(57)【要約】【課題】修理前の導通検査工程と修理工程と修理後の導通検査工程のフローの簡素化による品質保証と製造コストの低減化。【解決手段】基板１６の上に設定される２次元ＸＹ座標系で移動位置が記述され２次元ＸＹ座標系で２次元的に移動し基板１６に形成されて並ぶ複数の電極配線１５−ｊの欠陥２３を示す欠陥位置の存在位置の座標Ｘ，Ｙを電気導通により検出して欠陥２３の存否を検査する検査器１７，２４と、修理位置で欠陥２３を修理する修理器３１，３５と、修理位置の電気導通を検出して欠陥の修理未修理を検査する再検査器２４とから構成されている。２次元ＸＹ座標系は、基板１６に対して共動座標系として設定され、検査修理機器の運動の制御が簡素化される。【選択図】          図２
2005050674.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の上に設定される２次元ＸＹ座標系で移動位置が記述され前記２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に移動し前記基板に形成され前記Ｘ軸方向に並び前記Ｙ軸方向に延びる複数の電極配線の欠陥の存在位置の座標（Ｘ，Ｙ）を電気導通により検出して欠陥の存否を検査する検査器と、
前記２次元ＸＹ座標系で移動位置が記述され前記座標（Ｘ，Ｙ）で表される前記欠陥位置に対応する修理位置で前記欠陥を修理する修理器と、
前記２次元ＸＹ座標系で移動位置が記述され前記座標（Ｘ，Ｙ）で表される前記修理位置の電気導通を検出して前記欠陥の修理未修理を検査する再検査器
とを構成するプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項２】
前記検査器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系と前記修理器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系とは互いに移動関係にある
請求項１のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項３】
前記移動関係は平行移動関係である
請求項２のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項４】
前記検査器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系と前記再検査器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系とは同一位置関係にある
請求項１〜３から選択される１請求項のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項５】
前記検査器と前記再検査器は同一である
請求項４のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項６】
前記検査器が検出する前記座標（Ｘ，Ｙ）は前記修理器にフィードフォアワードされる
請求項１〜５から選択される１請求項のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項７】
前記検査器は、
前記２次元座標系で位置が記述される本体と、
前記本体を前記Ｘ軸方向に移動させる駆動機構と、
前記本体に支持され前記電気導通を検出する検出器とを形成する
請求項１〜６から選択される１請求項のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項８】
前記検出器は、
前記電気配線に接触する第１電極と、
前記第１電極に対して前記Ｙ軸方向に移動する第２電極とを形成する
請求項７のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項９】
前記第１電極と前記第２電極は、プローブ又はブラシで形成される
請求項８のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項１０】
前記第１電極と前記第２電極は、前記２次元ＸＹ座標系に対して直交するＺ軸方向に移動可能である
請求項８のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項１１】
前記修理器は、
導電性ペーストを前記座標（Ｘ，Ｙ）で前記基板に塗布する塗布器と、
前記導電性ペーストを前記座標（Ｘ，Ｙ）で焼成する焼成器とを形成する
請求項１〜１０から選択される１請求項のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項１２】
前記検査器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系と、前記塗布器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系と、前記焼成器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系と、前記再検査器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系との間で、前記基板は順不同に移動可能である
請求項１１のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項１３】
前記検査器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系と、前記修理器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系と、前記再検査器の移動を記述する前記２次元ＸＹ座標系との間で、前記基板は順不同に移動可能である
請求項１のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項１４】
基板の上に設定される２次元ＸＹ座標系で移動位置が記述され前記２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に移動し前記基板に形成され前記電極配線の欠陥を示す欠陥位置の存在位置の座標（Ｘ，Ｙ）を光学画像で検出して欠陥の存否を検査する他の検査器
を更に構成する請求項１〜１３から選択される１請求項のプラズマディスプレイパネル電極の修理装置。
【請求項１５】
基板の上に設定される２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に前記基板に対して第１検査器を移動させる第１移動工程と、
前記検査器により前記電極配線の欠陥を電気導通により検出して前記欠陥の２次元座標（Ｘ，Ｙ）を検出する第１検出工程と、
前記２次元ＸＹ座標系で前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向に前記基板に対して修理器を移動させる第２移動工程と、
前記２次元座標（Ｘ，Ｙ）で表される前記欠陥位置に対応する修理位置で前記欠陥を修理する修理工程と、
前記２次元ＸＹ座標系で前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向に前記基板に対して第２検査器を移動させる第３移動工程と、
前記検査器により前記電極配線の前記２次元座標の前記修理位置で電気導通により検出して前記欠陥の存在を再検出する第２検出工程
とを構成するプラズマディスプレイパネル電極の修理方法。
【請求項１６】
前記第１移動工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系と、前記第１検出工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系と、前記第２移動工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系と、前記修理工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系と、前記第３移動工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系と、前記第２検出工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系との間で前記基板を移動させる複数工程間移動工程
を更に構成する請求項１５のプラズマディスプレイパネル電極の修理方法。
【請求項１７】
前記複数工程間移動工程の移動は順不同である
請求項１６のプラズマディスプレイパネル電極の修理方法。
【請求項１８】
前記第１移動工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系と、前記第１検出工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系と、前記第２移動工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系と、前記修理工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系と、前記第３移動工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系と、前記第２検出工程に固有である前記２次元ＸＹ座標系とは、絶対的に同一である
請求項１５〜１７から選択される１請求項のプラズマディスプレイパネル電極の修理方法。
【請求項１９】
前記修理工程は、
前記２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に前記基板に対してペースト塗布器を移動させる第４移動工程と、
前記２次元座標（Ｘ，Ｙ）で表される前記欠陥位置に対応する修理位置で前記ペースト塗布器によりペーストを塗布する塗布工程と、
前記２次元ＸＹ座標系で前記Ｘ軸方向と前記Ｙ軸方向に前記基板に対して焼成器を移動させる第５移動工程と、
前記２次元座標（Ｘ，Ｙ）で表される前記欠陥位置に対応する修理位置で前記ペーストを焼成する焼成工程とを形成する
請求項１５〜１８から選択される１請求項のプラズマディスプレイパネル電極の修理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル電極の修理装置、及び、それの修理方法に関し、特に、導通検査工程と修理工程を含むプラズマディスプレイパネル電極の修理装置、及び、それの修理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰといわれる。）は、大型であるが薄型に形成され得る点で多方面で注目されている。多数の表示セルで形成されるＰＤＰは、気体放電により発生する紫外線により、放電セル内面に塗布される３原色発光蛍光体を励起し、３原色発光蛍光体の励起による３原色発光によりカラー表示を実現している。
【０００３】
ＰＤＰは、第１基板と第２基板とから形成される。第１基板と第２基板との間には、放電ガスを封入する放電ガス層が形成される。第１基板には互いに平行である複数のライン状の第１電極が形成され、第１基板には互いに平行である複数のライン状の第２電極が形成される。このような電極に走査パルスとアドレスパルスが印加される。そのような走査がＰＤＰの全面で実行された後にその全面で維持放電が実行されて、カラー発光が得られる。
【０００４】
放電のための電極形成は、プラズマディスプレイの発光のための基盤技術として提供される。品質保証のために重要な要素技術である電極は、微細な格子状の電極パターンを第１基板と第２基板に振り分けられて立体交叉的に形成される。電極形成の技術として、蒸着、スパッタリング、感光性導電ペーストを用いるフォトリソグラフィー、感光性導電ペーストを用いるスクリーン印刷が知られている。
【０００５】
電極形成プロセスの合間には、又は、電極形成プロセスの完了の後には、電極形成の検査が行われる。その検査の対象は、断線又は短絡である。電極形成不良個所には、電極形成プロセスの合間に、又は、電極形成プロセスの完了の後に、修理が行われる。検査技術として、画像処理技術を用いる画像検査と、電気的に導通を検査する導通検査が知られている。画像処理技術には、ＣＣＤカメラを用いてコンピュータに取り込んだ電極パターン画像に対して検査する手法が採択されている。そのような検査手法として、隣接比較法、デザインルール法、スリーミング法のようなアルゴリズムによる処理が知られている。導通検査は、導電性プローブを電極配線の２箇所に接触させ、その２箇所間に電圧を印加して導電性プローブに流れる電流状態を検出する技術として知られている。検査後に実行される修理の技術としては、導電性ペーストを修理箇所に塗るディスペンサ法、導電性ペーストを修理箇所に塗る点塗法が知られている。塗布後の処理である後処理の技術としては、ヒータ又はレーザー光による焼成が知られている。
【０００６】
Ｘ軸方向に長く形成されている１本の電気配線の不良個所は、２次元的に形成される画素の２次元的位置が知られる必要がある。公知の導通検査技術は、互いに平行に並ぶ複数の配線のうち１配線単位で欠陥配線を検出していて、欠陥個所の２次元位置（Ｘ，Ｙ）のうち１次元値Ｘがプローブにより自動的に検出される。他の１次元値直Ｙは、ＣＣＤカメラのような画像撮影技術で撮影される画像による画像処理、又は、欠陥位置の手動による画像探索により検出されている。
【０００７】
欠陥修理の後には、直ちにその修理箇所について導通検査を実行することが重要である。修理後の導通検査がなされず又は修理後の導通検査が不完全な状態のＰＤＰが次工程に送られた場合には、後工程に対する欠陥流出を招く。欠陥流出は、品質低下の重大な原因になっている。欠陥検出工程と修理工程と導通検査工程の一連の工程を順に行う技術は、後掲特許文献１で知られている。修理工程で修理された欠陥個所を導通検査するこのような公知技術は、既述の欠陥流出を招かない点で優れているが、修理工程と検査工程が別々に独立し、修理工程に再度に戻す作業が必要であり、導通検査工程で検出された欠陥判定箇所の位置特定が困難であり、更に、同一配線上の複数箇所の修理が行われる場合には、修理工程後の導通検査で複数の欠陥個所の１つの特定が困難であって、生産性の低下を招くことが推定される。
【０００８】
後掲特許文献２は、導通検査工程と、画像検査工程と、修理工程の一連のフローにより、導通検査工程で検出された欠陥配線を画像検査工程で検査を行い、抽出された座標値の欠陥箇所を修理する技術を開示している。公知のこのような技術は、導通検査工程で検出した電極配線の欠陥位置を抽出することができる点で優れているが、画像検出のために用いられるＣＣＤカメラの検出分解能よりも微小である断線又は電極薄膜の薄い断線は、画像処理による検出が困難であり、欠陥ではない微小な凹凸を欠陥として誤検出する恐れがあり、更に、画像検査工程は導通検査工程で断線又は短絡であると判定された配線について画像検査を行っていて、導通検査では検出が困難である欠け又は亀裂のような形状不良を修理することが困難である。電極配線は、電極形成工程の後工程である加熱プロセスで生じるＰＤＰのガラス基板の熱変形による影響を受けて、配線の形状不良が進行し、欠陥に進むことがあり、形状不良の修理が必要である。公知の工程のフローには統一性が乏しく、品質保証の点で問題が残存し、製造工程が複雑でありその製造コストの低減が困難である。
【０００９】
修理前の導通検査工程と修理工程と修理後の導通検査工程のフローの統一化により簡素化することが求められる。そのフローの簡素化により製造コストを低減することが望まれる。
【００１０】
【特許文献１】特開平１１−２３３０２１号
【特許文献２】特開２００２−２１４２７５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明の課題は、修理前の導通検査工程と修理工程と修理後の導通検査工程のフローを簡素化するプラズマディスプレイパネル電極の修理装置、及び、それの修理方法を提供することにある。
本発明の他の課題は、修理前の導通検査工程と修理工程と修理後の導通検査工程のフローを簡素化することにより品質を保証し製造コストを低減するプラズマディスプレイパネル電極の修理装置、及び、それの修理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理装置は、基板（１６）の上に設定される２次元ＸＹ座標系で移動位置が記述され２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に移動し基板（１６）に形成されＸ軸方向に並びＹ軸方向に延びる複数の電極配線（１５−ｊ）の欠陥（２３）の存在位置の座標（Ｘ，Ｙ）を電気導通により検出して欠陥（２３）の存否を検査する検査器（１７，２４）と、２次元ＸＹ座標系で移動位置が記述され座標（Ｘ，Ｙ）で表される欠陥位置に対応する修理位置で欠陥（２３）を修理する修理器（３１，３５）と、２次元ＸＹ座標系で移動位置が記述され座標（Ｘ，Ｙ）で表される修理位置の電気導通を検出して欠陥の修理未修理を検査する再検査器とから構成されている。再検査器は、検査器（２４）がそのままに兼用され得る。
【００１３】
２次元ＸＹ座標系は、基板（１６）に固定的に設定され、基板（１６）と同体であり、又は、基板（１６）と同体に移動することができ、共動座標系として構成される。検査器（１７，２４）と修理器（３１，３５）と再検査器（２４）の運動はその共動座標系で記述されるので、検査工程位置と修理工程位置と再検査工程位置の間で基板は自由に位置遷移し、共通の欠陥位置座標（Ｘ，Ｙ）を共有する。このような共有化は、基板の自由な複数工程位置間の移動を可能にしていて、各工程の機器の動作を簡素化することができる。
【００１４】
検査器（２４）の移動を記述する２次元ＸＹ座標系と修理器（３１，３５）の移動を記述する２次元ＸＹ座標系とは互いに移動関係にあることができ、既述の共動座標系で簡素に記述され得る。その移動関係は平行移動関係であることが簡素であるが、回転運動関係が含まれることは否定されない。
【００１５】
検査器（２４）の移動を記述する２次元ＸＹ座標系と再検査器の移動を記述する２次元ＸＹ座標系とは同一位置関係にあることは可能である。この場合には、検査器（２４）と再検査器（２４）は特に同一であることが好ましく、検査器の総移動距離が短縮される。
【００１６】
検査器（２４）が検出する座標（Ｘ，Ｙ）が修理器（３１，３５）にフィードフォアワードされることは、既述の座標系が共動化されることの結果的効果である。検査器（２４）は、２次元座標系で位置が記述される本体（１８）と、本体（１８）をＸ軸方向に移動させる駆動機構（図示されず）と、本体（１８）に支持され電気導通を検出する検出器とを形成する。その検出器は、電気配線（１５−ｊ）に接触する第１電極（２１）と、第１電極（２１）に対してＹ軸方向に移動する第２電極（２２）とを形成する。両電極（２１，２２）がともに運動することは自由である。第１電極（２１）と第２電極（２２）は、プローブ（検出針）、ブラシ、ブラシで形成されるプローブが用いられ得る。第１電極（２１）と第２電極（２２）は、２次元ＸＹ座標系に対して直交するＺ軸方向に移動可能であることが好ましい。
【００１７】
修理器（３１，３５）は、導電性ペーストを既知の座標（Ｘ，Ｙ）で基板（１６）に塗布する塗布器（３１）と、導電性ペーストを座標（Ｘ，Ｙ）で焼成する焼成器（３５）とを形成している。
【００１８】
検査器（２４）の移動を記述する２次元ＸＹ座標系と、塗布器（３１）の移動を記述する２次元ＸＹ座標系と、焼成器（３５）の移動を記述する２次元ＸＹ座標系と、再検査器（２４）の移動を記述する２次元ＸＹ座標系との間で基板（１６）が順不同に移動可能であることは、工程の連係による簡素化を実現する。
【００１９】
基板（１６）の上に設定される２次元ＸＹ座標系で移動位置が記述され２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に移動し基板（１６）に形成され電極配線（１５−ｊ）の欠陥を示す欠陥位置の存在位置の座標（Ｘ，Ｙ）を光学画像で検出して欠陥の存否を検査する他の検査器が共動座標系に組み込まれることは、公知技術の利点が取り込まれ、且つ、画像形成工程が連係工程に取り込まれてその工程が他の工程に対して簡素化される。
【００２０】
本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理方法は、基板（１６）の上に設定される２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に基板（１６）に対して第１検査器（２４）を移動させる第１移動工程と、検査器（２４）により電極配線（１５−ｊ）の欠陥（２３）を電気導通により検出して欠陥（２３）の２次元座標（Ｘ，Ｙ）を検出する第１検出工程と、２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に基板（１６）に対して修理器（３１，３５）を移動させる第２移動工程と、２次元座標（Ｘ，Ｙ）で表される欠陥位置に対応する修理位置で欠陥（２３）を修理する修理工程と、２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に基板（１６）に対して第２検査器（２４）を移動させる第３移動工程と、検査器（２４）により電極配線（１５−ｊ）の２次元座標の修理位置で電気導通により検出して欠陥（２３）の存在を再検出する第２検出工程とから構成されている。このような工程連鎖が工程を簡素化することは、既述のとおりである。
【００２１】
第１移動工程に固有である２次元ＸＹ座標系と、第１検出工程に固有である２次元ＸＹ座標系と、第２移動工程に固有である２次元ＸＹ座標系と、修理工程に固有である２次元ＸＹ座標系と、第３移動工程に固有である２次元ＸＹ座標系と、第２検出工程に固有である２次元ＸＹ座標系との間で基板（１６）を移動させる複数工程間移動工程とが効果的に追加される。基板（１６）は、必要工程に自在に移動することができる。複数工程間移動工程の移動は順不同であることは、結果的な効果を奏する。工程間は機械的に定められる座標系で記述され、共動座標系の移動は機械的に定められる座標系で記述される。
【００２２】
既述の複数の２次元ＸＹ座標系絶対的に同一であることが可能であり、作業機器の運動距離が短縮化され、基板は不動化され得る。修理工程は、２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に基板（１６）に対してペースト塗布器（３１）を移動させる第４移動工程と、２次元座標（Ｘ，Ｙ）で表される欠陥位置に対応する修理位置でペースト塗布器（３１）によりペーストを塗布する塗布工程と、２次元ＸＹ座標系でＸ軸方向とＹ軸方向に基板（１６）に対して焼成器（３５）を移動させる第５移動工程と、２次元座標（Ｘ，Ｙ）で表される欠陥位置に対応する修理位置でペーストを焼成する焼成工程とから形成される。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理装置、及び、それの修理方法は、修理前の導通検査工程と修理工程と修理後の導通検査工程のフローを簡素化することができる。修理前の導通検査工程と修理工程と修理後の導通検査工程のフローを簡素化することにより、品質を保証し製造コストを低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理装置の具体化は、図に対応して以下に詳しく記述される。図１は、本発明によるプロセスにより正常配線が組み込まれているプラズマディスプレイパネルを示している。ＰＤＰ１０は、表示側基板１と表示側基板１に対向して配置される対向基板２とから構成されている。表示側基板１は、表示側ガラス基板３を形成している。表示側ガラス基板３には、それの裏面側に面放電電極４が形成されている。複数のライン状の面放電電極４は、互いに平行に配置されている。表示側ガラス基板３の裏面側に、第１透明誘電体層５が形成されている。第１透明誘電体層５は、表示側ガラス基板３の裏面側と面放電電極４を被覆している。第１透明誘電体層５には、それの裏面側に、ブラックマトリックス６が形成されている。ブラックマトリックス６は、格子状に形成され、単位格子は単位画素を画定している。第１透明誘電体層５には、それの裏面側に、第２透明誘電体層７が形成されている。第２透明誘電体層７は、第１透明誘電体層５の裏面側とブラックマトリックス６を被覆している。第２透明誘電体層７には、それの裏面側に、保護層８が形成されている。保護層８は、第２透明誘電体層７を被覆している。
【００２５】
対向基板２は、表示側ガラス基板３に対向する対向ガラス基板９を形成している。対向基板２には、それの裏面側（表示側基板１に対向する側）にアドレス電極１１が形成されている。アドレス電極１１は、面放電電極４に直交している。複数のアドレス電極１１は、互いに離隔して平行に配置されている。対向ガラス基板９の裏面側に、誘電体層１２が形成されている。誘電体層１２は、対向ガラス基板９の裏面側とアドレス電極１１を被覆している。誘電体層１２には、それの裏面側に、隔壁１３が形成されている。隔壁１３は、放電セルを形成している。複数の隔壁１３は、ストライプ状に形成されている。隣り合う隔壁１３の間には、蛍光体層１４が形成されている。蛍光体層１４は、誘電体層１２の裏面側と隔壁１３の両側側面を被覆し凹面を形成している。蛍光体層１４は、Ｒ、Ｇ、Ｂの順番に塗り分けられている。
【００２６】
表示側基板１と対向基板２の間に放電ガスが封入される。バス電極の１対には走査パルスが順次に印加され、その順次の印加に同期して選択されるアドレス電極１１にアドレスパルスが印加される。走査パルスの走査的印加がＰＤＰ１０の全面に行われた後に、パネル全面で維持放電が実行されて、カラー発光が得られる。このような動作は、６０分の１秒のフィールド期間の中で、ディジタル化された階調データに対応する規定の発光回数を有する複数のサブフィールドで行われる。このような発光表示の装置として、カラーＴＶ表示装置が好適に例示される。このようなＰＤＰの電極は、ディスプレイ表示の重要な要素技術であり、電極の形成の品質はその表示の品質を定める。
【００２７】
図２は、表示側ガラス基板３に形成される面放電電極４、又は、対向ガラス基板９に形成されるアドレス電極１１を示している。基板に形成される電極群は、以下の記述では一般的に参照番号１５で示される。表示側ガラス基板３と対向ガラス基板９は、以下の記述では一般的に電極形成基板１６として表される。図２に示される２次元座標系は、電極形成基板１６に固定されて設定されている。電極群は、互いに平行に等間隔に離隔する電極要素１５−ｊ（ｊ＝１〜ｎ）で形成されている。１つの電極要素１５−ｊの任意の位置又は１つの電極要素１５−ｊの離散的位置は、座標（Ｘ，Ｙ）で表される。今の場合には、電極要素１５−ｊが延びる方向は、Ｙ軸方向に一致している。
【００２８】
図２は、欠陥個所のＸ座標検出のための第１ステップの導通検査方法を示している。Ｘ座標位置検出プローブユニット１７は、Ｘ軸方向に移動可能に、電極形成基板１６に相対的に支持されている。Ｘ座標位置検出プローブユニット１７の移動位置は、座標系ＸＹ上で記述される。Ｘ座標位置検出プローブユニット１７は、Ｙ軸方向一端部位１８とＹ軸方向他端部位１９とから形成されている。Ｙ軸方向一端部位１８は、Ｘ座標検出用一端側プローブ（一端側電極探針）２１を備えている。Ｙ軸方向他端部位１９は、Ｘ座標検出用他端側プローブ２２を備えている。Ｘ座標検出用一端側プローブ２１は電極要素１５−ｊのＹ軸方向一端部位に電気的に接触し、Ｘ座標検出用他端側プローブ２２は電極要素１５−ｊのＹ軸方向他端部位に電気的に接触する。１つのＸ座標検出用一端側プローブ２１と１つのＸ座標検出用他端側プローブ２２は、１対の導通検査プローブ対を形成する。そのような導通検査プローブ対の複数対がＸ座標位置検出プローブユニット１７に構成されることは好ましい。複数対の導通検査プローブ対は、それぞれに全ての電極要素１５−ｊの導通非導通を検査する。図２に示される電極群の導通状態では、電極要素１５−３が非導通であることが検出される。このような検出により、電極要素１５−３に欠陥部位２３が存在することが検出される。Ｘ座標位置検出プローブユニット１７は、
Ｘ＝３
を出力する。
【００２９】
図３は、欠陥個所Ｙ座標検出のための第２ステップの導通検査方法を示している。Ｙ座標位置検出プローブユニット２４は、Ｘ軸方向に移動可能に、電極形成基板１６に相対的に支持されている。Ｙ座標位置検出プローブユニット２４は、本体２５を形成している。Ｙ座標位置検出プローブユニット２４は、本体２５のＹ軸方向一端部位に固定されるＹ座標検出用一端側プローブ２６と、Ｙ軸方向に移動可能に本体２５に支持され、本体２５のＹ軸方向一端部位とＹ軸方向他端部位との間で往復的に移動するＹ座標検出用他端側プローブ２７とを形成している。Ｙ座標検出用一端側プローブ２６は電極要素１５−ｊの一端部位にＹ軸方向に非移動的に電気的に接触し、Ｙ座標検出用他端側プローブ２７は電極要素１５−ｊの他端部位から一端部位の間で電気的にＹ軸方向に移動的に接触する。
【００３０】
本体２５には、定電圧電源２８と電流計２９とが配置されている。Ｙ座標検出用一端側プローブ２６とＹ座標検出用他端側プローブ２７との間が導通すれば、電流計２９に概ね一定の電流が流れて電流計２９はその一定電流値を出力する。Ｙ座標検出用一端側プローブ２６とＹ座標検出用他端側プローブ２７との間が断線すれば、電流計２９は零電流値を出力する。今の場合には、Ｙ座標検出用他端側プローブ２７が電極要素１５−３のＹ軸方向他端部位からＹ軸方向一端部位に移動する間で、Ｙ座標検出用他端側プローブ２７が欠陥部位２３の始端を過ぎ欠陥部位２３を通り欠陥部位２３の終端に接触するまでは、電流計２９は零電流値を出力し、Ｙ座標検出用他端側プローブ２７が欠陥部位２３の終端に到達する時に、電流計２９は一定電流値を出力する。Ｙ座標検出用他端側プローブ２７の移動量は、図示されない移動量検出器又は移動位置検出器により検出されて既知である。電流計２９の検出値が零電流値から一定電流値に遷移する時点のＹ座標検出用他端側プローブ２７の存在位置がＹ座標位置として、Ｙ座標位置検出プローブユニット２４から、
Ｙ＝Ａ
が出力される。そのＹ座標位置より手前に欠陥部位２３が存在することが知られ得る。Ｙ軸位置一定電流値に閾値を設定することは、誤検出防止のために有効である。Ｙ座標検出用他端側プローブ２７は、欠陥部位２３の存在を検出した後に更にＹ座標検出用一端側プローブ２６の位置まで移動し、電極要素１５−３の複数箇所の欠陥存在のＹ座標を検出する。
【００３１】
図４は、既述の導通検査工程により座標（Ｘ，Ｙ）が検出されている欠陥部位２３に対して実行する修理工程のうちのペースト塗布工程を示している。既述のＸＹ座標系は、電極形成基板１６に固定的に記述されている。図４の電極形成基板１６は、図２の電極形成基板１６と図３の電極形成基板１６に同一である。修理機器は、ＸＹ座標系上で記述される。その修理機器は、本体プレート３１と本体プレート３１に固定的に支持されているペースト塗布ニードル３２とから形成されている。本体プレート３１には、ペースト溜まりの穴（図示されず）が開いていて、そのペースト溜まりには導電性ペーストが貯留されている。ペースト塗布ニードル３２は電極形成基板１６の電極形成平面に対して垂直に向いて立ち上がって、ペースト塗布ニードル３２の先端先鋭部位３３がそのペースト溜まりに侵入してそこから退出する際に、適正量の導電性ペーストが表面張力により先端先鋭部位３３に付着する。先端先鋭部位３３は、欠陥部位２３の真上の既知の座標位置（Ｘ，Ｙ）まで移動する。ペースト塗布ニードル３２は、その位置座標で電極形成基板１６の電極形成平面に対して垂直に接近する。適正な粘度を有する導電性ペーストは、先端先鋭部位３３から流下して、座標位置（Ｘ，Ｙ）を中心とする局所的円形範囲３４に流動的に拡大して電極形成基板１６の電極形成面に転写されて塗りつけられる。このように、ペースト塗布ニードル３２は、電極形成面に導電性ペーストを点塗布する（点状に、又は、点滴状に塗布する。）。
【００３２】
修理用の導電性ペーストとしては、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｎｉ、Ａｌの群から選択される１又は複数の導電性金属粒子が用いられ得る。又は、修理用の導電性ペーストは、Ｒｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｍｎ、Ｃｕの群から選択される１又は複数の導電性金属粒子又はそれらの酸化物が用いられ得る。修理対象の電極配線は、感光性導電ペーストを用いるフォトリソグラフィー法により形成され得る。又は、修理対象の電極配線は、導電ペーストを用いるスクリーン印刷法により形成され得る。
【００３３】
図５は、修理工程のうちのペースト焼成工程を示している。既述の本体プレート３１又は本体プレート３１と別個に移動するレーザー照射器支持本体３５には、レーザー照射器（図示されず）が固定的に支持されている。レーザービーム３６は、電極形成基板１６の電極形成面の座標位置（Ｘ，Ｙ）の近傍でその電極形成面対して垂直方向に照射される。レーザービーム３６の照射を受ける既述の局所的円形範囲３４の導電性ペーストから揮発性物質が蒸発し、導電性ペーストはそれの導電性微粒子どうしが互いに結合して焼結領域３７で焼結する。欠陥部位２３で焼結される導電性ペーストの導電性物質は、欠陥部位で電極要素１５−３を修復して１本の電極線１５−３を再現する。
【００３４】
図６は、再導通検査工程を示している。再導通検査工程には、図３の既述のＹ座標位置検出プローブユニット２４が再使用される。再導通検査工程では、Ｙ座標検出用一端側プローブ２６とＹ座標検出用他端側プローブ２７はともに可動的に用いられる。Ｙ座標検出用一端側プローブ２６とＹ座標検出用他端側プローブ２７は、座標位置（Ｘ，Ｙ）に速やかに接近し、Ｙ座標検出用一端側プローブ２６は位置（Ｘ，Ｙ＋ΔＹ１）に進み、Ｙ座標検出用他端側プローブ２７は位置（Ｘ，Ｙ−ΔＹ２）に進む。（Ｘ，Ｙ＋ΔＹ１）は、焼結領域３７よりＹ軸方向正方向に僅かに離れた位置を示し、（Ｙ，Ｙ−ΔＹ２）は、焼結領域３７に近接し焼結領域３７よりＹ軸方向負方向に僅かに離れた位置を示している。電流計２９の規定値以上の電流値検出は欠陥部位２３の修復完了を示し、Ｙ座標位置検出プローブユニット２４は欠陥修復完了信号３８を出力する。電流計２９の規定値以下の電流値検出（零値検出）は欠陥部位２３の修復未完了を示し、Ｙ座標位置検出プローブユニット２４は欠陥修復未完了信号３９を出力する。欠陥修復未完了信号３９に基づいて、電極形成基板１６は修理工程に戻される。
【００３５】
図７は、導通検査工程の他の実現化を示している。Ｙ座標検出用他端側プローブ２７は、Ｙ座標検出用一端側プローブ２６に最近接した位置からＹ軸方向負方向に移動する。この場合には、電流計２９の検出電流が規定値以上から規定値以下に遷移するときのＹ座標検出用他端側プローブ２７の移動量に対応して欠陥部位２３の座標位置が定められる。
【００３６】
図８は、導通検査工程の更に他の実現化を示している。Ｙ座標検出用一端側プローブ２６とＹ座標検出用他端側プローブ２７は、隣り合う電極線１５−ｊ，１５−ｊ＋１の間の短絡を発見する。その短絡の位置の特定には、ＣＣＤカメラのような機器による画像形成と画像認識が利用され得る。
【００３７】
導通検査工程系と修理工程系は、互いに異なる工程設定系に位置づけられることが好ましい。この場合には、Ｘ座標位置検出プローブユニット１７とＹ座標位置検出プローブユニット２４は導通検査工程系に固有に属し、本体プレート３１は修理工程系に固有に属する。導通検査工程系は、第１導通検査工程系と第２導通検査工程系とに分離され得る。この場合には、Ｘ座標位置検出プローブユニット１７は第１導通検査工程系に固有に属し、Ｙ座標位置検出プローブユニット２４は第２導通検査工程系に固有に属する。このような工程系の場所的独立化は、その系に属する移動機器の干渉を確実に排除してそれぞれの運動系を簡素化することができる。再導通検査工程系は、導通検査工程系に同一であることが系の単一化による簡素化の点で好ましい。複数の工程系には、同一のＸＹ座標系が設定される。異なる系間で移動する電極形成基板１６は、それぞれの系で位置識別され得る。このため、異なる座標系でそれぞれに設定されるＸＹ座標系は、共通化されて単一座標系として取り扱われ得る。工程系の座標的従属化により、導通検査工程で検出される（Ｘ，Ｙ）を修理工程にフィードフォアワードして複数工程系の連係作業を簡素化することができる。
【００３８】
導電性プローブは、導電性ブラシとして形成され得る。そのようなブラシには、金属細線又は合金細線の束が用いられ得る。
【００３９】
複数の処理機器の運動の干渉を回避するプロセス設計では、電極形成基板１６の存在位置は単一の座標系で同定され得る。この場合には、導通検査工程系と修理工程系と再導通検査工程は単一の座標系で記述され、電極形成基板１６はその単一の座標系に固定され移動することはない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理装置の適用対象の実例を示す斜軸投影図である。
【図２】本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理方法のＸ軸方向導通検査工程を示す平面図である。
【図３】本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理方法のＹ軸方向導通検査工程を示す平面図である。
【図４】本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理方法の修理工程を示す平面図である。
【図５】本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理方法の焼成工程を示す平面図である。
【図６】本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理方法の再導通検査工程を示す平面図である。
【図７】本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理方法の他のＹ軸方向導通検査工程を示す平面図である。
【図８】本発明によるプラズマディスプレイパネル電極の修理方法の他の導通検査工程を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４１】
符号は、原則的に、解決手段の項で記述される技術用語に対応している。
１５−ｊ…電極配線
１６…基板
１７…検査器
１８…本体
２１…第１電極
２２…第２電極
２３…欠陥
２４…検査器（再検査器）
３１…修理器（塗布器）
３５…修理器（焼成器）
【図１】
2005050674.tif 000003
【図２】
2005050674.tif 000004
【図３】
2005050674.tif 000005
【図４】
2005050674.tif 000006
【図５】
2005050674.tif 000007
【図６】
2005050674.tif 000008
【図７】
2005050674.tif 000009
【図８】
2005050674.tif 000010