(57)【要約】【課題】  検査対象物に照射する光の色の設定が容易であり、そして小型化も容易な検査対象物の外観を検査する装置を提供すること。【解決手段】  検査対象物に光を照射する照明装置、光照射された検査対象物の光学像を撮像してこの光学像に対応する画像データを出力する撮像装置、及びこの画像データと参照データとの照合を行なう画像処理装置からなり、前記の照明装置が、直流電圧の印加により発光する有機エレクトロルミネッセンス素子を少なくとも一個備えていることを特徴とする検査対象物の外観を検査する装置。【選択図】        図１
2005274538.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象物に光を照射する照明装置、光照射された検査対象物の光学像を撮像して該光学像に対応する画像データを出力する撮像装置、および該画像データと参照データとの照合を行なう画像処理装置からなり、前記の照明装置が、直流電圧の印加により発光する有機エレクトロルミネッセンス素子を少なくとも一個備えていることを特徴とする検査対象物の外観を検査する装置。
【請求項２】
照明装置と撮像装置とが検査対象物を挟むように対向配置されている請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
照明装置が中央に透孔を有する円環状の形状にあり、そして撮像装置が該照明装置の円環の透孔を通して検査対象物の光学像を撮像するように配置されている請求項１に記載の検査装置。
【請求項４】
照明装置が有機エレクトロルミネッセンス素子とハーフミラーとを備え、該ハーフミラーが有機エレクトロルミネッセンス素子の発光を反射して検査対象物に照射し、かつ検査対象物により反射された光を撮像装置に伝えるように配置されている請求項１に記載の検査装置。
【請求項５】
照明装置の有機エレクトロルミネッセンス素子の駆動電圧を制御する装置を備える請求項１乃至４のうちのいずれかの項に記載の検査装置。
【請求項６】
照明装置が、それぞれ互いに異なる発光色を示す三個で一組の有機エレクトロルミネッセンス素子を少なくとも一組備えており、そして制御装置が撮像装置の出力する画像データをもとに各組のそれぞれの有機エレクトロルミネッセンス素子の駆動電圧を制御して、検査対象物に照射する光の色を調節する請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
制御装置が駆動電圧を制御して、有機エレクトロルミネッセンス素子を間欠的に点灯させる請求項５に記載の検査装置。
【請求項８】
制御装置が撮像装置の出力する画像データをもとに駆動電圧を制御して、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光輝度を安定化する請求項５に記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の外観を検査する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ボタン電池などの電気製品、注射針や医薬アンプルなどの医療用品、もしくは紙コップなどの日用品に代表される各種の製品や部品の外観の検査（例、形状、寸法、傷や異物、あるいは配置の検査）には、画像処理装置を備えた検査装置が用いられている。このような各種の製品や部品を検査対象物とする検査装置は、検査対象物に光を照射する照明装置、光照射された検査対象物の光学像を撮像して、この光学像に対応する画像データを出力する撮像装置、および撮像装置が出力する画像データと参照データとの照合を行なう画像処理装置などから構成される。
【０００３】
上記のように、外観の検査が必要とされる製品や部品には様々なものがあり、その形状や色も多岐にわたる。検査対象物の外観の検査を行なう場合には、照明装置の光の色は、検査対象物に応じた色であることが好ましい。例えば、白色の紙コップに付着した異物を検査する場合には、照明装置の光の色は白色であることが好ましく、金属部品の外形を検査する場合には、その表面での反射光の影響を抑えるために、照明装置の光の色は青色であることが好ましい。従来より、検査装置の照明装置の光源としては、例えば、発光ダイオードが用いられている。
【０００４】
特許文献１には、交流電圧の印加により面発光するエレクトロルミネッセンスシートを照明装置の光源として用いた画像処理システムが開示されている。この画像処理システムは、例えば、撮像した画像と予め記憶されている画像とのパターンマッチングを行なったり、ウエハのノッチの位置や角度を算出するために用いられる。そして照明装置に上記のようなエレクトロルミネッセンスシートを用いることにより、照明装置の薄型化が可能となるために画像処理システムの設計の自由度を高めることができ、さらに照明装置の輝度が均一化されるために画像処理における擾乱原因を低減できるとされている。
【特許文献１】特開２００３−１３２３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の画像処理システムは、そのエレクトロルミネッセンスシートの発光色を調節し難い。これは、上記のエレクトロルミネッセンスシートに用いられる交流電圧の印加により発光する材料は、その発光色のバリーションに乏しく、所望の色に発光する材料の探索が難しいからである。このため、上記の画像処理システムは、検査対象物のそれぞれに応じた検査装置として用いるには、十分に満足できるものではない。また、上記の画像処理システムは、そのエレクトロルミネッセンスシートを駆動するための交流電源やインバータが必要であるために大型のものとなり易い。
【０００６】
本発明は、検査対象物に照射する光の色の設定が容易であり、そして小型化も容易な検査対象物の外観を検査する装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、検査対象物に光を照射する照明装置、光照射された検査対象物の光学像を撮像してこの光学像に対応する画像データを出力する撮像装置、及びこの画像データと参照データとの照合を行なう画像処理装置からなり、前記の照明装置が、直流電圧の印加により発光する有機エレクトロルミネッセンス素子を少なくとも一個備えていることを特徴とする検査対象物の外観を検査する装置にある。
【０００８】
本発明の検査装置の好ましい態様は下記の通りである。
（１）照明装置と撮像装置とが検査対象物を挟むように対向配置されている。
（２）照明装置が中央に透孔を有する円環状の形状にあり、そして撮像装置がこの照明装置の円環の透孔を通して検査対象物の光学像を撮像するように配置されている。
（３）照明装置が有機エレクトロルミネッセンス素子とハーフミラーとを備え、このハーフミラーが有機エレクトロルミネッセンス素子の発光を反射して検査対象物に照射し、かつ検査対象物により反射された光を撮像装置に伝えるように配置されている。
【０００９】
（４）照明装置の有機エレクトロルミネッセンス素子の駆動電圧を制御する装置を備える。
（５）上記（４）の検査装置において、照明装置が、それぞれ互いに異なる発光色を示す三個で一組の有機エレクトロルミネッセンス素子を少なくとも一組備えており、そして制御装置が撮像装置の出力する画像データをもとに各組のそれぞれの有機エレクトロルミネッセンス素子の駆動電圧を制御して、検査対象物に照射する光の色を調節する。
（６）上記（４）の検査装置において、制御装置が駆動電圧を制御して、有機エレクトロルミネッセンス素子を間欠的に点灯させる。
（７）制御装置が撮像装置の出力する画像データをもとに駆動電圧を制御して、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光輝度を安定化する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の検査装置の照明装置には、直流電圧の印加により発光する有機エレクトロルミネッセンス素子が備えられている。有機エレクトロルミネッセンス素子は、その有機発光材料の選定により発光色を所望の色に設定することが容易である。従って、本発明の検査装置は、その照明装置が発する光の色を検査対象物に応じた色に設定することが容易であり、各種の検査対象物の外観を精度良く検査することができる。また、本発明の検査装置は、照明装置に用いる有機エレクトロルミネッセンス素子の駆動に交流電源やインバータを用いる必要がないために、その小型化が容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の検査装置を、添付の図面を用いて説明する。図１は、本発明の検査装置の構成例とその使用の態様を示す図である。そして図２は、図１の検査装置１０の照明装置１２と検査対象物１１との配置を示す平面図である。
【００１２】
図１の検査装置１０は、検査対象物１１に光を照射する照明装置１２、光照射された検査対象物１１の光学像を撮像してこの光学像に対応する画像データを出力する撮像装置１３、及びこの画像データと参照データとの照合を行なう画像処理装置１４などから構成されている。そして図１の検査装置１０の照明装置１２には、直流電圧の印加により発光する有機エレクトロルミネッセンス素子１５が一個備えられている。
【００１３】
図３は、図１の検査装置１０の照明装置１２に備えられている有機エレクトロルミネッセンス素子１５の構成を示す平面図である。図３の有機エレクトロルミネッセンス素子（発光素子）１５は、透明基板３１の表面に、透明陽電極層３２、正孔輸送層３３、有機発光材料層３４、そして陰電極層３５がこの順に積層された構成を有している。有機エレクトロルミネッセンス素子１５の発光は、透明基板３１の側から発光素子の外部に取り出される。
【００１４】
有機エレクトロルミネッセンス素子１５は、その陽電極層３２と陰電極層３５との間に直流電圧を印加すると、陽電極層３２から正孔が、そして陰電極層３５から電子が有機発光材料層３４の内部に注入され、この正孔と電子との再結合により生成した励起子（エキシトン）が失活する際の光の放出により発光する。有機エレクトロルミネッセンス素子１５は、その有機発光材料層３４を形成する有機発光材料の選定によって、発光色を所望の色に設定することが容易である。なお、正孔輸送層３３は、陽電極層３２から注入された正孔を有機発光材料層３４に効率良く注入して、有機エレクトロルミネッセンス素子１５の発光効率を高くする機能を有している。
【００１５】
このように、発光色の設定が容易な有機エレクトロルミネッセンス素子を用いることにより、各種の検査対象物に応じて照射光の色の設定が容易である、すなわち各種の検査対象物の外観を精度良く検査することができる検査装置を実現できる。
【００１６】
次に、本発明の検査装置の構成や動作を、図１及び図２を参照しながら詳細に説明する。図１及び図２に示すように、検査装置１０の照明装置１２と撮像装置１３とは、検査対象物１１を挟むように対向配置されている。図１に示す検査対象物１１は、医療用の注射器に用いられる注射針であり、金属材料から形成されている。検査対象物１１は、検査対象物搬送具１９に仮固定されている。搬送具１９が図１に記入した矢印２０の示す方向に移動すると、これと共に検査対象物１１が搬送される。検査装置１０は、搬送具１９により搬送される検査対象物１１の外観を順番に検査する。
【００１７】
照明装置１２は、有機エレクトロルミネッセンス素子１５、そして発光素子１５を収容する、例えば、アルミニウム製のケース１６から構成されている。有機エレクトロルミネッセンス素子１５は、その透明基板の側が検査対象物１１の側を向くようにしてケース１６に収容されている。
【００１８】
有機エレクトロルミネッセンス素子は、その有機発光材料層に空気中の水分が吸収されると、その発光特性（例、発光輝度）が劣化することが知られている。この発光特性の劣化を抑制するために、有機エレクトロルミネッセンス素子１５には、防湿処理が施されていることが好ましい。防湿処理方法の例としては、有機エレクトロルミネッセンス素子１５の基板上に、その有機発光材料層を気密的に収容するように金属製あるいはガラス製のキャップを接合する方法、および有機エレクトロルミネッセンス素子を、低い透湿性を示す薄膜（例、二酸化ケイ素薄膜）で覆う方法などが挙げられる。
【００１９】
有機エレクトロルミネッセンス素子１５を収容するケース１６が、例えば、アルミニウムなどの導電性材料から形成されている場合には、このケース１６と発光素子１５とを電気的に絶縁するため、ケース１６表面の発光素子１５と接触する部位には、絶縁性材料（例、エポキシ樹脂）をコーティングすることが好ましい。
【００２０】
照明装置１２は、直流電圧の印加により有機エレクトロルミネッセンス素子１５が発する光を検査対象物１１に照射する。そして撮像装置１３は、光照射された検査対象物１１の光学像を撮像して、この光学像に対応する画像データを出力する。
【００２１】
図１に示す検査装置１０においては、照明装置１２と撮像装置１３とが検査対象物１１を挟むように対向配置されているため、撮像装置１３が撮像する検査対象物１１の光学像は、検査対象物が暗く、そして背景が明るいものとなる。この撮像の際に検査対象物１１である金属製の注射針に白色の光を照射すると、金属表面の反射率が高いために、注射針の縁がぎらついて良好な光学像が得られない場合がある。このような金属表面における反射の影響を低減するため、図１の検査装置１０の有機エレクトロルミネッセンス素子１５の発光色は、例えば、青色に設定される。
【００２２】
撮像装置１３は、検査対象物１１の光学像を撮像したのち、この光学像に対応する画像データを出力する。そして、この画像データは、画像処理装置１４に送られる。画像処理装置１４は、撮像装置が出力した画像データと参照データとを照合する。この照合により、検査対象物１１である注射針の外観、例えば、針の太さや長さ、あるいは針の先端の鋭さ（針の先端の角度）などが検査される。図１の検査装置１０に備えられたモニタ１８には、例えば、検査対象物の検査結果、あるいは不良と判定された検査対象物の光学像などが表示される。
【００２３】
画像データと参照データとの照合は、上記の従来の画像処理システムに代表される公知の画像処理システム、あるいは公知の検査装置の場合と同様の方法により行なわれる。データの照合方法の例としては、撮像された検査対象物に対応する画像データと、予め撮像された検査対象物に対応する画像データ（参照データ）とをパターンマッチングする方法、および撮像された検査対象物に対応する画像データから注射針の太さや長さに関する数値データを算出し、この数値データと良品の検査対処物の許容範囲を示す数値データ（参照データ）とを照合する方法などが挙げられる。
【００２４】
また、従来の画像処理装置システムや検査装置の場合と同様に、画像処理装置１４における画像データの取り扱いを容易とするために、撮像装置１３が出力する画像データに各種の前処理を行なうこともできる。前処理の例としては、二値化処理、ガンマ補正処理、濃度変換処理、およびシェーディング処理などが挙げられる。
【００２５】
なお、照明装置１２が備える有機エレクトロルミネッセンス素子の個数に特に制限はない。例えば、有機エレクトロルミネッセンス素子の多数個を用いて照明装置を構成し、その発光素子の各々に直流電圧を個別に印加することにより、発光素子の電極層にて生じる電圧降下が小さくなるために、照明装置の検査対象物側の面内における発光輝度が均一となる。これにより検査対象物に均一に光が照射されるために、検査対象物をより精度良く検査することが可能となる。
【００２６】
図１に示すように、検査装置１０には、その有機エレクトロルミネッセンス素子１５の駆動電圧を制御する装置１７が備えられていることが好ましい。駆動電圧制御装置１７によって有機エレクトロルミネッセンス素子の駆動電圧を制御することにより、以下に述べるように発光素子の利点を生かして、あるいは欠点を補って、より実用的な検査装置を提供することができる。
【００２７】
例えば、検査装置の照明装置を、それぞれ互いに異なる発光色を示す三個で一組の有機エレクトロルミネッセンス素子を少なくとも一組備える構成とし、そして駆動電圧制御装置により、撮像装置の出力する画像データをもとに各組のそれぞれの有機エレクトロルミネッセンス素子の駆動電圧を制御することにより、検査対象物に照射する光の色を調節することが好ましい。
【００２８】
検査装置１０の撮像装置１３が出力する画像データには、検査対象物の色やその表面における反射光の強弱を示す情報などが含まれている。これをもとに照明装置が備える各組のそれぞれの有機エレクトロルミネッセンス素子の駆動電圧を制御して、各々の発光素子の動作を制御する（例、点灯／非点灯を制御する、あるいは輝度を制御する）ことにより、照明装置の光の色を検査対象物に応じて調節することができる。このような検査装置は、検査対象物に変更があった場合でも、その照明装置を検査対象物に応じた色の光を発する照明装置に交換する必要がないために、汎用性に優れている。なお、照明装置が備える有機エレクトロルミネッセンス素子の組の数を増加させるほど、照明装置が検査対象物に照射する光の色の微調節が容易となる。
【００２９】
また、制御装置１７が、駆動電圧を制御して有機エレクトロルミネッセンス素子１５を間欠的に点灯させることも好ましい。有機エレクトロルミネッセンス素子は、その有機発光材料層が熱により変質して、その発光特性が劣化（例、輝度の低下）し易いことが知られている。駆動電圧制御装置１７により、有機エレクトロルミネッセンス素子１５を間欠的に点灯させることにより、照明装置１２の発熱量を低減することができる。これにより有機エレクトロルミネッセンス素子の発光特性の劣化が低減されるために、検査装置を長時間にわたって使用した場合であっても、検査対象物を安定に検査することができる。
【００３０】
さらにまた、制御装置１７が撮像装置１３の出力する画像データをもとに駆動電圧を制御して、有機エレクトロルミネッセンス素子１５の発光輝度を安定化することも好ましい。これにより、例えば、空気中の水分の影響による有機エレクトロルミネッセンス素子の発光輝度の低下が原因で生じる検査精度の低下が抑制され、検査対象物を安定に検査することができる。
【００３１】
図４は、本発明の検査装置の別の構成例とその使用の態様を示す図である。そして図５は、図４の検査装置４０の照明装置４２と検査対象物４１との配置を示す平面図である。図４の検査装置４０の構成は、照明装置４２が中央に透孔を有する円環状の形状にあり、そして撮像装置１３がこの照明装置４２の円環の透孔を通して検査対象物４１の光学像を撮像するように配置されていること以外は、図１の検査装置１０と同様である。
【００３２】
図４及び図５に示す検査対象物４１は、圧着端子を製造するために用いられる金属部品（一般に、リードフレームと呼ばれる部品）である。検査対象物４１は、検査対象物搬送具４９に固定されている。搬送具４９が図４に記入した矢印２０の示す方向に移動すると、これと共に検査対象物４１が搬送される。検査装置４０は、搬送具４９により搬送される検査対象物４１の外観を順番に検査する。
【００３３】
図４の検査装置４０の照明装置４２が備える有機エレクトロルミネッセンス素子４５は、照明装置４２と同様に環状の形状にある。有機エレクトロルミネッセンス素子４５の構成は、形状が環状であること以外は、図３の有機エレクトロルミネッセンス素子１５と同様である。このような環状の有機エレクトロルミネッセンス素子４５を用いることにより、検査対象物４１に十分な量の光が照射され、撮像装置１３により検査対象物４１の鮮明な光学像が撮像されるために、検査の精度を向上させることができる。
【００３４】
図４に示す検査装置４０の場合、撮像装置１３が撮像する検査対象物４１の光学像は、検査対象物が明るく、そして背景が暗いものとなる。この撮像の際に検査対象物４１である金属部品に白色の光を照射すると、金属表面の反射率が高いために、金属部品の表面がぎらついて良好な光学像が得られない場合がある。このような金属表面における反射の影響を低減するため、図４の検査装置４０の有機エレクトロルミネッセンス素子４５の発光色は、例えば、青色に設定される。
【００３５】
撮像装置１３は、光照射された検査対象物４１の光学像を撮像したのち、この光学像に対応する画像データを出力する。そして、この画像データは、画像処理装置１４に送られる。画像処理装置１４は、撮像装置１３が出力した画像データと参照データとを照合する。この照合により、検査対象物４１である金属部品の外観、例えば、部品の形状、寸法、異物や傷などが検査される。
【００３６】
図４の検査装置における画像データと参照データとの照合方法の例は、図１の検査装置の場合と同様である。また、検査対象物４１の表面の異物や傷を検査する方法の例としては、撮像装置１３が出力する画像データをもとに、検査対象物４１の表面において同一色を示す領域の面積を示すデータを算出し、これと参照データとを照合する方法が挙げられる。
【００３７】
図６は、本発明の検査装置のさらに別の構成例とその使用の態様を示す図である。そして図７は、図６の検査装置６０の照明装置６２と検査対象物６１との配置を示す平面図である。図６の検査装置６０の構成は、照明装置６２に有機エレクトロルミネッセンス素子６５とハーフミラー７１とが備えられ、このハーフミラー７１が有機エレクトロルミネッセンス素子６５の発光を反射して検査対象物６１に照射し、かつ検査対象物６１により反射された光を撮像装置１３に伝えるように配置されていること以外は、図１の検査装置１０と同様である。
【００３８】
図６及び図７に示す検査対象物６１は、ボタン電池である。ボタン電池は、検査対象物搬送具６９に付設された容器６１ａに収容され、保持されている。搬送具６９が図６に記入した矢印２０の示す方向に移動すると、これと共に容器６１ａに収容保持された検査対象物６１は搬送される。検査装置６０は、搬送具６９により搬送される検査対象物６１の外観を順番に検査する。
【００３９】
照明装置６２が備える有機エレクトロルミネッセンス素子６５の発光は、ハーフミラー７１にて反射されて、検査対象物６１であるボタン電池の表面に垂直に照射される。電池の表面にて反射された光は、ハーフミラー７１を透過して撮像装置１３に伝えられる。このように光を照射する照明装置は、一般に、同軸落射照明装置と呼ばれている。同軸落射照明装置を用いることにより、例えば、ボタン電池の表面のような光沢面の異物や傷、あるいはマークの検査が容易となる。
【００４０】
図６に示す検査装置６０の場合、撮像装置１３が撮像する検査対象物６１の光学像は、検査対象物が明るく、そして背景が暗いものとなる。図６の検査装置６０の有機エレクトロルミネッセンス素子６５の発光色は、図４の検査装置４０の場合と同様の理由により、例えば、青色に設定される。
【００４１】
撮像装置１３は、光照射された検査対象物６１の光学像を撮像したのち、この光学像に対応する画像データを出力する、そして、この画像データは、画像処理装置１４に送られる。画像処理装置１４は、撮像装置１３が出力した画像データと参照データとを照合する。この照合により、検査対象物６１であるボタン電池の外観、例えば、電池の直径、電池表面の異物や傷、あるいは電池表面に表示された文字（例、電池の極性、出力電圧、あるいは型式などを示す文字）などが検査される。
【００４２】
なお、本発明の検査装置は、例えば、プリント配線板の表面に備えられた配線パターンの形状や配置などの検査にも用いることができる。例えば、配線パターンのランドの配置は、画像処理装置によりランドの中心位置を示すデータを算出し、このデータとランド中心の正しい位置を示すデータ（参照データ）と照合することにりより検査することができる。
【００４３】
また本発明の検査装置は、検査対象物を取り扱う際にその配置を検査するためにも用いることができる。例えば、電子部品を自動装着装置によりプリント配線板に装着する際には、極性を有する部品（例、ダイオード）の配置（姿勢）、あるいは装着後の部品の配置の検査が必要な場合がある。本発明の検査装置により、例えば、撮像装置が出力する画像データをもとに、画像処理装置にて部品（検査対象物）の表面に表示された検査対象物の配置を示すマークに関するデータを算出し、これと参照データとを照合することにより、部品の配置を検査することができる。
【００４４】
次に、本発明の検査装置に用いる有機エレクトロルミネッセンス素子について説明する。本発明の検査装置に用いる有機エレクトロルミネッセンス素子は、公知の有機エレクトロルミネッセンス素子と同様にして作製することができる。有機エレクトロルミネッセンス素子については、「有機ＬＥＤ素子の残された研究課題と実用化戦略」（ぶんしん出版、１９９９年）及び「光・電子機能有機材料ハンドブック」（朝倉書店、１９９７年）などに詳しく記載されている。
【００４５】
透明陽電極層は、仕事関数の大きい（４ｅＶ以上）金属、導電性化合物、又はこれらの混合物などから形成される。陽電極層の材料の代表例としては、錫ドープ酸化インジウム（ＩＴＯ）及び亜鉛ドープ酸化インジウム（ＩＺＯ）が挙げられる。
【００４６】
陽電極層の厚みは、１μｍ以下であることが一般的であり、２００ｎｍ以下であることが好ましい。陽電極層の抵抗は、数百Ω／ｓｑ．以下であることが好ましい。
【００４７】
陽電極層を形成する方法の例としては、真空蒸着法、スパッタ法、スピンコート法、キャスト法、ＬＢ法、パイロゾル法、スプレー法、およびインクジェット印刷法などが挙げられる。
【００４８】
陰電極層は、仕事関数の小さい（４ｅＶ以下）金属、合金組成物、導電性化合物、又はこれらの混合物などから形成される。陰電極層の材料の代表例としては、Ａｌ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｌｉ、Ｃｓ、Ｒｂ、Ｃａおよび希土類金属などの金属、Ｎａ−Ｋ合金、Ｍｇ−Ａｇ合金、Ｍｇ−Ｃｕ合金、およびＡｌ−Ｌｉ合金などの合金組成物が挙げられる。
【００４９】
陰電極層の厚みは、１μｍ以下であることが一般的であり、２００ｎｍ以下であることがより好ましい。陰電極層の抵抗は、数百Ω／ｓｑ．以下であることが好ましい。陰電極層は、陽電極層と同様の方法により形成される。
【００５０】
有機発光材料層には、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光効率を高くするために、その陽電極層側の面に正孔輸送層を、あるいはその陰電極層側の面に電子輸送層を付設することができる。以下に、これらの層（有機材料層）の構成例を示す。
【００５１】
（ａ）有機発光材料層
（ｂ）正孔輸送層／有機発光材料層
（ｃ）有機発光材料層／電子輸送層
（ｄ）正孔輸送層／有機発光材料層／電子輸送層
【００５２】
正孔輸送層の材料の例としては、テトラアリールベンジジン化合物、芳香族アミン類、ピラゾリン誘導体、およびトリフェニレン誘導体などが挙げられる。正孔輸送層の厚みは、２乃至２００ｎｍの範囲にあることが好ましい。
【００５３】
正孔輸送層を形成する方法の例としては、真空蒸着法、スピンコート法、キャスト法、ＬＢ法、スプレー法、ブレードコート法、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、およびインクジェット印刷法などが挙げられる。
【００５４】
正孔輸送層には、その正孔移動度を改善するために、電子受容性アクセプタを添加することが好ましい。電子受容性アクセプタの例としては、ハロゲン化金属、ルイス酸、および有機酸などが挙げられる。電子受容性アクセプタが添加された正孔輸送層については、特開平１１−２８３７５０号公報に記載がある。
【００５５】
有機発光材料層は、有機発光材料から形成するか、キャリア輸送性（正孔輸送性、電子輸送性、または両性輸送性）を示す有機材料（以下、ホスト材料と記載する）に少量の有機発光材料を添加した材料から形成される。有機発光材料層に用いる有機発光材料の選択により、有機エレクトロルミネッセンス素子の発光色を容易に設定することができる。
【００５６】
有機発光材料層を有機発光材料から形成する場合、有機発光材料としては、成膜性に優れ、膜の安定性に優れた材料が用いられる。このような有機発光材料の例としては、Ａｌｑ3 （トリス−（８−ヒドロキシキノリナト）アルミニウム）に代表される金属錯体、ポリフェニレンビニレン（ＰＰＶ）誘導体、およびポリフルオレン誘導体などが挙げられる。有機発光材料層をホスト材料に少量の有機発光材料を添加した材料から形成する場合、ホスト材料としては、例えば、前記のＡｌｑ3 、ＴＰＤ（トリフェニルジアミン）、電子輸送性のオキサジアゾール誘導体（ＰＢＤ）、ポリカーボネート系共重合体、あるいはポリビニルカルバゾールなどが用いられる。ホスト材料と共に用いる有機発光材料としては、添加量が少ないために、前記の有機発光材料の他に、単独では安定な薄膜を形成し難い蛍光色素なども用いることができる。蛍光色素の例としては、クマリン、ＤＣＭ誘導体、キナクリドン、ペリレン、およびルブレンが挙げられる。なお、上記のように有機発光材料層を有機発光材料から形成する場合にも、発光色を調節するために、蛍光色素などの有機発光材料を少量添加することもできる。
【００５７】
有機発光材料層の厚みは、実用的な発光輝度を得るために、２００ｎｍ以下であることが好ましい。有機発光材料層は、正孔輸送層と同様の方法により形成される。
【００５８】
電子輸送層の材料の例としては、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、ナフタレンピリレンなどの複素環テトラカルボン酸無水物、カルボジイミド、フルオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン及びアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体、キノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、およびスチルベン誘導体などの電子輸送性材料が挙げられる。また、トリス（８−ヒドロキシキノリン）アルミニウム（Ａｌｑ）などのアルミキノリノール錯体を用いることもできる。電子輸送層の厚みは、５乃至３００ｎｍの範囲にあることが好ましい。電子輸送層は、正孔輸送層と同様の方法により形成される。
【００５９】
また、有機エレクトロルミネッセンス素子の陽電極層と陰電極層との間には、発光素子の発光特性などを改良するために、上記の正孔輸送層や電子輸送層の他にも様々な層、例えば、陽電極層（もしくは陰電極層）の有機発光材料層側の表面に正孔注入層（もしくは電子注入層）を付設することができる。
【００６０】
正孔注入層の材料の代表例としては、銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ）が、そして電子注入層の材料の代表例としては、ＬｉＦ（フッ化リチウム）などのアルカリ金属化合物が挙げられる。正孔注入層は陽極バッファ層と、電子注入層は陰極バッファ層とも呼ばれ、これらの層の詳細については、「有機ＬＥＤ素子の残された研究課題と実用化戦略」（ぶんしん出版、１９９９年、ｐ４４−４５）などの文献に詳しく記載されている。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の検査装置の構成例とその使用の態様を示す図である。
【図２】図１の検査装置の照明装置と検査対象物との配置を示す平面図である。
【図３】図１の検査装置の照明装置が備える有機エレクトロルミネッセンス素子の構成を示す断面図である。
【図４】本発明の検査装置の別の構成例とその使用の態様を示す図である。
【図５】図４の検査装置の照明装置と検査対象物との配置を示す平面図である。
【図６】本発明の検査装置のさらに別の構成例とその使用の態様を示す図である。
【図７】図６の検査装置の照明装置と検査対象物との配置を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６２】
１０  検査装置
１１  検査対象物
１２  照明装置
１３  撮像装置
１４  画像処理装置
１５  有機エレクトロルミネッセンス素子
１６  ケース
１７  駆動電圧制御装置
１８  モニタ
１９  検査対象物の搬送具
２０  搬送具の移動方向
３１  透明基板
３２  透明陽電極層
３３  正孔輸送層
３４  有機発光材料層
３５  陰電極層
４０  検査装置
４１  検査対象物
４２  照明装置
４５  有機エレクトロルミネッセンス素子
４６  ケース
４９  検査対象物の搬送具
６０  検査装置
６１  検査対象物
６１ａ  容器
６２  照明装置
６５  有機エレクトロルミネッセンス素子
６６  ケース
６９  検査対象物の搬送具
７１  ハーフミラー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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