(57)【要約】【課題】電場吸光分析と電場発光分析との両者を一体化することにより、実験条件の制御を簡便にし、実験パラメーターを多く取ることができ、試料の物性の把握を正確に行うことができる一体型電場吸収・電場発光同時測定装置を提供する。【解決手段】励起光源部と、励起光源部からの励起光を受ける分光装置部と、この分光装置部からの励起光を受ける試料の設定部と、前記試料への電場の印加手段と、電場吸収スペクトル検出部と、電場発光スペクトル検出部と、前記印加される電場情報を前記電場吸収スペクトル検出部および電場発光スペクトル検出部へ接続する電場変調同期手段と、前記電場吸収スペクトル検出部と電場発光スペクトル検出部を一括して制御するとともに、電場吸収と電場発光との両計測を行うコンピュータ制御・自動計測装置部とを具備することを特徴とする。【選択図】図１
2005221444.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）励起光源部と、
（ｂ）該励起光源部からの励起光を受ける分光装置部と、
（ｃ）該分光装置部からの励起光を受ける試料の設定部と、
（ｄ）前記試料への電場の印加手段と、
（ｅ）電場吸収スペクトル検出部と、
（ｆ）電場発光スペクトル検出部と、
（ｇ）前記印加される電場情報を前記電場吸収スペクトル検出部および電場発光スペクトル検出部へ接続する電場変調同期手段と、
（ｈ）前記電場吸収スペクトル検出部と電場発光スペクトル検出部を一括して制御するとともに、電場吸収と電場発光との両計測を行うコンピュータ制御・自動計測装置部とを具備することを特徴とする一体型電場吸収・電場発光同時測定装置。
【請求項２】
請求項１記載の一体型電場吸収・電場発光同時測定装置において、前記分光装置部とコンピュータ制御・自動計測装置部間にコントローラを配置して、該コンピュータ制御・自動計測装置部からの情報を前記分光装置部へ帰還させることを特徴とする一体型電場吸収・電場発光同時測定装置。
【請求項３】
請求項１記載の一体型電場吸収・電場発光同時測定装置において、前記電場発光スペクトル検出部の分光器とコンピュータ制御・自動計測装置部間にコントローラを配置して、該コンピュータ制御・自動計測装置部からの情報を前記分光器へ帰還させることを特徴とする一体型電場吸収・電場発光同時測定装置。
【請求項４】
請求項１記載の一体型電場吸収・電場発光同時測定装置において、前記分光装置部に光源調整用光検出部を配置することを特徴とする一体型電場吸収・電場発光同時測定装置。
【請求項５】
請求項１記載の一体型電場吸収・電場発光同時測定装置において、前記試料設定部は３次元位置と設定回転角を調整可能にすることを特徴とする一体型電場吸収・電場発光同時測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一体型電場吸収・電場発光同時測定装置に関するものである。
【０００２】
すなわち、分光分析器に関する発明であり、特に、試料に交替電場を印加しながら、その透過光を測定し、交替電場に同期した吸光度変化の測定や、蛍光物質の電場蛍光（交替電場に同期した蛍光強度変化）を同時に測定することができる、電場吸光分析器と電場発光分析器を一体化させた分析器に関するものである。
【背景技術】
【０００３】
一般には、電場吸光分析と電場発光分析とは、それぞれ電場変調光吸収測定装置（電場吸光分析器）と電場変調発光測定装置（電場発光分析器）といった独立した測定装置（分析器）で分析を行うようにしている。
【特許文献１】なし
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
試料の測定（物性の把握）を行うためには、本来は、基本的測定条件を一定にしておき、試料の物性を多観点から同時に測定することが望ましい。しかしながら、上記した通り、従来は独立の測定装置で分析を行うために、試料を多観点から正確に測定することが困難であった。例えば、電場吸光分析と電場発光分析に際しては共に、試料が温度場への依存性を有していたり、波長補正を必要としたり、それぞれの測定装置で入射角度を設定しなければならないなど、測定が非常に煩わしいとともに計測自体が不正確なものになっていた。
【０００５】
本発明は、上記状況に鑑みて、電場吸光分析装置と電場発光分析装置を一体化することにより、測定のための制御を簡便にし、試料の物性の把握を正確に行うことができる一体型電場吸収・電場発光同時測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
〔１〕一体型電場吸収・電場発光同時測定装置において、励起光源部と、励起光源部からの励起光を受ける分光装置部と、試料の設定部と、前記試料への電場の印加手段と、電場吸収スペクトル検出部と、電場発光スペクトル検出部と、前記印加される電場情報を前記電場吸収スペクトル検出部および電場発光スペクトル検出部へ接続する電場変調同期手段と、前記電場吸収スペクトル検出部と電場発光スペクトル検出部を一括して制御するとともに、電場吸収と電場発光との両計測を行うコンピュータ制御・自動計測装置部とを具備することを特徴とする。
【０００７】
〔２〕上記〔１〕記載の一体型電場吸収・電場発光同時測定装置において、前記分光装置部とコンピュータ制御・自動計測装置部間にコントローラを配置して、該コンピュータ制御・自動計測装置部からの情報を前記分光装置部へ帰還させることを特徴とする。
【０００８】
〔３〕上記〔１〕記載の一体型電場吸収・電場発光同時測定装置において、前記電場発光スペクトル検出部の分光器とコンピュータ制御・自動計測装置部間にコントローラを配置して、このコンピュータ制御・自動計測装置部からの情報を前記分光器へ帰還させることを特徴とする。
【０００９】
〔４〕上記〔１〕記載の一体型電場吸収・電場発光同時測定装置において、前記分光装置部に光源調整用光検出器を配置することを特徴とする。
【００１０】
〔５〕上記〔１〕記載の一体型電場吸収・電場発光同時測定装置において、前記試料設定部は３次元位置と設定回転角を調整可能にすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
【００１２】
１．試料の電場吸収と電場発光を同一の部位で同時に測定することができ、簡便で、精度の高い試料の物性の測定ができる。
【００１３】
２．試料への入射光の角度を任意に設定することができる。
【００１４】
３．試料を嫌気性雰囲気に保ちながら測定することができる。
【００１５】
４．コンピュータ制御による電場吸収・電場発光同時測定であるため、初心者であっても、簡易に精度の高い試料の物性の測定ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
励起光源部からの励起光を受ける分光装置部と、試料の設定部と、前記試料への電場の印加手段と、電場吸収スペクトル検出部と、電場発光スペクトル検出部と、前記印加される電場情報を前記電場吸収スペクトル検出部および電場発光スペクトル検出部へ接続する電場変調同期手段と、前記電場吸収スペクトル検出部と電場発光スペクトル検出部を一括して制御するとともに、電場吸収と電場発光との両計測を行うコンピュータ制御・自動計測装置部とを具備する。よって、試料の電場吸収と電場発光を同一の部位で同時に測定することができ、試料の物性を簡便で、高精度に測定することができる。
【実施例】
【００１７】
本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】
本発明は、これまで実験室レベルで開発してきた電場変調光吸収測定装置（電場吸光分析器）と電場変調発光測定装置（電場発光分析器）をさらに超高感度に改良し、しかも一体化させた簡易型の「吸収・発光電場スペクトル計測装置」である。これは、コンピュータ制御により初心者にも容易に測定可能であり、しかも測定された電場スペクトルの解析より、光励起に伴う電気双極子モーメントや分子分極率の変化が容易に求められるようにした。
【００１９】
図１は本発明の実施例を示す一体型電場吸収・電場発光同時測定装置の構成図である。
【００２０】
この図において、１はランプ電源、２は励起光源（キセノンランプ）、３は集光レンズ、４は分光器、５はビームスプリッタ、６は集光レンズ、７はフィルタ、８は光源調整用光検出器、９はその光検出器８からの出力信号を増幅するアンプ、１０は光検出器電源、１１は可変コンデンサ、１２は集光レンズ、１３は偏光子、１４は試料、１５は集光レンズ、１６は偏光子、１７は分光器、１８は蛍光検出器、１９は蛍光検出器１８からの出力信号を増幅するプリアンプ、２０はコンデンサ、２１は発光用電場変調同期用アンプ（ロックインアンプ）、２２は集光レンズ、２３は吸収光検出器、２４はその吸収光検出器２３からの出力信号を増幅するプリアンプ、２５は光検出器電源、２６は可変コンデンサ、２７はコンデンサ、２８は吸収光用電場変調同期用アンプ（ロックインアンプ）である。
【００２１】
一方、３０は制御及び計測用コンピュータ、３１は試料１４に電場変調を与えるファンクションジェネレータ（ＦＧ）、３２はそのＦＧ３１からの出力を増幅するパワーアンプ、３３は制御及び計測用コンピュータ３０からの制御信号により分光器４を制御するためのコントローラ、３４は制御及び計測用コンピュータ３０からの制御信号により分光器１７を制御するためのコントローラである。
【００２２】
上記したように、この一体型電場吸収・電場発光同時測定装置は、以下の構成部分からなる。
【００２３】
（Ａ）励起光源部
例えば、ランプ電源１、励起光源（キセノンランプ）２が対応する。
【００２４】
（Ｂ）分光装置部
つまり、励起光を受ける集光レンズ３、分光器４、ビームスプリッタ５、集光レンズ６、フィルタ７、光源調整用光検出器８などが対応する。
【００２５】
（Ｃ）試料の設定部
つまり、試料１４とその設定装置、例えば、試料１４の３次元位置調整装置（図示なし）、試料１４の回転角度調整装置（図示なし）などが対応する。
【００２６】
（Ｄ）電場の印加手段
つまり、試料１４に電場変調を与えるＦＧ３１、パワーアンプ３２などが対応する。
【００２７】
（Ｅ）電場吸収スペクトル検出部
つまり、集光レンズ２２、吸収光検出器２３、プリアンプ２４、コンデンサ２７、吸収光用電場変調同期用アンプ（ロックインアンプ）２８などが対応する。
【００２８】
（Ｆ）電場発光スペクトル検出部
つまり、集光レンズ１５、偏光子１６、分光器１７、蛍光検出器１８、プリアンプ１９、コンデンサ２０、発光用電場変調同期用アンプ（ロックインアンプ）２１などが対応する。
【００２９】
（Ｇ）電場変調同期手段
つまり、印加される電場情報を、前記電場吸収スペクトル検出部および電場発光スペクトル検出部の発光用電場変調同期用アンプ（ロックインアンプ）２１および吸収光用電場変調同期用アンプ（ロックインアンプ）２８へ接続されるＦＧ３１などが対応する。
【００３０】
（Ｈ）コンピュータ制御・自動計測装置部
つまり、制御及び計測用コンピュータ３０が対応し、電場吸収スペクトル検出部と電場発光スペクトル検出部を一括して制御するとともに、電場吸収と電場発光の両計測を行う。
【００３１】
この実施例では、更に、以下の構成を有している。
【００３２】
（１）分光器４と制御及び計測用コンピュータ３０との間にコントローラ３３を配置して、この制御及び計測用コンピュータ３０からの情報を分光器４へ帰還させ、分光条件の調整を行うことができるようにしている。
【００３３】
（２）分光器１７と制御及び計測用コンピュータ３０との間にコントローラ３４を配置して、この制御及び計測用コンピュータ３０からの情報を分光器１７へ帰還させ、分光条件の調整を行うことができるようにしている。
【００３４】
（３）分光装置部中に光源調整用光検出器８を配置して、制御及び計測用コンピュータ３０を介してランプ電源１の調整、つまり光源からの励起光の調整が可能になるように構成している。
【００３５】
（４）試料の設定部は、３次元位置調整装置（図示なし）による３次元位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）の調整とともに、試料１４への入射角の適正化を図るために試料１４の設定回転角θも調整可能にする構成としている。
【００３６】
以下、本発明の基本的な考え方について説明する。
【００３７】
（１）励起光の透過光強度（Ｉ）、およびその透過光強度（Ｉ）の電場による微小変化量（ΔＩ）をロックインアンプ２８を用いた電場変調法により求める。  これらの値を用いて、吸収強度の電場による変化の量（ΔＡ）を励起光の入射光強度を求める必要なしに、次式から精度よく求めることができる。
【００３８】
ΔＡ＝−（ΔＩ／Ｉ）２．３０３                                     …（１）
このようにして得られた電場吸収スペクトルと吸収スペクトルの一次微分、二次微分の比較より、励起状態における電気双極子モーメントや分子分極率を求めることが可能となる。また、吸収強度の増減により、遷移モーメントの電場による変化も合わせて求めることが可能である。
【００３９】
（２）発光強度の電場による変化を示すΔＩF は、例えば、変調電場の２倍の周波数に同期した変化成分を求めた場合、蛍光スペクトルに比例する部分である発光強度ＩF と、蛍光スペクトルの一次微分ｄＩF ／ｄｖ、および二次微分ｄ2 ＩF ／ｄｖ2 の線形結合として次式で表される。
【００４０】
ΔＩF ＝Ａ（ＩF ）＋Ｂ（ｄＩF ／ｄｖ）＋Ｃ（ｄ2 ＩF ／ｄｖ2 ）    …（２）
上記式（２）における係数Ｂ、Ｃからは励起分子および励起分子間錯体の電気双極子モーメントや分極率を、また係数Ａからは発光収率の電場による変化を求めることができる。それらの結果を解析することにより、例えば、ホール移動や電子移動への電場効果に関する情報を得ることができる。但し、測定に際してはあらかじめ励起波長における電場による吸収量の変化を知っておく必要がある。
【００４１】
なお、電場強度のｎ乗に比例する変化成分は、印加電場の変調周波数のｎ倍の周波数に同期した変化成分を観測することにより求めることができる。また、吸収強度が小さく、電場吸収スペクトルと比較すべき吸収スペクトルが得られない時には、容易に求められる発光励起スペクトルを吸収スペクトルの代用とすることができる。
【００４２】
本発明の一体型電場吸収・電場発光同時測定装置の特徴として次の点を挙げることができる。
【００４３】
（１）この一体型電場吸収・電場発光同時測定装置一台を用いることにより、電場吸収スペクトル、電場発光スペクトル、電場発光励起スペクトルを測定することが可能である。
【００４４】
（２）電場発光スペクトルは発光スペクトルと同時に、また電場発光励起スペクトルは発光励起スペクトルと同時に測定することができる。
【００４５】
（３）電場吸収スペクトルと電場発光励起スペクトルを同時に測定することも可能である。
【００４６】
図２は本発明にかかる電場吸収スペクトルと電場発光励起スペクトルの同時測定の一例を示す図である。
【００４７】
この図においては、図２（ａ）は同時測定されたＰＭＭＡ（ポリメタクリル酸メチル：ｐｏｌｙ  ｍｅｔｈｙｌ  ｍｅｔｈａｃｒｙｌａｔｅ）にドープしたピレンの励起光の透過光強度（Ｉ）と電場による変化量（ΔＩ）を、図２（ｂ）は図２（ａ）における両者（Ｉ，ΔＩ）から求めた電場吸収スペクトルをそれぞれ示している。
【００４８】
また、図２（ｃ）はその蛍光励起スペクトルを、図２（ｄ）はその電場蛍光励起スペクトルをそれぞれ示している。
【００４９】
（４）また、吸収強度が非常に小さく、電場吸収スペクトル測定ができない場合でも、電場発光励起スペクトルで代用することが可能となる。そのような場合、入射光強度および発光強度の電場による変化量が１０-4程度あれば十分精度よく測定することが可能である。入射光強度あるいは発光強度が大きくなるにつれて、検出感度も大きくなる。
【００５０】
（５）電場スペクトルの測定により、光励起および脱励起に伴う電気的特性の変化を定量的に求めることができる。また、発光収率の電場による変化を測定することにより、光ダイナミクスが電場によりどの程度影響を受けるかを知ることが可能である。
【００５１】
完成された本発明の一体型電場吸収・発光同時測定装置を用いて、以下に述べるような分子間および分子内光誘起電子移動反応に対する電場効果を調べる実験を行い、光導電性との関係を調べた。
【００５２】
芳香族分子である電子供与体と電子受容体をメチレン鎖で連結させた系あるいは両者の混合分散系における蛍光の電場効果を調べ、電子移動反応、逆電子移動反応、電荷再結合反応および光キャリアー生成に対する電場効果を明らかにした。以下に、フェナントレン（ＰＨ）およびピレン（ＰＹ）とフタルイミド（ＰＭＤ）の系に関する実験結果について述べる。
【００５３】
ＰＨとＰＭＤを各々別々に高分子フィルム（ＰＭＭＡ）に分散させた系、ＰＨとＰＭＤを長さの異なるメチレン鎖で連結させた分子を同様にＰＭＭＡに分散させた系について電場吸収および電場発光スペクトルの測定を行った。この系では、あらかじめ光励起されたＰＨからＰＭＤへ電子移動（ＰＩＥＴ）が起こることが知られている。
【００５４】
図３に本発明にかかるＰＨとＰＭＤを種々の濃度で混合分散させた系について得られた電場蛍光スペクトル（その１）を示す。均一分散系なので、印加電場の変調周波数の２倍の周波数に同期した蛍光の変化成分を測定したものである。なお、各濃度でＰＨとＰＭＤの濃度は等しくなるようにとられている。電場の強さは１．０ＭＶ／ｃｍである。
【００５５】
図３から明らかなように、３５０〜４００ｎｍ領域に観測される構造を有する発光は、ＰＨの局在励起状態から発する蛍光である（ここではモノマー蛍光と呼ぶことにする）。ＰＨとＰＭＤの濃度を増すにつれて、長波長部の発光強度が増加するが、これは分子間でＰＩＥＴが起こる結果生じたエキサイプレックス（ｅｘｃｉｐｌｅｘ）による蛍光である。低濃度では、得られた電場蛍光スペクトルの形状は蛍光スペクトルの一次微分形となっており、これは発光状態と基底状態間の分子分極率の違いを反映したシュタルクシフトによるものである。ＰＨとＰＭＤの濃度を増すにつれて、モノマー蛍光の電場蛍光スペクトルは、負の値を持ち、その形状が蛍光スペクトルに似てくる。このことは、モノマー蛍光の量子収率が電場印加により減少することを意味する。すなわち、分子間でＰＩＥＴが起こる条件下では、電子移動の速度が電場により増加するために、電子移動過程と競合する蛍光過程の収率が減少したと考えられる。逆にエキサイプレックス蛍光の強度が電場により増加するのは、エキサイプレックスの前駆体であるラジカルイオン対の量が電子移動促進のために増えたためと考えられる。
【００５６】
また、炭素数が１２の長いメチレン鎖でＰＨとＰＭＤを連結させた分子、ＰＨ−（１２）−ＰＭＤについては、図３に示した分散系と同様の結果が得られた。すなわち、低濃度では、ＰＨのモノマー蛍光のみが観測され、電場蛍光スペクトルは蛍光スペクトルの一次微分形となる。このことは、鎖長の長いメチレン鎖連結化合物においては分子内ＰＩＥＴが起こらず、低濃度で観測される電場効果はモノマー蛍光のシュタルクシフトのみである。ただし、ＰＨとＰＭＤの濃度を増すと、分子間ＰＩＥＴが生じるようになりエキサイプレックス蛍光が観測されるようになる。これは分子間で起こるＰＩＥＴが、混合分散系の場合と同様、電場により促進されるために、モノマー蛍光の電場による消光および電場によるエキサイプレックス蛍光の増加が観測される。
【００５７】
次に、長さの短いメチレン鎖でＰＨとＰＭＤを連結させた系については、異なる電場効果が得られた。炭素数が３のメチレン鎖連結化合物〔ＰＨ−（３）−ＰＭＤ〕に関して得られた蛍光スペクトルおよび電場蛍光スペクトル（その２）が図４に示されている。
【００５８】
ここで、ＰＨとＰＭＤが１ｍｏｌ％の時の電場蛍光スペクトルは蛍光スペクトルの一次微分形となっており、モノマー蛍光のシュタルクシフトが観測される。また、高濃度では、分子間ＰＩＥＴによるエキサイプレックス蛍光が強く観測され、モノマー蛍光は電場により消光され、エキサイプレックス蛍光は電場により増加する。これらの結果は、分子間ＰＩＥＴが電場により促進されることによると考えられ、図３の混合分散系およびＰＨ−（１２）−ＰＭＤと同様である。一方、低濃度における電場蛍光スペクトルはその形状がモノマー蛍光スペクトルと同様であり、しかも正の符号を示す。このことは電場によりモノマー蛍光の収率が増加することを意味する。これらの結果は、メチレン鎖が短い場合には分子内ＰＩＥＴが起こり、しかも生じるラジカルイオン対からのＰＨの励起状態が形成する逆電子移動反応の効率が電場により増加することを示している。
【００５９】
さらに、ＰＹとＰＭＤを炭素数が３のメチレン鎖で連結させた化合物〔ＰＹ−（３）−ＰＭＤ〕に関して得られた結果はＰＨ−（３）−ＰＭＤとは異なる。ＰＹ−（３）−ＰＭＤを種々の濃度でＰＭＭＡにドープした系について得られた蛍光スペクトルおよび電場蛍光スペクトルが図５に示されている。
【００６０】
図５に示すように、図４のＰＨ−（３）−ＰＭＤとは異なり、ＰＹからのモノマー蛍光はどの濃度においても電場により消光する。高濃度で観測されるエキサイプレックス蛍光も電場により消光される。これはＰＹからＰＭＤへの分子内および分子間ＰＩＥＴが電場により促進されること、生成するラジカルイオン対からＰＹの発光状態が生成する逆電子移動反応を考える必要がないことを示している。また、エキサイプレックス蛍光の電場による消光は、ラジカルイオン対が電場により解離することを示している。すなわち、ＰＹ分子上をホールが移動するか、もしくはＰＭＤ上を電子が移動することにより、ラジカルイオン対が消滅することを示している。ＰＨとＰＭＤの組み合わせでは、エキサイプレックス蛍光の電場消光は観測されないことから、移動するのはホールでありＰＹは有効なホール輸送体となりえることを示している。
【００６１】
また、例えば、フォトコピーの材料開発など、光の透過により、コピー面に＋−の電荷を表現するような材料の測定にも適している。電界発光（ＥＬ発光）材料開発等、電場印加で発光が起こるような物質の発光測定にも適している。
【００６２】
更に、電場吸収を測定できないような試料の場合、電場蛍光測定で代替可能なことがある。例えば、試料が物理的に薄い（光のパス）、吸収量が小さい（分子吸収係数）、試料濃度が薄い時などは、電場吸収測定は無理なことがあるが、本発明はそのような場合の測定にも適している。
【００６３】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００６４】
本発明の一体型電場吸収・電場発光同時測定装置は、試料への電場の印加により、電場吸収・電場発光特性を有する試料の物性の測定装置として好適である。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施例を示す一体型電場吸収・電場発光同時測定装置の構成図である。
【図２】本発明にかかる電場吸収スペクトルと電場発光励起スペクトルの同時測定の一例を示す図である。試料は、ＰＭＭＡにドープしたピレンである。
【図３】本発明にかかるＰＨとＰＭＤを種々の濃度で混合分散させた系について得られた蛍光スペクトルと電場蛍光スペクトルを示す図である。
【図４】本発明にかかる長さの短いメチレン鎖でＰＨとＰＭＤを連結させた系について得られた蛍光スペクトルと電場蛍光スペクトルを示す図である。
【図５】本発明にかかるＰＹ−（３）−ＰＭＤを種々の濃度でＰＭＭＡにドープした系について得られた蛍光スペクトルおよび電場蛍光スペクトルを示す図である。
【符号の説明】
【００６６】
１    ランプ電源
２    励起光源（キセノンランプ）
３，６，１２，１５，２２    集光レンズ
４，１７    分光器
５    ビームスプリッタ
７    フィルタ
８    光源調整用光検出器
９    アンプ
１０，２５    光検出器電源
１１    可変コンデンサ
１３，１６    偏光子
１４    試料
１８    蛍光検出器
１９，２４    プリアンプ
２０，２７    コンデンサ
２１    発光用電場変調同期用アンプ（ロックインアンプ）
２３    吸収光検出器
２６    可変コンデンサ
２８    吸収光用電場変調同期用アンプ（ロックインアンプ）
３０    制御及び計測用コンピュータ
３１    ファンクションジェネレータ（ＦＧ）
３２    パワーアンプ
３３，３４    コントローラ
【図１】
2005221444.tif 000003
【図２】
2005221444.tif 000004
【図３】
2005221444.tif 000005
【図４】
2005221444.tif 000006
【図５】
2005221444.tif 000007