(57)【要約】【課題】  ハウジングがメタルダイアフラムと異種金属であっても、ハウジングとメタルダイアフラムとの間のシールを確実に行える構造の圧力センサを提供する。【解決手段】  メタルダイアフラム３４とハウジング３０の一面３０ｂとの間に、メタルダイアフラム３４よりも厚肉のリングプレート３５ｂを配置する。このリングプレート３５ｂをハウジング３０における突起部３０ｂに接合したのち、リングプレート３５ｂを介してメタルダイアフラム３４をハウジング３０に接合する。このようにすれば、メタルダイアフラム３４とハウジング３０とが異種金属材料によって構成されていても、これらを確実に接合できると共に、これらの間のシール性を確保することができる。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のケース（１０）と第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）を備え、
前記ケーシング（１００）内に圧力検出用のセンシング部（２０）を設けてなる圧力センサにおいて、
前記第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と前記第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間には、メタルダイアフラム（３４）が配置されると共に、該メタルダイアフラム（３４）の外周に接合されたリングウェルド（３５ａ）および前記メタルダイアフラム（３４）よりも厚肉のリングプレート（３５ｂ）が前記メタルダイアフラム（３４）を挟み込むように配置され、前記リングプレート（３５ｂ）が前記第２のケース（３０）に接合されていると共に、前記リングプレートと前記メタルダイアフラム（３４）と前記リングウェルド（３５）とが接合されており、
前記メタルダイアフラム（３４）と前記リングウェルド（３５）および前記第１ケース（１０）によって囲まれる部分を圧力検出室（４０）として、該圧力検出室（４０）内に前記センシング部（２０）が配置された構成とされていることを特徴とする圧力センサ。
【請求項２】
前記リングプレート（３５ｂ）の厚さは、０．３ｍｍ以上に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記リングプレート（３５ｂ）の厚さは１．０〜１．５ｍｍに設定されていることを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記第２のケース（３０）の前記一面（３０ｂ）には、前記リングプレート（３５ｂ）側に突出する環状の突起部（３０ｃ）が形成されており、この突起部（３０ｃ）と前記リングプレート（３５ｂ）とが接合されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記リングプレート（３５ｂ）のうち、前記第２のケース（３０）の前記一面（３０ｂ）と対向する面には、前記一面（３０ｂ）側に突出する環状の突起部（３５ｃ）が形成されており、この突起部（３５ｃ）と前記ハウジング（３０）の前記一面（３０ｂ）とが接合されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記突起部（３０ｃ、３５ｃ）は複数個設けられていることを特徴とする請求項４または５に記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記ハウジング（３０）のうち、前記一面（３０ｂ）に対して前記リングプレート（３５ｂ）とは反対側に、前記メタルダイアフラム（３４）に加えられる圧力の媒体が流入される環状溝（３０ｄ）が形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、第１のケースと第２のケースとをかしめ固定によって一体に組み付け、その内部に圧力検出用のセンシング部を設けてなる圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、第１のケースと第２のケースとをかしめ固定によって一体に組み付け、その内部に圧力検出用のセンシング部を設けてなる圧力センサが提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
この圧力センサの断面図を図５に示す。図５に示される圧力センサは、第１のケースとしてのコネクタケースＪ１と測定媒体を導入するための第２のケースとしてのハウジングＪ２とを備えて構成されるダイアフラムシールタイプの圧力センサである。すなわち、両ケースＪ１、Ｊ２の間にメタルダイアフラムＪ３を介在させた状態でハウジングＪ２の収容凹部Ｊ４内にコネクタケースＪ１が挿入されたのち、ハウジングＪ２の収容凹部Ｊ４の入り口側をかしめて圧力センサの組み付けが成されることで、内部に圧力検出室Ｊ５が区画形成され、この圧力検出室Ｊ５内にセンシング部としてのセンサ素子Ｊ６などが設けられた構造となっている。
【０００４】
そして、圧力検出室Ｊ５は、コネクタケースＪ１とハウジングＪ２との間に介在するＯリングＪ７によってシールされており、圧力検出室Ｊ５の内部には、たとえばオイルなどの圧力伝達部材Ｊ８が封入されている。また、メタルダイアフラムＪ３における圧力検出室Ｊ５とは反対側の面に、ハウジングＪ２に導入された測定媒体による圧力が印加され、この測定圧力がメタルダイアフラムＪ３から圧力伝達部材Ｊ８を介してセンサ素子Ｊ６へ印加されることで、圧力検出が行われるようになっている。
【０００５】
ここで、このような構造の圧力センサでは、測定媒体がハウジングＪ２とメタルダイアフラムＪ３との間から漏れ出すことを防止するために、これらの間のシールを確保しなければならない。このため、上記特許文献１に示される圧力センサでは、メタルダイアフラムＪ３の外周部分にハウジングＪ２と同種の金属で構成されたリングウェルドＪ９を接続し、このリングウェルドＪ９とハウジングＪ２との接触部分Ｊ１０の一部を溶接した構造としている。
【特許文献１】特開平７−２４３９２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記従来の圧力センサでは、ハウジングＪ２やメタルダイアフラムＪ３およびリングウェルドＪ９を確実にシール性の得られるように接合するために、これら各部品をＳ１５Ｃ等の炭素鋼やＳＵＳ等で構成する必要があった。
【０００７】
一方、圧力センサの車載環境で十分な信頼性を確保するために、塩水噴霧環境などにおいて著しく腐食が生じないことが要求される。このタイプの圧力センサが組み付けられる相手は、各種配管や金属ブロックなどであるが、上述したハウジングＪ２と圧力センサの組付け相手側との材質が違う場合、例えば組み付け相手がアルミニウム（Ａｌ）などの場合、異種金属接触による電位差が約０．５Ｖと大きいために、電池腐食が生じることが懸念される。この場合、ハウジングＪ２の材質を例えば相手側と同質のアルミニウム（Ａｌ）とすることで、上記腐食を防止することが考えられる。
【０００８】
しかしながら、上記のようにリングウェルドＪ９とハウジングＪ２との溶接によってハウジングＪ２とメタルダイアフラムＪ３との間のシール構造を実現する場合、ハウジングＪ２の材質を変更すると、メタルダイアフラムＪ２やリングウェルドＪ９と異種金属となり、異種金属間の溶接が困難であることからシール構造を実現できなくなるという問題がある。例えば、ハウジングＪ２をアルミニウムで構成し、メタルダイアフラムＪ２をＳＵＳで構成した場合に、アルミニウムの融点がＳＵＳの融点よりも非常に低く、強固な溶接を行うことができないのである。
【０００９】
なお、メタルダイアフラムＪ２やリングウェルドＪ９を他の金属材料に変更することも考えられるが、メタルダイアフラムＪ２を高強度かつ信頼性の高い例えばＳＵＳ等の金属材料で構成とすることが前提となるため、上記問題を解消し得ない。
【００１０】
本発明は、上記点に鑑み、ハウジングがメタルダイアフラムと異種金属であっても、ハウジングとメタルダイアフラムとの間のシールを確実に行える構造の圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、メタルダイアフラムをハウジングに直接接合すべく、レーザ溶接以外の手法、例えば抵抗溶接や摩擦圧接などを行うことについて試みた。それにより、メタルダイアフラムをハウジングに接合できることが確認できたが、メタルダイアフラムが非常に薄いために、メタルダイアフラムとハウジングとの接合面とが平らにならなかったり、接合されたとしても強固な接合にならないということが新たに確認された。
【００１２】
そこで、請求項１に記載の発明では、第１のケース（１０）と第２のケース（３０）とを一体に組み付けてなるケーシング（１００）を備え、ケーシング（１００）内に圧力検出用のセンシング部（２０）を設けてなる圧力センサにおいて、第１のケース（１０）の先端面（１０ａ）と第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）との間には、メタルダイアフラム（３４）が配置されると共に、該メタルダイアフラム（３４）の外周に接合されたリングウェルド（３５ａ）およびメタルダイアフラム（３４）よりも厚肉のリングプレート（３５ｂ）がメタルダイアフラム（３４）を挟み込むように配置され、リングプレート（３５ｂ）が第２のケース（３０）に接合されていると共に、リングプレートとメタルダイアフラム（３４）とリングウェルド（３５）とが接合されており、メタルダイアフラム（３４）とリングウェルド（３５）および第１ケース（１０）によって囲まれる部分を圧力検出室（４０）として、該圧力検出室（４０）内にセンシング部（２０）が配置された構成とされていることを特徴としている。
【００１３】
このように、リングプレート（３５ｂ）を備え、このリングプレート（３５ｂ）をハウジング（３０）の一面（３０ｂ）に接合したのち、このリングプレート（３５ｂ）の上にメタルダイアフラム（３４）およびリングウェルド（３５ａ）を配置し、これらを接合するようにしている。このようにすれば、リングプレート（３５ｂ）がある程度厚みを有した構成とされていることから、リングプレート（３５ｂ）とハウジング（３０）との接合面は平らで、その接合は強固なものとなる。
【００１４】
そして、このようなリングプレート（３５ｂ）の上にメタルダイアフラム（３４）およびリングウェルド（３５ａ）を載せ、これらを接合する場合、これら各部品はそれぞれ同質の金属材料で構成されていることから、容易に溶接される。
【００１５】
したがって、メタルダイアフラム（３４）とハウジング（３０）とが異種金属材料によって構成されていても、これらを確実に接合できると共に、これらの間のシール性を確保することができる。
【００１６】
例えば、リングプレート（３５ｂ）の厚みとしては、請求項２に示されるように、０．３ｍｍ以上に設定され、請求項３に示されるように、１．０〜１．５ｍｍに設定されるのが好ましい。
【００１７】
請求項４に記載の発明では、第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）には、リングプレート（３５ｂ）側に突出する環状の突起部（３０ｃ）が形成されており、この突起部（３０ｃ）とリングプレート（３５ｂ）とが接合されていることを特徴としている。また、請求項５に記載の発明では、リングプレート（３５ｂ）のうち、第２のケース（３０）の一面（３０ｂ）と対向する面には、一面（３０ｂ）側に突出する環状の突起部（３５ｃ）が形成されており、この突起部（３５ｃ）とハウジング（３０）の一面（３０ｂ）とが接合されていることを特徴としている。
【００１８】
このように、ハウジング（３０）の一面（３０ｂ）もしくはリングプレート（３５ｂ）のうちハウジング（３０）の一面（３０ｂ）と対向する面に、突起部（３０ｃ、３５ｃ）を設け、この突起部（３０ｃ、３５ｃ）にてリングプレート（３５ｂ）がハウジング（３０）に接合、例えば抵抗接合されるようにすることができる。
【００１９】
請求項７に記載の発明では、ハウジング（３０）のうち、一面（３０ｂ）に対してリングプレート（３５ｂ）とは反対側に、メタルダイアフラム（３４）に加えられる圧力の媒体が流入される環状溝（３０ｄ）が形成されていることを特徴としている。
【００２０】
このような構成によれば、圧力媒体の圧力により、ハウジング（３０）における一面（３０ｂ）がリングプレート（３５ｂ）側に力を受ける。したがって、リングプレート（３５ｂ）とハウジング（３０）との接合を補強するように力が加えられ、もしくは一面（３０ｂ）に対してリングプレート（３５ｂ）から離れる側に加えられる圧力が相殺され、これらの間の接合がより強固なものとなる。
【００２１】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００２３】
（第１実施形態）
以下、本発明の一実施形態が適用された圧力センサについて説明する。図１に、本実施形態における圧力センサＳ１の断面図を示すと共に、図２に図１の二点鎖線部分の拡大図を示し、これらの図に基づいて説明する。なお、この圧力センサＳ１は、例えば、自動車に搭載され自動車のエアコンの冷媒配管内の冷媒圧力を検出するものに適用される。
【００２４】
図１に示されるように、第１のケースとしてのコネクタケース１０は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）等の樹脂を型成形することにより作られ、本実施形態では略円柱状をなしている。この樹脂ケースとしてのコネクタケース１０の一端部（図１中、下方側の端部）には、凹部１１が形成されている。
【００２５】
この凹部１１の底面には、圧力検出用のセンシング部としてのセンサ素子２０が配設されている。
【００２６】
センサ素子２０は、その表面に受圧面としてのダイアフラムを有し、このダイアフラムの表面に形成されたゲージ抵抗により、ダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイアフラム式のものである。
【００２７】
そして、センサ素子２０は、ガラス等よりなる台座２１に陽極接合等により一体化されており、この台座２１を凹部１１の底面に接着することで、センサ素子２０はコネクタケース１０に搭載されている。
【００２８】
また、コネクタケース１０には、センサ素子２０と外部の回路等とを電気的に接続するための複数個の金属製棒状のターミナル１２が貫通している。
【００２９】
本実施形態では、ターミナル１２は黄銅（真鍮）にメッキ処理（例えばＮｉメッキ）を施した材料よりなり、インサートモールドによりコネクタケース１０と一体に成形されることによってコネクタケース１０内にて保持されている。
【００３０】
各ターミナル１２の一端側（図１中、下方端側）の端部は、センサ素子２０の搭載領域の周囲において凹部１１の底面から突出して配置されている。一方、各ターミナル１２の他端側（図１中、上方端側）の端部は、コネクタケース１０の他端側の開口部１５内に露出している。
【００３１】
この凹部１１内に突出する各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とは、金やアルミニウム等のボンディングワイヤ１３により結線され電気的に接続されている。
【００３２】
また、凹部１１内にはシリコン系樹脂等からなるシール剤１４が設けられており、このシール剤１４によって、凹部１１に突出するターミナル１２の根元部とコネクタケース１０との隙間が封止されている。
【００３３】
一方、図１において、コネクタケース１０の他端部（図１中、上方側の端部）側は開口部１５となっており、この開口部１５は、ターミナル１２の他端側を例えばワイヤハーネス等の外部配線部材（図示せず）を介して上記外部回路（車両のＥＣＵ等）に電気的に接続するためのコネクタ部となっている。
【００３４】
つまり、開口部１５内に露出する各ターミナル１２の他端側は、このコネクタ部によって外部と電気的に接続が可能となっている。こうして、センサ素子２０と外部との間の信号の伝達は、ボンディングワイヤ１３およびターミナル１２を介して行われるようになっている。
【００３５】
また、図１に示されるように、コネクタケース１０の一端部には、第２のケースとしてのハウジング３０が組み付けられている。具体的には、ハウジング３０には収容凹部３０ａが形成されており、この収容凹部３０ａ内にコネクタケース１０の一端側が挿入されることで、コネクタケース１０にハウジング３０が組みつけられた構成となっている。
【００３６】
これにより、第１のケースとしてのコネクタケース１０と第２のケースとしてのハウジング３０とが一体に組み付けられてなるケーシング１００が構成されており、このケーシング１００内にセンサ素子２０が設けられた形となっている。
【００３７】
このハウジング３０は、例えばアルミニウム（Ａｌ）ややジュラルミン等の測定対象物と同種の軽金属材料よりなるものであり、測定対象物からの測定圧力が導入される圧力導入孔３１と、圧力センサＳ１を測定対象物に固定するためのネジ部３２とを有する。上述したように、測定対象物としては、たとえば自動車エアコンの冷媒配管などであり、測定圧力は、その冷媒配管内の冷媒圧力などである。
【００３８】
さらに、コネクタケース１０の先端面１０ａとハウジング３０における収容凹部３０ａのうちコネクタケース１０の先端面１０ａと対向する一面３０ｂとの間に、図２に示されるように、薄いメタルダイアフラム３４がリングウェルド（押さえ部材）３５ａおよびメタルダイアフラム３４よりも厚肉のリングプレート３５ｂに挟まれた状態で配置されている。これらは溶接により互いに接合されている。
【００３９】
メタルダイアフラム３４は、例えばＳＵＳ６３０系等の金属で構成され、リングウェルド３５ａは、例えばＳＵＳ３１６Ｌ等の金属で構成されている。リングプレート３５ｂは、例えばＳＵＳ３１６Ｌ等のＳＵＳ材や、炭素鋼で構成されるのが望ましいが、ＳＵＳとＡｌ材あるいは鉄材とＡｌ材のクラッド材で構成されていても良い。また、このリングプレート３５ｂの厚さは、０．３ｍｍ以上であればよいが、１．０〜１．５ｍｍ程度であればより好ましい。
【００４０】
ハウジング３０の一面３０ｂのうち、リングプレート３５ｂが配置される部位には、リング状の突起部（プロジェクション）３０ｃが形成されており、リングプレート３５ｂは、この突起部３０ｃにてハウジング３０に全周抵抗溶接されることで、圧力導入孔３１の一端に気密接合されたものとなっている。
【００４１】
そして、図１に示されるように、ハウジング３０のうち収容凹部３０ａ側の端部がコネクタケース１０の一端部にかしめられることで、かしめ部３６が形成され、それによって、ハウジング３０とコネクタケース１０とが固定され一体化されている。
【００４２】
こうして組み合わせられたコネクタケース１０とハウジング３０とにおいて、コネクタケース１０の凹部１１とハウジング３０のダイアフラム３４との間で、圧力検出室４０が構成されている。
【００４３】
この圧力検出室４０には圧力伝達媒体であり封入液であるオイル（フッ素オイル等）４１が充填され封入されている。すなわち、凹部１１にはセンサ素子２０及びワイヤ１３等の電気接続部分を覆うようにオイル４１が充填され、ダイアフラム３４により覆われて封止された形となる。
【００４４】
このような圧力検出室４０を構成することにより、圧力導入孔３１から導入された圧力は、メタルダイアフラム３４、オイル４１を介して、圧力検出室４０内のセンサ素子２０、ボンディングワイヤ１３、ターミナル１２に印加されることになる。
【００４５】
また、本実施形態の圧力センサにおいては、コネクタケース１０の先端面１０ａに、圧力検出室４０の外周を囲むように、環状の溝（Ｏリング溝）４２が形成され、この溝４２内には、圧力検出室４０を気密封止するためのＯリング４３が配設されている。
【００４６】
このＯリング４３は例えばシリコンゴム等の弾性材料よりなり、コネクタケース１０とハウジング３０とにより挟まれて押圧されている。こうして、メタルダイアフラム３４とＯリング４３とにより圧力検出室４０が封止され閉塞される。
【００４７】
次に、上記圧力センサＳ１の製造方法について説明する。
【００４８】
まず、ターミナル１２がインサート成形されたコネクタケース１０を用意する。シリコン系樹脂等よりなる接着剤を用いて、コネクタケース１０の凹部１１内へセンサ素子２０を台座２１を介し接着固定する。
【００４９】
そして、凹部１１内へシール剤１４を注入し、シール剤１４を、凹部１１の底面まで行き渡らせる。ここで、シール剤１４がセンサ素子２０の表面に付着しないように、注入量を調整する。
【００５０】
続いて、注入したシール剤１４を硬化させる。そして、ワイヤボンディングを行って、各ターミナル１２の一端部とセンサ素子２０とをボンディングワイヤ１３で結線し、電気的に接続する。
【００５１】
そして、センサ素子２０側を上にしてコネクタケース１０を配置し、コネクタケース１０の上方から、ディスペンサ等によりフッ素オイル等よりなるオイル４１を、凹部１１へ一定量注入する。
【００５２】
続いて、リングプレート３５ｂをハウジング３０における収容凹部３０ａ内に配置する。そして、リングプレート３５ｂとハウジング３０との間に所定の電圧を印加する。これにより、リングプレート３５ｂが突起部３０ｃの箇所で抵抗溶接され、ハウジング３０とリングプレート３５ｂとが接合される。
【００５３】
この後、リングプレート３５ｂの上にリングウェルド３５ａを配置した後、リングウェルド３５ａの上面側からのレーザ溶接などにより、リングウェルド３５ａ−メタルダイアフラム３４−リングプレート３５ｂの接合を行う。このとき、メタルダイアフラム３４、リングウェルド３５ａおよびリングプレート３５ｂは、すべて同質金属もしくは接合可能な金属で構成されていることから、容易に接合を行うことができる。
【００５４】
続いて、メタルダイアフラム３４およびリングウェルド３５ａ等と共にハウジング３０を上から水平を保ったまま、コネクタケース１０に嵌合するように降ろす。そして、この状態のものを真空室に入れて真空引きを行い圧力検出室４０内の余分な空気を除去する。
【００５５】
その後、コネクタケース１０の先端面とハウジング３０の一面３０ｂとが十分接するまで押さえることによって、メタルダイアフラム３４とＯリング４３によってシールされた圧力検出室４０が形成される。
【００５６】
最後に、ハウジング３０の端部をコネクタケース１０の一端側にかしめることにより、かしめ部３６を形成する。こうして、ハウジング３０とコネクタケース１０とを一体化することにより、かしめ部３６によるコネクタケース１０とハウジング３０との組み付け固定がなされる。このようにして、図１に示される圧力センサＳ１が完成する。
【００５７】
かかる圧力センサＳ１の基本的な圧力検出動作について述べる。
【００５８】
圧力センサＳ１は、たとえば、ハウジング３０のネジ部３２を介して、車両におけるエアコンの冷媒配管系の適所に取り付けられる。そして、該配管内の圧力がハウジング３０の圧力導入孔３１より圧力センサＳ１内に導入される。
【００５９】
すると、導入された圧力がメタルダイアフラム３４から圧力検出室４０内のオイル４１を介して、センサ素子２０の表面すなわち受圧面に印加される。そして、印加された圧力に応じた電気信号がセンサ信号として、センサ素子２０から出力される。
【００６０】
このセンサ信号は、センサ素子２０からワイヤ１３、ターミナル１２を介して、上記外部回路へ伝達され、冷媒配管の冷媒圧力が検出される。このようにして、圧力センサＳ１における圧力検出が行われる。
【００６１】
以上説明したように、本実施形態の圧力センサＳ１では、リングプレート３５ｂを備え、このリングプレート３５ｂをハウジング３０の一面３０ｂに接合したのち、このリングプレート３５ｂの上にメタルダイアフラム３４およびリングウェルド３５ａを配置し、これらを接合するようにしている。すなわち、リングプレート３５ｂがある程度厚みを有した構成とされていることから、リングプレート３５ｂとハウジング３０との接合面は平らで、その接合は強固なものとなる。
【００６２】
そして、このようなリングプレート３５ｂの上にメタルダイアフラム３４とリングウェルド３５ａを載せ、これらをレーザ溶接によって接合している。これら各部品はそれぞれ同質の金属材料で構成されていることから、容易に溶接される。
【００６３】
このように、メタルダイアフラム３４とハウジング３０の一面３０ｂとの間にリングプレート３５ｂを配置することで、リングプレート３５ｂを介してメタルダイアフラム３４をハウジング３０に強固に接合することが可能となる。このため、メタルダイアフラム３４とハウジング３０とが異種金属材料によって構成されていても、これらを確実に接合できると共に、これらの間のシール性を確保することができる。
【００６４】
（第１実施形態の変形例）
上記第１実施形態において、突起部３０ｃの形状は適宜変更可能であり、例えば断面三角形状としてもよいし、半円形状としても良い。また、図２に示すように環状の突起部３０ｃを複数個設け、各突起部３０ｃがリングプレート３５ｂに接合されるような形態としても良い。
【００６５】
（第２実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に示した圧力センサＳ１における突起部３０ｃを無くし、リングプレート３５ｂ側に突起部を設けたものであり、その他の部分については第１実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。
【００６６】
図３は、本実施形態の圧力センサＳ１におけるリングプレート３５ｂの近傍の拡大図である。この図に示されるように、リングプレート３５ｂのうち、ハウジング３０の一面３０ｂと対向する面には、ハウジング３０の一面３０ｂ側に突出するように環状の突起部３５ｃが複数個設けられている。
【００６７】
このように、リングプレート３５ｂ側に突起部３５ｃを設けることによっても、抵抗溶接を行うことが可能であり、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６８】
なお、ここでは突起部３５ｃを複数個設けた場合を例に挙げて説明したが、第１実施形態のように、単数であっても構わないし、その形状も適宜変更可能である。
【００６９】
（第３実施形態）
本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態は、第１実施形態に示した圧力センサＳ１におけるハウジング３０の形状を変更したものであり、その他の部分については第１実施形態と同様であるため、異なる部分についてのみ説明する。
【００７０】
図４は、本実施形態の圧力センサＳ１の全体概要を示す断面図である。この図に示されるように、ハウジング３０には、リングプレート３５ｂが配置される一面３０ｂの下方、すなわち一面３０ｂに対してリングプレート３５ｂの反対側において、圧力導入孔３１の中心軸を１周する環状溝３０ｄが形成されている。
【００７１】
このような構成の圧力センサＳ１によると、ハウジング３０に形成された環状溝３０ｄにも圧力媒体となる冷媒が入り込むことになる。このため、冷媒圧力により、ハウジング３０における一面３０ｂが紙面上側、つまりリングプレート３５ｂ側に力を受ける。したがって、突起部３０ｃとリングプレート３５ｂとの接合を補強するように力が加えられ、もしくは一面３０ｂに対して紙面下側に加えられる冷媒圧力が相殺され、これらの間の接合がより強固なものとなる。
【００７２】
このように、ハウジング３０のうち、リングプレート３５ｂが配置される一面３０ｂの下方に、圧力媒体が流入するスペースを設けることにより、突起部３０ｃとリングプレート３５ｂとの接合を補強することが可能となる。
【００７３】
（他の実施形態）
上記実施形態では、抵抗接合により突起部３０ｃとリングプレート３５ｂとの接合を行うようにしたが、抵抗接合以外のものであっても良い。例えば、リングプレート３５ｂを突起部３０ｃもしくはハウジング３０の一面３０ｂに摩擦圧接する方法や、リングプレート３５ｂをハウジング３０の一面３０ｂ側に押し付け、突起部３５ｃによってハウジング３０の一面３０ｂをかしめることで接合を行う方法であっても良い。
【００７４】
また、上記各実施形態において、圧力検出室４０には、オイル４１が封入されていなくてもよい。つまり、メタルダイアフラム３４を介して圧力検出室４０内のセンサ素子２０に測定圧力が印加されればよく、圧力検出室４０内の圧力伝達媒体としては気体等であっても構わない。
【００７５】
また、センサ素子２０は、上記したダイアフラムが受けた圧力を電気信号に変換し、この電気信号をセンサ信号として出力する半導体ダイヤフラム式のものに限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明の第１実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【図２】第１実施形態の変形例における圧力センサのリングプレート近傍の部分拡大断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態における圧力センサのリングプレート近傍の部分拡大断面図である。
【図４】本発明の第３実施形態における圧力センサの断面構成を示す図である。
【図５】従来の圧力センサの断面構成を示す図である。
【符号の説明】
【００７７】
１０…第１のケースとしてのコネクタケース、
２０…センシング部としてのセンサ素子、３０…第２のケースとしてのハウジング、
３０ｂ…一面、３０ｃ…突起部、３０ｄ…ストッパー部、３０ｅ、３０ｆ…溝部、
３４…メタルダイアフラム、３５ａ…リングウェルド、３５ｂ…リングプレート、
３６…かしめ部。
【図１】
2005221315.tif 000003
【図２】
2005221315.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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