(57)【要約】【課題】  被検査物の表面からの反射光（又は、被検査物の内部を透過した透過光）の入射位置による感度差や位相ノイズの影響を小さくすることにより検査精度を向上することができる表面および内部欠陥検査装置を提供する。【解決手段】  発光部１０は、被検査物の表面２に光束４を照射し、光束４の照射位置５を線状に往復移動させる。受光部３０は、照射位置５に対向して線状に延在する受光面と、受光面に対向して平行に延在する散乱面とを含み、受光面の延在方向に延在する棒状の導光部材と、導光部材の延在方向両側の端面に対向してそれぞれ配置された二つの光検出器とを有する。判定部は、二つの光検出器の出力に基づいて被検査物の表面の良否判定を行う。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物の表面に光束を照射し、該光束の照射位置を線状に往復移動させる発光部と、
被検査物に関して上記発光部とは同じ側に配置され、線状の上記照射位置に対向して線状に延在する受光面を有する受光部と、
該受光部の出力に基づいて被検査物の表面の良否判定を行う判定部とを備えた表面検査装置において、
上記受光部は、
上記受光面と、上記受光面に対向して平行に延在する散乱面とを含み、上記受光面の延在方向に延在する棒状の導光部材と、
該導光部材の延在方向両側の端面に対向してそれぞれ配置された二つの光検出器とを有し、
上記判定部は、二つの上記光検出器の出力に基づいて被検査物の表面の良否判定を行うことを特徴とする、表面検査装置。
【請求項２】
上記判定部は、
上記発光部が被検査物の表面に照射する光束の照射位置に応じてそれぞれの上記光検出器の出力を電気的に補正して、被検査物の表面の良否判定を行うことを特徴とする、請求項１に記載の表面検査装置。
【請求項３】
上記導光部材の上記散乱面の反射特性が、上記散乱面の延在方向の中央部分と両側部分とで異なることを特徴とする、請求項１又は２に記載の表面検査装置。
【請求項４】
透明な被検査物の表面に光束を照射し、該光束の照射位置を線状に往復移動させる発光部と、
被検査物に関して上記発光部とは反対側に配置され、線状の上記照射位置に対向して線状に延在する受光面を有する受光部と、
該受光部の出力に基づいて被検査物の内部の良否判定を行う判定部とを備えた内部欠陥検査装置において、
上記受光部は、
上記受光面と、上記受光面に対向して平行に延在する散乱面とを含み、上記受光面の延在方向に延在する棒状の導光部材と、
該導光部材の延在方向両側の端面に対向してそれぞれ配置された二つの光検出器とを有し、
上記判定部は、二つの上記光検出器の出力に基づいて被検査物の内部の良否判定を行うことを特徴とする、内部欠陥検査装置。
【請求項５】
上記判定部は、
上記発光部が被検査物の表面に照射する光束の照射位置に応じてそれぞれの上記光検出器の出力を電気的に補正して、被検査物の内部の良否判定を行うことを特徴とする、請求項４に記載の内部欠陥検査装置。
【請求項６】
上記導光部材の上記散乱面の反射特性が、上記散乱面の延在方向の中央部分と両側部分とで異なることを特徴とする、請求項４又は５に記載の内部欠陥検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は表面および内部欠陥検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、紙、プラスチック、金属などの被検査物の表面に、小さなスポットに集光したレーザビームをを移動させながら照射し、被検査物の表面からの反射光（又は、被検査物の内部を透過した透過光）を受光して、表面や内部の傷、ピンホールなどの欠陥を検出する表面検査装置（又は、内部欠陥検査装置）において、反射光（又は、透過光）の受光面は、レーザビームの走査方向に対応して連続的な形状に形成されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
すなわち、どの照射位置からの反射光（又は、透過光）も受光面で受光し、受光した光を光検出器に導くようになっている。例えば、多数本の光ファイバの一端を受光面として所定形状に束ね、他端に光検出器を配置したり、棒状のライトガイドの外周面で反射光を受光し、ライトガイドの端面に光検出器を配置したりしている。
【特許文献１】特開平５−３４０７４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、光ファイバを束ねた場合、光ファイバの隙間では反射光が受光されない上、光ファイバへの入射位置によっても光伝達率が異なるため、レーザビームの走査に伴って出力が変動する位相ノイズが発生する。そのため、微小な欠陥を高精度で検査することは困難である。
【０００５】
ライトガイドの場合には、光ファイバを束ねた場合のような位相ノイズはないが、ライトガイドの散乱面や被検査物の表面性状などによって、位相ノイズが生じる。また、反射光の入射位置によってライトガイド内での光路長が変わるため、感度に差が生じる。このような感度差や位相ノイズは、検査精度をさらに向上する際に障害となる。
【０００６】
本発明は、かかる実情に鑑み、被検査物の表面からの反射光（又は、被検査物の内部を透過した透過光）の入射位置による感度差や位相ノイズの影響を小さくすることにより検査精度を向上することができる表面および内部欠陥検査装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するため、以下のように構成した表面検査装置を提供する。
【０００８】
表面検査装置は、被検査物の表面に光束を照射し、該光束の照射位置を線状に往復移動させる発光部と、被検査物に関して上記発光部とは同じ側に配置され、線状の上記照射位置に対向して線状に延在する受光面を有する受光部と、該受光部の出力に基づいて被検査物の表面の良否判定を行う判定部とを備えたタイプのものである。上記受光部は、上記受光面と、上記受光面に対向して平行に延在する散乱面とを含み、上記受光面の延在方向に延在する棒状の導光部材と、該導光部材の延在方向両側の端面に対向してそれぞれ配置された二つの光検出器とを有する。上記判定部は、二つの上記光検出器の出力に基づいて被検査物の表面の良否判定を行う。
【０００９】
上記構成において、光束が被検査面の表面に照射されると、表面からの反射光は、導光部材の受光面に入射し、散乱面で様々な方向に反射する。このような散乱光は、導光部材の内部を進み、端面から出射して、光検出器により検出される。
【００１０】
上記構成によれば、導光部材の両側の端面にそれぞれ光検出器を配置しているので、被検査物の表面からの反射光の導光部材への入射位置によって光検出器の検出感度に差があっても、二つの検出器からの出力を適宜に利用（例えば、加算）することにより、感度差の影響を小さくすることができる。また、導光部材の散乱面の影響で位相ノイズが生じても、二つの光検出器の位相ノイズは逆位相となるので、位相ノイズをキャンセルすることによりＳ／Ｎ比を改善することができる。
【００１１】
好ましくは、上記判定部は、上記発光部が被検査物の表面に照射する光束の照射位置に応じてそれぞれの上記光検出器の出力を電気的に補正して、被検査物の表面の良否判定を行う。
【００１２】
上記構成によれば、被検査物の表面からの反射光の導光部材への入射位置による光検出器の検出感度の差、すなわち、発光部から被検査物の表面への光束の照射位置による光検出器の検出感度の差を、電気的な補正により小さくすることにより、検査精度をできるだけ均一にすることができる。また、光束の照射位置により光検出器の感度に差がある場合、位相ノイズの大きさ（ノイズの振幅）は光束の照射位置により変わるため、逆位相となる二つの光検出器の位相ノイズを単純に加算しただけでは、ある程度までしか位相ノイズをキャンセルすることができないが、上記構成のように電気的に補正した光検出器の出力を加算すれば、位相ノイズの大きさが光束の照射位置によらずに一様となるようにして位相ノイズを完全にキャンセルすることが可能となり、Ｓ／Ｎ比をより改善することができる。
【００１３】
好ましくは、上記導光部材の上記散乱面の反射特性が、上記散乱面の延在方向の中央部分と両側部分とで異なる。
【００１４】
上記構成によれば、反射光の入射位置による光検出器の感度差を、散乱面の反射特性を変えて小さくすることができる。これにより、検査精度をできるだけ均一にすることができる。
【００１５】
また、本発明は、上記課題を解決するため、以下のように構成した内部欠陥検査装置を提供する。
【００１６】
内部欠陥検査装置は、透明な被検査物の表面に光束を照射し、該光束の照射位置を線状に往復移動させる発光部と、被検査物に関して上記発光部とは反対側に配置され、線状の上記照射位置に対向して線状に延在する受光面を有する受光部と、該受光部の出力に基づいて被検査物の内部の良否判定を行う判定部とを備えたタイプのものである。上記受光部は、棒状の導光部材と、二つの光検出器とを有する。上記導光部材は、上記受光面と、上記受光面に対向して平行に延在する散乱面とを含む。上記導光部材は、上記受光面の延在方向に延在する。二つの上記光検出器は、上記導光部材の延在方向両側の端面に対向してそれぞれ配置される。上記判定部は、二つの上記光検出器の出力に基づいて被検査物の内部の良否判定を行う。
【００１７】
上記構成において、光束が被検査面の表面に照射されると、被検査物の内部を透過した透過光は、被検査物の反対側に出射し、導光部材の受光面に入射し、散乱面で様々な方向に反射する。このような散乱光は、導光部材の内部を進み、端面から出射して、光検出器により検出される。
【００１８】
上記構成によれば、導光部材の両側の端面にそれぞれ光検出器を配置しているので、被検査物からの透過光の導光部材への入射位置によって光検出器の検出感度に差があっても、二つの検出器からの出力を適宜に利用（例えば、加算）することにより、感度差の影響を小さくすることができる。また、導光部材の散乱面や被検査物の表面の影響で位相ノイズが生じても、二つの光検出器の位相ノイズは逆位相となるので、位相ノイズをキャンセルすることによりＳ／Ｎ比を改善することができる。
【００１９】
好ましくは、上記判定部は、上記発光部が被検査物の表面に照射する光束の照射位置に応じてそれぞれの上記光検出器の出力を電気的に補正して、被検査物の内部の良否判定を行う。
【００２０】
上記構成によれば、被検査物からの透過光の導光部材への入射位置による光検出器の検出感度の差、すなわち、発光部から被検査物の表面への光束の照射位置による光検出器の検出感度の差を、電気的な補正により小さくすることにより、検査精度をできるだけ均一にすることができる。また、光束の照射位置により光検出器の感度に差がある場合、位相ノイズの大きさ（ノイズの振幅）は光束の照射位置により変わるため、逆位相となる二つの光検出器の位相ノイズを単純に加算しただけでは、ある程度までしか位相ノイズをキャンセルすることができないが、上記構成のように電気的に補正した光検出器の出力を加算すれば、位相ノイズの大きさが光束の照射位置によらずに一様となるようにして位相ノイズを完全にキャンセルすることが可能となり、Ｓ／Ｎ比をより改善することができる。
【００２１】
好ましくは、上記導光部材の上記散乱面の反射特性が、上記散乱面の延在方向の中央部分と両側部分とで異なる。
【００２２】
上記構成によれば、反射光の入射位置による光検出器の感度差を、散乱面の反射特性を変えて小さくすることができる。これにより、検査精度をできるだけ均一にすることができる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の表面および内部欠陥検査装置によれば、被検査物の表面からの反射光（又は、被検査物の内部を透過した透過光）の入射位置による感度差や位相ノイズの影響を小さくすることにより検査精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施の形態として実施例を、図１〜図９を参照しながら説明する。
【００２５】
まず、第１実施例の表面検査装置について、図１〜図８を参照しながら説明する。
【００２６】
図１に示すように、表面検査装置は、被検査物の表面２にレーザビーム４を照射する発光部１０と、反射光６を受光する受光部３０と、制御部５０とを備えている。レーザビーム４は、発光部１０のケーシング１２内の基板１４の上下面に配置された反射ミラー２８，２９により反射され、ケーシング１２の開口１３を通って被検査物の表面２に照射される。被検査物の表面２に対するレーザビーム４と反射光６との角度は、被検査物の表面２の性状や検査目的等に応じて、適宜に設定することができる。被検査物の表面２は平面であっても曲面であってもよく、被検査物の形状は、シート状、板状、筒状、ブロック状など、任意である。例えば、液晶用ガラス基板の表面の傷や内部欠陥（気泡、クラック等）について検出可能である。あるいは、シート素材に対しては、傷、異物、ピンホールについて検出可能であり、薄い汚れ、表面処理の抜け・むらなどの濃淡も検出できる。
【００２７】
詳しくは図２に示すように、基板１４の上面には、半導体レーザ２０と、ビームエクスパンダー２１と、反射ミラー２２ａ，２２ｂ，２２ｃと、ポリゴンミラー２３と、コリメータレンズ２４と、ｆθレンズ２５と、反射ミラー２８とが配置されている。半導体レーザ２０には、短波長の半導体レーザを用いる。半導体レーザ２０からのレーザ光は、ビームエクスパンダー２１によりビーム径を設定し、反射ミラー２２ａ，２２ｂ，２２ｃで折り曲げた後、ポリゴンミラー２３によって偏向する。すなわち、ポリゴンミラー２３の回転に伴って、レーザビーム４の反射方向が扇状に変化し、図１において、被検査物の表面２への照射位置５が紙面垂直方向に少しずつずれるようになっている。
【００２８】
また、図２に示すように、基板１４の上面には、反射ミラー２６と、同期検出センサ２７とが配置され、レーザビーム４の走査範囲の境界を検出し、レーザビーム４の走査と反射光６の検出との同期を取るために利用されるようになっている。
【００２９】
コリメータレンズ２４とｆθレンズ２５は、ポリゴンミラー２３によって偏向された等角速度の反射光を、被検査物の表面２上で等速度で走査するようにする。コリメータレンズ２４は、ポリゴンミラー２３からの反射光を平行光にする。ｆθレンズ２５は、所定距離の被検査物の表面２の照射位置５（図１参照）が直線状となるように、レーザビーム４を集光する。ｆθレンズ２５は、ポリゴンミラー２３によってレーザビーム４が走査される方向（主走査方向）に垂直な方向（副走査方向）にも、レーザビーム４を集光させる。ｆθレンズ２５から出射したレーザビーム４は、反射ミラー２８で反射し、基板１４の開口１５を通って、基板１４の下面に固定された反射ミラー２９で反射し、ケーシング１２の開口１３から出射する。
【００３０】
なお、図示していないが、基板１４の下面には、ポリゴンミラー２３を回転駆動するためにモータやそのモータを駆動するためのドライバ基板、半導体レーザ２０や同期検出センサ２７を駆動するためのドライバ基板が配置されている。これらのドライバ基板は、制御部５０に接続され、制御部５０によって制御されるようになっている。
【００３１】
図３及び図４に示すように、受光部３０は、筒状のホルダ３２の内部に棒状のライトガイド３４が収納され、ライトガイド３４の両側の端面に対向して、光検出器であるホトマル３６，３８が配置されている。ホトマル（光電子増倍管）３６，３８は、極めて高感度、高速応答であるので好ましいが、他の光センサを用いることも可能である。
【００３２】
ホルダ３２の筒壁には、軸方向に延在し径方向に貫通するスリット３３が形成されている。ホルダ３２は、スリット３３がレーザビーム４の線状の照射位置５に対応して線状に延在するように配置され、反射光６がスリット３３を通るようになっている。
【００３３】
ライトガイド３４は、互いに対向する受光面３５ｉと散乱面３５ａとが軸方向に平行に延在する棒状の光学要素である。ライトガイド３４は、例えばアクリル系樹脂を用いた透明な光学要素であり、散乱面３５ａのみについて艶消し処理（例えば、すりガラスのように梨地状に加工する処理）が行われている。代わりに、散乱面３５ａに対応する部分も透明にし、光を散乱するシート等を貼り付けるなどしてもよい。ライトガイド３４は、受光面３５ｉがスリット３３に対向するように、ホルダ３２内に配置され、その結果、レーザビーム４の線状の照射位置５に対応して線状に延在する。スリット３３を通った反射光６は、受光面３５ｉから入射し、散乱面３５ａで反射するようになっている。
【００３４】
制御部５０は、発光部１０及び受光部３０と電気的に接続される。制御部５０は、必要に応じて、被検査物を移動させる不図示の駆動機構と電気的に接続してもよい。制御部５０は、表面検査装置全体の制御を統括するとともに、受光部３０からの出力等に基づいて被検査物の表面２の良否判定を行う判定部としても機能する。
【００３５】
次に、動作を説明する。発光部１０および受光部３０に対して被検査物を相対移動し、レーザビーム４の照射位置５を変えながら、受光部３０の出力に基づいて検査を行う。発光部１０からのレーザビーム４が被検査面の表面２に照射されると、照射位置５からの反射光６は、ライトガイド３４の受光面３５ｉに入射し、散乱面３５ａで様々な方向に反射する。図５に示すように、散乱面３５ａで様々な方向に反射した散乱光は、ライトガイド３４の内部で反射して端面から出射して、ホトマル３６，３８に受光される。ホトマル３６，３８で光電変換された電気信号は、制御部５０に送られる。制御部５０は、ホトマル３６，３８からの電気信号を適宜に処理したデータを基準値と比較するなどして、被検査物の表面２の良否判定を行う。レーザビーム４の走査位置と同期しながら判定を行う場合には、必要に応じて、発光部１０のドライバ基板や被検査物の駆動機構からの信号を利用すればよい。
【００３６】
図６（ａ−１）及び（ｂ−１）に示すように、反射光７ａ，７ｂがライトガイド３４に入射する位置（入射位置）によって、ライトガイド３４内の光路長が異なる。また、入射位置が同じでも、ホトマル３６，３８によって、ライトガイド３４内の光路長が異なる。
【００３７】
そのため、図６（ａ−２）及び（ｂ−２）に示すように、ホトマル３６，３８の感度曲線４０ａ，４０ｂは、入射位置がホトマル３６，３８から遠くなるほど低下する。
【００３８】
そこで、ホトマル３６，３８の出力を制御部５０において電気的に補正し、図６（ａ−３）及び（ｂ−３）において符号４２ａ，４２ｂで示すように、入射位置によらずに一定の感度となるようにする。
【００３９】
例えば、入射位置（すなわち、レーザビーム４の走査位置）に応じて予め定めた所定値を、ホトマル３６，３８の出力値に加減する。このとき、制御部５０は、同期検出センサ２７からの同期信号と、ポリゴンミラー２３を駆動するステップモータに加えるパルス信号とを利用して、レーザビーム４の走査位置との同期を取りながら、ホトマル３６，３８の出力を電気的に補正する。
【００４０】
あるいは図７に示したように、関数発生器５２とゲイン可変増幅器５４とを用いて、ホトマル３６，３８の出力を補正する。すなわち、関数発生器５２は、発光部１０の同期検出センサ２７からの同期信号を受けて、予め与えられた感度特性の逆数の感度補正信号を発生する。ゲイン可変増幅器５４は、感度補正信号により、ホトマル３６からの出力Ａを補正する。すなわち、符号４０ａで示した出力Ａの感度が、補正済み出力Ｂでは、符号４２ａのようになるように、感度補正信号を設定する。他方のホトマル３８についても、同様に、ホトマル３８の感度特性の逆数の感度補正信号を用いて補正する。なお、ホトマル３６，３８自身のバイアス信号に、感度補正信号を増幅して与えれば、ゲイン可変増幅器をなくしても、ホトマル３６，３８の出力を補正することができる。
【００４１】
補正後の両方のホトマル３６，３８の出力について、例えば、加算して基準値と比較することにより、制御部５０は、被検査物の表面２の良否を判定する。これによって、入射位置による感度の変化に起因する検出精度の変動を小さくして、検査精度を向上することができる。
【００４２】
また、図８（ａ）及び（ｂ）に模式的に示したように、ライトガイド３４に入射した反射光７ｘ，７ｙが、レーザビーム４の走査に伴って矢印８のように移動したとき、ライトガイド３４の散乱面３５ａの艶消し処理部分３５ｘにより、散乱光の強度は、符号４４ａ，４４ｂで示すように、反射方向によって逆位相に変動する。このような散乱光を受光するので、ホトマル３６，３８の出力にもノイズが含まれる。このノイズの位相は逆位相になるので、ホトマル３６，３８からの出力４４ａ，４４ｂを適宜に合成（例えば、平均化）すれば、図８（ｃ）において符号４６で示すように、艶消し処理部分３５ｘによる位相ノイズをキャンセルすることができる。
【００４３】
さらに、ホトマル３６，３８の感度に差があるので、位相ノイズ４４ａ，４４ｂの大きさ（ノイズの振幅）は、レーザビーム４の走査位置（照射位置）により変わるため、逆位相となる二つの位相ノイズ４４ａ，４４ｂを単純に加算しただけでは、ある程度までしか位相ノイズをキャンセルすることができないが、ホトマル３６，３８の出力を電気的な補正をした後に加算すれば、位相ノイズの大きさはレーザビーム４の走査位置によらずに一様となるため、位相ノイズを完全にキャンセルすることができる。したがって、Ｓ／Ｎ比を改善することができる。
【００４４】
なお、ライトガイド３４の長手方向中央付近では感度が低下するので、例えば中央部分の艶消し処理の幅（散乱面３５ａの副走査方向の寸法）を大きくするなど、散乱面３５ａの反射特性を中央部分と両側部分とで異なるようにしてもよい。これによって、電気的な補正を不要としたり、電気的な補正の前に感度変化をある程度補正したりすることができる。
【００４５】
ホルダ３２のスリット３３の開口寸法を中心付近だけ増加することにより、同様の効果が得られる場合があるが、ライトガイド３４への入射光の幅がスリット３３の開口寸法よりも小さい場合には、補正の効果が得られない。このようなときには、中央部分と両側部分ともにスリット３３の開口寸法を同一にして条件を揃え、前述したように散乱面３５ａの反射特性を中央部分と両側部分とで変え、感度を補正することが好ましい。
【００４６】
以上に説明した表面検査装置は、ライトガイド３４の両側の端面にそれぞれホトマル３６，３８を配置しているので、被検査物の表面２からの反射光６のライトガイド３４への入射位置によってホトマル３６，３８の検出感度に差があっても、二つのホトマル３６，３８からの出力を適宜に利用（例えば、加算）することにより、感度差の影響を小さくすることができる。したがって、被検査物の表面２からの反射光６の入射位置による感度差や位相ノイズの影響を小さくすることにより、検査精度を向上することができる。
【００４７】
次に、第２実施例の内部欠陥検査装置について、図９を参照しながら説明する。内部欠陥検査装置は、第１実施例の表面検査装置と略同様に構成される。以下では、同じ構成部分には同じ符号を用い、相違点を中心に説明する。
【００４８】
内部欠陥検査装置は、透明な被検査物３の表面にレーザビーム４を照射する発光部１０と、被検査物３とは反対側に配置され、被検査物３の内部を透過した透過光６’を受光する受光部３０と、制御部５０（図示せず）とを備えている。発光部１０および受光部３０に対して被検査物３を相対移動し、レーザビーム４の照射位置を変えながら、受光部３０の出力に基づいて、被検査物３の内部の良否判定を行う。すなわち、内部欠陥があると、受光部３０の出力が正常なときとは異なることを利用して、内部欠陥を検査する。レーザビーム４や透過光６’の被検査物３に対する角度や、相対的な位置関係は、被検査物３の性状や検査目的等に応じて、適宜に設定することができる。例えば、レーザビーム４を被検査物３に対して斜めに照射し、レーザビーム４と透過光６’とが略一直線となるようにする。被検査物３の表面および裏面は平面であっても曲面であってもよく、被検査物３の形状は、シート状、板状、筒状、ブロック状など、任意である。
【００４９】
内部欠陥検査装置の受光部３０は、二つのホトマル３６，３８を備えるなど、第１実施例と同様に構成されるので、第１実施例と同様に、被検査物３からの透過光６’の入射位置による感度差や位相ノイズの影響を小さくすることにより、検査精度を向上することができる。
【００５０】
なお、本発明の表面および内部欠陥検査装置は、上記実施例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えることができる。例えば、半導体レーザ２０とは別の種類の光源を用いて、光束を被検査物の表面に照射してもよい。
【００５１】
また、被検査物は、シート状や板状等に限らず、粉体や粒状物などであってもよい。この場合、例えばコンベア上に被検査物（薬品等の顆粒、粉末、塩や砂糖の結晶、砂状素材等）を薄く撒き、第１実施例と同様にレーザビームを照射して反射光を受光することにより、混入した髪の毛や、色・粒径・形状が異なる異物を検出することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施の形態を示す表面検査装置の全体構成図である。
【図２】本装置の発光部の内部構成図である。
【図３】本装置の受光部の外観図である。
【図４】本装置の受光部の断面図である。
【図５】本装置の受光部の模式断面図である。
【図６】本装置の受光部の感度の説明図である。
【図７】本装置の受光部の感度補正の説明図である。
【図８】本装置の受光部の感度の説明図である。
【図９】本発明の実施の形態を示す内部欠陥検査装置の要部構成図である。
【符号の説明】
【００５３】
４  レーザビーム（光束）
５  照射位置
６  反射光
１０  発光部
３０  受光部
３４  ライトガイド（導光部材）
３５ａ  散乱面
３５ｉ  受光面
３６，３８  ホトマル（光検出器）
５０  制御部（判定部）
【図１】
2005201782.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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