(57)【要約】【課題】ボンディング装置において、ボンディングツールを駆動するモータの巻数の切り替え時におけるモータトルクの食い違いを抑制することである。【解決手段】ボンディング装置のＺモータ１６の固定子は、巻数の異なる２つのコイル３４，３６を有する。Ｚモータ１６の可動子にはアーム３０が取り付けられ、その先端にボンディングツール１４が設けられる。コイル３４に電流＋ｉ１を流し、同時にコイル３６に電流−ｉ２を流す。エンコーダ３８の出力を検出しつつ、ボンディングツール１４の先端の変位がゼロとなるように、＋ｉ１に対する−ｉ２を変化させ、ボンディングツール１４の先端の変位がゼロとなるときのｉ２／ｉ１を総合的なトルク定数の校正値とする。Ｚモータ１６の巻数を切り替えるとき、この校正値を用いて駆動電流を制御する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータのトルクの大きさを順次変更してボンディングツールを移動させボンディングを行うボンディング装置であって、
コイル巻数を変更できるモータと、
コイル巻数の変更に対応するトルク定数の校正を行う校正手段と、
校正されたトルク定数に基づき、モータのコイル巻数変更の前後においてモータのトルクが連続的に変化するように駆動制御を行う制御部と、
を備えることを特徴とするボンディング装置。
【請求項２】
請求項１に記載のボンディング装置において、
モータは、巻数の異なる２つのコイルを有し、いずれのコイルを選択するかによってコイル巻数を変更できるモータであって、
校正手段は、一方のコイルに流す電流の方向と他方のコイルに流す電流の方向とを相互に反対方向として両コイルにそれぞれ電流を流し、ボンディングツールの駆動が相殺されて変位がゼロとなるときの両コイルを流れる電流の比を求め、その電流比に基づいてトルク定数の校正を行うことを特徴とするボンディング装置。
【請求項３】
請求項１に記載のボンディング装置において、
モータは、巻数の異なる２つのコイルを有し、いずれのコイルを選択するかによってコイル巻数を変更できるモータであって、
校正手段は、一方のコイルに任意の電流を流したときのボンディングツールの駆動力を求め、次にその駆動力と同じ駆動力を発生するように他方のコイルに電流を流し、その電流と先ほどの一方のコイルに流した電流の比を求め、その電流比に基づいてトルク定数の校正を行うことを特徴とするボンディング装置。
【請求項４】
請求項１に記載のボンディング装置において、
モータは、巻数の異なる２つのコイルを有し、いずれのコイルを選択するかによってコイル巻数を変更できるモータであり、
ボンディングツールは、付勢手段による付勢力を受け、その付勢力とモータから受ける駆動トルクとに基づきその変位位置が定まるボンディングツールであり、
校正手段は、一方のコイルに任意の電流を流したときのボンディングツールの変位位置を求め、次にその変位位置と同じ変位位置を発生するように他方のコイルに電流を流し、その電流と先ほどの一方のコイルに流した電流の比を求め、その電流比に基づいてトルク定数の校正を行うことを特徴とするボンディング装置。
【請求項５】
請求項１に記載のボンディング装置において、
モータは、巻数の異なる２つのコイルを有し、いずれのコイルを選択するかによってコイル巻数を変更できるモータであって、
校正手段は、一方のコイルに任意の交流信号を入力したときにボンディングツールが応答する振幅特性を求め、次に他方のコイルに同じ交流信号を入力したときにボンディングツールが応答する振幅特性を求め、これらの振幅特性に基づいてトルク定数の校正を行うことを特徴とするボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はボンディング装置に係り、特に、モータによりボンディングツールを移動させてボンディングを行うボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ボンディング装置においては、ボンディングツールを所定のボンディング位置に向けて移動させる移動工程と、ボンディング位置においてボンディングツールをボンディング対象に対し荷重を印加しつつボンディングを行う荷重印加工程とを有する。ここでボンディング時間を短縮するため、移動工程はできるだけ高速が好ましいが、荷重印加工程はボンディング性能に関わるのでできれば低速で精密な制御を行いたい。ここで、ボンディングツールの移動速度及び印加する荷重は、ボンディングツールを移動させるのに用いるモータの駆動電流によって制御することができる。したがって、最適のボンディングを行うために、ボンンディングツールの移動位置に合わせたモータ電流制御が行われる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年におけるボンディングの高速化、チップの微細化、高集積化に伴い、制御すべき電流の範囲が著しく広がってきている。例えば、ボンディングの高速化が進むにつれ、高速移動を行うためにモータ駆動電流の最大値が上昇し、１０Ａ以上となることがある。一方で金ボールを押し付ける等のボンディングに要する荷重の大きさもモータが出力するトルクの大きさ、すなわち駆動電流の大きさは多くて数１０ｍＡ程度と少ない。また、チップのパターン微細化、高集積化に伴い、ボールの大きさはより小さくなってきており、例えば、ボールの直径が１５μｍの場合では、押し付け荷重に相当する駆動電流を１−５ｍＡとさらに少なくする必要がある。
【０００４】
このように、モータの駆動電流は、高速移動制御のときと、ボンディング位置近傍における荷重制御のときとで、その比にしておよそ１００−１０，０００倍も異なり、制御のダイナミックレンジが広がる一方である。例えば、フィードバック制御するにしても、電流値の検出がこのように広いダイナミックレンジで保証することが困難になり、また、微小電流の制御におけるノイズの影響も大きくなる。このように、出力電流の制御をボンディング工程の全域にわたって精度よく行うことが困難になってきている。
【０００５】
そこで、モータの巻線に中間タップを設け、高速移動時にはフルターンの巻線でモータを駆動し、低速荷重印加時には少ない巻数の巻線でモータを駆動することが考えられる。モータのトルクはアンペア・ターンに比例するので、巻数を少なくする分、駆動電流を増やすことができる。したがってボンディング工程全体にわたる駆動電流の範囲をより狭めることができそうである。
【０００６】
しかし、上記のように、高速移動制御と低速荷重制御において電流比が１００−１０，０００倍もあると、いずれかの方に電流範囲を揃えるには、巻線比を１００−１０，０００倍にすることになる。このように大きな巻線比の切り替えを行うと、駆動電流もその比に応じて切り替わるので、巻数以外のトルク定数を構成する要素が一定値でなくなることがある。例えば、電流依存性や巻数依存性がある要素が、電流値の切り替わりが少ないときは目立たないが、電流値が大きく変化すると、その依存性が目立ってくる。例えば、巻線比を１００として、駆動電流１００ｍＡのところで巻線を巻数１００から巻数１に切り替えると、駆動電流は１００ｍＡから一気に１０Ａに変化する。したがって、電流依存性や巻数依存性のある要素は、巻数の切り替えのときにその値が変化し、駆動電流を巻線比に応じて切り替えるだけではモータのトルクに食い違いが生ずる。切り替え時にモータのトルクに食い違いが生ずると、ボンディングツールの動きがスムーズなものとならず、荷重制御を精密に行えなくなり、ボンディングの品質が低下する。
【０００７】
本発明は、かかる従来技術の課題を解決し、巻数の切り替え時におけるモータのトルクの食い違いを抑制することを可能とするボンディング装置を提供することである。  
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係るボンディング装置は、モータのトルクの大きさを順次変更してボンディングツールを移動させボンディングを行うボンディング装置であって、コイル巻数を変更できるモータと、コイル巻数の変更に対応するトルク定数の校正を行う校正手段と、校正されたトルク定数に基づき、モータのコイル巻数変更の前後においてモータのトルクが連続的に変化するように駆動制御を行う制御部と、を備えることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係るボンディング装置において、モータは、巻数の異なる２つのコイルを有し、いずれのコイルを選択するかによってコイル巻数を変更できるモータであって、校正手段は、一方のコイルに流す電流の方向と他方のコイルに流す電流の方向とを相互に反対方向として両コイルにそれぞれ電流を流し、ボンディングツールの駆動が相殺されて変位がゼロとなるときの両コイルを流れる電流の比を求め、その電流比に基づいてトルク定数の校正を行うことが好ましい。
【００１０】
また、本発明に係るボンディング装置において、モータは、巻数の異なる２つのコイルを有し、いずれのコイルを選択するかによってコイル巻数を変更できるモータであって、校正手段は、一方のコイルに任意の電流を流したときのボンディングツールの駆動力を求め、次にその駆動力と同じ駆動力を発生するように他方のコイルに電流を流し、その電流と先ほどの一方のコイルに流した電流の比を求め、その電流比に基づいてトルク定数の校正を行うことが好ましい。
【００１１】
また、本発明に係るボンディング装置において、モータは、巻数の異なる２つのコイルを有し、いずれのコイルを選択するかによってコイル巻数を変更できるモータであり、ボンディングツールは、付勢手段による付勢力を受け、その付勢力とモータから受ける駆動トルクとに基づきその変位位置が定まるボンディングツールであり、校正手段は、一方のコイルに任意の電流を流したときのボンディングツールの変位位置を求め、次にその変位位置と同じ変位位置を発生するように他方のコイルに電流を流し、その電流と先ほどの一方のコイルに流した電流の比を求め、その電流比に基づいてトルク定数の校正を行うことが好ましい。
【００１２】
また、本発明に係るボンディング装置において、モータは、巻数の異なる２つのコイルを有し、いずれのコイルを選択するかによってコイル巻数を変更できるモータであって、校正手段は、一方のコイルに任意の交流信号を入力したときにボンディングツールが応答する振幅特性を求め、次に他方のコイルに同じ交流信号を入力したときにボンディングツールが応答する振幅特性を求め、これらの振幅特性に基づいてトルク定数の校正を行うことが好ましい。
【発明の効果】
【００１３】
上記構成の少なくとも１つにより、モータはコイル巻数が変更でき、そのコイル巻数の変更に対応するトルク定数の構成を行い、その校正に基づいてコイル巻数変更の前後でトルクが連続的に変化するように駆動制御する。したがって、巻数の切り替え時におけるモータのトルクの食い違いを抑制することができる。
【００１４】
また、上記構成の少なくとも１つにより、モータの巻数の異なる２つのコイルに相互に反対方向となる電流を同時に流し、ボンディングツールの変位がゼロにつりあうようにする。このときの電流比を用いて駆動することで、巻数切り替えのときにボンディングツールの動きの食い違いを抑制できる。
【００１５】
また、上記構成の少なくとも１つにより、モータの巻数の異なる２つのコイルに別々に電流を流し、それぞれの駆動力が同じになるようにする。そのときの電流比を用いて駆動することで、巻数切り替えのときにボンディングツールの動きの食い違いを抑制できる。
【００１６】
また、上記構成の少なくとも１つにより、モータの巻数の異なる２つのコイルに別々に電流を流し、それぞれについてボンディングツールの変位位置が同じになるようにする。そのときの電流比を用いて駆動することで、巻数切り替えのときにボンディングツールの動きの食い違いを抑制できる。
【００１７】
また、上記構成の少なくとも１つにより、モータの巻数の異なる２つのコイルの別々に同じ交流信号を入力し、それぞれについてボンディングツールが応答する振幅特性を求める。これらの振幅特性に基づいてトルク定数の校正を行うことで巻数の切り替え時におけるモータのトルクの食い違いを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下に図面を用いて本発明に係る実施の形態につき詳細に説明する。以下において、ボンディング装置はワイヤボンディング装置として説明するが、高速移動と低速移動とが存在するボンディング装置であれば、他の種類のボンディング装置であってもよい。例えば、ダイボンディング装置、フリップチップボンディング装置等であってもよく、また、ボンディングの方式が熱圧着型のものあるいは超音波エネルギを用いるものであってもよい。また、以下に示す巻数や駆動電流値は説明のための例示であって、これ以外の数値を用いるものであってもよい。
【００１９】
図１はボンディング装置１０のブロック図である。このボンディング装置１０は基板４のボンディングリードと、基板に取り付けられたチップ６のボンディングパッドとの間をワイヤ８で接続するワイヤボンディング装置である。ボンディング装置１０は、基板４を保持するキャリア１２と、ワイヤ８を保持するキャピラリと呼ばれるボンディングツール１４と、ボンディングツール１４をチップ６に対し図１に示すＺ方向に昇降させるモータ１６と、Ｚモータ１６を含むボンディング部を図１に示すＸＹ平面内で移動するＸＹテーブル１８と、これらの要素を全体として制御する制御ブロック２０を含んで構成される。
【００２０】
Ｚモータ１６は、可動子と固定子を有し、可動子の先端にボンディングツール１４が設けられる。駆動コイルは固定子側又は可動子側のどちらにあってもかまわないが、駆動コイルに流す電流ｉにより、可動子と固定子とが電磁気的に協働し、Ｚモータ１６はトルクＴ＝ＫＴ×ｉを発生する。ここでＫＴはトルク定数として知られるもので、駆動コイルの巻数ｎの関数で、一般的にはＫＴ＝ａ×ｎと示される。すなわち、一般的には、Ｚモータ１６のトルクＴは、駆動電流ｉに比例し、駆動コイルの巻数ｎに比例する。
【００２１】
Ｚモータ１６は、駆動コイルに中間タップを有し、駆動制御部２２の制御の下でコイル巻数を変更できる。一例をあげると、全巻数Ｎ＝１００＝ｎ１＋ｎ２として、ｎ１＝９９、ｎ２＝１となるように、一方の端部から９９巻のところに中間タップが設けられる。この例で、ｎ１＝９９の巻線の両端に駆動電源を接続すれば、巻数ｎ１＝９９に対応するトルク定数のモータとなり、ｎ２＝１の巻線の両端に駆動電源を接続すれば、巻数ｎ２＝１に対応するトルク定数のモータとできる。また、中間タップを用いずに全巻数Ｎ＝１００の両端に駆動電源を接続して、巻数Ｎ＝１００に対応するトルク定数のモータとすることもできる。巻数の切り替え、すなわち中間タップ等への接続切り替えは、高速スイッチング素子を用い、そのスイッチングを制御することで行うことができる。切り替え時の逆起電力を抑制するために公知のスナバー回路等を用いることが好ましい。
【００２２】
制御ブロック２０は、Ｚモータ１６やＸＹテーブル１８の駆動を制御する駆動制御部２２と、Ｚモータ１６に関するトルク定数の校正を行って駆動制御部２２に提供する校正部２４と、ボンディング作業のシーケンス等の処理を行うボンディング処理部２６を含む。かかる制御ブロック２０は、一般的なコンピュータ、またはボンディング処理に適した専用コンピュータ等で構成できる。また、駆動制御部２２、校正部２４、ボンディング処理部２６の機能はソフトウエアによって実現することができ、具体的には対応するボンディングプログラム等を実行することで実現できる。また、各機能の一部をハードウエアで実現するように構成してもよい。
【００２３】
制御ブロック２０における駆動制御部２２は、Ｚモータ１６等の駆動を制御する機能を有する。より具体的にＺモータ１６の制御について述べると、ボンディングツール１４の位置を図示していないエンコーダ等で検出し、その位置にあわせてＺモータ１６の駆動電流を変更してそのトルクを順次変更する制御を行う。Ｚモータ１６のコイルに実際に流れる電流を検出し、フィードバック制御を行うこともできる。また、ボンディングツール１４の位置を、高速移動制御領域か、ボンディング位置近傍の低速荷重制御領域か、に区分し、その境界においてＺモータ１６の巻数を切り替える。そのときに、校正部２４から提供されるＺモータ１６に関するトルク定数の校正結果を用い、巻数の大きな切り替えがあっても、ボンディングツール１４の動きが連続的であるように駆動電流の制御を行う。
【００２４】
校正部２４は、Ｚモータ１６がコイル巻数を変更できることに伴い、それぞれのコイル巻数におけるトルク定数を校正する機能を有する。トルク定数の校正の目的は、コイル巻数を変更したときにボンディングツール１４の動きが連続的で滑らかであることにあるので、駆動制御部２２−駆動回路、巻数切替スイッチング回路−コイル−可動子−ボンディングツールの電気系、運動系全体に含まれる各要素の総合的なトルク定数に関する校正が望ましい。
【００２５】
校正は、オフライン、すなわちボンディング作業前等に行われるのが好ましいが、ボンディング作業の途中に定期的に行ってもよい。校正は、例えばボンディングプログラムの一部として校正プログラムを含ませ、ボンディング装置１０が備える測定機能等を用いて自動的に行うようにしてもよい。また、より精密な校正を行うために、外部の測定装置を用いて校正を行い、その校正結果をキーボード等の入力手段を介して校正部２４が取得するものとしてもよい。校正の結果は適当なメモリに記憶され、必要に応じ駆動制御部２２に供給される。
【００２６】
具体的な校正の内容について図２を用いて説明する。図２は、ボンディングツール１４とＺモータ１６周辺について校正を行うために必要な部分を模式的に示す図である。Ｚモータ１６の固定子は、巻数の異なる２つのコイルを有している。すなわち、巻数ｎ１＝９９のコイル３４と、巻数ｎ２＝１のコイル３６である。また、Ｚモータ１６の可動子にはアーム３０が取り付けられ、その先端にボンディングツール１４が設けられる。アーム３０には、ねじり支持機構３２が設けられる。ねじり支持機構３２は、アーム３０を回転支持しつつ、回転方向に付勢力を与えるものである。例えば、回転軸とねじりばねを用いてアーム３０を回転支持とともに回転方向の付勢力を与えるものとすることができる。また、２枚の板ばねをほぼ直交方向に配置し、回転方向のみに自由度を与える案内機構、又はクロスピボット式案内機構でアーム３０を支持してもよい。
【００２７】
Ｚモータ１６のコイルに駆動電流を流すと、固定子と可動子との電磁的協働作用によりトルクが生じ、アーム３０はねじり支持機構３２の付勢力に抗しつつ、ねじり支持機構３２の周りに回転する。その動きは、エンコーダ３８により検出され、ボンディングツール１４の動きに換算される。
【００２８】
図２の構成において、総合的なトルク定数の校正は次のように行われる。すなわち巻数ｎ１＝９９のコイル３４に電流＋ｉ１を流し、同時に巻数ｎ２＝１のコイル３６に電流−ｉ２を流す。すなわち、コイル３４に流す電流の方向と、コイル３６に流す電流の方向は互いに逆方向である。したがって、コイル３４の電流＋ｉ１によって生ずるトルクが仮に、アーム３０をねじり支持機構３２回りに時計方向に回転しようとするものであるとすると、コイル３６の電流−ｉ２によって生ずるトルクはアーム３０をねじり支持機構３２回りに反時計方向に回転しようとする。そこで、エンコーダ３８の出力を検出しつつ、ボンディングツール１４の先端の変位がゼロとなるように、＋ｉ１に対する−ｉ２を変化させ、ボンディングツール１４の先端の変位がゼロとなるときのｉ２／ｉ１を求め、これを総合的なトルク定数の校正値とする。
【００２９】
上記校正は、プログラムの実行等により次のようにして自動的に行うことができる。まず、コイル切替回路に指示を与え、Ｚモータ１６のコイルの接続を巻数ｎ１＝９９のコイル３４と巻数ｎ２＝１のコイル３６に分離する（コイル分離工程）。つぎに駆動回路に指示を与え、コイル３４に電流＋ｉ１を流し、その値を送信させる（＋ｉ１確定工程）。そして、エンコーダ測定回路に指示を与え、エンコーダの検出値を出力させる（エンコーダ出力工程）。次に駆動回路に別の指示を与え、コイル３４に電流＋ｉ１を流したまま、さらにコイル３６に逆方向電流−ｉ２をゼロから徐々に流す（−ｉ２変更工程）。エンコーダの検出値を監視し、ボンディングツール１４の先端の動きが基準位置、すなわち、Ｚモータ１６のトルクがゼロのときの位置になるときに、ゼロ位置信号を出す（ゼロ位置信号出力工程）。ゼロ位置信号を駆動回路に供給し、駆動回路に−ｉ２の変更を停止させ、そのときの値を送信させる（−ｉ２確定工程）。そしてｉ２／ｉ１を校正値として求め出力する（校正値出力工程）。こうして、校正を自動で行うことができる。
【００３０】
ボンディングツール１４の先端の変位がゼロとなるときのｉ２／ｉ１が求められれば、これを総合的なトルク定数の校正値として、Ｚモータ１６の駆動制御に用いることができる。上記の例で、校正値としてｉ２／ｉ１＝９７という値が求められたとすると、巻数ｎ１＝９９から巻数ｎ２＝１に切り替える際に、駆動電流は９９倍でなく、校正値の９７倍にして切り替える。こうすることで、Ｚモータ１６の巻数を切り替えても、ボンディングツール１４の先端の動きを連続的に滑らかなものとすることができる。
【００３１】
図３は、別の校正方法を説明する図である。図２と同様の要素については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。図３の校正方法では、ボンディングツール１４の先端の駆動力を測定するために、ロードセル４０が用いられる。そして、コイル３４に電流ｉ３を流してロードセル４０によりその駆動力を測定する。具体的にはボンディングツール１４の先端の押し付け力Ｆを検出する。駆動力としての押し付け力Ｆが得られれば、電流ｉ３をゼロに戻し、あるいはコイル３４を開放とする。そして次に、コイル３６に電流ｉ４をゼロから徐々に流す。電流の方向は電流ｉ３と同じである。ロードセル４０の検出値を監視しつつ、押し付け力がＦとなるまで電流ｉ４を上げてゆき、同じ押し付け力となったときのｉ４／ｉ３を求める。求められたｉ４／ｉ３は、総合的なトルク定数の校正値として用いることができる。
【００３２】
図４は、さらに別の校正方法を説明する図である。図２と同様の要素については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。図４の校正方法では、ボンディングツール１４の先端の変位位置をエンコーダ３８で測定する。具体的には、コイル３４に電流ｉ５を流し、ねじり支持機構３２の付勢力に抗してアーム３０が回転し、先端のボンディングツール１４が変位する位置Ｘをエンコーダ３８により測定する。ボンディングツール１４の変位位置Ｘが得られれば、電流ｉ５をゼロに戻し、あるいはコイル３４を開放とする。そして次に、コイル３６に電流ｉ６をゼロから徐々に流す。電流の方向は電流ｉ５と同じである。エンコーダ３８の検出値を監視しつつ、変位位置がＸとなるまで電流ｉ６を上げてゆき、同じ変位位置となったときのｉ６／ｉ５を求める。求められたｉ６／ｉ５は、総合的なトルク定数の校正値として用いることができる。
【００３３】
図５は、さらに別の校正方法を説明する図である。図２と同様の要素については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。図５の校正方法では、ボンディングツール１４の先端の変位位置をエンコーダ３８で測定し、その角度変位θや角速度ω等の振幅特性を振幅特性評価部４２により評価する。具体的には、コイル３４に所定の交流信号を入力し、そのときのボンディングツール１４の振幅特性をエンコーダ３８の検出データに基づき振幅特性評価部４２で解析する。コイル３４の駆動によるボンディングツール１４の振幅特性が得られれば、コイル３４への交流信号の入力を止め、次にコイル３６に同じ交流信号を入力する。そして同様にボンディングツール１４の振幅特性を求める。これらの振幅特性に基づき、総合的なトルク定数の校正を次のようにして行うことができる。
【００３４】
ボンディングツール１４やアーム３０、Ｚモータ１６の可動子を含むボンディングヘッド部の運動は、次のような運動方程式で表すことができる。
ＫＴ×ｉ＝Ｊｄ２θ／ｄ２ｔ＋βｄθ／ｄｔ＋κθ
ここで、κはばね定数、Ｊはイナーシャ、βは減衰定数、θは位置（角度）、ＫＴはトルク定数、ｉは電流、ｔは時間である。
【００３５】
この式を変換すると次の式になる。
ＫＴ×ｉ／Ｊ＝ｄ２θ／ｄ２ｔ＋２γｄθ／ｄｔ＋ω０２θ
ここで、γ＝β／２／Ｊ、ω０２＝κ／Ｊである。
仮に、所定の入力交流信号を、ｉ×ｃｏｓωｔとし、ω０２ａ０＝ＫＴ×ｉ／Ｊとすると、上式はさらに次のように書ける。
ｄ２θ／ｄ２ｔ＋２γｄθ／ｄｔ＋ω０２θ＝ω０２ａ０ｃｏｓωｔ
【００３６】
この式を解くと次の振幅特性式が得られる。
θ＝ａｅγｔｃｏｓ（ω１ｔ＋δ）＋{ω０２ａ０ｃｏｓ（ωｔ−Φ）}／Ａ
ここで、ω１＝（ω０２−γ２）１／２、Ａ＝｛（ω０２−ω２）２＋４γω２｝１／２である。
この式の第１項は初期値ａがある場合の過渡振動項、第２項は強制振動数ωを表している。そこで、初期振動がない状態で強制振動を加え、十分な時間経過後の強制振動項の最大値θＭＡＸは、式（１）で与えられる。
θＭＡＸ＝ＫＴ×ｉ／（Ｊ×Ａ）      ・・・（１）
【００３７】
このように振幅特性としてのθＭＡＸはトルク定数ＫＴに比例することがわかる。したがって、コイル３４の駆動によるθＭＡＸ（３４）と、コイル３６の駆動によるθＭＡＸ（３６）とから、θＭＡＸ（３６）／θＭＡＸ（３４）を求める。求められたθＭＡＸ（３６）／θＭＡＸ（３４）は、総合的なトルク定数の校正値として用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明に係る実施の形態におけるボンディング装置のブロック図である。
【図２】本発明に係る実施の形態におけるトルク定数の校正を説明する図である。
【図３】他の実施の形態におけるトルク定数の校正を説明する図である。
【図４】さらに他の実施の形態におけるトルク定数の校正を説明する図である。
【図５】さらに次の他の実施の形態におけるトルク定数の校正を説明する図である。
【符号の説明】
【００３９】
４  基板、６  チップ、８  ワイヤ、１０  ボンディング装置、１２  キャリア、１４  ボンディングツール、１６  Ｚモータ、１８  ＸＹテーブル、２０  制御ブロック、２２  駆動制御部、２４  校正部、２６  ボンディング処理部、３０  アーム、３２  ねじり支持機構、３４，３６  コイル、３８  エンコーダ、４０  ロードセル、４２  振幅特性評価部。
【図１】
2005235875.tif 000003
【図２】
2005235875.tif 000004
【図３】
2005235875.tif 000005
【図４】
2005235875.tif 000006
【図５】
2005235875.tif 000007