(57)【要約】【課題】  複数枚のプレートを接着剤を介して積層接着するとき、はみ出した接着剤がプレートの側端面から外に垂れ落ちないようにする。【解決手段】  複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層した薄板状部品の積層接着構造において、前記薄板状部品の積層面に沿って接着剤を誘導するための逃がし溝２１が、前記積層面と交差する外周側端面に出口部２３を有するように形成され、逃がし溝２１を通った接着剤を貯留可能に凹設された第１溜まり部２４が、逃がし溝２１の出口部２３または中途部に連通するように配置されている。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターンが少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層した薄板状部品の積層接着構造において、
前記薄板状部品の積層面に沿って接着剤を誘導するための逃がし溝が、前記積層面と交差する外周側端面に出口部を有するように形成され、
前記逃がし溝を通った接着剤を貯留可能に凹設された第１溜まり部が、前記逃がし溝の出口部または中途部に連通するように配置されていることを特徴とする薄板状部品の積層接着構造。
【請求項２】
積層された薄板状部品には、板厚方向に貫通する接着剤の貫通孔が備えられ、この貫通孔の両端に薄板状部品を挟んで反対側の逃がし溝が連通していることを特徴とする請求項１に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項３】
前記第１溜まり部は、前記逃がし溝に対して接着時に鉛直下方となる側の薄板状部品に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項４】
前記逃がし溝の中途部には、前記第１溜まり部と、この第１溜まり部よりも前記逃がし溝の出口部側に凹設された第２溜まり部とがそれぞれ連通し、
積層方向に隣接する薄板状部品のうち、接着時に鉛直下方側となる一方に前記第１溜まり部を、鉛直上方側となる他方に第２溜まり部をそれぞれ配置し、前記第１溜まり部と第２溜まり部とは積層方向からの平面視で少なくとも一部が重複することで連通していることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項５】
前記第１溜まり部は、前記逃がし溝の出口部に連通するように配置され、前記逃がし溝の出口部端縁が、前記第１溜まり部の開口領域の内側に位置していることを特徴とする請求項３に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項６】
前記第１溜まり部は、壁部で周囲が囲まれるように凹設されていることを特徴とする請求項５に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項７】
前記第１溜まり部の壁部には、その上端から前記第１溜まり部の開口を覆うように突出する庇部が設けられていることを特徴とする請求項６に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項８】
前記第１溜まり部は、薄板状部品の外周側端面側にも開口していることを特徴とする請求項５に記載の薄板状部品の積層接着構造。
【請求項９】
前記所定のパターンは、インクを吐出するための複数の流路を形成する開口であって、前記薄板状部品はその開口を有するプレートを含むインクジェットヘッドを構成するプレートであることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層型のインクジェットヘッド等に使用するプレート等の薄板状部品の積層接着構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
先行技術の圧電式インクジェットヘッドとしては、例えば特許文献１では、複数のノズルが一定間隔で穿設されたノズルプレートと、前記各ノズル箇所に対応する圧力室が形成されたキャビティプレートと、該キャビティプレートとノズルプレートとの間に介挿されて各圧力室にインクを供給するための共通インク室が形成されたマニホールドプレートとを接着剤を介して積層してキャビティユニットを構成し、このキャビティユニットの背面側のインク供給孔からインク貯蔵部（タンク）からのインクを各共通インク室に導入し、また、キャビティユニットの背面に、圧電アクチュエータを接合し、この圧電アクチュエータを駆動させて、選択されたノズルからインクを吐出して被記録媒体に画像を記録する記録ヘッドが開示されている。
【０００３】
この特許文献１に記載のキャビティユニットでは、前記各プレートの積層の片面に接着剤用の逃がし溝を凹み形成し、その逃がし溝の上下同じ位置には各プレートの板厚さを貫通するように空気逃がし孔が穿設され、各プレートの積層面に接着剤を塗布して重ね合わせるとき、余分な接着剤と共に積層面や接着剤中に含まれた空気を最上層のプレートの表面外に排出されるように構成していた。
【特許文献１】特開２００２−９６４７８号公報（図４、図７、図８参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の構成では、余剰の接着剤が多すぎると、逃がし溝及び空気逃がし孔に沿って排出されるだけでなく、積層されたプレートの積層面に沿って、この積層面と直交する外周側端面にも接着剤がはみ出す。そして、外周側端面からはみ出した接着剤は、直ぐに外周側端面を伝って垂れ落ち、前記プレートの接着作業を実行しているときの接着装置を汚してしまう。その結果、接着装置の清掃の頻度が増し、生産性（生産能率）が低下するという問題があった。
【０００５】
また、このような問題は、他の薄板状部品の積層品を製作するときにも同様に発生するものであった。
【０００６】
そこで、本発明は、このような問題を解消することを技術的課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明における薄板状部品の積層接着構造は、所定のパターンが少なくとも片面に形成された少なくとも１枚の薄板状部品を含む複数枚の薄板状部品を、接着剤を介して積層した薄板状部品の積層接着構造において、前記薄板状部品の積層面に沿って接着剤を誘導するための逃がし溝が、前記積層面と交差する外周側端面に出口部を有するように形成され、前記逃がし溝を通った接着剤を貯留可能に凹設された第１溜まり部が、前記逃がし溝の出口部または中途部に連通するように配置されていることを特徴とするものである。
【０００８】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の薄板状部品の積層接着構造において、積層された薄板状部品には、板厚方向に貫通する接着剤の貫通孔が備えられ、この貫通孔の両端に薄板状部品を挟んで反対側の逃がし溝が連通していることを特徴とするものである。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記第１溜まり部は、前記逃がし溝に対して接着時に鉛直下方となる側の薄板状部品に配置されていることを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項４に記載の発明は、請求項１から３のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記逃がし溝の中途部には、前記第１溜まり部と、この第１溜まり部よりも前記逃がし溝の出口部側に凹設された第２溜まり部とがそれぞれ連通し、積層方向に隣接する薄板状部品のうち、接着時に鉛直下方側となる一方に前記第１溜まり部を、鉛直上方側となる他方に第２溜まり部をそれぞれ配置し、前記第１溜まり部と第２溜まり部とは積層方向からの平面視で少なくとも一部が重複することで連通していることを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項５に記載の発明は、請求項３に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記第１溜まり部は、前記逃がし溝の出口部に連通するように配置され、前記逃がし溝の出口部端縁が、前記第１溜まり部の開口領域の内側に位置していることを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記第１溜まり部は、壁部で周囲が囲まれるように凹設されていることを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記第１溜まり部の壁部には、その上端から前記第１溜まり部の開口を覆うように突出する庇部が設けられていることを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項８に記載の発明は、請求項５に記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記第１溜まり部は、薄板状部品の外周側端面側にも開口していることを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項９に記載の発明は、請求項１から８のいずれかに記載の薄板状部品の積層接着構造において、前記所定のパターンは、インクを吐出するための複数の流路を形成する開口であって、前記薄板状部品はその開口を有するプレートを含むインクジェットヘッドを構成するプレートであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１に記載の発明によれば、積層面の接着における余剰の接着剤が、逃がし溝により出口部側に誘導されるが、この逃がし溝の出口部または中途部に第１溜まり部が配置されているから、余剰の接着剤は第１溜まり部に捕捉されて貯留される。その結果、薄板状部品の外周側端面からはみ出した接着剤が垂れ落ちることによる接着装置の汚染を防止することができ、生産効率が向上する。
【００１７】
請求項２に記載の発明によれば、積層された薄板状部品の各積層面に塗布された接着剤は、その余剰分が貫通孔及び逃がし溝を介して、出口部側に誘導され、第１溜まり部に捕捉、貯留される。また、接着剤に含まれる空気（気泡）や積層面にある空気も、貫通孔及び逃がし溝を通って出口部に誘導され、外部に排出される。
【００１８】
請求項３に記載の発明によれば、接着時に流動性を有する接着剤が、逃がし溝から第１溜まり部へ、重力に従うだけで容易に流れ込むことができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明によれば、第１溜まり部と出口部との間に第２溜まり部が配置されているから、余剰分の接着剤が多すぎて第１溜まり部から溢れる場合には、第２溜まり部に捕捉、貯留される。その結果、薄板状部品の外周側端面から接着剤がはみ出して垂れ落ちる現象が、さらに確実に防止できる。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、逃がし溝の出口部端縁が、前記第１溜まり部の開口領域の内側に位置しているから、逃がし溝の出口部から漏れ出た接着剤が確実に第１溜まり部の開口内に捕捉される。
【００２１】
請求項６に記載の発明によれば、第１溜まり部は壁部で囲まれているから、第１溜まり部に捕捉された接着剤の流れ落ちを壁部で阻止することができる。
【００２２】
請求項７に記載の発明によれば、第１溜まり部はその開口を覆うように庇部が突設されているから、第１溜まり部に捕捉された接着剤の溢れ出しを庇部で阻止することができる。
【００２３】
請求項８に記載の発明によれば、第１溜まり部が外周側端面側にも開口し、第１溜まり部における外周側端面側の壁部が不要となるから、微小な薄板状部品の外周側端面近傍でも、第１溜まり部として広い開口領域（面積）を確保できる。その結果、第１溜まり部に貯留できる接着剤の量を増大させることができる。
【００２４】
請求項９に記載の発明によれば、インクジェットヘッドを構成するプレートの積層にて、その外周側端面での接着剤の垂れ落ちや接着装置の汚染を防止でき、インクジェットヘッドの生産効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの斜視図、図２はインクジェットヘッドの分解斜視図、図３はキャビティユニットの拡大分解斜視図、図４は図１のIV−IV線矢視拡大断面図、図５（ａ）は第１溜まり部及び第２溜まり部の縦断面図、図５（ｂ）は第２溜まり部の上面側から見た平面図、図６は第１溜まり部及び第２溜まり部を下面側から見た分解斜視図である。
【００２６】
図１は、本発明の第１実施形態による圧電式のインクジェットヘッド１００におけるキャビティユニット１と圧電アクチュエータ２の斜視図であり、金属板製の複数枚のプレートからなるキャビティユニット１にプレート型の圧電アクチュエータ２が接合され、このプレート型の圧電アクチュエータ２の上面に外部機器との接続のためのフレキシブルフラットケーブル３（図４参照）が重ね接合されている。そして、最下層のキャビティユニット１の下面側に開口されたノズル４から、下向きにインクが吐出するものとする。
【００２７】
前記キャビティユニット１は、図２に示すように、ノズルプレート１１、スペーサプレート１２、ダンパープレート１３、２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６、及びキャビティプレート１７の合計８枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合した構造となっている。
【００２８】
実施形態では、各プレート１１〜１７は５０〜１５０μｍ程度の厚さを有し、ノズルプレート１１はポリイミド等の合成樹脂製で、その他のプレート１２〜１７は４２％ニッケル合金鋼板製である。前記ノズルプレート１１には、微小径（実施形態では２５μｍ程度）のインク吐出用のノズル４が微小間隔で多数個穿設されている。このノズル４は、当該ノズルプレート１１における長辺方向（Ｘ方向）に沿って、千鳥配列状で５列に配列されている。
【００２９】
また、前記キャビティプレート１７には、図３に示すように、複数の圧力室３６がキャビティプレート１７の長辺（前記Ｘ方向）に沿って千鳥配列状で５列に配列されている。実施形態では、前記各圧力室３６は、平面視細長形状に形成され、その長手方向がキャビティプレート１７の短辺方向（Ｙ方向）に沿うようにして穿設され、長手方向の一端部３６ａがノズル４と連通し、他端部３６ｂが後述する共通インク室７と連通する。
【００３０】
各圧力室３６における先端部３６ａは、サプライプレート１５、ベースプレート１６と２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、ダンパープレート１３、及びスペーサプレート１２に、同じく千鳥配列状にて穿設されている微小径の連通孔３７を介して、ノズルプレート１１における前記各ノズル４に連通している。
【００３１】
キャビティプレート１７の下面に隣接するベースプレート１６には、各圧力室３６の他端部３６ｂに接続する貫通孔３８が穿設されている。
【００３２】
ベースプレート１６の下面に隣接するサプライプレート１５には、後述する共通インク室７から前記各圧力室３６へインクを供給するための接続流路４０が設けられる。そして各接続流路４０には、共通インク室７からインクが入る入口孔と、圧力室３６側（前記貫通孔３８）に開口する出口孔と、入口孔と出口孔との間にあって、接続流路４０中で最も大きな流路抵抗となるように断面積を小さくして形成された絞り部とが備えられている。
【００３３】
２枚のマニホールドプレート１４ａ，１４ｂには、その長辺方向（Ｘ方向）に沿って長い５つの共通インク室７が前記ノズル４の各列に沿って延びるように板厚さを貫通して形成されている。すなわち、図２及び図４に示すように、２枚のマニホールドプレート１４ａ、１４ｂを積層し、かつその上面（図２では下面）をサプライプレート１５にて覆い、下面（図２では上面）をダンパープレート１３にて覆うことにより、合計５つの共通インク室（マニホールド室）７が密閉状に形成される。各共通インク室７は、各プレートの積層方向から平面視したときに、前記圧力室３６の一部と重なって圧力室３６の列方向（ノズル４の列方向）に沿って長く延びている。
【００３４】
図３及び図４に示すように、マニホールドプレート１４ａの下面に隣接するダンパープレート１３の下面側には、共通インク室７と隔絶されたダンパ室４５が凹み形成されている。この各ダンパ室４５の位置および形状は、図２に示すように、前記各共通インク室７と一致させている。このダンパプレート１３は、適宜弾性変形し得る金属素材であるため、ダンパ室４５上部の薄い板状の天井部は、共通インク室７側にも、ダンパ室４５側にも自由に振動することができる。インク吐出時に、圧力室３６で発生した圧力変動が共通インク室７に伝播しても、前記天井部が弾性変形して振動することにより、前記圧力変動を吸収減衰させるというダンパ効果を奏し、圧力変動が他の圧力室３６へ伝播するというクロストークを防止することができるものである。
【００３５】
また、図２に示すように、キャビティプレート１７、ベースプレート１６、及びサプライプレート１５の一方の短辺側の端部には、上下の位置を対応させて、それぞれ４つのインク供給口４７が穿設されている。インク供給源からのインクが、これらインク供給口４７から共通インク室７の一端部に連通するようになっている。４つのインク供給口４７を、図２の左側から順に個別に４７ａ、４７ｂ、４７ｃ、４７ｄと付す。
【００３６】
インク供給口４７からノズル４に至るインク流通路では、インクは、インク供給口４７からインク供給チャンネルとしての共通インク室７に供給された後、図３に示すように、サプライプレート１５の接続流路４０及びベースプレート１６の貫通孔３８を経由して各圧力室３６に分配供給される。そして、後述するように、圧電アクチュエータ２の駆動により、インクは各圧力室３６内から前記連通孔３７を通って、その圧力室３６に対応するノズル４に至るという構成になっている。
【００３７】
この実施形態では、図２に示すように、インク供給口４７が４つ設けられているのに対して、共通インク室７が５つ設けられており、インク供給口４７ａだけが、２つの共通インク室７，７に接続されている。インク供給口４７ａには、ブラックインクが供給されるように設定されており、ブラックインクがその他のカラーインクに比べて使用頻度が高いことを考慮したものである。他のインク供給口４７ｂ、４７ｃ、４７ｄには、イエロー、マゼンタ、シアンの各インクがそれぞれ単独に供給される。インク供給口４７ａ，４７ｂ，４７ｃ，４７ｄには、それぞれの開口に対応する濾過部２０ａを有するフィルタ体２０が接着剤等で貼着されている（図１参照）。
【００３８】
このキャビティユニット１は、製造工程において、ノズルプレート１１とスペーサプレート１２との２枚からなる第１サブユニット１ａと、ダンパープレート１３、マニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６、及びキャビティプレート１７の計６枚からなる第２サブユニット１ｂとが別個に作製された後に、これら第１サブユニット１ａと第２サブユニット１ｂとが積層接着される（図４参照）。
【００３９】
第２サブユニット１ｂは、これを構成するダンパープレート１３、マニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６、及びキャビティプレート１７の６枚のプレートの各積層面に接着剤が塗布されて、６枚同時に接着されるので、各積層面に、余分の接着剤を積層面に沿って誘導するための逃がし溝２１が形成されている。逃がし溝２１は、接着時には流動性を有している接着剤を、その毛細管現象を利用して引き寄せるために、各プレートに形成されたインク流路としての種々の開口よりも小さい断面積に形成されている。
【００４０】
この実施形態では、図５（ａ）及び図６に示すように、逃がし溝２１は、接着時に最下層となるダンパープレート１３を除く他の５枚のプレート、すなわちマニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６、及びキャビティプレート１７の各下面側（ノズル４側）に下向きに開口して形成されている。また、マニホールドプレート１４ａ、１４ｂ、サプライプレート１５、ベースプレート１６には、板厚方向に貫通する接着剤用の貫通孔２２が穿設されており、この貫通孔２２が各プレートを挟んで上下に配置された逃がし溝２１、２１を連通させている（図５参照）。
【００４１】
逃がし溝２１は、積層面と交差する外周側端面に出口部２３を有しており、この実施形態では、出口部２３は、第２サブユニット１ｂの最上層となるキャビティプレート１７の長手方向（Ｘ方向）側縁に沿って片側３箇所、両側で計６箇所設けられている（図１参照）。そして、出口部２３の手前となる逃がし溝２１の中途部に、逃がし溝２１を通った接着剤を貯留可能な第１溜まり部２４と第２溜まり部２５とが設けられており、第２溜まり部２５は第１溜まり部２４よりも出口部２３側に配置されている（図５（ａ）、図５（ｂ）及び図６参照）。
【００４２】
第２溜まり部２５は、逃がし溝２１及び出口部２３が設けられたキャビティプレート１７に、積層方向からの平面視略矩形状の貫通穴として形成されている。一方、このキャビティプレート１７に対して接着時に鉛直下方側となるベースプレート１６に、第１溜まり部２４が設けられているが、ベースプレート１６に形成された積層方向からの平面視略矩形状の貫通穴が、その下面側をサプライプレート１５で覆われることにより、第１溜まり部２４は底部を有する凹所となっている。そして、これら第１溜まり部２４と第２溜まり部２５とは、平面視において一部が重複することで連通し、これらは広い面積で接続されている（図５（ａ）及び図５（ｂ）参照）。これら第１溜まり部２４及び第２溜まり部２５は、余剰の接着剤を全て貯留できるように構成されているため、第２溜まり部２４と出口部２３との間の逃がし溝２１は、接着剤の逃がし溝ではなく、空気（気泡）の逃がし溝として機能する。
【００４３】
なお、第２溜まり部２５は予備的に設けたものであるため、第２溜まり部２５の貯留容量は、第１溜まり部２４の貯留容量よりも小さく設定している。また、図５（ａ）にて、逃がし溝２１ａとして点線で図示するように、逃がし溝は、第１溜まり部２４の下端側に開口するように構成してもよい。
【００４４】
前記各金属製のプレート１２〜１７におけるインク供給口４７、共通インク室７、連通孔３７、貫通孔３８、接続流路４０、ダンパ室４５、逃がし溝２１、貫通孔２２、第１溜まり部２４、第２溜まり部２５等の凹み形成や貫通する孔等は、エッチング加工、放電加工、プラズマ加工、レーザ加工等により形成されている。ポリイミド等の合成樹脂製で平面視ほぼ矩形薄シート状の１枚のフィルタ体２０には、レーザ加工等にて極小孔が穿設された濾過部２０ａが形成される。フィルタ体２０を金属製にする場合には、電鋳加工により形成すればよい。
【００４５】
一方、前記圧電アクチュエータ２は、特開平４−３４１８５３号公報等に開示された公知のものと同様に、図示しないが複数枚の圧電シートを積層した構造で、１枚の厚さが３０μｍ程度の各圧電シートのうち下から偶数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、前記キャビティユニット１における各圧力室３６に対応した箇所ごとに細幅の個別電極が長辺方向（Ｘ方向）に沿って列状に形成されている。下から奇数段目の圧電シートの上面（広幅面）には、複数個の圧力室３６に対して共通のコモン電極が形成されており、最上段のシートの上面には、表面電極４８として、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極と、前記コモン電極に対して電気的に接続される表面電極とが設けられている。
【００４６】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ２における下面（圧力室３６と対面する広幅面）全体に、接着剤としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート（図示せず）を予め貼着し、次いで、前記キャビティユニット１に対して、圧電アクチュエータ２が、その各個別電極を前記キャビティユニット１における各圧力室３６の各々に対応させて接着・固定される。また、この圧電アクチュエータ２における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル３（図４参照）が重ね押圧されることにより、このフレキシブルフラットケーブル３における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表面電極４８に電気的に接合される。
【００４７】
このように構成された第１実施形態では、その第２サブユニット１ｂの作製において、各プレートの積層面に接着剤が塗布される。積層された６枚のプレートが、ダンパープレート１３を最下層として接着装置（治具）に設置され、その上下を挟まれて押圧される。そして、余剰の接着剤と、接着剤中または積層面に存在する空気とが、各積層面の逃がし溝２１に流れ込む。逃がし溝２１に入り込んだ接着剤及び空気は、外部に連通する出口部２３が、最上層のキャビティプレート１７に形成されているため、貫通孔２２を通って上方に移動する。そして、出口部２３の手前において、逃がし溝２１がその鉛直下方に設けられた第１溜まり部２４に連通しているため、余剰の接着剤は逃がし溝２１から第１溜まり部２４に垂れ落ちる。このとき、キャビティプレート１７の逃がし溝２１は、ベースプレート１６の第１溜まり部２４の上に重なる位置に延びているから、余剰の接着剤は、第２溜まり部２５の側面に伝うことなく、確実に第１溜まり部２４に溜めることができる。また、接着剤が第１溜まり部２４から溢れて盛り上がる場合には、第１溜まり部２４の上方に接続された第２溜まり部２５に収容されるので、接着剤が出口部２３から外にはみ出すことはない。そして、プレートを接着装置に挟んだとき、第２溜まり部２５の上面はその接着装置によって塞がれてしまうが、接着剤とともに第１溜まり部２４に流れ込んだ空気は、そのまま出口部２３から外部に排出される。
【００４８】
このように、逃がし溝２１を通って、出口部２３に誘導される接着剤は、出口部２３の手前に凹設された第１溜まり部２４及び第２溜まり部２５によって、その余剰分が収容されるため、出口部２３から外周側端面を垂れ落ちた接着剤が接着装置を汚染することを防止できる。その結果、接着装置の清掃作業を軽減でき、生産効率を向上させることができる。
【００４９】
次に、本発明の第２実施形態について図面に基づいて説明する。図７（ａ）は本発明の第２実施形態のインクジェットヘッドの部分斜視図、図７（ｂ）は図７（ａ）のVIIb−VIIb線矢視断面図、図７（ｃ）は第２実施形態の変形例の部分斜視図である。なお、第１実施形態と同じ構造には同一符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００５０】
第１実施形態では、逃がし溝２１に第１溜まり部２４及び第２溜まり部２５を連通させていたが、この第２実施形態では、第１溜まり部２４のみを備え、この第１溜まり部２４が逃がし溝２１の出口部２３に連通するように配置されている。
【００５１】
第１溜まり部２４は、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、ベースプレート１６に平面視略矩形状の貫通穴を穿設し、ベースプレート１６の下面をサプライプレート１５で覆うことで、キャビティプレート１７側に開口し且つ周囲が壁部で囲まれた凹所として形成されている。
【００５２】
一方、逃がし溝２１及びその出口部２３はキャビティプレート１７の下面に形成されているが、出口部２３の端縁が第１溜まり部２４の開口領域の内側に位置するように、キャビティプレート１７は、その下層のベースプレート１６よりもＹ方向の寸法が細幅に形成されている。これにより、出口部２３からはみ出た接着剤が、第１溜まり部２４に直ちに捕捉されるので、第１実施形態と同様に、余剰の接着剤が第２サブユニット１ｂの外周側端面に垂れ落ちることを確実に防止することができる。また、この第１溜まり部２４は、その周囲が壁部で囲まれているため、第１溜まり部２４から余剰の接着剤が流れ落ちることを阻止することができる。
【００５３】
なお、図７（ａ）及び図７（ｂ）は、第１溜まり部２４をベースプレート１６に貫通形成した形態を図示しているが、図７（ｃ）に示すように、第１溜まり部２４を、ベースプレート１６の板厚寸法よりも浅く凹設してもよい。
【００５４】
次に、本発明の第３実施形態について図面に基づいて説明する。図８（ａ）は本発明の第３実施形態のインクジェットヘッドの部分斜視図、図８（ｂ）は図８（ａ）のVIIIb −VIIIb 線矢視断面図、図８（ｃ）は第３実施形態の変形例の部分斜視図である。なお、第１実施形態と同じ構造には同一符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００５５】
この第３実施形態は、第２実施形態を応用したものであり、第２実施形態と同様に、第１溜まり部２４のみを備え、逃がし溝２１の出口部２３が、第１溜まり部２４の開口領域に位置するように構成されている。この第３実施形態では、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、ベースプレート１６にその外周側端面から内側に向かう切欠部を設け且つベースプレート１６の下面をサプライプレート１５で覆うことにより、第１溜まり部２４を、キャビティプレート１７側及び外周側端面側に開口した凹所として形成している。
【００５６】
これにより、出口部２３からはみ出た接着剤が、第１溜まり部２４に直ちに捕捉されるので、第１実施形態と同様に、余剰の接着剤が第２サブユニット１ｂの外周側端面に垂れ落ちることを防止することができる。
【００５７】
また、キャビティユニット１自体は極めて微小な部品であり、ベースプレート１６における外周側端面近傍に、第１溜まり部２４としての広いスペースを確保することは困難であるが、第３実施形態の第１溜まり部２４は、外周側端面側に壁部を有していないので、その開口面積を広く取ることができ、その結果、貯留できる接着剤の量を増大させることができる。なお、第３実施形態において第１溜まり部２４は、図８（ｃ）に示すように、ベースプレート１６の板厚寸法よりも浅く凹設してもよい。
【００５８】
次に本発明の第４実施形態について図面に基づいて説明する。図９（ａ）は本発明の第４実施形態の部分斜視図、図９（ｂ）は図９（ａ）のIXb −IXb 線矢視断面図である。なお、第１実施形態と同じ構造には同一符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００５９】
この第４実施形態も、第２実施形態を応用したものであり、第２実施形態と同様に、第１溜まり部２４のみを備え、逃がし溝２１の出口部２３が、第１溜まり部２４の開口領域に位置するように構成されている。また、この第１溜まり部２４は、周囲が壁部で囲まれるとともに、壁部の上端からキャビティプレート１７側の開口を覆うように庇部２６が突設されている。
【００６０】
これにより、出口部２３からはみ出た接着剤が、第１溜まり部２４に直ちに捕捉されるので、第１実施形態と同様に、余剰の接着剤が第２サブユニット１ｂの外周側端面に垂れ落ちることを防止することができる。また、庇部２６により第１溜まり部２４から接着剤が溢れ出すことも防止できる。
【００６１】
次に本発明の第５実施形態について図面に基づいて説明する。図１０（ａ）は本発明の第５実施形態の部分斜視図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のXb−Xb線矢視断面図である。なお、第１実施形態と同じ構造には同一符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００６２】
この第５実施形態も、第２実施形態を応用したものであり、第２実施形態と同様に、第１溜まり部２４のみを備え、逃がし溝２１の出口部２３が、第１溜まり部２４の開口領域に位置するように構成されている。そして、第５実施形態では、第２実施形態とは異なり、キャビティプレート１７の外周側端面から内側に形成した切欠部２７に、逃がし溝２１の出口部２３を配置している。これにより、出口部２３からはみ出た接着剤が、第１溜まり部２４に直ちに捕捉され、第１実施形態と同様に、余剰の接着剤が第２サブユニット１ｂの外周側端面に垂れ落ちることを防止することができる。また、キャビティプレート１７をベースプレート１６等の他のプレートとＸ方向の寸法を同一幅に形成することができる。
【００６３】
なお、上述の第１〜第５実施形態では、逃がし溝２１の出口部２３をキャビティプレート１７に設けているが、その他のプレートに設けても良い。また、逃がし溝２１は、各プレートの上面側に形成してもよい。また、上述の説明では、接着時にキャビティプレート１７が最上層となる場合について説明したが、接着時の上下の変更に応じて、逃がし溝２１に対する第１溜まり部２４、第２溜まり部２５及び出口部２３の位置は、適宜変更される。
【００６４】
また、前記各実施形態ではインクジェットヘッドに適用したが、電子部品の組み立てに際して、複数枚の金属板製のリードフレーム等の薄板状部品の少なくとも片面にパターンを有するものを接着剤を介して積層する構造に、本発明を適用することができるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの分解斜視図である。
【図３】キャビティユニットの拡大分解斜視図である。
【図４】図１のIV−IV線矢視拡大断面図である。
【図５】（ａ）は第１溜まり部及び第２溜まり部の縦断面図、（ｂ）は第２溜まり部の上面側から見た平面図である。
【図６】第１溜まり部及び第２溜まり部を下面側から見た分解斜視図である。
【図７】（ａ）は本発明の第２実施形態のインクジェットヘッドの部分斜視図、（ｂ）は図７（ａ）のVIIb−VIIb線矢視断面図、（ｃ）は第２実施形態の変形例の部分斜視図である。
【図８】（ａ）は本発明の第３実施形態のインクジェットヘッドの部分斜視図、（ｂ）は図８（ａ）のVIIIb −VIIIb 線矢視断面図、（ｃ）は第３実施形態の変形例の部分斜視図である。
【図９】（ａ）は本発明の第４実施形態の部分斜視図、（ｂ）は図９（ａ）のIXb −IXb 線矢視断面図である。
【図１０】（ａ）は本発明の第５実施形態の部分斜視図、（ｂ）は図１０（ａ）のXb−Xb線矢視断面図である。
【符号の説明】
【００６６】
１      キャビティユニット
１ａ    第１サブユニット
１ｂ    第２サブユニット
２      圧電アクチュエータ
３      フレキシブルフラットケーブル
４      ノズル
７      共通インク室
１１    ノズルプレート
１２    スペーサプレート
１３    ダンパープレート
１４ａ  マニホールドプレート
１４ｂ  マニホールドプレート
１５    サプライプレート
１６    ベースプレート
１７    キャビティプレート
２０    フィルタ体
２１    逃がし溝
２２    貫通孔
２３    出口部
２４    第１溜まり部
２５    第２溜まり部
２６    庇部
２７    切欠部
３６    圧力室
１００  インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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