(57)【要約】【課題】複雑な機構を設けずに、ウエハ電位を非接触で正確に測定する。また、静電チャックを３点で支持する構成の利点を生かしつつ、静電チャックをステージに固定できる吸着力を確保する。【解決手段】静電チャック１に非接触電位計プローブ５を設置するための開口６もしくは切り欠きを設け、ウエハ裏面より電位測定を行う。また、静電チャック１を３つの突起状支持部材４で支持し、突起４の周辺に静電チャック１をステージ９側に非接触で静電吸引するための電極３ｄ〜３ｆを設ける。【選択図】      図１
2005026298.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搭載して移動するステージを備えたステージ装置であって、
前記ステージが、前記ステージに搭載された基板の電位を非接触で計測する非接触電位計のプローブを、前記基板の素地が露出した前記基板の部分に対向させて支持することを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記ステージが、前記ステージに搭載された基板保持部材に設けられた開口または切り欠きを通して前記基板の裏面に対向させるべく前記プローブを支持することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
前記ステージは、基板保持部材を搭載する微動ステージと、前記微動ステージを搭載する粗動ステージとを備え、前記粗動ステージが、前記基板保持部材および前記微動ステージにそれぞれ対応して設けられた開口または切り欠きを通して前記基板の裏面に対向させるべく前記プローブを支持することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項４】
前記基板保持部材に設けられた前記開口が、前記基板を前記基板保持部材に真空吸着するための真空排気孔として利用可能であることを特徴とする請求項２または３に記載のステージ装置。
【請求項５】
前記ステージが、前記基板の側面に対向させるべく前記プローブを支持することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項６】
前記ステージは、基板保持部材を搭載する微動ステージと、前記微動ステージを搭載する粗動ステージとを備え、前記粗動ステージが、前記微動ステージに設けられた開口または切り欠きを通して前記基板の側面に対向させるべく前記プローブを支持することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項７】
前記基板保持部材に設けられた、前記基板と絶縁体または誘電体を介して対面する複数の面状電極の電位を、前記非接触電位計の出力に基づいて調整することにより、前記基板の電位を制御する制御手段を有することを特徴とする請求項２、３、４および６のいずれか１つに記載のステージ装置。
【請求項８】
前記複数の面状電極は、前記基板を吸着保持するための静電吸着電極として兼用されることを特徴とする請求項７に記載のステージ装置。
【請求項９】
前記複数の面状電極のそれぞれの面積と電位との積の総和が０になるように、前記それぞれの面積と電位とを設定したことを特徴とする請求項８に記載のステージ装置。
【請求項１０】
前記制御手段は、前記電位の絶対値が最も小さい前記面状電極の電位を制御することを特徴とする請求項７〜９のいずれか１つに記載のステージ装置。
【請求項１１】
前記制御手段は、前記面積が最も大きい電極の電位を制御することを特徴とする請求項７〜９のいずれか１つに記載のステージ装置。
【請求項１２】
前記素地が露出した前記基板の部分は、感光剤が付着していない部分であることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１つに記載のステージ装置。
【請求項１３】
基板保持部材を介して基板を搭載して移動するステージ手段を備えるステージ装置であって、
前記基板保持部材は、前記ステージにより支持される３つの突起と、前記突起のそれぞれの周辺に配置され前記ステージと前記基板保持部材との間に静電吸着力を作用させるための第１の静電吸着電極とを有することを特徴とするステージ装置。
【請求項１４】
前記基板保持部材は、前記基板を静電吸着して保持するための第２の静電吸着電極を有することを特徴とする請求項１３に記載のステージ装置。
【請求項１５】
前記基板保持部材において、前記第１の静電吸着電極の少なくとも１つと前記第２の静電吸着電極の少なくとも１つとを電気的に接続したことを特徴とする請求項１４に記載のステージ装置。
【請求項１６】
前記突起を、前記基板保持部材と前記ステージとを電気的に接続する端子として兼用することを特徴とする請求項１３〜１５のいずれか１つに記載のステージ装置。
【請求項１７】
前記突起に、前記基板保持部材と前記ステージとを電気的に接続する端子を設けたことを特徴とする請求項１３〜１５のいずれか１つに記載のステージ装置。
【請求項１８】
前記突起は、前記基板保持部材の裏面に設けられた３つの支持部材のそれぞれに設けられたことを特徴とする請求項１３〜１７のいずれか１つに記載のステージ装置。
【請求項１９】
前記ステージと対向する前記支持部材の部分に、前記基板保持部材と前記ステージとを電気的に接続する端子を設けたことを特徴とする請求項１８に記載のステージ装置。
【請求項２０】
請求項１〜１９のいずれか１つに記載のステージ装置に搭載された基板を用いた露光処理を行うことを特徴とする露光装置。
【請求項２１】
請求項１〜１９のいずれか１つに記載のステージ装置に搭載された基板を用いた露光処理を行うことを特徴とする荷電ビーム描画装置。
【請求項２２】
請求項１〜１９のいずれか１つに記載のステージ装置によって、前記基板としての被露光基板および原版の少なくとも一方を位置決めすることを特徴とする露光装置。
【請求項２３】
請求項２０もしくは２２に記載の露光装置または請求項２１に記載の荷電ビーム描画装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【請求項２４】
基板を搭載して移動するステージに搭載された基板の電位を、前記基板の素地が露出した前記基板の部分に対向させるべく前記ステージに支持された非接触電位計のプローブにより測定することを特徴とする基板電位測定方法。
【請求項２５】
基板を真空吸着するための真空排気用の貫通穴と、非接触電位計プローブ用の貫通穴とに兼用される開口を備えたことを特徴とする静電チャック。
【請求項２６】
前記基板と絶縁体または誘電体を介して対面する複数の面状電極を備えたことを特徴とする請求項２５に記載の静電チャック。
【請求項２７】
前記複数の面状電極は、前記基板の静電吸着と前記基板の電位の制御とに兼用されることを特徴とする請求項２６に記載の静電チャック。
【請求項２８】
基板を搭載して移動するステージにより支持される３つの突起と、前記突起のそれぞれの周辺に配置され前記ステージとの間に静電吸着力を作用させるための第１の静電吸着電極とを有することを特徴とする静電チャック。
【請求項２９】
前記基板を静電吸着して保持するための第２の静電吸着電極を有することを特徴とする請求項２８に記載の静電チャック。
【請求項３０】
前記第１の静電吸着電極の少なくとも１つと前記第２の静電吸着電極の少なくとも１つとを電気的に接続したことを特徴とする請求項２９に記載の静電チャック。
【請求項３１】
前記突起を、前記ステージと電気的に接続する端子として兼用することを特徴とする請求項２８〜３０のいずれか１つに記載の静電チャック。
【請求項３２】
前記突起に、前記ステージと電気的に接続する端子を設けたことを特徴とする請求項２８〜３０のいずれか１つに記載の静電チャック。
【請求項３３】
前記突起は、３つの支持部材のそれぞれに設けられたことを特徴とする請求項２８〜３２のいずれか１つに記載の静電チャック。
【請求項３４】
前記ステージと対向する前記支持部材の部分に、前記ステージと電気的に接続する端子を設けたことを特徴とする請求項３３に記載の静電チャック。
【請求項３５】
請求項２５〜３４のいずれか１つに記載の静電チャックを用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マイクロデバイス等のデバイスの製造、特にフォトリソグラフィー、等における基板の保持に関する技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイス等の微細パターンを有するデバイスの製造に用いられる荷電ビーム描画装置においては、描画中にウエハの電位（以下、電位はアース電位を基準とする相対電位を、電圧はアース電位との電位差をそれぞれ意味するものとする）が０Ｖでないと、荷電ビームの軌道に影響を与え描画精度を悪化させてしまう。そのため、従来では、図１０に示すように、導電性ダイヤモンド針等でウエハ２０２にアースピン２１８を刺すことで直接接地している（特許文献１）が、ウエハを傷つけてしまう欠点がある。そのため、図１１に示すようにウエハ２０２の表面に非接触電位計３０８のプローブ３０５を対向させてウエハ２０２の表面電位を測定し、その値をもとにウエハチャック３０１の電極３０３への印加電圧を可変することでウエハ電位を０に制御する構成が開示されている（特許文献２）。３０６は電極３０３への印加電圧を可変制御する制御回路である。
【０００３】
また、上記特許文献１には、ステージ２０９上の試料２０２を静電チャック２０１に吸着した状態で静電チャック２０１ごと交換する技術、および静電チャック２０１をステージ２０９へ固定する技術が開示されている。この特許文献１では、図１０に示すように、３点の支持部材２０４で構成された静電吸着手段をステージ２０９に設置して、基板保持用の静電チャック２０１をステージ２０９に固定する構成を開示している。
【０００４】
【特許文献１】
特許第３０７６７２７号公報
【特許文献２】
特開平４−２５０６１５号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図１１のような構成にすると、アースピンをウエハ２０２に物理的に刺す必要がなくなる利点があるが、荷電ビーム３１０はウエハ２０２全面に渡って走査されるため、荷電ビーム３１０の軌道上を避けつつ、かつ露光中常にウエハ２０２に対向して電位を計測できる位置に非接触電位計３０８のプローブ３０５を配置することは難しい。そのため、描画の邪魔にならないように、荷電ビーム３１０の軌道とウエハ２０２との相対位置に合わせてプローブ３０５を移動させる機構を設けることも考えられるが、構造が複雑になってしまう。また、ウエハ２０２の斜め上方にプローブ３０５を配置することで、荷電ビーム３１０の軌道と干渉することは避けられる。しかし、ウエハ２０２と荷電ビーム３１０との相対位置によっては、ウエハ２０２が非接触電位計３０８の測定範囲、すなわちウエハ２０２とプローブ３０５が対向する範囲から外れてしまい電位測定が出来なくなるので、複数のプローブ３０５を配置し、これらを切り替えて測定する必要が生じる。
【０００６】
このように図１１に示すような構成は、実現しようとするとシステムの複雑化を招くため、実際には電子線描画装置の静電チャックとして実用化されるには至っていない。また非接触電位計のプローブ３０５は、少なからず電気配線や冷却配管を有し、さらに測定中常に振動しているチョッパを有しているため、粗微動ステージを有する位置決め装置において、非接触電位計プローブ３０５を微動ステージ側に設置すると、配線や配管、さらにはチョッパの振動の影響で位置決め精度の悪化を招いてしまうという不都合もあった。
【０００７】
さらに、ウエハの表面にはレジストと呼ばれる感光塗料が塗布されているのが通常であり、このレジストがウエハ電位の測定に対し誤差を発生させる要因となる。非接触の表面電位計は通常、チョッパを介して電位計プローブと計測対象物（この場合ウエハ）との間の静電容量を測定し、その値をＡＣ変調して電位として出力する場合が多い。このため、例えばレジストの膜厚にばらつきがあるとウエハとプローブとの間の静電容量が変化してしまい、出力が安定しないという不都合もあった。
【０００８】
また、静電チャックのステージ等への固定方法として従来技術である図１０のような構成を考えた時、３点支持によるチャック２０１の自重歪の再現性を確保するために、３点支持部２０４の面積はなるべく小さくしたほうが良い。しかし逆に、ステージ２０９の加減速時にもチャック２０１が動かないようにしっかり固定するためには、静電吸着力を発生している３点支持部２０４の面積は大きくしたい。そのため、３点支持によるチャック歪の再現性を確保しつつ、きちんとした固定力を確保することが難しく、設計条件によっては３点支持部材２０４の設計が不可能になることも生じている。
【０００９】
また、一般に静電チャックは電極に電位を付与するためにステージ等のベース部材とチャックとの間で電気的な受け渡し（接続）が必要である。このため、通常は、この間に板バネ等で構成された接触式コネクタを用いることが多い。しかし、電気的接続を確保するために板バネのバネ定数を大きくすると、この部分でのベース部材とチャックとの間の剛性が無視できなくなり、最悪の場合チャックを３点で支持固定しているとはいえなくなり、３点支持構成の目的を果たせなくなる恐れがある。そのため、チャックの歪の再現性を確保しつつ、確実な電気的接続を可能とする構成が望まれていた。
【００１０】
本発明は、上記従来例における問題点に鑑み、基板保持に係る効果的な技術を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段および作用】
上記の課題を解決するために、本発明の第１の局面に係るステージ装置は、基板を搭載して移動するステージを備えたステージ装置であって、前記ステージが、前記ステージに搭載された基板の電位を非接触で計測する非接触電位計のプローブを、前記基板の素地が露出した前記基板の部分に対向させて支持することを特徴とする。
【００１２】
この第１の局面において、プローブを基板の素地が露出した部分に対向させて支持するには、例えば、前記ステージが、前記ステージに搭載された基板保持部材に設けられた開口または切り欠きを通して前記基板の裏面に対向させるべく前記プローブを支持する。また、前記ステージが、基板保持部材を搭載する微動ステージと、前記微動ステージを搭載する粗動ステージとを備えたものである場合、前記粗動ステージが、前記基板保持部材および前記微動ステージにそれぞれ対応して設けられた開口または切り欠きを通して前記基板の裏面に対向させるべく前記プローブを支持する。ここで、前記基板保持部材に設けられた前記開口は、前記基板を前記基板保持部材に真空吸着するための真空排気孔として利用可能である。
【００１３】
あるいは、前記プローブを基板の素地が露出した部分に対向させるため、前記ステージが、前記基板の側面に対向させるべく前記プローブを支持する。前記ステージが、基板保持部材を搭載する微動ステージと、前記微動ステージを搭載する粗動ステージとを備えたものである場合、前記粗動ステージが、前記微動ステージに設けられた開口または切り欠きを通して前記基板の側面に対向させるべく前記プローブを支持する。
【００１４】
前記第１の局面において、好ましくは、さらに、前記基板保持部材に設けられた、前記基板と絶縁体または誘電体を介して対面する複数の面状電極の電位を、前記非接触電位計の出力に基づいて調整することにより、前記基板の電位を制御する制御手段を有する。前記複数の面状電極は、前記基板を吸着保持するための静電吸着電極として兼用される。また、前記複数の面状電極のそれぞれの面積と電位との積の総和が０になるように、前記それぞれの面積と電位とを設定されている。前記制御手段は、前記電位の絶対値が最も小さい前記面状電極、または、前記面積が最も大きい電極の電位を制御する。
【００１５】
上記の構成によれば、非接触電位計のプローブを、基板の素地が露出した部分に対向させてその基板の電位を測定するようにしたため、基板表面の載置物または塗布物の影響を受けることなく正確な電位計測が可能となり、かつ荷電粒子線描画装置の荷電粒子線や露光装置の露光光等と干渉することなく基板の電位を測定することができる。ここで、一例として、前記基板は感光剤を塗布された半導体ウエハであり、前記基板の素地が露出した部分は感光剤が付着していない部分、すなわち前記半導体ウエハの感光剤を塗布しなかった部分または塗布した感光剤を洗浄により除去した部分である。
【００１６】
上記の課題を解決するために、本発明の第２の局面に係るステージ装置は、基板保持部材を介して基板を搭載して移動するステージ手段を備えるステージ装置であって、前記基板保持部材は、前記ステージにより支持される３つの突起と、前記突起のそれぞれの周辺に配置され前記ステージと前記基板保持部材との間に静電吸着力を作用させるための第１の静電吸着電極とを有することを特徴とする。
【００１７】
ここで、前記突起は、前記基板保持部材の裏面に設けられた３つの支持部材のそれぞれに１つずつ設けられた突起であることが好ましい。また、この突起を基板保持部材とステージとを電気的に接続する端子として兼用することが好ましい。またはこの突起に、基板保持部材とステージ手段とを電気的に接続する端子を設けてもよい。さらに、前記ステージと対向する前記支持部材の部分に、基板保持部材とステージとを電気的に接続する端子を設けてもよい。また、前記基板保持部材は、前記基板を静電吸着して保持するための第２の静電吸着電極を有することが好ましい。この場合、前記第１の静電吸着電極の少なくとも１つと前記第２の静電吸着電極の少なくとも１つとを電気的に接続すると端子数を少なくすることができる。
【００１８】
上記の構成によれば、基板保持部材を支持する支持部材の表面積を小さくすることができ、基板保持部材を３点で支持する構成の利点を生かすことができる。また、基板保持部材をステージに対して吸引するための第２の静電吸着電極を該支持部材の周辺に配置しているため、第２の静電吸着電極の面積を大きく設定することができ、基板保持部材をステージ手段にきちんと固定することができる。
【００１９】
上述のステージ装置は、マイクロデバイス等のデバイスを製造する際に用いられる露光装置や荷電ビーム描画装置において、露光処理を行う基板を搭載するために好適に用いられる。また、露光装置において、基板としての被露光基板や原版を位置決めするために好適に用いられる。
【００２０】
本発明の第３の局面に係る静電チャックは、基板を真空吸着するための真空排気用の貫通穴と、非接触電位計プローブ用の貫通穴とに兼用される開口を備えたことを特徴とする。この静電チャックは、好ましくは、前記基板と絶縁体または誘電体を介して対面する複数の面状電極を備える。前記複数の面状電極は、前記基板の静電吸着と前記基板の電位の制御とに兼用される。
【００２１】
本発明の第４の局面に係る静電チャックは、基板を搭載して移動するステージにより支持される３つの突起と、前記突起のそれぞれの周辺に配置され前記ステージとの間に静電吸着力を作用させるための第１の静電吸着電極とを有することを特徴とする。この静電チャックは、好ましくは、前記基板を静電吸着して保持するための第２の静電吸着電極を有し、前記第１の静電吸着電極の少なくとも１つと前記第２の静電吸着電極の少なくとも１つとを電気的に接続されている。また、前記突起を、前記ステージと電気的に接続する端子として兼用する。または、前記突起に、前記ステージと電気的に接続する端子を設ける。さらに、前記突起は、３つの支持部材のそれぞれに設けられた突起であるとよい。この場合、前記ステージと対向する前記支持部材の部分に、前記ステージと電気的に接続する端子を設けてもよい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施の形態では、複雑な機構を設けずに、ステージ上の基板電位を非接触で正確に測定できるようにすることを課題とし、それを解決する構成を提案する。本実施形態では、基板はレジストを塗布したウエハであり、ウエハのレジストが付着していない部分に対して非接触電位計を用いてウエハ電位を測定する電位測定法を行うこと、およびそれに適した以下のようなチャック構成を提案する。すなわち、ウエハ電位をウエハ裏面から非接触で計測する非接触電位計を配置するための開口もしくは切り欠きを静電チャックに設けて、描画の邪魔にならず常にウエハの電位を測定出来る構成にした。そして、この静電チャックの吸着用電極を双極型に構成し、非接触電位計の出力をもとに電極への印加電圧を可変することで、ウエハ電位を０に制御して、ウエハへアースピンを刺す構成を不要とした。
【００２３】
ここで、各電極面積と印加電圧との積の総和が０になるように電極面積もしくは印加電圧を設定することで、印加電圧の可変量を小さくすることが出来る。また、印加電圧が可変される電極の面積を電極の中で最も大きくすることで、印加電圧の可変量を小さくすることが出来る。さらに、印加電圧の絶対値が相対的に小さい電極に対して、印加電圧を可変させれば、静電吸着力変動による基板の吸着への影響を抑制できる。また、このような静電チャックを真空チャックと兼用する場合、非接触電位計用の開口を真空吸着を行うための真空排気孔として兼用することで構成が単純になる。また、粗微動ステージを有する位置決め装置においては、非接触電位計を粗動ステージ側に設置するのが好ましい。
【００２４】
さらに、本発明の好ましい別の実施の形態では、静電チャック等の基板保持部材を３点で支持する構成の利点を生かしつつ、基板保持部材をステージに固定するのに必要な吸着力を確保することを課題とし、それを解決した構成を提案する。本実施形態では、チャックをステージ手段等のベース部材に固定する方法として、チャックの裏側に３つの支持部材を有し、その支持部材周辺に非接触の静電吸着力を働かせるための電極をさらに設けることで、吸着力を確保出来るようにした。また、３つの支持部材はそれぞれ１つの突起を設けた構造であると特に良い。そして、基板吸着を行うための電極と非接触の静電吸着力を働かせる電極とを電気的に接続して、ベース部材とチャックとの間で受け渡すのに必要な電気配線およびコネクタの数を減らした。そして、非接触の静電吸着力を有するための電極は単極構成にすれば、さらに電気配線およびコネクタの数を減らすことができる。
【００２５】
また、上述の３つの突起を有する静電チャックにおいて、これらの突起もしくはその周辺または双方を静電チャックを固定するベース部材との電気的な接続を行う端子として用いることで、チャックの３点支持固定の利点を最大限に生かすことが可能となる。上記本発明の好ましい実施の形態および好ましい別の実施の形態は、組み合わせて実施することも可能である。
【００２６】
【実施例】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。
［第１の実施例］
図１は本発明の一実施例に係る露光装置用ステージ装置の構成を示す。図１において、１はチャック（基板保持部材）、２はウエハ（基板）、５は非接触電位計のプローブ、６はチャック１の中央に設けられた貫通穴（開口）、９は微動ステージ、７は微動ステージ９に前記貫通穴６に対応して設けられた貫通穴（開口）、１６は粗動ステージ、１７はリニアモータである。チャック１は微動ステージ９上に固定されており、表面にレジストが塗布された半導体ウエハ２等の基板が搭載されてそれを保持する。微動ステージ９は、粗動ステージ１６に対して、不図示の非接触型自重補償機構で浮上しており、また、リニアモータ１７を介して非接触に位置決めが行われる。これにより、粗動ステージ１６と微動ステージ９間の振動絶縁が達成できる。
【００２７】
非接触電位計プローブ５は、粗動ステージ１６上に設置され、チャック１に設けられた貫通穴６を通って、チャック１上のウエハ２の裏面に非接触で対向する。これにより、非接触電位計プローブ５に接続された不図示の非接触電位計により、ウエハ２に非接触でウエハ２の裏面からウエハ２の電位を測定することが可能になる。また、電位測定中常時振動しているチョッパを有する非接触電位計プローブ５を粗動ステージ１６上に設置し、かつ非接触電位計プローブ５に接続または付随する配線または冷却配管等（不図示）を粗動ステージ１６に設置することにより、微動ステージ９の位置決め精度の悪化を防いでいる。
【００２８】
従来技術つまりウエハ２の表面側から電位を測定した場合、荷電ビームの軌道を妨げることなく描画中常にウエハ２の電位を測定することは困難であったが、本実施例の構成により容易にウエハ電位の測定ができるようになった。ここで、ウエハ２は、非接触電位計プローブ５とウエハ２との間のギャップと比べれば、電気的に導体とみなせ、よってウエハ２全体は同電位とみなせるため、ウエハ２の裏面の電位を測定してこれをウエハ２の表面の電位とみなしても何ら問題はない。また、ウエハの裏面は電位測定での誤差要因となりうるレジストがないため、裏面からの電位測定は従来例のような表面からの測定よりも正確に測定ができる。
【００２９】
このように、ウエハ２の電位を測定した結果をもとに、特許文献２（特開平４−２５０６１５号公報）に記載されたように、ウエハ２の下面に絶縁体（または誘電体）を介して設置された不図示の電極に印加する電位を調整することにより、ウエハ２の電位を０Ｖ（接地電位）にすることができる。なお、チャック１がウエハ吸着用の電極を備えた静電チャックである場合には、このウエハ吸着用の電極を上記ウエハ電位調整用電極として兼用することができる。
【００３０】
［第２の実施例］
図２は、本発明の第２の実施例に係るステージ装置の構成を示す。同図において、図１と共通または対応する部材には、図１と同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。図２において、８はウエハ電位制御装置、３ａ〜３ｃはウエハ吸着用の電極（第１の静電吸着電極）である。ウエハ電位制御装置８は、ウエハ吸着用の電極３ｃへの印加電圧Ｖ１を微調整する。これにより、電極３ａ〜３ｃ間の電位のバランスを調節してウエハ２の電位を０Ｖ（接地電位）に調整することが可能となっている。
【００３１】
図３に、ウエハ２吸着用の電極配置と印加電圧との関係を示す。同心円状に３つの電極３ａ〜３ｃが配置されており、印加電圧Ｖ１〜Ｖ３はウエハ２の吸着保持に必要な吸着力をもとに設定されている。例えば、ウエハ２を安定して吸着保持するには、チャック最外周の領域（電極３ｃに対応する領域）に大きな吸着力が求められる。逆に内周側の領域（電極３ａに対応する領域）では、それほど大きな吸着力が必要とされない。また、その間の領域（電極３ｂに対応する領域）では、その中間の吸着力が必要とされる。以上より、必要吸着力に対応させて、各電極（３ａ，３ｂ，３ｃ）への印加電圧はＶ２≧Ｖ３≧Ｖ１に設定されている。
【００３２】
しかし、このように必要吸着力に対応させて各電極へ電圧を印加しただけでは、ウエハの電位を０Ｖにするのは困難である。つまり、印加電圧のバランスによってはＶ１の調整幅が大きくなってしまい、ウエハ２の電位を０Ｖにすると電極３ａに対応する領域の吸着力が設計値（必要な吸着力）と大きく異なってしまう可能性がある。そのため、必要吸着力により設定された印加電圧（Ｖ１〜Ｖ３）をもとにウエハ電位がほぼ０Ｖになるような、電極構成にする必要がある。このような事情より本実施例では、各電極の印加電圧と面積との積の総和が０になるように、電極面積を設計している。つまり、数式で示すと
【００３３】
【数１】
2005026298.tif 000003
となるように電極を設計している。ここで、Ｓは電極面積、Ｖは電極への印加電圧、添え字のｉは各電極の番号に対応させている。
【００３４】
例えば、必要吸着力から算出された各電極（３ａ、３ｂ、３ｃ）の印加電圧が１０００：５００：−３５０［Ｖ］と決定された場合、各電極面積比（３ａ：３ｂ：３ｃ）を１：５：１０にすれば、上記電圧を印加したときにウエハ電位を理論的に０Ｖにすることができる。ただし、ウエハ２とチャック１の接触状態などに起因する接触電気抵抗等のばらつきや、描画時にウエハ２に流入する荷電粒子の影響でウエハ電位は完全に０Ｖにはならないので、電極３ａの印加電圧Ｖ１を微調整してウエハ電位を０Ｖに制御する。ちなみにＶ１の調整量は、電極の設計次第で電圧Ｖ１の１０％以下程度にすることは十分可能である。
【００３５】
また、電極３ａへの印加電圧を可変したのは、電極３ａに対応する領域の必要吸着力が相対的に小さいからである。つまり、この領域では、印加電圧を可変することによる吸着力の変動の影響をあまり受けないことより、印加電圧を可変する電極として電極３ａを選んでいる。さらに、前述の数式から分かるように、電圧を可変する電極に対する電圧可変量を小さくしたい場合、電極Ｓを大きくすることが有効であり、また必要な静電吸着力が最も少ない領域の電極を電圧可変電極に選択した場合には、その電極の面積を最も大きくすれば、最も電圧可変量を小さくすることができる。
【００３６】
露光装置では、露光ごとにウエハのみを交換するのではなくて、特開２００３−１４２３９３号公報などに開示されているように、ウエハをチャックに載せた状態で交換する、つまりチャック搬送をウエハ交換ごとに行うシステムも考えられる。この場合、露光空間の外でウエハをチャックに予め保持することが可能で、しかも大気中で保持動作が可能であるため、ウエハの真空吸着が可能である。真空吸着を行うには、ウエハとチャックとの隙間を真空引きする貫通穴が必要となるが、本実施例では、静電チャック１に設けられた前述の非接触電位計用の貫通穴６を用いて、真空吸着を行っている。これにより、非常にシンプルな構造で静電チャックと真空チャックとを兼用することが可能となっている。
【００３７】
ここで、静電チャックのステージへの固定方法を図２および図４〜６を用いて詳細に述べる。図２はチャックとステージを側面から見た断面図、図４はチャックの３点支持部をステージから少し浮かした状態での拡大図であり、点線１１は、各電極と突起１０との電気的な接続を示している。また、図５は表と裏からみたチャックの電極構成を示した図であり、図中左側は表（ウエハ吸着面）から見たウエハ吸着用（第２の静電吸着電極）の電極構成を、右側は裏（ステージ側）から見たチャック固定用（第１の静電吸着電極）の電極構成を示しており、また各電極への電気的な接続状態を示している。さらに、図６は、チャックに対向する部分に関するステージ側の構成であり、３点支持部材に対応する部材とアース電極構成およびそれらの電気的接続状態を示している。
【００３８】
チャック１をステージ９に固定した時のチャック歪の再現性を確保するためにチャック１は極力小さい面積（例えばφ２ｍｍ以下）の３本の突起１０でステージ９に支持されている。ピンの面積を小さくしたことで、チャック１とステージ９間の吸着力はほとんど期待ができないため、本実施例では、ピン１０の周辺に非接触で吸着力が働くように、チャック支持部材４を誘電体にし電極（３ｄ、３ｅ、３ｆ）を設けている。ここでは、電極を単純にするため、単極構成の電極にして、電極（３ｄ、３ｅ、３ｆ）に対向するステージ側の部分にはアース電極１２を設けている。そして、非接触でもこの電極によって吸着力が働くように、ピン１０の高さは２０μｍ以下に設定されている。
【００３９】
従来例として挙げた図１０では、ステージ１に誘電体および電極を配置し、静電吸着機能を作用させているが、本実施例では図４で示すように、チャック側に誘電体および電極（３ｄ、３ｅ、３ｆ）を配置している。一般に静電チャックでは誘電体を流れる微小な電流によって発熱するため、誘電体と電極を配置した側に熱を生じることになる。つまり、従来例ではステージ１側に発熱体を設けることとなるが、その場合ステージの冷却手段が必要となる。しかし、そもそもウエハ吸着のための電極（３ａ、３ｂ、３ｃ）でのチャック発熱は避けられないことから、本実施例ではチャック固定用の静電吸着機構に関してもチャック側に発熱体、つまり誘電体と電極を配置した。そして、図示はしないが、特開２００３−５８２５８号公報で開示されているように、チャックは輻射によって冷却を行っているため、冷却対象を１つにまとめることで冷却機構がシンプルになる。また、チャックで発熱した熱は、ステージとの接触面を介してステージに流入するが、本実施例での構成ではステージとの接触面が３点でかつ面積を極力小さくしているため、ほとんどステージに熱は伝わらない。
【００４０】
また、本実施例ではチャックの吸着面裏側に３つの突起を設けて３点支持を構成しているが、図１０のようにステージ側に３つの突起を設けた構成でも構わない。つまり、３点支持部材の構成は本実施例の趣旨ではなく、３点支持部周辺に非接触吸着部を設けることで、吸着力を確保しつつ３点支持の効果を保てることが、本実施例の趣旨である。
【００４１】
ここで、静電チャック１とステージ９との間の電気的な受け渡しについて説明する。図４および図５のように、ウエハ吸着用の電極（３ａ、３ｂ、３ｃ）は、３点支持部材４に設けられた導電性の突起１０に電気的に接続されている。また、チャック固定用の電極（３ｄ、３ｅ、３ｆ）は、すべてが電極３ｂに接続されており、つまりは導電性突起１０に接続されている。このように、接続することでステージ９とチャック１間の電気的な受け渡しは３つになり、３本の突起に対応することが可能となっている。電極３ｃは、印加電圧を調整する関係上吸着力が変化し、電極３ａは大きな印加電圧が設定されているため、印加電圧のバランスが良い電極３ｂに接続している。但し、本実施例は、なるべくステージ９とチャック１との間の電気的接続本数を減らすことを趣旨としたもので、設計の都合で、どの電極と接続しても構わないし、３ａと３ｄ、３ｂと３ｅ、３ｃと３ｆというように各電極同士を接続しても構わない。また、ウエハ吸着用電極（３ａ、３ｂ、３ｃ）とチャック固定用電極（３ｄ、３ｅ、３ｆ）とを必ずしも接続しなくても良く、例えばウエハ吸着用電極が２枚、チャック固定用電極が３枚でチャックが構成されている場合、ウエハ吸着用電極２枚がそれぞれ２つの導電性突起１０に接続され、チャック固定用電極３枚がすべて１つの導電性突起１０に接続される形でも構わない。
【００４２】
次に、チャック１を固定支持するステージ９側の構成について説明する。ステージ９には、チャック１の導電性突起１０に対応するように、導電性突起１０と同寸かまたはより大きい径の給電端子１３が設けられており、各電極に対応する電圧が印加出来るよう配線されている。また、チャック固定用の電極（３ｄ，３ｅ，３ｆ）に対応するように、接地されたアース電極１２が配置されている。そして、給電端子１３とアース電極１２との絶縁をとるために、絶縁部材１４が給電端子１３とアース電極１２との間に設けられている。
【００４３】
ここまで、チャックの３点支持構成を最も効果的に実現する構成について述べてきたが、実際にはチャックとステージとの電気的接続を３つ以内にすることが困難な場合も多い。その場合は図７のように、絶縁性の突起部１０に複数の給電端子１５を設けることにより対応出来る。さらに、図８のように突起部１０の周辺に給電端子１５を設けるのも可能である。これら２つの例においては、給電端子１５との接続は、ステージ側に設けられた板バネなどで構成された端子を接触させて行う。これら２つの例は、理想的な３点支持構成からは外れるが、３点支持部およびその周辺の面積がチャック全体の面積に比べて非常に小さければ、３点支持構成のメリットをほとんど損なわないで構成出来る。また、複数の給電端子１５は絶縁性突起部１０のステージとの接触面に設けても良く、また絶縁性突起部１０周辺（側面）の、ステージと対向する部分に設けても良い。
【００４４】
［第３の実施例］
第３の実施例を図９に示す。ここでは、第１および第２の実施例がウエハ２の裏面に対して非接触電位計プローブ５を対向させる構成であったのに対し、ウエハ２の側面に対して非接触電位計プローブ５を対向させてウエハ電位を測定する構成を示している。プローブ５はステージ９の上面に配置された支柱２０に直角に、ウエハの側面に対向するように支柱２０に取り付けられている。なお、ステージ９が、図１に示すように、粗動ステージ１６と微動ステージ９とを有するステージ装置の微動ステージである場合には、この微動ステージ９のウエハ２およびチャック１の外側に位置する部分に開口または切り欠きを設け、上記支柱２０は、粗動ステージ１６に配置して微動ステージ９の開口または切り欠きを通してウエハ２の高さまで達するものを用いるとよい。その他の構成は第１または第２の実施例と同様であるので、詳細な説明は省略する。
【００４５】
ウエハは、通常、表面にレジストが塗布されているが、近年ではウエハとチャック間のゴミ噛みを防ぐ目的で、ウエハ裏面および側面の洗浄がなされており、側面と裏面のレジストは完全に排除されている。そのため、上記各実施例のように、ウエハ裏面もしくは側面を電位測定の測定範囲として用いることで、レジストの影響を排除出来るため、表面電位を測定する上での誤差要因を無くすことが可能となる。
【００４６】
以上説明したように、第１および第２の実施例のようにチャックに電位計用の貫通穴を設けることで、荷電ビーム描画の邪魔にならず、かつ簡易な構成で非接触電位計を配置できるため、アース針を用いずにウエハ電位を０Ｖに制御する方式が適用しやすくなる。また、チャックの固定方法に関しては、第２の実施例のように、チャック支持部材周辺に非接触吸着力を機能させることで、支持部材を小さくしても吸着力を確保することが可能となる。さらに、チャック固定用と基板吸着用の電極間を接続することでベース部材との受け渡し配線または電気的接続部を少なくすることが出来る。また、チャック固定用の３点支持部材を給電端子として兼用することで、３点支持固定による利点を最大限に生かすことが可能となる。
【００４７】
［第４の実施例］
次に、上記した露光装置を利用した半導体デバイスの製造プロセスを説明する。図１２は半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示す図である。ステップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ２（マスク作製）では設計した回路パターンに基づいてマスクを作製する。
【００４８】
一方、ステップ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記のマスクとウエハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ５によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の組み立て工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、ステップ７でこれを出荷する。
【００４９】
上記ステップ４のウエハプロセスは以下のステップを有する。ウエハの表面を酸化させる酸化ステップ、ウエハ表面に絶縁膜を成膜するＣＶＤステップ、ウエハ上に電極を蒸着によって形成する電極形成ステップ、ウエハにイオンを打ち込むイオン打ち込みステップ、ウエハに感光剤を塗布するレジスト処理ステップ、上記の露光装置によって回路パターンをレジスト処理ステップ後のウエハに転写する露光ステップ、露光ステップで露光したウエハを現像する現像ステップ、現像ステップで現像したレジスト像以外の部分を削り取るエッチングステップ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くレジスト剥離ステップ。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。
［第５の実施例］
図１３は、上記と同様の基板保持構造を備えたステージ装置をウエハステージとするデバイス製造用の露光装置を示す。
この露光装置は、半導体集積回路等の半導体デバイスや、マイクロマシン、薄膜磁気ヘッド等の微細なパターンが形成されたマイクロデバイス等のデバイスの製造に利用され、原版であるレチクルＲを介して基板としての半導体ウエハＷ上に光源６１からの露光エネルギーとしての露光光（この用語は、可視光、紫外光、ＥＵＶ光、Ｘ線、電子線、荷電粒子線等の総称である）を投影系としての投影レンズ（この用語は、屈折レンズ、反射レンズ、反射屈折レンズシステム、荷電粒子レンズ等の総称である）６２を介して照射することによって、基板上に所望のパターンを形成している。
【００５０】
この露光装置は、定盤５１上にガイド５２とリニアモータ固定子２１を固設している。リニアモータ固定子２１は多相電磁コイルを、リニアモータ可動子３１は永久磁石群を有している。リニアモータ可動子３１を可動部５３として、ステージである可動ガイド５４に接続し、リニアモータＭ１の駆動によって可動ガイド５４を紙面法線方向に移動させる。可動部５３は、定盤５１の上面を基準に静圧軸受５５で、ガイド５２の側面を基準に静圧軸受５６で支持される。
【００５１】
可動ガイド５４を跨ぐようにして配置したステージである移動ステージ５７は静圧軸受５８によって支持されている。この移動ステージ５７は、上記と同様のリニアモータＭ２によって駆動され、可動ガイド５４を基準に移動ステージ５７が紙面左右方向に移動する。移動ステージ５７の動きは、移動ステージ５７に固設したミラー５９および干渉計６０を用いて計測される。
【００５２】
移動ステージ５７に搭載したチャック上に基板であるウエハＷを保持し、光源６１、投影光学系６２によって、原版であるレチクルＲのパターンをウエハＷ上の各領域にステップアンドリピートもしくはステップアンドスキャンで縮小転写する。
なお、本実施例は、レチクルＲを使用せず荷電ビームにより半導体ウエハ上に回路パターンを直接描画してレジストを露光するタイプの露光装置に特に好適に適用できる。
【００５３】
【発明の適用範囲】
本発明は、上記の実施例に限定されることなく、本発明の思想の範囲内で適宜変形して実施することができる。例えば、上記実施例では、本発明を露光装置に適用したが、本発明は、電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子線を用いて所望のパターンを基板上に描画する荷電粒子線描画装置、試料観察装置、精密計測器等にも適用可能である。試料観察装置において、前記基板は平板状の試料そのものまたは試料を載置した基板である。また、前記基板が半導体ウエハであれば、パターンが形成された部分も、レジストが塗布された部分と同様、基板の素地が露出していない部分に含まれる。
【００５４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は、基板保持に係る優れて効果的な技術を提供している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例に係る粗微動ステージ装置の構成を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例に係るステージ装置の構成を示す図である。
【図３】図２の装置における基板吸着用電極と印加電圧との関係を示す図である。
【図４】図２の装置におけるチャック支持固定部の拡大図である。
【図５】図２の装置におけるチャックの表裏面電極と給電端子との電気接続の関係を示す図である。
【図６】図２の装置における支持部材と給電端子との電気接続の関係を示す図である。
【図７】支持部材を絶縁材として支持部材に給電端子を設けた例を示す図である。
【図８】支持部材を絶縁材として支持部材に給電端子を設けた他の例を示す図である。
【図９】本発明の第３の実施例に係るステージ装置の構成を示す図である。
【図１０】チャック固定方法に関する従来技術を示す図である。
【図１１】ウエハの表面電位制御する方法に関する従来技術の引例
【図１２】デバイス製造プロセスを示すフローチャートである。
【図１３】デバイス製造用の露光装置の構成を示す図である。
【符号の説明】１：静電チャック、２：ウエハ、３：電極、３ａ，３ｂ，３ｃ：基板吸着用電極、３ｄ，３ｅ，３ｆ：チャック固定用電極、４：支持部材、５：非接触電位計プローブ、６：チャック貫通穴、７：ステージ部材貫通穴、８：ウエハ電位制御器、９：微動ステージ、１０：チャック突起支持部、１１：チャック内電気配線、１２：アース電極、１３：ステージ側給電端子、１４：絶縁材、１５：チャック側給電端子、１６：粗動ステージ、１７：リニアモータ、Ｖ１，Ｖ２，Ｖ３：印加電圧。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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