(57)【要約】【課題】ガス漏洩の発見及びその避難対応を迅速に行える安全性の高いガス検知システムを提供する。【解決手段】複数のガス漏洩監視箇所から個別にガスサンプリング配管をガス多点混合器に接続し、Ｌ字型に加工され開口部が上向きになるようにして容器内の上壁にガスを衝突させ、均一にミキシングする手段と、そのガス雰囲気容器を下部に挿入されたＬ字型に加工され開口部が下向きになるように接続された、ガスサンプリング配管によって均等に各種ガス検知器に吸引する手段を備えたことにより、正確に漏洩濃度検知ができる。また、個別にサンプリング配管を設置するため、ガス特性に適したガスサンプリング配管材質の選定が可能となることと、常時ガス漏洩監視箇所からサンプリングが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器の側面上部に設置された吸気配管と、
前記容器の側面下部に設置された排気配管とを備え、
前記吸気配管は前記容器の内部に突き出し、先端がＬ字型で開口部が上向きになっており
前記排気配管は前記容器の内部に突き出し、先端がＬ字型で開口部が下向きになっていることを特徴とするガス多点混合器。
【請求項２】
複数のガス漏洩監視箇所より収集した漏洩ガスをガス多点混合器でミキシングする手段と、
検知対象ガスを識別できるガス検知器によりミキシングされた前記漏洩ガスに対して検知を常時行う手段と、
ガスが漏洩していることが検知された場合に検知対象ガスの漏洩箇所を音声や表示で知らせる手段とを備えたことを特徴とするガス検知システム。
【請求項３】
前記ガス検知器は吸引式であり、
前記ガス検知器の上流にガスサンプリングバルブと前記ガスサンプリングバルブを遠隔操作によって動作させる手段を備えたことを特徴とする請求項２記載のガス検知システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工場などで使用している多種類の毒性ガスなどのガス検知システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
これまでのガス検知システムを図２に示す。ガス漏洩監視箇所１及び２は、ガス漏洩する可能性のある場所である。ガスサンプリング配管（ＩＮ）３は、ガス漏洩監視箇所のガス雰囲気を吸引するものである。吸引式ガス検知器２２、２３は、ガス漏洩を検知するものである。サンプリングバルブ１６は、ガスサンプリングの中止・開始を操作するものである。流量調整バルブ１９は、サンプリング流量を調整するものである。共通サンプリング配管２０は、ガス漏洩監視箇所１及び２からガスサンプリング配管（ＩＮ）３によって吸引したガス雰囲気を１本に集めるものである。高干渉性ガス検知器２１は、ガス漏洩監視箇所１及び２のガス雰囲気中のガス濃度を常時監視するものである。
【０００３】
複数のガス漏洩監視箇所１及び２では、それぞれガスサンプリング配管（ＩＮ）３によってガス漏洩監視箇所の雰囲気ガスを吸引して、１本の共通サンプリング配管２０において１つになる。そして、それぞれのガス種類に適したガス検知器２２、２３でガス濃度検知を行い、ガス漏洩発生時には警報などを発報するガス検知システムである。このガスサンプリング配管（ＩＮ）３には、サンプリングバルブ１６や流量調整バルブ１９が取り付けられている。これまでは、各ガス漏洩監視箇所１及び２に高干渉性ガス検知器２１を取り付け、高干渉性ガス検知器２１が検知したガス漏洩監視箇所のみ、ガス検知器２２、２３でガス漏洩濃度を測定し、警報を発生させるガス検知システム（例えば特許文献１参照）や複数のガス漏洩監視箇所から同一ガスのみのガスサンプリング配管を集合させて１台のガス検知器で順次サンプリングを行いガス検知するガス検知システム（例えば特許文献２参照）などが採用されていた。
【特許文献１】特開２００２−１８１６５３号公報
【特許文献２】特開平６−３０７９６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来のガス検知システムでは、ガス漏洩監視箇所を常時漏洩監視していないという課題と、１本の共通サンプリング配管を経由するため、吸着性の高い液化ガスや発火性の高いガスに適した配管材質を、個別に選定できないことから、ガス漏洩発生のガス検知と避難対応が遅れるという課題と、共通サンプリング配管へ集合させただけでは、ガスを十分にミキシングできず、各種のガス検知器に均一なガス雰囲気を吸引させることができないため正確なガス検知ができないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するために複数のガス漏洩監視箇所からガス特性に適したサンプリング配管材質で個別にガスサンプリングが行え、サンプリングしたガスを一箇所の容器に集中させ、容器内でサンプリングガスを上壁に衝突させることで、ミキシング効果が向上し、均一なガス雰囲気にする手段と、容器下部からガス検知器へ均一なガス濃度を常時吸引させる手段を有することを特徴としたガス多点混合器とそれを用いたガス検知システムである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、ガス漏洩監視箇所からガス特性に適した、ガスサンプリング配管材質を個別に選定することが可能となることで、ガス漏洩濃度の低下を防止し、また、ガス多点混合器内で均一なガス雰囲気にミキシングすることが可能となり、ガスの偏流れを防止し、均一なガス雰囲気を、ガス検知器が吸引することで、正確なガス漏洩検知が行える。また、常時ガス漏洩監視箇所からガスサンプリングを行うため、ガス漏洩時の早期発見が可能となり、迅速な対応がとれる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【０００８】
図１（ａ）において、ガス多点混合器４は、半円柱状又は円柱状の形状をしており、側面上部に複数のガスサンプリング配管（ＩＮ）３と側面下部に複数のガスサンプリング配管（ＯＵＴ）５が挿入できる構造となっている（図１（ｂ））。このガス多点混合器４は、ガス漏洩の可能性があるガス漏洩監視箇所１及び２からガスサンプリング配管（ＩＮ）３で吸引したガスを収集して、均一なガス濃度雰囲気を作り出すものである。このガスサンプリング配管（ＩＮ）３の開口部は、ガス多点混合器４内部で上向きにＬ字型に曲げている（図１（ｃ））。これにより、吸引したガスを吹き上げてガス多点混合器４の容器上部に衝突させることで、ガスのミキシングを行い、ガス多点混合器４の容器内で均一なガス濃度雰囲気を実現する。また、ガスサンプリング配管（ＯＵＴ）５は、ミキシングされたガス多点混合器４内のガス雰囲気を使用しているガスの漏洩を検知できる吸引式のガス検知器６〜８に送り出すためのものである。ガスサンプリング配管（ＯＵＴ）５は、ガスサンプリング配管（ＩＮ）３とは反対に、ガス多点混合器４内部で下向きにＬ字型に曲げている（図１（ｃ））。
【０００９】
各ガス漏洩監視箇所１及び２とガス多点混合器４とは、使用しているガス特性に適した配管材質で加工されたガスサンプリング配管（ＩＮ）３で接続されている。また、ガス多点混合器４と各ガス検知器６〜８は、ガスサンプリング配管（ＯＵＴ）５によって接続されている。ここで、ガス検知器は、使用しているガス種に適した吸引式のガス検知器を用いている。
【００１０】
また、ガスサンプリング配管（ＩＮ）３には、ガス吸引の中止及び開始の動作を行うためのサンプリングバルブ１６が取り付けてある。ガス検知器６〜８からは、ガス漏洩を検知した際に、電気信号によってガス漏洩濃度や検知器異常をガス監視盤１３に伝達するための電気信号線９が配線されている。このガス監視盤１３には、ガス検知器６〜８で検知したガス漏洩濃度を表示するガス漏洩指示計１０〜１２が取り付けられている。ガス漏洩時には、ガス監視盤１３から避難指示や、ガス漏洩箇所を文字で表示する表示パネル１４と、ガス漏洩時にガス漏洩監視箇所を音声で知らせる音声発生器１５が接続されている。ガス漏洩が発生した場合、一旦安全な場所へ避難した後に、ガス監視盤１３においてガス濃度監視を行うこと、遠隔操作でバルブ開閉スイッチ１７を操作することで、サンプリングバルブ１６を、バルブ開閉用信号線１８で動作させることができる。これにより、ガス漏洩箇所と漏洩ガス種を特定することができる。このガス多点混合器４とそれを用いたガス検知システムにより、増加するガスの種類に対して設置するガス検知器数が低減され、常時正確にガス漏洩監視を行うことが可能となる。
【００１１】
本発明の具体的な実施の形態について説明を行う。半導体製造装置、特にＭＯＣＶＤ装置などは、ＰＨ3、ＡｓＨ3、ＳｉＨ4、Ｈ2、ＮＨ3など毒性ガスを多く使用する。また、装置はシリンダーキャビネット装置、水素ガス精製装置、除害装置、ＭＯＣＶＤ装置など複数台にまたがってガスを使用しており、各装置の筐体排気や装置周辺には、多数のガス漏洩監視が取り付けられている。そこで、多数のガス種類を多箇所のガス漏洩監視箇所からガス特性に適した配管材質（例えば、ＮＨ3ガスはテフロン（登録商標）チューブ、発火性ガスはＳＵＳ配管）でサンプリングして、ガス多点混合器に接続する。ガス漏洩監視箇所からのガス多点混合器への吸引は、吸引式ガス検知器に内蔵のポンプを使用して吸引する。サンプリングされたガスは、ガス多点混合器内でＬ字型に上方向に曲げられたガスサンプリング配管（ＩＮ）によって吹き上げられ、容器内の上部に衝突させることで、攪拌作用による、ミキシング効果を向上させる。そのガスをＬ字型に下方向に曲げられたガスサンプリング配管（ＯＵＴ）によって、容器内の均一なガス雰囲気を均等に吸引することで、常時正確なガスの濃度監視を実現し、その漏洩検知結果から迅速な避難対応をとることができる。ガス漏洩を検知した場合には、安全な場所からガス監視盤によってガス漏洩濃度を確認し、ガス監視盤からサンプリングバルブ開閉スイッチを遠隔操作し、サンプリングバルブを開閉させてガス漏洩箇所の特定を行うことができる。ガス多点混合器へ接続するガスサンプリング配管は、２〜６点が最適であるがそれ以上でのガス多点混合器の大きさによって接続が可能である。ガス多点混合器へは、同じガス種を接続させることや、混合させることで発火や爆発を行うガス種であれば、異なったガス種を接続させることが可能であり、これによりガス検知器の取り付け台数を低減させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００１２】
本発明は、半導体製造装置のＣＶＤ装置やドライエッチング装置、特にＭＯＣＶＤ装置において、多種類の毒性ガス及び他のガスと混合すると発火や爆発を起こすガスを使用する装置やその装置周辺のガス漏洩監視をガス検知器で行っている場合に、複数のガスサンプリング配管を集合させ、少ないガス検知器で漏洩監視するガス検知システムとして有効である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施の形態を説明するガス検知システム構成図
【図２】従来例を説明するガス検知システム構成図
【符号の説明】
【００１４】
１  ガス漏洩監視箇所
２  ガス漏洩監視箇所
３  ガスサンプリング配管（ＩＮ）
４  ガス多点混合器
５  ガスサンプリング配管（ＯＵＴ）
６  吸引式ガス検知器
７  吸引式ガス検知器
８  吸引式ガス検知器
９  電気信号線
１０  ガス漏洩指示計
１１  ガス漏洩指示計
１２  ガス漏洩指示計
１３  ガス監視盤
１４  表示パネル
１５  音声発生器
１６  サンプリングバルブ
１７  バルブ開閉スイッチ
１８  バルブ開閉用信号線
１９  流量調整バルブ
２０  共通サンプリング配管
２１  高干渉性ガス検知器
２２  吸引式ガス検知器
２３  吸引式ガス検知器
【図１】
2005221242.tif 000003
【図２】
2005221242.tif 000004