(57)【要約】【課題】水晶振動子又はセラミック振動子の安定した発振特性を利用しつつ、簡単な構成で且つ精度の高い物理量の測定が可能な測定装置を提供する。【解決手段】水晶振動子又はセラミック振動子と所定の物理量を検出するための検出用コイルを有し、当該水晶振動子又はセラミック振動子の発振特性に従って発振する発振回路と、当該発振回路の発振周波数に基づいて、物理量を測定する測定部とを備え、物理量の変化が、検出用コイルのインダクタンスの変化を通じて、発振回路の発振周波数を変化させるようにしたことを特徴とする測定装置が提供される。【選択図】図３
2005274294.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶振動子又はセラミック振動子と所定の物理量を検出するための検出用コイルを有し、当該水晶振動子又はセラミック振動子の発振特性に従って発振する発振回路と、
当該発振回路の発振周波数に基づいて前記物理量を測定する測定部とを備え、
前記物理量の変化が、前記検出用コイルのインダクタンスの変化を通じて、前記発振回路の発振周波数を変化させるようにしたことを特徴とする測定装置。
【請求項２】
前記物理量は、流体の流速であることを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
前記物理量は、被測定物の温度であることを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項４】
前記検出用コイルに流れる交流電流により生成される交流磁界中に配置され、前記物理量の変化に応じて当該検出用コイルとの距離が変わるように移動する導電部材を有し、当該導電部材の移動に応じて前記検出用コイルのインダクタンスが変化することを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
【請求項５】
前記物理量が導管の内部を流れる流体の流速であり、導管に近接して配置される前記検出用コイルと、導管内を流れる流体の流速の変化に応じて前記検出用コイルとの距離が変化するように前記導電部材が内部に取り付けられた導管とが、分離可能な組立体を構成することを特徴とする請求項４に記載の測定装置。
【請求項６】
水晶振動子又はセラミック振動子とコイルを有し、当該水晶振動子又はセラミック振動子の発振特性に従って発振する発振回路を備え、
当該発振回路の発振周波数に基づいて、前記検出用コイルに流れる交流電流により生成される交流磁界中にある金属の種類を判定する判定部とを備え、
当該交流磁界中にある金属の種類に応じて、前記検出用コイルのインダクタンスが変化することにより、前記発振回路の発振周波数を変化させることを特徴とする測定装置。
【請求項７】
所定の物理量の変化による当該物理量を検出するための検出用コイルのインダクタンスの変化に応じて、水晶振動子又はセラミック振動子の発振特性に従って発振する発振回路の発振周波数を変化させ、当該発振回路の発振周波数に基づいて所定の物理量を測定することを測定する測定方法。
【請求項８】
前記物理量は、流体の流速であることを特徴とする請求項７記載の測定方法。
【請求項９】
前記物理量は、被測定物の温度であることを特徴とする請求項７に記載の測定方法。
【請求項１０】
前記検出用コイルに流れる交流電流により生成される交流磁界中に、前記物理量の変化に応じて当該検出用コイルとの距離が変わるように移動する導電部材が配置され、当該導電部材の移動に応じて前記検出用コイルのインダクタンスが変化することを特徴とする請求項７又は８記載の測定方法。
【請求項１１】
コイルに流れる交流電流により生成される交流磁界中にある金属の種類に応じた当該コイルのインダクタンスの変化により、水晶振動子又はセラミック振動子の発振特性に従って発振する発振回路の発振周波数を変化させ、当該発振回路の発振周波数に基づいて、当該交流磁界中にある金属の種類を判定することを特徴とする測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶振動子又はセラミック振動子を含む発振回路の発振周波数から、温度、流速などの物理量を測定する測定装置及び測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１は、ＬＣ発振回路を利用した測定装置を説明するための図であり、図１（ａ）には、一般的なLC発振回路が示される。これを流体の流速、例えばダクト内を流れる空気の流速の検出に用いる場合、図１（ａ）においてLC発振回路１００のコンデンサC1を図１（ｂ）に示すように相対する2枚の電極で構成し、一方の電極(図１（ｂ）において左側)を固定し、他方の電極をダクト内空気の流れによって可動に構成することで、ダクト内の空気の流速の変化によりコンデンサC1の電極間隔が変化する。その結果コンデンサC1の静電容量が変化するので、コンデンサC1、C2、コイルLで構成される共振回路の共振周波数f'0が変化し、その結果、LC発振回路１００の発振周波数f0が変化する。その周波数の変化を周波数カウンタ２０で検出する。計測部３０は、検出された周波数を流速に換算し、求められた流速は表示部４０に表示される。
【０００３】
また、図１（ａ）に示すＬＣ発振回路において、コンデンサC1に代わって、コイルＬを物理量検出センサとして用いることもできる。
【０００４】
図２は、コイルにより物理量を検出する原理を説明する図である。図２（ａ）において、オシレータ２の内部には、コンデンサ（必要に応じて抵抗も）を含み、このコンデンサ（及び抵抗）とコイル１とで、ＬＣ発振回路を構成する。オシレータ２を発振させると、コイル１に流れる交流電流によって交流磁界が生成され、この交流磁界によって導電体４に渦電流が発生する。この渦電流は、コイル内を流れる電流と等価であるから渦電流による磁界が発生する。渦電流による磁界は、コイル１に相互インダクタンスを発生させる。
【０００５】
ここで、コイル１に流れる電流を一定にしたとしても、コイル１と導電体４の距離ｄが変化すると、導電体４を貫く交流磁束が変化し、導電体４内に発生する渦電流が変化する。その結果、コイル１の相互インダクタンスが変化して、発振周波数ｆが変化する。すなわち、コンデンサの静電容量（及び抵抗値）を固定とすることで、コイル１の相互インダクタンスの変化を、発振周波数ｆの変化として検出することができる。
【０００６】
なお、コイル１と導電体４の距離ｄを固定にした場合であっても、導電体４の温度が変化すると、渦電流の値が変化する。従って、導電体４の温度変化によっても、コイル１の相互インダクタンスの変化を通じた発振周波数ｆの変化を観測することができる。
【０００７】
図２（ｂ）は、図２（ａ）の回路による発振周波数ｆと距離ｄの関係についての実験結果である。図２（ｂ）において、縦軸は発振周波数ｆ、横軸は距離ｄを示す。この実験結果から、明らかに、距離ｄが大きくなるほど、発振周波数ｆが大きくなる関係があることがわかり、発振周波数ｆを測定することで、コイルと導電体の距離を測定することができる。
【０００８】
しかしながら、ＬＣ発振回路は、コイルL、コンデンサC1、C2で構成される共振回路の電気的共振を利用しているため、外乱、例えば外部回路や電源電圧のわずかな変動や電気的ノイズによって共振回路の基準周波数が変化しやすい。また、共振回路を構成する素子の温度係数が直接的に共振回路の基準周波数に影響を与える。特にコイルは温度係数が大きいため温度変化に対してインダクタンスが変化しやすい。そのため共振回路の基準周波数が温度変化によって影響を大きく受ける。一般的なLC発振回路の温度係数は10-3-10-4/℃程度である。これらは所謂ドリフトと呼ばれるもので、このドリフトの影響でLC発振回路を使用した測定においては精度の高い測定が困難であったり、基準となる周波数が一定にならないことからある物理量の変化を相対的な値として検出することは可能でも、ある時刻における絶対的な物理量を測定することは困難であった。具体的には図１（ｂ）に示したダクト内空気の流速測定において空気流がなくても検出される周波数が時間とともに変化してしまう現象や、一定の流速であるにもかかわらず検出される周波数が異なる現象として観察されることとなる。
【０００９】
一方で発振回路において基準周波数が安定なものとして水晶発振子やセラミック振動子を利用した回路が知られている。これらは水晶やセラミックの結晶構造等から決まる機械的共振を利用しているため、外部回路や電源電圧の変動あるいは電気的ノイズの影響を受けにくい。また、回路中にコイル等の温度係数の大きい素子がないため温度による共振周波数の変化が小さい。一般に水晶振動子を用いた発振回路の温度係数は10-6/℃、セラミック振動子を用いた発振回路の温度係数は10-5/℃といわれ、LC発振回路と比較して安定している。この安定な水晶振動子を用いた発振回路又はセラミック振動子を用いた発振回路を測定装置に応用する例としては、特開2003-161659(従来技術1)には、水晶振動子のたわみ変化を利用した荷重センサが開示されている。また、特開2002-243607(従来技術2)、特開平6-241972(従来技術3)には、水晶振動子に付着する物質の量に応じて共振周波数が変化する振動子の性質を利用して、成分分析や反応速度の解析を行う測定装置が開示されている。
【特許文献１】特開2003-161659号
【特許文献２】特開2002-243607号
【特許文献３】特開平6-241972号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ＬＣ発振回路は、前述の通り、所謂ドリフトの問題があり物理量の絶対測定は困難であった。一方、水晶振動子の発振周波数は非常に安定しており、所謂ドリフト現象も少ないが、外乱に対して安定であるが故、測定対象の温度変化等の状態変化が生じても発振周波数が変化しないかあるいは変化が微小なためそのままでは「センサ」として用いることが困難で、前述の従来技術における水晶発振回路を利用した測定装置では水晶振動子そのものに特殊且つ微細な加工を施して直接センサとして利用している。従来技術1では水晶振動子の形状を変化させるために複雑且つ微細な機構(感知レバー)が必要となり、従来技術3では水晶振動子に特殊な高分子膜の加工が必要となるため加工が困難であるとともに耐久性にも問題がある。
【００１１】
そこで本発明は、水晶振動子やセラミック振動子の安定した発振特性を利用しつつ、簡単な構成で精度の高い物理量の測定が可能な測定装置及び測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記課題を解決するために、本発明は、水晶振動子又はセラミック振動子と所定の物理量を検出するための検出用コイルを有し、当該水晶振動子又はセラミック振動子の発振特性に従って発振する発振回路と、当該発振回路の発振周波数に基づいて前記物理量を測定する測定部とを備え、前記物理量の変化が、前記検出用コイルのインダクタンスの変化を通じて、前記発振回路の発振周波数を変化させるようにしたことを特徴とする測定装置を提供する。
【００１３】
また、本発明は、所定の物理量の変化による当該物理量を検出するための検出用コイルのインダクタンスの変化に応じて、水晶振動子又はセラミック振動子の発振特性に従って発振する発振回路の発振周波数を変化させ、当該発振回路の発振周波数に基づいて所定の物理量を測定する測定方法を提供する。
【００１４】
好ましくは、検出用コイルに流れる交流電流により生成される交流磁界中に、物理量の変化に応じて検出用コイルとの距離が変わるように移動する導電部材が配置され、導電部材の移動に応じて検出用コイルのインダクタンスが変化する。測定される物理量は、例えば、流体の流速である。
【発明の効果】
【００１５】
水晶振動子またはセラミック振動子を含む発振回路に、物理量を検出するセンサとして機能するコイルを組み込むことで、水晶振動子の安定した発振周波数に基づいた精度の高い、所謂ドリフト等の影響を排除した測定が可能となる。また、コイルをセンサとして用いるための加工は、水晶振動子（又はセラミック振動子）自体を直接センサとして利用する場合に比べてきわめて容易であり、簡単な構成で精度の高い測定が可能となる。また水晶振動子を特殊加工する必要はなく汎用品を利用することができるので安価に構成することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態について説明する。しかしながら、本発明の技術的範囲が、本実施の形態に限定されるものではない。
【００１７】
本実施の形態では、所定の物理量（例えば、流速、温度など）を検出するセンサとして機能するコイルと水晶振動子（又はセラミック振動子）を備えた発振回路を有する測定装置が提供される。図２において説明したように、導電体の近くに交流電流を流したコイルを置くと、コイルに発生した交流磁束が導電体内部を通過する。このとき、電磁誘導により、導電体内部に渦電流が誘起される。この渦電流により、コイルのインダクタンスが変化する。このインダクタンスの変化により、発振回路の発振周波数が変化し、発振周波数に基づいて、物理量を測定することができる。本実施の形態では、物理量の変化を自己のインダクタンスの変化として検出することができるコイルをセンサとして用い、さらに、水晶振動子（又はセラミック振動子）をセンサとしてではなく、安定した発振周波数発生源として用いることで、高精度且つ簡易な構成の測定装置が提供される。
【００１８】
図３は、本発明の実施の形態における測定装置の構成図である。図３において、測定装置は、水晶発振回路１０、周波数カウンタ２０、流速計測部３０及び表示部４０により構成される。周波数カウンタ２０、流速計測部３０及び表示部４０は図１（ａ）のそれらと同じでよい。
【００１９】
水晶発振回路１０は図示されるように抵抗Ra、増幅回路Amp、水晶振動子Xtal(図３では水晶振動子の等価回路としてコンデンサC1、C0、コイルL1、抵抗R1を有する点線で囲まれている部分として示されている)、水晶振動子Xtalと直列に接続されるコイルLs及び調整用コンデンサＣL1、ＣL2を備えて構成される。調整用コンデンサＣL1、ＣL2は、水晶発振回路１０の発振周波数を調整するためのコンデンサである。
【００２０】
そして、本発明の実施の形態では、コイルLsが、流速などの物理量の変化を検出するセンサ（コイルセンサ）として用いられる。
【００２１】
水晶発振回路１０の発振周波数ｆ0は、次式より求められる。なお、各コイルのインダクタンス及び各コンデンサの静電容量も、各要素の参照符号と同一の符号を用いている。
【００２２】
【数１】
2005274294.tif 000003
【００２３】
求められた発振周波数ｆ0の式は、上式で示されるように、変化分Δを含まない第一項と変化分Δを含む第二項に分けることができる。第一項は、渦電流が発生していない場合（その時のコイルLsのインダクタンスLs0）の水晶発振回路１０の基準周波数となる。第一項の基準周波数は、水晶振動子の性質から非常に安定しており、時間の経過等による周波数変化（ドリフト現象）が極めて小さい。そして、センサとして機能するコイルLsのインダクタンスが測定対象物に応じて変化することで、第二項の値が変化し、水晶発振回路１０の発振周波数の変化として検出される。
【００２４】
水晶発振回路１０の基準振動数は、ＬＣ発振回路のそれと比較して非常に安定しており、ドリフト現象が極めて小さいので、その周波数を基準に、物理量の変化量と発振周波数f0の相関関係をあらかじめ求めておくことで、測定対象の物理量の絶対測定値を求めることもできる。
【００２５】
図4乃至図７は、本発明の実施の形態の測定装置を、導管を流れる流体の流速の測定に適用する場合の構成例を示す図である。図４は、本発明の実施の形態の測定装置の一部を構成するコイルLsを含む流速検出用モジュール５の外観斜視図であって、コイルLsは、それを貫く磁束が導管内部に及ぶように、導管の外側に近接して配置される。このコイルLsを導管に近接して配置するための流速検出用モジュールは、コイルLsを有する部位（コイル部）と導管を有する部位（導管部）とに分離可能に構成されることが好ましい。図５は、流速検出用モジュールの分離された状態を示す図であり、図５（ａ）は、導管部５ａ、図５（ｂ）は、コイル部５ｂを示す。流速検出用モジュールを導管部５ａをコイル部５ｂ（さらには、コイル部５ｂから配線で接続する測定装置）から分離可能とすることにより、導管部５ａの導管内部の洗浄などが容易になり、メンテナンス上有利である。また、コイルなどで構成される電子回路部分が被計測流体中にないため耐久性に優れている。そして、被計測流体中にさらされており、比較的劣化しやすい導管部の交換が容易になる。
【００２６】
また、コイルLsは、例えば円筒状の固定材料に絶縁皮膜の導電性ワイヤを巻きつけたソレノイドコイルである。コイルの形状、巻き数、磁心の材料など、発生する磁界の強さ及び分布に影響を与えるコイルのパラメータに特別の制限はない。しかし、コイルLsが発生する磁界によって、導電体に適切な渦電流を発生させる程度の磁界の分布及び強さを生じるよう、適切にコイルLsのパラメータを選択する必要がある。
【００２７】
図６は、図４に示した流速検出モジュールの第一の内部構成例の断面図（図６（ａ）は、図４の構成のＡ−Ａ’断面図であって、図６（ｂ）は、図４の構成のＢ−Ｂ’断面図）、図７は、第二の内部構成例の断面図（図４の構成のＡ−Ａ’断面図）である。
【００２８】
図６に示されるように、導管の外側に配置されたコイルLsと所定距離ｄ離れた位置の導管内部に渦電流を発生させるための導電体（金属板）６が配置される。具体的には、金属板７は、その面をコイルLsの磁束が貫く向きで導管内の内壁面付近に取り付けられる。好ましくは、図示されるように、金属板６の面が内壁面に沿うように、その一端（流体の流れる方向における下流側）が、内壁面に固定され（固定端）、その他端（流体の流れる方向における上流側は、コイルLsとの距離ｄが変位するように可動に取り付けられる（図６（ａ）参照）。そして、金属板６には、導管内を流れる流体を受けるための受風板（受風部）７が取り付けられている。金属板６と受風板７は一体、すなわち、受風板が金属板の一部として構成されてもよい。受風板７は、流体を受けるための適当な面積を有する。その面積は、流体を受けた際、測定流速に対して、検出するのに十分な程度変位する面積であって、流体の速度や測定環境（導管内を流れる流体を測定する場合の導管の断面積など）などを考慮して、最適な面積が決定される。
【００２９】
こうして、受風板７が流速に応じて変位することで、それに連動して、変位部として機能する金属板も、流体の流速に応じて、コイルLsとの距離ｄを変位させるように動き、図６の構成においては、流速が速いほど、距離ｄが広がるように変位する（導管の内壁面側から内側へ変位する）。そして、金属板には、その距離ｄの変位量が、流速が遅い場合は、小さく、流速が速い場合は、大きくなるような特性が求められ、そのためには、金属板は、必要な弾性を有する部材が使用されることが好ましい。例えば、銅やステンレスなどで構成される数ミリ厚の金属板が用いられる。
【００３０】
図７では、図６の構成例として比較して、受風板７のない金属板６の構成が示されている。図７の構成においては、導管内の流路に凹部が設けられ、金属板６の面が内壁面に沿うように取り付けられ、金属板６と内壁面との間には、金属板６が変位可能な幅の空間が設けられる。さらに、金属板の一端（流体の流れる方向における上流側）、内壁面に固定され、その他端（流体の流れる方向における下流側）は、コイルLsとの距離ｄが変位するように可動に取り付けられる。このような構成において、導管内を流体が流れると、流体が流れる流路側の圧力と比較して、凹み部の空間（金属板と内壁面の間の空間）内の圧力が減少し、金属板は、内壁面側に変位する（距離ｄが小さくなるように変位する）。そして、その変位量は、流れる流速が速くなるほど大きく、距離ｄが縮まる。なお、図６の第一の内部構成例においても、内壁面に凹部があってもかまわない。
【００３１】
上述した本発明の実施の形態では、水晶振動子を含む発振回路を例示したが、水晶振動子と同様に、ＬＣ発振回路に比べて発振周波数が安定しているセラミック振動子を含む発振回路が用いられてもよい。
【００３２】
また、水晶振動子及びセラミック振動子を断熱箱に入れることで、水晶振動子又はセラミック振動子の温度変化による発振周波数の変化を抑えることができ、より精度の高い測定が可能となる。
【００３３】
さらに、本発明の実施の形態では、流速の測定を例に説明したが、流速の測定に限られず、温度など他の物理量の測定にも適用可能である。例えば、配管内を流れる流体の温度を測定する場合は、温度変化に対して導電体の導電率（抵抗温度係数）が変化する特性を利用して、配管内の流体と熱的に接触する導電体の温度変化を介して、コイルによる測定が行われる（導電体とコイルとの距離ｄは固定）。導電体として、例えば銅又は鉄が用いられるが、その抵抗温度係数は、それぞれ、0.00393、0.005である。
【００３４】
また、本実施の形態の測定装置は、被測定物である金属の種類の判定にも適用可能である。この場合、図３の計測部３０は、金属の種類を判定する判定部として機能する。金属は、その種類によって、電気抵抗値が異なる。代表的な金属の電気抵抗値を以下の表１に示す。従って、コイルとの距離が一定であれば、電気抵抗値の相違による渦電流の大きさの相違から、金属の種類に応じて発振周波数が変化するので、発振周波数に基づいて金属の種類を判定することができる。
【００３５】
【表１】
2005274294.tif 000004
【００３６】
なお、温度測定の対象物が金属（導電体）そのものである場合や、測定対象物（金属）の種類を検知する場合のように、測定対象物が渦電流を生成する金属である場合は、測定対象物自体が、上述の実施の形態において説明したような、コイルのインダクタンスを変化させるための導電体として機能する。
【実施例】
【００３７】
図８は、図４に示す水晶発振回路を用いた測定装置において被測定物の物理量に変化がない場合、つまり被計測流体の流速が0の場合の発振周波数の時間的変化を示したものである。縦軸は発振周波数、横軸は時間である。本図から明らかなように、水晶発振回路を用いた測定装置において所謂ドリフトは約0.5Hz/分以下となっており、物理量の測定に支障がないことが分かる。
【００３８】
図９は、図４に示す測定装置のうち、図３に示す水晶発振回路を図1(a)で示すLC発振回路に置き換え、コイルＬをセンサとして測定した場合の、被測定物の物理量に変化がない場合、つまり被計測流体の流速が0である場合の発振周波数の時間的変化を示したものである。図８同様に、縦軸に発振周波数、横軸に時間をとっている。図より明らかなように、物理量に変化がない場合でも測定される発振周波数は約5Hz/分の割合で変化しており、物理量の測定に支障があることが分かる。
【００３９】
図１０は、図４に示す水晶発振回路を用いた測定装置において被測定物の物理量に変化させた場合、具体的には、被計測流体の流速を0m/sec、2m/sec、5m/sec、0m/secとステップ的に変化させた場合に測定された発振周波数を示したものである。図８同様に、縦軸は発振周波数、横軸は時間である。本図より、水晶発振回路を用いた測定装置において、一定の流速に対して観測される発振周波数が一対一に対応していることが分かり、測定したい物理量(ここでは流速)の絶対値の測定が可能である。
【００４０】
図１１は、図４に示す測定装置のうち水晶発振回路を図1(a)で示すLC発振回路に置き換え、コイルＬをセンサとして測定した場合の測定装置において被測定物の物理量を変化させた場合、具体的には、被計測流体の流速を0m/sec、2m/sec、5m/sec、0m/secとステップ的に変化させた場合に測定された発振周波数を示したものである。図８同様に、縦軸は発振周波数、横軸は時間を示す。本図より、LC発振回路を用いた測定装置において、一定の流速に対して観測される発振周波数が一対一に対応していないことが示される。具体的には、一定の流速で流体が流れている間にもセンサ出力として表示されている周波数が変動していること、またステップ的に変化させた後、流速を0m/secに戻しても、測定開始時の0m/secの時の発振周波数とずれてしまっていることが分かり、測定したい物理量(ここでは流速)の変化及び物理量の絶対値の測定が困難であることが示された。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】ＬＣ発振回路を利用した測定装置を説明するための図である。
【図２】コイルにより物理量を検出する原理を説明する図である。
【図３】本発明の実施の形態における測定装置の構成図である。
【図４】本発明の実施の形態の測定装置の一部を構成するコイルLsを含む流速検出用モジュール５の外観斜視図である。
【図５】流速検出用モジュールの分離された状態を示す図である。
【図６】図４に示した流速検出モジュールの第一の内部構成例の断面図である。
【図７】図４に示した流速検出モジュールの第二の内部構成例の断面図である。
【図８】本発明の実施の形態の水晶発振回路を用いた測定装置における被測定物の物理量に変化がない場合の発振周波数の時間的変化を示すグラフである。
【図９】ＬＣ発振回路を用いた測定装置における被測定物の物理量に変化がない場合の発振周波数の時間的変化を示すグラフである。
【図１０】本発明の実施の形態の水晶発振回路を用いた測定装置における被測定物の物理量を変化させた場合の発振周波数の時間的変化を示図グラフである。
【図１１】ＬＣ発振回路を用いた測定装置における被測定物の物理量を変化させた場合の発振周波数の時間的変化を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４２】
１０：水晶発振回路、２０：周波数カウンタ、３０：計測部、４０：表示部、Ｌｓ：コイルセンサ、Ｘtal：水晶振動子
【図１】
2005274294.tif 000005
【図２】
2005274294.tif 000006
【図３】
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【図４】
2005274294.tif 000008
【図５】
2005274294.tif 000009
【図６】
2005274294.tif 000010
【図７】
2005274294.tif 000011
【図８】
2005274294.tif 000012
【図９】
2005274294.tif 000013
【図１０】
2005274294.tif 000014
【図１１】
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