(57)【要約】【解決手段】有機金属化合物を黒鉛に収着させ、該黒鉛内で加水分解・縮合、熱重合又は触媒重合により該有機金属化合物を難揮発性重合体とした後、非酸化性雰囲気中、１３００℃以上の温度で上記重合体と黒鉛とを反応させて、上記金属の炭化物微粉末を得ることを特徴とする微粉状金属炭化物の製造方法。【効果】本発明によれば、不活性ガス中での高温熱処理以外、特別な工程を必要としないため、工業的規模で低コストの微粉状金属炭化物を安定して製造することができる。更に、容易に単一成分金属炭化物及び多成分金属炭化物を合成することができる。【選択図】      なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機金属化合物を黒鉛に収着させ、該黒鉛内で加水分解・縮合、熱重合又は触媒重合により該有機金属化合物を難揮発性重合体とした後、非酸化性雰囲気中、１３００℃以上の温度で上記重合体と黒鉛とを反応させて、上記金属の炭化物微粉末を得ることを特徴とする微粉状金属炭化物の製造方法。
【請求項２】
有機金属化合物が、重合性反応性基を有するものであることを特徴とする請求項１記載の微粉状金属炭化物の製造方法。
【請求項３】
有機金属化合物が、金属アルコキシド、有機金属錯体、金属石鹸又は金属を含む有機化合物であることを特徴とする請求項１又は２記載の微粉状金属炭化物の製造方法。
【請求項４】
重合性反応性基が、加水分解性基であることを特徴とする請求項２又は３記載の微粉状金属炭化物の製造方法。
【請求項５】
有機金属化合物として、互いに金属が相違する２種以上の有機金属化合物を使用したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の微粉状金属炭化物の製造方法。
【請求項６】
有機金属化合物を収着させる黒鉛が、膨張黒鉛であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の微粉状金属炭化物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐熱材料、発熱材料、構造材料、研磨・切削材料として有用な微粉状金属炭化物の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
金属炭化物粉末は、超硬材料として切削工具、耐摩耗工具などに用いられており、更に溶射材料（Ｃｒ３Ｃ２，ＮｂＣ，ＷＣなど）、エンジニアリングセラミックスへの導電性添加剤（ＴｉＣなど）、赤外放射特性を利用した保温材（ＺｒＣ）などにも用いられるようになっている。また、最近では、熱電子放射材料，触媒，電波吸収体など、より高度な応用への展開も行われている。
【０００３】
金属炭化物は、工業的には通常、以下のいずれかの方法で製造されている。
（１）真空，水素などの不活性雰囲気中での金属又は金属酸化物と炭素の高温反応（還元炭化法）。
（２）溶融金属中での金属又は金属酸化物と炭素の高温反応（直接反応法）。
（３）金属ハライド、金属カルボニル等を原料とする気相反応（気相合成法）。
【０００４】
この中で、（１）還元炭化法と（２）直接反応法は、これにより例えば珪素粉体を得る場合、生成した炭化珪素粉末が主に粗大な粒子であり、この炭化珪素粉末を燒結用材料、研磨用途として用いる場合には、粉砕・分級工程に多大な労力を要し、更に、粉砕によって得られる金属炭化物の粒度分布は広く、また工程よりの混入不純物も多く、その粉末は必ずしも上記用途に適した粉末とは言えない。なお、炭化珪素（ＳｉＣ）については、（１）の方法で連続的に微粉末を合成する方法が工業化されているが、未反応の原料が混入するため、化学的な精製工程を加えなければならないという問題がある。
【０００５】
また、（３）の気相合成法では、唯一サブミクロンサイズの微粒子を得ることができ、その純度も高いものであるが、製造コストが非常に高いので、工業用粉末材料の合成には向かない。
【０００６】
このように、従来の技術では、化学的、物理的に満足しうる微粉状金属炭化物を製造することができず、高機能な工業材料としての広い用途を持つ微粉状金属炭化物を、より単純・低コストなプロセスで製造する方法が望まれている。
【０００７】
なお、この発明に関連する先行技術文献としては、下記のものがある。
【非特許文献１】
セラミック材料技術集成（１９７９年４月、（株）産業技術センター発行）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事情に鑑みなされたもので、より単純、低コストなプロセスで、高機能な工業材料としての広い用途を持つ微粉状金属炭化物の製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記目的を達成する為に鋭意検討を行った結果、好ましくは加水分解性基等の重合性の反応性基を有する有機金属化合物を黒鉛に収着させて、熱重合、触媒重合、又は加水分解・縮合により該有機金属化合物を難揮発性重合体として熱安定化させた後、これを非酸化性雰囲気中で高温熱処理することにより、出発原料に対する収量が極めて高く、且つ緻密で粒度分布のシャープな微粉状金属炭化物が製造できるという画期的な方法を見出した。
【００１０】
すなわち、本発明の方法によると、黒鉛に収着させた好ましくは重合性反応性基を有する有機金属化合物を縮合反応、熱重合等によって重合して熱安定化させることにより、これら化合物を出発原料とする際の問題点であった非酸化性気流下での焼成時の揮散を押さえ込むことができるようになり、更に、有機金属化合物を収着させる黒鉛（炭素）そのものを還元剤として用い、しかも金属炭化物の炭素源とするという理想的な製造方法を確立することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
【００１１】
従って、本発明は下記の微粉状金属炭化物の製造方法を提供する。
（１）好ましくは重合性反応性基を有する、有機金属化合物を黒鉛に収着させ、該黒鉛内で加水分解・縮合、熱重合又は触媒重合により該有機金属化合物を難揮発性重合体とした後、非酸化性雰囲気中、１３００℃以上の温度で上記重合体と黒鉛とを反応させて、上記金属の炭化物微粉末を得ることを特徴とする微粉状金属炭化物の製造方法。
（２）有機金属化合物が、金属アルコキシド、有機金属錯体、金属石鹸又は金属を含む有機化合物であることを特徴とする（１）記載の微粉状金属炭化物の製造方法。
（３）重合性反応性基が、加水分解性基であることを特徴とする（１）記載の微粉状金属炭化物の製造方法。
（４）有機金属化合物として、互いに金属が相違する２種以上の有機金属化合物を使用したことを特徴とする（１），（２）又は（３）記載の微粉状金属炭化物の製造方法。
（５）有機金属化合物を収着させる黒鉛が、膨張黒鉛であることを特徴とする（１）乃至（４）のいずれか１項記載の微粉状金属炭化物の製造方法。
【００１２】
本プロセスでは、黒鉛、特に膨張黒鉛が自重の数十倍の油性液体を収着できることに着目して、この空隙に液状、又は溶剤に溶解もしくは分散した上記有機金属化合物を収着したのち、熱重合・加水分解などにより難揮発性重合体として熱安定化したものを前駆体とし、これを非酸化性乃至不活性雰囲気中で高温熱処理することにより、微粉状の単一成分金属炭化物又は多成分金属炭化物を製造する。
【００１３】
なお、本発明において、有機金属化合物の重合体とは、加水分解・縮合、熱重合又は触媒重合等の処理により、高度に架橋又は固化して難揮発性に安定化されたものを意味する。
【００１４】
この方法では、黒鉛、特に膨張黒鉛のミクロ空隙を反応場に利用すると同時に、空隙を形成する黒鉛層壁が還元剤として作用するため、大気中での前駆体作製と非酸化性乃至不活性雰囲気における高温熱処理以外の特別なプロセスを必要とせずに均質なサブミクロン級の金属炭化物微粉末が得られる。
【００１５】
また、このプロセスの原材料は、入手が容易で、タンタル，ニオブなどの元々高価な金属を除けば、原材料は安価である。
【００１６】
このように、本発明によれば、高機能な工業材料としての広い用途を持つ微粉状金属炭化物を、より単純・低コストなプロセスで製造することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を更に詳しく説明する。
本発明の微粉状金属炭化物の製造方法は、上述したように、好ましくは重合性反応性基を有する有機金属化合物を黒鉛に収着させ、該黒鉛内で加水分解・縮合、熱重合又は触媒重合により該有機金属化合物を難揮発性重合体とした後、非酸化性乃至不活性雰囲気中、１３００℃以上の温度で上記重合体と黒鉛とを反応させて、上記金属の炭化物微粉末を得るものである。
【００１８】
本発明の原料である有機金属化合物は、縮重合可能で、液状、又は水や有機溶媒に溶解もしくは分散し得るものであれば特に限定はないが、加水分解性基などの重合性反応基を有するものであることが好ましく、例えば、有機金属錯体，金属アルコキシド，金属石鹸，金属を含む有機化合物等が挙げられる。
【００１９】
この場合、重合性反応性基としては、加水分解性基が好ましく、例えば、アルコキシ基、ケトオキシム基、アシルオキシ基、アルケニルオキシ基、アミノ基、アミド基、アミノオキシ基等が挙げられ、具体的には、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、メトキシエトキシ基、エトキシエトキシ基等のアルコキシ基、ジメチルケトオキシム基、ジエチルケトオキシム基、メチルエチルケトオキシム基等のケトオキシム基、アセトキシ基、プロピオノキシ基等のアシルオキシ基、ビニルオキシ基、アリルオキシ基、プロペノキシ基、イソプロペノキシ基等のアルケニルオキシ基、ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基、メチルエチルアミノ等のアミノ基、ジメチルアミド基、ジエチルアミド基、メチルエチルアミド基等のアミド基、ジメチルアミノオキシ基、ジエチルアミノオキシ基、メチルエチルアミノオキシ基等のアミノオキシ基などが挙げられる。
【００２０】
有機金属化合物として、具体的には、Ｚｒ、Ｔｉ、Ｗ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｎｂ等の金属についての金属アルコキシド（例えば、ジルコニウムテトラブトキシド（Ｚｒ（ＯＣ４Ｈ９）４）、チタニウムテトラブトキシド（Ｔｉ（ＯＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）４）等の金属テトラブトキシド、金属テトラエトキシド、金属テトラプロポキシドなど）、金属錯体（例えば、金属アセチルアセトナート、金属オキシネートなど）、金属石鹸（例えば、金属アセテート、金属メタクリレート、金属２−エチルヘキサネートなど）、金属を含む有機化合物（例えば、金属ステアリン酸、金属オクチル酸、金属ナフテン酸等の通常炭素数８〜３０程度の（高級）脂肪酸の金属塩など）等が例示される。これらは１種を単独で又は２種以上を混合して使用することができる。なお、本発明において、２種以上の有機金属化合物を用いる場合、これらの化合物が相溶するものであることが好ましい。金属アルコキシドなどは、互いによく混合するので、多成分系の混合率を制御しやすい。
【００２１】
ここで、有機金属化合物を溶解又は分散させる溶媒としては、特に規定されるものではないが、例えば、トルエン、キシレン、ヘキサン、ヘプタン等の非極性有機溶媒、酢酸メチル、酢酸エチルなどのエステル類、アセトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール等のアルコール類等の極性有機溶媒や水などの一般的な溶媒、分散媒が例示される。溶媒の使用量としては、有機金属化合物の流動性を増加させる目的で添加するものであるため、該有機金属化合物１００質量部に対して５０〜２，０００質量部、特に１００〜１，０００質量部程度が好ましい。
【００２２】
上記液状、又は溶媒に溶解もしくは分散した有機金属化合物を収着させる黒鉛としては、膨張黒鉛、アセチレンブラック、ケッチェンブラック、チャンネルブラック、活性炭などが例示され、中でも膨張黒鉛が好適に用いられる。
【００２３】
有機金属化合物の収着量としては、有機金属化合物の種類によって異なるが、黒鉛１．０質量部あたり０．１〜１００質量部、特に１．０〜５０質量部の割合であることが好ましい。収着量が少なすぎると黒鉛あたりの収量が少なくなるおそれがあり、また多すぎると炭素が不足して炭化が不十分となるおそれがある。
【００２４】
収着方法及び収着条件としては、特に規定されるものではなく、例えば、有機金属化合物を有機溶媒にて希釈後、これに膨張黒鉛を添加し、よく混合した後、溶媒を除去する等の方法によって執着させることができる。
【００２５】
上記有機金属化合物を黒鉛に収着させた後、この有機金属化合物を黒鉛内において、この有機金属化合物の重合性反応基の種類に応じ、加水分解・縮合又は触媒重合を行って、上記有機金属化合物を揮発性重合体とする（熱安定化）。
【００２６】
この場合、加水分解・縮合は、反応性基として加水分解性基を有する場合に好適であり、黒鉛に収着された有機金属化合物に水を供給して加水分解・縮合を行うもので、この反応は、各々の有機金属化合物の反応条件に従うことによって達成できるが、例えば、金属アルコキシドの場合には室温（例えば２３℃）〜９０℃の温度条件で８０％ＲＨ以上の湿度において反応させることが好ましい。
【００２７】
加熱重合及び触媒重合の場合も、各々の有機金属化合物の反応条件に応じて達成できるが、一般的には８０〜２００℃程度の温度条件下で処理することが好ましい。
【００２８】
このように、黒鉛内で有機金属化合物を重合化することにより熱安定化させた後、これを非酸化性乃至不活性気流中で高温熱処理することにより、微粉状の単一成分金属炭化物又は多成分金属炭化物を得ることができる。
【００２９】
上記処理は、真空，水素，窒素，アルゴンなどの非酸化性雰囲気で行うものである。
なお、熱処理温度は特に制限されないが、通常１，３００℃以上である。
【００３０】
上記方法によれば、１０〜１０，０００ｎｍ、好ましくは５０〜５，０００ｎｍ、特に１００〜２，０００ｎｍ程度の微粉状の金属炭化物を得ることができる。
【００３１】
以下に、炭化ジルコニウム微粉末（ＺｒＣ）を例に挙げて本発明をより具体的に説明する。
【００３２】
有機ジルコニウム化合物としてジルコニウムテトラブトキシド（Ｚｒ（ＯＣ４Ｈ９）４）８．４〜１６．８ｇを１−ブタノール（ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ）に溶解して全量を３０ｇにする。この溶液に膨張黒鉛（ＥＧ）を１ｇ加えてジルコニウムテトラブトキシド溶液を収着したあと、シャーレに移し、底に蒸留水をはったデシケーターに入れ、デシケーターごと４０℃以上に加温したオーブン中に１〜５時間保持してアルコキシドの加水分解・縮合を行う。その後、真空オーブンで６０〜１５０℃で乾燥して前駆体とする。なお、本前駆体の調製において、加水分解・縮合を行わないで乾燥のみとした場合には、収率が半分程度に低下することから、この工程が本発明においては必須である。なお、加水分解・縮合時間は、上記の条件では２〜３時間で十分である。
【００３３】
溶液中のジルコニウムテトラブトキシド量を８．４ｇとして、上記方法により得た前駆体を、アルゴン気流中、（ａ）１４００℃、（ｂ）１５００℃、（ｃ）１６００℃、（ｄ）１７００℃の各温度で１時間熱処理すると、図１のＸ線回折（ＸＲＤ）パターンを示す生成物が得られる。なお、（ａ）１４００℃での熱処理では、その生成物の大部分はジルコニア（ＺｒＯ２）であるが、（ｂ）１５００℃では、ＺｒＯ２が痕跡程度になり、大部分が炭化ジルコニウム（ＺｒＣ）となる。（ｃ），（ｄ）の１６００℃以上では、膨張黒鉛の残渣からのＣ（００２）ピーク以外はすべて炭化ジルコニウムに由来するものになる。
【００３４】
この組成では、ジルコニウムテトラブトキシドの量が不足であるので、ジルコニウムテトラブトキシド量を（ａ）８．４ｇ、（ｂ）１２．６ｇ、（ｃ）１４．７ｇ、（ｄ）１６．８ｇと変えて作製した前駆体を１６００℃で１時間熱処理すると、図２のＸＲＤパターンを示す生成物が得られる。ごく微弱なＣ（００２）ピークが残るが、１２．６ｇ以上加えれば、ほぼ単一相の炭化ジルコニウムが得られる。仮に、炭素が残存したとしても、空気中で加熱することにより除去が可能である。しかし、ジルコニウムテトラブトキシドの量を増やしすぎると還元が不十分になり、１６．８ｇではＺｒＯ２が生成し始めるので、ここで用いた純度のジルコニウムテトラブトキシドでは、膨張黒鉛１ｇ当たり１３〜１５ｇが適当である。
【００３５】
上記において、最適条件の前駆体（ジルコニウムテトラブトキシド量１４．７ｇ、加水分解時間２時間）を用いて、熱処理の温度と時間を（ａ）１５００℃，１時間、（ｂ）１５００℃，５時間、（ｃ）１５００℃，１０時間、（ｄ）１６００℃，１時間と変えると、図３に示すようなＸＲＤパターンを示す生成物が得られる。すなわち、１５００℃，１０時間の熱処理で、１６００℃，１時間の熱処理のものとほぼ同等の生成物が得られることがわかる。
【００３６】
ＸＲＤパターンがほぼ単一相の炭化ジルコニウムとなる生成物の、前駆体質量に対する収量は約２０％であり、Ｚｒとしての収率は８５％以上であった。また、生成物中のジルコニウム含有率は８５．５質量％であった。この生成物中のジルコニウム含有率８５．５質量％（平均含有率）は、化学量論組成の炭化ジルコニウムの８８．３７質量％より若干低い値であるが、不純物がすべてＺｒＯ２であるとするとＺｒＯ２のモル比が１７％を越えてしまい、ＸＲＤパターンからは考えられない。むしろ未反応の膨張黒鉛が残留している可能性の方が高く、その場合はフリーカーボンとして約２．７質量％含まれていることになる。また、不純物がすべて固溶した酸素であると仮定すると約２．９質量％となる。実際には両方が含まれていると考えられるが、この不純物率は、市販製品とほとんど変わらず、特性上まったく問題のないレベルである。
【００３７】
図４に、図３の（ｄ）１６００℃，１時間熱処理生成物の走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真を示した。凝集している部分もあるが、粒子は数１００ｎｍ前後の微粒子であることがわかる。
【００３８】
なお、その他の金属炭化物について、好適な方法を説明すると、下記の通りである。
１）炭化チタン微粒子（ＴｉＣ）：チタニウムテトラブトキシド（Ｔｉ（ＯＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ３）４）と１−ブタノールの組み合わせでＺｒＣと同様のプロセスにより製造することができる。
２）炭化タンタル微粒子（ＴａＣ），炭化ニオブ微粒子（ＮｂＣ）など：いずれもＺｒＣと同様に製造できる。
３）炭化クロム微粒子（Ｃｒ３Ｃ２）：安価でトルエンなどの有機溶媒に多量に溶解が可能なアセチルアセトン錯体（［ＣＨ３ＣＯＣＨ＝Ｃ（Ｏ−）ＣＨ３］３Ｃｒ（ＩＩＩ））を膨張黒鉛に収着して乾燥後、融点の２１０℃付近で熱処理して錯体を分解、架橋・固化して不揮発性で熱安定性のある前駆体を得、その後は、上記と同様に熱処理を行うことにより製造できる。
４）炭化モリブデン微粉末（Ｍｏ２Ｃ）、炭化タングステン微粉末（ＷＣ）など：有機溶媒に可溶な各々の金属と高級脂肪酸，樹脂酸，ナフテン酸などとの金属塩（金属石鹸）を有機溶媒に溶解し、膨張黒鉛に収着した後に加熱により溶媒を除去すると共に、金属塩を熱分解、架橋・固化して不揮発性で熱安定性のある
前駆体として上記と同様に熱処理を行うことにより製造できる。
【００３９】
【実施例】
以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。
【００４０】
［実施例１］
有機ジルコニウム化合物としてジルコニウムテトラブトキシド（Ｚｒ（ＯＣ４Ｈ９）４、市販：純度８５．５％）１２．６ｇを１−ブタノール（ＣＨ３ＣＨ２ＣＨ２ＣＨ２ＯＨ）に溶解して全量を３０ｇにした。この溶液に膨張黒鉛（ＥＧ）を１ｇ加えて溶液を収着したあと、シャーレに移して、底に蒸留水をはったデシケーターに入れ、デシケーターごと６０℃のオーブン中に２時間保持し、その後、真空オーブンで１５０℃で乾燥して前駆体を作製した。こうして作製した前駆体を、アルゴン気流中、１６００℃で１時間熱処理し、Ｘ線回折を行ったところ、炭化ジルコニウムのパターンを示す生成物を得た。その収率は、ジルコニウム基準で８５．１％であった。
【００４１】
［実施例２］
実施例１と同様に、ジルコニウムテトラブトキシド（Ｚｒ（ＯＣ４Ｈ９）４、市販：純度８５．５％）１４．７ｇを膨張黒鉛（ＥＧ）１ｇに収着したあと、底に蒸留水をはったデシケーターに入れ、デシケーターごと６０℃のオーブン中に３時間保持し、その後、エアーオーブン中１５０℃で乾燥して前駆体を作製した。
こうして作製した前駆体を、アルゴン気流中、１６００℃で１時間熱処理し、炭化ジルコニウムのＸ線回折パターンを示す生成物を得た。その収率は、ジルコニウム基準で８５．０％であった。
【００４２】
［実施例３］
実施例２で作製した前駆体を、アルゴン気流中、１５００℃で１０時間熱処理したところ、実施例２とまったく同様の炭化ジルコニウムのＸ線回折パターンを示す生成物を得た。その収率は、ジルコニウム基準で８６．５％であった。
【００４３】
［比較例１］
有機ジルコニウム化合物としてジルコニウムテトラブトキシド（Ｚｒ（ＯＣ４Ｈ９）４、市販：純度８５．５％）１２．６ｇをトルエンに溶解して全量を３０ｇにした。この溶液に膨張黒鉛（ＥＧ）を１ｇ加えて溶液を収着したあと、真空オーブンで１５０℃で乾燥した。これをアルゴン気流中、１６００℃で１時間熱処理し、Ｘ線回折を行ったところ、炭化ジルコニウムのパターンを示す生成物を得たが、その収率はジルコニウム基準で３９．３％であった。
【００４４】
［比較例２］
比較例１と同様に、有機ジルコニウム化合物としてジルコニウムテトラブトキシド（Ｚｒ（ＯＣ４Ｈ９）４、市販：純度８５．５％）１４．７ｇをヘキサンに溶解して全量を３０ｇにした。この溶液に膨張黒鉛（ＥＧ）を１ｇ加えて溶液を収着したあと、熱風循環式乾燥機（エアーオーブン）で１５０℃で乾燥した。これをアルゴン気流中、１６００℃で１時間熱処理し、Ｘ線回折を行ったところ、炭化ジルコニウムのパターンを示す生成物を得たが、その収率はジルコニウム基準で３３．２％であった。
【００４５】
【表１】
2005022933.tif 000002
【００４６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、不活性ガス中での高温熱処理以外、特別な工程を必要としないため、工業的規模で低コストの微粉状金属炭化物を安定して製造することができる。更に、容易に単一成分金属炭化物及び多成分金属炭化物を合成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】炭化ジルコニウムの製造において、熱処理温度を変化させて得られた生成物のＸ線回折パターンを示す図であって、（ａ）は１４００℃、（ｂ）は１５００℃、（ｃ）は１６００℃、（ｄ）は１７００℃の熱処理温度である。
【図２】炭化ジルコニウムの製造において、ジルコニウムテトラブトキシド量を変化させて得られた生成物のＸ線回折パターンを示す図であって、（ａ）は８．４ｇ、（ｂ）は１２．６ｇ、（ｃ）は１４．７ｇ、（ｄ）は１６．８ｇである。
【図３】炭化ジルコニウムの製造において、熱処理温度及び時間を変化させて得られた生成物のＸ線回折パターンを示す図であって、（ａ）は１５００℃，１時間、（ｂ）は１５００℃，５時間、（ｃ）は１５００℃，１０時間、（ｄ）は１６００℃，１時間である。
【図４】図３（ｄ）の生成物の走査電子顕微鏡写真である。
【図１】
2005022933.tif 000003
【図２】
2005022933.tif 000004
【図３】
2005022933.tif 000005
【図４】
2005022933.tif 000006