(57)【要約】【課題】  簡易な構成で得られる画像の解像度を自由に変更可能とし、観察目的に合わせて、蛍光画像の明るさおよび観察深度を変更可能とする。【解決手段】  光源部６と、該光源部６から発せられた励起光の第１中間像を結像させる集光レンズ１４と、該中間像を集光させる結像レンズ２２と、該結像レンズ２２により集光された励起光の第２中間像を結像させる第１対物レンズ２と、前記第２中間像位置近傍に一端面４ａを配する光ファイバ束４と、該光ファイバ束４の他端面４ｂ側に配置され、該光ファイバ束４の他端面４ｂから発せられた光を試料Ａに結像させる第２対物レンズ５と、該第２対物レンズ５、光ファイバ束４、第１対物レンズ２、結像レンズ２２を介して戻る戻り光を撮像する撮像手段７とを備え、前記第１中間像位置Ｂに、該第１中間像を同時に受けるとともに選択的にオン、オフ可能な複数のミラー２０ａを配列してなる走査ミラー素子２０が配置されている光走査型観察装置１を提供する。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源部と、該光源部から発せられた励起光の第１中間像を結像させる集光レンズと、
該中間像を集光させる結像レンズと、
該結像レンズにより集光された励起光の第２中間像を結像させる第１対物レンズと、
前記第２中間像位置近傍に一端面を配する光ファイバ束と、
該光ファイバ束の他端面側に配置され、該光ファイバ束の他端面から発せられた光を試料に結像させる第２対物レンズと、
該第２対物レンズ、光ファイバ束、第１対物レンズ、結像レンズを介して戻る戻り光を撮像する撮像手段とを備え、
前記第１中間像位置に、該第１中間像を同時に受けるとともに選択的にオンオフ可能な複数のミラーを配列してなる走査ミラー素子が配置されている光走査型観察装置。
【請求項２】
前記走査ミラー素子を構成する各ミラーの動作パターンを制御する制御装置を備える請求項１に記載の光走査型観察装置。
【請求項３】
前記走査ミラー素子を構成する各ミラーと前記光ファイバ束を構成する各ファイバコアとが１対１に対応するように配置されている請求項１または請求項２に記載の光走査型観察装置。
【請求項４】
前記走査ミラー素子を構成する各ミラーと前記光ファイバ束を構成する各ファイバコアとが１対多、または多対１に対応するように配置されている請求項１または請求項２に記載の光走査型観察装置。
【請求項５】
前記第１中間像がライン状に形成され、
前記走査ミラー素子が、選択的にオンオフ可能な複数のミラーを少なくとも１列配列してなり、
該走査ミラー素子を構成する各ミラーにおいて反射された光を該ミラーの列方向に交差する方向に走査させるガルバノミラーを備える請求項１から請求項４のいずれかに記載の光走査型観察装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、光走査型観察装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の光走査型観察装置としては、特許文献１に示すものが知られている。
この光走査型観察装置は、蛍光顕微鏡からなる走査型レーザ顕微鏡と、この走査型レーザ顕微鏡が有する第１の対物レンズの焦点面に一端面が配置された光ファイバ束と、この光ファイバ束の他端面を光源とするように配置された第２の対物レンズとを備えている。
【０００３】
この光走査型観察装置によれば、光ファイバ束の端面を共焦点ピンホールとして機能させ、第２の対物レンズの焦点位置に集光したレーザ光によってその焦点位置において蛍光を生じさせ、生体の内部組織を取得することができる。
また、この特許文献１には、集光ディスクとピンホールディスクとを連結し、モータにより回転駆動する共焦点スキャナも開示されている。この共焦点スキャナを採用することにより、一度に複数点のスポットを試料において走査させ、高速に共焦点画像を得ることができる。
【特許文献１】特開２００３−３４４７７７号公報（図１等）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に示された光走査型観察装置は、固定式の共焦点ピンホールまたは所定のパターンのピンホールを備える単一のピンホールディスクを採用するものであるため、観察可能な領域が、生体の表面下の極めて薄く限られた深さ範囲内に限定されてしまう。このため、観察対象部位の検出や焦点合わせが困難であるという不都合がある。これを回避するために共焦点ピンホールやピンホールディスクを複数用意し、交換することも考えられるが、操作性が悪く、煩わしいという不都合がある。また、観察対象によっては、解像度を低下させても画像を明るく、深い深度の蛍光画像を得ることが好ましい場合もある。
【０００５】
この発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成で得られる画像の解像度を自由に変更可能とし、観察目的に合わせて、蛍光画像の明るさおよび観察深度を変更可能な光走査型共焦点観察装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
光源部と、該光源部から発せられた励起光の第１中間像を結像させる集光レンズと、該中間像を集光させる結像レンズと、該結像レンズにより集光された励起光の第２中間像を結像させる第１対物レンズと、前記第２中間像位置近傍に一端面を配する光ファイバ束と、該光ファイバ束の他端面側に配置され、該光ファイバ束の他端面から発せられた光を試料に結像させる第２対物レンズと、該第２対物レンズ、光ファイバ束、第１対物レンズ、結像レンズを介して戻る戻り光を撮像する撮像手段とを備え、前記第１中間像位置に、該第１中間像を同時に受けるとともに選択的にオン、オフ可能な複数のミラーを配列してなる走査ミラー素子が配置されている光走査型観察装置を提供する。
【０００７】
本発明によれば、光源部から発せられた励起光は集光レンズによって集光され第１中間像を形成する。第１中間像位置には走査ミラー素子が配置されているので、該走査ミラー素子を構成する複数のミラーを選択的にオン、オフさせることにより、第１中間像を形成する励起光を部分的に反射して、結像レンズ、第１対物レンズ、光ファイバ束および第２対物レンズを経て、試料に照射することができる。試料において発生した蛍光等の戻り光は該第２対物レンズ、光ファイバ束、第１対物レンズ、結像レンズを介して戻り、走査ミラー素子のオン状態のミラーにおいて反射されたもののみが撮像手段に撮像される。
【０００８】
そして、走査ミラー素子を構成するミラーの内、オン状態とするミラーを順次切り替えることにより、試料への励起光の照射位置を変化させ、広い範囲を観察することができる。走査ミラー素子を構成する各ミラーを十分に小さく形成しておくことにより、各ミラーを共焦点ピンホールとして機能させることが可能となり、試料の表面下の所定深さに広がる観察対象部位の共焦点蛍光画像を得ることができる。
【０００９】
この場合において、走査ミラー素子のミラーのオンオフ状態は任意に変更することができるので、オンオフ状態を切り替えることにより、複数の共焦点ピンホール部材を交換するのと同じ効果を達成することができる。すなわち、高い解像度の共焦点画像を得たい場合には、一度にオン状態とするミラーの数を少なくし、明るく、深度の深い画像を得たい場合には、隣接する複数のミラーを同時にオン状態とすることにより対応できる。
【００１０】
上記発明においては、記走査ミラー素子を構成する各ミラーの動作パターンを制御する制御装置を備えることが好ましい。
制御装置の作動により、予め定められた動作パターンで各ミラーを制御することにより、所望の観察形態を選択して、観察対象に合わせた観察を行うことができる。また、制御装置により簡易かつ高速に動作パターンを変化させることができる。
【００１１】
また、上記発明においては、前記走査ミラー素子を構成する各ミラーと前記光ファイバ束を構成する各ファイバコアの端面とが１対１に対応するように配置されていることが好ましい。このようにすることで、走査ミラー素子または光ファイバ束のいずれによっても解像度を制限されることがなく、効率よく光を伝播することができる。
【００１２】
さらに、上記発明において、前記走査ミラー素子を構成する各ミラーと前記光ファイバ束を構成する各ファイバコアの端面とが１対多、または多対１に対応するように配置されていることとしてもよい。
このようにすることで、走査ミラー素子または光ファイバ束のいずれかによって解像度が制限されることになるが、走査ミラー素子における共焦点ピンホール効果を低減して、明るく、かつ、深度の深い画像を得ることができる。
【００１３】
また、上記発明において、前記第１中間像がライン状に形成され、前記走査ミラー素子が選択的オンオフ可能な複数のミラーを少なくとも１列に配列してなり、該走査ミラー素子を構成する各ミラーにおいて反射された光を該ミラーの列方向に交差する方向に走査させるガルバノミラーを備えることとしてもよい。
このようにすることで、走査ミラー素子の作動によって一方向に励起光を走査し、ガルバノミラーによってそれに交差する方向に励起光を走査するので、試料において２次元的に励起光を走査することができる。この場合において、第１中間像をライン状に形成することにより、２次元的な第１中間像を形成する場合と比較して、光源部から発せられる励起光を狭い領域に集中させることができるので、明るい画像を得ることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、得られる画像の解像度を簡易な構成によって自由に変更可能とし、観察目的に合わせて、蛍光画像の明るさおよび観察深度を変更することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の一実施形態に係る光走査型観察装置について、図１および図２を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る光走査型観察装置１は、図１に示されるように、第１対物レンズ２を備える装置本体３と、該第１対物レンズ２の結像位置に一端面４ａを配置した光ファイバ束４と、該光ファイバ束４の他端面４ｂ側に配置され、他端面４ｂから発せられた光を試料Ａ上に結像させる第２対物レンズ５とを備えている。
【００１６】
装置本体３には、励起光を発生する光源部６と、試料Ａから戻ってきた戻り光を撮像する光電子増倍管のような撮像手段７を備える撮像部８と、光源部６から発せられた励起光を２次元的に走査させる光走査部９とが備えられている。
【００１７】
前記光源部６は、キセノンランプ等の白色光源１０と、該白色光源１０から発せられた白色光を透過させて励起波長を有する励起光を発生する励起フィルタ１１と、該励起フィルタ１１から出射された励起光を集光させる集光レンズ１２と、照明範囲を制限する視野絞り１３とを備えている。また、光源部６には、視野絞り１３を透過した励起光を集光して、第１中間像を結像させる集光レンズ１４が備えられている。
【００１８】
前記撮像部８は、試料Ａ側から戻ってきた反射光や蛍光等の戻り光を透過させ励起光を遮断するバリアフィルタ１５と、戻り光の光量を測定する測光フィルタ１６と、戻り光を撮像手段７に結像させる焦点レンズ１７とを備えている。また、撮像部８には、第１中間像位置Ｂから発せられた戻り光を集光して平行光に変換する集光レンズ１８が備えられている。
【００１９】
光源部６からの励起光の入射光軸と、撮像素子７の光軸とは相互に交差して配置され、その交点に、励起光を選択的に反射し、他の戻り光を透過させるダイクロイックミラー１９が配置されている。
【００２０】
前記光走査部９は、図２に示されるように、複数の微小なミラー２０ａを２次元的に配列してなるデジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）のような走査ミラー素子２０により構成されている。走査ミラー素子２０を構成する各ミラー２０ａは、外部の制御装置２１からの動作指令により選択的にオンオフされるようになっている。各ミラー２０ａは、オン状態に配されると、光源部６側から入射された励起光を第１対物レンズ２に向かう光路内に反射し、第１対物レンズ２方向から入射された戻り光を撮像手段７に向かう光路内に反射するようになっている。一方、各ミラー２０ａはオフ状態に配されると、これらの光路から外れる方向（図１中矢印Ｃの方向）に励起光および戻り光を反射するようになっている。
【００２１】
光走査部９を構成する走査ミラー素子２０は、前記集光レンズ１４による第１中間像位置Ｂに配置されている。そして、白色光源１０の第１中間像を複数のミラー２０ａにおいて同時に受けてオン状態となっているミラー２０ａによって第１対物レンズ２の方向に反射するようになっている。
【００２２】
走査ミラー素子２０は、上述したように制御装置２１によって任意の動作パターンで各ミラー２０ａのオンオフ状態を切り替えるようになっている。例えば、図２（ａ）は、斜線Ｘで示す単一のミラー２０ａのみをオン状態とする形式の動作パターンであり、図中に矢印で示される順序に従って、オン状態となるミラー２０ａを切り替えていくことにより、２枚のガルバノミラーを直交する２軸回りにそれぞれ揺動させて光スポットを走査させる場合と同様に、単一の光スポットを試料Ａにおいて走査させることができる。
【００２３】
また、図２（ｂ）は、正方配列されたミラー２０ａの内、全ての行の斜線Ｘで示すミラー２０ａを１つずつオン状態にした動作パターン例である。隣り合う行のオン状態となるミラー２０ａは行に沿う方向にずれて配置されており、全ての行にわたって、図に矢印で示されるようにオン状態のミラー２０ａを順次切り替えていくことで、２次元的な走査を行うことができるようになっている。
【００２４】
また、図２（ｃ）は、隣り合う複数のミラー２０ａを同時にオン状態とする場合の動作パターン例である。同時にオン状態とされる斜線Ｘで示す複数のミラー２０ａの位置を矢印に示すように移動させることで、大きな光スポットを試料Ａにおいて２次元的に走査させることができるようになっている。
【００２５】
また、走査ミラー素子２０を構成する各ミラー２０ａと、光ファイバ束４を構成する各光ファイバのファイバコア２５とは、図３に示されるように、１対１に対応づけられている。これにより、単一のミラー２０ａのみをオン状態にしたときには、該ミラー２０ａにより反射された励起光は、予め定められた単一のファイバコア２５に入射させられるようになっている。一方、単一のファイバコア２５から出射された光は、該ファイバコア２５に予め対応づけられた単一のミラー２０ａのみに入射されて反射されるようになっている。
【００２６】
なお、図中符号２２は、光走査部９と第１対物レンズ２との間に配置され、光走査部９において反射された励起光を平行光に変換して第１対物レンズ２に入力させる結像レンズである。また、符号２３は撮像手段７により撮像された画像を表示するモニタである。
【００２７】
このように構成された本実施形態に係る光走査型観察装置１の作用について説明する。
本実施形態に係る光走査型観察装置１を用いて観察を行うには、作業者が、第２対物レンズ５を備えた測定ヘッド２４を試料Ａに対して自由に移動させて、適正な観察を行うのに適した位置に配置する。測定ヘッド２４は比較的大きな装置本体３から切り離され、光ファイバ束４によって接続されているので、光ファイバ束４を自由に湾曲させることで、試料Ａに対する適正な位置および姿勢に配置することができる。
【００２８】
この状態で、図２（ｄ）に示されるように、走査ミラー素子２０の全てのミラー２０ａをオン状態として、光源部６から発せられた励起光を集光レンズ１４によって走査ミラー素子２０上に集光させ、走査ミラー２０上に第１中間像を結像させる。走査ミラー素子２０の全てのミラー２０ａがオン状態とされているので、第１中間像はそのまま走査ミラー素子２０によって反射され結像レンズ２２および第１対物レンズ２を経て光ファイバ束４に入射させられる。
【００２９】
走査ミラー素子２０の各ミラー２０ａと光ファイバ束４の各ファイバコア２５とは１対１で対応づけられているので、励起光は全てのファイバコア２５を伝播して第２対物レンズ５により試料Ａ上に結像される。試料Ａにおいて発生した蛍光は、第２対物レンズ５、光ファイバ束４、第１対物レンズ２、結像レンズ２２、走査ミラー素子２０、ダイクロイックミラー１９、集光レンズ１８、バリアフィルタ１５、測光フィルタ１６および集光レンズ１７を透過して撮像手段７により撮像される。
【００３０】
この場合において、走査ミラー素子２０は全てのミラー２０ａがオン状態とされているため、共焦点効果は発生しておらず、試料Ａ内部の所定の深さ位置に配される焦点位置からの蛍光画像のみを見ることは困難であるが、大光量の明るい蛍光画像を得ることができるとともに、深さ方向に広い範囲から発せられた蛍光を撮像手段７によって取得するので、作業者は、モニタ２３を見ながら容易に所望の観察対象部位を探すことができ、また、その観察対象部位に焦点を合わせることができる。
【００３１】
観察対象部位の確認と焦点位置合わせが終了した後には、作業者は、制御装置２１により走査ミラー素子２０を所定の動作パターンで制御させる測定モードに切り替える。
例えば、図２（ａ）示される動作パターンを実施させる場合、光源部６から発せられた励起光がダイクロイックミラー１９を介して走査ミラー素子２０に入射させられると、励起光はオン状態となっている単一のミラー２０ａにおいてのみ反射され、結像レンズ２２および第１対物レンズ２を介して光ファイバ束４の一端面４ａに配されている対応するファイバコア２５端面に入射させられる。光ファイバ束４内を伝播された励起光は、第２対物レンズ５を介して試料Ａに照射され、試料Ａにおいて蛍光を発生させる。
【００３２】
試料Ａにおいて発生した蛍光は、第２対物レンズ５、光ファイバ束４、第１対物レンズ２および結像レンズ２２を介して走査ミラー素子２０に戻る。試料Ａにおいては種々の位置において蛍光が発生され、第２対物レンズ５に入射するが、光ファイバ束４の一端面４ａのファイバコア２５と走査ミラー素子２０の各ミラー２０ａとそれぞれ中間像を形成する共役な位置に配置されているので、共焦点ピンホール効果によって、試料Ａの所定深さ位置から発せられる蛍光のみが撮像手段７によって撮像される。これにより、通常の固定共焦点ピンホールを用いた場合と同様、所定の深さ位置に広がる試料内部の鮮明な蛍光画像を得ることができる。
【００３３】
本実施形態に係る光走査型観察装置１によれば、光ファイバ束４のファイバコア２５と走査ミラー素子２０のミラー２０ａとが１対１に対応しているので、走査ミラー素子２０のミラー２０ａにおいて反射された励起光を、光ファイバ束４のクラッド部２６によってけられることなく、ファイバコア２５に入射させることができる、したがって、励起光を無駄なく効率よく利用することができるという利点がある。
【００３４】
また、制御装置２１によって、図２（ｂ）に示される動作パターンを用いて走査ミラー素子２０の各ミラー２０ａのオンオフ状態を切り替えることにより、共焦点ディスクの場合と同様に、多数の光スポットを同時に試料Ａに照射して、各位置からの蛍光を同時に撮像できる。したがって、迅速な蛍光観察を行うことができるという利点がある。
【００３５】
さらに、制御装置２１によって、図２（ｃ）に示される動作パターンにを用いて走査ミラー素子２０の各ミラー２０ａのオンオフ状態を切り替えることにより、比較的大きな光スポットによって試料Ａを走査することができる。
この場合には、試料Ａの内部に配置された焦点位置から外れた観察対象部位近傍において発生した蛍光も光ファイバ束４の一端面４ａおよび走査ミラー素子２０を通過することが可能となるため、共焦点効果が低減する反面、撮像手段７に得られる蛍光量を増大させて明るい画像を得ることができる。すなわち、解像度が若干低下しても明るい蛍光画像による観察を行いたい用途や、深さ方向に広い範囲にわたる蛍光画像を取得したい用途に有効である。
【００３６】
このように、本実施形態に係る光走査型観察装置１によれば、制御装置２１からの指令信号によって走査ミラー素子２０を構成する各ミラー２０ａのオンオフを任意の動作パターンで制御することにより、得られる蛍光画像の解像度を自由に可変にすることができる。このとき、解像度の低下と引き替えに、蛍光量を増大させて明るい画像を得ることができるとともに、深さ方向に広い範囲にわたる観察を行うことができる。
【００３７】
なお、本実施形態に係る光走査型観察装置１においては、走査ミラー素子２０の各ミラー２０ａと光ファイバ束４の各ファイバコア２５とを１対１に対応づけることとしたが、これに代えて、１対多あるいは多対１に対応づけることにしてもよい。１対多（例えば１対４，１対９等）、多対１（例えば、４対１、９体１等）に対応づけることとすれば、１対１の場合と比較して、解像度を低下させることになるが、得られる蛍光量を増大させて明るい蛍光画像を得ることができる。また、対応づけるミラー２０ａとファイバコア２５との比率を全てのミラー２０ａに対して一定にしておくことにより、蛍光画像における明暗を生ずることなく均一な蛍光画像を得ることができる。
【００３８】
また、本実施形態に係る光走査型観察装置１においては、光源部６として、キセノンランプや水銀ランプのような白色光源１０と励起フィルタ１１とを組み合わせたものを採用したが、これに代えて、レーザ光源を採用することにしてもよい。
【００３９】
次に、本発明の第２の実施形態に係る光走査型観察装置３０について、図４を参照して以下に説明する。
本実施形態の説明においては、上述した第１の実施形態に係る光走査型観察装置１と構成を共通とする箇所に同一符号を付して説明を簡略化する。
【００４０】
本実施形態に係る光走査型観察装置３０は、光源部３１が、レーザ光源３２とシリンドリカルレンズ３３とを備え帯状の平行光を発生する点、および光走査部３４の構造が異なる点において第１の実施形態に係る光走査型観察装置１と相違している。
光源部３１には、コリメートレンズ３５が備えられ、レーザ光源３２から発せられたレーザ光を平行光に変換するようになっている。
【００４１】
光走査部３４は、光源部３１から発せられた帯状のレーザ光を集光レンズ３６の第１中間像位置Ｂにおいて反射する走査ミラー素子３７と、該走査ミラー素子３７において反射されたレーザ光を帯状の平行光にするコリメートレンズ３８と、該コリメートレンズ３８から出射された帯状の平行光を反射するガルバノミラー３９と該ガルバノミラー３９により反射されたレーザ光を集光して第３中間像位置Ｄに第３中間像を結像させる瞳投影レンズ４０とを備えている。
【００４２】
走査ミラー素子３７は、図５に示されるように、帯状のレーザ光Ｌを同時に入射させる位置に一列に配列された複数のミラー３７ａを備えており、各ミラー３７ａのオンオフ状態を配列方向に順次切り替えていくことにより、レーザ光Ｌを一方向に走査させることができるようになっている。
前記ガルバノミラー３９は、前記走査ミラー素子３７によるレーザ光Ｌの走査平面内に配置される軸線回りにモータ４１により回転させられるようになっている。これにより、走査ミラー素子３７によって一方向に走査されたレーザ光Ｌを、ガルバノミラー３９によって、これに交差する方向にさらに走査させることができるようになっている。
すなわち、本実施形態によっても、光走査部３４により、レーザ光が２次元方向に走査され、光ファイバ束４の一端面４ａに入射されるようになっている。
【００４３】
このように構成された本実施形態に係る光走査型観察装置３０によれば、ミラーを１列配列してなる走査ミラー素子３７と１軸のガルバノミラー３９との組合せにより、簡易な構成で試料Ａを２次元的に走査することができる。この場合に、２枚のガルバノミラーにより走査する場合と比較して、走査ミラー素子３７に帯状の平行光を入射させるので、走査ミラー素子３７を構成する各ミラー３７ａにより反射されるレーザ光Ｌの光量を大きくすることができる。したがって、高い光量のレーザ光を試料Ａに入射させ、明るい蛍光画像を得ることができる。
【００４４】
なお、本実施形態に係る光走査型観察装置３０においては、走査ミラー素子３７として、ミラー３７ａを１列に配列したものを採用したが、これに代えて、図６に示されるように、２列以上（図６は例えば４列）配列したものを採用してもよい。そして、同時にオン状態にするミラー３７ａを任意に選択（例えば、図６に斜線Ｘで示されるように４個を選択）することにより、第１実施形態に係る光走査型観察装置１と同様の効果を達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る光走査型観察装置を示す全体構成図である。
【図２】図１の光走査型観察装置の走査ミラー素子の動作パターン例を示す図である。
【図３】本発明の走査ミラー素子と光ファイバ束のファイバコアとの対応を示す模式図である。
【図４】本発明の第２の実施形態に係る光走査型観察装置を示す全体構成図である。
【図５】図４の光走査型観察装置の走査ミラー素子を示す模式図である。
【図６】図５の変形例を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４６】
Ａ  試料
Ｂ  第２中間像位置
１，３０  光走査型観察装置
２  第１対物レンズ
４  光ファイバ束
４ａ  一端面
４ｂ  他端面
５  第２対物レンズ
６，３１  光源部
７  撮像手段
１４，３６  集光レンズ
２０，３７  走査ミラー素子
２０ａ，３７ａ  ミラー
２１  制御装置
２２  結像レンズ
２５  ファイバコア
３９  ガルバノミラー
【図１】
2005275206.tif 000003
【図２】
2005275206.tif 000004
【図３】
2005275206.tif 000005
【図４】
2005275206.tif 000006
【図５】
2005275206.tif 000007
【図６】
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