(57)【要約】【課題】波長依存性を持つ受光素子を用いて光パワーを測定する光パワー測定装置の波長感度補正を広い波長範囲にわたって高確度に実行する。【解決手段】校正された光パワーを用いて複数の波長の校正データＣλ１、Ｃλ２、Ｃλ３を得ると共に、或る校正波長λ１を基準とする波長感度補正データ列ｅλｎ１を用意し、被測定光の波長に応じて、この被測定光の波長に最も近い波長を持つ校正波長λ１，λ２又はλ３を選択し、選択した校正波長の校正データと、選択した校正波長を基準とする波長感度補正データ列又は補正係数とにより各校正波長近傍の波長の光パワーを高確度に測定する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の波長を校正波長と定め、これら各校正波長毎に校正された光パワーを持つ光の光パワーを測定して求めた複数の校正データと、上記複数の校正波長の中の特定した波長を基準波長と定め、この基準波長の値を基準に受光素子の波長感度特性を正規化して求めた波長感度補正データ列とを具備し、
上記基準波長と定めた波長乃至はその近傍の波長を持つ被測定光の光パワーを測定する場合は、その測定値を上記波長感度補正データ列のデータ値と上記基準波長と定めた波長の校正データとを用いて感度補正して表示値を算出し、他の校正波長乃至はその近傍の波長の被測定光の光パワーを測定する場合は、上記波長感度補正データ列を上記他の校正波長を基準とする波長感度補正データ列に修正し、修正された波長感度補正データと、その校正波長の校正データとを用いて感度補正を施し、表示値を算出することを特徴とする光パワー感度補正方法。
【請求項２】
請求項１記載の光パワー感度補正方法において、上記感度補正データ列の各データの値をｅλn１、上記基準波長における感度補正データ列のデータの値をｅλ1、上記他の校正波長における上記感度補正データ列上のデータの値をｅλ2とした場合、他の校正波長を基準とする波長感度補正データ列の各データの値ｅλn2はｅλn2＝ｅλn1（ｅλ1／ｅλ2）により算出することを特徴とする光パワー感度補正方法。
【請求項３】
請求項１又は２記載の光パワー測定方法の何れかにおいて、上記感度補正データ列の各データの値をｅλn1、上記基準波長における感度補正データ列のデータの値をｅλ1、上記他の校正波長の感度補正データ列上のデータの値をｅλ2、上記他の校正波長の校正値をＣλ２、上記他の校正波長乃至この校正波長近傍の波長を持つ被測定光を受光して得られた電流値をＩmとした場合、受光素子の波長依存性により生じる感度特性を補正した光パワーの値ＰC2はＰC2＝Ｉm／Ｃλ２・ｅλn2で算出することを特徴とする光パワー感度補正方法。
【請求項４】
複数の波長を校正波長と定め、これら各校正波長毎に校正された光パワーを持つ光の光パワーを測定して求めた複数の校正値と、上記複数の校正波長の中の特定した波長を基準波長と定め、この基準波長の値を基準に受光素子の波長感度特性を正規化して求めた波長感度補正データ列とを具備し、
上記基準波長と定めた波長乃至はその近傍の波長を持つ被測定光の光パワーを測定する場合は、その測定値を上記波長感度補正データ列のデータ値と上記基準波長と定めた波長の校正値とを用いて感度補正して表示値を算出し、他の校正波長乃至はその近傍の波長の被測定光の光パワーを測定する場合は、上記波長感度補正データ列の中の上記基準波長における波長感度補正データ値及び上記他の校正波長における波長感度補正データ値との比によって求められる補正係数と、上記感度補正データ列と、上記他の校正波長における校正値とを用いて感度補正を施し、表示値を算出することを特徴とする光パワー感度補正方法。
【請求項５】
Ａ．複数の波長を校正波長と定め、これら各校正波長毎に校正された強度を持つ光を測定して求めた複数の校正データを格納した校正データ記憶部と、
Ｂ．上記複数の校正波長の中の特定した波長を基準波長と定め、この基準波長と定めた校正波長の校正データ値を基準に受光素子の波長感度特性を正規化して求めた波長感度補正データ列を記憶した波長感度補正データ記憶部と、
Ｃ．上記校正データ記憶部に記憶した複数の校正データの中のどの校正データを用いるかを設定する校正データ指定手段と、
Ｄ．被測定光を受光し、光電変換電流を出力する受光素子と、
Ｅ．上記校正データ指定手段で指定した校正データと、上記感度補正データ記憶部に記憶した波長感度補正データ列とを用い、上記校正データ指定手段で指定した校正データが  上記基準波長と定めた波長の校正データである場合は上記波長感度補正データ記憶部に  記憶した波長感度補正データ列と上記指定した校正データにより上記光電変換電流の値  を感度補正し、他の校正波長の校正データである場合は上記波長感度補正データ列を該当する校正波長を基準とする波長感度補正データ列に修正し、修正された波長感度補正データ列を用いて上記光電変換電流に対して感度補正を施す補正演算手段と、
Ｆ．この補正演算手段で補正した値を光パワー測定値として表示する表示器と、
によって構成したことを特徴とする光パワー測定装置。
【請求項６】
Ａ．複数の波長を校正波長と定め、これら各校正波長毎に校正された強度を持つ光を測定して求めた複数の校正データを格納した校正データ記憶部と、
Ｂ．上記複数の校正波長の中の特定した波長を基準波長と定め、この基準波長と定めた校正波長の校正データ値を基準に受光素子の波長感度特性を正規化して求めた波長感度補正データ列を記憶した波長感度補正データ記憶部と、
Ｃ．上記校正データ記憶部に記憶した複数の校正データの中のどの校正データを用いるかを設定する校正データ指定手段と、
Ｄ．被測定光を受光し、光電変換電流を出力する受光素子と、
Ｅ．上記校正データ指定手段で指定した校正データと、上記感度補正データ記憶部に記憶した波長感度補正データ列とを用い、上記校正データ指定手段で指定した校正データが  上記基準波長と定めた波長の校正データである場合は上記波長感度補正データ記憶部に  記憶した波長感度補正データ列と上記指定した校正データにより上記光電変換電流の値を感度補正し、他の校正波長の校正データである場合は、上記波長感度補正データ列の中の基準波長における波長感度補正データの値と、上記波長感度補正データ列の中の現在選択されている校正波長における波長感度補正データの値との比によって求められた補正係数と、上記波長感度補正データ列と、選択された校正波長における校正データとを用いて上記光電変換電流に対して感度補正を施す補正演算手段と、
Ｆ．この補正演算手段で補正した値を光パワー測定値として表示する表示器と、
によって構成したことを特徴とする光パワー測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は各種の光源の光パワーを測定する場合に適用して好適な光パワー感度補正方法及びこの光パワー感度補正方法を用いて動作する光パワー測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より例えばフォトダイオードを受光素子として用い、この受光素子で被測定光を受光し、その光電変換電流の値を表示器に光パワーとして表示する光パワー測定装置が広く用いられている。
光パワー測定装置での問題点は受光素子が出力する光電変換電流の値に波長依存性を持つ点にある。つまり、例えば図１０に示すように、波長λに対して光電変換電流Ｉmは感度特性を有し、この感度特性の存在によって各波長における光パワーの値を受光素子の光電変換電流Ｉmの値をもって一義的に決定し、表示することはできない。
このため、一般には予め校正された光パワーを持つ校正用の標準光を用いて感度補正を施し、感度補正された光パワー測定器によって標準値との対応がとれた測定値が得られるように構成されている。
【０００３】
従来から用いられている感度補正方法には大別して以下の２通りの方法がある。
１．予め定められた波長λ１，λ２，λ３を校正波長と定め、この校正波長λ１，λ２，λ３の光を出射する標準光源を用意し、この標準光源が出射する光を利用して測定値を校正し感度を補正する方法と、
２．波長λ１の測定値を標準光源を用いて校正すると共に測定可能範囲の受光素子の感度特性を測定し、標準光源を用いて校正した校正値を受光素子の感度特性を利用して感度特性を打消す補正を施す感度補正方法とがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した１．の方法によれば、校正された波長λ１，λ２，λ３の波長を持つ被測定光を測定する場合は各波長λ１，λ２，λ３の測定値は確度は高いが、その他の波長の測定値に関しては確度が低下し、信頼性は低い。
また、２．の校正方法でも校正した波長λ１と同一の波長又はその近傍の波長に対する確度は高いものの、校正した波長λ１から離れた波長に対しては確度が低下する欠点がある。
従って、従来の光パワー測定に用いる校正方法は測定範囲内の全ての波長に対して確度の高い測定結果を得ることができない欠点がある。
この発明の目的は測定範囲内の全ての波長に対して確度の高い測定結果を得ることができる光パワー感度補正方法及びこの感度補正方法を用いた光パワー測定装置を提案しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明の請求項１では複数の波長を校正波長と定め、これら各校正波長毎に校正された光パワーを持つ光の光パワーを測定して求めた複数の校正データと、複数の校正波長の中の特定した波長を基準波長と定め、この基準波長の値を基準に受光素子の波長感度特性を正規化して求めた波長感度校正データ列とを具備し、基準波長と定めた波長乃至はその近傍の波長を持つ被測定光の光パワーを測定する場合は、その測定値を波長感度補正データ列のデータ値と基準波長と定めた波長の校正データとを用いて感度補正して表示値を算出し、他の校正波長乃至はその近傍の波長の被測定光の光パワーを測定する場合は、波長感度補正データ列を上記他の校正波長を基準とする波長感度補正データ列に修正し、修正された波長感度補正データと、その校正波長の校正データとを用いて感度補正を施し、表示値を算出することを特徴とする光パワー感度補正方法を提案する。
【０００６】
この発明の請求項４では複数の波長を校正波長と定め、これら各校正波長毎に校正された光パワーを持つ光の光パワーを測定して求めた複数の校正値と、上記複数の校正波長の中の特定した波長を基準波長と定め、この基準波長の値を基準に受光素子の波長感度特性を正規化して求めた波長感度補正データ列とを具備し、上記基準波長と定めた波長乃至はその近傍の波長を持つ被測定光の光パワーを測定する場合は、その測定値を上記波長感度補正データ列のデータ値と上記基準波長と定めた波長の校正値とを用いて感度補正して表示値を算出し、他の校正波長乃至はその近傍の波長の被測定光の光パワーを測定する場合は、上記波長感度補正データ列の中の上記基準波長における波長感度補正データ値及び上記他の校正波長における波長感度補正データ値との比によって求められる補正係数と、上記感度補正データ列と、上記他の校正波長における校正値とを用いて感度補正を施し、表示値を算出することを特徴とする光パワー感度補正方法を提案する。
【０００７】
この発明の請求項５では複数の波長を校正波長と定め、これら各校正波長毎に校正された光強度を持つ光パワーを測定して求めた複数の校正データを格納した校正データ記憶部と、複数の校正波長の中の特定した波長を基準波長と定め、この基準波長と定めた校正波長の校正データ値を基準に受光素子の波長感度特性を正規化して求めた波長感度補正データ列を記憶した波長感度補正データ記憶部と、校正データ記憶部に記憶した複数の校正データの中のどの校正データを用いるかを設定する校正データ指定手段と、被測定光を受光し、光電変換電流を出力する受光素子と、校正データ指定手段で指定した校正データと、上記感度補正データ記憶部に記憶した波長感度補正データ列とを用い、校正データ指定手段で指定した校正データが基準波長と定めた波長の校正データである場合は波長感度補正データ記憶部に記憶した波長感度補正データ列と指定した校正データにより上記光電変換電流の値を感度補正し、他の校正波長の校正データである場合は上記波長感度補正データ列を該当する校正波長を基準とする波長感度補正データ列に修正し、修正された波長感度補正データ列を用いて上記光電変換電流に対して感度補正を施す補正演算手段と、この補正演算手段で補正した値を光パワー測定値として表示する表示器と、によって構成した光パワー測定装置を提案する。
【０００８】
この発明の請求項６では複数の波長を校正波長と定め、これら各校正波長毎に校正された強度を持つ光を測定して求めた複数の校正データを格納した校正データ記憶部と、上記複数の校正波長の中の特定した波長を基準波長と定め、この基準波長と定めた校正波長の校正データ値を基準に受光素子の波長感度特性を正規化して求めた波長感度補正データ列を記憶した波長感度補正データ記憶部と、上記校正データ記憶部に記憶した複数の校正データの中のどの校正データを用いるかを設定する校正データ指定手段と、被測定光を受光し、光電変換電流を出力する受光素子と、上記校正データ指定手段で指定した校正データと、上記感度補正データ記憶部に記憶した波長感度補正データ列とを用い、上記校正データ指定手段で指定した校正データが  上記基準波長と定めた波長の校正データである場合は上記波長感度補正データ記憶部に  記憶した波長感度補正データ列と上記指定した校正データにより上記光電変換電流の値を感度補正し、他の校正波長の校正データである場合は、上記波長感度補正データ列の中の基準波長における波長感度補正データの値と、上記波長感度補正データ列の中の現在選択されている校正波長における波長感度補正データの値との比によって求められた補正係数と、上記波長感度補正データ列と、選択された校正波長における校正データとを用いて上記光電変換電流に対して感度補正を施す補正演算手段と、この補正演算手段で補正した値を光パワー測定値として表示する表示器とによって構成したことを特徴とする光パワー測定装置を提案する。
【発明の効果】
【０００９】
この発明の請求項１、４及び５、６で提案した光パワー感度補正方法及びこの光パワー感度補正方法を利用して動作する光パワー測定装置によれば、複数の校正データと、或る校正波長を基準波長と定め、この基準波長の感度補正データを基準として正規化した感度補正データ列を用意し、基準波長と同一の波長の被測定光の光パワーを測定するか又はその近傍の波長の光の光パワーを測定する場合は用意した感度補正データ列と基準波長の校正データを利用して感度補正を施し、その他の波長の校正波長乃至その近傍の波長の被測定光の光パワーを測定する場合は、波長感度補正データ列を該当する補正波長を基準とする波長感度校正データ列に修正し、修正された波長感度補正データ列を用いて感度補正を施すから、各校正波長の近傍の波長の測定値の確度を高めることができる。従って、測定波長領域内に設定する校正波長の数と校正波長の間隔を適当に選択することにより校正波長の相互の間の測定値の確度を所定の状態に維持することができ、測定波長領域の全体の測定確度を所定の状態に維持することができる利点が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
測定波長領域内の複数の波長を校正波長と定め、これら各校正波長毎に校正された光強度を持つ光の光パワーを測定して求めた複数の校正データと、
更に、複数の校正波長の中の特定した波長を基準波長と定め、この基準波長と定めた校正波長の校正データの値を基準に受光素子の波長感度特性を正規化して求めた波長感度補正データ列とを用意し、
基準波長と定めた波長乃至はその近傍の波長を持つ被測定光の光パワーを測定する場合は、その測定値を波長感度補正データ列のデータ値と基準波長と定めた波長の校正データとを用いて感度補正して表示値を算出し、他の校正波長乃至はその近傍の波長の被測定光の光パワーを測定する場合は、波長感度データ列を該当する校正波長を基準とする波長感度補正データ列に修正し、修正された波長感度補正データ列と、その校正波長の校正データとを用いて感度補正を施し、表示値を算出する。
【００１１】
感度補正データ列の各データの値をｅλn1、基準波長における波長感度補正データ列のデータの値をｅλ1、他の校正波長における感度補正データ列上のデータ値をｅλ2とした場合、他の校正波長を基準とする波長感度補正データ列のデータの値ｅλn2はｅλ1とｅλ2との比で求められる補正係数（ｅλ1／ｅλ2）を用いてｅλn2＝ｅλn1・（ｅλ1／ｅλ2）により算出する。
感度補正データ列の各データの値をｅλn1、基準波長における波長感度補正データ列のデータの値をＣλ１、基準波長乃至基準波長近傍の波長を持つ被測定光を受光して得られた電流値をＩmとした場合、受光素子の波長依存性により生じる感度特性を補正した光パワーＰCはＰC＝Ｉm／（ｅλn1・Ｃλ１）で算出する。
感度補正データ列の各データの値をｅλn1、基準波長における感度補正データ列のデータの値をｅλ1、他の校正波長を基準とする感度補正データ列のデータの値をｅλn2、他の校正波長の校正データの値をＣλ２、他の校正波長乃至この校正波長近傍の波長を持つ被測定光を受光して得られた電流値をＩmとした場合、受光素子の波長依存性により生じる感度特性を補正した光パワーの値ＰC2はＰC2＝Ｉm／（ｅλn2・Ｃλ２）で算出する。
【００１２】
この発明による光パワー測定装置は複数の波長を校正波長と定め、これら各校正波長毎に校正された光強度を持つ光パワーを測定して求めた複数の校正データを格納した校正データ記憶部と、複数の校正波長の中の特定した波長を基準波長と定め、この基準波長と定めた校正波長の校正データ値を基準に受光素子の波長感度特性を正規化して求めた波長感度補正データ列を記憶した波長感度補正データ記憶部と、校正データ記憶部に記憶した複数の校正データの中のどの校正データを用いるかを設定する校正データ指定手段と、
被測定光を受光し、光電変換電流を出力する受光素子と、
校正データ指定手段で指定した校正データと、上記感度補正データ記憶部に記憶した波長感度補正データ列とを用い、校正データ指定手段で指定した校正データが基準波長と定めた波長の校正データである場合は波長感度補正データ記憶部に記憶した波長感度補正データ列と指定した校正データにより光電変換電流の値を感度補正し、他の校正波長の校正データである場合は波長感度補正データ列を該当する校正波長を基準とする波長感度補正データ列に修正し、修正された波長感度補正データ列を用いて光電変換電流に対して感度補正を施す補正演算手段と、
この補正演算手段で補正した値を光パワー測定値として表示する表示器とによって構成される。
【実施例１】
【００１３】
図１を用いて光パワー測定装置の概略の構成を説明する。図中１０はセンサ部、２０は光パワー測定装置本体を示す。センサ部１０はグリップ部１１と、このグリップ部１１から突出した平帯状の延長板１２と、この延長板１２の先端に埋め込まれた受光器１３とによって構成される。
受光器１３はスライダ１２Ａで遮光できる構造とされ、遮光状態で受光器１３の暗電流を測定する。受光器１３は例えばフォトダイオードのような受光素子を用いることができる。受光器１３に被測定光を照射し、その光電変換電流をケーブル１４で光パワー測定装置本体２０に送り込み、光電変換電流の値に応じた光パワー値を表示器２１に表示する。
図２にこの発明による光パワー感度補正方法を適用して動作する光パワー測定装置の一実施例を示す。この発明による光パワー感度補正方法ではセンサ部１０に装備する受光器１３に用いる受光素子固有の校正データと、波長感度補正データ列とを具備し、これら校正データと波長感度補正データ列を用いて各受光器１３に用いる受光素子１３Ａの波長感度の個体差を補正し、どの光パワー測定装置で測定しても、同一の波長で同一の光パワーの被測定光に対しては同一の測定結果が得られるように波長感度補正を施す。
【００１４】
この実施例ではセンサ部１０に校正データ記憶部１６と波長感度補正データ記憶部１７とを設けた場合を示す。これらの校正データ記憶部１６と波長感度補正データ記憶部１７は例えば不揮発メモリで構成することができ、図１に示したセンサ部１０のグリップ部１１の内部に格納することができる。
校正データとは予め所定の強度に校正された基準光源から出射された光を光パワー測定装置に用いる受光素子１３Ａで受光し、その光電変換電流値を測定し、その電流値を校正データとして記憶する。基準光源はここでは複数の波長の基準光源を用意し、複数の波長のそれぞれに関して校正データを求める。基準光源が出射する光の波長をここでは校正波長と称し、この実施例では図３に示すように校正波長λ１，λ２，λ３における校正データＣλ１，Ｃλ２，Ｃλ３を求めた場合を示す。尚、校正波長の数は３つに限るものではなく２つ以上の任意の数に選定される。
【００１５】
波長感度補正データ列とはこの実施例では光パワー測定器に組み込まれた受光素子１３Ａの波長感度特性を或る波長の校正波長を基準にして測定し、その測定で得られた波長感度特性を表わすデータ列を校正波長における測定値で正規化し、校正波長における値を「１．００」とする比の値で表わしたデータ列を指す。
図３に示す曲線Ａは校正波長λ１を基準値として求めた波長感度補正データ列の各データの値をプロットした曲線を表わす。
受光器１３の受光素子１３Ａには光パワー測定装置本体２０に設けたバイアス電源２２からバイアス電圧が印加され、このバイアス電圧により、受光部に光を受光すると、その受光の光量に応じた光電変換電流を出力する。この光電変換電流は光パワー測定装置本体２０に設けた電流−電圧変換回路２３で電圧信号に変換される。
【００１６】
電流−電圧変換回路２３で変換された電圧信号は必要に応じてバッファ増幅器２４Ａで増幅され、その増幅された電圧信号をアナログ−デジタル変換器２５に入力し、デジタル値に変換する。アナログ−デジタル変換器２５でデジタル値に変換された測定値はマイクロコンピュータ２６に入力され、マイクロコンピュータ２６に備えた演算手段２６０で感度補正され、感度補正された測定値が表示器駆動回路２７を通じて表示器２１に入力され、表示器２１に感度補正された測定値を表示する。
マイクロコンピュータ２６には入力手段２８と外部メモリ２９Ａ，２９Ｂとが接続される。入力手段２８は操作パネルに設けられた押釦スイッチ等で構成され、各種の設定値の入力、モードの切替等に利用される。外部メモリ２９Ａ，２９Ｂは揮発メモリと、不揮発メモリとで構成される。揮発メモリ２９Ａは測定値を記憶したり、感度補正途中のデータの一時記憶等に利用される。また不揮発メモリ２９Ｂは例えば演算手段２６０を構成する補正演算プログラム等を格納し、起動時にマイクロコンピュータ２６に備えたＲＡＭに読み込んで実行される。尚、ＡＮＬはアナログ出力端子、ＵＳＢは感度補正をしたデジタル値の出力端子を示す。
【００１７】
演算手段２６０は
Ａ．データ読込手段２６１
Ｂ．校正波長変更手段２６２
Ｃ．測定波長設定手段２６３
Ｄ．演算モード選択手段２６４
Ｅ．各モードの演算手段２６５
Ｆ．測定電流読取手段２６６
Ｇ．補正演算手段２６７
とを具備している。
データ読込手段２６１は起動時にセンサ部１０に設けた校正データと波長感度補正データ列の読込を実行する。
校正波長変更手段２６２は被測定光の波長を入力することに用いられる。被測定光の波長を入力した場合、その波長にもっとも近い校正波長を自動的に選択するように構成することもできる。
演算モード選択手段２６４は被測定光の波長の条件により波長感度補正演算のモードが多岐に分岐するので、その分岐条件を決定する動作を実行する。
【００１８】
各モードの演算手段２６５は上記した演算モード選択手段２６４で選択した分岐指令に従って、被測定光の条件に合致した波長感度補正の演算を実行する。
測定電流読取手段２６６は波長感度補正演算が実行されて感度補正係数が算出された時点で受光器１３で受光している被測定光の光電変換電流の値をアナログ−デジタル変換器２５から読み込む動作を実行する。
補正演算手段２６７は各モードの演算手段２６５が算出した感度補正係数を用いて測定して求めた光電変換電流の値を補正し、表示器２１に波長感度補正された光パワーの値を表示するための補正演算を実行する。
【００１９】
以下に各部の動作をこの発明の波長感度補正方法と共に詳細に説明する。
図４に示すｅλn1は校正波長λ１を基準として求めた波長感度補正データ列を示す。このデータ列では補正波長λ１が６００ｎｍ（ナノメートル）でその波長感度補正データの値ｅλ1はｅλ1＝１．００に正規化されている場合を示す。このデータ列ｅλn1がセンサ部１０の不揮発メモリ１７に記憶されている。校正波長λ１に合致している波長の被測定光の光パワーを測定する場合は、この波長感度補正データ列ｅλn1とｅλ1と校正データとＣλ１（図３参照）を用いて測定値の感度補正を施す。その感度補正係数とＫn1はＫn1＝Ｃλ１・ｅλ1で求められ、被測定光を受光して測定した光電変換電流の値がＩmであった場合、感度補正された測定値（表示する値）Ｗ１＝Ｉm／Ｋn1で求められる。
尚、被測定光の波長が波長感度補正データ列にデータが存在しない波長の場合は、その測定する被測定光の波長に対応した波長感度補正データの波長感度補正データの値を波長感度補正データ列から補間法により求め、補間法によって求めた波長感度補正データの値を用いて感度補正係数を求めることができる。
【００２０】
次に、校正波長λ２の波長の被測定光の光パワー又はその近傍の波長の被測定光の光パワーを測定する場合は波長感度補正データ列ｅλn1を校正波長λ２を基準とする波長感度補正データ列ｅλn2に修正するか、又は補正係数を修正する必要がある。
ここではデータ列を修正する場合を例示して説明する。
この修正は波長感度補正データ列ｅλn1の中の校正波長λ２における補正値ｅλ2で他の波長の波長感度補正データの値ｅλn1を正規化して求める。つまり図４に示す例では修正された波長感度補正データｅλn2をｅλn2＝ｅλn1／ｅλ2で求めた場合を示す。この修正により校正波長λ２の波長感度補正データの値は「１．００」に正規化され、他の波長の波長感度補正データ値もｅλn1／ｅλ2つまり、図４に示す例では（ｅλn1／０．７）で正規化される。
【００２１】
校正波長λ２を用いる場合も、校正波長λ２と同一の波長の被測定光の光パワーを測定する場合は感度補正係数Ｋn2はＫn2＝Ｃλ２・ｅλn1・（ｅλ1／ｅλ2）で求められる。図４に示す例ではｅλn1＝０．７、ｅλ1＝１．００、ｅλ2＝０．７で求められ、実質的にＫn2＝Ｃλ２と等価になる。
校正波長λ３の波長と同一の波長の被測定光の光パワーを測定する場合、又はその近傍の波長の被測定光の光パワーを測定する場合は校正波長をλ３に設定する。この設定により校正データの値はＣλ３に切替えられる。この場合も、波長感度補正データ列ｅλn1を修正する必要がある。この修正は校正波長λ３の波長感度補正データ列ｅλn1の中の校正波長λ３のｅλ3を基準値とし、この基準値ｅλ3で他の波長のデータ値ｅλn1を正規化すればよい。この正規化により校正波長λ３における修正されたデータ値は「１．００」に正規化され他の波長のデータ値はにｅλn1／ｅλ3（つまりｅλn1／０．９０）に正規化される。
【００２２】
被測定光の波長が校正波長λ３に合致した波長である場合は感度補正係数Ｋn3はＫn3＝Ｃλ３・ｅλn1・（ｅλ1／ｅλ3）で求められる。図４に示す例ではｅλ1＝１．００、ｅλ3＝０．７５である。つまり、被測定光の波長が校正波長ｅλ3と同一である場合は感度補正係数Ｋn3＝Ｃλ３と等価となる。
各モードの波長感度補正演算により感度補正係数Ｋn1又はＫn2或はＫn3が算出されると、マイクロコンピュータ２６はアナログ−デジタル変換器２５から被測定光の光電変換電流の値Ｉmを取り込み（測定電流読取手段２６６の動作）補正演算を実行し、表示すべき光パワーの値Ｗ１又はＷ２或はＷ３を算出する。この補正演算は
Ｗ１＝Ｉm／Ｋn1…（１）
Ｗ２＝Ｉm／Ｋn2…（２）
Ｗ３＝Ｉm／Ｋn3…（３）
となる。尚、Ｉmに受光素子１３Ａの暗電流を含む場合は、その暗電流の値を予め測定しておき、その暗電流の値を減算して（１）〜（３）式を演算する。
【００２３】
（１）、（２）、（３）式で算出された光パワーの値Ｗ１又はＷ２或はＷ３は表示器２１に受光器１３の波長依存性の影響を除した光パワーの値として表示される。
以上の説明から明らかなように、この発明による波長感度補正方法によれば、校正波長を切替える毎に、その校正波長近傍の波長を測定するための波長感度補正データ列を、使用する校正波長を基準に正規化した波長感度補正データ列に修正し、この修正した波長感度補正データ列ｅλn2、ｅλn3を用いて各校正波長近傍の波長の光パワーを測定できる方法としたから、各校正波長の近傍では高い確度の測定結果を得ることができる。
【００２４】
図５を用いて、その様子を説明する。図５に示す各校正波長λ１，λ２，λ３が国家標準との光パワーにトレースしている場合、各波長についてトレーサブルであるといえる。
この発明ではこの確度の高い各校正データの値Ｃλ１，Ｃλ２，Ｃλ３を基準値として、波長感度補正データ列ｅλn1を正規化し、各校正データＣλ２、Ｃλ３毎に波長減度補正データ列ｅλn2、ｅλn3に修正するから各校正波長λ２及びλ３の近傍の波長感度補正データ列の確度も高い。図５に示す曲線Ｂ及びＣはそれぞれ校正データＣλ２とＣλ３を基準値とする波長感度補正データ列ｅλn2、ｅλn3の値をプロットして示した曲線であり、曲線Ａは元々の波長感度補正データ列ｅλn1の値をプロットして示す曲線である。これらの各曲線Ａ，Ｂ，Ｃはそれぞれ、少なくとも曲線Ａは校正データの値Ｃλ１で一致し、曲線Ｂは校正データの値Ｃλ２で一致し、曲線Ｃは校正データの値Ｃλ３で一致する。この結果、各校正波長を中心にその近傍の波長の被測定光の光パワーを測定する場合に、その被測定光の波長にもっとも近い校正データの値と、その校正データの値を基準とする波長感度補正データ列ｅλn1，ｅλn2，ｅλn3を用いることにより、どの校正波長を用いても角度の高い測定結果を得ることができる。
【００２５】
図６乃至図９を用いて上述した演算手段２６０をマイクロコンピュータ２６で実現するためのプログラムの概要をフローチャートにして示す。図６は演算開始初期に実行されるプログラムの部分、図７乃至図９は被測定光の波長の条件に従って分岐して実行される各モードの演算部分とを示す。
図６に示すステップＳＰ１でセンサ部１０から校正データＣλ１，Ｃλ２，Ｃλ３と、波長感度補正データ列ｅλn1とを読み込む。
ステップＳＰ２で使用する校正波長λ0の値が初期設定値λ１でよいか否かを問い合せる。初期設定値λ１でよければステップＳＰ３に進む。初期設定値λ１でなく、他の校正波長を希望する場合はステップＳＰ４に分岐し、希望する校正波長の値を入力し、ステップＳＰ３に進む。
【００２６】
ステップＳＰ３では測定する光の波長のλnの値を入力する。入力が完了すると、使用する校正波長λ0の値に従って分岐先が決定される。
使用する校正波長λ0がλ0＝λ１の場合は（Ａ）、λ0＝λ２の場合は（Ｂ）、λ0＝λ３の場合は（Ｃ）にそれぞれ分岐される。
図７はλ0＝λ１の場合に実行される演算モードの様子を示す。
ステップＳＰ５では波長感度補正データ列ｅλn1の波長λ１の補正データ値ｅλ1と、校正データＣλ１とから測定波長λ１における感度補正係数Ｋn1を求める。
ステップＳＰ６では被測定光の光電変換電流の値Ｉmを読み取る。
ステップＳＰ７では表示値Ｗ１をＷ１＝Ｉm／Ｋn1で算出し、表示器２１に表示し、終了する。
【００２７】
図８は校正波長λ0としてλ２を選択した場合の演算モードを実行するプログラムの概要を示す。
ステップＳＰ８で波長感度補正データ列ｅλn1を校正波長λ２を基準とする波長感度補正データ列ｅλn2に修正する。ここでｅλn2＝ｅλn1・（ｅλ1／ｅλ2）とする。
ステップＳＰ９では修正された感度補正データ列ｅλn2の波長λ２の補正データ値ｅλ2と校正データＣλ２とから測定波長λ２における感度補正係数Ｋn2＝Ｃλ２・ｅλn2を求める。
ステップＳＰ１０では被測定光の光電変換電流の値Ｉmを読み取る。
ステップＳＰ１２では表示値Ｗ２をＷ２＝Ｉm／Ｋn2で算出し、表示器２１に表示する。
図９は使用する校正波長λ0として校正波長λ3を選択した場合の演算モードを実行するプログラムの部分を示す。内容は図８に示した内容とほぼおなじであるからここではその説明を省略する。
【実施例２】
【００２８】
実施例１では基準校正波長λ１以外の校正波長λ２又はλ３の近傍の波長の光パワーを測定する場合、感度補正データ列ｅλn1をそれぞれ他の校正波長λ２及びλ３を基準とする感度補正データ列ｅλn2及びｅλn3に修正したが、必ずしも測定範囲内の全ての波長にわたってデータ列を修正する必要はない。
つまり、被測定光の波長を入力した時点で、その波長に最も近い校正波長を用いるように校正値を選択し、その近傍の感度補正データのみを用意すれば測定が可能となる。このために請求項４及び６では補正係数例えばｅλ1／ｅλ2又はｅλ1／ｅλ3を求め、この補正係数と感度補正データ列ｅλn1と校正値Ｃλ２、Ｃλ３とによって感度補正係数Ｋn2＝Ｃλ２・ｅλn1・（ｅλ1／ｅλ2）及びＫn3＝Ｃλ３・ｅλn1・（ｅλ1／ｅλ3）により測定対象となる波長の感度補正を行う点を請求するものである。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
この発明による光パワー感度補正方法及びこの感度補正方法を用いて動作する光パワー測定装置は例えば発光ダイオード等の各種の光源の光パワーを測定することに利用される。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】光パワー測定装置の概要を説明するための斜視図。
【図２】この発明による光パワー感度補正方法を用いて動作する光パワー測定装置の一実施例を説明するためのブロック図。
【図３】この発明で用いる校正データと波長感度補正データ列を説明するためのグラフ。
【図４】図３に示した校正データと波長感度補正データ列の数値例と、他の校正波長を基準とする波長感度補正データ列に修正したデータ列の数値例を示す図。
【図５】この発明の作用効果を説明するためのグラフ。
【図６】この発明の光パワー感度補正方法を実行するプログラムの概要を説明するためのフローチャート。
【図７】図６の続きを説明するためのフローチャート。
【図８】図６の続きを説明するためのフローチャート。
【図９】図６の続きを説明するためのフローチャート。
【図１０】光パワー測定に用いられる受光素子の波長依存性を説明するためのグラフ。
【符号の説明】
【００３１】
１０      センサ部                        ２６０    演算手段
１１      グリップ部                      ２６１    データ読込手段
１２      延長板                          ２６２    校正波長変更手段
１３      受光器                          ２６３    測定波長設定手段
１６      校正データ記憶部                ２６４    演算モード選択手段
１７      波長感度補正データ列記憶部      ２６５    各モードの演算手段
２０      光パワー測定装置本体            ２６６    測定電流読取手段
２１      表示器                          ２６７    補正演算手段
２２      バイアス電源                    ２５      アナログ−デジタル変換器
２３      電流−電圧変換回路              ２６      マイクロコンピュータ
２４Ａ，２４Ｂ    バッファ増幅器          ２７      表示駆動回路
２８      入力手段
２９Ａ    揮発メモリ
２９Ｂ    不揮発メモリ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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