(57)【要約】【課題】傾斜位置決め装置の組立性を向上させる。【解決手段】固定台１０と固定台１０の位置し、被検物５を載置する可動台２０とを自在継手３０で連結し、可動台２０に配置されたねじ部材４０，４１によって固定台１０に対する可動台２０の高さを変更するようにした。【選択図】        図１
2005003380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定台と、
位置決め対象物を載置する可動台と、
前記固定台と前記可動台とを連結する自在継手と、
前記固定台又は前記可動台に配置され、前記固定台に対する前記可動台の傾きを変更する傾き調節部材と
を備えていることを特徴とする傾斜位置決め装置。
【請求項２】
前記傾き調節部材は２つのねじ部材である
ことを特徴とする請求項１記載の傾斜位置決め装置。
【請求項３】
前記２つのねじ部材の一方のねじ部材と前記自在継手とを結ぶ線分と他方のねじ部材と前記自在継手とを結ぶ線分とのなす角が９０度になるように、前記２つのねじ部材が前記固定台又は前記可動台に配置されている
ことを特徴とする請求項２記載の傾斜位置決め装置。
【請求項４】
前記２つのねじ部材の一方のねじ部材は、前記自在継手及び他方のねじ部材からそれぞれ等距離にある
ことを特徴とする請求項２記載の傾斜位置決め装置。
【請求項５】
前記可動台は四角形の板状部材であり、
前記自在継手は前記四角形の板状部材の１つの角の近傍に配置され、
前記２つのねじ部材は前記自在継手が配置された前記四角形の板状部材の１つの角と隣り合う２つの角の近傍にそれぞれ配置されている
ことを特徴とする請求項２記載の傾斜位置決め装置。
【請求項６】
前記可動台は四角形の板状部材であり、
前記自在継手は前記四角形の板状部材の１つの角の近傍に配置され、
前記２つのねじ部材の一方のねじ部材は前記自在継手が配置された前記四角形の板状部材の１つの角と隣り合う２つの角のうちのいずれか１つの近傍に配置され、
他方のねじ部材は前記自在継手と前記一方のねじ部材とが配置された前記四角形の板状部材の１辺の対辺の中点近傍に配置されている
ことを特徴とする請求項２記載の傾斜位置決め装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか１項記載の傾斜位置決め装置を備えることを特徴とする干渉計。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は傾斜位置決め装置及びこの傾斜位置決め装置を備える干渉計に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光軸に対してミラー等を直角や任意の角度に調整することができる傾斜位置決め装置は従来知られている。
【０００３】
図５は従来の傾斜位置決め装置の斜視図である。
【０００４】
傾斜位置決め装置１０１は、固定台１１０と、可動台１２０と、可動台１２０を支持する１つの鋼球１３０と２つのねじ部材１４０，１４１とを有する。
【０００５】
固定台１１０及び可動台１２０は四角形の板体である。
【０００６】
固定台１１０の上面には鋼球１３０を保持する円錐形状の穴部（図示せず）と第１のねじ部材１４０と係合し、Ｙ軸方向へ延びるＶ溝１１１とが設けられている。
【０００７】
穴部は固定台１１０のＹ軸方向へ延びる一辺の一端側に設けられ、Ｖ溝１１１はその一辺の他端側に設けられている。Ｖ溝１１１と第１のねじ部材１４０とによって可動台１２０のＸＹ平面の回転が阻止される。
【０００８】
固定台１１０の上方に位置し、ミラー等の被検体１０５を載置する可動台１２０の下面には、鋼球１３０と係合する円錐形状の穴部（図示せず）が設けられている。また、可動台１２０には第１のねじ部材１４０と、固定台１１０の上面に当接する第２のねじ部材１４１とが設けられている。
【０００９】
鋼球１３０は可動台１２０を固定台１１０に対して回転・傾斜可能に支持する機能を有する。
【００１０】
なお、第２のねじ部材１４１は穴部を一端側とするＸ軸方向の一辺の他端側に設けられている。
【００１１】
傾斜位置決め装置１０１は上記のような構成であるので、例えば第１のねじ部材１４０を回転させることによって鋼球１３０と第２のねじ部材１４１とを結ぶ仮想線を中心にして可動台１２０が回転し、被検体１０５の傾斜角度が変わる。
【００１２】
【非特許文献】
ニューポード総合カタログ２０００  Ｐ．２９５  「キネマティックマウント」
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、鋼球１３０を機械的に押さえ付けて穴部に保持させるためには固定台１１０と可動台１２０との間に引っ張りばね１３１，１３２を張り渡す必要がある。
【００１４】
しかし、２つの引っ張りばね１３１，１３２のそれぞれの端部を固定台１１０の支持部（図示せず）と可動台１２０の支持部１２１，１２２とに引っ掛ける作業は手間のかかる面倒なものである。
【００１５】
すなわち、傾斜位置決め装置１０１は組立に手間のかかる組立性の悪いものであった。
【００１６】
この発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、その課題は傾斜位置決め装置の組立性を向上させることである。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
前述の課題を解決するため請求項１記載の発明の傾斜位置決め装置は、固定台と、位置決め対象物を載置する可動台と、前記固定台と前記可動台とを連結する自在継手と、前記固定台又は前記可動台に配置され、前記固定台に対する前記可動台の傾きを変更する傾き調節部材とを備えていることを特徴とする。
【００１８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の傾斜位置決め装置において、前記傾き調節部材は２つのねじ部材であることを特徴とする。
【００１９】
請求項３記載の発明は、請求項２記載の傾斜位置決め装置において、前記２つのねじ部材の一方のねじ部材と前記自在継手とを結ぶ線分と他方のねじ部材と前記自在継手とを結ぶ線分とのなす角が９０度になるように、前記２つのねじ部材が前記固定台又は前記可動台に配置されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項４記載の発明は、請求項２記載の傾斜位置決め装置において、前記２つのねじ部材の一方のねじ部材は、前記自在継手及び他方のねじ部材からそれぞれ等距離にあることを特徴とする。
【００２１】
請求項５記載の発明は、請求項２記載の傾斜位置決め装置において、前記可動台は四角形の板状部材であり、前記自在継手は前記四角形の板状部材の１つの角の近傍に配置され、前記２つのねじ部材は前記自在継手が配置された前記四角形の板状部材の１つの角と隣り合う２つの角の近傍にそれぞれ配置されていることを特徴とする。
【００２２】
請求項６記載の発明は、請求項２記載の傾斜位置決め装置において、前記可動台は四角形の板状部材であり、前記自在継手は前記四角形の板状部材の１つの角の近傍に配置され、前記２つのねじ部材の一方のねじ部材は前記自在継手が配置された前記四角形の板状部材の１つの角と隣り合う２つの角のうちのいずれか１つの近傍に配置され、他方のねじ部材は前記自在継手と前記一方のねじ部材とが配置された前記四角形の板状部材の１辺の対辺の中点近傍に配置されていることを特徴とする。
【００２３】
請求項７記載の発明の干渉計は、請求項１〜６のいずれか１項記載の傾斜位置決め装置を備えることを特徴とする。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２５】
（第１の実施形態）
図１はこの発明の第１実施形態に係る傾斜位置決め装置の斜視図である。
【００２６】
傾斜位置決め装置１は、固定台１０と、可動台２０と、固定台１０と可動台２０とを連結する自在継手３０と、可動台２０に配置され、固定台１０に対する可動台２０の傾きを変更する第１、第２ねじ部材（傾き調節部材）４０，４１とを有する。
【００２７】
固定台側取付部３１には固定ビス１３と螺合するめねじ部３６が設けられ、可動台側取付部３２にはめねじ部３６と直交し、固定ビス２３と螺合するめねじ部３７が設けられている。
【００２８】
固定台１０及び可動台２０は四角形の板体である。なお、固定台１０及び可動台２０は四角形に限られるものではなく、例えば三角形、五角形以上の多角形、円形、楕円形等でもよい。
【００２９】
固定台１０には自在継手３０の一端を収容可能な、固定台１０の厚さ方向へ貫通する貫通孔１１と、Ｘ軸方向へ延び、貫通孔１１へ連なるねじ孔１２とが設けられている。
【００３０】
貫通孔１１は固定台１０のＸ軸に平行な辺の一端側に設けられている。
【００３１】
ねじ孔１２に挿通された固定ビス１３はめねじ部３６（図２参照）にねじ込まれ、自在継手３０の一端を固定台１０に固定する。
【００３２】
固定台１０の上方に位置し、ミラーやレンズ等の被検体（位置決め対象物）５を載置する可動台２０には、自在継手３０の他端を収容可能な、可動台２０の厚さ方向へ貫通する貫通孔２１と、Ｙ軸方向へ延び、貫通孔２１へ連なるねじ孔２２とが設けられている。
【００３３】
貫通孔２１は可動台２０のＸ軸方向へ延びる一辺の一端側に設けられている。
【００３４】
ねじ孔２２に挿通された固定ビス２３はめねじ部３７（図２参照）にねじ込まれ、自在継手３０の他端を可動台２０に固定する。
【００３５】
なお、固定ビス１３，２３に代えて圧入ピンを使用してもよい。圧入ピンを使用する場合、めねじ部３６，３７とねじ孔１２，２２とを圧入ピン用の孔とし、圧入ピンで自在継手３０を固定台１０及び可動台２０にそれぞれ固定する。
【００３６】
上記構成によって、可動台２０のＸＹ平面の回転が阻止される。
【００３７】
また、可動台２０には固定台１０の上面に当接する第１のねじ部材４０と第２のねじ部材４１とが設けられている。
【００３８】
第１のねじ部材４０は貫通孔２１を一端側とする可動台２０のＹ軸に平行な辺の他端側に設けられている。
【００３９】
第２のねじ部材４１は貫通孔２１を一端側とする可動台２０のＸ軸に平行な辺の他端側に設けられている。
【００４０】
第１のねじ部材４０を回転させたとき、第１のねじ部材４０の進退運動によって可動台２０の傾きが変わり、自在継手３０と第２のねじ部材４１とを結ぶ仮想線を中心にして可動台２０が回転し、被検体５のＹ軸方向の傾斜角度が変わる。
【００４１】
また、第２のねじ部材４１を回転させたとき、第２のねじ部材４１の進退運動によって可動台２０の傾きが変わり、自在継手３０と第１のねじ部材４０とを結ぶ仮想線を中心にして可動台２０が回転し、被検体５のＸ軸方向の傾斜角度が変わる。
【００４２】
なお、図１において被検体５は可動台２０に直接載置されているが、例えば被検体５は可動台２０に設けられたＸＹステージ（図示せず）等を介して可動台２０に載置されるようにしてもよい。
【００４３】
図２は自在継手の拡大斜視図である。
【００４４】
自在継手３０は、固定台側取付部３１と、可動台側取付部３２と、コマ３３とを備えている。
【００４５】
固定台側取付部３１は円筒部３１ａとこの円筒部３１ａの一端に設けられた一対の腕部３１ｂ，３１ｃとを有する。また、可動台側取付部３２は円筒部３２ａとこの円筒部３２ａの一端に設けられた一対の腕部３２ｂ，３２ｃとを有する。
【００４６】
一対のシャフト（図２では一方のシャフト３４だけが見える）と、この一対のシャフト３４と直交する一対のシャフト（図２では一方のシャフト３５だけが見える）とがコマ３３の側面から突出している。なお、シャフト３４とシャフト３５とは互いに高さ方向（Ｚ軸方向）へずれていてもよい。
【００４７】
一対のシャフト３４は固定台側取付部３１の一対の腕部３１ｂ，３１ｃにそれぞれ回転可能に支持される。また、一対のシャフト３５は可動台側取付部３２の一対の腕部３２ｂ，３２ｃにそれぞれ回転可能に支持される。
【００４８】
この構成により、可動台側取付部３２をシャフト３４，３５の回りに回転させる（傾ける）ことができる。したがって、固定台１０と可動台２０とを自在継手３０で接続することによって、シャフト３４，３５を中心にＸ軸方向及びＹ軸方向へ可動台側取付部３２を傾かせることができるので、固定台１０に対して可動台２０を傾けることができる。
【００４９】
この実施形態によれば、固定ビス１３，２３で自在継手３０を固定するだけで傾斜位置決め装置１を組み立てることができるので、２つの引っ張りばね１３１，１３２の端部を固定台１１０と可動台１２０との間に張り渡す作業を必要する従来例に比べて組立性が向上する。
【００５０】
（第２の実施形態）
図３はこの発明の第２実施形態に係る傾斜位置決め装置の斜視図であり、第１実施形態と共通する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００５１】
この実施形態は貫通孔２１と第２のねじ部材４１とが配置された可動台７０の一辺の対辺のほぼ中点に第１のねじ部材４０を配置した点で第１実施形態と相違する。
【００５２】
第１のねじ部材４０と第２のねじ部材４１とを回転させることによって可動台７０の固定台１０に対する傾きを変えることができる。
【００５３】
この実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏するとともに、第１のねじ部材４０、第２のねじ部材４１及び自在継手３０で形成される仮想三角形の中心と可動台２０の中心とがほぼ一致するため、可動台７０を動かすときの安定性が向上する。
【００５４】
なお、上記実施形態では、第１のねじ部材４０及び第２のねじ部材４１を可動台２０に設けたが、この構成に限られるものではなく、例えば第１のねじ部材４０及び第２のねじ部材４１を固定台２０に設けるようにしてもよい。
【００５５】
図４に傾斜位置決め装置を干渉計に用いた例を示す。
【００５６】
図４は傾斜位置決め装置を備える干渉計の主な構成を示す図である。
【００５７】
干渉計５０は、レーザ光を出射するレーザ光源５１と、レンズ５２と、コリメータレンズ５３と、レーザ光源５１とコリメータレンズ５３との間に配置されたハーフミラー５４と、コリメータレンズ５３と被検体５との間に配置されたフィゾー面５５と、干渉縞を撮像する撮像素子５６とを備える。
【００５８】
レーザ光源５１から出射されたレーザ光は、レンズ５２によって発散する光になり、ハーフミラー５４を透過してコリメータレンズ５３に到る。レーザ光はコリメータレンズ５３によって平行光線とされ、被検体５とほぼ同形状のフィゾー面５５に照射される。レーザ光の一部はフィゾー面５５で反射される。フィゾー面５５で反射された光はコリメータレンズ５３へと光路を逆行し、ハーフミラー５４で反射される。
【００５９】
フィゾー面５５を透過したレーザ光は被検体５に照射される。被検体５は第１実施形態で説明した傾斜位置決め装置１の可動台２０上に載置されている。被検体５の表面で反射された光はフィゾー面５５、コリメータレンズ５３へと光路を逆行し、ハーフミラー５４で反射される。
【００６０】
ハーフミラー５４で反射された、フィゾー面５５で反射された光と被検体５で反射された光とは干渉して干渉縞を生じる。この干渉縞が撮像素子５６で撮像される。
【００６１】
このとき、フィゾー面５５から発する平面波又は球面波（図示せず）と被検体５の被検面から発する平面波又は球面波（図示せず）とによって干渉縞が作られるように可動台２０（被検体５）の傾斜角度を調節する。
【００６２】
なお、フィゾー面５５を傾斜位置決め装置１で保持し、フィゾー面５５の傾斜角度を調節することによって干渉縞を発生させるようにしてもよい。この場合、傾斜位置決め装置１は中央部に開口を有するものを使用し、この開口を介してフィゾー面５５を透過した光を被検体５へ導く。
【００６３】
【発明の効果】
以上に説明したようにこの発明によれば、傾斜位置決め装置の組立性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１はこの発明の第１実施形態に係る傾斜位置決め装置の斜視図である。
【図２】図２は自在継手の拡大斜視図である。
【図３】図３はこの発明の第２実施形態に係る傾斜位置決め装置の斜視図であ
【図４】図４は傾斜位置決め装置を備える干渉計の主な構成を示す図である。
【図５】図５は従来の傾斜位置決め装置の斜視図である。
【符号の説明】
１０  固定台
２０  可動台
３０  自在継手
４０，４１  ねじ部材（傾き調節部材）
５０  干渉計
【図１】
2005003380.tif 000003
【図２】
2005003380.tif 000004
【図３】
2005003380.tif 000005
【図４】
2005003380.tif 000006
【図５】
2005003380.tif 000007