが、上述した凸となる寸法の規定は、一方（特に下方の）のスラスト板の端面動圧発生部だけでなく、両スラスト板にて満足することが望ましい。
【００２６】
（６）請求項６の発明は、固定部である内筒と回転部である外筒とを備えた軸受部を、２枚のスラスト板が挟み込む構造を有し、前記内筒、外筒及びスラスト板が、セラミックスから形成された気体動圧軸受であって、前記外筒及び前記スラスト板にて、互いに面する端面動圧発生部の最外周部同士の間隔が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００２７】
本発明は、外筒及びスラスト板にて、互いに面する端面動圧発生部の最外周部同士の間隔を規定したものであって、その間隔が０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下である場合には、前記請求項４及び請求項５の発明と同様に、起動時及び停止時のリンキング及び焼き付きの抑制、セラミックスの破損防止の効果が得られる。
【００２８】
（７）請求項７の発明は、前記請求項１に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００２９】
本発明は、前記請求項１の構成に前記請求項４の構成を加えたものである。従って、上述した請求項１の発明による効果と請求項４の発明による効果を奏するとともに、動圧軸受の回転に対するその相乗的な作用により、セラミックスの破損防止の効果が一層大きくなる。
【００３０】
（８）請求項８の発明は、前記請求項１に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記スラスト板の前記外筒に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００３１】
本発明は、前記請求項１の構成に前記請求項５の構成を加えたものである。従って、上述した請求項１の発明による効果と請求項５の発明による効果を奏するとともに、動圧軸受の回転に対するその相乗的な作用により、セラミックスの破損防止の効果が一層大きくなる。
【００３２】
（９）請求項９の発明は、前記請求項１に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒及び前記スラスト板にて、互いに面する端面動圧発生部の最外周部同士の間隔が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００３３】
本発明は、前記請求項１の構成に前記請求項６の構成を加えたものである。従って、上述した請求項１の発明による効果と請求項６の発明による効果を奏するとともに、動圧軸受の回転に対するその相乗的な作用により、セラミックスの破損防止の効果が一層大きくなる。
【００３４】
（１０）請求項１０の発明は、前記請求項２に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００３５】
本発明は、前記請求項２の構成に前記請求項４の構成を加えたものである。従って、上述した請求項２の発明による効果と請求項４の発明による効果を奏するとともに、動圧軸受の回転に対するその相乗的な作用により、セラミックスの破損防止の効果が一層大きくなる。
【００３６】
（１１）請求項１１の発明は、前記請求項２に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記スラスト板の前記外筒に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００３７】
本発明は、前記請求項２の構成に前記請求項５の構成を加えたものである。従って、上述した請求項２の発明による効果と請求項５の発明による効果を奏するとともに、動圧軸受の回転に対するその相乗的な作用により、セラミックスの破損防止の効果が一層大きくなる。
【００３８】
（１２）請求項１２の発明は、前記請求項２に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒及び前記スラスト板にて、互いに面する端面動圧発生部の最外周部同士の間隔が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００３９】
本発明は、前記請求項２の構成に前記請求項６の構成を加えたものである。従って、上述した請求項２の発明による効果と請求項６の発明による効果を奏するとともに、動圧軸受の回転に対するその相乗的な作用により、セラミックスの破損防止の効果が一層大きくなる。
【００４０】
（１３）請求項１３の発明は、前記請求項３に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒の前記スラスト板に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００４１】
本発明は、前記請求項３の構成に前記請求項４の構成を加えたものである。従って、上述した請求項３の発明による効果と請求項４の発明による効果を奏するとともに、動圧軸受の回転に対するその相乗的な作用により、セラミックスの破損防止の効果が一層大きくなる。
【００４２】
（１４）請求項１４の発明は、前記請求項３に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記スラスト板の前記外筒に面する端面動圧発生部にて、その内周部が最外周部に対して０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００４３】
本発明は、前記請求項３の構成に前記請求項５の構成を加えたものである。従って、上述した請求項３の発明による効果と請求項５の発明による効果を奏するとともに、動圧軸受の回転に対するその相乗的な作用により、セラミックスの破損防止の効果が一層大きくなる。
【００４４】
（１５）請求項１５の発明は、前記請求項３に記載のセラミックス製動圧軸受であって、前記外筒及び前記スラスト板にて、互いに面する端面動圧発生部の最外周部同士の間隔が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲であることを特徴とするセラミックス製動圧軸受を要旨とする。
【００４５】
本発明は、前記請求項３の構成に前記請求項６の構成を加えたものである。従って、上述した請求項３の発明による効果と請求項６の発明による効果を奏するとともに、動圧軸受の回転に対するその相乗的な作用により、セラミックスの破損防止の効果が一層大きくなる。
【発明の効果】
【００４６】
以上詳述した様に、本発明の請求項１〜３のセラミックス製動圧軸受では、外筒やスラスト板の端面動圧発生部の平面度が、各々又は合計が３μｍ以下であるので、外筒に振動が発生し難い。それにより、外筒やスラスト板等のセラミックス部材の破損を防止できる。
【００４７】
また、請求項４〜６のセラミックス製動圧軸受では、外筒やスラスト板の端面動圧発生部において、内周部が最外周部より０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で高くなっているので、又は、最外周部同士の間隔が０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下であるので、起動時や停止時に、リンキング及び焼き付きが発生し難い。それにより、外筒やスラスト板等のセラミックス部材の破損を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
次に、本発明のセラミックス製動圧軸受の実施例について説明する。
（実施例１）ａ）本実施例のセラミックス製動圧軸受は、図１に示す様に、例えばポリゴンミラーを回転駆動するためのモータユニット１に使用されるものであり、空気を媒体とした動圧軸受（気体動圧軸受）３である。
【００４９】
このモータユニット１では、外筒５側を回転させるために、外筒５の外周に取り付けられた環状部７の下面側には永久磁石９が配置され、この永久磁石９と対向する基台１１上に電磁石１３が配置されている。
【００５０】
ｂ）次に、本実施例の要部である動圧軸受３について説明する。
図２に示す様に、本実施例の動圧軸受３は、固定部である円筒状の内筒（内径１５ｍｍ、外径２５ｍｍ、軸方向長さ８ｍｍ）１５と、その内筒１５に間隙を介して外嵌された回転部である外筒（内径５ｍｍ、外径１５ｍｍ、軸方向長さ８ｍｍ）７と、この内筒１５及び外筒７からなるラジアル軸受部１９を、図の上下方向両側から挟む一対のスラスト板（内径５ｍｍ、外径２５ｍｍ、厚さ２ｍｍ）２１，２３とから構成されている。尚、前記内筒１５、外筒７及びスラスト板２１，２３は、アルミナセラミックからなる。
【００５１】
この動圧軸受３は、内筒１５がスラスト板２１，２３に挟まれ、ネジ２５（図１参照）により押圧固定されており、スラスト板２１，２３の間に挟まれた外筒７のみが回転する構成である。また、外筒７は内筒１５に対して偏心して配置されており、外筒７の中心軸は内筒１５の中心軸と例えば５μｍだけわずかにずれている。よって、動圧軸受３の原理により、外筒７は内筒１５と非接触にて、且つ外筒７はスラスト板２１，２３と非接触にて、高速回転する。尚、動圧軸受３の回転時において、内筒１５と外筒７との間には左右各々０．００５ｍｍの間隙が形成され、且つ外筒７とストラス板１１との間には上下各々０．００６ｍｍの間隙が形成される。
【００５２】
特に本実施例では、外筒７の上下方向の両端面（端面動圧発生部）７ａ，７ｂの平面度は、３μｍ以下の範囲（例えば１５μｍ）に設定されている。また、上側のスラスト板２１の下方の端面（端面動圧発生部）２１ａ及び下側のスラスト板２３の上方の端面（端面動圧発生部）２３ｂの平面度も、３μｍ以下の範囲（例えば１．０μｍ）に設定されている。
【００５３】
更に、本実施例では、外筒７は、図３に特徴を強調して示す様に、上下の端面動圧発生部７ａ，７ｂの各々において、最外周部７ｃよりも貫通孔に面する側の内周部７ｄの方が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で（例えば１．０μｍ）高くなっている。つまり、各々の端面において、内周部７ｄの方が最外周部７ｃより、高さの差△Ｈだけ厚くなる様に、滑らかに凸（クラウニング）になっている（従って、両側では２△Ｈだけ厚くなっている）。一方、両スラスト板２１，２３は平板であり、内周部と最外周部とで高さの差はない。
【００５４】
尚、外筒７及び内筒１５のうち少なくとも一方の回転面（例えば内筒１５側のみ）には、外筒７の回転を内筒１５と非接触に滑らかに行うために、周知の動圧溝（図示せず）が形成されている。また、外筒７及びスラスト板２１，２３の向き合う端面のうち少なくとも一方の端面（例えばスラスト板２１，２３側のみ）には、外筒７の回転をスラスト板２１，２３と非接触に滑らかに行うために、周知の動圧溝（図示せず）が形成されている。
【００５５】
ｃ）上述した動圧軸受３は、下記の方法により製造することができる。各セラミックス部材、即ち、内筒１５、外筒７、及びスラスト板２１，２３に対応して、アルミナからなるセラミック粉末をプレス成形して、各セラミック部材となる圧粉体を焼結し、この焼結品に研磨加工を施して所定の寸法に仕上げる。特に、外筒７に対しては、各端面動圧発生部７ａ，７ｂにおいて高さの差△Ｈを形成する様に研磨する。
【００５６】
その後、回転面に動圧溝を形成する。この動圧溝は、例えばサンドブラストやエッチング等により形成する。そして、得られた動圧軸受３をモータユニット１に組み込む。この様に、本実施例では、外筒７の両端面動圧発生部７ａ，７ｂ及び両スラスト板２１，２３の端面動圧発生部２１ａ，２３ｂの平面度が、３μｍ以下であるので、回転する際に動圧が発生する回転面において、適度なクリアランスを確保することができる。よって、回転時の振動が少なく、外筒７やスラスト板２１，２３等のセラミック部材の破損が生じ難い。
【００５７】
また、外筒７の両端面動圧発生部７ａ，７ｂでは、その最外周部７ｃと内周部７ｄとの高さの差△Ｈが、０μｍを上回り且つ２．５μｍを上回る範囲であるので、起動時及び停止時におけるリンキング及び焼き付きの発生を抑制できる。よって、外筒７やスラスト板２１，２３等のセラミック部材の破損が生じ難い。
【００５８】
尚、上述した平面度と（内周部と最外周部との）高さの差△Ｈとの関係について言えば、端面動圧発生部の最外周部にうねり（例えば０．５μｍ程度）があることがあるが、この場合、最外周部のうねりと前記高さの差△Ｈとを合計した値が、実際の平面度に該当する。
【００５９】
（他の実施例）次に、前記実施例１以外の他の実施例について説明する。他の実施例のセラミックス製動圧軸受においては、前記実施例１に示す、外筒及びスラスト板のセラミックス部材の寸法形状や構成以外に、下記の寸法形状や構成のセラミック部材を採用できる。
【００６０】
ａ）図４（ａ）に示す様に、外筒の両端面動圧発生部と各スラスト板の端面動圧発生部とが平行であり、外筒の少なくとも一方の端面動圧発生部の平面度のみが、３μｍ以下の範囲のもの。尚、図では、３μｍ以下の平面度の箇所（ここでは両端面動圧発生部）を、斜線で模式的に示す（以下同様）。
【００６１】
ｂ）図４（ｂ）に示す様に、外筒の両端面動圧発生部と各スラスト板の端面動圧発生部とが平行であり、各スラスト板の少なくとも一方の端面動圧発生部の平面度のみが、３μｍ以下の範囲のもの。
【００６２】
ｃ）図４（ｃ）に示す様に、外筒の両端面動圧発生部と各スラスト板の端面動圧発生部とが平行であり、外筒の少なくとも一方の端面動圧発生部の平面度、及び各スラスト板の少なくとも一方の端面動圧発生部の平面度が、３μｍ以下の範囲のもの。
【００６３】
ｄ）図４（ｄ）に示す様に、端面動圧発生部における平面度は規定していないが、外筒の少なくとも一方の端面動圧発生部において、内周部の方が最外周部より、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸のもの。尚、図では、両端面動圧部で高さに差がある様に示してある（以下同様）。
【００６４】
ｅ）図４（ｅ）に示す様に、端面動圧発生部における平面度は規定していないが、両スラスト板の少なくとも一方の端面動圧発生部において、内周部の方が最外周部より、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲で凸のもの。
【００６５】
ｆ）図４（ｆ）に示す様に、端面動圧発生部における平面度は規定しておらず、また、外筒やスラスト板のどちらがどの程度凸であるかは規定していないが、外筒の少なくとも一方の端面動圧発生部の最外周部と、それに対向するスラスト板の端面動圧発生部の最外周部との間隔△Ｓが、動圧軸受の回転停止時において、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲のもの。尚、△Ｓは、外筒とスラスト板を接触させた状態において、その外周側での両部材のクリアランスである。
【００６６】
更に、前記ａ）〜ｆ）の実施例以外に、各々を組み合わせたものが考えられる。例えば、図４に示す様に、（ａ−ｄ）、（ａ−ｅ）、（ａ−ｆ）、（ｂ−ｄ）、（ｂ−ｅ）、（ｂ−ｆ）、（ｃ−ｄ）、（ｃ−ｅ）、（ｃ−ｆ）、などの構成の実施例が挙げられる。
【００６７】
尚、このうち、（ｃ−ｄ）が、上述した実施例１に該当するが、整理するために重複して記載する。
（実験例）次に、上述した実施例の効果を確認するために行った実験例について説明する。上述した実施例の構造のモータユニットにおいて、以下に示す様に、前記平面度及び高さの差△Ｈの条件を変更して、各種の動圧軸受の試料を作製した。
【００６８】
この動圧軸受の試料に対して、動圧軸受を２００００ｒｐｍの回転数で回転させた。そして、下記の測定項目(1)，(2)について調べた。
(1)平面度に関する実験・振動の有無の確認（回転中に測定）但し、振動の検出は、非接触式のレーザ変位計（５００００回／秒のサンプリング可能）を用いて行なう。
【００６９】
以下、各表では、その結果を、◎；振動極小、○；振動小、×；使用不可、で示した。
(2)高さの差（端面高さ）△Ｈ（最外周部の間隔△Ｓ）に関する実験・焼き付きの有無の確認（起動時及び停止時に焼き付きが発生したか否かを確認）以下、各表では、その結果を、○；焼き付き無し、×；焼き付き発生、で示した。
【００７０】
【表１】
2005221079.tif 000003
【００７１】
但し、外筒平面度は、外筒の両端面動圧発生部の平面度両スラスト板の各端面動圧発生部の平面度は、０．１μｍ以下この表１から明かな様に、外筒の端面動圧発生部の平面度が３μｍ以下の場合には、振動が少なく好適である。
【００７２】
【表２】
2005221079.tif 000004
【００７３】
但し、スラスト板平面度は、両スラスト板の端面動圧発生部の平面度外筒の両端面動圧発生部の平面度は、０．１μｍ以下この表２から明かな様に、スラスト板の端面動圧発生部の平面度が３μｍ以下の場合には、振動が少なく好適である。
【００７４】
【表３】
2005221079.tif 000005
【００７５】
この表３から明かな様に、対向する外筒及びスラスト板の端面動圧発生部の平面度の合計が３μｍ以下の場合には、振動が少なく好適である。
【００７６】
【表４】
2005221079.tif 000006
【００７７】
但し、外筒端面高さとは、外筒の端面動圧発生部において、内周部−最外周部の高さの差△Ｈであり、−は内周部の方が低く凹状であることを示し、＋は内周部の方が高く凸状であることを示す。また、外筒の端面動圧発生部の最外周部のうねりは０．５μｍ以下、スラスト板の端面動圧発生部の平面度は、０．１μｍ以下とする。
【００７８】
この表４から明かな様に、外筒端面高さが、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲では、焼き付きがなく且つ振動が少なく好適である。
【００７９】
【表５】
2005221079.tif 000007
【００８０】
但し、スラスト板端面高さとは、スラスト板の端面動圧発生部において、内周部−最外周部の高さの差△Ｈであり、−は内周部の方が低く凹状であることを示し、＋は内周部の方が高く凸状であることを示す。
【００８１】
また、外筒の端面動圧発生部の最外周部のうねりは０．５μｍ以下、スラスト板の端面動圧発生部の平面度は、０．１μｍ以下とする。
この表５から明かな様に、スラスト板端面高さが、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲では、焼き付きがなく且つ振動が少なく好適である。
【００８２】
【表６】
2005221079.tif 000008
【００８３】
但し、外筒端面高さ及びスラスト板端面高さの±等は、前記表４，５にて示した定義と同じである。また、外筒及びスラスト板の端面動圧発生部の最外周部のうねりは、共に０．５μｍ以下とする。
【００８４】
この表６から明かな様に、外筒とスラスト板の端面動圧発生部の最外周部同士の間隔が、０μｍを上回り且つ２．５μｍ以下の範囲では、焼き付きがなく好適である。尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【００８５】
例えば前記実施例１では、材料としてアルミナを用いて、内筒、外筒、及びスラスト板を作製したが、それ以外に、ジルコニア、アルミナとジルコニアの混合材料、窒化珪素等を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】実施例の動圧軸受が使用されたモータユニットを一部破断して示す正面図である。
【図２】実施例の動圧軸受を示し、（ａ）は動圧軸受を示す平面図、（ｂ）は動圧軸受を示す分解斜視図である。
【図３】実施例の外筒の特徴を強調して示す説明図である。
【図４】他の実施例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００８７】
１…モータユニット
７…外筒
１５…内筒
２１，２３…スラスト板
７ａ，７ｂ，２１ａ，２３ｂ…端面動圧発生部
【図１】
2005221079.tif 000009
【図２】
2005221079.tif 000010
【図３】
2005221079.tif 000011
【図４】
2005221079.tif 000012