(57)【要約】【課題】  マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものであるか否かを正確に評価できる磁気転写用マスター担体の密着性評価装置を提供する。【解決手段】  スレーブ媒体に転写する情報に応じて配列された凹凸パターンを有する基板と、該基板の凹凸パターン上に形成された磁性層とを備えた磁気転写用マスター担体１００に対し、スレーブ媒体７をマスター担体１００の磁性層に圧着させた状態で、双方の周方向に対する厚さ方向の形状変化量を、スレーブ媒体及びマスター担体の非圧着面側から同一半径位置で同時に測定し、該同一半径一周での形状変化量が許容量以下であった場合に、該マスター担体１００がスレーブ媒体７と均一に密着するものと評価するようにした。【選択図】      図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スレーブ媒体に転写する情報に応じて配列された凹凸パターンを有する基板と、該基板の凹凸パターン上に形成された磁性層とを備えた磁気転写用マスター担体の密着性評価方法であって、
前記スレーブ媒体を前記マスター担体の磁性層に圧着させた状態で、双方の周方向に対する厚さ方向の形状変化量を、スレーブ媒体及びマスター担体の非圧着面側から同一半径位置で同時に測定し、該同一半径一周での形状変化量が許容量以下であった場合に、該マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものと評価することを特徴とする磁気転写用マスター担体の密着性評価方法。
【請求項２】
スレーブ媒体に転写する情報に応じて配列された凹凸パターンを有する基板と、該基板の凹凸パターン上に形成された磁性層とを備えた磁気転写用マスター担体の密着性評価方法であって、
剛性及び平面度が高い評価用平板を前記マスター担体の磁性層に圧着させた状態で、双方の周方向に対する厚さ方向の形状変化量を、評価用平板及びマスター担体の非圧着面側から同一半径位置で同時に測定し、該同一半径一周での形状変化量が許容量以下であった場合に、該マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものと評価することを特徴とする磁気転写用マスター担体の密着性評価方法。
【請求項３】
前記形状変化量の許容量が１μｍであることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の磁気転写用マスター担体の密着性評価方法。
【請求項４】
互いに圧着された状態のスレーブ媒体及びマスター担体を所定位置に保持しつつ中心軸回りに回転させる回転駆動手段と、
前記所定位置に保持されたスレーブ媒体及びマスター担体の非圧着面側にそれぞれ対向して配置された一対の測距手段と、
前記一対の測距手段を前記回転駆動手段による回転半径方向へ同時に移動させる移動手段と、
前記スレーブ媒体及びマスター担体を回転駆動して前記測距手段を移動させつつ前記測距手段によりスレーブ媒体及びマスター担体の非圧着面までの距離をそれぞれ測定し、前記スレーブ媒体及びマスター担体の厚さ方向の形状変化量を求める制御手段と、
前記スレーブ媒体及びマスター担体の同一半径一周での前記形状変化量が許容量以下であった場合に、該マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものと評価する評価手段とを備えたことを特徴とする磁気転写用マスター担体の密着性評価装置。
【請求項５】
剛性及び平面度が高い評価用平板、及びマスター担体を互いに圧着された状態で所定位置に保持しつつ中心軸回りに回転させる回転駆動機構と、
前記所定位置に保持された評価用平板及びマスター担体の非圧着面側にそれぞれ対向して配置された一対の測距手段と、
前記一対の測距手段を前記回転駆動手段による回転半径方向へ同時に移動させる移動手段と、
前記評価用平板及びマスター担体を回転駆動して前記測距手段を移動させつつ前記測距手段により評価用平板及びマスター担体の非圧着面までの距離をそれぞれ測定し、前記評価用平板及びマスター担体の厚さ方向の形状変化量を求める制御手段と、
前記評価用平板及びマスター担体の同一半径一周での前記形状変化量が許容量以下であった場合に、該マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものと評価する評価手段とを備えたことを特徴とする磁気転写用マスター担体の密着性評価装置。
【請求項６】
請求項１〜請求項３のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体の密着性評価方法に基づいて、厚さ方向の形状変化量が１μｍ以下でありスレーブ媒体と均一に密着するものと評価されたことを特徴とする磁気転写用マスター担体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スレーブ媒体と、スレーブ媒体に情報を転写する磁性層がパターン状の凹凸に沿って設けられた磁気転写用マスター担体との密着性を評価する方法及び装置並びに磁気転写用マスター担体に関する。
【背景技術】
【０００２】
大容量、高速アクセスが望まれるハードディスク、高密度フレキシブルディスクは、狭いトラック幅を磁気ヘッドが正確に走査し、高いＳ／Ｎ比で信号を再生するトラッキングサーボ技術によりその要請に応えている。このトラッキングサーボ技術では、ディスクの１周の中で、ある間隔でトラッキング用のサーボ信号、アドレス情報信号、再生クロック信号等が、プリフォーマットとして記録されている。
【０００３】
磁気ヘッドは、このようなプリフォーマットの信号を読み取って自らの位置を修正することにより正確にトラック上を走行することが可能になる。従来、プリフォーマットされるディスクは、専用のサーボライト装置を用いて１枚ずつ又は１トラックずつ記録して作成されていた。ところが、サーボライト装置は高価であり、またプリフォーマット作成に時間がかかるため、この工程が製造コストの大きな部分を占めることになっており、コストの低減が望まれていた。
【０００４】
そこで、１トラックずつプリフォーマットを記録するではなく、必要な磁気情報を一度に転写する磁気転写方法が提案された。この磁気転写方法は、基板の表面に転写情報に対応する凹凸形状が磁性体によって形成されたマスター担体の表面に、磁気記録部を有するスレーブ媒体の表面を密着させ、この状態で転写用磁界を印加し、マスター担体に担持した情報（サーボ信号）に対応する磁化パターンをスレーブ媒体の磁気記録部に転写記録する。この磁気転写方法によれば、マスター担体とスレーブ媒体との相対的な位置を変化させることなく静的に記録を行うことができ、正確なプリフォーマット記録が可能であり、しかも記録に要する時間も極めて短時間で行うことができる。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−４０５４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記の磁気転写方法において転写品質を高めるためには、マスター担体とスレーブ媒体とをいかに隙間なく密着させるかということが重要な課題となる。即ち、密着不良が生じていると、十分な記録信号強度が得られず磁気転写が起こらない領域が生じる。磁気転写が起こらないと、スレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに、読出の信頼性が低下する。
このように、磁気転写では、ディスク面積全体に亘る均一な信号記録が重要となる。
しかしながら、同一マスター担体で多数枚の磁気転写を行い、スレーブ媒体に記録された信号を評価した結果、転写回数が増えるに従って、ｍｍ2オーダーの領域で信号抜けが発生し、信号抜けの顕著なマスター担体では最終的に信号記録できなくなることが判明した。そこで、使用前後でのマスター担体の外観形状を比較した結果、信号抜けが発生したマスター担体では僅かながらマスター形状の変形が確認されていた。
さらに、使用したマスター担体の形状測定を行った結果、磁気転写前後で微小な形状変化が発生していることが分った。このことから、密着時の印加圧力の大きいことがマスター担体変形の原因と考え、圧力を低減して磁気転写を行ったが、マスター担体、スレーブ間の密着状態は確保できず、均一な信号記録は実現できなかった。即ち、密着時の印加圧力以外に、形状変化を助長させるファクタの存在が暗示された。また、マスター担体の厚みを低減し、マクロな曲げ堅さを下げ、同実験を行ったが、均一密着を確保に必要な密着圧力はマスター担体の厚みが厚いものと大差なかった。
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものであるか否かを正確に評価できる磁気転写用マスター担体の密着性評価方法及び密着性評価装置並びに当該密着性評価方法によって良品と判断された磁気転写用マスター担体を提供し、もって、磁気転写品質を高め、スレーブ媒体全面に亘る均一な信号記録の実現を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１記載の磁気転写用マスター担体の密着性評価方法は、スレーブ媒体に転写する情報に応じて配列された凹凸パターンを有する基板と、該基板の凹凸パターン上に形成された磁性層とを備えた磁気転写用マスター担体の密着性評価方法であって、前記スレーブ媒体を前記マスター担体の磁性層に圧着させた状態で、双方の周方向に対する厚さ方向の形状変化量を、スレーブ媒体及びマスター担体の非圧着面側から同一半径位置で同時に測定し、該同一半径一周での形状変化量が許容量以下であった場合に、該マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものと評価することを特徴とする。
【０００８】
この磁気転写用マスター担体の密着性評価方法では、スレーブ媒体をマスター担体の磁性層に圧着させた状態での周方向に対する厚さ方向の形状変化量が許容量以下であれば、そのマスター担体をスレーブ媒体と均一に密着するものと評価する。このように、スレーブ媒体とマスター担体とを互いに圧着させた状態で密着性の評価を行うことにより、マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものであるか否かを正確に評価できる。ここで、前記形状変化量は、マスター担体の反りや表面のうねりなどに起因する変化量であり、マスター担体の理想形状からのずれに伴うスレーブ媒体との密着不良の度合いを表すものである。
【０００９】
請求項２記載の磁気転写用マスター担体の密着性評価方法は、スレーブ媒体に転写する情報に応じて配列された凹凸パターンを有する基板と、該基板の凹凸パターン上に形成された磁性層とを備えた磁気転写用マスター担体の密着性評価方法であって、剛性及び平面度が高い評価用平板を前記マスター担体の磁性層に圧着させた状態で、双方の周方向に対する厚さ方向の形状変化量を、評価用平板及びマスター担体の非圧着面側から同一半径位置で同時に測定し、該同一半径一周での形状変化量が許容量以下であった場合に、該マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものと評価することを特徴とする。
【００１０】
この磁気転写用マスター担体の密着性評価方法では、評価用平板をマスター担体の磁性層に圧着させた状態での周方向に対する厚さ方向の形状変化量が許容量以下であれば、そのマスター担体をスレーブ媒体と均一に密着するものと評価する。このように、剛性及び平面度が高い評価用平板とマスター担体とを互いに圧着させた状態で密着性の評価を行うことにより、マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものであるか否かを正確に評価できる。
【００１１】
請求項３記載の密着性評価方法は、前記形状変化量の許容量が１μｍであることを特徴とする。
【００１２】
この磁気転写用マスター担体の密着性評価方法では、１周当たりにおける厚さ方向の形状変化量が１μｍ以下であれば、そのマスター担体をスレーブ媒体と均一に密着するものと評価する。このように評価されたマスター担体によれば、スレーブ媒体との良好な密着性を確保して、スレーブ媒体に磁気転写された信号のトラック１周当たりの出力のばらつきを小さく抑えることができる。
【００１３】
請求項４記載の磁気転写用マスター担体の密着性評価装置は、互いに圧着された状態のスレーブ媒体及びマスター担体を所定位置に保持しつつ中心軸回りに回転させる回転駆動手段と、前記所定位置に保持されたスレーブ媒体及びマスター担体の非圧着面側にそれぞれ対向して配置された一対の測距手段と、前記一対の測距手段を前記回転駆動手段による回転半径方向へ同時に移動させる移動手段と、前記スレーブ媒体及びマスター担体を回転駆動して前記測距手段を移動させつつ前記測距手段によりスレーブ媒体及びマスター担体の非圧着面までの距離をそれぞれ測定し、前記スレーブ媒体及びマスター担体の厚さ方向の形状変化量を求める制御手段と、前記スレーブ媒体及びマスター担体の同一半径一周での前記形状変化量が許容量以下であった場合に、該マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものと評価する評価手段とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
この密着性評価装置では、スレーブ媒体をマスター担体の磁性層に密着させた状態での周方向における厚さ方向の形状変化量が許容量以下であれば、そのマスター担体をスレーブ媒体と均一に密着するものと評価する。このように、スレーブ媒体とマスター担体とを互いに圧着させた状態で密着性の評価を行うことにより、マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものであるか否かを正確に評価できる。
【００１５】
請求項５記載の磁気転写用マスター担体の密着性評価装置は、剛性及び平面度が高い評価用平板、及びマスター担体を互いに圧着された状態で所定位置に保持しつつ中心軸回りに回転させる回転駆動機構と、前記所定位置に保持された評価用平板及びマスター担体の非圧着面側にそれぞれ対向して配置された一対の測距手段と、前記一対の測距手段を前記回転駆動手段による回転半径方向へ同時に移動させる移動手段と、前記評価用平板及びマスター担体を回転駆動して前記測距手段を移動させつつ前記測距手段により評価用平板及びマスター担体の非圧着面までの距離をそれぞれ測定し、前記評価用平板及びマスター担体の厚さ方向の形状変化量を求める制御手段と、前記評価用平板及びマスター担体の同一半径一周での前記形状変化量が許容量以下であった場合に、該マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものと評価する評価手段とを備えたことを特徴とする。
【００１６】
この磁気転写用マスター担体の密着性評価装置では、互いに密着させた状態のスレーブ媒体とマスター担体を所定位置に保持して中心軸回りに回転させつつ、一対の測距手段によりスレーブ媒体とマスター担体の両側から距離を測定して両測定値の差を求める。そして、一対の測距手段による両測定値の差、即ち周方向における厚さ方向の形状の変化量が、許容量以下であった場合には、評価手段により、そのマスター担体をスレーブ媒体と均一に密着するものと評価する処理が評価手段によりなされる。従って、この密着性評価装置によれば、マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものであるか否かを正確に自動的に評価することができる。
【００１７】
請求項６記載の磁気転写用マスター担体は、請求項１〜請求項３のいずれか１項記載の磁気転写用マスター担体の密着性評価方法に基づいて、厚さ方向の形状変化量が１μｍ以下でありスレーブ媒体と均一に密着するものと評価されたことを特徴とする。
【００１８】
この磁気転写用マスター担体では、厚さ方向の形状変化量が１μｍ以下であるので、スレーブ媒体と均一に密着することが可能となる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の密着性評価方法及び密着性評価装置によれば、スレーブ媒体又はスレーブ媒体と剛性及び平面度が等しい評価用平板とマスター担体とを互いに密着させた状態で密着性の評価を行うので、マスター担体がスレーブ媒体と均一に密着するものであるか否かを正確に評価できる。これにより、スレーブ媒体との密着性が悪いマスター担体を用いて磁気転写することが防止され、スレーブ媒体のスループット低下を未然に防止できる。
【００２０】
本発明の磁気転写用マスター担体によれば、スレーブ媒体との良好な密着性を確保できるので、磁気転写品質を高め、スレーブ媒体全面に亘って均一に信号を記録することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は本発明に係る磁気転写用マスター担体とそれによって磁気転写されるスレーブ媒体の斜視図、図２は磁気転写の原理説明図である、
【００２２】
まず、本発明に係る磁気転写用マスター担体（以下、マスター担体とも呼ぶ）について説明する。図１，図２に示すように、マスター担体１００は円盤状に形成されており、表面に凹凸パターンを備えた基板３とその凹凸パターンに沿って形成された軟磁性層５とを備えてなる。凹凸パターンはスレーブ媒体である磁気記録媒体に転写すべき情報に応じたものである。軟磁性層５は、少なくとも凸部１上に形成されていればよく、凹部には必ずしも形成されている必要はない。
【００２３】
マスター担体１００は、後に詳述するように、図３及び図４に示す密着性評価装置３００による評価の結果、スレーブ媒体７との密着性が良好であると評価されたもののみ選別され、満足しないものは廃棄される。
【００２４】
マスター担体１００の基板３としては、好ましくはニッケル、アルミニウム等の金属の他、シリコン、石英板、ガラス、セラミックス、合成樹脂等も用いることができる。凹凸パターンの形成される基板３が金属からなることで、無電解メッキ、電鋳スパッタリング、イオンプレーティングを含む各種の金属成膜法が適用可能となる。また、軟磁性層５の磁性材料としては、Ｃｏ、Ｃｏ合金（ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＺｒ、ＣｏＮｂＴａＺｒ等）、Ｆｅ、Ｆｅ合金（ＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉ、ＦｅＮｉＭｏ、ＦｅＡｌＳｉ、ＦｅＡｌ、ＦｅＴａＮ）、Ｎｉ、Ｎｉ合金（ＮｉＦｅ）を用いることができ、特に好ましいのはＦｅＣｏ、ＦｅＣｏＮｉである。なお、基板３上に配される磁性層として軟磁性を例に挙げたが、半硬質磁性であってもよい。軟磁性若しくは半硬質磁性等の保磁力の小さい磁性層を用いることにより、より良好な転写を行うことができる。更には、基板上に配される磁性層は、基板３の飽和磁化よりも高い飽和磁化値を有するものであることが好ましい。
【００２５】
マスター担体１００のパターン状凸部（凹凸パターン）の形成は、スタンパー法、フォトリソグラフィー法等を用いて行うことができる。
【００２６】
フォトリソグラフィー法によりパターン状凸部を形成する方法を説明すると、まず、表面が平滑なガラス板（又は石英板）の上にスピンコート等でフォトレジストを形成し、このガラス板を回転させながらサーボ信号に対応して変調したレーザー光（又は電子ビーム）を照射する。これにより、フォトレジスト全面に所定のパターンを形成する。例えば各トラックに回転中心から半径方向に線状に延びるサーボ信号に相当するパターンを円周上の各フレームに対応する部分に露光し、その後、フォトレジストを現像処理し、露光部分を除去しフォトレジストによる凹凸形状を有する原盤を得る。次に、原盤の表面の凹凸パターンをもとに、この表面にメッキ（電鋳）を施し、ポジ状凹凸パターンを有するＮｉ基板を作製し、原盤から剥離する。このＮｉ基板をそのままマスター担体とするか、又は凹凸パターン上に必要に応じて軟磁性層、保護膜を被覆してマスター担体とする。
【００２７】
一方、上記のガラス板にフォトレジストによるパターンを形成した後、エッチングしてガラス板に穴を形成し、フォトレジストを除去した原盤を得て、以下同様に基板を形成するようにしてもよい。
【００２８】
金属による基板の材料としては、前述の通り、Ｎｉ若しくはＮｉ合金等を使用することができ、この基板を作製する上記のメッキとしては、無電解メッキ、電鋳スパッタリング、イオンプレーティングを含む各種の金属成膜法が適用できる。基板の凸部高さ（凹凸パターンの深さ）は、５０〜８００ｎｍの範囲が好ましく、より好ましくは８０〜６００ｎｍである。この凹凸パターンがサンプルサーボ信号である場合は、円周方向よりも半径方向に長い矩形状の凸部が形成される。具体的には、半径方向の長さは０．０５〜２０μｍ、円周方向は０．０５〜５μｍが好ましく、この範囲で半径方向の方が長い形状となる値を選ぶことがサーボ信号の情報を担持するパターンとして好ましい。
【００２９】
基板の凹凸パターン上への軟磁性層５の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などを用いて行う。軟磁性層の厚み（凸部上面の磁性層の厚み）は、２５〜５００ｎｍの範囲が好ましく、更に好ましくは８０〜３００ｎｍである。
【００３０】
マスター担体１００は、凸部表面の軟磁性層の上に２．５〜３０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の保護膜を設けることが好ましく、更に潤滑剤層を設けても良い。また、軟磁性層と保護膜の間に、Ｓｉ等の密着強化層を設けてもよい。潤滑剤を設けることにより、スレーブ媒体との接触過程で生じるずれを補正する際の摩擦による傷の発生などを抑制し、耐久性を向上させることができる。
【００３１】
次に、本発明に係る磁気転写用マスター担体を用いてスレーブ媒体へ情報を転写する磁気転写方法について説明する。なお、ここではスレーブ媒体の両面に磁気転写する場合を例示する。
図１に示すように、スレーブ媒体７は、同軸上に配置されたマスター担体１００と、マスター担体２００との間に配置される。スレーブ媒体７は、両面（又は片面）に磁気記録層が形成されたハードディスク、フレキシブルディスク等の円盤状磁気記録媒体である。スレーブ媒体７の基板７ａの両面には、それぞれ面内磁気記録層７ｂ、７ｃが形成されている。スレーブ媒体７は、マスター担体１００，２００と同等もしくはそれより剛性が高く、かつ平面度が高い性状を有する。
【００３２】
また、マスター担体１００には、上述したように、スレーブ媒体７の下側記録層７ｂに対応した凹凸パターンが形成されている。また、マスター担体２００は、マスター担体１００と同様の層構成からなり、スレーブ媒体７の上側記録層７ｃに対応した凹凸パターンが形成されたものである。
【００３３】
図１では、磁気記録媒体７とマスター担体１００、２００が互いに離間した状態を示しているが、実際の磁気転写は、磁気記録媒体７の記録再生面とマスター担体１００、２００の軟磁性層５、５とを密着させて、或いは近接して対面させた状態で行う。
【００３４】
図２は、スレーブ媒体への磁気転写の基本工程を説明するための図であり、（ａ）は磁界を一方向に印加してスレーブ媒体を初期直流磁化する工程、（ｂ）はマスター担体とスレーブ媒体とを密着させて初期直流磁界とは略反対方向に磁界を印加する工程、（ｃ）は磁気転写後のスレーブ媒体の記録再生面の状態をそれぞれ示す図である。なお、図２においてスレーブ媒体７についてはその下側記録層７ｂのみを示している。
【００３５】
図２（ａ）に示すように、予めスレーブ媒体７に周方向の一方向の初期値流磁界Ｈｉｎを印加して、磁気記録層７ｂの磁化を初期直流磁化させておく。その後、図２（ｂ）に示すように、このスレーブ媒体７の記録層７ｂ側の面とマスター担体１００の凸部表面の軟磁性層５側の面とを密着させ、スレーブ媒体７のトラック方向に初期直流磁界Ｈｉｎとは逆方向の転写用磁界Ｈｄｕを印加して磁気転写を行う。
【００３６】
その結果、図２（ｃ）に示すように、スレーブ媒体７の磁気記録層７ｂにはマスター担体１００の凹凸パターンに応じた情報（例えばサーボ信号）が磁気的に転写記録される。ここでは、スレーブ媒体７の下側記録層７ｂへの下側マスター担体１００による磁気転写について説明したが、スレーブ媒体７の上側記録再生面７ｃについても上側マスター担体２００と密着させて同様に磁気転写を行う。なお、スレーブ媒体７の上下記録再生面７ｃ、７ｂへの磁気転写は同時になされてもよいし、片面ずつ順次なされてもよい。
【００３７】
また、マスター担体１００の凹凸パターンが図２のポジパターンと逆の凹凸形状のネガパターンの場合であっても、初期磁界Ｈｉｎの方向及び転写用磁界Ｈｄｕの方向を上記と逆方向にすることによって同様の情報を磁気的に転写記録することができる。なお、初期直流磁界及び転写用磁界は、スレーブ媒体の保磁力、マスター担体及びスレーブ媒体の比透磁率等を勘案して定められた値を採用する必要がある。
【００３８】
次に、製造されたマスター担体１００の中からスレーブ媒体７との密着性が良好であるものを選別するための密着性評価方法及びそのために用いられる密着性評価装置について説明する。
図３は本発明に係る密着性評価装置の全体の構成例を示すブロック図である。図４（ａ）は図３に示す密着性評価装置の測定部の構成例を示す斜視図、図４（ｂ）は同じく側面図である。
【００３９】
この密着性評価装置３００は、互いに密着させた状態のスレーブ媒体７及びマスター担体１００を所定位置に保持しつつ中心軸（鉛直軸）Ｙ回りに回転させる回転駆動手段としての回転機構３１０と、その所定位置に保持されたスレーブ媒体７及びマスター担体１００の非圧着面側にそれぞれ対向して配置された一対の測距手段としての光学測距器３０１、３０２と、両光学測距器３０１、３０２を同時に回転半径方向Ｘに移動させる移動手段としての移動機構３２０と、これら回転機構３１０、光学測距器３０１、３０２、及び移動機構３２０を駆動制御して、周方向における厚さ方向の形状変化量（以下、変化量ともいう）ｄの測定を行う制御手段としての測定制御部３３０と、測定制御部３３０による測定結果に基づいて、スレーブ媒体７とマスター担体１００との密着度を評価する評価手段としての評価部３４０とを備えている。
【００４０】
光学測距器３０１、３０２は、例えばレーザ変位計（キーエンス社製  ＬＣ２４３０）等を用いることができるが、この他にも、超音波距離センサや静電容量型の変位センサ、レーザ光干渉を利用した変位センサ等を用いることができる。また、スレーブ媒体７やマスター担体１００の表面を傷つけない程度のものであれば、接触式の変位センサを用いることもできる。
回転機構３１０は、中心軸Ｙ回りに回転駆動される回転軸３１１を備えており、この回転軸３１１の上端部にスレーブ媒体７及びマスター担体１００を、マスター担体１００側を下にして同軸状に保持している。
【００４１】
測定制御部３３０は、回転機構３１０によりスレーブ媒体７及びマスター担体１００を回転させつつ、両光学測距器３０１、３０２によりスレーブ媒体７までの距離Ｌ１とマスター担体１００までの距離Ｌ２とを同時に測定する。そして、両距離Ｌ１、Ｌ２の差（＝Ｌ１−Ｌ２）を、周方向における厚さ方向の形状の変化量ｄとして求める（図５参照）。この処理を順次半径を変えて実施する。
【００４２】
変化量ｄは、主にマスター担体１００の反りや表面のうねりなどに起因する変化量であり、マスター担体１００の理想形状からのずれに伴うスレーブ媒体７との密着不良の度合いを示すものである。従って、マスター担体１００の形状が理想形状（完全に平坦な形状）に近い程、変化量ｄは０に近くなる。マスター担体１００に対するスレーブ媒体７の密着不良の形態には、図６（ａ）に示す低次のものから、図６（ｂ）に例示する高次のものがある。
【００４３】
評価部３４０は、この変化量ｄが許容量を超えたならば、そのマスター担体１００はスレーブ媒体７と均一に密着しないものと評価する。この変化量ｄの測定には、測定途中で許容量を超えた場合に、未測定部分が残っていても測定を中止することで測定時間の短縮化が図られる。一方、全ての半径において許容量以下であった場合、そのマスター担体１００はスレーブ媒体７と均一に密着するものと評価する。そして、その旨を所定の色のランプを点灯させることにより報知する。図示の例では、密着良の場合は良品であることを示す青色ＬＥＤ３４１を点灯させる。また、密着不良の場合は不良品であることを示す赤色ＬＥＤ３４２を点灯させるものとしている。許容量は１μｍに設定されている。
【００４４】
図７は密着性評価装置３００の動作例を示すフローチャートである。
評価作業者は、評価を行うに際し、評価対象であるマスター担体１００の磁性層５にスレーブ媒体７を重ねて、回転軸３１１の上端部にセットする。このとき、スレーブ媒体７は図示しない押圧装置によりマスター担体１００の表面に圧着させた状態になっている。そして、密着性評価装置３００の図示しない測定開始スイッチをオンにする。
【００４５】
密着性評価装置３００は、測定開始スイッチがオンにされると（Ｓ１）、回転機構３１０の回転軸３１１を回転させ始めるとともに（Ｓ２）、移動機構３２０を作動させて、両光学測距器３０１、３０２を待機位置から初期位置である最も内側のトラックの半径位置に移動させる（Ｓ３）。
【００４６】
その後、両光学測距器３０１、３０２による距離Ｌ１、Ｌ２の測定を開始し（Ｓ４）、所定周期毎に両距離Ｌ１、Ｌ２の差（＝Ｌ１−Ｌ２）、即ち周方向における厚さ方向の形状の変化量ｄを算出し（Ｓ５）、その値をメモリ３３１に記録していく（Ｓ６）。そして、１周分の測定が完了したら（Ｓ７）、両光学測距器３０１、３０２による測定を一旦停止して（Ｓ８）、メモリ３３１に記録された変化量ｄの最大値（最大変化量）ｄｍａｘと許容量である１μｍとの比較を行う（Ｓ９）。その結果、最大変化量ｄｍａｘが１μｍを超えていたら（Ｓ１０）、そのマスター担体１００はスレーブ媒体７と均一に密着しないものと評価し、赤色ＬＥＤ３４２を点灯させて不良品であることを報知する（Ｓ１１）。その後、回転機構３１０の駆動を停止するとともに（Ｓ１２）、移動機構３２０を作動させて両光学測距器３０１、３０２を待機位置に戻した後（Ｓ１３）、メモリ３３１をリセットして（Ｓ１４）、ステップＳ１に戻る。
【００４７】
一方、最大変化量ｄｍａｘが１μｍ以下であれば（Ｓ１０）、未測定のトラックがあるか否かを判断する（Ｓ１５）。未測定のトラックがあれば（Ｓ１５）、メモリ３３１をリセットした後（Ｓ１６）、移動機構３２０を作動させて両光学測距器３０１、３０２を１つ内側のトラックの半径位置に移動させる（Ｓ１７）。その後、ステップＳ４に戻り、それ以降の動作を繰り返す。最大変化量ｄｍａｘが１μｍ以下であり未測定のトラックがある限り（Ｓ１０でＹｅｓ且つＳ１５でＹｅｓ）、この動作が繰り返される。
【００４８】
最後のトラックの半径位置まで最大変化量ｄｍａｘと１μｍとの比較を行った結果、いずれも最大変化量ｄｍａｘが１μｍ以下であれば（Ｓ１０でＹｅｓ且つＳ１５でＮｏ）、そのマスター担体１００はスレーブ媒体７と均一に密着するものと評価し、青色ＬＥＤ３４１を点灯させて良品であることを報知する（Ｓ１８）。そして、回転機構３１０の駆動を停止させ（Ｓ１２）、移動機構３２０を作動させて両光学測距器３０１、３０２を待機位置に戻し（Ｓ１３）、メモリ３３１をリセットした後（Ｓ１４）、ステップＳ１に戻り測定を終了させる。
【００４９】
上記のように構成された密着性評価装置３００によれば、スレーブ媒体７とマスター担体１００とを互いに密着させた状態で密着性の評価を行うことができるので、マスター担体１００がスレーブ媒体７と均一に密着するものであるか否かを正確に評価できる。
【００５０】
また、青色ＬＥＤ３４１と赤色ＬＥＤ３４２のどちらが点灯したかを確認するだけで、そのときの評価対象であるマスター担体１００が良品であるか不良品であるかを容易に知ることができるので、青色ＬＥＤ３４１が点灯した、即ちスレーブ媒体７との密着性が良好であると評価されたマスター担体１００のみを効率良く選別することができる。
【００５１】
なお、上記の実施形態では、光学測距器３０１、３０２による測定開始位置を最も内側のトラックの半径位置とし、１周分の測定が完了し、そのときの変化量ｄが許容量以下であったら、１トラックずつ外側のトラックの半径位置に測定位置を移動させるようにしたが、これとは反対に、測定開始位置を最も外側のトラックの半径位置とし、１トラックずつ内側のトラックの半径位置に測定位置を移動させるようにしてもよい。
【００５２】
また、上記の実施形態では、１周分の変化量ｄを一旦メモリ３３１に記録し、そのうちの最大変化量ｄｍａｘと許容量とを比較するようにしたが、変化量ｄを算出する都度、その値と許容量とを比較し、変化量ｄが許容量を超えた場合には、直ちに不良品と判断するようにしてもよい。この場合、メモリ３３１は省略できる。
【００５３】
また、上記の実施形態では、マスター担体１００が良品であるか否かを所定の色のランプを点灯させることにより報知するようにしたが、ランプの点灯の代わりにブザー音などの音声で報知するようにしてもよい。
【００５４】
上記のように評価されたマスター担体によれば、スレーブ媒体との良好な密着性を確保して、スレーブ媒体に磁気転写された信号のトラック１周当たりの出力のばらつき（信号振幅強度のばらつき：モジュレーション）を５％以下に抑えることができ、例えばサーボフォローイング性能に影響を及ぼさない十分な品質で、磁気転写することが可能となる。また、本密着性評価方法では、転写工程における外部から荷重をかけてマスター担体とスレーブ媒体とを密着させた状態ではなく、荷重を除いた後の密着状態を評価しているので、双方間のスペーシングが増加して、歪みを高感度で検出でき、高精度の密着性評価が可能となる。
なお、スレーブ媒体７の代わりに、剛性及び平面度が高い平面基盤としての評価用平板、例えばスレーブ媒体７と剛性及び平面度が等しい評価用平板を用いて評価を行うようにしてもよい。その際、評価用平板として、例えばスレーブ媒体７の基板７ａ（図１参照）を使用することができる。ここで、平面度はλ／１０（λ：可視光の波長  ４００〜７００ｎｍ）以内、平行度は５秒以内、剛性率は２４〜３１ＧＰａとすることが好ましく、上述の効果が顕著に奏される。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る磁気転写用マスター担体と、それによって磁気転写されるスレーブ媒体との斜視図である。
【図２】磁気記録媒体への磁気転写方法の基本手順を表す説明図である。
【図３】本発明に係る密着性評価装置の全体の構成例を示すブロック図である。
【図４】（ａ）は図３に示す密着性評価装置の測定部の構成例を示す斜視図、（ｂ）は側面図である。
【図５】スレーブ媒体をマスター担体の磁性層に密着させた状態での周方向における厚さ方向の形状の変化量ｄについての説明図である。
【図６】マスター担体に対するスレーブ媒体の密着不良の形態を誇張して示した側面図であり、（ａ）は低次の密着不良を、（ｂ）は高次の密着不良をそれぞれ示している。
【図７】図３に示す密着性評価装置の動作例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５６】
５  磁性層
７  スレーブ媒体
１００，２００  マスター担体
３００  密着性評価装置
３０１，３０２  光学測距器（測距手段）
３１０  回転機構（回転駆動手段）
３２０  移動機構
３３０  測定制御部（制御手段）
３４０  評価部（評価手段）
ｄ  変化量
Ｙ  中心軸
Ｌ１  距離
Ｌ２  距離
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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