(57)【要約】【課題】光フィルタ単体の特性検査において、フィルタの角度位置決めばらつきにより、特性誤差や測定ばらつきを生じ、また、角度位置決めにおいて多くの調整工数を要する。【解決手段】被検フィルタ保持部２と測定光出射部５と測定光受光部８と被検フィルタ１の成膜面１ａの傾斜量を認識する器具とを備えた構成を有しており、これにより、被検フィルタ１の成膜面１ａに測定光１２が垂直に入射するよう測定光出射部５の角度位置を調整することができ、特性誤差や測定ばらつきを低減し、かつ、そのための調整工数を削減するという作用効果が得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光フィルタの特性を検査するための光フィルタ位置調整において、被検フィルタ保持部と測定光出射部と測定光受光部と被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識する器具とを備えた光フィルタの特性検査用位置調整治具。
【請求項２】
被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識する器具として、オートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具と前記レーザ照射式角度測定器具から照射されるレーザ光の光路切替部と前記光路切替部の支持駆動部とを備えたことを特徴とする、請求項１記載の光フィルタの特性検査用位置調整治具。
【請求項３】
被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識する器具として、被検フィルタ保持部と測定光出射部との間にオートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具または前記レーザ照射式角度測定器具の照射部と前記レーザ照射式角度測定器具の支持駆動部とを備えたことを特徴とする、請求項１記載の光フィルタの特性検査用位置調整治具。
【請求項４】
被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識する器具として、被検フィルタの成膜面へのレーザ照射部とレーザ受光部とを測定光の光軸外に備えたことを特徴とする、請求項１記載の光フィルタの特性検査用位置調整治具。
【請求項５】
被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識する器具として、被検フィルタの少なくとも２側面のエッジを撮像するカメラを備えたことを特徴とする、請求項１記載の光フィルタの特性検査用位置調整治具。
【請求項６】
光フィルタの特性検査において、被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識し、前記傾斜量によって測定光出射部の角度を調整する光フィルタの特性検査用位置調整方法。
【請求項７】
レーザ照射器具から被検フィルタの成膜面にレーザ光を照射し、その反射光をレーザ受光器具により受光し、受光した光の受光強度または受光サイズにより被検フィルタの成膜面からの反射光とウェッジからの反射光とを区別し、成膜面からの反射光の受光角度により被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識することを特徴とする、請求項６記載の光フィルタの特性検査用位置調整方法。
【請求項８】
被検フィルタの成膜面の少なくとも２側面のエッジをカメラにより撮像し、その撮像位置により被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識することを特徴とする、請求項６記載の光フィルタの特性検査用位置調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光通信、光計測等で用いられる光フィルタの特性を検査するための光フィルタの特性検査用位置調整治具およびその調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
通常、光フィルタが組み込まれたモジュールの形態ではなく、光フィルタ単体での形態で特性検査（例えば、光の挿入損失やリターン・ロス、偏波依存性等）を行う場合、被検フィルタに直接測定光を入射し、その透過光または反射光の特性を測定することにより、被検フィルタの特性を特定する。このとき、測定光が被検フィルタに入射するときの入射角度が所定角度よりずれると、見かけ上の膜厚変化等により、特性誤差や測定ばらつきを生じる。このため、光フィルタに入射する測定光の入射角度を厳密に位置調整する必要がある。
【０００３】
図７は従来の光フィルタ単体の特性検査に用いられる測定系の構成図である。
【０００４】
従来における光フィルタの特性検査方法を挿入損失特性の検査を例に図７、図８および図９を参照して説明する。
【０００５】
なお、リターン・ロス、偏波依存性など他の特性検査においても、被検フィルタの位置調整にかかる部分は挿入損失特性と同様である。
【０００６】
図７（ａ）において、３は可変波長レーザダイオード（ＴＬＤ）などの測定用光源、６および１４は光強度を測定する光センサ、４は出射側の光ファイバ、５は出射光を平行光にするコリメータレンズ等測定光出射部、１２は測定光出射部５から出射される平行直進する測定光、９は測定光出射部５の出射方向を調整するための２軸スイベルステージ等角度調整機構、９ａは角度調整機構９に固定された測定光出射部５を支持する支柱、７は受光側の光ファイバ等ケーブル、８はコリメータレンズまたは光センサ等測定光受光部、１０は測定光受光部８の受光方向を調整するための２軸スイベルステージ等角度調整機構、１０ａは角度調整機構１０に固定された測定光受光部８を支持する支柱、１１は測定光受光部の位置を調整するための２軸直進ステージ、１３はサーキュレータまたは２分岐カプラである。
【０００７】
また、図７（ｂ）において、１は被検フィルタ、２は被検フィルタ１保持部、２ａは測定光出射部５から出射される平行直進する測定光１２が被検フィルタ１を透過するために設けた開口部である。
【０００８】
また、図８において、１は被検フィルタ、１ａは被検フィルタ１の成膜面、１ｂは被検フィルタ１に設けられたウェッジ（テーパ）、２ｂは被検フィルタ１保持部断面、１５は２軸スイベルステージ等角度調整機構９の回転中心、２０は測定光の一部が成膜面１ａで反射されたものであり、２１は測定光の一部がウェッジ１ｂで反射されたものである。被検フィルタ１は、成膜面１ａ側に測定光出射部５が位置するように被検フィルタ１保持部２に保持される。被検フィルタ１保持部２の高さはあらかじめ、２軸スイベルステージ等角度調整機構９の回転中心高さと、被検フィルタ１の下面高さとが一致するよう調整されている。測定光出射部５と測定光受光部８はそれぞれの光軸がほぼ重なる位置に配置されている。ウェッジ１ｂ（テーパ）は主として、成膜面１ａを透過した測定光が被検フィルタの裏面で反射され、再び測定光出射部方向に戻り、リターン・ロスが増加することを防止することを目的として設けられている。
【０００９】
図９（ａ）は２軸スイベルステージ等角度調整機構９の移動量と成膜面１ａからの反射光２０による光センサ１４の受光強度との関係を示したものであり、図９（ｂ）は成膜面１ａからの反射光２０およびウェッジ１ｂからの反射光２１による光センサ１４の受光強度との関係を示したものである。
【００１０】
光フィルタの挿入損失特性検査を行う場合、図７（ａ）において、まず、光源３から測定光を放出すると、測定光出射部５からは測定光が平行光として出射され、この平行光が測定光受光部８に入射し、測定光は光ファイバ等ケーブル７を介して光センサ６に導かれる。次に、光センサ６で測定される光強度が最大となるように２軸スイベルステージ等角度調整機構１０および２軸直進ステージ１１の位置を調整する。この状態で光源３から送出された光を光センサ６で測定し、その光レベルをＰ０とする。次に、被検フィルタ１の中心を測定光１２が透過するように、図７（ｂ）に示す被検フィルタ１保持部２の位置を調整する。次に、被検フィルタ１に測定光１２が垂直に入射するよう２軸スイベルステージ等角度調整機構９の角度位置を調整する。この角度位置の調整は次のように行われる。すなわち、光源３より測定光を送出すると、測定光はサーキュレータ１３、光ファイバ４を介して、測定光出射部５から平行光となって出射される。このとき、測定光の一部は被検フィルタ１の成膜面１ａで反射され、再び測定光出射部５に入射し、サーキュレータ１３を介して、光センサ１４に導かれる。次に、光センサ１４に導かれる測定光の光強度が最大となるように２軸スイベルステージ等角度調整機構９の角度を調整する。光センサ１４に導かれる測定光の光強度が最大となったとき、測定光１２が被検フィルタ１に垂直に入射された状態となる。一般に、被検フィルタ１は、モジュール形態での光フィルタのリターン・ロスの低減を目的として、測定光に対して垂直方向より一定角度、例えば２°あるいは３°と傾けた状態で入射するよう設計されている。そこで、被検フィルタ１の成膜面１ａに、設計角度で測定光が入射するように２軸スイベルステージ等角度調整機構９、または、被検フィルタ１保持部２を一定角度分垂直入射角度から傾ける。次に、光センサ６に導かれる被検フィルタ１を透過した測定光が最大強度となるように測定光受光部８の位置、すなわち２軸スイベルステージ等角度調整機構１０および２軸直進ステージ１１を調整する。この状態で光源３から送出された測定光を光センサ６で測定し、その光レベルをＰ１とする。そして、測定したＰ０とＰ１との差を求めることにより、光フィルタの挿入損失特性が評価される。
【００１１】
なお、この出願に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開平８−１７８７９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、前記従来の光フィルタ単体の特性を検査するための位置調整治具および調整方法では、被検フィルタ１に測定光１２が垂直に入射するよう２軸スイベルステージ９の角度位置を調整する際、被検フィルタ１のウェッジ１ｂからの反射光２１が、測定光出射部５に入射し、誤って反射光２１による光センサ１４の光強度が極大となる角度に２軸スイベルステージ等角度調整機構９、すなわち、測定光出射部５の角度が調整される可能性があった。このため、測定光１２が被検フィルタ１に入射するときの入射角度が所定角度よりずれ、特性誤差や測定ばらつきを生じるという課題を有していた。また、光センサ１４の光強度が最大となる位置に２軸スイベルステージ９を調整するため、光センサ１４の光強度をモニタし、都度、２軸スイベルステージを微動して、光強度が最大となるかを確認するという、多数回の角度位置モニタリングを実施しながら角度調整する必要があった。このため、角度調整に長い調整工数を要するという課題を有していた。
【００１３】
本発明は、前記課題を解決しようとするものであり、その目的とするところは、光フィルタ単体の特性検査の特性誤差や測定ばらつきを低減し、かつ、そのための調整工数を削減するための位置調整治具および調整方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の請求項１に記載の発明は、特に、被検フィルタ保持部と測定光出射部と測定光受光部と被検フィルタ１の成膜面１ａの傾斜量を認識する器具とを備えた構成を有しており、これにより、被検フィルタ１の成膜面１ａに測定光１２が垂直に入射するよう測定光出射部５の角度位置を調整することができ、特性誤差や測定ばらつきを低減し、かつ、そのための調整工数を削減するという作用効果が得られる。
【００１５】
本発明の請求項２に記載の発明は、被検フィルタの傾斜量を認識する器具として、オートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具と前記レーザ照射式角度測定器具から照射されるレーザ光の光路切替部と前記光路切替部の支持駆動部とを備えた構成を有しており、これにより、被検フィルタの角度調整時は被検フィルタに非接触で精度よく成膜面１ａの傾斜量を認識し、被検フィルタの測定時は前記支持駆動部により前記光路切替部を測定光の光軸から退避することで、被検フィルタの測定の妨げにならないという作用効果が得られる。
【００１６】
本発明の請求項３に記載の発明は、被検フィルタ保持部と測定光出射部の間にオートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具またはその照射部と前記レーザ照射式角度測定器具の支持駆動部を備えた構成を有しており、これにより、被検フィルタの角度調整時は被検フィルタに非接触で精度よく成膜面１ａの傾斜量を認識し、被検フィルタの測定時は前記支持駆動部により前記レーザ照射式角度測定器具を測定光の光軸から退避することで、被検フィルタの測定の妨げにならないという作用効果が得られる。
【００１７】
本発明の請求項４に記載の発明は、被検フィルタの傾斜量を認識する器具として、被検フィルタの成膜面へのレーザ照射器具とレーザ受光器具とを測定光の光軸外に備えた構成を有しており、これにより、被検フィルタの角度調整時は被検フィルタに非接触で精度よく成膜面１ａの傾斜量を認識し、可動部なくそのままの状態で、被検フィルタの測定を実施できるという作用効果が得られる。
【００１８】
本発明の請求項５に記載の発明は、被検フィルタの傾斜量を認識する器具として、被検フィルタの成膜面の少なくとも２側面のエッジを撮像するカメラを備えた構成を有しており、これにより、被検フィルタの角度調整時は被検フィルタに非接触で精度よく成膜面１ａの傾斜量を認識し、可動部なくそのままの状態で、被検フィルタの測定を実施できるという作用効果が得られる。
【００１９】
本発明の請求項６に記載の発明は、光フィルタの特性検査において、被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識し、その傾斜量によって測定光出射部の角度を調整することを特徴とする調整方法であり、これにより、被検フィルタ１の成膜面１ａに測定光１２が垂直に入射するよう測定光出射部５の角度位置を調整することができ、特性誤差や測定ばらつきを低減し、かつ、そのための調整工数を削減するという作用効果が得られる。
【００２０】
本発明の請求項７に記載の発明は、被検フィルタの成膜面の傾斜量の認識において、レーザ照射器具から被検フィルタの成膜面にレーザ光を照射し、その反射光をレーザ受光器具により受光し、受光した光の受光強度または受光サイズにより被検フィルタの成膜面からの反射光とウェッジからの反射光とを区別し、成膜面からの反射光の受光角度により被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識することができ、これにより、被検フィルタのウェッジからの反射光の影響を受けることなく、測定光出射部５の角度位置を正確に調整することができる。
【００２１】
本発明の請求項８に記載の発明は、被検フィルタの成膜面の傾斜量の認識において、被検フィルタの成膜面の少なくとも２側面のエッジをカメラにより撮像し、前記エッジの撮像位置により被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識することができ、これにより、被検フィルタの成膜面の傾斜量のみ検出し、測定光出射部５の角度位置を正確に調整することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明による光フィルタの特性を検査するための位置調整治具およびその位置調整方法によれば、光フィルタ単体の特性検査の特性誤差や測定ばらつきを低減し、かつ、そのための調整工数を削減するという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、実施の形態１を用いて、本発明の特に請求項２および請求項７に記載の発明について説明する。図１は、本発明の実施の形態１における光フィルタ単体の特性検査に用いられる測定系の構成図、図２はオートコリメータ等角度測定器具の構成図である。
【００２４】
なお、従来の技術で説明した構成部材については同一の符号を付与し、詳細な説明は省略する。
【００２５】
図１において、２６は被検フィルタ保持部２を回転中心１５回りに傾斜させるための回転ステージ等２軸角度調整機構、２８はフィルタホルダの位置を調整するための２軸直進ステージ、２７は２軸直進ステージ２８に接続する支持片、３５はオートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具、３６はレーザ照射式角度測定器具３５から出力される角度情報を表示する表示器具、３７はレーザ照射式角度測定器具３５からの角度情報を表示器具３６に伝達するケーブル、３０はレーザ照射式角度測定器具３５から照射されるレーザを被検フィルタ１の成膜面１ａに照射するためのミラー等光路切替器具、３２はミラー等光路切替器具を測定光１２の光軸上から出し入れするための１軸直進ステージ、３１はミラー等光路切替器具３０を支持し１軸直進ステージ３２に接続された支持片である。
【００２６】
図２において、４５はレーザ照射式角度測定器具３５から照射されるレーザ光、４６はレーザ光４５の一部が被検フィルタ１の成膜面１ａで反射された成膜面反射レーザ光、４７はレーザ光４５の一部が、被検フィルタ１のウェッジ１ｂで反射されたウェッジ反射レーザ光、３５ａはレーザ照射式角度測定器具３５から照射されるレーザ送出部兼成膜面反射レーザ光４６およびウェッジ反射レーザ光４７受光部、３６ａは表示器具３６の表示部、４８はオートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具３６によって成膜面反射レーザ光４５の角度情報を２次元平面上に投影したスポット光、４９は同ウェッジ反射レーザ光４７の角度情報を２次元平面上に投影したスポット光である。
【００２７】
光フィルタの特性検査を行う場合、図１および図２において、まず、フィルタホルダ２およびミラー等光路切替器具３０をそれぞれ２軸直進ステージ２８および１軸直進ステージ３２により、測定光１２の光軸上から外す。次に、光源３から測定光を放出すると、コリメータレンズ５からは測定光１２が平行光として出射され、この平行光がコリメータ８に入射し、測定光は光ファイバ等ケーブル７を介して光センサ６に導かれる。次に、光センサで測定される光強度が最大となるように２軸スイベルステージ１０および２軸直進ステージの位置を調整する。この状態で光源３から送出された光を光センサ６で測定し、その光レベルをＰ０とする。次に、被検フィルタ１の中心を測定光１２が透過するように、フィルタホルダ２の位置を調整する。次に、被検フィルタ１にレーザ照射式角度測定器具３５から照射されるレーザを被検フィルタ１の成膜面１ａに照射するよう、測定光１２の光軸上にミラー等光路切替器具３０を１軸直進ステージ３２により移動する。被検フィルタ１の成膜面１ａおよびウェッジ１ｂそれぞれで反射された成膜面反射レーザ光４６およびウェッジ反射レーザ光４７は、レーザ照射式角度測定器具３５により、角度情報として２次元平面上に投影され、表示器具３６の表示部３６ａ上に、それぞれスポット光４８、スポット光４９として表示される。
【００２８】
ここで、レーザ照射式角度測定器具３５に使用されるレーザは、可視波長領域のものを使用する。一方で、光通信用に使用される光フィルタの使用波長範囲は、赤外波長領域のものが多い。このことから、一般に、可視波長領域のレーザに対するフィルタの反射率はウェッジ１ｂに比べ成膜面１ａの方が高いため、表示部３６ａ上に表示されるスポット光の大きさは、ウェッジ反射レーザ光４７によるスポット光４９に比べ、成膜面反射レーザ光４６によるスポット光４８の方が大きい。このため、表示部３６ａ上において、いずれのスポット光が成膜面反射レーザ光４６によるスポット光４８であるかを容易に判別できる。
【００２９】
ここで、表示部３６ａにおけるスポット光の２次元平面上における座標（ｘ、ｙ）と、コリメータレンズ５の光軸方向は１対１に対応しており、すなわち、被検フィルタ１の成膜面１ａからの反射レーザ光４６によるスポット光４８の座標（ｘ１、ｙ１）がわかれば、２軸スイベルステージ９の移動により成膜面１ａにほぼ垂直な角度位置にコリメータレンズ５の光軸方向を合わせ込むことができる。これによりウェッジからの反射光最大位置の影響を受けることなく、コリメータレンズ光軸を調整開始角度に合わせ込むことができる。
【００３０】
次に、ミラー等光路切替器具３０を１軸直進ステージ３２により測定光１２の光軸上から外した後、引き続き、測定光１２が垂直に入射するよう２軸スイベルステージ９の角度位置を調整する。すなわち、光源３より測定光を送出すると、測定光はサーキュレータ１３、光ファイバ４を介して、コリメータレンズ５から平行光となって出射される。このとき、測定光の一部は被検フィルタ１の成膜面１ａで反射され、再びコリメータレンズ５に入射し、サーキュレータ１３を介して、光センサ１４に導かれる。次に、光センサ１４に導かれる測定光の光強度が最大となるように２軸スイベルステージ９の角度を調整する。光センサ１４に導かれる測定光の光強度が最大となったとき、測定光がフィルタ１に垂直に入射された状態となる。このとき、調整開始角度は最大光量角度のほぼ近傍に位置するため、光センサ１４の光強度をモニタし、都度、２軸スイベルステージを微動して、光強度が最大となるかを確認するという、角度位置モニタリングを比較的少数の繰り返しで行うことができる。このため、角度調整を飛躍的に短い調整時間で完了することが可能となる。
【００３１】
次に、被検フィルタ１の成膜面１ａに、設計角度で測定光が入射するように２軸スイベルステージ９、または、フィルタホルダ２を一定の設計角度分傾ける。次に、光センサ６に導かれるフィルタ１を透過した測定光が最大強度となるようにコリメータレンズ８の位置、すなわち２軸スイベルステージ１０および２軸直進ステージ１１を調整する。この状態で光源３から送出された光を光センサ６で測定し、その光レベルをＰ１とする。そして、測定したＰ０とＰ１との差を求めることにより、光フィルタの特性が評価される。
【００３２】
別の実施の形態２を用いて、本発明の特に請求項３に記載の発明について説明する。図４は、本発明の実施の形態２における光フィルタ単体の特性検査に用いられる測定系の構成図である。
【００３３】
なお、従来の技術および実施の形態１で説明した構成部材については同一の符号を付与し、詳細な説明は省略する。
【００３４】
図４において、３５ｂはオートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具３５のレーザ照射部、３５ｃはレーザ照射部からの照射レーザである。
【００３５】
被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識する器具として、レーザ照射式角度測定器具３５を備えている。レーザ照射式角度測定器具３５のレーザ照射部３５ｂを測定光出射部５と被検フィルタ１の間に直接挿入可能にし、すなわち、フィルタ検査時／測定光出射部調整時と必要に応じ、測定光の光軸への挿入と測定光の光軸からの退避を１軸直進ステージ３２により行う。
【００３６】
別の実施の形態３を用いて、本発明の特に請求項４に記載の発明について説明する。図５は、本発明の被検フィルタ保持部周辺の斜視図である。
【００３７】
図５において、５６はレーザ照射部、５７はレーザ受光部である。
【００３８】
被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識する器具として、レーザ照射部５６とレーザ受光部５７とを測定光１２の光軸外に備えている。オートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具３５は、通常、レーザの照射部とレーザの受光部をともに内蔵し、各々の光軸がほぼ重なるように配置されているが、これを別々のユニットに分割し、測定光１２の光軸を妨げない位置に配したものである。
【００３９】
ここで、被検フィルタ１保持部２はレーザ照射部５６およびレーザ受光部５７の光軸を妨げない形状をしており、例えば、被検フィルタ１の側面を真空吸着により保持する、あるいは、成膜面に接する部分をできるだけ薄く製作するなどの手段をとる。
【００４０】
別の実施の形態４を用いて、本発明の特に請求項５および請求項８に記載の発明について説明する。図６は、本発明の被検フィルタ保持部周辺の斜視図である。
【００４１】
図６において、５５は被検フィルタ１の２つのエッジを観察可能なフィルタ保持部、５５ａは測定光が通過する開口部、５０は被検フィルタ１の第１エッジを撮像する第１カメラ、５１は被検フィルタ１の第２エッジを撮像する第２カメラ、５２は第１カメラの撮像画面を表示する第１表示装置、５３は第２カメラの撮像画面を表示する第２表示装置である。
【００４２】
被検フィルタの成膜面の傾斜量を認識するため、成膜面１ａの２つのエッジを観察し、そのエッジの撮像面における傾斜方向から成膜面１ａの傾斜量を算出し、測定光照射部の角度位置を調整できる。
【００４３】
被検フィルタの保持方法、あるいはカメラの配置の工夫により、さらに第３、第４のエッジを撮像可能にし、より安定した成膜面１ａ傾斜量の算出も可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明にかかる光フィルタの特性検査用位置調整治具およびその調整方法は、光フィルタ単体の特性検査の特性誤差や測定ばらつきを低減し、そのための調整工数を削減するという効果を有し、光通信、光計測等で用いられる光フィルタの特性を検査するための光フィルタの特性検査用位置調整治具およびその調整方法などの用途として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施の形態における実施例を示す光フィルタの特性を検査するための位置調整治具の斜視図
【図２】オートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具と該角度測定器具の構成図
【図３】角度調整機構の位置と光センサ受光強度の関係を示す図
【図４】実施の形態２における構成を示す斜視図
【図５】実施の形態３における構成を示す模式図
【図６】実施の形態４における構成を示す斜視図
【図７】従来技術における実施例を示す光フィルタの特性を検査するための位置調整治具の斜視図
【図８】光フィルタのホルダ周辺部断面図
【図９】角度調整機構の位置と光センサの受光強度の関係を示す図
【符号の説明】
【００４６】
１  被検フィルタ
１ａ  被検フィルタの成膜面
１ｂ  被検フィルタに設けられたウェッジ（テーパ）
２  被検フィルタ保持部
２ａ  開口部
２ｂ  被検フィルタ保持部断面
３  測定用光源
４  光ファイバ
５  コリメータレンズ等測定光出射部
６  光センサ
７  光ファイバ等ケーブル
８  コリメータレンズまたは光センサ等測定光受光部
９  ２軸スイベルステージ等角度調整機構
９ａ  支柱
１０  ２軸スイベルステージ等角度調整機構
１０ａ  支柱
１１  ２軸直進ステージ
１２  測定光
１３  サーキュレータまたは２分岐カプラ
１４  光センサ
１５  ２軸スイベルステージ等角度調整機構の回転中心
２０  成膜面での反射光
２１  ウェッジでの反射光
２６  回転ステージ等２軸角度調整機構
２７  支持片
２８  ２軸直進ステージ
３０  ミラー等光路切替器具
３１  支持片
３２  １軸直進ステージ
３５  オートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具
３５ａ  レーザ送出部兼反射レーザ光受光部
３５ｂ  オートコリメータ等レーザ照射式角度測定器具のレーザ照射部
３５ｃ  照射レーザ
３６  表示器具
３６ａ  表示部
３７  ケーブル
４５  レーザ照射式角度測定器具から照射されるレーザ光
４６  成膜面で反射された成膜面反射レーザ光
４７  ウェッジで反射されたウェッジ反射レーザ光
４８  成膜面反射レーザ光のスポット光
４９  ウェッジ反射レーザ光のスポット光
５０  第１カメラ
５１  第２カメラ
５２  第１表示装置
５３  第２表示装置
５５  被検フィルタの２つのエッジを観察可能なフィルタ保持部
５５ａ  測定光が通過する開口部
５６  レーザ照射部
５７  レーザ受光部
【図１】
2005195390.tif 000003
【図２】
2005195390.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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