(57)【要約】【課題】接着剤の流れ込みによる流路つまりを発生しにくくする。【解決手段】インクジェットヘッドは、矩形平面形状を有するヘッド本体を備えている。ヘッド本体は、複数のシートが接着剤を介して積層された積層構造を有しており、アクチュエータユニットと流路ユニットとを含んでなる。流路ユニットを構成する複数のシートのうち、アパーチャプレート２４には、インクの流路抵抗を調整する複数のアパーチャ１２と、流路ユニットの下面に形成された複数のノズルにそれぞれ対応して連通する連絡孔１２ｄとが形成されている。そして、複数のアパーチャ１２及び連絡孔１２ｄとでなす孔群を包囲しつつ、アパーチャプレート２４の表面には包囲溝６１が形成されている。【選択図】      図９
2005022088.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の孔が形成された薄板部材を含む複数の薄板部材が接着剤を介して積層されることによって形成され、
複数の孔が形成された前記薄板部材には、複数の前記孔が配置された孔群を包囲する孔群包囲溝が形成されていることを特徴とする薄板部材の積層接着構造。
【請求項２】
前記孔群包囲溝が、前記孔群の最外周にある前記孔の形状に沿った形状を有していることを特徴とする請求項１に記載の薄板部材の積層接着構造。
【請求項３】
複数の孔が形成された前記薄板部材の前記孔群内には、接着しろを介して一又は複数の前記孔を包囲する内部溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の薄板部材の積層接着構造。
【請求項４】
前記内部溝が前記孔の形状に沿った形状を有していることを特徴とする請求項３に記載の薄板部材の積層接着構造。
【請求項５】
前記孔群内において複数の前記内部溝が互いに連結されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の薄板部材の積層接着構造。
【請求項６】
前記孔群包囲溝と前記内部溝とが連結されていることを特徴とする請求項３〜５のいずれか１項に記載の薄板部材の積層接着構造。
【請求項７】
前記孔群の外部において、複数の孔が形成された前記薄板部材の表面が分割溝によって複数の区域に分割されており、
前記分割溝と前記孔群包囲溝とが連結されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の薄板部材の積層接着構造。
【請求項８】
複数の孔が形成された薄板部材を含む複数の薄板部材が接着剤を介して積層されることによって形成され、
複数の前記孔が配置された孔群の外部において、複数の孔が形成された前記薄板部材の表面が分割溝によって複数の区域に分割されていることを特徴とする薄板部材の積層接着構造。
【請求項９】
前記孔群に隣接する区域の平均面積が、その区域外の平均面積以下であることを特徴とする請求項８に記載の薄板部材の積層接着構造。
【請求項１０】
前記分割溝が、格子状に形成されていることを特徴とする請求項８又は９に記載の薄板部材の積層接着構造。
【請求項１１】
前記流路の出口がインクを吐出するためのノズルである、請求項１〜１０のいずれか１項に記載の薄板部材の積層接着構造を含むインクジェットヘッド。
【請求項１２】
前記薄板部材が、前記流路内におけるインクの流路抵抗を調整するための部材であることを特徴とする請求項１１に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットヘッドや電子部品などに使用される複数枚の薄板部材が積層されて接着固定した薄板部材の積層接着構造及びその積層された薄板部材が用いられたインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
特許文献１には、複数個のノズルと、その複数個のノズルごとにそれぞれ形成された圧力室及び圧力室にインクを流通させるインク流路とを有するキャビティプレートと、各圧力室のそれぞれに対応して圧力室内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータとが接着剤を介して積層されたインクジェットヘッドの積層接着構造が開示されている。このインクジェットヘッドのキャビティプレートは、複数枚のプレートから構成されており、圧電アクチュエータが積層される最上層のベースプレートに圧力室が形成されている。ベースプレートには、各圧力室にそれぞれ連通するとともに、圧電アクチュエータが連続して駆動されたときに、圧力室へインクが供給過剰になるのを防ぐため、圧力室よりも断面が小さい絞り部（アパーチャ）が形成されている。この絞り部に接近した位置には、絞り部の断面積よりも小さい断面積を有する逃がし溝が形成されている。
【０００３】
このような複数枚のプレートを積層してインクジェットヘッドを製造する際において、ベースプレートに圧電アクチュエータが接着剤を介して接着されたときに、ベースプレートと圧電アクチュエータとの合わせ面のような狭い隙間を通る接着剤が、断面積の大きい箇所より毛細管力が大きい、断面積の小さい箇所の方に先に引き寄せられるために、余った接着剤が逃がし溝に先に引き込まれ、絞り部が接着剤で塞がれるのを防止することができる。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−９６４７７号公報（第４−５頁、図１−３、図７）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１に記載の技術においては、インクジェットヘッドが大きくなるにつれて、ベースプレートに転着された接着剤の塗布ムラ、バラツキにより圧力室や絞り部へのインク流路周りからの接着剤の流れ込みにより、インク流路つまりを発生させる問題がある。
【０００６】
そこで、本発明は、接着剤の流れ込みによる流路つまりが発生しにくい薄板部材の積層接着構造及びインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の薄板部材の積層接着構造は、複数の孔が形成された薄板部材を含む複数の薄板部材が接着剤を介して積層されることによって形成され、複数の孔が形成された前記薄板部材には、複数の前記孔が配置された孔群を包囲する孔群包囲溝が形成されている。
【０００８】
これによると、インクジェットヘッドなどの積層接着構造物のサイズが大きくなっても、孔群外からの接着剤の流れ込みによる流路つまりが発生しにくくなる。
【０００９】
本発明において、前記孔群包囲溝が、前記孔群の最外周にある前記孔の形状に沿った形状を有していることが好ましい。これにより、接着剤の塗布面積を確保しつつ、流路つまりの発生を抑制できる。
【００１０】
また、本発明において、複数の孔が形成された前記薄板部材の前記孔群内には、接着しろを介して一又は複数の前記孔を包囲する内部溝が形成されていることが好ましい。これにより、接着剤の流れ込みによる流路つまりがさらに発生しにくくなる。
【００１１】
また、このとき、前記内部溝が前記孔の形状に沿った形状を有していてもよい。これにより、接着剤の塗布面積を確保しつつ、流路つまりの発生を抑制できる。
【００１２】
また、このとき、前記孔群内において複数の前記内部溝が互いに連結されていてもよい。これにより、接着剤の流れ込みによる流路つまりがさらに発生しにくくなる。
【００１３】
また、このとき、前記孔群包囲溝と前記内部溝とが連結されていてもよい。これにより、接着剤の流れ込みによる流路つまりがさらに発生しにくくなる。
【００１４】
また、本発明において、前記孔群の外部において、複数の孔が形成された前記薄板部材の表面が分割溝によって複数の区域に分割されており、前記分割溝と前記孔群包囲溝とが連結されていることが好ましい。これにより、接着剤の流れ込みによる流路つまりがさらに発生しにくくなる。また、接着剤の塗布領域及び非塗布領域が過大になるのを防止できるので、接着安定性が増す。さらに、製造時に、接着剤の流れ込み防止のための負圧を内部溝に加え易くなる。
【００１５】
また、本発明の薄板部材の積層接着構造は、別の観点では、複数の孔が形成された薄板部材を含む複数の薄板部材が接着剤を介して積層されることによって形成され、複数の前記孔が配置された孔群の外部において、複数の孔が形成された前記薄板部材の表面が分割溝によって複数の区域に分割されている。
【００１６】
これにより、接着剤の塗布領域及び非塗布領域が過大になるのを防止できるので、接着安定性が増す。接着剤の流れ込みによる流路つまりが発生しにくくなる。
【００１７】
また、本発明において、前記孔群に隣接する区域の平均面積が、その区域外の平均面積以下であることが好ましい。これにより、接着剤の流れ込みによる流路つまりがさらに発生しにくくなる。
【００１８】
また、本発明において、前記分割溝が、格子状に形成されていることが好ましい。これにより、接着剤の流れ込みによる流路つまりがさらに発生しにくくなる。
【００１９】
また、本発明は、別の観点では、前記流路の出口がインクを吐出するためのノズルである、薄板部材の積層接着構造を含むインクジェットヘッドである。これにより、ヘッドの歩留まりが向上する。
【００２０】
また、このとき、前記薄板部材が、前記流路内におけるインクの流路抵抗を調整するための部材であることが好ましい。これにより、流路内におけるインクの流路抵抗を調整するための部材に形成された孔の幅は小さいので、この孔におけるインクつまりを防止することで、ヘッドの歩留まりがさらに向上する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００２２】
図１は、本発明によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。インクジェットヘッド１は、用紙に対してインクを吐出するための主走査方向に延在した矩形平面形状を有するヘッド本体７０と、ヘッド本体７０の上方に配置され且つヘッド本体７０に供給されるインクの流路であるインク溜まり３が形成されたベースブロック７１とを備えている。
【００２３】
ヘッド本体７０は、インク流路が形成された流路ユニット４と、流路ユニット４の上面に接着された複数のアクチュエータユニット２１とを含んでいる。これら流路ユニット４及びアクチュエータユニット２１は共に、複数の薄板部材を積層して互いに接着させた構成である。また、アクチュエータユニット２１の上面には、給電部材であるフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ  Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）５０が接着されており、ＦＰＣ５０が図２中において屈曲しながら上方に引き出されている。ベースブロック７１は、例えばステンレスなどの金属材料からなる。ベースブロック７１内のインク溜まり３は、ベースブロック７１のその長手方向に沿って形成された略直方体の中空領域である。
【００２４】
ベースブロック７１の下面７３は、開口３ｂの近傍において周囲よりも下方に飛び出している。そして、ベースブロック７１は、下面７３の開口３ｂ近傍部分７３ａにおいてのみ流路ユニット４と接触している。そのため、ベースブロック７１の下面７３の開口３ｂ近傍部分７３ａ以外の領域は、ヘッド本体７０から離隔しており、この離隔部分にアクチュエータユニット２１が配されている。
【００２５】
ベースブロック７１は、ホルダ７２の把持部７２ａの下面に形成された凹部内に接着固定されている。ホルダ７２は、把持部７２ａと、把持部７２ａの上面からこれと直交する方向に所定間隔をなして延出された平板状の一対の突出部７２ｂとを含んでいる。アクチュエータユニット２１に接着されたＦＰＣ５０は、スポンジなどの弾性部材８３を介してホルダ７２の突出部７２ｂ表面に沿うようにそれぞれ配置されている。そして、ホルダ７２の突出部７２ｂ表面に配置されたＦＰＣ５０上にドライバＩＣ８０が設置されている。ＦＰＣ５０は、ドライバＩＣ８０から出力された駆動信号をヘッド本体７０のアクチュエータユニット２１（後に詳述）に伝達するように、両者とハンダ付けによって電気的に接合されている。
【００２６】
ドライバＩＣ８０の外側表面には略直方体形状のヒートシンク８２が密着配置されているため、ドライバＩＣ８０で発生した熱を効率的に散逸させることができる。ドライバＩＣ８０及びヒートシンク８２の上方であって、ＦＰＣ５０の外側には、基板８１が配置されている。ヒートシンク８２の上面と基板８１との間、および、ヒートシンク８２の下面とＦＰＣ５０との間には、それぞれシール部材８４が配置されており、それらシール部材８４によってそれぞれが接着されている。
【００２７】
図３は、図２に描かれたインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。図３において、ベースブロック７１内に形成されたインク溜まり３が仮想的に破線で描かれている。２つのインク溜まり３は、ヘッド本体７０の長手方向に沿って、互いに所定間隔をなして平行に延在している。２つのインク溜まり３はそれぞれ一端に開口３ａを有し、この開口３ａを介してインクタンク（図示せず）に連通することによって、常にインクで満たされている。また、開口３ｂは、ヘッド本体７０の長手方向に沿って各インク溜まり３に多数設けられていて、上述したように各インク溜まり３と流路ユニット４とを結んでいる。多数の開口３ｂは、対となる２つずつがヘッド本体７０の長手方向に沿って近接配置されている。一方のインク溜まり３に連通した開口３ｂの対と、他方のインク溜まり３に連通した開口３ｂの対とは、千鳥状に配置されている。
【００２８】
開口３ｂが配置されていない領域には、開口３ｂの対とは逆のパターンで、台形の平面形状を有する複数のアクチュエータユニット２１が千鳥状に配置されている。各アクチュエータユニット２１の平行対向辺（上辺及び下辺）は、ヘッド本体７０の長手方向と平行である。また、隣接するアクチュエータユニット２１の斜辺の一部同士がヘッド本体７０の幅方向にオーバーラップしている。
【００２９】
図４は、図３内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４に示すように、各インク溜まり３に設けられた開口３ｂは共通インク室であるマニホールド５に連通し、さらに各マニホールド５の先端部は２つに分岐して副マニホールド５ａを形成している。また、平面視において、アクチュエータユニット２１における２つの斜辺側のそれぞれから、隣接する開口３ｂから分岐した２つの副マニホールド５ａが延出している。つまり、アクチュエータユニット２１の下方には、アクチュエータユニット２１の平行対向辺に沿って互いに離隔した計４つの副マニホールド５ａが延在している。
【００３０】
アクチュエータユニット２１の接着領域と対応した流路ユニット４の下面は、インク吐出領域となっている。インク吐出領域の表面には、後述するように、多数のノズル８がマトリクス状に配列されている。ノズル８は、図面を簡単にするために図４では幾つかだけを描いているが、実際にはインク吐出領域全体に亘って配列されている。
【００３１】
図５は、図４に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図４及び図５は、流路ユニット４における多数の圧力室１０がマトリクス状に配置された平面を、インク吐出面に対して垂直な方向から見た状態を示している。各圧力室１０は、角部にアールが施された略菱形の平面形状を有しており、その長い方の対角線は流路ユニット４の幅方向に平行である。各圧力室１０の一端はノズル８に連通しており、他端はアパーチャ１２を介して共通インク流路としての副マニホールド５ａに連通している。平面視において各圧力室１０と重なり合う位置には、圧力室１０と相似でこれよりも一回り小さい平面形状を有する個別電極３５が、アクチュエータユニット２１上に形成されている。図５には、図面を簡略にするために、多数の個別電極３５のうちの幾つかだけを描いている。なお、図４及び図５において、図面を分かりやすくするために、アクチュエータユニット２１内又は流路ユニット４内にあって破線で描くべき圧力室１０及びアパーチャ１２等を実線で描いている。
【００３２】
図５において、圧力室１０がそれぞれ収容された仮想的な複数の菱形領域１０ｘは、互いに重なり合うことなく各辺を共有するように、配列方向Ａ（第１の方向）及び配列方向Ｂ（第２の方向）の２方向にマトリクス状に隣接配置されている。配列方向Ａは、インクジェットヘッド１の長手方向、すなわち副マニホールド５ａの延在方向であって、菱形領域１０ｘの短い方の対角線と平行である。配列方向Ｂは、配列方向Ａと鈍角θをなす菱形領域１０ｘの一斜辺方向である。圧力室１０は、対応する菱形領域１０ｘと中心位置が共通であって、両者の輪郭線は平面視において互いに離隔している。
【００３３】
配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置された圧力室１０は、配列方向Ａに沿って３７．５ｄｐｉに相当する距離ずつ離隔している。また、圧力室１０は、１つのインク吐出領域内において、配列方向Ｂに１６個並べられている。配列方向Ｂの両端にある圧力室はダミーであって、インク吐出に寄与しない。
【００３４】
マトリクス状に配置された複数の圧力室１０は、図５に示す配列方向Ａに沿って、複数の圧力室列を形成している。圧力室列は、図５の紙面に対して垂直な方向（第３の方向）から見て、副マニホールド５ａとの相対位置に応じて、第１の圧力室列１１ａ、第２の圧力室列１１ｂ、第３の圧力室列１１ｃ、及び、第４の圧力室列１１ｄに分けられる。これら第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄは、アクチュエータユニット２１の上辺から下辺に向けて、１１ｃ→１１ｄ→１１ａ→１１ｂ→１１ｃ→１１ｄ→…→１１ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。
【００３５】
第１の圧力室列１１ａを構成する圧力室１０ａ及び第２の圧力室列１１ｂを構成する圧力室１０ｂにおいては、第３の方向から見て、配列方向Ａと直交する方向（第４の方向）に関して、ノズル８が図５の紙面下側に偏在している。そして、ノズル８が、それぞれ対応する菱形領域１０ｘの下端部に位置している。一方、第３の圧力室列１１ｃを構成する圧力室１０ｃ及び第４の圧力室列１１ｄを構成する圧力室１０ｄにおいては、第４の方向に関して、ノズル８が図５の紙面上側に偏在している。そして、ノズル８が、それぞれ対応する菱形領域１０ｘの上端部に位置している。第１及び第４の圧力室列１１ａ、１１ｄにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ａ、１０ｄの半分以上の領域が、副マニホールド５ａと重なっている。第２及び第３の圧力室列１１ｂ、１１ｃにおいては、第３の方向から見て、圧力室１０ｂ、１０ｃの全領域が、副マニホールド５ａと重なっていない。そのため、いずれの圧力室列に属する圧力室１０についてもこれに連通するノズル８が副マニホールド５ａと重ならないようにしつつ、副マニホールド５ａの幅を可能な限り広くして各圧力室１０にインクを円滑に供給することが可能となっている。
【００３６】
次に、ヘッド本体７０の断面構造について、図６及び図７を参照してさらに説明する。図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線における断面図であり、図６には、第１の圧力室列１１ａに属する圧力室１０ａが描かれている。図６から分かるように、各ノズル８は、圧力室１０（１０ａ）及びアパーチャ１２を介して副マニホールド５ａと連通している。このようにして、ヘッド本体７０には、副マニホールド５ａの出口からアパーチャ１２、圧力室１０を経てノズル８に至る個別インク流路３２が圧力室１０ごとに形成されている。
【００３７】
図６から明らかなように、圧力室１０とアパーチャ１２とは異なるレベルに設けられている。これにより、図５に示すように、アクチュエータユニット２１の下方にあるインク吐出領域に対応した流路ユニット４内において、１つの圧力室１０と連通したアパーチャ１２を、当該圧力室に隣接する圧力室１０と平面視で同じ位置に配置することが可能となっている。この結果、圧力室１０同士が密着して高密度に配列されるため、比較的小さな占有面積のインクジェットヘッド１により高解像度の画像印刷が実現される。
【００３８】
ヘッド本体７０は、図７からも分かるように、上から、アクチュエータユニット２１、キャビティプレート２２、ベースプレート２３、アパーチャプレート２４、サプライプレート２５、マニホールドプレート２６、２７、２８、カバープレート２９及びノズルプレート３０の合計１０枚のシート材（薄板部材）が接着剤を介して積層された積層構造を有している。これらのうち、アクチュエータユニット２１を除いた９枚のプレートから流路ユニット４が構成されている。
【００３９】
アクチュエータユニット２１は、後で詳述するように、４枚の圧電シート４１〜４４（図１０（ａ）参照）が積層され且つ電極が配されることによってそのうちの最上層だけが電界印加時に活性層となる部分を有する層（以下、単に「活性層を有する層」というように記する）とされ、残り３層が非活性層とされたものである。キャビティプレート２２は、圧力室１０に対応するほぼ菱形の開口が多数設けられた金属プレートである。ベースプレート２３は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０とアパーチャ１２との連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。アパーチャプレート２４は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、副マニホールド５ａ側のインク流入口１２ａと圧力室１０側のインク流出口１２ｂとに連通しつつ細く形成された連通部１２ｃを有するアパーチャ１２（図９参照）のほかに圧力室１０からノズル８への連絡孔１２ｄがそれぞれ設けられた金属プレートである。サプライプレート２５は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、アパーチャ１２と副マニホールド５ａとの連絡孔及び圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。マニホールドプレート２６、２７、２８は、副マニホールド５ａに加えて、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。カバープレート２９は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、圧力室１０からノズル８への連絡孔がそれぞれ設けられた金属プレートである。ノズルプレート３０は、キャビティプレート２２の１つの圧力室１０について、ノズル８がそれぞれ設けられた金属プレートである。
【００４０】
これら１０枚のシート２１〜３０は、図６に示すような個別インク流路３２が形成されるように、互いに位置合わせして積層されている。この個別インク流路３２は、副マニホールド５ａからまず上方へ向かい、アパーチャ１２において水平に延在し、それからさらに上方に向かい、圧力室１０において再び水平に延在し、それからしばらくアパーチャ１２から離れる方向に斜め下方に向かってから垂直下方にノズル８へと向かう。
【００４１】
図８は、図３内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域のベースプレート側からアパーチャプレートを見た平面図である。図９は、図８内に描かれた１点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。図８中２点鎖線で示す領域は、第３の方向においてアパーチャプレート２４に重なるアクチュエータユニット２１の台形の平面形状を示す仮想線であり、その領域内には複数のアパーチャ１２および連絡孔１２ｄが形成されている。アパーチャ１２及び連絡孔１２ｄは、第３の方向において前述した圧力室１０の一部と連通して重なるようになっているので、圧力室１０と同様に配列方向Ａ及び配列方向Ｂの２方向にマトリクス状に隣接配置されている。なお、アパーチャ１２及び連絡孔１２ｄは配列方向Ｂに圧力室１０と同様にそれぞれ１６個並べられている。
【００４２】
また、図９に示すようにアパーチャ１２も前述した圧力室１０のように第１〜第４のアパーチャ列１１２ａ〜１１２ｄに分けられる。これら第１〜第４のアパーチャ列１１２ａ〜１１２ｄは、第１〜第４の圧力室列１１ａ〜１１ｄにそれぞれ対応しており、アパーチャプレート２４の図９中左方から右方に向かって、１１２ｃ→１１２ａ→１１２ｄ→１１２ｂ→１１２ｃ→１１２ａ→…→１１２ｂという順番で周期的に４個ずつ配置されている。アパーチャ１２のインク流出口１２ｂは、第１及び第２のアパーチャ列１１２ａ，１１２ｂにおいては図９中右側に位置しており、第３及び第４のアパーチャ列１１２ｃ，１１２ｄにおいては図９中左側に位置している。なお、アパーチャ１２のインク流入口１２ａは、それぞれのアパーチャ列１１２ａ〜１１２ｄにおけるアパーチャ１２のインク流出口１２ｂの反対側に位置している。また、アパーチャ１２のインク流入口１２ａとインク流出口１２ｂとの連通部１２ｃは、平面視において、連通部１２ｃの短手方向の幅がインク流入口１２ａ及びインク流出口１２ｂの幅より狭く形成されており、副マニホールド５ａから圧力室１０間のインクの流路抵抗を調整している。
【００４３】
また、アパーチャ１２及び連絡孔１２ｄはアパーチャプレート２４に貫通して形成されており、図８に示すように複数のアパーチャ１２及び連絡孔１２ｄでなす孔群の最外周には、その形状に沿った形状を有する包囲溝（孔群包囲溝）６１が形成されている。
【００４４】
アパーチャプレート２４の複数の開口３ｂのそれぞれの外周には、開口３ｂの外周形状に沿う形状の開口包囲溝６２が所定幅の接着しろを介して形成されている。開口包囲溝６２は、開口３ｂに最も近接した位置の開口包囲溝６２ａと、開口包囲溝６２ａから順に相似形状に拡大された開口包囲溝６２ｂ，６２ｃとでなる。包囲溝６１及び開口包囲溝６２の内側領域を除くアパーチャプレート２４のベースプレート２３側の平面領域には、格子状に形成されるとともに、包囲溝６１と開口包囲溝６２ｃとに連結された連結溝（分割溝）６３が形成されている。
【００４５】
図９に示すように包囲溝６１の内側には、内部溝６５が形成されている。内部溝６５は、１つの連絡孔１２ｄの外周形状に沿うような形状を有する溝６５ａと、配列方向Ｂの第１及び第３のアパーチャ列１１２ａ，１１２ｃの２つのアパーチャ１２の外周形状に沿うような形状を有する溝６５ｂと、配列方向Ｂの第２及び第４のアパーチャ列１１２ｂ，１１２ｄの２つのアパーチャ１２の外周形状に沿うような形状を有する溝６５ｃとが互いに連結されて形成されており、包囲溝６１とも連結溝６４を介して連結されている。従って、アパーチャプレート２４のベースプレート２３側に形成された包囲溝６１、開口包囲溝６２ｃ、連結溝６３，６４及び内部溝６５はすべて連結されていることになる。また、内部溝６５とアパーチャ１２及び連絡孔１２ｄとの間、内部溝６５と包囲溝６１との間、包囲溝６１と連結溝６３との間、格子状の連結溝６３によって複数に分割された区域、連結溝６３と開口包囲溝６２との間及び開口包囲溝６２ａ〜６２ｃ間におけるアパーチャプレート２４の平面領域には、アパーチャプレート２４とベースプレート２３とが接着するように接着剤が塗布される接着しろが各部位に対応して形成されており、図９中においてハッチングで示している。なお、これらの溝６１，６２，６３，６４，６５はすべて凹形状となるようにアパーチャプレート２４上にハーフエッチングで形成されている。
【００４６】
ところで、アパーチャ１２のインク流入口１２ａとインク流出口１２ｂとを連通している連通部１２ｃは、他の流路に比べて幅が狭く形成されており、接着剤の流入によるつまりやその断面積の変化が生じやすく、最終的に得られるヘッドの印字品質に敏感に影響する。一方、接着剤の不足により、流路の機密性が破れて近接して配置された別の連通部１２ｃと連通してしまうのも印字品質に影響してしまう。このように、特に、連通部１２ｃは接着剤の過不足に影響されやすい配置と構造を有しているので、所定幅の接着しろに所定量の接着剤が塗布される必要がある。これに対して、本実施の形態では、包囲溝６１が孔群の最外周形状に沿って形成されているので、孔群の外周であっても適切な接着を可能とする接着しろを確保することができる。さらに、連結溝６３によって複数に分割された区域（接着しろ）に接着剤が塗布されて、ベースプレート２３とアパーチャプレート２４とが接着された場合に、孔群外から孔群に向かって流れる接着剤を包囲溝６１内にある程度収容することが可能になり、アパーチャ１２及び連絡孔１２ｄに接着剤が流れ込むのを抑制して、個別インク流路３２つまりの発生を抑制する。
【００４７】
また、包囲溝６１の内側にはアパーチャ１２及び連絡孔１２ｄの形状に沿うような内部溝６５が形成されているので、アパーチャ１２及び連絡孔１２ｄ間の接着しろを確保しつつ、その接着しろに塗布された接着剤がアパーチャ１２及び連絡孔１２ｄに流れ込むのを内部溝６５で抑制することができるので、接着剤の流れ込みによる個別インク流路３２つまりの発生がさらに抑制される。
【００４８】
また、包囲溝６１と内部溝６５とが連結されているので、接着剤の流れ込みによって互いに収容した接着剤を流通させることができる。つまり、包囲溝６１に流れ込んだ接着剤が少なくて、内部溝６５に流れ込んだ接着剤が多い場合では、内部溝６５内の接着剤を包囲溝６１に流通させることができ、内部溝６５の接着剤を収容する許容量が増加する。そのため、接着剤がアパーチャ１２及び連絡孔１２ｄに流れ込むのを、包囲溝６１により許容量が増加された内部溝６５に収容することができるので、接着剤の流れ込みによる個別インク流路３２つまりの発生がさらに抑制される。なお、内部溝６５の溝６５ａ〜６５ｃ同士も連結しているので、互いに収容した接着剤を流通させることができ、個別インク流路３２つまりの発生を同様に抑制することができる。
【００４９】
また、格子状の連結溝６３によって複数に分割された区域（接着しろ）は、孔群に隣接しない区域がほぼ正方形に区画されており、孔群に隣接する区域ではその正方形の区域が２分割されるようにほぼ長方形に形成されている。そのため、孔群に隣接する区域の平均面積は、孔群に隣接しない区域の平均面積より小さくなるので、ベースプレート２３とアパーチャプレート２４とを接着するためにアパーチャプレート２４のベースプレート２３側の接着しろに塗布された接着剤のうち、孔群の外側に塗布された接着剤が孔群の内側に流れ込んでアパーチャ１２及び連絡孔１２ｄによるインク流路がつまるのを抑制することが可能になり、インク流路つまりをさらに発生しにくくする。
【００５０】
また、孔群領域及び開口３ｂを除く領域における接着剤の塗布領域が、連結溝６３によって複数の区域に分割されていることで、接着剤の塗布領域と非塗布領域が過大になるのを防止することができる。つまり、連結溝６３が形成されていないアパーチャプレートの接着剤の塗布領域に接着剤を塗布して、ベースプレートと接着する場合にアパーチャプレートとベースプレートとの間に空気溜まりが存在すると、ベースプレートとアパーチャプレートとを加圧接着した際に、その空気溜まり領域がアパーチャプレートとベースプレートとの間で広がり、接着不良領域（非塗布領域）が拡大してアパーチャプレートとベースプレートとの接着が不安定になるが、アパーチャプレート２４のように連結溝６３が形成されていることで、アパーチャプレート２４とベースプレート２３との間に空気溜まりが存在したまま、両プレート２３，２４を加圧接着しても連結溝６３から空気が抜け、接着不良領域が拡大するのを防ぐことができ、また余分な接着剤を連結溝６３内に収容することができるので、該区域の接着塗布領域以外に接着剤が広がるのを防止することができる。従って、ベースプレート２３とアパーチャプレート２４との接着安定性が向上する。
【００５１】
さらに、ベースプレート２３とアパーチャプレート２４とを接着積層して流路ユニット４を製造する際において、予め連結溝６３の一部と外部とを連通する孔を設けて、その孔から吸引して連結溝６３内を負圧にすることで、余分な接着剤を連結溝６３内に引き寄せることができるとともに、連結溝６３と連結した包囲溝６１及び内部溝６５にも負圧を加えやすくなる。そのため、包囲溝６１及び内部溝６５近傍の余分な接着剤を両溝６１，６５内に引き寄せることができる。従って、接着剤がアパーチャ１２や連絡孔１２ｄに流れ込みにくくなり、個別インク流路３２つまりの発生を抑制することができる。
【００５２】
次に、流路ユニット４における最上層のキャビティプレート２２に積層された、アクチュエータユニット２１の構成について説明する。図１０（ａ）はアクチュエータユニット２１と圧力室１０との部分拡大断面図であり、図１０（ｂ）はアクチュエータユニット２１の表面に接着された個別電極の形状を示す平面図である。
【００５３】
図１０（ａ）に示すように、アクチュエータユニット２１は、それぞれ厚みが１５μｍ程度で同じになるように形成された４枚の圧電シート４１、４２、４３、４４を含んでいる。これら圧電シート４１〜４４は、ヘッド本体７０内の１つのインク吐出領域内に形成された多数の圧力室１０に跨って配置されるように連続した層状の平板（連続平板層）となっている。圧電シート４１〜４４が連続平板層として多数の圧力室１０に跨って配置されることで、例えばスクリーン印刷技術を用いることにより圧電シート４１上に個別電極３５を高密度に配置することが可能となっている。そのため、個別電極３５に対応する位置に形成される圧力室１０をも高密度に配置することが可能となって、高解像度画像の印刷ができるようになる。圧電シート４１〜４４は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなるものである。
【００５４】
最上層の圧電シート４１上には、個別電極３５が形成されている。最上層の圧電シート４１とその下側の圧電シート４２との間には、シート全面に形成された略２μｍの厚みの共通電極３４が介在している。なお、圧電シート４２と圧電シート４３の間及び圧電シート４３と圧電シート４４との間に、電極は配置されていない。これら個別電極３５、共通電極３４は共に、例えばＡｇ−Ｐｄ系などの金属材料からなる。
【００５５】
個別電極３５は、略１μｍの厚みで、図１０（ｂ）に示すように、図５に示した圧力室１０とほぼ相似である略菱形の平面形状を有している。略菱形の個別電極３５における鋭角部の一方は延出され、その先端に、個別電極３５と電気的に接続された、略１６０μｍの径を有する円形のランド部３６が設けられている。ランド部３６は、例えばガラスフリットを含む金からなり、図１０（ａ）に示すように、個別電極３５における延出部表面上に接着されている。
【００５６】
共通電極３４は、図示しない領域において接地されている。これにより、共通電極３４は、すべての圧力室１０に対応する領域において等しくグランド電位に保たれている。また、個別電極３５は、各圧力室１０に対応するものごとに電位を制御することができるように、各個別電極３５ごとに独立した別のリード線を含むＦＰＣ５０を介してドライバＩＣ８０に接続されている（図１及び図２参照）。
【００５７】
次に、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。アクチュエータユニット２１における圧電シート４１の分極方向はその厚み方向である。つまり、アクチュエータユニット２１は、上側（つまり、圧力室１０とは離れた）１枚の圧電シート４１を活性層が存在する層とし且つ下側（つまり、圧力室１０に近い）３枚の圧電シート４２〜４４を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプの構成となっている。従って、個別電極３５を正又は負の所定電位とすると、例えば電界と分極とが同方向であれば圧電シート４１中の電極に挟まれた電界印加部分が活性層（圧力発生部）として働き、圧電横効果により分極方向と直角方向に縮む。一方、圧電シート４２〜４４は、電界の影響を受けないため自発的には変位しないので、上層の圧電シート４１と下層の圧電シート４２〜４４との間で、分極方向と垂直な方向への歪みに差を生じることとなり、圧電シート４１〜４４全体が非活性側に凸となるように変形しようとする（ユニモルフ変形）。このとき、図１０（ａ）に示したように、圧電シート４１〜４４の下面は圧力室を区画する隔壁（キャビティプレート）２２の上面に固定されているので、結果的に圧電シート４１〜４４は圧力室側へ凸になるように変形する。このため、圧力室１０の容積が低下して、インクの圧力が上昇し、ノズル８からインクが吐出される。その後、個別電極３５を共通電極３４と同じ電位に戻すと、圧電シート４１〜４４は元の形状になって圧力室１０の容積が元の容積に戻るので、インクをマニホールド５側から吸い込む。
【００５８】
なお、他の駆動方法として、予め個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしておき、吐出要求があるごとに個別電極３５を共通電極３４と一旦同じ電位とし、その後所定のタイミングにて再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にすることもできる。この場合は、個別電極３５と共通電極３４とが同じ電位になるタイミングで、圧電シート４１〜４４が元の形状に戻ることにより、圧力室１０の容積は初期状態（両電極の電位が異なる状態）と比較して増加し、インクがマニホールド５側から圧力室１０内に吸い込まれる。その後再び個別電極３５を共通電極３４と異なる電位にしたタイミングで、圧電シート４１〜４４が圧力室１０側へ凸となるように変形し、圧力室１０の容積低下によりインクへの圧力が上昇し、インクが吐出される。
【００５９】
図５に戻って、配列方向Ａに３７．５ｄｐｉに相当する幅（６７８．０μｍ）を有し、配列方向Ｂに延在する帯状領域Ｒについて考える。この帯状領域Ｒの中では、１６列の圧力室列１１ａ〜１１ｄの内の何れの列についても、ノズル８が１つしか存在していない。すなわち、１つのアクチュエータユニット２１に対応したインク吐出領域内の任意の位置に、このような帯状領域Ｒを区画した場合、この帯状領域Ｒ内には、常に１６個のノズル８が分布している。そして、これら１６個の各ノズル８を配列方向Ａに延びる直線上に射影した点の位置は、印字時の解像度である６００ｄｐｉに相当する間隔ずつ離隔している。
【００６０】
１つの帯状領域Ｒに属する１６個のノズル８を配列方向Ａに延びる直線上に射影した位置が左にあるものから順に、これら１６個のノズル８を（１）〜（１６）と記することにしたとき、これら１６個のノズル８は、下から、（１）、（９）、（５）、（１３）、（２）、（１０）、（６）、（１４）、（３）、（１１）、（７）、（１５）、（４）、（１２）、（８）、（１６）の順番に並んでいる。このように構成されたインクジェットヘッド１において、アクチュエータユニット２１内を印字媒体の搬送に合わせて適宜駆動させると、６００ｄｐｉの解像度を有する文字や図形等を描画することができる。
【００６１】
例えば、６００ｄｐｉの解像度で配列方向Ａに延びる直線を印字する場合について説明する。まず、ノズル８が圧力室１０の同じ側の鋭角部に連通している参考例の場合について簡単に説明する。この場合には、印字媒体が搬送されるのに対応して、図５中一番下に位置する圧力室列中のノズル８からインクの吐出を始め、順次上側に隣接する圧力室列に属するノズル８を選択してインクを吐出する。これにより、インクのドットが配列方向Ａに向かって６００ｄｐｉの間隔で隣接しながら形成されていく。最終的には、全体で６００ｄｐｉの解像度で配列方向Ａに延びる直線が描かれることになる。
【００６２】
一方、本実施の形態では、図５中一番下に位置する圧力室列１１ｂ中のノズル８からインクの吐出を始め、印字媒体が搬送されるのに伴って順次上側に隣接する圧力室に連通するノズル８を選択してインクを吐出していく。このとき、下側から上側に１圧力室列上がるごとのノズル８位置の配列方向Ａへの変位が同じでないので、印字媒体が搬送されるのに伴って配列方向Ａに沿って順次形成されるインクのドットは、６００ｄｐｉの間隔で等間隔にはならない。
【００６３】
すなわち、図５に示したように、印字媒体が搬送されるのに対応して、まず図中一番下の圧力室列１１ｂに連通するノズル（１）からインクが吐出され、印字媒体上に３７．５ｄｐｉに相当する間隔でドット列が形成される。この後、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から２番目の圧力室列１１ａに連通するノズル（９）の位置に達すると、このノズル（９）からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分の８倍だけ配列方向Ａに変位した位置に２番目のインクドットが形成される。
【００６４】
次に、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から３番目の圧力室列１１ｄに連通するノズル（５）の位置に達すると、ノズル（５）からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分の４倍だけ配列方向Ａに変位した位置に３番目のインクドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から４番目の圧力室列１１ｃに連通するノズル（１３）の位置に達すると、ノズル（１３）からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドットの位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分の１２倍だけ配列方向Ａに変位した位置に４番目のインクドットが形成される。さらに、印字媒体の搬送に伴って、直線の形成位置が下から５番目の圧力室列１１ｂに連通するノズル（２）の位置に達すると、ノズル（２）からインクが吐出される。これにより、始めに形成されたドット位置から６００ｄｐｉに相当する間隔分のだけ配列方向Ａに変位した位置に５番目のインクドットが形成される。
【００６５】
以下同様にして、順次図中下側から上側に位置する圧力室１０に連通するノズル８を選択しながらインクドットが形成されていく。このとき、図５中に示したノズル８の番号をＮとすると、（倍率ｎ＝Ｎ−１）×（６００ｄｐｉに相当する間隔）に相当する分だけ、始めに形成されたドット位置から配列方向Ａに変位した位置にインクドットが形成される。最終的に１６個のノズル８を選択し終わったときには、図中一番下の圧力室列１１ｂ中のノズル（１）により３７．５ｄｐｉに相当する間隔で形成されたインクドットの間が６００ｄｐｉに相当する間隔毎に離れて形成された１５個のドットで繋げられ、全体で６００ｄｐｉの解像度で配列方向Ａに延びる直線を描くことが可能になっている。
【００６６】
なお、各インク吐出領域の配列方向Ａについての両端部（アクチュエータユニット２１の斜辺）近傍では、ヘッド本体７０の幅方向に対向する別のアクチュエータユニット２１に対応するインク吐出領域の配列方向Ａについての両端部近傍と相補関係となることで６００ｄｐｉの解像度での印刷が可能となっている。
【００６７】
以上のような本実施の形態によるインクジェットヘッド１の流路ユニット４のアパーチャプレート２４には、複数のアパーチャ１２及び連絡孔１２ｄとでなす孔群の外周に包囲溝６１が形成されているので、ベースプレート２３とアパーチャプレート２４とが接着された場合において、インク吐出ノズル８の高密度化によってヘッド本体７０が大きくなって、アパーチャプレート２４に塗布された接着剤に塗布ムラ、バラツキがあっても、孔群外からの接着剤が孔群内のアパーチャ１２や連絡孔１２ｄに流れ込むのを抑制することができる。つまり、孔群外から孔群内に向かう余分な接着剤が包囲溝６１内に収容されるので、孔群内のアパーチャ１２や連絡孔１２ｄに接着剤の流れ込みが抑制される。従って、接着剤の流れ込みによる流路ユニット４内の個別インク流路３２つまりが発生しにくくなる。
【００６８】
このような積層接着構造による流路ユニット４を備えたインクジェットヘッド１において、ヘッド本体７０を製造する際に、接着剤による個別インク流路３２つまりが発生しにくいので、ヘッド本体７０の製造品質が向上するとともに、インクジェットヘッドの不良品が少なくなって歩留まりが向上する。また、アパーチャプレート２４に包囲溝が形成されていることで、幅の細い連通部１２ｃを有するアパーチャ１２に接着剤が流れ込みにくくなるので、前述したようにインクジェットヘッド１の歩留まりが向上する。
【００６９】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいてさまざまな設計変更が可能なものである。例えば、上述した本実施の形態のインクジェットヘッド１のアパーチャプレート２４に形成された内部溝６５、連結溝６３，６４、開口包囲溝６２が形成されていなくてもよい。
【００７０】
また、上述した本実施の形態におけるインクジェットヘッド１の流路ユニット４を構成する複数のシート部材（薄板部材）に形成された個別インク流路３２を構成する部分（圧力室、貫通孔など）の外周にも前述した包囲溝のような溝を設けていてもよい。また、各シート部材に連結溝６３と同様な溝を設けていてもよい。
【００７１】
また、本発明の薄板部材の積層接着構造は、複数の孔よる孔群の外周を包囲する包囲溝が形成された薄板部材を含む複数の薄板部材が接着剤を介して積層された積層接着構造全般に適用することができる。
【００７２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によると、インクジェットヘッドなどの積層接着構造体のサイズが大きくなっても、孔群外からの接着剤の流れ込みによる流路つまりが発生しにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるインクジェットヘッドの外観斜視図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。
【図３】図２に描かれたインクジェットヘッドに含まれるヘッド本体の平面図である。
【図４】図３内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図５】図４に描かれた一点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線における断面図である。
【図７】図６に描かれたヘッド本体の部分分解斜視図である。
【図８】図３内に描かれた一点鎖線で囲まれた領域のベースプレート側からアパーチャプレートを見た平面図である。
【図９】図８内に描かれた１点鎖線で囲まれた領域の拡大図である。
【図１０】図１０（ａ）は、アクチュエータユニットと圧力室との部分拡大断面図である。図１０（ｂ）はアクチュエータユニットの表面に接着された個別電極の形状を示す平面図である。
【符号の説明】
１  インクジェットヘッド
４  流路ユニット
５  マニホールド
５ａ  副マニホールド
８  ノズル
１０  圧力室
１２  アパーチャ
１２ｃ  連通部
１２ｄ  連絡孔
２１  アクチュエータユニット
２４  アパーチャプレート（薄板部材）
３０  ノズルプレート（薄板部材）
３２  個別インク流路
６１  包囲溝（孔群包囲溝）
６２  開口包囲溝
６３  連結溝（分割溝）
６４  連結溝
６５  内部溝
６５ａ，６５ｂ，６５ｃ    溝
７０  ヘッド本体
【図１】
2005022088.tif 000003
【図２】
2005022088.tif 000004
【図３】
2005022088.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2005022088.tif 000009
【図８】
2005022088.tif 000010
【図９】
2005022088.tif 000011
【図１０】
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