(57)【要約】【課題】    従来の赤外線カメラはカメラ内部の赤外光学系と赤外線撮像素子の間にシャッタなどの均一温度物体を設け、シャッタを閉じた時の映像をオフセット量として格納し、その格納したデータを全体の信号より減算したものを撮像ターゲットからの赤外線として映像化していたため、シャッタより先に存在するカメラ構成品からの赤外線放射に対する補正の手段が無いという問題があった。【解決手段】  予めカメラの構成品からの赤外線放射による映像に対する代表的なシェーデイングパタンを格納する機能と、撮影画像に対しローパスフィルタを掛け、画面上の各部の直流的な輝度を計測することによりシェーデイング量を検出する機能と、検出したシェーデイング量及びシェーディングパタンをもとに補正データを生成し撮影画像データより減算するようにして赤外線カメラを構成した。【選択図】          図１
2005274301.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素を有する検出器と、
この検出器の出力信号を増幅する増幅回路と、
この増幅回路の出力信号の低周波成分を透過するアナログローパスフィルタと、
このアナログローパスフィルタの出力信号をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換回路と、
このＡ／Ｄ変換回路の出力データを格納する画像格納メモリと、
所定のシェーディングパタンデータを格納したシェーディングパタンメモリと、
上記画像格納メモリに格納された画像データから、この所定のシェーディングパタンデータ測定箇所と略同一箇所のシェーディング量を検出するシェーディング量検出回路と、
上記所定のシェーディングパタンデータに対し、上記シェーディングパタンメモリ内のシェーディング量に対する上記シェーディング量検出回路から得られるシェーディング量との比率に基づく係数を乗算する画像乗算回路と、
この画像乗算回路の出力データを撮影画像データから減算する画像減算回路と、
を有することを特徴とする赤外線カメラ。
【請求項２】
複数の画素を有する検出器と、
この検出器の出力信号を増幅する増幅回路と、
この増幅回路の出力信号をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換回路と、
このＡ／Ｄ変換回路の出力データの低周波成分を透過するデジタルローパスフィルタと、
このデジタルローパスフィルタの出力データを格納する画像格納メモリと、
所定のシェーディングパタンデータを格納したシェーディングパタンメモリと、
上記画像格納メモリに格納された画像データから、この所定のシェーディングパタンデータ測定箇所と略同一箇所のシェーディング量を検出するシェーディング量検出回路と、
上記所定のシェーディングパタンデータに対し、上記シェーディングパタンメモリ内のシェーディング量に対する上記シェーディング量検出回路から得られるシェーディング量との比率に基づく係数を乗算する画像乗算回路と、
この画像乗算回路の出力データを撮影画像データから減算する画像減算回路と、
を有することを特徴とする赤外線カメラ。
【請求項３】
更に、上記デジタルローパスフィルタの出力データの時間的な平均データを生成する積分回路を有することを特徴とする、請求項２に記載の赤外線カメラ。
【請求項４】
上記画像乗算回路は、上記シェーディングパタンメモリ内のシェーディング量に対する上記シェーディング量検出回路から得られるシェーディング量との所定の測定箇所における夫々の比率の算術平均に基づく係数を乗算するものである、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の赤外線カメラ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、赤外線カメラの画像補正処理に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
赤外線カメラの赤外線撮像素子には、撮像ターゲットから放射される赤外線以外に、カメラの構成品である赤外光学系や筐体などから放射される赤外線が同時に入射されている。この赤外光学系や筐体などからの赤外線放射による影響は通常シェーディングと呼ぶ。このシェーディングの量は一定量ではなくカメラの温度状態により影響は変化する。
【０００３】
また、シェーデイング量は、通常画面中央部よりも画面端の方が影響度が大きく同心円状のパタンとなる。従来の赤外線カメラにおいては、上記のカメラ構成品からの赤外線放射をキャンセルするために、赤外光学系の先端やレンズ内部、またはカメラ内部の赤外光学系と赤外線撮像素子の間にシャッタなどの均一温度物体を設け、シャッタを閉じた時の映像をオフセット量として格納し、その格納したデータを全体の信号より減算したものを撮像ターゲットからの赤外線として映像化していた（例えば、特許文献１、特許文献２、参照）。
【０００４】
【特許文献１】特許第３３７３３８７号（第１頁、第１図）
【特許文献２】特開平１１−４６３２２号（第１頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、シャッタを赤外光学系先端、又はレンズ内部に設ける方式では赤外光学系の機構が複雑となる問題があり、また、シャッタをカメラ内部に設ける方式は構成が簡単なものの、赤外光学系からの赤外線放射の影響をキャンセルできないという問題があった。
この発明は、赤外光学系や筐体といった赤外線カメラの構成品からの赤外線放射によるシェーディングの影響を、シャッタをカメラ内部に設ける方式でも有効に補正することが可能な赤外線カメラを提供する事を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この発明にかかる赤外線カメラは、複数の画素を有する検出器と、この検出器の出力信号を増幅する増幅回路と、この増幅回路の出力信号の低周波成分を透過するアナログローパスフィルタと、このアナログローパスフィルタの出力信号をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換回路と、このＡ／Ｄ変換回路の出力データを格納する画像格納メモリと、所定のシェーディングパタンデータを格納したシェーディングパタンメモリと、上記画像格納メモリに格納された画像データから、この所定のシェーディングパタンデータ測定箇所と略同一箇所のシェーディング量を検出するシェーディング量検出回路と、上記所定のシェーディングパタンデータに対し、上記シェーディングパタンメモリ内のシェーディング量に対する上記シェーディング量検出回路から得られるシェーディング量との比率に基づく係数を乗算する画像乗算回路と、この画像乗算回路の出力データを撮影画像データから減算する画像減算回路とを有するものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明にかかる赤外線カメラは、撮影映像の出力系統とは別に、画像の低周波成分画像データを生成し、その画像データの画面中央部と周辺部の輝度の違いを元にその時点で発生しているシェーディング量を予測し、その検知結果を元に予め格納されたシェーデイングパタンデータに対して乗減算したシェーデイング補正データを出力映像データに減算することで、赤外光学系や筐体からの赤外線放射の撮影映像に与える影響を除去可能な赤外線カメラを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１にかかる赤外線カメラの構成を示すブロック図である。図に示す様に、この実施の形態１にかかる赤外線カメラは赤外光学系などの赤外光学系１、筐体２、赤外光学系１の結像面上に設置された検出器である検出器アレイ３を有する。
【０００９】
ここで、検出器アレイ３は例えば、ボロメータ、ＳＯＩダイオード方式等の複数の画素を２次元に配列したものである。赤外光学系１と検出器アレイ３との間にはシャッタ４が設けられる。このシャッタ４は、例えば、金属など温度が均一になりやすいものが選ばれる。検出器アレイ３には、その出力を増幅する増幅回路６、Ａ／Ｄ変換回路７、オフセット補正メモリ８、表示処理回路９が接続される。さらにこの実施の形態にかかる赤外線カメラには、素子駆動のタイミングやシャッタ開閉のタイミングを生成するタイミング発生回路１０と、タイミング発生回路１０と検出器アレイ３の間にはドライバ回路５が接続される。
【００１０】
そして、この実施の形態１にかかる赤外線カメラは上記に加え、検出器アレイ３の出力信号の内、低周波成分を透過し高周波成分は透過させないアナログローパスフィルタ１１と、このアナログローパスフィルタ１１の出力信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換回路１２と、ＡＤ変換回路１２の出力データを２次元的なメモリに格納する画像格納メモリ１３と、画像格納メモリ１３の各画素の輝度データを元にシェーデイング量を算出するシェーデイング量検出回路１４と、組合わせた赤外光学系１での代表的なシェーデイングパタンを格納するシェーデイングパタンメモリ１５と、シェーデイングパタンメモリ１５のデータにある予め定めた所定の係数を乗ずる画像乗算回路１６と、画像乗算回路１６の出力データと表示処理回路９の出力データとの減算処理を行う画像減算回路１７とを備える。
【００１１】
次に、動作について説明する。最初に、通常の撮影を行う際の、赤外線カメラの動作について説明する。赤外線カメラでは、タイミング発生回路１０はドライバ回路５を介して検出器アレイ３に駆動クロックを送り、駆動クロックを受けた検出器アレイ３は映像信号の出力を行う。次に、タイミング発生回路１０はシャッタ４を閉じる信号をシャッタ４に送る。検出器アレイ３は、シャッタ４を閉じた状態での各画素を構成する検出器の温度に対応した電圧を出力し、上記信号電圧を増幅回路６で増幅した後、Ａ／Ｄ変換回路７でＡ／Ｄ変換し、各画素ごとのデータとしてオフセット補正メモリ８に記憶する。
【００１２】
次に、シャッタ４を開き、被撮像物が放射する赤外線を赤外光学系１により検出器アレイ３上に結像する。被撮像物の放射量の差により各画素間には微小な電圧差が生じ、検出器アレイ３は、各画素の温度に対応した電圧を出力する。上記信号電圧を増幅回路６で増幅した後、Ａ／Ｄ変換回路７でＡ／Ｄ変換し、表示処理回路９においてオフセット補正メモリ８に記憶されたデータを各画素ごとに減算し、シャッタ４を閉じた時の信号レベルを基準としたビデオ信号を生成する。
【００１３】
続いて、赤外光学系１、筐体２の赤外線放射によるシェーデイングの除去手順について説明する。この実施の形態にかかる赤外線カメラは、例えば、一定周期又は赤外線カメラ外部からの指令などでシェーデイング量検出を開始する。
【００１４】
シェーデイング量検出処理を開始すると、まずＡ／Ｄ変換回路１２はアナログローパスフィルタ１１を通過してきた増幅回路６の映像信号をデジタルデータに変換する。アナログローパスフィルタ１１のカットオフ周波数はシェーデイング量が最大であった場合の周波数を元に決定する。
【００１５】
Ａ／Ｄ変換回路１２の出力データは、各画素毎に画像格納メモリ１３に格納される。シェーデイング量検出回路１４は、画像格納メモリ１３の画面データを用い、例えば、画面中央と画面四隅の輝度データの差より、現在発生しているシェーデイング量を検出する。画像乗算回路１６ではシェーデイング量検出回路１４でのシェーデイング量の検出結果を元に、シェーデイングパタンメモリ１５に格納された正確なシェーデイングパタンに対し乗算を行い、現在の状態での最適なシェーデイングパタンデータを生成する。画像減算回路１７では、画像乗算回路１６の出力データを表示処理回路９の出力データから減算することにより、シェーデイングの影響を除去した映像データを生成する。
【００１６】
図４は、撮影画像から画像乗算回路１６の出力データを生成する手順を説明するものである。本説明図は、水平１ラインのみの動作説明であるが、画面の複数箇所の輝度データを取得するため複数ラインに対し、同様の処理を行っても良い。撮影風景の信号成分を含む増幅回路６の出力信号をアナログローパスフィルタ１１を通すことにより、撮影風景の信号成分を低減させたデータを生成し画像格納メモリ１３に格納する。
画像格納メモリ１３に格納されたデータについて任意の各座標の輝度データを測定し、現在発生しているシェーディング量とシェーディングパタンメモリ１５に格納されたシェーディングパタンデータとの比に相当する係数Ａを算出する。
【００１７】
次に、係数Ａの算出について図５を用いて説明する。まず、シェーディングパタンメモリ１５のデータより予め画面中心と、画面中心からの各距離の輝度データとの傾きを算出しておく。図５は１ラインで４ヶ所の傾きＴ１〜Ｔ４を計測する例である。これに対し画像格納メモリ１３のデータに対し同様に画面中心と、画面中心からの各距離の輝度データとの傾きＴａ〜Ｔｄをシェーディング量検出回路１４にて算出する。これはシェーディングパタンメモリ１５のＴ１〜Ｔ４を算出した画素位置と同一箇所とする。そして算出した各画素位置の傾きの比を例えば平均化して係数Ａを決定する。係数Ａを算出するために傾きを算出する画面ラインの数、画素数は特に指定しない。
【００１８】
シェーディングパターンメモリ１５に予め格納された正確なシェーデイングパタンデータに、この算出された係数Ａを乗ずることにより、レンズの持つシェーディングパタン及び現在発生しているシェーディング量の双方が反映された補正データが生成される。
【００１９】
図４は、撮影画像から画像乗算回路１６の出力データを生成する手順を説明するものである。本説明図は、水平１ラインのみの動作説明であるが、画面の複数箇所の輝度データを取得するため複数ラインに対し、同様の処理を行っても良い。撮影風景の信号成分を含む増幅回路６の出力信号をアナログローパスフィルタ１１を通すことにより、撮影風景の信号成分を低減させたデータを生成し画像格納メモリ１３に格納する。
画像格納メモリ１３に格納されたデータについて任意の各座標の輝度データを測定し、現在発生しているシェーディングの勾配に相当する係数Ａを算出する。シェーディングパターンメモリ１５に予め格納された正確なシェーデイングパタンデータに、この算出された係数Ａを乗ずることにより、レンズの持つシェーディングパタン及び現在発生しているシェーディング量の双方が反映された補正データが生成される。
【００２０】
また、図６は、画像乗算回路１６の出力データを表示処理回路９の出力データから減算する状況を説明するものである。シェーディングを含んだ表示処理回路９の出力データと、予測した最適なシェーディングパターンである画像乗算回路１６の出力データとを、画像減算回路１７にて減算することでシェーディングの影響を除去した画像を得る。
【００２１】
このように、この実施の形態にかかる赤外線カメラは、増幅回路６の出力データの高周波成分を除去した画像データを格納する画像格納メモリ１３と、その画像の輝度勾配を元にシェーデイング量を検出するシェーデイング量検出回路１４と、シェーデイングパタンを保管するシェーディングパタンメモリ１５を設けることにより赤外光学系１、筐体２の赤外線放射の影響を除去することが可能となる。
【００２２】
実施の形態２．
図２は、この発明の実施の形態２の構成を示すブロック図である。この実施の形態では、実施の形態１におけるアナログローパスフィルタ１１、Ａ／Ｄ変換回路１２の代わりに、デジタルローパスフィルタ１８を備えて構成されるものである。デジタルローパスフィルタ１８はＡ／Ｄ変換回路７に接続される。
【００２３】
次に、動作について説明する。この実施の形態にかかる赤外線カメラは、例えば一定周期又は赤外線カメラ外部からの指令などでシェーデイング量検出を開始する。シェーデイング量検出処理を開始すると、まずＡ／Ｄ変換回路７の出力データがデジタルローパスフィルタ回路１８に入力される。デジタルローパスフィルタ１８は時系列に入力される各画素の画像データに対し、ある所定のカットオフ周波数未満のデータは透過し、カットオフ周波数以上のデータは透過しない特性を持つ。また、デジタルローパスフィルタ１８のカットオフ周波数はシェーデイング量が最大であった場合の周波数を元に決定する。
【００２４】
デジタルローパスフィルタ１８の出力データは各画素毎に画像格納メモリ１３に格納される。シェーデイング量検出回路１４は画像格納メモリ１３の画面データを用い、例えば画面中央と画面四隅の輝度データの差より、現在発生しているシェーデイング量を検出する。画像乗算回路１６ではシェーデイング量検出回路１４でのシェーデイング量検出結果を元に、シェーデイングパタンメモリ１５に格納された正確なシェーデイングパタンに対し乗算を行い、現在の状態での最適なシェーデイングパタンデータを生成する。画像減算回路１７では、画像乗算回路１６の出力データを表示処理回路９の出力データから減算することにより、シェーデイングの影響を除去した映像データを生成する。
【００２５】
図６は、撮影画像から画像乗算回路１６の出力データを生成する手順を説明するものである。本説明図は、水平１ラインのみの動作説明であるが、画面の複数箇所の輝度データを取得するため複数ラインに対し、同様の処理を行っても良い。撮影風景の信号成分を含むＡ／Ｄ変換回路７の出力信号をデジタルローパスフィルタ１８を通すことにより、撮影風景の信号成分を低減させたデータを生成し画像格納メモリ１３に格納する。
画像格納メモリ１３に格納されたデータについて任意の各座標の輝度データを測定し、現在発生しているシェーディング量とシェーディングパタンメモリ１５に格納されたシェーディングパタンデータとの比に相当する係数Ａを算出する。
【００２６】
次に、係数Ａの算出について図５を用いて説明する。まず、シェーディングパタンメモリ１５のデータより予め画面中心と、画面中心からの各距離の輝度データとの傾きを算出しておく。図５は１ラインで４ヶ所の傾きＴ１〜Ｔ４を計測する例である。これに対し画像格納メモリ１３のデータに対し同様に画面中心と、画面中心からの各距離の輝度データとの傾きＴａ〜Ｔｄをシェーディング量検出回路１４にて算出する。これはシェーディングパタンメモリ１５のＴ１〜Ｔ４を算出した画素位置と同一箇所とする。そして算出した各画素位置の傾きの比を例えば平均化して係数Ａを決定する。係数Ａを算出するために傾きを算出する画面ラインの数、画素数は特に指定しない。
【００２７】
シェーディングパターンメモリ１５に予め格納された正確なシェーデイングパタンデータに、この算出された係数Ａを乗ずることにより、レンズのもつシェーディングパタン及び現在発生しているシェーディング量の双方が反映された補正データが生成される。
【００２８】
図７は、撮影画像から画像乗算回路１６の出力データを生成する手順を説明するものである。本説明図は、水平１ラインのみの動作説明であるが、画面の複数箇所の輝度データを取得するため複数ラインに対し、同様の処理を行っても良い。撮影風景の信号成分を含むＡ／Ｄ変換回路７の出力信号をデジタルローパスフィルタ１８を通すことにより、撮影風景の信号成分を低減させたデータを生成し画像格納メモリ１３に格納する。
画像格納メモリ１３に格納されたデータについて任意の各座標の輝度データを測定し、現在発生しているシェーディングの勾配に相当する係数Ａを算出する。シェーディングパターンメモリ１５に予め格納された正確なシェーデイングパタンデータに、この算出された係数Ａを乗ずることにより、レンズのもつシェーディングパタン及び現在発生しているシェーディング量の双方が反映された補正データが生成される。
【００２９】
このように、この実施の形態にかかる赤外線カメラは、Ａ／Ｄ変換回路７の出力データの高周波成分を除去した画像データを格納する画像格納メモリ１３と、その画像の輝度勾配を元にシェーデイング量を検出するシェーデイング量検出回路１４と、シェーデイングパタンを保管するシェーディングパタンメモリ１５を設けることにより赤外光学系１、筐体２の赤外線放射の影響を除去することが可能となる。
【００３０】
実施の形態３．
図３はこの発明の実施の形態３の構成を示すブロック図である。この実施の形態にかかる赤外線カメラは、実施の形態２にかかる赤外線カメラの構成に、積分回路１９を追加したものである。
【００３１】
次に、動作について説明する。この実施の形態にかかる赤外線カメラは、例えば一定周期又は赤外線カメラ外部からの指令などでシェーデイング量検出を開始する。シェーデイング量検出処理を開始するとまずＡ／Ｄ変換回路７の出力データがデジタルローパスフィルタ回路１８に入力される。デジタルローパスフィルタ１８は時系列に入力される各画素の画像データに対し、あるカットオフ周波数未満のデータは透過し、カットオフ周波数以上のデータは透過しない特性を持つ。また、デジタルローパスフィルタ１８のカットオフ周波数はシェーデイング量が最大であった場合の周波数を元に決定する。
【００３２】
デジタルローパスフィルタ１８の出力データは積分回路１９に入力される。積分回路１９では入力された各画素毎のデータの一定期間の平均データを生成、出力する。積分回路１９の出力データは各画素毎に画像格納メモリ１３に格納される。シェーデイング量検出回路１４は画像格納メモリ１３の画面データを用い、例えば画面中央と画面四隅の輝度データの差より、現在発生しているシェーデイング量を検出する。画像乗算回路１６では、シェーデイング量検出回路でのシェーデイング量検出結果を元に、シェーデイングパタンメモリ１５に格納された正確なシェーデイングパタンに対し乗算を行い、現在の状態での最適なシェーデイングパタンデータを生成する。画像減算回路１７では画像乗算回路１６の出力データを表示処理回路９の出力データから減算することにより、シェーデイングの影響を除去した映像データを生成する。
【００３３】
また、図４は積分回路１９の動作を説明した図である。図のように積分回路１９はデジタルローパスフィルタ１８の出力データの時間的に複数画面分の平均データを生成する。そして、生成されたデータは画像格納メモリ１３に格納される。
【００３４】
図８は、撮影画像から画像乗算回路１６の出力データを生成する手順を説明するものである。本説明図は、水平１ラインのみの動作説明であるが、画面の複数箇所の輝度データを取得するため複数ラインに対し、同様の処理を行っても良い。撮影風景の信号成分を含むＡ／Ｄ変換回路７の出力信号をデジタルローパスフィルタ１８を通すことにより、撮影風景の信号成分を低減させたデータを生成する。さらに生成されたデータの一定時間平均データを積分回路１９で生成し画像格納メモリ１３に格納する。
画像格納メモリ１３に格納されたデータについて任意の各座標の輝度データを測定し、現在発生しているシェーディング量とシェーディングパタンメモリ１５に格納されたシェーディングパタンデータとの比に相当する係数Ａを算出する。
【００３５】
次に、係数Ａの算出について図５を用いて説明する。まず、シェーディングパタンメモリ１５のデータより予め画面中心と、画面中心からの各距離の輝度データとの傾きを算出しておく。図５は１ラインで４ヶ所の傾きＴ１〜Ｔ４を計測する例である。これに対し画像格納メモリ１３のデータに対し同様に画面中心と、画面中心からの各距離の輝度データとの傾きＴａ〜Ｔｄをシェーディング量検出回路１４にて算出する。これはシェーディングパタンメモリ１５のＴ１〜Ｔ４を算出した画素位置と同一箇所とする。そして算出した各画素位置の傾きの比を例えば平均化して係数Ａを決定する。係数Ａを算出するために傾きを算出する画面ラインの数、画素数は特に指定しない。
【００３６】
シェーディングパターンメモリ１５に予め格納された正確なシェーデイングパタンデータに、この算出された係数Ａ乗ずることにより、レンズの持つシェーディングパタン及び現在発生しているシェーディング量の双方が反映された補正データが生成される。
【００３７】
また、図９は積分回路１９の動作を説明した図である。図のように積分回路１９はデジタルローパスフィルタ１８の出力データの時間的に複数画面分の平均データを生成する。そして、生成されたデータは画像格納メモリ１３に格納される。
【００３８】
このように、この実施の形態にかかる赤外線カメラは、Ａ／Ｄ変換回路７の出力データの高周波成分を除去した画像の時系列の平均データを生成する積分回路１９を設けることで定常的に生じるシェーディングは有効的に検出し、時間的に変化する撮影映像の影響を低減することで、より正確なシェーディング補正が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】この発明の実施の形態１にかかる赤外線カメラの構成を示すブロック図である。
【図２】この発明の実施の形態２にかかる赤外線カメラの構成を示すブロック図である。
【図３】この発明の実施の形態３にかかる赤外線カメラの構成を示すブロック図である。
【図４】この発明の実施の形態１における画像乗算回路の動作説明図である。
【図５】この発明の実施の形態１乃至実施の形態３におけるシェーディング量検出回路の動作説明図である。
【図６】この発明の実施の形態１乃至実施の形態３における画像減算回路の動作説明図である。
【図７】この発明の実施の形態２における画像乗算回路の動作説明図である。
【図８】この発明の実施の形態３における画像乗算回路の動作説明図である。
【図９】この発明の実施の形態３における積分回路の動作説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１  赤外光学系、２  筐体、３  検出器アレイ、４  シャッタ、５  ドライバ回路、６  増幅回路、７  Ａ／Ｄ変換回路、８  オフセット補正メモリ、９  表示処理回路、１０  タイミング発生回路、１１  アナログローパスフィルタ、１２  Ａ／Ｄ変換回路、１３  画像格納メモリ、１４  シェーディング量検出回路、１５  シェーディングパタンメモリ、１６  画像乗算回路、１７  画像減算回路、１８  デジタルローパスフィルタ、１９  積分回路。
【図１】
2005274301.tif 000003
【図２】
2005274301.tif 000004
【図３】
2005274301.tif 000005
【図４】
2005274301.tif 000006
【図５】
2005274301.tif 000007
【図６】
2005274301.tif 000008
【図７】
2005274301.tif 000009
【図８】
2005274301.tif 000010
【図９】
2005274301.tif 000011