(57)【要約】【課題】  被検査室から検査器に通じる配管内に残留するトレースガスを少なくすることにより、精度のよい漏れ検査が可能になる多経路ワークの漏れ検査装置を提供すること。【解決手段】  漏れ検査装置１０を、チャンバー１１と、接続管１２ａ，１２ｂ，１２ｃと、検査器２４と、接続管１２ｂの他端部に設けられた仕切り弁２３ａとで構成した。そして、外側室３１ａと内側室３１ｂとを備えたワーク３０をチャンバー１１内に設置して、外側室３１ａに接続管１２ａの一端部を接続し、内側室３１ｂに接続管１２ｂの一端部を接続した。また、接続管１２ａおよび接続管１２ｂの他端部側には、それぞれ減圧排気路１５ａ，１５ｂおよびトレースガス封入路１６ａ，１６ｂを接続した。そして、ガス漏れ検出路２２ａを介して接続管１２ｂの他端部を検査器２４に接続した。さらに、検査器２４をチャンバー１１に接続した。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに隔離された複数の被検査室を備えたワークを、密閉状態で格納できる密閉チャンバーと、
一端部が、前記密閉チャンバーの壁部を貫通して前記密閉チャンバー内に設置されるワークの対応する被検査室に接続されるとともに、他端部側が、それぞれ対応するトレースガス供給管およびトレースガス排出管に接続された複数の接続管と、
前記密閉チャンバーに接続され前記ワークから前記密閉チャンバー内に漏れるトレースガスを検出する外部漏れ検査器と、
前記複数の接続管のうちの所定の接続管の他端部側にガス漏れ検出路を介して接続され、前記所定の接続管の一端部が接続された被検査室に他の被検査室から漏れてくるトレースガスを検出する内部漏れ検査器と、
前記所定の接続管の他端部側に設けられ、前記トレースガス供給管および前記トレースガス排出管を、前記所定の接続管の一端部側部分および前記ガス漏れ検出路に対して開閉可能に仕切る仕切り弁と
を備えたことを特徴とする多経路ワークの漏れ検査装置。
【請求項２】
前記ワークが、外部を構成する外部被検査室と、前記外部被検査室内に設けられ前記外部被検査室の外部に連通する開口部を備えた内部被検査室とで構成され、前記所定の接続管の一端部を、前記内部被検査室の開口部に接続するようにした請求項１に記載の多経路ワークの漏れ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の隔離された室を備え気体や液体の収容や移送等に使用される容器や配管等の装置からなる多経路ワークの漏れを検査するための多経路ワークの漏れ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、気体や液体の収容や移送に使用する容器や配管等の中には気密性を要求されるものがあり、このような容器や配管等に生じる漏れをチェックするために、漏れ検査装置が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。この漏れ検査装置では、ヘリウムガスからなるトレースガスを容器等からなる被検査体内に充填して、この被検査体を真空チャンバー内に入れ、被検査体内から真空チャンバー内に漏れてくるトレースガスを検査器で検出することにより被検査体の漏れ検査を行っている。
【０００３】
また、漏れ検査が行われる被検査体の中には、例えば、熱交換器のように、外部側部分と内部側部分とが隔離された状態で形成されたものがある。このような場合に、使用される漏れ検査装置として、図２に示したような装置がある。この漏れ検査装置４０は、外側室４１ａと内側室４１ｂとを備えた被検査体４１をチャンバー４２内に設置し、外側室４１ａに、大気導入路４３ａ、真空引き路４４ａ、減圧排気路４５ａおよびトレースガス封入路４６ａを接続している。また、内側室４１ｂに、大気導入路４３ｂ、真空引き路４４ｂ、減圧排気路４５ｂ、トレースガス封入路４６ｂおよびガス漏れ検査路４７を接続している。
【０００４】
そして、チャンバー４２に、ガス漏れ検査路４８を接続し、このガス漏れ検査路４８とガス漏れ検査路４７とにガス漏れ検査用の検査器４９を接続している。このため、トレースガス封入路４６ａから外側室４１ａ内にトレースガスを送り、外部室４１ａから漏れて内側室４１ｂに入りガス漏れ検査路４７から出てくるトレースガスを検査器４９で検出することにより、外側室４１ａと内側室４１ｂとの間の漏れの有無を検査することができる。また、トレースガス封入路４６ｂから内側室４１ｂ内にトレースガスを送り、内側室４１ｂから外部に漏れてチャンバー４２内を介してガス漏れ検査路４８に出てくるトレースガスを検査器４９で検出することにより、内側室４１ｂと外部との間の漏れの有無を検査することができる。
【特許文献１】特開２００１−３３３４３号公報
【発明の開示】
【０００５】
しかしながら、図２に示した従来の漏れ検査装置４０では、検査後に、減圧排気路４５ａ，４５ｂを介して検査に使用したトレースガスを外部に排出しているが、このトレースガスの充分な排出ができず、トレースガスが各配管内に残留してしまうことがある。このため、つぎの被検査体４１の漏れ検査の際に、トレースガスのバックグラウンド値が高くなって精度のよい漏れ検査ができなくなるという問題が生じている。特に、トレースガス封入路４６ｂから内側室４１ｂにトレースガスを供給して内側室４１ｂと外部との間の漏れ検査を行ったのちに、トレースガス封入路４６ｂ等の各配管内にトレースガスが残留し易くなる。
【０００６】
本発明は、前述した問題に対処するためになされたもので、その目的は、被検査室から検査器に通じる配管内に残留するトレースガスを少なくすることにより、精度のよい漏れ検査が可能になる多経路ワークの漏れ検査装置を提供することである。
【０００７】
前述した目的を達成するため、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置の構成上の特徴は、互いに隔離された複数の被検査室を備えたワークを密閉状態で格納できる密閉チャンバーと、一端部が密閉チャンバーの壁部を貫通して密閉チャンバー内に設置されるワークの対応する被検査室に接続されるとともに、他端部側がそれぞれ対応するトレースガス供給管およびトレースガス排出管に接続された複数の接続管と、密閉チャンバーに接続されワークから密閉チャンバー内に漏れるトレースガスを検出する外部漏れ検査器と、複数の接続管のうちの所定の接続管の他端部側にガス漏れ検出路を介して接続され、所定の接続管の一端部が接続された被検査室に他の被検査室から漏れてくるトレースガスを検出する内部漏れ検査器と、所定の接続管の他端部側に設けられ、トレースガス供給管およびトレースガス排出管を、所定の接続管の一端部側部分およびガス漏れ検出路に対して開閉可能に仕切る仕切り弁とを備えたことにある。
【０００８】
前述のように構成した本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置は、互に密閉状態で隔離された複数の被検査室を備えたワークにおける各被検査室間または被検査室と外部との間に漏れが生じているか否かを検査するための検査装置である。被検査室を１個だけ備えたワークの漏れを検査する際には、例えば、ワークをチャンバー内に密閉状態で設置して、ワークの一部にチャンバーの外部に連通する接続管を接続するとともにチャンバーにも外部に連通する接続管を接続する。
【０００９】
そして、一方の接続管を介してワーク内にトレースガスを供給し、ワークからチャンバー側に漏れるトレースガスを他方の接続管から取り出して検出するか、または、チャンバー内に他方の接続管を介してトレースガスを供給し、チャンバーからワーク内に漏れるトレースガスを一方の接続管を介して取り出して検出することにより漏れ検査を行うことができる。このため、トレースガスを供給するための接続管と検査用のガスを取り出すための接続管とが異なるものになり、トレースガスが検査ガス取り出し用の接続管内に残存するといったことは生じにくい。
【００１０】
しかしながら、ワークが複数の被検査室を備える場合には、各被検査室にトレースガスを供給するためのトレースガス供給管および検査後に各被検査室からトレースガスを排出するためのトレースガス排出管と、各被検査室とを接続する接続管のうちのいずれかの接続管に、各被検査室間における漏れを検出するための内部漏れ検査器を接続しなければならなくなる。このため、複数個のワークを取り換えながら順次漏れ検査を行っていくと、接続管内を何度もトレースガスが往復移動するようになり、接続管内にトレースガスが残留しやすくなる。
【００１１】
本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置では、被検査室と内部漏れ検査器とを接続する所定の接続管に、仕切り弁を設けて、接続管におけるトレースガス供給管およびトレースガス排出管側の部分と、被検査室側および内部漏れ検査器側の部分との間を連通させたり遮断させたりできるようにしている。すなわち、トレースガスが供給される被検査室からの漏れを検出される被検査室内のガスを取り込んで、ガス漏れの検査を行う際には、仕切り弁を操作することによって、トレースガス供給管およびトレースガス排出管側を被検査室や内部漏れ検査器に対して遮断することができる。これによると、トレースガス供給管およびトレースガス排出管側にトレースガスが残留していても、漏れ検査に影響することがなくなる。
【００１２】
また、被検査室と内部漏れ検査器との間における接続管とガス漏れ検出路との長さを短く設定しておけば、この部分にトレースガスが残留していてもその量は僅かなものになるため、検査への影響は少なくなる。これによって、精度のよい漏れ検査を行える。また、この場合のワークが備える複数の被検査室は、外部側部分と、その内部に設けられる内部側部分とで構成されるものでもよいし、隣接して設けられる複数の容器状のものでもよい。互いの被検査室間での漏れと被検査室と外部との間での漏れ検査が必要なワークであればよい。また、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置は、ワークから密閉チャンバー内に漏れるトレースガスを検出する外部漏れ検査器と、被検査室に他の被検査室から漏れてくるトレースガスを検出する内部漏れ検査器とを備えているが、この外部漏れ検査器と内部漏れ検査器とは一つの装置で構成してもよい。
【００１３】
また、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置の他の構成上の特徴は、ワークが、外部を構成する外部被検査室と、外部被検査室内に設けられ外部被検査室の外部に連通する開口部を備えた内部被検査室とで構成され、所定の接続管の一端部を、内部被検査室の開口部に接続するようにしたことにある。
【００１４】
これによると、外部被検査室と内部被検査室との間の漏れの有無は、外部被検査室に接続された接続管を介して外部被検査室内にトレースガスを供給し、内部被検査室に接続された内部漏れ検査器で、外部被検査室から内部被検査室に漏れてくるトレースガスを検出することによって検査することができる。この場合、所定の接続管に接続されたトレースガス供給管およびトレースガス排出管側の部分は、仕切り弁によって、内部被検査室や内部漏れ検査器側から遮断しておく。
【００１５】
また、内部被検査室と外部との間の漏れの有無は、内部被検査室に接続された接続管を介して内部被検査室内にトレースガスを供給し、チャンバーに接続された外部漏れ検査器で、内部被検査室からチャンバー内に漏れてくるトレースガスを検出することによって検査することができる。この場合、内部漏れ検査器側は、仕切り弁または他の切り換え弁等によって、接続管から遮断しておく。また、外部被検査室と外部との間の漏れの有無は、外部被検査室に接続された接続管を介して外部被検査室内にトレースガスを供給し、チャンバーに接続された外部漏れ検査器で、外部被検査室からチャンバー内に漏れてくるトレースガスを検出することによって検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の一実施形態に係る多経路ワークの漏れ検査装置を図面を用いて説明する。図１は同実施形態に係る漏れ検査装置１０の概略配管図を示している。この漏れ検査装置１０は、ワーク３０を密閉状態で格納するチャンバー１１を備えている。このチャンバー１１は開閉可能な容器で構成されその所定部分に２個の挿入孔と１個の接続用孔が設けられている。そして、チャンバー１１内に、２個の挿入孔を介して、外部から接続管１２ａ，１２ｂの一端部側が挿し込まれ、接続用孔には接続管１２ｃが開口をチャンバー１１内に連通させて連結されている。また、チャンバー１１には、真空ポンプ（図示せず）が接続されており、この真空ポンプの作動により内部が減圧可能になっている。
【００１７】
接続管１２ａの他端側には、それぞれ大気導入路１３ａ、真空引き路１４ａ、減圧排気路１５ａおよびトレースガス封入路１６ａの各配管が接続され、大気導入路１３ａ、真空引き路１４ａ、減圧排気路１５ａおよびトレースガス封入路１６ａに、それぞれ切り換え弁１７ａ，１８ａ，１９ａ，２１ａが設けられている。大気導入路１３ａは、コンプレッサー（図示せず）に接続されて大気中の空気をチャンバー１１内に設置されるワーク３０の後述する外側室３１ａ内に圧入可能になっており、真空引き路１４ａは真空ポンプ（図示せず）に接続されて外側室３１ａ内を排気することにより真空に近い状態まで減圧することができる。
【００１８】
また、減圧排気路１５ａは減圧装置（図示せず）に接続されて外側室３１ａ内のガスを排気することができ、トレースガス封入路１６ａはヘリウムガスボンベ（図示せず）に接続されて、外側室３１ａ内にヘリウムガスからなるトレースガスを供給することができる。また、接続管１２ｂの他端側部分は、主配管２２とガス漏れ検査路２２ａとに分岐しており、主配管２２には、それぞれ大気導入路１３ｂ、真空引き路１４ｂ、減圧排気路１５ｂおよびトレースガス封入路１６ｂの各配管が接続されている。
【００１９】
そして、大気導入路１３ｂ、真空引き路１４ｂ、減圧排気路１５ｂおよびトレースガス封入路１６ｂに、それぞれ切り換え弁１７ｂ，１８ｂ，１９ｂ，２１ｂが設けられている。大気導入路１３ｂは、コンプレッサーに接続され、真空引き路１４ｂは真空ポンプに接続され、減圧排気路１５ｂは減圧装置に接続され、トレースガス封入路１６ｂはヘリウムガスボンベに接続されている。また、接続管１２ｂと主配管２２との間には仕切り弁２３ａが設けられており、この仕切り弁２３ａによって接続管１２ｂと主配管２２との間は連通されたり遮断されたりする。さらに、接続管１２ｂとガス漏れ検査路２２ａとの間にも切り換え弁２３ｂが設けられている。
【００２０】
ガス漏れ検査路２２ａは微量のトレースガスでも検出可能な検査器２４に接続されており、この検査器２４によって接続管１２ｂおよびガス漏れ検査路２２ａを介して送られてくるガス中のトレースガスが検出される。また、接続管１２ｃには、切り換え弁２５が設けられており、接続管１２ｃの他端部は検査器２４に接続されている。このため、検査器２４は、接続管１２ｃを介してチャンバー１１から送られるガス中のトレースガスの検出も行える。検査器２４は、ガス漏れ検査路２２ａを介して送られてくるガス中のトレースガスを検出する際には、本発明の内部漏れ検査器を構成し、接続管１２ｃを介して送られるガス中のトレースガスを検出する際には、本発明の外部漏れ検査器を構成する。
【００２１】
チャンバー１１内に格納されるワーク３０は、外部被検査室としての外側室３１ａと内部被検査室としての内側室３１ｂとで構成されている。外側室３１ａは、円筒形のボンベ状の容器からなっており、両端に突出開口部３２ａ，３３ａが形成されている。そして、突出開口部３２ａに、栓体３４ａを介して接続管１２ａの一端部が接続され、突出開口部３３ａは蓋体３５ａによって閉塞されている。また、内側室３１ｂは、外側室３１ａの内部に位置する円筒状の本体３６と、本体３６の両端から突出し外側室３１ａの外側に延びる突出開口部３２ｂ，３３ｂとで構成されている。そして、突出開口部３２ｂは、栓体３４ｂを介して接続管１２ｂの一端部に接続され、突出開口部３３ｂは、蓋体３５ｂによって閉塞されている。
【００２２】
つぎに、前述したように構成された漏れ検査装置１０を用いて、ワーク３０の漏れ検査を行う場合について説明する。まず、ワーク３０の突出開口部３３ａを蓋体３５ａで閉塞するとともに、突出開口部３３ｂを蓋体３５ｂで閉塞する。ついで、各切り換え弁１７ａ等と仕切り弁２３ａとをすべて閉じた状態にして、チャンバー１１内の所定部分にワーク３０を設置する。そして、突出開口部３２ａに、接続管１２ａの一端部が接続された栓体３４ａを取り付け、突出開口部３２ｂに、接続管１２ｂの一端部が接続された栓体３４ｂを取り付ける。これによって、図１に示したように、外側室３１ａは、接続管１２ａを介してのみ外部に通じる状態になり、内側室３１ｂは、接続管１２ｂを介してのみ外部に通じる状態になる。
【００２３】
つぎに、チャンバー１１に接続された真空ポンプを作動させて、チャンバー１１内の排気を行う。ついで、真空引き路１４ａに接続された真空ポンプを作動させるとともに、切り換え弁１８ａを開けることにより、真空引き路１４ａを介して外側室３１ａ内を排気して減圧する。そして、外側室３１ａの内圧が所定値になったときに、切り換え弁１８ａを閉じるとともに、切り換え弁２１ａを開いて、トレースガス封入路１６ａを介してヘリウムガスボンベから外側室３１ａ内にトレースガスを供給する。外側室３１ａ内にトレースガスが充填されると、切り換え弁２１ａを閉じる。この外側室３１ａ内の減圧および外側室３１ａ内へのトレースガスの供給に先行して、または並行して、仕切り弁２３ａと切り換え弁１８ｂとを開けるとともに、真空ポンプを作動させて、接続管１２ｂと主配管２２とを介して、内側室３１ｂ内を排気して減圧する。
【００２４】
そして、内側室３１ｂの内圧が所定値になったときに、仕切り弁２３ａと切り換え弁１８ｂとを閉じる。ついで、切り換え弁２３ｂを開く。これによって、内側室３１ｂに接続された接続管１２ｂがガス漏れ検査路２２ａと連通して、内側室３１ｂから流れてくるガス中のトレースガスを検査器２４が検出する。この検査器２４が検出するトレースガスの量によって、外側室３１ａと内側室３１ｂとを仕切る壁部にガス漏れを生じさせるような欠陥があるか否かの検査が行われる。
【００２５】
すなわち、外側室３１ａと内側室３１ｂとを仕切る壁部にガス漏れを生じさせるような欠陥等がある場合には、外側室３１ａ内のトレースガスは、その欠陥部分を通過して内側室３１ｂ内に浸入していき、これを検査器２４が検出する。また、ガス漏れを生じさすような欠陥がない場合は、トレースガスは外側室３１ａ内に充填された状態を維持するため、検査器２４はトレースガスを検出することができない。
【００２６】
この場合、検査器２４は、内側室３１ｂから流れてくるガス中のトレースガスの有無や量を検出し、検出値が所定の規定値（元々内側室３１ｂ、接続管１２ｂおよびガス漏れ検査路２２ａ内のガス中に含まれていたヘリウムガスの量）以上であれば、外側室３１ａと内側室３１ｂとの間に漏れがあると判定する。また、検出値が所定の規定値以下であれば、外側室３１ａと内側室３１ｂとの間には漏れはないと判定する。そして、漏れがあると判定した場合には、そのワーク３０は欠陥品であるとして、チャンバー１１から取り出して所定の場所に移送する。
【００２７】
このとき、外側室３１ａと内側室３１ｂとの内部のトレースガスを除去したのちに、チャンバー１１を開けてワーク３０を取り出す。これには、まず、切り換え弁２３ｂを閉じる。つぎに、切り換え弁１７ｂおよび仕切り弁２３ａを開き、コンプレッサーを作動させて、内側室３１ｂ内に大気中の空気を送り込んだのちに、切り換え弁１７ｂを閉じる。ついで、切り換え弁１８ｂを開いて真空ポンプを作動させることにより内側室３１ｂや接続管１２ｂ等の配管内を排気して内側室３１ｂ等の内部のトレースガスを排除する。その後、切り換え弁１８ｂを閉じて、切り換え弁１７ｂを開け、内側室３１ｂ内に、大気中の空気を送る。つぎに、切り換え弁１７ｂおよび仕切り弁２３ａを閉じる。
【００２８】
外側室３１ａ内のトレースガスも外部に排除する処理を行う。この場合、まず、切り換え弁１９ａを開いて減圧装置を作動させることにより外側室３１ａ内のトレースガスを外部に排除したのちに、切り換え弁１９ａを閉じる。さらに、切り換え弁１８ａを開き、真空ポンプを作動させることにより、トレースガスをさらに排除し、切り換え弁１８ａを閉じる。つぎに、切り換え弁１７ａを開き、コンプレッサーを作動させることにより、外側室３１ａ内に大気中の空気を送り込んだのちに、切り換え弁１７ａを閉じる。この状態で、チャンバー１１を開けてその内部からワーク３０を取り出す。
【００２９】
一方で、外側室３１ａと内側室３１ｂとの間に漏れがないと判定した場合には、内側室３１ｂと外部との間の漏れの有無を検査する。この場合、まず、切り換え弁２３ｂを閉じて、仕切り弁２３ａおよび切り換え弁２１ｂを開けて、トレースガス封入路１６ｂを介してヘリウムガスボンベから内側室３１ｂ内にトレースガスを供給する。つぎに、切り換え弁２１ｂと仕切り弁２３ａとを閉じる。そして、切り換え弁２５を開ける。
【００３０】
これによって、内側室３１ｂと外部とを仕切る壁部にガス漏れを生じさせる欠陥等がある場合には、内側室３１ｂ内のトレースガスは、その欠陥部分を通過して内側室３１ｂの外部に出て行く。また、ガス漏れを生じさすような欠陥がない場合は、トレースガスは内側室３１ｂ内に充填された状態を維持する。これによって、接続管１２ｃを介してチャンバー１１と検査器２４とが連通し、チャンバー１１から流れてくるガス中のトレースガスを検査器２４が検出する。これによって、内側室３１ｂと外部とを仕切る壁部にガス漏れを生じさせるような欠陥があるか否かの検査が行われる。
【００３１】
また、この際、外側室３１ａと外部との間の漏れの有無の検査も同時に行うことができる。すなわち、外側室３１ａと外部との間に漏れが生じていれば、外側室３１ａと内側室３１ｂとの間の漏れを検査した際に、外側室３１ａからチャンバー１１内にトレースガスが漏れている。したがって、この外側室３１ａから漏れたトレースガスも検査器２４によって検出される。
【００３２】
そして、ワーク３０の漏れ検査が終了すると、前述した方法で検査済みのワーク３０をチャンバー１１から取り出し、次に検査する他のワーク３０をチャンバー１１に設置する。そして、前述した漏れ検査を順次行う。この場合、漏れ検査装置１０内には、トレースガスは殆ど残留していないため、繰り返し複数のワーク３０の漏れ検査を行っても精度のよい検査が行える。
【００３３】
以上のように、本実施形態による漏れ検査装置１０では、大気導入路１３ｂ、真空引き路１４ｂ、減圧排気路１５ｂおよびトレースガス封入路１６ｂが接続される主配管２２と接続管１２ｂとの間に仕切り弁２３ａを設けている。そして、外側室３１ａから内側室３１ｂに流れてくるガス中のトレースガスを検査器２４が検出する際には、仕切り弁２３ａを閉じて、内側室３１ｂから接続管１２ｂおよびガス漏れ検査路２２ａを介して検査器２４に通じる通路から主配管２２を遮断する。このため、主配管２２やトレースガス封入路１６ｂ等にトレースガスが残留していても検査器２４が検出する検出値には影響がないため、精度のよい漏れ検査を行える。
【００３４】
また、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置は、前述した実施形態に限定するものでなく、適宜変更実施が可能である。例えば、前述した実施形態では、接続管１２ｂと主配管２２との間に仕切り弁２３ａを設け、接続管１２ｂとガス漏れ検査路２２ａとの間に切り換え弁２３ｂを設けているが、接続管１２ｂが主配管２２およびガス漏れ検査路２２ａとに接続される部分に三方弁を設けることもできる。これによると、切り換え弁２３ｂが不要になる。
【００３５】
また、前述した実施形態では、接続管１２ａを外側室３１ａに接続し、接続管１２ｂを内側室３１ｂに接続しているが、接続管１２ａを内側室３１ｂに接続し、接続管１２ｂを外側室３１ａに接続することもできる。これによっても同様の漏れ検査を行うことができる。さらに、前述した実施形態では、ワーク３０を、外側室３１ａと、外側室３１ａの内部に設けられた内側室３１ｂとで構成しているが、このワークとしては、箱状の被検査室を隣接させて形成したものでもよい。例えば、ラジエター、オイルクーラー、濾過器などのように複数の隔離された室を備えたものであればよい。
【００３６】
また、ワークが備える被検査室も２個に限らず、それ以上の複数個であってもよい。その場合、被検査室の数に応じて、接続管や仕切り弁等を設ける。例えば、２個の被検査室に対して１組の接続管や仕切り弁等をそれぞれ設ける。また、トレースガスとしては、ヘリウムガスに代えて、水素ガス、硫化水素ガス、二酸化炭素ガス、窒素ガス、アルゴンガス、一酸化炭素ガス、メタンガス等を用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係る漏れ検査装置の概略配管図である。
【図２】従来の漏れ検査装置の概略配管図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０…漏れ検査装置、１１…チャンバー、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ…接続管、１５ａ，１５ｂ…減圧排気路、１６ａ，１６ｂ…トレースガス封入路、２２…主配管、２２ａ…ガス漏れ検査路、２３ａ…仕切り弁、２４…検査器、３０…ワーク、３１ａ…外側室、３１ｂ…内側室、３２ｂ…突出開口部。
【図１】
2005274292.tif 000003
【図２】
2005274292.tif 000004