(57)【要約】【課題】  間隙距離を正確に測定することができる技術を提供すること。【解決手段】  間隙距離測定装置１０は、交流発振回路６０と第１コイル３０と第２コイル５０と第１ＭＩセンサ２０と第２ＭＩセンサ４０と差動増幅回路６２と検波回路６４と平滑回路６６と制御回路６８を有する。  第１ＭＩセンサ２０は、第１コイル３０が発生させる交流磁場内におかれた両鋼板を通過する磁束に起因する磁場強度を検出する。第２ＭＩセンサ４０は、第２コイル５０が発生させる交流磁場の、両鋼板を通過しない磁束に起因する磁場強度を測定する。差動増幅回路６２と検波回路６４と平滑回路６６と制御回路６８によって、両ＭＩセンサ２０，４０で検出された磁場強度の差が特定され、特定された磁場強度の差が間隙距離が特定され、特定された間隙距離が表示される。【選択図】  図２
2005181010.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物体と背後物体との間に存在する間隙の距離を測定する方法であり、
板状物体の表面側から、板状物体と間隙と背後物体と間隙と板状物体と大気を経て板状物体に戻る交流磁束を発生させる工程と、
板状物体の表面側に配置されたＭＩセンサによって、その交流磁束の大きさを検出する工程とを備える間隙距離測定方法。
【請求項２】
板状物体と背後物体との間に存在する間隙の距離を測定する方法であり、
板状物体の表面側から、板状物体と間隙と背後物体と間隙と板状物体と大気を経て板状物体に戻る第１交流磁束を発生させる工程と、
板状物体の表面側に配置されたＭＩセンサによって、第１交流磁束の大きさを検出する第１検出工程と、
板状物体の表面側から、板状物体を通過しないで大気中を循環する第２交流磁束を発生させる工程と、
板状物体の表面側に配置されたＭＩセンサによって、第２交流磁束の大きさを検出する第２検出工程と、
第１検出工程の検出値と第２検出工程の検出値の差を特定する工程とを備える間隙距離測定方法。
【請求項３】
板状物体と背後物体との間に存在する間隙の距離を測定する装置であり、
交流発信回路と、
その交流発信回路で発信した交流電流が通電するとともに、使用時に板状物体の表面から所定距離に維持された状態で板状物体と間隙と背後物体と間隙と板状物体と大気を経て板状物体に戻る交流磁束を発生させるコイルと、
そのコイルに対して変位不能であり、前記コイルが発生する交流磁束の大きさを検出するＭＩセンサとを備える間隙距離測定装置。
【請求項４】
板状物体と背後物体との間に存在する間隙の距離を測定する装置であり、
交流発信回路と、
その交流発信回路で発信した交流電流が通電するとともに、使用時に板状物体の表面から所定距離に維持された状態で板状物体と間隙と背後物体と間隙と板状物体と大気を経て板状物体に戻る第１交流磁束を発生させる第１コイルと、
その第１コイルに対して変位不能であり、第１コイルが発生する交流磁束の大きさを検出する第１ＭＩセンサと、
その交流発信回路で発信した交流電流が通電するとともに、板状物体を通過しないで大気中を循環する第２交流磁束を発生させる第２コイルと、
その第２コイルに対して変位不能であり、第２コイルが発生する交流磁束の大きさを検出する第２ＭＩセンサと、
第１ＭＩセンサの検出値と第２ＭＩセンサの検出値の差を特定する手段とを備える間隙距離測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物体とその背後に存在する背後物体との間に存在する間隙の距離を測定する方法と装置に関する。
特許請求の範囲と明細書でいうＭＩセンサは、magneto-impedance効果（ＭＩ効果）を利用した超高感度な磁気センサを意味し、具体的には、センサが置かれている場所の磁場の強さが微小に変化するとインピーダンスが大きく変化するアモルファスワイヤや薄膜等を利用した磁気センサを意味する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１に、板状物体と背後物体との間に存在する間隙の距離を測定する装置が開示されている。この間隙距離測定装置は励磁コイルと検出コイルを備える。励磁コイルと検出コイルの両者を板状部材の表面側に配置した状態で、背面側の間隙の距離を測定する。励磁コイルは直流電源に接続されており、直流磁束を発生させる。直流磁束が発生することによって、検出コイルに誘起電圧が生じる。検出コイルに生じる誘起電圧の大きさは、直流磁束の大きさに依存する。直流磁束の大きさは、直流磁束が通過する間隙の距離に依存する。この間隙測定装置は、検出コイルに生じる誘起電圧の積分値と間隙の距離の関係を予め記憶しておき、検出コイルに生じる誘起電圧の積分値から間隙の距離を測定する。
【特許文献１】特開平７−３３２９１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記した従来の間隙距離測定装置では、検出コイルによって磁場強度を検出するために、磁場強度の検出感度が低く、間隙の距離を測定できないことがしばしば発生する。間隙距離に応じて変動する磁場強度の変動幅は非常に小さいことから、磁場強度の検出感度が低いことは致命的である。励磁コイルと検出コイルをともに表面側において間隙距離を測定しようとすると、例えば間隙距離がゼロだと１００００ガウスであり、間隙距離が０．１ｍｍだと９９９９ガウスであるといった現象を利用して間隙距離を測定しなければならない。検出コイルを利用すると、そこまでの検出感度が期待できないことから、励磁コイルと検出コイルをともに表面側に配置して間隙距離を測定する技術では、板状部材の厚みや間隙距離の範囲や板状部材の材質や背後部材の材質等の制約を多く受け、その条件が得られないと間隙距離を測定することができない。
さらに、従来の間隙距離測定装置では、外乱の影響を受け易い直流磁場を利用するために、間隙の距離を正確に測定できないことがある。ここでいう外乱は、励磁コイルによって発生する磁場以外の磁場をいい、地球が持つ磁場や周囲におかれている機械が発生する磁場等を言う。これらの外部磁場の変動幅が、間隙距離に応じて変動する磁場強度の変動幅と同等になると、間隙距離を測定できなくなる。間隙距離に応じて変動する磁場強度の変動幅は非常に小さいことから、外部磁場の影響を強く受けることがしばしば発生する。
そこで測定の信頼性を確保するためには、板状部材の表面側に励磁コイルを配置し、背後部材の背面側に検出コイルを配置する他はない。背面側に検出コイルを配置すると、検出コイルで検出する磁場強度の大きさに比較して、間隙距離に応じて変動する磁場強度の変動幅を相対的に大きくすることができる。現状の技術では、測定の信頼性を確保するために、板状部材の表面側に励磁コイルを配置して背後部材の背面側に検出コイルを配置している。現状の技術では、背後部材の背面側に検出コイルを配置できない場合には、間隙の距離を安定かつ正確に測定できる方法がない。
本発明は、上記した実情に鑑みてなされたものであり、背後部材の背面側にアクセスしないでも、板状物体と背後部材の間に存在する間隙の距離を安定かつ正確に測定できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明では、板状物体と背後物体との間に存在する間隙の距離を測定する方法を提供する。この方法は、板状物体の表面側から、板状物体と間隙と背後物体と間隙と板状物体と大気を経て板状物体に戻る交流磁束を発生させる工程と、板状物体の表面側に配置されたＭＩセンサによって、その交流磁束の大きさを検出する工程を備える。
上記の「板状物体の表面」とは、板状物体の反背後物体側の面を意味している。
ＭＩセンサを用いると、大きな磁場強度を極めて細かな分解能で検出できる。検出コイルを利用する場合の検出感度に比して１万倍以上の検出感度が得られる。例えば９９９９ガウスなのか１００００ガウスなのかを検出することができる。ＭＩセンサを用いると、大きな磁場強度の僅かな変化が検出できるために、励磁コイルとＭＩセンサの両者を板状部材の表面側においても安定かつ正確に間隙の距離を測定することが可能となる。
しかも本発明の方法では、交流磁場を利用するために、外乱の影響を受けにくい。地球が持つ磁場や周囲におかれている機械が発生する磁場等が存在しても、それらの影響を受けることなく間隙距離を正確に測定することができる。
【０００５】
本発明の改善された方法では、板状物体の表面側から、板状物体と間隙と背後物体と間隙と板状物体と大気を経て板状物体に戻る第１交流磁束を発生させる工程と、板状物体の表面側に配置されたＭＩセンサによって、第１交流磁束の大きさを検出する第１検出工程を実施する他、板状物体の表面側から、板状物体を通過しないで大気中を循環する第２交流磁束を発生させる工程と、板状物体の表面側に配置されたＭＩセンサによって、第２交流磁束の大きさを検出する工程を実施する。そして、第１検出工程の検出値と第２検出工程の検出値の差を特定する工程を実施する。
第１検出工程の検出値は間隙距離に依存して変化することから、基本的には第１検出工程の検出値から間隙距離を測定することができる。しかしながら、より厳密に検討すると、ＭＩセンサの検出値は、間隙距離のみならず環境温度や外部からの交流磁場にも依存することから、環境温度や外部からの交流磁場の影響を除去した方が間隙の大きさを正確に測定することが可能となる。
そのために、本方法では、板状物体を通過しないで大気中を循環する第２交流磁束を発生させ、第１交流磁束の大きさと第２交流磁束の大きさの差を検出する。差を検出するようにすると、その差には環境温度や外部からの交流磁場の影響が現われなくなる。差に基づいて処理をすると、間隙距離を極めて正確に測定することができる。
【０００６】
本発明はまた、板状物体と背後物体との間に存在する間隙の距離を測定する装置を提供する。この間隙距離測定装置は、交流発信回路と、その交流発信回路で発信した交流電流が通電するとともに、使用時に板状物体の表面から所定距離に維持された状態で板状物体と間隙と背後物体と間隙と板状物体と大気を経て板状物体に戻る交流磁束を発生させるコイルと、そのコイルに対して変位不能であり、そのコイルが発生する交流磁束の大きさを検出するＭＩセンサとを備えている。
この間隙距離測定装置によると、板状物体の表面側から、板状物体と背後物体の双方を通過する交流磁束を発生させることができる。ＭＩセンサは、コイルに対して変位不能であるために使用時には板状物体の表面側に配置される。ＭＩセンサは、板状部材の表面側から交流磁束の大きさを検出する。
本発明に係る間隙距離測定装置によると、ＭＩセンサを利用して外乱の影響を受けにくい交流磁場を精度よく測定することができるために、間隙距離を正確に測定することができる。しかも、背後部材の背面側にアクセスする必要もない。
【０００７】
本発明はまた、さらに改良された間隙距離測定装置をも提供する。この間隙距離測定装置は、交流発信回路と、その交流発信回路で発信した交流電流が通電するとともに、使用時に板状物体の表面から所定距離に維持された状態で板状物体と間隙と背後物体と間隙と板状物体と大気を経て板状物体に戻る第１交流磁束を発生させる第１コイルと、その第１コイルに対して変位不能であり、第１コイルが発生する交流磁束の大きさを検出する第１ＭＩセンサと、その交流発信回路で発信した交流電流が通電するとともに、板状物体を通過しないで大気中を循環する第２交流磁束を発生させる第２コイルと、その第２コイルに対して変位不能であり、第２コイルが発生する交流磁束の大きさを検出する第２ＭＩセンサと、第１ＭＩセンサの検出値と第２ＭＩセンサの検出値の差を特定する手段とを備えている。
この装置によると、環境温度や外乱等の影響をキャンセルすることができ、間隙距離を極めて正確に測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
最初に、下記の実施例に記載の技術の主要な特徴をまとめておく。
（形態１）コイルとそのコイルに通電する交流電源とによって、交流磁束を発生させる。
（形態２）ＭＩセンサは、アモルファスワイヤで構成されている。そのアモルファスワイヤの両端に高周波電圧を印加した状態で、アモルファスワイヤのインピーダンスを測定する。そのインピーダンスから、ＭＩセンサがおかれている位置の磁場強度を高感度で検出する。
（形態３）コイルとＭＩセンサのアモルファスワイヤとが同軸に配置されており、ＭＩセンサの検出精度が非常に高い。
（形態４）第１コイルと第２コイルは同じ向きに同じ回数だけ巻かれている。第１コイルと第２コイルは、直列に接続されており、同一位相で同一強度の交流電流が通電される。
（形態５）第１ＭＩセンサによって検出される磁場強度（即ちアモルファスワイヤの両端間のインピーダンス）を電圧に変換し、第２ＭＩセンサによって検出される磁場強度を電圧に変換し、両電圧を入力して差動増幅する回路が設けられている。
（形態６）第１ＭＩセンサの検出値と第２ＭＩセンサの検出値の差を増幅した電圧を、間隙距離に換算する情報を記憶している記憶部が設けられている。
（形態７）磁場強度の差と記憶部の記憶内容から間隙距離を特定し、特定された間隙距離を表示部に表示させる制御部が設けられている。
【実施例】
【０００９】
（第１実施例）  図面を参照して本発明の実施例を説明する。図１に、板状物体８０とその背後に存在する背後物体８２との間に存在する間隙Ｍの距離を測定する間隙距離測定装置１０の端末部１１の正面図が示されている。
端末部１１は、略直方体形状のケーシング１２を有している。このケーシング１２は、ディスプレイ１６を収容している。ケーシング１２外からディスプレイ１６を視認することができる。ケーシング１２には磁気伝達部材１４が固定されている。この磁気伝達部材１４は、高い透磁率を持つ金属（本実施例では鉄）によって構成されている。
本実施例では、板状物体８０も背後物体８２も鋼板である。測定対象とする間隙Ｍの距離は０〜０．５ｍｍの範囲内にある。本実施例の間隙距離測定装置１０は、０．１ｍｍ単位で間隙距離を測定することができる。なお図１では間隙Ｍを誇張して示している。
【００１０】
続いて図２を参照して、間隙距離測定装置１０の全体構成について説明する。図２は、間隙距離測定装置１０の構成をブロック図で示す。
端末部１１のケーシング１２内には、第１ＭＩセンサ２０と、第１コイル３０と、第２ＭＩセンサ４０と、第２コイル５０と、ディスプレイ１６が収容されている。
第１ＭＩセンサ２０は、アモルファスワイヤ２２を利用した磁気センサである。アモルファスワイヤ２２は、置かれている位置の磁場強度に応じてインピーダンスを変える。磁場強度の微小な変化に対応してインピーダンスが大きく変化するために、磁場強度を精度よく検出することができる。なお図２では、第１ＭＩセンサ２０の詳しい構造は図示省略しており、アモルファスワイヤ２２のみを図示している。第１ＭＩセンサ２０の詳しい構造については後で説明する。第１ＭＩセンサ２０は、第１コイル３０が発生する磁束の大きさを検出する。
第１コイル３０は、第１ＭＩセンサ２０のアモルファスワイヤ２２を覆うように配置されている。第１コイル３０とアモルファスワイヤ２２は同軸に配置されている。同軸に配置しておくことによって、大きなＭＩ効果を得ることができ、第１ＭＩセンサ２０の検出感度を一層に高めることができる。
第２ＭＩセンサ４０は、第１ＭＩセンサ２０と同様の構造をしており、アモルファスワイヤ４２を有している。第２ＭＩセンサ４０は、第２コイル５０が発生させる磁場の強度を検出する。
第２コイル５０は、アモルファスワイヤ４２と同軸に配置されている。第２コイル５０は、第１コイル３０と同じ方向に同じ回数だけ巻かれている。第１コイル３０と第２コイル５０は直列に接続されている。
【００１１】
図３は、ＭＩセンサ２０，４０とコイル３０，５０の具体的な回路構成を示している。
第１ＭＩセンサ２０は、突出部２８ａが設けられた基板２８を有している。基板２８上には電気回路が構成されている。基板２８の突出部２８ａに、アモルファスワイヤ２２が配置されている。アモルファスワイヤ２２には高周波交流電源２４が接続されている。高周波交流電源２４には図示しない給電線から電力が供給される。アモルファスワイヤ２２の両端のそれぞれに、アモルファスワイヤ２２の両端間電圧を測定するための導電線が接続されている。それぞれの導電線の端部２６ａ，２６ｂは、後述する差動増幅回路６２と接続されている。図２には、端部２６ａ，２６ｂがケーブル２７，２９を介して差動増幅回路６２と接続されている様子が示されている。
第２ＭＩセンサ４０も第１ＭＩセンサ２０と同様の構成をしている。第２ＭＩセンサ４０も、突出部４８ａが設けられた基板４８を有している。基板４８の突出部４８ａにアモルファスワイヤ４２が配置されている。アモルファスワイヤ４２には高周波交流電源４４が接続されている。高周波交流電源４４には図示しない給電線から電力が供給される。アモルファスワイヤ４２の両端のそれぞれに、アモルファスワイヤ４２の両端間電圧を測定するための導電線が接続されている。それぞれの導電線の端部４６ａ，４６ｂは、後述する差動増幅回路６２と接続されている。図２には、端部４６ａ，４６ｂがケーブル４７，４９を介して差動増幅回路６２と接続されている様子が示されている。
なお、第１コイル３０と第２コイル５０に接続されている導電線の端部３２ａ，３２ｂは、後述する交流発振回路６０と接続されている。図２には、端部３２ａ，３２ｂが交流発振回路６０と接続されている様子が示されている。
【００１２】
図２に示すように、端末部１１は、ケーブル３１，５１によって、交流発振回路６０に接続されている。またケーブル２７，２９，４７，４９によって、差動増幅回路６２に接続されている。差動増幅回路６２は検波回路６４に接続され、検波回路６４は平滑回路６６に接続され、平滑回路６６は制御回路６８に接続され、制御回路６８はディスプレイ１６と表示装置１７に接続されている。交流発振回路６０は検波回路６４にも接続されている。
【００１３】
図２に示される交流発振回路６０は、低周波交流電流を得て、ケーブル３１，５１から各コイル３０，５０に給電するものである。コイル３０，５０に交流電流が流れることによって、コイル３０，５０のそれぞれが交流磁束を発生させる。コイル３０，５０は同じ方向に同じ回数だけ巻かれており、同じ交流電流が同じ位相で給電されるために、常時に同一の起磁力を生じる。
各ＭＩセンサ２０，４０は、ケーブル２７，２９，４７，４９によって、差動増幅回路６２と接続されている。差動増幅回路６２は、第１ＭＩセンサ２０によって検出される磁場強度（アモルファスワイヤ２２の両端間電圧で示される）と、第２ＭＩセンサ４０によって検出される磁場強度（アモルファスワイヤ４２の両端間電圧で示される）を入力し、入力される２つの電圧の差分を増幅する。差動増幅回路６２は検波回路６４と接続されている。
検波回路６４は、交流発振回路６０の発振周波数成分のみを通すバンドパスフィルタによって構成されている。検波回路６４によって、差動増幅回路６２によって増幅された磁場強度の差の発振周波数成分のみが取出されることになる。検波回路６４は平滑回路６６と接続されている。
平滑回路６６は、検波回路６４を通過した発振周波数成分の磁場強度の差を平滑化し、直流電圧に変換するものである。平滑回路６６は制御回路６８と接続されている。
制御回路６８は、表示制御部７０と記憶部７２を有している。記憶部７２は、平滑回路６６から受取る直流電圧の値を、間隙距離に換算するマップ情報を記憶している。記憶部７２には、間隙距離が０．１ｍｍ単位で記憶されている。表示制御部７０は、表示装置１７とディスプレイ１６に接続されている。表示制御部７０は、平滑回路６６によって変換された直流電圧の値と記憶部７２の記憶内容とから間隙距離を特定し、特定された間隙距離を表示装置１７とディスプレイ１６に表示させる。ユーザーは、表示装置１７またはディスプレイ１６を見ることによって間隙距離を知ることができる。
【００１４】
図４及び図５は、各コイル３０，５０が発生する磁束を示している。図４は、間隙距離がゼロのときに形成される磁束を示している。図５は、間隙Ｍが存在して間隙距離がゼロでないときに形成される磁束を示している。
図５に示されるように、第１コイル３０は、磁気伝達部材１４から板状物体８０と間隙Ｍと背後物体８２と間隙Ｍと板状物体８０と大気を経て磁気伝達部材１４と板状物体８０に戻る交流磁束１１２を発生させる。同時に、第１コイル３０は、磁気伝達部材１４から板状物体８０と大気を経て磁気伝達部材１４と板状物体８０に戻る交流磁束１０９をも発生させる。当然に背後物体８２を通過しない交流磁束１０９の方が、背後物体８２を通過する交流磁束１１２よりも大きい。アモルファスワイヤ２２は、交流磁束１０９と交流磁束１１２を合計した磁束の大きさを検出する。
交流磁束１０９の大きさは間隙Ｍの距離に依存しない。それに対して、交流磁束１１２の大きさは間隙Ｍの距離に依存して変化する。間隙距離が小さいほど交流磁束１１２は大きくなる。図４に示すように、間隙Ｍの距離がゼロになると交流磁束１１２の大きさは最も大きくなる。この状態の磁束を図４では１１０で示している。
図４の状態で第１ＭＩセンサ２０で検出した磁束の大きさと、図５の状態で第１ＭＩセンサ２０で検出した磁束の大きさの差は、間隙Ｍの距離に依存して変化する。図４の状態で第１ＭＩセンサ２０で検出する磁束の大きさは予め検出して記憶しておくことができることから、図５の状態で第１ＭＩセンサ２０で検出した磁束の大きさから間隙Ｍの距離を計測することができる。
実際に測定してみると、図５の状態で第１ＭＩセンサ２０によって検出した磁束の大きさから間隙Ｍの距離を概ね正確に測定することができる。ＭＩセンサ２０は、大きな磁場強度（磁束１０９に起因する磁場強度をも検出することから大きな磁場強度を検出する）を細かな分解能で検出することができることから、間隙Ｍの距離に依存して変化する磁束１１２の変化を正確に検出することができる。
【００１５】
本実施例では、間隙距離の検出精度を向上させるために、第２コイル５０と第２ＭＩセンサ４０を利用している。
図５に示されるように、第２コイル５０は、主として大気中を循環する磁束１０２を発生させる。この磁束１０２は、板状部材８０や間隙Ｍを通過しない。磁束１０２の強さは間隙距離によらないで一定のはずである。しかしながら、観測してみると、磁束１０２の大きさは一定にならない。その原因を調べてみると、環境温度が変動するのに追従して磁束１０２の大きさが変化することがわかった。また、交流発振回路６０の発振周波数で変動する外部磁束が存在すると（このような外部磁束が存在する確率は、直流磁束が外部から加わる確率に比べると極めて低い）、磁束１０２の大きさが変化することがわかった。
同様の影響が、第１コイル３０が発生させる磁束１０９，１１２にも影響しているはずであり、それが間隙距離の測定精度を低下させることがわかった。
本実施例の測定装置１０では、差動増幅回路６２を利用して、磁束１０９と磁束１１２を合計した大きさから磁束１０２の大きさを減じる処理をしているから、環境温度による影響や外部磁束の影響が除去され、間隙距離の測定精度がさらに改善されている。
【００１６】
間隙距離測定装置１０は、板状部材８０の表面に垂直に接触させて使用される。磁気伝達棒１４を板状部材８０の表面に垂直に接触させると、交流発振回路６０によって交流電流が供給される。これにより、各コイル３０，５０が交流磁束１０９，１１２，１０２（図５参照）を発生させる。第１ＭＩセンサ２０と第２ＭＩセンサ４０は磁束の大きさを検出する。そして、検出された磁束の大きさの差が差動増幅回路６２によって増幅される。２つのコイル３０，５０と２つのＭＩセンサ２０，４０を利用して磁束の大きさの差を特定するようにすることで、間隙距離測定装置１０が使用される環境（環境温度や外乱）によって生じる測定誤差を抑えることができる。特に、本実施例のように、第１コイル３０の起磁力と第２コイル５０の起磁力を同じにすると、測定誤差を良好に解消することができる。本実施例の測定装置とその装置によって得られる測定方法によると、使用環境にかかわらずに間隙距離を正確に測定することができる。
本実施例では、交流磁場を利用するためにノイズの影響を受け難い。また、ＭＩセンサ２０，４０を用いることによって、磁場強度を精度よく測定することができる。本実施例によると、板状部材の８０の背面側にアクセスしないでも、間隙距離を精度よく正確に測定することができる。
【００１７】
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
上記実施例では、間隙距離を定量的に特定しているが、必ずしもそうする必要はない。例えば、間隙距離が所定値以上であれば音や光等で報知する装置を具現化することができる。この装置によると、間隙距離を定量的に知ることはできないが、間隙距離が所定値以上か否かを正確に知ることができる。
また上記実施例では、各ＭＩセンサ２０，４０で検出される磁場強度の差から間隙距離を測定しているが、第１ＭＩセンサ２０のみで間隙距離を測定するようにしてもよい。この場合、記憶部７２は、第１ＭＩセンサ２０で検出される磁場強度の大きさ（平滑回路６６によって得られる直流電圧の大きさ）と、間隙距離を対応づける情報を記憶している。
また１つのＭＩセンサと１つのコイルを用いて磁場強度の差を特定するようにしてもよい。この場合は、最初に、コイルが発生させる交流磁場内に間隙距離を測定したい２つの物体が存在する状態で、ＭＩセンサによって磁場強度を検出する。ついで、コイルが発生させる交流磁場内に２つの物体が存在していない状態で、ＭＩセンサによって磁場強度を検出する。このようにすれば、２つの物体を通過する磁束に起因する磁場強度と、２つの物体を通過しない磁束に起因する磁場強度の差を１つのＭＩセンサと１つのコイルによって得ることができる。
また、本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施例に係る間隙距離測定装置の正面図を示す。
【図２】間隙距離測定装置の機能を示したブロック図である。
【図３】ＭＩセンサとコイルの回路構成を示した図である。
【図４】各コイルが発生させる交流磁場の磁束を簡単に示したものである（間隙がない場合）。
【図５】各コイルが発生させる交流磁場の磁束を簡単に示したものである（間隙がある場合）。
【符号の説明】
【００１９】
１０：間隙距離測定装置
１１：端末部
１２：ケーシング
１４：磁気伝達部材
１６：ディスプレイ
１７：表示装置
２０：第１ＭＩセンサ
２２：アモルファスワイヤ
３０：第１コイル
４０：第２ＭＩセンサ
４２：アモルファスワイヤ
５０：第２コイル
６０：交流発信回路
６２：差動増幅回路
６４：検波回路
６６：平滑回路
６８：表示回路
７０：表示制御部
７２：記憶部
８０：板状部材（鋼板）
８２：背後部材（鋼板）
Ｍ：板状部材と背後部材の間隙
【図１】
2005181010.tif 000003
【図２】
2005181010.tif 000004
【図３】
2005181010.tif 000005
【図４】
2005181010.tif 000006
【図５】
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