(57)【要約】【課題】圧電体を設けた振動子を有する角速度センサ用振動子において、角速度を入力せずに圧電体の良否を検出できるようにする。【解決手段】少なくとも２本の音叉アーム２，３とこの音叉アーム２，３を連結する少なくとも１つの基部４から構成される振動子１と、この振動子１に設けられこれを励振させるための駆動部と、前記振動子１に設けられ前記駆動部の振動方向に直交する方向の振動を検出振動として検出し、所定の軸周りの角速度を検出するための検出部を備えた角速度センサにおいて、入力角速度を与えることなしに通常の駆動振動モード以外の振動モードを利用し代用特性を測定することにより、振動子１の検出部の圧電特性や感度バラツキを検査することを可能とした。【選択図】  図５
2005003588.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つの音叉アームとこの音叉アームを連結する少なくとも１つの基部から構成される振動子と、この振動子に設けられこれを励振させるための駆動部と、前記振動子に設けられ前記駆動部の振動方向に直交する方向の振動を検出振動として検出して所定の軸周りの角速度を検出するための検出部を備えた角速度センサにおいて、入力角速度を与えずに前記振動子の圧電特性を検査する角速度センサ用振動子の特性検査方法。
【請求項２】
振動子の駆動部ならびに検出部に検査用プローブを接触させ、この検査用プローブを介して前記振動子における各振動状態を電気信号として測定することにより、前記振動子の圧電特性を振動子単体で検査する請求項１に記載の角速度センサ用振動子の特性検査方法。
【請求項３】
２つの音叉アームを検出振動と同じ向きに振動させ、そのとき検出部に発生する電気信号を用いて前記振動子の圧電特性を検査する請求項１に記載の角速度センサ用振動子の特性検査方法。
【請求項４】
検出部を駆動部として振動子を検出振動モードで駆動させ、その駆動状態から検出振動時の伝達インピーダンスを測定し、この伝達インピーダンスの大小により前記振動子の圧電特性を検査する請求項１に記載の角速度センサ用振動子の特性検査方法。
【請求項５】
検出振動時の伝達インピーダンスを通常駆動時の伝達インピーダンスと比較することにより、前記振動子の圧電特性を検査する請求項４に記載の角速度センサ用振動子の特性検査方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は自動車の車両制御やナビゲーションまたはカメラの手ぶれ防止などに用いられる角速度センサ用振動子の特性検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の角速度センサ用振動子の特性検査としては、振動子を組みつけた実機状態で測定するもしくは振動子にプローブカードを接触させて測定するなどの方法が知られており、その一例を図８に示す。
【０００３】
図８において、音叉型振動子８１は支持部８４を介して基板８５と接着もしくはねじ止めにより固定されている。駆動電極９１，９２、モニタ電極９３，９４、ＧＮＤ電極９５，９６、検出電極９７，９８は、制御回路１１０と接続されているプローブピン１０１〜１０７と接触している。ただし、ＧＮＤ電極９５，９６についてはいずれか一方の電極のみがプローブピン１０５と接触している。
【０００４】
このとき、振動子８１は制御回路１１０から駆動ならびに検出手段（斜線ハッチング部）を介して振動子８１に信号を入出力することにより、アーム８２，８３を図８のｙ軸方向に励振させて駆動振動を発生させ、この駆動振動方向に直交する図８のｘ軸方向のアーム８２，８３の振動を検出振動として検出し、この検出振動の状態からＺ軸周りの角速度を検出する。
【０００５】
ここで、検出振動は駆動振動中に振動子８１にｚ軸まわりの角速度が加わったときに発生するコリオリ力によって、駆動振動と直交方向（ｘ軸方向）へのアーム８２，８３の振動となり、コリオリ力に応じて検出部９７，９８に電荷が発生するため、この電荷を検出した後にＩ−Ｖ変換を行い、この電圧を角速度信号として検出する。
【０００６】
このとき、振動子８１に設けられた駆動部９１，９２，９３，９４ならびに検出部９７，９８の圧電特性にアンバランスが生じると、振動子８１の駆動ならびに検出効率が悪化しセンサ出力特性の悪化を引き起こすため、振動子８１の圧電特性としては均一な特性が要求される。
【０００７】
このような音叉型振動子の特性検査方法では、駆動部ならびに検出部の圧電特性の検査方法として、駆動部は通常の駆動振動時に得られる電気信号から圧電特性の検査を容易に行うことができるが、検出部の圧電特性を検査するためには、振動子もしくはセンサに角速度を印加して、そのときの出力電圧から感度を算出する必要がある。
【０００８】
従って、センサもしくは振動子を回転テーブルに載せた状態で駆動振動させた後、回転テーブルを回転させることによって振動子に角速度を印加させて、検出部の圧電特性を検査する方法をとっている。
【０００９】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【００１０】
【特許文献１】
特開２０００−７４６７４号公報
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
従来の特性検査方法では、振動子もしくはセンサが傾いた状態で回転テーブルに載せて検査してしまうと、音叉の振動軸と入力角速度軸の直交性が崩れてしまうため、検出したい軸以外の角速度信号を拾ってしまうことになり検査精度が悪くなってしまう。そこで、圧電特性を精度良く検出するためには振動子の固定方法が重要となる。通常は、接着剤等で振動子と振動子を固定するための基板を強固に固定し、検査中に振動子の位置がずれないようにし、固定の際には振動子の軸がずれないような治具を必要とする。
【００１２】
このように、検出部の圧電特性を検査するには、回転テーブルに載せる検査工程が必要となり工程が複雑になるという課題や、更には振動子の固定を強固にする必要があることから振動子を接着剤やねじ等で固定してしまうため、振動子が不良であった場合に振動子を固定する材料費やそれまでの工程が無駄になってしまうという課題を有していた。また、振動子固定の際に発生する軸ずれにより精度良い測定も困難であった。
【００１３】
そこで、本発明は音叉型振動子を有する角速度センサにおいて、入力角速度を与えずに容易に振動子の圧電特性を検査できるようにすることを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、本発明は以下の構成を有する角速度センサ用振動子の特性検査方法であり、その特徴部分について列挙する。
【００１５】
本発明の請求項１に記載の発明は、少なくとも２つの音叉アームとこの音叉アームを連結する少なくとも１つの基部から構成される振動子と、この振動子に設けられこれを励振させるための駆動部と、前記振動子に設けられ前記駆動部の振動方向に直交する方向の振動を検出振動として検出し所定の軸周りの角速度を検出するための検出部を備えた角速度センサにおいて、入力角速度を与えずに前記振動子の圧電特性を検査する角速度センサ用振動子の特性検査方法であり、入力角速度を印加せずに振動子の圧電特性を検査することができるという作用を有する。
【００１６】
本発明の請求項２に記載の発明は、振動子の駆動部ならびに検出部に検査用プローブを接触させ、この検査用プローブを介して前記振動子における各振動状態を電気信号として測定することにより、前記振動子の圧電特性を振動子単体で検査する角速度センサ用振動子の特性検査方法であり、実機での特性検査を行う前に良否判別ができるため、組立工程での効率がよくなるという作用を有する。
【００１７】
本発明の請求項３に記載の発明は、２つの音叉アームを検出振動と同じ向きに振動させ、そのとき検出部に発生する電気信号を用いて前記振動子の圧電特性を検査する角速度センサ用振動子の特性検査方法であり、入力角速度を印加せずに振動子の検出部の圧電特性の良否を判定できるという作用を有する。
【００１８】
本発明の請求項４に記載の発明は、検出部を駆動部として振動子を検出振動モードで駆動させ、その駆動状態から検出振動時の伝達インピーダンスを測定し、この伝達インピーダンスの大小により前記振動子の圧電特性を検査する角速度センサ用振動子の特性検査方法であり、入力角速度を印加せずに振動子の圧電特性の良否を判定できるという作用を有する。
【００１９】
本発明の請求項５に記載の発明は、検出振動時の伝達インピーダンスを通常駆動時の伝達インピーダンスと比較することにより、振動子の圧電特性を検査する角速度センサ用振動子の特性検査方法であり、音叉間の圧電特性のばらつきに影響されることなく、より高精度に振動子の圧電特性の良否を判定できるという作用を有する。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、添付図面を用いて説明する。
【００２１】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態における振動子を示す斜視図、図２は同振動子の音叉アームのＡ−Ａにおける断面図、図３は同振動子の動作を説明するための概略図、図４は同振動子の駆動部の動作を説明するための概略図、図５は本発明の実施の形態における検査装置の主要部を示す説明図、図６は本発明の実施の形態１での実測データの一例を示す図である。
【００２２】
図１，図２において、１は振動子、２，３は振動子１の音叉アーム、４は振動子１の基部、５は振動子の主面、１１は下部電極、１２，１３，１４，１５，１６は圧電薄膜、１７，１８，１９，２０，２１は上部電極を表している。
【００２３】
振動子１は２本の音叉アーム２，３とこの音叉アーム２，３を連結する基部４とを有したシリコンなどの非圧電材料からなる音叉と、下部電極１１、圧電薄膜１２，１３，１４，１５，１６、上部電極１７，１８，１９，２０，２１とから構成されている。
【００２４】
図２は図１における振動子１の音叉アーム２のＡ−Ａにおける断面図である。音叉アーム２には、振動子１の主面５上に形成された下部電極１１と、下部電極１１上に前記音叉アーム２の幅方向の中心線２２より音叉の内側２３及び音叉の外側２４さらには中心線２２上にそれぞれ離間するように形成されたＰＺＴの圧電薄膜１２，１４，１５と、この圧電薄膜１２，１４，１５上にそれぞれ設けられた上部電極１７，１９，２０が配置されている。同様に、他方の音叉アーム３にも振動子１の主面５上に形成された下部電極１１と、下部電極１１上に前記音叉アーム３の幅方向の中心線より音叉の内側及び音叉の外側さらには中心線上にそれぞれ離間するように形成されたＰＺＴの圧電薄膜１４，１５，１６と、この圧電薄膜１４，１５，１６上にそれぞれ設けられた上部電極１９，２０，２１が配置されている。
【００２５】
さらに、各音叉アーム２，３の中心線よりも内側で、かつ基部４に近い部分には下部電極１１と下部電極１１上に形成された圧電薄膜１３と、この圧電薄膜１３上に設けられた上部電極１８がＵ字状に配置されている。
【００２６】
ここで、下部電極１１は基準電位に設置されたＧＮＤ電極、上部電極１９，２０は振動子１を駆動するための駆動電極、上部電極１７，２１はコリオリ力によって発生する電荷を取りだし振動子１に入力された角速度を検出するための検出電極、上部電極１８は駆動状態をモニタし自励発振させるための帰還用のモニタ電極である。なお、振動子のサイズは幅０．６ｍｍ、長さ５ｍｍ、厚み０．２ｍｍで１次モードの駆動共振周波数は２２ｋＨｚ、検出共振周波数は２１ｋＨｚになるように設計されている。
【００２７】
次に、この振動子１の動作原理について図３，図４を用いて説明する。
【００２８】
図３，図４は図１の音叉アーム２上に形成された下部電極１１、圧電薄膜１４、上部電極１９の断面図を示しており、３１は分極方向、３２，３３は圧電薄膜の伸縮方向を示している。図３は上部電極１９が下部電極１１に対して高電位となるように、また図４は逆に上部電極１９が下部電極１１に対して低電位となるように電圧を印加した状態を示している。
【００２９】
図３ならびに図４において、下部電極１１と上部電極１９の間にＤＣバイアス（２０Ｖ程度）を印加すると両電極に挟まれた圧電薄膜１４の分極は一方向に揃い分極方向３１が生じる。例えば、下部電極１１がプラス側に、上部電極１９がマイナス側になるようにＤＣバイアスを印加すると分極方向３１は下部電極１１から上部電極１９側に向く。このとき、上部電極１９が下部電極１１よりも高電位にあるときは図３に示すように圧電薄膜１４は分極方向３１と垂直な方向３２に伸びる。逆に上部電極１９が下部電極１１よりも低電位にあるときは図４に示すように圧電薄膜１４は分極方向３１と垂直な方向３３に縮む。従って、下部電極１１をＧＮＤ電極とし上部電極１９に交流電圧を印加する圧電薄膜１４が伸び縮みする。
【００３０】
図１における上部電極１９，２０に互いに位相が１８０°ずれるように交流電圧を印加すると、圧電薄膜１４が伸びているときにはもう一方の圧電薄膜１５は縮んでおり、逆に圧電薄膜１４が縮んでいる時には圧電薄膜１５は伸びた状態となる。
【００３１】
以上の原理により、図２に示すように、音叉アームの中心線２２を挟むようにそれぞれ圧電薄膜１４，１５を配置し、各圧電薄膜１４，１５の分極方向３１を全て同一の方向にし、上部電極１９，２０に互いに逆位相の交流電圧を印加することにより、音叉アーム２，３の振動を励起することができる。このとき、モニタ電極１８からの出力（電流）を電圧に変換してモニタ信号とし、温度が変わったとしてもモニタ信号が一定となるように駆動電圧を制御することにより自励制御発振を行う。
【００３２】
また、各圧電薄膜１４，１５の伸び縮みの量をできるだけ均等にすることにより振動子１はより安定した振動が得られることから、振動子１の音叉アーム２，３の中心線２２を軸として各音叉アーム２，３内で圧電薄膜１４，１５を対称に配置するとともに、振動子１の中心線２５を軸として振動子１の幅方向に対称となるように圧電薄膜１４，１５を配置することにより音叉振動の安定化を図ることができる。
【００３３】
次に、角速度の検出原理について説明する。音叉アーム２，３の駆動振動方向が音叉アーム２，３の幅方向となるように振動を励振させるように、振動子１上に形成された上部電極１９，２０に交流電圧を印加する。このとき、駆動振動方向と垂直な方向に角速度が入力されたとき、音叉アーム２，３は厚み方向にたわむ。このたわみにより発生した電荷を検出部である上部電極１７，２１で検出し、各検出電極１７，２１からの出力を電圧に変換し差動増幅する。差動増幅された電圧をバンドパスフィルタなどを通し、振動子１の共振周波数以外の成分を取り除きモニタ信号を基準に同期検波処理を行う。次に、ローパスフィルタなどを通し直流電圧として角速度検出信号を出力する。
【００３４】
このとき、左右の音叉アーム２，３の感度を均等にし、かつ駆動振動時に発生する電荷を各電極上でキャンセルするためには、検出電極１７，２１は振動子１の中心線２５に対して対称に形成し、かつ各音叉アーム２，３の中心線２２に対しても対称に形成する必要がある。
【００３５】
上記の構成ならびに動作をする角速度センサ用振動子の検査方法について、図５を用いて説明する。
【００３６】
振動子１を台座３５の上に置き、プローブカード４０に付属しているプローブピン４１，４２，４３，４４，４５，４６をそれぞれ上部電極１７，１９，１８，２０，２１に接触させる。このとき、振動子１の振動を妨げないために、プローブピン４１〜４６と上部電極１７〜２１とのコンタクトは基部４上で行う。
【００３７】
また、振動子１の特性検査を角速度センサの基板に取りつける前に良否判定できるように、振動子１は台座３５と接着固定するのではなく、プローブピン４１〜４６の接触圧（荷重）で振動子１を固定する。なお、本実施の形態１では振動子１を駆動、検出するために必要なプローブ数を６本としているが、振動子１の構造や電極パターンの違いにより必要本数は当然ながら異なってくる。プローブピン４１〜４６と検査用駆動回路５０とはリード線などで接続される。
【００３８】
以上の構成により、振動子１と検査用駆動回路５０との信号伝達が可能となり振動子特性を評価することができる。
【００３９】
次に、検出電極１７，２１の圧電特性のバラツキを検査する方法について説明する。
【００４０】
通常の駆動振動時には、駆動電極１９，２０に互いに位相が１８０°ずれるように交流電圧を印加するが、ここでは駆動電極１９，２０に入力する信号の位相ズレがない同一の正弦波信号を入力する。駆動電極１９，２０の短絡は、検査用駆動回路５０の内部もしくはプローブピン４１〜４６と検査用駆動回路５０を接続するリード線で行うことができる。
【００４１】
駆動電極１９，２０に同相の正弦波信号が入力されると、音叉アーム２，３の幅方向の振動ではなく、厚み方向の振動が励起される。このとき、同じ位相の信号が入力されることから音叉アーム２，３は、同じ厚み方向に伸び縮みするため、検出電極１７，２１上にはそれぞれ等しい電荷が発生することから、各検出電極１７，２１からの出力を電圧に変換し差動増幅すると出力は０になる。ところが、仮に各検出電極１７，２１下の圧電薄膜１２，１６の圧電特性にバラツキがあると差動増幅後の出力が０にはならない。
【００４２】
よって、あらかじめ意図的に各圧電薄膜１２，１６の圧電特性をばらつかせた場合の出力電圧と、入力角速度を印加した際に検出される各検出電極１７，２１の感度差を取得していれば、入力角速度を印加することなく検出電極１７，２１の整合性を検査することが可能となる。
【００４３】
本発明の実施の形態１での実測データの一例を図６に示す。
【００４４】
図６において、横軸は検出電極１７の感度と検出電極２１の感度の差を検出電極１７の感度で割った値をプロットしている。縦軸には、各検出電極１７，２１からの出力を電圧に変換し、差動増幅した後の出力電圧をプロットしている。このグラフからわかるように、所望の感度整合性に対し許容できる出力電圧範囲を決定することができる。すなわち、従来のように振動子を基板等に強固に固定した後、振動子を回転テーブルに載せて角速度を印加して振動子の感度特性を検査するという手法を用いることなしに、単純な電気配線の一部を短絡させるという作業だけで振動子１の感度特性を容易に検査する事が可能であることがわかる。
【００４５】
（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２について図５，図７を用いて説明する。
【００４６】
本発明の実施の形態２は実施の形態１で述べた振動子１における音叉の形状と同一であり、駆動原理、電極や圧電薄膜の構成も同じであるため、それらに関する詳細な説明は省略し実施の形態１と異なる部分についてのみ説明する。
【００４７】
図７は、本発明の実施の形態２での実測データの一例を示す図である。
【００４８】
実施の形態１で説明したように、通常の駆動振動時には駆動電極１９，２０に互いに位相が１８０°ずれるように交流電圧を印加している。このとき、駆動振動状態に応じた出力がモニタ電極１８から検出できるが、この出力を電圧に変換したものをモニタ電圧とすると、振動子１の伝達インピーダンスは以下の計算式により算出することができる。
【００４９】
Ｚｔｄ＝Ｖｄｄ／（Ｖｄｍ／Ｒｄ）
Ｚｔｄ：通常駆動振動時の伝達インピーダンス
Ｖｄｄ：通常駆動振動時の駆動電圧
Ｖｄｍ：通常駆動振動時のモニタ電圧
Ｒｄ：モニタ出力（電流）を電圧に変換するために用いている抵抗
ここで、Ｚｔｄはモニタ電極１８ならびに駆動電極１９，２０の下側に配置されている圧電薄膜１３，１４，１５の圧電特性によって大きく変化する。すなわち、圧電特性が悪化するとＺｔｄが高くなる。このＺｔｄを計算することにより、駆動電極１９，２０ならびにモニタ電極１８に付随している圧電薄膜の良否判定を行うことが可能となる。
【００５０】
次に、振動子１の検出電極１７，２１下の圧電薄膜１２，１６の良否を判定する方法について説明する。
【００５１】
検出電極１７，２１下の圧電薄膜１２，１６の良否判定を行うためには、振動子１を検出振動モードで励振させる必要がある。検出振動を励振させる一例として、通常振動時に用いている駆動電極１９，２０を用いずに、検出振動を励起するような信号入力を行う方法を示す。
【００５２】
例えば、検出電極１７を駆動電極１７とし、検出電極２１をモニタ電極２１とした構成が考えられる。検出電極１７，２１を駆動電極やモニタ電極に変更するには、検査用駆動回路５０の内部での結線を変更するか、プローブピン４１〜４６と検査用駆動回路５０を接続するリード線の結線を変更すれば容易に実施することが可能である。
【００５３】
検出電極１７に駆動用の正弦波信号が入力されると、音叉アーム２，３の幅方向の振動ではなく厚み方向の振動が励起されるが、これだけでは各音叉アーム２，３が同じ厚み方向に伸び縮みする振動モードと、各音叉アーム２，３が厚み方向と互いに反対となるように伸び縮みする検出振動モードのいずれのモードでも発振する可能性がある。本発明の実施の形態２で使用したい振動モードは検出振動モードであるため、検出電極２１をモニタ電極２１として活用することにより、駆動電極１７への入力信号とモニタ電極２１に発生するモニタ信号との位相差を比較することにより、音叉アーム２と音叉アーム３の振動方向を厚み方向で互いに逆になるような検出振動モードでのみしか発振しない構成が可能となる。
【００５４】
この検出振動モードで駆動させるために与えている駆動電極１７への駆動電圧と、検出振動により得られるモニタ電極２１に発生する出力を電圧に変換したモニタ電圧を測定することにより、振動子の検出振動時の伝達インピーダンスを以下の式を用いて算出することができる。
【００５５】
Ｚｔｓ＝Ｖｓｄ／（Ｖｓｍ／Ｒｓ）
Ｚｔｓ：検出振動時の伝達インピーダンス
Ｖｓｄ：検出振動時の駆動電圧
Ｖｓｍ：検出振動時のモニタ電圧
Ｒｓ：モニタ出力（電流）を電圧に変換するために用いている抵抗
Ｚｔｓは検出振動時の駆動電極１７とモニタ電極２１の下側に配置されている圧電薄膜１２，１６の圧電特性により大きく変化する。すなわち、圧電薄膜１２，１６のいずれか一方でも圧電特性が低下すると、Ｚｔｓは悪化する。よって、圧電薄膜１２，１６の良否を判定するためには、Ｚｔｓを計算すればよいことになる。
【００５６】
以上、圧電薄膜１２〜１６の良否判定にＺｔｄ，Ｚｔｓを用いる方法を提示してきたが、もう一つの判定方法について以下に説明する。
【００５７】
圧電薄膜の圧電特性は、通常、同一の振動子１内ではほとんど同じ特性を示す。従って、Ｚｔｄを計算して駆動電極ならびにモニタ電極下の圧電薄膜の良否判定をした後に、Ｚｔｓ／Ｚｔｄを計算することによっても圧電薄膜の良否を判定することができる。
【００５８】
図７は、本発明の実施の形態２の実測データの一例である。
【００５９】
横軸には伝達インピーダンス比としてＺｔｓをＺｔｄで割った値をプロットしている。一方、縦軸には検出電極１７の感度を検出電極２１の感度で割った値を感度比としてプロットしている。このグラフからわかるように、感度比と伝達インピーダンス比には大きな相関があるので、所望の感度比を決めておけば伝達インピーダンス比の上限値を求めることができる。すなわち、振動子１に角速度を入力して感度を測定することなしに、振動子１の検出モードを利用することで、検出電極１７，２１下に配置されている圧電薄膜１２，１６の圧電特性の良否判定を行うことが可能である。
【００６０】
この方法を用いれば、振動子ごとに圧電特性のバラツキがあったとしても、同一振動子内の圧電薄膜特性と比較しての判定となるため、より高精度に圧電特性の良否判定を行うことが可能である。
【００６１】
なお、本発明の実施の形態１，２において、振動子１は圧電薄膜を用いたものに限定されるものではなく、従来からよく知られているようなＰＺＴや水晶などの圧電体で形成されたものや、金属などに圧電素子を貼りつけたものでもよい。更に、振動子の電極配置についても、今回示したものはほんの一例にすぎず、これに限定されるものではないので、適宜設計変更してもよく、電極配置に応じて検査用プローブカードを用意すればよい。
【００６２】
【発明の効果】
以上のように本発明は、少なくとも２本の音叉アームとこの音叉アームを連結する少なくとも１つの基部から構成される振動子と、この振動子に設けられこれを励振させるための駆動部と、前記振動子に設けられ前記駆動部の振動方向に直交する方向の振動を検出振動として検出し、所定の軸周りの角速度を検出するための検出部を備えた角速度センサにおいて、入力角速度を与えることなしに通常の駆動振動モード以外の振動モードを利用して代用特性を測定することにより、振動子の検出部の圧電特性や感度バラツキを検査できる角速度センサ用振動子の特性検査方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態における角速度センサ用振動子を示す斜視図
【図２】同振動子の音叉アームのＡ−Ａにおける断面図
【図３】同振動子の駆動部の動作を説明するための概略図
【図４】同振動子の駆動部の動作を説明するための概略図
【図５】本発明の実施の形態における検査装置の主要部を示す説明図
【図６】本発明の実施の形態１での実測データの一例を示す図
【図７】本発明の実施の形態２での実測データの一例を示す図
【図８】従来の検査方法を示す説明図
【符号の説明】
１  振動子
２，３  音叉アーム
４  基部
５  主面
１１  下部電極
１２，１３，１４，１５，１６  圧電薄膜
１７，１８，１９，２０，２１  上部電極
２２  中心線
２３  音叉の内側
２４  音叉の外側
２５  振動子の中心線
３１  分極方向
３２，３３  垂直な方向
３５  台座
４０  プローブカード
４１，４２，４３，４４，４５，４６  プローブピン
５０  検査用駆動回路
【図１】
2005003588.tif 000003
【図２】
2005003588.tif 000004
【図３】
2005003588.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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