(57)【要約】【課題】安価でありながら、回転時の回転中心の振れがなく精度高く回転可能にすること。【解決手段】ステージ座３０に各調整部材３９、４０を設け、これら調整部材３９、４０の各調節片４１、４２をステージ座３０に対して中心方向（Ａ）に摺動させることにより、回転ステージ軸３２をガタ量分だけステージ座３０に寄せてステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くすように調整する。【選択図】図６
2005107301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中央部に開口部が形成されたステージ座と、
観察試料を載置し、かつ前記ステージ座の前記開口部内に対して回転可能に嵌合された回転ステージ軸と、
前記回転ステージ軸を前記ステージ座に対して回転可能な状態で支持する止め部材と、
前記ステージ座に設けられ、前記回転ステージ座を前記ステージ座の前記開口部内における一方向に押し付けて固定する調整部材と、
を具備したことを特徴とする顕微鏡の回転ステージ。
【請求項２】
前記調整部材は、前記ステージ座の中心位置から所定の開口角を開けた少なくとも２箇所に調整可能に設けたことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項３】
前記開口角は、１８０°以内であることを特徴とする請求項２記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項４】
前記調整部材は、前記ステージ座に対して当該ステージ座の中心方向に摺動可能な調節片と、
前記調節片を前記ステージ座に固定する固定部材と、
を有することを特徴とする請求項１又は２記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項５】
前記複数の調整部材は、それぞれ前記ステージ座に対して当該ステージ座の中心方向に摺動可能な複数の調節片と、
これら調節片を前記ステージ座に固定する複数の固定部材と、
を有することを特徴とする請求項２記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項６】
前記調節片は、前記回転ステージ軸との接触幅及び接触高さが任意に設定可能であることを特徴とする請求項４又は５記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項７】
前記調整部材は、前記ステージ座に対して少なくとも１箇所に調整可能に設けられていることを特徴とする請求項１記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項８】
前記調整部材は、前記ステージ座に設けられた軸と、
前記軸に対して回転可能に設けられたベアリングと、
を有することを特徴とする請求項１記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項９】
前記調整部材は、前記ステージ座の中心位置から所定の開口角を開けた各位置に複数設けられ、そのうちの少なくとも１つの前記ベアリングは、当該ベアリングを前記ステージ座の中心方向に付勢力を与える弾性部材により支持されることを特徴とする請求項８記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項１０】
前記弾性部材は、バネであることを特徴とする請求項９記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項１１】
前記複数の調整部材は、前記ステージ座に対して傾斜して設けられたことを特徴とする請求項８又は９記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項１２】
前記ステージ座の前記開口部内に対して前記回転ステージ軸を回転可能に嵌合して回転ステージユニットを形成し、
前記回転ステージユニットは、心ネジの操作によりステージ台上にＸＹ方向に移動可能に設けたことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡の回転ステージ。
【請求項１３】
請求項１乃至１２うちいずれか１項に記載された顕微鏡の回転ステージを用いたことを特徴とする偏光顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば教育用・検査用等の安価な偏光顕微鏡に適用可能な顕微鏡に係り、回転ステージの回転精度を向上しかつこれを確保するための顕微鏡の回転ステージ及びこれを用いた偏光顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかる偏光顕微鏡の回転ステージは、様々な場面で用いられる基本的かつ重要な構成要素の1つである。例えばオルソスコープにおける観察試料の角度変更やリターデーション測定における消光位（観察試料が最も暗くなる位置）や対角位（観察試料が最も明るくなる位置）の検出などを行う場合、偏光顕微鏡にとって回転ステージによる観察試料の回転は不可欠な主機能である。
【０００３】
このような回転ステージに求められる性能は、偏光顕微鏡の観察視野内において、観察試料の観察したい任意の部位の位置を変えることなく滑らかに回転させることである。そのための条件として、先ず、回転ステージの回転中心位置と対物レンズの光軸（すなわち視野中心）とを完全に一致させることが必要である。これら回転ステージの回転中心位置と対物レンズの光軸との調整のためには、通常、何らかの調整機構を備えている。
【０００４】
次の条件として、回転ステージの回転中心位置と対物レンズの光軸とを一致させた状態で、如何に回転ステージの回転中心が振れなく高精度に回転させるかということである。
【０００５】
回転ステージには、回転中心の振れを無くして高精度な回転を維持するために、高精度なラジアルベアリングを用いた高価なものがある。このような回転ステージは、一般的に研究用途等の高価な顕微鏡に適用される場合が多く、低価格が求められる教育用・実習用の顕微鏡に適用されるケースは少ない。
【０００６】
このような各条件を必要とする偏光顕微鏡の回転ステージとしては、例えば、特許文献１に摺動嵌合によるすべり軸受方式の回転ステージの構成が記載されている。
【０００７】
特許文献２には、偏光顕微鏡の観察試料の位置調整に用いられる顕微鏡ステージにおいて、円周部付近に角度表示目盛を付した自在に回転可能な円板状ステージの上に互いに直交するスライドグラス保持具とスライドグラス押えとを配置し、これらスライドグラス保持具とスライドグラス押えとによってスライドグラス上の観察試料を顕微鏡の視野内に入るよう移動調節することが記載されている。
【０００８】
特許文献３には、ＸＹ軸可動ステージの回動及び傾斜を可能にした顕微鏡のステージにおいて、基台上に回動可能な回転テーブルを設け、この回転テーブル上に上方への突出量を調整可能な３つの支持ピン部材を介してＸＹ軸可動ステージを支持する構造として、ＸＹ軸可動ステージの回動及び傾斜を調整することが記載されている。
【０００９】
特許文献４には、凸状マウントを有するステージホルダと、これに対応する凹状部を有すると共にステージホルダに対して位置調整・固定可能な回転ガイドリングと、回転ガイドリングをガイドとして光軸と直交する面内で回転可能な回転部材とを備え、厚さの薄い構成によって心出しを調整可能とする回転ステージが記載されている。
【特許文献１】実公昭３６−１９５７１号公報
【特許文献２】特開昭６０−８８９１９号公報
【特許文献３】特開平７−５６０９３号公報
【特許文献４】特開平８−４３７４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、特許文献１は、回転ステージの軸と穴との一般的な嵌め合い寸法による嵌合、若しくは穴寸法に合わせて回転ステージの軸の加工を行ってガタの極小化を行う合わせ加工を行う必要がある。このため、回転ステージの軸と穴との寸法を幾ら極小に詰めたとしても、回転ステージを回転させる為には、微小な隙間が必要で、その隙間が回転ステージを操作したときのガタとなって現れる。
【００１１】
通常の生産レベルでは、回転ステージの軸と穴との隙間を１０μｍ以下にすることは困難で、仮に出来たとしても、多大な時間と費用を費やすことになる。例えば１０μｍのガタのある回転ステージで偏光観察を行った場合、特に高倍率の対物レンズで観察した際に、回転ステージを回転したときに観察試料の見たい部位が回転に応じて観察視野内で一定の位置に存在しないために、正確な回転による偏光特性の変化を捉えられないことが生じる可能性を有する。
【００１２】
一方、回転ガタを減らす構成としては、市販ベアリング、ボール方式を用いることも考えられるが、部品の高価格、組立工数のアップにより、安価な偏光顕微鏡には適用できない。特に高倍率の対物レンズで観察した際に、回転ステージを回転したときに観察試料中の観察したい部位の位置が観察視野内で回転に応じて一定しないために、正確な回転による偏光特性の変化を捉えられないことも生じる可能性を有する。
【００１３】
特許文献２は、回転ステージの回動を可能にする具体的な構成、例えば摺動嵌合若しくはベアリングといったガイド機構について何ら開示されていない。
【００１４】
特許文献３は、操作ダイヤルの操作によりピニオンとギヤを介して回転テーブルを回動させる機構が開示されているが、やはり具体的な構成、例えば摺動嵌合若しくはベアリングといったガイド機構について何ら示されていない。
【００１５】
特許文献４は、ガイド部材としての回転ガイドリングと回転部材との間に、複数の転動体、例えばボール、ローラ等を配することが記載されているが、転動体を組み込んでガタなく滑らかに回転させるための具体的な構成、例えば予圧をかける構成などは開示されていない。又、転動体を用いた転がり方式の回転ステージであるために、部品に要求される真円度などの精度を高くする必要がある。このため、部品に係る価格が高くなり、結果的に回転ステージを安価に製作することができない。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、中央部に開口部が形成されたステージ座と、観察試料を載置し、かつステージ座の開口部内に対して回転可能に嵌合された回転ステージ軸と、回転ステージ軸をステージ座に対して回転可能な状態で支持する止め部材と、ステージ座に設けられ、回転ステージ座をステージ座の開口部内における一方向に押し付けて固定する調整部材とを具備した顕微鏡の回転ステージである。
【００１７】
本発明は、上記顕微鏡の回転ステージを用いた偏光顕微鏡である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は、安価でありながら、回転時の回転中心の振れがなく精度高く回転可能な顕微鏡の回転ステージ及びこれを用いた偏光顕微鏡を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２０】
図１は顕微鏡の回転ステージを適用した偏光顕微鏡の全体構成図である。顕微鏡本体１は、コ字形状に形成されている。この顕微鏡本体１の下部には、透過照明光源２が設けられている。この透過照明光源２から放射される透過照明光の光路上（光軸Ｐ上）には、コレクタレンズ３が設けられている。このコレクタレンズ３は、透過照明光源２から放射された透過照明光を集光する。
【００２１】
顕微鏡本体１の中間部には、ステージ受け部４が上下動可能に設けられている。このステージ受け部４の端部５には、コンデンサ受け６がハンドル７の回転操作により上下動可能に設けられている。コンデンサ受け６には、コンデンサレンズ８が挿入されて固定されている。このコンデンサレンズ８は、透過照明光源２から放射された透過照明光をスライドガラス（観察試料）Ｓに集光する。コンデンサ受け６の下部には、ポラライザユニット９が回転可能に取り付けられている。このポラライザユニット９内には、ポラライザ（偏光板）１０が設けられている。これらコンデンサレンズ８及びポラライザ１０は、光軸Ｐ上に設けられている。
【００２２】
ステージ受け部４は、粗微動ハンドル１１の回転操作により顕微鏡本体１に対して上下動する。このステージ受け部４には、ステージ台１２が設けられている。このステージ台１２は、中央部に開口部１３が形成されている。このステージ台１２上には、回転ステージユニット１４が設けられている。この回転ステージユニット１４上には、観察試料を保持するスライドガラス（観察試料）Ｓが載せられる。
【００２３】
ステージ台１２上の１箇所には、押しピン１５が摺動可能に挿入されている。この押しピン１５は、コイルバネ１６を介してネジ１７によってステージ台１２に押さえられている。
【００２４】
又、ステージ台１２上における押しピン１５を取り付けた箇所に対してステージ台１２の中心を介して点対称の箇所と、この箇所に対してステージ台１２の中心から開口角１２０°の箇所との計２箇所には、それぞれ心ネジ１８が設けられている。これら心ネジ１８は、回転操作により回転ステージユニット１４をＸＹ方向に移動させる。
【００２５】
顕微鏡本体１の上部には、レボルバ１９が回転自在に設けられている。このレボルバ１９は、複数の対物レンズ２０を取り付け・取り外し可能に装着する。このレボルバ１９は、顕微鏡本体１に対して回転することにより所望の対物レンズ２０を光軸Ｐ上に切り替え配置可能とする。
【００２６】
顕微鏡本体１の上面には、中間鏡筒２１が設けられている。この中間鏡筒２１は、図示しないがアナライザ及び対物レンズ２０の瞳を接眼レンズ２２の焦点面に投影させる為のベルトランレンズ２３を内蔵する。なお、中間鏡筒２１には、スロット２４が設けられている。
【００２７】
中間鏡筒２１上には、鏡筒２５が設けられている。この鏡筒２５内には、結像レンズ２６と、光路を接眼レンズ２２の方へ折り返す為のプリズム２７とを有する。
【００２８】
図２及び図３は回転ステージユニット１４の構成図であって、図２は断面図、図３は下面図である。ステージ座３０は、環状に形成され、その側面３１は傾斜している。この側面３１には、押しピン１５及び各心ネジ１８が当接する。このステージ座３０には、回転ステージ軸３２が当該回転ステージ軸３２の開口部３４の縁に沿って形成された凸状の嵌合片３３を介して回転可能に嵌合している。
【００２９】
この回転ステージ軸３２は、中央部に円形の開口部３４を有する環状に形成されている。この回転ステージ軸３２には、その厚みを開口部３４に向って薄くするテーパ部３５を形成する。
【００３０】
図４はステージ座３０と回転ステージ軸３２との嵌合部の拡大図を示す。回転ステージ軸３２におけるステージ座３０との各接触面には、それぞれ凹形状の各逃げ部３６、３７が設けられている。これら回転ステージ軸３２とステージ座３０とは、止め部材３８により支持されている。この止め部材３８は、一部断面がＬ字形状でかつ環状に形成され、回転ステージ軸３２の嵌合片３３の内壁面に対して螺合している。これにより、回転ステージ軸３２は、ステージ座３０に対して回転可能でかつ回転軸方向に動かないように固定されている。
【００３１】
図３に示すようにステージ座３０には、すべりタイプの各調整部材３９、４０が設けられている。これら調整部材３９、４０は、ステージ座３０の中心に対して任意の角度θ、例えばθ＝１２０°の間隔で設けられている。これら調整部材３９、４０は、それぞれ各調節片４１、４２と、固定部材として各ネジ４３、４４とを有する。各調節片４１、４２は、回転ステージ軸３２の嵌合片３３の外壁面と接触する各端面４１ａ、４２ａの形状を、嵌合片３３の外周縁の曲率と同一の曲率を有する円弧に形成されている。又、これら調節片４１、４２は、ステージ座３０の中心に向う方向（Ａ）に向って摺動可能に設けられている。
【００３２】
これら調整部材３９、４０は、各調節片４１、４２をステージ座３０に対して中心方向（Ａ）に摺動させることにより各端面４１ａ、４２ａを回転ステージ軸３２の嵌合片３３の外壁面に接触し、回転ステージ軸３２をステージ座３０の一方向に押し付けて、ステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くすように調整する。そして、これら調整された各調節片４１、４２は、各ネジ４３、４４により締め付けられてステージ座３０に固定される。
【００３３】
次に、上記の如く構成された顕微鏡の回転ステージの動作について説明する。
【００３４】
偏光特性測定（リタデーション測定）は、オルソスコープ観察により行う。この観察では、偏光観察用の中間鏡筒２１における図示しないターレットを切り換えて、ベルトランレンズ２３を対物レンズ２０の光軸Ｐ上に位置しない空穴位置にする。又、中間鏡筒２１における図示しない操作ツマミを操作してアナライザを取り外す（アナライザＯＵＴ状態）。ポラライザユニット９は、取り外しておく。なお、ポラライザ１０は、取り付けておいてもよいが、照明が少し暗くなる。
【００３５】
通常の明視野等の観察方法と同様に、粗微動ハンドル１１を回転操作して対物レンズ２０に対してスライドガラス（観察試料）Ｓに対してピントを概略合わせる。次に、ハンドル７を回転操作してコンデンサレンズ８の位置を最適に調節する。再度、スライドガラス（観察試料）Ｓに対してピントを正確に合わせる。
【００３６】
次に、中間鏡筒２１における図示しない操作ツマミを操作して、アナライザを挿入（アナライザＩＮ状態）してから、アナライザの回転位置を目盛り「０」に合わす。次に、ポラライザユニット９を装着する。ここで、一旦、スライドガラス（観察試料）Ｓを回転ステージ軸３２上から取り外してからアナライザとポラライザ１０とを直交させた状態（クロスニコル）にする。実際の操作としては、ポラライザユニット９を回転させてアナライザとポラライザ１０とをクロスニコルにする。
【００３７】
再度、スライドガラス（観察試料）Ｓを回転ステージ軸３２上に載置することでオルソスコープ観察が可能になる。この操作は、アナライザの回転角度に応じた観察を行う場合、基準が欲しい為である。
【００３８】
次に、スライドガラス（観察試料）Ｓを観察したい位置に回転ステージ軸３２の中心位置を合わせる。例えば、対物レンズ２０を倍率１０倍等の低倍にセットする。観察試料Ｓを観察したい位置にスライドガラス（観察試料）Ｓを直接動かすか、又は心ネジ１８を回転操作することで回転ステージユニット１４の全体をＸＹ方向に移動して、回転ステージ軸３２の中心位置をスライドガラス（観察試料）Ｓの観察位置に調整する。
【００３９】
この状態で、回転ステージ軸３２を回転させると、接眼レンズ２２の観察視野内におけるスライドガラス（観察試料）Ｓの観察視野の中心に対する動きが確認される。スライドガラス（観察試料）Ｓは、例えば観察視野の中心を動きの中心として円の軌跡を描いて移動する。そこで、スライドガラス（観察試料）Ｓ中の観察したいポイントの軌跡（円）の中心を観察視野の中心位置になるように、心ネジ１８を回転操作して回転ステージユニット１４をＸＹ方向に移動する。この状態で、スライドガラス（観察試料）Ｓのみを移動して観察試料中の観察したいポイントを観察視野中心に合わせ直す。以上の調整を低倍（１０倍）〜高倍（４０倍）の各対物レンズ２０に順次切り替えて観察試料を観察したい位置に回転ステージ軸３２の中心位置を合わせる。
【００４０】
中間鏡筒２１のスロット２４に各種コンペンセータを挿入すると、観察試料のリタデーションの測定をすることができる。
【００４１】
次に、ステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタの調整について図５及び図６を参照して説明する。なお、図５及び図６はステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタ量を強調して示す。
【００４２】
図５は各調整部材３９、４０を設ける前のステージ座３０と回転ステージ軸３２との嵌合状態を示す。これらステージ座３０と回転ステージ軸３２とのガタ量は、ステージ座３０と回転ステージ軸３２と隙間がΔｘであれば、２×ｘにより示される。
【００４３】
通常の加工精度では、隙間Δｘは５〜１０μｍ（直径では２・Δｘ＝１０〜２０μｍ）である。隙間Δｘには、回転ステージ軸３２の回転を円滑にすると共に耐久性を向上させるために潤滑材としてグリス等が施されている。このグリスの粘性特性によつて回転ステージ軸３２を回転させるための力量も変化する。グリスの静・動摩擦係数によっても回転ステージ軸３２を回転させるときの始動時力量、作動力量も変化する。
【００４４】
図６は各調整部材３９、４０を設けた構成を示す。これら調整部材３９、４０は、各調節片４１、４２をステージ座３０に対して中心に向う方向（Ａ）に摺動させる。これにより、各調節片４１、４２の各端面４１ａ、４２ａは、回転ステージ軸３２の嵌合片３３の外壁面に接触し、回転ステージ軸３２をステージ座３０の一方向（矢印Ｂ方向）に押し付ける。
【００４５】
この結果、ステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタは、極小又は無くすように調整される。これら調整された各調節片４１、４２は、各ネジ４３、４４により締め付けられてステージ座３０に固定される。
【００４６】
このように各調整部材３９、４０により回転ステージ軸３２は、ガタ分だけステージ座３０に寄せられる。これにより、回転ステージ軸３２は、外周の一部と各調整部材３９、４０とに接触してステージ座３０内に嵌合される。このとき、回転ステージ軸３２の回転心ガタは、回転ステージ軸３２の軸真円度に依存して決められ、例えば１〜２μｍまで可能である。但し、回転ステージ軸３２をステージ座３０に組付けた後にラッピング等を施すことにより回転心ガタを更に減らすことが可能である。
【００４７】
このように上記第１の実施の形態によれば、回転ステージ軸３２を回転可能に嵌合するステージ座３０に各調整部材３９、４０を設け、これら調整部材３９、４０の各調節片４１、４２をステージ座３０に対して中心方向（Ａ）に摺動させることにより、回転ステージ軸３２をガタ量分だけステージ座３０に寄せてステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くすように調整する。
【００４８】
これにより、ステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くなった状態で、スライドガラス（観察試料）Ｓが載置された回転ステージユニット１４を回転させることができる。ステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタの調整は、各調整部材３９、４０による簡単な構成で行うことができ、安価に実現できる。従って、これら調整部材３９、４０によるステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタの調整は、教育用・実習用の顕微鏡に好適である。
【００４９】
又、ステージ座３０と回転ステージ軸３２との嵌合精度は高めることなく、既存の嵌合精度でステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くすように調整できる。
【００５０】
さらに、原価的には、各調整部材３９、４０に要する費用と、これら調整部材３９、４０の組立時間に係る費用との分だけ高くなるだけで、大幅な価格アップには繋がらない。
【００５１】
又、ステージ座３０と回転ステージ軸３２との嵌合と、各調整部材３９、４０による調整との併用によりガタをなくすので、各調整部材３９、４０に対する負担を最小に抑えることができ、耐久性を向上できる。
【００５２】
このような偏光顕微鏡の回転ステージユニット１４であれば、例えばオルソスコープにおけるスライドガラス（観察試料）Ｓの角度変更やリターデーション測定における消光位と対角位との検出などを行うときに、スライドガラス（観察試料）Ｓを載せた回転ステージユニット１４を回転させても、観察視野内においてスライドガラス（観察試料）Ｓの観察したい任意の部位の位置を変えることなく観察できる。
【００５３】
次に、上記第１の実施の形態の変形例について説明する。
【００５４】
図７及び図８は回転ステージユニット１４に設けられた各調整部材の変形例を示す構成図であって、図７は断面図、図８は回転ステージユニットの下面図である。各調整部材５０、５１は、上記第１の実施の形態における各調整部材３９、４０の回転ステージ軸３２との接触幅及びその接触高さ寸法よりも、これら回転ステージ軸３２との接触幅が大きく形成され、かつ接触高さ寸法が高く形成されている。ステージ座５２は、各調整部材５０、５１の接触幅及び接触高さ寸法の変更に応じて形状を変更してもよい。
【００５５】
各調整部材３９、４０及び５０、５１の形状は、回転ステージ軸３２との接触巾及び接触高さ寸法について特に規定しない。回転ステージ軸３２との接触面積が増加すれば、単位面積辺りの面圧が小さくなるので、磨耗等の耐久性上有利になる。
【００５６】
各調整部材３９、４０及び５０、５１の材質は、精度を保ち、かつ回転ステージ軸３２の回転時における抵抗に対する強度を有すれば、如何なるものでよく、例えばアルミニウム、黄銅、鉄、樹脂などでもよい。なお、各調整部材３９、４０及び５０、５１は、回転ステージ軸３２との相性が存在しており、例えば回転ステージ軸３２がアルミニウムにより形成されていれば、各調整部材３９、４０及び５０、５１は、同じアルミニウム、若しくは同等の機械的性質を有する材質であることが好ましい。
【００５７】
各調整部材３９、４０及び５０、５１は、すべりタイプであるが、回転ステージ軸３２の２点を規制できれば良いので、ベアリング、コロ、ボール、ピン形状のものでもよい。
【００５８】
上記第１の実施の形態では、それぞれ２箇所に各調整部材３９、４０及び５０、５１を設けているが、２箇所に限らず、３箇所以上の複数箇所に設けてもよい。
【００５９】
次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、図２及び図３と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００６０】
図９及び図１０は回転ステージユニット１４の構成図であって、図９は断面図、図１０は下面図である。なお、図９中における光軸Ｐよりも右側は、図１０のＢ−Ｂ断面図である。ステージ座３０の内周部には、例えば角度１２０毎の等間隔で３箇所に各ベアリング６０、６１、６２が設けられている。これらベアリング６０、６１、６２は、例えば４級程度の小径玉軸受又は深溝玉軸受に相当する。これらベアリング６０、６１、６２は、それぞれステージ座３０に固定された各軸６３、６４、６５に回転可能に軸支されている。そして、これらベアリング６０、６１、６２は、回転ステージ軸３２の嵌合片３３に接触している。
【００６１】
このうちベアリング６２は、板バネ状の弾性部材６６に回転可能に支持されている。この弾性部材６６は、各ピン６７によりステージ座３０に固定されている。この弾性部材６６は、ステージ座３０の中心方向に向って付勢力を与える。この弾性部材６６の力量は、ベアリング６２自体に有する微小なガタを片側に寄せられる程度で、回転ステージ軸３２の回転操作時に例えば指に掛けて回転させたときにも、影響を受けないように大きめな力量が設定されている。
【００６２】
このように上記第２の実施の形態によれば、ステージ座３０の内周部の例えば３箇所に各ベアリング６０、６１、６２を設け、このうちベアリング６２を弾性部材６６によってステージ座３０の中心方向に向って付勢力を与えるようにした。
【００６３】
これにより、回転ステージ軸３２をガタ量分だけステージ座３０に寄せてステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くすように調整でき、この調整によりステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くなった状態で、スライドガラス（観察試料）Ｓが載置された回転ステージユニット１４を回転させることができる。
【００６４】
ここで、各ベアリング６０、６１、６２と接触する回転ステージ軸３２の軸の真円度は、高精度（１〜２μｍ程度）に抑えられている。各ベアリング６０、６１、６２には微小なガタが存在するが、弾性部材６６の作用により常にステージ座３０の中心方向に向って寄せられているので、回転ステージ軸３２の中心は、自身の真円度によるバラツキ分と各ベアリング６０、６１、６２自体の回転偏心分程度しか偏心が発生しない。
【００６５】
上記第１の実施の形態と比較すると、回転ガイドとして各ベアリング６０、６１、６２を用いているので、回転力量が小さくて済み、操作性の向上が図れる。又、嵌合摺動が無いので、更に安価である。
【００６６】
耐久性は、各ベアリング６０、６１、６２によるころがりを用いているので、上記第１の実施の形態における各調整部材３９、４０と回転ステージ軸３２との間の滑りと比較して明らかに向上できる。
【００６７】
次に、上記第２の実施の形態の変形例について説明する。
【００６８】
上記第２の実施の形態では、各ベアリング６０、６１、６２を弾性部材６６に支持して回転ステージ軸３２に押付けているが、位置決め固定することも容易に可能である。又、弾性部材６６は、板バネ状に形成しているが、圧縮・引張りコイルバネやゴム等を用いても良い。
【００６９】
又、各ベアリング６０、６１、６２に代えてボール、コロでもよい。又、各ベアリング６０、６１、６２は、回転ステージ軸３２に対して水平方向に接触させているが、軸方向のガタが存在すれば、図１１に示すように軸方向に回転ステージ軸３２を押し付けるために角度を付けて接触させてもよい。
【００７０】
各ベアリング６０、６１、６２は、ステージ座３０に対して傾いて取り付けられている。これにより、各ベアリング６０、６１、６２は、回転ステージ軸３２の軸面に対して垂直に転がるように配置されている。このうちベアリング６２は、傾いた状態で板バネ状の弾性部材６６によってステージ座３０の中心方向に向って付勢力を与えている。これにより、回転ステージ軸３２は、Ｚ方向に常に力が働き、結果的に一方向の面に常に突き当たることになり、回転軸方向のガタを減らすことができる。
【００７１】
上記第２の実施の形態では、それぞれ３箇所に各ベアリング６０、６１、６２を設けているが、３箇所以上の複数箇所に設けてもよい。
【００７２】
又、各調整部材３９、４０、５０、５１は、それぞれ２つに限らず、１つ又は２つ以上設けてもよい。例えば、１つの調整部材３９を設け、この調整部材３９における調節片４１をステージ座３０に対して中心方向に摺動させて回転ステージ軸３２をステージ座３０における調整部材３９の対向側に押し付けてステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くすように調整するようにしてもよい。
【００７３】
又、例えば、２つのベアリング６２、６２を所定の間隔で設け、これらベアリング６２、６２をステージ座３０に対して中心方向に摺動させて回転ステージ軸３２をステージ座３０における調整部材３９の対向側に押し付けてステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くすように調整するようにしてもよい。
【００７４】
又、例えば、１つの調整部材３９と、この調整部材３９と対向側に２つの固定された基準片を所定間隔だけ離して設け、１つの調整部材３９における調節片４１をステージ座３０に対して中心方向に摺動させて回転ステージ軸３２を２つの基準片に押し付けてステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くすように調整するようにしてもよい。
【００７５】
又、例えば、１つの調整部材３９と、この調整部材３９と対向側に２つの固定されたベアリングを所定間隔だけ離して設け、１つの調整部材３９における調節片４１をステージ座３０に対して中心方向に摺動させて回転ステージ軸３２を２つのベアリングに押し付けてステージ座３０と回転ステージ軸３２との間のガタを極小又は無くすように調整するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明に係る顕微鏡の回転ステージの第１の実施の形態を適用した偏光顕微鏡の全体構成図。
【図２】同顕微鏡の回転ステージにおける回転ステージユニットの断面図。
【図３】同顕微鏡の回転ステージにおける回転ステージユニットの下面図。
【図４】同顕微鏡の回転ステージにおけるステージ座と回転ステージ軸との嵌合部の拡大図。
【図５】同顕微鏡の回転ステージにおけるステージ座と回転ステージ軸との間のガタを示す図。
【図６】同顕微鏡の回転ステージにおける各調整部材を設けた回転ステージユニットの断面図。
【図７】同顕微鏡の回転ステージにおける回転ステージユニットに設けられた調整部材の変形例を示す断面図。
【図８】同顕微鏡の回転ステージにおける回転ステージユニットの下面図。
【図９】本発明に係る顕微鏡の回転ステージの第２の実施の形態における回転ステージユニットの断面図。
【図１０】同顕微鏡の回転ステージにおける回転ステージユニットの下面図。
【図１１】同顕微鏡の回転ステージにおけるベアリングの変形例を示す断面図。
【符号の説明】
【００７７】
１：顕微鏡本体、２：透過照明光源、３：コレクタレンズ、４：ステージ受け部、５：ステージ受け部の端部、６：コンデンサ受け、７：ハンドル、８：コンデンサレンズ、９：ポラライザユニット、１０：ポラライザ（偏光板）、１１：粗微動ハンドル、１２：ステージ台、１３：開口部、１４：回転ステージユニット、１５：押しピン、１６：コイルバネ、１７：ネジ、１８：心ネジ、１９：レボルバ、２０：対物レンズ、２１：中間鏡筒、２２：接眼レンズ、２３：ベルトランレンズ、２４：スロット、２５：鏡筒、２６：結像レンズ、２７：プリズム、３０：ステージ座、３１：ステージ座の側面、３２：回転ステージ軸、３３：嵌合片、３４：開口部、３５：テーパ部、３６，３７：逃げ部、３８：止め部材、３９，４０：調整部材、４１，４２：調節片、４３，４４：ネジ、５０，５１：調整部材、５２：ステージ座、６０〜６２：ベアリング、６３，６４，６５：軸、６６：弾性部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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