(57)【要約】【課題】透過層へのコンタミがない多層構造型光記録媒体を製造することを実現する。【解決手段】信号が記録される層を複数有する多層構造型光記録媒体の製造方法において、温度調整可能な２つの対向するコア固定板３１にプラスチック基板１４を固定し、キャビ固定板３３に溝が形成されたスタンパ３４を固定し、真空中で前記プラスチック基板１４と前記スタンパ３４間のキャビティ３８に、光または熱で硬化する樹脂を注入した後、硬化させて前記樹脂の表面上に前記スタンパ３４の溝を転写する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光または熱を用いて、信号が記録される層を複数有する多層構造型光記録媒体の製造方法において、
温度調整可能な２つの対向する固定板の一方にプラスチック基板を固定し、他方に溝が形成されたスタンパを固定し、真空中で前記プラスチック基板と前記スタンパの間に、光または熱で硬化する樹脂を注入した後、硬化させて前記樹脂の表面上に前記スタンパの溝を転写することを特徴とする多層構造型光記録媒体の製造方法。
【請求項２】
前記真空圧を１３.３Ｐａ〜２６.６ｋＰａに設定することを特徴とする請求項１記載の多層構造型光記録媒体の製造方法。
【請求項３】
前記樹脂を所定量注入するための供給系を大気圧下に設置することを特徴とする請求項１記載の多層構造型光記録媒体の製造方法。
【請求項４】
前記プラスチック基板と前記スタンパとの間に、スペーサを設置することを特徴とする請求項１記載の多層構造型光記録媒体の製造方法。
【請求項５】
前記２つの固定台をガラスにより形成し、加熱温度を０.１℃単位で調整することを特徴とする請求項１記載の多層構造型光記録媒体の製造方法。
【請求項６】
前記スタンパの材質が、対向面に固定された前記プラスチック基板の材質と略同じ熱膨張係数でかつ略同じ熱容量であることを特徴とする請求項１または４記載の多層構造型光記録媒体の製造方法。
【請求項７】
前記樹脂の粘度が１０〜２０００ｍＰａ・ｓ（２５℃ Ｂ型粘度計）とすることを特徴とする請求項１または３記載の多層構造型光記録媒体の製造方法。
【請求項８】
前記樹脂の材質が４００〜８００ｎｍの光を８５％以上透過するものであることを特徴とする請求項１，３または７記載の多層構造型光記録媒体の製造方法。
【請求項９】
前記樹脂が紫外線硬化型樹脂の場合、紫外線の発生ランプとして、フラッシュ型の紫外線ランプを使用することを特徴とする請求項１記載の多層構造型光記録媒体の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜９いずれか１項に記載の多層構造型光記録媒体の製造方法を実施する装置と、少なくとも一種以上の無機膜を製膜するスパッタ装置とを真空炉内において連動して、プラスチック基板の少なくとも一方の面に溝を形成し、前記スパッタ装置において前記プラスチック基板の表面上に、少なくとも一種以上の反射膜と記録膜と保護膜とからなる記録層を形成した後、樹脂とスタンパとにより前記記録層の表面上に溝を形成し、再び前記スパッタ装置で溝の形成された前記樹脂上に、少なくとも一種以上の反射膜と記録膜と保護膜とからなる記録層を積層することを特徴とする多層構造型光記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学的に信号を記録／再生する層を複数有する多層構造型光記録媒体を、光または熱を用いて製造する製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
多層構造型光記録媒体中の溝の形成方法に関しては、大別して次の（１）〜（３）の方法がある。
（１）射出，射出圧縮、あるいは射出真空成形（以下、成形工法という）
（２）２Ｐ（Photo-polymerisation）工法（特許文献１の段落０００７〜０００８参考）
（３）フィルム熱転写工法
前記成形工法は、基板（プラスチック基板で、一般的には直径８０ｍｍ〜１２０ｍｍの円盤状）を用い、比較的安価で、かつ高精度な溝形成が可能な工法であるが、基板の厚みが０.３ｍｍ以下になると、技術的には非常に困難であり、現状、実用化に至っていない。
【０００３】
一般的な前記２Ｐ工法は、特許文献１の段落０００９に記載されているように、膜厚の精度が低く（具体的には、４０±２〜３μｍ程度）、また、気泡を巻き込んで欠陥を生じたり、基板からはみ出すという問題があった。
【特許文献１】特許第３３５１１６４号公報
【特許文献２】特開２００２−２８８８９４号公報
【特許文献３】特開２００２−４２３８７号公報
【特許文献４】特開平９−６３１３４号公報
【特許文献５】特開２０００−２９８８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前記従来の課題を回避するために、あらかじめキャスティングなどにより成形されたプラスチックフィルムを金型に挿入し、熱と圧力により、溝を熱転写する技術が多数報告されている（前記フィルム熱転写工法）。特許文献１〜３に記載された技術を例示することができる。
【０００５】
前記フィルム熱転写工法は均一な厚さを得やすい。具体的には、キャスティングフィルムの加工精度と金型のキャビ・コアの精度を調整すれば、例えば厚さ４０±１μｍで仕上げることも可能である。
【０００６】
しかし、キャスティング工法は、その設備が比較的大きく、溝形成装置に組み込むことが困難なため、一般的には、キャスティングフィルムを成形した後、所定の幅に切断し、その後、溝形成装置にセッティングするようにしている。このため、コンタミ（コンタミネーション：contamination）の問題が常に付きまとうとともに、比較的高価になってしまうという問題があった。
【０００７】
また、溝の転写精度を向上するために、フィルムを熱変形温度以上に加熱すると、冷却時間が長くなり、最終的にはコスト高になってしまうという問題があった。さらに、２層，３層と層を重ねていくと、基板が、図１８に示すように、あたかも椀状に反ってしまうという問題も生じる。
【０００８】
なお、図１８に示す多層構造型光記録媒体１は、プラスチック基板１１上に４層の樹脂１２を形成した例を示している。なお、図中の１３はセンタ孔である。
【０００９】
前記のような問題に対し、特許文献４では、前記２Ｐ工法を改良し、溝を転写する技術が報告されている。この技術は、基板もしくはスタンパの少なくともいずれか一方に光硬化性樹脂を点状に分散塗布させ、この点状に分散塗布した光硬化性樹脂を挟んで、基板とスタンパを衝合して互いに圧着し、この光硬化性樹脂にスタンパによって微細凹凸（溝）を形成するものである。
【００１０】
しかし、前記２Ｐ工法は、点状に塗布された光硬化性樹脂が展延する際に、気泡が発生したり、膜厚ばらつきを４０±１μｍ以下に抑えるのが困難であったり、あるいは時間がかかるという問題を有していた。
【００１１】
本発明の目的は、前記従来の問題を解決し、透過層へのコンタミがない多層構造型光記録媒体を製造することを実現できる多層構造型光記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、光または熱を用いて、信号が記録される層を複数有する多層構造型光記録媒体の製造方法において、温度調整可能な２つの対向する固定板の一方にプラスチック基板を固定し、他方に溝が形成されたスタンパを固定し、真空中で前記プラスチック基板と前記スタンパの間に、光または熱で硬化する樹脂を注入した後、硬化させて前記樹脂の表面上に前記スタンパの溝を転写することを特徴とし、この方法によって、真空下で溝と記録層を適宜積層しているので、透過層へのコンタミがない多層構造型光記録媒体を作ることが可能になる。
【００１３】
請求項２に記載の発明は、請求項１記載の多層構造型光記録媒体の製造方法において、真空圧を１３.３Ｐａ〜２６.６ｋＰａに設定することを特徴とする。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項１記載の多層構造型光記録媒体の製造方法において、樹脂を所定量注入するための供給系を大気圧下に設置することを特徴とし、この方法によって、機内と供給系の圧力差で該樹脂を供給することが可能になる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項１記載の多層構造型光記録媒体の製造方法において、プラスチック基板とスタンパとの間に、スペーサを設置することを特徴とし、この方法によって、高精度なスペーサを用いることにより、透過層の厚さを高精度にすることが可能になる。
【００１６】
請求項５に記載の発明は、請求項１記載の多層構造型光記録媒体の製造方法において、２つの固定台をガラスにより形成し、加熱温度を０.１℃単位で調整することを特徴とし、この方法によって、２つの固定板の温度を、それぞれ０.１℃単位で調整することが可能になり、形成溝の形状をほぼ等しく作成することが可能になる。
【００１７】
請求項６に記載の発明は、請求項１または４記載の多層構造型光記録媒体の製造方法において、スタンパの材質が、対向面に固定されたプラスチック基板の材質と略同じ熱膨張係数でかつ略同じ熱容量であることを特徴とし、この方法によって、スタンパとプラスチック基板とにおける温度状態が同じくなり、形成溝の形状を安定化させることが可能になる。
【００１８】
請求項７に記載の発明は、請求項１または３記載の多層構造型光記録媒体の製造方法において、樹脂の粘度が１０〜２０００ｍＰａ・ｓ（２５℃ Ｂ型粘度計）とすることを特徴とし、この方法によって、透過層（樹脂）において、バリを生じたり、あるいはキャビティ内での樹脂の展延時間が長くなったりすることをなくすことができる。
【００１９】
請求項８に記載の発明は、請求項１，３または７記載の多層構造型光記録媒体の製造方法において、樹脂の材質が４００〜８００ｎｍの光を８５％以上透過するものであることを特徴とし、この方法によって、どのような構成の光記録媒体（ＣＤ，ＤＶＤ，Ｂｌｕｅ−Ｒａｙ−Ｄｉｓｋ）の多層化においても対応可能になる。
【００２０】
請求項９に記載の発明は、請求項１記載の多層構造型光記録媒体の製造方法において、樹脂が紫外線硬化型樹脂の場合、紫外線の発生ランプとして、フラッシュ型の紫外線ランプを使用することを特徴とし、この方法によって、透過層材料として、紫外線硬化樹脂を硬化した後、でき上がった透過層（紫外線硬化樹脂）表面に、フラッシュランプを照射することにより、表面に付着したゴミや不純物を洗浄することができ、記録層製膜時のコンタミを少なくすることができる。
【００２１】
請求項１０に記載の発明は、請求項１〜９いずれか１項に記載の多層構造型光記録媒体の製造方法を実施する装置と、少なくとも一種以上の無機膜を製膜するスパッタ装置とを真空炉内において連動して、プラスチック基板の少なくとも一方の面に溝を形成し、前記スパッタ装置において前記プラスチック基板の表面上に、少なくとも一種以上の反射膜と記録膜と保護膜とからなる記録層を形成した後、樹脂とスタンパとにより前記記録層の表面上に溝を形成し、再び前記スパッタ装置で溝の形成された前記樹脂上に、少なくとも一種以上の反射膜と記録膜と保護膜とからなる記録層を積層することを特徴とし、この方法によって、スパッタ装置と請求項１〜９いずれか１項に記載の製造方法を実施する装置とが、真空炉内で連動しているため、コンタミがなく、平面度に優れた多層タイプの多層構造型光記録媒体を簡単に製造することが可能になる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、真空中でプラスチック基板とスタンパの間に、光または熱で硬化する樹脂を注入した後、硬化させて樹脂の表面上にスタンパの溝を転写することによって、真空下で溝と記録層を適宜積層することができるため、樹脂（透過層）へのコンタミがない多層構造型光記録媒体を製造することが実現する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。なお、以下の説明において、既に説明してある部材に対応する部材には同一符号を付してある。
【００２４】
図１〜図３に基づき本発明に係る多層構造型光記録媒体の製造方法の実施形態にて製造される多層構造型光記録媒体の構成例を説明する。図１は多層構造型光記録媒体の平面図、図２は図１におけるＡ−Ａ断面図、図３は図２におけるＡ部の拡大図である。
【００２５】
本実施形態における多層構造型光記録媒体１は、直径１２０ｍｍ、厚さ１.２ｍｍのポリカーボネイト樹脂で形成されている（厚さ０.６ｍｍの情報基板１４と厚さ０.６ｍｍのカバー基板１５とを貼り合せてなる）。
【００２６】
情報基板１４には、ポリカーボネイトの他、ガラス、オレフィン系樹脂あるいはアクリル樹脂などを用いることができるが、特に材料の限定はなく、単に、所定波長の光を８５％以上透過するものであれば何ら問題はない。ここでは、光の波長は４０５±５ｎｍの光を用いている。
【００２７】
また、カバー基板１５の材質に限定はないが、情報基板１４と同じ熱膨張率あるいは水分吸湿特性を有する材料が望ましく、本例ではポリカーボネイト樹脂を用いている。
【００２８】
情報基板１４は、ピックアップの対物レンズ１８にて集束されたレーザ光１７が入射する側であり、その表面には第１の案内溝（Ｌ１）１９が形成されている。案内溝の代わりピットが形成される場合もある。第１の案内溝（Ｌ１）１９の表面部には、第１の反射膜と保護膜と記録膜（以下、反射膜と保護膜と記録膜との層を記録層２０と記す）とが製膜されている。
【００２９】
そして、第１の記録層２０の表面部に第２の透過層１２が形成され、その表面部に第２の案内溝（Ｌ２）２１が形成され、第２の案内溝（Ｌ２）の表面に第２の記録層２０が製膜されている。
【００３０】
さらに多層の場合には、前記と同様に、第２の記録層２０の上に、第３の案内溝Ｌ３，第４の案内溝Ｌ４‥‥が順次形成され、最後に、情報基板１４とカバー基板１５とが、一般的なスピンコータ法にて、接着層により貼り合わされる構成になっている。
【００３１】
記録層２０の反射膜の材質としては、Ａｕ，Ｐｔ，Ａｇ，Ａｌ、あるいはそれら元素を含む化合物が挙げられるが、これに限定されない。本例では、価格あるいは機能の面から、ＡｌあるいはＡｇを主体とする無機化合物を用いた。
【００３２】
また、記録層２０の記録膜の材質としては、ＳｂＴｅを主体とした材料に数種の元素を添加した無機化合物を用いた。さらに、該記録膜を保護するために、ＳｉＯ２−ＺｎＳ膜（保護膜）を当該記録膜の上下面に積層してある。これらの記録膜ならびに保護膜の材質に限定はない。
【００３３】
（実施形態１）
図４（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施形態１を説明するための多層構造型光記録媒体の製造工程を示す説明図、図５（ａ）は図４（ｄ）におけるＢ部の拡大図、図５（ｂ）は図４（ｄ）におけるＣ部の拡大図である。
【００３４】
本実施形態では、先ず始めに、温度調整可能な２つの対向する固定板の一方（コア固定板）３１に、射出成形によってＬ１溝が形成された厚さ０.６ｍｍの情報基板１４を固定する（図４（ａ））。情報基板１４は、コアピン３２によって位置決めされる。該温度調整可能なコア固定板３１の材料にはガラスが使用されている。
【００３５】
他方の固定板（キャビ固定板）３３に溝が形成されたスタンパ３４を固定し（図４（ｂ））、キャビ固定板３３を下降させ、スペーサリング３５とスペーサピン３６に当接する寸前で停止する（図４（ｃ））。
【００３６】
情報基板１４ならびにスタンパ３４は真空吸着により固定されているが、これに限るものではなく、磁気，粘着剤などを利用して吸着するようにしても何ら問題はないが、本実施形態においては、スタンパ３４の材質がプラスチックであり、かつ使い捨てであるため、着脱がしやすいように真空吸着を採用した。
【００３７】
コア固定板３１内に形成された樹脂流路３７を通り、前記透過層１２となる樹脂がキャビティ３８内に注入される（図４（ｃ））。所定量注入された該樹脂が、毛細管現象ならびに圧力差によりキャビティ３８内に展延する。
【００３８】
前記樹脂（透過層）１２の種類として、紫外線硬化樹脂，嫌気性樹脂，熱硬化性樹脂，電子線硬化樹脂などが挙げられるが、後述するような特性を有するものであれば何ら問題はない。
【００３９】
スタンパ３４とスペーサリング３５ならびにスペーサピン３６が突き当たった状態で、熱あるいは紫外線を加えることにより樹脂１２が硬化し、前記スタンパ３４の溝を転写した透過層が形成される。
【００４０】
最後に、キャビ固定板３３とスペーサリング３５およびスペーサピン３６を元の位置に戻すことで、透過層の第１の案内溝（Ｌ１）が形成される。
【００４１】
真空で繋がった別室のスパッタ装置にて、第１の案内溝（Ｌ１）上に第２の案内溝（Ｌ２）が製膜され、さらに前記動作を繰り返し、案内溝Ｌ３，Ｌ４からなる記録層が積層される。
【００４２】
前記全ての動作は真空下で行われる。本実施形態において真空圧力は、１３.３Ｐａ〜２６.６ｋＰａに可変可能である。この理由は、真空圧力があまり高いと、透過層へのコンタミが問題になり、一方、真空圧が低過ぎると、情報基板あるいはスタンパを固定板に吸着する圧力を機内圧より低くする必要が生じ、エネルギーロスとなるからである。本実施形態では１.３３ｋＰａ〜２.６６ｋＰａに設定した。
【００４３】
また本実施形態では、前記樹脂を所定量注入するための供給系が大気圧下に設置したため、機内と供給系の圧力差で該樹脂を供給することが可能である。特許文献５に記載の技術のように大気中で樹脂を塗布しないため、コンタミの問題は全くなくなる。
【００４４】
（実施形態２）
本発明の実施形態２では、図４，図５に示すスペーサリング３５ならびにスペーサピン３６の材質を鋼にしている。該鋼材の加工方法は多種あって高精度化しやすい。本実施形態においては、スペーサ３５，３６の厚み精度は４０±０.５μｍに設定してある。これにより、均一な透過層膜厚を保持することが可能である。また厚さの絶対値に関しては、スペーサリング３５とコアピン（スペーサピン３６に内蔵）を変えればよい。さらに、スペーサリング３５ならびにスペーサピン３６の表面は、摺動性を改善するために表面処理が施されている。例えば摺動性の向上策として、フッ素樹脂などを塗布することが考えられる。
【００４５】
（実施形態３）
図６は本発明の実施形態３を説明するための断面図、図７は図６におけるＤ部の拡大図である。
【００４６】
熱あるいは紫外線により前記透過層（樹脂）１２を硬化する際に、スタンパ３４と情報基板１４の温度が異なると、熱膨張差の影響（矢印方向への変位）によって第１の案内溝（Ｌ１）１９と第２の案内溝（Ｌ２）２１のトラックピッチあるいは溝形状が異なってしまう。
【００４７】
これを回避するため、本実施形態では、２枚の固定板３１，３３のそれぞれに、温度を０.１℃単位でコントロール可能な温度コントロール装置を備えている。このため、熱膨張差に伴う前記のような不具合をコントロールすることが可能である。
【００４８】
また、本実施形態では、スタンパ３４の材質にはあらかじめ射出成形によって溝が形成されたポリカーボネイトを用いているため、情報基板１４とスタンパ３４の熱容量が等しく、より温度が同じになるようにコントロールしやすい。
【００４９】
また、スタンパ３４と情報基板１４とを同じ熱容量にすることにより、温度コントロールがより容易になる。さらに、固定板３１，３３がガラスからなるため、樹脂１２が紫外線硬化樹脂であっても確実に硬化することが可能になる。
【００５０】
スタンパ３４の材質に限定はない。透過層（樹脂）１２の材料と離型しやすい、あるいは離型しやすい材料を表面に施せれば、金属あるいは他の樹脂を採用することができるが、この場合、両固定板（キャビ固定板とコア固定板）３１，３３の温度を調整しなければならない。
【００５１】
（実施形態４）
図８（ａ），（ｂ）は本発明の実施形態４を説明するための一部断面図であり、図８（ａ）は図４（ｄ）におけるＢ部に対応する拡大図、図８（ｂ）は図４（ｄ）におけるＣ部に対応する拡大図である。
【００５２】
本実施形態における、透過層（樹脂）１２の粘度は１０〜２,０００ｍＰａ・ｓ（２５℃ Ｂ型粘度計）である。樹脂１２の粘度があまり低すぎると、スペーサピン３６とキャビ固定板３３間、スペーサピン３６と情報基板１４間（図８（ａ））、スペーサリング３５とスタンパ３４間、あるいはスペーサリング３５と情報基板１４間（図８（ｂ））に、樹脂１２が流れ込んでバリ３９となる他、透過層の膜厚分布が劣化する。
【００５３】
逆に、樹脂１２の粘度が高すぎると、キャビティ３８内での樹脂１２の展延時間が長くなってコスト高となる。機内の真空圧力をできる限り低くしたり、また、樹脂１２を注入する際のスタンパ３４と情報基板１４間の隙間を広げて調整することも可能であるが、本実施形態においては、１.３３ｋＰａの圧力下において、樹脂１２の粘度を２０〜３０ｍＰａ・ｓ（２５℃ Ｂ型粘度計）設定し、約２ｓｅｃで展延することを確認した。その際の膜厚は４０±１μｍであった。
【００５４】
（実施形態５）
図９（ａ）〜図１１（ａ）は本発明の実施形態５を説明するための一部断面図であり、図９（ｂ）〜図１１（ｂ）はそれぞれ図９（ａ）〜図１１（ａ）におけるＥ部，Ｆ部，Ｇ部の拡大図である。
【００５５】
図９〜図１１は既に製造あるいは販売されている光記録媒体を示すものであり、図９はＣＤ、図１０はＤＶＤ、図１１はＢｌｕｅ−Ｒａｙ−Ｄｉｓｋを示しており、本実施形態において、前記樹脂（透過層）１２として４００〜８００ｎｍの光を８５％以上透過する材料を用いているため、各種の光記録媒体の多層化に対応可能である（図には一層の例を示している）。
【００５６】
（実施形態６）
図１２は本発明の実施形態６における製造工程にて使用される樹脂硬化用のランプを示す平面図であり、本実施形態では、透過層１２の材料として、紫外線硬化樹脂を用いた場合に、該紫外線硬化樹脂を硬化するランプとして、渦巻き形状のフラッシュ型紫外線ランプ４０を使用した。本実施形態において使用したフラッシュランプは、ＸＥＮＯＮ社製ＲＣ−７４２型である。該フラッシュランプは７０μｓｅｃと短い間隔で紫外線を発光することが可能であり、キャビ固定板３３の温度上昇を低減することができる。したがって、実施形態３にて説明したような不具合が生じにくくなる。
【００５７】
また、硬化後にキャビ固定板３３とスタンパ３４を外し、でき上がった透過層（紫外線硬化樹脂）表面に、該フラッシュランプ４０を照射することにより、表面に付着したゴミや不純物を洗浄することも可能である。しいては記録層製膜時にコンタミが少なくなる。
【００５８】
前記透過層１２の材質には、波長４０５ｎｍのレーザ光が８５％以上透過し、かつ複屈折が２０ｎｍ以下（ダブルパス）の変性アクリル系樹脂を主成分とした紫外線硬化型樹脂を用いた。
【００５９】
（実施形態７）
図１３は本発明の実施形態７を説明するための多層構造型光記録媒体を示す平面図、図１４は図１３の多層構造型光記録媒体の断面図、図１５は図１４におけるＨ部の拡大図であり、本実施形態では、前記各実施形態を実施する装置と、少なくとも一種以上の無機膜を製膜するスパッタ装置とが真空炉内で連動するようにしているため、本実施形態のような４層タイプ（Ｌ１溝（案内溝）１９，Ｌ２溝２１，Ｌ３溝２５，Ｌ４溝２６）の多層構造型光記録媒体がコンタミなく、平面度がよく、かつ簡単に製造することができる。
【００６０】
図１６は本発明の応用例を説明するための光コネクタの断面図、図１７は図１６の光コネクタの平面図であり、Ｖ溝５２が加工された２枚のシリコン基板５１に光ファイバ５３が挟まれている。これを既述したコア固定板３１に固定し、キャビ固定板３３に円球状に加工されたマイクロレンズ５４用のスタンパを固定する。キャビティ部（ハッチング部）に樹脂を流して硬化すると、シリコン基板５１と光ファイバ５３とマイクロレンズ５４とが一体となった光コネクタ５０を製造することが可能である。
【００６１】
なお、図１６において、５５は光ファイバ５３とマイクロレンズ５４との光路を示している。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明は、光学的に信号を記録／再生する層を複数有するＣＤ，ＤＶＤ，Ｂｌｕｅ−Ｒａｙ−Ｄｉｓｋなどの多層構造型光記録媒体の製造方法として適用され、また、プラスチック微小光学素子、例えば、マイクロレンズアレイや光コネクタなどの製造にも応用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明に係る多層構造型光記録媒体の製造方法の実施形態にて製造される多層構造型光記録媒体の構成例を説明するための平面図
【図２】図１におけるＡ−Ａ断面図
【図３】図２におけるＡ部の拡大図
【図４】（ａ）〜（ｄ）は本発明の実施形態１を説明するための製造工程を示す説明図
【図５】（ａ）は図４（ｄ）におけるＢ部の拡大図、は図４（ｄ）におけるＣ部の拡大図
【図６】本発明の実施形態３を説明するための断面図
【図７】図６におけるＤ部の拡大図
【図８】（ａ），（ｂ）は本発明の実施形態４を説明するための一部断面図であり、（ａ）は図４（ｄ）におけるＢ部に対応する拡大図、（ｂ）は図４（ｄ）におけるＣ部に対応する拡大図
【図９】（ａ）は本発明の実施形態５を説明するための一部断面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＥ部の拡大図
【図１０】（ａ）は本発明の実施形態５を説明するための一部断面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＦ部の拡大図
【図１１】（ａ）は本発明の実施形態５を説明するための一部断面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＧ部の拡大図
【図１２】本発明の実施形態６を説明するための樹脂硬化用のランプを示す平面図
【図１３】本発明の実施形態７を説明するための多層構造型光記録媒体を示す平面図
【図１４】図１３の多層構造型光記録媒体の断面図
【図１５】図１４におけるＨ部の拡大図
【図１６】本発明の応用例を説明するための光コネクタの断面図
【図１７】図１６の光コネクタの平面図
【図１８】従来の多層構造型光記録媒体における問題点の説明図
【符号の説明】
【００６４】
１０  光記録媒体
１１  プラスチック基板
１２  樹脂（透過層）
１３  センタ孔
１４  情報基板
１５  カバー基板
１６  接着層
１７  レーザ光
１８  ピックアップレンズ
１９  Ｌ１溝（第１の案内溝）
２０  記録層（反射膜，記録膜，記録保護膜）
２１  Ｌ２溝
２２  ＣＤ（Compact Disk）
２３  ＤＶＤ（Digital Versatile Disk）
２４  Ｂｌｕｅ−Ｒａｙ−Ｄｉｓｋ
２５  Ｌ３溝
２６  Ｌ４溝
３０  溝形成装置
３１  コア固定板
３２  コアピン
３３  キャビ固定板
３４  スタンパ
３５  スペーサリング
３６  スペーサピン
３７  樹脂流路
３８  キャビティ
３９  バリ
４０  ランプ
５０  光コネクタ
５１  シリコン基板
５２  Ｖ溝
５３  光ファイバ
５４  マイクロレンズ
５５  光路
【図１】
2005235298.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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