(57)【要約】【課題】  高密度に多段収納された基板を任意かつ最小限の汚染で搬入出すること。【解決手段】  複数のガラス基板４を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセット１と、基板搬送方向と直交する方向に往復動して基板カセット１に抜き差しされる搬送ローラ２４と、基板カセット１を搬送ローラ２４に対し相対的に昇降移動させるカセット昇降機構とを備えた基板保管搬送装置において、基板カセット１は、ガラス基板４の搬入出時にガラス基板４の下面中央部を非接触に支持する基板支持部１２を備える。この基板支持部１２の上面１２Ａには、送気ブロワと連通可能な吹出孔１４が複数開口している。【選択図】      図１
2005175429.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットにおいて、
前記基板の搬入出時に該基板の下面中央部を非接触に支持する基板支持部を備えることを特徴とする基板カセット。
【請求項２】
前記基板支持部の基板支持面には、送気源から送気可能な吹出孔が開口していることを特徴とする請求項１記載の基板カセット。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載の基板カセットと、
基板搬送方向と直交する方向に往復動して前記基板カセットに抜き差しされる基板搬入出手段と、
前記基板カセットを前記基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備えることを特徴とする基板保管搬送装置。
【請求項４】
前記各基板支持部は、前記基板搬入出手段の抜き差しに伴い脱着されて前記送気源から前記吹出孔への送気を断続するカプラを備えることを特徴とする請求項３記載の基板保管搬送装置。
【請求項５】
基板の搬入経路上に設けられた請求項３または４記載の基板保管搬送装置と、
搬入経路上において前記基板保管搬送装置の上流に設けられ、当該基板保管搬送装置に外部から供給された基板カセット内の基板を供給する基板供給装置と、
搬入経路上の前記基板保管搬送装置から払い出された基板をプロセス装置に供給する移送装置と
を具備することを特徴とする基板搬入システム。
【請求項６】
基板の搬出経路上に設けられた請求項３または４記載の基板保管搬送装置と、
搬出経路上において前記基板保管搬送装置の下流に設けられ、当該基板保管搬送装置から供給された基板を基板カセット内に収納する基板供給装置と、
プロセス装置から排出された基板を前記基板保管搬送装置に供給する移送装置と
を具備することを特徴とする基板搬出システム。
【請求項７】
基板の搬入経路上及び搬出経路上に各々設けられた請求項３または４記載の基板保管搬送装置と、
搬入経路上において前記基板保管搬送装置の上流に設けられ、当該基板保管搬送装置に外部から供給された基板カセット内の基板を供給する第１の基板供給装置と、
搬出経路上において前記基板保管搬送装置の下流に設けられ、当該基板保管搬送装置から供給された基板を基板カセット内に収納する第２の基板供給装置と、
搬入経路上の前記基板保管搬送装置から払い出された基板をプロセス装置に供給すると共に、プロセス装置から排出された基板を搬出経路上の前記基板保管搬送装置に供給する移送装置と
を具備することを特徴とする基板搬入／搬出システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば液晶用ガラス等の薄板基板の搬送ラインに設置される基板カセット、この基板カセットを備えた基板保管搬送装置、並びにこの基板保管搬送装置を備えた基板搬入システム、基板搬出システム及び基板搬入／搬出システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板保管搬送装置としては、基板をハンドリングする多関節ロボット又は水平往復動ハンドと、基板を多段に格納可能なカセット状の棚とを組み合わせ、基板を任意に搬入出可能な機能を持たせた装置が知られている。
また、昇降可能なカセット状の棚と、固定されたコンベヤとを組み合わせ、棚の上段から順に基板を搬入して格納する一方、格納された基板を下段から順に搬出する機能を持つ装置も知られている（例えば、特許文献１，２）。
【特許文献１】特開２００２−２８９６７８号公報
【特許文献２】特開２００１−２５３５４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記多関節ロボットを用いた技術では、任意の棚へ基板を搬入出することができる反面、ロボットハンドとの干渉を避けるために棚の基板収納ピッチを広く必要があり、基板の収納枚数を増すことが困難である。また、ロボットと棚を組み合わせるために、設置スペースが大きいという問題もある。この設置スペースの問題は、特にクリーンルームで使用される場合に顕著となる。
他方、上記カセット状の棚を昇降可能にした技術では、上記ような設置スペースの問題はないが、任意の棚へ基板を搬入出することができないという制約がある。
【０００４】
この発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、高密度に多段収納された基板を任意に搬入出可能にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、この発明は、基板カセットに関する解決手段として、複数の基板を水平姿勢にて上下方向に多段収納し得る基板カセットにおいて、前記基板の搬入出時に該基板の下面中央部を非接触に支持する基板支持部を備える、という手段を採用する。
このような構成において、前記基板支持部の基板支持面には、送気源から送気可能な吹出孔が開口している、という手段を採用することもできる。
【０００６】
また、この発明は、基板保管搬送装置に関する解決手段として、上記基板カセットと、基板搬送方向と直交する方向に往復動して前記基板カセットに抜き差しされる基板搬入出手段と、前記基板カセットを前記基板搬入出手段に対し相対的に昇降移動させる昇降機構とを備える、という手段を採用する。
このような構成において、各基板支持部は、前記基板搬入出手段の抜き差しに伴い脱着されて前記送気源から前記吹出孔への送気を断続するカプラを備える、という手段を採用することもできる。
【０００７】
さらに、この発明は、基板搬入システムに関する解決手段として、基板の搬入経路上に設けられた上記基板保管搬送装置と、搬入経路上において基板保管搬送装置の上流に設けられ、当該基板保管搬送装置に外部から供給された基板カセット内の基板を供給する基板供給装置と、搬入経路上の基板保管搬送装置から払い出された基板をプロセス装置に供給する移送装置とを具備する、という手段を採用する。
【０００８】
また、この発明は、基板搬出システムに関する解決手段として、基板の搬出経路上に設けられた上記基板保管搬送装置と、搬出経路上において基板保管搬送装置の下流に設けられ、当該基板保管搬送装置から供給された基板を基板カセット内に収納する基板供給装置と、プロセス装置から排出された基板を基板保管搬送装置に供給する移送装置とを具備する、という手段を採用する。
【０００９】
また、この発明は、基板搬入／搬出システムに関する解決手段として、基板の搬入経路上及び搬出経路上に各々設けられた上記基板保管搬送装置と、搬入経路上において基板保管搬送装置の上流に設けられ、当該基板保管搬送装置に外部から供給された基板カセット内の基板を供給する第１の基板供給装置と、搬出経路上において基板保管搬送装置の下流に設けられ、当該基板保管搬送装置から供給された基板を基板カセット内に収納する第２の基板供給装置と、搬入経路上の基板保管搬送装置から払い出された基板をプロセス装置に供給すると共に、プロセス装置から排出された基板を搬出経路上の基板保管搬送装置に供給する移送装置とを具備する、という手段を採用する。
【発明の効果】
【００１０】
以上の手段によれば、基板を搬入出したい段に基板搬入出手段を抜き差しできるよう、昇降機構を用いて基板カセットと基板搬入出手段の高さ位置を合わせた後、基板搬入出手段を基板カセットの外内へ水平方向に抜き差しすることにより、多関節ロボットを用いずとも、基板収納ピッチの狭い基板カセットに対し、基板を任意に搬入出できる。
しかも、この搬入出中は、終始、基板の下面中央部を例えば基板支持部からエア浮上させる等して非接触に支持しているので、基板への接触は基板搬入出手段が差し込まれる下面両側縁部だけとなり、基板汚染の極小化を図ることができる。
【００１１】
また、基板搬入出手段の基板カセットへの差し込み動作に伴い、基板を搬入出したい段に対応する基板支持部に対し、確実に圧搾空気を送気して基板の非接触支持を実現できると共に、この搬入出したい段に対応する基板支持部のみに圧搾空気を送気し得るので、装置全体のコンパクト化も実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、この発明の最良の形態である実施例を図１〜図３の図面を参照して説明する。
この実施例による基板保管搬送装置は、例えば液晶表示パネル（ＬＣＤ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等に用いられるガラス基板のように、大型かつ薄板状で、しかも、汚染防止等のために搬送物の両側縁部を支持しながら搬送することが要求されるものの搬送に用いて好適であり、図１及び図２に示すように、基板カセット１，搬送ローラ（基板搬入出手段）２４を備えた搬送ローラユニット２，及びカセット昇降機構（昇降機構）３を備えて構成されている。
【００１３】
基板カセット１は、基板搬送方向（図１の白抜矢印）の前側及び後側がガラス基板４の搬入口１１ａ及び搬出口１１ｂとなる箱形形状をなしており、その内空部には、ガラス基板４を水平姿勢にて搬入出及び格納するための棚段が上下方向に多数形成されている。
各棚段を構成する基板支持部１２は、基板搬送方向と直交する方向（すなわち、基板幅方向）に水平に延びる平面視長板状に形成されていて、１つの棚段につき複数個（この実施例では５つ）が基板搬送方向に所定の間隔をおいて配設されている。
以上の構成により、基板カセット１は、ガラス基板４を基板支持部１２で水平姿勢に保持しつつ上下方向に多段収納できるようになっている。
【００１４】
基板支持部１２の内部には、その上面（基板支持面）１２Ａに開口する吹出孔１４が形成されている。吹出孔１４は、上面１２Ａの長さ方向（基板搬送方向と直交する方向）略全長にわたって等間隔に多数形成されていると共に、この長さ方向に沿う１列の吹出孔群が基板搬送方向前側及び後側に並列している。
基板支持部１２のうち、基板搬送方向中央に位置する基板支持部１２ａの両端には、カプラ１５が接続されている。このカプラ１５は、基板支持部１２に形成された吹出孔１４と、これら吹出孔１４に管路を介して圧搾空気を供給する送気ブロワ又はコンプレッサ（送気源）との連通を可能にするものである。
【００１５】
すなわち、多数の搬送ローラ２４を備えた搬送ローラユニット２には、上記管路の先端に装着されたノズル（図示略）が固定されている。そして、搬送ローラ２４を基板カセット１内に差し込むと、その差し込み動作に伴ってノズルがカプラ１５の一端側に連結し、送気ブロワから各基板支持部１２に圧搾空気が供給可能になる。
また、搬送ローラ２４を基板カセット１外に抜き出すと、その抜き出し動作に伴ってノズルがカプラ１５から離脱し、送気ブロワから各基板支持部１２への送気が遮断される。
【００１６】
各カプラ１５には、基板搬送方向前側及び後側に向かって延びる分配管１６が接続されている。この分配管１６は、カプラ１５が接続された基板支持部１２ａ以外の基板支持部１２の端部にそれぞれ連結されていて、これら基板支持部１２にも送気ブロワから供給された圧搾空気を分配できるようになっている。
そして、送気ブロワを駆動すると、管路，ノズル，カプラ１５，及び分配管１６を経て各基板支持部１２に供給された圧搾空気が、吹出孔１４を通って上方に向かって噴射されるので、基板カセット１内に搬入出されるガラス基板４の下面中央部４ｃは非接触に支持される。
【００１７】
基板カセット１は、ガラス基板４を基板カセット１内の任意の棚段に搬入したり、基板カセット１内の任意の棚段からガラス基板４を搬出できるように、上下方向に定位置に支持された搬送ローラ２４に対し、相対的に昇降移動できるようになっている。
そのためのカセット昇降機構３は、基板カセット１の底部１１ｃを支持するブラケット３１と、サーボ駆動によりブラケット３１を上下動させるボールネジと、ブラケット３１の上下動を案内するガイド３２と、基板カセット１の上下方向の位置出しに用いられるセンサとを備えて構成されている。
【００１８】
搬送ローラユニット２は、搬送物であるガラス基板４の幅方向、言い換えればガラス基板の搬送方向と直交する方向に間隔をおいて対向配置された一対のベース２１を備え、各ベース２１には基板搬送方向に間隔をおいて複数（この実施例では４つ）のコンベヤフレーム２２が固定されている。
コンベヤフレーム２２には、ベアリング等の軸サポート２３を介して搬送ローラ２４が回転自在に支持されている。
【００１９】
この搬送ローラは２４は、１つのコンベヤフレーム２２につき、複数個（この実施例では６つ）が基板搬送方向に間隔をおいて並設されている。
搬送ローラ２４の基端にはローラ駆動ギヤ２５が設けられており、駆動モータ（図示略）からの回転駆動力はローラ駆動ギヤ２５を介して搬送ローラ２４に伝達される。
また、搬送ローラ２４の基板カセット１内への抜き差しは、各コンベヤフレーム２２を一体に固定しているベース２１を水平方向、かつ基板搬送方向と直交する方向に前進及び後退させるローラ往復動機構（図示略）により実現される。
【００２０】
次に、以上の如く構成された基板保管搬送装置において、ガラス基板４を基板カセット１の任意の棚段に搬入する際の一手順について説明する。
【００２１】
まず、カセット昇降機構３を駆動し、搬送ローラ２４の前進移動先に、ガラス基板４を搬入しようとする棚段（以下、搬入予定段）が位置するように、基板カセット１を昇降させる。このとき、搬入予定段に対応する基板支持部１２の上面１２Ａは、搬送ローラ２４よりも若干低めに位置決めされる。
次いで、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４を前進させて基板カセット１内に差し込む。このとき、コンベヤフレーム２２に固定されたノズルは、搬入予定段に対応する基板支持部１２ａのカプラ１５に連結される。
【００２２】
そして、送気ブロワから管路，ノズルを経てカプラ１５に圧搾空気を供給すると、この圧搾空気は、基板支持部１２ａと分配管１６を通って他の基板支持部１２とに分配され、搬入予定段に対応する各基板支持部１２の吹出孔１４から上方に向けて噴射される。
これにより、搬入されたガラス基板４と、基板支持部１２の上面１２Ａとの間にエア浮上層を形成し得るようになり、搬入されたガラス基板４の下面中央部４ｃ、すなわち、搬送ローラ２４に支持される下両側縁部４ａ，４ｂを除く部分が、このエア浮上層を介して非接触に支持することが可能になる。
【００２３】
しかる後、駆動モータを駆動し、その回転駆動力をローラ駆動ギヤ２５を介して搬送ローラ２４に伝達し、搬送ローラ２４をその軸回りに回転させる。
すると、基板カセット１の上流側に移送されてきたガラス基板４は、その下面両側縁部４ａ，４ｂに対する搬送ローラ２４との接触によって生じる摩擦力により、搬送方向前方に向かう搬送力を付与されて基板カセット１内に搬入される。このとき、ガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂは、それに転がり接触している搬送ローラ２４によって下方より直接支持されている。
【００２４】
これに対し、搬送ローラ２４と下面両側縁部４ａ，４ｂとの接触部分を除くガラス基板４の下面中央部４ｃは、カプラ１５を介して基板支持部１２に供給された圧搾空気が吹出孔１４より噴射されることにより、搬送ローラ２４の頂部と、それよりも若干低めに位置決めされた基板支持部１２の上面１２Ａとの段差に生ずる隙間に形成されたエア浮上層を介して、非接触に支持されている。
このように、基板カセット１への基板搬入中は、終始、ガラス基板４の下面中央部４ｃを基板支持部１２から浮上させているので、ガラス基板４への接触は下面両側縁部４ａ，４ｂに対する搬送ローラ２４だけとなり、基板汚染の極小化を図ることができる。
【００２５】
ガラス基板４が基板カセット１内に搬入されると、送気ブロワから基板支持部１２への送気を遮断すると共に、カセット昇降機構３を駆動して基板カセット１を上昇させ、搬入されたガラス基板４の下面中央部４ｃを基板支持部１２に預ける。
そして、ガラス基板４が搬送ローラ２４から浮いたところで、つまり、ガラス基板４を基板支持部１２に完全に預けたところで、ローラ往復動機構を駆動して搬送ローラ２４を後退させ、搬送ローラ２４を基板カセット１から抜き出す。以上で、搬入は終了する。
【００２６】
次に、基板カセット１内に格納されている任意の棚段のガラス基板４を搬出する際の一手順について説明する。
【００２７】
まず、カセット昇降機構３を駆動し、搬送ローラ２４の前進移動先に、搬出しようとしているガラス基板４を格納している棚段（以下、搬出予定段）が位置するように、基板カセット１を昇降させる。このとき、搬出予定段に対応する基板支持部１２の上面１２Ａは、搬送ローラ２４よりも若干高めに位置決めされる。
次に、ローラ往復動機構を駆動し、搬送ローラ２４を前進させて基板カセット１内に差し込んだ後、カセット昇降機構３を駆動し、基板カセット１を下降させて搬出予定のガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂを搬送ローラ２４に預ける。
【００２８】
このとき、コンベヤフレーム２２に固定されたノズルは、搬出予定段に対応する基板支持部１２ａのカプラ１５に連結されている。よって、送気ブロワから管路，ノズルを経てカプラ１５に圧搾空気を供給すると、この圧搾空気は、基板支持部１２ａと分配管１６を通って他の基板支持部１２とに分配され、搬出予定段に対応する各基板支持部１２の吹出孔１４から上方に向けて噴射される。
これにより、搬出予定のガラス基板４の下面中央部４ｃは、基板支持部１２の上面１２Ａから浮上し、基板支持部１２に非接触に支持されることになる。
【００２９】
しかる後、駆動モータを駆動して搬送ローラ２４をその軸回りに回転させると、基板カセット１内に格納されていた搬出予定のガラス基板４は、その下面両側縁部４ａ，４ｂに対する搬送ローラ２４との接触によって生じる摩擦力により、搬送方向前方に向かう搬送力を付与されて基板カセット１外に搬出される。
【００３０】
このとき、ガラス基板４の下面両側縁部４ａ，４ｂは、それに転がり接触している搬送ローラ２４によって下方より直接支持されているが、その接触部分を除くガラス基板４の下面中央部４ｃは、エア浮上層を介して非接触に支持されている。
このように、基板カセット１からの基板搬出中は、終始、ガラス基板４の下面中央部４ｃを基板支持部１２から浮上させているので、ガラス基板４への接触は下面両側縁部４ａ，４ｂに対する搬送ローラ２４だけとなり、基板汚染の極小化を図ることができる。
【００３１】
以上説明したように、本実施例による基板保管搬送装置によれば、ガラス基板４を搬入出したい棚段に搬送ローラ２４を抜き差しできるよう、カセット昇降機構３を用いて基板カセット１と搬送ローラ２４の高さ位置を合わせた後、搬送ローラ２４を基板カセット１の外内へ水平方向に抜き差しすることにより、多関節ロボットを用いずとも、基板収納ピッチの狭い基板カセット１に対し、ガラス基板４を任意に搬入出することができる。
【００３２】
しかも、この搬入出中は、終始、ガラス基板４の下面中央部４ｃを基板支持部１２からエア浮上させて非接触に支持しているので、ガラス基板４への接触は搬送ローラ２４が差し込まれる下面両側縁部４ａ，４ｂだけとなり、基板汚染の極小化を図ることができる。
また、搬送ローラ２４の基板カセット１への差し込み動作に伴い、搬入出したい棚段に対応する基板支持部１２に対し、確実に圧搾空気を送気してガラス基板４の非接触支持を実現できると共に、この搬入出したい棚段に対応する基板支持部１２のみに圧搾空気を送気し得るので、装置全体のコンパクト化も実現できる。
【００３３】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更が可能である。
例えば、基板搬入出手段は、搬送ローラ２４のようなコンベヤ装置に代えて、ガラス基板４の両側縁部を把持するクランプと、そのクランプを基板搬送方向に移動させるスライド機構とを備えた外部駆動装置であってもよい。
【００３４】
また、カプラ１５は、１つの棚段に並ぶ２以上の基板支持部１２に設けてもよい。この場合には、カプラ１５のサイズと、各基板支持部１２間の水平方向及び上下方向のピッチとに応じて、カプラ１５を適宜間引いて配置することができる。
例えば、図３は、基板支持部１２に対するカプラ１５の一配置例を示す模式図であり、この図に示すように、水平方向及び上下方向に連設された基板支持部１２に対し、１つおきにカプラ１５を設けてもよい。
【００３５】
〔追加技術事項〕
さらに、上述した基板保管搬送装置を用いた基板搬入／搬出システムについて図４〜図６を参照して説明する。なお、以下の説明では、既に説明した構成要素と同一の構成要素については同一符号を付している。
【００３６】
図４は、本基板搬入／搬出システムのシステム構成図である。本基板搬入／搬出システムは、ＡＧＶ等の基板搬送装置とガラス基板４に所定のプロセス処理を施すプロセス装置との間に配置され、基板搬送装置によって搬送されてきた基板カセット１のプロセス装置への引渡し（基板搬入）とプロセス装置から回収した基板カセット１の基板搬送装置への引渡し（基板搬出）とを行う。本基板搬入／搬出システムは、図４に示すように、クレーンＫ、先入後出し装置Ｆ1，Ｆ2（基板供給装置）、基板保管搬送装置Ｈ1，Ｈ2及び移送装置Ｐから構成されている。これら各構成要素のうち、先入後出し装置Ｆ1及び基板保管搬送装置Ｈ1は基板搬入経路上に設けられ、一方、先入後出し装置Ｆ2及び基板保管搬送装置Ｈ2基板搬入経路上に設けられている。
【００３７】
クレーンＫは、基板搬送装置から引き取った基板カセット１を先入後出し装置Ｆ1に供給すると共に、先入後出し装置Ｆ2から回収した基板カセット１を基板搬送装置に引き渡す。クレーンＫが先入後出し装置Ｆ1に供給する基板カセット１にはプロセス処理前のガラス基板４が収納され、一方、クレーンＫが先入後出し装置Ｆ2から引き取った基板カセット１にはプロセス処理後のガラス基板４が収納されている。
【００３８】
先入後出し装置Ｆ1は、基板カセット１に収納された複数のガラス基板４のうち、後から収納したものを先に基板保管搬送装置Ｈ1に払い出す。これに対して、基板保管搬送装置Ｈ1は、移送装置Ｐへのガラス基板４の払出に関するランダムアクセスバッファとして機能するものであり、先入後出し装置Ｆ1から供給されたガラス基板４を自らの基板カセット１に順次収納すると共に、当該基板カセット１に収納された複数のガラス基板４のうち、移送装置Ｐの要求に応じた任意のガラス基板４を移送装置Ｐに払い出す。移送装置Ｐは、レール上を移動することによってガラス基板４を移送する移送装置であり、基板保管搬送装置Ｈ1から供給されたガラス基板４をプロセス装置に移送すると共に、プロセス装置からガラス基板４（処理済）を回収して先入後出し装置Ｆ2に引き渡す。
【００３９】
基板保管搬送装置Ｈ2は、先入後出し装置Ｆ2へのガラス基板４の払出に関するランダムアクセスバッファとして機能するものであり、移送装置Ｐから供給されたガラス基板４（処理済）を自らの基板カセット１に順次収納すると共に、当該基板カセット１に収納された複数のガラス基板４のうち、先入後出し装置Ｆ2の要求に応じた任意のガラス基板４を先入後出し装置Ｆ2に払い出す。先入後出し装置Ｆ2は、基板保管搬送装置Ｈ2から供給されたガラス基板４を自らの基板カセット１に順次収納する。
【００４０】
図５は、このような本基板搬入／搬出システムにおける基板搬入フローを示す説明図である。上段イ）に示されるように、先入後出し装置Ｆ1の基板カセット１内に収納された複数のガラス基板４は、後に収納されたものから先に取り出されて基板保管搬送装置Ｈ1の基板カセット１に一時的にバッファリング（収納）され、移送装置Ｐまたはプロセス装置の要求に応じて当該基板保管搬送装置Ｈ1の基板カセット１に収納された任意のガラス基板４が移送装置Ｐを介してプロセス装置に供給される。
【００４１】
ここで、先入後出し装置Ｆ1が自らの基板カセット１内の全ガラス基板４を基板保管搬送装置Ｈ1に供給し終わると、中段ロ）に示されるように、先入後出し装置Ｆ1の空状態の基板カセット１はクレーンＫによって除去されてガラス基板４が収納された基板カセット１に交換されるが、この交換の間においては、基板保管搬送装置Ｈ1は、自らの基板カセット１にバッファリングしたガラス基板４をプロセス装置に継続して供給する。そして、下段ハ）に示されるように、クレーンＫによって先入後出し装置Ｆ1に次の基板カセット１が移載されると、先入後出し装置Ｆ1は基板保管搬送装置Ｈ1へのガラス基板４の供給を再開する。すなわち、基板保管搬送装置Ｈ1が存在することにより、先入後出し装置Ｆ1からのガラス基板４の供給が中断しても、プロセス装置へのガラス基板４の供給は途切れることなく連続的に行われる。
【００４２】
図６は、このような本基板搬入／搬出システムにおける基板搬出フローを示す説明図である。最初に左側の基板搬出フロー（１）について説明すると、基板搬出時においては、上段イ）に示されるように、処理済のガラス基板４がプロセス装置から移送装置Ｐを介して基板保管搬送装置Ｈ2の基板カセット１内に順次収納される。そして、基板保管搬送装置Ｈ2は、自らの基板カセット１内のガラス基板４を先入後出し装置Ｆ2に順次供給する。
【００４３】
ここで、先入後出し装置Ｆ2の基板カセット１がガラス基板４で満杯になると、当該基板カセット１は、クレーンＫによって除去されて空状態の基板カセット１に交換されるが、この交換の間も基板保管搬送装置Ｈ2はプロセス装置から回収されたガラス基板４の引取りを継続して行うので、プロセス装置からのガラス基板４の回収は途切れることなく連続的に行われる。
【００４４】
続いて、右側の基板搬出フロー（２）について説明する。
プロセス装置（例えば検査装置）から回収されて基板保管搬送装置Ｈ2の基板カセット１に収納されるガラス基板４には良品と不良品とがある。不良品はプロセス装置からランダムなタイミングで排出されるので、基板保管搬送装置Ｈ2の基板カセット１には良品と不良品とが無秩序に収納される。ここで、基板保管搬送装置Ｈ2は任意のガラス基板４を払い出すことができるので、上段イ）に示されるように良品のみを選択して先入後出し装置Ｆ2に供給し、不良品については一時的に保持する。そして、中段ロ）に示されるように、良品の払出が完了すると、不良品をまとめて先入後出し装置Ｆ2に供給する。そして、先入後出し装置Ｆ2内の基板カセット１が満杯となり交換されている間、基板保管搬送装置Ｈ2は、良品と不良品との収納を継続する。
【００４５】
このような基板搬入／搬出システムによれば、基板保管搬送装置Ｈ1，Ｈ2がガラス基板４を一時的に収納すると共に収納したガラス基板４を任意に払い出すランダムアクセスバッファとして機能するので、ガラス基板４の連続的な搬入及び搬出を実現できると共に、良品と不良品とを分別して排出することができる。
【００４６】
なお、必要に応じて基板保管搬送装置Ｈ1，Ｈ2の何れか一方のみを設けるようにしても良い。また、上記基板搬入／搬出システムでは基板供給装置として先入後出し装置Ｆ1，Ｆ2を用いたが、基板供給装置は先入後出し装置Ｆ1，Ｆ2に限定されない。基板保管搬送装置Ｈ1，Ｈ2と同等のものを基板供給装置として用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】この発明の一実施例による基板保管搬送装置の要部を示す平面図である。
【図２】図１に示す基板保管搬送装置の正面図である。
【図３】この発明の他の実施例による基板保管搬送装置の要部拡大模式図である。
【図４】この発明の一実施例に係る基板搬入／搬出システムのシステム構成図である。
【図５】上記基板搬入／搬出システムにおける基板搬入フローを示す説明図である。
【図６】上記基板搬入／搬出システムにおける基板搬出フローを示す説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１  基板カセット  
３  カセット昇降機構（昇降機構）  
４  ガラス基板  
４ｃ  下面中央部  
１２  基板支持部  
１２Ａ  上面（基板支持面）  
１４  吹出孔  
１５  カプラ  
２４  搬送ローラ（基板搬入出手段）
Ｋ  クレーン
Ｆ1，Ｆ2  先入後出し装置
Ｈ1，Ｈ2  基板保管搬送装置
Ｐ  移送装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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