(57)【要約】【課題】信号線の本数を増やすことなく本体側でレーザ素子の発光強度の設定を行えるようにする。【解決手段】本体部２は、投光信号発生回路５で投光オン信号を生成し、重畳信号生成回路６で投光レベル信号を生成し、信号合成回路７で合成して駆動信号として信号線４を介してヘッド部３に出力する。ヘッド部４は、信号分離回路８で投光オン信号と投光レベル信号を分離し、駆動回路９によりレーザダイオード１０を投光オン信号に応じて点灯制御する。自動出力制御回路１１ｂは、基準信号生成回路１１ａから基準信号が与えられ、フォトダイオード１２でモニタする受光信号レベルが投光レベル信号に一致するように駆動回路に制御信号を与える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ光を出力するヘッド部と、このヘッド部に投光信号線を介して駆動信号を与える本体部とからなるヘッド分離型レーザ投光装置において、
前記ヘッド部は、
レーザ素子と、
このレーザ素子の発光強度をモニタするモニタ用受光素子と、
前記投光信号線を介して受信する駆動信号を投光オン信号と投光レベル信号とに分離する信号分離手段と、
前記レーザ素子を前記投光オン信号に対応して駆動制御すると共に、前記モニタ用受光素子による受光信号のレベルが前記投光レベル信号のレベルと等しくなるように前記レーザ素子の発光強度を制御する制御手段とを備え、
前記本体部は、
前記投光オン信号を生成する投光信号生成手段と、
外部から操作入力が可能な入力手段と、
この入力手段による操作入力を受け付けてその入力に応じた前記投光レベル信号を生成するレベル信号生成手段と、
前記投光オン信号および投光レベル信号を合成して前記駆動信号を生成する信号合成手段とを備えた構成とされていることを特徴とするヘッド分離型レーザ投光装置。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッド分離型レーザ投光装置において、
前記投光オン信号はパルス信号で投光タイミングをとる投光タイミングパルス信号からなり、
前記信号合成手段は、前記投光タイミングパルス信号を投光レベル信号に相当する波高値に変換することにより前記駆動信号を生成することを特徴とするヘッド分離型レーザ投光装置。
【請求項３】
請求項１に記載のヘッド分離型レーザ投光装置において、
前記投光オン信号はパルス信号で投光タイミングをとる投光タイミングパルス信号からなり、
前記信号合成手段は、前記投光タイミングパルス信号を投光レベル信号に相当するパルス幅に変換することにより前記駆動信号を生成することを特徴とするヘッド分離型レーザ投光装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載のヘッド分離型レーザ投光装置の構成を含んでなるヘッド分離型レーザセンサにおいて、
前記ヘッド部に設けられ前記レーザ素子により投光された光の帰還光を受光する帰還光受光素子と、
この帰還光受光素子の受光信号を前記本体部に送信するための受光信号線と、前記本体部に設けられ前記受光信号線を介して受信する前記帰還光受光素子からの受光信号に基づいて検出処理を行う検出手段とを備えた構成とされていることを特徴とするヘッド分離型レーザセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ光を出力するヘッド部と、このヘッド部に投光信号線を介して駆動信号を与える本体部とからなるヘッド分離型レーザ投光装置およびこの構成を含んでなるヘッド分離型レーザセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、レーザ投光装置としては例えば光電センサなどに用いられ、投光部としてのレーザ投光装置と受光素子とを組み合わせた構成のものがあり、このレーザ光を投光する部分においては、レーザダイオードから発光している光を近傍に配置したフォトダイオードなどのモニタ用受光素子にて受光し、その受光信号レベルが基準電圧レベルと等しくなるように制御信号をレーザ駆動用回路にフィードバックさせてレーザ発光強度を一定に保つ自動出力制御回路をもっている。これにより、安定した投光動作を行うことができるものである。このようなレーザ投光装置としては例えば特許文献１に示すようなものがある。
【０００３】
そして、このようなレーザ投光装置のうちで、ヘッド分離型のものは、レーザ光を出射する部位の設置スペースが制約を受ける場合や、投光動作や各種の設定などで操作するのに作業がやりにくい位置に設置する場合などに好適なもので、投光動作に必要なレーザ素子やモニタ用受光素子と自動出力制御回路などの構成が設けられ、信号線を介して接続される本体部から駆動信号を与えるように構成されている。このようなレーザ投光装置としては例えば特許文献２に示すようなものがある。
【０００４】
【特許文献１】
特開平８−２４２０３１号公報
【０００５】
【特許文献２】
特開平６−３１０７８５号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記したようなヘッド分離型レーザセンサにおいては、検出物体を比較的近い位置で検知する場合がある。通常は規格の範囲の最も遠い位置での検知が可能となるようにレーザ光の出力が設定されているので、近い方での検知動作では、検出物体で反射するレーザ光を受光する受光素子の受光信号レベルが高くなりすぎて飽和することがある。また、レーザセンサの検出領域に背景等が存在している時、この背景からの反射光によって受光量が飽和してしまう場合があり、このような場合にはレーザ素子の発光強度を変更してやる必要がある。
【０００７】
レーザの発光出力の変更設定は、自動出力制御回路に与える基準電圧を変化させることで行える。しかしながら、上述したようなヘッド分離型レーザセンサの場合には、ヘッド部の取付場所や取付スペースは制約されていることが多く、またヘッド部は小型であることが望ましい点からヘッド部自体に可変抵抗等の出力調整手段を設けることは難しい。このため、本体部側から制御を行う構成とすることが望ましいが、この場合には制御用の信号線が新たに必要となりこれによって配線の引き回しがやりにくくなって制約を受けたり、断線の確率が高くなるなどのトレードオフ要素が出てくる。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、信号線の本数を増やすことなくレーザ素子の発光強度を変更設定することができるようにしたヘッド分離型レーザ投光装置およびヘッド分離型レーザセンサを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、
レーザ光を出力するヘッド部と、このヘッド部に投光信号線を介して駆動信号を与える本体部とからなるヘッド分離型レーザ投光装置において、
前記ヘッド部を、
レーザ素子と、
このレーザ素子の発光強度をモニタするモニタ用受光素子と、
前記投光信号線を介して受信する駆動信号を投光オン信号と投光レベル信号とに分離する信号分離手段と、
前記レーザ素子を前記投光オン信号に対応して駆動制御すると共に、前記モニタ用受光素子による受光信号のレベルが前記投光レベル信号のレベルと等しくなるように前記レーザ素子の発光強度を制御する制御手段とから構成し、
前記本体部を、
前記投光オン信号を生成する投光信号生成手段と、
外部から操作入力が可能な入力手段と、
この入力手段による操作入力を受け付けてその入力に応じた前記投光レベル信号を生成するレベル信号生成手段と、
前記投光オン信号および投光レベル信号を合成して前記駆動信号を生成する信号合成手段とから構成したところに特徴を有する。
【００１０】
上記構成によれば、本体部において投光信号生成手段により投光オン信号を生成し、レベル信号生成手段により外部からの操作入力を受け付けてその入力に対応した投光レベル信号を生成し、信号合成手段にてこれらの信号を合成して駆動信号を生成して信号線を介してヘッド部に出力する。ヘッド部においては、信号分離手段により投光オン信号と投光レベル信号に分離し、制御手段により、レーザ素子を投光オン信号に対応して駆動制御すると共に、モニタ用受光素子による受光信号のレベルが投光レベル信号と等しくなるようにレーザ素子の発光強度を制御するので、信号線の本数を増やすことなく本体側からレーザ素子の発光強度を変更設定することができるようになる。
【００１１】
請求項２の発明は、上記請求項１の発明において、前記投光オン信号をパルス信号で投光タイミングをとる投光タイミングパルス信号とし、前記信号合成手段を、前記投光タイミングパルス信号を投光レベル信号に相当する波高値に変換することにより前記駆動信号を生成するように構成したところに特徴を有する。
【００１２】
上記構成によれば、信号合成手段において、投光オン信号を投光タイミングパルス信号として生成し、その投光タイミングパルス信号を投光レベル信号に相当する波高値に変換することで駆動信号を生成するので、パルス投光することで低消費電力化を図ることができるようになる。
【００１３】
請求項３の発明は、前記請求項１の発明において、前記信号合成手段を、前記投光オン信号としての投光タイミングパルス信号を投光レベル信号に相当するパルス幅に変換することにより駆動信号を生成するように構成したところに特徴を有する。
【００１４】
上記構成によれば、信号合成手段において、投光オン信号としての投光タイミングパルスを投光レベル信号に相当するパルス幅に変換して駆動信号を生成するので、上記した請求項２の発明と同様の効果を得ることができるようになる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の基本構成について図１を参照して説明する。
【００１６】
図１はヘッド分離型レーザ投光装置１の機能ブロック構成を示すもので、本体部２とヘッド部３及びこれらをつなぐ信号線４から構成されている。本体部２には、投光オン信号を生成する投光信号生成手段としての投光信号生成回路５と、投光レベル信号を生成する重畳信号生成手段としての重畳信号生成回路６および投光オン信号と投光レベル信号とを合成した駆動信号を信号線４に出力する信号合成手段としての信号合成回路７が設けられている。
【００１７】
ヘッド部３には、信号分離手段としての信号分離回路８、駆動回路９、レーザ素子としてのレーザダイオード１０、基準信号生成回路１１ａ、自動出力制御回路１１ｂおよびモニタ用受光素子としてのフォトダイオード１２が設けられている。信号分離回路８は、信号線４を介して受信する駆動信号を投光オン信号と投光レベル信号とに分離する回路で、投光オン信号を駆動回路９に出力し、投光レベル信号を基準信号生成回路１１ａに出力する。
【００１８】
駆動回路９は、投光オン信号が入力されるとレーザダイオード１０を駆動するとともに、その発光強度を自動出力制御回路１１ｂから与えられる制御信号に基づいて制御する。基準信号生成回路１１ａは投光レベル信号が入力されるとレーザダイオード１０の発光強度を設定する基準信号を生成して自動出力制御回路１１ｂに出力する。自動出力制御回路１１ｂは、フォトダイオード１２により受光したレーザダイオード１０の発光強度に対応した受光信号のレベルが基準信号のレベルと一致するように駆動回路９に制御信号を出力する。また、上記構成のうちで駆動回路９、基準信号生成回路１１ａおよび自動出力制御回路１１ｂにより制御手段１３が構成されている。
【００１９】
上記構成において、本体部２は、投光信号生成回路５により投光オン信号を生成し、基準信号生成回路１１ａにより投光レベル信号を生成し、信号合成回路７においてこれら投光オン信号と投光レベル信号とを合成した駆動信号生成して信号線４に出力する。このとき、投光レベル信号は、基準信号生成回路１１ａにおいて外部からの操作入力によりレーザダイオード１０の発光強度に対応するレベルの信号として生成されるようになっている。
【００２０】
ヘッド部３は、信号線４を介して駆動信号を受信すると、信号分離回路８において投光オン信号と投光レベル信号とに分離し、駆動回路９においては、投光オン信号に応じてレーザダイオード１０に電流を通電して点灯制御する。このとき駆動回路９は、自動出力制御回路１１ｂから与えられる制御信号に応じてレーザダイオード１０への電流を制御して投光強度を基準信号に対応したレベルとなるように制御する。
【００２１】
自動出力制御回路１１ｂは、基準信号生成回路１１ａから出力される基準信号のレベルに対してフォトダイオード１２で受光したレーザダイオード１０の受光信号のレベルが一致するように制御信号を生成して駆動回路９に出力する。
【００２２】
上記構成によれば、本体部２でレーザダイオード１０の発光強度を設定する投光レベル信号を投光オン信号と合成して信号線４を介してヘッド部３に送信し、ヘッド部３にてこれを分離するので、信号線４の本数を増やすことなくレーザダイオード１０の発光強度の変更設定を本体２側から行うことができるようになる。
【００２３】
（第１の実施形態）
次に、上記した基本構成の具体的な実施形態についてその第１の実施形態を図２および図３を参照して説明する。なお以下の説明においては、上記した基本構成と同一部分には同一符号を付すとともにその説明は省略する。
【００２４】
投光信号生成回路５は、投光オン信号として所定の電圧レベルの信号を出力する定電圧回路１４からなり、電源電圧Ｖｉｎ＋が外部から与えられるようになっている。重畳信号生成回路６は、入力手段としての切替スイッチ１５と２つのツェナーダイオード１６，１７からなるもので、切替スイッチ１５によりいずれかのツェナーダイオード１６または１７を選択すると、そのツェナー電圧Ｖｄ１もしくはＶｄ２（＜Ｖｄ１）を出力する回路として構成されている。信号合成回路７は直流成分を加算して出力する加算回路１８から構成されている。
【００２５】
信号線４は２本の信号線４ａ、４ｂが配設されており、図示しないコネクタなどにより本体部２およびヘッド部３と接続するように構成されている。この場合において、信号線４ｂは本体部２およびヘッド部３のグランド端子間を接続すると共に、本体部２を介して外部の電源端子Ｖｉｎ−に接続されている。
【００２６】
次にヘッド部３において、信号分離回路８はオペアンプ１９と減算回路２０とから構成されており、本体部２より信号線４ａを介して供給される駆動信号をオペアンプ１９にて比較をし、規定電圧を出力する。このとき、規定電圧を駆動信号と同じ電圧にすることで投光オン信号を取り出すことができる。また、取り出した投光オン信号と信号線４ａから入力する駆動信号を減算回路にて減算することにより投光レベル信号としてのツェナー電圧Ｖｄ１またはＶｄ２を取り出すことができる。
【００２７】
基準信号生成回路１１ａは、抵抗器２１，２２を直列接続してなる分圧回路から構成されており、信号分離回路８にて取り出したツェナー電圧Ｖｄ１もしくはＶｄ２を抵抗器２１及び２２（抵抗値はＲ１，Ｒ２）の分圧にて電圧を調整して自動出力制御回路１１ｂに出力する。
【００２８】
自動出力制御回路１１ｂは、２個のオペアンプ２３，２４から構成されている。オペアンプ２４は、モニタ用受光素子としてのフォトダイオード１２の受光信号をオペアンプ２４により電流電圧変換して電圧信号として出力し、これをオペアンプ２３にて基準信号生成回路１１ａの減算回路２０の出力信号に等しくなるように制御信号を生成して出力する。
【００２９】
駆動回路９は、駆動用のトランジスタ２５からなり、コレクタには信号分離回路８のオペアンプ１９の出力信号が与えられ、ベースには自動出力制御回路１１ｂのオペアンプ２３から出力信号が与えられるように構成され、エミッタに抵抗２６を介して接続されるレーザダイオードとしてのレーザダイオード１０を駆動する。
【００３０】
次に、上記構成の作用について図３も参照して説明する。例えば、本体部２の重畳信号生成回路６にて切替スイッチ１５によりツェナーダイオード１６を選択すると、そのツェナー電圧Ｖｄｌが信号合成回路７にて駆動信号Ｖａに重畳され、信号線４ａを介してヘッド部３の信号分離回路８へ供給される。図３（ａ）は投光信号生成回路５の出力信号である投光オン信号Ｖａのレベルを示しており、同図（ｂ）は投光オン信号Ｖａにツェナー電圧Ｖｄ１を加算した駆動信号を示している。
【００３１】
ヘッド部３の信号分離回路８で分離された投光レベル信号としてのツェナー電圧Ｖｄ１は基準電圧生成回路１１ａの抵抗器２１，２２で分圧され、
Ｒ２／（Ｒｌ＋Ｒ２）×Ｖｄｌ
が基準電圧として自動出力制御手段に入力され、自動出力制御回路１１ｂでは、基準電圧に基づいた制御信号を出力する。この制御信号は駆動回路９のトランジスタ２５のベース電圧となるためレーザダイオード１０の発光強度を制御することになる。同図（ｃ）は信号分離回路８のオペアンプ１９の出力信号のレベルを示し、同図（ｄ）は減算回路２０の出力信号のレベルを示している。また、同図（ｅ）は分圧信号のレベルを示している。
【００３２】
次に本体部の重畳信号生成回路６においてツェナーダイオード１７（ツェナー電圧Ｖｄ２）を選択した場合は、ヘッド部３の基準電圧生成回路１１ａにおいて生成される基準電圧は、
Ｒ２／（Ｒｌ＋Ｒ２）×Ｖｄ２
となり（同図（ｆ）参照）、基準電圧が変更される。
【００３３】
この結果、２本の信号線４ａ，４ｂを用いる構成としながら、レーザダイオード１０の発光強度を本体部２側で切替スイッチ１５を操作することで２段階に変更設定することができるのである。
【００３４】
（第２の実施形態）
図４は本発明の第２の実施形態を示すもので、第１の実施形態と異なるところは、本体部２の構成を変更することでヘッド部３の構成を簡単にしたところである。すなわち、本体部２において、駆動信号生成回路５は、ＣＰＵ２７と、これに給電する電源回路２８およびクロックパルスを与える発振器２９から構成されている。また、レベル信号生成手段６および信号合成手段７は、これらを統合した構成の可変抵抗器３０が設けられている。
【００３５】
一方、ヘッド部３においては、信号分離手段８および基準信号生成回路１１ａは、具体回路においては配線を分岐する構成とすることで機能を果たすように構成されている。
【００３６】
上記構成によれば、本体部２においては、ＣＰＵ２７は、発振器２９のクロック信号に基づいて投光オン信号として投光パルス信号を生成して可変抵抗器３０に入力する。可変抵抗器３０は、使用者により投光レベル信号に対応するパルスの波高値となるように調整設定されているので、信号線４ａには投光レベル信号に相当するパルスの大きさで投光パルス信号が出力される。
【００３７】
この投光パルス信号は、ヘッド部３において、駆動回路９および自動出力制御回路１１ｂに入力される。これにより、レーザダイオード１０は投光パルス信号のレベルに相当する発光強度でパルス点灯制御されるようになる。また、本体部２側で可変抵抗器３０を操作することにより抵抗値を設定すると、発光強度を所望のレベルに制御することができるようになる。
【００３８】
（第３の実施形態）
図５は本発明をヘッド分離型レーザセンサに適用した場合の第３の実施形態を示すもので、第２の実施形態と異なるところは、第２の実施形態の構成に加えて、ヘッド部３にレーザ光が帰還してくるのを受光する帰還光受光素子としてのフォトダイオード３１を設けると共に、受光用信号線４ｃを増設してフォトダイオード３１の受光信号を本体部２のＣＰＵ２７に入力する構成としたもので、これにより、ヘッド分離型レーザセンサ３２が構成されている。ここで、ＣＰＵ２７は検出手段としての機能を果たすように検出プログラムがあらかじめ記憶されており、本体部２には、ＣＰＵ２７から検出信号を外部に出力するための出力端子ＯＵＴが設けられている。
【００３９】
上記構成によれば、レーザダイオード１０により検出領域に対して投光動作を行い、その検出領域から返ってくる帰還光を帰還光用のフォトダイオード３１により受光し、その受光信号を受光用信号線４ｃを介して受けたＣＰＵ２７が検出処理を行うことで、出力端子ＯＵＴにその検出結果を出力するようになる。
【００４０】
このような構成においても、本体部２側でレーザダイオード１０の発光強度の設定を可変抵抗器３０を調整設定することで行えるので、操作性が向上すると共に、発光強度の設定を確実に行うことができるようになる。
【００４１】
（第４の実施形態）
図６および図７は本発明の第４の実施形態を示すもので、以下、第１の実施形態と異なる部分について説明する。この実施形態においては、ヘッド部３における信号分離回路８のオペアンプ１９に代えて図６（ａ）に示すようにワンショット回路３３を設け、本体部２における投光信号発生回路５の定電圧回路１４に代えて、図６（ｂ）に示すように、ＣＰＵ２７（第２の実施形態で用いた投光パルス信号を生成する回路に相当）ＣＰＵ２７、電源回路２８および発振器２９を設ける構成としている。
【００４２】
上記構成によれば、本体部２においては、ＣＰＵ２７から投光パルス信号が出力されると（Ａ点の電位を示す図７（ａ）参照）、信号合成回路７の加算回路１８においては重畳信号生成回路６から出力されているツェナーダイオード１６のツェナー電圧Ｖｄ１を加算した信号を駆動信号として信号線４ａに出力する（Ｂ点の電位を示す同図（ｂ）参照）。
【００４３】
信号分離回路８のワンショット回路３３においては、入力される駆動信号のパルスの立ち上がりタイミングで一定幅のパルス信号を投光パルス信号として生成して出力する（Ｃ点の電位を示す同図（ｃ）参照）。また、減算回路２０からは、入力信号と出力信号との差に相当するツェナー電圧Ｖｄ１を出力するようになる（Ｄ点の電位を示す同図（ｄ）参照）。
【００４４】
このような第４の実施形態によって上述と同様の作用効果を得ることができるようになる。
【００４５】
（第５の実施形態）
図８および図９は本発明の第５の実施形態を示すもので、以下、第４の実施形態と異なる部分について説明する。この実施形態では、信号分離回路８はワンショット回路３３のみから構成され、基準信号生成回路１１ａは抵抗３４およびコンデンサ３５からなる積分回路３６により構成されている。
【００４６】
また、本体部２側は、ＣＵＰ２７、電源回路２８および発振器２９のみからなる構成とし、ＣＰＵ２７は投光レベル信号の設定に相当する外部入力を受け付けて発振器２９のクロックパルス信号のパルス幅を投光レベル信号に対応するように変調して信号線４ａに出力するように構成されている。
【００４７】
上記構成によれば、ＣＰＵ２７により生成された駆動信号は図９（ａ）に示すような信号となり、パルス幅ｔｏｎが投光レベルに相当する信号成分として合成されたものとして出力される。信号線４ａを介してワンショット回路３３にて受信されると、駆動信号の立ち上がりタイミングで所定パルス幅の投光パルスが出力される（同図（ｂ）参照）。また、基準信号生成回路１１ａである積分回路３６では、入力される駆動信号のパルス幅に応じた積分出力が得られ（同図（ｃ）参照）、これにより投光レベルが設定されるようになる。
【００４８】
これにより前述と同様の作用効果を得ることができると共に簡単な構成とすることができるようになる。
【００４９】
【発明の効果】
本発明は以上の説明から明らかなように、請求項１の発明によれば、本体部において投光オン信号と投光レベル信号と信号合成手段にて合成して駆動信号を生成して信号線を介してヘッド部に出力し、ヘッド部において信号分離手段により投光オン信号と投光レベル信号に分離するので、信号線の本数を増やすことなく本体側からレーザダイオードの発光強度を変更設定するべく外部から入力手段を操作して入力することにより設定することができるようになる。
【００５０】
請求項２の発明によれば、信号合成手段において、投光オン信号を投光タイミングパルス信号として生成し、その波高値を投光レベル信号に相当するレベルに変換することで駆動信号を生成するので、パルス投光することで低消費電力化を図ることができるようになる。
【００５１】
請求項３の発明によれば、信号合成手段において、投光オン信号としての投光タイミングパルスを投光レベル信号に相当するパルス幅に変換して駆動信号を生成するので、上記した請求項２の発明と同様の効果を得ることができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基本構成を示す機能ブロック構成図
【図２】本発明の第１の実施形態を示す電気的構成図
【図３】各部の出力電圧レベルを示す作用説明図
【図４】本発明の第２の実施形態を示す図２相当図
【図５】本発明の第３の実施形態を示す図２相当図
【図６】本発明の第４の実施形態を示す電気的構成図
【図７】各部の出力電圧レベルを示す作用説明図
【図８】本発明の第５の実施形態を示す図６相当図
【図９】図７相当図
【符号の説明】
１はヘッド分離型レーザ投光装置、２は本体部、３はヘッド部、４，４ａ，４ｂ，４ｃは信号線、５は投光信号発生回路（投光信号生成手段）、６は重畳信号生成回路（レベル信号生成手段）、７は信号合成回路（信号合成手段）、８は信号分離回路（信号分離手段）、９は駆動回路、１０はレーザダイオード（レーザ素子）、１１ａは基準信号生成回路、１１ｂは自動出力制御回路、１２はフォトダイオード（モニタ用受光素子）、１３は制御手段、１５は切替スイッチ（入力手段）、１６，１７はツェナーダイオード、１８は加算回路、２０は減算回路、２１，２２は抵抗器、２５はトランジスタ、２７はＣＰＵ（検出手段）、２９は発振器、３０は可変抵抗器、３１はフォトダイオード（帰還光受光素子）、３２はヘッド分離型レーザセンサ、３３はワンショット回路、３６は積分回路である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2005026352.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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