(57)【要約】【課題】  抗原抗体反応などを利用した膜を使って選択的に目的物を検出するＱＣＭ分析装置において、従来は液中で反応させた後、ある反応時間後に液中でその測定結果を得ていた。しかし、液中では、重量による変化だけでなく、液体の粘性や、温度依存性、振動子自身による振動などの外乱が問題となり、その改善策も十分な手段がなかった。【解決手段】  反応膜が被着された振動子を実装した支持基板１に、目的物の混入した液体２０が接触した後、ある反応時間後にその液体２０から支持基板１を昇降部による離間手段により離間させることで、不安定な液体での影響を受けることなく安定的で正確な重量変化を検出できる。【選択図】      図１
2005274166.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
選択的に目的物を吸着させる抗原抗体反応を利用して、振動子に設けた電極表面に前記目的物を吸着させるＱＣＭ分析装置において、前記目的物が混入した液体に前記振動子の前記電極を接触させた後に、前記振動子の前記電極を前記液体から離間させる離間手段を有することを特徴とするＱＣＭ分析装置。
【請求項２】
前記液体を流すための流路を設けたベース基板と、前記振動子を実装した支持基板とを有し、前記ベース基板は前記振動子が前記液体に接触するように前記支持基板を保持する保持部を有することを特徴とする請求項１記載のＱＣＭ分析装置。
【請求項３】
前記流路が溝で構成されており、前記溝内の前記液体表面に前記振動子が接触するように前記支持基板を前記溝の開口部に配置したことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＱＣＭ分析装置。
【請求項４】
前記離間手段は前記振動子を前記液体から持ち上げて離間したり、前記振動子を前記液体へ降ろして浸漬させる昇降部を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１つに記載のＱＣＭ分析装置。
【請求項５】
前記昇降部は前記ベース基板と前記支持基板を固定する固定基板の一方に設けた永久磁石と他方に設けた電磁石によって構成されていることを特徴とする請求項４記載のＱＣＭ分析装置。
【請求項６】
前記昇降部が空気圧によって達成されることを特徴とする請求項４記載のＱＣＭ分析装置。
【請求項７】
前記昇降部が電動モータによって達成されることを特徴とする請求項１に記載のＱＣＭ分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は選択的に目的物を吸着させる抗原抗体反応を利用したＱＣＭ分析装置に関し、特に目的物の吸着による共振周波数変化を高精度かつ安定的に検出する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から水晶振動子を利用して、その圧電効果から微量な物質を検出する技術が知られている。水晶振動子は、その電極表面に物質が吸着すると、その物質の重量に応じて共振周波数が変化する。これを利用すると、極めて微量な物質の重量を、この共振周波数変化から読み取ることができる。これを利用したセンサとしては、電子天秤、匂いセンサ、ガスセンサ、免疫分析装置などがある。
【０００３】
例えば血液成分などの分析装置として、特許文献１がある。この概略図を図１４に示す。図中１０３が振動子であり、その両面に電極１０４，電極７１が形成されている。この電極１０４、電極７１に外部から交流電圧を印加することで、振動子１０３を共振周波数で振動させる。膜１０５は目的物のみと結合する膜であり、一方の電極１０４に被着されている。上部から目的物が混入した液体を流すことで１０１ａ内に液体が溜まり、その液体中の目的成分のみが膜１０５に結合する。振動子１０３の共振周波数は、吸着した目的物の重量に応じて変化するので、共振周波数の変化値から目的物の重量を算出することができる。図１４のような構成で、振動子１０３を液中に浸した状態では、液体の粘性、目的物の付着、振動子自体の温度依存性、振動子自身の振動などの影響が組み合わされて、共振周波数が変化している。この特許文献１においては、このうち振動子自身の振動による粗密波の反射を防止するための構造を示している。つまり、液体を攪拌する機構を設けて、振動子自身の振動による波を液面に伝えないようにしている。これにより、疎密波の反射を防いで、疎密波による共振周波数の変化を防ぐというものである。
【０００４】
また、液体の粘性の温度依存性を防止する対策を施したＱＣＭ分析装置が特許文献２に記載されている。液体中での共振周波数の温度依存性が大きく変化するのは、振動子自体が液中で変化するというよりも、液体の粘性の温度依存性が大きく変化していることによる。つまり、液体の粘性の温度依存性と逆の温度依存性を有する振動子であれば、液中での変動はキャンセルされる。この温度依存性を有した振動子を製造することで液体の粘性の影響を受けないようにした。
【０００５】
また、液体の粘性による共振周波数変化と目的物吸着による共振周波数変化を分離して計算する方法が特許文献３に示してある。粘性による共振周波数の変化を示す計算式と、重量による共振周波数の変化を示す計算式を導出し、この２つの計算式の和が液中での共振周波数変化であり、これがＮ次の振動を変数とする計算式であらわされることを使って、連立方程式を解くものである。よって、参照用の複数の振動子を用いて、リファレンスを用意しなくても、１つの振動子で振動する２つの振動モードを測定すれば、粘性による共振周波数変化と重量による共振周波数変化が求められるというものである。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−２７７３６８号公報（図１）
【特許文献２】特開２００３−３１５２３４号公報（２項〜５項、図１〜図６）
【特許文献３】特開２００３−３１５２３５号公報（３項〜５項、図１〜図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、液中での共振周波数の変動は目的物の吸着以外に、液体の粘性、粘性の温度依
存性、振動子自身の温度依存性、振動子自身の粗密波による液面での反射波の影響などと、複数考えられているが、現段階では目的物の吸着以外の不要な外乱要因のすべてを分離する方法は示されていない。そのため、従来での分離方法では部分的な解決であって、全体的な解決には至っていない。今後もっと微量な目的物を検出することになると、共振周波数の高周波化が進み、振動子の厚みが薄くなると、これらの外乱の影響はもっと大きくなる。そのため、目的物による吸着の変化だけを分離できるＱＣＭ分析装置が望まれている。
【０００８】
そこで、本発明では上記問題を解決して目的物の吸着のみの変化を安定的に検出する装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
これらの課題を解決するために本発明のＱＣＭ分析装置は下記に記載の手段を採用する。すなわち本発明は、選択的に目的物を吸着させる抗原抗体反応を利用して、振動子に設けた電極表面に前記目的物を吸着させるＱＣＭ分析装置において、前記目的物が混入した液体に前記振動子の前記電極を接触させた後に、前記振動子の前記電極を前記液体から離間させる離間手段を有することを特徴とする。
【００１０】
また、前記液体を流すための流路を設けたベース基板と、前記振動子を実装した支持基板とを有し、前記ベース基板は前記振動子が前記液体に接触するように前記支持基板を保持する保持部を有することを特徴とする。
【００１１】
また、前記流路が溝で構成されており、前記溝内の前記液体表面に前記振動子が接触するように前記支持基板を前記溝の開口部に配置したことを特徴とする。
【００１２】
また、前記離間手段は前記振動子を前記液体から持ち上げて離間したり、前記振動子を前記液体へ降ろして浸漬させる昇降部を有することを特徴とする。
【００１３】
また、前記昇降部は前記ベース基板と前記支持基板を固定する固定基板の一方に設けた永久磁石と他方に設けた電磁石によって構成されていることを特徴とする。
【００１４】
また、前記昇降部が空気圧によって達成されることを特徴とする。
【００１５】
また、前記昇降部が電動モータによって達成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、選択的に目的物を吸着させる抗原抗体反応を利用して、振動子に設けた電極の表面に目的物が混入した液体を接触させ、所定の反応後に振動子を液体から持ち上げて離間させる昇降部を有することによって、液中の粘性、粘性の温度依存性、振動子自身による粗密波の液面での反射などの不安定要因の多い状況から振動子を分離できて、安定的でかつ正確な測定が可能となる。
【００１７】
また、離間する方向を重力に対して逆らう位置へ離間する場合には、重力の力が加わるために、液体が振動子に残る量が減って、振動子の振動が高速に安定する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下図面を用いて本発明を利用したＱＣＭ分析装置の最適な実施形態を説明する。
【００１９】
（第一の実施形態）
まず、第一の実施形態であるＱＣＭ分析装置の全体構成を説明する。図１〜図３は何れ
もＱＣＭ分析装置の断面図、図４は支持基板１の平面図、図５は図４の断面図、図６はＱＣＭ分析装置から一部の構成要素を外して全体を示した平面図、図７は固定基板２４である。
図６に示すように、本実施形態のＱＣＭ分析装置は、試料液体を供給する液体供給部３１０と、供給された液体に振動子を接触させるセンサ部４１０と、センサ部４１０から液体を排出する排出部５１０とから構成されている。
【００２０】
最初にセンサ部４１０の構成を図１、図５、図６を用いて説明する。なお、図１〜図３は図６にあるＡ−Ａ線から見た断面状態を表している。図１において、センサ部４１０の基本構成は、ベース基板１９と、ベース基板１９に設けた支柱状の固定部材２２、２３で固定された上面基板７と、上面基板７に弾性体１７、１８で取りつけた固定基板２４とからなっている。上面基板７は、固定部材２２、固定部材２３によりベース基板１９の上部に保持固定する。固定基板２４は、弾性体１７、弾性体１８により上面基板７と接続され、これにより、固定基板２４が上下に動くことを可能にしている。弾性体１７、弾性体１８は、例えばバネやゴムなどの伸縮する部材を利用する。また、図７に示すように、固定基板２４には後述する支持基板１が接続されている。支持基板１は、図６に示した保持部８と対抗する位置で固定基板２４に固定される。
【００２１】
ベース基板１９の上面には、固定基板２４と対向するように、液体を流すための流路となる溝１００が形成されている。この溝１００には目的物が混入した液体２０を流すようになっている。図６に示した保持部８は、支持基板１とほぼ同等かそれ以上の大きさの溝を形成してあり、支持基板１が整合するようになっている。また、保持部８を用意することで電極２上の膜５をより深く溝１００内へ挿入できる。
【００２２】
次に、図４、図５を用いて支持基板１の構成について説明する。図５は、支持基板１を図４の断面Ａ−Ｂで切った断面図を示している。支持基板１にはその両面にそれぞれ電極２、３を設けた振動子４が配置されている。電極２、電極３に外部から交流電圧を印加することで、振動子４を振動させることができる。また、振動子４は接着剤２１によってその周囲が支持基板１に固定されている。これにより電極３は目的物質が混入した液体２０に触れないように電極の一方を封止している。一方、電極２の上面には、膜５が被着されている。この膜５は、検出しようとする目的物の抗原もしくは抗体に対してのみ結合する抗体もしくは抗原である。電極２、電極３の電気配線は、液体２０と接触しないように支持基板１の中を通って固定基板２４に接続されている。
【００２３】
固定基板２４には電磁石１３、電磁石１４、電磁石１５、電磁石１６が図７のように配置される。一方、ベース基板１９には図６に示すように、これら電磁石１３、電磁石１４、電磁石１５、電磁石１６に対向して磁石９、磁石１０、磁石１１、磁石１２が配置される。この電磁石と磁石の配置により、昇降部を形成している。すなわち、ベース基板１９の磁石９、磁石１０、磁石１１、磁石１２がすべてＮ極のとき、固定基板２４の電磁石１３、電磁石１４、電磁石１５、電磁石１６をすべてＳ極になるようにすれば、磁石と電磁石は吸引し合うので、固定基板２４はベース基板１９に接触する方向へ降下する。それと反対に、ベース基板１９の磁石９、磁石１０、磁石１１、磁石１２をすべてＳ極にすると、今度は磁石と電磁石が反発し合うので、ベース基板１９が固定基板２４から反発する上方向へ上昇する。このような電磁石と磁石を利用すると、接触と離間を自由に制御できる。また、初期状態の図２と離間時の図３を比較すると、弾性体１７と弾性体１８が縮むために離間する。すなわち、互いに反発する電磁力と、弾性体１７、弾性体１８の弾性力において、電磁力が弾性力よりも大きい場合には離間し、小さい場合には接触したままとなる。このようにして電磁石に流す電流量で電磁力の強弱を設定できるので、弾性体の弾性力に応じた設計が可能である。
【００２４】
制御部２００は、上述の電磁石１３、１４、１５、１６、図６に示した液体供給部３１０のポンプ２０３、支持基板１の振動子４と接続しており、電磁石１３、１４、１５、１６、ポンプ２０３の制御、及び振動子４の周波数変化の取得などを行う。このとき、制御部２００は、電磁石接続配線２０１によって電磁石１３、１４、１５、１６と接続され、ポンプ接続配線３０２によってポンプ２０３と接続され、支持基板接続配線２０２によって支持基板１の振動子４と接続されている。制御部２００には、測定開始を行うための測定開始ボタン２０４が備えられており、これを押すことでポンプ２０３が駆動を開始し、同時に振動子４の共振周波数測定が開始される。液体２０は、ポンプ２０３によって溝１００へと流される。チューブ３００は、ポンプ２０３とベース基板１９とを繋ぎ、チューブ３０１はベース基板１９と排出部５１０を繋いでいる。溝１００を流れた液体２０は排出部５１０において蓄積される。
【００２５】
次に本発明の第一の実施形態における測定動作の詳細を、図１、図２、図３、図６を用いて説明する。最初に、ＱＣＭ分析装置の初期設定状態を説明する。ベース基板１９の溝１００内にポンプからの液体２０が流れてきた時、振動子４の膜５と液体２０を接触させて反応させるので、初期状態では制御部２００から電磁石制御配線２０１を通して、電磁石の極性が設定され、図２のように電磁石１３、電磁石１４、電磁石１５、電磁石１６と磁石９、磁石１０、磁石１１、磁石１２とで互いに引き合うように制御され、固定基板２４にベース基板１９が接触する。すなわち、ベース基板１９の磁石がすべてＳ極ならば、固定基板２４の電磁石すべてのＮ極になるように制御する。もちろん、極性は逆の場合でも可能であるし、互いに向き合う電磁石と磁石の極が引き合う極構成であれば良い。このような構成では、電磁石にあらかじめ電流を流しておかなくとも良いので、消費電力の面でも優れている。
【００２６】
次に図１に示した測定開始ボタン２０４を押すと、ポンプ２０３が駆動され、液体２０がチューブ３００を通って溝１００へ流れる。同時に制御部２００において、反応開始時間が記憶される。液体２０が溝１００を通って支持基板１上の膜５と接触すると、液体２０内の目的物は抗原抗体反応によって振動子４の膜５に結合する。さらに支持基板１を通過した液体２０は、チューブ３１０を通って排出部５１０に蓄積される。
【００２７】
この後、反応開始時間からカウントして、あらかじめ定められた反応時間が経過すると、制御部２００は電磁石１３、電磁石１４、電磁石１５、電磁石１６に対して、それぞれ磁石９、磁石１０、磁石１１、磁石１２の極性と同じ極性になるように電流を流す。これにより電磁石と磁石が互いに反発するので、固定基板２４は弾性体１７、１８に抗して上部に持ちあがり、ベース基板１９から離間する。このとき、固定基板２４がベース基板１９の溝１００に対して重力と逆らう方向、つまり上部に配置されているので、固定基板２４が離間する際に、振動子４の電極２及び膜５に液体２０の残留液が付着しにくい。仮に付いた場合でも、重力の力でベース基板１９内の溝１００へ落ちる。また、落ちない場合でも固定基板２４の支持基板１に取り付けた振動子４は液体２０から離間しているので、表面の電極２と膜５は空気中で乾燥する。実験的に、その乾燥する時間は数秒であることを確認している。離間した状態は、図３に示すような状態になる。
【００２８】
次に目的物の吸着による共振周波数変化の検出について説明する。制御部２００は、測定開始ボタン２０４が押されると、その状態の共振周波数を取得する。この時取得するのは、液体２０が膜５に付着してない状態の共振周波数であり、これをリファレンスの共振周波数Freとする。続いて、液体２０が電極２及び膜５に付着して反応が開始される。その後、反応開始時間からある反応時間が経過すると、液体２０との離間を開始する。離間後は、数秒程度で空気中での乾燥と重力の力などによって、目的物以外の液体成分が電極２及び膜５から除去される。このときの共振周波数は、リファレンス時の共振周波数Freに目的物の吸着による共振周波数変化Foが加わった共振周波数Fsとなる。すなわち、この
最終的な共振周波数Fsから、初期状態のリファレンス共振周波数Freを減算することによって目的物の吸着による共振周波数変化Foが求まる。後は、この周波数変化Foを重量変化に変換するSauerbreyの式１によって、重量に変換する。
Fo＝−2×Fre×Δm/(A×√(μ×ρ))・・・（式１）
ここに、Freは目的物付着前の基本共振周波数、Aは電極の面積、μは振動子のせん断弾性係数、ρは振動子の密度、Foは重量付加による周波数変化、Δmは重量変化である。この式１をΔmについて解けば、目的物の重量がわかる。
【００２９】
（第二の実施形態）
次に本発明の第二実施形態を説明する。図７は固定基板２４の平面図、図８はＱＣＭ分析装置から一部の構成要素を外して全体を示した平面図、図９は固定基板の表面図、図１０、図１１、図１２は、図８におけるＢ−Ｂ線から見た断面図、図１３は固定基板の裏面図である。なお、第一の実施形態と同じ構成には、同一番号を付けて、その説明を省略する。図１０において、４４は上面基板、４３はベース基板、４５は固定部材、４６は固定部材である。加減圧機構２９は、空気ポンプで構成され、制御部２１３からの電気信号により空気の放出と吸出しを行う。空気の放出に加圧、空気の吸出しにより減圧を行う。制御部２１３は、支持基板１と支持基板接続配線２０２で接続され、振動子４の共振周波数を取得する。また、加減圧機構２９と電気配線により接続され、必要に応じて制御を行う。測定開始ボタン２０４は、制御部２１３に接続され、これを押すことにより測定が開始される。
【００３０】
次に図８、図９、図１３を用いて、固定基板３８とベース基板４３について説明する。溝１００は、流路であり、目的物が混入した液体が流れる。固定基板３８には、支持基板１が保持部８に対して対向する位置に配置される。また、電極３側が固定基板３８側に来るように配置される。このような構成により、電極２とその上面に被着された膜５は、保持部８の溝１００と対向する。図８の保持部８は、支持基板１とほぼ同等かそれ以上の大きさの溝を形成してある。保持部８を用意することで電極２上の膜５をより深く溝１００内へ挿入できる。また、固定基板３８には伸縮部２５、伸縮部２６、伸縮部２７、伸縮部２８が図９のように配置される。図１３は、固定基板３８の裏面を示したものである。中央部にはカフ３１と上部の加減圧機構２９とを連結する加減圧機構連結部３０を有し、またカフ３１の四隅には伸縮部へ連結するための伸縮部連結部３２、伸縮部連結部３３、伸縮部連結部３４、伸縮部連結部３５を有している。カフ３１には加減圧機構２９からの空気圧が供給される。そして、その空気圧は、伸縮部連結部３２、伸縮部連結部３３、伸縮部連結部３４、伸縮部連結部３５を通って、伸縮部２５、伸縮部２６、伸縮部２７、伸縮部２８へと送られる。
【００３１】
本発明の第二の実施形態における測定の詳細を、図１０、図１１、図１２を使って説明する。まず、目的物を混入した液体２０を、ポンプ２０３へ流す。次に図１０の測定開始ボタン２０４を押すと、ポンプ２０３が駆動し、液体２０が溝１００へ流れる。また、測定開始ボタン２１２が押されると、制御部２１３は振動子４が液体２０に浸かっていない状態の共振周波数Freを取得する。さらに、制御部２１３において、反応開始時間のタイマーがカウントされる。このときは、膜５と液体２０を接触させて反応させる反応過程なので、図１１のように固定基板３８とベース基板４３を伸縮部２５、伸縮部２６、伸縮部２７、伸縮部２８を減圧して縮めることで接触させておく。減圧は、加減圧機構２９により空気の吸出しで行い、空気の吸出しは加減圧機構連結部３０を入り口として、カフ３１、伸縮部連結部３２、伸縮部連結部３３、伸縮部連結部３４、伸縮部連結部３５を通り、伸縮部２５、伸縮部２６、伸縮部２７、伸縮部２８の空気が吸い出されることにより達成される。このため、それぞれの伸縮部２５、伸縮部２６、伸縮部２７、伸縮部２８は減圧されて縮む。液体２０が支持基板１上の膜５と接触すると、液体２０内の目的物は膜５と抗原抗体反応によって互いに結合する。そして、反応開始時間から、ある反応時間後にな
ると、制御部２１３から加減圧機構２９へ加圧の電気信号が伝送され、空気の放出によって加圧が開始される。これにより、伸縮部２５、伸縮部２６、伸縮部２７、伸縮部２８は加圧されて膨張し、固定基板３９とベース基板４３は離間する。離間した状態は、図１２に示すような状態になる。初期状態の図１１と離間時の図１２を比較すると、弾性体４０と弾性体４１が縮むために離間する。このように、伸縮部２５、伸縮部２６、伸縮部２７、伸縮部２８が空気圧により、伸縮することで昇降部を形成する。離間してから、ある乾燥時間後に、制御部２１３は、振動子４の共振周波数Fsを支持基板１からの電気信号から取得する。目的物の量の演算方法は、第一の実施例と同様である。
【００３２】
（第三の実施形態）
図１５、図１６は本発明の第三の実施形態である。なお、第一の実施形態と同じ構成には、同一番号を付けて、その説明を省略する。まず、支持基板１は第一の実施形態と同様であり、振動子４を被着してある。振動子４の電気信号を伝える電気配線は、支持基板１の中を通って、基板固定部２１０へ導通するようになっている。基板固定部２１０は昇降部２０９に固定されており、支持基板１の電気信号を昇降部２０９へ伝える電気配線が備えてある。また、基板固定部２１０は昇降部２０９が昇降すると、その動作に合わせて上下するように固定されている。昇降部２０９は、ベルト２１１が取り付けられており、ここに基板固定部２１０が固定されている。加えて、昇降部２０９には、基板固定部２１０からの電気信号を制御部２０８へ伝える電気配線が備えてある。また、ベルト２１１には、電動モータ２０７が接続され、制御部２０８からの信号によって正回転と逆回転を行うようになっている。制御部２０８は、電動モータ２０７の制御と昇降部２０９からの電気信号の受信を行うように電気配線がなされている。制御部２０８は、測定開始ボタン２１２を備えており、この測定開始ボタン２１２が押されることで、電動モータ２０７の制御と昇降部２０９からの電気信号の処理を行うように設計されている。容器２０６は、支持基板１を挿入する容器であり、支持基板１が挿入できる程度の大きさであれば良い。容器２０６内には、目的物の混入した液体２０を入れておく。
【００３３】
次に本発明の第三の実施形態における測定手順を、図１５、図１６を用いて説明する。まず、容器２０６内に目的物の混入した液体２０を入れる。この時、図１６（Ａ）のように、支持基板１と容器２０６内の液体２０とが一定の距離Δｄになるように液体２０の量を入れるようにする。あらかじめ容器２０６にその位置を示す線などを引いておけば、よりわかりやすい。支持基板１は、容器２０６に対して真上になるように配置し、容器２０６内の液体２０と一定の距離Δｄを保つようにする。ここで、測定開始ボタン２１２を押すと、図１６（Ｂ）のように電動モータ２０７が回転し、基板固定部２１０が距離Δｄ＋α下がる。距離αは、振動子４が十分に浸かる距離である。また、測定開始ボタン２１２が押されると、制御部２０８は振動子４が液体２０に浸かっていない状態の共振周波数Freを取得する。さらに、測定開始ボタン２１２を押した時間を反応開始時間としてタイマーがカウントを始める。支持基板１が容器２０６内の液体２０に浸かって、反応開始時間からある反応時間が経過すると制御部２０８は、電動モータ２０７に対してベルト２１１が上がるような回転の電気信号を送る。これにより電動モータ２０７は回転し、ベルト２１１が上がるので、支持基板１は容器２０６から離間し、液体２０とも離間する。この時に、上がる距離は、下げた時の距離Δｄ＋αである。つまり、少なくとも支持基板１が液体２０から触れずに離間する距離だけ離す。離間してから、ある乾燥時間後に、制御部２０８は、振動子４の共振周波数Fsを昇降部２０９からの電気信号から取得する。目的物の量の演算の仕方は、第一の実施例と同様である。
【００３４】
以上のような離間手段の実施例を説明してきたが、昇降部については、第一の実施例の電磁石、第二の実施例の空気圧、及び第三の実施例の電動モータを利用した手段に限らない。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の第一の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の構成を示す断面図である。
【図２】本発明の第一の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の測定前の初期状態を示す断面図である。
【図３】本発明の第一の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の測定後の離間した状態を示す断面図である。
【図４】本発明のＱＣＭ分析装置における支持基板の平面図である。
【図５】本発明のＱＣＭ分析装置における支持基板の断面図である。
【図６】本発明の第一の実施形態におけるＱＣＭ分析装置から一部の構成要素を外して全体を示した平面図である。
【図７】本発明の第一の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の固定基板を示す構成図である。
【図８】本発明の第二の実施形態におけるＱＣＭ分析装置から一部の構成要素を外して全体を示した平面図である。
【図９】本発明の第二の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の固定基板表面を示す平面図である。
【図１０】本発明の第二の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の断面図である。
【図１１】本発明の第二の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の測定前の初期状態を示す断面図である。
【図１２】本発明の第二の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の測定後の離間した状態を示す断面図である。
【図１３】本発明の第二の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の固定基板裏面を示す平面図である。
【図１４】従来例における測定装置の断面図である。
【図１５】第三の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の全体構成を示す説明図である。
【図１６】第三の実施形態におけるＱＣＭ分析装置の側面図であり、（Ａ）は非測定時、（Ｂ）は液体に浸している測定している状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３６】
２  電極
３  電極
４  振動子
５  膜
９，１０，１１，１２  磁石
１３，１４，１５，１６  電磁石
２１  接着剤
２５，２６，２７，２８  膨張部
２９  加減圧機構
３１  カフ
２０３  ポンプ
２０７  電動モータ
２１１  ベルト
３１０  液体供給部
４１０  センサ部
５１０  排出部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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