(57)【要約】【課題】特殊な研磨材等を使用することなく、ブラスト加工により被加工物の加工表面を鏡面等の光沢面に研磨することのできる研磨方法を提供する。【解決手段】被加工物の加工表面に対して圧縮流体と共に研磨材を次式で示す条件を満たす入射角で噴射し、被加工物の加工表面に沿った研磨材の噴流を生じさせる。式  ：  ０  ＜  Ｖ・ｓｉｎθ  ≦  １／２・ＶＶ  ＝  噴射方向における研磨材の速度θ  ＝  被加工物の加工表面に対する研磨材の入射角【選択図】  図１
2005022015.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被加工物の加工表面に対して圧縮流体と共に研磨材を次式で示す条件を満たす入射角で噴射して、前記被加工物の加工表面に沿った研磨材の噴流を生じさせることを特徴とする被加工物の研磨方法。
式  ：  ０  ＜  Ｖ・ｓｉｎθ  ≦  １／２・Ｖ
Ｖ  ＝  噴射方向における研磨材の速度
θ  ＝  被加工物の加工表面に対する研磨材の入射角
【請求項２】
前記入射角θが、２０°以下であることを特徴とする請求項１記載の被加工物の研磨方法。
【請求項３】
被加工物の加工表面と、この加工表面上に配置された規制板間に前記研磨材の噴流を導入することを特徴とする請求項１又は２記載の被加工物の研磨方法。
【請求項４】
前記研磨材の入射位置における前記被加工物の加工表面上を保護板にて覆うことを特徴とする請求項１〜３いずれか１項記載の被加工物の研磨方法。
【請求項５】
前記規制板の一端側において前記被加工物の加工表面上を覆う保護板を設け、該保護板と前記規制板の一端間より前記研磨材の噴流を導入することを特徴とする請求項３記載の被加工物の研磨方法。
【請求項６】
前記規制板と、前記被加工物の加工表面との間隔を、導入される前記研磨材の噴流の速度及び圧力に応じて可変とすることを特徴とする請求項３記載の被加工物の研磨方法。
【請求項７】
ブラスト加工装置の噴射ガンと、研磨が行われる被加工物の加工表面間に配置され、
前記噴射ガンの噴射方向前方に位置し、前記噴射ガンより噴射された研磨材の噴流を導入する導入口と、前記導入口より導入された前記噴流を誘導する所定の湾曲形状に形成された誘導流路と、前記誘導流路を介して誘導された前記研磨材の噴流を導出する導出口を備え、
前記導出口より導出された前記研磨材が、前記被加工物の加工表面に対して次式で示す入射角となるよう前記誘導流路の形状及び前記導入口及び導出口の相対的な位置関係が設定されていることを特徴とする噴流誘導手段。
式  ：  ０  ＜  Ｖ・ｓｉｎθ  ≦  １／２・Ｖ
Ｖ  ＝  噴射方向における研磨材の速度
θ  ＝  被加工物の加工表面に対する研磨材の入射角
【請求項８】
研磨を行う被加工物の加工表面上に配置され、前記加工表面との間に、次式で示す条件を満たす入射角で圧縮流体と共に噴射された研磨材の噴流を導入可能な間隔を形成する規制板を備えたことを特徴とする噴流規制手段。
式  ：  ０  ＜  Ｖ・ｓｉｎθ  ≦  １／２・Ｖ
Ｖ  ＝  噴射方向における研磨材の速度
θ  ＝  被加工物の加工表面に対する研磨材の入射角
【請求項９】
前記規制板が、前記研磨材の噴流が導入される側の一端において、一端を前記被加工物の加工表面より離間する方向に傾斜させた傾斜部を備えることを特徴とする請求項８記載の噴流規制手段。
【請求項１０】
前記被加工物の加工表面と、前記規制板との間隔を、２０ｍｍ〜２ｍｍ、好ましくは１０ｍｍ〜２ｍｍ以下の所定間隔に保持する間隔保持手段を備えたことを特徴とする請求項８又は９記載の噴流規制手段。
【請求項１１】
前記規制板が、前記被加工物の加工表面との間隔を可変に形成されていることを特徴とする請求項８〜１０いずれか１項記載の噴流規制手段。
【請求項１２】
前記規制板を可撓性材料により形成したことを特徴とする請求項１１記載の噴流規制手段。
【請求項１３】
前記規制板を前記被加工物の加工表面側に付勢する付勢手段を備えたことを特徴とする請求項１１又は１２記載の噴流規制手段。
【請求項１４】
前記研磨材の噴流が導入される側の一端側において、前記被加工物の加工表面を覆う保護板を設けると共に、前記保護板と前記規制板間に研磨材の噴流を導入可能と成す間隔を設けたことを特徴とする請求項８〜１３いずれか１項記載の噴流規制手段。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被加工物の研磨方法及びこの研磨方法において使用する噴流誘導手段並びに噴流規制手段に関し、より詳細には、圧縮流体と共に研磨材を噴射するサンドブラスト、ウェットブラスト等のブラスト加工装置を使用して、被加工物の加工表面を光沢面等に研磨する方法、及びこのような研磨を可能とする研磨材の噴流を生じさせるための噴流誘導手段及び噴流規制手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】
被加工物の表面の面粗度を向上させ、鏡面等の平滑面に加工する既知の研磨方法としては、例えば、研磨紙や研磨布による研磨、バフによる研磨、ラッピング、回転する砥粒との接触による研磨、超音波振動を与えられた砥粒との接触により被加工物を研磨する超仕上げ加工等がある。
【０００３】
これに対し、同様に研磨材を用いた加工技術に関するものでありながら、研磨材を被加工物の表面に噴射して切削等を行うブラスト加工は、後述梨地加工に代表されるように一般には被加工物の表面を光沢面に加工する研磨加工に際して使用されていない。
【０００４】
これは、ブラスト加工にあっては、噴射された研磨材を被加工物の表面に衝突させることにより加工を施すものであるため、この研磨材と衝突した被加工物の表面に凹凸が形成されて梨地状となるためであり、このようにして被加工物の表面に凹凸が形成されると、加工表面に入射した光が乱反射して加工表面は鏡面等の光沢面とはならない。
【０００５】
このブラスト加工により被加工物の表面に生じる凹凸の程度は、被加工物の材質、硬度、研磨材の材質、硬度、粒径、形状、噴射圧力、噴射量などのブラスト条件により変化するため、これらの加工条件を変更することにより、表面を凹凸形状と成す各圧痕の形状等を変化させることはできるものの、かりに、研磨材の粒径を小さくして形成される痕径を小さくしたとしても、被加工物の表面に凹凸が形成されることに変わりなく、結局は光の乱反射が生じて被加工物の表面を鏡面等の光沢面とすることはできない。
【０００６】
一例としてシリコンウエハーを被加工物とし、その表面に、♯３０００のフジランダムＷＡ（不二製作所ホワイトアランダム）をＳＧＦ−４（不二製作所製サンドブラスト機）によりブラストしたが、被加工物の表面は光沢面とはならなかった。
【０００７】
このように、従来一般的に行われていたブラスト加工方法による場合には、被加工物の表面を鏡面等の光沢面に加工することはできないものであるが、このようなブラスト加工方法による表面処理によっても、被加工物の加工表面に対する梨地の形成を抑制し、被加工物の加工表面の艶出しを行う下記研削方法が提案されている。
【０００８】
この研削方法では、弾力性のある多孔質の植物繊維からなる担体に、この植物繊維に含まれる脂肪分または糖分を粘着剤として研削粉を付着させて砥粒とし、この砥粒を研削液を混合した上で被加工物の表面に斜めから噴射し、前記担体を塑性変形させながら前記砥粒を被加工物の加工表面で滑動させて、上記研削粉により被加工物の表面を仕上げるものである（特許文献１参照）。
【０００９】
この発明の先行技術文献情報としては次のものがある。
【特許文献１】特許２９５７４９２号公報（第１−４頁、図１，図２）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来の研磨・研削方法のうち、研磨布や研磨紙による研磨、ラッピング、砥石による研磨等の既知の研磨方法にあっては、粒度の小さい研磨材は研磨力が弱いため、研磨材の粒度を段階的に小さくしてゆく多段の研磨工程が必要であり煩雑である。
【００１１】
また、研磨量は加工圧力に依存するが、過度に加工歪が生じることを避けるために加工圧力を低く設定すれば、加工速度が低下し、生産性が低いものとなる。
【００１２】
これとは逆に、高い加工圧力を加える場合には、研削、研磨割れを起こすおそれがある。
【００１３】
また、加工圧力がかかった状態で研磨される被加工物の表面層には、前述のように加工歪が生じるため、被加工物が例えばシリコンウエハーである場合には、ウエハー表面近傍での完全結晶層を確保するために研磨加工の際に生じた加工歪の除去が必要となる場合があり、そのため、研磨加工後に研磨されたウエハーを熱処理したり、酸やアルカリ等を使って表面層を除去する等の工程が必要となる。また、酸やアルカリ等を使って表面層を除去する場合には、この際に使用した酸やアルカリ等の廃液を適切に処理する必要がある等、その作業は極めて煩雑となっている。
【００１４】
これに対し、前掲の特許文献１に示す「ワーク表面の研削方法」によれば、ブラスト法によりワーク（被加工物）の表面を梨地状とすることなく艶出しを行うことができるものであるが、上記特許文献１の方法にあっては、羽根車を回転させ、砥粒に遠心力を与えて噴射する噴射方式を採用し、また、被加工物上で砥粒を滑動させるために、「担体として比較的軟質の多孔体を用いることで、ワーク表面への衝突時に担体を塑性変形させながら研削液の潤滑作用により砥粒をワーク表面に沿って滑らす」（前記特許文献１の〔０００６〕欄）ものであり、被加工物の表面に沿った砥粒の移動を得るためには、被加工物の表面に衝突した際の衝撃を吸収して反発を防ぐための弾性を有する特殊な構造の砥粒の使用を必須としている。
【００１５】
さらに、この砥粒は、前述の担体を植物繊維から生成しているために、例えばエア式のブラスト加工の際に通常用いられる噴射圧力で噴射した場合には破壊等が発生し、低速の噴射速度にて噴射する必要があり、その結果、前掲の特許文献１に記載の方法により被加工物を加工する場合においても、飛躍的な生産性の向上は望めない。
【００１６】
本発明は、壁面に沿って噴出する噴流は、壁面が湾曲していてもそれに沿って流れる性質を持つことから（例えば、「コアンダ効果」等）、研磨材を圧縮流体と共に噴射することにより、従来技術に開示される特殊な構造の研磨材を使用することなく既存の一般的な研磨材を使用した場合であっても被加工物の表面に沿った研磨材の移動が可能である。ちなみに、研磨材の粒度が＃２０００以上に微細になると研磨材は噴流と同じ流れにのっていることが確認された。
【００１７】
上記知見及び、被加工物の加工表面に対する研磨材の入射角度を所定の範囲内に設定することにより、被加工物の加工表面に沿った研磨材の移動を行われせることができるという実験結果に基づき完成されたものである。本発明は、上述の特殊な研磨材や研削液等を使用することなく、既存の研磨材やブラスト加工装置を使用して被加工物の加工表面の面粗度を向上させ、所望の鏡面等の光沢面に研磨することのできる被加工物の研磨方法を提供することを目的とする。
【００１８】
又、圧力をかけて加工するのではないことから、研磨被加工物の表面に加工歪が生じることを防止でき、従って、シリコンウエハー等の加工歪の発生を嫌う被加工物を処理対象とした場合であっても、加工後に加工歪を除去するための熱処理、酸やアルカリ液による表面層の除去等を省略することまたは、その処理工程を軽減できる研磨方法を提供する。
【００１９】
また、本発明の別の目的は、例えば既存のブラスト加工装置を使用して容易に前記研磨方法の実施を可能とするために、必要な条件において被加工物の加工表面に対して研磨材の噴射を可能とする噴流誘導手段、被加工物の加工表面上に沿った研磨材の噴流が加工表面より剥離することを規制する噴流規制手段を提供することを目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の被加工物の研磨方法は、被加工物の加工表面１０に対して圧縮流体と共に研磨材を、次式
式  ：  ０  ＜  Ｖ・ｓｉｎθ  ≦  １／２・Ｖ
Ｖ  ＝  噴射方向における研磨材の速度
θ  ＝  被加工物の加工表面に対する研磨材の入射角
で示す条件を満たす入射角θで噴射して、前記被加工物の加工表面１０に沿った研磨材の噴流を生じさせることを特徴とする（請求項１）。
【００２１】
ここで、速度とは、噴射ガンより噴射された研磨材は、個別の速度をもつ集合体である。その集合体の平均速度をいう。丸型ガンＦ２−２Ａ（不二製作所製）では、その速度分布は正規分布をとる。またスリット型の噴射ガンから成るハイパーガン（不二製作所製）は、そのスリットの形状等によりその研磨材の速度分布と平均速度が決定される。
【００２２】
前記入射角θは、２０°以下であることが好ましい（請求項２）。
後述、図１５に示すように、表面粗さＲａの減少率は３０°で５５％、２０°で６０％超。２０°は６０％以上改善されている。
Ｒａ減少率＝１−噴射角度θのＲａ／予備処理面のＲａ
【００２３】
さらに、前記研磨方法において、被加工物の加工表面１０と、この加工表面１０上に配置された規制板４１間に前記研磨材の噴流を導入する（請求項３）。
【００２４】
前述の研磨方法において、前記研磨材の入射位置における前記被加工物の加工表面１０上を保護板６０にて覆う構成としても良い（請求項４）。
【００２５】
さらに、前述のように、規制板４１と被加工物の加工表面１０との間に研磨材の噴流を導入する研磨方法にあっては、前記規制板４１の一端側において前記被加工物の加工表面１０上を覆う保護板６０を設け、該保護板６０と前記規制板４１の一端間より前記研磨材の噴流を導入するように構成しても良い（請求項５）。
【００２６】
前述の規制板４１と、規制板の重量や弾性が一定で、周辺圧力が一定の場合、規制板と加工表面との間隔を決定する要素として、前記被加工物の加工表面１０との間隔を、導入される前記研磨材の噴流の速度、及び圧力に応じて可変とすることもできる（請求項６）。
【００２７】
また、前述の研磨方法に使用する本発明の噴流誘導手段３０は、ブラスト加工装置の噴射ガン２０と、研磨が行われる被加工物の加工表面１０間に配置され、前記噴射ガン２０の噴射方向前方に位置し、前記噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流を導入する導入口３１と、前記導入口３１より導入された前記噴流を誘導する所定の湾曲形状に形成された誘導流路３３と、前記誘導流路３３を介して誘導された前記研磨材の噴流を導出する導出口３２を備え、
前記導出口３２より導出された前記研磨材が、前記被加工物の加工表面１０に対し、次式
式  ：  ０  ＜  Ｖ・ｓｉｎθ  ≦  １／２・Ｖ
Ｖ  ＝  噴射方向における研磨材の速度
θ  ＝  被加工物の加工表面に対する研磨材の入射角
で示す入射角となるよう前記誘導流路３３の形状及び前記導入口３１及び導出口３２の相対的な位置関係が設定されていることを特徴とする（請求項７）。
【００２８】
さらに、前記方法に使用する本発明の噴流規制手段４０は、研磨を行う被加工物の加工表面１０上に配置され、前記加工表面１０との間に、次式
式  ：  ０  ＜  Ｖ・ｓｉｎθ  ≦  １／２・Ｖ
Ｖ  ＝  噴射方向における研磨材の速度
θ  ＝  被加工物の加工表面に対する研磨材の入射角
で示す条件を満たす入射角θで圧縮流体と共に噴射された研磨材の噴流を導入可能な間隔を形成する規制板４１を備えたことを特徴とする（請求項８）。
【００２９】
前記規制板４１は、前記研磨材の噴流が導入される側の一端において、一端を前記被加工物の加工表面１０より離間する方向に傾斜させた傾斜部４１１を備えるものとしても良い（請求項９）。
【００３０】
この、被加工物の加工表面１０と、前記規制板４１との間隔を２０ｍｍ〜２ｍｍ、好ましくは  １０  ｍｍ〜２ｍｍ以下の所定間隔に保持する、例えば前記規制板４１の底面に設けられた脚部４３等の間隔保持手段を設けても良い（請求項１０）。
【００３１】
前記規制板４１は、前記被加工物の加工表面１０との間隔を可変に形成することもできる（請求項１１）。
【００３２】
この、加工表面１０との間隔を可変とするために、前記規制板４１を可撓性材料により形成すれば、この可撓性性材料により、噴流の圧力、速度、系の圧力と可撓性材料の機械的物性により、バランスした間隔を保つ上で好適である（請求項１２）。
【００３３】
また、前述のように被加工物の加工表面１０との間隔を可変に構成した噴流規制手段４０にあっては、前記規制板４１を前記被加工物の加工表面１０側に付勢する付勢手段を備えるものとして構成しても良い（請求項１３）。
【００３４】
なお、前記研磨材の噴流が導入される側の一端側において、前記被加工物の加工表面１０を覆う保護板６０を設けると共に、前記保護板６０と前記規制板４１間に研磨材の噴流を導入可能と成す間隔を設ける構成とすることもできる（請求項１４）。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態につき以下説明する。
【００３６】
〔ブラスト加工による研磨の原理〕
前述のように、ブラスト加工により被加工物の表面に形成される梨地状の凹凸形状が光沢面の形成を妨げるものであるが、この梨地状の凹凸形状の形成は、噴射される研磨材に作用する速度のうち、被加工物の加工表面に対して垂直方向を成す速度が影響しているものと考えられる。
【００３７】
すなわち、図１に示すように被加工物の加工表面に対し研磨材が速度Ｖ、入射角度θ（噴射方向と被加工物の加工表面とのなす角度）で噴射されると、被加工物の加工表面に対して垂直（９０°）方向に働く垂直速度は、Ｖ・ｓｉｎθであり、この垂直速度Ｖ・ｓｉｎθが、被加工物の加工表面に対する梨地面の形成に作用する。
【００３８】
本発明の研磨方法では、圧縮流体と共に研磨材を噴射する場合、この加工表面に対する垂直速度Ｖ・ｓｉｎθを、研磨材の速度Ｖに対して１／２以下とすること、すなわち、被加工物の加工表面に対する噴射角θを３０°以下とすることにより、被加工物の加工表面に対する水平速度Ｖ・ｃｏｓθを、垂直速度Ｖ・ｓｉｎθに対して充分に優位となるように増加させることにより、被加工物の表面に形成される梨地を光沢面の形成に影響を及ぼさない程度に減少し、または、梨地が形成されないようにすると共に、この水平速度Ｖ・ｃｏｓθの増加により、噴射された研磨材が圧縮流体と共に被加工物の加工表面上を水平方向（前記垂直方向に対して）に移動し、この水平方向に移動する研磨材による研磨により、被加工物の加工表面を光沢面等に研磨することができるのである。
【００３９】
なお、研磨材の水平方向の移動をより円滑に行わせることにより、梨地面の成形がより確実に抑制され、光沢度の高い加工表面を得ることができることから、この水平方向の移動に影響する研磨材の水平速度Ｖ・ｃｏｓθをさらに垂直速度Ｖ・ｓｉｎθに対して優位に増加するために、好ましくは、前述の角度θを２０°〜０°とした研磨が有効である。
【００４０】
被加工物の加工表面１０に対して圧縮流体と共に研磨材の入射角度は、以下の如く実験例１により決定した。
【００４１】
実験例１
【表１】加工条件
2005022015.tif 000003
【００４２】
加工方法
被加工物と研磨材の入射角度は、研磨材噴射ガンを固定とし、被加工物のガラスを固定する台を回転できる様にし、任意の角度θを得た。
【００４３】
角度θの加工を開始する前に、被加工物であるガラスの表面に、前記研磨材を噴射圧力０．４ＭＰａ、噴射角９０°で６０ｓｅｃ噴射し、全面を梨地面とする予備処理を実施した（この予備処理を施した面を予備処理面という）。
【００４４】
次に被加工物を回転台の上に固定し、任意の噴射角度θにセットした。ガンの噴射口と被加工物との間隔（距離）は１００ｍｍとした。
【００４５】
噴射角度（図１に示したθ）は９０°（垂直入射）、６０°、４５°、３０°、２０°、１５°、１０°、５°とした。
【００４６】
噴射加工された被加工物は表面粗さをサーフコム１４００Ａ（株式会社東京精密社製）を用い測定した。測定条件は測定長さ：４．０ｍｍ、カットオフ波長：０．８ｍｍ、測定速度：０．３ｍｍ／ｓｅｃ。
【００４７】
表面粗さの測定位置は噴射点で強く加工された、影響を除くため噴射点より噴射流の下流１５ｍｍで測定した。
【００４８】
角度を変える加工を実施した被加工物の予備処理面における表面粗さＲａ（μｍ）は２．６７１μｍであった。
【００４９】
噴射角度と表面粗さＲａ（μｍ）を、図１４に示す。表粗Ｒａは、高角９０°より低角５°になるに伴い、減少している。
【００５０】
被加工物の予備処理面の表面粗さに対する各噴射角度のＲａ減少率を図１５に示す。
Ｒａ減少率の定義＝（１−噴射角度θのＲａ／予備処理面のＲａ）
【００５１】
図１５において、Ｒａの減少率は高角度９０°、６０°の減少率に対し、４５°〜５０°より低角でのＲａ減少率は大きい。予備処理面のＲａに対し４５°付近より低角になるに伴い、減少率は４５％から７０％強まで減少しており本加工法による研磨効果が確認できた。
【００５２】
求めるＲａの減少率は５０％以上であることを加工法の効果判定としてみることとしている。これによると噴射角度４０°近隣より得られている。これにより  ０＜ＶＳｉｎθ≦１／２Ｖの条件でＲａの減少率が５０％以上を満足する。さらに表面粗さＲａの減少率が６０％以上となる角度２０°以下が好ましい。
【００５３】
〔研磨材の噴射方法〕
前述のように、被加工物の加工表面に沿った研磨材の噴流を生じさせるための研磨材の噴射は、圧縮流体により研磨材を加速して噴射する既知の各種のブラスト加工装置を用いて行うことができ、このブラスト加工装置は、圧縮流体により研磨材を噴射するものであれば、その形式は乾式、湿式のいずれを使用しても良い。
【００５４】
研磨材を加速する圧縮流体としては、気体、液体及びこれらの混合体等のいずれを使用して行うこともでき、一例として、圧縮流体として気体を使用する場合には、圧縮空気、その他の圧縮ガス、例えば、窒素ガス、アルゴンガス、炭酸ガス等を使用することができる。これらの圧縮気体は、それぞれ単体での使用、あるいは、複数種類を混合した使用のいずれで行っても良い。
【００５５】
圧縮気体の噴射圧力は、研磨材をガンより噴射したときに研磨材に所望の速度エネルギーを付与できれば良く、目的とする加工表面の光沢度、使用する研磨材、被加工物の材質、その他各種の条件に応じて種々の範囲より選択可能であり、大気圧以上で噴射エネルギーを制御できる範囲であれば特に限定されない。一例として、本実施形態にあっては、０．１ＭＰａ〜１．５ＭＰａの圧縮気体を使用している。
【００５６】
また、噴射流体である圧縮気体には、帯電防止剤や界面活性材等を混入して、帯電による研磨材の付着等を防止しても良い。
【００５７】
〔被加工物〕
本発明の研磨方法は、金属、ガラス・セラミックス等の無機材料、プラスチック等の合成樹脂、その他の樹脂、木材、岩石、その他各種材質の被加工物を研磨対象とすることが可能である。
【００５８】
特に、本発明の研磨方法による場合には、加工表面１０に対して圧力等を加えることなく研磨を行うことが可能であることから、研磨による加工歪等が生じにくく、シリコンウエハー等、表面近傍での完全結晶が必要とされる被加工物を対象とした場合であっても、その後の熱処理や酸、アルカリによる表面層の除去等を行うことなく好適に研磨を行うことができる。
【００５９】
また、マイクロクラックの発生を防止することができることから、石英、サファイヤ、ガラス等、硬く脆い材質の被加工物に対してもマイクロクラックを発生させることなく研磨を行うことができる。
【００６０】
その他、圧縮流体と共に噴射された研磨材、すなわち研磨材の噴流は、加工表面１０が湾曲する場合であっても加工表面１０に沿って流れることから、研磨対象とする被加工物としては、その加工表面が平坦な形状を成すものばかりではなく、金型、燃料電池用電極の表面研磨等、加工表面が凹凸を成す被加工物に対しても研磨を行うことができ、また、内燃機関用ピストン、シリンダ等、加工表面が曲面を成す被加工物に対しても好適に研磨を行うことができる。
【００６１】
〔研磨材〕
使用する研磨材は、特殊な構造を有することは必要とされず、既知の各種のものを使用することができ、被加工物の材質、目的とする研磨状態等に応じて、一例として下表に示す研磨材のうちから選択された一種、又は二種以上を混合したものを使用することができる。
【００６２】
使用する研磨材の粒径、形状についても、被加工物の材質や、研磨を行う目的（例えば、加工表面にどの程度の光沢、表面粗さを与えるか）等の加工の目的や加工条件等によって適宜変更可能であり、その粒径としては０．５ｍｍ程度のものから、♯３００００程度のもの迄、形状については、球形のみならず、多角形、円柱状、薄片状等、一般に、ショット・グリッド・カットワイヤ・ラウンドカットワイヤと呼ばれるもの等を広く使用することができ、また、その大きさや粒径も特に限定されず適宜変更可能である。
【００６３】
【表２】研磨材の材質
2005022015.tif 000004
【００６４】
〔被加工物に対する噴射角の調整〕
被加工物の加工表面１０に対する研磨材の入射角度の調整は、図２に示すように既知のブラスト加工装置に設けられている噴射ガン２０を被加工物の加工表面１０に対して３０°〜０°、好ましくは２０°〜０°に傾斜させ、又は被加工物の加工表面１０を、噴射ガン２０の噴射方向に対して前述した角度に傾斜させて配置する等、噴射ガン２０による研磨材の噴射方向と、被加工物の加工表面との相対的な位置関係が、前述した角度で研磨材が入射されるように構成しても良い。
【００６５】
また、この場合において、研磨材が被加工物の加工表面１０に対して角度を以て入射される場合には、この研磨材の入射位置における被加工物の加工表面１０上を覆う保護板６０を設け、前述の垂直速度を持った研磨材が直接被加工物の加工表面１０と接触することを防止すると共に、この保護板６０との衝突後、被加工物の加工表面１０に沿った流れとなった研磨材の噴流により被加工物を研磨するようにしても良い。
【００６６】
さらに、被加工物の加工表面１０に対する研磨材の入射角調整は、図３に示す実施形態のように噴射ガン２０又は被加工物の配置を変更することなく、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流を被加工物の加工表面１０に対して所定の入射角度となるよう誘導する噴流誘導手段３０を介して行っても良い。
【００６７】
図３に示す実施形態において、前述の噴流誘導手段３０は所定の角度に曲折された略管状に構成されており、この噴流誘導手段３０の一端に設けられた導入口３１より噴射ガン２０から噴射された研磨材の噴流を導入し、この導入された研磨材の噴流を前述の曲折部分に形成された誘導流路３３において所定の方向に誘導した後、他端に設けられた導出口３２より導出して、被加工物の加工表面１０に向かって噴流を噴射可能に構成している。
【００６８】
図示の実施形態にあっては、被加工物の加工表面１０に対して垂直方向に配置された噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流を、被加工物の加工表面に対して略平行（略０°）を成す流れに誘導するもので、噴流誘導手段３０は、略９０°に曲折されたＬ字状の誘導流路３３を備えている。
【００６９】
噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流が導入される導入口３１は、図３に示す実施形態にあっては他の部分に比較して開口を大径に形成して逆円錐状に形成されており、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流を確実に噴流誘導手段３０内に導入することができるように構成されている。
【００７０】
なお、噴流誘導手段３０を前述のように円筒状のものとして説明したが、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流を所定の方向に誘導し得るものであれば図示の実施形態に限定されず、例えば幅方向の断面を矩形状とする管から成る等であっても良い。
【００７１】
また、研磨材が通過する誘導流路３３は、噴流誘導手段３０の長さ方向においてその形状を変化させるものであっても良く、例えば導出口３３に向かって誘導流路３３の幅方向を広げると共に、高さを減じてスリット状の導出口３２を形成し、被加工物の加工表面の比較的広い範囲に対して研磨材の噴流を噴射することができるように構成しても良く、また、使用する噴射ガン２０のサイズに応じて、そのサイズを適宜変更しても良い。
【００７２】
以上のように構成された噴流誘導手段３０の導入口３１に向けて、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流を噴射すると、導入口３１より導入された研磨材の噴流は、噴流誘導手段３０内に形成された誘導流路３３内を誘導されて、被加工物の加工表面に対して３０°〜０°、好ましくは２０°〜０°、より好ましくは被加工物の加工表面１０に対して略平行を成す噴射角で、導出口３２より噴射される。
【００７３】
このようにして所定の角度に誘導された研磨材の噴流を、導出口３２を介して被加工物の加工表面１０に噴射すると、この噴射された研磨材の噴流は、被加工物の加工表面１０に対して略平行方向の流れとなり、被加工物は、加工表面１０に対し略平行方向の研磨材により研削され表面を梨地状とすることなく研磨することができる。
【００７４】
特に、噴射ガン２０より直接被加工物の加工表面１０に向けて研磨材の噴射を行う場合においては、噴射ガン２０の形状等による制約により、入射角θを０°に近づけることが困難な場合があるが、前述のように形成された噴流誘導手段３０を使用する場合には、噴射ガン２０の形状等に基づく制約を受けることなく被加工物の加工表面１０に対して平行を成す方向に噴流を誘導することができる等の利点がある。
【００７５】
〔噴流の規制〕
前述のようにして、被加工物の加工表面１０に対して所定の角度で噴射された研磨材の噴流が被加工物の加工表面１０より剥離することを防止して、研磨材が被加工物の加工表面１０上を高密度の状態で移動することができるようにその流れを規制することが好ましく、このような研磨材の噴流を規制する手段として、図４〜図１３に示す噴流規制手段４０を設けることができる。
【００７６】
この噴流規制手段４０は、被加工物の加工表面１０との間に所定の間隔を介して配置された規制板４１を備えるもので、噴射ガン２０の噴射口２１より噴射された研磨材の噴流を、被加工物の加工表面１０と規制板４１との間に導入することにより、研磨材の噴流が、被加工物の加工表面１０より剥離する方向に拡散することを防止して、研磨材の噴流が被加工物の加工表面１０から所定の間隔内で移動することを補償して、噴流中の研磨材密度が高密度かつ、一定に保たれるようにしている。
【００７７】
図４は、このような噴流規制手段４０（規制板４１）を噴射ガン２０に取り付けた実施の態様であり、規制板４１と被加工物の加工表面１０との間に噴射ガン２０の噴射口２１を開口して、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流が、被加工物の加工表面１０と規制板４１間の間隔に導入されるように構成されている。
【００７８】
この規制板４１は、図示の例では平面矩形状（長方形）に形成されているが、この形状は図示の実施形態に限定されるものではなく、正方形、台形、その他の多角形、円形、楕円形等であっても良く、また、被加工物の加工表面１０が凹凸形状を有する場合には、この被加工物の加工表面１０と対向する面を、この形状に対応した凹凸形状に形成しても良く、また、これらの形状を組み合わせた形状としても良く、その形状は図示の例に限定されない。
【００７９】
また、噴流規制手段４０（図４に示す例では「規制板４１」）の材質は、研磨材の噴流の圧力・速度のエネルギーに耐えるものであれば各種のものを使用可能であり、使用する材料、厚み等の限定は特にない。研磨材の材質、粒度、噴流の速度と耐久性等を勘案し、種々の材質、厚さ等を選択可能であり、材質にもよるが、作業上の耐久性、研磨条件に対する耐久性を考慮し、厚さは、０．５ｍｍから１５ｍｍ、好ましくは１ｍｍ〜１０ｍｍである。
【００８０】
一例として、この噴流規制手段４０（規制板４１）として使用可能な金属材料の一例を示せば、アルミニウム、けい素、チタン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、ガリウム、ゲルマニウム、セレン、ストロンチウム、イットリウム、ジルコニウム、ニオブ、モリブデン、ロジウム、パラジウム、銀、カドミウム、インジュウム、錫、テルル、ネオジウム等の金属、これらの一種以上を含む合金、又はこれらの酸化物等がある他、ＷＣ、ＴｉＣ等の超硬合金を使用しても良い。
【００８１】
また、セラミックス、ガラス、石英、アルミナ、ムライト、ジルコニア、ジルコン、マイカセラミックス、窒化けい素、炭化けい素、ＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）、チタン酸バリウム、黒鉛、炭素繊維、ボロンナイトライド、ダイヤモンド等を原料として使用しても良い。
【００８２】
プラスチックス等の樹脂材料により噴流規制手段（規制板）を製造する場合、使用する樹脂材料は熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂のいずれであっても良く、フェノ−ル樹脂、ユリア樹脂、メラミン樹脂、ポリエステル樹脂、けい素樹脂、ポリウレタン樹脂、塩化ビニル、塩化ビニリデン、スチロ−ル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリエチレン樹脂、アクリル樹脂、フッ素樹脂、繊維素プラスチック、ポリプロピレン等を使用することができる。
【００８３】
また、噴流規制手段４０（規制板４１）をゴム、例えば天然ゴム、ブタジエン系合成ゴムである「ブナ（Ｓ）」「ブナ（Ｎ）」、「ポリクロロ−プレン（ネオプレン：商標）」、ポリサルファイド系の弾性材である「チオコ−ル（Ａ）」、「チオコ−ル（Ｂ）」等で構成しても良い。
【００８４】
さらに、上記した原料から成る複数の板体を組み合わせ、又はこれらと他の物質を組み合わせることにより、前述の噴流規制手段４０を形成しても良く、例えばガラス繊維とプラスチックを複合して強度の向上等を図っても良く、また、金属とウレタンの積層構造等を使用しても良く、好ましくは、研磨材の噴流に対し、高耐久性を確保するため、工具鋼、セラミックス、超硬、窒化ほう素などを使用しても良い。
【００８５】
また、この噴流規制手段４０のうちの規制板４１と被加工物の加工表面１０間の間隔は、２０ｍｍ〜２ｍｍ、好ましくは１０ｍｍ〜２ｍｍである。
【００８６】
実験例２
被加工物の加工表面１０に対して研磨材の噴流体を規制する規制板と加工物の加工表面１０との間隔は下記実験により決定した。
【００８７】
【表３】加工条件
2005022015.tif 000005
【００８８】
規制板
図６に示す規制板を用いた。
【００８９】
縦長：１２０ｍｍ、横長１２０ｍｍ、高さ１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの本体をＳＵＳ３０４で作成し、噴流体が流れる高さＨ（ｍｍ）が３ｍｍ、５ｍｍ、１０ｍｍ、２０ｍｍ、４０ｍｍとなるように側板をつけて調整した（高さＨ（ｍｍ）は、規制板上部と被加工物の加工表面との間隔）。
【００９０】
保護板は２ｍｍのＳＵＳ３０４の板を用い、噴射ガンを被加工物の加工表面に対し慨３０°傾け固定し、噴射研磨した。この方法により規制板と被加工物の加工表面１０との間隔を順次変えて研磨加工した。
【００９１】
表粗Ｒａ測定
表面粗さを噴射ガンより噴射される噴射軸上で、規制板出口より２０ｍｍ内部でサーフコム１４００Ａ（株式会社東京精密社製）を用い測定した。
【００９２】
測定条件は測定長さ：４．０ｍｍ、カットオフ波長：０．８ｍｍ、測定速度：０．３ｍｍ／ｓｅｃ。
【００９３】
予備処理として前述の研磨材を被加工物に対し、９０°噴射角度により梨地加工した。
【００９４】
その表面粗さＲａは２．６７１μｍであった。
【００９５】
表示は、予備処理した表面粗さＲａの減少率（１−（間隔Ｈでの表粗Ｒａ）／（予備処理面のＲａ））
【００９６】
図１６にＸ＝０ｍｍの位置でのＲａの結果を示す。
【００９７】
図１７にＸ＝０ｍｍの位置でのＲａの減少率を示す。
【００９８】
図１６及び図１７から、規制板をつけて実験を行った間隔３ｍｍから４０ｍｍの範囲において予備処理品のＲａ：２．６７１μｍより大幅に改善されており、規制板の効果が確認できた。間隔４０ｍｍにおいてもＲａの改善（減少率）は５０％以上である。
【００９９】
面内方向でのＲａの減少率をＸ＝１０ｍｍの位置でのＲａを求めその減少率は下記の結果をえた。Ｘ＝０ｍｍの測定点とは、噴射ガンによる噴射軸をＹ軸とした時、噴射軸Ｙ軸上で規制板出口（導出口３２に対応）より２０ｍｍ内部に入った位置を言う。Ｘ＝１０ｍｍとは直行するＸ−Ｙ軸上のＸ＝１０ｍｍの位置である。この測定により噴射軸Ｙ軸上ではない位置での研磨効果を確認した。
【０１００】
図１８に、Ｘ＝０ｍｍ、１０ｍｍでのＲａ減少率を示す。
【０１０１】
噴射軸より離れるに伴い、研磨の効果が減ずることが確認された。その減少率は間隔が大きいほど大きいことが解る。
【０１０２】
効率上、研磨速度を向上させるためには、間隔を規制し、単位時間でのＲａの減少率の向上、即ち、研磨効果を向上させる必要がある。
【０１０３】
Ｘ＝０ｍｍでＲａ減少率が６０％以上であり、Ｘ＝１０ｍｍでのＲａ減少率が４０％以上である間隔２０ｍｍとする。好ましくはＸ＝０、Ｘ＝１０ｍｍで５０％減少率である間隔１０ｍｍ以下とする。
【０１０４】
下限値は、噴流体が安定に噴射すればよく、その下限値を制限するものではないが、可撓性はない規制板を使用したときに被加工物に接触し傷をつけないなど操作しやすい点を勘案すると下限値を本実施例とウレタン規制板の結果より２ｍｍとする。
【０１０５】
図１９は、可撓性規制板による規制効果を示すものである。
【０１０６】
加工条件は上記条件と同一
保護板を被加工物に接触させ、規制板は、被加工物の加工表面に水平の位置を保持。噴射ガンは水平に対し約２０°で噴射した。規制板は安定に浮上し、噴流端の出口での規制板の被加工物の加工表面との間隔は２ｍｍであった。  規制板は噴射流量、速度、圧力に応じ、その材料とのバランスした形状を呈した。
【０１０７】
【表４】規制板
2005022015.tif 000006
【０１０８】
噴射ガンＦ２−２Ａ（不二製作所製）のチップホルダー上に台形規制板の上辺をビニールテープで固定した。台形の長手方向が、噴射ガンの噴射軸に慨一致するように固定した。同様に保護板の短辺部をガンチップホルダーに固定した。
【０１０９】
表粗Ｒａの測定位置
規制板の導出口３２より２０ｍｍ内部に入った噴射軸上をＸ＝０ｍｍとし、Ｘ＝１０ｍｍ、１５ｍｍ、２０ｍｍ、４０ｍｍの位置で測定を実施した。
【０１１０】
結果
図１９及び図２０に噴射軸からの距離Ｘｍｍでの表面粗さＲａと表面粗さの減少率を示す。
【０１１１】
図１９及び図２０から、噴射軸上の表面粗さＲａが一番小さく、即ちＲａ減少率が一番大きい。噴射中心より１５ｍｍの位置おいてもＲａの減少率は５０％を確保しており、規制板の間隔と被加工物の加工表面との間隔が小さい程、被加工物の加工表面に平行な研磨材の飛翔エネルギーを有効に活用できることが判明する。
【０１１２】
図４に示す実施形態において、噴射ガン２０は矩形状の先端部を有し、この先端部にスリット状の噴射口２１が形成されており、このスリット状の噴射口２１の長さ方向が被加工物の加工表面１０に対して平行となるように配置すると共に、この噴射口２１より噴射される研磨材の噴流が、被加工物の加工表面１０に対して略平行となるように配置されている。
【０１１３】
そして、この噴射ガン２０の噴射口２１より噴射される研磨材の噴流が、被加工物の加工表面１０に対して平行に噴射されるように、被加工物の加工表面１０上に配置されている。
【０１１４】
このようにして、被加工物の加工表面１０上に配置された噴射ガン２０の、前記噴射口２１の上端縁、又はそれよりも上方の位置、図示の実施形態にあっては矩形状を成す噴射ガン２０の上端縁より突出され、その先端を被加工物の加工表面１０に向かって傾斜させると共に、先端において被加工物の加工表面１０との間に所定の間隔が設けられた規制板４１を設け、この規制板４１により、研磨材の噴流が被加工物の加工表面１０から離間する方向に拡散することを防止している。
【０１１５】
図４に示す実施形態にあっては、この噴流規制手段４０である規制板４１を、噴射ガン２０と一体的に形成しているが、この規制板４１は、噴射ガン２０とは別個にこれを形成しても良く、噴射ガン２０より取り外し可能に、又は例えば図５に示すようにヒンジ４２等を介して噴射ガン２０に連結しても良い。
【０１１６】
なお、図４及び図５に示す実施形態にあっては、前述の噴流規制手段４０と組み合わせて使用する噴射ガン２０を、前述のように矩形状の先端形状を有するものとして説明したが、図６〜図９に示す実施形態にあっては、これに代えて既知の一般的な噴射ガン２０を使用すると共に、噴流規制手段４０を構成する傾斜板４１に、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流を円滑に導入するための前述導入口３１に対応する傾斜部４１１を設けている。  図１０は、図３に対応し、これに加えて噴流規制手段４０を配置したものである。
【０１１７】
図６に示す実施形態にあっては、噴流の導入側における規制板４１の端部を所定間隔で被加工物の表面から離間する方向に傾斜させ、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流を、円滑に被加工物の加工表面１０と規制板４１との間に導入することができるように構成されている。
【０１１８】
この傾斜部４１１の傾斜角は、一例として規制板４１のうち、被加工物の表面に対して平行を成す部分（以下、「本体部分４１２」という。）に対し、傾斜角αを３０°〜  ０°、好ましくは２０°〜０°としている。
【０１１９】
図６に示す実施形態の噴流規制手段４０にあっては、このように規制板４１に傾斜部４１１が設けられていると共に、この規制板４１の本体部分４１２を被加工物の加工表面１０から所定間隔で離間する脚部４３を備えている。
【０１２０】
図示の実施形態にあっては、この脚部４３を規制板４１の本体部分４１２の角部４カ所にそれぞれ形成しているが、例えば規制板４１の本体部分４１２の長さ方向の二辺に、連続して形成された脚部４３を構成しても良く、または、本体部分４１２の長さ方向の二辺にそれぞれ２個以上設けても良く、その構成は、図示の実施形態に限定されない。
【０１２１】
この脚部４３は、規制板４１の本体部分４１２を被加工物の加工表面１０より所定の間隔、一例として２０ｍｍ〜２ｍｍ、好ましくは１０ｍｍ〜２ｍｍの間隔を維持するように、その高さが設定されている。
【０１２２】
図６に示す実施形態の噴流規制手段４０にあっては、さらに、研磨材の噴流が導入される側の端部において、被加工物の加工表面を覆う保護板６０が設けられている。
【０１２３】
図示の実施形態にあっては、この保護板６０は、前述の規制板４１の傾斜部４１１下方において被加工物の加工表面１０を覆うものとして形成されており、平面矩形状を成す板体を、研磨材の噴流を導入する側に設けられた２本の脚部４３に連結することで、形成されている。
【０１２４】
なお、この保護板６０は、好ましくは図６に示すように、研磨材の噴流の導入側から他端側に至り、徐々に肉厚を減ずるテーパ状に形成することが好ましく、他端側において被加工物の加工表面１０との間に形成される段差が可及的に減ぜられていることが好ましい。
【０１２５】
このように形成された噴流規制手段４０にあっては、規制板４１に設けられた傾斜部４１１の存在により、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流は、円滑に被加工物の加工表面１０と規制板４１との間に形成された間隔内に導入される。
【０１２６】
また、噴射ガン２０の向きが、被加工物の加工表面１０に対して研磨材が角度を以て噴射される状態に配置されている場合であっても、この研磨材の噴射方向延長上に前述の保護板６０が配置されるよう、噴射ガン２０の配置位置、配置角度、および噴射ガン２０と噴流規制手段４０の位置関係を調整することにより、被加工物の加工表面１０に対して垂直速度を持った研磨材は、先ずこの保護板に衝突し、この保護板に対する衝突により水平方向にその移動方向が変えられて規制板４１の本体部分４１２と被加工物の加工表面１０間に導入されるので、噴射された研磨材の垂直速度が被加工物に対して直接作用せず、加工表面が梨地状となることがより確実に防止される。
【０１２７】
図６を参照して説明した実施形態にあっては、噴射ガン２０と噴流規制手段４０とをそれぞれ別個に形成していたが、図７に示す実施形態では、この噴射ガン２０と噴流規制手段４０とを一体に形成した例である。
【０１２８】
図示の例では、この噴射ガン２０の先端を、噴流規制手段４０である規制板４１の傾斜部４１１と一体的に形成しており、噴射ガン２０の先端部分をこの傾斜部４１１の下面に固着している。
【０１２９】
なお、図示の例にあっては、この噴流規制手段には脚部４３、及び保護板６０は設けられていないが、これらを設けた構成としても良く、その構成は図示の実施形態に限定されない。
【０１３０】
また、図８及び図９に示す実施形態にあっては、被加工物が円筒状であり、加工表面１０がこの被加工物の外周面又は内周面である場合に使用する噴流規制手段４０の実施の態様である。
【０１３１】
このように、被加工物の加工表面１０が曲面である場合には、噴流規制手段４０の規制板４１の形状を、この加工表面１０の形状に適合させて湾曲形状に形成し、噴流規制手段４０が、被加工物の加工表面１０に対して平行に配置されるように構成しても良い。
【０１３２】
なお、図６〜図９に示す実施形態にあっては、いずれも噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流を直接噴流規制手段４０に導入する例について説明したが、噴流規制手段４０に対する研磨材の噴流の導入は、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流を、例えば図１０に示すように一旦、噴流誘導手段３０に導入し、この噴流誘導手段３０により誘導されて所定の入射角度に偏向された研磨材を噴流規制手段４０に導入するよう構成しても良い。
【０１３３】
また、この場合において噴流誘導手段３０の導出口３２を、噴流規制手段４０の傾斜部４１１の下面に固着する等して、噴流規制手段４０と一体的に形成しても良い。
【０１３４】
以上説明した噴流規制手段４０の実施形態において、規制板４１と被加工物の加工表面１０間の間隔が、一定の間隔に固定されているものとして説明したが、この被加工物の加工表面１０と規制板４１間の間隔は、これを可変としても良い。
【０１３５】
このように、被加工物の加工表面１０と規制板４１間の間隔を可変とした噴流規制手段４０の一実施の態様を、図１１（Ａ）及び図１１（Ｂ）に示す。
【０１３６】
図１１（Ｂ）に示すように、本実施形態において噴流規制手段４０は、先端を矩形状に形成された噴射ガン２０と一体的に形成されており、この噴射ガン２０の矩形状の先端部に形成されたスリット状の噴射口２１の上端縁より突出する規制板４１と、噴射口２１下端より突出し、被加工物の加工表面１０上を覆う保護板６０を備えている。
【０１３７】
前述の規制板４１は、噴射ガン２０に連結された一端側において所定の長さ、その突出方向において被加工物の加工表面との間隔が徐々に狭まるように傾斜した傾斜部４１１を形成すると共に、この傾斜部４１１の先端に、研磨材の噴射時に被加工物の加工表面と平行方向と成る本体部分４１２がヒンジ４２を介して連結されている。
【０１３８】
また、前述の規制板４１の傾斜部４１１の下部に位置して、前述の保護板６０が配置されており、この保護板６０により噴射口２１周辺において被加工物の加工表面１０が覆われ、保護されている。
【０１３９】
前述の規制板４１の本体部分４１２は、前述のヒンジ４２を介して図１１（Ｂ）中に矢印で示す方向に擺動可能に構成されており、噴射ガン２０の噴射口２１から研磨材の噴流が噴射されていないとき、自重により、ヒンジ４２により連結されていない側の端部（以下、「自由端４１２ａ」という。）が被加工物の加工表面１０との間隔を狭める方向に傾斜している。
【０１４０】
この本体部分４１２は、噴射口２１から研磨材の噴流が噴出されているとき、この噴流の圧力、速度等のエネルギにより、自由端４１２ａ側を被加工物の加工表面１０より離間するように擺動可能と成す重量に形成されている。
【０１４１】
以上のように形成された噴流規制手段４０が取り付けられた噴射ガン２０の噴射口２１より、研磨材の噴射流を噴射すると、この噴射ガン２０より噴射された噴流は、保護板６０と傾斜部４１１間の間隔内に導入され、次いで、被加工物の加工表面１０と規制板４１の本体部分４１２との間に導入される。
【０１４２】
噴射ガン２０の噴射口２１近傍において、被加工物の加工表面１０は保護板６０により覆われていることから、噴射口２１より噴射された研磨材が噴射口２１近傍において被加工物の加工表面１０に対して角度を成して入射した場合であっても、この研磨材が有する垂直速度は被加工物の加工表面１０に直接作用せず、被加工物の加工表面１０が梨地面となることが防止されている。
【０１４３】
規制板４１の本体部分４１２は、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流によりヒンジ４２を中心として擺動し、その自由端４１２ａが押し上げられて被加工物の加工表面１０との間に噴流のエネルギーに応じた所定の間隔が形成されると共に、研磨材の噴流はこの規制板４１の本体部分４１２により被加工物の加工表面１０より剥離する方向への拡散が規制され、被加工物の加工表面１０と規制板４１の本体部分４１２との間を高密度かつ、一定量の研磨材が加工表面の形状に沿って通過する。
【０１４４】
従って、この被加工物の加工表面１０に沿って移動する研磨材により、被加工物の加工表面１０は梨地状となることなく、光沢面等に研磨される。
【０１４５】
図１２は、被加工物の加工表面１０に対する規制板４１の間隔を可変とした更に別の噴流規制手段４０の実施の態様を示したもので、研磨材の噴射ガン２０と規制板４１を備える点については、前述の図１１を参照して説明した噴流規制手段４０と同様の構造を有している。
【０１４６】
しかし、図１２に示す実施形態の噴流規制手段４０にあっては、前述の図１１に示す噴流規制手段４０にあっては、ヒンジ４２により擺動可能とされたことにより被加工物の加工表面１０との間隔が可変とされていたのに対し、図１２に示す実施形態にあっては、規制板４１を、樹脂材料、金属材料その他の可撓性を有する材質で形成し、この規制板４１の変形により被加工物の加工表面１０との間隔が可変となっている。
【０１４７】
なお、規制板４１は、図１２に示すように噴射方向前方に向かって下方に傾斜するように噴射ガン２０が取り付けられており、この噴射ガン２０を加工表面１０上に載置した際に、加工表面１０との間に所定の間隔を介して、又は加工表面１０上に接触するように構成されている。
【０１４８】
なお図１２に示す例では、図１１に示す実施形態において設けられていた保護板６０は設けていないが、図１２に示す実施形態にあっても、図１１に示す実施形態における噴流規制手段４０と同様に保護板６０を設けるものとしても良い。
【０１４９】
以上のように構成された噴流規制手段４０を被加工物の加工表面１０上に載置し、噴射ガン２０の噴射口２１より研磨材の噴射を開始すると、噴射ガン２０の噴射口２１より噴射された研磨材の噴流は、被加工物の加工表面１０と規制板４１間に導入される。
【０１５０】
この、被加工物の加工表面１０と規制板４１との間に導入された研磨材の噴流は、可撓性材料により形成された規制板４１を変形させて、噴射圧力、噴射速度等の噴流の持つエネルギー、規制板４１の材質による弾性等とのバランスにおいて、被加工物の加工表面１０との間に最適な間隔を形成する。
【０１５１】
このようにして被加工物の加工表面１０と、規制板４１との間には、噴流の持つエネルギー等に応じた適切な間隔が形成され、噴流が被加工物の加工表面１０より離間する方向に拡散することが防止されていることから、被加工物の加工表面１０と規制板４１間に導入され、加工表面に対して平行方向に移動する研磨材により、被加工物の加工表面１０は、梨地面が形成されることなく研磨される。
【０１５２】
なお、噴流の圧力等により規制板４１と被加工物の加工表面１０との間隔を最適な間隔に調整する噴流規制手段４０の構造は、前述のように規制板４１を可撓性材料の弾性力により調整可能とした実施の態様に限定されず、図１３に示すように、規制板４１を下方に付勢する付勢手段５０を設け、この付勢手段５０により被加工物の加工表面１０側に規制板４１を付勢するものとしても良い。
【０１５３】
このように規制板４１を付勢するために、本実施形態にあっては規制板４１の上方に位置して噴射ガン２０に上端より被加工物の加工表面１０に対して平行に突出された加圧板５１を設け、この加圧板５１と規制板４１との間にコイルスプリング５２等の弾性材を配置して、規制板４１を被加工物の加工表面１０に向かって付勢することができるように構成している。
【０１５４】
このコイルスプリング５２は、噴射ガン２０より噴射された研磨材の噴流により被加工物の加工表面１０に対して付勢されている規制板４１を、噴流の持つエネルギーに応じて適切な間隔を確保し得る程度の力を発生するように構成されており、従って、噴射ガン２０より研磨材の噴流を噴射すると、被加工物の加工表面１０との間に、この噴流の噴射圧力、速度等に応じた好適な間隔が形成されるように構成されている。
【０１５５】
この規制板４１としては、前述の図１２に示す実施形態と同様に可撓性材料により形成し、この規制板４１の変形により被加工物の加工表面１０との間隔を可変としても良く、また、噴射ガン２０との連結部分や、傾斜部（４１１）と本体部分（４１２）との境界部分をヒンジ（４２）等で連結して被加工物の加工表面１０との間隔を調整可能に構成しても良い。
【０１５６】
また、図示の実施形態にあっては、加圧板５１とコイルスプリング５２とを設けることにより規制板４１を付勢可能としているが、前述のように規制板４１をヒンジ（４２）等を介して連結する場合には、このヒンジ（４２）部分を中心に規制板４１を被加工物の加工表面１０方向に擺動する針金バネや板バネ等を設けた構成としても良く、その他規制板４１を被加工物の加工表面１０側に付勢することができるものであれば、図示の構成に限定されない。
【０１５７】
以上のように構成された噴流規制手段４０を被加工物の加工表面１０上に載置し、噴射ガン２０より研磨材を噴射すると、この研磨材の噴流は被加工物と規制板４１との間に導入され、導入された噴流の圧力、その他の噴流の有するエネルギーに応じて規制板４１を上方に押し上げ、被加工物の加工表面１０と規制板４１との間に、前記噴流エネルギー等に応じた最適な間隔が形成される。
【０１５８】
そして、この被加工物の加工表面１０と規制板４１との間に形成された間隔に導入された噴流は、被加工物の加工表面１０に対して略平行の流れを成し、その結果、被加工物の加工表面１０を梨地状とすることなく研磨することが可能となる。
【０１５９】
〔研磨方法〕
以上のように構成された研磨方法において、被加工物に対する研磨は、前述の噴流誘導手段３０や噴流規制手段４０を使用することなく研磨を行う場合には、噴射ガン２０を、噴流誘導手段３０や噴流規制手段４０を使用した研磨を行う場合には、噴射ガン２０と共に噴流誘導手段３０及び／又は噴流規制手段４０を、被加工物の加工表面１０に対して図７に示すようにＸ，Ｙ方向に相対的に移動させることにより行うことができる。
【０１６０】
前述の噴流規制手段４０を使用して被加工物の加工表面１０を研磨する場合には、規制手段４０の幅、すなわち規制板４１の幅を変えることにより噴流の幅を変えることができ、これにより加工表面１０の面積が異なる複数種類の被加工物に対しても対応可能である。
【０１６１】
また、図６〜図１３を参照して説明した実施形態にあっては、いずれも１の噴射ガン２０と、１の噴流規制手段４０とを用いて研磨を行うものとして説明したが、複数の噴射ガン２０と複数の噴流規制手段４０とを同時に使用して面積の広い被加工物の加工行っても良く、また、一の噴流規制手段４０に複数の噴射ガン２０が設けられたもの、またはこれとは逆に一の噴射ガン２０に複数の噴流規制手段４０を設けたもの等、種々の組み合わせにおいて被加工物の研磨を行うことができる。
【０１６２】
また、噴射ガン２０に付けた噴流規制手段４０の形状、幅を選定すること、不必要な部分にマスクを付けることにより研磨材が接触しないようにして、各種形状の加工表面に対しても容易に対応が可能であり、被加工物の表面形状についても、平板状の加工表面を有するもののみならず、溝、段つき溝が形成された加工表面、図８及び図９に示すような円筒内外壁の研磨の他、穴、溝等の研磨、段つき円筒など、研磨対象となる被加工物の加工表面は、平坦な形状に限定されない。
【０１６３】
複雑な形状をした被加工物（凹凸、溝、段つき溝加工）また内面加工（穴、溝）も規制板の幅と研磨材の噴射速度を調整することにより行うことができる。
【０１６４】
さらにロボットを使用することにより効果的に行うことができる。
【０１６５】
なお、被加工物の研磨は、研磨加工のみを目的としてこれを単独で行っても良いが、例えば、ブラスト加工と研磨加工を併用してよく、例えば、第１ステップでは被加工物の加工表面１０に通常のブラスト方法により梨地面を形成し、これに続く第２ステップでは、前述した方法による研磨加工を行うことにより、ブラスト加工により生じた表面粗さを小さくすることができ、これにより光沢化、鏡面化を行っても良い。
【０１６６】
また、被加工物の加工表面に汚れ、バリ、塗料、樹脂等が付着した被加工物を研磨する場合においては、第１ステップとして通常のブラスト方法によりこれらの故障を取り去り正常な梨地面を形成し、これに続く第２ステップで、前述の研磨方法を行い、表面粗さを小さくして加工表面の光沢化、鏡面化を行っても良い。
【０１６７】
〔実施例〕
次に、本発明の方法により研磨加工を行った実施例について説明する。
【０１６８】
実施例１：シリコンウエハーの研磨
【表５】加工条件
2005022015.tif 000007
【０１６９】
保護板を被加工物の加工表面と接するように配置した。規制板は被加工物の加工表面と平行となりかつ規制板の可撓性により粉流体とバランスをとり、台形状の規制板の底辺部より安定に研磨材を噴射させた。規制板は、開口付勢されたウレタン規制板と同一。規制板、保護板の長手方向が噴射ガンからの噴流方向と略一致するように配置した。
【０１７０】
噴射ガンＦ２−２Ａ（不二製作所製）のチップホルダー上に台形規制板の上辺をビニールテープで固定した。
【０１７１】
同様に保護板の短辺部をガンチップホルダーに固定した。
【０１７２】
研磨を開始する前に、被加工物であるシリコンウエハーの表面に、前記研磨材を噴射圧力０．４ＭＰａ、噴射角９０°で噴射し、梨地面とする予備処理を行った。
【０１７３】
この状態で被加工物の加工表面のＸ−Ｙ軸方向に噴射ガンを移動させ、研磨した。
【０１７４】
以上の加工条件において研磨を行った結果、噴射ガンに取り付けられた規制板は、被加工物の加工表面に対して約２ｍｍの間隔を安定して維持し、研磨材の噴流が、被加工物の加工表面と規制板間の間隔内を通過する噴流が好適に規制されていることが確認された。
【０１７５】
また、研磨材の噴射方向前方に位置する規制板の先端より、加工表面に沿った、均一な噴流が生じていることが確認できた。
【０１７６】
この研磨加工後に得られた被加工物の加工表面は、梨地の形成されていない、光沢ある研磨面となった。その結果は、下記の通りである。
【０１７７】
シリコンウエハーの表面粗さの測定結果は、以下のとおり。
【０１７８】
【表６】表面粗さＲａ
2005022015.tif 000008
測定器、条件は前述と同一
【０１７９】
本実施例（研磨加工後）の表面粗さＲａは、予備処理（噴射角９０°）の表面粗さの５４％に減じて本加工法の効果が確認された。表面粗さ曲線よりもこの結果が確認できた。
【０１８０】
予備処理例では、微細な凹凸形状であるが（図２４）、本加工法による実施例（図２５）では予備処理例の凹凸部の凸部が研磨され、平坦化されていることが確認できた。これは、研磨材が慨水平方向の噴流により凹凸の凸部と衝突し、研削され平坦部になる。質量の微小な１個の研磨材による切削量は極めて微量であり、その切削量は数ｎｍと推定する。しかし、大量の研磨材粒子により、高速の研削ができる。
【０１８１】
表面の反射状況
グロス測定は、光沢計ＰＧ−１Ｍ（日本電色工業株式会社製）を用いて実施した。入射光、反射光の角度は６０°で実施した。予備処理後に比較し５倍以上の改善がなされている。
【０１８２】
本実施例は背面模様を映し出しており、鏡面化を呈している。これは、該水平方向の粒子により被加工物の表面凹凸が研削され平坦部が構成されたこのによるものである。この事は、光学顕微鏡による表面状態、粗さ曲線にその状況が確認された。
【０１８３】
一方９０°噴射の比較例は梨地面となり、背面模様の反射像は得られていない（図２６において図右側約半分が本実施例による鏡面、左側が予備処理面−９０°）。
【０１８４】
従来、シリコンウエハーの研磨を行う場合には、加工表面に圧力を加えつつ研磨するラップ盤などを用いた研磨が行われており、また、光沢面、鏡面を得るには、０．０１μｍ〜０．１μｍの微細粒子を用いた研磨が必要である。
【０１８５】
しかし、本発明の研磨方法にあっては、必ずしもこのような細かい研磨材を使用する必要はない。これは、被加工物の加工表面１０とほぼ平行に飛翔する研磨材が、被加工物の加工表面１０の凹凸の凸部側面と衝突し、これを微小に削りとるためと推測できる。また、本発明におけるこのような研磨のメカニズムにより、前述したように加工表面を加圧状態で研磨するラップ盤による研磨等の通常の研磨では発生していた加工変質層の発生を防止、もしくは抑制することができ、研磨加工後の熱処理や、酸、アルカリにより変質層を除去する作業が不要となった。
【０１８６】
実施例２：光学ガラスの研磨
【表７】加工条件
2005022015.tif 000009
【０１８７】
加工方法
上記ブラスト加工装置、研磨材を使用して、厚さ０．４ｍｍの光学ガラス（ＢＫ７）の研磨を行った。
【０１８８】
研磨を開始する前に、被加工物である光学ガラスの表面に、前記研磨材を噴射圧力０．４ＭＰａ、噴射角９０°で噴射し、梨地面とする予備処理を行った。
【０１８９】
次いで、図４に示す噴流規制手段を備えた噴射ガンを使用して、前述した研磨材を噴射圧力０．４ＭＰａで噴射して研磨加工を行った。
【０１９０】
使用した噴流規制手段に設けられた規制板は、幅１２０ｍｍ×長さ１２０ｍｍ×厚さ  ５ｍｍの  ＳＵＳ３０４（材質）であり、光学ガラスの表面に対して１０ｍｍの間隔を介して配置した。
【０１９１】
なお、比較例１は、前述した実施条件のうち予備処理（ブラスト）のみを行い、研磨加工を行っていない光学ガラスであり、研磨加工を行っていない点を除き他の条件は、前記実施例と同一である。
【０１９２】
また、比較例２は、前述した実施条件のうちの予備処理（ブラスト）のみを行い、その後、フッ酸６０％と硫酸４０％の混酸により、８分間エッチング処理したものである。
【０１９３】
以上説明した実施例、比較例１及び比較例２におけるマイクロクラックの発生の有無を確認した結果を下記の表８に示す。
【０１９４】
表８に示すマイクロクラックの発生有無は、両端を固定した各サンプルの中心に荷重をかけて、破損に至る迄の荷重を、未加工の原料ガラスの破損に至る荷重を１００％とした際のパーセンテージによる評価と、ＳＥＭ観察による評価とによって行った。
【０１９５】
【表８】
2005022015.tif 000010
【０１９６】
以上の結果、本発明の方法により研磨された光学ガラスは、破損に至る負荷荷重が未加工品と略同一であり、また、ＳＥＭによる観察によってもマイクロクラックの発生は確認できなかった。
【０１９７】
ガラス、石英、セラミックスなどの硬く脆い材料を被加工物とする場合、研磨により表面にマイクロクラックが発生するが、このマイクロクラックの発生は、被加工物の強度を著しく低下させる。そのため、従来の方法によりこれらの被加工物を研磨する場合には、発生したマイクロクラックを除去するために研磨加工後、フッ酸などにより表面を微小量溶出してこのマイクロクラックを除去したり、火炎をあて表層部を溶融し、組織を再調整することが行われるが、前述したように本発明の方法により研磨された被加工物にあっては、前述のようにマイクロクラックが発生していないために、研磨加工後にフッ酸等による溶出や、火炎による組織の再調整等の工程が不要である。
【０１９８】
【発明の効果】
以上説明した本発明の構成により、例えば超微細の特殊な研磨材や研削液等を使用することなく、既存の研磨材やブラスト加工装置を使用して被加工物の加工表面を鏡面等の光沢面に研磨することのできる被加工物の研磨方法を提供することができた。
【０１９９】
これにより、被加工物の加工表面に加工歪が生じることを防止でき、従って、シリコンウエハー等の加工歪の発生を嫌う被加工物を処理対象とした場合であっても、研磨加工後に加工歪を除去するための熱処理、酸やアルカリ液による表面層の除去等を省略することのできる研磨方法を提供することができた。
【０２００】
また、本発明の噴流誘導手段及び噴流規制手段を使用することにより、例えば既存のブラスト加工装置を使用して容易に前記研磨方法を実施するために必要な条件において被加工物の加工表面に対して研磨材の噴射を行うことができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨方法の説明図、
【図２】研磨材の噴射方法の一例を示した斜視図であり、噴射ガンより直接被加工物に噴射を行う例、
【図３】研磨材の噴射方法の一例を示した斜視図であり、噴流誘導手段を使用した噴射を行う例、
【図４】噴流規制手段の実施の態様を示す斜視図、
【図５】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図６】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図７】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図８】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図９】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図１０】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図１１】噴流規制手段の別の実施態様を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図、
【図１２】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図１３】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図１４】噴射角度と表面粗度との関係を示すグラフ、
【図１５】噴射角度と表面粗度減少率との関係を示すグラフ、
【図１６】Ｘ＝０ｍｍの位置でのＲａの結果を示すグラフ、
【図１７】Ｘ＝０ｍｍの位置でのＲａの減少率を示すグラフ、
【図１８】Ｘ＝０ｍｍ、１０ｍｍでのＲａ減少率示すグラフ、
【図１９】噴射軸からの距離Ｘｍｍでの表面粗さＲａを示すグラフ（ウレタン規制板）、
【図２０】噴射軸中心からの距離Ｘｍｍでの表面粗さの減少率を示すグラフ、
【図２１】予備処理（噴射角度９０°）における粗さ曲線を示すグラフ、
【図２２】同図（Ａ）から（Ｄ）はそれぞれ噴射角度６０°、３０°、２０°５°における粗さ曲線を示すグラフ、
【図２３】シリコンウエハー加工におけるダイシング後の粗さ曲線を示すグラフ、
【図２４】同じくシリコンウエハー加工における予備処理（噴射角度９０°）の粗さ曲線を示すグラフ、
【図２５】同じくシリコンウエハー加工における実施例による加工後の粗さ曲線を示すグラフ。
【図２６】図２５による実施例の加工表面及び図２４による予備処理面を示す写真
【符号の説明】
１０  加工表面（被加工物の）
２０  噴射ガン
２１  噴射口
３０  噴流誘導手段
３１  導入口（導入端）
３２  導出口（導出端）
３３  誘導流路
４０  噴流規制手段
４１  規制板
４１１  傾斜部
４１２  本体部分
４１２ａ  自由端
４２  ヒンジ
４３  脚部
５０  付勢手段
５１  加圧板
５２  コイルスプリング
６０  保護板
【図１】
2005022015.tif 000011
【図２】
2005022015.tif 000012
【図３】
2005022015.tif 000013
【図４】
2005022015.tif 000014
【図５】
2005022015.tif 000015
【図６】
2005022015.tif 000016
【図７】
2005022015.tif 000017
【図８】
2005022015.tif 000018
【図９】
2005022015.tif 000019
【図１０】
2005022015.tif 000020
【図１１】
2005022015.tif 000021
【図１２】
2005022015.tif 000022
【図１３】
2005022015.tif 000023
【図１４】
2005022015.tif 000024
【図１５】
2005022015.tif 000025
【図１６】
2005022015.tif 000026
【図１７】
2005022015.tif 000027
【図１８】
2005022015.tif 000028
【図１９】
2005022015.tif 000029
【図２０】
2005022015.tif 000030
【図２１】
2005022015.tif 000031
【図２２】
2005022015.tif 000032
【図２３】
2005022015.tif 000033
【図２４】
2005022015.tif 000034
【図２５】
2005022015.tif 000035
【図２６】
2005022015.tif 000036
【手続補正書】
【提出日】平成15年7月30日(2003.7.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨方法の説明図、
【図２】研磨材の噴射方法の一例を示した斜視図であり、噴射ガンより直接被加工物に噴射を行う例、
【図３】研磨材の噴射方法の一例を示した斜視図であり、噴流誘導手段を使用した噴射を行う例、
【図４】噴流規制手段の実施の態様を示す斜視図、
【図５】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図６】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図７】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図８】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図９】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図１０】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図１１】噴流規制手段の別の実施態様を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は断面図、
【図１２】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図１３】噴流規制手段の別の実施態様を示す斜視図、
【図１４】噴射角度と表面粗度との関係を示すグラフ、
【図１５】噴射角度と表面粗度減少率との関係を示すグラフ、
【図１６】X=0ｍｍの位置でのＲａの結果を示すグラフ、
【図１７】X=0ｍｍの位置でのＲａの減少率を示すグラフ、
【図１８】Ｘ＝0mm、10mmでのＲａ減少率示すグラフ、
【図１９】噴射軸からの距離Ｘmmでの表面粗さＲａを示すグラフ（ウレタン規制板）、
【図２０】噴射軸中心からの距離Ｘmmでの表面粗さの減少率を示すグラフ、
【図２１】予備処理（噴射角度９０°）における粗さ曲線を示すグラフ、
【図２２（A）】噴射角度６０°における粗さ曲線を示すグラフ、
【図２２（B）】噴射角度３０°における粗さ曲線を示すグラフ、
【図２２（C）】噴射角度２０°における粗さ曲線を示すグラフ、
【図２２（D）】噴射角度５°における粗さ曲線を示すグラフ、
【図２３】シリコンウエハー加工におけるダイシング後の粗さ曲線を示すグラフ、
【図２４】同じくシリコンウエハー加工における予備処理（噴射角度９０°）の粗さ曲線を示すグラフ、
【図２５】同じくシリコンウエハー加工における実施例による加工後の粗さ曲線を示すグラフ。
【図２６】図２５による実施例の加工表面及び図２４による予備処理面を示す写真


【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2005022015.tif 000037
【図２】
2005022015.tif 000038
【図３】
2005022015.tif 000039
【図４】
2005022015.tif 000040
【図５】
2005022015.tif 000041
【図６】
2005022015.tif 000042
【図７】
2005022015.tif 000043
【図８】
2005022015.tif 000044
【図９】
2005022015.tif 000045
【図１０】
2005022015.tif 000046
【図１１】
2005022015.tif 000047
【図１２】
2005022015.tif 000048
【図１３】
2005022015.tif 000049
【図１４】
2005022015.tif 000050
【図１５】
2005022015.tif 000051
【図１６】
2005022015.tif 000052
【図１７】
2005022015.tif 000053
【図１８】
2005022015.tif 000054
【図１９】
2005022015.tif 000055
【図２０】
2005022015.tif 000056
【図２１】
2005022015.tif 000057
【図２２（Ａ）】
2005022015.tif 000058
【図２２（Ｂ）】
2005022015.tif 000059
【図２２（Ｃ）】
2005022015.tif 000060
【図２２（Ｄ）】
2005022015.tif 000061
【図２３】
2005022015.tif 000062
【図２４】
2005022015.tif 000063
【図２５】
2005022015.tif 000064
【図２６】
2005022015.tif 000065