(57)【要約】【課題】気泡、異物等により閉塞された時、インクが流れなくなり白抜不良、変色不良を発生する課題がある。また、製造したインク中に溶存している窒素、酸素、炭酸ガス等の各種気体が液体カートリッジまたは液体供給チューブ内に浸入して気泡を発生させ、記録ヘッドからインク滴を吐出できなくなって印刷不良を引き起こす課題がある。  インク収納部内に気泡発生防止する性能を簡易にかつ確実に実現し、かつインク安定供給が出来るインク保管容器を提供すること。【解決手段】印字装置に使用される液体インクを保存、貯留し、その印字装置に液体インクを供給する液体カートリッジまたは液体供給チューブで、アセチレンガスを封入しスパークで液体カートリッジまたは液体供給チューブの内面にＤＬＣ成膜する液体カートリッジまたは液体供給チューブで構成される。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
印字装置に使用される液体インクを保存、貯留し、その印字装置に液体インクを供給するための液体カートリッジであって、アセチレンガスを封入しスパークで液体カートリッジの内面に（ダイヤモンドライクカーボン、以後ＤＬＣと言う）成膜することを特徴とする液体カートリッジ。
【請求項２】
前記成膜部は、複数の部品で構成した液体カートリッジの接合部やインクを供給し排出する供給路で構成されることを特徴とする請求項１に記載の液体カートリッジ。
【請求項３】
前記液体カートリッジの材質が熱可塑性合成樹脂であることを特徴とする請求項１または２に記載の液体カートリッジ。
【請求項４】
前記アセチレンガスのほかに脂肪族炭化水素ガスや環状炭化水素ガスや不飽和炭化水素ガスで構成したことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体カートリッジ。
【請求項５】
前記スパークで発生する熱が液体カートリッジを構成する合成樹脂の融点以下であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の液体カートリッジ。
【請求項６】
前記液体カートリッジに入るインクが水性インクや油脂系インクや熱溶融性インクのいずれかに記載のインクを備えることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の液体カートリッジ。
【請求項７】
印字装置に使用される液体インクを供給するための液体供給チューブであって、アセチレンガスを封入しスパークで液体供給チューブの内面に（ダイヤモンドライクカーボン、以後ＤＬＣと言う）成膜することを特徴とする液体供給チューブ。
【請求項８】
前記成膜部は、複数の部品で構成した液体供給チューブの接合部やインクを供給し排出する供給路で構成されることを特徴とする請求項７に記載の液体供給チューブ。
【請求項９】
前記液体供給チューブの材質が熱可塑性合成樹脂であることを特徴とする請求項７または８に記載の液体供給チューブ。
【請求項１０】
前記アセチレンガスのほかに脂肪族炭化水素ガスや環状炭化水素ガスや不飽和炭化水素ガスで構成したことを特徴とする請求項７から９のいずれかに記載の液体供給チューブ。
【請求項１１】
前記スパークで発生する熱が液体供給チューブを構成する合成樹脂の融点以下であることを特徴とする請求項７から１０のいずれかに記載の液体供給チューブ。
【請求項１２】
前記液体供給チューブに入るインクが水性インクや油脂系インクや熱溶融性インクのいずれかに記載のインクを備えることを特徴とする請求項７から１１のいずれかに記載の液体供給チューブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット方式に使用される液体カートリッジまたは液体供給チューブ、及びその液体カートリッジを使用する印字装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット方式などの印字装置はインクを貯蔵するインクカートリッジがある。目的はインクカートリッジの内部に液体インクを保存、貯留し、インクジェットプリンタに液体インクを安定して適量を供給するものと考えられている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−３２０６８０号
【特許文献２】特開２００３−３２０６７７号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
製造したインクをそのまま液体カートリッジまたは液体供給チューブに充填し使用すると、または合成樹脂製液体カートリッジまたは液体供給チューブの壁面を減圧状態の内部に気体が侵入すると、インク中に溶存している窒素、酸素、炭酸ガス等の各種気体が記録ヘッド内に気泡を発生させ、記録ヘッドからインク滴を吐出できなくなる印写不良を引き起こす課題がある。
【０００５】
また、電圧を掛けるとピエゾ素子で形成された記録ヘッドのインク室の隔壁が拡大、縮小することによりインクを吐出させるピエゾ方式の場合、インクジェットヘッドの微小ノズル、微小流路が気泡、異物等により閉塞された時、インクが流れなくなるため印字ミス、色が不足する状態になり課題になる場合がある。このため、ピエゾ方式のインクジェット記録装置に使用するインク容器のインク収納部に特に求められる課題としては、インク収納部内に気泡発生防止する性能を有することである。
【０００６】
本発明は、上記状況に鑑みなされたものであり、その目的としては、取り扱い性に優れた液体カートリッジまたは液体供給チューブで、化学的強度及びガスバリア性を良好に維持しつつ、液体インクへの空気の混入を阻止しミス印字の無い、簡単な構成でガスバリア性の優れた液体インク保存容器を収納した液体カートリッジまたは液体供給チューブを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この目的を達成するために、印字装置に使用される液体インクを保存、貯留し、その印字装置に液体インクを安定供給するための液体カートリッジまたは液体供給チューブであって、アセチレンガスを封入しスパークで液体カートリッジまたは液体供給チューブの内面にＤＬＣ成膜することを特徴とする。これにより、液体カートリッジまたは液体供給チューブの内面にガスバリア性の高い膜が出来、インク吐出による減圧で気泡をインク中に発生させる事を回避できる。
【０００８】
また、成膜部は、複数の部品で構成した液体カートリッジまたは液体供給チューブの接合部やインクを供給し排出する供給路で構成されることを特徴とする。これにより、合成樹脂のインクカートリッジ成形品ばかりでなく、インクが通過する通路部品にもガスバリア性の効果が波及できる。
【０００９】
また、前記液体カートリッジまたは液体供給チューブの材質が熱可塑性合成樹脂であることを特徴とする。これにより、工業的に広く普及している合成樹脂の材質が適応でき、本発明の効果が拡大できる。
【００１０】
また、前記アセチレンガスのほかに脂肪族炭化水素ガスや環状炭化水素ガスや不飽和炭化水素ガスで構成したことを特徴とする。ＤＬＣ成膜用のガス組成を規定できる範囲をスパークのエネルギーで広くし、工業的にも有効になる。
【００１１】
また、前記スパークで発生する熱が液体カートリッジまたは液体供給チューブを構成する合成樹脂の融点以下であることを特徴とする。これにより、成形された液体カートリッジまたは液体供給チューブを変形する事無く安定したＤＬＣ成膜できる。
【００１２】
また、前記液体カートリッジまたは液体供給チューブに入るインクが水性インクや油脂系インクや熱溶融性インクのいずれかに記載のインクを備えることを特徴とする。これにより、化学的に安定なダイヤモンド性薄膜なので、特異なインク種類にも適応できる構成になる。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したことから明らかなように、
本発明の液体カートリッジまたは液体供給チューブによれば、繰り返し減圧と加圧を繰り返す液体カートリッジまたは液体供給チューブ内部のインクに、収納している合成樹脂製容器からガスが溶けこむ事が防げるので、保存中にインクの脱気状態を高くすることができ、インクの長期保存安定性が向上し、安定した印字を行えるようになる。また、ＤＬＣ薄膜ゆえに、インクの化学的アタックに対して安定した内壁を形成できるため、内容物であるインクの種類の制限が無くなった。
また、０．０１ミクロンメートルから１０ミクロンメートルの厚みなので、合成樹脂のリイサイクルやリユースなどの環境面に適応できる。
【００１４】
本発明の液体カートリッジまたは液体供給チューブ構造によれば、前記成膜部は、複数の部品で構成した液体カートリッジまたは液体供給チューブの接合部やインクを供給し排出する連結部で構成されるので、カートリッジ本体ばかりでなく、大気開放口に連通すると共にシール部材で覆われる溝を形成したので、気体の透過面積が小さくし、ガスバリア性を高めることができる。
【００１５】
本発明の液体カートリッジまたは液体供給チューブ材質によれば、前記液体カートリッジまたは液体供給チューブの材質が熱可塑性合成樹脂であるため、本発明の効果が工業的に広く適応でき、使われる材質の制限が大幅に緩和できた。
【００１６】
本発明の液体カートリッジまたは液体供給チューブによれば、前記アセチレンガスのほかにＤＬＣ成膜できる炭化水素ガスを拡大できる。液体カートリッジまたは液体供給チューブの素材による耐熱温度や構造に応じて炭化水素ガスの種類を選択でき、生産性の向上や膜質の物性にも変化を加える事ができる。
【００１７】
本発明の液体カートリッジまたは液体供給チューブの加工条件によれば、液体カートリッジまたは液体供給チューブを構成する合成樹脂の融点以下でＤＬＣ成膜加工をするため、液体カートリッジまたは液体供給チューブの熱変形やアニリングによる経時的歪みを回避できる。
【００１８】
本発明の液体カートリッジまたは液体供給チューブのインク種類によれば、前記液体カートリッジまたは液体供給チューブに入るインクが水性インクや油脂系インクや熱溶融性インクのいずれかに記載のインクも本発明の特性を損なう事が無い。つまり、溶融インク粘度により溶存ガスの変化量に左右されないガスバリア性が実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
［実施例１］
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。図１は本発明を適用したインクカートリッジ６を搭載するシリアル型インクジェット記録装置の機構部の要部概略斜視図である。
【００２０】
＜プリンタ動作＞
図１にインクジェット記録装置の斜視図を示す。このインクジェット記録装置の機構部は、両側の側板間１に主支持ガイドロッド２及び従支持ガイドロッド３をおおよそ水平な位置関係で横架し、これらの主支持ガイドロッド２及び従支持ガイドロッド３でキャリッジユニット４を主走査方向５に摺動自在に支持している。
【００２１】
キャリッジユニット４には、ブラック（Ｂｋ）インクをそれぞれ吐出する記録ヘッドを、その吐出面（ノズル面）を下方に向けて搭載し、またキャリッジユニット４の記録ヘッドの上側には記録ヘッドにインクを供給するための各色のインク供給体であるインクカートリッジ６を交換可能に搭載している。
【００２２】
そして、キャリッジユニット４は主走査モータ７で回転される駆動プーリ８（駆動タイミングプーリ）と従動プーリ９との間に張装したタイミングベルト１０に連結して、主走査モータ７を駆動制御することによってキャリッジユニット４、即ち記録ヘッドを主走査方向５に移動するようにしている。
【００２３】
また、側板１をつなぐ底板上にサブフレームを立てつつ設置し、このサブフレーム間に用紙１１を主走査方向５と直交する副走査方向１２に送るための搬送ローラ（図示せず）を回転自在に保持している。そして、サブフレーム側方に副走査モータを配置設置し、この副走査モータの回転を搬送ローラに伝達するために、副走査モータの回転軸に固定したギヤと搬送ローラの軸に固定したギヤとを備えている。
【００２４】
なお、キャップ手段は、それぞれ吸引体１３を介して吸引ポンプに接続すると共に、大気開放口を形成して、大気開放チューブ及び大気開放バルブを介して大気に連通している。また、吸引ポンプは吸引した廃液を図示しない廃液貯留槽１４に排出する。
【００２５】
さらに、インクカートリッジ６のホルダの側方には、記録ヘッドの吐出面をワイピングする繊維部材、発泡部材或いはゴム等の弾性部材からなるワイピング手段であるワイパブレードをブレードアームに取付け、このブレードアームは揺動可能に軸支し、図示しない駆動手段で回転されるカムによって揺動させるようにしている。
【００２６】
＜構造＞
インクカートリッジ６は、図２に示すように、インクカートリッジ６本体内に所要のインク１５を吸収させたインク吸収体１６を収容してなる。インクカートリッジ６本体は、上部に広い開口を有するケースの上部開口に上蓋部材を接着又は溶着して形成したものであり、例えば樹脂成型品からなる。また、インク吸収体１６は、ウレタンフォーム体等の多孔質体からなり、カートリッジ本体内に圧縮して挿入した後、インクを吸収させている。インクカートリッジ６の下部にはパッキンを付属しているインク排出口１７を設けており、記録ヘッドへのインク供給通路である液体供給チューブ２５をインクが通過する。上部にインクカートリッジ６を大気圧に開放して減圧した内部を調整する気孔を設けており、封止テープ１８で未開封時は保護している。液体供給チューブ２５はゴムやエラストマや密閉性の高いフィルム等で構成される。繰り返し屈曲性が要求されまたガスバリア性も同時に要求される。図５にエラストマ製成形品２６とアルミ薄を挟んだフィルム２７で熱溶着した断面図を示す。インク２８のガスバリア性が確保しつつ工業的製造が可能なため安価な構成になっている。
【００２７】
図３にインクカートリッジ６を下から見た平面図を示す。インク排出口１７には、パッキンが設置され記録ヘッドへのインク供給チューブとの密着性を確保している。また、ＤＬＣ処理機の棒状電極１９の挿入口にも、ガス供給２１と内部空気の排出にも使われる。
【００２８】
＜ＤＬＣ成膜＞
図４は本発明の実施形態に係るプラズマ発生処理装置（以後、ＤＬＣ処理機と言う）とインクカートリッジ６との関係を示す概略断面説明図である。図４のＤＬＣ処理機は、炭素被膜を形成するプラスチック容器であるインクカートリッジ６の外径より大きい内径を有しその内側にインクカートリッジ６を設置可能な大きさの円筒状電極２０と、前記インクカートリッジ６の内部に該インクカートリッジ６に挿入可能な大きさの棒状電極１９と、ガス供給手段２１（図示せず）とガス排気手段２２（図示せず）を備えた円筒状電極２０を収納する真空容器（図示せず）と、棒状電極１９が高圧側に、円筒状電極２０が接地側となるように棒状電極１９と円筒状電極２０に接続した整合器２３及び高周波電源２４とを備えている。
【００２９】
真空容器の形状は任意である。個々のプラスチック容器毎に真空容器を構成してもよいし、複数のプラスチック容器を内包できるものでも構わない。また、円筒状電極２０をそのまま真空境界とすることもできる。
【００３０】
棒状電極１９の径は、インクカートリッジ６の排出口径以下とし、長さはインクカートリッジ６の長手方向のほぼ全長にわたって挿入可能な長さとする。
【００３１】
また、棒状電極１９にはタングステンやステンレス鋼のような耐熱性を有する金属材料を用いる。なお、以下の実施例形態においても電極として好ましい材質は同じである。
【００３２】
図４の装置を用いて炭素被膜形成プラスチック容器を製造する場合の操作方法は次のとおりである。
【００３３】
＜装置の機構＞
図４のように装置を構成した後、真空容器内を排気し、アセチレンガスなどの媒質ガスを供給する。ガス供給量２１とガス排気量２２のバランスをとり、所定のガス圧力に設定する。高周波電源２４から整合器２３を介して、棒状電極１９に高周波電力を印加する。それによって、棒状電極１９の周囲にプラズマが生成する。このプラズマによって媒質ガスが解離し、生成した製膜種がインクカートリッジ６内面に堆積、コーティング膜が形成される。    
所望の膜厚が形成された後、高周波電力印加の停止、媒質ガス供給２１の停止、残留ガスの排気を行い、窒素、希ガス、又は空気等を供給し、この空間内を大気圧に戻す。その後、インクカートリッジ６と液体供給チューブ２５を交換し、次のインクカートリッジ６と液体供給チューブ２５のコーティング作業へ移る。
【００３４】
本実施形態における放電方式は、棒状電極１９と円筒状電極２０との間に誘電体であるプラスチック材質のインクカートリッジ６を挟んだ形の容量結合式となる。
【００３５】
高周波の周波数は１〜数十ＭＨｚであり、典型的には工業用途として認められている１３．５６ＭＨｚ、２７．１２ＭＨｚ、４０．６８ＭＨｚのものが適用できるが、これに限るものではない。例えば、適切な条件の下では高周波又はＶＨＦと呼ばれている周波数帯（数十〜数百ＭＨｚ）も有効である。また、高周波電力の印加は連続的でも間欠的（パルス的）でも構わない。
【００３６】
媒質ガスとしては炭化水素を基本とし、例えばメタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサン等のアルカン類；エチレン、プロピレン、ブテン、ペンテン、ブタジエン等のアルケン類；アセチレン等のアルキン類；ベンゼン、トルエン、キシレン、インデン、ナフタリン、フェナントレン等の芳香族炭化水素類；シクロプロパン、シクロヘキサン等のシクロパラフィン類；シクロペンテン、シクロヘキセン等のシクロオレフィン類；メチルアルコール、エチルアルコール等の含酸素炭化水素類；メチルアミン、エチルアミン、アニリン等の含窒素炭化水素類などが使用でき、その他一酸化炭素、二酸化炭素なども使用できる。なお、使用できる媒質ガスは、以下の実施形態においても同じである。
【００３７】
プラズマ処理時のガス圧力は０．１３３３〜１３３．３Ｐａ程度とする。本実施形態は、ガス圧力を比較的低圧として運転することによってその効果を発揮する。製膜に必要なものはプラズマ自体ではなく、膜を構成する製膜種である。製膜種はプラズマ近傍に生成されるが、低圧にすることによりその粒子は直ちにインクカートリッジ６内に拡散し、速やかにインクカートリッジ６内表面に到達する。インクカートリッジ６中心軸上にプラズマを生成させることでインクカートリッジ６内曲面に沿った均一・均質コーティングが可能である。
【００３８】
図４の実施形態では、高圧側の電極をインクカートリッジ６の内側に設置し、ガス圧力を低くして運転することにより、外部電極の形状をインクカートリッジ６の形状に合わせることなく、インクカートリッジ６内曲面への均一かつ均質な炭素被膜の形成を可能とした。
【００３９】
プラズマ生成にＶＨＦを使用する場合には、ＶＨＦプラズマの電子密度は１３ＭＨｚから４０ＭＨｚの高周波プラズマの密度よりも高いので、ＶＨＦプラズマを利用することによって、コーティング速度を更に高くすることが可能である。
【００４０】
また、ＶＨＦプラズマの生成は、１３ＭＨｚから４０ＭＨｚの高周波プラズマよりも比較的高いガス圧力でも容易なことから、ＶＨＦプラズマを利用することによって、前記の製膜種の数密度を高くでき、コーティング速度を更に高くすることが可能である。
【００４１】
＜素材＞
インクカートリッジ６を構成している他の各部材について述べる。インク容器のインク導出部に使用する材質は特に限定はないが、コスト面、作り易さの面から熱可塑性樹脂を使用するのが最も好ましい。製造方法もごく一般的な実用プラスチック成形加工便覧 全日本プラスチック成形工業連合会編に記載されている如き射出成形方法で製造することが出来る。使用する熱可塑性樹脂としては射出成形が出来れば特に限定はないが例えばポリエチレン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリアセタール、ポリカーボネート、ポリプロピレン等一般の熱可塑性樹脂が挙げられる。
【００４２】
液体供給チューブ２５の素材は、ゴム、エラストマ、合成樹脂、金属フイルムでも良い。成形品との接合一体化には、熱溶着、接着、２色成形、圧入、食いつき勘合などで気密性を付加している。更に本発明の成膜処理を追加する事でガスバリア性が向上する。
【００４３】
＜インクカートリッジの組立＞
インクカートリッジ６の製造方法は、まず、ポリプロピレンを射出成形でインク収容部（ケース）と契合する上蓋部材部品を成形する。重ね合わせ組み立て中空筒状体を形成する。この中空筒状体をプラズマ発生機能付き真空かつＤＬＣ処理機に装着する。ＤＬＣ処理機で真空に引く。その重ね合わされた縁部分は内部が真空のため密着し、溶着部を形成ししなくて良い。インク注入口から棒状電極１９をもつプラズマ発生端子を挿入しアセチレンガスを注入する。ガス注入後、高周波電源２４と整合器２３を通して印加する。詳細は下記記載の特許を参照する。ＤＬＣ成膜方法は、以下を参照する。特開２００３−２３７７２９、日経ビジネス２００４．３．８号  Ｐ１０６−Ｐ１０８に詳細に記載されている方法を採用した。
【００４４】
ＤＬＣ処理機からインクカートリッジ６を取り出し、スポンジ状インク吸収体１６を充填しインク排出口にゴム製のパッキンを装填し、上蓋部材部品を溶着する。インク排出口からインクを充填し、プリンタで印字評価と保存性品質評価を実施した。
【００４５】
内圧を正圧に維持することにより、インクカートリッジ６のインク密封部内への空気等の浸入を防止することができる。その結果、インク吸収体１６により抽出されたインクを記録ヘッドへ供給する場合に、インク供給圧を負圧に維持することができる。本実施例では、インク供給圧、即ち、インク密封部の内圧を約０ｍｍ水頭圧以上かつ約４００ｍｍ水頭圧以下の印字ヘッド動作圧範囲内にしている。
【００４６】
＜評価結果＞
内面をＤＬＣ処理しないインクカートリッジ６と本発明のインクカートリッジ６を、摂氏７０℃４８時間放置後、自然放置環境で７日間放置し、エプソン（株）製インクジェット記録装置に装着し、Ａ５サイズの大きさで１０分間連続記録をし、インク抜けの有無を目視にて観察した。結果及び、更に記録をし続け、記録が出来なくなった時のインク残留量の結果を表１に示す。
【００４７】
なお、インク残留量の結果はインク残留量（％）を次の式から求める。
○：  インク残留量が５％以上
×： インク残留量が５％未満
インク残留量（％）＝インク残留量／インク収納部の容積×１００
【００４８】
なお、ミス印字の評価は以下に示すランク付けにて行った。
○：ミス印字は認められない
×：１箇所以上のミス印字が認められる
【００４９】
【表１】
2005319608.tif 000003
【００５０】
インク消費量の増加に対して、内圧は急激に減少している。即ち、インクカートリッジ密封性は確保され、外部からの空気の進入を防止する事が出来た。一方、従来のＤＬＣ処理しないインクカートリッジ６はインク消費量に追随しなく一定の負圧を示した。
【００５１】
また、インク残量が少なくなる時点では、内圧の差は顕著となり、従来のインクカートリッジ６では、ミス印字の発生と言う不良現象が観察された。
【００５２】
ミス印字が発生したため、プリンタは自動的にインク流路に存在する気泡を排出するため、クリーニング動作（一定時間インクを強制的に排出し、新しいインクを補給させる動作）をする。結果インクカートリッジ６に残存するインク量は減少する。
【００５３】
一方本発明のインクカートリッジ６は最後まで安定した印字品質を維持し正常な印字を実現した。これは本発明のインクカートリッジ６にはガスバリヤ性が有り、従来のインクカートリッジと差が出たと推定される。これらの結果より本発明の有効性が確認された。
【００５４】
以上、各実施例に基づき本発明を説明したが、本発明は上述した実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改良変更が可能であることは容易に推察できるものである。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
インクカートリッジ。
有機カラーフィルター。
携帯電話の表示装置。
医療機器（点滴装置と部品）。
人工衛星の液体配管と輸送部品。
香料・オーデコロンの噴霧機器と部品。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明を適用したインクカートリッジを搭載するシリアル型インクジェット記録装置の機構部の要部概略正面図。
【図２】インクカートリッジの正断面図。
【図３】インクカートリッジの側断面図。
【図４】プラズマ処理の実施形態である本発明のインクカートリッジの正断面図。
【図５】エラストマ製成形品とフィルム２７で熱溶着した断面図。
【符号の説明】
【００５７】
１ 側板
２ 主支持ガイドロッド
３ 従支持ガイドロッド
４  キャリッジユニット
５  主走査方向
６  インクカートリッジ
７  主走査モータ
８  駆動プーリ
９  従動プーリ
１０  タイミングベルト
１１  用紙
１２  副走査方向
１３  吸引体
１４  廃液貯留槽
１５  インク
１６  インク吸収体
１７  インク排出口
１８  封止テープ
１９  バイアス用整合器棒状電極（高圧側）
２０  円筒状電極（バイアス印加用）
２１  ガス供給手段
２２  ガス排気手段
２３  整合器
２４  高周波電源
２５  液体供給チューブ
２６  エラストマ製成形品
２７  アルミ薄を挟んだフィルム
【図１】
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【図２】
2005319608.tif 000005
【図３】
2005319608.tif 000006
【図４】
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【図５】
2005319608.tif 000008