(57)【要約】【課題】正確なショート補正ができ、且つ横寸法が異なるコンデンサを連続して測定するのに便利な測定装置を提供する。【解決手段】コンデンサ1の測定装置は、装置本体5上に、各リードフレーム9、90の下面に接するべき一対の第１電極51、第２電極52を固定して設けている。装置本体5内には、第１電極51、51どうし又は第２電極52、52どうしを電気的に接続したオープン補正時に用いる第１補正値と、第１電極51、51及び第２電極52、52の全てを電気的に接続したショート補正時に用いる第２補正値を格納しておくメモリ40と、コンデンサ1の測定時に、測定値から、第１補正値と第２補正値に基づくインピーダンスを引く演算回路4が設けられている。【選択図】  図１
2005274561.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング(70)から少なくとも陽極側及び陰極側リードフレーム(９)(90)の下面が露出したコンデンサ(１)の測定装置であって、
装置本体(５)上に、各リードフレーム(９)(90)の下面に接するべき第１電極(51)、第２電極(52)を同一平面内に固定して設け、
ショート補正用のデータ測定時に、第１電極(51)、第２電極(52)には同一の治具が当接して電気的に繋がることを特徴とするコンデンサの測定装置。
【請求項２】
第１電極(51)及び第２電極(52)は、複数枚設けられている請求項１に記載のコンデンサの測定装置。
【請求項３】
装置本体(５)内には、第１電極(51)(51)どうし又は第２電極(52)(52)どうしを電気的に接続したオープン補正時に用いる第１補正値と、第１電極(51)(51)及び第２電極(52)(52)の全てを電気的に接続したショート補正時に用いる第２補正値を格納しておくメモリ(40)と、コンデンサ(１)の測定時に、測定値から、第１補正値と第２補正値に基づくインピーダンスを引く演算回路(４)が設けられた請求項２に記載のコンデンサの測定装置。
【請求項４】
装置本体(５)の上方には、コンデンサ(１)の陽極側及び陰極側リードフレーム(９)(90)を対応する第１電極(51)、第２電極(52)に向けて付勢する押圧片(53)が配備された請求項１乃至３の何れかに記載の測定装置。
【請求項５】
陽極側及び陰極側リードフレーム(９)(90)の配列方向に沿う第１電極(51)と第２電極(52)の長さは、陽極側及び陰極側リードフレーム(９)(90)の配列方向に沿う第１電極(51)と第２電極(52)の間隔Ｐよりも長く形成された請求項１乃至４の何れかに記載の測定装置。
【請求項６】
第１電極(51)と第２電極(52)は、夫々内側に向かって下向きに傾いた斜面(57)を有する請求項１乃至５の何れかに記載の測定装置。
【請求項７】
第１電極(51)と第２電極(52)上には、陽極側及び陰極側リードフレーム(９)(90)の下面に接する突起(56)(56)が形成された請求項１乃至６の何れかに記載の測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体電解コンデンサのＥＳＲやＥＳＬを測定する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、図１４に示すチップ型の固体電解コンデンサが知られている(例えば、特許文献１参照)。
固体電解コンデンサ(１)は、図１４に示すように、リードフレーム(９)(90)が取り付けられたコンデンサ素子(２)を具え、該コンデンサ素子(２)は合成樹脂製のハウジング(70)にて覆われる。リードフレーム(９)(90)はハウジング(70)に沿って折曲され、ハウジング(70)の側面及び下面から露出している。コンデンサ素子(２)は、弁金属からなる陽極体(20)の一部に、誘電体酸化被膜(21)を形成し、該誘電体酸化被膜(21)上に、陰極層(３)、カーボン層(６)、銀ペースト層(60)を順に設けて形成される。即ち、陽極体(20)上にて誘電体酸化被膜(21)の形成部分が陰極(２b)、陽極体(20)上にて誘電体酸化被膜(21)の未形成部分が陽極(２a)となる。
ここで、弁金属とは、電解酸化処理により極めて緻密で耐久性を有する誘電体酸化被膜が形成される金属を指し、Ａｌ(アルミニウム)、Ｔａ(タンタル)、Ｔｉ(チタン)、Ｎｂ(ニオブ)等が該当する。
【０００３】
コンデンサ(１)の重要な電気特性として、ＥＳＲ(等価直列抵抗)が知られている。近年では、かかるコンデンサ(１)を数ＭＨｚ以上の高周波回路に組み込むことが多く、周波数が高いほど、インピーダンスが大きくなるから、ＥＳＬ(等価直列インダクタンス)が小さいことも、コンデンサ(１)の重要な電気特性となっている。
例えば、図１４に示すコンデンサ(１)のＥＳＲやＥＳＬを４端子法を用いて測定するには、リードフレーム(９)(90)の側方から、測定器(８)に電線(80)(80)を介して繋がった第１プローブ(81)(81)、第２プローブ(82)(82)を当てる。第１プローブ(81)(81)は、高電位側入力プローブと、高電位側出力プローブに別れており、第２プローブ(82)(82)は、低電位側入力プローブと、低電位側出力プローブに別れている。測定器(８)から一定電圧、具体的には０.５Ｖの正弦波を高電位側入力プローブから低電位側入力プローブに流し、両入力プローブに直列接続された電流計と、両出力プローブに直列接続された電圧計により、測定した値及び位相のズレから、コンデンサ(１)のＥＳＲ、ＥＳＬを測定する。
このコンデンサ(１)のＥＳＲ、ＥＳＬを測定する際には、プローブ(81)(82)を含む測定器(８)内の抵抗、インダクタンス、容量に基づくインピーダンス、及びプローブ(81)(82)とコンデンサ(１)の接触抵抗を補正する必要があり、この補正として、以下のオープン補正とショート補正とがある。
【０００４】
測定器(８)内のインピーダンス成分には、残留インピーダンスと浮遊アドミタンスがあり、オープン補正用データ測定により、浮遊アドミタンスを測定し、ショート補正用データ測定により、残留インピーダンスを測定する。図１５に示すプローブ(81)(82)が開放状態の場合は、残留インピーダンスが無視できるため、浮遊アドミタンス(主に浮遊容量)が測定でき、図１６に示すプローブ(81)(82)が短絡状態の場合は、浮遊アドミタンスがバイパスされるので、残留インピーダンスが測定できる。オープン補正用データ測定値とショート補正用データ測定値を基に、コンデンサ(１)の測定値を補正する。これらの補正を夫々、オープン補正、ショート補正と言う。
４端子法を用いて、ＥＳＲ、ＥＳＬを測定する場合のオープン補正用データ測定とは、図１５に示すように、第１プローブ(81)(81)に治具である小金属片(45)を当てる。また、第２プローブ(82)(82)に同様の小金属片(45)を当てた状態で、０.５Ｖの正弦波を通電し、このときの抵抗値、インダクタンス、容量に基づくインピーダンスを測定器(８)内に格納しておく。
また、ショート補正用データ測定に於いては、図１６に示すように、治具である大金属片(46)の一側面に一方のリードフレーム(90)に接するべき２つの第１プローブ(81)(81)を当てて固定する。大金属片(46)の反対側の側面に、他方のリードフレーム(９)に接するべき２つの第２プローブ(82)(82)を側方から水平に移動させて当てる。その後、０.５Ｖの正弦波を通電し、このときの抵抗値、インダクタンス、容量に基づくインピーダンスを測定器(８)内に格納しておく。
上記ショート補正用データ測定に於いては、残留インピーダンスに加え、プローブ(81)(82)と大金属片(46)の接触抵抗についても測定できる。しかし、４端子法に於いては、接触抵抗は、実際の接触抵抗に、プローブどうしの浮遊容量に基づくインピーダンスが加わった値となる。
両補正用データ測定を行うのは、例えばオープン補正のみでは、残留インピーダンス及び接触抵抗を補正することができず、浮遊アドミタンスのみの補正となる。逆に、ショート補正のみでは、浮遊アドミタンスを測定することができないため、コンデンサ(１)のＥＳＲ、ＥＳＬを正確に測定する為には、ショート補正とオープン補正の両方が必要である。
実際のコンデンサ(１)のＥＳＲ、ＥＳＬを測定する際には、ショート補正用及びオープン補正用データ測定で得られた抵抗値、インダクタンス、容量に基づくインピーダンスを測定値から引いた値を求める。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２４６２６８号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の方法では、オープン補正用データ測定時に、第１プローブ(81)及び第２プローブ(82)を水平に動かしている。そのため、横寸法の異なるコンデンサのＥＳＲ、ＥＳＬを連続して測定する場合、浮遊アドミタンス(特に、第１プローブ(81)と第２プローブ(82)の間の浮遊容量)が僅かに変わり、正確にオープン補正用のデータを測定できないことを発見した。
また、４端子法を用いて測定する場合、図１６に示すように、ショート補正用データ測定時及びコンデンサ測定時に、第２プローブ(82)(82)を水平に移動させている。そのため、第２プローブ(82)(82)間の浮遊容量が僅かに変化する。これにより、大金属片(46)を通る電流とその位相角と、コンデンサ(１)を通る電流とその位相角との間に誤差が発生する。そのため、ショート補正に於いて補正すべきインピーダンスも誤差が出てくる。特に、高周波領域に於いては、この問題が大きくなる。
本発明の目的は、正確なオープン補正、ショート補正ができる測定装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
ハウジング(70)から少なくとも陽極側及び陰極側リードフレーム(９)(90)の下面が露出したコンデンサ(１)の測定装置であって、
装置本体(５)上に、各リードフレーム(９)(90)の下面に接するべき第１電極(51)、第２電極(52)を同一平面内に固定して設け、
ショート補正時に、第１電極(51)、第２電極(52)には同一の治具が当接して電気的に繋がる。
また、装置本体(５)内には、第１電極(51)(51)どうし又は第２電極(52)(52)どうしを電気的に接続したオープン補正時に用いる第１補正値と、第１電極(51)(51)及び第２電極(52)(52)の全てを電気的に接続したショート補正時に用いる第２補正値を格納しておくメモリ(40)と、コンデンサ(１)の測定時に、測定値から、第１補正値と第２補正値に基づくインピーダンスを引く演算回路(４)が設けられている。
【発明の効果】
【０００８】
オープン補正用のデータ測定
オープン補正用のデータ測定時には、第１電極(51)(51)又は第２電極(52)(52)に跨って、治具である小金属片(45)を置き、第１電極(51)(51)どうし又は第２電極(52)(52)どうしを電気的に接続する。このとき得られた抵抗、インダクタンス、容量に基づくインピーダンスを第１補正値として、メモリ(40)内に格納する。
ショート補正用のデータ測定
ショート補正用のデータ測定時には、第１電極(51)(51)及び第２電極(52)(52)の全てに跨って、治具である大金属片(46)を置き、第１電極(51)(51)及び第２電極(52)(52)の全てを電気的に接続する。このとき得られた抵抗、インダクタンス、容量に基づくインピーダンスを第２補正値として、メモリ(40)内に格納する。
測定時のオープン補正とショート補正
第１電極(51)(51)及び第２電極(52)(52)に跨ってコンデンサ(１)を置く。第１電極(51)(51)に跨って一方のリードフレーム(90)が、第２電極(52)(52)に跨って他方のリードフレーム(９)が載置される。演算回路(４)は、メモリ(40)内に格納された第１補正値と第２補正値から、第１電極、第２電極(51)(52)の各インピーダンス、及び両電極(51)(52)とコンデンサ(１)との接触抵抗に基づくインピーダンスを夫々算出し、測定値から各インピーダンスを引いた値を求める。第１補正値に基づくインピーダンスを引く補正がオープン補正であり、第２補正値に基づくインピーダンスを引く補正がショート補正である。
第１電極(51)(51)と第２電極(52)(52)は、装置本体(５)上に固定されているから、横方向寸法の異なるコンデンサ(１)を連続して測定する場合にも、第１電極(51)と第２電極(52)との間の浮遊容量に基づくインピーダンスは変化しない。これにより、正確なオープン補正が可能となる。
また、第１電極(51)(51)と第２電極(52)(52)は、装置本体(５)上に固定されているから、第１電極(51)(51)間、及び第２電極(52)(52)間の浮遊容量は一定になる。これにより、大金属片(46)測定時と、コンデンサ測定時の接触抵抗の誤差を無くすことができ、正確なショート補正が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
(第１実施例)
以下、本発明の一例を図を用いて詳述する。
図１は、本例に係わる測定装置の斜視図である。測定されるコンデンサ(１)は、図１４に示す従来と同じものである。装置本体(５)上に設けられた基台(50)には、一対の第１電極(51)(51)、第２電極(52)(52)が設けられ、第１電極(51)(51)は陰極側リードフレーム(90)に、第２電極(52)(52)は陽極側リードフレーム(９)に夫々接する。第１電極(51)(51)、第２電極(52)(52)は夫々互いに平行であり、長手方向を横に向けている。
第１、第２電極(51)(52)は、上向きにバネ(54)付勢され、コンデンサ(１)の上方には、コンデンサ(１)をバネ(54)に向けて付勢する押圧片(53)が設けられている。該押圧片(53)にて、測定物であるコンデンサ(１)を第１、第２電極(51)(52)に確実に接触させ、コンデンサ(１)と第１、第２電極(51)(52)との接触抵抗がバラ付くことを防いでいる。
第１、第２電極(51)(52)は、装置本体(５)内に設けられた演算回路(４)に繋がり、該演算回路(４)はメモリ(40)を具える。該メモリ(40)には、後記のオープン補正用データ測定、ショート補正用データ測定時に得られた第１補正値、第２補正値が格納される。装置本体(５)の前面には、表示窓(55)が設けられ、該表示窓(55)は演算回路(４)に繋がって、測定データを表示する。
【００１０】
第１、第２電極(51)(52)自体に抵抗値、インダクタンスがある。また同じリードフレーム(９)(90)に接する第１、第２電極(51)(51)(52)(52)間、及び互いに対向する第１電極(51)及び第２電極(52)間には浮遊容量がある。更に、第１、第２電極(51)(52)を含む測定器(８)内の抵抗とコンデンサ(１)の接触抵抗もある。
コンデンサ(１)のＥＳＲやＥＳＬを正確に測定する際には、第１、第２電極(51)(52)の抵抗、インダクタンス、容量から受けるインピーダンスを引く必要があり、この引くべきパラメータを求める手法として、従来と同様に、オープン補正用データ測定とショート補正用データ測定とがある。以下に、オープン補正用データ測定とショート補正用データ測定の手順を示す。
【００１１】
オープン補正用のデータ測定
オープン補正用のデータ測定時には、第１電極(51)(51)又は第２電極(52)(52)に跨って、治具である小金属片(45)を置き、第１電極(51)(51)どうし又は第２電極(52)(52)どうしを電気的に接続する。このとき得られた抵抗、インダクタンス、容量に基づくインピーダンスを第１補正値として、メモリ(40)内に格納する。
ショート補正用のデータ測定
ショート補正用のデータ測定時には、第１電極(51)(51)及び第２電極(52)(52)の全てに跨って、治具である大金属片(46)を置き、第１電極(51)(51)及び第２電極(52)(52)の全てを電気的に接続する。このとき得られた抵抗、インダクタンス、容量に基づくインピーダンスを第２補正値として、メモリ(40)内に格納する。
測定時のオープン補正とショート補正
第１電極(51)(51)及び第２電極(52)(52)に跨ってコンデンサ(１)を置く。第１電極(51)(51)に跨って一方のリードフレーム(90)が、第２電極(52)(52)に跨って他方のリードフレーム(９)が載置される。演算回路(４)は、メモリ(40)内に格納された第１補正値と第２補正値から、第１電極、第２電極(51)(52)の各インピーダンス、及び両電極(51)(52)とコンデンサ(１)との接触抵抗に基づくインピーダンスを夫々算出し、測定値から各インピーダンスを引いた値を求める。第１補正値に基づくインピーダンスを引く補正がオープン補正であり、第２補正値に基づくインピーダンスを引く補正がショート補正である。
【００１２】
第１電極(51)(51)と第２電極(52)(52)は、装置本体(５)上に固定されているから、横方向寸法の異なるコンデンサ(１)を連続して測定する場合にも、第１電極(51)と第２電極(52)との間の浮遊容量に基づくインピーダンスは変化しない。これにより、正確なオープン補正が可能となる。
また、第１電極(51)(51)と第２電極(52)(52)は、装置本体(５)上に固定されているから、第１電極(51)(51)間、及び第２電極(52)(52)間の浮遊容量は一定になる。これにより、大金属片(46)測定時と、コンデンサ測定時の接触抵抗の誤差を無くすことができ、正確なショート補正が可能となる。
即ち、従来にあっては、４端子法を用いて測定する場合、図１６に示すように、ショート補正用データ測定時及びコンデンサ測定時に、第２プローブ(82)(82)を水平に移動させている。そのため、第２プローブ(82)(82)間の浮遊容量が僅かに変化する。これにより、大金属片(46)を通る電流とその位相角と、コンデンサ(１)を通る電流とその位相角との間に誤差が発生する。そのため、ショート補正に於いて補正すべきインピーダンスも誤差が出てくる。特に、高周波領域に於いては、この問題が大きくなり、ｎＨオーダーのＥＳＬを正確に測定することができない。
しかし、本例にあっては、第１電極(51)(51)間、及び第２電極(52)(52)間の浮遊容量が一定であるため、従来のような接触抵抗の誤差が発生しなくなり、インピーダンスが変化しない。また、ショート補正用データの測定に用いる大金属片(46)の幅と、コンデンサの幅が異なる場合であっても、接触抵抗は一定になる。
【００１３】
図４は、図１の正面図である。互いに対向する第１電極(51)と第２電極(52)間には、通電時にループインダクタンスＬ１が発生する。出願人はこのループインダクタンスＬ１の影響を最小にすべく、第１電極(51)と第２電極(52)の間隔Ｐを１ｍｍ以下にすることを着想している。
図２及び図３に示すように、第１電極(51)と第２電極(52)は、コンデンサ(１)の陰極側リードフレーム(90)及び陽極側リードフレーム(９)の配列方向、即ち横方向に延びている。
第１電極(51)と第２電極(52)の横長さは、第１電極(51)と第２電極(52)の間隔Ｐよりも大きく、これにより横寸法が長いコンデンサ(１)でも安定して測定できる。
第１電極(51)と第２電極(52)は、横長さが間隔Ｐよりも大きければよい。従って、図５に示すように、第１電極(51)と第２電極(52)が楕円形であっても、図６に示すように、放射状に配列されてもよい。
【００１４】
斯種コンデンサ(１)には、小型化に鑑みて、図７に示すように、リードフレーム(９)(90)を平板状に設け、コンデンサ素子(２)の下面とハウジング(70)の下面を接近させたものもある。
また、出願人は以前、図８に示すように、陰極側リードフレーム(90)の２箇所Ｋ、Ｋ１を露出させたコンデンサ(１)をも提案している。図７及び図８に示すように、ハウジング(70)の下面からリードフレーム(９)(90)を露出させたコンデンサ(１)にあっても、本例の測定装置は有用である。
また、本例にあっては、第１電極(51)(51)、第２電極(52)(52)は夫々２つ設けられているが、３つ以上設けてもよい。
【００１５】
(第２実施例)
図１４に示すコンデンサ(１)では、リードフレーム(９)(90)の下端部を内向きに折曲している。従って、図９に示すように、リードフレーム(９)(90)の折曲箇所にて、リードフレーム(９)(90)が浮き上がってしまうことがある。これでは、コンデンサ(１)の検査時に、第１電極(51)と第２電極(52)が、リードフレーム(９)(90)に接触しないから、正しく測定できない。
出願人はこの点に鑑みて、図１０に示すように、第１電極(51)と第２電極(52)に夫々内側に向かって下向きに傾いた斜面(57)を設けた。斜面(57)の内側端部は、平坦面(58)に繋がる。
図１０に示すように、リードフレーム(９)(90)が浮き上がたコンデンサ(１)を第１電極(51)と第２電極(52)に置くと、リードフレーム(９)(90)の折曲部Ｃが斜面(57)に接するから、正確にＥＳＲ、ＥＳＬを測定できる。
尚、かかる第１電極(51)と第２電極(52)を具えた測定装置にて、オープン補正用データ測定を行うには、図１１(a)に示す治具(75)を用いる。これは絶縁体(76)の下面両側に、平坦面(58)に置かれる小金属片(45)(45)を取り付けたものであり、該小金属片(45)は第１電極(51)(51)どうし、又は第２電極(52)(52)どうしを電気的に繋ぐ。
また、ショート補正用データ測定を行うには、図１１(b)に示す治具(75a)を用いる。これは絶縁体(76)の下面に大金属片(46)を取り付けたものであり、該大金属片(45)は、平坦面(58)に載置されて、全ての第１電極(51)(45)及び第２電極(52)(52)を電気的に繋ぐ。
【００１６】
(第３実施例)
図１２は、図７に示す下面からリードフレーム(９)(90)が露出したコンデンサ(１)を測定する装置用の第１電極(51)と第２電極(52)の正面図である。第１電極(51)と第２電極(52)上には、リードフレーム(９)(90)の下面に接する突起(56)(56)が形成されている。
図１２に実線で示すように、横に長いコンデンサ(１)のＥＳＲ、ＥＳＬを測定するには、突起(56)(56)にリードフレーム(９)(90)を当てる。横が短いコンデンサ(１)を測定するには、突起(56)から外れて第１電極(51)と第２電極(52)にリードフレーム(９)(90)を当てればよい。尚、突起(56)の位置は、図１２に示すように、各電極(51)(52)の端に限定されない。
【００１７】
(第４実施例)
図１３は、図８に示す陰極側リードフレーム(90)の２箇所Ｋ、Ｋ１を露出させたコンデンサ(１)を測定する装置用の第１電極(51)と第２電極(52)の正面図である。第１電極(51)と第２電極(52)上には、リードフレーム(９)(90)の下面に接する突起(56)(56)が形成されており、陰極側リードフレーム(90)に接する第１電極(51)は左右に調整可能に設けられている。但し、第１電極(51)は左右に調整後に、ビス(図示せず)等にて、固定される。第１電極(51)が左右に移動可能なままであると、従来と同様に第１電極(51)(51)間の浮遊容量が変化する虞れがあるからである。
第１電極(51)を左右に調整可能とすることにより、突起(56)は陰極側リードフレーム(90)のＫ、Ｋ１何れにも接触することができ、測定に便利である。
【００１８】
上記実施例の説明は、本発明を説明するためのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。又、本発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能であることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本例に係わる測定装置の斜視図である。
【図２】オープン補正用データ測定を示す平面図である。
【図３】ショート補正用データ測定を示す平面図である。
【図４】図１の正面図である。
【図５】別の第１電極、第２電極の平面図である。
【図６】別の第１電極、第２電極の平面図である。
【図７】別の従来の固体電解コンデンサの断面図である。
【図８】別の従来の固体電解コンデンサの断面図である。
【図９】リードフレームが浮き上がったコンデンサの正面図である。
【図１０】他の実施例に於ける第１電極と第２電極の正面図である。
【図１１】(a)はオープン補正用データ測定を、(b)はショート補正用データ測定を夫々示す正面図である。
【図１２】下面からリードフレームが露出したコンデンサを測定する装置用の第１電極と第２電極の正面図である。
【図１３】陰極側リードフレームの２箇所を露出させたコンデンサを測定する装置用の第１電極と第２電極の正面図である。
【図１４】従来の固体電解コンデンサの断面図及び測定装置の斜視図である。
【図１５】従来のオープン補正用データ測定を示す正面図である。
【図１６】従来のショート補正用データ測定を示す正面図である。
【図１７】大金属片にてショート補正用データ測定後に、横寸法の小さなコンデンサを測らんとする状態を示す正面図である。
【符号の説明】
【００２０】
(１)  固体電解コンデンサ
(４)  演算回路
(５)  装置本体
(９)  リードフレーム
(40)  メモリ
(51)  第１電極
(52)  第２電極
(53)  押圧片
(70)  ハウジング
(90)  リードフレーム
【図１】
2005274561.tif 000003
【図２】
2005274561.tif 000004
【図３】
2005274561.tif 000005
【図４】
2005274561.tif 000006
【図５】
2005274561.tif 000007
【図６】
2005274561.tif 000008
【図７】
2005274561.tif 000009
【図８】
2005274561.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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