(57)【要約】【課題】複数の撮像手段によってワークの撮像を行う装置において、ある撮像手段によるワークの撮像が、他の撮像手段によるワークの撮像の邪魔をしないようにすること。【解決手段】本発明の配線パターン検査装置によれば、動作指令があった場合には、キャリアフィルム１０を所定ピッチで搬送し、所定数の基板１２を検査テーブル６０，６２に搬送する駆動ローラ５０と、検査テーブルに搬送された基板の各々をキャリアフィルムの片面側又は両面側から各々撮像する複数の撮像用カメラ１１４，１２４と、各撮像用カメラが、各々対応する基板の面の撮像を完了したか否かを判定する画像処理／駆動制御部１１５と、各撮像用カメラの全てが、各々対応する基板の面の撮像を完了したと判定された場合には、駆動ローラに動作指令すると共に、各撮像用カメラによる撮像データに基づいて各配線パターンの欠陥の有無を判定する統合制御部２０２とを備えている。【選択図】      図１０
2005274404.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャリアフィルムの長手方向に沿って所定間隔で配置された複数の基板に形成された各配線パターンを光学的に検査する配線パターン検査装置において、
動作指令があった場合には、前記キャリアフィルムを前記長手方向に沿って所定ピッチで搬送することによって、前記キャリアフィルム上に配置された所定数の基板を、所定の検査領域に搬送する搬送手段と、
前記搬送手段によって前記検査領域に搬送された前記所定数の基板の各々を、前記キャリアフィルムの片面側または両面側からそれぞれ撮像する複数の撮像手段と、
前記各撮像手段が、それぞれ対応する基板の面の撮像を完了したか否かを判定する撮像完了判定手段と、
前記撮像完了判定手段によって、前記各撮像手段の全てが、それぞれ対応する基板の面の撮像を完了したと判定された場合には、前記搬送手段に動作指令する制御手段と、
前記各撮像手段による撮像データに基づいて前記各配線パターンの欠陥の有無を判定する欠陥有無判定手段と
を備えた配線パターン検査装置。
【請求項２】
キャリアフィルムの長手方向に沿って所定間隔で配置された複数の基板に形成された各配線パターンを光学的に検査する配線パターン検査装置において、
動作指令があった場合には、前記キャリアフィルムを前記長手方向に沿って所定ピッチで搬送することによって、前記キャリアフィルム上に配置された基板を、所定の検査領域に搬送する搬送手段と、
前記搬送手段によって前記検査領域に搬送された基板を、前記キャリアフィルムの所定面側から撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって前記基板の所定面が撮像された場合には、前記搬送手段に動作指令する制御手段と
を備えてなる複数の撮像ユニットと、
前記各撮像ユニットの間に介挿して設けられ、前記キャリアフィルムの一部であって１つ以上の基板を配置可能な長さを保持することが可能であり、搬送方向上流側の撮像ユニットの搬送手段が動作した場合には、この搬送手段によって搬送されるキャリアフィルムを、既に保持しているキャリアフィルムを保持したまま受け取り、搬送方向下流側の撮像ユニットの搬送手段が動作した場合には、前記搬送方向上流側の撮像ユニットからキャリアフィルムを引っ張ることなく、前記既に保持しているキャリアフィルムが前記搬送方向下流側の撮像ユニットに搬送されるようにしたバッファ手段と、
前記各撮像手段による撮像データに基づいて前記各配線パターンの欠陥の有無を判定する欠陥有無判定手段と
を備えた配線パターン検査装置。
【請求項３】
キャリアフィルムの長手方向に沿って所定間隔で配置された複数の基板に形成された各配線パターンを光学的に検査する配線パターン検査装置において、
動作指令があった場合には、前記キャリアフィルムを前記長手方向に沿って所定ピッチで搬送することによって、前記キャリアフィルム上に配置された所定数の基板を、所定の検査領域に搬送する搬送手段と、
前記搬送手段によって前記検査領域に搬送された前記所定数の基板の各々を、前記キャリアフィルムの任意面側からそれぞれ撮像する複数の撮像手段と、
前記各撮像手段が、それぞれ対応する基板の面の撮像を完了したか否かを判定する撮像完了判定手段と、
前記撮像完了判定手段によって、前記各撮像手段の全てが、それぞれ対応する基板の面の撮像を完了したと判定された場合には、前記搬送手段に動作指令する制御手段と
を備えてなる２つの撮像ユニットと、
前記各撮像ユニットの間に介挿して設けられ、前記キャリアフィルムの一部であって１つ以上の基板を配置可能な長さを保持することが可能であり、搬送方向上流側の撮像ユニットの搬送手段が動作した場合には、この搬送手段によってピッチ搬送されるキャリアフィルムを、既に保持しているキャリアフィルムを保持したまま受け取り、搬送方向下流側の撮像ユニットの搬送手段が動作した場合には、前記搬送方向上流側の撮像ユニットからキャリアフィルムを引っ張ることなく、前記既に保持しているキャリアフィルムが前記搬送方向下流側の撮像ユニットに搬送されるようにしたバッファ手段と、
前記各撮像手段による撮像データに基づいて前記各配線パターンの欠陥の有無を判定する欠陥有無判定手段とを備え、
一方の撮像ユニットの撮像手段で前記基板の表面側を、他方の撮像ユニットの撮像手段で前記基板の裏面側をそれぞれ撮像するようにした配線パターン検査装置。
【請求項４】
請求項３に記載の配線パターン検査装置において、
前記搬送方向上流側の撮像ユニットからピッチ搬送されたキャリアフィルムを折り返し、この折り返されたキャリアフィルムが前記搬送方向下流側の撮像ユニットに搬送されるようにすることによって、前記２つの撮像ユニットの各撮像手段が、それぞれ同一の撮像方向でありながら、それぞれキャリアフィルムの表面側および裏面側からの撮像ができるようにした折り返し手段を備えた配線パターン検査装置。
【請求項５】
請求項３に記載の配線パターン検査装置において、
前記搬送方向上流側の撮像ユニットからピッチ搬送されたキャリアフィルムを折り返し、この折り返されたキャリアフィルムが前記搬送方向下流側の撮像ユニットに搬送されるようにすることによって、前記２つの撮像ユニットの各撮像手段が、それぞれ逆方向になるような撮像方向で、それぞれキャリアフィルムの表面側および裏面側からの撮像ができるようにした折り返し手段を備えた配線パターン検査装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のうち何れか１項に記載の配線パターン検査装置において、
前記欠陥有無判定手段によって欠陥有りと判定された配線パターンの欠陥箇所を拡大観察する拡大観察手段と、
前記欠陥有無判定手段によって欠陥有りと判定された配線パターンに対応する基板にパンチ穴を開ける穴開け手段か、または所定の目印を付す目印付与手段かの何れか一方と
を備えた配線パターン検査装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のうち何れか１項に記載の配線パターン検査装置において、
前記欠陥有無判定手段によって欠陥有りと判定された配線パターンに対応する基板の予め付された識別情報、この基板における前記欠陥個所の位置情報を記憶媒体に記憶させる欠陥データ収集手段と、
通信ネットワークを介して前記記憶媒体から前記識別情報および位置情報を取得し、取得した識別情報および位置情報に基づいて、前記欠陥箇所を拡大観察する拡大観察手段と、
通信ネットワークを介して前記記憶媒体から前記識別情報を取得し、取得した識別情報に基づいて、前記欠陥個所が存在する基板にパンチ穴を開ける穴開け手段か、または所定の目印を付す目印付与手段かの何れか一方と
を備えた配線パターン検査装置。
【請求項８】
請求項１乃至３のうち何れか１項に記載の配線パターン検査装置を用いて、配線パターンの欠陥の有無を判定するようにした配線パターン検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャリアフィルム上に所定ピッチで配置された半導体パッケージ等に形成された配線パターンの欠陥を検査する配線パターン検査装置および検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に電気機器の小型・軽量化のために使用される半導体パッケージに形成された配線パターンは、テープ状のポリイミドフィルムに銅箔を接着剤でラミネートし、これをサブトラクティブ法やセミアディティブ法等によりパターンニング処理して、厚さが5〜15μm、最も集積度を有する部分で幅が10μm程度のパターンである。このパターニング処理工程において、配線パターンの細り（欠け）、断線、ショート、太り（突起）等の重欠陥が発生する。従来これら欠陥の有無は、オープン／ショート導通検査や、目視検査によって判別されている。
【０００３】
しかしながら、目視検査は、熟練を要するために、検査員の体調等により検査結果にばらつきが生じてしまう。配線パターンは、近年、益々微細化されているので、これに伴い、このような目視検査の信頼性は益々低下していくことが否めない。特に、上記半導体パッケージに適用されるような多層配線板において、最小10μm幅の配線パターンに存在する各種欠陥を目視にて検査することは不可能に近い。
【０００４】
そこで、最近では、カメラを使用して自動的に欠陥有無を検査する配線パターン検査装置が各種提案されている（例えば、特許文献１乃至３）。このような装置では、例えば10μｍ幅内の1/3以上の欠陥を検出するためには、撮像分解能1μｍを実現しなければならない。
【０００５】
すなわち、このような配線パターンは、キャリアフィルムの片面または両面に形成されるのが一般的である。このようにキャリアフィルム上に形成された配線パターンを、従来の配線パターン検査装置を用いて短時間で検査するためには、キャリアフィルムを長手方向に搬送しながら、連続的に検査する必要がある。
【０００６】
キャリアフィルムは、一般的にフィルム厚が50μｍ以上と厚いため、両端側にスプロケットホールと呼ばれる搬送用ガイド穴が設けられている。そして、このスプロケットホールを用いて、検査対象とするワークを安定搬送し、検査エリアにセットする。そしてこの検査エリアにおいて、撮像手段であるＣＣＤ等のカメラを用いて、このワークの表面を走査しながらワーク表面の画像を撮像する。
【０００７】
該ワークの画像の撮像が終了すると、スプロケットを用いてキャリアフィルムを長手方向に搬送し、次のワークを検査エリアにセットする。そしてこの検査エリアにおいても、カメラを用いて、このワークの表面を走査しながらワーク表面の画像を撮像する。
【０００８】
これを繰り返し行うことによって、全ワークについての画像を得し、これら画像を画像処理等を用いてマスター画像（無欠陥の画像）と比較することによって欠陥有無の判定を行っているのがほとんどである。
【０００９】
検査時間を更に短縮し、検査効率の更なる向上を図るために、例えば、特許文献１では、カメラを複数備えた装置が開示されている。更に特許文献２では、キャリアフィルムの表面および裏面をそれぞれ撮像するために複数のカメラを備えた装置が開示されている。
【特許文献１】特開２０００−２４９６６２
【特許文献２】特開平８−１４５９１３
【特許文献３】特開２０００−１０６４８０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、このような従来の配線パターン検査装置では、以下のような問題がある。
【００１１】
すなわち、複数のカメラを用いることによって、複数のワークを並行して撮像することができるようになることから、確かに検査時間を短縮することはできる。しかしながら、以下に示すような理由によって、更なる検査効率向上の余地が残されている。
【００１２】
つまり、ワークの撮像は、図１４に示すように、ワーク１０上でカメラを略Ｓ字のラインに沿って走査する所謂ラインセンシングしながら行ってゆく。複数のカメラを備えた配線パターン検査装置の場合、各カメラによる走査を同時に開始したとしても、各カメラの走査駆動性能の違いから走査が完了するまでの時間に若干の差が生じてしまう。
【００１３】
各カメラは、あるワークの撮像を完了すると、次のワークの撮像を行うために、キャリアフィルムを長手方向に沿って搬送し、検査エリアにセットしようとする。しかしながら、その時点で、別のカメラが撮像途中であれば、ワークが動いてしまい、正しく撮像できなくなるという問題がある。
【００１４】
また、スプロケットホールがあれば搬送は容易であるが、フィルム厚が薄いためにスプロケットホールが形成できないため、搬送および位置決めが難しく、安定な位置決めができなければ、撮像および検査に重大な影響を及ぼす。
【００１５】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、その第１の目的は、複数の撮像手段によってワークの撮像を行う装置において、ある撮像手段によるワークの撮像が、他の撮像手段によるワークの撮像の邪魔をすることのない配線パターン検査装置および検査方法を提供することにある。
【００１６】
また、その第２の目的は、複数の撮像手段によってワークの撮像を行う装置において、ある撮像手段によるワークの撮像が終了した場合に、他の撮像手段によるワークの撮像が途中であっても、他の撮像手段によるワークの撮像の邪魔をすることなく、次のワークの撮像に移行できるようにすることによって各撮像手段の稼動率を高め、もって、キャリアフィルム全体の検査に要する時間を短縮することが可能な配線パターン検査装置および検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記の目的を達成するために、本発明では、以下のような手段を講じる。
【００１８】
すなわち、請求項１の発明は、上記第１の目的を達成するために、キャリアフィルムの長手方向に沿って所定間隔で配置された複数の基板に形成された各配線パターンを光学的に検査する配線パターン検査装置において、動作指令があった場合には、キャリアフィルムを長手方向に沿って所定ピッチで搬送することによって、キャリアフィルム上に配置された所定数の基板を、所定の検査領域に搬送する搬送手段と、搬送手段によって検査領域に搬送された所定数の基板の各々を、キャリアフィルムの片面側または両面側からそれぞれ撮像する複数の撮像手段と、各撮像手段が、それぞれ対応する基板の面の撮像を完了したか否かを判定する撮像完了判定手段と、撮像完了判定手段によって、各撮像手段の全てが、それぞれ対応する基板の面の撮像を完了したと判定された場合には、搬送手段に動作指令する制御手段と、各撮像手段による撮像データに基づいて各配線パターンの欠陥の有無を判定する欠陥有無判定手段とを備えている。
【００１９】
従って、請求項１の発明の配線パターン検査装置においては、以上のような手段を講じることにより、複数の撮像手段によって基板の撮像を行う装置において、ある撮像手段による基板の撮像を、他の撮像手段による撮像の邪魔をすることなく行うことができる。
【００２０】
請求項２の発明は、上記第２の目的を達成するために、キャリアフィルムの長手方向に沿って所定間隔で配置された複数の基板に形成された各配線パターンを光学的に検査する配線パターン検査装置において、複数の撮像ユニットと、バッファ手段と、欠陥有無判定手段とを備えている。各撮像ユニットは、動作指令があった場合には、キャリアフィルムを長手方向に沿って所定ピッチで搬送することによって、キャリアフィルム上に配置された基板を、所定の検査領域に搬送する搬送手段と、搬送手段によって検査領域に搬送された基板を、キャリアフィルムの所定面側から撮像する撮像手段と、撮像手段によって基板の所定面が撮像された場合には、搬送手段に動作指令する制御手段とを備えている。バッファ手段は、各撮像ユニットの間に介挿して設けられ、キャリアフィルムの一部であって１つ以上の基板を配置可能な長さを保持することが可能であり、搬送方向上流側の撮像ユニットの搬送手段が動作した場合には、この搬送手段によって搬送されるキャリアフィルムを、既に保持しているキャリアフィルムを保持したまま受け取り、搬送方向下流側の撮像ユニットの搬送手段が動作した場合には、搬送方向上流側の撮像ユニットからキャリアフィルムを引っ張ることなく、既に保持しているキャリアフィルムが搬送方向下流側の撮像ユニットに搬送されるようにしている。欠陥有無判定手段は、各撮像手段による撮像データに基づいて各配線パターンの欠陥の有無を判定する。
【００２１】
従って、請求項２の発明の配線パターン検査装置においては、以上のようなバッファ手段を設けることにより、ある撮像手段による基板の撮像が終了した場合に、他の撮像手段による基板の撮像が途中であっても、他の撮像手段による撮像を邪魔することなく、次の基板の撮像に移行することができる。その結果、各撮像手段の稼動率を高め、もって、キャリアフィルム全体の検査に要する時間を短縮することが可能となる。
【００２２】
請求項３の発明は、上記第２の目的を達成するために、キャリアフィルムの長手方向に沿って所定間隔で配置された複数の基板に形成された各配線パターンを光学的に検査する配線パターン検査装置において、２つの撮像ユニットと、バッファ手段と、欠陥有無判定手段とを備えている。各撮像ユニットは、動作指令があった場合には、キャリアフィルムを長手方向に沿って所定ピッチで搬送することによって、キャリアフィルム上に配置された所定数の基板を、所定の検査領域に搬送する搬送手段と、搬送手段によって検査領域に搬送された所定数の基板の各々を、キャリアフィルムの任意面側からそれぞれ撮像する複数の撮像手段と、各撮像手段が、それぞれ対応する基板の面の撮像を完了したか否かを判定する撮像完了判定手段と、撮像完了判定手段によって、各撮像手段の全てが、それぞれ対応する基板の面の撮像を完了したと判定された場合には、搬送手段に動作指令する制御手段とを備えている。バッファ手段は、各撮像ユニットの間に介挿して設けられ、キャリアフィルムの一部であって１つ以上の基板を配置可能な長さを保持することが可能であり、搬送方向上流側の撮像ユニットの搬送手段が動作した場合には、この搬送手段によってピッチ搬送されるキャリアフィルムを、既に保持しているキャリアフィルムを保持したまま受け取り、搬送方向下流側の撮像ユニットの搬送手段が動作した場合には、搬送方向上流側の撮像ユニットからキャリアフィルムを引っ張ることなく、既に保持しているキャリアフィルムが搬送方向下流側の撮像ユニットに搬送されるようにしている。欠陥有無判定手段は、各撮像手段による撮像データに基づいて各配線パターンの欠陥の有無を判定する。そして、一方の撮像ユニットの撮像手段で基板の表面側を、他方の撮像ユニットの撮像手段で基板の裏面側をそれぞれ撮像する。
【００２３】
従って、請求項３の発明の配線パターン検査装置においては、以上のようなバッファ手段を設けることにより、所定数の基板の一方の面を撮像する撮像ユニットによる撮像が終了した場合に、所定数の基板の他方の面を撮像する撮像ユニットによる撮像が途中であっても、他の撮像ユニットによる撮像の邪魔をすることなく、次の所定数の基板の撮像に移行することができる。その結果、各撮像ユニットの稼動率を高め、もって、キャリアフィルム全体の検査に要する時間を短縮することが可能となる。
【００２４】
請求項４の発明は、上記第２の目的を達成するために、請求項３の発明の配線パターン検査装置において、搬送方向上流側の撮像ユニットからピッチ搬送されたキャリアフィルムを折り返し、この折り返されたキャリアフィルムが搬送方向下流側の撮像ユニットに搬送されるようにすることによって、２つの撮像ユニットの各撮像手段が、それぞれ同一の撮像方向でありながら、それぞれキャリアフィルムの表面側および裏面側からの撮像ができるようにした折り返し手段を備えている。
【００２５】
従って、請求項４の発明の配線パターン検査装置においては、以上のように、両撮像ユニットの撮像手段の撮像方向を同一にすることができるので、効率的に配置することが可能となる。
【００２６】
請求項５の発明は、上記第２の目的を達成するために、請求項３の発明の配線パターン検査装置において、搬送方向上流側の撮像ユニットからピッチ搬送されたキャリアフィルムを折り返し、この折り返されたキャリアフィルムが搬送方向下流側の撮像ユニットに搬送されるようにすることによって、２つの撮像ユニットの各撮像手段が、それぞれ逆方向になるような撮像方向で、それぞれキャリアフィルムの表面側および裏面側からの撮像ができるようにした折り返し手段を備えている。
【００２７】
従って、請求項５の発明の配線パターン検査装置においては、以上のような手段を講じることにより、両撮像ユニットの撮像手段の撮像方向を逆方向にすることができるので、効率的に配置することが可能となる。
【００２８】
請求項６の発明は、上記第１または第２の目的を達成するために、請求項１乃至５のうち何れか１項の発明の配線パターン検査装置において、欠陥有無判定手段によって欠陥有りと判定された配線パターンの欠陥箇所を拡大観察する拡大観察手段と、欠陥有無判定手段によって欠陥有りと判定された配線パターンに対応する基板にパンチ穴を開ける穴開け手段か、または所定の目印を付す目印付与手段かの何れか一方とを備えている。
【００２９】
従って、請求項６の発明の配線パターン検査装置においては、以上のような手段を講じることにより、欠陥有りと判定された配線パターンを拡大観察したり、他のものと識別できるようにパンチ穴を開けたり、目印を付すことができる。
【００３０】
請求項７の発明は、上記第１または第２の目的を達成するために、請求項１乃至６のうち何れか１項の発明の配線パターン検査装置において、欠陥有無判定手段によって欠陥有りと判定された配線パターンに対応する基板の予め付された識別情報、この基板における欠陥個所の位置情報を記憶媒体に記憶させる欠陥データ収集手段と、通信ネットワークを介して記憶媒体から識別情報および位置情報を取得し、取得した識別情報および位置情報に基づいて、欠陥箇所を拡大観察する拡大観察手段と、通信ネットワークを介して記憶媒体から識別情報を取得し、取得した識別情報に基づいて、欠陥個所が存在する基板にパンチ穴を開ける穴開け手段か、または所定の目印を付す目印付与手段かの何れか一方とを備えている。
【００３１】
従って、請求項７の発明の配線パターン検査装置においては、以上のような手段を講じることにより、検査に必要な機能のみを一体化し、その他の機能は、遠隔配置することができるので、装置を小型化することが可能となる。
【００３２】
また、請求項８の発明は、上記第１または第２の目的を達成するために、請求項１乃至３のうち何れか１項の発明の配線パターン検査装置を用いて、配線パターンの欠陥の有無を判定するようにした配線パターン検査方法である。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、複数の撮像手段によってワークの撮像を行う装置において、ある撮像手段によるワークの撮像が、他の撮像手段によるワークの撮像の邪魔をすることのない配線パターン検査装置および検査方法を実現することができる。
【００３４】
また、複数の撮像手段によってワークの撮像を行う装置において、ある撮像手段によるワークの撮像が終了した場合に、他の撮像手段によるワークの撮像が途中であっても、他の撮像手段によるワークの撮像の邪魔をすることなく、次のワークの撮像に移行できるようにすることによって各撮像手段の稼動率を高めることができる。これにより、キャリアフィルム全体の検査に要する時間を短縮することが可能な配線パターン検査装置および検査方法を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３６】
（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態を説明する。
【００３７】
図１は、第１の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の一例を示す系統構成図である。
【００３８】
また、図２は、キャリアフィルムに配置されている基板の一例を示す平面図である。
【００３９】
すなわち、本実施の形態に係る配線パターン検査装置は、キャリアフィルム等のワーク１０の長手方向に沿って所定間隔で配置された例えば半導体パッケージ用多層配線基板などの複数の基板１２に形成された各配線パターンを光学的に検査する配線パターン検査装置であって、ワーク巻き出しユニット１００と、検査ユニット１１０と、検査ユニット１２０と、レビュー・パンチユニット１３０と、ワーク巻き取りユニット１４０と、制御ユニット２００と、バッファユニット１６０，１７０，１８０，１９０とから構成している。
【００４０】
ワーク巻き出しユニット１００は、ワーク１０が巻き取られたワークリール１０１を備えている。このワークリール１０１は下段にセットされ、巻き取られたワーク１０が、リールシャフト軸１０１ａの回転によって、ガイドローラ１０２を介してバッファユニット１６０へと送り出されるようにしている。
【００４１】
また、ワーク巻き出しユニット１００は、スペーサテープリール１０３を、ワークリール１０１の上段にセットしている。スペーサテープリール１０３は、リールシャフト軸１０３ａの回転によって、ワークリール１０１にワーク１０と一緒に巻かれている保護用スペーサテープ１４を巻き取る。
【００４２】
バッファユニット１６０は、ダンサーローラ１６１を備えており、ワーク１０は、このダンサーローラ１６１を抱きかかえるようにその下側半周を介した後に検査ユニット１１０側に送られるようにしている。ダンサーローラ１６１が上下方向に自由に移動可能な構成としているので、このような構成のバッファユニット１６０にワーク巻き出しユニット１００からワーク１０が搬送されると、ダンサーローラ１６１の位置が低くなる。逆に、ワーク１０が検査ユニット１１０側に搬送されると、ダンサーローラ１６１の位置が高くなる。
【００４３】
また、バッファユニット１６０は上下限センサ１６２を備えている。上下限センサ１６２は、ダンサーローラ１６１の上下方向における位置を検出し、検出結果を制御ユニット２００の統合制御部２０２に送信する。これによって、統合制御部２０２は、バッファユニット１６０におけるダンサーローラ１６１の位置を把握し、ワーク１０の状態を間接的に把握するとともに、ダンサーローラ１６１の上下方向位置が、予め定めた上限値または下限値を超えないようにワーク巻き出しユニット１００および検査ユニット１１０を制御する。
【００４４】
各ユニット１１０，１２０，１３０は、ワーク１０を搬送する搬送手段としてそれぞれ一対のテープ搬送用駆動ローラ５０を備えている。この一対のテープ搬送用駆動ローラ５０（例えばテープ搬送用駆動ローラ５０ａ，５０ｂ）は、統合制御部２０２から動作指示があった場合には、高精度かつ安定した状態でワーク１０を所定ピッチ搬送する。検査対象であるワーク１０や基板１２のサイズ、搬送する所定ピッチ等の各種条件は、制御ユニット２００の入力装置２０１を介して予め統合制御部２０２に設定しておく。
【００４５】
バッファユニット１６０にあるワーク１０は、このようにして検査ユニット１１０のテープ搬送用駆動ローラ５０ａ，５０ｂによって所定ピッチ搬送されることによって、検査テーブル６０上に、検査対象とする基板１２が配置されるようにしている。なお、検査ユニット１１０では、キャリアフィルムに配置される奇数番目の基板１２を検査し、検査ユニット１２０では、偶数番目の基板１２を検査する。したがって、検査テーブル６０上には、奇数番目の基板１２が配置されるようにしている。
【００４６】
各ユニット１１０，１２０，１３０はそれぞれアライメントマーク読み取りカメラ１１７，１２７，１３７をそれぞれ備えている。アライメントマーク読み取りカメラ１１７は、検査テーブル６０上に奇数番目の基板１２が配置されると、図２に示すように、ワーク１０の中央（露光バッチ中央）で、かつワーク１０の両端に存在する両アライメントマーク１５を反射光学的に認識し、両アライメントマーク１５について、事前に設定した基準位置に対するＸＹθの補正量を求める。アライメントマークの反射光学的な認識およびＸＹθの補正量の算出方法について以下に補足する。
【００４７】
図３は、図２に示すアライメントマーク１５の拡大図である。すなわち、各アライメントマーク１５は、長方形の中に、光反射性の円形のマーク１５ａと、円形の穴であるマーク１５ｂとが設けられてなる。このようなアライメントマーク１５に対して正面側から光を照射した場合、光の進行状態は図４に示す通りとなる。図４は、図３に示すアライメントマーク１５をその厚み方向から見た断面図であり、図４における上下方向は、図３における紙面方向に相当する。アライメントマーク読み取りカメラ１１７は、このようなアライメントマーク１５に対して光を照射する。すると、図４に示すように、マーク１５ｂに到達した光は、透過光Ｔとなって反対側へと透過して行く一方、マーク１５ａに到達した光はマーク１５ａで反射し、反射光Ｒとなってアライメントマーク読み取りカメラ１１７側に戻ってくる。アライメントマーク読み取りカメラ１１７はこの反射光Ｒを撮像し、撮像結果を制御ユニット２００の一部である画像処理部２０３へと出力する。画像処理部２０３では、この撮像結果に基づいて、反射光Ｒの進行方向を把握する。そして、この進行方向から、図５に示すように、検査テーブル６０に配置された基板１２のズレＸ’，Ｙ’，θを把握し、補正量ΔＸ（＝Ｘ’−Ｘ），ΔＹ（＝Ｙ’−Ｙ）、θをそれぞれ求め、その結果を統合制御部２０２に出力する。
【００４８】
その後、露光バッチ中央から外側に向かって吸着力が増すようになっている吸着板１１８によってワーク１０の検査テーブル６０への吸着を行うと共に、ワーク１０の端の反り影響を軽減させるためのクランプ１１９が下降してワーク１０を固定する。吸着は好適には５系統以上の配管が望ましい。また、ワーク１０の厚みに応じて押し圧を可変できることが望ましい。
【００４９】
また、各ユニット１１０，１２０，１３０は、ＣＣＤカメラ１１１，１２１，１３１、撮像用カメラ１１４，１２４，１３４、画像処理／駆動制御部１１５，１２５，１３５、ステージコントローラ１１６，１２６，１３６、センサ類／吸着／クランプ／照調制御部１１３，１２３，１３３、およびシーケンサ１１２，１２２，１３２を備えている。
【００５０】
画像処理／駆動制御部１１５，１２５，１３５は、ＣＣＤカメラ１１１，１２１，１３１や、撮像用カメラ１１４，１２４，１３４のＸＹ面における駆動制御、これらカメラによって撮像された画像データの画像処理、統合制御部２０２との必要データの授受を行う。ステージコントローラ１１６，１２６，１３６は、これらカメラにおける駆動ステージ軸の駆動制御を行う。
【００５１】
シーケンサ１１２，１２２，１３２は、各種センサ類、吸着クランプ、照調等の統括制御を行う。
【００５２】
センサ類／吸着／クランプ／照調制御部１１３，１２３，１３３は、安定動作に必要なセンサ機能と、吸着板１１８，１２８、１３８の吸着機能を制御する機能と、クランプ１１９，１２９，１３９を制御する機能と、検査テーブル６０，６２，６４側の照明強度を調節する機能とを備えている。
【００５３】
検査ユニット１１０では、ワーク１０が検査テーブル６０に固定されると、ＣＣＤカメラ１１１が、図２に示すようにワーク１０上の所定位置に形成された管理コード１６（例えばワーク１０の識別情報を管理コード化したマーク等）を読み込み、読み込んだ管理コード情報を画像処理／駆動制御部１１５を経由して統合制御部２０２に送信する。
【００５４】
すると統合制御部２０２は、画像処理／駆動制御部１１５に対して、補正量ΔＸ，ΔＹ，θを出力する。画像処理／駆動制御部１１５は、この補正量に従って撮像開始位置を算出し、撮像用カメラ１１４をこの撮像開始位置に移動する。そして、図１４に示すように、ワーク１０の表面に沿ってＳ字を描くように走査する（ラインセンシングする）ことによって、基板１２に形成された配線パターンを撮像し、撮像した画像データを画像処理／駆動制御部１１５に出力する。
【００５５】
画像処理／駆動制御部１１５は、この画像データを受け取ると、この画像データに基づいて、基板１２に形成された配線パターンから、この配線パターンの特徴を抽出処理して得られる配線パターンデータと、メモリ（図示せず）に予め格納してある正常な設計配線パターンデータとの比較処理を行い、配線パターンの良否を判定する。また、画像処理／駆動制御部１１５は、この画像データを受け取ると、撮像用カメラ１１４による撮像が完了したものと判定する。そして、センサ類／吸着／クランプ／照調制御部１１３を介して、吸着板１１８の吸着機能を解除させるとともに、クランプ１１９による抑え機能を解除させる。更に、良否判定結果と、撮像完了信号とを統合制御部２０２に出力する。
【００５６】
統合制御部２０２は、このようにして良否判定結果と、撮像完了信号とを取得すると、撮像完了信号に基づいて、テープ搬送用駆動ローラ５０ａ，５０ｂに対して動作指示を送る。これによってテープ搬送駆動ローラ５０ａ，５０ｂが駆動し、バッファユニット１６０側から次の奇数番目の基板１２を搬送し、検査テーブル６０に載置するとともに、検査を終えたワーク１０をバッファユニット１７０側へと搬送する。このようにして検査テーブル６０に載置された基板１２もまた上記と同様な手順によって欠陥の有無が判定された後に、バッファユニット１７０側へと搬送されるようにしている。
【００５７】
バッファユニット１７０は、バッファユニット１６０と同様な構成をしている。そして、ダンサーローラ１７１によって、検査テーブル６０，６２よりも低い位置までキャリアフィルムを弛ませることによって、複数の基板１２を含むワーク１０を予め検査ユニット１１０の下流側に確保するようにしている。そして、検査ユニット１２０は、テープ搬送駆動ローラ５０ｃ，５０ｄを駆動させることによってバッファユニット１７０側から偶数番目の基板１２を取り込んで検査テーブル６２に載置する。そして、検査ユニット１２０もまた検査ユニット１１０と同様に動作することによってこの基板１２の欠陥の有無を検査し、検査終了後は、バッファユニット１８０側へと搬送する。
【００５８】
したがって、このようなバッファユニット１７０を備えることによって、検査ユニット１１０のテープ搬送駆動ローラ５０ａ，５０ｂが動作した場合には、これによって搬送されるワーク１０を、既に保持しているワーク１０を保持したまま、検査ユニット１２０側に強制的に送り出すことなく受け取ることができる。また、検査ユニット１２０のテープ搬送駆動ローラ５０ｃ，５０ｄが動作した場合には、検査ユニット１１０側からワーク１０を引っ張ることなく、既に保持しているワーク１０の中から偶数番目の基板１２が検査ユニット１２０に搬送されるようにしているので、検査ユニット１１０と検査ユニット１２０とがそれぞれ独立して基板１２の欠陥検査をできるようにしている。
【００５９】
なお、バッファユニット１７０もまたバッファユニット１６０と同様に上下限センサ１７２を備えており、この上下限センサ１７２は、ダンサーローラ１７１の上下方向における位置を検出し、検出結果を統合制御部２０２に送信する。これによって、統合制御部２０２は、バッファユニット１７０におけるダンサーローラ１７１の位置を把握し、ワーク１０の状態を間接的に把握するとともに、ダンサーローラ１７１の上下方向位置が、予め定めた上限値または下限値を超えないように検査ユニット１１０および検査ユニット１２０を制御する。
【００６０】
検査ユニット１２０での検査が完了すると、検査テーブル６２に載置された基板１２もまた上記と同様な手順によって欠陥の有無が判定された後に、バッファユニット１８０側へと搬送されるようにしている。
【００６１】
これによって、バッファユニット１８０には、検査済の基板１２のみが保持されることになる。バッファユニット１８０もまたダンサーローラ１８１および上下限センサ１８２を備えており、バッファユニット１６０，１７０と同様の構成をしている。そして、検査ユニット１２０のテープ搬送駆動ローラ５０ｃ，５０ｄが動作した場合には、これによって搬送されるワーク１０を、既に保持しているワーク１０を保持したまま、検査ユニット１３０側に強制的に送り出すことなく受け取ることができる。また、レビュー・パンチユニット１３０のテープ搬送駆動ローラ５０ｅ，５０ｆが動作した場合には、検査ユニット１２０側からワーク１０を強制的に引っ張ることなく、既に保持しているワーク１０の中から基板１２が順番にレビュー・パンチユニット１３０に搬送されるようにしているので、検査ユニット１２０による欠陥検査と、レビュー・パンチユニット１３０による動作とをそれぞれ独立してできるようにしている。
【００６２】
レビュー・パンチユニット１３０では、画像処理／駆動制御部１３５において、統合制御部２０２から出力される良否判定結果を受け取る。そして、この良否判定結果に基づいてテープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆを駆動することによって、欠陥有りと判定された基板１２を検査テーブル６４上に載置する。載置された基板１２の検査テーブル６４での固定方法および位置補正方法については検査ユニット１１０，１２０と同様である。そして、ＣＣＤカメラ１３１によって、検査テーブル６４上に載置された管理コード１６を読み取り、載置された基板１２が、欠陥有りと判定されたものであることを確認する。
【００６３】
欠陥有りと判定されたものではない基板１２が誤って載置された場合には、テープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆを駆動することによってワーク１０をバッファユニット１９０側に搬送する。
【００６４】
欠陥有りと判定されたものが検査テーブル６４上に載置されたことを確認した場合には、撮像用カメラ１３４によって、欠陥箇所を拡大観察できるようにしている。その後、この欠陥有りの基板１２は、検査テーブル６４から解放され、テープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆによってパンチ用治具６３へ搬送されるようにしている。
【００６５】
パンチ用治具６３は、このようにして搬送された欠陥有りの基板１２にパンチ抜き（穴開け）を行う。パンチ抜きされた基板１２は、再びテープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆによってバッファユニット１９０側に搬送されるようにしている。なお、パンチ用治具６３に代えてマーキング手段（図示せず）を備え、このマーキング手段によって、該基板１２に、欠陥と分かるような目印を付するようにしても良い。
【００６６】
なお、上述したように、欠陥有りの基板１２に対するパンチ抜きまたはマーキングに限らず、バッファユニット１８０側から供給される基板１２の全数について撮像用カメラ１３４による撮像を行い、画像処理／駆動制御部１３５において配線パターンの過剰品質レベルの確認を行うことも可能としている。この確認結果は、画像処理／駆動制御部１３５から統合制御部２０２へと出力されるようにしている。
【００６７】
更に、レビュー・パンチユニット１３０に、配線パターンや欠陥部品などの任意部品に対する測長機能を備えるようにしても良い。これによって、１リールのパターン幅の規則的な情報を把握することができ、工程内への早急なるフィードバックにも資するようにする。
【００６８】
レビュー・パンチユニット１３０における処理が完了した後、ワーク１０は、テープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆによってバッファユニット１９０を介してワーク巻き取りユニット１４０に搬送されるようにしている。バッファユニット１９０は、ダンサーローラ１９１および上下限センサ１９２を備えており、バッファユニット１６０，１７０，１８０と同様の構成をしている。
【００６９】
ワーク巻き取りユニット１４０は、上段にスペーサテープリール１４２を、下段にワークリール１４１を備えている。ワークリール１４１は、リールシャフト軸１４１ａを回転させることによって、ワーク１０を巻き取る。このとき、ワーク１０は、スペーサテープリール１４２から供給される保護用スペーサテープ１４と一緒にワークリール１４１に巻き取られるようにしている。ワーク巻き取りユニット１４０におけるワーク１０の状態情報は、統合制御部に送信されるようにしている。
【００７０】
なお、制御ユニット２００は、入力装置２０１、統合制御部２０２、画像処理部２０３の他に表示装置２０４および出力装置２０５を備えている。表示装置２０４は、運転状態や、統合制御部２０２が保持している情報を表示する。また、出力装置２０５は、統合制御部２０２が保持している情報を、入力装置２０１を介してなされた出力要求に応じて適宜出力する。
【００７１】
次に、以上のように構成した本実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の動作について図６乃至図８のフローチャートを用いて説明する。
【００７２】
まず、ワーク１０が巻き取られたワークリール１０１から、ワーク１０が、リールシャフト軸１０１ａの回転によって、ガイドローラ１０２を介してバッファユニット１６０へと送り出される（Ｓ１）。このとき、リールシャフト軸１０３ａの回転によって、ワークリール１０１にワーク１０と一緒に巻かれている保護用スペーサテープ１４が、スペーサテープリール１０３に巻き取られる。このワーク１０は、このダンサーローラ１６１を抱きかかえるようにその下側半周を介した後に検査ユニット１１０側に送られる。
【００７３】
ダンサーローラ１６１は、上下方向に自由に移動可能な構成とされているので、ワーク１０が搬送されると、ダンサーローラ１６１の位置が低くなる。逆に、ワーク１０が検査ユニット１１０側に搬送されると、ダンサーローラ１６１の位置が高くなる。ただし、バッファユニット１６０には、上下限センサ１６２が備えられており、上下限センサ１６２によってダンサーローラ１６１の上下方向における位置が検出され、検出結果が制御ユニット２００の統合制御部２０２に送信される。これによって、統合制御部２０２によって、バッファユニット１６０におけるダンサーローラ１６１の位置が把握され、ワーク１０の状態が把握されるとともに、ダンサーローラ１６１の上下方向位置が、予め定めた上限値または下限値を超えないようにワーク巻き出しユニット１００および検査ユニット１１０が制御される（Ｓ２）。
【００７４】
バッファユニット１６０にあるワーク１０は、統合制御部２０２からの動作指示にしたがい一対のテープ搬送用駆動ローラ５０ａ，５０ｂが動作することによって検査ユニット１１０へとピッチ搬送され（Ｓ３）、検査ユニット１１０の検査テーブル６０上に、キャリアフィルムに配置された奇数番目の基板１２が配置される（Ｓ４）。
【００７５】
検査テーブル６０上に奇数番目の基板１２が配置されると、アライメントマーク読み取りカメラ１１７によって、図２に示すように、ワーク１０の中央（露光バッチ中央）で、かつワーク１０の両端に存在する両アライメントマーク１５が反射光学的に認識される（Ｓ５）。
【００７６】
そして、この認識結果に基づいて、画像処理部２０３によって、両アライメントマーク１５について、事前に設定した基準位置に対するＸＹθの補正量が求められ、その結果が統合制御部２０２に出力される（Ｓ６）。
【００７７】
その後、露光バッチ中央から外側に向かって吸着力が増すようになっている吸着板１１８によってワーク１０の検査テーブル６０への吸着が行われると共に、ワーク１０の端の反り影響を軽減させるためのクランプ１１９が下降し、ワーク１０が固定される（Ｓ７）。
【００７８】
このようにワーク１０が検査テーブル６０に固定されると、ＣＣＤカメラ１１１によって、図２に示すようにワーク１０上の所定位置に形成された管理コード１６が読み込まれ、読み込まれた管理コード情報が、画像処理／駆動制御部１１５を経由して統合制御部２０２に送信される（Ｓ８）。
【００７９】
すると統合制御部２０２から、画像処理／駆動制御部１１５に対して、補正量ΔＸ，ΔＹ，θが出力される。画像処理／駆動制御部１１５では、この補正量に従って撮像開始位置が算出され、撮像用カメラ１１４をこの撮像開始位置に移動する（Ｓ９）。
【００８０】
そして、図１４に示すように、ワーク１０の表面に沿ってＳ字を描くように走査（ラインセンシングする）が開始される。これによって基板１２に形成された配線パターンが撮像される（Ｓ１０）。この撮像された画像データは、画像処理／駆動制御部１１５へと出力される。
【００８１】
画像処理／駆動制御部１１５では、この画像データに基づいて、基板１２に形成された配線パターンの特徴を抽出処理して得られる配線パターンデータと、メモリ（図示せず）に予め格納してある正常な設計配線パターンデータとの比較処理が行われ、配線パターンの良否が判定される（Ｓ１２）。
【００８２】
また、画像処理／駆動制御部１１５では、この画像データを受け取ると、撮像用カメラ１１４による撮像が完了したものと判定される。そして、センサ類／吸着／クランプ／照調制御部１１３によって吸着板１１８の吸着機能が解除され、クランプ１１９による抑え機能も解除される。そして、良否判定結果と、撮像完了信号とが統合制御部２０２へと出力される（Ｓ１３）。
【００８３】
これに対して統合制御部２０２では、撮像完了信号に基づいて、テープ搬送用駆動ローラ５０ａ，５０ｂに対して動作指示が送られる（Ｓ１４）。これによってテープ搬送駆動ローラ５０ａ，５０ｂが駆動し、バッファユニット１６０側から次の奇数番目の基板１２が搬送され、検査テーブル６０に載置されるとともに、検査を終えたワーク１０がバッファユニット１７０側へと搬送される（Ｓ１５）。
【００８４】
このようにして検査テーブル６０に載置された基板１２もまたステップＳ５からステップＳ１５と同様な手順によって欠陥の有無が判定された後に、バッファユニット１７０側へと搬送される。
【００８５】
バッファユニット１７０もバッファユニット１６０と同様に構成されているので、統合制御部２０２によって、バッファユニット１７０におけるダンサーローラ１７１の位置が把握され、ワーク１０の状態が把握されるとともに、ダンサーローラ１７１の上下方向位置が、予め定めた上限値または下限値を超えないように検査ユニット１１０および検査ユニット１２０が制御される（Ｓ１６）。
【００８６】
このようなバッファユニット１７０において、キャリアフィルムが検査テーブル６０，６２よりも低い位置まで弛ませることによって、複数の基板１２を含むワーク１０が予め検査ユニット１１０の下流側に確保される。
【００８７】
したがって、このようなバッファユニット１７０を備えることによって、検査ユニット１１０のテープ搬送駆動ローラ５０ａ，５０ｂが動作した場合には、これによって搬送されるワーク１０を、既に保持しているワーク１０を保持したまま、検査ユニット１２０側に送り出すことなく受け取ることができる。また、検査ユニット１２０のテープ搬送駆動ローラ５０ｃ，５０ｄが動作した場合には、検査ユニット１１０側からワーク１０を引っ張ることなく、既に保持しているワーク１０の中から偶数番目の基板１２が検査ユニット１２０に搬送される。このように、検査ユニット１１０と検査ユニット１２０によって、それぞれ独立して基板１２の欠陥検査がなされる。
【００８８】
そして、検査ユニット１２０が、テープ搬送駆動ローラ５０ｃ，５０ｄを駆動させることによってバッファユニット１７０側から偶数番目の基板１２が取り込まれ、検査テーブル６２に載置される（Ｓ１７）。そして、検査ユニット１２０でもまたステップＳ５からステップＳ１５と同様な手順によって欠陥の有無が判定された後に、バッファユニット１８０側へと搬送される（Ｓ１８）。
【００８９】
これによって、バッファユニット１８０には、検査済の基板１２のみが保持される。バッファユニット１８０もまたバッファユニット１６０と同様に構成されているので、統合制御部２０２によって、バッファユニット１８０におけるダンサーローラ１８１の位置が把握され、ワーク１０の状態が把握されるとともに、ダンサーローラ１８１の上下方向位置が、予め定めた上限値または下限値を超えないように検査ユニット１２０およびレビュー・パンチユニット１３０が制御される（Ｓ１９）。
【００９０】
また、検査ユニット１２０のテープ搬送駆動ローラ５０ｃ，５０ｄが動作した場合には、これによって搬送されるワーク１０は、既に保持しているワーク１０を保持したまま、検査ユニット１２０側に強制的に送り出すことなく受け取られることができる。更に、レビュー・パンチユニット１３０のテープ搬送駆動ローラ５０ｅ，５０ｆが動作した場合には、検査ユニット１２０側からワーク１０が引っ張られることなく、既に保持しているワーク１０の中から基板１２が順番にレビュー・パンチユニット１３０に搬送される。このように、検査ユニット１２０による欠陥検査と、レビュー・パンチユニット１３０による動作とがそれぞれ独立してなされる。
【００９１】
レビュー・パンチユニット１３０の画像処理／駆動制御部１３５では、統合制御部２０２から出力される良否判定結果が受け取られる（Ｓ２０）。そして、この良否判定結果に基づいてテープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆが駆動されることによって、欠陥有りと判定された基板１２が検査テーブル６４上に載置される（Ｓ２１）。載置された基板１２の検査テーブル６４での固定方法および位置補正方法については検査ユニット１１０，１２０と同様である。
【００９２】
そして、ＣＣＤカメラ１３１によって、検査テーブル６４上に載置された管理コード１６が読み取られ、載置された基板１２が、欠陥有りと判定されたものであることが確認される（Ｓ２２）。なお、欠陥有りと判定されたものではない基板１２が誤って載置された場合には、テープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆを駆動することによって、ワーク１０は、バッファユニット１９０側へと搬送される。
【００９３】
ステップＳ２２で欠陥有りと判定された基板１２は、撮像用カメラ１３４によって、欠陥箇所が拡大観察される（Ｓ２３）。その後、この欠陥有りの基板１２は、検査テーブル６４から解放され、テープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆによってパンチ用治具６３へと搬送される。そして、パンチ用治具６３に搬送された欠陥有りの基板１２は、パンチ用治具６３によってパンチ抜き（穴開け）される。パンチ抜きされた基板１２は、再びテープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆによってバッファユニット１９０側に搬送される（Ｓ２４）。なお、パンチ用治具６３に代えてマーキング手段（図示せず）を備え、このマーキング手段によって、該基板１２に、欠陥と分かるような目印を付するようにしても良い。
【００９４】
なお、パンチ抜きまたはマーキングに限らず、バッファユニット１８０側から供給される基板１２の全数について撮像用カメラ１３４による撮像を行い、欠陥無しの基板１２に対しても、画像処理／駆動制御部１３５において配線パターンの過剰品質レベルの確認を行うことも可能である。この確認を行った場合、その結果は、画像処理／駆動制御部１３５から統合制御部２０２へと出力される。
【００９５】
更に、レビュー・パンチユニット１３０に、配線パターンや欠陥部品などの任意部品に対する測長機能を備えるようにしても良い。これによって、１リールのパターン幅の規則的な情報を把握することができ、工程内への早急なるフィードバックにも活用される。
【００９６】
その後、ワーク１０は、テープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆによって、バッファユニット１６０，１７０，１８０と同様の構成をしているバッファユニット１９０を介してワーク巻き取りユニット１４０に搬送される。そして、ワーク巻き取りユニット１４０では、スペーサテープリール１４２から供給される保護用スペーサテープ１４と一緒に、ワーク１０がワークリール１４１に巻き取られる（Ｓ２５）。ワーク巻き取りユニット１４０におけるワーク１０の状態情報は、統合制御部に送信される。
【００９７】
上述したような運転状態や、統合制御部２０２が保持している情報は、表示装置２０４から適宜表示される。また、出力装置２０５からは、入力装置２０１を介してなされた出力要求に応じて、統合制御部２０２が保持している情報が適宜出力される。
【００９８】
上述したように、本実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置においては、上記のような作用により、２つの検査ユニット１１０，１２０、およびレビュー・パンチユニット１３０は、それぞれ独立して動作することが可能となる。すなわち、各々のユニット１１０,１２０，１３０毎の進捗速度が異なる場合であっても、全体の検査作業が完了する迄に要する時間にさほど遅れをもたらすことのない配線パターン検査装置および検査方法を実現することが可能となる。
【００９９】
（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態を説明する。
【０１００】
図１に示すような構成をしてなる配線パターン検査装置は、ユニット構成を基本としており、例えば処理速度向上のための検査ユニット増設等、ユニット単位の増設、取り外しが容易にでき、クリーン環境での使用も考慮した構造、構成としている。また、ワーク１０の搬送や、その構成も前述した形態に捉われることはなく、例えば横搬送ではなく縦搬送にしたり、ワーク巻き出しユニット１００およびワーク巻き取りユニット１４０をともに同一の側に設ける等の配置も可能としている。
【０１０１】
本実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置は、図１に示すような構成の配線パターン検査装置の変形例である。その一例を示す系統構成図を図９に示す。図９では、図１と同一箇所については同一符号を付し、その詳細説明を省略する。
【０１０２】
すなわち、図９に示す構成は、レビュー・パンチユニット１３０’のみをメインユニット４０から遠隔配置している。このレビュー・パンチユニット１３０’は、レビュー・パンチユニット１３０の機能に、ワーク巻き出しユニット１００と同機能を有するワーク巻き出しユニット１００’と、ワーク巻き取りユニット１４０と同機能を有するワーク巻き取りユニット１４０’とを備えている。
【０１０３】
すなわち、この場合、メインユニット４０は、レビュー・パンチユニット１３０の機能を有しておらず、バッファユニット１８０からワーク１０が直接的にワーク巻き取りユニット１４０によって、ワークリール１４１に、保護用スペーサテープ１４とともに巻き取られるようにしている。
【０１０４】
また、メインユニット４０の統合制御部２０２と、レビュー・パンチユニット１３０’の画像処理／駆動制御部１３５とは、インターネット等の通信ネットワーク３０を介して接続している。
【０１０５】
そして、このようなワークリール１４１への巻き取りが完了すると、このワークリール１４１をワーク巻き取りユニット１４０から取り外し、レビュー・パンチユニット１３０’のワーク巻き出しユニット１００’に取り付ける。
【０１０６】
ワーク巻き出しユニット１００’は、ワーク巻き出しユニット１００と同様に動作することによって、保護用スペーサテープ１４をスペーサテープリール１０３に巻き取りながら、ワーク１０を送り出す。
【０１０７】
更にレビュー・パンチユニット１３０’では、画像処理／駆動制御部１３５において、通信ネットワーク３０を介して、統合制御部２０２から出力される良否判定結果を受け取る。そして、この良否判定結果に基づいてテープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆを駆動することによって、欠陥有りと判定された基板１２を検査テーブル６４上に載置する。その後レビュー・パンチユニット１３０’でなされる処理は、レビュー・パンチユニット１３０でなされる処理と同様である。
【０１０８】
その後基板１２は、テープ搬送用駆動ローラ５０ｅ，５０ｆが駆動することによって、ワーク巻き取りユニット１４０’へ搬送され、保護用スペーサテープ１４と一緒にワークリール１４３に巻き取られるようにしている。
【０１０９】
なお、統合制御部２０２と画像処理／駆動制御部１３５とを通信ネットワーク３０を介して結ぶ代わりに、統合制御部２０２のメモリ（図示せず）に記憶された良否判定結果を、フロッピー（登録商標）ディスク等の記憶媒体に記憶させ、メインユニット４０からレビュー・パンチユニット１３０’へと運び、画像処理／駆動制御部１３５に記憶した情報を読み込ませるようにしても良い。
【０１１０】
このような構成とすることによっても、第１の実施の形態と同様の作用効果を奏することができる。
【０１１１】
（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態を説明する。
【０１１２】
図１０は、第３の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の一例を示す系統構成図である。
【０１１３】
すなわち、本実施の形態に係る配線パターン検査装置は、第１の実施の形態に係る配線パターン検査装置の変形例であって、ワーク１０の表面側および裏面側ともに欠陥検査をすることを可能としており、ワーク１０が搬送される流れに沿ってワーク巻き出しユニット１００、検査ユニット１１０’、バッファユニット１７０、検査ユニット１２０’、ワーク巻き取りユニット１４０が順に並べて備えられてなる。また、これら全体の動作を制御する制御ユニット２００を備えている。なお、図１０中において、図１および図９と同一の動作をする箇所については、同一符号を付すと共に、その詳細な説明を省略する。
【０１１４】
検査ユニット１１０’は、検査テーブル６０（６０ａ〜６０ｆ）、アライメントマーク読み取りカメラ１１７（１１７ａ〜１１７ｆ）、吸着板（図示せず）、クランプ１１９、ＣＣＤカメラ１１１（１１１ａ〜１１１ｆ）、撮像用カメラ１１４（１１４ａ〜１１４ｆ）からなる部位を６組備えている。これによって、６つの基板１２の表面側からの画像データを一度に撮像できるようにしている。
【０１１５】
各撮像用カメラ１１４ａ〜１１４ｆはそれぞれ、基板１２の表面側からの画像データを撮像すると、撮像した画像データを画像処理／駆動制御部１１５に出力する。
【０１１６】
画像処理／駆動制御部１１５は、この画像データを受け取ると、この画像データの特徴から抽出処理して得られる配線パターンデータと、メモリ（図示せず）に予め格納してある正常な設計配線パターンデータとの比較処理を行い、配線パターンの良否を判定する。また、画像処理／駆動制御部１１５は、この画像データを受け取ると、撮像用カメラ１１４による撮像が完了したものと判定する。そして、撮像用カメラ１１４ａ〜１１４ｆの全ての撮像用カメラ１１４による撮像が完了したと判定した場合には、センサ類／吸着／クランプ／照調制御部１１３を介して、各検査テーブル６０ａ〜６０ｆにおける吸着板（図示せず）の吸着機能を解除させるとともに、クランプ１１９による抑え機能を解除させる。更に、良否判定結果と、撮像完了信号とを統合制御部２０２に出力する。
【０１１７】
統合制御部２０２は、このようにして良否判定結果と、撮像完了信号とを取得すると、撮像完了信号に基づいて、テープ搬送用駆動ローラ５０ａ〜５０ｄに対して動作指示を送る。これによってテープ搬送駆動ローラ５０ａ〜５０ｄが駆動し、テープ巻き出しユニット１００側から次の６つの基板１２を搬送し、各検査テーブル６０ａ〜６０ｆにそれぞれ載置するとともに、検査を終えた６つのワーク１０をバッファユニット１７０側へと搬送する。このようにして検査テーブル６０に載置された次の６つの基板１２もまた上記と同様な手順によって６つまとめて欠陥の有無が判定された後に、６つまとめてバッファユニット１７０側へと搬送されるようにしている。
【０１１８】
このようにしてバッファユニット１７０に送られた基板１２は、最終的には検査ユニット１２０’において裏面側の欠陥判定が同様な方法によってなされる。バッファユニット１７０を備えることによって、検査ユニット１１０’によって欠陥検査された基板１２が、そのまま連続的に検査ユニット１２０’に搬送されないようにしているので、検査ユニット１１０’による検査時間と、検査ユニット１２０’による検査時間に差が生じた場合であっても、検査ユニット１１０’，１２０’ともに、他方のユニットに影響されることなく、独立して欠陥検査を行うことができるようにしている。
【０１１９】
次に、以上のように構成した本実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の動作について図１１および図１２のフローチャートを用いて説明する。
【０１２０】
まず、ワーク１０が巻き取られたワークリール１０１から、ワーク１０が、テープ搬送駆動ローラ５０ａ〜５０ｄによって、ガイドローラ１０２を介して検査ユニット１１０’へと送り出される（Ｓ３１）。このとき、リールシャフト軸１０３ａの回転によって、ワークリール１０１にワーク１０と一緒に巻かれている保護用スペーサテープ１４が、スペーサテープリール１０３に巻き取られる。
【０１２１】
そして、検査ユニット１１０’の６つの検査テーブル６０ａ〜６０ｆ上にそれぞれキャリアフィルムに配置された基板１２が配置される（Ｓ３２）。すなわち、検査ユニット１１０’では、６つの基板１２の表面側が一度に検査される。
【０１２２】
各検査テーブル６０ａ〜６０ｆに配置された各基板１２は、各アライメントマーク読み取りカメラ１１７ａ〜１１７ｆによって、図２に示すように、ワーク１０の中央（露光バッチ中央）で、かつワーク１０の両端に存在する両アライメントマーク１５が反射光学的に認識される（Ｓ３３）。
【０１２３】
そして、この認識結果に基づいて、画像処理部２０３ａによって、それぞれの基板１２の両アライメントマーク１５について、事前に設定した基準位置に対するＸＹθの補正量が求められ、その結果が統合制御部２０２に出力される（Ｓ３４）。
【０１２４】
その後、露光バッチ中央から外側に向かって吸着力が増すようになっている吸着板（図示せず）によって各ワーク１０の各検査テーブル６０ａ〜６０ｆへの吸着が行われると共に、ワーク１０の端の反り影響を軽減させるためのクランプ１１９が下降し、各ワーク１０が固定される（Ｓ３５）。
【０１２５】
このようにして各ワーク１０が各検査テーブル６０ａ〜６０ｆに固定されると、各ＣＣＤカメラ１１１ａ〜１１１ｆによって、図２に示すように各ワーク１０上の所定位置に形成された管理コード１６が読み込まれ、読み込まれた管理コード情報が、画像処理／駆動制御部１１５を経由して統合制御部２０２に送信される（Ｓ３６）。
【０１２６】
すると統合制御部２０２から、画像処理／駆動制御部１１５に対して、補正量ΔＸ，ΔＹ，θが出力される。画像処理／駆動制御部１１５では、この補正量に従って撮像開始位置が算出され、各撮像用カメラ１１４ａ〜１１４ｆがこの撮像開始位置に移動される（Ｓ３７）。
【０１２７】
そして、図１４に示すように、各撮像用カメラ１１４ａ〜１１４ｆによって、各ワーク１０の表面が、Ｓ字を描くように走査（ラインセンシングする）され、これによって各基板１２の各配線パターンが撮像される（Ｓ３８）。この撮像された画像データは、画像処理／駆動制御部１１５へと出力される。
【０１２８】
画像処理／駆動制御部１１５では、この画像データに基づいて、各基板１２に形成された配線パターンが光学的に顕在化される（Ｓ３９）。そして、顕在化された各配線パターンの特徴を抽出処理して得られる配線パターンデータと、メモリ（図示せず）に予め格納してある正常な設計配線パターンデータとの比較処理が行われ、各配線パターンの良否が判定される（Ｓ４０）。
【０１２９】
また、画像処理／駆動制御部１１５では、この画像データを受け取ると、送信元の撮像用カメラ１１４（撮像用カメラ１１４ａ〜１１４ｆ）による撮像が完了したものと判定される。撮像用カメラ１１４ａ〜１１４ｆの全ての撮像が完了したと判定した場合には、センサ類／吸着／クランプ／照調制御部１１３によって吸着板の吸着機能が解除され、クランプ１１９による抑え機能も解除される。そして、各配線パターンの良否判定結果と、全撮像用カメラ１１４ａ〜１１４ｆによる撮像完了信号とが統合制御部２０２へと出力される（Ｓ４１）。
【０１３０】
これに対して統合制御部２０２では、この撮像完了信号に基づいて、テープ搬送用駆動ローラ５０ａ〜５０ｄに対して動作指示が送られる（Ｓ４２）。これによってテープ搬送駆動ローラ５０ａ〜５０ｄが駆動し、テープ巻き出しユニット１００側から次の６つの基板１２が搬送され、各検査テーブル６０ａ〜６０ｆに載置されるとともに、検査を終えた６つのワーク１０がバッファユニット１７０側へと搬送される（Ｓ４３）。
【０１３１】
このようにして検査テーブル６０に載置された６つの基板１２もまたステップＳ３３からステップＳ４３と同様な手順によって欠陥の有無が判定された後に、バッファユニット１７０側へと搬送される。
【０１３２】
バッファユニット１７０では、ダンサーローラ１７１が上下方向に自由に移動可能な構成とされているので、ワーク１０が搬送されると、ダンサーローラ１７１の位置が低くなる。逆に、ワーク１０が検査ユニット１２０’側に搬送されると、ダンサーローラ１７１の位置が高くなる。ただし、バッファユニット１７０には、上下限センサ１７２が備えられており、上下限センサ１７２によってダンサーローラ１７１の上下方向における位置が検出され、検出結果が制御ユニット２００の統合制御部２０２に送信される。これによって、統合制御部２０２によって、ダンサーローラ１７１の位置が把握され、ワーク１０の状態が把握されるとともに、ダンサーローラ１７１の上下方向位置が、予め定めた上限値または下限値を超えないように検査ユニット１１０’および検査ユニット１２０’が制御される（Ｓ４４）。
【０１３３】
したがって、このようなバッファユニット１７０を備えることによって、検査ユニット１１０’のテープ搬送駆動ローラ５０ａ〜５０ｄが動作した場合には、これによって搬送されるワーク１０を、既に保持しているワーク１０を保持したまま、検査ユニット１２０’側に送り出すことなく受け取ることができる。また、検査ユニット１２０’のテープ搬送駆動ローラ５０ｅ〜５０ｇが動作した場合には、検査ユニット１１０’側からワーク１０を強制的に引っ張ることなく、既に保持しているワーク１０の中から６つの基板１２が検査ユニット１２０’に搬送される。このように、検査ユニット１１０’と検査ユニット１２０’によって、それぞれ独立して基板１２の欠陥検査がなされる。
【０１３４】
そして、検査ユニット１２０’が、テープ搬送駆動ローラ５０ｅ〜５０ｇを駆動させることによってバッファユニット１７０側から６つの基板１２が取り込まれ、各基板１２の裏面を撮像用カメラ１２４ａ〜１２４ｆ側に向けて検査テーブル６２ａ〜６２ｆにそれぞれ載置される（Ｓ４５）。そして、検査ユニット１２０’でもまたステップＳ３３からステップＳ４２と同様な手順によって、６つの基板１２の裏面における欠陥の有無が判定される。その後、ワーク１０は、テープ搬送用駆動ローラ５０ｅ〜５０ｇによって、ワーク巻き取りユニット１４０に搬送される。そして、ワーク巻き取りユニット１４０では、スペーサテープリール１４２から供給される保護用スペーサテープ１４と一緒に、ワーク１０がワークリール１４１に巻き取られる（Ｓ４６）。ワーク巻き取りユニット１４０におけるワーク１０の状態情報は、統合制御部に送信される。
【０１３５】
上述したような運転状態や、統合制御部２０２が保持している情報は、表示装置２０４から適宜表示される。また、出力装置２０５からは、入力装置２０１を介してなされた出力要求に応じて、統合制御部２０２が保持している情報が適宜出力される。
【０１３６】
上述したように、本実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置においては、上記のような作用により、一つの基板１２について両面検査を行う場合であっても、表面の欠陥検査を行う検査ユニット１００’と、裏面の欠陥検査を行う検査ユニット１２０’をそれぞれ独立して設け、各検査ユニット１１０’，１２０’に多数の撮像用カメラ１１４ａ〜１１４ｆ，１２４ａ〜１２４ｆを備えることによって、欠陥検査に要する時間を短縮することが可能となる。
【０１３７】
更に、両検査ユニット１１０’，１２０’の間にバッファユニット１７０を設けることによって、検査ユニット１１０’と検査ユニット１２０’とを独立して動作させることが可能となり、検査効率の低下を阻止することが可能となる。
【０１３８】
更にまた、検査ユニット１１０’から搬送されたワーク１０を折り返して検査ユニット１２０’に搬送されるようにすることによって、検査ユニット１１０’と検査ユニット１２０’とを対向させて配置することが可能となり、多数の撮像用カメラ１１４ａ〜１１４ｆ，１２４ａ〜１２４ｆを使用しているにもかかわらず、省スペース化を図ることが可能となる。
【０１３９】
（第４の実施の形態）
本発明の第４の実施の形態を説明する。
【０１４０】
図１３は、第４の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の一例を示す系統構成図である。
【０１４１】
すなわち、本実施の形態に係る配線パターン検査装置は、第３の実施の形態に係る配線パターン検査装置の変形例であって、ワーク１０の表面側の欠陥検査を行う検査ユニット１１０’と、裏面側の欠陥検査を行う検査ユニット１２０’とを、それぞれの撮像用カメラ１１４、１２４の撮像方向が同一方向になるように配置したものである。
【０１４２】
そのために、検査ユニット１１０’において図中上側を向いているワーク１０の表面を、テープ搬送用駆動ローラ５０ｂ〜５０ｆによって、検査ユニット１２０’においては、図中下側を向くように反転させている。
【０１４３】
このような構成とすることによっても、第３の実施例と同様の作用効果を奏することが可能となる。
【０１４４】
以上、本発明を実施するための最良の形態について、添付図面を参照しながら説明したが、本発明はかかる構成に限定されない。特許請求の範囲の発明された技術的思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【図面の簡単な説明】
【０１４５】
【図１】第１の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の一例を示す系統構成図。
【図２】キャリアフィルムに配置されている基板の一例を示す平面図。
【図３】図２に示すアライメントマーク１５の拡大図。
【図４】図３に示すアライメントマーク１５をその厚み方向から見た断面図。
【図５】アライメントマークの反射光学的な認識およびＸＹθの補正量の算出方法を説明するための図。
【図６】第１の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の動作を示すフローチャート（その１）。
【図７】第１の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の動作を示すフローチャート（その２）。
【図８】第１の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の動作を示すフローチャート（その３）。
【図９】第２の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の一例を示す系統構成図。
【図１０】第３の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の一例を示す系統構成図。
【図１１】第３の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の動作を示すフローチャート（前半）。
【図１２】第３の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の動作を示すフローチャート（後半）。
【図１３】第４の実施の形態に係る配線パターン検査方法を適用した配線パターン検査装置の一例を示す系統構成図。
【図１４】カメラによるラインセンシングの概念を説明した概念図。
【符号の説明】
【０１４６】
１０…ワーク、１２…基板、１４…保護用スペーサテープ、１５…アライメントマーク、１６…管理コード、３０…通信ネットワーク、４０…メインユニット、５０…テープ搬送用駆動ローラ、６０，６２，６４…検査テーブル、６３…パンチ用治具、１００…ワーク巻き出しユニット、１０１…ワークリール、１０１ａ，１０３ａ…リールシャフト軸、１０２…ガイドローラ、１０３…スペーサテープリール、１１０，１２０…検査ユニット、１１１，１２１，１３１…ＣＣＤカメラ、１１２，１２２…シーケンサ、１１３，１２３…照調制御部、１１４，１２４，１３４…撮像用カメラ、１１５，１２５，１３５…駆動制御部、１１６．１２６…ステージコントローラ、１１７，１２７…アライメントマーク読み取りカメラ、１１８，１２８…吸着板、１１９，１２９…クランプ、１３０…レビュー・パンチユニット、１４０…巻き取りユニット、１４１，１４３…ワークリール、１４１ａ…リールシャフト軸、１４２…スペーサテープリール、１６０，１７０，１８０，１９０…バッファユニット、１６１，１７１，１８１，１９１…ダンサーローラ、１６２，１７２，１８２，１９２…上下限センサ、２００…制御ユニット、２０１…入力装置、２０２…統合制御部、２０３…画像処理部、２０４…表示装置、２０５…出力装置
【図１】
2005274404.tif 000003
【図２】
2005274404.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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