(57)【要約】【課題】波長特性の可変を簡単かつ小型な構成で低コスト化できること。【解決手段】光ファイバ１０１から出射された光１１０は、コリメートレンズ１０２ａによりコリメートビーム１１０ａとされ、光フィルタ１０４のスリット１０６ａ部分を通過させると光の回折が生じて光ファイバ１０３側に出射される。スリット１０６ａをコリメートビーム１１０ａの中心に位置させたときは、光強度が高い部分で回折を起こし回折損が大きくなり、端に位置させると光強度が低い部分で回折を起こし回折損が小さくなり、回折損が波長特性を持つ。コリメートビーム１１０ａに対してスリット１０６ａの位置を変位させることにより、一部の波長帯域において光の回折損を増減でき波長特性の変化をフィルタ特性に加算させて波長特性を可変できるフィルタを実現する。【選択図】        図１
2005140831.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
波長に対して透過率が変化する波長特性を有するフィルタと、
前記フィルタに設けられた回折手段をコリメートビームを横切る方向に位置変位させる位置変位手段と、
を備えたことを特徴とする波長特性可変フィルタ。
【請求項２】
前記フィルタの回折手段は、フィルタ膜面の一部を除去して一対のエッジにより形成されたスリットを有することを特徴とする請求項１に記載の波長特性可変フィルタ。
【請求項３】
前記コリメートビームの光軸方向に沿って、前記回折手段が前記コリメートビーム中に位置するよう、複数の前記フィルタを複数配置し、
前記位置変位手段は、前記複数のフィルタを同時、あるいは個別に位置変位させることを特徴とする請求項１または２に記載の波長特性可変フィルタ。
【請求項４】
前記複数のフィルタにそれぞれ設けられた前記回折手段の方向が互いに所定の角度を有するように設けたことを特徴とする請求項３に記載の波長特性可変フィルタ。
【請求項５】
前記フィルタとして反射型フィルタを用い、
前記反射型フィルタに対して同一方向から光の入射および出射を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の波長特性可変フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、波長多重光通信システムにおける光増幅器や伝送路等に設けられ、波長特性を可変する波長特性可変フィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、波長分割多重（ＷＤＭ）方式等の高密度波長多重光通信システムでは、数十ｎｍから百ｎｍの帯域にわたって複数チャンネル（ｃｈ）分の光信号が多重化されており、全ｃｈの光出力レベルを平坦化したい要望がある。そのため、利得波長特性の大きい光ファイバ増幅器（ＥＤＦＡ）には利得等化器（ＧＥＱ）が内蔵されている（例えば、下記特許文献１、２参照。）。この光ファイバ増幅器に内蔵される利得等化器は、利得が変化すると利得波長特性自体も変わってしまうため、利得毎に利得等化器を設計、製造する必要があった。また、Ｒａｍａｎ増幅器利得波長特性や、ファイバ自体のロス波長特性、ｃｈ毎の光出力偏差など、各ｃｈ間の光出力平坦性を劣化させる要因は多く、かつ変化するため、簡易に波長特性を可変できるフィルタが要望されている。
【０００３】
このような従来の波長特性可変フィルタとしては、回折格子で空間的に波長を分解し、波長毎に液晶やＭＥＭＳなどで光路を変えロスを与えるものや、磁気光学効果により波長特性を変えるものがあった（例えば、下記特許文献３参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２９９７３３号公報
【特許文献２】特開２００２−２６８０２８号公報
【特許文献３】特開平９−２５８１１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記波長特性可変フィルタのうち回折格子を用いるものは、この回折格子が高価であり大型化する問題があった。また、磁気光学素子を用いるものは、この磁気光学素子が高価であるという問題があった。
【０００６】
この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するため、波長特性の可変を簡単かつ小型な構成で低コスト化できる波長特性可変フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、この発明にかかる波長特性可変フィルタは、波長に対して透過率が変化する波長特性を有するフィルタと、前記フィルタに設けられた回折手段をコリメートビームを横切る方向に位置変位させる位置変位手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
この発明によれば、コリメートビームにフィルタの回折手段を位置させ、この回折手段の位置をコリメートビームを横切る方向に位置変位させることにより、波長特性を可変することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明にかかる波長特性可変フィルタによれば、フィルタの回折手段を光軸に対して位置変位させるだけの簡単な構成で波長特性を可変でき、これを小型かつ低コストに実現できるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる波長特性可変フィルタの好適な実施の形態を詳細に説明する。はじめに、この発明にかかる波長特性可変フィルタにより波長特性を可変させる原理を簡単に説明する。一般に、コリメートビーム中に遮光するエッジやスリットやホール等の回折手段を挿入すると光の回折が生じ、コリメート光と違う方向へ進む成分ができる。このため、遮光されていない光に対してもファイバ結合時の挿入損失が増加する。ここで、遮光する部分を光フィルタにした場合、透過率の低い波長に対しては回折手段として見え回折が起きるが、透過率の高い波長に対しては透明に見えるため回折手段が有る部分でも回折はほとんど起きない。
【００１１】
図１は、回折光の発生原理を説明する図である。一方の光ファイバ１０１の端部にあるファイバフェルール１０１ａの端面から出射された光１１０は、一対のコリメートレンズ１０２ａ，１０２ｂ間で平行なコリメートビーム１１０ａとされ、他方の光ファイバ１０３のファイバフェルール１０３ａの端面に入射される。便宜上、光１１０のうち、コリメートビーム部分の領域を１１０ａと記載した。また、コリメートビーム１１０ａの各部分における光強度を１１０Ａと記載した。
【００１２】
そして、コリメートビーム１１０ａの領域内には光フィルタ１０４が設けられる。光フィルタ１０４は、例えば、ガラス基板１０５の表面に所定の波長透過特性を有するフィルタ膜１０６を形成してなる。フィルタ膜１０６の一部には、一対のエッジからなるスリット１０６ａが設けられる。このスリット１０６ａをコリメートビーム１１０ａの中心に位置させた場合には、光強度１１０Ａが高い部分で回折を起こすため、回折損が大きくなる。一方、スリット１０６ａの位置を図中Ａ方向に移動させ、コリメートビーム１１０ａの端に位置させた場合は、光強度１１０Ａが低い部分で回折を起こすため、回折損が小さくなる。つまり、回折損が波長特性を持つ。コリメートビーム１１０ａのビーム径に対してスリット１０６ａの大きさは１／１０程度である。例えば、コリメートビーム１１０ａのビーム径が２００μｍのとき、スリット１０６ａの幅は最大でも４０μｍ以下にする。スリット１０６ａは、同一の波長特性を有する一対の誘電体多層膜（詳細は後述）等により形成することができる。
【００１３】
図２−１は、ビーム内で回折手段を移動させた位置を示す図、図２−２は、ビーム内で回折手段を移動させたときの波長特性の変化を示す図表である。図２−２における横軸は波長、縦軸は透過率である。図２−１の（イ）〜（ハ）の順に、コリメートビーム１１０ａの光パワーが大きい中心から光パワーの少ない端へと回折手段であるスリット１０６ａを移動させると、一部の波長帯域において回折損が低下し、対応して図２−２の（イ）〜（ハ）に示すように、透過率が増加する如く変化する。このように、コリメートビーム１１０ａ内でスリット１０６ａを移動させるだけで、波長特性の変化をフィルタ特性に加算させることができ、波長特性を可変できるフィルタを実現できる。特に、スリット１０６ａを移動させたとき、透過率の高い波長帯域においては透過率は変化せず、透過率の低い波長帯域程、透過率を変更し波長特性を可変することができる。すなわち、強度分布を有する光ビームの中に回折手段を有するフィルタを挿入し、回折手段の位置を変えることにより、フィルタの特性を変えることができる。
【００１４】
（実施の形態１）
図３は、本発明の実施の形態１の波長特性可変フィルタを示す平面図である。図３に示す波長特性可変フィルタ３００において図１と同様の構成には同一の符号を附している。一対の光ファイバ１０１，１０３は、光１１０の光軸が同軸となるよう所定距離離れて配置されている。光ファイバ１０１，１０３端部のファイバフェルール１０１ａ，１０３ａはスリーブ３０１ａ，３０１ｂに固定され、コリメートレンズ１０２ａ，１０２ｂは、スリーブ３０２ａ，３０２ｂに固定されている。スリーブ３０１ａはスリーブ３０２ａに固定され、スリーブ３０２ａは筐体３１０に固定されている。同様に、スリーブ３０１ｂはスリーブ３０２ｂに固定され、スリーブ３０２ｂは筐体３１０に固定されている。スリーブ３０１ａ，３０１ｂ，３０２ａ，３０２ｂと、筐体３１０は金属材質を成形加工してなり、互いはレーザ溶接により固定される。この固定の際、光ファイバ１０１から出射される光１１０は、コリメートビーム１１０ａとなるよう、３方の軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）を調整して行う。
【００１５】
筐体３１０の側壁面３１０ａには、コリメートビーム１１０ａの光軸（図中Ｘ軸方向）と直交する方向（Ｙ軸方向）に位置変位させる位置変位手段３２０の基端部３２０ａが固定されている。位置変位手段３２０は、例えば圧電駆動されるピエゾ素子を用いて構成でき、外部電源から図示しない電極に対して電圧を印加することにより、移動端３２０ｂの位置をコリメートビーム１１０ａの光軸と直交する方向の所望する位置に連続的に移動させることができる。この移動端３２０ｂには、コリメートビーム１１０ａの光軸上に位置するよう、スリット付フィルタ３３０，３４０が固定されている。
【００１６】
図４は、スリット付フィルタを示す斜視図である。図４に示すように、スリット付フィルタ３３０，３４０は、前段と後段の２段構成となっている。前段のスリット付フィルタ３３０は、ガラス基板３３１上に光フィルタを構成する誘電体多層膜３３２をエッチングないしはダイシングで形成してなる。誘電体多層膜３３２の中央位置には図中縦（Ｘ軸）方向に連続するスリット３３２ａが形成されている。図示のスリット３３２ａは一対のエッジによって形成されている。スリット付フィルタ３３０がコリメートビーム１１０ａの光軸に対し直交（垂直）となるよう記載したが、実際には光軸に対して数度傾斜させて反射を逃がすよう構成する。
【００１７】
後段のスリット付フィルタ３４０は、前段のスリット付フィルタ３３０と同じ構成であり、各部には同じ符号を附してある。筐体３１０の内底面３１０ｂ（図３参照）に位置変位手段３２０の基端部３２０ａを接合させ、上部の移動端３２０ｂにガラス基板３３１を固定し、誘電体多層膜３３２の中央位置には図中横（Ｙ軸）方向に連続するスリット３３２ａを形成する。
【００１８】
少なくとも１つのスリット付フィルタ（例えば前段のスリット付フィルタ３３０のみ）のスリット３３２ａにより光１１０に回折を生じさせることができる。そして２つのスリット付フィルタ３３０，３４０を用いることによって、スリット付フィルタが１つの場合に比べてより大きな回折損を得ることができる。１つのスリット付フィルタによる回折角は、波長／スリット幅（ラジアン）で求められ、例えば、波長が１．５ミクロンのとき、スリット幅が十数ミクロン〜数ミクロンとすれば数度の回折角が得られる。
【００１９】
このように、前段と後段のスリット付フィルタ３３０，３４０は、それぞれ異なる位置変位手段３２０に固定され、互いの位置変位方向が直交する方向となるよう配置されている。このように可動方向を直交させることにより、コリメートビーム１１０ａの中心に前段および後段のスリット付フィルタ３３０，３４０の各スリット３３２ａが位置したときに、回折方向を直交させて回折損失をより大きくすることができるようになる。なお、製造を容易にするために、単一個の位置変位手段に２つまたは複数のスリット付フィルタを配置し、このスリット付フィルタを同一方向に変位させる構成にもできる。なお、上記説明では前段と後段のスリット付フィルタ３３０，３４０の位置変位方向を直交させるとしたが、これに限らず、前段と後段のスリット付フィルタ３３０，３４０の互いのスリット３３２ａの方向、あるいは位置変位方向が互いに所定の角度を有していれば回折損を発生させることができる。
【００２０】
位置変位手段３２０は、上記のピエゾ素子により圧電駆動法の他に、櫛歯状電極を備えたダイアフラム等による静電力法や、バイメタルを用いた温度膨張法や、電磁石、パルスモータ等を用いた磁力法などの他の方法によっても構成でき、スリット付フィルタを同様に位置変位させることができる。また、上記の構成では、ガラス基板３３１上の誘電体多層膜３３２により一対のエッジによりスリット３３２ａを形成する構成としたが、スリットを形成するに限らない。例えば、スリットの代わりに部分フィルタのエッジでも光の回折を生じさせることができる。すなわち、光１１０（コリメートビーム１１０ａ）部分に１つのエッジが位置するような部分フィルタをエッチングやリフトオフ法で同様に形成することができる。
【００２１】
次に、上記構成によるフィルタ動作を説明する。入力側の光ファイバ１０１の端面から出射された光１１０は、コリメートレンズ１０２ａによりコリメートビーム（平行光）とされた後、スリット付フィルタ３３０，３４０を通過する。そして、前段と後段のスリット付フィルタ３３０，３４０に設けられた位置変位手段３２０のいずれか１つあるいは両方を駆動する。この際、前段と後段のスリット付フィルタ３３０，３４０のいずれか１つあるいは両方のスリット３３２ａをコリメートビーム１１０ａの中心位置からビーム外の位置までの間で所望する位置に移動させる。
【００２２】
これにより、図２に示したように、変位させた位置に応じて一部の波長帯域の透過率が所望する透過率となるよう可変させることができる。スリット付フィルタ３３０，３４０を通過した光は、このスリット付フィルタ３３０，３４０により一部の波長帯域の透過率が可変され、コリメートレンズ１０２ｂにより光ファイバ１０３の端面に集光、入射される。
【００２３】
上記実施の形態１によれば、波長多重された光のうち、一部の波長帯域における透過率を可変させることができるため、通信波長全域における各チャンネルの波長特性、例えばＯＳＮＲ（Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｓｉｇｎａｌ  Ｎｏｉｓｅ  Ｒａｔｉｏ）を平坦化できるようになる。そして、スリットを設けたフィルタを用いて、このフィルタを位置変位させるだけで波長特性を可変できるため、簡単に構成でき、安価で小型化を図ることができる。
【００２４】
（実施の形態２）
図５は、本発明の実施の形態２の波長特性可変フィルタを示す平面図である。図５に示した波長特性可変フィルタ５００において実施の形態１（図３参照）と同様の構成には同一の符号を附している。実施の形態２は、入射側の光を反射させ出射側を入射側と同一方向に導いた構成である。
【００２５】
入力用の光ファイバ１０１と、出力用の光ファイバ１０３は単一のファイバフェルール（２芯フェルール）１０１ａに固着される。また、１つのコリメートレンズ１０２により光ファイバ１０１から出射された光をコリメートビーム１１０ａにする。このコリメートビーム１１０ａの幅を図中Ｌで示してある。スリット付フィルタ５３０により反射されたコリメートビーム１１０ａは、コリメートレンズ１０２により光ファイバ１０３に集光、入射される。実施の形態２のスリット付フィルタ５３０が実施の形態１と異なる点は、透過の波長特性ではなく反射の波長特性となる点である。なお、５３２は誘電体多層膜である。
【００２６】
筐体３１０には、ピエゾ素子等からなる位置変位手段３２０の基端部３２０ａが固定され、移動端３２０ｂにはスリット付フィルタ５３０が固定されている。位置変位手段３２０の駆動により、コリメートビーム１１０ａに対するスリット５３２ａの位置を可変させ、波長特性を可変することができる。スリット付フィルタ５３０の波長特性は、反射（反転した）の波長特性となる。例えば、スリット付フィルタ５３０をバンドパスフィルタ（ＢＰＦ）の波長特性で形成したとき、反射するコリメートビーム１１０ａはバンドリジェクションフィルタ（ＢＲＦ）の波長特性を有することになる。また、ローパスフィルタ（ＬＰＦ）の波長特性で形成したとき、反射するコリメートビーム１１０ａはハイパスフィルタ（ＨＰＦ）の波長特性を有する。
【００２７】
上記実施の形態２によれば、波長多重された光のうち、一部の波長帯域における透過率を可変させることができるため、通信波長全域における各チャンネルの波長特性を一定（平坦）化できるようになる。そして、スリットを設けたフィルタを用いて、このフィルタを位置変位させるだけで波長特性を可変できるため、簡単に構成でき、安価で小型化を図ることができる。特に、実施の形態１と比べて１つのコリメートレンズを用いるだけでよく、反射する折り返しの光路によって光の光軸方向（図中Ｘ方向）の長さを短くでき一層の小型化を図ることができる。また、入出力用の光ファイバを平行にかつ一方向に向けて集めて配置でき、実装スペースを省スペース化でき、コネクタ接続等の作業性の向上を図ることができる。
【００２８】
（実施の形態３）
次に、本発明の波長特性可変フィルタに用いるフィルタの各種構成について説明する。前述したがフィルタは、光（コリメートビーム）の光路上にスリットあるいはエッジを設けて構成できる。図６−１、図６−２、図６−３は、本発明の実施の形態３の波長特性可変フィルタを示す側面図である。
【００２９】
図６−１に示す波長特性可変フィルタ６０１は、数十ミクロンと非常に薄い一対のフィルタ６０２同士を接着剤６０３によって上下に接着固定してなる。一対のフィルタ６０２を接着剤６０３によって接着した箇所は、透明なスリットとなり、１つのスリットあたり一対のエッジ６０２ａ，６０２ｂを有することになる。このスリットのエッジ幅Ｌを図に記載した。このような薄いフィルタとして、ポリイミドフィルム基板に誘電体多層膜を蒸着したものは、厚さｄが２７〜３０μｍ厚で汎用されている。また、基板が無く誘電体多層膜だけでフィルタは、厚さｄが約３０μｍ厚で汎用されている。
【００３０】
１枚の波長特性可変フィルタ６０１を薄く形成することができるため、コリメートビーム１１０ａの長さの領域を短い光路にすることができ、この短い光路中に波長特性可変フィルタ６０１を多数枚入れることが可能である。図６−１に示す例では、同様の構成の波長特性可変フィルタ６０１を５枚設けている。また、複数枚の波長特性可変フィルタ６０１を配置するとき、各波長特性可変フィルタ６０１毎に異なる波長特性のフィルタを設けることもでき、この場合には波長特性の合成により、任意の波長特性変化を生じさせることもできる。図には各波長特性可変フィルタ６０１がコリメートビーム１１０ａの光軸方向に対して直交するよう配置されているが実際には若干傾斜させて光の反射による影響を低減させている。また、波長特性可変フィルタ６０１を傾斜させることにより、波長シフトを調整することができる。
【００３１】
上記構成の複数枚の波長特性可変フィルタ６０１が全て同一の波長特性を有するフィルタを用いたときには、これら複数枚の波長特性可変フィルタ６０１を同一の位置変位手段３２０（図３参照）に固定して同様に位置変位させることが考えられる。複数枚の波長特性可変フィルタ６０１として異なる波長特性を有するフィルタを用いたときには、これら複数枚の異なるフィルタをそれぞれ個別の位置変位手段３２０に固定し、個別に位置変位させることが考えられる。これに限らず、同一の波長特性を有する複数枚の波長特性可変フィルタ６０１を全て個別に位置変位させたり、異なる波長特性を有する波長特性可変フィルタ６０１をまとめて位置変位させることも考えられる。
【００３２】
次に、図６−２に示す波長特性可変フィルタ６２０は、図６−１に示したフィルタ６０２を同様のエッジ幅Ｌを有しつつ、コリメートビーム１１０ａの光軸方向にずらして交互に配置したものである。図示の例では、１枚のフィルタ６０２により１つのエッジ６０２ａが形成されるため、図６−１の構成に比較してエッジ数を２倍にすることができる。この構成により、光を回折させるエッジ数を短距離で増大させつつ、回折損を増加させることができるようになる。図６−２に示す構成においても、各波長特性可変フィルタ６２０は、同一あるいは個別に位置変位手段３２０（図３参照）に固定し、位置変位させればよい。
【００３３】
次に、図６−３に示す構成は、前段に前述した１つのスリット３３２ａを有するスリット付フィルタ３３０（図３参照）を配置し、後段に複数（図の例では２つ）のスリット３３２ａを有するスリット付フィルタ６３０を配置したものである。後段のスリット付フィルタ６３０は、前段のスリット付フィルタ３３０同様に誘電体多層膜３３２部分をエッチングやダイシングにより２カ所のスリット３３２ａを形成できる。ただし、コリメートビーム１１０ａのビーム径に対して、スリット３３２ａの間隔を十分小さくする必要がある。例えば、２つのスリット３３２ａ，３３２ａ同士の間隔（ピッチ）は、コリメートビーム径の１／４以下のピッチとなるよう設ける。複数のスリット３３２ａを設けるとき、全スリットはこのピッチで設ける必要がある。この構成によれば、コリメートビーム１１０ａ上において強度分布の異なる位置にそれぞれスリット３３２ａを挿入、配置させることができ、回折損の増大を図ることができるようになる。
【００３４】
以上説明した実施の形態３は、直線状のスリット、およびエッジを設ける構成としたが、これらスリットおよびエッジは、直線状に限らず円形や長円等を含めて各種形状にすることができる。
【００３５】
（実施の形態４）
上記各実施の形態において説明した波長特性可変フィルタは、各種の波長特性を持たせることができる。実施の形態４では、これら各種の波長特性について説明する。図７−１、図７−２、図７−３は、それぞれ波長特性可変フィルタの各種波長特性を示す図表である。
【００３６】
図７−１は、ロス傾斜を可変する波長特性を示す図表である。ショートウェーブパスフィルタ（ＳＷＰＦ）の例を示した。長距離で敷設された光ファイバの距離に対して波長特性が変化（一部波長での損失）することを補正し、通信波長帯域全域で平坦化させるため等に用いることができる。図の横軸の波長は複数チャンネル分の波長帯域（例えば、１５３０ｎｍ〜１５６０ｎｍ）に相当する。
【００３７】
図７−２は、半値幅を可変する波長特性を示す図表である。バンドパスフィルタ（ＢＰＦ）の例を示した。光通信計測等において規定された半値幅（帯域）を変えることにより、特定の１ｃｈにおける周波数スペクトル（分解能）を変更することができる。図の横軸の波長は、より狭い帯域（例えば、１５５０ｎｍ〜１５５０．４ｎｍ）に相当する。
【００３８】
図７−３は、特定波長の透過率を可変する波長特性を示す図表である。バンドリジェクションフィルタ（ＢＲＦ）の例を示した。前述した利得等化器（ＧＥＱ）の利得補正用等に用いることができる。図の横軸は複数チャンネル分の波長帯域（例えば、１５３０ｎｍ〜１５６０ｎｍ）に相当する。
【００３９】
これらの波長特性可変フィルタは、いずれも位置変位手段３２０を用いてコリメートビーム１１０ａに対してスリット（またはエッジ）の位置を変更することにより、特に透過率の低い波長帯域における透過率を可変することができる。図１に示したように、コリメートビーム１１０ａに対してスリット（またはエッジ）の位置をビームの中心から端に移動させると、透過率が増加するように（図中Ａ方向）変化させることができる。
【００４０】
前述した誘電体多層膜３３２は、一般には酸化シリコン（ＳｉＯ２）と酸化チタン（ＴｉＯ２）を交互に層状（数層〜数百層）に形成してなるが、この層数や、各層の厚みを変えることにより、上述した各種波長特性を得ることができる。また、図７−１〜図７−３に示した各波長特性を複合させた波長特性を得ることもできる。
【００４１】
また、上記の各実施の形態では、フィルタに誘電体多層膜を用いて構成したが、これに限らず、波長特性可変フィルタは、エタロン板を用いて構成することもできる。図８は、波長特性可変フィルタとしてエタロン板を用いた例を示す斜視図である。エタロン板８００を構成しているガラス基板８０１の両面には光反射膜８０２としてのＨＲ（：Ｈｉｇｈ  Ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）ミラーが形成されている。ガラス基板８０１の厚みに応じて２πの波長の光（コリメートビーム１１０ａ）のみを透過させ、それ以外の波長の光は内部の多重反射で減衰させる。このエタロン板８００の光反射膜８０２の一部に図示のスリット８０２ａを形成する。これにより、透過型のバンドパスフィルタを構成することができ、前記実施の形態同様にこのエタロン板８００をコリメートビーム１１０ａの光軸上で移動（図中矢印方向）させることにより、光の透過率を可変することができる。
【００４２】
以上説明したように、波長特性可変フィルタによれば、コリメートビームに対してフィルタのエッジを移動させることにより、所定の波長帯域の透過率を可変することができるため、このフィルタを波長多重装置の伝送路に配置したり、ＥＤＦＡや、ラマン増幅器などに組み込みスペクトラムチルト補正に用いることにより、設計値と異なる現実のファイバ伝送路でのｃｈ間パワー偏差を調整できるようになる。
【００４３】
（付記１）波長に対して透過率が変化する波長特性を有するフィルタと、
前記フィルタに設けられた回折手段をコリメートビームを横切る方向に位置変位させる位置変位手段と、
を備えたことを特徴とする波長特性可変フィルタ。
【００４４】
（付記２）前記フィルタの回折手段は、フィルタ膜面の一部を除去して一対のエッジにより形成されたスリットを有することを特徴とする付記１に記載の波長特性可変フィルタ。
【００４５】
（付記３）前記コリメートビームの光軸方向に沿って、前記回折手段が前記コリメートビーム中に位置するよう、複数の前記フィルタを複数配置し、
前記位置変位手段は、前記複数のフィルタを同時、あるいは個別に位置変位させることを特徴とする付記１または２に記載の波長特性可変フィルタ。
【００４６】
（付記４）前記複数のフィルタにそれぞれ設けられた前記回折手段の方向が互いに所定の角度を有するように設けたことを特徴とする付記３に記載の波長特性可変フィルタ。
【００４７】
（付記５）前記位置変位手段は、前記複数のフィルタを互いに所定の角度を有して位置変位させることを特徴とする付記３または４に記載の波長特性可変フィルタ。
【００４８】
（付記６）前記フィルタは、前記コリメートビームのビーム径に対して１／４以下のピッチを有して前記複数のエッジを有することを特徴とする付記１〜５のいずれか一つに記載の波長特性可変フィルタ。
【００４９】
（付記７）前記位置変位手段は、電磁力、熱膨張、圧電効果、静電力のうちいずれかの駆動機構により前記フィルタを位置変位させることを特徴とする付記１〜６のいずれか一つに記載の波長特性可変フィルタ。
【００５０】
（付記８）前記複数のフィルタそれぞれが異なる波長特性を有することを特徴とする付記３〜７のいずれか一つに記載の波長特性可変フィルタ。
【００５１】
（付記９）前記フィルタとして反射型フィルタを用い、
前記反射型フィルタに対して同一方向から光の入射および出射を行うことを特徴とする付記１〜８のいずれか一つに記載の波長特性可変フィルタ。
【００５２】
（付記１０）前記フィルタは、反射膜の一部に前記エッジを形成したエタロンフィルタであることを特徴とする付記１〜９のいずれか一つに記載の波長特性可変フィルタ。
【００５３】
（付記１１）波長に対する透過率が設定された波長特性を有するフィルタと、
前記フィルタのエッジをコリメートビームに直交した方向に沿って該コリメートビームの中央位置から端位置までの間において所定の位置に位置変位させる位置変位手段と、
を備えたことを特徴とする光増幅器。
【００５４】
（付記１２）波長に対する透過率が設定された波長特性を有するフィルタと、
前記フィルタのエッジをコリメートビームに直交した方向に沿って該コリメートビームの中央位置から端位置までの間において所定の位置に位置変位させる位置変位手段と、
を備えたことを特徴とする光通信装置。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
以上のように、本発明にかかる波長特性可変フィルタは、光通信に用いる波長帯域において特定の波長の損失や利得の補正に用いて有用であり、特に、Ｒａｍａｎ増幅器の利得波長特性や、ファイバ自体のロス波長特性、ｃｈ毎の光出力偏差など、各ｃｈ間の光出力を平坦化させることに適している。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】回折光の発生原理を説明する図である。
【図２−１】ビーム内で回折手段を移動させた位置を示す図である。
【図２−２】ビーム内で回折手段を移動させたときの波長特性の変化を示す図表である。
【図３】本発明の実施の形態１の波長特性可変フィルタを示す平面図である。
【図４】スリット付フィルタを示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の形態２の波長特性可変フィルタを示す平面図である。
【図６−１】本発明の実施の形態３の波長特性可変フィルタを示す側面図である。
【図６−２】本発明の実施の形態３の波長特性可変フィルタを示す側面図である。
【図６−３】本発明の実施の形態３の波長特性可変フィルタを示す側面図である。
【図７−１】波長特性可変フィルタの波長特性を示す図表である。
【図７−２】波長特性可変フィルタの波長特性を示す図表である。
【図７−３】波長特性可変フィルタの波長特性を示す図表である。
【図８】波長特性可変フィルタとしてエタロン板を用いた例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０１，１０３  光ファイバ
１０１ａ，１０３ａ  ファイバフェルール
１０２（１０２ａ，１０２ｂ）  コリメートレンズ
１０４  光フィルタ
１０６ａ，３３２ａ  スリット
１１０  光
１１０ａ  コリメートビーム
３００，６０１，６２０  波長特性可変フィルタ
３１０  筐体
３２０  位置変位手段
３２０ｂ  移動端
３３０，３４０，５３０，６３０  スリット付フィルタ
３３１，８０１  ガラス基板
３３２  誘電体多層膜
６０２  フィルタ
６０２ａ，６０２ｂ  エッジ
６０３  接着剤
８００  エタロン板
８０２  光反射膜
【図１】
2005140831.tif 000003
【図２−１】
2005140831.tif 000004
【図２−２】
2005140831.tif 000005
【図３】
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【図４】
2005140831.tif 000007
【図５】
2005140831.tif 000008
【図６−１】
2005140831.tif 000009
【図６−２】
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【図６−３】
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【図７−１】
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【図７−２】
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【図７−３】
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【図８】
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