(57)【要約】【課題】有機ＥＬ素子を大気に曝すことなく、基板上にシール材を塗布することができ、有機ＥＬ表示装置の製造に要する時間を短縮できるシール材塗布装置を提供すること。【解決手段】不活性ガス雰囲気の処理用気密室１００と、不活性ガス雰囲気と空気雰囲気に置換可能な交換用気密室２００と、処理用気密室と交換用気密室の間に設けられ両気密室間を連絡する連絡路３００と、連絡路に設けられた第１の開閉扉３０１と、処理用気密室内に設けられ封止ガラス４０２を保持するステージ１０４と、処理用気密室内に設けられ封止ガラスにシール材を塗布するディスペンサ１０６と、処理用気密室内に設けられディスペンサを着脱可能に保持する固定式ディスペンサ保持部材１０７と、処理用気密室に設けられたグローブポート１０３と、交換用気密室に設けられ塗布装置外と連絡する開口部２０３と、開口部に設けられた第２の開閉扉２０４と、交換用気密室内に設けられディスペンサ１０６を着脱可能に保持する移動式ディスペンサ保持部材２０７とを具備する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に所定の材料を塗布する塗布装置において、
内部が不活性ガス雰囲気に保たれる第１の気密室と、
上記第１の気密室に隣接して設けられ、内部が不活性ガス雰囲気と空気雰囲気に置換可能な第２の気密室と、
上記第１の気密室と第２の気密室の間に設けられ、これら気密室間を連絡する連絡路と、
上記連絡路に開閉可能に設けられた第１の開閉扉と、
上記第１の気密室の内部に設けられ、上記基板を保持するためのステージと、
上記第１の気密室の内部に設けられ、上記ステージ上の基板に向けて上記材料を塗布する塗布手段と、
上記第１の気密室の内部に設けられ、上記塗布手段を着脱可能に保持する第１の保持手段と、
上記第１の気密室に設けられ、この第１の気密室内で手作業を行うためのグローブポートと、
上記第２の気密室に設けられ、塗布装置の外部と連絡する開口部と、
上記開口部に開閉可能に設けられた第２の開閉扉と、
上記第２の気密室の内部に設けられ、上記塗布手段を着脱可能に保持する第２の保持手段と、
上記第２の気密室の内部に設けられ、上記第２の保持手段を支持するとともに、上記第１の気密室と第２の気密室の間で往復移動する移動テーブルと、
を具備することを特徴とする塗布装置。
【請求項２】
上記開口部は、上記連絡路と対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
【請求項３】
上記第２の保持手段の数は、上記塗布手段の数よりも多いことを特徴とする請求項１記載の塗布装置。
【請求項４】
シール材塗布装置により表面にシール材が塗布された第１の基板と、予め表面に発光素子が設けられた第２の基板とを互いの表面が対向するように貼り合わせて表示装置を製造する表示装置製造装置において、
上記シール材塗布装置は、
内部が不活性ガス雰囲気に保たれる第１の気密室と、
上記第１の気密室に隣接して設けられ、内部が不活性ガス雰囲気と空気雰囲気に置換可能な第２の気密室と、
上記第１の気密室と第２の気密室の間に設けられ、これら気密室間を連絡する連絡路と、
上記連絡路に開閉可能に設けられた第１の開閉扉と、
上記第１の気密室の内部に設けられ、上記第１の基板を保持するためのステージと、
上記第１の気密室の内部に設けられ、上記ステージ上の第１の基板に向けて上記シール材を塗布する塗布手段と、
上記第１の気密室の内部に設けられ、上記塗布手段を着脱可能に保持する第１の保持手段と、
上記第１の気密室に設けられ、この第１の気密室内で手作業を行うためのグローブポートと、
上記第２の気密室に設けられ、塗布装置の外部と連絡する開口部と、
上記開口部に開閉可能に設けられた第２の開閉扉と、
上記第２の気密室の内部に設けられ、上記塗布手段を着脱可能に保持する第２の保持手段と、
上記第２の気密室の内部に設けられ、上記第２の保持手段を支持するとともに、上記第１の気密室と第２の気密室の間で往復移動する移動テーブルと、
を具備することを特徴とする表示装置製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の表面に発光素子を封止するための材料を塗布する塗布装置及びこれを備えた表示装置製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に代わる新しい表示装置として、発光素子を搭載した表示装置が開発されている。この発光素子の中には、有機ＥＬ素子のように水分を吸収することで寿命が短くなるものがある。そのため、有機ＥＬ素子を搭載した有機ＥＬ表示装置では、ガラス基板と封止ガラスで有機ＥＬ素子を挟むとともに、有機ＥＬ素子を囲うようにシール材（材料）を配設することで、有機ＥＬ素子を大気中の水分から保護していた。
【０００３】
また、有機ＥＬ表示装置の製造にあたっては、製造装置を気密構造にするとともに、この製造装置内を不活性ガスで充満させることで、水分濃度を低減した環境（露点管理下）を作り出して、有機ＥＬ素子を大気中の水分から保護していた（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開２００２−２１６９５８号公報。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、有機ＥＬ素子を封止する場合、有機ＥＬ素子が搭載されていない封止ガラス上にシール材を塗布した後、この封止ガラスとガラス基板を露点管理下で貼り合わせる。
【０００５】
そのため、封止ガラス上にシール材を塗布する際に、有機ＥＬ素子が大気に曝される心配がないため、従来は露点管理下でシール材を塗布する塗布装置は存在しなかった。
【０００６】
その結果、ガラス基板上にシール材を塗布するプロセスを備えた新たな製造フローを作成することができず、製造工程の最適化にとって弊害となっていた。
【０００７】
また、封止ガラスとガラス基板を貼り合わせる際は、有機ＥＬ素子が大気に曝されることを防止する必要があるため、貼り合わせ装置内を露点管理する必要がある。そのため、貼り合わせ装置に搬入用の前室を設けることで、貼り合わせ装置内の露点管理された雰囲気を破壊しないようにしていた。
【０００８】
しかしながら、搬入用の前室を備えた構成では、封止ガラスを前室に搬入するたびに、前室内を不活性ガスで充満する必要があるため、タクトタイムが長期化して生産性を低下させる大きな原因となっていた。
【０００９】
本発明は、上記事情を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、発光素子を大気に曝すことなく、基板上に所定の材料を塗布することができ、表示装置を製造するタクトタイムを短縮できる塗布装置及びこれを備えた表示装置製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明の塗布装置及びこれを備えた表示装置製造装置は次のように構成されている。
【００１１】
（１）基板に所定の材料を塗布する塗布装置において、内部が不活性ガス雰囲気に保たれる第１の気密室と、上記第１の気密室に隣接して設けられ、内部が不活性ガス雰囲気と空気雰囲気に置換可能な第２の気密室と、上記第１の気密室と第２の気密室の間に設けられ、これら気密室間を連絡する連絡路と、上記連絡路に開閉可能に設けられた第１の開閉扉と、上記第１の気密室の内部に設けられ、上記基板を保持するためのステージと、上記第１の気密室の内部に設けられ、上記ステージ上の基板に向けて上記材料を塗布する塗布手段と、上記第１の気密室の内部に設けられ、上記塗布手段を着脱可能に保持する第１の保持手段と、上記第１の気密室に設けられ、この第１の気密室内で手作業を行うためのグローブポートと、上記第２の気密室に設けられ、塗布装置の外部と連絡する開口部と、上記開口部に開閉可能に設けられた第２の開閉扉と、上記第２の気密室の内部に設けられ、上記塗布手段を着脱可能に保持する第２の保持手段と、上記第２の気密室の内部に設けられ、上記第２の保持手段を支持するとともに、上記第１の気密室と第２の気密室の間で往復移動する移動テーブルとを具備することを特徴とする。
【００１２】
（２）（１）に記載された塗布装置であって、上記第２の保持手段は、上記駆動装置に対して移動可能に保持されていることを特徴とする。
【００１３】
（３）（１）に記載された塗布装置であって、上記開口部は、上記連絡路と対向する位置に設けられていることを特徴とする。
【００１４】
（４）（１）に記載された塗布装置であって、上記塗布手段が上記第１の気密室内に完全に入り込むまで移動可能であることを特徴とする。
【００１５】
（５）（１）に記載された塗布装置であって、上記第２の保持手段の数は、上記塗布手段の数よりも多いことを特徴とする。
【００１６】
（６）（１）に記載された塗布装置であって、上記移動テーブルを上記第１の気密室と第２の気密室の間で往復駆動する駆動手段をさらに具備することを特徴とする。
【００１７】
（７）シール材塗布装置により表面にシール材料が塗布された第１の基板と、予め表面に発光素子が設けられた第２の基板とを互いの表面が対向するように貼り合わせて表示装置を製造する表示装置製造装置において、上記シール材塗布装置は、内部が不活性ガス雰囲気に保たれる第１の気密室と、上記第１の気密室に隣接して設けられ、内部が不活性ガス雰囲気と空気雰囲気に置換可能な第２の気密室と、上記第１の気密室と第２の気密室の間に設けられ、これら気密室間を連絡する連絡路と、上記連絡路に開閉可能に設けられた第１の開閉扉と、上記第１の気密室の内部に設けられ、上記第１の基板を保持するためのステージと、上記第１の気密室の内部に設けられ、上記ステージ上の第１の基板に向けて上記シール材を塗布する塗布手段と、上記第１の気密室の内部に設けられ、上記塗布手段を着脱可能に保持する第１の保持手段と、上記第１の気密室に設けられ、この第１の気密室内で手作業を行うためのグローブポートと、上記第２の気密室に設けられ、塗布装置の外部と連絡する開口部と、上記開口部に開閉可能に設けられた第２の開閉扉と、上記第２の気密室の内部に設けられ、上記塗布手段を着脱可能に保持する第２の保持手段と、上記第２の気密室の内部に設けられ、上記第２の保持手段を支持するとともに、上記第１の気密室と第２の気密室の間で往復移動する移動テーブルとを具備することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、発光素子の物性を変質させることなく処理することができる。また、材料の補給のための段取り時間を短くできて、生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００２０】
最初に、本発明のシール材塗布装置を用いて製造する有機ＥＬ表示装置の構造について説明する。
【００２１】
図１は本発明のシール材塗布装置により製造された有機ＥＬ表示装置の表示パネルを示す平面図、図２は本発明のシール材塗布装置により製造された有機ＥＬ表示装置の表示パネルを示す側面図である。
【００２２】
図１と図２に示すように、この表示パネルは有機ＥＬ素子用ガラス基板４００（第２の基板）を有している。この有機ＥＬ素子用ガラス基板４００上には、複数の有機ＥＬ素子４０１（発光素子）が設けられ、その上には所定の間隔を存して封止ガラス４０２（基板、第１の基板）が配置されている。
【００２３】
有機ＥＬ素子用ガラス基板４００と封止ガラス４０２の間には、各有機ＥＬ素子４０１を囲うようにシール材４０３（材料）が配設されている。このシール材４０３は、大気から有機ＥＬ素子４０１を保護する機能を有しており、本発明のシール材塗布装置１０によって塗布される。なお、このシール材４０３は、有機ＥＬ素子用ガラス基板４００と封止ガラス４０２を接着する接着剤としても機能している。
【００２４】
次に、図３を用いて本発明の第１の実施の形態に係るシール材塗布装置の構成について説明する。
【００２５】
図３は本発明の第１の実施の形態に係るシール材塗布装置１０（塗布装置）の全体構成を示す概略図である。
【００２６】
図３に示すように、このシール材塗布装置１０は、処理用気密室１００（第１の気密室）と交換用気密室２００（第２の気密室）を有している。これら処理用気密室１００と交換用気密室２００は互いに隣接して配置されており、これらの間には処理用気密室１００と交換用気密室２００の間を連絡する連絡路３００が設けられている。
【００２７】
この連絡路３００には第１の開閉扉３０１が開閉可能に設けられており、第１の開閉扉３０１を開閉することで、処理用気密室１００内と交換用気密室２００内を連絡できるようになっている。
【００２８】
処理用気密室１００の所定位置には、この処理用気密室１００内に窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスを供給するための第１のガス供給装置１０１と、処理用気密室１００内のガスを排出するための第１のガス排出装置１０２が接続されている。
【００２９】
第１のガス供給装置１０１及び第１のガス排出装置１０２には、それぞれ第１のガス供給弁１０１ａ及び第１のガス排出弁１０２ａが設けられており、第１のガス供給弁１０１ａと第１のガス排出弁１０２ａを同時に開放することで、処理用気密室１００内を一種又は複数種の不活性ガスで充満できるようになっている。
【００３０】
また、処理用気密室１００の所定位置には、グローブポート１０３（点線で示す）が設けられている。このグローブポート１０３は、一対の樹脂製グローブからなり、作業者が手を挿入することで、内部雰囲気を破壊することなく処理用気密室１００内で手作業するためのものである。
【００３１】
処理用気密室１００の内部には、ステージ１０４がほぼ水平に配置されている。このステージ１０４は、下から順に設けられたＸテーブル１０５ａ、Ｙテーブル１０５ｂ、θテーブル１０５ｃによって支持されており、ステージ１０４上には上記封止ガラス４０２が保持されている。
【００３２】
ステージ１０４上に保持された封止ガラス４０２の上方には、ディスペンサ１０６（塗布手段）が配置されている。このディスペンサ１０６は、固定式ディスペンサ保持部材１０７（第１の保持手段）に設けられたディスペンサ保持器１０７ａ（図４に図示）によって着脱可能に保持されている。
【００３３】
固定式ディスペンサ保持部材１０７は、Ｘテーブル１０８ａ、Ｚテーブル１０８ｂ、Ｙテーブル１０８ｃによって支持されており、これらテーブル１０８ａ〜１０８ｃを駆動することで、ディスペンサ１０６と封止ガラス４０２の相対位置を設定できるようになっている。
【００３４】
図４は同実施の形態に係るディスペンサ１０６の構成を示す概略図である。
【００３５】
図４に示すように、このディスペンサ１０６は、シール材を貯える円筒状のシリンジ１１０と、このシリンジ１１０の下端部に設けられ、シリンジ１１０内のシール材を吐出させるノズル部材１１１と、上記シリンジ１１０の上端部に接続され、接続口金として機能するクランプ１１２から構成されている。
【００３６】
上記ノズル部材１１１には円板状のストッパ１１３が設けられており、シリンジ１１０をディスペンサ保持器１０７ａ内に挿入するとともに、ストッパ１１３とディスペンサ保持器１０７ａとを係合させることで、ディスペンサ１０６を着脱可能に支持できるようになっている。
【００３７】
上記クランプ１１２の上端部には、可撓性を有する気体供給管１１４を介して気体供給装置１１５が接続されている。気体供給管１１４とクランプ１１２は、ワンタッチジョイント１１６により接続されており、気体供給管１１４とクランプ１１２を片手で脱着できるようになっている。
【００３８】
一方、図３に示すように、交換用気密室２００の所定位置には、この交換用気密室２００内に窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガスを供給する第２のガス供給装置２０１と、交換用気密室２００内のガスを排出する第２のガス排出装置２０２が接続されている。
【００３９】
第２のガス供給装置２０１及び第２のガス排出装置２０２には、それぞれ第２のガス供給弁２０１ａ及び第２のガス排出弁２０２ａを備えており、第２のガス供給弁２０１ａと第２のガス排出弁２０２ａを同時に開放することで、交換用気密室２００内を窒素ガスやアルゴンガス等の一種又は複数種の不活性ガスで充満できるようになっている。
【００４０】
また、交換用気密室２００の連絡路３００と対向する側壁には、装置１０外部と連絡する開口部２０３が設けられている。この開口部２０３には第２の開閉扉２０４が開閉可能に設けられており、この第２の開閉扉２０４を開閉することで、交換用気密室２００内と装置１０外部を連絡できるようになっている。
【００４１】
図５は同実施の形態に係る交換用気密室２００を拡大して示す拡大図である。
【００４２】
図５に示すように、この交換用気密室２００内には、トレイ駆動装置２０５（駆動手段）が設けられている。このトレイ駆動装置２０５上には移動トレイ２０６（移動テーブル）が設けられており、さらにその上には移動式ディスペンサ保持部材２０７（第２の保持手段）が載置されている。
【００４３】
このトレイ駆動装置２０５には制御装置（図示しない）が接続されており、制御装置から指令を与えることで、上記移動トレイ２０６を前後方向に駆動できるようになっている。なお、「前後方向」における前方とは処理用気密室１００側に向かう方向であり、後方とは交換用気密室２００側に向かう方向のことである。
【００４４】
この移動トレイ２０６は、上記前後方向に対して十分に大きく形成されており、図５中に点線で示すように、移動トレイ２０６を最も処理用気密室１００側に移動させたとき、その前方部分が連絡路３００から処理用気密室１００内に入り込み、移動トレイ２０６を処理用気密室１００から最も離れる方向に移動させたとき、その後方部分が開口部２０３から装置１０外部にとび出るようになっている。
【００４５】
図６は同実施の形態に係る移動式ディスペンサ保持部材を示す正面図、図７は同実施の形態に係る移動式ディスペンサ保持部材を示す側面図、図８は同実施の形態に係る移動式ディスペンサ保持部材を示す平面図である。
【００４６】
図６と図７に示すように、この移動式ディスペンサ保持部材２０７は支持部材２０８を有している。この支持部材２０８は、移動トレイ２０６上に設置される第１の板材２０８ａと、移動トレイ２０６に対して垂直に延びる第２の板材２０８ｂから構成されており、第２の板材２０８ｂの内側面には複数、本実施の形態では２つのディスペンサ保持器２０９が並設されている。
【００４７】
これらディスペンサ保持器２０９は、処理用気密室１００内に設けられたディスペンサ保持器１０７ａと同じ構成であり、一方のディスペンサ保持器２０９にはシール材が充填された新しいディスペンサ１０６が着脱可能に保持されている。
【００４８】
なお、本実施の形態では、移動式ディスペンサ保持部材２０７に２つのディスペンサ保持器２０９が設けているが、これに限定されるものではない。例えば、処理用気密室１００内にｎ個の固定式ディスペンサ保持部材１０７を設け、各々のディスペンサ保持器１０７ａにディスペンサ１０６を設ける場合、移動式ディスペンサ保持部材２０７には少なくともｎ＋１個のディスペンサ保持器２０９を設ける必要がある。すなわち、移動式ディスペンサ保持部材２０７には、ディスペンサ１０６が保持されていない空席のディスペンサ保持器２０９を設ける必要がある。
【００４９】
また、第２の板材２０８ｂの外側面には、コ字状の取っ手２１０が設けられており、この取っ手２１０を掴んで動かすことで、移動式ディスペンサ保持部材２０７を移動トレイ２０６上で移動できるようになっている。
【００５０】
これによって、移動式ディスペンサ保持部材２０７を移動トレイ２０６の最も前方に移動させておけば、移動トレイ２０６を前方に駆動することで、移動式ディスペンサ保持部材２０７で保持したディスペンサ１０６を処理用気密室１００内に搬入でき、また、移動式ディスペンサ保持部材２０７を移動トレイ２０６の最も後方に移動させておけば、移動トレイ２０６を後方に駆動することで、移動式ディスペンサ保持部材２０７で保持したディスペンサ１０６を装置１０外部に搬出できるようになっている。
【００５１】
次に、上記構成のシール材塗布装置を使用する際の作用について説明する。
【００５２】
シール材塗布装置１０を使用する場合、まず第１のガス供給弁１０１ａと第１のガス排出弁１０２ａを開放して、処理用気密室１００内を窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガス雰囲気にする。そして、処理用気密室１００内に充満したガスの露点が−４０［℃］以下となったら、気体供給装置１１５によってシリンジ１１０内のシール材を加圧して、封止ガラス４０２上にシール材を塗布する。
【００５３】
このとき、封止ガラス４０２とディスペンサ１０６の間の距離を制御しながら、ステージ１０４をディスペンサ１０６に対して相対的に移動させることで、後に封止ガラス４０２と有機ＥＬ素子用ガラス基板４００とを貼り合わせたとき、各有機ＥＬ素子４０１がシール材で囲われるようにする。
【００５４】
封止ガラス４０２に対してシール材を塗布し続けることで、シリンジ１１０内のシール材が無くなったら、図９に示すフローチャートに従ってディスペンサ１０６の交換作業を行う。
【００５５】
図９に示すように、シール材の塗布中（ステップＳ１）、シリンジ１１０内のシール材が無くなると、ディスペンサ交換用アラームが鳴る（ステップＳ２）。ディスペンサ交換用アラームが鳴ったら、シール材の塗布を停止し（ステップＳ３）、ディスペンサ１０６の交換作業を行う（ステップＳ４）。
【００５６】
ディスペンサ１０６の交換作業では、まず第１の開閉扉３０１を開き、トレイ駆動装置２０５によって移動トレイ２０６を駆動して交換用気密室２００内のディスペンサ１０６を移動式ディスペンサ保持部材ごと処理用気密室１００内に搬入する。このとき、交換用気密室２００内は、処理用気密室１００内と同様に、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガス雰囲気になっている。
【００５７】
移動トレイ２０６上の移動式ディスペンサ保持部材２０７及びこれに保持されたディスペンサ１０６が完全に処理用気密室１００内に搬入したら、グローブポート１０３を用いて手作業で固定式ディスペンサ保持部材１０７のディスペンサ保持器１０７ａから空のディスペンサ１０６を取り外し、移動式ディスペンサ保持部材２０７の空席のディスペンサ保持器２０９に取付ける。
【００５８】
そして、移動式ディスペンサ保持部材２０７上のもう一方のディスペンサ保持器２０９からシール材が充填された新しいディスペンサ１０６を取り外し、処理用気密室１００内のディスペンサ保持器１０７ａに取付ける。
【００５９】
処理用気密室１００内のディスペンサ保持器１０７ａに新しいディスペンサ１０６を取付けたら、トレイ駆動装置２０５によって移動トレイ２０６を駆動して移動式ディスペンサ保持部材２０７を交換用気密室２００内に搬出する。
【００６０】
そして、移動トレイ２０６上の移動式ディスペンサ保持部材２０７及びこれに保持されたディスペンサ１０６が処理用気密室１００から完全に搬出されたら、第１の開閉扉３０１を閉じるとともに（ステップＳ５）、再び封止ガラス４０２に対するシール材の塗布を開始する（ステップＳ６）。
【００６１】
一方、第１の開閉扉３０１が完全に閉じたら、第２のガス供給弁１ａと第２のガス排出弁２０２ａを開放して、交換用気密室２００内を空気雰囲気にする。そして、交換用気密室２００内が空気雰囲気となったことが確認されたら、第２の開閉扉２０４を開き（ステップＳ７）、トレイ駆動装置２０５によって移動トレイ２０６を駆動してディスペンサ１０６を移動式ディスペンサ保持部材２０７ごと装置１０外部に搬出する（ステップＳ８）。
【００６２】
そして、ディスペンサ１０６が装置１０外部に完全に搬出されたら、第２の開閉扉２０４を閉じ（ステップＳ９）、手作業で空のディスペンサ１０６を移動式ディスペンサ保持部材２０７上のディスペンサ保持器２０９から取り外して、代わりにシール材が充填された新しいディスペンサ１０６を取付ける（ステップＳ１０）。
【００６３】
ディスペンサ保持器２０９に新しいディスペンサ１０６が取付けられたら、第２の開閉扉２０４を開き（ステップＳ１１）、トレイ駆動装置によって移動トレイ２０６を駆動して、このディスペンサ１０６を移動式ディスペンサ保持部材２０７ごと交換用気密室２００内に搬入する（ステップＳ１２）。
【００６４】
そして、移動式ディスペンサ保持部材２０７及びこれに保持されたディスペンサ１０６が交換用気密室２００内に完全に搬入したら、第２の開閉扉２０４を閉じ（ステップＳ１３）、第２のガス供給弁２０１ａと第２のガス排出弁２０２ａを開いて、交換用気密室２００内を不活性ガス雰囲気にする（ステップＳ１４）。なお、ここでは交換用気密室２００内を不活性ガス雰囲気にする１５分の工程を３セットに分けて５分ずつ行っている。
【００６５】
そして、交換用気密室２００内に充満したガスの露点が−４０［℃］以下となったことが確認されたら、グローブポート１０３を用いて手作業によりディスペンサ１０６を移動式ディスペンサ保持部材２０７ごと移動トレイの前方部分に移動するとともに、第１の開閉扉３０１を開いて（ステップＳ１５）、処理用気密室１００内のディスペンサ１０６が空になるのを待つ。
【００６６】
すなわち、本実施の形態では、処理用気密室１００内で封止ガラス４０２に対してシール材を塗布している間に、別工程として移動式ディスペンサ保持部材２０７に対するディスペンサ１０６の交換作業を行っている。
【００６７】
上記構成のシール材塗布装置１０によれば、封止ガラス４０２にシール材を塗布する空間と、シール材が充填した新しいディスペンサ１０６を補充し待機させる空間とを処理用気密室１００と交換用気密室２００を用いることで隔離している。
【００６８】
そのため、処理用気密室１００内を常に不活性ガス雰囲気に保つことができるから、封止ガラス４０２に設けられる乾燥剤が空気中に含まれる水分を吸収して湿気るのを抑制することができる。また、シール材を有機ＥＬ素子用ガラス基板４００に塗布する場合であっても、有機ＥＬ素子用ガラス基板４００上に設けられる有機ＥＬ素子４０１が空気に曝されることがないから、有機ＥＬ素子４０１が空気中に含まれる水分によって劣化するのを抑制することができる。
【００６９】
また、処理用気密室１００内で封止ガラス４０２に対してシール材を塗布している間に、移動式ディスペンサ保持部材２０７に対するディスペンサ１０６の交換作業や交換用気密室２００内の雰囲気の置換などを行っている。
【００７０】
そのため、ディスペンサ１０６の交換作業をする際に、固定式ディスペンサ保持部材１０７上のディスペンサ保持器１０７ａから空のディスペンサ１０６を取り外し、代わりに移動式ディスペンサ保持部材２０７上のディスペンサ保持器２０９からシール材が充填された新しいディスペンサ１０６を取付ける時間だけシール材の塗布を停止すればよい。
【００７１】
すなわち、長い時間を要する交換用気密室２００内の雰囲気の置換や移動式ディスペンサ保持部材２０７に対するディスペンサ１０６の交換作業のために、シール材の塗布を中止する必要がないから、タクトタイムが短縮され、生産性を飛躍的に向上することができる。
【００７２】
なお、図９中に示す秒数は、発明者らが計測した各工程に要する時間であるが、封止ガラス４０２にシール材を塗布する工程と、ディスペンサ１０６を交換する工程を同時に行わない場合に２０分もかかっていたディスペンサ１０６の交換作業を１分まで短縮できることが分かる。
【００７３】
また、１つのディスペンサ１０６に対して、２つのディスペンサ保持器２０９を備えた移動式ディスペンサ保持部材２０７を用いている。
【００７４】
そのため、移動式ディスペンサ保持部材２０７に保持された新しいディスペンサ１０６を固定式ディスペンサ保持部材１０７に取付ける際、固定式ディスペンサ保持部材１０７から取り外されたの空のディスペンサ１０６を一時的に保持することができるから、ディスペンサ１０６の交換を一回の作業で済ますことができる。このことによっても、生産性を向上することができる。
【００７５】
さらに、移動トレイ２０６が最も前方に移動したときに、移動式ディスペンサ保持部材２０７及びこれに保持されたディスペンサ１０６が処理用気密室１００内に完全に入り込み、また移動トレイ２０６が最も後方に移動したときに、移動式ディスペンサ保持部材２０７及びディスペンサ１０６が完全に装置１０外部に出るようになっている。
【００７６】
そのため、ディスペンサ１０６の交換作業時、ディスペンサ１０６を移動式ディスペンサ保持部材２０７の直上に引き上げることができるから、移動式ディスペンサ保持部材２０７に対するディスペンサ１０６の脱着を容易に行うことができる。このことによっても生産性を向上することができる。さらに、ディスペンサ１０６を落とす等のミスをも防止することができる。
【００７７】
また、気体供給装置１１５の気体供給管１１４とディスペンサ１０６のクランプ１１２
とを片手でも着脱可能なワンタッチジョイント１１６によって接続している。
【００７８】
そのため、片手で移動式ディスペンサ保持部材２０７を掴みながら、もう片手でディスペンサ１０６の取り外しや取付けを行うような、両手での作業が可能となるから、作業効率を向上することができる。
【００７９】
次に、図１０を用いて本発明の第２の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置製造装置について説明する。
【００８０】
図１０は本発明の第２の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置製造装置の概略図である。
【００８１】
図１０に示すように、この有機ＥＬ表示装置製造装置（表示装置製造装置）は、連絡室５０と、第１の実施の形態で述べたシール材塗布装置１０と、封止ガラス４０２を搬入する封止ガラス搬入室２０と、有機ＥＬ素子用ガラス基板４００を搬入する有機ＥＬ素子用ガラス基板搬入室３０と、有機ＥＬ素子用ガラス基板４００と封止ガラス４０２とを貼り合わせる貼り合わせ装置４０とを有している。
【００８２】
連絡室５０は、シール材塗布装置１０、封止ガラス搬入室２０、有機ＥＬ素子用ガラス基板搬入室３０、及び貼り合わせ装置４０とそれぞれ開閉扉１０ａ〜４０ａを介して連絡しており、その内部は常時不活性ガス雰囲気に保たれている。
【００８３】
封止ガラス搬入室２０は、封止ガラス４０２を有機ＥＬ表示装置製造装置内に搬入する際に、有機ＥＬ表示装置製造装置内の不活性ガス雰囲気を破壊しないようにするための前室であり、空気雰囲気と不活性ガス雰囲気とに置換できるようになっている。
【００８４】
有機ＥＬ素子用ガラス基板搬入室３０は、有機ＥＬ素子用ガラス基板４００を有機ＥＬ表示装置製造装置内に搬入する際に、有機ＥＬ表示装置製造装置内の不活性ガス雰囲気を破壊しないようにするための前室であり、空気雰囲気と不活性ガス雰囲気とに置換できるようになっている。
【００８５】
貼り合わせ装置４０は、シール材塗布装置１０から搬出され、シール材が塗布された封止ガラス４０２と、有機ＥＬ素子用ガラス基板搬入室３０から搬出され、有機ＥＬ素子４０１を備えた有機ＥＬ素子用ガラス基板４００とを貼り合わせる装置であり、空気雰囲気と不活性ガス雰囲気とに置換できるようになっている。
【００８６】
次に、上記構成の有機ＥＬ表示装置製造装置を使用する際の作用について説明する。
【００８７】
まず、封止ガラス搬入室２０に搬入された封止ガラス４０２は、連絡室５０を経由してシール材塗布装置１０の処理用気密室１００内に搬入される。そして、シール材塗布装置１０の処理用気密室１００内に搬入された封止ガラス４０２は、その表面にシール材の塗布がなされた後、連絡室５０を経由して貼り合わせ装置４０に搬入される。
【００８８】
一方、有機ＥＬ素子用ガラス基板搬入室３０に搬入された有機ＥＬ素子用ガラス基板４００は、連絡室５０を経由して貼り合わせ装置４０に搬入される。なお、この有機ＥＬ素子用ガラス基板４００の表面には、それ以前の工程において有機ＥＬ素子４０１が設けられている。
【００８９】
そして、貼り合わせ装置４０に搬入された封止ガラス４０２と有機ＥＬ素子用ガラス基板４００は、互いの表面を対向させるように貼り合わされ、有機ＥＬパネルＰとなって有機ＥＬ表示装置製造装置から搬出される。
【００９０】
すなわち、本実施の形態では、上記構成のシール材塗布装置を有機ＥＬ表示装置製造装置に組み込んでいる。そのため、有機ＥＬパネルＰの製造に要する時間を短縮して、生産性を飛躍的に向上することができる。
【００９１】
なお、本発明は、上記実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施の段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。
【００９２】
具体的には、処理用気密室１００と交換用気密室２００とを配管で接続し、この配管に開閉弁を設ければ、開閉弁の開閉により処理用気密室１００と交換用気密室２００とを連通させることができるから、交換用気密室２００を不活性ガス雰囲気にするガス供給装置を省略することができる。
【００９３】
また、上記実施の形態では発光素子として有機ＥＬ素子を例示したが、雰囲気により変質する可能性が高い材料ならば、特に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００９４】
【図１】本発明のシール材塗布装置により製造された有機ＥＬ表示装置の表示パネルを示す平面図。
【図２】本発明のシール材塗布装置により製造された有機ＥＬ表示装置の表示パネルを示す側面図。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係るシール材塗布装置の全体構成を示す概略図。
【図４】同実施の形態に係るディスペンサの構成を示す概略図。
【図５】同実施の形態に係る交換用気密室を拡大して示す拡大図。
【図６】同実施の形態に係る移動式ディスペンサ保持部材を示す正面図。
【図７】同実施の形態に係る移動式ディスペンサ保持部材を示す側面図。
【図８】同実施の形態に係る移動式ディスペンサ保持部材を示す平面図。
【図９】同実施の形態に係るディスペンサを交換する工程を示すフローチャート。
【図１０】本発明の第２の実施の形態に係る有機ＥＬ表示装置製造装置の概略図。
【符号の説明】
【００９５】
１０…シール材塗布装置（塗布装置）、１００…処理用気密室（第１の気密室）、１０３…グローブポート、１０４…ステージ、１０６…ディスペンサ（塗布手段）、１０７…固定式ディスペンサ保持部材（第１の保持手段）、２００…交換用気密室（第２の気密室）、３００…連絡路、３０１…第１の開閉扉、２０３…開口部、２０４…第２の開閉扉、２０５…トレイ駆動装置（駆動手段）、２０６…移動トレイ（移動テーブル）、２０７…移動式ディスペンサ保持部材（第２の保持手段）、４００…有機ＥＬ素子用ガラス基板（第２の基板）、４０１…有機ＥＬ素子（発光素子）、４０２…封止ガラス（第１の基板）、４０３…シール材（材料）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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