(57)【要約】【課題】光照射式加熱処理ユニットにおいて、従来の均熱板に代えて、変形することが少なく、かつランプの出力変化に応じて迅速に温度変化し、機械的強度にも優れた伝熱板を備えた加熱ユニットを提供すること。【解決手段】光源１により伝熱板４を照射し、この照射された伝熱板４からの伝熱により被加熱物６を加熱する加熱ユニットにおいて、伝熱板４は、光透過性を有する保持体２１，２２，２３と、保持体２２の表面に設けられ、光源１から保持体２１，２２，２３を透過した光を吸収して発熱する伝熱層３とから構成されると共に、保持体２１，２２，２３は空隙７を有することを特徴とする加熱ユニットである。【選択図】  図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源により伝熱板を照射し、この照射された伝熱板からの伝熱により被加熱物を加熱する加熱ユニットにおいて、
上記伝熱板は、光透過性を有する保持体と、該保持体の表面に設けられ、上記光源から該保持体を透過した光を吸収して発熱する伝熱層とから構成されると共に、上記保持体は空隙を有することを特徴とする加熱ユニット。
【請求項２】
上記保持体は、光源側に位置する第１の保持体と、表面に上記伝熱層が設けられた第２の保持体と、上記第１の保持体と第２の保持体間に介在する間隙子とから構成され、上記第１の保持体と第２の保持体間に上記空隙が形成されることを特徴とする請求項１に記載の加熱ユニット。
【請求項３】
上記伝熱層は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化クロム等の金属酸化物、窒化アルミニウムや窒化ボロン等の窒化物、炭化珪素、銀や金ペースト等の金属、珪化モリブデン等のシリサイドのいずれか１つからなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の加熱ユニット。  
【請求項４】
光源により伝熱板を照射し、この照射された伝熱板からの伝熱により被加熱物を加熱する加熱ユニットにおいて、
上記伝熱板は、光透過性を有する保持体と、該保持体上に設けられた間隙子と、該間隙子上に設けられ、上記光源から上記保持体を透過し、さらに上記間隙子および上記間隙子間の空隙を透過した光を吸収して発熱する伝熱体とから構成されることを特徴とする加熱ユニット。  
【請求項５】
光源により伝熱板を照射し、この照射された伝熱板からの伝熱により被加熱物を加熱する加熱ユニットにおいて、
上記伝熱板は、光が透過する方向に貫通された形状が丸形状または多角形状からなる空隙を有する保持体と、該保持体上に設けられ、上記光源から上記保持体を透過した光を吸収して発熱する伝熱体とから構成されることを特徴とする加熱ユニット。
【請求項６】
上記保持体がセラミックスから構成されていることを特徴とする請求項５に記載の加熱ユニット。
【請求項７】
上記伝熱体は、ニオブまたはモリブデンを含む石英ガラス、窒化アルミニウムや窒化ボロン等の窒化物、炭化珪素のいずれか１つからなることを特徴とする請求項４乃至請求項６のいずれか１つの請求項に記載の加熱ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウエハやディスプレイパネル等の基板を加熱処理する光照射式の加熱ユニットに関する。  
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウエハを処理するプロセスにおいては、アニール処理や成膜処理、スパッタ処理等の各種の加熱処理が行われている。また、ウエハの処理だけでなく、ディスプレイパネルを製造するためのガラス基板処理プロセスにおいても加熱処理が行われている。
このような加熱処理を行う装置の加熱ユニットとしては、シースヒータやカーボンヒータを加熱手段として使用するものが知られている。その他にも加熱手段として効率良く赤外線を放射するハロゲンランプを使用した光照射式の加熱ユニットがある。
【０００３】
ガラス基板を加熱する加熱装置において加熱手段にランプを用いたものとしては、特開平６−２６０４２２号公報に開示されたものが知られている。加熱手段としてランプを用いた場合には、ランプの出力を変化させることにより、短時間でウエハやガラス基板の温度を制御できるという利点がある。
【０００４】
ウエハやガラス基板（以下、両者を合わせてワークと呼ぶ。）を加熱するときは、ワーク表面の温度分布が均一になるように加熱しなければならない。その理由は、成膜処理を行う場合、温度分布が不均一であると、形成される膜厚もそれに応じて不均一となり、不良の原因となるためである。
その対策としては、ワークと加熱手段（光照射式加熱ユニットの場合はランプ）との間に、均熱板といわれる部材を設けることが一般的に行われている。均熱板は、加熱手段から伝達された熱を均熱板全体に均一な分布となるように伝え、ワークを加熱する際に、ワークの温度分布を均一にするものである。均熱板としては、熱伝導性の良い金属製やカーボン製のものが良く知られている。特開平７−１７２９９６号公報には、均熱板としてステンレス板を用いるものが開示されている。
【０００５】
【特許文献１】特開平６−２６０４２２号公報
【特許文献２】特開平７−１７２９９６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
通常、均熱板は、加熱中、外乱の影響を受けにくくするためには、熱伝導率が高く、サイズ的にも大きくて厚く、熱容量の大きいものが良いが、光照射式加熱ユニットの場合、均熱板の熱容量を大きくすると、加熱手段であるランプの出力変化に対する均熱板の温度変化の対応時間が長くなり、短時間でワークの温度制御をすることが難しい。そのため、室温のワークが加熱処理のために処理装置に搬入されて加熱される際に、なるべく迅速に所望の設定温度にまで上昇させるためには、均熱板は熱容量が小さく、ランプの出力変化に応じて短時間に追従して温度が変化するものが望まれる。
従って、加熱ユニットに用いられる均熱板としては、ワークの温度分布に影響が出ない限り、熱容量の小さいものが望ましいが、均熱板の熱容量を小さくするためには、面積はワークの面積よりも小さくすることはできないので、薄くする以外に方法はない。
【０００７】
従来、均熱板としては金属やカーボングラファイトが知られているが、これらを用いて、例えば、厚さ３ｍｍといった薄い均熱板を製作して使用することが可能であるが、次のような問題が生じる。
均熱板として金属板を用いた場合は、使用しているうちに反り（変形）が生じる。これは、加熱中、加熱手段（ランプ）側の表面温度がワーク側の表面温度よりも高くなりやすいため、熱歪みが生じ、この熱歪みの力に厚さが薄いため耐えきれずに起きるものと考えられる。
【０００８】
また、均熱板としてカーボン板を用いる場合は、加工成型後しばらく放置しおくと、長さ３００ｍｍに対して１ｍｍ程度の反り（変形）が生じることがある。これは加工時高温であったカーボン板が冷却されるにつれて、加工時の残留歪みが徐々に解放されて生じるものと考えられる。
このように均熱板に反りや変形があると、均熱板とワークとの間隔が均一でなくなる。例えば、カーボン板の長さ３００ｍｍに対して１ｍｍ程度の反りの場合、φ３００ｍｍのウエハに対して直径方向の両端で１ｍｍの間隔差を生じることになる。均熱板とワークとの間隔が一定でないと、均熱板からワークに伝熱される熱量が場所により異なることとなり、ワークを均一な温度分布で加熱することができない。
【０００９】
本発明の目的は、上記の問題点に鑑み、光照射式加熱処理ユニットにおいて、従来の均熱板に代えて、変形することが少なく、かつランプの出力変化に応じて迅速に温度変化し、機械的強度にも優れた伝熱板を備えた加熱ユニットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
均熱板の「反り」を解消するために、本発明者らの研究過程において、均熱板に代えて、光透過性を有する厚手のガラス板上に薄いカーボンの蒸着膜を形成した加熱ユニットが発明された。この加熱ユニットによれば、伝熱に寄与する蒸着膜を薄く形成することにより熱容量を小さくできる上、均熱板のように反りを生じることがないので、ワークを均一な温度分布で加熱することが期待された。
この加熱ユニットは、その表面に蒸着膜を形成するためのガラス板が薄すぎると撓んだり、最悪の場合は破損するおそれがあるため、ある程度の厚みを必要とした。ところが、ガラス板の厚みを厚くした場合、加熱により蒸着膜に吸収された熱がガラス板側にも伝達され、ワークへの伝熱が減少し、所望の設定温度に迅速に達しないことが懸念された。
そこで本発明者らは、ガラス板の機械的強度を確保するためにガラス板の厚みを厚くした場合にも、蒸着膜に吸収された熱がガラス板に伝達されることを抑制することに着目して本発明を完成させた。具体的には、次のような手段を採用した。
【００１１】
第１の手段は、光源により伝熱板を照射し、この照射された伝熱板からの伝熱により被加熱物を加熱する加熱ユニットにおいて、上記伝熱板は、光透過性を有する保持体と、該保持体の表面に設けられ、上記光源から該保持体を透過した光を吸収して発熱する伝熱層とから構成されると共に、上記保持体は空隙を有することを特徴とする加熱ユニットである。
【００１２】
第２の手段は、第１の手段において、上記保持体は、光源側に位置する第１の保持体と、表面に上記伝熱層が設けられた第２の保持体と、上記第１の保持体と第２の保持体間に介在する間隙子とから構成され、上記第１の保持体と第２の保持体間に上記空隙が形成されることを特徴とする加熱ユニットである。
【００１３】
第３の手段は、第１の手段または第１の手段において、上記伝熱層は、ダイヤモンドライクカーボン、酸化クロム等の金属酸化物、窒化アルミニウムや窒化ボロン等の窒化物、炭化珪素、銀や金ペースト等の金属、珪化モリブデン等のシリサイドのいずれか１つからなることを特徴とする加熱ユニットである。  
【００１４】
第４の手段は、光源により伝熱板を照射し、この照射された伝熱板からの伝熱により被加熱物を加熱する加熱ユニットにおいて、上記伝熱板は、光透過性を有する保持体と、該保持体上に設けられた間隙子と、該間隙子上に設けられ、上記光源から上記保持体を透過し、さらに上記間隙子および上記間隙子間の空隙を透過した光を吸収して発熱する伝熱体とから構成されることを特徴とする加熱ユニットである。  
【００１５】
第５の手段は、光源により伝熱板を照射し、この照射された伝熱板からの伝熱により被加熱物を加熱する加熱ユニットにおいて、上記伝熱板は、光が透過する方向に貫通された形状が丸形状または多角形状からなる空隙を有する保持体と、該保持体上に設けられ、上記光源から上記保持体を透過した光を吸収して発熱する伝熱体とから構成されることを特徴とする加熱ユニットである。
【００１６】
第６の手段は、第５の手段において、上記保持体がセラミックスから構成されていることを特徴とする加熱ユニットである。
【００１７】
第７の手段は、第４の手段乃至第６の手段のいずれか１つの手段において、上記伝熱体は、ニオブまたはモリブデンを含む石英ガラス、窒化アルミニウムや窒化ボロン等の窒化物、炭化珪素のいずれか１つからなることを特徴とする加熱ユニットである。
【発明の効果】
【００１８】
本願発明によれば、従来の均熱板において発生していた反りによる均一な温度分布で加熱することができないという問題を解決することができると共に、空隙により伝熱層や伝熱体で蓄積された熱が保持体側に伝達されることを確実に抑制することができ、被加熱物の伝熱を効率よく行うことができ、被加熱物を短時間で昇温することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明に係る第１の実施形態を図１乃至図４を用いて説明する。
図１は、本実施形態の発明に係る加熱ユニットの構成を示す正面断面図である。
同図において、この加熱ユニットは、保持体２を透過する波長の光を出す、例えば、ハロゲンランプ等の白熱ランプ、キセノンランプ、セラミックメタルハライイドランプ等の放電ランプからなる光源１と、保持体２および保持体２の被加熱物６側の表面に形成された伝熱層３とからなる伝熱板４と、光源１と伝熱板４を支持するための加熱ユニット本体５とから構成される。伝熱板４は光源１から放射されて保持体２を透過した光が伝熱層３にて受光されることによって発熱し、ウエハやガラス基板等からなる被加熱物６を加熱するものである。
【００２０】
図２は、図１に示した伝熱板４の拡大断面図である。
同図において、保持体２は、光源１側に配置された板状の第１の保持体２１と、第１の保持体２１に溶着された球状の間隙子２３と、この間隙子２３に溶着された板状の第２の保持体２２とから構成される。同図に示すように、第１の保持体２１と第２の保持体２２との間には間隙子２３が介在することにより第１の保持体２１と第２の保持体２２間に空隙７が形成される。
第１の保持体２１、第２の保持体２２および間隙子２３は、各々光透過性を有する、例えば、石英ガラス、硼珪酸ガラス、焼結石英ガラス、ソーダ石英ガラス等のガラス、ガラスセラミック、アルミナ、サファイア等のいずれかによって構成される。これらの材料は、金属やカーボングラファイトに比べて熱膨張係数が小さいため変形を生じにくく、化学的に堅牢で耐熱性に優れており、また、紫外域から赤外域までの光を主に透過し発熱が少ないものである。
【００２１】
保持体２に関する寸法の一例を以下に挙げる。第１の保持体２１の厚みは２〜１０ｍｍの範囲から選択され、例えば５ｍｍである。また第２の保持体２２の厚みは、０．２〜０．６ｍｍの範囲から選択され、例えば０．３ｍｍである。また間隙子２３の外径は０．５ｍｍから２ｍｍの範囲から選択され、例えば１ｍｍである、また間隙子２３間の間隔は１０〜５０ｍｍの範囲から選択され、例えば３０ｍｍである。
【００２２】
次に、第１の保持体２１および第２の保持体２２に対する間隙子２３の取り付け方法の一例について説明する。
図２には、図示されていないが、第１の保持体２１および第２の保持体２２の間隙子２３に当接する側の面には、間隙子２３の形状に適合するように凹部または穴が設けられている。まず、第１の保持体２１の凹部に間隙子２３を配置して、両者が当接する部分の周囲を無機接着剤（２５０℃以下の場合は、樹脂系有機性接着剤も可能）にて接合する。その後、間隙子２３の上方部（紙面において上方向）に第２の保持体２２の凹部または穴を当接させた状態で上記と同様に第２の保持体２２と間隙子２３の周囲を接着剤にて接合する。
【００２３】
その他に、保持体２１，２２、間隙子２３がいずれもガラスの場合には、フリットガラスを利用した加熱による融着が可能である。また第１の保持体２１上に間隙子２３を形成する場合には、ネジやピンによる機械的な固定方法の他に切削加工によって形成することも可能である。
【００２４】
第２の保持体２２の表面に形成される伝熱層３は、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、酸化クロム等の金属酸化物、窒化アルミニウムや窒化ボロン等の窒化物、炭化珪素、銀や金ペースト等の金属、珪化モリブデン等のシリサイドのいずれかから構成される。これらの材料は、化学的に堅牢で耐熱性に優れており、また紫外域から可視域の光を遮断して発熱し、熱伝熱率に優れている。
【００２５】
第２の保持体２２への伝熱層３のコーティングは、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の場合はＣＶＤにより、また、酸化クロム等の金属酸化物、窒化アルミニウムや窒化ボロン等の窒化物、炭化珪素の場合はスパッタ、銀や金ペースト等の金属はスクリーン印刷、珪化モリブデン等のシリサイドはＣＶＤ、スパッタ、または蒸着後加熱して形成する。ＣＶＤ、スパッタ、蒸着、印刷を利用すれば、第２の保持体２２の表面に多少の凹凸がある場合でも、伝熱層３の厚さを所望の厚さに制御して形成することができる。具体的には、伝熱層３の厚みは４０〜１００μｍの範囲から選択され、例えば１００μｍである。
【００２６】
さらに、図３を用いて、本実施形態の発明に係る加熱ユニットの被加熱物６への伝熱作用について説明する。
光源１から放射された光は、伝熱板４に照射され、照射された光は第１の保持体２１を透過し、間隙子２３および間隙子２３間の間隙７を透過し、さらに第２の保持体２２を透過して伝熱層３に照射される。伝熱層３に光が照射されると伝熱層３が発熱し、ウエハやガラス基板等の被加熱物６に伝熱され、被加熱物６は一様に加熱される。
【００２７】
本発明の均熱板４によれば、金属製やカーボン製の従来の均熱板において発生していた反りによる均一な温度分布で加熱することができないという問題を解決することができ、さらに、伝熱層３が設けられている第２の保持体２２は、前述のように厚みが０．３ｍｍと薄いものであるが、複数の間隙子２３により支持されているために、撓み等の問題も発生しない。
【００２８】
さらに、本発明の加熱ユニットによれば、第１の保持体２１と第２の保持体２２との間に間隙子２３を介在することによって、第１の保持体２１と第２の保持体２２間に空隙７が形成されるので、伝熱層３で蓄積された熱が第１の保持体２１側に伝達されることを確実に抑制することができる。
即ち、第１の保持体２１と第２の保持体２２との間に間隙子２３を介在することによって、空隙７が形成されるために、空隙７には通常空気が充填されるが、この空隙７では第１の保持体２１や第２の保持体２２を構成する材料より熱伝導率が低い。そのため、先に提案したもののように空隙を有しない厚手の保持体構造では、伝熱層に蓄積された熱が保持体側に伝熱され易いが、本発明の保持体構造によれば、伝熱層３に蓄積された熱が保持体２１，２２を構成する材料よりも熱伝導率が低い空隙７を介するために、第１の保持体２１側へ伝熱されることを抑制することができる。
従って、伝熱層３に被加熱物６を近接して配置することにより被加熱物６の伝熱を効率よく行うことができ、かつ被加熱物６を短時間で昇温することができる。
【００２９】
なお、空隙７に充填される気体として空気を用いる場合について説明したが、これに限定されるものではなく、保持体２を密閉構造として内部を真空状態としたり、窒素ガスや熱伝導の低い希ガス等のガスを充填することも可能である。これによって上記効果をより一層向上させることができる。
【００３０】
図４は、図２に示した伝熱板４の変形例の拡大断面図である。
同図に示すように、この変形例では、第１の保持体２１の被加熱物６側の表面に複数の角状の間隙子２４が設けられる。なお、その他の構成は図２に示した同符号の構成に対応する。
この間隙子２４に第２の保持体２２が、例えば接着剤等により取り付けられることにより、第１の保持体２１と第２の保持体２２間に空隙７が形成される。この間隙子２４は、例えば、第１の保持体２１となるべき板に対して、機械加工または接着のような方法により形成される。
この変形例においても、図２に示した伝熱板４の場合と同様の作用効果を奏することができる。
【００３１】
次に、本発明に係る第２の実施形態を図５および図６を用いて説明する。
図５は、本実施形態の発明に係る加熱ユニットを構成する伝熱板１０の拡大断面図である。
本実施形態の伝熱板１０は、第１の実施形態の伝熱板４と比べて、第１の実施形態の伝熱板４では第２の保持体２２の表面に伝熱層３がコーティングされていたのに対して、本実施形態の伝熱板１０では保持体と伝熱層が一体に形成された伝熱体９を有し、保持体８が第１の保持体８１と球状の間隙子８２で構成されている点で相違する。
【００３２】
この伝熱体９は、ニオブまたはモリブデンを含む石英ガラス、窒化アルミニウムや窒化ボロン等の窒化物、炭化珪素のいずれかから構成される。また伝熱体９の厚みは０．１〜０．８ｍｍの範囲から選択されて、例えば０．４ｍｍである。
この加熱ユニットにおいては、第１の保持体８１を透過した光が伝熱体９に照射されると伝熱体９が発熱し、ウエハやガラス基板等の被加熱物に伝熱され、被加熱物が一様に加熱される。本実施形態の伝熱板１０も、第１の実施形態の伝熱板４と同様の作用効果を奏することができる。
【００３３】
図６は、図５に示した伝熱板１０の変形例の拡大断面図である。
同図に示すように、この変形例では、第１の保持体８１の被加熱物６側の表面に複数の角状の間隙子８３が設けられる。なお、その他の構成は図５に示した同符号の構成に対応する。
この変形例においても、図５に示した伝熱板１０の場合と同様の作用効果を奏することができる。
【００３４】
次に、本発明に係る第３の実施形態を図７および図８を用いて説明する。
図７は、本実施形態の発明に係る加熱ユニットを構成する伝熱板１２の拡大断面図である。
本実施形態の伝熱板１２は、第２の実施形態の伝熱板１０と比べて、第２の実施形態の伝熱板１０では第１の保持体８１上に間隙子８２，８３が設けられていたの対して、本実施形態の伝熱板１２では光の透過する方向に貫通孔を有する保持体１１を有する点で相違する。なお、その他の構成は図５，６に示す同符号の構成に対応する。
【００３５】
ここで保持体１１は、図８（ａ）に示すように、光の透過する方向に貫通する丸形状の空隙７や、図８（ｂ）に示すように、光の透過する方向に貫通するハニカム状の空隙７や、また図８（ｄ）に示すように、光の透過する方向に貫通する格子状の空隙７を有する。なお、図８（ｃ）は、図８（ａ）のＡ−Ｂまたは図８（ｂ）のＣ−Ｄから見た断面図であり、図８（ｅ）は、図８（ｄ）のＥ−Ｆから見た断面図である。
【００３６】
本実施形態の伝熱板１２において、保持体１１に設けられる貫通孔である空隙７は、第１の実施形態および第２の実施形態における空隙７と同様の機能を発揮するものである。また図８（ａ）〜図８（ｅ）に示すように、貫通孔である空隙７の形状は種々の形状が可能であるが、貫通孔に限らず有底穴であってもよい。この保持体１１の厚みは２〜２０ｍｍの範囲から選択され、例えば１０ｍｍ、貫通孔である空隙７の口径は３〜１５ｍｍの範囲から選択され、例えば５ｍｍである。伝熱体９の部分での空隙面積比率は、例えば７０％である。
【００３７】
また、保持体１１の材料は、石英ガラス、硼珪酸ガラス、焼結石英ガラス、ソーダ石英ガラス等のガラス、ガラスセラミック、アルミナ、サファイア等のいずれかが用いられるが、これらに限定されず光透過性を有しないアルミナやジルコニア等のセラミックスを用いてもよい。
本実施形態の伝熱板１２も、第１の実施形態の伝熱板４や第２の実施形態の伝熱板１０と同様の作用効果を奏することができる。
【００３８】
次に、本発明及び研究過程において提案された発明（以降、比較例と称す）の効果を実証する実験について説明する。実験のために製作した加熱ユニットの数値例を以下の通りである。なお、以下に示す発明例の加熱ユニットに組み込まれる伝熱板４は図２に示す構造のものを採用している。
（発明例）
光源１：消費電力５５Ｗのハロゲンランプ
光源１同士の間隔（ピッチ）：５６ｍｍ
光源１（フィラメント中心）と伝熱板４との間隔：５０ｍｍ
光源１の個数：５個
伝熱板４の寸法：縦７０ｍｍ、横２６０ｍｍ
伝熱板４の構造：第１の保持体２１と第２の保持体２２との間に間隙子２３が介在す      る構造の保持体２において、第２の保持体２２の表面に伝熱層３を形成した構造（      図２参照）
保持体２の寸法：第１の保持体２１の厚み５ｍｍ、第２の保持体２２の厚み０．３        ｍｍ、間隙子２３の外径１ｍｍ
保持体２の材質：第１の保持体２１、第２の保持体２２、間隙子２３とも全て石英        ガラス
伝熱層３：厚みが１００μｍのダイヤモンドライクカーボン
（比較例）
伝熱板の構造：一枚板の保持体の表面に伝熱層３を形成
保持体の寸法：厚み１ｍｍ
保持体の材質：石英ガラス
その他の構造は、上記発明例と同じである。
（従来例）
伝熱板の構造：厚み１ｍｍのカーボングラファイト
保持体及び伝熱層はなく、その他の構造は上記発明例と同じである。
なお、実験は、発明例、比較例、従来例の各加熱ユニット内のハロゲンランプを点灯させ、伝熱板の中央部分φ５０の範囲の昇温特性を測定した。
【００３９】
上記実験により得られた昇温速度の結果を図９に示す。同図において、横軸はランプ点灯開始からの時間、縦軸は伝熱板の上昇温度である。
図９に示すように、発明例の加熱ユニットでは、所定の温度に達するまで１１秒要しているのに対して、比較例および従来例の加熱ユニットの場合は、各々１３秒、２２秒要している。このことからも明らかなように、発明例および比較例では従来例のものと比べて、昇温速度が大幅に改善されていることが分かる。また発明例では比較例のものと比べて、さらに昇温速度に優れていることも分かる。即ち、本発明の伝熱板は、ランプの出力を変化させることにより迅速に温度を変化させることができ、被加熱物を短時間で昇温させることができることが分かる。  
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】第１の実施形態の発明に係る加熱ユニットの構成を示す正面断面図である。
【図２】図１に示した伝熱板４の拡大断面図である。
【図３】第１の実施形態の発明に係る加熱ユニットの被加熱物６への伝熱作用を説明するための図である。
【図４】図２に示した伝熱板４の変形例の拡大断面図である。
【図５】第２の実施形態の発明に係る加熱ユニットを構成する伝熱板１０の拡大断面図である。
【図６】図５に示した伝熱板１０の変形例の拡大断面図である。
【図７】第３の実施形態の発明に係る加熱ユニットを構成する伝熱板１２の拡大断面図である。
【図８】図７に示した保持体１１の形状を示す図である。
【図９】実験により得られた昇温速度の結果を示す図である。
【符号の説明】
【００４１】
１  光源
２  保持体
２１  第１の保持体
２２  第２の保持体
２３，２４  間隙子
３  伝熱層
４  伝熱板
５  加熱ユニット本体
６  被加熱物
７  空隙            
８  保持体
８１  第１の保持体
８２，８３  間隙子
９  伝熱体
１０  伝熱板
１１  保持体
１２  伝熱板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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